䋳䋮ฦ䊁䊷䊙䈱ᚑᨐ⹦⚦㩷‫ߩࡦࠠࠬ࠻࡯ࡑࠬޟ‬ታ⃻ࠍ⋡ᜰߔ /'/5 ࠕ࡟ࠗߣߘߩାภធ⛯ᣇᴺߩ⎇ⓥ‫ޠ‬㩷䋨䋱䋩⎇ⓥ᭎ⷐ㩷 ඨዉ૕ᓸ⚦ടᎿᛛⴚࠍ↪޿ߡࡒࠢࡠߩ┙૕᭴ㅧ߿ᯏ᪾ࠪࠬ࠹ࡓ (MEMS: micro electro mechanicalsystems) ࠍ૞ࠆᣇᴺࠍ‫ߣࠣࡦ࠾ࠪࡑࡠࠢࠗࡑޔ‬๭߮‫ޔ‬㧝㧥㧤㧜ᐕઍ߆ࠄ᭽‫⎇ߩޘ‬ⓥ߇ⴕࠊࠇߡ߈ߚ‫ޕ‬ࡑࠗࠢࡠࡑࠪ࠾ࡦࠣࠍ↪޿ࠇ߫‫ⶄޔ‬㔀ߥᒻ⁁ߩࡑࠗࠢࡠ᭴ㅧ߆ࠄࡕ࡯࠲߿ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩࠃ߁ߦജ߿ᄌ૏ࠍ⊒↢ߔࠆ࠺ࡃࠗࠬ߹ߢࠍ૞⵾ߢ߈ࠆ‫ ߩߎޕ‬MEMS ᛛⴚࠍ↪޿ߡ‫⥄ޔ‬േゞ↪ߩടㅦᐲ࠮ࡦࠨ‫ࠗޔ‬ࡦࠢࠫࠚ࠶࠻ࡊ࡝ࡦ࠲࡯ߩࡋ࠶࠼ߥߤ‫ޔ‬᭽‫⵾ߥޘ‬ຠ߇↢ߺ಴ߐࠇ⑳ߚߜߩりߩ࿁ࠅߢ↪޿ࠄࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬ߐࠄߦ࠺ࡃࠗࠬࠍᄙᢙߥࠄߴߚࠅ‫ޔ‬㔚ሶ࿁〝ߣ㓸Ⓧൻߒߚࠅߔࠆߎߣߢ‫ޔ‬MEMS ߩ৻ጀߩᕈ⢻ะ਄ߣᔕ↪▸࿐ߩ᜛ᄢ߇ᦼᓙߢ߈ࠆ‫ޔߜࠊߥߔޕ‬(1) ୘‫ߪ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕߩޘ‬න⚐ߥേ߈ߒ߆ߢ߈ߥߊߡ߽‫ޔ‬ᄙᢙ߇ද⺞ߒߡേߊߎߣߢࠃࠅⶄ㔀ߢ‫ޔ‬㜞ᐲߩേ૞ࠍታ⃻ߔࠆ‫ޕ‬(2)ࠕ࡟ࠗൻߒߚ࠮ࡦࠨ߿೙ᓮ࿁〝ࠍ⚵ߺㄟ߻ߎߣߢ‫ߩߘ߿࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬ㄭߊߩ⁁ᘒࠍ᷹ࠅ‫ߩߘޔ‬ᖱႎߦၮߠ޿ߡ୘‫ࠍ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕߩޘ‬ㆡಾߦേ߆ߔࠪࠬ࠹ࡓࠍ᭴▽ߢ߈ࠆ‫ޕ‬(3) ᔕ↪ߣߒߡ‫ߩࡦࠠࠬ࠻࡯ࡑࠬޔ‬ታ⃻߇ᦼᓙߢ߈ࠆ‫⴫ߩߘߪࡦࠠࠬ࠻࡯ࡑࠬޕ‬㕙ߦ‫ޔ‬ᗵⷡ‫್ޔ‬ᢿ‫ޔ‬േ૞ߩ㧟ᯏ⢻ࠍⴕ߁࠺ࡃࠗࠬࠍᄙᢙಽᏓߒߡᜬߟࠪࠬ࠹ࡓߢ޽ࠆ‫ޕ‬ᐢ㕙Ⓧߦࠊߚߞߡ‫ߩߘޔ‬႐ߘߩ႐ߩ⁁ᘒߦวࠊߖߚ߈߼⚦߆޿േ૞߇ⴕ߃ࠆߚ߼‫ޔ‬࿕૕ߣᵹ૕⇇㕙ߢߩੂᵹ⊒↢ࠍ೙ᓮߔࠆࠪࠬ࠹ࡓ㧔⥶ⓨᯏ‫ޔ⥾⦁ޔ‬㈩▤ਛߩᵹ૕ᛶ᛫ૐᷫ߳ߩᔕ↪߇น⢻㧕‫ߩࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬਄ߦ⟎޿ߚ‛૕ࠍᬌ಴ߒߡߘࠇࠍᦸߺߩ႐ᚲ߳േ߆ߔ៝ㅍࠪࠬ࠹ࡓ㧔ࡑࠗࠢࡠࡈࠔࠢ࠻࡝࡯ߩㇱຠ៝ㅍ‫ࡠࠢࠗࡑޔ‬ᵹ૕࠴࠶ࡊ↪ߩᓸ㊂ᬌ૕៝ㅍߥߤ߳ߩᔕ↪߇น⢻㧕‫ޔ‬ო㕙ߢᬌ⍮ߒߚ᷷ᐲ࡮Ḩᐲ࡮ᾖᐲ╬ߦ޽ࠊߖߡⓨ⺞߿ᾖ᣿ࠍ⥄േ⊛ߦ⺞▵ߔࠆࠪࠬ࠹ࡓ㧔ቶౝߩⅣႺ▤ℂߥߤߦᔕ↪߇น⢻㧕‫ߩߤߥޔ‬ᰴ਎ઍ MEMSᔕ↪߳ߩዷ㐿߇ᦼᓙߢ߈ࠆ‫ޕ‬਄⸥ߩᄞࠍታ⃻ߔࠆߚ߼ߩ᭴ᚑⷐ⚛ߣߥࠆࠕ࡟ࠗᯏ᭴߿⚛ሶߦߟ޿ߡߪ‫⎇ޔ‬ⓥઍ⴫⠪ࠍਛᔃߣߔࠆࠣ࡞࡯ࡊࠍవ㚟ߣߒߡ‫☨ޔ‬࿖ߥߤߢ⪚⧘⊛ߥ⎇ⓥ߇ᆎ߹ߞߡ޿ࠆ‫ޕ‬ ߎߩࠃ߁ߥ⢛᥊ߦၮߠ߈‫⎇ᧄޔ‬ⓥߢߪඨዉ૕ࡑࠗࠢࡠࡑࠪ࠾ࡦࠣࠍ↪޿ߡ MEMS ࠕ࡟ࠗࠍᱠ⇐߹ࠅࠃߊ⵾૞น⢻ߣߔࠆߎߣߣ‫ߩߘޔ‬೙ᓮߦ↪޿ࠆ㓸Ⓧ࿁〝ߣߩାภធ⛯ᣇᴺࠍ㐿⊒ߔࠆߎߣߦࠃࠅ‫ޔ‬ᓥ᧪ᓧࠄࠇߥ߆ߞߚᠲ૞⥄↱ᐲ߿ᬌ಴⢻ࠍᜬߟᰴ਎ઍߩ MEMS ࠍታ⃻ߒ‫੹ޔ‬ᓟߩ MEMS ᛛⴚߩ⊒ዷߦ⾗ߔࠆߎߣࠍ⋡⊛ߣߒߚ‫⎇ߦ․ޕ‬ⓥઍ⴫⠪ߩ⎇ⓥቶߢታ❣ߩ޽ࠆ‫ߩࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬਄ߦ⟎޿ߚ‛૕ࠍᬌ಴ߒߡߘࠇࠍᦸߺߩ႐ᚲ߳േ߆ߔ៝ㅍࠪࠬ࠹ࡓࠍኻ⽎ߣߒߡ‫⵾ߩࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬૞ᴺ‫ޔ‬࿁〝ߣߩ㓸Ⓧൻᚻᴺ‫ޔ‬೙ᓮᣇᴺߥߤߦߟ޿ߡ⎇ⓥࠍⴕߞߚ‫ޕ‬એਅ‫⎇ޔ‬ⓥߩㆊ⒟ߢᓧߚᚑᨐߦߟ޿ߡႎ๔ߔࠆ‫ޕ‬ ᧄ⎇ⓥߪඨዉ૕ࡑࠗࠢࡠࡑࠪ࠾ࡦࠣࠍ↪޿ߡ /'/5 ࠕ࡟ࠗࠍᱠ⇐߹ࠅࠃߊ⵾૞น⢻ߣߔࠆߎߣߣ‫ߘޔ‬ߩ೙ᓮߦ↪޿ࠆ㓸Ⓧ࿁〝ߣߩାภធ⛯ᣇᴺࠍ㐿⊒ߔࠆߎߣߦࠃࠅ‫ޔ‬ᓥ᧪ᓧࠄࠇߥ߆ߞߚᠲ૞⥄↱ᐲ߿ᬌ಴⢻ࠍᜬߟᰴ਎ઍߩ /'/5 ࠍታ⃻ߒ‫੹ޔ‬ᓟߩ /'/5 ᛛⴚߩ⊒ዷߦ⾗ߔࠆߎߣࠍ⋡⊛ߣߒߡⴕߞߚ‫↳ߦ․ޕ‬⺧⠪ߩ⎇ⓥቶߢታ❣ߩ޽ࠆ‫ߩࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬਄ߦ⟎޿ߚ‛૕ࠍᬌ಴ߒߡߘࠇࠍᦸߺߩ႐ᚲ߳േ߆ߔ៝ㅍࠪࠬ࠹ࡓࠍኻ⽎ߣߒߡ‫⎇ޔ‬ⓥࠍㅴ߼ߚ‫ޕ‬୘‫ߪ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕߩޘ‬න⚐ߥേ߈ߒ߆ߢ߈ߥߊߡ߽‫ޔ‬ζ㧙1ᄙᢙ߇ද⺞ߒߡേߊߎߣߢࠃࠅⶄ㔀ߢ‫ޔ‬㜞ᐲߩേ૞ࠍታ⃻ߢ߈ࠆ‫ߩࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޕ‬਄ߦ⟎޿ߚ‛૕ࠍᬌ಴ߒߡߘࠇࠍᦸߺߩ႐ᚲ߳േ߆ߔ៝ㅍࠪࠬ࠹ࡓࠍ⎇ⓥኻ⽎ߦᠠ߮‫ޔ‬ඨዉ૕ࡑࠗࠢࡠࡑࠪ࠾ࡦࠣࠍ↪޿ߡ /'/5 ࠕ࡟ࠗࠍᱠ⇐߹ࠅࠃߊ⵾૞น⢻ߣߔࠆᛛⴚ‫ޔ‬/'/5 ࠕ࡟ࠗߩ೙ᓮᛛⴚ߅ࠃ߮‫ߩߘޔ‬೙ᓮߦ↪޿ࠆ㓸Ⓧ࿁〝ߣߩାภធ⛯ᣇᴺࠍ⎇ⓥߒߚ‫៝ߥ࡯࡝ࡈ࠻ࠢ࠲ࡦࠦޕ‬ㅍࠍⴕ߁࠺ࡃࠗࠬߣߒߡ‫ޔ‬ઍ⴫⠪ߩ⎇ⓥࠣ࡞࡯ࡊߢታ❣ߩ޽ࠆ‫ޔ‬/'/5 ᛛⴚߦࠃࠆนᄌࡁ࠭࡞ࠕ࡟ࠗࠍ↪޿ߚࠛࠕ࡯ࡈࡠ࡯ᣇᑼࠍ↪޿ߚ‫ޕ‬ࡃ࡞ࠢࡑࠗࠢࡠࡑࠪ࠾ࡦࠣߦࠃࠅ‫ޔ‬਄㕙ࠪ࡝ࠦࡦጀߦߪࡁ࠭࡞㐿ญࠍ૞ࠅ‫ޔ‬ਅ㕙ࠪ࡝ࠦࡦጀߦߪࡁ࠭࡞߆ࠄ಴ࠆ᳇ᵹߩᣇะࠍ೙ᓮߔࠆ㕒㔚ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠍᒻᚑߒߚ࠺ࡃࠗࠬߢ޽ࠆ‫࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕߣ࡞࠭ࡁޕ‬࠲ࠍᜬߟන૏࠮࡞ߪ߅ࠃߘ 㨏㨙ⷺߢ޽ࠅ‫ߩߎޔ‬ਛߦ  ୘⒟ᐲߩන૏࠮࡞߆ࠄߥࠆࠕ࡟ࠗࠍ෼߼ߡ޿
ࠆ‫ࠍࠬࠗࡃ࠺ޕ‬᳓ᐔߦߒߡ‫ߩߘޔ‬਄ߦ៝ㅍ‛૕ࠍਸ਼ߖ‫ߩ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬േ૞ߦ઻ߞߡࡁ࠭࡞㐿ญ߆ࠄ็߈಴ߔᢳ߼ᣇะߩ᳇ᵹߦࠃߞߡ‛૕ࠍേ߆ߔ‫⎇ᧄޔߪߡ޿ߟߦࠬࠗࡃ࠺ߩߎޕ‬ⓥቶߢ⹜૞ࠍⴕ޿‫ޔ‬േ૞ࠍ⏕⹺ߒߡ޿ࠆ߇‫៝ޔ‬ㅍ೙ᓮߩ⎇ⓥࠍⴕ߁ߚ߼ߦߪ‫ޔ‬᭽‫ߢࠬࠗࡃ࠺ߥޘ‬ታ㛎ࠍⴕ߁ᔅⷐ߇޽ࠅ‫ࠔࡈޔ‬ࡦ࠼࡝࡯ࠍ↪޿ߡᔅⷐߥᢙߩ࠺ࡃࠗࠬࠍ૞⵾ߒߚ‫ޕ‬৻ᣇ‫ޔ‬਄⸥ߩࠦࡦ࠲ࠢ࠻ࡈ࡝࡯ߥ៝ㅍ࠺ࡃࠗࠬߦኻߒߡ‫៝ޔ‬ㅍ‛ߦ⋥ធࠦࡦ࠲ࠢ࠻ߒߡ៝ㅍࠍⴕ߁࠺ࡃࠗࠬߦߟ޿ߡ߽‫ޔ‬ห᭽ߩ⎇ⓥࠍⴕߞߚ‫߽ࠬࠗࡃ࠺ߩߎޕ‬ઍ⴫⠪ߩ⎇ⓥࠣ࡞࡯ࡊߦ߅޿ߡ㐿⊒ߐࠇߚ߽ߩߢ޽ࠅ‫ޔ‬ᾲ㚟േဳߩࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠍࠕ࡟ࠗ⁁ߦ㈩⟎ߔࠆߎߣߢ៝ㅍേ૞ࠍታ⃻ߒߚ‫ޕ‬ᧄ⎇ⓥߦ૶↪ߒߚ࠺ࡃࠗࠬߢߪ‫ޔ‬㨙㨙ⷺߩන૏࠮࡞ߦ᧲⷏ධർ㧠ᣇะࠍะߊࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߇㓸Ⓧൻߐࠇߡ߅ࠅ‫ߩߎߦࠄߐޔ‬න૏࠮࡞߇ 㨤 ୘ߩ࠮࡞ࠕ࡟ࠗࠍᒻᚑߒ‫ోޔ‬૕ߢ৻ߟߩ࠺ࡃࠗࠬߣߒߡേ૞ߔࠆ‫ߪࠬࠗࡃ࠺ߩߎޔߚ߹ޕ‬᭴ㅧ᧚ᢱ߇ㅘ᣿ߢ޽ࠆߚ߼‫ࠬ࡜ࠟޔ‬ၮ᧼਄ߦ૞ᚑߔࠇ߫‫ޔ‬శ࠮ࡦࠪࡦࠣ࠺ࡃࠗࠬߣߩⓍጀൻ߇ኈᤃߢ޽ࠆ‫⎇ᧄޔߢߎߘޕ‬ⓥߢߪ‫ࠍࠬࠗࡃ࠺ߩߎޔ‬ਥߦ‫ޔ‬࠮ࡦࠨ࠺ࡃࠗࠬߣߩ㓸Ⓧൻߩታ⃻‫ޔ‬෸߮࠮ࡦࠨ࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲࡮ࡈࠖ࡯࠼ࡃ࠶ࠢ೙ᓮߩታ⸽⊛⎇ⓥߩ
ⷰὐ߆ࠄ‫ޕࠆߔ↪૶ޔ‬ᓧࠄࠇߚᚑᨐߪએਅߩㅢࠅߢ޽ࠆ‫ޕ‬㩷⎇ⓥ㗄⋡䋱䋺䉝䉪䉼䊠䉣䊷䉺䉝䊧䉟䊂䊋䉟䉴䈱⵾૞㧝㧚ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗ૞⵾㜞ᱠ⇐߹ࠅࡊࡠ࠮ࠬߩ⏕┙㧞㧚ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ᡿㓚ࠍ㔚᳇⊛ߦᬌ಴ߒ‫ޔ‬ା㗬ᕈࠍടㅦᬌᩏߔࠆᚻᴺߩ⠨᩺ߥࠄ߮ߦᬌ⸽㧟㧚 ᰴరࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗߩ૞⵾㩷㩷⎇ⓥ㗄⋡䋲䋺䉝䊧䉟䊂䊋䉟䉴䈱ಽᢔ೙ᓮᴺ㩷㧠㧚ࠬࡑ࡯࠻ࠬࠠࡦ᭎ᔨߦၮߠߊ࠮ࡦࠨ࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲㓸Ⓧࠪࠬ࠹ࡓߩಽᢔ೙ᓮታ⸽
㧡㧚ࡈࠜ࠻࠳ࠗࠝ࡯࠼ࠕ࡟ࠗߣߩⓍጀൻߦࠃࠆࡈࠖ࡯࠼ࡃ࠶ࠢ೙ᓮߩታ⸽
㩷⎇ⓥ㗄⋡䋳䋺࿁〝䉼䉾䊒䈫䈱ାภធ⛯ᴺ
㧢㧚㜞㔚࿶೙ᓮ࿁〝ߩ㓸Ⓧൻߦࠃࠆࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗ㜞ᯏ⢻ൻᔅⷐᕈߩ᣿⏕ൻζ㧙2䋨䋲䋩ᚑᨐ⹦⚦㩷⎇ⓥ㗄⋡䋱䋺䉝䉪䉼䊠䉣䊷䉺䉝䊧䉟䊂䊋䉟䉴䈱⵾૞㩷㽲 ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗ૞⵾㜞ᱠ⇐߹ࠅࡊࡠ࠮ࠬߩ⏕┙㩷ࡈࠔ࠙ࡦ࠼࡝ߦࠃࠆ㊂↥ߩߚ߼ߩ࠺ࡃࠗࠬ૞⵾ࡊࡠ࠮ࠬࠍ⏕┙ߒ‫ޔ‬ห⎇ⓥቶߢవⴕ⹜૞ߒߚࠛࠕࡈ
ࡠ࡯ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲࠺ࡃࠗࠬࠍ↪޿‫ߦࠇߎޔ‬ኻߒߡ࠻࠶ࡊ࠳࠙ࡦᣇᑼߦࠃࠆ೙ᓮࠍⴕ޿‫߆ࠄ޽ޔ‬ߓ߼ᜰቯߒߚ૏⟎ߦ‛૕ࠍ៝ㅍߔࠆታ㛎ࠍⴕߞߚ‫ࠗ࡟ࠕޕ‬ൻߒߚࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩද⺞േ૞ߦࠃߞߡ‫‛ޔ‬૕៝ㅍߣ޿߁ࠪࠬ࠹ࡓో૕ߩᯏ⢻ࠍታ⃻ߢ߈ࠆߎߣ߇ಽ߆ߞߚ‫ޕ‬ ᷓជࠅ෻ᔕᕈࠛ࠶࠴ࡦࠣ &GGR4+' ߦࠃߞߡ⴫߆ࠄࡁ࠭࡞ⓣ‫࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕࠄ߆ⵣޔ‬ᒻ⁁ࠍടᎿߔࠆਔ㕙ടᎿ‫  ޔ‬ᾲ㉄ൻߣࠛ࠶࠴ࡦࠣࠍ➅ࠅ㄰ߔߎߣߦࠃࠆ᭴ㅧ᏷ߩ♖ኒ೙ᓮ‫  ޔ‬ᚻ⵾ߩ◲ଢߥࡊࡠ࠮ࠬⵝ⟎ࠍ↪޿ߚ᳇૕ࡈ࠶㉄ߦࠃࠆ㜞ା㗬ᕈ࡝࡝࡯ࠬᴺࠍ㐿⊒ߒߚߎߣߦࠃࠅ‫ ޔ‬୘ߩࡑࠗࠢࡠࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߆ࠄߥࠆ OOOO ߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗࠍ‫ޔ‬ᰳ㒱ήߊ૞⵾ߔࠆߎߣ߇ߢ߈ࠆࠃ߁ߦߥߞߚ‫(ޕ‬KI ߦੑᰴర៝ㅍ࠺ࡃࠗࠬߩ⵾૞ࡊࡠ࠮ࠬࠍ␜ߔ‫ޔߕ߹ޕ‬਄ㇱၮ᧼ߦࠃߞߡ᳇ᵹ↪ࠬ࡞࡯ࡎ࡯࡞ࠍ⵾૞ߒ‫ޔ‬ᰴߦਅㇱၮ᧼ߦࠃߞߡ‫ࠍ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕࡠࠢࠗࡑޔ‬᭴ᚑߔࠆ‫ߩߘޕ‬ᓟ‫ࠕޔ‬ࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ㚟േ㔚࿶ࠍዊߐߊߔࠆߚ߼‫ࡀࡃߩࡦ࡚ࠪࡦࡍࠬࠨޔ‬ቯᢙࠍૐਅߐߖࠆࡊࡠ࠮ࠬࠍⴕߥ߁‫ޕ‬ᾲ㉄ൻࡊࡠ࠮ࠬߦࠃࠅጀࠍᒻᚑߒ‫ߩߘޔ‬ጀࠍ㒰෰ߔࠆߎߣߢ‫ࡦ࡚ࠪࡦࡍࠬࠨޔ‬᏷ࠍᷫዋߐߖ‫ࡀࡃޔ‬ቯᢙߩૐਅࠍታ⃻ߒߚ‫ޕ‬ᰴߦࡑࠗࠢࡠࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ࡝࡝࡯ࠬࠍⴕ߁߇‫ޔߢߎߎޔ‬ᚒ‫߇ޘ‬㐿⊒ߒߚࡈ࠶㉄⫳᳇ࠍ↪޿ࠆ‶†ጀࠛ࠶࠴ࡦࠣᴺ㧔*( ⫳᳇ࠛ࠶࠴ࡦࠣᴺ㧕ࠍㆡ↪ߔࠆߎߣߢ‫ޔ‬ᓥ᧪⊒↢ߒߡ޿ߚ᭴ㅧ⾍ࠅઃ߈໧㗴ࠍ࿁ㆱߔࠆߎߣ߇น⢻ߣߥࠅ‫ ߷߶ޔ‬㧑ߩᱠ⇐߹ࠅߢࡑࠗࠢࡠࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲⵾૞ߔࠆߎߣ߇น⢻ߣߥߞߚ‫ޕ‬ ୘ߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߪోߡห৻ᒻ⁁ࠍߒߡ޿ࠆ߇‫ ޔ‬⒳㘃ߩ⇣ߥࠆᣇะࠍะ޿ߡ޿ࠆ‫ߥߔޕ‬ࠊߜ‫⷏᧲ޔ‬ᣇะߦࠛࠕ࡯ࠍ็߈಴ߔࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߣ‫ޔ‬ධർᣇะߦࠛࠕ࡯ࠍ็߈಴ߔࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߢ޽ࠆ‫(ޕ‬KI ߦ␜ߔࠃ߁ߦ‫ޔ‬㚟േ㔚࿶ࠍଏ⛎ߔࠆߚ߼ߩ㈩✢ࡄ࠶࠼ߪࠕ࡟ࠗᄖ๟ㇱߦ޽ࠅ‫ޔ‬ࡢࠗࡗࡏࡦ࠺ࠖࡦࠣߢࡇ࠶࠴ᄌ឵ၮ᧼ߦធ⛯ߒ‫ޔ‬8 ߹ߢߩ㔚࿶ࠍ⁛┙ߦ QPQHH ߢ߈ࠆࠬࠗ࠶࠴
ࡦࠣ +% ࡏ࡯࠼ߦធ⛯ߒߡ޿ࠆ‫ ࠣࡦ࠴࠶ࠗࠬޕ‬+% ࡏ࡯࠼ߪࡄ࡯࠰࠽࡞ࠦࡦࡇࡘ࡯࠲ߦធ⛯ߒߡ೙ᓮߒߚ‫ߩ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޕ‬േ૞㔚࿶ߪ 8 ೨ᓟߢ޽ࠆ‫ޕ‬(KI ߦᧄ⎇ⓥߢ↪޿ࠆࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ᭴ㅧߩ᭎⇛߅ࠃ߮േ૞ේℂࠍ␜ߔ‫ߪ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕᧄޕ‬ጀߩ᭴ㅧߦࠃࠅ᭴ᚑߐࠇ‫ࡦࠦ࡝߽ࠪࠇߕ޿ޔ‬ၮ᧼ࠍࡃ࡞ࠢࡑࠗࠢࡠࡑࠪ࠾ࡦࠣߦࠃߞߡടᎿߔࠆߎߣߦࠃࠅ⵾૞ߐࠇߚ᭴ㅧߢ޽ࠆ‫ޕ‬࿑ߦ␜ߐࠇࠆㅢࠅ‫ޔ‬਄ㇱၮ᧼ߦߪ᳇ᵹߩߚ߼ߩࠬ࡞࡯ࡎ࡯࡞߇ᒻᚑߐࠇ‫ޔ‬ਅㇱၮ᧼ߦߪ‫࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕࡠࠢࠗࡑޔ‬㧔นേㇱ‫ࡦ࡚ࠪࡦࡍࠬࠨޔ‬෸߮㕒㔚ᒁജߩߚ߼ߩ㔚ᭂ㧕߇ᒻᚑߐࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬࿑ߦ␜ߔࠃ߁ߦ‫ޔ‬นേㇱࠍᏀ஥ߦ⒖േߐߖࠆߎߣߦࠃࠅ‫ޔ‬ਅㇱၮ᧼ߩฝ஥⽾ㅢሹߣ਄ㇱၮ᧼ߩ⽾ㅢሹߦࠃߞߡᏀᣇะߩࡁ࠭࡞߇᭴ᚑߐࠇ‫ޔ‬ᢳ߼ᣇะߩ᳇ᵹࠍ⊒↢ߐߖࠆߎߣ߇ߢ߈ࠆ‫ޕ‬੹࿁૞⵾ߒߚࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ᭴ㅧ෸߮⵾૞ߒߚࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ㔚ሶ㗼ᓸ㏜౮⌀ࠍ (KI ߦ␜ߔ‫ޕ‬ၮᧄ᭴ㅧߩᄢ߈ߐߪ⚂㧝㨙㨙ⷺߢ޽ࠅ‫ޔ‬ฝᣇะ᳇ᵹ↪ߣᏀᣇะ᳇ᵹ↪ߩࡁ࠭࡞㧔ᄢ߈ߐ ǴOǴO㧕ࠍᜬߟ‫ޕ‬࿑ߦ␜ߐࠇࠆㅢࠅ‫⽾ޔ‬ㅢሹࠍᜬߟਛᄩߩ᭴ㅧ߇นേㇱߢ޽ࠅ‫ޔ‬ᒢᕈᡰᜬ᪞ߦࠃߞߡᡰᜬߐࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬นേㇱߩᏀฝߦ޽ࠆ㔚ᭂߪ਄஥ߩၮ᧼ߦ࿕ቯߐࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬นേㇱߩ㚟േߪ‫ޔ‬นേㇱ࡮㔚ᭂ㑆ߩ㕒㔚ᒁജߦࠃࠅⴕߥ߁‫ޕ‬นേㇱߣ㔚ᭂߩធ⸅ߦࠃࠆ࡚ࠪ࡯࠻ࠍ㒐ߋߚ߼ߦࠬ࠻࠶ࡄ࡯߇⸳ߌࠄࠇߡ߅ࠅ‫ޔ‬ζ㧙3ߎߩࠬ࠻࠶ࡄ࡯ߦࠃߞߡนേㇱߪ㔚ᭂߦធ⸅ߔࠆ೨ߦ஗ᱛߔࠆ‫ޔࠅࠃߦߺ⚵઀ߩߎޕ‬นേㇱߩ⽾ㅢሹࠍ
Ꮐฝߦ⒖േߐߖࠆߎߣߢ‫(ޔ‬KI ߩേ૞ේℂߦࠃࠆੑᣇะߩ᳇ᵹ೙ᓮࠍታ⃻ߒߚ‫ޕ‬(KI ࡑࠗࠢࡠࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ⵾૞ࡊࡠ࠮ࠬ
ζ㧙4







Video
cameraFeedback loop

Conveyorsurface

Control programಽᢔ೙ᓮ

objectActuator㩷
driverAir

128 wiressource(KI ࠺ࡃࠗࠬߩᄖⷰߣ೙ᓮ♽(KI ᳇ᵹߦࠃࠆ‛૕៝ㅍේℂ      (KI៝ㅍࠪࠬ࠹ࡓߩ᭴ㅧ߅ࠃ߮౮⌀ζ㧙5ᰴߦ‫(ޔ‬KI ߩࠃ߁ߦ‫៝ޔ‬ㅍᜰቯ૏⟎ߦะߌߡ᳇ᵹ߇෼᧤ߔࠆࠃ߁ߦోߡߩࠛࠕࡃ࡞ࡉߩะ߈ࠍ޽ࠄ߆ߓ߼࠮࠶࠻ߒߡ߅ߊ‫ࠆࠃߦࡊ࡯࡞ࡦࡊ࡯ࠝޔ‬೙ᓮߦࠃߞߡ‫ޔ‬ᄢ߈ߐ OOOO‫⾰ޔ‬㊂ OIߩࠪ࡝ࠦࡦ࠴࠶ࡊߩ៝ㅍታ㛎ࠍⴕߞߚ‫࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕߚࠇߐࠬ࡯࡝࡝ޕ‬਄ߩ‛૕ߪ‫ޔ‬᳇ᵹߩᣇะ
ߦᴪߞߡㅦ߿߆ߦ⒖േࠍ㐿ᆎߒ‫ޔ‬ㅜਛߢ⒖േᣇะࠍ  ᐲᄌൻߒ‫⑽ ޔ‬ᓟ⋡ᮡ૏⟎ߦ೔㆐ߒߚ‫ߔޕ‬ߥࠊߜ‫ࠗ࡟ࠕޔ‬ൻߒߚࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩද⺞േ૞ߦࠃߞߡ‫‛ޔ‬૕៝ㅍߣ޿߁ࠪࠬ࠹ࡓో૕ߩᯏ⢻ࠍታ⃻ߢ߈ߚ‫ޕ‬

35mm

air-flow

Si chip
3x3m
m22mg

air-flow35mm

(KI ࠝ࡯ࡊࡦ࡞࡯ࡊ៝ㅍߩߚ߼ߩ᳇ᵹಽᏓ㩷㩷 䈚䈎䈚䇮వ┵⊛⎇ⓥቶߦ߅޿ߡ㐿⊒ߒߚ㜞ᱠ⇐߹ࠅࡊࡠ࠮ࠬࠍࡈࠔ࠙ࡦ࠼࡝ߦᆔ⸤૞⵾ߔࠆ㓙ߩ࠹ࠢࡁࡠࠫ࠻࡜ࡦࠬࡈࠔߦ㑐ߒߡߪએਅߩࠃ߁ߥ໧㗴߇᣿ࠄ߆ߣߥߞߚ‫ޕ‬㩷
&GGR4+' ⹜૞⢻ജࠍᜬߟࡈࠔ࠙ࡦ࠼࡝࿖ౝࡔ࡯ࠞ࡯㧟␠ߣ୘೎ߦࡅࠕ࡝ࡦࠣࠍⴕ޿‫ޔ‬ᛛⴚౝኈߦߟ޿ߡ⸛⺰ߒ‫ࠅ⛉ߦ␠৻ޔ‬㧝㧣ᐕ㧡᦬ߦ૞⵾ᆔ⸤ߒߚ‫ޕ‬ᄢⷙᮨ㓸Ⓧ࿁〝ߩ⹜૞ࡈࠔ࠙ࡦ࠼࡝ߣ㆑޿ /'/5 ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲⹜૞ߪࡊࡠ࠮ࠬᚻ㗅߇࿕ቯߒߥ޿ߎߣ߆ࠄ‫ޔ‬ห৻ߩࡊࡠ࠮ࠬࠍᔅߕߒ߽ోߡߩળ␠ߢⴕ߃ࠆࠊߌߢߪߥ޿ߎߣ߇ࠊ߆ࠅ‫ޔ‬ห⎇ⓥቶߢ㐿⊒ߒߚ૞⵾ࡊࡠ࠮ࠬࠍ࠹ࠢࡁࡠࠫ࠻࡜ࡦࠬࡈࠔߢ߈ࠆ߆ߤ߁߆߇ળ␠ㆬᛯߩ᳿߼ᚻߣߥࠆߎߣ߇᣿ࠄ߆ߦߥߞߚ‫ޕ‬ࡊࡠ࠮ࠬߩߚ߼ߩࡈࠜ࠻ࡑࠬࠢߪ᧲੩ᄢቇᄢⷙᮨ㓸Ⓧࠪࠬ࠹ࡓ⸳⸘ᢎ⢒⎇ⓥ࠮ࡦ࠲࡯ߩో࿖౏
㐿㔚ሶ✢ឬ↹ⵝ⟎ߦࠃߞߡ૞⵾ߒ⃻‛ᡰ⛎ߒߚ‫ޕ‬㧣᦬ߦࡑࠬࠢᰳ㒱ࠍᜰ៰ߐࠇౣᐲ⹜૞࡮ㅍઃߒߚᓟ‫⹜ࠆࠃߦ࡝࠼ࡦ࠙ࠔࡈޔ‬૞߇㐿ᆎߐࠇߚ߇╙৻⹜૞⚿ᨐߩ࠺ࡃࠗࠬ⚊ຠ߇ᐔᚑ㧝㧤ᐕ㧞᦬ᧃߣ‫ޔ‬ᄢ᏷ߦㆃᑧࠍ߈ߚߒߚߩߢ‫ޔ‬ᓙߜᦼ㑆ߦᚑᨐ  ߦ⸥ߒߚ㜞㔚࿶೙ᓮ࿁〝ߣߩ㓸Ⓧൻߣ޿߁࠹࡯ࡑࠍㅴ߼ࠆߚ߼‫ޔ‬ਗⴕߒߡ᧲੩ᄢቇᱞ↰వ┵⍮ࠬ࡯ࡄ࡯ࠢ࡝࡯ࡦ࡞࡯ࡓߦ߅޿ߡ߽ㅊ⹜૞ⅣႺࠍᢛ߃‫ࠍ࡞ࡊࡦࠨޔ‬૞⵾ߒߚ‫ࠅࠃ࡝࠼ࡦ࠙ࠔࡈޕ‬ฃ㗔ߒߚ৻ᰴ⹜૞ߩ౮⌀ࠍ (KI ߦ␜ߔ‫ࡃ࠺ޕ‬ࠗࠬࠍ࠹ࠬ࠻ߒߚߣߎࠈ‫ޔ‬േ૞㔚࿶ 8 ઃㄭ೨ᓟߢേ૞ࠍߪߓ߼‫౒ޔ‬ᝄ๟ᵄᢙߪ *\ ઃㄭ߇⏕⹺ߐࠇߚ‫ޕ‬േ૞․ᕈߘߩ߽ߩߪᄢᄌ⦟ᅢߢ޽ࠅ‫ޔ‬ᄙߊߩ࠺ࡃࠗࠬ࠴࠶ࡊࠍ೑↪ߔࠆ↪ㅜߦߣߞߡࡈࠔ࠙ࡦ࠼࡝ߦࡊࡠ࠮ࠬ࠹ࠢࡁࡠࠫࠍ࠻࡜ࡦࠬࡈࠔߒ‫ޔ‬㊂↥ߔࠆᣇᴺߪ‫ޔ‬ᄢᄌ᦭ലߢ޽ࠆߎߣ߇␜ߐࠇߚ‫⵾ޔࠄ߇ߥߒ߆ߒޕ‬૞ㆃᑧߩߚ߼࠹ࠢࡁࡠࠫ࠻࡜ࡦࠬࡈࠔߦߪ‫⚿ޔ‬ᨐߣߒߡ㧤ࡩ᦬߆߆ࠅ‫ޔ‬ᒰೋੑᐲ⹜૞ߔࠆ⸘↹ߢ޽ߞߚߩߦኻߒߡ‫⹜ޔ‬૞ߪ৻ᐲߩߺߩታⴕߦߣߤ߹ࠅ‫ޔ‬㜞㔚࿶೙ᓮ࿁〝ߣߩ㓸Ⓧൻߩߚ߼ߩੑᰴ⹜૞ࠍࡈࠔ࠙ࡦ࠼࡝ߢⴕ߁ߎߣߪ಴᧪ߥ߆ߞߚ‫ޕ‬ζ㧙6

(KI ࡈࠔ࠙ࡦ࠼࡝ߢ⹜૞ߒߚࠛࠕࡈࡠ࡯ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲࠺ࡃࠗࠬ㩷㩷ԙࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ᡿㓚ࠍ㔚᳇⊛ߦᬌ಴ߒ‫ޔ‬ା㗬ᕈࠍടㅦᬌᩏߔࠆᚻᴺߩ⠨᩺ߥࠄ߮ߦᬌ⸽㩷㩷 ೙ᓮ࿁〝ߣࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߇㓸Ⓧൻߐࠇࠆߎߣߦࠃߞߡߪߓ߼ߡታ⃻น⢻ߣߥࠆ㜞ᐲߥᯏ⢻ߩ଀ߣߒߡ‫ޔ‬5OCTV5MKP ⥄りߦ⚵ߺㄟ߻‫ޔ‬೙ᓮ↪㓸Ⓧ࿁〝ߩࡑࠗࠢࡠࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߦࠃߞߡ⥄Ꮖ⸻ᢿࠍⴕ޿‫߇࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬᡿㓚ߒߡ޿ࠆ▎ᚲࠍㆱߌߥ߇ࠄ‛૕៝ㅍߔࠆᯏ⢻ߩታ⃻߇⠨߃ࠄࠇࠆ‫߇࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔߪߦ߼ߚߩߘޕ‬೙ᓮାภߦᓥߞߡേ޿ߡ޿ࠆ߆‫ޔ‬േ޿ߡ޿ߥ޿߆ࠍ೙ᓮ࿁〝⥄り߇ᬌ಴ߔࠆᔅⷐ߇޽ࠆ‫ޕ‬೙ᓮ࿁〝ߩ㓸Ⓧൻࠍ⠨߃ߚߣ߈ߦᦨ߽ᦸ߹ߒ޿േ૞േ૞ਇ⦟ߩᬌ಴ᚻᴺߪ‫ޔ‬૗ࠄ߆ߩ㔚᳇⊛ߥേ૞ାภ YQTMKPIUKIPCVWTG ࠍᬌ಴ߔࠆߎߣߢ޽ࠆ‫ޕ‬㕒㔚㚟േ࠲ࠗࡊߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩേ૞ࠍ㔚᳇⊛ߦᬌ⸽ߔࠆᚻᴺߪ‫ޔ‬਎⇇⊛ߦ߽⎇ⓥ଀߇ዋߥߊ‫  ޔ‬㜞๟ᵄࠍ↪޿ߚ㕒㔚ኈ㊂ߩᄌൻᬌ಴߿  ౒ᝄ๟ᵄᢙߩᄌൻࠍ᷹ቯߔࠆᚻᴺ߇ࠊߕ߆ߦႎ๔ߐࠇߡ޿ࠆߦㆊ߉ߥ޿‫౒ޔߜ߁ߩߎޕ‬ᝄ๟ᵄᢙߩᄌൻߪࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߇േ૞ߒߡ޿ࠆߎߣࠍ઒ቯߒߡ޿ࠆߩߢᧄ⋡⊛ߦߪ㚔ᨴ߹ߥ޿ߚ߼‫ޔ‬㜞๟ᵄߦࠃࠆ㕒㔚ኈ㊂ᄌൻᬌ಴ᚻᴺߩណ↪ࠍ⹜ߺߚ‫ ߒ߆ߒޕ‬࠮ࠣࡔࡦ࠻޽ߚࠅࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߇  ߟਗ೉ធ⛯ߐࠇߡ޿ࠆߎߣߣ‫⚛࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕᧄޔ‬ሶߦౝ൮ߐࠇࠆነ↢ኈ㊂ᚑಽ߇ᄢ߈޿ߚ߼ᬌ಴ᗵᐲ߇㕖Ᏹߦᖡߊ‫ࠄࠇߎޔ‬ᣢሽᚻᴺߩოࠍᛂ⎕ߔࠆᣂⷙᚻᴺߩ⊒᣿߇ᦸ߹ࠇߚ‫ޕ‬ ᧄࠕ࡟ࠗൻࡑࠗࠢࡠࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩേ૞ࠍ⹦⚦ߦ⠨ኤߒߚߣߎࠈ‫ߦ⥸৻ޔ‬ᐔⴕᐔ᧼ဳߣ๭߫ࠇࠆ♽⛔ߩࡑࠗࠢࡠࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߢ޽ࠅ‫ߩߎޔ‬⒳ߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߦ߅޿ߡߪนേㇱߩ⒖േ〒㔌߇ᭂ᧼㑆ߩೋᦼ〒㔌ߩ  ಽߩ  ࠍ⿥߃ߚ⍍㑆ߦ‫ޔ‬㕒㔚ᒁജ߇߫ߨ᛫ജࠍᏱߦ਄߹ࠆߎߣ߆ࠄนേ㔚ᭂ߇ኻะ㔚ᭂߦะߌߡടㅦߐࠇࠆߣ޿߁‫ޟޔ‬RWNNKP‫ߣޠ‬๭߫ࠇࠆ⃻⽎߇ሽ࿷ߔࠆߎߣ߇⦟ߊ⍮ࠄࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬ታ㛎ߦ૶↪ߒߡ޿ࠆࡑࠗࠢࡠࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߽‫ޔ‬RWNNKP ⃻⽎ࠍᵴ↪ߒߡࡃ࡞ࡉߩ㐿㐽ࠍⴕߞߡ߅ࠅ‫ޔ‬RWNNKP ᤨߦߪ‫߇ࠬࡦ࠲ࠪࡄࡖࠠޔ‬ᕆỗߦᄌൻߔࠆߎߣߦ⿠࿃ߔࠆ࡜࠶ࠪࡘ㔚ᵹ 8F%FV ߇↢ߓࠆߎߣࠍ⷗಴ߒߚ‫ޕ‬ᓥߞߡ‫ߦ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬ᵹࠇࠆ㔚ᵹࠍ⸘᷹ߔࠇࠆߛߌߢࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩേ૞㕖േ૞ࠍ⸘᷹ߢ߈ࠆߎߣ߇੍᷹ߐࠇ‫ޔ‬ታ㛎ࠍⴕߞߚ‫ޕ‬ (KI ߦ␜ߔࠃ߁ߦ‫ޔ‬࿁〝ߦ⋥೉ߦᛶ᛫ࠍធ⛯ߒ‫ޔ‬ਔ┵ߩ㔚૏ࠍ⸘᷹ߒߚߣߎࠈ‫੍ޔ‬᷹ㅢࠅ㕒㔚ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩࡊ࡞ࠗࡦߦኻᔕߒߚࠬࡄࠗࠢ⁁ߩ㔚ᵹ߇↢ߓߚ (KI ‫ⶄޕ‬ᢙࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߇หᤨߦࡊ࡞ࠗࡦࠍ߅ߎߒߚ႐วߪ‫ࠢ࡯ࡇޔ‬㔚ᵹߩ୯߇ᄢ߈ߊߥࠆ߇‫ࠗ࡞ࡊ ࡮࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕ ޔ‬ࡦ޽ߚࠅߩ㔚ᵹࠍⓍಽߒ‫ޔ‬㔚⩄㊂ߩᄌൻࠍ⸘▚ߔࠆߣ‫࡞ࡊߩࠬࡦ࠲ࠪࡄࡖࠠߩ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬ࠗࡦ೨ %  ߣᓟ %  ߣߩᄌൻߦࠃࠆ㔚⩄㊂ 38 % %  ߣߥࠅ‫ⶄޔ‬ᢙࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩหᤨേ૞ߩ㓙㔚⩄㊂ߪ‫ߩ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕߚߒࡦࠗ࡞ࡊޔ‬୘ᢙߦᲧ଀ߒߡ  ୚‫ ޔ‬୚ߣߥࠆߎߣ߇⏕⹺ߢ߈ߚ‫ޕ‬
ζ㧙7

Oscilloscope

12 3

R0

4 56 7

8 actuators

HV

Eight peaks correspond pull-in current(KI᷹ቯ↪࿁〝(KI 㚟േ㔚ᵹߩ๟ᵄᢙ․ᕈ
Ԛ ᰴరࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗߩ૞⵾
(KI ߦࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗߦࠃࠆ៝ㅍේℂࠍ␜ߔ‫ޕ‬࿑ߩࠃ߁ߦ੕޿ߦะ߈วߞߚ৻ኻߩࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯߇৻ߟߩ࠮࡞ࠍ᭴ᚑߒ‫߇ࠇߎޔ‬ห৻ၮ᧼਄ߦᄙᢙࠕ࡟ࠗൻߐࠇߡ޿ࠆ‫៝ޕ‬ㅍേ૞ߪ‫ޔ‬ฦ࠮࡞ߩᏀฝߩࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯ߦ੕޿ߦǸ ߛߌ૏⋧ߩߕࠇߚ⍱ᒻାภࠍ౉ജߔࠆߎߣߦࠃߞߡታ⃻ߐࠇ‫࡯ࡃ࡟࠴ࡦࠞޔ‬వ┵ߣ៝ㅍ‛ߩធ⸅ὐߦ↢ߓࠆ㕒ᱛ៺ᡂߦࠃߞߡ‫࡯ࡃ࡟࠴ࡦࠞޔ‬వ┵ߩ᳓ᐔᄌ૏߇៝ㅍ‛ߩᄌ૏㊂ߦ෻ᤋߔࠆ‫ޕ‬(KI ࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗߩ៝ㅍේℂ ਄⸥ߩ៝ㅍේℂࠍ߽ߣߦ‫ࠍࠇߎޔ‬ੑᰴర៝ㅍߦኻᔕߔࠆࠃ߁ߦ᜛ᒛߒߚߩ߇‫(ޔ‬KI ߦ␜ߔ࠺ࠩࠗࡦߢ޽ࠆ‫ޕ‬ห࿑ߦߪ‫ޔ‬૞⵾ࡊࡠ࠮ࠬ࠴ࡖ࡯࠻߽␜ߒߡ޽ࠆ‫ޕ‬ζ㧙8 ࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯ߩ᭴ㅧ᧚ᢱߦߪ‫ޔ‬ᚑ⤑߇ኈᤃߢ޽ࠅ‫ޔ‬⠴ᾲᕈ࡮⛘✼ᕈߦఝࠇ‫ޔߟ߆ޔ‬ᯏ᪾⊛ߦᨵࠄ߆޿᧚ᢱߢ޽ࠆ‫ޕߚ޿ߜ߽ࠍ࠼ࡒࠗ࡝ࡐޔ‬ੑ⒳㘃ߩᾲ⤘ᒛ₸ߩ⇣ߥࠆࡐ࡝ࠗࡒ࠼ࠍጀ⁁ߦ㊀ߨ‫ߩࠄࠇߘޔ‬㑆ߦࡅ࡯࠲࡯ߣߥࠆ㊄ዻ⭯⤑ࠍᒻᚑߔࠆߎߣߦࠃࠅ‫ޔ‬ᄖㇱ߆ࠄߩㅢ㔚ടᾲߦࠃߞߡ‫ޔ‬ᾲ㚟േဳߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߣߒߡᯏ⢻ߔࠆ‫ޕ‬(KI ࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗߩ࠺ࠩࠗࡦߣࡊࡠ࠮ࠬ࿑ (KIC ߇ቢᚑߒߚ࠺ࡃࠗࠬߩో૕࿑‫ޔ‬D ߇৻ߟߩ࠮࡞ߩ᜛ᄢ࿑ߢ޽ࠆ‫ޔߪࠬࠗࡃ࠺ޕ‬OO ࡇ࠶࠴ߩ 㨤 ࠮࡞ࠕ࡟ࠗ߆ࠄ᭴ᚑߐࠇߡ߅ࠅ‫࡞࠮ߩߟ৻ޔ‬ౝߦ‫ޔ‬WO 㐳‫ޔ‬WO ᏷ߩࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߇㓸Ⓧൻߐࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬ ਄⸥ߩ៝ㅍේℂ࿑ߦ␜ߔࡄ࠲࡯ࡦࠍ⚵ߺวࠊߖࠆߎߣߦࠃߞߡ‫⷏᧲ޔ‬ධർᣇะߛߌߢߥߊ‫ޔ‬ᢳ߼ᣇะߩ៝ㅍേ૞߽⏕⹺ߐࠇߚ‫ޕ‬CD
(KI ࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗߩో૕࿑ߣ࠮࡞ߩ᜛ᄢ࿑㩷㩷⎇ⓥ㗄⋡䋲䋺䉝䊧䉟䊂䊋䉟䉴䈱ಽᢔ೙ᓮᴺ㩷㩷ζ㧙9ԛ㩷 ࠬࡑ࡯࠻ࠬࠠࡦ᭎ᔨߦၮߠߊ࠮ࡦࠨ࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲㓸Ⓧࠪࠬ࠹ࡓߩಽᢔ೙ᓮታ⸽㩷㩷(KIߦ␜ߒߚታ㛎ߢߪ‫ࠄ߆࡞࠭ࡁ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕߩߡోޔ‬᳇ᵹߪቯ߼ࠄࠇߚᣇะߦㅪ⛯⊛ߦ็߈಴ߒߡ޿ࠆ‫ߩࠬࠗࡃ࠺ࠗ࡟ࠕޕ‬ಽᢔ೙ᓮᚻᴺᬌ⸛ߩ৻Ⅳߣߒߡ╙ੑߦ‫ߦࡓ࠹ࠬࠪޔ‬ขࠅઃߌߚࠞࡔ࡜ߦࠃߞߡ‛૕ߩ૏⟎ࠍⷰኤߒߥ߇ࠄࠛࠕࡃ࡞ࡉࠍ㐿㐽ߒ៝ㅍ೙ᓮࠍⴕ߁ߎߣࠍ⹜ߺߚ‫ޕ‬࠮ࡦࠨࠃࠅߩାภࠍಽᢔಣℂߒ‫៝ޔ‬ㅍ‛૕ߩࠛ࠶ࠫ૏⟎ࠍᬌ಴ߒߡ‫ࠫ࠶ࠛޔ‬ㇱಽߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩߺࠍㆬᛯ⊛ߦ㚟േߔࠆߎߣߢ‫‛ޔ‬૕ߩ৻ᣤߩߺࠍ᛼ߒߥ߇ࠄࠬ࠹࠶ࡇࡦࠣࡕ࡯࠲࡯േ૞ߩࠃ߁ߦ‫‛ޔ‬૕ࠍ৻ቯ〒㔌៝ㅍߒߡ஗ᱛߐߖࠆേ૞ࠍታ⃻ߒߚ‫ޕ‬ᧄ⎇ⓥߢߪ‫ޔ‬ಽᢔ࠮ࡦࠨ߅ࠃ߮ಽᢔࡊࡠ࠮࠶ࠨߩᯏ⢻ࠍࠛࡒࡘ࡟࡯࠻ߒߚࠪࠬ࠹ࡓࠍ↪޿ߡ޿ࠆ‫ߎޕ‬ߩ៝ㅍࠪࠬ࠹ࡓߦᒻ⁁⹺⼂ࡊࡠࠣ࡜ࡓࠍㆡ↪ߒߡ‫៝ޔ‬ㅍ‛૕ߩᒻ⁁ߦࠃࠆࡑࠗࠢࡠࡑࠪࡦࠕ࡟ࠗ៝ㅍⵝ⟎ߩ៝ㅍᣇะߩ೙ᓮࠍⴕߥߞߚ‫៝ߚ޿↪ࠍ࡯ࡠࡈ࡯ࠕࠛޕ‬ㅍࠪࠬ࠹ࡓߦߣߞߡ‫៝ޔ‬ㅍ‛૕ߩࠛ࠶ࠫߦࠛࠕ࡯ࡈࡠ࡯ࠍශടߔࠆߎߣߪ᦭ലߥᚻᲑߢ޽ࠆ‫៝ޔߚ߹ޕ‬ㅍ‛૕ߩࠛ࠶ࠫࠍᬌ಴ߒ‫ࠫ࠶ࠛޔ‬ㇱߦ⋧ᒰߔࠆࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩߺࠍ㚟േߒߡࠛࠕ࡯ࡈࡠ࡯ࠍශടߔࠆߩߪ‫ޔ‬ቢోߦࡠ࡯ࠞ࡞ߢታ⃻น⢻ߥಣℂߢ޽ࠆ‫ޔߢߎߘޕ‬ಽᢔߒߚᖱႎࠍಽᢔ࠮ࡦࠨ߿ಽᢔࡊࡠ࠮࠶ࠨߦࠃߞߡขࠅᛒ޿‫⚿ߩߘޔ‬ᨐߣߒߡኻᔕߔࠆࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠍዪᚲ⊛ߦ㚟േߐߖࠆߣ޿߁៝ㅍታ㛎ࠍⴕߥߞߚ‫ޕ‬߹ߕ‫ޔ‬ಽᢔ࠮ࡦࠨߣࡊࡠ࠮࠶ࠨࠍ↪޿ߚࠛ࠶ࠫᬌ಴ᣇᴺߦߟ޿ߡ⺑᣿ߔࠆ‫ߩߘޕ‬᭎ⷐࠍએਅߦ␜ߔ‫ޕ‬߹ߕ‫ޔ‬ฦ࠮࡞߇‫↹ߩ࡞࠮⥄ޔ‬௝࠮ࡦࠨߩ౉ജࠍ್ᢿߔࠆ‫ߩߎޕ‬႐ว‫߽ᦨޔ‬න⚐ߦ‫࡞࠮⥄ޔ‬਄ߩ‛૕ߩ᦭ήࠍ್ᢿߔࠆ‫ޕ‬ᰴߦ‫߇࡞࠮ޔ‬㓞ធߔࠆ㧠ߟߩ࠮࡞ߣ‛૕᦭ήߩᖱႎߩ੤឵ߒ‫⥄ޔ‬ಽ⥄り߇‛૕ߩࠛ࠶ࠫㇱߦ⋧ᒰߔࠆ߆ߤ߁߆ߩ್ᢿࠍⴕߥ߁‫‛ޕ‬૕ߩࠛ࠶ࠫߦ⋧ᒰߔࠆ࠮࡞ߪ‫ߦ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬㚟േ๮઎ࠍ಴ߒߡ‫↢ࠍ࡯ࡠࡈ࡯ࠕࠛޔ‬ᚑߔࠆ‫⚿ߩߘޕ‬ᨐ‫៝ޔ‬ㅍ‛૕ࠛ࠶ࠫㇱߩਅㇱߦ૏⟎ߔࠆࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩߺ߇㚟േߒ‫ࠍ࡯ࡠࡈ࡯ࠕࠛޔ‬ല₸ࠃߊශടߢ߈ࠆ‫৻ޕ‬ㅪߩಣℂߦࠃࠆࠛ࠶ࠫᬌ಴ߩ઀⚵ߺࠍ (KI ߦ␜ߔ‫ޕ‬ζ㧙10(KI ฦ࠮࡞ಽᢔಣℂߦࠃࠆ៝ㅍ‛૕ߩ┵ㇱߩᬌ಴ߣࠛ࠶ࠫㇱ᳇ᵹශടߦࠃࠆ៝ㅍߎߩᣇᴺߦᓥ޿‫‛ޔ‬૕ࠍ៝ㅍߔࠆߎߣߦᚑഞߒߚ‫(ޕ‬KI ߦ‫‛ޔ‬૕߇៝ㅍ㕙ਛᄩઃㄭ߆ࠄฝㄝᣇะ߳៝ㅍߐࠇࠆ᭽ሶࠍ␜ߔ‫៝ߩ߈ߣߩߎޕ‬ㅍߪ‫៝߇࡯ࡠࡈ࡯ࠕࠛޔ‬ㅍ‛૕ࠛ࠶ࠫߦශടߐࠇߚ⍍㑆ߦ‫ޔ‬㓞ធߔࠆᮮᣇะࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߹ߢߩ〒㔌㧔ߎߩ႐ว‫ ⚂ޔ‬㨙㨙㧕ࠍ⒖േߔࠆࠃ߁ߥࠬ࠹࠶ࡊ㚟േ߇ታ⃻ߐࠇߚ‫ߩ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔߪߢߎߎޕ‬㚟േ๟ᵄᢙࠍ⚂㧝*\ ߣߒߡ޿ࠆߚ߼‫៝ᧄޔ‬ㅍߢߪ‫⚂ߦߣߏ⑽  ⚂ޔ‬㨙㨙៝ㅍߐࠇࠆ‫ࠅ➅ࠍࡊ࠶࠹ࠬߩߎޕ‬㄰ߒߡ‫៝ޔ‬ㅍࠍታ⃻ߒߚ‫ޕ‬ᧄታ㛎ߩ႐ว‫៝ޔ‬ㅍ‛૕ߩࠛ࠶ࠫߩᬌ಴߅ࠃ߮ࠛ࠶ࠫ߳ߩࠛࠕ࡯ࡈࡠ࡯ශടߣ޿߁‫ࠢ࠶ࡃ࠼࡯ࠖࡈޔ‬೙ᓮࠍⴕߥߞߡ޿ࠆ‫ߩࠫ࠶ࠛޕ‬ᬌ಴ߦߪ‫ޔ‬઒ᗐಽᢔ࠮ࡦࠨ㧔ࡆ࠺ࠝࠞࡔ࡜㧕ߢᓧߚ↹௝࠺࡯࠲ࠍ࠮࡞න૏ߦዷ㐿ߒ‫ޔ‬㓞ធ࠮࡞ߣᲧセࠍⴕߥ߁ߣ޿߁‫ޔ‬ಽᢔಣℂߦࠃࠅ‛૕ࠛ࠶ࠫߩᬌ಴ࠍⴕߥߞߡ޿ࠆ‫ࠄߐޕ‬ߦ‫ߩߘޔ‬಴ജߦၮߠ߈‫⋧ߦࠫ࠶ࠛޔ‬ᒰߔࠆ႐ᚲߦ޽ࠆࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩߺ㚟േߐߖ‫ࠫ࠶ࠛޔ‬ㇱಽߦല₸⊛ߦࠛࠕ࡯ࡈࡠ࡯ࠍශടߒߡ޿ࠆ‫ޔߜࠊߥߔޕ‬ᖱႎߩขᓧ‫ޔ‬ಣℂ߅ࠃ߮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ㚟േߣ޿߁৻ㅪߩᵹࠇࠍಽᢔࠪࠬ࠹ࡓߢዪᚲ⊛ߦታ⃻ߒߚߎߣߦߥࠆ‫ޔࠅࠃߦࠇߎޕ‬ಽᢔࠪࠬ࠹ࡓߦ㓸ਛࠪࠬ࠹ࡓࠍ૬↪ߒߚ೙ᓮᣇᑼ߇ታ⃻ߐࠇߚ‫ޕ‬੹ᓟߩዷ㐿ߣߒߡ‫‛ޔ‬૕៝ㅍਛߦ‫‛ޔ‬૕ߩਔ஥ߩࠛ࠶ࠫࠍᬌ಴ߒਔࠛ࠶ࠫ߳㜞ㅦߢዪᚲ⊛ߥࠛࠕ࡯ࡈࡠ࡯ࠍශടߔࠆߎߣߢ‫‛ޔ‬૕៝ㅍਛߩ૏⟎⺋Ꮕߩහᤨ⵬ᱜࠍⴕߥ߁ߣ޿߁‫៝ޔ‬ㅍਛߩᆫ൓೙ᓮ߇⠨߃ࠄࠇࠆ‫ߥ߁ࠃߩߎޔ߅ߥޕ‬႐วߪ‛૕ߩേ․ᕈߦวࠊߖߡ‫ޔ‬චಽᣧ޿๟ᦼߢࡈࠖ࡯࠼ࡃ࠶ࠢ೙ᓮࠍⴕ߁ߎߣ߇ᔅⷐߢ޽ࠆ‫ޕ‬ಽᢔ೙ᓮߢߪ‫ޔ‬ᖱႎߩಣℂࠍዬᚲ⊛ߦߢ߈ࠆߚ߼‫ޔ‬㓸ਛಣℂߦᲧߴߡ೙ᓮ๟ᦼࠍ㜞ㅦߦߔࠆߎߣ߇ኈᤃߢ޽ࠅ‫ࡦࠠࠬ࠻࡯ࡑࠬޔ‬᭎ᔨ߇ലᨐ⊛ߥ੐଀ߣߥࠆ‫ޕ‬ζ㧙11 (KI ฦ࠮࡞ಽᢔಣℂߦࠃࠆ‛૕៝ㅍ㧔ᮮᣇะ㧕㨍 ᬌ಴ߐࠇߚࠛ࠶ࠫㇱߦ‫߇࡯ࡠࡈ࡯ࠕࠛޔ‬ශടߐࠇࠆ‫ ޕ‬D ࿑ฝㄝᣇะ߳‫ޔ‬㓞ធߩᮮᣇะࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ޽ࠆ૏⟎߹ߢ៝ㅍߐࠇࠆ ߎߩߣ߈‫ࡊ࠶࠹ࠬޔ‬㩷᏷ߪ⚂ 㨙㨙㧕‫ ޕ‬E 㨪 G ห᭽ߩࠬ࠹࠶ࡊ߇➅ࠅ㄰ߐࠇ‫ޔ‬࿑ฝㄝᣇะ߳៝ㅍߐ㩷ࠇࠆ‫ޕ‬㩷Ԝ㩷 ࡈࠜ࠻࠳ࠗࠝ࡯࠼ࠕ࡟ࠗߣߩⓍጀൻߦࠃࠆࡈࠖ࡯࠼ࡃ࠶ࠢ೙ᓮߩታ⸽ ૞⵾ߒߚ࠺ࡃࠗࠬߪ‫(ޔ‬KI ߦ⷗ࠄࠇࠆࠃ߁ߦ‫ࠬ࡜ࠟޔ‬ၮ᧼਄ߦߟߊࠄࠇߡ޿ࠆߚ߼‫ޔ‬శߦኻߒߡㅘ᣿ߢ޽ࠆ‫ߣࠬࠗࡃ࠺ߩߎޔߢߎߘޕ‬หߓ࠮࡞᭴ㅧ‫ޔ‬หߓࡇ࠶࠴ࠍᜬߟ‫ߣࠗ࡟ࠕ࠼࡯ࠝࠗ࠳࠻ࠜࡈޔ‬Ⓧጀζ㧙12ൻߔࠆߎߣߦࠃߞߡ‫ࠬࠗࡃ࠺ޔ‬਄ߩ៝ㅍ‛ࠍశߩㆤ⭁ߦࠃߞߡᬌ಴ߔࠆ‫ޔ‬ᡆૃ⊛ߥ࠮ࡦࠨ࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗࠍ◲නߦታ⃻ߢ߈ࠆ‫ޕ‬ (KIC ߪ‫ࠆ޽ߢࠗ࡟ࠕ࠼࡯ࠝࠗ࠳࠻ࠜࡈߚߒ↪૶ߢ⊛⋡ߩߎޔ‬㧔ᵿ᧻ࡎ࠻࠾ࠢࠬࢃ⵾ 5㧕‫ࠢࠕޕ‬࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗ࠺ࡃࠗࠬߪ‫ࠫ࡯ࠤ࠶ࡄޔ‬ၮ᧼ߦⵝ⌕ߒࡢࠗࡗࡏࡦ࠺ࠖࡦࠣࠍᣉߔߎߣߦࠃߞߡࠦࡀࠢ࠲ធ⛯ࠍน⢻ߦߒߚᓟ‫ࠗ࡟ࠕ࠼࡯ࠝࠗ࠳࠻ࠜࡈޔ‬਄ߦ‫ޔ‬ਔ⠪ߩ࠮࡞߇৻⥌ߔࠆࠃ߁ߦ៞タߐࠇࠆ‫ޕ‬(KID ߪ‫ࠗ࡟ࠕ࠼࡯ࠝࠗ࠳࠻ࠜࡈޔ‬਄ߦታ㓙ߦ៞タߒߚࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗߢ޽ࠆ‫(ޕ‬KIE ߦߪ‫ޔ‬ߎߩࠪࠬ࠹ࡓߩ৻ㇱࠍ᜛ᄢߒߚ౮⌀ࠍ␜ߔ‫ߩࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޕ‬ㅘ᣿ၮ᧼ࠍߣ߅ߒߡ‫ࡃ࠺ࠨࡦ࠮ޔ‬ࠗࠬߩ㈩✢ㇱࠍ⷗ࠆߎߣ߇ߢ߈ࠆ‫ޕ‬C           D             㨏(KI ࠞࡦ࠴࡟ࡃ࡯࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗߩో૕࿑ߣ࠮࡞ߩ᜛ᄢ࿑ ᰴߦ‫( ࠍࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕ࡮ࠨࡦ࠮ߩߎޔ‬2)# ߦࠃߞߡࠦࡦ࠻ࡠ࡯࡞ߔࠆ‫ࠬࠪࠢ࠶ࡃ࠼࡯ࠖࡈޔ‬࠹ࡓࠍ᭴▽ߒߚ‫(ޕ‬KI ߦ‫ޕߔ␜ࠍࡓ࡜ࠣࠕࠗ࠳ࠢ࠶ࡠࡉߩࡓ࠹ࠬࠪߩߎޔ‬శᾖ኿ߦࠃߞߡࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗ਄ߩ៝ㅍ‛ߩᓇ߇ࡈࠜ࠻࠳ࠗࠝ࡯࠼ࠕ࡟ࠗߦࠃߞߡᬌ಴ߐࠇ‫ޔ‬ߘߩฦ࠮࡞߆ࠄߩାภߪ‫ޔ‬೎ㅜ⹜૞ߒߚ࠼࡜ࠗࡃ࿁〝ߦࠃߞߡ‫࡞ࠕ࡝ࠪߩᧄ  ߦߣߏ࠻࠶ࡆ ޔ‬ାภߣߒߡ (2)# ߦ߅ߊࠄࠇࠆ‫ߩߎޕ‬ାภࠍ߽ߣߦ‫ޔ‬㧲㧼㧳㧭ߢାภಣℂࠍⴕ޿‫ޔ‬㚟േାภ߇㚟േ࿁〝㧔࠻࡜ࡦࠫࠬ࠲ࠕ࡟ࠗ㧕ߦㅍࠄࠇࠆߎߣߦࠃߞߡ‫ޔ‬ᄖㇱ㔚Ḯ߆ࠄߩ㔚ᵹ߇ᚲᦸߩ࠮࡞ߦଏ⛎ߐࠇࠆ‫ߛߚޕ‬ߒ‫੹ޔ‬࿁૞⵾ߒߚࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲࠺ࡃࠗࠬߪ‫ޔ‬㓞ࠅว߁࠮࡞ߩหߓ૏⟎ߦ޽ࠆࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߇⋥೉ߦធ⛯ߐࠇߡ޿ࠆ㧔଀߃߫‫ޔ‬છᗧߩ࠮࡞ߩർ஥ߦ޽ࠆࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߪ‫ߩߘޔ‬ਔ㓞ߩ࠮࡞ߩർ஥ߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߣ⋥೉ߦធ⛯ߐࠇߡ޿ࠆ㧕ߚ߼‫࡞࠮ߩࠇߙࠇߘޔ‬ౝ߇⁛┙ߒߡേ૞ߔࠆࠊߌߢߪߥߊ‫ޔ‬࠺ࡃࠗࠬߩ┵ㇱߦ㈩⟎ߐࠇߚ‫ޔ‬㧝㧢㨤㧠㧔㧝㧢୘ߩ⋥೉ធ⛯ߐࠇߚ㚟േ㈩✢㨤᧲⷏ධർ㧕ߩ㚟േࡄ࠶࠼ߦㅍࠄࠇࠆ㔚ᵹߦࠃߞߡ‫ ޔ‬୘ߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲߇৻ᢧߦേ૞ߔࠆ‫ޕ‬ (2)# ߢߩ೙ᓮߪ‫⎇ޔ‬ⓥߩㅴ᝞⁁ᴫߦߒߚ߇ߞߡ‫ޔ‬ᰴߩ㧟Ბ㓏ࠍᗐቯߒߚ‫ޕ‬㧝㧕 㚟േᣇะߪ (2)# ߦᄖㇱធ⛯ߒߚ࡚ࠫࠗࠬ࠹ࠖ࠶ࠢߦࠃߞߡⴕ߁‫ߩߎޕ‬႐ว‫ޔ‬㚟േߐࠇࠆߩߪ‫ޔ‬࠮ࡦࠨࠕ࡟ࠗ߆ࠄߩାภ߇෻ᔕߒߚ࠮࡞㧔ߟ߹ࠅ‫៝ޔ‬ㅍ‛߇਄ㇱߦߩߞߡ޿ࠆ࠮࡞㧕ࠍ฽߻㚟േࡄ࠶࠼ߛߌߦߥࠆࠃ߁ߦ‫ࠢ࠶ࡃ࠼࡯ࠖࡈޔ‬೙ᓮࠍⴕ߁‫ޕ‬㧞㧕 ᄖㇱ߆ࠄ៝ㅍ⋡ᮡ૏⟎ࠍᜰ␜ߒ‫ޔ‬છᗧߩ૏⟎ߦ޽ࠆ៝ㅍ‛߇⋡ᮡ૏⟎ߦߊࠆࠃ߁ߦࡈࠖ࡯࠼ࡃ࠶ࠢ೙ᓮࠍⴕ߁‫ޕ‬㧟㧕 㧞㧕ߩേ૞ࠍ‫ޔ‬ಽᢔ⊛ᚻᴺߦࠃߞߡⴕ߁‫ޕ‬ζ㧙13 ߎߩ߁ߜ‫ޔ‬ታ㓙ߦᬌ⸽ߢ߈ߚߩߪ‫ޔ‬㧝㧕ߛߌߢ޽ߞߚ‫ޕ‬ (KI ߦ㧝㧕ߩ㚟േታ㛎ࠍⴕߞߚ㓙ߩ៝ㅍ଀ࠍ␜ߔ‫ޕ‬࿑ߪ‫៝ޔ‬ㅍታ㛎ਛ UGE 㑆㓒ߢ᠟ࠄࠇߚࠬ࠽࠶ࡊ࡚ࠪ࠶࠻ߢ޽ࠆ‫ޕ‬Ꮐ஥ߩ࿑߇‫ޔ‬ฦᤨೞߦ࠮ࡦࠨࠕ࡟ࠗߦࠃߞߡขᓧߐࠇߚ៝ㅍ‛ߩࠗࡔ࡯ࠫߢ޽ࠅ‫ޔ‬ฝ஥ߪࠪࠬ࠹ࡓో૕ࠍୄ⍑ߔࠆ૏⟎߆ࠄ᠟ࠄࠇߚ㧯㧯㧰ࠞࡔ࡜ߩࠗࡔ࡯ࠫߢ޽ࠆ‫ޕ‬ฦᤨೞ㑆ߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߦࠃࠆ៝ㅍᣇะ㧔࡚ࠫࠗࠬ࠹ࠖ࠶ࠢߩᜰ␜ᣇะ㧕ߪ‫ޔ‬࿑Ꮐ┵ߦ⿒޿⍫ශߢ␜ߒߡ޽ࠆ‫ޕ‬ᤨ㑆ࠍㅊ߁ߚ߮ߦ‫៝ޔ‬ㅍ‛߇㚟േᣇะߦะ߆ߞߡ៝ㅍߐࠇߡ޿ࠆ᭽ሶ߇ߺߡߣࠇࠆ‫ޕ‬
(KI ࠮ࡦࠨ࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗߦࠃࠆࡈࠖ࡯࠼ࡃ࠶ࠢࠪࠬ࠹ࡓߩࡉࡠ࠶ࠢ࠳ࠗࠕࠣ࡜ࡓζ㧙14

0123456
(KI ࠮ࡦࠨ࡮ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗߦࠃࠆࡈࠖ࡯࠼ࡃ࠶ࠢࠪࠬ࠹ࡓߩ៝ㅍታ㛎଀⎇ⓥ㗄⋡䋳䋺࿁〝䉼䉾䊒䈫䈱ାภធ⛯ᴺԝ㜞㔚࿶೙ᓮ࿁〝ߩ㓸Ⓧൻߦࠃࠆࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗ㜞ᯏ⢻ൻ㩷ᧄࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ᭴ᚑߢߪ੤Ꮕ㈩✢߇ߢ߈ߥ޿ߎߣߣ‫ޔ‬೙ᓮ✢ࠍᄖㇱߦᒁ߈಴ߔߎߣߦࠃࠆ
㈩✢ᧄᢙߩ‛ℂ⊛೙⚂߆ࠄ‫ޔ‬ห৻ᣇะࠍะ޿ߡ޿ࠆ  ୘ߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠍ߹ߣ߼ߡ࠮ࠣࡔࡦ࠻ࠍ᭴ᚑߒ‫ ޔ‬୘ߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗࠍ  ࠮ࠣࡔࡦ࠻ߦಽഀߒߡᄖ๟ߩ೙ᓮ㔚࿶ࡄ࠶࠼߆ࠄធ⛯ߒߚ‫ߦ࡯ࡠࡈ࡯ࠕࠛޔࠅࠃߦߣߎߩߎޕ‬ᱫⷺ߇↢ߓ‫៝ޔ‬ㅍ‛૕ߩ૏⟎ߦࠃߞߡߪㅴ߼ߥ޿㗔ၞ߇↢ߓߡ޿ࠆ‫ߩ࠻ࡦࡔࠣ࠮ޕ‬න૏ࠍ  ୘  න૏߆ࠄ  ୘‫ ޔ‬୘ߣ޿߁ࠃ߁ߦࡈࠔࠗࡦࠣ࡟ࠗࡦൻ
ߔࠆߎߣߢᱫⷺߪ⸃ᶖߔࠆߩߢ‫ޔ‬ℂᗐ⊛ߦߪ  ୘ߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠍ⁛┙ߦ೙ᓮߔࠆߎߣ߇ᦸ
߹ߒ޿‫ޔߪߦ߼ߚߩߎޕ‬㜞㔚࿶ࠬࠗ࠶࠴ࡦࠣߩߢ߈ࠆ೙ᓮ +% ߥࠄ߮ߦ‫ޔ‬೙ᓮ಴ജࠍ৻ߟ৻ߟߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߦ⁛┙ߒߡធ⛯ߔࠆାภធ⛯ᚻᴺߩ㊀ⷐᕈ߇ᶋ߈ᓂࠅߦߥߞߚ‫ޕ‬ ߘߎߢ‫ޔ‬㜞㔚࿶ࠬࠗ࠶࠴ࡦࠣߩߢ߈ࠆ೙ᓮ +% ࠍ⹜૞ߒ‫ߦࠬࠗࡃ࠺ࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬㓸Ⓧ
ൻߔࠆᚻᴺࠍᬌ⸛ߒߚ‫ ࠣࡦ࠴࠶ࠗࠬޕ‬LSI ߣߒߡߪ‫⎇ᧄޔ‬ⓥቶߣࡈ࡜ࡦࠬ࿖ IEMN ⎇ⓥᚲߣߩ౒ห⎇ζ㧙15ⓥߦࠃߞߡ㐿⊒ߒߚ‫ޔ‬40MHz േ૞ߩࠪࡈ࠻࡟ࠫࠬ࠲ࠍౝ⬿ߒߚ 100V‫ޔ‬32 ࠴ࡖࡀ࡞⁛┙೙ᓮࠍⴕߥ߁
ASIC ࠍ↪޿ࠆ‫ߪࡉ࡞ࡃߩ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޕ‬ੑᣇะߦേߊߩߢ‫ޔ‬1 ߟߩ LSI ߢ 16 ඙↹ࠍ೙ᓮߢ߈‫ࠢࠕޔ‬࠴ࡘࠛ࡯࠲ߦ៞タߔࠆ LSI ߩᢙࠍჇ߿ߔߎߣߢࠣ࡜࠾ࡘ࡜࡝࠹ࠖࠍะ਄ߢ߈ࠆ‫ޕ‬LSI ߩᄢ߈ߐߪಠߘ2.1mm8.5mm ߢ޽ࠆ‫ޕ‬Fig.17 ߦ࠴࠶ࡊߩᄖⷰߣ㧝࠴ࡖࡦࡀ࡞ಽߩ࿁〝࿑ࠍ␜ߔ‫ޕ‬೙ᓮାภߪࠪࡈ࠻࡟ࠫࠬ࠲ߦࠃࠅࠪ࡝ࠕ࡞વㅍߔࠆ‫ ߪ࠲ࠬࠫ࡟࠻ࡈࠪޕ‬40MHz ߹ߢߩ๟ᵄᢙߢേߊߩߢ‫ޔ‬1 ᧄߩࠪ࡝ࠕ࡞✢ߦࠃߞߡ 560 ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ోߡࠍ⁛┙ߦ೙ᓮߒߚߣߒߡ߽৻⑽㑆ߦ 7 ਁ࿁⁁ᘒࠍ೙ᓮߢ߈‫ࠇߎޔ‬ߪචಽᄢ߈ߥ୯ߢ޽ࠆ‫ޕ‬ ାภធ⛯ߩᚻᴺߣߒߡ‫( ޔ‬1)ࠬࠗ࠶࠴ࡦࠣ LSI ࠍ MEMS ࠴࠶ࡊਛߦ߁߼ߎ߻࠼ࡠ࠶ࡊࠗࡦ㓸Ⓧൻᚻᴺ‫(ޔ‬2)ࠬࠗ࠶࠴ࡦࠣ LSI ࠍ MEMS ࠴࠶ࡊߣု⋥ߦធวߔࠆࠬ࠲࠶ࠢ㓸ⓍൻᚻᴺࠍᲧセߒߚ‫(ޕ‬1)ᣇᑼߢ
ߪ‫ޔ‬LSI ߇භ߼ࠆㇱಽߦࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠍ⸳⟎ߢ߈ߥ޿ߚ߼‫៝ޔ‬ㅍߦነਈߢ߈ߥ޿‫⋤ޟ‬ὐ‫ߎࠆ߈ߢ߇ޠ‬ߣ߇ᒙὐߢ޽ࠆ‫(ޕ‬2)ᣇᑼߪࠣ࡜࠾ࡘ࡜࡝࠹ࠖࠍ㜞ߊߢ߈ࠆ਄‫៝ޔ‬ㅍ⋤ὐ߽ߥߊᦸ߹ߒ޿߇‫࡯ࡠࡈࠕࠛޔ‬ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߦ߅޿ߡߪട࿶ⓨ᳇߇ᔅⷐߥߚ߼‫ޔ‬㔚᳇⊛ធ⛯ߣ࠴࠶ࡊߩᯏ᪾⊛࿕ቯᒝᐲࠍ⏕଻ߒߚ਄ߦⓨ᳇ᵹ〝ࠍ⸳ߌࠆߚ߼ߩ઀⚵㧔ࠗࡦ࠲࡯ࡐ࡯ࠩ࡯╬㧕߇ᔅⷐߣߥࠅ‫ߩࡓ࠹ࠬࠪޔ‬૞⵾㔍ᐲ߇㜞޿‫៝ޕ‬ㅍ⋤ὐߦ‛૕߇ṛ⇐ߒߥ޿ࠃ߁ㄭறߩⓨ᳇ᵹࠍ⺞ᢛߔࠆߎߣ߇น⢻ߣ⠨߃ࠄࠇࠆߎߣߣ‫ޔ‬૞⵾ᚻᴺ߇ࠪࡦࡊ࡞ߢ޽ࠆߣ޿߁೑ὐ߆ࠄ‫ޔ‬ᣇᑼ(1)ࠍゲߦᬌ⸛⹜૞ࠍⴕߞߚ‫ޕ‬ ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗ࠺ࡃࠗࠬߩ߁ߜ‫ⵣޔ‬㕙ߩࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲᭴ㅧߩߺ৻ࡉࡠ࠶ࠢಽࠍታⵝߒߚ10mm10mm ߩ࠴࠶ࡊࠍ૞⵾ߒߚ‫ߩߘޕ‬ਛᄩㇱಽߦ‫ޔ‬೙ᓮ㧵㧯ࠍ⪭ߣߒㄟ߻ߊ߷ߺࠍ Deep-RIE ߢടᎿߒߚ㧔Fig. 18 (a)㧕‫ ߦߺ߷ߊߩߘޕ‬Fig. 17 ߦ␜ߒߚ㜞㔚࿶೙ᓮ㧵㧯ࠍᝌ౉ߒ‫࠺ࡦࡏ࡯ࡗࠗࡢߦࠄߐޔ‬ࠖࡦࠣߢ㔚᳇⊛ធ⛯ࠍⴕߞߚ㧔Fig. 18 (c)㧕‫⚿ߩߘޕ‬ᨐ‫ޔ‬Fig. 18 (d)ߩᮨᑼ࿑ߦ␜ߔࠃ߁ߥࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯
࠲ࠕ࡟ࠗߣ೙ᓮ㧵㧯ࠍ㓸Ⓧൻߒߚ࠺ࡃࠗࠬࠍ૞ࠆߎߣ߇಴᧪ߚ‫ޕ‬ ߥ߅੹ᓟߩ⺖㗴ߢ޽ࠆ߇‫ ࠍ࠻ࡦࡔࠣ࠮ߩߟ৻ߟ৻ߪࡓ࠹ࠬࠪߩ⁁⃻ޔ‬2% ߆ࠄߩ಴ജߢోߡ▤ℂߒߡ޿ࠆߩߢ‫ޔ‬2% ߆ࠄࠬࠗ࠶࠴ࡦࠣࡏ࡯࠼߳ߩ࠺࡯࠲ォㅍࡃࡦ࠼᏷߇ࡏ࠻࡞ࡀ࠶ࠢߣߥࠅ‫ࠢࠕޔ‬࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ೙ᓮน⢻๟ᵄᢙߦኻߒߡ  ᩴ߆ࠄ  ᩴૐ޿๟ᵄᢙߢ೙ᓮାภࠍಾࠅᦧ߃ߡ޿ࠆ‫ߎޕ‬ߩߚ߼‫ߩߺᦸޔ‬૏⟎ࠍࠝ࡯ࡃ࡯ࠪࡘ࡯࠻ߔࠆߥߤߩ໧㗴߇಴ߡ޿ࠆ‫⁁ߩߎޕ‬ᘒࠍ↢૕ߦ଀߃ࠆߣ‫ޔ‬‫ޟ‬ᄢ⣖‫ ࠆߚ޽ߦޠ‬2% ߇‫╭ߩ┵ᧃޔ‬⡺ోߡࠍ೙ᓮߒࠃ߁ߣߒߡ޿ࠆ⁁ᴫߢ޽ࠆ߆ࠄ‫ޔ‬ല₸߇ᖡ޿‫ޕ‬ߎߩ໧㗴ࠍ⸃᳿ߔࠆߚ߼ߦߪ‫ޔ‬ᄢ⣖ߣ╭⡺ߣߩ㑆ߦ‫ޔ‬ㆇേߩ⚦߆޿೙ᓮࠍߟ߆ߐߤࠆ‫ޟޔ‬ዊ⣖‫ߦޠ‬⋧ᒰߔࠆ࿁〝ࠍ⚵ߺㄟࠎߢ‫ޔ‬ᄢ⣖ 2% ╬ Њዊ⣖ ⚵ߺㄟߺ೙ᓮ +% Њ╭⡺ ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ ߩࠃ߁ߥࠪࠬ࠹ࡓ߇ᔅⷐߢ޽ࠆߣ⠨߃ࠄࠇࠆ‫ޕ‬

8.5mm

2mm
(a)
ζ㧙16(b)(KI㜞㔚࿶೙ᓮ㧵㧯࠴࠶ࡊ C ᄖⷰ౮⌀‫ ޔ‬D 㧝࠴ࡖࡦࡀ࡞ಽߩ࿁〝࿑(b)

(a)䉝䉪䉼䊠䉣䊷䉺䉴䊕䊷䉴HV䊄䊤䉟䊋䉝䉪䉼䊠䉣䊷䉺

(c)(d)(KI࠳ࠗ࠼ࡠ࠶ࡊࠗࡦ㓸Ⓧൻߦࠃࠆ‫࠺ࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬ࡃࠗࠬߣ㜞㔚࿶೙ᓮ㧵㧯ߩ৻૕ൻ C ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ࠕ࡟ࠗ࠺ࡃࠗࠬ‫ ޔ‬D 㜞㔚࿶೙ᓮ㧵㧯‫ ޔ‬E ࠳ࠗ࠼ࡠ࠶ࡊࠗࡦ㓸Ⓧൻ‫ ޔ‬F 㓸Ⓧൻ࠴࠶ࡊߩᮨᑼ࿑㩷䋨䋳䋩ᚑᨐ䈱ᗧ⟵㩷㩷 ᧄᚑᨐ䈲䇮䉴䊙䊷䊃䉴䉨䊮䈱᭎ᔨ䈮ၮ䈨䈇䈢ᣂ䈢䈭ᛛⴚ㗔ၞ䉕㐿ᜏ䈜䉎䈢䉄䇮ඨዉ૕ࡑࠗࠢࡠࡑࠪ࠾ࡦࠣࠍ↪޿ߡ MEMS ࠕ࡟ࠗࠍᱠ⇐߹ࠅࠃߊ⵾૞น⢻ߣߔࠆߎߣߣ‫ߩߘޔ‬ಽᢔဳ೙ᓮᣇᑼ‫߮ࠃ߅ޔ‬೙ᓮ↪㓸Ⓧ࿁〝ߣߩାภធ⛯ᣇᴺࠍ㐿⊒ߔࠆߎߣߦࠃࠅ‫ޔ‬ᓥ᧪ᓧࠄࠇߥ߆ߞߚᠲ૞⥄↱ᐲ߿ᬌ಴⢻ࠍᜬߟᰴ਎ઍ
ߩ MEMS ࠍታ⃻ߒ‫੹ޔ‬ᓟߩ MEMS ᛛⴚߩ⊒ዷߦ⾗ߔࠆ߽ߩߢ޽ࠆ‫ߩߎޕ‬ᚑᨐߦ㑐ߒߡߪ‫ޔ‬㧹㧱㧹㧿㑐ㅪߩ࿖㓙ળ⼏ߣߒߡ਎⇇ߢᦨ㜞ߩ᳓Ḱߦ޽ࠆ㧵㧱㧱㧱 㧹㧱㧹㧿࿖㓙ળ⼏ߢ 2005 ᐕߣ 2007 ᐕ㧔⊒⴫੍ቯ㧕ߩ㧞࿁ߦᷰߞߡญ㗡⊒⴫⺰ᢥߦㆬ߫ࠇߡ߅ࠅ‫ޔ‬ᚑᨐߩᣂⷙᕈߣ⁛ഃᕈ߇਎⇇ߦ⹺߼ࠄࠇߡ޿ࠆ㧔ᵈ㧦2005 ᐕߩ㧹㧱㧹㧿࿖㓙ળ⼏ߦ߅޿ߡߪ 750 ઙߩᛩⓂߩਛ߆ࠄ௖߆ 41 ઙߩߺ߇ญ㗡⊒⴫⺰ᢥߦㆬ߫ࠇߚ㧕‫ޕ‬2006 ᐕᐲ߆ࠄ NEDO ߩ੐ᬺߣߒߡ‫ޟ‬㜞㓸Ⓧ࡮ⶄว㧹㧱㧹㧿⵾ㅧᛛⴚ㐿⊒ࡊࡠࠫࠚࠢ࠻‫߇ޠ‬㐿ᆎߐࠇ‫৻ߩߘޔ‬ㇱߣߒߡ㧹㧱㧹㧿ߣ㧹㧱㧹㧿ߩ㓸Ⓧൻ‫߮ࠃ߅ޔ‬㧹㧱㧹㧿ߣ࿁〝ߩ㓸Ⓧൻߩᛛⴚ߇⎇ⓥ
ζ㧙17ኻ⽎ߦ᜼ߍࠄࠇߡ޿ࠆ‫ᧄޕ‬ᚑᨐߪ‫ޔ‬MEMS ࠕ࡟ࠗࠍᱠ⇐߹ࠅࠃߊ⵾૞ߔࠆᛛⴚ߇೨⠪ߣ㑐ㅪߒ‫ޔ‬೙ᓮ↪㓸Ⓧ࿁〝ߣߩାภធ⛯ᣇᴺߪᓟ⠪ߣᷓߊ㑐ㅪߔࠆ‫ߩ࠻ࠢࠚࠫࡠࡊߩߎޔߜࠊߥߔޕ‬వ㚟ߣߥࠆᚑᨐߢ޽ࠆὐߢᄢ߈ߥᗧ⟵߇޽ࠆ‫ޕ‬ ࠬࡑ࡯࠻ࠬࠠࡦߪߘߩ⴫㕙ߦ‫ޔ‬ᗵⷡ‫್ޔ‬ᢿ‫ޔ‬േ૞ߩ㧟ᯏ⢻ࠍⴕ߁࠺ࡃࠗࠬࠍᄙᢙಽᏓߒߡᜬߟࠪࠬ࠹ࡓߣߒߡ᳢↪ᕈ䈏䈅䉎‫ޕ‬ᐢ㕙Ⓧߦࠊߚߞߡ‫ߩߘޔ‬႐ߘߩ႐ߩ⁁ᘒߦวࠊߖߚ߈߼⚦߆޿േ૞߇ⴕ߃ࠆߚ߼‫ޔ‬࿕૕ߣᵹ૕⇇㕙ߢߩੂᵹ⊒↢ࠍ೙ᓮߔࠆࠪࠬ࠹ࡓ㧔⥶ⓨᯏ‫ޔ⥾⦁ޔ‬㈩▤ਛߩᵹ૕ᛶ᛫ૐᷫ߳ߩᔕ↪
߇น⢻㧕‫ߩࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬਄ߦ⟎޿ߚ‛૕ࠍᬌ಴ߒߡߘࠇࠍᦸߺߩ႐ᚲ߳േ߆ߔ៝ㅍࠪࠬ࠹ࡓ㧔ࡑࠗࠢࡠࡈࠔࠢ࠻࡝࡯ߩㇱຠ៝ㅍ‫ࡠࠢࠗࡑޔ‬ᵹ૕࠴࠶ࡊ↪ߩᓸ㊂ᬌ૕៝ㅍߥߤ߳ߩᔕ↪߇น⢻㧕‫ޔ‬ო㕙ߢᬌ⍮ߒߚ᷷ᐲ࡮Ḩᐲ࡮ᾖᐲ╬ߦ޽ࠊߖߡⓨ⺞߿ᾖ᣿ࠍ⥄േ⊛ߦ⺞▵ߔࠆࠪࠬ࠹ࡓ㧔ቶౝߩⅣႺ▤ℂߥߤߦᔕ↪߇น⢻㧕ߥߤߩᰴ਎ઍ MEMS ᔕ↪ߣ‫ޔ‬ᣂ↥ᬺ߳ߩዷ㐿߇ᦼᓙߢ߈ࠆ‫ޕ‬․ߦ⎇ⓥઍ⴫⠪ߩ⎇ⓥቶߢታ❣ߩ޽ࠆ‫ߩࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬਄ߦ⟎޿ߚ‛૕ࠍᬌ಴ߒߡߘࠇࠍᦸߺߩ႐ᚲ߳േ߆ߔ៝ㅍࠪࠬ࠹ࡓࠍኻ⽎ߣߒߡ‫⵾ߩࠗ࡟ࠕ࠲࡯ࠛࡘ࠴ࠢࠕޔ‬૞ᴺ‫ޔ‬࿁〝ߣߩ㓸Ⓧൻᚻᴺ‫ޔ‬೙ᓮᣇᴺߥߤߦߟ޿ߡ⎇ⓥࠍⴕߞߚ‫ޕ‬਄⸥䈮䉋䈉䈮䇮ᛩ౉䈘䉏䈢੍▚䈮⷗ว䈦䈢ᚑᨐ䈏ᓧ䉌䉏䈩䈇䉎䇯㩷㩷䋨䋴䋩․⸵䈱ขᓧ㩷㩷 ᧄ⎇ⓥ䈱㊀ⷐ䈭⋡⊛䈱৻䈧䈲䇮ᚒ‫߇ޘ‬㐿⊒ߒߚ㜞ᱠ⇐߹ࠅࡊࡠ࠮ࠬࠍࡈࠔࡦ࠼࡝࡯ߦ࠹ࠢࡁࡠࠫ࠻࡜ࡦࠬࡈࠔߔࠆߎߣߦ޽ࠅ‫⎇ߪߡ޿ߟߦࠇߎޔ‬ⓥ㐿ᆎ೨ߦ⺰ᢥߣߒߡ⊒⴫ᷣߺߢ޽ࠆ‫ޔߚ߹ޕ‬೙ᓮᣇᑼߦߟ޿ߡ߽ᣢߦ᭎ᔨࠍ⊒⴫ᷣߺߢ޽ࠅ‫⸵․ޔ‬ᕈ߇ਲߒߊ಴㗿ߪߒߡ޿ߥ޿‫੹ޕ‬ᓟ‫࡯ࡑࠬޔ‬࠻ࠬࠠࡦߩ᭎ᔨࠍ↪޿ߚᔕ↪ࠪࠬ࠹ࡓ߇ታ↪ൻߦㄭߊ⊒ዷߒߚᤨὐߢ‫ࠆ߇ߥߟߦ⺧↳ߩ⸵․ޔ‬น⢻ᕈ߇޽ࠆ‫ޕ‬㩷㩷䋨䋵䋩ᚑᨐ䈱᥉෸㩷 ೨ㅀߒߚࠃ߁ߦߎߩᚑᨐߦ㑐ߒߡߪ‫ޔ‬㧹㧱㧹㧿㑐ㅪߩ࿖㓙ળ⼏ߣߒߡ਎⇇ߢᦨ㜞ߩ᳓Ḱߦ޽ࠆ㧵㧱㧱㧱 㧹㧱㧹㧿࿖㓙ળ⼏ߢ 2005 ᐕߣ 2007 ᐕ㧔⊒⴫੍ቯ㧕ߩ㧞ᐕㅪ⛯ߢญ㗡⊒⴫⺰ᢥߦㆬ߫ࠇߡ߅ࠅ‫ޔ‬਎⇇ߩ╙৻✢ߩ⎇ⓥ⠪ߦኻߒߡ‫ߩߘޔ‬ᣂⷙᕈߣ⁛ഃᕈࠍචಽߦࠕࡇ࡯࡞ߒߡ޿ࠆ‫ޔߦࠄߐޕ‬ቇⴚ⹹ߦ߽ᣢߦ⺰ᢥ߇㧝✬ឝタߐࠇߡ߅ࠅ‫ߩઁޔ‬࿖㓙ળ⼏ߦ㧟✬ߩ⊒⴫߇޽ࠆ‫⺰ޕ‬ᢥ䈱⊒⴫䈲䇮⾰䊶㊂䈫䉅䈮චಽ䈪䈅䉎䇯߹ߚ‫ޔ‬࿖㓙࠽ࡁ࠹ࠢࡁࡠࠫ࡯✚วዷߦ߅޿ߡ߽‫࡯࠲ࠬࡐޔ‬ዷ␜ࠍⴕ޿ડᬺߩ⎇ⓥ⠪߿৻⥸Ꮢ᳃߳ߩ᥉෸ߦദ߼ߚ‫ޕ‬㩷㩷 䉁䈢ᧄ⎇ⓥ䈱ㆊ⒟䈪䇮ᚒ‫߇ޘ‬㐿⊒ߒߚ㜞ᱠ⇐߹ࠅࡑࠗࠢࡠࡑࠪ࡯࠾ࡦࠣࡊࡠ࠮ࠬࠍࡈࠔ࠙ࡦ࠼࡝ߦ࠹ࠢࡁࡠࠫ࠻࡜ࡦࠬࡈࠔߔࠆߎߣ߇ߢ߈ߚ‫ࠍ࡝࠼ࡦ࠙ࠔࡈޕ‬ㅢߓߡవㅴߩࡊࡠ࠮ࠬ߇ᐢߊ৻⥸ߩડᬺߦ೑↪น⢻ߣߔࠆߎߣߢᚑᨐࠍᐢߊ᥉෸ߒߚ‫ޕ‬㩷ζ㧙18