Future Technologies fromKUMAMOTO

2023

2023年11月6日（月）〜9日（木）(6〜8日：テクニカルセッション、
9日：テクニカルツアー)

同時開催シンポジウム
電気学会 センサ・マイクロマシン部門主催

第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」
シンポジウム本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門主催

第14回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
応用物理学会 集積化MEMS 技術研究会主催

第15回 集積化MEMSシンポジウム
化学とマイクロ・ナノシステム学会

CHEMINAS 48＜後援＞エレクトロニクス実装学会
応用物理学会
化学工学会
計測自動制御学会
システム制御情報学会
次世代センサ協議会
精密工学会
センシング技術応用研究会
電気学会
電気化学会
電子情報通信学会
日本機械学会
日本材料学会
日本信頼性学会

日本生体医工学会
日本生理学会
日本赤外線学会
日本伝熱学会
日本時計学会
日本熱物性学会
日本バーチャルリアリティ学会
日本表面真空学会
日本流体力学会
ニューセラミックス懇話会
マイクロマシンセンター
レーザー学会
電気学会関連技術委員会

Future Technologies from KUMAMOTO 2023
– Message from Chairmen –実行委員長からのご挨拶
Future Technologies from KUMAMOTO
合同シンポジウム実行委員長
一般社団法人電気学会 E部門
第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
実行委員長 澤田 和明「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムは，1981
年につくばの電総研（当時）で「センサシンポジウム」として第1回が開催され，さらに日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門，応用物
理学会集積化 MEMS 技術研究会，化学とマイクロ・ナノシステム学会など関連の学会と合流し，2013 年には正式な E 部門の部門大会となりました。そして今回のシンポジウムで40 回の節目を迎えることになります。本シンポジウムが様々な関連分野と連携・展開してきたように，まさしくセンサ・マイクロマシン技術は時代の要請に応えながら，発展・深化してきました。現在では，フィジカル空間とサイバー空間をつなぐための主役となっているばかりではなく，持続可能な社会を実現するためにも必要不可欠な技術となっています。一方，これまでの実現されてきたセンサ・マイクロマシン技術
を，これからの10 年間でどのように進化させうるかを，考える節目の機会であると考えています。生成 AIにより，私たちの社会は劇的に変化することになるでしょう。生成 AIのための半導体技術開発が，最近では半導体産業の中心的な開発課題となっていますが，センサ・
マイクロマシン技術においても生成 AI に向けた新たなイノベーショ
ンが今後必要となってくるはずです。
今回の開催地の熊本は，第 37 回で開催を予定していましたが，コロナ感染症に影響で急遽オンライン開催となった幻の開催地であります。また，この1－2 年で半導体産業が再び脚光を浴びることになり，熊本への注目は様々な方面から高まっています。熊本の地でこのタイミングで，第 40 回目を開催できることを心から嬉しく思っています。熊本の県民性を表すのに，「わさもん」とう言葉があります。
一言で言うと“ 新しもの好き” で，まずは新しいものに飛びついてしまう人を指した言葉です。良い意味で表現すると，たいへん好奇心旺盛で，新しいことを柔軟に受け入れて，フロンティアとなって何事にも精力的に取り組むことをよしとする県民性があるということです。
この40 回目の「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウ
ムでは，若い研究者と今後の10 年後のセンサ・マイクロマシンの未来を考えるための企画セッションを設けました。
「わさもん」のいる
この場所で，何か新しい方向性を共有することができればと思います。
基調講演，テクニカルツアーでは技術，文化的に特色のある企業，
テーマを選定させていただきましたので見学，講演を通して楽しんでいただければと思います。また，特色ある食文化も発達しており，
球磨焼酎，馬刺し，熊本ラーメン，あか牛のように全国的に有名なものの他にも地元で愛されているものが多数ありますので大会期間中に味わっていただければと思います。最後になりましたが，論文委員長をはじめ，幹事，実行委員会，論文委員会のメンバーの方々のご尽力に心より御礼を申し上げます。また，各学会の多方面にわたるご支援および熊本県，熊本市，熊本国際観光コンベンション協会，
熊本県教育委員会，スポンサー，技術展示企業・団体，事務局の皆さまに深く感謝いたします。

2

一般社団法人日本機械学会
マイクロ・ナノ工学部門
第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
実行委員長 燈明 泰成

日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門が主催する「マイクロ・ナノ
工学シンポジウムは」は今回で14回目となります。電気学会，応用物理学会，化学とマイクロ・ナノシステム学会の皆様と合同シンポジウムとして「Future Technologies」を熊本市にて盛大に開催できますことを大変嬉しく思います。このご挨拶の執筆時におきまして
は新型コロナウイルスと季節性インフルエンザが同時流行している
状況にありますが，シンポジウムは万全な対策の下，昨年と同様に対面にて実施いたします。本シンポジウムでは一般講演を全てポス
ター発表とすることで，他学会，他分野の研究者・技術者の皆様と一層密に交流できる場としております。お陰様でシンポジウム最大数となる講演申込をいただきました。講演者の皆様をはじめ，関係各位の皆様方に厚く御礼を申し上げます。また技術展示も大変盛況となりました。ご参加いただきます企業・団体の皆様方にも厚く御礼を申し上げます。
本シンポジウムでは，基調講演として佐賀大学 嘉数 誠 教授より
「ダイヤモンド半導体の最近の進展：パワー半導体と大口径ウェハの開発」と題してご講演いただきます。また表彰講演として，マイクロ・
ナノ工学部門 2022 年度研究功績賞を受賞されました東京大学 三
宅 亮 教授より「マイクロ流路 ―その流れに魅せられて―」と題してご講演いただきます。また FT 合同招待セッションにおいて日本機
械学会からは早稲田大学 松田 佑 教授より「分子イメージング手法
を用いた熱流体可視化手法の研究」と題してご講演いただきます。
大変興味深く有意義なご講演を聴講いただける絶好の機会となっておりますので，皆様奮って会場にご参集いただけましたらと思います。
分野連携企画として，当部門と情報・知能・精密機器部門とで「MEMSデバイスの最新研究と応用技術（慣性センサ）」講演会を企画しました。両部門より各2件，合計4 件の講演があり，当該分
野の最新の話題を提供いただけることとなっております。ポスター
発表は 3日間にわたり実施しますが，募集しました 9 分野の発表がバランス良く配置されたプログラムとなっております。2日目のポス
ターセッションでは，新たに協賛団体にお加わりいただきました生
理学会との連携セッションを企画しております。是非とも会場にて活発なご討論をお願いできましたらと思います。その他，FT 合同
若手企画として若手研究者・大学院生の皆様の交流の場も準備されております。また例年同様，優秀な発表を行った講演者の皆様に日本機械学会若手優秀講演フェロー賞，優秀講演論文表彰，若手優秀講演表彰を贈賞いたします。更に本シンポジウムの特集号をMicromachines 誌から出版することを企画しております。当日の議論を基に充実させた研究成果のご投稿も検討いただけましたらと思います。
最後になりましたが，Future Technologies の関係者ならびに事務局の皆様，協賛学協会，参加者，本シンポジウムの実行委員会，全ての関係各位の皆様方のご尽力に心より感謝いたしますと共に，厚く御礼を申し上げます。

実行委員長からのご挨拶
公益社団法人応用物理学会
集積化MEMS技術研究会
第15回集積化MEMSシンポジウム
実行委員長 土屋 智由

熊本へようこそお越しくださいました。Future Technologies fromKUMAMOTOは2020 年に企画されたものの COVID-19 感染拡大のため残念ながらオンライン開催となりました。その後，3 年の月日を経て現地開催が実現されようとしていること大変喜ばしいことです。
2020 年の熊本開催を準備された各実行委員長の積様，生津先生，
高尾先生，山西先生の思いを引き継いで，さらに盛りだくさんの企画で過去最大のシンポジウムになりました。以前より熊本は半導体産業が盛んな地でしたがこの3 年間に改めて注目を集めることとなり，今年，戻って来たことも何かの縁を感じています。
このFuture Technologies（FT）シリーズの一翼を担わせていただ
いている集積化 MEMSシンポジウムは15回を迎えました。小規模ながら毎年活発に開催されてきたのも電気学会センサ・マイクロマ
シン部門，日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門，化学とマイクロ・ナノシステム学会の講演会とのコロケーションによるものです。
本年は，特別企画として FT from HIRADO 2016，2018 年台湾での開催に続き『第3回 日本・台湾国際交流シンポジウム』を企画いたしました。台湾は半導体製造ファウンダリの発展のもとで，半導体，MEMS，バイオ分野の研究が活発であります。隣国としてこの分野での両国の研究者の交流を深めていくことが重要であり，その機会となることを期待しています。台湾側窓口の国立清華大学のSheng Shian Li 先生，本企画担当の前澤先生をはじめとする関係者のご尽力により台湾4件，日本 2件の招待講演が行われます。講演を通じた活発な議論，交流を期待しています。なお，本企画開催に
おいて併催の各シンポジウムの実行委員会の皆様には様々なご配慮を賜りました。
第15回集積化 MEMSシンポジウムからの基調講演は応用物理学会において本研究会の設立に尽力され，研究会委員長も務められた東京工業大学学長の益一哉先生にお願いいたしました。先端半導体製造技術が注目されている中，集積回路工学のご専門の立場から今改めて考えなければならない半導体＝集積回路の可能性についてご講演いただけると伺っており，大変楽しみにしております。
また，FT合同セッションには NHK 放送技術研究所の為村様に高精細テレビ放送を支える8K 撮像デバイスの研究の講演をお願いいたしました。高解像度化により微細化が進むセンサ画素の高感度化を実現する最新技術について報告いただきます。テクニカルセッショ
ンでは一般講演（オーラル）15 件，速報（ポスター）12件を3日間にわたり行います。速報には台湾からの国際交流シンポジウム参加者の発表5 件も含まれておりこちらも国際交流の機会となると期待しています。ぜひ火曜日午後のポスターセッションに足をお運びください。
最新の研究成果をまとめ投稿してくださった発表者，査読を担当した三田論文委員長をはじめとする論文委員の皆様により大変魅力的なプログラムとなっていると確信しております。ぜひ，集積化 MEMS
シンポジウムにお立ち寄りください。

一般社団法人化学とマイクロ・ナノシステム学会
第48回研究会
実行委員長 梶 弘和

化学とマイクロ・ナノシステム学会（CHEMINAS）は，2000 年 3月に神奈川サイエンスパークにて「第1回化学とマイクロシステム研究会」として開催され，それ以後，春・秋の年2回の研究会開催を軸として活動しております。この間，2002 年に会員制組織に移行す
るとともに「化学とマイクロ・ナノシステム研究会」へと改称し，さらに2013 年には法人化して「一般社団法人 化学とマイクロ・ナノシ
ステム学会」へと改称し，今回で第 48回を迎えることとなりました。
2018 年からは，研究分野や学・協会という垣根を超えた新しい研究展開の起点となるべくFuture Technologies（FT）として，秋の研究会を電気学会，機械学会，応用物理学会と合同で開催しております。
昨年のFT TOKUSHIMA に引き続き今回も対面開催を実施することができ，また多くの発表をお申込いただきました。実行委員会を代表して，発表者，スポンサー，ならびに関係者各位に御礼申し上げます。
今回の研究会では，一般ポスター発表の申込数が昨年比10％以
上増の164件となり，フラッシュプレゼンテーション＋ポスター発表を1日あたり1セッションとして3セッション実施することにしました。
1日目には，CHEMINAS 企画セッション「分子認識型生体高分子」
として，山形大学大学院理工学研究科・教授の真壁幸樹先生，東京大学大学院総合文化研究科・准教授の吉本敬太郎先生，埼玉大学大学院理工学研究科・教授の齋藤伸吾先生にご講演をいただきます。また同日には，CHEMINAS 若手企画
「創造性と人工知能の共鳴」
として，最近ホットな話題である生成系 AIに関するトピックを議論します。さらに今回は，電気学会，機械学会と合同の FT 若手企画も予定しております。2日目には，CHEMINAS 企画セッション「ニューロモルフィックAI」として，早稲田大学大学院情報生産システム研
究科・教授の植田研二先生，東北大学電気通信研究所・准教授の山本英明先生にご講演をいただきます。同日夜には，FT 合同懇親会が開催されますが，積極的な人的交流，情報交換などの連携を推進するとともに，熊本の郷土料理と銘酒をご堪能いただければと存じます。3日目には，FT合同招待講演セッションで東北大学大学
院工学研究科・准教授の伊野浩介先生から，基調講演で早稲田大学大学院情報生産システム研究科・教授の三宅丈雄先生から，最新の研究成果についてご講演をいただきます。昨年に引き続いての対面開催となりますので，ご参加の皆様には活発に討論に参加いた
だき，研究に関する情報交換のみならず，今後の共同研究や人的交流につながるような「場」としてご利用いただけると幸いです。
最後になりますが，併設技術展示，事務局，協賛学協会，本シンポジウムの実行委員会，すべての関係の皆様のご尽力に心より御礼申し上げ，ご挨拶とさせていただきます。

3

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 – Program-at-a-glance –日目（ ／ 月）

1

コード

開始時
刻

A会場

B会場

C会場

D会場

4F

3F

3F

3F

3F

3F

3F

メインホール

A4

B1-3

C1-2

D1-2

A1-3

A1-3+ホワイエ

センサシンポジウム
バイオセンサ1

センサシンポジウム
フィジカルセンサ1
13:10-14:25

センサシンポジウム
マイクロナノシステム1

応用物理学会
積化MEMSシンポジウム
光センサとバイオイメージング

センサシンポジウム
マイクロナノシステム2
16:15～17:15

応用物理学会
積化MEMSシンポジウム材料
物性とリザバーコンピューティング

6A1

10:30

0:30

開場

6A2

11:00

0:30

開会式

6A3

11:30

0:40

基調講演
（電気）
ソニーセミコンダクタ
ソリューションズ 岩元 勇人 氏

12:10

0:10

6P1

12:20

0:35

12:55

0:15

13:10

1:30

6P2

11

14:40

0:10

14:50

1:15

16:05

0:10

6P4

16:15

1:15

17:30

0:10

6P5

17:40

1:30

6

6P3

他会場

M会場

7A2

7A3

日目
（ ／ 火）

2

7P1

センサシンポジウム
化学とファイナリストセッション
マイクロナノシステム学会ポ若手賞I&優秀技術論文賞I
スターショートプレゼン

センサシンポジウム
ファイナリストセッション
若手賞II&優秀技術論文賞II

化学とマイクロナノシステム学会
企画講演

センサシンポジウム
ファイナリストセッション
若手賞III

化学とマイクロナノシステム学会
企画講演

機械学会
マイクロ・ナノ工学部門
情報・知能・精密機器部門との連携企画13:10～15:10

センサシンポジウム
センサ・アクチュエータ
システム1/エレクトロニクス実装学会セッション

FT合同
ポスターセッション I
ポスター掲示技術展示

FT合同
ポスターセッション I
FT合同若手企画E会場
（3F，
E1-2)

7

9:00

0:10

9:10

0:40

9:50

0:10

10:00

01:15

11:15

0:10

11:25

01:15

12:40

0:05

12:45

0:55

基調講演（応物）
東京工業大学 益 一哉 氏

応用物理学会集積化MEMS
日台国際シンポジウム

化学とマイクロナノシステム学会ポスターショートプレゼン

応用物理学会集積化MEMS
日台国際シンポジウム

化学とマイクロナノ
システム学会企画講演

13:40

0:05

13:45

1:30

15:15

0:10

7P3

15:25

0:40

基調講演 地元枠１
津曲 俊博氏（熊本城総合事務所）
基調講演 地元枠２
高橋 宏枝氏（高橋酒造）

7P4

16:05

0:40

16:45

0:10

16:55

1:00

17:55

1:05

19:00

2:00

機械学会
マイクロ・ナノ工学部門
表彰講演10:00～11:00

センサシンポジウム設計・製
作技術、
材料1

センサシンポジウム
センサシンポジウム設計・製
ファイナリストセッション
作技術、
材料2
若手賞IV＆優秀技術論文賞III
11:25～12:55

センサシンポジウム
センサ・アクチュエータシステム2
FT合同
ポスターセッション II
ポスター掲示センサシンポジウム
フィジカルセンサ2／
マイクロナノシステム

技術展示

出展者による技術展示発表
セッション II

7P2

11

技術展示会場

出展者による技術展示発表
セッション1

19:10

7A1

ポスター
（P）
会場

FT合同
ポスターセッション II

SS40記念パネルディスカッション
懇親会（ホテルキャッスル熊本）

21:00

8A1

8A2

日目
（ ／ 水）

3

11

8P1

8

8P2

9:00

0:20

9:20

0:40

10:00

0:10

10:10

1:30

11:40

0:10

11:50

0:50

12:40

1:10

13:50

1:30

15:20

0:10

基調講演
（機械）
佐賀大学 嘉数 誠 氏

機械学会
化学と
マイクロ・ナノ工学部門表彰式
マイクロナノシステム学会ポ10:10～10:50
スターショートプレゼン

応用物理学会集積化MEMS
シンポジウムエナジーハーベスタとフィジカルセンサ
（加速度、
ジャイロ）

熊本城散策
FT合同
ポスターセッションⅢ

15:30

1:15

FT合同セッション

8P4

16:45

0:40

基調講演
（ケミナス）
早稲田大学 三宅 丈雄 氏

17:25

0:40

閉会式

18:05
4日目
（11／9木）4

FT合同
ポスターセッション III
ポスター掲示

出展者による術展示発表
セッション III

8P3

8P5

センサシンポジウム
ケミカルセンサ10:10～11:55

センサシンポジウム
バイオセンサ2/
バイオマイクロナノシステム
10:10～11:55

8：50-17：00

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

テクニカルツアー（Aグループ、Bグループは終日、
Cグループは午前のみ）

技術展示

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 – Opening Ceremony –11月6日（月）11:00～11:30
6A2-M 開会式

・Future Technologies from KUMAMOTO合同シンポジウム実行委員長・
第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム実行委員長ご挨拶
豊橋技術科学大学

澤田 和明 氏・ご来賓ご祝辞

熊本市市長

大西 一史 氏・電気学会会長ご挨拶
電気学会会長東京都立大学安田 恵一郎 氏

・各シンポジウム実行委員長ご挨拶					

日本機械学会 マイクロ・ナノ工学シンポジウム実行委員長
東北大学 燈明 泰成 氏

		

応用物理学会 集積化MEMSシンポジウム実行委員長
京都大学 土屋 智由 氏

		

化学とマイクロ・ナノシステム学会第48回研究会実行委員長
東京医科歯科大学 梶 弘和 氏・Future Technologies from KUMAMOTO 概要紹介		

センサシンポジウム実行委員会幹事
豊橋技術科学大学 野田 俊彦 氏

・センサシンポジウム論文・受賞関係報告		

センサシンポジウム論文委員長
九州大学 小野寺 武 氏

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

5

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 – Opening Ceremony –11月6日（月） 11:30-12:10
講演番号：6A3-M-1（センサシンポジウム）

3D積層型CMOSイメージセンサを進化させるプロセス技術
3D Stacking Process Technologies for Advanced CMOS Image Sensors
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
第2/4研究部門 部門長
岩元 勇人 氏
Hayato Iwamoto
Senior General Manager
Research Division 2&4
Sony Semiconductor Solutions Corporation

11月7日（火） 09:10-09:50
講演番号：7A1-M-1（集積化MEMSシンポジウム）

集積回路：使ってナンボ，使われてナンボ
Integrated Circuit: What’s the Use, What’s the Scoop?
東京工業大学学長
益 一哉 氏Dr. Kazuya Masu
President
Tokyo Institute of Technology

11月7日（火） 15:25-16:05
講演番号：７P3-M-1「熊本城」～熊本地震からの復興
“KUMAMOTO CASTLE” Recovery from the 2016 Kumamoto Earthquake
熊本城総合事務所
災害復旧相談役
津曲 俊博 氏Toshihiro Tsumagari
Disaster Recovery Consultant
Kumamoto Castle Office6

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

11月7日（火） 16:05-16:45
講演番号：７P3-M-2

球磨焼酎５００年の伝統と革新 変わらないために変わり続ける高橋酒造の挑戦
Meet the Kuma Shochu’s 500 years of tradition and innovation
高橋酒造株式会社
常務取締役（営業企画担当）
高橋 宏枝 氏
Hiroe Takahashi
TAKAHASHI SHUZO CO.LTD

11月8日（水） 09:20-10:00
講演番号：8A1-M-1（マイクロ・ナノ工学シンポジウム）

ダイヤモンド半導体の最近の進展：パワー半導体と大口径ウェハの開発
Recent Progress of Diamond Semiconductors: Power Devices and Large Wafers
佐賀大学
理工学部 教授
嘉数 誠 氏Prof. Makoto Kasu
Professor, Power Electronics
Saga University

11月8日（水） 16:45-17:25
講演番号：8P4-M-1（CHEMINAS 48）

次世代医療用眼レンズに向けた材料・デバイス・システム
早稲田大学
大学院情報生産システム研究科
三宅 丈雄 氏教授

Prof. Takeo Miyake
Professor
Waseda University

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

7

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 - 合同招待セッション -11月8日（水）15:30-16:45

8P3-M

Future Technologies from KUMAMOTOを構成する各シンポジウムが推薦する講師による，FT合同招待セッションです。

講演番号 8P3-M-1（センサシンポジウム）

生体・環境情報モニタリングのための完全分解型ワイヤレスセンサ
尾上 弘晃*
慶應義塾大学

講演番号 8P3-M-2（マイクロ・ナノ工学シンポジウム）

分子イメージング手法を用いた熱流体可視化手法の研究
松田 佑*
早稲田大学

講演番号 8P3-M-3（CHEMINAS 48）

電気化学をベースにしたバイオ分析とバイオファブリケーション
伊野 浩介*
東北大学

講演番号 8P3-M-4（集積化MEMSシンポジウム）

電荷増倍機能を有する結晶セレン積層型8K撮像デバイスの研究
為村 成亨*{1}，新井 俊希{1}，宮川 和典{1}，杉山 睦{2}，難波 正和{1}{1}NHK放送技術研究所，{2}東京理科大学

8Future Technologies from KUMAMOTO 2023

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 –日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門 情報・知能・精密機器部門「MEMS デバイスの最新研究と応用技術 ( 慣性センサ )」講演会
11月6日（月） 13:10-15:10

講演番号

分野連携企画

６P2-B（B会場）

6P2-B-1

MEMS慣性センサのいまとこれから-本企画への期待を込めて土屋智由*
京都大学

講演番号

6P2-B-2

東京計器におけるMEMSセンサ開発の取組み
山口高功*
東京計器

講演番号

6P2-B-3

慣性センサを利用した機器の制御および運動情報計測の実例
佐川貢一*
弘前大学

講演番号

6P2-B-4

慣性センサと路面センサの融合によるロバスト屋内測位技術
小川純平*
東芝

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

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Future Technologies from KUMAMOTO 2023 –化学とマイクロナノシステム学会 企画講演セッション
11月6日（月） 14:50-17:30
６P3-A（A会場）
CHEMINAS企画セッション１「分子認識型生体高分子」

蛋白質連結による二重特異性抗体の構築
真壁 幸樹*
山形大学大学院
理工学研究科 教授

診断薬・治療薬としての二重特異性DNAアプタマー
吉本 敬太郎*東京大学大学院
総合文化研究科 准教授

DNAアプタマー選抜を科学する
齋藤 伸吾*
埼玉大学大学院
理工学研究科 教授

11月7日（火） 11:25-12:40
７A3-A（A会場）
CHEMINAS企画セッション２「ニューロモルフィックAI」

グラフェン／ダイヤモンド光メモリスタを用いたニューロモルフィックデバイス開発
植田 研二*
早稲田大学大学院
情報生産システム研究科 教授

人工神経細胞回路を用いた物理リザバーコンピューティング
山本 英明*
東北大学電気通信研究所 准教授

10

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 –応用物理学会 集積化 MEMS 技術研究会主催
Organized by The study Group of the Integrated MEMS, The Japan Society of Applied Physics

第3回 日本-台湾国際交流シンポジウム
The 3rd Japan-Taiwan Joint Symposium
10:00-12:40, November 7, 2023
Main Hall, 4F, Kumamoto-Jo Hall

集積化MEMSシンポジウムの企画セッションとして，
日本-台湾国際交流シンポジウムを開催します。今回は2016年平戸，2018年新竹・台北で開催されたシンポジウムの3回目となります。台湾からの4件を含む，6件の招待講演を企画しました。Future Technologies
from KUMAMOTOに参加登録された方は皆さまご参加頂けます。皆様のご参加をお待ちしております。
The Japan-Taiwan Joint Symposium will be held at Future Technologies from Kumamoto as a special session within the
Integrated MEMS Symposium. This symposium is the third symposium in the series, and will feature 6 invited talks including 4
speakers from Taiwan.
Those who registered for Future Technologies from KUMAMOTO 2023 are able to attend the session. We look forward to yourparticipation.

Program Schedule
Session 7A2

10:00-11:15

10:00-10:25	“Thin Film Piezoelectric Technology in Volume Foundry for MEMS Applications”
		Sean Cheng, TSMC,

10:25-10:50“Technological Trends and Sensing Technologies for Semiconductor Production Equipment”

		Hisato Tanaka, Tokyo Electron

10:50-11:15“Creating Semiconductor Devices for Each Customer with Minimal Fab to Shape the Future”

		Fumito Imura, Hundred Semiconductors

11:15-11:25

Break

Session 7A3

11:25-12:40

11:25-11:50“Desk-top Chemical Plants Using Microfluidic Technology”

		

Chihchen Chen, National Tsing Hua Univ.

11:50-12:15	“Triboelectric nanosensor: a prototype of self-powered sensor based on surface triboelectrification”
		Zong-Hong Lin, National Taiwan Univ.

12:15-12:40	“Low Power Intelligent Object Detection (LIOD): Empowering Sensing Intelligence in Edge Application”
		Masatoshi Yamai, PixArt Japan

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

11

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 –
センサシンポジウム 40 周年記念企画パネルディスカッション「10 年後のセンサ MEMS の将来像」
11月7日（火）16:55-17:55

７P4-M

今年第40回を迎える「センサ・マイクロマシンと応用システム」
シンポジウム。次世代を担う若手研究者が，現在進行中の研究と，その研究の10年後の将来像について議論します。モデレータには，電気学会センサ・マイクロマシン部門長の年吉洋氏（東京大学）を迎え，かつて描いた自らの将来像がその後自身の研究に影響を与えた経験を基に，現在の若手研究者たちが描く将来像や夢を引き出し
ます。

モデレータ
東京大学
生産技術研究所 教授
年吉 洋 氏（電気学会 センサ・マイクロマシン部門長）

パネリスト
神戸大学
大学院工学研究科 機械工学専攻
本間 浩章 氏

准教授

東北大学
大学院工学研究科 ロボティクス専攻
猪股 直生 氏産業技術総合研究所
センシングシステム研究センター
岡本 有貴 氏

准教授

研究員

東北大学 ロボティクス専攻
ロボットシステム講座（宇宙機械学分野）鶴岡 典子 氏東京医科歯科大学
生体材料工学研究所
医療工学研究部門 センサ医工学分野
飯谷 健太氏12

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

助教

助教

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 - Technical Tour テクニカルツアー：熊本大学，ソニーセミコンダクターマニュファクチャリング熊本，
東京エレクトロン九州，サントリー九州熊本など 3 コース
11月9日（木）08:30～16:50
Aグループ（満席）
桜町バスターミナル集合，熊本大学，七城メロンドーム，ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング熊本
テクノロジーセンター見学，空港・駅へ
09:30

桜町バスターミナル集合

10:00

熊本大学黒髪南地区

到着

11:20

熊本大学黒髪南地区

出発

12:00

昼食会場

道の駅

13:30

昼食会場

出発

14:00

見学先

到着

15:10

見学先

出発

15:30

JR原水駅

到着

15:35

JR原水駅

出発

15:55

阿蘇くまもと空港

16:50

JR熊本駅

説明・見学

七城メロンドーム到着＜ソニーセミコンダクターMfg熊本＞※JR熊本行きの参加者は解散（JR熊本駅まで約36分）
到着

到着（西口

新幹線口）

Bグループ（満席）
桜町バスターミナル集合，熊本大学，七城メロンドーム，東京エレクトロン九州見学，空港・駅へ
09:30

桜町バスターミナル集合

10:00

熊本大学黒髪南地区

到着

11:20

熊本大学黒髪南地区

出発

12:00

昼食会場

道の駅

13:30

昼食会場

出発

14:00

見学先

到着

15:10

見学先

出発

15:30

JR原水駅

到着

15:35

JR原水駅

出発

15:55

阿蘇くまもと空港

16:50

JR熊本駅

説明・見学

七城メロンドーム到着＜TEL＞※JR熊本行きの参加者は解散（JR熊本駅まで約36分）
到着

到着（西口

新幹線口）

Cグループ（満席）
桜町バスターミナル集合，サントリー九州熊本工場
08:30

桜町バスターミナル2番バス乗り場

集合

08:50

桜町バスターミナル発（サントリー

シャトルバスを貸し切っております）

10:00

サントリー九州熊本工場

11:40

サントリー九州熊本工場発（サントリー

12:25

桜町バスターミナル着後解散

ガイドツアー

約70分（製造工程見学 + 試飲）
シャトルバスを貸し切っております）＊サントリーから直接熊本空港にいらっしゃりたい場合は，
タクシー（25分）も利用可能ですが，サントリー
到着時に予約が必要です（タクシー代は個人負担となります）

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

13

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 熊本城散策
11月8日(水) 12:40～13:50（70分）
熊本城
加藤清正から細川忠利，宮本武蔵，谷干城など400年の歴史に名を刻んだ歴史ドラマの主人公たちが繰り広げる熊本城。日本3名城の一つに数えられます。
平成28年熊本地震により，熊本城は石垣の崩落や建築物の倒壊など甚大な被害を受けました。復旧工事が続くなか，令和元年に熊本城特別公開がスタートし，復旧工事期間中の今，被害状況や復旧工事の様子をご見学できます。

スケジュール
集合場所
熊本城南口ゲート（城彩苑から徒歩10分）※熊本城ホール→（徒歩15分）→城彩苑→（徒歩10分）
熊本城南口ゲート ※武将隊3人との待ち合わせ場所
見学ルート
南口ゲートから天守閣まで時間
1時間30分（武将隊に扮したガイドさんが詳細を説明明しながら天守閣の麓まで30分程度，天守閣内の見学は各自：1時間程度）

14

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 懇親会
11月7日（火）19:00-21:00 （開場18:40）
Future Technologies from KUMAMOTOでは11月7日（火）19時より，熊本ホテルキャッスルにて懇親会（立食式）を開催いたします。懇親会では，1900年（明治33年）の創業以来，一世紀以上，本格米焼酎づくりを続けていらっしゃる高橋酒造様のご協力にて，熊本のおいしいお酒もございます。

場

所：熊本ホテルキャッスル 2F〒860-8565

キャッスルホール

熊本県熊本市中央区城東町4-2

TEL 096-326-3311
アクセス
https://www.hotel-castle.co.jp/access/
大会会場の熊本城ホールから，懇親会会場までは徒歩10分ほどです。現地集合です。

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

15

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 Exhibitors
展示時間：11月６日（月）11:30-19:00
11月 7 日（火）09:10-15:15
11月 8 日（水）09:20-15:20
メインホールには，53機関による技術展示57ブースが設置されております。
開発された技術が社会実装されている過程を是非，ご覧下さい。

ブース番号

会社・機関名
（日本語）

A-07
A-06
A-03
B-01
A-26
A-10
A-05
B-23
B-03
B-11
B-07
B-10
B-20
A-22
B-21
B-13
B-19
A-12
A-09
A-18
A-17
B-18
B-15
A-23
B-16
A-20
B-22
A-14
A-15

B-17

株式会社アイカムス・ラボ
株式会社ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent
株式会社アドバンテスト
アメテック株式会社ザイゴ事業部
アルテック株式会社
ASTI株式会社
株式会社SIJテクノロジ
株式会社エス・イー・アール
SPPテクノロジーズ株式会社
MMIセミコンダクター株式会社
大阪公立大学 機能デバイス物性研究室
グローリー株式会社
シーエステック株式会社
株式会社シーズテック 京都バイオ研究所
ジオマテック株式会社
株式会社 新興精機
神港精機株式会社
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
住友精密工業株式会社
セイコーエプソン株式会社
ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社
太洋工業株式会社
株式会社タクミナ
田中貴金属工業株式会社
株式会社TCK
株式会社ティ・ディ・シー
株式会社テクニスコ
株式会社デンソー
東京応化工業株式会社
東京大学 マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点～革新的なエネ
ルギー変換を可能とするマテリアル～（東京大学・広島大学・日本原子力研究開発機構）
東洋精密工業株式会社

B-05

豊橋技術科学大学 次世代半導体・センサ科学研究所

A-28
B-24
A-11
B-12
A-02
A-08
B-09
A-04
B-06
A-24
A-27
B-02
B-25
B-08

豊橋技術科学大学 集積化バイオセンサ・MEMSグループ
日本カンタム・デザイン株式会社
日本ゼオン株式会社
ネオアーク株式会社
ハイソル株式会社
ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
株式会社ハイロックス
BMF Japan 株式会社
兵庫県立大学MEMSデバイス開発支援センター
フコク物産株式会社
ポリテックジャパン株式会社
マイクロ化学技研株式会社
一般財団法人マイクロマシンセンター
株式会社マクニカ アルティマ カンパニー

B-04

文部科学省

A-01
A-21
A-13
A-25
B-14
A-16

株式会社マトリクソーム
三井化学株式会社
株式会社 ミライズテクノロジーズ
メイワフォーシス株式会社
ロイヤルセンシング合同会社
ローム株式会社

A-19

16

マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM Japan）

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

会社・機関名（英語）
Icomes Lab Co., Ltd.
ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent
ADVANTEST CORPORATIONZYGO Business Unit, AMETEK KK
ALTECH CO., LTD.
ASTI CORPORATION
SIJTechnology, Inc.
S.E.R. Corporation
SPP Technologies Co., Ltd.
MMI SEMICONDUCTOR CO., LTD.
Osaka Metropolitan University/Physics of NovelDevice Group
GLORY LTD.
CSTEC CORPORATIONSEEDS TEC Co., Ltd.
GEOMATEC Co.,Ltd.
Shinkouseiki Co., Ltd.
SHINKO SEIKI CO.,LTD.
SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.
Sumitomo Precision Products co., ltd.
SEIKO EPSON CORPORATION
Sony Semiconductor Manufacturing Corporation
TAIYO INDUSTRIAL CO.,LTD.
TACMINA CORPORATIONTANAKA KIKINZOKU KOGYO K.K.
TCK inc.
TDC Corporation
TECNISCO, LTD.
DENSO CORPORATIONTOKYO OHKA KOGYO CO.,LTD.
Center of The University of Tokyo for TheAdvanced Research Infrastructure
for Materialsand Data Hub
TOYO PRECISION PARTS MFG. CO., LTD
Institute for Research on next-generation Semiconductor and Sensing
Science, Toyohashi University of Technology
Integrated Biosensor and MEMS Group,Toyohashi University of Technology
Quantum Design JapanZEON CORPORATIONNEOARK CORPORATIONHiSOL,Inc.
Heidelberg Instruments KK
HIROX Co., Ltd.
BMF Japan Inc.
University of Hyoto MEMS development support center
FUKOKU BUSSAN CO.,LTD.
Polytec Japan
Institute of Microchemical Technology Co., Ltd.
Micromachine Center
MACNICA, Inc., ALTIMA Company
Advanced Research Infrastructure for Materialsand Nanotechnology
in Japan（ARIM Japan）
MATRIXOME, Inc.
Mitsui Chemicals, Inc.
MIRISE Technologies Corporation
Meiwafosis Co Ltd
Loyal Sensing LLC
ROHM CO.,Ltd

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 Exhibitors’ Presentation
出展者プレゼンテーション：11月6日（月）12:10-12:45
11月7日（火）12:35-13:30
11月8日（水）12:00-12:55
出展者プレゼンテーションは連日，昼食休憩時に行われます。展示ブースへの参加と合わせて，是非ご参加ください。各日，先着100名様に軽食を会場で提供いたします。

6P1-M

11 月 6 日
12:20-12:55

出展者による技術展示発表セッション I 座長：内貴 崇（ローム）
マイクロ流体チップを用いた測定＆評価環境を構築したい方へ

B-23

株式会社エス・イー・アール

中川 隼平

ジオマテックの薄膜技術を用いたセンサ素子のご紹介

B-21

ジオマテック株式会社

宮武 正平

イオン伝導性エレクトレットを用いた振動発電デバイス

A-14

株式会社デンソー

井頭 卓也

MEMS の∞の可能性を拓く

A-09

住友精密工業株式会社

木内 万里夫

A-08

ハイデルベルグ・インストルメンツ
株式会社

渡辺 敦史

A-07

株式会社アイカムス・ラボ

高橋泰輔

A-19

東京大学 マテリアル先端リサーチ
インフラ・データハブ拠点

マスクレスアライナー

MLA300 のご紹介

マイクロ流体デバイス成形サービス

7P1-M

出展者による技術展示発表セッション II

座長：加納 一彦（デンソー）

DDS 医療機器及びマイクロデバイス開発事例紹介

A-10

ＡＳＴＩ株式会社小粥「省・小・精」から生み出す価値でA-18

セイコーエプソン株式会社

細野 聡

B-24

日本カンタム・デザイン株式会社

秋光 上歩

人と地球を豊かに彩る

3 次元ナノ形状の最先端解析装置

11 月 7 日
12:45-13:40

8P1-M

教幸

プリンテッドエレクトロニクス向け超撥液フォトレジスト

A-15

東京応化工業株式会社

清水 寿人

デンソーとトヨタ自動車の半導体技術を結集した研究開発の紹介

A-13

株式会社 ミライズテクノロジーズ

中澤 寛一

マイクロ流体チップと送液装置 / Off-the-shelf 製品とカスタマイズ生産

A-06

株式会社 ASICON/
microfluidic ChipShop/Fluigent

次田 友暁

マテリアル先端リサーチインフラ事業のご紹介

B-04

文部科学省 マテリアル
富井 和志
先端リサーチインフラ（ARIM Japan）

ライフサイエンスにおけるテープ・フィルムの可能性

B-20

シーエステック株式会社

八木 正敏

常識を打ち破る精密３DP 技術の紹介

A-04

BMF Japan 株式会社

田村 明男

SCREEN セミコンダクターソリューションズのご紹介

A-12

株式会社 SCREEN
セミコンダクターソリューションズ

岩本 花子

マスクレス魯甲装置 PALET

B-12

ネオアーク株式会社平野 伸佳

出展者による技術展示発表セッション III

座長：橋本 英生（住友精密工業）

細胞培養における iMatrix テクノロジーの貢献

A-01

株式会社マトリクソーム

津山 陽一

超精密加工について

A-20

株式会社ティ・ディ・シー

藤野 健一

SPP テクノロジーズのセンサ・MEMS 製造装置

B-03

SPP テクノロジーズ株式会社

江頭 希

B-15

株式会社タクミナ

B-16

株式会社 TCK

A-21

三井化学株式会社

吉田 光伸

B-18

太洋工業株式会社

趙 良鎬

B-01

アメテック株式会社ザイゴ事業部

ナノ・マイクロサイエンスにおける課題解決～分析＆前処理装置のご紹介～

A-25

メイワフォーシス株式会社

佐藤 良樹

革新的 HUUMINK 社ナノ・マイクロパターニング装置

A-26

アルテック株式会社

大石 善教

B-07

大阪公立大学
機能デバイス物性研究室

吉村 武

B-11

ＭＭＩセミコンダクター株式会社

B-13

株式会社 新興精機

A-05

株式会社ＳＩＪテクノロジ

有機圧電フィルムμ FLEX® について
11 月 8 日
11:50-13:00

電線からのエナジーハーベスティング

スーパーインクジェット技術のご紹介

田代 直樹

Future Technologies from KUMAMOTO 202317

電気学会【E】センサ・マイクロマシン部門大会
第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」
シンポジウム2023年11月6日（月）11:00-11:30

化学刺激によるイオンチャネル構造変化を解析する 1 分子
動態計測技術琴屋 健太郎｛1｝, 山内 一慶｛1｝, 清水 啓史｛2｝, * 平井 義和｛1｝｛1｝京都大学 ,｛2｝福井大学

13:10-14:40

座長：遠藤 達郎（大阪公立大学）

6P2-C-1
小型 LSPR バイオセンサシステムの性能向上に向けたフィル
タフリー波長センサのマルチ計測と LED 光源の最適化

6A3-M

基調講演 I* 坂江 亜弥 , 崔 容俊 , 井出 智也 , 髙橋 一浩 , 野田 俊彦 , 澤田 和明
豊橋技術科学大学

座長：澤田 和明（豊橋技術科学大学）

6A3-M-1

6P2-C-2

3D 積層型 CMOS イメージセンサを進化させるプロセス技術

岩元 勇人氏ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社部門長

12:20-12:55

6P1-M

座長：内貴 崇（ローム）
エス・イー・アール
ジオマテックデンソー
住友精密工業
ハイデルベルグ・インストルメンツ
アイカムス・ラボ
東京大学 マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点～革新的なエネ
ルギー変換を可能とするマテリアル～
（東京大学・広島大学・日本原子力研究開発機構）

6P2-M

ファイナリストセッション  若手賞 I& 優秀技術論文賞 I
座長：高尾 英邦（香川大学），中島 雄太（熊本大学）

6P2-M-1
圧電 MEMS 光スキャナのフィードバック制御に向けた静電振角センサの検討* 小田 優太朗｛1｝, 浅利 友隆｛1｝, 谷 雅直｛1｝, 年吉 洋｛2｝｛1｝スタンレー電気 ｛2｝東京大学,

6P2-M-2
バイポーラ電気化学的信号増幅を利用した金属置換型クー
ロメトリー* 小林 吉成 , 薛 安汝 , 清水 哲郎 , 鈴木 博章
筑波大学

6P2-M-3インスリン抵抗性評価のための局所糖負荷試験システム* 鶴岡 典子 , 芳賀 洋一
東北大学6P2-M-4
シリコンマイグレーションシール（SMS）ウェハレベルパッ
ケージング技術による MEMS 振動子の 1 Pascal 真空封止
* 鈴木 裕輝夫 , ゴン ティアンジャオ , Khan Muhammad Jehanzeb,
塚本 貴城 , 田中 秀治
東北大学

6P2-M-5
MEMS 熱伝導型ガスセンサを用いた混合ガスのリアルタイ
ム濃度センシング技術の提案と実証* 王 萍 , 久留井 慶彦 , 藤原 直也 , 秋元 陽介 , 平松 直樹 , 石橋 史隆 ,北川 良太 , 山﨑 宏明 , 小島 章弘
東芝

18

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

多重蛍光観測におけるフィルタフリー波長センサを用いた
複数波長の同時イメージングの実証* 井出 智也 , 崔 容俊 , 松原 稜弥 , 木村 安行 , 村上 健介 , 野田 佳子 ,赤井 大輔 , 飛沢 健 , 石井 仁 , 高橋 一浩 , 野田 俊彦 , 澤田 和明
豊橋技術科学大学

第 2/4 研究部門

出展者による技術展示発表セッション I

13:10-14:40

6P2-C

バイオセンサ I

6A2-M

開会式
11:30-12:10

6P2-M-6

6P2-C-3
PDMS スタンプを用いた酵素固定化による小型バイオセン
サの開発* 赤羽 優希 , 工藤 寛之
明治大学

6P2-C-4
表面電荷変調型グラフェン FET バイオセンサによるタンパ
ク質検出* 牛場 翔太｛1｝, 中野 友美｛1｝, 品川 歩｛1｝, 宮川 成人｛1｝,小野 尭生｛2｝, 金井 康｛2｝, 谷 晋輔｛1｝, 木村 雅彦｛1｝,松本 和彦｛2｝｛1｝村田製作所 ｛2｝大阪大学,

6P2-C-5
3D 応力イメージセンサの実現に向けた応力の解析手法の提案と検証* 大平 瑞季｛1｝, 村上 健介｛1｝, 小笠原 健｛2｝, 清水 聡｛2｝,堀尾 智子｛1｝, 土井 英生｛1｝, 崔 容俊｛1｝, 高橋 一浩｛1｝,野田 俊彦｛1｝, 澤田 和明｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝東邦化成,

6P2-C-6フレキシブル基板マイクロニードル電極デバイスによる長期ニューロン計測と組織損傷評価* 坂本 兼盛｛1｝, 山下 幸司｛1｝, 鈴木 巧｛2｝, 清水 快季｛1｝,沼野 利佳｛1｝, 鯉田 孝和｛1｝, 河野 剛士｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝テクノプロ,
R&D

13:10-14:25

6P2-D

フィジカルセンサ I

座長：野田 堅太郎（富山県立大学）

6P2-D-1
海鳥の雛の成長観察のための体重計及び心拍計付き人工巣
箱* 植松 大貴｛1｝, 岸本 卓大｛1｝, 原田 和輝｛2｝, 渡辺 伸一｛3｝,佐藤 克文｛2｝, 高橋 英俊｛1｝｛1｝慶應義塾大学 ｛2｝東京大学,｛3｝日本希少鳥類研究所,

6P2-D-2
コルゲート構造を用いた LIG 圧力センサ* 小田 怜 , 中島 利八郎 , 高橋 英俊
慶應義塾大学6P2-D-3薄型ひずみセンサを適用した小型インライン圧力センサの高信頼実装技術の開発* 池田 裕 , 金丸 昌敏 , 青野 宇紀
日立製作所

6P2-D-4

6P3-C-4

口元気流によるウェアラブルバイタルサインセンサの定量的校正に関する研究* 堀江 健太｛1｝, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン｛1｝, 長
谷川 義大｛1｝, 松島 充代子｛2｝, 川部 勤｛2｝, 式田 光宏｛1｝｛1｝広島市立大学 ｛2｝名古屋大学,* 李 睿宸｛1｝, 杉本 澪貴｛1｝, 田中 有弥｛2｝, 山根 大輔｛1｝｛1｝立命館大学，｛2｝群馬大学

6P3-C-5

6P2-D-5
農業培地計測を目指した高感度かつ高速計測可能な比熱検
出型水分量センサの開発* 二川 雅登 , 佐藤 晴紀 , 長根尾 修平 , 大多 哲史
静岡大学

14:50-16:05

MEMS 環境振動発電応用に向けた自己組織化エレクトレッ
トのマイクロパターン化技術と表面電位評価

16:15-17:30

6P3-M

ファイナリストセッション

iPS 細胞胚様体の局所分化誘導技術の開発* 阿部 祐馬｛1｝, 楠 直人｛1｝, 豊田 太郎｛2｝, 西田 光徳｛3｝, 佐藤 成弘｛3｝, 高尾 英邦｛1｝, 下川 房男｛1｝, 寺尾 京平｛1｝｛1｝香川大学 ｛2｝京都大学,｛3｝タツモ,

若手賞 II& 優秀技術論文賞 II

座長：齊藤 健（日本大学），竹下 俊弘（産業技術総合研究所）

ファイナリストセッション

若手賞 III

座長：平井 義和（京都大学），三澤 宣雄（麻布大学）

6P4-M-1

6P3-M-1

銀ナノワイヤ / グラフェンを積層した透明電極の作製とフレ
キシブル光発電デバイスへの応用

極薄圧電薄膜を用いた電気刺激誘発筋音センサによる筋収縮性の評価* 赤阪 美保 , 野口 雅彦 , 小林 大造
立命館大学* 竹井 裕介 , 竹下 俊弘 , ジメルカ ダニエル , 小林 健
産業技術総合研究所

6P4-M-2

6P3-M-2
同軸両面リング電極による開放型 AC ナノポアセンサの開発と in situ 微生物測定・分類への応用* 山本 貴富喜 , 白石 紗惠 , 坂本 まあみ , 堀 宏輔
東京工業大学

ピトー管構造を用いた肺内部でのその場圧力流量同時計測システムに関する研究* 宮脇 葵｛1｝, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン｛1｝,長谷川 義大｛1｝, 松島 充代子｛2｝, 川部 勤｛2｝, 式田 光宏｛1｝｛1｝広島市立大学 ｛2｝名古屋大学,

6P4-M-3

6P3-M-3ストロー型ナノポアによる単一ナノ粒子の広帯域インピー
ダンス測定

高分解能触覚センシングによる「潤い感」の定量判別化* 森田 悠斗 , 山田 原暉 , 寺尾 京平 , 下川 房男 , 高尾 英邦
香川大学

6P3-M-4
RES 構造と斜立した LIG カンチレバーを利用した三軸触覚
センサ* 中島 利八郎｛1｝, 中村 凪｛2｝, 佐野 友彦｛1｝, 岩瀬 英治｛2｝,高橋 英俊｛1｝｛1｝慶應義塾大学 ｛2｝早稲田大学,

6P3-M-5
複数の音響信号を用いた呼気成分計測手法の検討* 吉岡 凜香 , 山本 道貴 , 高松 誠一 , 伊藤 寿浩
東京大学

14:50-16:05

6P4-M

6P3-C

マイクロナノシステム 1* 堀 宏輔 , 坂本 まあみ , 山本 貴富喜
東京工業大学6P4-M-4
参照電極内蔵型 in vivo イメージセンサの製作と行動下マウスのてんかん発作誘発における脳内 pH イメージング* 中村 優斗｛1｝, 間所 麻衣｛1｝, 堀内 浩｛2｝, 小林 知子｛2｝,木村 安行｛1｝, 堀尾 智子｛1｝, 土井 英生｛1｝, 崔 容俊｛1｝,高橋 一浩｛1｝, 野田 俊彦｛1｝, 鍋倉 淳一｛2｝, 澤田 和明｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝生理学研究所,

6P4-M-5
転座型腎細胞がんの血管新生モデルにおける血管に対する周皮細胞の挙動* 北田 敦也｛1｝, Zhou Hang｛1｝, 藤本 和也｛1｝, 田中 美和｛2｝,馬場 理也｛3｝, 中村 卓郎｛4｝, 横川 隆司｛1｝｛1｝京都大学 ｛2｝がん研究会,｛3｝熊本大学,｛4｝東京医科大学,

座長：年吉 洋（東京大学）

16:15-17:30

6P3-C-1
薄 膜 PZT ア ク チ ュ エ ー タ と ピ エ ゾ 抵 抗 セ ン サ を 有 す る
MEMS 可変焦点液体レンズ* 唐 正男｛1｝, 宗田 玲於｛2｝, ベルガラ アンドレア｛1｝,岡谷 泰佑｛1｝, 鈴木 裕輝夫｛1｝, 田中 秀治｛1｝｛1｝東北大学 ,｛2｝École des Mines de Saint-Étienne（France）

6P4-B

センサ・アクチュエータシステム 1/エレクトロニクス実装学会セッション
座長：村上 直（九州工業大学）

6P4-B-1
機械学習を用いた浴室内音響イベント検出

6P3-C-2* 森 浩貴 , 玄田 貴之 , 佐藤 駿 , 大原 遼太郎 , M.SHARUL AMIR
KAMARULZAMAN, 安田 祐人 , 河合 晃聖 , 濱邉 理玖 , 和泉 慎太郎 ,
川口 博
神戸大学

単一ウイルスの検出に向けたひずみ印加グラフェン共振質
量センサの作製* 加藤 源基｛1｝, 新野 謙｛1｝, 斎藤 優人｛2｝, 藤枝 俊宣｛2｝,合田 達郎｛3｝, 崔 容俊｛1｝, 野田 俊彦｛1｝, 澤田 和明｛1｝,高橋 一浩｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝東京工業大学,｛3｝東洋大学,

6P3-C-3
伸縮性可変カラーシートに向けたエラストマーナノシート
へのプラズモニックメタサーフェス転写のプロセス検討

6P4-B-2
イベントドリブン型触覚センサを用いた触覚認識推論シス
テムの構築と評価* 室山 真徳｛1｝｛2｝, 田中 秀治｛2｝｛1｝東北工業大学 ｛2｝東北大学,* 大石 匠真｛1｝, 渡邉 守｛1｝, 齋藤 優人｛2｝, 藤枝 俊宣｛2｝,崔 容俊｛1｝, 野田 俊彦｛1｝, 澤田 和明｛1｝, 高橋 一浩｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝東京工業大学,

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

19

6P4-B-3

6P5-PS-4
画像認識と画像処理フィルタを利用した海岸ゴミ汚染度の自動評価手法に関する基礎的研究* 小松 真也 , 小菅 宏明 , 石田 寛
東京農工大学6P4-B-4
MR 素子を用いた極低温環境用パッシブ型無線ひずみセンサの開発* 趙 子琪 , 山本 道貴 , 高松 誠一 , 伊藤 寿浩
東京大学* 中村 祐嘉 , 赤松 亮太 , 池田 陽介 , 藤井 悠太 , 橋本 瑞希 , 朝倉 資景 ,
鳥山 寿之
立命館大学

6P5-PS-5
導電性薄膜作製に向けた DNA/ ポリアニリン複合体の調製
後藤 明 , 高橋 祐希 , 森田 勇人 , * 阪田 知巳 ,城西大学

6P5-PS-6

6P4-B-5活性化された Au 表面の保護と低温直接接合への応用* 竹内 魁｛1｝, 王 俊沙｛2｝, 金 範埈｛3｝, 須賀 唯知｛2｝,日暮 栄治｛1｝｛1｝東北大学 ｛2｝明星大学,｛3｝東京大学,

16:15-17:15

6P4-C

マイクロナノシステム 2
座長：肥後 昭男（東京大学）

ステンレス基板上に形成した BaTiO3 厚膜の圧電縦効果による振動発電特性* 川上 祥広電磁材料研究所

6P5-PS-7
Al2O3 エレクトレット膜被覆 Si ナノワイヤのピエゾ抵抗効果* 長野 貴哉 , 仲上 達也 , 上杉 晃生 , 菅野 公二 , 磯野 吉正
神戸大学

6P5-PS-8

6P4-C-1
PLL 制御による MEMS 振動発電素子の周波数自動追従* 本間 浩章 , 水野 裕登 , 年吉 洋
東京大学

引張変形の TEM 内観察用シリコンデバイスの設計* 鈴木 聡汰 , 野田 和俊 , 安藤 妙子
立命館大学

6P5-PS-9

6P4-C-2固有値解析による MEMS 構造での非線形周波数応答予測* 赤松 儀優 , 神田 健介 , 前中 一介
兵庫県立大学

胃酸発電で充電する「飲む体温計」のための Mg ペースト電極の開発* 小島 嘉将 , 宮口 裕 , 吉田 慎哉
芝浦工業大学6P5-PS-10

6P4-C-3
トライボセンサの接触弾性変形を利用した出力電圧波形制
御と イベントドリブン無線センサ端末への応用* 森下 浩多｛1｝, 山田 駿介｛2｝, 田中 有弥｛1｝, 宮口 裕｛3｝,
橋口 原｛4｝, 年吉 洋｛5｝, 鈴木 孝明｛1｝｛1｝群馬大学 ｛2｝東北大学,｛3｝芝浦工業大学,｛4｝静岡大学,,｛5｝東京大学

6P4-C-4超撥水性傘型ピラーアレイデバイスを応用した化学合成と反応過程の観察* 田中 大器｛1｝, 小林 雅史｛1｝, 秋津 貴城｛2｝, 関口 哲志｛1｝,古谷 正裕｛1｝, 谷井 孝至｛1｝, 庄子 習一｛1｝｛1｝早稲田大学 ｛2｝東京理科大学,

17:40-19:10

6P5-P

ポスターセッション I
6P5-PS-1
金ナノ粒子二量体ナノギャップ制御による表面増強ラマン
分光の感度増強常 沅芷 , * 中村 友河 , 上杉 晃生 , 菅野 公二 , 磯野 吉正
神戸大学

6P5-PS-2
ウエハレベルパッケージングを利用した薄型ひずみセンサの加工プロセス* 青野 宇紀 , 金丸 昌敏 , 池田 裕
日立製作所

6P5-PS-3
アニール処理による光導波路用 SiCO 薄膜の透明性の改善* 本白水 亮 , 新國 広幸 , 伊藤 浩
東京工業高等専門学校

20

衝撃波圧縮機構を応用したマイクロスケール遠心ウェーブロー
タの製作

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

容量可変ダイオードを用いた分割リング共振器間の電磁的相互作用の定量的評価とセンサー応用* 中村 颯汰 , 鈴木 薫 , 胡桃 聡 , 松田 健一
日本大学

6P5-PS-11
サブミクロンピッチ回折格子を持つプラズモニック光検出器による連続的な波長光源を用いた分光* 金田 裕喜｛1｝, 齊藤 伊吹｛1｝, 山岡 詩菜｛1｝, 斎藤 史郎｛2｝,大下 雅昭｛1｝, 菅 哲朗｛1｝｛1｝電気通信大学 ｛2｝イムラ・ジャパン,

6P5-PS-12
窒化シリコンによるメタサーフェスホログラムの透過率と回折効率の向上* 山口 眞和｛1｝, 齋藤 洋輝｛1｝, 池沢 聡｛2｝, 岩見 健太郎｛1｝｛1｝東京農工大学 ｛2｝,早稲田大学

6P5-PS-13
表面弾性波を駆動源としたマイクロディスポーザブル攪拌器* 高橋 正俊｛1｝, 才木 常正｛2｝, 三枝 峻也｛1｝, 内海裕一｛1｝,天野 壮｛1｝, 山口 明啓｛1｝｛1｝兵庫県立大学 ｛2｝兵庫県立工業技術センター,

6P5-PS-14
エラストマシート封止 MEMS 触覚センサの曲げ・ねじり応
答の封止深度依存性* 若林 陽彩｛1｝, 南部 泰生｛1｝, 安部 隆｛1｝, 野間 春生｛2｝,寒川 雅之｛1｝｛1｝新潟大学 ｛2｝立命館大学,

6P5-PS-15
取り出し可能なマイクロ流路内での含錯体タンパク質結晶化* 小林 雅史｛1｝, 清水 美佑｛2｝, 山中 康平｛1｝, 秋津 貴城｛2｝,関口 哲志｛1｝, 庄子 習一｛1｝, 古谷 正裕｛1｝, 谷井 孝至｛1｝, 藤田 理紗｛1｝, 田中 大器｛1｝｛1｝早稲田大学 ｛2｝東京理科大学,

6P5-PS-16
Pin 型 MEMS による神経細胞の機械特性計測* 岩下 颯真｛1｝, 金田 祥平｛2｝, Kudo Lili C｛3｝, Ma Zhongcai｛3｝,Karsten Stanislav L｛3｝, 久米村 百子｛1｝｛1｝九州工業大学 ｛2｝工学院大学,｛3｝NeuroInDx,

6P5-PS-17
小型デバイス応用を鑑みた PLD 法による Sm-Fe 系磁石膜の作製* 曽我部 泰地 , 山下 昂洋 , 柳井 武志 , 中野 正基 , 福永 博俊
長崎大学

6P5-PS-18
SEM 用引張試験デバイスに対応する外部引張試験機の開発* 寺西 裕務 , 安藤 妙子
立命館大学

6P5-PS-19
超撥水性傘型ピラーアレイデバイスを応用したサレン型亜鉛（II）錯体の合成と反応過程のリアルタイム観察* 村重 友哉｛1｝, 小林 雅史｛1｝, 秋津 貴城｛2｝, 関口 哲史｛1｝,古谷 正裕｛1｝, 庄子 習一｛1｝, 田中 大器｛1｝｛1｝早稲田大学 ｛2｝東京理科大学,

6P5-PS-20
音響放射力を用いた MEMS 光スキャナの特性評価* 佐々木 敬｛1｝, 高橋 優哉｛2｝, 羽根 一博｛2｝｛1｝Silicon Austria Labs,｛2｝東北大学

6P5-PS-21
MOSFET のチャネル抵抗を用いたピエゾ抵抗型 MEMS 圧力
センサ* 前澤 龍平 , 小松 聡
東京電機大学6P5-PS-22
マイクロ流体デバイスを用いた金ナノ粒子の加熱合成における流量の影響* 舒 聖 , 凡 志遠 , 浜本 真央 , 柳生 裕聖
関東学院大学6P5-PS-23
マイクロ波ドップラーセンサを用いた非接触生体認証* 高橋 宏太 , 和泉 慎太郎 , 川口 博
神戸大学

6P5-PS-24
発泡超弾性体と導電性繊維を用いた触覚提示スマートウェ
アの開発* 髙木 卓真 , 山本 道貴 , 高松 誠一 , 伊藤 寿浩
東京大学

6P5-PS-25
圧電方式の指紋センサに関する基礎検討* 堀口 凱生 , 幹 浩文
和歌山大学

6P5-PS-26
温度・ひずみセンサを集積化した動く電子回路* 石田 佳洋 , 大塚 陸 , 張 詩芸 , 林 健司 , 佐々 文洋
九州大学

6P5-PS-27
マイクロ流体デバイス内におけるベーマイトを用いた SERS
構造への 分子の吸着依存性* 三枝 峻也｛1｝, 納谷 昌之｛2｝, 福岡 隆夫｛1｝, 内海 裕一｛1｝,山口 明啓｛1｝｛1｝兵庫県立大学 ｛2｝慶應義塾大学,

6P5-PS-28
生体内を遠隔操作可能な近赤外応答ソフトアクチュエーター
の開発* 渡邉 智 , 有川 和希 , 江良 洋 , 國武 雅司
熊本大学

6P5-PS-29
IoT センサを用いた日常生活での活動状態の収集と解析* 津田 渉 , 原田 知親 , 横山 道央
山形大学

6P5-PS-30
MEMS 差圧センサとニューラルネットワークによる風向・
風速センサ* 松平 謙英 , 羽田 耕太郎 , 岸本 卓大 , 高橋 英俊
慶應義塾大学6P5-PS-31
3D プリンタで一括成形可能な三軸フォースプレート* 中原 行健 , 高橋 英俊
慶應義塾大学6P5-PS-32
ジルコニア構造体 Cr-N 薄膜圧力センサによる水素ガス中圧
力測定* 丹羽 英二｛1｝, 皆川 直祐｛2｝, 水尾 仙人｛2｝, 亀川 厚則｛3｝｛1｝電磁材料研究所 ｛2｝日本ファインセラミックス,,｛3｝室蘭工業大学

6P5-PS-33
エレクトレットセンサにおける絶縁層のパターニングがエ
レクレットの電荷保持特性に及ぼす影響* 尾花 拓朗 , 蔭山 健介
埼玉大学

6P5-PS-34
高性能小型圧電ジャイロスコープのための単結晶ニオブ酸
リチウム円筒振動子の開発* 森田 健司｛1｝, 土屋 智由｛1｝, 荒屋 和貴｛2｝, 今村 恒彦｛2｝,谷内 雅紀｛3｝｛1｝京都大学 ｛2｝多摩川精機,｛3｝多摩川モバイル電装,

6P5-PS-35
絶対圧力センサを用いた水中二次元流速センサ* 嶋田 恭大｛1｝, 岸本 卓大｛1｝, 田中 博人｛2｝, 高橋 英俊｛1｝｛1｝慶應義塾大学，｛2｝東京工業大学

6P5-PS-36
TiN マイクロヒータを用いた熱式 MEMS フローセンサ作製
プロセスの検討* 浦野 元里 , 伊藤 浩 , 新國 広幸
東京工業高等専門学校

6P5-PS-37
多層カーボンナノチューブのガス選択検知における欠陥導入効果* 安山 宝成 , 森 陽香 , 坂尾 実希 , 橋新 剛 , 松田 元秀
熊本大学

6P5-PS-38
圧電薄膜匂いセンサを用いた室内緑化空間の空気質ダイナ
ミクス計測* 町田 悟 , 岩井 幸一郎 , 早川 和美 , 勝野 高志
豊田中央研究所

6P5-PS-39
水晶発振回路式複素容量センサによる乳化状態のモニタリ
ングシステムの開発* 川口 大輔 , 奥脇 琢朗 , 寒川 雅之 , 安部 隆 ,新潟大学

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

21

6P5-PS-40
基板電圧制御機能付きソース接地回路を用いたストライプゲー
ト型 ISFET による高分解広範囲 pH 計測システムの開発* 横山 竣也 , 秋山 真太朗 , 内藤 喜靖 , 大多 哲史 , 二川 雅登
静岡大学

6P5-PS-41
Odor Reproduction Analysis with Robustness Against
Interference Using NMF with Several Fixed Basis Vectors*Shengyu Wang, Dani Prasetyawan, Takamichi Nakamoto
Tokyo Institute of Technology

6P5-PS-42
ガス拡散シミュレータを用いたガス源探索アルゴリズムの開発―乱流渦を考慮したガス拡散場のシミュレーション―* 坂上 源生｛1｝, 原津 拓巳｛1｝, 松倉 悠｛2｝, 石田 寛｛1｝｛1｝東京農工大学 ｛2｝電気通信大学,

6P5-PS-43
局所強電界により制御性を向上させたガス透過特性可変素子の製作と特性検証* 蓑輪 奈穂｛1｝, 水谷 学世｛1｝｛2｝, 鈴木 誉久｛2｝, 崔 容俊｛1｝,髙橋 一浩｛1｝, 澤田 和明｛1｝, 野田 俊彦｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝新東工業,

6P5-PS-44
Translation of binary odor descriptors to continuous odor
ratings*Aleixandre Manuel, 中本 高道
東京工業大学6P5-PS-45
ガス拡散シミュレータを用いたガス源探索アルゴリズムの開発―粒子フィルタを用いたガス源探索性能の向上―* 原津 拓巳｛1｝, 坂上 源生｛1｝, 松倉 悠｛2｝, 石田 寛｛1｝｛1｝東京農工大学 ｛2｝電気通信大学,

6P5-PS-46
液状食品の Lab 色空間と物性データを用いた分類評価の基
礎的検討* 三船 光貴｛1｝, 小島 伊織｛2｝, 合田 元清｛1｝, 石川 勇人｛3｝,伊藤 佳卓｛1｝, 一戸 善弘｛1｝, 木村 尚仁｛1｝, 渡部 智希｛1｝,横山 徹｛1｝, 北間 正祟｛1｝, 岩波 俊介｛3｝, 小島 洋一郎｛1｝｛1｝北海道科学大学 ｛2｝室蘭工業大学,｛3｝苫小牧工業高等専門学校,

6P5-PS-47
QCM 感応膜の膜厚による疎水性物質選択性及び感度向上* 八代 陸 , 安藤 毅 , 小林 佳弘
千葉工業大学6P5-PS-48
空間解像度向上のためのナノポーラスアルミナ薄板を搭載
した機能膜型 K+ イメージセンサ* 倉持 圭汰 , 土井 英生 , 堀尾 智子 , 崔 容俊 , 高橋 一浩 , 野田 俊彦 ,澤田 和明
豊橋技術科学大学

6P5-PS-49
液滴の周縁部と電極が直交しない場合を考慮した静電容量式コプレーナ型接触角推定センサ* 古田 翼 , 土谷 亮 , 井上 敏之 , 岸根 桂路 ,滋賀県立大学6P5-PS-50
分子インプリントを用いた光干渉型 MEMS センサによる低分子高分子マルチ計測* 黒須 千紘｛1｝, 阪上 天斗｛1｝, 太田 宏之｛2｝, 藤枝 俊宣｛3｝,崔 容俊｛1｝, 野田 俊彦｛1｝, 澤田 和明｛1｝, 高橋 一浩｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝防衛医科大学校,｛3｝東京工業大学,

6P5-PS-51
カンチレバーアレイセンサでの複数セル並列計測を 目的としたモバイル計測システムの開発* 宮岡 一輝 , Carl Frederik Werner, 野田 実
京都工芸繊維大学

6P5-PS-52
温度補正を適用した無線波長測定システム* 權 益賢 , 崔 容俊 , 井出 智也 , 髙橋 一浩 , 野田 俊彦 , 澤田 和明
豊橋技術科学大学

6P5-PS-53
ペプチド修飾 LAAS を用いたアルカナールの測定* 松田 和樹 , 長谷川 有貴 , 内田 秀和
埼玉大学

6P5-PS-54
Enzyme-based Chemiresistive Creatinine Biosensor*Kao Yi-Hsiu, Tuoi Truong Thi Kim, Sui Hongtao, 小野 崇人
Tohoku University

6P5-PS-55
不織布上でのマイクロ流路作製と溶液の電気伝導度測定への応用* 宇野 真由美｛1｝, 小森 真梨子｛1｝, 小林 孝一朗｛2｝, 坂本 憲児｛3｝｛1｝大阪産業技術研究所 ｛2｝大島商船高等専門学校,｛3｝九州工業大学,

6P5-PS-56
花粉細胞アレイの同時培地固定杉山 祥子 , Liu Qingyang, 韓 剛 , * 佐々木 実
豊田工業大学6P5-PS-57
カラーレジストへのレーザスキャンによる大量オプトポレー
ション法の開発* 山本 寛文 , Mishra Aniket, 馬込 壮真 , 岡本 俊哉 , 柴田 隆行 , 永井 萌土
豊橋技術科学大学

6P5-PS-58
胞巣状軟部肉腫（ASPS）のオンチップモデルにおける血管枝の血管内皮細胞種による評価及び比較* 萩庭 歩美｛1｝, Surachada Chuaychob｛1｝, 松本 倫実｛1｝,田中 美和｛2｝, 藤本 和也｛1｝, 中村 卓郎｛3｝, 横川 隆司｛1｝｛1｝京都大学 ｛2｝がん研究会,｛3｝東京医科大学,

6P5-PS-59
神経血管相互作用を利用した大脳オルガノイド構築のためのマイクロデバイス* 浅場 智貴 , 福田 淳二
横浜国立大学6P5-PS-60
hiPSC-derived kidney organoids source proximal tubule
cells capable of modeling ADPKD on a microphysiologicalsystem*MA CHENG, Banan Sadeghian Ramin, 藤本 和也 , 荒岡 利和 , 横川 隆司
京都大学

6P5-PS-61
パリレン C 薄膜 CMOS スマート電極搭載人工視覚デバイスの開発* 欧陽 鑫垣｛1｝, 潘 愷鴿｛1｝, 高野 拓郎｛1｝｛2｝, 寺澤 靖雄｛1｝｛2｝, 竹原 浩成｛1｝, 春田 牧人｛1｝｛3｝, 田代 洋行｛1｝｛3｝,
笹川 清隆｛1｝, 太田 淳｛1｝｛1｝奈良先端科学技術大学院大学 ｛2｝ニデック,,｛3｝公立千歳科学技術大学 ｛4｝九州大学,

6P5-PS-62
弾性表面波デバイス基板両面への温度・流量測定のための素子構造の追加作製* 蜷川 渉 , 永野 朝日 , 村上 直 , 伊藤 高廣
九州工業大学

22

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

7A2-D-1
19:10-21:00

6P6-E

FT 合同若手企画「マイクロ・ナノ工学シンポジウム，化学とマイクロ・ナノシス
テム学会主催研究会，センサ・マイクロマシンと応用システム」
シンポジウムの 3 学会合同での若手企画です。キャリアパスについて大学教員，国研研究員，大学院博士課程の 6 名の講師にポスター発表していただきます。小規模懇親会（軽食，飲み物を準備）を並行して開催します。
講演者
岩﨑 渉 産業技術総合研究所
佐藤 峻 早稲田大学
田中 大器 早稲田大学
長峯 邦明 山形大学
南茂 彩華 横浜国立大学
平本 薫 東北大学

2023年11月7日（火）9:10-9:50

7A1-M

基調講演 II

座長：土屋 智由（京都大学）

7A1-M-1
集積回路：使ってナンボ，使われてナンボ
益 一哉氏
東京工業大学

10:00-11:15

学長

7A2-C

シリコンウェハーの酸化手法による光伝導度特性* 森 陽香 , 田中 希望 , 中山 駿 , 小林 一博 , 橋新 剛 , 松田 元秀
熊本大学

7A2-D-2フレキシブル超薄膜水素センサの開発* 王 裕基 , 若林 翔貴 , 王 璡 , 紀和 利彦
岡山大学

7A2-D-3VO2 切り紙薄膜を用いた大変位・多自由度熱駆動 MEMS ア
クチュエータの開発* 橋本 将明 , 筒井 友哉 , 田口 良広
慶應義塾大学7A2-D-4
硬軟複合剛性ストレッチャブルデバイスと機械学習による
手の動作認識* 伊佐野 雄司｛1｝, 鷹屋 舞香｛1｝, 松田 涼佑｛1｝, 黒瀧 悠太｛1｝,三宅 悠介｛2｝, 栗林 健太郎｛2｝, 太田 裕貴｛1｝｛1｝横浜国立大学 ｛2｝GMO,
ペパボ ペパボ研究所

7A2-D-5
ベクトルビーム変換子を用いた小型高分解能エンコーダ* 濱 信治｛1｝, 小野 浩司｛2｝, 坂本 盛嗣｛2｝, 大石 潔｛2｝,野田 浩平｛2｝, 鈴木 雅人｛2｝｛1｝多摩川精機 ｛2｝長岡技術科学大学,

11:25-12:55

7A3-B

設計・製作技術，材料 1

ファイナリストセッション 若手賞 IV ＆優秀技術論文賞 III

7A2-C-1

7A3-B-1

座長：小林 大造（立命館大学）

バイモーダル「センサチップレット」プラットフォームによるアルブミン・pH マルチ計測* 島村 龍伍｛1｝, 安永 竣｛1｝, 三角 啓｛1｝, Eiler Anne-Claire｛1｝, 肥後 昭男｛1｝, Hwang Gilgueng｛1｝｛3｝, 水島 彩子｛1｝,Zhu Dongchen｛1｝, 小森 喜久夫｛2｝, 酒井 康行｛1｝, 年吉 洋｛1｝,ティクシエ三田 アニエス｛1｝, 三田 吉郎｛1｝｛1｝東京大学 ｛2｝近畿大学,｛3｝パリサクレ―大学,

7A2-C-2
電気・薬理・光学的ニューロン計測に向けたパリレン製マ
イクロチューブデバイスの作製と評価* 冨田 健太 , 渕上 晃広 , Nerchan Rexy Alvian, 清水 快季 , 山下 幸司 ,沼野 利佳 , 鯉田 孝和 , 河野 剛士 ,豊橋技術科学大学

7A2-C-3
側面ドーピングによる MEMS 共振子の温度補償法の開発* 五味 凌介 , 山田 駿介 , 田中 秀治
東北大学

7A2-C-4
PZT/ ポリマーSi アクチュエータによるポリマー材料の機械的品質係数（Qm）の評価* 王 旭晨｛1｝, 鈴木 裕輝夫｛1｝, 李 仲民｛2｝, 田中 秀治｛1｝｛1｝東北大学 ｛2｝AAC,
Technologies

7A2-C-5
PZT 薄膜アクチュエータとシリコンーパリレン振動板を一体化させた圧電 MEMS スピーカの開発* 上路 輝希 , 鈴木 裕輝夫 , 田中 秀治
東北大学

10:00-11:15

7A2-D

センサ・アクチュエータシステム 2
座長：佐々木 敬（Silicon Austria Labs）

座長：二川 雅登（静岡大学），野村 健一（産業技術総合研究所）

高圧電定数を示す Sm 添加 PMN-PT 単結晶薄膜の スパッタ
堆積と組成依存性の調査* 福士 海伊｛1｝, 吉田 慎哉｛2｝, Qi Xuanmeng｛1｝, 田中 秀治｛1｝｛1｝東北大学 ｛2｝芝浦工業大学,

7A3-B-2
磁気トルクを利用した高感度磁気センサ* 趙 智健 , 戸田 雅也 , 小野 崇人
東北大学

7A3-B-3高時間分解 AC ナノポア測定と機械学習による網羅的な細菌の同定* 坂本 まあみ｛1｝, 堀 宏輔｛1｝, 山本 貴富喜｛1｝, 吉田 拓音｛2｝,
中島 玄詞｛2｝｛1｝東京工業大学 ｛2｝ダスキン,

7A3-B-4
iPS 細胞の分化誘導環境を探索する微小溶液環境区画化デバイスの開発* 深井 大暉｛1｝, 豊田 太郎｛2｝, 高尾 英邦｛1｝, 下川 房男｛1｝,
寺尾 京平｛1｝｛1｝香川大学 ｛2｝京都大学,

7A3-B-5
CPT 共鳴を用いて安定化された圧電薄膜共振器発振器のミ
リ波通信用局部発振器への適用可能性* 原 基揚｛1｝, 矢野 雄一郎｛1｝, 西澤 年雄｛2｝, 上田 政則｛3｝,伊藤 浩之｛3｝, 井戸 哲也｛1｝｛1｝情報通信研究機構 ｛2｝太陽誘電モバイルテクノロジー,
,
｛3｝東
京工業大学

7A3-B-6
シリコンピエゾ抵抗型素子を用いた光音響センサの設計* 野田 堅太郎 , 塚越 拓哉 , 下山 勲
富山県立大学

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

23

11:25-12:40

7A3-C

設計・製作技術，材料 2

座長：菅 哲朗（電気通信大学）

7A3-C-1
液体金属を用いた集電体レス・プリンテッドバッテリの開発* 小澤 裕大 , 西躰 優希 , Ochirkhuyag Nyamjargal,
上野 和英 , 太田 裕貴
横浜国立大学

7A3-C-2金属アシスト化学エッチングを用いた単結晶シリコン垂直エッ
チング* 四谷 真一 , 藤井 正寛 , 北原 浩司 , 鎌倉 知之
セイコーエプソン

12:45-13:40

7P1-M

出展者による技術展示発表セッション II

座長：加納 一彦（デンソー）
ASTI
セイコーエプソン
日本カンタム・デザイン
東京応化工業
ミライズテクノロジーズ
ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent
文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM Japan）
シーエステック
BMF Japan
SCREENセミコンダクターソリューションズ
ネオアーク

13:45-15:15

7P2-P

ポスターセッション II

7A3-C-3
XY ステージ補正機構を備えた 2 軸 MEMS スキャナ

* 岡本 有貴 , 岡田 浩尚 , 一木 正聡
産業技術総合研究所

貫通型横孔マイクロニードルの作製及び注入性評価

7A3-C-4
三角形平板状金ナノプレートを用いた hCG 抗原検査テスト
ストリップの作成* 木村 朝陽 , 浜本 真央 , 柳生 裕聖
関東学院大学

7A3-C-5
シリコンマイグレーションシール（SMS）向け枚葉水素ラ
ンプアニール炉の開発 : ベースプレッシャーと残留ガス* 根本 展聡 , 鈴木 裕輝夫 , 田中 秀治
東北大学

11:25-12:40

7A3-D

フィジカルセンサ 2 ／マイクロナノシステム
座長：竹井 裕介（産業技術総合研究所）

7A3-D-1
1 次元キャラクタープロジェクション法を用いた大規模メタサーフェスのためのナノギャップ金ナノロッドの作製* 肥後 昭男 , 島本 直伸 , 落合 幸徳 , 三田 吉郎
東京大学

7A3-D-2
MEMS イジングマシンの実現に向けた双安定演算素子配列* 安永 竣 , 江澤 雅彦 , 辻 啓吾 , 三角 啓 , 澤村 智紀 , 坪井 伸二 ,水島 彩子 , 落合 幸徳 , 肥後 昭男 , 三田 吉郎
東京大学

7A3-D-3
ウミガメの対水速度計測のためのピトー管型流速センサロガー* 岸本 卓大｛1｝, 齋藤 遼輔｛2｝, 田中 博人｛2｝, 成岡 優｛3｝,黒田 健｛4｝, 佐藤 克文｛4｝, 高橋 英俊｛1｝｛1｝慶應義塾大学 ｛2｝東京工業大学,｛3｝宇宙航空研究開発機構,,｛4｝東京大学

7A3-D-4
藻類培養槽における光合成に起因する AE の検出と培養条件が AE 発生挙動に及ぼす影響* 福田 航大 , 蔭山 健介
埼玉大学

7A3-D-5
たわみを有する両端固定梁の光応答共振周波数変化の計算* 松塚 直樹｛1｝, 安木 大恭｛1｝, 近藤 直輝｛2｝, 上杉 晃生｛2｝,菅野 公二｛2｝, 磯野 吉正｛2｝｛1｝明石工業高等専門学校 ｛2｝神戸大学,

24

7P2-PS-1

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

* 小粥 教幸｛1｝, 戸田 泰広｛1｝, 畑澤 孝祐｛2｝｛1｝ASTI,｛2｝近畿精工

7P2-PS-2
フレキシブル CMOS イメージセンサの実現に向けた FDSOI
湾曲回路の試作と評価* 後藤 正英 , 為村 成亨 , 佐藤 弘人
NHK 放送技術研究所

7P2-PS-3
支持基板上 AT カット水晶振動子の励振電極形状の最適化* 新田 智也 , 諸橋 奎人 , 安田 倉土 , 寒川 雅之 , 安部 隆
新潟大学

7P2-PS-4
ダウンサイジングによるスケール効果を考慮したマイクロスケール超音速圧縮機空力性能予測モデル* 糸井 正隆 , 舟田 晋 , 石黒 聡 , 原田 拓実 , 鳥山 寿之
立命館大学

7P2-PS-5
微小液滴アレイの空間融合分離を利用した試薬自動濃度制御* 坊野 慎治 , 小西 聡
立命館大学

7P2-PS-6
アモルファスタングステンのめっき堆積と評価* 菊地 一輝 , 小野 崇人 , 坂本 桂
東北大学

7P2-PS-7
UV レーザを用いた表面加工によるソフトアクチュエータ（IPMC）の性能向上* 古澤 典大｛1｝, 早田 圭之介｛1｝, 松久 直司｛2｝, 石上 玄也｛1｝,小川 純｛3｝, 浅井 誠｛1｝, 高橋 英俊｛1｝｛1｝慶應義塾大学 ｛2｝東京大学,, ｛3｝山形大学

7P2-PS-8
ハーモニカリード型 MEMS 発電素子の反りが自励振動に及ぼす影響* 吉田 智郎 , 志水 駿文 , 神田 健介 , 前中 一介
兵庫県立大学7P2-PS-9
加算合成した正弦波による負の誘電泳動を利用した粒子捕集用電極の開発* 山岡 英彦｛1｝, 永田 晃基｛1｝, 舟橋 昌哉｛2｝, 八木 一平｛2｝,内田 諭｛2｝｛1｝東京都立産業技術研究センター,｛2｝東京都立大学

7P2-PS-10
ランダム振動から高速充電可能なエレクトレット MEMS 型
エナジーハーベスタ* 本間 浩章 , 遠山 幸也 , 年吉 洋
東京大学

7P2-PS-11
ナノ粒子生成システムにおける液滴の温度制御条件の検討* 岡本 幸樹｛1｝, 神田 岳文｛1｝, 河本 尚樹｛1｝, 藤本 望夢｛1｝,脇元 修一｛1｝, 山口 大介｛1｝, 阪田 祐作｛1｝, 妹尾 典久｛1｝,中崎 義晃｛2｝, 音山 貴文｛2｝｛1｝岡山大学 ｛2｝ナノ・キューブ・ジャパン,

7P2-PS-12
せん断振動型 SMA 厚膜アレイ触覚ディスプレイの触覚提示
評価とばね機構の一括形成* 清水 広人 , 佐藤 勇人 , 峯田 貴
山形大学

7P2-PS-13
サファイア隔膜真空計開発における温度特性課題への対応* 新村 悠祐 , 添田 将 , 関根 正志 , 松儀 泰明 , 栃木 偉伸 , 大嶽 遼平 ,山内 凱偉 , 石原 卓也 ,アズビル

7P2-PS-14
MEMS 応用を鑑みた Al-O 下地層付き Si 基板上ネオジム厚膜磁石の開発* 山口 明華 , 加来 響 , 山下 昂洋 , 柳井 武志 , 中野 正基 , 福永 博俊
長崎大学

7P2-PS-15
電気二重層エレクトレットを用いた非接触式の面外振動発電素子* 野田 圭吾｛1｝, 岩川 竜太｛1｝, 三輪 一元｛2｝, 小野 新平｛2｝,山根 大輔｛1｝｛1｝立命館大学 ｛2｝電力中央研究所,

7P2-PS-16
多孔質酸化亜鉛を用いた水の蒸発発電
日當 歩 , 小野 崇人 , * 戸田 雅也
東北大学7P2-PS-17
生物模倣で形成した撥液テクスチャと液滴の撥液性との関
連性の解明* 大島 悠季 , 後藤 蓮 , 山口 昌樹
信州大学

7P2-PS-18
同相・逆相分離器を用いたモード局在・周波数変調センシ
ング* 塚本 貴城 , 田中 秀治
東北大学7P2-PS-19
斜立した LIG カンチレバーを利用した風速センサ* 小原 慧 , 中島 利八郎 , 高橋 英俊
慶應義塾大学7P2-PS-20
圧電 PVDF のウェットエッチングに関する研究* 吉田 理子 , 幹 浩文
和歌山大学

7P2-PS-21
周辺環境の変化にロバストな深部体温計測法の検討* 橋本 優生 , 西田 佳史
東京工業大学7P2-PS-22
空間超音波と VAE を用いた浴室内 3 次元人物位置推定* 佐藤 駿 , 安田 祐人 , 大原 遼太郎 , 濱邉 理玖 , 玄田 貴之 , 今中 翔哉 ,和泉 慎太郎 , 川口 博
神戸大学

7P2-PS-23
MEMS 触覚センサを用いた感性価値推定システムに関する研究* 藤野 真尚｛1｝, 小椋 清孝｛1｝, 横川 智教｛1｝, 有本 和民｛1｝,高尾 英邦｛2｝｛1｝岡山県立大学 ｛2｝香川大学,

7P2-PS-24
光学デバイスとニューラル比較器による高速な傾斜センサ
システム* 下尾 浩正｛1｝, 南部 幸久｛2｝, 寺村 正広｛1｝｛1｝佐世保工業高等専門学校，｛2｝有明工業高等専門学校

7P2-PS-25
超音波ニューロモジュレーション用発振回路の製作* 鈴木 尚也｛1｝, 澤畑 博人｛2｝, 赤井 大輔｛1｝, 山下 幸司｛1｝,沼野 利佳｛1｝, 鯉田 孝和｛1｝, 竹内 雄一｛3｝, 河野 剛士｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝茨城工業高等専門学校,｛3｝北海道大学,

7P2-PS-26
環境発電型無線流体雑音センサによる配管稼働状態モニタ
リングシステム* 藤森 司
日立製作所

7P2-PS-27
発光補助ドーパントを用いた赤色燐光電気化学発光素子の検討* 小林 愛佳 , 笠原 崇史
法政大学

7P2-PS-28
小型睡眠計測機器実現に向けた心音波形からの PPI 計測手法とその実装・評価* 佐藤 大介 , 原田 知親 , 横山 道央
山形大学

7P2-PS-29
圧電素子と電磁石を用いたインチワームの移動速度に関する実験的検討* 高島 颯太 , 鳥井 昭宏 , 元谷 卓 , 道木 加絵
愛知工業大学7P2-PS-30
バッファガス入り Cs 原子マイクロセルアレイを用いた量子センシング* 石井 佑｛1｝, 田中 聡｛1｝, 西野 仁｛2｝, 小野 崇人｛3｝,松尾 由賀利｛1｝, 東條 賢｛4｝, 酒見 泰寛｛5｝, 梶田 雅稔｛5｝,鳥井 寿夫｛5｝, 青木 貴稔｛5｝｛1｝法政大学 ｛2｝多摩川ホールディングス,｛3｝東北大学,,｛4｝中央大学 ｛5｝東京大学,

7P2-PS-31
極薄ハプティック MEMS デバイスを用いたバイオフィード
バックリングの開発* 竹下 俊弘 , Zymelka Daniel, 古澤 亜樹 , 小林 健 , 竹井 裕介
産業技術総合研究所

7P2-PS-32
エレクトレットセンサを用いた植物茎部での AE 測定における耐圧性の向上* 喜多村 祐希 , 蔭山 健介
埼玉大学

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

25

7P2-PS-33
歯石除去中の呼吸管理を可能とする流量センサ付き気管挿管チューブ* 永山 蓮｛1｝, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン｛1｝, 長谷
川 義大｛1｝, 松島 充代子｛2｝, 川部 勤｛2｝, 式田 光宏｛1｝｛1｝広島市立大学 ｛2｝名古屋大学,

7P2-PS-34
土中 2 次元水分量分布計測システムの開発に向けた水分量
不均質土壌計測の精度確認* 佐々木 貴史 , 山田 巧真 , 加藤 寛基 , 大多 哲史 , 二川 雅登
静岡大学

7P2-PS-35
マイクロメッシュ膜を用いた海鳥のバイオロギングの為の防水風速センサ* 平山 拓人 , 岸本 卓人 , 高橋 英俊
慶應義塾大学7P2-PS-36
金属電極の自然電位を利用した pH センサの安定性
小泉 結莉芳 , * 岡崎 慎司
横浜国立大学7P2-PS-37
深紫外プラズモン共鳴を用いた光学式ガスセンサ* 松田 涼｛1｝, 関口 真由｛1｝, 小川 裕治｛2｝, 松下 兼一郎｛2｝,池沢 聡｛3｝, 岩見 健太郎｛1｝｛1｝東京農工大学 ｛2｝明電舎,｛3｝早稲田大学,

7P2-PS-38
静電気放電に対する耐性向上を目指したストライプゲート
型 ISFET センサシステムの開発* 内藤 嘉晴 , 秋山 真太朗 , 横山 竣也 , 大多 哲史 , 二川 雅登
静岡大学

7P2-PS-39
誘電泳動インピーダンス計測に基づいたマイクロプラスチッ
ク数量測定デバイスの検討* 舟橋 昌哉｛1｝, 八木 一平｛1｝, 内田 諭｛1｝, 山岡 英彦｛2｝,永田 晃基｛2｝｛1｝東京都立大学 ｛2｝東京都立産業技術研究センター,

7P2-PS-40
温度変調を用いた小型低消費電力なにおいセンサシステムの試作とにおい識別* 大倉 裕貴 , 佐伯 真彬 , 吉河 武文 , 岩田 達哉 ,富山県立大学7P2-PS-41
キイロショウジョウバエ Or98a 発現センサ細胞のカビ由来
成分に対する応答性評価* 祐川 侑司 , 二木 佐和子 , 黒田 枝里 , 神﨑 亮平 , 光野 秀文
東京大学7P2-PS-42
メルトブロー不織布 SERS 基板の応答特性評価* 山本 純也 , 西山 貴史 , 冨澤 錬 , 田原 祐助
信州大学

7P2-PS-43
液液抽出による食用油中のカプサイシンの抽出および味覚
センサによる高感度辛味測定* 豊満 賢一朗 , 木村 俊輔 , 小野寺 武
九州大学7P2-PS-44
金コロイド溶液濃度調整による表面増強ラマン分光の感度向上* 中村 友河 , 上杉 晃生 , 菅野 公二 , 磯野 吉正
神戸大学

26

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

7P2-PS-45
フィルタフリー波長センサによる非破壊方式の農業用クロロフィル計測の検討* 壬生 龍真 , 崔 容俊 , 井出 智也 , 戸田 清太郎 , 髙橋 一浩 , 髙山 弘太郎 ,野田 俊彦 , 澤田 和明
豊橋技術科学大学

7P2-PS-46
カーボンナノチューブと吸着重金属イオンを用いた容量型
参照電極* 楊 昊 , 鈴木 博章
筑波大学

7P2-PS-47
フィルタフリー波長センサによる重心波長の計測法の提案と実証* 松原 稜弥 , 崔 容俊 , 井出 智也 , 髙橋 一浩 , 野田 俊彦 , 澤田 和明
豊橋技術科学大学

7P2-PS-48
DNA 結合微粒子の誘電泳動特性変化に基づく DNA 分解酵
素検出法の検討* 旭 航希 , 稲葉 優文 , 中野 道彦 , 末廣 純也
九州大学

7P2-PS-49
エクソソームの誘電泳動特性に与える影響の評価* 高山 理衣 , 中林 龍 , 稲葉 優文 , 中野 道彦 , 末廣 純也
九州大学

7P2-PS-50
電極間インピーダンスの周波数特徴を用いたウェアラブル
発汗量センサの検討* 髙松 稜 , 和泉 慎太郎 , 川口 博
神戸大学

7P2-PS-51
家畜のウイルス感染症防疫に向けた実用的気中ウイルス検出法の開発* 安浦 雅人｛1｝, 福田 隆史｛1｝, 赤上 正貴｛2｝, 都筑 智子｛3｝,川上 純子｛2｝, 藤井 勇紀｛4｝, 芦葉 裕樹｛1｝, 堀口 諭吉｛1｝,陳 政霖｛1｝, 泉對 博｛1｝｛1｝産業技術総合研究所 ｛2｝茨城県県西家畜保健衛生所,,｛3｝茨城県鹿行家畜保健衛生所 ｛4｝茨城県農林水産部畜産課,

7P2-PS-52
microRNA を定量検出する薄膜型 pH センサの開発* 鈴木 和哉｛1｝, 田畑 美幸｛2｝, 宮原 裕二｛3｝, 荒川 貴博｛1｝｛1｝東京工科大学 ｛2｝東京農工大学,｛3｝東京医科歯科大学,

7P2-PS-53
創傷部位の尿酸モニタリングを目指したウェアラブルバイ
オセンサの開発* 佐藤 瑞基｛1｝, 上山 達也｛1｝, 飯谷 健太｛2｝, 矢野 和義｛1｝,三林 浩二｛2｝, 荒川 貴博｛1｝｛1｝東京工科大学 ｛2｝東京医科歯科大学,

7P2-PS-54
生体埋植イメージセンサ空間分解能向上にむけた非対称な
角度選択画素構造の検討* 鎧 圭吾 , 春田 牧人 , 竹原 浩成 , 田代 洋行 , 笹川 清隆 , 太田 淳
奈良先端科学技術大学院大学

7P2-PS-55
hiPSC 由来ポドサイトと不死化ポドサイトのタンパク質発
現およびろ過機能評価* 田渕 史｛1｝, Koh Darryl｛1｝, 籔内 研佑｛2｝, 佐原 義基｛2｝,髙里 実｛2｝, 藤本 和也｛1｝, 横川 隆司｛1｝｛1｝京都大学 ,｛2｝理化学研究所

7P2-PS-56
低侵襲手術支援ロボット鉗子用ワイヤ内蔵力覚センサ* 小牟田 波丸 , 佐藤 和崇 , 森實 修一 , 植木 賢 , 武中 篤 , 李 相錫 ,
松永 忠雄
鳥取大学

7P2-PS-57
線維芽細胞の共培養と培地最適化による肝スフェロイドの血管化* 松本 倫実｛1｝, 王 文龍｛1｝, 萩庭 歩美｛1｝, Anna K Kopec｛2｝,Julie Harney｛2｝, Lindsay Tomlinson｛2｝, Nasir Khan｛2｝,藤本 和也｛1｝, 横川 隆司｛1｝｛1｝京都大学 ｛2｝Pfizer,

7P2-PS-58
細胞画像の深層学習による非染色生死判別予測法の開発

16:55-17:55

モデレータ：年吉 洋 東京大学，電気学会 センサ・マイクロマシン部門
パネリスト：本間 浩章 神戸大学
猪股 直生 東北大学
岡本 有貴 産業技術総合研究所
鶴岡 典子 東北大学
飯谷 健太 東京医科歯科大学

19:00-21:00

Future Technologies from KUMAMOTO 合同懇親会
場所：熊本ホテルキャッスル* 伊藤 壮麻 , 鈴木 涼真 , 岡本 俊哉 , 柴田 隆行 , 永井 萌土
豊橋技術科学大学

7P2-PS-59* 樋口 真輝 , 中原 佐 , 南 和幸
山口大学

キャッスルホール

9:20-10:00

8A1-M

基調講演 V

座長：燈明 泰成（東北大学）

7P2-PS-60
視触覚双腕光ピンセットを用いた非球状物の協調マイクロ操作* 田中 芳夫 , 藤本 憲市 , 福岡 隆彦
香川大学

7P2-PS-61
シクロオレフィンポリマー流体デバイスにおける微細構造構築による表面濡れ性の制御* 更谷 里菜｛1｝, 中本 竣｛1｝, 堀井 和由｛1｝, 小粥 教幸｛2｝,岩堀 公昭｛2｝, 山口 昌樹｛3｝｛1｝シスメックス ｛2｝,
ASTI,｛3｝信州大学

7P2-PS-62

8A1-M-1
ダイヤモンド半導体の最近の進展：パワー半導体と大口径ウェ
ハの開発
嘉数 誠氏
佐賀大学 理工学部

10:10-11:55

教授

8A2-B

ケミカルセンサ

座長：林 健司（九州大学），飯谷 健太（東京医科歯科大学）

8A2-B-1Fabrication of Ionic Liquid-gated Graphene Field-effectTransistor（FET）for Gas Sensing in Smart Agriculture* 魯 健｛1｝, 白石 直規｛2｝, 今泉 陵｛3｝, 張 嵐｛1｝, 木村 睦｛3｝｛1｝産業技術総合研究所 ｛2｝農業・食品産業技術総合研究機構
,
｛3｝
,
信州大学

誘電的に等価な皮膚ファントムの開発と含有成分の非侵襲的解析方法の検討* 深田 健太 , 中村 昌人 , 田島 卓郎 , 林 勝義 ,NTT 先端集積デバイス研究所

8A2-B-2

7P2-PS-63
鉄系隔壁内に実装されたセンサへの無線給電・通信技術* 山本 泰之 , 岡本 有貴 , 一木 正聡 , 小林 健
産業技術総合研究所

7P3-M

座長：橋新 剛（熊本大学）「熊本城」～熊本地震からの復興
災害復旧相談役

7P3-M

基調講演 IV

8A2-B-3

8A2-B-4
可動膜の薄膜限界調査による光干渉型表面応力ガスセンサの高感度化* 十亀 龍星 , 崔 容俊 , 野田 俊彦 , 澤田 和明 , 高橋 一浩
豊橋技術科学大学

8A2-B-5

座長：橋新 剛（熊本大学）

画素の閾値制御により複数感応膜の同時計測を可能にしたにおいセンシング用 CMOS 電位センサアレイの作製

7P3-M-2
球磨焼酎 500 年の伝統と革新
変わらないために変わり続ける高橋酒造の挑戦
高橋 宏枝氏高橋酒造株式会社* 白土 裕介｛1｝, 清水 哲郎｛1｝, 木下 学｛2｝, 鈴木 博章｛1｝｛1｝筑波大学 ｛2｝防衛医科大学校,* 周 怡寧 , 薛 安汝 , 鈴木 博章
筑波大学

7P3-M-1
津曲 俊博氏熊本城総合事務所

クラーク型酸素電極アレイと細菌の薬剤感受性試験への応用

銀置換とカソード電気化学発光によるバイポーラ電気化学システム

基調講演 III

16:05-16:45

2F

2023年11月8日（水）SU-8/Cu 複合材料を用いた微小管運動制御デバイスの開発

15:25-16:05

7P4-M

センサシンポジウム（SS40）
40 周年記念パネルディスカッション
～10 年後のセンサ MEMS の将来像～

常務取締役（営業企画担当）* 上條 友暉 , 木村 安行 , 野田 佳子 , 赤井 大輔 , 飛沢 健 , 崔 容俊 ,高橋 一浩 , 澤田 和明 , 野田 俊彦
豊橋技術科学大学

8A2-B-6
二級アルコール脱水素酵素を用いた呼気中アセトンガスの蛍光イメージセンシング* 飯谷 健太｛1｝, 水越 直樹｛1｝, 張 耿｛1｝, 當麻 浩司｛2｝,荒川 貴博｛3｝, 三林 浩二｛1｝｛1｝東京医科歯科大学 ｛2｝芝浦工業大学,｛3｝東京工科大学,

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

27

8A2-B-7
匂いバイオセンサの応答モデルを用いた相対比較匂い濃度
定量法* 野本 周平｛1｝, Deng Hongchao｛1｝, 祐川 侑司｛2｝, 光野 秀文｛2｝,神崎 亮平｛2｝, 中本 高道｛1｝｛1｝東京工業大学 ｛2｝東京大学,

10:10-11:55

熊本城散策（事前申込が必要です。60 名限定）
13:50-15:20

8P2-P

ポスターセッション III

8A2-C

バイオセンサ 2/ バイオマイクロナノシステム
座長：木村 啓志（東海大学）

8P2-PS-1
自己組織化エレクトレット型振動発電素子の動作機構解析 :
表面電位と発生電流の関係

8A2-C-1
植物健康モニタリングウェアラブルバイオセンサー

オンダー ディンチェル｛1｝, * 亀岡 遵｛2｝｛1｝ヨガット ボザック 大学 ｛2｝早稲田大学,* 田中 有弥｛1｝, 栗原 啓輔｛2｝, 阿部 直矢｛2｝, 石井 久夫｛2｝｛1｝群馬大学 ｛2｝千葉大学,

8P2-PS-2
線形破壊力学に基づく MEMS 構造設計のためのき裂伝播経
路解析

8A2-C-2
植物体内イオン情報のマルチモーダルセンシングと長期栽
培モニタリングの実施* 松下 優介 , 吉田 太一 , 坂口 直己 , 高山 弘太朗 , 崔 容俊 , 高橋 一浩 ,澤田 和明 , 野田 俊彦 ,豊橋技術科学大学

8A2-C-3
ゴム系レジスト型高分解能マルチイオンイメージセンサの製作と海馬スライスの細胞外イオン同時可視化* 大塚 惇平｛1｝, 加藤 萌｛1｝, 土井 英生｛1｝, Bijay Parajuli｛2｝,堀尾 智子｛1｝, 繁冨 英治｛2｝, 篠﨑 陽一｛2｝, 崔 容俊｛1｝,高橋 一浩｛1｝, 服部 敏明｛1｝, 野田 俊彦｛1｝, 小泉 修一｛2｝,澤田 和明｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝山梨大学,

8A2-C-4分散配置型スマート電極人工視覚チップを用いた多点刺激システムの実証* 中西 優輝｛1｝, Wisaroot Sriitsaranusorn｛1｝, 鐘堂 健三｛2｝,
寺澤 靖雄｛2｝, 竹原 浩成｛1｝, 春田 牧人｛1｝｛3｝, 田代 洋行｛1｝｛4｝, 笹川 清隆｛1｝, 太田 淳｛1｝｛1｝奈良先端科学技術大学院大学 ｛2｝ニデック,｛3｝,
千歳技術科学大学 ,｛4｝九州大学* 河合 将史 , GOU Pengchi, 鳥山 寿之
立命館大学

8P2-PS-3
溶液法およびスパッタ法により形成した TiO2/BaTiO3 積層膜の圧電光触媒効果* 田中 悠太 , 嶋倉 啓太 , 伊藤 生龍 , 小林 大造
立命館大学

8P2-PS-4
量子暗号通信に利用するサニャック干渉計を用いたマイクロエンタングルメント光子対生成装置の開発* 西野 仁｛1｝, 佐々木 敬｛2｝, 富田 章久｛3｝, 小野 崇人｛4｝｛1｝多摩川ホールディングス ｛2｝Silicon,
Austria Labs,｛3｝北海道大学 ｛4｝東北大学,

8P2-PS-5
機械加工による濡れ性の変化とマイクロ流路への影響の検討* 森岡 拓未 , 小笠原 長太郎 , 加藤 蒔登 , 神永 真帆
豊田工業高等専門学校

8P2-PS-6
DRIE 終点非破壊検査のための側面接触式 MEMS プローブ

8A2-C-5
An hiPSC-based proximal tubule microphysiologicalsystem offers improved uptake and filtration rates*Banan Sadeghian Ramin｛1｝, Ma Cheng｛1｝, Takasato Minoru｛2｝,
Yokokawa Ryuji｛1｝｛1｝Kyoto University,｛2｝Osaka University

8A2-C-6
定量的解析とモデル化によるオンチップ血管網形成過程の理解* 藤本 和也 , 亀田 良一 , 横川 隆司
京都大学

血管床―腎臓オルガノイド共培養による遺伝子発現変化の解析* 亀田 良一｛1｝, 籔内 研佑｛2｝, 谷口 純一｛2｝, 荒岡 利和｛1｝,髙里 実｛2｝, 藤本 和也｛1｝, 横川 隆司｛1｝｛1｝京都大学 ｛2｝理化学研究所,

11:50-12:40

出展者による技術展示発表セッション III

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

8P2-PS-7
ノボラック系ポジレジストを エッチングマスクに 使った
PDMS パターニング* 松本 達也｛1｝, 李 仲民｛2｝, 菊田 利行｛1｝, 鈴木 裕輝夫｛1｝,田中 秀治｛1｝｛1｝東北大学 ｛2｝AAC,
Technologies

8P2-PS-8* コーシック ニーラム , Parmanand Sharma, Himori Noriko,Matsumoto Takuro, Nakazawa Toru
東北大学

8P2-PS-9
静電駆動単結晶シリコン MEMS ミラーの 1 × 2 アレイ同期振動* 大木 幹也 , バネルジー アミット , 廣谷 潤 , 土屋 智由
京都大学

8P2-PS-10

8P1-M

座長：橋本 英生（住友精密工業）
マトリクソーム
SPPテクノロジーズ
TCK
太洋工業
メイワフォーシス
大阪公立大学 機能デバイス物性研究室
MMIセミコンダクター
SIJテクノロジ* 山形 昌弘 , 辻 啓吾 , 三角 啓 , 安永 竣 , 肥後 昭男 , 三田 吉郎
東京大学

AI を用いた自動簡易細隙灯顕微鏡の開発

8A2-C-728

12:40-13:50

ティ・ディ・シータクミナ
三井化学
アメテックザイゴ事業部
アルテック
新興精機

電解エッチング法を用いたチタン製マイクロメスの刃先形状の制御* 滝澤 勇貴 , 栗田 政宗 , 寒川 雅之 , 安部 隆
新潟大学

8P2-PS-11
樹脂コンパウンドの視覚・触覚複合計測のための光・温度検知素子集積化* 中村 眞子 , 安部 隆 , 寒川 雅之
新潟大学

8P2-PS-12
6-DOF マイクロアクチュエータの提案と開発* 西野 仁｛1｝, 小野 崇人｛2｝｛1｝多摩川ホールディングス ｛2｝東北大学,

8P2-PS-13
複数の液体金属セグメントの流路内同時位置制御を利用した静電容量スイッチング* 中井 涼太郎 , 坊野 慎治 , 小西 聡
立命館大学

8P2-PS-14
LIFT 法を用いたネオジム系磁石膜の低温創製* 東 倖主 , 福田 樹 , 山下 昂洋 , 柳井 武志 , 福永 博俊 , 中野 正基
長崎大学

8P2-PS-15
Non-linear Behavior of pMUT for High Sound Pressure
Generation* 方 偉 , ベルガラ アンドレア , 田中 秀治
東北大学8P2-PS-16
オンチップ計測に向けた グラフェン MEMS 共振質量センサと PIN PD の集積化デバイスの製作* 中川 竜希 , 新野 謙 , Le Phuong Anh, 飛沢 健 , 赤井 大輔 , 澤田 和明 ,野田 俊彦 , 崔 容俊 , 高橋 一浩
豊橋技術科学大学

8P2-PS-17
Ga2O3/Se アバランシェフォトダイオードの時間応答性に関する研究* 信野 永光 , 小林 大造
立命館大学

8P2-PS-18（100）シリコンの 2 段階異方性ウェットエッチングによる高密度電荷ガイド構造の作製* 稲富 優太郎｛1｝, 安藤 妙子｛1｝, 江藤 剛治｛2｝｛1｝立命館大学，｛2｝大阪大学

8P2-PS-19
MEMS スキャナを用いた空間周波数領域イメージングシス
テムの開発* 中澤 謙太 , Feng Yu, Cao Chen, 安富 啓太 , 川人 祥二 , 香川 景一郎
静岡大学

8P2-PS-20
浴室監視のための超音波音線法シミュレーション手法*M. Shahrul Amir Kamarulzaman, 濱邉 理久 , 安田 祐人 , 大原 遼太郎 ,佐藤 駿 , 和泉 慎太郎 , 川口 博
神戸大学

8P2-PS-21
高分子ナノ膜を帯電層とした摩擦帯電発電の高出力化* 黒川 玲名｛1｝, 志磨 将大｛1｝, 上島 理乃｛1｝, 向當 綾子｛2｝,髙村 映一郎｛1｝, 坂元 博昭｛1｝｛1｝福井大学 ｛2｝日華化学,

8P2-PS-22
質感検知に向けた指紋型表面触覚センサによるなぞり計測* 岡固 創 , 月山 陽介 , 安部 隆 , 寒川 雅之 ,新潟大学

8P2-PS-23
パルス光伝導法を用いたシリコンウェーハ表層（SiO2/Si）における電気伝導度の不純物濃度依存特性* 田中 希望 , 中山 駿 , 森 陽香 , 小林 一博 , 橋新 剛 , 松田 元秀
熊本大学

8P2-PS-24
乳癌検出用触診デバイスの構造解析用生体モデルの検討* 山崎 智也 , 幹 浩文
和歌山大学

8P2-PS-25
フォトリソグラフィ技術で作製可能な薄型リニア静電モータの開発* 田巻 祐哉 , 木屋 大地 , LYU SHUXIN, 森下 克幸 , 齊藤 健
日本大学

8P2-PS-26
肺組織機能評価を目指した物理化学量センサシステムの開発* 吉村 勇一郎｛1｝, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン｛1｝,長谷川 義大｛1｝, 松島 充代子｛2｝, 川部 勤｛2｝, 式田 光宏｛1｝｛1｝広島市立大学 ｛2｝名古屋大学,

8P2-PS-27
血管内ガイドワイヤのための厚膜 SU-8 の円筒リソグラフィによる多軸フォースセンサ機構の形成* 滝口 創太 , 峯田 貴
山形大学

8P2-PS-28
デジタルツインと AR グラスを用いた大学内の リアルタイム
環境センシングシステムのプラットフォーム構築* 髙松 直矢 , 味戸 克裕
大阪国際工科専門職大学

8P2-PS-29
水晶発振回路式複素容量センサによる RC 構造体内部の非破壊センシング* 横山 猛輝 , 高橋 良輔 , 岩本 啓吾 , 寒川 雅之 , 安部 隆
新潟大学

8P2-PS-30
コロイダルシリカを用いた微細なシリカ凝集体エレクトレッ
トの電荷保持特性の評価* 中島 朋希 , 蔭山 健介
埼玉大学

8P2-PS-31
共振回路を備えたフィルムタイプ静電容量式近接センサによる呼吸信号測定* 野村 健一｛1｝, 岩田 史郎｛2｝, 鍛冶 良作｛1｝, 堀井 美徳｛1｝,今若 直人｛2｝｛1｝産業技術総合研究所 ｛2｝島根県産業技術センター,

8P2-PS-32
多端子 MOSFET による回路動作の「その場」計測* 原田 知親
山形大学

8P2-PS-33
圧電 MEMS センサにおける座屈ダイアフラム上圧電薄膜の構造的引張負荷歪みとその低減プロセスの検討* 山下 馨 , 山本 拳太朗 , 遠藤 凌摩 , 吉田 琢真
京都工芸繊維大学

8P2-PS-34
光学積層膜における偏光干渉を利用した広濃度対応型水素ガスセンサの開発* 山根 治起｛1｝, 梁瀬 智｛1｝, 高橋 慎吾｛1｝, 高橋 光希｛2｝,世古 暢哉｛2｝, 重村 幸治｛2｝｛1｝秋田県産業技術センター,｛2｝Tianma Japan

8P2-PS-35
真空蒸着（101）優先配向 SnO2 薄膜の作製と諸特性の評価* 副島 大翼 , 山田 倫太郎 , 橋新 剛 , 松田 元秀
熊本大学

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

29

8P2-PS-36
絶縁性ナノ粒子薄膜による液体蒸気の検出 : 構造異性体識別への検討* 加納 伸也 , 銘苅 春隆
産業技術総合研究所

8P2-PS-37
多種類ガス分布の高速・高精度推定のための Au/Ag LSPR セ
ンサの開発* 熊副 慎悟 , 松岡 真聖 , 佐々 文洋 , 林 健司 ,九州大学

8P2-PS-38
2 次元 SERS センサによるガス源の識別と可視化* 山田 健太 , 松尾 拓哉 , 陳 林 , 佐々 文洋 , 林 健司
九州大学

8P2-PS-39
植物生体電位を用いたエダマメの水ストレス評価に関する研究* 酒井 佑希也 , 長谷川 有貴
埼玉大学

8P2-PS-40
UV 光照射時の SnO2-TiO2 ガスセンサの膜構造と感度特性* 佐藤 健喬 , 安藤 毅
千葉工業大学8P2-PS-41
飲料評価用無機膜味覚センサの電気的特性がセンサ応答へ及ぼす影響* 信太 智貴 , 長谷川 有貴
埼玉大学

8P2-PS-42
対極と作用極を同材料としたマイクロアレイ型電気化学センサに関する研究* 孟 博昊 , 長谷川 有貴 , 内田 秀和
埼玉大学

8P2-PS-43
ニトロフェニルボロン酸を用いた糖質用電位型甘味センサの開発の試み* 添田 新太郎｛1｝, 巫 霄｛1｝, 野瀬 敏洋｛1｝, 木村 俊輔｛2｝,小野寺 武｛2｝, 都甲 潔｛2｝｛1｝福岡工業大学 ｛2｝九州大学,

8P2-PS-44
水分子 - 高分子間の接触帯電による活性酸素種の生成とそのアゾ染料分解への応用* 志磨 将大 , 髙村 映一郎 , 坂元 博昭
福井大学

8P2-PS-45
Si 積層による光導波型 SPR 血糖値センサの高感度化の実験的考察～EB 蒸着 Si 膜における感度の膜厚依存性～* 野村 佳伸 , 新國 広幸 , 伊藤 浩
東京工業高等専門学校

8P2-PS-46
セルフパワード型ウェアラブル咬合力センサの開発* 市川 健太｛1｝, 土方 亘｛2｝, 三林 浩二｛1｝｛1｝東京医科歯科大学 ｛2｝東京工業大学,

8P2-PS-47
光導波路付き極低侵襲針の壁面窓を用いた乳酸濃度計測* 小岩 大悟 , 森 啓悟 , 芳賀 洋一 , 鶴岡 典子
東北大学

30

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

8P2-PS-48
屈折率バイオセンサのためのマイクロ流路内におけるスパ
イラル型光共振器* 五十嵐 アン｛1｝, 阿部 真帆｛1｝, 黒岩 繁樹｛2｝, 大橋 啓之｛2｝,山田 博仁｛1｝｛1｝東北大学 ｛2｝こころみ,

8P2-PS-49
手指骨折治癒度可視化に向けた環状配置多電極生体インピー
ダンス法* 伊達 功紀｛1｝, 池谷 徳之｛1｝, 安原 京介｛1｝, 増田 治輝｛1｝,五谷 寛之｛2｝, 村上 裕二｛1｝｛1｝静岡理工科大学 ｛2｝大阪掖済会病院,

8P2-PS-50

発表取り下げ口腔内水分測定装置用センシングシステム

黄 獻鋒｛1｝, * 陳 泓甫｛1｝, 楊 家程｛2｝, 陳 冠宇｛1｝, 楊 宗峻｛1｝｛1｝亜東科技大学 ｛2｝台北科技大学,

8P2-PS-51
神経伝達物質を検知するテラヘルツ波バイオセンサーの開発* 森田 滉生 , 吉田 聡太 , 光田 祐太 , 逢坂 大樹 , 笠原 真悟 , 王 璡 ,
紀和 利彦
岡山大学

8P2-PS-52
Covid-19 の特異検出に向けたグラフェン上のバイオインタ
フェイスの検討* 吉田 誉｛1｝, PHAM VIET KHOA｛1｝, 坂井 佐知子｛1｝,LE TIEN NGHI｛1｝, 合田 達郎｛2｝, 高橋 一浩｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学，｛2｝東洋大学

8P2-PS-53
脳 , 脊髄ニューロン計測に向けたフレキシブル基板マイクロ
ニードル電極の製作* 清水 快季｛1｝, 中村 翼｛1｝, 佐々木 日向｛1｝, 山下 幸司｛1｝,
歌 大介｛2｝, 大澤 匡弘｛3｝, 久米 利明｛2｝, 沼野 利佳｛1｝,鯉田 孝和｛1｝, 河野 剛士｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝富山大学,｛3｝帝京大学,

8P2-PS-54
電気抵抗率測定のための紙媒体マイクロ流体チップの流動解析* 小林 孝一朗｛1｝, 坂本 憲児｛2｝｛1｝大島商船高等専門学校 ｛2｝九州工業大学,

8P2-PS-55
チャンバアレイを集積したマイクロ流体デバイスによる成分分離の性能評価* 洞出 光洋｛1｝, 奥村 龍成｛1｝, 村上 修一｛2｝, 才木 常正｛3｝｛1｝防衛大学校 ｛2｝大阪産業技術研究所,,｛3｝兵庫県立工業技術センター

8P2-PS-56
微小液滴の単一細胞封入効率の改善に向けたマイクロ流体
デバイスの検討* 藤田 理紗｛1｝, 足立 夕佳｛1｝, 石原 潤一｛2｝, 高橋 弘喜｛2｝,関口 哲志｛1｝, 庄子 習一｛1｝, 古谷 正裕｛1｝, 谷井 孝至｛1｝,田中 大器｛1｝｛1｝早稲田大学 ｛2｝千葉大学,

8P2-PS-57
MEMS ピンセットを用いた遺伝子導入したがん細胞の機械特性と遺伝子発現レベルの相関評価* 井上 太介｛1｝, 小林 和香子｛2｝, 久米村 百子｛1｝｛1｝九州工業大学 ｛2｝宇部工業高等専門学校,

8P2-PS-58
小型真空イオンポンプの超高真空セルへの実装* 大島 直人｛1｝, 倉島 優一｛2｝, 前田 敦彦｛2｝, 本村 大成｛2｝,松前 貴司｛2｝, 渡邉 満洋｛1｝, 高木 秀樹｛2｝｛1｝日本大学 ｛2｝産業技術総合研究所,

8P2-PS-59

日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催
第 14 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム

Sensor Tag Using Patch Antenna with Adjustable Air Gap
for Wireless Displacement Sensing* 胡 晟澤 , 子琪 趙 , 山本 道貴 , 高松 誠一 , 伊藤 寿浩
東京大学

8P2-PS-60
ウシのストレスモニタリングを目的とした脈波測定方法の確立* 緒方 幹久｛1｝, 野上 大史｛1｝, 黄 宸佑｛2｝, 兒島 朋貴｛2｝,石崎 宏｛2｝, 芳賀 聡｛3｝, 滄木 孝弘｛4｝, D.S.V. バンダラ｛1｝,
荒田 純平｛1｝, 桑原 正貴｛5｝, 矢用 健一｛2｝｛1｝九州大学 ｛2｝農研機構,｛3｝東北大学,｛4｝帯広畜産大学,,｛5｝東京大学

A sensor system equipped with printed flexible and thinelectrodes for urine monitoring of living bodies* 張 嵐 , 魯 健 , 松本 壮平
産業技術総合研究所

座長：小野寺 武（九州大学），燈明 泰成（東北大学），梨本 裕司（東京医科歯科大学），土屋 智由（京都大学）

8P3-M-1
生体・環境情報モニタリングのための完全分解型ワイヤレ
スセンサ
尾上 弘晃 *
慶應義塾大学8P3-M-2分子イメージング手法を用いた熱流体可視化手法の研究
松田 佑 *
早稲田大学

11:30-12:10

６A3-M

座長：澤田 和明（豊橋技術科学大学）

6A3-M-1
3D 積層型 CMOS イメージセンサを進化させるプロセス技術

岩元 勇人 *
ソニーセミコンダクタソリューションズ
第 2/4 研究部門 部門長

12:20-12:55

電気化学をベースにしたバイオ分析とバイオファブリケーション
伊野 浩介 *
東北大学

6P1-M

出展者による技術展示発表セッション I

座長：内貴 崇（ローム）
エス・イー・アール
ジオマテックデンソー
住友精密工業
ハイデルベルグ・インストルメンツ
アイカムス・ラボ
東京大学 マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点～革新的なエネ
ルギー変換を可能とするマテリアル～
（東京大学・広島大学・日本原子力研究開発機構）

13:10-15:10

8P3-M-3

６P2-B

日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門
情報・知能・精密機器部門 分野連携企画
「MEMS デバイスの最新研究と応用技術 ( 慣性センサ )」講演会
座長：塚本 貴城（東北大学），冨澤 泰（東芝）

8P3-M-4
電荷増倍機能を有する結晶セレン積層型 8K 撮像デバイスの研究
為村 成亨 *[1]，新井 俊希 [1]，宮川 和典 [1]，杉山 睦 [2]，難波 正和 [1][1]NHK 放送技術研究所，[2] 東京理科大学

6P2-B-1
MEMS 慣性センサのいまとこれから - 本企画への期待を込めて土屋智由 *
京都大学

8P4-M

基調講演 VI

座長：梶 弘和（東京医科歯科大学）

6P2-B-2
東京計器における MEMS センサ開発の取組み

8P4-M-1

山口高功 *
東京計器

次世代医療用眼レンズに向けた材料・デバイス・システム
三宅 丈雄
早稲田大学

17:25-18:05

6A2-M

開会式

8P3-M

Future Technologies 合同招待セッション

16:45-17:25

11:00-11:30

基調講演 I

8P2-PS-61

15:30-16:45

2023年11月6日（月）6P2-B-3
慣性センサを利用した機器の制御および運動情報計測の実例

8P5-M

佐川貢一 *
弘前大学

閉会式・表彰式
6P2-B-4

11月9日（木）テクニカルツアー（事前申込要）慣性センサと路面センサの融合によるロバスト屋内測位技術
小川純平 *
東芝

17:40-19:10

6P5-P

ポスターセッション I

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

31

6P5-PN-1
インクジェット付加加工によるセルロースナノファイバー集積構造の力学特性評価
加藤 颯 *, 花崎 逸雄
東京農工大学6P5-PN-2
同心円状の周期的な切込みを持つ切り紙構造における面外変形の半径依存性評価
中川 滉大 *, 水名 京 , 岩瀬 英治
早稲田大学

6P5-PN-3
ガラスの弾性変形を用いたナノ流路開閉バルブの集積化に向けた水圧駆動アクチュエータの開発
杉田 昌平 *, 小山 瑞歩 , 嘉副 裕
慶應義塾大学6P5-PN-4
Re << 1 で濡れ拡がる液膜の毛管力駆動濡れ促進現象 −複数の微小構造物との相互作用を伴うメニスカス・ポンプ機
構に関する数値シミュレーション−
半澤 宇 *[1], Yoshikawa Harunori[2], Dietze Georg[3],Zoueshtiagh Farzam[4], 黒瀬 築 [1], 上野 一郎 [1][1] 東京理科大学 , [2]Université Côte d'Azur,[3]CNRS, Université Paris-Saclay, [4]Université de Lille

6P5-PN-5
ナノ粒子の電気検出速度を制御するためのマイクロ・ナノ
流路の作製
愛知 恭太朗 *, 土井 謙太郎 , 岸本 龍典 , 近藤 有馬 , 露木 孝俊
豊橋技術科学大学

6P5-PN-6
断熱壁を持つマイクロチューブガス流の流動様式の同定
村岡 孝樹 *[1], 洪 定杓 [1], 浅古 豊 [2][1] 鹿児島大学 , [2] マレーシア工科大学

6P5-PN-7
Y 字型流路を利用したマイクロ液滴後方での液滴分離法

齋藤 俊 *, 古谷 正裕 , 村重 友哉 , 山中 康平 , 小林 雅史 , 田中 大器 ,藤田 理紗 , 鷲尾 方一
早稲田大学

6P5-PN-8
反応性力場分子動力学法を用いた IV 族半導体材料の酸化膜形成における温度依存性解析
関口 賢太 *, 上根 直也 , 大堀 大介 , 遠藤 和彦 , 徳増 崇
東北大学

6P5-PN-9
4H-SiC における積層欠陥による熱抵抗の分子動力学解析
津野 智之 *[1], 堀 琢磨 [1], 榊間 大輝 [2][1] 東京農工大学 , [2] 東京大学

6P5-PN-10
泡沫に含まれる空気量と界面活性剤濃度の関係およびその計測方法
飯塚 亜紀子 *[1], 高橋 諒 [1], 上野 真司 [2], 高橋 幸太郎 [2][1] 日立製作所 , [2] 日立グローバルライフソリューションズ

6P5-PN-11
プラズモニックナノロッドへの光照射によるナノ空間の温度分布制御
浅沼 孝太 *, 瀬戸浦 健仁
神戸市立工業高等専門学校

6P5-PN-12
フレキシブル流れセンサの曲面への設置に関する検討
三宅 弦太 *, 元祐 昌廣 , 市川 賀康 , 村上 晃一
東京理科大学

32

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

6P5-PN-13
カーボンナノチューブシートを用いた 3 次元熱電発電デバ
イスの評価
岩佐 勇樹 *, 岩瀬 英治
早稲田大学

6P5-PN-14
トランスデューサ層パターニングによる周波数領域サーモ
リフレクタンス計測の測定感度の向上
安倉 祐樹 *, Amit Banerjee, 土屋 智由 , 廣谷 潤
京都大学

6P5-PN-15
2 光子マイクロ光造形による全反射マイクロレンズの作製
冨樫 天 *, 江口 直哉 , 萩原 恒夫 , 向井 理 , 丸尾 昭二
横浜国立大学6P5-PN-16
講演取り下げ
6P5-PN-17
切断刃物研ぎのメカニズム
－包丁研ぎ前後の刃先におけるミクロ観察－加藤 大登 *, 田中 浩
愛知工業大学6P5-PN-18
プラズモニックデバイス作製に向けた 2 光子造形物への無電解金めっき日高 彰大 *, 向井 理 , 丸尾 昭二
横浜国立大学6P5-PN-19
各種出発原料を用いたグリオキシル酸 Ni 錯体の調製とフェムト秒レーザ Ni 系パターニング
高橋 みのり *[1], 大石 友司 [2], 溝尻 瑞枝 [1][1] 長岡技術科学大学 , [2] 芝浦工業大学

6P5-PN-20
シリコン電極薄型燃料電池の開発 ―自立した Au-Pd-Pt 多孔質触媒層形成―
井田 晋平 *, 早瀬 仁則
東京理科大学6P5-PN-21
マイクロ光造形による光熱駆動型マイクロピンセットの開発
大石 翔心 *, 冨樫 天 , 向井 理 , 宮島 浩樹 , 飯島 一智 , 丸尾 昭二
横浜国立大学6P5-PN-22
フォトリソグラフィにおける UV-PDMS の膜厚依存性とメ
カニカルメタマテリアル特性制御
伊藤 陸 *[1], 田中 有弥 [1], 年吉 洋 [2], 鈴木 孝明 [1][1] 群馬大学 , [2] 東京大学

6P5-PN-23
伸縮性のある LIG 脈波センサ

大矢 晋太郎 *, 加藤 大誠 , 中島 利八郎 , 高橋 英俊
慶應義塾大学6P5-PN-24
圧電 MEMS アクチュエータによる触覚生成ー１
曽根 順治 *
東京工芸大学6P5-PN-25
Auxetic 構造体の面外変形設計と駆動機構
一口 翔 *, 山下 智也 , 守川 和馬 , 遠藤 洋史
富山県立大学6P5-PN-26
絶対圧センサと多面体折り紙基板を用いた三次元流速センサ安藤 竜生 *, 高橋 英俊 , 中島 利八郎 , 岸本 卓大 , 嶋田 恭大
慶應義塾大学6P5-PN-27
マイクロ音響流体デバイスにおける最適印加周波数探索法の検討
畠山 尭之 *, 早川 健
中央大学

6P5-PN-28
スプリットリング共振器上のゲルの膨潤を利用した水分量
センシング方法
能任 史也 *[1], 佐藤 蒼馬 [1], 尾上 弘晃 [2], 菅 哲郎 [1][1] 電気通信大学 , [2] 慶應義塾大学

6P5-PN-29
高感度圧力センサと凹凸構造を用いた硬さ計測手法の開発
今浦 大輔 *, 松本 潔
東洋大学

6P5-PN-30
ショウジョウバエの長期観察のためのガラスフォースプレート
島崎 健一郎 *[1], 高橋 英俊 [1], 戸田 浩史 [2][1] 慶應義塾大学 , [2] 筑波大学

6P5-PN-31
表面プラズモン共鳴式光検出器を用いた分光法における応答性の定量検証野口 瑛矢 *[1], 金田 裕喜 [1], 大下 雅昭 [1], 齋藤 史郎 [2], 菅 哲朗 [1][1] 電気通信大学 , [2]IMRA JAPAN

6P5-PN-32
共振駆動される昆虫規範型微小飛行体の羽ばたき飛行性能評価
白川 和 *, 石破 和弥 , 木村 元宣 , 石原 大輔
九州工業大学6P5-PN-33
伸縮電極と機械学習モデルを用いた無発声発話認識ウェア
ラブルデバイスの開発
黒瀧 悠太 *[1], 磯田 豊 [1], 高野 珠実 [1], 伊佐野 雄司 [1], 三宅 悠介[2], 栗林 健太郎 [2], 太田 裕貴 [1][1] 横浜国立大学 , [2]GMO ペパボ

6P5-PN-34
電流検出型表面プラズモンセンサの温度依存性の研究
宇梶 尚弥 *, 今井 雄貴 , 小澤 徹也 , 菅 哲朗
電気通信大学6P5-PN-35
折紙・切り紙加工により形成した柔軟な微小壁構造を有す
る抵抗式滑りセンサの開発
田中 大志 *, 洪 揚 , 鈴木 昌人 , 高橋 智一 , 青柳 誠司
関西大学

6P5-PN-36
円管内音響収束のアレイ化によるマイクロプラスチック回
収の高流量化に向けた検討
大堀 結丸 *, 中山 明美 , 秋山 佳丈
信州大学

6P5-PN-37
神経電位計測に向けたディウェッティング法による有機電極センサアレイの開発彌田 尚希 *, 村上 達哉 , 吉田 昭太郎
中央大学

6P5-PN-38

6P5-PN-39
陰窩構造を有する in vitro 人工腸デバイスを用いた腸上皮細胞と細菌の共培養
浦本 翔太 *[1], 田中 秀磨 [1], 板井 駿 [2], 尾上 弘晃 [1][1] 慶應義塾大学 , [2] 東北大学

6P5-PN-40
皮下の電気的センシングのためのヒアルロン酸ハイドロゲ
ルマイクロニードルの開発
岩田 美樹 *, 小山 峻輝 , 吉田 昭太郎
中央大学

6P5-PN-41
マイクロ流体デバイスを活用したナノバブルの調製と超音波併用遺伝子デリバリーシステムの構築
山口 泰暉 *, 髙橋 葉子 , 淡路 賢斗 , 根岸 洋一
東京薬科大学6P5-PN-42
微小物体操作のための光・寸法制御によるミドリムシの衝突原理の確立大野 凌雅 *, 森本 蒼士 , 岡本 俊哉 , 柴田 隆行 , 永井 萌土
豊橋技術科学大学

6P5-PN-43
無細胞転写翻訳系による膜タンパク質の合成と単分散 GUV
膜への挿入の評価
南條 哲至 *[1], 津金 麻実子 [1], 松浦 友亮 [2], 鈴木 宏明 [1][1] 中央大学 , [2] 東京工業大学

6P5-PN-44
大気中で利用可能な匂い物質受容体発現細胞による嗅覚センサデバイス藤岡 紫乃 *[1], 佐藤 幸治 [2], 尾上 弘晃 [1][1] 慶應義塾大学 , [2] 東京大学

6P5-PN-45
ステップチャネルによる液滴生成と油水界面通過を介した巨大リポソームの作製
中川 翔太 *, 鳥取 直友 , 佐久間 臣耶 , 山西 陽子
九州大学

6P5-PN-46
細胞振動用磁気駆動型デバイスの開発
江上 恒志 *, 中原 佐 , 南 和幸
山口大学

6P5-PN-47
痛覚神経パターンを付与した人工皮膚を用いた微細針の穿刺が皮膚へ与える痛みの推定
酒井 勇輔 *, 稲葉 光紀 , 今西 将也 , 鈴木 昌人 , 高橋 智一 , 青柳 誠司
関西大学

6P5-PN-48
有機半導体の多層塗布によるショットキーバリアダイオードの開発
中谷 翔大 *, 吉田 昭太郎
中央大学

6P5-PN-49
磁区転移を利用した微粒子磁性体のセンシング手法提案
中居 倫夫 *
宮城県産業技術総合センター

6P5-PN-50
ポリシルセスキオキサンを用いた室温ナノインプリント
安井 学 *, 西 義武 , 黒内 正仁 , 金子 智 , 三橋 雅彦
神奈川県立産業技術総合研究所

バイオハイブリッドハンドの駆動最適化に向けた多筋組織
アクチュエータの特性解析
任 新竹 *[1], 森本 雄矢 [2], 竹内 昌治 [1][1] 東京大学 , [2] 早稲田大学

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

33

6P5-PN-51

6P5-PN-64

高温耐性 p/n 型ドーパントを用いたカーボンナノチューブ
薄膜 pn 接合ダイオード

環境負荷の少ない分解性材料を用いたワイヤレス土壌尿素
センサ

松永 優希 *[1], 内山 晴貴 [1], 大町 遼 [1], 廣谷 潤 [2][1] 名古屋大学 , [2] 京都大学

6P5-PN-52

田名網 優 *[1], 阪部 拳 [1], 菅 哲朗 [2], 尾上 弘晃 [1][1] 慶應義塾大学 , [2] 電気通信大学

6P5-PN-65

端部の把持条件による切り紙構造の変形の評価

ケルビンプローブフォース顕微鏡法を用いた固気液三相接触線近傍の帯電現象に関する研究中村 凪 *, 岩瀬 英治
早稲田大学

石原 佑樹 *, 手嶋 秀彰 , 高橋 厚史
九州大学

6P5-PN-53
細胞間相互作用解析のための単一細胞充填型ピペットの開発
川名 絃太 *, 宅和 宏樹 , 岡本 俊哉 , 柴田 隆行 , 永井 萌土
豊橋技術科学大学

19:10-21:00

6P6-E

FT 合同若手企画「マイクロ・ナノ工学シンポジウム，化学とマイクロ・ナノシス
テム学会主催研究会，センサ・マイクロマシンと応用システム」
シンポジウムの 3 学会合同での若手企画です。キャリアパスについて大学教員，国研研究員，大学院博士課程の 6 名の講師にポスター発表していただきます。小規模懇親会（軽食，飲み物を準備）を並行して開催します。
講演者
岩﨑 渉 産業技術総合研究所
佐藤 峻 早稲田大学
田中 大器 早稲田大学
長峯 邦明 山形大学
南茂 彩華 横浜国立大学
平本 薫 東北大学

6P5-PN-54
音場浮遊液滴の強制振動による表面張力の非接触測定
鋤柄 和彦 *, 田中 健太郎
東京海洋大学6P5-PN-55
Mo 及び Ti を用いた低障壁化プラズモニックショットキー
光検出器による室温近赤外光検出
Abubakr Eslam*, Elyas Ashenafi, 大下 雅昭 , 菅 哲朗
電気通信大学6P5-PN-56
顕微観察系の励起光を用いた光熱駆動型マイクロヒータの開発
丸山 大輝 *, 中原 佐 , 南 和幸
山口大学

6P5-PN-57
面積変化を伴わない切り紙構造による視覚的質感の可変提示杉原 大樹 *, 岩瀬 英治
早稲田大学

2023年11月7日（火）9:10-9:50
基調講演 II

座長：土屋 智由（京都大学）

7A1-M-1
集積回路：使ってナンボ，使われてナンボ* 益 一哉
東京工業大学6P5-PN-58
直交２軸振動子を用いた感度可変モード局在センシング
長坂 悠汰 *, Alessia Baronchelli, 塚本 貴城 , 田中 秀治
東北大学6P5-PN-59
光干渉を用いた単一ナノ粒子検出における信号強度の安定化
鈴木 貴裕 *, 元祐 昌廣 , 市川 賀康
東京理科大学6P5-PN-60
メカニカルメタマテリアルを用いた圧電ポリマー型振動発電デバイスの強度設計
長谷川 峻大 *[1], 森下 浩多 [1], 田中 有弥 [1], 橋口 原 [2], 年吉 洋 [3],鈴木 孝明 [1][1] 群馬大学 , [2] 静岡大学 , [3] 東京大学

6P5-PN-61
流路多重化による AC ナノポア測定のハイスループット化
佐藤 璃空 *, 山本 貴富喜
東京工業大学6P5-PN-62
電流密度分布を考慮した液体金属の高精度接触抵抗計測
佐藤 峻 *, 岩瀬 英治
早稲田大学

7A1-M

10:00-11:15

日本機械学会学長

7A2 － B

マイクロ・ナノ工学部門表彰講演

座長：土井 謙太郎（豊橋技術科学大学）

7A2-B-1
マイクロ流路―その流れに魅せられて―

三宅 亮 *
東京大学工学系研究科 特任教授

12:45-13:40

7P1-M

出展者による技術展示発表セッション II

座長：加納 一彦（デンソー）
ASTI
セイコーエプソン
日本カンタム・デザイン
東京応化工業
ミライズテクノロジーズ
ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent
文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM Japan）
シーエステック
BMF Japan
SCREEN セミコンダクターソリューションズ
ネオアーク

6P5-PN-63
単一グリア細胞の培養・操作のための可動式マイクロハイ
ドロゲルアレイの開発
畑 翔太 *, 吉田 昭太郎
中央大学

34

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

13:45-15:15

７P2-P

ポスターセッション II

7P2-PN-1
10 nm ～ 100 nm オーダー厚銅薄膜の塑性特性の結晶粒径・膜厚効果
近藤俊之 *[1], 若池寛之 [2], 定木脩 [2], 箕島弘二 [3][1] 九州大学 , [2] 大阪大学 , [3] 阿南工業高等専門学校

7P2-PN-2
同心円状の周期的な切り込みを持つ切り紙構造における面外変形の開き角計測
水名 京 *, 中川 滉大 , 岩瀬 英治
早稲田大学

7P2-PN-3
システムの条件変化によるマイクロチップ上のマイクロ流
体制御山下 慧土 *, 市川 明彦
名城大学

7P2-PN-4
太陽電池保護膜における熱処理中の結晶化機構の反応性力
場分子動力学的解析
田村 玄汰 *[1], 上根 直也 [1], 後藤 和泰 [2], 宇佐美 徳隆 [3], 徳増 崇 [1][1] 東北大学 , [2] 新潟大学 , [3] 名古屋大学

7P2-PN-5
ポリスチレンマイクロ粒子に作用する熱泳動力の光ピン
セットによる検出大江 航 *, 瀬戸浦 健仁
神戸市立工業高等専門学校

7P2-PN-6
Re << 1 で濡れ拡がる液膜の毛管力駆動濡れ促進現象 −楕
円柱状微小構造物との相互作用を伴うメニスカス・ポンプ
機構に関する数値シミュレーション−
松井 奎進 *[1], 島村 憲汰 [1], Yoshikawa Harunori[2], Dietze
Georg[3], Zoueshtiagh Farzam[4], 黒瀬 築 [1], 上野 一郎 [1][1] 東京理科大学 , [2]Université Côte d'Azur, [3]CNRS, Université
Paris-Saclay, [4]Université de Lille

7P2-PN-7
講演取り下げ
7P2-PN-8
管長がマイクロチューブを流れるガスの摩擦係数に及ぼす影響
村岡 孝樹 *[1], 岡本 誠太 [1], 洪 定杓 [1], 浅古 豊 [2][1] 鹿児島大学 , [2] マレーシア工科大学

7P2-PN-9
多結晶ナノ薄膜におけるフォノン平均自由行程の解析
苫米地 陸 *, 谷口 竜聖 , 堀 琢磨
東京農工大学7P2-PN-10
Al/Ni 多層粉末を用いて溶接したアルミ薄板継手の機械的特性
右手 駿空 *, 幾島 大翔 , 三宅 修吾
神戸市立工業高等専門学校

7P2-PN-11
ナノ流路の非対称イオン電流による pH 計測法の開発
髙木 肇志 *, 中村 慶 , 岸本 龍典 , 土井 謙太郎
豊橋技術科学大学

7P2-PN-12
温度計測による銀ナノワイヤネットワークの熱・電気回路
特性の評価
上村 凌平 *, 杉原悠太 , 玉井莞爾 , 栗山怜子 , 巽和也
京都大学

7P2-PN-13
引張による折れ上がりが可能な切り紙型熱電発電デバイスの設計

7P2-PN-14
蛍光熱顕微鏡による三相界線領域の温度場観察

深町 むく *[1], 畑中 健太 [1], 佐藤 陽平 [2], 矢吹 智英 [1][1] 九州工業大学 , [2]Paul Scherrer Institute

7P2-PN-15
人工骨髄の構築に向けたマイクロ光造形と交互浸漬による
3D 足場形成
小島 加帆里 *, 半田 知聖 , 田路 弘樹 , 宮島 浩樹 , 飯島 一智 , 向井 理 ,丸尾 昭二
横浜国立大学7P2-PN-16
センサ応用に向けたプラスチック光ファイバ表面の微細加工に関する検討中西 拓登 *[1], 中島 遼 [1], 李 ひよん [2], 水野 洋輔 [3], 山根 大輔 [1][1] 立命館大学 , [2] 芝浦工業大学 , [3] 横浜国立大学

7P2-PN-17
低濃度液滴を用いたシリコンアルカリ異方性ウエットエッ
チング方法 ー 1% と 5%KOH 液滴による加工特性ー
河原 宏紀 *, 田中 浩
愛知工業大学7P2-PN-18
精密重合マクロモノマーを用いたオンデマンド物資制御によるヘテロ 3D 造形物の作製
向井 理 *, 佐藤 光基 , 宮䑓 和佳菜 , 丸尾 昭二
横浜国立大学7P2-PN-19
Ag ナノ粒子添加によるグリオキシル酸 Cu 錯体インクからのフェムト秒レーザ還元 Cu 析出への影響
Tran Quang Huy*[1], 溝尻 瑞枝 [1], 大石 知司 [2][1] 長岡技術科学大学 , [2] 芝浦工業大学

7P2-PN-20
マイクロスケール 3D プリンタを用いたマイクロ吸盤アレイの製作
香川 学斗 *, 高橋 英俊
慶應義塾大学7P2-PN-21
ソフトリソグラフィにおける SU-8 モールドと PDMS の離型性評価
大泉 歩夢 *[1], 小此木 孝仁 [2], 鈴木 孝明 [1][1] 群馬大学 , [2]Laboko

7P2-PN-22
Roll-to-Roll 加工プロセスを基礎としたストレッチャブルデ
バイスの大規模生産に関する研究
長竹 恭平 *[1], 川上 寛樹 [1], 倪 思捷 [1], 中村 史香 [1], 高野 珠実 [1],小原 息吹 [1], 松田 涼佑 [1], 堀井 辰衛 [2], 藤枝 俊宜 [2], 太田 裕貴 [1][1] 横浜国立大学 , [2] 東京工業大学

7P2-PN-23
磁石の復元力を利用したばね定数可変力センサ
佐藤 颯哉 *, 浅井 誠 , 高橋 英俊
慶應義塾大学7P2-PN-24
イオン交換性有機高分子によるソフトアクチュエータの屈曲制御
中上 海翔 *, 吉田 昭太郎
中央大学

7P2-PN-25
電流検出型表面プラズモン共鳴化学量センサの小型システ
ム化の研究
小澤 徹也 *, 鈴木 紳一 , 今井 雄貴 , 菅 哲朗
電気通信大学

小口 篤紀 *, 寺嶋 真伍 , 岩瀬 英治
早稲田大学

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

35

7P2-PN-26
横感度を利用した Cr-N 薄膜ひずみゲージの設計とそれを用いた触覚センサの試作評価
木下 萌香 *[1], 水戸部 龍介 [1], 長谷川 拓海 [1], 安部 隆 [1],丹羽 英二 [2], 寒川 雅之 [1][1] 新潟大学 , [2] 電磁材料研究所

7P2-PN-27
MEMS 差圧素子を用いたアイマスク型脈波・呼気速度セン
サの周波数特性
加藤 大誠 *, 高橋 英俊
慶應義塾大学7P2-PN-28
Auxetic 構造を有する生物模倣型ソフトシリンダーの空圧歩
行制御
近藤 駿太郎 *, 山下 智也 , 遠藤 洋史
富山県立大学7P2-PN-29
土壌特性評価のための電磁メタマテリアル吸収体
佐藤 蒼馬 *[1], 坂部 拳 [2], 尾上 弘晃 [2], 菅 哲朗 [1][1] 電気通信大学 , [2] 慶應義塾大学

7P2-PN-30
高アスペクト比フィン構造を有した触覚センサの作製と機械学習を用いた接触力測定
大橋 幹 *, 田中 悠資 , 鈴木 昌人 , 高橋 智一 , 青柳 誠司
関西大学

7P2-PN-31
講演取り下げ
7P2-PN-32
細菌のべん毛巻き付き運動解析のためのマイクロ流体デバイス
島田 佳季 *, 吉岡 青葉 , 中根 大介 , 菅 哲朗
電気通信大学7P2-PN-33
真空充填とフェムト秒レーザ彫刻を用いたバイモルフ熱駆動マイクロアクチュエータの作製
陳 天洲 *, 田中 幾子 , 田口 良広 , 橋本 将明
慶應義塾大学7P2-PN-34
有限要素法解析によるマイクロフィン型 MEMS 触覚センサの構造最適化
田中 悠資 *, 大橋 幹 , 鈴木 昌人 , 高橋 智一 , 青柳 誠司
関西大学

7P2-PN-35
直列化バイオ燃料電池を用いた皮膚パッチによる投薬促進効果の検討
南波 英途 *, 吉田 昭太郎
中央大学

7P2-PN-36
kHz と MHz の超音波順次照射によるナノ薬剤モデルの経皮投与
松原 健悟 *, 倉科 佑太
東京農工大学7P2-PN-37
爪の軟化処理が構造弾性率に及ぼす影響について
虻川 大 *, 燈明 泰成
東北大学

7P2-PN-38
二層構造マイクロゲルビーズを用いた心臓オルガノイドの構築
安部田 聡菜 *[1], 日置 愛基 [1], 益田 緋里 [1], 正路 佳代子 [2], 尾上弘晃 [1][1] 慶應義塾大学 , [2] オスロ大学

36

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

7P2-PN-39
電気浸透による薬剤送達促進のためのハイドロゲルマイク
ロニードルの開発
小山 峻輝 *, 吉田 昭太郎
中央大学

7P2-PN-40
食中毒感染源を標的とした多検体・多項目遺伝子検査シス
テムの開発
夏原 大悟 *[1], 騎馬 由佳 [2], 宮島 輝 [1], 岡本 俊哉 [1], 永井 萌土 [1],北村 雅史 [2], 柴田 隆行 [1][1] 豊橋技術科学大学 , [2] 城西大学

7P2-PN-41
体内のホルモンセンシングに向けた多孔質マイクロニード
ルにおける間質液採取の最適化
出分 康太郎 *[1], 朴 鍾淏 [2], 長阪 一憲 [3], 藤井 勝人 [4], 松山 香織[4], 平井 伸幸 [4], 井川 修治 [4], 金 範埈 [2][1] 東京大学 , [2] 東京大学生産技術研究所 , [3] 帝京大学 , [4]SMK

7P2-PN-42
機械的振動刺激を用いた皮膚由来細胞の細胞老化現象の抑制
石原 美優 , 竹内 賢 , 宮田 昌悟 *慶應義塾大学7P2-PN-43
遠心力を用いた染色体伸張のためのクローズドマイクロ流体システムの開発
山田 光将 *, 田中 有弥 , 鈴木 孝明
群馬大学

7P2-PN-44
PDMS モールドを用いた射出成形によるポリ乳酸製マイクロニードルの作製 －微小バリの発生を抑制する手法の開発－
山口 大輔 *[1], 加来 慎太郎 [1], 鈴木 昌人 [1], 高橋 智一 [1],青柳 誠司 [1], 鈴木 康一郎 [2], 芳賀 善九 [3][1] 関西大学 , [2] 武蔵野化学研究所 , [3] メイホー

7P2-PN-45
筋活性度を用いた培養骨格筋の収縮制御モデルの構築
中村 美月 *, 中山 明美 , 大澤 祐毅 , 秋山 佳丈
信州大学

7P2-PN-46
感光性ポリマー /PZT アクチュエータによるダンピング特性と変位の向上Xuchen Wang*[1], Li Chung-min[2], Yukio Suzuki[1], Shuji Tanaka[1][1]Tohoku University, [2]AAC Technologies

7P2-PN-47
生体接着機構を利用した流体自己組織化系の構築
伊東 章 *, 鈴木 宏明
中央大学

7P2-PN-48
粗面を有する弾性体の押し付けによる視覚的質感の可変提示の検討田中 柊吾 *, 岩瀬 英治
早稲田大学

7P2-PN-49
プリズムアシスト 3D リソグラフィ法の加工構造角度の評価
陳 煜非 *, 田中 有弥 , 奥 寛雅 , 鈴木 孝明
群馬大学

7P2-PN-50
熱拡散率の非線形温度特性を用いた一次元サーマルリザ
バーコンピューティングにおける駆動条件の検討
武田 侑大 *, Amit Banerjee, 土屋 智由 , 廣谷 潤
京都大学

7P2-PN-51
微小吸盤アレイを用いた視覚ベースの触覚センサの開発

白鳥 俊宏 *, 金澤 祐真 , 坂本 陣也 , 鈴木 昌人 , 高橋 智一 , 青柳 誠司
関西大学

7P2-PN-52
単一細胞スクリーニングのための共通レンズを用いた光照
射・観察システムの構築
京 史哉 *, 酒井 達也 , リファットハッセイ チャドハリー , 岡本 俊也 ,柴田 隆行 , 永井 萌土
豊橋技術科学大学

7P2-PN-53
微小吸盤に適用可能な吸着力と粘着力の分離計測方法の検討
須釜 健 *, 岩瀬 英治
早稲田大学

7P2-PN-54
金回折格子上を伝搬する表面プラズモン共鳴のウエハ側壁
でのショットキー障壁を用いた検出
大下 雅昭 *, 鈴木 紳一 , 正本 和人 , 菅 哲朗
電気通信大学7P2-PN-55
マイクロパターン化した自己組織化エレクトレットの電界シミュレーションに関する検討

角野 響一 *[1], 砂川 優一朗 [1], 細井 覚 [1], 李 睿宸 [1], 杉本 澪貴 [1],田中 有弥 [2], 山根 大輔 [1][1] 立命館大学 , [2] 群馬大学

7P2-PN-56
酸化銅ナノワイヤの幾何学的形状を利用したアルコール識
別溶液センサの開発
木村 由斉 *, 燈明 泰成
東北大学

7P2-PN-57
ハイブリッド高分子マイクロロボット製作のための温度応
答性駆動源とソフト骨格の検討
上月 晴菜 *[1], 吉田 光輝 [1], 矢菅 浩規 [2], 倉科 佑太 [1][1] 東京農工大学 , [2] 産業技術総合研究所

7P2-PN-63
MEMS 人工聴覚上皮を伝わる進行波の数値解析
加納 康平 *, 山崎 嘉己 , 川野 聡恭
大阪大学7P2-PN-64
聴覚メカニクスの解明を志向した in vivo 光イメージング法の技術改良
太田 岳 *, 日比野 浩
大阪大学

15:25-16:05
基調講演 III

7P3-M

座長：橋新 剛（九州大学）

7P3-M-1「熊本城」～熊本地震からの復興
津曲 俊博 *
熊本城総合事務所

16:05-16:45
基調講演 IV

災害復旧相談役

7P3-M

座長：橋新 剛（九州大学）

7P3-M-2
球磨焼酎 500 年の伝統と革新 変わらないために変わり続ける高橋酒造の挑戦
高橋 宏枝 *
高橋酒造 常務取締役

16:55-17:55
7P4-M
センサシンポジウム 40 周年記念企画パネルディスカッション「10 年後のセンサ MEMS の将来像」
モデレータ：
年吉 洋 *，
東京大学
パネリスト：
本間 浩章 *， 神戸大学
猪股 直生 *， 東北大学
岡本 有貴 *， 産業技術総合研究所
鶴岡 典子 *， 東北大学
飯谷 健太助 *，東京医科歯科大学

7P2-PN-58
振動誘起流れによるナノ粒子検出に向けた粒子捕捉の実験
的および数値的研究
金子 完治 *[1], 津金 麻実子 [1], 長谷川 洋介 [2], 早川 健 [1],鈴木 宏明 [1][1] 中央大学 , [2] 東京大学

7P2-PN-59
サテライト液滴の表面張力振動を利用した非ニュートン流体の物性測定新田 怜司 *, 本田 龍一 , 田中 健太郎
東京海洋大学7P2-PN-60
液体金属による電子素子実装における応力分布解析
佐藤 峻 *, 岩瀬 英治
早稲田大学

7P2-PN-61

19:00-21:00

Future Technologies from KUMAMOTO 合同懇親会
場所：熊本ホテルキャッスル

2F

キャッスルホール

2023年11月8日（水）9:20-10:00
基調講演 V

8A1-M

座長：燈明 泰成（東北大学）

8A1-M-1
ダイヤモンド半導体の最近の進展：パワー半導体と大口径
ウェハの開発嘉数 誠 *
佐賀大学

理工学部

教授

薄膜干渉を利用したハイドロゲル化学物質センサ
南 百花 *, 尾上 弘晃
慶應義塾大学

10:10-10:50

日本機械学会

日本機械学会・日本生理学会の連携セッション

8A2-M

マイクロ・ナノ工学部門表彰式

座長：土井 謙太郎（豊橋技術科学大学）

7P2-PN-62
内耳の仕組みと難聴
日比野 浩 *, 太田 岳
大阪大学

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

37

11:50-12:40

8P1-M

出展者による技術展示発表セッション III
座長：橋本 英生（住友精密工業）
マトリクソーム
ティ・ディ・シー
SPP テクノロジーズ
タクミナ
TCK
三井化学
太洋工業
アメテックザイゴ事業部
メイワフォーシス
アルテック
大阪公立大学 機能デバイス物性研究室
MMI セミコンダクター
新興精機
SIJ テクノロジ

マルチフェーズフィールド法により構築したナノ多結晶構造のフォノン輸送解析
安田 直生 *[1], 苫米地 陸 [1], 三好 英輔 [2], 堀 琢磨 [1][1] 東京農工大学 , [2] 大阪公立大学

8P2-PN-10
反射率温度依存性を用いたレーザー光反射強度計測による表面温度の非接触測定
村上 大志 *[1], 土屋 智由 [2], 霜降 真希 [2], 三宅 修吾 [1][1] 神戸市立工業高等専門学校 , [2] 京都大学

8P2-PN-11
シリコン電極薄型燃料電池の開発 － PDMS 流路を用いた酸
素加湿量の影響観察－
坂井 悠太 *, 早瀬 仁則
東京理科大学8P2-PN-12

12:40-13:50

熊本城散策（事前申込が必要です。60 名限定）
13:50-15:20

8P2-PN-9

8P2-P

ポスターセッション III
8P2-PN-1
光干渉縞法による狭い隙間における濡れ挙動の観察
谷本 祥吾 *[1], 李 賀 [2], 田中 健太郎 [1][1] 東京海洋大学 , [2] 浙江海洋大学

8P2-PN-2
セルロースハイドロゲルに基づく力学的メタマテリアルの変形モード設計
中川 大輔 *, 花崎 逸雄
東京農工大学8P2-PN-3
音波振動と気泡を用いた微小物体の回転制御の研究
森 飛龍 *, 市川 明彦
名城大学

8P2-PN-4
プラズマ支援原子層堆積プロセスで発生する気相粒子のマ
ルチスケール解析
小﨑 祐助 *, 上根 直也 , 徳増 崇
東北大学8P2-PN-5
干渉散乱光を用いたナノ空間非蛍光 1 粒子追跡法の開発
山野 紘一郎 *, 嘉副 裕
慶應義塾大学8P2-PN-6
粒子追跡法を用いたマイクロ流れの計測における光捕捉の応用
橋本 昇磨 *, 辻 徹郎 , 田口 智清
京都大学

8P2-PN-7
マイクロ液滴を用いたタンパク質の結晶成長制御

山中 康平 *, 古谷 正裕 , 宮崎 彩 , 田中 大器 , 小林 雅史 , 村重 友哉 , 齋
藤 俊 , 藤田 理紗
早稲田大学

8P2-PN-8
気泡付着デバイスの振動による微小流体制御手法
水野 竜也 *, 市川 明彦
名城大学

２軸伸縮性を有する切り紙型熱電発電デバイスの作製
寺嶋 真伍 *, 岩瀬 英治
早稲田大学

8P2-PN-13
Bi-directional differential 3 ω法による塗布薄膜の熱伝導率計測
立花 宗稀 *, 淺野 恭平 , 焦 一航 , 矢吹 智英
九州工業大学8P2-PN-142 種単分散 Cu2O 混合ナノ球インクを用いた Cu 系パターンのフェムト秒レーザ直接描画
Tran Duc Thuan*, Nguyen Vu Trung Kien, 水谷 桜輔 , 溝尻 瑞枝
長岡技術科学大学

8P2-PN-15
DLP 光造形装置の開発とガラス 3 Ｄプリントへの応用
八田 裕貴 *, 山野井 慶彦 , 飯島 志行 , 向井 理 , 丸尾 昭二
横浜国立大学8P2-PN-16
プラズマ誘起気泡を用いた異種金属堆積と材料特性評価
竹田 匠吾 *, 鳥取 直友 , 佐久間 臣耶 , 山西 陽子
九州大学

8P2-PN-17
フォトレジストの厚膜を成型する際に混入する気泡の除去
手法
柴田 勝哉 *, 遠藤 真帆 , 冨士原 民雄
東京都市大学8P2-PN-18
レーザ加工による連続ディンプルを有するマイクロ流路のCFD 評価に関する基礎研究
山元 健太郎 *[1], 木村 悠之介 [1], 北田 良二 [1], 天谷 諭 [2][1] 崇城大学 , [2] 東京大学

8P2-PN-19
グリーンフェムト秒レーザ SiC プリンティングにおける SiC
ナノ粒子サイズ効果
西坂 海里 *[1], Amarsaikhan Khaliun[1], 渡部 雅 [2], 今井 良行 [2], 植
田 祥平 [2], Yan Xing[2], 溝尻 瑞枝 [1][1] 長岡技術科学大学 , [2] 日本原子力研究開発機構

8P2-PN-20
フォトリソグラフィで作製したマイクロテーパ構造が表面濡れ性に及ぼす影響
米沢 琴音 *, 田中 有弥 , 鈴木 孝明
群馬大学

8P2-PN-21
バブルプリンティングによる導電性高分子パターンの直接描画
小林 達也 *, 向井 理 , 丸尾 昭二
横浜国立大学

38

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

8P2-PN-22

8P2-PN-35

双安定構造ヘルムホルツ共鳴器を利用した二周波数特性を持つ音響ノッチフィルタ
福田 将広 *, 高橋 英俊
慶應義塾大学8P2-PN-23
谷原 渉 *[1], 佐藤 蒼馬 [1], 尾上 弘晃 [2], 管 哲朗 [1][1] 電気通信大学 , [2] 慶應義塾大学

8P2-PN-24

拮抗構造を付与したバイオハイブリッド心筋ロボット
森田 智博 *, 聶 銘昊 , 竹内 昌治
東京大学8P2-PN-37

樹脂製ロボット統合型マイクロ流体チップを用いた細胞の力学特性計測木山 誠啓 *, 山西 陽子 , 佐久間 臣耶
九州大学

8P2-PN-25

ライトシート顕微鏡系を用いた癌細胞スフェロイドの浸潤特性の三次元観察
宮本 将貴 , 小田 雄大 , 宮田 昌悟 *慶應義塾大学8P2-PN-38

Origami-Kirigami 拡張性を指向したソフトグリッパーの構築
本多 佑希 *, 横尾 栄⼈ , 遠藤 洋史
富山県立大学

SiN 多孔膜に形成した微小電極アレイによるヒト iPS 細胞由来ニューロンの細胞外電位計測
坂本 虎之介 *, 吉田 悟志 , 安田 隆
九州工業大学8P2-PN-26
酸化バナジウムのピエゾ抵抗効果におけるタングステン
ドーピング濃度および温度依存性の評価
猪股 直生 *[1], 臼田 琢人 [1], 山本 裕司 [2], Zoellner Marvin[2],Costina Ioan[2], 小野 崇人 [1][1] 東北大学 , [2]IHP – Leibniz-Institut für Innovative
Mikroelektronik

8P2-PN-39
in vivo 遺伝子治療に向けたオプトポレーション後の細胞動態の計測
馬込 壮真 *, 山本 寛文 , Mishra Aniket, 岡本 俊哉 , 柴田 隆行 , 永井 萌土
豊橋技術科学大学

8P2-PN-40

8P2-PN-27
レーザ変位計を利用したガラス製微小二軸フォースプレート
大野 望 *, 高橋 英俊 , 島崎 健一郎
慶應義塾大学8P2-PN-28

ウェアラブルデバイスへ向けた一体型電極を有する直列化
バイオ燃料電池の開発
今村 賢士 *, 吉田 昭太郎
中央大学

8P2-PN-41

講演取り下げ

小型医療ロボット用の送りネジ機構で展開する脚部の開発

高橋 知宏 *, 大工原 裕希 , 熊倉 佑樹 , LYU SHUXIN, 森下 克幸 , 齊藤 健
日本大学

8P2-PN-29
視覚ベースの触覚センサデバイスのための機械学習手法の検討
智一 , 青柳 誠司

8P2-PN-30
ソフトロボットの皮膚に適用可能なメカノクロミックディ
スプレイの開発佐藤 舞 *, 吉田 昭太郎
中央大学

8P2-PN-31
MEMS 加工と 3D プリントのハイブリッドプロセスによる
プローブ型マイクロ酸素センサの作製
能丸 純太朗 *, 益田 泰輔 , 天谷 諭 , 渡邉 史朗 , 新井 史人
東京大学

8P2-PN-32
金回折格子構造による電流検出型表面プラズモン共鳴セン
サの生体分子計測への適用
今井 雄貴 *, 鈴木 紳一 , Abubakr Eslam, 瀧 真清 , 菅 哲朗
電気通信大学8P2-PN-33
プリズムとサンプリングモアレ法を用いた三軸フォースプ
レート
野村 旺雅 *, 高橋 英俊
慶應義塾大学8P2-PN-34
神経電位計測のためのマイクロ有機電極アレイの印刷法の開発
村上 達哉 *, 彌田 尚希 , 吉田 昭太郎
中央大学

山川 龍斗 *[1], 李 江 [1], 尾上 弘晃 [2], 倉科 佑太 [1][1] 東京農工大学 , [2] 慶應義塾大学

8P2-PN-36

土壌特性評価に向けた等方性メタマテリアルの反射特性評価

金澤 祐真 *, 白鳥 俊宏 , 坂本 陣也 , 鈴木 昌人 , 高橋
関西大学

周波数変化が気泡核を含有した音響応答性ハイドロゲルの薬剤徐放に及ぼす影響

8P2-PN-42
可食素材のみで構成されたワイヤレス消化器官センサ
冨田 健太朗 *, 稲見 文香 , 阪部 拳 , 菅 哲朗 , 尾上 弘晃
慶應義塾大学8P2-PN-43
マイクロ流路内における分子人工筋肉駆動の断続的回転運動の実現
髙橋 成享 *[1], 王 穎哲 [1], 新田 高洋 [2], 平塚 祐一 [3], 森島 圭祐 [1][1] 大阪大学 , [2] 岐阜大学 , [3] 北陸先端科学技術大学院大学

8P2-PN-44
フレキシブル基板における自己修復型金属配線の封止構造の検討
明間 和奏 *, 岩瀬 英治
早稲田大学

8P2-PN-45
自己組織化エレクトレット微細パターン膜の表面電位増大に向けた検討杉本 澪貴 *[1], 李 睿宸 [1], 角野 響一 [1], 砂川 優一朗 [1], 細井 覚 [1],田中 有弥 [2], 山根 大輔 [1][1] 立命館大学 , [2] 群馬大学

8P2-PN-46
酸化銅ナノ薄膜を有する溶液センサの体液成分検知性能について
佐々木 道滉 *, 木村 由斉 , 燈明 泰成
東北大学8P2-PN-47
有機材料の多層印刷による有機電気化学トランジスタの開発
原 悠真 *, 吉田 昭太郎
中央大学

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

39

8P2-PN-48
温度応答性バルブを用いた紙デバイスでの複数種試薬の流体制御

長野 雅也 *[1], 岩﨑 渉 [2], 森田 伸友 [2], 本村 大成 [2], 竹村 謙信 [2],中西 義孝 [1], 中島 雄太 [1][1] 熊本大学 , [2] 国立研究開発法人産業技術総合研究所

8P2-PN-49
マイクロカンチレバーの高次モード自励発振による微小質
量計測の高感度化
兵藤 悠二 *, 薮野 浩司
筑波大学

8P2-PN-50
液体架橋破断法を用いた微小液滴の生成とその捕捉
黒木 瞭 *, 田中 健太郎
東京海洋大学8P2-PN-51
振動誘起流れを用いた単分散 DNA ゲルのサイズ制御法
黄 之泰 *[1], 金子 完治 [1], 米山 遼太郎 [1], 早川 健 [1],
瀧ノ上 正浩 [2], 鈴木 宏明 [1][1] 中央大学 , [2] 東京工業大学

8P2-PN-52
肺気管支でのその場計測を可能にするバルーンカテーテル型流量センサの開発
イ スンヒョン *[1], アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン [1],松島 充代子 [2], 長谷川 義大 [1], 川部 勤 [2], 式田 光宏 [1][1] 広島市立大学 , [2] 名古屋大学 4

8P2-PN-53
シードレス・非加熱液相還元法で合成した三角形平板状金ナノプレートを用いた LSPR センサの特性評価
浜本 真央 *, 柳生 裕聖
関東学院大学8P2-PN-54
時間分割手法による 3D カラーメタサーフェスホログラムの投影
別府 純平 *[1], 山口 眞和 [1], 小野澤 たまき [1], 池沢 聡 [2],岩見 健太郎 [1][1] 東京農工大学 , [2] 早稲田大学

8P2-PN-55
鏡面加工が可能なチタン製マイクロ構造形成プロセスの開発
大石 恭徳 *, 西村 哲登 , 寒川 雅之 , 安部 隆
新潟大学

8P2-PN-56
液体金属とエラストマによるスルーホール実装の提案
信田 虎太郎 *, 佐藤 峻 , 岩瀬 英治
早稲田大学

8P2-PN-57
ペリスタポンプ一体型マイクロピペットアレイを用いた単一細胞の再配置
宅和 宏樹 *, 川名 絃太 , 長谷川 篤哉 , 岡本 俊哉 , 柴田 隆行 , 永井 萌土
豊橋技術科学大学

8P2-PN-58
高周波変調光源下での PtSi/p-Si ベースのショットキー型中赤外線検出器の安定性向上
Elyas Ashenafi*, Abubakr Eslam, 大下 雅昭 , 菅 哲朗
電気通信大学8P2-PN-59
胃の運動モニタリングのための圧電体複合薄膜を用いた可食性ワイヤレスカプセルセンサ
三浦 嗣恩 *[1], 管 哲朗 [2], 尾上 弘晃 [1][1] 慶応義塾大学 , [2] 電気通信大学

8P2-PN-60
6G 通信に向けた Si 誘電体メタサーフェスによるテラヘル
ツ波偏向デバイス
千葉 滉平 *, 岡谷 泰佑 , 猪股 直生 , 金森 義明
東北大学

40

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

8P2-PN-61
高分子超薄膜電子デバイスにおける厚膜電極接続部の形状検討佐藤 峻 *[1], 小此木 葵衣 [2], 藤田 創 [3], 藤枝 俊宣 [3], 岩瀬 英治 [1][1] 早稲田大学 , [2] 東京工業大学 , [3]Stanford University

8P2-PN-62
マイクロ構造中への Electrocapillary 現象を用いた微小液滴の生成
矢菅 浩規 *[1], 奥村 剛 [2], 竹井 裕介 [1][1] 産業技術総合研究所 , [2] お茶の水女子大学

P2-PN-63
音響浮揚型空中ディスプレイのための構造色ボクセルの音
圧変色応答特性後藤 颯 *, 西田 知司 , 尾上 弘晃
慶應義塾大学8P2-PN-64
DNA ゲルコンピュータの計測に向けた電気デバイスの開発
吉田 光輝 *, 瀧ノ上 正浩
東京工業大学8P2-PN-65
AEM における水酸化物イオンの輸送機構の解明
小野 龍生 *, 鈴木 寛人 , 馬渕 拓哉 , 徳増 崇
東北大学

15:30-16:45
8P3-M
Future Technologies 合同招待セッション

座長：小野寺 武（九州大学），燈明 泰成（東北大学），梨本 裕司（東京医科歯科大学），土屋 智由（京都大学）

8P3-M-1
生体・環境情報モニタリングのための完全分解型ワイヤレスセンサ
尾上 弘晃 *
慶應義塾大学8P3-M-2分子イメージング手法を用いた熱流体可視化手法の研究
松田 佑 *
早稲田大学

8P3-M-3
電気化学をベースにしたバイオ分析とバイオファブリケーション
伊野 浩介 *
東北大学

8P3-M-4
電荷増倍機能を有する結晶セレン積層型 8K 撮像デバイスの研究

為村 成亨 *[1]，新井 俊希 [1]，宮川 和典 [1]，杉山 睦 [2]，難波 正和 [1][1]NHK 放送技術研究所，[2] 東京理科大学

16:45-17:25
基調講演 VI

8P4-M

座長：梶 弘和（東京医科歯科大学）

8P4-M-1
次世代医療用眼レンズに向けた材料・デバイス・システム
三宅 丈雄 *
早稲田大学

大学院情報生産システム研究科

17:25-18:05
8P5-M
閉会式・表彰式
閉会式・表彰式

11月9日（木）テクニカルツアー（事前申込要）

教授

応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会
第 15 回「集積化 MEMS シンポジウム」

2023年11月6日（月）11:00-11:30
開会式

6A2-M

11:30-12:10
基調講演 I

6A3-M

座長：澤田 和明（豊橋技術科学大学）

6A3-M-1
3D 積層型 CMOS イメージセンサを進化させるプロセス技術

16:15-17:30

材料物理とリザバーコンピューティング

座長：積 知範（オムロン）

6P4-D-1
ポリイミドフィルムを用いた光干渉型 MEMS 表面応力セン
サの作製* 福岡 秀太 , 崔 容俊 , 野田 俊彦 , 澤田 和明 , 高橋 一浩
豊橋技術科学大学

6P4-D-2
高電界印加によるグラフェン積層接合の抵抗変化* 大井 基暉｛1｝, 村上 隼瑛｛1｝, 久保 倖介｛1｝, 中川 剛瑠｛1｝,影島 博之｛2｝, 大野 恭秀｛1｝, 永瀬 雅夫｛1｝｛1｝徳島大学 ｛2｝島根大学,

6P4-D-3
薄膜内部応力のポストプロセス測定デバイスの高精度化

岩元 勇人氏ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
第 2/4 研究部門 部門長

12:20-12:55

6P1-M

出展者による技術展示発表セッション I

座長：内貴 崇（ローム）
エス・イー・アール
ジオマテックデンソー
住友精密工業
ハイデルベルグ・インストルメンツ
アイカムス・ラボ
東京大学 マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点～革新的なエネ
ルギー変換を可能とするマテリアル～（東京大学・広島大学・日本原子力研
究開発機構）* 高瀬 駿 , 岡 智絵美 , 櫻井 淳平 , 秦 誠一
名古屋大学

6P4-D-4
圧電 MEMS 共振器を用いた物理リザバーコンピューティング* 吉村 武｛1｝, 芳賀 大樹｛1｝, 藤村 紀文｛1｝, 神田 健介｛2｝,神野 伊策｛3｝｛1｝大阪公立大学 ｛2｝兵庫県立大学,｛3｝神戸大学,

6P4-D-5
共 振 型 加 速 度 セ ン サ を 一 体 化 し た MEMS リ ザ バ ー コ ン
ピューティングによる人間行動認識* 千賀 美咲 , 水本 昂宏 , Banerjee Amit, 廣谷 潤 , 土屋 智由
京都大学

19:10-21:00
14:50-16:05

6P3-D

光センサとバイオイメージング

6P6-E

FT 合同若手企画

キャリアパスについて大学教員，国研研究員，大学院博士課程の 6 名の講師にポスター発表していただきます。小規模懇親会（軽食，飲み物を準備）を並行して開催します。
講演者
岩﨑 渉 産業技術総合研究所
佐藤 峻 早稲田大学
田中 大器 早稲田大学
長峯 邦明 山形大学
南茂 彩華 横浜国立大学
平本 薫 東北大学

座長：廣谷 潤（京都大学）

6P3-D-1
スペクトルイメージングに向けたフィルタフリー分光セン
サ作製のための エピタキシャル基板を用いた基礎検討* 仲野 翔 , 崔 容俊 , 井出 智也 , 髙橋 一浩 , 野田 俊彦 , 澤田 和明
豊橋技術科学大学

6P3-D-2

6P4-D

2023年11月7日（火）周波数ΔΣ方式走査型近接場マイクロ波顕微鏡の実験的検証* 前澤 宏一 , 森 雅之
富山大学

9:10-9:50
基調講演 II

7A1-M

座長：土屋 智由（京都大学）

6P3-D-3
High Resolution 2D Impedance Spectroscopy with a ThinFilm-Transistor device for Cell Culture Monitoring*Hu Xingzhuo
The University of Tokyo

7A1-M-1
集積回路：使ってナンボ，使われてナンボ
益 一哉氏
東京工業大学学長

6P3-D-4電流駆動型グラフェン共振質量センサによる非標識ウイル
ス検出*Pham Viet Khoa｛1｝, 吉田 誉｛1｝, 坂井 佐知子｛1｝, 秋田 一平｛2｝,合田 達郎｛3｝, 崔 容俊｛1｝, 野田 俊彦｛1｝, 澤田 和明｛1｝,高橋 一浩｛1｝｛1｝豊橋技術科学大学 ｛2｝産業技術総合研究所,｛3｝東洋大学,

6P3-D-5
Open-Source Live-Tracking Software for Cardiomyocyte
Cell Analyses

メーニエー トーマー｛1｝, メーリ ブルノー｛1｝, 年吉 洋｛2｝,* ティクシエ三田 アニエス｛2｝｛1｝IUT of Bordeaux Gradignan, France, ｛2｝東京大学

10:00-12:40

7A2-M

第 3 回 日本 - 台湾国際交流シンポジウムThe 3rd Japan-Taiwan Joint Symposium
集積化 MEMS シンポジウムの企画セッションとして，日本 - 台湾国際交流シンポジウムを開催します。今回は 2016 年平戸，2018 年新竹・台北で開催されたシンポジウムの 3 回目となります。台湾からの 4 件を含む，6 件の招待
講演を企画しました。
The Japan-Taiwan Joint Symposium will be held at Future Technologies
from Kumamoto as a special session within the Integrated MEMS
Symposium. This symposium is the third symposium in the series, and willfeature 6 invited talks including 4 speakers from Taiwan.
Program Schedule
Future Technologies from KUMAMOTO 2023

41

Session 7A2
10:00-11:15
10:00-10:25	“Thin Film Piezoelectric Technology in Volume Foundry
for MEMS Applications”Sean Cheng, TSMC,
10:25-10:50	“Technological Trends and Sensing Technologies for
Semiconductor Production Equipment”
Hisato Tanaka, Tokyo Electron
10:50-11:15	“Creating Semiconductor Devices for Each Customer with
Minimal Fab to Shape the Future”
Fumito Imura, Hundred Semiconductors
11:15-11:25
Break
Session 7A3
11:25-12:40
11:25-11:50	“Desk-top Chemical Plants Using Microfluidic Technology”
Chihchen Chen, National Tsing Hua Univ.
11:50-12:15	“Triboelectric nanosensor: a prototype of self-powered
sensor based on surface triboelectrification”
Zong-Hong Lin, National Taiwan Univ.
12:15-12:40	“Low Power Intelligent Object Detection（LIOD）:
Empowering Sensing Intelligence in Edge Application”
Masatoshi Yamai, PixArt Japan

12:45-13:40

7P1-M

出展者による技術展示発表セッション II

座長：加納 一彦（デンソー）
ASTI
セイコーエプソン
日本カンタム・デザイン
東京応化工業
ミライズテクノロジーズ
ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent
文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM Japan）
シーエステック
BMF Japan
SCREEN セミコンダクターソリューションズ
ネオアーク

7P2-PM-6
The Symphony via Photoelectrochemical for Alzheimer's
Disease*Lin Yu-Chien, Chang Chia-Hsuan, Wang Yu-Rong, Chien Shang-Chi,
Wang Hung-Ru, Chen Jung-Chih
National Yang Ming Chiao Tung University

7P2-PM-7
ELECTROACTIVE POLYMER-BASED CURVATURE SENSING
DEVICE*Feng Guo-Hua｛1｝, Chu Guo-Yen｛2｝｛1｝National Tsing Hua University,｛2｝National Chung Cheng
University

15:25-16:05
基調講演 III

座長：橋新 剛（熊本大学）

7P3-M-1「熊本城」～熊本地震からの復興
津曲 俊博氏熊本城総合事務所

16:05-16:45
基調講演 IV

7P2-P

マイクロ g レベルセンシング用 1 軸 MEMS 加速度センサの穴あき金錘の反りに関する検討*Devi Srujana Tenneti, Kisuke Miyado, Akira Onishi, Tatsuhiko Mori,
Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato
Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito
東京工業大学7P2-PM-2
MEMS 光スキャナーのロボットビジョンへの応用* フォオル ガブリエル , 年吉 洋
東京大学

7P2-PM-3
CMOS MEMS Device for Physical Reservoir Computing*Chiu Yi, Tsai F.-W., Wang L.-K., Lee Y.-C., Garg M., Hong H.-C.
National Yang Ming Chiao Tung University

7P2-PM-4
Deep eutectic solvent ionic gel for the development ofsuper-stretchable, flexible, and antibacterial strain
sensors for human activity monitoring*Chuang Cheng-Hsin
National Sun Yat-sen University

7P2-PM-5
Direct Patterning of Metal Nanoparticles and Porous
Silicon through Droplet Deposition*Tsao Chia-Wen, Shen Ping-Chin
National Central University

7P3-M

7P3-M-2
球磨焼酎 500 年の伝統と革新ける高橋酒造の挑戦
高橋 宏枝氏高橋酒造株式会社

変わらないために変わり続常務取締役（営業企画担当）

7P5

Future Technologies from KUMAMOTO 合同懇親会
場所：熊本ホテルキャッスル

ポスターセッション II

7P2-PM-1

災害復旧相談役

座長：橋新 剛（熊本大学）

19:00-21:00
13:45-15:15

7P3-M

2F

キャッスルホール

2023年11月8日（水）9:20-10:00
基調講演 V

8A1-M

座長：燈明 泰成（東北大学）

8A1-M-1
ダイヤモンド半導体の最近の進展：パワー半導体と大口径
ウェハの開発嘉数 誠氏
佐賀大学 理工学部

10:10-11:25

教授

8A2-D

エナジーハーベスタとフィジカルセンサ（加速度、ジャイロ）
座長：三田 吉郎（東京大学）

8A2-D-1
落下液滴による圧電振動型ハーベスタ* 成田 裕樹 , 神田 健介 , 前中 一介
兵庫県立大学8A2-D-2
MEMS 振動発電素子の発電特性に対する位相検出電極の影響* 本間 浩章 , 水野 裕登 , 年吉 洋
東京大学

8A2-D-3
機械的弱結合によるハーベスタの出力向上とその等価回路モデル* 野村 明弘 , 神田 健介 , 前中 一介
兵庫県立大学

42

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

8A2-D-4
Au 錘 1 軸差動型 CMOS-MEMS 加速度センサのための錘位置制御電極の検討* 御宿 希祐 , 大西 哲 , Tenneti Devi Srujana, 町田 克之 , 栗岡 智行 ,Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人 , 三宅 美博 , 伊藤 浩之
東京工業大学8A2-D-5
面取り矩形支持ばねを用いた（100）単結晶シリコンリング型振動 ジャイロの理論解析* 高橋 歩夢 , 岡山 修也 , Amit Banerjee, 廣谷 潤 , 土屋 智由
京都大学

11:50-12:40

8P1-M

出展者による技術展示発表セッション III

座長：橋本 英生（住友精密工業）
マトリクソーム
ティ・ディ・シー
SPP テクノロジーズ
タクミナ
TCK
三井化学
太洋工業
アメテックザイゴ事業部
メイワフォーシス
アルテック
大阪公立大学 機能デバイス物性研究室
MMI セミコンダクター
新興精機
SIJ テクノロジ

座長：小野寺 武（九州大学），燈明 泰成（東北大学），

梨本 裕司（東京医科歯科大学），土屋 智由（京都大学）

8P3-M-1
生体・環境情報モニタリングのための完全分解型ワイヤレ
スセンサ
尾上 弘晃 *
慶應義塾大学8P3-M-2分子イメージング手法を用いた熱流体可視化手法の研究
松田 佑 *
早稲田大学

8P3-M-3
電気化学をベースにしたバイオ分析とバイオファブリケー
ション
伊野 浩介 *
東北大学

8P3-M-4
電荷増倍機能を有する結晶セレン積層型 8K 撮像デバイスの研究

為村 成亨 *｛1｝，新井 俊希｛1｝，宮川 和典｛1｝，杉山 睦｛2｝，難波 正和｛1｝｛1｝NHK 放送技術研究所，｛2｝東京理科大学

16:45-17:25
基調講演 VI

12:40-13:50

8P4-M

座長：梶 弘和（東京医科歯科大学）

熊本城散策（事前申込が必要です。60 名限定）
13:50-15:20

15:30-16:45
8P3-M
Future Technologies 合同招待セッション

8P2-P

ポスターセッション III
8P2-PM-1
Ti/Au 多層マイクロカンチレバーの実効ヤング率に対する構
造依存性に関する研究* 渡邉 春海 , 栗岡 智行 , Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 大西 哲 ,Parthojit Chakraborty, 町田 克之 , 伊藤 浩之 , 三宅 美博
東京工業大学8P4-M-1
次世代医療用眼レンズに向けた材料・デバイス・システム
三宅 丈雄
早稲田大学

17:25-18:05
8P5-M
閉会式・表彰式
2023年11月9日（木）テクニカルツアー

8P2-PM-2
静電容量形圧力センサ用 Al-Cu-Ti 薄膜非晶質合金のコンビ
ナトリアル探索* 大塚 穂高 , 二関 隆史 , 岡 智絵美 , 秦 誠一 , 櫻井 淳平
名古屋大学8P2-PM-3
エネルギー図に基づいた SAE-MEMS VEH 等価回路モデルの実装* 得能 京介｛1｝, 木下 翔平｛1｝, 栢口 英之｛2｝, 栗原 啓輔｛2｝,石井 久夫｛2｝, 田中 有弥｛3｝, 山根 大輔｛1｝｛1｝立命館大学 ｛2｝千葉大学,｛2｝群馬大学,

8P2-PM-4
環境振動発電応用に向けた整流昇圧回路の開発* 木下 翔平 , 得能 京介 , 杉谷 文恒 , 曽野 記生 , 山根 大輔
立命館大学

8P2-PM-5
POF のドライエッチング技術の検討* 中島 遼｛1｝, 中西 拓登｛1｝, 李 ひよん｛2｝, 水野 洋輔｛3｝, 山
根 大輔｛1｝｛1｝立命館大学 ｛2｝芝浦工業大学,｛3｝横浜国立大学,

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

43

6P5-PC-05

化学とマイクロ・ナノシステム学会
第 48 回研究会
2023年11月6日（月）11:00-11:30
開会式

6A2-M

11:30-12:10
基調講演 I

6A3-M

6A3-M-1
3D 積層型 CMOS イメージセンサを進化させるプロセス技術
岩元 勇人 *
ソニーセミコンダクタソリューションズ
第 2/4 研究部門 部門長

6P1-M

出展者による技術展示発表セッション I

座長：内貴 崇（ローム）
エス・イー・アール
ジオマテックデンソー
住友精密工業
ハイデルベルグ・インストルメンツ
アイカムス・ラボ
東京大学 マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点～革新的なエネ
ルギー変換を可能とするマテリアル～
（東京大学・広島大学・日本原子力研究開発機構）

13:10 ～ 14:40

6P2-A

フラッシュプレゼンテーション（A 会場）
17:40-19:10

6P5-P

ポスターセッション I
6P5-PC-01
High Throughput Production of Ladder-Like
Microparticles by Continuous Flow Lithography

Hinata TOKUDA（1）, Miu TAMAMITSU（1）,Yoshiyuki TSUYAMA（2）, Kazuki HATTORI（1）, Sadao OTA（1）（1）The University of Tokyo,（2）Tokyo Medical University

6P5-PC-02
部分拘束ゲルアクチュエータによる ON/OFF 比の高いオン
チップバルブの作製

中野京香（1），横山義之（2），早川健（1）（1）中央大院理工研，（2）富山産技研

6P5-PC-03
気体の蓄積と放出によって駆動する液中自律移動デバイス
檜森匠吾，高橋陸，田中あや，山口真澄
NTT 物性科学基礎研究所

6P5-PC-04
ナノ流体デバイスによるナノゲル酵素超越システムの反応モデルの実験検証

土手勇介（1），黄学進（2），高井まどか（2），許岩（1）（1）大阪公立大学大学院工学研究科，（2）東京大学大学院工学研究科

44

嶋田聖（1），村山知美（1），須藤亮（1），尾上弘晃（1），瀧真清（2），山下忠紘（1）（1）慶應義塾大院理工学研究科，（2）電通大院情報理工学研究科

6P5-PC-06
青色レーザーによるレーザー誘起グラフェン電極の作製法の検討

梅津和己（1），長峯邦明（1）（1）山形大院有機

座長：澤田 和明（豊橋技術科学大学）

12:20-12:55

曲率が規定された細胞接着性ハイドロゲルマイクロビーズの開発

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

6P5-PC-07
短パルスレーザー微細加工による蛍光タンパク質付着・吸収抑制機能の実現

田辺綾乃（1），上杉祐貴（2），小澤祐市（2），佐藤俊一（2）（1）シチズン時計（株），（2）東北大多元研

6P5-PC-08
微細藻類により駆動するマイクロデバイス
川上晴己，小田悠加，聶銘昊，竹内昌治
東京大学6P5-PC-09
窒素ドープグラフェン /NiWO4 を担持したトラックエッチ
膜電極システムを用いるグルコースセンサ

谷彩楓（1），藤木壮磨（1），大石昌嗣（1），飯山真充（2），髙栁俊夫（1），Yu-Chi Lin（3），Min-Hsin Yeh（3），水口仁志（1）（1）徳島大院理工，（2）野村マイクロサイエンス，（3）台湾科技大6P5-PC-10
超解像度顕微鏡を用いた exo-packing aifA 構造によるエクソソームのサイズ分画能の定量的な評価

有井紀乃（1），玉置大悟（2），廣澤幸一朗（3），鈴木健一（3），許岩（1）,（2）,（4）（1）大阪府立大学工学域，（2）大阪公立大学工学研究科，（3）岐阜大学 iGCORE 研究所，（4）JST CREST

6P5-PC-11
マイクロ流体デバイスを用いたハイブリッドエクソソームの作製

大山祥大（1），真栄城正寿（2），日比野光恵（2），石田晃彦（2），渡慶次学（2）（1）北海道大学大学院 総合化学院，（2）北海道大学大学院 工学研究院

6P5-PC-12

形状記憶ハイドロゲルの造形手法の検討
小倉朱門，鈴木宏明
中央大学大学院理工学研究科精密工学専攻

6P5-PC-13
絶縁ポリマー層を用いた新規膜平行電圧印加チップの作製と評価

野村駿介（1），野本達也（2），小宮麻希（3），但木大介（3），平野愛弓（3）,（4）（1）東北大院工，（2）東北大院医工，（3）東北大通研，（4）東北大 AIMR

6P5-PC-14
バイオセンサ応用を指向した磁場応答性タンパク質ゲル微粒子の開発
菅野佑介，唐叶毅，増井周造，西迫貴志
東京工業大

6P5-PC-15
マイクロミキサーを用いた転相乳化によるナノエマルショ
ン調製
増井周造，菅野佑介，西迫貴志
東京工業大学6P5-PC-16
小型極微量タンパク質検出システムの開発

島達也（1），志賀葉月（1），小林優希（2），佐藤朱音（2），伊藤悦朗（1）,（2），浮田芳昭（3）（1）（株）BioPhenoMA，（2）早稲田大学大学院先進理工学研究科，（3）
山梨大学工学部

6P5-PC-17
マイクロ流体デバイスによるポリマーソーム作製とマイク
ロリアクターとしての機能評価權藤悠貴（1），米山遼太郎（2），南條哲士（2），津金麻実子（1），鈴木宏明（1）（1）中央大学理工学部精密機械工学科，（2）中央大学大学院理工学研究科精密工学専攻

6P5-PC-18
アプタマーの分子認識により機械的変化を示すハイドロゲ
ルセンサ

加藤智史（1），石羽友莉花（1），瀧ノ上正浩（2），尾上弘晃（1）（1）慶應義塾大学，（2）東京工業大学

6P5-PC-19
2 種酵素を順次固定化したマイクロ流路による ATP の合成評価
三木祐人，佐藤友美，笠間敏博，三宅亮
東京大院工6P5-PC-20
振動誘起流れを用いたラテックス凝集によるタンパク質検
出感度の評価服部武生（1），金子完治（2），早川健（2），鈴木宏明（2）（1）中央大学理工学部精密機械工学科，（2）中央大学大学院理工学研究科精密工学専攻

6P5-PC-21
平間宏忠，駒﨑友亮

産総研
マイクロフルイディクスによる湿度変動電池のリデザイン

6P5-PC-22
鞭毛型マイクロゲルロボットの遊泳時の流体解析

佐藤日向子（1），横山義之（2），早川健（1）（1）中央大学，（2）富山県産業技術研究開発センター

6P5-PC-23
電気化学測定を用いたヒト腸管モデルのイメージングと表面粗さの評価伊藤千聖（1），伊野浩介（2），阿部博弥（2）,（3），珠玖仁（1）,（2）（1）東北大院環境，（2）東北大院工，（3）東北大学学際研

6P5-PC-24
嗅覚提示器具の評価のためのにおいセンシング手法の実験的検討

松尾祐希（1），加納伸也（2），早瀬仁則（1），平間宏忠（2）（1）東京理科大学創域理工学部機械航空宇宙工学科，（2）産業技術総合研究所人間拡張研究センター

6P5-PC-25
化学反応素子による画像エンコーディングと手書き文字分類
岩田あずさ，町田慧，岡野太治
東京農工大学・院工6P5-PC-26
マイクロピラーデバイスを用いた根の弾性率測定手法の開発
山﨑大輔，神野伊策，肥田博隆
神戸大学大学院工学研究科機械工学専攻

6P5-PC-27
単一細菌センシングによる尿中細菌の耐性識別

井上健太郎（1），嶋田泰佑（1），安井隆雄（1）,（2）,（3），山崎聖司（4），西野邦彦（4），馬場嘉信（1）,（2）,（5）（1）名大院工，（2）名大未来社会，（3）東工大生命理工，（4）産研，（5）QST 量子生命

6P5-PC-28
シルクフィブロインを利用した構造安定リポソームの作製

新田颯生（1），高木里菜（1），中澤靖元（1），小祝敬一郎（2），鈴木宏明（3），川野竜司（1）（1）東京農工大学院工学府生命工学専攻，（2）東京海洋大学 海洋生物資源学科，（3）中央大学精密機械工学科

6P5-PC-29
不揮発ゲル製タッチパッドを用いた非侵襲汗成分センサの開発

焦一航（1），富樫春太（2），長峯邦明（1）（1）山形大院有機、（2）山形大工

6P5-PC-30
脂質二分子膜の新規電気化学発光イメージング

平本薫（1），伊野浩介（2），平野愛弓（3），珠玖仁（2）（1）東北大学際研，（2）東北大院工，（3）東北大通研

6P5-PC-31
ラボオートメーションに向けた磁気センサ付きロボットハンド
森田和真，ニエ ミンハオ，竹内昌治
東京大学大学院情報理工学系研究科

6P5-PC-32
空気圧を用いた中空糸バイオリアクター組立自動化手法の提案
山本幹久，聶銘昊，竹内昌治
東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻

6P5-PC-33
単分散 GUV 内での DNA 凝集体のアクティブ制御

米山遼太郎（1），牛山諒太（1），丸山智也（2），瀧ノ上正浩（2）,（3），鈴木宏明（1）（1）中央大学大学院理工学研究科，（2）東京工業大学生命理工学院，（3）東京工業大学情報理工学院

6P5-PC-34
マイクロプラズマバブルによる金ナノ粒子堆積を利用した
光応答性ハイドロゲルアクチュエータ
髙橋晴菜，鳥取直友，佐久間臣耶，山西陽子
九大院工・機械

6P5-PC-35
匂いガスの流れを利用した細胞匂いセンサの応答性の向上

大崎寿久（1），中根卓馬（1）,（2），三村久敏（1），高森翔（1），三木則尚（1）,（2），竹内昌治（1）,（3）,（4）（1）神奈川県立産業技術総合研究所，（2）慶應義塾大学大学院理工学研究科，（3）東京大学生産技術研究所，（4）東京大学大学院情報理工学系研究科

6P5-PC-36
植物駆動型スイッチのためのフレキシブル電極
谷凌介，小田悠加，聶銘昊，竹内昌治
東京大院情報理工6P5-PC-37
ハイドロゲルトラップ構造を用いたセンサ細胞アレイの開発

三村久敏（1），大崎寿久（1），高森翔（1），小田悠加（2），竹内昌治（1）,（2）,（3）（1）神奈川県立産業技術総合研究所，（2）東京大学大学院情報理工学系研究科，（3）東京大学生産技術研究所

6P5-PC-38

抗体修飾金ナノ粒子間の凝集反応を利用した汗成分センサの開発
上田峻輔，塚田風吾，長峯邦明
山形大院有機6P5-PC-39

植物体内糖類の非破壊抽出・検出技術の開発
佐々木甫（1），浅野愛理奈（2），長峯邦明（1）（1）山形大院有機，（2）山形大工

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

45

6P5-PC-40
DNA-nanotweezers を用いた電気化学アプタセンサにおける Hemin の直接還元反応の評価

成澤純希（1），舟橋久景（2），長峯邦明（1）（1）山形大院有機，（2）広島大院

6P5-PC-41
木製微生物燃料電池による環境発電

阿部博弥（1）,（2），Nyangau Edwin Osebe（2），中安祐太（1）,（2），渡邉賢（2），梅津将喜（3），多田千佳（4）（1）東北大学際研，（2）東北大院工，（3）東北大院環境，（4）東北大院農6P5-PC-42
空気環境計測へ向けたバイオエアロゾル捕集デバイスの開発

伊勢谷太一（1），小野島大介（2），河合貴哉（1），湯川博（1）,（2）,（3），野平幸佑（4），閔弘圭（4），馬場嘉信（1）,（2）,（3）（1）名大院工，（2）名大未来社会，（3）量研機構，（4）（株）
Liberaware

6P5-PC-43
非競合蛍光偏光分析法の検出感度に影響する因子：トレーサーの蛍光位置および蛍光色素の寿命

千田駿亮（1），植咲月（2），福山真央（3），粕谷素洋（4），日比野光恵（5），石田晃彦（5），真栄城正寿（5），火原彰秀（6），渡慶次学（5）（1）北大院総化，（2）北大工，（3）東北大多元研，（4）小松大生産システム，（5）北大院工，（6）東工大理学院

6P5-PC-44
小型蛍光顕微鏡デバイスを用いた細胞センサシステム

池田果央（1），小田悠加（2），河井理雄（2），聶銘昊（2），竹内昌治（2）（1）東京大学工学部機械情報工学科，（2）東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻

6P5-PC-45
Rapid heavy metal ion detection using organic
nanocrystal combined silver nanoparticles on paper
analytical devices

Grasianto（1）, Mintang Mulyanto（1）, Citra 'Aaqilatul Faa'idah（1）,Diah Trisna Rahayu Lestari（1）, Mao Fukuyama（2）, Motohiro
Kasuya（3）, Akihide Hibara（4）（1）Institut Teknologi Sepuluh Nopember, Department ofChemistry,（2）Tohoku University Institute of Multidisciplinary
Research for Advance Materials,（3）Komatsu University,（4）Tokyo Institute of Technology, Department of Chemistry.

6P5-PC-46
電気ウナギを模したハイドロゲル電池の機能評価

齋藤勝吾（1），中山海斗（2），吉田昭太郎（3），鈴木宏明（1）（1）中央大学理工学部精密機械工学科，（2）中央大学大学院理工学研究科精密工学専攻，（3）中央大学理工学部電気電子情報通信工学科

6P5-PC-47
骨格筋組織の細胞外電位計測のための電極付き培養デバイス
宮下大毅，森本雄矢早稲田大学理工学術院

6P5-PC-48
血管内皮細胞・周皮細胞からなる自発的形成管腔のマイク
ロ流体灌流培養とバリア性能の評価

金親伸宜（1），土井仁智（1），西方光太郎（2），二井信行（1）,（2）（1）芝浦工業大学大学院理工学研究科機械工学専攻，（2）芝浦工業
大学大学院理工学研究科機能制御システム専攻

6P5-PC-49
膵管腺がんにおける免疫応答評価のための腫瘍微小環境モデルの構築

岡康平（1），Hang Zhou（1），藤本和也（1），渋田真結（2），生田目一寿（2），手塚和宏（2），横川隆司（1）（1）京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻，（2）
アステラス製薬株式会社

6P5-PC-50
取り外し可能なアンカーを用いた神経－筋共培養組織の構築
島本寛太，森本雄矢早稲田大学理工学術院

6P5-PC-51
細胞の電位計測を目的としたウェルデバイスの作製と評価

島宏徳（1），肥田博隆（1），神野伊策（1），小田聖也（2），
MATURANA Andres Daniel（2）（1）神戸大学大学院工学研究科，（2）名古屋大学大学院生命農学研究科

6P5-PC-52
表面弾性波による膜小胞破壊の検討

髙田隆平（1），金子完治（1），縄田一樹（2），佐藤玲子（1），津金麻実子（1），Ruoyu Zhong（3），Tony Jun Huang（3），鈴木宏明（1）（1）中央大学大学院理工学研究科精密工学専攻 ，（2）中央大学理工学部精密機械工学科 ，（3）Thomas Lord Department of Mechanical Engineering andMaterials Science, Duke University, USA

6P5-PC-53
オープン流路型シングルセルトラップ技術の大アレイ化の検討

番匠由香梨（1），寺谷浩登（2），米山遼太郎（2），鈴木宏明（2）（1）中央大学理工学部精密機械工学科，（2）中央大学大学院理工学研究科精密工学専攻

6P5-PC-54
線維芽細胞との共培養による膀胱上皮重層構造を持った膀
胱生体模倣システム西村太希（1），髙田裕司（1），尾藤和浩（2），藤本和也（1），髙里実（2）,（3）,（4），横川隆司（1）（1）京都大学大学院工学研究科，（2）理化学研究所生命機能科学研究センター，（3）京都大学大学院生命科学研究科，（4）大阪大学大学院医学系研究科

6P5-PC-55
生体模倣システムを用いたインピーダンス計測による細胞剥離検出と毒性評価
髙田裕司，Ramin Banan Sadeghian，藤本和也，横川隆司
京大院工6P5-PC-56
酵母の個体差の解析を目的とした空圧バルブ付きマイクロ
流体デバイスの開発
藤原稜平，Prihardi Kahar，荻野千秋，神野伊策，肥田博隆
神大院工6P5-PC-57
肺胞オルガノイドの伸縮評価のためのマイクロ流体デバイス

谷佑太（1），澤山淳（1），山本佑樹（2），聶銘昊（1），竹内昌治（1）（1）東京大学大学院情報理工学系研究科，（2）HiLung 株式会社

6P5-PC-58
表面弾性波を用いたリアルタイム波形測定による細胞の動態観察

香田駿（1），山田貴大（2），尾上弘晃（3），James Friend（2），倉科佑太（1）（1）東京農工大学，（2）University of California San Diego，（3）慶應義塾大学

14:50-17:30

6P3-A（A 会場）

CHEMINAS 企画セッション 1「分子認識型生体高分子」
座長：梶 弘和（東京医科歯科大学）

蛋白質連結による二重特異性抗体の構築
真壁 幸樹 *
山形大学大学院 理工学研究科 教授
診断薬・治療薬としての二重特異性 DNA アプタマー
吉本 敬太郎 *東京大学大学院 総合文化研究科 准教授
DNA アプタマー選抜を科学する
齋藤 伸吾 *
埼玉大学大学院 理工学研究科 教授

46

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

19:10-21:00

6P6-E

FT 合同若手企画「マイクロ・ナノ工学シンポジウム，化学とマイクロ・ナノシス
テム学会主催研究会，センサ・マイクロマシンと応用システム」
シンポジウムの 3 学会合同での若手企画です。キャリアパスについて大学教員，国研研究員，大学院博士課程の 6 名の講師にポスター発表していただきます。小規模懇親会（軽食，飲み物を準備）を並行して開催します。
講演者
岩﨑 渉 産業技術総合研究所
佐藤 峻 早稲田大学
田中 大器 早稲田大学
長峯 邦明 山形大学
南茂 彩華 横浜国立大学
平本 薫 東北大学

2023年11月7日（火）9:10-9:50
基調講演 II

7A1-M

座長：土屋 智由（京都大学）

7A1-M-1
集積回路：使ってナンボ，使われてナンボ* 益 一哉
東京工業大学

10:00 ～ 11:15

学長

7A2-A

フラッシュプレゼンテーション（A 会場）
13:45 ～ 15:15

7P2-P

ポスターセッション
7P2-PC-01
Droplet Array-Based Platform for Parallel Optical Analysis
of Dynamic Extracellular Vesicle Secretion from Single
Cells

服部一輝（1），合田有希（1），山下港（1），吉岡祐亮（2），小嶋良輔（3），太田禎生（1）（1）東大・先端研，（2）東医大・医学総合研究所，（3）東大・医7P2-PC-02
細胞機能の in situ 計測に向けた多孔膜電極ウェルデバイスの開発

宇田川喜信（1），伊野浩介（1），阿部博弥（1）,2），珠玖仁（1）,（3）（1）東北大学大学院工学研究科，（2）東北大学学際科学フロンティ
ア研究所，（3）東北大学大学院環境科学研究科

7P2-PC-03
ピコリットルアレイにおける単一微生物からの増殖評価

田中裕真（1）,（2），南木創（2），栗田僚二（1）,（2）（1）筑波大学，（2）産業技術総合研究所

7P2-PC-04
マイクロ流体デバイスを用いた SARS-CoV-2 様粒子作製法の開発と核酸送達への応用

杉浦魁星（1），岡田悠人（1），真栄城正寿（2）,（3），石田晃彦（2），渡慶次学（2）（1）北海道大学大学院総合化学院，（2）北海道大学大学院工学研究院，（3）高エネルギー加速器研究機構

7P2-PC-05
ゲルアクチュエータを用いた様々なハイドロゲル材料の弾性評価に向けた検討

中島響（1），横山義之（2），萩原将也（3），早川健（1）（1）中央大，（2）富山県産業技術研究開発センター，（3）理研

7P2-PC-06
マイクロ流体デバイスによる模擬血管と遺伝子改変癌細胞の接着性に関する検討

丸野くるみ（1），久米村百子（2），小林和香子（1）（1）宇部高専物質工学科，（2）九工大院生命体

7P2-PC-07
細胞培養肉作製に向けたバイオマスメッシュシートの開発

許家誠（1），堀武志（2），梨本裕司（2），吉田昭太郎（1），梶弘和（2）（1）中央大学理工学研究科，（2）東京医科歯科大学生体材料工学研究所

7P2-PC-08
灌流可能な人工血管網を作製するためのカラム型デバイスの開発

安藤萌（1），堀武志（2），山本茜（2），北野勇（3），石原甲平（3），水田太郎（3），吉田昭太郎（1），梨本裕司（2），梶弘和（2）（1）中央大学大学院理工学研究科，（2）東京医科歯科大学生体材料工学研究所，（3）株式会社水田製作所

7P2-PC-09
SARS-CoV-2 elicits a differential innate immune response in
hiPSC-derived airway-on-chip and alveoli-on-chip models

Sachin Yadav（1）, Kazuya Fujimoto（1）, Toru Takenaga（2）,Senye Takahashi（3）, Yukiko Muramoto（2）, Ryuta Mikawa（3）,（4）, Koichi Igura（3）, Takeshi Noda（2）, Shimpei Gotoh（3）,（4）,Ryuji Yokokawa（1）（1）Department of Micro Engineering, Kyoto University,（2）Institute of Frontier Life and Medical Science, Kyoto University,（3）Center for iPS Cell Research and Application, Kyoto University,（4）Department of Drug Discovery for Lung Diseases, Kyoto University

7P2-PC-10
圧力駆動型生体模倣システムを用いた血管内皮細胞のせん
断応力負荷培養システムの開発

杉浦慎治（1），冨田辰之介（1），栗原一真（2），三宅力（3），大久保智樹（3），藤山陽一（3），叶井正樹（3）（1）産総研細胞分子，（2）産総研製造技術，（3）島津製作所基盤研7P2-PC-11
三次元マイクロ肝臓モデルの過冷却条件下での長期保存を実現するハイドロゲル組成の検討

引地真彩（1），角田勝（2），佐藤記一（1）（1）群馬大学大学院理工学府，（2）サンデンリテールシステム

7P2-PC-12
脂肪性肝疾患モデル開発のための肝細胞と類洞内皮細胞の共培養条件の検討
栗原彩実，佐藤記一
群馬大学大学院理工学府

7P2-PC-13
三方向から培地供給可能なマイクロチップを用いた血管内皮細胞および尿細管細胞の三次元培養と線維芽細胞の効果
山﨑実優，佐藤記一
群馬大学大学院理工学府

7P2-PC-14
並列化 HDF マイクロ流路を用いる間葉系幹細胞のサイズ分
離と解析
佐野文香，鵜頭理恵，山田真澄
千葉大院工7P2-PC-15
オープン型マイクロ流路による細胞・粒子のペアリングと回収
寺谷浩登，津金麻実子，鈴木宏明
中央大学大学院理工学研究科精密工学専攻

7P2-PC-16
内皮間葉移行 on-a-chip 確立に向けた形態・分子生物学的パラメータの解析

土屋香碧（1），梨本裕司（2），堀武志（2），吉田昭太郎（1），高橋和樹（3）,（4），渡部徹郎（4），梶弘和（2）（1）中央大学大学院理工学研究科，（2）東京医科歯科大学生体材料
工学研究所，（3）東京大学生産技術研究所，（4）東京医科歯科大学
大学院医歯学総合研究科

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

47

7P2-PC-17
マイクロ流体デバイスを用いた細胞からリポソームへのミトコンドリア導入
大西音揮男，小穴英廣
東大院工7P2-PC-18
骨格筋アクチュエータを用いた上下移動する浮袋の体積制御

中村翔大（1），趙炳郁（2），聶銘昊（2），竹内昌治（2）（1）東京大学工学部機械情報工学科，（2）東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻

7P2-PC-19
圧力駆動型生体模倣システム（PD-MPS）専用自動培養シス
テムの開発

三宅力（1），大久保智樹（1），藤山陽一（1），叶井正樹（1），杉浦慎治（2），中谷徳幸（3），藤岡僚太（3）（1）（株）島津製作所，（2）産業技術総合研究所，（3）（株）SCREEN ホールディングス

7P2-PC-20
細胞を等間隔で流すマイクロ流路のための渦の発生制御

西川翔（1），武居淳（2），竹井裕介（2），磯崎瑛宏（1）（1）立命館大理工，（2）産総研センシングシステム研究センター

7P2-PC-21

オンチップ細胞分取デバイスの高速化へ向けた流路構造の検討

中澤優真，磯崎瑛宏
立命館大理工

7P2-PC-22
磁石を用いた張力負荷可能な培養システム
三井涼，森本雄矢早稲田大学理工学術院

7P2-PC-23
神経スフェロイドネットワークの局所電気刺激デバイス

古川稜（1），根岸みどり（2），澤山淳（1），聶銘昊（1），竹内昌治（1）（1）東京大学大学院情報理工学系研究科，（2）武蔵野大学薬学部

7P2-PC-24
上皮細胞間物質透過の評価機能を統合した腸細胞と肝細胞の共培養デバイス

Ryuya Kida（1）, Alan Rajendran（2）, Mamiko Tsugane（1）,Sakina Bensalem（2）, Hiroaki Suzuki（1）, and Bruno Le Pioufle（2）（1）Graduate school of Science and Engineering, Chuo University,
JAPAN,（2）Université Paris Saclay, Institut D’Alembert, ENS Paris
Saclay, CNRS, FRANCE

7P2-PC-25
センシング機能を持つ培養皮膚の構築
松島悠人，澤山淳，聶銘昊，竹内昌治
東京大学大学院情報理工学系研究科

7P2-PC-26
多自由度アクチュエータに向けた骨格筋シートの構築

小川正陽（1），趙炳郁（2），聶銘昊（2），竹内昌治（2）（1）東京大学工学部，（2）東京大学大学院情報理工学系研究科

7P2-PC-27
マイクロ流路を用いた血管・リンパ管共培養系の構築
イムヒョンホ，趙炳郁，聶銘昊，竹内昌治
東京大学大学院情報理工学系研究科

7P2-PC-28
インテリジェント画像活性細胞選抜法を用いた二段階濃縮法による特定の形態をしたビール酵母の選抜とビール醸造

磯崎瑛宏（1）,（2），山崎聡太（1），HAYASHI, Mika（1），松本みなみ（3），伊藤卓朗（4），近藤直子（1），塙奈美（1），ISHII,
Natsumi Tiffany（1），朝霧重治（3），大矢禎一（1），合田圭介（1）,（5）,（6）,（7）（1）東京大学，（2）立命館大学，（3）協同商事コエドブルワリー，（4）鶴岡高専，（5）武漢大学，（6）UCLA，（7）CYBO

48

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

7P2-PC-29
マイクロ流体デバイスを用いたヒト胎盤モデルにおける灌流依存的細胞分化の解析

リージアユンライアン（1），堀武志（1），岡江寛明（2），梨本裕司（1），有馬隆博（3），梶弘和（1）（1）東京医科歯科大学生体材料工学研究所，（2）熊本大学発生医学研究所，（3）東北大学大学院医学系研究科

7P2-PC-30
ディッシュ貼り付け型自律細胞操作マイクロチップの開発

飯塚岳斗（1），田村健児（1），阿部岳晃（2），浮田芳昭（1）（1）山梨大学，（2）大阪大学

7P2-PC-31
深層強化学習を用いたマイクロバルブ制御による細胞分布
制御システムの開発

田村健児（1），阿部岳晃（2），大貫喜嗣（1），浮田芳昭（1）（1）山梨大学，（2）大阪大学

7P2-PC-32
3 次元電極を利用した高効率セルソーティングデバイスの開発

上田敬祐（1），宇田徹（1）, 金秀炫（2）（1）NOK（株），（2）東大生研

7P2-PC-33
高密度電極アレイによる昆虫細胞嗅覚センサの作製古賀剛司，小田悠加，聶銘昊，竹内昌治
東京大学院情報理工

7P2-PC-34
タンパク質の X 線結晶構造解析の自動化に向けたマイクロ流体デバイスの開発

一町田由貴（1），真栄城正寿（2）,（3）,（4），上野剛（3），小西真昌（5），坂井直樹（3），石田晃彦（2），山本雅樹（3），渡慶次学（2）（1）北海道大学大学院総合化学院，（2）北海道大学大学院工学研究院，（3）理化学研究所・放射光科学研究センター，（4）高エネルギー加速器研究機構，（5）株式会社リガク

7P2-PC-35
培養肉に向けた血漿 - アルギン酸マイクロファイバによる可食マイクロキャリアの開発
岡田健成，趙炳郁，聶銘昊，竹内昌治
東京大学大学院 情報理工学系研究科知能機械情報学専攻

7P2-PC-36
電気パルス細胞融合における電極の薄膜被覆による細胞破裂の抑制

福井太一（1），磯﨑勇志（1），鈴木雅登（1）,（2），安川智之（1）,（2）（1）兵庫県大院理，（2）兵庫県大先端医療工学研究所

7P2-PC-37
空気駆動ソフトアクチュエータによるスフェロイド形成

河前遼太（1），高田敦（1），竹村研治郎（2），倉科佑太（1）（1）東京農工大学，（2）慶應義塾大学

7P2-PC-38光合成する筋組織に向けたヒト筋芽細胞と単細胞藻類シゾンの共培養系の構築

岡本優真（1），島亜衣（2），趙炳郁（2），聶銘吴（2），乾弥生（3），松永幸大（3），竹内昌治（2）（1）東京大学工学部機械情報工学科，（2）東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻，（3）東京大学大学院新領域創成科
学研究科

7P2-PC-39
3D-printable Nozzle Design for Single Spheroid
Encapsulation in Core-Shell Hydrogel Microfibers

Xueer FEI（1）, Tingyu LI（2）, Minghao NIE（2）, Shoji
TAKEUCHI（2）（1）Faculty of Arts and Sciences,（2）Graduate School ofInformation Science and Technology

7P2-PC-40
単一細胞多能性分析のための細胞変形能および膜たんぱく
質発現測定デバイスの開発
野見山拓真，井手幸子，加地範匡
九州大学大学院応用化学専攻

7P2-PC-41
シースルー機能を備えた多孔性チャンバー一体型細胞培養
デバイスの開発
荒木佑介，高木真惟，鵜頭理恵，山田真澄
千葉大院工7P2-PC-42
ハイドロゲルのレーザー微細加工によって形状制御された微小血管の構築と血管リモデリングの観察
小野暁，熊谷侑晟，大内良平，山下忠紘 ，田口良広，須藤亮
慶大院理工7P2-PC-43
バッチベイズ最適化による in vitro 骨格筋組織の成熟化条件の探索
宮田大輝，笠原啓太郎，徳岡雄大，田口勇仁，山田貴大，舟橋啓，
倉科祐太，尾上弘晃
慶應義塾大学7P2-PC-44
血管内皮機能解析のための複数の強さの流体せん断応力を提供する三次元拘束コラーゲンマイクロ流体デバイス

山本颯（1），村松淳平（1），三浦重徳（2），尾上弘晃（1）（1）慶應義塾大学，（2）広島大学

12:45-13:40

7P1-M

出展者による技術展示発表セッション II

座長：加納 一彦（デンソー）

ASTI
セイコーエプソン
日本カンタム・デザイン
東京応化工業
ミライズテクノロジーズ
ASICON/microfluidic ChipShop/Fluigent
文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM Japan）
シーエステック
BMF Japan
SCREEN セミコンダクターソリューションズ
ネオアーク

15:25-16:05
基調講演 III

7P3-M

座長：橋新 剛（九州大学）

7P3-M-1「熊本城」～熊本地震からの復興
津曲 俊博 *
熊本城総合事務所

16:05-16:45
基調講演 IV

災害復旧相談役

7P3-M

座長：橋新 剛（九州大学）

7P3-M-2

7P2-PC-45
中空糸バイオリアクタを用いた骨格筋組織の作製
聶銘昊，島亜衣，竹内昌治
東京大学大学院情報理工学系研究科

7P2-PC-46
一括電気回転計測によるアルカリフォスファターゼ分泌活性を有する細胞の識鈴木雅登（1）,（2），中澤亜美（1），藤本萌（1），安川智之（1）,（2）（1）兵庫県大院理，（2）兵庫県大先端医工研

7P2-PC-47
マイクロウェルアレイを用いた膵がん凝集体培養モデル開発

篠原満利恵（1），藤井輝夫（1），松永行子（1）（1）東京大学生産技術研究所

球磨焼酎 500 年の伝統と革新 変わらないために変わり続ける高橋酒造の挑戦
高橋 宏枝 *
高橋酒造 常務取締役

16:55-17:55
7P4-M
センサシンポジウム 40 周年記念企画パネルディスカッション「10 年後のセンサ MEMS の将来像」
モデレータ：
年吉 洋 *，東京大学
パネリスト：
本間 浩章 *，神戸大学
猪股 直生 *，東北大学
岡本 有貴 *，産業技術総合研究所
鶴岡 典子 *，東北大学
飯谷 健太助 *，東京医科歯科大学

7P2-PC-48
支柱配列流路を用いた微量血液からの標的細胞分離松田彬良，鳥取直友，福永裕輝，佐久間臣耶，山西陽子
九大院工19:00-21:00

Future Technologies from KUMAMOTO 合同懇親会
場所：熊本ホテルキャッスル

7P2-PC-49
マイクロフィルタを用いた血中がん細胞の分離と白血球除去効率向上に関する研究

栗生識（1），Mehmet Cagatay Tarhan（2），Chann Lagadec（2），金秀炫（1）（1）東大生研，（2）リール大学

11:25-12:40

7P5

7A3-A（A 会場）

CHEMINAS 企画セッション 2「ニューロモルフィック AI」
座長：三宅 丈雄（早稲田大学）

グラフェン／ダイヤモンド光メモリスタを用いたニューロモルフィックデ
バイス開発
植田 研二 *
早稲田大学大学院情報生産システム研究科 教授
人工神経細胞回路を用いた物理リザバーコンピューティング
山本 英明 *
東北大学電気通信研究所 准教授

2F

キャッスルホール

2023年11月8日（水）9:20-10:00
基調講演 V

8A1-M

座長：燈明 泰成（東北大学）

8A1-M-1
ダイヤモンド半導体の最近の進展：パワー半導体と大口径
ウェハの開発嘉数 誠 *
佐賀大学

10:10 ～ 12:00

理工学部

教授

8A2-A

フラッシュプレゼンテーション（A 会場）

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

49

13:50 ～ 15:20

8P2-P

ポスターセッション
8P2-PC-01
細胞を複数配列するためのハイドロゲルストリップ作製デバイス

加藤碧（1），小田悠加（2），大崎寿久（3），三村久敏（3），高森翔（3），三木則尚（1），竹内昌治（2）（1）慶應義塾大学大学院理工学研究科総合デザイン工学専攻，（2）東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻，（3）神奈
川県立産業技術総合研究所人工細胞膜システムグループ

8P2-PC-02
オープンチップを用いた音響流体微細操作システムによる微小物体のサイズ分離
平田菜摘，早川健
中央大学大学院理工学研究科

8P2-PC-03
Randomized spatial barcoding for time-lapse tracking ofsuspended single cells
Xiaoyao Chen, Masashi Ugawa, Sadao Ota
The University of Tokyo

8P2-PC-04
マイクロ流路内出芽現象を活用した均一リポソームの作製と評価
JI JIAJUE，川野竜司
東京農工大学工学府生命工学専攻

8P2-PC-05
Imaging flow cytometry using hydrogel particles towards
image-activated sorting of adherent cells

Yuta Nakagawa（1）, Mika Hayashi（1）, Sevana Baghdasarian（2）,Akihiro Isozaki（1）, Tianben Ding（1）, Dino Di Carlo（3）,Keisuke Goda（1）,（3）,（4）（1）The University of Tokyo, Department of Chemistry,（2）University of California, Los Angeles, Department of Chemical and
Biomolecular Engineering,（3）University of California, Los Angeles,
Department of Engineering,（4）Wuhan University, Institute ofTechnological Sciences

8P2-PC-06
ゲル粒子変形のためのマイクロ流路の基礎検討
高見俊介，磯崎瑛宏
立命館大理工

8P2-PC-07
抵抗パルスセンシングを用いたエクソソーム単粒子解析系の構築
柴山和泉，木原博光，川野竜司
東京農工大学工学部生命工学科

8P2-PC-08
オンサイト遺伝子検査のための希釈サンプル生成用マイク
ロ流体デバイスの開発
宮島輝，ヌルキスティナアリアビンティズキフリ，夏原大悟，岡本俊哉，永井萌土，柴田隆行
豊橋技術科学大学

8P2-PC-09
核酸をセンシングして自律移動する微小 DNA 液滴
高木幹太，瀧ノ上正浩
東京工業大学大学院情報理工学院

8P2-PC-10
酸素放出量制御を目指したパーフルオロカーボンエマル
ジョンビーズの作製
鈴木裕，小田悠加，聶銘昊，竹内昌治
東京大学大学院情報理工学系研究科

50

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

8P2-PC-11
一列に整列した細胞の連続供給に向けたマイクロ流路デバイスの開発
市村明日香，岡野太治
東京農工大学・院工8P2-PC-12
マイクロチャネルを流れる細胞の間隔制御手法の確立
斎藤一真，岡野太治
東京農工大学・BASE

8P2-PC-13
超音波遠心駆動システムによる微小ハイドロゲル生成手法の開発

板東雄太（1），尾上弘晃（2），田川義之（1），倉科佑太（1）（1）農工大院工，（2）慶應大院理工8P2-PC-14
細胞質封入ベシクルのソーティングを実現する DLD デバイスの開発
椎名蒼，樋口正明，小穴英廣，新井史人
東大院工8P2-PC-15
デジタル ELISA を指向した自律制御型遠心マイクロ流体デバイスによる微小液滴生成機構の検討
中村勝太，アティラワルダビンティムハマドサイディ，永井萌土，
柴田隆行，岡本俊哉
豊橋技科大8P2-PC-16
フィルムベースの薄型マイクロポンプの試作松井崚（1），鈴木悠午（1），笠間敏博（2），高井まどか（2），三宅亮（2），阿部裕一郎（1）（1）TOPPAN（株），（2）東大院工

8P2-PC-17
香料をコアに持つコアシェル液滴に関する研究

宮内裕匡（1），早瀬仁則（1），平間宏忠（2）（1）東京理科大院創域理工学，（2）産総研

8P2-PC-18
Investigating the effect of flow rate on human iPSCs
culture using gravity-driven microfluidics

Nuttakrit LIMJANTHONG（1）, Taira ODA（2）, Kiyoshi OHNUMA（3）（1）Nagaoka University of Technology. Bioengineering,（2）Nagaoka University of Technology. Bioengineering,（3）Nagaoka
University of Technology. Bioengineering

8P2-PC-19
新規免疫測定法の開発を目指した抗体修飾リポソームの誘電泳動によるアレイ化

水田早紀（1），磯﨑勇志（1），鈴木雅登（1）,（2），安川智之（1）（1）兵庫県大院理，（2）兵庫県大先端医療工学研究所

8P2-PC-20
光駆動自己組織化を基盤としたコロイドの空間的制御シス
テムの構築
渡邉夏海，尾上弘晃
慶應義塾大学8P2-PC-21
高速浸透圧応答による体積変化計測へ向けた単一細胞パターニング

金子真悟（1），辻井雅（2），魚住伸之（2），新井史人（1）（1）東京大学，（2）東北大学

8P2-PC-22
高速粒子間隔制御が拓くハイスループットフローサイトメトリー
齋藤真，木山誠啓，山西陽子，佐久間臣耶
九州大学大学院工学府

8P2-PC-23
タンパク質濃縮相からのアミロイド核生成解析に向けた濃縮相サイズ調節法

小澤大樹（1）,（2），佳川純佳（1）,（2），佐藤安里（1）,（2），大橋祐美子（3），茶谷絵理（4），丸山洋子（1），白木賢太郎（5），火原彰秀（3），福山真央（1）（1）東北大多元研，（2）東北大院理，（3）筑波大，（4）産総研，（5）
東工大，（6）小松大，（7）神戸大

8P2-PC-24
マイクロレールによるリポソームアレイの構築
岡田瞬，庄司観長岡技術科学大学

8P2-PC-25
複合コアセルベートを足場とした人工群体モデル構築の試み
沖田拓之進，津金麻実子，鈴木宏明
中央大学大学院理工学研究科

8P2-PC-26
電気的動力現象を用いた血中エクソソーム分離マイクロ流体デバイスの開発
栗栖祐子，江口正徳
呉工業高等専門学校

8P2-PC-27
磁場を用いた油中水滴中における遺伝子発現量の段階的な制御手法の開発河濵奈央，外岡大志
京都工芸繊維大学

8P2-PC-28
オンチップ仮想粒子バルブによる液滴への粒子封入挙動の評価
角村勇真，鳥取直友，佐久間臣耶，山西陽子
九州大学機械工学部門流体医工学研究室

8P2-PC-29
支柱配列流路を介した単一細胞封入ゲル粒子生成
福永裕輝，鳥取直友，佐久間臣耶，山西陽子
九州大院機械工学専攻

8P2-PC-30
連続デジタルバイオアッセイ法によるシングル EV 解析技術の構築
奥田真紀，岩永新菜，山脇幸也，川﨑佳奈，黒石真央，藤本萌，赤間健司
シスメックス株式会社 中央研究所

8P2-PC-31
ライブクレム法を用いた外来 DNA 侵入場形成機構の解析
小林昇平，氏家加洋子，福田紀子，新井健太，森知栄
情通研未来 ICT 神戸フロンティア

8P2-PC-32
再構成エクソソームを用いた細胞間情報通信技術の開発
新井健太，森知栄，福田紀子，小林昇平
情報通信研究機構 未来 ICT バイオ ICT

8P2-PC-33
高分子薬剤送達を可能とする電気浸透流円錐台形マイクロニードルの開発

瀬川嶺士（1），横山大樹（2），一瀬彩栄（3），Wang Gaobo（3），照月大悟（3），西澤松彦（1）,（3）（1）東北大学大学院医工学研究科，（2）東北大学工学部機械知能・航空工学科，（3）東北大学大学院工学研究科

8P2-PC-34

8P2-PC-35
経皮薬物送達のための両極マイクロニードルの開発

加藤康佑（1），一瀬彩栄（1），瀬川嶺士（2），Gaobo WANG（1），
照月大悟（1），西澤松彦（1）,（2）（1）東北大学大学院工学研究科，（2）東北大学大学院医工学研究科

8P2-PC-36
皮膚の光治療効果モニタリングのためのメッシュ型ウェア
ラブル電極の開発

辰井裕希（1），照月大悟（2），阿部博也（3），西澤松彦（1）,（2）（1）東北大学大学院医工学研究科，（2）東北大学大学院工学研究科，（3）東北大学学際科学フロンティア研究所

8P2-PC-37
相分離液滴によるホタル生物発光量子収率の向上

木原良樹（1）,（2），西原諒（2）,（3），丹羽 一樹（2），冨田 峻介（2），栗田僚二（1）,（2）（1）筑波大学院数理物質研究群，（2）産業技術総合研究所，（3）科学技術振興機構

8P2-PC-38
シリカ粒子へのアミン導入量が非特異的吸着に及ぼす影響ZHU YUSONG, Yoshiaki Ukita
山梨大学浮田研究室

8P2-PC-39
タンパク質結晶高速解析のための音響タンパク質結晶整列技術の開発

檜垣僚冶（1），梅名泰史（2），片山哲郎（3），磯崎瑛宏（1）（1）立命館大理工，（2）名古屋大シンクロトロン研究センター，（3）徳島大 pLED

8P2-PC-40
歯周病原細菌の浸潤評価に向けた 3D 歯肉上皮モデルの作製柴田蒼大（1），佐藤優輝（2），梨本裕司（1），大杉勇人（3），堀武志（1），片桐さやか（3），梶弘和（1）（1）東京医科歯科大生材研，（2）中央大院理工，（3）東京医科歯科大院医歯学総合

8P2-PC-41
光熱効果を用いた微小管剥離制御デバイスの開発
星川雄紀，中原佐，南和幸
山口大

8P2-PC-42
膜貫通 DNA のその場自己集合によるナノポア構築技術の開発
高木諒，佐藤佑介
九工大情工

8P2-PC-43
1 細胞エピゲノム解析に向けた染色体の力学特性計測手法の開発
豊田瑛，小穴英廣
東大院工8P2-PC-44
光って病気を知らせる皮膚リビングディスプレイ

澤山淳（1），高山由貴（2），高瀬美樹（3），青柳星見（1），
滝本晶（1），長田翔伍（1），小川美帆（3），矢野亨治（2），武尾真（3），辻孝（3），竹内昌治（1），藤田博之（2）（1）東京大学，（2）キヤノンメディカルシステムズ，（3）理化学研究所

8P2-PC-45
DNA ナノ構造をスキャフォールドとして用いたペプチドナ
ノポアの構築ホウソキ，川野竜司
農工大生命

高柔軟性デバイスのためのバイオ発電カソードの開発

奥山浩平（1），野間口友哉（1），照月大悟（2），阿部博弥（3），西澤松彦（1）,（2）（1）東北大学大学院医工学研究科医工学専攻，（2）東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻，（3）東北大学学際フロンティア研究所
Future Technologies from KUMAMOTO 2023

51

8P2-PC-46
On site Melanoma Diagnosis Utilizing a Swellable
Microneedle and a Microfluidic Device with a
Thermometer-like Display for Visual Quantification of
S100A1
Gaobo Wang, Yuyue Zhang, Hoi Kwan Kwong, Mengjia Zheng,
Jianpeng Wu, Chenyu Cui, Kannie W. Y, Chan, Chenjie Xu*, and TingHsuan Chen*
Department of Biomedical Engineering, City University of Hong
Kong, Hong Kong Special Administrative Region, 999077, China

8P2-PC-47
遺伝子治療のための架橋点調整アルギン酸ゲルビーズによるアデノ随伴ウイルス放出制御

日置愛基（1），倉科佑太（2），尾上弘晃（1）（1）慶應義塾大学理工学研究科，（2）東京農工大学 工学部 機械シ
ステム工学科

8P2-PC-48
ex vivo 糸球体モデルを用いた細胞外小胞の体外排出選択性の解明

三津屋里奈（1），安井隆雄（1）,（2）,（3），夏目敦至（2），小嶋良輔（4），嶋田泰佑（1），佐藤記一（5），馬場嘉信（1）,（2）,（6）（1）名大院工，（2）名大未来社会，（3）東工大生命理工，（4）東大院医，（5）群馬大院理工，（6）QST

8P2-PC-57
DNA ハイドロゲルを用いたリポソーム膜における分子分布の規定方法の開発

吉永琢朗（1），佐藤佑介（2）（1）九工大情工，（2）九工大院情工

8P2-PC-58
三次元流路構造を持つハイドロゲルよるマイクロアレイの作製
小田悠加，竹内昌治
東大院情理

11:50-12:40

8P1-M

出展者による技術展示発表セッション III

座長：橋本 英生（住友精密工業）

マトリクソーム
SPP テクノロジーズ
TCK
太洋工業
メイワフォーシス
大阪公立大学 機能デバイス物性研究室
MMI セミコンダクター
SIJ テクノロジ

ティ・ディ・シータクミナ
三井化学
アメテックザイゴ事業部
アルテック
新興精機

8P2-PC-49
複 数 波 長 の 励 起 光 と 蛍 光 の 時 間 差 分 離 に よ る 2D Flow
Cytometer の開発

三上昇悟（1），飯塚邦彦（2），上野将輝（1），宮川優子（3），長阪一憲（3），栗生識（4），藤井輝夫（5），金秀炫（4）（1）東京大学大学院工学系研究科，（2）合同会社ラボアルコ，（3）帝京大学，（4）東京大学生産技術研究所，（5）東京大学

8P2-PC-50
マイクロチップ電気泳動フィルタリングデバイスを用いた
アプタマー選抜の検討

河野歩夢（1），遠藤達郎（1），久本秀明（1），末吉健志（1）,（2）（1）大阪公立大学大学院工学研究科，（2）JST CREST

8P2-PC-51
ナノ in situ ハイブリダイゼーション法によるエクソソームのデジタル解析川口彰太（1），安井隆雄（2），嶋田泰佑（1），神谷由紀子（3），真栄城正寿（4），渡慶次学（4），古賀大尚（5），村上正晃（6），馬場嘉信（1）（1）名大院工，（2）東工大生命理工，（3）神薬大，（4）北大院工，（5）阪大産研，（6）北大 IGM

8P2-PC-52
自動膜形成システムを用いたハイスループットナノポアセンシング
石塚洋渡，庄司観
長岡技術科学大学

8P2-PC-53
分子応答型 DNA ナノポアの電圧依存性に関する検証
赤井大夢，庄司観
長岡技術科学大学

8P2-PC-54
ヒト胎盤オルガノイドの作製と病原体曝露の影響の解析

JIANG BIN（1），堀武志（1），岡江寛明（2），大杉勇人（4），片桐さやか（4），梨本裕司（1），有馬隆博（3），梶弘和（1）（1）東京医科歯科大学生体材料工学研究所，（2）熊本大学発生医学研究所，（3）東北大学大学院医学系研究科，（4）東京医科歯科大学大学院医歯学総合研究科

8P2-PC-55
ナノピペットを用いた単一 DNA 膜分子マニピュレーション
森川泰成，井澤幸広，岡田瞬，赤井大夢，小岩滉宜，庄司観
長岡技術科学大学

8P2-PC-56
DNA 液滴の時空間的形成の制御

甲斐省吾（1），佐藤佑介（2）（1）九州工業大学，（2）九州工業大学大学院

52

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

12:40-13:50

熊本城散策（事前申込が必要です。60 名限定）
15:30-16:45
8P3-M
Future Technologies 合同招待セッション

座長：小野寺 武（九州大学），燈明 泰成（東北大学），梨本 裕司（東京医科歯科大学），土屋 智由（京都大学）

8P3-M-1
生体・環境情報モニタリングのための完全分解型ワイヤレスセンサ
尾上 弘晃 *
慶應義塾大学8P3-M-2分子イメージング手法を用いた熱流体可視化手法の研究
松田 佑 *
早稲田大学

8P3-M-3
電気化学をベースにしたバイオ分析とバイオファブリケーション
伊野 浩介 *
東北大学

8P3-M-4
電荷増倍機能を有する結晶セレン積層型 8K 撮像デバイスの研究

為村 成亨 *[1]，新井 俊希 [1]，宮川 和典 [1]，杉山 睦 [2]，難波 正和 [1][1]NHK 放送技術研究所，[2] 東京理科大学

16:45-17:25
基調講演 VI

8P4-M

座長：梶 弘和（東京医科歯科大学）

8P4-M-1
次世代医療用眼レンズに向けた材料・デバイス・システム
三宅 丈雄 *
早稲田大学

大学院情報生産システム研究科

17:25-18:05
8P5-M
閉会式・表彰式
2023年11月9日（木）テクニカルツアー（事前申込要）教授

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 Exhibitors

エネルギー変換マテリアル

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

53

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 Exhibitors

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 Sponsors＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊ Strap Sponsors ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊ Sponsors ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊ Photocon Sponsors* ＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊＊

54

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

Future Technologies From KUMAMOTO 2023 - PhotoCon フォトコンテスト
研究分野の異なる研究者や，MEMS，微細加工等を知らない一般の方が興味を持ちそうな写真を募集し，作品を掲示，表彰することで，研究分野の異なる研究者間交流や，一般の方への広報活動の一環としてフォトコンテストを開催してきました。
ミリ部門・マイクロ部門・ナノ部門のスケールごとの3部門，高校生部門，企業スポンサー部門，ロゴデザイン部門に全35作品のご応募を頂きました。会期中，応募作品と作品の概要を会場の入口付近に展示致します。アートの様な写真が撮影されるまでの工程や原理を理解することで，作品をもっと興味深く閲覧できるのではないでしょうか。

表彰式：11月7日（火）19:00-21:00懇親会および，11月8日（水）17:25-18:05

FT閉会式・表彰式にて【ナノ部門】
NM1 枕でお昼ねまんぼう(?)

NM3 MEMS阿蘇山

FE-SEMでパターニングしたシリコン含有樹脂を観察していたところ, 枕でお昼ねしてい
るまんぼう(?)を見つけました。家族からは可愛いねと言われてます。

音を電気信号に変換するセンサ MEMSマイク
ロホンの一部（ストッパ）が，雄大な阿蘇山のように見えました。よく目を凝らすと，山頂にカルデラ湖があるのがおわかりいただけるで
しょうか。

安井 学
（神奈川県立産業技術総合研究所）

村上 歩、永友 康貴（MMIセミコンダクター）

NM2 岩山を描いた水墨画

NM4 石垣に架かる橋

クロスセクションポリッシャーでエッチングしたSiの縁部分をSEMで撮影したものです。岩
山を描いた水墨画のように見えてしまいます。

Bi系酸化物超伝導体の結晶粒を衝撃圧縮法
により生成したところ，結晶粒間に偶然現れたナノブリッジです。加藤清正公の熊本城の石垣には敵いませんが，石垣のような結晶粒の間に見事なナノブリッジが架かりました。

寺嶋 真伍（早稲田大学）

荒川 貴博、毛塚 博史（東京工科大学）
真下茂（熊本大学）【マイクロ部門】
UM1 シリコンに咲いた失敗の花

UM5 超微細･なめこ栽培

アモルファスシリコン上の酸化物を除去しようとフッ酸を用いたが，想定外の傷が生じてしまいました。

金田 裕喜（電気通信大学）

銅の光沢めっき成膜をしていたはずなのに･･･何をどこでどう間違えたのか，超微細なめ
こが大豊作！
（なめこ表面はツルッとしている
けど，ここだけ光沢があってもねえ･･）

UM2 実験室で見た中秋の名月

UM6 丘の上のくまモン

センサ作製の際に光ファイバ同士の衝突でできた傷を観察した時の写真です。普段困らされているファイバ断面の傷も，見方を変えれば綺麗だなと思い投稿しました。
この写真が撮れた日は中秋の名月だったため，実物もしっかり見ました。

がんスフェロイド(赤色)と血管内皮細胞(緑)の共培養系に色素(青)を導入後のスフェロイド
凍結切片画像です。熊が丘の上から見下ろしているような形に見えたので熊本を見守るく
まモンになぞらえました。

小牟田 波丸
指導教員：松永 忠雄（鳥取大学）

峯田 貴、丸山 顕（山形大学）

萩庭 歩美（京都大学）

UM3 剣山と絶壁の地獄

UM7 桂林山水甲天下

フェムト秒レーザーで溝を入れたSiをエッチン
グしSEMで撮影したものです．
レーザー加工の段階で集塵を忘れたので切粉がレジストの役割を果たしナノ剣山を作り出しました

リソグラフィで作製した微小アレイ構造は失敗でしたが，奥に桂林の山々，手前に漓江の川面，さらに，流れにのる白い船（不純物）を発見！人民元・20元札に描かれている山水画の絶景が基板上に広がっていました

寺嶋 真伍（早稲田大学）

UM4 秘密結社の眼のマーク
(シリコン製)めっき膜の応力に耐え切れずシリコン基板表面が破砕して，めっきが剥がれた･･･窓(500μm角)の奥からは，
ジっとこちらを覗く秘密結社の眼が！
！ 顕微鏡下でビックリのご対面。

峯田 貴、齋藤 凉、天野 晏年（山形大学）

陳 煜非、鈴木 孝明（群馬大学）

UM8 阿蘇で遊ぶキツネ
盛大に実験に失敗したデバイスを観察した
ところ，可愛いキツネがいました。失敗してよ
かったです。ちなみに，阿蘇にもキツネがいます。

鈴木和哉、荒川貴博（東京工科大学）
田畑 美幸（東京農工大学）
Future Technologies from KUMAMOTO 2023

55

UM9 マイクロカルデラ

UM12 初めてのリフトオフ

デバイスのはんだ部分を観察したところ，阿蘇の美しい自然が広がっていました。

鈴木和哉、荒川貴博（東京工科大学）
田畑 美幸（東京農工大学）

初めてリフトオフでサンプルを作製し完成した時の写真。鍼灸針上へ微細加工を施し光導波路壁面部に導光用窓を作成することに成功した。

UM10 シリコン山

UM13 火山灰に覆われた銀の鎧

メンブレン剥離後のキャビティ底面の写真です。エッチングが思い通りに進まず山脈状に大きくシリコンが残りなくすために悪戦苦闘！
MEMS開発の山は険しいです。
（ 試行錯誤を経て最終的には無事になくせました。）

あまり上手くできなかった銀ペーストを用いて作製した電極の外観をSEMで撮影した際の写真です。左側が盾，右側が兜のように見え、上手く塗布できなかった銀が火山灰のように見えます。
佐藤 瑞基（東京工科大学）

永友 康貴（MMIセミコンダクター）

小岩 大悟（東北大学）

UM11 純愛
フォトリソグラフィーにおいて，レジストを塗布して現像する際にゴミが入り偶然ハートの形になって撮影された

小岩 大悟（東北大学）【ミリ部門】
MM1 なつのおわりのおもいで

MM5 金細工の貝殻IEEE MEMSの締め切りを控え，昆虫の足裏反力の計測のためにキャンパスを駆け回って捕まえたショウリョウバッタが，製作したデバイ
スから飛び立つ瞬間です

レーザ加工でポリイミド銅に製作した同心
円状の切り紙構造の中央を鉛直方向下向きに変形させたものです．きらきらと輝く二枚貝の貝殻のように見えます中原 行健（慶應義塾大学）

水名 京（早稲田大学）

MM2 キリガミ・ミラー

MM6 大波状に変形した
力学的メタマテリアル

ポリイミド銅基板で作られた切り紙構造を上から覗いてみた景色です．
どのような構造で，どこがどうやって反射して写真のように見えているかわかりますか？

中村 凪（早稲田大学）

セルロースナノファイバー製の力学的メ
タマテリアルが示す、ガウス曲率がゼロでない変形の様子．曲げに柔軟ながら伸縮に乏しい透明な紙から、キリガミ構造
により富嶽三十六景の大波のような曲面を生み出している。
中川 大輔、花崎 逸雄（東京農工大学）

MM3 豪雨MM7 ヒトiPS細胞で目玉焼きを作ってみた

切り紙構造を3Dスキャナで形状測定しているときの光景です．
しましまの光の雨と影のコントラストがお気に入りです

目玉焼きはザルに卵を割り白身の水分を濾してあげるときれいにできるそうですが，
ここでは，iPS細胞から2ヶ月間愛情たっぷり育てたヒト脳(赤色)と血管（緑色）が美しく絡み合
うプリっとした目玉焼きができました。

中村 凪（早稲田大学）

浅場 智貴（横浜国立大学）

MM4 上空から見た赤富士

MM8 熊本市の方角から眺めた宇土半島

レーザ加工でポリイミド銅に製作した同心
円状の切り紙構造を変形させたものです．
色味も相まって,まるで朝日に染められて赤くなった富士山のよう

熊本出張を楽しみにしながらSEM観察をしていたら、PDMS製の微小再帰性反射アレイは崩れてしまっていましたが、躍動感を持つ微小アレイの波からなる有明海と八代海を分断する宇土半島を発見しました！

水名 京（早稲田大学）

56

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

陳 煜非、鈴木 孝明（群馬大学）

MM9 手の上に浮かぶ熊本城

MM10 過ぎたるは及ばざるが如し

自作のフォトマスクと2023年に当研究室で開発した発光性溶液を用いて，熊本城の形に発光するデバイスを作製しました。築城の名
手・加藤清正公に負けない，目映さのある熊本城を手の上で再現しました！

レジストをディップコートにより限界まで厚く成膜した結果，ポストベイク中に膨れ上がり
琥珀が割れたような見た目になった。

小岩 大悟（東北大学）

羽田 祥真、小林 愛佳、笠原 崇史
（法政大学）【高校生部門】
HS1 ビスマスの階段
ビスマスのチップをニッパで折って，欠けた結晶を電子顕微鏡で観察しました。ビスマスの結晶も美しいけれど，
ミクロの視点で見るのもまた美しいです。

鞠子 禅 指導教員 佐藤 龍平
（東京都立科学技術高等学校）【ロゴデザイン部門】
電気学会E部門大会開催40回を記念して，電気学会センサ・マイクロマシン部門（E部門）ではロゴマークを募集いたします。

RG1

RG5

Sensor and Micromachine部門のSとMをモチーフに，将来の発展を祈って無限大（∞）
記号にも見えるように配置しました。楕円を54.7°
傾けて基幹材料であるSiをイメージしています。左側の楕円にはよくお世話になる
アライメントマークをいれました。色は電気学会のブルーを使用しています。

E 部 門 の “ E ”を，マイクロセンサ やアクチュ
エータで馴染み深い櫛歯形状にデザインし、周囲をセンサ＆マイクロマシンをリング状に囲みました。
（折れたり引っ付いたり･･櫛歯形成との格闘はE部門40年の象徴）

峯田 貴（山形大学）

神田 健介（兵庫県立大学）

RG2

RG6

世界を表す球体の中に、5つの扇（センサ＝五感）と小丸（マイクロマシン）を組み込みました。雷光が稲を実らせる稲妻は
電気学会の象徴であり、非対称配置の躍動感は会員一丸となって最先端を狙う様子を表します。
鈴木 孝明（群馬大学）

フォトコン募集部門にも現れているようにE
部門の特徴は研究対象のスケールが豊かなことだと思います！色々なところで使いやす
い抽象的なデザインにまとめました。スケー
ルバーが表す長さは一人ひとり違うはず！

RG3

RG7

ロゴのデザインとしては，一目で電気学会E部門であることがわかることを目指しました。
内貴 崇（ローム）

E部門の「E」の文字と，マイクロマシンの代表である「静電アクチュエータ」を組み合わせたデザインです．配色は，電気学会のロゴやセンサシンポのロゴともトーンが合うように選びました。

飯谷 健太（東京医科歯科大学）

岩瀬英治（早稲田大学）

RG4
蝶の翅のように美しく緻密な構造で成り立っているにも関わらず様々な形状に変形するよ
うな難しい対象であっても，日本の科学技術であれば様々分野が協力することで，きっと実現されるだろうと期待したもの。

寺嶋 真伍（早稲田大学）

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

57

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 会場

会

場：11月6日～8日

熊本城ホール〒860-0805 
熊本県熊本市中央区桜町3番40号
TEL 096-312-3737

58

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 Floor Plan

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

59

3F

B

A

D
P
C

4F

4F

60

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

Exhibition & Poster Session

3F

B1

パントリー
2

B2

B3

階
段

（搬入）

A-20
ティ・ディ・シーE2（24 人）

A-21

パントリー
1

三井化学

H2

A4
A-22
シーズテック

階段

E1
H1

間仕切壁
A-15

東京応化
工業

304

A-16

ローム

A-17

A-18

A-14

デンソー

303

A-13

ミライズ
テクノロジーズ

302

A-12

1

5

6

9

10

14

28

24

23

20

19

15

フコク物産

CHEMINAS 48
34

37

38

43

58

54

53

50

49

44

1

5

6

9

10

14

28

24

23

20

19

15

33

34

37

38

42

日本ゼオン

56

52

51

48

47

43

A-10

57

61

1

アルテック

66

62

A-09

住友精密工業A-08

ハイデルベルグ
・インストルメンツ

（非常用）

A-07

アイカムス
・ラボ

7

4

5

8

5

9

13

14

17

18

22

32

31

28

27

23

64

42

60

45

59

A1

A-04

B-20

B-21

シーエステック ジオマテック

46

56

SIJテクノロジ BMF Japan アドバンテスト

A-05

F1

豊橋技術科学大学
集積化バイオセンサ
・MEMSグループ

311
B-05

A-03

ハイソル

A-02

豊橋技術科学大学
次世代半導体・センサ科学研究所

50

55

C1

ホワイエ③

センサシンポジウム

A-06

ASICON/microﬂuidi
ChipShop/Fluigent

1

間仕切壁
集積化MEMSシンポジウム

41（3F-4F）

ポリテックジャパン

A-28

4

36

37

F2

A-27

A2

階段

G1

C2

29

ASTI

D1

A-26

マイクロ・ナノ工学シンポジウム
A-11

授
乳
室

G2

メイワフォーシス

33

間仕切壁

D2

A-24

A-25

29

SCREENセミコンダクター
ソリューションズ

301

田中貴金属工業東京大学
マテリアル先端リサーチインフラ
・データハブ拠点

A3

（非常用）

A-23

A-19

セイコーエプソン

ソニーセミコンダクタ
マニュファクチャリング

51

B-04

文部科学省
マテリアル先端リサーチインフラ

マトリクソーム

A-01

B-06

B-22

B-23

B-24

エス・イー
・アール

日本カンタム
・デザイン

B-08

マクニカ
アルティマ
カンパニー

ホワイエ①
SPP
マイクロ
テクノロジーズ 化学技研

B-03

テクニスコ

B-07

兵庫県立大学
大阪公立大学
MEMSデバイス 機能デバイス
開発支援センター 物性研究室

B-02

B-09

ハイロックス（2F-3F）

B-10

グローリー

アメテック
ザイゴ事業部

B-01

B-25
マイクロ
マシンセンターホワイエ②（15 人）
神港精機

B-19

太洋工業

B-18

東洋精密工業

B-17

TCK

B-16

タクミナ

B-15

ロイヤル
センシング

B-14

新興精機

B-13

ネオアーク

B-12

MMIセミコンダクター

B-11（2F-3F）（15 人）

階段

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

61

Future Technologies from KUMAMOTO 2023 Committees
第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム実行委員会（敬称略）
実行委員長
澤田 和明
共同実行委員長
積 知範
実行副委員長
日暮 栄治
幹事
野田 俊彦
副幹事（会場委員長兼任） 橋新 剛
副幹事
竹内 魁
論文委員長
小野寺 武
論文副委員長
菅野 公二
論文副委員長戸田 雅也
論文委員会オブザーバ
永井 萌土
財務委員長
三田 吉郎
財務副委員長久米村百子
企業展示主担当
加納 一彦
企業展示副担当
内貴 崇
企業展示副担当
橋本 英生
若手企画主担当
中澤 謙太
若手企画副担当
橋本 将明
行事企画主担当（ﾌｫﾄｺﾝ） 池沢 聡
行事企画副担当（ﾌｫﾄｺﾝ） 田畑 美幸
行事企画担当（ﾃｸﾆｶﾙﾂｱｰ）橋新 剛
広報委員長
加納 一彦
広報副委員長鶴岡 典子

豊橋技術科学大学
オムロン
東北大学
豊橋科学技術大学
熊本大学
東北大学
九州大学
神戸大学
東北大学
豊橋科学技術大学
東京大学
九州工業大学
デンソー
ローム
住友精密工業静岡大学
慶應義塾大学
早稲田大学
東京農工大学
熊本大学
デンソー
東北大学

応用物理学会集積化 MEMS シンポジウム
実行委員長
土屋 智由
実行副委員長
三田 吉郎

京都大学
東京大学

日本機械学会 マイクロ・ナノ工学シンポジウム
実行委員長
燈明 泰成
東北大学
プログラム委員長
鈴木 孝明
群馬大学
化学とマイクロ・ナノシステム第 48 回研究会
実行委員長
梶 弘和
東京医科歯科大学
化学とマイクロ・ナノシステム会長
火原 彰秀
東北大学
エレクトロニクス実装学会企画セッション担当
倉島 優一
産業技術総合研究所顧問
前中 一介
兵庫県立大学顧問
磯部 良彦
ミライズテクノロジーズ

第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文委員会（敬称略）
論文委員長
論文副委員長
論文副委員長
論文委員会オブザーバ
分野 1
主査
副査
委員

62

小野寺 武
菅野 公二
戸田 雅也
永井萌土

設計・製作技術，材料
平井 義和
小林 大造
安藤 妙子
伊藤 寿浩
猪股 直生
入江 康郎
岩見 健太郎
菅 哲朗
笠井 隆
小西 敏文
佐々木 実

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

九州大学
神戸大学
東北大学
豊橋技術科学大学

京都大学
立命館大学
立命館大学
東京大学
東北大学
みずほリサーチ & テクノロジーズ
東京農工大学
電気通信大学三井化学
NTT アドバンステクノロジ
豊田工業大学

式田 光宏
下川 房男
鈴木裕輝夫
生津 資大
樋口 徹
溝尻 瑞枝
望月 俊輔
本間 浩章

広島市立大学
香川大学
東北大学
京都先端科学大学
ローム
長岡技術科学大学
NTT データ数理システム
神戸大学

分野 2 マイクロナノシステム
主査
齊藤 健
副査
古田 一吉
委員
岡本 有貴
金子 美泉
蒲原 敦彦
後藤 正英
島内 岳明
高橋 一浩
田中 秀治
年吉 洋
鳥山 寿之
肥後 昭男
三田 吉郎
村上 賢治
山根 大輔

日本大学
先端素材高速開発技術研究組合（ADMAT）
産業技術総合研究所
日本大学
横河電機
NHK 放送技術研究所
富士通
豊橋技術科学大学
東北大学
東京大学
立命館大学
東京大学
東京大学
オリンパス
立命館大学

分野 3 センサ・アクチュエータシステム
主査
吉田 慎哉
副査
才木 常正
委員
和泉 慎太郎
佐々木 敬
佐藤 弘人
高尾 英邦
高松 誠一
土屋 智由
橋口 原
畑 良幸
原田 知親
前中 一介
室山 真徳
桜井 淳平

芝浦工業大学
兵庫県立工業技術センター
神戸大学
Silicon Austria Labs
NHK 放送技術研究所
香川大学
東京大学
京都大学
静岡大学
名城大学
山形大学
兵庫県立大学
東北工業大学名古屋大学

分野 4 フィジカルセンサ
主査
竹下 俊弘
副査
岡谷 泰佑
委員
池沢 聡
蔭山 健介
笠原 崇史
神田 健介
柴崎 一郎
寒川 雅之
高橋 英俊
竹井 裕介
中澤 寛一
橋本 和彦
野田堅太郎
原 基揚
廣田 正樹
山下 馨
吉田 幸久

産業技術総合研究所
東北大学
早稲田大学
埼玉大学
法政大学
兵庫県立大学
野口研究所
新潟大学
慶應義塾大学
産業技術総合研究所
デンソー
近畿大学
富山県立大学
情報通信研究機構
九州大学
京都工芸繊維大学
三菱プレシジョン

分野 5 ケミカルセンサ
主査
副査
委員

金沢大学
東京電機大学
日立製作所

南保 英孝
山口 富治
青野 宇紀

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

63

分野 6 バイオセンサ
主査
副査
委員

安藤 毅
飯谷 健太
石田 寛
稲波 久雄
巫霄
竹井 義法
田原 祐助
中本 高道
長谷川有貴
林 健司
二川 雅登
松倉 悠
松本 裕之

千葉工業大学
東京医科歯科大学
東京農工大学
日立製作所
福岡工業大学
金沢工業大学
信州大学
東京工業大学
埼玉大学
九州大学
静岡大学
電気通信大学
岩崎電気

村上 裕二
高村 禅
浮田 芳昭
内田 諭
遠藤 達郎
工藤寛之
笹川 清隆
末廣 純也
田畑 美幸
鶴岡 典子
外山 滋
中野 道彦
野田 俊彦
松永 忠雄
三澤 宣雄
光野 秀文
安田 隆
山村 昌平

静岡理工科大学
北陸先端科学技術大学院大学
山梨大学
東京都立大学
大阪公立大学明治大学
奈良先端科学技術大学院大学
九州大学
東京農工大学東北大学
国立障害者リハビリセンター
九州大学
豊橋技術科学大学
鳥取大学
麻布大学
東京大学
九州工業大学
産業技術総合研究所

分野 7 バイオマイクロナノシステム
主査
木村 啓志
副査
中島 雄太
委員
石田 忠
尾上 弘晃
久米村百子
小西 聡
鈴木 孝明
永井 萌土
長谷川義大
肥田 博隆
松井 勇人
松本 壮平
森本 雄矢
横川 隆司
吉田昭太郎
茂木 克雄
山本貴富喜
分野 8
主査
副査
委員

64

エレクトロニクス実装学会連携
倉島 優一
村上 直
石河 範明
伊藤 高廣
小林 健
五明 智夫
高木 秀樹
多喜川 良
野上 大史
野村 健一
枦 修一郎

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

東海大学
熊本大学
東京工業大学慶應義塾大学
九州工業大学立命館大学
群馬大学
豊橋技術科学大学
広島市立大学神戸大学
島津製作所
産業技術総合研究所
早稲田大学
京都大学
中央大学
東京電機大学
東京工業大学

産業技術総合研究所
九州工業大学富士電機
九州工業大学
産業技術総合研究所
愛知時計電機
産業技術総合研究所
九州大学
九州大学
産業技術総合研究所
東北学院大学

藤野 真久
山口 明啓
山本 道貴
魯健

産業技術総合研究所
兵庫県立大学東京大学
産業技術総合研究所

第 14 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム実行委員会（敬称略）
実行委員長
プログラム委員長
実行委員

燈明 泰成
鈴木 孝明
安部 隆
太田 裕貴
森本 雄矢
土井謙太郎
三宅 修吾
岩瀬 英治
長谷川義大
馬渡 和真
吉田昭太郎
長濱 峻介
山根 大輔
金川 哲也
矢吹 智英
菅 哲朗
元祐 昌廣
塚本 貴城
宮崎 史登
矢菅 浩規
中島 雄太
鈴木 宏明
秋山 佳丈
安藤 泰久
岩見健太郎
神田 岳文
田中健太郎
森本 賢一
柳生 裕聖
近藤 俊之

東北大学
群馬大学
新潟大学
横浜国立大学早稲田大学
豊橋科学技術大学
神戸市立工業高等専門学校
早稲田大学
広島市立大学早稲田大学
中央大学
京都先端科学大学
立命館大学
筑波大学
九州工業大学
電気通信大学
東京理科大学
東北大学
東芝
産業技術総合研究所
熊本大学
中央大学
信州大学
東京農工大学
東京農工大学
岡山大学
東京海洋大学
東京大学
関東学院大学九州大学

第 15 回集積化 MEMS シンポジウム実行委員会（敬称略）
実行委員長
土屋 智由
副実行委員長兼論文委員長
三田 吉郎

京都大学
東京大学

2023 年度集積化ＭＥＭＳ技術研究会運営委員（敬称略）
委員長
副委員長
副委員長
副委員長
副委員長
副委員長
副委員長
顧問
顧問
顧問

秦 誠一
町田 俊太郎
田中 秀治
積 知範
高尾 英邦
曽根 正人
福田 和人
澤田 和明
有本 和民
前中 一介

名古屋大学
KOKUSAI ELECTRIC
東北大学
オムロン
香川大学
東京工業大学JR 東日本豊橋技術科学大学
岡山県立大学
兵庫県立大学
Future Technologies from KUMAMOTO 2023

65

顧問
顧問
顧問
特別会員
特別会員
特別会員
特別会員
特別会員
監事
幹事
副幹事
副幹事
論文委員長
広報
副広報
会計
副会計
副会計
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画
企画

石井 仁
平本 俊郎
年吉 洋
石田 誠
益 一哉
河村誠一郎
西岡 泰城
水田 千益
町田 克之
山根 大輔
神田 健介
崔 容俊
三田 吉郎
前田 祐作
本間 浩章
鈴木 孝明
山田 駿介
栗岡 智行
永瀬 雅夫
伊藤 浩之
馬場 昭好
日暮 栄治
李 相錫
土屋 智由
松本 佳宣
山西 良樹
島田 照男
金谷 晴一
後藤 正英
米谷 玲皇
村上 修一
島村 俊重
河野 剛士
前澤 宏一
望月 俊輔
小西 敏文
中澤 寛一
金子 美泉
高橋 一浩
宮島 博志
ﾃｨｸｼｴ三田ｱﾆｴｽ
櫻井 淳平
廣谷 潤
丸山 智史
猪股 直生
Mark Chang
岡本 有貴

豊橋技術科学大学
東京大学
東京大学
豊橋技術科学大学
東京工業大学
JST
日本大学
モーデック
東京工業大学立命館大学
兵庫県立大学
豊橋技術科学大学
東京大学
香川高専
神戸大学
群馬大学
東北大学
東京工業大学
徳島大学大学院
東京工業大学
九州工業大学
東北大学
鳥取大学
京都大学
慶應義塾大学
東京エレクトロンイングスシナノ九州大学
NHK 放送技術研究所
東京大学
大阪産業技術研究所
NTT 情報ﾈｯﾄﾜｰｸ総合研究所
豊橋技術科学大学
富山大学
NTT データ数理システム
NTT アドバンステクノロジ
ミライズテクノロジーズ
日本大学
豊橋技術科学大学
住友精密工業
東京大学
名古屋大学
京都大学
横河電機
東北大学
東京工業大学
産業技術総合研究所

CHEMINAS 48 実行委員会（敬称略）
実行委員長
実行委員

66

梶 弘和
阿部 博弥
中島 雄太
長峯 邦明
梨本 裕司
平本 薫
福山 真央
堀 武志
三宅 丈雄
吉田昭太郎
吉本惣一郎

Future Technologies from KUMAMOTO 2023

東京医科歯科大学
東北大学
熊本大学
山形大学
東京医科歯科大学
東北大学
東北大学
東京医科歯科大学
早稲田大学
中央大学
熊本大学

MEMS
出展者プレゼンテーション 11月6日（月）12 ：35 ～ブース番号
No.A-09シクロオレフィンポリマー（COP）
でつくる

マイクロ流路チップワンストップサービス
マイクロ流路チップに最適な素材のシクロオレフィンポリマー（COP)

シクロオレフィンポリマー (COP) は、
日本ゼオンが独自の技術で開発した画期的な熱可塑性樹脂です。用途に応じた
最適グレードの紹介や樹脂メーカーならではの視点で材料物性を活かした製品作りをサポート致します。

シクロオレフィンポリマー(COP)の特性
低UV吸収性

低蛍光特性

高い耐薬品性

低不純物

低吸着特性

低水蒸気透過性

卓越した成形性

低環境負荷

1個（試作）から量産までワンストップで受託します ※中量産の場合、簡易金型で費用を抑えることができます。
ご
注
文

図
面
作
成

切
削
加
工

接

検

納

合

査

品

試
作

量
産

射
出
成
形

金
型
作
成

接

検

納

合

査

品

量産分岐点

シクロオレフィンポリマー（COP）

一体成形マイクロ流路チップ作成サービス
熱圧縮成形とツールテクノロジーによる精密微細加工製品
シクロオレフィンポリマー(COP) で作られたEdge Precision Manufacturing社のマイクロ流路チップは、COPならではの透明性、耐熱性、低自家蛍光性、平坦性、耐薬品性など優れた特長を備え、熱圧縮成形とツールテクノロジーによる精密微細加工を施した一体成形マイクロ流路チップです。

一体型コネクタ

抜き勾配 0

超高密度マイクロウェル

高精細なマイクロ流路

低残留応力

低複屈折

優れた平坦性

低変形によるロングライフ※Edge Precision Manufacturing Inc.は米国ボストンに拠点を置き、微細加工のマイクロ流路チップを製造・販売する日本ゼオンのグループ企業です。
高密度マイクロパターン

高アスペクト比※日本でのサービスは現在準備中です。

〒100-8246 東京都千代田区丸の内 1-6-2 新丸の内センタービル
高機能樹脂事業部

高機能樹脂開発企画販売部

Mail: zeonoss@zeon.co.jp

https://www.zeonoss.com

サービスの紹介・
お問い合わせ㻸 㻲 真 空 プラズ マ ク リ ー ナ ー 㻯 㼁 㼀 㻱 ・ 㻯 㻵 㻻 㻺 㻱 シ リ ー ズ⚫

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※特注対応可能。ご相談ください。 （高出力・㻵㻯㻼対応等）
機種名

hdͲϭDWZ

チャン バ ー
（内径）プラズマモード

/KEϰ

アルミチャンバーtϭϰϬ××ϮϬϬ××,ϭϭϬŵŵ

㻼㻱

/KEϲ

/KEϴ

アルミチャンバーtϮϬϬ××ϮϮϬ××,ϭϲϬŵŵ

アルミチャンバーtϮϱϬ××ϯϬϬ××,ϮϬϬŵŵ

㻼㻱㻛㻾㻵㻱モード選択可

ガス導入口数１（マスフローコントローラー）※ オプションでϮ個個追加可能

周波数／出力ϮϬΕϭϬϬŬ,ǌͬDyϭϬϬt

１（マスフローコントローラー）※ オプションでϯ個個追加可能ϮϬΕϭϬϬ Ŭ,ǌͬDyϮϬϬt

真 空 度ϳϲϬΕϭǆϭϬͲϯ dŽƌƌコントロール

タッチパネル㻼㻯でデジタル制御

装置寸法tϰϲϬ ǆϱϬϬ;ϲϮϬͿǆ,ϱϴϬŵŵtϰϵϴ ǆϱϱϬ;ϲϳϬͿǆ,ϲϮϬŵŵ

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〒㻡㻢㻠㻙㻜㻜㻡㻞 大阪府吹田市広芝町㻣番㻞㻢号㼀㻱㻸㻦㻌㻜㻢㻙㻢㻟㻤㻥㻙㻢㻞㻞㻜㻌㻌㻲㻭㼄㻦㻜㻢㻙㻢㻟㻤㻥㻙㻢㻞㻞㻝㼛㼛㼟㼍㼗㼍㻬㼟㼔㼕㼚㼗㼛㼡㼟㼑㼕㼗㼕㻚㼏㼛㻚㼖㼜㻌●㻌本社／〒㻤㻝㻞㻙㻜㻜㻡㻠㻌㻌福岡市東区馬出㻢丁目㻝㻠番㻝㻣号㼀㻱㻸㻦㻌㻜㻥㻞㻙㻢㻞㻠㻙㻤㻜㻝㻜㻌㻌㻲㻭㼄㻦㻜㻥㻞㻙㻢㻞㻠㻙㻤㻜㻞㻠●㻌営業所／北九州・佐賀・熊本・宮崎・鹿児島・東京・名古屋

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