2014年
4月 15日
第 20 号◆ 全国共同利用のための超大型装置を多数導入しました◆ VDEC リフレッシュセミナー開催のお知らせ◆ VDEC デザインアワード募集のお知らせ◆ VDEC デザイナーズフォーラムのご案内

VDEC からの大事なお知らせです。

同じ内容はhttp://www.vdec.u-tokyo.ac.jp/Tayori/にも掲載されています。

◆全国共同利用のための超大型装置を多数導入しました
昨年度VDECでは、平成24年度補正予算により、全国共同利用のための超大型装置を多数導入しました。今回はそのうち、ナノテクノロジー(微細加工)関係の3台を紹介します。
・超高速大面積電子線描画装置 ADVANTEST F7000S-VD02
・塩素系高密度プラズマエッチング装置 ULVAC CE-S・シリコン高速深掘りエッチング装置 SPT MUC-21 ASE-Pegasus
F7000S-VD02 は、8 インチウエーハ全面への描画が数十分から数時間以内に終了する、高速電子線描画装置で、VDEC で 9 年間にわたり、年間 1500 回を超える頻繁な利用をいただいた機種 F5112+VD01のパワーアップ版です。「20nm を切る細線」近似の無い「丸型」「三角形」「斜め線」などをキャラクタプロジェクションする新機能に正式対応しました。CE-S は、アルミなどの金属を気軽にプラズマエッチングしたいという長年の要望にお答えすべく、評判の高かった装置「CE-300I」に隣接する形で導入した高密度プラズマ装置です。MUC-21「ペガサス」は、「キロワット超級」を投入できる高密度プラズマエッチング装置で、シリコンの高速深掘りに最適な装置です。これらの装置は、登録 500 名を超すオープンな共有環境「武田先端知ビルスーパークリーンルーム」に設置され、「ナノテクノロジー・プラットフ
ォーム ( 文部科学省受託プロジェクト )」により、簡単な講習でどなたでも機器利用可能となっています。
5 月に武田クリーンルームの講習会 ( 入室許可が得られます )、次いで装置講習を定期的に開催する予定です。ご期待ください。

( 三田吉郎 )左: F7000S-VD02
右: 手前がCE-S、奥がMUC-21「Pegasus」

平成 26 年度を迎えてVDECセンター長 浅田邦博

VDECセンター長より日本の半導体産業は厳しい環境が続いていますが、昨年度は初めて海外のファブであるSTマイクロCMOS 28nm/FDSOIのテストランを実施することができました。資金面と技術面で支援を頂きました STARCの皆様に改めて感謝申し上げます。この技術は今年度よりVDECの新しいメニューとしてサービスを開始する予定です。現在VDECでは海外との連携を重要な方針としており、今後も皆様の研究教育に必要な試作メニューを充実させていきたいと考えています。またMEMS技術サポートも重要な柱となってきており、武田先端知クリーンルームをベースにユーザ数も 500 を超えました。昨年度は装置の更新等を行い今後ともご期待に応えるよう努めたいと考えております。

VDEC リフレッシュセミナー開催のお知らせ
http://www.vdec.u-tokyo.ac.jp/Refresh/announce.html
今年から 5 〜 7 月に VDEC リフレッシュセミナーを開催いたします。本セミナーは、集積回路産業に関わる職業人を対象としたリフレッシュ教育として、VLSI 設計に関する基礎と最新の知識・技術の習得を目的とし、この分野で活躍する著名な先生方を講師陣としてお招きして実施しています。
従来のアナログコース、昨年度新たに登場した MEMS の演習コース、試作コースに加え、今年から RF コースとデジタルコースが復活して、全 5 コースでの開催を予定しております。
これらの講義では、話を聞くだけではなく VDEC 演習室にて実際に CAD を動作させながらの演習も含まれます。
産業界だけでなく、教育機関に在籍する教員・学生の方の参加も可能ですので、みなさまぜひご参加ください。( 名倉徹)

VDEC デザインアワード募集のお知らせ
http://www.vdec.u-tokyo.ac.jp/designAward/welcome.html
3 年前から、「VDEC デザインアワード」を創査として投票し、その結果によって優秀賞 1 件と設し、VDEC CAD を利用して試作したチップの奨励賞を決定し、フォーラム内で表彰いたします。

中から特に優秀なチップを選定して 1 年間に数件

例年からの変更点は、「VDEC を通じての試作」

程度を「優秀賞」および「奨励賞」として表彰しだけでなく「VDEC CAD を利用しての試作」でております。応募は主に指導教員による推薦とし、構いません。また、発表会は東大武田ホールでは試作チップの技術内容を A4 1 ページ程度でまとなく、岐阜の下呂温泉にて行います。これは、今めたものを提出いただきます。

年のデザイナーズフォーラムは DA シンポジウム

VDEC 協力教員が選考委員となって 1 次審査と共同で開催するためです。審査は、１次書類審を行い、かつ、今年は 1 次選考通過者は 8 月開査、当日のポスター審査、および、ファイナリスト

催予定のデザイナーズフォーラムにてポスターセがパネリストになってディスカッションでの審査、ッションに参加していただき、そこでのフォーラを経て優秀賞 1 名と奨励賞を決定します。応募締

ム参加者全員および選考委員による重み付き投票

切りは GW 明けまで延長いたします。多数の応募によって 2 次審査を行い、さらにその通過者にをお待ちしております。

( 名倉徹)

パネリストとなって議論いただき、それを最終審

VDEC デザイナーズフォーラムのご案内
今年のデザイナーズフォーラムは 8/29( 金 ),ーセッション、大学院学生の立案による Ph.D. 企30( 土 ) に岐阜県の下呂温泉で開催いたします。

画セッションなど、試作経験やノウハウ、失敗談

デザイナーズフォーラムでは、毎年 100 名近いなども含めて、研究発表だけではなく普段の学会参加者が集まり、気軽な雰囲気の中で VDEC ユ

では聞けないような話も聞くことができるでしょーザの交流をはかっています。今年も VDEC デう。皆様の参加をお待ちしております。申込用のザインアワードの発表・表彰式を中心に、ポスタWEB は準備中です。

( 名倉徹)

研究室便り東京都市大学

VDEC ユーザの研究室をご紹介するコーナーです。

堀田研究室

東京都市大学 知識工学部情報通信工学科
集積化システム研究室
http://www.is.cn.tcu.ac.jp/
集積化システム研究室では、堀田研究室と同じ分野の傘研究室と密接な協力関係のもと共同で運営し、アナログ・デジタル混載のシステム LSI に必須の AD 変換器や DA 変換器の研究を進めています。最近では、FIRST 合原最先端数理モデルプロジェクトにも参画し、実数値基数の数の展開を行うβ写像を基礎とした、新しい原理の AD 変換方式の研究を行っています。AD 変換誤差発生要因の数学的解析と評価およびβ値推定アルゴリズムと変換誤差自己校正技術の開発により、環境変化や素子変動および素子性能劣化にロバストな小型で低消費電力の AD 変換回路を VDEC から提供いただいている CAD ツールを使って設計し、試作評価することでその有効性を実証しました。半導体微細化に伴い高精度設計が困難になってきている今日、素子バラツキや素子性能劣化を許容できる高精度設計の容易化を実現し、開発期間短縮や開発リソース削減など開発効率の向上に向けて日本の半導体産業に少しでも貢献できるように、研究と学生の育成に努力していきたいと思っています。

VDECスタッフより…

D2T の池野です。
こんにちは。VDEC 特任講師の池野です。

茨城県つくば市の自宅から 1 都 3 県を股にかけ2014 年４月から小松先生の後を継いで「アドバて電車通勤しています。家庭菜園や花木、芝生の手ンテスト D2T 寄附研究部門」を担当しています。

入れなど、庭いじり全般が目下一番の趣味です。

VDEC が発足した 1996 年度に浅田教授の指導の下で博士課程を終えた、いわば一期生のようなものなのですが、すぐに外資系半導体企業に就職し、その後色々と回り道の末、2 年前に VDECに舞い戻りました。半導体業界の激流の中で、デバイス・プロセス、低電力回路技術、マイクロプロセッサ、CAD ソフト、3 次元集積など目の前のエサにひたすら喰らいつき、何とか生き延びてきました。これからも、研究者としてはどんどん新しい課題に挑戦し、またスタッフとしても VDECの活動、運営に貢献できるようがんばります。まずは D2T シンポジウムが一つ目の大仕事です。

今後ともよろしくお願いします。( 池野理門 )