平成 21 年度産業動向調査報告書（要約）平成 22 年 3 月（財）マイクロマシンセンター「産業動向調査委員会」
産業動向調査委員会では、昨年度に引き続き、MEMS がどのような機器（MEMS-Inside）にどのように利用されているか（MEMS アプリケーション）及びその MEMS 関連企業の状況を調査し、日本の MEMS産業拡大の課題と方策を 21 年度調査報告書としてまとめた。
１．MEMS アプリケーション動向
MEMS は、既に自動車のエアバックセンサ、プリンターヘッド、ゲーム機のコントローラ、デジタルカメラの手振れ防止などに代表されるような実用技術として多くの製品へ応用されており、今後も、MEMS/ナノテク機能の複合技術、MEMS/半導体の一体形成技術、MEMS/MEMS の高集積化技術の進展により、「図１」に示すように多様な産業分野・機器への応用が見込まれる。

サービスロボット・家事ロボット
・清掃ロボット
・移動支援ロボット ・警備ロボット
etc・案内ロボット

農林・水産・ロボット農作業
エネルギー・振動発電
・アミノ酸濃縮 ・燃料電池
・エネルギーハーベスティング

環境／都市環境整備

・大気汚染分析 ・エレベータ
製造技術／ＦＡ・水質汚濁分析 ・ＩＴＳインフラ
・産業用ロボット
・ＦＡ用計測制御機器
・異臭分析
・作業環境・保安用分析機器・自動ドア
・環境モニタ（携帯型、作業者状態計測） ・バーコードリーダ
・半導体製造装置
・フラットパネル製造装置

航空・宇宙機器
・人工衛星 ・慣性航法装置（通信機器 ・表示ディスプレイ
・姿勢制御 （ＨＵＤ／ＨＭＤ）
・観測機器）

精密機器
・デジタルカメラ
・ビデオカメラ

医療・福祉機器

・生体検査用顕微鏡
・介護ロボット ・ＤＤＳ・内視鏡、内視鏡用能動処置具 ・人工内耳 ・ヘルスケア
・血圧計、血流計、眼圧計
・人工網膜 ・画像診断
・超音波診断装置
・補聴器
・ＰＯＣＴ検査装置
・処置用器具・心臓ペースメーカ（能動カテーテル、電気メス、生体電極神経刺激）

・時計
・顕微鏡

バイオテクノロジー

・血液／ＤＮＡ検査装置
・タンパク質分析装置
・組織培養機器

民生用電子・電気機器
・ＡＶ機器
・家庭用電気機器（ディスプレイ／ヘッドホン／（照明／冷蔵庫／エアコンetc.）
デジタルオーディオプレーヤ）
・ホームセキュリティ

アミューズメント・ゲーム機（携帯／据置き型）
・玩具ロボット

情報通信関連機器
・ノートブック型ＰＣ
・水冷式ＰＣ・プリンタ（インクジェット／レーザ）・磁気ディスク装置
・携帯情報端末
・光ディスク装置
・携帯電話
・通信機器
（ルータ）

MEMS／ナノテク機能の複合技術
ＭＥＭＳ／半導体の一体形成技術
ＭＥＭＳ／ＭＥＭＳの高集積化技術

自動車機器
・気化器・燃料噴射装置
・盗難防止・防犯システム
・排気ガス浄化システム
・カーナビ
・ステアリング装置（ＡＢＳ）・ＴＰＭＳ（タイヤ空気圧モニタリング） ・エアバッグモジュール・衝突防止システム
・シートベルト装着確認

ナノ・バイオ融合による革新的デバイス
ＢＥＡＮＳ（Bio Electromechanical Autonomous Nano Systems)

図１．ＭＥＭＳが利用される産業分野と機器（ＭＥＭＳ－Ｉｎｓｉｄｅ）

とくに、医療・福祉分野についてはセンサ MEMS、流体 MEMS、バイオ MEMS などにより医療診断・検査・治療具などへの応用が図られ、また今後期待されるサービスロボット分野は、加速度センサなど量産化が進んでいる既存のデバイスを利用している製品、産業用ロボットなどの大口の採用を経て、MEMS がサービスロボットのデバイスとして応用されていくと思われる。

２．MEMS 関連企業の動向
MEMS 産業を形成する企業も多様な業種へと拡大しつつある。世界最大規模の MEMS、超精密・微細加工、ナノテク、バイオに関する国際展示会「マイクロマシン／MEMS 展」の出展企業からの出展は、「図２」のとおりであるが、MEMS・マイクロマシン分野の特許（ＪＰ）出願企業は、「図３」のとおり、電気機器・機械・精密・化学などの企業からの参入が増大している状況にある。
ＭＥＭＳ ＭＥＭＳ応用
ＭＥＭＳ
デバイス
製造装置
5%
バイオ・8%
医療関連
17%
ＭＥＭＳ
設計ツール

6%
3%

ＭＥＭＳ
材料

8%

ナノテクノロジー

2009年（170社）

7%

24%
13%

ＭＥＭＳ
デバイス
17%

12%
ＭＥＭＳ
ファンドリー11%

マイクロマシンナノ
インプリント17%・ナノ加工
・超精密・微細加工

MEMS製造装置、超精密・微細加工

2008年（243社）

7%

19%

5%

バイオ・
医療関連

2%

8%
3%

評価・計測・検査機器

8%

ＭＥＭＳ設計ツール

ＭＥＭＳファンドリー
11%
その他の材料
ナノテク材料

評価・計測・検査機器「図２「マイクロマシン／ＭＥＭＳ展」出展企業からの出展内容

200（注）企業数は累計187社
その他

180161社

その他製造

160
精密機器

20142社

企業数

140120

輸送用機器

1594社

100

電気機器
12電気機器80963社

207334191702001

機械

17172020022003

窯業
石油・ゴム
化学

62000

鉄鋼

1213

機械
非鉄・金属

4439社
28社

8464546040

精密機器

17120社

情報・通信

2004

1315172005

20062007

図３ 特許（ＪＰ）出願企業

また、ＭＥＭＳデバイスに取り組んでいる企業も昨年度調査から増大し、その取組み内容も「図４」のとおり、センサ MEMS、光 MEMS、バイオ MEMＳなど、今後 MEMS が応用されるであろうデバイスへの取組みが増えてきている。

6050
取り 40組
んで30
いる
企
業 20数

2008年度調査（57社）2009年度
調査（85社）

100光ＭＥＭＳ

ＲＦ－センサ 流体ｱｸﾁｭｴｰﾀ
ＭＥＭＳ ＭＥＭＳ ＭＥＭＳ ＭＥＭＳ

図４

バイオ パワー
ＭＥＭＳ ＭＥＭＳ

企業で取り組んでいるＭＥＭＳ

３．日本の MEMS 産業拡大の課題
日本の MEMS 産業は、ST マイクロエレクトロニクス、アナログデバイスや MEMS ファウンダリ等の海外の水平分業モデルの企業群に対し、垂直統合モデルにある有力企業群によって形成されている。このことは、日本の技術、ノウハウ、設備が散在していることによる非効率と、MEMS デバイスの市場普及・浸透の活動の不足ともなり、今後の重要な競争要因となるコスト競争の観点では、海外に比べ劣勢にある可能性がある。
日本の MEMS 産業の強化には、公的機関および企業間の連携で、技術、ノウハウ、設備を有効活用するとともに、標準化等を通して技術・用途開発から市場普及と大量生産へのギアチェンジを実行できるよう、産業界と公的機関の統制された積極的な活動が望まれる。
MEMS市場日本のMEMS産業の特徴

成功事例の共通点

・民生エレクトロニクス分野が今後の成長領域

・民生エレクトロニクス大手が垂直統合的にMEMS開発を牽引

・ユーザー意向を反映した差別性高いMEMSデバイスの開発・技術競争に加えて、コスト競争力が今後ますます重要に・水平分業化を担うMEMSファ
ウンダリ産業での遅れ・デバイスを市場に普及・浸透させる仕掛け

日本の強み

日本の弱み

・ユーザーの意向を踏まえたデバ
イス開発と広範な用途開拓

・個々のデバイスのコスト競争力

日本のMEMS産業の課題
・日本中に散在したMEMS技術、設備、ノウハウの有効活用 （水平連携）
・MEMSの市場普及・浸透の推進 （ギアチェンジ）

図５

日本のMEMS産業拡大の課題