11 月 5 日 (木)チュートリアル１
09:05~09:10 5a-T00 イントロダクトリー
酒井 正俊

千葉大学
09:10~10:10 5a-T01 機械学習の結晶工学への応用 (招待講演)
沓掛 健太朗

理化学研究所 革新知能統合研究センター
10:10~10:25 休憩

開会式
10:25~10:35 浦岡 行治 (第 17 回研究集会 実行委員長)

奈良先端科学技術大学院大学

オーラルセッション１: 酸化物デバイス
10:35~11:15 5a-I01 超低消費電力ニューラルネットワーク LSI 実現に向けた金属酸化物メモリスティ
ブ素子の脳型シナプス応用 (招待講演)
丸亀 孝生 1,*), 水島 公一 1), 野村 久美子 1), 杉野 順一 2), 北村 俊光 2), 高橋 功次 2),
田村 豊 2), 西 義史 1)
1)

東芝 研究開発センター ナノ材料・フロンティア研究所 フロンティアリサーチラボラト
リー 2)東芝情報システム LSI ソリューション事業部

11:15~11:30 5a-O01 Mode Control of Resistive Switching Operations in Pt/TaOX/Ta2O5/Pt Cells
宮谷 俊輝 1,*), 西 佑介 1), 木本 恒暢 1)
1)

京都大学大学院 電子工学専攻

11:30~11:45 5a-O02 室温で ZT = 0.11 を示す層状酸化物 Ba1/3CoO2 エピタキシャル薄膜の作製と評価
高嶋 佑伍 1,*), 張 雨橋 2), 魏 家科 3,4), 馮 斌 3), 幾原 雄一 3,4), H. J. Cho2), 太田 裕道 2)
1)

北大院情報2)

北大電子

3)

東大総研

4)

京大元素

11:45~12:00 5a-O03 LaNiO3 超薄膜の表面終端処理によるフォノンドラッグ熱電能の増強効果
木村 公俊 1,*), 片瀬 貴義 1,2), 井手 啓介 1), 平松 秀典 1,3), 細野 秀雄 3), 神谷 利夫 1,3)
1)

東京工業大学 科学技術創成研究院 フロンティア材料研究所
がけ 3)東京工業大学 元素戦略研究センター

2)

科学技術振興機構さき12:00~12:15 5a-O04 超ワイドギャップ a-Ga-O 薄膜トランジスタへの水素プラズマ処理効果
加藤 昭宏 1,*), 笠井 悠莉華 1), 井手 啓介 1), 片瀬 貴義 1,2), 平松 秀典 1,3), 細野 秀雄 1,3),
神谷 利夫 1,3)
1)

東京工業大学 科学技術創成研究院 フロンティア材料研究所
がけ 3)東京工業大学 元素戦略研究センター

12:15~13:15 昼食

2)

科学技術振興機構さきオーラルセッション２: マテリアルズ・インフォマティクス
13:15~13:55 5p-I02 材料・デバイスにおけるものづくりマテリアルズ・インフォマティクス (招待講演)
冨谷 茂隆
ソニー株式会社 R&D センター
13:55~14:35 5p-I03 『予測』と『理解』によるマテリアルズ・インフォマティクス (招待講演)
岩崎 悠真 1,2,3)
1)
日本電気株式会社 (NEC) 2)産業技術総合研究所 (AIST) 3)JST-さきがけ
14:35~14:50 企業コマーシャル・休憩

オーラルセッション３: 光電デバイス
14:50~15:30 5p-I04 有機薄膜太陽電池の進展とそれを支える有機半導体材料 (招待講演)
尾坂 格

広島大学 大学院先進理工系科学研究科
15:30~15:45 5p-O05 簡易 3D 印刷手法による薄膜カーボンナノチューブフィルムチャネルと Bi2Te3 化合物との直列∏構造形成及び超高感度光熱起電力型フレキシブルイメージセンサデバイ
スへの応用
李 恒*), 河野 行雄

東京工業大学 未来産業技術研究所
15:45~16:00 5p-O06 LTPS-TFT 人工網膜の光照射実験におけるスイッチング TFT 動作比較
豊田 航平*), 内藤 直矢, 市川 涼太, 森 真崇, 木村 睦

龍谷大学 大学院理工学研究科 電子情報学専攻
16:00~16:15 企業コマーシャル・休憩

オーサーズインタビュー
16:15~16:45 講演番号 (招待講演者): 5a-I01, 5p-I02, 5p-I03, 5p-I04
講演番号 (口頭講演者): 5a-O01, 5a-O02, 5a-O03, 5a-O04, 5p-O05, 5p-O06

16:45~18:00 移動・休憩

ランプセッション
18:00~20:30
18:00~19:00 5p-R00 薄膜半導体研究について (特別招待講演)
鮫島 俊之

東京農工大学

19:15~19:30 5p-R01 400°C High Temperature Reliability of 4H SiC MOS Capacitor with TiN Metal Gate
V.V. Cuong1,*), S. Ishikawa1,2), T. Maeda1,2), H. Sezaki1,2) and S. Kuroki1)
1)
Research Institute for Nanodevices and Bio Systems, Hiroshima University 2)Phenitec
Semiconductor Corp.
19:30~19:45 5p-R02 ミスト CVD 法を用いた Gax-Sn1-x-O/Ga-Ox 薄膜デバイスのメモリスタ特性
杉崎 澄生 1,*), 倉﨑 彩太 1), 荒牧 達也 1), 松田 時宜 2), 木村 睦 1,2)
1)

龍谷大学 大学院理工学研究科 電子情報学専攻
ンター

2)

龍谷大学 革新的材料プロセス研究セ

19:45~20:00 5p-R03 OLED 素子上へのウェットプロセスによるハイバリア構造の開発
孫 麗娜 1), 佐々木 樹 2), 上村 果歩 2), 高橋 辰宏 2), 硯里 善幸 1,*)
1)

山形大学 有機エレクトロニクスイノベーションセンター
システム2)

山形大学 大学院有機材料

11 月 6 日 (金)チュートリアル２
09:10~10:10 6a-T02 ミスト流を用いた機能膜形成技術「ミスト CVD 法」の開発とその特徴 (招待講演)
川原村 敏幸 1,2)
1)

2)

高知工科大学 システム工学群

高知工科大学 総合研究所

10:10~10:25 企業コマーシャル・休憩

オーラルセッション４: シリコンデバイス
10:25~11:05 6a-I01 液体シリコンによる Si パターニングの研究 (招待講演)
増田 貴史 1,*), 森 雅弘 1), 中山 茉初 1), 齊藤 公彦 2), 片山 博貴 3), 寺川 朗 3)1)

北陸先端科学技術大学院大学

2)

福島大学

3)

パナソニック

11:05~11:20 6a-O01 Cat-CVD 法でのトンネルナイトライドパッシベーションコンタクトの作製
W. Yuli*), H.T.C. Tu, 大平 圭介

北陸先端科学技術大学院大学
11:20~11:35 6a-O02 光学干渉非接触温度測定法 (OICT) を用いた SiC ウェハ内部の過渡的温度イメージング
藤本 渓也 1,*), 小柳 樹 2), 花房 宏明 1), 東 清一郎 1,3)
1)

広島大学 大学院先進理工系科学研究科 2)広島大学 大学院先端物質科学研究科
大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

3)

11:35~11:50 6a-O03 n 型非晶質 Si を電子輸送層に用いたペロブスカイト太陽電池
宋 展程 1,*), 相撲 優花 2), 深谷 翔子 2), H.T.T. Cam1), M. Shahiduzzaman2), 當摩 哲也 2),
大平 圭介 1)1)北陸先端科学技術大学院大学2)

金沢大学

広島

11:50~12:50 企業コマーシャル・昼食

ショートプレゼンテーション
12:50~13:30 講演番号 (ポスター講演者): 6p-P01～6p-P28 (1 件／1 分, 動画配信)

ポスターセッション・オーサーズインタビュー
13:30~15:00
13:30~14:15 講演番号の末尾が奇数 (45 分)
講演番号 (ポスター講演者): 6p-P01, 6p-P03, 6p-P05, 6p-P07, 6p-P09, 6p-P11, 6p-P13, 6p-P15,6p-P17, 6p-P19, 6p-P21, 6p-P23, 6p-P25, 6p-P27
講演番号 (招待講演者): 6a-I01
講演番号 (口頭講演者): 6a-O01, 6a-O03, 6p-O05, 6p-O07, 5p-R01, 5p-R03
14:15~15:00 講演番号の末尾が偶数 (45 分)
講演番号 (ポスター講演者): 6p-P02, 6p-P04, 6p-P06, 6p-P08, 6p-P10, 6p-P12, 6p-P14, 6p-P16,6p-P18, 6p-P20, 6p-P22, 6p-P24, 6p-P26, 6p-P28
講演番号 (招待講演者): 6p-I02
講演番号 (口頭講演者): 6a-O02, 6p-O04, 6p-O06, 5p-R02

6p-P01大気圧マイクロ熱プラズマジェット照射により作製した P 型ゲルマニウム薄膜の電気特性評価
赤塚 祐允 1,*), 佐藤 拓磨 2), 花房 宏明 2), 東 清一郎 2,3)

1)

広島大学 大学院先端物質科学研究科
デバイス・バイオ融合科学研究所
6p-P02

広島大学 大学院先端物質科学研究科
デバイス・バイオ融合科学研究所

3)

ナノ2)

広島大学 大学院先進理工系科学研究科

3)

ナノn 型フロントエミッタ型結晶シリコン太陽電池モジュールの電荷蓄積型電圧誘起劣化の光照射による加速趙 蓉蓉 1,*), 増田 淳 2), 大平 圭介 1)1)

北陸先端科学技術大学院大学

6p-P04

広島大学 大学院先進理工系科学研究科

光学干渉非接触温度測定 (OICT) を用いたシリコンウェハ内部の過度的温度変化の可視化
小柳 樹 1,*), 花房 宏明 2), 東 清一郎 2,3)

1)

6p-P03

2)

2)

新潟大学

凹凸基板上に作製した Cat-CVD 水素化非晶質 Si 薄膜の FLA における結晶化
W. Zheng*), H.T.C. Tu, 大平 圭介

北陸先端科学技術大学院大学
6p-P05

光学干渉非接触温度測定 (OICT) を用いたシリコンウェハ温度測定における測定温度範
囲と精度の検証
裏崎 裕也 1,*), 花房 宏明 2), 東 清一郎 2,3)

1)

広島大学 大学院先端物質科学研究科
デバイス・バイオ融合科学研究所

2)

広島大学 大学院先進理工系科学研究科

3)

ナノ6p-P06

微小プラズマジェット発生技術及びその集積化に関する研究
山下 隆祐 1*), 花房 宏明 2), 東 清一郎 2,3)

1)

広島大学 大学院先端物質科学研究科
デバイス・バイオ融合科学研究所
6p-P072)

広島大学 大学院先進理工系科学研究科

3)

ナノCat-CVD i-a-Si 積層膜による結晶 Si 表面の高品質パッシベーション
寺門 裕樹*), H.T.C. Tu, 大平 圭介

北陸先端科学技術大学院大学
6p-P08Flash Lamp Annealing for Improving Passivation Quality of PH3 Plasma Ion Implanted PType Amorphous Silicon
Y. Liu1,*), H.T.C. Tu1), N. Yamaguchi2) and K. Ohdaira1)
1)
Japan Advanced Institute of Science and Technology 2) ULVAC Inc.

6p-P09メニスカス力を用いた薄膜低温転写技術のロール・ツー・ロールプロセスへの応用に向けた研究
河北 竜治 1,*), 花房 宏明 2), 東 清一郎 2,3)

1)

広島大学 大学院先端物質科学研究科
デバイス・バイオ融合科学研究所
6p-P102)

広島大学 大学院先進理工系科学研究科

3)

ナノボトムゲート構造での単結晶 Si 帯成長とその TFT 応用
大峠 開星*), 葉 文昌

島根大学
6p-P11

Si ヘテロ接合太陽電池モジュールの電圧誘起劣化への温度および光照射の影響
徐 佳明 1,*), 増田 淳 2), 大平 圭介 1)1)

北陸先端科学技術大学院 マテリアルサイエンス

6p-P122)

新潟大学 自然科学系

ミスト CVD 法により成膜した Ga-Sn-O 薄膜の熱電特性
荒牧 達也 1,*), 山本 佑平 1), 伊藤 良 1), 松田 時宜 2), 池口 翼 3), 上沼 睦典 3), 木村 睦 1)

1)

龍谷大学 理工学研究科 電子情報学専攻 2)龍谷大学 革新的材料・プロセス研究センター 3)奈良先端科学技術大学院大学 先端科学技術研究科 物質創成科学領域

6p-P13

安定化された WOx 薄膜内に安定化された 1 次元原子欠陥トンネルの熱・電子輸送
キムゴウン 1,*), フウビン 2), 幾原 雄一 2), シュウユーミン 3), ジョヘジュン 1,4),
太田 裕道 1,4*)1)

北海道大学 大学院情報科学研究科 2)東京大学 大学院工学系研究科・総合研究機構
台湾・国立交通大学 新世代功能性物質研究中心 4)北海道大学 電子科学研究所

3)

6p-P14

CAN を固体電解質として用いた SrCoO2.5 薄膜の電気化学プロトン化 / 酸化楊 倩 1,*), イジュンヤク 2), ジンヒョンジン 2), 馮 斌 3), 幾原 雄一 3), ジョヘジュン 1,4),
太田 裕道 1,4)1)

北海道大学 大学院情報科学院 2)釜山大学 物理学科
総合研究機構 4)北海道大学 電子科学研究所
6p-P15東京大学 大学院工学系研究科・Ga-Sn-O 薄膜を用いた二層構造 ReRAM の最適化
倉崎 彩太 1,*), 橋本 快人 1), 角田 涼 1), 赤根 詩穂里 1), 牧岡 大輔 1), 杉崎 澄生 1),
木村 睦 1,2)
1)

龍谷大学 理工学研究科 電子情報学専攻

6p-P163)2)

龍谷大学 革新的材料プロセス研究センター

ニューロモルフィックデバイス用 Ga-Sn-O 薄膜シナプス
柴山 友輝 1,*), 大西 祐輝 1), 山川 大樹 1), 山根 弘樹 2), 中島 康彦 2), 木村 睦 1,2)

1)

龍谷大学 大学院理工学研究科 電子情報学専攻
学技術研究科2)

奈良先端科学技術大学院大学 先端科

6p-P17固相結晶化 In2O3:H の膜物性・電気特性評価
片岡 大樹 1,*), 曲 勇作 1,2), 古田 守 1,2)
1)

高知工科大学 マテリアル工学コース

6p-P182)

グラフェンの合成技術を応用した NiCO3/Si PN 接合ダイオードの特性評価
吉岡 涼 1,*), 江角 卓哉 1), 市川 和典 1), 大島 多美子 2)1)

松江工業高等専門学校 電子制御工学科

6p-P19高知工科大学 ナノテクノロジー研究センター2)

佐世保工業高等専門学校 電気電子工学科

Ni 板に直接合成したグラフェンショットキーダイオードの特性評価
持田 一輝 1,*), 市川 和典 1), 赤松 浩 2), 大島 多美子 3)1)

松江工業高等専門学校 電子制御工学科 2)神戸市立工業高等専門学校 電気工学科
佐世保工業高等専門学校 電気電子工学科

3)

6p-P20熱 CVD による鉄板上へのグラフェンの直接合成と腐食防止効果
経種 海斗 1,*), 市川 和典 1), 赤松 浩 2), 大島 多美子 3)1)

松江工業高等専門学校 電子制御工学科 2)神戸市立工業高等専門学校 電気工学科
3)
佐世保工業高等専門学校 電気電子工学科
6p-P21

ポリマー・金属多層積層型薄膜カーボンナノチューブフィルムセンサーシートの作製と光熱起電力型撮像性能特性の改善
安井 皐*), 李 恒, 卯滝 崚伍, 河野 行雄

東京工業大学 未来産業技術研究所
6p-P22

湾曲面回転電磁波センシング計測に向けたカーボンナノチューブ薄膜型光熱電パッチシートスキャナーの設計
古川 智也*), 李 恒, 河野 行雄

東京工業大学 未来産業技術研究所
6p-P23

チオフェンデンドリマーへの化学ドーピングと熱電変換特性
小柴 康子 1,*), 隠岐 晃太 1), 堀家 匠平 1,2,3), 山口 真奈 1), 武智 恭世 1), 福島 達也 1),
森 敦紀 1), 石田 謙司 1)
1)
神戸大院工 2)産総研ナノ材料 3)JST さきがけ

6p-P24

気液界面合成で得られる高配向 metal-organic framework (MOF) ナノシートの電気特性
大畑 考司 1,*), 野元 昭宏 1), 渡辺 剛 2), 廣沢 一郎 2), 牧田 龍幸 3), 竹谷 純一 3),
牧浦 理恵 1)1)

2)

大阪府立大学 大学院工学研究科
域創成科学研究科
6p-P253)

東京大学 大学院新領電流励起ナノギャップ素子の作製と電気・光学特性
米本 了 1,*), 上田 里永子 2), 大友 明 2), 野口 裕 1)

1)

明治大学 大学院理工学研究科

6p-P26

高輝度光科学研究センター

2)

情報通信研究機構 未来 ICT 研究所

カルバゾールジシアノベンゼン系 TADF 材料における発光緩和過程
河崎 広空 1,*), 萱苗 淳美 1), 石井 智也 1), 小林 隆史 1,2), 永瀬 隆 1,2), 合志 憲一 3,4,5),
安達 千波矢 3,4,5), 内藤 裕義 1,2)

1)

大阪府立大学 大学院工学研究科 電子・数物系専攻 2) 大阪府立大学 分子エレクトロニックデバイス研究所 3)九州大学 最先端有機光エレクトロニクス研究センター
4)
九州大学 安達分子エキシトン工学プロジェクト 5)九州大学 カーボンニュートラル・エネルギー国際研究所

6p-P27

塗布型高分子半導体フォトトランジスタメモリにおける 電荷蓄積層への可溶性フラーレ
ン添加効果
服部 励太郎 1,* ), 東中屋 美帆 1), 田津原 汐音 1), 永瀬 隆 1,2), 小林 隆史 1,2), 内藤 裕義 1,2)

1)

大阪府立大学 大学院工学研究科 電子・数物系専攻
ックデバイス研究所

6p-P282)大阪府立大学 分子エレクトロニ

正孔蓄積型有機フローティングゲートトランジスタの作製と NAND 型フラッシュメモリ
動作の評価
東中屋 美帆 1,* ), 服部 励太郎 1), 田津原 汐音 1), 永瀬 隆 1,2), 小林 隆史 1,2), 内藤 裕義 1,2)

1)

大阪府立大学 大学院工学研究科 電子・数物系専攻
ックデバイス研究所

2)

大阪府立大学 分子エレクトロニ

15:00~15:15 休憩

オーラルセッション５: 有機デバイス
15:15~15:55 6p-I02 オンデマンド印刷で作る有機集積回路 (招待講演)
松井 弘之

山形大学 有機エレクトロニクス研究センター
15:55~16:10 6p-O04 Ni 化合物半導体とのヘテロ接合による高移動度グラフェン TFT立石 翔太*), 市川 和典

松江工業高等専門学校 電子情報システム工学専攻
16:10~16:25 6p-O05 PN 接合の直列集積構造によるカーボンナノチューブフィルム型光熱起電力セン
サーの感度向上および液体検査応用
卯滝 崚伍 1,*), 李 恒 1), 河野 行雄 1,2)
1)

東京工業大学 工学院 電気電子系

2)

東京工業大学 未来産業技術研究所

16:25~16:40 6p-O06 酸素プラズマ処理により生じる有機半導体／ゲート絶縁膜界面準位のエネルギー分布
木村 由斉*), 服部 吉晃, 北村 雅季

神戸大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻
16:40~16:55 6p-O07 拡張タイムドメインリフレクトメトリによる OTFT のチャネル面内ホール分布
広がり過程酒井 正俊*), シュピンドラー慧敏, 廖維淞, 大橋 京悟, 工藤 一浩

千葉大院工
16:55~17:10 企業コマーシャル・休憩

閉会式・アワード表彰式
17:10~17:30 浦岡 行治 (第 17 回研究集会 実行委員長)

奈良先端科学技術大学院大学