アプリケーションガイド

研磨

試料調製、試験、分析のためのソリューション

クロス選択ガイド
中間微細UltraPa ™
dUltraPo ™
lTexM
et ™
P
NylonTexM
et C
TriD
ent ™
VerduTe
xVelT
exWh
iteF
elt ™
Poli
ClothMicroC
loth ™
Mic
roFlocMaster
Tex ™
Che
mo
Me ™
t

粗アルミニウム
鋳鉄
セラミック
セラミック溶射銅
一般的なバルク
一般的な薄片試料のタイプ

硬鋼
調質鋼
セラミックの高温はんだ
金属溶射
マイクロ電子試料
ニッケル基合金
未装着のPCB
ポリマー
マイクロ電子のシリコン
焼結炭化物
軟鋼
ステンレス鋼チタン

推奨方法
それぞれの試料、用途および必要性について特別な方法が要求される場合があります。表中の基本的な研磨方法を使って素晴らしい結果をもたらすことができます。研磨手順、力、回数、速度およびその他のヒントやコツなどの詳細な方法については、Buehler SumMet™ ガイドまたは www.buehler.com
にて弊社の eClub を参照してください。

試料

セラミックおよび塗料

セラミック

金属溶射塗装金属溶射塗装

焼結炭化物

研削工程

研磨工程1

研磨工程2

研磨工程3

UltraPrep 金属用接着剤

Apex Hercules H

VerduTex

VerduTex

45µm

9µm MetaDi™ シュプ
レム ダイアモンド

3µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

1µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

Apex Color 黄

UltraPad™

TriDent

ChemoMet

35µm ダイアモンド

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

3µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

MasterMet™ シリカ

Apex Color 黄

UltraPad

TriDent

ChemoMet

35µm ダイアモンド

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

3µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

MasterMet シリカApex Hercules H

Apex Hercules S

VerduTex

ChemoMet

30µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

3µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

MasterMet シリカ

試料

電子試料

未装着のプリント基板

マイクロ電子のシリコンマイクロ電子
試料

アルミニウム合金

ニッケル基超合金

チタン合金

鉄および非鉄試料

銅および銅合金

硬鋼

軟鋼

鋳鉄

調質鋼

複合材料

ポリマーマトリックス複合材料

岩石学

ステンレスおよびマルエージン
グ鋼

一般的なバルク
標本

研削工程

研磨工程1

CarbiMet

TriDent

320グリット [P400]
600グリット [P1200]

研磨工程2

研磨工程3

研磨工程4

TriDent

TriDent

ChemoMet™

9µm MetaDi™ シュプ
レム ダイアモンド

3µm MetaDi シュ
プレム ダイアモンド

1µm MetaDi シュ
プレム ダイアモンドMasterPrep™
アルミナ

CarbiMet

VerduTex™

VerduTex

VerduTex

ChemoMet

600グリット [P1200]

6µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

3µm MetaDi シュ
プレム ダイアモ
ンド

1µm MetaDi シュ
プレム ダイアモ
ンド

MasterMet™
シリカ

CarbiMet

TexMet™ P

VerduTex

VerduTex

ChemoMet

320グリット [P400]

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

3µm MetaDi シュ
プレム ダイアモ
ンド

1µm MetaDi シュ
プレム ダイアモ
ンド

MasterPrep
アルミナ

CarbiMet

TexMet C

TexMet C

TexMet C

ChemoMet

320グリット [P400]

9µm MetaDi
シュプレム ダイアモンド

3µm MetaDi
シュプレム ダイアモンド

1µm MetaDi
MasterMet シリカシュプレム ダイア
モンド

CarbiMet

TriDent

ChemoMet

240グリット [P280]

3µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

MasterMet シリカ

CarbiMet

UltraPad™

ChemoMet

320グリット [P400]

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

MasterMet シリカ

CarbiMet

TexMet C

VerduTex

VerduTex

220グリット [P240]～ 320グリット[P400]

9µm MetaDi
シュプレム ダイアモンド

3µm MetaDi
シュプレム ダイアモンド

1µm MetaDi
MasterMet シリカ
シュプレム ダイアモンド

Apex DGD 赤Apex Hercules STriDent

MicroCloth™

75µm ダイアモンド

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

3µm MetaDi シュプレム ダイアモンドMasterPrep
アルミナ

CarbiMet

UltraPadTriDentMicroCloth

320グリット [P400]

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンドサ
スペンション

3µm MetaDi
シュプレム ダイア
モンドMasterPrep
アルミナ

CarbiMet

TexMet CTriDent

MicroCloth

320グリット [P400]

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンドサ
スペンション

3µm MetaDi
シュプレム ダイアモンド

MasterPrep
アルミナ

Apex DGD 赤Apex Hercules S

MicroFloc

75µm ダイアモンド

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

3µm MetaDi シュ
プレム ダイアモン
ドサスペンション

CarbiMet

UltraPad

TriDent

ChemoMet

120グリット [P120]～ 320グリット[P400]

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンドサ
スペンション

3µm MetaDi シュ
プレム ダイアモンドMasterPrep
アルミナ

CarbiMet

TexMet PVerduTex

MicroCloth

320グリット [P400]

9µm Meta Diシュプ
レム ダイアモンドサ
スペンション

3µm MetaDi
シュプレム ダイアモンド

MasterPrep
アルミナ

Apex DGD

TriDent

TriDent

TexMet C

45µm ダイアモンド

9µm MetaDi シュプ
レム ダイアモンド

3µm MetaDi
シュプレム ダイアモンド

MasterPrep
アルミナ™

ChemoMet

詳細については弊社ウェブサイト www.buehler.com を参照してください。

3研磨クロスガイド
粗いUltraPad™
硬質織物、毛羽立ちなし
6µm以 上 、ダイアモンド

TexMet™ P
硬質有孔、不織布
6µm以 上 、ダイアモンド

UltraPol™
硬質織物、
非刺激性絹布
6µm以 上 、ダイアモンド

中間Nylon
耐油性のある中硬質織物、毛羽立ちなし
6µm以上、ダイアモンド

TexMet C
不織圧縮布
15 ～ 0.02μm、ダイアモンド、AI2O3、SiO2

TriDent™
軟らかくて耐久性のある合成織
布、毛羽立ちなし
15 ～ 0.02μm、ダイアモンド

VerduTex
耐久性のある中硬質合成絹布
9 ～ 1μm、ダイアモンド

VelTex
毛羽の短い合成ビロード
9 ～ 1μm、ダイアモンド

PoliCloth
中硬質の毛織物
6 ～ 1μm、ダイアモンド

WhiteFelt™
軟らかく耐久性のあるマットな毛織物
6 ～ 0.02μm、ダイアモンド、
AI2O3、SiO2

ご存知ですか?
表示の研磨サイズが一般的に最適なサイズですが、特定の用途では表示範囲を超える研磨剤が素晴らしい結果を生み出します。

微細

MicroFloc
軟らかく毛羽の長い布
3 ～ 0.02μm、ダイアモンド、AI2O3、SiO2

MicroCloth™
軟らかく汎用的な毛羽の長い合成レーヨン
5 ～ 0.02μm、ダイアモンド、AI2O3、SiO2

MasterTex™
軟らかく毛羽の少ない合成ビロード
1 ～ 0.05μm、AI2O3、SiO2

ChemoMet™
軟らかく多孔質で化学的耐性のある
合成布
1 ～ 0.02μm、AI2O3、SiO2

ダイアモンド研磨サスペンションとペースト
ダイアモンドは除去率が高いため、ほとんどの試料調整で標準的に使用されます。ミクロサイズ、キャリア、ダイアモンドの種類の幅広い範囲で使用可能な、MetaDi™ ダイアモンド製品は汎用的な調整ツールです。

MetaDi および MetaDi シュプレムサスペンション• 粒径と形で等級分けされた合成ダイアモンドを含みます• ダイアモンド粒子は使いやすく整合的な用途のために均一に分散しています• MetaDi サスペンションには、清潔で効率的な切断作業が可能な鋭い塊状の単結晶が含まれます• MetaDi シュプレムのアンギュラーな多結晶粒子が、さらに小平面を切削することで表面下の歪みを無くします• 水性および油性キャリアのどちらでも使用可能です• サスペンションは噴射ノズル、またはバースト供給システムのような自動供給システムで塗布されます• ダイアモンドサスペンションはすべて、毒性がなく不燃性のため環境を破壊しません

単結晶ダイアモンドの鋭い刃で確実に清潔で効率的な切断作業が可能です。

単結晶ダイアモンドと多結晶ダイアモンドの除去速度の比較

除去速度（ミクロン/分）

4.0

MetaDi™ 単結晶

3.5

MetaDi シュプレム多結晶

3.02.52.01.51.00.50.0

チタン

ステンレス鋼 アルミニウム青銅

Rc-60鋼Rc-20鋼

亜鉛

MetaDi ダイアモンドペースト• ダイアモンドペーストはダイアモンドを埋め込んでいることの多い試料に最適です• MetaDi - 天然単結晶粒子、MetaDi II – 人工単結晶粒子、MetaDi ウルトラ – 天然および人工多結晶粒子の混合で使用可能です• 通常、ペーストはおよそ50rpmで研磨盤を回転させ、研磨盤の中心から約2インチ（5cm）の所に注射器の先を置き、清潔な布に塗布します• ほとんどの試料には MetaDi 液のような潤滑油が必要で、水に弱い試料には研磨油、またはAutoMet™ ラッピングオイルが必要です• ダイアモンドペーストはすべて、毒性がなく不燃性のため環境を破壊しません
アンギュラーでブロッキーな形状の多結晶ダイヤモンドにより、粒子の表面にたくさんの切断ファセットが形成されます。

クロスに関係なく、どうしてもダイヤモンド研磨に対応できない試料があります（鉛、CP Al、インジウム）。埋め込まれた研磨剤としてダイヤモンドを使用すると表面仕上げがうまくできません。これらの試料または類似の試料を準備している場合、代替研磨剤（主にアルミナ）を選択してください。

詳細については弊社ウェブサイト www.buehler.com を参照してください。

5

仕上げ用研磨サスペンション
仕上げ用研磨剤は目には見えない最終研磨面の歪みを取るためのものです。また、この歪みの除去は、高倍率の顕微鏡や、偏光観察、微分干渉コントラスト、および EBSD 技術の使用による解析に不可欠です。
新しいクロスを十分なサスペンションで湿らせて、研磨サイクル中に潤滑油を塗布します。以前使用したクロスには新しいサスペンションを適量加えて、十分な潤滑油を塗布します。サスペンションの供給を停止し、研磨サイクルの最後の30秒間で水に変え、クロス表面を洗い流します。
仕上げ研磨用サスペンションはすべて、Burst 供給システムや VibroMet™ 2 振動研磨機などの自動供給システムに対応しています。

MasterPrep™ アルミナは、完全に機械的な研磨法で試料を除去します。

MasterPrep アルミナサスペンション• ゾルゲルアルミナサスペンション（pH ～8.5）• 微細分散した、0.05µmの非凝集粒子

MicroPolish™ アルミナ粉末およびサスペンション• 凝集性アルミナで同じサイズの他のアルミナよりも高い除去率を実現• 1、0.3、0.05µmの砥粒径で使用可能

MasterPrep™ 2 化学機械的な研磨 SiO2 粒子を研磨剤ではなく、試料表面の反応層を拭き取るために使用することで、化学研磨を続行できます。

MasterMet 2 非結晶コロイダルシリカサスペンション• 0.02µmの 微 細 な 非 結 晶 の 非 晶 質 コ
ロイダルシリカサスペンション（pH～10.5）• 化学機械的な研磨で歪みのない優しい試料除去を実現

MasterPolish 2 サスペンション• 0.06µmの高純度酸化鉄（pH ～10）
• 化学機械的な研磨で上質の表面仕上げを実現

MasterPolishⅡ アルミナ粉末およびサスペンション• 非凝集性アルミナで凝集性アルミナよりも高い品質の表面仕上げを実現• 1および0.3µmの砥粒径で使用可能
MasterMet コロイダルシリカサスペンション• 0.06µmの微細な非晶質コロイダルシリ
カサスペンション（pH ～10）
• 化学機械的な研磨で繊細な表面仕上げを実現

MasterPolish™ サスペンション• 0.05µmの高純度アルミナとコロイダルシリカ（pH ～9）の混合• 水は最小限に抑えているため水に弱い試料に最適発注情報（shop.buehler.com にてオンライン購入可）

ダイアモンド研磨サスペンションとペースト

ほとんどの MetaDi™ ダイアモンドサスペンションおよびダイアモンドペーストには様々なサイズがあります。詳細な発注情報については、Buehler 製品カタログを参照してください。
サスペンション
砥粒径

色MetaDi 単結晶

MetaDi シュプ
レム多結晶ペースト
MetaDi 単結晶、油性

MetaDi ウル
トラ多結晶

MetaDi 単結晶

MetaDi II単結晶

40-66270.05µm40-662940-65301µm

40-6630

40-611240-624140-6540

40-1-6301

40-6138

40-624440-6541

40-1-6303

40-6152

40-6247

40-6630F

1µm 微細40-65313µm

40-663140-6631F

3µm 微細6µm

40-6532

40-663240-6542

40-1-6305

40-6172

40-62509µm

40-6533

40-6633

40-6543

40-1-6307

40-6192

40-625315µm

40-6534

40-6634

40-6544

40-1-6309

40-621240-625630µm

40-663545µm

40-6636

MetaDi 用追加アクセサリおよび消耗品
60-3255
アプリケーターボトル、8オンス（0.24ℓ）
40-6650
8オンス（0.24ℓ）ボトル用スプレーポンプ
40-6016
MetaDi 液、16オンス（0.47ℓ）（水溶性）
40-6032
MetaDi 液、32オンス（0.95ℓ）（水溶性）
40-6064-085 MetaDi 液、85オンス（2.5ℓ）（水溶性）

60-3250-006
60-3250-128

油性ダイアモンドサスペンションおよびダイアモンドペーストに使用する AutoMet™ オイル、6オンス（0.18ℓ）
油性ダイアモンドサスペンションおよびダイアモンドペーストに使用する AutoMet オイル、1ガロン（3.8ℓ）

仕上げ用研磨サスペンション
ほとんどの仕上げ用研磨サスペンションおよび粉末には様々なサイズがあります。詳細な発注情報については、Buehler 製品カタログを参照してください。
0.02µm

0.05µmMasterPolish™ 仕上げ用研磨剤

0.25µm

0.3µm

0.7µm

1µm

40-6370MasterMet コロイダルシリカ™

MasterMet 2 非結晶
コロイダルシリカ

0.06µm40-6377

MasterPrep アルミナ™

40-6380
40-10084
40-6376

MasterPolish 2 仕上げ用研磨剤
MicroPolish™ アルミナ粉末

40-10075

40-10077

40-10079

MicroPolish アルミナ粉末

40-10083

40-10082

40-10081

MicroPolishⅡアルミナ粉末

40-6323

40-6321MicroPolishⅡアルミナサスペンション

40-6363

40-6361

詳細については弊社ウェブサイト www.buehler.com を参照してください。

7高級磨き布粗• あらゆる試料の用途に対して高い性能を発揮• 長寿命で上質の表面仕上げ用
クロス

裏地

数量

8インチ
（203mm）

10インチ（254mm）

12インチ（305mm）

UltraPad™

PSA

1040-7118

40-712040-7122UltraPol™

PSA

1040-7448

40-7450

40-7452

TexMet™ P

PSA

540-7638

40-7640

40-7642

Nylon

PSA

1040-7068

40-7070

40-7072

中間TexMet C

PSA

1040-1108

40-111040-1112™

TriDent

PSA

1040-7518

40-752040-7522

VerduTex

PSA

1040-8018

40-802040-8022

VelTex

PSA

1040-8218

40-8220SO

40-8222 SO

WhiteFelt™

PSA

516-2002

16-2502 SO

16-3002 SO

PSA

1040-8418

40-8420 SO

40-8422 SO

MicroCloth

PSA

1040-7218

40-722040-722240-8322

PoliCloth
微細™

MicroFloc

PSA

1040-8318

40-8320

MasterTex™

­PSA

1040-7738

40-7740

40-7742

ChemoMet

PSA

1040-7918

40-792040-7922™

SO

SO - 特別注文。リードタイムが長く最低発注量が設定されている場合があります。

保管用キャビネット
19-06-09• 研磨盤およびサーフェスを保管する、耐久性があり清掃が簡単なキャビネット
• 2 つのタイプ：– 8インチ（203mm）/ 10インチ（254mm）– 12インチ（305mm）
部品番号

品名

19-06-118インチ（203mm）/ 10インチ（254mm）ディスクおよび研磨盤用(5段引き出しキャビネット)

19-06-128インチ（203mm）/ 10インチ（254mm）ディスクおよび研磨盤用(10段引き出しキャビネット)

19-06-09

12インチ（305mm）ディスクおよびプラテン用

19-06-10

19-06-09 用追加棚

13.125インチ[333mm]

13インチ[320mm]13.187インチ[355mm]
19-06-12

19-06-11

12.56インチ[320mm]12.56インチ[320mm]13.77インチ[350mm]13.77インチ[350mm]11.33インチ[288mm]11.33インチ[288mm]オンラインショップ（www.buehler.com）（米国、ドイツ、フランス、英国のみ）
消耗品の一覧については、弊社ウェブサイト www.buehler.com をご覧いただくか弊社製品カタログを参照してください。Buehler は継続的に製品の改良を行っているため、技術仕様について予告なく変更する場合があります。

切断

埋め込み

研磨

画像化 • 分析

AbrasiMet • AbrasiMatic • IsoMet

SimpliMet

EcoMet • AutoMet • MetaServ

OmniMet© 2015 BUEHLER, a division of Illinois Tool Works Inc.

硬度試験

BUEHLER 国際本部
41 Waukegan Road
Lake Bluff, Illinois 60044-1699 USA
電話： (847) 295-6500
www.buehler.com | info@buehler.com

BUEHLER フランス
info.fr@buehler.com

BUEHLER 日本
info.japan@buehler.com

BUEHLER 英国
info.uk@buehler.com

BUEHLER 中国
info.cn@buehler.com

BUEHLER ドイツ
info.eu@buehler.com

BUEHLER カナダ
info@buehler.ca

BUEHLER アジア太平洋
info.asia@buehler.com

Printed in U.S.A.

FN01465_0615