No.99MBE026B
SERIES No.579

ST422
セパレートタイプ
リニヤスケールシステム

ユーザーズマニュアル
ご使用前にこのユーザーズマニュアルをよくお読みの上、正しくお使いください。お読みになった後は、いつでも見られる所に必ず保管してください。

ユーザーズマニュアルで使用されているマーク
ユーザーズマニュアルで使用されているシンボルマークの意味と、各シンボルマークに付随して記述される内容を以下に示します。

安全上のご注意
ユーザーズマニュアルでは、製品を正しくお使いいただき、あなたや他の人々への危険や財産への損害を未然に防止するために、いろいろな絵表示をしています。その表示と意味
はつぎの通りです。
以下の表示は特定しない一般的な注意、警告、危険を示します。
この表示を無視して、誤った取扱いをすると、人が死亡または重傷を負う危険が差し迫っ危 険て生じることが想定される内容を示しています。
この表示を無視して、誤った取扱いをすると、人が死亡または重傷を負う可能性が想定さ

警 告れる内容を示しています。
この表示を無視して、誤った取扱いをすると、人が障害を負う可能性が想定される内容および物的損害のみの発生が想定されることを示しています。

注 意
以下の表示は特定の危険に対する注意、行為の禁止／強制を示します。
注意（危険、警告を含む）を促す内容があることを告げるものです。図の中に具体的な注
意内容（左図の場合は感電注意）が描かれています。
禁止の行為であることを告げるものです。図の中や近傍に具体的な禁止内容（左図の場合は分解禁止）が描かれています。
行為を強制したり指示する内容を告げるものです。図の中や近傍に具体的な指示内容（左図の場合は接地が必要であること）が描かれています。

iユーザーズマニュアルで使用されているマーク
各種の注記について
正しい操作により、信頼性の高い測定データを得るための助けとなる各種の"注記"を、以下の区分を示す用語により示します。

重要 ・ 目的を達成するために必要な情報を示す注記です。この指示を無視することはできません。
・ この指示に従わない場合は、本機の性能、精度を損なう可能性あるいは維持することが困難になる可能性があることを示します。

注記 本文の重要な点で特に強調または補足すべき情報を示します。特定の操作に関してご留意いただきたい事柄（メモリの制限、装置の構成、プログラムの特定のバージョンに関する情報など）があることを示します。

参考 本文に記載されている操作方法や手順を特定の問題に適用する場合の参考情報や、操作や機能に関する詳細説明などを示します。
また、他に参照すべき情報がある場合には、参照個所を示します。

本マニュアルに記載の使用法に依らない使用により損害が発生した場合には、弊社は一切その責任を負いかねます。
本書の記載内容については予告なく変更することがあります。
© Copyright Mitutoyo Corporation.

All rights reserved.

ii安全上の注意（必ずお読みください）
スケールユニットの性能を十分に発揮させていただくために、つぎのことを守ってご使用ください。
・ スケールユニットの性能を十分に発揮させるため、取付け、設定およびご使用の前には、必ず本ユーザーズマニュアルをよくお読みください。

注 意・ スケールユニットを取付ける場合には、電源は接続しないでください。また、NC 装置などと接続する場合には相手機器の電源も OFF であることを確認してから行ってくだ
さい。
・ 各接続ケーブルのコネクタのネジ類は、シールドを確実に行うためしっかり締付けてください。また、接触不良を起こす恐れがありますので、コネクタ部の接続端子には絶対に手で触れないでください。
・ フィードバックケーブル（ユーザ手配）の網線シールド部分をアースバーに確実に落としてください。

設置条件
・ 振動に対して
本スケールユニットを機械に取付ける場合には、なるべく振動の少ない場所に設置してください。振動の多い場所で長年使用されますと、内部の精密部品に不具合が生じ、精度に影響を及ぼす場合があります。
・ 防塵、防水に対してスケールユニットにワークなどが当たり強い衝撃が加わったり、切削油や切粉が直接スケールユニットに掛かるのを防止するために、スケールユニット全体を覆うようなカバーを用意してください。
・ 周囲温度および湿度に対して本スケールユニットの動作環境は温度 0～45℃、湿度 20～80％RH ですが、急激に温度や湿度が変化する場所の使用は避けてください。

EC 指令への適合について
本装置は次の EC 指令に適合しています。
EMI 指令 EN61326-1:1997+A1:1998
また、本装置を機械指令 EN60204-1 の適合を受ける機械に使用のときはその規格に適合するように方策を講じてから御使用ください。

iii

保

証
本器は十分な品質管理のもとで製造されておりますが、万一お買い上げの日より 1 年以内に当社の製造、輸送などに起因する不具合が発生した場合には、添付の保証書の内容に従って無償で修理させていただきます。お求めの代理店、あるいは当社営業所へご連絡ください。
つぎのような場合には、保証期間内でも有償修理となります。
・ 使用上の誤り、改造や不当な修理による故障または損傷
・ お買い上げ後の移動、輸送、落下などによる事故または損傷
・ 不適当な保守、保管、保存による故障または損傷
・ 異常電圧、指定外の使用電源（電圧、周波数）による故障または損傷・ 火災、地震、水害、落雷、その他の天災地変、公害、煙害、ガス害（硫化ガスなど）による事故または損傷
・ 保証書のご提示がない場合
・ その他当社の責任とみなされない事故または損傷
本保証内容は、日本国内のみにおいて有効です。

本ユーザーズマニュアルは、スケールユニットの構成、取付け方法、仕様、寸法図および各ポイントでの注意事項を中心に記述しています。スケールユニットの性能を十分に発揮

注 意させるため、このユーザーズマニュアルに記載されている手順に従って取付けてください。
無理な取付けや、公差を外れた取付けをしますと、性能を十分に発揮できないだけでなく、故障の原因になることがあります。また、保証の範囲から除外されることもありますのでご注意ください。

iv

目次
ユーザーズマニュアルで使用されているマーク ...................................................i
安全上の注意（必ずお読みください） ............................................................... iii
設置条件 ............................................................................................................. iii
ＥＣ指令への適合について ................................................................................. iii
保証..................................................................................................................... iv
1. システムの概要と取付け手順 .................................................................................... 1-1
1.1 システムの構成及び各部の名称............................................................................... 1-1
1.2

取付け調整の概要 ...................................................................................................... 1-2

2. スケール取付部、検出ヘッドブラケットの設計 ....................................................... 2-1
2.1 スケール取付部の設計............................................................................................... 2-1
2.1.1 有効長 10～350 ㎜のスケール取付部の設計................................................ 2-1
2.2

2.1.2 有効長 400～1000 ㎜のスケール取付部の設計............................................ 2-2
検出ヘッドブラケットの設計................................................................................... 2-3

3. スケール取付け、検出ヘッドの取付け...................................................................... 3-1
3.1 スケール取付け、検出ヘッドの取付け................................................................... 3-1
3.1.1 スケールの取付け ........................................................................................... 3-1
3.1.2 検出ヘッドの取付け ....................................................................................... 3-2
4. ケーブルの結線 .......................................................................................................... 4-1
4.1 ケーブル結線手順 ...................................................................................................... 4-1
4.2
4.3

ヘッドッケーブルを取り外す場合の作業手順 ....................................................... 4-1
方形波出力を使用される場合のケーブル結線方法 ............................................... 4-2

5. 検出器の機械的な調整 ............................................................................................... 5-1
5.1 スケール出力信号の確認手順................................................................................... 5-1
5.2

検出器の固定 .............................................................................................................. 5-2

6. I/F BOX 部の電気的な調整......................................................................................... 6-1
6.1 メイン信号の電気的調整........................................................................................... 6-1
6.2

6.1.1 メイン信号の電気的調整 ............................................................................... 6-2
原点信号の電気的調整............................................................................................... 6-3
6.2.1 原点信号の調整仕様 ....................................................................................... 6-3

6.3
6.4

v

I/O BOX 内のチェックピン、ボリュームおよびスイッチの配置........................ 6-4
チェックアダプタによる信号調整........................................................................... 6-5

目次
7. ケーブルの処理と最終確認.........................................................................................7-1
7.1 ケーブルの処理（配線とクランプ）........................................................................7-1
7.2

取付けおよび調整状態の確認 ...................................................................................7-2

7.3

保護カバーの取付け ...................................................................................................7-2

8. 仕様.............................................................................................................................8-1
8.1 主要仕様 .......................................................................................................................8-1
8.2 正弦波信号出力回路 ...................................................................................................8-2
8.3

正弦波出力信号波形 ...................................................................................................8-2

8.4

方形波信号出力回路 ...................................................................................................8-3

8.5
8.6

方形波出力信号波形 ...................................................................................................8-3

8.7出力設定 .......................................................................................................................8-5

8.8

最大応答速度について ...............................................................................................8-6

8.9

アラーム機能 ...............................................................................................................8-7

アラームリセット入力（リセット入力仕様の場合のみ） ....................................8-4

8.9.1 アラーム検出内容............................................................................................8-7
8.9.2 アラーム動作....................................................................................................8-8
8.9.3 アラームの解除................................................................................................8-8
8.10 コネクタピン配置 .......................................................................................................8-8
8.11 外観図 ...........................................................................................................................8-9
8.11.1 有効長（10～350mm）....................................................................................8-9
8.11.2 有効長（400～1000mm）..............................................................................8-10
9. トラブルシューティング ............................................................................................9-1
サービス窓口

vi

vii

1.

1

システムの概要と取付け手順

ST422 は小型セパレートタイプ・リニヤスケールユニットです。
基本システムは『メインスケール』と『検出ヘッド』及び『I/F BOX』で構成されます。
I/F BOX からの出力は、アナログ波形（サイン波）と方形波の２種類を同時に出力します。
用途に応じてご使用ください。
本書ではスケールユニットの機械装置への取付け方法とこれに付随する（機械的、電気的）調整方法について説明してあります。

1.1 システムの構成及び各部の名称
リニヤスケールユニット ST422 シリーズの構成及び各部の名称を下図と次項上図に示します。
取付作業に入る前に次の製品が揃っていることを確認してください。
・ メインスケール
1本
・ 検出器＋I/F Box
・ スケール押さえばね

1 セット
個数は取付寸法図をご確認ください。（有効長 400mm 以上）

・ 出力コネクタ

1 セット

システム図

MANUAL No.99MBE026B

1-1

各部の名称

1.2 取付け調整の概要
リニヤスケールユニットの大まかな取付け手順を下記に示します。

1-2

スケール取付部、検出ヘッドブラケットの設計[2]項参照スケール取付け、検出ヘッドの取付け[3]項参照ケーブルの結線[4]項参照検出器の機械的な調整[5]項参照I/F BOX 部の電気的な調整[6]項参照ケーブルの処理（配線とクランプ）[7]項参照取付けおよび調整状態の確認[7]項参照MANUAL No.99MBE026B

2.

2

スケール取付部、検出ヘッドブラケットの設計

2.1 スケール取付部の設計
2.1.1 有効長 10～350mm のスケール取付部の設計
有効長 10～350mm のスケールは接着剤で固定し取付けます。
取付寸法図を参考にメインスケール取付部は下図のように設計されることを推奨致します。

10～350mm のスケール取付部（推奨図）

注記

MANUAL No.99MBE026B

2-1

2.1.2 有効長 400～1000mm のスケール取付部の設計
有効長 400～1000mm のスケールはスケール押さえばねで固定し取付けます。
取付寸法図を参考にスケール押さえばね用ボルトを締め上げるスペースを確保したメイ
ンスケール取付部を設計されることをお願い致します。

注記

スケール背面の注意

2-2

MANUAL No.99MBE026B

2.

2.2 検出ヘッドブラケットの設計
検出ヘッドはその位置関係が出力信号に影響を与えます。
取付け時に下図に示す 2 方向の調整が可能なようなブラケットの設計を行なってください。

1. モアレ方向
主信号振幅（Vpp）が変化します。
2. ピッチ方向
主信号位相差（φ）が変化します。

ピッチ方向
検出ヘッド

モアレ方向

MANUAL No.99MBE026B

2-3

2-4

MANUAL No.99MBE026B

3.

3

スケール取付け、検出ヘッドの取付け

3.1 スケール取付け、検出ヘッドの取付け
3.1.1 スケールの取付け
・ スケールは目盛表面側（斜めから光を当てると虹色に見える面）に検出ヘッドが配置されるよう取り付けます。（スケールに弊社、社ネームのあるものは検出ヘッド側から見て社ネームが正しい向きに読める配置となります。）
・ 巻末の取付け図の通りにスケール取付け面が出来ているか、てこ式インジケータや電気マイクロメータなどでヘッドブラケット部とスケール取付け部を相対的に移動させて確認します。

スケール取付方向

スケールの平行出し及び取付け

・ スケールは取付ける部材とともに充分に温度ならしをした上で固定してください。本製品は 20℃で精度保証をしております。温度ならしの目安としては 20℃でスケール、取付ける部材ともに約 8 時間以上経過後、取付け固定作業（ネジ止めまたは接着）をされることをお勧めいたします。温度ならしを含め、使用温度環境が不充分だと保証精度に入らないことがありますので十分にご注意ください。
・ 有効長 10～350mm のスケールの接着には弾性タイプのものをご使用ください。
・ 信越シリコン社製 KE441T、セメダイン社製 EP001 等を推奨いたします。

MANUAL No.99MBE026B

3-1

注記
10

350mm

No.

3.1.2 検出ヘッドの取付け
・ 検出ヘッド検出面に貼られている保護テープをはがし、検出ヘッド－スケール間の距離（Gap）が指定値となるように固定ボルトで仮固定します。

3-2

MANUAL No.99MBE026B

4.

4

ケーブルの結線

システムを構成する各ユニット間を信号ケーブルで接続し、ケーブルを固定してください。
※二相方形波出力を使用される場合「4.3」項に従い結線したケーブルをご用意ください。

4.1 ケーブル結線手順
1. 検出ヘッドのケーブル（ヘッドケーブル）をインターフェイスに接続します。
2. 信号ケーブルにより、インターフェイスと電装ユニットを接続します。
3. ヘッドケーブルのシールド露出部を付属のケーブルクランプで固定します。

4.2 ヘッドケーブルを取り外す場合の作業手順
ヘッドケーブルを I/F Box から取り外す必要のある場合は下図を参考に以下の手順で作業
してください。
① 2 本のねじをはずし I/F BOX のカバーを外す。
② ケーブルフランジの２本のねじを緩める。
③ 基板上のコネクタを引き抜く。
ヘッドケーブルを取り付ける際は上記の逆の手順で行ってください。基板上のコネクタへの差し込みはコネクタノッチの向きを間違えないように注意し最後まで確実に差し込んでください。またケーブルフランジの 2 本のねじはしっかりと固定してください。コネク
タ差し込みが不充分であったり、ねじ類の固定が不充分な場合、誤作動の原因となります。
（下図参照）

ヘッドケーブルの取り外し

MANUAL No.99MBE026B

ヘッドケーブルの差し込み

4-1

4.3 方形波出力をご使用される場合のケーブル結線方法
方形波出力信号を使用する場合は、出力信号ケーブルを下図のように接続してください。
I/F BOX 側

制御装置側
接続ケーブル
+5V

R1
10
R2

A相

11
R1

R1

R1

R1

12
R2

B相

13
+5V

8
R2

Z相

14

AL

4.7kΩ

R1

R1=560Ω
R2=110Ω

1.8kΩ

9ラインドライバー
AM26C31:TI

4.7kΩ

+5V

+5V
3

ラインレシーバー
AM26C32:TI（相当品可）

4
1
2
15

シールド

*1：制御装置にＡ相／Ｂ相（PA、 PA 、PB、 PB ）に対する断線検出機能がある場合は、
AL 出力を接続する必要はありません。
この場合は、ハイインピーダンスモード（8.7 出力設定参照、DPSW1-7 を ON）に設定します。
制御装置に上記の断線検出がない場合、もしくは A 相／B 相出力をハイインピーダン
ス状態にすることがシステム上問題になる場合は、AL 出力を接続して下さい。この場合は、アラーム出力モード（8.7 出力設定参照、DPSW1-7 を OFF）に設定します。
*2：ケーブルはシールドケーブルをご使用ください。
*3：シールド（FG）は、付属コネクタの金属ケースへクランプしてください。
困難な場合はピン番号 15 へ接続してください。
*4：コネクタピン配置については、「8.10 コネクタピン配置」を参照してください。
*5：I/F Box 側での電源電圧が 4.75V 以上となるようにケーブルインピーダンス及び長さを設定して下さい。（TP5[+5V]と TP6[GND]で確認してください。）
Vsp－（Rc/3）×L×2（0.25[スケールの消費電流]）≧4.75V
Vsp＝制御装置からの供給電源電圧（Volts）
Rc：ケーブルの電源・グランド線インピーダンス（Ω/m）
L：ケーブルの長さ（m）

4-2

MANUAL No.99MBE026B

5.

5

検出器の機械的な調整

5.1 スケール出力信号の確認手順
1. 接続電装部の電源を入れます。
2. オシロスコープを下記の設定にします。
測定電圧レンジ：0.5V/div（10：1 プローブ使用時は 50mV/div）

走査モード

：X-Y

3. I/F BOX のふたを開けオシロスコープの２本のプローブを TP1（Vref）に GND プロー
ブを TP6（S.GND）クリップしオシロスコープの輝点が中央になるよう水平・垂直ポジ
ションつまみを調整します。
4. つぎに、ch1 のプローブを TP2（A 相）へ、ch2 のプローブを TP3（B 相）にクリップします。

MANUAL No.99MBE026B

5-1

5.2 検出器の固定
下図のように検出ヘッドのモアレ方向を調整し、リサージュ波形が最も大きくなるところ
で固定します。
機械的調整では規定の出力信号が得られないときは、次項の電気的調整により、下記の規格内の出力信号が得られるように調整します。

検出ヘッドの機械的調整とリサージュ波形(1) VPP と VDC は最終的には、電気的調整によりさらに微調整することができます。
(2) オシロスコープのドリフトに注意してください。作業の前に、十分余熱しておくことをお奨めします。
ドリフトがある場合は、オシロスコープ輝点の調整をやり直してください。
(3) クランプねじの固定時に出力信号が変化することもありますので、注意してください。

注記

5-2

MANUAL No.99MBE026B

6. I/F BOX

6

I/F BOX 部の電気的な調整

6.1 メイン信号の電気的調整
左図の様に接続し、検出ヘッドを動かしながら、
I/F Box 内部のボリュームによりスケール信号の中心電
圧と振幅電圧を調整します。
Ａ相出力信号（TP2）を X 軸に、B 相出力信号（TP3）をY 軸に入力して、リサージュ波形を描かせます。横軸、縦軸はオシロスコープの X、Y 軸を表します。
●調整の手順
まず、電源を投入して、オシロスコープの 2 本のプロー
ブを TP1（Vref）にクリップし、GND プローブは、TP6にクリップします。オシロスコープの水平・垂直ポジシ
ョンつまみを調整して、スクリーン（ブラウン管）上の基点を中央の十字線に一致させます。
つぎに、ch1 のプローブを TP2 へ、ch2 のプローブを TP3にクリップして、基板上のボリューム（下記参照）にて波形の調整を行います。
VR1 により A 相（横軸）の大きさ（Vpp：振幅電圧）を微調整します。
VR2 により A 相（横軸）の位置（Vdc：中心電圧）を微調整します。
VR3 により B 相（縦軸）の大きさ（Vpp：振幅電圧）を微調整します。
VR4 により B 相（縦軸）の位置（Vdc：中心電圧）を微調整します。
（6.1.1 メイン信号の電気的調整を参照）
ch1 ch2A

B

オシロスコープの設定（推奨）・測定電圧レンジ
0.5V/div. DC モード（10:1 プローブ使用時は 50mV/div.）
・走査レンジ：X-Y

TP6:GND

TP2:φA

VR1:Appの調整

TP3:φB

VR3:Bppの調整
VR2:Adcの調整

TP1:Vref（基準電圧）
MANUAL No.99MBE026B

VR4:Bdcの調整

6-1

6.1.1 メイン信号の電気的調整
メイン信号は下図の仕様を満たすように調整して下さい。
項目リサージュ波形

規格値

備

A相

2.0±0.2V

ギャップ（検出
ヘッドとメインスケールとのすきま）量および
平行度、モアレ
角の調整誤差により変化する。
VR1-A 相VR3-B 相A相0±0.2V

上記と同じ

B相

振幅電圧（VPP）

B相VP-P

A相VP-P考

B相

振幅電圧の相互差

B相VP-P（B 相 VPP－A 相 VPP）

A相VP-P

A相VDC

上記と同じ
[Vref]±0.1V VR2-A 相
VR4-B 相

中心電圧（VDC）
B相Vref

t
※1

0±10°

A相VDC

位相誤差（φ）s
A相VP-P※1：位相誤差φは上図の t/s（長径と短径の比率）より求めます。

6-2

位相誤差

0°

2°

4°

6°

8°

10°

t/s

1.000

0.966

0.933

0.901

0.871

0.841

MANUAL No.99MBE026B

6. I/F BOX

6.2 原点信号の電気的調整
下図の調整手順に従って、を参照して、出力信号を調整します。
1. I/F BOX 基板上の TP6（GND）にオシロスコープの GND プローブをクリップします。
2. I/F BOX 基板上のチェックピン TP1（Vref 約 2.5V）に、オシロスコープの 2 本のプローブをクリップし、輝線が画面の中央にくるように調整します。
3. CH1 のプローブをチェックピン TP4 にクリップします。
4. 検出ヘッドの中央がメインスケールの原点信号マーク付近にくるようにします。メイ
ンスケールまたは、検出ヘッドを測定軸方向に移動させると、検出ヘッドの中央付近
が原点信号マークを通過するたびに、オシロスコープの画面上に原点信号波形が、観測されます。
5. 原点信号波形のピークレベルとノイズレベルの中心電圧が CH2（Vref 約 2.5V）になる
ように VR5 を調整します。

TP4：φZ
VR5：原点調整
TP6：GND
TP1：Vref（基準電圧）

オシロスコープの設定（推奨）・測定電圧レンジ
0.5V/div. DCモード（10:1プローブ使用時は50mV/div.）
・走査モード：T-Y 20msec程度

6.2.1 原点信号の調整仕様
VR6 ノイズ、ピークレベルの調整

ab

調整規格値：

重要
MANUAL No.99MBE026B

ab

0.9～1.1

無信号レベルVref＝Vcc/2（≒2.5V）

a、b＝0.4V 以上

No.

6-3

6.3 I/F BOX 内のチェックピン、ボリュームおよびスイッチの配置
SW2

VR6

SW1

SW1 は上側で固定、2 は下側で固定

VR7
VR6、7 は固定（調整不可）
VR5
VR1
VR2
VR3
VR4

TP1
TP3

TP2

TP4

TP6

TP5

DPSW1

S.up ランプAL ランプor 電源ランプ

基板実装図

6-4

チェックピン（シルク図）

信号名

信号説明

TP1

Vref

基準電圧（約 2.5V）

TP2

φA

A 相信号

TP3

φB

B 相信号

TP4

φZ

Z 相入力信号

TP5

＋5V

電源電圧

TP6

0V

GND

ボリューム（シルク図）

調整する信号

説明

VR1

φAP-P

φAP-P 電圧の調整

VR2

φADC

φADC 電圧の調整

VR3

φBP-P

φBP-P 電圧の調整

VR4

φBDC

φBDC 電圧の調整

VR5

φZ

φZ 電圧の調整

VR6－固定（調整しないで下さい）

VR7－

固定（調整しないで下さい）

スイッチ（シルク図）

説明

SW1

固定（切換不可）［上側で固定］

SW2固定（切換不可）［下側で固定］

DPSW1［8.7 出力設定］を参照
MANUAL No.99MBE026B

6. I/F BOX

6.4 チェックアダプタによる信号調整
チェックアダプタ（別売：PARTS No.09AAB064）を使用すると信号調整を効率的に行うことができます。
下記の調整手順に従って、信号調整を行います。
1. （接続）
チェックアダプタを I/F Box の出力コネクタと接続ケーブルの間に接続します。
付属のハーネス（角型コネクタ付のリード線）をチェックアダプタ基板の CNP1 と I/F
基板上の CNP3 の間に接続します。
2. （GND プローブの接続）
チェックアダプタの GND_AN（I/F 基板の TP6 に相当）にオシロスコープの GND プロ
ーブをクリップします。
3. （メイン信号の調整）
Vref はチェックアダプタの Vref（I/F 基板の TP1 に相当）をメイン信号 A 相はチェックアダプタのφa（I/F 基板の TP2 に相当）を B 相はチェックアダプタのφb（I/F 基板のTP3 に相当）をそれぞれ使用し 6.1 項と同様の調整を行います。
4. （原点信号の調整）チェックアダプタの Vref（I/F 基板の TP1 に相当）とチェックアダプタのφz（I/F 基板の TP4 に相当）を使用し 6.2 項と同様の調整を行います。
チェックアダプタの PA、PB、PZ で分割された方形波及び原点パルス信号を確認する事ができます。（その際、オシロスコープの GND プローブはチェックアダプタの GNDをクリップしてください。）

チェックアダプタの接続

MANUAL No.99MBE026B

6-5

注記
I/F Box

6-6

MANUAL No.99MBE026B

7.

7

ケーブルの処理と最終確認

7.1 ケーブルの処理（配線とクランプ）システムを構成する各ユニット間を信号ケーブルで接続し、ケーブルを固定してください。
二相方形波出力を使用される場合「4.3 ケーブルの結線方法（方形波出力をご使用される
場合」に従い結線したケーブルをご用意ください。

・ 機械装置稼動時に検出ヘッドに力が加わらないように、検出ヘッドと共に移動する近傍の部材にケーブルをクランプしてください。
・ I/F BOX の筐体を、必ず機械本体に接地してください。
・ ヘッドケーブルのシールド露出部は付属のケーブルクランプで必ず接地してください。
その他以下の注意項目に従ってケーブル処理をしてください。

注記

I/F BOX
TP5[+5V]

TP6[GND]

FG
15
8.6
8.10
R
R
R50
R100

MANUAL No.99MBE026B

7-1

7.2 取付けおよび調整状態の確認
検出ヘッドの機械的調整およびインターフェイスの電気的調整の終了後、メインスケール
や検出ヘッドの取付けおよび調整状態を再確認します。

検出ヘッドとメインスケール又は機械装置の部品とが接触・干渉しないことを確認しながら、十分注意して作業してください。

① 各部のねじ類やクランプなどの締め忘れがないことを確認します。
② 一度制御装置の電源を切り、5～10 秒後に再投入します。
（調整作業中に警報機能が作動することがありますので、これを解除します。）③ 機械装置の移動範囲全域で、出力信号が規定値を満足していることを確認します。満足していないときは、メインスケールの汚れ、電気的微調整、機械的調微整などを再確認してください。
④ 機械装置の移動範囲全域で、制御装置の警報装置が作動しないことを確認します。
⑤ オシロスコープのプローブを取り外し、インターフェイスにカバーを取り付けます。

7.3 保護カバーの取付け
機械装置の取付け面の設計の際に製作した保護カバーを取り付けます。

保護カバーが機械装置の一部や、スケールユニットのケーブルなどに接触しないようにしてください。機械装置の移動範囲全域に対して上記の問題がないことを確認してください。
以上でスケールユニットの取付けおよび調整が終了しました。

7-2

MANUAL No.99MBE026B

8.

8

仕様

8.1 主要仕様
項
目
外観寸法
検出方法
メインスケール格子ピッチ
主信号（正弦波）出力ピッチ
分解能
最小エッジ間隔
出力形式
出力方式
指示精度（20℃）

最大送り速度

スケール原点検出機能
スケール原点検出時応答速度
メインスケール線膨張係数
検出ヘッド質量
インターフェイス質量
供給電源電圧
最大消費電流使用温度範囲
保存温度範囲使用・保存湿度範囲（相対湿度）
ヘッドケーブル長
信号ケーブル長（別売り）

MANUAL No.99MBE026B

仕様[8.11 外観図]参照
光学反射式 ：リニヤエンコーダ
光源
：LED
受光素子
：フォトダイオード
40μｍ
40μｍ
5、1、0.5、0.2（μｍ）切換え可能
125、250、500、1000（ns）切換え可能
2 相方形波、正弦波（40μｍピッチ）同時出力
差動ラインドライバ（2 相方形波）±1μm（10～300mm）±2μm（350～500mm）±3μm（600～1000mm）
2000mm/sec（正弦波での最大速度）
方形波出力の場合、分解能により以下の様に変わります。
：5000mm/sec
5μm：5000mm/sec
1μm
0.5μm ：3600mm/sec
0.2μm ：1500mm/sec（最小エッジ間隔 125nsec 時）あり
20mm/sec（8±1）×10-6℃
約 10g
約 170g（ヘッドケーブル込み）
DC5V±5％250mA
0～40℃-20～60℃
20～80% RH（ただし結露しないこと）
1m（検出ヘッドと I/F BOX 間のケーブル長）
標準：3m

8-1

8.2 正弦波信号出力回路
主信号正弦波（φA、φB）及び、リファレンス電圧の出力回路は下図の通りです。
主信号（A相、B相）推奨受信回路
第1例
10Ω

+5V

φa、φb

LM6144

A相
B相
Vref

47Ω
μPC844等
2KΩ

1000pF以下

Ｖref（Vcc/2≒2.5V）

第2例
+5V
+5V

10Ω
Ｖref

Vcc/2≒2.5V

A相
B相
Vref

LM61445.1kΩ
47Ω
μPC844等

1000pF以下

5.1kΩ

8.3 正弦波出力信号波形
正弦波出力信号（A、B 相）の波形は下図の通りです。

40μm

Vref（Vcc/2≒2.5V）

φA

位相差 90°φB

Vref（Vcc/2≒2.5V）※ I/F BOX がアラームリセット入力仕様の場合は、正弦波は出力されません。

8-2

MANUAL No.99MBE026B

8.

8.4 方形波信号出力回路
方形波出力信号（A、B 相）の出力回路は下図の通りです。
PA、PB、PZ、ALM
PA 、 PB 、 PZ 、 ALM
差動ラインドライバ
AM26LS31相当

8.5 方形波出力信号波形
方形波出力信号（A、B、Z 相）の波形は下図の通りです。
VOH
PA
VOL
PA
PB

PB
td
PZ

Z相パルス幅200±100μm

PZ

注記 PZ

PA

VOH＝2.5V（最小）VOL＝0.5V（最大）td：エッジ間隔、d：分解能

PB※ 上図は I/F BOX 内の DPSW1-8 が OFF で、検出ヘッドが下図のように移動した際の波形です。

MANUAL No.99MBE026B

8-3

8.6 アラームリセット入力（リセット入力仕様の場合のみ）
アラームリセット入力の接続
I/F BOX 側

制御装置側
フォトカプラの場合+V

TLP5211.2kΩ AL（アノード）

リレーの場合+V

５

AL（カソード）

６-V

アラームリセット入力回路は、電流が 3～10mA になるように接続してください。 また、本体内部に抵抗（1.2kΩ）を内蔵していますので、AL（アノード）、AL（カソード）間に 5～12V を与えることによりアラームリセットすることが可能です。
また、12V 以上を与える場合には、外部に抵抗を追加してください。

8-4

MANUAL No.99MBE026B

8.

8.7 出力設定
インターフェイス内部のスイッチＤＰＳＷ１により、出力の設定が行えます。
DPSW1
ON

1

2

3

4

5

6

7

8

最小エッジ間隔●

12

最小エッジ間隔

OFF

OFF

1μsec

OFF

ON

500nsecONOFF

250nsecONON

125nsec※上表以外の設定時の動作は、保障できません。
分解能
3

4

5

6

分解能

ON

OFF

OFF

OFF

5

● ON

OFF

ON

OFF

1

OFF

ON

ON

OFF

0.5

OFF

OFF

OFF

ON

0.2

※上表以外の設定時の動作は、保障できません。
ハイ・インピーダンスモード

ON

アラーム発生時、出力がハイ・
インピーダンスとなる。

● OFF

アラーム発生時、アラーム信号を出力する。

ディレクション切換え（工場出荷時設定：OFF）（ON で反転）『8.9.4 ディレクション』参照●工場出荷時の設定（お客さまのご要望により変更されることがあります）

注記 I/F BOX

MANUAL No.99MBE026B

SW1

SW2

8-5

8.8 最大応答速度について
最大応答速度は設定により異なり下記の通りとなります。
設

最大応答速度（mm/sec）（スケールピッチ：40μm）

分解能
（分割数）

最小エッジ間隔[+0、-10%]

5μｍ
（8）

125ns
250ns
500ns
1μs

1800

1μｍ
（40）

125ns
250ns
500ns

5000
3600
1800

1μs

900

125ns
250ns
500ns

3600
1800
900

1μs

450

125ns
250ns
500ns

1500
700
300

1μs

150

0.5μm
（80）

0.2μm
（200）

8-6

定

5000
5000
3600

MANUAL No.99MBE026B

8.

8.9 アラーム機能
8.9.1 アラーム検出内容
出力パルスの最小エッジ間隔、および分割数の設定により決められた最大応答速度の超過を検出し、“AL_ランプ”が赤に点灯します。
入力正弦波信号波形の異常を検出し、“AL_ランプ”および“S.Up_ランプ（セットアップランプ）”が、下表のような組合わせで点灯します。
S.Up_ランプ※1

AL_ランプアラーム出力

異常※2

消灯

赤点灯

有り

注意※2

赤点灯

緑点灯

無し

※2

緑点灯

緑点灯

無し

領

域

正常
※1
※2

S.Up_ランプは、I/F BOX 内部にあるため、カバーを外さないと確認することはできません。
異常、注意、正常について

・ 下図の様に、入力正弦波信号の波形の大きさ（大きすぎる／小さすぎる）を、３つの領域に分けて表現しています。これを LED で表示し､入力正弦波信号のリサージュ波形
を容易に確認することができます。
・ 正常領域での使用を推奨します。注意領域で使用した場合、アラームにはなりません
が、分割精度が低下します。
B相

異常領域

正常領域

A相

注意領域

理想リサージュ

異常領域、注意領域の電圧範囲の目安について
領域

設定範囲（目安）

異常

0.5Vp-p以下
2.9Vp-p以上

注意

0.9Vp-p以下
2.7Vp-p以上

上表の設定範囲は電源電圧 5.0［V］時の値であり、電源電圧変動時は、入力範囲と共に電圧比例で変動しますので、目安としてください。
MANUAL No.99MBE026B

8-7

8.9.2 アラーム動作① ラインドライバ出力
・ ハイ・インピーダンスモードが ON の場合すべての出力がハイ・インピーダンスになります。
（ハイインピーダンスとは、電気的にＨでもＬでも無く、浮いた状態をいいます。）
・ ハイ・インピーダンスモードが OFF の場合
AL 信号（アクティブ“L”）を出力します。
（ただし、他の出力【PA、 PA 、PB、 PB 、PZ、 PZ 】も継続して出力されます。
② アラームランプ
電源ランプが、緑色から赤色に変わる。

8.9.3 アラームの解除
アラーム要因を取り除いたのち、次のいずれかによる。
① 電源の再投入（再投入は電源 OFF 後、10 秒以上経過後とする。）② アラームリセット信号を外部から入力。（パルス幅 100ms 以上）

8.10 コネクタピン配置
インターフェイスの出力コネクタ

使用出力コネクタ ：RDBD-15P-LNA（05）（ヒロセ）
適合プラグ

【付属品】

ピン No.

信

10V（GND）

2

0V（GND）

3+5V（Vcc）

4+5V（Vcc）

5

A 相（正弦波）【リセット入力－AL（アノード）】

6

B 相（正弦波）【リセット入力－AL（カソード）】

7

Vref（≒Vcc／２）

8

PZ（スケール原点）

9

ALM （アラーム）

10

PA

11

PA

12

PB

13

PB

14

PZ

15

F．G

※【

8-8

：D15-403N-110（中央無線）
号

名】内はアラームリセット仕様の場合
MANUAL No.99MBE026B

8.

8.11 外観図
8.11.1 有効長（10～350mm）

MANUAL No.99MBE026B

8-9

8.11.2 有効長（400～1000mm）

8 - 10MANUAL No.99MBE026B

9.

9

トラブルシューティング

スケールユニットの取付後、最初の電源投入時に動作しなかったり、連続使用中に何らかの原因でアラームが発生した場合は、下記の流れに沿って NC 装置又は、スケールユニッ
ト関係の確認を行って下さい。

A

NC

NO

NC

YES

A

NO

YES

A

OK

NO

YES

YES

MANUAL No.99MBE026B

A

YES

A

OK

NO

OK

NO

NO

YES

9-1

9-2

MANUAL No.99MBE026B

サービスの窓口
仙台営業所

仙台市若林区卸町東 1-7-30 〒984-0002
TEL: (022) 231-6881 FAX: (022) 231-6884

富山営業所

富山市二口町 2-5-14 〒939-8211
TEL: (076) 491-5562 FAX: (076) 491-5564

郡山営業所

郡山市大槻町字針生 148-1 〒963-0201
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栗東営業所

滋賀県栗太郡栗東町安養寺 6-9-61 〒520-3015
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上田市大字住吉字塚田 569-2 〒386-0000
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神戸営業所

神戸市西区伊川谷町潤和 604-4 〒651-2124
TEL: (078) 974-7931 FAX: (078) 974-7933

諏訪営業所

諏訪市中洲正神田 582-2 〒392-0015
TEL: (0266) 53-6414 FAX: (0266) 58-1830

岡山営業所

岡山市今 3-12-22 〒700-0975
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勝田営業所

ひたちなか市高場字原 448 〒312-0062
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東広島市八本松東 2-15-20 〒739-0142
TEL: (0824) 27-1161 FAX: (0824) 27-1160

太田営業所

太田市新井町 213 〒373-0852
TEL: (0276) 46-7441 FAX: (0276) 46-8924

福岡営業所

福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016
TEL: (092) 411-2911 FAX: (092) 473-1470

宇都宮営業所宇都宮市平松本町 796-1 〒321-0932
TEL: (028) 660-6240 (宇都宮営業)(028) 660-6251 (MC 営業所)
FAX: (028) 660-6248

宮崎事務所

宮崎県宮崎郡田野町甲 10652-1 〒889-1701
TEL: (0985) 86-5475 FAX: (0985) 86-0827

大宮営業所

大宮市宮原町 1-459 〒330-0038
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厚木営業所

厚木市栄町 1-13-2 堀ビル 〒243-0017
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千葉営業所

千葉県東葛飾郡沼南町五條谷 38-1 〒277-0913
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富士市本市場町 775 〒416-0954
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