NEW

FINE series PURE

高耐久バルブseries

FPR-NHD-71-9.52

FPR-NHD-71-6.35
FSR-SD-71-6.35-#A

Excellent,Ultimate,Fine,Clean & Safe Technology
あらゆる部分にお客様からのご提案を取り入れさせていただいております。

MEGA® ‐ONEMEGAÆ‐ONE LA NHD
低圧タイプ 高耐久エアオペレーションバルブMEGA

ONE LA NHD は、各種半導体製造装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
長年の経験によって蓄積された技術を使い、より高耐久性、高応答性を図りました。

●優れた耐久性3000万回以上●高Cv値

高速応答対応の電磁弁搭載タイプ

高耐久性ニッケルーコバルト合金製
ダイヤフラム接ガス部はすべて標準でEP処理されています。
オプションでUP処理も可能です。

1

シート材 質は、標 準でP C T F Eを採 用して いますが P A・P I もオプション設定しています。

Excellent,Ultimate,Fine,Clean & Safe Technology
MEGA

ONE LA NHD

仕様・材質
仕 様

呼び径

最高使用圧力使用温度範囲1MPa−10〜+80 ℃

6.35
9.52

Cv値 ※
（20℃窒素ガス時）
0.4
0.6

作動圧力

操作圧接続ポート

接続継手

0.45〜0.6 MPa

M5×0.8UJR、UPG 、F900
自動溶接継手●実績リーク量
外部リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下，
弁座リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下
弁座リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下●検査時リーク量 外部リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下，※: ボディ形状によっては異なる物もあります。

部品名ボディ

温度・圧力線図

材 質※

1.5SUS316L

ダイヤフラムニッケル−コバルト合金

シート

PCTFE

アクチュエータ

A5056

FPR-NHDA

B

D E

200℃、0.71MPa
150℃、0.76MPa

0.520406080100
温度（℃）

シート材質：PCTFE

120140160180200

シート材質: PA・PI

御注文の際は下記品番型式より選定をお願い致します。

-71
C

80℃、0.89MPa

1.0−10 0※: ＳＵＳ316L Ｗメルト材の対応も可能です。
仕様範囲外のご使用については別途、弊社にご相談下さい。

品番表示

40℃、1MPa−10℃、1MPa
圧力（MPa）

材 質●全てHeリークチェック済です。

-6.35
F

G-

H-

I-J

K

J
ＴＨ: カートリッジヒーター
挿入穴付きIなし: シート材PCTFE
ＰＡ: シート材PFA ※ＰＩ: シート材ポリイミド※

なし: 両端UJRおす接続
H −２ : 両端UJRめす接続−３ : 入口UJRおす、出口UJRめす
ＵＧ : UPG 継手
ＢＷ: 自動溶接継手

G 配管接続口径
6.35: 1/4 OD

9.52: 3/8 OD
12.7: 1/2 OD（UJR接続の際、バルブ呼び径は9.52となります）

Ｖ: 電磁バルブ付き
F Ｓ
ＲＳ: 近接センサ付き

E

１: 最高使用圧力1MPa※※

ＵＰ：UP処理品※

K

UJR継手、UPG 継手
D ７:
９: F900継手
５: 自動溶接継手

Ｂ: 三方バルブ
C Ｔ
ＣＬ: 二方コーナーバルブ

B ステンレス鋼製ダイレクトダイヤフラムバルブ
A ＦＰＲ: ノーマルクローズタイプ※印はオプションまたは受注生産となります。

製品出荷の際、品番の末尾に#A、#B…と表記する場合があります。これは製品履歴を示すものであり、機能面や寸法上の変更を表すものではありません。

2高耐久バルブ
高耐久性能を実現 特許出願済
長年の経験によって蓄積された技術を駆使し、製品の高寿命化を実現しました。
3000万回以上。

高Cv値
構造の見直しにより、従来と同サイズで高Cv値化を実現。

安定した品質
バルブ全数につき、リフト調整及びC v 値測定検査を実施。

MEGA ONE・NEW MEGA ONEと面間を統一(φ6.35はUJR継手のみ）
既存ラインのグレードアップが可能。

高温(使用流体温度）にも対応
シート材質をPA・PIにする事で200℃に対応。

3

High Durable
IGS 対応が可能
UPG 接続可能
液体材料ガスに最適です。デッドスペースフリー。

OPTION

電磁弁対応(オプション）
バルブ立ち上がり時間は5msec、バルブ応答時間は20msec以下を実現しております。
操作圧力と応答時間
CH1＝1V
DC10：125

CH2＝20V
DC10：1

10ms/div
10NORM 5kS/s

応答時間（msec）

全閉

全開20閉→開10ONOFF

50.45

0.50.55

0.6

CH2＝20V
DC10：1

10ms/div10NORM 5kS/s

全開
バルブストローク操作信号

全閉ONOFF操作信号

0.65

操作圧力（MPa）

センサ対応(オプション）
バルブのON/OFFを電気的に出力することができます。

流量安定対応(オプション）特許出願済
高温でのご使用による流量の経時変動の少ない製品の対応が可能です。

1.5−10℃、1MPa
圧力（MPa）

00.4

CH1＝1V
DC10：1

バルブストローク

開→閉

15

応答時間（全開→全閉）

応答時間（全閉→全開）

30

40℃、1MPa
80℃、0.89MPa

1.0200℃、0.71MPa
150℃、0.76MPa

0.5−10 020406080100
温度（℃）

シート材質 PCTFE

120140160180200

シート材質 PA・PI4ECV®

電動小型ダイレクトダイヤフラムバルブ（ECV®）ECV は、特殊材料ガスおよび高純度ガス用ダイレクトダイヤフラムバルブとして初めて電動式アクチュエータを採用致しました。
新素材を使用した超強力ソレノイドの採用によりアクチュエータの小型化と同時に高速開閉を可能に致しました。
従来の空気圧式アクチュエータの約1/20（5msec）の応答時間※を実現致しました。
※: 応答時間とは操作信号入力から、バルブ作動終了までの時間で定義しております。

●優れた耐久性400万回以上●超強力ソレノイド採用により空気圧作動比較で、20倍の高速開閉を実現。

専用電源使用により空気圧制御部分が不要。

Incorporated
Controlled Valve

高耐久性ニッケル−コバルト合金製ダイヤフラム

接ガス部は全てUP処理を行っています。

良好な置換特性（UJR MALE TYPE
接ガス部全内容積 0.84cc）

5シート材質は標準でPCTFEを採用しています。
使用流体温度上限150℃のPA・PI仕様対応可能。
（アクチュエータ部雰囲気温度 max. 40℃）

Excellent,Ultimate,Fine,Clean & Safe TechnologyECV®

応答特性（操作信号入力からバルブ作動終了まで）●全閉→全開約3.5msec OFF

CH1＝5VDC 10:1

CH2＝100mVDC 10:1●全開→全閉
約5msec1ms/div

ON

NORM:1MS/s

操作信号（バルブ単体の作動時間は2msec以下）

CH1＝5VDC 10:1

ON

CH2＝100mVDC 10:1

OFF（バルブ単体の作動時間は3msec以下）

3.5msec
バルブストローク

1ms/div
NORM:1MS/s

操作信号

5msec
バルブストローク

全開

全開

全閉仕様

全閉2msec以下

バ ル ブ

3msec以下

呼び径

最高使用圧力6.35

1MPa

MAX. Cv値

使用温度範囲接続継手−10〜+80℃ ※2

UJR、UPG 、Wseal

※1

0.1

弁座リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下 ●全てHeリークチェック済です。
●実績リーク量 外部リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下，
弁座リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下●検査時リーク量 外部リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下，※1: ボディ形状によっては異なる物もあります。※2: シート材質PI・PAにより使用流体温度上限150℃対応可能

専用電源部

供給電圧操作信号

駆動バルブ台数

最小バルブ開閉インターバル時間

AC 100〜240V

接点入力等

最大8台

8台接続時0.4sec 4台以下接続時0.2sec

品番表示

FSR‑SD‑71‑6.35
A B‑
C‑
D

E
Ｉ：シート材ポリイミド ※E Ｐ
ＰＡ：シート材PFA ※なし：両端UJRおす接続
D ２：両端UJRめす接続：ノーマルクローズ
B Ｒ
なし：ノーマルオープン

A Ｓ：ソレノイド

C ＵＧ：UPG 継手※印はオプションまたは受注生産となります。

製品出荷の際、品番の末尾に#A、#B…と表記される場合があります。これは製品履歴を示すものであり、機能面や寸法上の変更を表すものではありません。

寸法（FSR‑SD‑71‑6.35#A）（単位：mm）

標準専用電源（FSR‑DR‑CO8‑H#A）（8チャンネル仕様）
ソレノイド駆動電流
出力端子

（90）

100

１６１（10.7）5φ26

制御信号入力端子

１５９
OUTPUT

INPUT

152637481357COMPOWER

2468

AC 50/60Hz
100〜240V

AC 入力端子MONITOR

（93）

シート

ＦＧ

接地端子

１６９
電源モニター端子139

電源スイッチ52

9/16-18UNF

21

13313

ねじ部長さ 62‑M5×0.8

120

12

ボディ

〜

MODEL C08-H

呼び径φ6.35

アクチュエータ（105）〜
FSR-C 8ch DRIVER

6

● 第1回ものづくり日本大賞 「優秀賞」
IGS ® 開発者9名が受賞● 第5回ものづくり日本大賞 「優秀賞」
海外展開部門 Fujikin Vietnam 4名が受賞● 第7回ものづくり日本大賞「経済産業大臣賞」
FALVS ®（ファリバス ®） 開発者7名が受賞

CAT: No.700-03-J