Original-Betriebsanleitung

Pernicka 700H CHLD
Dichtheitsprüfgerät

Katalognummern
550-700, 550-701
Ab Software-Version
7.01.04

jin76ade1-04-(1911)

INFICON GmbH
Bonner Straße 498
50968 Köln, Deutschland

INFICON

Inhaltsverzeichnis

Inhaltsverzeichnis
1 Über diese Anleitung ........................................................................................................................................ 7
1.1 Zielgruppen............................................................................................................................................... 7
1.2 Mitgeltende Dokumente............................................................................................................................ 7
1.3 Warnhinweise ........................................................................................................................................... 7
1.4 Begriffsdefinitionen ................................................................................................................................... 92 Sicherheit........................................................................................................................................................ 11
2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung........................................................................................................ 11
2.2 Anforderungen an den Betreiber ............................................................................................................ 11
2.3 Pflichten des Bedieners .......................................................................................................................... 12
2.4 Gefahren................................................................................................................................................. 13
3 Lieferumfang, Transport, Lagerung ................................................................................................................ 14
3.1 Gerät und Kompressor auspacken ......................................................................................................... 16
3.1.1 Gerät auspacken......................................................................................................................... 17
3.1.2 Kompressor auspacken .............................................................................................................. 19
4 Beschreibung.................................................................................................................................................. 20
4.1 Funktion .................................................................................................................................................. 20
4.2 Betriebsarten .......................................................................................................................................... 22
4.2.1 Betriebsart Standby .................................................................................................................... 22
4.2.2 Betriebsart Messen ..................................................................................................................... 22
4.2.3 Betriebsart Regeneration ............................................................................................................ 22
4.3 Aufbau .................................................................................................................................................... 23
4.3.1 Gerät und Kompressor................................................................................................................ 23
4.3.2 Bedieneinheit .............................................................................................................................. 25
4.3.2.1

Anzeige .............................................................................................................................. 25

4.3.3 Vakuumanschlüsse..................................................................................................................... 27
4.3.3.1

Auspuff ............................................................................................................................... 27

4.3.3.2

Anschluss Spülgas............................................................................................................. 27

4.3.4 Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale ................................................................................ 28
4.3.4.1

Filterung der Messsignale einstellen.................................................................................. 29

4.3.5 Kennzeichnungen am Gerät ....................................................................................................... 30
4.3.6 Technische Daten ....................................................................................................................... 30
4.3.6.1

Mechanische Daten ........................................................................................................... 30

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

iii

Inhaltsverzeichnis

INFICON

4.3.6.2

Elektrische Daten ............................................................................................................... 30

4.3.6.3

Physikalische Daten........................................................................................................... 31

4.3.6.4

Umgebungsbedingungen ................................................................................................... 31

5 Installation ...................................................................................................................................................... 32
5.1 Voraussetzungen für die Installation....................................................................................................... 32
5.2 Aufstellen ................................................................................................................................................ 34
5.3 Kompressor anschließen ........................................................................................................................ 36
5.4 Druckluft anschließen ............................................................................................................................. 40
5.5 Spülgas anschließen .............................................................................................................................. 41
5.6 Gerät an das Stromnetz anschließen ..................................................................................................... 42
5.7 Gerät an ein Auspuffsystem anschließen (optional) ............................................................................... 44
5.8 Prüfkammer montieren ........................................................................................................................... 45
6 Betrieb ............................................................................................................................................................ 48
6.1 Gerät einschalten.................................................................................................................................... 48
6.2 Grundlegende Einstellungen .................................................................................................................. 50
6.2.1 Messfenster einstellen ................................................................................................................ 50
6.2.1.1

Fenster "Mini" einstellen..................................................................................................... 50

6.2.1.2

Fenster "Measure" einstellen ............................................................................................. 52

6.2.2 Messprozess konfigurieren ......................................................................................................... 56
6.3 Methode wählen ..................................................................................................................................... 59
6.3.1 Vorhandene Methode wählen ..................................................................................................... 59
6.3.2 Neue Methode erstellen.............................................................................................................. 60
6.3.3 Vorhandenes Rezept wählen...................................................................................................... 63
6.3.4 Neues Rezept erstellen............................................................................................................... 64
6.3.5 Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen................................................................................ 67
6.3.6 Single- oder Multi-Gas wählen.................................................................................................... 69
6.3.6.1

Single-Gas wählen ............................................................................................................. 69

6.3.6.2

Multi-Gas wählen ............................................................................................................... 70

6.4 Kalibrieren............................................................................................................................................... 71
6.4.1 Kalibrierung durchführen............................................................................................................. 71
6.4.2 Externes Prüfleck anschließen ................................................................................................... 72
6.5 Messen ................................................................................................................................................... 73
6.5.1 Messung vorbereiten .................................................................................................................. 73
6.5.2 Manuelles Starten vorbereiten .................................................................................................... 75
6.5.3 Messung starten und durchführen .............................................................................................. 76iv

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Inhaltsverzeichnis

6.5.3.1

Fenster "Mini" wählen und Messung starten...................................................................... 76

6.5.3.2

Fenster "Measure" wählen und Messung starten .............................................................. 77

6.5.3.3

Grobleck-Test durchführen ................................................................................................ 79

6.5.3.4

Messprozess nach Grobleck-Test beenden....................................................................... 79

6.5.3.5

Feinleck-Test durchführen ................................................................................................. 79

6.5.3.6

Messprozess nach Grobleck- und Feinleck-Test beenden ................................................ 81

6.5.4 Informationen zur Messung anzeigen......................................................................................... 82
6.5.4.1

Zustandszeitdiagramme anzeigen ..................................................................................... 82

6.5.4.2

Messparameter anzeigen................................................................................................... 82

6.5.4.3

Aktuelle Einstellungen anzeigen ........................................................................................ 83

6.5.4.4

Allgemeine Informationen anzeigen................................................................................... 84

6.5.4.5

Ereignisse anzeigen........................................................................................................... 84

6.6 Messdaten .............................................................................................................................................. 85
6.7 Massenspektrum bestimmen.................................................................................................................. 86
6.8 Regeneration durchführen ...................................................................................................................... 88
6.9 Gerät ausschalten................................................................................................................................... 90
7 Warn- und Fehlermeldungen.......................................................................................................................... 91
7.1 Warn- und Fehlermeldungen anzeigen .................................................................................................. 91
8 Reinigung und Wartung.................................................................................................................................. 95
8.1 Allgemeine Hinweise .............................................................................................................................. 95
8.2 Wartung des Geräts................................................................................................................................ 96
8.2.1 O-Ringe der Prüfkammer wechseln............................................................................................ 96
8.3 Wartung des CHLD-Sensors .................................................................................................................. 97
8.3.1 Lüfterfunktion kontrollieren.......................................................................................................... 97
8.3.2 Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln ...................................................................................... 99
8.4 Wartung des internen Prüflecks............................................................................................................ 103
8.4.1 Kalibrierung durchführen........................................................................................................... 103
8.4.2 Rekalibrierung des Prüflecks durch VTI.................................................................................... 103
8.5 Wartung der Vorpumpe ........................................................................................................................ 104
8.5.1 Ölstand kontrollieren ................................................................................................................. 104
8.6 CHLD-Sensor einstellen ....................................................................................................................... 105
8.6.1 Kathode im CHLD-Sensor wählen ............................................................................................ 106
8.7 Wartungsplan........................................................................................................................................ 107
8.7.1 Wartungstabelle ........................................................................................................................ 107

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)v

Inhaltsverzeichnis

INFICON

9 Außerbetriebnahme...................................................................................................................................... 108
9.1 Deinstallation ........................................................................................................................................ 108
9.1.1 Gerät vom Stromnetz trennen................................................................................................... 108
9.1.2 Spülgas trennen........................................................................................................................ 109
9.1.3 Druckluft trennen....................................................................................................................... 110
9.1.4 Kompressor abklemmen ........................................................................................................... 111
9.2 Gerät einsenden ................................................................................................................................... 114
9.3 Gerät entsorgen.................................................................................................................................... 116
10 Zubehör und Ersatzteile ............................................................................................................................... 117
10.1 Zubehör ................................................................................................................................................ 117
10.2 Ersatzteile ............................................................................................................................................. 117
11 CE-Konformitätserklärung ............................................................................................................................ 118
Stichwortverzeichnis..................................................................................................................................... 119

vi

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICONÜber diese Anleitung | 1

1 Über diese Anleitung
Dieses Dokument gilt für die auf der Titelseite angegebene Softwareversion.
Im Dokument werden unter Umständen Produktnamen erwähnt, die lediglich zu
Identifizierungszwecken angegeben werden und Eigentum der entsprechenden
Rechteinhaber sind.

1.1 Zielgruppen
Diese Betriebsanleitung richtet sich an Betreiber des Geräts, an technischqualifiziertes Fachpersonal und an eingewiesenes Personal.

1.2 Mitgeltende Dokumente
Betriebsanleitung CHLD-Sensor:

Operation Manual CHLD Sensor QME
220

Betriebsanleitung Turbomolekularpumpe: Operating Instructions HiPace 300
Turbopump
Betriebsanleitung Vorpumpe:

Operating Instructions GA01601_002_A1

Betriebsanleitung Kompressor:

8200 Compressor Installation, Operationand Service Instructions

Betriebsanleitung Kryopumpe:

Cryo-Torr Pump Installation, Operationand Maintanance Instructions

Granville-Phillips-Sensor:

Instruction Manual

Ersatzteile CHLD700H Akkumulation

Spare Parts CHLD700H Accumulation

Lecksucher:

Leak Detector

1.3 Warnhinweise
GEFAHR
Unmittelbar drohende Gefahr mit Tod oder schweren Verletzungen als Folge

WARNUNG
Gefährliche Situation mit möglichem Tod oder schweren Verletzungen als
Folge

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

7 / 122

1 | Über diese Anleitung

INFICON

VORSICHT
Gefährliche Situation mit leichten Verletzungen als Folge

HINWEIS
Gefährliche Situation mit Sach- oder Umweltschäden als Folge

8 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICONÜber diese Anleitung | 1

1.4 Begriffsdefinitionen
Verwendung von Gasarten in dem Gerät
Das Gerät ist ein Helium-Dichtheitsprüfgerät. Falls Sie statt Helium Formiergas
einsetzen, um den darin enthaltenen Wasserstoff nachzuweisen, gelten die Hinweisezu Helium auch für Wasserstoff.

Automatische Abstimmung / Masseneinstellung
Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale
Leckratenanzeige erreicht wird. Um mit dem Ionendetektor einen maximalen
Ionenstrom zu detektieren, passt der Steuerrechner die Spannung zur
Ionenbeschleunigung innerhalb des ausgewählten Massenbereichs entsprechend an.
Bei jeder Kalibrierung erfolgt eine automatische Einstellung der Masse.

Betriebsart
Das Dichtheitsprüfgerät unterscheidet zwischen den Betriebsarten "Standby","Messen" und "Regeneration".
In der Betriebsart "Standby" muss sich das Gerät befinden, bevor eine Messung
gestartet werden kann. Wurde der Messprozess abgebrochen, befindet sich das Gerät
ebenfalls in der Betriebsart "Standby".
Bei der Betriebsart "Messen" wird Prüfgas, welches aus einem Prüfobjekt austritt, mit
Hilfe eines Massenspektrometers (CHLD-Sensor) gemessen. Das Ergebnis wird beim
Grobleck-Test als Helium-Rohsignal (Strom in der Maßeinheit [A]) und beim FeinleckTest als Leckrate in der Maßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s] angezeigt.
Bei der Betriebsart "Regeneration" werden mit der Kryopumpe alle Gase außer
Helium und Wasserstoff ausgefroren. Die gefrorenen Gase werden im eisförmigen
Zustand an der inneren Oberfläche der Kryopumpe abgeschieden. In regelmäßigen
Abständen müssen diese abgeschiedenen Gase abgedampft und aus dem Systementfernt werden.

Formiergas
Formiergas ist ein Sammelbegriff für Gasgemische aus Stickstoff und Wasserstoff.

Grobleck-Test
Grobleck-Test bezeichnet eine Phase des Messablaufs, in der das Gerät das
Prüfobjekt auf grobe Leckagen überprüft.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

9 / 122

1 | Über diese Anleitung

INFICON

Akkumulation
Akkumulation bezeichnet eine Phase während des Messablaufs. Aus dem Prüfobjekt
austretendes Prüfgas wird im abgeschlossenen Messsystem angesammelt(akkumuliert). Die Änderung der Prüfgasmenge mit der Zeit dient zur Bestimmung derLeckrate.

Interner Heliumuntergrund
Das Messsystem des Dichtheitsprüfgeräts enthält immer eine Restmenge Helium.
Dieses erzeugt einen internen Messsignal-Anteil (Untergrundsignal), der die Anzeige
von Lecks überlagert.
Um dieses Untergrundsignal auszublenden, ist die interne "Untergrundunterdrückung"per Werkseinstellung aktiviert.

Kleinste nachweisbare Leckrate
Die kleinste nachweisbare Leckrate, die das Dichtheitsprüfgerät unter idealen
Bedingungen erfassen kann (> 4 x 10

-14mbar l/s).

Untergrundsignal
Helium oder Wasserstoff (als Teil von Wasser) sind natürliche Bestandteile von Luft.
Vor jeder Lecksuche befindet sich bereits eine Menge des eingestellten Prüfgases im
Volumen, auf den Oberflächen von Prüfkammer, Zuleitungen, und sogar im
Dichtheitsprüfgerät selbst. Diese gewisse Menge an Prüfgas erzeugt ein Messsignal,
welches "Untergrundsignal" genannt wird. Durch das fortwährende Evakuieren derPrüfkammer wird dieses Untergrundsignal kontinuierlich verringert.

Vorvakuumdruck
Druck im Vorvakuum zwischen der Turbomolekularpumpe und der Vorvakuumpumpe.

10 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Sicherheit | 2

2 Sicherheit
2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung
Der Pernicka 700H CHLD (Cumulative Helium Leak Detector) ist ein kumulatives
Helium-Dichtheitsprüfgerät zur Messung kleinster Leckraten.
Fehlanwendungen

Vermeiden Sie folgende, nicht bestimmungsgemäße Verwendungen:• Aufstellung des Geräts, so dass Netzschalter/Anschlüsse für Stromversorgung
nicht leicht zugänglich sind
• Betrieb des Geräts mit unzulässigen Drücken für die pneumatischen Ventile unddas Spülgas
• Benutzung des Kompressors als Abstellmöglichkeit• Benutzung des Kompressors als Sitzmöglichkeit• Benutzung des Kompressors als Leiter• Bedienung des Geräts durch ungeschultes Personal• Betrieb des Geräts ohne angeschlossenen Schutzleiterkabel an der ElektronikBox• Betrieb des Geräts mit einer Prüfkammer, in die kein Gitter eingelegt wurde

2.2 Anforderungen an den Betreiber
Die folgenden Hinweise sind für Unternehmer bestimmt oder für diejenigen, die für die
Sicherheit und den effektiven Gebrauch des Produkts durch den Nutzer, Angestellteoder Dritte verantwortlich sind.

Sicherheitsbewusstes Arbeiten• Betreiben Sie das Gerät nur, wenn es in technisch einwandfreiem Zustand ist undkeine Beschädigungen aufweist.
• Betreiben Sie das Gerät ausschließlich bestimmungsgemäß, sicherheits- undgefahrenbewusst unter Beachtung dieser Betriebsanleitung.
• Erfüllen Sie die folgenden Vorschriften und überwachen Sie deren Einhaltung:– Bestimmungsgemäße Verwendung– Allgemein gültige Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften– International, national und lokal geltende Normen und Richtlinien– Zusätzliche gerätebezogene Bestimmungen und Vorschriften• Verwenden Sie ausschließlich Originalteile oder vom Hersteller genehmigte Teile.
• Halten Sie diese Betriebsanleitung am Einsatzort verfügbar.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

11 / 122

2 | Sicherheit

INFICON

Personalqualifikation• Lassen Sie nur eingewiesenes Personal mit und am Gerät arbeiten. Das
eingewiesene Personal muss eine Schulung am Gerät erhalten haben.
• Stellen Sie sicher, dass beauftragtes Personal vor Arbeitsbeginn diese Anleitung
und alle mitgeltenden Dokumente gelesen und verstanden hat.

2.3 Pflichten des Bedieners• Lesen, beachten und befolgen Sie die Informationen in dieser Anleitung und inden vom Eigentümer erstellten Arbeitsanweisungen. Dies betrifft insbesondere die
Sicherheits- und Warnhinweise.
• Beachten Sie bei allen Arbeiten immer die vollständigen Bedienungsanweisungen.
• Wenden Sie sich bitte bei Fragen zur Bedienung oder Wartung, die nicht in dieser
Anleitung beantwortet werden, an den Kundendienst.

12 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Sicherheit | 2

2.4 Gefahren
Das Gerät ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten
sicherheitstechnischen Regeln gebaut. Dennoch sind bei unsachgemäßer
Verwendung Gefahren für Leib und Leben des Nutzers oder Dritter bzw. Schäden am
Gerät und weitere Sachschäden möglich.
Gefahren durch

Es besteht Lebensgefahr beim Berühren stromführender Teile im Inneren des Geräts.

elektrische Energie• Trennen Sie vor allen Installations- und Wartungsarbeiten das Gerät von derStromversorgung. Stellen Sie sicher, dass die Stromversorgung nicht unbefugt
wiederhergestellt werden kann.
Das Gerät enthält elektrische Bauteile, die durch hohe elektrische Spannung
beschädigt werden können.
• Stellen Sie vor dem Anschluss an die Stromversorgung sicher, dass die auf dem
Gerät angegebene Netzspannung mit der Netzspannung vor Ort übereinstimmt.

Gefahren durch

Ruckartige Bewegungen des Geräts im Betrieb können zum Blockieren dermechanische Energie

Turbomolekularpumpe führen. Es besteht Verletzungsgefahr durch freiwerdendeRotationsenergie oder durch umherfliegende Teile.
• Bewegen Sie das Gerät während des Betriebs nicht ruckartig.

Gefahren durch Verlust

Wenn die Transportrollen des Geräts nicht arretiert sind, besteht Verletzungsgefahr

der Standfestigkeit

durch Verlust der Standfestigkeit.
• Arretieren Sie die Transportrollen des Geräts.

Gefahren durch

Wenn der Auspufffilter an der Vorpumpe nicht regelmäßig geprüft wird, besteht

Materialien undVergiftungsgefahr durch Öldämpfe.

Substanzen• Überprüfen Sie regelmäßig den Auspufffilter an der Vorpumpe des Geräts oderschließen Sie das Gerät an ein Auspuffsystem an.
• Setzen Sie das Gerät nur außerhalb von explosionsgefährdeten Bereichen ein.

Gefahren durch BruchIn der auftauenden Kryopumpe kann bei stehender Turbomolekularpumpe ein hoher

während des Betriebs

Druck entstehen. Es besteht Verletzungsgefahr durch Bruch einer nicht geeigneten
Berstscheibe an der Kryopumpe während des Betriebs.
• Verwenden Sie ausschließlich eine für die Kryopumpe geeignete Berstscheibe.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

13 / 122

3 | Lieferumfang, Transport, Lagerung

INFICON

3 Lieferumfang, Transport, Lagerung
Lieferumfang

ArtikelAnzahlPernicka 700H CHLD

1

Kryopumpen-Kompressor

1

Netzanschlussleitung3

Helium-Supply-Leitung1

Helium-Return-Leitung1

Toolkit (Werkzeug)

1

Schutzleiterkabel Elektronik-Box

1

Handgelenkband, hellblau

1

Spiralkabel für Handgelenkband

1

Innensechskantschlüssel, modifiziert, 9/64 Zoll

1

PE-Beutel 100 mm x 150 mm x 0,05 mm

1

PE-Beutel 180 mm x 250 mm x 0,05 mm

1

Transportkiste für Pernicka 700H CHLD

1

Kippsensor

4

Schocksensor

4

Doppeletikett 110 mm x 60 mm

1

Original-Betriebsanleitung

1

Zulieferdokumentation (Siehe Kapitel "Mitgeltende

1

Dokumente")► Prüfen Sie den Lieferumfang nach Erhalt des Produkts auf Vollständigkeit.

14 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Lieferumfang, Transport, Lagerung | 3

Transport

WARNUNG
Abstürzende Lasten
Das Gerät hat keine Kranösen. Der Griff ist ausschließlich zum Schieben des Geräts
bestimmt.
► Transportieren Sie das Gerät nicht mit Hilfe von Hebeeinrichtungen.

VORSICHT
Quetschgefahr für Extremitäten
Füße können überrollt und gequetscht werden.
► Halten Sie Füße von den Rollen fern.
► Ziehen Sie das Gerät nicht, sondern schieben Sie das Gerät.

HINWEIS
Beschädigung durch Transport
Das Gerät und der Kryopumpen-Kompressor können beim Transport beschädigt
werden. Die Lieferung besteht aus einer Transportkiste mit dem Pernicka 700H CHLD
und einem Karton mit dem Kryopumpen-Kompressor. Die Transportkiste ist mit Kippund Schocksensoren gesichert.
► Wenn einer der Indikatoren der Schock- oder Kippsensoren rot ist, gehen Sie wie
folgt vor: Verweigern Sie nicht die Annahme der Lieferung. Vermerken Sie denroten Indikator auf dem Lieferschein und überprüfen Sie die Lieferung sofort auf
Transportschäden. Falls Sie Transportschäden feststellen, öffnen Sie nicht die
Verpackung. Setzen Sie sich umgehend mit Ihrem Transportunternehmen in
Verbindung.

Lagerung

Lagern Sie das Gerät und den Kryopumpen-Kompressor unter Beachtung dertechnischen Daten, siehe "Technische Daten [} 30]".

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

15 / 122

3 | Lieferumfang, Transport, Lagerung

INFICON

Sehen Sie dazu auch
2 Mitgeltende Dokumente [} 7]

3.1 Gerät und Kompressor auspacken
Die Lieferung besteht aus der Transportkiste, die den Pernicka 700H CHLD und einen
Karton mit den Komponenten gemäß Lieferumfang enthält, sowie einem Karton mit
dem Kryopumpen-Kompressor.

Transportkiste mit
Pernicka 700H CHLD
und Komponenten

Karton mit KryopumpenKompressor

Abb. 1: Bestandteile der Lieferung

16 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Lieferumfang, Transport, Lagerung | 3

3.1.1 Gerät auspacken
1

Entfernen Sie die Schrauben aus der Frontplatte der Transportkiste.

2

Entnehmen Sie die Frontplatte von der Transportkiste.

Frontplatte

Verpackungsmaterial

Transportkiste

Karton mit Komponenten

3

Entfernen Sie das Verpackungsmaterial aus der Transportkiste.

4

Nehmen Sie den Karton aus der Transportkiste heraus.

5Öffnen Sie den Karton, entfernen Sie das Verpackungsmaterial und entnehmen
Sie die Komponenten.

Querbalken

Keile mit

Transportgurt

Pernicka 700H CHLD

Schlaufen

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

17 / 122

3 | Lieferumfang, Transport, Lagerung

INFICON

6

Lösen Sie die 2 Transportgurte.

7

Um die 2 Keile zu lösen, ziehen Sie an den Schlaufen.

8

Entnehmen Sie den Querbalken aus der Transportkiste.

9

Legen Sie die 2 Keile vor die Transportkiste auf den Fußboden.

10

Legen Sie die Frontplatte auf die Keile, so dass eine Rampe entsteht.

11

Lösen Sie die Bremsen an den Transportrollen und fahren Sie das Gerät
vorsichtig aus der Transportkiste heraus.

VORSICHT
Quetschgefahr für Extremitäten
Füße können überrollt und gequetscht werden.
► Halten Sie Füße von den Rollen fern.

12

Entfernen Sie die Schutzfolie vom Gerät.

13

Entfernen Sie die Schaumstofffolie von den Vakuumkomponenten und vom
Monitor.

Schaumstoffklotz

Klebeband am Hand-

Schaumstoffklotz unter

unter dem Prüfleck

ventil Prüfleck

dem CHLD-Sensor

14

Entfernen Sie die 2 Schaumstoffklötze, die sich unter dem CHLD-Sensor undunter dem Prüfleck befinden.

18 / 122

15

Entfernen Sie das Klebeband vom Handventil des Prüflecks.

16

Stellen Sie sicher, dass das Handventil des Prüflecks geöffnet ist.

17

Entfernen Sie alle Kabelbinder, mit denen die Kabel am Gehäuse fixiert sind.

18

Schieben Sie das Gerät zu seinem Bestimmungsort.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Lieferumfang, Transport, Lagerung | 3

3.1.2 Kompressor auspacken
VORSICHT
Verletzungsgefahr durch Anheben des schweren Kryopumpen-Kompressors
Der Kryopumpen-Kompressor wiegt ca. 68 kg und kann aus der Hand rutschen.
► Heben und transportieren Sie den Kryopumpen-Kompressor nur zu zweit.
► Greifen Sie zum Anheben unter das Bodenblech.

Karton mit Kryopumpen-

Schaumstoff-

Kryopumpen-

Kompressor

profilKompressor

1Öffnen Sie den Karton und entfernen Sie das Verpackungsmaterial.

2

Heben Sie den Kompressor vorsichtig aus dem Karton heraus.

3

Entfernen Sie die Schaumstoffprofile vom Kompressor.

4

Transportieren Sie den Kompressor zu seinem Bestimmungsort.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

19 / 122

4 | Beschreibung

INFICON

4 Beschreibung
4.1 Funktion
Das Gerät ist ein Dichtheitsprüfgerät zum Erkennen und Messen von Lecks inversiegelten Prüfobjekten.

Beschreibung des Messprozesses
Das Gerät befindet sich vor Beginn des Messprozesses in der Betriebsart "Standby".
Die Prüfkammer zur Aufnahme des mit dem Prüfgas, z. B. Helium, gefüllten
Prüfobjekts befindet sich mittig vor der Ablage des Geräts. Legen Sie das Prüfobjekt
ein und schließen Sie den Deckel der Prüfkammer. Starten Sie den Messprozess.

DeckelPrüfkammer
Abb. 2: Prüfkammer: Deckel geöffnet (links) und Deckel geschlossen (rechts)

Während des automatisch ablaufenden Messprozesses werden zunächst das innere
Volumen der Prüfkammer und das Volumen zwischen den zwei Dichtungsringen auf
der Oberseite der Prüfkammer mit Spülgas, vorzugsweise mit Argon 5.0, gespült.
Nach dem beendeten Spülvorgang wird das Spülgas aus der Prüfkammer, aus dem
Volumen zwischen den 2 Dichtungsringen sowie aus dem Ventilblock abgepumpt.
Nach dem Prüfen des zulässigen Drucks für den Betrieb des Massenspektrometers(CHLD-Sensor) wird zunächst der Ventilblock evakuiert. Anschließend wird der CHLDSensor eingeschaltet. Vor dem Öffnen des Ventils zur Prüfkammer wird der CHLDSensor wieder ausgeschaltet. Bei ausreichend geringem Druck (vor allem muss der
Deckel der Prüfkammer geschlossen sein), wird der CHLD-Sensor eingeschaltet.
Der Grobleck-Test wird gestartet. Angezeigt wird beim Grobleck-Test der Strom desHelium-Rohsignals in der Maßeinheit [A]. Als Abbruchkriterium für diesen
Messvorgang dient ein vor Messbeginn eingestellter Schwellenwert (siehe"Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen [} 67]"). Überschreitet das Heliumsignal
diesen Schwellenwert, wird nach dem Grobleck-Test kein Feinleck-Test durchgeführt

20 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Beschreibung | 4

und der Messprozess beendet. Unterschreitet das Heliumsignal diesen
Schwellenwert, wird das Helium mit der Turbomolekularpumpe aus dem Systementfernt und anschließend der Messprozess mit dem Feinleck-Test fortgesetzt.
Im Feinleck-Test werden die hauptsächlich aus dem Prüfobjekt austretenden Gase,außer Helium, mit der Kryopumpe abgepumpt. Bei der dabei erfolgenden
Akkumulationsmessung wird die maßgeblich aus dem Prüfobjekt austretende
Heliummenge bestimmt. Als Ergebnis des Feinleck-Tests wird die Leckrate in derMaßeinheit[mbar l/s] oder [atm cc/s] berechnet und auf dem Monitor dargestellt. Die Prüfkammer
wird gespült und der Messprozess beendet.
Der Messprozess ist beendet und das Gerät befindet sich wieder in der Betriebsart"Standby".

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

21 / 122

4 | Beschreibung

INFICON

4.2 Betriebsarten
4.2.1 Betriebsart Standby
Bevor eine Messung gestartet werden kann, muss sich das Gerät in der Betriebsart"Standby" befinden.
Das Gerät befindet sich in der Betriebsart "Standby":• wenn der Messprozess regulär nach dem Feinleck-Test beendet wurde;• wenn der Messprozess nach dem Grobleck-Test abgebrochen wurde;• nach einer abgeschlossenen Regeneration;• wenn das Gerät eingeschaltet wurde.
In der Betriebsart "Standby" sind die Ventile V1, V3, V4, V5, V6 geschlossen. Das
Ventil V2 ist geöffnet.
Während der Betriebsart "Standby" ist ein Wechsel der Prüfobjekte möglich.

4.2.2 Betriebsart Messen
Im Falle eines Lecks wird das aus dem Prüfobjekt austretende Prüfgas mit Hilfe eines
CHLD-Sensors gemessen und als Ergebnis die Leckrate in derMaßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s] angezeigt.

4.2.3 Betriebsart Regeneration
Das Gerät besitzt eine Kryopumpe, welche alle Gase außer Helium und Wasserstoff
ausfriert. Die gefrorenen Gase werden im eisförmigen Zustand an der inneren
Oberfläche der Kryopumpe abgeschieden. In regelmäßigen Abständen müssen dieseabgeschiedenen Gase in der Betriebsart "Regeneration" abgedampft und aus dem
System entfernt werden.

22 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Beschreibung | 4

4.3 Aufbau
4.3.1 Gerät und Kompressor
Gerät
Bildschirm mit
Messprogramm
AblageUSB -Schnittstellen
Prüfkammer
für Prüfobjekt

VentilVentil-

gruppengruppen
Gerät

Tastatur

TrackballAnschluss fürkundenseitiges
Prüfleck (optional)

Kryopumpen-Kompressor
Wahlschalter für Netzfrequenz

Wahlschalter für Netzspannung

Netzschalter

Abb. 3: Gerät (oben) und Kryopumpen-Kompressor (unten): Ansicht von vorne

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

23 / 122

4 | Beschreibung

INFICON

Gerät
PID-Regler WATLOW fürAnzeige CTI -Temperaturmessgerät

Heizung Kryopumpe

für Kryopumpe
Massenspektrometer( CHLD-Sensor )Ventil für
TurbomolekularPrüfleck

pumpe

Anschluss
SpülgasTurbomolekularpumpe (verdeckt)

Netzschalter

Netzanschluss
Anschluss
Druckluft
Vorpumpe
Anschluss für StromÖlwanne fürAnschluss

Vorpumpe

Schutzleiter (PE)versorgung KryopumpenKompressor

Kryopumpen-Kompressor

Stromversorgung
Kompressor

Helium- Return
Leitung

Helium- Supply
Leitung

Stromversorgung

Manometer für

Motor Kryopumpe

Betriebsdruck Helium

Abb. 4: Gerät (oben) und Kryopumpen-Kompressor (unten): Ansicht von hinten

24 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Beschreibung | 4

4.3.2 Bedieneinheit
Die Bedieneinheit besteht aus einem Monitor, einer Tastatur und einem Trackball.
USB 2.0 Schnittstellen

Zum Einstecken eines USB-Speichersticks zum
Kopieren bzw. Speichern von Messdaten.
Zum Einstecken eines USB-Barcodelesers zum
automatischen Erfassen von Informationen derzu messenden Prüfobjekte.
Zum Einstecken eines USB-Speichersticks mit
Update-Informationen oder zum Anschluss eines
USB-Druckers zum Ausdrucken von
Prüfergebnissen.

4.3.2.1 Anzeige
Die Fenster mit den erforderlichen Einstellmöglichkeiten für das Vorbereiten,
Durchführen und Auswerten des Messprozesses sehen Sie auf dem Monitor.
Aufbau und Struktur der Fenster finden Sie beispielhaft erklärt am Fenster "Measure",welches standardmäßig nach dem Einschalten des Geräts erscheint.

ReiterMessergebnisse:

Meldungsfenster

Systemdiagramm

TastenAuswahlmenü

numerisch

Messergebnisse: grafischAbb. 5: Aufbau und Struktur der Fenster

Reiter► Um ein Fenster aufzurufen, drücken Sie den gleichnamigen Reiter.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

25 / 122

4 | Beschreibung

INFICON

Messergebnisse: numerisch
Zum Anzeigen der Messergebnisse als numerische Werte.

Meldungsfenster
Zum Anzeigen von Statusmeldungen und Informationen.

Systemdiagramm
Zum Anzeigen von aktuellen Zuständen der einzelnen Komponenten des Geräts
während eines Messprozesses.

Auswahlmenü
Zum Auswählen von Modi mit erweitertem Funktionsumfang.
► Um einen Modus auszuwählen, klicken Sie im Auswahlmenü mit der linken
Maustaste auf den Namen des Modus und drücken anschließend die Taste "Load &Run".

Tasten► Um eine Funktion aufzurufen, drücken Sie die entsprechende Taste.

Messergebnisse: grafischZum Anzeigen der Messergebnisse als zeitbezogene Liniendiagramme.
Liniendiagramme im oberen Diagramm sind linear skaliert. Liniendiagramme imunteren Diagramm sind logarithmisch skaliert.

26 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Beschreibung | 4

4.3.3 Vakuumanschlüsse
4.3.3.1 Auspuff

Das Gerät ist standardmäßig mit einem Auspufffilter an der Vorpumpe ausgestattet.
Der Auspufffilter befindet sich an der Vorpumpe im unteren Bereich des Geräts. Durch
den Auspufffilter werden die abgedampften Gase aus dem Gerät ausgeleitet.
► Schließen Sie das Gerät bei Verwendung in Reinräumen an ein Auspuffsystem an.
Siehe "Gerät an ein Auspuffsystem anschließen (optional) [} 44]".

WARNUNG
Gesundheitsschädliche Gase
Abhängig vom angeschlossenen Behälter und dem darin enthaltenen Gas können
gesundheitsschädliche Gase über den Auspufffilter des Dichtheitsprüfgeräts in die
Umgebungsluft gelangen.
► Sorgen Sie für Schutzmaßnahmen gegen das Einatmen vongesundheitsschädlichen Gasen.

4.3.3.2 Anschluss Spülgas
Auf der Rückseite des Geräts befindet sich der Anschluss für Spülgas, siehe"Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 28]". Der Anschluss ist eine MetallQuetschverschraubung für Metallleitungen aus Edelstahl oder Kupfer mit einem
Durchmesser von 6,35 mm.
Verwenden Sie zum Spülen ein Gas, ohne Prüfgas-Bestandteile, d. h. insbesondere
ein heliumfreies Gas, bei Atmosphärendruck. Schließen Sie eine
Gasversorgungsleitung (z. B. Argon 5.0) über den Schlauchanschluss an.
Der Druck in dieser Gasleitung darf 50 mbar (Überdruck) nicht überschreiten.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

27 / 122

4 | Beschreibung

INFICON

4.3.4 Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale
Netzkabel für Stromversorgung
Kryopumpen-Kompressor
Anschluss für Stromversorgung

Anschluss Spülgas

Kryopumpen-Kompressor

Anschluss

Anschluss desAnschluss desDruckluft

Schutzleiters (PE)

Netzkabels für das Gerät

Abb. 6: Anschlüsse für Steuersignale und Zubehör

HINWEISDie Elektronik des Geräts kann zerstört werden► Schließen Sie nur die Geräte an, die für die jeweiligen Schnittstellen vorgesehensind.
Die Anschlüsse für die externen Geräte weisen eine sichere Trennung vom Netz auf
und liegen im Bereich der Sicherheitskleinspannung.

28 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Beschreibung | 4

4.3.4.1 Filterung der Messsignale einstellen
Die Firma INFICON GmbH empfiehlt, die werkseitigen Einstellungen nicht zu ändern.

Abb. 7: Fenster "IO 220"

► Um das Fenster "IO 220" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "IO 220".
Im Fenster "IO 220" werden die aktiven digitalen Ein- und Ausgänge dargestellt.
Gleiche Informationen werden auch für die analogen Signale bereitgestellt. Das obere
Fenster zeigt die Rohdaten der analogen Signale. Das untere Fenster zeigt die
analogen Signale mit der gewählten Filterung.

1

Um die Filterung zu beeinflussen, wählen Sie im Feld "AI Coefficients" dieentsprechenden Werte aus.

2

Drücken Sie die Taste "reset/update".

ð

Das Ergebnis der geänderten Filterung sehen Sie direkt im unteren Fenster.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

29 / 122

4 | Beschreibung

INFICON

4.3.5 Kennzeichnungen am Gerät
Die Kennzeichnungen am Gerät haben folgende Bedeutungen:
Betreiben Sie das Gerät nur mit angeschlossenem Schutzleiter (PE).
Betreiben Sie das Gerät nur mit angeschlossenem Schutzleiterkabel an der
Elektronik-Box.

4.3.6 Technische Daten
4.3.6.1 Mechanische Daten
Gerät
Abmessungen (B x H x T)

660 mm x 1390 mm x 870 mm

Gewicht

245 kg4.3.6.2 Elektrische Daten
Gerät
Hauptsicherung

Interner Überstromschutz, rückstellbar

Nennleistung

2300 VA

Nennspannung

110 V, 50/60 Hz (Bestellnummer:
550-700)
230 V, 50/60 Hz (Bestellnummer:
550-701)

Nennstrom

15 A (Bestellnummer: 550-700)
10 A (Bestellnummer: 550-701)

Schutzart

IP 20Überspannungskategorie

II

Elektronische SchnittstellenUSB, Ethernet-Schnittstelle

Kompressor für Kryopumpe

30 / 122

Nennspannung

208 V ... 240 V, 50/60 Hz

Nennstrom

10 A

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Beschreibung | 4

4.3.6.3 Physikalische Daten
Gerät
Kleinste nachweisbare Leckrate für-14> 4 x 10mbar l/s

Helium-10

Leckrate internes Prüfleckca. 5 x 10

mbar l/s

Pneumatikdruck Ventile

7.5 bar ... 9 bar

Druck der Heliumversorgung für den

16.9 bar ... 17.25 bar (Überdruck)

Kryopumpen-Kompressor
Druckversorgung Spülgas (Argon 5.0)

35 mbar ... 70 mbar (Überdruck)

Vakuumsystem

Kryopumpe
Turbomolekularpumpe
Vorpumpe

Nachweisbare Massen

2 ... 100

Anschluss kundenseitiges Prüfleck

DN 16 CF4.3.6.4 Umgebungsbedingungen
Gerät
Zulässige Umgebungstemperatur (im15 °C ... 28 °C

Betrieb)
Zulässige Lagertemperatur

10 °C ... 45 °C

Max. relative Luftfeuchte bis 31 °C

80 %Max. relative Luftfeuchte von 31 °C bis

linear abfallend von 80 % bis 50 %40 °CMax. relative Luftfeuchte über 40 °C

50 %Verschmutzungsgrad

IIMax. Höhe über Meeresspiegel

1000 mPernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

31 / 122

5 | Installation

INFICON

5 Installation
5.1 Voraussetzungen für die Installation
Lesen und beachten Sie die mitgelieferte Dokumentation für den Kompressor "CryoTorr Pump Installation, Operation and Maintanance Instructions".
Lesen und beachten Sie die technischen Daten. Siehe Original-Betriebsanleitung,Kapitel "Technische Daten [} 30]".
ü Das Gerät, der Kryopumpen-Kompressor und alle im Lieferumfang enthaltenen
Teile sind ausgepackt und auf äußerliche Schäden hin untersucht worden. Siehe
Original-Betriebsanleitung, Kapitel "Lieferumfang, Transport, Lagerung [} 14]".
ü Die in der folgenden Liste definierten Voraussetzungen für einen erfolgreichen
Messbetrieb sind erfüllt.
► Kontrollieren Sie.

Vorhanden

Nichtvorhanden

Stellfläche Gerät: 1 m

2

⃞

⃞

⃞

⃞

⃞

⃞

⃞

⃞

Max. relative Luftfeuchte Gerät bis 31 °C: 80 %⃞⃞Nennleistung Gerät: 2300 VA⃞⃞

Nennspannung Gerät: 110 V, 50/60 Hz

⃞

⃞

⃞

⃞

Nennspannung Kompressor: 208 V ... 240 V, 50/60 Hz⃞⃞

Nennstrom Kompressor: 10 A⃞⃞

Betrieb des Kompressors an einem separaten

⃞

⃞

⃞

⃞

Stellfläche Kompressor: 0,5 m

2

Zulässige Umgebungstemperatur Gerät (im Betrieb):
15 °C ... 28 °C
Zulässige Umgebungstemperatur Kompressor (imBetrieb): 10 °C ... 38 °C(Bestellnummer: 550-700)
Nennspannung Gerät: 230 V, 50/60 Hz(Bestellnummer: 550-701)
Nennstrom Gerät: 15 A (Bestellnummer: 550-700)
Nennstrom Gerät: 10 A (Bestellnummer: 550-701)

Stromkreis
Druckluftversorgung: 7,5 bar ... 9 bar

32 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Installation | 5

Vorhanden

Nichtvorhanden

Druckluftanschluss: 6 mm-Schlauch⃞⃞

Spülgasversorgung: Argon 5.0 oder besser

⃞

⃞

⃞

⃞

⃞

⃞

⃞

⃞

Alternative Spülgase sind je nach Applikation zulässig.
Setzen Sie sich mit der Firma INFICON GmbH in
Verbindung.
Druckminderer für Spülgasversorgung: < 50 mbar rel.,
10 l/min.
Empfehlung: Verwenden Sie INFICON-Druckminderer,
Katalognummer: 551-700S, lieferbar für 4 verschiedene
Flaschengewinde
Spülgasversorgung vom Druckminderer zum Gerät:
6,35 mm Kupfer- oder Edelstahlleitung
Heliumuntergrund in der Betriebsumgebung des Geräts:< 6 ppm► Installieren Sie das Gerät, den Kryopumpen-Kompressor sowie alle im
Lieferumfang enthaltenen Teile. Siehe Original-Betriebsanleitung, Kapitel"Installation [} 32]".

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

33 / 122

5 | Installation

INFICON

5.2 Aufstellen
GEFAHR
Gesundheitsgefährdung durch Abgase und Dämpfe
Abgase und Dämpfe von Pumpen können die Gesundheit schädigen.
► Für Betrieb in schlecht belüfteten Räumen schließen Sie bei Verwendung von
gesundheitsgefährdenden Gasen eine Abgasleitung am Abgasanschluss an (siehe"Gerät an ein Auspuffsystem anschließen (optional) [} 44]").

WARNUNG
Gefahr durch Flüssigkeiten, Feuchtigkeit und Elektrizität
In das Gerät eindringende Feuchtigkeit kann zu Personenschäden durch
Stromschläge und zu Sachschäden durch Kurzschlüsse führen.
► Betreiben Sie das Gerät nur in trockener Umgebung und nur innerhalb von
Gebäuden.
► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeits- und Feuchtigkeitsquellen.
► Stellen Sie das Gerät so auf, dass Sie den Netzstecker immer erreichen können.
► Betreiben Sie das Gerät nicht in stehendem Wasser und setzen Sie das Gerät
keinem Tropfwasser oder anderen Flüssigkeiten aus.
► Vermeiden Sie den Kontakt des Geräts mit Basen, Säuren und Lösungsmitteln.

VORSICHT
Gefahr bei unkontrolliertem Wegrollen
Das Gerät kann auf Schrägen unkontrolliert wegrollen.
► Fixieren Sie das Gerät durch Arretieren der vorderen Laufräder.

HINWEIS
Sachschaden durch überhitztes Gerät
Das Gerät und vor allem der Kryopumpen-Kompressor werden beim Betrieb warm
und können ohne ausreichende Belüftung überhitzen.
► Beachten Sie die technischen Daten.
► Sorgen Sie für ausreichende Belüftung insbesondere an den Lüftungsöffnungen:
Freier Raum vorne, hinten und seitlich wenigstens 10 cm für das Gerät; 1 m für den
Kryopumpen-Kompressor.
► Halten Sie Wärmequellen vom Gerät und vom Kryopumpen-Kompressor fern.

34 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Installation | 5

Vermeidung von Messfehlern durch Heliumquellen in der Geräteumgebung
Die Heliumkonzentration im Bereich des Pernicka 700H CHLD darf sich nur
unwesentlich von der natürlichen Heliumkonzentration von 5 ppm unterscheiden. Die
Nachweisgrenze des Pernicka 700H CHLD wird durch höhere Heliumkonzentrationen
stark beeinträchtigt.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

35 / 122

5 | Installation

INFICON

5.3 Kompressor anschließen
HINWEIS
Beschädigung des Kryopumpen-Kompressors durch falsche EinstellungenEine falsche Einstellung der Netzspannung und Netzfrequenz kann den KryopumpenKompressor beschädigen.
Um bei dem Gerät mit der Bestellnummer 550-700 den Kryopumpen-Kompressor
richtig einzustellen, stellen Sie am Kryopumpen-Kompressor ein: 208 V, 60 Hz.
Um bei dem Gerät mit der Bestellnummer 550-701 den Kryopumpen-Kompressor
richtig einzustellen, stellen Sie am Kryopumpen-Kompressor ein: 230 V, 50 Hz.

HINWEIS
Beschädigung des Kryopumpen-Kompressors durch ungünstigen Aufstellort
Ein zu kleiner und nicht ausreichend belüfteter Aufstellort kann den KryopumpenKompressor beschädigen.
► Wählen Sie als Aufstellort für den Kompressor einen ausreichend belüfteten Raumund einen Mindestabstand des Kompressors zu den Wänden von 1 m.

Kryopumpen-Kompressor
Lesen und beachten Sie die mitgelieferte Dokumentation "Cryo-Torr Pump Installation,
Operation and Maintanance Instructions".

36 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Installation | 5

Netzanschluss fürManometer für Betriebsdruck

Motor Kryopumpe

HeliumNetzkabel fürAnschluss

Anschluss

Stromversorgung

Helium- Return

Kompressor

Leitung

Helium- Supply
Leitung

Abb. 8: Anschlüsse am Kryopumpen-Kompressor

Helium-Motor

SupplyKryopumpe

Leitung

HeliumReturnNetzkabel

Leitungfür Motor
Kryopumpe

Abb. 9: Anschlüsse am Gerät

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

37 / 122

5 | Installation

INFICON

Helium-Leitungen montieren
Die Helium-Leitungen "Supply" und "Return" sind im Auslieferungszustand des Geräts
mit Helium gefüllt und stehen unter Druck.

1

Entfernen Sie die Blindflansche von den Anschlüssen der Helium-Leitungen und
bewahren Sie die Blindflansche an einem sicheren Ort auf.

2

Montieren Sie die Helium-Return-Leitung am Kompressor und am Gerät.
Drehen Sie die Verschraubungen mit einem Gabelschlüssel bis zum Anschlag
und anschließend 1/4-Umdrehung in entgegengesetzte Richtung.

3

Montieren Sie die Helium-Supply-Leitung am Kompressor und am Gerät.
Drehen Sie die Verschraubungen mit einem Gabelschlüssel bis zum Anschlag
und anschließend 1/4-Umdrehung in entgegengesetzte Richtung.

Netzkabel für den Motor der Kryopumpe montieren
Das Netzkabel für die Stromversorgung des Motors der Kryopumpe ist im
Auslieferungszustand am Gerät montiert.

► Stecken Sie den Rundsteckverbinder des Netzkabels în die Buchse COLD HEAD
POWER und drehen Sie das Gewindegehäuse handfest.

Netzkabel für die Stromversorgung des Kompressors montieren
Das Netzkabel für die Stromversorgung des Kompressors ist im Auslieferungszustandam Gerät montiert.

1

Entfernen Sie die Schraube mit Mutter von den 3 Leitern des Netzkabels undbewahren Sie die Schraube mit Mutter an einem sicheren Ort auf.

2

Um die Schutzabdeckung am Elektroanschluss des Kompressors zu entfernen,
lösen Sie die 2 Befestigungsschrauben.

3

Führen Sie das Netzkabel durch die Zugentlastung und klemmen Sie das
Netzkabel mit den 2 Schrauben.

4Klemmen Sie den grünen Leiter am Schutzleiteranschluss.

5

Klemmen Sie den weißen Leiter (Neutralleiter) an der mit Y bezeichneten
Klemmstelle.

6

Klemmen Sie den schwarzen Leiter (Phase) an der mit X bezeichneten
Klemmstelle.

7

38 / 122Montieren Sie die Schutzabdeckung mit den 2 Befestigungsschrauben.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Installation | 5

KlemmstelleX

KlemmstelleY

Schutzleiteranschluss

Abb. 10: Kompressor: Klemmstellen für den Anschluss des Netzkabels

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

39 / 122

5 | Installation

INFICON

5.4 Druckluft anschließen
Verwenden Sie für die Druckluftversorgung einen Druckluftschlauch aus Polypropylen
mit einem Durchmesser von 6 mm.

Druckluft-Schnellkupplung

Druckluftschlauch

Abb. 11: Druckluft anschließen

1

Um die Druckluftversorgung für das Gerät herzustellen, stecken Sie den
Druckluftschlauch in die Druckluft-Schnellkupplung des Geräts, bis die
Druckluft-Schnellkupplung einrastet.

2

Verbinden Sie das andere Ende des Druckluftschlauchs mit der
Druckluftversorgung.

3

Stellen Sie einen Betriebsdruck (Relativdruck) > 7.5 bar und < 9 bar ein. Es ist
ein Überdruckventil integriert, das bei Überschreitung des für das Gerät gültigen
Zieldrucks hörbar Druck ablässt.

4

40 / 122Öffnen Sie das Ventil an der Druckluftversorgung.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Installation | 5

5.5 Spülgas anschließen
Verwenden Sie als Spülgas ausschließlich Argon 5.0 oder besser.
Verwenden Sie für die Spülgasversorgung eine Metallleitung aus Edelstahl oderKupfer mit einem Durchmesser von 6,35 mm.
Die Dichtungselemente Sprengring und Klemmring verbleiben auf der Metallleitung
und müssen nicht erneuert werden, solange die gleiche Metallleitung verwendet wird.
► Wenn Sie eine neue Metallleitung für die Spülgasversorgung verwenden, ersetzen
Sie den Sprengring und den Klemmring der Quetschverschraubung.

Quetschverschraubung für Anschluss Spülgas

MutterAbb. 12: Spülgas anschließen

1

Um die Spülgasversorgung für das Gerät herzustellen, stecken Sie die
Metallleitung der Spülgasversorgung in die Quetschverschraubung des Geräts.

2

Halten Sie mit einem Gabelschlüssel an der Mutter gegen und drehen Sie dieÜberwurfmutter der Quetschverschraubung mit einem Gabelschlüssel und mit
ausreichenden Drehmoment fest.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

41 / 122

5 | Installation

INFICON

5.6 Gerät an das Stromnetz anschließen
WARNUNG
Gefahr durch Stromschläge
Nicht fachgerecht geerdete oder abgesicherte Produkte können im Störungsfall
lebensgefährlich sein. Ein Einsatz des Geräts ohne angeschlossenen Schutzleiter ist
nicht zulässig.
► Verwenden Sie ausschließlich die mitgelieferten 3-adrigen Netzkabel.

VORSICHT
Gefahr durch falsche Netzspannung und Netzfrequenz
Eine falsche Netzspannung und eine falsche Netzfrequenz kann zur Zerstörung desGeräts und zu Verletzungen von Personen führen.
► Überprüfen Sie, ob die für den Pernicka 700H CHLD sowie für den im Lieferumfang
enthaltenen Kryopumpen-Kompressor zulässige Netzspannung und Netzfrequenz
mit der am Einsatzort verfügbaren Netzspannung und Netzfrequenz übereinstimmt.

Anschluss für Stromversorgung Gerät

Schutzleiter-

Anschluss für Stromversorgung

Anschlusspunkt

Kryopumpen-Kompressor

Abb. 13: Gerät an das Stromnetz anschließen

1

Montieren Sie den Schutzleiter mit ausreichender Länge und erforderlichem
Querschnitt fachgerecht am Schutzleiter-Anschlusspunkt des Geräts.

42 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Installation | 5

2

Stecken Sie das im Lieferumfang enthaltene Netzkabel in den Gerätestecker
MAINS CRYO COMPRESSOR und schließen Sie das Netzkabel an die
Stromversorgung an.

3

Stecken Sie das im Lieferumfang enthaltene Netzkabel in den Gerätestecker
POWER LINE INPUT und schließen Sie das Netzkabel an die Stromversorgungan.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

43 / 122

5 | Installation

INFICON

5.7 Gerät an ein Auspuffsystem anschließen(optional)
1

Um das Gerät auszuschalten, stellen Sie den Netzschalter auf OFF. Trennen
Sie das Gerät vom Stromnetz und sichern Sie das Gerät gegen
Wiedereinschalten.

2

Schalten Sie die Vorpumpe aus.

3

Halten Sie mit einer Hand den Auspufffilter und lösen Sie die Flügelmutter desSpannrings.

4

Entfernen Sie den Auspufffilter von der Vorpumpe.

5

Setzen Sie ein geeignetes Anschlussstück, z. B. einen 90-GradSchlauchadapter mit KF 16 pumpenseitig, auf die Vorpumpe.

6

Drehen Sie die Flügelmutter des Spannrings fest.

7

Verbinden Sie das Anschlussstück mit Ihrem Auspuffsystem.

Auspufffilter
Flügelmutter
Spannring

Vorpumpe

Vorpumpe

Abb. 14: Gerät an ein Auspuffsystem anschließen

44 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Installation | 5

5.8 Prüfkammer montieren► Um die Prüfkammer zu montieren oder zu wechseln, versetzen Sie das Gerät in die
Betriebsart "Standby" und schalten Sie anschließend das Gerät aus. Das Gerät
befindet sich vor einem gestarteten Messprozess und nach einem beendeten
Messprozess in der Betriebsart "Standby".
► Um Fettablagerungen auf dem Gerät zu verhindern, benutzen Sie während derArbeiten puderfreie Neopren- oder Nitril-Einmalhandschuhe.

Benötigtes Zubehör

Prüfkammer klein, mittel oder groß

Benötigtes Werkzeug• Innensechskantschlüssel, modifiziert, 9/64 Zoll (Im Lieferumfang enthalten)• Kombizange oder kleine Wasserpumpenzange

Prüfkammer

Verschraubung
Spülgasversorgung
Flansch mit
Schrauben
Spülgasversorgung
Abb. 15: Prüfkammer: eingebauter Zustand1

Falls der Einlassflansch mit einem Blindflansch verschlossen ist(Auslieferungszustand), lösen und entfernen Sie die 6 Schrauben derFlanschverbindung und nehmen den Blindflansch ab.

2

Falls eine Messkammer auf dem Einlassflansch montiert ist, lösen Sie zunächst
die Verschraubung von der Spülgasversorgung und entfernen Sie die
Spülgasversorgung von der Prüfkammer.
Lösen und entfernen Sie die 6 Schrauben der Flanschverbindung und nehmen
Sie vorsichtig die Prüfkammer ab.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

45 / 122

5 | Installation

INFICON

3

Entfernen Sie vorsichtig mit der Zange den Kupfer-Dichtring vom Flansch. Um
die darunterliegende Dicht-Schneidkante nicht zu beschädigen, heben Sie den
Kupfer-Dichtring nur senkrecht nach oben ab.

4

Reinigen Sie die Oberfläche des Flansches mit einem staub- und fusselfreien
Tuch.

5

Setzen Sie einen neuen Kupfer-Dichtring auf den Flansch.

6

Setzen Sie vorsichtig die neue Prüfkammer auf.

FlanschKupfer-Dichtring

Prüfkammer
Anschluss für
Spülgasversorgung

Abb. 16: Prüfkammer: neue Prüfkammer einbauen

7

Ziehen Sie die 6 Schrauben am Flansch nur leicht an.

8

Empfehlung: Ziehen Sie mit dem Innensechskantschlüssel die 6 Schrauben am
Flansch nach dem 2-2-3-System fest. Beispiel: Ziehen Sie die Schraube 1 fest.
Ziehen Sie die Schrauben in der Reihenfolge 3, 5, 2 fest. Ziehen Sie die
Schrauben in der Reihenfolge 4, 6, 3 fest. Ziehen Sie die Schrauben in der
Reihenfolge 5, 1, 4 fest usw. Wiederholen Sie diesen Vorgang, bis der Spalt
zwischen beiden Flanschen nahezu vollständig geschlossen ist.

9

Stecken Sie die Spülgasversorgung an und schrauben Sie die Verschraubung
fest.

46 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Installation | 5

2

1

1

Abb. 17: Spülgasversorgung zusammenbauen

1 Verstärkungshülsen: Vor dem weiteren Zusammenbau stecken Sie die
Verstärkungshülsen in den dazwischenliegenden Wellschlauch.
2 Der O-Ring auf der Verstärkungshülse dichtet beim Einschrauben ab.

10

Um zu verhindern, dass beim Messprozess das Prüfobjekt aus der Prüfkammer
gesaugt wird, legen Sie das im Lieferumfang enthaltene Gitter in die
Prüfkammer.

1

Prüfkammer (Deckel offen)
6

2

3

5
Gitter4

FlanschAbb. 18: Prüfkammer mit eingelegtem Gitter (links) und Flansch mit beispielhafter Numerierung
der Schrauben (rechts)

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

47 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6 Betrieb
6.1 Gerät einschalten
HINWEIS
Beschädigung des Kryopumpen-Kompressors durch falsche EinstellungenEine falsche Einstellung der Netzspannung und Netzfrequenz kann den KryopumpenKompressor beschädigen.
Um bei dem Gerät mit der Bestellnummer 550-700 den Kryopumpen-Kompressor
richtig einzustellen, stellen Sie am Kryopumpen-Kompressor ein: 208 V, 60 Hz.
Um bei dem Gerät mit der Bestellnummer 550-701 den Kryopumpen-Kompressor
richtig einzustellen, stellen Sie am Kryopumpen-Kompressor ein: 230 V, 50 Hz.

Kryopumpen-Kompressor
Lesen und beachten Sie die mitgelieferte Dokumentation "Cryo-Torr Pump Installation,
Operation and Maintanance Instructions".

1

Stellen Sie sicher, das am Kompressor die richtige Netzspannung und dierichtige Netzfrequenz eingestellt ist.

2

Um das Gerät einzuschalten, stellen Sie den Netzschalter auf ON.
ð Das Gerät verfügt über eine Netzeinschaltverzögerung und wird nach ca.
20 s eingeschaltet.

3

Um den Kompressor der Kryopumpe einzuschalten, stellen Sie den
Netzschalter am Kompressor auf ON.
ð Im Auslieferungszustand zeigt das Gerät nach dem Hochlaufen das Fenster"Measure" an. Siehe "Fenster "Measure" einstellen [} 52]".

Abb. 19: Fenster "Measure"48 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

Falls Sie das Gerät ohne Passwort nicht starten können …
Nach einem versehentlichen Schließen der Benutzeranmeldung kann es vorkommen,
dass Sie zur Eingabe eines Passworts aufgefordert werden.
► Ändern Sie nicht den eingestellten Standardnutzer und tragen Sie als Passwort“Yes“ ein.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

49 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.2 Grundlegende Einstellungen6.2.1 Messfenster einstellen
Zum Bedienen und Konfigurieren des Geräts in der Betriebsart "Messen" können Sie
zwischen zwei Fenstern wählen.

6.2.1.1 Fenster "Mini" einstellen► Um das Fenster "Mini" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Mini".

Anzeige der Leckrate

Kathodeim CHLD-Sensor
Ein/AusAnzeige
Messverlauf

SEM Verstärker
Meldungsfenster

Method in use

Ein/AusAbb. 20: Fenster "Mini"

Das Fenster "Mini" bietet alle für den Messprozess erforderlichen Einstellungen undkann bevorzugt für Serienmessungen von Prüfobjekten verwendet werden.
Dieses Fenster ist hauptsächlich geeignet für das Bedienpersonal des Geräts.
Taste

Beschreibung

Load Method► Um den Methoden-Editor zu starten, drücken Sie diese
Taste. Siehe "Methode wählen [} 59]".

Calibrate► Um die Kalibrierung zu starten, drücken Sie diese Taste.
Siehe "Kalibrieren [} 71]".

Load/Unload

Der Deckel der Prüfkammer kann nur bei
Atmosphärendruck geöffnet werden.
► Um bei einem Wechsel des Prüfobjekts den Eintrag vonLuft (und damit der darin enthaltenen natürlichen
Heliummenge) zu verhindern oder um nach einem
abgebrochenen Messprozess aufgrund des50 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

Taste

Beschreibungüberschrittenen Schwellenwertes beim Grobleck-Test
den Deckel der Prüfkammer zu öffnen, drücken Sie
diese Taste. Die Prüfkammer wird für die eingestellte
Zeit gespült.

Regenerate► Um die Regeneration der Kryopumpe zu starten,
drücken Sie diese Taste. Siehe "Regeneration
durchführen [} 88]".

Abort

Abbrechen des laufenden Prozesses.
► Um z. B. eine Regeneration vor Ablauf der eingestellten
Endzeit zu beenden, drücken Sie diese Taste.

Leak Test► Um den Messprozess zum Ermitteln der Leckrate zu
starten, drücken Sie diese Taste. Siehe "Messung
vorbereiten [} 73]".

Anzeige der Leckrate
Zum Anzeigen der gemessenen Leckrate in der Maßeinheit [mbar l/s] oder[atm cc/s] im Zeigerdiagramm und als numerischer Wert. Der grüne Messbereich
definiert die Gut-Prüfobjekte. Der rote Messbereich definiert die Schlecht-Prüfobjekte.
► Um den Schwellenwert für den Grobleck-Test zu definieren, wählen Sie den
Methoden-Editor, siehe auch Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen [} 67]

Kathode im CHLD-Sensor Ein/Aus
Zum Ein- und Ausschalten der Kathode im CHLD-Sensor.

SEM-Verstärker Ein/Aus
Zum Ein- und Ausschalten des SEM-Verstärkers (Sekundärelektronenvervielfacher).

Method in use
Zum Anzeigen der gewählten Methode für den aktuellen Messprozess.

Anzeige Messverlauf
Zum Darstellen des relativen Messverlaufs mit dem Fortschrittbalken.

Meldungsfenster
Zum Anzeigen von Statusmeldungen im gelb hinterlegten Feld, z. B. "LeakTest
done" (Messprozess beendet); der Betriebsart, z. B. "Standby" und des zeitlichen
Messverlaufs.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

51 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.2.1.2 Fenster "Measure" einstellen► Um das Fenster "Measure" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Measure".

Anzeige des linear skalierten Messsignals während
der Akkumulationsphase
Systemdiagramm
Meldungsfenster
Auswahlmenü
Anzeige des logarithmisch skalierten

Kathode im

Messsignals während des gesamtes

CHLD-Sensor

SEM Verstärker

Messablaufs

Ein/Aus

Ein/AusAbb. 21: Fenster "Measure"

Das Fenster "Measure" bietet neben den standardmäßigen Einstellungen zusätzliche
Möglichkeiten, den Messprozess zu konfigurieren. Gleichzeitig werden im
Systemdiagramm die aktuellen Zustände der einzelnen Komponenten des Geräts
während der Messung dargestellt.
Dieses Fenster ist für entsprechend geschultes Bedienpersonal sowie zusätzlich für
Wartungs- und Servicepersonal geeignet sowie für Messungen mit einem hohen
Konfigurationsbedarf.
Taste

Beschreibung

Abort

Abbruch des laufenden Prozesses.
► Um z. B. eine Regeneration vor Ablauf der eingestellten
Endzeit zu beenden, drücken Sie diese Taste.

Init VACsys► Um das Gerät in die Betriebsart "Standby" zu versetzen,
drücken Sie diese Taste.

Calibrate► Um die Kalibrierung zu starten, drücken Sie diese Taste.
Siehe "Kalibrieren [} 71]".

Load/Unload

Zum Spülen der Prüfkammer mit Spülgas. Diese Funktion
kann auch genutzt werden, um den Deckel derPrüfkammer zu öffnen.
► Um bei einem Wechsel des Prüfobjekts den Eintrag vonLuft (und damit der darin enthaltenen natürlichen
Heliummenge) zu verhindern oder um nach einem
abgebrochenen Messprozess aufgrund des

52 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

Taste

Beschreibungüberschrittenen Schwellenwertes beim Grobleck-Test
den Deckel der Prüfkammer zu öffnen, drücken Sie
diese Taste. Die Prüfkammer wird für die eingestellte
Zeit gespült.

Leak Test► Um den Messprozess zum Ermitteln der Leckrate zu
starten, drücken Sie diese Taste. Siehe "Messung
vorbereiten [} 73]".

Regenerate► Um die Regeneration der Kryopumpe zu starten,
drücken Sie diese Taste. Siehe "Regeneration
durchführen [} 88]".

Service► Um Zugang zu den Servicefunktionen zu erhalten,
drücken Sie diese Taste.

Load & Run► Um den gewählten Modus im Auswahlmenü zu starten,
drücken Sie diese Taste.

Anzeige des Akkumulationssignals
Zum Anzeigen des linear skalierten Messsignals während der Akkumulationsphase inder Maßeinheit [A] im oberen Diagramm. Aus der Steigung der im Diagramm
gezeigten Signalverläufe wird die Leckrate in der Maßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s]
ermittelt.
► Um den Schwellenwert für den Grobleck-Test zu definieren, wählen Sie den
Methoden-Editor, siehe auch Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen [} 67].

Anzeige des Messsignals
Zum Anzeigen des logarithmisch skalierten Messsignals während des gesamten
Messablaufs in der Maßeinheit [A] im unteren Diagramm. Rot: Heliumsignal; Weiß:
Untergrund-Signal.

Kathode im CHLD-Sensor Ein/Aus
Zum Ein- und Ausschalten der Kathode im CHLD-Sensor.

SEM-Verstärker
Zum Ein- und Ausschalten des SEM-Verstärkers (Sekundärelektronenvervielfacher).

Method in use
Zum Anzeigen der gewählten Methode für den aktuellen Messprozess.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

53 / 122

6 | Betrieb

INFICON

Meldungsfenster
Zum Anzeigen von Statusmeldungen im gelb hinterlegten Feld, z. B. "LeakTest
done" (Messprozess beendet); der Betriebsart, z. B. "Standby" und des zeitlichen
Messverlaufs.

Systemdiagramm
Zum Anzeigen von aktuellen Systemzuständen und Parametern, z. B. Temperatur,
Druck, Leckrate, der Systemkomponenten.

Auswahlmenü
Zum Auswählen folgender Modi:• MID
Sie können im Modus "MID" (Multiple Ion Detection) eine gleichzeitige
Messsignalerfassung für mehrere Massen (= Gase) im zeitlichen Verlauf
durchführen.
• Bar
Sie können im Modus "Bar" die Signalhöhen (Amplituden) ausgewählter Massen
messen und als Balkendiagramm darstellen.
• ScanSie können im Modus "Scan" eine kontinuierliche (analoge) Abtastung der
Signalhöhen (Amplituden) über die Massenachse durchführen.
• Method
Sie können den Methoden-Editor starten. Siehe "Methode wählen [} 59]".
• Recipe
Sie können den Rezept-Editor zum Konfigurieren des Massenspektrometers(CHLD-Sensor) starten. Siehe "Methode wählen [} 59]".

54 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

Parameter

Beschreibung

He-TL Slope

Die während der Kalibrierung gemessene PrüfleckSignalsteigung in der Maßeinheit [A/s].

He-Sample Slope

Die durch die Messung des Prüfobjekts ermittelte HeliumSignalsteigung in der Maßeinheit [A/s].

He-BG Slope

Die gemessene Heliumuntergrund-Signalsteigung
während einer Kalibrierung in der Maßeinheit [A/s].

Gas 2 amplitude

Signalamplitude eines zweiten gemessenen Gases (imMulti-Gas-Betrieb).

S/B 100 ratio

Verhältnis von Helium-Prüfleck-Signalsteigung zu
Heliumuntergrund-Signalsteigung während der letzten
Kalibrierung.

Net-TL Slope

Differenz von Helium-Prüfleck-Signalsteigung und
Heliumuntergrund-Signalsteigung während der letzten
Kalibrierung in der Maßeinheit [A/s].

Measured He LR

Die gemessene Helium-Leckrate während eines
Messprozesses in der Maßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s].

Measured 2 LR

Die gemessene Leckrate eines zweiten Gases (im MultiGas-Betrieb) während eines Messprozesses in derMaßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s].

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

55 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.2.2 Messprozess konfigurieren
Im Fenster "Configuration" führen Sie detaillierte Messeinstellungen durch.
► Um das Fenster "Configuration" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Configuration".

ControlOptions

AI configuration

Helium-Prüfleck

UserForm

ValveControl

AutoStartUp

Abb. 22: Fenster "Configuration"

AI configuration
Zum Zuordnen der Sensorparameter für die entsprechenden Sensoren. Abgelegt sinddie Kurven für die Pirani-Sensoren, die Kryotemperatur, die Prüfleck-Temperatur und
die Drehzahl der Turbomolekularpumpe.

ControlOptions
OpMode: Funktion zur internen Verwendung durch die Firma INFICON GmbH.
► Verwenden Sie für die Funktion "OpMode" ausschließlich den Wert "Real Unit".
Auto-Relight: Zum automatischen Einschalten der Kathode im CHLD-Sensor bei
Erreichen der Zieltemperatur der Kryopumpe.
► Um die Kathode im CHLD-Sensor automatisch einzuschalten, aktivieren Sie diese
Option.
MSC: Die Funktion MSC (Mass Scale Correction) wird nicht verwendet.
hide: Zum Ausblenden der Reiter ab "MixedData".
► Um alle Reiter ab "MixedData" in der Kopfzeile darzustellen, mit denen
gleichnamige Fenster mit zusätzlichen Detailinformationen geöffnet werden können,
deaktivieren Sie diese Option. Diese Funktion ist durch das Passwort "Germany"geschützt.

56 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

TipStrip: Zum Anzeigen eines Informationstextes, wenn der Mauszeiger einige Zeit auf
ein Bedienelement, z. B. Taste zeigt, für welches ein entsprechender Informationstext
programmiert wurde.

Helium-Prüfleck
Zum Einstellen der Parameter des Helium-Prüflecks.
► Nach einem gewechselten Helium-Prüfleck stellen Sie die standardmäßigen
Parameter gemäß des mitgelieferten Zertifikates neu ein.

AutoStartUp
Auto Filament: Kathode im CHLD-Sensor nach dem Evakuieren automatischeinschalten.
► Um die Kathode im CHLD-Sensor nach einer abgeschlossenen Evakuierung
automatisch einzuschalten, aktivieren Sie diese Option.

ValveControl
ValveDelay: Zum Einstellen der Ventil-Verzögerungszeit. Mit dieser Verzögerungszeit
wird sichergestellt, dass nie zwei Ventile gleichzeitig ihren Zustand ändern.
► Stellen Sie den Wert "3000" ein, d. h. eine Zeitverzögerung von 3 s zwischen dem
jeweiligen Start zweier Ventilbewegungen.

UserForm
Print UserForm: Zum Drucken der Messdaten nach dem Messprozess.
► Um die Messdaten nach jedem Messprozess zu drucken, aktivieren Sie diese
Option.
Clear Serial Number: Zum Zurücksetzen der im Fenster "Eingabe" eingetragenen
Seriennummer nach einem Messvorgang.
► Um nach jedem Messprozess automatisch die Seriennummer des gemessenen
Prüfobjektes zu löschen, aktivieren Sie diese Option.
LR unit: Zum Wählen der Maßeinheit für die Leckrate.
► Wählen Sie zwischen der Maßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s].

Load/Unload Time [s]Zeitdauer zum Spülen der Prüfkammer.
► Um die Zeitdauer zu definieren, in der die Prüfkammer mit Spülgas gespült wird,
stellen Sie die Zeit ein.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

57 / 122

6 | Betrieb

INFICON

Short regen after Gross Leak
Kurzzeitiges Aufheizen der Kryopumpe nach einem Grobleck-Test, um Helium aus der
Kryopumpe zu entfernen. Diese Funktion ist standardmäßig eingeschaltet.
Nach einem Grobleck-Test befinden sich Helium-Atome zwischen den SpülgasAtomen auf der Oberfläche der Kryopumpe. Um erhöhte Leckraten bei
Folgemessungen durch diesen Heliumanteil zu vermeiden, wird die Kryopumpe,
allerdings nur wenn während des Grobleck-Tests ein Grobleck festgestellt wurde,
kurzzeitig aufgeheizt, so dass die Heliumanteile abgedampft und aus dem Systementfernt werden können.
• Um diese Funktion einzuschalten, klicken Sie auf das Symbol. Das Dreieck im
Symbol wird grün dargestellt.
• Um diese Funktion auszuschalten, klicken Sie auf das Symbol. Das Dreieck im
Symbol wird schwarz dargestellt.

Use UserInput Form
Fenster "Eingabe" für detaillierte Informationen zum Prüfobjekt einschalten bzw.
ausschalten.
• Um für jedes Prüfobjekt nur die Seriennummer einzugeben, deaktivieren Sie die
Option "Use UserInput Form".
• Um für jedes Prüfobjekt detaillierte Informationen einzugeben, aktivieren Sie die
Option "Use UserInput Form". Das Fenster "Eingabe" wird geöffnet.

58 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.3 Methode wählen
Die für eine Messung der Leckrate erforderlichen Einstellungen und Konfigurationen
werden im Methoden-Editor in einer sogenannten Methode zusammengefasst.
Weisen Sie vor Beginn jeder Einzel- oder Serienmessung eine entsprechende
Methode zu.
Sie können voreingestellte Methoden verwenden oder neue Methoden selbst
erstellen.

6.3.1 Vorhandene Methode wählen
Mit einer Methode definieren Sie die einzustellenden Zeiten und Grenzen über den
Messablauf einer Leckagemessungen hinweg.

1

Mini > Method > Load & Run oder Measure > Method > Load & Run.

Abb. 23: Methoden-Editor: Vorhandene Methode wählen

2

Wählen Sie die anzuwendende Methode aus der Methoden-Liste und drücken
Sie die Taste "Use Method".

ðDie bevorstehende Messung wird/Die bevorstehenden Messungen werden
gemäß dieser Methode durchgeführt.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

59 / 122

6 | Betrieb

INFICON

Wenn Sie eine Methode gewählt haben, wird automatisch dieser Methode ein Rezept
zugeordnet. Sie haben die Möglichkeit, Ihrer gewählten Methode ein anderes Rezept(siehe Vorhandenes Rezept wählen [} 63]") oder ein neu zu erstellendes Rezept(siehe Neues Rezept erstellen [} 64]") zuzuordnen.

6.3.2 Neue Methode erstellen
Mit einer Methode definieren Sie die einzustellenden Zeiten und Grenzen über den
Messablauf einer Leckagemessungen hinweg.

1

Measure > Method > Load & Run.

Abb. 24: Methoden-Editor: Neue Methode erstellen

2

Drücken Sie die Taste "new".
ð Sie können eine neue Methode erstellen.

3

Wählen Sie im Listenfeld "Recipe File" ein Rezept.

4

Geben Sie im Eingabefeld "Method Title" einen Namen für die neue Methodeein.

5

Geben Sie im Textfeld "Description" eine aussagekräftige Beschreibung für dieneue Methode ein.

6

Definieren Sie die Parameter, siehe zweite Tabelle.

7

Drücken Sie die Taste "Use Method".

ðDie neue Methode ist erstellt und die bevorstehende/n Messung/en wird/werden
gemäß dieser Methode durchgeführt.

60 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

Taste

Beschreibung

new► Um eine neue Methode zu erstellen, drücken Sie diese
Taste.

delete► Um eine Methode zu löschen, drücken Sie diese Taste.

Use Method► Um Messungen gemäß einer bestehenden oder einer
neu erstellten Methode durchzuführen, drücken Sie
diese Taste.

Cancel► Um den Methoden-Editor zu beenden, drücken Sie diese
Taste.

Parameter

Beschreibung

T1 (purge)

Zeit in [s]. Während dieser Zeit werden die Prüfkammer
und das Volumen zwischen den 2 Dichtungsringen auf derPrüfkammer zu Beginn des Messablaufs mit Spülgas
gespült.

T2 (purge delay)

Zeit in [s]. Wartezeit zwischen Spülen und Evakuieren desVentilblocks.

T3 (Evacuate Cyc)

Zeit in [s]. Während dieser Zeit werden die Spülgase ausder Prüfkammer, aus dem Volumen zwischen den
2 Dichtungsringen der Prüfkammer sowie aus dem
Ventilblock abgepumpt und aus dem System entfernt.

V2 cycles

Anzahl der Zyklen gemäß benutztem Rezept. Bei jeweils
500 ms im Rezept dauert ein Zyklus etwa 1 Sekunde.
Während dieser Zeit wird Helium von allen Oberflächen
sowie aus dem Volumen zwischen den 2 Dichtungsringen
auf der Prüfkammer abgepumpt und aus dem Systementfernt. Nach Ablauf dieser Zeit ist nur noch Helium im
System vorhanden, welches maßgeblich aus dem
Prüfobjekt stammt.

T6 (vent)

Zeit in [s]. Während dieser Zeit werden die Prüfkammer
und das Volumen zwischen den 2 Dichtungsringen auf derPrüfkammer nach dem Messablauf mit Spülgas gespült.

Gross Leak threshold

Schwellenwert für die obere Grenze für den GrobleckTest. Unterhalb dieses Schwellenwertes haben die zu
messenden Prüfobjekte definitionsgemäß keine
Groblecks. Dieser Wert muss größer sein als jeder
Messwert von Prüfobjekten ohne Grobleck. Siehe auch
"Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen [} 67]".

SEM Target

Parameter im Zusammenhang mit dem SEM-Verstärker
des CHLD-Sensors.
► Verändern Sie nicht die Voreinstellung.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

61 / 122

6 | Betrieb

INFICON

Parameter

Beschreibung

SEM Target window +/-Parameter im Zusammenhang mit dem SEM-Verstärker
des CHLD-Sensors.
► Verändern Sie nicht die Voreinstellung.

Wenn Sie eine neue Methode erstellt haben, wird automatisch dieser Methode ein
Rezept zugeordnet. Sie haben die Möglichkeit, Ihrer gewählten Methode ein anderes
Rezept (siehe Vorhandenes Rezept wählen [} 63]") oder ein neu zu erstellendes
Rezept (siehe Neues Rezept erstellen [} 64]") zuzuordnen.

62 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.3.3 Vorhandenes Rezept wählen
Mit einem Rezept definieren Sie, welche Massen (= Gase) mit welchen
Messeinstellungen gemessen werden.

1

Measure > Recipe > Load & Run.

Abb. 25: Fenster "Rezept-Editor": Vorhandenes Rezept wählen

2

Drücken Sie die Taste "Open".

Abb. 26:

3

Wählen Sie das Rezept aus der Liste.

4

Um das gewählte Rezept zu übernehmen, drücken Sie die Taste OK.

ð

Das gewählte Rezept ist übernommen.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

63 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.3.4 Neues Rezept erstellen
Mit einem Rezept definieren Sie, welche Massen (= Gase) mit welchen
Messeinstellungen gemessen werden.

1

Measure > Recipe > Load & Run.

Abb. 27: Fenster "Rezept-Editor: Neues Rezept erstellen

2

Drücken Sie die Taste "New".

3

Definieren Sie die Parameter, siehe folgende Tabelle.

4

Um die Einstellungen zu speichern und den Rezept-Editor zu schließen,
drücken Sie die Taste "Use Parameters".

ð

Das neue Rezept ist erstellt.

use MSCDie Funktion MSC (Mass Scale Correction) wird nicht verwendet.

CycleTimeDie CycleTime ergibt sich aus der Summe der Dwell-Zeiten (Verweilzeiten) plus derUmschaltzeiten.

64 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

Parameter

Beschreibung

ChannelNummer des Parametersatzes.

Chan Mode

Verwalten der Parametersätze.

1

Um den Parametersatz für das zu messende Gas zu
erstellen und den Parametersatz in einer Methodezu verwenden, wählen Sie "enable".

2

Um den Parametersatz für das zu messende Gas zu
erstellen, ohne den Parametersatz in einer Methodezu verwenden, wählen Sie "skip".

3

Um den Parametersatz nicht zu verwenden, wählen
Sie "off".

Detector

Wahl des Detektors.
► Verwenden Sie nur die Voreinstellung SEM.

Mea Mode

Wahl der Messmethode.
► Verwenden Sie nur die Voreinstellung SAMP.

FirstMass

Eingabe der zu messenden Masse (= Gas).

1

Um z. B. Helium zu messen, geben Sie den Wert
"4.00" ein.

2

Um z. B. den Untergrund zu messen, geben Sie den
Wert "5.00" ein.

Width

► Verwenden Sie die Voreinstellung "0".

Dwell/Speed

Verweilzeit des CHLD-Sensors auf jeder Masse. Esgelten folgende Zusammenhänge. Hohe erwartete
Signalamplituden erfordern nur kurze Verweilzeiten fürausreichende Messempfindlichkeit und ermöglichen so
schnellere Messzeiten. Kleine Signalamplituden erfordern
höhere Verweilzeiten, um die Messempfindlichkeit zu
erhöhen, dadurch ergeben sich längere Messzeiten.
► Verwenden Sie für Helium (Masse 4) den Richtwert"500" und für den Untergrund (Masse 5) den Richtwert"500".
Für Leckraten kleiner als 2 x 10

-12mbar l/s müssen dieseWerte entsprechend erhöht werden, z. B. "5 s" für eine
Leckrate von 2 x 10

-13mbar l/s. Kürzere Messzeiten

ergeben größere Messwertstreuungen.
Resolution

Wieviel Messpunkte pro Masse (Auflösung).
► Verwenden Sie die Voreinstellung "50".

Amp Mode

Betriebsart des Verstärkers.
► Verwenden Sie die Voreinstellung "Auto".

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

65 / 122

6 | Betrieb

INFICON

Parameter

Beschreibung

Amp Range

Bereich des Vorverstärkers.

Pause Cal

Einschwingzeit nach dem Wechsel der Masse.
► Verwenden Sie die Voreinstellung "0.50".

SEM

Verwendeter Vorverstärker
► Verwenden Sie die Voreinstellung "0".

66 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.3.5 Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen
Mit dem Schwellenwert für den Grobleck-Test definieren Sie die obere Grenze für den
Grobleck-Test. Unterhalb dieses Schwellenwertes haben die zu messenden
Prüfobjekte definitionsgemäß keine Groblecks.
Der einzustellende Schwellenwert bezieht sich auf das Helium-Rohsignal in derMaßeinheit [A].
Falls das gemessene Helium-Signal nach dem Grobleck-Test größer ist als der
Schwellenwert, wird der Messprozess abgebrochen.
Falls das gemessene Helium-Signal nach dem Grobleck-Test kleiner ist als der
Schwellenwert, wird der Messprozess mit dem Feinleck-Test fortgesetzt.

1Mini > Method > Load & Run oder Measure > Method > Load & Run.

Abb. 28: Methoden-Editor

2

Definieren Sie den Wert des Parameters "Gross Leak threshold". Dieser Wert
muss für eine hohe Empfindlichkeit so klein wie möglich, aber in jedem Fall
größer sein als jeder Messwert von Prüfobjekten ohne Grobleck sein.

3

Um die Einstellungen zu speichern, drücken Sie die Taste "Use Method".

ð

Der Schwellenwert für den Grobleck-Test ist eingestellt.

Vorgehensweise zum Ermitteln eines geeigneten Schwellenwertes
1

Führen Sie mehrere Messung ohne Prüfobjekt bzw. mit einem bekannt dichten
Prüfobjekt durch (in Abhängigkeit der verwendeten Prüfkammer und dem-8Spülgas Argon 5.0 typischerweise Werte <1 x 10 A).

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

67 / 122

6 | Betrieb

INFICONð Im Anschluss an die Messungen wird im Reiter "Locals" in der Spalte "Grossleak amplitude" der jeweils während der Grobleckmessung bestimmte Wert
dargestellt.

2

Bewerten Sie Mittelwert und Streuung.

3

Legen Sie einen Grenzwert fest, bei dem die natürliche Messwertstreuung
gerade nicht mehr zu einer zufälligen Überschreitung der Grobleckschwelle
führt.

4Überprüfen Sie die Schwellenwerteinstellung mit einem bekannt undichten
Prüfkörper.

68 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.3.6 Single- oder Multi-Gas wählenGEFAHR
Gefahr einer Wasserstoffexplosion
Wasserstoff ist ein brennbares und explosives Gas.
► Verwenden Sie nur Prüfgasmischungen mit einer Wasserstoffkonzentration, die in
Kombination mit Sauerstoff oder Luft nicht entflammbar ist oder explodieren kann.

Rändelschraube
fürDosierventil

Abb. 29: Dosierventil für Single- oder Multi-Gas-Messung

6.3.6.1 Single-Gas wählen
1

Mini > Method > Load & Run oder Measure > Method > Load & Run.

2

Wählen Sie im Methoden-Editor die Methode mit der gewünschten HeliumEinstellung. Siehe "Methode wählen [} 59]".

3

Drücken Sie die Taste "Use Method".

4

Stellen Sie das Dosierventil ein. Wenn Sie die Single-Gas-Messung verwenden,
schließen Sie mit der Rändelschraube das Dosierventil.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

69 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.3.6.2 Multi-Gas wählen
1

Mini > Method > Load & Run oder Measure > Method > Load & Run.

2

Wählen Sie im Methoden-Editor die Methode mit der gewünschten Multi-GasEinstellung. Siehe "Methode wählen [} 59]".

3

Drücken Sie die Taste "Use Method".

4

Stellen Sie das Dosierventil ein. Wenn Sie die Multi-Gas-Messung verwenden,öffnen Sie mit der Rändelschraube das Dosierventil.

70 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.4 Kalibrieren
Mit einer Kalibrierung prüfen Sie, ob das Dichtheitsprüfgerät korrekt eingestellt ist undLeckraten korrekt gemessen werden. Dabei wird das Verhältnis zwischen Signal und
Rauschen bestimmt (Signal-Rauschabstand).
Für eine ordnungsgemäße Dichtheitsprüfung ist regelmäßiges Kalibrieren zwingend
notwendig. Sie können die Kalibrierung ausschließlich mit dem am Gerät montierten
Prüfleck durchführen.
Ohne zuvor durchgeführte Kalibrierung kann kein Messprozess gestartet werden. Die
Taste "Leak Test" in den Messfenstern "Mini" und "Measure" ist in diesem Fall nicht
aktiv, sondern wird grau dargestellt.

Um Messungen durchzuführen, führen Sie eine Kalibrierung durch. Führen Sie die
Kalibrierung einmal täglich durch oder wenn Zweifel an der Messbereitschaft desGeräts bestehen. Nach einer Stillstandzeit des Geräts von mehr als 12 Stunden odernach einer durchgeführten Regeneration führen Sie 2 bis 3 Kalibrierungennacheinander durch, um die erforderliche Messbereitschaft zu gewährleisten.
► Führen Sie eine Kalibrierung durch, bei der im Ergebnis der Wert des Parameters"S/B 100 ratio" > 100 ist.

6.4.1 Kalibrierung durchführen
► Mini > Calibrate oder Measure > Calibrate.
ð

Das Gerät kalibriert sich. Die beendete Kalibrierung wird im Fenster "Measure"durch den gelb hinterlegten Meldungstext "Calibration Finished" angezeigt.

Abb. 30: Fenster "Measure" (Darstellung der Ergebnisse nach der Kalibrierung)

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

71 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.4.2 Externes Prüfleck anschließen
Sie haben die Möglichkeit, ein externes Prüfleck am Gerät anzuschließen.
Mit dem externen Prüfleck können Sie keine Kalibrierung des Geräts durchführen.
Eine Kalibrierung des Geräts können Sie nur mit dem internen Prüfleck durchführen.

1

Setzen Sie das externe Prüfleck mit dem Kupfer-Dichtring an den Flansch.

2

Ziehen Sie die 6 Schrauben am Flansch nur leicht an.

3

Empfehlung: Ziehen Sie mit dem modifizierten Innnensechskantschlüssel
9/64 Zoll (Im Lieferumfang enthalten) die 6 Schrauben am Flansch nach dem
2-2-3-System fest. Beispiel: Ziehen Sie die Schraube 1 fest. Ziehen Sie die
Schrauben in der Reihenfolge 3, 5, 2 fest. Ziehen Sie die Schrauben in der
Reihenfolge 4, 6, 3 fest. Ziehen Sie die Schrauben in der Reihenfolge 5, 1, 4
fest usw. Wiederholen Sie diesen Vorgang, bis der Spalt zwischen beiden
Flanschen nahezu vollständig geschlossen ist.

1
6

2

3

5
4

Flansch zum Anschluss

Deckel dereines externes Prüflecks

Prüfkammer

FlanschAbb. 31: Externes Prüfleck anschließen

4

Schließen Sie den Deckel der leeren Prüfkammer.

5Öffnen Sie das Handventil am externen Prüfleck.

6

Mini > Leak Test oder Measure > Leak Test.

ðDie Leckrate in der Maßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s] des externen Prüflecks
wird ermittelt.

72 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.5 Messen
6.5.1 Messung vorbereiten
HINWEIS
Sachschaden durch unsachgemäßes Befüllen der Prüfkammer
Falls die Prüfkammer ohne eingelegtes Gitter betrieben wird, können Prüfobjekte ausder Prüfkammer in das Gerät eingesaugt werden und Schäden am Gerät hervorrufen.
► Um Messungen durchzuführen, legen Sie das im Lieferumfang der Prüfkammer
enthaltene Gitter in die Prüfkammer.
► Um Verschmutzungen aus der Prüfkammer zu entfernen, saugen Sie die
Verschmutzungen mit einem geeigneten Staubsauger ab und wischen Sieanschließend die Prüfkammer mit einem in Isopropanol getränkten Tuch aus.
ü Mögliche Alternativen zu den Bedienmöglichkeiten am Gerät sind eingerichtet(optional), z. B. Barcodeleser zur automatischen Datenerfassung der Prüfobjekte.

1

Um das Gerät einzuschalten, stellen Sie den Netzschalter auf ON (siehe "Gerät
einschalten [} 48]").
ð Das Gerät verfügt über eine Netzeinschaltverzögerung und wird nach ca.
20 s eingeschaltet.
ð Computer und Monitor werden automatisch eingeschaltet und gestartet.
ð Das Betriebssystem wird gestartet und das Fenster "Measure" wird
standardmäßig dargestellt.

Wartezeit► Nach dem Einschalten des Geräts müssen Sie etwa 2 Stunden warten. Während
dieser Zeit wird die Kryopumpe auf eine Temperatur < 20 K heruntergekühlt. Wennin den Fenstern "Mini" oder "Measure" im gelb hinterlegten Meldungsfenster"System pumped and Ready" erscheint, können Sie den nächsten Schritt
durchführen.

2

Führen Sie eine Kalibrierung durch. Siehe " Kalibrieren [} 71]".

3

Wenn Sie als Prüfgas nur Helium verwenden möchten, schließen Sie die
Rändelschraube des Dosierventils (siehe "Single-Gas wählen [} 69]"). Wenn Sie
mehrere Prüfgase verwenden möchten, öffnen Sie mit der Rändelschraube das
Dosierventil (siehe "Multi-Gas wählen [} 70]").

4

Legen Sie mit einem geeigneten Hilfsmittel, z. B. einer Kunststoffpinzette, dasPrüfobjekt in die Prüfkammer und schließen Sie den Deckel der Prüfkammer.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

73 / 122

6 | Betrieb

INFICON

5

Stellen Sie sicher, dass die richtigen Grundeinstellungen und die Einstellungenfür die aktuelle Messung getätigt wurden. Siehe "Grundlegende Einstellungen[} 50]".

6

Stellen Sie sicher, dass die gewünschte Methode eingestellt ist, siehe "Methodewählen [} 59]".

7

Stellen Sie den Schwellenwert für die Grobleck-Messung ein, siehe"Schwellenwert für Grobleck-Test einstellen [} 67]".

8

Stellen Sie sicher, dass einmal am Tag kalibriert wurde. Siehe "Kalibrieren[} 71]".

9

Stellen Sie sicher, dass einmal am Tag die Regeneration der Kryopumpe
durchgeführt wurde. Siehe "Regeneration durchführen [} 88]".

10

Um den Messprozess manuell zu starten, siehe "Manuelles Starten vorbereiten[} 75]".

74 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.5.2 Manuelles Starten vorbereiten
Sie können den Messprozess bei gestecktem Rundsteckverbinder manuell starten.

► Das Gerät ist ab Werk für das manuelle Starten des Messprozesses vorbereitet.
Um den Messprozess manuell zu starten, können Sie in den Fenstern "Mini" oder
"Measure" die Taste "Leak Test" drücken. Siehe "Fenster "Mini" wählen und
Messung starten [} 76]" oder "Fenster "Measure" wählen und Messung starten[} 77]".

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

75 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.5.3 Messung starten und durchführen
Um den Messprozess zu starten (nur wenn das Gerät für das manuelle Starten
vorbereitet ist), die Messung zu verfolgen und die Ergebnisse zu betrachten, können
Sie zwischen zwei Messfenstern wählen.
• Um die Messung mit dem Fenster "Mini" zu starten und durchzuführen, siehe"Fenster "Mini" wählen und Messung starten [} 76]".
• Um die Messung mit dem Fenster "Measure" zu starten und durchzuführen, siehe"Fenster "Measure" wählen und Messung starten [} 77]".

6.5.3.1 Fenster "Mini" wählen und Messung starten
Das Fenster "Mini" bietet alle für den Messprozess erforderlichen Einstellungen.
Dieses Fenster ist hauptsächlich geeignet für das Bedienpersonal des Geräts.
► Um das Fenster "Mini" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Mini".

Abb. 32: Fenster "Mini"

1

Um den Messprozess zu starten, drücken Sie die Taste "Leak Test". Nach dem
Starten des Messprozesses ändert sich die Bezeichnung der Taste "Leak Test"in "testing ...".

2

76 / 122

Verfolgen Sie den Messprozess anhand des Fortschrittbalkens.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.5.3.2 Fenster "Measure" wählen und Messung starten
Das Fenster "Measure" bietet neben den standardmäßigen Einstellungen zusätzliche
Möglichkeiten, den Messprozess zu konfigurieren. Gleichzeitig werden im
Systemdiagramm die aktuellen Zustände der einzelnen Komponenten des Geräts
während der Messung dargestellt. Dieses Fenster ist für entsprechend geschultes
Bedienpersonal sowie zusätzlich für Wartungs- und Servicepersonal geeignet sowie
für Messungen mit einem hohen Konfigurationsbedarf.

1

Um das Fenster "Measure" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Measure".

Abb. 33: Fenster "Measure"2

Um das Fenster "Eingabe" zu öffnen, drücken Sie die Taste "Leak Test".

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

77 / 122

6 | Betrieb

INFICON

Informationen

Abb. 34: Fenster "Eingabe"

3

Tragen Sie Ihre gewünschten Informationen ein. Optional können Sie mit einem
Barcodeleser die gewünschten Informationen der Prüfobjekte erfassen.

78 / 122

4

Um den Messprozess zu starten, drücken Sie die Taste "Proceed".

5

Verfolgen Sie den Messprozess anhand des Fortschrittbalkens.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.5.3.3 Grobleck-Test durchführen
Der Grobleck-Test wird automatisch durchgeführt. Als Abbruchkriterium für diesen
Messvorgang dient der zuvor eingestellte Schwellenwert (siehe "Schwellenwert fürGrobleck-Test einstellen [} 67]"). Unterschreitet das Heliumsignal diesen
Schwellenwert, wird der Messvorgang korrekt beendet und der Messprozess wird mit
dem Feinleck-Test fortgesetzt (siehe "Feinleck-Test durchführen [} 79]").
Überschreitet das Heliumsignal diesen Schwellenwert, wird der Messvorgang
abgebrochen und es wird kein Feinleck-Test durchgeführt.
Siehe Messprozess nach Grobleck- und Feinleck-Test beenden [} 81]".

6.5.3.4 Messprozess nach Grobleck-Test beenden
1

Drücken Sie im Messfenster "Mini" oder im Messfenster "Measure" die Taste"Load/Unload".

2

Entnehmen Sie das Prüfobjekt aus der Prüfkammer.

ð

Der Messprozess ist beendet.

Sie können ein weiteres Prüfobjekt messen oder eine Regeneration der Kryopumpe
durchführen (siehe "Regeneration durchführen [} 88]") und anschließend das Gerät
ausschalten (siehe "Gerät ausschalten [} 90]").

6.5.3.5 Feinleck-Test durchführen
Falls während des Grobleck-Tests der eingestellte Schwellenwert unterschritten
wurde, wird der Feinleck-Test automatisch durchgeführt.

Abb. 35: Darstellung der Messergebnisse im Fenster "Mini"

Die gemessene Leckrate wird in der Maßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s] im Fenster"Mini" in einem Zeigerdiagramm dargestellt. Eine farbige Gut-/Schlecht-Anzeige
ermöglicht die qualitative Zuordnung der gemessenen Prüfobjekte.
Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

79 / 122

6 | Betrieb

INFICON

Abb. 36: Darstellung der Messergebnisse im Fenster "Measure"

Die gemessene Leckrate wird in der Maßeinheit [mbar l/s] oder [atm cc/s] im Fenster"Measure" in einem Zeigerdiagramm dargestellt. Das akkumulativ gemessene Signal
wird grafisch im linken oberen Fenster dargestellt. Im linken unteren Fenster werden
für den Messprozess für alle Messvorgänge die Messsignale des CHLD-Sensors
dargestellt.

80 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.5.3.6 Messprozess nach Grobleck- und Feinleck-Test beenden

Im Fenster "Configuration" kann definiert werden, ob nach dem Ende einer Messung
das Fenster "Print Report" geöffnet werden soll oder nicht.

Abb. 37: Fenster "Print Report"

1

Um den Inhalt des Fensters "Print Report" zu drucken, drücken Sie die Taste"Print".
ð Der Inhalt des Fensters "Print Report" wird gedruckt.

2

Entnehmen Sie das gemessene Prüfobjekt aus der Prüfkammer.

ð

Der Messprozess ist beendet.

Sie können ein weiteres Prüfobjekt messen oder eine Regeneration der Kryopumpe
durchführen (siehe "Regeneration durchführen [} 88]") und anschließend das Gerät
ausschalten (siehe "Gerät ausschalten [} 90]").

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

81 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.5.4 Informationen zur Messung anzeigen
6.5.4.1 Zustandszeitdiagramme anzeigen► Um das Fenster "MixedData" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "MixedData".

Abb. 38: Fenster "MixedData"

Im Fenster "MixedData" wird eine Übersicht der zeitlichen Abläufe aller Signale
während eines Messprozesses erzeugt.

6.5.4.2 Messparameter anzeigen► Um das Fenster "MS-Panel" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "MS-Panel".

Abb. 39: Fenster "MS-Panel"

82 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

Im Fenster "MS-Panel" werden die gemessenen Daten während eines
Messprozesses angezeigt. Dokumentiert sind die entsprechenden 10 Messwerte, diewährend einer Akkumulationsphase für die unterschiedlichen Massen aufgenommen
wurden.

6.5.4.3 Aktuelle Einstellungen anzeigen► Um das Fenster "System" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "System".

Abb. 40: Fenster "System"

Im Fenster "System" werden die aktuellen Einstellungen für den abgeschlossenen
Messprozess dargestellt. (Pin 17)
Output-Parameter/

Zustand

Pin-Belegung desDigital I/O *)Ready (Pin 17)

Ready = HIGH: Eine Messung / Kalibrierung kann gestartet
werden.

Pass (Pin 18)

Pass = HIGH: Das geprüfte Prüfobjekt ist dicht.

Fine Leak (Pin 19)

Fine Leak = HIGH und Gross Leak = LOW: Helium-Feinleck.

Gross Leak (Pin 21) Fine Leak = LOW und Gross Leak = HIGH: Helium-Grobleck.
Fine Leak = HIGH und Gross Leak = HIGH: Gas-2-Feinleck.
Error (Pin 20)

Error = HIGH: Fehlermeldung, die am Bildschirm dargestellt
wird.

*) Die Buchse des CHLD-Detektors ist standardmäßig bereits mit einem Stecker
belegt. Um die Ausgangssignale bei Bedarf nutzen zu können, verwenden Sie ein YKabel.
Weitere Erläuterungen: Die Ausgänge sind offene Kollektoren, max. 60 mA pro
Ausgang, Pin 10 ist +24 V, Pin 9 ist 0 V.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

83 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.5.4.4 Allgemeine Informationen anzeigen► Um das Fenster "Locals" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Locals".

Abb. 41: Fenster "Locals"

Im Fenster "Locals" werden Pfadangaben und allgemeine Informationen angezeigt,z. B. die Seriennummer des Geräts und die Software-Version.

6.5.4.5 Ereignisse anzeigen► Um das Fenster "Events" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Events".

Abb. 42: Fenster "Events"

Im Fenster "Events" (Ereignisanzeige) wird Ihnen angezeigt, welche interne SoftwareRoutine derzeit durchlaufen wird.

84 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

6.6 Messdaten
Die Messdaten werden in einer Liste aufgezeichnet.

Abb. 43: Fenster "LeakTable"

Taste

Beschreibung

Clear Table► Um alle Messdaten in der Tabelle zu löschen, drücken
Sie diese Taste.

Export Table► Um alle Messdaten im vorinstallierten OpenOffice zuöffnen, drücken Sie diese Taste. Im OpenOffice können
Sie die Messergebnisse an einem beliebigen Ort, z. B.
auch einem USB-Speicherstick (FAT32 formatiert),
ablegen. Im Fenster "Locals" wird ausgewiesen, wo(unabhängig von Export) die "log.xls", die alle
Messergebnisse enthält, abgelegt ist.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

85 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.7 Massenspektrum bestimmen
Im Modus "Scan" haben Sie die Möglichkeit, mit dem CHLD-Sensor alle im System
des Geräts vorhandenen Massen zu messen und als Massenspektrum im Fenster"Measure" darzustellen. Mit dieser Messung können Sie feststellen, welche Gase sichim System des Geräts befinden.

1

Measure > Scan > Load & Run.

Abb. 44: Editor für Scan-Parameter zum Bestimmen des Massenspektrums2

Um die Scanprozedur aus der Liste zu wählen, drücken Sie die Taste "UseParameters".

ð

Die Messung aller im System vorhandenen Massen der Gase wird gemäß dieser
Scanprozedur durchgeführt und das Ergebnis wird als Massenspektrum im
Fenster "Measure" angezeigt.

86 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

Abb. 45: Fenster "Measure" mit ermitteltem Massenspektrum► Um die Messung zu beenden, drücken Sie die rote Taste STOP.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

87 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.8 Regeneration durchführen

Täglich, vor dem Ausschalten des Geräts und hauptsächlich nach einer Vielzahl vonnacheinander durchgeführten Messungen müssen die in der Kryopumpe
eingefrorenen Gase abgedampft und aus dem System entfernt werden.
► Führen Sie die Regeneration der Kryopumpe täglich durch.
Nach dem Starten der Regeneration wird nach einer Vorwarnzeit die Aufheizphasegestartet. Die Temperatur in der Kryopumpe steigt und die eingefrorenen Gase
werden, abhängig von ihrem Taupunkt, abgedampft und abgepumpt.

1

Mini > Regenerate oder Measure > Regenerate.

Taste " Set Time to Now "Taste " Set Time and Date "Abb. 46: Eingabefenster "Regeneration Kryopumpe"2

Um den Zeitraum für die Regeneration zu definieren, wählen Sie zwischen den
2 Möglichkeiten.
ð Um die Regeneration täglich mit der eingestellten Startzeit zu beginnen,
markieren Sie "weekday". Um die Startzeit mit dem Parameter "Start-Time"und die Endzeit mit dem Parameter "End-Time" einzustellen, drücken Sie die
Taste "Set Time and Date". Um die Regeneration sofort zu starten, drücken
Sie die Taste "Set Time to Now".
ð Um die Regeneration vor jedem Wochenende mit der eingestellten Startzeit
zu beginnen, markieren Sie "weekend". Um die Startzeit mit dem Parameter"Start-Time" und die Endzeit mit dem Parameter "End-Time" einzustellen,
drücken Sie die Taste "Set Time and Date". Um die Regeneration sofort zu
starten, drücken Sie die Taste "Set Time to Now".

88 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Betrieb | 6

3

Um die Regeneration zur eingestellten Startzeit zu starten, drücken Sie die
Taste "OK".
ð Das Messprogramm wechselt automatisch zum Fenster "Regeneration
Kryopumpe".

Abb. 47: Fenster "Regeneration Kryopumpe"

Das Fenster "Regeneration Kryopumpe" gibt Ihnen einen detaillierten Überblick überden zeitlichen Verlauf der Regeneration.
Um die Regeneration vor der eingestellten Endzeit zu beenden, drücken Sie die Taste"Abort".

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

89 / 122

6 | Betrieb

INFICON

6.9 Gerät ausschalten
HINWEIS
Beschädigung der Kryopumpe
Wenn sich in der Kryopumpe eingefrorene Gase befinden und das Gerät wird
ausgeschaltet, dampfen die Gase ab und können durch den ansteigenden Druck die
Berstscheibe an der Kryopumpe zum Bersten bringen.
► Führen Sie erst eine Regeneration der Kryopumpe durch, zumindest bis zu einer
Temperatur von 280 K, bevor Sie das Gerät ausschalten.
Sie können das Gerät mit dem Netzschalter auf der Rückseite des Geräts ausschalten. Die im Gerät eingestellten Parameter bleiben gespeichert.

1

Beenden Sie die Pernicka 700H-Software.

2

Fahren Sie den Computer herunter.

3

Um das Gerät auszuschalten, stellen Sie den Netzschalter auf OFF. Mit dem
Ausschalten des Geräts wird auch der Kompressor der Kryopumpeausgeschaltet.

90 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Warn- und Fehlermeldungen | 7

7 Warn- und Fehlermeldungen
Während des Betriebs zeigt die Anzeige Informationen an, die Sie bei der Bedienungdes Geräts unterstützen. Neben Messwerten werden aktuelle Gerätezustände,Bedienungshinweise sowie Warnungen und Fehlermeldungen angezeigt. Das Gerät
ist mit umfangreichen Selbstdiagnosefunktionen ausgestattet. Wenn von der
Elektronik ein fehlerhafter Zustand erkannt wird, zeigt das Gerät dies so weit wie
möglich über die Anzeige an und unterbricht, wenn erforderlich, den Betrieb.
WarnmeldungenWarnmeldungen warnen vor Gerätezuständen, die die Genauigkeit der Messungenverschlechtern können. Der Betrieb des Geräts wird nicht unterbrochen.

FehlermeldungenFehler sind Ereignisse, die eine Unterbrechung des Betriebs erzwingen. Die
Fehlermeldung besteht aus einer Nummer und einem beschreibenden Text.

7.1 Warn- und Fehlermeldungen anzeigen► Um das Fenster "Errors" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Errors".

Abb. 48: Fenster "Errors"

Im Fenster "Errors" werden Ihnen Fehlermeldungen während eines Messprozesses
angezeigt und im Hintergrund aufgezeichnet.
WarnmeldungenMeldungMögliche Ursachen

Beseitigung

Emission current > +/-HV-Druck ist zu hoch.

Führen Sie eine Regeneration

10 %Kathode ist gealtert.

durch. Siehe "Regeneration
durchführen [} 88]".

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

91 / 122

7 | Warn- und FehlermeldungenMeldung

INFICON

Mögliche Ursachen

Beseitigung
Wechseln Sie im Messprogramm"Pernicka 700H" zur anderen
Kathode. Siehe "Kathode im
CHLD-Sensor wählen [} 106]".

Emission current > +/-HV-Druck ist zu hoch.

Wechseln Sie im Messprogramm

20 %Kathode ist gealtert.

"Pernicka 700H" zur anderen
Kathode. Siehe "Kathode im
CHLD-Sensor wählen [} 106]".

RF temperature high >Filtermatte im CHLD-

Wechseln Sie die Filtermatte im

65 °C ... 80 °C

Sensor verstopft.

CHLD-Sensor. Siehe " Filtermatte

Lüfter im CHLD-

kontrollieren bzw. wechseln

Sensor defekt.

[} 99]".

RF-Generator im

Wechseln Sie den Lüfter im

CHLD-Sensor falsch

CHLD-Sensor. Setzen Sie sichabgeglichen.

mit dem INFICON-Service in
Verbindung.

FehlermeldungenMeldungMögliche Ursachen

Beseitigung

External protection

HV-Druck ist zu hoch.

Überprüfen Sie die Dichtheit dertriggered
Emission Error

Ventile.
HV-Druck ist zu hoch.

Überpüfen Sie die Dichtheit derVentile.

Filament 1 defectKathode 1 ist defekt.

Wechseln Sie im Messprogramm"Pernicka 700H" zur Kathode 2.
Siehe Kathode im CHLD-Sensor
wählen [} 106]".
Setzen Sie sich mit dem
INFICON-Service in Verbindung.
Die zweite Kathode ist der ersten
gleichwertig und erlaubt
typischerweise einenmonatelangen Betrieb desGeräts.

Turning on Analyzer

HV-Druck ist zu hoch.

Wechseln Sie beide Kathoden im

FAILED!

Beide Kathoden sind

CHLD-Sensor. Setzen Sie sichdefekt.

mit dem INFICON-Service inInternes

Verbindung.

Verbindungsproblem
im CHLD-Sensor.

92 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Warn- und Fehlermeldungen | 7

MeldungMögliche Ursachen

Beseitigung

An Error occured (langer Interner Windows-

Starten Sie das Messprogramm

Text)

Kommunikations-"Pernicka 700H" einmal pro

Fehler.

Woche neu.

Turning on the emission SEM-Verstärker

Setzen Sie sich mit dem

and SEM FAILED andverschmutzt oder

INFICON-Service in Verbindung.

was aborted!

defekt.

FAILURE: Emission and HV-Druck ist zu hoch.

Warten Sie, bis der Druck klein

SEM are OFF!

genug ist, um den SEMVerstärker einzuschalten.

FAILURE: Airpressure

Luftdruck für dieÜberprüfen Sie, ob der Luftdruckfor valve switching is too Ventile ist kleiner als

größer als 7 bar ist.

low!

Öffnen Sie die Druckventile in

7 bar.

den Zuleitungen.
Erhöhen Sie stufenweise den
Druck um jeweils 0.5 bar.
ProblemeSituation

Mögliche Ursachen

Beseitigung

Das Gerät lässt sich

Das Netzkabel für die

Stecken Sie das im Lieferumfang

nicht einschalten.

Stromversorgung desenthaltene Netzkabel in den

Geräts ist nicht

Gerätestecker POWER LINE

eingesteckt.

INPUT und schließen Sie es an
die Stromversorgung an.

Rotes X im

Der Druck derÜberprüfen Sie, ob der Luftdruck

Systemdiagramm

Druckluft-Versorgung

größer als 7 bar ist.

(Fenster "Measure")

ist kleiner als 6.9 bar.

Öffnen Sie die Druckventile inbeim Punkt "Airden Zuleitungen.

pressure".

Erhöhen Sie stufenweise den
Druck um jeweils 0.5 bar.

Der Deckel der

Die Prüfkammer ist

Drücken Sie im Messprogramm

Prüfkammer kann nicht

unter Vakuum.

"Pernicka 700H" den Reitergeöffnet werden.

"Measure" und anschließend die
Taste "Load/Unload".
Stellen Sie sicher, dass der Druck
der Spülgasversorgung zwischen
69 mbar und 71 mbar liegt.
Stellen Sie sicher, dass der Druck
der Druckluftversorgung zwischen
6.9 bar und 7.59 bar liegt.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

93 / 122

7 | Warn- und Fehlermeldungen

INFICON

Situation

Mögliche Ursachen

Beseitigung

Zischendes oder

Der Druck derÜberprüfen Sie, ob der Druck derstotterndes Geräusch

Druckluftversorgung ist Druckluftversorgung kleiner als

von der Geräte-

größer als die ab Werk 9 (Konsistenz!) bar ist. Senken

Rückseite.

eingestellte Grenze für Sie den Druck stufenweise um
das Überdruckventil.

jeweils 0.2 bar.

Das Geräusch stammt
vom aktiviertenÜberdruckventil.

94 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Reinigung und Wartung | 8

8 Reinigung und Wartung
8.1 Allgemeine Hinweise
GEFAHR
Gefahren durch elektrische Energie
Es besteht Lebensgefahr beim Berühren stromführender Teile im Inneren des Geräts.
► Trennen Sie vor allen Wartungsarbeiten das Gerät von der Stromversorgung.
Stellen Sie sicher, dass die Stromversorgung nicht unbefugt wiederhergestellt
werden kann.

Servicestufen für Wartungsarbeiten• I

Servicestufe I

Kunde

• II

Servicestufe II

Kunde mit INFICON-Training• III

Servicestufe III

autorisierter INFICON-Servicetechniker

Wartungsarbeiten der Servicestufe I am Pernicka 700H CHLD dürfen vom Kunden
durchgeführt werden. Diese Wartungsarbeiten werden in dieser "OriginalBetriebsanleitung Pernicka 700H CHLD" beschrieben.
Wartungsarbeiten der Servicestufe II und III am Pernicka 700H CHLD dürfen nur vonautorisierten INFICON-Servicetechnikern oder von Personen ausgeführt werden, dievon der INFICON GmbH Köln dazu autorisiert wurden. Diese Wartungsarbeiten
werden in der "Service-Dokumentation Pernicka 700H CHLD" beschrieben.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

95 / 122

8 | Reinigung und Wartung

INFICON

8.2 Wartung des Geräts
8.2.1 O-Ringe der Prüfkammer wechseln
Führen Sie die Wartungstätigkeiten gemäß des Wartungsplans durch, siehe"Wartungsplan [} 107]".
Um Fettablagerungen auf dem Gerät zu verindern, benutzen Sie während derArbeiten puderfreie Neopren- oder Nitril-Einmalhandschuhe.
Benötigte Ersatzteile

Benötigte Werkzeuge

Satz O-Ringe Prüfkammer klein

Bestellnummer: 200004645

Satz O-Ringe Prüfkammer mittel

Bestellnummer: 200004646

Satz O-Ringe Prüfkammer großBestellnummer: 200004647

Hilfsmittel zum Aushebeln der O-Ringe, z. B. Kunststoffpinzette oder Zange1Öffnen Sie den Deckel der Prüfkammer.

2

Entfernen Sie vorsichtig mit einem geeigneten Hilfsmittel die beiden O-Ringe
aus der Prüfkammer. Heben Sie die O-Ringe nur nach oben ab.

3

Reinigen Sie die Oberfläche der Prüfkammer mit einem staub- und fusselfreien
Tuch.

4

Setzen Sie die beiden neuen O-Ringe in die Prüfkammer ein.

5

Schließen Sie den Deckel der Prüfkammer.

Prüfkammer

O-RingAbb. 49: Prüfkammer: Deckel geöffnet

96 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Reinigung und Wartung | 8

8.3 Wartung des CHLD-Sensors
8.3.1 Lüfterfunktion kontrollieren
Lesen und beachten Sie die mitgelieferte technische Dokumentation "Operation
Manual CHLD Sensor QME 220".

Der Lüfter dient der Kühlung der internen Elektronikbaugruppen des CHLD-Sensors.
Benötigte Ersatzteile

Benötigte Werkzeuge

Siehe "Filtermatte kontrollieren bzw.

Siehe "Filtermatte kontrollieren bzw.

wechseln [} 99]"

wechseln [} 99]"

Siehe "Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln [} 99]"

► Kontrollieren Sie in folgenden Situationen die Lüfterfunktion:

Das Wartungsintervall gemäß Wartungsplan (siehe Wartungsplan[} 107]) ist erreicht
1

Führen Sie an der Elektronikeinheit QME 220 eine akustische Kontrolle der
Lüfterfunktion durch.

2

Wenn Sie keine Lüftergeräusche wahrnehmen, wechseln Sie den Lüfter. Setzen
Sie sich mit dem INFICON-Service in Verbindung.

3

Wenn Sie Lüftergeräusche wahrnehmen, kontrollieren Sie die Filtermatte. Siehe"Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln [} 99]".

Zu hohe Temperatur in der Elektronikeinheit QME 220
Die Temperatur in der Elektronikeinheit QME 220 liegt im normalen Betrieb im Bereich
von 20 °C ... 25 °C über der Umgebungstemperatur.

1

Um das Fenster "Tools" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Tools".

2

Tools > TuneUp.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

97 / 122

8 | Reinigung und Wartung

INFICON

Anzeige"QME Temp"

Abb. 50: CHLD-Sensor: Temperatur in der Elektronikeinheit QME 220 kontrollieren

3

Die aktuelle Temperatur der Elektronikeinheit QME 220 des CHLD-Sensors wird
im Feld "QME Temp" angezeigt. Kontrollieren Sie.

4

Wenn die Temperatur in der Elektronikeinheit QME 220 35 °C über der
Umgebungstemperatur liegt, führen Sie an der Elektronikeinheit QME 220 eineakustische Kontrolle der Lüfterfunktion durch.

5

Wenn Sie keine Lüftergeräusche wahrnehmen, wechseln Sie den Lüfter. Setzen
Sie sich mit dem INFICON-Service in Verbindung.

6

Wenn Sie Lüftergeräusche wahrnehmen, kontrollieren Sie die Filtermatte. Siehe" Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln [} 99]".

98 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Reinigung und Wartung | 8

8.3.2 Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln
Führen Sie die Wartungstätigkeiten gemäß des Wartungsplans und der mitgelieferten
technischen Dokumentation des Herstellers durch. Siehe "Operation Manual CHLD
Sensor QME 220".
Die Filtermatte dient zur Staubfilterung der Kühlluft. Um eine ausreichende Kühlung
der Elektronikbauteile im CHLD-Sensor zu gewährleisten, reinigen Sie die Filtermatteregelmäßig.
Benötigte Ersatzteile

Filtermatten (5 Stück) CHLD 700 Sensor

Bestellnummer: 452-552

Elektronik-Box
Benötigte Werkzeuge

Schraubendreher Torx T10

Elektrische Verbindungen vom Modul IO 220 trennen► Lösen Sie alle elektrischen Verbindungen zum Modul IO 220: Stromversorgung,Ethernet-Kabel, Analog-I/O-Kabel, Digital-I/O-Kabel.

QME 220

Analog I/O
Digital I/O

Modul
IO 220Anschluss fürAnschluss Ethernet

Stromversorgung(PC)

Abb. 51: CHLD-Sensor: Verbindungen am Modul IO 220 abklemmen

Elektronikeinheit QME 220 vom Analysator QMA 220 demontieren
1

Lockern Sie die 2 Schrauben an der Elektronikeinheit QME 220.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

99 / 122

8 | Reinigung und Wartung

INFICON

2

Nehmen Sie vorsichtig die Elektronikeinheit QME 220 vom Analysator QMA 220ab.

3

Platzieren Sie die Elektronikeinheit QME 220 auf einer geeigneten Unterlage,
dass Sie komfortabel an der Frontplatte arbeiten können.

Analysator QMA 220

Elektronikeinheit
QME 220

Schraube

Schraube (verdeckt)

Abb. 52: CHLD-Sensor: Elektronikeinheit QME 220 abschrauben

Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln
1

100 / 122

Um das Modul IO 220 zu entfernen, lösen Sie die 3 Schrauben.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Reinigung und Wartung | 8

Schraube
Torx T10

Schraube
Torx T10

Schraube Torx T10
Abb. 53: CHLD-Sensor: Modul IO 220 entfernen

2

Um die Filterhalterabdeckung auf der Rückseite des CHLD-Sensors zu
entfernen, lösen Sie die Schraube.

3

Nehmen Sie die Filtermatte aus der Filterhalterabdeckung.

4

Bei geringer Verschmutzung reinigen Sie die Filtermatte. Benutzen Sie einen
Staubsauger, um den Staub aus der Filtermatte zu entfernen.

5

Setzen Sie die gereinigte Filtermatte in die Filterhalterabdeckung ein.

6

Bei zu starker Verschmutzung setzen Sie eine neue Filtermatte in die
Filterhalterabdeckung ein.

Abb. 54: Filtermatte kontrollieren und ggf. reinigen

7

Um die Filterhalterabdeckung auf der Rückseite des CHLD-Sensors zu
montieren, befestigen Sie die Filterhalterabdeckung mit der Schraube.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

101 / 122

8 | Reinigung und Wartung

INFICON

8

Montieren Sie das Modul IO 220 mit den 3 Schrauben.

Elektronikeinheit QME 220 an den Analysator QMA 220 montieren
1

Lösen Sie die beiden Schrauben am schwarzen Kunststoffteil des QME 220 mit
einem Innensechskantschlüssel (SW 4) soweit, dass der bewegliche Teil 2 mm
… 3 mm Spiel aufweist.

2

Stecken Sie das QME 220 sorgfältig bis zur eingekerbten Markierung auf das
bereits montierte QMA 220. Beachten Sie die korrekte Positionierung am QME
220 durch die Erdzunge und die Führungsnut am QMA 220.

3

Ziehen Sie die beiden Innensechskantschrauben gut fest. Diese Schrauben
dienen der mechanischen Befestigung des QME 220 und der elektrischen
Sicherheit, da sie den Erdkontakt sicherstellen.

Schraube (2x)Elektronikeinheit QME 220

Erdzunge

Führungsnut

Analysator QMA 220

Abb. 55: Elektronikeinheit QME 220 an den Analysator QMA 220 montieren

Elektrische Verbindungen an das Modul IO 220 anstecken► Stellen Sie die elektrischen Verbindungen mit dem Modul IO 220 wieder her:
Stromversorgung, Ethernet-Kabel, Analog-I/O-Kabel, Digital-I/O-Kabel.

102 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Reinigung und Wartung | 8

8.4 Wartung des internen Prüflecks
8.4.1 Kalibrierung durchführen
Führen Sie die Kalibrierung des Geräts gemäß des Wartungsplans durch, siehe"Wartungsplan [} 107]". Kalibrierung durchführen siehe "Kalibrieren [} 71]".

Benötigte Ersatzteile

Keine

Benötigte Werkzeuge

Keine

8.4.2 Rekalibrierung des Prüflecks durch VTI
Führen Sie die Wartungstätigkeiten gemäß des Wartungsplans durch, siehe"Wartungsplan [} 107]".

Benötigte Ersatzteile

Keine

Benötigte Werkzeuge

Setzen Sie sich mit dem INFICON-Service in Verbindung

1

Bauen Sie das Prüfleck aus. Setzen Sie sich mit dem INFICON-Service in
Verbindung.

2

Schicken Sie das ausgebaute Prüfleck an den Hersteller zur Rekalibrierung.

3

Bauen Sie das vom Hersteller rekalibrierte Prüfleck in das Gerät ein. Setzen Sie
sich mit dem INFICON-Service in Verbindung.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

103 / 122

8 | Reinigung und Wartung

INFICON

8.5 Wartung der Vorpumpe
8.5.1 Ölstand kontrollieren
Führen Sie die Wartungstätigkeiten gemäß des Wartungsplans (siehe "Wartungsplan[} 107]") und der mitgelieferten technischen Dokumentation des Herstellers durch.
Siehe "Operating Instructions GA01601_002_A1".
Benötigte Ersatzteile

Keine

Benötigte Werkzeuge

Keine

Der Ölstand der Vorpumpe muss im Betrieb immer innerhalb der Markierungen"Ölstandsmarke Minimum" und "Ölstandsmarke Maximum" liegen.
► Kontrollieren Sie, dass bei ausgeschalteter Vorpumpe der Ölstand etwa in der Mitte
des Schauglases liegt.

VorpumpeÖlstandsmarke
Maximum

SchauglasÖlstandsmarke
Minimum

Abb. 56: Vorpumpe: Ölstand kontrollieren

104 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Reinigung und Wartung | 8

8.6 CHLD-Sensor einstellen
Das Fenster "Tools" enthält Funktionen, mit denen Sie Einstellungen am CHLDSensor durchführen können. Beispielsweise können Sie auf eine andere Kathodeumschalten oder den Betriebsstrom des SEM-Verstärkers verändern.
► Um das Fenster "Tools" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Tools".

Abb. 57: Fenster "Tools"

Im Fenster "Tools" sind Funktionen zur Wartung und Diagnose des Geräts vorhanden.
Taste

Beschreibung

idle

Anzeige des Fensters "Tools" (siehe Abbildung oben).

About

Anzeige der Software-Versionsnummer und INFICONAdresseninformationen.

TuneUp► Um z. B. zwischen den Heizdrähten 1 und 2 im CHLDSensor umzuschalten, drücken Sie diese Taste. Siehe"Kathode im CHLD-Sensor wählen [} 106]".

soft emi

Aufruf von Diagnose-Werkzeugen für die Kathoden.
► Sie können den Emissionsstrom für die Kathoden
erhöhen.

degas► Um die Kathoden von anhaftenden Stoffen zu reinigen,wählen Sie diese Funktion. Der Emissionsstrom für die
Kathode wird auf 5 mA erhöht und die anhaftenden
Stoffe werden von der Kathode abgedampft.
Beachten Sie, dass der Betrieb der Kathode mit einem
erhöhten Emissionsstrom die Lebensdauer der Kathodereduziert.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

105 / 122

8 | Reinigung und Wartung

INFICON

Taste

Beschreibung

EXIT► Um den laufenden Prozess abzubrechen, drücken Sie
diese Taste.

EXIT Tools► Um das Fenster "Tools" zu schließen, drücken Sie diese
Taste.

WatchDog LED
Optische Anzeige zur Überwachung von Systemkomponenten des Geräts.

8.6.1 Kathode im CHLD-Sensor wählen
Der CHLD-Sensor verfügt über 2 Kathoden. Im Fenster "TuneUp" können Sie
zwischen den 2 Kathoden im CHLD-Sensor umschalten, wenn eine Kathode defekt
ist.

1

Tools > TuneUp.

Abb. 58: Fenster "TuneUp": Kathode 1 oder Kathode 2 im CHLD-Sensor wählen

106 / 122

2

Wählen Sie im Auswahlfeld "Filament" zwischen Filament 1 und Filament 2.

3

Um die Einstellung zu speichern, aktivieren Sie die Option "save IS voltage".

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Reinigung und Wartung | 8

8.7 Wartungsplan
Unabhängig von den beschriebenen Wartungszyklen ist ein Ersatz abhängig vonVerschmutzung und Verschleiß.

8.7.1 Wartungstabelle
Wartungszyklus

Personal

Weiterführende Informationen

4000 h

Kunde

8.3.2

Filtermatte kontrollieren bzw. wechseln

8000 h

Kunde

8.2.1

O-Ringe der Prüfkammer wechseln

8.3.1

Lüfterfunktion kontrollieren

Täglich

Kunde

8.4.1

Kalibrierung durchführen

Vierteljährlich

Kunde

8.5.1

Ölstand kontrollieren

Jährlich

Kunde

8.4.2

Rekalibrierung des Prüflecks durch VTI

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

107 / 122

9 | Außerbetriebnahme

INFICON

9 Außerbetriebnahme
9.1 Deinstallation
ü Das Gerät befindet sich in der Betriebsart "Standby".
ü Die Regeneration der Kryopumpe ist durchgeführt. Siehe "Regeneration
durchführen [} 88]".
ü Das Gerät ist ausgeschaltet. Siehe "Gerät ausschalten [} 90]".
► Trennen Sie das Gerät und den Kompressor der Kryopumpe gemäß den folgenden
Kapiteln von der Stromversorgung und von den Betriebsmedien.

9.1.1 Gerät vom Stromnetz trennen
Anschluss für Stromversorgung Gerät

Schutzleiter-

Anschluss für Stromversorgung

Anschlusspunkt

Kryopumpen-Kompressor

Abb. 59: Gerät vom Stromnetz trennen

1

Entfernen Sie das Netzkabel von der Stromversorgung und aus dem
Gerätestecker POWER LINE INPUT.

2

Entfernen Sie das Netzkabel von der Stromversorgung und aus dem
Gerätestecker MAINS CRYO COMPRESSOR.

3

108 / 122

Demontieren Sie den Schutzleiter am Schutzleiter-Anschlusspunkt des Geräts.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Außerbetriebnahme | 99.1.2 Spülgas trennen
Die Dichtungselemente der Quetschverschraubung, Sprengring und Klemmring, sindzum einmaligen Gebrauch bestimmt.
► Verwenden Sie für jede Montage der Metallleitung für die Spülgasversorgung einen
neuen Sprengring und einen neuen Klemmring.

Quetschverschraubung für Anschluss Spülgas

MutterAbb. 60: Spülgas trennen

1Halten Sie mit einem Gabelschlüssel an der Mutter gegen und lösen Sie dieÜberwurfmutter der Quetschverschraubung.

2

Ziehen Sie die Metallleitung aus der Quetschverschraubung heraus.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

109 / 122

9 | Außerbetriebnahme

INFICON

9.1.3 Druckluft trennen

Druckluft-Schnellkupplung

Druckluftschlauch

Abb. 61: Druckluft trennen

1

Schließen Sie das Ventil an der Druckluftversorgung.

2

Um die Druckluftversorgung für das Gerät zu trennen, entfernen Sie den
Druckluftschlauch aus der Druckluft-Schnellkupplung der Druckluftversorgung,z. B. Druckluftflasche, und des Geräts. Drücken Sie dazu auf die Stirnfläche derDruckluft-Schnellkupplung, ziehen Sie den Druckluftschlauch aus der DruckluftSchnellkupplung heraus und lassen Sie die Stirnfläche der DruckluftSchnellkupplung los.

110 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Außerbetriebnahme | 99.1.4 Kompressor abklemmen
Kryopumpen-Kompressor
Lesen und beachten Sie die mitgelieferte Dokumentation "Cryo-Torr Pump Installation,
Operation and Maintanance Instructions".

Netzanschluss fürManometer für Betriebsdruck

Motor Kryopumpe

HeliumNetzkabel fürAnschluss

Anschluss

Stromversorgung

Helium- Return

Kompressor

Leitung

Helium- Supply
Leitung

Abb. 62: Anschlüsse am Kryopumpen-Kompressor

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

111 / 122

9 | Außerbetriebnahme

INFICON

Helium-Motor

SupplyKryopumpe

Leitung

HeliumReturnNetzkabel

Leitungfür Motor
Kryopumpe

Abb. 63: Anschlüsse am Gerät

Netzkabel für die Stromversorgung des Kompressors abklemmen
1

Um die Schutzabdeckung am Elektroanschluss des Kompressors zu entfernen,
lösen Sie die 2 Befestigungsschrauben.

2

Um das Netzkabel aus der Zugentlastung zu entfernen, lösen Sie die
2 Schrauben.

3

Entfernen Sie die 3 Leiter von den Klemmstellen X, Y und vom
Schutzleiteranschluss.

4

Montieren Sie die Schutzabdeckung mit den 2 Befestigungsschrauben.

5

Verbinden Sie die 3 Leiter des Netzkabels mit der Schraube und drehen Sie die
Mutter fest. Mit der Schraube waren die drei Leiter des Netzkabels vor Beginn
der Installation miteinander verbunden.

Netzkabel für den Motor der Kryopumpe entfernen► Lösen Sie das Gewindegehäuse und entfernen Sie den Rundsteckverbinder ausder Buchse COLD HEAD POWER.

112 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Außerbetriebnahme | 9

Helium-Leitungen demontieren
Die Helium-Leitungen "Supply" und "Return" sind mit Helium gefüllt und stehen unter
Druck.

1

Demontieren Sie die Helium-Supply-Leitung am Kompressor und am Gerät.

2

Demontieren Sie die Helium-Return-Leitung am Kompressor und am Gerät.

3

Stecken Sie die Blindflansche auf die Anschlüsse der 2 Helium-Leitungen.

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

113 / 122

9 | Außerbetriebnahme

INFICON

9.2 Gerät einsenden
WARNUNG
Gefahr durch gesundheitsschädliche Stoffe
Kontaminierte Geräte können die Gesundheit gefährden. Die Kontaminationserklärung
dient dem Schutz aller Personen, die mit dem Gerät in Berührung kommen.
► Füllen Sie die Kontaminationserklärung vollständig aus.

1

Nehmen Sie vor einer Rücksendung Kontakt mit uns auf und übersenden Sieeine ausgefüllte Kontaminationserklärung.
ð Sie erhalten dann von uns eine Rücksendenummer.

2

Verwenden Sie zur Rücksendung die Originalverpackung.

3

Bevor Sie das Gerät versenden, legen Sie ein Exemplar der ausgefüllten
Kontaminationserklärung bei. Siehe unten.

114 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Außerbetriebnahme | 9

Abb. 64: Kontaminationserklärung

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

115 / 122

9 | Außerbetriebnahme

INFICON

9.3 Gerät entsorgen
Das Gerät kann vom Betreiber entsorgt oder zum Hersteller gesendet werden. Das
Gerät besteht aus Materialien, die wiederverwendet werden können. Um Abfall zu
vermeiden und die Umwelt zu schonen, sollten Sie von dieser Möglichkeit Gebrauchmachen.
Beachten Sie bei der Entsorgung die Umwelt- und Sicherheitsbestimmungen Ihres
Landes.
Kennzeichen zur Rückführung in den Wiederverwertungskreislauf

Gerät darf nicht im Hausmüll entsorgt werden

116 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Zubehör und Ersatzteile | 10

10 Zubehör und Ersatzteile
10.1 Zubehör
Die nachfolgend aufgeführten Teile können zusätzlich bestellt werden.
Bezeichnung

Katalognummer

Mit 2 O-Ringen gedichtete Prüfkammer, groß551-710

Mit 2 O-Ringen gedichtete Prüfkammer, mittel

551-711

Mit 2 O-Ringen gedichtete Prüfkammer, klein

551-712

Metallgedichtete Prüfkammer, klein

551-715

Druckminderer für Spülgasversorgung:< 50 mbar rel., 10 l/min, Anschluss zum Pernicka 700H CHLD:¼ Zoll, Quetschverschraubung• für Anschluss an Gasflasche mit Gewinde gemäß551-701

CGA 580, alternativ• für Anschluss an Gasflasche mit Gewinde gemäß551-702

DIN 477, Nr. 6, alternativ• für Anschluss an Gasflasche mit Gewinde gemäß551-703

DIN 477, Nr. 10, alternativ• für Anschluss an Gasflasche mit Gewinde passend zur

551-706

chinesischen Gasflasche G518-14 RH-EXT-5

551-720-6Helium-Prüfleck, Luftleckrate 10 mbar l/s

551-721

Kupferdichtungen DN 16 CF, 10 Stück

213-451

Helium-Prüfleck, Luftleckrate 10 mbar l/s

10.2 Ersatzteile
Die Ersatzteile finden Sie in der mitgelieferten technischen Dokumentation "SpareParts CHLD700H Accumulation Leak Detector".

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

117 / 122

11 | CE-Konformitätserklärung

INFICON

11 CE-Konformitätserklärung

Abb. 65: CE-Konformitätserklärung

118 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

INFICON

Stichwortverzeichnis

StichwortverzeichnisA
Anschließen
Auspuffsystem (optional)

44

Druckluft

40

Gerät

42

Kompressor

36

Spülgas41

USB-Barcodeleser

25

USB-Drucker

25

USB-Speicherstick25

Voraussetzungen

32

Aufstellen

34
17

Kompressor

19

Auspufffilter am Gerät

22

Regeneration

22

Standby

22

C
CE-Konformitätserklärung

118

D
Datensicherung
Messdaten

85

Deinstallation

108

Auspacken
Gerät

Messen27

Druckluftversorgung trennen

110

Gerät vom Stromnetz trennen

108

Kompressor abklemmen

111

Spülgasversorgung trennen

109

Ausschalten
Gerät
Kathode im CHLD-Sensor
Kompressor
SEM-Verstärker
Auswahlmenü

9051, 5390

E
Editor für Scan-Parameter
Einschalten

51, 53Gerät

26

Kathode im CHLD-Sensor
Kompressor

B

SEM-Verstärker
Einsenden

Bedienen
Fenster "Configuration"

56

Fenster "Errors"

91

Fenster "Events"

84

Fenster "LeakTable"

85

Fenster "Locals"

84

Fenster "Measure"52, 71

Gerät
Kompressor

51, 53114
30
30

Ersatzteile

117

Externes Prüfleck anschließen

72

82

F

Fenster "MS-Panel"

82

Funktionsbeschreibung des Messprozesses

Fenster "Print Report"

81

Fenster "System"

83

Fenster "Tools"

105

Fenster "TuneUp"

106

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)

48

116

Fenster "MixedData"

Betriebsart

51, 53

Entsorgen

50

9

48

Elektrische Daten

Fenster "Mini"

Begriffsdefinitionen

86

20

K
Kalibrieren

71

Kathode im CHLD-Sensor wählen

106

Kennzeichnungen am Gerät

30

119 / 122

Stichwortverzeichnis

INFICON

Kontaminationserklärung

114

Deckel öffnen mit Load/Unload
Gitter einlegen47

montieren

45

Regeneration

88

L
Lagerung

15

Lieferumfang

14

R

M
Massenspektrum bestimmen

86

Mechanische Daten

30

Messdaten
exportieren

85löschen85

Messen50, 52täglich durchführen

88

vor jedem Wochenende durchführen

88

T
Transport

15

U

Messfenster "Measure" einstellen

52

Messfenster "Mini" einstellen

50

Messprozess konfigurieren

56

Messprozess mit Fenster "Measure" starten

77

Messprozess mit Fenster "Mini" starten

76

W

Messung manuell starten

75

Warn- und FehlermeldungenMessung vorbereiten

73

Wartung

Untergrundunterdrückung
USB-Barcodeleser

Methode10
73, 7891

Alllgemeine Hinweise

95

Methode erstellen

60

CHLD-Sensor: Filtermatte

99

Methode wählen

59

CHLD-Sensor: Lüfterfunktion kontrollieren

97

Multi-Gas wählen

70

Internes Prüfleck: Rekalibrierung

103

Rezept erstellen

64

Kalibrierung durchführen

103

Rezept wählen

63

Prüfkammer: O-Ringe wechseln

96

Schwellenwert für Grobleck-Test definieren

67

Vorpumpe: Ölstand kontrollieren

104

Single-Gas wählen

69

Methoden-Editor
Mitgeltende Dokumente

Wartungsplan

107

50, 54, 59, 60
7

Modus
Bar

54

Method

54

MID

54

Recipe

54

Scan

54

Z
Zubehör

117

P
Passwort
für zusätzliche Detailinformationen

56

zum Starten

49

Physikalische Daten

31

Prüfkammer

120 / 122

Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)