光学製品ガイド No.003

Global Support, Global Solutions.

高性能Fθレンズ
High-performance Fθ lenses 第7版

・回折限界に近い集光性能とスポット真円性

Focusing performance approaching the diffraction limit and high beam spot circularity

・高いテレセントリック性（出射光軸角度５ﾟ以下）High telecentricity (output optical axis of 5˚ or less)・広いスキャンエリア
Wide scanning area

・保護ウィンドウ標準装備
Includes a protective window as standard equipment

加工用途

Processing Applications

プリント基板 電子部品の高速・高精度穴あけ加工
High-speed, high-precision hole drilling in printed circuit boards and otherelectronic components

樹脂フィルムをはじめ各種シート材料の高速切断
High-speed cutting of various sheet materials including resin ﬁlms

各種部品の高速・高精度マーキング
High-speed, high-precision marking of various parts and components

対応波長 Compatible Wavelengths

高速スクライブ・パターニング・溶接加工
High-speed scribing, patterning, and welding

遠 赤 外 (10 . 6 µ m)〜深 紫 外 (26 6 n m)
Far-Infrared (10.6μm) to Deep-Ultraviolet (266nm)

その他、種々のアプリケーションに適用可能
Compatible with a wide range of other applications

ビームシェイパとの組合わせなど、お客様の使用目的に適した光学系設計・レンズ仕様をご提案いたします。
A wide variety of optical system designs and lens speciﬁcations are available to meet speciﬁc needs, such as for combination with a Beam shaper.

■ Fθレンズとは What is Fθ lens?
●スキャナ等で走査したレーザビームを同一平面上に集光 【光学配置模式図】Optical system layout
させるレンズです。
●走査されたビームの集光スポット位置は、スキャン角（θ）にガルバノスキャナ
Galvano scanner
比例し、その距離は、有効焦点距離
（ｆ）
との積
（f・θ）
になります。

入射瞳径（有効径）
（EPD）

第1（X）
スキャンミラー・This is a lens that focuses laser beams scanned by a scanner,
etc. on the same plane.
・The focal spot position of the scanned beam is proportional to thescan angle (θ) and its distance is the product of the effective focal
length (f) and the scan angle (θ).

1st (X) scan mirror

Entrance pupil diameter(aperture)(EPD)

第2（Y）
スキャンミラー

Fナンバー

スキャンミラー間隔
Spacing of Scan mirror

2nd (Y) scan mirror

F-number

Fθレンズでは、入射瞳径（EPD）に対する焦点距離（ｆ）の比で定義され、レンズの集光性能（明るさ）を示す値です。

有効焦点
距離
（f）

For F-theta lenses, the F-number is defined as the ratio of the focal
length (f) to the entrance pupil diameter (EPD), and is a value thatindicates focusing performance (brightness) of the lens.

スキャンミラー
レンズ間距離Fθレンズ

Distance between scan
mirror and lensFθ lens

Effective
focal
length (f)F = f/EPD※Fナンバー（F)と開口数 (NA)の関係
Relationship between F-number (F) and numerical aperture (NA)

NA = 1/2F

ワーキング
ディスタンス（WD）

スキャンエリア

Working distance (WD)

Scan area

機械振り角
（θ/2）
Mechanical scan angle(θ/2)

スキャンミラー
Scan mirror

入射瞳径（EPD）
Entrance pupil diameter(aperture) (EPD)θ

スキャンミラー
Scan mirrorθ（rad）：スキャン角（光学振り角)Scan angle(Optical scan angle)

θ

Fθレンズ

普通のレンズ
Ordinary lensFθ lens

有効焦点
距離（f）

有効焦点
距離
（f）

テレセントリック
エラー

Effective
focal
length (f)Effective
focal
length (f)Telecentric error

焦点面
（結像面）
Focal plane(Imaging plane)

焦点面（結像面）
ワーキング
ディスタンス
（WD）

Focal plane(Imaging plane)

ワーキング
ディスタンス（WD）

f ×θ

Working distance (WD)f × tan θ

Working distance (WD)■ Fθレンズの特長 Features of Fθ lens
●収差を極限まで抑えた高い集光性とワイドエリアを高次元で【集光スポットプロファイル解析例】
Spot profile analysis
バランスさせた設計。
※高集光を実現するには、Fナンバーを小さくする（有効焦点
光学設計番号：FQ1F100E20S30TA
Optical design number
距離を短く、入射瞳径を大きくする）
ことになります。
X
一方で、一般的には、
有効焦点距離が長いほど、広いスキャン0mm
7.5mm
Y
エリアを確保しやすくなります。
また、入射瞳径を小さくするとスキャンミラーを小さくでき、
高速スキャンが可能となります。
15mm
用途に合わせて、どの特性を重視するかをお選びいただくことになります。
・スキャンエリア内でのスポット形状（スポット径ばらつき、
真円度）の変化が小さい光学設計です。
7.5mm
・十分なワーキングディスタンス（WD)を確保しています。
・A high-level balance between high focusing performance with minimal aberration
and a wide area.
・In order to achieve high focusing performance, it is necessary to reduce theF-number (shorten the effective focal length and increase the entrance pupil
diameter).
On the other hand, in general, the longer the effective focal length, the easier it is
to secure a wide scan area.
Also, if the entrance pupil diameter is reduced, the scan mirror can be madesmaller, enabling high-speed scanning.
You will have to choose which characteristics to emphasize according to yourapplication.
・Optical design with small changes in spot shape (variation in spot diameter,roundness) within the scan area.
・Ensure sufficient working distance (WD).

15mm

0mm

点像分布関数解析コンター図ø10mm(1/e2)ガウシアンビーム入射
Point spread function analysis (contour)
Incident beam diameterø10mm(1/e2) Single mode(M2=1)

2

20µm

■ Fθレンズのタイプ Type of Fθ lens
テレセントリックFθレンズ
Telecentric Fθ lens

スキャンミラーテレセントリックFθレンズは、集光面（結像面）に対してビームを垂直に入射させるように設計されており、エリア内でより均一なスポットが得られます。

Scan mirror

A telecentric Fθ lens is designed so that the beam is incident perpendicular to thefocusing surface (imaging surface), resulting in a more uniform spot quality overthe entire scan area.

Fθレンズ
Fθ lens【仕様例】Specification example

テレセントリック
エラー ≒ 0ﾟ

光学設計番号：FS3F160E13S50TA

Telecentric error

Optical design number

項目 Items

仕様 Specifications

波長 Wavelength

355nm

焦点距離(FL) Effective focal length160mm

入射瞳径(EPD) (最大入射ビーム有効径)
Entrance pupil diameter (EPD) (Max. incident beam diameter)

ø13mm

スキャンエリア Scan area

50mm X 50mm

Fナンバー F number

12.3 １）

スキャンミラー間隔 Spacing of scan mirrors

23.7mm

第２スキャンミラー−レンズ間距離
Distance between scan mirror #2 and the lens

ワーキングディスタンス(WD)

焦点面
（結像面）
Focal plane(Imaging plane)【集光スポットプロファイル解析例】Spot profile analysis
X

Y

0mm

12.5mm

25mm

25mm

29.0mmWorking distance (WD)

213.1mm 2）

レンズ材質 Lens material

合成石英 Fused silica

スポット径 Spot size

ø7.9〜8.0µm 3）

テレセントリックエラー Telecentric error<1.6゜

12.5mm0mm

1）
NA0.0412）
入射ビーム平行光前提
3）
ビーム径ø13mm(1/e2)シングルモードビーム入射時の86.5%
Encircled Energy径 計算値

10µm

点像分布関数解析コンター図ø13mm(1/e2)ガウシアンビーム入射1 )NA0.041
2)Incident beam : Collimated
3)Incident beam diameter ø13mm(1/e2) Single mode(M2=1),
86.5% encircled energy spot size

Point spread function analysis (contour)
Incident beam diameter ø13mm(1/e2) Single mode(M2=1)

スキャンミラー非テレセントリックFθレンズ

Scan mirror

Non-Telecentric Fθ lens

非テレセントリックFθレンズは、よりワイドなスキャンエリアを確保するのに最適です。

Fθレンズ

A non-telecentric Fθ lens is ideal for securing a wider scanning area.

Fθ lens【仕様例】
Specification example

テレセントリックエラー

光学設計番号：FS2F633E30S300A

Telecentric error

Optical design number

項目 Items

仕様 Specifications

波長 Wavelength

532nm

焦点距離(FL) Effective focal length

633mm

入射瞳径(EPD) (最大入射ビーム有効径)
Entrance pupil diameter (EPD) (Max. incident beam diameter)

ø30mm

スキャンエリア Scan area

300mm X 300mm

Fナンバー F number

21 １）

スキャンミラー間隔 Spacing of scan mirrors

35.0mm

第２スキャンミラー−レンズ間距離
Distance between scan mirror #2 and the lens

ワーキングディスタンス(WD)

焦点面（結像面）
Focal plane(Imaging plane)【集光スポットプロファイル解析例】Spot profile analysis
X

Y

0mm

75mm

150mm

150mm

30.0mmWorking distance (WD)746mm 2）

レンズ材質 Lens material

光学ガラス Optical glass

スポット径 Spot size

ø23.0〜24.4µm 3）

テレセントリックエラー Telecentric error

< 13゜

75mm

0mm

1）
NA0.0242）
入射ビーム平行光前提
3）
ビーム径ø20mm(1/e2)シングルモードビーム入射時の86.5%
Encircled Energy径 計算値

点像分布関数解析コンター図ø20mm(1/e2)ガウシアンビーム入射1 )NA0.024
2)Incident beam : Collimated
3)Incident beam diameter ø20mm(1/e2) Single mode(M2=1),
86.5% encircled energy spot size

Point spread function analysis (contour)
Incident beam diameter ø13mm(1/e2) Single mode(M2=1)

3

20µm

■ スキャンミラー配置 Scan mirror positions●Fθレンズ は 、ガル バノシステム の 2 枚 の スキャンミラー 配 置に合 わ せ て 最 適 設 計 されて います 。
レンズ性能を発揮するには、設計値に一致したスキャンミラー配置とすることが必要です。
・The F-theta lens is optimally designed to match the arrangement of the two scan mirrors of the galvo system.
In order to demonstrate the lens performance, it is necessary to arrange the scan mirrors in accordance with the design values.

第1（X）
スキャンミラー
1st (X) scan mirror

スキャンミラー間隔

θSpacing of Scan mirror

第2（Y）
スキャンミラー
スキャンミラー − レンズ間距離
Distance between scan mirror and lens2nd (Y) scan mirrorθθ：最大入射角（光学振り角）
Maximum incident angle(Optical scan angle)※もしスキャンミラー配置が設計値と異なる場合も、出来るだけ設計値に近づけてください。
但し、その場合は、
下記のような光学特性上の変化を許容頂く、あるいはエリアを狭い範囲に限定して使用頂く等の変更が必要と予想されますのでご注意ください。
・スキャンエリア内での収差補正のバランスが変わるため、集光性能のバラツキが大きくなる可能性があります。
・スキャンミラーがFθレンズから遠くなると、レンズの開口制限により、ビームのケラレが発生する可能性があります。
・テレセントリックエラーの最大値が、設計値を超える可能性があります。
*Even if the scan mirror arrangement differs from the design value, try to make it as close to the design value as possible.
However, in that case, please note that there may be effects such as allowing changes in optical characteristics or limiting the area to a narrow range, as shown below.
・Since the balance of aberration correction within the scan area changes, there is a possibility that dispersion of focusing performance will increase.
・As the scan mirror moves farther from the F-theta lens, beam vignetting can occur due to lens aperture limitations.
・The maximum telecentric error may exceed the design value.

■ ガルバノボックスへの取り付け方法 How to attach to the galvano box
フランジ固定式 Flange fixing method

ねじ固定式 Screw fixing method
ガルバノボックス
ベースプレート

ねじ切り Screw thread
ガルバノボックス
ベースプレート

Galvo box base plate

Galvo box base plate

ねじ切り
Screw thread

フランジ
Flange※他の取り付け方法にも対応可能です。 また、各種アダプターなどもご用意いたしますので、ご相談ください。
*Other mounting methods are also available. In addition, various adapters are also available, so please contact us.

【プロファイル解析例】 光学設計番号：FQ1F450E30S200A■ ファイバレーザでの使用例 Example of use with fiber laser

Imaging profile analysis

Optical design number

X

50mm

Y
コリメートレンズ

ガルバノスキャナ

Collimating lensGalvano scanner

0mm

100mm

100mm
ファイバレーザ
Fiber laser

Fθレンズ

F-theta lens

50mm

被加工物
Workpiece
for h
high
igh
h power laser
laser processing

0mm

ファイバレーザ光の吸収を極限まで低減した
低吸収率コート適用可能です。
It is possible to apply a low-absorption coating that reduces
the absorption of fiber laser beam to the limit.

ファイバコア径ø50µm均一強度分布 3倍結像
ø50 μm core fiber, magnification X 3

4

300µm

■ 組み合わせ例 Combination examples
分岐DOEとの組み合わせによる高速同時多点穴あけ

ビームシェイパとの組み合わせ例

High-speed simultaneous multi-spot drilling in combination witha diffractive beam splitter

Example of combination with beam shaper

ガルバノスキャナ
Galvano scanner

Galvano scanner

Diffractive Beam
Splitter

Fθレンズ

Fθレンズ

F-theta lens

ビームシェイパ(集光機能分離型）

ガルバノスキャナ

分岐DOE

Fθレンズ

F-theta lens

被加工物

分岐DOE

Workpiece

Diffractive Beam
Splitter

Beam shaper(Non-focus unit type)F-theta lens

被加工物

矩形フラットトップ

Workpiece

Rectangle ﬂat top beam

●スポット位置精度は、
Fθレンズの仕様や光学配置に依存。
位置精度重視には、
Fθレンズの後への配置を推奨。

●フラットトップやリングモードスポットを高速にスキャン。
・High-speed scanning of a flat top spot or a ring mode spots.

・Spot position accuracy depends on the specifications of the F-theta lens and theoptical arrangement. If spot position accuracy prioritize, positioning behind the
F-theta lens is recommended.

非球面ビームシェイパとの組み合わせによる
マスク転写結像スキャン光学系
Mask imaging scan system in combination withaspheric beam shapers.

非球面ビームシェイパ（2枚組）
Aspheric beam shaper (Set of two lenses)

ガルバノスキャナ
Galvano scanner

コリメーションレンズCollimation lens

マスク
Mask

Fθレンズ

F-theta lens

被加工物
Workpiece

転写結像による
フラットトップ
Flat top beam

●テーパを抑えた高速穴あけ加工を実現。
・Achieves high-speed drilling with reduced taper.

5

■ 光学設計ラインアップ Optical design lineup
テレセントリック・高出力ファイバレーザ用（波長：1030nm〜1090nm、材質：合成石英）
Telecentric Fθ lens for high-power fiber laser

Wavelength

Material: Fused silica

光学設計番号

波長（nm）

有効焦点距離（mm）

Optical design number

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameter

FQ1F100E12S30TA
FQ1F100E12S35TA
FQ1F100E20S20TA
FQ1F100E20S30TA
FU1F100.3E10S35TA
FQ1F160E14S50TA
FQ1F165E12S50TA
FQ1F180E20S100TA
FQ1F210E10S130TA
FQ1F240E20S75TA
FQ1F330E10S80TA

1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090

100
100
100
100
100.3
160
165
180
210
240
330

入射瞳径（ø mm）
12
12
20
20
10
14
12
20
10
20
10

（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

30
35
20
30
35
50
50
100
130
75
80

2.5
4.1
2.7
3.3
1.2
2
3.7
2
2.2
3.5
3.1

100 × 123
130 × 123
116 × 123
106 × 121
99 × 79
130 × 110130 × 176
200 × 197
227 × 160
137 × 130
118 × 180

スキャンエリア

マウント概寸備考
Remarks

*2

*1,*2

*2

*1 標準在庫品 Standard stock item *2 取付部：ねじ固定式（Ｍ８５）Attachment structure : Screw fixing method

非テレセントリック・高出力ファイバレーザ用（波長：1030nm〜1090nm、材質：合成石英）
Non-telecentric Fθ lens for high-power fiber laser

Wavelength

Material: Fused silica

光学設計番号

波長（nm）

有効焦点距離（mm）

Optical design number

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameterFU1F163.5E15S90TA
FQ1F277E20S90TA
FQ1F400E25S200A
FQ1F450E30S200A

1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090

163.5
277
400
450

入射瞳径（ø mm）
15
20
25
30

（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

90
90
200
200

5.7
6.7
11.3
10.8

150 × 99
108 × 70
160 × 91
166 × 118

スキャンエリア

マウント概寸備考
Remarks*1,*2*2*1 標準在庫品 Standard stock item *2 取付部：ねじ固定式（Ｍ８５）Attachment structure : Screw fixing method

テレセントリック・ファイバレーザ用（波長：1030nm〜1090nm、材質：光学ガラス）
Telecentric Fθ lens for fiber laser

光学設計番号
Optical design number

FS1F50E20S10TA
FS1F80E20S25TA
FS1F120E14S55TA
FS1F135E30S40TA
FS1F160E30S40TA

Wavelength

Material: Optical glass

波長（nm）

有効焦点距離（mm）

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameter

1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090

50
80
120
135
160

入射瞳径（ø mm）
20
20
14
30
30

（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

10
25
55
40
40

3.4
2
3.1
3
2.5

130 × 123
150 × 138
129 × 132130 × 150
130 × 110

スキャンエリア

マウント概寸備考
Remarks*2*2*2*1 標準在庫品 Standard stock item *2 取付部：ねじ固定式（Ｍ８５）Attachment structure : Screw fixing method

非テレセントリック・ファイバレーザ用（波長：1030nm〜1090nm、材質：光学ガラス）
Non-telecentric Fθ lens for fiber laser

光学設計番号
Optical design number

FS1F45E10S12A
FS1F70E20S15TA
FS1F80E10S30TA
FS1F100E20S25TA
FS1F100E25S40A
FS1F163E14S80TA
FS1F163E20S90A
FS1F200E15S120A
FS1F200E20S100A
FS1F300E25S50TA
FS1F310E30S210A
FS1F370E20S170A
FS1F400E20S200A
FS1F450E30S300A
FS1F630E20S300A

Wavelength

Material: Optical glass

波長（nm）

有効焦点距離（mm）

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameter

1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090
1030〜1090

45
70
80
100
100
163
163
200
200
300
310
370
400
450
630

入射瞳径（ø mm）
10
20
10
20
25
14
20
15
20
25
30
20
20
30
20

（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

12
15
30
25
40
80
90
120
100
50
210
170
200
300
300

9.9
7.4
5.1
5.2
9.6
6.1
15.3
16.0
12.8
7
25.8
20
12.8
26.3
13.6

100 × 125
152 × 221
120 × 168
150 × 174
145 × 181130 × 86
145 × 84
170 × 200
136 × 177
110 × 159
210 × 257
145 × 168130 × 75
210 × 218
130 × 73

スキャンエリア

マウント概寸備考
Remarks*2*2*2*2 取付部：ねじ固定式（Ｍ８５）Attachment structure : Screw fixing method
備考欄に*2がない製品は 取付部：フランジ固定式 Products without *2 in Remarks column: Attachment structure Flange fixing method

各種カスタマイズ対応いたしますので、別途お問い合わせください。
Various customized models can be provided. Please inquire regarding specific needs.

・詳細仕様、マウント形状、価格につきましては別途お問い合わせください。
・製品の仕様は予告なく変更される場合がございます。
・Please inquire regarding detailed specifications, mounting configurations, and prices.
・Product specifications are subject to change without prior notice.

6

テレセントリック・YAG 2倍波グリーンレーザ用（波長：532nm、材質：光学ガラス or 合成石英）
Telecentric Fθ lens for green laser

Wavelength

Material: Optical glass or Fused silica

光学設計番号

波長（nm）

有効焦点距離（mm）

Optical design number

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameterFS2F70E10S25TA
FS2F87E15S20TA
FU2F100E10S35TA
FS2F125E9S45TA
FU2F163.9E10S90TA
FS2F200E15S50TA
FS2F206.3E10S50TA
FS2F230E20S100TA
FS2F400E20S50TA

532
532
532
532
532
532
532
532
532

70
87
100
125
163.9
200
206.3
230
400

（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

Remarks

25
20
35
45
90
50
50
100
50

4.9
0.7
1.3
1.9
4.9
3.5
0.7
4.7
3.1

150 × 134
115 × 132
99 × 79114 × 109
122 × 98
90 × 66
90 × 68
163 × 153
110 × 87

2*,4*
4*
1*,2*,3*3*
1*,2*,3*
4*
4*
4*
2*,4*

スキャンエリア

入射瞳径（ø mm）
10
15
10
9
10
15
10
20
20

マウント概寸備考*1 標準在庫品 Standard stock item *2 取付部：ねじ固定式（Ｍ８５）Attachment structure : Screw fixing method *3 材質：合成石英 Material: Fused silica *4 材質：光学ガラス Material: Optical glass

非テレセントリック・YAG 2倍波グリーンレーザ用（波長：532nm、材質：光学ガラス）
Non-telecentric Fθ lens for green laser

Wavelength

Material: Optical glass

光学設計番号

波長（nm）

有効焦点距離（mm）

Optical design number

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameterFS2F100E20S20TA
FS2F165E14S90A
FS2F250E7.5S160A
FS2F250E15S120A
FS2F370E20S170A
FS2F600E30S230A
FS2F633E30S300A

532
532
532
532
532
532
532

100
165
250
250
370
600
633

（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

20
90
160
120
170
230
300

5.2
9.8
10.9
23
19.9
8.5
13

150 × 174
174 × 216
160 × 83
140 × 172145 × 164
206 × 162
158 × 88

スキャンエリア（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

10
20
34
35
36
25
35
50
50
50
50
50
35
75
106
100
54
75
50
110

0.6
2.9
2.5
1.2
1.3
3.5
3
2.9
2.7
1.8
1.2
1.6
0.9
3.2
0.8
0.6
4.5
3.3
3.1
3.4

81 × 153
105 × 111
130 × 113
99 × 79
130 × 110122 × 125
120 × 111
125 × 149
120 × 150
120 × 96
154 × 124
120 × 110135 × 141
122 × 130
197 × 268
192 × 248
85 × 72
131 × 120130 × 87
135 × 244

スキャンエリア

入射瞳径（ø mm）
20
14
7.5
15
20
30
30

マウント概寸備考
Remarks

テレセントリック・YAG 3倍波UVレーザ用（波長：355nm、材質：合成石英）
Telecentric Fθ lens for UV laser

Wavelength

Material: Fused silica

光学設計番号

波長（nm）

有効焦点距離（mm）

Optical design number

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameterFS3F77E15S10TA
FS3F86E7S20TA
FS3F100E4S34TA
FU3F100.2E10S35TA
FS3F100E10S36TA
FS3F100E12S25TA
FS3F100E12S35TA
FS3F110E9S50TA
FS3F112E8S50TA
FS3F125E9S50TA
FS3F150E15S50TA
FS3F160E13S50TA
FS3F175E30S35TA
FS3F240E13S75TA
FS3F256.8E6S106TA
FS3F290E10S100TA
FS3F300E4S54TA
FS3F350E30S75TA
FS3F400E20S50TA
FS3F500E10S110TA

355
355
355
355
355
355
355
355
355
355
355
355
355
355
355
355
355
355
355
355

77
86
100
100.2
100
100
100
110
112
125
150
160
175
240
256.8
290
300
350
400
500

入射瞳径（ø mm）
15
7
4
10
10
12
12
9
8
9
15
13
30
13
6
10
4
30
20
10

マウント概寸備考
Remarks

*1,*2

*2

*2
*2

*1 標準在庫品 Standard stock item *2 取付部：ねじ固定式（Ｍ８５）Attachment structure : Screw fixing method

非テレセントリック・YAG 3倍波UVレーザ用（波長：355nm、材質：合成石英）
Non-telecentric Fθ lens for UV laser

Wavelength

Material: Fused silica

光学設計番号

波長（nm）

有効焦点距離（mm）

Optical design number

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameterFS3F170E10S65A
FS3F350E15S120A
FS3F400E10S200A
FS3F430E20S100A
FS3F630E30S300A
FS3F660E20S300A

355
355
355
355
355
355

170
350
400
430
630
660

（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

65
120
200
100
300
300

6.3
14
12.1
5.9
19.9
8.6

104 × 66
135 × 201130 × 87
136 × 207
180 × 202
229 × 229

スキャンエリア

入射瞳径（ø mm）
10
15
10
20
30
20

マウント概寸備考
Remarks*2*2*2 取付部：ねじ固定式（Ｍ８５）Attachment structure : Screw fixing method

テレセントリック・YAG 4倍波UVレーザ用（波長：266nm、材質：合成石英）
Telecentric Fθ lens for DUV laser

Wavelength

Material: Fused silica

光学設計番号

波長（nm）

有効焦点距離（mm）

Optical design number

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameterFS4F100E4S34TA
FS4F100E10S30TA
FS4F125E9S40TA
FS4F220E10S80TA
FS4F250E10S50TA

266
266
266
266
266

100
100
125
220
250

入射瞳径（ø mm）
4
10
9
10
10

（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

34
30
40
80
50

2.5
2.3
1.7
4.5
4.8

130 × 113
110 × 143
128 × 103
127 × 117
89 × 96

スキャンエリア

マウント概寸備考
Remarks*2*2*2 取付部：ねじ固定式（Ｍ８５）Attachment structure : Screw fixing method
備考欄に*2がない製品は 取付部：フランジ固定式 Products without *2 in Remarks column: Attachment structure Flange fixing method7テレセントリック・CO2レーザ用（波長：9.3〜9.4µm、材質：ZnSe ＋ Ge）
Telecentric Fθ lens for CO2 laser

Wavelength

Material

光学設計番号

波長（µm）

有効焦点距離（mm）

Optical design number

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameter

FT9F68.9E25S33TA
FT9F75E30S35TA
FT9F80E27S33TA
FT9F80E30S45TA
FT9F89E20S50TA
FT9F100E15S65TA
FT9F102E25S55TA
FT9F103E30S40TA
FT9F120E25S70TA

9.4
9.4
9.3
9.4
9.3
9.3
9.4
9.3
9.4

68.9
75
80
80
89
100
102
103
120

（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

33
35
33
45
50
65
55
40
70

6.3
5
4.5
4.8
4.9
2.9
3.4
4
3.5

130 × 63
127 × 64
145 × 71
140 × 76
140 × 70
145 × 80
156 × 72
170 × 92
154 × 87

スキャンエリア（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

50
100
150

9
14.5
17.1

80 × 1480 × 1480 × 14

スキャンエリア（mm角）

テレセントリック
エラー（度）（径ømm×長mm)

Scan area

Telecentric error

Size (diameter x length)

75
106
100
200
250
300

11
13.7
5.2
11.8
13.6
16.2

99 × 33
127 × 44
180 × 107170 × 79
190 × 88
87 × 33

スキャンエリア

入射瞳径（ø mm）
25
30
27
30
20
15
25
30
25

マウント概寸備考
Remarks

非テレセントリック・単レンズCO2レーザ用（波長：10.6µm、材質：ZnSe）
Non-telecentric singlet Fθ lens for CO2 laser

Wavelength

Material

光学設計番号

波長（µm）

有効焦点距離（mm）

Optical design number

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameter

FT1F120E15S50
FT1F190E15S100
FT1F270E15S150

10.6
10.6
10.6

入射瞳径（ø mm）

120
190
270

15
15
15

マウント概寸備考
Remarks

非テレセントリック・組レンズCO2レーザ用（波長：10.6µm、材質：ZnSe）
Non-telecentric multiple Fθ lens for CO2 laser

Wavelength

Material

光学設計番号

波長（µm）

有効焦点距離（mm）

Optical design number

Wavelength

Effective focal length Entrance pupil diameter

FT1F125E12S75
FT1F150E16S106
FT1F200E30S100
FT1F375E30S200
FT1F420E30S250
FT1F570E15S300

10.6
10.6
10.6
10.6
10.6
10.6

入射瞳径（ø mm）

125
150
200
375
420
570

12
16
30
30
30
15

マウント概寸備考
Remarks

備考欄に*2がない製品は 取付部：フランジ固定式 Products without *2 in Remarks column: Attachment structure Flange fixing method
各種カスタマイズ対応いたしますので、別途お問い合わせください。
Various customized models can be provided.Please inquire regarding specific needs.

・詳細仕様、マウント形状、価格につきましては別途お問い合わせください。
・製品の仕様は予告なく変更される場合がございます。
・Please inquire regarding detailed specifications, mounting configurations, and prices.
・Product specifications are subject to change without prior notice.

■ ハードコート保護ウインドウ（オプション）Hard-coated protective window (optional)
最表面にDLC（ダイヤモンドライク
カーボン）をコーティングすることで傷がつきにくく、
クリーニング耐性を大幅に向上。
The outermost surface is coated with DLC(diamond-like carbon) to prevent scratches andsignificantly improve cleaning resistance.

材質：ZnSe、もしくはGeMaterial: ZnSe or Ge

ZnSeハードコート保護ウインドウ
ZnSe hard-coated protective window● ZnSeダストを吸い込まないこと。Do not inhale ZnSe dust.

●火中に廃棄しないこと。Do not dispose by incineration.

● 酸、アルカリに浸さないこと。Do not dip in acids or alkalis.

●レンズは酸やアルカリとは区別して保管してください。Please store away from acids and alkalis.

● ZnSeを用いた光学部品には毒物に指定されているZnSeが含まれますので、廃棄の際は都道府県指定の産業廃棄物処理業者に処理を委託してください。

警告

Disposal should be in compliance with all applicable laws and regulations.

TOKYO

NAGOYA

OSAKA(052)589 - 3873
東京営業グループ TEL(03)6406-2635 名古屋営業グループ TELTEL(0565)26 - 4370[豊田] 大阪営業グループ TEL(06)6221-3600
流通販売部 東京市販グループ TEL(03)6406-2636 名古屋市販グループ TEL(052)589-3873
大阪市販グループ TEL(06)6221-3700

直需営業部

製造元
営業部

東京 TEL (03)6406-2814 中部 TEL (052)589-3840 大阪 TEL (06)6221-3900>> 切削工具の最新情報を発信中 <<〒664-0016 兵庫県伊丹市昆陽北1−1−1
フリーダイヤル

いい工具

110番

0120 -159110

技術相談サービス 9:00 〜 12:00、13：00 〜 17：00（土・日・祝日を除く）

R6(2023.5)VII 1104 SN