絶縁劣化・特性評価テスタ

Insulation Degradation Evaluation System

SIR 13

SIR 13 mini

SIR 13 SLIM特長
● 独自に開発した SMU 計測ボードにより、業界最高水準の精度と高速測定を実現。

● 全 CH に微小電流計を備え、絶縁抵抗値を連続かつ高速 20msecで測定し、瞬時に発生・終息するエレトクロケミカルマイグレーション(イオンマイグレーション ) 現象を、正確に捉えます。

● 印加電圧の違う計測ボードを自由に選択でき、様々な用途に対応可能です。
● 拡張性や移動性、一体性など、試験目的に応じて選べる3 種類の筺体。
● 高電圧ユニットを使用する事で、最大 10kV 迄の電圧印加で絶縁評価をすることが可能です。

専用設計の SMU 計測ボードにより、業界最高水準の精度でエレトクロケミカルマイグレーション (イオンマイグレーション )・絶縁抵抗・絶縁特性評価の同時測定が可能です。
エタックでは SMU 計測ボードを独自に開発し、SIR 13 全モデルに採用。業界最高水準の測定精度を実現しました。
また、印加電圧の違う計測ボードを自由に選択でき、様々な用途に対応可能です。
SIR 13 シリーズはマイグレーション現象に代表される絶縁劣化測定だけでなく、材料開発段階における絶縁特性評価など、幅広い用途に対応する絶縁劣化・特性評価テスタです。

■ ユニット構成（例）mini 筐体
標準筐体

SLIM 筐体

筺体には、試験目的に応じ標準
筺体（SMUボード最大 8 枚）
、mini（同3 枚）、SLIM（ 同 1 枚 ）の 3 種類があります。

温度計測ボード×1
250V フォースコモンボード×3

500V ボード×3
250Vパーピンボード×2

1kV ボード×3

250Vハイプレシジョン
ボード×1■ SMU ボード種別
SMU ボード
250V フォースコモン

印加電源コモン

250V パーピン

ch 数
16/ SMU

1kV ボード

8ch 毎
1ch 毎

250V ハイプレシジョン
500V ボード

試験条件設定パーピン

8 / SMU

試料ケーブル2 線式 (Low 側シールド )2 線式 (High/Low シールド )備考ーーーー

8ch 毎

2 線式 (Low 側シールド )±100Vパルスー
パルスストレス印加可能
印加極性選択可能■ 測定ケーブル

2 線式試料ケーブル
500V/1kV 用印加試料ケーブル
500V/1kV 用測定試料ケーブル（ケーブル長：2m 線経：1.25mm） （ケーブル長：2m 線経：1.52mm） （ケーブル長：2m 線経：1.30mm）※1：2 重シールド (トライアキシャル ) やケーブル長等の仕様はオプションで変更可能です。

中継ケーブル ※1（ケーブル長：2m）

■ SMU ボード測定回路
250V フォースコモンボード

250Vパーピン/250VHP/500V/1kV ボード

SMUボード
DC
定電圧源

電圧計

DC
定電圧源

試料電流計

試料電流計

・・・
試料電流計

・16ch/SMU で 8ch ごとに直流電圧源を搭載し、チャンネルごとに直流電流計を搭載。片極共通試料や認定評価などに最適です。

SMUボード
電圧計

DC
定電圧源

電圧計DC
定電圧源

電圧計

試料電流計

試料電流計

・・・
試料

電流計

・チャンネルごとに直流電圧源と直流電流計を搭載。車載部品など､高電圧を要求される試験に最適です。

■ エレクトロケミカルマイグレーション
測定経過グラフマイグレーショングラフ

マイグレーション発生後のデータ（128 ポイントを記録）

マイグレーション発生前のデータ（20msec, 151ポイントを記録）

絶縁劣化の状況を簡単な操作でグラフ化することが可能です。上のグラフは、時間経過による絶縁抵抗変化を示しています。
測定の後半でエレクトロケミカルマイグレーションが多発していることが判ります。また、エレクトロケミカルマイグレーションの発生から終息までの測定結果を個別グラフに表示できます。
（右図）

プレビアス (Previous) 機能

イオンマイグレーションが発生してから終息するまでの151ポイントのデータを収録することができます。
さらに、250V 系 SMU ボードではイオンマイグレーションが発生する前から20msec 間隔のデータとして 128 ポイントを記録。現象発生に至るまでの変化を捉えることで、より解析しやすくなりました。

■ エレクトロケミカルマイグレーション測定モードSIR13 のエレクトロケミカルマイグレーションの測定モードには、時間 / ポイントトリガ/グループトリガの 3 種類あります。
時間モード

ポイントトリガ／グループトリガ
抵抗値[Ω]

抵抗値[Ω]

終息しきい値[Ω]発生しきい値[Ω]発生しきい値[Ω]終息しきい値[Ω]

発生域

非発生域

発生域

非発生域

発生域

非発生域

非発生域

時間

非発生域

発生域

測定終了

時間

時間モードとは、試験開始から時間満了まで、エレクトロケミカルマイ

ポイントトリガとは、エレクトロケミカルマイグレーションが発生しグレーションの検知後も、電圧印加を継続しデータ収録を行います。

終息した時、その CH のみ電圧印加を停止し、データ収録を終了

エレクトロケミカルマイグレーションの検出は上図のように行われします。エレクトロケミカルマイグレーションの検出は上図のようにます。

行います。
グループトリガとは、基本的にポイントトリガと同じですが、エレクトロケミカルマイグレーションが発生した CH を含むグループ全体のの電圧印加を停止し、データ収録を終了します。

SIR13 SPECIFICATION
製品名

SIR13

ボード名

250V フォースコモン

250Vパーピン

測定抵抗範囲320 Ω〜 2500TΩ

測定 ch 数(システム最大 CH 数 )16(128)電レン

電圧設定

範8(64)
25Vレンジ/250Vレンジ

500Vレンジ

1kVレンジ

0 〜 250V

0 ～ 25V/0 ～ 250V

0 〜 500V

0 〜 1kV

印

0.01V

0.001V/0.01V± (0.1% + 0.3V)± (0.01%+12.5mV)/ ± (0.01%+125mV)

加精度

最大出

力256mW/ch

グ ル ー プ 数8ch/グループ気

最大負荷容量200mW/ch

電基 本 精 度

流
特測32nA レ ン ジ± (0.1% + 64pA)

性定周320μAレンジ
3.2μAレンジ
32nAレンジ
320pAレンジ
Autoー± (0.1% + 0.32μA)ー± (0.1% + 3.2nA)

320pA レ ン ジ± (0.1%+3.2μA)± (0.1%+0.32μA)± (0.1%+64pA)± (0.3%+640fA)

20msec/16ch(リークチェック時  400μsec/16ch)

定

プレビ アス機 能3300pF/ch

3.2mAレンジ
320μAレンジ
3.2μAレンジ
32nAレンジ
Auto± (0.1%+3.2nA)ー

期

300mW/ch2μF/ch320μA レンジ

3.2 μ A レン ジ

320μAレンジ
3.2μAレンジ
32nAレンジAutoー± (0.1% + 0.32μA)± (0.1% + 3.2nA)ー

20msec/8ch(リークチェック時  400μsec/8ch)± (0.1% + 64pA)ー

40msec/8ch(リークチェック時  400μsec/8ch)

有測定条件割付± (0.1% + 1.2V)

1ch/グループ

320μAレンジ
3.2μAレンジ
32nAレンジ
Autoジ

0.1V± (0.1% + 0.6V)

200mW/ch0.47μF/8ch

3.2mA レ ン ジ

測

1kV
320 Ω～ 1000TΩ

250Vレンジ本※1500V
320 Ω～ 500TΩ

囲基ン

320 Ω～ 250P Ωジ

設 定 分 解 能レ

250Vハイプレシジョン
32 Ω～ 2500TΩ

8ch/ 条件

無1ch/ 条件8ch/ 条件※1：上記精度は、23℃± 5℃での精度です。

拡張ユニット※詳細はお問合せください。

高電圧ユニット HV-1500 / 3000 / 6000 / 10000

高電圧ユニットを追加することで、最大 10kV までの印加が可能に！
基本性能 ・最大印加電圧・最大測定抵抗・チャンネル数：1.5kV / 3kV / 6kV / 10kV：1500P Ω / 3000P Ω / 6000P Ω / 10000P Ω：8ch 〜 64ch

・印加電圧レンジ ：25V / 250V / HV ※ 2・測定電流レンジ ：3.2 ｍ A / 320μA / 3.2μA / 32nA / 320pA ※ 3・印加方式：パーピン (1電源 /ch)

※ 2：HV レンジは、各高電圧ユニット毎の最大印加電圧レンジです。 ※ 3：3.2mAレンジと 320pAレンジはどちらか一方の選択となります。

パルスストレス±100Vパルスボードを使用すると、最大で 25kHz のパルスを出力することができます。

+V

条件設定では、左図のように t1 〜 t4 の時間と電圧値を設定することで自由に波形を作り出すことができます。

0V-V

t1t2

t3+V-Vt1 〜 t4

t4：0 〜 +100V：0 〜 -100V：0sec･20μsec 〜 1sec

信頼性試験のトータルパートナー

お問い合わせは楠本化成株式会社 エタック事業部
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