Visionäre
Sensortechnologie
VakuummessungErfahrung undLeidenschaft
INFICON bietet Ihnen präzise Druckmesstechnik und
qualitativ hochwertige Komponenten für alle Vakuumsysteme. Unsere keramischen Kapazitätsmembranmessgeräte bieten bessere Genauigkeit, Stabilität undlängere Lebensdauer als herkömmliche Produkte mit
Metallmembran.
INFICON erfand und entwickelte Vakuum-Kombunationsmessgeräte, welche mehrere Technologien in
einem Gerät vereinen. Dies ermöglicht eine genaue
Messung eines breiten Spektrums an Drücken, bei
gleichzeitig reduzierter Komplexität und zu geringeren
Kosten.

1850/51

1890

1946

Mit 150 Jahren Erfahrung in der Vakuumtechnik ist
INFICON heute globaler Marktführer für Vakuummessgeräte. INFICON wurde als unabhängige Gesellschaft
mit einer neuen Marktpräsenz aufgestellt und verfügtüber erstklassige Produktionsstätten sowie Verkaufsund Servicestellen auf der ganzen Welt. Der Servicebereich umfasst das gesamte Spektrum von Entwicklung, Fertigung und Verkauf innovativer Produkte in der
Vakuumindustrie.

1967

1969

1976

1987

1993

1995

2000

INFICONLEYBOLDCOLOGNE

W.C.
HERAEUSHANAUGERÄTEBAU-ANSTALTBALZERSARTHURPFEIFFERWETZLAR2 | V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G

V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G | 3

INFICON auf einen
Blick

MASSENSPEKTROMETERSTEUER- UND ANZEIGEGERÄT
FÜR MESSRÖHRENVAKUUM-MANOMETER

Produkte und Anwendungen
Certificate
SQS herewith certifies that the company named below has a management system which meets therequirements of the standards specified below.

INFICON AG

Alte Landstrasse 69496 Balzers
Liechtenstein

Katastrophenschutz
Display

Scope of certification

Umwelt, Gesundheit und Sicherheit

According to appendix

na

g em

ISO 9001:2015
ISO 14001:2015

Scope(s) 18

sqs.chent Sy

st e

Optik

Militär

Vacuum technology, analytics and surface engineerings

Cer t i f i ed M

aField of activitym

INFICON bietet Geräte und Komponenten für die
Vakuummessung, Gasanalyse, Messtechnik und fortgeschrittene Prozesssteuerung über Restgas-Analysegeräte (Massenspektrometer), Helium-Dichtheitsprüfgeräte, Multigas-Dichtheitsprüfgeräte, Steuerungs- undÜberwachungsgeräte zur Dünnschichtabscheidung,
RF-Sensoren sowie Software für Sensorintegration und
Analyse. Kältemittel-Lecksuchgeräte von INFICON
sind die anerkannten Marktführer in der Klima- undKältetechnik sowie für die Qualitätskontrolle am Montageband in der Automobil- und Fertigungsindustrie. Fürden Service im Ausseneinsatz bietet INFICON tragbare
Kältemittel-Lecksuchgeräte, Kältemittel-Füllwaagen,Kältemittel-Rückgewinnungsgeräte und andere Servicegeräte. Systeme von INFICON zur Identifizierung
von Chemikalien werden auf der ganzen Welt vonMitarbeitern in der Notfallhilfe, beim Militär und von Sicherheitsdiensten sowie bei Umweltprüfungsinstituten
eingesetzt.

byNormative basis

Halbleiter

Quality Management System
Environmental Management System

Solar

nd

Versorgungswirtschaft

la
zer

it

Sw

Alternative Energien und Petrochemie

Validity 23. 11. 2018 – 22. 11. 2021
Issue 23. 11. 2018Reg. no. H13036

X. Edelmann, President SQS

F. Müller, CEO SQSSwiss Association for Quality andManagement Systems SQS
Bernstrasse 103, 3052 Zollikofen, Switzerland

Swiss Made

Halbleiter- und Vakuumbeschichtung
Allgemeine VakuumanwendungenSicherheit und Energie
Kühlung, Klimaanlagen und Automobilindustrie

Qualitätsstandards
Für INFICON ist Qualität nicht auf die
Produkte beschränkt. Unser wichtigstes
Ziel ist es, die Bedürfnisse und Erwartungen der Kunden wie Copy Exactly!
und Change Control (CE/CC) zu erfüllen. Total Quality Management ist integraler Bestandteil
des Denken und Handelns für alle Mitarbeiter undLieferanten von INFICON. INFICON ist nach ISO 9001
und ISO 14001 zertifiziert. Diese Zertifizierungen ermöglichen es uns, Produkte von gleichbleibend hoher
Qualität herzustellen und gleichzeitig die Auswirkungenauf unsere Umwelt und die natürlichen Ressourcen,
die wir in unseren Prozessen verwenden, genau zuüberwachen. Seit Herbst 2008 sind unsere Produkte
ROHS- beziehungsweise WEEE-konform!

CERTIFICATE

Forschung und Entwicklung

Kältetechnik

Vakuumöfen, Metallurgie, Analytik

Klimatechnik

Industrielle Vakuumbeschichtung

Automobilindustrie

SQS and IQNet Partner hereby states that the organization

INFICON AG
Alte Landstrasse 69496 Balzers
Liechtenstein

has implemented and maintains aManagement System
for the following scope(s):According to appendix SQS registration number H13036
which fulfills the requirements of the following standard(s):ISO 9001:2015 Quality Management System
ISO 14001:2015 Environmental Management System

Verpackung

Wartungswerkzeuge

Issued on: 2018-11-23
Expires on: 2021-11-22
This attestation is directly linked to the IQNet Partner’s original certificate and shall not be used asa stand-alone document

Registration Number: CH - H13036

Alex Stoichitoiu
President of IQNet

Felix Müller
CEO SQS

IQNet Partners*:
AENOR Spain AFNOR Certification France APCER Portugal CCC Cyprus CISQ Italy
CQC China CQM China CQS Czech Republic Cro Cert Croatia DQS Holding GmbH Germany FCAV Brazil
FONDONORMA Venezuela ICONTEC Colombia Inspecta Sertifiointi Oy Finland INTECO Costa Rica
IRAM Argentina JQA Japan KFQ Korea MIRTEC Greece MSZT Hungary Nemko AS Norway NSAI Ireland
NYCE-SIGE México PCBC Poland Quality Austria Austria RR Russia SII Israel SIQ Slovenia
SIRIM QAS International Malaysia SQS Switzerland SRAC Romania TEST St Petersburg Russia TSE Turkey YUQS Serbia
IQNet is represented in the USA by: AFNOR Certification, CISQ, DQS Holding GmbH and NSAI Inc.
* The list of IQNet partners is valid at the time of issue of this certificate. Updated information is available under www.iqnet-certification.com

VAKUUMKOMPONENTEN UND
DURCHFÜHRUNGEN
4 | V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N GLECKSUCHGERÄTE

DÜNNSCHICHT-STEUERGERÄTEV I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G | 5

Experten für Präzisionsvakuummessung
Kapazitive Membranmessgeräte (CDG) messen Unterdrücke dank der einzigartigen INFICON-Keramikzelle
unabhängig von der Art des Gases. CDGs bieten die
höchste Korrosionsbeständigkeit bei unübertroffener
Stabilität über viele Jahre hinweg.
Um alle individuellen Anwendungsbedürfnisse abzudecken, gibt es verschiedene INFICON-CDGs vom kleinen,

kostengünstigen PorterTM über den temperaturkompensierten SKY CDG025D bis hin zu den Messgeräten der
Reihen SKY®, EdgeTM und StripeTM. Für Kalibrationen ist
Cube CDGSci die erste Wahl.
CDGs von INFICON sind mit allen branchenüblichen
Vakuumflaschanschlüssen erhältlich und können an andere angepasst werden. Dank einer Vielfalt an elektri-

schen Schnittstellenoptionen, einschliesslich EtherCATFeldbus, ist die Integration äusserst einfach.
INFICON bietet auch Druckschalter für die Prozesssteuerung und druckabhängige Schaltsperren an. Ausserdem unterstützt INFICON Innovationen durch die
Entwicklung passgenauer Sensorlösungen, wie die derSpot Reihe, und andere kundenspezifische Lösungen.

Kapazitive Membranmessgeräte
Hot IonPorter™ CDG020D
Temperaturkompensiertes
kapazitives Membranmessgerät

Cold
CathodeHigh
VacuumUltra High
Vacuum
10-11

10-7

Capacitance
Diaphragm

PiraniMediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

MediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

1000

Temperaturgeregeltes kompaktes
kapazitives Membranmessgerät

Genau und gasartunabhängig
Kompakt, kleinstes Gerät in seiner Klasse

Kompakt, spart wertvollen Werkzeugraum
Hohe Lebensdauer dank doppeltem Sensorschutz
Korrosionsbeständiger Kreamiksensor• Sterilisation• Vakuumbeschichtung• Vakuumdruck-Monitoring

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)SKY® CDG025D
CDG025D-X3

10-11

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)High
VacuumUltra High
Vacuum10-7• Halbleiterfertigung und andere Prozesse mithoher Beanspruchung• Chemische und korrosive Anwendungen• Sterilisation

MediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

MediumVacuum10-3

Stripe® CDG100Dhs

Low
Vacuum1

1000

Temperaturkompensiertes
kapazitives Membranmessgerät

SKY® CDG045D
CDG200D• 
Atomlagenabscheidung• 
Hochgeschwindigkeits-Prozesskontrolle• 
PVD, CVD, Ätzen
10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)High
VacuumUltra High
Vacuum
10-11

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)10-7

MediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

Temperaturgeregeltes
kapazitives Membranmessgerät

6 | V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G

MediumVacuum10-3

Cube® CDGSci

Low
Vacuum1

1000

Temperaturgeregeltes ReferenzKapazitätsmembranmessgerät
Echte Hochpräzisions-Vakuummessung
Stabile Messwertausgabe - PTB-geprüft
Flexible Kommunikation durch moderne, digitale
Kommunikationsschnittstellen

Sehr genau und gasartunabhängig
Hohe Lebensdauer dank doppeltem Sensorschutz
Korrosionsbeständiger Keramiksensor• Halbleiterfertigung und andere Prozesse mithoher Beanspruchung• Chemische und korrosive Vakuumanwendungen• 
Qualitäts- und ReferenzdrucküberwachungTemperaturgeregeltes HochgeschwindigkeitsKapazitätsmembranmessgerät
Ansprechzeit unter 1 ms
Felexible Integration durch EtherCAT
Schnittstelle
Korrsosionsbeständiger Keramiksensor

Sehr genau und gasartunabhängig
Hohe Lebensdauer und Temperaturstabilität
Korrosionsbeständiger rein keramischer Sensor• Halbleiterfertigung und andere Plasmaprozesse• 
Industrielle Vakuumanwendungen• 
Genaue Druckmessung

Edge® CDG045D2
CDG100D2• 
Transferstandard• 
Primäres Referenzmessgerät• 
Forschung
10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G | 7

Experten für Präzisionsvakuummessung

Anwendungsspezifische CDG-Lösungen
Hot IonSpot® CDS500D
Temperaturkompensierter OEMKapazitätsmembransensor

Cold
CathodeHigh
VacuumUltra High
Vacuum
10-11

10-7

Capacitance
Diaphragm

PiraniMediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

MediumVacuum10-3

Remote CDG

Low
Vacuum
1

1000

Die Standard geheizten
CDG passen nicht in Ihre Anlagenumgebung?
Geheizte CDG mit Remote-Funktion könnten

Ausgezeichnete Wiederholbarkeit undhervorragende Langzeitstabilität
Kurze Ansprechzeit
Korrosionsbeständiger Keramiksensor

die perfekte Lösung sein.

• 
Zur Integration in Vakuumgeräte und -anlagen

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)VSA / VSD200
Absolut- oder DifferenzVakuumschalter

Kundenspezifisch10-11

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)High
VacuumUltra High
Vacuum10-7• Geringerer Platzbedarf• Einsatz in heissen Umgebungen möglich• Felderprobte Wiederholbarkeit und Genauigkeit

MediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

Korrosionsbeständige Edelstahlausführung
Hochgenauer Sensor
Hervorragende Langzeitstabilität

MediumVacuum
10-3

UHP Porter

Low
Vacuum1

1000

Sie benötigen ein Ultra High Purity-kompatibles CDG?
Die xParts-Beschichtung von INFICON hebt die
Produktleistungsfähigkeit auf UHP-Niveau – passend
zur reinraumfähigen Doppelverpackung.
• Geringere Feinstaubbelastung• Chemikalienbeständig• Geringere Metallbelastung• 
Atmosphärendruckerkennung bei allen Vakuumanwendungen• 
Druckabhängige Schaltsperre• Industrielle Vakuumanwendungen10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)VGD500

Option AllCeramic

CDG-Display

Das metallfreie Prozess-CDG

Kompaktes Aufsteck-Display
4-stellige Anzeige für einfaches Ablesen

Nur keramische Oberflächen (Aluminiumoxid)werden den Prozessmedien ausgesetzt. Diese
Option ist für alle CDG-Produkte (SKY, Edge,
Stripe) verfügbar
• 
Höhere Korrosionsbeständigkeit• 
Geringere Metallbelastung• 
Geringere Feinstaubbelastung• 
Längere Lebensdauer, weniger Wartung

8 | V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G

V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G | 9

Experten für Weitbereich-Vakuummessung
INFICON Weitbereich-Vakuummessgeräte bieten hervorragende Präzision und Zuverlässigkeit und eine sehr kompakter Bauweise. Vier physikalische Messprinzipien decken
das gesamte Druckspektrum von Ultrahochvakuum bis zu
Atmosphärendruck ab.
Die INFICON Pirani Technologie ermöglicht die kostengünstige Messung im unteren bis mittleren Vakuumbereich. Eine präzise und gasartunabhängige Mes-

sung bis hoch in den Atmosphärendruckbereich von
1500mbar wird durch die zusätzlich zum Pirani-Element
eingebaute miniaturisierte Kapazitätsmembrantechnologie von INFICON ermöglicht.
Den Ultrahochvakuum und Hochvakuumbereich decken zuverlässig die Heiss- und Kaltionisationsmessgeräte von INFICON ab.

Wärmeleitfähigkeit-Messgeräte
Hot Ion

PSG500
Pirani-Standardmessgerät

Cold
CathodeHigh
VacuumUltra High
Vacuum
10-11

10-7

Capacitance
Diaphragm

PiraniMediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

MediumVacuum
10-3

PGE500Low
Vacuum1

1000

Konvektionspirani-Messgerät

Einzelsensortechnologie
Messzelle aus rostfreiem Stahl
Platzsparende robuste Konstruktion
Korrosionsbeständige Ausführung

Vergoldetes Wolframfilament
All-In-one Messgerät mit analogen
Ausgangssignalen, integrierter RS485 und
OLED-Display• 
Vorvakuum-Druckmessung• 
Druckabhängige Schaltsperre in Vakuumsystemen• 
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung
im unteren bis hohen Vakuumbereich• 
Vorvakuum-Druckmessung• Allgemeine Vakuummessung und -steuerung
im unteren bis hohen Vakuumbereich

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)PSG55x
Pirani-Standardmessgerät

High
VacuumUltra High
Vacuum
10-11

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)10-7

MediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

MediumVacuum10-3

PGE300Low
Vacuum1

1000

Einzelsensortechnologie
Wolfram-, Nickel- oder vollständig keramisch
beschichteter Sensor• 
Vorvakuum-Druckmessung• 
Druckabhängige Schaltsperre in Vakuumsystemen• 
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung
im unteren bis hohen Vakuumbereich

Vergoldetes Wolframfilament
All-In-one Messgerät
mit integriertem LED-Display• 
Vorvakuum-Druckmessung• Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im
unteren bis hohen Vakuumbereich
10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)PCG55x
Pirani-Kapazitätsmembranmessgerät

Konvektionspirani-Messgerät

High
VacuumUltra High
Vacuum
10-11

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)10-7

MediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

MediumVacuum
10-3

PGE050Low
Vacuum1

1000

Konvektionspirani-Messgerät - PASSIV

Doppelsensortechnologie
Wolfram-, Nickel- oder vollständig keramisch
beschichteter Sensor
Sehr genau und gasunabhängig über 10 mbar

Vergoldetes Wolframfilament
Ideales Sensor Upgrade um installierte Thermocouple Messgeräte zu ersetzen• 
Schleusensteuerung• 
Für Unterdruckmessung• 
Druckabhängige Schaltsperre in Vakuumsystemen• 
Vorvakuum-Druckmessung• Allgemeine Vakuummessung und -steuerung
im unteren bis hohen Vakuumbereich
10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)

1 0 | V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G | 11

Experten für Weitbereich-Vakuummessung
High
VacuumUltra High
Vacuum
10-11

10-7

MediumVacuum10-3

BAG302

Low
Vacuum1

1000

Bayard-Alpert-Messgerät
Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete
Iridiumfilamente
Helles digitales OLED-Display mit Tastenfeld
Einfach auszutauschendes Sensorelement• 
Halbleiterprozess- und Transferkammern• 
Industrielle Beschichtung• Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im
unteren bis Ultrahochvakuumbereich

Ionisationsmessgeräte (Heiss- und KaltIonisation)

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)Hot Ion

BPG400 / BPG402 / BAG402
Bayard-Alpert-Messgerät
Bayard-Alpert-Pirani-Messgerät

Cold
CathodeHigh
VacuumUltra High
Vacuum
10-11

10-7

Capacitance
Diaphragm

PiraniMediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

MediumVacuum10-3

Gemini MAG500 / MPG500

Low
Vacuum1

1000

Lange Lebensdauer in rauen
EinsatzumgebungenHervorragende Zündeigenschaften
Kein magnetisches Streufeld
Austauschbare Ionisationskammern

Einzelsensortechnologie (BAG402)
Doppelsensortechnologie (BPG400/BPG402)
Langlebig
Automatische Emissionsstromauswahl• 
Halbleiterprozess- und Transferkammern• 
Industrielle Beschichtung• 
Messung und Steuerung im Atmosphären- bis
Ultrahochvakuumbereich (BPG400 / BPG402)

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)HPG400Hochdruck-Heissionisations-Pirani-Messgerät

10-11

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)High
VacuumUltra High
Vacuum10-7• Anwendungen in der Analytik und Forschungund Entwicklung• 
Allgemeine Vakuummessung• 
Basisdruckmessung und -steuerung im Atmosphären- bis Ultrahochvakuumbereich

MediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

MediumVacuum10-3

BAG05xLow
Vacuum1

1000

Doppelsensortechnologie
Langlebig
Automatische Emissionsstromauswahl• Anwendungen in der Analytik und Forschung und Entwicklung• Allgemeine Vakuummessung
10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)

TripleGauge® BCG450

High
VacuumUltra High
Vacuum
10-11

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)10-7

MediumVacuum10-3

Low
Vacuum1

High
VacuumUltra High
Vacuum
1000

10-11

10-7

MediumVacuum10-3

MAG050 / MAG060

Low
Vacuum1

1000

Kaltkathoden-Messgerät - PASSIV
Ausheizbar bis 250 °C
Korrosionsbeständig mit keramischer
Durchführung
Gute Zündeigenschaften

Dreifachsensortechnologie
Gasartunabhängig >10 mbar
Langlebig• 
Halbleiterprozess- und Transferkammern• 
Industrielle Beschichtung• 
Messung und Steuerung im Atmosphären- bis
Ultravakuumbereich
10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)

1 2 | V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G

Bayard-Alpert-Heissionisations-Messgerät –PASSIV
Direktersatz für die meisten EintauchSensorelemente
Degas Möglichkeit durch Elektronenbeschuss
Weiter Emissionsstrombereich• Sputter-Anwendungen• 
Halbleiterprozess- und Transferkammern• Industrielle Beschichtung

Bayard-Alpert Pirani-KapazitätsmembranMessgerät

Kaltkathoden-Messgerät
Kaltkathoden-Pirani-Messgerät

10-11 mbar – 1000 mbar (ATM)• Anwendungen in der Analytik und Forschung und Entwicklung• Allgemeine Vakuummessung• Basisdruckmessung und -steuerung im
Atmosphären- bis hohen VakuumbereichV I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G | 1 3

Experten für Vakuumsteuerung und -komponenten
Messgerätesteuerung

Komponenten

VGC501 / 502 / 503

PGD500Vakuumkomponenten

Beheizte Komponenten

Steuer- und anzeigegerät für aktive Messröhren
inkl. CDG

Anzeigegerät für aktive Messgeräte der Reihen
PSG, PCG und MPG

Hoch- und Ultrahochvakuum
Komponenten, Durchführungen und Schaugläser

Beheizte Abgasleitungen und Baugruppen

Automatische Messgeräterkennung
Hohe Signalauflösung
Bis zu sechs frei definierbare Sollwerte

Grosses Display
Kompakte Bauform für Verwendung in Tisch- oder Rackmontage
Druckanzeigegerät mit niedrigen Betriebskosten• 
Anwendungen zur Messgerätfernsteuerung• 
Prozessdrucksteuerung• 
Produktionsstätten- und Testlaborüberwachung• 
Füllstationen in der Automobilindustrie sowie Kälte- und Klimatechnik• 
Drucksteuerung in Glühlampen-Fertigungsanlagen• Allgemeine Vakuumprozess- und TestlaborüberwachungQualitativ hochwertige international normierte Komponenten,
weltweit lagerhaltig für schnellste Auslieferung
Grosse Auswahl an mechanischen und elektrischen
Durchführungen

VGC031

VGC083xPartsSteuergerät für passive PGE050 Messröhren

Steuergerät für passive Messröhren BAG05x, MAG05x und PGE050

ALD-Beschichtungsservice

Vier auswählbare analoge Ausgangssignale
Anzeige und Steuerung über einen weiten Messbereich von
1,3 x 10-4 mbar bis 1333 mbar
Hervorragend ablesbares OLED-Display

Einfache Bedienung mit speziellem OLED-Display
Fernan-/-abschaltung von digitalem A/E-Sensor undEmissionsstrom
Drei definierbare Sollwerte pro Kanal mit einstellbarer HystereseÄusserst homogene ALD-Dünnschichtbeschichtungen ausserhalb
des sichtbaren Bereichs für komplexe 3D-Strukturen• 
Vorvakuum-Druckmessung• Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im unteren bis
hohen Vakuumbereich• 
Füllstationen in der Automobilindustrie sowie Kälte- und Klimatechnik

1 4 | V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G• Alle Vakuumprozesse im unteren bis ultrahohen Vakuumbereich• Hochstrom-Durchführungs Applikationen• Sichtprüfung von Vakuumanlagen durch Schaugläser

Vollvulkanisierte Oberflächenheizung für geringen Stromverbrauch
Kundenspezifische Bauform mit gegossenen
Hartschalenabdeckungen
Aussenfläche handwarm berührbar• Anwendungen für Abgasleitungen• 
Kondensation ausgesetzte Vakuumprozesse• Alle Vakuumsysteme• Längere Lebensdauer, weniger Korrosion mit dichter, pinlochfreier Schicht• Höhere Prozessausbeute, weniger Feinstaub, metallfreie
Oberfläche• Schnelleres Abpumpen ohne Ausheizen

V I S I O N Ä R E S E N S O R T E C H N O L O G I E F Ü R D I E VA K U U M M E S S U N G | 1 5

Maximierung von Produktivität und ErtragLecksuchgeräte

Nachweis- und Überwachungssysteme für chemische Stoffe

INFICON ist die weltweit führende Marke bei Kältemittel-, Wasserstoff- und Helium-Lecksuchgeräten für den
Einsatz in der Qualitätskontrolle in der Kälte- und Klimatechnik, der Lebensmittelverpackung, in Geräte- undAutomobilfertigungsstätten und deren Lieferketten sowie
in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie. Während
das Bewusstsein für Produktqualität sowie Sicherheitsund Umweltbedenken zu immer strengeren Anforderungen an Dichtheitsprüfungen führen, hilft INFICON Ihnen
mit einer vollständigen Produktlinie hochempfindlicher
Lecksuchgeräte in verschiedensten Konfigurationen für
die Qualitätsprüfung in Vormontage und Fertigung sowie
die Endprüfung zur Sicherstellung der Systemintegrität.
Aussendienstmitarbeiter in der Kälte- und Klimatechnik
sowie der Automobilindustrie vertrauen auf die überlegene Leistung unserer zuverlässigen, praktischen underschwinglichen Servicewerkzeuge.

Die Gaschromatographie / Massenspektrometrie (GC/MS) setzt den Massstab für höchste Identifikationsgenauigkeit in Bezug auf organische Chemikalien
und ist allen anderen Analysemethoden überlegen.
Diese INFICON Technologie wird überall auf der Welt
beim Katastrophenschutz, der Erkennung chemischer
Kampfstoffe, bei der Früherkennung chemischer Verunreinigungen von Wasserquellen und -verteilungssystemen, bei der Untersuchung von Sondermülldeponien
und in der Industriehygiene eingesetzt. Mit dem Chemikalien- Identifikationssystem HAPSITE ER können inkürzester Zeit im Feld Analyseergebnisse in Laborqualität erzielt werden. Sie erhalten die Antworten, die Siebenötigen, um schnellere und bessere Entscheidungentreffen zu können, welche Auswirkungen auf das Leben, die Sicherheit und die Gesundheit von Personen
haben.

INFICON bietet Ihnen einen Werkzeugkasten prall
gefüllt mit marktführenden Produkten für Servicetechniker wie innovativen Kältemittel-Lecksuchgeräten,Lecksuchgeräten für entzündliche Gase, UltraschallLecksuchgeräten, Kältemittel-Rückgewinnungsgeräten,Kältemittel-Füllwaagen und Vakuum-Messgeräten. Mit
INFICON-Servicewerkzeugen haben Sie immer das
richtige Werkzeug, um die Arbeit schnell und genau zu
erledigen. So sparen Sie Zeit und Geld.

UL3000 Fab Helium-Lecksuchgerät

Chemikalien- Identifikationssystem HAPSITE® ER

Sensistor Sentrac® Wasserstoff-Lecksuchgerät

Gasanalysesysteme

Dünnschichtabscheidungs-Kontroller und Monitore, Quarkristalle

INFICON-Instrumente werden in der Forschung und
Erzeugung erneuerbarer Energien, in der Verarbeitung
und Raffination von Kohlenwasserstoffen und in derchemischen Produktion eingesetzt. Von Forschungund Entwicklung bis zur Produktion investieren wir in
Gasanalysetechnologien, damit Sie effizienter arbeiten
können. INFICON bietet Ihnen kompakte, transportable
und einfach zu benutzende Instrumente wie unser Micro GC Fusion Gasanalysegerät, mit dem Messungen im
Labor, in der Pilotanlage oder im Feld nah an der Stichprobenentnahmestelle durchgeführt werden können.
Dank der genauen Analyse lassen sich die Rohstoffe,
die Prozesssteuerung der Zwischenprodukte und die
Qualität der Endprodukte besser verstehen.

Steigern Sie Ihre Profitabilität und Ihren Wettbewerbsvorsprung mit den marktführenden Produkten zur
Dünnschichtabscheidung, unserer ausgewiesenen
Expertise und dem weltweiten Support des Technologieführers.

Micro GC Fusion® Gasanalysegerät

INFICON Dünnschichtabscheidungs-Kontroller undMonitore, Quarzkristallsensoren und Quarzkristalle
wurden entwickelt und gefertigt um beste Qualität,
Genauigkeit und längste Kristalllebensdauer bei der
Schichtdicken-Überwachung und Prozesssteuerung
von PVD-Anwendungen zu liefern.

Dünnschichtabscheidungs-Kontroller IC6

Transpector® MPH
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Ausgezeichneter Kundenservice ist eine Verpflichtung
INFICON bietet ein globales Netzwerk von Verkaufs- undServicezentren. Vor Ort stehen Ihnen Service- undAnwendungsspezialisten zur Seite und helfen Ihnen bei der
Auswahl der besten Lösung für Ihre individuelle
Produktanwendung oder bieten Ihnen bei Bedarf eineschnelle Serviceleistung.

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Sensortechnologie
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Aufgrund laufender technischer Verbesserungen behalten wir uns Änderungen in den Spezifikationen vor.
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