PSG55x ATM~중간진공 게이지INFICON 피라니 표준 게이지(PSG55x)는 자매 제품인 PCG55x 및PSG50x와 같이 최첨단 디지털 피라니 기술이 적용되어 있습니다. 이견고한 센서 설계에는 작은 크기에 다양한 기능이 결합되어 저진공부터고진공 범위까지의 측정에 적합한 제품으로 인정받고 있습니다.

장점n텅스텐(PSG550) 또는 니켈(PSG552) 필라멘트 및 부식성이 강한 분야를 위한 완전 세라믹 코팅(PSG554) 센서장치와 함께 사용 가능n디스플레이, 셋포인트 및 디지털 인터페이스 옵션n

Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0n

온보드 보정 데이터를 사용하여 플러그 앤 플레이 센서 요소를 교체하기 쉬움 - 높은 재현성과 낮은 소유 비용보장n선택 가능한 출력 신호 및 다양한 플러그 버전으로 손쉬운 통합n모든 방향 장착 가능 - 공구 설계에서 자유로운 엔지니어링 제공n모든 버전의 진단 포트n규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, CSA, RoHS

1

PSG55x ATM~중간진공 게이지주문 정보

2

PSG55x ATM~중간진공 게이지사양
유형

PSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoated측정 범위mbar

5×10⁻⁵ … 1000

5×10⁻⁵ … 1000

5×10⁻⁵ … 1000측정 범위Torr

3.8×10⁻⁵ … 750

3.8×10⁻⁵ … 750

3.8×10⁻⁵ … 750

정확성(N₂)
5×10⁻⁴ … 1×10⁻³mbar% of reading±50±50±50

1×10⁻³ … 100mbar% of reading±15±15±15

100 … 1,000mbar% of reading±50±50±50

1×10⁻³ … 100mbar% of reading±2±2±2허용 압력bar (absolute)≤5≤5≤5최대 압력bar (absolute)

101010반복성(N₂)

허용 온도
작동(주변)°C+10 … +50+10 … +50+10 … +50

보관°C-20 … +65

-20 … +65

-20 … +65플랜지에서 베이크 아웃°C

≤80

≤80

≤80

플랜지 긴 튜브에서 베이크
아웃

°C

≤250

≤250

≤250

공급 전압V (dc)

+15 … +30

+15 … +30

+15 … +30

전력 소모량fieldbus 없음W필드버스 없음W

≤2.5

디바이스넷

W

≤3

≤3

≤3Profibus

W

≤3

≤3

≤3

출력신호 아날로그 3PIx-0xx- Vxxx0

0 … +100 … +100 … +10

출력신호 아날로그 3PIx-0xx- Vxxx1

0 … +8.5

0 … +8.5

0 … +8.5

출력신호 아날로그 3PIx-0xx- Vxxx2

0 … +5.529

0 … +5.529

0 … +5.529

출력신호 아날로그 3PIx-0xx- Vxxx30 … +8.875

0 … +8.875

0 … +8.875

측정 범위 3PIx-0xx-xxx0V+0.61 … +10+0.61 … +10+0.61 … +10

측정 범위 3PIx-0xx-xxx1

V+1.2 … +8.5

+1.2 … +8.5

+1.2 … +8.5

측정 범위 3PIx-0xx-xxx2

V+0.375 … +5.529+0.375 … +5.529+0.375 … +5.529

측정 범위 3PIx-0xx-xxx3

V+1.57 … +8.875+1.57 … +8.875+1.57 … +8.875

3PSG55x ATM~중간진공 게이지≤2.5≤2.5

사양유형

PSG550 TungstenPSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoated전압 대 압력
3PIx-0xx-xxx0

volts per decade

1.286

1.286

1.286

3PIx-0xx-xxx1 / -xxx2 / xxx3

volts per decade111부하 임피던스kΩ>10>10>10셋포인트 개수

222

릴레이 접점

n.o., potential freen.o., potential freen.o., potential free

5×10⁻⁵ … 1000

5×10⁻⁵ … 1000

5×10⁻⁵ … 1000

% of threshold

101010접점 정격 솔리드 스테이트릴레이V (dc)

≤30

≤30

≤30

접점 정격 기계식 릴레이

V (dc)

≤30

≤30

≤30

접점 정격 솔리드 스테이트릴레이A (dc)

≤0.3

≤0.3

≤0.3

접점 정격 기계식 릴레이A (dc)

≤1≤1

≤1

ms

≤30

≤30

≤30

RS232C

RS232C

RS232C

3PIx-0xx-x0xx

FCC, 8-pin

FCC, 8-pin

FCC, 8-pin

3PIx-0xx-x1xx

D-Sub, 9-pin, male

D-Sub, 9-pin, male

D-Sub, 9-pin, male

3PIx-0xx-x2xx

D-Sub, 15-pin HD,
male

D-Sub, 15-pin HD,
male

D-Sub, 15-pin HD,male셋포인트 릴레이셋포인트 릴레이
범위(N₂)

mbar셋포인트 릴레이히스테리시스
셋포인트 릴레이셋포인트 릴레이셋포인트 릴레이스위칭 시간인터페이스(디지털)전기 연결

3PIx-0xx-x4xx

D-Sub, 15-pin HD, with D-Sub, 15-pin HD, with D-Sub, 15-pin HD, with
RS485, male
RS485, male
RS485, male케이블 길이m (ft.)≤100 (≤330)≤100 (≤330)≤100 (≤330)

RS232C 작동m (ft.)≤30 (≤100)≤30 (≤100)≤30 (≤100)

W, Ni, NiFe, glass,SnAg, stainless steel

Ni, NiFe, glass, SnAg,
stainless steel

Al₂O₃, stainless steel

4.7

4.7

4.7

진공에 노출된 재료내부 용적
DN 16 ISO-KF

4cm³

PSG55x ATM~중간진공 게이지사양
유형

PSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoated

DN 16 ISO-KF 긴 튜브

cm³

14.5

14.5

14.5

DN 16 CF-F

cm³888

DN 16 CF-R 긴 튜브

cm³141414

DN 25 ISO-KF, 4 VCR

cm³5.5

5.5

5.5

8 VCR

cm³7771/8" NPT, 7/16-20 UNF

cm³

5.2

5.25.2표면 장착 29mm/1.15"

cm³4.94.9

4.9

4 VCR 90°

cm³

7.9

7.97.9필드버스 인터페이스 없음g

115 … 130

115 … 130

115 … 130

fieldbus 인터페이스 있음g

230 … 250필드버스 인터페이스 있음g

230 … 250

230 … 250

IP 40

IP 40

무게보호 수준IP 40

표준CE 준수

EN 61000-6-2/-6-3, EN EN 61000-6-2/-6-3, EN EN 61000-6-2/-6-3, EN61010
61010
61010

ETL 인증

UL 61010-1, CSA 22.2 UL 61010-1, CSA 22.2 UL 61010-1, CSA 22.2
No.61010-1
No.61010-1
No.61010-1

디바이스넷프로토콜

DeviceNet™, group 2slave only

MAC ID

2 switches (address 00 2 switches (address 00 2 switches (address 00- 63) or network- 63) or network- 63) or network
programmableprogrammableprogrammable디지털 기능

read pressure, select read pressure, select read pressure, selectunits: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa,
micron, counts;
micron, counts;
micron, counts;monitor gauge status, monitor gauge status, monitor gauge status,
detailed alarm anddetailed alarm anddetailed alarm andwarning information,
warning information,
warning information,safe state allowssafe state allows
safe state allows
definition of behavior in definition of behavior in definition of behavior incase of error
case of error
case of error

사양DeviceNet™ "Vacuum DeviceNet™ "Vacuum DeviceNet™ "Vacuum
Gauge Device Profile" Gauge Device Profile" Gauge Device Profile"장치 유형''CG'' for combination
gauge''CG'' for combination
gauge''CG'' for combination
gauge

polling only

polling only

polling only

I/O 슬레이브 메시징5

PSG55x ATM~중간진공 게이지DeviceNet™, group 2
slave only

DeviceNet™, group 2
slave only사양유형

PSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoated디바이스넷 커넥터

Micro-Style, 5-pin,male

Micro-Style, 5-pin,male

Micro-Style, 5-pin,
male

디바이스넷
데이터 속도 스위치kBaud

125, 250, 500 or
125, 250, 500 or
125, 250, 500 or
network programmable network programmable network programmable디바이스넷케이블 길이 125kbps

m (ft.)

500 (1650)

500 (1650)

500 (1650)

케이블 길이 250kbps

m (ft.)

250 (825)

250 (825)

250 (825)케이블 길이 500kbps

m (ft.)

100 (330)

100 (330)

100 (330)

V (dc)+15 … +30

+15 … +30

+15 … +30

≤3

≤3

≤3kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

Mbaud

1.5 / 12

1.5 / 12

1.5 / 12디바이스넷디바이스넷 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx의 공급전압디바이스넷전원 소모량 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx

WProfibus DP전송 속도Profibus DP전송 속도
Profibus DP주소

2 switches (address 00 2 switches (address 00 2 switches (address 00- 127) or network- 127) or network- 127) or network
programmableprogrammableprogrammable디지털 기능

read pressure, select read pressure, select read pressure, selectunits: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa,micron, counts ;micron, counts ;micron, counts ;monitor gauge status, monitor gauge status, monitor gauge status,detailed alarm anddetailed alarm anddetailed alarm andwarning information,
warning information,
warning information,safe state allows
safe state allows
safe state allows
definition of behavior in definition of behavior in definition of behavior incase of error
case of error
case of error

Profibus DP 커넥터

D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 9-pin, female

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

RS485C전송 속도kBaud

RS485C

6

PSG55x ATM~중간진공 게이지사양
유형

PSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoated주소

2 switches (address 00 2 switches (address 00 2 switches (address 00- 255)
- 255)- 255)

디지털 기능

read pressure, select read pressure, select read pressure, selectunits: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa,
micron, counts ;micron, counts ;micron, counts ;monitor gauge status, monitor gauge status, monitor gauge status,detailed alarm anddetailed alarm anddetailed alarm andwarning information,
warning information,
warning information,safe state allows
safe state allows
safe state allows
definition of behavior in definition of behavior in definition of behavior incase of error
case of error
case of error

RS485 커넥터D-Sub, 15-pin HD,
maleD-Sub, 15-pin HD,
male

D-Sub, 15-pin HD,
male

EtherCAT프로토콜 EtherCAT

protocol specialized for protocol specialized for protocol specialized for
EtherCAT
EtherCAT
EtherCAT통신 표준

ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
DeviceDeviceDeviceProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
Device Profile:
Device Profile:
Device Profile:
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge노드 주소

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification물리적 레이어

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

EtherCAT 커넥터

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT케이블shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher프로세스 데이터

Fixed PDO mapping
Fixed PDO mapping
Fixed PDO mappingand configurable PDO and configurable PDO and configurable PDO
mapping
mapping
mapping사서함(CoE)

SDO requests,responses andinformation

SDO requests,
responses andinformation

SDO requests,responses andinformation≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)

EtherCAT케이블 길이

7m (ft.)PSG55x ATM~중간진공 게이지예비 부품
PSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoatedPSG550 Ersatzsensor, 1/8" NPT

355-930--

PSG550 Ersatzsensor, 29x29mm

355-934--

PSG550 Ersatzsensor, 4-VCR

355-932--

PSG550 Ersatzsensor, 4-VCR / 90°355-935--

PSG550 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF

355-933--

PSG550 Ersatzsensor, 8-VCR

355-931--

PSG550 Ersatzsensor, DN16CF-F

355-927--

PSG550 Ersatzsensor, DN16CF-R, long355-928--

PSG550 Ersatzsensor, DN16ISO-KF

355-925--

PSG550 Ersatzsensor, DN16ISO-KF, long355-926--

PSG550 Ersatzsensor, DN25ISO-KF

355-929--

PSG552 Ersatzsensor, 1/8" NPT-355-941-

PSG552 Ersatzsensor, 29x29mm-355-945-

PSG552 Ersatzsensor, 4-VCR-355-943-

PSG552 Ersatzsensor, 4-VCR / 90°-355-946-

PSG552 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF-355-944-

PSG552 Ersatzsensor, 8-VCR-355-942-

PSG552 Ersatzsensor, DN16CF-F-355-938-

PSG552 Ersatzsensor, DN16CF-R, long-355-939-PSG552 Ersatzsensor, DN16ISO-KF-355-936-

PSG552 Ersatzsensor, DN16ISO-KF, long-355-937-

PSG552 Ersatzsensor, DN25ISO-KF-355-940-

PSG554 Ersatzsensor, 1/8" NPT--355-952

PSG554 Ersatzsensor, 29x29mm--355-956

PSG554 Ersatzsensor, 4-VCR--355-954

PSG554 Ersatzsensor, 4-VCR / 90°--355-957

PSG554 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF--355-955

PSG554 Ersatzsensor, 8-VCR--355-953

PSG554 Ersatzsensor, DN16CF-F--355-949

PSG554 Ersatzsensor, DN16CF-R, long--355-950

PSG554 Ersatzsensor, DN16ISO-KF--355-947

PSG554 Ersatzsensor, DN16ISO-KF, long--355-948

PSG554 Ersatzsensor, DN25ISO-KF--355-951

8

PSG55x ATM~중간진공 게이지부속품
PSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoatedCentering ring with fine filter DN 16 KF

211-097

211-097

211-097

CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF

211-001

211-001

211-001

Diagnostic cable 1.9m (P3)

303-333

303-333

303-333

크기

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reachus@inficon.com

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