RS/RRシリーズ

超精密減圧弁
超精密エアリレー
S

■ 特RR

徴

圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能です。
RRシリーズは、正負のバイアス調整が可能な出力変化比１：１の精密圧力リレー制御を行います。
●
●

高精度制御

優れた特性 リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。特に、リリーフ最小圧力（リリーフ感度）が0.03kPa（理論計算値）と優れていますので、テンションコントロール、エアバランサなどの用途に最適です。

●

優れた始動安定性

長時間作動しなかった後でも、圧力を再調整する必要がありません。

●

遠隔操作が可能

エアリレーRR シリーズを使用することにより、遠隔操作が可能です。

■ 仕型
項

感度0.1％ F.S.、繰り返し再現性±0.1％ F.S.という高精度の空気圧制御が可能です。

様式目■ オプション

内部パイロット式

R S-- 4

外部パイロット式

使 用 流 体圧 力 設 定 範 囲
1次側圧力範囲
注1 入 力 信 号 圧 力
リリーフの有無
繰り返し再現性
感度
リリーフ最小圧力
注2 リ リ ー フ 流 量
注3 空 気 消 費 量
使 用 温 度 範 囲
配 管 接 続 口 径
圧力計接続口径ブ ラ ケ ッ ト質
量

R S-- 8R S・H R-- 8

R R-- 8R R・H R-- 8

圧縮清浄空気MPa 0.014〜 0 . 420.014〜 0 . 84
MPa
1 Max.
MPa0.014〜 0 . 84
有 り% F.S.
± 0.1 以内% F.S.
0.1 以内kPa
0.03（理論計算値）ℓ/min（ANR）
130
260
3.7以内
ℓ/min（ANR）
℃
5〜60
Rc
1／8（RS-4, RS-8のみ）, 1／4, 3／8
Rc
1／4（2カ所）
標準装備kg
R S=0.75, R R=0.72（バイアス調整ノブ付0.78）（1）バイアス調整ノブ（BA）
エアリレーRRシリーズは、バイアス調整ノブを使用することにより、±0.2MPaの範囲でバイアス圧力の設定が可能です。

（2）圧力計・精度 ± 1.6 % F.S.
・最小目盛

G 0250.005MPa

G 060

0.01MPaG 1000.02MPa（3）耐オゾン仕様
耐オゾン対策としてダイヤフラムゴム材質にフッ素ゴムを使用しました。

（注１）エアリレーRRシリーズに適用。
（注２）設定圧力 0.2MPa 時のリリーフ流量。
（注３）常時ブリードタイプですので、空気を大気に放出しています。

■ 型式表示法

RS.

HR

28

基 本 型 式

配 管 接 続 口径

圧力設定範囲オプション（2）ゴム材質

RS

内部パイロット式

40.014〜0.42MPa

1Rc 1／8

無記号標 準RR

外部パイロット式

80.014〜0.84MPa

2Rc 1／4Fフッ素ゴム

3

Rc 3／8

リリーフ流量無記号

標 準HR

ハイリリーフ76

FRujikura■ 圧力特性egulator■ 流量特性レギュレータ（ANR）■ リリーフ特性

（ANR）

（ANR）

■ バイアス圧力調整方法〈JIS記号〉
RS シリーズ（内部パイロット式）
1 １次側に圧力を入力し、その後に信号圧力を入れて下さい（この状態では左図の黒線の状態です）。
順序を誤りますとメジャリングカプセルを破損する恐れがあります。
2 バイアス調整ノブを当たるまで押し込み、内部のバイアス調整ネジのスリットに入るように左右にまわし込んで下さい。
3 バイアス圧力の調整は下記のようにして下さい。

右まわし→ バイアス圧力増加（＋ 0.2 MPa まで）
左まわし→ バイアス圧力減少（− 0.2 MPa まで）
上記圧力の調整範囲を超えるとメジャリングカプセルを破損させる恐れがあります。
（注）２次側圧力を 0 〜 0.014MPa の範囲内に設定することはできません。

77

RR シリーズ（外部パイロット式）

外形寸法図RSシリーズ（圧力計接続口）

内部構造と動作原理
RS シリーズ (内部パイロット式)

RR シリーズ (外部パイロット式)

調圧ノブ
ロックナットメジャリング
カプセル

信号圧力

プラグ

パネル取付用
ナット

バイアス
調整ネジ
信号圧力

コントロール室

コントロール室
ブリードネジ

パイロット弁

パイロット弁

ブリード孔
パイロット室パイロット
ダイヤフラムIN

ブリードネジ
ブリード孔

パイロット室パイロット
ダイヤフラム

リリーフ弁

コントロール
ダイヤフラム

リリーフ孔

リリーフ孔
コントロール
ダイヤフラムリリーフ弁

メジャリング
カプセル

IN

OUT
主主 弁

OUT

弁

RSシリーズとRRシリーズは同じ構造を持ち、同じ動作原理で圧力制御を行います。
但し、RRシリーズは外部から信号圧を入力して２次圧を制御することができます。
＜共通動作原理＞● RS シリーズと RR シリーズは主弁とリリーフ弁がパイロット弁・の開閉によって作動するサーボ平衡機構を利用しております。パ
イロット弁はメジャリングカプセルの伸縮によって開閉します。
●・２次圧力はコントロール室へ導かれメジャリングカプセルに対する外圧として働きます。定常状態では常時微量の空気がパイロット弁を通ってパイロット室へ流入し、ブリード孔を通って外気に流出し、パイロット室内の圧力を安定させます。

●
・この変化によってダイヤフラムアッセンブリーの力の平衡がくずれ、主弁またはリリーフ弁のいずれかが適当量動いて、２次圧力に生じたどんな小さい誤差も修正します。最後にはメジャリングカプセルとパイロット弁は元の平衡状態に戻ります。
●
・ノブを手動調整することによって、２次圧力（RSシリーズ）またはバイアス圧力（RR シリーズ）が鋭敏に制御されます。

（注）RRシリーズでは信号圧力を変化させるとメジャリングカプセルが伸縮●
・２次圧力が少しでも変化すると、メジャリングカプセルが伸縮してパイロット弁を動かし、パイロット室内圧力は相応した変化を生じます。

78

し、左記と同じ動作原理により２次圧力を変化させ、信号圧力の変化と正確に等しい変化を生じたとき、メジャリングカプセルの応答によりパイロット弁が平衡位置に復帰します。
このことから、リレー特性1：1の精密な制御が可能となります。

FRujikura

RRシリーズegulator

レギュレータ（圧力計接続口）RRシリーズ 〈バイアス調整ノブ BA 付き〉（圧力計接続口）79

RS/RRシリーズ

クリーンルーム対応

超精密減圧弁
超精密エアリレー
■ 特RS

RR

徴

圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。
●●

クリーン仕様 部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解 Ni メッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
排気用配管が可能 リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。

●

優れた特性

●

マニホールド対応

●

高精度

●

長期圧力安定性■ 仕型
項

リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。
マニホールド配管が可能です (R □-□-M-KA、フッ素ゴム製専用パッキン付属 )。

感度 0.1 ％ F.S. 、繰り返し再現性 ± 0.1 ％ F.S. という高精度の圧力制御が可能です。
一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど変動しません。

様式

目〈JIS記号〉

内部パイロット式

R S-- 4RS-8
RR-8

外部パイロット式

使 用 流 体圧 力 設定 範 囲
1次側圧力範囲
リリーフの有無
繰り返し再現性感度
空 気 消 費 量
使 用 温度 範 囲
配 管 接続 口 径
圧力計接続口径ブ ラ ケ ッ ト質量

圧縮清浄空気MPa
MPa

0.014〜 0 . 420.014〜 0 . 84
1 Max.
有 り± 0.1 以内
0.1 以内
3.7以内
5〜60
1／4,マニホールド
1／4
RS-□-2-KAのみ装備
R S：0 . 4 1 ／ R R：0 . 4 5% F.S.
% F.S.
ℓ/min（ANR）℃
Rc
Rckg■ 型式表示法

RS8

基 本 型 式
RSRR

内部パイロット式
外部パイロット式

2接続口径

圧力設定範囲40.014〜0.42MPa

2Rc1/480.014〜0.84MPa

M

マニホールド80

KA清浄度
KA クリーン仕様

FRujikuraegulator（ANR）① １次側に圧力を入力し、その後に信号圧力を入れて下さい（この状態では左図の黒線の状態です）。
順序を誤りますとメジャリングカプセルを破損する恐れがあります。
② バイアス調整ノブを当たるまで押し込み、内部のバイアス調整ネジのスリットに入るように左右にまわし込んで下さい。
③ バイアス圧力の調整は下記のようにして下さい。
右まわし→バイアス圧力増加（＋ 0.2 MPa まで）
左まわし→バイアス圧力減少（− 0.2 MPa まで）
上記圧力の調整範囲を超えるとメジャリングカプセルを破損させる恐れがあります。
（注）
２次側圧力を0.014kPa未満の範囲内に設定することはできません。
工場出荷時はゼロバイアスの状態に調整されております。

密封したチャンバ内にサンプルを設置して電磁弁を連続作動させ、クリーンエアをチャンバ内に供給しながらパーティクルカウンタにエアを吸引し、発塵量を測定する。

81レギュレータ（ANR）

外形寸法図 （単位：mm）

RS

シリーズ

RS-□-2-KA

RS-□-M-KA

53362-Ｍ５タップ
8CREA S E

FUIN

FU

J I K UR A

CREA S E

22.4

371.6
IN

ＯＵＴポートφ5φ12
パネル取付穴パネル厚さMAX：3

ＩＮポートφ538.2

J I K UR A

取付寸法
φ40

六角穴付止めネジ

φ40

六角穴付止めネジ

M5×5M5×5□

RR5414.2（圧力計接続口）

2-Rc1/4

2-Rc1/4IN

Rc1/4（圧力計接続口）≒113

1812.5OUT

IN

OUT

867

M5深さ5（リリーフ孔）

66（リリーフ孔）

8.5

M5深さ5（ブリード孔）

M5深さ566

20M5深さ5（ブリード孔）

≒113

6.6

12.5

9.62-φ5.5

102-φ541.2

38.25457

（取付穴）

シリーズ

RR-8-2-KA

RR-8-M-KA
ＯＵＴポートφ522.4

3030

82-Ｍ５タップ

ＩＮポートφ538.2

取付寸法
Rc1/4

Rc1/4

(パイロット圧接続ポート)(パイロット圧接続ポート)M5深さ5M5深さ5□542-Rc1/4（圧力計接続口）

2-Rc1/4

14.2

2-Rc1/4（圧力計接続口）≒119
1884.4
OUT
IN

41.2
57

2-φ51038.2
54

RR シリーズのみの事項① RR シリーズの設定圧は、入力信号圧力の変化と正確に等しい変化を生じます。
入力信号調整用の減圧弁の種類は、用途に応じて要求される適当な精度のものを選定して下さい。
② 入力信号の配管取付けは、上部にあるポート２ヶの内、いずれか一方を使用し、接続して下さい。
③ バイアス調整ネジをネジ込みすぎると、メジャリングカプセルを破損する恐れがあります。

8215.7IN14.2OUT(リリーフ孔)

884.4(リリーフ孔)(ブリード孔)M5深さ511.7

M5深さ5≒119(ブリード孔)

2-φ5.5（取付穴）