<製品紹介>

GOLDEP

貯湯式超純水加熱装置

WHITE製

Batch

Type

Deio=ized

Water

HeatingEquipment(環)製品開発室梶山

吉

Yoshinori

則Kajiyama

半導体製造におけるウェット洗浄は,多種の薬液,超純水を多量に消費すること,あるいはウエハの大口径化の対応として見直しが迫られている｡特に大口径化の対応として,密閉した一つの槽内でウエハを固定あるいは回転し,洗浄から乾燥まで連続して行う枚菓式の洗浄が行われるようになってきた｡
ここで使用される温超純水は,連続的ではなく,バッチで大容量の温超純水が必要とされる｡この要求に応え今回, GOLDEP
WHITE製貯湯式超純水加熱装置を商品化したので紹介する｡
本装置は,全てGOLDEPWHITE材を使用しており貯槽内下部にヒーターを設置し,供給サイクルの合間に超純水を加熱し槽ーL部に蓄えられ,供給側の圧力によりユースポイントに供給するバッチ式の温超純水供給装置で,連続式の装置に比べ電力,超純水が節約できる省エネルギー,省資源の超純水加t

熱装置である｡

Tocomplyrinslng･
hot

type

betweeninpower

large

with
It

requlreS

deionized

hotand

water
water

a

wafer

manuracturlng'tbe

large

amountwater

beating

supplycyclesis achieved

or

hot

equlpment,
forcompared

process

notcontinuously

watertoawithprovidedstorageisrinslng

itand

suppliestheconventional

to

超

純水

Hot

加

熱

装

置

Heating

equlpment

GOLDEP

WHITE

DI

but

storageuse‑polntS･

continuous

温tO

Slnglewafer

batchwise.

The

batch

changlng

tank

can

heats

Considerable

water
savlngheater.

wateri

ま えがき
当社では,半導体製造における,ウェット洗浄工程で使WHITE材を使用しており,貯湯槽内下部にヒーターを設置し,ユースポイント‑の供給サイクルの合間に超純水を用される温超純水の製造装置として,材料からの溶出性が少なく,また機械的強度,耐熱性,伝熱特性などに優れる加熱し,槽上部に蓄えられ,供給側の圧力によりユースポGOLDEP

WHITE製の連続超純水加熱装置1)を供給し,その性能に満足して使用していただいてきた｡

供給装置であり,次の特長を有している｡( 1 )連続式の装置に比べ電力,超純水が節約できる省エ

一方最近のウェット洗浄法は多種の薬液,超純水を多量に消費すること,あるいはウエハの大口径化の対応として見直しが迫られている｡特に大口径化の対応として,密閉ネルギー型である｡また資材低減が計れる｡(2)接液部は全てGOLDEPした一つの槽内でウエハを固定あるいは回転し,洗浄から乾燥まで連続して行う枚菓式の洗浄が行われるようになっ全運転が可能である｡(3)大型化が容易であり,大口径ウエハの洗削こ必要なイントにピストン流式に供給するバッチタイプの温超純水WHITE製であるので,材料からの溶出が少ないうえに機械的強度にも優れ安てきた｡ここで使用される温超純水は,連続的ではなく,大流量の温超純水の供給が可能である｡

バッチで大容量の温超純水が必要とされる｡

2.貯湯式超純水加熱装置の仕様

GOLDEP
この要求に応え今回,WHITE製貯湯式超純水加熱装置を商品化したので紹介する｡

り加熱能力と貯湯量を決定する｡今回製作納入した

1.貯湯式超純水加熱装置の特長

HDIC‑1.

貯湯式超純水加熱装置は,洗浄装置の出湯パターンによ
8GEPW(写真1 )の仕様は次の通りであるo

本装置は,超純水に接する部分は全てGOLDEP
64

神鋼パンテツク技報

Vol.

40

No.

2(1997/3)

5.0

Outlet[Use point]

4.0〔二号 3,0qi?

C)‑＋･･+く勺トー

2.0a⊂)
Eq

1.0
Drain
0.5347811Time

9

第1図
Fig･

12

15

[Minimum flow]

16[min]

加熱超純水の供給パターン
1Flow

rate

or hotDIforwater

batchsystem

2.

1仕様(1)流量パターン
加熱超純水の供給パターンを第1図に示す｡温超純
水のユースポイント‑の供給は,1回当たり1分間で4リットル必要とし,以後3分間必要としないた
め最小流量0.5リットルで3分間パージ排水しながら新たに供給した超純水を設定温度にまで加熱するパターンの繰り返しを行う｡(2)加熱能力
ヒータの加熱能力は,連続に供給して加熱した場合,流量1.8 L/minで入口温度＋60℃の加熱能力を持つ｡(3)貯湯容量ノ叩hn‑JO‑y‑‑く､y^

控℃

篭監

有効貯湯容量は,約4バッチ分に相当する20.5リッ:gL

トルである｡

睡監::L.)

4

最高出口温度

5

温6

最高使用圧力3.0 kg/cⅡf7

ヒータ電力量電源
安全機構

7.8kwX

82I

2度 精度

90℃

出口設定温度

三相＋3℃,‑1℃l本AC200V

貯湯式超純水加熱装置の安全対策として次の機構を備えている｡( 1 )供給超純水圧力異常検知
運転中,供給超純水の圧力が設定値以上になった場合,装置を停止する｡(2)ヒータ異常加熱検知
運転中,ヒータ部温度が設定値以上になった場合,装置を停止する｡( 3 )流水温度異常検知
加熱超純水出口温度が設定値以上となった場合,ヒータ通電を解除する｡(4)タンク内水位検知

写真1貯湯式超純水加熱装置(HDIC‑1.8GEPW)
Photo･1

Batch

type

DI

waterheating

equipment

with

GEPW

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神鋼パンテツク技報

貯湯槽内の水位が低下すると装置を停止する｡

65

Drain[MinimumOutlet for heated
DI waterflow]
Lsd

TI

Storage
PG

tank

PSA

Air inlet
TIC

P上且Inlet for DI water
TIA

HeaterSSRi
第2図
Fig1

貯湯式超純水加熱装置のフローシート
2

Flowdiagramof batch

type

DI

heatingwaterequipment

800

135200Vx7.8kw
月eater element

GOLDEPWHITE
Aluminummoldl

65A＼l＼

し

第3図
Fig.

Stractureof

heaterunit

り行われる｡

3.貯湯式超純水加熱装置の構造
1㌔ヒータ単体構造図
33.

I

L:＼′

システムフロー

貯湯槽上部には,出口温度を監視する温度計と同時にレ貯湯式超純水加熱装置のフローシートを第2図に示す｡
貯湯槽内の下部に加熱部を設けた槽の下部より超純水を供ベルを検知する熱感式レベルスイッチを設けている｡これ
ら接液部の材料には全てGOLDEP
WHITE製を使用して給し,ヒータで加熱する｡加熱された温純水は,ヒータ先いる｡

端部のセンサにより温度制御されて槽の上部に蓄えられる｡

3.

温純水を必要としない場合は,最小流量により槽上部より常時パージ排水され槽内の温度を一定に保って貯留される｡
温純水の洗浄装置への供給は,洗浄装置例の弁の解放によ
ββ2

加熱部構造

GOLDEP

WIiITE製加熱部の単体構造を第3図に示す｡
加熱部は従来型のシーズヒータの表面にアルミを鋳込み,表面をGOLDEP

神鋼パンテツク技報

WHITE処理した容器に挿入している｡
Vol. 40No.

2(1997/3)

このアルミ鋳物と容器の間に温度センサを挿入し,伝熱部

4.運転制御例の温度を検知し異常な温度上昇に対する保護機構を設けて装置の通常運転時の温純水出口温度(常時流水しているいる｡

パージ排水側の温度)の測定結果を第4図に示す｡温純水の供給パターンは･パージ排水流量0･5L/minで3分間,洗浄装置への供給流量4･OL/minで1分間の繰り返し使用

10()である｡またこのときの流入超純水の温度は,り設定制御温度は80 ℃である｡

9080＼70蛋

供給温純水は,設定温度80℃に対し＋3℃,

OutletOperatlng

6()te□1peratureに制御され仕様を十分満足している｡
む すび

80 oc

VLl

20℃であ‑1℃以内

コ

当社では,半導体分野においてGOLDEPWHITE材を応用した数々の製品を供給しその性能に満足していただい

く'3Q)

El

≡
(リ〔一Inlet/20てきたo今回,製品紹介した貯湯式超純水加熱装置も枚菓式の洗浄装置に付属される装置として,多くのユーザーの方々に評価いただきより良い製品に改良.改善して行きた

10い｡
010203040506070Timeb809()[min]

100ll() 12013()[参考文献]
1)梶山吉則ほか,神鋼パンテツク技報,

第4図
Fig･

温度制御例
4Thermovol.38,No.1(1994),

P.20

diagramofbatchsystem

連絡先
UC事業室

E‑maily･TEL

078‑992‑6528

FAX

078‑997‑0550

nakashima@pantec.

co.

jp♂

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40

No.

2

(1997/3)

神鋼パンテツク技報

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