No.TR1-SP-CU-M-153-2_ 1/8

製品仕様書
Pressure Control System
PCS Thermal Series

PCST1000MF Series（Metal Seal / Digital）

株式会社フジキン

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1.

一般仕様
仕様

PCST1005MFC

PCST1030MFC

PCST1050MFC

流量レンジ（N2 換算）

10、20、30、50
100、200、300、500 SCCM
1、2、3、5 SLM

6、10、20、30SLM

31、40、50SLM

流体
バルブ型式
圧力信号入力レベル
圧力制御範囲
圧力精度
圧力設定信号
流量精度
流量出力信号
流量出力直線性
流量出力再現性
応答性
最大動作圧力
耐圧力
温度影響（ゼロ）
温度影響（スパン）
使用保証温度範囲
外部リーク量
取付姿勢
消費電流
供給電源電圧
通信方式
接ガス部材質
シール部材質
表面処理
接続継手
重量
デジタル通信気体
ソレノイドアクチュエータ … ノーマルクローズソレノイドバルブ
0～10 VDC F.S.
2%～100%F.S.
±1%F.S.(精度保証範囲 15～35℃)※注 3）
圧力に比例 0.2～10VDC±1.0%F.S.（15～35℃）
流量に比例 0～5VDC±0.5% F.S.
±0.2%F.S.
≦3sec ※注 4）400kPa G
1MPa G±0.1%F.S./℃±0.1%F.S./℃
5～50℃
－11
≦1×10 Pa・m3/sec He
指定無し(自由)＋15 VDC：50mA、－15 VDC：200mA±15 VDC
アナログ：0～10 VDC、デジタル：RS-485（フジキンプロトコル）
SUS316L、磁性ステンレス、PTFESUS316L
無し（オプション：EP 処理）（EP 処理「継手、継手フランジ、本体ボディーのみ」その他は機械加工仕上げ）
1/4” UJR、1/4” F900、1/4” 1.5 W-Seal、1/4” 1.125 W-Seal、1/4” 1.125 C-Seal
1.1kg
RS-485、標準通信速度 38400bps、最大接続台数 127 台※ 注１）弊社では流量（SCCM、SLM）は 0℃、101.3kPa abs.（1atm）に換算して校正しています。
※ 注２）温度影響の基準は 25℃。
※ 注３）圧力センサー出力と圧力設定信号のレベル差精度です。圧力値の精度はご使用になる圧力センサー精度に依ります。
※ 注４）応答性で示す時間は、上流側圧力制御の場合は最大制御圧力値から目標圧力値の±2％F.S.に到達する時間、下流側圧力制御の場合は最小制御圧力値から目標圧力値の±2％F.S.に到達する時間です。配管容積等の条件に合わせた応答調整が必要な場合がありますNo.TR1-SP-CU-M-153-2_ 3/8

2. 外部入出力仕様
D-SUB9 ピン オスコネクタ

１RJ11 コネクタ

６
※ D-Sub コネクタのカン合ネジは、M3 と＃4-40 UNC の両タイプを用意しています。
※ 品番決定時には、3. PCST1000 シリーズ品番体系表 ⑤ の D-Sub カン合ネジを参照してください。

D-SUB9 9 ピンコネクタピン配列
Pin No.
信号名
1
バルブ開閉入力
2
流量出力電圧：0～5 VDC
3
電源 ：＋15 VDC
4電源 ： 0 VDC
5
電源 ：－15 VDC
6圧力設定電圧：0.2～10 VDC
7
流量出力電圧：COMMON
8
圧力入力電圧：0～10 VDC
9N.C.

内 容＋15 VDC：全開、0 VDC：全閉
流量出力電圧プラス側：0～5 VDC
正電源供給ライン：50 mA±15VDC のコモンライン
負電源供給ライン：200 mA
圧力設定入力プラス側：0.2～10 VDC
流量出力電圧のコモンライン
圧力入力電圧プラス側：0～10 VDC
未使用端子 （接続しないで下さい。）

RJ11 コネクタピン配列
Pin No.
信号名
1N.C.
2N.C.
3Signal [－Txd/Rxd].
4
Signal [＋Txd/Rxd]
5
N.C.
6
N.C.

内 容
未使用端子 （接続しないで下さい。）
未使用端子 （接続しないで下さい。）
RS485 2 線式 送受信マイナス
RS485 2 線式 送受信プラス
未使用端子 （接続しないで下さい。）
未使用端子 （接続しないで下さい。）

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3. PCS T1000 シリーズ品番体系表
PCST1005MFC

4J2-①シリーズ表示

②継手形式

-

F100-

③フルスケール流量

AR
④ガス種

-U-

⑤カン合ネジ001⑥特殊仕様番号

-

EP
⑦表面仕上

① 流量制御機器のシリーズを表示します。
シリーズ表示ノーマルクローズバルブ
PCST1005MFC
PCST1030MFC
PCST1050MFC

流量レンジ（N2 換算）

10、20、30、50、100、200、300、500 SCCM、1、2、3、5 SLM
6、10、20、30SLM
31、40、50SLM② 継手の形状、サイズ、面間寸法を表します。各継手の面間寸法になります。
②の継手形式略号
4J24J14F24WS14WS24CW14CW24CL2継手形状
1/4” UJR
1/4” UJR
1/4” F9001/4” 1.5 W-Seal
1/4” 1.5 W-Seal
1/4” 1.125 W-Seal
1/4” 1.125 W-Seal
1/4” 1.125 C-Seal

面間124mm
106mm
127mm
79.8mm
92mm
79.8mm
92mm
92mm

備考

4J2 継手の場合の品番例
PCST1005MFC-4J2-F100-N2-U(ノーマルクローズバルブ N2 100sccm

D-sub カン合ネジ# 4 - 40 UNC)

③ 各ガス種でのフルスケール流量になります。(例、10SCCM：F10:、1SLM：F1L:)④ 各ガス種の化学式を大文字で記入ください。（例、Ar→AR、3％SiH4/97％He→3％SIH4/HE）⑤ D-Sub カン合ネジ
未記入
UM3# 4 - 40 UNC⑥「１．一般仕様」の仕様範囲を超えた圧力条件及び標準継手以外の継手は特殊仕様で対応いたします。
未記入
標準仕様
3 桁数字
特殊仕様
※ 特殊仕様を示す 3 桁数字は、お問合せ願います。

⑦ 接ガス部表面仕上げ
未記入

機械加工仕上げ機械加工表面粗さ： Ra≦0.8μm

EP（オプション）

EP 処理

EP 処理表面粗さ： Ra≦0.2μm※ EP 処理「継手、継手フランジ、本体ボディーのみ」その他は機械加工仕上げ

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4. 外観図PCST1005MFC-4J2

PCST1005MFC-4F2

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PCST1005MFC-4J1

PCST1005MFC-4CL2

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PCST1005MFC-4CW1

PCST1005MFC-4CW2

No.TR1-SP-CU-M-153-2_ 8/8

PCST1005MFC-4WS1

PCST1005MFC-4WS2