CUBEGM 取扱説明書‐FCON1606

取扱説明書
CUBE GM シリーズ

ご使用される前に、必ず本取扱説明書の内容をご理解の上、正しくご使用願います。

エフコン株式会社

目次
1. 概要
2. 仕様
3. ご使用方法(1)パネルスイッチ(2)操作(3)停止
4. 外観図5. 製品保証
6. お問い合わせ・連絡先
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エフコン株式会社

CUBEGGM 取扱説明書
書‐FCON16066

製品をを安全にごご使用いた
ただくためめに■はじじめにガス混混合器 CUBEEGM シリーズ
ズをご採用いいただき誠ににありがとうございます。
。本製品に対対するご理解を得得ると共に、、本製品の性性能を十分にに発揮させ、安全にご使使用いただく ためにも、本製品をご使用にになられる前前に本取扱いい説明書をよよくお読みくください。

■絵表
表示およびび警告文字
字表示につついて
本説明明書には、製製品を安全にに使用するううえで必要なな警告、およよび注意事項
項を下記の絵と警告文字が表示示されていまます。
示を無視してて誤った使い方をすると、使用者が死死亡又は重傷傷を負う可能
能
この表示
警告性がありり、その危険険を避けるための警告事項
項が記載されれていることと表します。
この表示
示を無視してて誤った使い方をすると、使用者が軽軽度の傷害をを負うか、ま注意

たは製品品に損害を生生ずる恐れががあり、その危危険を避けるるための注意意事項が記載
載されていいること表しします。
本製品をを、安全・快快適に使うために理解していただきたたい内容を示示します

明書の内容にに関しては製製品改良のたため、予告ななしに変更すすることがあありますのでご了承くだ
本説明
さい。
。
明書の内容ににつきましてては万全を期期しておりまますが、万一一不備な点やや記載もれ等お気付きの本説明
点がございました
たら、弊社ままでご連絡下下さい。

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エエフコン株式式会社

CUBEGGM 取扱説明書
書‐FCON16066

安全のたために次次のことはは必ず守っって下さいい。
安
安全上の注意
意事項

[警告]
（１）
）供給電源
源電圧は必ずず仕様に記記載された範範囲内で使使用してく ださい。
範囲を超ええた条件で使使用した場合合、本体の故障、火災の危危険がありまます。定格範囲は、AC85～125ＶＶとなっていいます。

（２））分解、改改造はしないでくださ
さい。
分解や改造造を行うと本本来の性能をを十分に発揮揮されないばばかりではなく、本体の故障、火火災の危険ががあります。また、内部にには高電圧がが印加されてている箇所があり、感電の危険険がありますす。

容を確認の（３））電機配線線（結線）にに際してはは本説明書に記載されれている内容の上、正しく配線（結線）してて下さい。

誤配線（結結線）は本体体の故障だけけでなく、火火災の危険ががあります。

（４）
）本ユニッ
ットは、防爆爆仕様でははありませんん。可燃性性ガス、爆発発性ガス、腐食ガスが発生、充満している場所おおよびその周周辺では使使用しない で下さい。
上記環境下下での使用はは、爆発およよび火災の危険があります
す。また、腐腐食性ガスが発生、充満してい る場所およびびその周辺ででの使用は本本体に重大なな損傷を険がありますす。
与える危険（５））通風孔かから内部に異異物を入れれないで下さい。
内部に金属属類や燃えややすいものななどを差し込込んだり、水ををこぼしたりりしないで下さい。感電およびび火災の危険険がありますす。

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エエフコン株式式会社

CUBEGGM 取扱説明書
書‐FCON16066（６））動作周囲
囲温度、湿度度は仕様にに記載された範囲内でで使用して下下さい。
動作周囲
囲温度は、温温度 5～50 度、湿度度
30～～80％、またた腐食性ガス
スのない環境でごご使用下さい
い。上記環境
境以外での使用は、故障のの原因となりります。

（７）
）供給電源
源電圧（AC ライン）
ラの接接続は、必ず非通電をを確認して から行ってて下さい。
通電したたままで行う
うと、短絡にによる本体の故障、破壊 および、感電電の危険がありります。必ずず、電源スイッチがＯＦＦであるこ とを確認しててから行って下下さい。

（８）
）本ユニッ
ットの電源ググランドはは必ず設置してご使用用下さい。
本ユニッ
ットの電源グ
グランドを設設置せずにごご使用の場合 、感電する危危険性がありまます。

[注意事事項]（１） 本ユニットは、スイッッチング方式式の電源を使使用しているるため、AC 電電源投入時ににラッシュ電電ます。ブレーーカー、ヒュューズをご使使用の際にはは、スローブブロータイプ
プの遮断器を流が流れま使用してください。
な電子、機械
械部品で構成成されていまます。落とししたり強い衝衝撃を与えな（２） 本ユニットは、精密ない。
いで下さい
発生しやすいい環境でご使使用になる場
場合は AC1000V 入力ラインンにノイズフフィルター（３） ノイズの発をご使用下下さい。
後、配管系ににリークが無無いことを確確認し、配管管内のパージジを確実におおこなってく（４） 配管接続後ださい。

告事項およびび注意事項をを守り、正しく安全にご使使用ください
い。
以上の警告
また、取扱扱説明書にはは、個々の項 目でも、注意意事項が記載載されていまますので、使使用時にはそそれらの注意意事項を守りり、正しくごご使用下さい。

4/9エエフコン株式式会社CUBEGM 取扱説明書‐FCON1606

１． 概要
本製品はマスフローコントローラーを使用した、ガス混合器です。
各ガスラインをマスフローコントローラーで気体流量制御することにより任意の混合気体を作る事が出来ます。混合比はマスフローコントローラーの流量に依存する為、混合気体と混合比に合う流量選択が必要になります。
２． 仕様
品名

CUBE GM シリーズ

サイズ

CUBEGM2：W315×D298×H250
CUBEGM3：W415×D298×H250
CUBEGM4：W515×D298×H250（配管接続口含まず）

入力電源

AC100V

消費電流

約 1A

流量制御機器

MFC：C1000 シリーズ

流量制御範囲5%～100％F.S. (0.25～5V)

流量精度

マスフローコントローラーに準ずる

制御電源

PA01PS

流量設定

0～5V ポテンションメータ

流量設定/出力表示

00.0～1999（レンジ指定可）

表示切替え（設定/出力）

トグルスイッチにより切替え

漏れ試験

N2，0.5MPa(G) 5 分間減圧なし

耐圧

マスフローコントローラーに準ずる

接ガス部材質SUS316、PTFE、フッ素ゴム

ガスライン

標準（2・3・4 ライン）搭載 MFC

仕様により選択

配管接続口

仕様により選択使用環境

温度 5～50℃ 精度保障範囲（15℃～35℃）
湿度 30％～80％（結露無き事）

重量GM2：約 9kg GM3：約 13kg GM4：約 17kg

付属部品

AC コード（2M）、変換プラグ

添付書類

CUBEGM 取扱い説明書、
マスフローコントローラー取扱い説明書
PA01PS 取扱い説明書

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３． ご使用方法（１） パネルスイッチ

①③⑤⑦
CLOSE

OPEN

④②⑥
POWER

CLOSE

OPEN

CLOSE

OPEN

OPEN

CLOSE

⑨LINE1LINE2LINE3MIXING GAS-OUTLET⑧⑩⑪⑭⑬① ガス LINE1 の制御電源② ガス LINE1 のストップバルブ③ ガス LINE2 の制御電源④ ガス LINE2 のストップバルブ⑤ ガス LINE3 の制御電源⑥ ガス LINE3 ストップバルブ⑦ 混合ガス出口のストップバルブ⑧ 本体の電源スイッチ⑨ 混合ガス出口の接続口⑩ ガス LINE3 の配管接続口⑪ ガス LINE2 の配管接続口⑫ ガス LINE1 の配管接続口⑬ AC 電源接続口⑭ ヒューズ

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CUBEGM 取扱説明書‐FCON1606（２） 操作① AC ケーブルを接続下さい。
② 全ストップバルブが閉であることを確認し、各ガスラインにご使用するガスを接続下さい。
③ 配管に接続後、配管系にリークが無いことを確認し、配管内のパージを確実におこなってください。
④ MFC の安定の為 20 分以上通電して下さい。
⑤ ご使用される混合濃度に各ガスラインの制御電源の設定を行って下さい。
※電源の取扱いは PA01PS 取扱い説明書をご参照ください。
⑥ ご使用されるガス LINE にガスを供給して下さい。
※供給圧力は 200kpa 程度に調整して下さい。
※低圧仕様の場合は 50kPa～100kPa に調整して下さい。
※各ラインへの供給圧力は同程度の圧力に調整して下さい。
⑦ ご使用されるガスラインのストップバルブを開けて下さい。
⑧ 混合ガス出口のストップバルブを開けて下さい。
⑨ 混合ガスが供給されます。
⑩ 濃度調整を行う場合は各 MFC の設定流量を変更することで調整できます。
（３） 停止・使用を終了する際は残ガスを排気して終了して下さい。
①②のバルブを閉め残ガスが排気された事を確認し③を閉めて下さい。
[警告]・装置を取り外す際は、必ずガス混合器への供給ガスのバルブを閉め残ガスを排気後に行って下さい。

４． 外観図（１） 外形寸法

CUBEGM2：W315×D298×H250
CUBEGM3：W415×D298×H250
CUBEGM4：W515×D298×H250（配管接続口含まず）

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５． 製品保証（１） 保証期間
通常のご使用において万一故障が発生した場合には、弊社出荷後 1 年以内で下記（3）項以外の故障品は無償修理を行います。
（２） 保証範囲CUBEGM 本体に限定し、本体の故障によって生じた損害の保証は行いません。
（３） 免責事項
以下の場合は、保証期間であっても無償修理の対象とはなりませんので、ご注意下さい。
①

火災、天災等の災害による故障②

本体の分解・改造に起因する故障③

定格仕様の範囲を超えて使用された場合④

気体流量制御以外でご使用された場合⑤

その他、弊社の責任外と判断された場合。

６． お問い合わせ先・連絡先
この取扱説明書について不明点及び製品に異常が御座いましたら、下記へお問い合わせ願。

保証書

FCON

お買い上げ日〒783-0060
高知県南国市蛍が丘 1 丁目 1 番地 1
南国オフィスパークセンター109

エフコン株式会社

TEL/088-855-7100

FCON.CO.,LTD.

FAX/088-855-7166

本保証書は再発行致しません。大切に保管して下さい。

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E-mailcontact@fcon-inc.jp

URL

http://www.fcon-inc.jp