創成電極工具を用いた微細放電加工*
和合健**、飯村崇**、鄭鋼***、藤村和彦***

IMY 連携会議「自動車部材関連における超精密加工技術」において岩手県は放電加工原理による微細穴加工についてプラスチック歯車金型を対象に取り組んでいる。ここではφ240±5μm 深さ 2.4mm を目標値としてパイプ電極による深穴加工を試みた。φ0.1mm の Cu パ
イプ電極を使用して２種類の加工条件 D1(電気条件 E1951)、D2(電気条件 E855)を設定して加工した結果、双方で実用的な深穴加工ができることを確認した。
キーワード：放電加工、深穴加工、パイプ電極、プラスチック歯車金型

Study of Micro-EDM Processing using
Electrode Tool Formed by EDM
WAGO Takeshi, IIMURA Takashi, ZHENG Gang and FUJIMURA Kazuhiko
Micro hole processing by electrical discharge machining principle was studied by Iwate prefecturegroup in order to manufacture die of plastic gear, and this study was positioned in IMY cooperation
meeting “Development of ultra-precision machining technology for automobile manufacturing”.
Deep holes were processed using pipe electrode tool to set nominal value as φ240±5μm depth to2.4mm. As a results, it was found that deep hole processing could be performed practically on bothconditions. Two conditions was showed below, so common setting was pipe electrode tool of Cuφ0.1mm, difference settings were D1(electrical pack as E1951) and D2(electrical pack as E855).
key words : EDM, deep hole processing, pipe electrode tool, die of plastic gear
1緒

言後に生じるスラッジ除去方法が要点になる。通常は電極

本テーマは宮城県、山形県、岩手県で構成する IMY 連

ジャンプ、電極揺動、加工液噴出、噴射によりスラッジ携会議「自動車部材関連における超精密加工技術」で共除去を行っている。ここで噴出とはパイプ穴から加工液同研究として取り組んでいる。岩手県の分担課題は放電を排出する場合、噴射とは加工槽内のノズルから加工液加工原理による微細穴加工についてプラスチック歯車金を排出する場合を指す。今回は細穴加工が対象であるの型を対象としている。プラスチック歯車は大量生産できで大面積加工で有効となる電極ジャンプ、電極揺動は効ることから製品の低コスト化が可能である。最近では情果が小さいと予想され、細穴加工で最も汎用的に使用さ報家電分野などの精密動作を必要とする機器においてもれているパイプ電極による加工液噴出がスラッジ除去に

金属製歯車からプラスチック製歯車への置き換えが進ん最も有効であると予測して実験を進めた。

でおり、さらに微小なサイズのプラスチック歯車製作の２－２ためプラスチック成形金型の微細化が求められている。

放電加工によって穴径をφ0.24±0.005mm に仕上げ

本報では、パイプ電極を使用した微細軸穴を形成する

る場合、パイプ電極を使用した時の穴径は式(1)で示され加工方法について試みた。
２実験方法

２－１

穴径の高精度化る。
Dia=2pp+2yd+2gp・・・・ (1)

目標値

プラスチック歯車のローター軸はモールドの流れ性を

ここで、Dia は穴径(mm)、pp はパイプ電極の半径、考慮した穴径の決定が必要となる。ここでは金型軸穴にyd は揺動半径、gp は放電ギャップと振れ誤差を足した

モールドが流れ込む最小穴径を経験値からφ0.24mm と余分値となる。パイプ内径により生じる放電残留片（以定義した。金型軸穴の目標値はφ0.24±0.005mm 深さ下、へそという）除去できる最小穴径を図１で説明する。

2.4mm として穴径の高精度化と L/D 比が 10 倍の微細深中心線の交点が揺動中心であり揺動半径をパイプ電極内穴形成する。深穴加工を第一目標とした場合は放電加工径の半径未満でへそ除去ができる。式(2)～式(4)にφ*
基 盤 的 ・先 導 的 技術 研究 開 発 事業**
電子機械技術部*** (株)ニュートン

岩手県工業技術センター研究報告pp第 14 号（2007）

が拘束ガイドと電極経の差により振れ誤差が生じ、穴径ppの高精度化のためには振れ誤差を定量化する必要がある。
３実験その１：φ0.2mm パイプ電極（電気条件がE1952 の場合）

３－１

実験方法

外径φ0.2mmのCuパイプ電極を使用して異なる３種類の加工条件を設定した。共通設定は加工物がSKH51(HRC60)、ツールパスは単純Ｚ下送り、パイプ内yd

径から加工液噴出、Ｅパック（電気条件）1)はE1952 とした。E1952 はCuパイプφ0.2mmを使用する場合の一

図１

へそ除去時の最小穴径般的な推奨条件である。加工条件A1、A2、A3 の異なる設定は加工深さ指令値がA1 でZ-2.0mm、A2 でZ-4.0mm、A3 でZ-20.0mmのみである。ここでは加工物表面をZ=0とした。
３－２ホルダー

実験結果及び考察

放電加工がミーリング加工と比較して大きく異なる点
は加工物除去に伴い電極が消耗することである。表１のとおり A1 では Z-2.0 の指令値に対して実際の加工深さ

拘束ガイド

は 1.000mm、A2 では Z-4.0 の指令値に対して加工深さ2.312mm 、 A3 で は Z-20.0 の 指 令 値 で 加 工 深 さ13.394mm となった。電極消耗率α(%)は式(5)から算出した。

図２

電極ホルダーと拘束ガイド

α=(a/t)×100・・・・(5)0.2mm、φ0.1mm、φ0.08mmのパイプ電極径を使用しここで a は電極消耗長さ(mm)、t は加工深さ(mm)とたへそ除去最小穴径を示す。へそ除去の最小径をDiaminなる。電極消耗率は A1 が 100.9％、A2 が 73.4％、A3とすると以下の関係式となる。ここで放電ギャップと振が 202.5%となり加工深さが大きくなるに従い電極消耗れ誤差を合計した余分値は 0.007mmと仮定した。

率も大きくなる傾向がある。図３から加工深さの増加に伴い電極消耗長さが増大していることがわかる。これはDia(φ0.2)=2×0.1+2×0.05+2×0.007=0.314mm＜Diamin・・・・ (2)

穴深さが大きくなるほどスラッジ排出が困難になり放電加工効率が低下するためと思われる。パイプ電極によるDia(φ0.1)=2×0.05+2×0.025+2×0.007

深穴加工はスラッジ除去性能が高く L/D 比は最大で A2=0.164mm＜Diaminの時に 2.312/φ0.246=9.4 を得た。加工速度は 30μ・・・・ (3)Dia(φ0.08)=2×0.04+2×0.02+2×0.007

m/min 程度であり A1～A3 では大きな差は見られない。

=0.127mm＜Diamin

パイプ電極の噴出を使用するスラッジ除去により加工す・・・・ (4)ることで深穴加工が容易に行えることが分かったので今上式で示したへそ除去最小穴径を目安にして、下線で示した余分値を加工条件毎に定量化することでパイプ電後はパイプ電極経の縮小、加工径精度の二つに要点を置くこととした。

極により目標値φ0.24±0.005mm を達成できると推測した。
２－３

表１
実験装置

放電加工機は三菱電機製 EDSCAN8E を使用し、図２に示すパイプ電極を固定するホルダーは菱電工機製
RCH-03LA を使用した。このホルダーはシール機能を持
ち電極保持径が 0～0.5mm に対応できるユニバーサルな保持機構を有している。パイプ電極の注意点は既存の電極をコレットで固定するため芯振れ誤差が生じる。パイプ電極が通常使用される長さ 100mm 程度の長い電極では図２に示す拘束ガイドを使用して振れ誤差を低減する

実験その１の加工条件

加工条件
Eパック
電極(mm)
加工深さ指令値(mm)
加工時間(h:m:s)
電極消耗率(%)
加工深さ(mm)
消耗長さ(mm)
加工速度(mm/min)
加工穴径φ(mm)
径拡大量(mm)

A1E1952
Cuφ0.2-231'2''
100.9
1.000
1.009
0.032
0.240
0.040A2E1952
Cuφ0.2-443'50''
73.4
2.312
1.698
0.053
0.246
0.046

A3E1952
Cuφ0.2-20
3h24'44''
202.5
6.614
13.3940.032-加工深さ(mm)消耗長さ(mm)

16141210864200.08
0.070.060.050.04
0.03
0.02
0.01
0

加工速度(mm/min)

A1

図３A2
加工条件

噴出有り、ツールパスは Z 単純下送り Z-2.0mm とした。
異なる加工条件は表２に示すとおり電気条件において加工速度(mm/min)

長さ(mm)

創成電極工具を用いた微細放電加工

Micro-SF 回路、極間コンデンサ、電圧 Low となる３つの微細放電設定値の組み合わせを変えた。大元の電気条件となる E パックは３種類とも共通の E855 とした。
４－２

実験結果及び考察

E パックが E855 とはピーク電流 IP が 0A の設定で加工機本体をコンデンサとする浮遊容量を使用して放電加工を行う極小電気条件である。E855 に対して Micro-SF

A3回路、極間コンデンサ、電圧 Low の微細放電設定値を付加することにより目的に応じた電気加工条件を設定する

Cu パイプ電極φ0.2（E1952）の場合ことができる。B1 が最小電気条件の組み合わせとなり
表２41’18’’で加工を中断した。図４のとおり加工速度は 0.9

実験その２の加工条件

加工条件
B1
B2
B3
Micro-SF回路
ONOFFOFF
極間コンデンサ OFFOFFON
電気条件
電圧Low
ONOFFOFF
Eパック
E855
E855
E855
電極(mm)
Cuφ0.2 Cuφ0.2 Cuφ0.2
加工深さ指令値(mm)-2-2-2
加工時間(h:m:s)
41'18'' 1h43'52'' 1h6'43''
電極消耗率(%)
15.1
68.7
135.5
加工深さ(mm)
0.037
0.687
0.442
消耗長さ(mm)
0.005
0.472
0.599
加工速度(μm/min)
0.00090.00660.0066
加工穴径φ(mm)0.21460.22100.2223
径拡大量(mm)
0.015
0.021
0.022

μm/min で加工深さは 0.037mm、電極消耗率は 15.1%であった。次に弱い電気条件は B2 ですべての微細放電設定値が OFF である。加工速度は 6.6mm/min で電極消耗率は 68.7%であった。B3 は極間コンデンサが ON で３つの中では最も強い電気条件である。加工速度は6.6mm/min で電極消耗率は 135.5%であった。この実験で最も注目している加工穴径は B1 でφ0.2146mm、B2でφ0.2210mm、B3 でφ0.2223mm と なり目標値 φ0.24mm を B3 で 0.0177μm 下回った。径拡大量は B1で 0.015mm、B2 で 0.021mm、B3 で 0.022mm となりE1952 の A1 の径拡大量 0.040mm と比較して半分程度

0.80.70.60.50.40.30.20.10.0ャップが小さくなったためと思われる。E855 を使用す0.0070.0060.0050.0040.003
加工深さ(mm)

B10.002消耗長さ(mm)0.001

加工速度(μm/min)

0.000

B2
加工条件

ることにより放電ギャップは小さくなることは分かった
加工速度(mm/min)

長さ(mm)に縮小化し、これは電気条件を小さくしたために放電ギ

B3が、加工能率を考慮した場合は E1952 の加工速度が A1で 0.032mm/min に対して E855 の加工速度が B2 では0.0066mm/min となり 4.8 倍異なる。加工能率と穴径の高精度化を追求するためにはさらに細いパイプ電極を使用する必要があることがわかった。
５５－１

実験その３：φ0.1mm パイプ電極
実験方法

Cu パイプ電極φ0.2（E855）の場合

表３のとおり外径φ0.1mm、内径φ0.05mm の Cu パ

実験その２：φ0.2mm パイプ電極（電気条件が E855た。加工条件 D1 は電気条件 E パックが E1951、D2 がの場合）

E855 とした。E855 時の微細放電設定は Micro-SF 回路

図４

イプ電極を使用して２種類の加工条件 D1、D2 を設定し４４－１

実験方法

が ON、極間コンデンサが OFF、電圧 Low が ON とし

第３項の実験その１ではメーカが推奨する通常のパイた。共通条件は加工物が SKH51(HRC60)、ツールパス

プ電極を使用した場合の電気条件 E1952 を設定した。電は単純 Z 下送り Z-0.8mm とした。加工穴の形状を測定

気条件 E1952 では放電ギャップと振れ誤差を含めた径するために２枚の平板を互いに合わせてバイスで挟み固拡大量が表１より A1 で 0.040mm、A2 で 0.046mm と定し、２枚板の接触線と加工穴中心が一致するように電なった。加工穴径は A1 で 0.246mm、A2 で 0.240mm

極中心を位置合わせして深穴加工をした。加工後に平板となり目標値φ0.24mm と比較して同等以上であるための断面を測定顕微鏡で寸法測定することにより加工穴の穴経の仕上げとへそを取り除くことが出来ない。電気条

円筒度を求めることができる。

件を弱くすることで径拡大量の低減を試みた。加工条件

５－２

実験結果及び考察

B1、B2、B3 の異なる３種類を設定した。共通条件は電φ0.1mm のパイプ電極では内径がφ0.05mm となる

極が Cu パイプφ0.2mm、加工物が SKH51(HRC60)、

ため加工液がパイプ内径を通りパイプ先端から排出され岩手県工業技術センター研究報告
表３

実験その３の加工条件

加工条件
Eパック
電極(mm)
加工深さ指令値(mm)
加工時間(h:m:s)
電極消耗率(%)
加工深さ(mm)
消耗長さ(mm)
加工速度(mm/min)
加工穴径φ(mm)
径拡大量(mm)

D1E1951
Cuφ0.1-0.89'2''
121.78
0.374
0.455
0.041
0.1460.046

D2E855
Cuφ0.1-0.8
41'11''
14.06
0.664
0.212
0.016
0.120
0.020

0.70.5mm/div

0.030.40.30.020.2

加工深さ(mm)0.01

消耗長さ(mm)0.1

加工速度(mm/min)

0.0D10.00D2

加工条件

図８D2 の場合の軸穴断面図

0.0100.008
へそ高さ(mm)0.040.5

加工速度(mm/min)

0.05

0.60.006
0.0040.002

図５

Cu パイプ電極φ0.1 の場合
0.0000.150

D1D2

図９0.1300.120

Cu パイプ電極φ0.1 の場合のへそ高さる現象が達成できるかを検証したところ雫程度の勢いではあるが加工液が噴出できることを確認した。図５のと0.110

おり電気条件を E1951 とした D1 は加工深さ 0.374mm

0.1000図６D2
加工条件

D10.140
穴径(mm)

長さ(mm)

第 14 号（2007）-0.1-0.2 -0.3 -0.4
加工深さ(mm)-0.5

Cu パイプ電極φ0.1 の軸穴の円筒度-0.6で加工を中断しその時点での電極消耗率は 121.7%、加工速度は 0.041mm/min であった。電気条件を E855 とした D2 は加工深さ 0.664mm で加工を中断しその時点での電極消耗率は 14.1%、加工速度は 0.016mm/min であった。D2 では当初の予想を上回る大きな加工速度となり D1 と D2 の双方で実用的な深穴加工ができることを確認した。加工穴径は D1 でφ0.146mm、D2 でφ0.120mm となり目標値φ0.24mm の穴径加工を行うた
めに D1 の場合で 0.094mm となる穴径仕上げを行うための十分な余裕寸法が得られた。径拡大量は D1 で0.046mm、D2 で 0.020mm となり両者の差 0.026mm は放電ギャップ分と思われ、加工径精度の追求時に電気条件を変更することによりオフセット機能として有効活用できると予想した。互い合わせた平板の穴断面形状を測0.5mm/div定して円筒度を求めた。測定方法は平板上面の傾きを測定機のチルト機構を使用して測定機の機械座標系と一致するように調整した。図６に穴深さ 0.1mm 間隔で測定

図７

D1 の場合の軸穴断面図

した穴径の変動を示し、図７及び図８に各条件での軸穴断面図を示す。D1 では穴深さが大きくなるに従い穴径が小さくなり、加工穴の上面と底面の差は穴径で0.0136mm となった。D2 では Z-0.4mm まで穴径上面と創成電極工具を用いた微細放電加工の差は非常に小さいが Z-0.5mm で穴径上面との差はがある。

0.0065mm となった。D1 は D2 に比べて電気条件が強い(2) 外径φ0.2mm の Cu パイプ電極を使用し極小電気条ため電極先端が消耗したため軸穴形状が先細りになった

件の E855 と３種類の微細放電設置値の組み合わせと思われる。D2 では軸穴形状の先細りも非常に小さくになる B1～B3 により加工した。その結果、加工穴良好な結果が得られた。へそ高さを図９に示す。D1 で径は B1 でφ0.2146mm、B2 でφ0.2210mm、B30.005mm、D2 で 0.0075mm のへそが測定された。φ0.1でφ0.2223mm となり目標値φ0.24mm を下回るこ

パイプ電極を使用することにより通常は残るへそがパイとができた。

プ内径で生じる放電加工現象により除去されていた。φ(3) Cu パイプφ0.1mm の電極を使用して２種類の加工0.1 パイプ電極を使用することによりへそ除去が軸穴加条件 D1(電気条件 E1951)、D2(電気条件 E855)を設工と同時に行われ有効作用となった。

定して加工した。その結果、D1 は加工深さ 0.374mm
時の加工速度が 0.041mm/min、D2 は加工深さ６結言

パイプ電極による深穴加工に取り組み以下の事項が明らかとなった。
(1) 外径φ0.2mm の Cu パイプ電極を使用し電気条件は通常加工で使用する E1952 により加工深さ指令値0.664mm 時の加工速度が 0.016mm/min となり双方で実用的な深穴加工ができることを確認した。
(4) φ0.1 パイプ電極を使用することにより通常は残るへそがパイプ内径で生じる放電加工現象により除去できることがわかった。

を A1: Z-2.0mm、A2: Z-4.0mm、A3: Z-20.0mm として加工した。その結果、電極消耗率は A1 が100.9％、A2 が 73.4％、A3 が 202.5%となり加工深さが大きくなるに従い電極消耗率も大きくなる傾向

文献1) 三菱電機(株)：三菱 NC 型彫放電加工機 EX シリーズ
取扱説明書