［研究報告］

マイクロ波を利用した非接触による水の比誘電率測定
熊谷隆美

、大坊＊＊

＊真洋

＊＊＊

6GHｚ〜12GHｚのマイクロ波を利用したタイムドメイン法により、非接触での水の比誘電率測定を試みた。この測定結果から計算された水の誘電率は、前報の接触型誘電率測定プロー
ブを用いた測定結果とほぼ同じ値であった。このことから、タイムドメイン法により非接触で水の比誘電率が測定可能であることが示された。
キーワード：マイクロ波、タイムドメイン法、誘電率

Non Contact Measurement of Water's Relative Dielectric
Constant by Time-domain Method Using Microwave
KUMAGAI Takami and DAIBO Masahiro
Relative dielectricconstantof water is measuredbynon-contacttypeprobeinmicrowavefrequency
range(6GHzto12GHz).Therelativedielectric constant valueisevaluatedbytime-domain methodand
isagreedwithourpreviousreportoncontacttypedielectricprobemeasurement.Therefore,non-contact
methodisapplicabletomeasuretherelativedielectricconstantofwater.
keywords:microwave, time-domainmethod, dielectricconstant
１緒

比誘電率を計算した。その結果、良好な結果が得られた

言

一般に、導体の物性定数として導電率があるのと同様ので以下にその概要を報告する。に、絶縁体（誘電体とも言う）には、電界中に置いた時に物質の内部構造に応じて生じる分極に基づく誘電率が２実験方法ある。誘電率は絶縁体個々の特性を表す指針となるもの２−１であり、そのため誘電率の測定には種々の方法が考案さ２−１−１１）れている

原理
伝搬時間と屈折率。しかし、応用となると電波吸収体の材料定

図１において、マイクロ波が大気中や試料中を伝搬し数の測定２）など限られた分野にしか利用されていない。

たとき、受信波の到達時間差と屈折率の関係は、試料の前々報３）及び前報４） において、著者は誘電率の変化を複素屈折率をｎとすると、その実部ｎ−ｊｎと虚部ｎ

食品などの等級選別に応用することを目的に、マイクロいてｎ＝ｎ波を利用した市販の接触型誘電率測定プローブを使用し、試料を透過するときの伝達時間をｔとするとを用と表される。そして、厚みがＤのエチレングリコール水溶液およびブドー糖水溶液の濃度と誘電率の相関について調べた。その結果両者ともに相ｔ＝ｎＤ／ｃ（１）

関があることがわかり、誘電率の変化を食品などの等級選別に利用できる可能性を示した。しかし、等級選別などに応用するためには、非破壊・非接触で誘電率を測定することが求められる。となる。ここでｃは光の速度である。
次に試料の各層境界からの反射波の到達時間をｔ１、ｔ２とし、試料の厚みをＤとしたとき、ｔ１、ｔ２とｎ

本報では前報の結果を踏まえて、非接触で誘電率の測ｃの関係は次式で与えられる。

定が可能かどうかを確認するため、誘電率が既知である
水を測定対象物として、マイクロ波による誘電率の測定

ｔ０−ｔ１＝２Ｄ／ｃ（２）を試みた。測定にはタイムドメイン法を使用し、マイク

ｔ２−ｔ０＝２(ｎ（３）−１)Ｄ／ｃ

ロ波の反射時間差から屈折率を測定し、その屈折率から＊ｱｸﾃｨﾌﾞｾﾝｼﾝｸﾞによる非破壊検査ｼｽﾃﾑの開発（第１報）（地域活性化連携促進事業補助金技術開発研究事業）＊＊ 電子機械部（現在岩手県立産業技術短期大学校電子技術科）、＊＊＊電子機械部、

岩手県工業技術センター研究報告

第７号（２０００）

ここで、ｔ０は試料が無い場合の金属板からの反射波ので与えられる。よって、侵入の深さは式（９）のｚに電到達時刻である。ｔ０を基準としたときの相対的な到達波が試料を通過した距離Ｄと、そのとき受ける減衰量時間をそれぞれｔ１（dＢ）をΔに代入して求めることができる ５）。

、ｔ２として、上の２式よりＤを消去すると、式（４）が得られる。

２−１−３複素誘電率の計算

複素比誘電率εを実部εrrと虚部εr を用いて
ｎ＝１−ｔ２／ｔ１（４）ε＝εrr −ｊε r と表すと、これらは次の近似式で求められる５）。

t1t2εr ≒(ｎ試料

λεr ≒金属板
Ｄ)２（１０）εr（１１）２πδpここで、λは電波の波長である。
２−２

屈折率測定方法

測定方法は、図１のように底面に金属板を貼付けた容器を用意し、水がある場合と無い場合のマイクロ波の反
図１

射時間をネットワークアナライザーのタイムドメイン計

円形容器を用いた屈折率の測定

測で測定し、反射時間の差から水の屈折率を求め、屈折よって、到達時間ｔ０、ｔ１、ｔ２を計測することにより、率から誘電率を計算した。円形容器はアクリル樹脂製でｎ

外径30cm、内径29cm、深さ5cmで、底にはステンレス板をが求められる。

５）２−１−２貼ってある。

侵入の深さ

侵入の深さδpとは、電波が試料中に侵入し伝搬すると測定周波数は6GHzから12GHzとし、送信出力は約10dBm

き、電波の電力が１／ｅに減衰する深さを示す。ｋ（ｚ）とした。まず、ネットワークアナライザーのポート1とポを深さｚの点における減衰定数とすると、ｚ点での電力

ート2のケーブルを接続し、レスポンス校正のスルーの項は次式のようになる。

目でキャリブレーションをとる。次にケーブルをホーンアンテナに接続し、水を入れない容器をホーンアンテナｚＰ(ｚ)＝Ｐ(０＋) exp｛−∫ｋ(ｚ)ｄｚ｝（５）０の中央に置き、一方のホーンアンテナから照射したマイクロ波が容器の金属底板に反射し、他のホーンアンテナ

ここで、Ｐ（０＋） は試料の表面直下（ｚ＝０＋）の点にで受信できるようにし、反射したマイクロ波の到達時間おける電力である。これより、侵入の深さの定義から、と強度を測定する。次に容器に試料の水を入れ、水面からの反射波と水を透過し金属底板からの反射波の到達時

Ｐ(δp)／Ｐ(０＋)＝１／ｅ（６）間と強度を測定する。このようにして、マイクロ波の到達時間の差と強度の差を計測する。なお、不要な電波のと表される。さらに、試料が均一で減衰定数がｋと見な反射を避けるため、内部に電波吸収体を貼った電波無響せるときｋ（ｚ）＝ｋとおけるので、式（５）は次式のよ箱内で測定を行った。実験に使用した機器を表１、実験

うになる。

装置の概要を図２、実験装置の写真を図３に示す。

Ｐ(ｚ)＝Ｐ(０＋)exp(−ｋｚ)

（７）

表１

実験に使用した機器
項目

内容

測定周波数

６ＧＨｚ〜１２ＧＨｚ

送信出力

約１０ｄＢｍ

ﾈｯﾄﾜｰｸｱﾅﾗｲｻﾞｰ

ｈｐ

８７１９Ｄ

減衰量をデシベル表示したものとなる。これをΔ（dＢ）

出力増幅ｱﾝﾌﾟ

ｈｐ

８３００６Ａとすると、侵入の深さδpの定義より

ホーンアンテナ

アステック

使用ケーブルsucoflex

さらに、両辺をデシベル表示すると次式のようになる。
10logＰ(０＋) −10logＰ(ｚ)＝4.343ｋｚ（８）

上式の右辺は、表面から深さｚに侵入したときの電波のδp＝１／ｋ＝4.343ｚ／Δ

（９）

３１１５

ＳＦ１０４−１８マイクロ波を利用した非接触による水の比誘電率測定
ホ − ンア ン テナ
３ １ １５

表２

ホ − ンア ン テナ
３ １ １５各境界からの受信時間と受信強度
項

三脚
ＴＲ−４

測定物質

三脚
ＴＲ − ４目

記号

受信時間

受信強度

(ns)

(dB)

水が無い場合の金属板からの反射

Ｍ０

t０= 12.593‑57.74

水表面からの反射

Ｍ１

t１= 12.401‑59.82

水を透過し金属板からの反射

Ｍ２

t２= 14.100‑77.32

同軸 ケ −ブ ルＳＦ １ ０４ − １ ８
同 軸 方向 性 結 合器
８ ７ ３０ ０ Ｃ

タ イ ムド メイ ン 追加

送信 出 力増強 追 加同軸 ア ッテ
ネー タ ー
８４ ９ ３Ｃ
増幅 器 用電 源
８７ ４ ２１ Ａ

マイ ク ロ 波増 幅 器
８３ ０ ０ ６Ａ

Ｇ Ｐ− Ｉ Ｂ
制 御ソ フ ト
Ｌ ａｂ ｖ ｉ ｅｗ

シス テ ム制 御 ・ 計算 装 置

図２

図３

ネット ワ−ク アナライ ザー
８ ７ １ ９Ｄ

実験装置の概要図４

水が無い場合のﾀｲﾑﾄﾞﾒｲﾝ計測結果

図５

水を入れた場合のﾀｲﾑﾄﾞﾒｲﾝ計測結果

実験装置の写真
３

実験結果

図４に容器が空の場合のタイムドメイン計測の結果を示す。横軸は送信アンテナから放射されたマイクロ波が反射し受信アンテナに到達するまでの時間を示す。縦軸は受信したマイクロ波の強度を示す。図４のピークＭ０は容器の金属底板で反射したマイクロ波を示しており、到達時間は12.593ns、受信強度は−57.74dBである。
図５に容器に水を入れた場合のタイムドメイン計測結４

考察果を示す。ピークＭ１が図４のＭ０より早い時間に計測以上の実験結果から、比誘電率の計算を行った。図４

されているが、これが水の表面で反射したマイクロ波での水がない場合の反射時間ｔ０を基準とした場合、図５あり、到達時間は12.401ns、受信強度は−59.82dBである。
また、ピークＭ２は最も時間がかかっているため、水を透過し金属底板で反射したマイクロ波であり、到達時間は14.100ns、受信強度は−77.32dBである。以上の結果を表２にまとめて示す。の水面からの反射到達時間は次のようになる。
t１＝12.401−12.593＝−0.192ns（１２）

岩手県工業技術センター研究報告
また、図５の水を透過した反射到達時間は次のようになる。

第７号（２０００）

なお、図４及び図５において反射波のピークがなだらかで明確なピークを捉えにくい。これは、タイムドメイン法が周波数領域を時間領域に逆フーリエ変換している

ｔ２＝14.100−12.593＝1.507ns（１３）ことに起因する。すなわち、分解能を上げるには掃引周波数の範囲を広げる必要があり、これにより測定精度の式（１２）と式（１３）の結果を式（４）に代入すると複素屈折率の実部ｎ向上が期待できる。

は次式のようになる。
５ｎ＝1−1.507/(−0.192)＝8.85（１４）

結語

今回の実験から、タイムドメイン法を使用して複素屈折率を求め、複素屈折率から複素誘電率を計算すること

この値を式（１０）に代入すると、水の比誘電率の実部εｒ は次式のようになる。

で非接触で水の誘電率が測定可能であることがわかった。
今後、測定周波数範囲を広げてより高精度な測定を可能にするとともに、様々な誘電率や形状の測定対象につ＝(8.85)２＝78.32

εｒ（１５）

いてデータを蓄積し、非接触検査法としての可能性について検討を行う予定である。

次に、図５のＭ１とＭ２のマイクロ波受信強度の差は、水を透過したことによるマイクロ波の減衰量（ｄＢ）である。従ってΔは次のようになる。

最後に、本研究を進めるにあたり種々の指導を戴いた
電子技術総合研究所

光技術部

小見山耕司主任研究官に感謝します。
Δ＝77.32−59.82＝17.50dB（１６）
なお、本研究は中小企業庁地域活性化連携促進事業補

また、実験に用いた水の深さは13.5mmであったため式助金技術開発研究事業により行われたものである。

（９）より侵入の深さδpは次式のようになる。
文
δp＝4.343×2×13.5/17.50＝6.70mm

（１７）

１）清水

献

康敬、杉浦

行：

電磁妨害波の基本と対策（社）電子情報通信学会
よって式（１１）より水の比誘電率の虚部εｒは次式のようになる。

２）橋本

3×10 /9×10 ×(78.32)
８＝電波吸収体入門

森北出版（株）PP.78‑89(1997)３）熊谷εｒ修：

PP.101‑118(1995)

９１／２

2π×6.70×10−３＝7.01 (１８)

５号
４）熊谷
６号

ここで、マイクロ波の波長λは測定周波数を6GHzから12５）橋本GHzとしたため、中間の9GHzの値とした。純水の比誘電率

術３）は実部が約80、虚部が約12であることから、マイクロ波を使用し非接触で比誘電率の測定が可能といえる。

隆美：

岩手県工業技術センター研究報告第PP.31‑34(1998)
隆美：岩手県工業技術センター研究報告第PP.25‑28(1999)
修：

マイクロ波・ミリ波帯における測定技（株）リアライズ社

PP.125‑130(1998)