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Development of Anodic Porous Alumina Membrane with Non-round PoresΣ- Removal of Barrier Layer by Sputter EtchingYouichi FUKUSHIMA, Masataka SHIMIZU, Masato KUKIZAKI and Hiroyuki KUROKI╩⠪ࠄߪ㧘ࠕ࡞ࡒ࠾࠙ࡓߩ㓁ᭂ㉄ൻߢᓧࠄࠇࠆ㧘ဋ৻ߥ࠽ࡁࠨࠗ࠭ߩሹ߇ⷙೣ⊛ߦ㈩೉ߒߚ᭴ㅧࠍᜬߟ㓁ᭂ㉄ൻࠕ࡞ࡒ࠽ᄙሹ૕ࠍ೑↪ߒߡ㧘⤑੃ൻᴺߩಽᢔ⚛ሶߣߒߡ㧘࠽ࡁࠨࠗ࠭ߩ 919 ࠛࡑ࡞࡚ࠪࡦ╬ࠍ↢ᚑߔࠆߩߦㆡߒߚⷺᒛߞߚ⇣ᒻሹࠍ᦭ߔࠆ㓁ᭂ㉄ൻࠕ࡞ࡒ࠽ᄙሹ⤑ߩ૞⵾ࠍ⹜ߺߚ㧚ᓥ᧪㧘㓁ᭂ㉄ൻࠕ࡞ࡒ࠽ᄙሹ⤑ߪ㧘㓁ᭂ㉄ൻࠕ࡞ࡒ࠽ᄙሹ૕ⵣ㕙ߦሽ࿷ߔࠆࡃ࡝ࠕጀߣ๭߫ࠇࠆ㐽Ⴇጀࠍൻቇࠛ࠶࠴ࡦࠣߢ㒰෰ߒ㧘⽾ㅢሹൻߒߡ૞⵾ߐࠇߡ޿ࠆ߇㧘㐿ሹㇱߩሹᒻ⁁ߪ౞ᒻߢ޽ࠆ㧚ߘߎߢ㧘ࠬࡄ࠶࠲ࠛ࠶࠴ࡦࠣߣൻቇࠛ࠶࠴ࡦࠣࠍ⚵ߺวࠊߖߚᣂߚߥࠛ࠶࠴ࡦࠣᴺࠍᬌ⸛ߒ㧘ࡃ࡝ࠕጀࠍ㒰෰ߒߚߣߎࠈ㧘ⷺᒛߞߚ⇣ᒻሹࠍᜬߟ㓁ᭂ㉄ൻࠕ࡞ࡒ࠽ᄙሹ⤑ࠍ૞⵾ߔࠆߎߣ߇ߢ߈ߚ㧚ࠠ࡯ࡢ࡯࠼㧦㓁ᭂ㉄ൻ㧘ࠕ࡞ࡒ࠽ᄙሹ૕㧘ࠕ࡞ࡒ࠽ᄙሹ⤑㧘⤑੃ൻ㧘ࠛࡑ࡞࡚ࠪࡦ㧝 ߪߓ߼ߦ㽲ࠕ࡞ࡒ࠾࠙ࡓ #N ࠍ㓁ᭂ㉄ൻߔࠆߣ㧘࿑㧝ߦ␜ߔ#NƷᘙ᩿ƴጁ݅ƳǢȫȟȊႝᐏᲢȐȪǢ‫ޖ‬Უƕ࢟঺ࠃ߁ߦ㧘Ԙࠕ࡞ࡒ࠾࠙ࡓߩ⴫㕙ߦ✺ኒߥࠕ࡞ࡒ࠽
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