R&S®RT-ZM
モジュラープローブ・システム

高速プロービングの課題への対処
このR&S®RT-ZM モジュラープローブ・システムは、今日のプロービング要件に応えるための、高度な技術と使いやすさを両立させたソリューションです。
プロービングソリューションにはさまざまな種類があり、広いプロービング帯域幅、ダイナミックレンジ、あるいは容量性負荷を極力抑えたい用途に適しています。
例としては、物理的に小さいプロービング領域に対応し接続状態を維持する、はんだ付けプローブチップや、温度－55 ℃～＋125 ℃の気候室内での環境試験用ソリューションなどがあります。

R&S®RT-ZM モジュラープローブ・システムは、高い性能で各種接続用途に柔軟に対応します。
システムには、さまざまな測定作業や条件に対応するプローブチップ・モジュールが付属しています。
これらのモジュールは、帯域幅1.5 GHz～16 GHzのアンプモジュールに接続できます。
モジュラープローブ・システムにはマルチモード機能もあり、さまざまな測定モードを切り替えて使用できます。
内蔵のR&S®ProbeMeter機能により、高精度のDC電圧測定を同時に実行できます。

交換可能なR&S®RT-ZM プローブチップ・モジュールを使用するR&S®RT-ZM モジュラー・プローブ・システム（­高性能のダブルソケットSMPスナップオンインタフェースを通じて、ローデ・シュワルツ・プローブインタフェースを備えたR&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュールに接続）¸RT-ZM

プローブアンプ・モジュール

PPP¸RT-ZM

プローブチップ・モジュール

N

コネクタ

マルチモード–

±4 V
終端
電圧+

マイクロボタンDCオフセット
補正

SMP

スナップオンN¸RT-ZM 増幅器（ASIC）

N

インタフェース––

シングル接続によるマルチ測定モードの実現

マルチモード機能を使用すると、シングルエンド、差動、コモンモードの測定の切り替えを、プローブチップの再接続やはんだ付けを再度行わずに実行することができます。
マルチモード機能は、社内で設計されたR&S®RT-ZMの高速アンプASICに実装されています。

マルチモード測定¸ProbeMeterA/Dコンバーター

測定モード

差動モード
（DM）

P

マルチモード説明

正と­負の入力ピンの間の電圧：
VDM = VP – VN
2V

Differential mode

0V

N
–2 V

コモンモード（CM）

P

マルチモードグランドに対する正と負の入力ピンの間の平均電圧：

VCM =1VN

2V

VP + VN
2Common mode

0VP

シングルエンド・モード

+–

1V
N
0V

ローデ・シュワルツのプローブインタフェース

GroundPモード

P

マルチモード

Nモード

P

マルチモード正または­負の入力ピンとグランドの間の電圧：
2V

P mode

1V

N

N

0V

N modeオフセット補正による最高分解能の実現
R&S®RT-ZM モジュラープローブ・システムは、±16 Vの固有のオフセット補正範囲を備えています。
測定信号のDC成分は、
プロー
ブチップ（差動R&S®RT-ZMアンプASICの上り）で補正できます。
この方法には、動作電圧範囲がプローブアンプ・モジュールのダイナミックレンジを超えて拡大され、必要な信号成分をオシロスコープ上に最大の分解能で表示できるという利点があります。
この機能は、マルチモード操作でも利用できます。

差動モード

コモンモードDMオフセット補正方式

P+5 V DC

CMオフセット補正方式

DMオフセット:+
VDM = VP – VN = 8 V –N+1 V DC––3 V DC+P

+17 V DC

+4 V
–4 V–

–

N

+15 V DC++16 V

CMオフセット:
VCM = 0.5 × (VP + VN)+1 V DC+1 V DC–+––1 V DC––

アプリケーション
アプリケーション
R&S®RT-ZMA30 ブラウザーモジュールを使用したシングルエンド信号のプロー 高いコモンモードレベルを持つ差動信号の測定
ビング（大きいDC成分と小さいAC信号が存在するパワーレールの測定など） （シリアル・バス・インタフェースなど）

シングルエンドPモード

シングルエンドNモードPモードオフセット補正方式

P+5 V DC

0 V DC–Pオフセット:N

Nモードオフセット補正方式

VPM = VP+–++P+5 V

Nオフセット:VNM = VN

–N–3 V DC+–––3 V

0 V DC–

アプリケーション
正ピンに大きいDC成分が重畳されたシングルエンドAC信号の測定

アプリケーション
負ピンに大きいDC成分が重畳されたシングルエンドAC信号の測定内蔵の高精度電圧計内蔵されたマイクロボタンによる便利な測定器制御内蔵のR&S®ProbeMeterは、ローデ・シュワルツのアクティブプローブの独自の特長です。
これはオシロスコープとは独立に動作し、信号のDC成分を0.05 %の確度で測定できます。
この測定は、連続的に、オシロスコープの波形捕捉と並行して実行されます。
R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール内部の専用ADCによって、測定されたDC電圧をただちにデジタイズすることで、高い精度が得られます。

R&S®RT-ZMのプローブアンプ・モジュールにはマイクロボタンが内蔵されており、測定作業に集中しながらオシロスコープを容易に操作できます。
マイクロボタンは、ローデ・シュワルツのオシロスコープ上で、実行／停止、自動設定、波形保存、トリガレベルの検出、自動テストレポートの作成など、さまざまな機能を実行するように設定できます。
­R&S®RT-ZM モジュラー・プローブ・システムは、マルチモード切り替え用にも設定できます。

電圧計

マイクロボタン設定

R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール
R&S®RT-ZM モジュラープローブ・システムでは、帯域幅1.5 GHz～16 GHzのアンプモジュールが使用できます。
これらのモジュールはローデ・シュワルツ・プローブ・インタフェースを備えており、ローデ・シュワルツのオシロスコープでプローブの自動検出と設定が可能です。
アンプには小型化された高品質の高周波同軸­ダブルソケットSMPコネクタが備わっており、さまざまなプローブチップ・モジュールを柔軟に接続して使用できます。

アンプのSMPコネクタは、DC～26.5 GHzの帯域幅を実現するように特別に設計されています。
このコネクタはリターンロスがきわめて小さく、接続と取り外しを繰り返しても高い再現性を示します。
ダブルソケットSMPコネクタにはコネクタアライメントが内蔵され、プローブアンプ・モジュールとプローブチップ・モジュールの間の接続を保護して、再現性の高い信号伝送条件を実現します。

R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール（ローデ・シュワルツ・プローブインタフ

ェース装備）。
このアンプは、ダブルソケットSMPコネクタを備えています。

プローブアンプ・モジュールの鍵となるコンポーネントは、社内設計の高度な高速ASICです。
このASICにより、アンプモジュールの帯域幅全体で高い信号再現性が得られます。

薄膜セラミック上に形成された独自のシングルコアASICは、切換可能な利得設定を備え、システムノイズを最小化します。
R&S®RT-ZM モジュラー・プローブ・システムのマルチモード機能も、ASICで実装されています。

ボードデザイン、シールド、高速ASICなど、プローブアンプ・モジ
ュールの洗練されたRF設計により、すべての利得設定と測定モードにおいて、温度範囲全体で業界最高レベルの小さいゼロ点誤差と減衰誤差を実現しています。

主な仕様

使用可能帯域幅（すべてのモデルがマルチモード動作をサポート）

ダイナミックレンジ（切換可能な利得設定によりシステムノイズを低減）
立ち上がり時間

動作電圧範囲

­R&S®RT-ZM プローブ­アンプ・モジュールの社内設計のシングルコア高速ASIC。

❙❙ R&S®RT-ZM15：1.5 GHz❙❙ R&S®RT-ZM30：3 GHz❙❙ R&S®RT-ZM60：6 GHz❙❙ R&S®RT-ZM90：9 GHz❙❙ R&S®RT-ZM130：13 GHz❙❙ R&S®RT-ZM160：16 GHz❙❙ 10:1減衰の場合：±2.5 V❙❙ 2:1減衰の場合：±0.5 V❙❙ R&S®RT-ZM15：＜230 ps❙❙ R&S®RT-ZM30：＜100 ps❙❙ R&S®RT-ZM60：＜75 ps❙❙ R&S®RT-ZM90：＜50 ps❙❙ R&S®RT-ZM130：＜35 ps❙❙ R&S®RT-ZM160：＜28 ps±5 V＋DCオフセット電圧

DCオフセット電圧

すべての動作モードで±16 V

追加機能

内蔵高精度電圧計、測定器制御に便利なマイクロボタン

入力抵抗

サポートされるローデ・シュワルツのオシロスコープ

400 kΩ（差動モード）
200 kΩ（シングルエンドモード）

R&S®RTE、R&S®RTO1000、R&S®RTO2000、R&S®RTP

R&S®RT-ZM プローブチップ・モジュール
R&S®RT-ZMA10/-ZMA11 はんだ付けプローブチップ・モ
ジュール

R&S®RT-ZMA10およびR&S®RT-ZMA11 はんだ付けプローブ
チップ・モジュールは、接続ピッチの狭いテストポイントや、届きにくいテストポイントに接触するためのソリューションです。
どちらのモジュールも、マルチ­モード測定ではんだ付けをやり直す必要がなく、半永久的はんだ付け接続が可能です。

R&S®RT-ZMA14 はんだ付けフレックスコネクト・プローブ
チップ・モジュール

R&S®RT-ZMA14 はんだ付けフレックスコネクト・プローブ・チップ・モジュールは、接続ピッチの狭いテストポイントへの接触に最適です。
モジュールには10個のはんだ付けプローブチップが付属しており、複数のテストポイントへの接続を準備できます。
このプローブチップ・モジュールは、マルチモード測定をサポートします。

R&S®RT-ZMA12 スクエアピン・プローブチップ・モジュール

R&S®RT-ZMA12 スクエアピン・プローブチップ・モジュールは、最大6 GHzのDUTの接続に最適です。
モジュールは、DUTのテストリードまたははんだ付けされたテストピンに差し込むことによって、DUTに接続されます。
ピッチが1.27 mmのピンストリップも使用できます。

R&S®RT-ZMA15 クイックコネクト・プローブチップ・モジ
ュールR&S®RT-ZMA15 クイックコネクト・プローブチップ・モジュー
ルは、DUTへの接続と取り外しが簡単なソリューションです。
接
続ははんだ付け270 Ω抵抗を介して行われます。
モジュールをDUTに接続するには、­はんだ付けされた270 Ω抵抗とグランドリードにモジュールを差し込みます。
抵抗はモジュールに付属しており、プローブアンプ・モジュールの全帯域幅にわたって最高の性能とシグナルインテグリティーを実現するために必須です。

R&S®RT-ZMA30 ブラウザーモジュール

R&S®RT-ZMA30 ブラウザーモジュールを使用すると、DUTの接続を短時間で便利に行うことができます。
差動測定とシングル­エンド測定をサポートします。
R­ &S®RT-ZMA30のプロービン
グピンはスプリング内蔵（スプリング行程0.5 mm）で、ピンの間隔は0.5 mm～8 mmの範囲で調整可能です。

R&S®RT-ZMA40 SMAモジュール

R&S®RT-ZMA40 SMAモジュールを使用すると、50 Ω/100
Ω環境でのマルチモード測定が可能です。
このモジュール
は、R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュールから供給される終端電圧（±4 V）をDUTに印加することで、グランドの代わりにDUT固有のコモンモードDC電圧に対する測定を可能にします。
同軸コネクタは、3.5および2.92システムと互換性があります。

R&S®RT-ZMA50 恒温槽用キット

R&S®RT-ZMA50を使用すると、－55 ℃～＋125 ℃の温度範囲での測定が可能になります。
プローブチップ・モジュールは、1 mの延長ケーブルによってプローブアンプ・モジュールから分離されます。
このキットは、R&S®RT-ZMA11 はんだ付けプ
ローブチップ・モジュールとマッチド・ケーブル・ペアから構成されます。
恒温槽用キットは、恒温槽内での環境テスト用に設計されています。
­車載用アプリケーションなどに使用される電子機器のテストに必要な最大温度範囲に対応しています。

チップモジュール

帯域幅

立ち上がり時間 入力容量

DC入力抵抗R&S®RT-ZMA12

最大6 GHz

10/90：75 ps
20/80：45 ps

DM：400 kΩ
SE：200 kΩ

R&S®RT-ZMA10

R&S®RT-ZMA14
R&S®RT-ZMA15
R&S®RT-ZMA30
R&S®RT-ZMA40

R&S®RT-ZMA50（ R&S®RT-ZMA11を含む）

最大16 GHz

最大16 GHz
最大12 GHz最大16 GHz
最大16 GHz
最大12 GHz

10/90：28 ps
20/80：17 ps

DM：77 fF
SE：96 fF

10/90：28 ps
20/80：17 ps

DM：90 fF
SE：144 fF

10/90：37 ps
20/80：22 ps
10/90：28 ps
20/80：17 ps
10/90：28 ps
20/80：17 ps
10/90：37 ps
20/80：22 ps

DM：279 fF
SE：521 fF
DM：109 fF
SE：150 fF
DM：32 fF
SE：52 fF

入力リターンロス＞12 dB
DM：77 fF
SE：96 fF

DM：400 kΩ
SE：200 kΩ
DM：400 kΩ
SE：200 kΩ
DM：400 kΩ
SE：200 kΩ
DM：400 kΩ
SE：200 kΩ

DM：100 Ω
SE：60 Ω（VTに対して）
DM：400 kΩ
SE：200 kΩ

マルチモード

温度範囲

P/N/DM/CM－30 °C～＋80 °C

P/N/DM/CM

P/N/DM/CM－30 °C～＋80 °C－30 °C～＋80 °C

P/N/DM/CM－30 °C～＋80 °C

DM

0 °C～＋40 °C

P/N/DM/CM

0 °C～＋40 °C

P/N/DM/CM－55 °C～＋125 °C

オーダー情報
R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール
型番

R&S®RT-ZM15
R&S®RT-ZM30
R&S®RT-ZM60
R&S®RT-ZM90
R&S®RT-ZM130
R&S®RT-ZM160

説明

システム帯域幅立ち上がり時間（10 %～90 %）＞3 GHz＜100 ps＞1.5 GHz＞6 GHz＞9 GHz＞13 GHz＞16 GHz

オーダー番号＜230 ps

1800.4700.02＜75 ps1419.3105.02＜50 ps＜35 ps＜28 psR&S®RT-ZM プローブチップ・モジュール

1419.3005.021419.3205.02
1800.4500.02
1800.4600.02

型番

説明

オーダー番号

R&S®RT-ZMA10-6

6個のR&S®RT-ZMA10 はんだ付けプローブチップ・モジュールのセット

1801.4349.02

R&S®RT-ZMA10

R&S®RT-ZMA11

R&S®RT-ZMA12
R&S®RT-ZMA14

R&S®RT-ZMA15
R&S®RT-ZMA30
R&S®RT-ZMA40

R&S®RT-ZMA50

アクセサリ
型番

R&S®RT-ZMA1
R&S®RT-ZF30
R&S®RT-ZAP

R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール用はんだ付けプローブチップ・モジュール、
長さ：15 cm、
マルチモード：P/N/DM/CM
R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール用はんだ付けプローブチップ・モジュール、－55 ℃～＋125 ℃の拡張温度範囲に対応、
長さ：15 cm、マルチモード：P/N/DM/CM

R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール用スクエアピン・プローブチップ・モジュール、
長さ：15 cm、マルチモード：P/N/DM/CM

R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール用フレックスコネクトはんだ付けプローブチップ・モジ
ュール、
長さ：15 cm、マルチモードP/N/DM/CM
R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール用クイックコネクト・プローブチップ・モジュール、
長さ：15 cm、マルチモード：P/N/DM/CM
R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール用ブラウザーモジュール、マルチモード：DM

R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール用SMAモジュール、
50 Ω/100 Ω、SMA、3.5 mmおよび2.92 mmシステムに適合、
終端電圧±4 V、R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュールより供給­
マルチモード：P/N/DM/CM
R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール用恒温槽用キット、
R&S®RT-ZMA11と1対の整合延長ケーブルから構成、ケーブル長：1 m、温度範囲：－55 ℃～＋125 ℃
マルチモード：P/N/DM/CM

1419.4301.02

1419.4318.02

1419.4324.02
1338.1010.02

1419.4224.02
1419.4353.02
1419.4201.02

1419.4218.02

説明

オーダー番号

R&S®RTP-B7によるプローブ特性評価用テストフィクスチャ

1333.2099.02

プローブチップ・モジュールケース、最大6個のR&S®RT-ZMAxx プローブチップ・モジュールに対応
3Dポジショナー、中央のテンションノブによりプローブを容易に固定して位置決め可能（スパン幅：200 mm、クランプ範囲：15 mm）

1419.3928.02

1326.3641.02

高品質に裏打ちされたサービス
世界に広がるサービス網
各地域に即した独自性❙ 個別の要望に応える柔軟性❙ 妥協のない品質❙ 長期信頼性

www.rohde-schwarz.com/jp❙

お客様窓口：❙❙ ご購入に関するお問い合わせ
TEL： 0120-190-721| FAX : 03-5925-1285E-mail : sales.japan@rohde-schwarz.com❙❙ 技術ホットライン
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E-mail : TAC.rsjp@rohde-schwarz.com❙❙ 修理・校正・サービスに関するお問い合わせ
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R&S® は、
ドイツRohde & Schwarz の商標または登録商標です。
PD 3607.5690.36 | Version 02.00 | 10月 2019 (sk)
R&S®RT-ZM モジュラープローブ・システム

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