気体・液体計測用
半導体向け標準タイプ

P-820

パージメータ概要

P-810 同様各種半導体装置に幅広く使用されています。リードスイッチタイプの警報接点付も製作します。

主な用途
半導体製造装置用

標準仕様
気体全般
液体（水相当：密度 1.0ｇ/ｃｍ3 粘度 1.0mPa・s のみ）

測定流体

P-821

最小 0.5 ～ 5 mL/min（nor）
最大 12 ～ 60 L/min（nor）

P-823

最小 5 ～ 50 mL/min（nor）
最大 6 ～ 60 L/min（nor）

P-821

最小 5 ～ 50 mL/min
最大 0.4 ～ 2 L/min

空気流量範囲水
P-823

P-823/ 標準流量表（気体で流体圧力が0 MPa以外の場合、P形機能・選定について（TG-S0001）
を参照ください。）

最小 5 ～ 50 mL/min
最大 0.2 ～ 2 L/min

警報出力コードが0およびEの時・流量範囲の換算方法は、P 形機能・選定について（TG-S0001)を参照
目盛範囲

10：1（一部 10 : 2 となります）

指示精度

P-821 : ± 5％ F.S.
P-823 : ± 3％ F.S.

流体圧力

最高 0.8MPa

流体温度

最高 120℃（パッキン材質によって異なる）

材質

空気（0 MPa,0℃）

水

警報出力コードがA～Dの時
空気（0 MPa,0 ℃） 警報設定範囲

水

警報設定範囲

50 〜 500 mL/min

100 〜 400 mL/min

5 〜 50 mL/min（nor）
10 〜 100 mL/min（nor）
20 〜 200 mL/min（nor）
30 〜 300 mL/min（nor）
50 〜 500 mL/min（nor）
0.1 〜 1 L/min（nor）

本体接液部

SCS14（標準）, SUS316（電解研磨仕様）

テーパ管

耐熱ガラス

パッキン

フッ素ゴム（最高 120℃）
クロロプレンゴム（最高 80℃）
・各パッキン材質の最高流体温度は、一般的なデータであり、使用条件や環境によって変わることがあります。

0.2 〜 2 L/min（nor）

5 〜 50 mL/min

0.3 〜 3 L/min（nor）

10 〜 100 mL/min

0.5 〜 5 L/min（nor）

20 〜 200 mL/min

1 〜 10 L/min（nor）

30 〜 300 mL/min

2 〜 20 L/min（nor）

50 〜 500 mL/min

1 ～ 10 L/min（nor）

2 〜 8 L/min（nor）

3 〜 30 L/min（nor）

0.1 〜 1 L/min

2 ～ 20 L/min（nor）

4 〜 16 L/min（nor）

取付板

SPCC または C2801P

5 〜 50 L/min（nor）

0.15 〜 1.5 L/min

3 ～ 30 L/min（nor） 6 〜 24 L/min（nor）カバーアクリル

6 〜 60 L/min（nor）

0.2 〜 2 L/min

5 ～ 50 L/min（nor） 10 ～ 40 L/min（nor） 0.15 〜 1.5 L/min

接続規格 / 口径

Rc : 1/4"（標準）, 1/8"
NPT : 1/4", 1/8"
SW : 1/4", 3/8"
VCR : 1/4", 3/8"

標準流量表以外の場合、製作都合により流量目盛が変更になることがあります。
標準流量表以外の流量も承ります。詳細は相談ください。

取付方法

パネルの前面ロックナッ
ト取付（標準）ベゼルによるパネル取付

質量約 0.6ｋｇ（P-821）

形式コード
P-82
面間寸法

取付可否式

一般形
UL 対応形
PAU オプティカルアラームユニット

リードスイッチ警報

P-821
○○○

P-823
○
○
○

バルブ

（気体で流体圧力が0 MPa以外の場合、P形機能・選定について（TG-S0001）
を参照ください。）
警報出力コードが0およびEの時
水

警報出力

警報出力コードがA～Dの時
空気（0 MPa,0 ℃） 警報設定範囲

水1115 ｍｍ3224mm9

特殊— 0なし— 1上部ベローバルブ— 2下部ベローバルブ— 3上部ニードルバルブ

警報設定範囲接液部材質

2 〜 20 mL/min（nor）

なし

A

リードスイッチ下限 OPEN

B

リードスイッチ下限 CLOSEC

リードスイッチ上限 OPEND

リードスイッチ上限 CLOSEEPAU アラームユニッ
ト付属

5 〜 50 mL/min（nor）

パッキン材質10 〜 100 mL/min（nor）
20 〜 200 mL/min（nor）☆ 530 〜 300 mL/min（nor）
50 〜 500 mL/min（nor）

接続規格

0.1 〜 1 L/min（nor）
0.2 〜 2 L/min（nor）

5 〜 50 mL/min

0.3 〜 3 L/min（nor）

10 〜 100 mL/min

0.5 〜 5 L/min（nor）

20 〜 200 mL/min

1 〜 10 L/min（nor）

30 〜 300 mL/min

詳細は「P 形機能・選定について」(TG-S0001)を参照

特殊
SCS14（標準）— E

SUS316（電解研磨仕様）接続規格 VCR のみ選択可能※
特殊
F

フッ素ゴム（標準）C

クロロプレンゴム（CR）

Z

特殊— R

Rc ねじ（標準）— N

NPT めねじ

— S

SW

— V

VCR（オスコネクター）— Z

特殊
1 1/8"

接続口径

詳細は「P 形機能・選定について」(TG-S0001)を参照— 6— Z3 〜 30 mL/min（nor）

標準流量表がこのコードによって異なります

特殊
0Z

0.5 〜 5 mL/min（nor）
1 〜 10 mL/min（nor）

記 事

下部ニードルバルブ— Z

P-821/標準流量表

仕 様□ — □ □ — □ □ — □ □— 4

CE マーキングの対応については、P 形機能・選定について（TG-S0001）を参照ください。

空気（0 MPa,0 ℃）

0.2 ～ 0.8 L/min
0.3 〜 1.2 L/min

形式コード

警報接点および出力方

0.1 ～ 1 L/min

アンモニアガスの場合に選択

ベゼルによるパネル取付等も可能
詳細は「P 形機能・選定について」(TG-S0001) を参照
接続規格 R, N のみ選択可能

2 1/4"（標準）
3 3/8"

接続規格 S, V のみ選択可能

2 〜 20 L/min（nor）

50 〜 500 mL/min

1～ 10 L/min（nor）☆ 3 2 ～ 8 L/min（nor）

3 〜 30 L/min（nor）☆ 1

0.1 〜 1 L/min ☆ 2

3 ～ 15 L/min（nor）

3 ～ 12 L/min（nor） 50 〜 500 mL/min 100 〜 400 mL/min

Z 特殊

10 〜 50 L/min（nor）

0.3 〜 1.5 L/min

6 ～ 30 L/min（nor）

0.1 ～ 1 L/min ☆ 4

0.2 ～ 0.8 L/min

12 〜 60 L/min（nor）

0.4 〜 2 L/min

10 ～ 50 L/min（nor） 10 ～ 40 L/min（nor） 0.3 〜 1.5 L/min

0.3 〜 1.2 L/min※接 続規格 VCR 以外を選択した場合、継手部は電解研磨の対象外となります。

6 ～ 24 L/min（nor）

標準流量表以外の場合、製作都合により流量目盛が変更になることがあります。
標準流量表以外の流量も承ります。詳細は、相談ください。
☆ 1 30 L/min（nor）越えると 10：2
☆ 2 1 L/min 越えると 10：2
☆ 3 10 L/min（nor）越えると 10：2
☆ 4 1 L/min 越えると 10：2
☆ 5 160 mL/min（nor）未満の製品は警報出力コード：E の製作ができません。

その他製作可能なオプション
次の様なオプションを指定できます。
2 点警報，リードスイッチリード線長さご指定，2 重目盛，特殊目盛，ゴム管継手付，各種継手付… ………………………………………………………………… 等（詳細は P 形機能・選定について（TG-S0001）を参照ください。）

TG-F2413-J01
2 版 2024 06 K
初版 2023 09 K

P-820パージメータ

ご注文方法
形式コード

詳細仕様指定項目①②③④⑤⑥
流体名 − 流量目盛 − 圧力 − 温度 − 取付方法オプション − その他オプション

Ｐ-82 □ - □□ - □□ - □□（形式コード表にて選定ください。）（P 形機能・選定について（TG-S0001）を参照ください。）外形寸法●標準タイプP － 82 □－ 40 － 6F － R2

●標準タイプ
P-82 □－ 30 － 6F － S2

■パネルの前面ロックナット取付■バルブ下側（ニードルバルブ）■パネルの前面ロックナット取付■バルブ上側（ニードルバルブ）

2-φ16

パネルカット●ベゼルによるパネル取付タイプ
P － 82 □－ 30 －□□－□□■ベゼルによるパネル取付（取付方法オプションコード D）■バルブ上側（ニードルバルブ）

寸法表
形式
P-821
P-823

L1143252

L2115224

寸法（mm）
L3145254

L4160265

L5175280

●標準材質
部品名称
標準材質
製作可能材質本 体○ SCS14SUS316
テーパ管○ 耐熱ガラス−
フロート※ 1 ○ SUS316, ガラス , ルビー , カーボン−
パッキン○ フッ素ゴム
クロロプレンゴム（CR）
スピンドル○ SUS316−
継 手○ SUS316−
バルブ○ SUS316−取付板※ 2
SPCC, C2801P
−
カバー
アクリル−

パネルカット

パネルカット寸法表
接続口径
Rc1/8, 1/8NPT
Rc1/4, 1/4NPT
1/4SW
3/8SW
1/4VCR
3/8VCR

穴径寸法 d（mm）
162216222232

後方寸法 L（mm）
（22）
（22）
（29.5）（31.5）（30）（35.5）○印の付いている部品は、計測流体に接触します。
※ 1：仕様により適切な材質を選定します。
※ 2：警報出力コードが A から D の場合は、標準材質は C2801P となります。
・部品材質 SUS304 は、製作都合によりSUS316 を使用する場合があります。
・製作都合によりJIS 材相当品の ASTM，AISI 材を使用する場合があります。

注）警報出力コードが A 〜 D の場合、パネルは非磁性材をご使用ください。

2

TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-F2413-J01