外形図

半導体材料ガス検知器

XPS-7Ⅱ

センサユニットを交換するだけで様々なガスを検知！

XPS-7Ⅱ仕様
検知

検ガ

対
知ス

検ガ

原

採気

知

方範

分

半導体材料ガス理

定電位電解式

法

吸引式

能示

精報

ス

囲

解指
警

象

モー

仕様による
※1

フルスケールの100分の1または200分の1表示

度 ※2

FS±10%以内

ド

2段階警報方式

警報方式

ブザー（断続音）、アラームランプ点滅

応

答

時

間

60秒以内（60%応答）式

LCDデジタル表示

囲

0℃～40℃

濃度

表

示

方

使用

温度

範

電連

源
続

使用

時

間

単3形アルカリ乾電池４本、またはAC専用アダプタ（オプション）※3（アルカリ乾電池使用時、無警報時、20℃の場合）
12時間以上※4

寸法

W62×H150×D128mm（突起部のぞく）

質量

約1.3㎏

付
オ※1※2※3※4※5属
プシショルダーベルト、単3形アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚品
ョンオプション／センサ専用通電台
EC-7(6個掛け)※5AC専用アダプタ（AC100V～240V/DC6V)、センサ専用通電台、ログデータ収集キット◎センサユニットは専用通電台（EC-7）で通電してください。

ガス種によってフルスケールが異なります。
同一測定条件下によります。
環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。
NF3センサユニット搭載時は8時間以上となります。
AC専用アダプタ、ログデータ収集キットおよびセンサ専用通電台はCEの対象外になります。

安全に関するご注意●ご使用前に必ず「取扱説明書」をよくお読みのうえ､正しくお使いください。
●検知器は指定対象ガスのものを、お使いください。指定の対象ガス以外でご使用になると事故の原因となるおそれがあります。

本社
東日本営業部
東京
札幌営業所
仙台営業所
新潟営業所
静岡営業所
北上出張所
北関東出張所
千葉出張所
神奈川出張所
中 部 営 業 部中部
北陸営業所
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関西
岡山営業所
広島営業所
九州営業所
京滋出張所
姫路出張所

NEW

検知器の性能を維持し、安全を確保していただくためには日常点検および定期点検を実施してください。

1 NF 3検知に対応した世界最小のポータブルガス検知器■ 〒532-0036 大 阪 市 淀 川 区 三 津 屋 中 2 － 5 － 4 TEL（06）6308－2111■ 〒105-0013 東京都港区浜松町2-6-2（浜松町262ビル3F） TEL（03）5403－2703■ 〒060-0005 札幌市中央区北五条西6-2-2（札幌センタービル20F） TEL（011）231－1101■ 〒983-0852 仙台市宮城野区榴岡4-12-7（ティエヌビルディング4F） TEL（022）295－6061（ファースト米山201） TEL（025）365－1390■ 〒950-0916 新潟市中央区米山３-１■ 〒420-0851 静岡市葵区黒金町11-7（大樹生命静岡駅前ビル2F） TEL（054）255－1901■ 〒025-0016 花 巻 市 高 木 第 2 1 地 割 9 3 - 8 TEL（0198）29－6633■ 〒330-0855 さいたま市大宮区上小町544（武井ビル2F） TEL（048）643－1223■ 〒260-0834 千 葉 市 中 央 区 今 井 1 - 2 3 - 7（ S Yビ ル 2 F ） TEL（043）209－1650■ 〒222-0033 横浜市港北区新横浜1-3-1（新横浜アーバンスクエア6F） TEL（045）473－6451

2

ガス検知器の校正が不要

3

メンテナンス時間・コストを大幅に削減■ 〒460-0004 名 古 屋 市 中 区 新 栄 町 2 - 4（ 坂 種 栄ビ ル7 F ） TEL（052）951－2650■ 〒920-0065 金沢市二ツ屋町8-1（アーバンユースフルビル2F） TEL（076）234－5611■ 〒532-0036 大 阪 市 淀 川 区 三 津 屋 中 2 - 5 - 4 TEL（06）6308－2111■ 〒710-0826 倉 敷 市 老 松 町 2 - 7 - 4（ 倉 敷 ビ ル 5 F ） TEL（086）435－5087■ 〒732-0827 広島市南区稲荷町2－16（広島稲荷町第一生命ビル6F） TEL（082）568－2800（ツヅキ博多ビル３F） TEL（092）431－1881■ 〒812-0016 福岡市博多区博多駅南４－３－１８■ 〒520-0044 大津市京町4-4-23（アソルティ大津京町6F） TEL（077）526－8222■ 〒670-0965 姫路市東延末3-50（姫路駅南マークビル2F） TEL（079）225－8965※カタログに記載されている仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
※このカタログは、再生紙と植物油インクを使用しています。

（A）2020年6月制作（A）7385-A020

センサユニットを交換するだけ。メンテナンス時間とコストを大幅削減。
カセット式のセンサユニットを交換するだけで
1

液晶表示機能と大きな見やすいデジタルLCD表示
アラームメッセージ

フローサイン

ガス検知器の校正が不要！※

一段警報で「ALARM1」が、二段警報で「ALARM2」が点灯し、上部の赤色LEDも点滅。

フローサインが回転して正常にサンプリングしていることをお知らせします。

カセット式センサユニットは校正済みでお客様へお届け。
ご自身で簡単に交換ができるので、機器をお預かりしての点検校正や現場での校正作業が不要です。
※センサユニットは6か月交換です。

2

メンテナンス時間・コストを大幅削減！

ガス種やフルスケールによって、ppm、ppbに対応します。

通常時

カセット式のセンサユニットを交換するだけなので、メンテナンス時間が不要。
もちろん校正作業も不要で、ランニングコストを大幅に削減できます。

3

フルスケールの5%で1目盛り。バーが右端まで伸びるとフルスケールとなり、一目でフルスケールに対する現在のガス濃度がわかります。

警報時乾電池・AC電源の両方で動作可能

対象ガスの変更が可能！
センサユニットの交換だけで、様々な対象ガスに対応。
ガス種・フルスケール・警報ポイントの設定は自動設定で、面倒な操作は必要ありません。また、1台で数種類のガス種を検知できるので、低コストです。

NEW

ガス濃度バーグラフ

ガス濃度表示

単三形アルカリ乾電池4本で動作する他、ACアダプタ（オプション）によりAC電源動作も可能です。

センサユニット

XPS-7Ⅱ 本体

小型・軽量設計
コンパクトサイズで持ち運び安い。ロングショルダーベルトの使用で両手作業が可能です。

NF33検知に対応した世界最小のポータブルガス検知器

ガス濃度の変化に警報音が連動

NF3検知用センサユニットを搭載しました。
NF3を検知するポータブルタイプのガス検知器としては世界最小サイズです。

ロガー機能

センサユニットの交換方法

ガス濃度が低い時はゆっくりとした断続音。ガス濃度が高くなると早い断続音から連続音でお知らせします。

ロガー機能付きなのでPCによるデータ管理が可能です。

豊富なセンサユニット（XDSシリーズ）
当社のセンサテクノロジーが生み出した、さまざまな半導体材料ガスに対応する豊富なセンサユニット。

対象ガス一覧表
型式

測定ガス名

化学式 フルスケール

XDS-7NH

アンモニアNH3XDS-7SH

シラン

SiH4XDS-7DC❶側面のセンサユニットカバーを開けます。

❷センサユニットを取り出し、新しいセンサユニットを差し込みます。
❸センサユニットカバーを閉じれば交換終了です。

センサユニットは下取りさせて頂き、リサイクル工程で再生使用します。

警報設定値

単位

型式

測定ガス名

25ppm

XDS-7HF

フッ化水素

HF

2.55ppm

XDS-7HB

臭化水素

2.55ppm

XDS-7NO

1段目

2段目

100

1225

ジクロルシラン SiH2Cl225

化学式 フルスケール

警報設定値

単位

1段目

2段目

10

1.53ppm

HBr

101.53ppm

一酸化窒素

NO

1001225ppm

XDS-7AH

アルシン

AsH3250

2550ppb

XDS-7HS硫化水素

H2S50510ppm

XDS-7PH

ホスフィン

PH3

10.150.3ppm

XDS-7CO

一酸化炭素

CO25012.525ppm

XDS-7BH

ジボラン

B2H6500

50100ppb

XDS-7DS

ジシラン

Si2H6252.55ppm

50ppb

XDS-7F2フッ素

F250.51ppm

オゾン

O3

10.05

XDS-7SE

セレン化水素

H2Se

250

25

XDS-7GH

ゲルマン

GeH4

10.10.2ppm

XDS-7OZ

0.1ppm

XDS-7CL塩素

Cl250.250.5ppm

XDS-7SD

二酸化硫黄

SO2

1012ppm

XDS-7CF三フッ化塩素CIF3

10.050.1ppm

XDS-7ND

二酸化窒素

NO21012ppm

XDS-7HC

塩化水素

HCI

252.55ppm

XDS-7NF

三フッ化窒素NF3100510ppm

表以外のガスについてはお問合せください。