セパレートタイプ
リニヤスケール
ST46-EZA テープスケール

ユーザーズマニュアル− 取扱説明書 −ご使用前に本書をよくお読みのうえ、
正しくお使いください。お読みになった後は、いつでも見られる所に必ず保管してください。

No. 99MBE082B3
2021 年 7 月 1 日 発行（1）*99MBE082B3*

■ 商品名および型番の対応
商品名
セパレートタイプ リニヤスケール

型番ST46-EZA■ 本書に関するお願いとご注意
y 本書に記載の使用法に依らない使用により損害が発生した場合には、弊社は一切その責任を負いかねます。
y 本商品を貸与または譲渡するときは、本書を本商品に添付してください。
y 本書を紛失または損傷されたときは、すみやかにお求めの販売店、または弊社営業の窓口にご相談ください。
y 本商品の操作は、本書をよく読んで内容を理解してから行ってください。
y 特に、冒頭の「安全上のご注意」「取り扱い上のご注意」の内容を十分にご理解いただいてから本商品をお使いください。
y 本書の内容は 2021 年 7 月現在の情報に基づいています。
y 本書の内容の一部または全部を転載・複製することは固くお断りいたします。
y 本文中の会社名、団体名、商品名等は、各社、各団体の商標、または登録商標です。
©2019-2021 Mitutoyo Corporation. All rights reserved.
No. 99MBE082B

取扱説明書で使用されるマーク
取扱説明書で使用されるマークは大別すると 3 種類（注意喚起、行為の禁止・強制、参考情報・参照先）
です。また、マークには汎用的に使用されるものと特定の内容を示すものがあります。特定の内容を示す場合には、マーク内に具体的な内容を示す絵が描かれます。

■ 潜在的な危険性に対する注意喚起を示すマークや文字取り扱いを誤った場合、「死亡または重傷を負う危険が切迫して生じることが想定される」内容を示します。
取り扱いを誤った場合、「死亡または重傷を負う可能性が想定される」内容を示します。
取り扱いを誤った場合、「軽傷を負う可能性が想定される」内容を示します。

取り扱いを誤った場合、「物的損害の発生が想定される」内容を示します。

感電の危険性があることを示します。

■ 行為の禁止および行為の強制を示すマークや文字行為の禁止の具体的な内容を示します。

行為の強制の具体的な内容を示します。

接地が必要であることを示します。

■ 参考情報や参照先を示すマークや文字
Tips

本文で説明している操作方法や手順に関連する詳細情報および参考情報を示します。

本書または外部の取扱説明書に、参照するべき情報がある場合は、参照先を示します。
例：○○の詳細は、「システムの構成および各部の名称」（1 ページ）iNo. 99MBE082B

安全上のご注意
本商品の性能を十分に発揮するために、次のことを守ってご使用ください。

注記• ご使用の前に必ず本書をよくお読みください。
• 本商品を機械本体に取り付ける場合には、制御装置の電源がオフであることを確認してから行ってください。
• 各接続ケーブルのコネクターのねじ類は、シールドを確実に行うためしっかり締めてください。
• 接触不良を起こす恐れがありますので、コネクター部の接続端子には絶対に手を触れないでください。

取り扱い上のご注意■ 本商品の用途や取り扱いについて● 本商品は測定器です。
本商品を測定以外の目的に使用しないでください。

● 本商品は工業用商品です。
本商品を工業用以外の用途で使用しないでください。

● 本商品は精密機器です。
本商品の取り扱いには十分ご注意ください。また、ご使用時に各部に衝撃を加えたり、無理な力をかけたりしないでください。

■ 設置環境● 振動に対して本商品を機械本体に取り付ける場合は、なるべく振動の少ない場所に設置してください。
振動の多い場所で長時間使用されますと、内部の精密部品に不具合が生じ、性能に影響を及ぼす場合があります。

● 衝撃・防塵・防水に対して本商品にワークなどが当たり強い衝撃が加わったり、切削油や切粉が直接スケール本体にかかるのを防止するために、スケール本体全体を覆うようなカバーを用意してください。

● 周囲温度および湿度に対して本商品の動作環境は、温度 0 °C 〜 40 °C、湿度 20 % 〜 80 %RH（非結露）ですが、急激に温度や湿度が変化する場所での使用は避けてください。

ii

No. 99MBE082B

電磁両立性について
本商品は、EMC 指令および英国電磁両立性規制に適合していますが、この要求を超える電磁妨害を受けた場合は保証外となり、適切な対策が必要となります。
本商品は工業用商品です。住宅環境での使用は意図しておりません。住宅環境で使用すると、他の機器に対して電磁妨害を発生する可能性があります。その場合には電磁妨害に対する適切な対策が必要となります。

輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意
本商品は、「外国為替および外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1 もしくは外国為替令別表に定める
16 の項」によるキャッチオール規制貨物・キャッチオール規制技術（プログラムを含む）です。
本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になる場合があります。
また、本商品に機能を追加するためにオプションの追加や改造を行った場合、「外国為替および外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1 もしくは外国為替令別表に定める 1 から 15 の項」によるリスト規
制貨物、リスト規制技術（プログラムを含む）に該当となることがあります。その場合の本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になります。事前に弊社にご相談ください。

欧州諸国などへの輸出に関するご注意
本商品を輸出される際は、英文の取扱説明書 ･ 適合宣言書（場合によっては輸出国公用語）が必要となる場合があります。
詳細につきましては弊社にご相談ください。

日本国内で本商品を廃棄する際のご注意
y 事業者として廃棄する場合は、廃棄物の処理および清掃に関する法律（廃棄物処理法）等の関連法令に従い、適正な廃棄処理をしてください。
y 個人として廃棄する場合は、各自治体の廃棄ルールに従ってください。

iii

No. 99MBE082B

分別処理を行っている欧州諸国で電気・電子機器の廃棄をする際のご注意商品または包装に記されたこのシンボルマークは、欧州諸国の規制である廃電気電子機器指令（WEEE 指令）に基づくもので、本商品を廃棄する時に一般家庭ゴミと一緒に捨てないようにするためのものです。
土壌に埋め立てする量を減らし環境への影響を低減するために、商品の再利用とリサイクルに
ご協力ください。
本商品の廃棄方法については、お求めの販売店、または弊社営業の窓口にご相談ください。

保証
本商品は、厳重な品質管理のもとで製造されていますが、お客様の正常な使用状態において、万一お買い上げの日から 1 年以内に故障した場合には、無償で修理させていただきます。お求めの販売店、または弊社営業の窓口にご相談ください。ただし、本保証は、ミツトヨ・ソフトウェア・エンドユーザ・
ライセンス契約書の規定に影響を与えないものとします。
次のような場合には、保証期間内でも有償修理となります。
y 使用による通常の損耗によって生じた故障および損傷
y メンテナンス上、修理上または取り扱い上の誤りおよび不当な改造による故障および損傷
y お買い上げ後の移動、落下あるいは輸送による故障および損傷
y 火災、塩害、ガス害、異常電圧、雷サージおよび天災地変などによる故障および損傷
y ミツトヨによって指定されまたは許可されているハードウェアまたはソフトウェア以外のハード
ウェアまたはソフトウェアと組み合わせて使用したことによる故障および損傷
y 高度に危険な活動に使用したことによる故障および損傷
本保証は日本国内において適切に設置され、本書に記載される指示に従って操作されている場合にのみ有効です。
本保証に規定される場合を除き、適用される法によって許される最大の範囲で、あらゆる性質の、すべての明示的・黙示的な条件、表明および保証（商品性に関する保証、特定の目的への適合性の保証、
非侵害の保証または取引過程、使用または取引実務から生じる保証を含みますが、これらに限定されません）は、排除されます。
お客様は、お客様が意図された結果を実現するために本商品を選択したことによって生ずるすべての結果についての全責任を引き受けるものとします。

iv

No. 99MBE082B

免責
ミツトヨ、その関連会社およびそのサプライヤーは、いかなる場合においても、収益の損失、利益の損失、もしくはデータの損失、または本商品の使用もしくは使用不能によって生じた特別損害、直接
損害、間接損害、派生的損害、付随的損害、または懲罰的損害について、原因および責任理論の如何にかかわらず、たとえミツトヨ、その関連会社またはそのサプライヤーが当該損害の可能性について通知を受けていた場合であっても、責任を負いません。
前記にもかかわらず、ミツトヨが、お客様による本商品の使用によって生じた損害または損失に対して責任があると判断された場合でも、いかなる場合においても、ミツトヨ、その関連会社およびそのサプライヤーのお客様に対する責任は、契約に基づくと、（過失を含む）不法行為とを問わず、本商品に対してお客様が支払った金額を超えないものとします。
国、州、または管轄地によっては、派生的損害または付随的損害に対する責任の排除または制限を認めていない場合があります。そのような国、州、または管轄地におけるミツトヨの責任は、法に認められる最大の範囲内で排除または制限されるものとします。

v

No. 99MBE082B

本書について■ 本書の位置付け、ドキュメントマップ● リニヤスケール関連
ST46-EZA テープスケール
セパレートタイプ リニヤスケール
ユーザーズマニュアル（本書）● ソフトウェア関連
ST46-EZA
セパレートタイプ リニヤスケール
アプリケーションプログラム
ユーザーズマニュアル■ 本書の対象読者と目的● 対象読者
ST46-EZA テープスケール セパレートタイプ リニヤスケールをはじめてご使用になる方を対象にしています。
図面を読んで指示を理解できることを前提とします。

● 目的
本書は、ST46-EZA テープスケール セパレートタイプ リニヤスケールをご理解いただくことを目的としています。

vi

No. 99MBE082B

■ 本書の読み方
3 機械本体への取り付け

3.2

スケール本体の取り付け

安全情報を示します。

注記
テープスケールは、傷や折れに十分注意して取り扱ってください。
テープスケールに汚れ・埃などが付着していると、誤動作や精度劣化の原因となります。エタノールなどを浸した柔らかい布、またはクリーニングペーパーで汚れや埃を十分に拭き取っておいてください。機械装置のテープスケール取り付け面も、同様にエタノールで十分に清掃しておいてください。
スケールホルダーなどテープスケールに接触する部品についても、同様にエタノールで十分に清掃してください。

補足情報を示します。

Tips• テープスケールは、取り付ける部材とともに十分に温度慣らしをしたうえで固定してください。本商品は20 °C で精度保証をしています。温度慣らしの目安は、テープスケールおよびスケールを取り付ける部材ともに 20 °C で約 8 時間以上です。温度慣らし後、取り付け作業を実施してください。
• 温度慣らしを含めた温度環境が不十分な場合、所定の指示精度を得られないことがあります。
• 取り付け作業時に手などの体温によってテープスケールと機械装置との間で温度差が生じるのを避けるた
め、作業時には手袋を使用してください。
• 温度慣らし後にエタノールでテープスケールを拭くと、その部分の温度が下がってしまいますので注意して
ください。

3.2.1

両端固定仕様

実施する作業手順、または実施する作業手順の概要を示します。

1 スケールホルダー A、スケール引っ張りブロック A、スケール固定ブロックをそれぞれ固定する
スケールホルダー取り付け部の平行度、平面度は、「2.2
スケール取り付け面の設計」を参照してください。

スケール引っ張りブロック A
締付けトルクM3：1 Nm
スケール固定ブロック

スケールホルダー A

17

No. 99MBE082B■ かっこの表記
本書で使用しているかっこの意味を示します。
（ ）（丸かっこ）直前の内容の説明、補足説明を示します。

「 」（かぎかっこ）

強調する語句を示します。また、参照文で参照先を示します。

［ ］（角かっこ）

画面上のメニュー名、画面名、ボタン、表示項目、タブ名、およびキー
ボードのキーを示します。また、お客様が意図的に入力／選択する項目を示します。

vii

No. 99MBE082B

目次
取扱説明書で使用されるマーク ……………………………………………………………… i
安全上のご注意 ………………………………………………………………………………… ii
取り扱い上のご注意 …………………………………………………………………………… ii
電磁両立性について …………………………………………………………………………… iii
輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意 …………………………………… iii
欧州諸国などへの輸出に関するご注意 ……………………………………………………… iii
日本国内で本商品を廃棄する際のご注意 …………………………………………………… iii
分別処理を行っている欧州諸国で電気・電子機器の廃棄をする際のご注意 …………… iv
保証 ……………………………………………………………………………………………… iv
免責 ……………………………………………………………………………………………… v
本書について …………………………………………………………………………………… vi
目次 …………………………………………………………………………………………… viii
1

概要 ………………………………………………………………………………………… 1
1.1

特長 …………………………………………………………………………………… 1

1.2

システムの構成および各部の名称 ………………………………………………… 1

1.3
2

両端固定仕様 ………………………………………………………………………………… 2

1.2.2

両面テープ仕様 ……………………………………………………………………………… 3

1.2.3

コネクターシェルの各部名称 ……………………………………………………………… 4

主な作業の流れ ……………………………………………………………………… 5取り付けの準備 …………………………………………………………………………… 7
2.1

機種の確認 …………………………………………………………………………… 7

2.2

スケール取り付け面の設計 …………………………………………………………10

2.3
3

1.2.1

2.2.1

両端固定仕様のスケール取り付け …………………………………………………………10

2.2.2

両面テープ仕様のスケールの取り付け …………………………………………………… 11

検出ヘッドブラケットの設計 ………………………………………………………12

機械本体への取り付け ……………………………………………………………………15
3.1

3.2

梱包内容の確認 ………………………………………………………………………15
3.1.1

両端固定仕様 …………………………………………………………………………………15

3.1.2

両面テープ仕様 ………………………………………………………………………………16スケール本体の取り付け ……………………………………………………………173.2.1

両端固定仕様 …………………………………………………………………………………17viii

No. 99MBE082B

3.2.243.3

検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け …………………………………31

3.4

フィードバックケーブルの接続 ……………………………………………………34

3.5

検出ヘッドの信号調整 ………………………………………………………………35

3.6

ケーブルの処理と取り付け状態の確認 ……………………………………………38
3.6.1

ケーブル処理 …………………………………………………………………………………38

3.6.2

取り付けおよび調整状態の確認 ……………………………………………………………38

3.6.3

保護カバーの取り付け ………………………………………………………………………39

仕様 …………………………………………………………………………………………41
4.1

仕様一覧 ………………………………………………………………………………41

4.2出力回路と信号波形 …………………………………………………………………41

4.3

5

両面テープ仕様 ………………………………………………………………………………23

4.2.1

主信号形態：B タイプ、C タイプ …………………………………………………………41

4.2.2

主信号形態：C タイプ ………………………………………………………………………42

ピンアサイン …………………………………………………………………………43
4.3.1

主信号形態：B タイプ ………………………………………………………………………43

4.3.2

主信号形態：C タイプ ………………………………………………………………………44

4.4

フィードバックケーブルの製作 ……………………………………………………44

4.5

アラーム機能 …………………………………………………………………………46
4.5.1

検出内容 ………………………………………………………………………………………46

4.5.2

アラームの解除 ………………………………………………………………………………47

4.6

ディレクションの変更 ………………………………………………………………48

4.7

保守パーツ ……………………………………………………………………………49

4.8

外観・取り付け寸法図 ………………………………………………………………50
4.8.1

両端固定仕様（有効測定長 500 mm 〜 1000 mm）………………………………………50

4.8.2

両端固定仕様（有効測定長 1100 mm 〜 3000 mm） ……………………………………52

4.8.3

両面テープ仕様（有効測定長 10 mm 〜 3000 mm） ……………………………………54

トラブルシューティング …………………………………………………………………57

営業・サービスの窓口 …………………………………………………………………… App-1

ix

No. 99MBE082B

x

No. 99MBE082B

1 概要

1

概要

本章では、本商品の特長、各部の名称と機能、本商品を使用するうえでの主な作業の流れについて説
明します。

1.1

特長

光電式のセパレートタイプリニヤスケールは、テープスケールの格子目盛を元に発光素子と受光素子によって光量変化を検出し、変化量を出力します。
半導体製造での露光装置、ワイヤーボンディング、ステージをはじめ、さまざまな機器の移動量を正確に捉えることができます。
本商品は、押しボタンによる信号自動調整機能（EZA 機能）を搭載しています。検出ヘッドの取り付
け時には、コネクターシェルに搭載されたセットアップインジケーターで信号強度を確認できるため、
オシロスコープを使った調整が必要ありません。また、PC と接続することによって、専用のアプリケー
ションプログラムで信号強度を確認したりパラメーターを設定したりできます。さらに、コネクター
シェル内に I/F 回路を搭載しているため、省スペース設計が可能です。

1.2

システムの構成および各部の名称

本商品の構成および各部の名称を以下に示します。

出力コネクター
（付属品）

制御装置

ST46-EZA（テープスケールおよび検出ユニット） フィードバックケーブルおよび制御装置（お客様手配）1

No. 99MBE082B

1 概要

1.2.1

両端固定仕様
⑨
⑧

⑦

⑥

⑩

②

③

④
⑯
⑬

①

⑮
⑦

⑤
⑭

⑰

⑪
⑫

No.

①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
⑪
⑫
⑬
⑭
⑮
⑯
⑰

名称
テープスケール
検出ユニットコネクターシェル
ヘッドケーブル
検出ヘッド
出力コネクター
スケール押さえブロック
カバー
皿小ねじ
スケール引っ張りブロック B
スケール固定ブロック
スケールホルダー B
スケール中間固定ブロック
スケール中間固定ベース
スケールホルダー A
スケール引っ張りブロック A
検出ヘッド取り付け補助具

2

No. 99MBE082B

1 概要

1.2.2

両面テープ仕様
⑥

②

③

④
⑦

①
⑤
⑦
⑧

No.

①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧

名称
テープスケール
検出ユニットコネクターシェル
ヘッドケーブル
検出ヘッド
出力コネクター
エンドキャップ
検出ヘッド取り付け補助具

3

No. 99MBE082B

1 概要

1.2.3

コネクターシェルの各部名称

③
①
④

②

⑤
⑥

No.

名称

①
②
③
④
⑤
⑥

CAL ランプ
ディレクションスイッチ／ USB コネクター（PC 接続）
セットアップボタン A（スイッチの通し穴 ø1.5）
PZ ランプセットアップインジケーター
セットアップボタン B（スイッチの通し穴 ø1.5）

Tips• CAL ランプでは、以下の状態を確認できます。
状態

表示色

点灯／点滅

正常動作中または電源オフ

なし

消灯

取り付け位置調整モード／エラー発生時

赤色点滅（2 秒間隔）

オートチューニングモード

赤色

点滅（0.5 秒間隔）

オートチューニング中

赤色

点灯• PZ ランプは、原点検出時に緑色で点灯します。

4

No. 99MBE082B

1 概要

1.3

主な作業の流れ

本商品を使用するために行う作業として、事前準備と機械本体への取り付け作業の流れを下図に示します。

■ 事前準備機種の確認「2.1 機種の確認」（7 ページ）

スケール取り付け面の設計「2.2 スケール取り付け面の設計」（10 ページ）

検出ヘッドブラケットの設計「2.3 検出ヘッドブラケットの設計」（12 ページ）■ 機械本体への取り付け作業
梱包内容の確認

スケールの取り付け「3.1 梱包内容の確認」（15 ページ）

「3.2 スケール本体の取り付け」（17 ページ）

検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け「3.3 検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け」（31 ページ）

フィードバックケーブルの接続「3.4 フィードバックケーブルの接続」（34 ページ）

検出ヘッドの信号調整「3.5 検出ヘッドの信号調整」（35 ページ）

ケーブルの処理と取り付け状態の確認「3.6 ケーブルの処理と取り付け状態の確認」（38 ページ）5

No. 99MBE082B

1 概要

MEMO

6

No. 99MBE082B

2 取り付けの準備

2取り付けの準備

この章では、本商品を機械本体に取り付けるための事前準備について説明します。

2.1

機種の確認

ST46-EZA は、主信号出力形態、有効測定長、原点位置／スケール形状、分解能／最小エッジ間隔、ディレクション、アラーム出力形態、ヘッドケーブル長、特殊符号により型番を選択します。
ご購入のスケールユニットが、目的の仕様に対応した機種であることを確認してください。

ST46-EZA □−□□□□□−□□□□□
主信号出力形態

特殊符号

有効測定長

ヘッドケーブル長

原点位置／
スケール形状アラーム出力形態
ディレクション

分解能／
最小エッジ間隔■ 主信号出力形態
記号

内容

B

二相方形波＋外部リセット入力

C

二相方形波＋二相正弦波■ 有効測定長
記号

有効測定長（mm）

記号

有効測定長（mm）

0010

10

0500

500

0025

25

0600

600

0050

50

0700

700

0075

75

0800

800

0080

80

0900

900

0100

100

1000

1000

0150

150

1100

1100

0200

200

1200

1200

0250

250

1300

1300

0300

300

1400

1400

0350

350

1500

1500

0400

400

1600

1600

0450

450

1700

1700

7

No. 99MBE082B

2 取り付けの準備
記号

有効測定長（mm）

記号

有効測定長（mm）

1800

1800

2500

2500

2000

2000

2600

2600

2200

2200

2800

2800

2400

2400

3000

3000

■ 原点位置・スケール形状
記号

スケール形状（有効測定長）

原点位置（有効測定長）

D

金属テープスケール両端固定：厚さ 0.2 mm ×幅 13 mm（500 mm 〜 3000 mm）

50 mm ピッチE

金属テープスケール両面テープ：厚さ 0.2 mm ×幅 13 mm（10 mm 〜 3000 mm）

中央 1 点（10 mm 〜 80 mm）、
50 mm ピッチ（100 mm 〜
3000 mm）

Z

特殊形状

特殊位置指定■ 分解能・最小エッジ間隔
記号
A

分解能
0.05 μm

最小エッジ間隔

最大応答速度

100 ns

450 mm/s

B

200 ns

225 mm/s

C

400 ns

112 mm/s

D

800 ns56 mm/s

100 ns

900 mm/s

F

200 ns

450 mm/s

G

400 ns

225 mm/s

H

800 ns

112 mm/s

100 ns2600 mm/s

K

200 ns2250 mm/s

L

400 ns1125 mm/s

M

800 ns562 mm/s

100 ns2600 mm/s

P

200 ns2600 mm/s

Q

400 ns2250 mm/s

R

800 ns1125 mm/s

100 ns2600 mm/s

T

200 ns2600 mm/s

U

400 ns2600 mm/s

V

800 ns2600 mm/s

E

J

N

S

0.1 μm

0.5 μm

1 μm

5 μm

8

No. 99MBE082B

2 取り付けの準備■ ディレクション
記号

内容

1

正：PA 進相2

逆：PB 進相■ アラーム出力形態
記号

内容

S

アラーム信号H

ハイインピーダンス■ ヘッドケーブル長
記号

長さ

A

1 m（標準）

B

0.5 m

C

2m

Z

特殊長さ指定（最大長：2.5 m）■ 特殊符号記号

内容なし

標準選択仕様Z

特別仕様

9

No. 99MBE082B

2 取り付けの準備

2.2

スケール取り付け面の設計

2.2.1

両端固定仕様のスケール取り付け「4.8.1 両端固定仕様（有効測定長 500 mm 〜 1000 mm）」（50 ページ）および「4.8.2 両端固定仕様（有効測定長 1100 mm 〜 3000 mm）」（52 ページ）を参考に、スケール取り付け部は下図のように設計してください。
マシンガイドに対するギャップ方向の取り付け面●平行度 ：0.1 mm●平面度 ：0.05/1000 mm

ギャップ方向位置決め基準ピン

ラテラル方向L※

スケール中間固定ベース

スケールホルダー

位置決め基準ピンA
5 mm 以下

A 矢視図• スケール引っ張りブロックの固定やスケール引っ張りねじの締め付け作業を考慮して、L の寸法は300 mm 程度を確保してください。
• マシンガイドに対するスケールホルダーの側面方向の平行度が 0.1 mm で取り付けられるように設計してください。側面に溝のあるスケールホルダーの面がラテラル方向の取り付け基準面です。
• スケール中間固定ベースが付属する有効測定長 1100 mm 〜 3000 mm の場合、位置決め基準ピンがスケール中間固定ベースに当たらない位置にピンの穴位置を設定してください。
• 位置決め基準ピンはスケールホルダーの固定ねじのピッチに合わせて設定してください。
• スケールホルダーの突き当ては段付加工による設定でもできます。この場合にもマシンガイドに対する平行度は上記の規格値を確保してください

10

No. 99MBE082B

2 取り付けの準備

2.2.2

両面テープ仕様のスケールの取り付け「4.8.3 両面テープ仕様（有効測定長 10 mm 〜 3000 mm）」（54 ページ）を参考に、スケール取り付け部は下図のように設計してください。
マシンガイドに対するギャップ
方向の取り付け面●平行度：0.1 mm●平面度：0.05/1000 mm

ギャップ方向ラテラル方向テープスケール

マシンガイドに対するラテラル方向の平行度が 0.1 mm で取り付けられるように設計してください。

Tips
別売（パーツ番号：06AEJ690）のスケール貼り付け補助具を使用することで、テープスケールの取り付けが容易になります。詳細は、「■ 有効測定長 200 mm 〜 3000 mm」（25 ページ）11

No. 99MBE082B

2 取り付けの準備

2.3

検出ヘッドブラケットの設計

下図を参考に、検出ヘッドブラケットを設計してください。検出ヘッドの位置調整（モアレ／ギャップ）ができる形状とします。また、検出ヘッドの固定ねじ穴は、検出ヘッドの位置調整を容易にするため、
長穴にすることを推奨します。
M2.5 × L（ボルト長さ（L）＝ブラケット厚さ＋ 3 mm）

ヘッドブラケット 1
M2.5 × L（ボルト長さ（L）＝ブラケット厚さ＋ 3 mm）

ギャップ

モアレ
ヘッドブラケット 2

検出ヘッドの取り付け面とスケール取り付け面の平行度が 0.05 mm 以内になるように設計してください。

12

No. 99MBE082B

2 取り付けの準備

Tips• 有効測定長 200 mm 〜 3000 mm の両面テープ仕様テープスケールを貼り付ける場合には、別売（パーツ番号：
06AEJ690）のスケール貼り付け補助具の使用を推奨します。スケール貼り付け補助具の取り付け位置は検出ヘッド取り付けの位置関係と同じです。
検出ヘッド
ヘッドブラケット

マシンガイドスケール貼り付け補助具
ヘッドブラケット

マシンガイド• スケール取り付け補助具を使用する場合は、下図を参考にし、検出ヘッドブラケットと干渉しないように設計してください。

13

No. 99MBE082B

2 取り付けの準備

MEMO

14

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

3

機械本体への取り付け

この章では、本商品を機械本体に取り付ける手順、方法、注意事項について説明します。

3.1

梱包内容の確認

取り付け作業を開始する前に、以下の部品がそろっていることを確認してください。
なお、購入されたスケールが指定の内容でない場合や不明点などがある場合には、お求めの販売店、または弊社営業の窓口にご相談ください。

3.1.1

両端固定仕様
名称

数量

テープスケール

1

検出ユニット1

スケールホルダー A

1スケールホルダー B

備考
有効測定長を確認してください。

有効測定長 1100 mm 以上のスケールに付属します。数量は 「4.8.2 両端固定仕様（有効測定長1100 mm 〜 3000 mm）」（52 ページ）で確認
してください。

スケール引っ張りブロック A

1

スケール引っ張りブロック B

1

スケール固定ブロック

1

スケール押さえブロック2
有効測定長 1100 mm 以上のスケールに付属しま

スケール中間固定ベース

す。個数は 「4.8.2 両端固定仕様（有効測定長1100 mm 〜 3000 mm）」（52 ページ）で確認
してください。
有効測定長 1100 mm 以上のスケールに付属しま

スケール中間固定ブロックす。数量は 「4.8.2 両端固定仕様（有効測定長1100 mm 〜 3000 mm）」（52 ページ）で確認
してください。
カバー

1

皿小ねじ（M2 × 4）

2

検出ヘッド取り付け補助具

1

出力コネクター1

ユーザーズマニュアル

1

保証書

1

精度表

1

本書

15

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

スケールユニットを取り付けるため、以下の部品を用意してください。
部品名

個数

備考

六角穴付きボルト（M4 × 12） 1

スケール引っ張りブロック B 固定用

六角穴付きボルト（M3 × 6） 10 〜 43

スケールホルダー、スケール固定ブロッ
ク、スケール中間固定ベース固定用。必要数量は 「4.8.1 両端固定仕様（有効測定
長 500 mm 〜 1000 mm）」（50 ページ）および「4.8.2 両端固定仕様（有効測定長1100 mm 〜 3000 mm）」（52 ページ）で確認してください。

六角穴付きボルト（M3 × 5） 2

スケール押さえブロック固定用

六角穴付きボルト（M3 × 14） 1

テープスケール引っ張り用ねじ

平座金（呼び径 4）

スケール引っ張りブロック B 固定用

1

六角穴付きボルト（M2.5 × L）2

3.1.2

検出ヘッド取り付け用。ねじ長さ L は、用意した検出ヘッドブラケットの厚み +3 mm
以内

両面テープ仕様名称

数量

テープスケール

1

検出ユニット1

エンドキャップ

2

検出ヘッド取り付け補助具

1

出力コネクター1

ユーザーズマニュアル

1

保証書

1

精度表

1

備考
有効測定長を確認してください。

本書• スケールユニットを取り付けるため、以下の部品を用意してください。
部品名

個数

六角穴付きボルト（M2.5 × L）2

検出ヘッド取り付け用。ねじ長さ L は、用意した検出ヘッドブラケットの厚み +3 mm
以内

1

ローラー

備考

別売（パーツ番号：06AEJ505）• 有効測定長が 200 mm 〜 3000 mm のテープスケールを取り付ける場合、以下の部品を用意してください。
部品名
スケール貼り付け補助具

個数
1

備考
別売（パーツ番号：06AEJ690）

16

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

3.2

スケール本体の取り付け
注記

テープスケールは、傷や折れに十分注意して取り扱ってください。
テープスケールに汚れ・埃などが付着していると、誤動作や精度劣化の原因となります。エタノールなどを浸した柔らかい布、またはクリーニングペーパーで汚れや埃を十分に拭き取っておいてください。機械装置のテープスケール取り付け面も、同様にエタノールで十分に清掃しておいてください。
スケールホルダーなどテープスケールに接触する部品についても、同様にエタノールで十分に清掃してください。

Tips• テープスケールは、取り付ける部材とともに十分に温度慣らしをしたうえで固定してください。本商品は20 °C で精度保証をしています。温度慣らしの目安は、テープスケールおよびスケールを取り付ける部材ともに 20 °C で約 8 時間以上です。温度慣らし後、取り付け作業を実施してください。
• 温度慣らしを含めた温度環境が不十分な場合、所定の指示精度を得られないことがあります。
• 取り付け作業時に手などの体温によってテープスケールと機械装置との間で温度差が生じるのを避けるた
め、作業時には手袋を使用してください。
• 温度慣らし後にエタノールでテープスケールを拭くと、その部分の温度が下がってしまいますので注意して
ください。

3.2.1

両端固定仕様1 スケールホルダー A、スケール引っ張りブロック A、スケール固定ブロックをそれぞれ固定する
スケールホルダー取り付け部の平行度、平面度は「2.2 スケール取り付け面の設計」（10 ページ）を参照してください。
六角穴付きボルト（M3 × 6）
締め付けトルク
M3：1 Nm

スケール引っ張りブロック A

スケール固定ブロック

スケールホルダー A

17

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

有効測定長 1100 mm 以上のスケールでは、スケールホルダー B、スケール中間固定ベースを付属の数量分固定します。
六角穴付きボルト（M3 × 6）
締め付けトルク
M3：1 Nm

スケールホルダー A

スケール中間固定ベース
スケールホルダー B

2 スケール保護テープを剥がす
Tips
テープスケールは、エタノールを浸した柔らかい布、またはクリーニングペーパーで十分に清掃してください。

3 スケールホルダーにテープスケールを挿入する

テープスケール
A

原点マーク

テープスケールの原点マークがスケールホルダー突き当て面（溝のある側面）の反対側になるように、
テープスケールを挿入します。
スケールホルダー
突き当て面

テープスケール
原点マーク

A 矢視図

18

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

4 スケール引っ張りブロック B をスケール引っ張りブロック A の上に重ね、仮固定する
スケール引っ張りブロック B

六角穴付きボルト（M4 × 12）
および平座金（呼び径 4）併用
締め付けトルク
M4：0.5 Nm

スケール引っ張りブロック A

5 スケール押さえブロックをスケール固定ブロックおよびスケール引っ張りブロック B の上にそれぞれ重ね、固定する
六角穴付きボルト（M3 × 5）
締め付けトルク
M3：1 Nm
スケール押さえブロック

スケール引っ張りブロック B

スケール押さえブロック

スケール固定ブロック

6 スケール引っ張りブロック B でテープスケールを規定量まで引っ張る
1「3.3 検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け」（31 ページ）を参照して、検出ヘッドを取り付
ける

2

別冊の「ST46-EZA アプリケーションプログラム ユーザーズマニュアル」の内容に従って、検出ヘッドの信号確認を準備する

19

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

3

スケール引っ張りブロック B に六角穴付きボルト（M3 × 14）を取り付ける
六角穴付きボルト（M3 × 14）

スケール引っ張りブロック B

45

別冊の「ST46-EZA アプリケーションプログラム ユーザーズマニュアル」の「4.2 信号の確認」の内容に従って Signal Monitor タブを表示する

検出ヘッドをスケール固定ブロック側のスケール押さえブロックに押し当て、Signal Monitor タブの［ZERO］
をクリックする

20

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

6Signal Monitor タブの［Position］の値を見ながら、検出ヘッドを適当な位置に移動する

L

Tips
検出ヘッドは、1000 mm などテープスケールの引っ張り量を算出しやすい位置に移動します。

7

スケール引っ張りブロック B に取り付けた六角穴付きボルト（M3 × 14）を回し、Signal Monitor タブの［Position］の値を見ながら、テープスケールを引っ張る

300 mm 程度

テープスケールは、［Position］の値が以下の式で算出した量になるまで引っ張ります。
［Position］の値＝検出ヘッドの位置（L）−検出ヘッドの位置（L）× 0.00025
たとえば、検出ヘッドの位置が 1000 mm であった場合、［Position］の値が以下になるまでテープスケー
ルを引っ張ります。
［Position］の値＝ 1000 − 1000 × 0.00025 ＝ 999.75

21

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

7 スケール引っ張りブロック B を本締めする

スケール引っ張りブロック B
締め付けトルク
M4：3 Nm 〜 4 Nm

8 カバーを取り付ける
皿小ねじ（M2 × 4）
カバー

9 スケール中間固定ブロックを取り付け、固定する
六角穴付きボルト（M3 × 6）
締め付けトルク
M3：1 Nm

スケール中間固定ブロック

スケール中間固定ベース

スケール中間固定ブロックは、有効測定長 1100 mm 以上のスケールで取り付けます。

22

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

3.2.2

両面テープ仕様■ 有効測定長 10 mm 〜 150 mm
1 テープスケール貼り付け位置およびエンドキャップ固定位置の脇にフェルトペンなどでマーキングする

テープスケール
貼り付け位置
エンドキャップ
固定位置
テープスケール貼り付け位置

Tips
エンドキャップ固定位置は、テープスケール貼り付け位置より 10 mm 内側になります。

2 テープスケールから両面テープの剥離紙を剥がす
Tips
両面テープ接着面に触れないように注意してください。

3 テープスケールを貼り付ける

23

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

4 テープスケール上面をローラーで押し、接着面とテープスケールを馴染ませる
マシンガイドに対するスケールのラテラル方向の平行が下記の値以内で取り付けてください。
●平行度：0.1 mm

ローラー

ラテラル方向

Tips
テープスケールの貼り付け状態にムラができないよう、ローラーで押す力は最初に弱く、少しずつ強くしてください。

5 テープスケール表面の保護テープを剥がす
6 エンドキャップ裏面の凹面にシリコン接着剤を塗布し、全体に広がるようにヘラでならす
シリコン接着剤

ヘラ

シリコン接着剤は、信越シリコーン社製 KE441T を推奨します。

7 エンドキャップ裏面の剥離紙を剥がし、マーキングしたエンドキャップ固定位置に合わせて貼り付け
る
剥離紙

24

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

Tips
エンドキャップは、凹面をテープスケールに合わせ、テープスケール両端のエンドキャップ固定位置に貼り付
けてください。

8 はみ出したシリコン接着剤を拭き取る
エンドキャップ

テープスケール

シリコン接着剤を拭き取る

9 エタノールなどでテープスケールを再度清掃する■ 有効測定長 200 mm 〜 3000 mm
Tips
有効測定長 200 mm 〜 3000 mm の両面テープ仕様テープスケールを貼り付ける場合には、別売（パーツ番号：
06AEJ690）のスケール貼り付け補助具の使用を推奨します。

1 テープスケール貼り付け位置およびエンドキャップ固定位置の脇にフェルトペンなどでマーキングする

テープスケール
貼り付け位置
エンドキャップ
固定位置
テープスケール貼り付け位置

Tips
エンドキャップ固定位置は、テープスケール貼り付け位置より 10 mm 内側になります。

25

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

2 検出ヘッドブラケットにスケール貼り付け補助具を取り付ける
スケール貼り付け補助具

検出ヘッド
取り付け補助具

検出ヘッド固定用ブラケット

マシンガイドB

A

G：マシンガイド1.6±0.1

スケール貼り付け補助具とテープスケール取り付け面のギャップは、検出ヘッド取り付け補助具を使用して 1.6 ± 0.1 mm にしてください。

矢視図 A

矢視図 B

3 スケール貼り付け補助具とローラーの間にテープスケールを通す
スケール貼り付け補助具

テープスケール
ローラー

十字ねじ
原点マーク

スケール貼り付け補助具側面図

テープスケールは、原点マークの位置に注意して通してください。

26

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

Tips
ここでは、スケール貼り付け補助具を使用してテープスケールを左手側から貼り付ける例を示しています。右手側から貼り付ける場合は、スケール貼り付け補助具のローラー位置を変更してください。
スケール貼り付け補助具

ローラー
十字ねじ

4 テープスケールを 50 mm 程度引き出す
5 テープスケールの剥離紙を 5 mm 程度剥がす
ローラー

テープスケール
貼り付け位置

エンドキャップ固定位置
十字ねじ
剥離紙を 5 mm 程度
剥がします

エンドキャップ固定位置
テープスケール貼り付け位置

6 テープスケールの端をスケール貼り付け位置のマーキングに合わせて貼り付ける
Tips
両面テープ接着面に触れないように注意してください。

27

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

7 剥離紙を剥がし、スケール貼り付け補助具のローラー部まで折り返す

剥離紙

テープスケール
貼り付け位置Tips
剥離紙を強く引っ張りすぎると、途中で切れるおそれがあります。

8 剥離紙を剥がしながらスケール貼り付け補助具を移動し、テープスケールを貼り付ける
テープスケール

剥離紙

28

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

Tips• 剥離紙は、手で引きながらテープスケールと平行に剥がしてください。斜めに剥がしたり強く引っ張りすぎたりすると、剥離紙が途中で切れるおそれがあります。
• マシンガイドの移動範囲がテープスケール全長より短い場合は、テープスケールの端までスケール貼り付け
補助具を移動してテープスケールを貼り付けることができません。この場合は、スケール貼り付け補助具のローラーを取り外して、テープスケールを貼り付けてください。

テープスケール

ローラー

剥離紙

X-Xʼ 断面図

9 テープスケール上面をローラーで押し、接着面とテープスケールを馴染ませる
マシンガイドに対するスケールのラテラル方向の平行が下記の値以内で取り付けてください。
●平行度：0.1 mm

ローラー

ラテラル方向

Tips
テープスケールの貼り付け状態にムラができないよう、ローラーで押す力は最初に弱く、少しずつ強くしてください。

10 テープスケール表面の保護テープを剥がす

29

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

11 エンドキャップ裏面の凹面にシリコン接着剤を塗布し、全体に広がるようにヘラでならす
シリコン接着剤

ヘラ

シリコン接着剤は、信越シリコーン社製 KE441T を推奨します。

12 エンドキャップ裏面の剥離紙を剥がし、マーキングしたエンドキャップ固定位置に合わせて貼り付け
る
剥離紙

Tips
エンドキャップは、凹面をテープスケールに合わせ、テープスケール両端のエンドキャップ固定位置に貼り付
けてください。

13 はみ出したシリコン接着剤を拭き取る
エンドキャップ

テープスケール

シリコン接着剤を拭き取る

14 エタノールなどでテープスケールを再度清掃する

30

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

3.3

検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け
注記

取り付け作業中にコネクターシェルのピン部などに直接触れないように注意してください。静電気によって電子部品が破損することがあります。取り付け作業では静電気対策を十分に行ってください。
検出ヘッドを取り付けて使用する際には、装着するブラケットに加え、機械本体を電気的に確実に接地した状態にしてください。接地せずに使用した場合、外部ノイズの影響を受ける場合があります。
また、ブラケットの材質などで接地が難しい場合は、ヘッドケーブルのシールド部をアースバーなど
で確実に接地して使用してください。
アースバーなど

シールド線（網線）
ケーブルのビニール被覆を一部カット

ヘッドケーブル例）アースバー使用図

1 検出ヘッドの検出面に貼られている保護テープ（青色）を剥がす

保護テープ（青色）検出ヘッド裏面

31

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

2 検出ヘッドを検出ヘッドブラケットに取り付ける■ 両端固定仕様

ギャップ方向ラテラル方向
ピッチ方向
ロール方向■ 両面テープ仕様

ギャップ方向ラテラル方向
ピッチ方向
ロール方向

32

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

3 テープスケールと検出ヘッドの間に検出ヘッド取り付け補助具を差し込む■ 両端固定仕様
1
2

検出ヘッド取り付け補助具をスケールホルダーのテープスケール原点マーク側に突き当てる
検出ヘッドを検出ヘッド取り付け補助具に乗せ、テープスケール原点マーク側に突き当てて仮固定する
テープスケール

スケールホルダー

検出ヘッド取り付け補助具

検出ヘッド

原点マーク

■ 両面テープ仕様
1
2

検出ヘッド取り付け補助具をテープスケール原点マーク側に突き当てる
検出ヘッドを検出ヘッド取り付け補助具に乗せ、テープスケール原点マーク側に突き当てて仮固定する
検出ヘッド取り付け補助具

テープスケール

原点マーク

検出ヘッド

4 検出ヘッドとテープスケールの平行度を、てこ式インジケーターまたは電気マイクロメーターで確認する
検出ヘッドとテープスケールの平行度は 0.05 mm 以下にしてください。

5 検出ヘッドとテープスケールの距離が規定値（ギャップ：1.5 ± 0.1 mm）であることを、検出ヘッド
取り付け補助具で確認する

6 検出ヘッドを固定する（推奨締め付けトルク：0.4 Nm 〜 0.6 Nm）

33

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

3.4

フィードバックケーブルの接続• フィードバックケーブルによって制御装置にスケールユニットを接続する前には、制御装置の電源を必ずオフにしてください。
• フィードバックケーブルは、お客様の手配になります。 「4.4 フィードバックケーブルの製作」（44 ページ）を参照して、機種に対応したケーブルを準備してください。

1 検出ユニットのコネクターシェルと制御装置をフィードバックケーブルで接続する
2 制御装置の電源をオンにする»

コネクターシェルのランプが点灯／点滅する。
ここでは、コネクターシェルのランプの状態は無視し、ジ）で示す信号調整を必ず実施してください。

「3.5 検出ヘッドの信号調整」（35 ペー

Tips
検出ヘッドの取り付け状態が正規に近い場合、電源をオンにするとセットアップインジケーターの中央の LED（青色）が点灯します。

セットアップインジケーター

34

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

3.5

検出ヘッドの信号調整

テープスケール、検出ヘッドを取り付け、フィードバックケーブルを接続した後、コネクターシェル
で信号調整を行います。

1 コネクターシェルのセットアップボタン A またはセットアップボタン B を、ø1.0 〜 ø1.4（六角棒レンチ呼び 1.3（六角穴付き止メネジ M2.5 用））の細い棒で押す»

CAL ランプが赤色で点滅（1 秒間隔）し、検出ヘッドの取り付け位置調整モードに移行する。
①セットアップボタン A
スイッチの通し穴径 ø1.5

①セットアップボタン B
スイッチの通し穴径 ø1.5

2 セットアップインジケーターでの信号強度判定が「OK」となるように、検出ヘッドのモアレ方向を調整する
ギャップ方向（ギャップは 1.5 ± 0.1 mm で固定）

検出ヘッドモアレ方向

35

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け
ランプのつき方
状態 1

状態 3

状態 4

状態 5

状態 6

状態 8

状態 9

NG

赤

左-赤
右-黄

NG

NG

黄

左-黄
右-青

NG

OK

青

左-青
右-黄

NG

NG

黄

左-黄
右-赤

信号大

状態 7

信号強度判定

信号小

状態 2

色

NG

NG

赤

Tips
セットアップインジケーターの表示が青色で点灯しない場合は、検出ヘッドのギャップ方向を調整してください。

3 再度、セットアップボタン A またはセットアップボタン B を押す»

CAL ランプの表示が赤色点滅から赤色点灯に変わり、オートチューニングモードに移行する。

4 検出ヘッドまたはテープスケールを、測長方向に 5 mm/s 〜 50 mm/s の速度で 15 mm 以上移動する»

CAL ランプが消灯し、オートチューニングが終了する。
• 検出ヘッドまたはテープスケールは、一方向に移動してください。オートチューニング中に逆方向に移動すると、CAL エラーになります。
• CAL エラーとなった場合には、信号調整の作業を最初からやり直してください。なお、その際に電源をオフにする必要はありません。

36

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

5 有効測定長の全長で、セットアップインジケーターでの信号強度判定が「OK」であることを確認する
Tips
スケール移動距離が短い場合、CAL エラーが発生することがあります。スケール移動距離が 15 mm 以下の装置で使用する場合は、弊社営業までご連絡ください。

37

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

3.6

ケーブルの処理と取り付け状態の確認

3.6.1

ケーブル処理信号調整を終えた後、フィードバックケーブルを固定してください。

1 ケーブルのねじれや曲がりに注意し、ケーブルを配置する
注記
フィードバックケーブルは、電気的なノイズ源となる他のケーブル類と束ねたり、大電流をオン／オフするリレーの近くに配置すると、ノイズにより誤作動することがあります。

2 フィードバックケーブルをケーブルクランプなどで固定する
機械装置の稼働時に検出ヘッドに力が加わらないように、検出ヘッドとともに移動する近傍の部材にフィードバックケーブルをクランプしてください。
コネクターシェルは、必ず機械本体にねじで固定してください。

3.6.2

取り付けおよび調整状態の確認

フィードバックケーブルの固定を終えた後、テープスケールおよび検出ヘッドの取り付けおよび調整
状態を再確認します。

Tips
検出ヘッドがテープスケールまたは機械装置の部品と接触・干渉しないことを確認しながら、作業を進めてください。

1 各部のねじ類、クランプなどに締め忘れがないことを確認する
2 制御装置の電源をオフにし、5 秒〜 10 秒程度待って再度オンにする
Tips
制御装置の電源をオフにすることで、調整作業中に生じたアラームを解除します。

3 機械装置の移動範囲全域で、コネクターシェルのセットアップインジケーターでの表示が青色で点灯していることを確認する
Tips
セットアップインジケーターの表示が赤色や黄色で点灯する場合、テープスケールの汚れ、モアレ／ギャップなどを再確認してください。

38

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

3.6.3

保護カバーの取り付け

テープスケールおよび検出ヘッドの取り付けおよび調整状態の再確認を終えた後、保護カバーを取り付けます。
• 保護カバーが機械装置の一部やスケールユニットのケーブルなどに接触しないようにしてください。
• 機械装置の移動範囲全域で、上記の問題がないことを確認してください。

39

No. 99MBE082B

3 機械本体への取り付け

MEMO

40

No. 99MBE082B

4 仕様

4

仕様

4.1

仕様一覧
項目

仕様

検出方式

光学式反射形リニアエンコーダー

テープスケール格子ピッチ

20 µm

出力信号形態

B タイプ：二相方形波、原点信号パルス、外部リセット入力
C タイプ：二相方形波、原点信号パルス、二相正弦波

有効測定長

両端固定仕様：500 mm 〜 3000 mm
両面テープ仕様：10 mm 〜 3000 mm

指示精度（20 °C）（※ 1）

有効測定長 10 mm 〜 1000 mm：± 5 µm
有効測定長 1100 mm 〜 3000 mm：± 5 µm/m

線膨張係数≈ 11 × 10–6/K

最大応答速度

2.6 m/s（正弦波振幅 –3 dB にて）

スケール原点あり（50 mm ピッチ、有効測定長 10 mm 〜 75 mm は中央 1 点）

供給電源電圧DC 5 V ± 5 %

最大消費電流250 mA

使用温度範囲

0 °C 〜 40 °C

保存温度範囲–20 °C 〜 60 °C

使用・保存湿度範囲

20 %RH 〜 80 %RH（ただし結露なきこと）

アラーム表示機能

スケールユニットのアラームをコネクターシェルの LED で表示

CE マーキング／
UKCA マーキング

EMC 指令／電磁両立性規制：EN 61326-1
Immunity test requirement：Clause6.2 Table 2
Emission limit：Class B
RoHS 指令／電気電子機器における特定有害物質の制限規制：EN IEC 63000※ 1：両端固定仕様での指示精度は、規定量での引っ張り前の精度です。

4.2

出力回路と信号波形

4.2.1

主信号形態：B タイプ、C タイプ■ 出力回路方形波出力信号（PA 相、PB 相）、原点信号、アラーム信号の出力回路は下図のとおりです。

差動ラインドライバー
AM26C31 相当

41No. 99MBE082B

4 仕様■ 信号波形
方形波出力信号（PA 相、PB 相）および原点信号の波形は下図のとおりです。

VOH=2.5 V（最小）VOL=0.5 V（最大）td：エッジ間隔、分解能

Z 相パルス幅0.8 ± 0.4 mm

Tips
上図は、コネクターシェルのディレクションスイッチが「正」の状態で、検出ヘッドが以下のように移動した際の波形です。ディレクションスイッチの状態により出力 PA、PB の位相関係（計数方向）が切り替わります。
検出ヘッド移動方向

スケールトラック

原点マーク

4.2.2

主信号形態：C タイプ■ 出力回路正弦波出力信号（A 相、B 相）および基準信号の出力回路は下図のとおりです。
A 相 , B 相（正弦波）出力回路

A相,B相

基準信号（Vref）出力回路

42No. 99MBE082B

4 仕様■ 信号波形
正弦波出力信号（A 相、B 相）の波形は下図のとおりです。

VDC

A相
出力信号ピッチ 20 μm

VDC

B相
位相差 90°（Typ）

Vpp=2v VDC=V ref.
（VCC/2 ≓ 2.5 V）

4.3

ピンアサイン

4.3.1

主信号形態：B タイプ
1

9

8

15

ピン No.

信号名

ピン No.

信号名

1、2

0V（GND）

9

ALM（アラーム）

3、4+5 V（Vcc）

10

PA（主信号パルス _ 正相）

5

リセット入力 AL（アノード） 11

PA（主信号パルス _ 逆相）

6

リセット入力 AL（カソード） 12

PB（主信号パルス _ 正相）

7

N.C.

13

PB（主信号パルス _ 逆相）

8

PZ（原点信号パルス _ 正相） 14

PZ（原点信号パルス _ 逆相）

15

F.G

Tips
適合コネクター（付属品）は、HDAB-15S です。

43

No. 99MBE082B

4 仕様

4.3.2

主信号形態：C タイプ
1

9

8

15

ピン No.

信号名

ピン No.

信号名

1、2

0V（GND）

9

ALM（アラーム）

3、4+5 V（Vcc）

10

PA（主信号パルス _ 正相）

5

A 相（正弦波）

11

PA（主信号パルス _ 逆相）

6

B 相（正弦波）

12

PB（主信号パルス _ 正相）

7

Vref（≒ Vcc/2）

13

PB（主信号パルス _ 逆相）

8

PZ（原点信号パルス _ 正相） 14

PZ（原点信号パルス _ 逆相）

15

F.G

Tips
適合コネクター（付属品）は、HDAB-15S です。

4.4

フィードバックケーブルの製作
フィードバックケーブルには、以下の条件を満たすものを使用してください。
• 網線シールドケーブルを使用してください。
• シールド（FG）は、付属コネクターの金属ケースへクランプしてください。困難な場合はピン番
号 15 へ接続してください。
• コネクターシェル側での電源電圧が 4.75 V 以上となるようにケーブルインピーダンスおよび長さを設定してください。
Vsp −（Rc ÷ 2）× L × 2 × 0.25 ≧ 4.75 V
Vsp：制御装置からの供給電源電圧（Volts）
Rc：ケーブルの電源・グランド線インピーダンス（Ω/m）
L：ケーブルの長さ（m）
0.25：スケールユニットの最大消費電流（A）

44

No. 99MBE082B

4 仕様
正弦波出力信号を使用する場合は、出力信号ケーブルを下図のように接続してください。
検出ユニットコネクターシェル側

フィードバックケーブル

A相

5

B相

6

Vref

7

制御装置側

方形波出力信号を使用する場合は、出力信号ケーブルを下図のように接続してください。
検出ユニットコネクターシェル側

制御装置側
フィードバックケーブル
R1

+5V

10
R2

A相

11
R1

R1

R1

R1

12
R2

B相

13
+5V

8
R2

Z相

14
4.7 kΩ

ALM
ラインドライバー
AM26C31: TI

1.8 kΩ

9

4.7 kΩ
+5V

+5V

3

R1
R1=560 Ω
R2=110 Ω

ラインレシーバー
AM26C32: TI（相当品可）

4
1
2
15

シールド

• A 相／ B 相（PA、PA、PB、PB）に対する断線検出機能が制御装置にある場合は、ALM 出力を接続する必要はありません。この場合は、アラーム出力形態が H（ハイインピーダンス）仕様のスケー
ルユニットを使用してください。
• 断線検出機能が制御装置にない、または A 相／ B 相出力をハイインピーダンス状態にすることがシステム上問題になる場合は、ALM 出力を接続してください。この場合、アラーム出力形態が S（アラーム信号）仕様のスケールユニットを使用してください。

45

No. 99MBE082B

4 仕様

4.5

アラーム機能

4.5.1

検出内容

アラームが検出されると、コネクターシェルの CAL ランプが 2 秒間隔で点灯／消灯を繰り返します。
また、CAL ランプが点灯している間は、セットアップインジケーターの表示ランプによって、エラー
内容が以下のように示されます。

Tips
複数のエラーが発生している場合、セットアップインジケーターの該当するランプがすべて点灯します。

表示

エラー名

原因

オーバーレンジエラー *1

入力正弦波信号の波形の大きさが大きすぎるか、小さすぎます。

オーバースピードエラー

移動速度が最大応答速度を超えました。

内部処理異常ハードウェアエラー（部品故障、通信エラー）

キャリブレーションエラー

信号調整時のエラー・LED の劣化
LED 電流エラー

・センサーの過電流・検出ヘッドの取り付け位置の調整不足*1 CAL ランプの消灯時は、オーバーレンジに関するアラーム検出内容は示しません。

46

No. 99MBE082B

4 仕様

Tips
• 入力正弦波信号の波形の大きさが大きすぎたり、小さすぎたりして異常領域であった場合、オーバーレンジ
エラーになります。
• 入力正弦波信号の波形の大きさが大きかったり小さかったりして注意領域であった場合には、アラームにはなりませんが、分割精度が低下します。
注意領域にあるときのランプのつき方
黄

注意領域

4.5.2

色

アラームの解除■ 電源の再投入
1 アラームとなった原因を解消する
2 制御装置の電源をオフにし、10 秒以上待って再度電源をオンにする■ アラームリセット信号
1 アラームとなった原因を解消する
2 アラームリセット信号（パルス幅 10 ms 以上）を入力する

47

No. 99MBE082B

4 仕様• アラームリセット信号によるアラームの解除は、主信号出力形態が B（二相方形波＋外部リセット
入力）の場合のみ可能です。
• アラームリセット入力回路は、電流が 3 mA 〜 10 mA になるように接続してください。
• 本商品内部に抵抗（1.2 kΩ）を内蔵していますので、リセット入力 AL（アノード）、リセット入力
AL（カソード）間に 5 V 〜 12 V を与えることでアラームを解除できます。
フォトカプラの場合+V

TLP521

1.2 kΩ

リセット入力 AL（アノード）
リセット入力 AL（カソード）

リレーの場合+V

5
6–V

リセット入力

入力信号 5 番ピン
5 〜 12 V
10 ms 以上

• 12 V 以上を与える場合には、外部に抵抗を追加してください。

4.6

ディレクションの変更

1 制御装置の電源をオフにする
2 ゴムキャップを外す
3 コネクターシェルのスライドスイッチを切り替える
コネクターシェル

スイッチ状態

ディレクション

正正弦波と同位相逆

正弦波と逆位相スライドスイッチ

USB ポート48

No. 99MBE082B

4 仕様

4.7

保守パーツ

ST46-EZA テープスケールでは、以下の保守パーツが設定されています。

■ 両端固定仕様
名称

バーツ番号

検出ヘッド取り付け補助具

06AEJ649

スケール引っ張りブロック A

06AEF277

スケール引っ張りブロック B

06AEF278

スケール固定ブロック

06AEJ676

スケール押さえブロック

06AEF280

スケール中間固定ベース

06AEF281

スケール中間固定ブロック

06AEF282

カバー

06AEF292

皿小ねじ M2 × 4

09ZAA012

出力コネクター

09AAA355

備考

カバー固定用■ 両面テープ仕様
名称

バーツ番号

検出ヘッド取り付け補助具

06AEJ650

エンドキャップ

06AEF304

ローラー

06AEJ505

シリコン接着剤 KE441T（100 g）

06AEK700

エンドキャップ固定用

スケール取り付け補助具（両面テー
06AEJ690
プ仕様）
出力コネクター

備考

スケール取り付け時に使用

09AAA355

49

No. 99MBE082B

4 仕様

4.8

外観・取り付け寸法図

4.8.1

両端固定仕様（有効測定長 500 mm 〜 1000 mm）■ 取り付け寸法図50No. 99MBE082B

4 仕様■ 取り付け寸法表
有効測定長L1（mm）

スケール
全長 L2
（mm）

スケール長
L3（mm）

スケール
ホルダー
n（個）
A 長 L4（mm）

ST46EZA ◇ -500D

500

642

590

546

5

ST46EZA ◇ -600D

600

742

690

646

6

コード
No.（※ 1）型番（※ 2）579-678- □ 4
579-679- □ 4
579-680- □ 4

ST46EZA ◇ -700D

700

842

790

746

7

579-681- □ 4

ST46EZA ◇ -800D

800

942

890

846

8

579-682- □ 4

ST46EZA ◇ -900D

900

1042

990

946

9

579-683- □ 4

ST46EZA ◇ -1000D

1000

1142

1090

1046

10

※ 1：コード No. の□印は、以下を示します。
1：二相方形波＋外部リセット入力
2：二相正弦波＋二相方形波※ 2：型番の◇印は、以下を示します。
B：二相方形波＋外部リセット入力
C：二相正弦波＋二相方形波51

No. 99MBE082B

4 仕様

4.8.2

両端固定仕様（有効測定長 1100 mm 〜 3000 mm）■ 取り付け寸法図52No. 99MBE082B

4 仕様■ 取り付け寸法表
スケール
有効測 スケール スケー
ホルダー
定長 L1 全長 L2 ル長 L3
A 長 L4（mm） （mm） （mm）
（mm）

スケール
ホルダー
n（個）
B数m
（本）

コード
No.（※ 1）型番（※ 2）579-684- □ 4

ST46EZA ◇ -1100D

1100

1242

1190

146

1

11

579-685- □ 4

ST46EZA ◇ -1200D

1200

1342

1290

246

1

12

579-686- □ 4

ST46EZA ◇ -1300D

1300

1442

1390

346

1

13

579-687- □ 4

ST46EZA ◇ -1400D

1400

1542

1490

446

1

14

579-688- □ 4

ST46EZA ◇ -1500D

1500

1642

1590

546

1

15

579-689- □ 4

ST46EZA ◇ -1600D

1600

1742

1690

646

1

16

579-690- □ 4

ST46EZA ◇ -1700D

1700

1842

1790

746

1

17

579-691- □ 4

ST46EZA ◇ -1800D

1800

1942

1890

846

1

18

579-692- □ 4

ST46EZA ◇ -2000D

2000

2142

2090

1046

1

20

579-693- □ 4

ST46EZA ◇ -2200D

2200

2342

2290

246

2

22

579-694- □ 4

ST46EZA ◇ -2400D

2400

2542

2490

446

2

24

579-695- □ 4

ST46EZA ◇ -2500D

2500

2642

2590

546

2

25

579-696- □ 4

ST46EZA ◇ -2600D

2600

2742

2690

646

2

26

579-697- □ 4

ST46EZA ◇ -2800D

2800

2942

2890

846

2

28

579-698- □ 4

ST46EZA ◇ -3000D

3000

3142

3090

1046

2

30

※ 1：コード No. の□印は、以下を示します。
1：二相方形波＋外部リセット入力
2：二相正弦波＋二相方形波※ 2：型番の◇印は、以下を示します。
B：二相方形波＋外部リセット入力
C：二相正弦波＋二相方形波

53

No. 99MBE082B

4 仕様

4.8.3

両面テープ仕様（有効測定長 10 mm 〜 3000 mm）■ 取り付け寸法図54No. 99MBE082B

4 仕様■ 取り付け寸法表
コード
No.（※ 1）型番（※ 2）有効測定長 スケール全長
L1（mm）
L2（mm）

スケール長
L3（mm）

579-665- □ 5

ST46EZA ◇ -10E

10

110

70

579-666- □ 5

ST46EZA ◇ -25E

25

125

85

579-667- □ 5

ST46EZA ◇ -50E

50

150

110

579-668- □ 5

ST46EZA ◇ -75E

75

175

135

579-670- □ 5

ST46EZA ◇ -100E

100

200

160

579-671- □ 5

ST46EZA ◇ -150E

150

250

210

579-672- □ 5

ST46EZA ◇ -200E

200

300

260

579-673- □ 5

ST46EZA ◇ -250E

250

350

310

579-674- □ 5

ST46EZA ◇ -300E

300

400

360

579-675- □ 5

ST46EZA ◇ -350E

350

450

410

579-676- □ 5

ST46EZA ◇ -400E

400

500

460

579-677- □ 5

ST46EZA ◇ -450E

450

550

510

579-678- □ 5

ST46EZA ◇ -500E

500

600

560

579-679- □ 5

ST46EZA ◇ -600E

600

700

660

579-680- □ 5

ST46EZA ◇ -700E

700

800

760

579-681- □ 5

ST46EZA ◇ -800E

800

900

860

579-682- □ 5

ST46EZA ◇ -900E

900

1000

960

579-683- □ 5

ST46EZA ◇ -1000E

1000

1100

1060

579-684- □ 5

ST46EZA ◇ -1100E

1100

1200

1160

579-685- □ 5

ST46EZA ◇ -1200E

1200

1300

1260

579-686- □ 5

ST46EZA ◇ -1300E

1300

1400

1360

579-687- □ 5

ST46EZA ◇ -1400E

1400

1500

1460

579-688- □ 5

ST46EZA ◇ -1500E

1500

1600

1560

579-689- □ 5

ST46EZA ◇ -1600E

1600

1700

1660

579-690- □ 5

ST46EZA ◇ -1700E

1700

1800

1760

579-691- □ 5

ST46EZA ◇ -1800E

1800

1900

1860

579-692- □ 5

ST46EZA ◇ -2000E

2000

2100

2060

579-693- □ 5

ST46EZA ◇ -2200E

2200

2300

2260

579-694- □ 5

ST46EZA ◇ -2400E

2400

2500

2460

579-695- □ 5

ST46EZA ◇ -2500E

2500

2600

2560

579-696- □ 5

ST46EZA ◇ -2600E

2600

2700

2660

579-697- □ 5

ST46EZA ◇ -2800E

2800

2900

2860

579-698- □ 5

ST46EZA ◇ -3000E

3000

3100

3060

※ 1：コード No. の□印は、以下を示します。
1：二相方形波＋外部リセット入力
2：二相正弦波＋二相方形波※ 2：型番の◇印は、以下を示します。
B：二相方形波＋外部リセット入力
C：二相正弦波＋二相方形波

55

No. 99MBE082B

4 仕様

MEMO

56

No. 99MBE082B

5 トラブルシューティング

5

トラブルシューティング

この章では、初期電源投入時のトラブルや動作中に発生したアラームの原因確認の方法について説明します。
トラブル発生ANO

トラブル解消

YES

終了

制御装置
断線アラーム非表示

NO

制御装置の設定およびコネクターシェルの設定（最小分解能、最小エッジ間隔、
ディレクションなど）を確認

YES

コネクターシェル
CALランプが2秒間隔で点滅

フィードバックケーブルの結線は正しい（シールド線を含む）

NO

NO

フィードバックケーブルの
手直し

YES

A

YES

フィードバックケーブルのシールド線がアースバーに接地されている

NO

YES

YES

A

YES

検出ヘッドとテープ
スケールとの取り付け
位置関係は正しいヘッドケーブルの導通は問題ない

手直し

NO

NO

ヘッドケーブルの交換（弊社サービ
スセンタまたは最寄りの営業所へご連絡ください）

A

再取り付け

A

弊社サービスセンタまたは
最寄りの営業所へご連絡ください57

No. 99MBE082B

5 トラブルシューティング

MEMO

58

No. 99MBE082B

営業・サービスの窓口
2021 年 1 月現在
仙台市若林区卸町東 1-7-30〒 984-0002

電話：(022) 231-6881

ファクス：(022) 231-6884

郡山営業所

仙台市若林区卸町東 1-7-30（※）
電話：(024) 931-4331〒 984-0002
ファクス：(022) 231-6884

宇都宮営業所宇都宮市平松本町 796-1〒 321-0932

仙台営業所

電話：(028) 660-6240

ファクス：(028) 660-6248

つくば営業所宇都宮市平松本町 796-1（※）
電話：(029) 839-9139〒 321-0932
ファクス：(028) 660-6248

新潟営業所

新潟市中央区新和 1-6-10
リファーレ新和 1 階 B 号室

〒 950-0972

電話：(025) 281-4360

ファクス：(025) 281-4367

伊勢崎市宮子町 3463-13〒 372-0801

電話：(0270) 21-5471

ファクス：(0270) 21-5613

さいたま市北区宮原町 3-429-1〒 331-0812

電話：(048) 667-1431

ファクス：(048) 667-1434

川崎市高津区坂戸 1-20-1〒 213-8533

電話：(044) 813-1611

ファクス：(044) 813-1610

東京営業所

川崎市高津区坂戸 1-20-1（※）
電話：(03) 3452-0481〒 213-8533
ファクス：(044) 813-1610

厚木営業所

厚木市岡田 1-7-1
ヴェルドミール SUZUKI 105 号室〒 243-0021

電話：(046) 226-1020

ファクス：(046) 229-5450

伊勢崎営業所
さいたま営業所
川崎営業所

八王子駐在所
富士駐在所

電話：(042) 620-5380
電話：(0545) 55-1677

諏訪営業所

諏訪市中洲 582-2〒 392-0015

電話：(0266) 53-6414

ファクス：(0266) 58-1830

上田駐在所

電話：(0268) 26-4531

浜松営業所

浜松市東区和田町 587-1〒 435-0016

電話：(053) 464-1451

ファクス：(053) 464-1683

安城市住吉町 5-19-5〒 446-0072

電話：(0566) 98-7070

ファクス：(0566) 98-6761

安城市住吉町 5-19-5〒 446-0072

電話：(0566) 98-7070

ファクス：(0566) 98-6761

名古屋市昭和区鶴舞 4-14-26〒 466-0064

電話：(052) 741-0382

ファクス：(052) 733-0921

名古屋市昭和区鶴舞 4-14-26（※）
電話：(052) 741-0382〒 466-0064
ファクス：(052) 733-0921

安城営業所
中部オートモーティブ営業所
名古屋営業所
岐阜営業所※営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。

App-1

金沢市桜田町 1-26

金沢営業所

ドマーニ桜田〒 920-0057

電話：(076) 222-1160

ファクス：(076) 222-1161

大阪営業所

大阪市住之江区南港北 1-4-34〒 559-0034

電話：(06) 6613-8801

ファクス：(06) 6613-8817

神戸営業所

大阪市住之江区南港北 1-4-34（※） 〒 559-0034
電話：(078) 924-4560
ファクス：(06) 6613-8817

京滋営業所

草津市大路 2-13-27

岡山営業所
広島営業所
福岡営業所
センシング営業課
地震機器課

辻第 3 ビル 1F 〒 525-0032

電話：(077) 569-4171

ファクス：(077) 569-4172

岡山市北区田中 134-107〒 700-0951

電話：(086) 242-5625

ファクス：(086) 242-5653

東広島市八本松東 2-15-20〒 739-0142

電話：(082) 427-1161

ファクス：(082) 427-1163

福岡市博多区博多駅南 4-16-37〒 812-0016

電話：(092) 411-2911

ファクス：(092) 473-1470

川崎市高津区坂戸 1-20-1
電話：(044) 813-8236
川崎市高津区坂戸 1-20-1
電話：(044) 455-5021〒 213-8533
ファクス：(044) 822-8140〒 213-8533
ファクス：(044) 455-5019※営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。
 商品の故障および操作方法に関してのご相談・お問い合わせカスタマーサポートセンタ

電話：(0570) 073214

y 受付時間：弊社営業日 8:30 〜 12:00 13:00 〜 17:30
y お願い： 測定機器商品（形状測定機、硬さ試験機、座標計測機器、画像測定機、光学機器ほか）に関するお問い合わせの場合は、該当商品のコード番号、シリアル番号をお手元にご用意ください。

App-2

改訂履歴
発行年月日

版数

改訂内容

2019 年 12 月 1 日

改訂 1 版

全面改訂し発行

2021 年 1 月 1 日

改訂 2 版

欧州整合規格変更に伴う対応ほか

2021 年 7 月 1 日

改訂 3 版

UKCA（UK Conformity Assessed）マー
キングの適用による追加及び変更ほか

No. 99MBE082B

株式会社 ミツトヨ
神奈川県川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒 213-8533
ホームページ : https://www.mitutoyo.co.jp

Printed in Japan
No. 99MBE082B