MicroSpotMonitor MSM+
マイクロスポットモニタ エムエスエムプラス
ファイバーレーザ
ディスクレーザ
ダイオードレーザ

超短パルス

CO2 レーザ

340 – 360 nm

515 – 545 nm

1 030 – 1 090 nm

コースティック
パワーレンジ

1 mW – 500 W

パワー

ビーム品質M2

シングルモード – マルチモード

ビームプロファイル

ビーム径

生ビーム

ポインティングスタビリィ
方向特長
インターフェース

10 µm – 1,000 µm
ビーム径を最大15倍まで拡大可
全自動コースティック
Ethernet

フォーカスシフト

PRIMES Japan 株式会社 〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜2-3-4 クレッシェンドビル7F TEL: 045-620-9377 https://www.primes.de/ja/
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テクニカル
MicroSpotMonitor MSM+ は、UV から NIRまでの範囲のレーザを対象とした最も洗練された多用途のカメラベース測定デバイスです。 独自の設計と完璧に選択されたコンポーネントと光学素子を備えた MSM+ は、平均出力最大 500 W のレーザビームまたはピコ秒またはフェムト秒領域の超短パルスレーザを減衰させて画像化することに最適です。
MSM+ は測定対物レンズを使用して、CCD 上に入射ビームの拡大画像を結像します。 追加のアッテネータと様々な OD フィルタを装備したフィルタホイールにより、ビームが徐々に減衰されます。
レーザ解析ソフトウェア(LDS)は画像化された2 次元パワー密度分布を使用してビーム直径やビーム位置などの情報を算出します。 測定範囲の様々な位置で測定を繰り返すことにより、コースティックを完全にするための全必要パラメータが決定されます。 インテグレートされた X軸とY 軸移動機構により簡単に調整ができます。
3種類の異なる測定対物レンズ (MOB)を提供しており、それぞれが NIRコーティングされており、オプションで第 2 および第 3 高調波用にもコーティングが可能です。対物レンズは倍率、最大許容 NA、可能なワーキングディスタンスにより異なります。 2つの追加内部ビームパスにより、適切な倍率が 0.3倍 および 1.8 倍拡張されます。

レーザ解析ソフトウェア(LDS)によるマルチモードレーザのコーステ
ィック測定の表示。

インテグレートされた安全回路により機器の状態を監視し、障害が発生した場合には即座にレーザを停止させます。

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マイクロスポットモニタの仕様

MSM+

測定パラメー タ ME A S U R E ME N T P AR A MET ER S
パワーレンジ /Power range

1 mW – 200 W (optional 500 W with water cooling)

波長レンジ /Wavelength range

340 – 360 nm, 515 – 545 nm 1,030 – 1,090 nm

ビーム径 /Beam diameter10 µm – 1,000 µm

決定パラメー タ / ME A S U R E ME N T RESULTS
集光位置 x,y,z /Focus position x, y, z

yes

焦点半径 x,y /Focus radius x, y

yes

ビーム品質 M /Beam quality factor M²

yes

集光要素を含む生ビーム径 Raw beam diameter at focussing elementyes

ビームパラメータ積 /Beam parameter product (BPP)yes

発散角 /Divergence angle

yes

ビーム強度分布 /Power density distribution

2D, 3D2

デバイス パラメー タ DE VIC E PA RA ME TE RS
移動範囲 x-y /Travel range x-y-plane2 x 2 mm

移動範囲 Z軸 /Travel range z-axis

35mm 又は 120mm (デバイスタイプによる) dep. on device typeインテグレートされたアッテネータ（オプション）
Integrated variable attenuation (option)

5 OD フィルタ付きフィルタホイール（OD値 0-5）
Filter wheel with 5 OD filters (OD 0 – 5)

供給データ SUPPLY DATA
電源 /Power supply

24 V DC ± 5 %, max. 1.8 A

サイクロン用の圧縮空気（クリーニング済、水と油含まず）
Compressed air for cyclone (cleaned, free of water and oil)

0.5 – 1 bar

サイクロン用圧縮空気の仕様 ISO 8573-1:2010に準拠
Specification of compressed air for the cyclone according to ISO 8573-1: 2010

6:4:4
加圧されていない流出を伴う2バールの一次水圧、最大4バール

冷却水圧力 /Cooling water pressure1)

2 bar primary pressure with an unpressurized outflow, max. 4 bar

最小冷却水流量 /Min. Cooling water flow rate1)

1.5 l/min

冷却水の温度 /Cooling water temperature Tin

露点温度 < Tin < 30 °C1)

通信 COMMUNICATION
インターフェース /Interfaces

Ethernet

寸法・重量 DI ME N SI O N S AND W EIG HT

寸法 (L x W x H) Dimensions (L × W × H)

長さ:427mm +12mmの走査範囲+コネクタ
幅:202mm
高さ:181mm +35mm 又は +120mmの走査範囲 +使用する測定レンズに依存 Length: 427 mm +12 mm traversing range +connector Width: 202 mm Height: 181 mm + 35 mm / 120 mm traversing range+projection depending of the measuring objective used

重量 /Weight (approx.)
1)
1)

15 kg

水冷仕様はMSM+の500Wタイプのみに適用されます（要相談）
The water cooling specifications only apply to the 500 W type of the MSM+ (on request).

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アプリケーション:
レーザメーカー

サービス

自動車産業

アデティブマニュファク

品質管理

チュアリングリング
研究開発 R&D

プラントエンジニアリング

オートメーションシステムについて:MicroSpotMonitor MSM+ は、USPレーザ(産業用超短パレスレーザ)及び様々な波長の高輝度レーザを使用する増え続けるアプリケーション市場の要求を満たすように設計されています。 カメラベースのシステムにより、高い分解能と高精度でパワー密度分布を含む集光レーザ関連のパラメータをすべて測定します。

優位点: 新しいレーザ光源の開発、集光ヘッドの光路最適化、加工機械のレーザ性能の検証は、かつてないほど容易かつ信頼性の高いものになりました。 実績のあるMicroSpotMonitor の新しい「プラス世代」は、より速い測定速度、強化されたアルゴリズム、新しい測定モードを提供します。
レーザ解析ソフトウェア(LDS)の完全自動コースティック測定と新機能により、基本的な測定の使いやすさが向上すると同時に、ビームプロファイルの詳細分析のための詳細情報を提供できます。

要約： 様々な波長のパルスレーザ又はCWレーザのレーザシステムを詳細にモニタできます。 集
光レーザ又はファイバーレーザのパワー密度分布により、根本的な原因分析が容易になります。 光
学表面上の歪み、収差、スパッタ、欠陥を直接検出し、的を絞った方法で適切な対策を即座に開始できます。

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