化学物質管理とリスクコミュニケーション

2005/06/01（株）東芝 セミコンダクター社 四日市工場<1>

１．㈱東芝 四日市工場 概況
２．環境ビジョン・方針
３．化学物質管理①管理体制②周辺環境への配慮③ＰＲＴＲデータと化学物質削減事例

４．リスクコミュニケーション①環境報告書②地域住民との対話<2>

東芝グループ 半導体工場
北九州工場
Bipolar/BiCMOS LSI/光半導体

岩手東芝エレクトロニクス
ASIC/マイコン/CMOSセンサ

加賀東芝エレクトロニクス
Discrete/CMOS標準Logic

姫路半導体工場

東芝コンポーネンツ
Discrete (Rectifier,Power TR)

Discrete

Advanced
Microelectronics
Center

研究開発
マイクロエレクトロニクス・センター
ディスクリート
ﾃﾞｨｽｸﾘｰﾄ事業部
ｼｽﾃﾑLSI事業部
メモリ事業部
その他

浜岡東芝エレクトロニクス
光半導体、化合物半導体

大分工場
System LSI/ASIC/マイコン

四日市工場 東芝最大のMemory

半導体工場
<3>

工場概要
第４棟
０７年度
稼動開始

第３棟
０５年度
稼動開始

三重県四日市市にあります
三重県四日市市にあります立地上のポイント
立地上のポイント◆温暖な気候、豊富な水◆温暖な気候、豊富な水などの自然条件に優れなどの自然条件に優れているている◆産業基盤および交通の◆産業基盤および交通の便に優れている
便に優れている

１．所 在 地 四日市市山之一色町800番地
２．設
立 1992年1月（1993年4月操業開始 操業約１５年）
３．敷地面積 422,509㎡（約128,033坪）
４．従業員数 3,329人（正規従業員；2007年12月1日現在）
５．生産品目 NANDフラッシュメモリ、MCP等

56nm及び70nmＮＡＮＤフラッシュメモリの量産、次世代プロセスの開発研究を担うメモリデバイスの中核工場<4>

ＮＡＮＤフラッシュメモリ容量伸長(MP)

生産量︵メモリ容量換算︶

26.9倍

生産は急増しています
生産は急増しています

市場要求の拡大に呼応して市場要求の拡大に呼応して指数関数的に増加指数関数的に増加
17.5倍

11.4倍

5.2倍
3.2倍
1098/上 98/下99/上 99/下 00/上 00/下01/上 01/下 02/上02/下03/上 03/下04/上 04/下BL05/上 05/下 06/上 06/下07/上 07/下見込
予算<5>

１．㈱東芝 四日市工場 概況
２．環境ビジョン・方針
３．化学物質管理①管理体制②周辺環境への配慮③ＰＲＴＲデータと化学物質削減事例

４．リスクコミュニケーション①環境報告書②地域住民との対話<6>

地球との共生のために
東芝四日市工場「化学物質の管理」は環境保全の最重要項目■ 化学物質の管理「有害な物質はできるだけ使用しない」、「可能な限り削減・代替化を進める」、「使用する場合は適正に管理する」ことが基本です。取扱う化学物質は、化学物質管理システムにて集計し、大気や河川への排出量、廃棄物としての移動量なども把握しています。
■ NANDフラッシュメモリでめざすEco<7>化学物質管理方針（環境方針）
化学物質の管理
2007年度【環境方針】

毎年見直しをおこないますが自然に恵まれた立地条件と事業内容を鑑み化学物質管理を徹底◆豊かな自然を持つ鈴鹿山脈 と伊勢湾に面した地に立地する
ハイテク工場と意識し環境保全 への取組みを最優先課題とする◆地球温暖化防止、資源の有効活用、化学物質管理徹底等により環境負荷低減に取り組む◆製品の環境事前評価、原材料の適正管理と使用量削減により環境調和型製品の提供とサービスの改善に努める

コミュニケーション

重要方針
毎年継続

地域・社会との相互理解の推進◆環境情報の開示、構外活動への参画を進め、地域社会との相互理解を推進する

環境報告書を通じて一般に公開。
海外のステークホルダーにむけ英語版も公開。
<8>

管理・削減する化学物質
管理する化学物質削減する化学物質削減検討の対象は、工場で使用する全ての化学物質工場で使用する全ての化学物質新規化学物質を使用したい…

環境影響評価を実施

データベースを確認

使用量
有害度

環境管理物質データベース
有害度・法令などから取り扱いかたを分類

データベースにある物質ならば法令
東芝ｸﾞﾙｰﾌﾟ
ﾎﾞﾗﾝﾀﾘｰﾌﾟﾗﾝ
何に影響するか影響の大きいものを削減対象に登録
年度始め
事業内容が変わった時事業が拡大したときに見直し新棟の稼動時も見直し

ルールに従い使用可否・管理方法を決定
未登録物質ならば工程検討部会にて判断
データベースに登録［環境影響評価シート］<9>

１．㈱東芝 四日市工場 概況
２．環境ビジョン・方針
３．化学物質管理①管理体制②周辺環境への配慮③ＰＲＴＲデータと化学物質削減事例

４．リスクコミュニケーション①環境報告書②地域住民との対話<10>化学物質管理体制
環境に関する
工場審議機関

環境保全責任者：工場長
環境保全責任者：工場長（兼、公害防止統括者）
内部監査員
内部監査員

四日市工場
地球環境会議［地球環境会議］

工場長

2ヶ月に1回開催
化学物質管理計画をたて、その進捗を確認

環境保全副責任者:施設管理部長
環境保全副責任者:施設管理部長（兼、公害防止統括代理者）

環境保全担当公害防止管理者
事務局
公害防止管理者 ISO14001
ISO14001
事務局
ｴﾈﾙｷﾞｰ管理者
ｴﾈﾙｷﾞｰ管理者

全部門長

各部門長
各部門長

省エネルギー委員会

職場環境担当者会議

事

部門環境会議部門環境会議務 局：職場環境担当者

構内常駐会社
各課長
各課・Ｇ長

構内全従業員が取り組む体制<11>

従業員教育一般環境教育

区分

教

階層別教育

管理者教育

育

階層別、職能別に構内常駐会社を含む全従業員に毎年実施
名

一般従業員教育

職能別教育

対象

者

内

工場長／部門長

容各部門長の責任と権限

全従業員(構内常駐会社含む)環境ﾏﾈｼﾞﾒﾝﾄｼｽﾃﾑ改正点､環境方針､環境目的･目標 等

新規採用者／転入者教育

採用者／転入者

環境方針、環境ﾏﾈｼﾞﾒﾝﾄｼｽﾃﾑ､地球環境問題 等

特定従業員教育特定業務従事者

化学物質取扱い等の特定業務、異常時の対応 等

環境監査員教育

内部環境監査員

監査員の役割と責任､環境法令等の改正状況 等

技術者教育「環境教育」は、化学物質管理に携わる技術者に不可欠

開 講 式

(約）
0.5H

環境

２Ｈ

半導体デバイス２Ｈ

製品概要
基礎 輸出／輸入
コ 半導体プロセス

２Ｈ

アッセンブリ技術

１H

技術者の心構え２Ｈ

ー・新人技術者全員を対象とした基礎教育のカリキュラムに、「環境」を新たに設け、・製造技術が環境に対して重要な役割を担っていることを教育＜技術者教育プログラム＞

ス＜教育テキスト＞

２Ｈ
３H

品質/信頼性/ＩＳＯ ２Ｈ
統計基礎
合計

1.5Ｈ
１７.5Ｈ

<12>

日常管理
化学物質管理システム

排出管理の考え方◇毎月の化学物質の投入・排出、廃棄物の移動量をデータベース化

法・条例・協定値を確実に守るために、より厳しい管理基準を設定している。
例えば、排水のＣＯＤ管理について示す。

排出の２４時間監視

年間数万項目の測定を行い処理状態を詳細に把握◇水質・大気の保全のために24時間体制の監視を実施

法・条例・協定値を確実に順守

120［排水自動計測器］［２４時間体制で設備を監視］

工場内外の環境測定◇定期的な環境分析を実施 （年間約3万件）[大気ｻﾝﾌﾟﾘﾝｸﾞ][井戸水ｻﾝﾌﾟﾘﾝｸﾞ] [河川ｻﾝﾌﾟﾘﾝｸﾞ]［工場内の分析センター］

20
4.5

4.0

1.3
現状

<13>

汚染リスクを低減する施設
環境配慮施設[タンク周りの防液堤]◇化学物質の構外流失のリスクを下げる[廃液置場周りのピット][配管の継手部二重化]

第４棟は免震構造
地震発生時のリスクを低減<14>化学物質汚染を防ぐ管理
東芝総合環境監査（ＥＡＳＴＥＲ）

被監査施設

Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌ Ａｕｄｉｔ Ｓｙｓｔｅｍ ｉｎ ＴＯＳＨＩＢＡ ｏｎ ｂａｓｉｓ ｏｆ ＥＣＯーＲｅｓｐｏｎｓｉｂｉｌｉｔｙ

毎年、工場外の有識者により監査
毎年、工場外の有識者により監査
管理レベルの維持向上を目的とする管理レベルの維持向上を目的とする（１９施設＋管理マップ＋緊急対応訓練）
系 統
サイトマップ
1 排水系①環境を保全する施設が、適切に機能しているか.

2 大気・悪臭排出系②化学物質を使用する装置、保管する施設は適切に 管理されているか③もしものときに、適切に対応できるか…

3 化学物質使用・保管系

4 資源有効活用・廃棄系
5 騒音発生系
6 地球温暖化防止系

監査風景（貯油施設㊤、薬品類保管庫㊦、㊨緊急対応訓練）

施 設
0 サイト管理マップ
1 排水処理装置
2 排水中継槽
3 油水分離槽
4 浄化槽
5 排水最終放流口
6 ボイラー
7 排ガス洗浄装置
8 排気ファン
9 薬品使用施設・職場
10 薬品類保管庫
11 特材ガス等施設
12 貯油施設
13 PCB保管庫
14 職場内廃棄物置場
15 薬品廃棄物置場
16 リサイクルセンター
17 騒音施設
18 エネルギー多使用職場
19 冷却塔20 緊急対応訓練<15>

周辺環境を 守りたい
1992/8/23（操業開始間もない頃)
メンテナンスにより工場排水を停止したとこ
ろ、魚（シラハエ）が大量死。
「工場が何かを流した？」No!
浄化排水が停止したことにより、元の汚れた水質となり、酸欠死した。

工場からの排出影響は大きい
環境を守る工場の役割は大きい<16>

周辺地域への環境リスク評価
周辺地域の環境評価を実施し、長期的なリスクを評価
周辺地域の環境評価を実施し、長期的なリスクを評価
クリーンルーム棟建設などによる影響を把握
・第１棟クリーンルーム：H2/7、H2/10、H6/11
・第２棟クリーンルーム：H7/8、H8/8
・第３棟クリーンルーム：H16/4
・第４棟クリーンルーム：H19/8

過去７回実施＜評価内容＞
・大気中化学物質濃度・臭気指数（濃度）・河川水質・河川生物（魚類・底生動物）調査
・河川生物中金属調査［河川生物調査］［臭気指数調査］<17>メダカもすむ河川
クリーンルーム棟建設時など、環境負荷が変動すると想定されるタイミングで排水放流先河川の魚類等生息生物の調査を実施し、周辺地域のリスクを評価。
絶滅危惧のメダカも確認［メダカ］

魚の確認状況
H6,H16,H19の調査における大きな変動はなく、周辺地域への影響は小さかったと判断<18>

ＰＲＴＲデータ●生産量と取扱／排出量原単位
第３棟フル生産
第４棟生産開始

160000100%

生産量（ウェハ数）

140000120%

生産量
原単位（取扱量）
原単位（排出量）

12000081%

100000

67%

80000

75%
72%

80%
70%
67%

65%

64%
60%
50%

第３棟生産開始

60000

100%

36%

40000

40%
20%

20000
0

取扱量／排出量原単位（％）

180000生産量は大幅増加
排出量も増加生産量あたりの取扱量は５０％
生産量あたりの排出量は３６％0%
2001年度

2002年度

2003年度

2004年度

2005年度

2006年度
生産量原単位排出量を生産効率・歩留り向上施策や、排水リサイクルの効果により改善<19>

工程での取扱量削減
残渣除去工程の無機化による環境負荷低減

有機処理

ResistTiNTi
Al○ リソグラフィーTiN
SiO2 Ti○ドライエッチング

有機薬品A

PRTR法対象薬液

有機薬品B

純水

無機処理

○アッシング
無機薬品

○残渣除去

＜削減量＞
・有機薬品A
・有機薬品B

純水： ３４０ｔ／年：１，４００ｔ／年

その他、数多くのプロジェクトにて、化学物質使用量の削減を推進中<20>

製品での使用量削減
化学物質の有効活用製品(miniSD)での省資源化
COB構造タイプ

SiP構造タイプ(Chip On Board)(System In Package)

封止樹脂

金ワイヤ

フラッシュメモリ
ペレット

金ワイヤ

外形は変わっていないが、製造方法と使用材料を大きく変更
樹脂・金属・半田・接着剤などの使用量を低減し、環境負荷を小さくした

フラッシュ
金属
メモリ WSOP フレーム
鉛を含むメッキ封止樹脂

WSOP

鉛を含む封止樹脂
半田ペースト

プリント基板

SiP
ケース
(裏)

接着剤
ケース
(表)

接着

プリント基板

SiP
ケース
(表)

超音波
溶着

樹脂使用量の削減
金ワイヤ使用量の削減
鉛フリー化
接着剤の不使用化
材料の環境負荷60%OFF<21>

工程からの排出量削減
蒸発

受水量計画時の４５％に削減
工業用水
工業用水
処理
処理

排水処理原水量を大幅削減

純水製造
純水製造

放流

排水処理
排水処理
製造工程
製造工程

放流水量
計画時の３５％に削減

工程排水の工程排水の約７０％を約７０％を再利用化
再利用化↓排水回収設備

廃ガス洗浄
廃ガス洗浄
冷却塔
冷却塔

化学物質排出量も削減
ふっ素排出量約２０ｔ/年の削減

水は再利用

排水回収装置排水回収装置排水の種別に分別回収
化学物質は濃縮し、リサイクル化第３棟と第４棟施設に導入。
製造装置で使用直後から専用系統にて高濃度のまま回収→ 排水処理原水量を削減→ 濃縮した化学物質の一部はリサイクル化<22>

NANDフラッシュでの化学物質削減
技術革新による１年後さらに１年後さらに１年後さらに１年後さらに１年後さらに１年後

メモリ容量２倍にさらに２倍にさらに２倍にさらに２倍にさらに２倍にさらに２倍に

例えば、ＳＤカードの場合暮らしを支える最先端は、暮らしを支える最先端は、環境へも最先端をめざす。
環境へも最先端をめざす。

＝

ＮＡＮＤフラッシュメモリでめざすＥｃｏ

機能は同じ
使用資源は １／６４<23>

１．㈱東芝 四日市工場 概況
２．環境ビジョン・方針
３．化学物質管理①管理体制②周辺環境への配慮③ＰＲＴＲデータと化学物質削減事例

４．リスクコミュニケーション①環境報告書②地域住民との対話<24>

環境報告書（ＰＲＴＲデータの公開）【2003年度】初版【2004年度】第2版【2005年度】第3版

英語版
発行
EnglishEnglish【2006年度】第4版
EnglishEnglishＰＲＴＲデー
タも掲載【2007年度】第5版

EnglishEnglish

環境報告書の公開Ｗｅｂサイト
http://www.toshiba.co.jp/env/jp/factory/index_j.htm

主要環境データ等公開Ｗｅｂサイト
http://www.toshiba.co.jp/env/jp/company/corporate_j.htm#A05

地域自治会、行政、工場来客者等との環境コミュニケーションツールとして活用。
5000部を配布見込み。Ｗｅｂにおいても公開。 PRTRデータも掲載。
<25>

地域住民との対話
地元自治会様と地元自治会様と 環境連絡会を実施
環境連絡会を実施

環境マネジメントシステム「実施計画」◆山之一色町自治会と公害防止協定を締結。
◆公害防止協定に基づき環境連絡会を１回/年開催◆環境測定データの開示をはじめ、活発な意見交換を実施◆過去１４回実施（毎年11月に開催）

環境活動
環境データ
実績を報告
環境コミュニケーションの推進として「地元環境連絡会の開催」を計画

監視池（排水処理水）の鯉を観察<26>

近隣小学校の環境教育をサポート

せいひん↓工場で作っている製品です

地元小学校の環境教育をｻﾎﾟｰﾄ

小学校を訪問して工場の取り組みも説明<27>

ＮＡＮＤフラッシュで目指すＥｃｏ
東芝四日市工場がNANDﾌﾗｯｼｭﾒﾓﾘで目指す
Eco とは環境負荷を抑えたプロセスで環境にやさしいプロダクトを提供する

暮らしを支える最先端は、環境も最先端をめざす。
化学物質
管理も

<28>

ありがとうございました（株）東芝 セミコンダクター社 四日市工場<29>