VSM振動試料型磁力計
製品資料

東 英 工 業 株 式 会 社© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

振動試料型磁力計(VSM)の使用方法と注意点

1. 装置概要..................................................................................................................................................................................12. 構成及びブロック図 ............................................................................................................................................................22-1. 構成及びブロック図 ............................................................................................................................................................. 22-2. 磁化検出原理 ........................................................................................................................................................................ 33. 測定項目..................................................................................................................................................................................43-1. 測定項目.................................................................................................................................................................................. 43-2. ヒステリシスループの評価項目....................................................................................................................................... 53-3. レマネンスループの評価項目.......................................................................................................................................... 64. 校正 ............................................................................................................................................................................................74-1. 校正（Calibration） ................................................................................................................................................................. 74-2. 磁化校正.................................................................................................................................................................................. 84-3. 磁界校正.................................................................................................................................................................................. 95. 測定条件............................................................................................................................................................................... 106. 試料の測定.......................................................................................................................................................................... 116-1. 標準 Ni による磁化の校正（形状による違い） ........................................................................................................ 116-2. 印加磁界方向による検出感度の違い........................................................................................................................ 126-3. 試料の厚みによる反磁界の影響 ................................................................................................................................. 136-4. 種類の異なる媒体の磁気特性比較 ............................................................................................................................ 147. 測定結果............................................................................................................................................................................... 157-1. 磁化の単位 ........................................................................................................................................................................... 16

8. VSM の測定誤差要因 ..................................................................................................................................................... 17© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

装置概要
VSM
振動試料型磁力計（Vibrating Sample Magnetometer）
均一磁界中に置いた試料を一定周波数、一定振幅で振動させ、試料の周辺に置いた検出コイルに誘起する起電力を測定します。
起電力と磁化との関係式を基礎にして、試料の磁化を決定します。

特徴
1. 均一磁界中で磁化を測定
2. 広範囲な印加磁界中で磁化測定が可能（1 mOe～100 kOe）
3. 残留磁化の測定が可能
4. 感度が高い（分解能： ～10-6 emu）
5. 磁化測定範囲が広い（反磁性体から強磁性体、薄膜からバルク体）
6. 温度測定範囲が広い（4.2 K～1200 K）
7. ドリフトが無い
8. 測定時間が短い
9. 取り扱いが簡単

種類
VSM-5 型（室温測定、温度測定 4.2 K～1200 K)
VSM-5SC 型（高磁界測定、超電導マグネット 100 kOe）
VSM-P7 型（高感度測定、温度測定-50～200℃）
VSM-C7 型（小型室温専用）
VSM-P2H 型（低磁界測定、ヘルムホルツコイル 200 Oe）© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

1

構成及びブロック図
振動試料型磁力計の構成
加振部

磁界測定部
磁化測定部

検出部

真空排気装置

電磁石

温度調節器

励磁電源

制御・データ処理部

振動試料型磁力計（VSM) ブロック図
磁化測定部

加振部

加振コイル

増幅器

参照コイル

電力増幅

発信器

自動ゲイン
コントロール

標準信号

永久磁石

試料位相器

検出コイル

バンドパス
フィルタ

増幅器

同期検波回路

ローパスフィルタ

ガウスメータ

記録計

ホール素子

磁界測定部
電磁石

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振動試料型磁力計の磁化検出原理z

検出コイル
A(X,Y,Z )単振動2a-brθ0Mx+b

試料y

磁気双極子モーメント M が、点 A (X,Y,Z )につくる双極子磁界は次式で表される。
H(𝐴) =

1𝑀 3(𝑀 ∙ 𝑟)𝑟[− 3 +]
4𝜋 𝜇0 𝑟𝑟5

検出コイルの中心軸を x 軸に平行に配置した場合、点 A に生じる振動磁界 Hx (A,ω )と検出コイルに生じる誘導起電力はそれぞれ次のようになる。
𝐻𝑥 (𝐴, 𝜔) =V(t) =3𝑀
𝑍 5𝑋 2 𝑍(− 5 + 7 ) z
4𝜋 𝜇0𝑅𝑅3𝑀𝑎𝜔𝑁𝑆 𝑍 5𝑋 2 𝑍( 5 − 7 ) cos 𝜔𝑡
4𝜋𝑅𝑅a： 振幅、ω： 振動数、N： コイルの巻き数、S： コイルの断面積© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

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測定項目
1. 磁界に対して
1-1. 直接測定
1. ヒステリシスループ（飽和磁化 Ms、残留磁化 Mr、保磁力 Hc、角形比 SR、保磁力角形比 S＊等の測定）
2. 微分曲線（半値幅 Ha、反転磁界分布 SFD 等の測定）
3. 減磁曲線（飽和磁束密度 4πIs、残留磁束密度 Br、iHc、bHc、BHmax、Ba、Ha、SR 等の測定）
4. 初磁化曲線（初透磁率μ0、最大透磁率μmax 等の測定）
5. レマネンスカーブ（Ir 曲線、Id 曲線、Hr、⊿M、ヘンケルプロット等の測定）
1-2. パラメータ
1. 温度・・・上記ループの温度依存性（Ms、Mr、Hc、SR、S*等の温度依存性）
2. 角度・・・上記ループの角度依存性（異方性磁界分布等の測定）
2. 温度に対して
2-1. 直接測定
1. 磁化の温度依存性（ネール点、キュリー点、結晶化温度、臨界温度、ZC、ZFC、可逆・不可逆係数の測定）
2-2. パラメータ1. 磁界・・・磁界に対する磁化の温度依存性（臨界温度等の測定）
3. 時間に対して
3-1. 直接測定
1. 磁気余効、フラックスクリープ
2. 磁性塗料の分散性
3. 磁気転写© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

4

VSM によるヒステリシスループの評価項目

Ms

：

飽和磁化

SFD=Ha/Hc ：反転磁界分布

Mr：

残留磁化

μ0：

初透磁率

Hc

：

保磁力μmax：

最大透磁率

SR=Mr/Ms

：

角形比

⊿Hc

：

Ms/2 の磁界幅

OR=Mr(//)/Mr(⊥) ：

配向度

⊿M：

任意磁界の磁化幅

S*=A/Hc：

保磁力角形比Mr・Hc：

残留磁化と保磁力の積⊿H=Ha：

半値幅© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

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VSM によるレマネンスループの評価項目

Mr(H)

：

等温残留磁化曲線（初磁化残留磁化曲線）

Md(H)

：

直流減磁残留磁化曲線

Hr：

残留磁気飽和保磁力（レマネンス保磁力）© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

Sr*=A/Hr：

ヒステリシスループの S*に対応⊿Hr：〃の⊿H に対応

SFDｒ：〃の SFD に対応

Henkel Plot ：Md(H) = Mr(∞) - 2Mr(H)δM(H)(2Mr(H) + Md(H))/Mr(∞) - 1：

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校正（Calibration）
Ni ：純度 99.9% ～ 99.99%

Ms = 54.39 emu/g (15℃)

Gd2O3 ：

純度 99.99%

Curie-Weiss の法則※ 磁化の校正は常に試料と同一形状の標準 Ni で行う。
1. 磁界(H)の校正
目的： Gd2O3 を使用して磁化量より磁界を校正＝Gd2O3 の磁化量を測定（磁化校正後測定）
Ni cylinder

測定試料
形状は？

円柱状

Gd2O3

Ni cylinder で磁化校正（最初に測定）
2. 磁化（M）の校正
目的： シート状記録媒体の磁化量を測定（磁化校正後測定）
Ni plate

測定試料

形状は？

平板状

SampleNi plate で磁化校正（最初に測定）© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

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Ni cylinder による磁化の校正
測定器：

VSM-P7-15 型

試料：

Ni cylinder (2.5φ x 7.5 mm)※ 必ず軸方向に磁界を印加

重量 (91.93 mg ： Ms = 5.00 emu)
6

Ni cylinder (軸方向に磁界印加)Calibration

5

Ni cylinder (径方向に磁界印加)43

磁化 (emu)

2H 径方向

1H 軸方向0Ni cylinder-1-2-3H 軸方向-4Gd2O3-5-6-10-8-6-4-20246810

磁界 (kOe)© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

8Gd2O3 による磁界の校正（温度による磁化の変化）
計算式 ： M = mχgH = m x 42.47/(T+18) x 10-3 x H
計算条件 Gd2O3 の形状 ： 5φ x 7L
重量 ： 417.36 mg
磁界 ： 5000 Oe
M20 = 0.285 emu

0.300

M30 = 0.276 emu
0.250

磁化の温度変化

磁化 (emu)

0.200

0.150

0.100

0.050

0.000
01000

2000

3000

4000

5000

磁界 (kOe)© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

9測定条件の設定及び入力※

枠及び印は測定するための必要条件。

最大磁化レンジ

拡大磁界レンジ

最大磁界レンジ

磁界掃引速度拡大磁化レンジ© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

10標準 Ni による磁化の校正（形状による違い）
測定器 ： VSM-P7-15 型
試料： Ni plate (6 x 4 mm)： Ni cylinder (2.5φ x 7.5 mm)

重量 (91.93 mg ： Ms = 5.00 emu)

： Ni sphere
66Ni cylinder 長さ方向

4Ni plate(6 x 4) 6 mm 方向
Calibration

5Ni sphere

4磁化 (emu)

磁化 (emu)

20-22-41-60-10-50

磁界 (kOe)© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

510※ 測定試料と同一形状の標準 Ni で校正

3024681012磁界 (kOe)

11印加磁界方向による検出感度の違い
測定器： VSM-P7-15 型

標準試料 ： Ni 平板 (4 x 6 mm)
重さ 91.93 mg (Ms = 5.00 emu)
※ 印加磁界方向を決めて校正
66mm 方向に磁界印加4mm 方向に磁界印加
Calibration
Ms = 5.00 emu

5

垂直方向に磁界印加

磁化 (emu)4印加磁界方向

362410024681012磁界 (kOe)© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

12試料の厚みによる反磁界の影響
測定器 ： VSM-P7-15 型
試料： 磁気テープ

磁界測定レンジ

磁化測定レンジ

時定数

1. 6 x 3.81 mm x 1pc

5 kOe (1 kOe)

0.02 emu

0.03 sec

2. 6 x 3.81 mm x 8pcs〃

0.2 emu〃

3. 48 x 3.81 mm (折りたたみ)〃0.2 emu〃

4. 96 x 3.81 mm (折りたたみ)〃0.5 emu〃

HexHd（反磁界）Hd※ 試料が厚くなると反磁界の影響は大きくなり、折りたたむとさらに大きくなる。特に微分特性に影響する。

規格化磁化 (emu)

規格化磁化 (emu)

2.2E-02

2.2E-022.0E-022.0E-02

1.8E-02

1.8E-02

1.6E-02

1.6E-02

1.4E-02

1.4E-02

1.2E-02

1.2E-02

1.0E-02

1.0E-028.0E-038.0E-03

6.0E-03

6.0E-03

4.0E-03

4.0E-032.0E-032.0E-03

0.0E+00

0.0E+00

6 x 4 mm x 1pc
6 x 4 mm x 8pcs
48 x 4 mm 折りたたみ
96 x 4 mm 折りたたみ-2.0E-03-0.5-0.4-0.3-0.2

磁界 (kOe)© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

-0.10012345-2.0E-03

磁界 (kOe)13

種類の異なる媒体の磁気特性比較
測定器 ： VSM-P7-15 型
試料： TypeⅠ

6 x 3.81mm x 1pc

磁界測定レンジ

10 kOe (2 kOe)

TypeⅡ

〃

磁化測定レンジ

0.05 emu

TypeⅣ〃

時定数0.03 sec※ 試料の厚みを全て 5μm として測定。

磁界掃引速度

10 kOe/min (1 kOe/min)※ 磁束密度で比較する場合は体積の評価を正確に行うこと。
減磁特性

ヒステリシスループ
3432.5
Type Ⅳ21.51Type Ⅰ

Type Ⅱ

BHmax=0.44MGOe

BHmax = 0.63MGOe

0.50-1.4-1.2-1.3-0.8-0.6外部磁界 Hex (kOe)© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

-0.4-0.20磁束密度 4πI (kG)2

磁束密度 4πI (kG)

BHmax = 1.14MGOe

10-1Type Ⅰ
Type Ⅱ
Type Ⅳ-2-3-4-10-8-6-4-20246810

外部磁界 Hex (kOe)14測定結果（VSM 解析データ）© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

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磁化の単位4𝜋 𝜎
4𝜋 𝜎∙ 𝑆′ =(𝑀𝑥)𝑉𝑙φ = B ∙ S ′ = 4𝜋𝐼 ∙ 𝑆′ =𝜑4𝜋 𝜎
4𝜋 𝜎
4𝜋 𝜎 ∙ 𝑡(𝑀𝑥/𝑐𝑚) ==(𝑀𝑥/𝑐𝑚) =(𝐺𝑎𝑢𝑠𝑠 ∙ 𝑐𝑚)𝑤
𝑙∙𝑤
𝑆𝑉(emu/𝑐𝑚2 )𝜑
4𝜋 𝜎
4𝜋 𝜎(𝑀𝑥/𝑐𝑚2 ) === 4𝜋𝐼 (𝐺𝑎𝑢𝑠𝑠)𝑤∙𝑡𝑙∙𝑤∙𝑡𝑉lw

Hext
体積： V = l･w･t (cm3)
面積： S = l･w (cm2)断面積： S' = w･t (cm2)
参考図書： 化学 One Point
岡本祥一著

磁気と材料共立出版

第 6 章 磁気量の単位と電磁気の基礎© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

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VSM の測定誤差要因
1. 設置環境1-1. 大気温度

エアコン等による試料付近の大気温度の変化→ 磁化測定に影響

1-2. 水冷温度

Ni： -0.05%/℃、Gd2O3： -0.3%/℃

水冷による試料付近の大気温度の変化
磁化、磁界測定に影響 → 試料近傍に温度計を設置

1-3. 振動近くに大きな振動源→ 磁化のばらつき、精度、分解能に影響

1-4. 電磁波

近くに交流稼動の電気炉等→ 磁化曲線上にビート、精度、分解能に影響

2. 装置本体
2-1. 磁化測定
1) 試料位置

標準 Ni と試料の位置の違い、ホルダーの変更、ホルダーの回転
ホルダーの磨耗 → 試料の磁化測定に影響

2) 試料形状

標準 Ni と試料の形状の違い→ 試料の磁化測定に影響

3) 測定条件

時定数、磁界掃引速度、試料の体積評価→ ヒステリシスループに影響

4) Background

ホルダー、カプセル、基板、汚れ等の磁性が無視できない→ 保磁力等に影響

5) 鏡像効果

高磁界での鏡像効果の減少→ 磁化の低下2-2. 磁界測定
1) センサーホール素子の非直線性、ドリフト→ 保磁力及び保磁力の非対称性等に影響

2) センサー位置

試料から離れた場所での測定、異なった校正法→ 磁界校正値に影響

3. 試料
3-1. 粉体充填率、ミクロ形状と試料カプセルの組合せ及び粉砕による影響→ 磁化、保磁力に変化

3-2. 温度特性

磁化及び保磁力の温度依存性→ 飽和磁化、残留磁化、保磁力に変化

3-3. 反磁界

試料の厚みが無視できない場合→ 角形比、微分特性に影響

3-4. 帯電試料及びホルダーの帯電→ 高感度測定時、磁化にオフセットが発生© TOEI INDUSTRY CO., LTD.

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