35,0(6パワーモニタ PM48 & PM100
操作マニュアルTranslation of the original instructions

PowerMonitor PM
パワーモニタPM 48 & PM 100
LDSレーザ解析ソフトウェア
PMS パワーモニタソフトウェア

Revision 01/2020 JP (01/2019 EN)

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3

35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

目
1
2
3
4

基本的な安全上の注意
安全警告表示の説明

次

Basic Safety Instructions

Symbol Explanation

本マニュアルについて About this operating manual
設置場所の条件

Conditions at the Installation Side

8
10
11
11

5

はじめに Introduction

12

6

輸送

Transport

15

7

8

9

5.1
5.2
5.3
5.4

デバイスの取り付け Installation

16

7.5

取り付け準備 Preparation.....................................................................................................16
取り付け位置 Installation position.......................................................................................16
パワーモニタPMのアライメント Align the PowerMonitor PM.................................................17
パワーモニタPMの取り付け Install the PowerMonitor PM.....................................................18
7.4.1 パワーモニタPM48の取り付け Install the PowerMonitor PM 48................................18
7.4.2 パワーモニタPM100の取り付け Install the PowerMonitor PM 100............................19
パワーモニタPMの取り外し Remove the PowerMonitor PM..................................................20

8.1
8.2
8.3
8.4
8.5
8.6
8.7

水質 Water quality................................................................................................................21
水圧 Water pressure.............................................................................................................22
デバイスの圧力損失 Pressure loss in the device...................................................................22
湿度 Humidity......................................................................................................................23
流入する冷却水の温度変動 Temperature fluctuations of the inflowing cooling water..............23流量 Flow rate......................................................................................................................24
ホースの接続 Connect hoses................................................................................................25

9.1
9.2
9.3
9.4

電源 Power supply...............................................................................................................26
PRIMESバス PRIMES bus......................................................................................................27
安全インターロックの接続 Connect the safety interlock.......................................................28
USBインターフェースを介したPCの接続 Connecting the PC via the USB interface...............29
9.4.1 標準付属品 Scope of delivery...................................................................................29
9.4.2 パワーモニタPM48の接続 Connect the PowerMonitor PM 48..................................29
9.4.3 パワーモニタPM100の接続 Connect the PowerMonitor PM 100..............................30
9.4.4 USBドライバの手動インストール Install the USB driver manually.............................31
RS232インターフェースとオプションのPRIMESコンバータを介したPCの接続
Connecting the PC via RS232 interface and optional PRIMES converter............................32
9.5.1 標準付属品 Scope of delivery...................................................................................32
9.5.2 安全手順 Safety instructions....................................................................................32
9.5.3 パワーモニタPM48の接続 Connect the PowerMonitor PM 48..................................33
9.5.4 パワーモニタPM100の接続 Connect the PowerMonitor PM 100..............................34
パワーモニタPMとフォーカスモニタ FM+などの並行操作
Parallel operation of the PowerMonitor PM and, for example, the FocusMonitor FM+..........35
アナログ出力 Analog output.................................................................................................36
システム制御（オプション） System Control (option)..............................................................36

7.1
7.2
7.3
7.4

冷却回路の接続

電気接続

9.5

9.6

9.7
9.8

4

システム概要 System description.........................................................................................12
測定原理 Measuring principle..............................................................................................12
接続概要 Connection overview............................................................................................13
インストール概要 Short overview installation.......................................................................14

Connect cooling circuit

Electrical connection

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21

26

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

35,0(610
シャッタ自動操作時の圧縮空気の接続
Connecting the compressed air connection for automatic operation of the shutter

11

10.1 必要条件 Requirements.......................................................................................................37
10.2 圧縮空気用ホースの接続/接続解除 Connecting/releasing the compressed air hose...........37
10.2.1 圧縮空気用ホースの接続 Connecting the compressed air hose...............................37
10.2.2 圧縮空気用ホースの接続解除 Releasing the compressed air hose..........................37
表示と可聴警告音
11.1
11.2
11.3
11.4

Displays and audible signals

Measuring with the PowerMonitor PM

パワーモニタPMを使用した測定

13

レーザ解析ソフトウェアLDSによる測定

14

パワーモニタソフトウェアPMSのインストール Install the PowerMonitorSoftware PMS

41

46

14.1 ソフトウェアの起動と動作モードの選択 Start software and select operating mode..............46
14.1.1 RS232およびPRIMESコンバータ接続
For connection via the RS232 and PRIMES converter.............................................46
14.1.2 USBインターフェース接続 For connection via the USB interface..............................46
14.2 インターフェースのテスト Testing the Interface......................................................................47
14.3 複数デバイスの通信のテスト Testing the communication of multiple devices.....................48
パワーモニタソフトウェアPMSによる測定

15.1
15.2
15.3
15.4
15.5
15.6

Measuring with the PowerMonitorSoftware PMS

Storage

製品廃棄の措置

メンテナンスとサービス Maintenance and service
EC適合宣言仕様

49

安全手順 Safety instructions................................................................................................49
動作準備 Getting ready for operation...................................................................................50
ソフトウェアの起動 Starting the software..............................................................................50
パワー測定の実行 Perform power measurement.................................................................50
パワーモニタソフトウェアPMSのGUI The graphical user interface of the PowerMonitor Software PMS....51
測定値の表示 Measuring value display................................................................................52
15.6.1 ウィンドウA（数値表示） Window A (Numerical display)...........................................52
15.6.2 ウィンドウB（グラフィック表示） Window B (Graphical display)..................................53
15.6.3 ステータス ウィンドウ Status window........................................................................53

18
20

Measuring with the LaserDiagnosticsSoftware LDS

13.1 安全手順 Safety instructions................................................................................................41
13.2 動作準備 Getting ready for operation...................................................................................42
13.3 パワー測定の実行 Perform power measurement.................................................................42
13.3.1 パワーモニタPMとレーザ解析ソフトウェアLDSの接続
Connect the PowerMonitor PM with the LaserDiagnosticsSoftware LDS...............42
13.3.2 パワー測定モードの選択 Choose power measurement mode.................................43
13.3.3 初期設定(デバイス コントロール) Configure settings (Device control)......................43
13.3.4 パワー測定の開始 Starting a power measurement..................................................44
13.3.5 測定結果の表示 Measurement results display.........................................................45

保管

19

40

12.1 動作準備 Getting ready for operation...................................................................................40
12.2 ゼロレベルの決定 Determine zero level................................................................................40
12.3 測定開始 Start measurement...............................................................................................40

16
17

38

測定値表示 Measured values display...................................................................................38
ステータス表示 Status displays.............................................................................................38
外部ディスプレイ（オプション） External display (Option).......................................................39
可聴信号音 Audible signals..................................................................................................39

12

15

37

Measures for the product disposal

Declaration of conformity

Technical Data

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54
54
54
55
56

5

35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

21

寸法

Dimensions

57

22

付記

Appendix

61

6

21.1 パワーモニタPM48 PowerMonitor PM 48..............................................................................57
21.2 パワーモニタPM100 PowerMonitor PM 100..........................................................................59
22.1 パネルディスプレイを使用したパワーモニタPMの操作（PCなし）
Operation of the PowerMonitor PM with PanelDisplay (without PC)..................................61
22.1.1 D-Subソケット9ピンのピンアサイン Pin assignment 9-pole D-Sub socket................62
22.1.2 測定値表示 Measurement values display.................................................................6222.2 ファイバアダプタ Fiber adapter.............................................................................................63
22.3 フォーカスモニタFM+ 用のスペーサ Spacer for the FocusMonitor FM+.................................64
22.3.1 パワーモニタPM48のスペーサの選択 Selecting spacers for the PowerMonitor PM 48...65
22.3.2 パワーモニタPM100のスペーサの選択 Selecting spacers for the PowerMonitor PM 100...65
22.3.3 全高の概要 Overview of the overall height..............................................................66

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

35,0(6PRIMES - 会社概要

PRIMESは、レーザ測定装置の製造メーカーです。
PRIMESのレーザ測定装置は、
ハイパワーCO2レーザ、固体レーザからファイバレーザやダイオードレーザに至るまで、ハイパワーレーザのビーム解析に使用されています。
以下のパラメータを決定するための多種多様なレーザ測定装置を豊富なラインナップでご用意しています。

•
•
•
•

レーザパワー
ビームサイズおよび集光されていないレーザビームのビーム位置
ビームサイズおよび集光ビームのビーム位置
レーザ品質 M²

PRIMESでは、レーザ測定装置の開発および製造を行っております。
これにより、
お客様のご要望を迅速かつ確実に満たすための基盤となる、最適な品質、優れたサービス、迅速な対応を保証しています。

PRIMES Japan 株式会社
(プリメス ジャパン)
222-0033 横浜市港北区新横浜2-3-4
クレシェンドビル 7F
Tel: 045-620-9377
m.sakura@primes.dehttps://www.primes.de/ja/

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PRIMES GmbH
Max-Planck-Str. 264319 Pfungstadt
GermanyTel +49 6157 9878-0
info@primes.dewww.primes.de

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35,0(61
使用目的

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

基本的な安全上の注意

PowerMonitor PM（パワーモニタ PM）は、
ハイパワーレーザの光路内またはその近くでレーザパワーを測定するための測定器です。P.56 第20章「仕様」に記載されている仕様と制限値を順守してください。
その他の用途は不適切と見なされます。この操作マニュアルに記載されている情報は、デバイスを適切に使用するために厳守する必要があります。
デバイスの不適切な使用は厳しく禁止されており、健康上の危険や死亡事故につながる可能性があります。
デバイスを操作するときは、人の健康に有害な可能性がないことを確認する必要があります。

デバイス自体はレーザ光を発信しません。ただし、測定中は、レーザ光がデバイスに導かれ、反射光が発生します（レーザークラス4）。そのため、適用される安全規則を遵守し、必要な保護対策を講じる必要があります。
測定モードでは、レーザ制御の安全インターロックをデバイスに接続する必要があります。
適用される安全規制の遵守適用される安全規制は、ISO / CEN / TR規格ならびに、米国国家規格協会（American National Standards
Institute）のIEC規格IEC-60825-1、ANSI規格ANSI Z 136「Laser Safety Standards/レーザ安全基準」および

ANSI Z 136.1「Safe Use of Lasers/安全なレーザの使用」、Laser Institute of Americaの「Laser Safety Basics/
レーザ安全基礎」、「LIA Laser Safety Guide/レーザ安全ガイド」、「Guide for the Selection of Laser Eye Protection/レーザに対する目の保護選択ガイド 」、「Laser Safety Bulletin/レーザ安全掲示」や、ACGIH(アメリカ
合衆国産業衛生専門官会議)の「Guide of Control of Laser Hazards/レーザハザードの制御の指針」の国際規格に規定されています。
必要な安全対策

可視または不可視のレーザ照射の危険ゾーン内に人がいる場合、例えば、一部しか覆われていないレーザシステムの近くや、解放ビーム誘導システム、
レーザ加工領域などでは、以下の安全対策を講ずる必要があります。

•

•

•
•

•

•
•

レーザ制御の安全インターロックをデバイスに接続します。エラーが発生した場合に、安全インターロックがレーザを適切にオフにすることを確認してください。
使用するレーザ光源のパワー、パワー密度、
レーザ波長、動作モードに適合した安全ゴーグル（OD 6）を着用
してください。
レーザ光源によっては、適切な保護服や保護手袋を着用する必要があります。
レーザの直接光、散乱光、レーザの照射から生成されたビームから身を守ってください(例えば、適切な遮蔽壁の使用、または照射を無害なレベルまで弱めてください)。
レーザ照射と接触しても危険な粒子を放出したりせず、且つ、
レーザビームに影響されないビームガイダンス（ビームアブソーバ）を使用してください。
レーザシャッタを即座に閉じることができる安全スイッチや緊急安全機構を設置してください。
デバイスがしっかりと取り付けられていることを確認して、ビーム軸に対するデバイスの動きを防止し、散乱光の危険を低減してください。これは、測定に最適な性能が保証される唯一の方法です。

取り扱い有資格者
デバイスのすべてのユーザには測定装置の取り扱い方法の教育がなされていることに加え、ハイパワーレーザ、
ビーム誘導システム、焦点合わせの作業に関する基本的な知識が必要です。

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

35,0(6改造

PRIMES社からの明白な許可なく、建設的でも安全関連であったとしてもデバイスを改造してはなりません。
いかなる種類の改造も、結果として生じる損害に対する当社の責任は免除されます。
デバイスを取り付けるには（P.18 7.4章 参照）、
シートメタルカバーを取り外す必要があります。
シートメタルカバーは、デバイスを取り付けた直後に再度取り付ける必要があります。
免責事項

測定装置の製造者および販売者は、
デバイスまたは関連するソフトウェアの不適切な使用または取り扱いに起因するいかなる損害または傷害に対しても責任を負うものではありません。製造者または販売者は、測定装置の直接的または間接的使用に起因する人的、物的、または財政的損失に対する損害について、購入者またはユーザから責任を問われることはありません。

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35,0(62

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

安全警告表示の説明

以下の表示は可能性のある危険性を示しています。

DANGER

必要な安全予防措置が講じられていない場合、死亡または重度の身体的傷害が発生することを意味します。

WARNING

必要な安全予防措置が講じられていない場合、死亡または重度の身体的傷害が起こる可能性があることを意味します。

CAUTION

必要な安全予防措置が講じられていない場合、わずかな身体的傷害が発生する可能性があることを意味します。

NOTICE
必要な安全予防措置が講じられていない場合、財産損害が発生する可能性があることを意味します。
デバイスには潜在的な危険性を示すために次の警告表示が付いています。

危険なので本体内部に触れないでください。
起動前に操作手順と安全ガイドラインをよくお読みください。
安全警告以外の表示の説明

役に立つ情報やヒントを見つけることができます。

CEマーキング：製造業者は自社製品がECガイドラインに準拠していることを保証します。
X このマークが表示されているマニュアル内の注意事項に従って、安全を確保してください。

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

335,0(6

本マニュアルについて

本マニュアルでは、
パワーモニタPMの取り付けと操作の説明します。また、
パワーモニタPMとレーザ解析ソフト
ウェアLaserDiagnosticsSoftware LDSまたはPowerMonitorSoftware PMSのいずれかを使用した測定の実行についても説明しています。
PCで測定操作を行うには、レーザ解析ソフトウェアLaserDiagnosticsSoftware LDSまたはPowerMonitorSoftware PMSをPCにインストールする必要があります。
LaserDiagnosticsSoftware LDSとPowerMonitorSoftware PMSは標準品として商品に付属しています。

ソフトウェアのインストール、
ファイル管理、測定データの評価の詳細については、LaserDiagnosticsSoftware
LDSの操作マニュアルを参照してください。

4

•
•
•
•

設置場所の条件

デバイスは、結露する状態で使用しないでください。
周囲の空気には有機ガスが含まれていてはなりません。
水やほこりからデバイスを保護してください。
デバイスは密閉された部屋でのみ操作してください。

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35,0(65

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

はじめに

5.1

システム概要パワーモニタPMシリーズ(PM48 / PM100)は、数キロワットのパワーレンジのハイパワーレーザのパワーを測定するためのデバイスです。主なアプリケーション分野は、CO2レーザ、固体レーザ、ハイパワーダイオード レーザなどのレーザパワーの制御です。パワーモニタPMは、平行ビームと拡散ビームの両方を測定できます。
アライメントツール
PM 100

シャッタ

PM 48

測定値表示

図 5.1:

5.2

ステータス表示パワーモニタPMの構成

測定原理

パワーモニタ PM48およびPM100は、
カロリメトリック（熱量測定）原理に従ってレーザパワーを測定します。
照射されたレーザパワーの合計は測定装置内の水冷アブソーバに吸収されます。冷却水流量、流入水、流出水の温度差を測定することにより、吸収されたパワーが決定されます。
マイクロプロセッサベースの電子機器は、
アブソーバの温度上昇と熱特性に基づいて、高精度でレーザパワーを計算できます。
レーザビーム

冷却水フロー（流入）
冷却水フロー（流出）

図 5.2:12アブソーバ
内部コーティング

エントランスミラー

パワーモニタPMの測定原理

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35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

5.3

接続概要
アナログ出力図 5.3:

安全インターロック

シャッタ用の圧縮空気接続

パワーモニタPM48の接続側
シャッタ用の圧縮空気接続

図 5.4:

冷却水フロー（流出）

冷却水フロー（流出）USB接続

冷却水フロー（流入）

PRIMES バス(RS485)

USB接続

冷却水フロー（流入）

PRIMES バス(RS485)

アナログ出力安全インターロック

パワーモニタPM 100の接続側

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13

35,0(65.4

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

インストール概要

1.

PCへソフトウェア(LaserDiagnosticsSoftware LDS)のインストール

LaserDiagnosticsSoftware LDSの操作マニュアルを参照。

2.

安全対策

第１章

P.8

3.

デバイスの取り付け

第7章

P.16

•

設置位置を設定する。

第8章

P.21

•

安全指示に従う。

•

デバイスを固定して取り付ける。

4.

水冷の接続

•

ホースを接続する(ホース外径12 mm)。

5.

電源

•

安全インターロックを接続する。

•

P.24の表8.5に従って流量を決定する。

第9.1章

P.26

USB経由（標準装備）

第9.4章

P.29

7.

パワーモニタ PMと他のデバイスの並列操作

第9.6章

P.35

8.

シャッタ自動操作時の圧縮空気の接続

第10章

P.37

9.

パワーモニタ PMを使用した実行

第12章

P.40

第13章

P.41

第14章

P.46

•

電源を接続する。

6.

PCとの接続•RS232 / RS485コンバータ経​​由(オプション)••

例）FocusMonitor

10. ソフトウェア(LaserDiagnosticsSoftware LDS)で測定を実行
11. ソフトウェア(PowerMonitorSoftware PMS)で測定を実行••

14

PCへPowerMonitorSoftware PMSのインストールを行う。
測定を実行する。

第9.3章

第9.5章

第15章

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P.28

P.32

P.49

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

635,0(6輸送

WARNING

デバイスの転落や落下による傷害の危険

パワーモニタPM100は重量が大きいため、重いデバイスを持ち上げて配置すると、たとえば、椎間板にストレスがかかり、腰椎または頸椎に慢性的な変化が生じることがあります。
デバイスが落下する可能性に注意してください。

X 安全のため、パワーモニタPM100は一人ではなく複数人で設置を行ってください。

NOTICE

デバイスの損傷/破壊

激しい衝撃や落下はデバイスに損傷を与える可能性があります。

エントランスアパーチャのエントランスミラーに触れると、焼き付きにつながる可能性があります。
焼き付きは、
エントランスミラーに損傷を与え、散乱光を増加させます。

X エントランスアパーチャに手を入れたり、エントランスアパーチャにあるエントランスミラーに触れたりしないでください。

X 輸送するときは、デバイスを慎重に取り扱ってください。

X デバイスはPRIMES社製の輸送専用ボックスのみを使用してください。

NOTICE

冷却水の漏れや凍結によるデバイスの損傷/破損

冷却水が漏れると、デバイスが損傷する可能性があります。デバイスを氷点下またはそれ以下の温度で、冷却回路を完全に空にせずに輸送すると、デバイスが損傷する可能性があります。

X 冷却回路のラインを完全に空にしてください。

X 冷却回路のラインが空になった場合でも、少量の残留水が常に装置内に残ります。これが漏出してデバイス内部に入る可能性があります。付属のシーリングプラグで冷却回路のコネクタプラグを閉じてください。

NOTICE

流量計の損傷/破損

流量計は高回転速度用には指定されていません。

X 冷却回路を空にするために圧縮空気を使用しないでください。

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35,0(67

7.1

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

デバイスの取り付け
取り付け準備

デバイスを取り付ける前に利用可能なスペース、特にケーブルとホース接続に必要なスペースを確認してください(P.57 第21章「寸法」参照)。デバイスはしっかりと組み立て、ねじで取り付けてください(P.18 第7.4章 参照)。

7.2

取り付け位置パワーモニタPMは任意の位置に取り付けることができます。

16

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35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

7.3

パワーモニタPMのアライメント

デバイスはレーザビームにアライメントする必要があります。レーザビームは、
アパーチャの中心に垂直に照射する必要があります。P.56 第20章「仕様」に記載されている仕様としきい値に注意して順守してください。

通常、デバイスは、
パワー測定用のビーム経路(拡散光)の焦点位置の下に配置されます。
これが不可能な場合は、デバイスをフォーカスの上に配置できます。

レーザ照射が集光されて、エントランスミラーの最大パワー密度を超えないことに注意してください。
集光レンズ

集光プレーン

ビーム軸
入射アパーチャ中心

PM 48

PM 100

最大ビーム径 32 mm

図 7.1:

パワーモニタ PMとレーザビームのアライメント

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最大ビーム径 75 mm

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35,0(67.4

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

パワーモニタPMの取り付け

DANGER

レーザ光による目や皮膚の負傷

デバイスがその校正された位置から移動されると、測定操作中にレーザビームの散乱またはダイレクト反射が増加します（レーザクラス4）。

ケーブルやホースを誤って押したり引っ張ったりしてないように
X デバイスを取り付けるときは、注意して、デバイスが動かないようにしてください。

7.4.1

パワーモニタPM48の取り付け

シートメタルカバーの取り外し
1. メインプラグを引っ張ってデバイスを電源から取り外してください。
2. トルクスM3皿ねじを緩め、
シートメタルカバーを取り外してください。
Torx M3
シートメタルカバー
図 7.2:

パワーモニタPM48のシートメタルカバーの取り外し/取り付け

222

デバイスの取り付け
3. ユニットをパワーモニタPM48のベースプレートにある2つの貫通穴Ø6.6 mmにねじ込みます。
• 固定には、強度クラス8.8の2本のM6ねじと締め付けトルク10 N・mをお勧めします。
ねじの全長は、お客様のマウントの寸法によって異なります。

2x Ø 6.6
115
図 7.3:

パワーモニタPM48の固定（底面図）

シートメタルカバーの取り付け
4. シートメタルカバーを交換し、トルクスM3皿ねじを締めます。
5. トルクスM3皿ねじをしっかりと締め固定します。
6. シートメタルカバーがしっかりと固定されていることを確認します。
• シートメタルカバーは、隙間なくハウジングに接触している必要があります。

18

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35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM
7.4.2

パワーモニタPM100の取り付け

シートメタルカバーの取り外し
1. 電源プラグを抜いて、デバイスを電源から取り外します。
2. 2本のトルクスM3皿ねじを緩め、
シートメタルカバーを取り外します。

2x Torx M3
シートメタルカバー
図 7.4:

パワーモニタ PM100のシートメタルカバーの取り外し/取り付け

デバイスの取り付け
3. パワーモニタPM100のベースプレートを貫通する4つの貫通穴Ø11 mmに、ユニットをねじ込みます。
• 位置決め補助として、ベースプレートに2つの取り付け穴Ø10 mm H6があります。
• 締め付けには、強度クラス8.8の4本のM10ねじと締め付けトルク40N･mをお勧めします。
ねじの全長は、お客様のマウントの寸法によって異なります。
257,5
315

4x Ø 1147236

2x Ø 10 H6100

図 7.5:

底面図

パワーモニタ PM100の固定

シートメタルカバーの取り付け
4. シートメタルカバーを元に戻し、2本のM3トルクス皿ねじで締めます。
5. 2本のM3トルクス皿ねじを締めます。
6. シートメタルカバーがしっかりと固定されていることを確認します。
• シートメタルカバーは、隙間なくハウジングに接触している必要があります。

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19

35,0(6
7.5

1.
2.
3.
4.
5.
6.

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

パワーモニタPMの取り外し

まず、レーザ光源をオフにします。
電源をオフにします。
可動部品、
例えばロボットアームなどが停止していて、意図せず動作させることができないようにしてください。
冷却回路をオフにします。
冷却回路のすべての接続ケーブルとホースを取り外します。
デバイスを取り外します。

NOTICE

流量計の損傷/破損

流量計は高回転速度用には指定されていません。

X 冷却回路を空にするために圧縮空気を使用しないでください。
7. 冷却回路を完全に空にし、付属の密閉プラグを使用してコネクタプラグを密閉します。

20

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35,0(6冷却回路の接続8DANGER

火災の危険：過熱によるデバイスの損傷/破損

水冷や水流量が不足していると、過熱してデバイスが破損したり、発火するおそれがあります。

X 接続されている水冷装置(1台のみ)と十分な水流量でデバイスを操作してください(P.24 第8.6章 参照)。
X レーザ制御の安全インターロックをデバイスに接続してください。
安全インターロックは、最低限の冷却がある場合にのみ解除されます。

8.1

水質

NOTICE

異なる化学ポテンシャルによるデバイスの損傷/破損

冷却水と接触するデバイスの部品は、銅、真鍮、またはステンレス鋼で構成されています。
ユニットをアルミニウム部品を含む冷却回路に接続すると、化学ポテンシャルが異なるため、アルミニウムが腐食する可能性があります。

X アルミニウム部品が取り付けられている冷却回路にデバイスを接続しないでください。
•
•
•
•
•

デバイスは、水道水と脱塩水で操作できます。
不凍液などの添加剤を含む冷却回路でデバイスを操作しないでください。
アルミニウム部品が取り付けられている冷却回路でデバイスを操作しないでください。
特に、ハイパワーおよびハイパワー密度での動作に関しては、冷却回路の腐食につながる可能性があります。
長期的には、
これにより冷却回路の効率が低下します。
冷却に失敗した場合、デバイスはレーザ照射に数秒間だけ耐えることができます。
この場合、デバイスと水接続に損傷がないか確認してください。
大きな汚れの粒子またはテフロンテープは、内部の冷却回路をブロックする場合があります。
したがって、
システムを接続する前に、システムを十分に洗浄してください。
強力な脱イオン水(DI-water、電気伝導率<30 µS/cm)での操作は、それぞれの接続部品の場合のみ可能です。ご不明な場合はお問い合わせください。

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21

35,0(68.2

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

水圧

通常、
デバイスのエントランスで2バールの一次圧力で十分です（加圧されていない冷却水フロー流出の場合）。

NOTICE

過圧によるデバイスの損傷/破損

X 最大許容水入口圧力は6バールを超えてはなりません。

8.3

デバイスの圧力損失

次の図を使用すると、パワーモニタPMへの冷却水の流入で必要な最小圧力を推定できます。
76

圧力差（bar）

5

4

3

2
パワーモニタ PM4810

表 8.1:

22

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

パワーモニタ PM100

10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25流量（ L/分）

パワーモニタPM48およびPM100の圧力損失図

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35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

8.4

•

•

湿度

デバイスは、凝縮雰囲気で操作しないでください。デバイス内外の結露を防ぐために、湿度を考慮する必要があります。
冷却水の温度は露点より低くしてはなりません(P.23 表8.2 参照)。

NOTICE結露によるデバイスの損傷/破損

デバイス内部の結露水は損傷の原因となります。

X P.23 表8.2の露点に注意してください。

測定中はデバイスを冷却してください。
測定の約2分前に冷却を開始し、測定後1分に測定を終了することを推奨します。
40

100

35

80
70
60

30
冷却水温度 (°C)

50
相対湿度 (°C)

25

40

20

30

15

20

10
5
10

0
0
表 8.2:

参考例
気温:		
相対湿度:

5

10

15

露点図

20
25
気温 (°C)

30

35

40

22 °C
60 %

冷却水の温度は14°C以下にしないでください。

8.5

流入する冷却水の温度変動

流入する冷却水の温度を一定に保つことが重要です。温度の変動は、1分あたり1.0°Kまたは5秒あたり0.08°Kを
超えないようにする必要があります。1 K(絶対温度)の温度差は、1°C(セルシウス温度)の温度差に対応します。

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23

35,0(68.6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

流量

以下の流量の場合、安全インターロックはブロック解除されます。
デバイス タイプ

流量（L/分）パワーモニタ PM100

8

パワーモニタ PM48
表 8.3:

最小流量

4

標準流量で測定を行えば、最良の測定精度に到達します。
デバイス タイプ

流量（L/分）パワーモニタ PM100

15 – 30

パワーモニタ PM48
表 8.4:

推奨流量

8 – 11

固定流量の場合の最大レーザパワーには、次の数式が適用されます。
流量×1.4 = 最大レーザパワー
5 リットル/分の場合、これは約7 kWに相当します。

この計算は、起こり得る過負荷を防ぐのに役立ちます。

最高の測定精度を得るための典型的な流量と温度上昇は、表の通りです(P.24 表8.5 参照)。

流量（L/分）

12

5

24

4

3

2

1,5

1

0,5

5.97

4.78

3.58

2.39

1.79

1.19

0.60

11.46

10.03

8.60

7.17

5.73

4.30

2.87

2.15

1.43

0.72

14.33

12.54

10.75

16.72

14.33

12.74

7

5

7.17

9

8

6

8.36

10.42

10

7

9.55

11

6

表 8.5:

8

ビームパワー（kW）

16.38

19.11

22.93

9.12

11.15

14.33

20.06

7.82

9.55

6.51

7.96

8.96

12.28

10.24

17.20

14.33

11.94

5.21

6.37

7.17

8.19

9.55

11.46

3.91

4.78

5.37

6.14

7.17

8.60

温度上昇（ °C）

2.61

3.18

3.58

4.09

4.78

5.73

1.95

2.39

2.69

3.07

3.58

4.30

1.30

1.59

1.79

2.05

2.39

2.87

0.65

0.80

0.90

1.02

1.19

1.43

流量/温度上昇/ビームパワー 最大20 kWまでの線形外挿が可能

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

8.7

35,0(6ホースの接続デバイスに表示される冷却水フロー（Water In/Water Out）は、厳密にモニタリングする必要があります。
デバイスタイプ

ホース外径

パワーモニタ PM 100

16 mm

パワーモニタ PM 48
表 8.6:

12 mm

プラグコネクタのホース外径

プラグコネクタは、残留水が漏れないようにするために、
シーリングプラグで密閉されています。
シーリングプラグを取り外し、次回の運搬または輸送に備えて保管してください。
水冷接続のシーリングプラグの取り外し

1.

リリースリング

2.

1. 押す

3.
2.引く

図 8.1:

接続部のリリースリングを押し下げ、空いている片方の手でプラグを抜きます。
水冷接続のシーリングプラグを取り外し、保存場所に保管してください。

ホースをできるだけ奥まで（深さ約20 mm）挿入して、デバイスのフローライン 流入（Water In）と戻り（Water Out）を閉じます。

水接続のシーリングプラグの取り外し

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35,0(699.1

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

電気接続

電源

パワーモニタPMは、動作に24 V±5％（DC）の供給電圧を必要とします。
アダプタ付きの適切な電源は、標準付属されています。
標準付属のPRIMES社の電源と接続ラインのみを使用してください。
PM 48

アダプタ

PRIMES電源

アダプタ

PRIMES 電源

PM 100

図 9.1:

電源の接続アダプタを介して電源ユニットをパワーモニタPMのD-Subソケット9ピン（RS485）に接続します。

26

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

9.2

35,0(6PRIMESバス

このデバイスには、電力供給用にD-Subソケット9ピンが付属しています。オプションのPRIMESコンバータまたは一体型コンバータ付きのPRIMES電源を使用すると、ソケットを使用してPCを接続し、通信を有効にすることもできます(P.32 第9.5章 参照)。
D-Subソケット, 9ピン(上面図、
プラグイン側)

ピン

機能

1

グランド

3

+24 V

2
5

9

表 9.1:

1

6

4
5

RS485 (+)
指定なし
指定なし

6

グランド

8

+24 V

7
9

RS485 (–)
指定なし

PRIMESバスのピンアサイン

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35,0(69.3

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

安全インターロックの接続

水流量が低すぎる場合、入口温度Tin が高すぎる場合、温度差TDが高すぎる場合、入射アパーチャがシャッタで閉じられている場合に、デバイスが損傷する可能性があります。安全インターロックは、
この場合レーザをオフにすることにより、デバイスを損傷から保護します。

水流量が低すぎる場合、入口温度Tin が高すぎる場合、温度差TDが高すぎる、入射アパーチャがシャッタで閉じられている場合は、
ピン1とピン4が接続されています。値と入射アパーチャのシャッタ位置が動作条件に対応している場合、
ピン1とピン3が接続されています。

DANGER

レーザ光による目や皮膚の負傷

安全インターロックが接続されていない場合、デバイスのシャッタはモニタリングされていません。
レーザがオンになる前にシャッタが開かれていない場合、
レーザビーム（レーザクラス4）のダイレクト反射が発生します。

X レーザ制御の安全インターロックは、
この接続が中断されたときに、必ずレーザがオフになるように接続してください。

NOTICE

デバイスの損傷/破損

安全インターロックが接続されていない場合、過熱によりデバイスが損傷する可能性があります。

レーザ制御の安全インターロックを
X この接続が中断されるたびにレーザが確実にオフになるように、接続してください。

デバイスプラグと自由端を備えた適切な接続ケーブルが標準付属しています。
ピンアサイン ソケット
（上面図、
プラグイン側）43
表 9.2:

28

1

ピン

導線の色

機能

1

茶

相互ピン

黒

安全インターロックモード時にピン1に接続（水量が少なすぎる場合）

34

青ピンアサイン 安全インターロック

操作の準備完了時にピン1に接続

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35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

9.4

9.4.1

USBインターフェースを介したPCの接続
標準付属品

USB経由でPCと通信するには、以下の標準付属品が必要です。
PRIMES標準電源
アダプタ付き
（標準付属）

図 9.2:

9.4.2

USB接続ケーブル（標準付属）+

標準品

パワーモニタPM48の接続

1. PRIMES社のUSB接続ケーブル（プラグ/プラグ）を介してデバイスをPCに接続します。
• インターネットに接続されているPCの場合、USBドライバが自動的にインストールされます。
• インターネットに接続されていないPCの場合、USBドライバを手動でインストールする必要があります(P.31 第9.4.4章 参照)。デバイスを接続する前に、USBドライバをインストールしてください。
2. アダプタを介して電源ユニットをデバイスのD-Subソケット9ピン（RS485）に接続します。
PM 48

アダプタ

USB

図 9.3:PRIMES 電源

PRIMES 接続ケーブル
プラグ/プラグ
L=3 m
PC

USBインターフェースを介したパワーモニタPM48とPCの接続

一般的に、干渉抑制対策が追加されていないUSBインターフェースは、EMC指令に準拠していません。
したがって、干渉源が強い産業環境では、接続の中断やデータ転送の中断が発生する可能性があります。

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29

35,0(69.4.3

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

パワーモニタPM100の接続

1. PRIMES社のUSB接続ケーブル（プラグ/プラグ）を介してデバイスをPCに接続します。
• インターネットに接続されているPCの場合、USBドライバが自動的にインストールされます。
• インターネットに接続されていないPCの場合、USBドライバを手動でインストールする必要があります（P.31第9.4.4章を参照)。デバイスを接続する前に、USBドライバをインストールする必要があります。
2. アダプタを介して電源ユニットをデバイスのD-Subソケット9ピン（RS485）に接続します。
PM 100アダプタ

USB

図 9.4:PRIMES電源PRIMES 接続ケーブル
プラグ/プラグ
L=3 m
PC

USBインターフェース接続 パワーモニタPM100

一般的に、干渉抑制対策が追加されていないUSBインターフェースは、EMC指令に準拠していません。
したがって、干渉源が強い産業環境では、接続の中断やデータ転送の中断が発生する可能性があります。

30

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM
9.4.4

35,0(6

USBドライバの手動インストール

すべてのUSB対応デバイス用のPRIMES社のUSBドライバは、同梱のPRIMESデータメディアからご利用頂くか、またはPRIMES社のWebサイト（https://www.primes.de/en/support/downloads/software.html）からダウンロード可能です。

USBドライバは、商品に同梱されているPRIMESデータメディアを使用して、32ビットおよび64ビットのWindows®
オペレーティングシステムにインストールできます。USBドライバをインストールするには、管理者権限が必要です。

•
•

1.
2.
3.
4.

ドライバインストールソフトウェア Windows®7/8/10（64bit）対応 dpinst_x64.exe
ドライバインストールソフトウェア Windows® 7 (32 bit)対応 dpinst_x86.exe

付属のPRIMESデータメディアをPCに接続します。
USBdriver フォルダを開きます。
ダブルクリックして、任意のUSBドライバインストールソフトウェア（32bitまたは64bit）を起動します。
画面の指示に従ってください。

図 9.5:

USBドライバをインストールするためのWindows®メニュー

5. インストールを完了するためにFinishをクリックして下さい。
6. P.29 第9.4章に従って、
パワーモニタPMを接続します。

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31

35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

9.5

RS232インターフェースとオプションのPRIMESコンバータを介したPCの接続

9.5.1

標準付属品

PCに空いているD-Subソケットがない場合、PCはオプションのPRIMES社のコンバータと接続できます。
RS232インターフェースを介したPCとの通信には、以下の標準付属品が必要です。
PRIMES標準電源
アダプタ付き
（標準付属品）+PRIMES RS485/RS232コンバータ(オプション：注文番号 180-005-003)++

図 9.6:

9.5.2

D-Sub 接続ケーブル(オプション：注文番号 180-004-009)

USB シリアル コンバータ(オプション：注文番号 180-006-001)

標準付属品

安全手順

NOTICE

デバイスの損傷/破損

バスケーブルが供給電圧に接続されているときにバスケーブルを接続または切断すると、電圧ピークが発生し、測定デバイスの通信モジュールが損傷する可能性があります。

X 電源ユニットがオフになっているときにのみ接続を確立します。
電源電圧がオンになったらすぐにプラグを抜かないでください。

NOTICE

PCの損傷/破損

24Vの供給電圧は、RS485ベースのPRIMESバスによって保証されています。
測定デバイスを直接パソコンに接続するとパソコンが破損する恐れがあります。

X PRIMES RS485 / RS232インターフェースコンバータを介して、PCを測定システムにのみ接続してください。

32

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35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM
9.5.3

1.
2.
3.
4.

パワーモニタPM48の接続

P.32 第9.5.2章「安全上の注意」の「安全手順」に従ってください。
PRIMES社のコネクタケーブル(プラグ/プラグ)を介して、デバイスをPRIMESコンバータに接続します。
PRIMES社のコネクタケーブル(ソケット/ソケット)を介して、PCをPRIMES社のコンバータに接続します。
アダプタを介して、電源ユニットをPRIMESコンバータのD-Subソケット9ピン(RS485)に接続します。

PM 48

PRIMES接続ケーブル
プラグ/プラグ
L=2 m
アダプタ

PRIMES 電源

PRIMES コンバータ

PRIMES接続ケーブル
ソケット/ソケット
L=2m

PRIMES
USBシリアルコンバータ
L=0.1 m

or

RS232

USB

PC

図 9.7:

RS232およびPRIMESコンバータを介したパワーモニタPM48とPCの接続

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33

35,0(6
9.5.4

1.
2.
3.
4.

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

パワーモニタPM100の接続

P.32 第9.5.2章「安全上の注意」の「安全手順」に従ってください。
PRIMES社のコネクタケーブル(プラグ/プラグ)を介して、デバイスをPRIMESコンバータに接続します。
PRIMES社のコネクタケーブル(ソケット/ソケット)を介して、PCをPRIMES社のコンバータに接続します。
アダプタを介して、電源ユニットをPRIMES社のコンバータのD-Subソケット9ピン(RS485)に接続します。

PM 100PRIMES 接続ケーブル
プラグ/プラグ
L=2 m
アダプタ

PRIMES 電源

PRIMES コンバータ

PRIMES 接続ケーブル
ソケット/ソケット
L=2 m

or
RS232

USB

PRIMES
USBシリアルコンバータ
L=0.1 mPC

図 9.8:

34

RS232およびPRIMESコンバータを介したパワーモニタPM100とPCの接続

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

9.6

35,0(6

パワーモニタPMとフォーカスモニタ FM+などの並行操作

フォーカスモニタFM+などの測定デバイスは、RS485インターフェース（PRIMESバス）を介してパワーモニタPMに接続できます。パワーモニタPMの信号は、フォーカスモニタFM+のイーサネットインターフェースを介してPCに送信されます。

PRIMES電源

Ethernet

PM 48

PRIMESバス RS485
ソケット/ソケット
Lmax=10 m

PM48または
PM100に接続

PM 100

図 9.9:

フォーカスモニタFM+およびパワーモニタPMの接続

NOTICE

過電圧によるデバイスの損傷/破損

動作中に電気ケーブルを外す場合（電源電圧が接続されている場合）、電圧ピークが発生し、測定デバイスの通信モジュールを損傷させる可能性があります。

X バスケーブルを外す前に電源をオフにしてください。

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35

35,0(69.7

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

アナログ出力

パワーモニタPMには、測定されたレーザパワーに対応する電圧値を放出するアナログ電圧出力（アナログ出力）があります。アナログ信号は、4ピンのデバイスソケットM8を介して影響を受けます（P.13 図5.3 参照）。

出力電圧の最大値は10 Vです。10Vの出力電圧は、接続されたデバイスの最大出力値にスケーリングされます（P.36 表9.3 参照)。適切な接続ケーブルが標準付属しています。
アナログ出力の負荷抵抗は、100 kOhm以上である必要があります。
PM 48

1 Vの出力電圧に対して等しいパワー

表 9.3:

約1 000 W

出力電圧とレーザパワー

ピンアサイン ソケット
（上面図、
プラグイン側）
2

4

1

3

ピン

ワイヤー色

機能

1

茶

指定なし

3

青

アナログ信号のグランド

24

表 9.4:

白黒PM 100

約2 500 W

指定なし

アナログ信号0〜10 V（出力）アナログ出力のソケットのピンアサイン

9.8

システム制御（オプション）

必要に応じて、
レーザ解析ソフトウェア(LaserDiagnosticsSoftware LDSまたはPowerMonitorSoftwarePMS)
なしでパワーモニタPMを操作することもできます。これは、システム制御とのダイレクト接続にとって重要です。
ご要望に応じて、
パワーモニタPMは、システム制御に接続できるインターロックプラグと一緒にご提供することが可能です。
このデバイスバージョンの場合、シャッタはレーザ解析ソフトウェア(LaserDiagnosticsSoftware LDS
またはPowerMonitorSoftware PMS)を介して制御できません。

インターロック信号とシャッタ制御の両方がプラグを介して送信されます。
必要に応じて、プラグを介した電圧供給も可能です。レーザパワーに比例するアナログ信号は、通常、個別に送信されます。
ピンアサイン ソケット
（上面図、
プラグイン側）
5

6

4

7
8

機能

1

+24 V

2

3
1

ピン

3
4

2

プラグ
Lumberg RSFM 8/0.5 M

5
6
7
8

表 9.5:

36

出力信号 エラー / Error

グランド

出力信号の準備完了
指定なし

入力信号 シャッタを開く / Open shutter

入力信号 シャッタを閉じる / Close shutter
指定なし

インターロックプラグ 8ピンのピンアサイン

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

10
10.1

35,0(6

シャッタ自動操作時の圧縮空気の接続
圧縮空気の使用条件

オイルと水を含まない清浄な圧縮空気のみを使用してください。
デバイス タイプ

パワーモニタ PM48

圧縮空気ホース外径

パワーモニタ PM100

表 10.1:

10.2

10.2.1

4 mm

4 mm

圧力

2 - 4 bar2 - 4 bar

圧縮空気接続の要件

圧縮空気用ホースの接続/接続解除
圧縮空気用ホースの接続

圧縮空気用ホースを、プラグ接続の奥まで押し込みます。
10.2.2圧縮空気用ホースの接続解除

1. 圧縮空気の電源をオフにします。
2. 片方の手で青いリリースリングを押し下げ、もう一方の手で圧縮空気用ホースを引き抜きます。
PM 100

PM 48

図10.1:

シャッタ用
圧縮空気接続

シャッタ自動操作時の圧縮空気の接続

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シャッタ用
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37

35,0(611

11.1

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

表示と可聴警告音

測定値表示

デバイスのコネクタ側のディスプレイには、次の測定値が表示されます。
表示意味

LPower

レーザパワー (W)Te

エントランスでの水の温度（℃）

Flow
Td

表 11.1:11.2

水流量 (L/分)

入力と出力での水の温度差（ケルビン）（1Kの温度差は、1°Cの温度差に対応します。
）
測定値表示の意味

ステータス表示ステータス表示は、
パワーモニタPMのさまざまな状態を示します。
LED

Power

Error

表 11.2:色

意味緑

電圧供給がオンになってる状態。

赤

可能性のあるエラー：シャッタが閉じています。

安全インターロックがトリガーされた。
：水流量が低すぎるか、入口温度Tinが高すぎるか、または
温度差TDが大きすぎます。

ステータス表示の意味

PM 100

PM 48

ステータス表示
図 11.1:

38

測定値表示

測定値表示

ステータス表示

測定値表示

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

11.3

外部ディスプレイ (オプション)

11.4

可聴警告音

35,0(6

外部ディスプレイ（PanelDisplay、注文番号130-005-003）を使用すると、コンピュータを使わなくても、測定されたパワーを測定位置から最大距離約20mで表示できます(P.62 第22.1章 参照)。
アブソーバの温度が60°Cを超えると、警告信号が鳴ります。

1. ただちにレーザをオフにしてください。
警告信号が鳴った後にデバイスの外に水が漏れると、デバイスが過熱して破損し、動作しなくなる場合があります。
常温の冷却水で発生した過剰圧力は、ホースとコネクタの漏れの原因にもなります。
2. デバイスに漏れがないか確認してください。
• デバイスに漏れが見つかった場合は、検査のためにPRIMES JapanまたはPRIMES社にデバイスを送付してください。

デバイスに漏れが確認されない場合：
3. P.24 第8.6章に従って、実際の流量と適切な流量を確認してください。
4. 機能テストを実行してください。
• エラーが発生した場合に、安全インターロックがレーザを適切にオフにすることを確認してください。
• デバイスが正常に動作しなくなった場合は、検査のためにPRIMES JapanまたはPRIMES社にデバイスを送付してください。

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39

35,0(612

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

パワーモニタPMを使用した測定

パワーモニタPMを使用すると、PCがなくても測定できます。測定値はデバイスのディスプレイに表示されます。
ディスプレイには次の測定値が表示されます。
表示LPowerFlow
Te
Td
表 12.1:

12.1

意味

レーザパワー (W)
水流量 (L/分)

エントランスでの水の温度（℃）

入力と出力での水の温度差（ケルビン）(1Kの温度差は、1°Cの温度差に対応します。
)

測定値表示の意味

動作準備

1. P.41 第13.1章の「安全手順」に従ってください。

2. レーザ制御の安全インターロックをデバイスに接続します。
• エラーが発生した場合に、安全インターロックがレーザを適切にオフにすることを確認してください。
3. 電圧供給をオンにします。
• 緑色のステータス表示（電源）が点灯している必要があります。
4. 測定値表示が点灯するまでお待ちください。

5. 水冷却をオンにします。
• 約2分間後、デバイスの温度は冷却水の温度と等しくなります。

6. シャッタが停止するまで手動で開いてください。
• 赤いLED（エラー）が消えるはずです。

7. これで、パワーモニタPMを使用する準備が整いました。

12.2

ゼロレベルを決定

12.3

測定開始

1. 表示されたレーザパワーを読み取ってください。
• 値は、表示されたレーザパワーから後でゼロレベルとして減算する必要があります。
1. P.41 第13.1章「安全手順」に従ってください。

2. レーザをオンにします。
• 約2秒後に測定されたレーザパワーが表示されます。約15秒後に、表示は最終値の約99％に達します。
3. 表示されたレーザパワーから、以前に読み取ったゼロレベルを差し引きます。

40

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

13
13.1

35,0(6

レーザ解析ソフトウェアLDS(LaserDiagnosticsSoftware)による測定
安全手順

DANGER

レーザ光による目や皮膚の負傷

安全インターロックが接続されていない場合、デバイスのシャッタはモニタリングされていません。
レーザがオンになる前にシャッタが開かれていない場合、
レーザビーム（レーザクラス4）のダイレクト反射が発生します。測定中、レーザビームはデバイス上に導かれ、レーザビームの散乱光またはダイ
レクト反射を引き 起こします（レーザクラス4）。

以下の安全対策を講じずに、利用可能な初期設定のいずれかでパワーモニタPMを動作させないでください。

X レーザをオンにする前に、デバイスのシャッタを開いてください。

X 使用するレーザ光源のパワー、パワー密度、
レーザ波長、動作モードに対応した安全ゴーグルを着用してください。

X 適切な保護服と保護手袋を着用してください。

X (適切なシールドを使用するなどして）保護装置を分離して、レーザビームから身を守ってください。

DANGER

レーザ照射による目や皮膚の負傷

デバイスがその校正された位置から移動されると、測定操作中にレーザビームの散乱またはダイレクト反射が増加します（レーザクラス4）。

X デバイスを取り付けるときは、ケーブルやホースを誤って押したり引っ張ったりしてないように注意して、デバイスが動かないようにしてください。

DANGER

火災の危険：過熱によるデバイスの損傷/破損

安全インターロックが接続されていない場合、水がないか流量が少なすぎると、ユニットが過熱して損傷したり、火災を起こす可能性があります。

X レーザコントロールの安全インターロックをデバイスに接続します。エラーが発生した場合に、安全
インターロックがレーザを適切にオフにすることを確認してください。

NOTICE

デバイスの損傷/破損

エントランスアパーチャのエントランスミラーに触れると、焼き付きにつながる可能性があります。
焼き付きは、
エントランスミラーに損傷を与え、散乱光を増加させます。

X エントランスアパーチャに手を入れたり、エントランスアパーチャにあるエントランスミラーに触れたりしないでください。

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41

35,0(613.2

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

動作準備

1. P.41 第13.1章「安全手順」に従ってください。
2. レーザ制御の安全インターロックをデバイスに接続します。
• エラーが発生した場合に、安全インターロックがレーザを適切にオフにすることを確認してください。
3. 電圧供給をオンにします。
• 緑色のステータス表示（電源）が点灯している必要があります。
4. 測定値表示が点灯するまでお待ちください。
5. 水冷却をオンにします。
• 約2分間後、デバイスの温度は冷却水の温度と等しくなります。

6. シャッタを自動的に開くために圧縮空気供給を開きます。
または、シャッタが停止するまで手動で開きます。
• 赤いLED（エラー）が消えるはずです。

7. これで、パワーモニタPMを使用する準備が整いました。

13.3

パワー測定の実行

13.3.1

パワーモニタPMとレーザ解析ソフトウェア(LaserDiagnosticsSoftware LDS)の接続

この章では、
パワーモニタPMについて理解するために、レーザ解析ソフトウェアLaserDiagnosticsSoftware LDSを例にしたパワー測定について説明します。
ソフトウェアのインストール、
ファイル管理、測定データの評価の詳細については、
LaserDiagnosticsSoftware LDSの操作マニュアルを参照してください。
1. LaserDiagnosticsSoftware LDS
ソフトウェアを起動する。
2. Devices/デバイス タブをクリックする。

3.

タブの下の[+ Connect to device/ +デバイスに接続]ボタンをクリックする。

Connections/接続ウィンドウが表示されます。
4. 任意のデバイスをクリックする。
5. Connect to device /デバイスへ接続
ボタンをクリックする。

42

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM
13.3.2
1.

35,0(6

パワー測定モードの選択 / Power measurement

パワーモニタPMが接続されたデバイスとして表示されます。

接続されているデバイスをクリックする。

Device control/デバイスコントロールが開きます。
Power Measurement/パワー測定
ツールベンチが開きます。

13.3.3
1.

初期設定 (デバイス コントロール / Device control)

P.44 第13.3.4章の説明に従って、測定の開始および終了を実行する。

デバイスのオフセットを決定する前に、デバイスはサーマリゼーション期間を経る必要があります。
2.

3.
4.
•
5.
•

6.

測定が終了し、レーザがオンになっていない状態で、[Start/スタート] ボタンを押す。
[Power Measurement/パワー測定]
ツールの表示が安定したら[Stop/停止]
ボタンをクリックする。
[Set current value as offset button/
現在の値をオフセットとして設定] ボタンをクリックする。
値は、[Additional offset in W/Wの追加オフセット 入力ウィンドウ]に表示される。
[Measurement duration in min./測定
デュレーション/分]に入力します。
測定期間を入力しない場合、パワーは無期限に測定される。
[Measurement frequency in Hz.測定
周波数をHz] に入力する。

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43

35,0(613.3.4

1.
2.

•
•

3.

4.

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

パワー測定の開始

P.41 第13.1章「安全手順」に従って安全を確保する。

[Open shutter/シャッタを開く]
ボタンをクリックする。
デバイスのシャッタが開く。
圧縮空気の接続がない場合は、止まるまでシャッタを手動で開く。

[Start/開始]ボタンをクリックする。

レーザをオンにする。
測定の進捗状況が表示されます。

[Device control/デバイスコントロール]>[Measurement duration in min/測定
デュレーション/分]の入力ウインドウに測定時間が入力されると、測定は自動的に終了します。
1. レーザをオフにする。
2.
•
3.

•
•

44

[Stop/停止]ボタンをクリックする。
測定が完了となる。

[Close shutter /シャッタを閉じる]
ボタンをクリックする。
デバイスのシャッタが閉じる。
圧縮空気が接続されていない場合は、止まるまでシャッタを手動で閉じる。

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM
13.3.535,0(6

測定結果の表示

測定結果は、測定が完了すると、開いたツールのPower Measurement/パワー測定に表示されます（以下を参照）。
ツールの詳細な説明と測定結果の評価は、LaserDiagnosticsSoftware LDSソフトウェアの操作マニュアルに記載
されています。

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45

35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

14

パワーモニタPMSソフトウェアのインストール

14.1

ソフトウェアの起動および動作モードの選択

14.1.1

RS232およびPRIMESコンバータ接続

PCでパワーモニタPMを操作するには、PowerMonitorSoftware PMSソフトウェアをインストールする必要があります。
「PMS v.2.xx Setup」
ファイルをダブルクリックし、画面の指示に従ってインストールを開始します。
パワーモニタソフトウェアPMSアイコンします。

をダブルクリックして、
パワーモニタソフトウェアPMSソフトウェアを起動

P.32 第9.5章を参照ください。

起動後、ソフトウェアはシリアルインターフェース「COM2」との接続を確立しようとします。
シリアルインターフェース「COM1」が利用可能な唯一のインターフェースである場合、ほとんどのノートブックの場合と同様、Communication > Free CommunicationのCom portで明確に選択する必要があります。
USBシリアルコンバータを使用する場合は、動作モードUSB2Serialを選択してください。
14.1.2

USBインターフェース接続

P.29の第9.4章を参照してください。

デバイスがUSB経由で接続されている場合は、Communication > Free Communicationメニューで操作モード
USBを選択する必要があります。次にScan/スキャンボタンを押します。

動作モード

シリアルインターフェース

図 14.1:

46

Free Communication設定メニュー

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

14.2

35,0(6

インターフェースのテスト

デバイスを接続した後、コンピュータと測定システム間の通信を確認することができます。
Communication > Free Communication メニューが使用されます。まず、コンピュータ上でプログラムを起動することにより、
インターフェースが確認されます。
表示される可能性があるエラーメッセージ

図 14.2:

可能性があるエラーメッセージ

エラーの理由• バスシステムによる通信は不可能です。

対処法
1. デバイスのケーブル接続を確認してください。
2. 電源が接続され、オンになっていることを確認します。
(通信は、バスに24 Vの直流電圧が供給されている場合にのみ通信が可能です。
)
3. 電源をオフにして、再度オンにします。
表示される可能性があるエラーメッセージ

図 14.3:

表示される可能性のあるエラーメッセージ

エラーの理由• プログラムがプリセットインターフェースを開くことができません。

対処法
1. 例えばファックスソフトウェアなど別のソフトウェアが、LaserDiagnosticsSoftware LDSソフトウェアと併行してこのインターフェースを使用していないか確認してください。
一つのシリアルポートでは一度に1つのプログラムでしか使用できません。
2. プログラムが適切なポートを開くかどうかを確認します。プログラムを起動すると、Free Communication
設定メニューで、使用するインターフェースを変更することができます。この設定メニューでは、
プログラムで使用可能なすべてのインターフェースがドロップダウンリストCom portに表示されます。

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47

35,0(614.3

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

複数デバイスの通信のテスト

通信は、
パワーモニタソフトウェアPMSを使用してPC経由でチェックされます。
この目的のために、特定のコマンドが各デバイスに送信されます。デバイスがP.48 表14.1に記載されているとおりに応答した場合、通信は問題なく動作します。

パワーモニタソフトウェアPMSを起動してください。
[Communication > Free communication/コミュニケーション>フリーコミュニケーション]を選択します。
表示されるウィンドウで、送信者（PC）のアドレスをフィールドFROMに入力し、受信者のアドレスをフィールド
TO（PRIMESデバイス）に入力し、コマンドを右側のテキストフィールドに入力する必要があります。
Send/送信ボタンをクリックすると、コマンドが確認されます。デバイスの応答がバスモニタの下に表示されます。

USBのコマンドライン

コマンド入力のテキストフィールド

送信者のアドレス
受信者のアドレス

図 14.4:

Free communication設定メニュー

デバイス

FROM (PC)

フォーカスモニタ
FocusMonitor
ビームモニタBeamMonitor

パワーモニタPowerMonitor

表 14.1:機能制御

64

TO (デバイス)

161

コマンド

応答

64

144

qr

aID BeamMonitor

64

113

qr

ready PowerMonitor

qraID FocusMonitor

クエリ要求のコマンドはqr (クエリ要求)です。

デバイスからの応答がない場合：

1. 電源をオフ にして、再度オンにしてください。そしてコマンドを再送してください。
2. デバイスのケーブル接続を確認してください。すべてのプラグが接続されていますか？
3. デバイスがPRIMESバスをブロックします。電圧供給をオフにして、障害のあるデバイスをバスから外します。
システムを動作状態に戻します。
4. コンピュータがバスをブロックしています。この場合、連続的に光るインタフェースコンバータの赤色LED
Send によって示されます。コンピュータを再起動してください。

48

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

15

15.1

35,0(6

パワーモニタPMSソフトウェアによる測定
安全手順

DANGER

レーザビームによる目や皮膚の負傷

安全インターロックが接続されていない場合、デバイスのシャッタはモニタリングされていません。
レーザがオンになる前にシャッタが開かれていない場合、
レーザビーム（レーザクラス4）のダイレクト反射が発生します。
測定中、レーザビームはデバイス上に導かれ、レーザビームの散乱光またはダイレクト反射を引き起こします（レーザクラス4）。

以下の安全対策を講じずに、利用可能な初期設定のいずれかでパワーモニタPMを動作させないでください。

X レーザをオンにする前に、デバイスのシャッタを開いてください。

X 使用するレーザ光源のパワー、パワー密度、
レーザ波長、動作モードに対応した安全ゴーグルを着用してください。

X 適切な保護服と保護手袋を着用してください。

X （適切なシールドを使用するなどして）保護装置を分離して、レーザビームから身を守ってください。

DANGER

レーザ照射による目や皮膚の負傷

デバイスがその校正された位置から移動されると、測定操作中にレーザビームの散乱またはダイレクト反射が増加します（レーザクラス4）。

X デバイスを取り付けるときは、ケーブルやホースを誤って押したり引っ張ったりしてないように注意して、デバイスが動かないようにしてください。

DANGER

火災の危険：過熱によるデバイスの損傷/破損

安全インターロックが接続されていない場合、水がないか流量が少なすぎると、ユニットが過熱して損傷したり、火災を起こす可能性があります。

X レーザコントロールの安全インターロックをデバイスに接続します。エラーが発生した場合に、安全
インターロックがレーザを適切にオフにすることを確認してください。

NOTICE

デバイスの損傷/破損

エントランスアパーチャのエントランスミラーに触れると、焼き付きにつながる可能性があります。
焼き付きは、
エントランスミラーに損傷を与え、散乱光を増加させます。

X エントランスアパーチャに手を入れたり、エントランスアパーチャにあるエントランスミラーに触れたりしないでください。

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49

35,0(615.2

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

動作準備

1. P.49 第15.1章「安全手順」に従ってください。

2. レーザ制御の安全インターロックをデバイスに接続します。
• エラーが発生した場合に、安全インターロックがレーザを適切にオフにすることを確認してください。
3. 電圧供給をオンにします。
• 緑色のステータス表示（電源）が点灯している必要があります。
4. 測定値表示が点灯するまで待ってください。

5. 水冷却をオンにします。
• 約2分間後、デバイスの温度は冷却水の温度と等しくなります。

6. シャッタを自動的に開くために圧縮空気供給を開きます。
または、シャッタが停止するまで手動で開きます。
• 赤いLED（エラー）が消えるはずです。

7. これで、パワーモニタPMを使用する準備が整いました。

15.3

ソフトウェアの起動

デスクトップのショートカットをダブルクリックするか、
PMSディレクトリのアプリケーション「PMS.exe」
をダブルクリックして、
パワーモニタソフトウェアPMSを起動します。
P.51 図15.1の図に示すように、グラフィカルユーザーインターフェースが表示されます。
通信が確立されると、異なる測定値が表示されます。
通信が確立されない場合は、右上隅のStart/Stop / 開始/停止ボタンを押します。
その後も通信ができない場合は、P.47 第14.2章の説明に従ってください。

15.4

パワー測定の実行

1. Open shutter/シャッタを開く ボタンをクリックします。
• シャッタの位置が不明であるか、またはOpenコマンドが正しく実行されていない場合、疑問符(?)がパワーモニタ
アイコンに表示されます（P.51 図15.1参照)。
2. Start/スタートボタンをクリックします。

3. レーザをオンにします。
• 測定されたパワーは、デバイスの測定値画面(P.38 第11.1章 参照)、
またはPCの画面(P.52 第15.6章 参照)で毎秒更新されます。
• 約15秒後に、表示は最終値の約99％に達します。

50

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

15.5

35,0(6

パワーモニタPMSソフトウェアのグラフィカルユーザーインターフェース

メニューバーからさまざまなダイアログウィンドウを開くことができます。

図 15.1:

メニューバーのメニュー選択

File > Settings
この設定で、別のデバイスアドレスを入力できます。
File > Protocol
決定された測定結果は、
タブ区切りのテキストファイルに書き込むことができます。
Write チェックボックスを有効にして、
ファイル名を入力して入力するか、ファイルを選択します。
OKをクリックします。
File > Quit
ソフトウェアを終了します。
Communication > Free communication
通信を行うためにダイアログウィンドウを開きます。
Info
ソフトウェアに関する情報を提供します。

この取扱説明書は、印刷時点で有効なソフトウェアバージョンv2.57について説明しています。
オペレーティングソフトウェアは継続的にさらに開発されているため、別のバージョン番号が付属のPRIMESデータメディアに印刷されている可能性があります。
ソフトウェアを備えたデバイスの正しい機能は引き続き保証されます。

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35,0(615.6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

測定値の表示グラフィカルユーザーインターフェースは3つの表示部分に分かれています(P.52 図15.2 参照)。

•••

現在の測定値の数値表示（ウィンドウA）
一時的なレーザパワーまたは流量の動き、または冷却水温度の時間的変化（ウィンドウB）
ステータス ウィンドウ

15.6.1

ウィンドウA（数値表示）

P.52 図15.2の表示画面の下にあるウィンドウAには、969 Wに続く次の測定値が表示されます。

•••

現在の測定値
最小値と最大値
ドロップダウンリスト [Time/時間] で選択した時間間隔の平均値 [Average/平均ボタン]

パワー測定値の平均化 (Time/時間10秒、20秒、30秒、50秒、最大= 90秒)により、ノイズを低減でき、非常に正確な測定が可能になります。
表示エリア

調整エリア

A
Min

B

時系列 パワー

調整エリア
コントロールWindow A
調整エリア
スケール
Window B
ステータス ウィンドウ時系列
図 15.2:

水温 / 水流量

測定中のグラフィカルユーザーインターフェース

オプションスイッチを使用して、初期設定内のCurrent/現在値、Min/最小値、Max/最大値、Average/平均値をControl/調整エリアで測定値を大きな数字として表示します（P.52 表15.1 参照)。
選択項目
Current
Min
Max
Average
表 15.1:52

画面表示

現在のパワーの表示測定された最小パワーの表示測定された最大パワーの表示

選択した測定デュレーション内の平均値の表示

測定値を拡大表示するための選択

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

35,0(6

設定
平均化の最大デュレーション（Max）は90秒です。
可能なゼロオフセットは、[Use current value as offset / 現在の値をオフセットとして使用]ボタンで、
または入力
フィールドの[ゼロレベル]で[Zero level/数値的]に補正できます。
15.6.2ウィンドウB（グラフィック表示)

ウィンドウBでは、2つの時系列を上下に表示することができます。

時系列でのパワー / Time series power
ウィンドウのy軸（パワー）を自動的に、
または固定値（200 Wまたは500 W）でスケーリングできます。
Automatic/自動設定では、y軸は測定された最小値と最大値の差でスケーリングされます。
時系列での温度 / 流量 Time series temperature/Flow rate
冷却水流量または入力温度 (Tin) または入出力間の温度差 (Tdiff) を選択することができます。
調整領域のスケール/Scaleオプションスイッチで選択可能です。
•••

Flow rate
Tin
Tdiff

Clear / 削除ボタン
Clear / 削除ボタンを押すと、ウィンドウ内のすべての数値およびグラフィック表示を削除します。

Time: Frequencyリストの選択
Time: Frequency /時間:繰り返し周波数リストでは、測定時間(デュレーション）と測定レート(時間単位あたりの測定数)を選択します。
可能な設定は以下の通りです。
測定
デュレーション

測定レート

90 s

1s

≙ 1 Hz

10 min2s≙ 0,5 Hz30 min2s≙ 0,5 Hz2h5s

≙ 0,2 Hz10 h5s

≙ 0,2 Hz

50 h

10 s

≙ 0,1 Hz図 15.2:15.6.3

設定時間：繰り返し周波数

ステータス ウインドウ

ユーザーインターフェースの右下のウィンドウ（ステータス）（P.52 図15.2 参照）に、
エラーメッセージが赤いフォントで表示されることがあります。これらのエラーは、
測定前に修正する必要があります。

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53

35,0(616

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

保管

保管する前にご注意ください。

NOTICE

冷却水の漏れや凍結によるデバイスの損傷/破損

冷却水が漏れると、デバイスが損傷する可能性があります。デバイスを氷点下またはそれ以下の温度で、冷却回路を完全に空にせずに保管すると、デバイスが損傷する可能性があります。

X 冷却回路のラインを完全に空にしてください。

X 冷却回路のラインが空になった場合でも、少量の残留水が常に装置内に残ります。
これが漏出してデバイス内部に入る可能性があります。
付属のシーリングプラグで冷却回路のコネクタプラグを閉じてください。
X デバイスはPRIMES社製の輸送ボックスに保管してください。

NOTICE

流量計の損傷/破損

流量計は高回転速度用には設計されていません。

X 冷却回路を空にするために圧縮空気を使用しないでください。

17

メンテナンスとサービス

18

製品廃棄の措置

オペレータは、測定装置のメンテナンス間隔を決定する責任があります。PRIMES社は、検査と検証または校正のために12か月のメンテナンス間隔を推奨しています。デバイスが散発的にのみ使用される場合、メンテナンス
間隔も最大24か月に延長できます。
電気・電子機器に関する法律「Elektro-G」
により、
PRIMESは2005年8月以降に製造されたPRIMES測定装置を無料で処分する義務があります。PRIMESは、
ドイツの “Used Appliances Register”(Elektro-Altgeräte-Register“EAR”/WEEE-Reg.-Nr. DE65549202) の登録メーカーです。
EU内でPRIMESの製品をご使用の場合は、以下の住所に送付して頂ければ無料で処分いたします。
(このサービスには送料が含まれていません。
)
PRIMES Japan 株式会社
(プリメス ジャパン)
222-0033 横浜市港北区新横浜2-3-4
クレシェンドビル 7F
Tel: 045-620-9377
m.sakura@primes.dehttps://www.primes.de/ja/
PRIMES GmbH
Max-Planck-Str. 264319 Pfungstadt
Germany

54

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レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

1935,0(6

EC適合宣言書

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55

35,0(620

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

仕様

測定パラメータ/Measurement Parameters

最大パワーレンジ / Max. power range
照射時間 / Irradiation timePM 48

0.3 – 8 kW

波長レンジ / Wavelength range

入射アパーチャ / Inlet aperture

最大パワー密度 / Max. power density
精度 / Accuracy

再現性 / Reproducibility

応答速度 / Time constant

供給データ / Supply data
電源 / Power supply, DC

48 mm

最小 冷却水流量（警告レベル）

Min. cooling water flow rate (warning level)

冷却水の安定性 / Cooling water stability
冷却水温 / Tin1)

800 – 1 100 nm および 10 600 nm*ご要望に応じて波長を追加
100 mm5 kW/cm²

±3%

PM 48

8 L/分

1分あたり1.0°Kまたは5秒あたり0.08°K（1 Kの温度差は1°Cの温度差に対応）
露点温度 < Tin < 30 °C

寸法と重量 / Dimensions and Weights

PM 48

本体重量(代表値) / Weight, approx.

環境条件 / Environmental conditions

動作温度範囲 / Operating temperature range
保管温度範囲 / Storage temperature range
基準温度 / Reference temperature

許容相対湿度（非結露）Permissible relative humidity (non condensing)

最大 0.5 A

15 – 30 L/分

4 L/分

PM 48

寸法 (L x W x H) *コネクタ部分除く

PM 100

6 bar

8 – 11 L/分

通信 / Communication

56

24 V ± 5 %この仕様の範囲内で作業しない場合は、事前に弊社までご連絡ください。

インターフェース / Interfaces

60s (最終値の最大99％に対して)

2 bar

Cooling water temperature Tin 1)
1)±1%

クリーニング済み、
オイルフリー、ウォーターフリー
最小圧力 2 bar
最大圧力 4 bar

最小空気圧 /Min. cooling water pressure

推奨 冷却水流量

連続

15s (最終値の最大99％に対して)Compressed air for automatic opening of the shutter

Recommended cooling water flow rate

1 – 25 kW

15 kW/cm²

シャッタの自動開放のための圧縮空気

最大空気圧 /Max. cooling water pressure

PM 100

PM 100

シリアル / RS485/USB
PM 100394 × 242 × 125 mm

580 × 330 × 215 mm

10 Kg

50 Kg

PM 48

PM 10015 – 40 °C
5 – 50 °C
22 °C

10 – 80 %最新情報はウェブサイトをご覧ください。
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Revision 01/2019 EN

35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

寸法

21

パワーモニタ PM48

222
222

21.1

22xxØ6,6
Ø 6,6

レーザビーム
Beam

115
115

31

X

Eintrittsöffnung
入射アパーチャ

394
394

51
51

242
242
121
121

222
222

ØØ48
48

ØØ66 G7

4 xM6
M6
4x

15
15

Revision 01/2019 EN

72
72

281,5
281,5

354
354

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57

35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

31
31

125
125

Beam
X側から

140,2
140,2
160,2
160,2

50
50

121

242

Ø48

Eintrittsöffnung

58

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35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

21.2

パワーモニタ PM 100

Ø 11
Ø11

Ø10
Ø 10
H6

236
236

ØØ11
11

Ø
11
Ø11

Ø
11
Ø11

47
47

Ø10
Ø 10 H6

157,5
157,5

157,5
157,5

100
100

215

レーザビーム
Beam

36,5

146,5
96,5

X

277
277

2xØ6
Ø 6 G7

入射アパーチャ
Eintrittsöffnung

165
165

330
330
315
315

Ø100
Ø
100

4x
4x M6
M6
216
216

120
120

425
425

540
540
580
580

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59

Ø11

35,0(647

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

100

X側から

215
215
146,5
146,5
96,5
96,5
36,5
36,5

Beam

45
45
330
330

Eintrittsöffnung

165

00

60

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35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

22

付記

パネルディスプレイとパワーモニタPMの操作（PC接続なし）

22.1

オプションで、パワーモニタPMの操作に使用できる外部制御ディスプレイ(パネルディスプレイ、注文番号130005-003)をご用意しています。
ディスプレイはPRIMESバスを介して操作されるため、PCなしで測定位置から離れた場所からの読み取りが可能です。

1. D-Sub 9ピンケーブル(PRIMES-RS485バスケーブル)を使用して、パネルディスプレイ(前面または背面)を
パワーモニタPMに接続します。
2. アダプタを介して電源ユニットをパネルディスプレイのD-Sub 9ピンソケット(RS485)に接続します。
PM 48

PRIMES接続ケーブル
プラグ/プラグ
Lmax=20 m
パネルディスプレイ

アダプタ
PRIMES 電源

図 22.1:

パワーモニタPMをパネルディスプレイに接続（例：パワーモニタ PM48）

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61

35,0(622.1.1

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

D-Subソケット9ピンのピンアサイン

D-Subソケット, 9ピン(上面図、
プラグイン側)

ピン

機能

1

グランド

2
5

1

3

+24 V

4

指定なし

5
9

6

6

7

表 22.1:22.1.2

RS485 (+)

指定なし

グランド

RS485 (–)

8

+24 V

9

指定なし

ピンアサイン パネルディスプレイのD-Subソケット

測定値表示

パネルディスプレイは、
パワーモニタPMの表示を反映しています。パネルディスプレイには、次の測定値が表示
されます。
表示

意味

W

レーザパワー（W）

Te

入口の水温（°C）

Flow
Td

表 22.2:水流量（L/分）

入力と出力での水の温度差（ケルビン）(1Kの温度差は、1°Cの温度差に対応します。
)

測定値表示の意味

PCを介したパワーモニタソフトウェアPMSの操作をするには、
ディスプレイの動作モードをActiveからPassiveに変更する必要があります。
詳細については、別途マニュアル「パネルディスプレイ」の「操作モード」の章を参照してください。

62

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35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

22.2

ファイバ アダプタ

ファイバ アダプタをパワーモニタPMをファイバに間に接続すれば、ファイバの後または集光光学系の前でパワー測定が可能です。次のバージョンのファイバ アダプタをご用意しています。
デバイスの種類

パワーモニタ PM48

ファイバアダプタの種類

商品番号

LLK-D用ファイバ アダプタ

130-006-007

LLK-B用ファイバ アダプタ

LLK-D用ファイバ アダプタ / ファイバプラグなし

QBH用ファイバ アダプタ
パワーモニタ PM100

QD用ファイバ アダプタ

HLC-16用ファイバ アダプタ / 水冷

QBH用ファイバ アダプタ / 水冷

130-006-006
130-006-008
130-006-009
130-006-011
130-006-013
130-006-014

表 22.3:

ファイバ アダプタのバージョン

図 22.2:

ファイバ アダプタの接続例（パワーモニタPM48とファイバ アダプタLLK-D使用）

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63

35,0(622.3

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

フォーカスモニタFM+専用スペーサ

フォーカスモニタFM+をパワーモニタPMに取り付けるためのさまざまなスペーサをご用意しています。
FM+
測定チップを逆さまに取り付け

120 mm標準方向での取り付け
120 mm

D

C
B
A

PM 48
PM 100

図 22.3:

スペーサ概要スペーサ

高さ(mm)

注文番号

B

208

130-006-003

C

308

130-006-015

D

548

130-006-010

A

表 22.4:64

123

130-006-001

スペーサの寸法と注文番号

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35,0(6

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM
22.3.1

パワーモニタPM48のスペーサ選択
8 kW

24 mm

8 kW

8 kW

20 mm

16 mm

測定不可

20
ビーム拡狩り角(全角) mrad

【 PM 48 】入射アパーチャでの最大パワー(kW) およびビーム径(mm)

40

8 kW

12 mm

6 kW

10 mm

4 kW

8 mm

2 kW

6 mm

1 kW

4 mm

60
80
100
スペーサなし

120
140
160

斜めに色分けされたフィールドでは、
パワーモニタPM48の入射アパーチャでのビームパラメータに応じて、両方のスペーサを使用できます。
スペーサ
なし

スペーサ A

スペーサ B

表 22.5:

パワーモニタPM48 スペーサの選択

22.3.2

パワーモニタPM100のスペーサ選択
25 kW

ビーム拡狩り角(全角) mrad

40

50 mm

80

スペーサ C

スペーサ D【PM 100 】入射アパーチャでの最大パワー(kW) およびビーム径(mm)

25 kW

40 mm

24 kW

測定不可

35 mm

17 kW

30 mm

12 kW

25 mm

8 kW

20 mm

4 kW

15 mm

2 kW

10 mm

120
160
200
240
スペーサなし

280
320
360

斜めに色分けされたフィールドでは、
パワーモニタPM100の入射アパーチャでのビームパラメータに応じて、両方のスペーサを使用できます。
スペーサなし

表 22.6:

スペーサ A

スペーサ B

パワーモニタPM100 スペーサの選択

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スペーサ C

スペーサ D

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65

35,0(622.3.3

レーザパワー計測機器 パワーモニタ PowerMonitor PM

全高の概要

スペーサは、
パワーモニタPM48およびパワーモニタPM100に使用できます。
FM+
FM+
測定チップを逆さまに取り付け

120 mm標準方向での取り付け

120 mm

H1
H2

PM 48
PM 100

図 22.4:

スペーサ
A
B
C
D
表 22.7:

全高の概要
フォーカスモニタFM+
PM48使用時

FocusMonitor FM+
PM100使用時

461

551

H1 (mm)
546
646
886

H2 (mm)
636
736
976

パワーモニタPMの異なるスペーサを使用したFocusMonitor FM +の取り付け高さ

全高には、
パワーモニタPMの取り外し可能なデバイスの脚が含まれます（デバイスの脚の高さ= 5 mm）。

66

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