作成者：弁理士 須原 誠

ウエハ検査装置事件（異議取消決定取消訴訟事件）
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令和１（行ケ）１０１２４号

判決日：令和２年８月４日

担当部：知的財産高等裁判所第１部
判決

特許取消決定取消（特許異議申立てにおける取消決定を取消）

参照条文

特許法２９条２項

キーワード

進歩性

１．事案の概要
本件は，本件特許（特許第６２８３７６０号）に対する特許異議申立て（異議２０１８－７００６９０号）における特許取消決定を不服とした取消訴訟である。争点は，進歩性（特許法２９条第２項）である。
２．本件発明の要旨
異議申立てにおいて審理の対象とされた訂正後の請求項１に係る発明（本件発明１）は以下のとおりである。下線部は訂正個所を示す。なお、審査過程で拒絶理由通知書は発行されていない。（請求項２は省略）【請求項１】
ローダと整備空間との間に配置された複数の検査室であって、半導体デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドと、前記被整備テストヘッドを前
記整備空間側に引き出すスライドレールと、を備えた複数の検査室と、ウエハを搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと、を備え、前記被整備テストヘッドを引き出す整備空間側と前記ウエハを搬送するローダ側とが前記複数の検査室が配置されたセルタワーの反対側であることを特徴とするウエハ検査装置。
本件発明が解決しようとする課題及び効果は、「（交換が必要なメインボードが搭載された）テストヘッドを容易に引き出すこと」である（本件特許公報【０００７】、【００１０】）。
１０

ウエハ検査装置、１１ストヘッド、１８検査室、 １２

プローブカード、２７

セルタワー、 １３整備用台車、ローダ、 １５

テ

スライドレール（図面になし）

1

３．取消決定の理由の要点
甲１（引用例：再公表特許第２０１１／０１６０９６号）

2

本件発明

甲１

検査室

収容室１７２及びアライメントユニット４００を合わせたもの

ローダ

ＥＦＥＭ１１０

被整備テストヘッド

テストヘッド２００

プローブカード３００、メンテナンスカバー１９２、ガイドレール１９３［一致点］「ローダと整備空間との間に配置された複数の検査室であって，半導体デバイスが形成されたウエハの検査の際に用いられる被整備テストヘッドを備えた複数の検査室と，ウエハを搬送先の検査室内に搬送する前記ローダと，を備え，整備空間側と前記ウエハを搬送するローダ側とが前記複数の検査室の反対側であるウエハ検査装置。」［相違点１］
本件発明１は，「複数の検査室」が，「前記被整備テストヘッドを前記整備空間側に引3

き出すスライドレール」を備え，「被整備テストヘッド」を引き出すものであるのに対し，
引用発明は，「複数の収容室１７２のそれぞれには，」「メンテナンスカバー１９２が設けられ，当該メンテナンスカバー１９２の外側には，前記プローブカード３００を引き出した場合に当該プローブカード３００を支持するガイドレール１９３が設けられ」，「プローブカード３００」を引き出しているものの，「テストヘッド２００」を引き出すものではなく，「テストヘッド２００」を「整備空間側に引き出すスライドレール」も備えていない点。
［相違点２］
本件発明１は，「複数の検査室が配置されたセルタワー」を備えているのに対し，引用発明は，そのような構成を備えているか定かではない点。
（ア）［相違点１］について
引用発明の「プローブカード３００」や「テストヘッド２００」は，いずれも収容室１７２に設けられたメンテナンスカバー１９２や背面扉１９０を開けてメンテナンスされるものであり，そのメンテナンスは，例えば，「プローブカード３００」を交換したり，「テストヘッド２００」中のピンエレクトロニクス２１０を交換したり，その他のメンテナンスを実施するものである。
引用発明において，「メンテナンスカバー１９２から外部に引き出した前記プローブカード３００」「を支持するスライドレール１９３」を設ける構成を採用するのは，「プローブカード３００」を収容室１７２内に収容したままメンテナンスカバー１９２を開けてメンテナンスを行う場合と比較して，メンテナンス作業を容易に行うことができるためであると解されるところ，メンテナンスの対象物を外部に引き出してメンテナンスすること，また，その際に，スライドレールにより引き出す構成とすることは，例えば，引用文献２（甲２）に記載されているように周知技術であるということもできる。
そうすると，引用発明において，メンテナンスを行う「テストヘッド２００」についても，引き出してからメンテナンスを行う方が作業を容易に行うことができるのは明らかであるから，「テストヘッド２００」を収容室１７２からスライドレールによって引き出す構成を採用し，メンテナンスを行うように構成することは，当業者であれば容易に想到し得るものである。
（イ）［相違点２］について
本件発明１の「セルタワー」が，「複数の検査室が配置された」ものであれば，引用発明も複数の「収容室１７２」を備えているので，［相違点２］は実質的な相違点ではない。
仮に，「セルタワー」が，本件特許明細書の【００１５】に記載された「複数の検査室4

（セル）が多段」に配置されたものであるとしても，ウエハの試験装置では一般に省スペース化が求められているところ，上記２（３）及び（４）によれば，省スペース化のために，検査室や試験装置を縦横に多段に積層配置して，その内部でウエハの検査や試験を実施することも周知技術であったということができるから，引用発明においても省スペース化のために，「収容室１７２」を積層構造とし，セルタワーとすることに格別の困難性はない。
４．裁判所の判断
引用文献２（甲２：特開平５－１７５２９０）

甲２文献には，プローブ装置において，①プローブ装置筺体（１０）内から外に向かってガイドレール（７４，７５）を設け，プローブカード（２）を交換する際に，プローブカードをガイドレールに沿って引き出すこと，②プローブ装置本体（１）の上面に被検査体（Ｗ）に対向して載置されたテストヘッド（３）のメンテナンスやパフォーマンスボード

5の交換については，テストヘッドをプローブ装置本体から分離して上昇させて別の場所に移動することが記載され，検査室（筐体１０）の内部から整備空間側にテストヘッド（３）を引き出すことの記載はない。
甲２文献及び乙１～３には，相違点１に係る構成（検査室が整備空間側にテストヘッドを引き出すスライドレールを備え，テストヘッドを引き出す構成）の記載はなく，本件証拠上，他に上記構成が記載された文献はない。そうすると，引用発明に甲２文献及び乙１～３に記載された事項を組み合わせても，本件発明の構成には到らない。
したがって，当業者において，引用発明に甲２文献及び乙１～３に記載された事項を組み合わせて，相違点１に係る本件発明１の構成を容易に想到することができたということはできない。
被告の主張について(ア) 被告は，甲２文献や乙１～３の記載によれば，メンテナンスの対象物を引き出してメンテナンスをすること，また，その際に，スライドレールにより引き出す構成とすることは周知技術であると主張する。
引用例及び甲２文献には，プローブ装置において，メンテナンスの際に検査室からプローブカードを引き出すこと及びその際ガイドレールに沿って引き出す構成とすることの記載がある。しかし，本件原出願の当時，テストヘッドの重量は２５ｋｇから３００ｋｇを超えるものが知られ（本件明細書【００２２】，甲５【０００３】・【００４３】，甲６【００１４】，甲７，乙３【０００５】），テストヘッドとプローブカードとは重量や大きさにおいて相違することは明らかである。したがって，プローブカードに関する上記記載から，テストヘッドを含むメンテナンスの対象物一般について，メンテナンスの対象物を引き出してメンテナンスをすること，また，その際に，スライドレールにより引き出す構成とすることが周知技術であったということはできない。また，乙１～３には，検査室に収容されたテストヘッドの構成は開示されておらず，テストヘッドを引き出すものではないから，被告の主張する周知技術を裏付けるものではない。
以上によれば，被告の主張する各文献の記載から，メンテナンスの対象物を引き出してメンテナンスをすること，また，その際に，スライドレールにより引き出す構成とすることが周知技術であったということはできず，ほかにこれを認めるに足りる証拠はない。
(イ) 被告は，乙３（【００２４】）にも記載があるとおり，テストヘッドを引き出した方が作業性に優れることは自明であるから，メンテナンスの対象物をスライドレールにより引き出してメンテナンスを行う方が，作業が容易であることを動機付けとして，引用発明において，相違点１に係る構成を想到することは容易であると主張する。
しかし，乙３はテストヘッドが検査室に収容されたプローブ装置を開示するものではなく，同段落の「超重量級のテストヘッドであってもテストヘッド４を安全且つ円滑に反転させ，前後，上下に移動させることができ，テストヘッド４をメンテナンス等の作業性に優れた6位置へ移動させることができる。」との記載から，テストヘッドを引き出した方が作業性に優れていることを読み取ることはできない。
また，引用例には，(1)試験対象の仕様及び試験内容に応じて行うピンエレクトロニクスの交換や，その他のテストヘッドのメンテナンスは収容室の背面扉を開けて行うこと（【００２９】，【００３６】，【００６３】，【００８０】，【００８５】），(2)レイアウトの異なるウエハに対応するためのプローブカードの交換や，その他のプローブカードのメンテ
ナンスは収容室のメンテナンスカバーを開けて行い，プローブカードは収容室の外部に引き出すことができること（【００２８】，【００２９】，【００３０】，【００３７】，【００８０】，【００８５】），(3)背面扉はテストヘッドのメンテナンスが容易な位置に配置され，メンテナンスカバーはプローブカードのメンテナンスが容易な位置に配されていること（【００２９】）が記載されている。
このように，引用発明においては，テストヘッドのメンテナンスは背面扉を開けて行うものとされ，背面扉はメンテナンスを行うのに容易な位置に配置されているのであるから，検査室が整備空間側にテストヘッドを引き出すスライドレールを備え，テストヘッドを引き出す構成を採用することの動機付けは見いだせない。
(ウ) 以上によれば，被告の主張は採用できない。
５．コメント
本件の異議決定は、引用文献の技術内容を上位概念化ないし一般化したものを周知技術と認定しましたが、本判決ではそのような上位概念化を否定し、引用文献に記載の技術が周知技術とは言えないと判断しました。このように特許庁の審査官・審判官による引用文
献の技術内容の上位概念化を否定した判決として以下のものがあります。
◎平成２５年（行ケ）１０２４０号審決取消請求事件『刊行物に記載された技術的思想ないし技術的構成を不必要に抽象化，一般化すると，恣意的な認定，判断に陥るおそれがあることに鑑みれば，当該刊行物に記載されている事項の意味を，当該技術分野における技術常識を参酌して明らかにするとか，当該刊行物には明記されていないが，当業者からみると当然に記載されていると解される事項を補ったりすることは許容され得るとしても，引用発明の認定は，当該刊行物の記載を基礎として，客観的，具体的にされるべきである。』◎平成２３年（行ケ）１０１２１号審決取消請求事件『当該発明が，発明の進歩性を有しないこと（すなわち，容易に発明をすることができたこと）を立証するに当たっては，公平かつ客観的な立証を担保する観点から，次のような論証が求められる。すなわち，当該発明と，これに最も近似する公知発明（主引用発明）とを対比した上，当該発明の引用発明との相違点に係る技術的構成を確定させ，次いで，主たる引用発明から出発して，これに他の公知技術（副引用発明）を組み合わせることによって，当該発明の相違点に係る技術的構成に至ることが容易であるとの立証を尽くしたといえるか否かによって，判断をすることが実務上行われている。

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この場合に，主引用発明及び副引用発明の技術内容は，引用文献の記載を基礎として，客観的かつ具体的に認定・確定されるべきであって，引用文献に記載された技術内容を抽象化したり，一般化したり，上位概念化したりすることは，恣意的な判断を容れるおそれが生じるため，許されないものといえる。そのような評価は，当該発明の容易想到性の有無を判断する最終過程において，総合的な価値判断をする際に，はじめて許容される余地があるというべきである。』
このように同様の判決が繰り返し出されていますので、審査官・審判官による判断に引用発明に記載された技術内容の上位概念化が含まれていないかを常に慎重に検討する必要があると言えそうです。
以上

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