Electrochemistry
The Electrochemical Society of Japan

Published: December 27, 2013
http://dx.doi.org/10.5796/electrochemistry.82.37
JOI:DN/JST.JSTAGE/electrochemistry/82.37

特集：電気化学会「東北支部」特集—地域産業振興と復興を支える電気化学—

1．東北大学の MEMS 拠点—異分野融合と協働から生まれた
バイオ LSI
井上（安田）久美,

伊野 浩介,

珠玖 仁, 末永 智一

1. はじめにをしたりすることができる．我々は，これまでにアンペ
ロメトリックイメージングシステムの構築を目的に，走査 型 電 気 化 学 顕 微 鏡 (SECM； scanning electro-chemical
東北地域の中で 100 万人の人口を擁する仙台は企業がmicroscopy) や 微 細 加 工 (MEMS； micro electro mechanical
集積する商都であるとともに，東北大学を筆頭とする学
systems) 多 点 ア レ イ 電 極 に よ る ア ン ペ ロ メ ト リ ッ ク イ
術研究機関が集積する学都でもある．とりわけ，「研究第メージングの研究を行ってきた3,4．これらの成果と LSI 技
一」，「門戸開放」，「実学尊重」の理念を掲げる東北大学
は，いち早く大学発のベンチャー企業を設立して地域産術との融合により，新たなセンサプラットフォームとし業の育成を図るなど，伝統的に「世界と地域に開かれたて開発されたのが「バイオ LSI」である．アンペロメト
大学」の方針の下，知の成果の社会還元を進めてきた． リックセンサと LSI 技術の融合は，センサの高機能化を実現するのみでなく，“More-than-Moore” と呼ばれる「集2011 年 3 月 11 日に発生した東日本大震災では東北大学も積度の限界による半導体産業の閉塞状態を打破するため多大な被害を受けたが，全学を挙げて教育・研究機能のに，多機能化による付加価値を与える技術」として，次回復に努めるとともに，創立以来の伝統と精神を礎に東世代産業のひとつの種となることが期待できる．我々は北の復興，日本の再生に向けて取り組んでいる．
現在，バイオ LSI が医療，環境，工業，生命科学研究分
東北大学の「マイクロシステム融合研究開発拠点」は
この伝 統の流れ を汲み，JST の先端融 合領域イ ノベー
野での分析ツールとして利用されるよう，産業化も視野
ション創出拠点形成プログラムのひとつとして 2007 年 7に入れた応用研究を行っている．
月 1 日に採択された 10 年間のプロジェクトである．本拠
従 来， 電界 効果 ト ラン ジス タ (FET； Field effect tran点では，次世代産業の種になる「集積化マイクロシステ
sistor) の利用を中心とするポテンショメトリックセンサア
ム基盤技術」の開発を目的にしている．本プログラムにレイは比較的多くの報告例があるが，100 電極以上を集積
より，東北大学がこれまで蓄積してきたマイクロシステ
化したアンペロメトリックセンサアレイは CombiMatrix
社5 やチューリッヒ工科大学6，Simens 社等7 からの少数のム研究分野における成果を核にして，異分野融合による新しい価値を創造するために，多くの企業および多くの報告があるのみである．これは，FET 等の比較的簡単な研究者が参加する開かれた研究開発拠点がここ仙台に形
半導体構造で高感度計測が可能なポテンショメトリック
成されている．我々の高機能多点アンペロメトリックセ
センサと比較して，アンペロメトリックセンサは複雑なンサ「バイオ LSI」もこの拠点研究により生まれた．これ
回路素子を必要とし，半導体技術で回路の集積化を図ろまで，学会や紙面でバイオ LSI そのものについては何度うとすると，高コストな LSI 等を導入する必要があるたか紹介してきたが，バイオ LSI が拠点研究の中でいかにめと考えられる．バイオ LSI はこれまでに報告されているアンペロメトリックセンサアレイの中でも抜群の特性して実現したかについてはなかなか紹介する機会がなを誇っている．
かった．本特集号に執筆の機会をいただき，ぜひ，バイ
オ LSI 実現の背景についても詳しく紹介したいと考えてバ イ オ LSI の 特 性 を Table 1 に 示 す． バ イ オ LSI はいる．
10.4 mm © 10.4 mm の LSI チップの中央付近に 20 © 20 個の本稿では，まず，バイオ LSI を紹介する．そして，こセ ン サ 電 極 が 250 µm ピ ッ チ で 並 ん で い る (Fig. 1A, B)．
のバイオ LSI がどのようにして生まれたかについて，拠LSI 技術を利用することで，100 点を超える多点電極アレ
点研究における取り組みを中心に紹介する．最後に現在
イを作製できるのみでなく，«1 pA という通常のポテンの研究の広がりおよび今後の展望について述べる．
ショスタットでは難しい感度を達成している．これは，電極の直下に LSI の演算増幅器（オペアンプ）を配置しているため，ノイズの影響なく微小な電流を測定するこ
2. バイオ LSIとができるためである．また通常，1 pA (1 © 10¹12 A) レ
2.1 バイオ LSI の概要と特性
ベルの微小電流を検出するためには，1 T³ (1 © 1012 ³) 程度の超高抵抗の抵抗器が必要となり，このような抵抗を
バイオ LSI は LSI を利用したバイオ計測のための多点
1,2
精度よく，しかも小さなチップ内に作製することは困難
アンペロメトリックセンサアレイである ．多点を利用である．これを解決するために，我々はスイッチドキャ
して，ビデオカメラのように電気化学反応の動画イメー
パシタによる I-V 変換を用いた．さらに，ソフトウェアのジを撮影したり，多サンプル（または多項目）同時分析
37

Electrochemistry, 82(1), 37–42 (2014)
Table 1. バイオ LSI の特性．
A. 測定チップ
電極数

400

配置

20 © 20 グリッド配置，ピッチ 250 µm

標準形状

直径 40 µm，円形（直径 5–200 µm 円形，四角形等も可能）

標準電極材質Au（Pt，Pd 等も可能）

B. 電流検出電流検出レンジ設定

100 nA

10 nA

1 nA

0.1 nA

電流検出レンジ«100 nA«10 nA«1 nA«0.1 nA<2 nA<30 pA<10 pA

<1 pA

47 ms

120 ms

125 ms

ノイズレベル*1

サンプリング間隔

18 ms

電流検出分解能«5% (Typical accuracy versus load current)

電流検出レンジ設定

0.024% f.s.

入力インピーダンス

10 Ω

入力バイアス電流¹3*1：Au 電極で 2 © 10 mol dm測定したときの典型的な値．

B

10

E

0
10

200 µmD

Current (nA)C0.015% f.s.

フェロセンメタノール水溶液（支持塩：0.1 mol dm¹3 KCl）を

1-20

81100

16118024126032134021-40

10112018120026128034136041-60

12114020122028130036138061-8014116022124030132038140055 mm

0.016% f.s.

0.1 pA¹3

A

0.013% f.s.

13

5
0
10
5
0
10

Figure 1. (Color online) バイオ LSI チップとバイオ LSI シス
テム．文献1 より改変引用．

50-2-0.1 0

工夫により，«1 pA から«100 nA の広レンジでの測定が可能 に な っ て い る． 時 間 分 解 能 は 1 イ メ ー ジ あ た り 18–
125 ms で検出電流レンジによって異なる．

0.3

0.6 0

0.3

0.6 0

0.3

0.6 0

0.3

0.6 0

0.3

0.6

Potential (V vs. Ag/AgCl)

Figure 2. (Color online) バイオ LSI で同時に取得した 400 電
極のサイクリックボルタモグラム．測定溶液は 2.0 © 10¹3
mol dm¹3 フェロセンメタノール水溶液（支持塩 0.1 mol dm¹3
塩化カリウム），参照電極は Ag«AgCl«sat.KCl，電位走査速度
2.2 バイオ LSI による測定とイメージングのデモン
は 20 mV s．1 列 20 電極分のボルタモグラムがひとつのグラ
ストレーション
フに重ねて描かれている．電流はフェロセンメタノールの電
バイオ LSI での測定は，Fig. 1C, D に示すように，LSI
極酸化に起因している．バイオ LSI の直径 40 µm の電極は微の周りに取り付けられた樹脂製の液溜めに溶液を入れて， 小電極に近い振る舞いをするため，ほぼシグモイド型のボル
タモグラムが得られる．文献1 より改変引用．
上方から参照電極と対極を挿入して行う．測定の制御およびデータ収録は National Instruments (NI) 社の PXI および
ソフトウェア LabVIEW を使ったプログラムで行っている(Fig. 1E)．サイクリックボルタンメトリ，ポテンシャルス
テップクロノアンペロメトリなどの計測を行い，400 電極の電流値をリアルタイムにカラーマップ上に表示できる
ほか，400 電極のボルタモグラムやアンペログラムを表示する機能，テキストファイルで保存する機能などを持っている．
バイオ LSI を用いて，2 © 10¹3 mol dm¹3 フェロセンメタ
ノール水溶液を測定したサイクリックボルタモグラムを
Fig. 2 に示す．ほぼ理論通りの形状できれいに揃った 400
38のボルタモグラム（E = 0.50 V vs. Ag/ AgCl の電流値の変動係数 3.6%）が得られた．これは 400 電極がほぼ均一に正しく機能していることを示している．
また，Fig. 3 に酵素活性のイメージング結果を示す．グ
ルコースオキシダーゼがバイオ LSI 上の Fig. 3A の点線内に固定化されている．t = 0 s でグルコースが添加された後，まずグルコースオキシダーゼ固定化部分で過酸化水素が生成し，その後，拡散により広がってゆく様子がアンペロメトリで鮮明にイメージングされている．

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A
Os-HRP

B
LSI

1 mm

100 µL

0.1 mol dm-3

= 5 × 10 -3 mol dm-3

1 mm
t=0s

200 ms

400 ms

600 ms

0.8 s

1.6 s

3.2 s

6.4 s

12.8 s25.6 s51.2 s

102.4 s

730 mU

0 pA−50 pA

Figure 3. (Color online) バイオ LSI を用いたアンペロメトリックイメージングのデモンストレーション．バイオ LSI 上に固定化したグルコースオキシダーゼにグルコースを添加し，生成する過酸化水素をバイオ LSI でアンペロメトリックにイメージン
グした．A. グルコースオキシダーゼ塗布位置．バイオ LSI 表面には予め 10 µL の西洋ワサビペルオキシダーゼ含有オスミウム
ポリマー（Os-HRP；BAS 社）をスピンコート (1500 rpm，60 s) で塗布した．その上に，2200 U mL¹1 グルコースオキシダーゼのリン酸緩衝生理食塩水 (PBS；phosphate buffered saline) 溶液と 5 mg mL¹1 ウシ血清アルブミン水溶液と 1.25 wt% グルタルアルデ
ヒドの 1:1:1 混合溶液を 1 µL 滴下して 4°C で乾燥させた．B. グルコース添加後の 400 電極の電流値を表すカラーマップの推移．
バイオ LSI 上の液溜めに 1900 µL の PBS を添加して 400 電極に E = 0.0 V vs. Ag / AgCl（Os-HRP 中のオスミウムが還元する電位）を印加し，電流が安定した後に t = 0 s のときに 100 © 10¹3 mol dm¹3 グルコース PBS 溶液を 100 µL 添加した．文献1 より改
変引用．

A

B

12.7 nA

0.17 nAており，細胞のもつ ALP 活性を電流値として検出することに成功している．さらに組織や細胞の呼吸活性をバイ
オ LSI で計測する実験を進めており，呼吸を指標とした
細胞バイアビリティアッセイにより，移植組織の評価や薬剤スクリーニング等に応用することを目指している．

3. 拠点研究の中のバイオ LSI 開発
500 µmFigure 4. (Color online) バイオ LSI を用いた ES 細胞の ALP
活性のイメージング．A. バイオ LSI 上に置いた ES 細胞ス
フェロイドの様子．スフェロイドはハンギングドロップ法で初期細胞濃度 1000 cells drop¹1，3 日間培養したものを用いた．
B. ポテンシャルステップ 40 秒後の 400 電極の電流値を示す
カラーマップ．4.7 © 10¹3 mol dm¹3 パラアミノフェニルリン
酸 (pAPP；p-aminophenyl phosphate) を含む Tris-HCl バッファ(pH 9.5) を バ イ オ LSI の 液 溜 め に 入 れ， そ の 中 に ES 細 胞
スフェロイドを設置した．電位を E = ¹0.30 V vs. Ag/ AgCl
か ら E = +0.30 V vs. Ag/ AgCl に ス テ ッ プ し， ALP 活 性 に
よ り pAPP よ り 生 成 し た パ ラ ア ミ ノ フ ェ ノ ー ル (pAP； paminophenol) が電極上で酸化するときに生じる酸化電流を検出した．文献8 より改変引用．

2.3 バイオ LSI の応用開発
研究室では現在，バイオ LSI を用いた応用開発を進めている．Figure 4 は胚性幹細胞（ES 細胞；embryonic stemcell）のスフェロイドの分化を評価するために，ES 細胞の分化指標であるアルカリフォスファターゼ (ALP；alkaline
phosphatase) 活性をバイオ LSI で測定した結果である8．細胞スフェロイドの周辺電極のみ高い酸化電流応答を示し

3.1 拠点の概要とバイオ LSI 開発チーム
マイクロシステム融合研究開発拠点 (Fig. 5) は，JST の先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラムのひとつとして，2007 年 7 月から東北大学を中心にスタートした 10 年間のプログラムである．マイクロシステム融合研究開発センター（µSIC；ミュージック）の江刺正喜
センター長を中心に，「LSI と微細加工技術の融合」
，「異
分野融合」
，「産産学協働（複数の企業と大学の研究者が一緒になって開発を進める）」による新しい集積化マイク
ロシステムの研究拠点開発を進めている．融合領域は，集積化マイクロシステムを軸に，機械，電気・電子，材料，化学，電気化学，バイオ工学，医学など広範囲にわたる．最終的には，ここ仙台地域がマイクロシステム技
術及び産業の集積地となり，次世代産業の種となる新たな技術開発を継続的に先導していくための開かれた拠点を形成することを目指している．このような構想は，世界中の多くの企業等が参加し，世界的な注目を集めているマイクロエレクトロニクスの研究開発拠点，ベルギーの Interuniversity Microelectronics Centre (IMEC) と 通 じ る．
IMEC のような拠点が仙台で育てば，地域経済の活性化につながるのみではなく，日本の企業が欧米に負けないス
39

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http://www.rdceim.tohoku.ac.jp/vision.html

Figure 5. (Color online) 東北大学マイクロシステム融合研究開発拠点のビジョン．

ピードと資本，および総合的な研究開発力をもち，強い
国際的産業競争力に裏打ちされた社会を持続的かつ健全に発展させる基盤となる．
バイオ LSI は，拠点研究の中の 5 グループのうち，末永智一教授を中心とする「バイオ，医療マイクロシステム
グループ」の研究によって誕生した (Fig. 6)．バイオ LSI研究に携わっているのは我々のほか，研究顧問の松平昌昭氏，µSIC の江刺正喜教授（センター長），佐藤史朗特任教授（支援総括），協働企業の株式会社トッパン・テク
ニカル・デザインセンター（トッパン TDC）
，日本航空電子工業株式会社，拠点に所属する複数の研究者やそれらの研究室の学生がいる．さらに，共同研究により学内外の多くの研究者と共同でバイオ LSI の研究開発を進めている．まさに，開かれた拠点研究の理念に基づく，分野の垣根を越えた多くの人たちとの協働が，世界に先駆けた「バイオ LSI」実現の基盤となった．協働によってどのようなメリットが生まれて，開発の成功につながったのか，以下に詳しく述べる．

ためにほとんど誰も手を出すことができなかった「LSI によるアンペロメトリックセンサアレイ」を我々は実現することができた．

3.3 乗合ウエハミーティングと協働

乗合ウエハミーティングは，LSI の仕様を決定するために協働企業や 1 枚のウエハに乗り合う研究者，および研究支援者たちが集まる打ち合わせである．異分野（バイオ，電気化学，微細加工プロセス，回路設計，LSI 設計，
ハードウェアインターフェース等々）の人々が集まることにより，ひとつの研究室内のみでは出てこないような
様々なアイデアが生まれる．たとえば，バイオ LSI の I-V変換にスイッチドキャパシタ方式を採用したのは江刺教授の発案である．また，バイオ LSI を外部電源や PC 等と接続し，誰にでも使えるような形に仕上げたのは松平研究顧問である．LSI と外部装置とのコネクタ部や，簡単にLSI 上に装着できる液溜めなどは日本航空電子が開発した．
バイオ LSI では微少電流を感度よく測定するためのひとつの工夫として，リーク電流の大きな静電対策 (ESD；electro-static discharge) 素 子 を 簡 素 化 し て い る2． こ れ は
3.2 乗合ウエハ
乗合ウエハは，本拠点研究の基本構想のひとつである． トッパン TDC のアイデアである．電気化学バイオ計測とエレクトロニクスという異分野の融合には，各研究者や1 枚の LSI ウエハの上に複数の研究者の LSI チップを相乗
企業担当者のもつバックグランドが異なることに起因すりさせることで，マスクセットのみで数千万円以上するる数々の障壁が存在する．そのような中，バイオ LSI が
最先端 LSI を，その数分の一の値段で作製することがで拠点研究の中でも傑出した成果を上げているひとつの理
きる．一旦マスクセットが出来上がれば，LSI の製造には由として，キーパーソンの存在がある．電気化学計測とそれほどのコストがかからない．たとえば，バイオ LSI
エレクトロニクス回路の双方の知識を持つ松平研究顧問のウエハは Fig. 7 のように 4 プロジェクトが相乗りしている．乗合ウエハ方式により，これまでコスト的な障壁のが，全体的なシステム最適化の調整に大きな力を発揮し40

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http://www.rdceim.tohoku.ac.jp/

Figure 6. (Color online) 東北大学マイクロシステム融合研究開発拠点の組織体制．バイオ LSI は研究 5 グループのうち，末永智一教授を中心とする「バイオ，医療マイクロシステムグループ」の末永グループの研究で誕生した．

大学院工学研究科付属マイクロ・ナノマシニング研究教
育センター，西澤潤一記念研究センターにある半導体試
作開発ライン「試作コインランドリ」は広く開放された研究施設で，これだけの充実した設備は国内外でもトップクラスである．拠点研究はこれらの共同利用施設の上に成り立っている．施設は受益者負担で自由に利用することができる．我々のバイオ LSI 研究において，LSI の上に微細な構造を作って電気化学測定のための電極アレイとするには，研究室内にある装置のみでは難しい．これらの共同利用施設を利用できることで，効率的な開発を進めることが可能になっている．
共同利用施設は，装置が利用できるというハード面のメリットのみでなく，他の研究者から様々な技術を学んだり，情報交換をしたりすることができるソフト面のメ
リットも大きい．施設内の装置を新たに使いたい場合，
Figure 7. (Color online) バイオ LSI が搭載された乗合ウエハ．
各装置担当の教員や学生からその使い方を教わる．その4 研究が 1 つのウエハに乗り合うことで，LSI 製造の大幅なコときに，装置の使い方のみでなく，現在行き詰まっていスト削減が達成され，バイオ LSI が実現した．
るプロセスについて相談したりすると，いろいろな解決策が挙がったり，お互いに同じ問題を抱えていて協力しあったりすることができる．このようないわゆる草の根ている．これらの多くの人々の協働により，高性能なバの研究者同士のつながりが，異分野融合の研究であるバイオ LSI が実現した．
イオ LSI 開発において大きな力になっている．

3.4 共同利用施設

東北大学には，長年かけて江刺教授が中心となって整備した微細加工のための共同利用施設が数多くある．旧
江刺研究室（現田中研究室）のクリンルーム，東北大学

3.5 拠点内外の共同研究
バイオ LSI 研究では，広範囲な応用展開を推進するため，拠点内外の研究者との共同研究を行っている．拠点41

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内では微細加工プロセスを専門とする研究者らとともに， 文 献
バイオ LSI 上に炭素電極を作製することを試みている．
1. K. Y. Inoue, M. Matsudaira, R. Kubo, M. Nakano, S. Yoshida, S. Matsuzaki, A.
拠点外では，電気化学的手法を用いたセンシング法の研Suda, R. Kunikata, T. Kimura, R. Tsurumi, T. Shioya, K. Ino, H. Shiku, S.
究を行っている複数の研究者にバイオ LSI システムを貸
Satoh, M. Esashi, and T. Matsue, Lab Chip, 12, 3481 (2012).
2. 国立大学法人東北大学, 日本航空電子工業株式会社, 凸版印刷株式会社. 複し出して，バイオ LSI の応用開発を進めている．これら数の電極を備えた IC チップ. 特開 2013-092437. 2013-5-16.
の共同研究によって産業化に有望な応用用途が見つかれ
3. a) T. Yasukawa, T. Kaya, and T. Matsue, Electroanalysis, 12, 653 (2000). b) H.
Shiku, T. Takeda, H. Yamada, T. Matsue, and I. Uchida, Anal. Chem., 67, 312
ば，それに特化した開発を企業中心に進める予定である．
(1995). c) Y. Takahashi, A. I. Shevchuk, P. Novak, Y. Murakami, H. Shiku,
例えば，流路システムを兼ね備えたチップや，インキュY. E. Korchev, and T. Matsue, J. Am. Chem. Soc., 132, 10118 (2010). d) Y.
ベーターにも入るような小さなパッケージのシステムのTakahashi, T. Miyamoto, H. Shiku, R. Asano, T. Yasukawa, I. Kumagai, and T.
Matsue, Anal. Chem., 81, 2785 (2009).
開発などが挙がる．このような取り組みを円滑に推進す4. a) K. Ino, W. Saito, M. Koide, T. Umemura, H. Shiku, and T. Matsue, Labるために，特に拠点外との共同研究には，拠点の協働企
Chip, 11, 385 (2011). b) K. Ino, Y. Kanno, T. Nishijo, T. Goto, T. Arai, Y.
Takahashi, H. Shiku, and T. Matsue, Chem. Commun., 48, 8505 (2012).
業が構想段階から参加している．現在も貸出し用のバイ
5. a) L. Berdondini, K. Imfeld, A. Maccione, M. Tedesco, S. Neukom, M.
オ LSI システムを準備して，共同研究先を募集している．
Koudelka-Hep, and S. Martinoia, Lab Chip, 9, 2644 (2009). b) A. L. Ghindilis,

3.6 情報発信
バイオ LSI は汎用計測プラットフォームであり，応用展開を推進するためにも，広く情報発信を行い，利用用途の開拓に努めている．年に一度開催される拠点における公開成果発表会である「マイクロシステム融合研究開
発拠点発表会」，年に数回開催される「マイクロシステム
融合研究会」，月 1 回の拠点関係者の研究会「先端融合推
進研究会」，各種学会での発表のほか，国際計量計測展（2010 年 11 月 東 京 ビ ッ グ サ イ ト） や バ イ オ ジ ャ パ ン（2012 年 10 月パシフィコ横浜）等の展示会にも積極的に参加し，実機展示および成果紹介を行っている．また，2012 年 6 月にはプレスリリースを行い，日刊工業新聞（2012 年 6 月 21 日）や科学新聞（2012 年 7 月 6 日）にバイ
オ LSI の記事が掲載された．

4. バイオ LSI 研究の現在の広がりと展望
バイオ LSI 研究は，拠点研究の中でも大きな成果を挙げているリーディングプロジェクトである．研究室内の応用研究が進む一方，幅広い分野の研究者と共同研究を行い，成果が挙がりつつある．今後もバイオ LSI の高機能化を図りながら利用用途を拡充する一方，産業化に有望な応用用途に絞って，企業を中心に製品開発を進める
予定である．このような産業化へ向けた取り組みを推進するために，アドバイザーとして医療診断装置などに関する企業経営の専門家を加え，今後の製品化への展開がスムーズに進むような体制構築を図っている．

5. おわりに

M. W. Smith, K. R. Schwarzkopf, K. M. Roth, K. Peyvan, S. B. Munro,
M. J. Lodes, A. G. Stöver, K. Bernards, K. Dill, and A. McShea, Biosens.
Bioelectron., 22, 1853 (2007).
6. J. Rothe, M. K. Lewandowska, F. Heer, O. Frey, and A. Hierlemann, J.
Micromech. Microeng., 21, 054010 (2011).
7. a) M. Schienle, C. Paulus, A. Frey, F. Hofmann, B. Holzapﬂ, P. Schindler-Bauer,
and R. Thewes, IEEE J. Solid-State Circuits, 39, 2438 (2004). b) P. Kruppa, A.
Frey, I. Kuehne, M. Schienle, N. Persike, T. Kratzmueller, G. Hartwich, and D.
Schmitt-Landsiedel, Biosens. Bioelectron., 26, 1414 (2010).
8. M. Sen, K. Ino, K. Y. Inoue, T. Arai, T. Nishijo, A. Suda, R. Kunikata, H.
Shiku, and T. Matsue, Biosens. Bioelectron., 48, 12 (2013).

井上 久美（東北大学マイクロシステム研究開発センター・助教）
1971 年生．1995 年 3 月京都大学農学部農芸化学科卒業．2010 年 8 月東北大学大学院環境科学研
究科博士課程修了，博士（学術）．1995–2005 年
宮城県味噌醤油工業協同組合．2005 年 2 月より
東北大学非常勤職員．2013 年 4 月より現職．専
門分野：電気分析化学，バイオセンサ．趣味：スキー，ピアノ演奏，
旅先での散策．
伊野 浩介（東北大学大学院環境科学・助教）
1981 年生．2008 年 3 月名古屋大学大学院工学研
究科博士課程修了，博士（工学）．第 18 回青葉
工 学 研 究 奨 励 賞， 平 成 24 年 度 化 学 と マ イ ク
ロ・ナノシステム研究会若手優秀賞．専門分
野：生物工学，バイオ MEMS．趣味：子育て．
珠玖 仁（東北大学大学院環境科学・准教授）
1970 年生．1997 年 3 月東北大学大学院工研究科
博士課程修了，博士（工学）．2004 年電気化学会佐野賞，2009 年文部科学大臣表彰（若手科学者賞），2009 年市村学術賞（貢献賞）．専門分
野：生物電気化学．趣味：合気道．

東北大学には「世界と地域に開かれた大学」の伝統がある．バイオ LSI はこの伝統の流れを汲んだ「マイクロシステム融合研究開発拠点」で誕生した．本拠点が，こ末永 智一（東北大学原子分子材料科学高等研
こ仙台で複数の企業や大学の知の結集を可能とする「場」
究機構 (WPI-AIMR)・教授）となり，日本の企業が欧米に負けないスピードと総合的な研究開発力で強い国際的競争力を持つ力となれば，今1954 年生．1981 年 3 月東北大学大学院薬学研究
後の東北の復興，日本の再生に大きく貢献するだろう．
科博士課程修了．その後，博士研究員，助手，
異分野融合と協働から生まれたバイオ LSI が，拠点研究
助教授を経て 1999 年東北大学大学院工学研究のリーディングプロジェクトとして，今後，医療，バイ科教授．2011 年より現職．2002 年電気化学会
オ等に実際に役立つセンサとして実用化するよう，今後
学 術 賞． 2011 年 日 本 化 学 会 学 術 賞． 専 門 分
野：電気化学，ナノ・マイクロ工学．趣味：ドライブ，食べ歩き．
もさらに多くの人と協働をしながら研究開発を進めてゆきたい．
42