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図  応力測定用に準備した  種類のプリント基板

᡼኿శ᷹ቯ䉰䊮䊒䊦䈱ኸᴺ
㱘P ㌃▗
㱘P㱘P㱘P

図２

放射光サンプルの一つのビアの断面−117−%/;8

図３ ビームライン %/;8 の概観

6SHFLPHQVWDJHLQ%/;8'HWHUFWRU

6OLW
6OLW

6OLW

;UD\6DPSOHZLWKKHDWHU

図４ 試料台部 加熱装置付き−118−

6WUHVVFDOFXODWLRQ
7KHVLQ PHWKRG
 
'
[ ]  VLQ  ' [  \   ]('('(' ' WDQ  [ ]  VLQ('WDQ  [  \   ] WDQ  ('('(' '䇭'LIIUDFWLRQHODVWLFFRQVWDQWV
7KHVWUHVV [ ] LVGHWHUPLQHGIURPWKHOLQHDUUHODWLRQ
EHWZHHQ DQGVLQ

図５VLQψ法における応力計算式;UD\SURILOHVRI$JDOOR\'LIIUDFWLRQIURPWKHEXONVDPSOH
[[    ,QWHQVLW\, FSV,QWHQVLW\, FSV

 GHJ GHJ( NH9図６

金属配線部材料の銀合金回折プロフィル−119−5RFNLQJFXUYHRI$JDOOR\GLIIUDFWLRQDQJOH
$J$OOR\

$J$OOR\
,QWHQVLW\ , FSV

,QWHQVLW\ , FSV

GHJ  GHJ

 GHJ

図 D$J 合金のロッキングカーブ

5RFNLQJFXUYHRI&XILOP&X

&X

,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV



 GHJ GHJ&X

,QWHQVLW\ , FSV&XGLIIUDFWLRQDQJOH GHJ GHJ

図 E&X 箔のロッキングカーブ−120−VLQ  

,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV
 GHJ

,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV






 GHJ

プリント基板（タイプ '）の加熱前室温での $J 合金のプロフィル

VLQ  VLQ  

,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV

VLQ   GHJ

VLQ   GHJ GHJ GHJ

図 ｂ

VLQ  

 GHJ,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV

VLQ  [

VLQ  ,QWHQVLW\ , FSV GHJ

図 D GHJ

VLQ  [

VLQ   GHJ

VLQ  VLQ   GHJ

 GHJ

プリント基板（タイプ '）の ℃加熱時の $J 合金のプロフィル−121−

VLQ  

VLQ  ,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV

VLQ  
      
            

 GHJ

 GHJ

 GHJVLQ        ,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV

図 ｃ            

 GHJ

 GHJ

 GHJ

プリント基板（タイプ '）の加熱後室温での $J 合金のプロフィル

 ±VLQ GLDJUDPVRI$JDOOR\GLIIUDFWLRQ GHJ

 GHJ,QWHQVLW\ , FSV

VLQ  VLQ  䃂䇭%HIRUHKHDWLQJ䂥䇭㷄
䂔䇭$IWHUKHDWLQJ

VLQ 

図９ D

$J 合金の VLQψ線図 （ 回折）−122− ±VLQ GLDJUDPVRI$JDOOR\GLIIUDFWLRQ GHJ
 GHJ

䃂䇭%HIRUHKHDWLQJ䂥䇭㷄
䂔䇭$IWHUKHDWLQJ

VLQ 

図９ E

$J 合金の VLQψ線図 （ 回折）

VLQ  


,QWHQVLW\ , FSV


 GHJ
 GHJ
 GHJ


VLQ  
,QWHQVLW\ , FSV

,QWHQVLW\ , FSV



VLQ  VLQ  ,QWHQVLW\ , FSV

VLQ  

,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV

[VLQ  
 GHJ

図  D
 GHJ



 GHJ

プリント基板（タイプ '）の加熱前室温での &X のプロフィル−123−

VLQ  





 GHJ



 GHJ



 GHJ

















VLQ  ,QWHQVLW\ , FSV

,QWHQVLW\ , FSV

VLQ  VLQ  ,QWHQVLW\ , FSV
 GHJ

図  D


 GHJ

 GHJ

プリント基板（タイプ '）の ℃加熱中の &X のプロフィル

VLQ  VLQ  

VLQ  




,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV


 GHJ
 GHJ
 GHJ

図  D





 GHJ

VLQ  ,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV

VLQ  

VLQ  ,QWHQVLW\ , FSV

,QWHQVLW\ , FSV

,QWHQVLW\ , FSV

VLQ  ,QWHQVLW\ , FSV,QWHQVLW\ , FSV

[

VLQ  
 GHJ
 GHJ

プリント基板（タイプ '）の加熱後室温での &X のプロフィル−124− ±VLQ GLDJUDPVRI&XILOP&XGLIIUDFWLRQ GHJ
䃂䇭%HIRUHKHDWLQJ䇭䇭䇭㷄
䂔䇭$IWHUKHDWLQJ GHJ

VLQ 図 表&X の VLQψ線図 （ 回折）

放射光により測定した応力値

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