【手続補正書】
【提出日】平成28年12月7日(2016.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理されるデータが受け取られる入出力装置と、
前記入出力装置が受け取った前記データが記憶される第一の記憶装置と、
２段指数平滑法を用い、前記データを入力値として平滑化されたデータの予測値である第一の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第二の予測値を出力値として求めるステップと、２段指数平滑法を用い、前記出力値として求められた第二の予測値を入力値として平滑化されたデータの予測値である第三の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第四の予測値を出力値として求めるステップとを有するデータ処理プログラムが記憶された第二の記憶装置と、
前記データ処理プログラムに基づいてデータ処理が行われる演算処理装置とを備え、
前記演算処理装置により求められた第一の予測値をデータ平滑化処理結果、前記演算処理装置により求められた第二の予測値または前記演算処理装置により求められた第三の予測値を１次微分処理結果、前記演算処理装置により求められた第四の予測値を２次微分処理結果として各々が前記入出力装置により出力されることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項２】
制御対象となる処理室と、
前記処理室に関連するデータが取得される計測装置と、
２段指数平滑法を用い、前記処理室に関連するデータを入力値として平滑化されたデータの予測値である第一の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第二の予測値を出力値として求めるステップと、２段指数平滑法を用い、前記出力値として求められた第二の予測値を入力値として平滑化されたデータの予測値である第三の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第四の予測値を出力値として求めるステップとを有するデータ処理プログラムに基づいてデータ処理が行われる演算処理装置と、
前記演算処理装置により求められた第一の予測値、前記演算処理装置により求められた第二の予測値、前記演算処理装置により求められた第三の予測値、前記演算処理装置により求められた第四の予測値の中で少なくとも一つの予測値に基づいて検出された前記処理室の状態または検出された前記処理室の状態の変化に応じて前記処理室を制御する制御装置とを備えることを特徴とする処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の処理装置において、
前記処理室は、試料台に載置された試料がプラズマ処理される処理室であることを特徴とする処理装置。
【請求項４】
制御対象となる処理室と、
前記処理室に関連するデータを取得する計測装置と、
前記計測装置により取得されたデータと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑法を用いるとともに前記平滑化パラメータの変化させる範囲の下限値を０より大きしてデータを処理するデータ処理プログラムに基づいてデータ処理が行われる演算処理装置と、
前記演算処理装置により求められたデータ平滑化処理結果と前記演算処理装置により求められた１次微分処理結果と前記演算処理装置により求められた２次微分処理結果の中で少なくとも一つの処理結果に基づいて検出された前記処理室の状態または検出された前記処理室の状態の変化に応じて前記処理室を制御する制御装置とを備えることを特徴とする処理装置。
【請求項５】
試料台に載置された試料がプラズマ処理される処理室と、
前記試料のプラズマ処理時の発光データを取得する計測装置と、
前記計測装置により取得されたデータと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑法を用いるとともに前記平滑化パラメータの変化させる範囲の下限値を０より大きしてデータを処理するデータ処理プログラムに基づいてデータ処理が行われる演算処理装置と、
前記演算処理装置により求められたデータ平滑化処理結果と前記演算処理装置により求められた１次微分処理結果と前記演算処理装置により求められた２次微分処理結果の中で少なくとも一つの処理結果に基づいて検出された前記試料のプラズマ処理状態または検出された前記試料のプラズマ処理状態の変化に応じて前記処理室を制御する制御装置とを備えることを特徴とする処理装置。
【請求項６】
２段指数平滑法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、
前記２段指数平滑法を用い、前記データを入力値として平滑化されたデータの予測値である第一の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第二の予測値を出力値として求めるステップと、
２段指数平滑法を用い、前記第二の予測値を入力値として平滑化されたデータの予測値である第三の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第四の予測値を出力値として求めるステップとを有することを特徴とするデータ処理方法。
【請求項７】
請求項６に記載のデータ処理方法において、
前記第一の予測値をデータ平滑化処理結果、前記第二の予測値または前記第三の予測値を１次微分処理結果、前記第四の予測値を２次微分処理結果として各々を出力するステップをさらに有することを特徴とするデータ処理方法。
【請求項８】
請求項６に記載のデータ処理方法において、
データ入力開始後における任意の数のデータの多項近似式を求めるステップと、
前記多項近似式を用いてデータ入力開始前における平滑化されたデータの予測値である第五の予測値とデータ入力開始前における平滑化されたデータの傾きの予測値である第六の予測値を求めるステップとをさらに有し、
前記２段指数平滑法を用いて平滑化されたデータの予測値である第一の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第二の予測値を求めるステップは、前記第五の予測値と前記第六の予測値をそれぞれ初期値として前記第一の予測値と前記第二の予測値を求めることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項９】
２段指数平滑法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、
データ入力開始後における任意の数のデータの多項近似式を求めるステップと、
前記多項近似式を用いてデータ入力開始前における平滑化されたデータの予測値である第一の予測値とデータ入力開始前における平滑化されたデータの傾きの予測値である第二の予測値を求めるステップと、
前記第一の予測値と前記第二の予測値をそれぞれ初期値として２段指数平滑化処理を前記データに行うステップとを有することを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１０】
誤差に応じて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、
入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に応じて第一の平滑化パラメータが０とならないように前記第一の平滑化パラメータを変化させながら平滑化されたデータの予測値を求め、
平滑化されたデータの予測値の傾きと平滑化されたデータの傾きの予測値との誤差に応じて第二の平滑化パラメータが０とならないように前記第二の平滑化パラメータを変化させながら平滑化されたデータの傾きの予測値を求めることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１１】
指数平滑法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、
Ｎ段指数平滑化処理により前記データを処理し、
前記Ｎを３以上の自然数とした場合、前記Ｎ段指数平滑化処理は、平滑化された前記データの予測値を求めるとともに前記平滑化されたデータにおける１回目の傾きの予測値から前記平滑化されたデータにおけるＮ−１回目の傾きの予測値までを順次求めることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載のデータ処理方法において、
前記Ｎを３とした場合、前記Ｎ段指数平滑化処理は、前記平滑化されたデータの予測値を求め、前記平滑化されたデータの傾きの予測値を求め、前記平滑化されたデータの傾きにおける傾きの予測値を求めることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１３】
試料をプラズマ処理するプラズマ処理方法において、
前記試料のプラズマ処理時の発光データを計測し、
前記計測された発光データと平滑化された発光データの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑法を用いるとともに前記平滑化パラメータの変化させる範囲の下限値を０より大きして発光データを処理し、
前記応答型２段指数平滑法により求められたデータ平滑化処理結果と前記応答型２段指数平滑法により求められた１次微分処理結果と前記応答型２段指数平滑法により求められた２次微分処理結果の中で少なくとも一つの処理結果に基づいて検出された前記試料のプラズマ処理状態または検出された前記試料のプラズマ処理状態の変化に応じて前記試料のプラズマ処理を制御することを特徴とするプラズマ処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
差分間隔を増加させると、1次微分処理の出力結果および２次微分処理の出力結果は、スムーズなデータとなり、S/N比は増大するが（但し、差分間隔には最適値がある）、特に時系列データの場合、データ微分処理によるデータ遅延時間が増加するという課題がある。また、ローパスフィルタ等では、カットオフ周波数を減少させると、1次微分処理の出力データおよび２次微分処理の出力データは、スムーズなデータとなり、S/N比は増大するが（但し、カットオフ周波数には最適値がある）、上記と同様に、データ微分処理によるデータ遅延時間が増加するという課題がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、例えば、１次微分値あるいは２次微分値の遅延時間に対して短時間のプラズマエッチングにおいてもプラズマ発光からの分光強度信号データの時系列データの変化でプラズマエッチングの終点を判定する場合、１次微分値あるいは２次微分値を算出するためのデータ処理がプラズマエッチングの終点となる、プラズマ発光からの分光強度信号データの時系列データの変化に追従できない。つまり、プラズマエッチングの終点検出の応答性が不十分という１つ目の課題がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は、処理されるデータが受け取られる入出力装置と、前記入出力装置が受け取った前記データが記憶される第一の記憶装置と、２段指数平滑法を用い、前記データを入力値として平滑化されたデータの予測値である第一の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第二の予測値を出力値として求めるステップと、２段指数平滑法を用い、前記出力値として求められた第二の予測値を入力値として平滑化されたデータの予測値である第三の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第四の予測値を出力値として求めるステップとを有するデータ処理プログラムが記憶された第二の記憶装置と、前記データ処理プログラムに基づいてデータ処理が行われる演算処理装置とを備え、前記演算処理装置により求められた第一の予測値をデータ平滑化処理結果、前記演算処理装置により求められた第二の予測値または前記演算処理装置により求められた第三の予測値を１次微分処理結果、前記演算処理装置により求められた第四の予測値を２次微分処理結果として各々が前記入出力装置により出力されることを特徴とするデータ処理装置である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明は、制御対象となる処理室と、前記処理室に関連するデータが取得される計測装置と、２段指数平滑法を用い、前記処理室に関連するデータを入力値として平滑化されたデータの予測値である第一の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第二の予測値を出力値として求めるステップと、２段指数平滑法を用い、前記出力値として求められた第二の予測値を入力値として平滑化されたデータの予測値である第三の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第四の予測値を出力値として求めるステップとを有するデータ処理プログラムに基づいてデータ処理が行われる演算処理装置と、前記演算処理装置により求められた第一の予測値、前記演算処理装置により求められた第二の予測値、前記演算処理装置により求められた第三の予測値、前記演算処理装置により求められた第四の予測値の中で少なくとも一つの予測値に基づいて検出された前記処理室の状態または検出された前記処理室の状態の変化に応じて前記処理室を制御する制御装置とを備えることを特徴とする処理装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明は、制御対象となる処理室と、前記処理室に関連するデータを取得する計測装置と、前記計測装置により取得されたデータと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑法を用いるとともに前記平滑化パラメータの変化させる範囲の下限値を０より大きしてデータを処理するデータ処理プログラムに基づいてデータ処理が行われる演算処理装置と、前記演算処理装置により求められたデータ平滑化処理結果と前記演算処理装置により求められた１次微分処理結果と前記演算処理装置により求められた２次微分処理結果の中で少なくとも一つの処理結果に基づいて検出された前記処理室の状態または検出された前記処理室の状態の変化に応じて前記処理室を制御する制御装置とを備えることを特徴とする処理装置である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明は、試料台に載置された試料がプラズマ処理される処理室と、前記試料のプラズマ処理時の発光データを取得する計測装置と、前記計測装置により取得されたデータと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑法を用いるとともに前記平滑化パラメータの変化させる範囲の下限値を０より大きしてデータを処理するデータ処理プログラムに基づいてデータ処理が行われる演算処理装置と、前記演算処理装置により求められたデータ平滑化処理結果と前記演算処理装置により求められた１次微分処理結果と前記演算処理装置により求められた２次微分処理結果の中で少なくとも一つの処理結果に基づいて検出された前記試料のプラズマ処理状態または検出された前記試料のプラズマ処理状態の変化に応じて前記処理室を制御する制御装置とを備えることを特徴とする処理装置である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、本発明は、２段指数平滑法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、前記２段指数平滑法を用い、前記データを入力値として平滑化されたデータの予測値である第一の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第二の予測値を出力値として求めるステップと、２段指数平滑法を用い、前記第二の予測値を入力値として平滑化されたデータの予測値である第三の予測値と平滑化されたデータの傾きの予測値である第四の予測値を出力値として求めるステップとを有することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、本発明は、２段指数平滑法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、データ入力開始後における任意の数のデータの多項近似式を求めるステップと、前記多項近似式を用いてデータ入力開始前における平滑化されたデータの予測値である第一の予測値とデータ入力開始前における平滑化されたデータの傾きの予測値である第二の予測値を求めるステップと、前記第一の予測値と前記第二の予測値をそれぞれ初期値として２段指数平滑化処理を前記データに行うステップとを有することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明は、誤差に応じて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に応じて第一の平滑化パラメータが０とならないように前記第一の平滑化パラメータを変化させながら平滑化されたデータの予測値を求め、平滑化されたデータの予測値の傾きと平滑化されたデータの傾きの予測値との誤差に応じて第二の平滑化パラメータが０とならないように前記第二の平滑化パラメータを変化させながら平滑化されたデータの傾きの予測値を求めることを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、本発明、指数平滑法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、Ｎ段指数平滑化処理により前記データを処理し、前記Ｎを３以上の自然数とした場合、前記Ｎ段指数平滑化処理は、平滑化された前記データの予測値を求めるとともに前記平滑化されたデータにおける１回目の傾きの予測値から前記平滑化されたデータにおけるＮ−１回目の傾きの予測値までを順次求めることを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
さらに、本発明は、試料をプラズマ処理するプラズマ処理方法において、前記試料のプラズマ処理時の発光データを計測し、前記計測された発光データと平滑化された発光データの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑法を用いるとともに前記平滑化パラメータの変化させる範囲の下限値を０より大きして発光データを処理し、前記応答型２段指数平滑法により求められたデータ平滑化処理結果と前記応答型２段指数平滑法により求められた１次微分処理結果と前記応答型２段指数平滑法により求められた２次微分処理結果の中で少なくとも一つの処理結果に基づいて検出された前記試料のプラズマ処理状態または検出された前記試料のプラズマ処理状態の変化に応じて前記試料のプラズマ処理を制御することを特徴とする。