【手続補正書】
【提出日】平成29年7月6日(2017.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨テーブルと、弾性膜で構成された基板保持面および圧力室を有する研磨ヘッドとを相対移動させながら、該研磨ヘッドで基板を前記研磨テーブル上の研磨パッドに押圧して前記基板を研磨し、
流体蓄積要素の二次側に配置された二次側バルブを閉じた状態にしておきながら、前記流体蓄積要素の一次側に配置された一次側バルブを開くことにより、前記流体蓄積要素の一次側に配置された圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記流体蓄積要素内に蓄積し、
前記一次側バルブを閉じて、閉じた状態にしておき、
前記一次側バルブを閉じた状態で、前記二次側バルブを開くことにより、流体を前記流体蓄積要素から前記圧力室内に供給して、前記弾性膜を膨らませることにより、前記基板と前記弾性膜との間に隙間を形成し、
前記隙間にリリースシャワーを噴射することにより、前記基板を前記研磨ヘッドから離脱させることを特徴とする研磨方法。
【請求項２】
前記一次側バルブが前記圧力レギュレータの二次側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨方法。
【請求項３】
前記圧力室は複数の圧力室のうちの１つであり、前記一次側バルブは複数の一次側バルブのうちの１つであり、前記二次側バルブは複数の二次側バルブのうちの１つであり、前記流体蓄積要素は複数の流体蓄積要素のうちの１つであり、前記圧力レギュレータは複数の圧力レギュレータのうちの１つであり、
前記一次側バルブを開く工程は、前記複数の圧力室それぞれに連通する前記複数の流体蓄積要素の二次側に配置された前記複数の二次側バルブを閉じた状態で、前記複数の流体蓄積要素の一次側に配置された前記複数の一次側バルブを開くことにより、前記複数の圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記複数の流体蓄積要素内に蓄積する工程であり、
前記二次側バルブを開く工程は、前記複数の一次側バルブを閉じた状態で、前記複数の二次側バルブを開くことにより、前記複数の流体蓄積要素に蓄積された流体を前記複数の圧力室に供給して、前記弾性膜を膨らませることにより、前記基板と前記弾性膜との間に隙間を形成する工程であることを特徴とする請求項１に記載の研磨方法。
【請求項４】
前記複数の一次側バルブを閉じた状態で、前記複数の二次側バルブを所定の順序で開くことにより、流体を前記複数の流体蓄積要素から前記複数の圧力室に所定の順序で供給することを特徴とする請求項３に記載の研磨方法。
【請求項５】
研磨テーブルと、弾性膜で構成された基板保持面および圧力室を有する研磨ヘッドとを相対移動させながら、該研磨ヘッドで基板を前記研磨テーブル上の研磨パッドに押圧して前記基板を研磨し、
流体蓄積要素の二次側に配置された二次側バルブを閉じた状態にしておきながら、前記流体蓄積要素の一次側に配置された圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記流体蓄積要素内に蓄積し、
前記二次側バルブを開くことにより、流体を前記流体蓄積要素から前記圧力室に供給して、前記弾性膜を膨らませることにより、前記基板と前記弾性膜との間に隙間を形成し、
前記隙間にリリースシャワーを噴射することにより、前記基板を前記研磨ヘッドから離脱させる工程を含み、
前記流体蓄積要素を含む前記圧力レギュレータから前記二次側バルブまでの流路体積が、前記二次側バルブから前記圧力室までの流路体積以上であることを特徴とする研磨方法。
【請求項６】
研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、
弾性膜で構成された基板保持面および圧力室を有し、該基板保持面で基板を保持して前記圧力室内の圧力により前記基板を前記研磨パッドに押圧する基板保持装置と、
前記圧力室に接続された流体供給流路と、
前記流体供給流路に設けられた圧力レギュレータと、
前記流体供給流路に設けられ、前記圧力レギュレータの二次側に配置された流体蓄積要素と、
前記流体供給流路に設けられ、前記流体蓄積要素の一次側に配置された一次側バルブと、
前記流体供給流路に設けられ、前記流体蓄積要素の二次側に配置された二次側バルブと、
前記一次側バルブと前記二次側バルブの開閉動作を制御するバルブ制御部と、を備え、
前記バルブ制御部は、
前記二次側バルブを閉じた状態で、前記一次側バルブを開くことにより、前記圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記流体蓄積要素内に蓄積し、
前記一次側バルブを閉じた状態で、前記二次側バルブを開くことにより、流体を前記流体蓄積要素から前記圧力室に供給して、前記弾性膜を膨らませることを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
前記一次側バルブが前記圧力レギュレータの二次側に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記圧力室は複数の圧力室のうちの１つであり、前記一次側バルブは複数の一次側バルブのうちの１つであり、前記二次側バルブは複数の二次側バルブのうちの１つであり、前記流体蓄積要素は複数の流体蓄積要素のうちの１つであり、前記圧力レギュレータは複数の圧力レギュレータのうちの１つであり、
前記バルブ制御部は、
前記複数の二次側バルブを閉じた状態で、前記複数の一次側バルブを開くことにより、前記複数の圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記複数の流体蓄積要素内に蓄積し、
前記複数の一次側バルブを閉じた状態で、前記複数の二次側バルブを開くことにより、流体を前記複数の流体蓄積要素から前記複数の圧力室に供給して、前記弾性膜を膨らませることを特徴とする請求項６に記載の研磨装置。
【請求項９】
前記バルブ制御部は、前記複数の一次側バルブを閉じた状態で、前記複数の二次側バルブを所定の順序で開くことにより、流体を前記複数の流体蓄積要素から前記複数の圧力室に所定の順序で供給することを特徴とする請求項８に記載の研磨装置。
【請求項１０】
研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、
弾性膜で構成された基板保持面および圧力室を有し、該基板保持面で基板を保持して前記圧力室内の圧力により前記基板を前記研磨パッドに押圧する基板保持装置と、
前記圧力室に接続された流体供給流路と、
前記流体供給流路に設けられた圧力レギュレータと、
前記流体供給流路に設けられ、前記圧力レギュレータの二次側に配置された流体蓄積要素の一次側と、
前記流体供給流路に設けられ、前記流体蓄積要素の二次側に配置された二次側バルブと、
前記二次側バルブの開閉動作を制御するバルブ制御部と、を備え、
前記バルブ制御部は、
前記二次側バルブを閉じることにより、前記圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記流体蓄積要素内に蓄積し、
前記二次側バルブを開くことにより、前記流体蓄積要素に蓄積された流体を前記圧力室に供給して、前記弾性膜を膨らませるように構成され、
前記流体蓄積要素を含む前記圧力レギュレータから前記二次側バルブまでの流路体積が、前記二次側バルブから前記圧力室までの流路体積以上であることを特徴とする研磨装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上述した課題を解決するための本発明の一態様は、研磨テーブルと、弾性膜で構成された基板保持面および圧力室を有する研磨ヘッドとを相対移動させながら、該研磨ヘッドで基板を前記研磨テーブル上の研磨パッドに押圧して前記基板を研磨し、流体蓄積要素の二次側に配置された二次側バルブを閉じた状態にしておきながら、前記流体蓄積要素の一次側に配置された一次側バルブを開くことにより、前記流体蓄積要素の一次側に配置された圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記流体蓄積要素内に蓄積し、前記一次側バルブを閉じて、閉じた状態にしておき、前記一次側バルブを閉じた状態で、前記二次側バルブを開くことにより、流体を前記流体蓄積要素から前記圧力室内に供給して、前記弾性膜を膨らませることにより、前記基板と前記弾性膜との間に隙間を形成し、前記隙間にリリースシャワーを噴射することにより、前記基板を前記研磨ヘッドから離脱させることを特徴とする研磨方法である。
本発明の好ましい態様は、前記一次側バルブが前記圧力レギュレータの二次側に配置されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の好ましい態様は、前記圧力室は複数の圧力室のうちの１つであり、前記一次側バルブは複数の一次側バルブのうちの１つであり、前記二次側バルブは複数の二次側バルブのうちの１つであり、前記流体蓄積要素は複数の流体蓄積要素のうちの１つであり、前記圧力レギュレータは複数の圧力レギュレータのうちの１つであり、前記一次側バルブを開く工程は、前記複数の圧力室それぞれに連通する前記複数の流体蓄積要素の二次側に配置された前記複数の二次側バルブを閉じた状態で、前記複数の流体蓄積要素の一次側に配置された前記複数の一次側バルブを開くことにより、前記複数の圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記複数の流体蓄積要素内に蓄積する工程であり、前記二次側バルブを開く工程は、前記複数の一次側バルブを閉じた状態で、前記複数の二次側バルブを開くことにより、前記複数の流体蓄積要素に蓄積された流体を前記複数の圧力室に供給して、前記弾性膜を膨らませることにより、前記基板と前記弾性膜との間に隙間を形成する工程であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記複数の一次側バルブを閉じた状態で、前記複数の二次側バルブを所定の順序で開くことにより、流体を前記複数の流体蓄積要素から前記複数の圧力室に所定の順序で供給することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明のさらに他の態様は、研磨テーブルと、弾性膜で構成された基板保持面および圧力室を有する研磨ヘッドとを相対移動させながら、該研磨ヘッドで基板を前記研磨テーブル上の研磨パッドに押圧して前記基板を研磨し、流体蓄積要素の二次側に配置された二次側バルブを閉じた状態にしておきながら、前記流体蓄積要素の一次側に配置された圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記流体蓄積要素内に蓄積し、前記二次側バルブを開くことにより、流体を前記流体蓄積要素から前記圧力室に供給して、前記弾性膜を膨らませることにより、前記基板と前記弾性膜との間に隙間を形成し、前記隙間にリリースシャワーを噴射することにより、前記基板を前記研磨ヘッドから離脱させる工程を含み、前記流体蓄積要素を含む前記圧力レギュレータから前記二次側バルブまでの流路体積が、前記二次側バルブから前記圧力室までの流路体積以上であることを特徴とする研磨方法である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の好ましい態様は、前記圧力室は複数の圧力室のうちの１つであり、前記一次側バルブは複数の一次側バルブのうちの１つであり、前記二次側バルブは複数の二次側バルブのうちの１つであり、前記流体蓄積要素は複数の流体蓄積要素のうちの１つであり、前記圧力レギュレータは複数の圧力レギュレータのうちの１つであり、前記バルブ制御部は、前記複数の二次側バルブを閉じた状態で、前記複数の一次側バルブを開くことにより、前記複数の圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記複数の流体蓄積要素内に蓄積し、前記複数の一次側バルブを閉じた状態で、前記複数の二次側バルブを開くことにより、流体を前記複数の流体蓄積要素から前記複数の圧力室に供給して、前記弾性膜を膨らませることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記バルブ制御部は、前記複数の一次側バルブを閉じた状態で、前記複数の二次側バルブを所定の順序で開くことにより、流体を前記複数の流体蓄積要素から前記複数の圧力室に所定の順序で供給することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明のさらに他の態様は、研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、弾性膜で構成された基板保持面および圧力室を有し、該基板保持面で基板を保持して前記圧力室内の圧力により前記基板を前記研磨パッドに押圧する基板保持装置と、前記圧力室に接続された流体供給流路と、前記流体供給流路に設けられた圧力レギュレータと、前記流体供給流路に設けられ、前記圧力レギュレータの二次側に配置された流体蓄積要素の一次側と、前記流体供給流路に設けられ、前記流体蓄積要素の二次側に配置された二次側バルブと、前記二次側バルブの開閉動作を制御するバルブ制御部と、を備え、前記バルブ制御部は、前記二次側バルブを閉じることにより、前記圧力レギュレータによって調整された圧力の流体を前記流体蓄積要素内に蓄積し、前記二次側バルブを開くことにより、前記流体蓄積要素に蓄積された流体を前記圧力室に供給して、前記弾性膜を膨らませるように構成され、前記流体蓄積要素を含む前記圧力レギュレータから前記二次側バルブまでの流路体積が、前記二次側バルブから前記圧力室までの流路体積以上であることを特徴とする研磨装置である。