【手続補正書】
【提出日】平成29年6月5日(2017.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】発光素子の作製方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上にＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記ＥＬ層に含まれる有機化合物を加熱し、成膜室内の質量数４６以上２００以下の各成分の分圧が１×１０−１２Ｐａ以上５×１０−８Ｐａ未満のときに、前記有機化合物を蒸着することを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項２】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上にＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記ＥＬ層に含まれる有機化合物を加熱し、成膜室内の質量数４６以上１３０以下の各成分の分圧が１×１０−１２Ｐａ以上５×１０−８Ｐａ未満のときに、前記有機化合物を蒸着することを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項３】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上にＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記ＥＬ層に含まれる有機化合物の蒸着時において、成膜室内の質量数４６以上２００以下の各成分の分圧が１×１０−１２Ｐａ以上５×１０−８Ｐａ未満であることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項４】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上にＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記ＥＬ層に含まれる有機化合物の蒸着時において、成膜室内の質量数４６以上１３０以下の各成分の分圧が１×１０−１２Ｐａ以上５×１０−８Ｐａ未満であることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項５】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上にＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記ＥＬ層に含まれる有機化合物の蒸着時において、成膜室内の質量数９２の成分は、全圧に対して０．１％以下の分圧を示すことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項６】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上にＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記ＥＬ層に含まれる有機化合物の蒸着時において、成膜室内のトルエンは、全圧に対して０．１％以下の分圧を示すことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項７】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上にＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記ＥＬ層が有する蛍光を発する第１の有機化合物および第２の有機化合物を含む発光層は、前記蛍光を発する第１の有機化合物および前記第２の有機化合物を加熱し、成膜室内の質量数４６以上２００以下の各成分の分圧が１×１０−１２Ｐａ以上５×１０−８Ｐａ未満のときに、前記蛍光を発する第１の有機化合物および前記第２の有機化合物を共蒸着させてなることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項８】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上にＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記ＥＬ層が有する蛍光を発する第１の有機化合物および第２の有機化合物を含む発光層は、
前記蛍光を発する第１の有機化合物および前記第２の有機化合物を加熱し、成膜室内の質量数４６以上１３０以下の各成分の分圧が１×１０−１２Ｐａ以上５×１０−８Ｐａ未満のときに、前記蛍光を発する第１の有機化合物および前記第２の有機化合物を共蒸着させてなることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項９】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上にＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記ＥＬ層が有する蛍光を発する第１の有機化合物および第２の有機化合物を含む発光層は、
前記蛍光を発する第１の有機化合物および前記第２の有機化合物を加熱し、成膜室内の質量数９２の成分が、全圧に対して０．１％以下の分圧であるときに前記蛍光を発する第１の有機化合物および前記第２の有機化合物を共蒸着してなることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項１０】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上にＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記ＥＬ層が有する蛍光を発する第１の有機化合物および第２の有機化合物を含む発光層は、
前記蛍光を発する第１の有機化合物および前記第２の有機化合物を加熱し、成膜室内のトルエンが、全圧に対して０．１％以下の分圧であるときに共蒸着させてなることを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項１１】
請求項７乃至請求項１０のいずれか一において、
前記蛍光を発する第１の有機化合物として、前記第２の有機化合物よりもＴ１準位が高い材料を用いたことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項１２】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上に三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物と、電子輸送性を有する第２の有機化合物と、正孔輸送性を有する第３の有機化合物と、が含まれるＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物、前記電子輸送性を有する第２の有機化合物、及び前記正孔輸送性を有する第３の有機化合物を加熱し、
成膜室内の質量数４６以上２００以下の各成分の分圧が１×１０−１２Ｐａ以上１×１０−９Ｐａ未満のときに、
前記三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物、前記電子輸送性を有する第２の有機化合物、及び前記正孔輸送性を有する第３の有機化合物を共蒸着する、
ことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項１３】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上に三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物と、電子輸送性を有する第２の有機化合物と、正孔輸送性を有する第３の有機化合物と、が含まれるＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物、前記電子輸送性を有する第２の有機化合物、及び前記正孔輸送性を有する第３の有機化合物を加熱し、
成膜室内の質量数４６以上１３０以下の各成分の分圧が１×１０−１２Ｐａ以上１×１０−９Ｐａ未満のときに、
前記三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物、前記電子輸送性を有する第２の有機化合物、及び前記正孔輸送性を有する第３の有機化合物を共蒸着する、
ことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項１４】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上に三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物と、電子輸送性を有する第２の有機化合物と、正孔輸送性を有する第３の有機化合物と、が含まれるＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物、前記電子輸送性を有する第２の有機化合物、及び前記正孔輸送性を有する第３の有機化合物を加熱し、
成膜室の質量数８４の成分が全圧に対して０．００１％以下の分圧のときに、
前記三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物、前記電子輸送性を有する第２の有機化合物、及び前記正孔輸送性を有する第３の有機化合物を共蒸着する、
ことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項１５】
第１の電極を形成し、前記第１の電極上に三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物と、電子輸送性を有する第２の有機化合物と、正孔輸送性を有する第３の有機化合物と、が含まれるＥＬ層を形成し、前記ＥＬ層上に第２の電極を形成する発光素子の作製方法であって、
前記三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物、前記電子輸送性を有する第２の有機化合物、及び前記正孔輸送性を有する第３の有機化合物を加熱し、
成膜室のジクロロメタンが全圧に対して０．００１％以下の分圧のときに、
前記三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物、前記電子輸送性を有する第２の有機化合物、及び前記正孔輸送性を有する第３の有機化合物を共蒸着する、
ことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項１６】
請求項１２乃至請求項１５のいずれか１つにおいて、
前記電子輸送性を有する第２の有機化合物と前記正孔輸送性を有する第３の有機化合物が
励起錯体を形成する、
ことを特徴とする発光素子の作製方法。
【請求項１７】
請求項１６において、
前記励起錯体の励起エネルギーが、
前記三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物に移動して、前記三重項励起エネルギーを発光に変える第１の有機化合物が発光する、
ことを特徴とする発光素子の作製方法。