【手続補正書】
【提出日】平成29年7月11日(2017.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の切断線によって囲まれる複数の領域を有する被切断物が載置されるテーブルと、前記被切断物を吸引する吸引機構と、前記被切断物を切断する切断手段と、前記テーブルと前記切断手段とを相対的に移動させる移動機構とを備え、前記被切断物を個片化して前記複数の領域のそれぞれに対応する複数の製品を製造する際に使用される切断装置であって、
前記テーブルが有する基台と、
前記基台の上に取り付けられた吸着治具と、
前記吸着治具が有するプレートと、
前記プレートの上に設けられた吸着部材と、
前記吸着部材に設けられ前記複数の領域にそれぞれ対応する複数の突起と、
前記複数の突起のそれぞれにおける上面から前記吸着部材の底面まで貫通する複数の吸着孔と、
前記プレートに設けられ前記複数の吸着孔にそれぞれ連通する複数の貫通孔と、
前記基台に設けられ前記複数の貫通孔につながる空間とを備え、
前記吸着部材は振動吸収材からなり、少なくとも前記空間と前記複数の貫通孔と前記複数の吸着孔とを順次経由して前記吸引機構が前記被切断物又は前記複数の製品を吸引することによって、前記被切断物又は前記複数の製品が前記吸着治具に吸着されることを特徴とする切断装置。
【請求項２】
請求項１に記載された切断装置において、
温度が５℃〜３０℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが最大値を有することを特徴とする切断装置。
【請求項３】
請求項２に記載された切断装置において、
温度が５℃〜３０℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが０．５以上であることを特徴とする切断装置。
【請求項４】
請求項２に記載された切断装置において、
温度が１０℃〜３０℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが０．７以上であることを特徴とする切断装置。
【請求項５】
請求項２に記載された切断装置において、
温度が１５℃〜２５℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが１．０以上であることを特徴とする切断装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載された切断装置において、
前記振動吸収材のショア硬さがＡ４０〜Ａ６０であることを特徴とする切断装置。
【請求項７】
複数の対象物を吸着するテーブルを備えた吸着機構であって、
前記テーブルが有する基台と、
前記基台の上に取り付けられた吸着治具と、
前記吸着治具が有するプレートと、
前記プレートの上に設けられた吸着部材と、
前記吸着部材に設けられ前記複数の対象物にそれぞれ対応する複数の突起と、
前記複数の突起のそれぞれにおける上面から前記吸着部材の底面まで貫通する複数の吸着孔と、
前記プレートに設けられ前記複数の吸着孔にそれぞれ連通する複数の貫通孔と、
前記基台に設けられ前記複数の貫通孔につながり、かつ、吸引機構につながることができる空間とを備え、
前記吸着部材は振動吸収材からなり、少なくとも前記空間と前記複数の貫通孔と前記複数の吸着孔とを順次経由して前記複数の対象物が吸引されることによって、前記複数の対象物が前記吸着治具に吸着されることを特徴とする吸着機構。
【請求項８】
請求項７に記載された吸着機構において、
温度が５℃〜３０℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが最大値を有することを特徴とする吸着機構。
【請求項９】
請求項８に記載された吸着機構において、
温度が５℃〜３０℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが０．５以上であることを特徴とする吸着機構。
【請求項１０】
請求項８に記載された吸着機構において、
温度が１０℃〜３０℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが０．７以上であることを特徴とする吸着機構。
【請求項１１】
請求項８に記載された吸着機構において、
温度が１５℃〜２５℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが１．０以上であることを特徴とする吸着機構。
【請求項１２】
請求項７〜１１のいずれかに記載された吸着機構において、
前記振動吸収材のショア硬さがＡ４０〜Ａ６０であることを特徴とする吸着機構。
【請求項１３】
複数の対象物を吸着するテーブルと、該テーブルを有する吸着機構と、前記複数の対象物を吸引する吸引機構とを備えた装置であって、
前記テーブルは、
基台と、
前記基台の上に取り付けられた吸着治具と、
前記吸着治具が有するプレートと、
前記プレートの上に設けられた吸着部材と、
前記吸着部材に設けられ前記複数の対象物にそれぞれ対応する複数の突起と、
前記複数の突起のそれぞれにおける上面から前記吸着部材の底面まで貫通する複数の吸着孔と、
前記プレートに設けられ前記複数の吸着孔にそれぞれ連通する複数の貫通孔と、
前記基台に設けられ前記複数の貫通孔につながる空間とを備え、
前記吸着部材は振動吸収材からなり、少なくとも前記空間と前記複数の貫通孔と前記複数の吸着孔とを順次経由して前記吸引機構が前記複数の対象物を吸引することによって、前記複数の対象物が前記吸着治具に吸着されることを特徴とする装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載された装置において、
温度が５℃〜３０℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが最大値を有することを特徴とする装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載された装置において、
温度が５℃〜３０℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが０．５以上であることを特徴とする装置。
【請求項１６】
請求項１４に記載された装置において、
温度が１０℃〜３０℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが０．７以上であることを特徴とする装置。
【請求項１７】
請求項１４に記載された装置において、
温度が１５℃〜２５℃の範囲において前記振動吸収材の損失係数tanδが１．０以上であることを特徴とする装置。
【請求項１８】
請求項１３〜１７のいずれかにされた装置において、
前記振動吸収材のショア硬さがＡ４０〜Ａ６０であることを特徴とする装置。
【請求項１９】
請求項１３に記載された装置において、
前記装置は組立装置であることを特徴とする装置。
【請求項２０】
請求項１３に記載された装置において、
前記装置は搬送装置であることを特徴とする装置。
【請求項２１】
請求項１３に記載された装置において、
前記装置は測定装置又は検査装置であることを特徴とする装置。
【請求項２２】
請求項１３に記載された装置において、
前記装置は加工装置であることを特徴とする装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
例えば、常温の２０℃〜２５℃の範囲で加工水を使用する場合には、この温度範囲においては図４の（ａ）で示される制振ゴムの損失係数tanδが最も大きいので、（ａ）の制振ゴムを使用することが望ましい。冷却して５℃〜１５℃の範囲で加工水を使用する場合には、この温度範囲においては（ｃ）で示される制振ゴムの損失係数tanδが最も大きいので、（ｃ）の制振ゴムを使用することが望ましい。また、１５℃〜２０℃の範囲で加工水を使用する場合には、この温度範囲の大部分においては（ｂ）で示される制振ゴムの損失係数tanδが大きいので、（ｂ）の制振ゴムを使用することが望ましい。したがって、使用する加工水の温度によって、最適な制振ゴムを選択することが重要である。切断装置において、加工水を使用する温度範囲において損失係数tanδが大きい制振ゴムを用いることによって、切断用テーブル１６の吸着部材９の表面における摩擦力を大きくすることができる。したがって、封止済基板１、又は、製品に相当する各領域６を切断用テーブル１６に保持する保持力を大きくすることができる。