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【手続補正書】
【提出日】平成29年3月9日(2017.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記課題を解決するために、本発明は主として次のような構成を採用する。  
複数のエレベータ装置と、前記複数のエレベータ装置に通信網を介して接続された管理装置と、を備えたエレベータの点検システムであって、前記複数のエレベータ装置のそれぞれは、開閉ドアを有するエレベータかごと、前記開閉ドアによる挟まれ防止のために設けられた接触方式の第１の検出器と、前記開閉ドアによる挟まれ防止のために設けられた非接触方式の第２の検出器と、前記第１の検出器及び第２の検出器の検出動作を基づいて前記開閉ドアを反転させて開閉ドアに挟まれないように動作制御する制御装置と、を有し、前記制御装置は、前記第１の検出器及び前記第２の検出器による検出動作の動作履歴を記録する第１・第２の検出器動作履歴記録手段と、前記第１の検出器及び前記第２の検出器による検出動作が所定期間に亘って有りか無しかを判定する第１・第２の検出器動作期間判定手段と、を有し、
前記管理装置は、前記第１・第２の検出器動作期間判定手段の判定で、前記非接触方式の第２の検出器による検出動作が有りで且つ前記接触方式の第１の検出器による検出動作が無しの場合の判定結果を前記制御装置から受けることによって、前記第１の検出器に対する点検計画日時を作成する点検計画手段と、該当するエレベータ装置に点検指示を行う点検計画指示手段と、を有する構成とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のエレベータ装置と、前記複数のエレベータ装置に通信網を介して接続された管理装置と、を備えたエレベータの点検システムにおいて、
前記複数のエレベータ装置のそれぞれは、開閉ドアを有するエレベータかごと、前記開閉ドアによる挟まれ防止のために設けられた接触方式の第１の検出器と、前記開閉ドアによる挟まれ防止のために設けられた非接触方式の第２の検出器と、前記第１の検出器及び第２の検出器の検出動作を基づいて前記開閉ドアを反転させて開閉ドアに挟まれないように動作制御する制御装置と、を有し、
前記制御装置は、前記第１の検出器及び前記第２の検出器による検出動作の動作履歴を記録する第１・第２の検出器動作履歴記録手段と、前記第１の検出器及び前記第２の検出器による検出動作が所定期間に亘って有りか無しかを判定する第１・第２の検出器動作期間判定手段と、を有し、
前記管理装置は、前記第１・第２の検出器動作期間判定手段の判定で、前記非接触方式の第２の検出器による検出動作が有りで且つ前記接触方式の第１の検出器による検出動作が無しの場合の判定結果を前記制御装置から受けることによって、前記第１の検出器に対する点検計画日時を作成する点検計画手段と、該当するエレベータ装置に点検指示を行う点検計画指示手段と、を有する
ことを特徴とするエレベータの点検システム。
【請求項２】
請求項１において、
前記管理装置は、前記第１・第２の検出器動作期間判定手段の判定で、前記非接触方式の第２の検出器による検出動作が有りで且つ前記接触方式の第１の検出器による検出動作が有りの場合の判定結果を前記制御装置から受けることによって、前記点検計画手段は点検計画日時を作成せず、前記点検計画指示手段は該当するエレベータ装置に点検指示を行わない
ことを特徴とするエレベータの点検システム。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記管理装置は、前記非接触方式の第２の検出器による検出動作が有りの場合に代えて、前記第２の検出器による検出動作が無しの場合には、前記接触方式の第１の検出器による検出動作の如何に拘わらず、前記第２の検出器による検出動作が無しの情報を前記制御装置から受けることによって、前記点検計画手段は点検計画日時を即日にし、前記点検計画指示手段は該当するエレベータ装置に即日の点検指示を行う
ことを特徴とするエレベータの点検システム。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１つの請求項において、
前記接触方式の第１の検出器はセーフティーシューを用いたものであり、前記非接触方式の第２の検出器は、赤外線のマルチビームを用いたものである
ことを特徴とするエレベータの点検システム。
【請求項５】
複数のエレベータ装置と、前記複数のエレベータ装置に通信網を介して接続された管理装置と、を備えたエレベータの点検方法において、
前記複数のエレベータ装置のそれぞれは、開閉ドアを有するエレベータかごと、前記開閉ドアによる挟まれ防止のために設けられた接触方式の第１の検出器と、前記開閉ドアによる挟まれ防止のために設けられた非接触方式の第２の検出器と、前記第１の検出器及び第２の検出器の検出動作を基づいて前記開閉ドアを反転させて開閉ドアに挟まれないように動作制御する制御装置と、を有し、
前記制御装置が、前記第１の検出器及び前記第２の検出器による検出動作の動作履歴を記録し、前記記録した動作履歴に基づいて前記第１の検出器及び前記第２の検出器による検出動作が所定期間に亘って有りか無しかを判定し、前記判定の結果を前記管理装置に発報し、
前記管理装置が、前記判定の結果で前記非接触方式の第２の検出器による検出動作が有りで且つ前記接触方式の第１の検出器による検出動作が無しとの発報を受信し、前記第１の検出器に対する点検計画日時を作成し、該当するエレベータ装置に点検指示を行う
ことを特徴とするエレベータの点検方法。
【請求項６】
請求項５において、
前記管理装置が、前記判定の結果で前記非接触方式の第２の検出器による検出動作が有りで且つ前記接触方式の第１の検出器による検出動作が有りとの発報を受信し、当該発報の受信の場合には、前記第１の検出器に対する点検計画日時を作成せず、該当するエレベータ装置に点検指示を行わない
ことを特徴とするエレベータの点検方法。
【手続補正書】
【提出日】平成29年6月20日(2017.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カゼイン又はカゼイン加水分解物を有効成分として含有する胃内酵素活性を阻害する薬剤。
【請求項２】
前記胃内酵素活性がペプシン酵素活性である、請求項１に記載の薬剤。
【請求項３】
ラクトフェリンを基質としたときに胃内酵素活性が阻害される、請求項１又は２に記載の薬剤。
【請求項４】
前記基質１質量部に対して、カゼイン５０質量部以上又はカゼイン加水分解物５０質量部以上で胃内酵素活性が阻害される、請求項３に記載の薬剤。
【請求項５】
ラクトフェリンと請求項１〜４のいずれか一項に記載の薬剤とを含むラクトフェリン組成物の製造方法であって、ラクトフェリン１質量部に対して該薬剤を５０質量部以上の割合で該ラクトフェリンと前記薬剤とが混合される混合工程を含む、製造方法。
【請求項６】
前記薬剤がｐＨ２〜３の範囲に調整される工程を含み、
当該調整工程後に前記混合工程が行われる、請求項５に記載の製造方法。
【請求項７】
ラクトフェリン１質量部に対して請求項１〜４のいずれか一項に記載の薬剤が５０質量部以上の割合で該ラクトフェリンと前記薬剤とが混合された、ラクトフェリン組成物。
【請求項８】
カゼイン又はカゼイン加水分解物を有効成分として含有する胃内酵素活性を阻害する飲食品組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明者らは、上記課題解決のために鋭意検討した結果、カゼイン又はカゼイン加水分解物が胃内の酵素活性を阻害する作用を有すること、特にラクトフェリンを基質としたときに胃内酵素によってラクトフェリンが分解されることをカゼイン又はカゼイン加水分解物が効果的に抑制することを新たに見出し、本技術を完成させるに至った。
すなわち、本技術は、カゼイン又はカゼイン加水分解物を有効成分として含有する胃内酵素活性を阻害する薬剤に関する。
また、この薬剤において、前記胃内酵素活性が、ペプシン酵素活性とすることができる。
更に、この薬剤において、ラクトフェリンを基質としたときに胃内酵素活性を阻害することができる。
また、この薬剤において、前記基質１質量部に対して、カゼイン５０質量部以上又はカゼイン加水分解物５０質量部以上で胃内酵素活性をより確実に阻害することができる。
更に、本技術は、ラクトフェリンと前記薬剤とを含むラクトフェリン組成物の製造方法であって、ラクトフェリン１質量部に対して前記薬剤を５０質量部以上の割合で該ラクトフェリンと前記薬剤とが混合される混合工程を含む、製造方法にも関する。
この製造方法において、前記薬剤がｐＨ２〜３の範囲に調整される工程を含み、当該調整工程後に前記混合工程が行われるようにすることができる。
また、本技術は、ラクトフェリン１質量部に対して前記薬剤が５０質量部以上の割合で該ラクトフェリンと前記薬剤とが混合された、ラクトフェリン組成物にも関する。
また、本技術は、カゼイン又はカゼイン加水分解物を有効成分として含有する胃内酵素活性を阻害する飲食品組成物も提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成29年10月18日(2017.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
洗浄水源から供給される洗浄水により便器を洗浄して汚物を排出する水洗大便器であって、
上記便器は、ボウル形状の汚物受け面と、この汚物受け面の上縁部に形成されたリム部と、を備えたボウル部と、
このボウル部の下方にその入口が接続され汚物を排出する排水路と、
上記ボウル部に洗浄水を吐水して旋回流を形成する吐水部と、
を有し、
上記リム部は、
後方から上記ボウル部の側部に設けられた上記リム部の内部を通って前方に向けて延び、洗浄水を上記吐水部に導く導水路と、
導水路と並行して延び、空気を導く空気流路と、
上記導水路と上記空気流路とを連通し、上記導水路内の洗浄水に空気を混入させる連通流路と、を上記便器と一体として形成することを特徴とする水洗大便器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の目的を達成するために、洗浄水源から供給される洗浄水により便器を洗浄して汚物を排出する水洗大便器であって、便器は、ボウル形状の汚物受け面と、汚物受け面の上縁部に形成されたリム部と、を備えたボウル部と、このボウル部の下方にその入口が接続され汚物を排出する排水路と、ボウル部に洗浄水を吐水して旋回流を形成する吐水部と、を有し、リム部は、後方からボウル部の側部に設けられたリム部の内部を通って前方に向けて延び、洗浄水を吐水部に導く導水路と、導水路と並行して延び、空気を導く空気流路と、導水路と空気流路とを連通し、導水路内の洗浄水に空気を混入させる連通流路と、を便器と一体として形成することを特徴としている。
このように構成された本発明においては、リム部において、便器と一体に形成された空気流路から、便器と一体に形成された連通流路を介して、便器と一体に形成された導水路に空気の気泡を混入することができる。よって、リム部内において吐水部から吐水される洗浄水に空気の気泡を混入し、吐水される洗浄水の見かけ上の体積を増大させることができる。従って、少ない洗浄水量で高い洗浄効果を得ることが出来る。また、導水路、空気流路及び連通流路が、便器と一体として形成されるために、空気の気泡を混入するための別部材を便器の内部に設ける必要がない。従って、製造が複雑になることを避けることが出来るとともに、別部材にスペースを占有されて便器が大型化することを抑制することが出来る。
【手続補正書】
【提出日】平成29年8月30日(2017.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
調査対象地盤に対して略鉛直方向に削孔を形成し、当該削孔内に、上面が閉塞し下面が開放したケーシングを設置し、
前記ケーシングの内部に、流入した地下水を排出するための排水管と、地下水位を計測するための水位計を設置し、
前記ケーシング内に所定の送気圧力で送気を行うことにより、前記ケーシングの下端部まで気体を充満させるとともに、前記調査対象地盤中に気体を注入して、前記調査対象地盤を不飽和化し、
前記調査対象地盤が不飽和化した状態から送気圧力を低下させて、前記ケーシング内に地下水が流入することを許容した状態で、当該地下水の流入水位が予め定めた所定値となる送気圧力を測定し、
前記排水管内に流入した地下水を排水手段により排水して、当該ケーシング内への地下水流入量を測定し、
前記送気圧力と前記地下水流入量との関係を求める、
ことを特徴とするニューマチックケーソン工法におけるケーソン作業室への適正送気圧力の決定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
そして、ケーシング内に所定の送気圧力で送気を行うことにより、ケーシングの下端部まで気体を充満させるとともに、調査対象地盤中に気体を注入して、調査対象地盤を不飽和化する。続いて、調査対象地盤が不飽和化した状態から送気圧力を低下させて、ケーシング内に地下水が流入することを許容した状態で、当該地下水の流入水位が予め定めた所定値となる送気圧力を測定するとともに、排水管内に流入した地下水を排水手段により排水して、当該ケーシング内への地下水流入量を測定することにより、送気圧力と地下水流入量との関係を求めることを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成29年3月14日(2017.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二酸化炭素の電気化学的還元のための方法であって、
銀元素を含有する前駆体電極を一定電位で陽極酸化処理して陽極酸化処理銀成分を得る陽極酸化ステップと、
電気化学セルを与えるステップを含み、前記電気化学セルは、
カソードチャンバを有し、前記カソードチャンバは、
カソード液と、
前記カソード液と接触するカソードとを含み、前記カソードは前記陽極酸化処理銀成分を含有し、前記電気化学セルはさらに、
アノードチャンバを有し、前記アノードチャンバは、
アノード液と、
前記アノード液と接触するアノードとを含み、前記方法はさらに、
前記カソードチャンバに二酸化炭素を供給するステップと、
前記アノードと前記カソードとの間に電位を与えるステップとを含み、前記電位は前記カソードチャンバに存在する二酸化炭素を電気化学的に還元するのに十分である、二酸化炭素の電気化学的還元のための方法。
【請求項２】
前記カソードの表面は約１１８°に中心を有するピークおよび約４３°に中心を有するピークを有するＸ線回折パターンによって特徴付けられ、約４３°に中心を有する前記ピークの強度に対する約１１８°に中心を有する前記ピークの強度の比率は、少なくとも１：１である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記カソードチャンバはさらに気体入力部材を含み、前記気体入力部材は前記カソード液に気体の流れを供給するように構成され、前記気体の流れは二酸化炭素を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記カソード液、前記アノード液またはそれらの両方は、少なくとも１つの電解質塩の水溶液であり、前記電解質塩は、炭酸塩もしくは重炭酸塩、硝酸塩、亜硝酸塩、硫酸塩、亜硫酸塩もしくはリン酸塩のアルカリ金属またはアルカリ土類金属塩を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
二酸化炭素の電気化学的還元は、前記カソードチャンバにおいて一酸化炭素の生成および水素ガスの生成をもたらす結果となり、前記方法はＣＯ選択性によって特徴付けられ、前記ＣＯ選択性は、生成される水素ガスに対する一酸化炭素の百分率モル比として定義可能であり、前記ＣＯ選択性は少なくとも５０％である、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記ＣＯ選択性は６０％より大きい、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記陽極酸化ステップは、前記一定電位と前記一定電位を与える期間との乗算積によって特徴付けられ、前記乗算積は、Ａｇ／ＡｇＣｌに対して少なくとも３．７５ボルト・分である、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記一定電位と前記期間との前記乗算積は、Ａｇ／ＡｇＣｌに対して少なくとも７．５Ｖ・分である、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
二酸化炭素の電気化学的還元のための電気化学セルの製造方法であって、
銀元素を含有する前駆体電極を一定電位で陽極酸化処理して陽極酸化処理銀成分を得る陽極酸化ステップと、
カソードチャンバを用意するステップと、
前記カソードチャンバとイオン接触するようにアノードチャンバを配置するステップと、を含み、
前記カソードチャンバは、カソード液と、前記カソード液と接触するカソードとを含み、前記カソードは前記陽極酸化処理銀成分を含有し、
前記アノードチャンバは、アノード液と、前記アノード液と接触するアノードとを含む、製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成29年3月8日(2017.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき鋼板の溶接によって作製されためっき鋼管、および前記めっき鋼管の表面に配置された化成処理皮膜、を有する化成処理鋼管であって、
前記めっき鋼板は、鋼板および前記鋼板の表面に配置された０．０５〜６０質量％のアルミニウムと、０．１〜１０．０質量％のマグネシウムとを含む亜鉛合金で構成されており、
前記化成処理皮膜は、フッ素樹脂、基材樹脂、金属フレークおよび化成処理成分を含有し、
前記基材樹脂は、ポリウレタン、ポリエステル、アクリル樹脂、エポキシ樹脂およびポリオレフィンからなる群から選ばれる一以上であり、
前記フッ素樹脂および前記基材樹脂の総量に対する前記フッ素樹脂の含有量は、フッ素原子換算で３．０質量％以上であり、
前記化成処理皮膜における前記フッ素樹脂１００質量部に対する前記基材樹脂の含有量は、１０質量部以上であり、
前記化成処理皮膜における前記金属フレークの含有量は、２０質量％超６０質量％以下である、
化成処理鋼管。
【請求項２】
前記金属フレークは、アルミニウムフレーク、アルミニウム合金フレークおよびステンレス鋼フレークからなる群から選ばれる一以上である、請求項１に記載の化成処理鋼管。
【請求項３】
前記化成処理皮膜の膜厚は、０．５〜１０μｍである、請求項１または請求項２に記載の化成処理鋼管。
【請求項４】
前記化成処理皮膜における前記フッ素樹脂１００質量部に対する前記基材樹脂の含有量は、９００質量部以下である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の化成処理鋼管。
【請求項５】
前記化成処理成分は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、ＭｏおよびＷからなる群から選ばれる一以上を含むバルブメタル化合物を含み、
前記化成処理皮膜における前記バルブメタル化合物の含有量は、前記化成処理皮膜に対して金属換算で０．００５〜５．０質量％である、
請求項１〜４のいずれか一項に記載の化成処理鋼管。
【請求項６】
前記化成処理皮膜は、シランカップリング剤およびリン酸塩の一方または両方をさらに含有する、請求項１〜５のいずれか一項に記載の化成処理鋼管。
【請求項７】
前記めっき鋼板は、リン酸化合物またはバルブメタル成分によって下地処理されており、
前記バルブメタル成分は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、およびＷからなる群から選ばれる一以上である、
請求項１〜６のいずれか一項に記載の化成処理鋼管。
【請求項８】
前記めっき鋼管は、その溶接部を覆う溶射補修層をさらに有し、
前記溶射補修層の表面におけるＡｌ濃度は、０．０５原子％以上である、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の化成処理鋼管。
【請求項９】
前記化成処理皮膜は、顔料をさらに含有する、請求項１〜８のいずれか一項に記載の化成処理鋼管。
【請求項１０】
前記化成処理皮膜は、ワックスをさらに含有する、請求項１〜９のいずれか一項に記載の化成処理鋼管。
【請求項１１】
農業用ビニールハウスの躯体用の鋼管である請求項１〜１０のいずれか一項に記載の化成処理鋼管。
【請求項１２】
前記金属フレークの厚さは、０．０１〜２μｍである、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の化成処理鋼管。
【請求項１３】
前記金属フレークの最大径は、１〜４０μｍである、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の化成処理鋼管。
【請求項１４】
めっき鋼板の溶接によって作製されためっき鋼管、および前記めっき鋼管の表面に配置された化成処理皮膜、を有する化成処理鋼管の製造方法であって、
前記めっき鋼管に化成処理液を塗布し、乾燥させることによって、前記めっき鋼管の表面に化成処理皮膜を形成する工程を含み、
前記めっき鋼板は、鋼板および前記鋼板の表面に配置された０．０５〜６０質量％のアルミニウムと、０．１〜１０．０質量％のマグネシウムとを含む亜鉛合金で構成されており、
前記化成処理液は、フッ素樹脂、基材樹脂、金属フレークおよび化成処理成分を含有し、
前記基材樹脂は、ポリウレタン、ポリエステル、アクリル樹脂、エポキシ樹脂およびポリオレフィンからなる群から選ばれる一以上であり、かつフッ素原子を含んでおらず、
前記化成処理液における前記フッ素樹脂の含有量は、前記フッ素樹脂および前記基材樹脂の総量に対してフッ素原子換算で３．０質量％以上であり、
前記化成処理液における前記基材樹脂の含有量は、前記フッ素樹脂１００質量部に対して１０質量部以上であり、
前記化成処理液における前記金属フレークの含有量は、前記化成処理液中の固形分に対して２０質量％超６０質量％以下である、
化成処理鋼管の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月7日(2016.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
そして、２柱支持構造のキャノピ８Ａとする場合は、図３及び図４で示すように、補強梁１３を後側支持フレーム１０に着脱可能に取付けるようになっている。
【手続補正書】
【提出日】平成29年10月10日(2017.10.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】建設機械の管理局端末システム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明はバッテリ駆動される電動モータを搭載した建設機械の電力供給システムを管理する建設機械の管理局端末システムに関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の目的は、建設機械の電力供給システムにおける建設機械の作業効率とバッテリの利用効率の向上を図ることにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
ブーム１０１は、上部旋回体１０４に回動可能に支持されており、油圧シリンダ（ブームシリンダ）１１１により駆動される。アーム１０２は、ブーム１０１に回動可能に支持されており、油圧シリンダ（アームシリンダ）１１２により駆動される。バケット１０３は、アーム１０２に回動可能に支持されており、油圧シリンダ（バケットシリンダ）１１３により駆動される。上部旋回体１０４は油圧アクチュエータ５（図３参照）である油圧モータ（旋回モータ）により旋回駆動され、下部走行体１０５は左右の油圧モータ（走行モータ）９５，９６により駆動される。油圧シリンダ１１１、油圧シリンダ１１２、油圧シリンダ１１３及び走行モータ９５,９６は、油圧ポンプ３（図３参照）によってタンク（図示せず）から汲み上げられる圧油によって駆動される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
バッテリ１０には、バッテリ１０の充電率（ＳＯＣ）及び劣化度（ＳＯＨ）を演算するために必要な情報を検出する手段（バッテリ状態検出手段）として、電流センサ１１、電圧センサ１２及び温度センサ１３が取り付けられている。ショベル端末システム１６０は、これらセンサ１１，１２，１３によって検出された電流、電圧及び温度等の情報に基づいてバッテリ管理部１６８（後述）においてバッテリ１０のＳＯＣ及びＳＯＨを演算し、バッテリ１０の充電率及び劣化度等を管理している。電流センサ１１、電圧センサ１２及び温度センサ１３からの出力信号は電源ケーブル１３０とともにまとめられた通信線（図示せず）を介してショベル端末システム１６０に入力される。当該通信線は電源ケーブル１３０とともにバッテリ１０と着脱可能となっている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
充電設備３００によってバッテリ１０の充電が完了した被牽引車４００は、運搬車両２００による作業現場１への牽引（往路）、油圧ショベル１００でのバッテリ利用、運搬車両２００による充電施設２への牽引（復路）、充電設備３００によるバッテリ充電、という一連の工程（以下「被牽引車利用サイクル」と称することがある）を繰り返して利用される。或る油圧ショベル１００の電力源として選定され被牽引車利用サイクルを開始した被牽引車４００は、当該サイクルの途中では他の油圧ショベル１００の電力源とはなり得ず、当該サイクルの終了後にはじめて他の油圧ショベル１００の電力源になり得る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被牽引車のそれぞれに搭載されたバッテリの状態が記憶されるバッテリ状態記憶部と、
前記複数の被牽引車の１台を牽引し、その被牽引車のバッテリの電力で駆動される電動機および前記電動機で駆動される油圧ポンプを有する少なくとも１台の建設機械の所定期間における作業量計画が記憶されている作業量計画記憶部と、
前記作業量計画記憶部に記憶された前記作業量計画に基づいて前記建設機械の作業に必要な電力量を算出する必要電力量算出部と、
前記必要電力量算出部で算出した電力量を確保するために必要な前記被牽引車の交換回数及び交換時刻を、前記バッテリ状態記憶部から読み込んだ前記バッテリの状態に基づいて算出するバッテリ利用計画算出部と、
前記複数の被牽引車のうち充電設備でバッテリが充電された被牽引車である充電済み被牽引車を前記建設機械の近辺まで牽引し、前記充電済み被牽引車に代えて前記建設機械に牽引されていた前記被牽引車を前記充電設備まで牽引する少なくとも１台の運搬車両が、前記バッテリ利用計画算出部で算出した前記交換時刻に前記建設機械の近辺に到着するように、前記運搬車両の前記充電設備からの出発時刻、及び前記運搬車両の前記建設機械の近辺への到着時刻を算出する車両運行計画算出部と
を備えることを特徴とする建設機械の管理局端末システム。
【請求項２】
請求項１に記載の建設機械の電力供給システムにおいて、
前記作業量計画記憶部に記憶された前記作業量計画と、前記建設機械の実際の作業量との差分に基づいて新たな作業量計画を算出する作業量比較部をさらに備え、
前記必要電力量算出部は、前記作業量比較部で算出された前記新たな作業量計画に基づいて前記建設機械の作業に必要な電力量を算出する
ことを特徴とする建設機械の管理局端末システム。
【請求項３】
請求項１に記載の建設機械の電力供給システムにおいて、
前記建設機械が牽引する被牽引車に搭載された前記バッテリの充電率の実際の推移と予測推移の差分に基づいて前記建設機械が牽引する被牽引車の新たな交換時刻を算出するＳＯＣ比較部をさらに備え、
前記バッテリ利用計画算出部は、前記建設機械が牽引する被牽引車に後続して前記建設機械の近辺に到着する他の被牽引車の交換時刻を前記ＳＯＣ比較部で算出された前記新たな交換時刻に合わせて補正する
ことを特徴とする建設機械の管理局端末システム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年3月30日(2017.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平均粒子径が５〜３００ｎｍの表面処理金属酸化物微粒子とマトリックス形成成分とを含み、マトリックス形成成分が分散用有機樹脂（Ａ）と硬化用有機樹脂（Ｂ）とからなり、表面処理金属酸化物微粒子の固形分としての濃度（ＣP）が４５〜８５重量％、マトリックス形成成分の固形分としての濃度（ＣR）が１５〜５０重量％、全固形分濃度（ＣT）が６０重量％以上であり、濃度（ＣR）と濃度（ＣP）との比（ＣR）／（ＣP）が０．１２〜１．０であることを特徴とする透明被膜形成用塗布液。
【請求項２】
前記分散用有機樹脂（Ａ）が１〜２個の官能基を有する紫外線硬化型樹脂モノマーないしオリゴマーであり、前記硬化用有機樹脂（Ｂ）が３個以上の官能基を有する紫外線硬化型樹脂モノマーないしオリゴマーであることを特徴とする請求項１に記載の透明被膜形成用塗布液。
【請求項３】
前記分散用有機樹脂（Ａ）および前記硬化用有機樹脂（Ｂ）の官能基がアクリレート基、(メタ)アクリレート基、ウレタンアクリレート基、エポキシ変性アクリレート基から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項２に記載の透明被膜形成用塗布液。
【請求項４】
前記分散用有機樹脂（Ａ）および前記硬化用有機樹脂（Ｂ）の分子量が５，０００以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の透明被膜形成用塗布液。
【請求項５】
前記表面処理金属酸化物微粒子が下記式（１）で表される有機珪素化合物で表面処理されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の透明被膜形成用塗布液。
Ｒn−ＳｉＸ4-n                 （１）
（但し、式中、Ｒは炭素数１〜１０の非置換または置換炭化水素基であって、互いに同一であっても異なっていてもよい。Ｘ：炭素数１〜４のアルコキシ基、水酸基、ハロゲン、水素、ｎ：１〜３の整数）
【請求項６】
前記有機珪素化合物のＲが、(メタ)アクリレート基を置換基として有する置換炭化水素基を少なくとも１個有する有機珪素化合物であることを特徴とする請求項５に記載の透明被膜形成用塗布液。
【請求項７】
前記表面処理金属酸化物微粒子の有機珪素化合物による表面処理量が、金属酸化物微粒子１００重量部に対しＲn−ＳｉＯ4-n/2として０．１〜５０重量部であることを特徴とする請求項５に記載の透明被膜形成用塗布液。
【請求項８】
前記表面処理金属酸化物微粒子の表面処理量が０．１〜５重量部の時、前記分散用有機樹脂（Ａ）が、水酸基（ＯＨ基）、エーテル基（−Ｏ−基）、アミノ基、カルボキシル基、スルホ基の少なくとも１種を有する有機樹脂であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の透明被膜形成用塗布液。
【請求項９】
前記表面処理金属酸化物微粒子の球状係数が０．２〜１．０であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の透明被膜形成用塗布液。
【請求項１０】
下記の工程（ａ）および（ｂ）からなることを特徴とする透明被膜形成用塗布液の製造方法；
（ａ）平均粒子径が５〜３００ｎｍの表面処理金属酸化物微粒子の有機分散媒分散液の、前記有機分散媒の一部または全部を分散用有機樹脂（Ａ）で置換する工程、
（ｂ）次いで、硬化用有機樹脂（Ｂ）を混合する工程。
【請求項１１】
前記表面処理金属酸化物微粒子の固形分としての濃度（ＣP）が４５〜８５重量％の範囲にあり、マトリックス形成成分としての前記分散媒用有機樹脂（Ａ）および前記硬化用有機樹脂（Ｂ）の合計の固形分としての濃度（ＣR）が１５〜５０重量％の範囲にあり、全固形分濃度（ＣT）が６０重量％以上であり、濃度（ＣR）と濃度（ＣP）との比（ＣR）／（ＣP）が０．１２〜１．０の範囲にあることを特徴とする請求項１０に記載の透明被膜形成用塗布液の製造方法。
【請求項１２】
平均粒子径が５〜３００ｎｍの表面処理金属酸化物微粒子とマトリックス成分とからなり、前記表面処理金属酸化物微粒子の固形分としての含有量（ＷP）が５０〜９０重量％、前記マトリックス成分の固形分としての含有量（ＷR）が１０〜５０重量％、含有量（ＷR）と含有量（ＷP）との比（ＷR）／（ＷP）が０．１２〜１．０、平均膜厚（Ｔ）が１〜１００μｍにあることを特徴とする透明被膜付基材。
【請求項１３】
基材上に、平均粒子径が５〜３００ｎｍの表面処理金属酸化物微粒子とマトリックス成分とを含み、表面処理金属酸化物微粒子の固形分としての含有量（ＷP）が５０〜９０重量％、マトリックス成分の固形分としての含有量（ＷR）が１０〜５０重量％、含有量（ＷR）と含有量（ＷP）との比（ＷR）／（ＷP）が０．１２〜１．０である透明被膜形成用塗布液を塗布し、乾燥し、ついで、硬化することを特徴とする透明被膜付基材の製造方法であって、
前記透明被膜形成用塗布液を塗布した後、乾燥した塗膜の塗布液に対する体積収縮率が２５％以下であり、ついで、硬化したときの塗膜の乾燥膜に対する体積収縮率が１０％以下であり、合計の収縮率が３５％以下であることを特徴とする透明被膜付基材の製造方法。
【請求項１４】
平均粒子径が５〜３００ｎｍの範囲にある表面処理金属酸化物微粒子が分散用有機樹脂（Ａ）、または分散用有機樹脂（Ａ）および有機分散媒に分散してなり、前記表面処理金属酸化物微粒子の固形分としての濃度（ＣPS）が４５〜８５重量％、前記分散用有機樹脂（Ａ）の固形分としての濃度（ＣRS）が１５〜５０重量％、全固形分濃度（ＣTS）が６０重量％以上であることを特徴とする表面処理金属酸化物微粒子の有機樹脂分散ゾル。
【手続補正書】
【提出日】平成29年11月15日(2017.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
なお、キャリアガス配管３２と原料ガス送出配管３６との間は、バイパス配管４８により接続されており、このバイパス配管４８にはバルブ４９が介装されている。キャリアガス配管３２および原料ガス送出配管３６におけるバイパス配管４８接続部分の下流側および上流側にはそれぞれバルブ３５ａ，３７ａが介装されている。そして、バルブ３５ａ，３７ａを閉じてバルブ４９を開くことにより、Ｎ２ガス供給源３３からのＮ２ガスを、キャリアガス配管３２、バイパス配管４８を経て、原料ガス送出配管３６をパージすることが可能となっている。なお、キャリアガスおよびパージガスとしては、Ｎ２ガスに限らず、Ａｒガス等の他の不活性ガスであってもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月27日(2017.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】シート製造装置およびシート
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原料を供給する供給部と、
前記原料を解繊する解繊部と、
前記解繊部で解繊処理された解繊物を堆積させる堆積部と、
前記堆積部で堆積したウエブからシートを成形する成形部と、
前記ウエブ及び前記シートの少なくとも一方にマーキングを付与する付与部と、
前記マーキングが付与された前記シートを前記原料として供給されたときに、前記原料に付与されたマーキングを読み取る読取部と、を備えることを特徴とするシート製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載のシート製造装置において、
前記付与部は、前記堆積部及び前記成形部の少なくとも一方に備えられることを特徴とするシート製造装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のシート製造装置において、
前記マーキングは、前記シートの表面に対して凸または凹を有するエンボスであり、
前記読取部は、前記エンボスを読み取ることを特徴とするシート製造装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のシート製造装置において、
前記マーキングは、前記シートの他の部分とは密度の異なる部分であり、
前記読取部は、前記密度の異なる部分を読み取ることを特徴とするシート製造装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のシート製造装置において、
前記原料に付与された前記マーキングに対して、前記付与部により前記シートに付与する前記マーキングを異ならせることを特徴とするシート製造装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のシート製造装置において、
前記付与部は前記シートの表裏の両方の面に前記マーキングを付与することを特徴とするシート製造装置。
【請求項７】
請求項１に記載のシート製造装置において、
前記マーキングは、前記シートを貫通する孔であり、
前記付与部は、前記シートが前記原料として供給される際における前記シートの搬送方向と垂直な方向において、前記シートの中央となる位置に前記マーキングを付与することを特徴とするシート製造装置。
【請求項８】
請求項７に記載のシート製造装置において、
前記読取部は、一つであることを特徴とするシート製造装置。
【請求項９】
請求項７または請求項８に記載のシート製造装置において、
前記読取部は、前記孔に光を発する発光部と、前記孔を通過した光を受光する受光部とを有することを特徴とするシート製造装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のシート製造装置において、
前記付与部は、不可視インクを前記シートに印刷し、
前記読取部は、前記不可視インクで印刷された前記マーキングを読取可能であることを特徴とするシート製造装置。
【請求項１１】
繊維同士が樹脂を介して結着したシートであって、
再生されたことを示すマーキングを有し、
前記マーキングは、凹または凸を有するエンボス、他の部分とは密度の異なる部分、不可視インクにより印刷されたものの何れかであることを特徴とするシート。
【手続補正書】
【提出日】平成29年3月23日(2017.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車体の主要な骨格がＦＲＰ製チューブを成形してなるＦＲＰ製チューブ骨格部材により構成されており、かつ、前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材のうち、少なくとも、フロントピラーロア、フロントピラーアッパーおよびルーフサイドレールを構成するＦＲＰ製チューブ骨格部材が、１本のＦＲＰ製チューブから一体的に成形された連続して延びる部材として形成されており、かつ、前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材としてのサイドシルが、２本のＦＲＰ製チューブを車体高さ方向に接合した一体構造により形成されていることを特徴とする車体構造。
【請求項２】
前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材としてのサイドシルの前端部が、フロントピラーロアの端面に突き当てるように接合されている、請求項１に記載の車体構造。
【請求項３】
前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材としてのサイドシルおよびフロントピラーロアが、両者の端部中空部に嵌入する接合ジョイントを介して接合されている、請求項１に記載の車体構造。
【請求項４】
前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材として、ダッシュボード面に沿い、サイドシル前端部からフロアパネルのセンタートンネル前端部にわたって延びるフロントフロアクロスメンバーが設けられている、請求項１〜３のいずれかに記載の車体構造。
【請求項５】
前記フロントフロアクロスメンバーは、サイドシルとの接合端部でサイドシルの延在方向に沿うように略Ｌ形に曲げられ、かつ該接合端部におけるチューブ断面形状を略Ｃ形または略Ｌ形断面に押し潰して成形されてサイドシル側面部に接合され、かつセンタートンネルとの接合端部はセンタートンネル面に突き当てるように接合されている、請求項４に記載の車体構造。
【請求項６】
前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材としての車体左右に配置されるセンターピラーおよびリヤピラーが、それぞれ、車体幅方向に延在する前記ＦＲＰ製骨格部材としてのルーフクロスメンバーと、１本のＦＲＰ製チューブから一体的に成形された連続して延びる部材として形成されている、請求項１〜５のいずれかに記載の車体構造。
【請求項７】
前記ルーフクロスメンバーは車体幅方向中央部で接合するように２本の部材からなる、請求項６に記載の車体構造。
【請求項８】
前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材として、車体幅方向中央部で接合するように２本の部材からなり、車体幅方向外側の端部形状がチューブ断面形状を押し潰して略Ｃ形に形成され、該端部で前記ルーフサイドレールに接合されているフロントルーフクロスメンバーが設けられている、請求項１〜７のいずれかに記載の車体構造。
【請求項９】
前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材として、車体フロア下面後方部に車体幅方向に配置され、車体前後方向に延在する２本のリヤサイドメンバーが設けられている、請求項１〜８のいずれかに記載の車体構造。
【請求項１０】
前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材が、少なくとも部分的に略矩形、略円形、略三角形、略Ｃ形、略Ｌ形のいずれかの横断面形状を有する、請求項１〜９のいずれかに記載の車体構造。
【請求項１１】
前記ＦＲＰ製チューブが熱可塑性ＦＲＰ製チューブからなる、請求項１〜１０のいずれかに記載の車体構造。
【請求項１２】
前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材は、前記熱可塑性ＦＲＰ製チューブを少なくとも内圧成形してなる、請求項１〜１１のいずれかに記載の車体構造。
【請求項１３】
前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材と相手部材との接合に、該相手部材との間にＦＲＰ製チューブ骨格部材を挟み込んで一体的に接合するためのシェル状の接合スチフナが用いられている、請求項１〜１２のいずれかに記載の車体構造。
【請求項１４】
前記接合スチフナがＦＲＰで形成されている、請求項１３に記載の車体構造。
【請求項１５】
前記ＦＲＰ製チューブが、少なくとも長手方向に配向された強化繊維を有する、請求項１〜１４のいずれかに記載の車体構造。
【請求項１６】
前記強化繊維として炭素繊維を有する、請求項１５に記載の車体構造。
【請求項１７】
全ての前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材の成形前の前記ＦＲＰ製チューブの少なくとも内径が同一径である、請求項１〜１６のいずれかに記載の車体構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る車体構造は、車体の主要な骨格がＦＲＰ製チューブを成形してなるＦＲＰ製チューブ骨格部材により構成されており、かつ、前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材のうち、少なくとも、フロントピラーロア、フロントピラーアッパーおよびルーフサイドレールを構成するＦＲＰ製チューブ骨格部材が、１本のＦＲＰ製チューブから一体的に成形された連続して延びる部材として形成されており、かつ、前記ＦＲＰ製チューブ骨格部材としてのサイドシルが、２本のＦＲＰ製チューブを車体高さ方向に接合した一体構造により形成されていることを特徴とするものからなる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
そして、本発明に係る車体構造においては、上記ＦＲＰ製チューブ骨格部材は、上記ＦＲＰ製チューブ骨格部材としてのサイドシルは、２本のＦＲＰ製チューブを車体高さ方向に接合した一体構造により形成されている。このような構造により、車両の前面衝突時の荷重を広い断面積で受けることが可能になり前面衝突時の車両性能を高めることができる上、車両剛性を高めたことで側面衝突時の強度も適切に確保される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明に係る車体構造においては、上記ＦＲＰ製チューブ骨格部材は、その配設部位に応じて各種の形態を採り得る。例えば、上記ＦＲＰ製チューブ骨格部材としてのサイドシルの前端部が、フロントピラーロアの端面に突き当てるように接合されている構造とすることができる。サイドシルが、２本のＦＲＰ製チューブを車体高さ方向に配列された構造の場合には、上部側のサイドシルの前端部がフロントピラーロアの端面に突き当てるように接合された構造や、あるいは上下両方のサイドシルの前端部がフロントピラーロアの端面に突き当てるように接合された構造とすることも可能である。前面衝突のうちＳＯＬ（Small OverLap）衝突呼ばれるオフセット衝突時に、衝突により後方に移動したホイールからの荷重がフロントピラーに作用するが、フロントピラーロアの下端部がサイドシルの前端部に強固に接合することで、フロントピラーロアの下端部の剛性が高まり、フロントピラーの後方への倒れこみを防ぐことが可能になり、乗員保護性能を十分に確保することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月24日(2017.1.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載のタンデムグリップ・ユニットと、
前記車体フレームの後端部に着脱自在に取り付けられて、前記車体フレームを外側方から覆うテールカバーと、を備え、
各タンデムグリップにおける前記グリップ部と前記パニヤ取付部とが、前記テールカバーから外部に露出している自動二輪車。
【手続補正書】
【提出日】平成29年3月27日(2017.3.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本実施形態では、トーションビーム式リヤサスペンションによって車両１００ａの後輪（不図示）が支持される。詳細には、トーションビーム式リヤサスペンションでは、図２に示すように、車幅方向に延びるトーションビーム１０４の両端に後輪を支持するトレーリングアーム１０６ａ・１０６ｂが配置されている。かかるトレーリングアーム１０６ａ・１０６ｂは車両に揺動可能に取り付けられる。本実施形態の取付部構造１００は、これらのトレーリングアーム１０６ａ・１０６ｂを車両１００ａに取り付けるための構造である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
更に本実施形態の特徴として、図４に示すように補強部材１４０は平面部１４２を有する。図５に示すように、平面部１４２（図４参照）は、車両前方視において、サイドメンバ１１０の下面１１０ａ（線分Ｃ）と、サイドシル１２０の車幅方向内側の縦面（線分Ｄ）と、サイドメンバ１１０の下面１１０ａの車幅方向内側の端部Ｐ１からサイドシル１２０の車幅方向内側の縦面の下端Ｐ２までを結ぶ弧Ｅとによって囲まれた領域を有する。これにより、補強部材１４０は、サイドメンバ１１０の下面１１０ａからブラケット１３０の車幅方向内側の縦面に沿って延びる面である下面部１４４（図７参照）と、平面部１４２とからなる立体形状を有することとなる。したがって、補強部材１４０において、従来のような単なる板状の部材に比して、荷重に対する高い剛性を得ることができ、より高い補強効果を発揮することが可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月3日(2017.2.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨対象物の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させて前記被研磨面を研磨する研磨装置であって、
前記研磨対象物の前記被研磨面の裏面を押圧することで、前記被研磨面を前記研磨部材に押圧する押圧部と、
前記研磨対象物の研磨中に、前記研磨対象物の前記被研磨面の残膜プロファイルを推定する膜厚測定部と、
前記研磨対象物の研磨中に、前記膜厚測定部の測定結果に応じて、前記押圧部による前記被研磨面の裏面に対する押圧を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記研磨対象物の研磨中の前記押圧部による押圧の制御とともに、前記被研磨面の前記研磨部材に対する押圧に影響を与える前記押圧部の周辺部を研磨中に制御し、
前記制御部は、前記周辺部の押圧を、前記押圧部によって裏面を直接押圧される前記被研磨面の研磨速度に対する、前記押圧部、および前記周辺部との関係式を用いて研磨中に計算することを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記周辺部は、前記押圧部の近傍で前記研磨部材を押圧するリテーナ部材であり、
前記制御部は、前記押圧部による前記被研磨面の裏面の押圧の制御とともに、前記リテーナ部材による前記研磨部材の押圧を制御することを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記押圧部は、前記研磨対象物の前記被研磨面の裏面のエッジ領域を押圧し、
前記リテーナ部材は、前記研磨対象物を囲う部材であることを特徴とする請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記研磨対象物の前記被研磨面の裏面を部分的に押圧する複数の前記押圧部を備え、
前記周辺部は、隣接する他の前記押圧部であることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記周辺部は、前記押圧部の弾性体の変形による前記被研磨面の圧力を制御する機構であることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記周辺部は、前記押圧部の弾性体の変形を制御する機構であることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記被研磨面の膜厚プロファイルが、前記被研磨面の全面において、均一又は所望の形状となるように、前記周辺部の押圧を制御することを特徴とする請求項２ないし６のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記被研磨面の膜厚プロファイルが、前記押圧部によって裏面を直接押圧される前記被研磨面の領域内において、均一又は所望の形状となるように、前記周辺部の押圧を制御することを特徴とする請求項２ないし４のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項９】
前記周辺部の制御について制御限界値が設定されており、
前記制御部は、前記制御限界値の範囲内で制御を行うことを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１０】
前記押圧部は、円形状の圧力室及びその周りを囲む複数の円環状の圧力室から形成されることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１１】
研磨対象物の被研磨面と研磨部材とを相対的に摺動させて前記被研磨面を研磨する研磨方法であって、
前記研磨対象物の前記被研磨面の裏面を押圧部で押圧することで、前記被研磨面を前記研磨部材に押圧する押圧ステップと、
前記研磨対象物の研磨中に、前記研磨対象物の前記被研磨面の残膜プロファイルを推定する膜厚測定ステップと、
前記研磨対象物の研磨中に、前記膜厚測定ステップにおける測定結果に応じて、前記押圧部による前記被研磨面の裏面に対する押圧を制御する制御ステップと、
を含み、
前記制御ステップは、前記押圧部による前記被研磨面の裏面の押圧の制御とともに、前記被研磨面の前記研磨部材に対する押圧に影響を与える前記押圧部の周辺部を研磨中に制御し、
前記周辺部の押圧は、前記押圧部によって裏面を直接押圧される前記被研磨面の研磨速度に対する、前記押圧部、および前記周辺部との関係式を用いて研磨中に計算されることを特徴とする研磨方法。
【請求項１２】
前記被研磨面の裏面に対する押圧と前記周辺部の押圧とが、閉ループ制御において同時に決定されることを特徴とする請求項１１に記載の研磨方法。
【請求項１３】
前記膜厚測定部は、光学式の膜厚センサであることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項１４】
前記膜厚測定部は、渦電流式膜厚センサであることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項１５】
推定された残膜プロファイルが目標膜厚プロファイルになるまで、前記膜厚測定ステップと前記制御ステップとを一定の周期で繰り返すことを特徴とする請求項１１に記載の研磨方法。
【請求項１６】
前記周辺部は、前記押圧部の近傍で前記研磨部材を押圧するリテーナ部材であり、
前記制御ステップは、前記押圧部による前記被研磨面の裏面の押圧の制御とともに、前記リテーナ部材による前記研磨部材の押圧を制御することを特徴とする請求項１１に記載の研磨方法。
【請求項１７】
前記押圧ステップは、複数の前記押圧部により前記研磨対象物の前記被研磨面の裏面を部分的に押圧し、
前記周辺部は、隣接する他の前記押圧部であることを特徴とする請求項１１に記載の研磨方法。
【請求項１８】
前記制御ステップは、前記被研磨面の膜厚プロファイルが、前記被研磨面の全面において、均一又は所望の形状となるように、前記周辺部の押圧を制御することを特徴とする請求項１６または１７に記載の研磨方法。