【手続補正書】
【提出日】平成28年12月23日(2016.12.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置、液晶表示装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲート電極と、
前記ゲート電極上の、ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記ゲート電極と重なる領域を有する、酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続された、第１の電極と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続された、第２の電極と、
前記第１の電極及び前記第２の電極上の、第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上の、第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上の、第３の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の、第４の絶縁膜と、を有し、
前記第１の絶縁膜は、酸化物絶縁膜であり、
前記第２の絶縁膜は、窒化物絶縁膜であり、
前記第３の絶縁膜は、有機絶縁材料を有し、
前記第４の絶縁膜は、無機絶縁材料を有し、
前記第１の絶縁膜は、前記第１の電極及び前記第２の電極の段差部を覆う第１の領域を有し、
前記第１の領域は、複数の亀裂を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の領域と接する領域を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第３の絶縁膜の一部を露出するように設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
ゲート電極と、
前記ゲート電極上の、ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記ゲート電極と重なる領域を有する、酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続された、第１の電極と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続された、第２の電極と、
前記第１の電極及び前記第２の電極上の、第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上の、第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上の、第３の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の、第４の絶縁膜と、を有し、
前記第１の絶縁膜は、酸化物絶縁膜であり、
前記第２の絶縁膜は、窒化物絶縁膜であり、
前記第３の絶縁膜は、有機絶縁材料を有し、
前記第４の絶縁膜は、無機絶縁材料を有し、
前記第１の絶縁膜は、前記第１の電極及び前記第２の電極の端部を覆う第１の領域を有し、
前記第１の領域は、複数の亀裂を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の領域と接する領域を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第３の絶縁膜の一部を露出するように設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
画素領域と、駆動回路領域とを有し、
前記画素領域は、
第１のゲート電極と、
前記第１のゲート電極上の、ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記第１のゲート電極と重なる領域を有する、第１の酸化物半導体膜と、
前記第１の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第１の電極と、
前記第１の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第２の電極と、を有し、
前記駆動回路領域は、
第２のゲート電極と、
前記第２のゲート電極上の、前記ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記第２のゲート電極と重なる領域を有する、第２の酸化物半導体膜と、
前記第２の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第３の電極と、
前記第２の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第４の電極と、を有し、
前記第１の電極乃至前記第４の電極上の、前記第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上の、前記第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上の、前記第３の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の、前記第４の絶縁膜と、を有し、
前記第１の絶縁膜は、酸化物絶縁膜であり、
前記第２の絶縁膜は、窒化物絶縁膜であり、
前記第３の絶縁膜は、有機絶縁材料を有し、
前記第４の絶縁膜は、無機絶縁材料を有し、
前記第１の絶縁膜は、前記第３の電極及び前記第４の電極の段差部を覆う第１の領域を有し、
前記第１の領域は、複数の亀裂を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の領域と接する領域を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第２の酸化物半導体膜と重ならないことを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
画素領域と、駆動回路領域とを有し、
前記画素領域は、
第１のゲート電極と、
前記第１のゲート電極上の、ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記第１のゲート電極と重なる領域を有する、第１の酸化物半導体膜と、
前記第１の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第１の電極と、
前記第１の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第２の電極と、を有し、
前記駆動回路領域は、
第２のゲート電極と、
前記第２のゲート電極上の、前記ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記第２のゲート電極と重なる領域を有する、第２の酸化物半導体膜と、
前記第２の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第３の電極と、
前記第２の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第４の電極と、を有し、
前記第１の電極乃至前記第４の電極上の、前記第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上の、前記第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上の、前記第３の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の、前記第４の絶縁膜と、を有し、
前記第１の絶縁膜は、酸化物絶縁膜であり、
前記第２の絶縁膜は、窒化物絶縁膜であり、
前記第３の絶縁膜は、有機絶縁材料を有し、
前記第４の絶縁膜は、無機絶縁材料を有し、
前記第１の絶縁膜は、前記第３の電極及び前記第４の電極の端部を覆う第１の領域を有し、
前記第１の領域は、複数の亀裂を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の領域と接する領域を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第２の酸化物半導体膜と重ならないことを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
ゲート電極と、
前記ゲート電極上の、ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記ゲート電極と重なる領域を有する、酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続された、第１の電極と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続された、第２の電極と、
前記第１の電極及び前記第２の電極上の、第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上の、第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上の、第３の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の、第４の絶縁膜と、
前記第４の絶縁膜上の、液晶層と、を有し、
前記第１の絶縁膜は、酸化物絶縁膜であり、
前記第２の絶縁膜は、窒化物絶縁膜であり、
前記第３の絶縁膜は、有機絶縁材料を有し、
前記第４の絶縁膜は、無機絶縁材料を有し、
前記第１の絶縁膜は、前記第１の電極及び前記第２の電極の段差部を覆う第１の領域を有し、
前記第１の領域は、複数の亀裂を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の領域と接する領域を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第３の絶縁膜の一部を露出するように設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項６】
ゲート電極と、
前記ゲート電極上の、ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記ゲート電極と重なる領域を有する、酸化物半導体膜と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続された、第１の電極と、
前記酸化物半導体膜と電気的に接続された、第２の電極と、
前記第１の電極及び前記第２の電極上の、第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上の、第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上の、第３の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の、第４の絶縁膜と、
前記第４の絶縁膜上の、液晶層と、を有し、
前記第１の絶縁膜は、酸化物絶縁膜であり、
前記第２の絶縁膜は、窒化物絶縁膜であり、
前記第３の絶縁膜は、有機絶縁材料を有し、
前記第４の絶縁膜は、無機絶縁材料を有し、
前記第１の絶縁膜は、前記第１の電極及び前記第２の電極の端部を覆う第１の領域を有し、
前記第１の領域は、複数の亀裂を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の領域と接する領域を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第３の絶縁膜の一部を露出するように設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項７】
画素領域と、駆動回路領域とを有し、
前記画素領域は、
第１のゲート電極と、
前記第１のゲート電極上の、ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記第１のゲート電極と重なる領域を有する、第１の酸化物半導体膜と、
前記第１の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第１の電極と、
前記第１の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第２の電極と、を有し、
前記駆動回路領域は、
第２のゲート電極と、
前記第２のゲート電極上の、前記ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記第２のゲート電極と重なる領域を有する、第２の酸化物半導体膜と、
前記第２の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第３の電極と、
前記第２の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第４の電極と、を有し、
前記第１の電極乃至前記第４の電極上の、前記第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上の、前記第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上の、前記第３の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の、前記第４の絶縁膜と、
前記第４の絶縁膜上の、液晶層と、を有し、
前記第１の絶縁膜は、酸化物絶縁膜であり、
前記第２の絶縁膜は、窒化物絶縁膜であり、
前記第３の絶縁膜は、有機絶縁材料を有し、
前記第４の絶縁膜は、無機絶縁材料を有し、
前記第１の絶縁膜は、前記第３の電極及び前記第４の電極の段差部を覆う第１の領域を有し、
前記第１の領域は、複数の亀裂を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の領域と接する領域を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第２の酸化物半導体膜と重ならないことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項８】
画素領域と、駆動回路領域とを有し、
前記画素領域は、
第１のゲート電極と、
前記第１のゲート電極上の、ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記第１のゲート電極と重なる領域を有する、第１の酸化物半導体膜と、
前記第１の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第１の電極と、
前記第１の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第２の電極と、を有し、
前記駆動回路領域は、
第２のゲート電極と、
前記第２のゲート電極上の、前記ゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を介して、前記第２のゲート電極と重なる領域を有する、第２の酸化物半導体膜と、
前記第２の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第３の電極と、
前記第２の酸化物半導体膜と電気的に接続された、第４の電極と、を有し、
前記第１の電極乃至前記第４の電極上の、前記第１の絶縁膜と、
前記第１の絶縁膜上の、前記第２の絶縁膜と、
前記第２の絶縁膜上の、前記第３の絶縁膜と、
前記第３の絶縁膜上の、前記第４の絶縁膜と、
前記第４の絶縁膜上の、液晶層と、を有し、
前記第１の絶縁膜は、酸化物絶縁膜であり、
前記第２の絶縁膜は、窒化物絶縁膜であり、
前記第３の絶縁膜は、有機絶縁材料を有し、
前記第４の絶縁膜は、無機絶縁材料を有し、
前記第１の絶縁膜は、前記第３の電極及び前記第４の電極の端部を覆う第１の領域を有し、
前記第１の領域は、複数の亀裂を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の領域と接する領域を有し、
前記第４の絶縁膜は、前記第２の酸化物半導体膜と重ならないことを特徴とする液晶表示装置。