【手続補正書】
【提出日】平成29年2月21日(2017.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給する処理液ノズルと、
前記処理液ノズルを保持するノズルアームと、
前記ノズルアームの全面を洗浄液中に浸漬させて洗浄するためのアーム洗浄槽と、を備えたことを特徴とする基板液処理装置。
【請求項２】
前記アーム洗浄槽に前記ノズルアームと前記処理液ノズルが同時に収容され、前記洗浄液中に同時に浸漬されることを特徴とする請求項１に記載の基板液処理装置。
【請求項３】
前記アーム洗浄槽は、
前記洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
前記アーム洗浄槽の洗浄液を排出する洗浄液排出部と、
を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の基板液処理装置。
【請求項４】
前記ノズルアームは、撥水性の部材によって構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
【請求項５】
前記アーム洗浄槽に、前記洗浄液よりも揮発性の高い乾燥液を供給する乾燥液供給部を備えていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
【請求項６】
前記ノズルアームを駆動する駆動機構を備え、
前記駆動機構は、アーム洗浄槽の側方に配置され、前記ノズルアームは、アーム洗浄槽内の洗浄液に浸漬可能なように、前記駆動機構による支持位置の側方で下方へ向けて伸延した縦棒部分と、縦棒部分の下端から横方向へ向けて伸延した横棒部分とを含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
【請求項７】
前記アーム洗浄槽には、当該アーム洗浄槽内の洗浄液に超音波振動を印加するための振動部が設けられていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
【請求項８】
前記洗浄液の温度調節を行う温度調節部を備えたことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
【請求項９】
前記アーム洗浄槽の内部には、前記処理液ノズルから吐出された処理液を受けて外部へ排出する液受部が設けられていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
【請求項１０】
前記アーム洗浄槽の底部には、前記処理液ノズルから吐出された処理液を受けて外部へ排出する液受部が設けられていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
【請求項１１】
前記ノズルアームを駆動する駆動機構を備え、
前記駆動機構はノズルアームの昇降機能を備え、または前記洗浄液供給部はアーム洗浄槽内の洗浄液の液面の高さ位置の調節機能を備え、
記洗浄液内にノズルアームを浸漬させて洗浄する洗浄位置と、前記洗浄液に処理液ノズルのみを浸漬させて洗浄する位置との間で、前記ノズルアームの高さ位置または前記液面の高さ位置を制御する制御信号を前記駆動機構または洗浄液供給部に供給する制御部を備えたことを特徴とする請求項３に記載の基板液処理装置。
【請求項１２】
前記アーム洗浄槽に連続的に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
前記アーム洗浄槽の上端部を周方向に囲むように設けられ、当該アーム洗浄槽からオーバーフローした洗浄液を受け止め、洗浄液を排出するための排出口を備えた排液溝部と、を備えたことを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
【請求項１３】
前記アーム洗浄槽の下方には、前記アーム洗浄槽から排出された前記洗浄液を受け入れる排出槽を備え、
前記排出槽は、アーム洗浄槽内の洗浄液を全量、受け入れることが可能な容量を有することを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の基板液処理装置は、基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給する処理液ノズルと、
前記処理液ノズルを保持するノズルアームと、
前記ノズルアームの全面を洗浄液中に浸漬させて洗浄するためのアーム洗浄槽と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
前記基板液処理装置は、以下の構成を備えていてもよい。
（ａ）前記アーム洗浄槽に前記ノズルアームと前記処理液ノズルが同時に収容され、前記洗浄液中に同時に浸漬されること。
（ｂ）前記アーム洗浄槽は、前記洗浄液を供給する洗浄液供給部と、前記アーム洗浄槽の洗浄液を排出する洗浄液排出部と、を備えたこと。このとき、前記ノズルアームを駆動する駆動機構を備え、前記駆動機構はノズルアームの昇降機能を備え、または前記洗浄液供給部はアーム洗浄槽内の洗浄液の液面の高さ位置の調節機能を備え、記洗浄液内にノズルアームを浸漬させて洗浄する洗浄位置と、前記洗浄液に処理液ノズルのみを浸漬させて洗浄する位置との間で、前記ノズルアームの高さ位置または前記液面の高さ位置を制御する制御信号を前記駆動機構または洗浄液供給部に供給する制御部を備えたこと。
（ｃ）前記ノズルアームは、撥水性の部材によって構成されていること。前記アーム洗浄槽に、前記洗浄液よりも揮発性の高い乾燥液を供給する乾燥液供給部を備えていること。前記ノズルアームを駆動する駆動機構を備え、前記駆動機構は、アーム洗浄槽の側方に配置され、前記ノズルアームは、アーム洗浄槽内の洗浄液に浸漬可能なように、前記駆動機構による支持位置の側方で下方へ向けて伸延した縦棒部分と、縦棒部分の下端から横方向へ向けて伸延した横棒部分とを含むこと。
（ｄ）前記アーム洗浄槽には、当該アーム洗浄槽内の洗浄液に超音波振動を印加するための振動部が設けられていること。前記洗浄液の温度調節を行う温度調節部を備えたこと。
（ｅ）前記アーム洗浄槽の内部には、前記処理液ノズルから吐出された処理液を受けて外部へ排出する液受部が設けられていること。または、前記アーム洗浄槽の底部には、前記処理液ノズルから吐出された処理液を受けて外部へ排出する液受部が設けられていること。
（ｆ）前記アーム洗浄槽に連続的に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、前記アーム洗浄槽の上端部を周方向に囲むように設けられ、当該アーム洗浄槽からオーバーフローした洗浄液を受け止め、洗浄液を排出するための排出口を備えた排液溝部と、を備えたこと。
（ｇ）前記アーム洗浄槽の下方には、前記アーム洗浄槽から排出された前記洗浄液を受け入れる排出槽を備え、前記排出槽は、アーム洗浄槽内の洗浄液を全量、受け入れることが可能な容量を有すること。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
各処理流体供給部４０ａ、４０ｂは共通の構成を備え、処理流体として薬液やリンス液などの処理液の供給を行うので、以下、処理液供給部４００と呼びまとめて説明を行う。
処理液供給部４００は、ウエハＷに対して処理液の供給を行うノズル（処理液ノズル）４１と、ノズル４１を保持するノズルヘッド部４２と、水平方向に伸びるように設けられ、その先端部に前記ノズルヘッド部４２が設けられたアーム部４３と、アーム部４３の基端部を支持し、前記アーム部４３を鉛直軸まわりに回転駆動する駆動部（駆動機構）４４とを備える。ノズル４１は、駆動部４４によって、ウエハＷの上方の処理位置と、この処理位置から退避した退避位置との間で移動することができる。図４、図５などにおいては、ノズルヘッド部４２にノズル４１を１本だけ保持させた例を示しているが、当該ノズルヘッド部４２には、異なる処理液を供給する複数のノズル４１を保持させてもよい。ノズルヘッド部４２及びアーム部４３は、本例のノズルアームを構成している。ノズル４１やノズルヘッド部４２、アーム部４３は、フッ素樹脂などの撥水性の部材によって構成される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
前記処理液供給部４００において、駆動部４４は、アーム洗浄槽２３を成す凹部の底面から下方側へ突出して配置される。ノズル４１が退避位置に退避したとき、ノズル４１、ノズルヘッド部４２、アーム部４３を含む処理液供給部４００の全体、及び、アーム部４３を支持する支柱部４４１がアーム洗浄槽２３内に収容された状態となる（図３、図４、図５）。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
また、駆動部４４は鉛直軸まわりにアーム部４３を回転させる機能に加え、支柱部４４１を伸縮させることにより、ノズル４１、ノズルヘッド部４２、アーム部４３がアーム洗浄槽２３内に収容された状態となる高さ位置（洗浄位置）と、この洗浄位置よりも上方側の位置との間で、アーム部４３を昇降させる機能を備える。本例において、洗浄位置は、処理位置から退避させたノズル４１の退避位置を兼ねている。ここで、洗浄位置よりも上方側の位置とは、ノズル４１を処理位置へと移動させるため必要な高さ位置である。また伸縮自在な支柱部４４１や、駆動部４４と支柱部４４１との連結部は、防水構造となっている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
さらにアーム洗浄槽２３には、アーム洗浄槽２３内の洗浄液を排出するための例えば２本の排出管６２１が設けられている。これら排出管６２１は、スライド弁などからなる開閉弁６２２を介してアーム洗浄槽２３の下面に接続され、各々、下方側に向けて伸び出している。これらの排出管６２１は、洗浄液供給管６１１などと比べて大口径の配管部材により構成され、アーム洗浄槽２３内の洗浄液を短時間で排出することができる。アーム洗浄槽２３の下方にはアーム洗浄槽２３から排出された洗浄液を受け入れる共通の排出槽６２が設けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
排出槽６２は、アーム洗浄槽２３内の洗浄液を全量、受け入れることが可能な容量を有する。排出槽６２の下面には、排出槽６２内の洗浄液を外部へ排出するための排液管６２３が接続されている。排液管６２３には、排出槽６２内から洗浄液を排出する際に開かれる開閉バルブＶ２が設けられている。なお、アーム洗浄槽２３の底面から下方側へ突出する駆動部４４と排出槽６２とが干渉する場合には、排出槽６２の上面に、駆動部４４を挿入する凹部を設けてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
さらにアーム洗浄槽２３は、ノズル４１が退避位置に位置している間にノズル４１内の処理液を吐出するダミーディスペンスを行う際に、ノズル４１から吐出された処理液を受ける液受部２５を備えている。液受部２５は、その上面側が開口した容器形状であり、ノズル４１を退避位置（洗浄位置）まで移動させたとき、当該液受部２５内にノズル４１が挿入された状態となる位置に配置されている。液受部２５の底面には、開閉バルブＶ３が介設され、ノズル４１から吐出された処理液を外部に排出するための排出管２５１が接続されている。なお、図示の便宜上、図３、図５以外の図においては、液受部２５の記載を省略してある。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
次いで、予め設定された順番に基づき、処理流体供給部４０ａ、４０ｂ（処理液供給部４００）の一方側を退避位置から処理位置まで移動させる。詳細には図４、図５に示すように、洗浄液が供給されていない、空の状態のアーム洗浄槽２３内の退避位置にノズル４１が退避した状態となっている。ウエハＷへの処理液を供給するタイミングとなったら、駆動部４４によって前記退避位置の上方側へアーム部４３を上昇させ、処理液供給部４００（ノズル４１、ノズルヘッド部４２及びアーム部４３）の全体をアーム洗浄槽２３の開口を介してチャンバ２０内へ移動させる。次いで、駆動部４４によって、保持部３１に保持されたウエハＷの中央部上方の処理位置までノズル４１を移動させる（図６）。また、例えば新たなロットのウエハＷの処理を開始する前に、ノズル４１から液受部２５へ処理液を吐出するダミーディスペンスを行ってからノズル４１の移動を開始してもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
しかる後、ウエハＷを鉛直軸線周りに所定の回転速度で回転させ、ノズル４１から処理液、例えば薬液を供給し、回転するウエハＷの表面に薬液を広げてウエハＷの処理を行う。そして、所定時間、薬液の供給を行ったら、ウエハＷに供給する処理液をＤＩＷなどのリンス液に切り替えて、ウエハＷのリンス洗浄を実行する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
処理液供給部４００を洗浄する際には、図４、図５に示すアーム洗浄槽２３内の洗浄位置（既述の退避位置でもある）にノズル４１を停止させ、ノズル４１、ノズルヘッド部４２、アーム部４３全体をアーム洗浄槽２３内に収容した状態とする。また、ノズル４１内やアーム部４３に配設された配管内の処理液は、上流側の不図示の回収配管側へ引き戻して回収し、これらノズル４１や洗浄液内に浸漬される処理液の供給配管内を空の状態としてから処理液供給部４００の洗浄を行ってもよい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
所定時間だけ処理液供給部４００の洗浄を行ったら、振動部２４からの超音波の印加を停止し、２つの排出管６２１の開閉弁６２２を開いて、アーム洗浄槽２３内の洗浄液Ｌを排出槽６２へ向けて排出する。このとき、比較的口径の大きな複数の排出管６２１を用いることにより、洗浄液Ｌの排出に要する時間を短くし、ウエハＷの液処理の再開が可能となるまでの時間を短縮することができる。さらに、ノズルヘッド部４２およびアーム部４３に、撥水性の部材を用いているので、洗浄液Ｌの液滴がノズルヘッド部４２およびアーム部４３の表面に残留することなく排出できる。この結果、洗浄液Ｌの液滴が乾燥することにより結晶化し、パーティクルの原因となることを抑制することができる。アーム洗浄槽２３から排出された洗浄液Ｌは、排出槽６２に受け入れられ、排液管６２３を介して別途、排出される。また液受部２５内に進入した洗浄液Ｌについても排出管２５１の開閉バルブＶ３を開いて外部へ排出する。以上で処理液供給部４００の一連の洗浄処理が終了する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
また図８、図９に示すように、ノズル４１のダミーディスペンス用の液受部２５ａがアーム洗浄槽２３の底面に設けられている点が、アーム洗浄槽２３の空間内に液受部２５を配置した第１の実施形態と異なる。さらに、本実施の形態においては、第１の実施形態と比較してアーム洗浄槽２３の高さ寸法が低くなっている。この結果、アーム洗浄槽２３内の洗浄液Ｌの貯留量が少ないため、洗浄液Ｌの排出にあたっては、排出管６２１よりも口径の小さな単独の排液管６２３を用いて洗浄液Ｌの排出を行う構成となっている。  
さらに本例の処理ユニット１６ａにおいては、洗浄液供給部６１からの洗浄液Ｌの供給量を調節して、アーム洗浄槽２３内における洗浄液Ｌの液面の高さ位置を変えることもできる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
駆動部４４ｂは床面２０１から上方側へ向けて伸びるように配置され、アーム部４３ａは当該駆動部４４ｂの上端部にて下面側から支持されている。そして図１３、図１６などに示すように、側面側から見たアーム部４３ａは、駆動部４４ｂによる支持位置の側方で下方側へ向けて伸延した縦棒部分と、縦棒部分の下端から横方向へ向けて伸延した横棒部分とを含み、階段形状となっている。駆動部４４ｂがアーム部４３ａを洗浄位置まで降下させたときに、アーム部４３ａの横棒部分と、ノズルヘッド部４２及びノズル４１が洗浄液Ｌ内に浸漬された状態となる（図１６）。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
ノズル４１を退避位置に退避させた際に行われる洗浄について、振動部２４からは、常時、超音波を印加してもよいし、所定の枚数のウエハＷを処理した後などのタイミングで超音波を印加してもよい。  
また駆動部４４ｂを床面２０１上に設けた場合には、アーム部４３ａの基端側に存在する縦棒部分の一部は洗浄液Ｌ内に浸漬されない。しかしながら当該部分は処理液の供給が行われるノズル４１から遠く、汚染発生の恐れが小さい領域であると共に、処理対象のウエハＷからも遠い位置に配置されている。従って、処理液が付着したとしても、この付着物がウエハＷの汚染原因となるおそれも小さい。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
次いで洗浄液のバリエーションを述べておくと、処理液供給部４００の洗浄には、既述のＤＩＷの他、ノズルヘッド部４２やアーム部４３の表面に付着している有機性の汚れやパーティクルを除去するためのＳＣ１（アンモニア水と過酸化水素水との混合水溶液）、金属汚染の除去を行うＳＣ２（塩酸、過酸化水素水及び純水の混合溶液）、金属部材の表面の自然酸化物を除去するためのＤＨＦ（Diluted HydroFluoric acid）などを用いてもよい。さらに、洗浄液よりも揮発性の高い乾燥液をアーム洗浄槽２３に供給する乾燥液供給部を設け、洗浄液による洗浄の後、アーム洗浄槽２３内の洗浄液を乾燥液と入れ替えてから、アーム洗浄槽２３内の乾燥液を排出することにより、ノズルヘッド部４２やアーム部４３の乾燥を促進してもよい。例えば、ＤＩＷによる洗浄の後に、乾燥液としてＩＰＡなどを用いてもよい。