【手続補正書】
【提出日】平成29年4月12日(2017.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＣＲメータのハイ側端子に接続された第１の端子と、該ＬＣＲメータのロー側端子に接続された第２の端子と、該ＬＣＲメータのガード端子に接続された第３の端子と、被測定対象の第１の端子に接続するための第４の端子と、該被測定対象の第２の端子に接続するための第５の端子と、該被測定対象の第３の端子に接続するための第６の端子とを備え、該第４〜６の端子は該第１〜３の端子のいずれかを接続することができるように構成された経路セレクタと、前記経路セレクタの前記第４の端子に接続した第１のケーブルと、前記第５の端子に接続した第２のケーブルと、前記第６の端子に接続した第３のケーブルとを備えて、３端子を有する被測定対象の端子間容量を測定する方法であって、
前記被測定対象の各端子までの経路に対する誤差インピーダンスを求めるために、前記経路セレクタの３つの接続に対する測定を行うステップと、
前記被測定対象に対して、残留インダクタンスの誤差を含んだ各端子間容量のインピーダンスを求めるために、前記経路セレクタの３つの接続に対する測定を行うステップと、
前記誤差インピーダンスを求めるために測定を行うステップと、前記各端子間容量のインピーダンスを求めるために測定を行うステップとの測定結果から、前記残留インダクタンスの影響をキャンセルした前記被測定対象の前記各端子間容量を求めるステップと
を備える方法。
【請求項２】
前記誤差インピーダンスを求めるために測定を行うステップは、
前記第１のケーブルと、前記第２のケーブルと、前記第３のケーブルの前記経路セレクタに接続されてない端部を互いにショート接続するステップと、
前記経路セレクタの前記第１、２の端子を前記第５、６の端子にそれぞれ接続して、前記ＬＣＲメータにより第１の電圧と第１の電流を測定し、前記経路セレクタの前記第１、２の端子を前記第４、６の端子の端子にそれぞれ接続して、前記ＬＣＲメータにより第２の電圧と第２の電流を測定し、前記経路セレクタの前記第１、２の端子を前記第４、５の端子にそれぞれ接続して、前記ＬＣＲメータにより第３の電圧と第３の電流を測定するステップとを備え、
前記各端子間容量のインピーダンスを求めるために測定を行うステップは、
前記第１、第２、第３のケーブルの前記経路セレクタに接続されてない端部を、被測定対象の第１の端子、第２の端子、第３の端子にそれぞれ接続するステップと、
前記経路セレクタを、前記経路セレクタの前記第１の端子が前記第５の端子に接続され、前記第２の端子が前記第６の端子に接続され、前記第３の端子が前記第４の端子に接続されるように構成して、前記ＬＣＲメータにより第４の電圧と第４の電流を測定し、前記経路セレクタを、前記経路セレクタの前記第１の端子が前記第４の端子に接続され、前記第２の端子が前記第６の端子に接続され、前記第３の端子が前記第５の端子に接続されるように構成して、前記ＬＣＲメータにより第５の電圧と第５の電流を測定し、前記経路セレクタを、前記経路セレクタの前記第１の端子が前記第４の端子に接続され、前記第２の端子が前記第５の端子に接続され、前記第３の端子が前記第６の端子に接続されるように構成して、前記ＬＣＲメータにより第６の電圧と第６の電流を測定するステップとを備え、
前記被測定対象の前記各端子間容量を求めるステップは、
該第１の電圧と該第１の電流から第１のインピーダンスを求め、該第２の電圧と該第２の電流から第２のインピーダンスを求め、該第３の電圧と該第３の電流から第３のインピーダンスを求めるステップと、
前記第１〜第３のインピーダンスから、前記第１のケーブルのインピーダンスと、前記第２のケーブルのインピーダンスと、前記第３のケーブルのインピーダンスとを求めるステップと、
前記経路セレクタの前記第１の端子から前記第５の端子を介して前記第２のケーブルの終端までの第４のインピーダンスと、前記経路セレクタの前記第２の端子から前記第６の端子を介して前記第３のケーブルの終端までの第５のインピーダンスと、前記経路セレクタの前記第３の端子から前記第４の端子を介して前記第１のケーブルの終端までの第６のインピーダンスと、前記経路セレクタの前記第１の端子から前記第４の端子を介して前記第１のケーブルの終端までの第７のインピーダンスと、前記経路セレクタの前記第３の端子から前記第５の端子を介して前記第２のケーブルの終端までの第８のインピーダンスと、前記経路セレクタの前記第２の端子から前記第５の端子を介して前記第２のケーブルの終端までの第９のインピーダンスと、前記経路セレクタの前記第３の端子から前記第６の端子を介して前記第３のケーブルの終端までの第１０のインピーダンスとを求めるステップと、
前記第４の電圧と前記第４の電流から第１１のインピーダンスを求め、前記第５の電圧と前記第５の電流から第１２のインピーダンスを求め、前記第６の電圧と前記第６の電流から第１３のインピーダンスを求めるステップと、
前記第４〜６の電圧と前記第４〜６の電圧を測定する回路に関するキルヒホッフの定理による３連立方程式に、前記第４のインピーダンス〜第１３のインピーダンスを代入し、数値解析手法を用いて、前記被測定対象の３端子の各端子間容量を表す第１４、１５、１６のインピーダンスを求めるステップとを備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記経路セレクタが、前記第４〜６の端子に接続される信号に、第７、第８、第９の電圧をそれぞれ重畳する、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１４、１５、１６のインピーダンスを求めるステップにおいて、前記数値解析手法にシンプレックス法を用いる、請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
前記経路セレクタの第１の端子は、前記ＬＣＲメータのハイ側電流端子及びハイ側電圧端子に接続され、
前記経路セレクタの第２の端子は、前記ＬＣＲメータのロー側電流端子及びロー側電圧端子に接続される、請求項１〜４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
第１の端子と、第２の端子と、第３の端子と、第４の端子と、第５の端子と、第６の端子とを備え、
前記第４〜６の端子はそれぞれ、前記第１〜３の端子のいずれかを接続することができるように構成された経路セレクタ。
【請求項７】
前記経路セレクタは、前記第１〜第３の端子のいずれかから前記第４〜６のいずれかに端子に接続される信号に、第７、第８、第９の電圧を重畳することができるように構成されている、請求項６に記載の経路セレクタ。
【請求項８】
前記経路セレクタの前記第７、第８、第９の電圧を重畳することができる構成は、前記第４〜第６の端子にそれぞれ接続される信号線に対応する第１、第２、第３のバイアスティーと、該第１〜第３のバイアスティーに接続された第７、第８、第９の端子を備え、該第７〜第９の端子に印加された電圧を前記第４〜第６の端子にそれぞれ接続される信号線に重畳するように構成される、請求項７に記載の経路セレクタ。
【請求項９】
前記経路セレクタは、第１０、第１１の端子を備え、
前記第１０の端子は前記第１の端子に接続され、
前記第１１の端子は前記第２の端子に接続される、請求項６〜８のいずれかに記載の経路セレクタ。
【請求項１０】
請求項６〜８のいずれかに記載の第１の経路セレクタと、
ＬＣＲメータと、
３端子デバイスである被測定対象と、
前記第１の経路セレクタの前記第４〜第６の端子と、前記被測定対象の第１、第２、第３の端子とをそれぞれ接続する、第１、第２、第３のケーブルと、
前記第１の経路セレクタの前記第１〜第３の端子と、前記ＬＣＲメータの第１、第２、第３の端子とをそれぞれ接続する、第４、第５、第６のケーブルと
を備える測定装置。
【請求項１１】
前記測定装置は、請求項１または２に記載の方法を実行する請求項１０に記載の測定装置。
【請求項１２】
前記ＬＣＲメータの前記第１の端子はハイ側端子であり、
前記ＬＣＲメータの前記第２の端子はロー側端子であり、
前記ＬＣＲメータの前記第３の端子はガード端子である、請求項１０または１１に記載の測定装置。
【請求項１３】
前記ＬＣＲメータは、前記第１〜第３の端子のそれぞれに電圧を重畳することができる請求項１０〜１２のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１４】
前記第１の経路セレクタは、第１０、第１１の端子を備え、
前記第１の経路セレクタの前記第１０の端子は前記第１の端子に接続され、
前記第１の経路セレクタの前記第１１の端子は前記第２の端子に接続され、
前記ＬＣＲメータは、第４、第５の端子を備え、
前記ＬＣＲメータの前記第１及び第４の端子は、ハイ側端子であり、
前記ＬＣＲメータの前記第２及び第５の端子は、ロー側端子であり、
前記ＬＣＲメータの前記第３の端子は、ガード端子であり、
前記ＬＣＲメータの前記第４の端子は、第７のケーブルにより、前記第１の経路セレクタの前記第１０の端子に接続され、
前記ＬＣＲメータの前記第５の端子は、第８のケーブルにより、前記第１の経路セレクタの前記第１１の端子に接続される、請求項１０〜１２のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１５】
前記ＬＣＲメータは、前記第１〜第５の端子のそれぞれに電圧を重畳することができる請求項１４に記載の測定装置。
【請求項１６】
１以上のチャンネルのＤＣ電圧を供給するＤＣ測定装置と、
第２の経路セレクタであって、前記ＤＣ測定装置のチャンネルのいずれかを、該第２の経路セレクタの第１、第２、第３の端子に接続することができる、第２の経路セレクタと、
前記第１の経路セレクタと前記第２の経路セレクタを含む第３の経路セレクタであって、前記第１の経路セレクタの第４の端子または前記第２の経路セレクタの第１の端子のいずれかを第１の端子に接続することができ、前記第１の経路セレクタの第５の端子または前記第２の経路セレクタの第２の端子のいずれかを第２の端子に接続することができ、前記第１の経路セレクタの第６の端子または前記第２の経路セレクタの第３の端子のいずれかを第３の端子に接続することができる第３の経路セレクタとを備え、
前記被測定端子の前記第１、第２、第３の端子に接続される前記第１、第２、第３のケーブルは、前記第３の経路セレクタの前記第１、第２、第３の端子とそれぞれ接続される、請求項１０〜１５のいずれかに記載の測定装置。