【手続補正書】
【提出日】平成29年4月5日(2017.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気口およびフランジを有するケーシングと、
前記ケーシング内に収容され、シャフト、および、前記シャフトと締結用ボルトで一体化された複数のロータ翼が形成されたロータを有するロータ組立体と、
前記ケーシング内に収容され、ロータ翼に対向して配設されるステータ翼と、
前記ケーシング内の周面に沿って積層され、前記ステータ翼を固定するスペーサとを備え、
真空排気上流側一段目の前記ロータ翼の真空排気下流側端部よりも真空排気上流側に設けられ、Ｆｅ、Ｃｒを含む合金で作製された部品の接ガス部に耐食性処理が施されているターボ分子ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記部品は、前記ロータに前記締結用ボルトで固定されるバランスプレートを含み、
前記締結用ボルトと前記バランスプレートとの当接面には、前記耐食性処理が施されていないターボ分子ポンプ。
【請求項３】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記部品は、前記ロータに前記締結用ボルトで固定されるバランスプレートを含み、
前記ロータと前記バランスプレートとの当接面には、前記耐食性処理が施されていないターボ分子ポンプ。
【請求項４】
請求項２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータと前記バランスプレートとの当接面には、前記耐食性処理が施されていないターボ分子ポンプ。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記バランスプレートは、バランス修正のために切削された切削部を有し、
前記切削部に前記耐食性処理が施されているターボ分子ポンプ。
【請求項６】
請求項２〜４のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記バランスプレートには複数の螺子穴が設けられ、いずれかの螺子穴にはバランス修正用の付加ボルトが螺合され、
前記部品は、前記付加ボルトを含み、
前記複数の螺子穴のうちの前記付加ボルトと螺合されていない螺子穴は、接ガス部であるターボ分子ポンプ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ケーシングの前記吸気口の内面に設けられた保護ネット装着部に装着された保護ネットと、
前記保護ネットを固定するための取り付け用ボルトとをさらに備え、
前記部品は、前記保護ネットと前記取り付け用ボルトとを含み、
前記保護ネット装着部は、接ガス部であるターボ分子ポンプ。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ケーシングの前記吸気口の内面に設けられた保護ネット装着部に装着された保護ネットと、
前記保護ネットを固定するための取り付け用ボルトとをさらに備え、
前記部品は、前記取り付け用ボルトを含み、
前記保護ネット装着部は、接ガス部であるターボ分子ポンプ。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ケーシングの前記吸気口の内面に設けられた保護ネット装着部に装着された保護ネットと、
前記保護ネットを固定するためのリングばねとをさらに備え、
前記部品は、前記保護ネットと前記リングばねとを含み、
前記保護ネット装着部は、接ガス部であるターボ分子ポンプ。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ケーシングの前記吸気口の内面に設けられた保護ネット装着部に装着された保護ネットと、
前記保護ネットを固定するためのリングばねとをさらに備え、
前記部品は、前記リングばねを含み、
前記保護ネット装着部は、接ガス部であるターボ分子ポンプ。
【請求項１１】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ケーシングの前記吸気口の内面に設けられた保護ネット装着部に装着された保護ネットをさらに備え、
前記保護ネットは、前記保護ネットと一体に形成された突起で固定され、
前記部品は、前記保護ネットを含み、
前記保護ネット装着部は、接ガス部であるターボ分子ポンプ。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記フランジは、前記吸気口の周縁にＯリング溝を有し、
前記Ｏリング溝および前記フランジの前記Ｏリング溝より内周側は、前記耐食性処理が施されているターボ分子ポンプ。
【請求項１３】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記フランジは、センターリングを介して真空チャンバに固定され、
前記フランジの前記センターリングとの当接部より内周側は、前記耐食性処理が施されているターボ分子ポンプ。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
真空排気上流側一段目の前記ロータ翼の真空排気下流側端部よりも真空排気下流側に設けられ、Ｆｅ、Ｃｒを含む合金で作製された部品に耐食性処理が施されていない、ターボ分子ポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
発明者は、研究開発の結果、この金属粒子の挙動に関し以下のような知見を得た。
ターボ分子ポンプにおいて、真空排気上流側（以下、上流側）から数えて一段目のロータ翼（以下、一段目のロータ翼）より真空排気下流側（以下、下流側）で発生した金属粒子に関しては、一段目のロータ翼が金属粒子を下流側に叩き付ける。これにより、一段目のロータ翼より下流側で発生した金属粒子は上流側には流れていかない。しかし、一段目のロータ翼より上流側で発生した金属粒子は、一段目のロータ翼が上流側に叩き付けることがある。これにより、一段目のロータ翼より上流側にある金属粒子は上流側に戻され、場合によっては真空チャンバまで逆流してしまうことがある。そして、その金属粒子が真空チャンバ内に入り込み、真空チャンバ内の半導体ウエハーを汚染するという金属汚染を引き起こす可能性がある。そのため、少なくとも一段目のロータ翼より真空排気上流側に位置するＦｅ、Ｃｒが含有されている部品を腐食させないようにすれば、上述の金属汚染を引き起こすことはない。
よって、本発明では、以下のように解決を図っている。
（１）本発明の好ましい実施形態によるターボ分子ポンプは、吸気口およびフランジを有するケーシングと、ケーシング内に収容され、シャフト、および、シャフトと締結用ボルトで一体化された複数のロータ翼が形成されたロータを有するロータ組立体と、ケーシング内に収容され、ロータ翼に対向して配設されるステータ翼と、ケーシング内の周面に沿って積層され、ステータ翼を固定するスペーサとを備え、真空排気上流側一段目のロータ翼の真空排気下流側端部よりも真空排気上流側に設けられ、Ｆｅ、Ｃｒを含む合金で作製された部品の接ガス部に耐食性処理が施されていることを特徴とする。
（２）さらに好ましい実施形態では、部品は、ロータに締結用ボルトで固定されるバランスプレートを含み、締結用ボルトとバランスプレートとの当接面には、耐食性処理が施されていないことを特徴とする。さらに、ロータとバランスプレートとの当接面に、耐食性処理が施されていないようにしてもよい。
（３）さらに好ましい実施形態では、部品は、ロータに締結用ボルトで固定されるバランスプレートを含み、ロータとバランスプレートとの当接面には、耐食性処理が施されていないことを特徴とする。
（４）さらに好ましい実施形態では、バランスプレートは、バランス修正のために切削された切削部を有し、切削部に耐食性処理が施されていることを特徴とする。
（５）さらに好ましい実施形態では、バランスプレートには複数の螺子穴が設けられ、いずれかの螺子穴にはバランス修正用の付加ボルトが螺合され、部品は、付加ボルトを含み、複数の螺子穴のうちの付加ボルトと螺合されていない螺子穴は、接ガス部であることを特徴とする。
（６）さらに好ましい実施形態では、ケーシングの吸気口の内面に設けられた保護ネット装着部に装着された保護ネットと、保護ネットを固定するための取り付け用ボルトとをさらに備え、部品は、保護ネットと取り付け用ボルトとを含み、保護ネット装着部は、接ガス部であることを特徴とする。
（７）さらに好ましい実施形態では、ケーシングの吸気口の内面に設けられた保護ネット装着部に装着された保護ネットと、保護ネットを固定するための取り付け用ボルトとをさらに備え、部品は、取り付け用ボルトを含み、保護ネット装着部は、接ガス部であることを特徴とする。
（８）さらに好ましい実施形態では、ケーシングの吸気口の内面に設けられた保護ネット装着部に装着された保護ネットと、保護ネットを固定するためのリングばねとをさらに備え、部品は、保護ネットとリングばねとを含み、保護ネット装着部は、接ガス部であることを特徴とする。
（９）さらに好ましい実施形態では、ケーシングの吸気口の内面に設けられた保護ネット装着部に装着された保護ネットと、保護ネットを固定するためのリングばねとをさらに備え、部品は、リングばねを含み、保護ネット装着部は、接ガス部であることを特徴とする。
（１０）さらに好ましい実施形態では、ケーシングの吸気口の内面に設けられた保護ネット装着部に装着された保護ネットをさらに備え、保護ネットは、保護ネットと一体に形成された突起で固定され、部品は、保護ネットを含み、保護ネット装着部は、接ガス部であることを特徴とする。
（１１）さらに好ましい実施形態では、フランジは、吸気口の周縁にＯリング溝を有し、
Ｏリング溝およびフランジのＯリング溝より内周側は、耐食性処理が施されていることを特徴とする。
（１２）さらに好ましい実施形態では、フランジは、センターリングを介して真空チャンバに固定され、フランジのセンターリングとの当接部より内周側は、耐食性処理が施されていることを特徴とする。
（１３）さらに好ましい実施形態では、真空排気上流側一段目の前記ロータ翼の真空排気下流側端部よりも真空排気下流側に設けられ、Ｆｅ、Ｃｒを含む合金で作製された部品に耐食性処理が施されていないことを特徴とする。