【手続補正書】
【提出日】平成29年5月30日(2017.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体材料を計量する計量部と、計量部内を往復移動するプランジャと、吐出口を有するノズルを複数備えるノズル部と、計量部に液体材料を供給する供給流路と、計量部とノズル部および計量部と供給流路の連通を切り換える切換弁とを備える滴下装置において、
前記ノズル部に、マトリクス状に複数点同時塗布を行えるように、一のノズルと隣り合うノズルとの間隔がいずれも同一となるように前記ノズルを底面から見てマトリクス状に配置するとともに、前記各ノズルのうち傾斜した複数のノズルと垂直線が構成する角度θがいずれも同一となるように前記傾斜した複数のノズルを傾けて配置したことを特徴とする滴下装置。
【請求項２】
前記各ノズルが、底面から見て矩形の枠内でマトリクス状に配置されることを特徴とする請求項１に記載の滴下装置。
【請求項３】
前記ノズルが、ｎ２（ｎは２以上の自然数）個のノズルからなることを特徴とする請求項２に記載の滴下装置。
【請求項４】
前記ノズル部に、前記傾斜した複数のノズルの吐出口が前記ノズル部の鉛直方向中心に対し外側を向くように配置されることを特徴とする請求項２に記載の滴下装置。
【請求項５】
前記ノズル部に、前記傾斜した複数のノズルの吐出口が前記ノズル部の鉛直方向中心に対し内側を向くように配置されることを特徴とする請求項２に記載の滴下装置。
【請求項６】
前記ノズルが、偶数個のノズルにより構成され、
前記各ノズルの全部が、底面から見て正方形の枠内で傾斜して配置されていることを特徴とする請求項３に記載の滴下装置。
【請求項７】
前記ノズルが、奇数個のノズルにより構成され、
中心以外のノズルが、底面から見て正方形の枠内で傾斜して配置され、
中心にある一のノズルが、底面から見て正方形の枠の対角線の交点に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の滴下装置。
【請求項８】
前記ノズル部が、一の流入流路および流入流路と前記吐出口と連通する分岐流路が形成されたノズルブロックを備え、当該ノズルブロックに前記ノズルが装着されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の滴下装置。
【請求項９】
請求項１に記載の滴下装置と、基板が載置されるワークテーブルと、前記滴下装置とワークテーブルとを相対的に移動させるＸＹＺ駆動装置と、記憶装置を有する制御部とを備える塗布装置。
【請求項１０】
前記滴下装置を複数備え、一の滴下装置のノズル数、ノズルの間隔またはノズルの角度θが、他の滴下装置のノズルの間隔またはノズルの角度θと異なることを特徴とする請求項９に記載の塗布装置。
【請求項１１】
前記滴下装置を複数備え、全ての滴下装置のノズル数、ノズルの間隔およびノズルの角度θが同一であることを特徴とする請求項９に記載の塗布装置。
【請求項１２】
前記制御部が、入力値に基づき前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を調節することにより、前記ノズルから吐出された液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節し、前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を一定としたまま、前記滴下装置と前記ワークテーブルとを水平方向に相対移動させながら液体材料をワークに滴下することを特徴とする請求項９に記載の塗布装置。
【請求項１３】
前記制御部の記憶装置に、前記ワークテーブルおよび前記滴下装置の垂直距離と液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）との相関関係パターンが複数記憶されており、
前記入力値が、前記相関関係パターンの選択値であることを特徴とする請求項１２に記載の塗布装置。
【請求項１４】
請求項１２に記載の塗布装置を用いた滴下方法であって、
入力値に基づき前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を調節することにより、前記ノズルから吐出された液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節し、前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を一定としたまま、前記滴下装置と前記ワークテーブルとを水平方向に相対移動させながら液体材料をワークに滴下することを特徴とする滴下方法。
【請求項１５】
前記制御部の記憶装置に、前記ワークテーブルおよび前記滴下装置の垂直距離と液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）との相関関係パターンが複数記憶されており、
前記入力値が、前記相関関係パターンの選択値であることを特徴とする請求項１４に記載の滴下方法。
【請求項１６】
請求項１１に記載の塗布装置を用いた滴下方法であって、前記複数の滴下装置の全てで同一の滴下塗布を行うことにより、多面取りを行うことを特徴とする滴下方法。
【請求項１７】
前記ワークが、液体材料が滴下される矩形の枠を備えることを特徴とする請求項１６に記載の滴下方法。
【請求項１８】
前記ワークが液晶パネル基板であり、前記液体材料が液晶であることを特徴とする請求項１６に記載の滴下方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
滴下装置に係る本発明は、液体材料を計量する計量部と、計量部内を往復移動するプランジャと、吐出口を有するノズルを複数備えるノズル部と、計量部に液体材料を供給する供給流路と、計量部とノズル部および計量部と供給流路の連通を切り換える切換弁とを備える滴下装置において、前記ノズル部に、マトリクス状に複数点同時塗布を行えるように、一のノズルと隣り合うノズルとの間隔がいずれも同一となるように前記ノズルを底面から見てマトリクス状に配置するとともに、前記各ノズルのうち傾斜した複数のノズルと垂直線が構成する角度θがいずれも同一となるように前記傾斜した複数のノズルを傾けて配置したことを特徴とする。
上記滴下装置において、前記各ノズルが、底面から見て矩形の枠内でマトリクス状に配置されることを特徴としてもよいし、これに加え、前記ノズルが、ｎ２（ｎは２以上の自然数）個のノズルからなることを特徴としてもよいし、前記ノズル部に、前記傾斜した複数のノズルの吐出口が前記ノズル部の鉛直方向中心に対し外側を向くように配置されることを特徴としてもよいし、或いは、前記ノズル部に、前記傾斜した複数のノズルの吐出口が前記ノズル部の鉛直方向中心に対し内側を向くように配置されることを特徴としてもよい。さらに、前記ノズルが、偶数個のノズルにより構成され、前記各ノズルの全部が、底面から見て正方形の枠内で傾斜して配置されていることを特徴としてもよいし、あるいは、前記ノズルが、奇数個のノズルにより構成され、中心以外のノズルが、底面から見て正方形の枠内で傾斜して配置され、中心にある一のノズルが、底面から見て正方形の枠の対角線の交点に配置されていることを特徴としてもよい。
上記滴下装置において、前記ノズル部が、一の流入流路および流入流路と前記吐出口と連通する分岐流路が形成されたノズルブロックを備え、当該ノズルブロックに前記ノズルが装着されることを特徴としてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
塗布装置に係る本発明は、上記滴下装置と、基板が載置されるワークテーブルと、前記滴下装置とワークテーブルとを相対的に移動させるＸＹＺ駆動装置と、記憶装置を有する制御部とを備えることを特徴とする。
上記塗布装置において、前記滴下装置を複数備え、一の滴下装置のノズル数、ノズルの間隔またはノズルの角度θが、他の滴下装置のノズルの間隔またはノズルの角度θと異なることを特徴としてもよいし、前記滴下装置を複数備え、全ての滴下装置のノズル数、ノズルの間隔およびノズルの角度θが同一であることを特徴としてもよいし、あるいは、前記制御部が、入力値に基づき前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を調節することにより、前記ノズルから吐出された液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節し、前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を一定としたまま、前記滴下装置と前記ワークテーブルとを水平方向に相対移動させながら液体材料をワークに滴下することを特徴してもよい。加えて、前記制御部の記憶装置に、前記ワークテーブルおよび前記滴下装置の垂直距離と液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）との相関関係パターンが複数記憶されており、前記入力値が、前記相関関係パターンの選択値であることを特徴としてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
滴下方法に係る本発明は、上記塗布装置を用いた滴下方法であって、入力値に基づき前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を調節することにより、前記ノズルから吐出された液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）を調節し、前記ワークテーブルと前記滴下装置との垂直距離を一定としたまま、前記滴下装置と前記ワークテーブルとを水平方向に相対移動させながら液体材料をワークに滴下することを特徴とする。
上記滴下方法において、前記制御部の記憶装置に、前記ワークテーブルおよび前記滴下装置の垂直距離と液滴の滴下点間距離（Ｌ１、Ｌ２）との相関関係パターンが複数記憶されており、前記入力値が、前記相関関係パターンの選択値であることを特徴としてもよい。
別の観点からの滴下方法に係る本発明は、前記滴下装置を複数備え、全ての滴下装置のノズル数、ノズルの間隔およびノズルの角度θが同一であることを特徴とする塗布装置を用いた滴下方法であって、前記複数の滴下装置の全てで同一の滴下塗布を行うことにより、多面取りを行うことを特徴とする。ここで、前記ワークが、液体材料が滴下される矩形の枠を備えることを特徴としてもよいし、あるいは、前記ワークが液晶パネル基板であり、前記液体材料が液晶であることを特徴としてもよい。