【手続補正書】
【提出日】平成29年5月16日(2017.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にパターンを露光する露光装置であって、
前記基板の形状を検出する第１検出部と、
前記第１検出部の検出結果に基づいて、前記基板の位置合わせを行う第１位置合わせ部と、
前記基板に形成されたマークを検出する第２検出部と、
前記第２検出部の検出結果に基づいて、前記基板の位置合わせを行う第２位置合わせ部と、
前記第１位置合せ部により位置合わせされた前記基板を前記第２位置合わせ部に搬送する搬送部と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、前記搬送部により前記第２位置合わせ部に搬送された前記基板の前記マークが前記第２検出部の第１視野で検出できる範囲に入るように定められた第１条件で前記基板の位置合わせを行い、前記第１条件における前記位置合わせの精度が前記第１視野で検出できる前記範囲に入らない場合、前記搬送部により前記第２位置合わせ部に搬送された前記基板の前記マークが前記第２検出部の前記第１視野よりも広い第２視野で検出できる範囲に入るように定められた第２条件で前記基板の位置合わせを行うように前記第１位置合わせ部を制御し、
前記第１位置合わせ部による前記基板の位置合わせが前記第１条件で実行された場合、前記第１視野で前記マークを検出し、前記第１位置合わせ部による前記基板の位置合わせが前記第２条件で実行された場合、前記第２視野で前記マークを検出するように前記第２検出部を制御することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記第２検出部が前記第２視野で前記マークを検出できないとき、前記第２検出部が前記第２視野よりも広い第３視野で前記マークを検出した結果に基づいて前記基板の位置合わせを行うように前記第２位置合わせ部を制御することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記第２検出部が前記第２視野で前記マークを検出できないとき、前記基板を保持している前記基板保持部を移動させることで、前記第２検出部の検出領域を変更することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
基板にパターンを露光する露光装置であって、
前記基板の形状を検出する第１検出部と、
前記第１検出部の検出結果に基づいて、前記基板の位置合わせを行う第１位置合わせ部と、
前記基板に形成されたマークを検出する第２検出部と、
前記第２検出部の検出結果に基づいて、前記基板の位置合わせを行う第２位置合わせ部と、
前記第１位置合せ部により位置合わせされた前記基板を前記第２位置合わせ部に搬送する搬送部と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、前記搬送部により前記第２位置合わせ部に搬送された前記基板の前記マークが前記第２検出部の第１倍率で検出できる範囲に入るように定められた第１条件で前記基板の位置合わせを行い、前記第１条件における前記位置合わせの精度が前記第１倍率で検出できる前記範囲に入らない場合、前記搬送部により前記第２位置合わせ部に搬送された前記基板の前記マークが前記第２検出部の前記第１倍率よりも低い第２倍率で検出できる範囲に入るように定められた第２条件で前記基板の位置合わせを行うように前記第１位置合わせ部を制御し、
前記第１位置合わせ部による前記基板の位置合わせが前記第１条件で実行された場合、前記第１倍率で前記マークを検出し、前記第１位置合わせ部による前記基板の位置合わせが前記第２条件で実行された場合、前記第２倍率で前記マークを検出するように前記第２検出部を制御することを特徴とする露光装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記第２検出部が前記第２倍率で前記マークを検出できないとき、前記第２検出部が前記第２倍率よりも低い第３倍率で前記マークを検出した結果に基づいて前記基板の位置合わせを行うように前記第２位置合わせ部を制御することを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記第２検出部が前記第２倍率で前記マークを検出できないとき、前記基板を保持している前記基板保持部を移動させることで、前記第２検出部の検出領域を変更することを特徴とする請求項４又は５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記第１位置合わせ部は、前記基板を保持する第２の基板保持部を備え、
前記第１検出部は、前記第２の基板保持部に保持されている前記基板の前記形状を検出することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記搬送部は、前記第２の基板保持部から前記基板保持部に前記基板を搬送し、
前記基板が前記搬送部により搬送されて前記基板保持部により保持されたとき、前記第１位置合わせ部による前記基板の位置合わせは完了していることを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】
所定の位置に基板を合わせる位置合わせ方法であって、
前記基板の形状を検出する第１検出工程と、
前記第１検出工程で得られた検出結果に基づいて、前記基板の位置合わせを行う第１位置合わせ工程と、
前記基板に形成されているマークを検出する第２検出工程と、
前記第２検出工程で得られた検出結果に基づいて、前記基板の位置合わせを行う第２位置合わせ工程と、
前記第２検出工程において前記マークを検出する位置に前記第１位置合わせ工程で位置合わせされた前記基板を搬送する搬送工程と、を含み、
前記第１位置合わせ工程では、前記搬送工程において搬送された前記基板の前記マークが前記第２検出部の第１視野で検出できる範囲に入るように定められた第１条件で前記基板の位置合わせを行い、前記第１条件における前記位置合わせの精度が前記第１視野で検出できる前記範囲に入らない場合、前記搬送工程において搬送された前記基板の前記マークが前記第２検出部の前記第１視野よりも広い第２視野で検出できる範囲に入るように定められた第２条件で前記基板の位置合わせを行い、
前記第２検出工程では、前記第１位置合わせ工程において前記基板の位置合わせが前記第１条件で実行された場合、前記第１視野で前記マークを検出し、前記第１位置合わせ工程において前記第１位置合わせ部による前記基板の位置合わせが前記第２条件で実行された場合、前記第２視野で前記マークを検出することを特徴とする位置合わせ方法。
【請求項１０】
所定の位置に基板を合わせる位置合わせ方法であって、
前記基板の形状を検出する第１検出工程と、
前記第１検出工程で得られた検出結果に基づいて、前記基板の位置合わせを行う第１位置合わせ工程と、
前記基板に形成されているマークを検出する第２検出工程と、
前記第２検出工程で得られた検出結果に基づいて、前記基板の位置合わせを行う第２位置合わせ工程と、
前記第２検出工程において前記マークを検出する位置に前記第１位置合わせ工程で位置合わせされた前記基板を搬送する搬送工程と、を含み、
前記第１位置合わせ工程では、前記搬送工程において搬送された前記基板の前記マークが前記第２検出部の第１倍率で検出できる範囲に入るように定められた第１条件で前記基板の位置合わせを行い、前記第１条件における前記位置合わせの精度が前記第１倍率で検出できる前記範囲に入らない場合、前記搬送工程において搬送された前記基板の前記マークが前記第２検出部の前記第１倍率よりも低い第２倍率で検出できる範囲に入るように定められた第２条件で前記基板の位置合わせを行い、
前記第２検出工程では、前記第１位置合わせ工程において前記基板の位置合わせが前記第１条件で実行された場合、前記第１倍率で前記マークを検出し、前記第１位置合わせ工程において前記第１位置合わせ部による前記基板の位置合わせが前記第２条件で実行された場合、前記第２倍率で前記マークを検出することを特徴とする位置合わせ方法。
【請求項１１】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を含み、前記基板からデバイスを製造することを特徴とするデバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、基板にパターンを露光する露光装置であって、基板の形状を検出する第１検出部と、第１検出部の検出結果に基づいて、基板の位置合わせを行う第１位置合わせ部と、基板に形成されたマークを検出する第２検出部と、第２検出部の検出結果に基づいて、基板の位置合わせを行う第２位置合わせ部と、第１位置合せ部により位置合わせされた基板を第２位置合わせ部に搬送する搬送部と、制御部と、を備え、制御部は、搬送部により第２位置合わせ部に搬送された基板のマークが第２検出部の第１視野で検出できる範囲に入るように定められた第１条件で基板の位置合わせを行い、第１条件における位置合わせの精度が第１視野で検出できる範囲に入らない場合、搬送部により第２位置合わせ部に搬送された基板のマークが第２検出部の第１視野よりも広い第２視野で検出できる範囲に入るように定められた第２条件で基板の位置合わせを行うように第１位置合わせ部を制御し、第１位置合わせ部による基板の位置合わせが第１条件で実行された場合、第１視野でマークを検出し、第１位置合わせ部による基板の位置合わせが第２条件で実行された場合、第２視野でマークを検出するように第２検出部を制御することを特徴とする。