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【手続補正書】
【提出日】平成29年5月26日(2017.5.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ上のマークの位置を計測する計測装置であって、
第１の部材に対して固定して配置され、前記マークを撮像する撮像部と、
第２の部材を基準として前記ステージの位置を検出する第１検出器と、
前記第２の部材を基準として前記第１の部材の位置の変動を検出する第２検出器と、
前記第１検出器の検出結果および前記第２検出器の検出結果に基づいて、前記第１の部材の位置の前記変動に伴う前記撮像部に対する前記マークの相対位置の変動を低減するように前記第２の部材に対する前記ステージの相対位置を制御しながら前記撮像部により撮像されたマークの画像に基づいて前記マークの位置を取得する制御部と、
を備えることを特徴とする計測装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記第１検出器によって検出された前記ステージの位置のデータを前記第２検出器の検出結果を用いて補正し、該補正されたデータに基づいて前記ステージの位置を制御しながら前記撮像部により前記マークを撮像することを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項３】
前記ステージは６軸に位置決め可能であり、前記制御部は、前記第１検出器により検出された前記ステージの位置のデータを前記６軸のうちの少なくとも１つの軸に対して補正することを特徴とする請求項２に記載の計測装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記ステージの目標位置を前記第１検出器の検出結果および前記第２検出器の検出結果を用いて補正し、該補正された目標位置となるように前記ステージの位置を制御しながら前記撮像部により前記マークを撮像することを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項５】
前記ステージは６軸に位置決め可能であり、前記制御部は、前記ステージの前記目標位置を前記６軸のうちの少なくとも１つの軸に対して補正することを特徴とする請求項４に記載の計測装置。
【請求項６】
前記第１の部材は、前記ステージを支持することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項７】
前記マークは、前記ステージの上に置かれた物体に形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項８】
前記第２検出器は、前記第１の部材または前記第２の部材によって保持されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項９】
前記第１検出器および前記第２検出器は、変位計であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項１０】
前記第１検出器は、干渉計であることを特徴とする請求項９に記載の計測装置。
【請求項１１】
基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
原版を保持する原版ステージと、
前記基板を保持する基板ステージと、
第１の部材と、
第２の部材と、
前記原版ステージおよび前記基板ステージの少なくともいずれかのステージ上のマークの位置を計測する請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の計測装置と、
を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１２】
前記リソグラフィ装置は、前記原版のパターンを投影光学系を介して前記基板に投影して前記基板にパターンを形成する露光装置であることを特徴とする請求項１１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１３】
前記第２の部材は、前記投影光学系を保持する鏡筒の支持体であることを特徴とする請求項１２に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１４】
前記リソグラフィ装置は、前記原版を前記基板に接触させて前記基板にパターンを形成するインプリント装置であることを特徴とする請求項１１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１５】
前記第１の部材と前記第２の部材は分離されていることを特徴とする請求項１１乃至１４のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１６】
前記第２の部材は除振装置を介して支持されていることを特徴とする請求項１１乃至１５のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１７】
前記原版ステージ又は前記基板ステージは、前記第１の部材に支持されていることを特徴とする請求項１１乃至１６のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１８】
請求項１１ないし１７のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記工程でパターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含み、前記加工された基板から物品を得ることを特徴とする物品の製造方法。
【請求項１９】
ステージ上のマークの位置を計測する計測方法であって、
第１の部材に対して固定して配置された撮像部を用いて前記マークを撮像する工程と、
第２の部材を基準として前記ステージの位置を検出する工程と、
前記第２の部材を基準として前記第１の部材の位置の変動を検出する工程と、
検出された前記ステージの位置および検出された前記第１の部材の位置の変動に基づいて、前記第１の部材の位置の前記変動に伴う前記撮像部に対する前記マークの相対位置の変動を低減するように前記第２の部材に対する前記ステージの相対位置を制御しながら前記撮像部により撮像されたマークの画像に基づいて前記マークの位置を取得する工程と、
を有することを特徴とする計測方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】計測装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法、及び計測方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、計測装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法、及び計測方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、この様な課題に鑑みてなされたものであり、例えば、計測精度および計測時間の点で有利な計測装置を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一側面は、ステージ上のマークの位置を計測する計測装置であって、第１の部材に対して固定して配置され、前記マークを撮像する撮像部と、第２の部材を基準として前記ステージの位置を検出する第１検出器と、前記第２の部材を基準として前記第１の部材の位置の変動を検出する第２検出器と、前記第１検出器の検出結果および前記第２検出器の検出結果に基づいて、前記第１の部材の位置の前記変動に伴う前記撮像部に対する前記マークの相対位置の変動を低減するように前記第２の部材に対する前記ステージの相対位置を制御しながら前記撮像部により撮像されたマークの画像に基づいて前記マークの位置を取得する制御部と、を備えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明によれば、例えば、計測精度および計測時間の点で有利な計測装置を提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月14日(2017.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）及び（Ｄ）：
（Ａ）主鎖にセルロース骨格を有し、全水酸基の４５〜６５mol％が基−Ｏ-Ｍ-Ｒ（ＭはＣＨ2又はカルボニル基Ｃ＝Ｏを示し、Ｒは炭素数３〜４０の直鎖又は分岐鎖のアルキル基又はアルケニル基を示す）で置換されているセルロース誘導体    ０．０１〜２０質量％、
（Ｂ）揮発性の炭化水素油    １〜４０質量％、
（Ｃ）２５℃で固形のワックス    ５〜４０質量％、
（Ｄ）２５℃で液状であって、分子内に水酸基を１個有するエステル油    ５〜４０質量％
を含有し、成分（Ｂ）及び（Ｄ）の質量割合（Ｂ）／（Ｄ）が、０．０５〜４である油性化粧料。
【請求項２】
成分（Ａ）において、Ｒが炭素数９〜２１の直鎖又は分岐鎖のアルキル基又はアルケニル基である請求項１記載の油性化粧料。
【請求項３】
成分（Ｂ）が、３５〜８７℃の引火点を有するものである請求項１又は２記載の油性化粧料。
【請求項４】
成分（Ｄ）が、リンゴ酸ジイソステアリル、ヒドロキシステアリン酸２−エチルヘキシル及びリシノレイン酸オクチルドデシルから選ばれる１種又は２種以上である請求項１〜３のいずれか１項記載の油性化粧料。
【請求項５】
成分（Ａ）及び（Ｂ）の質量割合（Ａ）／（Ｂ）が、０．０１〜３である請求項１〜４のいずれか１項記載の油性化粧料。
【請求項６】
成分（Ｂ）、（Ｃ）及び（Ｄ）の合計量に対する成分（Ｂ）の質量割合（Ｂ）／（（Ｂ）＋（Ｃ）＋（Ｄ））が、０．０３〜０．８である請求項１〜５のいずれか１項記載の油性化粧料。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月28日(2017.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチック製本体（２）と、加熱プレート（１６）と、内蔵制御装置（４４）が収められた下部筐体（１２）とを備える湯沸しポット（１）であって、
−  前記下部筐体（１２）は上方に延びる外周内装壁（１３）を備え、
−  前記本体（２）は下部（４ｂ）を備え、
−  前記加熱プレートは下面（１９ａ、２０ａ、３３）および外周折返し部（１８）を備え、
−  前記外周折返し部（１８）と前記下部（４ｂ）の間に外部防水シール（３６）が設けられた、湯沸しポット（１）において、
前記内装壁（１３）と前記加熱プレート（１６）の下面（１９ａ、２０ａ、３３）の間には、前記筐体内に水が、とりわけ前記外部防水シール（３６）の防水障害による漏れに由来する水が一切浸入しないように内部防水シール（２４）が設けられること、および前記本体の前記下部（４ｂ）は外周外装壁（４）を備え、前記外装壁（４）は、前記内装壁（１３）との間に間隔（１５、４０）を保ちながら、少なくとも前記内装壁（１３）の上部（１３ａ）を受けるように構成され、前記間隔（１５、４０）は湯沸しポットの外部に連通することを特徴とする湯沸しポット（１）。
【請求項２】
前記加熱プレート（１６）の前記外周折返し部（１８）は、下向きに折り曲げられた外側縁（２０）であって、一方では前記内装壁（１３）と前記外側縁（２０）の間、他方では前記外側縁（２０）と前記外装壁（４）の間に間隔（２２、２３）を保ちながら、前記内装壁（１３）と前記外装壁（４）の間に配置されるように構成された、外側縁（２０）を具備することを特徴とする請求項１に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項３】
前記外周折返し部（１８）は、下向きに折り曲げられた内側縁（１９）であって、前記内装壁（１３）の前記上部（１３ａ）を前記内側縁と前記外側縁（２０）の間に収めることができるように構成された、内側縁（１９）を具備しており、前記内部防水シール（２４）は、前記内側縁と前記内装壁の前記上部の間にも防水性が確保されるように構成されることを特徴とする請求項２に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項４】
前記内部防水シール（２４）は、区分断面図において、
−  下方に延びる内側部（２５）であって、前記内側縁（１９）の周囲に隙間なく取り付けられるように構成された、内側部（２５）と、
−  下方に延びる外側部（２６）であって、前記内装壁（１３）の前記上部（１３ａ）の周囲に隙間なく取り付けられるように構成された内面（２６ａ）と、前記外側縁（２０）をその周囲に隙間なく取り付けるように構成された外面（２６ｂ）とを有する、外側部（２６）と、
−  前記内側部と前記外側部の連結部（２７）であって、その下面（２７ａ）は前記内装壁の前記上部の上端（３２）に支持されるように構成され、その上面（２７ｂ）は前記折返し部（１８）の底部（３３）に支持されるように構成された、連結部（２７）と
を備えることを特徴とする請求項３に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項５】
前記外側部（２６）の前記外側面（２６ｂ）は少なくとも１つのリップ（３０ａ、３０ｂ）を備え、前記外側縁（２０）は、線条（３１ａ、３１ｂ）を具備する内面（２０ａ）を備えることを特徴とする請求項４に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項６】
前記外周折返し部（１８）の前記外側縁（２０）はその下端に外側ショルダ（３４）を備え、前記外装壁（４）は内側ショルダ（３５）を備え、前記外部防水シール（３６）は前記内側ショルダと前記外側ショルダの間に配設されることを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項７】
前記下部筐体（１２）の前記内装壁（１３）は、下部（１３ｂ）と、前記下部（１３ｂ）と前記内装壁の前記上部（１３ａ）の間に設けられた外周外側ショルダ（３８）とを備え、前記外装壁（４）の前記内側ショルダ（３５）と前記外側縁（２０）の前記外側ショルダ（３４）は、それらを組み立てる際に前記本体（２）の外周下端（３９）と前記下部筐体（１２）の前記外側ショルダ（３８）の間に間隔（４０）を保つように構成されることを特徴とする請求項６に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項８】
前記本体（２）の前記下端（３９）と、前記下部筐体（１２）の前記内装壁（１３）の前記上部および前記下部（１３ａ、１３ｂ）の間の前記外側ショルダ（３８）との間に固定手段（４１）が設けられることを特徴とする請求項７に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項９】
前記本体（２）はハンドル（３）を備え、前記ハンドルには外部制御装置（４９）が設けられ、前記外部制御装置はコード（６５）によって前記下部筐体（１２）内の前記内蔵制御装置（４４）に接続され、前記コード（６５）と前記下部筐体（１２）の間に防水手段が設けられることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項１０】
前記防水手段は、前記下部筐体（１２）に設けられたケーブルグランドによって形成されることを特徴とする請求項９に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項１１】
前記外部制御装置（４９）が防水型の自立モジュールを形成することを特徴とする請求項９に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項１２】
オス型コネクタを具備した分離型電源ベース（６３）が備えられ、前記下部筐体（１２）は前記オス型コネクタを受けるように構成されたメス型コネクタ（４６）を具備した底部（１４）を備え、前記メス型コネクタは前記下部筐体の防水性を確保するように構成されることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の湯沸しポット（１）。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月28日(2017.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体（２）と、加熱プレート（１６）と、内蔵制御装置（４４）が収められた下部筐体（１２）と、前記内蔵制御装置（４４）に接続され、前記内蔵制御装置（４４）を手動で操作するように構成された外部制御装置（４９）とを備える湯沸しポット（１）であって、前記湯沸しポットの外側の洗浄や水洗いが可能となるように前記外部制御装置（４９）は防水性の自立モジュールを形成すること、および前記本体（２）はハンドル（３）を備え、前記外部制御装置（４９）は前記ハンドルに設けられることを特徴とする湯沸しポット（１）。
【請求項２】
前記外部制御装置（４９）はコード（６５）によって前記内蔵制御装置（４４）と接続されることを特徴とする請求項１に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項３】
前記コード（６５）と前記下部筐体（１２）の間に防水手段が設けられることを特徴とする請求項２に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項４】
前記防水手段は、前記下部筐体に設けられたケーブルグランドによって形成されることを特徴とする請求項３に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項５】
前記防水手段は、前記コードにオーバモールドした壁貫通部（８０）によって形成されることを特徴とする請求項３に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項６】
前記外部制御装置（４９）は、磁気結合、または、ブルートゥース、赤外線もしくはＷｉＦｉのタイプの電磁波による無線接続によって前記内蔵制御装置（４４）と接続されることを特徴とする請求項１に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項７】
前記コード（６５）と前記外部制御装置（４９）の間に防水手段（５５、１５５）が設けられることを特徴とする請求項２から５[６]のいずれか一項に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項８】
前記外部制御装置（４９）は、
−  前記コード（６５）が通り抜ける下部支持体（５０）と、
−  入切スイッチ（５３）を備えるプリント回路板（５２）と、
−  前記プリント回路板と前記入切スイッチを覆うように構成されたエラストマシール（５６）であって、それぞれの形状に密着するともに、平坦な外周輪郭（５６ｂ）が現れるようにしたエラストマシール（５６）と、
−  前記エラストマシールの前記外周輪郭を前記下部支持体との間で挟み込むことができる締付け部材（５８）とを備え、
−  前記防水手段（５５）は前記下部支持体に設けられ、前記プリント回路板につながれた前記コード（６５）が防水を施されて貫通できるように構成されることを特徴とする請求項７に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項９】
前記防水手段はケーブルグランド（５５）であることを特徴とする請求項８に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項１０】
前記防水手段は前記コード（６５）を取り囲むように注型された樹脂（１５５）であることを特徴とする請求項７に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項１１】
前記外部制御装置（４９）は、
−  前記コード（６５）が通り抜ける下部支持体（５０）と、
−  入切スイッチ（５３）を備えるプリント回路板（５２）と、
−  前記プリント回路板と前記入切スイッチを覆うように構成されたエラストマシール（５６）であって、それぞれの形状に密着するとともに、平坦な外周輪郭（５６ｂ）が現れるようにしたエラストマシール（５６）と、
−  前記エラストマシールの前記外周輪郭を前記下部支持体との間で挟み込むことができる締付け部材（５８）とを備え、
−  前記注型された樹脂（１５５）は前記プリント回路板の裏面（７０）および前記コード（６５）の端部を覆い、前記裏面（７０）は前記エラストマシール（５６）によって縁取られることを特徴とする請求項１０に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項１２】
前記ハンドルは、前記外部制御装置（４９）が配設される空洞（４８）を形成する内側である第１の部分（３ａ）を備えること、および前記ハンドル（３）は、前記外部制御装置（４９）に被せる被覆である第２の部分（３ｂ）を備えることを特徴とする請求項１に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項１３】
−  前記下部筐体（１２）は上方に延びる外周内装壁（１３）を備え、
−  前記本体（２）は下部（４ｂ）を備え、
−  前記加熱プレートは下面（１９ａ、２０ａ、３３）および外周折返し部（１８）を備え、
−  前記外周折返し部（１８）と前記下部（４ｂ）の間に外部防水シール（３６）が設けられ、
−  前記外周内装壁（１３）と加熱プレート（２）の前記下面（１９ａ、２０ａ、３３）の間に、前記下部筐体内に水が、とりわけ前記外部防水シール（３６）の防水障害による漏れに由来する水が一切浸入しないように内部防水シール（２４）が設けられることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の湯沸しポット（１）。
【請求項１４】
オス型コネクタを具備した分離型電源ベース（６３）が備えられ、前記下部筐体（１２）は前記オス型コネクタを受けるように構成されたメス型コネクタ（４６）を具備した底部（１４）を備え、前記メス型コネクタは前記下部筐体の防水性を確保するように構成されることを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載の湯沸しポット（１）。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月13日(2017.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
履物に関する物品であって、
外底と、
前記外底の底面と一体的に形成され、前記外底の底面から外側に向かって延在する少なくとも１つの塊部と、
前記少なくとも１つの塊部内に部分的に被包され、前記外底の底面に対して略垂直方向に突出する少なくとも１つのクリートであって、前記少なくとも１つのクリートは、保持部とかさ部とを含み、前記保持部は、前記外底の底面付近に配され、第２の平面的な長尺面に対して略平行な第１の平面的な長尺面により形成され、それにより、前記第１及び第２の平面的な面の長軸が前記外底の底面に対して略垂直に向けられるよう構成され、前記かさ部は、前記外底の外側に突出し前記保持部の断面領域より大きな断面領域を有し、それにより、前記保持部と前記かさ部の断面領域が前記長軸について関連付けられるよう構成されるものである前記少なくとも１つのクリートと、
前記少なくとも１つのクリートの前記保持部に形成された開口部であって、それにより、前記開口部は前記第１及び第２の平面的な面間に延在し、前記塊部の一部は、前記少なくとも１つのクリートを前記外底に対して所望の位置に保持するよう、前記開口部を通って、前記外底の底面に対して略平行方向に延在するよう構成されるものである前記開口部と、
を有する履物に関する物品。
【請求項２】
請求項１記載の履物に関する物品において、前記開口部は、さらに、その長軸が前記外底の底面に対して略平行に向けられた長円として定義されるよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項３】
請求項１記載の履物に関する物品において、前記少なくとも１つのクリートの前記保持部は、前記外底の底面に対して略平行な方向に延在するフランジを有するよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項４】
請求項１記載の履物に関する物品において、この履物に関する物品は、さらに、略平面の底面を有する中間底を有し、前記少なくとも１つのクリートは、全体として前記中間底の底面より下側に配置されるよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項５】
請求項１記載の履物に関する物品において、前記少なくとも１つの塊部は、前記外底の底面から前記クリートが突出する遠位端へと延在する１又はそれ以上の弓状側面を有し、前記側面間の断面領域は前記遠位端から前記外底の底面へと継続的に増加するよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項６】
請求項１記載の履物に関する物品において、前記外底は、熱可塑性ポリウレタンにより形成され、前記少なくとも１つのクリートは、金属により形成されるよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項７】
請求項６記載の履物に関する物品において、前記熱可塑性ポリウレタンは、ＡＳＴＭのＤ２２４０規格に従う６０Ｄから１１７４Ｄの範囲の硬度を有するよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項８】
請求項３記載の履物に関する物品において、前記かさ部は、
前記保持部付近の上面と、
前記上面から離隔された底面と、
前記上面から前記底面へと延在する対向する２つの弓状端と、
前記上面から前記底面へと延在する対向する２つの側壁と、
前記対向する２つの弓状端の間の複数の溝（ｇｒооｖｅ）とを有するよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項９】
請求項８記載の履物に関する物品において、前記かさ部の前記上面は、前記保持部付近に溝（ｃｈａｎｎｅｌ）を含むよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項１０】
請求項９記載の履物に関する物品において、前記溝（ｃｈａｎｎｅｌ）は、前記保持部の周縁に延在するよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項１１】
請求項８記載の履物に関する物品において、前記対向する２つの側壁は、弓状側壁であるよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項１２】
請求項８記載の履物に関する物品において、前記かさ部は、さらに、前記上面に形成された溝（ｃｈａｎｎｅｌ）を含み、前記溝（ｃｈａｎｎｅｌ）は、前記保持部の縁付近にあるよう構成されるものである履物に関する物品。
【請求項１３】
請求項１記載の履物に関する物品において、前記かさ部は、第１の断面領域を有する上面と第２の断面領域を有する底面とを含み、前記第１の断面領域は、前記第２の断面領域よりも大きいよう構成されるものである履物に関する物品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
尚、本節は本開示に関連した背景情報を提供するものであり必ずしも先行技術となるものではない。
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、以下のものがある。
（先行技術文献）
（特許文献）
（特許文献１）  米国特許第５２７，４０３号明細書
（特許文献２）  米国特許第１，０５３，５０６号明細書
（特許文献３）  米国特許第２，００６，６３７号明細書
（特許文献４）  米国特許第３，０４０，４５０号明細書
（特許文献５）  米国特許第３，６００，８３１号明細書
（特許文献６）  米国特許第４，１８０，９２３号明細書
（特許文献７）  米国特許第５，０５８，２９２号明細書
（特許文献８）  米国特許第５，７３２，４８４号明細書
（特許文献９）  米国特許第５，９８７，７８４号明細書
（特許文献１０）  米国特許第６，１０１，７４６号明細書
（特許文献１１）  米国特許第６，５５７，２７０号明細書
（特許文献１２）  米国特許第７，０４７，６７５号明細書
（特許文献１３）  米国特許第７，４２８，７９０号明細書
（特許文献１４）  米国特許第８，２１５，０３５号明細書
（特許文献１５）  米国特許出願公開第２００９／０２３５５５８号明細書
（特許文献１６）  米国特許出願公開第２０１０／０２５７７５６号明細書
（特許文献１７）  米国特許出願公開第２０１５／００４０４３８号明細書
（特許文献１８）  独国特許出願公開第３９１５１５７号明細書
（特許文献１９）  欧州特許出願公開第０３４６６２４号明細書
（特許文献２０）  特開２００１−１２０３０８号公報
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月19日(2017.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度変化を回転エネルギーに変換する温度変化収穫機構、前記回転エネルギーを一方向の回転力へ整列する一方向回転整列機構、前記回転方向の逆回転を防止するラッチ機構、前記整列された回転力による回転速度を減速する第１の変速機構、変換された前記回転力を第１の変速機構を通して回転エネルギーとして蓄える蓄力機構、前記蓄力機構に蓄えられた回転エネルギーによる回転速度を増速する第２の変速機構、前記第２の変速機構により増速された回転速度から発電する発電機構を含む温度変化発電機構であって、前記温度変化収穫機構は、流体の熱膨張および熱収縮による流体の流れを回転エネルギーに変換した機構であり、前記温度変化収穫機構は、流体を内部に含む熱交換器、流体を貯留する流体貯留容器、前記熱交換器および前記流体貯留容器を接続し流体が流れる第１のパイプ、および前記第１のパイプ内に配置され前記第１のパイプ内の流体の流れにより回転し回転エネルギーを発生する第１の回転車を含み、前記熱交換器内で熱膨張した流体が前記第１のパイプ内に流れ込むことによって発生する流体の流れによって前記第１の回転車が回転し回転エネルギーを発生することを特徴とし、さらに、
前記熱交換器および前記流体貯留容器を接続し流体が流れる第２のパイプ、前記第２のパイプ内に配置され前記第２のパイプ内の流体の流れにより回転し回転エネルギーを発生する第２の回転車を含み、前記熱交換器内で熱収縮した流体が第２のパイプ内から前記熱交換器内へ流れ込むことによって発生する流体の流れによって前記第２の回転車が回転し回転エネルギーを発生することを特徴とする温度変化発電機構。
【請求項２】
前記熱交換器の第１のパイプとの接続口側および／または前記第１のパイプ内に、前記交換器から前記流体貯留容器へ流れる流れに対して開き、その逆の流れに対して閉じる機能を持つ第１の逆止弁を有し、さらに、
前記熱交換器の第２のパイプとの接続口側および／または前記第２のパイプ内に、前記流体貯留容器から前記交換器へ流れる流れに対して開き、その逆の流れに対して閉じる機能を持つ第２の逆止弁を有することを特徴とする、請求項１に記載の温度変化発電機構。
【請求項３】
前記第１の回転車は、前記交換器から前記流体貯留容器へ流れる流れに対して回転し、その逆の流れを停止する機能を持ち、および／または前記第２の回転車は前記流体貯留容器から前記交換器へ流れる流れに対して回転し、その逆の流れを停止する機能を持つことを特徴とする、請求項１または２に記載の温度変化発電機構。
【請求項４】
前記第１の回転車は、前記交換器から前記流体貯留容器へ流れる流れに対して回転し、その逆の流れに対して回転せずかつ回転軸に対して空周りする機能を持ち、および／または前記第２の回転車は前記流体貯留容器から前記交換器へ流れる流れに対して回転し、その逆の流れに対して回転せずかつ回転軸に対して空周りする機能を持つことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の温度変化発電機構。
【請求項５】
温度変化を往復運動エネルギーに変換する温度変化収穫機構、前記往復運動エネルギーを一方向の回転力へ整列する一方向回転整列機構、前記整列された回転力による回転速度を減速する第１の変速機構、変換された前記回転力を第１の変速機構を通して回転エネルギーとして蓄える蓄力機構、前記蓄力機構に蓄えられた回転エネルギーによる回転速度を増速する第２の変速機構、前記第２の変速機構により増速された回転速度から発電する発電機構を含む温度変化発電機構であって、前記温度変化収穫機構は、流体の熱膨張および熱収縮による流体の流れを往復運動エネルギーに変換した機構であり、前記温度変化収穫機構は、前記往復運動エネルギーを回転運動エネルギーにさらに変換したことを特徴とし、前記温度変化収穫機構は、流体を内部に含む熱交換器、流体を貯留するシリンダ、前記熱交換器および前記シリンダを接続し流体が流れるパイプを含み、前記往復運動はシリンダに配置されるピストンによる運動であり、前記ピストンに備わる駆動歯車に咬合する回転整列機構により回転エネルギーを発生することを特徴とする温度変化発電機構。
【請求項６】
温度変化を回転エネルギーに変換する温度変化収穫機構、前記回転エネルギーを一方向の回転力へ整列する一方向回転整列機構、前記回転方向の逆回転を防止するラッチ機構、前記整列された回転力による回転速度を減速する第１の変速機構、変換された前記回転力を第１の変速機構を通して回転エネルギーとして蓄える蓄力機構、前記蓄力機構に蓄えられた回転エネルギーによる回転速度を増速する第２の変速機構、前記第２の変速機構により増速された回転速度から発電する発電機構を含む温度変化発電機構であって、前記温度変化収穫機構はバイメタル構造のゼンマイを含み、前記バイメタル構造のゼンマイが温度上昇および温度降下を伴う温度変化により変形することを用いて、ゼンマイの回転エネルギーを収穫（発生）することを特徴とし、前記温度変化収穫機構は、中空の円板形状の外周面および／または内周面にバイメタル構造のカンチレバーを複数配列した櫛歯（くしば）状の回転円板体を少なくとも１つ有することを特徴とする温度変化発電機構。
【請求項７】
前記バイメタルは、その厚さ方向に熱膨張率の異なる２種類の材料（材料Ａおよび材料Ｂ）が結合した構造であり、前記材料Ａからなる基板を深堀エッチングにより形成した後に、エッチングされた前記材料Ａの側面に材料Ｂを付着形成することにより作製され、
前記材料Ａはシリコンであり、前記材料Ｂは金属シリサイドまたは金属であることを特徴とする、請求項６に記載の温度変化発電機構。
【請求項８】
前記ラッチ機構は配向性を有する微細毛を側面に用いた少なくとも２つの回転円板体（第１回転円板体、第２回転円板体）を使用し、第１回転円板体の側面と第２回転円板体を組み合わせて接触させ、第１回転円板体の側面に形成した微細毛の配向と第２回転円板体の側面に形成した微細毛の配向により、ラッチ機構を発揮するとともに、特定の一方向に回転を伝達することを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の温度変化発電機構。
【請求項９】
温度変化を回転エネルギーに変換する温度変化収穫機構、前記回転エネルギーを一方向の回転力へ整列する一方向回転整列機構、前記回転方向の逆回転を防止するラッチ機構、前記整列された回転力による回転速度を減速する第１の変速機構、変換された前記回転力を第１の変速機構を通して回転エネルギーとして蓄える蓄力機構、前記蓄力機構に蓄えられた回転エネルギーによる回転速度を増速する第２の変速機構、前記第２の変速機構により増速された回転速度から発電する発電機構を含む温度変化発電機構であって、
前記発電機構は、複合磁性体コアに複数回コイルを巻いて作製したジェネレータコイルを複数接続したバルクハウゼン発電機であることを特徴とする温度変化発電機構。
【請求項１０】
温度変化を回転エネルギーに変換する温度変化収穫機構および前記回転エネルギーから発電する発電機構を含む温度変化発電機構であって、前記発電機構は、複合磁性体コアに複数回コイルを巻いて作製したジェネレータコイルを複数接続したバルクハウゼン発電機であることを特徴とする温度変化発電機構。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月22日(2017.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１１】
図１２は電池スタックをＢＭＳ基板にホットスワップすることから保護するための機械的解決策を提供する例示的ホットスワップ保護回路１２００を示す。機械的なアプローチは最も費用効果のよい解決策となり得る。回路１２００は、モニタリング集積回路１２１０、電池セル１２２０、抵抗器１２３０、およびキャパシタ１２４０を含む。抵抗器１２３０はＣVINキャパシタ１２４０を電池電圧に予め充電するために用いられる１０Ω抵抗器であってもよく、入来電流を制限する。抵抗器１２３０がなければ、唯一の抵抗は配線抵抗となり、これはＢＳＭの入力への大きな入来電流をもたらし、ＢＳＭを損傷させる。ＣVINキャパシタ１２４０が充電された後、機械的スイッチ１２３２が抵抗器１２３０にわたって接続され、すべての正常な動作においてそのまま残る。機械的スイッチ１２３２に対して３つの進められる解決策がある：１）＞３Ａ定格のジャンパを使用する、２）機械的スイッチを使用する、または３）スタガードピン電池用コネクタを使用する。スタガードピン接続では、長いピンが１０Ω抵抗器１２３０を介してモニタリング集積回路１２１０に接続され、キャパシタ１２４０に電荷を与える。短いピンはモニタリング集積回路１２１０に直接接続され、１０Ω抵抗器１２３０を短絡させる。通常の挿入では、回路への長いピンの接続と短いピンの接続との間におよそミリ秒の遅延があり、それによりＣVIN１２４０は機械的短絡がなされる前に充電される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2014226029.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月21日(2016.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
Ｄフリップフロップ回路３１３及びＤフリップフロップ回路３１４のクロック入力端子には、クロック信号ＣＬＫを４逓倍したクロック信号４ＣＬＫが入力される。Ｄフリップフロップ回路３１３のデータ入力端子に入力されたデータは、４ＣＬＫによりラッチされ、非反転出力端子から第１波形信号が出力される。同様に、Ｄフリップフロップ回路３１４のデータ入力端子に入力されたデータは、４ＣＬＫによりラッチされ、反転出力端子から第２波形信号が出力される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2015008452.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月17日(2017.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のトランジスタ、第２のトランジスタおよび第３のトランジスタを有し、
前記第１のトランジスタのゲートは書き込みワード線に電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソースおよびドレインの一方は第１のビット線に電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソースおよびドレインの他方は、前記第２のトランジスタのゲートに電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのソースおよびドレインの一方は、電位Ｖ１が供給されるように設定された第１の配線に電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのソースおよびドレインの他方は前記第２のビット線に電気的に接続され、
前記第２のトランジスタと前記第２のビット線の間、あるいは前記第２のトランジスタと前記第１の配線の間に前記第３のトランジスタが電気的に接続され、
前記第３のトランジスタのゲートは読み出しワード線に接続された半導体装置において、
前記第１のビット線の電位を電位ＶＨまたは電位ＶＬ（ＶＨ＞ＶＬ）とし、かつ、前記第１のトランジスタをオンにし、
前記第１のトランジスタをオフにし、
前記第２のビット線の電位を第２の電位Ｖ２とした状態で、浮遊状態とした後、
前記第３のトランジスタをオンとする駆動方法であり、
前記第２のトランジスタのしきい値をＶｔｈ、
前記第１のビット線の電位を電位ＶＨとしたときの、第１のトランジスタをオンする動作と前記第２のビット線を浮遊状態とする動作の間である保持期間の前記第２のトランジスタのゲートの電位をＶ３（＜ＶＨ）とするとき、
Ｖ２＜Ｖ１＜Ｖ３−Ｖｔｈ、であることを特徴とする半導体装置の駆動方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記ＶＨと前記ＶＬの平均値は前記Ｖ１よりも低いことを特徴とする半導体装置の駆動方法。
【請求項３】
請求項１乃至２のいずれか一項において、
前記Ｖ３は前記ＶＨの４０％以下であることを特徴とする半導体装置の駆動方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記第３のトランジスタがＮ型であるとき、前記第３のトランジスタをオンとするために前記読み出しワード線の電位が前記ＶＨに設定されることを特徴とする半導体装置の駆動方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
さらに前記第２のビット線に接続された第２の配線を有し、前記データを読み出す動作において、前記第２の配線の電位を参照電位とした状態で、浮遊状態とした後、センスアンプによって、前記第２のビット線と前記第２の配線の電位差を増幅し、前記第２の配線の電位を読み出し出力とすることを特徴とする半導体装置の駆動方法。
【請求項６】
請求項５において、
前記参照電位は、前記ＶＨと前記ＶＬの平均値であることを特徴とする半導体装置の駆動方法。
【手続補正書】
【提出日】平成29年3月30日(2017.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の液体処理のための装置であって、
基板ホルダと、
前記基板ホルダを取り巻く液体収集器と、
を備え、
前記液体収集器は、基板を処理するために使用されていた液体を集めるための溝を含み、
前記溝は、吐き出し管と流体連通しており、
前記液体収集器は、更に、前記溝内の吐き出し開口から、前記溝よりも下方に位置決めされた前記吐き出し管の入口開口まで広がる凹状表面を含み、
前記溝内の前記吐き出し開口は、前記吐き出し管の前記入口開口の断面積の少なくとも２倍の大きさの断面積を有する、装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、
前記基板ホルダ及び前記液体収集器は、基板の液体処理中に密閉することができるプロセスチャンバ内にある、装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置であって、
前記基板ホルダは、ウエハ状物品を保持する及び回転させるためのスピンチャックである、装置。
【請求項４】
請求項１に記載の装置であって、
前記基板ホルダは、シャフトによって回転の形で駆動されるチャックであり、前記チャックは、基板の縁領域に接触するように円形に位置決めされた一連のピンを含む、装置。
【請求項５】
請求項１に記載の装置であって、
前記基板ホルダは、周囲を取り巻く電磁ステータによって回転の形で駆動される磁気ロータリングであり、前記磁気ロータリングは、前記磁気ロータリングから下向きに吊り下がり基板の縁領域に接触するように円形に位置決めされた一連のピンを含む、装置。
【請求項６】
請求項１に記載の装置であって、
前記凹状表面は、前記吐き出し管の前記入口開口を挟んだ両側で前記溝に沿って伸びる１対の細長い窪みを含む、装置。
【請求項７】
請求項１に記載の装置であって、
前記吐き出し管の前記入口開口は、覆われておらず、平面視において前記溝内の前記吐き出し開口によって取り囲まれている、装置。
【請求項８】
請求項１に記載の装置であって、
前記溝内の前記吐き出し開口は、前記吐き出し管の前記入口開口の断面積の少なくとも３倍の大きさの断面積を有する、装置。
【請求項９】
請求項１に記載の装置であって、
前記溝内の前記吐き出し開口は、前記吐き出し管の前記入口開口の断面積の少なくとも４倍の大きさの断面積を有する、装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の装置であって、
前記凹状表面は、前記溝内の前記吐き出し開口において前記溝とともに縁を形成する、装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の装置であって、
前記凹状表面は、更に、前記吐き出し管の前記入口開口を挟んだ両側で概ね前記溝に沿って伸びる１対の二次凹所を含む、装置。
【請求項１２】
基板の液体処理のための装置で使用される液体収集器であって、
基板を処理するために使用された液体を集めるための溝を有するケースを備え、前記溝は、吐き出し管と流体連通しており、
前記液体収集器は、更に、
前記溝内の吐き出し開口から、前記溝よりも下方に位置決めされた前記吐き出し管の入口開口まで広がる凹状表面を備え、
前記溝内の前記吐き出し開口は、前記吐き出し管の前記入口開口の断面積の少なくとも２倍の大きさの断面積を有する、液体収集器。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液体収集器であって、
前記凹状表面は、前記吐き出し管の前記入口開口を挟んだ両側で前記溝に沿って伸びる１対の細長い窪みを含む、液体収集器。
【請求項１４】
請求項１２に記載の液体収集器であって、
前記吐き出し管の前記入口開口は、覆われておらず、平面視において前記溝内の前記吐き出し開口によって取り囲まれている、液体収集器。
【請求項１５】
請求項１２に記載の液体収集器であって、
前記溝内の前記吐き出し開口は、前記吐き出し管の前記入口開口の断面積の少なくとも３倍の大きさの断面積を有する、液体収集器。
【請求項１６】
請求項１２に記載の液体収集器であって、
前記溝内の前記吐き出し開口は、前記吐き出し管の前記入口開口の断面積の少なくとも４倍の大きさの断面積を有する、液体収集器。
【請求項１７】
請求項１２に記載の液体収集器であって、
前記凹状表面は、更に、前記吐き出し管の前記入口開口を挟んだ両側で概ね前記溝に沿って伸びる１対の二次凹所を含む、液体収集器。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月21日(2017.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲート電極と、ソース電極と、ドレイン電極と、酸化物半導体層と、第１の酸化物層と、第２の酸化物層と、第３の酸化物層と、第４の酸化物層と、を有し、
前記酸化物半導体層は、前記酸化物半導体層の上面で前記第３の酸化物層と接する領域を有し、
前記酸化物半導体層は、前記酸化物半導体層の上面で前記第４の酸化物層と接する領域を有し、
前記酸化物半導体層は、チャネル形成領域を有し、
前記酸化物半導体層は、前記チャネル形成領域において前記第２の酸化物層の上面と接し、
前記酸化物半導体層は、前記チャネル形成領域において前記酸化物半導体層の上面で前記第１の酸化物層と接し、
前記ソース電極は、前記第３の酸化物層を介して前記酸化物半導体層と電気的に接続し、
前記ドレイン電極は、前記第４の酸化物層を介して前記酸化物半導体層と電気的に接続し、
前記酸化物半導体層は、Ｉｎ、Ｚｎおよび元素Ｍ（元素ＭはＡｌ、Ｔｉ、Ｇａ、Ｙ、Ｚｒ、Ｌａ、Ｃｅ、ＮｄまたはＨｆのうち１種類以上の元素）を有し、
前記第１の酸化物層は、Ｉｎ、Ｚｎおよび元素Ｍ（元素ＭはＡｌ、Ｔｉ、Ｇａ、Ｙ、Ｚｒ、Ｌａ、Ｃｅ、ＮｄまたはＨｆのうち１種類以上の元素）を有し、
前記第２の酸化物層は、Ｉｎ、Ｚｎまたは元素Ｍ（元素ＭはＡｌ、Ｔｉ、Ｇａ、Ｙ、Ｚｒ、Ｌａ、Ｃｅ、ＮｄまたはＨｆ）のうち、少なくとも１種類の元素を有し、
前記第３の酸化物層は、Ｉｎ、Ｚｎおよび元素Ｍ（元素ＭはＡｌ、Ｔｉ、Ｇａ、Ｙ、Ｚｒ、Ｌａ、Ｃｅ、ＮｄまたはＨｆのうち１種類以上の元素）を有し、
前記第４の酸化物層は、Ｉｎ、Ｚｎおよび元素Ｍ（元素ＭはＡｌ、Ｔｉ、Ｇａ、Ｙ、Ｚｒ、Ｌａ、Ｃｅ、ＮｄまたはＨｆのうち１種類以上の元素）を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１の酸化物層において、Ｉｎの原子数比率が５０ａｔｏｍｉｃ％未満、元素Ｍの原子数比率が５０ａｔｏｍｉｃ％以上であり、
前記酸化物半導体層において、Ｉｎの原子数比率が２５ａｔｏｍｉｃ％以上、元素Ｍの原子数比率が７５ａｔｏｍｉｃ％未満であり、
前記第３の酸化物層および前記第４の酸化物層において、Ｉｎの原子数比率が５０ａｔｏｍｉｃ％以上、元素Ｍの原子数比率が５０ａｔｏｍｉｃ％未満である、ことを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記第１の酸化物層における元素Ｍの原子数に対するＩｎの原子数の比が、前記酸化物半導体層における元素Ｍの原子数に対するＩｎの原子数の比より大きい、ことを特徴とする半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月20日(2017.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱エネルギ源と、前記熱エネルギ源の表面と熱的連通する異方性熱案内被覆とを具備する熱エネルギ案内装置において、前記異方性熱案内被覆は、第一層及び第二層を含む複数の層を有し、前記第一層は前記熱エネルギ源の表面に接触し、前記第二層は前記第一層に接触し、前記第一層は第一熱伝導率を有し、前記第二層は第二熱伝導率を有し、前記複数の層は、熱エネルギ管理目標に応じて前記熱エネルギ源からの熱エネルギを案内するために前記熱エネルギ源の表面に不均一に配置され、前記第一層は第一の複数の熱伝導性粒子を含む第一絶縁材料から形成され、前記第一層は熱伝導性粒子の第一濃度を有し、前記第二層は第二の複数の熱伝導性粒子を含む第二絶縁材料から形成され、前記第二層は熱伝導性粒子の第二濃度を有し、前記第一濃度は前記第二濃度を上回っている、熱エネルギ案内装置。
【請求項２】
前記異方性熱案内被覆は熱エネルギ源の形状と合致する同形被覆である、請求項１に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項３】
前記熱エネルギ源は電子構成要素あるいはモータである、請求項１に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項４】
さらに、前記異方性熱案内被覆と熱的連通する熱エネルギ取り込み装置を具備し、前記熱エネルギ管理目標は、前記熱エネルギ取り込み装置へ前記熱エネルギ源からの熱を案内することを有する、請求項１に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項５】
前記第一層と第二層との層境界面は前記熱エネルギ源の表面と実質的に垂直である、請求項１に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項６】
前記熱エネルギ源の表面は実質的に線型である、請求項１に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項７】
前記複数の層の厚さが前記熱エネルギ源の表面に沿って変化する、請求項１に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項８】
前記複数の層の厚さは前記熱エネルギ源の表面に沿って不均一に変化する、請求項１に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項９】
熱エネルギ源と、前記熱エネルギ源の表面と熱的連通する異方性熱案内被覆とを具備する熱エネルギ案内装置において、前記異方性熱案内被覆は熱エネルギ源の形状と合致する同形被覆であり、前記異方性熱案内被覆は第一の複数の層と第二の複数の層とを有し、前記第一の複数の層は第一層と第二層とを有し、これら第一層と第二層は各々第一熱伝導率を有し、前記第二の複数の層は第三層と第四層とを有し、該第三層と第四層は各々第二熱伝導率を有し、前記第一の複数の層の前記第一層は前記熱エネルギ源の表面に接触し、
前記第二の複数の層の第三層は前記第一の複数の層の第一層と前記第一の複数の層の第二層との間に接触して配置され、前記第一の複数の層の第二層は前記第二の複数の層の第三層と前記第二の複数の層の第四層との間に接触して配置され、前記第一層及び前記第二層は第一の複数の熱伝導性粒子を含む第一絶縁材料から形成され、前記第一層及び前記第二層は熱伝導性粒子の第一濃度を有し、前記第三層及び前記第四層は第二の複数の熱伝導性粒子を含む第二絶縁材料から形成され、前記第三層及び前記第四層は熱伝導性粒子の第二濃度を有し、前記第一濃度は前記第二濃度を上回っている、熱エネルギ案内装置。
【請求項１０】
前記第一層は前記熱エネルギ源の表面に接触し、前記第二層は前記熱エネルギ源に接触し、前記第一層は前記第二層に接触する、請求項９に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項１１】
前記第一層は第三層と前記熱エネルギ源の表面との間に配置される、請求項９に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項１２】
第一位置における前記異方性熱案内被覆の第一厚さは、前記第一層の第一厚さと前記第三層の第一厚さとを有し、第二位置における前記異方性熱案内被覆の第二厚さは、前記第一層の第二厚さと前記第三層の第二厚さとを有し、前記第一層の前記第一厚さは、前記第一層の前記第二厚さより薄い、請求項９に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項１３】
前記第一の複数の熱伝導性粒子は、金属粒子、グラファイト粒子、繊維複合粒子、セラミック粒子、又は、これらの組み合わせを含んでいる、請求項９に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項１４】
前記第一絶縁材料はシリコンであり、前記第二絶縁材料はシリコンである、請求項９に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項１５】
熱エネルギ源と、前記熱エネルギ源の表面と熱的連通する異方性熱案内被覆とを具備する熱エネルギ案内装置において、前記異方性熱案内被覆は、第一層、第二層及び第三層を有し、前記第一層及び前記第三層は第一熱伝導率を有し、前記第二層は第二熱伝導率を有し、前記熱エネルギ源の表面の第一位置における該表面に垂直な前記異方性熱案内被覆の第一横断面は前記第一層と前記第三層との一方のみを含み、前記熱エネルギ源の表面の第二位置における該表面に垂直な前記異方性熱案内被覆の第二横断面は前記第一層、前記第二層、及び前記第三層を含み、前記第二層は前記第一層と前記第三層との間に配置される、熱エネルギ案内装置。
【請求項１６】
前記異方性熱案内被覆は更に第四層を有し、前記第四層は前記第二熱伝導率を有し、前記第一横断面と前記第二横断面との少なくとも一方は前記第四層を含む、請求項１５に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項１７】
前記第一層と前記第三層との少なくとも一方は第一の複数の熱伝導性粒子を含む第一絶縁材料から形成され、前記第一層と前記第三層との少なくとも一方は熱伝導性粒子の第一濃度を有し、前記第二層と前記四層との少なくとも一方は第二の複数の熱伝導性粒子を含む第二絶縁材料から形成され、前記第二層と前記第四層との少なくとも一方は熱伝導性粒子の第二濃度を有し、前記第一濃度は前記第二濃度を上回っている、請求項１６に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項１８】
前記第二層は前記第一層と前記第三層との間に配置され、前記第三層は前記第二層と前記第四層との間に配置される、請求項１６に記載の熱エネルギ案内装置。
【請求項１９】
前記異方性熱案内被覆は熱エネルギ源の形状と合致する同形被覆である、請求項１５に記載の熱エネルギ案内装置。