【手続補正書】
【提出日】平成29年10月27日(2017.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出振動部を有する振動体と、
前記振動体を支持し、第１端部と第２端部とを有する支持部と、
前記支持部の前記第１端部と前記第２端部との間の部分と前記振動体とを連結する梁部と、
前記検出振動部に設けられた検出信号電極と、
前記支持部の一方の主面に設けられ、前記検出信号電極と電気的に接続されている検出信号端子と、
前記支持部の前記一方の主面に設けられ、定電位に電気的に接続されている定電位端子と、を有し、
前記定電位端子は、一部が前記支持部の前記梁部との接続部よりも前記第１端部側に位置するように配置され、
前記検出信号端子は、前記支持部の前記定電位端子よりも前記第１端部側に配置されていることを特徴とする物理量検出振動素子。
【請求項２】
前記検出振動部に設けられた検出接地電極を有し、
前記検出接地電極と前記定電位端子とが電気的に接続されている請求項１に記載の物理量検出振動素子。
【請求項３】
前記定電位端子は、さらに、前記支持部の前記検出信号用端子と前記第１端部との間にも配置されている請求項１または２に記載の物理量検出振動素子。
【請求項４】
前記定電位端子は、さらに、前記支持部の他方の主面の前記検出信号用端子と重なる部分にも配置されている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の物理量検出振動素子。
【請求項５】
一対の前記梁部を有し、
前記定電位端子は、前記支持部の一方の前記梁部との接続部である第１接続部と他方の前記梁部との接続部である第２接続部との間に配置され、かつ、前記第１接続部よりも前記第１端部側まで延在して配置されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の物理量検出振動素子。
【請求項６】
前記定電位端子は、さらに、前記第２接続部よりも前記第２端部側まで延在して配置されている請求項５に記載の物理量検出振動素子。
【請求項７】
前記振動体は、駆動振動部を有し、
前記駆動振動部に設けられた駆動信号電極と、
前記支持部の前記一方の主面の前記定電位端子と前記第２端部との間に設けられ、前記駆動信号電極と電気的に接続されている駆動信号端子と、を有している請求項６に記載の物理量検出振動素子。
【請求項８】
前記定電位端子は、さらに、前記支持部の前記駆動信号用端子と前記第２端部との間にも配置されている請求項７に記載の物理量検出振動素子。
【請求項９】
前記定電位端子は、さらに、前記支持部の他方の主面の前記駆動信号端子と重なる部分にも配置されている請求項７または８に記載の物理量検出振動素子。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量検出振動素子を備えていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量検出振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量検出振動素子を備えていることを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
このような振動素子では、一方の支持部に検出信号端子、検出接地端子および駆動信号端子が配置されており、他方の支持部に検出信号端子、検出接地端子および駆動接地端子が配置されている。また、支持部に設けられた上記の各端子は、互いにほぼ同じ大きさに揃えられている。また、検出信号端子や駆動信号端子へのノイズの混入を低減することのできるシールド層として機能し得る検出接地電極が、支持部の一対の梁部との接続部の間に位置している。そのため、検出接地端子を十分広く形成することができないため、前記シールド層としても機能を十分に発揮することができない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例７］
本適用例の物理量検出振動素子では、前記振動体は、駆動振動部を有し、
前記駆動振動部に設けられた駆動信号電極と、
前記支持部の前記一方の主面の前記定電位端子と前記第２端部との間に設けられ、前記駆動信号電極と電気的に接続されている駆動信号端子と、を有していることが好ましい。
これにより、駆動信号端子から検出信号端子へのノイズの混入を低減することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
図１は、本発明の好適な実施形態に係る物理量検出振動素子を示す平面図である。図２は、図１に示す物理量検出振動素子が有する電極を示す平面図である。図３は、図１に示す物理量検出振動素子が有する電極を示す平面図（透過図）である。なお、図１では、説明の便宜上、電極の図示を省略している。また、以下では、図１に示すように、水晶の結晶軸をｘ軸（電気軸）、ｙ軸（機械軸）およびｚ軸（光軸）とし、ｘ軸に沿った方向を「ｘ軸方向」とも言い、ｙ軸に沿った方向を「ｙ軸方向」とも言い、ｚ軸に沿った方向を「ｚ軸方向」とも言う。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
このようなベース２１には配線２４が配置されている。配線２４は、第１凹部２１１ａの底面に配置され、ボンディングワイヤーＢＷを介してＩＣ３と電気的に接続された複数の内部端子２４１と、ベース２１の底面に配置され、対応する内部端子２４１と電気的に接続された複数の外部端子２４２と、を有している。また、配線２４は、ベース２１内に形成された内部配線２４３や切り欠き部２１２に形成されたキャスタレーション電極２４４を有し、これらを介して各内部端子２４１とそれに対応する外部端子２４２とが電気的に接続されている。このような配線２４は、例えば、タングステン（Ｗ）、モリブテン（Ｍｏ）、マンガン（Ｍｎ）等で構成することができ、ベース２１から露出している部分（例えば、内部端子２４１、外部端子２４２、キャスタレーション電極２４４）については、その表面に金（Ａｕ）などのめっき金属層を形成してもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
まず、振動素子４の配置について説明する。振動素子４は、図６に示すように、検出軸Ｊ４がＹ軸と一致するように配置されている。これにより、振動素子４によって角速度ωｙを検出することができる。また、振動素子４は、ＩＣ３の上面の外縁３２側および外縁３４側に片寄った位置に配置されている。また、振動素子４の＋Ｘ軸側（振動素子４と外縁３２との間）には第３端子配置領域ＳＳ３が位置し、振動素子４の−Ｘ軸側（振動素子４と外縁３１との間）には第２端子配置領域ＳＳ２が位置している。また、振動素子４は、調整用振動腕４４１、４４２が平面視でＩＣ３の外縁３４から＋Ｙ軸側へはみ出して配置されている。すなわち、振動素子４は、調整用振動腕４４１、４４２が平面視でＩＣ３と重ならないように配置されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
次に、振動素子５の配置について説明する。振動素子５は、図６に示すように、検出軸Ｊ５がＸ軸と一致するように配置されている。これにより、振動素子５によって角速度ωｘを検出することができる。また、振動素子５は、ＩＣ３の上面の外縁３２側および外縁３３側に片寄った位置に配置されている。そのため、振動素子５は、振動素子４に対して−Ｙ軸側（振動素子４と外縁３３との間）に位置している。また、振動素子５の−Ｘ軸側（振動素子５と外縁３１との間）には第１端子配置領域ＳＳ１が位置している。また、振動素子５は、調整用振動腕５４１、５４２が平面視でＩＣ３の外縁３２から＋Ｘ軸側へはみ出して配置されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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