【手続補正書】
【提出日】平成29年5月9日(2017.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の画像データを取得する撮像部と、
前記被検査体を支持可能であり、前記被検査体を前記撮像部に対して相対移動させる基板支持部と、
内部空間が形成された筐体と、
前記内部空間を、前記被検査体を搬入及び搬出するための搬送空間と前記撮像部が配置された検査空間とに分離する遮蔽部材と、
前記被検査体を前記搬送空間と前記検査空間との間で移動させる搬送手段と、を有し、
前記遮蔽部材は、前記搬送空間内にある前記被検査体の下方に前記搬送空間と前記検査空間とを連通する開口部を有し、
前記搬送手段は、所定の基準位置の周りの少なくとも一部の区間を移動させることにより、前記被検査体を前記搬送空間と前記検査空間との間で移動させるとともに、少なくとも前記搬送空間の近傍における前記被検査体の移動時の軌道が、前記基準位置に向かって凸になるように構成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記搬送手段は、
前記基準位置を中心に回転するサンギアと、
前記サンギアを囲み、固定されたリングギアと、
前記サンギア及び前記リングギアと噛合し、前記サンギアが回転することにより当該サンギアの周りを移動するプラネタリギアと、
前記プラネタリギアに固定された脚部と、
前記脚部に取り付けられ、前記基板を支持する支持部と、を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記サンギアと前記プラネタリギアとのギア比は３：１であることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記撮像部は、前記検査空間内にある前記被検査体に放射線を照射することにより前記被検査体の画像データを取得するように構成され、
前記筐体の側面に、前記搬送空間内に前記被検査体を搬入及び搬出する搬入出口が設けられ、
前記遮蔽部材は、前記撮像部から放射された１次放射線、及び、当該１次放射線が前記筐体の内壁で反射した２次放射線が前記搬入出口に入射しないように遮蔽する位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、このような本発明に係る検査装置において、前記撮像部は、前記検査空間内にある前記被検査体に放射線を照射することにより前記被検査体の画像データを取得するように構成され、前記筐体の側面に、前記搬送空間内に前記被検査体を搬入及び搬出する搬入出口が設けられ、前記遮蔽部材は、前記撮像部から放射された１次放射線、及び、当該１次放射線が前記筐体の内壁で反射した２次放射線が前記搬入出口に入射しないように遮蔽する位置に配置されていることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
最適経路計算部４４は情報記憶部３２から基板の設計情報と撮像条件とを取得し基板を撮像するための最適経路を計算する（ステップＳ２０２）。最適経路が既に計算されて情報記憶部３２に記憶されている場合には、最適経路計算部４４は情報記憶部３２から最適経路を読み出す。そして、最適経路計算部４４は、取得した最適経路に基づいて、放射線発生器制御部３８、基板保持部制御部４０、検出器制御部４２に指示を出し、検査装置１００の撮像条件を設定する（ステップＳ２０４）。撮像条件を設定したら、放射線発生器２２から基板に放射線を放射し、検出器２６を用いて透過画像を撮像する（ステップＳ２０６）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
ここで、図４に示すように、放射線発生器２２は、下方に放射線を放射するように配置されている。そのため、境界線Ｌ１の下側の領域（右上がりの斜線で示される領域）は、放射線発生器２２から放射された放射線（以下、「１次放射線」と呼ぶ）が直接入射する領域となる（以下、「１次放射線領域」と呼ぶ）。この１次放射線領域の１次放射線は、筐体５２の内壁に入射すると、ほとんどが吸収されるが、吸収されなかった放射線は反射して境界線Ｌ１より上方の領域に入射する（この放射線を「２次放射線」と呼ぶ）。上述したように、筐体５２の内部空間は、搬入側遮蔽部材５８及び搬出側遮蔽部材６０により上下に分割されているため、２次放射線は開口部６２を通って検査空間から搬送空間に入射する。すなわち、境界線Ｌ２の上側の領域を含む右下がりの斜線で示される領域が２次放射線が入射する領域となる（以下、「２次放射線領域」と呼ぶ）。この２次放射線も、筐体５２の内壁や搬入側遮蔽部材５８及び搬出側遮蔽部材６０に入射するとそのほとんどが吸収される。図４に示すように、上述した搬入口５４及び搬出口５６は、２次放射線領域の外側（搬送空間のうち、検査空間で反射した２次放射線が搬入側遮蔽部材５８及び搬出側遮蔽部材６０により遮蔽される領域）に配置されているため、これらの搬入口５４及び搬出口５６から放射線が外部に放射されることはほとんどない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
ここで、サンギア７０とプラネタリギア７４のギア比は３：１になるように構成されている。そのため、サンギア７０を回転させることにより、プラネタリギア７４が上下方向の中間点（以下「中間位置ＩＩ，ＩＶ」と呼ぶ）に位置するときは、脚部７６は左右方向外側に延び、プラネタリギア７４が最も低い位置（以下「最下位置ＩＩＩ」と呼ぶ）にあるときは、脚部７６は下方に延びる。またこのとき、支持部７８が移動する軌跡は、最上位置Ｉから中間位置ＩＩに至る経路、中間位置ＩＩから最下位置ＩＩＩに至る経路、最下位置ＩＩＩから中間位置ＩＶに至る経路、及び、中間位置ＩＶから最上位置Ｉに至る経路の各々において、サンギア７０の回転中心に向かって凸になるように構成されている。そのため、最上位置Ｉから中間位置ＩＩに移動するときに、支持部７８は、移動開始時は下方への移動量の方が左方への移動量より多くなるため、搬入側遮蔽部材５８と干渉することなく開口部６２を通って、搬送空間から検査空間に移動することができる。同様に、中間位置ＩＶから最上位置Ｉに移動するときに、支持部７８は、移動終了時は上方への移動量の方が左方への移動量より多くなるため、搬出側遮蔽部６０と干渉することなく開口部６２を通って、検査空間から搬送空間に移動することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
なお、図５では、サンギア７０、リングギア７２及びプラネタリギア７４からなる遊星歯車機構を対向するように１対設けた構成で説明したが、図８に示すように、同一形状の２対の遊技歯車機構を設け、各々のプラネタリギア７４に取り付けられた脚部７６で、支持部７８を支持するように構成してもよい。すなわち、２つのローラ群８０の一方側に配置された２つの遊星歯車機構の２つの脚部７６からなる組で支持部７８の一方の端を支持し、他方のローラ群８０側に配置された２つの遊星歯車機構の２つの脚部７６からなる組で支持部７８の他方の端を支持するように構成する。このように構成すると、各々のサンギア７０を回転させてプラネタリギア７４を移動させることにより、それぞれの組の脚部７６が平行に移動するため、支持部７８の上面（この支持部７８で保持された基板２の上面）が常に上方を向いた状態で移動させることができる。