【手続補正書】
【提出日】平成29年9月28日(2017.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
特開２００８−１８０５８１号公報においては、大気圧の中空でありその容積が０．００５ｃｃ以上０．５ｃｃ以下の気密部品内のガス組成が、中空気密部品の容積によらずに高精度に測定できる。その方法は、試料を開封する試料室と質量分析計にてガス分析を行なう分析室との間に、中空気密部品の容積に対応したコンダクタンスを有するオリフィスを設けることにより、測定開始時に分析室に送り込むガス量を中空気密部品の容積によらず一定にすることである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【図１】実施の形態１のガス分析装置の構成を示す概略図である。
【図２】実施の形態１のガス分析方法を用いて試料を開封した場合の、試料室および分析室の圧力の時間変化を示すグラフである。
【図３】質量分析計で得られる検出強度の時間変化を示すグラフである。
【図４】窒素分圧と、当該窒素分圧の質量分析計による検出感度との関係を示すグラフである。
【図５】質量分析計で得られる検出感度をフィッティングすることにより得られる窒素分圧の時間変化を示すグラフである。
【図６】実施の形態２のガス分析装置の構成を示す概略図である。
【図７】実施の形態３における開封機構の構成を示す概略断面図である。
【図８】図７の試料台およびその上の試料の態様を示す概略平面図（Ａ）と、図８（Ａ）のＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢ線に沿う部分における試料台およびその上の試料の態様を示す概略断面図（Ｂ）とである。
【図９】実施の形態３の開封機構を試料室の内部にセットする態様を示す概略断面図である。
【図１０】実施の形態３において刃が試料を開封する態様を示す概略斜視図（Ａ）および図１０（Ａ）のＸＢ−ＸＢ線に沿う部分における概略断面図（Ｂ）とである。
【図１１】実施の形態３において刃が箔および当該箔に覆われた試料を開封する態様を示す概略斜視図（Ａ）および図１１（Ａ）のＸＩＢ−ＸＩＢ線に沿う部分における概略断面図（Ｂ）とである。
【図１２】図１２（Ｂ）のＸＩＩＡ−ＸＩＩＡ線に沿う部分における、実施の形態４の開封機構の構成を示す概略断面図（Ａ）と、図１２（Ａ）の開封機構の構成を示す概略平面図（Ｂ）とである。
【図１３】実施の形態４の開封機構を試料室の内部にセットする態様を示す概略断面図である。
【図１４】図１２（Ａ）の点線で囲まれた領域ＸＩＶの概略拡大断面図である。
【図１５】実施の形態４においてワイヤが箔および当該箔に覆われた試料を開封する態様を示す概略断面図である。
【図１６】実施の形態５のガス分析装置の構成を示す概略図である。
【図１７】実施の形態６のガス分析装置における、開封機構が試料室の内部にセットされた態様を示す概略断面図である。
【図１８】２５℃の空気の圧力に対する平均自由行程を示すグラフである。
【図１９】オリフィスの穴径に対する、２５℃の空気のコンダクタンスを示すグラフである。
【図２０】オリフィスに形成された穴の第１例を示す概略平面図である。
【図２１】オリフィスに形成された穴の第２例を示す概略平面図である。
【図２２】オリフィスに形成された穴の第３例を示す概略平面図である。
【図２３】図６のガス分析装置の第１の変形例の、特に配管とバルブの形状および位置関係を示す概略図である。
【図２４】図６のガス分析装置の第２の変形例の、特に試料室と第１のオリフィスとの位置関係を示す概略図である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
ここで図２のグラフは試料室１および分析室１１のそれぞれの内部における全圧についての計算結果であるが、試料室１内および分析室１１内に複数のガス種が混在する場合には、それぞれのガス種ごとに（お互いに干渉することなく）ガスの流れが生じる。これはガスの圧力が低い（ガス分子の平均自由行程がオリフィスＯ１，Ｏ２のガスが通る穴の径または幅と同程度以上の長さを有する）ためにガスの流れが分子流となるためである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
図７および図８（Ａ），（Ｂ）を参照して、本実施の形態においては、試料台５の試料３をセットする上面に凹み３７が形成されている。凹み３７は試料固定溝３７Ａと切欠き３７Ｂとを有している。試料固定溝３７Ａは試料３をセットするための溝であり、試料台５の上面に互いに間隔をあけて複数（図７、図８においては３つ）形成されている。これにより試料室１内には複数の試料３を一列に配置することが可能となっている。また切欠き３７Ｂは、複数の試料固定溝３７Ａの底面を含むように形成された、たとえば三角形の断面形状を有するように深く刻まれた領域である。切欠き３７Ｂは複数の試料固定溝３７Ａのうち隣り合う１対の間に挟まれた領域においても、試料台５の上面を深く刻むように三角形状に形成されている。これにより、刃３５で試料３を破壊するときに刃３５が試料台５の上面に当たることが抑制されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
図１０（Ａ），（Ｂ）を参照して、試料３の開封の動作時には、軸３４が下方に移動する。これにより、軸３４の延びる各図の上下方向に対して斜め方向に延びる刃３５の特に最も低い部分が、複数の試料３のうちの１つ（たとえば図１０（Ａ）に示すように３つ並ぶ試料３のうちもっとも右に配置される試料３）の表面に押しつけられる。これにより、当該もっとも右の試料３が破壊（開封）されてその中のガスが解放される。このもっとも右の試料３の内部のガスの分析が完了すれば、試料室１および分析室１１（たとえば図６参照）が排気され、次の測定の準備がなされる。次の分析は、更に刃３５を押し下げ、たとえば図１０（Ａ）の３つ並ぶ試料３のうち中央の試料３が破壊されることによりなされる。なお、複数の試料３のうちいずれの試料３を分析中（破壊中）であるかについては、図９の窓４３により目視で確認できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２２】
真空状態でのガスの流れは、分子の平均自由行程がその流路の幅程度以下になると、分子流となる。分子流では、分子の質量によって飛行する速度が異なる。このため試料室１から分析室１１へ、あるいは分析室１１から排気装置Ｅ２へガスが流れる場合に、（試料３の開封後の）試料室１や分析室１１のガスの組成が時間的に変化する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２７】
図１８を参照して、このグラフは、オリフィスを通る温度が２５℃の空気の圧力と、その圧力に対する平均自由行程との関係を示している。ガス分析時においてオリフィスにガスが通るが、その通過するガスの（このオリフィス内での）最大圧力に対応した平均自由行程に比べてこのオリフィスの径がほぼ同じであるかまたは小さければ，このオリフィスを流れるガスは分子流と見なすことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２８】
オリフィスＯ１を通過するガス（空気）の最大圧力は、オリフィスＯ１に接続される試料室１内の最大圧力と同じであると考えることができる。このため図２のグラフのような空気の検出強度の時間変化が得られた場合においては、オリフィスＯ１を通るガスの最大圧力は約１Ｐａとなり、このときの当該ガスの平均自由行程は図１８のグラフより約１０ｍｍとなる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２９】
またオリフィスＯ２を通過するガス（空気）の最大圧力は、オリフィスＯ２に接続される分析室１１内の最大圧力と同じであると考えれば、図２より約０．０１Ｐａとなり、このときの当該ガスの平均自由行程は図１８のグラフより約１０００ｍｍとなる。したがってオリフィスＯ１の穴径が１０ｍｍ以下、オリフィスＯ２の穴径が１０００ｍｍ以下であれば、当該オリフィスＯ１，Ｏ２を流れる空気は分子流であるとみなすことができる。ただし上記の穴径とは、オリフィスＯ１，Ｏ２の穴が円筒形の穴であることを仮定している。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
図２２を参照して、オリフィスＯ１，Ｏ２として、図２０と同様の円盤にスリット状の貫通穴をあけたものが用いられてもよい。この場合、スリットの隙間幅が平均自由行程より小さければ分子流となる。なおスリットの形状は直線である必要はなく、曲線形状または枝分かれ形状であってもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
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