【手続補正書】
【提出日】平成29年1月13日(2017.1.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマーク要素を含むマークの位置を検出する検出装置であって、
前記マークを撮像する撮像部と、
撮像部で得られる前記マークの２次元画像を用いて前記マークの位置検出を行う処理部と、を有し、
前記処理部は、
前記２次元画像に対して設定された検出領域内の２次元画像の信号をある方向に積算することにより、複数のピークを有する１次元の積算信号を生成し、
生成された前記積算信号の前記複数のピークのうち、その値と基準値との差が閾値以上であるピークと、その値と基準値との差が閾値より小さいピークとを検出し、該検出結果を用いて前記マークの異常領域を求め、
求めた前記異常領域に基づき、前記２次元画像に対して、１次元の積算信号の各ピークの値と基準値の差が閾値より小さくなるような検出領域を新たに設定し、前記新たに設定された検出領域内の２次元画像の信号を前記方向に積算することにより得た、複数のピークを有する１次元の積算信号に基づいて前記マークの位置を検出することを特徴とする検出装置。
【請求項２】
前記マークは、マーク要素としての互いに平行な複数のラインを含み、
前記処理部は、前記ラインに沿って前記検出領域内の２次元画像の信号を積算することを特徴とする請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記積算信号の前記複数のピークのうち、その値が最大のピークの値を基準値とし、前記複数のピークの値と前記基準値を比較することで、前記複数のピークの値と前記基準値との差を求めることを特徴とする請求項１または２に記載の検出装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記複数のピークの値と基準値の差が閾値以上であるピークの数が、前記複数のピークの値と基準値の差が閾値より小さいピークの数よりも少ない場合は、前記複数のピークの値と基準値の差が閾値以上であるピークの位置に、前記マークの異常領域が含まれているとし、該異常領域に基づき、前記２次元画像に対する検出領域を新たに設定することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の検出装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記複数のピークの値と基準値の差が閾値以上であるピークの数が、前記複数のピークの値と基準値の差が閾値より小さいピークの数よりも多い場合は、前記複数のピークの値と基準値の差が閾値より小さいピークの位置に、前記マークの異常領域が含まれているとし、該異常領域に基づき、前記２次元画像に対する検出領域を新たに設定することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の検出装置。
【請求項６】
前記閾値は、前記複数のピークのうち、その値と前記基準値との間に差が生じた数に基づき、求めることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の検出装置。
【請求項７】
複数のマーク要素を含むマークの位置を検出する検出装置であって、
前記マークを撮像する撮像部と、
撮像部で得られる前記マークの２次元画像を用いて前記マークの位置検出を行う処理部と、を有し、
前記処理部は、
前記マークの異常領域を取得し、
取得した前記異常領域が含まれないように前記２次元画像に対して検出領域を設定し、設定された検出領域内の２次元画像の信号をある方向に積算することにより前記複数のピークを有する１次元の積算信号を生成し、該積算信号に基づいて前記マークの位置を検出することを特徴とする検出装置。
【請求項８】
複数のマーク要素を含むマークの位置検出を行う検出方法であって、
前記マークを撮像し、
撮像された前記マークの２次元画像を用いて、前記２次元画像に対して設定された検出領域内の２次元画像の信号をある方向に積算することで、複数のピークを有する１次元の積算信号を生成し、
生成された前記積算信号の前記複数のピークのうち、その値と基準値との差が閾値以上であるピークと、その値と基準値との差が閾値より小さいピークとを検出し、該検出結果を用いて前記マークの異常領域を求め、
求めた前記異常領域に基づき、前記２次元画像に対して、１次元の積算信号の各ピークの値と基準値の差が閾値より小さくなるような検出領域を新たに設定し、前記新たに設定された検出領域内の２次元画像の信号を前記方向に積算することにより得た、複数のピークを有する１次元の積算信号に基づいて前記マークの位置検出を行うことを特徴とする検出方法。
【請求項９】
複数のマーク要素を含むマークの位置検出を行う検出方法であって、
前記マークを撮像し、
前記マークの異常領域を求め、
撮像された前記マークの２次元画像に対して前記異常領域が含まれないように検出領域を設定し、設定された検出領域内の２次元画像の信号をある方向に積算することにより前記複数のピークを有する１次元の積算信号を生成し、
該積算信号に基づいて前記マークの位置検出を行うことを特徴とする検出方法。
【請求項１０】
複数のマーク要素を含むマークを撮像し、
前記撮像により得られたマーク画像に対しウィンドウを設定し、
前記ウィンドウ内の前記マーク画像を所定方向に積算することによって、複数のピークを有する信号を生成し、
前記複数のピーク間でピーク値の差に基づいて、
前記所定方向に関する幅を前記ウィンドウより狭めたウィンドウ、または、前記所定方向に関する位置を前記ウィンドウとは変えたウィンドウ、または、前記所定方向に関する幅を前記ウィンドウより狭め且つ前記所定方向に関する位置を前記ウィンドウとは変えたウィンドウを、前記マーク画像に対し新たに設定し、
前記新たに設定したウィンドウ内の前記マーク画像を所定方向に積算すること
によって複数のピークを有する信号を新たに生成し、
該新たに生成した複数のピークを有する信号を用いて前記マークの位置を検出することを特徴とするマーク位置検出方法。
【請求項１１】
原版を用いて基板上にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
前記原版を保持する原版保持部と、
前記原版と前記原版保持部に形成された複数のマーク要素を含むマークの位置を検出する検出装置を備え、
該検出装置は、
前記マークを撮像する撮像部と、
撮像部で得られる前記マークの２次元画像を用いて前記マークの位置検出を行う処理部と、を有し、
前記処理部は、
前記２次元画像に対して設定された検出領域内の２次元画像の信号をある方向に積算することにより、複数のピークを有する１次元の積算信号を生成し、
生成された前記積算信号の前記複数のピークのうち、その値と基準値との差が閾値以上であるピークと、その値と基準値との差が閾値より小さいピークとを検出し、該検出結果を用いて前記マークの異常領域を求め、
求めた前記異常領域に基づき、前記２次元画像に対して、１次元の積算信号の各ピークの値と基準値の差が閾値より小さくなるような検出領域を新たに設定し、前記新たに設定された検出領域内の２次元画像の信号を前記方向に積算することにより得た、複数のピークを有する１次元の積算信号に基づいて前記マークの位置を検出することを特徴とするリソグラフィ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の目的を達成するための本発明による検出装置は、複数のマーク要素を含むマークの位置を検出する検出装置であって、前記マークを撮像する撮像部と、撮像部で得られる前記マークの２次元画像を用いて前記マークの位置検出を行う処理部と、を有し、前記処理部は、前記２次元画像に対して設定された検出領域内の２次元画像の信号をある方向に積算することにより、複数のピークを有する１次元の積算信号を生成し、生成された前記積算信号の前記複数のピークのうち、その値と基準値との差が閾値以上であるピークと、その値と基準値との差が閾値より小さいピークとを検出し、該検出結果を用いて前記マークの異常領域を求め、求めた前記異常領域に基づき、前記２次元画像に対して、１次元の積算信号の各ピークの値と基準値の差が閾値より小さくなるような検出領域を新たに設定し、前記新たに設定された検出領域内の２次元画像の信号を前記方向に積算することにより得た、複数のピークを有する１次元の積算信号に基づいて前記マークの位置を検出することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の別の側面としての検出方法は、複数のマーク要素を含むマークの位置検出を行う検出方法であって、前記マークを撮像し、撮像された前記マークの２次元画像を用いて、前記２次元画像に対して設定された検出領域内の２次元画像の信号をある方向に積算することで、複数のピークを有する１次元の積算信号を生成し、生成された前記積算信号の前記複数のピークのうち、その値と基準値との差が閾値以上であるピークと、その値と基準値との差が閾値より小さいピークとを検出し、該検出結果を用いて前記マークの異常領域を求め、求めた前記異常領域に基づき、前記２次元画像に対して、１次元の積算信号の各ピークの値と基準値の差が閾値より小さくなるような検出領域を新たに設定し、前記新たに設定された検出領域内の２次元画像の信号を前記方向に積算することにより得た、複数のピークを有する１次元の積算信号に基づいて前記マークの位置検出を行うことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の別の側面としての検出方法は、複数のマーク要素を含むマークの位置検出を行う検出方法であって、前記マークを撮像し、前記マークの異常領域を求め、撮像された前記マークの２次元画像に対して前記異常領域が含まれないように検出領域を設定し、設定された検出領域内の２次元画像の信号をある方向に積算することにより前記複数のピークを有する１次元の積算信号を生成し、該積算信号に基づいて前記マークの位置検出を行うことを特徴とする。