【手続補正書】
【提出日】平成29年5月12日(2017.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記第２保持部の原版保持力が前記第１保持部の原版保持力よりも小さい状態で前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定した後に、前記第２保持部の原版保持力が前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前より大きくなるように前記第２保持部の原版保持力を調整する調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
【請求項２】
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記第１保持部の原版保持力が前記第２保持部の原版保持力よりも小さい状態で前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定した後に、前記第１保持部の原版保持力が前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前より大きくなるように前記第１保持部の原版保持力を調整する調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
【請求項３】
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第２保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する後の前記第２保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
【請求項４】
前記調整部は、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第２保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第１保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う、ことを特徴とする請求項３に記載の原版保持装置。
【請求項５】
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第２保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第１保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
【請求項６】
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第１保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する後の前記第１保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
【請求項７】
前記調整部は、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第１保持部の前記第１保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部を固定する前の前記第２保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う、ことを特徴とする請求項６に記載の原版保持装置。
【請求項８】
原版を保持する原版保持装置であって、
前記原版を保持する第１保持部と、
前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、
前記基板を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、
前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第１保持部の原版保持力が、前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前の前記第２保持部の原版保持力より小さくなるように調整を行う調整部と、
を含む、ことを特徴とする原版保持装置。
【請求項９】
前記固定部は、前記第１保持部に対して位置が固定されたストッパと、前記第２保持部に連結された連結部に力を加えて前記第２保持部を移動させるアクチュエータとを含み、
前記ストッパと前記アクチュエータとは、互いに前記連結部を挟むように配置され、
前記固定部は、前記アクチュエータで前記連結部を前記ストッパに押し当てることによって前記第２保持部を固定する、ことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の原版保持装置。
【請求項１０】
前記固定部は、複数回にわたる前記アクチュエータによる押し当てを経ることによって前記第２保持部を固定する、ことを特徴とする請求項９に記載の原版保持装置。
【請求項１１】
前記調整部は、前記第２保持部を前記固定部によって固定した後、前記第２保持部の原版保持力が前記第１保持部の原版保持力に近づくように前記第２保持部の原版保持力を調整する、ことを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載の原版保持装置。
【請求項１２】
前記原版は、第１面とその反対側の第２面とを有し、
前記第１保持部は、前記第１面を吸着することによって前記原版を保持し、
前記第２保持部は、前記第２面を吸着することによって前記原版を保持する、ことを特徴とする請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載の原版保持装置。
【請求項１３】
前記第１保持部は、真空吸着および静電吸着のうち少なくとも一方によって前記第１面を吸着し、
前記第２保持部は、真空吸着および静電吸着のうち少なくとも一方によって前記第２面を吸着する、ことを特徴とする請求項１２に記載の原版保持装置。
【請求項１４】
前記調整部は、前記第１保持部が前記原版を保持する際の原版保持力と前記第２保持部が前記原版を保持する際の原版保持力とを原版ごとに記憶し、
前記第１保持部および前記第２保持部は、前記原版ごとに記憶した前記原版保持力によって前記原版を保持する、ことを特徴とする請求項１乃至１３のうちいずれか１項に記載の原版保持装置。
【請求項１５】
前記第２保持部が前記原版を保持する際の原版保持力には、前記固定部によって前記位置を固定する前に前記第２保持部が前記原版を保持する際の原版保持力および前記固定部によって前記位置を固定した後に前記第２保持部が前記原版を保持する際の原版保持力のうち少なくとも一方が含まれる、ことを特徴とする請求項１４に記載の原版保持装置。
【請求項１６】
基板を露光する露光装置であって、
請求項１乃至１５のうちいずれか１項に記載の原版保持装置と、
前記原版保持装置によって保持された原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
を含む、ことを特徴とする露光装置。
【請求項１７】
前記原版保持装置を搭載して移動可能なステージを更に含み、
前記ステージによって前記原版を走査させながら、露光を行う、ことを特徴とする請求項１６に記載の露光装置。
【請求項１８】
請求項１６又は１７に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を含み、前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
【請求項１９】
原版を保持する原版保持方法であって、
第１保持部によって、前記原版を保持する工程と、
前記第１保持部に対して移動可能な第２保持部によって、前記原版を保持する工程と、
固定部によって、前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する工程と、
前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定する前に、前記第２保持部の原版保持力が前記第１保持部の原版保持力よりも小さくなるように、前記第１保持部の原版保持力および前記第２保持部の原版保持力のうち少なくとも１つを調整する工程と、
前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定した後に、前記第２保持部の原版保持力が前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前より大きくなるように、前記第２保持部の原版保持力を調整する工程と、
を含む、ことを特徴とする原版保持方法。
【請求項２０】
原版を保持する原版保持方法であって、
第１保持部によって、前記原版を保持する工程と、
前記第１保持部に対して移動可能な第２保持部によって、前記原版を保持する工程と、
固定部によって、前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する工程と、
前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定する前に、前記第１保持部の原版保持力が前記第２保持部の原版保持力よりも小さくなるように、前記第１保持部の原版保持力および前記第２保持部の原版保持力のうち少なくとも１つを調整する工程と、
前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定した後に、前記第１保持部の原版保持力が前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前より大きくなるように、前記第１保持部の原版保持力を調整する工程と、
を含む、ことを特徴とする原版保持方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての原版保持装置は、原版を保持する原版保持装置であって、前記原版を保持する第１保持部と、前記第１保持部に対して移動可能で且つ前記原版を保持可能な第２保持部と、前記原版を保持した前記第２保持部の前記第１保持部に対する位置を固定する固定部と、前記第２保持部の原版保持力が前記第１保持部の原版保持力よりも小さい状態で前記第２保持部の前記位置を前記固定部によって固定した後に、前記第２保持部の原版保持力が前記固定部によって前記第２保持部の前記位置を固定する前より大きくなるように前記第２保持部の原版保持力を調整する調整部と、を含む、ことを特徴とする。