【手続補正書】
【提出日】平成29年9月19日(2017.9.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被計測面の形状を算出する算出方法であって、
前記被計測面に対してプローブを第１方向に走査させながら前記被計測面のライン領域を計測して得られる前記ライン領域の形状を表す第１形状データ、及び、前記被計測面に対して前記プローブを前記第１方向とは異なる第２方向に走査させながら前記被計測面のライン領域を計測して得られる前記ライン領域の形状を表す第２形状データを取得する第１工程と、
前記プローブを前記第１方向に走査することに起因する計測誤差を補正するための第１補正パラメータを用いて前記第１形状データを補正して第１補正形状データを求め、前記プローブを前記第２方向に走査することに起因する計測誤差を補正するための第２補正パラメータを用いて前記第２形状データを補正して第２補正形状データを求め、前記第１補正形状データと前記第２補正形状データとを合成して前記被計測面の全体の形状を表す第１全体形状データを生成する第２工程と、
を有することを特徴とする算出方法。
【請求項２】
前記第１補正パラメータを変更しながら前記第１工程で取得された前記第１形状データを補正し、前記第２補正パラメータを変更しながら前記第１工程で取得された前記第２形状データを補正し、前記第１補正パラメータ及び前記第２補正パラメータを変更するごとに、前記第１補正パラメータで前記第１形状データを補正して得られる形状データと前記第２補正パラメータで前記第２形状データを補正して得られる形状データとを評価する評価関数の値を求め、当該値が許容範囲内になるように、前記第１補正パラメータ及び前記第２補正パラメータを決定する第３工程を更に有することを特徴とする請求項１に記載の算出方法。
【請求項３】
前記第１補正パラメータ及び前記第２補正パラメータは、前記第１形状データと前記第２形状データとの間の間隔よりも低次の空間周波数成分を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の算出方法。
【請求項４】
前記計測誤差は、ゼルニケ多項式で表され、
前記第１補正パラメータ及び前記第２補正パラメータは、前記ゼルニケ多項式の第４項から第９項に対応する空間周波数成分を含むことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の算出方法。
【請求項５】
前記第２工程で生成された前記第１全体形状データから所定次数よりも高次の空間周波数成分の形状データを抽出する第４工程と、
前記第１工程で取得された前記第１形状データ及び前記第２形状データから前記所定次数以下の低次の空間周波数成分の形状データを抽出する第５工程と、
前記第４工程で抽出された高次の周波数成分の形状データと前記第５工程で抽出された低次の空間周波数成分の形状データとを合成して前記被計測面の全体の形状を表す第２全体形状データを生成する第６工程と、
を更に有することを特徴とする請求項１に記載の算出方法。
【請求項６】
前記第１工程では、前記被計測面における複数の部分領域のそれぞれについて、前記第１形状データ及び前記第２形状データをそれぞれ含む部分形状データを取得し、
前記第２工程では、前記部分形状データのうちの第１部分形状データに対応する前記第１補正パラメータ及び前記第２補正パラメータと前記第１部分形状データに含まれる計測誤差を補正するための第３補正パラメータとを用いて前記第１部分形状データを補正して第３補正形状データを求め、前記部分形状データのうちの第２部分形状データに対応する前記第１補正パラメータ及び前記第２補正パラメータと前記第２部分形状データに含まれる計測誤差を補正するための第４補正パラメータとを用いて前記第２部分形状データを補正して第４補正形状データを求め、前記第３補正形状データと前記第４補正形状データとを合成して前記被計測面の全体の形状を表す第３全体形状データを生成することを特徴とする請求項１に記載の算出方法。
【請求項７】
前記第１部分形状データに含まれる計測誤差を補正するための第５補正パラメータを用いて前記第１部分形状データを補正して第５補正形状データを求め、前記第２部分形状データに含まれる計測誤差を補正するための第６補正パラメータを用いて前記第２部分形状データを補正して第６補正形状データを求め、前記第５補正形状データと前記第６補正形状データとを合成して前記被計測面の全体の形状を表す第４全体形状データを生成する第７工程と、
前記第２工程で生成された前記第３全体形状データから所定次数よりも高次の空間周波数成分の形状データを抽出する第８工程と、
前記第７工程で生成された前記第４全体形状データから前記所定次数以下の低次の空間周波数成分の形状データを抽出する第９工程と、
前記第８工程で抽出された高次の周波数成分の形状データと前記第９工程で抽出された低次の空間周波数成分の形状データとを合成して前記被計測面の全体の形状を表す第５全体形状データを生成する第１０工程と、
を更に有することを特徴とする請求項６に記載の算出方法。
【請求項８】
前記第１方向と前記第２方向とは、互いに逆方向であることを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の算出方法。
【請求項９】
前記被計測面は、前記プローブの走査方向に対して傾斜角を有する部分を含むことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の算出方法。
【請求項１０】
被計測面の形状を求める処理をコンピュータに実行させるプログラムであって、
前記コンピュータに、
前記被計測面に対してプローブを第１方向に走査させながら前記被計測面のライン領域を計測して得られる前記ライン領域の形状を表す第１形状データ、及び、前記被計測面に対して前記プローブを前記第１方向とは異なる第２方向に走査させながら前記被計測面のライン領域を計測して得られる前記ライン領域の形状を表す第２形状データを取得する第１工程と、
前記プローブを前記第１方向に走査することに起因する計測誤差を補正するための第１補正パラメータを用いて前記第１形状データを補正して第１補正形状データを求め、前記プローブを前記第２方向に走査することに起因する計測誤差を補正するための第２補正パラメータを用いて前記第２形状データを補正して第２補正形状データを求め、前記第１補正形状データと前記第２補正形状データとを合成して前記被計測面の全体の形状を表す全体形状データを生成する第２工程と、
を実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１１】
被計測面の形状を求める処理を行う処理部を有する情報処理装置であって、
前記処理部は、
前記被計測面に対してプローブを第１方向に走査させながら前記被計測面のライン領域を計測して得られる前記ライン領域の形状を表す第１形状データ、及び、前記被計測面に対して前記プローブを前記第１方向とは異なる第２方向に走査させながら前記被計測面のライン領域を計測して得られる前記ライン領域の形状を表す第２形状データを取得し、
前記プローブを前記第１方向に走査することに起因する計測誤差を補正するための第１補正パラメータを用いて前記第１形状データを補正して第１補正形状データを求め、前記プローブを前記第２方向に走査することに起因する計測誤差を補正するための第２補正パラメータを用いて前記第２形状データを補正して第２補正形状データを求め、前記第１補正形状データと前記第２補正形状データとを合成して前記被計測面の全体の形状を表す全体形状データを生成することを特徴とする情報処理装置。
【請求項１２】
被計測面の形状を計測する計測装置であって、
前記被計測面を計測するためのプローブと、
前記プローブを用いて計測された計測データに基づいて前記被計測面の形状を求める処理を行う制御部と、
を有し、
前記制御部は、
前記被計測面に対して前記プローブを第１方向に走査させながら前記被計測面のライン領域を計測して得られる前記ライン領域の形状を表す第１形状データ、及び、前記被計測面に対して前記プローブを前記第１方向とは異なる第２方向に走査させながら前記被計測面のライン領域を計測して得られる前記ライン領域の形状を表す第２形状データを取得し、
前記プローブを前記第１方向に走査することに起因する計測誤差を補正するための第１補正パラメータを用いて前記第１形状データを補正して第１補正形状データを求め、前記プローブを前記第２方向に走査することに起因する計測誤差を補正するための第２補正パラメータを用いて前記第２形状データを補正して第２補正形状データを求め、前記第１補正形状データと前記第２補正形状データとを合成して前記被計測面の全体の形状を表す全体形状データを生成することを特徴とする計測装置。
【請求項１３】
前記制御部は、請求項２乃至９のうちいずれか１項に記載の算出方法を実行することを特徴とする請求項１２に記載の計測装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】算出方法、プログラム、情報処理装置及び計測装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、算出方法、プログラム、情報処理装置及び計測装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、被計測面の形状を高精度、且つ、短時間で算出するのに有利な算出方法を提供することを例示的目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての算出方法は、被計測面の形状を算出する算出方法であって、前記被計測面に対してプローブを第１方向に走査させながら前記被計測面のライン領域を計測して得られる前記ライン領域の形状を表す第１形状データ、及び、前記被計測面に対して前記プローブを前記第１方向とは異なる第２方向に走査させながら前記被計測面のライン領域を計測して得られる前記ライン領域の形状を表す第２形状データを取得する第１工程と、前記プローブを前記第１方向に走査することに起因する計測誤差を補正するための第１補正パラメータを用いて前記第１形状データを補正して第１補正形状データを求め、前記プローブを前記第２方向に走査することに起因する計測誤差を補正するための第２補正パラメータを用いて前記第２形状データを補正して第２補正形状データを求め、前記第１補正形状データと前記第２補正形状データとを合成して前記被計測面の全体の形状を表す第１全体形状データを生成する第２工程と、を有することを特徴とする。