【手続補正書】
【提出日】平成29年10月6日(2017.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ装置であって、
第１可動部と、
前記第１可動部の所定方向におけるストローク範囲にわたって配置された固定子コイル列と、前記第１可動部に固定された可動子磁石と、を含むリニアモーターと、
前記第１可動部に対向して配置され、前記所定方向において前記第１可動部に対して相対的に移動する第２可動部と、
ダイナミックブレーキの動作時に前記第１可動部に対してブレーキ力を発生させるために、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域に位置する第１コイルと該第１コイルに接続される第１抵抗とを含む第１閉回路と、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域とは異なる領域に位置する第２コイルと該第２コイルに接続される第２抵抗とを含む第２閉回路を形成するスイッチユニットと、を備え、
前記第２抵抗の抵抗値は前記第１抵抗の抵抗値よりも小さいことを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
ステージ装置であって、
第１可動部と、
前記第１可動部の所定方向におけるストローク範囲にわたって配置された固定子コイル列と、前記第１可動部に固定された可動子磁石と、を含むリニアモーターと、
前記第１可動部に対向して配置され、前記所定方向において前記第１可動部に対して相対的に移動する第２可動部と、
ダイナミックブレーキの動作時に前記第１可動部に対してブレーキ力を発生させるために、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域に位置する第１コイルを含む第１閉回路と、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域とは異なる領域に位置する第２コイルを含む第２閉回路を形成するスイッチユニットと、を備え、
前記第２コイルの抵抗値は前記第１コイルの抵抗値よりも小さいことを特徴とするステージ装置。
【請求項３】
ステージ装置であって、
第１可動部と、
前記第１可動部の所定方向におけるストローク範囲にわたって配置された固定子コイル列と、前記第１可動部に固定された可動子磁石と、を含むリニアモーターと、
前記第１可動部に対向して配置され、前記所定方向において前記第１可動部に対して相対的に移動する第２可動部と、
ダイナミックブレーキの動作時に前記第１可動部に対してブレーキ力を発生させるために、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域に位置する第１コイルを含む第１閉回路と、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域とは異なる領域に位置する第２コイルを含む第２閉回路を形成するスイッチユニットと、を備え、
前記第２コイルの自己インダクタンスは前記第１コイルの自己インダクタンスよりも小さいことを特徴とするステージ装置。
【請求項４】
前記可動子磁石は、前記第１可動部と前記第２可動部が接触した後で前記第２コイルと対向することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項５】
前記可動子磁石が前記第１コイルと対向した後のタイミングで、前記第１可動部と前記第２可動部が接触することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項６】
前記第１可動部に対するダイナミックブレーキのブレーキ加速度が前記第２可動部に対するダイナミックブレーキのブレーキ加速度よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項７】
前記第２可動部は、前記第１可動部の上に配置されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項８】
前記リニアモーターは、第１のリニアモーターであり、
前記ステージ装置は、前記第１可動部に固定された固定子と、前記第２可動部に固定された可動子とを含み、前記第２可動部を前記所定方向に移動させる第２のリニアモーターを備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項９】
前記リニアモーターは、前記第２可動部に固定された可動子磁石をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項１０】
リソグラフィ装置であって、
第１可動部と、
前記第１可動部の所定方向におけるストローク範囲にわたって配置された固定子コイル列と、前記第１可動部に固定された可動子磁石と、を含むリニアモーターと、
前記第１可動部に対向して配置され、前記所定方向において前記第１可動部に対して相対的に移動する第２可動部と、
ダイナミックブレーキの動作時に前記第１可動部に対してブレーキ力を発生させるために、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域に位置する第１コイルと該第１コイルに接続される第１抵抗とを含む第１閉回路と、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域とは異なる領域に位置する第２コイルと該第２コイルに接続される第２抵抗とを含む第２閉回路を形成するスイッチユニットと、を備え、
前記第２抵抗の抵抗値は前記第１抵抗の抵抗値よりも小さいことを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１１】
リソグラフィ装置であって、
第１可動部と、
前記第１可動部の所定方向におけるストローク範囲にわたって配置された固定子コイル列と、前記第１可動部に固定された可動子磁石と、を含むリニアモーターと、
前記第１可動部に対向して配置され、前記所定方向において前記第１可動部に対して相対的に移動する第２可動部と、
ダイナミックブレーキの動作時に前記第１可動部に対してブレーキ力を発生させるために、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域に位置する第１コイルを含む第１閉回路と、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域とは異なる領域に位置する第２コイルを含む第２閉回路を形成するスイッチユニットと、を備え、
前記第２コイルの抵抗値は前記第１コイルの抵抗値よりも小さいことを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１２】
リソグラフィ装置であって、
第１可動部と、
前記第１可動部の所定方向におけるストローク範囲にわたって配置された固定子コイル列と、前記第１可動部に固定された可動子磁石と、を含むリニアモーターと、
前記第１可動部に対向して配置され、前記所定方向において前記第１可動部に対して相対的に移動する第２可動部と、
ダイナミックブレーキの動作時に前記第１可動部に対してブレーキ力を発生させるために、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域に位置する第１コイルを含む第１閉回路と、前記固定子コイル列のストローク範囲の中心領域とは異なる領域に位置する第２コイルを含む第２閉回路を形成するスイッチユニットと、を備え、
前記第２コイルの自己インダクタンスは前記第１コイルの自己インダクタンスよりも小さいことを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１３】
前記可動子磁石は、前記第１可動部と前記第２可動部が接触した後で前記第２コイルと対向することを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１４】
前記可動子磁石が前記第１コイルと対向した後のタイミングで、前記第１可動部と前記第２可動部が接触することを特徴とする請求項１０乃至１３のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１５】
前記第１可動部に対するダイナミックブレーキのブレーキ加速度が前記第２可動部に対するダイナミックブレーキのブレーキ加速度よりも小さいことを特徴とする請求項１０乃至１４いずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１６】
前記第２可動部は、前記第１可動部の上に配置されていることを特徴とする請求項１０乃至１５のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１７】
前記リニアモーターは、第１のリニアモーターであり、
前記ステージ装置は、前記第１可動部に固定された固定子と、前記第２可動部に固定された可動子とを含み、前記第２可動部を前記所定方向に移動させる第２のリニアモーターを備えることを特徴とする請求項１０乃至１６のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１８】
前記リニアモーターは、前記第２可動部に固定された可動子磁石をさらに含むことを特徴とする請求項１０乃至１７のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１９】
請求項１０乃至１８のいずれか１項に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された基板を処理する工程と、を含む、
ことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、ステージ装置であって、第１可動部と、第１可動部の所定方向におけるストローク範囲にわたって配置された固定子コイル列と、第１可動部に固定された可動子磁石と、を含むリニアモーターと、第１可動部に対向して配置され、所定方向において第１可動部に対して相対的に移動する第２可動部と、ダイナミックブレーキの動作時に第１可動部に対してブレーキ力を発生させるために、固定子コイル列のストローク範囲の中心領域に位置する第１コイルと該第１コイルに接続される第１抵抗とを含む第１閉回路と、固定子コイル列のストローク範囲の中心領域とは異なる領域に位置する第２コイルと該第２コイルに接続される第２抵抗とを含む第２閉回路を形成するスイッチユニットとを備え、第２抵抗の抵抗値は第１抵抗の抵抗値よりも小さいことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の別の側面は、ステージ装置であって、第１可動部と、第１可動部の所定方向におけるストローク範囲にわたって配置された固定子コイル列と、第１可動部に固定された可動子磁石と、を含むリニアモーターと、第１可動部に対向して配置され、所定方向において第１可動部に対して相対的に移動する第２可動部と、ダイナミックブレーキの動作時に第１可動部に対してブレーキ力を発生させるために、固定子コイル列のストローク範囲の中心領域に位置する第１コイルを含む第１閉回路と、固定子コイル列のストローク範囲の中心領域とは異なる領域に位置する第２コイルを含む第２閉回路を形成するスイッチユニットとを備え、第２コイルの抵抗値は第１コイルの抵抗値よりも小さいことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の別の側面は、ステージ装置であって、第１可動部と、第１可動部の所定方向におけるストローク範囲にわたって配置された固定子コイル列と、第１可動部に固定された可動子磁石と、を含むリニアモーターと、第１可動部に対向して配置され、所定方向において第１可動部に対して相対的に移動する第２可動部と、ダイナミックブレーキの動作時に第１可動部に対してブレーキ力を発生させるために、固定子コイル列のストローク範囲の中心領域に位置する第１コイルを含む第１閉回路と、固定子コイル列のストローク範囲の中心領域とは異なる領域に位置する第２コイルを含む第２閉回路を形成するスイッチユニットとを備え、第２コイルの自己インダクタンスは第１コイルの自己インダクタンスよりも小さいことを特徴とする。