【手続補正書】
【提出日】平成29年3月3日(2017.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
強固に固定されたバルク弾性波（ＢＡＷ）共振器であって、
ブラッグ反射器と、
前記ブラッグ反射器の上の複数の層であって、タングステンを備える第１電極とタングステンを備えない第２電極の間の圧電層を含む複数の層と、
前記複数の層の上の質量負荷であって、前記複数の層内かつ前記質量負荷の下の境界領域を定義し、前記第１電極と前記第２電極の間であって前記複数の層内の前記境界領域の内側の内部領域に前記第１電極および前記第２電極が存在するように内部領域が定義され、前記複数の層内の前記境界領域の外側に外部領域が定義される質量負荷と、
前記外部領域内で前記圧電層に接触して存在し、前記第２電極の側端に直接接続される延長部であって、前記第２電極および前記延長部の音響インピーダンスが少なくとも同様である延長部と、を備える強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項２】
電気的応答が前記質量負荷に起因するバンドパス外の境界リングモードを本質的に有しない、請求項１に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項３】
前記電気的応答は、横方向弾性波に起因する前記バンドパス内の擬似モードを本質的に有しない、請求項２に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項４】
前記第１電極は、前記内部領域から前記境界領域を通って前記外部領域まで延在し、前記第２電極は、前記外部領域まで延在しない、請求項１に記載のＢＡＷ共振器。
【請求項５】
電気的応答が前記質量負荷に起因するバンドパス外の境界リングモードを本質的に有しない、請求項４に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項６】
前記電気的応答は、横方向弾性波に起因する前記バンドパス内の擬似モードを本質的に有しない、請求項５に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項７】
前記第１電極は、非タングステン層と前記圧電層の間にタングステン層が存在するようタングステン層および非タングステン層を備える、請求項１に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項８】
前記第１電極は、前記内部領域から前記境界領域を通って前記外部領域まで延在し、前記第２電極は、前記外部領域まで延在しない、請求項７に記載のＢＡＷ共振器。
【請求項９】
電気的応答が前記質量負荷に起因するバンドパス外の境界リングモードを本質的に有しない、請求項８に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項１０】
前記電気的応答は、横方向弾性波に起因する前記バンドパス内の擬似モードを本質的に有しない、請求項９に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項１１】
前記第１電極は、前記ブラッグ反射器と前記圧電層の間に存在する、請求項１に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項１２】
前記延長部は、酸化シリコンおよび酸化ハフニウムで構成される群の少なくとも一つを備える、請求項１に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項１３】
前記第２電極は、モリブデンを備え、前記延長部は、酸化ハフニウムを備える、請求項１に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項１４】
前記第２電極は、アルミニウム銅を備え、前記延長部は、酸化シリコンを備える、請求項１に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項１５】
前記延長部の音響インピーダンスは、前記第２電極の音響インピーダンスの約７０％〜約１３０％である、請求項１に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項１６】
強固に固定されたバルク弾性波（ＢＡＷ）共振器であって、
内部領域、境界領域および外部領域と、
前記内部領域、前記境界領域および前記外部領域に設けられる圧電層と、
前記内部領域および前記境界領域に設けられ、前記圧電層の第１表面と接続される上部電極と、
前記外部領域に設けられ、前記圧電層の前記第１表面と接続され、少なくとも前記上部電極の音響インピーダンスと同様の音響インピーダンスを有する第１延長部と、
前記圧電層の前記第１表面に対向する第２表面と接続される下部電極と、
前記外部領域に設けられ、前記圧電層の前記第２表面と直接接続され、少なくとも前記下部電極の音響インピーダンスと同様の音響インピーダンスを有する第２延長部と、を備え、
前記第２延長部および前記下部電極の双方は、タングステン層およびアルミニウム銅層を含み、
前記上部電極は、アルミニウム銅を備え、約２００ｎｍの厚さを有し、前記タングステン層は、約７０ｎｍの厚さを有し、前記アルミニウム銅層は、約１９０ｎｍの厚さを有する、強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項１７】
前記外部領域の反共振周波数と内部アクティブ領域の反共振周波数との差は、約５７ＭＨｚである、請求項１６に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項１８】
前記境界領域の共振周波数と内部アクティブ領域の共振周波数との差は、約４０ＭＨｚであり、前記境界領域の幅は、約２．０μｍである、請求項１６に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項１９】
前記圧電層と接続する酸化シリコン内に設けられる複数のタングステン層を有する反射体をさらに備える、請求項１６に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項２０】
強固に固定されたバルク弾性波（ＢＡＷ）共振器であって、
内部領域、境界領域および外部領域と、
前記内部領域、前記境界領域および前記外部領域に設けられる圧電層と、
前記内部領域および前記境界領域に設けられ、前記圧電層の第１表面と接続される上部電極と、
前記外部領域に設けられ、前記圧電層の前記第１表面と接続され、少なくとも前記上部電極の音響インピーダンスと同様の音響インピーダンスを有する第１延長部と、
前記圧電層の前記第１表面に対向する第２表面と接続される下部電極と、
前記外部領域に設けられ、前記圧電層の前記第２表面と直接接続され、少なくとも前記下部電極の音響インピーダンスと同様の音響インピーダンスを有する第２延長部と、を備え、
前記第２延長部および前記下部電極の双方は、タングステン層およびアルミニウム銅層を含み、
前記上部電極は、モリブデンを備え、約２１５ｎｍの厚さを有し、前記圧電層は、約１２００ｎｍの厚さを有し、前記タングステン層は、約１８４ｎｍの厚さを有し、前記アルミニウム銅層は、約１００ｎｍの厚さを有する、強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項２１】
前記外部領域の反共振周波数と内部アクティブ領域の反共振周波数との差は、約１９６ＭＨｚである、請求項２０に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項２２】
前記境界領域の共振周波数と内部アクティブ領域の共振周波数との差は、約４０ＭＨｚであり、前記境界領域の幅は、約２．０μｍである、請求項２０に記載の強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項２３】
強固に固定されたバルク弾性波（ＢＡＷ）共振器であって、
内部領域、境界領域および外部領域と、
前記内部領域、前記境界領域および前記外部領域に設けられる圧電層と、
前記内部領域および前記境界領域に設けられ、前記圧電層の第１表面と接続される上部電極と、
前記外部領域に設けられ、前記圧電層の前記第１表面と接続され、少なくとも前記上部電極の音響インピーダンスと同様の音響インピーダンスを有する第１延長部と、
前記圧電層の前記第１表面に対向する第２表面と接続される下部電極と、
前記外部領域に設けられ、前記圧電層の前記第２表面と直接接続され、少なくとも前記下部電極の音響インピーダンスと同様の音響インピーダンスを有する第２延長部と、を備え、
前記第２延長部および前記下部電極の双方は、タングステン層およびアルミニウム銅層を含み、
前記上部電極は、モリブデンを備え、約２００ｎｍの厚さを有し、
前記圧電層は、約１２００ｎｍの厚さを有し、
前記タングステン層は、約１７０ｎｍの厚さを有し、
前記アルミニウム銅層は、約２５０ｎｍの厚さを有し、
前記外部領域の反共振周波数と内部アクティブ領域の反共振周波数との差は、約４９ＭＨｚであり、
前記境界領域の共振周波数と前記内部アクティブ領域の共振周波数との差は、約１３０ＭＨｚであり、
前記境界領域の幅は、約０．２５μｍである、強固に固定されたＢＡＷ共振器。
【請求項２４】
無線周波数（ＲＦ）信号を送信および受信する送受信機と、
前記送受信機に接続され、前記送受信機に提供されるＲＦ信号をフィルタするように構成されるフィルタと、
前記送受信機に接続され、前記送受信機から受信するＲＦ信号を増幅するように構成されるパワー増幅器と、
無線でＲＦ信号を送信および受信するためのアンテナ構造と、
前記アンテナ構造を前記フィルタおよび前記パワー増幅器に選択的に接続するためのアンテナスイッチモジュールと、を備え、
前記フィルタは、バルク弾性波（ＢＡＷ）共振器を含み、当該ＢＡＷ共振器は、
ブラッグ反射器と、
前記ブラッグ反射器の上の複数の層であって、タングステンを備える第１電極とタングステンを備えない第２電極の間の圧電層を含む複数の層と、
前記複数の層の上の質量負荷であって、前記複数の層内かつ前記質量負荷の下の境界領域を定義し、前記第１電極と前記第２電極の間であって前記複数の層内の前記境界領域の内側の内部領域に前記第１電極および前記第２電極が存在するように内部領域が定義され、前記複数の層内の前記境界領域の外側に外部領域が定義される質量負荷と、
前記外部領域内で前記圧電層に接触して存在し、前記第２電極の側端に直接接続される延長部であって、前記第２電極および前記延長部の音響インピーダンスが少なくとも同様である延長部とを有する、システム。
【請求項２５】
前記ＢＡＷ共振器の電気的応答は、前記質量負荷に起因するバンドパス外の境界リングモードを本質的に有しない、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
前記ＢＡＷ共振器の前記電気的応答は、横方向弾性波に起因する前記バンドパス内の擬似モードを本質的に有しない、請求項２５に記載のシステム。
【請求項２７】
前記第１電極は、非タングステン層と前記圧電層の間にタングステン層が存在するようタングステン層および非タングステン層を備える、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２８】
前記第１電極は、前記内部領域から前記境界領域を通って前記外部領域まで延在し、前記第２電極は、前記外部領域まで延在しない、請求項２７に記載のシステム。