【手続補正書】
【提出日】平成29年4月14日(2017.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空引きされるチャンバーと、
前記チャンバーの真空引き条件を設定する操作部と、
前記真空引き条件に基づいて前記チャンバーを真空引きする複数のポンプ出力を有するポンプと、
前記チャンバーを所定のポンプ出力で真空引きしたときの単位時間当たりの真空度の減少量が基準値より小さくなったことに基づいて、前記ポンプ出力を大きいポンプ出力へ切り替えるように前記ポンプの真空引き制御を実行する制御部とを備え、前記制御部は、前記チャンバーを所定のポンプ出力で真空引きして所定の経過時間に到達したときの単位時間当たりの真空度の減少量を基準値として設定する
ことを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
前記制御部は、
選択されているポンプ出力の単位時間当たりの真空度の減少量と基準値とを真空引き中、常に比較し、単位時間当たりの真空度の減少量が基準値より小さくなったとき、前記ポンプ出力を大きいポンプ出力へ切り替える
ことを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の真空処理装置を備えた
ことを特徴とする真空はんだ処理装置。
【請求項４】
チャンバーを所定のポンプ出力で真空引きして所定の経過時間に到達したときの単位時間当たりの真空度の減少量を基準値として設定するステップと、
前記チャンバーを所定のポンプ出力で真空引きしたときの単位時間当たりの真空度の減少量が基準値より小さくなったことに基づいて、前記ポンプ出力を大きいポンプ出力へ切り替えるステップとを実行する
ことを特徴とする真空処理装置の制御方法。
【請求項５】
基準値を設定する前記ステップの後に、基準値を設定すると、前記所定のポンプ出力を大きい他のポンプ出力へ切り替えるステップを含む
ことを特徴とする請求項４に記載の真空処理装置の制御方法。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の制御方法が実行される
ことを特徴とする真空はんだ処理装置の制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
図１５に示す真空引き特性から、モーターを真空ポンプ稼働周波数ｍHzで駆動した場合に比較して、モーターを真空ポンプ稼働周波数ｎHzで駆動した場合の方が、所定の真空度（Ｐｆ）に到達するまでの時間が短いことが判る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上述の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、真空引きされるチャンバーと、チャンバーの真空引き条件を設定する操作部と、真空引き条件に基づいてチャンバーを真空引きする複数のポンプ出力を有するポンプと、チャンバーを所定のポンプ出力で真空引きしたときの単位時間当たりの真空度の減少量が基準値より小さくなったことに基づいて、ポンプ出力を大きいポンプ出力へ切り替えるようにポンプの真空引き制御を実行する制御部とを備え、制御部は、チャンバーを所定のポンプ出力で真空引きして所定の経過時間に到達したときの単位時間当たりの真空度の減少量を基準値として設定する真空処理装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項２に記載の発明は、制御部は、選択されているポンプ出力の単位時間当たりの真空度の減少量と基準値とを真空引き中、常に比較し、単位時間当たりの真空度の減少量が基準値より小さくなったとき、ポンプ出力を大きいポンプ出力へ切り替える請求項１に記載の真空処理装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の真空処理装置を備えた真空はんだ処理装置である。請求項３に係る真空はんだ処理装置によれば、ボイドの発生を抑え、フラックス、部品等の飛散を抑制できるようになる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項４に記載の発明は、チャンバーを所定のポンプ出力で真空引きして所定の経過時間に到達したときの単位時間当たりの真空度の減少量を基準値として設定するステップと、チャンバーを所定のポンプ出力で真空引きしたときの単位時間当たりの真空度の減少量が基準値より小さくなったことに基づいて、ポンプ出力を大きいポンプ出力へ切り替えるステップとを実行する真空処理装置の制御方法である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項５に記載の発明は、基準値を設定するステップの後に、基準値を設定すると、所定のポンプ出力を大きい他のポンプ出力へ切り替えるステップを含む請求項４に記載の真空処理装置の制御方法である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項６に記載の発明は、請求項４または請求項５に記載の制御方法が実行される真空はんだ処理装置の制御方法である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
制御ユニット６０には搬入センサ２６が接続される。搬入センサ２６は、ワーク１が真空リフロー炉１００に搬入されたことを検知するものであり、ワーク１が真空リフロー炉１００に搬入されたことを示す搬入検出信号Ｓ２６が搬入センサ２６から制御ユニット６０へ出力される。搬入センサ２６には反射型又は透過型の光学センサが使用される。本例の場合、ワーク１が真空リフロー炉１００に搬入されたことを検知すると、搬入検出信号Ｓ２６が制御ユニット６０へ出力され、タイマーがスタートする。このタイマーを基にして、ワーク１の搬送速度等から、真空リフロー炉１００内のワーク１の位置が算出される。また、ワーク１をタクト送りする本例では、タクト送り時間が予め設定されているので、このタクト送り時間でワーク１の位置を算出するようにしても良い。また、選択されるポンプ出力の単位時間当たりの圧力の減少量を監視し、単位時間当たりの圧力の減少量が決められた所定値より小さくなった場合、複数あるポンプ出力の中で選択されているポンプ出力より大きい出力のポンプ出力へ順次切り替える制御を行う。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
制御ユニット６０には真空度センサ２４が接続される。真空度センサ２４は検出部の一例を構成し、脱泡・脱気処理時、チャンバー４０の真空度を検出して真空度検出信号Ｓ２４（圧力検出情報）を発生する。真空度検出信号Ｓ２４はチャンバー４０内の真空度を示す信号であり、真空度センサ２４から制御ユニット６０へ出力される。真空度センサ２４には隔膜真空計や、熱電対真空計、ピラニ真空計、ペニング真空計等が使用される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
図中のＬ１は、真空引き制御特性＃１における初期の仮想の漸近線である。漸近線Ｌ１は、縦軸と平行な線分ｊ−ｋ（破線）と真空引き制御特性＃１のグラフの交点ｑにおける接線である。Ｌ２は、真空引き制御特性＃２における初期の仮想の漸近線である。漸近線Ｌ２は、線分ｊ−ｋと真空引き制御特性＃２のグラフの交点ｑにおける接線である。Ｌ３は、真空引き制御特性＃３における初期の仮想の漸近線である。漸近線Ｌ３は、線分ｊ−ｋと真空引き制御特性＃３のグラフの交点ｑにおける接線である。Ｌ４は、真空引き制御特性＃４における初期の仮想の漸近線である。漸近線Ｌ４は、線分ｊ−ｋと真空引き制御特性＃４のグラフの交点ｑにおける接線である。なお、線分ｊ−ｋを基準とするのは、上述のように実際に真空引きが開始されるｔ＝ｋを経過時刻の起点としたことに基づくものである。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
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