【手続補正書】
【提出日】平成28年12月5日(2016.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の外縁部を把持し、回転させる基板把持装置において、
回転自在に設けられた回転テーブルと、
前記回転テーブルを回転させる駆動部と、
この回転テーブルに設けられ前記基板の外縁に当接可能な第１、第２のチャックピンと、
前記回転テーブルと同軸的に、かつ、前記回転テーブルに対して相対回転自在に設けられた慣性部材と、
前記回転テーブルの回転速度が変化したときの前記回転テーブルと前記慣性部材との相対移動を利用して、前記基板に対する前記第１、第２のチャックピンのチャック開閉状態を変えるチャックピン切替機構と、
を有することを特徴とする基板把持装置。
【請求項２】
前記第１、第２のチャックピンを前記基板の把持方向に付勢する把持力発生機構を更に備え、
前記第１、第２のチャックピンの前記基板に対するチャック開閉状態を変えるとき、前記第１、第２のチャックピンのうち少なくとも一方が前記基板の外縁に当接していることを特徴とする請求項１記載の基板把持装置。
【請求項３】
前記チャックピン切替機構は、前記第１のチャックピンが基板の外縁に当接し前記第２のチャックピンが前記基板の外縁から離間する第１状態と、前記第１、第２のチャックピンが前記基板の外縁に当接する第２状態と、前記第１のチャックピンが前記基板の外縁から離間し前記第２のチャックピンが前記基板の外縁に当接する第３状態と、に切り替え可能であることを特徴とする請求項１または２記載の基板把持装置。
【請求項４】
前記第１、第２のチャックピンを、前記回転テーブルの回転開始時に前記第２状態とし、その後、前記第１状態、前記第３状態の順に切り替え、前記回転テーブルの回転停止時に前記第２状態とするように、前記駆動部を制御する制御装置を更に備えることを特徴とする請求項３記載の基板把持装置。
【請求項５】
前記制御装置は、前記第２状態から前記第１状態への切り替えの際に、前記回転テーブルを減速回転させ、前記第１状態から前記第３状態への切り替えの際に、前記回転テーブルを加速回転させるように、前記駆動部を制御することを特徴とする請求項４記載の基板把持装置。
【請求項６】
前記回転テーブルは、前記慣性部材を支持するベアリングを備え、
前記慣性部材は、前記ベアリングに係合するためのラッチ溝が形成された内周部を有していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の基板把持装置。
【請求項７】
基板の外縁部を把持し、回転させる基板把持装置において、
回転自在に設けられた回転テーブルと、
前記回転テーブルを回転させる駆動部と、
前記回転テーブルの回転軸から離間した位置に、前記回転テーブルの回転軸と平行な軸周りに回動可能に、前記回転テーブルに支持されるピンベースと、
前記ピンベースにおける、前記ピンベースの回転軸に対する偏心位置に、前記ピンベースの回転軸と平行な軸周りに回動可能に支持され、前記ピンベースの回動により、前記回転テーブルの回転軸に近接又は離間するピン固定部材と、
前記ピン固定部材に、前記ピン固定部材の回転軸方向と平行に設けられ、前記基板の外縁に当接可能な第１、第２のチャックピンと、
前記基板を把持する方向に前記第１、第２チャックピンを移動させるバネ部材を有する把持力発生機構と、
前記ピン固定部材より前記回転テーブルの回転軸側に、前記回転テーブルと同軸的に回転自在に設けられた慣性部材、前記慣性部材の外周部に設けられた凸部材、を有するチャックピン切替機構であって、前記回転テーブルの回転速度が変化したときの前記回転テーブルと前記慣性部材との相対移動を利用して、前記基板に対する第１、第２のチャックピンのチャック開閉状態を変化させるチャックピン切替機構と、
前記ピン固定部材から前記回転テーブルの径方向内側に設けられたアーム部、前記アーム部の先端に設けられ、前記凸部材と係合する凹部、を有するカム部材と、
を有することを特徴とする基板把持装置。
【請求項８】
基板把持装置によって把持された状態で基板を回転させ、ノズルから前記基板に処理液を供給して、前記基板を前記処理液によって処理する基板処理装置において、
前記基板把持装置は、請求項１乃至７のいずれかに記載の基板把持装置であることを特徴とする基板処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板把持装置および基板処理装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、半導体基板等を回転させながら洗浄またはエッチング等の処理を行うために
用いて好適な基板把持装置および基板処理装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
そこで本発明は、基板回転中に、基板を把持するチャックピンの切換を安定して行うこ
とが可能である基板把持装置および基板処理装置を提供することを目的としている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
基板の外縁部を把持し、回転させる基板把持装置において、
回転自在に設けられた回転テーブルと、
前記回転テーブルを回転させる駆動部と、
この回転テーブルに設けられ前記基板の外縁に当接可能な第１、第２のチャックピンと、
前記回転テーブルと同軸的に、かつ、前記回転テーブルに対して相対回転自在に設けられた慣性部材と、
前記回転テーブルの回転速度が変化したときの前記回転テーブルと前記慣性部材との相対移動を利用して、前記基板に対する前記第１、第２のチャックピンのチャック開閉状態を変えるチャックピン切替機構と、
を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
基板Ｗの把持状態を解除するには、解除機構９によって親歯車５２が回転するのを阻止し、その状態で回転テーブル２０のみを５°〜１５°回動させる。これによって、ピンベース３０は反時計方向に回転するから、第１のチャックピン４１及び第２のチャックピン４２による基板Ｗの保持状態が解除される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
回転テーブル２０が回転していない停止状態では、第１のチャックピン４１と第２のチャックピン４２の両方で基板Ｗを把持している。このとき、凸部材６５は、凹部６３を構成する半円部６３ｂ内に位置し、凹部６３とは接触していない。すなわち、図７及び図８に示す第２状態と同様の状態である。この際に、第１のチャックピン４１と第２のチャックピン４２が基板Ｗを把持する把持力は、バネ部材５４により生じている。すなわち、バネ部材５４が親歯車５２を付勢することで、子歯車５１を介してピンベース３０に、回転軸Ｃ２周りのモーメントを生じさせている。このモーメントにより、ピン固定部材４０には、回転テーブル２０の径方向内側に向かって力Ｆが生じている。すなわち、第１のチャックピン４１及び第２のチャックピン４２には、それぞれ把持力Ｆ／２が生じている（図１２参照）。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
第２状態は、上述の第１の状態から、回転テーブル２０を、第２の角加速度（第２角加速度）α２より大の角加速度で加速回転させ、かつ短時間のうちに、角加速度をα２以下とした（定速回転含む）状態である。ここでは、α２は正の値である。α２より大の角加速度で加速回転することで、慣性部材６４に慣性力が働き、この慣性力により慣性部材６４は回転テーブル２０に対して時計方向に相対回転して、ラッチ溝６４ａとベアリング６６Ａとの係合が外れる。換言すると、α２より大の角加速度とは、ラッチ溝６４ａとベアリング６６Ａとの係合が外れて、慣性部材６４が回転テーブル２０に対して時計方向に相対回転を生じる以上の正の角加速度である。そして、ここでいう短時間とは、ラッチ溝６４ａとの係合が外れたベアリング６６Ａが、慣性部材６４と回転テーブル２０とのさらなる相対回転によってラッチ溝６４ｂと係合してしまわないまでの範囲の時間とされる。この結果、第２状態では、図７及び図８に示すように、第１のチャックピン４１と第２のチャックピン４２との両方で、基板Ｗを把持する。