【手続補正書】
【提出日】平成29年3月21日(2017.3.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に前記パターンを形成する蒸着パターンの形成方法であって、
前記蒸着マスクは金属を含んでおり、
前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押し込み部材、及び磁性板をこの順で重ねて配置し、前記磁性板の磁性を利用して、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる密着工程と、
前記密着工程後、蒸着源から放出された蒸着材を、前記開口部を通して前記蒸着対象物に付着させ、前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程と、
を含み、
前記蒸着マスクが、複数のスリットが設けられた金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクであり、
前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、
各前記スリットが、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられており、
前記密着工程では、１つの前記スリットと１つの前記押し込み部材とが重なるようにして、前記蒸着対象物の他方の面側に前記押し込み部材を配置する、
ことを特徴とする蒸着パターンの形成方法。
【請求項２】
蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に前記パターンを形成する蒸着パターンの形成方法であって、
前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に配置された前記押し込み部材を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる密着工程と、
前記密着工程後、蒸着源から放出された蒸着材を、前記開口部を通して前記蒸着対象物に付着させ、前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程と、
を含み、
前記蒸着マスクが、複数のスリットが設けられた金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクであり、
前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、
各前記スリットが、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられており、
前記密着工程では、１つの前記スリットと１つの前記押し込み部材とが重なるようにして、前記蒸着対象物の他方の面側に前記押し込み部材を配置する、
ことを特徴とする蒸着パターンの形成方法。
【請求項３】
前記密着工程が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記押し込み部材の自重により、前記蒸着対象物を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる工程であることを特徴とする請求項２に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項４】
前記密着工程で用いられる押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが変化していく押し込み部材であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項５】
前記密着工程で用いられる押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが厚くなっていく押し込み部材であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項６】
前記密着工程では、前記蒸着対象物の他方の面側に、厚みの異なる複数の前記押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項７】
前記密着工程において、前記蒸着対象物の他方の面側に、厚みの異なる複数の前記押し込み部材を配置する場合において、
前記蒸着対象物の外周から内側に向かうにつれて厚みが厚い押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させることを特徴とする請求項６に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項８】
前記密着工程では、前記押し込み部材の前記蒸着対象物と接しない側の面に、前記押し込み部材の表面を覆うように押さえ板を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させることを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項９】
前記密着工程では、前記蒸着対象物の他方の面側に、前記押しこみ部材と前記押さえ板が一体をなしている押さえ板一体型の押し込み部材を配置し、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させることを特徴とする請求項８に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項１０】
前記蒸着パターンの形成に用いられる前記蒸着マスクが、
金属フレームに蒸着マスクが固定されてなる金属フレーム付き蒸着マスクであることを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法。
【請求項１１】
有機半導体素子の製造方法であって、
蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程を含み、
前記蒸着パターン形成工程では、請求項１乃至１０の何れか１項に記載の蒸着パターンの形成方法が用いられることを特徴とする有機半導体素子の製造方法。
【請求項１２】
押さえ板一体型の押し込み部材であって、
前記押さえ板一体型の押し込み部材は、蒸着対象物の一方の面側に、複数のスリットが設けられた金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなり、前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、各前記スリットが、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に磁性板を配置し、磁性板の磁力を利用して前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させるときに、前記蒸着対象物と前記磁性板との間に配置されるものであり、
１つの前記スリットと、１つの前記押し込み部材とが重なるように、押さえ板の同一面上に、押し込み部材が設けられている、
ことを特徴とする押さえ板一体型の押し込み部材。
【請求項１３】
押さえ板一体型の押し込み部材であって、
前記押さえ板一体型の押し込み部材は、蒸着対象物の一方の面側に、複数のスリットが設けられた金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなり、前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、各前記スリットが、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクを配置したときに、前記蒸着対象物の他方の面側に配置され、前記蒸着対象物を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させるために用いられるものであり、
１つの前記スリットと、１つの前記押し込み部材とが重なるように、押さえ板の同一面上に、押し込み部材が設けられている、
ことを特徴とする押さえ板一体型の押し込み部材。
【請求項１４】
押さえ板一体型の押し込み部材であって、
前記押さえ板一体型の押し込み部材は、蒸着対象物の一方の面側に、複数のスリットが設けられた金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなり、前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、各前記スリットが、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクを配置したときに、前記蒸着対象物の他方の面側に配置され、その自重を利用して、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させるために用いられるものであり、
１つの前記スリットと、１つの前記押し込み部材とが重なるように、押さえ板の同一面上に、押し込み部材が設けられている、
ことを特徴とする押さえ板一体型の押し込み部材。
【請求項１５】
押さえ板一体型の押し込み部材が、前記押さえ板と押し込み部材とが同種の材料により一体に形成されたものであることを特徴とする請求項１２乃至１４の何れか１項に記載の押さえ板一体型の押し込み部材。
【請求項１６】
複数のスリットが設けられた金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなり、前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、各前記スリットが、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するための蒸着装置であって、
前記蒸着装置は、
前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階において、蒸着対象物と蒸着マスクとを密着させるための密着手段を備えており、
前記密着手段が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押し込み部材、及び磁性板をこの順で重ねて配置し、前記磁性板の磁性を利用して、前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる手段であり、
前記密着手段では、１つの前記スリットと、１つの前記押し込み部材とが重なるように、前記蒸着対象物の他方の面側に前記押し込み部材を配置する、
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１７】
複数のスリットが設けられた金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなり、前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、各前記スリットが、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するための蒸着装置であって、
前記蒸着装置は、
前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階において、蒸着対象物と蒸着マスクとを密着させるための密着手段を備えており、
前記密着手段が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記押し込み部材を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる手段であり、
前記密着手段では、１つの前記スリットと、１つの前記押し込み部材とが重なるように、前記蒸着対象物の他方の面側に前記押し込み部材を配置する、
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１８】
複数のスリットが設けられた金属マスクと当該スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する複数の開口部が設けられた樹脂マスクとが積層されてなり、前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、各前記スリットが、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するための蒸着装置であって、
前記蒸着装置は、
前記蒸着対象物に蒸着パターンを形成する前の段階において、蒸着対象物と蒸着マスクとを密着させるための密着手段を備えており、
前記密着手段が、前記蒸着対象物の一方の面側に前記蒸着マスクを配置し、前記蒸着対象物の他方の面側に押しこみ部材を配置し、前記押し込み部材の自重により、前記蒸着対象物を前記蒸着マスク側に押し込んで前記蒸着対象物と前記蒸着マスクを密着させる手段であり、
前記密着手段では、１つの前記スリットと、１つの前記押し込み部材とが重なるように、前記蒸着対象物の他方の面側に前記押し込み部材を配置する、
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１９】
前記押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが変化していく押し込み部材であることを特徴とする請求項１６乃至１８の何れか１項に記載の蒸着装置。
【請求項２０】
前記押し込み部材が、その外周から内側に向かって連続的に、又は非連続的に厚みが厚くなっていく押し込み部材であることを特徴とする請求項１６乃至１８の何れか１項に記載の蒸着装置。
【請求項２１】
前記押し込み部材が、押さえ板の同一面上に、１つ又は複数の押し込み部材が設けられている押さえ板一体型の押し込み部材であることを特徴とする請求項１６乃至２０の何れか１項に記載の蒸着装置。
【請求項２２】
前記押し込み部材が、押さえ板の同一面上に、厚みが異なる複数の押し込み部材が設けられている押さえ板一体型の押し込み部材であることを特徴とする請求項１６乃至２０の何れか１項に記載の蒸着装置。