【手続補正書】
【提出日】平成29年5月26日(2017.5.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記インプリント材を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数の吐出口を有し、各吐出口から前記インプリント材を吐出することによって前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、
前記供給部から前記基板上に供給される前記インプリント材の前記基板上における配置を示す配置情報に従って、各吐出口からの前記インプリント材の吐出を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記配置情報に従って前記基板上に実際に供給された前記インプリント材の総量に関する情報に基づいて、各吐出口から一回の吐出で吐出されるインプリント材の理想体積と前記供給部から前記基板上に供給されるインプリント材の吐出数との積が前記情報における前記インプリント材の総量に近づくように前記配置情報を更新する、ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記情報における前記インプリント材の総量から前記理想体積と前記配置情報におけるインプリント材の吐出数とを除することによって係数を決定し、前記係数を用いて前記配置情報を更新する、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記供給部から前記基板上に供給されるインプリント材の吐出数が前記配置情報におけるインプリント材の吐出数に前記係数を乗じた数になるように前記配置情報を更新する、ことを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記制御部は、複数の配置情報の各々に従って前記インプリント材を基板上に供給することによって取得された複数の情報を用いて前記係数を決定し、
前記複数の情報は、前記複数の配置情報のうち第１配置情報に従って基板上に実際に供給された前記インプリント材の体積に関する第１供給情報と、前記複数の配置情報のうち第２配置情報に従って基板上に実際に供給された前記インプリント材の体積に関する第２供給情報とを含み、
前記第１配置情報におけるインプリント材の吐出数および前記第２配置情報におけるインプリント材の吐出数は互いに異なる、ことを特徴とする請求項２又は３に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記第１配置情報に従って基板上に供給され且つ第１モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚に基づいて前記第１供給情報を取得し、前記第２配置情報に従って基板上に供給され且つ第２モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚に基づいて前記第２供給情報を取得し、
前記第１モールドおよび第２モールドは、凹凸のパターンをそれぞれ含み、前記凹凸のパターンにおける凹部の深さが互いに異なる、ことを特徴とする請求項４に記載のインプリント装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記第１配置情報に従って基板上に供給され且つ第３モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚に基づいて前記第１供給情報を取得し、前記第２配置情報に従って基板上に供給され且つ前記第３モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚に基づいて前記第２供給情報を取得する、ことを特徴とする請求項４に記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記係数を決定するために用いられた配置情報とは異なる第４配置情報を、前記第４配置情報におけるインプリント材の吐出数が、前記理想体積とモールドのパターンの設計情報とに基づいて求められるインプリント材の吐出数に前記係数を乗じた数になるように作成する、ことを特徴とする請求項２乃至６のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記配置情報に従って前記基板上に供給され且つ前記モールドを用いて成形された前記インプリント材の膜厚と前記モールドのパターンの設計情報に基づいて前記情報を取得する、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項９】
前記配置情報は、前記理想体積と前記モールドのパターンの設計情報とに基づいて作成されている、ことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１０】
基板に供給され且つモールドを用いて成形されたインプリント材の膜厚を計測する計測部を更に含む、ことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１１】
モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記インプリント材を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数の吐出口を有し、各吐出口からインプリント材を吐出することによって前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、
前記供給部から前記基板上に供給される前記インプリント材の前記基板上における配置を示す配置情報に従って、各吐出口からの前記インプリント材の吐出を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記配置情報に従って前記基板上に実際に供給された前記インプリント材の総量に関する情報に基づいて、各吐出口から一回の吐出で吐出されるインプリント材の理想体積と前記配置情報におけるインプリント材の吐出数とを前記情報における前記インプリント材の総量から除することによって係数を決定し、
前記係数を決定するために用いられた配置情報とは異なる配置情報を、前記異なる配置情報におけるインプリント材の吐出数が、前記理想体積とモールドのパターンの設計情報とに基づいて求められるインプリント材の吐出数に前記係数を乗じた数になるように作成する、ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項１２】
モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記インプリント材を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数の吐出口を用い、前記基板上に供給されるインプリント材の前記基板上における配置を示す配置情報に従って、各吐出口からインプリント材を吐出させる吐出工程と、
前記配置情報に従って前記基板上に実際に供給された前記インプリント材の体積に関する情報に基づいて、各吐出口から一回の吐出で吐出されるインプリント材の理想体積および前記配置情報におけるインプリント材の吐出数から決定される前記インプリント材の総量が前記情報における前記体積に近づくように前記配置情報を更新する更新工程と、
を含むことを特徴とするインプリント方法。
【請求項１３】
請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板にインプリント材のパターンを形成する形成工程と、
前記形成工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する加工工程と、を有し、
該加工工程により加工された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのインプリント装置は、モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、前記インプリント材を前記基板に向けてそれぞれ吐出する複数の吐出口を有し、各吐出口から前記インプリント材を吐出することによって前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、前記供給部から前記基板上に供給される前記インプリント材の前記基板上における配置を示す配置情報に従って、各吐出口からの前記インプリント材の吐出を制御する制御部と、を含み、前記制御部は、前記配置情報に従って前記基板上に実際に供給された前記インプリント材の総量に関する情報に基づいて、各吐出口から一回の吐出で吐出されるインプリント材の理想体積と前記供給部から前記基板上に供給されるインプリント材の吐出数との積が前記情報における前記インプリント材の総量に近づくように前記配置情報を更新する、ことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
供給部７は、インプリント材６を収容するタンク７ａと、タンク７ａに収容されたインプリント材６を基板に供給するディスペンサ７ｂとを含みうる。ディスペンサ７ｂは、インプリント材６の液滴を基板４に向けてそれぞれ吐出する複数のノズル７ｃを有する。供給部７は、基板４と供給部７とが相対的に移動している状態で各ノズル７ｃからインプリント材６の液滴を吐出させることにより、基板上にインプリント材６を供給する。例えば、複数のノズル７ｃ（吐出口）がＹ方向に沿って配列している場合、各ノズル７ｃからインプリント材６の液滴を基板４に供給する工程は、複数のノズル７ｃの配列方向と異なる方向（例えばＸ方向）に基板４が移動している状態で行われる。このとき、各ノズル７ｃにおける液滴の吐出または非吐出（吐出のタイミング）は、基板上に供給させるインプリント材６の液滴の基板上における配置を示すマップ（配置情報）に従って制御部８により制御される。マップは、モールド１のパターン領域１ａに形成された凹凸のパターンの設計情報、および各ノズル７ｃから吐出される各液滴の理想体積に基づいて制御部８によって事前に作成される。各ノズル７ｃから吐出される各液滴の理想体積とは、各ノズル７ｃに製造誤差や目詰まりなどの異常が生じていない状態において各ノズル７ｃから吐出されるべき各液滴の体積のことを示す。