【手続補正書】
【提出日】平成29年11月8日(2017.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
一実施形態では、ガス供給系は、複数の別の第１の配管、複数の別の第１のバルブ、複数の別の第２のバルブ、別の第２の配管、別の第３の配管、複数の別の第４の配管、複数の別の流量制御器、複数の別の第３のバルブ、別の第５の配管、第５のバルブ、及び、別の第５のバルブを備える。複数の別の第１の配管は、複数の別のガスソースにそれぞれ接続されている。複数の別の第１のバルブは、複数の別の第１の配管にそれぞれ設けられている。複数の別の第２のバルブは、複数の別の第１のバルブよりも下流側において複数の別の第１の配管にそれぞれ設けられている。即ち、複数の別の第１の配管の各々には、ガスソース側から順に別の第１のバルブ及び別の第２のバルブが直列的に設けられている。別の第２の配管は、複数の別の第２のバルブの下流において複数の別の第１の配管に接続されている。別の第３の配管は、別の第２の配管に接続されている。複数の別の第４の配管は、別の第３の配管から分岐している。複数の別の流量制御器は、複数の別の第４の配管にそれぞれ設けられている。複数の別の第３のバルブは、複数の別の流量制御器の下流側において複数の別の第４の配管にそれぞれ設けられている。即ち、複数の別の第４の配管の各々には、別の第３の配管の側から順に別の流量制御器及び別の第３のバルブが直列的に設けられている。別の第５の配管は、排気装置及び第４のバルブの上流において排気管に接続し、且つ、別の第２の配管に接続している。第５のバルブは、第５の配管に設けられている。また、別の第５のバルブは、別の第５の配管に設けられている。この実施形態の方法は、別の第５のバルブが閉じられた状態で、複数の別のガスソースのうち一以上のガスソースからガスを基板処理装置に供給する工程を更に含む。また、この実施形態では、ガスを基板処理装置に供給する工程の実行中に、第１工程、第２工程、第３工程、第４工程、及び第５工程が実行される。この実施形態によれば、基板処理装置のプロセス中に、当該プロセスに用いられていないガス用の第１の配管に設けられている第１のバルブ及び第２のバルブのリークを検査することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、第２機構ＧＭ２は、複数の流量制御ユニット群ＦＵＧを提供している。複数の流量制御ユニット群ＦＵＧの各々は、対応の一つの合流管ＭＬに接続している複数の第４の配管Ｌ４にそれぞれ設けられた複数の流量制御ユニットＦＵを含んでいる。複数の流量制御ユニットＦＵの各々は、一つの第４の配管Ｌ４に設けられた流量制御器ＦＤ、当該流量制御器ＦＤの上流に設けられたバルブＦＶ１、及び、当該流量制御器ＦＤの下流に設けられた第３のバルブＶ３を含んでいる。複数の流量制御ユニット群ＦＵＧの個数は、後述のガス吐出部と同数である。図１に示す例では、複数の流量制御ユニット群ＦＵＧの個数は、三つである。但し、流量制御ユニット群ＦＵＧの個数及びガス吐出部の個数は、複数であれば、任意の個数であることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
載置台ＰＤは、その上面においてウエハＷを保持する。載置台ＰＤは、下部電極ＬＥ及び静電チャックＥＳＣを有している。下部電極ＬＥは、第１プレート１８ａ及び第２プレート１８ｂを含んでいる。第１プレート１８ａ及び第２プレート１８ｂは、例えばアルミニウムといった金属から構成されており、略円盤形状をなしている。第２プレート１８ｂは、第１プレート１８ａ上に設けられており、第１プレート１８ａに電気的に接続されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
図３に示すように、支持体３６には、各ガス拡散室３６ａと当該ガス拡散室３６ａの下方で延在する複数のガス吐出孔３４ａとを接続する複数の連通孔３６ｂが形成されている。かかる構成の上部電極３０は、シャワーヘッドＳＨを構成している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
図７に示すように、方法ＭＴ１では、まず、工程ＳＴ１が実行される。工程ＳＴ１では、複数の第１の配管Ｌ１の内部、複数の第２の配管Ｌ２の内部、複数の第３の配管Ｌ３の内部、及び複数の第４の配管Ｌ４の内部の排気が行われる。このために、工程ＳＴ１では、排気状態が形成される。排気状態は、複数の流量制御器ＦＤそれぞれのコントロールバルブＣＶ、複数の第２のバルブＶ２、及び第４のバルブＶ４が開かれ、複数の第１のバルブＶ１、複数の第３のバルブＶ３が閉じられた状態である。なお、排気状態では、複数の第５のバルブＶ５は開かれる。バルブＶ６は開かれていてもよく、閉じられていてもよい。排気状態では、第４のバルブＶ４の下流において排気管ＥＬに接続されている排気装置により、複数の第１の配管Ｌ１の内部、複数の第２の配管Ｌ２の内部、複数の第３の配管Ｌ３の内部、及び複数の第４の配管Ｌ４の内部にあるガスが排気される。具体的には、複数の第１のバルブＶ１よりも下流における複数の第１の配管Ｌ１の内部、複数の第２の配管Ｌ２の内部、複数の第３の配管Ｌ３の内部、及び、複数の第３のバルブＶ３よりも上流における第４の配管Ｌ４の内部にあるガスが排気される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
図８に示すように、方法ＭＴ２では、まず、工程ＳＴ２１が実行される。工程ＳＴ２１は、方法ＭＴ１の工程ＳＴ１と同様の工程である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
続く工程ＳＴ２ｄでは、全ての第２のバルブＶ２の検査が完了したか否かが判定される。工程ＳＴ２ｄにおいて、検査が完了していない第２のバルブＶ２が存在すると判定される場合には、検査が完了していない第２のバルブＶ２が検査対象の第２のバルブＶ２として選択され、工程ＳＴ２７が再び実行される。一方、全ての第２のバルブＶ２の検査が完了している場合には、方法ＭＴ２は終了する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
この方法ＭＴ２によれば、複数の第１のバルブＶ１のリークが同時に検査される。そして、複数の第１のバルブＶ１の何れかにリークが発生していると判断される場合にのみ、複数の第１のバルブＶ１のリークの検査が順に且つ個別に行われる。また、方法ＭＴ２では、複数の第２のバルブＶ２のリークが同時に検査される。そして、複数の第２のバルブＶ２の何れかにリークが発生していると判断される場合にのみ、複数の第２のバルブＶ２のリークの検査が順に且つ個別に行われる。したがって、全ての第１のバルブＶ１にリークが発生していない場合には、複数の第１のバルブＶ１のリークの検査が短時間で完了する。また、全ての第２のバルブＶ２にリークが発生していない場合には、複数の第２のバルブＶ２のリークの検査が短時間で完了する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１５】
この方法ＭＴ３によれば、基板処理装置の処理容器内で行われるプロセスにおいて利用されていない統合部ＧＩの第１のバルブＶ１及び第２のバルブＶ２のリークを順に且つ個別に検査することが可能である。したがって、基板処理装置でのプロセス用の稼働時間に影響を与えることなく、第１のバルブＶ１及び第２のバルブＶ２のリークを検査することが可能となる。なお、工程ＳＴ３２及び工程ＳＴ３３は、工程ＳＴ３４及び工程ＳＴ３５の実行後に実行されてもよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１６】
以下、更に別の実施形態に係るガス供給系のバルブのリークを検査する方法について説明する。図１０は、更に別の実施形態に係るガス供給系のバルブのリークを検査する方法を示す流れ図である。図１０に示す方法ＭＴ４は、複数の統合部ＧＩのうち一部から基板処理装置の処理容器内にガスが供給されて当該処理容器内において基板に対するプロセスが実行されている一方で、複数の統合部ＧＩのうち処理容器内にガスを供給していない統合部ＧＩに含まれる複数の第１のバルブＶ１及び複数の第２のバルブＶ２のリークが検査される。即ち、方法ＭＴ４では、複数の第１のバルブＶ１及び複数の第２のバルブＶ２のリークが検査される一方で、複数の別の第１のバルブＶ１及び複数の別の第２のバルブＶ２を介して基板処理装置の処理容器にガスが供給される。以下、複数の統合部ＧＩのうち処理容器内にガスを供給する統合部ＧＩを「プロセス用の統合部ＧＩ」と呼び、処理容器内にガスを供給していない統合部ＧＩを「検査対象の統合部ＧＩ」と呼ぶ。また、方法ＭＴ４は、検査対象の統合部ＧＩの複数の第１のバルブＶ１のリークを同時に検査し、検査対象の統合部ＧＩの複数の第１のバルブＶ１の何れかにリークが発生している場合には、検査対象の統合部ＧＩの複数の第１のバルブＶ１のリークを順に検査する方法である。また、方法ＭＴ４は、検査対象の統合部ＧＩの複数の第２のバルブＶ２のリークを同時に検査し、検査対象の統合部ＧＩの複数の第２のバルブＶ２の何れかにリークが発生している場合には、検査対象の統合部ＧＩの複数の第２のバルブＶ２のリークを順に検査する方法である。この方法ＭＴ４は、ガス供給系ＧＰ１、ガス供給系ＧＰ２、及びガス供給系ＧＰ３の何れにも適用可能な方法である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１８】
次いで、方法ＭＴ４では、工程ＳＴ４１が実行される。工程ＳＴ４１は、方法ＭＴ３の工程ＳＴ３１と同様の工程である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
次いで、方法ＭＴ４では、工程ＳＴ４２が実行される。工程ＳＴ４２では、第１の検査状態が形成される。第１の検査状態では、検査対象の統合部ＧＩの複数の第１のバルブＶ１、検査対象の統合部ＧＩの第２の配管Ｌ２に第３の配管Ｌ３を介して接続している複数の第４の配管Ｌ４に設けられている複数の第３のバルブＶ３、及び、第４のバルブＶ４が閉じられる。また、第１の検査状態では、検査対象の統合部ＧＩの複数の第２のバルブＶ２が開かれる。なお、第１の検査状態では、バルブＶ６は閉じられる。また、工程ＳＴ４３において圧力計ＰＭが利用される場合には、検査対象の統合部ＧＩの第２の配管Ｌ２に接続している第５の配管Ｌ５に設けられている第５のバルブＶ５が開かれる。一方、工程ＳＴ４３において圧力計ＦＰＭが利用される場合には、検査対象の統合部ＧＩの第２の配管Ｌ２に接続している第５の配管Ｌ５に設けられている第５のバルブＶ５は、閉じられていてもよく、開かれていてもよい。また、工程ＳＴ４３において圧力計ＰＭが利用される場合には、検査対象の統合部ＧＩの下流にある複数の流量制御器ＦＤのコントロールバルブＣＶは開かれていてもよく、閉じられていてもよい。一方、工程ＳＴ４３において圧力計ＦＰＭが利用される場合には、検査対象の統合部ＧＩの下流にある少なくとも一つの流量制御器ＦＤのコントロールバルブＣＶが開かれる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２２】
次いで、方法ＭＴ４では工程ＳＴ４４が実行される。工程ＳＴ４４では、第２の検査状態が形成される。第２の検査状態では、検査対象の統合部ＧＩの複数の第２のバルブＶ２、検査対象の統合部ＧＩの第２の配管Ｌ２に第３の配管Ｌ３を介して接続している複数の第４の配管Ｌ４に設けられている複数の第３のバルブＶ３、及び、第４のバルブＶ４が閉じられる。また、第２の検査状態では、検査対象の統合部ＧＩの複数の第１のバルブＶ１が開かれる。なお、第２の検査状態では、バルブＶ６は閉じられる。また、工程ＳＴ４５において圧力計ＰＭが利用される場合には、検査対象の統合部ＧＩの第２の配管Ｌ２に接続している第５の配管Ｌ５に設けられている第５のバルブＶ５が開かれる。一方、工程ＳＴ４５において圧力計ＦＰＭが利用される場合には、検査対象の統合部ＧＩの第２の配管Ｌ２に接続している第５の配管Ｌ５に設けられている第５のバルブＶ５は、閉じられていてもよく、開かれていてもよい。また、工程ＳＴ４５において圧力計ＰＭが利用される場合には、検査対象の統合部ＧＩの下流にある複数の流量制御器ＦＤのコントロールバルブＣＶは開かれていてもよく、閉じられていてもよい。一方、工程ＳＴ４５において圧力計ＦＰＭが利用される場合には、検査対象の統合部ＧＩの下流にある少なくとも一つの流量制御器ＦＤのコントロールバルブＣＶが開かれる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
この方法ＭＴ４によれば、基板処理装置の処理容器内で行われるプロセスにおいて利用されていない統合部ＧＩの第１のバルブＶ１及び第２のバルブＶ２のリークを検査することが可能である。したがって、基板処理装置のプロセス用の稼働時間に影響を与えることなく、第１のバルブＶ１及び第２のバルブＶ２のリークを検査することが可能となる。また、複数の第１のバルブＶ１のリークが同時に検査される。そして、複数の第１のバルブＶ１の何れかにリークが発生していると判断される場合にのみ、複数の第１のバルブＶ１のリークの検査が順に且つ個別に行われる。また、複数の第２のバルブＶ２のリークが同時に検査される。そして、複数の第２のバルブＶ２の何れかにリークが発生していると判断される場合にのみ、複数の第２のバルブＶ２のリークの検査が順に且つ個別に行われる。したがって、検査対象の統合部ＧＩの全ての第１のバルブＶ１にリークが発生していない場合には、リークの検査が短時間で完了する。また、検査対象の統合部ＧＩの全ての第２のバルブＶ２にリークが発生していない場合には、複数の第２のバルブＶ２のリークの検査が短時間で完了する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
基板処理装置の処理容器にガスを供給するためのガス供給系のバルブのリークを検査する方法であって、
前記ガス供給系は、
複数のガスソースにそれぞれ接続された複数の第１の配管と、
前記複数の第１の配管にそれぞれ設けられた複数の第１のバルブと、
前記複数の第１のバルブよりも下流側において前記複数の第１の配管にそれぞれに設けられた複数の第２のバルブと、
前記複数の第２のバルブの下流において前記複数の第１の配管に接続された第２の配管と、
前記第２の配管に接続された第３の配管と、
前記第３の配管から分岐する複数の第４の配管と、
前記複数の第４の配管にそれぞれ設けられた複数の流量制御器と、
前記複数の流量制御器の下流側において前記複数の第４の配管にそれぞれ設けられた複数の第３のバルブと、
排気装置に接続された排気管と、
前記排気管に設けられた第４のバルブと、
前記排気装置及び前記第４のバルブの上流において前記排気管に接続し、且つ、前記第２の配管に接続する第５の配管と、
を備え、
該方法は、
前記複数の第１の配管の内部、前記第２の配管の内部、前記第３の配管の内部、及び前記複数の第４の配管の内部の排気を行う第１工程であり、前記複数の流量制御器それぞれのコントロールバルブ、前記複数の第２のバルブ、及び前記第４のバルブが開かれ、前記複数の第１のバルブ、及び前記複数の第３のバルブが閉じられた排気状態が形成される、該第１工程と、
前記複数の第１のバルブ、前記複数の第３のバルブ、及び、前記第４のバルブが閉じられ、前記複数の第２のバルブのうち一以上の第２のバルブ又は前記複数の第２のバルブが開かれた第１の検査状態を形成する第２工程と、
前記排気装置及び前記第４のバルブの上流において前記排気管に設けられた圧力計、又は前記複数の流量制御器のうち一つの流量制御器の圧力計により、圧力上昇を監視する第３工程と、
前記複数の第２のバルブ、前記複数の第３のバルブ、及び、前記第４のバルブが閉じられ、前記複数の第１のバルブのうち前記一以上の第２のバルブの上流に設けられた一以上の第１のバルブ又は前記複数の第１のバルブが開かれた第２の検査状態を形成する第４工程と、
前記排気装置及び前記第４のバルブの上流において前記排気管に設けられた前記圧力計、又は前記複数の流量制御器のうち一つの流量制御器の圧力計により、圧力上昇を監視する第５工程と、
を含む方法。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2017032305.tif 000001