【手続補正書】
【提出日】平成29年11月3日(2017.11.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出部（１１）となる絶縁性基体（２）の表面に、正極と負極からなる一対の検出電極（３、４）を配置し、被測定ガス中の粒子状物質を検出するセンサ素子（１）と、
該センサ素子を収容する筒状ハウジング（Ｈ）の開口（Ｈ１）を覆うように設けられ、被測定ガスを導出入するためのガス導出入孔（５ａ、５ｂ）を有するカバー体（５）と、を備えており、
上記一対の検出電極は、それぞれ上記検出部の表面に露出する複数の線状電極（３ａ、４ａ）を有し、上記正極に属する線状電極（３ａ）と、上記負極に属する線状電極（４ａ）とが、交互に平行配設されると共に、
隣り合う２つの線状電極の間に、両電極の間隔を狭い電極間隔Ｄｎとする第１絶縁層（２１）及び上記電極間隔Ｄｎより広い電極間隔Ｄｗとする第２絶縁層（２２）のうちの一方が配置され、上記第２絶縁層は、層厚の異なる複数の絶縁層（２２１、２２２）を有しており、かつ、上記検出部の中央部には、上記第１絶縁層が配置される、粒子状物質検出センサ（Ｓ）。
【請求項２】
検出部（１１）となる絶縁性基体（２）の表面に、正極と負極からなる一対の検出電極（３、４）を配置し、被測定ガス中の粒子状物質を検出するセンサ素子（１）と、
該センサ素子を収容する筒状ハウジング（Ｈ）の開口（Ｈ１）を覆うように設けられ、被測定ガスを導出入するためのガス導出入孔（５ａ、５ｂ）を有するカバー体（５）と、を備えており、
上記一対の検出電極は、それぞれ上記検出部の表面に露出する複数の線状電極（３ａ、４ａ）を有し、上記正極に属する線状電極（３ａ）と、上記負極に属する線状電極（４ａ）とが、交互に平行配設されると共に、
隣り合う２つの線状電極の間に、両電極の間隔を狭い電極間隔Ｄｎとする第１絶縁層（２１）及び上記電極間隔Ｄｎより広い電極間隔Ｄｗとする第２絶縁層（２２）のうちの一方が配置され、かつ、上記第２絶縁層は、層厚の異なる複数の絶縁層（２２１、２２２）を有する、粒子状物質検出センサ（Ｓ）。
【請求項３】
上記第２絶縁層は、上記検出部の周辺部側に配置される絶縁層（２２１）と、上記検出部の中央部側に配置される絶縁層（２２２）とを有し、前者が形成する電極間隔Ｄｗ1と、後者が形成する電極間隔Ｄｗ2と、上記電極間隔Ｄｎとは、Ｄｎ＜Ｄｗ1＜Ｄｗ2の関係にある、請求項１又は２に記載の粒子状物質検出センサ。
【請求項４】
上記第２絶縁層は、上記検出部の中央部側に配置される絶縁層（２２１）と、上記検出部の周辺部側に配置される絶縁層（２２２）とを有し、前者が形成する電極間隔Ｄｗ1と、後者が形成する電極間隔Ｄｗ2と、上記電極間隔Ｄｎとは、Ｄｎ＜Ｄｗ1＜Ｄｗ2の関係にある、請求項１又は２に記載の粒子状物質検出センサ。
【請求項５】
検出部（１１）となる絶縁性基体（２）の表面に、正極と負極からなる一対の検出電極（３、４）を配置し、被測定ガス中の粒子状物質を検出するセンサ素子（１）と、
該センサ素子を収容する筒状ハウジング（Ｈ）の開口（Ｈ１）を覆うように設けられ、被測定ガスを導出入するためのガス導出入孔（５ａ、５ｂ）を有するカバー体（５）と、を備えており、
上記一対の検出電極は、それぞれ上記検出部の表面に露出する複数の線状電極（３ａ、４ａ）を有し、上記正極に属する線状電極（３ａ）と、上記負極に属する線状電極（４ａ）とが、交互に平行配設されると共に、
隣り合う２つの線状電極の間に、両電極の間隔を狭い電極間隔Ｄｎとする第１絶縁層（２１）及び上記電極間隔Ｄｎより広い電極間隔Ｄｗとする第２絶縁層（２２）のうちの一方が配置され、かつ、上記検出部の中央部には、複数の上記第１絶縁層が配置されており、これら複数の上記第１絶縁層の外側に、上記第２絶縁層が配置される、粒子状物質検出センサ（Ｓ）。
【請求項６】
検出部（１１）となる絶縁性基体（２）の表面に、正極と負極からなる一対の検出電極（３、４）を配置し、被測定ガス中の粒子状物質を検出するセンサ素子（１）と、
該センサ素子を収容する筒状ハウジング（Ｈ）の開口（Ｈ１）を覆うように設けられ、被測定ガスを導出入するためのガス導出入孔（５ａ、５ｂ）を有するカバー体（５）と、を備えており、
上記一対の検出電極は、それぞれ上記検出部の表面に露出する複数の線状電極（３ａ、４ａ）を有し、上記正極に属する線状電極（３ａ）と、上記負極に属する線状電極（４ａ）とが、交互に平行配設されると共に、
隣り合う２つの線状電極の間に、両電極の間隔を狭い電極間隔Ｄｎとする第１絶縁層（２１）及び上記電極間隔Ｄｎより広い電極間隔Ｄｗとする第２絶縁層（２２）のうちの一方が配置され、上記第１絶縁層を挟んで隣り合う２つの線状電極は、素子幅方向（Ｙ）の端部に、上記電極間隔Ｄｎより狭い電極間隔Ｄｎ1で隣り合う狭幅部（１２）を有しており、かつ、上記検出部の中央部には、上記第１絶縁層が配置される、粒子状物質検出センサ（Ｓ）。
【請求項７】
上記検出部の中央部を挟んで、その両側に、上記第１絶縁層と上記第２絶縁層とが、対称配置される、請求項１〜６のいずれか１項に記載の粒子状物質検出センサ。
【請求項８】
上記検出部の中央部の外側に、上記第２絶縁層と上記第１絶縁層とが、この順で交互に配置される、請求項１〜７のいずれか１項に記載の粒子状物質検出センサ。
【請求項９】
上記電極間隔Ｄｎは、１μｍ〜６０μｍであり、上記電極間隔Ｄｗは、２０μｍ〜３００μｍである、請求項１〜８のいずれか１項に記載の粒子状物質検出センサ。
【請求項１０】
上記センサ素子は、上記筒状ハウジング内に同軸的に収容される上記絶縁性基体の素子長手方向（Ｘ）の端面を上記検出部とし、
上記カバー体は、同軸配置される外側カバー（５１）と内側カバー（５２）とを備え、上記内側カバーは、上記検出部を取り囲んで均等配置される複数の上記ガス導出入孔（５ｂ）を有する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の粒子状物質検出センサ。
【請求項１１】
上記絶縁性基体は、上記第１絶縁層及び上記第２絶縁層を含む絶縁層の積層体からなり、
上記一対の検出電極は、上記検出部の表面に露出して上記線状電極となる電極膜が、上記絶縁性基体の層間に埋設されると共に、上記検出部の表面において、上記一対の検出電極の全体が上記絶縁層によって取り囲まれている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の粒子状物質検出センサ。
【請求項１２】
上記絶縁性基体は、素子厚方向（Ｚ）の最外層に位置する第３絶縁層（２３）を有し、  上記検出部の表面において、上記第３絶縁層の内側に、上記第１絶縁層が配置されている、請求項１に記載の粒子状物質検出センサ。
【請求項１３】
上記第３絶縁層の層厚は、上記第１絶縁層より厚く上記第２絶縁層の層厚の３倍以下である、請求項１２に記載の粒子状物質検出センサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一態様は、検出部（１１）となる絶縁性基体（２）の表面に、正極と負極からなる一対の検出電極（３、４）を配置し、被測定ガス中の粒子状物質を検出するセンサ素子（１）と、
該センサ素子を収容する筒状ハウジング（Ｈ）の開口（Ｈ１）を覆うように設けられ、被測定ガスを導出入するためのガス導出入孔（５ａ、５ｂ）を有するカバー体（５）と、を備えており、
上記一対の検出電極は、それぞれ上記検出部の表面に露出する複数の線状電極（３ａ、４ａ）を有し、上記正極に属する線状電極（３ａ）と、上記負極に属する線状電極（４ａ）とが、交互に平行配設されると共に、
隣り合う２つの線状電極の間に、両電極の間隔を狭い電極間隔Ｄｎとする第１絶縁層（２１）及び上記電極間隔Ｄｎより広い電極間隔Ｄｗとする第２絶縁層（２２）が配置され、上記第２絶縁層は、層厚の異なる複数の絶縁層（２２１、２２２）を有しており、かつ、上記検出部の中央部には、上記第１絶縁層が配置される、粒子状物質検出センサ（Ｓ）にある。
なお、特許請求の範囲及び課題を解決する手段に記載した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであり、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【図１】実施形態１における、粒子状物質検出センサのセンサ素子の基本構成を示す全体斜視図およびその要部拡大図。
【図２】実施形態１における、粒子状物質検出センサの概略構成を示す軸方向断面図。
【図３】実施形態１における、粒子状物質検出センサのセンサ素子構成の一例を示す分解斜視図。
【図４】実施形態１における、粒子状物質検出センサのセンサ素子構成の一例を示す分解斜視図。
【図５】実施形態１における、センサ素子の検出部の検出電極配置の一参考例を示す概略構成図。
【図６】実施形態１における、センサ素子の検出部の検出電極配置の一例を示す概略構成図。
【図７】実施形態１における、センサ素子の検出部の検出電極配置の一例を示す概略構成図。
【図８】実施形態１における、センサ素子の検出部の検出電極配置の一例を示す概略構成図。
【図９】従来のセンサ素子における、検出部の検出電極配置の一例を示す概略構成図。
【図１０】センサ素子の検出部の検出電極配置と粗大ＰＭ粒子による出力増大発生確率との関係を示す図。
【図１１】センサ素子の検出部の検出電極配置とセンサ出力立ち上がり時間との関係を示す図。
【図１２】実施形態２における、粒子状物質検出センサのセンサ素子の概略構成を示す要部拡大図。
【図１３】実施形態２における、センサ素子の検出部の検出電極配置の他の例とヒータ配置との関係を示す要部拡大図。
【図１４】従来のセンサ素子における、検出部の検出電極配置の一例とヒータ配置との関係を示す要部拡大図。
【図１５】実施形態３における、粒子状物質検出センサのセンサ素子の概略構成を示す要部拡大図。
【図１６】実施形態３における、センサ素子の検出部の一部拡大図。
【図１７】実施形態３における、粒子状物質検出センサの概略構成を示す軸方向断面図。
【図１８】実施形態３における、粒子状物質検出センサの概略構成を示す径方向断面図で、図１７のＸＶIII−ＸＶIII線断面図。
【図１９】実施形態３における、センサ素子の作用効果を説明するための検出部の一部拡大図。
【図２０】実施形態３における、センサ素子の製造方法の一例を示す概略構成図。
【図２１】実施形態３における、センサ素子構成を示す分解斜視図。
【図２２】実施形態４における、センサ素子の構成と製造方法の例を示す概略構成図。
【図２３】センサ素子の検出部の検出電極配置とセンサ出力立ち上がり時間との関係を示す図。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（実施形態１）
次に、粒子状物質検出センサの実施形態１について、図面を参照して説明する。図１、２に基本構成を示す粒子状物質検出センサＳは、積層型のセンサ素子１の先端に検出部１１を備え、被測定ガスに含まれる粒子状物質を検出する。被測定ガスは、例えば、ディーゼルエンジン等の内燃機関から排出される燃焼排ガスであり、導電性を有する煤等の微小な粒子状物質（以下、適宜ＰＭという）を含んでいる。粒子状物質検出センサＳは、内燃機関の排気管壁Ｗに取り付けられて、例えば、ＤＰＦを備える排気浄化装置の故障診断システムを構成する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
これにより、図５に一参考例として示すように、絶縁性基体２の先端面に、第１絶縁層２１を挟んで対向する線状電極３ａ、４ａの組と、第２絶縁層２２を挟んで対向する線状電極３ａ、４ａの組とが、素子厚方向Ｚに交互に配置されて、検出部１１を形成する。このとき、検出部１１の中央部のガス当たり位置Ｇ１に、第１絶縁層２１が位置し、その両側（すなわち図の上側及び下側）に、第１絶縁層２１と第２絶縁層２２とが対称配置されるのがよい。このような第１絶縁層２１、第２絶縁層２２の配置は、図５に示す参考例の他に、図６〜図８に示す例があり、以下に順に説明する。