【手続補正書】
【提出日】平成29年11月13日(2017.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持して回転させる基板支持手段と、
前記基板支持手段によって回転される前記基板の表面を回転しながらスクラブ洗浄するためのロール洗浄部材とを備え、
前記ロール洗浄部材は、その長手方向に配列され、前記基板の表面に摺接する複数の突起部材を備え、
前記突起部材における前記基板に摺接する部分のうちの高洗浄力領域の軌跡が前記基板の半径方向に隙間なく存在するように前記基板を洗浄することを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記高洗浄力領域は、前記突起部材と前記基板の表面との接触領域の３０％〜６０％のいずれかの幅として設定されることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記複数の突起部材は、前記ロール洗浄部材の長手方向に等間隔で配置されて複数の突起部材列を形成しており、かつ、前記ロール洗浄部材の周方向に隣り合う突起部材列の複数の突起部材の位置は、互いに前記突起部材列における前記突起部材のピッチの半分だけずれていることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記複数の突起部材の前記高洗浄力領域が前記基板に摺接したときの複数の軌跡の間には互いに半径方向に隙間があり、
前記ロール洗浄部材と回転する前記基板とを洗浄中に相対的に搖動させることで、前記高洗浄力領域の複数の軌跡が前記基板の半径方向に隙間なく存在するように前記基板を洗浄することを特徴とする請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記ロール洗浄部材の搖動ピッチｓｐは、前記突起部材列における前記複数の突起部材のピッチをｎｐ、前記高洗浄力領域の前記長手方向の幅をｓａとすると、ｓｐ≧（ｎｐ／２）−ｓａを満たすことを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
【請求項６】
第１のロール洗浄部材及び第２のロール洗浄部材を含む２つの前記ロール洗浄部材を備え、
前記第１のロール洗浄部材及び前記第２のロール洗浄部材において、前記複数の突起部材は、前記ロール洗浄部材の長手方向に等間隔で配置されて複数の突起部材列を形成しており、かつ、前記ロール洗浄部材の周方向に隣り合う突起部材列の複数の突起部材の位置は、互いに前記突起部材列における前記突起部材のピッチの半分だけずれていることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記第１のロール洗浄部材及び前記第２のロール洗浄部材において、前記突起部材列における前記突起部材のピッチをｎｐとすると、前記基板を洗浄するときの前記第１のロール洗浄部材の前記複数の突起部材の位置と前記基板を洗浄するときの前記第２のロール洗浄部材の前記複数の突起部材の位置とは、列方向にｎｐ／４だけずれていることを特徴とする請求項６に記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記複数の突起部材は、前記長手方向の第１の列にピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材と、前記長手方向の第２の列にピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材と、前記長手方向の第３の列にピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材と、前記長手方向の第４の列にピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材とを含み、
前記第１の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向の位置と前記第２の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向とは、ｎｐ／４だけずれており、前記第２の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向の位置と前記第３の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向とは、ｎｐ／４だけずれており、前記第３の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向の位置と前記第４の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向とは、ｎｐ／４だけずれていることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記ロール洗浄部材は、回転する前記基板の回転中心を通って前記回転中心から両側の基板の外周まで至る範囲で前記基板に摺接し、
前記複数の突起部材は、前記回転中心に対応する位置を基準として両側に非対称に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項１０】
前記複数の突起部材は、前記回転中心に対応する位置より前記長手方向の一方側の複数の前記突起部材の、前記回転中心に対応する位置からの距離と、前記回転中心に対応する位置より前記長手方向の他方側の複数の前記突起部材の、前記回転中心に対応する位置からの距離とは、ｎｐ／４だけずれていることを特徴とする請求項９に記載の洗浄装置。
【請求項１１】
基板を支持して回転させる基板支持手段と、
前記基板支持手段によって回転する前記基板の表面を回転しながらスクラブ洗浄するためのロール洗浄部材とを備え、
前記ロール洗浄部材は、その長手方向に等間隔で配列され、前記基板の表面に摺接する複数の突起部材を備え、
前記複数の突起部材は、前記ロール洗浄部材の長手方向に配置されて複数の突起部材列を形成しており、かつ、前記ロール洗浄部材の周方向に隣り合う突起部材列の複数の突起部材の位置は、互いに前記突起部材列における前記突起部材のピッチの半分だけずれており、
前記複数の突起部材の前記高洗浄力領域が前記基板に摺接したときの軌跡の間には互いに隙間があり、
洗浄中に、前記ロール洗浄部材と前記基板支持手段によって回転する前記基板とを相対的に搖動させることを特徴とする洗浄装置。
【請求項１２】
基板を支持して回転させる基板支持手段と、
前記基板支持手段によって回転する前記基板の表面を回転しながらスクラブ洗浄するための第１のロール洗浄部材と、
前記基板支持手段によって回転する前記基板の表面をスクラブ洗浄するための第２のロール洗浄部材とを備え、
前記第１のロール洗浄部材及び前記第２のロール洗浄部材は、それぞれ、その長手方向に配列され、前記基板の表面に摺接する複数の突起部材を備え、
前記第１のロール洗浄部材及び前記第２のロール洗浄部材において、前記複数の突起部材は、前記ロール洗浄部材の長手方向に等間隔で配置されて複数の突起部材列を形成しており、かつ、前記ロール洗浄部材の周方向に隣り合う突起部材列の複数の突起部材の位置は、互いに前記突起部材列における前記突起部材のピッチの半分だけずれていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項１３】
基板を支持して回転させる基板支持手段と、
前記基板支持手段によって回転する前記基板の表面を回転しながらスクラブ洗浄するためのロール洗浄部材とを備え、
前記ロール洗浄部材は、その長手方向に配列され、前記基板の表面に摺接する複数の突起部材を備え、
前記複数の突起部材は、前記長手方向の第１の列にピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材と、前記長手方向の第２の列にピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材と、前記長手方向の第３の列にピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材と、前記長手方向の第４の列にピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材とを含み、
前記第１の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向の位置と前記第２の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向とは、ｎｐ／４だけずれており、前記第２の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向の位置と前記第３の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向とは、ｎｐ／４だけずれており、前記第３の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向の位置と前記第４の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向とは、ｎｐ／４だけずれていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項１４】
基板を支持して回転させる基板支持手段と、
前記基板支持手段によって回転する前記基板の表面を回転しながらスクラブ洗浄するためのロール洗浄部材とを備え、
前記ロール洗浄部材は、その長手方向に配列され、前記基板の表面に摺接する複数の突起部材を備え、
前記ロール洗浄部材は、回転する前記基板の回転中心を通って前記回転中心から両側の基板の外周まで至る範囲で前記基板に摺接し、
前記複数の突起部材は、前記回転中心に対応する位置を境に両側に非対称に配置されることを特徴とする洗浄装置。
【請求項１５】
基板を支持して回転させる基板支持手段と、
前記基板支持手段によって回転される前記基板の表面を回転しながらスクラブ洗浄するためのロール洗浄部材とを備え、
前記ロール洗浄部材は、その長手方向に配列され、前記基板の表面に摺接する複数の突起部材を備え、
前記複数の突起部材は、前記ロール洗浄部材の長手方向に配置されて複数の突起部材列を形成しており、かつ、前記ロール洗浄部材の周方向に隣り合う突起部材列の複数の突起部材の位置は互いに前記長手方向にずれており、
前記ロール洗浄部材は、前記突起部材が突設される基礎面において、周方向に隣り合う突起部材列の複数の突起部材は、互いに一部が周方向に重なっており、かつ、前記突起部材の接触面において、周方向に隣り合う突起部材列の複数の突起部材は、互いに周方向に離間していることを特徴とする洗浄装置。
【請求項１６】
基板の表面をスクラブ洗浄するためのロール洗浄部材であって、
前記ロール洗浄部材の長手方向に配列され、前記基板の表面に摺接する複数の突起部材を備え、
前記複数の突起部材は、前記長手方向の第１の列にピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材と、前記長手方向の第２の列に前記ピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材と、前記長手方向の第３の列に前記ピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材と、前記長手方向の第４の列に前記ピッチｎｐで並ぶ複数の突起部材とを含み、
前記第１の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向の位置と前記第２の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向とは、ｎｐ／４だけずれており、前記第２の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向の位置と前記第３の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向とは、ｎｐ／４だけずれており、前記第３の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向の位置と前記第４の列に並ぶ複数の突起部材の前記長手方向とは、ｎｐ／４だけずれていることを特徴とするロール洗浄部材。
【請求項１７】
基板の表面をスクラブ洗浄するためのロール洗浄部材であって、
前記ロール洗浄部材の長手方向に配列され、前記基板の表面に摺接する複数の突起部材を備え、
前記ロール洗浄部材は、前記基板の洗浄時に前記基板の中心を通って前記中心から両側の基板の外周まで至る範囲で前記基板に摺接するように構成され、
前記複数の突起部材は、前記中心に対応する位置を境に両側に非対称に配置されることを特徴とするロール洗浄部材。
【請求項１８】
基板の表面をスクラブ洗浄するためのロール洗浄部材であって、
前記ロール洗浄部材の長手方向に配列され、前記基板の表面に摺接する複数の突起部材を備え、
前記複数の突起部材は、前記ロール洗浄部材の長手方向に配置されて複数の突起部材列を形成しており、かつ、前記ロール洗浄部材の周方向に隣り合う突起部材列の複数の突起部材の位置は互いに前記長手方向にずれており、
前記ロール洗浄部材は、前記突起部材が突設される基礎面において、周方向に隣り合う突起部材列の複数の突起部材は、互いに一部が周方向に重なっており、かつ、前記突起部材の接触面において、周方向に隣り合う突起部材列の複数の突起部材は、互いに周方向に離間していることを特徴とするロール洗浄部材。
【請求項１９】
基板の表面を洗浄するためのロール洗浄部材であって、
前記基板の表面に摺接し筒形状を有する複数の突起部材を備え、
前記複数の突起部材は、前記ロール洗浄部材の長手方向に一直線上に配列された複数の突起部材列を形成するように配列され、
複数の突起部材列を構成する各突起部材は、
Ｌｃ＞２Ｒｃ、及び
Ｌｂ＜２Ｒｂ
を満たす位置に配置され、
ここで、Ｌｃは、前記突起部材の接触面における、第１の突起部材列を構成する複数の突起部材の円の中心を通る直線と、第１の突起部材列と周方向に隣り合う第２の突起部材列を構成する複数の突起部材の円の中心を通る直線との間の最短距離であり、
Ｒｃは、前記突起部材の接触面における、複数の突起部材列を構成する複数の突起部材の半径の平均長であり、
Ｌｂは、前記突起部材が突設される基礎面における、第１の突起部材列を構成する複数の突起部材の円の中心を通る直線と、第１の突起部材列と周方向に隣り合う第２の突起部材列を構成する複数の突起部材の円の中心を通る直線との間の最短距離であり、
Ｒｂは、前記突起部材が突設される基礎面における、複数の突起部材列を構成する複数の突起部材の半径の平均長である
ことを特徴とするロール洗浄部材。