【手続補正書】
【提出日】平成29年5月1日(2017.5.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
（９）１または複数の基板支持部の各々は、予め設定された基準方向を有し、位置調整部は、搬入された基板の方向を調整可能に構成され、１または複数の補正情報の各々は、位置調整部から１または複数の基板支持部の各々へ基板が搬送される場合に搬送後の基板の方向が当該基板支持部における基準方向と一致するために、位置調整部により調整されるべき方向を含んでもよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理を行う基板処理装置であって、
予め設定された基準位置を有し、基板を支持する１または複数の基板支持部と、
搬入された基板の位置を調整可能に構成される位置調整部と、
前記位置調整部と前記１または複数の基板支持部との間で基板を搬送可能に構成される搬送装置と、
前記位置調整部による基板の位置の調整のために前記１または複数の基板支持部に対応して予め取得された１または複数の補正情報を記憶する記憶部と、
基板の処理時に、前記位置調整部から前記１または複数の基板支持部のうち一の基板支持部へ基板が搬送される前に、前記記憶部に記憶された前記１または複数の補正情報のうち前記一の基板支持部に対応する補正情報に基づいて、基板の位置を調整するように前記位置調整部を制御する制御部とを備え、
前記１または複数の補正情報の各々は、前記搬送装置により前記位置調整部から前記１または複数の基板支持部の各々へ基板が搬送される場合に搬送後の基板の中心が当該基板支持部における前記基準位置と一致するために、前記位置調整部により調整されるべき位置を表す、基板処理装置。
【請求項２】
前記１または複数の補正情報の各々は、前記１または複数の基板支持部の各々への基板の搬送前に前記位置調整部において基板の中心が一致すべき位置を補正位置として含み、
前記制御部は、前記一の基板支持部への基板の搬送前に前記一の基板支持部に対応する補正位置に基板の中心が一致するように前記位置調整部を制御する、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記１または複数の基板支持部の各々は、基板を水平姿勢で保持して回転軸の周りで回転させる第１の回転保持装置を含み、
前記位置調整部は、基準軸を有するとともに、搬入された基板の中心と前記基準軸とのずれ量を検出するように構成され、
前記制御部は、補正情報取得時に、前記位置調整部から各基板支持部へ基板が搬送されるように前記搬送装置を制御し、前記搬送された基板が所定の角度だけ回転されるように前記第１の回転保持装置を制御し、当該基板支持部から前記位置調整部へ基板が搬送されるように前記搬送装置を制御し、前記位置調整部から各基板支持部への搬送前に前記位置調整部により検出されたずれ量を第１のずれ量として検出し、当該基板支持部から前記位置調整部への搬送後に前記位置調整部により検出されたずれ量を第２のずれ量として検出し、前記第１および第２のずれ量に基づいて補正位置を算出し、
前記記憶部は、前記制御部により前記１または複数の基板支持部に対応して算出された１または複数の補正位置を前記１または複数の補正情報として記憶する、請求項２記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記所定の角度は１８０度である、請求項３記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記１または複数の基板支持部の各々は、基板の処理時に、前記第１の回転保持装置により回転される基板に処理を行うように構成される、請求項３または４記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記１または複数の基板支持部の各々は、基板の中心の位置を前記基準位置に導く案内機構を含み、
前記位置調整部は、基準軸を有するとともに、搬入された基板の中心と前記基準軸とのずれ量を検出するように構成され、
補正情報取得時に、前記１または複数の基板支持部の各々において前記案内機構により基板の中心の位置が前記基準位置に導かれ、
前記制御部は、前記補正情報取得時に、前記１または複数の基板支持部の各々から前記位置調整部へ基板が搬送されるように前記搬送装置を制御し、当該基板支持部から前記位置調整部への搬送後に前記位置調整部により検出されたずれ量を取得し、前記取得されたずれ量に基づいて補正位置を算出し、
前記記憶部は、前記制御部により前記１または複数の基板支持部に対応して算出された１または複数の補正位置を前記１または複数の補正情報として記憶する、請求項２記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記１または複数の基板支持部の各々は、基板の処理時に、基板に温度処理を行うように構成される、請求項６記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記位置調整部は、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部を基準軸に垂直な二次元方向に移動させる移動装置と、
前記基板保持部により保持される基板の外周部の位置を検出する位置検出器とを含み、
前記制御部は、前記基板の処理時における前記一の基板支持部への基板の搬送前に、前記位置検出器により検出された基板の外周部の位置に基づいて基板の中心の位置を算出し、算出された基板の中心の位置に基づいて前記一の基板支持部に対応する補正位置に前記基板保持部により保持される基板の中心が一致するように前記移動装置を制御する、請求項２〜７のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記１または複数の基板支持部の各々は、予め設定された基準方向を有し、
前記位置調整部は、搬入された基板の方向を調整可能に構成され、
前記１または複数の補正情報の各々は、前記位置調整部から前記１または複数の基板支持部の各々へ基板が搬送される場合に搬送後の基板の方向が当該基板支持部における前記基準方向と一致するために、前記位置調整部により調整されるべき方向を含む、請求項２〜７のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記１または複数の補正情報の各々は、前記１または複数の基板支持部の各々への基板の搬送前に前記位置調整部において基板のノッチの方向が一致すべき方向を補正方向として含み、
前記制御部は、前記一の基板支持部への基板の搬送前に、前記一の基板支持部に対応する補正方向に基板のノッチの方向が一致するように前記位置調整部を制御する、請求項９記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記位置調整部は、
基板を水平姿勢で保持して回転軸の周りで回転させる第２の回転保持装置と、
前記第２の回転保持装置を基準軸に垂直な二次元方向に移動させる移動装置と、
前記第２の回転保持装置により回転される基板の外周部の位置を検出する位置検出器とを含み、
前記制御部は、前記基板の処理時における前記一の基板支持部への基板の搬送前に、前記位置検出器により検出された基板の外周部の位置に基づいて基板の中心の位置および基板のノッチの方向を算出し、算出された基板の中心の位置および算出された基板のノッチの方向に基づいて前記一の基板支持部に対応する補正位置に前記第２の回転保持装置により保持される基板の中心が一致するとともに前記一の基板支持部に対応する補正方向に前記第２の回転保持装置により保持される基板のノッチの方向が一致するように前記第２の回転保持装置および前記移動装置を制御する、請求項１０記載の基板処理装置。
【請求項１２】
基板に処理を行う基板処理方法であって、
位置調整部による基板の位置の調整のために１または複数の基板支持部に対応して予め取得された１または複数の補正情報を記憶部に記憶するステップと、
基板の処理時に、前記位置調整部から前記１または複数の基板支持部のうち一の基板支持部へ基板が搬送される前に、前記記憶部に記憶された前記１または複数の補正情報のうち前記一の基板支持部に対応する補正情報に基づいて、前記位置調整部により基板の位置を調整するステップと、
前記位置調整部により位置が調整された基板を搬送装置により前記一の基板支持部に搬送するステップとを含み、
前記１または複数の補正情報の各々は、前記搬送装置により前記位置調整部から前記１または複数の基板支持部の各々へ基板が搬送される場合に搬送後の基板の中心が当該基板支持部における基準位置と一致するために、前記位置調整部により調整されるべき位置を表す、基板処理方法。