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【手続補正書】
【提出日】平成29年2月10日(2017.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
立体画像提示装置であって、
提示対象とする画像を取得する画像取得部と、
前記画像取得部が取得した画像の虚像を、前記立体画像提示装置のユーザが観察する実空間に重畳して提示する画像提示部とを備え、
前記画像提示部は、前記ユーザに提示する虚像の位置を変更自在に構成されており、前記画像に写っているオブジェクトの奥行き情報をもとに、前記虚像を提示する位置を変更することを特徴とする立体画像提示装置。
【請求項２】
前記オブジェクトの奥行き情報は、前記オブジェクトを撮影するカメラから前記オブジェクトまでの距離を含み、
前記画像提示部は、前記カメラから前記オブジェクトまでの距離が近い場合は、遠い場合と比較して、前記ユーザから近い位置に前記虚像を提示することを特徴とする請求項１に記載の立体画像提示装置。
【請求項３】
前記画像取得部は、
前記オブジェクトを含む処理対象を複数の部分領域に区分けする部分領域生成部と、
前記複数の部分領域それぞれに含まれるオブジェクトそれぞれについて、前記カメラから観察可能な部分をレンダリングして画像を生成するレンダリング部とを備え、
前記画像提示部は、
前記カメラから前記部分領域までの距離に応じて、前記レンダリング部が生成した画像の虚像を提示する位置を設定する虚像位置設定部を備えることを特徴とする請求項２に記載の立体画像提示装置。
【請求項４】
前記部分領域生成部は、前記カメラから遠方であることを規定する遠方基準距離を定め、当該遠方基準距離よりも前記カメラから離れた位置にある領域は、遠方部分領域としてひとつの部分領域に設定することを特徴とする請求項３に記載の立体画像提示装置。
【請求項５】
前記オブジェクトと前記カメラとはそれぞれ、仮想的な３次元空間に設定された仮想的なオブジェクトおよび仮想的なカメラであり、
前記オブジェクトは、予め定められた複数の属性から選択された１または複数の属性を備えており、
前記部分領域生成部は、前記オブジェクトが備える属性に応じて、区分けの仕方を変更することを特徴とする請求項４に記載の立体画像提示装置。
【請求項６】
前記予め定められた複数の属性はキャラクタ属性を含み、当該キャラクタ属性はその属性を備えるオブジェクトは前記ユーザが操作可能なキャラクタであることを示すものであり、
前記部分領域生成部は、オブジェクトがキャラクタ属性を備える場合、当該オブジェクトが前記遠方部分領域から除外されるように、前記遠方基準距離を設定することを特徴とする請求項５に記載の立体画像提示装置。
【請求項７】
前記部分領域生成部は、前記複数の部分領域それぞれについて、他の部分領域と一部が重複するかまたは接するようにして区分けすることを特徴とする請求項３から６のいずれかに記載の立体画像提示装置。
【請求項８】
立体画像提示装置のプロセッサが実行する画像提示方法であって、
提示対象とするオブジェクトの画像を取得するステップと、
前記オブジェクトの奥行き情報をもとに、前記画像の虚像を提示する位置を設定するステップと、
設定した位置に、前記虚像を、前記立体画像提示装置のユーザが観察する実空間に重畳して提示するステップとを含むことを特徴とする立体画像提示方法。
【請求項９】
コンピュータを備える立体画像提示装置に画像提示機能を実現させるプログラムであって、当該機能は、
提示対象とする画像を取得する機能と、
前記画像に写っているオブジェクトの奥行き情報をもとに、前記画像の虚像を提示する位置を設定する機能と、
設定した位置に、前記虚像を、前記立体画像提示装置のユーザが観察する実空間に重畳して提示する機能とを含むことを特徴とするコンピュータが読み出し可能なプログラム。
【請求項１０】
立体画像を提示するヘッドマウントディスプレイであって、
提示対象とする画像を取得する画像取得部と、
前記画像取得部が取得した画像の虚像を、前記ヘッドマウントディスプレイを装着するユーザに提示する画像提示部とを備え、
前記画像提示部は、
前記画像を表示する複数の透過型表示部と、
前記複数の透過型表示部それぞれが表示する画像の虚像を生成する光学素子とを備え、
前記複数の透過型表示部は、前記画像提示部の光路上に並んで備えられており、
前記光学素子は、前記画像提示部の光路において前記ユーザの目と前記複数の透過型表示部との間に備えられ、
前記画像提示部は、前記ユーザに提示する虚像の位置を変更自在に構成されており、前記画像に写っているオブジェクトの奥行き情報をもとに、前記虚像を提示する位置を変更することを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。
【手続補正書】
【提出日】平成29年7月5日(2017.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振れにより生ずる被写体像の像振れを補正するための第１の補正手段と、
光軸上で前記第１の補正手段とは異なる位置にある、振れにより生ずる被写体像の像振れを補正するための第２の補正手段と、
前記第１および第２の補正手段の制御による前記像振れの補正を、前記第１の補正手段と前記第２の補正手段との駆動ずれを補正した上で実行する制御手段とを備える
ことを特徴とする像振れ補正装置。
【請求項２】
前記制御手段は、
検出手段により検出された振れを示す振れ信号に基づいて、前記第１の補正手段を制御し、
前記第１の補正手段の目標位置に対する駆動特性を有するレンズモデルを用いて前記振れ信号を処理し、前記処理された振れ信号に基づいて、前記第２の補正手段を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の像振れ補正装置。
【請求項３】
前記レンズモデルは、前記第１の補正手段の目標位置に対する前記第１の補正手段の位置の位相差および振幅差の周波数特性を示す数式モデルによって構成され、
前記制御手段は、前記数式モデルを用いて前記振れ信号を処理することで、前記第２の補正手段を前記第１の補正手段と同期制御させるための前記第２の補正手段の目標位置信号を出力することにより、前記目標位置信号に基づいて、前記第２の補正手段を制御する
ことを特徴とする請求項２に記載の像振れ補正装置。
【請求項４】
少なくとも温度変化、駆動振幅、またはレンズ焦点距離のうちのいずれかを含む駆動条件ごとに前記レンズモデルが設けられており、
前記制御手段は、前記駆動条件に応じて、前記振れ信号の処理に用いるレンズモデルを変更する
ことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の像振れ補正装置。
【請求項５】
前記制御手段は、
検出手段により検出された振れを示す振れ信号に基づいて、前記第１の補正手段を制御し、
前記制御する第１の補正手段の位置を示す位置信号を取得し、当該取得された位置信号の高周波成分をカットした信号に基づいて、前記第２の補正手段を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の像振れ補正装置。
【請求項６】
前記制御手段は、
検出手段により検出された振れを示す振れ信号に基づいて算出される制御信号を用いて前記第１の補正手段を制御し、
前記制御する第１の補正手段の位置を示す位置信号を取得し、当該取得された位置信号の高周波成分をカットした信号と、前記第１の補正手段の駆動に用いた前記制御信号とに基づいて、前記第２の補正手段を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の像振れ補正装置。
【請求項７】
装置に加えられる振れを検出する検出手段と、前記振れにより生ずる被写体像の像振れを補正するための第１の補正手段および光軸上で前記第１の補正手段とは異なる位置にある第２の補正手段とを備える像振れ補正装置の制御方法であって、
前記第１および第２の補正手段の制御による前記像振れの補正を、前記第１の補正手段と前記第２の補正手段との駆動ずれを補正した上で実行制御する工程を有する
ことを特徴とする制御方法。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の像振れ補正装置を備える撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一実施形態の像振れ補正装置は、振れにより生ずる被写体像の像振れを補正するための第１の補正手段と、光軸上で前記第１の補正手段とは異なる位置にある、振れにより生ずる被写体像の像振れを補正するための第２の補正手段と、前記第１および第２の補正手段の制御による前記像振れの補正を、前記第１の補正手段と前記第２の補正手段との駆動ずれを補正した上で実行する制御手段とを備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
実施例２では、第２像振れ補正レンズ１１３の目標位置を、第１ホール素子２０９で検出した第１像振れ補正レンズ１０３の位置信号をＬＰＦ８０１で高周波ノイズをカットした信号とし、第３レンズ位置制御部２１１に入力する。このように入力された第１像振れ補正レンズ１０３の位置信号と第３ホール素子２１６で検出された第２像振れ補正レンズ１１３の位置情報とが比較され偏差信号が０となるように制御出力が演算される。そして、演算された制御出力に応じて第３ドライブ部２１４を介して、位置フィードバック制御により第２像振れ補正レンズが駆動される。すなわち、制御部１１９は、駆動する第１像振れ補正レンズ１０３の位置を示す位置信号を検出し、当該検出された位置信号の高周波成分をカットした信号に基づいて、第２像振れ補正レンズ１１３を駆動する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
図９は、実施例２の像振れ補正装置による像振れ補正レンズの目標位置の算出処理を説明するフローチャートである。
ステップＳ１０２乃至Ｓ１０４は、図７のステップＳ１０２乃至Ｓ１０４と同様である。ステップＳ９０１において、制御部１１９が、第１ホール素子２０９により取得された第１像振れ補正レンズの位置情報をＬＰＦ８０１に入力し、高周波成分をカットする（ステップＳ９０１）。そして、制御部１１９が、高周波成分をカットした第１像振れ補正レンズ位置情報を第３レンズ位置制御部へ入力する（ステップＳ９０２）。これにより、第２像振れ補正レンズが、第１像振れ補正レンズ位置に追従するように駆動される。ＬＰＦ８０１により第１像振れ補正レンズの位置情報から高周波成分をカットするのは、第１像振れ補正レンズの位置情報に含まれる高周波ノイズにより、第２像振れ補正レンズが高周波で駆動してしまうのを防ぐためである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2016024211.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月21日(2017.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置本体の被写体側の面にレンズ又はレンズを装着するマウント部を備えるとともに、前記装置本体の一側方の端部にグリップ部を備えた撮像装置であって、
特定の設定項目の設定値の変更を、他の操作部材を用いずに禁止状態に設定する設定手段と、
前記特定の設定項目の設定値を変更するのに用いられる一又は複数の操作部材と、
一時解除部材と、
前記設定手段で禁止状態に設定されており、かつ、前記操作部材が操作された場合に、前記一時解除部材が操作されていなければ、前記特定の設定項目の設定値を変更せず、前記設定手段で禁止状態に設定されており、かつ、前記操作部材が操作された場合に、前記一時解除部材が操作されていれば、前記操作部材の操作に応じて前記特定の設定項目の設定値を変更するように制御する制御手段とを備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記一時解除部材は、前記グリップ部を持つ手の指で操作可能な位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記一時解除部材は、前記グリップ部を持つ手の指のうち、中指又は薬指で操作可能な位置に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記一時解除部材は、前記レンズ又は前記マウント部の中心部よりも前記グリップ部側で、且つ被写体側の面に配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記一時解除部材は、前記レンズ又は前記マウント部の周辺に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記一時解除部材は、前記レンズ又は前記マウント部の中心部よりも下部に配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記一時解除部材は、操作されていないときは位置復帰するプッシュ式又はレバー式の操作部材であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記操作部材は、前記レンズ又は前記マウント部の中心部よりも前記グリップ部側で、且つ被写体側の面でない面に配置されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項９】
前記操作部材は、上面に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記操作部材は、被写体側の面と反対面に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１１】
前記制御手段は、前記設定手段で禁止状態に設定されていない場合に、前記一時解除部材が操作されたか否かに関わらず、前記操作部材の操作に応じて前記特定の設定項目の設定値を変更するように制御することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１２】
他の一時解除部材を備え、
前記制御手段は、前記設定手段で禁止状態に設定されており、かつ、前記操作部材が操作された場合に、前記他の一時解除部材が操作されていなければ、前記特定の設定項目の設定値を変更せず、前記設定手段で禁止状態に設定されており、かつ、前記操作部材が操作された場合に、前記他の一時解除部材が操作されていれば、前記操作部材の操作に応じて前記特定の設定項目の設定値を変更するように制御し、
前記他の一時解除部材は、前記レンズ又は前記マウント部の中心部よりも前記グリップ部側で、且つ被写体側の面と反対面に配置されていることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１３】
装置本体の被写体側の面にレンズ又はレンズを装着するマウント部を備えるとともに、前記装置本体の一側方の端部にグリップ部を備えた撮像装置で、特定の設定項目の設定値の変更を、他の操作部材を用いずに禁止状態に設定する設定手段と、前記特定の設定項目の設定値を変更するのに用いられる一又は複数の操作部材と、一時解除部材とを備えた撮像装置の制御方法であって、
前記設定手段で禁止状態に設定されており、かつ、前記操作部材が操作された場合に、前記一時解除部材が操作されていなければ、前記特定の設定項目の設定値を変更せず、前記設定手段で禁止状態に設定されており、かつ、前記操作部材が操作された場合に、前記一時解除部材が操作されていれば、前記操作部材の操作に応じて前記特定の設定項目の設定値を変更するように制御するステップを有することを特徴とする撮像装置の制御方法。
【請求項１４】
装置本体の被写体側の面にレンズ又はレンズを装着するマウント部を備えるとともに、前記装置本体の一側方の端部にグリップ部を備えた撮像装置で、特定の設定項目の設定値の変更を、他の操作部材を用いずに禁止状態に設定する設定手段と、前記特定の設定項目の設定値を変更するのに用いられる一又は複数の操作部材と、一時解除部材とを備えた撮像装置を制御するためのプログラムであって、
前記設定手段で禁止状態に設定されており、かつ、前記操作部材が操作された場合に、前記一時解除部材が操作されていなければ、前記特定の設定項目の設定値を変更せず、前記設定手段で禁止状態に設定されており、かつ、前記操作部材が操作された場合に、前記一時解除部材が操作されていれば、前記操作部材の操作に応じて前記特定の設定項目の設定値を変更するように制御する処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１５】
請求項１４に記載のプログラムを記憶するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の撮像装置は、装置本体の被写体側の面にレンズ又はレンズを装着するマウント部を備えるとともに、前記装置本体の一側方の端部にグリップ部を備えた撮像装置であって、特定の設定項目の設定値の変更を、他の操作部材を用いずに禁止状態に設定する設定手段と、前記特定の設定項目の設定値を変更するのに用いられる一又は複数の操作部材と、一時解除部材と、前記設定手段で禁止状態に設定されており、かつ、前記操作部材が操作された場合に、前記一時解除部材が操作されていなければ、前記特定の設定項目の設定値を変更せず、前記設定手段で禁止状態に設定されており、かつ、前記操作部材が操作された場合に、前記一時解除部材が操作されていれば、前記操作部材の操作に応じて前記特定の設定項目の設定値を変更するように制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成29年7月20日(2017.7.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、偏向部材と、制御信号に基づいて前記偏向部材を駆動する駆動ＩＣと、光源から発せられたレーザ光が入射する光学部材と、前記偏向部材、前記駆動ＩＣ、及び前記光学部材を収容した筐体と、前記レーザ光の照射を制御する制御部と、を有し、
前記光源から発せられたレーザ光を、前記駆動ＩＣにより駆動された前記偏向部材で反射し偏向走査し、前記光学部材を介して感光体へ照射することで前記感光体に潜像を形成し、前記潜像にトナーを付着させることでトナー画像を形成する画像形成装置において、前記制御部は、前記駆動ＩＣから出力される前記駆動ＩＣの温度に関連する情報に基づいて、前記レーザ光の照射を制御することを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記駆動ＩＣは抵抗素子を備え、前記駆動ＩＣの温度に関連する情報は前記抵抗素子の抵抗値に関連する値であることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記抵抗素子の抵抗値が所定の抵抗値よりも大きくなると前記駆動ＩＣの内部で電流の供給が遮断されることを特徴とする請求項２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記偏向部材を回転させるモータを有し、
前記駆動ＩＣは、前記制御信号に基づいて前記モータの回転速度を制御することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記駆動ＩＣは、回路部と前記回路部を覆う外装部とを備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記偏向部材を回転させるモータを有し、
前記モータを支持し、前記駆動ＩＣを実装した基板を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記光学部材は、前記偏向部材で反射したレーザ光を反射する反射部材であり、前記反射部材は前記筐体に支持されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記光学部材は、前記偏向部材で反射したレーザ光が透過するレンズであり、前記レンズは前記筐体に支持されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【請求項９】
別の光源を有し、前記別の光源の発するレーザ光を前記偏向部材で反射させて別の感光体へ照射することで、複数色の画像を形成することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記駆動ＩＣから出力される前記駆動ＩＣの温度に関連する情報に基づいて、画像を形成する際の前記レーザ光の照射タイミングを補正することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【請求項１１】
光源と、偏向部材と、画像情報に基づいて前記光源を発光させるレーザ駆動ＩＣと、光源から発せられたレーザ光が入射する光学部材と、前記偏向部材、前記レーザ駆動ＩＣ、及び前記光学部材を収容した筐体と、前記レーザ光の照射を制御する制御部と、を有し、前記光源から発せられたレーザ光を、前記偏向部材で反射して偏向走査し、前記光学部材を介して感光体へ照射することで前記感光体に潜像を形成し、前記潜像にトナーを付着させることでトナー画像を形成する画像形成装置において、
前記制御部は、前記レーザ駆動ＩＣから出力される前記レーザ駆動ＩＣの温度に関連する情報に基づいて、前記レーザ光の照射を制御することを特徴とする画像形成装置。
【請求項１２】
前記駆動ＩＣは抵抗素子を備え、前記駆動ＩＣの温度に関連する情報は前記抵抗素子の抵抗値に関連する値であることを特徴とする請求項１１に記載の画像形成装置。
【請求項１３】
前記制御部は、前記駆動ＩＣから出力される前記駆動ＩＣの温度に関連する情報に基づいて、画像を形成する際の前記レーザ光の照射タイミングを補正することを特徴とする請求項１１又は１２に記載の画像形成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成29年7月4日(2017.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側より像側へ順に配置された、正の屈折力の第１レンズ群、負の屈折力の第２レンズ群、正の屈折力の第３レンズ群、１以上のレンズ群を含む後群を有し、ズーミングに際して隣り合うレンズ群の間隔が変化するズームレンズにおいて、
前記第２レンズ群は、物体側より像側へ順に配置された、負の屈折力の第１部分レンズ群と、光軸に対して垂直方向の成分を持つ方向に移動することにより結像位置を移動させる第２部分レンズ群から成り、
前記第２部分レンズ群は、正レンズと負レンズを有し、
前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２、広角端における全系の焦点距離をｆｗ、前記第２部分レンズ群に含まれる負レンズの材料の屈折率をＮ２ｎとしたとき、
−３．０＜ｆ２／ｆｗ＜−１．０
１．８４＜Ｎ２ｎ＜２．２０
なる条件式を満足することを特徴とするズームレンズ。
【請求項２】
前記第２部分レンズ群に含まれる正レンズの材料の屈折率をＮ２ｐとしたとき、
１．９０＜Ｎ２ｐ＜２．２０
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載のズームレンズ。
【請求項３】
前記第１部分レンズ群は、負レンズと正レンズを有することを特徴とする請求項１または２に記載のズームレンズ。
【請求項４】
前記第２部分レンズ群の焦点距離をｆ２２としたとき、
１．００＜ｆ２２／ｆ２＜１０．００
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項５】
前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１としたとき、
５．００＜ｆ１／ｆｗ＜３０．０
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項６】
前記第３レンズ群の焦点距離をｆ３としたとき、
１．５０＜ｆ３／ｆｗ＜８．００
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項７】
前記第１部分レンズ群の最も像側のレンズ面と、前記第２部分レンズ群の最も物体側のレンズ面の光軸上の間隔をＤ２としたとき、
０．１０＜Ｄ２／｜ｆ２｜＜０．５０
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項８】
前記第２部分レンズ群に含まれる正レンズの材料のアッベ数をνｄ２２ｐ、前記第２部分レンズ群に含まれる負レンズの材料のアッベ数をνｄ２２ｎとしたとき、
５．００＜νｄ２２ｎ−νｄ２２ｐ＜２５．００
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項９】
前記第２部分レンズ群を、光軸上または光軸近傍の１点を回動中心として回動させることにより結像位置を移動させることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１０】
前記第２部分レンズ群は、負レンズと該負レンズに対して像側に配置された正レンズから成り、該負レンズと該正レンズは、空気間隔を隔てて配置されることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１１】
前記第２部分レンズ群に含まれる負レンズの像側のレンズ面の曲率半径をＲ２２、前記第２部分レンズ群に含まれる正レンズの物体側のレンズ面の曲率半径をＲ２３としたとき、
−２００．００＜（Ｒ２２＋Ｒ２３）／（Ｒ２２−Ｒ２３）＜１０．００
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１０に記載のズームレンズ。
【請求項１２】
前記第２部分レンズ群に含まれる負レンズの物体側のレンズ面の曲率半径をＲ２１、前記第２部分レンズ群に含まれる正レンズの像側のレンズ面の曲率半径をＲ２４としたとき、
−１０．００＜（Ｒ２１＋Ｒ２４）／（Ｒ２１−Ｒ２４）＜１０．００
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１０または１１に記載のズームレンズ。
【請求項１３】
前記後群は、正の屈折力の第４レンズ群から成ることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１４】
前記後群は、負の屈折力の第４レンズ群と正の屈折力の第５レンズ群から成ることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載のズームレンズと、該ズームレンズによって形成される像を受光する撮像素子を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項１６】
前記第２部分レンズ群を、光軸上または光軸近傍の１点を回動中心として回動させることにより結像位置を移動させる請求項１５に記載の撮像装置であって、
前記撮像素子の有効撮像面の対角長をＬ、前記第２部分レンズ群の最も物体側のレンズ面から前記回動中心までの望遠端における間隔をＴＤとしたとき、
３．００＜｜ＴＤ｜／Ｌ＜３０．００
なる条件式を満足することを特徴とする撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のズームレンズは、物体側より像側へ順に配置された、正の屈折力の第１レンズ群、負の屈折力の第２レンズ群、正の屈折力の第３レンズ群、１以上のレンズ群を含む後群を有し、ズーミングに際して隣り合うレンズ群の間隔が変化するズームレンズにおいて、前記第２レンズ群は、物体側より像側へ順に配置された、負の屈折力の第１部分レンズ群と、光軸に対して垂直方向の成分を持つ方向に移動することにより結像位置を移動させる第２部分レンズ群から成り、前記第２部分レンズ群は、正レンズと負レンズを有し、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２、広角端における全系の焦点距離をｆｗ、前記第２部分レンズ群に含まれる負レンズの材料の屈折率をＮ２ｎとしたとき、
−３．０＜ｆ２／ｆｗ＜−１．０
１．８４＜Ｎ２ｎ＜２．２０
なる条件式を満足することを特徴とするズームレンズ。
【手続補正書】
【提出日】平成29年6月6日(2017.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
懸濁物質を除去処理後の処理水を冷却水として使用する系の懸濁物質を含む鉄鋼系廃水の処理方法において、
金属粉、水砕スラグ、石炭粉又はコークス粉の少なくともいずれかを含む粒径が５０μｍ以上の粗大な懸濁物質と、粒径が５０μｍに満たない微細な懸濁物質とが併存し、且つ、流速が０．５ｍ／秒以上で、乱流状態の水の中に、少なくとも１種の前記懸濁物質の凝集・沈降剤が共存する状態を生じさせ、
前記粗大な懸濁物質と前記微細な懸濁物質とを同一の処理で凝集沈降させ、これらの懸濁物質を同時に除去し、
更に、少なくとも、懸濁物質を除去した後の処理水のｐＨが８．３以下となるようにすることで、該処理水を冷却水として循環使用した系内における溶存しているカルシウムによるスケール析出を抑制するように構成したことを特徴とする鉄鋼系廃水の処理方法。
【請求項２】
前記鉄鋼系廃水が、前記粗大な懸濁物質と前記微細な懸濁物質とを同一の処理で凝集沈降させてこれらの懸濁物を除去した後に、処理水を、直接系冷却循環水として使用する系のものであり、
前記凝集・沈降剤を、粗大な懸濁物質と微細な懸濁物質とが併存している廃水が発生する地点から、該廃水を浄化するための水処理設備の入口付近に至るまでのいずれかの地点で廃水に添加し、且つ、前記直接系冷却循環水はスケール分散剤を含まない請求項１に記載の鉄鋼系廃水の処理方法。
【請求項３】
前記凝集・沈降剤の添加量が０．１ｍｇ／Ｌ以上であり、且つ、前記ｐＨが、７．０以上８．３以下である請求項１又は２に記載の鉄鋼系廃水の処理方法。
【請求項４】
前記ｐＨが、７．５以上８．１以下である請求項１〜３のいずれか１項に記載の鉄鋼系廃水の処理方法。
【請求項５】
前記粗大な懸濁物質と、前記微細な懸濁物質との物質の併存状態が、微細な懸濁物質濃度に対する粗大な懸濁物質濃度の比（粗／微）が、その質量比で０．５以上である請求項１〜４のいずれか１項に記載の鉄鋼系廃水の処理方法。
【請求項６】
前記乱流状態の水のレイノズル数が、８０００以上である請求項１〜５のいずれか１項に記載の廃水中の鉄鋼系廃水の処理方法。
【請求項７】
前記凝集・沈降剤が、下記一般式（１）、下記一般式（２）で表されるモノマーのいずれか一方又は両方を必須成分として５モル％以上含む原料モノマーから誘導されるカチオン性又は両性の共重合体を主成分としてなり、該共重合体の重量平均分子量とｐＨ７におけるカチオンコロイド当量の２乗を乗じた値をＮとした場合に、Ｎ値が５００万〜６０００万である請求項１〜６のいずれか１項に記載の鉄鋼系廃水の処理方法。
2015231597.tif 000001
2015231597.tif 000002
（上記式中の、Ｒ1、Ｒ2は、それぞれ独立にＣＨ3又はＣ2Ｈ5を表し、Ｒ3は、Ｈ、ＣＨ3又はＣ2Ｈ5のいずれかを表す。Ｘ-は、アニオン性対イオンを表す。）
【請求項８】
前記凝集・沈降剤が、さらに、重量平均分子量が２００万〜１３００万で、且つ、ｐＨ７におけるカチオンコロイド当量が０．７〜４．１である請求項７に記載の鉄鋼系廃水の処理方法。
【手続補正書】
【提出日】平成29年6月2日(2017.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版と基板とを走査しながら前記基板に露光を行う露光方法であって、
前記原版を保持する原版ステージに対する前記原版の位置ずれ量を、前記原版ステージの走査駆動回数に基づいて推定する推定工程と、
前記推定された位置ずれ量に基づいて、前記原版ステージおよび前記基板を保持する基板ステージの少なくともいずれかの走査駆動を補正しながら前記露光を行う露光工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。
【請求項２】
前記走査駆動回数は、前記露光で使用する原版を前記原版ステージに搭載した後に前記原版ステージを走査駆動した走査駆動回数を含むことを特徴とする請求項１に記載の露光方法。
【請求項３】
前記走査駆動回数は、前記露光を行う前に前記原版ステージを走査駆動した走査駆動回数を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の露光方法。
【請求項４】
前記推定工程で、前記原版の位置ずれ量と前記走査駆動回数との関係を示す情報と前記走査駆動回数とに基づいて、前記位置ずれ量を推定することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項５】
前記原版ステージにその走査駆動範囲を往復させる走査駆動を行い、該走査駆動によって発生した前記位置ずれ量を測定し、前記情報を生成する生成工程を含むことを特徴とする請求項４に記載の露光方法。
【請求項６】
前記生成工程で、前記露光を規定するレシピ単位に前記情報を生成し、前記推定工程で、前記露光が従うレシピに対応する前記情報に基づいて前記位置ずれ量を推定することを特徴とする請求項５に記載の露光方法。
【請求項７】
前記生成工程で、原版単位に前記情報を生成し、前記推定工程で、前記露光で使用する原版に対応する前記情報に基づいて前記位置ずれ量を推定することを特徴とする請求項５または６に記載の露光方法。
【請求項８】
前記生成工程の走査駆動における前記原版ステージの加速度と前記露光工程の走査駆動における前記原版ステージの加速度とは等しいことを特徴とする請求項５ないし７のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項９】
前記露光に使用する原版を前記原版ステージに初めて搭載した場合の前記生成工程における前記原版ステージの走査駆動回数は、前記原版を前記原版ステージに以前に搭載したことがある場合の前記生成工程における前記原版ステージの走査駆動回数よりも多いことを特徴とする請求項５ないし８のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項１０】
前記情報は、前記原版の位置ずれ量と前記走査駆動回数との関係を示す関数を特定する係数であることを特徴とする請求項４ないし９のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項１１】
前記情報は、前記原版の位置ずれ量と前記走査駆動回数との関係を示すテーブルであることを特徴とする請求項４ないし９のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項１２】
前記露光工程を行った後で、前記原版の前記原版ステージに対する位置ずれ量を再測定する再測定工程をさらに含み、
前記再測定工程で、該再測定された位置ずれ量と前記推定工程で推定された位置ずれ量との差が許容範囲を超える場合には、前記再測定された位置ずれ量を用いて前記情報を更新し、前記差が前記許容範囲に収まる場合には、前記情報を更新しないことを特徴とする請求項４ないし１１のいずれか１項に記載の露光方法。
【請求項１３】
前記露光に使用する原版を複数のグループにグループ分けし、前記複数のグループのそれぞれに対応して基準原版を設定し、
前記生成工程で、基準原版毎に前記情報を生成し、前記推定工程で、前記露光で使用する原版が属するグループに対応する基準原版の前記情報に基づいて前記位置ずれ量を推定することを特徴とする請求項６に記載の露光方法。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の露光方法を用いて基板に露光を行う工程と、
前記露光が行われた前記基板を現像する工程と、
を含み、前記現像された前記基板を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１５】
原版と基板とを走査しながら前記基板に露光を行う露光装置であって、前記原版を保持する原版ステージと、前記基板を保持する基板ステージと、前記露光を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記原版ステージに対する前記原版の位置ずれ量を、前記原版ステージの走査駆動回数に基づいて推定し、
前記推定された位置ずれ量に基づいて、前記原版ステージおよび前記基板ステージの少なくともいずれかの走査駆動を補正しながら前記露光を行う
ことを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
前記制御部は、前記原版の位置ずれ量と前記走査駆動回数との関係を示す情報と前記走査駆動回数とに基づいて、前記位置ずれ量を推定することを特徴とする請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１７】
前記情報を格納する格納部をさらに備え、
前記制御部は、前記格納部から前記情報を取得することを特徴とする請求項１６に記載の露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の一つの側面は、原版と基板とを走査しながら前記基板に露光を行う露光方法であって、前記原版を保持する原版ステージに対する前記原版の位置ずれ量を、前記原版ステージの走査駆動回数に基づいて推定する推定工程と、前記推定された位置ずれ量に基づいて、前記原版ステージおよび前記基板を保持する基板ステージの少なくともいずれかの走査駆動を補正しながら前記露光を行う露光工程と、を含むことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月31日(2017.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リソグラフィ装置であって、
２列をなして配列され、それぞれが原版によるパターン形成を基板に行う複数の形成部と、
前記複数の形成部の配列がなす前記２列の間に該２列に沿って設けられ、前記複数の形成部のそれぞれに基板を搬送するための基板搬送路と、を有し、
それぞれが前記２列に沿って該２列のうちの対応する１列に関して前記基板搬送路とは反対側に設けられた原版搬送路の２つの部分から前記複数の形成部のそれぞれに原版が搬送される、
ことを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項２】
前記原版搬送路は、前記２つの部分を連結する連結部分を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３】
前記原版搬送路は、前記２つの部分の両端部のそれぞれに前記連結部分を含む、ことを特徴とする請求項２に記載のリソグラフィ装置。
【請求項４】
前記基板搬送路は、複数の部分に分割され、該複数の部分のそれぞれに基板収容庫が接続されている、ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項５】
前記２つの部分のうちの一方に原版収容庫が接続されている、ことを特徴とする請求項２に記載のリソグラフィ装置。
【請求項６】
前記基板搬送路と、前記複数の形成部とをそれぞれが含む複数のユニットが、前記基板搬送路の延びる方向に配列されている、ことを特徴とする請求項１ないし請求項５のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項７】
前記基板搬送路と、前記複数の形成部とをそれぞれが含む複数のユニットが、前記基板搬送路の延びる方向とは交差する方向に配列されている、ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項８】
前記複数の形成部のうちの少なくとも１つは、前記原版としての型によりインプリント材のパターンを前記基板の上に形成する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項７のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項９】
前記複数の形成部のうちの少なくとも１つは、前記原版を介して前記基板を露光する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項７のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１０】
前記複数の形成部のそれぞれは、前記原版搬送路から搬送された、前記原版を収容する原版ケースが位置する台を有する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項９のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記工程でパターンを形成された前記基板の加工を行う工程と、
を含み、前記加工を行われた前記基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一側面に係るリソグラフィ装置は、２列をなして配列され、それぞれが原版によるパターン形成を基板に行う複数の形成部と、前記複数の形成部の配列がなす前記２列の間に該２列に沿って設けられ、前記複数の形成部のそれぞれに基板を搬送するための基板搬送路と、を有し、それぞれが前記２列に沿って該２列のうちの対応する１列に関して前記基板搬送路とは反対側に設けられた原版搬送路の２つの部分から前記複数の形成部のそれぞれに原版が搬送される、ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成29年6月5日(2017.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブルに保持された基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
前記テーブルを駆動するモータと、
前記モータの動作モードとして通常モード又は前記モータの消費電力を前記通常モードよりも小さくするための省電力モードを設定する設定部と、
前記省電力モードが設定された場合、前記テーブルの駆動による前記モータの発熱量が前記通常モードよりも小さくなり、且つ、前記リソグラフィ装置が単位時間当たりに処理する基板の数が予め定められた範囲に収まるように前記モータを駆動させるための駆動プロファイルに従って前記モータを制御する制御部と、
を有することを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項２】
前記モータを温調する温調部を更に有し、
前記制御部は、前記省電力モードが設定された場合、前記駆動プロファイルに従って制御する前記モータの発熱量の変化に基づいて前記温調部による前記モータの温調量を変更することを特徴とする請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３】
前記設定部は、
ユーザによる前記通常モード又は前記省電力モードの指定を受け付ける入力部を含み、
前記ユーザの指定に応じて前記通常モード又は前記省電力モードを設定することを特徴とする請求項１又は２に記載のリソグラフィ装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記省電力モードが設定された場合、前記テーブルの加速度が前記通常モードよりも小さくなるように前記モータを駆動させるための前記駆動プロファイルに従って前記モータを制御することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記省電力モードが設定された場合、前記テーブルの最高速度が前記通常モードよりも遅くなるように前記モータを駆動させるための前記駆動プロファイルに従って前記モータを制御することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記省電力モードが設定された場合、前記テーブルの加速時間が前記通常モードよりも短くなるように前記モータを駆動させるための前記駆動プロファイルに従って前記モータを制御することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記省電力モードが設定された場合、前記テーブルの駆動による前記モータの発熱量が最小となるように前記モータを駆動させるための前記駆動プロファイルに従って前記モータを制御することを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項８】
前記温調部は、
媒体を冷却する冷却器と、
前記冷却器によって冷却された前記媒体を加熱する加熱器と、を含み、
前記加熱器で加熱された前記媒体によって前記モータを温調することを特徴とする請求項２に記載のリソグラフィ装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記省電力モードが設定された場合、前記冷却器による前記媒体の冷却量及び前記加熱器による前記媒体の加熱量を前記通常モードよりも小さくすることを特徴とする請求項８に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記テーブルの駆動による前記モータの発熱量と前記加熱器による前記媒体の加熱量との総和が前記冷却器による前記媒体の冷却量と等しくなるように、前記冷却器による前記媒体の冷却量及び前記加熱器による前記媒体の加熱量を前記通常モードよりも小さくすることを特徴とする請求項９に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１１】
前記モータの動作期間は、前記テーブルを駆動させている稼働期間と、前記テーブルの駆動を停止させている待機期間が所定時間以下である第１待機期間と、前記待機期間が前記所定時間よりも長い第２待機期間とを含み、
前記制御部は、前記省電力モードが設定された場合、前記第１待機期間では前記冷却器による前記媒体の冷却量及び前記加熱器による前記媒体の加熱量を前記稼働期間と同一とし、前記第２待機期間では前記冷却器による前記媒体の冷却量及び前記加熱器による前記媒体の加熱量を前記稼働期間よりも小さくすることを特徴とする請求項８乃至１０のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１２】
前記駆動プロファイルは、前記テーブルが前記パターンを形成する時に停止する目標位置へ前記テーブルを駆動する時の駆動プロファイルであることを特徴とする請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１３】
前記予め定められた範囲は、前記リソグラフィ装置が単位時間当たりに処理すべき基板の数に基づいて定められた範囲であることを特徴とする請求項１乃至１２のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を含み、処理された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのリソグラフィ装置は、テーブルに保持された基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、前記テーブルを駆動するモータと、前記モータの動作モードとして通常モード又は前記モータの消費電力を前記通常モードよりも小さくするための省電力モードを設定する設定部と、前記省電力モードが設定された場合、前記テーブルの駆動による前記モータの発熱量が前記通常モードよりも小さくなり、且つ、前記リソグラフィ装置が単位時間当たりに処理する基板の数が予め定められた範囲に収まるように前記モータを駆動させるための駆動プロファイルに従って前記モータを制御する制御部と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月15日(2016.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
下カップ体５１の底部には、排出口５４が形成されている。この排出口５４を介して、捕集された処理液及び回収カップ５０内の雰囲気が回収カップ５０から排出される。排出口５４には排出管５５が接続され、排出管５５は減圧雰囲気の工場排気系（図示せず）に接続されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を水平姿勢で保持して鉛直軸線周りに回転させる基板保持回転機構と、
前記基板保持回転機構に保持された基板の下面の中央部の下方に配置されるとともに、前記基板の下面に向けて処理液を吐出する液体吐出口が設けられた頭部を有する液体吐出部と、
隙間を空けて前記液体吐出部の周囲を囲むとともに、上面に開口が設けられた包囲部材と、
を備え、
前記開口において前記液体吐出部と前記包囲部材との間に、乾燥用気体を、基板の下面に向けて、かつ、斜め上方外向きに吐出する気体吐出口が形成され、
前記液体吐出部の頭部は、前記気体吐出口よりも外側に張り出して前記気体吐出口を上方から覆っている
ことを特徴とする基板液処理装置。
【請求項２】
前記包囲部材の内周面の上端縁により前記包囲部材の前記開口が画定され、
前記上端縁と同一の高さであって、前記液体吐出部の頭部と、前記包囲部材の内周面の上端縁との間に前記気体吐出口が形成され、
前記頭部の外周端縁は、前記気体吐出口よりも上方かつ半径方向外側に位置している
請求項１記載の基板液処理装置。
【請求項３】
前記基板保持回転機構は、基板の下方に位置して基板と対面する板状体と、前記板状体の周縁部に設けられた保持部材と、前記板状体の中央部から鉛直方向下方に延びる中空の回転軸と、前記回転軸を回転させる回転駆動部とを有しており、
前記液体吐出部は、前記頭部から下方に延びるとともに前記中空の回転軸の内部に配置された軸部を有しており、
前記板状体の内周縁部または前記回転軸の上部が前記包囲部材である、
請求項１または２記載の基板液処理装置。
【請求項４】
前記液体吐出部の頭部は、半径方向外側にゆくに従って高くなるように傾斜する斜め下方を向いた周面を有し、前記包囲部材の内周面は、半径方向外側にゆくに従って高くなるように傾斜しており、前記頭部の周面と前記包囲部材の内周面の間に形成される空間の幅Ａは、前記気体吐出口に近づくに従って小さくなっている、請求項１から３のうちのいずれか一項に記載の基板液処理装置。
【請求項５】
前記気体吐出口は、基板の中心部から半径方向外側に離れた所定領域の近傍に向けて乾燥用気体を吐出するように形成されており、前記所定領域とは、前記気体吐出口から乾燥用気体を吐出させないで、下面が濡れた基板を前記基板保持回転機構により回転させることにより前記基板の下面を乾燥させた場合に、最も乾燥が遅延する領域である、請求項１から４のうちのいずれか一項に記載の基板液処理装置。
【請求項６】
断面で見た前記液体吐出部の頭部の外周端縁付近の輪郭が湾曲している、請求項２記載の基板液処理装置。
【請求項７】
前記基板保持回転機構に保持された基板の回転数を上げるほど、前記前記気体吐出口からの乾燥用気体の吐出流量を大きくする、請求項６記載の基板液処理装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2015231030.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月18日(2017.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力信号に基づいて互いに異なる位相｛θ1，（θ1＋ｐπ／３），（θ1＋２ｐπ／３）｝（ｐは、０と３の整数倍を除く整数）を有する第１信号、第２信号及び第３信号を生成する信号生成手段と、
前記第１信号、前記第２信号及び前記第３信号をそれぞれ同一の条件で増幅して、第１増幅信号、第２増幅信号及び第３増幅信号を生成する増幅手段と、
前記第１増幅信号、前記第２増幅信号及び前記第３増幅信号の位相を変化させて、それぞれ｛（θ2＋２ｐπ／３），（θ2＋ｐπ／３），θ2｝の位相を有する第１移相信号、第２移相信号及び第３移相信号を生成する移相手段と、
前記第１移相信号、前記第２移相信号及び前記第３移相信号を合成する合成手段と、
を備え、
前記信号生成手段は、
前記入力信号の位相を変化させ、相対的にｑπ／２（ｑは、０を除く整数）だけ位相が異なる２つの信号を出力する第１移相回路と、
前記第１移相回路が出力した２つの信号のうちの１つの信号の位相を変化させ、相対的にｑπ／２（ｑは、０を除く整数）だけ位相が異なる２つの信号を出力する第２移相回路と、
前記第２移相回路が出力した信号を遅延させることにより、前記第２信号及び前記第３信号を生成する遅延回路と、
を有する電力増幅装置。
【請求項２】
前記遅延回路は、前記第１移相回路が出力した信号に基づく信号を第１遅延時間だけ遅延させて前記第２信号を生成し、前記第１移相回路が出力した信号の位相をｑπ／２（ｑは、０を除く整数）だけ変化させた信号を、前記第１遅延時間と異なる第２遅延時間だけ遅延させて前記第３信号を生成する、
請求項１に記載の電力増幅装置。
【請求項３】
前記遅延回路は、前記第１移相回路が出力した信号の位相を相対的にπ／６だけ変化させた前記第２信号と、前記第１移相回路が出力した信号の位相を相対的に５π／６だけ変化させた前記第３信号とを出力する、
請求項１又は２に記載の電力増幅装置。
【請求項４】
前記第１移相回路は、前記入力信号を電力分配比１：２で分配することにより、前記第１信号と、前記入力信号の位相を相対的にｑπ／２（ｑは、０を除く整数）だけ変化させた信号とを出力し、
前記第２移相回路は、前記第１移相回路が出力した信号を電力分配比１：１で分配することにより、前記第２信号及び前記第３信号を出力する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の電力増幅装置。
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月26日(2017.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属と、
１対の窓部と、
前記１対の窓部の間に配置されていて、気体状の前記金属が封入されている内部空間を前記１対の窓部とともに構成している胴体部と、
前記内部空間の一部を構成または前記内部空間に連通している空間であって、液体状または固体状の前記金属が配置されている金属溜り部と、
を備え、
前記金属溜り部を構成している前記空間と外部との間の壁部は、前記窓部よりも厚さが薄い薄肉部を有する、原子セル。
【請求項２】
前記窓部と、凹部と、を含み、前記胴体部に積層されている基板を備え、
前記薄肉部は、前記基板の前記凹部である、請求項１に記載の原子セル。
【請求項３】
前記凹部は、前記基板の厚さ方向から見たときに前記金属溜り部に重なる位置に配置されている、請求項２に記載の原子セル。
【請求項４】
前記凹部は、前記基板を貫通している、請求項３に記載の原子セル。
【請求項５】
前記胴体部はシリコンを含む、請求項２ないし４のいずれか１項に記載の原子セル。
【請求項６】
前記基板はガラスを含む、請求項５に記載の原子セル。
【請求項７】
前記胴体部と前記基板とが直接接合または陽極接合されている請求項２ないし６のいずれか１項に記載の原子セル。
【請求項８】
前記胴体部は凹部を含み、
前記薄肉部は、前記胴体部の凹部である、請求項１に記載の原子セル。
【請求項９】
前記薄肉部を冷却する冷却手段を備える請求項１ないし８のいずれか１項に記載の原子セル。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の原子セルを備えることを特徴とする量子干渉装置。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の原子セルを備えることを特徴とする原子発振器。
【請求項１２】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の原子セルを備えることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】原子セル、量子干渉装置、原子発振器、および電子機器
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
より具体的に説明すると、胴体部２１は、上下方向を厚さ方向とする板状をなしており、この胴体部２１には、胴体部２１の厚さ方向（上下方向）に貫通している円柱状の貫通孔２１１と、胴体部２１の下面に開口している円柱状の凹部２１２と、胴体部２１の下面に開口していて貫通孔２１１と凹部２１２とを連通させている溝２１３（凹部）と、凹部２１２に対して貫通孔２１１とは反対側において胴体部２１の厚さ方向に貫通している貫通孔２１４と、が形成されている。