【手続補正書】
【提出日】平成28年11月29日(2016.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定フレームに弾性支持された可動部の該固定フレームに対する傾斜角度を変化させる傾斜動作を繰り返し行う傾斜動作装置において、
前記可動部に前記傾斜動作を繰り返し行わせるための駆動力を付与する駆動力付与手段と、
前記駆動力付与手段を駆動させる駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、
前記可動部の傾斜角度を示す傾斜角度情報を検知する傾斜角度情報検知手段と、
前記可動部を傾斜動作開始位置から傾斜動作終了位置まで傾斜動作させる１回の傾斜動作中に前記傾斜角度情報検知手段が検知する傾斜角度情報に係る検知傾斜角度が目標傾斜角度情報に係る目標傾斜角度に対して上下に時間変化する変化量が小さくなるように、前記駆動信号生成手段が生成する駆動信号を補正する補正処理を実行する補正処理手段とを有することを特徴とする傾斜動作装置。
【請求項２】
請求項１の傾斜動作装置において、
前記駆動力付与手段は、少なくとも２つの駆動部を用いて前記可動部に前記傾斜動作を繰り返し行わせるための駆動力を付与するものであり、
前記駆動信号生成手段は、前記少なくとも２つの駆動部にそれぞれ独立した駆動信号を生成するものであり、
前記補正処理手段が行う補正処理は、前記駆動信号生成手段が生成する駆動信号間の位相差を変更する処理を含むことを特徴とする傾斜動作装置。
【請求項３】
請求項１の傾斜動作装置において、
前記駆動力付与手段は、少なくとも２つの駆動部を用いて前記可動部に前記傾斜動作を繰り返し行わせるための駆動力を付与するものであり、
前記駆動信号生成手段は、前記少なくとも２つの駆動部にそれぞれ独立した駆動信号を生成するものであり、
前記補正処理手段が行う補正処理は、前記駆動信号生成手段が生成する駆動信号間における最大値又は最小値の差を変更する処理を含むことを特徴とする傾斜動作装置。
【請求項４】
請求項３の傾斜動作装置において、
前記補正処理手段が行う補正処理は、前記駆動信号生成手段が生成する駆動信号間の位相差を変更する処理を含むことを特徴とする傾斜動作装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の傾斜動作装置において、
前記傾斜動作は、前記可動部を前記固定フレームに対して傾斜動作開始位置から傾斜動作終了位置まで一定速度で傾斜動作させるものであり、
前記補正処理手段は、前記傾斜角度情報検知手段が検知した傾斜角度情報に係る検知傾斜角度の時間変化を直線近似する直線近似処理を行い、該直線近似処理により得られる近似直線を目標傾斜角度情報として用いて、該検知傾斜角度と該近似直線との差分値が小さくなるように、前記補正処理を実行することを特徴とする傾斜動作装置。
【請求項６】
請求項５の傾斜動作装置において、
前記補正処理手段は、前記検知傾斜角度が前記近似直線に対して上下にずれる時間変化を示すときのずれ量が規定量を超えているか否かを判断し、規定量を超えていると判断したときには前記補正処理を実行し、規定量以下であると判断したときには前記補正処理を実行しないことを特徴とする傾斜動作装置。
【請求項７】
請求項５又は６の傾斜動作装置において、
前記駆動信号生成手段が前記可動部を傾斜動作開始位置から傾斜動作終了位置まで傾斜動作させるまでの間に、前記傾斜動作の方向とは異なる別の傾斜方向へ該可動部を前記固定フレームに対して傾斜させる別の傾斜動作を複数回行わせる別方向傾斜手段を有することを特徴とする傾斜動作装置。
【請求項８】
光出力手段から出力される光を走査する走査手段を有する光走査装置において、
前記走査手段は、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の傾斜動作装置により前記可動部に前記傾斜動作を繰り返し行わせることにより、該可動部に設けられた光学部材によって前記光出力手段から出力される光を走査することを特徴とする光走査装置。
【請求項９】
画像情報に基づく画像走査光を出力する画像走査光出力手段と、
前記画像走査光出力手段から出力される画像走査光を二次元走査する走査手段とを有する画像表示装置において、
前記走査手段は、請求項７の傾斜動作装置を用い、前記別方向傾斜手段により前記可動部を画像水平方向に対応する方向へ傾斜させるとともに、画像垂直方向に対応する方向へ該可動部に前記傾斜動作を行わせることにより、該可動部に設けられた光学部材によって前記画像走査光を二次元走査することを特徴とする画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明は、固定フレームに弾性支持された可動部の該固定フレームに対する傾斜角度を変化させる傾斜動作を繰り返し行う傾斜動作装置において、前記可動部に前記傾斜動作を繰り返し行わせるための駆動力を付与する駆動力付与手段と、前記駆動力付与手段を駆動させる駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、前記可動部の傾斜角度を示す傾斜角度情報を検知する傾斜角度情報検知手段と、可動部が傾斜動作開始位置から傾斜動作終了位置まで傾斜動作する１回の傾斜動作中に前記傾斜角度情報検知手段が検知する傾斜角度情報に係る検知傾斜角度が目標傾斜角度情報に係る目標傾斜角度に対して上下に時間変化する変化量が小さくなるように、前記駆動信号生成手段が生成する駆動信号を補正する補正処理を実行する補正処理手段とを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
（態様Ａ）
固定フレーム１１に弾性支持された可動部１７の該固定フレームに対する傾斜角度を変化させる傾斜動作を繰り返し行うアクチュエータ駆動システム等の傾斜動作装置において、前記可動部に前記傾斜動作を繰り返し行わせるための駆動力を付与する駆動用圧電素子２０〜２３等の駆動力付与手段と、前記駆動力付与手段を駆動させる駆動信号Ｖａ，Ｖｂを生成する演算部１０３、記憶部１０４、Ｄ／Ａコンバータ１０５、ドライブアンプ１０６等の駆動信号生成手段と、前記可動部の傾斜角度を示す傾斜角度情報を検知する検出用圧電素子３０〜３３、センスアンプ１０１、検知用Ａ／Ｄコンバータ１０２等の傾斜角度情報検知手段と、前記可動部を傾斜動作開始位置から傾斜動作終了位置まで傾斜動作させる１回の傾斜動作中に前記傾斜角度情報検知手段が検知する検知信号等の傾斜角度情報に係る検知傾斜角度が目標傾斜角度情報に係る目標傾斜角度に対して上下に時間変化する変化量が小さくなるように、前記駆動信号生成手段が生成する駆動信号を補正する補正処理を実行する演算部１０３等の補正処理手段とを有することを特徴とする。
これによれば、前記補正処理によって駆動信号を補正することで、可動部の傾斜角度と目標角度とのずれを小さくして、可動部の傾斜角度が望ましい傾斜角度に対して上下に時間変化することを抑制でき、適切な傾斜動作を実現することが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
（態様Ｅ）
前記態様Ａ〜Ｄのいずれかの態様において、前記傾斜動作は、前記可動部を前記固定フレームに対して傾斜動作開始位置（Ｔ０又はｔ０）から傾斜動作終了位置（Ｔ４又はｔ１０）まで一定速度で傾斜動作させるものであり、前記補正処理手段は、前記傾斜角度情報検知手段が検知した検出信号等の傾斜角度情報に係る検出値ｙ０〜ｙ１０等の検知傾斜角度の時間変化を直線近似する直線近似処理を行い、該直線近似処理により得られる近似直線を目標傾斜角度情報として用いて、該検知傾斜角度と該近似直線との差分値（差分絶対値Δｙ２〜Δｙ８）が小さくなるように、前記補正処理を実行することを特徴とする。
これによれば、駆動信号Ｖａ，Ｖｂを調整する他の調整処理と併用することが容易になる。