【手続補正書】
【提出日】平成29年4月12日(2017.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［１］  本発明に係るオゾン発生器は、２つの電極が所定のギャップ長を隔てて配置された１以上の電極対と、前記２つの電極間に交流電圧を印加する電源とを有し、前記電極対の少なくとも前記２つの電極間に原料ガスを通過させ、前記２つの電極間に放電を発生させることで、オゾンを発生させるオゾン発生器において、前記２つの電極で挟まれた空間が放電空間であり、前記放電空間を通過する前記原料ガスの流速をＶ（ｍ／ｓ）、前記交流電圧の周波数をｆ（Ｈｚ）、前記放電空間のうち、前記原料ガスの流れの主方向に沿った長さをＬ（ｍ）としたとき、
０．５＜Ｖ／ｆ／Ｌ
を満足することを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［２］  本発明において、１＜Ｖ／ｆ／Ｌを満足することが好ましい。これにより、放電によって発生したオゾンは、再び放電にさらされ難くなる度合いが高くなる。そのため、Ｏ原子との反応による分解反応や、水分子やＯＨとの反応による分解反応が起きず、オゾン発生の低減をさらに少なくすることが可能となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［３］  本発明において、５０＞Ｖ／ｆ／Ｌを満足することが好ましい。これにより、反応しないまま通過する原料ガスが減少するため、オゾン発生の低減を少なくすることが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
［４］  本発明において、２０＞Ｖ／ｆ／Ｌを満足することが好ましい。これにより、反応しないまま通過する原料ガスがさらに減少するため、オゾン発生の低減をより少なくすることが可能となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
そして、本実施の形態に係るオゾン発生器１０においては、図３に示すように、放電空間２２を通過する原料ガス１２の流速をＶ（ｍ／ｓ）、交流電圧ｖの周波数をｆ（Ｈｚ）、放電空間２２のうち、原料ガス１２の流れの主方向に沿った長さをＬ（ｍ）としたとき、以下の（１）式を満足することが好ましい。
０．５＜Ｖ／ｆ／Ｌ                  ……（１）
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
ここで、Ｖ／ｆ／Ｌは、交流電圧１周期当たりに長さＬの何倍の距離だけ原料ガス１２が移動するかを示す。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、以下の（２）式を満足することで、放電によって発生したオゾンは、（１）式の場合よりも、再び放電にさらされ難くなる度合いが高くなる。そのため、Ｏ原子との反応による分解反応や、水分子やＯＨとの反応による分解反応が起きず、オゾン発生の低減をさらに少なくすることが可能となる。
１＜Ｖ／ｆ／Ｌ                    ……（２）
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
以下の（３）式を満足することで、反応しないまま通過する原料ガス１２が減少するため、オゾン発生の低減を少なくすることが可能となる。
５０＞Ｖ／ｆ／Ｌ                  ……（３）
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また、以下の（４）式を満足することで、反応しないまま通過する原料ガス１２がさらに減少するため、オゾン発生の低減をより少なくすることが可能となる。
２０＞Ｖ／ｆ／Ｌ                  ……（４）
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
［第１実施例］
それぞれ原料ガス１２の流量が異なるサンプル１〜３について、上述したＶ／ｆ／Ｌを変化させたときのオゾン濃度の変化を確認した。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
（評価結果）
サンプル１〜３の評価結果を図８に示す。図８において横軸のＶ／ｆ／Ｌは対数目盛である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
図８から、サンプル１は、０．５＜Ｖ／ｆ／Ｌ≦１０の範囲で、０．７ｐｐｍ以上のオゾン濃度を維持し、１＜Ｖ／ｆ／Ｌ＜１０の範囲で、約０．７２ｐｐｍのオゾン濃度を維持している。また、１０＜Ｖ／ｆ／Ｌ≦３０の範囲で、０．６〜０．７ｐｐｍのオゾン濃度を維持し、３０＜Ｖ／ｆ／Ｌ＜５０の範囲で、０．５５〜０．６ｐｐｍのオゾン濃度を維持している。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
サンプル２は、０．５＜Ｖ／ｆ／Ｌ≦２０の範囲で、０．７ｐｐｍ以上のオゾン濃度を維持し、１＜Ｖ／ｆ／Ｌ＜１０の範囲で、約０．７５ｐｐｍのオゾン濃度を維持している。また、２０＜Ｖ／ｆ／Ｌ＜５０の範囲で、オゾン濃度０．６〜０．７ｐｐｍを維持している。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
サンプル３は、０．５＜Ｖ／ｆ／Ｌ≦１０の範囲で、オゾン濃度０．８ｐｐｍ以上を維持し、１＜Ｖ／ｆ／Ｌ＜１０の範囲で、約０．８２ｐｐｍのオゾン濃度を維持している。また、１０＜Ｖ／ｆ／Ｌ≦３５の範囲で、オゾン濃度０．７〜０．８ｐｐｍを維持し、３５＜Ｖ／ｆ／Ｌ＜５０の範囲で、オゾン濃度０．６５〜０．７ｐｐｍを維持している。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
このことから、０．５＜Ｖ／ｆ／Ｌを満足することが好ましく、１＜Ｖ／ｆ／Ｌを満足することがさらに好ましいことがわかる。これらの条件を満足することで、放電によって発生したオゾンが、再び放電にさらされ難くなっているものと考えられる。つまり、再度の放電によるＯ原子との反応による分解反応や、水分子やＯＨとの反応による分解反応を引き起こすことがなく、オゾン発生の低減が抑制されているものと考えられる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
また、５０＞Ｖ／ｆ／Ｌを満足することが好ましく、２０＞Ｖ／ｆ／Ｌを満足することがさらに好ましいことがわかる。これらの条件を満足することで、反応しないまま通過する原料ガス１２が減少し、その結果、オゾン発生の低減が抑制されているものと考えられる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの電極が所定のギャップ長を隔てて配置された１以上の電極対と、前記２つの電極間に交流電圧を印加する電源とを有し、
前記電極対の少なくとも前記２つの電極間に原料ガスを通過させ、前記２つの電極間に放電を発生させることで、オゾンを発生させるオゾン発生器において、
前記２つの電極で挟まれた空間が放電空間であり、
前記放電空間を通過する前記原料ガスの流速をＶ（ｍ／ｓ）、前記交流電圧の周波数をｆ（Ｈｚ）、前記放電空間のうち、前記原料ガスの流れの主方向に沿った長さをＬ（ｍ）としたとき、
０．５＜Ｖ／ｆ／Ｌ
を満足することを特徴とするオゾン発生器。
【請求項２】
請求項１記載のオゾン発生器において、
１＜Ｖ／ｆ／Ｌ
を満足することを特徴とするオゾン発生器。
【請求項３】
請求項１又は２記載のオゾン発生器において、
５０＞Ｖ／ｆ／Ｌ
を満足することを特徴とするオゾン発生器。
【請求項４】
請求項１又は２記載のオゾン発生器において、
２０＞Ｖ／ｆ／Ｌ
を満足することを特徴とするオゾン発生器。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
前記ギャップ長は０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ未満であることを特徴とするオゾン発生器。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
前記原料ガスが大気であることを特徴とするオゾン発生器。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
前記電極は、中空部を有する筒状の誘電体と、該誘電体の前記中空部内に位置された導体とを有することを特徴とするオゾン発生器。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
複数の前記電極対が並列もしくは直列又は並列及び直列に配置され、
前記原料ガスの流れの主方向を法線方向とする原料ガス通過面に、前記放電空間ではない部分が存在することを特徴とするオゾン発生器。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のオゾン発生器において、
前記放電空間を通過する原料ガスの流量が３８０Ｌ／ｍｉｎ以下であることを特徴とするオゾン発生器。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
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