【手続補正書】
【提出日】平成29年7月14日(2017.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピラー形試料のトモグラフィ分析の方法であって、
（ａ）試料を、トモグラフィ用のピラー形に整形するために、１つまたは複数の荷電粒子ビームを前記試料に導くことと、
（ｂ）前記試料内に第１の基準穴を作製するために、前記試料を第１の位置に配置すること、および前記荷電粒子ビームのうちの１つの荷電粒子ビームをドウェル動作モードで前記試料に導くことと、
（ｃ）前記第１の基準穴を作製した後に、前記試料を、一連のトモグラフィ・データ走査のために配置することと、
（ｄ）前記試料の一連のトモグラフィ・データ走査を実施することと、
（ｅ）前記トモグラフィ・データ走査における前記第１の基準穴の位置に基づいて、前記トモグラフィ・データ走査におけるトモグラフィ・データの正確さを改善することと
を含む方法。
【請求項２】
前記試料内に第２の基準穴を作製するために、前記試料を第２の位置に配置すること、および前記荷電粒子ビームのうちの１つの荷電粒子ビームを前記試料に導くことをさらに含み、前記トモグラフィ・データ走査における前記第１および第２の基準穴の位置に基づいて、前記トモグラフィ・データの正確さを改善する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
トモグラフィ用に前記試料を整形することが、関心領域を含む試料ピラーを前記試料内に形成するために集束イオン・ビームを使用することを含み、前記第１および第２の基準穴が前記関心領域の外側に配置され、前記方法がさらに、前記試料を第３の位置に配置することと、前記荷電粒子ビームのうちの１つの荷電粒子ビームを用いて第３の基準穴を作製することと、前記試料を第４の位置に配置することと、前記荷電粒子ビームのうちの１つの荷電粒子ビームを用いて第４の基準穴を作製することとを含み、前記第３および第４の基準穴が、前記第１および第２の基準穴とは反対側の前記関心領域の外側に配置される、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の基準穴と前記第２の基準穴の向きが直交方向である、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の基準穴の作製が、前記一連のトモグラフィ・データ取得を実施する透過電子顕微鏡内において原位置で実行される、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記第１の基準穴が、傾斜トモグラフィ・ホルダ内に前記試料を保持して形成され、前記一連のトモグラフィ・データ取得が、透過電子顕微鏡によって前記傾斜試料ホルダ内で実行される、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第１の基準穴の作製が、第１の方向に沿って前記試料の少なくとも半分まで達する第１の穴の作製を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記試料内に第２の基準穴を作製するために、前記試料を第２の位置に配置すること、および、前記荷電粒子ビームのうちの１つの荷電粒子ビームを前記試料に導くことをさらに含み、前記第１および第２の穴が、それらの穴のそれぞれの方向に前記試料を完全に貫通する、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の穴と前記第２の穴が共通の平面に沿って形成される、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
トモグラフィ用の前記試料を整形することが、関心領域を含む試料ピラーを前記試料内に形成するために、集束イオン・ビームを使用することを含み、前記一連のトモグラフィ・データ走査が、前記ピラー形の長手方向軸を軸にして前記試料を傾け、透過電子顕微鏡を用いて、前記ピラー形の長手方向軸に対してほぼ直角に走査することによって実施される、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記トモグラフィ・データの正確さを改善することが、データ群の位置合せを、相互相関位置合せだけに依存して改善するために前記第１の基準穴を識別することにより、トモグラフィ再構成を改善することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記トモグラフィ・データの正確さを改善することが、前記一連のトモグラフィ・データ取得のうちの連続するトモグラフィ・データ取得において前記試料を配置する間に、前記第１の基準穴を識別することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記トモグラフィ・データの正確さを改善することが、前記トモグラフィ・データ群の位置合せ中に、前記第１の基準穴を、特徴部分追跡技法のための目標物の特徴部分として識別することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
試料を分析する方法であって、
（ａ）トモグラフィによって調査するための円錐形またはピラー形の試料を提供することと、
（ｂ）第１の基準マークを作製するために、荷電粒子ビーム・システム内において前記試料を第１の位置に配置すること、および、前記試料に荷電粒子ビームを導くことと、
（ｃ）前記第１の基準マークを作製した後に、一連のトモグラフィ・データ走査のために前記試料を顕微鏡内に配置することと、
（ｄ）前記顕微鏡を用いて前記試料の一連のトモグラフィ・データ走査を実施することと、
（ｅ）前記トモグラフィ・データ走査における前記第１の基準マークの位置に基づいて、前記トモグラフィ・データ取得におけるデータの位置合せをすることと
を含む方法。
【請求項１５】
第１の基準マークを作製するために前記試料に荷電粒子ビームを導くことが、前記試料に向かって電子ビームを導くことを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記顕微鏡を用いて前記試料の一連のトモグラフィ・データ走査を実施することが、電子顕微鏡を用いて前記試料の一連のトモグラフィ・データ取得を実施することを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
第２の基準マークを作製するために、前記荷電粒子ビーム・システム内において前記試料を第２の位置に配置すること、および、前記試料に前記荷電粒子ビームを導くことをさらに含み、前記トモグラフィ・データの正確さを改善することが、前記第２の基準マークの位置にも基づく、請求項１４に記載の方法。
【請求項１８】
第１の基準マークを作製するために前記試料に荷電粒子ビームを導くことが、前記試料内に第１の穴を形成するために荷電粒子ビームを導くことを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１９】
前記試料が、関心領域を含む太さ２００ｎｍ未満のピラーであり、前記第１および第２の基準マークが、前記関心領域の第１の端部の近くに提供された穴であり、前記方法がさらに、前記第１の端部の反対側の前記関心領域の第２の端部の近くに、前記試料を貫通する第３および第４の基準穴を形成することを含み、前記トモグラフィ・データの正確さを改善することが、前記第３および第４の基準穴の位置にも基づく、請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
前記試料が円筒ピラー形に形成され、前記一連のトモグラフィ・データ走査が、前記ピラー形の長手方向軸を軸にして前記試料を傾け、前記顕微鏡を用いて、前記ピラー形の長手方向軸に対してほぼ直角に走査することによって実施される、請求項１４に記載の方法。
【請求項２１】
前記トモグラフィ・データからのデータの位置合せをすることが、前記第１の基準マークを、再構成プロセスの位置合せ手順中に特徴部分追跡アルゴリズムを用いて追跡する特徴部分ャとして識別することにより、トモグラフィ再構成を改善することを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２２】
前記試料をより良好に配置するために、前記一連のトモグラフィ・データ取得のうちの連続する基準穴において前記試料を配置する間に、前記第１の基準マークを識別することをさらに含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２３】
トモグラフィを形成する方法であって、
ピラー形試料を提供することと、
前記ピラー形試料を形成した後に、前記ピラー形試料上に基準マークを形成することと、
顕微鏡を用いて前記試料の一連のトモグラフィ・データ走査を実施することと、
前記トモグラフィ・データ走査における前記基準マークの位置に基づいて、前記トモグラフィ・データ走査におけるデータの位置合せをすることと
を含む方法。
【請求項２４】
前記ピラー形試料上に基準マークを形成することが、荷電粒子ビームを使用して前記ピラー内に把手を形成することを含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記トモグラフィ・データ走査におけるデータの位置合せをすることが、所定のレベル内の走査の位置合せをすることを含む、請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
前記トモグラフィ・データ走査におけるデータの位置合せをすることが、異なるレベルからの画像の位置合せをすることを含む、請求項２３に記載の方法。