【誤訳訂正書】
【提出日】平成28年11月29日(2016.11.29)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１００モル％の全繰り返し単位に基づいて、６０〜１００モル％の光酸発生繰り返し単位を含むポリマーであって、前記光酸発生繰り返し単位の各々が、（ａ）光酸発生官能基と、（ｂ）第３級カルボン酸エステル、第２級炭素が少なくとも１つの非置換もしくは置換Ｃ６−４０アリールで置換された第２級カルボン酸エステル、アセタール、ケタール、ラクトン、スルトン、アルファ−フッ素化エステル、ベータ−フッ素化エステル、アルファ，ベータ−フッ素化エステル、ポリアルキレングリコール、アルファ−フッ素化アルコール、及びこれらの組み合わせからなる群から選択される塩基溶解度向上官能基と、を含み、
前記光酸発生繰り返し単位が、下記構造：
【化１】
2016079394.tif 000001
を有し、式中、
Ｒ１が、前記繰り返し単位の各々において独立して、Ｈ、Ｆ、−ＣＮ、Ｃ１−１０アルキル、またはＣ１−１０フルオロアルキルであり、
Ｌ１が、前記繰り返し単位の各々において独立して、−Ｏ−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、非置換Ｃ６−１８アリーレン、または置換Ｃ６−１８アリーレンであり、
ｍが、前記繰り返し単位の各々において独立して、０または１であり、
Ｌ２が、前記繰り返し単位の各々において独立して、非置換もしくは置換Ｃ１−２０ヒドロカルビレンであり、前記置換Ｃ１−２０ヒドロカルビレンが、任意に、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ２、−ＰＲ２−、−Ｃ（Ｏ）−、−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−、−ＯＣ（Ｏ）Ｏ−、−Ｎ（Ｒ２）Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２）−、−ＯＣ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２）−、−Ｎ（Ｒ２）Ｃ（Ｏ）Ｏ−、−Ｓ（Ｏ）−、−Ｓ（Ｏ）２−、−Ｎ（Ｒ２）Ｓ（Ｏ）２−、−Ｓ（Ｏ）２Ｎ（Ｒ２）−、−ＯＳ（Ｏ）２−、または−Ｓ（Ｏ）２Ｏ−である１つ以上の鎖内二価ヘテロ原子含有基を含んでもよく、式中、Ｒ２が、ＨまたはＣ１−１２ヒドロカルビルであり、
Ｚ−が、前記繰り返し単位の各々において独立して、スルホネート（−ＳＯ３−）、スルホンアミデート（スルホンアミドのアニオン、−Ｓ（Ｏ）２Ｎ−Ｒ３（式中、Ｒ３がＨまたは非置換もしくは置換Ｃ１−１２ヒドロカルビルである））、またはスルホンイミデート（スルホンイミドのアニオン、−Ｓ（Ｏ）２Ｎ−Ｓ（Ｏ）２Ｒ３（式中、Ｒ３がＨまたは非置換もしくは置換Ｃ１−１２ヒドロカルビルである）であり、
Ｑ＋が、光酸発生カチオンであり、
Ｌ１、Ｌ２（ｍが１である場合）、及びＱ＋のうちの少なくとも１つが、前記塩基溶解度向上官能基を含む、前記ポリマー。
【請求項２】
Ｒ１が、前記繰り返し単位の各々において独立して、Ｈまたはメチルであり、
Ｌ１が、前記繰り返し単位の各々において、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−であり、
ｍが、前記繰り返し単位の各々において、１であり、
Ｌ２が、前記繰り返し単位の各々において独立して、フッ素置換Ｃ２−２０ヒドロカルビレンであり、前記フッ素置換Ｃ２−２０ヒドロカルビレンが、任意に、−Ｏ−、−ＯＣ（Ｏ）−、または−Ｃ（Ｏ）Ｏ−である１つ以上の鎖内二価ヘテロ原子含有基を含んでもよく、
Ｚ−が、前記繰り返し単位の各々において、スルホネート（−ＳＯ３−）であり、
Ｑ＋が、前記繰り返し単位の各々において独立して、非置換もしくは置換トリ（Ｃ１−６０−ヒドロカルビル）スルホニウムイオン、または非置換もしくは置換ジ（Ｃ１−６０−ヒドロカルビル）ヨードニウムイオンである、請求項１に記載のポリマー。
【請求項３】
１００モル％の全繰り返し単位に基づいて、６０〜１００モル％の光酸発生繰り返し単位を含むポリマーであって、前記光酸発生繰り返し単位の各々が、（ａ）光酸発生官能基と、（ｂ）第３級カルボン酸エステル、第２級炭素が少なくとも１つの非置換もしくは置換Ｃ６−４０アリールで置換された第２級カルボン酸エステル、アセタール、ケタール、ラクトン、スルトン、アルファ−フッ素化エステル、ベータ−フッ素化エステル、アルファ，ベータ−フッ素化エステル、ポリアルキレングリコール、アルファ−フッ素化アルコール、及びこれらの組み合わせからなる群から選択される塩基溶解度向上官能基と、を含み、
前記光酸発生繰り返し単位が、下記構造：
【化２】
2016079394.tif 000002
を有し、式中、
Ｒ１が、前記繰り返し単位の各々において独立して、Ｈ、Ｆ、−ＣＮ、Ｃ１−１０アルキル、またはＣ１−１０フルオロアルキルであり、
Ｌ１が、前記繰り返し単位の各々において独立して、−Ｏ−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、非置換Ｃ６−１８アリーレン、または置換Ｃ６−１８アリーレンであり、
ｍが、前記繰り返し単位の各々において独立して、０または１であり、
Ｌ２が、前記繰り返し単位の各々において独立して、非置換もしくは置換Ｃ１−２０ヒドロカルビレンであり、前記置換Ｃ１−２０ヒドロカルビレンが、任意に、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ２、−ＰＲ２−、−Ｃ（Ｏ）−、−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−、−ＯＣ（Ｏ）Ｏ−、−Ｎ（Ｒ２）Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２）−、−ＯＣ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２）−、−Ｎ（Ｒ２）Ｃ（Ｏ）Ｏ−、−Ｓ（Ｏ）−、−Ｓ（Ｏ）２−、−Ｎ（Ｒ２）Ｓ（Ｏ）２−、−Ｓ（Ｏ）２Ｎ（Ｒ２）−、−ＯＳ（Ｏ）２−、または−Ｓ（Ｏ）２Ｏ−である１つ以上の鎖内二価ヘテロ原子含有基を含んでもよく、式中、Ｒ２が、ＨまたはＣ１−１２ヒドロカルビルであり、
Ｐ＋が、前記繰り返し単位の各々において独立して、非置換もしくは置換トリ（Ｃ１−６０−ヒドロカルビル）スルホニウムイオン、または非置換もしくは置換ジ（Ｃ１−６０−ヒドロカルビル）ヨードニウムイオンを含む一価基であり、
Ｘ−が、一価アニオンであり、
Ｌ１、Ｌ２（ｍが１である場合）、及びＱ＋のうちの少なくとも１つが、前記塩基溶解度向上官能基を含む、前記ポリマー。
【請求項４】
９５〜１００モル％の前記光酸発生繰り返し単位を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項５】
前記光酸発生繰り返し単位が、単一のモノマーに由来する、請求項１〜４のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項６】
前記光酸発生繰り返し単位が、少なくとも２つの異なるモノマーに由来する、請求項１〜４のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項７】
前記塩基溶解度向上官能基が、第３級カルボン酸エステル、アセタール、ケタール、ラクトン、またはこれらの組み合わせである、請求項１〜６のいずれか一項に記載のポリマー。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載のポリマーと、溶媒と、を含む、フォトレジスト組成物。
【請求項９】
電子デバイスを形成する方法であって、
（ａ）基材上に請求項８に記載の前記フォトレジスト組成物の層を適用することと、    （ｂ）前記フォトレジスト組成物層を活性化放射線にパターン様式で露光することと、  （ｃ）前記露光したフォトレジスト組成物層を現像してレジストレリーフ像を提供することと、を含む、前記方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００９】
したがって、一実施形態は、１００モル％の全繰り返し単位に基づいて、５０〜１００モル％の光酸発生繰り返し単位を含むポリマーであり、光酸発生繰り返し単位の各々は、（ａ）光酸発生官能基と、（ｂ）第３級カルボン酸エステル、第２級炭素が少なくとも１つの非置換もしくは置換Ｃ６−４０アリールで置換された第２級カルボン酸エスエル、アセタール、ケタール、ラクトン、スルトン、アルファ−フッ素化エステル、ベータ−フッ素化エステル、アルファ，ベータ−フッ素化エステル、ポリアルキレングリコール、アルファ−フッ素化アルコール、及びこれらの組み合わせからなる群から選択される塩基溶解度向上官能基と、を含む。化学基が非置換または置換と見なされる場合、その「置換」バージョンは、ハロゲン（すなわち、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ）、ヒドロキシル、アミノ、チオール、カルボキシル、カルボキシレート、エステル（アクリレート、メタクリレート、及びラクトンを含む）、アミド、ニトリル、スルフィド、ジスルフィド、ニトロ、Ｃ１−１８アルキル（ノルボルニル及びアダマンチルを含む）、Ｃ１−１８アルケニル（ノルボルネニルを含む）、Ｃ１−１８アルコキシル、Ｃ２−１８アルケノキシル（ビニルエーテルを含む）、Ｃ６−１８アリール、Ｃ６−１８アリールオキシル、Ｃ７−１８アルキルアリール、またはＣ７−１８アルキルアリールオキシル等の少なくとも１つの置換基を含む。「フッ素化」とは、１個以上のフッ素原子をその基に組み込ませることを意味することを理解されたい。例えば、Ｃ１−１８フルオロアルキル基が示される場合、フルオロアルキル基は、１個以上のフッ素原子、例えば、１個のフッ素原子、２個のフッ素原子（例えば、１，１−ジフルオロエチル基に見られるもの）、３個のフッ素原子（例えば、２，２，２−トリフルオロエチル基に見られるもの）、または各自由炭素原子価のフッ素原子（例えば、−ＣＦ３、−Ｃ２Ｆ５、−Ｃ３Ｆ７、もしくは−Ｃ４Ｆ９等のペルフルオロ化基に見られるもの）を含み得る。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
いくつかの実施形態では、光酸発生繰り返し単位は、ポリマー結合アニオン及び非ポリ
マー結合カチオンを含む。例えば、光酸発生繰り返し単位は、構造
【化２】
2016079394.tif 000003
を有し得、式中、Ｒ１は、繰り返し単位の各々において独立して、Ｈ、Ｆ、−ＣＮ、Ｃ１−１０アルキル、またはＣ１−１０フルオロアルキルであり、Ｌ１は、繰り返し単位の各々において独立して、−Ｏ−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、非置換Ｃ６−１８アリーレン、または置換Ｃ６−１８アリーレンであり、ｍは、繰り返し単位の各々において独立して、０または１であり、Ｌ２は、繰り返し単位の各々において独立して、非置換もしくは置換Ｃ１−２０ヒドロカルビレンであり、この置換Ｃ１−２０ヒドロカルビレンが、任意に、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ２、−ＰＲ２−、−Ｃ（Ｏ）−、−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−、−ＯＣ（Ｏ）Ｏ−、−Ｎ（Ｒ２）Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２）−、−ＯＣ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２）−、−Ｎ（Ｒ２）Ｃ（Ｏ）Ｏ−、−Ｓ（Ｏ）−、−Ｓ（Ｏ）２−、−Ｎ（Ｒ２）Ｓ（Ｏ）２−、−Ｓ（Ｏ）２Ｎ（Ｒ２）−、−ＯＳ（Ｏ）２−、または−Ｓ（Ｏ）２Ｏ−等の１つ以上の鎖内二価ヘテロ原子含有基を含んでもよく、式中、Ｒ２は、ＨまたはＣ１−１２ヒドロカルビルであり、Ｚ−は、繰り返し単位の各々において独立して、スルホネート（−ＳＯ３−）、スルホンアミデート（スルホンアミドのアニオン、−Ｓ（Ｏ）２Ｎ−Ｒ３（式中、Ｒ３がＨまたは非置換もしくは置換Ｃ１−１２ヒドロカルビルである））、またはスルホンイミデート（スルホンイミドのアニオン、−Ｓ（Ｏ）２Ｎ−Ｓ（Ｏ）２Ｒ３（式中、Ｒ３がＨまたは非置換もしくは置換Ｃ１−１２ヒドロカルビルである））であり、Ｑ＋は、光酸発生カチオンであり、Ｌ１、Ｌ２（ｍが１である場合）、及びＱ＋のうちの少なくとも１つは、塩基溶解度向上官能基を含む。言い換えると、ｍがゼロである場合、Ｌ１及びＱ＋のうちの少なくとも１つが塩基溶解度向上官能基を含み、ｍが１である場合、Ｌ１、Ｌ２、及びＱ＋のうちの少なくとも１つが塩基溶解度向上官能基を含む。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１７】
いくつかの実施形態では、光酸発生官能基は、ポリマー結合カチオン及び非ポリマー結
合アニオンを含む。例えば、光酸発生繰り返し単位は、構造
【化３】
2016079394.tif 000004
を有し、式中、Ｒ１は、繰り返し単位の各々において独立して、Ｈ、Ｆ、−ＣＮ、Ｃ１−１０アルキル、またはＣ１−１０フルオロアルキルであり、Ｌ１は、繰り返し単位の各々において独立して、−Ｏ−、−Ｃ（Ｏ）−Ｏ−、非置換Ｃ６−１８アリーレン、または置換Ｃ６−１８アリーレンであり、ｍは、繰り返し単位の各々において独立して、０または１であり、Ｌ２は、繰り返し単位の各々において独立して、非置換もしくは置換Ｃ１−２０ヒドロカルビレンであり、この置換Ｃ１−２０ヒドロカルビレンが、任意に、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＲ２、−ＰＲ２−、−Ｃ（Ｏ）−、−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−、−ＯＣ（Ｏ）Ｏ−、−Ｎ（Ｒ２）Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２）−、−ＯＣ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２）−、−Ｎ（Ｒ２）Ｃ（Ｏ）Ｏ−、−Ｓ（Ｏ）−、−Ｓ（Ｏ）２−、−Ｎ（Ｒ２）Ｓ（Ｏ）２−、−Ｓ（Ｏ）２Ｎ（Ｒ２）−、−ＯＳ（Ｏ）２−、または−Ｓ（Ｏ）２Ｏ−である１つ以上の鎖内二価ヘテロ原子含有基を含んでもよく、式中、Ｒ２は、ＨまたはＣ１−１２ヒドロカルビルであり、Ｐ＋は、繰り返し単位の各々において独立して、非置換もしくは置換トリ（Ｃ１−６０−ヒドロカルビル）スルホニウムイオン、または非置換もしくは置換ジ（Ｃ１−６０−ヒドロカルビル）ヨードニウムイオンを含む一価基であり、Ｘ−は、一価アニオンであり、Ｌ１、Ｌ２（ｍが１である場合）、及びＱ＋のうちの少なくとも１つは、塩基溶解度向上官能基を含む。