Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月8日(2017.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体の周辺の風景を撮影した風景画像に重畳して、または前記風景に見かけ上で重なるように画像を表示手段に表示させる情報表示装置であって、
前記移動体が通過予定の指定地点を取得する地点取得手段と、
前記指定地点の周辺に存在する地物を地図データベースから抽出する地物抽出手段と、
前記移動体の現在位置から前記地物までの距離情報を、前記風景に含まれる前記地物と対応する位置に、前記表示手段に表示させる表示制御手段と、
を備えることを特徴とする情報表示装置。
【請求項２】
前記地点取得手段は、目的地までの経路に含まれる案内地点を、前記指定地点として取得し、
前記表示制御手段は、前記地物までの距離情報を、前記風景に含まれる前記地物と対応する位置に表示させるとともに、前記移動体の現在位置から前記案内地点までの距離情報を、前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項１に記載の情報表示装置。
【請求項３】
目的地までの経路を案内する情報を音声で出力する音声出力手段をさらに備え、
前記地点取得手段は、前記経路に含まれる案内地点を指定地点として取得し、
前記表示制御手段は、前記地物までの距離情報を、前記風景に含まれる前記地物と対応する位置に表示させるとともに、前記移動体の現在位置から前記案内地点までの距離情報を、前記音声出力手段より出力させることを特徴とする請求項１に記載の情報表示装置。
【請求項４】
移動体の搭乗者により発せられた音声に含まれる距離に関連する情報を認識する音声認識手段をさらに備え、
前記地点取得手段は、前記音声に含まれる距離に関連する情報に基づいて、前記指定地点を取得することを特徴とする請求項１に記載の情報表示装置。
【請求項５】
前記地物抽出手段は、前記移動体の現在位置からの距離が前記指定地点よりも近い地物、および前記指定地点よりも遠い地物を、それぞれ１つ以上抽出することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の情報表示装置。
【請求項６】
前記地物抽出手段は、前記移動体の周辺の風景を撮影した風景画像に含まれていない地物を除外しつつ、前記指定地点の周辺に存在する地物を抽出することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の情報表示装置。
【請求項７】
移動体の周辺の風景を撮影した風景画像に重畳して、または前記風景に見かけ上で重なるように画像を表示手段に表示させる情報表示装置が実行する制御方法であって、
前記移動体が通過予定の指定地点を取得する地点取得工程と、
前記指定地点の周辺に存在する地物を地図データベースから抽出する地物抽出工程と、
前記移動体の現在位置から前記地物までの距離情報を、前記風景に含まれる前記地物と対応する位置に、前記表示手段に表示させる表示制御工程と、
を有することを特徴とする制御方法。
【請求項８】
移動体の周辺の風景を撮影した風景画像に重畳して、または前記風景に見かけ上で重なるように画像を表示手段に表示させるコンピュータが実行するプログラムであって、
前記移動体が通過予定の指定地点を取得する地点取得手段と、
前記指定地点の周辺に存在する地物を地図データベースから抽出する地物抽出手段と、
前記移動体の現在位置から前記地物までの距離情報を、前記風景に含まれる前記地物と対応する位置に、前記表示手段に表示させる表示制御手段
として前記コンピュータを機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項９】
請求項８に記載のプログラムを記憶したことを特徴とする記憶媒体。
【請求項１０】
移動体の周辺の風景を撮影した風景画像に重畳して、または前記風景に見かけ上で重なるように画像を表示手段に表示させる情報表示装置であって、
地物を地図データベースから抽出する地物抽出手段と、
前記移動体の現在位置から前記地物までの距離情報を、前記風景に含まれる前記地物と対応する位置に、前記表示手段に表示させる表示制御手段と、
を備えることを特徴とする情報表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、請求項に記載の発明は、移動体の周辺の風景を撮影した風景画像に重畳して、または前記風景に見かけ上で重なるように画像を表示手段に表示させるコンピュータが実行するプログラムであって、前記移動体が通過予定の指定地点を取得する地点取得手段と、前記指定地点の周辺に存在する地物を地図データベースから抽出する地物抽出手段と、前記移動体の現在位置から前記地物までの距離情報を、前記風景に含まれる前記地物と対応する位置に、前記表示手段に表示させる表示制御手段として前記コンピュータを機能させることを特徴とする。
また、請求項に記載の発明は、移動体の周辺の風景を撮影した風景画像に重畳して、または前記風景に見かけ上で重なるように画像を表示手段に表示させる情報表示装置であって、地物を地図データベースから抽出する地物抽出手段と、前記移動体の現在位置から前記地物までの距離情報を、前記風景に含まれる前記地物と対応する位置に、前記表示手段に表示させる表示制御手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成29年11月6日(2017.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
地図に関する地図情報が格納される地図情報格納部と、
経路のパターンに関するパターン条件と、当該経路に関する案内の雛形情報とを有する雛形管理情報が格納される雛形管理情報格納部と、
現在位置を示す現在位置情報を取得する現在位置情報取得部と、
目的地を示す目的地情報を受け付ける受付部と、
前記地図情報と、前記現在位置情報と、前記目的地情報とを用いて、当該現在位置情報が示す現在位置から、当該目的地情報が示す目的地までの目的地経路を探索し、当該目的地経路を示す目的地経路情報を取得する目的地経路探索部と、
前記目的地経路情報を用いて、前記目的地経路の一部である部分経路を示す部分経路情報を取得する部分経路特定部と、
前記部分経路情報が満たすパターン条件に対応する雛形情報を、前記雛形管理情報格納部から取得する雛形情報取得部と、
前記雛形情報取得部が取得した雛形情報に、前記部分経路特定部が取得した部分経路情報を適用し、当該部分経路情報が示す部分経路の案内に関する案内情報を取得する案内情報取得部と、
前記案内情報を出力する出力部とを備えるナビゲーション装置。
【請求項２】
前記部分経路特定部は、前記目的地経路情報を用いて、前記目的地経路のうち、現在位置から現在位置付近の主要地点までの経路、目的地付近の主要地点から目的地までの経路のいずれか一方または両方を除く部分の経路を示す前記部分経路情報を取得する請求項１記載のナビゲーション装置。
【請求項３】
前記部分経路特定部は、前記目的地経路情報を用いて、前記目的地経路のうち、予め決められた条件を満たす１以上の道路のみから構成される部分の経路を示す前記部分経路情報を取得する請求項１または請求項２記載のナビゲーション装置。
【請求項４】
前記目的地経路情報は、前記目的地経路を構成する２以上の各道路の属性を有し、
前記予め決められた条件は、道路の属性が予め決められた属性であることであり、
前記部分経路特定部は、前記目的地経路情報を用いて、前記目的地経路のうち、属性が前記予め決められた条件を満たす１以上の道路のみから構成される部分の経路を示す前記部分経路情報を取得する請求項３記載のナビゲーション装置。
【請求項５】
道路を識別する情報と、当該道路の走行回数とを有する走行回数管理情報が格納される走行回数管理情報格納部をさらに備え、
前記目的地経路情報は、前記目的地経路を構成する２以上の各道路を識別する情報を有し、
前記予め決められた条件は、道路の走行回数が予め決められた回数以下であることであり、
前記部分経路特定部は、前記目的地経路情報と、前記走行回数管理情報とを用いて、前記目的地経路のうち、走行回数が前記予め決められた条件を満たす１以上の道路のみから構成される部分の経路を示す前記部分経路情報を取得する請求項３または請求項４記載のナビゲーション装置。
【請求項６】
ユーザの自宅に関する自宅情報が格納される自宅情報格納部をさらに備え、
前記目的地経路情報は、前記目的地経路が経由する地点の位置を示す情報を有し、
前記予め決められた条件は、ユーザの自宅と道路との距離が予め決められた距離以上であることであり、
前記部分経路特定部は、前記目的地経路情報と、前記自宅情報とを用いて、前記目的地経路のうち、ユーザの自宅との距離が前記予め決められた条件を満たす１以上の道路のみから構成される部分の経路を示す前記部分経路情報を取得する請求項３から請求項５いずれか一項に記載のナビゲーション装置。
【請求項７】
地図に関する地図情報が格納される地図情報格納部と、
経路のパターンに関するパターン条件と、当該経路に関する案内の雛形情報とを有する雛形管理情報が格納される雛形管理情報格納部と、
現在位置情報取得部と、受付部と、目的地経路探索部と、部分経路特定部と、雛形情報取得部と、案内情報取得部と、出力部とを用いて行われるナビゲーション方法であって、
前記現在位置情報取得部が、現在位置を示す現在位置情報を取得する現在位置情報取得ステップと、
前記受付部が、目的地を示す目的地情報を受け付ける受付ステップと、
前記目的地経路探索部が、前記地図情報と、前記現在位置情報と、前記目的地情報とを用いて、当該現在位置情報が示す現在位置から、当該目的地情報が示す目的地までの目的地経路を探索し、当該目的地経路を示す目的地経路情報を取得する目的地経路探索ステップと、
前記部分経路特定部が、前記目的地経路情報を用いて、前記目的地経路の一部である部分経路を示す部分経路情報を取得する部分経路特定ステップと、
前記雛形情報取得部が、前記部分経路情報が満たすパターン条件に対応する雛形情報を、前記雛形管理情報格納部から取得する雛形情報取得ステップと、
前記案内情報取得部が、前記雛形情報取得部が取得した雛形情報に、前記部分経路特定部が取得した部分経路情報を適用し、当該部分経路情報が示す部分経路の案内に関する案内情報を取得する案内情報取得ステップと、
前記出力部が、前記案内情報を出力する出力ステップとを備えるナビゲーション方法。
【請求項８】
地図に関する地図情報が格納される地図情報格納部と、
経路のパターンに関するパターン条件と、当該経路に関する案内の雛形情報とを有する雛形管理情報が格納される雛形管理情報格納部とにアクセス可能なコンピュータを、
現在位置を示す現在位置情報を取得する現在位置情報取得部、
目的地を示す目的地情報を受け付ける受付部、
前記地図情報と、前記現在位置情報と、前記目的地情報とを用いて、当該現在位置情報が示す現在位置から、当該目的地情報が示す目的地までの目的地経路を探索し、当該目的地経路を示す目的地経路情報を取得する目的地経路探索部、
前記目的地経路情報を用いて、前記目的地経路の一部である部分経路を示す部分経路情報を取得する部分経路特定部、
前記部分経路情報が満たすパターン条件に対応する雛形情報を、前記雛形管理情報格納部から取得する雛形情報取得部、
前記雛形情報取得部が取得した雛形情報に、前記部分経路特定部が取得した部分経路情報を適用し、当該部分経路情報が示す部分経路の案内に関する案内情報を取得する案内情報取得部、
前記案内情報を出力する出力部として機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４８】
図１７は、コンピュータシステム９のブロック図である。図１７において、コンピュータ９０１は、ＣＤ−ＲＯＭドライブ９０１１に加えて、ＭＰＵ９０１２と、ブートアッププログラム等のプログラムを記憶するためのＲＯＭ９０１３と、ＭＰＵ９０１２に接続され、アプリケーションプログラムの命令を一時的に記憶するとともに一時記憶空間を提供するためのＲＡＭ９０１４と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、およびデータを記憶するためのハードディスク９０１５と、ＣＤ−ＲＯＭドライブ９０１１、ＭＰＵ９０１２等を相互に接続するバス９０１６とを備える。ここでは図示しないが、コンピュータ９０１は、さらに、ＬＡＮへの接続を提供するネットワークカードを備えていてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2016090513.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月27日(2017.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
自律走行経過時刻計数部は、再現走行モードの実行時に、自律走行経過時刻を、自律走行経過時刻の進行を所定の条件に基づいて調整しながら計数する。再現走行モードは、走行経路データに基づいて、自律走行台車が自律的に走行するモードである。自律走行経過時刻は、再現走行モードの開始時からの経過時刻である。
再現走行指令算出部は、再現走行モードの実行時に、走行経路データにおいて目標到達時刻に関連づけて記憶されているサブゴール点に基づいて、自律走行経過時刻における再現走行制御指令を走行制御指令として算出する。目標到達時刻は、走行経路データにおいて、自律走行経過時刻に対応する到達時刻の直後の到達時刻である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１８】
再現走行速度調整部７５９が走行障害物を検出した場合、再現走行速度調整部７５９は、走行障害物などの位置と現在の自律走行台車１００との位置関係に基づいて、再現走行モードの実行時の自律走行台車１００の速度である再現走行速度を調整する（ステップＳ２０４）。
再現走行速度調整部７５９は、例えば、走行障害物などが自律走行台車１００の近傍にあり、走行障害物などと自律走行台車１００とが衝突する可能性が高いと判断した場合、自律走行台車１００を停止するようモータ制御部７５５に指令する。すなわち、再現走行速度調整部７５９は、モータ制御部７５５に対して、モータ２３ａ、２３ｂの回転を停止するように指令する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
一方、走行障害物などと自律走行台車１００とが比較的離れており、すぐには衝突の可能性がないような場合、再現走行速度調整部７５９は、モータ制御部７５５に対して、自律走行台車１００の走行速度を制限するよう指令する。すなわち、再現走行速度調整部７５９は、モータ２３ａ、２３ｂの回転数を制限するように指令する。これにより、再現走行速度調整部７５９は、自律走行台車１００の再現走行速度を制限できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｂ】
2015153303.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月27日(2017.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の課題は、オペレータの習熟度に応じて適した入力画面を提供し、操作性を向上させることである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の売上データ処理装置は、第１入力画面または第２入力画面とのいずれか一方を表示手段に表示させる表示制御手段と、ユーザ操作により画面切替が指示された場合に、前記第１入力画面と前記第２入力画面とを切り替えて前記表示手段に表示させる切替手段と、を備え、前記第１入力画面は、商品の明細情報を表示する第１の明細エリアを含み、前記第２入力画面は、前記第１の明細エリアよりもサイズが小さい第２の明細エリアを含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、オペレータの習熟度に応じて適した入力画面を提供でき、操作性を向上させることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１入力画面または第２入力画面とのいずれか一方を表示手段に表示させる表示制御手段と、
ユーザ操作により画面切替が指示された場合に、前記第１入力画面と前記第２入力画面とを切り替えて前記表示手段に表示させる切替手段と、
を備え、
前記第１入力画面は、商品の明細情報を表示する第１の明細エリアを含み、
前記第２入力画面は、前記第１の明細エリアよりもサイズが小さい第２の明細エリアを含む売上データ処理装置。
【請求項２】
オペレータに対応する前記第１入力画面または前記第２入力画面の設定情報を記憶する記憶手段を備え、
前記表示制御手段は、オペレータが指定された場合に、前記設定情報に応じて、当該指定されたオペレータに対応する前記第１入力画面または前記第２入力画面を前記表示手段に表示させる請求項１に記載の売上データ処理装置。
【請求項３】
前記表示制御手段は、前記第１入力画面を表示中に、商品情報キーが入力された場合に、当該商品情報キーに対応する金額を入力するための金額入力エリアを前記第１入力画面に表示させ、
前記金額入力エリアに入力された情報を金額として入力する入力手段を備える請求項１又は２に記載の売上データ処理装置。
【請求項４】
前記第１入力画面は、支払い入力画面を表示させるための支払いキーを含み、
前記表示制御手段は、前記支払いキーが入力された場合に、前記支払い入力画面を前記表示手段に表示させる請求項１から３のいずれか一項に記載の売上データ処理装置。
【請求項５】
コンピュータを、
第１入力画面または第２入力画面とのいずれか一方を表示手段に表示させる表示制御手段、
ユーザ操作により画面切替が指示された場合に、前記第１入力画面と前記第２入力画面とを切り替えて前記表示手段に表示させる切替手段、
として機能させるためのプログラムであって、
前記第１入力画面は、商品の明細情報を表示する第１の明細エリアを含み、
前記第２入力画面は、前記第１の明細エリアよりもサイズが小さい第２の明細エリアを含むプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月2日(2017.2.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プログラム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、プログラムに関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の課題は、プログラムのインストールを容易に行うことである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明のプログラムは、コンピュータを、当該プログラムがアプリケーションとして前記コンピュータが搭載されている表示機器にインストールされた際に、前記表示機器の種別を判別する判別手段、前記表示機器における表示レイアウトを前記判別手段により判別された種別に対応した表示レイアウトに初期設定する初期設定実行手段、として機能させるプログラムである。
本発明のプログラムは、コンピュータを、当該プログラムがアプリケーションとして前記コンピュータが搭載されている表示機器にインストールされた際に、前記表示機器の使用目的を判別する判別手段、前記表示機器における表示レイアウトを前記判別手段により判別された使用目的に対応した表示レイアウトに初期設定する初期設定実行手段、として機能させるプログラムである。
本発明のプログラムは、コンピュータを、当該プログラムがアプリケーションとして前記コンピュータが搭載されている表示機器にインストールされた際に、前記表示機器に所定のライセンス情報が予め登録されているか否かを判別する判別手段、前記表示機器における表示レイアウトを、前記判別手段による判別結果に対応した表示レイアウトに初期設定する初期設定実行手段、として機能させるプログラムである。
本発明のプログラムは、コンピュータを、当該プログラムがアプリケーションとして前記コンピュータが搭載されている表示機器にインストールされた際に、前記表示機器が据え置き型の表示機器なのか携帯型の表示機器なのかを判別する判別手段、前記表示機器における表示レイアウトを、前記判別手段による判別結果に対応した表示レイアウトに初期設定する初期設定実行手段、として機能させるプログラムである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明によれば、プログラムのインストールを容易に行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プログラムであって、
コンピュータを、
当該プログラムがアプリケーションとして前記コンピュータが搭載されている表示機器にインストールされた際に、前記表示機器の種別を判別する判別手段、
前記表示機器における表示レイアウトを前記判別手段により判別された種別に対応した表示レイアウトに初期設定する初期設定実行手段、
として機能させるプログラム。
【請求項２】
プログラムであって、
コンピュータを、
当該プログラムがアプリケーションとして前記コンピュータが搭載されている表示機器にインストールされた際に、前記表示機器の使用目的を判別する判別手段、
前記表示機器における表示レイアウトを前記判別手段により判別された使用目的に対応した表示レイアウトに初期設定する初期設定実行手段、
として機能させるプログラム。
【請求項３】
プログラムであって、
コンピュータを、
当該プログラムがアプリケーションとして前記コンピュータが搭載されている表示機器にインストールされた際に、前記表示機器に所定のライセンス情報が予め登録されているか否かを判別する判別手段、
前記表示機器における表示レイアウトを、前記判別手段による判別結果に対応した表示レイアウトに初期設定する初期設定実行手段、
として機能させるプログラム。
【請求項４】
プログラムであって、
コンピュータを、
当該プログラムがアプリケーションとして前記コンピュータが搭載されている表示機器にインストールされた際に、前記表示機器が据え置き型の表示機器なのか携帯型の表示機器なのかを判別する判別手段、
前記表示機器における表示レイアウトを、前記判別手段による判別結果に対応した表示レイアウトに初期設定する初期設定実行手段、
として機能させるプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月12日(2016.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記反射素子と前記集光点の間に、前記複数の半導体レーザアレイの各々から射出されるレーザ光束を集光点に集光する集光部をさらに備え、
前記複数の半導体レーザアレイの各々から前記集光部の入射面までのレーザ光束の光軸に沿った距離が互いに等しいことを特徴とする、
請求項１に記載のレーザ合成光学装置。
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月6日(2017.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を有する基板と、前記基板に含まれる成分に対して活性な活性金属、銀および銅を含む合金の金属塊と、を用意する工程と、
少なくとも一部が前記貫通孔内に位置するように前記金属塊を配置する工程と、
前記金属塊を溶融させ、その溶融物を前記貫通孔内に充填することで配線を形成する工程と、
を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項２】
前記配線を形成する工程では、前記基板に含まれる成分と前記活性金属とが反応し、前記貫通孔の内周面と前記配線との間に活性金属層が形成される請求項１に記載の配線基板の製造方法。
【請求項３】
前記基板は、セラミックス基板であり、
前記活性金属は、前記セラミックス基板に含まれるセラミックス成分に対して活性である請求項１または２に記載の配線基板の製造方法。
【請求項４】
前記活性金属は、周期律表の第４族に属する金属である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項５】
前記周期律表の第４族に属する金属は、チタンである請求項４に記載の配線基板の製造方法。
【請求項６】
前記配線を形成する工程では、前記金属塊の融点よりも高く、前記基板の融点よりも低い温度範囲を含む請求項１ないし５のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項７】
前記配線を形成する工程では、前記金属塊とともに前記基板を加熱する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項８】
前記配線を形成する工程では、前記溶融物が前記基板の少なくとも一方の主面に濡れ広がる請求項１ないし７のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項９】
前記貫通孔の体積よりも前記金属塊の体積の方が大きい請求項８に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１０】
前記配置する工程では、前記金属塊は、前記貫通孔の一方の開口側に配置される請求項１ないし９のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１１】
前記金属塊は、前記開口よりも幅が大きい請求項１０に記載の配線基板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】配線基板の製造方法
【手続補正書】
【提出日】平成29年1月6日(2017.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を有する基板と、金属片と、前記基板に含まれる成分に対して活性な活性金属、銀および銅を含み前記金属片よりも融点が低い合金を含んでいる金属ペーストと、を用意する工程と、
前記貫通孔に前記金属片の少なくとも一部を配置し、前記金属片と前記貫通孔との間に前記金属ペーストを配置する工程と、
前記金属ペーストを焼成し、前記金属片を前記基板に固定する工程と、
を含んでいることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項２】
前記用意する工程において、
前記基板は、セラミックス基板であり、
前記活性金属は、前記セラミックス基板に含まれるセラミックス成分に対して活性である請求項１に記載の配線基板の製造方法。
【請求項３】
前記用意する工程において、
前記セラミックス基板は、焼結した基板である請求項２に記載の配線基板の製造方法。
【請求項４】
前記用意する工程において、
前記セラミックス基板は、焼結していない基板であり、
前記金属ペーストを焼成する工程では、前記金属ペーストと共に前記焼結していない基板も焼成する請求項２に記載の配線基板の製造方法。
【請求項５】
前記金属片は、幅が前記貫通孔よりも大きい挿入規制部を有している請求項１ないし４のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項６】
前記金属ペーストを配置する工程では、前記挿入規制部と前記基板との間にも前記金属ペーストを配置する請求項５に記載の配線基板の製造方法。
【請求項７】
前記活性金属は、周期律表の第４族に属する金属である請求項１ないし６のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項８】
前記周期律表の第４族に属する金属は、チタンである請求項７に記載の配線の製造方法。
【請求項９】
前記金属ペーストを焼成する温度は、前記合金の融点よりも高く、前記金属片の融点よりも低い請求項１ないし８のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１０】
前記セラミックス基板の表面に前記金属片と電気的に接続する金属配線を形成する工程を更に含んでいる請求項１ないし９のいずれか１項に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１１】
貫通孔を備えている基板と、
前記基板の表面と前記貫通孔内とに一体で配置されている金属配線と、
前記貫通孔の内周面と前記金属配線との間に配置され、チタンを含んでいる活性金属層と、
を含んでいることを特徴とする配線基板。
【請求項１２】
請求項１１に記載の配線基板と、
前記配線基板に搭載されている電子部品と、を含むことを特徴とする電子デバイス。
【請求項１３】
請求項１２に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１４】
請求項１２に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする移動体。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月6日(2017.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一導電部材の上に、第一絶縁層と第二絶縁層と第三絶縁層とを有し、前記第二絶縁層が前記第一絶縁層と前記第三絶縁層との間に位置して前記第一絶縁層および前記第三絶縁層と界面を成す絶縁膜を形成する工程と、
第一マスクを用いて前記第三絶縁層および前記第二絶縁層をエッチングすることで、前記第一絶縁層に達する孔を前記第一導電部材の上に形成する工程と、
前記第一マスクを除去した後に、第二マスクを用いて前記第三絶縁層をエッチングすることで、前記第二絶縁層に達し、前記孔に連通する溝を形成する工程と、
前記孔および前記溝を形成した後に、前記第一絶縁層をエッチングすることで、前記前記孔に前記第一導電部材を露出させる開口を形成する工程と、
前記開口、前記孔および前記溝に導電材料を埋め込むことで、前記第一導電部材に接続する第二導電部材を形成する工程と、を有し、
前記第二絶縁層に対するエッチングレートが前記第三絶縁層に対するエッチングレートよりも低いエッチング条件で、前記溝を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記溝を形成する工程で、前記第二絶縁層をエッチングする、請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記第二絶縁層の厚みが、前記第一絶縁層の厚みよりも大きく、前記第三絶縁層の厚みよりも小さい、請求項１または２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記溝を形成する工程では、前記第二マスクは前記第一絶縁層に接するように前記孔の中に設けられている、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記第二絶縁層に対するエッチングレートが前記第一絶縁層に対するエッチングレートよりも低いエッチング条件で、前記開口を形成する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記開口を形成する工程で、前記第二絶縁層をエッチングする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記第二絶縁層の材料が、前記第一絶縁層の材料および前記第三絶縁層の材料と異なり、前記第一導電部材は銅を含有する、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記第二絶縁層の屈折率が、前記第一絶縁層の屈折率よりも低く、前記第三絶縁層の屈折率よりも高く、前記絶縁膜は光電変換部を有する半導体基板の前記光電変換部を覆う様に形成される、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記第一絶縁層は炭化シリコンからなり、前記第二絶縁層は窒化シリコンからなり、前記第三絶縁層は酸化シリコンからなる、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
前記孔を形成する前記工程では、前記第１マスクと前記第三絶縁層との間に保護層が位置する、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記溝を形成する前記工程では、前記第２マスクと前記第三絶縁層との間に前記保護層が位置する、請求項１０に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
前記開口を形成する前記工程では、前記保護層がエッチングされる、請求項１０または１１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
前記溝を形成する前記工程では、前記第２マスクが消失する、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１４】
前記溝を形成する前記工程では、前記第２マスクと前記第三絶縁層との間に位置する保護層が消失する、請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１５】
光電変換部を有する半導体基板と、
前記半導体基板の上に設けられた第一導電部材と、
前記第一導電部材の上に設けられた第二導電部材と、
前記光電変換部を覆う絶縁膜と、を備える半導体装置であって、
前記第二導電部材は、プラグ部と配線部とを有し、
前記絶縁膜は、前記プラグ部を囲む第一絶縁層と、前記プラグ部および前記配線部を囲む第二絶縁層と、前記配線部を囲む第三絶縁層と、を有し、
前記第二絶縁層は、前記第一絶縁層と前記第三絶縁層との間に位置して前記第一絶縁層および前記第三絶縁層と界面を成し、前記第二絶縁層の屈折率が、前記第一絶縁層の屈折率よりも低く、前記第三絶縁層の屈折率よりも高いことを特徴とする半導体装置。
【請求項１６】
光電変換部を有する半導体基板と、
前記半導体基板の上に設けられた第一導電部材と、
前記第一導電部材の上に設けられた第二導電部材と、
前記光電変換部を覆う絶縁膜と、を備える半導体装置であって、
前記第二導電部材は、プラグ部と配線部とを有し、
前記絶縁膜は、前記プラグ部を囲む第一絶縁層と、前記プラグ部および前記配線部を囲む第二絶縁層と、前記配線部を囲む第三絶縁層と、を有し、
前記第二絶縁層は、前記第一絶縁層と前記第三絶縁層との間に位置して前記第一絶縁層および前記第三絶縁層と界面を成し、前記第一絶縁層が炭化シリコンからなり、前記第二絶縁層が窒化シリコンからなり、前記第三絶縁層が酸化シリコンからなることを特徴とする半導体装置。
【請求項１７】
前記窒化シリコンおよび前記炭化シリコンの少なくとも一方が酸素を含む、請求項１６に記載の半導体装置。
【請求項１８】
前記第一導電部材および第二導電部材は銅からなる、請求項１５乃至１７のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項１９】
前記第二導電部材および前記第三絶縁層と界面を成す第四絶縁層を更に有し、前記絶縁膜は第四絶縁層と前記半導体基板との間に位置する、請求項１５乃至１８のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項２０】
前記第二絶縁層の厚みが、前記第一絶縁層の厚みよりも大きく、前記第三絶縁層の厚みよりも小さい、請求項１５乃至１９のいずれか１項に記載の半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月14日(2016.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子又は半導体素子を含むモジュールが搭載される配線基板であって、
放熱板と
前記放熱板上に接着層を介して設けられた第１絶縁層と、
前記第１絶縁層上に設けられた、前記半導体素子と電気的に接続される電気接続用配線、及び、前記半導体素子とは電気的に接続されない熱拡散用配線と、
前記熱拡散用配線と一体に形成され、前記熱拡散用配線の前記第１絶縁層側の面に前記第１絶縁層を厚さ方向に貫通する貫通孔を充填するように設けられた貫通配線と、
前記第１絶縁層上に設けられ、前記電気接続用配線を露出する第１開口部と、前記熱拡散用配線を露出する第２開口部を備えた第２絶縁層と、を有し、
前記放熱板の前記接着層が形成される面には突起部が設けられ、
前記突起部は、前記放熱板の組成と同じ組成からなり、少なくとも前記貫通配線と平面視で重複する領域に配置され、
前記貫通配線の前記接着層側の端面及び前記第１絶縁層の前記接着層側の面と前記突起部の先端とは離間しており、
前記接着層は、前記貫通配線の前記接着層側の端面及び前記第１絶縁層の前記接着層側の面と前記突起部との間に充填されていることを特徴とする配線基板。
【請求項２】
前記突起部は金属からなることを特徴とする請求項１記載の配線基板。
【請求項３】
前記突起部は、一定の規則性を有して形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の配線基板。
【請求項４】
前記突起部は、平面視において、網目模様、縞模様、又は水玉模様に形成されていることを特徴とする請求項３記載の配線基板。
【請求項５】
平面視において、前記熱拡散用配線の形成領域は、前記第２開口部の領域よりも外側に延在し、前記電気接続用配線の形成領域よりも大きく設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項記載の配線基板。
【請求項６】
前記貫通配線は、平面視において、前記貫通配線の外形の一部が、搭載される前記半導体素子の外形の一部と重複する範囲に配置されるように設けられていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項記載の配線基板。
【請求項７】
前記電気接続用配線は平面上のみに形成され、前記第１絶縁層及び前記接着層の前記電気接続用配線と平面視で重複する領域には前記貫通配線は存在しないことを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項記載の配線基板。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れか一項記載の配線基板と、
前記熱拡散用配線の前記第２絶縁層から露出する面上に搭載された前記半導体素子又は前記モジュールと、を有することを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項９】
半導体素子又は半導体素子を含むモジュールが搭載される配線基板であって、
放熱板と
前記放熱板上に接着層を介して設けられた第１絶縁層と、
前記第１絶縁層上に設けられた、前記半導体素子と電気的に接続される電気接続用配線、及び、前記半導体素子とは電気的に接続されない熱拡散用配線と、
前記熱拡散用配線と一体に形成され、前記熱拡散用配線の前記第１絶縁層側の面に前記第１絶縁層を厚さ方向に貫通する貫通孔を充填するように設けられた貫通配線と、
前記第１絶縁層上に設けられ、前記電気接続用配線を露出する第１開口部と、前記熱拡散用配線を露出する第２開口部を備えた第２絶縁層と、を有し、
前記放熱板の前記接着層が形成される面には突起部が設けられ、
前記突起部は、前記放熱板の組成と同じ組成からなり、少なくとも前記貫通配線と平面視で重複する領域に配置され、
前記突起部は、一定の規則性を有して形成され、かつ、前記突起部は、平面視において、縞模様に形成されていることを特徴とする配線基板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本配線基板は、半導体素子又は半導体素子を含むモジュールが搭載される配線基板であって、放熱板と前記放熱板上に接着層を介して設けられた第１絶縁層と、前記第１絶縁層上に設けられた、前記半導体素子と電気的に接続される電気接続用配線、及び、前記半導体素子とは電気的に接続されない熱拡散用配線と、前記熱拡散用配線と一体に形成され、前記熱拡散用配線の前記第１絶縁層側の面に前記第１絶縁層を厚さ方向に貫通する貫通孔を充填するように設けられた貫通配線と、前記第１絶縁層上に設けられ、前記電気接続用配線を露出する第１開口部と、前記熱拡散用配線を露出する第２開口部を備えた第２絶縁層と、を有し、前記放熱板の前記接着層が形成される面には突起部が設けられ、前記突起部は、前記放熱板の組成と同じ組成からなり、少なくとも前記貫通配線と平面視で重複する領域に配置され、前記貫通配線の前記接着層側の端面及び前記第１絶縁層の前記接着層側の面と前記突起部の先端とは離間しており、前記接着層は、前記貫通配線の前記接着層側の端面及び前記第１絶縁層の前記接着層側の面と前記突起部との間に充填されていることを要件とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月26日(2016.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電池モジュールを制御するための制御装置であって、
当該制御装置を起動させるための起動用配線が接続される起動用コネクタと、他のコネクタと、を含む複数のコネクタを備え、
開口部を有する箱状の筐体内に配置されて前記筐体に固定されており、
前記起動用コネクタは、前記筐体の前記開口部と前記起動用コネクタとの間に前記他のコネクタが介在しないように配置されている、
ことを特徴とする制御装置。
【請求項２】
前記起動用コネクタは、前記起動用配線のうちの当該制御装置に電力を供給する配線が接続される電源用コネクタを含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
スイッチをさらに備え、
前記起動用コネクタは、前記起動用配線のうちの前記スイッチをオン状態とするための電力を供給する配線が接続されるスイッチ用コネクタを含む、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の制御装置。
【請求項４】
前記筐体は、第１の壁部と、前記第１の壁部から立設され前記開口部を規定する第２の壁部と、を有し、
前記複数のコネクタは、当該制御装置における前記第２の壁部に対向する面に設けられており、
前記起動用コネクタは、前記複数のコネクタのうち最も前記開口部側に設けられている、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の制御装置。
【請求項５】
前記筐体は、第１の壁部と、前記第１の壁部から立設され前記開口部を規定する第２の壁部と、を有し、
前記起動用コネクタは、当該制御装置における前記開口部に対向する面に設けられている、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の制御装置。
【請求項６】
前記電池モジュールは、複数の電池ユニットを含み、
前記起動用コネクタは、前記起動用配線のうちの当該制御装置に電力を供給する配線が接続される電源用コネクタと、前記電池ユニットの温度及び電圧を示す信号を取得するための監視ＥＣＵコネクタと、を含み、
前記筐体は、第１の壁部と、前記第１の壁部から立設され前記開口部を規定する第２の壁部と、を有し、
当該制御装置は、前記第２の壁部に対向する一方の側面と、前記一方の側面の反対側において前記第２の壁部に対向する他方の側面と、を備え、
前記電源用コネクタは、前記一方の側面に配置されており、
前記監視ＥＣＵコネクタは、前記他方の側面に配置されている、
請求項１に記載の制御装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月7日(2016.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
なお、本実施の形態のｐ型熱電素子２では、ｐ型熱電変換層２１から遊離したアンチモンとｐ側第２金属層２３のチタンとが反応することで、ｐ側第２金属層２３のうちｐ側第１金属層２２に接する側にチタンとアンチモンとの合金からなる反応層が形成される場合がある。
この反応層も、ｐ型熱電変換層２１からのアンチモンの拡散を抑制する。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月13日(2017.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機エレクトロルミネッセンス素子に含まれる正孔輸送層または正孔注入層を構成する材料またはその前駆体である成膜材料と、
前記成膜材料を分散または溶解させる液性媒体と、
励起光が照射されることにより発光する指標材料と、を含むことを特徴とする成膜用インク。
【請求項２】
前記正孔輸送層または前記正孔注入層を形成したときに、前記指標材料の前記発光の機能が消失または低減する請求項１に記載の成膜用インク。
【請求項３】
加熱されることにより前記指標材料の前記発光の機能が消失または低減する請求項２に記載の成膜用インク。
【請求項４】
前記励起光は、紫外光である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の成膜用インク。
【請求項５】
前記指標材料の前記発光は、可視光または赤外光である請求項１ないし４のいずれか１項に記載の成膜用インク。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の成膜用インクを液滴吐出ヘッドを用いて液滴として吐出して記録媒体上に塗布する工程と、
前記記録媒体上の前記成膜用インクに前記励起光を照射し、前記指標材料の発光状態を測定する工程と、を有し、
前記測定の結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの検査を行うことを特徴とする吐出検査方法。
【請求項７】
励起光により励起されることにより発光する指標材料を含む成膜用インクを液滴吐出ヘッドを用いて液滴として吐出して記録媒体上に塗布する工程と、
前記記録媒体上の前記成膜用インクに前記励起光を照射し、前記指標材料の発光状態を測定する工程と、を有し、
前記測定の結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの検査を行うことを特徴とする吐出検査方法。
【請求項８】
前記記録媒体は、前記励起光に対する透過性を有する請求項６または７に記載の吐出検査方法。
【請求項９】
前記記録媒体は、前記励起光により発光しないか、または、前記励起光により前記指標材料とは異なる波長で発光する請求項６ないし８のいずれか１項に記載の吐出検査方法。
【請求項１０】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の成膜用インクを記録媒体上に液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの検査を行う吐出検査装置であって、
前記記録媒体に照射される前記励起光を出射する光出射部と、
前記記録媒体上における前記励起光による前記指標材料の発光状態を測定する測定部と、を有し、
前記測定部の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの検査を行うことを特徴とする吐出検査装置。
【請求項１１】
励起光により励起されることにより発光する指標材料を含む成膜用インクを記録媒体上に液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの検査を行う吐出検査装置であって、
前記記録媒体に照射される前記励起光を出射する光出射部と、
前記記録媒体上における前記励起光による前記指標材料の発光状態を測定する測定部と、を有し、
前記測定部の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの検査を行うことを特徴とする吐出検査装置。
【請求項１２】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の成膜用インクを基材上に塗布する工程と、
前記成膜用インクを硬化または固化することにより正孔輸送層または正孔注入層を形成する工程と、を有することを特徴とする発光素子の製造方法。
【請求項１３】
前記正孔輸送層または前記正孔注入層を形成する工程において、前記指標材料の前記発光の機能を消失または低減させる請求項１２に記載の発光素子の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】成膜用インク、吐出検査方法、吐出検査装置および発光素子の製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、成膜用インク、吐出検査方法、吐出検査装置および発光素子の製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の目的は、成膜用インクが高濃度に着色されていなかったり吐出対象物に対する濡れ拡がり性が高かったりしても、液滴吐出ヘッドの検査（吐出検査）を高精度に行うことができる成膜用インク、吐出検査方法および吐出検査装置を提供すること、また、かかる成膜用インクを用いた発光素子の製造方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の成膜用インクは、有機エレクトロルミネッセンス素子に含まれる正孔輸送層または正孔注入層を構成する材料またはその前駆体である成膜材料と、
前記成膜材料を分散または溶解させる液性媒体と、
励起光が照射されることにより発光する指標材料と、を含むことを特徴とする。
このような成膜用インクによれば、励起光が照射されることにより指標材料が発光するため、その発光状態を測定し、その測定結果に基づいて、塗布状態を高精度に認識することができる。したがって、成膜用インクが高濃度に着色されていなくても、液滴吐出ヘッドの検査（吐出検査）を高精度に行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
［適用例１３］
本発明の発光素子の製造方法では、前記正孔輸送層または前記正孔注入層を形成する工程において、前記指標材料の前記発光の機能を消失または低減させることが好ましい。
これにより、得られる発光素子の特性に指標材料が悪影響を与えるのを防止することができる。それどころか、発光機能を消失または低減した指標材料が正孔輸送性または正孔注入性を発揮し、発光素子の特性を向上させることもできる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月1日(2017.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持機構であって、
前記基板を載置する載置部と、
前記載置部に設けられ、前記基板の縁部を吸着する吸着部と、
前記載置部の外周に設けられ、前記基板の端面に当接する壁部と、を備え、
前記吸着部は、柔軟性を有する吸引管と、該吸引管の端部の周囲を覆い、前記基板に当接する当接部とからなることを特徴とする基板保持機構。
【請求項２】
前記壁部は前記基板の端面に当接する一対のガイド面を有し、前記一対のガイド面は前記載置部を挟む位置に設けられている請求項１に記載の基板保持機構。
【請求項３】
前記載置部は平坦面を有し、前記当接部が前記平坦面より突出している請求項１または２に記載の基板保持機構。
【請求項４】
前記当接部は硬質樹脂からなる請求項１から３のいずれか１項に記載の基板保持機構。
【請求項５】
複数の基板を間隔をおいて積層した状態に支持する支持構造部に対して基板の搬出および搬出を行う基板搬送装置であって、
請求項１から４のいずれか１項に記載の基板保持機構と、
前記基板保持機構を着脱自在に装着する装着部を有し、前記基板保持機構を移動させる移動装置と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項６】
複数の基板を間隔をおいて積層した状態に支持する支持構造部から基板を搬送する基板搬送方法であって、
搬送対象の基板を載置する載置部を有する基板保持機構を設け、前記載置部に、前記基板の縁部を吸着する吸着部であって、柔軟性を有する吸引管と、該吸引管の端部の周囲を覆い、前記基板に当接する当接部と、からなる前記吸着部を設け、前記搬送対象の基板に前記基板保持機構の前記載置部を対面させ、前記吸着部で前記基板の縁部を吸着して、当該基板の搬送を行う、基板搬送方法。
【請求項７】
前記搬送対象の基板に前記基板保持機構の前記載置部を対面させるのに先だって、前記載置部を前記搬送対象の基板とその隣の基板との間隙に挿入することを含み、
前記載置部の外周に、前記搬送対象の基板の端面に当接する壁部を設け、
前記載置部を前記間隙に挿入するとき、前記壁部を前記搬送対象の基板に当接させつつ該基板の端面を前記支持構造部で規制することにより、該搬送対象の基板を前記載置部に対して位置決めする請求項６に記載の基板搬送方法。
【請求項８】
前記基板はウエハーであり、前記支持構造部はウエハーカセットである請求項６または７に記載の基板搬送方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一の態様は、基板を保持する基板保持機構に係わる。この機構は、基板を載置
する載置部と、載置部に設けられ、基板の縁部を吸着する吸着部と、載置部の外周に設けられ、基板の端面に当接する壁部と、を備える。そして吸着部は、柔軟性を有する吸引管と、該吸引管の端部の周囲を覆い、基板に当接する当接部とからなることを特徴とする。