【手続補正書】
【提出日】平成29年3月1日(2017.3.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
無プラズマ試験中、プローブ１２４は、変数を測定し、その測定値をホストシステム１２８に送信する。ホストシステム１２８は、変数の測定値を受信し、ホストシステム１２８のアナログデジタル変換器は、アナログ形式からデジタル形式に測定値を変換する。いくつかの実施形態において、プローブ１２４は、ホストシステム１２８に測定値を送信する前に、測定値をアナログからデジタル形式に変換する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
ｘ軸に沿ってプロットされる電力値が供給電力値である実施形態において、ウエハ１５４の後続処理中に、プラズマチャンバ１２２が条件１にあり、条件２に関連する電力値Ｐ２がプラズマチャンバ１２２に供給される場合、ホストシステム１２８のプロセッサは、変数関数１を達成するために条件１中に電力値Ｐ１を送信する代わりにプラズマチャンバ１２２の条件１中に電力値Ｐ２を送信し、ｘＭＨｚＲＦ発生器は、電力値Ｐ１を有するＲＦ信号を供給する代わりに電力値Ｐ２を有するＲＦ信号を供給する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
同様に、ｘ軸に沿ってプロットされる電力値が供給電力値である多くの実施形態において、ウエハ１５４の後続処理中に、プラズマチャンバ１２２が条件２にあり、条件１に関連する電力値Ｐ１がプラズマチャンバ１２２に供給される場合、ホストシステム１２８のプロセッサは、変数関数１を達成するために条件２中に電力値Ｐ２を送信する代わりにプラズマチャンバ１２２の条件２中に電力値Ｐ１を送信し、ｘＭＨｚＲＦ発生器は、電力値Ｐ２を有するＲＦ信号を供給する代わりに電力値Ｐ１を有するＲＦ信号を供給する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
様々な実施形態において、プローブ１２４は、ｘＭＨｚＲＦ発生器およびウエハ１５４（図４Ａ）の間の任意の点に接続される。例えば、プローブ１２４は、ＲＦケーブル１３４（図４Ａ）に接続される。これらの実施形態において、その点とウエハ１５４との間のプラズマシステム１７２（図４Ａ）の要素のコンピュータ生成モデルが生成され、ＥＳＣ１２７のコンピュータ生成モデルにおける変数が、プローブ１２４で測定された変数と、その点およびウエハ１５４の間の要素のインピーダンスとに基づいて決定される。例えば、プローブ１２４がＲＦケーブル１３４上の点に接続された場合、その点からマッチボックス１３６までのＲＦケーブル１３４の一部の間にあるプラズマシステム１７２の要素のコンピュータ生成モデル、マッチボックス１３６のコンピュータモデル、ＲＦケーブル１４２のコンピュータモデル、ＲＦロッド１５２のコンピュータモデル、ＲＦストラップ１４８のコンピュータモデル、および、ＥＳＣ１２７のコンピュータモデルが生成される。この例では、ＥＳＣモデル１８２における変数が、その点で測定された変数と、ＲＦケーブル１３４（図４Ａ）の一部のコンピュータ生成モデル、マッチボックス１３６のコンピュータ生成モデル、ケーブルモデル１８８、トンネルモデル１９０、ストラップモデル１９２、および、ＥＳＣモデル１８２のインピーダンスとに基づいて決定される。別の例として、プローブ１２４がｘＭＨｚＲＦ発生器の出力に接続された場合、ＲＦケーブル１３４のコンピュータモデル、マッチボックス１３６のコンピュータモデル、ＲＦ伝送線路１７８のコンピュータモデル、および、ＥＳＣ１２７のコンピュータモデルが生成される。ｘＭＨｚＲＦ発生器の出力は、ＲＦケーブル１３４（図４Ａ）の入力に接続される。この例では、ｘＭＨｚＲＦ発生器の出力における変数が測定され、ウエハ１５４における変数が、測定された変数と、ＲＦケーブル１３４、マッチボックス１３６、ＲＦ伝送線路１７８、および、ＥＳＣ１２７の要素（例えば、抵抗器、コンデンサ、インダクタなど）のインピーダンスとに基づいて決定される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１８】
様々な実施形態において、ＥＳＣモデル１８２は、ＥＳＣ１２７（図４Ａ）における変数の決定に用いられない。例えば、プローブ１２４がＲＦケーブル１３４上の点に接続された場合、その点からマッチボックス１３６までのＲＦケーブル１３４の一部の間にあるプラズマシステム１７２の要素のコンピュータモデル、マッチボックス１３６のコンピュータモデル、ＲＦケーブル１４２のコンピュータモデル、ＲＦロッド１５２のコンピュータモデル、および、ＲＦストラップ１４８のコンピュータモデルが生成される。この例では、ＥＳＣモデル１８２における変数が、その点で測定された変数と、ＲＦケーブル１３４の一部のコンピュータ生成モデル、マッチボックス１３６のコンピュータ生成モデル、ケーブルモデル１８８、トンネルモデル１９０、および、ストラップモデル１９２のインピーダンスとに基づいて決定される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
図５は、プラズマチャンバ１２２（図３）と、プラズマチャンバ２０２（チャンバ２の一例）との間のチャンバ間マッチングを説明するためにプラズマシステム２００の一実施形態を示すブロック図である。システム２００は、プラズマチャンバ１２２の代わりにプラズマチャンバ２０２を備えることを除けば、システム１２０（図３）と同様である。例えば、プラズマチャンバ２０２は、プラズマチャンバ１２２と異なる識別コードを有しており、プラズマチャンバ２０２および１２２は両方とも同じ構造および／または機能を有する。別の例として、プラズマチャンバ１２２の１または複数の要素が、プラズマチャンバ２０２の１または複数の要素に置き換えられている。さらに別の例として、ＥＳＣ２０４が、プラズマチャンバ１２２のＥＳＣ１２６（図３）と置き換えられている。一部の実施形態において、プラズマチャンバ１２２の１または複数の要素と置き換わったプラズマチャンバ２０２の１または複数の要素は、プラズマチャンバ１２２の１または複数の要素と同じ構造および／または機能を有する。例えば、ＥＳＣ２０４は、ＥＳＣ１２６と同じ寸法を有する。別の例として、ＥＳＣ２０４は、ＥＳＣ１２６と同じ要素（例えば、ヒータ、断熱材、セラミック支持体など）を備える。さらに別の例として、ＥＳＣ２０４は、ＥＳＣ１２６と同じ特性（例えば、インダクタンス、静電容量、抵抗、それらの組み合わせなど）を有する。別の例として、ＥＳＣ２０４および１２６にはいずれも、ＲＦ発生器によって電力が提供される。別の例として、プラズマチャンバ２０２および１２２は両方とも同じタイプである。説明すると、ＴＣＰチャンバはＩＣＰチャンバと異なるタイプであり、ＴＣＰおよびＩＣＰチャンバはいずれもＥＣＲプラズマチャンバと異なるタイプである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３５】
一部の実施形態において、ＥＳＣ２０４内のプローブ１２４を用いる代わりに、プローブ１２４は、ＲＦロッド１５２における変数を測定するために、ＲＦトンネル１４４に埋め込まれる、および／または、ＲＦロッド１５２に接続される。ＲＦロッド１５２、ＲＦストラップ１４８、および、ＥＳＣ２０４のコンピュータ生成モデルが、ＥＳＣ２０４における変数を決定するために用いられる。ＥＳＣ２０４における変数は、ＲＦトンネル１４４内に埋め込まれたプローブ１２４を用いて測定された変数と、ＲＦロッド１５２、ＲＦストラップ１４８、および、ＥＳＣ２０４の要素のインピーダンスとに基づいて決定される。いくつかの実施形態において、ＥＳＣ２０４のコンピュータ生成モデルを用いる代わりに、ＥＳＣ２０４における変数は、ＲＦロッド１５２およびＲＦストラップ１４８のコンピュータ生成モデルと、ＲＦトンネル１４４内に埋め込まれたプローブ１２４を用いて測定された変数とに基づいて決定される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９Ｂ】
2014197676.tif 000001