【手続補正書】
【提出日】平成29年2月6日(2017.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の複数のショット領域のそれぞれに走査露光を行う露光装置であって、
前記基板の走査に伴い前記基板上の計測箇所に関して露光領域内において検出を行う第１検出と、前記基板の走査に伴い前記第１検出に先立って前記計測箇所に関して検出を行う第２検出とを行い、前記第１検出の結果および前記第２検出の結果のそれぞれに基づいて前記基板の高さを計測する計測部と、
第１ショット領域の走査露光に伴い前記第１検出の結果に基づいて前記計測部により得られた計測結果と目標高さとの差が許容範囲に収まっているかに基づいて、前記第１ショット領域とは異なる第２ショット領域に関して、前記第２検出の結果に基づいて前記計測部による計測を最初に行う第１計測箇所を、それとして予め決められた計測箇所から変更する処理部と、
を含むことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記基板を保持して可動のステージを含み、
前記処理部は、前記第１計測箇所に基づいて、前記第１ショット領域に対する走査露光と前記第２ショット領域に対する走査露光との間の前記ステージのステップ移動に係る経路を決定することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記経路において前記ステージを等速で移動させる区間が変化するように前記経路を決定することを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記第２ショット領域に関して、前記計測結果に基づいて、前記第１計測箇所に関する前記計測部による計測結果が得られる前は、前記基板の高さを制御することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記基板上の各ショット領域に関して予め設定された複数の計測箇所のうちから前記第１計測箇所を決定することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記第１ショット領域が形成された基板と前記第２ショット領域が形成された基板とは、互いに同一であることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記第１ショット領域が形成された基板と前記第２ショット領域が形成された基板とは、互いに異なることを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記処理部は、前記第１計測箇所をショット領域ごとに決定することを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記処理部は、前記第１計測箇所を他のショット領域に対して適用することを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記処理部は、前記計測結果に替えて、前記走査露光における前記基板の高さの制御に対応する制御を、露光を伴わずにショット領域の走査を伴って行った場合の前記第１検出の結果に基づいて前記計測部により得られた計測結果に基づいて、走査露光を行うショット領域に関して、前記第２検出の結果に基づいて前記計測部による計測を最初に行う第１計測箇所を、それとして予め決められた計測箇所から変更することを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記走査露光は、荷電粒子線で行うことを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記処理部は、前記許容範囲に前記差が収まっている前記第１ショット領域内の計測箇所の特定をし、前記特定をされた計測箇所に対応する前記第２ショット領域内における予め決められた計測箇所の省略をすることにより、前記第１計測箇所を変更することを特徴とする請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１３】
走査露光が開始する前記第２ショット領域の端部と前記第２ショット領域における前記省略をされた計測点との間の距離は、前記第２検出と前記第１検出との間の前記基板の移動距離より短いことを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記省略をされた計測点は、前記第２ショット領域における予め決められた複数の計測点のうち前記端部に最も近い計測点を含むことを特徴とする請求項１３に記載の露光装置。
【請求項１５】
基板上の複数のショット領域のそれぞれに露光領域で走査露光を行う露光装置であって、
前記基板の走査に伴い前記基板上の複数の計測箇所のそれぞれに関して前記露光領域内において前記基板の高さの計測を行う第１計測と、前記基板の走査に伴い前記第１計測に先立って前記複数の計測箇所のそれぞれに関して前記基板の高さの計測を行う第２計測とを行う計測部と、
第１ショット領域の走査露光に伴って得られた前記第１計測の結果と目標高さとの差が許容範囲に収まっているかに基づいて、前記第１ショット領域とは異なる第２ショット領域に関して、前記第２計測を最初に行う第１計測箇所を、予め決められた複数の計測箇所のうちから選択する処理部と、
を含むことを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
請求項１乃至１５のうちいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光を行われた前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての露光装置は、基板上の複数のショット領域のそれぞれに走査露光を行う露光装置であって、前記基板の走査に伴い前記基板上の計測箇所に関して露光領域内において検出を行う第１検出と、前記基板の走査に伴い前記第１検出に先立って前記計測箇所に関して検出を行う第２検出とを行い、前記第１検出の結果および前記第２検出の結果のそれぞれに基づいて前記基板の高さを計測する計測部と、第１ショット領域の走査露光に伴い前記第１検出の結果に基づいて前記計測部により得られた計測結果と目標高さとの差が許容範囲に収まっているかに基づいて、前記第１ショット領域とは異なる第２ショット領域に関して、前記第２検出の結果に基づいて前記計測部による計測を最初に行う第１計測箇所を、それとして予め決められた計測箇所から変更する処理部と、を含むことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
以下に、第２ショット領域（図４ではショット領域１５ａ２）において第２計測点（計測点３０ｂ１〜３０ｂ３）での計測を開始する箇所を処理部２０ａにより決定する方法について、図７を参照しながら説明する。図７は、第２ショット領域において第２計測点での計測を開始する箇所を決定する方法を示すフローチャートである。Ｓ１０１では、処理部２０ａは、第１ショット領域に設けられた複数の計測箇所４０を第１計測点（計測点３０ａ１〜３０ａ３）で計測した計測結果を取得する。Ｓ１０２では、処理部２０ａは、取得した計測結果と目標高さ（フォーカス位置）との誤差（差）を算出する。Ｓ１０３では、処理部２０ａは、Ｓ１０２において算出した誤差が許容範囲に収まっている第１ショット領域の計測箇所４０を特定する。Ｓ１０４では、処理部２０ａは、特定した第１ショット領域の計測箇所４０に対応する第２ショット領域の計測箇所４０の第２計測点での計測を省略するように、第２ショット領域において第２計測点での計測を開始する箇所（第１計測箇所）を決定する。これにより、処理部２０ａは、第２ショット領域の走査露光を開始するまでに基板ステージ１６をステップ移動させるための移動経路（第２移動経路）を、第１移動経路より短くなるように決定することができる。換言すると、処理部２０ａは、第１ショット領域に対する走査露光と第２ショット領域に対する走査露光との間の基板ステージ１６のステップ移動に係る移動経路（第２移動経路）を決定することができる。即ち、基板ステージ１６をステップ移動させる際のスリット光の走査経路２１ａを短くすることができる。ここで、第１移動経路とは、第１ショット領域の走査露光を開始するまでに基板ステージ１６をステップ移動させた移動経路のことをいう。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2015149316.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2015149316.tif 000002