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【手続補正書】
【提出日】平成28年12月19日(2016.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の撮像系を備える撮像装置であって、
前記複数の撮像系で得られた画像を順次切り替えて入力して画像認識処理を行う画像認識手段と、
前記複数の撮像系の少なくとも１つを副撮像系として当該副撮像系で得られた画像について、他の撮像系を主撮像系として当該主撮像系で得られた画像よりも狭い画像認識角度で画像認識処理を行うよう前記画像認識手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記撮像装置に関してその天上方向を検知する検知手段を有し
前記制御手段は、前記検知手段で得られた天上方向に応じて前記画像認識角度を決定することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記画像認識手段を制御して前記副撮像系で得られた画像における画像認識処理を、前記主撮像系で得られた画像よりもその認識周期を低くすることを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記画像認識角度を所定の角度毎に区切って画像認識領域を設定し、前記主撮像系で得られた画像について画像認識処理を行う際には、前記画像認識領域を順次変更して前記画像認識手段に画像認識処理を行わせることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記主撮像系で得られた画像について前記画像認識領域を順次変更して前記画像認識手段に画像認識処理を行わせた際、前記画像認識処理が成功すると、当該画像認識処理が失敗するまで、前記画像認識処理が成功した画像認識領域を変更することなく前記画像認識手段に前記画像認識処理を行わせることを特徴とする請求項４に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記検知手段で得られた天上方向に応じて、前記副撮像系で得られた画像について前記画像認識角度を決定することを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記他の撮像系は、撮影者以外の被写体を撮像する第１の撮像系であり、前記副撮像系は撮影者を撮像する第２の撮像系であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記画像認識手段は、前記主撮像系および前記副撮像系の各々で得られた画像についてその顔領域を認識することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項９】
複数の撮像系を備える撮像装置の制御方法であって、
前記複数の撮像系で得られた画像を順次切り替えて入力して画像認識処理を行う画像認識ステップと、
前記複数の撮像系の少なくとも１つを副撮像系として当該副撮像系で得られた画像について、他の撮像系を主撮像系として当該主撮像系で得られた画像よりも狭い画像認識角度で前記画像認識ステップによる画像認識処理を制御する制御ステップと、
を有することを特徴とする制御方法。
【請求項１０】
複数の撮像系を備える撮像装置で用いられる制御プログラムであって、
前記撮像装置が備えるコンピュータに、
前記複数の撮像系で得られた画像を順次切り替えて入力して画像認識処理を行う画像認識ステップと、
前記複数の撮像系の少なくとも１つを副撮像系として当該副撮像系で得られた画像について、他の撮像系を主撮像系として当該主撮像系で得られた画像よりも狭い画像認識角度で前記画像認識ステップによる画像認識処理を制御する制御ステップと、
を実行させることを特徴とする制御プログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月16日(2016.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体を撮像して画像データを生成する撮像手段と、
前記撮像手段により生成された画像データから被写体領域を検出する検出手段と、
前記撮像手段により生成された画像データから被写体領域を追尾する追尾手段とを有し、
前記撮像手段は、第１の撮像光学系と第２の撮像光学系とを備えており、
前記追尾手段は、前記第１の撮像光学系から生成された画像データについては、被写体領域の追尾を行い、前記第２の撮像光学系から生成された画像データについては、被写体領域の追尾を行わないようにすることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記検出手段及び前記追尾手段の検出結果を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に被写体の位置情報を一定期間だけ保持するように制御する制御手段とをさらに有することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記第２の撮像光学系から生成された画像データにおける位置情報の保持時間を、前記第１の撮像光学系から生成された画像データにおける位置情報の保持時間よりも長くすることを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記検出手段は、前記第２の撮像光学系から生成された画像データにおける検出の頻度を、前記第１の撮像光学系から生成された画像データにおける検出の頻度よりも低くすることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記第１の撮像光学系及び前記第２の撮像光学系は、互いに逆方向からの外光を集光することを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記被写体領域は顔であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の撮像装置。
【請求項７】
第１の撮像光学系と第２の撮像光学系とを備えており、被写体を撮像して画像データを生成する撮像手段を備えた撮像装置の制御方法であって、
前記撮像手段により生成された画像データから被写体領域を検出する検出工程と、
前記撮像手段により生成された画像データから被写体領域を追尾する追尾工程とを有し、
前記追尾工程においては、前記第１の撮像光学系から生成された画像データについては、被写体領域の追尾を行い、前記第２の撮像光学系から生成された画像データについては、被写体領域の追尾を行わないようにすることを特徴とする撮像装置の制御方法。
【請求項８】
第１の撮像光学系と第２の撮像光学系とを備えており、被写体を撮像して画像データを生成する撮像手段を備えた撮像装置を制御するためのプログラムであって、
前記撮像手段により生成された画像データから被写体領域を検出する検出工程と、
前記撮像手段により生成された画像データから被写体領域を追尾する追尾工程とをコンピュータに実行させ、
前記追尾工程においては、前記第１の撮像光学系から生成された画像データについては、被写体領域の追尾を行い、前記第２の撮像光学系から生成された画像データについては、被写体領域の追尾を行わないようにすることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明に係る撮像装置は、被写体を撮像して画像データを生成する撮像手段と、前記撮像手段により生成された画像データから被写体領域を検出する検出手段と、前記撮像手段により生成された画像データから被写体領域を追尾する追尾手段とを有し、前記撮像手段は、第１の撮像光学系と第２の撮像光学系とを備えており、前記追尾手段は、前記第１の撮像光学系から生成された画像データについては、被写体領域の追尾を行い、前記第２の撮像光学系から生成された画像データについては、被写体領域の追尾を行わないようにすることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月25日(2016.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上のインプリント材をモールドで成形して基板上にパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、
前記基板を保持する基板チャックと、
前記基板チャックの周囲に配置された板と、
前記基板チャックと前記板との間の隙間の少なくとも一部を吸引する吸引機構と、を有し、
前記吸引機構によって前記隙間の少なくとも一部を吸引している間は、前記パターンが形成される基板とは異なるプレートを前記基板チャックに保持させることを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
前記モールドを保持するモールドチャックを更に有し、
前記吸引機構によって前記隙間の少なくとも一部を吸引している間は、前記基板に形成すべきパターンに対応する凹凸パターンを有するモールドとは異なるダミーモールドを前記モールドチャックに保持させることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記ダミーモールドの表面には、異物を捕捉するための粗面又は粘着面を含む捕捉面が形成されていることを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記プレートの表面には、異物を捕捉するための粗面又は粘着面を含む捕捉面が形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記隙間に気体を吹き付ける吹付機構を更に有し、
前記吹付機構によって前記隙間に気体を吹き付けながら、前記吸引機構によって前記隙間の少なくとも一部を吸引することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項６】
前記モールドと前記基板チャックとの間の空間に気体を流す空調機構を更に有し、
前記空調機構によって前記プレートの中心から前記吸引機構による前記隙間の吸引箇所に向かう方向に気体を流しながら、前記吸引機構によって前記隙間の少なくとも一部を吸引することを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記空調機構は、前記吸引機構によって前記隙間の少なくとも一部を吸引している間において前記空間に流す流量が前記インプリント処理を行っている間において前記空間に流す流量よりも大きくなるように、前記空間に気体を流すことを特徴とする請求項６に記載のインプリント装置。
【請求項８】
前記基板チャック及び前記板を保持して移動可能な基板ステージを更に有し、
前記吸引機構は、前記隙間に対向して配置され、前記隙間の一部の領域を吸引するノズルを含み、
前記吸引機構によって前記隙間の少なくとも一部を吸引している間に、前記隙間の領域のうち前記ノズルと対向する前記一部の領域が順次変わるように前記基板ステージを移動させることを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項９】
前記吸引機構は、前記隙間に対向して配置され、前記隙間の全ての領域を吸引するノズルを含むことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１０】
前記基板上にインプリント材を供給する供給機構を有し、
前記吸引機構は、前記モールドと前記供給機構との間に配置されていることを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１１】
前記プレートを収納する第１ストッカと、
前記第１ストッカに収納された前記プレートを前記第１ストッカと前記基板チャックとの間で搬送する第１搬送系と、を更に有することを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１２】
前記ダミーモールドを収納する第２ストッカと、
前記第２ストッカに収納された前記ダミーモールドを前記第２ストッカと前記モールドチャックとの間で搬送する第１搬送系と、を更に有することを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
【請求項１３】
前記板は、前記基板チャックの周囲を取り囲んでいることを特徴とする請求項１乃至１２のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１４】
前記板の表面の高さは、前記基板チャックに保持された前記基板の表面の高さと同じであることを特徴とする請求項１乃至１３のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１５】
基板上のインプリント材をモールドで成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント装置から異物を除去する異物除去方法であって、
前記基板を保持する基板チャックと、前記基板チャックの周囲に配置された板との間の隙間の少なくとも一部を吸引する工程を有し、
前記工程では、前記パターンが形成される基板とは異なるプレートを前記基板チャックに保持させていることを特徴とする異物除去方法。
【請求項１６】
請求項１乃至１４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのインプリント装置は、基板上のインプリント材をモールドで成形して基板上にパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント装置であって、前記基板を保持する基板チャックと、前記基板チャックの周囲に配置された板と、前記基板チャックと前記板との間の隙間の少なくとも一部を吸引する吸引機構と、を有し、前記吸引機構によって前記隙間の少なくとも一部を吸引している間は、前記パターンが形成される基板とは異なるプレートを前記基板チャックに保持させることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月20日(2016.12.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一態様の出入り検知スイッチは、二種類の異なる人体検知信号を出力する二種類の人体検知センサを、部屋の出入り口付近から奥に向かって直列に配置し、前記二種類の人体検知センサで順次検知される異種類の人体検知信号の違いを検出して、人体の入退室を判定する入退室判定部と、前記入退室判定部で判定される前記人体の入退室に基づいて照明器具の点灯及び消灯を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記入退室判定部における前記二種類の人体検知センサのうち、前記出入り口に近い方を第１の人体検知センサとし、前記出入り口から奥の方を第２の人体検知センサとして、前記人体が前記出入り口から入室し、前記第１の人体検知センサが前記人体を検知して前記第１の人体検知信号を出力したとき、点灯用スイッチ素子をオンにして前記照明器具を点灯し、続いて前記第２の人体検知センサが前記人体を検知して前記第２の人体検知信号を出力したとき、前記照明器具の点灯状態をロックし、その後に前記人体が退室する際に前記第１の人体検知センサが再び前記人体を検知して前記第１の人体検知信号を出力したとき、前記点灯状態のロックを解除し、前記点灯用スイッチ素子をオフにして前記照明器具を消灯する制御を行う。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二種類の異なる人体検知信号を出力する二種類の人体検知センサを、部屋の出入り口付近から奥に向かって直列に配置し、前記二種類の人体検知センサで順次検知される異種類の人体検知信号の違いを検出して、人体の入退室を判定する入退室判定部と、
前記入退室判定部で判定される前記人体の入退室に基づいて照明器具の点灯及び消灯を制御する制御部と、を備え、  
前記制御部は、前記入退室判定部における前記二種類の人体検知センサのうち、前記出入り口に近い方を第１の人体検知センサとし、前記出入り口から奥の方を第２の人体検知センサとして、前記人体が前記出入り口から入室し、前記第１の人体検知センサが前記人体を検知して前記第１の人体検知信号を出力したとき、点灯用スイッチ素子をオンにして前記照明器具を点灯し、続いて前記第２の人体検知センサが前記人体を検知して前記第２の人体検知信号を出力したとき、前記照明器具の点灯状態をロックし、その後に前記人体が退室する際に前記第１の人体検知センサが再び前記人体を検知して前記第１の人体検知信号を出力したとき、前記点灯状態のロックを解除し、前記点灯用スイッチ素子をオフにして前記照明器具を消灯する制御を行うことを特徴とする出入り検知スイッチ。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月20日(2016.12.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の一態様の通過型連動照明システムは、通路上に、人体検知可能な２つの親器としての各照明器具と、前記２つの親器間に少なくとも１つの子器としての各照明器具とを設置した通過型連動照明システムにおいて、前記２つの親器の各々は、人体を検知する人感検知部と、該人感検知部の人体検知に基づく指令を無線で送受信する無線通信部と、前
記一方の親器が人体を検知して点灯したとき点灯指令を無線でその親器の前記無線通信部から送信させることによって前記他方の親器及び前記子器を連動して点灯させ、その後に前記他方の親器が人体を検知して消灯したとき消灯指令をその親器の前記無線通信部から送信させることによって前記一方の親器及び前記子器を連動して消灯させる制御を行う制御部とを含み、前記子器は、前記親器からの前記人体検知情報を無線で受信する無線通信部と、該無線通信部で受信した前記人体検知情報に基づいて、前記子器を点灯又は消灯させる制御を行う制御部とを含む。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
人感センサ４１は、焦電型赤外線センサが用いられる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
第１の電源回路２１は、ダイオードブリッジＤＢ１で構成される全波整流回路２１１と、図示しないスイッチングトランスＴＦ１とスイッチングＩＣ１とで構成されるスイッチングレギュレータ２１２とを備える。交流電源部１０からの交流電源電圧をダイオードブリッジＤＢ１で直流化した電源電圧をスイッチングトランスＴＦ１(図示略)の２次側の昇圧コイル側で巻き数比に比例した直流電圧Ｖ２として取得し、その取得した直流電圧Ｖ２がＬＥＤ照明用直流電源として電源出力端子Ｔ０，Ｔ２を経て照明部３０へ供給される。本実施例ではＬＥＤ５個の直列電源１５Ｖが得られるようにスイッチングトランスＴＦ１の巻き数を設定している。また、スイッチングトランスＴＦ１の２次側の低圧コイル側では直流電圧Ｖ１が得られ、次段の第２の電源回路２２へ入力電源電圧として供給される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
照明部３０は、５個の照明用ＬＥＤの直列接続したＬＥＤ照明部３１と、ＬＥＤに流れる電流をオン・オフするスイッチトランジスタＱ１及び制御信号入力用抵抗Ｒ１，Ｒ２で構成されるスイッチ部３２と、を備える。トランジスタＱ１のオン、オフにより点灯、消灯を制御できると共に、トランジスタＱ１にてそのスイッチングの導通(オン)期間を制御することで、ＬＥＤを調光点灯することもできる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
照度検知部５０は、照度センサ５１としてのフォトダイオードと電流増幅部を含むＩＣＰＤ１と、該ＰＤ１のアノード・アース点間に並列接続されたコンデンサＣ３及び抵抗Ｒ３と、を備えている。照度検知部５０は、周辺の照度が点灯に必要な照度(閾値)にまで下がったかを検知するために、周辺の照度を検出するものであるため、照明器具が配置される空間が常に一定照度以下の暗い環境にあるときには、不要としてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
無線通信部６０は、２．４ＧＨｚまたは９５０ＭＨｚの近距離通信無線モジュール６１で構成されている。直接拡散方式による送信であり、送信出力約１ｍＷ程度の近距離通信である。無線モジュール６１のマイコンＩＣと制御用マイコン７１間は前述のＵＡＲＴで通信を行う。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
無線モジュール６１は、マイコン７１に送信する信号を出力する送信端子ＴＸと、マイコン７１から受信する信号を入力する受信端子ＲＸとを有する、通信制御用マイコン６１１と、パターン化したアンテナ６１３と、アンテナ６１３で送受信する信号を処理する無線回路６１２と、を備えている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
図３は本発明の一実施形態の通過型連動照明システムに適用される子器としての照明器具の概略構成を示すブロック図であり、図１のブロック図から人感検知部４０を削除したものとなっている。  
図４は図３の子器における各部の構成を具体的に示す回路ブロック図であり、図２のブロック図から人感検知部４０を削除したものとなっている。  
図５は本発明の一実施形態の通過型連動照明システムにおける親器及び子器の概略的な配置構成を示すブロック図である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
通路上に、人体検知可能な２つの親器としての各照明器具と、前記２つの親器間に少なくとも１つの子器としての各照明器具とを設置した通過型連動照明システムにおいて、
前記２つの親器の各々は、人体を検知する人感検知部と、該人感検知部の人体検知に基づく指令を無線で送受信する無線通信部と、前記一方の親器が人体を検知して点灯したとき点灯指令を無線でその親器の前記無線通信部から送信させることによって前記他方の親器及び前記子器を連動して点灯させ、その後に前記他方の親器が人体を検知して消灯したとき消灯指令をその親器の前記無線通信部から送信させることによって前記一方の親器及び前記子器を連動して消灯させる制御を行う制御部とを含み、
前記子器は、前記親器からの前記人体検知情報を無線で受信する無線通信部と、該無線通信部で受信した前記人体検知情報に基づいて、前記子器を点灯又は消灯させる制御を行う制御部とを含む
ことを特徴とする通過型連動照明システム。
【請求項２】
前記２つの親器の各々は、前記一方の親器の前記人感検知部が人体を検知することによって前記２つの親器及び前記子器が点灯している状態で、前記一方の親器の前記人感検知部が再度人体を検知した時点でタイマー動作を開始し、予め設定された所定時間後に前記両方の親器をリセットさせるリセットタイマーを有したことを特徴とする請求項１に記載の通過型連動照明システム。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2015122216.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月20日(2016.12.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板に形成された発熱手段と、
前記発熱手段と平面視で重なっている、前記発熱手段に電流を入力するための入力手段と、を含み、
前記入力手段は、表面と前記表面に対して反対面の裏面とを有し、前記裏面と前記発熱手段とが電気的に接続されており、
前記発熱手段に流れる電流は、前記入力手段の前記表面と前記裏面との間を流れて前記発熱手段に入力される、発熱体。
【請求項２】
拡散抵抗層が形成された半導体基板と、
前記拡散抵抗層に第１の電圧を印加するための第１電極と、
前記拡散抵抗層に第２の電圧を印加するための第２電極と、を含み、
前記第１電極は、前記拡散抵抗層と接する第１面と、平面視で前記第１面と重なっている第２面とを有し、
前記第２電極は、前記拡散抵抗層と接する第３面と、平面視で前記第３面と重なっている第４面とを有し、
前記第１電極と前記第２電極とは、平面視で、前記拡散抵抗層が形成された領域と重なっており、
前記第１電極、前記第２電極、および前記拡散抵抗層を介して流れる電流は、前記第１面と前記第２面との間、および前記第３面と前記第４面との間を流れる、発熱体。
【請求項３】
前記第１電極および前記第２電極は、アルミニウム、またはアルミニウムを主成分とする合金である、請求項２に記載の発熱体。
【請求項４】
前記第１電極と前記第２電極とは、前記半導体基板の外周縁に沿って同一辺領域に配置されている、請求項２又は３に記載の発熱体。
【請求項５】
前記拡散抵抗層の上に形成された絶縁体層と、
前記第２面と電気的に接続され、かつ、平面視で前記第２面と重なっている、前記絶縁体層の上に形成された第１パッドと、
前記第４面と電気的に接続され、かつ、平面視で前記第４面と重なっている、前記絶縁体層の上に形成された第２パッドと、を有する、
請求項２乃至４のいずれか一項に記載の発熱体。
【請求項６】
前記第１パッドおよび前記第２パッドは、前記第１電極および前記第２電極よりも抵抗率が低い、請求項５に記載の発熱体。
【請求項７】
請求項２乃至６のいずれか一項に記載の発熱体と、
振動片と、を有し、
前記振動片が前記発熱体の表面に配置されている、振動デバイス。
【請求項８】
前記発熱体は、前記半導体基板上に形成された感温素子を有し、
前記感温素子は、平面視で前記振動片と重なっている、請求項７に記載の振動デバイス。
【請求項９】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の発熱体、又は、請求項７又は８に記載の振動デバイスを含む、電子機器。
【請求項１０】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の発熱体、又は、請求項７又は８に記載の振動デバイスを含む、移動体。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月19日(2016.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプログラムモジュールによって構成され、コンピュータに、当該プログラムモジュールに対応する機能を実現させる第１のプログラムであって、
前記複数のプログラムモジュールは、
前記コンピュータ上で実行可能な所定のプログラムを用いた所定のサーバへのログインの履歴であって当該コンピュータによってアクセス可能な所定の記憶領域に記憶されているログイン履歴を参照し、当該ログイン履歴に含まれるログインに用いられた第２のプログラムに対して当該所定のサーバへのログインに用いる認証用情報を要求する認証用情報要求モジュールと、
前記第２のプログラムから取得した前記認証用情報を用いて前記所定のサーバに対してログインを要求するログイン要求モジュールと、を含む、
第１のプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年10月16日(2017.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有限要素シミュレーションを実行する方法であって、
第１有限要素モデルと、前記第１有限要素モデルが表す第１コンピュータ支援設計（ＣＡＤ）モデルとを取得するステップと、
少なくとも前記第１有限要素モデルと前記第１ＣＡＤモデルとを用いて、有限要素シミュレーションを実行するステップであって、該実行は前記第１有限要素モデルと前記第１ＣＡＤモデルとの間の１つまたは複数の変化を決定することを含む、該ステップと
を備えたことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記第１有限要素モデルと前記第１ＣＡＤモデルとの間の前記１つまたは複数の変化は、前記第１有限要素モデルのファセットと前記第１ＣＡＤモデルの表面との間の距離を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。 
【請求項３】
第２有限要素モデルと、前記第２有限要素モデルが表す第２ＣＡＤモデルとを取得するステップをさらに備え、
前記有限要素シミュレーションを実行するステップは、前記第１有限要素モデルと前記第２有限要素モデルとの間の接触をシミュレーションすることを含み、および、前記有限要素シミュレーションは、前記第２有限要素モデルと前記第２ＣＡＤモデルを用いて実行されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記有限要素シミュレーションを実行するステップは、
前記第１ＣＡＤモデルと前記第２ＣＡＤモデルを利用して、前記有限要素シミュレーションの１つまたは複数のエラーを決定することを含むことを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記有限要素シミュレーションの前記１つまたは複数のエラーは、シミュレーションされた接触のエラーが、
ギャップ、および、
侵入
の少なくとも１つであることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
第２ＣＡＤモデルを取得することをさらに備え、
前記有限要素シミュレーションを実行するステップは、前記第１有限要素モデルと前記第２ＣＡＤモデルとの間の接触をシミュレーションすることを含み、および、前記有限要素シミュレーションは前記第２ＣＡＤモデルを用いて実行されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第２ＣＡＤモデルは、前記有限要素シミュレーションにおいて剛体として扱われることを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記有限要素シミュレーションを実行するステップは、 
前記第１ＣＡＤモデルに基づいて、前記第１ＣＡＤモデルの形状に近似させる１つまたは複数の補間関数を生成することと、
前記補間関数を利用して前記有限要素シミュレーションを実行すること
とを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。 
【請求項９】
前記第１有限要素モデルは、少なくとも２つのパーツを表し、
前記有限要素シミュレーションは、前記少なくとも２つのパーツ間の接触をシミュレーションすることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
有限要素シミュレーションを実行するシステムであって、
第１有限要素モデルと、前記第１有限要素モデルが表す第１コンピュータ支援設計（ＣＡＤ）モデルとを取得するように構成されたモデルモジュールと、
少なくとも前記第１有限要素モデルと前記第１ＣＡＤモデルを用いて、有限要素シミュレーションを実行するように構成されたシミュレーションモジュールであって、該実行は前記第１有限要素モデルと前記第１ＣＡＤモデルとの間の１つまたは複数の変化を決定することを含む、該シミュレーションモジュールと
を備えたことを特徴とするシステム。
【請求項１１】
前記第１有限要素モデルと前記第１ＣＡＤモデルとの間の前記１つまたは複数の変化は、前記第１有限要素モデルのファセットと前記第１ＣＡＤモデルの表面との間の距離を含むことを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記モデルモジュールは、第２有限要素モデルと、前記第２有限要素モデルが表す第２ＣＡＤモデルとを取得するようにさらに構成され、
前記有限要素シミュレーションは、前記第１有限要素モデルと前記第２有限要素モデルとの間の接触をシミュレーションすることを含み、および、前記シミュレーションモジュールは、前記第２有限要素モデルと前記第２ＣＡＤモデルを用いて前記有限要素シミュレーションを実行するようにさらに構成されたことを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】
前記シミュレーションモジュールは、前記第１ＣＡＤモデルと前記第２ＣＡＤモデルとを利用して前記有限要素シミュレーションを実行し、および、前記有限要素シミュレーションの１つまたは複数のエラーを決定するように構成されたことを特徴とする請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記有限要素シミュレーションの前記１つまたは複数のエラーは、前記シミュレーションされた接触のエラーが、
ギャップ、および、
侵入
の少なくとも１つであることを特徴とする請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記モデルモジュールは、第２ＣＡＤモデルを取得するようにさらに構成され、 
前記有限要素シミュレーションは、前記第１有限要素モデルと前記第２ＣＡＤモデルとの間の接触をシミュレーションし、および、
前記シミュレーションモジュールは、前記第２ＣＡＤモデルを用いて前記有限要素シミュレーションを実行するようにさらに構成されたことを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１６】
前記シミュレーションモジュールは、前記有限要素シミュレーションにおいて、前記第２ＣＡＤモデルを剛体として扱うようにさらに構成されたことを特徴とする請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記シミュレーションモジュールは、
前記第１ＣＡＤモデルに基づいて、前記第１ＣＡＤモデルの形状に近似させる１つまたは複数の補間関数を生成し、および、
前記生成した補間関数を用いて前記有限要素シミュレーションを実行するように  さらに構成されたことを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１８】
前記第１有限要素モデルは、少なくとも２つのパーツを表し、
前記有限要素シミュレーションは、前記少なくとも２つのパーツ間の接触をシミュレーションすることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１９】
１つまたは複数のクライアントとネットワークを介して通信するサーバによって実行されるコンピュータプログラムであって、
プログラム命令を含むコンピュータ可読媒体を備え、前記プログラム命令は、プロセッサによって実行されると、
第１有限要素モデルと、前記第１有限要素モデルが表す第１コンピュータ支援設計（ＣＡＤ）モデルとを取得させ、
少なくとも前記第１有限要素モデルと前記第１ＣＡＤモデルとを用いて、有限要素シミュレーションを実行させ、該実行は、前記第１有限要素モデルと前記第１ＣＡＤモデルとの間の１つまたは複数の変化を決定することを含むことを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項２０】
前記第１有限要素モデルと前記第１ＣＡＤモデルとの間の前記１つまたは複数の変化は、前記第１有限要素モデルのファセットと前記第１ＣＡＤモデルの表面との間の距離を含むことを特徴とする請求項１９に記載のコンピュータプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月9日(2017.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１利用者が第１利用者認証情報を含む前記第１利用者のコンテンツ利用権を、第２利用者への移転または前記第２利用者との共有を設定する設定手段と、
前記第２利用者から、第２利用者認証情報を含む前記第２利用者のコンテンツ利用権の発行の要求に応じて、該設定がなされていることを確認して、該コンテンツ利用権を発行させる確認手段と、
該コンテンツ利用権の送信手段と、を備え、
前記第１利用者のコンテンツ利用権を、前記第２利用者へ移転または前記第２利用者と共有させるシステムによることを特徴とする方法。
【請求項２】
第１利用者が第１利用者認証情報を含む前記第１利用者のコンテンツ利用権を、第２利用者への移転または前記第２利用者との共有を設定する設定手段と、
前記第２利用者から、第２利用者認証情報を含む前記第２利用者のコンテンツ利用権の発行の要求に応じて、該設定がなされていることを確認して、該コンテンツ利用権を発行させる確認手段と、
該コンテンツ利用権の送信手段と、を備え、
前記第１利用者のコンテンツ利用権を、前記第２利用者へ移転または前記第２利用者と共有させるシステムに、
前記第２利用者のコンテンツ利用権の発行を要求し、該コンテンツ利用権を受信させる手段として、コンピュータを機能させるための制御プログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の課題を解決するため本発明のシステムは、第１利用者が第１利用者認証情報を含む前記第１利用者のコンテンツ利用権を、第２利用者への移転または前記第２利用者との共有を設定する設定手段と、前記第２利用者から、第２利用者認証情報を含む前記第２利用者のコンテンツ利用権の発行の要求に応じて、該設定がなされていることを確認して、該コンテンツ利用権を発行させる確認手段と、該コンテンツ利用権の送信手段と、を備え、前記第１利用者のコンテンツ利用権を、前記第２利用者へ移転または前記第２利用者と共有させることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月21日(2016.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
人体に装着可能なウェアラブル機器であって、
タップ操作が行われると、前記タップ操作の回数であるタップ回数を計数する計数手段と、
前記計数手段によって計数される前記タップ回数が３以上１０以下の所定回数に達したか否かを判定する回数判定手段と、
前記タップ回数が前記所定回数に達したと判定されると、所定の処理を実行する実行手段と、を備えることを特徴とするウェアラブル機器。
【請求項２】
請求項１に記載のウェアラブル機器において、
表示手段と、
前記計数手段によって計数される前記タップ回数を前記表示手段に表示させる表示制御手段と、を有することを特徴とするウェアラブル機器。
【請求項３】
請求項２に記載のウェアラブル機器において、
前記表示制御手段は、前回の前記タップ操作から予め設定された回数表示時間が経過すると、前記表示手段に前記タップ回数を非表示にさせることを特徴とするウェアラブル機器。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載のウェアラブル機器において、
前記表示制御手段は、前記回数判定手段によって前記タップ回数が前記所定回数に達したと判定されると、前記表示手段に表示された前記タップ回数を所定時間維持させることを特徴とするウェアラブル機器。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載のウェアラブル機器において、
前回の前記タップ操作から予め設定された回数保持時間が経過すると、前記計数手段により計数されている前記タップ回数を初期化する回数初期化手段を備えることを特徴とするウェアラブル機器。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載のウェアラブル機器において、
前記回数判定手段によって前記タップ回数が前記所定回数に達したと判定されると、予め設定された規制時間、前記計数手段による計数を規制する規制手段を備えることを特徴とするウェアラブル機器。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載のウェアラブル機器において、
加速度値を検出する加速度検出手段と、
検出された加速度値の変化に基づいて、前記タップ操作が行われたか否かを判定する操作判定手段と、を備え、
前記計数手段は、前記操作判定手段により前記タップ操作が行われたと判定されると、前記タップ回数を計数することを特徴とするウェアラブル機器。
【請求項８】
人体に装着可能なウェアラブル機器の制御方法であって、
タップ操作が行われると、前記タップ操作の回数を計数し、
前記タップ操作の回数が３以上１０以下の所定回数に達した場合に、所定の処理を実行することを特徴とするウェアラブル機器の制御方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月18日(2016.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
このように、本開示のゲート装置１００は、パケット送信電極とパケット受信電極とが一致したことを条件として、ゲート開閉部１０１をオープンする。
すなわち、接続確認要求パケットの送信電極と、接続確認応答パケットの受信電極が一致したことを条件として、ゲート開閉部をオープンし、不一致の場合はオープンしない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
（２）接続確認応答パケットは、上記の接続確認要求パケットに対する応答パケットであり、接続確認要求パケットを受信した人体通信端末が生成し、人体通信端末からゲート装置に対して送信されるパケットである。
接続確認応答パケットは、図７（２）に示すように、ヘッダー部と、データ本体によって構成される。
ヘッダー部には、パケットの開始位置を示す開始コードや、パケットの種類を示すパケット識別コードになどが格納される。
データ本体には、ゲート装置から受信した接続確認要求パケットに格納された出力電極識別子、すなわち、接続確認要求パケットを出力した電極識別子（例えばＰ１〜Ｐ４のいずれか）と、人体通信端末自身の識別子である通信端末識別子が格納される。なお、通信端末識別子は、人体通信端末内の不揮発性メモリ等に格納されたＩＤである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
（ステップＳ１０６）
ステップＳ１０６は、接続確認応答パケットが、複数の電極（例えば図３に示す電極Ｐ３と電極Ｐ４）によって並列に実行された場合に実行する処理である。
このように複数の電極でパケット受信が確認された場合は、受信レルベルの高い電極を受信電極として選択する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５７】
（ステップＳ１５１〜Ｓ１５２）
ステップＳ１５１では、制御部１２０は、人体検知センサ１０２の検出情報に応じて算出した人体の進行速度Ｖと、予め規定した速度閾値Ｖｔを比較する。
人体の進行速度Ｖが、予め規定した速度閾値Ｖｔより大きい場合は、ステップＳ１５３に進む。
一方、人体の進行速度Ｖが、予め規定した速度閾値Ｖｔより大きくない場合は、ステップＳ１２１に進み、処理を中止し、ステップＳ１０１に戻る。この場合は、ゲート開閉部１０１はオープンされず、クローズ状態が維持される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７０】
人体通信端末４２０は、ゲート装置４１０との人体通信を行なう人体通信部４２１と、携帯通信端末４３０との無線通信を行う無線通信部４２２を有する。ブルートゥース（登録商標）通信（ＢＬＥ）、ＷｉＦｉ通信等を実行する。
携帯通信端末４３０は、人体通信端末４２０との無線通信を実行する第１無線通信部４３１と、ゲート装置４１０との無線通信を実行する第２無線通信部４３２を有する。
ゲート装置４１０は、人体通信端末４２０との人体通信を行う人体通信部４１１と、携帯通信端末４３０との無線通信を実行する無線通信部４１２を有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７１】
これらの３つの装置による処理シーケンスについて説明する。処理は、以下の手順で実行される。
（ステップＳ２０１）
通行者がゲート装置４１０の人体通信電極の上に来たら、人体通信部４１１から接続確認要求パケットを送信する。
（ステップＳ２０２）
人体通信端末４２０は、人体通信部４２１を介して接続確認要求パケットを受信すると、無線通信部４２２を介して携帯通信端末４３０の第１無線通信部４３１と通信を行い、ゲート装置４１０と携帯通信端末４３０とが通信を確立するのに必要な情報（ＭＡＣアドレスなど）を要求する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７２】
（ステップＳ２０３）
携帯通信端末４３０は、人体通信端末４２０からの要求に従い、通信に必要な情報を人体通信端末４２０に送信する。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月30日(2016.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極と、
前記陽極上に設けられ、互いに異なる化合物を主成分とする複数層からなる正孔輸送層と、
前記正孔輸送層上に設けられる発光層と、
前記発光層上に設けられる陰極と、
を備え、
前記複数層からなる正孔輸送層のうち最も厚みが厚い第１の正孔輸送層における正孔移動度が、当該第１の正孔輸送層と前記発光層との間に位置する前記正孔輸送層のうち少なくとも１層における正孔移動度よりも大きい、有機ＥＬ素子。
【請求項２】
前記第１の正孔輸送層の正孔移動度は、０．３ＭＶ／ｃｍ〜１．０ＭＶ／ｃｍの電界の範囲において、１×１０−４〜１×１０−３ｃｍ２／Ｖ・ｓｅｃであり、
前記第１の正孔輸送層と前記発光層との間に位置する前記正孔輸送層のうち少なくとも１層の正孔移動度が、０．３ＭＶ／ｃｍ〜１．０ＭＶ／ｃｍの電界の範囲において、１×１０−５〜１×１０−４ｃｍ２／Ｖ・ｓｅｃである、請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項３】
前記第１の正孔輸送層と発光層との間に位置する正孔輸送層のうち少なくとも１層の厚みは、前記第１の正孔輸送層の厚みの１／１０以下である、請求項１又は２に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項４】
前記第１の正孔輸送層と発光層との間に位置する正孔輸送層のうち少なくとも１層の主成分が、アミノカルバゾール誘導体である、請求項１〜３の何れか１項に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項５】
前記アミノカルバゾール誘導体は、下記一般式（１ａ）又は一般式（１ｂ）で表される化合物である、請求項４に記載の有機ＥＬ素子。
【化１】
2015122459.tif 000001
・・・（１ａ）
2015122459.tif 000002
・・・（１ｂ）
ここで、上記一般式（１ａ）及び（１ｂ）において、
Ａｒ１〜Ａｒ７は、置換もしくは無置換のアリール基、又は、置換もしくは無置換のヘテロアリール基であり、Ｌ１〜Ｌ２は、結合基、置換もしくは無置換のアリーレン基、又は、置換もしくは無置換のヘテロアリーレン基である。
【請求項６】
前記第１の正孔輸送層と発光層との間に位置する正孔輸送層のうち少なくとも１層の主成分が、モノアミン誘導体である、請求項１〜３の何れか１項に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項７】
前記モノアミン誘導体は、下記一般式（２）で表される化合物である、請求項６に記載の有機ＥＬ素子。
【化２】
2015122459.tif 000003
・・・（２）
ここで、上記一般式（２）において、
Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、置換もしくは無置換の炭素数１〜１５のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素数６〜３０のアリール基、又は、置換もしくは無置換の炭素数１〜３０のヘテロアリール基であり、
ｌ、ｍ、ｎは、それぞれ０≦ｌ≦４、０≦ｍ≦４、０≦ｎ≦５、を満たす整数であり、
Ａｒ１１は、置換又は無置換の炭素数６〜３０のアリール基であり、
Ｒ１１は、水素原子、フッ素原子、置換シリル基であり、
ｏは、０≦ｏ≦３を満たす整数である。
ただし、ｏが２以上のとき、Ｒ１１は上記の中で異なっていてもよい。
【請求項８】
前記第１の正孔輸送層と発光層との間に位置する正孔輸送層のうち少なくとも１層の主成分が、カルバゾール誘導体である、請求項１〜３の何れか１項に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項９】
前記カルバゾール誘導体は、下記一般式（３）で表される化合物である、請求項８に記載の有機ＥＬ素子。
【化３】
2015122459.tif 000004
・・・（３）
ここで、上記一般式（３）において、
Ａｒ１は、炭素数６〜３０のアリール基、炭素数１〜３０のヘテロアリール基、又は、炭素数１〜１５のアルキル基であり、
Ｒ１〜Ｒ１７は、炭素数６〜３０のアリール基、炭素数１〜３０のヘテロアリール基、炭素数１〜１５のアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、水素原子、又は、重水素原子であり、
Ａｒ２は、炭素数６〜３０の窒素、酸素、硫黄、リン、ケイ素からなる群より選択されるヘテロ原子を含んでもよい縮合環、又は、炭素と窒素とからなる縮合環であり、
Ａｒ１及びＡｒ２は、互いに異なる置換基であり、
ａ及びｂは、０〜３であり、
Ｌ１及びＬ２は、単結合又は２価の連結基を表し、
隣接した複数のＲ１〜Ｒ１０は結合し、飽和又は不飽和の環を形成してもよい（ただし、Ｒ１とＲ６、又は、Ｒ２とＲ１０が結合し、芳香環を形成することはない）。
【手続補正書】
【提出日】平成29年9月12日(2017.9.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トランジスタデバイスの製造方法であって、
ａ．基板上に複数の平行なナノワイヤを形成し、このナノワイヤは、第１端部と第２端部とを有し、第１端部と第２端部は、それぞれの接続部分の手段により、互いに接続され、ナノワイヤと接続部分の双方は、同じ材料を含む工程と、
ｂ．平行なナノワイヤの中央部分の上にダミーゲート構造を形成し、これにより、平行なナノワイヤの中央部分を覆う工程と、
ｃ．平行なナノワイヤと接続部分の上に、中央部分を除いて、第２材料の拡張部分を選択的にエピタキシャル成長する工程と、
ｄ．ダミーゲート構造と拡張部分の周囲と上に埋め込み層を形成する工程と、
ｅ．埋め込み層を平坦化し、これによりダミーゲート構造の上面を露出させる工程と、
ｆ．ゲートトレンチを形成するためにダミーゲート構造を除去し、平行なナノワイヤの中央部分を露出させる工程と、
ｇ．ゲートトレンチの側壁上にスペーサ構造を形成し、最終ゲートトレンチを形成する工程と、
ｈ．この後に、平行なナノワイヤを薄くして、これによりナノワイヤとスペーサ構造との間に空き空間を形成し、平行なナノワイヤの拡張した露出部分とする工程と、
ｉ．平行なナノワイヤの上または周囲に、少なくとも空き空間を部分的に埋め込むように、量子井戸層を選択的に成長し、これにより、量子井戸層とそれぞれの拡張部分との間を接続する工程と、含む方法。
【請求項２】
基板上に平行なナノワイヤを形成する工程は、
ａ．シリコン層をその上に有する基板を提供する工程と、
ｂ．シリコン層の上に酸化物層を提供し、複数の矩形の参照構造を形成するために、酸化物層をパターニングする工程と、
ｃ．参照構造の周囲にスペーサ構造を形成する工程と、
ｄ．シリコン層中にナノワイヤをパターニングするためのハードマスクとして、スペーサ構造を使用する工程と、を含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
平行なナノワイヤの拡張された露出部分の上または周囲に量子井戸層を選択的に成長する前に、最終ゲートトレンチ中およびスペーサの下で、ナノワイヤまたは薄くされたナノワイヤのアンダーエッチを行う工程を更に含む請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
ゲートトレンチの側壁上にスペーサ構造を形成する工程は、ゲートトレンチと平行なナノワイヤの側壁を覆うスペーサ材料を提供する工程と、平行なナノワイヤからスペーサ材料の全てをエッチバックして、スペーサ材料で覆われたゲートトレンチの側壁の全てまたは少なくとも下方部分を残す工程と、を含む請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
スペーサ材料は、また、ゲートトレンチの側壁の上方部分から除去される請求項４に記載の方法。
【請求項６】
平行なナノワイヤの上または周囲に量子井戸層を選択成長する前に、空き空間の直上のレベルにおけるスペーサ構造の膜厚は、平行なナノワイヤを薄くする間のナノワイヤの上面の膜厚減少より小さい請求項１〜５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
更に、ゲート材料スタックで最終ゲートトレンチを埋め込む工程を含む請求項１〜６のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
基板上の、複数の平行なナノワイヤであって、ナノワイヤは第１端部と第２端部とを有し、第１端部と第２端部は、それぞれの接続部分の手段により互いに接続され、ナノワイヤと接続部分の双方は同じ材料を含むナノワイヤと、
平行なナノワイヤの中央部分を除く、平行なナノワイヤと接続部分の上の、第２材料のエピタキシャル成長された拡張部分と、
拡張部分の周囲と上の埋め込み層であって、ナノワイヤの中央部分を覆わず、ナノワイヤの上のゲートトレンチとして好ましいトレンチを規定する埋め込み層と、
トレンチの側壁上のスペーサ構造であって、最終ゲートトレンチを規定するスペーサ構造と、を含む半導体デバイスであって、
半導体デバイスは、ナノワイヤとスペーサ構造との間に空間を含み、空間は、平行なナノワイヤの上または周囲で、少なくとも部分的に空間を埋める量子井戸層により、それぞれの拡張部分の間の接続経路を提供し、これにより、量子井戸層とそれぞれの拡張部分との間を接続する半導体デバイス。