【手続補正書】
【提出日】平成29年1月4日(2017.1.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
発光体から発せられる光のうち、正常発光の判定基準となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させて観察する第１観察部と、
前記発光体から発せられる光のうち、正常発光の判定基準となる第２の波長よりも短い波長の光を透過させて観察する第２観察部とを備え、
前記第１の波長は、前記第２の波長以下に設定されており、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第１観察部で観察された当該特定部位の輝度を第１観察輝度値として出力する、第１観察輝度値出力部と、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第２観察部で観察された当該特定部位の輝度を第２観察輝度値として出力する、第２観察輝度値出力部と、
前記第１観察輝度値と前記第２観察輝度値との比率を観察輝度比率として出力する、観察輝度比率出力部を備え、
予め算出しておいた波長推定関数を登録する波長推定関数登録部と、
前記波長推定関数と前記観察輝度比率に基づいて前記発光体から発せられる光の推定波長を算出する発光波長推定部を備えた、
発光体の発光波長推定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第７の発明は、
発光体から発せられる光のうち、正常発光の判定基準となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させて観察する第１観察部と、
前記発光体から発せられる光のうち、正常発光の判定基準となる第２の波長よりも短い波長の光を透過させて観察する第２観察部とを備え、
前記第１の波長は、前記第２の波長以下に設定されており、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第１観察部で観察された当該特定部位の輝度を第１観察輝度値として出力する、第１観察輝度値出力部と、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第２観察部で観察された当該特定部位の輝度を第２観察輝度値として出力する、第２観察輝度値出力部と、
前記第１観察輝度値と前記第２観察輝度値との比率を観察輝度比率として出力する、観察輝度比率出力部を備え、
予め算出しておいた波長推定関数を登録する波長推定関数登録部と、
前記波長推定関数と前記観察輝度比率に基づいて前記発光体から発せられる光の推定波長を算出する発光波長推定部を備えた、
発光体の発光波長推定装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図１は、本発明を具現化する形態の一例を示す正面図である。
図１には、本発明を具現化する装置の一つの類型である、ＬＥＤチップ検査装置１の構成が示されている。このＬＥＤチップ検査装置１は、第１観察部２Ａと、第２観察部２Ｂと、第１観察輝度値出力部３Ａと、第２観察輝度値出力部３Ｂと、観察輝度比率出力部４と、波長推定関数登録部５と、発光波長推定部６と、励起光照明部７とを備えて構成されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、第１観察部２Ａには、基準波長となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させるための、ロングパスフィルタ２３が備えられている。つまり、撮像カメラ２１では、ＬＥＤチップＣから放出される光の一部７２ａの内、ロングパスフィルタ２３を通過した光２９ａを観察できる。一方、第２観察部２Ｂは、基準波長となる第２の波長よりも長い波長の光を透過させるための、ショートパスフィルタ２８が備えられている。つまり、撮像カメラ２６では、ＬＥＤチップＣから放出される光の一部７２ｂの内、ショートパスフィルタ２８を通過した光２９ｂを観察できる。さらに、上記第１の波長は、上記第２の波長よりも短く設定されている。具体的には、第１の波長を４４０ｎｍ、第２の波長を４５０ｎｍとし、第１観察部２Ａのロングパスフィルタ２３は、波長４４０ｎｍ以上の光を透過させ、第２観察部２Ｂのショートパスフィルタ２８は、波長４５０ｎｍ以下の光を透過させる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
＜別の形態＞
第１観察部２Ａと第２観察部２Ｂとが、ＬＥＤチップＣの特定部位について、同時に観察できる形態としておき、１度に観察できる形態とすることが望ましい。
つまり、第１観察ステップと、第２観察ステップが同時に行われる形態である。
具体的には、図７で示したステップｓ１００〜ｓ１４２を、図７に示す様なフローに基づいて、同じ位置で未知の波長で発光する部位について観察を行い、輝度値算出を並列的に行う形態である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
さらに、上記の形態は、波長推定関数ｆを算出するために第１観察部２Ａと第２観察部２Ｂとで観察する際にも、適用することができる。つまり、図３で示したステップｓ１０〜ｓ２２を、図８に示す様になフローに基づいて、同じ位置でサンプリングのための観察を行い、輝度値算出を並列的に行う形態である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
具体的には、ＬＥＤチップの検査装置１ｂは、ＬＥＤチップＣを観察するための対物レンズ（図示せず）が取り付けられた鏡筒３３と、ハーフミラーや、ビームスプリッタ等と呼ばれる光学素子からなる分岐手段３４と、励起光照明部７ｂを備えて構成されている。励起光照明部７ｂからＬＥＤチップＣに向けて、励起光（例えば、波長３６５ｎｍの紫外光）７１ｂを照射する。そうすると、ＬＥＤチップＣが蛍光発光し、ＬＥＤチップＣから放出される光の一部７３が、鏡筒３３へ向けて放出される。そして、ＬＥＤチップＣから放出される光の一部７３は、分岐手段３４で分岐され、それぞれ分岐した光２５ａ，２５ｂは、第１観察部２Ａと第２観察部２Ｂとで観察するように構成されている。このとき、分岐手段３４から第１観察部２Ａ，第２観察部２Ｂまでの光路長は同じにしておく。さらに、それらの間にレンズ等が配置されていれば、観察倍率も同じになるようにしておく。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
また、上述のＬＥＤチップの検査装置と同様に、第１観察部２Ａは、撮像カメラ２１とロングパスフィルタ２３を備えており、分岐手段３４で分岐された光２５ａのうち、４４０ｎｍ以上の波長の光２９ａを観察できるように構成されている。また、第２観察部２Ｂは、撮像カメラ２６とショートパスフィルタ２８を備えており、分岐手段３４で分岐された光２５ｂのうち、４５０ｎｍ以下の波長の光２９ｂを観察できるように構成されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
１      ＬＥＤチップ検査装置
２Ａ    第１観察部
２１    撮像カメラ
２２    レンズ
２３    ロングパスフィルタ
２Ｂ    第２観察部
２６    撮像カメラ
２７    レンズ
２８    ショートパスフィルタ
２５ａ  分岐した光
２５ｂ  分岐した光
２９ａ  ロングパスフィルタを通過した光
２９ｂ  ショートパスフィルタを通過した光
３Ａ    第１観察輝度値出力部
３Ｂ    第２観察輝度値出力部
４      観察輝度比率出力部
５      波長推定関数登録部
６      発光波長推定部
７      励起光照明部
７１    励起光
７２ａ  ＬＥＤチップＣから放出される光の一部
７２ｂ  ＬＥＤチップＣから放出される光の一部
７３    ＬＥＤチップＣから放出される光の一部
ｓ２    分光観察ステップ
ｓ３    波長特定ステップ
ｓ１１  第１観察ステップ（波長特定部位）
ｓ１２  第１観察輝度出力ステップ（波長特定部位）
ｓ２１  第２観察ステップ（波長特定部位）
ｓ２２  第２観察輝度出力ステップ（波長特定部位）
ｓ３１  観察輝度比率出力ステップ（波長特定部位）
ｓ４１  波長推定関数算出ステップ
ｓ１１１  第１観察ステップ（未知波長部位）
ｓ１１２  第１観察輝度出力ステップ（未知波長部位）
ｓ１２１  第２観察ステップ（未知波長部位）
ｓ１２２  第２観察輝度出力ステップ（未知波長部位）
ｓ１３１  観察輝度比率出力ステップ（未知波長部位）
ｓ１４１  発光波長推定ステップ
ｆ        波長推定関数
Ｃ        ＬＥＤチップ（発光体）
Ｓ        載置台
Ｗ        ウエハー
Ｘ        観察輝度比率
Ｙ        推定波長