【手続補正書】
【提出日】平成28年12月14日(2016.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端側に第１くびれ部を備えた複数のカーボンナノチューブと、
前記複数のカーボンナノチューブの間に充填された樹脂部と
を有することを特徴とするカーボンナノチューブシート。
【請求項２】
前記第１くびれ部は前記カーボンナノチューブの中央部と一端部との間に配置され、前記第１くびれ部の直径は前記カーボンナノチューブの中央部及び一端部の各直径よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のカーボンナノチューブシート。
【請求項３】
前記カーボンナノチューブは、前記樹脂部の一方の表面側で前記第１くびれ部から横方向に折れ曲がっていることを特徴とする請求項１又は２に記載のカーボンナノチューブシート。
【請求項４】
前記カーボンナノチューブは他端側に第２くびれ部を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブシート。
【請求項５】
前記カーボンナノチューブは、
前記樹脂部の一方の表面側で前記第１くびれ部から横方向に折れ曲がっており、かつ、前記樹脂部の他方の表面側で前記第２くびれ部から横方向に折れ曲がっていることを特徴とする請求項４に記載のカーボンナノチューブシート。
【請求項６】
前記カーボンナノチューブはアルミナ膜で被覆されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブシート。
【請求項７】
一端側に第１くびれ部を備えた複数のカーボンナノチューブと、前記複数のカーボンナノチューブの間に充填された樹脂部とを有し、前記カーボンナノチューブは、前記樹脂部の一方の表面側で前記第１くびれ部から横方向に折れ曲がっているカーボンナノチューブシートと、
前記カーボンナノチューブシートの一方の面に配置され、前記複数のカーボンナノチューブの一端側の前記第１くびれ部から折れた部分と接触する発熱体と、
前記カーボンナノチューブシートの他方の面に配置され、前記カーボンナノチューブの他端側に接触する放熱部材と
を有することを特徴とする電子機器。
【請求項８】
前記第１くびれ部は前記カーボンナノチューブの中央部と一端部との間に配置され、前記第１くびれ部の直径は前記カーボンナノチューブの中央部及び一端部の各直径よりも小さいことを特徴とする請求項７に記載の電子機器。 
【請求項９】
前記カーボンナノチューブは前記他端側に第２くびれ部を有し、
前記カーボンナノチューブは、前記樹脂部の他方の表面側で前記第２くびれ部から横方向に折れ曲がっており、
前記放熱部材は、前記カーボンナノチューブの他端側の前記第２くびれ部から折れた部分と接触していることを特徴とする請求項７又は８に記載の電子機器。
【請求項１０】
基板の上に、少なくとも一端側にくびれ部を備えた複数のカーボンナノチューブを形成する工程と、
前記カーボンナノチューブの間に樹脂部を充填する工程と、
前記基板を除去する工程と
を有することを特徴とするカーボンナノチューブシートの製造方法。
【請求項１１】
基板の上に、少なくとも一端側にくびれ部を備えた複数のカーボンナノチューブを形成する工程と、
前記カーボンナノチューブをアルミナ膜で被覆する工程と、
前記基板を除去する工程と
を有することを特徴とするカーボンナノチューブシートの製造方法。
【請求項１２】
基板の上に、少なくとも一端側にくびれ部を備えた複数のカーボンナノチューブを形成する工程と、
前記複数のカーボンナノチューブの間に樹脂部を充填する工程と、
前記基板を除去する工程と
により、カーボンナノチューブシートを得る工程と、
発熱体の上に前記カーボンナノチューブシートを配置する工程と、
前記カーボンナノチューブシートの上に放熱部材を配置し、前記放熱部材を下側に押圧して、前記複数のカーボンナノチューブを前記くびれ部から横方向に折り曲げる工程と
を有することを特徴とする電子機器の製造方法。
【請求項１３】
基板の上に、少なくとも一端側にくびれ部を備えた複数のカーボンナノチューブを形成する工程と、
前記複数のカーボンナノチューブをアルミナ膜で被覆する工程と、
前記基板を除去工程と
により、カーボンナノチューブシートを得る工程と、
発熱体の上に前記カーボンナノチューブシートを配置する工程と、
前記カーボンナノチューブシートの上に部材を配置し、前記部材を下側に押圧して、前記複数のカーボンナノチューブを前記くびれ部から折り曲げる工程と
を有することを特徴とする電子機器の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【図１】図１（ａ）及び（ｂ）は予備的事項に係るカーボンナノチューブシートの課題を説明するため断面図である。
【図２】図２（ａ）〜（ｃ）は第１実施形態のカーボンナノチューブシートの製造方法を示す断面図（その１）である。
【図３】図３（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態のカーボンナノチューブシートの製造方法を示す断面図（その２）である。
【図４】図４（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態のカーボンナノチューブシートの製造方法を示す断面図（その３）である。
【図５】図５は第１実施形態のカーボンナノチューブシートの製造方法を示す断面図（その４）である。
【図６】図６は第１実施形態のカーボンナノチューブシートを示す断面図である。
【図７】図７は第１実施形態のカーボンナノチューブシートを備えた電子機器の製造方法を示す断面図である。
【図８】図８は第１実施形態のカーボンナノチューブシートを備えた電子機器を示す断面図（その１）である。
【図９】図９は第１実施形態のカーボンナノチューブシートを備えた電子機器を示す断面図（その２）である。
【図１０】図１０は第１実施形態の変形例のカーボンナノチューブシートを示す断面図である。
【図１１】図１１は第１実施形態の変形例のカーボンナノチューブシートを備えた電子機器の製造方法を示す断面図である。
【図１２】図１２は第１実施形態の変形例のカーボンナノチューブシートを備えた電子機器を示す断面図である。
【図１３】図１３（ａ）〜（ｃ）は第１実施形態のカーボンナノチューブシートを半導体装置に適用する方法を示す断面図（その１）である。
【図１４】図１４は第１実施形態のカーボンナノチューブシートを半導体装置に適用する方法を示す断面図（その２）である。
【図１５】図１５は第１実施形態のカーボンナノチューブシートを備えた半導体装置を示す断面図である。
【図１６】図１６（ａ）及び（ｂ）は第２実施形態のカーボンナノチューブシートの製造方法を示す断面図（その１）である。
【図１７】図１７は第２実施形態のカーボンナノチューブシートの製造方法を示す断面図（その２である。
【図１８】図１８（ａ）及び（ｂ）は第２実施形態のカーボンナノチューブシートを備えた電子機器の製造方法を示す断面図（その１）である。
【図１９】図１９（ａ）及び（ｂ）は第２実施形態のカーボンナノチューブシートを備えた電子機器の製造方法を示す断面図（その２）である。
【図２０】図２０は第２実施形態のカーボンナノチューブシートを備えた電子機器を示す断面図である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
その後に、図１（ｂ）に示すように、カーボンナノチューブ２００の集合体に樹脂部３００を充填した後に、基板１００が剥離されてカーボンナノチューブシート４００が得られる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
これにより、各カーボンナノチューブ２０ａの下端側の第１くびれ部Ａから折れた第１カーボンナノチューブ部２１が発熱体４０に接触する。第１カーボンナノチューブ部２１の長さは２０μｍ程度であり、その全体が発熱体４０に接触する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
このため、０．５ＭＰａ程度の低い圧力でカーボンナノチューブシート１を押圧することにより、各カーボンナノチューブ２０ａを容易に折り曲げることができる。従って、発熱体４０が半導体素子の場合であっても、半導体素子が破壊するおそれがなくなる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１０】
１，１ａ，１ｂ…カーボンナノチューブシート、２，２ａ…電子機器、３…半導体装置、１０…シリコン基板、１２…触媒金属膜、１２ａ…触媒金属微粒子、２０，２０ｘ…カーボンナノチューブ集合体、２０ａ…カーボンナノチューブ、２１…第１カーボンナノチューブ部、２２…第２カーボンナノチューブ部、２３…第３カーボンナノチューブ部、２４…アルミナ膜、３０ａ…熱可塑性樹脂シート、３０…樹脂部、４０…発熱体、５０…放熱部材、５２…押圧部材、６０…配線基板、７０…半導体素子、７２…バンプ電極、７４…アンダーフィル樹脂、８０…ヒートスプレッダ、８２…平板部、８４…突出部、８６…接着剤、Ａ…第１くびれ部、Ｂ…第２くびれ部、Ｃ…凹部、Ｐ…接続パッド、Ｔ…外部接続端子。