【手続補正書】
【提出日】平成29年10月13日(2017.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から延出している振動腕と、を備え、
前記振動腕は、表面および前記表面と反対側の裏面と、前記表面および前記裏面に設けられた溝と、前記表面と前記裏面とを接続する側面と、前記側面に設けられた側面電極と、前記溝に設けられた溝電極と、を有し、
前記表面側から見た平面視で、前記側面の少なくとも一部には、前記表面側に向く傾斜部を有し、
前記側面電極は、前記傾斜部で分割されていることを特徴とする振動素子。
【請求項２】
請求項１に記載の振動素子において、
前記振動腕は、駆動振動腕および検出振動腕を含み、
前記検出振動腕には、前記側面電極および前記溝電極として検出電極が設けられていることを特徴とする振動素子。
【請求項３】
請求項２に記載の振動素子において、
前記検出振動腕は、前記平面視で、前記基部の一端から延出し、
前記駆動振動腕は、前記平面視で、前記基部の前記一端とは反対側の他端から延出していることを特徴とする振動素子。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の振動素子において、
前記基部から延出し、前記検出振動腕または前記駆動振動腕を内側に挟むように位置する一対の調整用振動腕を備えていることを特徴とする振動素子。
【請求項５】
請求項２に記載の振動素子において、
前記駆動振動腕および前記検出振動腕の少なくとも一つは、前記基部と接続する一端とは反対側の他端側に幅広部を有することを特徴とする振動素子。
【請求項６】
請求項３または請求項４に記載の振動素子において、
前記駆動振動腕、前記検出振動腕、および前記調整用振動腕の少なくとも一つは、前記基部と接続する一端とは反対側の他端側に幅広部を有することを特徴とする振動素子。
【請求項７】
基部と、
前記基部から延出している振動腕と、前記振動腕の表面および前記表面と反対側の裏面と、前記表面および前記裏面に設けられた溝と、前記表面と前記裏面とを接続する側面と、前記側面に設けられた側面電極と、前記溝に設けられた溝電極と、を備えている振動素子の製造方法であって、
前記表面側から見た平面視で、前記側面の少なくとも一部が、前記表面側に向く傾斜部を含む外周形状を形成する外形形成工程と、
前記振動腕の前記表面および前記裏面に前記溝を形成する溝形成工程と、
前記溝に溝電極膜を形成し、前記側面に側面電極膜を形成する電極膜形成工程と、
前記傾斜部に形成された前記側面電極膜を分割し、前記溝に形成された前記溝電極膜を分割するする電極分割工程と、を含み、
前記電極分割工程では、前記表面側から光を照射する露光工程を含むフォトリソ技術を用いて前記側面電極膜および前記溝電極膜を分割することを特徴とする振動素子の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の振動素子の製造方法において、
前記外形形成工程は、ドライエッチング法により外形形状を形成する工程を含むことを特徴とする振動素子の製造方法。
【請求項９】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の振動素子と、
少なくとも前記振動腕を励振させる駆動回路を含む電子部品と、
前記振動素子および前記電子部品の少なくとも一方を収容しているパッケージと、を備えている電子デバイス。
【請求項１０】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の振動素子を備えている電子機器。
【請求項１１】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の振動素子を備えている移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
ジャイロセンサーには、水晶などの圧電体材料により形成されたジャイロ素子が広く用いられている（例えば、特許文献１を参照）。特許文献１に記載の振動素子（振動片）は、水晶からなる基部と、基部のそれぞれの端部から並行させて延伸された一対の検出振動腕および駆動振動腕と、を含む、所謂Ｈ型のジャイロ素子である。このジャイロ素子の検出振動腕には貫通孔が設けられている。そして、貫通孔の二側面および検出振動腕の二側面（外側面）には、分割された検出電極が設けられている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
上述した屈曲振動片２００によれば、駆動振動腕１２０の断面形状が台形をなしており、表面１０３ｃ側に、側面１０３ｈ，１０３ｉが露出している。そして、露出した傾斜部に、第１駆動電極１２１ａ，１２１ｂと第２駆動電極１２２ａ，１２２ｂとを分割する電極分割部（分割ライン）１０３ｍ，１０３ｎが設けられている。これにより、露光による電極分割部１０３ｍ，１０３ｎの形成に、平面露光を用いる簡便な装置を用いることが可能となり、電極を分割する分割部の形成のための露光（レジスト露光）を容易に行うことができる。したがって、凹部（溝）１４８の内の分割と側面１０３ｈ，１０３ｉの内の分割とのための露光（レジスト露光）を、同じ平面露光を用いる簡便な装置を用いて行うことができ、屈曲振動片２００を低コストで容易に形成することが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
検出振動腕３ａには、側面３ｈに、検出振動腕３ａの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出振動腕３ａの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部３ｍによって分割された、側面電極として表面３ｃ側の第１検出電極２１ａと裏面３ｄ側の第２検出電極２２ｂとが設けられている。さらに、第１検出電極２１ａと対向する凹部（溝）５８ａの内側面には、溝電極としての第２検出電極２２ａが設けられ、第２検出電極２２ｂと対向する凹部５８ａの内側面には、溝電極としての第１検出電極２１ｂが設けられている。また、反対側の側面３ｉに、検出振動腕３ａの厚み方向の略中央に有って検出振動腕３ａの延伸方向に沿って設けられた電極分割部３ｎによって分割された、側面電極として表面３ｃ側の第２検出電極２２ａと裏面３ｄ側の第１検出電極２１ｂとが設けられている。さらに、第２検出電極２２ａと対向する凹部５８ａの内側面には、溝電極としての第１検出電極２１ａが設けられ、第１検出電極２１ｂと対向する凹部５８ａの内側面には、溝電極としての第２検出電極２２ｂが設けられている。なお、凹部５８ａの内側面の第２検出電極２２ａおよび第１検出電極２１ａと、凹部５８ａの内側面の第１検出電極２１ｂおよび第２検出電極２２ｂとは、凹部５８ａの底面で分割されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
同様に、検出振動腕３ｂには、側面３ｊに、検出振動腕３ｂの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出振動腕３ｂの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部３ｒによって分割された、表面３ｇ側の第２検出電極３１ａと裏面３ｆ側の第１検出電極３２ｂとが設けられている。さらに、第２検出電極３１ａと対向する凹部（溝）５８ｂの内側面には、第１検出電極３２ａが設けられ、第１検出電極３２ｂと対向する凹部５８ｂの内側面には、第２検出電極３１ｂが設けられている。また、側面３ｊとは反対側の側面３ｋに、検出振動腕３ｂの厚み方向の略中央に有って検出振動腕３ｂの延伸方向に沿って設けられた電極分割部３ｓによって分割された、表面３ｇ側の第１検出電極３２ａと裏面３ｆ側の第２検出電極３１ｂとが設けられている。さらに、第１検出電極３２ａと対向する凹部５８ｂの内側面には、第２検出電極３１ａが設けられ、第２検出電極３１ｂと対向する凹部５８ｂの内側面には、第１検出電極３２ｂが設けられている。なお、凹部５８ｂの内側面の第２検出電極３２ａおよび第１検出電極３１ａと、凹部５８ｂの内側面の第１検出電極３１ｂおよび第２検出電極３２ｂとは、凹部５８ｂの底面で分割されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
また、上述したジャイロ素子３００によれば、一対の検出振動腕３ａ，３ｂの断面形状が台形をなしており、表面３ｃ，３ｇ側に、側面３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋが露出している。そして、第１検出電極２１ａ，２１ｂ，３２ａ，３２ｂと第２検出電極２２ａ，２２ｂ，３１ａ，３１ｂとを分割する電極分割部（分割ライン）３ｍ，３ｎ，３ｒ，３ｓが設けられている傾斜部に露光用の照射光Ｌを直接照射することができる。これにより、側面３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋにおける露光による電極分割部３ｍ，３ｎ，３ｒ，３ｓの形成に、平面露光を用いる簡便な装置を用いることが可能となる。また、同時に、凹部（溝）５８ａ，５８ｂの内の第１検出電極２１ａ，２１ｂ，３２ａ，３２ｂと第２検出電極２２ａ，２２ｂ，３１ａ，３１ｂの電極分割部（図示せず）を、凹部（溝）５８ａ，５８ｂの底面に形成するための露光（レジスト露光）を行うことができる。このように、側面３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋおよび凹部（溝）５８ａ，５８ｂの内の電極分割のための露光（レジスト露光）を容易に行うことができる。つまり、電極分割部３ｍ，３ｎ，３ｒ，３ｓを有するジャイロ素子３００を低コストで容易に形成することが可能となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
このような構成のジャイロ素子４００は、次のようにしてＺ軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子４００は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極（図示せず）および駆動接地電極（図示せず）の間に電界が生じると、各駆動振動腕４４１，４４２，４４３，４４４がＸ軸方向に屈曲振動を行う。このとき、第１、第２駆動振動腕４４１，４４２と、第３、第４駆動振動腕４４３，４４４とは、中心点（重心）を通るＹＺ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部４１と、第１、第２連結腕４３１，４３２と、第１、第２検出振動腕４２１，４２２とは、ほとんど振動しない。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１４】
次に、露光工程Ｓ１０８では、金属膜の表面にフォトレジスト層を形成する。その後、電極を形成しない部分に相当する部分のフォトレジスト層に光を照射する露光処理および現像処理を行い、露光された部分のフォトレジスト層を除去する。この露光工程Ｓ１０８において、振動腕（例えば駆動振動腕１２０，１３０）の側面１０３ｈ，１０３ｉ，１０３ｊ，１０３ｋを含む外形形状が、表面１０３ｃ，１０３ｇ側から見て視認可能なように露出する傾斜部となっており、この傾斜部に、電極を形成しない部分、すなわち電極分割部１０３ｍ，１０３ｎ，１０３ｒ，１０３ｓを設ける。これによって、駆動振動腕１２０，１３０の表面１０３ｃ，１０３ｇや裏面１０３ｄ，１０３ｆに向けて露光用の光を照射する、所謂平面露光を用いても、傾斜部（側面１０３ｈ，１０３ｉ，１０３ｊ，１０３ｋ）に直接光を照射することができる。また、平面露光によって、凹部（溝）１４８，１５８内の底面も露光用の光を照射することができる。このように、凹部（溝）１４８，１５８および傾斜部の露光においては、傾斜部に対して平行光を一方向から照射する平面露光を用いることができる。したがって、平面露光を用いる簡便な装置を用いることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
図９に示すように、ジャイロセンサー５００は、パッケージ５１０の凹部に、ジャイロ素子３００と、電子部品としての半導体装置５２０と、を収容し、パッケージ５１０の開口部を蓋体５３０により密閉し、内部を気密に保持されている。パッケージ５１０は、図９に示すように、平板状の第１基板５１１と、第１基板５１１上に、枠状の第２基板５１２、第３基板５１３、第４基板５１４、を順に積層、固着して形成され、半導体装置５２０とジャイロ素子３００とが収容される凹部が形成される。基板５１１，５１２，５１３，５１４は、例えばセラミックスなどにより形成される。