【手続補正書】
【提出日】平成28年12月19日(2016.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動素子と、
前記振動素子が取り付けられているパッケージと、
前記パッケージに前記振動素子を取り付ける部材と、
を含み、
前記振動素子は、
基部と、
平面視で前記基部の一端側から延出されている一対の振動腕と、
平面視で前記基部の他端側に配置されている接続部と、
平面視で前記基部と前記接続部との間に配置され、前記基部と前記接続部とを連結している連結部と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
平面視で前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含み、
前記基部の前記延出方向と交差する方向に沿った幅をＷ１、
前記連結部の前記交差する方向に沿った幅をＷ２、
前記部材のヤング率をＥ（ＧＰａ）としたとき、
【数１】
2015128269.tif 000001
なる関係のときに、
【数２】
2015128269.tif 000002
なる関係を満足することを特徴とする振動子。
【請求項２】
振動素子と、
前記振動素子が取り付けられているパッケージと、
前記パッケージに前記振動素子を取り付ける部材と、
を含み、
前記振動素子は、
基部と、
平面視で前記基部の一端側から延出されている一対の振動腕と、
平面視で前記基部の他端側に配置されている接続部と、
平面視で前記基部と前記接続部との間に配置され、前記基部と前記接続部とを連結している連結部と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
平面視で前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含み、
前記基部の前記延出方向と交差する方向に沿った幅をＷ１、
前記連結部の前記交差する方向に沿った幅をＷ２、
前記部材のヤング率をＥ（ＧＰａ）としたとき、
【数３】
2015128269.tif 000003
なる関係のときに、
【数４】
2015128269.tif 000004
なる関係を満足することを特徴とする振動子。
【請求項３】
振動素子と、
前記振動素子が取り付けられているパッケージと、
前記パッケージに前記振動素子を取り付ける部材と、
を含み、
前記振動素子は、
基部と、
平面視で前記基部の一端側から延出されている一対の振動腕と、
平面視で前記基部の他端側に配置されている接続部と、
平面視で前記基部と前記接続部との間に配置され、前記基部と前記接続部とを連結している連結部と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
平面視で前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含み、
前記基部の前記延出方向と交差する方向に沿った幅をＷ１、
前記連結部の前記交差する方向に沿った幅をＷ２、
前記部材のヤング率をＥ（ＧＰａ）としたとき、
【数５】
2015128269.tif 000005
なる関係のときに、
【数６】
2015128269.tif 000006
なる関係を満足することを特徴とする振動子。
【請求項４】
振動素子と、
前記振動素子が取り付けられているパッケージと、
前記パッケージに前記振動素子を取り付ける部材と、
を含み、
前記振動素子は、
基部と、
平面視で前記基部の一端側から延出されている一対の振動腕と、
平面視で前記基部の他端側に配置されている接続部と、
平面視で前記基部と前記接続部との間に配置され、前記基部と前記接続部とを連結している連結部と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
平面視で前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含み、
前記基部の前記延出方向と交差する方向に沿った幅をＷ１、
前記連結部の前記交差する方向に沿った幅をＷ２、
前記部材のヤング率をＥ（ＧＰａ）としたとき、
【数７】
2015128269.tif 000007
なる関係のときに、
【数８】
2015128269.tif 000008
なる関係を満足することを特徴とする振動子。
【請求項５】
振動素子と、
前記振動素子が取り付けられているパッケージと、
前記パッケージに前記振動素子を取り付ける部材と、
を含み、
前記振動素子は、
基部と、
平面視で前記基部の一端側から延出されている一対の振動腕と、
平面視で前記基部の他端側に配置されている接続部と、
平面視で前記基部と前記接続部との間に配置され、前記基部と前記接続部とを連結している連結部と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
平面視で前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含み、
前記基部の前記延出方向と交差する方向に沿った幅をＷ１、
前記連結部の前記交差する方向に沿った幅をＷ２、
前記部材のヤング率をＥ（ＧＰａ）としたとき、
【数９】
2015128269.tif 000009
なる関係のときに、
【数１０】
2015128269.tif 000010
なる関係を満足することを特徴とする振動子。
【請求項６】
振動素子と、
前記振動素子が取り付けられているパッケージと、
前記パッケージに前記振動素子を取り付ける部材と、
を含み、
前記振動素子は、
基部と、
平面視で前記基部の一端側から延出されている一対の振動腕と、
平面視で前記基部の他端側に配置されている接続部と、
平面視で前記基部と前記接続部との間に配置され、前記基部と前記接続部とを連結している連結部と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
平面視で前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含み、
前記基部の前記延出方向と交差する方向に沿った幅をＷ１、
前記連結部の前記交差する方向に沿った幅をＷ２、
前記部材のヤング率をＥ（ＧＰａ）としたとき、
【数１１】
2015128269.tif 000011
なる関係のときに、
【数１２】
2015128269.tif 000012
なる関係を満足することを特徴とする振動子。
【請求項７】
前記接続部は、平面視で、前記部材と重なっている部分を有する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項８】
前記振動腕の前記延出方向に沿った長さをＬ、
前記錘部の前記延出方向に沿った長さをＨとしたとき、
【数１３】
2015128269.tif 000013
なる関係を満足する請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項９】
前記振動腕の前記延出方向に沿った長さをＬ、
前記錘部の前記延出方向に沿った長さをＨとしたとき、
【数１４】
2015128269.tif 000014
なる関係を満足する請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１０】
前記振動腕は、互いに表裏の関係にある１対の主面と、前記１対の主面にそれぞれ設けられている１対の溝と、を有し、
前記延出方向と交差する方向に沿って前記溝を挟んで並んでいる前記主面の各部位の幅をＷ３としたとき、
７（μｍ）≦Ｗ３≦１５（μｍ）
なる関係を満足している請求項１ないし９のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１１】
前記振動腕は、互いに表裏の関係にある１対の主面と、前記１対の主面にそれぞれ設けられている１対の溝と、を有し、
前記振動腕の厚さをＴ、
前記溝の深さをｔとしたとき、
【数１５】
2015128269.tif 000015
なる関係を満足している請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１２】
前記錘部は、前記腕部よりも前記延出方向と交差する方向に沿った幅が広い請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１３】
前記基部は、前記他端側に位置し、平面視で前記延出方向と交差する方向の長さが、前記一対の振動腕の間の中心線に沿って、前記一端から離れるに従って連続的または段階的に減少している第１縮幅部を含んでいる請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１４】
前記基部は、前記一端側であって前記一対の振動腕の間に位置し、平面視で前記延出方向と交差する方向の長さが、前記一対の振動腕の間の中心線に沿って、前記他端から離れるに従って連続的または段階的に減少している第２縮幅部を含んでいる請求項１ないし１１３のいずれか１項に記載の振動子。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の振動子と、
回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項１６】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の振動子を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１７】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の振動子を備えていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項１８】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の振動子を備えていることを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例７］
本適用例の振動子では、前記接続部は、平面視で、前記部材と重なっている部分を有することが好ましい。
［適用例８］
本適用例の振動子では、前記振動腕の前記延出方向に沿った長さをＬ、
前記錘部の前記延出方向に沿った長さをＨとしたとき、
【数１３】
2015128269.tif 000016
なる関係を満足することが好ましい。
これにより、振動素子のＱ値を向上させることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例９］
本適用例の振動子では、前記振動腕の前記延出方向に沿った長さをＬ、
前記錘部の前記延出方向に沿った長さをＨとしたとき、
【数１４】
2015128269.tif 000017
なる関係を満足することが好ましい。
これにより、振動素子のＣＩ値を低減することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例１０］
本適用例の振動子では、前記振動腕は、互いに表裏の関係にある１対の主面と、前記１対の主面にそれぞれ設けられている１対の溝と、を有し、
前記延出方向と交差する方向に沿って前記溝を挟んで並んでいる前記主面の各部位の幅をＷ３としたとき、
７（μｍ）≦Ｗ３≦１５（μｍ）
なる関係を満足していることが好ましい。
これにより、熱弾性損失を低減することができ、より優れた振動特性を発揮することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
［適用例１１］
本適用例の振動子では、前記振動腕は、互いに表裏の関係にある１対の主面と、前記１対の主面にそれぞれ設けられている１対の溝と、を有し、
前記振動腕の厚さをＴ、
前記溝の深さをｔとしたとき、
【数１５】
2015128269.tif 000018
なる関係を満足していることが好ましい。
これにより、熱弾性損失を低減することができ、より優れた振動特性を発揮することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例１２］
本適用例の振動子では、前記錘部は、前記腕部よりも前記延出方向と交差する方向に沿った幅が広いことが好ましい。
これにより、錘部の効果をより発揮することができる。
［適用例１３］
本適用例の振動子では、前記基部は、前記他端側に位置し、平面視で前記延出方向と交差する方向の長さが、前記一対の振動腕の間の中心線に沿って、前記一端から離れるに従って連続的または段階的に減少している第１縮幅部を含んでいることが好ましい。
これにより、第１縮幅部によって振動腕の振動が相殺（緩和・吸収）され、振動漏れを低減することができる。そのため、優れた振動特性を有する振動片が得られる。また、基部の一端と他端の離間距離が広がり、これらの間での熱移動を低減でき、熱弾性損失を低減することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
［適用例１４］
本適用例の振動子では、前記基部は、前記一端側であって前記一対の振動腕の間に位置し、平面視で前記延出方向と交差する方向の長さが、前記一対の振動腕の間の中心線に沿って、前記他端から離れるに従って連続的または段階的に減少している第２縮幅部を含んでいることが好ましい。
これにより、第２縮幅部によって振動腕の振動が相殺（緩和・吸収）され、振動漏れを低減することができる。そのため、優れた振動特性を有する振動片が得られる。また、基部の一端と他端の離間距離が広がり、これらの間での熱移動を低減でき、熱弾性損失を低減することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
［適用例１５］
本適用例の発振器は、上記適用例の振動子と、
回路と、
を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い発振器が得られる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
［適用例１６］
本適用例の電子機器は、上記適用例の振動子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
［適用例１７］
本適用例の物理量センサーは、上記適用例の振動子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い物理量センサーが得られる。
［適用例１８］
本適用例の移動体は、上記適用例の振動子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。