【誤訳訂正書】
【提出日】平成29年6月2日(2017.6.2)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を研磨するための研磨パッドであって、前記研磨パッドは、
研磨表面および裏側表面を有する研磨体であって、前記研磨表面は、複数の離散直線状区画を備える溝のパターンを有し、前記複数の離散直線状区画は、前記研磨表面の半径に直交または略直交し、前記溝のパターンは、半径方向溝を有し、前記半径方向溝は、前記研磨表面の半径に沿うが、前記複数の離散直線状区画と接触しない、研磨体
を含む、研磨パッド。
【請求項２】
前記研磨表面の半径に直交または略直交する前記複数の離散直線状区画は、同心または略同心の多角形配列の、完全ではないが、一部を形成する、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項３】
前記同心または略同心の多角形配列の一部は、前記多角形のうちの１つ以上の多角形から１つ以上の変曲点を削除している、請求項２に記載の研磨パッド。
【請求項４】
前記同心または略同心の多角形配列の一部は、前記多角形のうちの１つ以上の多角形から１つ以上の縁を削除している、請求項２に記載の研磨パッド。
【請求項５】
基板を研磨するための研磨パッドを加工する方法であって、
前記方法は、
プレポリマーと硬化剤とを混合することであって、前記混合することにより、形成金型の基部の中に混合物を形成する、ことと、
前記形成金型の蓋を前記混合物の中へ移動させることであって、前記蓋は、同心または略同心の多角形を備える突出のパターンをその上に配置されており、前記突出のパターンは、最内多角形から最外多角形まで連続する半径方向突出を有していない、ことと、
前記蓋が前記混合物内に置かれた状態で、少なくとも部分的に前記混合物を硬化させることであって、前記硬化させることにより、研磨表面を備える成形された均質な研磨体を形成し、前記研磨表面は、前記蓋の前記突出のパターンに対応する溝のパターンをそれに配置されている、ことと
を含む、方法。
【請求項６】
前記成形された均質な研磨体を形成することは、熱硬化性ポリウレタン材料を形成することを含む、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記混合することは、複数のポロゲンを前記プレポリマーおよび前記硬化剤に添加することをさらに含み、前記添加することにより、複数の閉鎖セル細孔を前記成形された均質な研磨体の中に形成し、各閉鎖セル細孔は、物理的シェルを有する、請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記混合することは、気体を前記プレポリマーおよび前記硬化剤の中へ、またはそれから形成された生成物の中へ注入することをさらに含み、前記注入することにより、複数の閉鎖セル細孔を前記成形された均質な研磨体の中に形成し、各閉鎖セル細孔は、物理的シェルを有していない、請求項５に記載の方法。
【請求項９】
前記プレポリマーと前記硬化剤とを混合することは、イソシアネートおよび芳香族ジアミン化合物をそれぞれ混合することを含む、請求項５に記載の方法。
【請求項１０】
前記混合することは、不透明化潤滑剤を前記プレポリマーおよび前記硬化剤に添加することをさらに含み、前記添加することにより、不透明な成形された均質な研磨体を形成する、請求項５に記載の方法。
【請求項１１】
前記混合物を硬化させることは、最初に、前記形成金型の中で部分的に硬化させ、次いで、炉の中でさらに硬化させることを含む、請求項５に記載の方法。
【請求項１２】
前記突出のパターンは、半径方向突出を有していない、請求項５に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
別の実施形態では、基板を研磨するための研磨パッドは、研磨体を含む。研磨体は、研磨表面および裏側表面を有する。研磨表面は、その間に連続性を有する入れ子状態の不完全多角形を含む溝のパターンを有する。
例えば、本発明は、以下を提供する。
（項目１）
基板を研磨するための研磨パッドであって、
該研磨パッドは、
研磨表面および裏側表面を有する研磨体
を備え、該研磨表面は、同心または略同心の多角形を備える溝のパターンを有し、該溝のパターンは、最内多角形から最外多角形まで連続する半径方向溝を有していない、研磨パッド。
（項目２）
上記多角形の各々は、同一の数の縁を有する、項目１に記載の研磨パッド。
（項目３）
上記縁の数は、上記研磨パッドの直径または上記基板の直径によって決定される、項目２に記載の研磨パッド。
（項目４）
上記研磨パッドの直径は、約３０インチであり、上記基板の直径は、約１２インチであり、上記多角形は、十六角形である、項目３に記載の研磨パッド。
（項目５）
上記研磨パッドの直径は、約２０インチであり、上記基板の直径は、約８インチであり、上記多角形は、十角形である、項目３に記載の研磨パッド。
（項目６）
上記最外多角形の各縁の長さは、上記基板の直径の長さの５０〜６０％の範囲内におよそある、項目３に記載の研磨パッド。
（項目７）
上記溝のパターンは、半径方向溝を有していない、項目１に記載の研磨パッド。
（項目８）
上記溝のパターンは、上記同心または略同心の多角形の２つの連続した多角形の間に半径方向溝をさらに備える、項目１に記載の研磨パッド。
（項目９）
上記同心または略同心の多角形の各多角形は、その連続した多角形に対して回転の角度を有していない、項目１に記載の研磨パッド。
（項目１０）
上記多角形のうちの１つ以上は、その連続した多角形に対して回転の角度を有する、項目１に記載の研磨パッド。
（項目１１）
上記回転の角度は、上記溝のパターンにおける同心または略同心の多角形の総数によって決定される、項目１０に記載の研磨パッド。
（項目１２）
上記１つ以上の多角形は、上記連続した多角形に対して、時計回りの回転を有する、項目１０に記載の研磨パッド。
（項目１３）
上記１つ以上の多角形は、上記連続した多角形に対して、反時計回りの回転を有する、項目１０に記載の研磨パッド。
（項目１４）
上記多角形は、同心であり、該同心多角形の中心は、上記研磨パッドの中心に位置する、項目１に記載の研磨パッド。
（項目１５）
上記多角形は、同心であり、該同心多角形の中心は、上記研磨パッドの中心からオフセットされている、項目１に記載の研磨パッド。
（項目１６）
上記溝のパターンは、上記同心多角形を中断する１つ以上の円形溝をさらに備え、該多角形は、同心であり、各円形溝の中心は、該同心多角形の中心に位置する、項目１に記載の研磨パッド。
（項目１７）
上記多角形のうちの１つは、該多角形のうちの別の１つと異なる数の縁を有する、項目１に記載の研磨パッド。
（項目１８）
上記最外多角形は、上記最内多角形よりも多くの縁を有する、項目１７に記載の研磨パッド。
（項目１９）
上記多角形のうちの１つ以上は、変形される、項目１に記載の研磨パッド。
（項目２０）
上記研磨体の中に配置された局所領域透過性（ＬＡＴ）領域をさらに備え、該ＬＡＴ領域は、上記溝のパターンを中断する、項目１に記載の研磨パッド。
（項目２１）
上記研磨表面は、指示領域をさらに備え、該指示領域は、上記研磨パッドの上記裏側表面に配置された検出領域の場所を示し、該指示領域は、上記溝のパターンを中断する、項目１に記載の研磨パッド。
（項目２２）
上記研磨体は、熱硬化性ポリウレタン材料を備える均質な研磨体である、項目１に記載の研磨パッド。
（項目２３）
上記研磨体は、成形された研磨体である、項目１に記載の研磨パッド。
（項目２４）
基板を研磨するための研磨パッドを加工する方法であって、
該方法は、
プレポリマーと硬化剤とを混合することであって、該混合することにより、形成金型の基部の中に混合物を形成する、ことと、
該形成金型の蓋を該混合物の中へ移動させることであって、該蓋は、同心または略同心の多角形を備える突出のパターンをその上に配置されており、該突出のパターンは、最内多角形から最外多角形まで連続する半径方向突出を有していない、ことと、
該蓋が該混合物内に置かれた状態で、少なくとも部分的に該混合物を硬化させることであって、該硬化させることにより、研磨表面を備える成形された均質な研磨体を形成し、該研磨表面は、該蓋の該突出のパターンに対応する溝のパターンをそれに配置されている、ことと
を備える、方法。
（項目２５）
上記成形された均質な研磨体を形成することは、熱硬化性ポリウレタン材料を形成することを備える、項目２４に記載の方法。
（項目２６）
上記混合することは、複数のポロゲンを上記プレポリマーおよび上記硬化剤に添加することをさらに備え、該添加することにより、複数の閉鎖セル細孔を上記成形された均質な研磨体の中に形成し、各閉鎖セル細孔は、物理的シェルを有する、項目２４に記載の方法。
（項目２７）
上記混合することは、気体を上記プレポリマーおよび上記硬化剤の中へ、またはそれから形成された生成物の中へ注入することをさらに備え、該注入することにより、複数の閉鎖セル細孔を上記成形された均質な研磨体の中に形成し、各閉鎖セル細孔は、物理的シェルを有していない、項目２４に記載の方法。
（項目２８）
上記プレポリマーと上記硬化剤とを混合することは、イソシアネートおよび芳香族ジアミン化合物をそれぞれ混合することを備える、項目２４に記載の方法。
（項目２９）
上記混合することは、不透明化潤滑剤を上記プレポリマーおよび上記硬化剤に添加することをさらに備え、該添加することにより、不透明な成形された均質な研磨体を形成する、項目２４に記載の方法。
（項目３０）
上記混合物を硬化させることは、最初に、上記形成金型の中で部分的に硬化させ、次いで、炉の中でさらに硬化させることを備える、項目２４に記載の方法。
（項目３１）
上記突出のパターンは、半径方向突出を有していない、項目２４に記載の方法。
（項目３２）
基板を研磨するための研磨パッドであって、
該研磨パッドは、
研磨表面および裏側表面を有する研磨体
を備え、該研磨表面は、複数の離散直線状区画を備える溝のパターンを有し、該複数の離散直線状区画は、該研磨表面の半径に直交または略直交する、研磨パッド。
（項目３３）
上記研磨表面の半径に直交または略直交する上記複数の離散直線状区画は、同心または略同心の多角形配列の、完全ではないが、一部を形成する、項目３２に記載の研磨パッド。
（項目３４）
上記同心または略同心の多角形配列の一部は、該多角形のうちの１つ以上の多角形から１つ以上の変曲点を削除する、項目３３に記載の研磨パッド。
（項目３５）
上記同心または略同心の多角形配列の一部は、該多角形のうちの１つ以上の多角形から１つ以上の縁を削除する、項目３３に記載の研磨パッド。
（項目３６）
上記溝のパターンは、半径方向溝を有しない、項目３２に記載の研磨パッド。
（項目３７）
上記溝のパターンは、半径方向溝を有し、該半径方向溝は、上記研磨表面の半径に沿うが、上記複数の離散直線状区画と接触しない、項目３２に記載の研磨パッド。
（項目３８）
基板を研磨するための研磨パッドであって、
該研磨パッドは、
研磨表面および裏側表面を有する研磨体
を備え、該研磨表面は、入れ子状態の不完全多角形を備える溝のパターンを有し、該入れ子状態の不完全多角形は、その間に連続性を有する、研磨パッド。
（項目３９）
上記溝のパターンは、半径方向溝を有しない、項目３８に記載の研磨パッド。
（項目４０）
上記溝のパターンは、上記研磨表面の半径に沿って、半径方向溝を有する、項目３８に記載の研磨パッド。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５０】
図１１Ａを参照すると、形成金型１１００が提供される。図１１Ｂを参照すると、プレポリマー１１０２および硬化剤１１０４が混合され、図１１Ｃに描写されるように形成金型１１００内に混合物１１０６を形成する。ある実施形態では、プレポリマー１１０２および硬化剤１１０４の混合は、それぞれ、イソシアネートおよび芳香族ジアミン化合物の混合を含む。一実施形態では、混合ステップはさらに、不透明化潤滑剤をプレポリマー１１０２および硬化剤１１０４に添加し、最終的には、不透明の成形された均質研磨体を提供するステップを含む。特定の実施形態では、不透明化潤滑剤は、限定されないが、窒化ホウ素、フッ化セリウム、黒鉛、フッ化黒鉛、硫化モリブデン、硫化ニオブ、タルク、硫化タンタル、二硫化タングステン、またはテフロン（登録商標）等の材料である。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５１】
ある実施形態では、研磨パッド前駆体混合物１１０６を使用して、最終的には、熱硬化性閉鎖セルポリウレタン材料から成る、成形された均質研磨体を形成する。一実施形態では、研磨パッド前駆体混合物１１０６を使用して、最終的には、硬質パッドを形成し、単一タイプの硬化剤のみが使用される。別の実施形態では、研磨パッド前駆体混合物１１０６を使用して、最終的には、軟質パッドを形成し、一次および二次硬化剤の組み合わせが使用される。例えば、特定の実施形態では、プレポリマーは、ポリウレタン前駆体を含み、一次硬化剤は、芳香族ジアミン化合物を含み、二次硬化剤は、エーテル結合を有する化合物を含む。特定の実施形態では、ポリウレタン前駆体は、イソシアネートであって、一次硬化剤は、芳香族ジアミンであって、二次硬化剤は、限定されないが、ポリテトラメチレングリコール、アミノ官能化グリコール、またはアミノ官能化ポリオキシプロピレン等の硬化剤である。ある実施形態では、プレポリマー、一次硬化剤、および二次硬化剤は、１００重量部のプレポリマー、８５重量部の一次硬化剤、および１５重量部の二次硬化剤の近似モル比を有する。比率の変動は、研磨パッドに可変硬度値を提供するために使用されてもよく、またはプレポリマーならびに第１および第２の硬化剤の特定の性質に基づいてもよいことを理解されたい。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５６】
ある実施形態では、再び、図１１Ｂを参照すると、混合ステップはさらに、複数のポロゲン１１２２をプレポリマー１１０２および硬化剤１１０４に添加し、閉鎖セル細孔を最終的に形成される研磨パッド内に提供するステップを含む。したがって、一実施形態では、各閉鎖セル細孔は、物理的シェルを有する。別の実施形態では、再び、図１１Ｂを参照すると、混合ステップはさらに、気体１１２４をプレポリマー１１０２および硬化剤１１０４の中、またはそこから形成される生成物の中に注入し、閉鎖セル細孔を最終的に形成される研磨パッド内に提供するステップを含む。したがって、一実施形態では、各閉鎖セル細孔は、物理的シェルを有していない。組み合わせ実施形態では、混合ステップはさらに、複数のポロゲン１１２２をプレポリマー１１０２および硬化剤１１０４に添加し、それぞれ物理的シェルを有する閉鎖セル細孔の第１の部分を提供し、さらに、気体１１２４をプレポリマー１１０２および硬化剤１１０４の中、またはそこから形成される生成物の中に注入し、それぞれ物理的シェルを有していない閉鎖セル細孔の第２の部分を提供するステップを含む。さらに別の実施形態では、プレポリマー１１０２は、イソシアネートであって、混合ステップはさらに、水（Ｈ２Ｏ）をプレポリマー１１０２および硬化剤１１０４に添加し、それぞれ、物理的シェルを有していない閉鎖セル細孔を提供するステップを含む。