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【手続補正書】
【提出日】平成29年2月23日(2017.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御部および前記制御部による制御に従って点灯する発光部を備える照明装置であって、
前記発光部の累積点灯時間の長さを計測する計測部と、
前記計測部に計測された累積点灯時間の長さを示す第一情報、および、前記累積点灯時間の長さと前記発光部の明るさとの関係を示す時間対応情報を記憶する記憶部と、
他の照明装置における累積点灯時間の長さを示す第二情報を取得する取得部とを備え、
前記制御部は、前記記憶部に記憶された前記第一情報および前記時間対応情報、並びに、前記取得部により取得された前記第二情報を用いて、前記発光部の明るさを前記第二情報に対応する明るさに近づけるように前記発光部の制御を行う
照明装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記発光部の制御において、
前記時間対応情報を用いて、前記第一情報に対応する明るさを示す値である第一値を特定し、
前記時間対応情報を用いて、前記第二情報に対応する明るさを示す値である第二値を特定し、
特定した前記第一値および前記第二値を用いて算出された変数値を用いて前記発光部を点灯させることで、前記発光部の明るさを前記第二情報に対応する明るさに近づける
請求項１記載の照明装置。
【請求項３】
前記時間対応情報には、前記他の照明装置における前記累積点灯時間と前記他の照明装置の明るさとの関係を示す種別対応情報が含まれており、
前記取得部はさらに、前記他の照明装置の種別を示す種別情報を取得し、
前記制御部は、前記種別情報に示される種別を用いて、前記時間対応情報に含まれる前記種別対応情報を選択し、選択した前記種別対応情報と前記第二情報とを用いて前記第二値を特定する
請求項２記載の照明装置。
【請求項４】
さらに、前記記憶部に記憶された前記第一情報を当該照明装置の外部に出力する出力部を備える
請求項１〜３のいずれか１項に記載の照明装置。
【請求項５】
前記記憶部は、当該照明装置が備えるＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）チップが有するメモリであり、
前記出力部は、前記ＩＣチップに接続されたアンテナであり、前記アンテナは、前記メモリに記憶された前記第一情報を無線で送信することで、前記第一情報を当該照明装置の外部に出力する
請求項４記載の照明装置。
【請求項６】
発光部を備える照明装置の制御方法であって、
前記発光部の累積点灯時間の長さを計測する計測ステップと、
前記計測ステップにおいて計測された累積点灯時間の長さを示す第一情報を当該照明装置が備える記憶部に記憶させる記憶ステップと、
他の照明装置における累積点灯時間の長さを示す第二情報を取得する取得ステップと、
前記記憶部に記憶された前記第一情報、および、前記発光部の累積点灯時間の長さと前記発光部の明るさとの関係を示す時間対応情報、並びに、前記取得ステップにおいて取得された前記第二情報を用いて、前記発光部の明るさを前記第二情報に対応する明るさに近づけるように前記発光部の制御を行う制御ステップと
を含む照明装置の制御方法。
【請求項７】
複数の照明装置を備える照明システムであって、
前記複数の照明装置のうちの１つである第一照明装置は、
第一発光部と、
前記第一発光部の累積点灯時間の長さを示す情報を出力する出力部とを有し、
前記複数の照明装置のうちの１つである第二照明装置は、
第二発光部と、
前記第二発光部の累積点灯時間の長さを計測する計測部と、
前記計測部に計測された累積点灯時間の長さを示す第一情報、および、前記累積点灯時間の長さと前記第二発光部の明るさとの関係を示す時間対応情報を記憶する記憶部と、
前記第一照明装置が有する前記出力部から出力された情報である第二情報を取得する取得部と、
前記記憶部に記憶された前記第一情報および前記時間対応情報、並びに、前記取得部により取得された前記第二情報を用いて、前記第二発光部の明るさを前記第二情報に対応する明るさに近づけるように前記第二発光部の制御を行う制御部と有する
照明システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一態様に係る照明装置の制御方法は、発光部を備える照明装置の制御方法であって、前記発光部の累積点灯時間の長さを計測する計測ステップと、前記計測ステップにおいて計測された累積点灯時間の長さを示す第一情報を当該照明装置が備える記憶部に記憶させる記憶ステップと、他の照明装置における累積点灯時間の長さを示す第二情報を取得する取得ステップと、前記記憶部に記憶された前記第一情報、および、前記発光部の累積点灯時間の長さと前記発光部の明るさとの関係を示す時間対応情報、並びに、前記取得ステップにおいて取得された前記第二情報を用いて、前記発光部の明るさを前記第二情報に対応する明るさに近づけるように前記発光部の制御を行う制御ステップとを含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の一態様に係る照明システムは、複数の照明装置を備える照明システムであって、前記複数の照明装置のうちの１つである第一照明装置は、第一発光部と、前記第一発光部の累積点灯時間の長さを示す情報を出力する出力部とを有し、前記複数の照明装置のうちの１つである第二照明装置は、第二発光部と、前記第二発光部の累積点灯時間の長さを計測する計測部と、前記計測部に計測された累積点灯時間の長さを示す第一情報、および、前記累積点灯時間の長さと前記第二発光部の明るさとの関係を示す時間対応情報を記憶する記憶部と、前記第一照明装置が有する前記出力部から出力された情報である第二情報を取得する取得部と、前記記憶部に記憶された前記第一情報および前記時間対応情報、並びに、前記取得部により取得された前記第二情報を用いて、前記発第二発光部の明るさを前記第二情報に対応する明るさに近づけるように前記第二発光部の制御を行う制御部と有する。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月26日(2017.5.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料ガスと酸化剤ガスを反応させることにより発電する燃料電池モジュールであって、
燃料ガスと酸化剤ガスを反応させる複数の固体酸化物型燃料電池セルと、
これら複数の固体酸化物型燃料電池セルを収容した発電室と、
上記発電室の一方の側に配置され、上記各固体酸化物型燃料電池セルに燃料ガスを分配する燃料ガス分散室と、
上記発電室を取り囲むように設けられ、上記燃料ガス分散室に燃料ガスを導く環状の燃料ガス通路と、
この燃料ガス通路を取り囲むように設けられ、上記発電室から排出される排気ガスを導く環状の排気ガス通路と、
この排気ガス通路の内側、且つ、上記燃料ガス分散室に対して上記発電室の反対側に位置するように設けられ、上記排気ガス通路によって導かれた排気ガスを流入させ、上記燃料電池モジュール外へ排出する排気ガス室と、
この排気ガス室と上記燃料ガス分散室との間を断熱する断熱材と、
上記排気ガス室内に配置されることにより、排気ガスによって加熱され、供給された原燃料ガス中の硫黄成分を除去して上記燃料ガス通路に流入させる脱硫器と、
を有することを特徴とする燃料電池モジュール。
【請求項２】
上記断熱材は、上記燃料ガス分散室に沿って延びる断熱材板状部と、この断熱材板状部から上記排気ガス室内に延びる断熱材突出部と、を有し、上記脱硫器は、上記排気ガス室内で上記断熱材突出部を取り囲むように配置されると共に、上記断熱材板状部から離間して配置されている請求項１記載の燃料電池モジュール。
【請求項３】
さらに、上記複数の固体酸化物型燃料電池セルに接続され、上記燃料ガス分散室を通って上記排気ガス室側へ電力を導くバスバーを有し、
上記脱硫器は環状であり、上記バスバーを取り囲むように配置されている請求項１または２に記載の燃料電池モジュール。
【請求項４】
さらに、上記排気ガス室を貫通するように、上記バスバーを通すためのバスバー通路が設けられ、このバスバー通路にはセラミック系の接着剤が充填されることにより上記バスバーが固定され、上記脱硫器は、上記バスバー通路を取り囲むように配置されている請求項３記載の燃料電池モジュール。
【請求項５】
上記脱硫器は水添脱硫器であり、
この水添脱硫器に供給するための水素ガスを含む燃料ガスを上記燃料ガス分散室から取り出すように、上記断熱材を貫通して延び、上記燃料ガス分散室に連通する水素取出管と、を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の燃料電池モジュール。
【請求項６】
上記水素取出管は、上記断熱材を貫通した後、上記排気ガス室を貫通して上記燃料電池モジュール外へ延びている請求項５記載の燃料電池モジュール。
【請求項７】
上記各固体酸化物型燃料電池セルは、上記燃料ガス分散室の、上記発電室に近い側で上記燃料ガス分散室に連通され、上記水素取出管は、上記燃料ガス分散室の、上記断熱材に近い側で上記燃料ガス分散室に連通されている請求項５または６に記載の燃料電池モジュール。
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月21日(2017.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
略筒状の外装体と、
前記外装体の奥側に壁状に内装される支持部と、
前記支持部で支持されて前記外装体内に導入されているコンタクト端子と、
前記外装体と前記支持部とが近接する位置で前記外装体と前記支持部との間に設けられ、前記外装体と前記支持部との間を封止する周状の封止部とを備え、
前記外装体の前記支持部の前面より前側の領域が継ぎ目のない非貫通面で形成されていることを特徴とする電子機器の防水接続器具。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の電子機器の防水接続器具は、略筒状の外装体と、前記外装体の奥側に壁状に内装される支持部と、前記支持部で支持されて前記外装体内に導入されているコンタクト端子と、前記外装体と前記支持部とが近接する位置で前記外装体と前記支持部との間に設けられ、前記外装体と前記支持部との間を封止する周状の封止部とを備え、前記外装体の前記支持部の前面より前側の領域が継ぎ目のない非貫通面で形成されていることを特徴とする。
これによれば、外装体と支持部との間を周状の封止部で封止して、外装体と支持部との間の防水性を確保することができる。従って、外装体の奥側の空間で充填材を外装体内面と固着することが不要となり、この充填材が断続的に加えられる力で外装体内面から剥離して隙間ができ、防水性が損なわれることがなくなる。そして、周状の封止部は、外装体と支持部との間に挟み込まれるように配置されることから、外装体と内装される支持部の間から奥側に水が浸入することを高い耐久性で確実に防止することができる。また、外装体の奥側の充填材充填用空間が不要となることから、防水接続器具の長さを短くして小型化することができる。従って、防水接続器具の占有面積を小さくし、電子機器内部の使用可能部分を増やすことが可能となり、電子機器内部のより自由なレイアウト設計の実現、電子機器の小型化を図ることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月24日(2017.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体光が入射する複数の測光領域を備え、前記測光領域に入射した光の測光値を求める測光部と、
前記複数の測光領域のうち、前記測光値が最大となる第１測光領域を含む第２測光領域の測光値に基づいて露出を決定する露出制御部と、を備え、
前記露出制御部は、撮影モードにより、前記第２測光領域の大きさを変更する
撮影装置。
【請求項２】
請求項１に記載の撮影装置であって、
前記撮影モードは、単一の画像が撮影される第１撮影モードと、連続して複数の画像を撮影する第２撮影モードとを含み、
前記露出制御部は、前記第２撮影モードが選択されると、前記第２測光領域の大きさを前記第１撮影モードに比べて大きくする
撮影装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の撮影装置であって、
前記撮影モードは、前記被写体光による像の第１の範囲の画像を記録する第３撮影モードと、前記被写体光による像のうち前記第１の範囲よりも狭い第２の範囲の画像を記録する第４撮影モードとを含み、
前記露出制御部は、前記第３撮影モードが選択されると、前記測光領域の大きさを前記第４撮影モードに比べて大きくする
撮影装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の撮影装置であって、
前記露出制御部は、前記被写体光による像を結像する光学系の焦点距離が第１距離よりも長い第２距離であると、前記第１距離に比べて前記第２測光領域の大きさを大きくする
撮影装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の撮影装置であって、
前記露出制御部は、前記被写体光による像の倍率が第１倍率よりも大きい第２倍率であると、前記第１倍率に比べて前記第２測光領域の大きさを大きくする
撮影装置。
【請求項６】
測光部の測光結果をもとに、被写体を照明する発光装置の発光量を決定する撮影装置であって、
前記測光結果をもとに決定された第１発光量で前記発光装置を発光させる第１発光モードと、
前記第１発光量よりも減少された第２発光量で前記発光装置を発光させる第２発光モードとを備え、
前記第２発光モードにおいて、測光領域における輝度の高い領域の輝度をもとに露出を決定するハイライト重点測光が選択されている場合に、
前記第２発光量の前記第１発光量からの減少量を低減させる
撮影装置。
【請求項７】
請求項６に記載の撮影装置であって、
前記第２発光モードは日中シンクロモードである
撮影装置。
【請求項８】
請求項６に記載の撮影装置であって、
前記第２発光モードは、前記測光部に入射する光のうちの、前記発光装置の発光による反射光以外の光である定常光が所定値以上の場合であり、
前記第１発光モードは、前記定常光が前記所定値より少ない場合である
撮影装置。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか１項に記載の撮影装置であって、
マルチパターン測光または平均測光の測光値と、前記ハイライト重点測光による測光値との差が大きいほど、前記減少量を低減させる
撮影装置。
【請求項１０】
請求項６〜９のいずれか１項に記載の撮影装置であって、
前記撮影装置は、前記発光装置の予備発光の結果をもとに本発光時に発光させる第１目標発光量を演算し、
前記第１目標発光量が、前記発光装置の最大発光量以上の場合、
演算結果が前記最大発光量よりも小さな第２目標発光量になるように撮影条件を変更する
撮影装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の撮影装置であって、
前記撮影条件は、絞り、シャッタスピード、感度のうちの一以上である
撮影装置。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載の撮影装置であって、
前記ハイライト重点測光によって前記第１目標発光量を演算した場合に、
前記撮影条件を変更した後の前記第２目標発光量が、マルチパターン測光を行った場合に決定される第３目標発光量よりも小さい場合、前記第３目標発光量を最終目標発光量とする
撮影装置。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の撮影装置であって、
前記第１目標発光量が、前記最大発光量となる場合、警告表示を行う表示部を有する
撮影装置。
【請求項１４】
請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の撮影装置であって、
ハイライト重点測光を行っている場合の前記第１目標発光量に基づき、
前記第１目標発光量が大きいほど、ハイライト重点測光による測光値の重みを小さくして、マルチパターン測光による測光値の重みを大きくした測光値を用いて本発光量を演算する
撮影装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、被写体光が入射する複数の測光領域を備え、前記測光領域に入射した光の測光値を求める測光部と、前記複数の測光領域のうち、前記測光値が最大となる第１測光領域を含む第２測光領域の測光値に基づいて露出を決定する露出制御部と、を備え、前記露出制御部は、撮影モードにより、前記第２測光領域の大きさを変更する撮影装置に関する。
また、本発明は、測光部の測光結果をもとに、被写体を照明する発光装置の発光量を決定する撮影装置であって、前記測光結果をもとに決定された第１発光量で前記発光装置を発光させる第１発光モードと、前記第１発光量よりも減少された第２発光量で前記発光装置を発光させる第２発光モードとを備え、前記第２発光モードにおいて、測光領域における輝度の高い領域の輝度をもとに露出を決定するハイライト重点測光が選択されている場合に、前記第２発光量の前記第１発光量からの減少量を低減させる撮影装置に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月18日(2017.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
請求項１記載の発明では、
筐体に内蔵された鏡筒の鏡筒本体に対して調整リングを前記筐体外からの操作によって回転させて焦点を調整するための鏡筒調整機構であって、
前記調整リングの外周面に取り付けられて、当該調整リングの径方向に沿うように延在するアーム部と、
前記アーム部の先端部に対して所定の遊びを有した状態で装着されるレバー部と、
前記レバー部の先端部を前記筐体の外部に突出させた状態で、当該レバー部を前記調整リングの周方向に沿うように案内する直線状のガイド部とを備え、
前記ガイド部によって案内されるように、前記筐体外から前記レバー部を操作すると、前記アーム部が前記調整リングを回転させることを特徴とする鏡筒調整機構が提供される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体に内蔵された鏡筒の鏡筒本体に対して調整リングを前記筐体外からの操作によって回転させて焦点を調整するための鏡筒調整機構であって、
前記調整リングの外周面に取り付けられて、当該調整リングの径方向に沿うように延在するアーム部と、
前記アーム部の先端部に対して所定の遊びを有した状態で装着されるレバー部と、
前記レバー部の先端部を前記筐体の外部に突出させた状態で、当該レバー部を前記調整リングの周方向に沿うように案内する直線状のガイド部とを備え、
前記ガイド部によって案内されるように、前記筐体外から前記レバー部を操作すると、前記アーム部が前記調整リングを回転させることを特徴とする鏡筒調整機構。
【請求項２】
請求項１記載の鏡筒調整機構において、
前記所定の遊びは前記アーム部の長さ方向に対して設けられていることを特徴とする鏡筒調整機構。
【請求項３】
請求項１又は２記載の鏡筒調整機構において、
前記所定の遊びは前記アーム部の移動方向に対して設けられていることを特徴とする鏡筒調整機構。
【請求項４】
請求項３記載の鏡筒調整機構において、
前記レバー部が移動する際においては、前記アーム部における移動の先方側とは反対側の部分が前記レバー部によって押圧され、前記アーム部における移動の先方側の部分は前記所定の遊びによって前記レバー部から離間していることを特徴とする鏡筒調整機構。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項記載の鏡筒調整機構において、
前記アーム部は板状部材から形成されていることを特徴とする鏡筒調整機構。
【請求項６】
請求項５記載の鏡筒調整機構において、
前記アーム部は、所定の角度で曲げられた状態で前記調整リングの外周面に固定されていることを特徴とする鏡筒調整機構。
【請求項７】
請求項５又は６記載の鏡筒調整機構において、
前記アーム部の先端は略９０度の角度で折り曲げられていることを特徴とする鏡筒調整機構。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項記載の鏡筒調整機構において、
前記レバー部は、前記アーム部を覆うようなキャップ構造を有することを特徴とする鏡筒調整機構。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項記載の鏡筒調整機構と、
前記筐体とを備えることを特徴とする投影装置。
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月5日(2017.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示領域と端子部を有し、有機パッシベーション膜の上に無機絶縁膜が形成され、前記無機絶縁膜を覆って配向膜が形成されたＴＦＴ基板と、対向基板が、前記表示領域を囲むシール部に形成されたシール材によって接着し、内部に液晶が封入された液晶表示装置であって、
前記シール部においては、透明酸化物導電膜が前記無機絶縁膜と前記配向膜の間に形成され、
前記透明酸化物導電膜の端部は前記ＴＦＴ基板の端部より内側に存在していることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
前記有機パッシベーション膜には前記シール部において、前記表示領域を囲むように、溝状スルーホールが形成されており、前記透明酸化物導電膜は、前記溝状スルーホールよりも内側に存在していることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項３】
前記透明酸化物導電膜はＩＴＯであることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項４】
前記透明酸化物導電膜はＩＺＯであることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項５】
前記透明酸化物導電膜は前記表示領域を囲む４辺に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項６】
前記透明酸化物導電膜は前記端子部側の辺を除く３辺に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項７】
前記透明酸化物導電膜は表示領域を囲んで、連続して形成されており、前記シール材が前記透明酸化物導電膜とオーバーラップしている幅は１００μｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項８】
前記透明酸化物導電膜は前記表示領域を囲んで、連続して複数形成されており、前記シール材と前記連続して複数形成された前記透明酸化物導電膜がオーバーラップしている幅は合計で１００μｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項９】
前記透明酸化物導電膜が前記シール材とオーバーラップしている面積は、前記シール材が前記ＴＦＴ基板側で接着している全接着面積の２０％以上であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項１０】
前記配向膜はシランカップリング材を含有していることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【請求項１１】
前記配向膜は光配向処理がなされていることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月18日(2017.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
態様の一例では、発声される音声を検知する音声センサと、前記発声に伴う呼気の圧力及び当該呼気の流量の少なくとも一方を検知する呼気センサと、前記呼気センサの出力と前記音声センサの出力の両方を用いて楽音の発音を制御する楽音制御部と、を備える。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発声される音声を検知する音声センサと、
前記発声に伴う呼気の圧力及び当該呼気の流量の少なくとも一方を検知する呼気センサと、
前記呼気センサの出力と前記音声センサの出力の両方を用いて楽音の発音を制御する楽音制御部と、
を備えることを特徴とする電子楽器。
【請求項２】
前記楽音制御部は、前記呼気センサの出力と前記音声センサの出力の両方を用いて、発音させる楽音の波形と音量を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の電子楽器。
【請求項３】
前記楽音制御部は、前記呼気センサの出力と前記音声センサの出力の両方を用いて、発音させる楽音の波形を制御する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の電子楽器。
【請求項４】
前記楽音制御部は、前記呼気センサの出力と前記音声センサの出力の両方を用いて、発音させる楽音の音量を制御する、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電子楽器。
【請求項５】
前記楽音制御部は、前記呼気センサの出力を用いて発音させる楽音の音量を制御し、前記音声センサの出力を用いて発音させる楽音の波形を制御する、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電子楽器。
【請求項６】
前記楽音制御部は、前記呼気センサの出力と前記音声センサの出力のいずれとも異なる操作情報を用いて、発音させる楽音の音程を制御する、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電子楽器。
【請求項７】
前記楽音制御部は、前記呼気センサの出力に基づいて発音させる楽音を決定する際の決定条件を設定するとともに、前記音声センサの出力と前記設定された決定条件とに基づいて発音させる楽音を決定して、前記楽音として発音させる、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電子楽器。
【請求項８】
前記楽音制御部は、前記呼気センサの出力に基づいて複数の楽音の中から発音させる楽音を選択する際の選択条件を前記決定条件として設定するとともに、前記音声センサの出力と前記設定された選択条件とに基づいて前記複数の楽音の中から発音させる楽音を選択して、前記楽音として発音させる、
ことを特徴とする請求項７に記載の電子楽器。
【請求項９】
前記決定条件は、前記音声センサにより検知された音声に含まれる倍音成分が境界値を越えているか否かの条件であり、
前記境界値は、前記呼気センサの出力に基づいて設定されることを特徴とする請求項７または８に記載の電子楽器。
【請求項１０】
前記楽音制御部は、前記音声センサにより検知された音声に含まれる複数の倍音成分のうちの少なくとも１つの倍音成分の包括値が境界値を越えているか否かの選択条件に基づいて、通常の楽器音に対応する第１の楽音及び特殊奏法音に対応する第２の楽音のいずれかを選択して、前記楽音として発音させる、
ことを特徴とする請求項７乃至９のいずれかに記載の電子楽器。
【請求項１１】
前記楽音制御部は、前記第１の楽音を選択して発音させる場合は、前記第１の楽音の音量を前記呼気センサの出力に基づいて制御し、前記第２の楽音を選択して発音させる場合は、前記第２の楽音の音量を前記呼気センサ及び前記音声センサの出力に基づいて制御する、
ことを特徴とする請求項１０に記載の電子楽器。
【請求項１２】
前記楽音制御部は、発音させる楽音の音量を、前記呼気センサ及び前記音声センサの一方の出力に基づいて決定するか、両方の出力に基づいて決定するかを制御する、
ことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の電子楽器。
【請求項１３】
前記楽音制御部は、発音すると決定された楽音の音量を、前記呼気センサ及び前記音声センサの一方の出力に基づいて決定するか、両方の出力に基づいて決定するかを、前記発音すると決定された楽音に応じて制御する、
ことを特徴とする請求項１２に記載の電子楽器。
【請求項１４】
前記楽音制御部は、前記音声センサにて検知された音声に含まれる複数の倍音成分のうちの少なくとも１つの包括値に基づいて定められた比率で混合された第１の楽音と第２の楽音を、前記楽音として発音させる、
ことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記載の電子楽器。
【請求項１５】
前記楽音制御部は、特殊奏法音をサンプリングして波形メモリに記憶させた楽音波形データを、前記第２の楽音として読み出して出力する、
ことを特徴とする請求項１０または１１に記載の電子楽器。
【請求項１６】
前記楽音制御部は、前記第１の楽音を複数の第１の帯域通過フィルタそれぞれに入力させることにより得られる第１の出力それぞれの強度を、前記音声センサの出力を複数の第２の帯域通過フィルタそれぞれに入力させることにより得られる第２の出力それぞれに基づいて制御し、当該強度の制御された第１の出力それぞれを加算して得られた出力を前記第２の楽音として出力する、
ことを特徴とする請求項１０または１１に記載の電子楽器。
【請求項１７】
吹奏センサ及び音声センサを有する電子楽器に用いられる発音制御方法であって、
前記電子楽器が、
前記音声センサにより発声される音声を検知し、
前記呼気センサにより前記発声に伴う呼気の圧力及び当該呼気の流量の少なくとも一方を検知し、
前記吹奏センサの出力と前記音声センサの出力の両方を用いて楽音の発音を制御する、発音制御方法。
【請求項１８】
音声センサにより発声される音声を検知するステップと、
呼気センサにより前記発声に伴う呼気の圧力及び当該呼気の流量の少なくとも一方を検知するステップと、
前記吹奏センサの出力と前記音声センサの出力の両方を用いて楽音の発音を制御するステップと、
を実行させるプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月18日(2017.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
態様の一例では、発声される音声を検知する音声センサと、音高指定キーの操作状態に基づいて第１の音高を決定する第１の音高決定手段と、前記音声センサにより検知された音声に基づいて第２の音高を決定する第２の音高決定手段と、前記第１の音高の楽音を発生させる第１の楽音信号を生成するとともに、前記第２の音高の楽音を発生させる第２の楽音信号を生成する音源手段と、前記第１の楽音信号及び第２の楽音信号を合成して出力する出力手段と、を備える。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
ボイス閾値検出手段５０３は、第２エンベロープ抽出手段２０２が抽出したボイス・エンベロープが所定の閾値であるボイス閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合に、第２発音指示手段５０４に対して発音指示を行うように通知する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発声される音声を検知する音声センサと、
音高指定キーの操作状態に基づいて第１の音高を決定する第１の音高決定手段と、
前記音声センサにより検知された音声に基づいて第２の音高を決定する第２の音高決定手段と、
前記第１の音高の楽音を発生させる第１の楽音信号を生成するとともに、前記第２の音高の楽音を発生させる第２の楽音信号を生成する音源手段と、
前記第１の楽音信号及び第２の楽音信号を合成して出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする電子楽器。
【請求項２】
前記第１の楽音信号は管楽器の通常演奏時の楽音信号であり、前記第２の楽音信号は管楽器のグロウリング奏法による演奏時の楽音信号である、
ことを特徴とする請求項１に記載の電子楽器。
【請求項３】
前記音声センサにより検知された音声に基づいて、前記第１の楽音信号と第２の楽音信号とを合成する場合の前記楽音信号夫々の割合を決定する割合決定手段を更に備え、
前記出力手段は、前記決定された割合で前記第１の楽音信号及び第２の楽音信号を合成し、前記合成された楽音信号を出力する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の電子楽器。
【請求項４】
前記割合決定手段は、前記音声センサにより検知された音声が大きくなるほど前記第２の楽音信号の割合が大きくなるようにする、
ことを特徴とする請求項３に記載の電子楽器。
【請求項５】
前記発声に伴う呼気の圧力及び前記呼気の流量の少なくとも一方を検知する呼気センサと、
前記呼気センサにより検知された呼気の圧力及び流量の少なくとも一方に基づいてゲインを決定するゲイン決定手段と、を更に備え、
前記出力手段は、前記合成された楽音信号を前記決定されたゲインに対応する大きさで出力する、
ことを特徴とする請求項３または４に記載の電子楽器。
【請求項６】
前記割合決定手段は、前記音声センサにより検知された音声と、前記呼気センサにより検知された呼気の圧力及び流量の少なくとも一方とに基づいて、前記第１の楽音信号と第２の楽音信号とを合成する場合の前記楽音信号夫々の割合を決定する、
ことを特徴とする請求項５に記載の電子楽器。
【請求項７】
前記ゲイン決定手段は、前記音声センサにより検知された音声と、前記呼気センサにより検知された呼気の圧力及び流量の少なくとも一方とに基づいてゲインを決定する、
ことを特徴とする請求項５または６に記載の電子楽器。
【請求項８】
前記ゲイン決定手段は、前記音声センサにより検知された音声に基づいて前記第２の楽音信号のゲインを決定し、前記呼気センサにより検知された呼気の圧力及び流量の少なくとも一方とに基づいて前記第１の楽音信号のゲインを決定する、
ことを特徴とする請求項７に記載の電子楽器。
【請求項９】
前記呼気センサにより検知された呼気の圧力及び流量の少なくとも一方からブレス・エンベロープを抽出する第１エンベロープ抽出手段と、前記音声センサにより検知された音声からボイス・エンベロープを抽出する第２エンベロープ抽出手段とをさらに備え、
前記割合決定手段は、前記ボイス・エンベロープ及び前記ブレス・エンベロープの少なくとも一方に基づいて、前記割合を決定し、
前記ゲイン決定手段は、前記ブレス・エンベロープ及び前記ボイス・エンベロープの少なくとも一方に基づいて、前記ゲインを決定する、
ことを特徴とする請求項５に記載の電子楽器。
【請求項１０】
前記発声に伴う呼気の圧力及び流量の少なくとも一方を検知する呼気センサと、
前記呼気センサにより検知された呼気の圧力及び流量の少なくとも一方に基づいて第１のゲインを決定する第１のゲイン決定手段と、
前記音声センサにより検知された音声に基づいて第２のゲインを決定する第２のゲイン決定手段と、を更に備え、
前記音源手段は、前記第１のゲインに対応する大きさで且つ前記第１の音高の楽音を発生させる第１の楽音信号を生成するとともに、前記第２のゲインに対応する大きさで且つ前記第２の音高の楽音を発生させる第２の楽音信号を生成する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の電子楽器。
【請求項１１】
前記呼気センサにより検知された呼気の圧力及び流量の少なくとも一方からブレス・エンベロープを抽出する第１エンベロープ抽出手段と、前記音声センサにより検知された音声からボイス・エンベロープを抽出する第２エンベロープ抽出手段とをさらに備え、
前記第１のゲイン決定手段は、前記ブレス・エンベロープに基づいて、前記第１のゲインを決定し、
前記第２のゲイン決定手段は、前記ブレス・エンベロープに基づいて、前記第２のゲインを決定する、
ことを特徴とする請求項１０に記載の電子楽器。
【請求項１２】
前記第１のゲイン決定手段は、前記呼気センサにより検知された呼気の圧力及び流量の少なくとも一方の出力が大きくなるほど前記第１のゲインが大きくなるように、当該第１のゲインを決定し、
前記第２のゲイン決定手段は、前記音声センサにより検知された音声の出力が大きくなるほど前記第２のゲインが大きくなるように、当該第２のゲインを決定する、
ことを特徴とする請求項１０または１１のいずれかに記載の電子楽器。
【請求項１３】
電子楽器が、
音高指定キーの操作状態に基づいて第１の音高を決定し、
発声される音声を検知する音声センサにより検知された音声に基づいて第２の音高を決定し、
前記第１の音高の楽音を発生させる第１の楽音信号を生成するとともに、前記第２の音高の楽音を発生させる第２の楽音信号を生成し、
前記第１の楽音信号及び第２の楽音信号を合成して出力する、発音制御方法。
【請求項１４】
コンピュータに、
音高指定キーの操作状態に基づいて第１の音高を決定するステップと、
発声される音声を検知する音声センサにより検知された音声に基づいて第２の音高を決定し、
前記第１の音高の楽音を発生させる第１の楽音信号を生成するとともに、前記第２の音高の楽音を発生させる第２の楽音信号を生成するステップと、
前記第１の楽音信号及び第２の楽音信号を合成して出力するステップと、
を実行させるプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月17日(2017.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザーの頭部に装着されるための表示装置と、前記表示装置に接続される表示制御装置とを有する表示システムであって、
前記表示制御装置は、
前記ユーザーの傾きを検出する検出部と、
前記傾きを示す第１の傾き画像を前記表示装置に送信する送信部と、を有し、
前記表示装置は、
前記第１の傾き画像を前記表示制御部から受信する受信部と、
前記第１の傾き画像と外界の画像とを表示する表示部と、を有する
表示システム。
【請求項２】
請求項１に記載の表示システムであって、
前記表示制御装置は、前記傾きを検出する第１のセンサーを含み、前記ユーザーに装着される、
表示システム。
【請求項３】
請求項２に記載の表示システムであって、
前記表示制御装置と接続されるセンサー装置を一以上有し、
前記一以上のセンサー装置は、前記ユーザーに装着され、
前記検出部は、前記第１のセンサー及び前記一以上のセンサー装置により前記ユーザーの一以上の個所の傾きを検出し、
前記送信部は、前記一以上の個所の傾きを示す第２の傾き画像を前記表示装置に送信し、
前記受信部は、前記第２の傾き画像を前記表示制御部から受信し、
前記表示部は、前記第２の傾き画像を表示する
表示システム。
【請求項４】
請求項１に記載の表示システムであって、
前記表示制御装置と接続されるセンサー装置を一以上有し、
前記一以上のセンサー装置は、前記ユーザーに装着され、
前記検出部は、前記一以上のセンサー装置により前記ユーザーの一以上の個所の傾きを検出し、
前記送信部は、前記一以上の個所の傾きを示す第３の傾き画像を前記表示装置に送信し、
前記受信部は、前記第３の傾き画像を前記表示制御部から受信し、
前記表示部は、前記第３の傾き画像を表示する
表示システム。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の表示システムであって、
前記第１の傾き画像は、前記ユーザーの胴部の傾きを示す画像を含む
表示システム。
【請求項６】
ユーザーの頭部に装着されるための表示装置と、前記表示装置に接続される表示制御装置とを有する表示システムであって、
前記表示制御装置に接続される情報処理装置と、前記ユーザーに装着される一以上のセンサー装置とを有し、
前記情報処理装置は、
前記ユーザーの一以上の箇所の傾きを前記一以上のセンサー装置により検出する検出部と、
前記一以上の個所の傾きを示す第４の傾き画像を前記表示制御装置に送信する送信部と、を有し、
前記表示制御装置は、
前記第４の傾き画像を前記情報処理装置から受信する受信部と、
前記第４の傾き画像を前記表示装置に送信する送信部と、を有し、
前記表示装置は、
前記第４の傾き画像を前記表示制御装置から受信する受信部と、
前記第４の傾き画像と外界の画像とを表示する表示部と、を有する
表示システム。
【請求項７】
請求項６に記載の表示システムであって、
前記第４の傾き画像は、前記ユーザーの胴部の傾きを示す画像を含む
表示システム。
【請求項８】
請求項５又は７に記載の表示システムであって、
前記表示部は、さらに、鉛直方向又は水平方向を示す画像を表示する
表示システム。
【請求項９】
請求項８に記載の表示システムであって、
前記表示装置及び前記表示制御部の少なくとも一方は、前記ユーザーの胴部の傾きが所定範囲を超えた場合に、アラームを出力する音声出力部を有する
表示システム。
【請求項１０】
請求項８に記載の表示システムであって、
前記表示部は、前記ユーザーの胴部の傾きが所定範囲を超えた場合に、前記ユーザーの胴部の傾きを示す画像を、鉛直方向又は水平方向を示す画像に近づける方向を示す方向画像を出力する
表示システム。
【請求項１１】
請求項８に記載の表示システムであって、
前記表示部は、前記ユーザーの胴部の傾きの角度を示す角度情報を出力する
表示システム。
【請求項１２】
ユーザーの頭部に装着されるための表示装置であって、
前記ユーザーの傾きを示す第１の傾き画像と外界の画像とを表示する表示部、を有する表示装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の表示装置であって、
前記第１の傾き画像を表示制御部から受信する受信部を有する
表示装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の表示装置であって、
前記第１の傾き画像は、前記ユーザーの胴部の傾きを示す画像を含む
表示装置。
【請求項１５】
ユーザーの頭部に装着されるための表示装置に接続される表示制御装置であって、
前記ユーザーの傾きを検出する検出部と、
前記傾きを示す第１の傾き画像を前記表示装置に送信する送信部と、を有する
表示制御装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の表示制御装置であって、
前記第１の傾き画像は、前記ユーザーの胴部の傾きを示す画像を含む
表示制御装置。
【請求項１７】
ユーザーの頭部に装着されるための表示装置を有する表示システムにおける表示方法であって、
前記ユーザーの傾きを検出する工程と、
前記傾きを示す第１の傾き画像を生成する工程と、
前記第１の傾き画像と外界の画像とを表示する工程と、を含む
表示方法。
【請求項１８】
ユーザーの頭部に装着されるための表示装置に接続される表示制御装置のプログラムであって、
前記ユーザーの傾きを検出する工程と、
前記傾きを示す第１の傾き画像を前記表示装置に送信する工程と、を前記表示制御装置に実行させる
プログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年5月26日(2017.5.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カートリッジを装置本体に着脱可能な画像形成装置であって、
前記カートリッジを収容することが可能で、前記カートリッジを収容した状態で前記装置本体の外側の外側位置と前記装置本体の内側の内側位置との間を移動可能で、外部からガイドされる被ガイド部が設けられた収容部材であって、前記外側位置から挿入方向に移動されることで前記内側位置へ移動し、前記内側位置から前記挿入方向と異なる第１方向へ移動可能で、且つ前記内側位置から前記第１方向とは別の第２方向へ移動可能である収容部材を具備し、
前記収容部材が前記内側位置から前記第１方向に移動することで、前記カートリッジが画像形成するための画像形成位置へ移動し、前記収容部材が前記内側位置から前記第２方向に移動することで、前記収容部材は前記内側位置よりも前記挿入方向に関して下流側へ移動し、
前記装置本体は、前記被ガイド部の移動をガイドするガイド部を備え、
前記収容部材は、
前記収容部材が前記外側位置から前記内側位置へ前記挿入方向に移動する際に前記被ガイド部をガイドする第１のガイド部分と、
前記収容部材が前記第２方向へ移動した時に、前記被ガイド部に接触し、前記収容部材を前記内側位置に向かって戻すための形状を有する第２のガイド部分と
を具備することを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記第２のガイド部分は、前記第１のガイド部分の前記収容部材の装着方向の下流側に延設し、かつ、前記第１のガイド部分より重力方向の上方側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記収容部材が前記内側位置にある場合の前記被ガイド部よりも前記装着方向の下流側に前記第２のガイド部分が延設されていることを特徴とする請求項２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記ガイド部は、前記収容部材が前記内側位置にある場合に前記収容部材の位置決めをする第１の位置決め部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記第１の位置決め部は、前記ガイド部の重力方向の下方側に設けられた第１の窪み部を有し、前記被ガイド部の一部が前記第１の窪み部に入り込むことで位置決めがなされることを特徴とする請求項４に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記収容部材が前記内側位置よりもさらに前記装置本体の前記装着方向の下流側へ移動した場合に前記収容部材を前記内側位置の方向へ押圧する押圧部材をさらに具備することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記収容部材が前記内側位置よりさらに前記装置本体の前記装着方向の下流側へ移動した場合に前記収容部材に突き当たり、前記収容部材の移動を制限する突き当部材を具備することを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記装置本体は、
前記収容部材を挿入するための挿入口と、
前記収容部材を挿入した後に前記挿入口を閉じる扉と、
前記扉を閉じる動作に連動し、前記収容部材が前記内側位置よりもさらに前記装置本体の前記装着方向の下流側へ移動した場合に前記収容部材を前記内側位置の方向へ押圧する押圧機構と
を具備することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の画像形成装置。
【請求項９】
前記収容部材に収容されている前記カートリッジを前記画像形成位置に移動するように前記収容部材を前記第１方向に移動させる移動手段を具備し、
前記ガイド部は、前記移動手段により前記収容部材が移動された後で、前記カートリッジが前記画像形成位置に維持するように前記収容部材の位置決めをする第２の位置決め部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項８の何れか一項に記載の画像形成装置。
【請求項１０】
前記第２の位置決め部は、前記ガイド部の重力方向の上方側に設けられた第２の窪み部を有し、前記被ガイド部の一部が前記第２の窪み部に入り込むことで位置決めがなされることを特徴とする請求項９に記載の画像形成装置。
【請求項１１】
前記カートリッジトレイおよび前記カートリッジの重みによって前記被ガイド部が第２のガイド部分に沿って下降することで、前記カートリッジトレイは前記内側位置よりも下流側の位置から前記内側位置に向けて移動することを特徴とする請求項1乃至請求項１０のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【請求項１２】
ベルトを具備し、
前記カートリッジは、感光体を備え、
前記収容部材が前記内側位置にある時、前記感光体は前記ベルトと接触せず、前記カートリッジが前記画像形成位置にある時、前記感光体は前記ベルトと接触することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この目的を達成するために、本発明の画像形成装置は、カートリッジを装置本体に着脱可能な画像形成装置であって、前記カートリッジを収容することが可能で、前記カートリッジを収容した状態で前記装置本体の外側の外側位置と前記装置本体の内側の内側位置との間を移動可能で、外部からガイドされる被ガイド部が設けられた収容部材であって、前記外側位置から挿入方向に移動されることで前記内側位置へ移動し、前記内側位置から前記挿入方向と異なる第１方向へ移動可能で、且つ前記内側位置から前記第１方向とは別の第２方向へ移動可能である収容部材を具備し、前記収容部材が前記内側位置から前記第１方向に移動することで、前記カートリッジが画像形成するための画像形成位置へ移動し、前記収容部材が前記内側位置から前記第２方向に移動することで、前記収容部材は前記内側位置よりも前記挿入方向に関して下流側へ移動し、前記装置本体は、前記被ガイド部の移動をガイドするガイド部を備え、前記収容部材は、前記収容部材が前記外側位置から前記内側位置へ前記挿入方向に移動する際に前記被ガイド部をガイドする第１のガイド部分と、前記収容部材が前記第２方向へ移動した時に、前記被ガイド部に接触し、前記収容部材を前記内側位置に向かって戻すための形状を有する第２のガイド部分とを具備することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月13日(2017.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上にクロムと酸素と窒素とを含有する位相シフト膜が形成された位相シフトマスクブランクであって、
前記位相シフト膜は、同一材料からなる主層と、最表面層と、を有し、
前記最表面層側の前記主層上部の波長３６５ｎｍにおける屈折率は、前記透明基板側の前記主層下部の波長３６５ｎｍにおける屈折率よりも小さいことを特徴とする位相シフトマスクブランク。
【請求項２】
前記主層下部の波長３６５ｎｍにおける屈折率は２．５０以上であり、且つ、前記主層上部の波長３６５ｎｍにおける屈折率は、２．４５以下であることを特徴とする請求項１記載の位相シフトマスクブランク。
【請求項３】
前記主層上部の波長３６５ｎｍにおける屈折率と前記主層下部の波長３６５ｎｍにおける屈折率との差が、０．０５以上０．２５以下であることを特徴とする請求項１又は２記載の位相シフトマスクブランク。
【請求項４】
前記最表面層の膜密度は、２．０ｇ／ｃｍ３以上であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の位相シフトマスクブランク。
【請求項５】
前記位相シフト膜は、更に炭素を含有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の位相シフトマスクブランク。
【請求項６】
透明基板上にクロムと酸素と窒素とを含有する位相シフト膜をインライン型スパッタリング装置によるスパッタリング法により形成する位相シフトマスクブランクの製造方法であって、
前記透明基板上に、同一材料からなる主層と最表面層とを有する前記位相シフト膜を成膜する成膜工程を有し、前記成膜工程は、クロムを含むスパッタターゲットを使用し、不活性ガスと、該位相シフト膜を酸化及び窒化させる活性ガスを、前記スパッタターゲットの近傍における前記透明基板の搬送方向の、該スパッタターゲットに対して川下側より供給して、前記不活性ガスと前記活性ガスを含む混合ガスによる反応性スパッタリングにより行うことを特徴とする位相シフトマスクブランクの製造方法。
【請求項７】
前記最表面層側の前記主層上部の波長３６５ｎｍにおける屈折率は、前記透明基板側の前記主層下部の波長３６５ｎｍにおける屈折率よりも小さいことを特徴とする請求項６記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
【請求項８】
前記成膜工程の後、前記位相シフト膜の最表面に対して真空紫外線照射処理を行う真空紫外線照射工程を有することを特徴とする請求項６又は７記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
【請求項９】
前記真空紫外線照射工程は、前記位相シフト膜の前記最表面の膜密度を２．０ｇ／ｃｍ３以上に変えることを特徴とする請求項８に記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
【請求項１０】
前記混合ガスは、前記位相シフト膜を炭化させる活性ガスを更に含むことを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一項に記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
【請求項１１】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の位相シフトマスクブランク、又は請求項６乃至１０のいずれか一項に記載の位相シフトマスクブランクの製造方法により作製された位相シフトマスクブランクの前記位相シフト膜上にレジスト膜パターンを形成し、該レジスト膜パターンをマスクにして前記位相シフト膜をウェットエッチングして、前記透明基板上に位相シフト膜パターンを形成することを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
（構成９）前記真空紫外線照射工程は、前記位相シフト膜の前記最表面の膜密度を２．０ｇ／ｃｍ３以上に変えることを特徴とする構成８に記載の位相シフトマスクブランクの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
一方、スパッタガスを第１スパッタターゲット１３の川上側に配置された第１ガス導入口ＧＡ１１から供給して位相シフト膜を成膜する場合、その川上側から川下側にかけて、所定の含有量の不活性ガスと活性ガスを含むスパッタガス雰囲気となるため、透明基板２が第１スパッタターゲット１３の上方を通過する前の成膜前半から通過した後の成膜後半にかけて、位相シフト膜の主層の成膜が進むと考えられる。スパッタガスの川上供給条件で成膜する場合、主層下部から主層上部にかけて、波長３６５ｎｍにおける屈折率が上昇するので、主層上部の波長３６５ｎｍにおける屈折率が主層下部の波長３６５ｎｍにおける屈折率よりも大きくなる。このように成膜された位相シフト膜をウェットエッチングによりパターニングして得られる位相シフト膜パターンのエッジ部分の被エッチング断面の断面形状はテーパー化してしまう。
ここで、位相シフト膜パターンのエッジ部分の被エッチング断面の断面形状がテーパー化する理由は、波長３６５ｎｍにおける屈折率が主層上部で大きく、主層下部で小さいため、位相シフト膜パターンのエッジ部分の被エッチング断面における主層上部ではエッチング速度が速くなり、主層下部ではエッチング速度が遅くなる。これにより、主層下部に等方性エッチングが及ぶ前に、主層上部への等方性エッチングが進むため、その被エッチング断面の断面形状がテーパー化すると考えられる。