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【手続補正書】
【提出日】平成28年11月15日(2016.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のセルを含むセル群が設定された無線通信システムにおけるユーザ端末であって、
時間ずれを測定する対象セル情報を前記セルの無線基地局から受信する受信部と、
前記対象セル情報に基づいてセル間の時間ずれを測定する制御部と、
前記時間ずれの情報を無線基地局に送信する送信部と、
を有することを特徴とするユーザ端末。
【請求項２】
前記制御部は、前記無線基地局から送信された同期用信号を用いてセル間の時間ずれを測定することを特徴とする請求項１記載のユーザ端末。
【請求項３】
複数のセルを含むセル群が設定された無線通信システムにおける無線基地局であって、
時間ずれを測定する対象セル情報をユーザ端末に送信する送信部と、
前記ユーザ端末において測定した時間ずれの情報を受信する受信部と、
を有することを特徴とする無線基地局。
【請求項４】
前記時間ずれの情報に基づいて時間ずれを補正することを特徴とする請求項３記載の無線基地局。
【請求項５】
複数のセルを含むセル群が設定された無線通信システムであって、
時間ずれを測定する対象セル情報を前記セルの無線基地局から受信する受信部、前記対象セル情報に基づいてセル間の時間ずれを測定する制御部、及び前記時間ずれの情報を無線基地局に送信する送信部を有するユーザ端末と、
前記対象セル情報を送信する送信部及び前記ユーザ端末において測定した時間ずれの情報を受信する受信部を有する無線基地局と、
を具備することを特徴とする無線通信システム。
【請求項６】
前記制御部は、前記無線基地局から送信された同期用信号を用いてセル間の時間ずれを測定することを特徴とする請求項５記載の無線通信システム。
【請求項７】
前記無線基地局において、時間ずれの情報に基づいて時間ずれを補正することを特徴とする請求項５又は請求項６記載の無線通信システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ユーザ端末、無線基地局及び無線通信システム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、セルラーシステム等に適用可能なユーザ端末、無線基地局及び無線通信システムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ユーザ端末に対して複数の送信ポイントから下りリンク信号を送信する場合に、送信ポイント間で同期を確保することができるユーザ端末、無線基地局及び無線通信システムを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のユーザ端末は、複数のセルを含むセル群が設定された無線通信システムにおけるユーザ端末であって、時間ずれを測定する対象セル情報を前記セルの無線基地局から受信する受信部と、前記対象セル情報に基づいてセル間の時間ずれを測定する制御部と、前記時間ずれの情報を無線基地局に送信する送信部と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月28日(2016.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１配線と、
前記第１配線に電気的に接続される回路と、
前記回路に電気的に接続される第２配線と、
前記第２配線と電気的に接続される第２プログラマブルロジックエレメントの入力端子と、を有し、
前記第１の配線に、コンフィギュレーションデータが供給される第１の期間と、第１プログラマブルロジックエレメントから出力される信号が供給される第２の期間とを有し、
前記回路は、それぞれ、第１スイッチと、第２スイッチと、第３スイッチと、を有し、
前記第１の期間において、前記コンフィギュレーションデータは、前記第１スイッチを介して、前記第２のスイッチに供給され、
前記第１の期間に前記第２スイッチに供給された前記コンフィギュレーションデータに応じて、前記第２の期間において、前記第２スイッチ及び前記第３スイッチを介して、前記第１の配線と前記第２の配線とが電気的に接続されるか否かが定まるプログラマブルロジックデバイス。
【請求項２】
第１配線と、
前記第１配線に電気的に接続される回路と、
前記回路に電気的に接続される第２配線と、
前記第２配線と電気的に接続されるＩ／Ｏエレメントの入力端子と、を有し、
前記第１の配線に、コンフィギュレーションデータが供給される第１の期間と、第１プログラマブルロジックエレメントから出力される信号が供給される第２の期間とを有し、
前記回路は、それぞれ、第１スイッチと、第２スイッチと、第３スイッチと、を有し、
前記第１の期間において、前記コンフィギュレーションデータは、前記第１スイッチを介して、前記第２のスイッチに供給され、
前記第１の期間に前記第２スイッチに供給された前記コンフィギュレーションデータに応じて、前記第２の期間において、前記第２スイッチ及び前記第３スイッチを介して、前記第１の配線と前記第２の配線とが電気的に接続されるか否かが定まるプログラマブルロジックデバイス。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記第１スイッチは、酸化物半導体膜にチャネル形成領域を有するトランジスタであるプログラマブルロジックデバイス。
【請求項４】
請求項３において、
前記酸化物半導体膜は、Ｉｎ、Ｇａ、又はＺｎを有するプログラマブルロジックデバイス。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の前記プログラマブルロジックデバイスを有する半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月29日(2016.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送されてきた原稿の画像が、透過ガラスを介して読取部により読み取られる読取位置よりも原稿搬送方向上流側に、透過ガラス表面に対し所定距離離れた位置に原稿ガイド面を有し、該原稿ガイド面と前記透過ガラスとの間に段差を形成する段差部材を備えた画像読取装置において、
前記段差部材の原稿搬送方向下流側に前記透過ガラスとの間に空間が形成されるように、前記段差部材から原稿搬送方向下流側に突出させた突出部を設けたことを特徴とする画像読取装置。
【請求項２】
請求項１の画像読取装置において、
前記突出部を弾性部材にしたこと特徴とする画像読取装置。
【請求項３】
請求項１または２の画像読取装置において、
前記段差部材は、複数の部材を積層して形成されたものであって、
前記突出部を形成する部材を、その他の部材より原稿搬送方向下流側へ突出させることで、前記突出部を形成したことを特徴とする画像読取装置。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかの画像読取装置において、
少なくとも前記突出部の前記透過ガラスと対向する面を黒色にしたことを特徴とする画像読取装置。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかの画像読取装置において、
前記段差部材は、
読取位置において原稿を透過ガラスから所定距離離して原稿を搬送するための第１原稿ガイド部と、
前記第１原稿ガイド部よりも透過ガラス側にあり、かつ、前記第１原稿ガイド部よりも原稿搬送方向下流側に位置し、前記第１原稿ガイド部を抜けた原稿の後端が接触する第２原稿ガイド部とを有し、
前記第２原稿ガイド部を、前記突出部としたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項６】
記録材に画像を形成する画像形成手段と、
原稿を搬送しながら該原稿の画像を読み取る画像読取手段とを備え、
前記画像読取手段で読み取った画像を前記画像形成手段によって前記記録材に形成する画像形成装置において、
前記画像読取手段として、請求項１乃至５いずれかの画像読取装置を用いたことを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、搬送されてきた原稿の画像が、透過ガラスを介して読取部により読み取られる読取位置よりも原稿搬送方向上流側に、透過ガラス表面に対し所定距離離れた位置に原稿ガイド面を有し、該原稿ガイド面と前記透過ガラスとの間に段差を形成する段差部材を備えた画像読取装置において、前記段差部材の原稿搬送方向下流側に前記透過ガラスとの間に空間が形成されるように、前記段差部材から原稿搬送方向下流側に突出させた突出部を設けたことを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月13日(2016.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記（式１）で示される組成であることを特徴とするマグネシウムイオン二次電池用正極活物質。
ＭｇｘＭｙ（ＳｉＯ３）２・・・（式１）
（式１）において、０．１＜ｘ＜１．９,ｘ＋ｙ＝２であり、Ｍは２価を取りうる１種以上（ただし、ＭがＣａを含む場合には２種以上）のＭｇ以外の金属元素である。
【請求項２】
前記（式１）においてＭが、Ａｇ，Ｃｏ，Ｃｒ，Ｃｕ，Ｆｅ，Ｇｅ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃａから選ばれる一種以上の元素であることを特徴とする請求項１に記載のマグネシウムイオン二次電池用正極活物質。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のマグネシウムイオン二次電池用正極活物質を含有することを特徴とするマグネシウムイオン二次電池用正極。
【請求項４】
少なくとも、負極と、正極と、前記正極と前記負極との間に介在する電解質及び非水電解質溶媒、又は固体電解質とを含み、前記正極が、請求項３に記載のマグネシウムイオン二次電池用正極であることを特徴とするマグネシウムイオン二次電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】マグネシウムイオン二次電池用正極活物質、マグネシウムイオン二次電池用正極並びにマグネシウムイオン二次電池
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、マグネシウムイオン二次電池用正極活物質、マグネシウムイオン二次電池用正極並びにマグネシウムイオン二次電池に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月6日(2016.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】蓄電装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正極と負極と電解液とを有する蓄電装置において、
さらに第３の電極を有し、
前記第３の電極は、非ファラデー反応をする材料が用いられている蓄電装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記第３の電極は、活性炭が用いられている蓄電装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記第３の電極の比表面積は、５００ｍ２／ｇ以上である蓄電装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月8日(2016.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】蓄電装置の充電方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二相共存反応をする活物質を用いた正極と、負極と、電解液と、メモリとを有する蓄電装置の充電方法であって、
定電流充電を行った後、前記正極側において前記電解液の分解の生じない電圧を用いた定電圧充電により、充電電流が下限電流値以下となるまで充電を行い、
前記定電圧充電した後の前記蓄電装置の容量が、前記メモリに記憶された前記蓄電装置の出荷時の容量よりも規定の容量分低いとき、前記蓄電装置の抵抗が規定の抵抗値に達するまで、前記正極側において前記電解液の分解が生じる電圧によって追加の充電を行うことを特徴とする蓄電装置の充電方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記活物質は、オリビン型構造を有することを特徴とする蓄電装置の充電方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記活物質は、リン酸鉄リチウムであることを特徴とする蓄電装置の充電方法。
【請求項４】
請求項３において、
前記電解液の分解の生じない電圧は、４Ｖ（ｖｓ．Ｌｉ／Ｌｉ＋）未満であり、
前記電解液の分解が生じる電圧は、４．３Ｖ（ｖｓ．Ｌｉ／Ｌｉ＋）以上であることを特徴とする蓄電装置の充電方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月21日(2016.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】蓄電システム
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の動作状態を有する二次電池と、
前記二次電池の状態を測定する測定手段と、
前記二次電池の前記動作状態を判定する判定手段と、
前記動作状態に応じた記憶領域を有する記憶手段と、を有し、
前記判定手段は、前記測定手段の情報をもとに前記動作状態を判定し、前記動作状態の開始時と終了時の情報を、前記動作状態に応じた前記記憶領域に記憶することを特徴とする蓄電システム。
【請求項２】
請求項１において、
前記情報は、電池残量、電圧、電流、または温度であることを特徴とする蓄電システム。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記測定手段は、前記二次電池の電池残量、電圧、電流、または温度を測定することを特徴とする蓄電システム。
【請求項４】
請求項３において、
前記判定手段は、前記電池残量、前記電圧、前記電流、または前記温度により、前記動作状態の判定を行うことを特徴とする蓄電システム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年2月6日(2017.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リチウム塩と非水系有機溶媒を含む非水系電解液であって、該非水系電解液が、式（１）で示される化合物を少なくとも１種以上含有する非水系電解液。
【化１】
2014143193.tif 000001
（式中、Ｒ１、Ｒ２はそれぞれ独立に水素基または炭素数１〜４の炭化水素基を表し、Ｌ１は２〜４級炭素とヘテロ元素を併せ持つＺ価の有機基であって、２級炭素の場合はＣ＝Ｏ結合を有するＺ価の有機基である。Ｚは１以上の整数であり、Ｚが２以上の場合は、複数のＲは互いに同一であっても異なっていてもよい。尚、Ｒ１、Ｒ２、Ｌ１はそれぞれ互いに結合して環を形成しない。）
【請求項２】
式（１）で示される化合物が、式（２）で示される化合物である請求項１に記載の非水系電解液。
【化２】
2014143193.tif 000002
（式（２）中、Ｒ１〜Ｒ４はそれぞれ独立に水素基または炭素数１〜４の炭化水素基を表し、Ｒ５はヘテロ元素を含んでもよい炭素数１〜３の炭化水素基を表す。）
【請求項３】
前記式（１）または式（２）中、Ｒ１が水素基である請求項１または２に記載の非水系電解液。
【請求項４】
前記式（１）または式（２）中、Ｒ２が水素基である請求項１〜３のいずれかに記載の非水系電解液。
【請求項５】
前記式（１）または式（２）中、Ｒ１とＲ２が同時に水素基である請求項１〜４のいずれかに記載の非水系電解液。
【請求項６】
前記式（１）または式（２）中、Ｒ３とＲ４のいずれか一方がメチル基である請求項１〜５のいずれかに記載の非水系電解液。
【請求項７】
前記式（１）または式（２）中、Ｒ５がアルコキシ基である請求項１〜６のいずれかに記載の非水系電解液。
【請求項８】
前記式（１）または式（２）で表される化合物が、下記式（ｉ）の化合物である請求項１〜７のいずれかに記載の非水系電解液。
【化３】
2014143193.tif 000003
【請求項９】
前記式（１）または式（２）で表される化合物が、非水系電解液全体に対して０．１〜５重量部含まれている請求項１〜８のいずれかに記載の非水系電解液。
【請求項１０】
金属イオンを吸蔵及び放出可能な負極及び正極と、非水系電解液とを備える非水系電解液二次電池であって、該非水系電解液が請求項１〜９のいずれかに記載の非水系電解液である非水系電解液二次電池。
【請求項１１】
下記式（ｉ）の化合物。
【化４】
2014143193.tif 000004
【請求項１２】
下記式（ｉｉ）の化合物。
【化５】
2014143193.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月13日(2016.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記（式１）で示される組成であることを特徴とするマグネシウムイオン二次電池用正極活物質。
ＭｇｘＭｙＯｚＮ２−ｚ・・・（式１）
（式１）において、Ｍは、遷移金属元素であり、ｘは０＜ｘ≦１．２、ｙは０．８≦ｙ≦１．２、ｚは０≦ｚ＜２の範囲の数である。
【請求項２】
前記（式１）においてＭが、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕから選ばれる一種以上の元素であることを特徴とする請求項１に記載のマグネシウムイオン二次電池用正極活物質。
【請求項３】
前記Ｍ元素の周りに窒素原子からなる陰イオンが６配位した多面体からなる層または前記Ｍ元素の周りに窒素原子及び酸素原子からなる陰イオンが６配位した多面体からなる層と、その層間に挿入されたマグネシウムイオンとからなる層状構造を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のマグネシウムイオン二次電池用正極活物質。
【請求項４】
Ｍｇと前記Ｍ元素とを含有する複酸化物からなる中間化合物を生成する工程と、該中間化合物を窒素ガスおよび／またはアンモニアからなる雰囲気中で加熱する工程とを含むことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のマグネシウムイオン二次電池用正極活物質の製造方法。
【請求項５】
Ｆｅ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉから選ばれる一種以上の元素と、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ、Ｃｕから選ばれる一種以上の元素とを含有する第１中間化合物を生成する工程と、
該第１の中間化合物を窒素ガスおよび／またはアンモニアからなる雰囲気中で加熱し第２中間化合物を生成する工程と、
該第２中間化合物と、２００〜５００℃で熔融可能なＭｇ化合物とを混合加熱し、前記Ｆｅ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉから選ばれる一種以上の元素をＭｇにイオン交換する工程と、
を含むことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のマグネシウムイオン二次電池用正極活物質の製造方法。
【請求項６】
少なくとも、負極と、正極と、前記正極と前記負極との間に介在する電解質及び非水電解質溶媒、又は固体電解質とを含み、
前記正極が、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のマグネシウムイオン二次電池用正極活物質を含有することを特徴とするマグネシウムイオン二次電池。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月8日(2016.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャネルを形成する島状の酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層の上面と接する第１のソース電極及び第１のドレイン電極と、
前記第１のソース電極と電気的に接続される第２のソース電極と、
前記第１のドレイン電極と電気的に接続される第２のドレイン電極と、
前記第１のソース電極、前記第１のドレイン電極、前記第２のソース電極、及び前記第２のドレイン電極上の第２の酸化物層と、
前記第２の酸化物層上のゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層を介して前記酸化物半導体層と重畳するゲート電極と、を有し、
前記第２のソース電極、前記第２のドレイン電極、及び第２の酸化物層が、前記酸化物半導体層の上面とそれぞれ接することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記第２の酸化物層は、前記酸化物半導体層を構成する金属元素と同じ金属元素を１種類以上有することを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記第２の酸化物層の電子親和力は、前記酸化物半導体層の電子親和力よりも小さいことを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
島状の第１の酸化物層と、
前記第１の酸化物層上の、チャネルを形成する島状の酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層の上面と接する第１のソース電極及び第１のドレイン電極と、
前記第１のソース電極と電気的に接続される第２のソース電極と、
前記第１のドレイン電極と電気的に接続される第２のドレイン電極と、
前記第１のソース電極、前記第１のドレイン電極、前記第２のソース電極、及び前記第２のドレイン電極上の第２の酸化物層と、
前記第２の酸化物層上のゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層を介して前記酸化物半導体層と重畳するゲート電極と、を有し、
前記第２のソース電極、前記第２のドレイン電極、及び第２の酸化物層が、前記酸化物半導体層の上面とそれぞれ接することを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記第１の酸化物層又は前記第２の酸化物層の少なくとも一方は、前記酸化物半導体層を構成する金属元素と同じ金属元素を１種類以上有することを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
請求項４または５において、
前記第１の酸化物層の電子親和力又は前記第２の酸化物層の電子親和力の少なくとも一方は、前記酸化物半導体層の電子親和力よりも小さいことを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項において、
前記第１のソース電極及び前記第１のドレイン電極は、前記第２のソース電極及び前記第２のドレイン電極よりも、酸素と結合しやすい材料を有することを特徴とする半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年12月21日(2016.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】金属酸化物膜
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶部を有する金属酸化物膜であって、
前記金属酸化物膜は、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、炭素とを有し、
前記結晶部の大きさは、１０ｎｍ以下であり、
前記金属酸化物膜は、ナノビーム電子線回折パターンにおいて、円周状に配置された複数のスポットが観察される領域を有することを特徴とする金属酸化物膜。
【請求項２】
結晶部を有する金属酸化物膜であって、
前記金属酸化物膜は、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、炭素とを有し、
前記結晶部の大きさは、１０ｎｍ以下であり、
前記金属酸化物膜は、ナノビーム電子線回折パターンにおいて、円周状に配置された複数のスポットが観察される領域を有し、
前記金属酸化物膜は、制限視野電子線回折を用いた電子線回折パターンにおいて、ハローパターンが観察される領域を有することを特徴とする金属酸化物膜。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記ナノビーム電子線回折パターンの測定範囲は、１０ｎｍφ以下であることを特徴とする金属酸化物膜。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一において、
前記結晶部の大きさは、５ｎｍ以下であることを特徴とする金属酸化物膜。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一において、
前記金属酸化物膜に含まれる前記炭素の濃度は、３×１０１８／ｃｍ３以下であることを特徴とする金属酸化物膜。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月30日(2016.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャネル形成領域を含む酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層と電気的に接続された、第１のソース電極と、
前記酸化物半導体層と電気的に接続された、第１のドレイン電極と、
前記第１のソース電極と電気的に接続された、第２のソース電極と、
前記第１のドレイン電極と電気的に接続された、第２のドレイン電極と、
前記第２のソース電極、前記酸化物半導体層、及び前記第２のドレイン電極上の、絶縁層と、
前記絶縁層上の、ゲート電極と、を有し、
前記ゲート電極は、前記チャネル形成領域の水素濃度を低減させる機能を有し、
前記チャネル形成領域のチャネル長は、前記第１のソース電極と前記第２のドレイン電極との間の距離より短いことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記絶縁層は、Ｉｎと、Ｇａと、Ｚｎとを有することを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
チャネル形成領域を含む酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層と電気的に接続された、第１のソース電極と、
前記酸化物半導体層と電気的に接続された、第１のドレイン電極と、
前記第１のソース電極と電気的に接続された、第２のソース電極と、
前記第１のドレイン電極と電気的に接続された、第２のドレイン電極と、
前記第２のソース電極、前記酸化物半導体層、及び前記第２のドレイン電極上の、絶縁層と、
前記絶縁層上の、ゲート電極と、を有し、
前記絶縁層は、Ｉｎと、Ｇａと、Ｚｎとを有し、
前記チャネル形成領域のチャネル長は、前記第１のソース電極と前記第２のドレイン電極との間の距離より短いことを特徴とする半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月29日(2016.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能な無端状の定着ベルトと、
前記定着ベルトの外周面と接触する接触部材と、
前記定着ベルトの内周側に配置され該定着ベルトを介して前記接触部材と当接しニップ部を形成するニップ形成部材と、
前記定着ベルトを加熱する加熱手段とを備え、
前記ニップ部に記録材を通過させて画像を該記録材に定着させる定着装置において、
前記ニップ形成部材の前記定着ベルトとの対向面に摺動性を有する表面層を設けており、
前記表面層は３００［℃］以上の耐熱性を有し厚さが１０［μｍ］以上であることを特徴とする定着装置。
【請求項２】
請求項１の定着装置において、
前記表面層はフッ素樹脂からなることを特徴とする定着装置。
【請求項３】
請求項１または２の定着装置において、
前記ニップ形成部材は、ニップ部の上流側よりも下流側のほうが接触部材側に突き出した形状であることを特徴とする定着装置。
【請求項４】
請求項１、２または３の定着装置において、
前記ニップ形成部材は定着ベルト幅方向に長尺であり、該ニップ形成部材の長手方向中央部の高さが、該ニップ形成部材の長手方向両端部の高さよりも高いことを特徴とする定着装置。
【請求項５】
請求項１、２、３または４の定着装置において、
前記表面層は、摩耗状態に応じて摩耗量が把握可能に形成されていることを特徴とする定着装置。
【請求項６】
請求項５の定着装置において、
前記表面層は、色または色の濃度の異なる層が複数積層された多層状であることを特徴とする定着装置。
【請求項７】
請求項１、２、３、４、５または６の定着装置において、
前記ニップ形成部材は金属材料で構成されることを特徴とする定着装置。
【請求項８】
請求項１、２、３、４、５または６の定着装置において、
前記ニップ形成部材はセラミックス材料で構成されることを特徴とする定着装置。
【請求項９】
像担持体と、
像担持体上にトナー像を形成するトナー像形成手段と、
前記トナー像を前記像担持体上から記録媒体上に転写する転写手段と、
前記記録媒体上に転写されたトナー像を該記録媒体に定着させる定着手段とを備えた画像形成装置において、
前記定着手段として、請求項１、２、３、４、５、６、７または８の定着装置を用いたことを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、回転可能な無端状の定着ベルトと、前記定着ベルトの外周面と接触する接触部材と、前記定着ベルトの内周側に配置され該定着ベルトを介して前記接触部材と当接しニップ部を形成するニップ形成部材と、前記定着ベルトを加熱する加熱手段とを備え、前記ニップ部に記録材を通過させて画像を該記録材に定着させる定着装置において、前記ニップ形成部材の前記定着ベルトとの対向面に摺動性を有する表面層を設けており、前記表面層は３００［℃］以上の耐熱性を有し厚さが１０［μｍ］以上であることを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成29年8月2日(2017.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフト部材を回転可能に支持するための軸受アセンブリであって、前記軸受アセンブリは、
第一軸受軌道を有する外リングと、
第二軸受軌道を有する内リングであって、前記第二軸受軌道は前記第一軸受軌道に対して対向的にカラー状に離間しており、前記内リングは、前記内リングの少なくとも１つの末端から片持ち構成で延在する複数の中子部材を有し、前記複数の中子部材の各々はその間に形成されたスロットを有する、内リングと、
前記第一軸受軌道および前記第二軸受軌道の間で離間して、これらと係合して配置された、複数の軸受部材と、
前記内リングの内表面に沿って周方向に延在する切り欠き溝であって、前記複数の中子部材と略隣接しており、前記複数の中子部材の有効片持ち距離を増加させるようになっている、切り欠き溝と、
前記複数の中子部材と係合して、前記内リングをシャフトに結合するために前記複数の中子部材上に圧縮力を印加する、係止部材と、を含む軸受アセンブリ。
【請求項２】
前記内リングの前記内表面に沿って周方向に延在する前記切り欠き溝が、前記内リングの前記内表面に沿って連続的に延在する、請求項１に記載の軸受アセンブリ。
【請求項３】
前記複数の中子部材の各々が、上面および底面を含んでこれらによって最小厚みを画定し、前記複数の中子部材の各々の前記最小厚みは、前記中子部材の前記上面と前記切り欠き溝との間の最小壁厚とほぼ等しい、請求項１に記載の軸受アセンブリ。
【請求項４】
前記複数の中子部材の前記有効片持ち距離が前記複数の中子部材の各々の実際の片持ち距離よりも長く、前記有効片持ち距離は、前記複数の中子部材の各々の遠位末端から前記切り欠き溝の近位辺まで測定される、請求項１に記載の軸受アセンブリ。
【請求項５】
前記第二軸受軌道が硬化物の摩耗硬化領域を画定するために摩耗硬化されており、前記摩耗硬化領域は前記内リングの外表面に沿って測定されたときに幅を有し、前記幅は、前記摩耗硬化領域の遠位点と前記切り欠き溝の近位辺との間の距離の少なくとも２倍である、請求項１に記載の軸受アセンブリ。
【請求項６】
前記第二軸受軌道が、前記内リングの外表面に沿って遠位点を有する硬化物の摩耗硬化領域を画定するために摩耗硬化されており、前記遠位点と前記切り欠き溝の近位辺との間の軸方向距離は、前記切り欠き溝の幅に所定定数を掛けた積以上である、請求項１に記載の軸受アセンブリ。
【請求項７】
前記所定定数が０．６である、請求項６に記載の軸受アセンブリ。
【請求項８】
前記内リングの前記内表面に沿って周方向に延在する前記切り欠き溝が前記複数の中子部材の間に形成された前記スロットの各々と交差する、請求項１に記載の軸受アセンブリ。
【請求項９】
前記切り欠き溝が、弓形表面で終端する、対向する平行な辺を含む、請求項１に記載の軸受アセンブリ。
【請求項１０】
前記切り欠き溝が、平面で終端する、対向する平行な辺を含む、請求項１に記載の軸受アセンブリ。
【請求項１１】
前記平行な辺のうちの少なくとも１つと前記平面との間に形成された面取りをさらに含む、請求項１に記載の軸受アセンブリ。
【手続補正書】
【提出日】平成29年9月20日(2017.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タービン部品（３４）の冷却を行うシステム（１００）であって、
冷却対象領域（４０）を含むタービン部品本体（３９）と、
前記冷却対象領域（４０）内に形成される凹部であって、前記凹部が内側面（５３）を含む、前記凹部と、
前記内側面（５３）から突出する少なくとも１つの支持突起（４８）であって、前記少なくとも１つの支持突起（４８）が自由端（４９）を含む、前記少なくとも１つの支持突起（４８）と、
前記冷却対象領域（４０）に接続される蓋体（５４）であって、前記蓋体（５４）の内側面（５７）が、前記少なくとも１つの支持突起（４８）の前記自由端（４９）に接続されて、少なくとも１つの冷却流路（７０）が前記冷却対象領域（４０）内に形成される、前記蓋体（５４）と、
前記蓋体（５４）に接続される接着性被膜及び耐熱性被膜のうちの少なくとも一方の被膜と、
を備える、システム（１００）。
【請求項２】
前記システム（１００）は、前記少なくとも１つの冷却流路（７０）に接続される冷却流体供給源を備える、請求項１に記載のシステム（１００）。
【請求項３】
前記凹部が、
後縁領域（４０）の先端（６２）から延在する前記内側面（５３）であって、前記内側面（５３）が、前記後縁先端（６２）から或る距離だけ離間する位置まで延在する、前記内側面（５３）と、
前記後縁先端（６２）から或る距離だけ離間する前記位置に形成される肩部（５８）と、
を含む、請求項１または２に記載のシステム（１００）。
【請求項４】
前記少なくとも１つの支持突起（４８）は、前記内側面（５３）から、前記内側面（５３）に略直交する方向に延在する、請求項１乃至３のいずれかに記載のシステム（１００）。
【請求項５】
前記少なくとも１つの支持突起（４８）は、前記内側面（５３）から突出する複数の支持突起（５０）を含む、請求項１乃至４のいずれかに記載のシステム（１００）。
【請求項６】
前記蓋体（５４）は、前記少なくとも１つの支持突起（４８）の前記自由端（４９）に接続されるロウ材層（５４）を含む、請求項１乃至５のいずれかに記載のシステム（１００）。
【請求項７】
前記被膜は、前記ロウ材層（５４）に接続される、請求項６に記載のシステム（１００）。
【請求項８】
前記システム（１００）は、前記ロウ材層（５４）に接続される接着性被膜を備える、請求項６に記載のシステム（１００）。
【請求項９】
前記システム（１００）は、前記接着性被膜に接続される耐熱性被膜を備える、請求項８に記載のシステム（１００）。
【請求項１０】
ガスタービンシステム（１０）であって、前記ガスタービンシステム（１０）は、
圧縮機セクション（１６）と、
前記圧縮機セクション（１６）に流体連通連結される燃焼システム（１８）と、
前記燃焼システム（１８）に流体連通連結されるタービンセクション（２０）と、を備え、前記タービンセクション（２０）は、
タービン部品の翼部（３９）であって、前記ガスタービンシステム（１０）の高温流路に曝されるように位置づけられた面と、前記面に隣接する冷却対象領域（４０）を含む翼部（３９）と、
前記冷却対象領域（４０）内に形成される凹部であって、前記凹部が内側面（５３）を含む、前記凹部と、
前記内側面（５３）から突出する少なくとも１つの支持突起（４８）であって、前記少なくとも１つの支持突起（４８）が自由端（４９）を含む、前記少なくとも１つの支持突起（４８）と、
前記冷却対象領域（４０）に接続され、かつ前記タービン部品本体（３９）を構成する蓋体（５４）であって、前記蓋体（５４）の内側面（５７）が、前記少なくとも１つの支持突起（４８）の前記自由端（４９）に接続されて、少なくとも１つの冷却流路（７０）が前記冷却対象領域（４０）内に形成される、前記蓋体（５４）と、を含む、ガスタービンシステム（１０）。
【手続補正書】
【提出日】平成29年9月28日(2017.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タービンエンジン組立体（１０）であって、
ステータ組立体（４３）と、
複数のロータブレード（３８）に結合されたロータディスク（４２）を含み、複数のロータブレードがロータディスクから半径方向外向きに延在しているロータ組立体（３７）と、
複数のロータブレードの周りで少なくとも部分的に延在してクリアランスギャップ（５０）を定めるケーシング（２８）と、
回転可能シャフト（７８）、該シャフト（７８）に結合したスプール（８０）及び該スプール（８０）に結合したシール（５２）を含む動的シールデバイス（１４）と
を備え、動的シールデバイスが、スプール（８０）からシール（５２）を巻き戻すようにシャフト（７８）を選択的に回転させてケーシングと複数のロータブレードとの間にシール（５２）を挿入し、ロータ組立体が作動中である間、複数のロータブレードとケーシングとの間に定められるクリアランスギャップ（５０）を縮小するように構成されている、タービンエンジン組立体（１０）。
【請求項２】
動的シールデバイスが更に、スプール（８０）の周りにシール（５２）を巻き取るようにシャフト（７８）を選択的に回転させてケーシング（２８）と複数のロータブレード（３８）との間からシール（５２）を取り出し、ロータ組立体が作動中である間クリアランスギャップ（５０）を増大させるように構成される、請求項１記載のタービンエンジン組立体（１０）。
【請求項３】
コントローラ（１００）と、
ロータ組立体（３７）の少なくとも１つの特性を測定するセンサ（１０２）と、
を更に備え、コントローラが、
少なくとも１つの特性に基づいてロータ組立体の作動状態を判定し、
ロータ組立体の所定の作動状態の間にシール（５２）を挿入するように動的シールデバイス（１４）に命令する
ように構成されている、請求項１又は請求項２記載のタービンエンジン組立体（１０）。
【請求項４】
コントローラが更に、ロータ組立体の第２の所定の作動状態の間にシール（５２）を取り出すように動的シールデバイス（１４）に命令するように構成されている、請求項３記載のタービンエンジン組立体（１０）。
【請求項５】
ケーシング（２８）が、保持溝（５４）を定める内側表面（３０）を含み、保持溝が、シール（５２）を内部に受けるサイズにされる、請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載のタービンエンジン組立体（１０）。
【請求項６】
複数のロータブレード（３８）と該複数のロータブレードの周りで少なくとも部分的に延在してクリアランスギャップ（５０）を定めるケーシング（２８）とを備えるタービンエンジン（１２）において使用するための動的シールデバイス（１４）であって、
動的シールデバイス（１４）が、回転可能シャフト（７８）と、該シャフト（７８）に結合したスプール（８０）と、該スプール（８０）に結合したシール（５２）とを含んでおり、
動的シールデバイス（１４）が、タービンエンジンの運転中に、スプール（８０）からシール（５２）を巻き戻すようにシャフト（７８）を選択的に回転させて複数のロータブレード（３８）とケーシング（２８）との間にシール（５２）を挿入して、複数のロータブレードとケーシングとの間に定められるクリアランスギャップ（５０）を縮小するように構成されている、動的シールデバイス（１４）。
【請求項７】
スプール（８０）の周りにシール（５２）を巻き取るようにシャフト（７８）を選択的に回転させてケーシング（２８）と複数のロータブレード（３８）との間からシール（５２）を取り出して、タービンエンジン（１２）の運転中にクリアランスギャップ（５０）を増大させるように更に構成されている、請求項６記載の動的シールデバイス（１４）。
【請求項８】
シール（５２）が、第１の端部（８２）と、第２の端部（８４）と、第１の端部（８２）と第２の端部（８４）の間の本体（８６）とを含んで折り、第１の端部（８２）がスプール（８０）に結合しており、本体（８６）を、複数のロータブレード（３８）とケーシング（２８）との間に挿入することができる、請求項６又は請求項７記載の動的シールデバイス（１４）。
【請求項９】
タービンエンジン（１２）のシールを可能にする方法であって、
動的シールデバイス（１４）のスプール（８０）からシール（５２）を巻き戻すようにシャフト（７８）を回転させ、タービンエンジンの運転中に、シールが複数のロータブレードとケーシングとの間に定められるクリアランスギャップ（５０）を縮小するように、タービンエンジンの複数のロータブレード（３８）とケーシング（２８）との間にシール（５２）を挿入するステップを含む、方法。
【請求項１０】
タービンエンジンの運転中に、動的シールデバイス（１４）を用いて、スプール（８０）の周りにシール（５２）を巻き取るようにシャフト（７８）を選択的に回転させてケーシング（２８）と複数のロータブレード（３８）との間からシール（５２）を取り出して、クリアランスギャップ（５０）を増大させるステップを更に含む、請求項９記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成29年10月3日(2017.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定基準器（１０；１１０；２１０）と、
測定基準器に対して相対的に少なくとも１つの測定方向に沿って移動可能な走査ユニット（２０；１２０；２２０；３２０）と、を備え、
変位に応じた信号を生成するために使用される走査光路が測定基準器（１０；１１０；２１０）と走査ユニット（２０；１２０；２２０；３２０）との間に形成されている光学式位置測定装置において、
保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）が、測定基準器平面に対して垂直方向の軸線に沿って移動可能に配置され、それにより、少なくとも１つの作動モードで、前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）が走査ユニット（２０；１２０；２２０；３２０）と測定基準器（１０；１１０；２１０）との間の走査光路を広範囲に包囲し、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）が、エネルギー供給が停止した場合に前記保護カバーと前記測定基準器との間の最大限に可能な間隔を自動的に設定する戻し手段を含む
ことを特徴とする光学式位置測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の位置測定装置において、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）と前記測定基準器（１０；１１０；２１０）との間の間隔が、
‐第１作動モードで、少なくとも前記走査光路が屈折率変動に対して敏感である空間領域においては前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）が前記走査ユニット（２０；１２０；２２０；３２０）と前記測定基準器（１０；１１０；２１０）との間の走査光路を遮蔽する間隔値となるように設定可能であり、
‐少なくとも１つの第２作動モードで、前記第１作動モードよりも大きい間隔値となるように設定可能である位置測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の位置測定装置において、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）にエアベアリング（１７０）が組み込まれており、該エアベアリングにより、前記第１作動モードで前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）と前記測定基準器との間の間隔値が一定となるように設定可能である位置測定装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の位置測定装置において、
前記軸線に沿って前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）を規定どおりに位置決めするために、磁気式または空圧式のアクチュエータ手段が設けられている位置測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の位置測定装置において、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）と前記測定基準器（１０；１１０；２１０）との間の間隔が、走査ユニット（２０；１２０；２２０；３２０）が配置された位置決めステージの位置とは無関係に一定に保持される位置測定装置。
【請求項６】
請求項１に記載の位置測定装置において、
前記戻し手段が、前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）に機械的に予荷重を加えることのできるばね部材（４３）として構成されている位置測定装置。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれか一項に記載の位置測定装置において、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）の外形が、該保護カバーの周囲を流れる空気により空気渦流が生じないように構成されている位置測定装置。
【請求項８】
請求項１から７までのいずれか一項に記載の位置測定装置において、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）の外形が、該保護カバーの周囲を流れる空気により測定基準器（１０；１１０；２１０）に力が伝達されないように構成されている位置測定装置。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれか一項に記載の位置測定装置において、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）に少なくとも１つの流れ部材が配置されており、該流れ部材が、走査ユニット（２０；１２０；２２０；３２０）が配置されたウェーハ・ステージの所定の速度で前記流れ部材における動的圧力により前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）にかかる背圧および吸引圧力が相殺されるように構成されている位置測定装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の位置測定装置において、
前記流れ部材が、前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）の側方に配置された空気偏向板として構成されている位置測定装置。
【請求項１１】
請求項１から１０までのいずれか一項に記載の位置測定装置において、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）が前記測定基準器平面に対して垂直方向の前記軸線を中心として回動可能に配置されている位置測定装置。
【請求項１２】
請求項１から１１までのいずれか一項に記載の位置測定装置において、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）が前記測定基準器平面に対して垂直方向の前記軸線に沿って延在し、該軸線に沿って、前記測定基準器（１０；１１０；２１０）と前記走査ユニットト（２０；１２０；２２０；３２０）との間の間隔よりもわずかに小さい寸法を有している位置測定装置。
【請求項１３】
請求項１から１２までのいずれか一項に記載の位置測定装置において、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）が円筒状に形成されており、円筒軸線が前記測定基準器平面に対して垂直方向の前記軸線に沿って延在している位置測定装置。
【請求項１４】
請求項１から１３までのいずれか一項に記載の位置測定装置において、
前記保護カバー（３０；１３０；２３０；３３０）が、前記測定基準器（１０；１１０；２１０）に向いた側に、開口または透光性のカバー部材を備えている位置測定装置。
【手続補正書】
【提出日】平成29年10月3日(2017.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対して移動可能な２つの物体の位置を検出するための光学式位置測定装置であって、
２つの物体の一方に結合された測定基準器（１０；１０’；１１０；２１０）と、２つの物体の他方に結合された、測定基準器（１０；１０’；１１０；２１０）を走査するための走査システム（２０；２０’；１２０；２２０）とを備え、走査システム（２０；２０’；１２０；２２０）により、物体の第１側方移動方向（Ｙ）および鉛直方向（Ｚ）の移動方向に沿って同時に位置決定を行うことが可能であり、このために、走査システム（２０；２０’；１２０；２２０）の面に互いに傾斜した２つの走査光路が形成されており、該走査光路で、それぞれ干渉する部分光線束から一群の位相をずらされた信号を出口側で生成可能である装置において、
走査システム（２０；２０’；１２０；２２０）により、さらに少なくとも１つの第３走査光路が形成されており、該第３走査光路を介して、物体の第２側方移動方向（Ｘ）に沿った位置決定が可能であり、
光源の光線が、第１光ファイバ、および全ての３つの走査光路に共通の結合光学系を介して走査システム（２０；２０’；１２０；２２０）に供給可能であり、
３つの走査光路で生成された干渉する部分光線束が共通の分離光学系を介して第２光ファイバ（２６）に結合可能であり、該第２光ファイバが前記部分光線束を検出装置に供給することを特徴とする光学式位置測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光学式位置測定装置において、
前記走査システム（２０；２０’；１２０；２２０）が入口側に回折格子を含み、該回折格子が、結合光学系から入射した光線束を３つの走査光路に分割し、回折格子の＋／−１次の回折次数が第１および第２走査光路に割り当てられており、０次の回折次数が前記第３走査光路に割り当てられている光学式位置測定装置。
【請求項３】
請求項１に記載の位置測定装置において、
前記第３走査光路では前記部分光線束が前記測定基準器（１０；１０’；１１０；２１０）の方向に伝搬し、該測定基準器で他の２つの部分光線束に分割され、該部分光線束が走査システム（２０；２０’；１２０；２２０）の方向に反射され、該走査システムでそれぞれ逆反射され、第２側方移動方向（Ｘ）に沿って変位され、再び前記測定基準器（１０；１０’；１１０；２１０）の方向に伝搬し、該測定基準器で、干渉して重畳され、前記走査システムの方向に伝搬し、該走査システムで、第２側方移動方向（Ｘ）に沿った相対移動に関して、複数の位相をずらされた信号が検出可能である位置測定装置。
【請求項４】
請求項１に記載の位置測定装置において、
前記走査システム（２０；２０’；１２０；２２０）が光学素子（２２；２２’）を含み、前記測定基準器（１０；１０’；１１０；２１０）に向いた前記光学素子の面に、異なる走査光路に限定的に割り当てられ、透過格子を備える複数の格子照射野（A1-A4;B1-B4;X1-X4;A1’-A4’;B1’-B4’;X1’-X4’）と、結合側の回折格子（２１；２１’）と、分離側の回折格子（２３；２３’）とが配置されている位置測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の位置測定装置において、
前記格子照射野（A1-A4;B1-B4;X1-X4;A1’-A4’;B1’-B4’;X1’-X4’）と分離格子との間の変位間隔（δｘ）が第２側方移動方向（Ｘ）に沿って同一に選択されている位置測定装置。
【請求項６】
請求項４に記載の位置測定装置において、
前記光学素子（２２；２２’）と前記測定基準器（１０；１０’；１１０；２１０）との間に、横方向寸法に関して全ての走査光路にわたるカバーガラス（４０）が配置されている位置測定装置。
【請求項７】
請求項４に記載の位置測定装置において、
ガラス内を通過する部分光線束の光学距離が温度変化により変更されることがないように、前記光学素子（２２；２２’）と前記測定基準器（１０；１０’；１１０；２１０）との間に温度補正されたガラス体が配置されている位置測定装置。
【請求項８】
請求項１に記載の位置測定装置において、
第２光ファイバ（２６）が、走査光路につき、共通のフェルール（２８）の結合側端部に配置されたそれぞれ３つのマルチモードファイバ（２７）を含んでいる位置測定装置。
【請求項９】
請求項１に記載の位置測定装置において、
第１および第２側方移動方向（Ｘ，Ｙ）が互いに垂直に配向されており、前記測定基準器（１０；１０’；１１０；２１０）が格子として形成されている位置測定装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の位置測定装置において、
全ての３つの移動方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の走査光路が共通の走査中心を備える位置測定装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の位置測定装置において、
少なくとも１つの部分光線束が、前記測定基準器（１０；１０’；１１０；２１０）における１回目の入射と２回目の入射との間の走査光路で、それぞれの移動方向（Ｘ）に沿って変位される位置測定装置。
【請求項１２】
請求項３または４に記載の位置測定装置において、
前記部分光線束を反射するために、前記光学素子（２２；２２’）が、複数の光学機能を統合した回折性構成部材を含んでいる位置測定装置。
【手続補正書】
【提出日】平成29年4月24日(2017.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
人体検知センサによって人体を検知して自動的に吐止水制御を行う自動水栓装置であって、
予め定められた時間帯毎の過去の吐止水制御の回数に応じて、現在の時間帯における前記人体検知センサの動作周期を、第１周期又は前記第１周期よりも短い周期群のうちいずれか１つの第２周期に設定する周期設定手段と、
前記周期設定手段が前記動作周期を前記第２周期に設定した後、前記現在の時間帯の間に前記吐止水制御が行われると、前記現在の時間帯の残りの時間のうち少なくとも一部の時間における前記人体検知センサの前記動作周期を、前記第２周期の設定から、設定された前記第２周期よりも長く前記第１周期を含む周期群のうちいずれか１つの第３周期の設定に変更する周期変更手段と、
を備える自動水栓装置。
【請求項２】
前記周期変更手段は、前記周期設定手段が前記動作周期を前記第２周期に設定した後、前記現在の時間帯の間に前記吐止水制御が前記時間帯毎の過去の吐止水制御の回数のうち前記現在の時間帯と同じ時間帯における過去の吐止水制御の回数に応じた回数行われると、前記現在の時間帯の残りの時間のうち少なくとも一部の時間における前記人体検知センサの前記動作周期を、前記第２周期の設定から、前記第３周期の設定に変更する、
請求項１に記載の自動水栓装置。
【請求項３】
前記第３周期は、前記第１周期以上の長さである、
請求項２に記載の自動水栓装置。
【請求項４】
前記周期変更手段は、前記周期設定手段が前記動作周期を前記第２周期に設定した後、前記現在の時間帯の間に前記吐止水制御が行われると、吐止水制御が行われてから任意の時間を経過した後に、前記現在の時間帯の残りの時間のうち少なくとも一部の時間における前記人体検知センサの前記動作周期を、前記第２周期の設定から、前記第３周期の設定に変更する、
請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の自動水栓装置。
【請求項５】
水が流れる流路が設けられた装置本体と、
前記水の水力により発電する発電部と、
前記発電部に接続された蓄電部と、
をさらに備え、
前記周期変更手段は、前記蓄電部の電力により駆動し、前記周期設定手段が前記動作周期を前記第２周期に設定した後、前記現在の時間帯の間に前記吐止水制御が行われると、前記吐止水制御の時間に応じて前記任意の時間を変化する、
請求項４に記載の自動水栓装置。
【請求項６】
前記周期変更手段は、前記周期設定手段が前記動作周期を前記第２周期に設定した後、
前記現在の時間帯の間に前記吐止水制御が行われると、前記回数のうち前記現在の時間帯と同じ時間帯における過去の吐止水制御の回数に応じて前記任意の時間を変化する、
請求項４に記載の自動水栓装置。
【請求項７】
前記周期変更手段は、前記周期設定手段が前記動作周期を前記第１周期に設定した後、前記現在の時間帯の間に前記吐止水制御が行われると、前記吐止水制御が行われてから予め定められた時間を経過するまで前記人体検知センサの前記動作周期を、前記第１周期の設定から前記第１周期よりも短い周期群のうちいずれか１つの第４周期の設定に変更して、前記第４周期の設定を維持する、
請求項１乃至請求項６の何れか１項に記載の自動水栓装置。