【手続補正書】
【提出日】平成29年5月31日(2017.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の駆動電極に挟まれた電気機械変換膜からなる複数の電気機械変換素子と、前記駆動電極のうち前記複数の電気機械変換膜の一方の面側にそれぞれ形成された個別駆動電極にそれぞれ電気的に接続された複数の個別端子電極と、前記複数の個別端子電極がそれぞれ露出するように形成された前記複数の電気機械変換素子を保護する絶縁保護膜とを備えた電気機械変換部材において、
前記複数の個別端子電極が形成された面側に、前記複数の個別駆動電極とそれぞれ電気的に接続された複数のダミー個別端子電極を前記絶縁保護膜からそれぞれ露出するように形成したことを特徴とする電気機械変換部材。
【請求項２】
請求項１に記載の電気機械変換部材において、
前記複数の個別端子電極と前記複数のダミー個別端子電極とが同一の所定方向に並べて配置され、前記所定方向における端部に位置するダミー個別端子電極の面積がその他のダミー個別端子電極の面積よりも小さいことを特徴とする電気機械変換部材。
【請求項３】
請求項１に記載の電気機械変換部材において、
前記複数の個別端子電極と前記複数のダミー個別端子電極とが同一の所定方向に並べて配置され、前記所定方向における端部に位置するダミー個別端子電極が、前記絶縁保護膜から露出しないように形成されていることを特徴とする電気機械変換部材。
【請求項４】
請求項１に記載の電気機械変換部材において、
前記複数の個別端子電極が所定方向に配置され、前記所定方向の端部に位置する個別端子電極に接続される個別駆動電極には前記ダミー個別端子電極が形成されていないことを特徴とする電気機械変換部材。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の電気機械変換部材において、
前記駆動電極のうち前記複数の電気機械変換膜の他方の面側に共通となるよう形成された共通駆動電極に接続された共通端子電極が、前記個別端子電極が形成された面側に前記絶縁保護膜から露出するように形成されていることを特徴とする電気機械変換部材。
【請求項６】
液滴を吐出するノズルに連通する液室と、前記液室内の液体を加圧可能にするよう前記液室を形成する基板上に設けられる電気機械変換素子を備えた電気機械変換部材とを有する液滴吐出ヘッドにおいて、
前記電気機械変換部材として、請求項１乃至５のいずれかに記載の電気機械変換部材を用いたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して画像を形成する画像形成装置において、
前記液滴吐出ヘッドとして、請求項６に記載の液滴吐出ヘッドを用いたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項８】
基板上に設けられた、一対の駆動電極に挟まれた電気機械変換膜からなる複数の電気機械変換素子と、前記複数の電気機械変換素子の前記基板とは反対側の個別駆動電極に接続される複数の個別端子電極と、前記複数の個別端子電極がそれぞれ露出するように形成された前記複数の電気機械変換素子を保護する絶縁保護膜とを備えた電気機械変換部材における電気機械変換素子の分極処理方法であって、
前記複数の個別端子電極が形成された面側に、前記複数の個別駆動電極それぞれと導通し、前記複数の個別駆動電極に供給される電荷が均一になるように前記複数の個別駆動電極に電荷を供給する複数のダミー個別端子電極を前記絶縁保護膜からそれぞれ露出するよう配置して形成し、前記複数の個別端子電極が形成された面に対向するよう配置された放電電極で発生させた放電により、前記個別端子電極と前記ダミー個別端子電極とに電荷を供給して前記電気機械変換膜を分極処理することを特徴とする電気機械変換素子の分極処理方法。
【請求項９】
請求項８に記載の電気機械変換素子の分極処理方法であって、前記放電電極による放電はコロナ放電またはグロー放電であることを特徴とする電気機械変換素子の分極処理方法。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の電気機械変換素子の分極処理方法であって、前記放電により発生する電荷は正極性の電荷であることを特徴とする電気機械変換素子の分極処理方法。
【請求項１１】
請求項１乃至５のいずれかに記載の電気機械変換部材を製造する製造方法であって、
基板上にまたは前記基板に形成された下地膜上に、共通駆動電極を形成する工程と、
前記共通駆動電極上に、互いに独立した複数の電気機械変換膜を形成する工程と、
前記複数の電気機械変換膜それぞれの上に位置する複数の個別駆動電極を形成する工程と、
前記共通駆動電極上及び前記複数の個別駆動電極上に第１の絶縁保護膜を形成する工程と、
前記共通駆動電極に第１の配線を介して接続された共通端子電極と、前記複数の個別駆動電極それぞれに第２の配線を介して接続され所定の方向に並ぶように配置された複数の個別端子電極と、前記複数の個別駆動電極それぞれに第３の配線を介して接続され所定の方向に並ぶように配置された複数のダミー個別端子電極とを、前記第１の絶縁保護膜上に形成する工程と、
前記共通端子電極と前記複数の個別端子電極と前記複数のダミー個別端子電極を露出させた状態で前記第１の配線上、第２の配線上及び前記第３の配線上に第２の絶縁保護膜を形成する工程と、
放電により発生した電荷を前記共通端子電極と前記複数の個別端子電極と前記複数のダミー個別端子電極に供給することにより、前記複数の電気機械変換膜を一括して分極処理する工程と、を含むことを特徴とする電気機械変換部材の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
すなわち、ダミー個別電極パッド２４は、個別電極パッド２１を介して圧電素子１６の上部電極１６３に供給される電荷量の不均一を抑制するように、上部電極１６３に電荷を供給する電荷供給用個別端子電極として機能するものである。個別電極パッド２１と、このダミー個別電極パッド２４とを介して供給された電荷を用いて圧電素子１６の分極処理をおこなうことで、複数の圧電素子１６を均一に分極処理することが可能となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
このように、複数のダミー個別電極パッド２４を介して供給される電荷が、個別電極パッド２１を介して供給される電荷量の差を補正して複数の上部電極１６３に供給される電荷量を均一化するように、複数のダミー個別電極パッド２４を形成する。これにより、複数の上部電極１６３に供給される電荷量は均一化され、複数の圧電素子１６を均一に分極処理することが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
次に、図６に示す、分極処理を行うコロナ放電装置５０の一例について詳しく説明する。コロナ放電装置５０は、主放電電極としてのコロナワイヤー電極５２、コロナ電極用電源５１、図示しないグリッド電極とグリッド電極用電源、複数の圧電素子が形成されたウェハ等の処理対象物を固定して載置する保持部材としてのステージ５３等を具備している。コロナワイヤー電極５２及びグリッド電極（不図示）はそれぞれ、コロナ電極用電源５１及びグリッド電極用電源（不図示）に接続され、所定の電圧が印加される。また、ステージ５３は、ステージ５３上に配置された処理対象物に対して電荷を付与しやすくなるように、アース線を介して接地されていることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９１】
(態様Ｋ)
前記（態様Ａ）乃至（態様Ｅ）のいずれかに記載の電気機械変換部材を製造する製造方法であって、基板上にまたは前記基板に形成された下地膜上に、共通駆動電極を形成する工程と、前記共通駆動電極上に、互いに独立した複数の電気機械変換膜を形成する工程と、前記複数の電気機械変換膜それぞれの上に位置する複数の個別駆動電極を形成する工程と、前記共通駆動電極上及び前記複数の個別駆動電極上に第１の絶縁保護膜を形成する工程と、前記共通駆動電極に第１の配線を介して接続された共通端子電極と、前記複数の個別駆動電極それぞれに第２の配線を介して接続され所定の方向に並ぶように配置された複数の個別端子電極と、前記複数の個別駆動電極それぞれに第３の配線を介して接続され所定の方向に並ぶように配置された複数のダミー個別端子電極とを、前記第１の絶縁保護膜上に形成する工程と、前記共通端子電極と前記複数の個別端子電極と前記複数のダミー個別端子電極を露出させた状態で前記第１の配線上、第２の配線上及び前記第３の配線上に第２の絶縁保護膜を形成する工程と、放電により発生した電荷を前記共通端子電極と前記複数の個別端子電極と前記複数のダミー個別端子電極に供給することにより、前記複数の電気機械変換膜を一括して分極処理する工程と、を含む。
これよれば、上記実施形態について説明したように、良好な分極特性を有する電気機械変換素子を備えた電気機械変換部材を得ることができる。