【手続補正書】
【提出日】平成29年7月3日(2017.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理システムの最小接触面積（ＭＣＡ）構成要素を保管するためのトレイであって、
第１リフトピントレイおよび第１の複数の穴の少なくとも一方を備えた第１区画であって、
前記第１リフトピントレイは、前記基板処理システムのリフトピンを保持するよう構成された複数のスロットを備え、
前記第１の複数の穴は、前記基板処理システムのＭＣＡピンを受け入れるよう構成されている、第１区画と、
前記第１区画に隣接して配置された第１カップであって、前記第１カップを少なくとも部分的に囲む壁を備え、前記壁は、前記第１カップを前記第１区画から分離し、前記壁の上縁は、前記第１区画の底面より上に伸びる、第１カップと、
を備える、トレイ。
【請求項２】
請求項１に記載のトレイであって、
前記トレイは、第２区画と、前記第２区画に隣接して配置された第２カップと、を備える、トレイ。
【請求項３】
請求項２に記載のトレイであって、
前記第２区画は、第２リフトピントレイおよび第２複数の穴の少なくとも一方を備える、トレイ。
【請求項４】
請求項１に記載のトレイであって、
前記第１リフトピントレイは、前記リフトピンのそれぞれの識別子を備える、トレイ。
【請求項５】
請求項１に記載のトレイであって、
前記複数のスロットの数は、前記基板処理システム内の前記リフトピンの数に対応する、トレイ。
【請求項６】
請求項１に記載のトレイであって、
前記第１リフトピントレイは、前記基板処理システム内の前記リフトピンのそれぞれの位置の識別子を備える、トレイ。
【請求項７】
請求項１に記載のトレイであって、
前記第１リフトピントレイは、前記複数のスロットの深さより大きい深さを有するサブトレイを備える、トレイ。
【請求項８】
請求項１に記載のトレイであって、
前記第１の複数の穴の数は、前記基板処理システム内の前記ＭＣＡピンの数に対応する、トレイ。
【請求項９】
請求項１に記載のトレイであって、
前記第１の複数の穴は、前記基板処理システム内の前記ＭＣＡピンのパターンに対応するパターンに配置される、トレイ。
【請求項１０】
請求項１に記載のトレイであって、
前記第１の複数の穴の深さは、前記ＭＣＡピンの長さからオフセットを引いた長さに対応する、トレイ。
【請求項１１】
請求項１に記載のトレイであって、
前記第１の複数の穴の深さは、前記ＭＣＡピンの長さにＭＣＡベアリングの直径を足してオフセットを引いた長さに対応する、トレイ。
【請求項１２】
請求項１に記載のトレイであって、
前記第１カップは、前記第１カップの底面に形成されたガイドチャネルを備える、トレイ。
【請求項１３】
請求項１２に記載のトレイであって、
前記ガイドチャネルは、前記第１カップの前記底面から、前記第１カップを少なくとも部分的に囲む前記壁まで伸びる、トレイ。
【請求項１４】
請求項１３に記載のトレイであって、
前記第１カップを少なくとも部分的に囲む前記壁は、前記ガイドチャネルと整列されたノッチを備える、トレイ。
【請求項１５】
請求項１に記載のトレイであって、
前記第１カップの底面は、平面または凹面の少なくとも一方である、トレイ。
【請求項１６】
請求項１に記載のトレイであって、
前記第１カップの側壁および底面の間の境界は、０．３７５インチ（０．９５２５ｃｍ）〜０．６２５インチ（１．５８７５ｃｍ）の間の曲率半径を有する、トレイ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
要素の間（例えば、モジュールの間、回路要素の間、半導体層の間）の空間的関係および機能的関係性が、「接続される」、「係合される」、「結合される」、「隣接する」、「近接する」、「の上部に」、「上方に」、「下方に」、および、「配置される」など、様々な用語を用いて記載されている。第１および第２の要素の間の関係性を本開示で記載する時に、「直接」であると明確に記載されていない限り、その関係性は、他に介在する要素が第１および第２の要素の間に存在しない直接的な関係性でありうるが、１または複数の介在する要素が第１および第２の要素の間に（空間的または機能的に）存在する間接的な関係性でもありうる。本明細書で用いられているように、「Ａ、Ｂ、および、Ｃの少なくとも１つ」という表現は、非排他的な論理和ＯＲを用いて、論理（ＡまたはＢまたはＣ）を意味すると解釈されるべきであり、「Ａの少なくとも１つ、Ｂの少なくとも１つ、および、Ｃの少なくとも１つ」という意味であると解釈されるべきではない。
本発明は以下の適用例としても実現できる。
［適用例１］
基板処理システムの最小接触面積（ＭＣＡ）構成要素を保管するためのトレイであって、
第１リフトピントレイおよび第１の複数の穴の少なくとも一方を備えた第１区画であって、
前記第１リフトピントレイは、前記基板処理システムのリフトピンを保持するよう構成された複数のスロットを備え、
前記第１の複数の穴は、前記基板処理システムのＭＣＡピンを受け入れるよう構成されている、第１区画と、
前記第１区画に隣接して配置された第１カップであって、前記第１カップを少なくとも部分的に囲む壁を備え、前記壁は、前記第１カップを前記第１区画から分離し、前記壁の上縁は、前記第１区画の底面より上に伸びる、第１カップと、
を備える、トレイ。
［適用例２］
適用例１に記載のトレイであって、
前記リフトピントレイは、第２区画と、前記第２区画に隣接して配置された第２カップと、を備える、トレイ。
［適用例３］
適用例２に記載のトレイであって、
前記第２区画は、第２リフトピントレイおよび第２複数の穴の少なくとも一方を備える、トレイ。
［適用例４］
適用例１に記載のトレイであって、
前記第１リフトピントレイは、前記リフトピンのそれぞれの識別子を備える、トレイ。
［適用例５］
適用例１に記載のトレイであって、
前記複数のスロットの数は、前記基板処理システム内の前記リフトピンの数に対応する、トレイ。
［適用例６］
適用例１に記載のトレイであって、
前記第１リフトピントレイは、前記基板処理システム内の前記リフトピンのそれぞれの位置の識別子を備える、トレイ。
［適用例７］
適用例１に記載のトレイであって、
前記第１リフトピントレイは、前記複数のスロットの深さより大きい深さを有するサブトレイを備える、トレイ。
［適用例８］
適用例１に記載のトレイであって、
前記第１の複数の穴の数は、前記基板処理システム内の前記ＭＣＡピンの数に対応する、トレイ。
［適用例９］
適用例１に記載のトレイであって、
前記第１の複数の穴は、前記基板処理システム内の前記ＭＣＡピンのパターンに対応するパターンに配置される、トレイ。
［適用例１０］
適用例１に記載のトレイであって、
前記第１の複数の穴の深さは、前記ＭＣＡピンの長さからオフセットを引いた長さに対応する、トレイ。
［適用例１１］
適用例１に記載のトレイであって、
前記第１の複数の穴の深さは、前記ＭＣＡピンの長さにＭＣＡベアリングの直径を足してオフセットを引いた長さに対応する、トレイ。
［適用例１２］
適用例１に記載のトレイであって、
前記第１カップは、前記第１カップの底面に形成されたガイドチャネルを備える、トレイ。
［適用例１３］
適用例１２に記載のトレイであって、
前記ガイドチャネルは、前記第１カップの前記底面から、前記第１カップを少なくとも部分的に囲む前記壁まで伸びる、トレイ。
［適用例１４］
適用例１３に記載のトレイであって、
前記第１カップを少なくとも部分的に囲む前記壁は、前記ガイドチャネルと整列されたノッチを備える、トレイ。
［適用例１５］
適用例１に記載のトレイであって、
前記第１カップの底面は、平面または凹面の少なくとも一方である、トレイ。
［適用例１６］
適用例１に記載のトレイであって、
前記カップの側壁および底面の間の境界は、０．３７５インチ（０．９５２５ｃｍ）〜０．６２５インチ（１．５８７５ｃｍ）の間の曲率半径を有する、トレイ。