【手続補正書】
【提出日】平成29年11月1日(2017.11.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力された画像データを複数の光ビームで露光対象物に主走査方向と副走査方向に沿って照射して書き込む露光装置であって、
前記画像データの各画素の輝度値を所定の設定に基づいて補正し、補正後の画像データを発光装置に送る画像処理回路を備え、
前記画像処理回路は、
補正の対象となる画像データの画素が、主走査方向または副走査方向において露光領域と非露光領域で隣接する画素であるかを判断し、
前記判断に該当する画素が主走査方向であるときは、露光位置間の距離に応じて各画素の輝度値を変更し、
前記判断に該当する画素が副走査方向であるときは、基準位置からの露光位置のずれに応じて画素の輝度値を変更し、
前記発光装置は、前記画像処理回路から送られてきた補正後の画像データに基づいて、露光対象物の露光位置に複数の光ビームを照射する露光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の露光装置であって、
前記画像処理回路は、露光領域が副走査方向に沿って延在する部分を含む場合に、補正対象の画素の輝度値を補正すると最大輝度値を超えるときは、第１の判断基準に基づいて、補正対象の画素の輝度値を最大輝度値とし、この画素に隣接する非露光領域の画素の輝度値を増加することを特徴とする露光装置。
【請求項３】
請求項１に記載の露光装置であって、
前記画像処理回路は、露光領域が主走査方向に沿って延在する部分を含む場合に、補正対象の画素の輝度値を補正すると最大輝度値を超えるときは、第２の判断基準に基づいて、補正対象の画素の輝度値を最大輝度値とし、この画素に隣接する非露光領域の画素の輝度値を増加することを特徴とする露光装置。
【請求項４】
請求項１〜３のうちの１つに記載の露光装置であって、露光対象物がプリント配線基板である場合に、
前記画像処理回路は、補正により露光領域間の距離が、配線間の距離として予め決められた値の最小値未満となるときに、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超え、補正対象の画素の隣接画素が最小輝度値を有し、隣接画素の輝度値を増加させても、露光領域間の距離が配線間の距離の予め決められたしきい値を超えるとき、隣接画素の輝度値を増加させることを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の態様に係る露光装置は、
入力された画像データを複数の光ビームで露光対象物に主走査方向と副走査方向に沿って照射して書き込む露光装置であって、
前記画像データの各画素の輝度値を所定の設定に基づいて補正し、補正後の画像データを発光装置に送る画像処理回路を備え、
前記画像処理回路は、
補正の対象となる画像データの画素が、主走査方向または副走査方向において露光領域と非露光領域で隣接する画素であるかを判断し、
前記判断に該当する画素が主走査方向であるときは、露光位置間の距離に応じて各画素の輝度値を変更し、
前記判断に該当する画素が副走査方向であるときは、基準位置からの露光位置のずれに応じて画素の輝度値を変更し、
前記発光装置は、前記画像処理回路から送られてきた補正後の画像データに基づいて、露光対象物の露光位置に複数の光ビームを照射することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の光ビーム露光装置によれば、複数の光ビームにより複数の露光位置を照射する場合、各露光位置のずれに起因する露光領域の輪郭形状の変化を抑制することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、最大輝度値を超える輝度値を設定することはできないので、当該画素の変更後の輝度値は、露光領域のエッジをなめらかにするために必要であると考えられる輝度値に満たない。ここで、補正対象の画素に対応する露光位置が露光領域のエッジにある場合、補正対象の画素の隣接画素に対応する露光位置が非露光領域にあり、従って、この隣接画素は最小輝度値を有する。従って、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるとき、かつ、補正対象の画素の隣接画素が最小輝度値を有するとき、補正対象の画素の輝度値に代えて、又は補正対象の画素の輝度値に加えて、補正対象の画素の隣接画素の輝度値を増加させる。これにより、補正対象の画素の輝度値が補正により最大輝度値を超えるときであっても、露光領域のエッジをなめらかにすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図９は、プリント配線基板３０上で副走査方向に延在する露光領域に対応する画像データの各画素の輝度値の例を示す図である。図９他は、画像データの各画素とプリント配線基板３０上の対応する位置との関係を表すために、プリント配線基板３０上の主走査方向（図１の＋Ｘ方向）及び副走査方向（図１の＋Ｙ方向）に対応するＸＹ座標を示す。本実施形態において、画像データの各画素は、５値の階調の輝度値「０」〜「４」を有する。通常は輝度値「０」〜「３」を使用し、露光量をさらに上げる場合には輝度値「４」を使用する。プリント配線基板３０上において、輝度値「０」とは異なる輝度値を有する画素の領域に対応する部分が露光領域であり、輝度値「０」を有する画素の領域に対応する部分が非露光領域である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
図２３は、図２１の輝度値の第２の補正例を示す図である。画素ａ１及びａ２の輝度値「２」を、元の輝度値「０」から変更せずに維持するか、又は輝度値「１」に変更する。輝度値「０」から変更せずに維持する場合は、輝度値を変更する場合よりも濃度のむらの改善が小さくなるが、配線間の間隔を予め決められた最小値以上にすることができる。一方、輝度値「１」に変更しても、前述の距離Ｌ’＝４．９５は輝度値が大きい場合の計算結果であり、輝度値「１」では露光量が少ないので、実質的にはＬ’＝５以上となると考えられ、実質的に配線間の間隔を予め決められた最小値以上にすることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
図２４は、図２の画像処理回路２１によって実行される輝度値補正処理を示すフローチャートである。図２４は、これまでに説明した一連の処理の概略の一例を示す。ステップＳ１において、画像処理回路２１は、補正対象の画素を読み込む。ステップＳ２において、画像処理回路２１は、画素が＋Ｘ側又は−Ｘ側エッジであるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ３に進み、ＮＯのときはステップＳ８に進む。ステップＳ３において、画像処理回路２１は、露光位置間の距離に応じて画素の輝度値を変更する。ステップＳ４において、画像処理回路２１は、変更後の輝度値が、露光領域の輪郭形状の変化を抑制するために必要であると考えられる輝度値に達したか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ８に進み、ＮＯのときはステップＳ５に進む。ステップＳ５において、画像処理回路２１は、＋Ｘ側又は−Ｘ側の他の露光領域までの距離が予め決められた最小値（しきい値）以上であるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ６に進み、ＮＯのときはステップＳ８に進む。ステップＳ６において、画像処理回路２１は、斜め方向の他の露光領域までの距離が予め決められた最小値以上であるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ７に進み、ＮＯのときはステップＳ８に進む。ステップＳ７において、画像処理回路２１は、＋Ｘ側又は−Ｘ側の隣接画素の輝度値を変更する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
ステップＳ８において、画像処理回路２１は、画素が＋Ｙ側又は−Ｙ側エッジであるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ９に進み、ＮＯのときはステップＳ１４に進む。ステップＳ９において、画像処理回路２１は、基準位置からの露光位置のずれに応じて画素の輝度値を変更する。ステップＳ１０において、画像処理回路２１は、変更後の輝度値が、露光領域の輪郭形状の変化を抑制するために必要であると考えられる輝度値に達したか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ１４に進み、ＮＯのときはステップＳ１１に進む。ステップＳ１１において、画像処理回路２１は、＋Ｙ側又は−Ｙ側の他の露光領域までの距離が予め決められた最小値以上であるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ１２に進み、ＮＯのときはステップＳ１４に進む。ステップＳ１２において、画像処理回路２１は、斜め方向の他の露光領域までの距離が予め決められた最小値以上であるか否かを判断し、ＹＥＳのときはステップＳ１３に進み、ＮＯのときはステップＳ１４に進む。ステップＳ１３において、画像処理回路２１は、＋Ｙ側又は−Ｙ側の隣接画素の輝度値を変更する。ステップＳ１４において、画像処理回路２１は、次の補正対象の画素を読み込む。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２４】
2016114832.tif 000001