【手続補正書】
【提出日】平成29年3月13日(2017.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記熱ア
シスト磁気ヘッド素子の表面を走査するカンチレバーと、
前記カンチレバーに光を照射して前記カンチレバーからの反射光を検出する変位検出系
と、
前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を走査する前記カンチレバーからの散乱光を検出
する光検出器と、
前記変位検出系からの出力信号と前記光検出器からの出力信号を受けて信号を処理する
信号処理部と
全体を制御する制御部と
を備えた熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置であって、
更に、前記熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から発生する近接場光とほぼ同じ
近接場光を発生させる近接場光発生サンプルを載置する載置部と、
レーザを発射するレーザ光源と、
前記レーザ光源から発射されたレーザを前記載置部に載置された前記近接場光発生サン
プルに照射して前記近接場光発生サンプルから前記近接場光を発生させるレーザ照射光学
系と、
前記近接場光発生サンプルを載置する前記載置部と前記レーザ照射光学系とを載置して前記近接場光発生サンプルを前記カンチレバーの直下と前記カンチレバーから離れた場所との間を移動させるテーブル部と
を備えたことを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置であって、前記制御部は、前記レ
ーザ照射光学系で前記載置部に載置された前記近接場光発生サンプルに前記レーザ光源か
ら発射されたレーザを照射した状態で前記カンチレバーを作動させて前記光検出器で検出
した信号に基づいて、前記光検出器のゲインを調整することを特徴とする熱アシスト磁気
ヘッド素子の検査装置。
【請求項３】
請求項２記載の熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置であって、前記制御部は、前記ゲ
インを調整した前記光検出器の出力を受けて前記熱アシスト磁気ヘッド素子の前記近接場光の発光領域の長さのばらつきを管理することを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置。
【請求項４】
請求項１記載の熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置であって、前記制御部は、前記レ
ーザ照射光学系で前記載置部に載置された前記近接場光発生サンプルに前記レーザ光源か
ら発射されたレーザを照射して前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記
カンチレバーを作動させて前記光検出器で検出した信号から、予め求めておいた前記カンチレバーの探針の径と前記光検出器の出力との関係に基づいて前記カンチレバーの探針の径を算出することを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置。
【請求項５】
請求項４記載の熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置であって、前記制御部は、前記熱
アシスト磁気ヘッド素子の前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を前記カンチレバーで走査したときに前記光検出器で検出した信号から前記近接場光の発光領域に関連する寸法を検出し、前記検出した前記近接場光の発光領域に関連する寸法から前記算出した前記カンチレバーの探針の径の値を差し引いた値を前記近接場光の発光領域の長さとすることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置。
【請求項６】
請求項１記載の熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置であって、前記制御部は、前記近
接場光発生サンプルに形成された前記近接場光発光部の寸法情報を用いて、前記レーザ照
射光学系で前記載置部に載置された前記近接場光発生サンプルに前記レーザ光源から発射
されたレーザを照射して前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記カンチ
レバーを作動させて前記光検出器で検出した信号の波形から前記カンチレバーの探針の径
を求める測定基準を設定し、前記設定した基準に基づいて前記熱アシスト磁気ヘッド素子の前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を前記カンチレバーで走査したときに前記光検出器で検出した信号から前記近接場光の発光領域の長さを求めることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置。
【請求項７】
熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から近接場光を発生させた状態でカンチレ
バーで前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を走査し、
前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を走査している前記カンチレバーに光を照射して
前記カンチレバーからの反射光を検出し、
前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を走査する前記カンチレバーからの散乱光を光検
出器で検出し、
前記カンチレバーからの反射光を検出した信号と前記光検出器からの出力信号を受けて
信号を処理して前記熱アシスト磁気ヘッド素子を検査する熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法であって、
予め、前記熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から発生する近接場光とほぼ同
じ近接場光を発生させる近接場光発生サンプルにレーザ光源から発射されたレーザを照射
して前記近接場光発生サンプルから前記近接場光を発生させた状態で前記近接場光発生サ
ンプルの表面を前記カンチレバーで走査して前記カンチレバーの探針からの散乱光を前記
光検出器で検出して得た信号の情報を用いて前記熱アシスト磁気ヘッド素子を検査するこ
とを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法。
【請求項８】
請求項７記載の熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法であって、前記近接場光発生サン
プルの表面を前記カンチレバーで走査して前記カンチレバーの探針からの散乱光を前記光
検出器で検出して得た信号の情報を用いて、前記散乱光を検出した信号のレベルが予め設
定したレベルとなるように前記光検出器のゲインを調整し、このゲインを調整した前記光検出器を用いて前記熱アシスト磁気ヘッド素子を検査することを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法。
【請求項９】
請求項８記載の熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法であって、前記ゲインを調整した
前記光検出器の出力を受けて前記熱アシスト磁気ヘッド素子の前記近接場光の発光領域の長さのばらつきを管理することを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法。
【請求項１０】
請求項７記載の熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法であって、前記近接場光発生サンプルに前記レーザ光源から発射されたレーザを照射して前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記カンチレバーを作動させて前記光検出器で検出した信号から、予め求めておいた前記カンチレバーの探針の径と前記光検出器の出力との関係に基づいて前記カンチレバーの探針の径を算出することを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法であって、前記熱アシスト磁気
ヘッド素子の前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を前記カンチレバーで走査したときに前記光検出器で検出した信号から前記近接場光の発光領域に関連する寸法を検出し、前記検出した前記近接場光の発光領域に関連する寸法から前記算出した前記カンチレバーの探針の径の値を差し引いた値を前記近接場光の発光領域の長さとすることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法。
【請求項１２】
請求項７記載の熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法であって、前記近接場光発生サン
プルに形成された前記近接場光発光部の寸法情報を用いて、前記近接場光発生サンプルに前記レーザ光源から発射されたレーザを照射して前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記カンチレバーを作動させて前記光検出器で検出した信号の波形から前記カンチレバーの探針の径を求める測定基準を設定し、前記設定した基準に基づいて前記熱アシスト磁気ヘッド素子の前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を前記カンチレバーで走査したときに前記光検出器で検出した信号から前記近接場光の発光領域の長さを求めることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド素子の検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記した課題を解決するために、本発明では、熱アシスト磁気ヘッド素子の検査装置を
、熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で熱アシス
ト磁気ヘッド素子の表面を走査するカンチレバーと、カンチレバーに光を照射してカンチ
レバーからの反射光を検出する変位検出系と、熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を走査す
るカンチレバーからの散乱光を検出する光検出器と、変位検出系からの出力信号と光検出
器からの出力信号を受けて信号を処理する信号処理部と全体を制御する制御部とを備えて
構成し、更に、熱アシスト磁気ヘッド素子の近接場光発光部から発生する近接場光とほぼ
同じ近接場光を発生させる近接場光発生サンプルを載置する載置部と、レーザを発射する
レーザ光源と、レーザ光源から発射されたレーザを載置部に載置された近接場光発生サン
プルに照射して近接場光発生サンプルから近接場光を発生させるレーザ照射光学系と、近
接場光発生サンプルを載置する載置部とレーザ照射光学系とを載置して近接場光発生サン
プルをカンチレバーの直下とカンチレバーから離れた場所との間を移動させるテーブル部
とを備えるようにした。