【手続補正書】
【提出日】平成29年1月11日(2017.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドリフト層が直接的、もしくはバッファー層などを介して間接的にコレクタ電極にコレクタと並列に接続されているワイドギャップ半導体で構成された逆導通ＩＧＢＴ半導体装置において
コレクタ電極とエミッタ電極間に順方向電圧を印加し且つゲート電極とエミッタ電極間にも低いゲート電圧を印加して順方向バイアス状態にして、エミッタを介して多数キャリアによる順方向電流を流し、この電流により前記逆導通ＩＧＢＴ半導体装置を所定の温度に昇温させた後に、コレクタからドリフト層に少数キャリアが注入されるように前記順方向電圧および前記ゲート電圧、もしくはいづれか一方の電圧をより高い電圧に制御することを特徴とする半導体装置の動作方法。  
【請求項２】
請求項１に記載の逆導通ＩＧＢＴ半導体装置が以下の構成をしている半導体装置、
すなわち、
第１導電型の第１半導体層（ドリフト層）と、
前記半導体層の裏面に設けられた第２導電型の第１半導体層（コレクタ層）と、前記第２導電型の第１半導体層を貫通する複数の第１導電型の第１半導体領域（短絡領域または短絡部）とを備え、
前記第１導電型の第１半導体層（ドリフト層）のおもて面には、選択的に設けられた複数の第２導電型の第１半導体領域（ボディ領域）と、
前記第２導電型の第１半導体領域の各々のおもて面に選択的に設けられた第１導電型の第２半導体領域（エミッタ領域）と、
前記各々の第２導電型の第１半導体領域（ボディ領域）と前記第１導電型の第２半導体領域（エミッタ領域）とに接する第１の主電極（エミッタ電極）と、  
前記各々の第２導電型の第１半導体領域（ボディ領域）の、前記各々の第１導電型の第２半導体領域（エミッタ領域）と前記第１導電型の第１半導体層（ドリフト層）とに挟まれた部分の表面に、絶縁膜を介して設けられた制御電極と、
前記第２導電型の第１半導体層（コレクタ層）と前記複数の第１導電型の第１半導体領域（短絡領域または短絡部）との裏面に接する第２の主電極（コレクタ電極）とを備えた活性領域を含む半導体装置であり、各半導体層と各半導体領域がワイドギャップ半導体から構成されている活性領域を含む半導体装置において、
前記第１の主電極（エミッタ電極）と前記第２の主電極（コレクタ電極）間に順方向電圧を印加し且つ前記制御電極にも低い電圧を印加して順方向バイアス状態にし、前記複数の第１導電型の第１半導体領域を介して多数キャリアによる順方向電流を流し、この電流により半導体装置を４０℃以上の所定の温度に昇温させた後に、前記第２導電型の第１半導体層（コレクタ層）から前記第１導電型の第１半導体層（ドリフト層）に少数キャリアが注入されるように前記第１の主電極（エミッタ電極）と前記第２の主電極（コレクタ電極）間の電圧および前記制御電極の電圧、もしくはいづれか一方の電圧をより高い電圧に制御することを特徴とする半導体装置の動作方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、この発明にかかる半導体装置の動作方法は、ドリフト層が直接的、もしくはバッファー層などを介して間接的にコレクタ電極にコレクタと並列に接続されているワイドギャップ半導体で構成された逆導通ＩＧＢＴ半導体装置において
コレクタ電極とエミッタ電極間に順方向電圧を印加し且つゲート電極とエミッタ電極間にも低いゲート電圧を印加して順方向バイアス状態にして、エミッタを介して多数キャリアによる順方向電流を流し、この電流により前記逆導通ＩＧＢＴ半導体装置を所定の温度に昇温させた後に、コレクタからドリフト層に少数キャリアが注入されるように前記順方向電圧および前記ゲート電圧、もしくはいづれか一方の電圧をより高い電圧に制御することを特徴とする。
更に、この発明にかかる半導体装置の動作方法は、前記の逆導通ＩＧＢＴ半導体装置が以下の構成をしている半導体装置、すなわち、
第１導電型の第１半導体層（ドリフト層）と、
前記半導体層の裏面に設けられた第２導電型の第１半導体層（コレクタ層）と、前記第２導電型の第１半導体層を貫通する複数の第１導電型の第１半導体領域（短絡領域または短絡部）とを備え、
前記第１導電型の第１半導体層（ドリフト層）のおもて面には、選択的に設けられた複数の第２導電型の第１半導体領域（ボディ領域）と、
前記第２導電型の第１半導体領域の各々のおもて面に選択的に設けられた第１導電型の第２半導体領域（エミッタ領域）と、
前記各々の第２導電型の第１半導体領域（ボディ領域）と前記第１導電型の第２半導体領域（エミッタ領域）とに接する第１の主電極（エミッタ電極）と、  
前記各々の第２導電型の第１半導体領域（ボディ領域）の、前記各々の第１導電型の第２半導体領域（エミッタ領域）と前記第１導電型の第１半導体層（ドリフト層）とに挟まれた部分の表面に、絶縁膜を介して設けられた制御電極と、
前記第２導電型の第１半導体層（コレクタ層）と前記複数の第１導電型の第１半導体領域（短絡領域または短絡部）との裏面に接する第２の主電極（コレクタ電極）とを備えた活性領域を含む半導体装置であり、各半導体層と各半導体領域がワイドギャップ半導体から構成されている活性領域を含む半導体装置において、
前記第１の主電極（エミッタ電極）と前記第２の主電極（コレクタ電極）間に順方向電圧を印加し且つ前記制御電極にも低い電圧を印加して順方向バイアス状態にし、前記複数の第１導電型の第１半導体領域を介して多数キャリアによる順方向電流を流し、この電流により半導体装置を４０℃以上の所定の温度に昇温させた後に、前記第２導電型の第１半導体層（コレクタ層）から前記第１導電型の第１半導体層（ドリフト層）に少数キャリアが注入されるように前記第１の主電極（エミッタ電極）と前記第２の主電極（コレクタ電極）間の電圧および前記制御電極の電圧、もしくはいづれか一方の電圧をより高い電圧に制御することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
ワイドギャップ半導体逆導通ＩＧＢＴには上記のように積層欠陥に起因し通常のオン電圧劣化が発生するとともに、スナップバック現象に起因し急速オン電圧劣化が発生する。
従って、この発明の動作方法により、少なくともワイドギャップ半導体逆導通ＩＧＢＴがオンする前に所定の低いゲート電圧でＭＯＳＦＥＴ部をオンさせて前記短絡部を介して多数キャリアによる順方向電流を流し、この積層欠陥の増大を招かない多数キャリア電流により半導体装置を所定温度まで昇温させ、その後にゲート電圧を高くしてコレクタ層から少数キャリアを注入させ、逆導通ＩＧＢＴをオンさせる。
これにより、すでに存在する積層欠陥の拡大のみならず、スナップバック現象によりコレクタ層からバッファー層やドリフト層に大量の少数キャリアが短時間に急激に注入されることによる積層欠陥の急速拡大も、温度上昇により積層欠陥の少数キャリアトラップ現象を抑制できるので通常のオン電圧劣化のみならず急速オン電圧劣化も抑制できる。
ワイドギャップ半導体逆導通ＩＧＢＴは一旦オンすると自己発熱で温度が上昇してゆくので、通常のオン電圧劣化や急速オン電圧劣化の影響は抑制される。しかし、初動時にはワイドギャップ半導体逆導通ＩＧＢＴの温度は周囲温度と同程度に低くなっている。この状態でオンさせると既に存在する積層欠陥が更に拡大しオン電圧劣化を促進し信頼性が損なわれる。
従って、少なくともワイドギャップ半導体逆導通ＩＧＢＴの初動時には、この発明の動作方法により、逆導通ＩＧＢＴをオンさせる前に積層欠陥の少数キャリアトラップ現象を抑制できる所定温度まで昇温させものである。これにより、初動時にもオン電圧の劣化の影響を大幅に抑制でき信頼性を向上できる。