【手続補正書】
【提出日】平成29年2月6日(2017.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の露光を行う露光装置であって、
光源から射出された光を遮断する遮断部分と、前記光を通過させる通過部分とを有し、回転することにより前記基板への前記光の照射と非照射とを切り換えるシャッタ部材と、
前記遮断部分で前記光が遮断されている状態から前記光が前記通過部分を通過している状態になるように前記シャッタ部材の回転を制御する制御部と、
を含み、
前記遮断部分は、前記光が通過する光路領域の断面より大きく、
前記制御部は、
前記基板への前記光の照射を開始する第１時刻と、前記第１時刻より前であって前記シャッタ部材の回転を開始する第２時刻とを決定し、
前記遮断部分で前記光が遮断された状態における前記第２時刻に前記シャッタ部材の回転を開始し、前記シャッタ部材の回転速度を上げた後の前記第１時刻において前記通過部分での前記光の通過が開始されるように、前記シャッタ部材の回転を制御する、ことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記露光が行われる際に前記基板が配置されるべき位置に前記基板が配置される予定時刻に応じて前記第１時刻を決定する、ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記基板を保持して移動可能な基板ステージを更に含み、
前記制御部は、前記基板ステージをステップ移動させているときの移動経路と移動速度に基づいて前記第１時刻を決定する、ことを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記シャッタ部材を通過した前記光の強度を検出する検出部を含み、
前記制御部は、前記検出部によって検出された前記光の強度が基準値を超えたときに、前記シャッタ部材の回転の減速を開始する、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記通過部分は、前記光路領域の断面より大きく、
前記制御部は、前記光路領域の断面の全体が前記通過部分に含まれる前において前記シャッタ部材の回転の減速を開始し、前記光路領域の断面の全体が前記通過部分に含まれた後においても前記シャッタ部材の回転の減速を行うように、前記シャッタ部材の回転を制御する、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記光が前記通過部分を通過している状態から前記遮断部分で前記光が遮断されている状態になるように前記シャッタ部材の回転を制御し、
前記通過部分は、前記光路領域の断面より大きく、
前記制御部は、
前記遮断部分での前記光の遮断を開始する第３時刻と、前記第３時刻より前であって前記シャッタ部材の回転を開始する第４時刻とを決定し、
前記光が前記通過部分を通過している状態における前記第４時刻に前記シャッタ部材の回転を開始し、前記シャッタ部材の回転速度を上げた後の前記第３時刻において前記遮断部分での前記光の遮断が開始されるように、前記シャッタ部材の回転を制御する、ことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記基板の露光量が目標露光量になる予定時刻に応じて前記第３時刻を決定する、ことを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記光路領域の断面の全体が前記遮断部分に含まれる前において前記シャッタ部材の減速を開始し、前記光路領域の断面の全体が前記遮断部分に含まれた後においても前記シャッタ部材の回転の減速を行うように、前記シャッタ部材の回転を制御する、ことを特徴とする請求項６又は７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記シャッタ部材は、前記シャッタ部材の回転軸に対して対称に配置された２つの前記遮断部分を有する、ことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記遮断部分と前記通過部分とは、前記シャッタ部材の回転軸に対する開き角が互いに等しくなるように構成されている、ことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項１１】
基板の露光を行う露光装置であって、
光源から射出された光を遮断する遮断部分と、前記光を通過させる通過部分とを有し、回転することにより前記基板への前記光の照射と非照射とを切り替えるシャッタ部材と、
前記光が前記通過部分を通過している状態から前記遮断部分で前記光が遮断されている状態になるように前記シャッタ部材の回転を制御する制御部と、
を含み、
前記通過部分は、前記光が通過する光路領域の断面より大きく、
前記制御部は、
前記遮断部分での前記光の遮断を開始する第３時刻と、前記第３時刻より前であって前記シャッタ部材の回転を開始する第４時刻とを決定し、
前記光が前記通過部分を通過している状態における前記第４時刻に前記シャッタ部材の回転を開始し、前記シャッタ部材の回転速度を上げた後の前記第３時刻において前記遮断部分での前記光の遮断が開始されるように、前記シャッタ部材の回転を制御する、ことを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
基板の露光を行う露光装置であって、
光源から射出された光を遮断する遮断部分と、前記光を通過させる通過部分とを有し、回転することにより前記基板への前記光の照射と非照射とを切り換えるシャッタ部材と、
前記遮断部分で前記光が遮断されている状態から前記光が前記通過部分を通過している状態になるように前記シャッタ部材の回転を制御する制御部と、
を含み、
前記通過部分は、前記光が通過する光路領域の断面より大きく、
前記制御部は、前記シャッタ部材の回転を開始し、前記光路領域の断面の全体が前記通過部分に含まれる前において前記シャッタ部材の回転の減速を開始し、前記光路領域の断面の全体が前記通過部分に含まれた後においても前記シャッタ部材の回転の減速を行うように、前記シャッタ部材の回転を制御する、ことを特徴とする露光装置。
【請求項１３】
基板の露光を行う露光装置であって、
光源から射出された光を遮断する遮断部分と、前記光を通過させる通過部分とを有し、回転することにより前記基板への前記光の照射と非照射とを切り替えるシャッタ部材と、
前記光が前記通過部分を通過している状態から前記遮断部分で前記光が遮断されている状態になるように前記シャッタ部材の回転を制御する制御部と、
を含み、
前記遮断部分は、前記光が通過する光路領域の断面より大きく
前記制御部は、前記シャッタ部材の回転を開始し、前記光路領域の断面の全体が前記遮断部分に含まれる前において前記シャッタ部材の回転の減速を開始し、前記光路領域の断面の全体が前記通過部分に含まれた後においても前記シャッタ部材の回転の減速を行うように、前記シャッタ部材の回転を制御する、ことを特徴とする露光装置。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のうちいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光を行われた前記基板を現像する工程と、を有し、
前記現像された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての露光装置は、基板の露光を行う露光装置であって、光源から射出された光を遮断する遮断部分と、前記光を通過させる通過部分とを有し、回転することにより前記基板への前記光の照射と非照射とを切り換えるシャッタ部材と、前記遮断部分で前記光が遮断されている状態から前記光が前記通過部分を通過している状態になるように前記シャッタ部材の回転を制御する制御部と、を含み、前記遮断部分は、前記光が通過する光路領域の断面より大きく、前記制御部は、前記基板への前記光の照射を開始する第１時刻と、前記第１時刻より前であって前記シャッタ部材の回転を開始する第２時刻とを決定し、前記遮断部分で前記光が遮断された状態における前記第２時刻に前記シャッタ部材の回転を開始し、前記シャッタ部材の回転速度を上げた後の前記第１時刻において前記通過部分での前記光の通過が開始されるように、前記シャッタ部材の回転を制御する、ことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
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