【手続補正書】
【提出日】平成29年2月21日(2017.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスであって、
第１の速度センサと、
第２の速度センサであって、前記第１の速度センサおよび該第２の速度センサは平坦な表面に平行に振動するように構成されている、第２の速度センサと、
駆動周波数を示す駆動信号を提供するために前記第１の速度センサおよび前記第２の速度センサのうちの少なくとも１つと通信する駆動要素と、
前記第１の速度センサおよび前記第２の速度センサを相互接続する第１の結合バネ構造体であって、該第１の結合バネ構造体によって、前記第１の速度センサおよび前記第２の速度センサが、該第１の結合バネ構造体によって決定付けられる駆動方向において前記駆動周波数で振動する、第１の結合バネ構造体とを備え、前記第１の速度センサの前記駆動方向は、第１の軸と関連付けられた第１の駆動方向であり、前記第２の速度センサの前記駆動方向は、第２の軸と関連付けられた第２の駆動方向であり、前記第２の軸は前記第１の軸に対して垂直である、デバイス。
【請求項２】
前記第１の速度センサおよび前記第２の速度センサの各々は、
中央開口を有する駆動フレームと、
前記中央開口内に位置づけられ、前記駆動フレームに可撓性結合されている感知質量部とを備え、前記第１の結合バネ構造体は、前記第１の速度センサおよび前記第２の速度センサの各々の駆動フレームと相互接続されている、請求項１に記載のデバイス。
【請求項３】
前記第１の軸は前記平坦な表面に垂直であり、前記第１の駆動方向は回転駆動方向であり、前記第１の速度センサは前記第１の軸を中心として前記回転駆動方向に駆動され、
前記第２の軸は前記平坦な表面に平行であり、前記第２の駆動方向は並進駆動方向であり、前記第２の速度センサは前記第２の軸に平行な前記並進駆動方向に駆動され、
前記第１の速度センサおよび前記第２の速度センサを相互接続する前記第１の結合バネ構造体は前記並進駆動方向において剛直であり、前記第１の軸および前記第２の軸の各々に直交する第３の軸に対して柔軟である、請求項１に記載のデバイス。
【請求項４】
前記第２の速度センサの隣に配置されている第３の速度センサと、
前記第２の速度センサおよび前記第３の速度センサを相互接続する第２の結合バネ構造体であって、該第２の結合バネ構造体によって、前記第３の速度センサが、該第２の結合バネ構造体によって決定付けられる前記駆動方向において前記駆動周波数で振動する、第２の結合バネ構造体とをさらに備える、請求項１に記載のデバイス。
【請求項５】
前記第３の速度センサの前記駆動方向は前記第２の駆動方向であり、前記第２の結合バネ構造体によって、前記第２の速度センサの振動と前記第３の速度センサの振動とが逆相運動に制約される、請求項４に記載のデバイス。
【請求項６】
前記第３の速度センサの前記駆動方向は前記第２の駆動方向であり、前記第２の結合バネ構造体によって、前記第２の速度センサの振動と前記第３の速度センサの振動とが同相運動に制約される、請求項４に記載のデバイス。
【請求項７】
前記第３の速度センサの隣に配置されている第４の速度センサと、
前記第３の速度センサおよび前記第４の速度センサを相互接続する第３の結合バネ構造体であって、該第３の結合バネ構造体によって、前記第４の速度センサが、該第３の結合バネ構造体によって決定付けられる前記駆動方向において前記駆動周波数で振動する、第３の結合バネ構造体とをさらに備える、請求項４に記載のデバイス。
【請求項８】
前記第１の速度センサ、前記第２の速度センサ、前記第３の速度センサ、および前記第４の速度センサは一列に配列されている、請求項７に記載のデバイス。
【請求項９】
前記第１の速度センサ、前記第２の速度センサ、前記第３の速度センサ、および前記第４の速度センサは前記平坦な表面の中央部の周囲に配列されており、
前記ＭＥＭＳデバイスは、前記第１の速度センサと前記第４の速度センサとの間に相互接続されている第４の結合バネ構造体をさらに備える、請求項７に記載のデバイス。
【請求項１０】
前記第１の結合バネ構造体は、
前記第１の速度センサに結合されている第１のバネ要素と、
前記第２の速度センサに結合されている第２のバネ要素と、
前記平坦な表面に結合されているアンカを有する旋回レバーであって、該旋回レバーは、旋回軸を中心として振動するように構成されており、該旋回軸は前記アンカの中心であり前記平坦な表面に垂直であり、前記第１のバネ要素は該旋回レバーに結合されており、前記第２のバネ要素は該旋回レバーに結合されている、旋回レバーとを備える、請求項１に記載のデバイス。
【請求項１１】
前記第１の速度センサは前記平坦な表面に平行に方向付けられている第１の中心線を示し、前記第１のバネ要素は、前記第１の中心線からずらされたロケーションにおいて前記第１の速度センサと結合されており、
前記第２の速度センサは第２の中心線を示しており、該第２の中心線は前記平坦な表面に平行に、かつ、前記第１の中心線に平行に方向付けられており、前記第２のバネ要素は、該第２の中心線に沿った第２のロケーションにおいて前記第２の速度センサと結合されている、請求項１０に記載のデバイス。
【請求項１２】
前記第１の軸は前記平坦な表面に垂直であり、前記第１の駆動方向は回転駆動方向であり、
前記第２の軸は前記平坦な表面に平行であり、前記第２の駆動方向は並進駆動方向であり、
前記第１のバネ要素および前記第２のバネ要素は前記並進駆動方向において剛直であり、前記第１の軸および前記第２の軸の各々に直交する第３の軸に対して柔軟である、請求項１１に記載のデバイス。
【請求項１３】
前記第２の速度センサの隣に配置されている第３の速度センサと、
前記第２の速度センサと前記第３の速度センサとを相互接続する第２の結合バネ構造体であって、該第２の結合バネ構造体によって、前記第３の速度センサが、該第２の結合バネ構造体によって決定付けられる前記駆動方向において前記駆動周波数で振動する、第２の結合バネ構造体とをさらに備え、前記第２の結合バネ構造体は、
前記第２の速度センサに結合されている第１のバネ要素と、
前記第３の速度センサに結合されている第２のバネ要素と、
前記平坦な表面に結合されているアンカを有する旋回レバーであって、該旋回レバーは、旋回軸を中心として振動するように構成されており、該旋回軸は前記アンカの中心であり前記平坦な表面に垂直であり、前記第１のバネ要素は該旋回レバーに結合されており、前記第２のバネ要素は該旋回レバーに結合されている、旋回レバーとを含む、請求項１に記載のデバイス。
【請求項１４】
前記第２の軸は前記平坦な表面に平行であり、前記第２の駆動方向は並進駆動方向であり、
前記第３の速度センサの前記駆動方向は前記第２の駆動方向であり、
前記第１のバネ要素および前記第２のバネ要素は前記並進駆動方向において剛直であり、前記第１の軸および前記第２の軸の各々に直交する第３の軸に対して柔軟である、請求項１３に記載のデバイス。
【請求項１５】
前記第３の速度センサの隣に配置されている第４の速度センサであって、前記第１の速度センサ、前記第２の速度センサ、前記第３の速度センサ、および前記第４の速度センサは一列に配列される、第４の速度センサと、
前記第３の速度センサおよび前記第４の速度センサを相互接続する第３の結合バネ構造体であって、該第３の結合バネ構造体によって、前記第４の速度センサが、該第３の結合バネ構造体によって決定付けられる前記駆動方向において前記駆動周波数で振動する、第３の結合バネ構造体とをさらに備え、
前記第２の結合バネ構造体は、第３のバネ要素と第４のバネ要素とをさらに含み、前記第３のバネ要素は前記第１の速度センサおよび前記旋回レバーの各々に結合されており、前記第４のバネ要素は前記第４の速度センサおよび前記旋回レバーの各々に結合されている、請求項１３に記載のデバイス。
【請求項１６】
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスであって、
平坦な表面に平行に振動するように構成されている複数の速度センサと、
駆動周波数を示す駆動信号を提供するために前記速度センサのうちの少なくとも１つと通信する駆動要素と、
前記複数の速度センサを相互接続する結合バネ構造体であって、該結合バネ構造体によって、前記複数の速度センサの各々が、該結合バネ構造体によって決定付けられる駆動方向において前記駆動周波数で振動する、結合バネ構造体とを備え、
前記速度センサの第１のサブセットの前記駆動方向は、前記平坦な表面に垂直である第１の軸と関連付けられる回転駆動方向であり、前記速度センサの前記第１のサブセットは、前記第１の軸を中心として回転振動するように駆動され、
前記速度センサの第２のサブセットの前記駆動方向は、前記平坦な表面に平行である第２の軸と関連付けられる並進駆動方向であり、前記速度センサの前記第２のサブセットは、前記第２の軸に平行に並進振動するように駆動される、デバイス。
【請求項１７】
前記複数の速度センサは、
第１の速度センサと、
前記結合バネ構造体のうちの第１の結合バネ構造体を通じて前記第１の速度センサと相互接続されている第２の速度センサと、
前記結合バネ構造体のうちの第２の結合バネ構造体を通じて前記第２の速度センサと相互接続されている第３の速度センサと、
前記結合バネ構造体のうちの第３の結合バネ構造体を通じて前記第３の速度センサと相互接続されている第４の速度センサとを備え、前記第１の速度センサおよび第４の速度センサは、前記回転振動をするように構成されている前記速度センサの前記第１のサブセットを形成し、前記第２の速度センサおよび第３の速度センサは、前記並進振動をするように構成されている前記速度センサの前記第２のサブセットを形成する、請求項１６に記載のデバイス。
【請求項１８】
前記結合バネ構造体のうちの前記第２の結合バネ構造体によって、前記第２の速度センサの並進振動と前記第３の速度センサの並進振動とが逆相運動に制約される、請求項１７に記載のデバイス。
【請求項１９】
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスであって、
第１の速度センサと、
第２の速度センサと、
第３の速度センサと、
第４の速度センサであって、前記第１の速度センサ、前記第２の速度センサ、前記第３の速度センサ、および前記第４の速度センサは平坦な表面に平行に振動するように構成されている、第４の速度センサと、
駆動周波数を示す駆動信号を提供するために、前記第１の速度センサ、前記第２の速度センサ、前記第３の速度センサ、および前記第４の速度センサのうちの少なくとも１つと通信する駆動要素と、
前記第１の速度センサおよび前記第２の速度センサを相互接続する第１の結合バネ構造体、前記第２の速度センサおよび前記第３の速度センサを相互接続する第２の結合バネ構造体、前記第３の速度センサおよび前記第４の速度センサを相互接続する第３の結合バネ構造体、ならびに前記第１の速度センサおよび前記第４の速度センサを相互接続する第４の結合バネ構造体を含む複数の結合バネ構造体であって、該複数の結合バネ構造体によって、前記複数の速度センサの各々が、該結合バネ構造体によって決定付けられる駆動方向において前記駆動周波数で振動する、複数の結合バネ構造体とを備え、前記第１の速度センサおよび前記第４の速度センサの前記駆動方向は、第１の軸と関連付けられる第１の駆動方向であり、前記第２の速度センサおよび前記第３の速度センサの前記駆動方向は、第２の軸と関連付けられる第２の駆動方向であり、前記第２の軸は前記第１の軸に対して垂直である、デバイス。
【請求項２０】
前記第１の結合バネ構造体は、前記第１の速度センサと結合されている第１のバネ要素と、前記第２の速度センサと結合されている第２のバネ要素と、前記平坦な表面に結合されている第１のアンカを有する第１の旋回レバーであって、該第１の旋回レバーは、第１の旋回軸を中心として振動するように構成されており、該第１の旋回軸は前記第１のアンカの中心であり前記平坦な表面に垂直であり、前記第１のバネ要素および前記第２のバネ要素の各々は該第１の旋回レバーに結合されている、第１の旋回レバーとを備え、
前記第３の結合バネ構造体は、前記第３の速度センサと結合されている第３のバネ要素と、前記第４の速度センサと結合されている第４のバネ要素と、前記平坦な表面に結合されている第２のアンカを有する第２の旋回レバーであって、該第２の旋回レバーは、第２の旋回軸を中心として振動するように構成されており、該第２の旋回軸は前記第２のアンカの中心であり前記平坦な表面に垂直であり、前記第３のバネ要素および前記第４のバネ要素の各々は該第２の旋回レバーに結合されており、該第２の旋回レバーは、前記第１の旋回レバーと同期して振動するように構成されている、第２の旋回レバーとを備える、請求項１９に記載のデバイス。