【手続補正書】
【提出日】平成28年11月14日(2016.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
平面視で前記基部から第１方向に沿って延出し、互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面を備えている振動腕と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
平面視で、前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
前記第１の主面側に設けられている第１溝、及び前記第２の主面側に設けられている第２溝と、
を含み、
前記振動腕の厚さをＴ、
平面視で、前記振動腕の前記第１方向に沿った外縁の一方と前記第１溝との間の前記第１の主面の前記第１方向と直交する第２方向に沿った幅、または、前記外縁の一方と前記第２溝との間の前記第２の主面の前記第２方向に沿った幅をＷ、
前記第１溝の深さと、前記第２溝の深さとの合計をｔａ、
ｔａ／Ｔをηとしたとき、
４．２３６×１０×η２−８．４７３×１０×η＋４．４１４×１０[μｍ]≦Ｗ[μｍ]≦−３．３６７×１０×η２＋７．１１２×１０×η−２．３５２×１０[μｍ]
かつ、０．７５≦η＜１．００
を満たしている領域が、前記振動腕の前記第１方向の少なくとも一部にあり、
前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬ、
前記錘部の前記第１方向に沿った長さをＨとしたとき、
０．０１２＜Ｈ／Ｌ＜０．３０
を満足していることを特徴とする振動素子。
【請求項２】
基部と、
平面視で前記基部から第１方向に沿って延出し、互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面を備えている振動腕と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
平面視で、前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
前記第１の主面側に設けられている第１溝、および前記第２の主面側に設けられている第２溝と、
を含み、
前記振動腕の厚さをＴ、
平面視で、前記振動腕の前記第１方向に沿った外縁の一方と前記第１溝との間の前記第１の主面の前記第１方向と直交する第２方向に沿った幅、または、前記外縁の一方と前記第２溝との間の前記第２の主面の前記第２方向に沿った幅をＷ、
前記第１溝の深さと、前記第２溝の深さとの合計をｔａ、
ｔａ／Ｔをηとしたとき、
４．２３６×１０×η２−８．４７３×１０×η＋４．４１４×１０[μｍ]≦Ｗ[μｍ]≦−３．３６７×１０×η２＋７．１１２×１０×η−２．３５２×１０[μｍ]
かつ、０．７５≦η＜１．００
を満たしている領域が、前記振動腕の前記第１方向の少なくとも一部にあり、
前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬ、
前記錘部の前記第１方向に沿った長さをＨとしたとき、
０．１８３≦Ｈ／Ｌ≦０．５９７
を満足していることを特徴とする振動素子。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記振動腕の厚さは、１１０μｍ以上、１５０μｍ以下であることを特徴とする振動素子。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記振動腕は、一対の振動腕からなり、
前記一対の振動腕が互いに接近および離間を交互に繰り返すように前記第２方向に沿って屈曲振動する基本振動モードを有し、
前記基本振動モードの共振周波数をｆ０、
前記基本振動モードと異なる振動モードの共振周波数をｆ１としたとき、
｜ｆ０−ｆ１｜／ｆ０≧０．１２４
なる関係を満足することを特徴とする振動素子。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記第１溝の底面および前記第２溝の底面は、平面状の部分を有することを特徴とする振動素子。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記第１溝および前記第２溝の前記深さは、一定ではないことを特徴とする振動素子。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動素子と、
前記振動素子が収納されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動子。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動素子と、
前記振動素子と電気的に接続されている発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動素子は、基部と、
平面視で前記基部から第１方向に沿って延出し、互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面を備えている振動腕と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
平面視で、前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
前記第１の主面側に設けられている第１溝、及び前記第２の主面側に設けられている第２溝と、
を含み、
前記振動腕の厚さをＴ、
平面視で、前記振動腕の前記第１方向に沿った外縁の一方と前記第１溝との間の前記第１の主面の前記第１方向と直交する第２方向に沿った幅、または、前記外縁の一方と前記第２溝との間の前記第２の主面の前記第２方向に沿った幅をＷ、
前記第１溝の深さと、前記第２溝の深さとの合計をｔａ、
ｔａ／Ｔをηとしたとき、
４．２３６×１０×η２−８．４７３×１０×η＋４．４１４×１０[μｍ]≦Ｗ[μｍ]≦−３．３６７×１０×η２＋７．１１２×１０×η−２．３５２×１０[μｍ]
かつ、０．７５≦η＜１．００
を満たしている領域が、前記振動腕の前記第１方向の少なくとも一部にあり、
前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬ、
前記錘部の前記第１方向に沿った長さをＨとしたとき、
０．０１２＜Ｈ／Ｌ＜０．３０
を満足していることを特徴とする。
このような条件を満たすことにより、従来よりも熱弾性損失を低減することができるため、高いＱ値が得られ、優れた振動特性を発揮することのできる振動素子が得られる。
特に、０．０１２＜Ｈ／Ｌ＜０．３０なる関係を満足することにより、ＣＩ値の上昇を低減することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
［適用例２］
本発明の振動素子は、基部と、
平面視で前記基部から第１方向に沿って延出し、互いに表裏の関係にある第１の主面及び第２の主面を備えている振動腕と、
を含み、
前記振動腕は、
錘部と、
平面視で、前記基部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
前記第１の主面側に設けられている第１溝、および前記第２の主面側に設けられている第２溝と、
を含み、
前記振動腕の厚さをＴ、
平面視で、前記振動腕の前記第１方向に沿った外縁の一方と前記第１溝との間の前記第１の主面の前記第１方向と直交する第２方向に沿った幅、または、前記外縁の一方と前記第２溝との間の前記第２の主面の前記第２方向に沿った幅をＷ、
前記第１溝の深さと、前記第２溝の深さとの合計をｔａ、
ｔａ／Ｔをηとしたとき、
４．２３６×１０×η２−８．４７３×１０×η＋４．４１４×１０[μｍ]≦Ｗ[μｍ]≦−３．３６７×１０×η２＋７．１１２×１０×η−２．３５２×１０[μｍ]
かつ、０．７５≦η＜１．００
を満たしている領域が、前記振動腕の前記第１方向の少なくとも一部にあり、
前記振動腕の前記第１方向に沿った長さをＬ、
前記錘部の前記第１方向に沿った長さをＨとしたとき、
０．１８３≦Ｈ／Ｌ≦０．５９７
を満足していることを特徴とする。
このような条件を満たすことにより、従来よりも熱弾性損失を低減することができるため、高いＱ値が得られ、優れた振動特性を発揮することのできる振動素子が得られる。
特に、０．１８３≦Ｈ／Ｌ≦０．５９７なる関係を満足することにより、小型化を図ることができ、かつ振動特性の劣化を低減することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［適用例４］
本発明の振動素子では、前記振動腕は、一対の振動腕からなり、
前記一対の振動腕が互いに接近および離間を交互に繰り返すように前記第２方向に沿って屈曲振動する基本振動モードを有し、
前記基本振動モードの共振周波数をｆ０、
前記基本振動モードと異なる振動モードの共振周波数をｆ１としたとき、
｜ｆ０−ｆ１｜／ｆ０≧０．１２４
なる関係を満足することが好ましい。
これにより、基本振動モードとその基本振動モードと異なる振動モードとの結合が低減され、高いＱ値を得ることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例５］
本発明の振動素子では、前記第１溝の底面および前記第２溝の底面は、平面状の部分を有することが好ましい。
これにより、深さが一定の底面を有していないものと比べて、熱弾性損失を低減することができ、高いＱ値を得ることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［適用例６］
本発明の振動素子では、前記第１溝および前記第２溝の前記深さは、一定ではないことが好ましい。
これにより、深さが一定の底面を有しているものと比べて、剛性が高くなり、衝撃等に対して強いものとなる。
［適用例７］
本発明の振動子は、本発明の振動素子と、
前記振動素子が収納されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する振動子が得られる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例８］
本発明の発振器は、本発明の振動素子と、
前記振動素子と電気的に接続されている発振回路と、を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する発振器が得られる。
［適用例９］
本発明の電子機器は、本発明の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器が得られる。
［適用例１０］
本発明の移動体は、本発明の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する移動体が得られる。