【手続補正書】
【提出日】平成29年8月1日(2017.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に配列された複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部に対応して設けられた複数のマイクロレンズと、前記複数のマイクロレンズと前記基板との間に設けられた複数のカラーフィルタと、を備える固体撮像装置の製造方法であって、
絶縁層を含む構造を前記基板の上に設け、前記構造の上に電極を形成する工程と、
前記電極および前記構造を覆う絶縁性の第１膜を形成する工程と、
前記第１膜のうちの前記電極の上面と前記構造の上面との段差によって形成された凸部に、前記電極の上面の一部である第１部分が露出するように開口を形成する工程と、
前記第１膜および前記第１部分を覆う第２膜を形成する工程と、
前記第２膜を加工して、第１カラーフィルタを形成すると共に、前記開口の側面と前記第１部分とを覆い且つ前記第１膜の前記凸部の上面には存在しない保護膜を前記開口の中に形成する工程と、
スピンコート法により前記第１膜および前記保護膜の上に第３膜を形成する工程と、を有する
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項２】
前記第１カラーフィルタを形成すると共に前記保護膜を形成する工程は、前記第２膜に対して露光処理および現像処理を行うことにより前記第２膜をパターニングする工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項３】
前記第１膜のうちの前記凸部の上面と、前記保護膜の上面との高低差は５０００Å以下である
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項４】
前記第３膜に対して露光処理および現像処理を行うことにより、前記第１カラーフィルタとは色が異なる第２カラーフィルタを形成する工程をさらに含む
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項５】
前記開口を形成する工程の後かつ前記第２膜を形成する工程の前に、前記第１膜および前記第１部分を覆う第４膜を形成し、該第４膜に対して露光処理および現像処理を行うことにより、前記第１カラーフィルタおよび前記第２カラーフィルタとは色が異なる第３カラーフィルタを形成する工程をさらに含む
ことを特徴とする請求項４に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項６】
前記第３膜を形成する工程の後に、前記第１部分の少なくとも一部が露出するように前記保護膜を除去する工程をさらに含む
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項７】
前記第１膜の膜厚と、前記第２膜の膜厚とは互いに等しい
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項８】
前記開口を形成する工程の後かつ前記第２膜を形成する工程の前に、前記第１膜の上に、前記第１膜と前記第２膜とを結合するための有機材料の膜を形成する工程をさらに含む
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項９】
前記有機材料の膜の膜厚は、５Åから１００Åの範囲内である
ことを特徴とする請求項８に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１０】
前記有機材料は、エポキシ樹脂である
ことを特徴とする請求項８または請求項９に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１１】
基板に配列された複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部に対応して設けられた複数のマイクロレンズと、前記複数のマイクロレンズと前記基板との間に設けられた複数のカラーフィルタと、を備える固体撮像装置の製造方法であって、
絶縁部材の中に電極が埋設された構造を前記基板の上に形成する工程と、
前記構造を覆う絶縁性の第１膜を形成する工程と、
前記第１膜の一部と前記絶縁部材の一部とを除去し、前記電極の上面の一部である第１部分が露出するように開口を形成する工程と、
前記第１膜および前記第１部分を覆う第２膜を形成する工程と、
前記第２膜を加工して、第１カラーフィルタを形成すると共に、前記開口の側面と前記第１部分とを覆い、かつ、前記第１膜の上面には存在しない保護膜を、前記開口の中に形成する工程と、
スピンコート法により前記第１膜および前記保護膜の上に第３膜を形成する工程と、を有する
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項１２】
前記第３膜に対して露光処理および現像処理を行うことにより、前記第１カラーフィルタとは色が異なる第２カラーフィルタを形成する工程をさらに含む
ことを特徴とする請求項１１に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１３】
前記開口を形成する工程の後かつ前記第２膜を形成する工程の前に、前記第１膜および前記第１部分を覆う第４膜を形成し、該第４膜に対して露光処理および現像処理を行うことにより、前記第１カラーフィルタおよび前記第２カラーフィルタとは色が異なる第３カラーフィルタを形成する工程をさらに含む
ことを特徴とする請求項１２に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１４】
基板に配列された複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部に対応して設けられた複数のマイクロレンズと、前記複数のマイクロレンズと前記基板との間に設けられた複数のカラーフィルタと、を備える固体撮像装置の製造方法であって、
絶縁層を含む構造を前記基板の上に設け、前記構造の上に電極を形成する工程と、
前記電極および前記構造を覆う絶縁性の第１膜を形成する工程と、
前記第１膜の一部と前記絶縁層の一部とを除去し、前記電極の上面の一部である第１部分が露出するように開口を形成する工程と、
前記第１膜および前記第１部分を覆う第２膜を形成する工程と、
前記第２膜を露光して、第１カラーフィルタを形成すると共に、前記開口の側面と前記第１部分とを覆い、かつ、前記第１膜の上面には存在しない露光パターンを形成する工程と、
スピンコート法により前記第１膜および前記露光パターンの上に第３膜を形成する工程と、を有する
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【請求項１５】
前記第３膜に対して露光処理および現像処理を行うことにより、前記第１カラーフィルタとは色が異なる第２カラーフィルタを形成する工程をさらに含む
ことを特徴とする請求項１４に記載の固体撮像装置の製造方法。
【請求項１６】
前記開口を形成する工程の後かつ前記第２膜を形成する工程の前に、前記第１膜および前記第１部分を覆う第４膜を形成し、該第４膜に対して露光処理および現像処理を行うことにより、前記第１カラーフィルタおよび前記第２カラーフィルタとは色が異なる第３カラーフィルタを形成する工程をさらに含む
ことを特徴とする請求項１５に記載の固体撮像装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一つの側面は固体撮像装置の製造方法にかかり、前記固体撮像装置の製造方法は、基板に配列された複数の光電変換部と、前記複数の光電変換部に対応して設けられた複数のマイクロレンズと、前記複数のマイクロレンズと前記基板との間に設けられた複数のカラーフィルタと、を備える固体撮像装置の製造方法であって、絶縁層を含む構造を前記基板の上に設け、前記構造の上に電極を形成する工程と、前記電極および前記構造を覆う絶縁性の第１膜を形成する工程と、前記第１膜のうちの前記電極の上面と前記構造の上面との段差によって形成された凸部に、前記電極の上面の一部である第１部分が露出するように開口を形成する工程と、前記第１膜および前記第１部分を覆う第２膜を形成する工程と、前記第２膜を加工して、第１カラーフィルタを形成すると共に、前記開口の側面と前記第１部分とを覆い且つ前記第１膜の前記凸部の上面には存在しない保護膜を前記開口の中に形成する工程と、スピンコート法により前記第１膜および前記保護膜の上に第３膜を形成する工程と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】固体撮像装置の製造方法