(57)【要約】  本発明は、例えば、単結晶ニッケル超合金から構成された基材と、基材を覆う金属副層とを含むタービンブレードまたはディストリビュータフィンなどのタービン部品において、金属副層が第１の元素層と第２の元素層とを含む少なくとも２つの元素層を含み、第１の元素層が、基材と第２の元素層との間に配置され、各元素層がγ’−Ｎｉ３Ａｌ相、必要に応じてγ−Ｎｉ相を含み、第２の元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が、第１の元素層におけるアルミニウムの平均原子分率よりも厳密に大きいことを特徴とするタービン部品に関する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
単結晶ニッケルベースの超合金基材（２）と、
基材（２）を覆う金属接着被覆層（３）と、
を備えるタービン部品（１）において、
金属接着被覆層が、第１の元素層（７）および第２の元素層を含む少なくとも２つの元素層（５）を含み、第１の元素層が、基材と第２の元素層との間に配置され、各元素層が、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相を含み、第２の元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が、第１の元素層におけるアルミニウムの平均原子分率よりも厳密に大きいことを特徴とするタービン部品。
【請求項２】
少なくとも１つの元素層がγ−Ｎｉ相を含む、請求項１記載のタービン部品（１）。
【請求項３】
第１の元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が、基材におけるアルミニウムの平均原子分率よりも厳密に大きい、請求項１または２に記載のタービン部品（１）。
【請求項４】
第１の元素層がγ’−Ｎｉ３Ａｌ相およびγ−Ｎｉ相を含み、金属接着被覆層が、γ−Ｎｉ相のみを含む少なくとも１つのさらなる元素層を含む、請求項１から３のいずれか一項に記載のタービン部品（１）。
【請求項５】
金属接着被覆層が複数の元素層を含み、各元素層がγ’−Ｎｉ３Ａｌ相、場合によってはγ−Ｎｉ相を含み、元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が、基材からの距離とともに増加する、請求項１から４のいずれか一項に記載のタービン部品（１）。
【請求項６】
基材から最も遠い元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が０．２２から０．３５の間である、請求項１から５のいずれか一項に記載のタービン部品（１）。
【請求項７】
基材に最も近い元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が０．２未満である、請求項１から６のいずれか一項に記載のタービン部品（１）。
【請求項８】
基材におけるアルミニウムの平均原子分率と基材に最も近い元素層におけるアルミニウムの平均原子分率との差が０．０８未満である、請求項１から７のいずれか一項に記載のタービン部品（１）。
【請求項９】
２つの連続する元素層におけるアルミニウムの平均原子分率間の差が０．０６未満である、請求項１から８のいずれか一項に記載のタービン部品（１）。
【請求項１０】
各元素層がクロムおよびハフニウムから選択される少なくとも１つの添加物を含み、元素層における添加物の平均原子分率が、基材からの距離とともに増加する、請求項１から９のいずれか一項に記載のタービン部品（１）。
【請求項１１】
各元素層がハフニウムを含み、２つの連続する元素層におけるハフニウムの平均原子分率間の差が０．００１未満である、請求項１０に記載のタービン部品（１）。
【請求項１２】
基材から最も遠い元素層におけるハフニウムの平均原子分率が０．０３未満であり、基材に最も近い元素層におけるハフニウムの平均原子分率が０．０００５よりも大きい、請求項１０および１１のいずれか一項に記載のタービン部品（１）。
【請求項１３】
タービン部品（１）を製造する方法、
ａ）単結晶ニッケルベースの金属超合金基材（２）上に、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相、場合によってはγ−Ｎｉ相を含み、アルミニウムの平均原子分率ｘ１を有する第１の元素層（７）を堆積するステップと、
ｂ）第１の元素層上に、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相、場合によってはγ−Ｎｉ相を含み、ｘ１よりも厳密に大きいアルミニウムの平均原子分率ｘ２を有する第２の元素層（８）を堆積するステップと、を備える方法。
【請求項１４】
第１の元素層が、基材のニッケルベースの超合金におけるアルミニウムの平均原子分率ｘ０よりも厳密に大きいアルミニウムの平均原子分率ｘ１を有する、請求項１３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば航空工学で使用されるタービンブレードまたはノズルガイドベーンなどのタービン部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボジェットでは、燃焼室で生成された排気ガスが１２００℃または１６００℃を超える高温に達する可能性がある。したがって、例えばタービンブレードなど、これらの排気ガスと接触するターボジェット部品は、これらの高温で機械的特性を維持することができなければならない。
【０００３】
この目的のために、ターボジェットの特定の部品を「超合金」から製造することが知られている。超合金は、融点に比較的近い温度（通常、融点の０．７から０．８倍）で機能することができる高強度金属合金のファミリである。
【０００４】
これらの超合金の耐熱性を強化し、酸化や腐食から保護するために、それらを熱障壁として機能するコーティングによって覆うことが知られている。
【０００５】
図１は、例えばタービンブレード６またはノズルガイドベーンなどのタービン部品１の断面図である。部品１は、熱障壁１０によって覆われた単結晶金属超合金基材２を含む。
【０００６】
図２は、基材を覆うタービン部品１の熱障壁の一部の断面図である。熱障壁は、金属接着被覆層３、保護層４および断熱層９を含む。金属接着被覆層３は、金属超合金基材２を覆っている。金属接着被覆層３自体は、金属接着被覆層３の酸化により形成された保護層４によって覆われている。保護層４は、超合金基材を腐食および／または酸化から保護する。断熱層９は、保護層４を覆っている。断熱層は、例えばイットリウム化ジルコニアなどのセラミックから構成されることができる。
【０００７】
時には単に「接着被覆層」である金属接着被覆層３は、超合金基材の表面と保護層との間に接着を提供する。金属接着被覆層の２つの主要なファミリがある。
【０００８】
金属接着被覆層の第１のファミリは、単純ニッケル−アルミニドβ−ＮｉＡｌまたはプラチナ修飾ニッケル−アルミニドβ−ＮｉＡｌＰｔに基づく接着被覆層を含む。
【０００９】
単純または白金修飾ニッケル−アルミニド（β−ＮｉＡｌまたはβ−ＮｉＡｌＰｔ）接着被覆層の場合、接着被覆層のアルミニウム含有量（３５−４５％）は、超合金基材を酸化および腐食から保護するために酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）の保護層のみを形成するのに十分である。
【００１０】
しかし、部品が高温にさらされると、超合金基材と金属接着被覆層の間のニッケル、特にアルミニウムの濃度の差異は、ニッケルを接着被覆層へ拡散させ、アルミニウムを超合金へ拡散させる（「相互拡散」と呼ばれる現象）。
【００１１】
さらに、アルミニウムはまた、保護用の酸化アルミニウム層を形成するために消費される。
【００１２】
これらの現象は、接着被覆層からのアルミニウムの早期の枯渇をもたらし、接着被覆層における相変態を促進する（β−ＮｉＡｌ→γ’−Ｎｉ３Ａｌ、マルテンサイト変態）。これらの変態は、接着被覆層に亀裂を発生させ、酸化アルミニウム層の剥離を促進する。
【００１３】
さらに、チタンなどの超合金の特定の元素、または硫黄などの特定の不純物の拡散は、酸化アルミニウム層の接着力の低下をもたらす。
【００１４】
最後に、相互拡散は、被覆された超合金の機械的特性（クリープ、疲労）を大幅に低下させる二次反応ゾーン（ＳＲＺ）の形成をもたらす可能性がある。
【００１５】
したがって、超合金基材と接着被覆層との間の相互拡散は、超合金部品の耐用年数に悪影響を有する可能性がある。
【００１６】
金属接着被覆層の第２のファミリは、単純またはプラチナ修飾γ−（Ｎｉ）＋γ’−（Ｎｉ３Ａｌ）接着被覆層を含む。
【００１７】
これらの接着被覆層の利点は、相互拡散の悪影響を制限し、コーティングされた超合金の耐用年数を延ばすことである。
【００１８】
実際に、これらの接着被覆層は、超合金のものと近い化学組成を有し、これは、高温での相互拡散現象に抵抗し、熱障壁を損傷するシワと呼ばれる表面粗化現象を制限することを可能にする。
【００１９】
超合金のものと近い化学組成のおかげで、これらの接着被覆層はまた、二次反応ゾーン（ＳＲＺ）の形成も制限する。
【００２０】
一方、これらの接着被覆層の欠点は、それらの低いアルミニウム含有量（１５から２０％）であり、ターボジェットの耐用年数の間に存続することができる酸化アルミニウムの保護層を形成することができないことである。タービンが使用されると、保護層４は、剥がれおよび／または損傷することがある。そして、接着被覆層３は、酸化されて新たな保護層４または保護層４の新しい部分を形成する。金属接着被覆層３は、酸化アルミニウムの表面形成のためのアルミニウムリザーバである。金属接着被覆層３において利用可能なアルミニウムの量が、例えばそれが使い果たされるまで減少すると、新たな保護層４をもはや形成することができない。例えば、２００時間の使用後に保護層の剥離が観察される。
【００２１】
したがって、最終的に、これらのタイプの金属接着被覆層は、β−ＮｉＡｌＰｔ金属接着被覆層よりもはるかに低い耐酸化性および耐腐食性を有することとなり得る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
本発明の目的は、既知の金属接着被覆層よりも長い耐用年数を提供しながら、酸化および腐食から超合金タービン部品を効果的に保護する解決策を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
この目的は、本発明の文脈において、
ニッケルベースの単結晶超合金基材と、
基材を覆う金属接着被覆層と、
を備えるタービン部品において、
接着被覆層が、第１の元素層および第２の元素層を含む少なくとも２つの元素層を含み、第１の元素層が基材と第２の元素層との間に配置され、各元素層がγ’−Ｎｉ３Ａｌ相を含み、第２の元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が、第１の元素層におけるアルミニウムの平均原子分率よりも厳密に大きいことを特徴とするタービン部品により達成される。
【００２４】
金属接着被覆層は、いくつかの元素層から構成されているため、２つの元素層間の相互拡散を制限するために、アルミニウム濃度をある元素層から他の元素層へ徐々に変化させることができる。
【００２５】
さらに、第２の元素層のアルミニウム濃度が選択され、既知の第２のファミリの金属接着被覆層よりも長い耐用年数の保護酸化アルミニウム層を形成することができる。
【００２６】
本発明は、個別にまたはそれらの技術的に可能な組み合わせのいずれかでとられる以下の特徴により有利に補完される。
【００２７】
−少なくとも１つの元素層がγ−Ｎｉ相を含む、
−第１の元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が、基材におけるアルミニウムの平均原子分率よりも厳密に大きい、
−第１の元素層が、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相およびγ−Ｎｉ相を含み、金属接着被覆層が、γ−Ｎｉ相のみを含む少なくとも１つのさらなる元素層を含む、
−金属接着被覆層が複数の元素層を含み、各元素層がγ’−Ｎｉ３Ａｌ相、場合によってはγ−Ｎｉ相を含み、元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が、基材からの距離とともに増加する、
−基材から最も遠い元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が０．２２から０．３５である、
−基材に最も近い元素層におけるアルミニウムの平均原子分率が０．２未満である、
−基材におけるアルミニウムの平均原子分率と基材に最も近い元素層におけるアルミニウムの平均原子分率との差が０．０８未満である、
−２つの連続する元素層におけるアルミニウムの平均原子分率間の差が０．０６未満である、
−各元素層が、クロムおよびハフニウムから選択される少なくとも１つの添加物を含み、元素層における添加物の平均原子分率が、基材からの距離とともに増加する、
−各元素層がハフニウムを含み、２つの連続する元素層におけるハフニウムの平均原子分率間の差が０．００１未満である、
−基材から最も遠い元素層におけるハフニウムの平均原子分率が０．０３未満であり、基材に最も近い元素層におけるハフニウムの平均原子分率が０．０００５よりも大きい。
【００２８】
この目的はまた、本発明の文脈において、
−単結晶ニッケルベースの金属超合金基材上に、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相、場合によってはγ−Ｎｉ相を含み、アルミニウムの平均原子分率ｘ１を有する第１の元素層を堆積させるステップと、
−第１の元素層上に、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相、場合によってはγ−Ｎｉ相を含み、ｘ１よりも厳密に大きいアルミニウムの平均原子分率ｘ２を有する第２の元素層を堆積させるステップと、を備えるタービン部品の製造方法を介して達成される。
【００２９】
第１の元素層は、基材のニッケルベースの超合金におけるアルミニウムの平均原子分率ｘ０よりも厳密に大きいアルミニウムの平均原子分率ｘ１を有することができる。
【００３０】
他の特徴および利点はまた、以下の説明から明らかになるが、これは、単なる例示であり、限定するものではなく、添付の図面と併せて読む必要がある。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、例えばタービンブレードまたはノズルガイドベーンなどのタービン部品の断面図である。
【図２】図２は、タービン部品の熱障壁の一部の断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態に係る接着被覆層によって覆われた基材２の図である。
【図４】図４は、タービン部品１の製造方法の図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
定義
「超合金」という用語は、高温高圧下で、酸化、腐食、クリープおよび繰り返し応力（特に機械的または熱的）に対する非常に優れた耐性を有する複合合金を指す。超合金は、それらが融点に比較的近い温度（通常、融点の０．７から０．８倍）で機能することができる高強度合金のファミリであることから、タービンブレードなどの航空工学において使用される部品の製造に特定の用途を有する。
【００３３】
超合金は、マトリックスを形成する第１の相（「γ相」と呼ばれる）と、マトリックス内で硬化する析出物を形成する第２の相（「γ’相」と呼ばれる）とを含む２相微細構造を有する。
【００３４】
超合金の「ベース」は、マトリックスの主要な金属成分を指す。ほとんどの場合、超合金は、鉄、コバルト、またはニッケルベースを含むが、チタンまたはアルミニウムベースも含むことがある。
【００３５】
「ニッケルベースの超合金」は、耐酸化性、高温での破壊強度および重量の間の適切な妥協点を提供するという利点を有し、ターボジェットの最も高温の部品における使用を正当化する。
【００３６】
ニッケルベース超合金は、場合によっては置換固溶体α（Ｃｏ、Ｃｒ、Ｗ、Ｍｏ）に添加物を含むオーステナイト面心立方γ−Ｎｉタイプのγ相（またはマトリックス）と、Ｘ＝Ａｌ、ＴｉまたはＴａのγ’−Ｎｉ３Ｘタイプのγ’相（または析出物）とから構成される。γ’相は、面心立方構造に由来するＬ１２規則構造を有し、マトリックスとコヒーレント、すなわち、非常に近い原子メッシュを有する。
【００３７】
その規則的な性質により、γ’相は、約８００℃までの温度とともに増加する機械的抵抗を有するという顕著な特性を有する。γ相とγ’相との間の非常に強いコヒーレンシーは、γ／γ’比と硬化析出物のサイズとにひいては依存する、ニッケルベースの超合金に非常に高温の機械的抵抗を付与する。
【００３８】
ニッケルベースの超合金は、一般に、最大７００℃までの高い機械的抵抗を有し、その後、８００℃を超えると機械的抵抗が大幅に減少する。
【００３９】
「原子分率」という用語は、濃度を指す。全ての濃度は、原子濃度（％）で表される。
【００４０】
図３を参照すると、基材２は、熱障壁によって覆われている。
【００４１】
図３に示される要素は、タービンブレードの要素、ノズルガイドベーン、またはタービンの任意の他の要素、部品または構成要素を独立して表すことができる。
【００４２】
基材２は、ニッケルベースの超合金から構成されている。
【００４３】
熱障壁は、金属接着被覆層３、保護層４および断熱層（図３には示されていない）を含む。
【００４４】
基材２は、金属接着被覆層３によって覆われており、この接着被覆層３自体が保護層４によって覆われている。
【００４５】
本発明の一態様によれば、金属接着被覆層３は、少なくとも２つの元素層５を含む。図３は、接着被覆層３が４つの元素層５を有する実施形態を示している。
【００４６】
一般に、元素層５の間の界面の利点は、元素層間の高温での金属および／または酸素の拡散を制限または防止し、したがって相互拡散を制限または防止することである。
【００４７】
接着被覆層３は、特に第１の元素層７と第２の元素層８とを含む。第１の元素層７は、基材２と第２の元素層８との間に配置されている。一般に、第２の元素層８におけるアルミニウムの平均原子分率は、第１の元素層７におけるアルミニウムの平均原子分率よりも厳密に大きい。
【００４８】
したがって、アルミニウム原子分率勾配が接着被覆層３に生成されることができる。
【００４９】
一般に、各元素層は、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相と、場合によってはγ−Ｎｉ相を含む。
【００５０】
本発明の一態様によれば、第１の元素層は、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相およびγ−Ｎｉ相を含み、他の元素層は、γ−Ｎｉ相のみを含む。有利には、複数の元素層は、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相およびγ−Ｎｉ相を含み、複数の元素層は、γ−Ｎｉ相のみを含む。元素層におけるアルミニウムの平均原子分率は、基材からの距離と共に増加する。換言すれば、アルミニウム原子分率の正の勾配が、したがって、基材から保護層４に向かう方向において接着被覆層３に生成されることができる。
【００５１】
この特徴は、以下の２つの付随効果を有する。
【００５２】
・基材から最も遠い元素層５におけるアルミニウムの平均原子分率は、超合金基材２を酸化および腐食から保護するために酸化アルミニウムの保護層４のみを形成するのに十分であり、
・基材に最も近い元素層７におけるアルミニウムの平均原子分率は、元素層７（すなわち、基材２と接触している元素層）から基材２へのアルミニウムの拡散を制限するのに十分に低い。
【００５３】
基材から最も遠い元素層（すなわち、保護層４を形成する元素層）におけるアルミニウムの平均原子分率は、０．２２から０．３５の間、好ましくは０．２５から０．３の間とすることができる。
【００５４】
したがって、酸化および腐食から超合金を保護するために、保護酸化アルミニウムのみから形成された保護層が接着被覆層３上に形成されることができる。
【００５５】
基材に最も近い元素層５におけるアルミニウムの平均原子分率は、０．２未満、好ましくは０．１５から０．２の間とすることができる。有利には、第１の元素層におけるアルミニウムの平均原子分率は、基材におけるアルミニウムの平均原子分率よりも厳密に大きい。基材におけるアルミニウムの平均原子分率と基材に最も近い元素層におけるアルミニウムの平均原子分率との差もまた、０．０８未満、優先的には０．０６未満とすることができる。
【００５６】
したがって、基材へのアルミニウムの拡散は制限され、さらには防止される。
【００５７】
本発明の他の態様によれば、２つの連続する元素層間のアルミニウムの平均原子分率の差が制限される。有利には、０．０６未満とすることができる。したがって、２つの連続する元素層間のアルミニウムの拡散が制限されるか、さらには防止されることができる。実際に、２つの元素層間のアルミニウムの平均原子分率が近いほど、これら２つの層間のアルミニウムの拡散は低くなる。
【００５８】
表１は、本発明の実施形態に係る同素相、アルミニウムの原子分率ｘｊおよび各第ｊ番目の元素層５の厚さを示し、ｊは１からｍの間であり、ｍは金属接着被覆層３を構成する元素層の総数を示す自然整数である。
【００５９】
【表１】
2020515718.tif 000003
【００６０】
各元素層は、ニッケルＮｉおよびアルミニウムＡｌに加えて、他の化学元素または添加物、例えばクロムＣｒやハフニウムＨｆなどを含んでもよい。表１に対応する実施形態では、図示されていないＣｒおよびＨｆの平均原子分率は、異なる元素層間で等しい。一方、元素層におけるアルミニウムの平均原子分率は増加する。すなわち、元素層５が基材から離れるにつれて増加する。逆に、元素層におけるニッケルの平均原子分率は減少する。すなわち、元素層５が基材から離れるにつれて減少する。
【００６１】
表２は、ＡＭ１超合金の使用により特に適合し、ｍ＝７である例に係る、同素相、アルミニウムの原子分率ｘｊおよび各第ｊ番目の元素層５の厚さを示している。
【００６２】
【表２】
2020515718.tif 000004
【００６３】
一般に、各元素層の厚さは、１００ｎｍから２０μｍである。
【００６４】
本発明の実施形態によれば、クロムおよび／またはハフニウムの平均原子分率勾配が接着被覆層３に生成される。各元素層５は、クロムおよび／またはハフニウムから選択される少なくとも１つの添加剤を含み、各元素層のクロムおよび／またはハフニウムの平均原子分率は増加する、すなわち、基材からの距離と共に増加する。
【００６５】
したがって、１つの元素層５から他の元素層へのクロムおよび／またはハフニウムの相互拡散は制限され、さらには防止される。
【００６６】
本発明の一態様によれば、２つの連続する元素層間のハフニウムの平均原子分率の差は、有利には、２・１０−４未満、好ましくは１０−４未満である。基材に最も近い元素層５におけるハフニウムの平均原子分率は、有利には、１０・１０−４未満、優先的には５・１０−４未満である。保護層４に最も近い元素層５におけるハフニウムの平均原子分率は、有利には、０．００５から０．０３の間、優先的には０．０１から０．０２の間である。
【００６７】
接着被覆層においてクロム勾配が達成される本発明の態様によれば、２つの連続する元素層間のクロムの平均原子分率の差は、有利には、０．００１から０．０２の間、好ましくは０．００５から０．０１の間である。基材に最も近い元素層５におけるクロムの平均原子分率は、有利には、０．０７未満である。保護層４に最も近い元素層５におけるクロムの平均原子分率は、有利には、０．１よりも高い。
【００６８】
図４は、タービン部品１を製造する方法のステップの図である。そのような方法は、以下の少なくとも２つのステップを備える。
【００６９】
第１のステップは、単結晶ニッケルベースの金属超合金基材上に第１の元素層７を堆積させることである。堆積された第１の元素層は、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相、場合によってはγ−Ｎｉ相を含む。第１の層は、アルミニウムの制御された原子分率ｘ１で堆積される。第１の元素層の材料は、ニッケルベースの金属合金または超合金とすることができる。有利には、平均アルミニウム分率ｘ１は、基材２の平均アルミニウム分率ｘ０よりも厳密に大きい。
【００７０】
第２のステップは、第１の元素層７上に第２の元素層８を堆積させることである。堆積された第２の元素層８は、γ’−Ｎｉ３Ａｌ相、場合によってはγ−Ｎｉ相を含む。堆積された第２の元素層８は、厳密にｘ１よりも大きい平均原子分率ｘ２を有する。
【００７１】
堆積された最後の元素層５が所定の平均原子分率を有するように、ステップが繰り返されてｍ個の元素層を堆積させる。所定の平均原子分率は、０．２２から０．３５の間である。
【００７２】
接着被覆層３の異なる元素層５は、物理蒸着法（ＰＶＤ）によって形成することができる。スパッタリング、ジュール蒸発、レーザーアブレーションおよび電子ビーム支援物理蒸着など、元素層５の製造のために異なるＰＶＤ法を使用することができる。
【００７３】
以下の２つの異なる方法が使用され、連続する各元素層５の内の各元素の原子分率を正確に制御することができる。
【００７４】
元素層を堆積させるためにターゲットを使用して、いくつかの材料ターゲットを連続して（すなわち、次々に）使用することができる。各ターゲットは、その化学組成が対応する元素層５の化学組成である材料を含む。
【００７５】
１つ以上の元素層の堆積中に、複数の材料ターゲットを並列して同時に使用することができる。各ターゲットは、例えば、特定の化学元素を含むことができる。
【００７６】
各層は、共蒸着または共粉砕によって堆積させることができる。この場合、元素層５の堆積中に各ターゲットに課されるそれぞれの蒸発またはスパッタリング速度は、その後に前記層の化学量論を決定する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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2020515718.tif 000010
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