(57)【要約】  収容工具に配置された半導体コンポーネントを方向付けして光学的に検査する装置であって、収容工具が、半導体コンポーネントのための第１の転向装置に配置されており、方向付けする装置は、半導体コンポーネントを少なくとも１つの軸線方向及び／又は回転方向において収容工具の中心に対して方向付けするように、定められかつ適合されている。第１の転向装置が、第１の回転軸を中心に回転し、かつ、半導体コンポーネントを第１の収容位置から第１の放出位置へ移送するように、適合されており、かつ、２つの互いに近づきかつ離れるように移動する第１のスライダを有し、それらが第１のスライド部を有し、２つの第１のスライド部が、収容工具に配置された半導体コンポーネントを方向付けするために、半導体コンポーネントの２つの第１の側面に少なくとも部分的に接触するように、定められかつ適合されており、第１のスライダが、収容工具が半導体コンポーネントを保持している間に、半導体コンポーネントを検査位置へスライドかつ／又は回転させるように、定められかつ適合されている。
2020535639.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容工具（１３２）に配置された半導体コンポーネント（Ｂ）を方向付けして光学的に検査する装置であって、
−前記収容工具（１３２）が、前記半導体コンポーネント（Ｂ）のための第１の転向装置（１３０）に配置されており、
−当該装置が、前記半導体コンポーネント（Ｂ）を前記収容工具（１３２）の中心に対して少なくとも１つの軸線方向及び／又は回転方向に方向付けするように、定められかつ適合されており、
−前記第１の転向装置（１３０）が、第１の回転軸を中心に回転し、かつ、前記半導体コンポーネント（Ｂ）を第１の収容位置（０°）から第１の放出位置（１８０°）へ移送するように、適合されており、
−互いに近づきかつ離れるように移動する２つの第１のスライダ（１４０−１、１４０−２）を有し、前記第１のスライダが、第１のスライド部（１４２−１、１４２−２）を有し、
−前記２つの第１のスライド部（１４２−１、１４２−２）が、前記半導体コンポーネント（Ｂ）の２つの第１の側面に少なくとも部分的に接触するように、定められかつ適合されており、それによって、第１のスライダ（１４０−１、１４０−２）が、収容工具（１３２）が半導体コンポーネント（Ｂ）を保持している間に、半導体コンポーネント（Ｂ）を検査位置へスライドさせかつ／又は回転させるように、定められかつ適合されていることによって、前記２つの第１のスライド部（１４２−１、１４２−２）が、前記収容工具（１３２）に配置された前記半導体コンポーネント（Ｂ）を方向付けする、
装置。
【請求項２】
前記半導体コンポーネント（Ｂ）の、前記収容工具（１３２）から離れた上面及び／又は前記２つの第１の側面の少なくとも１つを光学的に検査するために、カメラ構成（Ｋ１）が設けられており、前記カメラ構成が、前記第１の転向装置（１３０）に対して次のように、すなわち、前記収容工具（１３２）が、当該収容工具に配置された前記半導体コンポーネント（Ｂ）と共に、前記カメラ構成（Ｋ１）の光学装置に対して離隔され、かつ、前記カメラ構成（Ｋ１）の光学軸と少なくとも断続的に整合するように、方向付けされている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
−前記半導体コンポーネント（Ｂ）のための第２の転向装置（１５０）が設けられており、前記第２の転向装置が次のように、すなわち、第２の回転軸を中心に回転し、それによって前記第１の転向装置（１３０）の前記第１の放出位置（１８０°）からの前記半導体コンポーネント（Ｂ）を前記第２の転向装置（１５０）の第２の収容位置（０°）において受け取って、当該半導体コンポーネント（Ｂ）を第２の放出位置（１８０°）へ移送するように、適合されており、前記第１の回転軸と前記第２の回転軸とが、約９０°の角度互いに対して変位しており、かつ、前記第１の転向装置（１３０）の前記第１の放出位置が、前記第２の転向装置（１５０）の前記第２の収容位置と次のように、すなわち、前記半導体コンポーネント（Ｂ）が前記第１の転向装置（１３０）から前記第２の転向装置（１５０）へ引き渡されるように、整合されている、
請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記半導体コンポーネント（Ｂ）のための前記第２の転向装置（１５０）が、
−互いに近づきかつ離れるように移動する２つの第２のスライダ（１６０−１、１６０−２）を有し、前記第２のスライダが、互いに対して平行に方位づけされた第２のスライド部（１６２−１、１６２−２）を有し、
−前記２つの第２のスライド部（１６２−１、１６２−２）が、前記半導体コンポーネント（Ｂ）の２つの互いに対向する第２の側面に少なくとも部分的に接触するように、定められかつ適合されており、それによって、前記第２の転向装置（１５０）の前記収容工具（１５２）が前記半導体コンポーネント（Ｂ）を保持している間に、前記第２のスライダ（１６０−１、１６０−２）が前記半導体コンポーネント（Ｂ）を、前記２つの第２のスライド部（１６２−１、１６２−２）に対して垂直の方向において検査位置へスライドさせかつ／又は前記検査位置へ回転させることによって、前記２つの第２のスライド部（１６２−１、１６２−２）が、前記第２の転向装置（１５０）の前記収容工具（１５２）に配置された前記半導体コンポーネント（Ｂ）を方向付けする、
請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記第１及び／又は第２のスライダ（１４０−１、１４０−２：１６０−１、１６０−２）が駆動装置を有し、それによって、前記第１及び／又は第２のスライダ（１４０−１、１４０−２；１６０−１、１６０−２）が、それぞれの回転軸に関して径方向において、それぞれの転向装置（１３０、１５０）の収容工具（１３２、１５２）からのそれぞれのスライド部（１４２−１、１４２−２；１６２−１、１６２−２）の間隔を変化させる、請求項１から４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
各スライダ（１４０−１、１４０−２：１６０−１、１６０−２）が、専用の駆動装置を有し、それによって、前記収容工具（１３２、１５２）のそれぞれの長手中心軸の方向に沿って、それぞれの収容工具（１３２、１５２）の前面からのそれぞれのスライド部（１４２−１、１４２−２；１６２−１、１６２−２）の間隔を変化させる、請求項１から５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
前記第１及び／又は第２の転向装置（１３０、１５０）において協働するスライダ（１４０−１、１４０−２：１６０−１、１６０−２）が、同方向かつ少なくともほぼ同期して、それぞれの検査位置へ向かって又はそこから離れるように移動するように、適合されかつ定められている、請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
カメラ（ＫＩ、Ｋ２、Ｋ３）が設けられており、前記カメラが、前記収容工具（１３２、１５２）のそれぞれの長手中心軸の方向において、前記収容工具（１３２、１５２）のそれぞれの前面からのスライド部（１４２−１、１４２−２；１６２−１、１６２−２）の間隔を検出するように、定められている、請求項１から７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項９】
収容工具に配置された半導体コンポーネントを方向付けして光学的に検査する方法であって、前記収容工具が、前記半導体コンポーネントのための第１の転向装置に配置されており、前記半導体コンポーネントが、前記収容工具の中心に対して少なくとも１つの軸線方向及び／又は回転方向に方向付けされ、前記半導体コンポーネントが、第１の回転軸を中心に回転され、それによって、前記半導体コンポーネントが、第１の収容位置から第１の放出位置へ移送され、２つの互いに近づきかつ離れるように移動する第１のスライダが第１のスライド部を有し、前記スライド部が、前記半導体コンポーネントの２つの第１の側面に少なくとも部分的に接触し、それによって、前記収容工具が半導体コンポーネントを保持する間に、前記第１のスライダが前記半導体コンポーネントを検査位置へ移動かつ／又は回転させることによって、前記２つの第１のスライダが前記収容工具に配置された前記半導体コンポーネントを方向付けする、方法。
【請求項１０】
前記半導体コンポーネントの、前記収容工具から離れた上面及び／又は前記２つの第１の側面の少なくとも１つが、カメラ構成によって検査され、前記カメラ構成が、前記第１の転向装置に対して次のように、すなわち、前記収容工具が、そこに配置されている前記半導体コンポーネントと共に、前記カメラ構成の光学的な装置に対して離隔され、かつ、前記カメラ構成の光学軸と少なくとも断続的に整合するように、方向付けされる、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
第２の転向装置が、第２の回転軸を中心に回転し、かつ、それによって前記第１の転向装置の前記第１の放出位置からの前記半導体コンポーネントを前記第２の転向装置の第２の収容位置において受け取って、当該半導体コンポーネントを第２の放出位置へ移送し、前記第１の回転軸と前記第２の回転軸とが、互いに対して約９０°の角度変位しており、前記第１の転向装置の前記第１の放出位置が、前記第２の転向装置の前記第２の収容位置と次のように、すなわち、前記半導体コンポーネントが前記第１の転向装置から前記第２の転向装置へ引き渡されるように、整合する、請求項９又は１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記半導体コンポーネントのための前記第２の転向装置に、方向付け及び光学的な検査のために同様な手段が対応づけられ、当該手段によって、前記収容工具が前記半導体コンポーネントを保持している間に、前記半導体コンポーネントが検査位置へスライド及び／又は回転されることによって、前記収容工具に配置された前記半導体コンポーネントが方向付けされる、請求項９から１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
前記回転軸に関して径方向において、それぞれの転向装置の前記収容工具からのそれぞれのスライド部の間隔が、変化される、請求項９から１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１及び／又は第２の転向装置において協働するスライダが、同方向かつ少なくともほぼ同期して、それぞれの検査位置に向かって又は離れるように移動する、請求項９から１３のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示では、コンポーネント操作装置のためのコンポーネントセンタリング手段が記述される。このコンポーネントセンタリング手段は、コンポーネント操作装置との協働において説明される。それについての詳細は、特許請求の範囲に定義されている；明細書及び図面も、システム及び機能方法、並びに、システムの変形例についても、重要な記載を含んでいる。
【０００２】
本開示では、コンポーネントは、例えば「チップ」又は「ダイ」とも称される、（電子的な）半導体コンポーネントである。この種のコンポーネントは、通常、実質的に多角形のプリズム状の形態を有しており、例えば、四角形（長方形又は正方形）の断面と、複数の側面並びに上面及び端面と、を有している。コンポーネントの側面及び２つの（上方及び下方の）端面は、以下においては一般的に面と称される。コンポーネントは、４つとは異なる数の側面を有することもできる。コンポーネントは、光学的なコンポーネント（プリズム、ミラー、レンズなど）であってもよい。全体としてコンポーネントは、任意の幾何学的な形状を有することができる。
【０００３】
本出願人の企業的実務からは、いわゆる収容して載置する装置が知られており、それにおいて、コンポーネントは、収容工具によって基板から収容されて、次に支持体上又は移送容器などに載置される。コンポーネントを載置する前に、通常、コンポーネントの検査が行われる。そのために、コンポーネントの１つ又は複数の側面の画像が、１つ又は複数のカメラによって記録されて、自動的な画像処理を用いて評価される。
【背景技術】
【０００４】
欧州特許第１４７０７４７号明細書は、チップ取り出し装置、チップ取り出しシステム、装填システム及びチップを取り出してさらに処理する方法に関する。チップはウェファから取り出され、引き渡し位置へ移送されて、同時に転向される。構造化された半導体ウェファからチップを取り出すためのこのチップ取り出し装置は、ウェファからチップを取り出して取り出したチップをその長手軸又は横軸を中心に１８０°転向させるための回転可能な取り出し工具と、その取り出し工具と協働する、取り出したチップをその長手軸又は横軸を中心に新たに１８０°転向させるための回転可能な転向工具と、を有している。取り出し工具が第１の引き渡し位置を有し、転向工具が第２の引き渡し位置を有し、その第２の引き渡し位置においてチップがさらに加工するために装填ヘッドへ引き渡し可能である。
【０００５】
欧州特許出願公開第０９０６０１１号明細書は、電気的なコンポーネントを取り出して基板上に装填する装置に関する。この装置は、回転可能な引き渡し装置を有しており、その引き渡し装置が収容位置において供給モジュールから電気的なコンポーネントを取り出して、第１の引き渡し位置においてさらに処理するために吸引ヘッドへ引き渡す。回転可能な装填ヘッドによって、コンポーネントが吸引ヘッドから収容されて、第２の引き渡し箇所へ移送される。
【０００６】
国際公開第０２／０５４４８０号は、取り付けるべきチップの種々の表面を光学的に検査する装置に関する。この装置は、第１の上方の移送ディスクを有しており、その移送ディスクは、供給ユニットからチップを取り出して、第１の引き渡し位置へ移送するように、適合されている。チップは、上方の移送ドラムの外表面に形成された吸引開口部内に保持されて、上方の移送ディスクの回転によって移動される。この装置は、さらに、上方の移送ディスクと同様な設計の第２の下方の移送ディスクを有しており、その移送ディスクが、取り出されたチップを第１の引き渡し位置において収容して、第２の引き渡し位置へ移送する。この装置では、移送ディスクの側方隣に複数のカメラが配置され、それらがチップの上側と下側とを検査することによって、チップの検査を可能にする。チップは、さらに、最初の方向付けに対して転向されずに、さらに処理するために分類装置へ引き渡される。
【０００７】
米国特許出願第４６１９０４３号明細書は、電子的なコンポーネント、特にチップを取り出して、導体プレート上に取り付ける装置と方法を開示している。この装置は、収容ユニット内にチップを収容して、収容したチップを第１の引き渡し位置へ移送するための移送手段を有している。この移送手段は、移送チェーンと回転可能なスプロケットとを有しており、それらが係合する。装置は、さらに、第１の引き渡し位置においてチップを収容するための装填ヘッドを備えた回転可能な固定工具を有している。固定工具は、さらに、収容したチップを回転運動によって第２の引き渡し位置へ移送するように、適合されており、その際にチップが転向される。
【０００８】
特開平２−１９３８１３号公報は、電子的なコンポーネントを収容して転向させるための装置に関するものであり、それらのコンポーネントは検査装置によって検査される。この装置は供給ユニットを有しており、その供給ユニットからチップ形状の電子コンポーネントが第１の回転するボディによって取り出されて、その周面に配置される。回転するボディの回転運動によって、電子的なコンポーネントが第１の引き渡し位置へ移送され、それによって、それらのコンポーネントがその長手軸又は横軸を中心に転向される。装置は、さらに、第２の回転するボディを有しており、それが取り出された電子的なコンポーネントを第１の引き渡し位置において収容して、第２の引き渡し位置へ移送する。それによって、電子的なコンポーネントが、その長手軸又は横軸を中心にさらに転向される。したがって、この装置は、コンポーネントの様々な面を検査することを可能にする。
【０００９】
独国特許出願公開第１０２０１４１１６３４２号明細書は、方法及び基板保持装置に関するものであり、少なくとも１つの保持フレームによって切り欠き内に基板を保持するために、少なくとも１つの保持フレームを収容する切り欠きを備えた支持プレートを有しており、切り欠きは、支持プレートを通してその上面から下面へ延びている。支持プレートは、センタリング領域を有しており、そこにおいて、切り欠きの開放幅が、上面から下面の方向へ連続的に減少している。保持フレームは、センタリングセクションを有しており、そのセンタリングセクションによって、少なくとも１つの保持アームを切り欠き内へ挿入する場合に、センタリングセクションがセンタリング領域と形状結合を形成する。それによって切り欠き内に少なくとも１つの保持アームがセンタリングされて保持される。
【００１０】
独国特許出願公開第４２３２９０２号明細書は、真空プロセス設備内でフラットな円形ディスク形状の基板を移送するための基板ホルダに関するものであり、その真空プロセス設備内では、基板の片側又は両側が任意の空間位置において、例えばスパッタコーティング又はプラズマエッチングのような処理を受ける。弾性変位する同種の２対の保持フィンガーが、基板平面内に配置されている。保持フィンガーの作用方向は、基板中心点まで長手方向に延びている。２対の保持フィンガーは、互いに直径方向に対向している。保持点を通る円形ディスク半径によって形成される角度は、０°より大きく、１８０°より小さい。それぞれの対の保持フィンガーは、基板とは逆の側において、共通の結合部材を介して又は２つの同様に形成された延長部を介して、互いに摩擦結合で結合されている。結合部材の中心は、円ディスク中心点を通って延びる仮想の直線上に位置し、かつ、基板に締め付け力をもたらすためのそれぞれの締めつけ部材用の力導入場所を形成する。２つの締めつけ部材は、基板中心点を通る仮想の直線にほぼ沿って移動する。
【００１１】
独国特許出願公開第４０２４６４２号明細書は、２つのアクティブな表面と、これらの表面の上方に突出する周縁と、を有する基板用の旋回皿に関するものであり、旋回皿は、中央で垂直の駆動軸によって支持される皿ディスクと、皿ディスクの上面に配置されかつ基板の周縁のための水平の載置面及び垂直の支持面を有する載置ブロックと、駆動軸内に軸方向に設けられた真空孔と、を有している。皿ディスクの上面には、周縁シールが配置されており、そのシールが、基板の周縁の下面に接触する。真空孔は、皿ディスクを通じて吸い込みチャンバ内へ通じており、吸い込みチャンバは、皿ディスクと基板との間に形成され、かつ、シールによって包囲されている。
【００１２】
他の技術的背景は、欧州特許第２０７５８２９号明細書、国際公開第２０１４／１１２０４１号、国際公開第２０１５／０８３２１１号、国際公開第２０１７／０２２０７４号、国際公開第２０１３／１０８３９８号、国際公開第２０１３／０８４２９８号、国際公開第２０１２／０７３２８５号、米国特許第９５１０４６０号明細書、特許第４９１１７１４号、米国特許第７１９１５１１号明細書、特許第５５１０９２３号、特許第５７８３６５２号、特開２００７−０９５７２５号公報、特開２０１２−１１６５２９号公報、特開２００１−７４６６４号公報、特開平１−１９３６３０号公報、米国特許第５７５０９７９号明細書、独国特許出願公開第１９９１３１３４号明細書、特許第８２２７９０４号にも示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】欧州特許第１４７０７４７号明細書
【特許文献２】欧州特許出願公開第０９０６０１１号明細書
【特許文献３】国際公開第０２／０５４４８０号
【特許文献４】米国特許出願第４６１９０４３号明細書
【特許文献５】特開平２−１９３８１３号公報
【特許文献６】独国特許出願公開第１０２０１４１１６３４２号明細書
【特許文献７】独国特許出願公開第４２３２９０２号明細書
【特許文献８】独国特許出願公開第４０２４６４２号明細書
【特許文献９】欧州特許第２０７５８２９号明細書
【特許文献１０】国際公開第２０１４／１１２０４１号
【特許文献１１】国際公開第２０１５／０８３２１１号
【特許文献１２】国際公開第２０１７／０２２０７４号
【特許文献１３】国際公開第２０１３／１０８３９８号
【特許文献１４】国際公開第２０１３／０８４２９８号
【特許文献１５】国際公開第２０１２／０７３２８５号
【特許文献１６】米国特許第９５１０４６０号明細書
【特許文献１７】特許第４９１１７１４号
【特許文献１８】米国特許第７１９１５１１号明細書
【特許文献１９】特許第５５１０９２３号
【特許文献２０】特許第５７８３６５２号
【特許文献２１】特開２００７−０９５７２５号公報
【特許文献２２】特開２０１２−１１６５２９号公報
【特許文献２３】特開２００１−７４６６４号公報
【特許文献２４】特開平１−１９３６３０号公報
【特許文献２５】米国特許出願第５７５０９７９号明細書
【特許文献２６】独国特許出願公開第１９９１３１３４号明細書
【特許文献２７】特許第８２２７９０４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
基板／ウェファから半導体コンポーネントを剥がして、収容工具（例えば負圧ピペット）によって半導体コンポーネントを収容する場合に、収容工具における半導体コンポーネントの位置誤差が生じる。収容工具におけるコンポーネントの位置及び回転のこの変動は、多様なパラメータによって影響を受ける：半導体コンポーネントと基板／ウェファとの間の付着、半導体コンポーネントを基板／ウェファから剥がす際のニードルのストローク高さ、半導体コンポーネントの中心に関するニードルの位置、収容工具の反力、半導体コンポーネントを収容する際の半導体コンポーネントの中心に対する収容工具の位置、収容工具における負圧の強さ、半導体コンポーネントを収容するための負圧を構築するために提供される時間、収容工具へ向いた半導体コンポーネントの表面の特性、収容工具の表面の特性。
【００１５】
さらに、半導体コンポーネントのますます小さくなる欠陥を認識することができるようにするための、半導体加工工業の要請が増大している。欠陥の光学的認識は、適合された対物レンズ及びそれと同調された、検査すべきコンポーネントの照明によって可能ではある。もちろん、必要な結像鮮明さ及びそれに伴って小さくなる焦点深度において、提供可能な対物レンズはその限界に達する。
【００１６】
収容工具における半導体コンポーネントの位置のばらつき及び対物レンズの小さい焦点深度によって、光学的検査の品質は制限されている。シャープに結像されない半導体コンポーネントにおいて、欠陥は、より低い確率をもって認識される。したがって欠陥を有する半導体コンポーネントが、誤って機能的に役立たないと認識されず、さらに処理／梱包されてしまう。
【００１７】
この問題の従来の解決において、光学的コンポーネント検査の品質を高めるために、光学的評価の前段に、半導体コンポーネントのためのセンタリングステーションが設けられている。半導体コンポーネントのＸ及びＹ位置並びに回転が測定される。次に、収容工具がＸ及びＹ方向に変位されかつ回転されることによって、半導体コンポーネントのＸ及びＹ位置並びに回転が補正される。この解決においては、各収容工具はさらに回転駆動装置を有さなければならず、又は、収容工具は、駆動装置が各収容工具内へ嵌入することができるように形成されている。代替的に、収容工具が回転され、かつ、評価カメラが半導体コンポーネントに対してＸ及びＹ方向に変位される。他の従来の変形例において、半導体コンポーネントが支持体上に載置され、支持体上で半導体コンポーネントのＸ及びＹ位置並びに回転が方向付けされて、その後に半導体コンポーネントが収容工具によって再び支持体から収容される。このように半導体コンポーネントを支持体から新たに収容する場合に、半導体コンポーネントが収容工具に対して新たに滑り移動する危険が存在する。
【００１８】
ここに提示される解決は、従来技術に対して改良されたコンポーネントの正確な取扱い、及び、高いスループットにおけるその検査を可能にするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
そのために装置及び方法が示される。装置は、収容工具に配置された半導体コンポーネントを方向付けしかつ光学的に検査するために用いられ、収容工具が、半導体コンポーネントのための第１の転向装置に配置されている。方向付けするためのこの装置は、少なくとも１つの軸線方向及び回転方向において、半導体コンポーネントを収容工具の中心に対して方向付けするように、定められかつ適合されている。第１の転向装置は、第１の回転軸を中心に回転し、かつ、それによって、半導体コンポーネントを第１の収容位置から第１の放出位置へ移送するように、適合されている。方向付けするためのこの装置は、２つの互いに近づきかつ離れるように移動する第１のスライダを搭載しており、それらのスライダが、例えば互いに対して平行に方位づけされた第１のスライド部を有している。これら２つの第１のスライド部は、半導体コンポーネントを方向付けするために、収容工具に配置された半導体コンポーネントの２つの、例えば互いに対向する第１の側面に少なくとも部分的に接触するように、定められかつ適合されている。そのために、これら第１のスライダは、収容工具が半導体コンポーネントを保持している間に、半導体コンポーネントを２つの第１のスライド部の少なくとも１つに対して、例えば垂直の方向において、検査位置へスライドさせかつ回転させることができる。
【００２０】
変形例、形態
半導体コンポーネントの、収容工具から離れた上面及び／又は２つの第１の側面の少なくとも１つを光学的に検査するために、カメラ構成が設けられている。このカメラ構成は第１の転向装置に対して次のように、すなわち、収容工具が、そこに配置された半導体コンポーネントと共に、カメラ構成の光学的装置に対して離隔され、かつ、カメラ構成の光学軸と少なくとも断続的に整合するように、方向付けされている。
【００２１】
半導体コンポーネントのための第２の転向装置が設けられており、かつ、第２の回転軸を中心に回転するように、適合されている。この第２の転向装置は、第１の転向装置から半導体コンポーネントをその第１の放出位置から、第２の転向装置の第２の収容位置で受け取り、それによって半導体コンポーネントが第２の放出位置へ移送される。第１の転向装置及び第２の転向装置は、互いに対して約９０°の角度だけ変位している。第１の転向装置の第１の放出位置は、第２の転向装置の第２の収容位置と整合し、それによって半導体コンポーネントが第１の転向装置から第２の転向装置へ引き渡される。
【００２２】
第２の転向装置内でも、半導体コンポーネントは、その検査前に方向付けされる。そのために、同様に２つの互いに近づきかつ離れるように移動する第２のスライダが設けられている。これら第２のスライダは、例えば互いに対して平行に方位づけされた第２のスライド部を有している。２つの第２のスライド部は次のように、すなわち、収容工具内にある半導体コンポーネントを方向付けするために、半導体コンポーネントの、例えば互いに対向する２つの第２の側面に少なくとも部分的に接触するように、定められかつ適合されている。第１の転向装置におけるのと同様に、収容工具が半導体コンポーネントを保持している間に、ここでは第２のスライダが半導体コンポーネントを、２つの第２のスライド部の少なくとも１つに対して、例えば垂直の方向において、検査位置へスライドさせかつ回転させる。
【００２３】
半導体コンポーネントをスライドさせかつ回転させることによって検査位置に対して方向付けする、というのは、スライド部が、半導体コンポーネントが後続の検査においてできる限りそれぞれのカメラ構成の焦点深度領域内にくるように、半導体コンポーネントを収容工具において変位させることを意味するとして理解される。半導体コンポーネントは、２つの方向（Ｘ軸及びＹ軸）及び回転方向（Ｚ軸を中心とする）において正確に方向付けされる必要はない。半導体コンポーネントの、それぞれ検査において観察される側面及び前面が、それぞれのカメラ構成の光学軸に対してできる限り垂直に方位づけされており、かつ、完全に各カメラ構成の視野の内部に方向付けされていれば、充分である。
【００２４】
変形例において、回転軸に関して径方向において、それぞれの転向装置の収容工具からのそれぞれのスライド部の間隔を変化させるために、第１及び／又は第２のスライダは、それぞれ駆動装置を有している。したがって、収容工具のそれぞれの長手中心軸の方向に沿って、それぞれの収容工具の前面からのそれぞれのスライド部の間隔を変化させるために、各スライダが専用の駆動装置を有している。このようにして、それぞれのスライド部が半導体コンポーネントの面に作用しかつ接触する場所が、調節される。
【００２５】
他の変形例において、第１及び／又は第２の転向装置において協働するスライダは、同方向かつ少なくともほぼ同期して、半導体コンポーネントのそれぞれの検査位置に近づきかつそこから離れるように移動するように、適合されかつ定められている。このようにして、半導体コンポーネントは、それぞれの検査位置へ移動かつ回転される。
【００２６】
変形例において、収容工具のそれぞれの長手中心軸の方向において、収容工具のそれぞれの前面からのスライド部の間隔を検出するために、カメラが調整に用いられる。したがって、装置の駆動中に、収容工具の各々について、収容工具のそれぞれの前面からのスライド部の間隔を個別に調節することができる。
【００２７】
センタリングステーション内で協働するスライダは、変形例において、「足形状」を有し、その（足の）尖端が収容工具へ向かって方位づけされる。カメラが、足尖端から収容工具の前面までの間隔を検出する。スライダの尖端がこのように方位づけされている場合に、カメラは、スライダと収容工具の前面との間の間隔を正確に検出することができ、その際に、半導体コンポーネントを損傷することがない。
【００２８】
したがって、ここで提示される配置は、一体化された操作／検査装置を形成する。画像センサが、コンポーネントの全ての又はほぼ全ての端面及び／又は側面を検査し、収容工具（マニピュレータ、収容部）と受け取り箇所とを位置決めするための重要なデータも提供する。
【００２９】
したがって、この装置は、例えば、コンポーネント（例えばウェファテーブル）及びコンポーネント載置部（例えばポケットバンド又は支持体バンド）を提供するための、必要なプロセス技術的周辺を有する、閉鎖された機械システムのコアを形成する。
【００３０】
ここに提示されるコンポーネント操作装置は、例えばコンポーネント操作装置の上方の領域内に水平に配置された、例えば固定のイジェクトユニットを有するコンポーネントストック（ウェファディスク）からコンポーネントを受け取る。このイジェクトユニットに対して、コンポーネントストックが平面内で移動する。イジェクトユニットは、ニードルによって又は非接触で（例えばレーザービームによって）コンポーネントストックからコンポーネントが個別に解放されて、収容部によって収容されることをもたらす。押し出されたコンポーネントは、全体として複数の検査プロセスへ供給されて、最後に第２の放出位置へ載置される。受け取り箇所、放出位置及び（載置）テーブルという概念は、ここでは同じ意味で使用される。したがって、欠陥品をはじき出すことができる。引き渡しプロセスに統合されたコンポーネントの光学的調査は、複数の調査プロセスに分割される。コンポーネントの端面及び／又は側面及び引き渡し／受け取り箇所における収容部の位置を光学的に検出するために、カメラ装置の形式の１つ又は複数の画像センサが利用される。これら画像センサは、複数の調査プロセスにおいて、コンポーネントの端面及び／又は側面のそれぞれ少なくとも１つの画像を検出するように、適合されている。コンポーネントの送り／移送は、転向装置の収容工具がそれぞれコンポーネントを保持している間に、行われる。保持されたコンポーネントは、移送の間に個々の調査プロセスを通過する。個々の又は全ての調査プロセスの前段で、少なくとも１つの横方向及び／又は回転方向におけるコンポーネントの方向付けが行われる。したがって、画像データを検出する際の正確さの最適化が可能である。画像センサが検出した（画像）データは、マニピュレータ（収容部）及び受け取り箇所の位置制御を調整するためにも用いられる。コンポーネント移送は、コンポーネントを実質的に連続して又はサイクリックに、そのパスに沿って移送するように適合されている
【００３１】
ここに提示される構成及び方法は、２つの視点を機能的に合体している；操作と検査。これら２つの機能は、コンポーネントの複数（６又はそれ以上）の面を迅速かつ正確に質的に判定するために、時間的及び空間的に互いに組み合わされ、一方でこれらのコンポーネントは迅速にコンポーネントストックから個別化して取り出されて、検査によって良品として分類されて、１つ又は複数の受け取り箇所で正確に放出される。
【００３２】
コンポーネント操作装置は、好ましくは制御されて駆動される、互いに対して好ましくは実質的に直行して（９０°プラスマイナス１５°まで）配置された、ほぼスター形状又はホィール形状の２つの転向装置を有している。これらの転向装置は、矩形の形状を有することもできる。これらの転向装置の各々は、それぞれ収容部上に固定されたコンポーネントを移送するために、いくつかの変形例においてはその回転軸に対して径方向に走行可能な複数の収容部を支持しており、コンポーネント引き取りと引き渡しとの間の揺動角度内で、検査、欠陥品はね出しのための１つ又は複数のプロセスステーションへ、及び、場合によっては他のステーションへ供給する。
【００３３】
ここに提示される装置において、スター形状又はホィール形状の転向装置は、２つの転向装置の（仮想の）周面に配置された、径方向外側を向いた収容部にコンポーネントを支持する。これは、１つ又は両方の転向装置の収容部がその回転軸に対して平行に方位づけされている装置に対する差異と見なされる。
【００３４】
以上では複数の調査プロセスについて言及されているが、それによって時間的なシーケンス又は順序（まず第１の調査プロセスにおける画像検出、そしてその後、他の調査プロセスにおける画像検出）を定めるものではない。むしろ、逆の順序が好ましい場合も考えられる。個々の転向装置における収容部の数に従って、転向装置の各々に同時に複数のコンポーネントを収容することもできるので、コンポーネントが異なる場合でも、調査プロセスは同時に行われる。
【００３５】
個々の調査プロセスにおいて画像センサによって検出される、コンポーネントの（上／下の）端面及び／又は（側方の）側面は、コンポーネントの互いに異なる端面及び／又は側面であってもよい。
【００３６】
光学的調査の１つの視点は、コンポーネントを伴うコンポーネント移送が、実質的に停止なし又はほぼなしで、コンポーネントパスを完成することをもたらす。それによって、移動の間又は最少の停止時間の間、コンポーネントの１つ又は複数の端面及び／又は側面が画像センサによって検出される。これらの画像は、次に画像処理の方法によって評価される。この検出／調査の変形例において、画像センサとして、１つ又は複数のカラーカメラ又は白黒カメラが設けられている。
【００３７】
画像センサは、１つ又は複数のミラー、光学的なプリズム、レンズなどを有することができる。
【００３８】
画像センサに、放射源又は光源を対応づけることができる。各源は、コンポーネントの少なくとも１つのセクションを照明するために、様々なスペクトル領域又は波長領域を有する光／放射を放出するように、適合されることができる。波長領域は、少なくとも部分的に互いに異なり、重なり合い、又は、一致することができる。例えば、第１の光源の光は赤、そして第２の光源の光は青とすることができる。しかしながら、逆の対応づけ又は他の波長ペアリング（例えば赤外線及び可視光）も同様に選択可能である。
【００３９】
光源は、コンポーネントを有する収容部がそれぞれの検出領域内に来た瞬間に、制御構成によってそれぞれ短くオンにすることができるので、それぞれの画像センサによって検出するために、コンポーネントの端面及び／又は側面を短い閃光によって露光することができる。代替的に、永続的な照明を使用することができる。
【００４０】
変形例において、装置には放出装置が対応づけられており、その放出装置は、それぞれコンポーネントを構造化されたコンポーネントストックから、コントローラによって適切に位置決めされた第１の転向装置の収容部へ放出するように、適合されている。これは、ニードルを用いてウェファ支持体箔からコンポーネントを押し出すコンポーネント押出し装置（イジェクタ）、又は、レーザーパルス発生器とすることができ、それが支持体箔におけるコンポーネントの付着力を所望に減少させて、そのようにしてコンポーネントを支持体箔から剥がす。放出装置には、位置及び／又は特性センサが対応づけられており、位置及び／又は特性センサは、放出すべきコンポーネントに対する放出装置の位置、及び／又は、放出すべきコンポーネントの位置データ、及び／又は、放出すべきコンポーネントの特性を検出して、放出装置を操作するためのコントローラへ提供するように、適合されている。
【００４１】
装置の変形例において、第１及び／又は第２の転向装置の収容工具は、それぞれの転向装置の回転軸又は回転中心に対して径方向に管理されて出入りし、かつ／又は、移送すべきコンポーネントを受け取って放出するために、管理されて負圧及び／又は過圧を供給され、かつ／又は、それぞれの径方向の運動軸を中心に移動せず又はそれぞれの径方向の運動軸を中心にある回転角度だけ回転するように、適合されている
【００４２】
この種の装置の変形例において、第１及び／又は第２の転向装置の収容部には、放出箇所において径方向に出入りするために、第１及び第２の転向装置の間の引き渡し箇所において、対応づけられたリニアドライブが設けられている。これらのリニアドライブは、それぞれの転向装置の外部から、しかるべく位置決めされた収容部と係合し、かつ、それぞれの収容部を径方向に出し入れする。他の変形例においては、これらのリニアドライブは、それぞれの収容部を出すだけであって、復帰ばねがそれぞれの収容部を引込める。他の変形例において、収容部の各々に、双方向又は一方向のラジアルドライブが対応づけられている。
【００４３】
操作装置の変形例において、弁が、個々の収容部の各々に対して、個別かつ正しい位置において負圧及び過圧の供給を行い、それによって、自由に又は位置制御によって、以下の機能を発揮する：（ｉ）コンポーネントの吸い付け、（ｉｉ）コンポーネントの保持、（ｉｉｉ）制御された吹き出しパルスによる又はよらないコンポーネントの載置、及び／又は、コンポーネントの自由な吹き出し。
【００４４】
装置の変形例において、第１の転向装置に放出箇所と引き渡し箇所との間において、かつ／又は、第２の転向装置に引き渡し箇所と載置箇所との間において、それぞれ位置及び特性センサが対応づけられる。これらのセンサは、移送されるコンポーネントの位置データ及び／若しくは特性、並びに／又は、マニピュレータ（収容部）及び受け取り箇所の位置の制御のための位置データを検出するように、かつ、それらをコントローラに提供するように、適合されている。
【００４５】
装置の変形例において、位置及び特性センサの少なくともいくつかは、移送されるコンポーネントのそれぞれ少なくとも１つの端面及び／又は１つ又は複数の側面を検査し、その位置データ及び／又は特性を検出し、かつ、コントローラに提供するように、適合されている
【００４６】
コンポーネント操作装置の変形例において、第１及び／又は第２の転向装置に、それぞれ整数ｎの収容部が対応づけられている。ｎ＞＝２である。第１の転向装置の収容部の数と、第２の転向装置の収容部の数とは、等しくても異なっていてもよい。
【００４７】
コンポーネント操作装置の変形例において、第１、第２及び／又は第３の軸線は、互いに対してそれぞれ９０°プラスマイナス最大１０°又は１５°の角度を形成する。
【００４８】
装置の変形例において、位置／特性センサは、一致する検出スペクトル若しくは互いに異なる検出スペクトルを有する画像センサ、又は、接触若しくは非接触で距離を測定する位置センサ、又は、接触若しくは非接触で検出する特性センサである。
【００４９】
位置及び特性センサは、直線的又は屈曲した光学軸を有する、画像センサとすることができる。
【００５０】
ミラー及び照明ユニットを含む位置及び特性センサのカメラシステムは、その空間的な配置によって、それぞれ向き合ったコンポーネント面及びその２つの側面のコンポーネント検査が唯一のプロセス位置において並行して実現可能であるように、組み合わせることができる。したがって、全体として、例えば直方体形状のコンポーネントの６つ全ての側面を完全に検査するために、２つのプロセス位置（各転向装置において１つ）で充分である。そのために、２つのプロセス位置の各々において、１つのコンポーネントの６つの面の３つが検出される。変形例において、各転向装置の検査位置として、それぞれ第３のプロセス位置は、ほぼ水平に回転軸又は揺動軸の高さに定めることができる。これらの検査位置の各々の時間的及び空間的な前段に、コンポーネントセンタリングが設けられている。位置を測定する付加的な機能は、２つの更なるカメラシステム（前側／後ろ側のカメラ）に割り当てることができる。
【００５１】
コンポーネント操作装置の変形例において、第１及び／又は第２の転向装置は、少なくともほぼスター形状又はホィール形状に形成されている。これらの転向装置は、正確に配置することができ、かつ、それぞれの軸線に沿った又はそれぞれの軸線を中心とする位置決めは、高解像度の（例えば回転又は線形の）エンコーダと組み合わせて、軸方向に配置された線形又は回転作用する駆動装置を用いて行うことができる。収容部は、外周に分配して配置することができ、移送すべきコンポーネントのために外側を向いた吸い込み接触箇所を有することができる。
【００５２】
転向装置が互いに対して軸方向に約９０°変位して配置される利点は、コンポーネントが１つの転向装置から次に引き渡される場合に、移送プロセスの間のコンポーネントの位置において、コンポーネントが、収容部自体を回転移動可能に搭載する必要無しに、収容部のそれぞれの運動平面（又は転向装置の軸線）に対して、収容部の軸線を中心に９０°の回転を実施することにある。コンポーネントの方位におけるこの変化は、続いて、４つのコンポーネント切断面（＝コンポーネント側面）の本質的に簡略化された検査を可能にする。そのために用いられるのは、コンポーネント切断面を向き、かつ、収容部運動平面（したがって、転向装置の軸方向）に対して直交して配置された、好ましくはコンポーネント切断面（＝コンポーネント側面）自体に対して極めて小さい間隔を有する、カメラシステムである。
【００５３】
収容部及びコンポーネントの互いに対する、又は、引き渡し及び検査位置に対する位置決めエラーの検出は、収容部位置又はコンポーネント位置を検出する測定システムとしてのカメラシステムを利用して行われる。精度要請が極めて高い場合には、各転向装置について、ボンドツール位置検出用に３つの距離検出センサを付加的に設けることができる。
【００５４】
カメラの光学軸が、検査されるコンポーネント表面を「貫通する」。それらは、収容部位置のための参照システムを形成する。それらに基づいて、回転する転向装置の理想的な収容部運動平面に対して平行な平面内に配置された距離測定センサによって、目標運動軌跡からの収容部運動軌跡の偏差が求められる。それに基づいて、引き渡し位置において発生する位置エラーを判定して、コントローラによって補償することができる。
【００５５】
ここに提示される複数の変形例は、従来技術に比較してコスト的に好ましく、かつ、より高いコンポーネントのスループット、検査のためのより長い時間を提供し、かつ、より少ない移動質量を有する。
【００５６】
他の特徴、特性、利点及び可能な変形は、以下の説明によって当業者に明らかになり、その説明において添付の図面が参照される。図は、コンポーネントのための光学的な調査装置を図式的に示している。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】半導体コンポーネントを方向付けして光学的に検査するための装置を図式的に示す側面図であって、転向装置が半導体コンポーネントを収容位置から放出位置へ移送する。
【図１ａ】半導体コンポーネントを方向付けするための図１の装置を、矢印ＡＡの方向に図式的に示す上面図である。
【図１ｂ】半導体コンポーネントを光学的に検査するための図１の装置を、矢印ＢＢの方向に図式的に示している。
【図２】２つの協働する、互いに対して９０°回動された転向装置を有する、半導体コンポーネントを方向付けして光学的に検査するための装置を図式的に示している。
【図３ａ】図１又は図２における次の光学的な検査のための半導体コンポーネントの方向付けを、矢印ＣＣの方向に図式的に示す上面図である。
【図３ｂ】図１又は図２における次の光学的な検査のための半導体コンポーネントの方向付けを、矢印ＣＣの方向に図式的に示す上面図である。
【図３ｃ】図１又は図２における次の光学的な検査のための半導体コンポーネントの方向付けを、矢印ＣＣの方向に図式的に示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５８】
図１には、電子的な半導体チップの形式のプリズム状のコンポーネントＢを、コンポーネントストックから取り出して、受け取り装置２００に載置するためのコンポーネント操作装置１００が示されている。ここに提示されるコンポーネント操作装置１００は、コンポーネント操作装置１００の上方の領域内に水平に配置されている詳細には示されないコンポーネントストックＢＶ、例えばウェファディスク、からコンポーネントＢを引き取る。
【００５９】
図示される変形例において、イジェクトユニット１１０が、コンポーネントストックＢＶからコンポーネントＢを個別に解放するために、制御によって管理されるニードルによって作業し、又は、例えばレーザービームによって非接触で作業し、それによってコンポーネントが第１の転向装置１３０へ供給される。この第１の転向装置１３０は、スター又はホィールの形状を有し、かつ、その周面に個々のコンポーネントＢを収容するための複数（図示の例においては８）の収容部１３２を有している。収容部１３２の各々は、イジェクトユニット１１０にもっとも近い第１の転向装置１３０の０°位置にあるときに、第１の収容位置において構造化されたコンポーネントストックＢＶからコンポーネントを受け取るように、適合されている
【００６０】
収容部１３２は、スター形状又はホィール形状の第１の転向装置１３０の（仮想の）周面に径方向外側を向くように配置されて、コンポーネントストックＢＶから引き取ったコンポーネントＢを支持する。図示される変形例において、収容部１３２は、第１の転向装置１３０の回転軸に対して径方向に走行可能である。したがってこの収容部１３２は、それぞれ収容部１３２の１つに固定されたコンポーネントＢを、揺動角度−ここでは０°と１８０°−内で、コンポーネント引き取りとコンポーネント引き渡しの間で移送することができる。
【００６１】
第１の転向装置１３０は、詳しくは示されないコントローラを介して、その回転軸を中心にコンポーネントＢを第１の引き渡し箇所へ、第１のあらかじめ定められた角度、ここでは１８０°、だけ回転させる。これによって、コンポーネントＢは、その長手軸又は横軸を中心に転向される。図２に図式的に示されるように、第１の転向装置１３０に似た、複数の、同様に８つの第２の収容部１５２を有する第２の転向装置１５０は、引き渡し箇所にもっとも近い第２の転向装置１５０の０°位置にコンポーネントがあるときに、引き渡し箇所においてコンポーネントＢを第１の転向装置１３０の収容部１３２から受け取るように、適合されている
【００６２】
第２の転向装置１５０は、受け取ったコンポーネントＢを、コントローラによって制御されて、その回転軸を中心に第２のあらかじめ定められた角度、ここでは約１８０°だけ、その長手軸又は横軸を中心に転向させて、受け取り装置２００内の載置箇所へ移送する。
【００６３】
第１及び第２の転向装置１３０、１５０の回転軸は、互いに対してそれぞれ９０°プラス／マイナス１０°又は１５°の角度を形成し、かつ、３次元の座標系において方位づけされる。
【００６４】
２つのスター形状又はホィール形状の転向装置１３０、１５０は、互いに対して直交して配置されており、その他においてその構造は一致している。図１の表示とは異なり、２つの転向装置１３０、１５０の配置は、受け取り装置２００の移送方向に対して、Ｚ軸を中心に９０°回転させることもできる。この場合において、下方の転向装置１５０は、受け取り装置２００の移送方向に対して、少なくともほぼ横方向に方位づけされる。
【００６５】
第１及び第２の転向装置１３０、１５０には、カメラ構成の形式の位置及び特性センサが対応づけられている。図１に示すように、これらのセンサは、構成全体の複数の箇所に配置されている。それらは、第１及び第２の転向装置１３０、１５０の位置データ、収容部１３２、１５２内にあるコンポーネントＢの位置データ、及び、収容部１３２、１５２内にあるコンポーネントＢの特性を検出するように、適合されている。それによって、獲得されたデータは、コントローラへ提供される。ここに示される形態において、第１の転向装置１３０の周辺９０°に設けられた、３つのカメラＫ１−１、Ｋ１−２、Ｋ１−３−図１には部分的にのみ示されている−を有する第１のカメラ構成Ｋ１は、それを通過するコンポーネントＢへ向けられている。このカメラ構成Ｋ１についての詳細は、図１ｂに関連して説明される。このカメラ構成Ｋ１に相当する、３つのカメラを有するカメラ構成Ｋ２が、第２の転向装置１５０の周辺９０°において、それを通過するコンポーネントＢへ向けられている（図２を参照）。
【００６６】
コントローラは、回転ドライブＤＡ１によって第１の転向装置１３０をその回転軸を中心に管理して回転させ、かつ、リニアドライブＬＡ１によって第１の転向装置１３０をその回転軸に沿って管理して走行させるように、適合されている。同様に、第２の転向装置１５０は、詳しくは示されない回転ドライブとリニアドライブとを有している。
【００６７】
画像センサが、コンポーネントＢの端面及び／又は側面を検査し、かつ、第１及び第２の転向装置１３０、１５０、並びに、そこにある収容部１３２、１５２及びコンポーネントＢを、第１及び第２の転向装置の軸線に沿ってかつそれらを中心に位置決めするための重要なデータも提供する。
【００６８】
収容部１３２、１５２内にコンポーネントＢを吸引するために、収容部１３２、１５２内にコンポーネントＢを保持するために、コンポーネントＢを制御された吹き出しパルスによって又はそれなしで載置するために、及び、収容部１３２、１５２からコンポーネントＢを自由に吹き出すために、収容部は、詳しく図示されない空気圧ユニットと接続されている。空気圧ユニットは、コントローラによって管理されて、それぞれ必要とされる時点又は期間において、コンポーネントＢを個々に収容し、保持しかつ再び放出するために、個々の収容部１３２、１５２に弁制御のもとで過圧又は負圧を供給する。
【００６９】
コンポーネントＢの端面及び／又は側面を検査するために、例えば図１の９０°位置にあるカメラ構成Ｋ１−１、．．．Ｋ３（図１ｂを参照）の形式の画像センサにコンポーネントＢが供給される前に、収容工具１３２、１５２内にある半導体コンポーネントＢを方向付けするための装置３００によって、カメラ構成Ｋ１−１、．．．Ｋ３による検査のために半導体コンポーネントが最適に方向付けされる。これは、極めて小さい光学的なコンポーネント欠陥も認識できることを保証するものである。そのために、カメラ構成Ｋ１−１、．．．Ｋ１−３は、特別に適合された対物レンズと、放射強度及び波長に関して検査すべき面に適合された照明と、を有している。必要な結像鮮明さのために、対物レンズの焦点深度は、極めて狭い領域内にある。そのために、半導体コンポーネントＢの検査すべき側面が、それぞれのカメラ構成Ｋ１−１、．．．Ｋ１−３の合焦間隔ＦＡ（図１、３ｃを参照）にできる限り正確に方向付けされる。さらに、協働するスライド部が、半導体コンポーネントＢの検査すべき側面を、これら側面及び上面もそれぞれのカメラ構成Ｋ１−１、．．．Ｋ１−３の焦点深度領域ＳＴＢ（図１、３ｃを参照）内に来るように、検査位置の方向へ押しやる。１つの形態において、ＩＲ光領域とブルー光領域との間の対物レンズの色収差が最少になる。例えば、カメラ構成Ｋ１−１、．．．Ｋ１−３の対物レンズは、半導体コンポーネントＢの検査すべき側面からの約１０４．１ｍｍ、プラス約２ｍｍ、マイナス約１ｍｍの観察間隔と、約０．１ｍｍの焦点深度領域ＳＴＢと、を更に有している。
【００７０】
収容工具１３２、１５２に配置された半導体コンポーネントＢを光学的に最適に検査することができるようにするために、装置３００が、半導体コンポーネントＢを方向付けするために用いられる。装置３００は、半導体コンポーネントＢを、収容工具の中心に対して、少なくとも１つの軸方向（ｘ軸又はｙ軸）においてそれぞれの収容工具１３２、１５２の中心長手軸（ｚ軸）に対して横方向に、かつ／又は、回転方向においてそれぞれの収容工具１３２、１５２の中心長手軸（ｚ軸）に沿って、方向付けする。
【００７１】
そのために、転向装置１３０、１５０は、その回転軸を中心に回転する間に、半導体コンポーネントＢを収容位置（０°）から放出位置（１８０°）へ移送する。図１及び図２において、方向付けは約４５°において行われる。そこには、互いに近づきかつ離れるように移動する、２つの互いに対して整合された第１のスライダ１４０−１及び１４０−２が配置されており、それらの間を通して半導体コンポーネントＢが移送される。これらのスライダ１４０−１及び１４０−２は、スライド部１４２−１、１４２−２を有しており、それらは、２つのスライド部１４２−１、１４２−２が半導体コンポーネントＢの２つの第１の側面Ｂ１、Ｂ３に接触するのに適するように、半導体コンポーネントＢの側面の形状に適合された輪郭を有している。図３ａ−図３ｃの表示から明らかなように、収容工具１３２、１５２が半導体コンポーネントＢを保持している間に、互いに近づくように移動する２つのスライド部１４２−１、１４２が、収容工具１３２、１５２にある半導体コンポーネントＢを、方向付けされた検査位置へ押しやる。
【００７２】
図１ｂに示すように、第１の転向装置１３０の検査位置（図１の９０°）において、収容工具１３２から離れた半導体コンポーネントＢの上面Ｓ１と、２つの側面Ｂ１、Ｂ３（図１ｂを参照）とを光学的に検査するために、半導体コンポーネントＢが検査位置（９０°）にある場合に、カメラ構成Ｋ１−１、．．．Ｋ１−３によってそれぞれ画像取り込みが行われる。それと同様に、第２の転向装置１５０の検査位置（同様に９０°）において、収容工具１５２から離れた半導体コンポーネントＢの上面Ｓ１と、２つの側面Ｂ２、Ｂ４とを光学的に検査するために、半導体コンポーネントＢが検査位置（９０°）にある場合に、カメラ構成Ｋ２−２、．．．Ｋ２−３によってそれぞれ画像取り込みが行われる。そのために、各転向装置１３０、１５０の収容工具１３２、１５２が、次のように、すなわち、そこにある半導体コンポーネントＢが、光学装置（例えばミラーＳＰ１及びＳＰ２）又はそれぞれのカメラ構成Ｋ１−１、．．．Ｋ１−３、Ｋ２−１、．．．Ｋ２−３の対物レンズに対して離隔し、かつ、カメラ構成Ｋ１−１、．．．Ｋ１−３、Ｋ２−１、．．．Ｋ２−３の光学軸と少なくとも断続的に整合するように、配置されかつ方向付けされる。
【００７３】
第１及び第２の転向装置１３０、１５０は、等しく構成されており、かつ、第１及び第２の互いに近づきかつ離れるように移動するスライダ１４０−１、１４０−２；１６０−１、１６０−２（図１、２を参照）を有しており、それらも同様に等しく形成されている。第１及び第２のスライダの各々は、それぞれの転向装置１３０、１５０の収容工具１３２、１５２からのそれぞれのスライド部１４２−１、１４２−２；１６２−１、１６２−２の間隔を収容工具１３２、１５２の中心軸（ｚ軸）に沿って、したがってそれぞれの転向装置１３０、１５０の回転軸又は回転軸に関して径方向に変化させるために、駆動装置を有している。
【００７４】
調整のために、収容工具のそれぞれの長手中心軸の方向において、収容工具１３２、１５２のそれぞれの前面からのスライド部１４２−１、１４２−２；１６２−１、１６２−２の間隔を検出するために、カメラＫ３が用いられる。したがって、構成の駆動中に、収容工具１３２、１５２の各々について、収容工具１３２、１５２のそれぞれの前面からのスライド部１４２−１、１４２−２；１６２−１、１６２−２の間隔を個別に調節することができる。これは、検査位置における半導体コンポーネントＢの正確な方向付けを可能にする。
【００７５】
各スライダは、専用の駆動装置をさらに有しており、それによって、それぞれ協働するスライダのスライド部１４２−１、１４２−２；１６２−１、１６２−２が、それらの間のそれぞれの半導体コンポーネントＢと共に（図３ａ−３ｃも参照）、第１及び第２の転向装置１３０、１５０において、同じ方向にかつ少なくともほぼ同期して、それぞれの検査位置へ向かって又はそこから離れるように、移動することができる。
【００７６】
ここに示す変形例において、センタリングステーション内の協働するスライダは、「足形状」を有し、その足尖端が、収容工具１３２、１５２の端面へ向かって方位づけされている。カメラＫ３が、足尖端から収容工具１３２、１５２の径方向外側に位置する前面までの間隔を検出する。
【００７７】
それぞれ前もって行われる半導体コンポーネントＢの方向付けと協働して、まず第１の転向装置１３０において、そしてその後第２の転向装置１５０において、半導体コンポーネントＢを検査することによって、４つの側面Ｂ１−Ｂ４と２つの端面Ｓ１、Ｓ２の全てを光学的に検査することができる。
【００７８】
第１及び第２のカメラ構成Ｋ１，Ｋ２は、位置及び特性センサとして、それらの３つのカメラによって、第１又は第２の転向装置１３０、１５０の周辺約９０°において、コンポーネントＢの３つの面Ｂ１、Ｂ３及びＳ１へ、又は、コンポーネントＢの３つの面Ｂ２、Ｂ４及びＳ２へ、それぞれ向けられている。
【００７９】
カメラ構成Ｋ１又はＫ２の３つのカメラＫ１−１、Ｋ１−２及びＫ１−３；Ｋ２−１、Ｋ２−２及びＫ２−３が、図１ｂに上面図で示されている。中央のカメラが、コンポーネントＢの端面Ｓ１又はＳ２を検査し、２つの外側のカメラが、それぞれのミラーＳＰ１及びＳＰ２を介して、コンポーネントＢの側面を検査する。検出された画像取り込みから、これらの面におけるコンポーネントＢの任意のエラーを判定することができる。
【図１】
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【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図３ｃ】
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【国際調査報告】
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