(57)【要約】  検査体に対する良否判定条件を調整するための方法及び装置が開示されている。良否判定条件を調整するための方法は、複数の検査体の構造の測定値を取得する段階、構造の設計値に対する測定値の誤差値と所定の基準値を比較して複数の検査体のそれぞれに対する良好または不良を判定する段階、複数の検査体のうち判定エラーが生じた１つ以上の検査体を識別する段階、誤差値による複数の検査体数、基準値、及び判定エラーが生じた１つ以上の検査体数を含む検査結果グラフを生成して出力する段階、判定エラーが減少するように、検査結果グラフ上におけるグラフィック的な入力により基準値を更新する段階、及び誤差値と更新された基準値を比較して複数の検査体のそれぞれに対する良好または不良を再判定する段階を含むことができる。
2020500308.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データベース、処理部、ユーザ入力部及び出力部を含む良否判定装置で検査体に対する良否判定条件を調整するための方法において、
前記処理部により、前記データベースから複数の検査体の構造の測定値を取得する段階と、
前記処理部により、前記構造の設計値に対する前記測定値の誤差値と所定の基準値を比較して前記複数の検査体の各検査体に対する良好または不良を判定する段階と、
前記処理部により、前記複数の検査体のうち判定エラーが生じた１つ以上の検査体を識別する段階−前記判定エラーは、前記良好と判定された検査体が不良と識別された第１エラー、及び前記不良と判定された検査体が良好と識別された第２エラーを含む−と、
前記処理部により、前記誤差値による前記複数の検査体数、前記基準値、及び前記判定エラーが生じた１つ以上の検査体数を含む検査結果グラフを生成し、前記出力部を介して前記検査結果グラフを出力する段階と、
前記処理部により、前記判定エラーが生じた１つ以上の検査体数が減少するように、前記検査結果グラフ上における前記ユーザ入力部を介したグラフィック的な入力により前記基準値を更新する段階と、
前記処理部により、前記誤差値と前記更新された基準値を比較して前記複数の検査体の各検査体に対する良好または不良を再判定する段階と
を含む方法。
【請求項２】
前記再判定する段階は、前記複数の検査体のうち再判定エラーが生じた検査体を識別する段階；及び前記更新された基準値及び前記再判定エラーが生じた検査体数を前記検査結果グラフに示す段階を含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記１つ以上の検査体を識別する段階は、前記複数の検査体に前記第１エラーまたは前記第２エラーがあるか否かを示す判定検討結果を受信する段階を含む請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記１つ以上の検査体を識別する段階は、
前記誤差値の分布に基づいて良好誤差値分布を決定する段階と、
前記良好誤差値分布から良好誤差値の範囲を推定する段階と、
前記良好誤差値の範囲に基づいて前記第１エラーまたは前記第２エラーを識別する段階と、
を含む請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記基準値を更新する段階は、前記検査結果グラフ上で前記基準値を示すＧＵＩオブジェクトの位置を移動させる前記グラフィック的な入力、または前記検査結果グラフ上で前記更新された基準値の位置を指定する前記グラフィック的な入力を受信する段階を含む請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記検査結果グラフを出力する段階は、
横軸は前記誤差値を示し、縦軸は前記複数の検査体のうち当該誤差値を有する検査体数を示す２次元グラフを前記検査結果グラフとして出力する段階と、
前記検査結果グラフ上に、ユーザの操作により移動可能なバー形状のＧＵＩオブジェクトを前記基準値として示す段階と
を含む請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記検査結果グラフを出力する段階は、
前記判定エラーが生じた１つ以上の検査体数が最小となるようにする少なくとも１つの候補基準値を決定する段階と、
前記候補基準値を前記検査結果グラフ上に示す段階と
を含む請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記候補基準値を決定する段階は、前記データベースに格納された良好誤差値の範囲に基づいて、前記良好誤差値の範囲の最大値より大きいか同一の値のうち少なくとも１つを前記候補基準値として決定する段階を含み、前記良好誤差値の範囲は、判定検討装置により前記誤差値の分布に基づいて推定されたものである請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記候補基準値を決定する段階は、前記データベースに格納された良好誤差値の範囲及び不良誤差値の範囲に基づいて、前記良好誤差値の範囲の最大値より大きいか同一であって、前記不良誤差値の範囲の最小値より小さいか同一である値のうち少なくとも１つを前記候補基準値として決定する段階を含み、前記良好誤差値の範囲及び前記不良誤差値の範囲は、判定検討装置により前記誤差値の分布に基づいて推定されたものである請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
コンピュータ上で行うためのプログラムを記録した非一時的コンピュータ読み取り可能な記録媒体において、前記プログラムは、プロセッサによる実行時、前記プロセッサが、
データベースから複数の検査体の構造の測定値を取得する段階と、
前記構造の設計値に対する前記測定値の誤差値と所定の基準値を比較して前記複数の検査体の各検査体に対する良好または不良を判定する段階と、
前記複数の検査体のうち判定エラーが生じた１つ以上の検査体を識別する段階であって、前記判定エラーは、前記良好と判定された検査体が不良と識別された第１エラー、及び前記不良と判定された検査体が良好と識別された第２エラーを含む、段階と、
前記誤差値による前記複数の検査体数、前記基準値、及び前記判定エラーが生じた１つ以上の検査体数を含む検査結果グラフを生成し、出力部を介して前記検査結果グラフを出力する段階と、
前記判定エラーが生じた１つ以上の検査体数が減少するように、前記検査結果グラフ上におけるユーザ入力部を介したグラフィック的な入力により前記基準値を更新する段階と、
前記誤差値と前記更新された基準値を比較して前記複数の検査体の各検査体に対する良好または不良を再判定する段階と
を行うようにする実行可能な命令を含む、コンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項１１】
検査体に対する良否判定条件を調整するための装置において、
複数の検査体の構造の設計値及び測定値が格納されたデータベースと、
前記設計値に対する前記測定値の誤差値と所定の基準値を比較して前記複数の検査体の各  検査体に対する良好または不良を判定する良否判定部と、
前記複数の検査体のうち判定エラーが生じた１つ以上の検査体を識別し、前記誤差値による前記複数の検査体数、前記基準値、及び前記判定エラーが生じた１つ以上の検査体数を含む検査結果グラフを出力する判定結果生成部であって、前記判定エラーは、前記良好と判定された検査体が不良と識別された第１エラー、及び前記不良と判定された検査体が良好と識別された第２エラーを含む、判定結果生成部と、
前記判定エラーが生じた１つ以上の検査体数が減少するように、前記検査結果グラフ上におけるグラフィック的な入力により前記基準値を更新する判定基準調整部と
を含み、
前記良否判定部は、前記誤差値と前記更新された基準値を比較して前記複数の検査体の良好または不良を再判定する、装置。
【請求項１２】
前記良否判定部は、前記複数の検査体のうち再判定エラーが生じた検査体を識別し、
前記判定結果生成部は、前記更新された基準値及び前記再判定エラーが生じた検査体数を前記検査結果グラフに示す請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記複数の検査体に前記第１エラーまたは前記第２エラーがあるか否かを示す判定検討結果を受信する通信部をさらに含む請求項１１に記載の装置。
【請求項１４】
前記判定結果生成部は、前記誤差値の分布に基づいて良好誤差値分布を決定し、前記良好誤差値分布から良好誤差値の範囲を推定し、前記良好誤差値の範囲に基づいて前記第１エラーまたは前記第２エラーを識別する請求項１１に記載の装置。
【請求項１５】
前記判定基準調整部は、前記検査結果グラフ上で前記基準値を示すＧＵＩオブジェクトの位置を移動させる前記グラフィック的な入力、または前記検査結果グラフ上で前記更新された基準値の位置を指定する前記グラフィック的な入力に応答して前記基準値を更新する請求項１１に記載の装置。
【請求項１６】
前記判定結果生成部は、横軸は前記誤差値を示し、縦軸は前記複数の検査体のうち当該誤差値を有する検査体数を示す２次元グラフを前記検査結果グラフとして出力し、前記検査結果グラフ上に、ユーザの操作により移動可能なバー形状のＧＵＩオブジェクトを前記基準値として表現する請求項１１に記載の装置。
【請求項１７】
前記判定結果生成部は、前記判定エラーが生じた１つ以上の検査体数が最小となるようにする少なくとも１つの候補基準値を前記検査結果グラフ上に示す請求項１１に記載の装置。
【請求項１８】
前記データベースには良好誤差値の範囲がさらに格納されており、前記判定結果生成部は、前記データベースに格納された前記良好誤差値の範囲に基づいて、前記良好誤差値の範囲の最大値より大きいか同一の値のうち少なくとも１つを前記候補基準値として決定し、前記良好誤差値の範囲は、判定検討装置により前記誤差値の分布に基づいて推定されたものである請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記データベースには、良好誤差値の範囲及び不良誤差値の範囲がさらに格納されており、前記判定結果生成部は、前記データベースに格納された前記良好誤差値の範囲及び前記不良誤差値の範囲に基づいて、前記良好誤差値の範囲の最大値より大きいか同一であって、前記不良誤差値の範囲の最小値より小さいか同一である値のうち少なくとも１つを前記候補基準値として決定し、前記良好誤差値の範囲及び前記不良誤差値の範囲は、判定検討装置により前記誤差値の分布に基づいて推定されたものである請求項１７に記載の装置。
【請求項２０】
前記判定結果生成部は、前記検査結果グラフ上に所定領域を設定する入力に応答して前記所定領域を拡大して出力する請求項１１に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査体に対する良否判定条件を調整するための方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
製造業者は、製品の生産過程、組み立て過程、中間過程及び最終の組み立て過程で不良品を除去するための努力を傾けている。この過程で製造業者は、多様な検査システムを用いて製品の良否（即ち、良好（ＧＯＯＤ）または不良（ＮＧ）の如何）を判定する。
【０００３】
一実施形態によると、検査システムは検査体の構造を測定し、測定値が既に設定された範囲内であるか否かを判断することにより当該検査体の良否を判定することができる。例えば、検査システムは、検査体に光を照射し、検査体から反射される光を受信して検査体のイメージデータを取得する。また、検査システムは、取得されたイメージデータに基づいて検査体の測定値を取得し、測定値と事前に設定された基準値に基づいて検査体が良好（Ｇｏｏｄ）かまたは不良（ＮＧ）かを判定する検査結果を導き出す。
【０００４】
検査システムにより導き出された検査結果において、実際に良好である検査体を不良と判定したり（Ｆａｌｓｅ  Ｃａｌｌ）、実際に不良である検査体を良好と判定したりする（Ｅｓｃａｐｅ）判定エラーが含まれ得る。このような判定エラーを除去するために、良否判定に用いられる基準値を変更することができる。ただし、従来には、検査体に対する測定値が検査システムの表示部に単純に数字で表示され、基準値もユーザが直接数値を入力することが多かった。これにより、ユーザが基準値を変更しようとする場合、表示部に表示された測定値を確認して基準値をいちいち新しい数値で入力しなければならない問題があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示は、検査体に対する検査結果をグラフィック的に表示し、良否判定に用いられる基準値をさらに便利に調整することができる方法及び装置を提供する。
【０００６】
また、本開示は、検査体の検査結果、良否判定結果、及び良否判定に対する検討結果を視覚的に示すことができる方法及び装置を提供する。
【０００７】
また、本開示は、基準値の調整による、良否判定結果及び良否判定に対する検討結果の変化を視覚的に示すことができる方法及び装置を提供する。
【０００８】
また、本開示は、検査体の良否判定エラーを減少させるためのユーザの入力がより直観的に便利になされるようにする方法及び装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の一側面は、データベース、処理部、ユーザ入力部及び出力部を含む良否判定装置で検査体に対する良否判定条件を調整するための方法を提供する。例示的実施例による方法は、処理部により、データベースから複数の検査体の構造の測定値を取得する段階、処理部により、構造の設計値に対する測定値の誤差値と所定の基準値を比較して複数の検査体の各検査体に対する良好または不良を判定する段階、処理部により、複数の検査体のうち判定エラーが生じた１つ以上の検査体を識別する段階、処理部により、誤差値による複数の検査体数、基準値、及び判定エラーが生じた１つ以上の検査体数を含む検査結果グラフを生成し、出力部を介して検査結果グラフを出力する段階、処理部により、判定エラーが生じた１つ以上の検査体数が減少するように、検査結果グラフ上におけるユーザ入力部を介したグラフィック的な入力により基準値を更新する段階、及び処理部により、誤差値と更新された基準値を比較して複数の検査体の各検査体に対する良好または不良を再判定する段階を含む。判定エラーは、良好と判定された検査体が不良と識別された第１エラー、及び不良と判定された検査体が良好と識別された第２エラーを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本開示の少なくとも１つの実施例によると、検査体に対する検査結果と基準値がグラフィック的に表示され、表示された基準値がユーザのグラフィック的な入力により調整され得る。また、再設定された基準値に基づいて検査体に対する検査結果が更新され、更新された検査結果がグラフィック的に表示され得る。その結果、ユーザがさらに効率よく手軽に検査体の良否判定に用いられる基準値を調整することができる。
【００１１】
本開示の少なくとも１つの実施例によると、検査体の検査結果、良否判定結果、及び良否判定に対する検討結果が示されたグラフが出力され、ユーザに、出力されたグラフ上で良否判定エラーを減少させるための入力をすることができるようにする。また、ユーザの入力による良否判定に対する検討結果の変化がグラフ上で視覚的に示される。その結果、ユーザがさらに便利にかつ直観的に良否判定エラーの減少の如何を確認することができる。
【００１２】
本開示の少なくとも１つの実施例によると、検査体の構造が測定されて更新前の基準値により良否判定がなされた場合、ユーザの入力により基準値が更新されても検査体の構造を再測定する必要なく、更新された基準値で検査体の良否の再判定を実行することができる。その結果、基準値の更新による良否の再判定が迅速に実行され得る。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本開示の一実施例により検査体を良品または不良品と判定する検査システムを概略的に示す図である。
【図２】本開示の一実施例により検査体の構造を測定する測定装置の構成を概略的に示す図である。
【図３】本開示の一実施例により検査体の良否を判定する良否判定装置の詳細構成を示すブロック図である。
【図４】本開示の一実施例により判定エラーが含まれた検査結果リストを示す図である。
【図５】本開示の一実施例により良否判定結果及び判定検討結果を示す検査結果グラフを示す図である。
【図６】本開示の一実施例により検査結果グラフ上における基準値の更新を示す図である。
【図７】本開示の一実施例により一部領域が拡大した検査結果グラフを示す図である。
【図８】本開示の一実施例により良否判定結果及び判定検討結果を示す検査結果グラフを示す図である。
【図９】本開示の一実施例により基準値が更新された検査結果グラフを示す図である。
【図１０】本開示の実施例により検査体に対する良否判定条件を調整する方法を示す順序図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本開示の実施例は、本開示を説明する目的で例示されたものである。本開示の実施例は多様な形態で実施され得、本開示が以下に提示された実施例やこれらの実施例に関する具体的な説明で限定されるものとして解釈してはならない。
【００１５】
本明細書で用いられる用語「部」は、ソフトウェア、ＦＰＧＡ（ｆｉｅｌｄ−ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  ｇａｔｅ  ａｒｒａｙ）、ＡＳＩＣ（ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  ｓｐｅｃｉｆｉｃ  ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）のようなハードウェアの構成要素を意味する。しかし、「部」は、ハードウェア及びソフトウェアに限定されるものではない。「部」は、アドレッシングできる格納媒体にあるように構成されることもでき、１つまたはそれ以上のプロセッサを再生させるように構成されることもできる。従って、一例として「部」は、ソフトウェアの構成要素、オブジェクト指向ソフトウェアの構成要素、クラス構成要素及びタスク構成要素のような構成要素と、プロセッサ、関数、属性、プロシージャー、サブルーチン、プログラムコードのセグメント、ドライバ、ファームウェア、マイクロコード、回路、データ、データベース、データ構造、テーブル、アレイ及び変数を含む。構成要素と「部」内で提供される機能は、さらに小さい数の構成要素及び「部」で結合されたり、追加の構成要素と「部」にさらに分離され得る。
【００１６】
本明細書で用いられる全ての技術的用語及び科学的用語は、異なって定義されていない限り、本開示が属する技術分野で通常の知識を有する者に一般に理解される意味を有する。本明細書で用いられる全ての用語は、本開示をさらに明確に説明する目的で選択されたものであって、本開示の範囲を制限するために選択されたものではない。
【００１７】
本願明細書で記述された単数型の表現は、異なって言及しない以上、複数型の表現も共に含み得、これは請求項に記載された単数型の表現にも同様に適用される。
【００１８】
本開示の多様な実施例で用いられた「第１」、「第２」等の表現は、複数の構成要素を相互に区分するために用いるものに過ぎず、当該構成要素の順序または重要度を限定するものではない。
【００１９】
本明細書で用いられる「含む」及び「有する」のような表現は、当該表現が含まれる文句または文章で特に異なって言及されない限り、他の実施例を含む可能性を内包する開放型用語（ｏｐｅｎ−ｅｎｄｅｄ  ｔｅｒｍｓ）と理解されるべきである。
【００２０】
本明細書で「〜に基づいて」という表現は、当該表現が含まれる文句で記述される決定、または判断の行為または動作に影響を与える１つ以上の因子を記述するのに用いられ、この表現は決定、または判断の行為または動作に影響を与える追加の因子を排除するものではない。
【００２１】
本明細書において、ある構成要素が他の構成要素に「連結されて」いたり「接続されて」いると言及されたときには、前記ある構成要素が前記他の構成要素に直接的に連結されていたり、または接続されていることもあるものの、前記ある構成要素と前記他の構成要素との間に新たな他の構成要素が存在してもよいと理解されるべきである。
【００２２】
以下、添付の図面を参照し、本開示の実施例を詳細に説明する。図面上の同一の構成要素に対しては同一の参照符号を用い、同一の構成要素に対して重複する説明は省略する。
【００２３】
図１は、本開示の一実施例により検査体を良品または不良品と判定する検査システム１０を概略的に示す図である。
【００２４】
本開示の一実施例による検査システム１０は、複数の検査体２０のそれぞれが良品か不良品か判定し、判定結果に応じて良品保管装置３０または不良品保管装置４０に分類することができる。ここで、検査体２０は、所定の設計基準に従って製造された３次元構造を有する任意の製造品であってもよい。例えば、検査体２０は、電子部品が実装されている印刷回路基板ＰＣＢであってもよい。
【００２５】
検査システム１０は、測定装置１００、良否判定装置１２０、判定検討装置１４０及び分類装置１６０を含むことができる。また、検査システム１０は、測定装置１００、良否判定装置１２０、判定検討装置１４０及び分類装置１６０の間の連結と通信を行うネットワーク１８０を含むことができる。図１に示すように、検査体２０は、矢印方向に沿って測定装置１００、判定検討装置１４０及び分類装置１６０を経て、良品保管装置３０または不良品保管装置４０に移送され得る。
【００２６】
一実施例によると、検査システム１０は、検査体２０を製造する製造ステージまたは検査体２０を加工する加工ステージの後端に設置され得る。この場合、検査システム１０は、製造または加工された検査体２０が所定の設計基準に従って製造されたか否かを判定することができる。また、検査システム１０は、判定結果に応じて、良好である検査体２０を良品保管装置３０に分類し、不良である検査体２０を不良品保管装置４０に分類することができる。
【００２７】
測定装置１００は、検査体２０の構造、例えば、３次元構造を測定した測定値を生成することができる。一実施例によると、測定装置１００は、光を用いて検査体２０の構造を測定することができる。例えば、測定装置１００は、検査体２０に構造化光（ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄ  ｌｉｇｈｔ）を照射し、検査体２０から反射された光を受光し、受光された光に基づいて検査体２０のイメージデータを生成することができる。また、測定装置１００は、イメージデータに基づいて、検査体２０の構造を測定した測定値を生成することができる。測定装置１００により生成された測定値は、ネットワーク１８０を介して良否判定装置１２０に伝達され得る。測定装置１００の構成及び動作と関連しては、図２を参照してさらに詳細に説明する。
【００２８】
良否判定装置１２０は、検査体２０が良好か不良かを判定することができる。良否判定装置１２０は、測定装置１００により生成された測定値が所定範囲内であるか判断することにより、検査体２０の良好または不良を判定することができる。一実施例によると、良否判定装置１２０は、検査体２０の構造の測定値と設計値間の誤差値を算出することができる。良否判定装置１２０は、誤差値が所定の基準値以下である検査体２０を良好（Ｇｏｏｄ）と判定し、誤差値が所定の基準値を超える検査体２０を不良（ＮＧ）と判定することができる。
【００２９】
一実施例によると、良否判定装置１２０は、誤差値が所定の基準値以下である（即ち、良好である）検査体２０の一部の検査体２０に対し、警告（Ｗａｒｎｉｎｇ）と判定することができる。例えば、検査体２０の誤差値が所定の基準値に近い所定の範囲内の場合、良否判定装置１２０は、当該検査体２０を警告と判定することができる。
【００３０】
判定検討装置１４０は、良否判定装置１２０による検査体２０の良否判定にエラーがあるか否かを判断することができる。例えば、良否判定装置１２０により良好と判定された検査体２０が、実際には不良である場合（Ｅｓｃａｐｅ）がある。また、良否判定装置１２０により不良と判定された検査体２０が、実際には良好である場合（Ｆａｌｓｅ  Ｃａｌｌ）がある。このような判定エラーは、良否判定装置１２０で良否判定に用いられた基準値が適切に設定されなかったときに生じ得る。例えば、誤差値と比較される所定の基準値が高く設定された場合、良否判定装置１２０は、実際に不良である検査体２０を良好と判定し得るが、判定検討装置１４０はこのような良好判定がエラーと判断することができる。また、誤差値と比較される所定の基準値が低く設定された場合、良否判定装置１２０は、実際に良好である検査体２０を不良と判定し得るが、判定検討装置１４０はこのような不良判定がエラーと判断することができる。
【００３１】
判定検討装置１４０は、検査体２０が実際に良好か不良か判断することができる装置を用いて具現され得る。一例として、判定検討装置１４０は、検査体２０の構造をさらに精密に測定できる装置を含むことができる。他の例として、判定検討装置１４０は、検査体２０の電気的特性を確認できる装置を含むことができる。
【００３２】
一実施例によると、判定検討装置１４０は、良否判定装置１２０により良否判定がなされた検査体２０の一部の検査体２０に対して判定エラーの如何を判断することができる。例えば、判定検討装置１４０は、良否判定装置１２０により警告または不良と判定された検査体２０に対して判定エラーの如何を判断することができる。この場合、全ての検査体に対して判定エラーの如何を判断する場合に比べて、効率性が向上することができる。
【００３３】
他の実施例によると、判定検討装置１４０は、良否判定装置１２０により良否判定がなされた全ての検査体２０に対して判定エラーの如何を判断することもできる。この場合、一部の検査体に対して判定エラーの如何を判断する場合に比べて、正確性が向上することができる。判定検討装置１４０による検討結果は、ネットワーク１８０を介して良否判定装置１２０に伝達され得る。
【００３４】
さらに他の実施例によると、判定検討装置１４０は、測定された誤差値の分布から、良好である検査体２０の良好誤差値の範囲を推定し、追加で、不良である検査体２０の不良誤差値の範囲を推定することができる。
【００３５】
一定の生産工程により生産される製品の物理的な属性の誤差値は、一定の確率分布を有するといえる。与えられた工程を経て生産された良好である検査体２０の誤差値は、例えば、ガンマ分布曲線（Ｇａｍｍａ  ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｃｕｒｖｅ）で表現される良好誤差値分布を有し得る。工程以外の問題によって不良となった検査体２０の誤差値は、例えば、正規分布曲線（Ｎｏｒｍａｌ  ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｃｕｒｖｅ）で表現される不良誤差値分布を有し得る。
【００３６】
これを用いて、判定検討装置１４０は、測定された誤差値の分布に最もフィッティング（ｆｉｔｔｉｎｇ）される少なくとも１つの確率分布曲線を決定し、決定された確率分布曲線のうち原点に最も近い確率分布曲線を良好誤差値分布と見なし、残りの確率分布曲線は（もしあれば）不良誤差値分布と見なすことができる。
【００３７】
一方、このような良好誤差値分布曲線と不良誤差値分布曲線のグラフにおいて、縦軸は自然数でなければならない検査体のサンプル数であるため、確率的にグラフの縦軸値が１以上である横軸の範囲内でのみ検査体が１サンプル以上存在し、その横軸の範囲を逸脱すると検査体が１サンプル未満で存在すると、言い換えると、不存在であると見なすことができる。場合により、ユーザは、検査体のサンプル数が所定個数以上である誤差値の範囲のみ有意味な誤差値の範囲と見なすことができる。場合により、ユーザは、検査された検査体サンプルのうち所定比率の検査体サンプル（例えば、誤差値が小さい順に９９．５％の検査体サンプル）を含む範囲のみ有意味な誤差値の範囲と見なすことができる。
【００３８】
このような観察により、良好誤差値分布曲線または不良誤差値分布曲線において、ユーザが有意味と見なす良好誤差値の範囲または不良誤差値の範囲がそれぞれ推定され得る。状況によっては、有意味な不良誤差値分布が取得されないことがあり、従って有意味な不良誤差値の範囲も推定されないこともある。
【００３９】
具体的には、判定検討装置１４０は、与えられたサンプル誤差値の分布から所定の確率分布関数を用いて良好誤差値分布を推定し、必要であれば不良誤差値分布をさらに推定することができる。このとき、判定検討装置１４０は、良好誤差値分布でサンプル数が、例えば、１以上である良好誤差値の範囲を推定することができ、不良誤差値分布（もしあれば）でサンプル数が、例えば、１以上である不良誤差値の範囲を推定することができる。
【００４０】
もし一旦推定された良好誤差値の範囲と不良誤差値の範囲が一部重なる場合には、判定検討装置１４０は、良好誤差値分布と不良誤差値分布が互いに重なる地点を考慮して短縮された良好誤差値の範囲と不良誤差値の範囲をそれぞれ再度推定することができる。
【００４１】
もし２つ以上の不良誤差値分布が推定された場合、判定検討装置１４０は、不良誤差値分布からそれぞれ推定された不良誤差値の範囲をいずれも包括できるように統合された不良誤差値の範囲を再度推定することができる。
【００４２】
判定検討装置１４０は、推定された良好誤差値の範囲に基づいて、また、追加で不良誤差値の範囲（もしあれば）に基づいて、良否判定装置１２０による検査体２０の良否判定にエラーがあるか否かを判断することができる。
【００４３】
例えば、もし良否判定の基準値が良好誤差値の範囲内にある場合に、ある検査体２０の誤差値が基準値よりは大きいものの良好誤差値の範囲内にあれば、判定検討装置１４０はその検査体２０が、たとえ基準値により不良と判定されたとしても実際には良好である第２タイプのエラー（ｆａｌｓｅ  ｃａｌｌ）であることを判断でき、現在の基準値があまりにも厳格であると判断することができる。
【００４４】
例えば、もし良否判定の基準値が不良誤差値の範囲内にあったり、その範囲を超える場合に、ある検査体２０の誤差値が基準値よりは小さいものの不良誤差値の範囲内にあれば、判定検討装置１４０はその検査体２０が、基準値によりたとえ良好と判定されたとしても実際には不良である第１タイプのエラー（ｅｓｃａｐｅ）であることを判断でき、現在の基準値があまりにも余裕であると判断することができる。
【００４５】
これにより、判定検討装置１４０は、良否判定の基準値が良好誤差値の範囲内にある場合に、誤差値が良好誤差値の範囲内にありながらも基準値より大きい検査体２０の数をもって、または良否判定の基準値が不良誤差値の範囲内にあるかその範囲を超える場合に、誤差値が不良誤差値の範囲内にありながらも基準値より小さい検査体２０の数をもって、判定エラーである検査体数を判断することができる。
【００４６】
判定検討装置１４０による判断結果は、ネットワーク１８０を介して良否判定装置１２０に伝達され得る。また、判定検討装置１４０により推定された良好誤差値分布及び良好誤差値の範囲も、ネットワーク１８０を介して良否判定装置１２０に伝達され得る。付加的に、判定検討装置１４０により推定された不良誤差値分布及び不良誤差値の範囲も、ネットワーク１８０を介して良否判定装置１２０に伝達され得る。
【００４７】
このような方式で、判定検討装置１４０は、不良判定されたサンプルに対して実際に精密な再検査をしなくても、生産初期のサンプルで検出される誤差値分布から、判定エラーがあるものと強く推定される検査体２０を識別することができ、さらには、現在の基準値の適切性を判断することができる。
【００４８】
本開示の一実施例による良否判定装置１２０は、判定検討装置１４０により判定エラーと判断された検査体２０の数が減少するように、検査体２０に対する良否判定条件を調整することができる。良否判定装置１２０は、良否判定装置１２０により生成された検査体２０に対する良否判定結果、及び判定検討装置１４０により生成された検査体２０に対する判定検討結果に基づいて、誤差値と比較される基準値を更新することができる。例えば、判定検討装置１４０により検査体２０の少なくとも一部に判定エラー（Ｆａｌｓｅ  ｃａｌｌ）が生じたと判断された場合、良否判定装置１２０は、誤差値と比較される基準値を高くすることができる。また、判定検討装置１４０により検査体２０の少なくとも一部に判定エラー（Ｅｓｃａｐｅ）が生じたと判断された場合、良否判定装置１２０は、誤差値と比較される基準値を低くすることができる。
【００４９】
良否判定装置１２０は、ユーザの入力により誤差値と比較される基準値を更新することができる。良否判定装置１２０は、検査体２０に対する良否判定結果、判定検討結果及び基準値をグラフィック的に示すことができる。ユーザは、グラフィック的に示された良否判定結果及び判定検討結果に基づいて、判定エラーが生じた検査体数が減少するように基準値を調整するためのグラフィック的な入力を良否判定装置１２０に提供することができる。良否判定装置１２０は、ユーザのグラフィック的な入力に応答して基準値を更新することができる。
【００５０】
良否判定装置１２０は、更新された基準値を誤差値と比較して検査体２０の良好または不良を再判定することができる。また、良否判定装置１２０は、検査体２０が実際に良好か不良かを示す判定検討装置１４０により生成された判定検討結果に基づいて、検査体２０の中で再判定結果にエラーが生じたか否かを識別することができる。これにより、良否判定装置１２０は、検査体２０に対する良否の再判定結果、更新された基準値及び再判定エラーが発行した検査体数をグラフィック的に示すことができる。
【００５１】
良否判定装置１２０は、例えば、サーバーコンピュータ、パーソナルコンピュータ、ラップトップコンピュータ、スマートフォン、タブレットのようにコンピューティング装置を用いて具現され得る。良否判定装置１２０の構成及び動作と関連しては、図３〜図１０を参照してさらに詳細に説明する。
【００５２】
分類装置１６０は、検査体２０を良品保管装置３０または不良品保管装置４０に分類することができる。分類装置１６０は、良否判定装置１２０における再判定結果に基づいて、良好である検査体２０及び不良である検査体２０をそれぞれ良品保管装置３０及び不良品保管装置４０に分類することができる。
【００５３】
ネットワーク１８０は、測定装置１００、良否判定装置１２０、判定検討装置１４０及び分類装置１６０間の連結及び通信を可能にする。ネットワーク１８０は、近距離通信網（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ；ＬＡＮ）、広域通信網（Ｗｉｄｅ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ；ＷＡＮ）または付加価値通信網（Ｖａｌｕｅ  Ａｄｄｅｄ  Ｎｅｔｗｏｒｋ；ＶＡＮ）等のような有線ネットワークや、移動通信網（ｍｏｂｉｌｅ  ｒａｄｉｏ  ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  ｎｅｔｗｏｒｋ）、衛星通信網、ブルートゥース（Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ）、Ｗｉｂｒｏ（Ｗｉｒｅｌｅｓｓ  Ｂｒｏａｄｂａｎｄ  Ｉｎｔｅｒｎｅｔ）、ＨＳＤＰＡ（Ｈｉｇｈ  Ｓｐｅｅｄ  Ｄｏｗｎｌｉｎｋ  Ｐａｃｋｅｔ  Ａｃｃｅｓｓ）等のような全ての種類の無線ネットワークを用いて具現され得る。
【００５４】
図１には、検査システム１０の各装置が別個の構成として示されているものの、本開示はこれに限定されず、良否判定装置１２０、判定検討装置１４０及び分類装置１６０のうちのある装置の少なくとも一部の構成が他の装置に統合具現され得る。一実施例によると、判定検討装置１４０の少なくとも一部の構成は、良否判定装置１２０に統合具現され得る。例えば、誤差値分布から推定を通じて良否判定エラーを判断する判定検討装置１４０の構成は、良否判定装置１２０に具現され得る。
【００５５】
図２は、本開示の一実施例により検査体の構造を測定する測定装置２００の構成を概略的に示す図である。複数の実施形態によると、図２の測定装置２００は、図１の測定装置１００の全ての技術的特徴を含むことができる。図２に示すように、測定装置２００は、照明部２１０、撮像部２２０及びイメージ処理部２３０を含む。
【００５６】
照明部２１０は、検査体２０の一部である検査対象２２を測定するためにパターン光を検査対象２２に照射する。例えば、検査体２０は、印刷回路基板であり、検査対象２２は、印刷回路基板上に形成されたソルダー、または印刷回路基板上に実装された電子部品である。ただし、本開示による検査体２０及び検査対象２２はこれに限定されはせず、３次元構造を有する任意の製造品であってもよい。
【００５７】
一実施例において、照明部２１０は光を生成する光源２１１、光源２１１からの光をパターン光に変換する格子素子２１２、格子素子２１２をピッチ移送する格子移送機構２１３、及び格子素子２１２により変換されたパターン光を検査対象２２に投影する投影レンズ２１４を含む。例えば、格子素子２１２は、パターン光の位相遷移のためにＰＺＴアクチュエータ（ｐｉｅｚｏ  ａｃｔｕａｔｏｒ）のような格子移送機構２１３により所定の距離（例えば、２π／Ｎ；Ｎは２以上の自然数）だけずつ移送され得る。
【００５８】
図２に示すように、照明部２１０は、２つ備えられ得る。ただし、本開示による照明部２１０はこれに限定されず、１つまたは３つ以上備えられ得る。照明部２１０が２つ以上備えられた場合、複数の照明部２１０は円周方向や仮想の多角平面に沿って一定の角度で離隔するように設置されたり、検査体２０と垂直の方向に沿って一定の間隔で離隔するように設置され得る。
【００５９】
撮像部２２０は、検査対象２２により反射された光を受信して検査対象２２のイメージデータを取得することができる。撮像部２２０は、ＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ  ｃｏｕｐｌｅｄ  ｄｅｖｉｃｅ）カメラまたはＣＭＯＳ（ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  ｍｅｔａｌ  ｏｘｉｄｅ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）カメラを用いて具現され得るものの、必ずしもこれに限定されるわけではない。撮像部２２０は、検査体２０から垂直の上部位置に設置され得る。
【００６０】
イメージ処理部２３０は、撮像部２２０により取得されたイメージデータを処理して検査対象２２の構造の測定値を生成する。例えば、イメージ処理部２３０は、検査対象２２のイメージデータから検査対象２２の横の長さ、縦の長さ、高さの長さ、面積、体積などを測定する。イメージ処理部２３０により生成された測定値は、イメージ処理部２３０の格納部２３２に格納されたり、通信部２３４により良否判定装置１２０に伝送され得る。
【００６１】
図３は、本開示の一実施例により検査体の良否を判定する良否判定装置３００の詳細構成を示すブロック図である。複数の実施形態によると、図３の良否判定装置３００は、図１の良否判定装置１６０の全ての技術的特徴を含むことができる。図３に示すように、本開示の一実施例による良否判定装置３００は、通信部３１０、入出力部３２０、処理部３３０及びデータベース３４０を含む。
【００６２】
通信部３１０は、他装置、例えば、図１の測定装置１００、判定検討装置１４０及び分類装置１６０と通信することができる。通信部３１０において、これらの装置と通信するための下位構成要素は、１つのハードウェア装置で統合構成され得る。
【００６３】
入出力部３２０は、ユーザとインタフェースするための構成であって、ユーザ入力部３２２及び出力部３２４を含む。ユーザ入力部３２２は、ユーザから良否判定と関連する入力を受信することができる。例えば、ユーザ入力部３２２は、良否判定に用いられた基準値を調整するための入力、良否判定結果をディスプレイするための入力、良否判定結果のいずれか１つを選択するための入力などを受信することができる。ユーザ入力部３２２は、キーボード、マウス、タッチパッド、タッチスクリーンなどを含むことができる。
【００６４】
出力部３２４は、ユーザに良否判定と関連する出力を提供する。例えば、出力部３２４は、検査体２０の良否判定結果、良否判定に用いられた基準値などをディスプレイすることができる。出力部３２４は、ＬＣＤ（ｌｉｄｕｉｄ  ｃｒｙｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ）、ＬＥＤ（ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｏｄｅ）ディスプレイ、ＯＬＥＤ（ｏｒｇａｎｉｃ  ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｏｄｅ）ディスプレイなどを含むことができる。
【００６５】
処理部３３０は、良否判定と関連するデータを処理することができる。処理部３３０は、良否判定部３３２、判定結果生成部３３４及び判定基準調整部３３６を含む。また、データベース３４０は、良否判定と関連するデータを格納するための構成であって、設計値ＤＢ３４２、測定値ＤＢ３４４、誤差値ＤＢ３４６、基準値ＤＢ３４８、判定結果ＤＢ３５０及び判定検討結果ＤＢ３５２を含む。
【００６６】
設計値ＤＢ３４２には、検査体２０の全ての検査対象２２に対する設計値が格納される。例えば、検査体２０がＰＣＢである場合、ＰＣＢ上に形成されたパッドの横の長さと縦の長さ、パッド上に置かれたソルダーの体積と面積、ソルダー上に置かれた電子部品からパッドまでの高さなどが設計値として設計値ＤＢ３４２に格納され得る。
【００６７】
測定値ＤＢ３４４には、検査体２０の全ての検査対象２２に対する測定値が格納される。測定値ＤＢ３４４に格納された測定値は、設計値ＤＢ３４２に格納された設計値に対応し得る。一実施例によると、検査体２０に対する測定値は、図２の測定装置２００により生成されたものであってもよい。測定装置２００により生成された測定値は、測定装置２００の通信部２３４及び良否判定装置３００の通信部３１０を介して測定値ＤＢ３４４に格納され得る。
【００６８】
良否判定部３３２は、検査体２０の検査対象２２の設計値に対する測定値の誤差値を算出することができる。良否判定部３３２は、設計値ＤＢ３４２に格納された検査体２０の検査対象２２の設計値と測定値ＤＢ３４４に格納された検査体２０の検査対象２２の測定値との差を誤差値として算出する。算出された誤差値は、誤差値ＤＢ３４６に格納され得る。
【００６９】
良否判定部３３２は、検査体２０の構造が所定の基準を満足するか否かを判定することができる。良否判定部３３２は、誤差値ＤＢ３４６に格納された誤差値と基準値ＤＢ３４８に格納された基準値を比較して、検査体２０の良好または不良を判定することができる。一実施例によると、良否判定部３３２は、検査体２０の検査対象２２に対する誤差値が当該検査対象２０に対する基準値以下である場合、検査体２０を良好と判定し、当該誤差値が当該基準値超である場合、検査体２０を不良と判定することができる。例えば、検査体２０のパッドの縦の長さに対する基準値が０．５ｍｍと設定された場合、良否判定部３３２は、パッドの縦の長さに対する誤差値が０．６ｍｍの検査体２０を不良と判定し、誤差値が０．４ｍｍの検査体２０を良好と判定する。良否判定部３３２により生成された良否判定結果は、判定結果ＤＢ３５０に格納され得る。
【００７０】
判定検討結果ＤＢ３５２には、検査体２０の検査対象２２に対する良否判定部３３２の良否判定にエラーがあるか否かを示す判定検討結果が格納される。検査対象２２に対する良否判定にエラーが生じた場合、当該検査対象２２に対する判定検討結果として「判定エラー」が表示され得る。判定エラーは、良否判定部３３２により良好と判定された検査対象２２が実際には不良である第１タイプ（Ｅｓｃａｐｅ）、及び良否判定部３３２により不良と判定された検査対象２２が実際には良好である第２タイプ（Ｆａｌｓｅ  Ｃａｌｌ）を含む。
【００７１】
一実施例によると、判定検討結果ＤＢ３５２に格納された判定検討結果は、図１の判定検討装置１４０により生成されたものであってもよい。通信部３１０は、判定検討装置１４０により生成された判定検討結果を受信して判定検討結果ＤＢ３５２に格納することができる。また、判定検討装置１４０により推定された良好誤差値分布、良好誤差値の範囲、不良誤差値分布（もしあれば）及び不良誤差値の範囲（もしあれば）も良否判定装置３００の通信部３１０を介して判定検討結果ＤＢ３５２に格納され得る。
【００７２】
判定結果生成部３３４は、誤差値による検査体数を示す検査結果グラフを生成することができる。一実施例によると、検査結果グラフは２次元グラフであって、横軸は誤差値を示し、縦軸は、当該誤差値を有する検査体２０の数を示すことができる。また、判定結果生成部３３４は検査結果グラフ上に、ユーザの操作により移動可能なＧＵＩ（ｇｒａｐｈｉｃａｌ  ｕｓｅｒ  ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）オブジェクトを基準値として示すことができる。例えば、基準値を示すＧＵＩオブジェクトは、バー（ｂａｒ）、矢印、線、点、四角形などの形状を有し得る。
【００７３】
判定結果生成部３３４は、検査体２０の良否判定結果を検査結果グラフに示すことができる。一実施例によると、判定結果生成部３３４は、検査結果グラフ上に良否判定結果として、良好、警告及び不良を示すことができる。例えば、判定結果生成部３３４は、検査結果グラフ上で誤差値が基準値以下の領域を良好と表示し、誤差値が基準値超の領域を不良と表示する。また、判定結果生成部３３４は、検査結果グラフ上で誤差値が基準値に近い所定の領域を警告と表示する。この場合、検査結果グラフ上には警告に該当する領域の境界が表示され得る。また、一実施例によると、判定結果生成部３３４は、検査結果グラフ上に良好、警告及び不良に該当する検査体２０の数をそれぞれ示すことができる。
【００７４】
判定結果生成部３３４は、良否判定結果に対する検討結果を検査結果グラフに示すことができる。一実施例によると、判定結果生成部３３４は、検査結果グラフ上に判定検討結果として、第１タイプ（Ｅｓｃａｐｅ）のエラー及び第２タイプ（Ｆａｌｓｅ  Ｃａｌｌ）のエラーを示すことができる。例えば、判定結果生成部３３４は、検査結果グラフ上に誤差値が基準値超の領域のうち実際に良好と判断された検査体２０が属する領域を第１タイプ（Ｅｓｃａｐｅ）のエラーと表示する。また、判定結果生成部３３４は、検査結果グラフ上で誤差値が基準値以下の領域のうち実際に不良と判断された検査体２０が属する領域を第２タイプ（Ｆａｌｓｅ  Ｃａｌｌ）のエラーと表示する。
【００７５】
一実施例によると、第１タイプのエラー、第２タイプのエラーのような判定エラーは、判定検討装置１４０による精密検査を介して判断され得る。判定検討装置１４０は、検査体２０の構造をさらに精密に測定することができる装置、または検査体２０の電気的特性を測定することができる装置を含むことができる。判定検討装置１４０は、検査体２０の構造的電気的特性をさらに精密に測定することにより、検査体２０が実際に良好か不良かを判断することができる。その結果、判定検討装置１４０は、良好と判定された検査体２０のうち実際に不良である検査体２０と、不良と判定された検査体２０のうち実際に良好である検査体２０を判別することができる。
【００７６】
他の実施例によると、判定エラーは、判定検討装置１４０による誤差値分布からの推定を通じて判断され得る。判定検討装置１４０は、測定装置１００により測定された検査体２０の誤差値分布にフィッティングされる少なくとも１つの確率分布曲線を決定し、決定された確率分布曲線のうち原点に最も近い確率分布曲線を良好誤差値分布と見なし、残りの確率分布曲線（もしあれば）を不良誤差値分布と見なすことができる。判定検討装置１４０は、良好誤差値分布から良好誤差値の範囲を推定し、不良誤差値分布（もしあれば）から不良誤差値の範囲を推定することができる。また、判定検討装置１４０は、良好誤差値の範囲及び不良誤差値の範囲（もしあれば）に基づいて、検査体２０のうち判定エラーが生じた検査体２０を判別することができる。
【００７７】
前述の実施例によると、判定検討装置１４０は、誤差値分布から推定を通じて良否判定エラーを判断し、判定結果生成部３３４は、判定検討装置１４０により判断された良否判定エラーに基づいて判定エラーが生じた検査体２０を識別するものの、本開示はこれに限定されない。例えば、判定結果生成部３３４が直接誤差値分布から推定を通じて良否判定エラーを判断し、判定エラーが生じた検査体２０を識別するように具現され得る。
【００７８】
一実施例によると、判定結果生成部３３４は、基準値が更新され得るように候補基準値を決定することができる。判定結果生成部３３４は、判定エラーが生じた検査体２０の数が減少したり最小となるようにする少なくとも１つの候補基準値を決定することができる。例えば、判定結果生成部３３４は、基準値が候補基準値に更新されることにより、第１タイプ（Ｅｓｃａｐｅ）のエラーまたは第２タイプ（Ｆａｌｓｅ  Ｃａｌｌ）のエラーに対応する領域が減少したりなくなるようにする候補基準値を決定することができる。判定結果生成部３３４は、決定された少なくとも１つの候補基準値を検査結果グラフ上に示すことができる。例えば、候補基準値は、点、線、四角形、矢印などで表示され得る。
【００７９】
一実施例によると、判定結果生成部３３４は、判定検討装置１４０により推定された検査体２０の良好誤差値の範囲及び不良誤差値の範囲（もしあれば）に基づいて候補基準値を決定することができる。もし不良誤差値の範囲がある場合、判定結果生成部３３４は、良好誤差値の範囲の最大値より大きいか同一であって、不良誤差値の範囲の最小値より小さいか同一のある値の中で候補基準値を決定することができる。もし不良誤差値の範囲がない場合、判定結果生成部３３４は、良好誤差値の範囲の最大値より大きいか同一のある値の中で候補基準値を決定することができる。
【００８０】
一実施例によると、ユーザは、ユーザ入力部３２２を介して検査結果グラフ上の所定領域を選択することができる。判定結果生成部３３４は、ユーザ入力部３２２を介して受信したユーザの入力に応答し、選択された所定領域を拡大して、拡大した所定領域を出力部３２４を介して出力することができる。例えば、拡大した所定領域は、検査結果グラフにオーバーラップされるように出力され得る。
【００８１】
一実施例によると、判定結果生成部３３４は、検査体２０に対する測定値、誤差値、良否判定結果及び判定エラー検討結果のうち少なくとも１つを含む検査結果リストを生成することができる。判定結果生成部３３４は、出力部３２４を介して検査結果グラフ及び検査結果リストを出力することができる。ユーザは、出力部３２４を介して検査結果グラフ及び検査結果リストを確認することができる。
【００８２】
一実施例によると、ユーザは、ユーザ入力部３２２を介して検査結果リストからいずれか１つの検査体２０を選択することができる。判定結果生成部３３４は、ユーザ入力部３２２を介して受信したユーザの入力に応答し、選択された検査体２０の誤差値を検査結果グラフに示すことができる。例えば、選択された検査体２０の誤差値は、点、線、四角形、矢印などで表示され得る。他の実施例によると、ユーザから検査体２０の選択に関する入力がない場合、最も最近良否判定がなされた検査体２０が自動で選択され得る。この場合、最も最近良否判定がなされた検査体２０の誤差値が検査結果グラフに示され得る。
【００８３】
判定基準調整部３３６は、ユーザからユーザ入力部３２２を介して受信された入力により基準値を更新することができる。一実施例によると、判定基準調整部３３６は、ユーザから検査結果グラフ上で基準値を示すＧＵＩオブジェクトの位置を移動させるグラフィック的な入力を受信することができる。例えば、ユーザは、ユーザ入力部３２２としてマウスを用いて、検査結果グラフ上で基準値を示す移動可能なバー形状のＧＵＩオブジェクトをクリックして所定位置までドラッグすることができる。この場合、判定基準調整部３３６は、このようなグラフィック的な入力に応答して、基準値をドラッグされた所定位置に対応する値に更新することができる。他の実施例によると、判定基準調整部３３６は、ユーザから検査結果グラフ上で所定位置を指定するグラフィック的な入力を受信することができる。例えば、ユーザは、ユーザ入力部３２２としてマウスを用いて、検査結果グラフ上で所定位置をクリックすることができる。この場合、判定基準調整部３３６は、このようなグラフィック的な入力に応答して、基準値をクリックされた所定位置に対応する値に更新することができる。更新された基準値は、判定基準調整部３３６により基準値ＤＢ３４８に格納され得る。
【００８４】
良否判定部３３２は、判定基準調整部３３６により更新された基準値に基づいて検査体２０に対する良好または不良を再判定することができる。一実施例によると、良否判定部３３２は、検査体２０の検査対象２２に対する誤差値が更新された基準値以下である場合、検査体２０を良好と再判定し、当該誤差値が更新された基準値超である場合、検査体２０を不良と判定することができる。
【００８５】
また、良否判定部３３２は、検査体２０のうち再判定エラーが生じた検査体２０を識別することができる。一実施例によると、良否判定部３３２は、検査体２０の再判定結果及び判定検討結果ＤＢ３５２に格納された判定検討結果に基づいて、再判定エラーが生じた検査体２０を識別することができる。例えば、良否判定部３３２は、実際に不良であるものの良好と再判定された検査体２０に対して第１タイプ（Ｅｓｃａｐｅ）のエラーと判断し、実際に良好であるものの不良と再判定された検査体２０に対して第２タイプ（Ｆａｌｓｅ  Ｃａｌｌ）のエラーと判断することができる。
【００８６】
判定結果生成部３３４は、判定基準調整部３３６により更新された基準値、更新された基準値を用いた良否の再判定結果、及び良否の再判定結果に対する判定検討結果を検査結果グラフに示すことができる。ユーザは、出力部３２４を介して出力された検査結果グラフを確認することにより、更新前の基準値を用いた良否判定で生じたエラーに比べて更新された基準値を用いた良否の再判定で生じたエラーが減少したことを確認することができる。
【００８７】
前述の通り、本開示の複数の実施例による良否判定装置３００は、検査体に対する良否判定結果と基準値をグラフィック的に示し、ユーザのグラフィック的な入力により基準値を調整することができる。また、良否判定装置３００は、再設定された基準値に基づいて検査体に対する良否の再判定を実行し、良否の再判定にエラーがないか検討し、良否の再判定結果及びこれに対する判定検討結果をグラフィック的に示すことができる。その結果、ユーザがさらに効率よくかつ手軽に検査体の良否判定に用いられる基準値を調整することができる。
【００８８】
図４は、本開示の一実施例による検査結果リスト４００を示す図である。複数の実施形態によると、図４の検査結果リスト４００は、図３の判定結果生成部３３４により生成されて出力部３２４を介して出力され得る。
【００８９】
図４に示すように、検査結果リスト４００は、複数の検査体のそれぞれに対する検査結果データ４１０、４２０、４３０、４４０、４５０、４６０を含む。それぞれの検査結果データ４１０、４２０、４３０、４４０、４５０、４６０は、当該検査体に対する検査体ＩＤ、検査体ＩＤ、検査対象、測定対象、測定値、誤差値、良否判定結果及び判定検討結果を含む。
【００９０】
検査結果データ４１０、４３０、４５０には、検査体上に形成された「パッド１」の横の長さを測定した測定値、及び測定値と設計値１０．０ｍｍとの差が計算された誤差値が含まれている。「パッド１」の横の長さの良否判定に用いられた基準値は、０．５ｍｍと設定されたことを仮定する。検査結果データ４１０を参照すると、検査体ＩＤが「１」である検査体は、誤差値が０．５ｍｍ以下であるため、良好と判定される。一方、検査結果データ４３０、４５０を参照すると、検査体ＩＤが「２」、「４５９」である検査体は、誤差値が０．５ｍｍを超えたため、不良と判定される。この中で検査体ＩＤが「４５９」である検査体は、良否判定検討結果、第２タイプ（Ｆａｌｓｅ  Ｃａｌｌ）のエラーが生じたと判断される。例えば、検査体ＩＤが「４５９」である検査体において、「パッド１」の横の長さは既に設定された判定基準によると不良であるものの、実際には良好な特性を有する。
【００９１】
検査結果データ４２０、４４０、４６０には、検査体上に形成された「パッド１」の縦の長さを測定した測定値、及び測定値と設計値１０．０ｍｍとの差が計算された誤差値が含まれている。「パッド１」の縦の長さの良否判定に用いられた基準値は、０．５ｍｍと設定されたことを仮定する。検査結果データ４１０を参照すると、検査体ＩＤが「１」、「２」、「４５９」である検査体は、誤差値が０．５ｍｍ以下であるため、良好と判定される。この中で検査体ＩＤが「４５９」である検査体は、良否判定検討結果、第１タイプ（Ｅｓｃａｐｅ）のエラーが生じたと判断される。例えば、検査体ＩＤが「４５９」である検査体において、「パッド１」の縦の長さは既に設定された判定基準によると良好であるものの、実際には不良な特性を有する。
【００９２】
図５は、本開示の一実施例により良否判定結果及び判定検討結果を示す検査結果グラフ５００を示す図である。複数の実施形態によると、図５の検査結果グラフ５００は、図３の判定結果生成部３３４により生成されて出力部３２４を介して出力され得る。一実施形態によると、図５の検査結果グラフ５００は、図４の検査結果リスト４００からいずれか１つの検査結果データ（例えば、検査結果データ４５０）を選択する入力をユーザ入力部３２２を介して受信することに応答して生成されたものであってもよい。
【００９３】
図５に示すように、検査結果グラフ５００の横軸は誤差値を示し、縦軸は検査体数を示す。検査結果グラフ５００は、当該誤差値を有する検査体数を示すカーブ５１０を含む。また、検査結果グラフ５００には、検査体の良否判定に用いられた第１基準値を示す第１基準値ＧＵＩ５２０、及び良好と判定された検査体のうち警告に該当する検査体を判定するのに用いられた第２基準値を示す第２基準値ＧＵＩ５３０が含まれ得る。例えば、第２基準値は、第１基準値の９０％と設定され得る。
【００９４】
また、検査結果グラフ５００には、検査体のうちある特定のある検査体、例えば、ユーザが特に関心をおいている検査体の誤差値ｐを示すサンプル誤差値インジケーター５４０が含まれ得る。一例として、サンプル誤差値インジケーター５４０は、図４の検査結果リスト４００から選択された検査体の誤差値を示すことができる。他の例として、サンプル誤差値インジケーター５４０は、検査体のうち最も最近検査された検査体の誤差値を示すことができる。
【００９５】
検査結果グラフ５００には、良否判定結果及び判定検討結果が示され得る。検査結果グラフ５００には良否判定結果として、良好、警告及びエラーのそれぞれに該当する領域と、判定検討結果として不良に該当する領域が表示され得る。また、検査結果グラフ５００には、良好、警告、エラー及び不良のそれぞれに該当する検査体数も表示され得る。図５に示すように、誤差値が第１基準値ｂ以下である３５２個の検査体は良好と判定され、誤差値が第１基準値ｂを超える１０７個の検査体は一旦不良と判定された。特に、良好である３５２個の検査体の中でも誤差値が第２基準値ａと第１基準値ｂの間にある５７個の検査体は良好と判定はされたものの、第１基準値に近接するため、警告と分類された。一方、誤差値がｄとｅの間にある６０個の検査体は、与えられた工程上の自然な誤差分布様相を逸脱しているため、与えられた工程に属しないある問題により不良が生じたものと判断され得る。しかし、誤差値が第１基準値ｂとｃの間にある４７個の検査体の誤差分布は、良好である３５２個の検査体の自然な誤差分布に一貫的であるため、不良と判定されたｂとｃの間にある４７個の検査体は与えられた工程による正常な結果であって、実際には良好であり得る。これにより、第１基準値ｂとｃの間にある４７個の検査体は、第２タイプのエラー（ｆａｌｓｅ  ｃａｌｌ）と判定され得る。実際にそのような判定が第２タイプのエラーであるか検証するために、ユーザは誤差値が第１基準値ｂとｃの間のｐである特定の検査体を選択して調査することができる。
【００９６】
もし第１基準値をｂで維持すると、ｄとｅの間の非正常な誤差値を誘発する工程上の非正常な問題が解消されても、正常な工程では誤差値が０からｃの間で自然に分布するはずであるため、このような工程により製品の生産が継続して行われると、その後に生産される製品の相当量は持続的に第１基準値ｂとｃの間の誤差値を有して不良と判定されるはずである。即ち、図５の例示では、製品の生産工程自体が問題なければ、良好と不良を判定するための第１基準値が製品の生産工程の自然な誤差分布の特性を反映できず、過度に厳格に設定されたものであり得る。
【００９７】
検査結果グラフ５００には、判定エラーが生じた検査体数が最小となるようにする候補基準値を示す候補基準値インジケーター５５０が含まれ得る。候補基準値は、エラーと判断された検査体数が最小（例えば、０）となるようにする基準値の候補であって、誤差値がｃとｄの間の範囲内で選択され得る。図５には、候補基準値インジケーター５５０が点で表示されているが、これに限定されはせず、矢印、線、四角形など多様な形態で表示され得る。また、図５には、候補基準値インジケーター５５０が単数で表示されているが、これに限定されはせず、複数で表示されたり、範囲で表示され得る。
【００９８】
図６は、本開示の一実施例により基準値が更新された検査結果グラフ６００を示す図である。一実施例によると、図６の検査結果グラフ６００は、図５の検査結果グラフ５００から基準値が更新されたものであり得る。
【００９９】
一実施形態によると、ユーザは、検査結果グラフ６００上でユーザ入力部３２２を介して基準値を更新することができる。一例として、ユーザは、ユーザ入力部３２２としてマウスを用いて、検査結果グラフ６００上で第１基準値ＧＵＩ５２０を候補基準値インジケーター５５０の位置までドラッグすることができる。他の例として、ユーザはタッチパッドを用いて、検査結果グラフ６００上で候補基準値インジケーター５５０の位置をタッチすることができる。このように、ユーザ入力部３２２を介したグラフィック的な入力により、検査結果グラフ６００で第１基準値ＧＵＩ５２０の位置が移動する。また、第１基準値ＧＵＩ５２０の位置が移動するに伴い、第１基準値も更新され得る。例えば、図６に示すように、第１基準値がｂからｂ’に更新される。
【０１００】
一実施例によると、第１基準値ＧＵＩ５２０の位置が移動するに伴い、第２基準値ＧＵＩ５３０の位置も別途のユーザの入力なしに、移動することができる。例えば、第１基準値に対する第２基準値の比率が９０％と設定された場合、第２基準値が更新された第１基準値の９０％となるように第２基準値ＧＵＩ５３０が右側に移動することができる。図６に示すように、第１基準値ＧＵＩ５２０の移動により、第２基準値がａからｂ’の９０％であるａ’に更新されるように第２基準値ＧＵＩ５３０が移動することができる。他の実施例によると、第２基準値５３０は、検査結果グラフ６００上でユーザ入力部３２２を介したグラフィック的な入力により第２基準値ＧＵＩ５３０の位置が移動することができる。
【０１０１】
一実施例によると、第１及び第２基準値ＧＵＩ５２０、５３０が移動することに応答して、良否判定部３３２は、更新された第１及び第２基準値に基づいて検査体のそれぞれに対する良否の再判定を実行することができる。良否判定部３３２は、検査体のそれぞれの誤差値が第１基準値のｂ’以下である場合、良好と判定し、検査体のそれぞれの誤差値がｂ’超である場合、不良と判定することができる。また、良否判定部３３２は、検査体のそれぞれの誤差値が第２基準値のａ’超ｂ’以下である場合、警告と判定することができる。また、良否判定部３３２は、検査体のうち再判定エラーが生じた検査体を識別することができる。
【０１０２】
検査結果グラフ６００には、良否の再判定結果及び再判定検討結果が示され得る。図６に示すように、誤差値がｂ’以下である３９９個の検査体が「良好」、誤差値がａ’超ｂ’以下である１２個の検査体が「警告」、誤差値がｄ以上ｅ以下である６０個の検査体が「不良」とそれぞれ判断される。図５の検査結果グラフ５００と比較すると、良否判定に対してエラーが生じた検査体数が図５の４７個から図６の０個に変化する。言い換えると、検査体の良否判定の基準として用いられる第１基準値が更新されることにより良否判定のエラーが最小化される。
【０１０３】
このように、ユーザのグラフィック的な入力により第１基準値ＧＵＩ５２０が移動することにより、良否判定装置３００は更新された基準値により検査体の良否を新しく判定することができる。即ち、ユーザがいちいち測定値を肉眼で確認して新しい基準値を決定し、これを数値で入力しなければならなかった従来のプロセスとは異なり、本開示によると、ユーザが検査結果グラフを見ながら新しい基準値を決定することができ、グラフィック的な入力により基準値を更新することができる。その結果、判定エラーが視覚的に示された状態で第１基準値ＧＵＩ５２０を移動させることにより第１基準値を変更することが可能であるため、判定エラーを迅速かつ便利に訂正することが可能である。また、更新された基準値に基づいて検査体の良否を新しく判定することができるため、ユーザ便宜性が図られ得る。
【０１０４】
図７は、本開示の一実施例により一部領域が拡大した検査結果グラフを示す図である。図７の検査結果グラフ７００は、検査体の良否判定結果及び判定検討結果を示すグラフであって、図５の検査結果グラフ５００と同一なものであってもよい。
【０１０５】
一実施例によると、ユーザは、出力部３２４を介して出力された検査結果グラフ７００の少なくとも一部をユーザ入力部３２２を用いて拡大することができる。一例として、ユーザは、ユーザ入力部３２２としてマウスを用いて、検査結果グラフ７００上で所定領域７１０を選択することができる。所定領域７１０を選択することに応答して、判定結果生成部３３４は、所定領域７１０を拡大した拡大グラフ７２０を生成することができる。生成された拡大グラフ７２０は、出力部３２４を介して出力され得る。拡大グラフ７２０は、検査結果グラフ７００と別途に出力されたり、検査結果グラフ７００上にオーバーラップされるように出力され得る。
【０１０６】
図８は、本開示の一実施例により良否判定結果及び判定検討結果を示す検査結果グラフ８００を示す図である。複数の実施形態によると、図８の検査結果グラフ８００は、図３の判定結果生成部３３４により生成されて出力部３２４を介して出力され得る。一実施形態によると、図８の検査結果グラフ８００は、図４の検査結果リスト４００からいずれか１つの検査結果データ（例えば、検査結果データ４６０）を選択する入力をユーザ入力部３２２を介して受信することに応答して生成されたものであってもよい。
【０１０７】
検査結果グラフ８００には、当該誤差値を有する検査体数を示すカーブ８１０及び検査体の良否判定に用いられた基準値を示す基準値ＧＵＩ８２０が含まれている。図８に示すように、誤差値が第１基準値ｄ以下である３３０個の検査体が「良好」と判定され、誤差値が第１基準値ｄより大きいｅからｆの間である１２９個の検査体が「不良」と判定された。このとき、良好である３３０個の検査体の中でも誤差値がｂとｃの間にある２５個の検査体は良好と判定されはしたものの、与えられた工程上の自然な誤差分布様相（０からａまで）を逸脱しているため、実際には与えられた工程に属しないある問題により不良であり得る。これにより、ｂとｃの間にある２５個の検査体は、第１タイプのエラー（ｅｓｃａｐｅ）と判定され得る。
【０１０８】
もし第１基準値ｄを維持すると、ｅとｆの間の非正常な誤差値を誘発する工程上の非正常な問題が解消されても、正常な工程では誤差値が０からａの間にのみ自然に分布するはずであるため、このような工程により製品の生産が継続して行われると、その後に生産される製品の相当量は実際には不良でありながらも持続的に第１基準値ｄより低い誤差値を示して良好と判定される。即ち、図８の例示では、製品の生産工程自体が問題なければ、良好と不良を判定するための第１基準値が製品の生産工程の自然な誤差分布の特性を反映できず、過度に余裕に設定されたものであり得る。
【０１０９】
検査結果グラフ８００には、判定エラーが生じた検査体数が最小となるようにする候補基準値を示す候補基準値インジケーター８３０が含まれ得る。候補基準値は、エラーと判断された検査体数が最小（例えば、０）となるようにする基準値の候補であって、誤差値がａとｂの間の範囲内で選択され得る。図８には、候補基準値インジケーター８３０が点で表示されているが、これに限定されはせず、矢印、線、四角形など多様な形態で表示され得る。また、図８には、候補基準値インジケーター８３０が単数で表示されているが、これに限定されはせず、複数で表示されたり、範囲で表示され得る。また、図８には示されていないものの、一実施例による検査結果グラフ８００は、良好と判定された検査体のうち警告に該当する検査体を判定するのに用いられた基準値を示すＧＵＩ、及び複数の検査体のいずれか１つの誤差値を示すインジケーターを含むことができる。
【０１１０】
図９は、本開示の一実施例により基準値が更新された検査結果グラフ９００を示す図である。一実施例によると、図９の検査結果グラフ９００は、図８の検査結果グラフ８００から基準値が更新されたものであってもよい。
【０１１１】
一実施形態によると、ユーザは、検査結果グラフ９００上でユーザ入力部３２２を介して基準値を更新することができる。一例として、ユーザは、ユーザ入力部３２２としてマウスを用いて、検査結果グラフ９００上で基準値ＧＵＩ８２０を候補基準値インジケーター８３０の位置までドラッグすることができる。他の例として、ユーザはタッチパッドを用いて、検査結果グラフ９００上で候補基準値インジケーター８３０の位置をタッチすることができる。このように、ユーザ入力部３２２を介したグラフィック的な入力により、検査結果グラフ９００で基準値ＧＵＩ８２０の位置が移動する。また、基準値ＧＵＩ８２０の位置が移動するに伴い、基準値も更新され得る。例えば、図９に示すように、基準値がｄからｄ’に更新される。
【０１１２】
一実施例によると、基準値ＧＵＩ８２０が移動することに応答して、良否判定部３３２は、更新された基準値に基づいて検査体のそれぞれに対する良否の再判定を実行することができる。良否判定部３３２は、検査体のそれぞれの誤差値が基準値のｄ’以下である場合、良好と判定し、検査体のそれぞれの誤差値がｄ’超である場合、不良と判定することができる。また、良否判定部３３２は、検査体のうち再判定エラーが生じた検査体を識別することができる。
【０１１３】
検査結果グラフ９００には、良否の再判定結果及び再判定検討結果が示され得る。図９に示すように、誤差値がｄ’以下である３０５個の検査体が「良好」、誤差値がｄ’超である１５４個の検査体が「不良」とそれぞれ判断される。図８の検査結果グラフ８００と比較すると、良否判定に対してエラーが生じた検査体数が図８の２５個から図９の０個に変化する。言い換えると、検査体の良否判定の基準として用いられる基準値が更新されることにより、良否判定のエラーが最小化される。
【０１１４】
図１０は、本開示の実施例により検査体に対する良否判定条件を調整する方法を示す順序図である。図１０に示す段階の少なくとも一部は、図１〜図３に示す構成により行われ得る。
【０１１５】
まず、段階Ｓ１０００において、良否判定装置３００は、複数の検査体の構造の測定値を取得する。例えば、測定装置１００は、検査体に光を照射し、検査体から反射された光を受光し、受光された光に基づいて検査体のイメージデータを生成することができる。また、測定装置１００は、イメージデータに基づいて、検査体の構造を測定した測定値を生成することができる。良否判定装置３００は、通信部３１０を介して測定装置１００により生成された測定値を取得することができる。
【０１１６】
次に、段階Ｓ１０１０において、良否判定部３３２は、複数の検査体のそれぞれに対する良否判定を実行する。例えば、良否判定部３３２は、段階Ｓ１０００で取得された測定値が所定範囲内であるか判断することにより検査体の良好または不良を判定することができる。良否判定部３３２は、検査体の構造の設計値に対する測定値の誤差値を算出し、算出された誤差値と所定の基準値を比較する。良否判定部３３２は、誤差値が所定の基準値以下である検査体を良好（Ｇｏｏｄ）と判定し、誤差値が所定の基準値を超える検査体を不良（ＮＧ）と判定することができる。
【０１１７】
次に、段階Ｓ１０２０において、判定結果生成部３３４は、複数の検査体のうち判定エラーが生じた検査体を識別する。例えば、判定結果生成部３３４は、段階Ｓ１０１０で得られた検査体の良否判定結果及び判定検討装置１４０による判定検討結果に基づいて、複数の検査体のうち判定エラーが生じた検査体を識別する。ここで、判定エラーは、良好と判定された検査体が実際に不良と識別された第１エラー、及び不良と判定された検査体が実際に良好と識別された第２エラーを含む。
【０１１８】
一実施例によると、判定検討装置１４０は、測定装置１００により測定された検査体２０の誤差値分布に基づいて良好誤差値分布及び不良誤差値分布（もしあれば）を決定し、良好誤差値分布及び不良誤差値分布（もしあれば）から良好誤差値の範囲及び不良誤差値の範囲（もしあれば）をそれぞれ推定することができる。また、判定検討装置１４０は、良好誤差値の範囲及び不良誤差値の範囲（もしあれば）に基づいて、検査体２０のうち判定エラーが生じた検査体２０を判別することができる。また、判定結果生成部３３４は、判定検討装置１４０からこのような判定検討結果を受信して判定エラーが生じた検査体２０を識別することができる。
【０１１９】
次に、段階Ｓ１０３０において、判定結果生成部３３４は、検査結果グラフを出力する。例えば、判定結果生成部３３４は、誤差値による検査体数を示す検査結果グラフを生成する。検査結果グラフは２次元グラフであって、横軸は誤差値を示し、縦軸は複数の検査体のうち当該誤差値を有する検査体数を示す。判定結果生成部３３４は検査結果グラフ上に、ユーザの操作により移動可能なバー（ｂａｒ）形状のＧＵＩオブジェクトを基準値として示すことができる。また、判定結果生成部３３４は、検査結果グラフ上に良否判定結果として、良好、警告及び不良を示すことができる。また、判定結果生成部３３４は、良否判定結果に対する検討結果を検査結果グラフに示すことができる。また、判定結果生成部３３４は、判定エラーが生じた１つ以上の検査体数が最小となるようにする少なくとも１つの候補基準値を決定し、検査結果グラフ上に示すことができる。
【０１２０】
一実施例によると、候補基準値は、段階Ｓ１０２０で推定された良好誤差値の範囲及び不良誤差値の範囲（もしあれば）に基づいて決定され得る。もし不良誤差値の範囲がある場合、候補基準値は、良好誤差値の範囲の最大値より大きいか同一であって、不良誤差値の範囲の最小値より小さいか同一のある値の中から選択され得る。もし不良誤差値の範囲がない場合、候補基準値は、良好誤差値の範囲の最大値より大きいか同一のある値の中から選択され得る。
【０１２１】
次に、段階Ｓ１０４０において、判定基準調整部３３６は、検査結果グラフ上におけるグラフィック的な入力により基準値を更新する。ユーザは、判定エラーが生じた１つ以上の検査体数が減少するように検査結果グラフ上でグラフィック的な入力を提供することができる。例えば、ユーザは、ユーザ入力部３２２としてマウスを用いて、検査結果グラフ６００上で基準値を示すＧＵＩを所定位置までドラッグすることができる。判定基準調整部３３６は、ユーザのグラフィック的な入力（即ち、基準値を示すＧＵＩの移動）に応答して基準値を所定値に更新する。
【０１２２】
次に、段階Ｓ１０５０において、良否判定部３３２は、更新された基準値に基づいて複数の検査体のそれぞれに対する良否の再判定を実行する。例えば、良否判定部３３２は、段階Ｓ１０４０で更新された基準値と誤差値を比較して複数の検査体の各検査体に対する良好または不良を再判定する。また、良否判定部３３２は、複数の検査体のうち再判定エラーが生じた検査体を識別する。また、判定結果生成部３３６は、更新された基準値及び再判定エラーが生じた検査体数を検査結果グラフに示す。
【０１２３】
図１０に示す段階において、一部段階が省略されたり、二以上の段階が同時に実行されたり、段階間の実行順序が変更され得る。また、検査体に対する良否判定条件を調整する方法は特定の実施例を通じて説明されたものの、前記方法はまた、コンピュータで読み取りできる記録媒体にコンピュータが読み取りできるコードとして具現することが可能である。コンピュータが読み取りできる記録媒体は、コンピュータシステムにより読み取られ得るデータが格納されるあらゆる種類の記録装置を含む。コンピュータが読み取りできる記録媒体は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＣＤ−ＲＯＭ、磁気テープ、フロッピーディスク、光データ格納装置などを含むことができる。また、コンピュータが読み取りできる記録媒体は、ネットワークで連結されたコンピュータシステムに分散され、分散方式でコンピュータが読み取りできるコードが格納されて実行され得る。また、前記実施例を具現するための機能的な（ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌ）プログラム、コード及びコードセグメントは、本開示が属する技術分野のプログラマーにより容易に推論され得る。
【０１２４】
本開示は、好ましい実施例を通じて説明されて例示されたものの、当業者であれば添付の特許請求の範囲の事項及び範疇を逸脱せずに様々な変形及び変更がなされ得ることが分かるであろう。
【図１】
2020500308.tif 000003
【図２】
2020500308.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2020500308.tif 000010
【図９】
2020500308.tif 000011
【図１０】
2020500308.tif 000012
【国際調査報告】
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2020500308.tif 000014
2020500308.tif 000015
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