(57)【要約】  本発明は、流体を貯留及び輸送し、貯留された流体を設定条件下で設定排出圧力で排出できるように構成されたシリンダ（流体貯留および輸送容器）に係り、さらに詳しくは、シリンダ（流体貯留および輸送容器）に設けられ、貯留された流体を設定条件下で設定排出圧力で排出でき、シリンダ（流体貯留および輸送容器）の流体貯留能力を向上できるように構成された流体圧力調整弁を備えたシリンダに関する。このような本発明による、流体貯留能力を向上できるように構成された流体圧力調整弁を備えたシリンダは、貯留された流体を出口側の設定圧力条件下でのみ設定排出圧力で排出できるように流体を貯留及び輸送するシリンダにおいて、シリンダ内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータと、前記第１レギュレータにより調整された設定圧力の流体を設定条件状態の圧力時にのみ排出できるようにする第２レギュレータと、を含むが、前記第１レギュレータ及び第２レギュレータがシリンダの貯留空間に挿入されないように構成されて貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備える。
2020534493.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯留された流体を出口側の設定圧力条件下でのみ設定排出圧力で排出できるように流体を貯留及び輸送するシリンダにおいて、
シリンダ（Ｓ）内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータ（２１）と、前記第１レギュレータ（２１）により調整された設定圧力の流体を設定条件状態の圧力時にのみ排出できるようにする第２レギュレータ（３１）と、を含むが、前記第１レギュレータ（２１）及び第２レギュレータ（３１）がシリンダ（Ｓ）の貯留空間（１００）に挿入されないように構成されて貯留能力を向上させた流体圧力調整弁（Ｂ）を備え、
前記流体圧力調整弁（Ｂ）は、
流体排出用入口（１５）が形成されたシリンダ締結部（１１）と、前記流体排出用入口（１５）と第１流路（６１）により連通する第１レギュレータ設置室（１２）と、前記第１レギュレータ設置室（１２）と第２流路（６２）により連通する第２レギュレータ設置室（１３）と、前記第２レギュレータ設置室（１３）と第３流路（６３）により連通する開閉用弁設置室（１４）と、前記開閉用弁設置室（１４）と第４流路（６４）により連通する流体排出通路（８１）と、前記流体排出用入口（１５）と第５流路（６５）により連通する安全弁設置室（１７）と、前記流体排出用入口（１５）と第６流路（６６）により連通する充填ポート室（１８）と、を有する弁胴体（１０）と；
前記第１レギュレータ設置室（１２）に設けられて、シリンダ内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータ（２１）を有する第１レギュレータ部（２０）と；
前記第２レギュレータ設置室（１３）に設けられて、第１レギュレータ（２０）により調整された設定圧力を設定条件状態の圧力時に引き出すように調整する第２レギュレータ（３１）を有する第２レギュレータ部（３０）と；
前記開閉用弁設置室（１４）に設けられて、流動中の流体の流動を遮断し得る開閉用弁（４０）と；
前記安全弁設置室（１７）に設けられた安全弁（５０）と；
を含むことを特徴とする貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項２】
前記第１レギュレータ（２１）は、排出される流体の圧力の大きさを調節し得るものであり、第２レギュレータ（３１）は、出口側の設定圧力条件でのみ流路が開放されるように開閉圧力の大きさを調節し得るものであることを特徴とする請求項１に記載の貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項３】
前記流体圧力調整弁（Ｂ）の第１レギュレータ設置室（１２）及び第２レギュレータ設置室（１３）がシリンダ（Ｓ）の外側に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項４】
前記第１レギュレータ（２１）と第２レギュレータ（３１）は、それぞれの第１及び第２レギュレータ設置室（１２，１３）に設けられた第１及び第２レギュレータキャップ（２２，３２）の取り外しだけで取り替え可能であることを特徴とする請求項３に記載の貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項５】
貯留された流体を出口側の設定圧力条件下でのみ設定排出圧力で排出できるように流体を貯留及び輸送するシリンダにおいて、
シリンダ（Ｓ）内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータ（２１）と、前記第１レギュレータ（２１）により調整された設定圧力の流体を設定条件状態の圧力時にのみ排出できるようにする第２レギュレータ（３１）と、を含むが、前記第１レギュレータ（２１）及び第２レギュレータ（３１）がシリンダ（Ｓ）の貯留空間（１００）に挿入されないように構成されて貯留能力を向上させた流体圧力調整弁（Ｂ）を備え、
流体圧力調整弁（Ｂ）の弁胴体（１０）には、第１レギュレータ（２１）が設けられる第１レギュレータ設置室（１２）と、第２レギュレータ（３１）が設けられる第２レギュレータ設置室（１３）と、が形成されるが、前記第１レギュレータ設置室（１２）及び第２レギュレータ設置室（１３）がシリンダ（Ｓ）の外側に配置される一方、
前記弁胴体（１０）の一方の側には、第１レギュレータ（２１）の設置のための内壁に第１レギュレータねじ部（１２−１）と第１レギュレータキャップねじ部（１２−２）とが形成された第１レギュレータ設置室（１２）が形成され、他方の側には、第２レギュレータ（３１）の設置のための内壁に第２レギュレータねじ部（１３−１）と第２レギュレータキャップねじ部（１３−２）とが形成された第２レギュレータ設置室（１３）が形成され、前記第１レギュレータ設置室（１２）は、第１流路（６１）を介してシリンダと連通し、前記第１レギュレータ設置室（１２）と第２レギュレータ設置室（１３）とは第２流路（６２）により連通し、前記第２レギュレータ設置室（１３）は、流動中の流体の流動を遮断し得る開閉用弁（４０）が設けられる開閉用弁設置室（１４）と第３流路（６３）により連通し、
前記第１レギュレータ（２１）は、第１レギュレータねじ部（１２−１）に螺合して設けられ、第１レギュレータキャップねじ部（１２−２）には、第１レギュレータ（２１）を保護する第１レギュレータキャップ（２２）が螺合し、
前記第２レギュレータ（３１）は、第２レギュレータねじ部（１３−１）に螺合して設けられ、第２レギュレータキャップねじ部（１３−２）には、第２レギュレータ（３１）を保護する第２レギュレータキャップ（３２）が螺合することを特徴とする貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項６】
前記第１レギュレータ（２１）は、
外壁に第１レギュレータねじ部（２１−１）が形成され、内部空間を有するようにキャップ状を呈する第１レギュレータ胴体（２３）と、
前記第１レギュレータ胴体（２３）の内部空間に収容されるポペット、ポペット保持ウエハ及びポペット保持ウエハとカップリングされるダイヤフラムを有する圧力調節体（２４）と、
前記第１レギュレータ胴体（２３）の内部空間に収容されて圧力調節体（２４）を弾持する圧力調節用弾性体（２５）と、
前記圧力調節用弾性体（２５）の支持圧力を調節する支持圧力調節棒（２６）と、
前記支持圧力調節棒（２６）の位置を固定する固定ねじ（２７）と、
を含むことを特徴とする請求項５に記載の貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項７】
前記第２レギュレータ（３１）は、
外壁に第２レギュレータねじ部（３１−１）が形成され、内部空間を有するようにキャップ状を呈する第２レギュレータ胴体（３３）と、
前記第２レギュレータ胴体（３３）の内部空間に収容されるポペット、ポペット保持ウエハ及びポペット保持ウエハとカップリングされるダイヤフラムを有して、設定圧力で流体の流路を開放するようにする圧力調節体（３４）と、
を含むことを特徴とする請求項５に記載の貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を貯留及び輸送し、貯留された流体を設定条件下で設定排出圧力で排出できるように構成されたシリンダ（流体貯留および輸送容器）に関する。
【０００２】
さらに詳しくは、本発明は、シリンダ（流体貯留および輸送容器）に設けられ、貯留された流体を設定条件下で設定排出圧力で排出でき、シリンダ（流体貯留および輸送容器）の流体貯留能力を向上できるように構成された流体圧力調整弁を備えたシリンダに関する。
【背景技術】
【０００３】
一般に、様々な工業的な工程と用例において信頼性の高いプロセスガスの供給源が必要であり、特に、半導体製造工程では、エッチング工程などのさまざまな工程において工程を実行するためのガスが必要であって、このようなガスを供給するために、流体を貯留及び輸送できるように構成されたシリンダが広く使用されている。
【０００４】
このような流体を貯留及び輸送するためのシリンダには、一定の設定圧力で排出でき、排出側の圧力条件でのみガスを排出できるように構成された流体圧力調整弁体（流体圧力調整弁システム）が設けられる。
【０００５】
特に、韓国公開特許１０−２００８−００９９３４２号「流体貯留および分配用のシステム及び方法」、韓国公開特許１０−２０１５−００５９７７６号「圧力調整式流体貯留及び輸送容器のスパイク圧力防止管理」の特許文献には、流体圧力調整弁体（流体圧力調整弁システム）技術が提供されている。
【０００６】
図８を参照して、前記従来技術により提供された流体圧力調整弁体に関連した技術について説明すると、
流体を貯留及び輸送するためのシリンダ２には、貯留された流体（ガス）を設定圧力で排出するが、排出側の圧力条件状態でのみ排出できるようにする流体圧力調整弁体１が設けられ、
設定圧力で排出するが、排出側の圧力条件状態でのみ排出できるようにする流体圧力調整弁体１は、排出側の圧力条件状態でのみ排出できるようにする第２レギュレータ１ａと、シリンダ２に貯留された流体（ガス）を設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータ１ｂと、を含む。
【０００７】
しかし、従来の流体圧力調整弁体１に設けられた第１レギュレータ１ｂ及び第２レギュレータ１ａは、下部に位置して、流体を貯留するシリンダ２の内部空間に収容されることで、第１レギュレータ１ｂと第２レギュレータ１ａとを連結するための連結管１ｄと、異物をろ過するための微粒子フィルタ１ｃとをもまた、流体を貯留するシリンダ２の内部空間に収容される。
【０００８】
このように流体を貯留するシリンダ２の内部空間に第１レギュレータ１ｂ、第２レギュレータ１ａ、連結管１ｄ及び微粒子フィルタ１ｃが設けられるので、流体を貯留できる容積が減少するという問題があり、これは多くの経済的損失を引き起こす。特に、流体を貯留するシリンダ２の内部空間が大きくない場合は、内部空間に比べて第１レギュレータ１ｂ、第２レギュレータ１ａ、連結管１ｄ及び微粒子フィルタ１ｃの占有空間が大きいため、貯留及び輸送される流体の量が急激に減少することがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】韓国公開特許１０−２００８−００９９３４２号
【特許文献２】韓国公開特許１０−２０１５−００５９７７６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような従来の問題を解決するためになされたものである。
【００１１】
すなわち、本発明は、貯留された流体を設定条件下で設定排出圧力で排出できるようにする多数のレギュレータ（調整器）がシリンダ内に収容されることで発生する流体の貯留能力の低下を解決することができる流体圧力調整弁体を備えたシリンダを提供することを目的とする。
【００１２】
また、本発明は、多数のレギュレータ（調整器）の取り替えを容易にすることにより、メンテナンスが容易であり、メンテナンス及び取り替えのコストを削減することができる流体圧力調整弁体を備えたシリンダを提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明は、貯留された流体を出口側の設定圧力条件下でのみ設定排出圧力で排出できるように流体を貯留及び輸送するシリンダにおいて、シリンダ内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータと、前記第１レギュレータにより調整された設定圧力の流体を設定条件状態の圧力時にのみ排出できるようにする第２レギュレータと、を含むが、前記第１レギュレータ及び第２レギュレータがシリンダの貯留空間に挿入されないように構成されて貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えることを特徴とする。
【００１４】
前記第１レギュレータは、排出される流体の圧力の大きさを調節し得るものであり、第２レギュレータは、出口側の設定圧力条件でのみ流路が開放されるように開閉圧力の大きさを調節できるようにする。
【００１５】
流体圧力調整弁の弁胴体には、第１レギュレータが設けられる第１レギュレータ設置室と、第２レギュレータが設けられる第２レギュレータ設置室と、が形成されるが、前記第１レギュレータ設置室と第２レギュレータ設置室とがシリンダの外側に配置されることを特徴とする。
【００１６】
すなわち、前記流体圧力調整弁は、流体排出用入口が形成されたシリンダ締結部と、前記流体排出用入口と第１流路により連通する第１レギュレータ設置室と、前記第１レギュレータ設置室と第２流路により連通する第２レギュレータ設置室と、前記第２レギュレータ設置室と第３流路により連通する開閉用弁設置室と、前記開閉用弁設置室と第４流路により連通する流体排出通路と、前記流体排出用入口と第５流路により連通する安全弁設置室と、前記安全弁設置室と第６流路により連通する充填ポート室と、を有する弁胴体と；前記第１レギュレータ設置室に設けられて、シリンダ内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータを有する第１レギュレータ部と；前記第２レギュレータ設置室に設けられて、第１レギュレータにより調整された設定圧力を設定条件状態の圧力時に引き出すように調整する第２レギュレータを有する第２レギュレータ部と；前記開閉用弁設置室に設けられて、流動中の流体の流動を遮断し得る開閉用弁と；前記安全弁設置室に設けられた安全弁と；を含むことを特徴とする。
【００１７】
前記第１レギュレータと第２レギュレータは、それぞれの第１及び第２レギュレータ設置室に設けられた第１及び第２レギュレータキャップの取り外しだけで取り替え可能である。
【００１８】
前記弁胴体の一方の側には、第１レギュレータの設置のための内壁に第１レギュレータねじ部と第１レギュレータキャップねじ部とが形成された第１レギュレータ設置室が形成され、他方の側には、第２レギュレータの設置のための内壁に第２レギュレータねじ部と第２レギュレータキャップねじ部とが形成された第２レギュレータ設置室が形成され、前記第１レギュレータ設置室は、第１流路を介してシリンダと連通し、前記第１レギュレータ設置室と第２レギュレータ設置室とは第２流路により連通し、前記第２レギュレータ設置室は、流動中の流体の流動を遮断し得る開閉用弁が設けられる開閉用弁設置室と第３流路により連通し、
前記第１レギュレータは、第１レギュレータねじ部に螺合して設けられ、第１レギュレータキャップねじ部には、第１レギュレータを保護する第１レギュレータキャップが螺合し、
前記第２レギュレータは、第２レギュレータねじ部に螺合して設けられ、第２レギュレータキャップねじ部には、第２レギュレータを保護する第２レギュレータキャップが螺合する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダは、貯留された流体を出口側の設定圧力条件下でのみ設定排出圧力で排出できるようにする複数のレギュレータ（調整器）及びこれらを連通させる通路が、流体を貯留するシリンダの内部空間ではなくシリンダの外側の、弁胴体内の一側に設けられて一体化されることにより、シリンダの貯留能力を向上させることができ、しかもメンテナンスが容易であるという利点を有する。
【００２０】
また、本発明による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダは、流体を一定の圧力で排出できるようにするために設けられた第１レギュレータ（調整器）が、排出される流体の圧力の大きさを調節することができるため、様々な大きさの圧力状態で流体を排出することができ、出口側の圧力条件状態でのみ流体を排出できるようにするために設けられた第２レギュレータ（調整器）が、出口側の設定圧力条件でのみ流路を開放する開閉圧力の大きさを調節することができ、シリンダの外側に位置して圧力の大きさを容易に調節することができるため、使用環境の変化に迅速に対処することができるという利点を有する。
【００２１】
すなわち、本発明による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダは、第１及び第２レギュレータ（調整器）がシリンダ外側の弁胴体に配置されるので、流体（ガス）を貯留するためにシリンダの内部空間（容積）を効率よく使用することができ、このため、輸送及び貯留による流体（ガス）の価格上昇を防止することができ、第１及び第２レギュレータ（調整器）の取り替え及び圧力調整を容易にすることができるという利点を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダの概略図である。
【図２】本発明の実施形態による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダにおける流体圧力調整弁体の概略断面図である。
【図３】本発明の実施形態による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダにおける流体圧力調整弁体の他の概略断面図である。
【図４】本発明の実施形態による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダにおける流体圧力調整弁体の分離概略断面図である。
【図５】本発明の実施形態による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダにおける流体圧力調整弁体の第１レギュレータ部の分離概略断面図である。
【図６】本発明の実施形態による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダにおける流体圧力調整弁体の第２レギュレータ部の分離概略断面図である。
【図７】本発明の実施形態による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダにおける流体圧力調整弁体の流体（ガス）の流動状態を示す概略断面図である。
【図８】従来の流体圧力調整弁体を備えたシリンダの概略断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明は、流体（ガス）を貯留及び輸送するが、貯留された流体を出口側の設定圧力条件下でのみ設定排出圧力で排出できるように構成されたシリンダに関する。
【００２４】
すなわち、本発明は、流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータと、前記第１レギュレータにより調整された設定圧力の流体を設定条件状態の圧力時にのみ排出できるようにする第２レギュレータと、を含むが、前記第１レギュレータ及び第２レギュレータがシリンダの内側に挿入されない弁胴体の一側に収容されるように構成されて、流体を貯留及び輸送するシリンダの内部空間（容積）を最大化することで、流体の貯留及び輸送による価格上昇を防止することができ、第１レギュレータ及び第２レギュレータの圧力調整、修理及び取り替えを容易にすることができる、貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダに関する。
【００２５】
このような本発明による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダは、貯留された流体を出口側の設定圧力条件下でのみ設定排出圧力で排出できるように流体を貯留及び輸送するシリンダにおいて、
シリンダＳ内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータ２１と、前記第１レギュレータ２１により調整された設定圧力の流体を設定条件状態の圧力時にのみ排出できるようにする第２レギュレータ３１と、を含むが、前記第１レギュレータ２１及び第２レギュレータ３１がシリンダＳの貯留空間１００に挿入されないように構成されて貯留能力を向上させた流体圧力調整弁Ｂを備え、
前記流体圧力調整弁Ｂは、流体排出用入口１５が形成されたシリンダ締結部１１と、前記流体排出用入口１５と第１流路６１により連通する第１レギュレータ設置室１２と、前記第１レギュレータ設置室１２と第２流路６２により連通する第２レギュレータ設置室１３と、前記第２レギュレータ設置室１３と第３流路６３により連通する開閉用弁設置室１４と、前記開閉用弁設置室１４と第４流路６４により連通する流体排出通路８１と、前記流体排出用入口１５と第５流路６５により連通する安全弁設置室１７と、前記流体排出用入口１５と第６流路６６により連通する充填ポート室１８と、を有する弁胴体１０と；前記第１レギュレータ設置室１２に設けられて、シリンダ内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータ２１を有する第１レギュレータ部２０と；前記第２レギュレータ設置室１３に設けられて、第１レギュレータ２０により調整された設定圧力を設定条件状態の圧力時に引き出すように調整する第２レギュレータ３１を有する第２レギュレータ部３０と；前記開閉用弁設置室１４に設けられて、流動中の流体の流動を遮断し得る開閉用弁４０と；前記安全弁設置室１７に設けられた安全弁５０と；を含む。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダについて実施形態を示す図を参照して説明する。
【００２７】
図１に示すように、本発明による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダは、流体を貯留及び輸送できるように内部空間１００を有するシリンダＳの首部に設けられ、流体の排出圧力を調整して調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータ部２０と、前記第１レギュレータ部２０により調整された設定圧力の流体を設定条件状態の圧力時にのみ排出できるようにする第２レギュレータ部３０と、を含むが、前記第１レギュレータ部２０及び第２レギュレータ部２０がシリンダＳの内部空間１００に挿入されないように構成された流体圧力調整弁Ｂを有する。
【００２８】
前記流体圧力調整弁Ｂについて実施形態を示す図２及び図３を参照して説明する。
【００２９】
前記シリンダ用流体圧力調整弁体Ｂは、シリンダＳの入口（首部）に設けられるように下側にシリンダ締結部１１を備えた弁胴体１０と、弁胴体１０の一方の側に収容された第１レギュレータ２１を有する第１レギュレータ部２０と、弁胴体１０の他方の側に収容された第２レギュレータ３１を有する第２レギュレータ部３０と、弁胴体１０の上側部に設けられて流体が移動する流路を遮断し得る開閉用弁４０と、弁胴体１０の一側に設けられて、シリンダの内部空間の圧力上昇時に排出して安全を図る安全弁５０と、弁胴体１０の一側に形成されて、シリンダの内部空間に流体を充填する際に使用する流体充填ポート７０と、弁胴体１０の一側に形成されて流体を排出する際に使用する流体排出ポート８０と、を含む。
【００３０】
前記弁胴体１０は、シリンダＳの入口に結合するように下側に流体排出用入口１５が形成されたシリンダ締結部１１と、前記流体排出用入口１５と流体を導く第１流路６１により連通する第１レギュレータ設置室１２と、前記第１レギュレータ設置室１２と流体を導く第２流路６２により連通する第２レギュレータ設置室１３と、第２レギュレータ設置室１３と流体を導く第３流路６３により連通する開閉用弁設置室１４と、前記開閉用弁設置室１４と流体を導く第４流路６４により連通する流体排出通路８１と、前記流体排出用入口１５と流体を導く第５流路６５により連通する安全弁設置室１７と、前記流体排出用入口１５と流体を導く第６流路６６により連通する充填ポート室１８と、を含む。
【００３１】
前記第１レギュレータ設置室１２は、第１レギュレータ２１が収容される構成要素であり、第１レギュレータ２１が設けられ、第１レギュレータ２１を保護する第１レギュレータキャップ２２が設けられるように、内壁には第１レギュレータねじ部１２−１と第１レギュレータキャップねじ部１２−２とが形成される。
【００３２】
前記第２レギュレータ設置室１３は、第２レギュレータ３１が収容される構成要素であり、第２レギュレータ３１が設けられ、第２レギュレータ３１を保護する第２レギュレータキャップ３２が設けられるように、内壁には第２レギュレータねじ部１３−１と第２レギュレータキャップねじ部１３−２とが形成される。
【００３３】
前記開閉用弁設置室１４は、第３流路６３に導かれた流体が第４流路６４に移動することを遮断し得る開閉用弁４０が設けられる構成要素であり、前記開閉用弁設置室１４に設けられる開閉用弁４０は、流動中の流体の流動を物理的に遮断できるように構成された構成要素であり、手動開閉用弁、空気圧開閉用弁、電磁機械的な開閉用弁（ソレノイド弁など）のさまざまなタイプを使用することができる。
【００３４】
前記第１流路６１から第６流路６６は、流体を導く通路であり、弁胴体１０の内側に形成される。
【００３５】
前記安全弁設置室１７には、シリンダ内の圧力上昇時に圧力を調節するための安全弁５０が設けられ、前記充填ポート室１８には、流体を充填するための流体充填ポート７０が形成され、前記流体排出通路８１には、流体排出ポート８０が形成される。
【００３６】
前記流体排出用入口１５または第１流路６１上には、高効率の微粒子用入口側フィルタ９１が設けられ、前記流体排出通路８１には、高効率の微粒子用排出側フィルタ９２が設けられる。
【００３７】
流体充填のための充填流路は、流体充填ポート７０が形成された充填ポート室１８と安全弁５０が設けられる安全弁設置室１７とを連通する第６流路６６と、前記安全弁設置室１７と流体排出用入口１５とを連通する第５流路６５と、からなる。すなわち、流体充填のための充填流路は、安全弁５０が設けられる安全弁設置室１７を通過する。
【００３８】
前記第１レギュレータ部２０は、シリンダＳの内部空間１００に貯留された流体を設定圧力で排出できるようにするために第１レギュレータ設置室１２に設けられた第１レギュレータ２１を含み、第１流路６１に導かれた流体を設定圧力で第２流路６２に伝達する構成要素である（図４及び図５を参照）。
【００３９】
このような第１レギュレータ部２０は、第１レギュレータねじ部１２−１と螺合して設けられる第１レギュレータ２１と、第１レギュレータキャップねじ部１２−２と螺合して第１レギュレータ２１を保護する第１レギュレータキャップ２２と、からなる。
【００４０】
前記第１レギュレータ２１は、外壁に第１レギュレータねじ部２１−１が形成され、内部空間を有するようにキャップ状を呈する第１レギュレータ胴体２３と、前記第１レギュレータ胴体２３の内部空間に収容されるポペット、ポペット保持ウエハ及びポペット保持ウエハとカップリングされるダイヤフラムを有する圧力調節体２４と、前記第１レギュレータ胴体２３の内部空間に収容されて圧力調節体２４を弾持する圧力調節用弾性体２５と、前記圧力調節用弾性体２５の支持圧力を調節する支持圧力調節棒２６と、前記支持圧力調節棒２６の位置を固定する固定ねじ２７と、を含む。
【００４１】
前記支持圧力調整棒２６を用いて圧力調節用弾性体２５の弾性力を調節することにより、圧力調整体２４に加えられる弾持力を調節し、これにより導かれる流体の圧力を調節することができる。
【００４２】
好ましくは、通常、支持圧力調整棒２６を使用して圧力調節用弾性体２５に荷重を加えると、５〜２０ｐｓｉの圧力が圧力調整体２４に作用することができる。
【００４３】
また、前記第１レギュレータ２１は、第１レギュレータキャップ２２を取り外した後、第１レギュレータ設置室１２から取り外すことができ、これにより第１レギュレータ２１の取り替え及び圧力調節を自由に行うことができる。
【００４４】
前記第２レギュレータ部３０は、排出側の圧力が設定状態の圧力であるときに流路が開放され、第２流路６２に導かれた流体が第３流路６３に移動することができるように、第２レギュレータ設置室１３に設けられた第２レギュレータ３１を含んでなる（図４及び図６参照）。
【００４５】
このような第２レギュレータ部３０は、第２レギュレータねじ部１３−１と螺合して設けられる第２レギュレータ３１と、第２レギュレータキャップねじ部１３−２と螺合して第２レギュレータ３１を保護する第１レギュレータキャップ３２と、からなる。
【００４６】
前記第２レギュレータ３１は、外壁に第２レギュレータねじ部３１−１が形成され、内部空間を有するようにキャップ状を呈する第２レギュレータ胴体３３と、前記第２レギュレータ胴体３３の内部空間に収容されるポペット、ポペット保持ウエハ及びポペット保持ウエハとカップリングされるダイヤフラムを有して、設定圧力で流体の流路を開放するようにする圧力調節体３４と、を含む。
【００４７】
通常、前記第２レギュレータ３１は、流体排出ポート８０側の圧力が真空（２５０Ｔｏｒｒ以下）であるときに流体を通過させるように設定される。
【００４８】
また、前記第２レギュレータ３１は、第２レギュレータキャップ３２を取り外した後、第２レギュレータ設置室３２から取り外すことができ、これにより第２レギュレータ３１の取り替え及び圧力調節を自由に行うことができる。
【００４９】
図７は、シリンダＳの内部空間１００に貯留された流体が、流体を導く流路を介して移動する状態を示すものである。
【００５０】
シリンダＳに貯留された流体が入口側フィルタ９１を通過した後、第１流路６１に導かれて、第１レギュレータ設置室１２に流入されると、第１レギュレータ２１によって設定圧力に変更された後、第２流路６２に導かれる。
【００５１】
流体排出ポート８０側の圧力が真空（２５０Ｔｏｒｒ）以下であるとき、第２レギュレータ３１は、第２流路６２に導かれた流体を第３流路６３に導く。
【００５２】
前記第３流路６３に導かれた流体は、開閉用弁設置室１４を介して第４流路６４に導かれ、このとき、開閉用弁設置室１４に設けられる開閉用弁４０により流路を遮断することができる。
【００５３】
前記第４流路６４に導かれた流体は、流体排出通路８１を介して排出される。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明による貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダは、貯留された流体を出口側の設定圧力条件下でのみ設定排出圧力で排出できるようにする複数のレギュレータ（調整器）及びこれらを連通させる通路が、流体を貯留するシリンダの内部空間ではなくシリンダの外側の、弁胴体内の一側に設けられて一体化されることにより、シリンダの貯留能力を向上させることができ、しかもメンテナンスが容易であるという利点があるので、このような利点により広く使用される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2020534493.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【手続補正書】
【提出日】令和2年10月19日(2020.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯留された流体を出口側の設定圧力条件下でのみ設定排出圧力で排出できるように流体を貯留及び輸送するシリンダにおいて、
シリンダ（Ｓ）内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータ（２１）と、前記第１レギュレータ（２１）により調整された設定圧力の流体を設定条件状態の圧力時にのみ排出できるようにする第２レギュレータ（３１）と、を含むが、前記第１レギュレータ（２１）及び第２レギュレータ（３１）がシリンダ（Ｓ）の貯留空間（１００）に挿入されないように構成されて貯留能力を向上させた流体圧力調整弁（Ｂ）を備え、
前記流体圧力調整弁（Ｂ）は、
流体排出用入口（１５）が形成されたシリンダ締結部（１１）と、前記流体排出用入口（１５）と第１流路（６１）により連通する第１レギュレータ設置室（１２）と、前記第１レギュレータ設置室（１２）と第２流路（６２）により連通する第２レギュレータ設置室（１３）と、前記第２レギュレータ設置室（１３）と第３流路（６３）により連通する開閉用弁設置室（１４）と、前記開閉用弁設置室（１４）と第４流路（６４）により連通する流体排出通路（８１）と、前記流体排出用入口（１５）と第５流路（６５）により連通する安全弁設置室（１７）と、前記流体排出用入口（１５）と第６流路（６６）により連通する充填ポート室（１８）と、を有する弁胴体（１０）と；
前記第１レギュレータ設置室（１２）に設けられて、シリンダ内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータ（２１）を有する第１レギュレータ部（２０）と；
前記第２レギュレータ設置室（１３）に設けられて、第１レギュレータ（２１）により調整された設定圧力を設定条件状態の圧力時に引き出すように調整する第２レギュレータ（３１）を有する第２レギュレータ部（３０）と；
前記開閉用弁設置室（１４）に設けられて、流動中の流体の流動を遮断し得る開閉用弁（４０）と；
前記安全弁設置室（１７）に設けられた安全弁（５０）と；
を含み、
前記第１レギュレータ（２１）は、排出される流体の圧力の大きさを調節し得るものであり、第２レギュレータ（３１）は、出口側の設定圧力条件でのみ流路が開放されるように開閉圧力の大きさを調節し得るものであることを特徴とする貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項２】
前記流体圧力調整弁（Ｂ）の第１レギュレータ設置室（１２）及び第２レギュレータ設置室（１３）がシリンダ（Ｓ）の外側に配置されることを特徴とする請求項１に記載の貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項３】
前記第１レギュレータ（２１）と第２レギュレータ（３１）は、それぞれの第１及び第２レギュレータ設置室（１２，１３）に設けられた第１及び第２レギュレータキャップ（２２，３２）の取り外しだけで取り替え可能であることを特徴とする請求項２に記載の貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項４】
貯留された流体を出口側の設定圧力条件下でのみ設定排出圧力で排出できるように流体を貯留及び輸送するシリンダにおいて、
シリンダ（Ｓ）内の流体の排出圧力を調整して、調整された設定圧力で排出できるようにする第１レギュレータ（２１）と、前記第１レギュレータ（２１）により調整された設定圧力の流体を設定条件状態の圧力時にのみ排出できるようにする第２レギュレータ（３１）と、を含むが、前記第１レギュレータ（２１）及び第２レギュレータ（３１）がシリンダ（Ｓ）の貯留空間（１００）に挿入されないように構成されて貯留能力を向上させた流体圧力調整弁（Ｂ）を備え、
流体圧力調整弁（Ｂ）の弁胴体（１０）には、第１レギュレータ（２１）が設けられる第１レギュレータ設置室（１２）と、第２レギュレータ（３１）が設けられる第２レギュレータ設置室（１３）と、が形成されるが、前記第１レギュレータ設置室（１２）及び第２レギュレータ設置室（１３）がシリンダ（Ｓ）の外側に配置される一方、
前記弁胴体（１０）の一方の側には、第１レギュレータ（２１）の設置のための内壁に第１レギュレータねじ部（１２−１）と第１レギュレータキャップねじ部（１２−２）とが形成された第１レギュレータ設置室（１２）が形成され、他方の側には、第２レギュレータ（３１）の設置のための内壁に第２レギュレータねじ部（１３−１）と第２レギュレータキャップねじ部（１３−２）とが形成された第２レギュレータ設置室（１３）が形成され、前記第１レギュレータ設置室（１２）は、第１流路（６１）を介してシリンダと連通し、前記第１レギュレータ設置室（１２）と第２レギュレータ設置室（１３）とは第２流路（６２）により連通し、前記第２レギュレータ設置室（１３）は、流動中の流体の流動を遮断し得る開閉用弁（４０）が設けられる開閉用弁設置室（１４）と第３流路（６３）により連通し、
前記第１レギュレータ（２１）は、第１レギュレータねじ部（１２−１）に螺合して設けられ、第１レギュレータキャップねじ部（１２−２）には、第１レギュレータ（２１）を保護する第１レギュレータキャップ（２２）が螺合し、
前記第２レギュレータ（３１）は、第２レギュレータねじ部（１３−１）に螺合して設けられ、第２レギュレータキャップねじ部（１３−２）には、第２レギュレータ（３１）を保護する第２レギュレータキャップ（３２）が螺合することを特徴とする貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項５】
前記第１レギュレータ（２１）は、
外壁に第１レギュレータねじ部（２１−１）が形成され、内部空間を有するようにキャップ状を呈する第１レギュレータ胴体（２３）と、
前記第１レギュレータ胴体（２３）の内部空間に収容されるポペット、ポペット保持ウエハ及びポペット保持ウエハとカップリングされるダイヤフラムを有する圧力調節体（２４）と、
前記第１レギュレータ胴体（２３）の内部空間に収容されて圧力調節体（２４）を弾持する圧力調節用弾性体（２５）と、
前記圧力調節用弾性体（２５）の支持圧力を調節する支持圧力調節棒（２６）と、
前記支持圧力調節棒（２６）の位置を固定する固定ねじ（２７）と、
を含むことを特徴とする請求項４に記載の貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【請求項６】
前記第２レギュレータ（３１）は、
外壁に第２レギュレータねじ部（３１−１）が形成され、内部空間を有するようにキャップ状を呈する第２レギュレータ胴体（３３）と、
前記第２レギュレータ胴体（３３）の内部空間に収容されるポペット、ポペット保持ウエハ及びポペット保持ウエハとカップリングされるダイヤフラムを有して、設定圧力で流体の流路を開放するようにする圧力調節体（３４）と、
を含むことを特徴とする請求項４に記載の貯留能力を向上させた流体圧力調整弁を備えたシリンダ。
【国際調査報告】
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