(57)【要約】  凹状特徴の側壁から不要な材料を横方向にエッチングするための方法および装置について本明細書で記述する。さまざまな実施形態において、方法は、側壁の一部分をエッチングし、側壁の一部分の全域にわたって保護フィルムを堆積させ、凹状特徴の深さ全体から不要な材料が取り除かれるまで、エッチング操作および堆積操作を反復する。各エッチング操作および各堆積操作は、特徴の側壁に沿って特定の深さをターゲットとしてよい。いくつかの例では、不要な材料は、特徴の最下部から上方へ取り除かれ、他の事例では、不要な材料は、特徴の最上部から下方へ取り除かれる。これらの何らかの組合せもまた使用されてよい。【選択図】図２Ａ
2020529732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の特徴の側壁から不要な材料を横方向にエッチングする方法であって、
（ａ）エッチングプラズマに前記基板を暴露することによりエッチング操作を実行し、前記エッチングプラズマは、エッチング反応物を有する、遠隔で発生させられた誘導結合プラズマを備え、前記エッチング操作は、前記特徴の前記側壁の一部分から前記不要な材料を横方向にエッチングし、
（ｂ）堆積プラズマに前記基板を暴露することにより堆積操作を実行し、前記堆積プラズマは、堆積反応物を有する容量結合プラズマを備え、前記堆積操作は、前記特徴の前記側壁の第２の部分の全域にわたって保護フィルムを形成し、前記保護フィルムは、前記側壁の最上部近くで最も厚く、かつ前記側壁の最下部まで延伸しないように非共形であり、
（ｃ）前記不要な材料が前記特徴の前記側壁全体に沿って横方向にエッチングされるまで、前記（ａ）の前記エッチング操作および前記（ｂ）の前記堆積操作を反復し、前記（ａ）の異なる反復は、前記特徴の前記側壁の異なる部分から前記不要な材料を横方向にエッチングし、前記（ｂ）の異なる反復は、前記特徴の前記側壁の異なる第２の部分の全域にわたって前記保護フィルムを堆積させ、前記（ａ）における前記エッチング操作の少なくとも１つの反復の間、横方向にエッチングされる前記側壁の前記部分は、前記（ｂ）の先行する反復で堆積された前記保護フィルムにより覆われる前記側壁の前記第２の部分の真下にある、
方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、前記（ａ）における前記エッチング操作の第１の反復は、前記（ａ）の前記第１の反復が前記側壁上に前記保護フィルムなしで実行されるように、前記（ｂ）における前記堆積操作の第１の反復の前に実行され、前記（ａ）の前記第１の操作において横方向にエッチングされる前記側壁の前記部分は、前記側壁の最上部部分である、方法。
【請求項３】
請求項２に記載の方法であって、前記（ｂ）における前記堆積操作の前記第１の反復は、前記（ａ）における前記エッチング操作の前記第１の反復において横方向にエッチングされた前記側壁の同じ前記部分上に前記保護フィルムを形成する、方法。
【請求項４】
請求項３に記載の方法であって、前記（ａ）における前記エッチング操作の第２の反復は、前記（ｂ）における前記堆積操作の前記第１の反復の後に実行され、前記（ａ）の前記第２の反復において横方向にエッチングされる前記側壁の前記部分は、前記（ａ）の前記第１の反復において横方向にエッチングされる前記側壁の前記部分と比較して前記特徴内のより深い所にある、方法。
【請求項５】
請求項２に記載の方法であって、前記保護フィルムが前記（ｂ）における前記堆積操作の各反復において形成する前記側壁の前記第２の部分は、前記不要な材料が前記（ａ）における前記エッチング操作の直前の反復において取り除かれる前記側壁の前記部分を含み、その結果、前記保護フィルムは、前記（ａ）の先行する反復においてエッチングされたばかりの前記側壁の前記部分を覆うように前記（ｂ）において常に形成される、方法。
【請求項６】
請求項２に記載の方法であって、前記不要な材料は、前記（ａ）および前記（ｂ）の追加の反復が実行される際に、前記側壁の前記最上部から前記側壁の前記最下部に向かう順序で取り除かれる、方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法であって、前記保護フィルムは、前記（ｂ）の前記追加の反復が実行される際に、前記側壁に沿って次第に深く到達するように形成される、方法。
【請求項８】
請求項７に記載の方法であって、前記保護フィルムは、前記（ｂ）の異なる反復における異なる堆積条件のセットを使用して形成される、方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法であって、前記（ｂ）の前記異なる反復における前記異なる堆積条件のセットは、基板支持物温度、圧力、前記堆積反応物の流量、および前記容量結合プラズマを生成するために使用するＲＦ出力からなるグループから選択される少なくとも１つの変数に関して互いに変化する、方法。
【請求項１０】
請求項１に記載の方法であって、前記（ｂ）における前記堆積操作の第１の反復は、前記（ａ）における前記エッチング操作の第１の反復の前に、前記保護フィルムが前記側壁上に存在する間に前記（ａ）の前記第１の反復が実行されるように実行される、方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法であって、前記不要な材料は、前記（ａ）および前記（ｂ）の追加の反復が実行される際、前記側壁の前記最下部から前記側壁の前記最上部に向かう順序で取り除かれる、方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の方法であって、前記保護フィルムは、前記（ｂ）の前記追加の反復が実行される際、前記側壁に沿って次第に浅く到達するように形成される、方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載の方法であって、さらに、前記（ａ）における前記エッチング操作の各反復の後であって、かつ前記（ｂ）における前記堆積操作の次の反復で前記保護フィルムを堆積させる前に、前記側壁から前記保護フィルムを剥離し、前記保護フィルムを剥離することは、酸素を有する剥離プラズマに前記基板を暴露することを備える、方法。
【請求項１４】
請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載の方法であって、前記保護フィルムは、ヒドロフルオロカーボンに基づく高分子フィルムである、方法。
【請求項１５】
請求項１から請求項５１４のいずれか一項に記載の方法であって、前記エッチング反応物は、フッ素ラジカルを作り出す、方法。
【請求項１６】
請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載の方法であって、前記不要な材料は、金属を備える、方法。
【請求項１７】
請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載の方法であって、前記不要な材料は、ポリシリコンである、方法。
【請求項１８】
請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載の方法であって、前記不要な材料は、窒化ケイ素である、方法。
【請求項１９】
請求項１から請求項１８のいずれか一項に記載の方法であって、前記（ａ）および前記（ｂ）は、同じ反応チャンバ内で実行され、前記反応チャンバは、
ガス分配機器により分離された下部チャンバ領域および上部チャンバ領域と、
前記上部チャンバ領域内に前記誘導結合プラズマを発生させる誘導結合プラズマ源と、
前記下部チャンバ領域内に前記容量結合プラズマを発生させる容量結合プラズマ源と
を備える方法。
【請求項２０】
請求項１から請求項１８のいずれか一項に記載の方法であって、前記（ａ）および前記（ｂ）は、異なる反応チャンバ内で行われ、さらに、前記（ａ）および前記（ｂ）の実行に応じて、前記異なる反応チャンバの間で前記基板を移送する、方法。
【請求項２１】
請求項１から請求項２０のいずれか一項に記載の方法であって、前記特徴は、第１の積層材料および第２の積層材料からなる交互層を備える積層の形で形成され、前記（ａ）における前記エッチング操作は、前記第１の積層材料および前記第２の積層材料のうち少なくとも一方を暴露し、前記（ａ）における前記エッチング操作は、前記不要な材料が前記第１の積層材料および前記第２の積層材料と比較して優先的に取り除かれるように、選択的である、方法。
【請求項２２】
基板上の特徴の側壁から不要な材料を横方向にエッチングするための装置であって、
下部チャンバ領域および上部チャンバ領域を備える反応チャンバと、
前記上部チャンバ領域から前記下部チャンバ領域を分離するガス分配機器と、
前記上部チャンバ領域内に誘導結合プラズマを発生させる誘導結合プラズマ源と、
前記下部チャンバ領域内に容量結合プラズマを発生させる容量結合プラズマ源と、
前記上部チャンバ領域に気相反応物を供給するための第１の入口と、
前記下部チャンバ領域に気相反応物を供給するための第２の入口と、
前記下部チャンバ領域から気相材料を取り除くための出口と、
コントローラと
を備え、前記コントローラは、
（ａ）前記基板が前記下部チャンバ領域内に配置される間、前記上部チャンバ領域内にエッチング反応物を備える誘導結合エッチングプラズマを発生させることによりエッチング操作を実行し、前記エッチング操作は、前記特徴の前記側壁の一部分から前記不要な材料を横方向にエッチングし、
（ｂ）前記基板が前記下部チャンバ領域内に配置される間、前記下部チャンバ領域内に堆積反応物を備える容量結合堆積プラズマを発生させることにより堆積操作を実行し、前記堆積操作は、前記特徴の前記側壁の第２の部分の全域にわたって保護フィルムを形成し、前記保護フィルムは、前記側壁の最上部の近くで最も厚く、かつ前記側壁の最下部まで延伸しないように非共形であり、
（ｃ）前記不要な材料が前記特徴の前記側壁全体に沿って横方向にエッチングされるまで、前記（ａ）の前記エッチング操作および前記（ｂ）の前記堆積操作を反復し、前記（ａ）の異なる反復は、前記特徴の前記側壁の異なる部分から前記不要な材料を横方向にエッチングし、前記（ｂ）の異なる反復は、前記特徴の前記側壁の異なる第２の部分の全域にわたって前記保護フィルムを堆積させ、前記（ａ）における前記エッチング操作の少なくとも１つの反復の間、横方向にエッチングされる前記側壁の前記部分は、前記（ｂ）の先行する反復で堆積させられた前記保護フィルムにより覆われる前記側壁の前記第２の部分の真下にある、装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［関連出願の相互参照）
本出願は、全ての目的のために本明細書に組み入れられる、２０１７年８月２日に提出された、名称を「ＨＩＧＨ  ＡＳＰＥＣＴ  ＲＡＴＩＯ  ＳＥＬＥＣＴＩＶＥ  ＬＡＴＥＲＡＬ  ＥＴＣＨ  ＵＳＩＮＧ  ＣＹＣＬＩＣ  ＰＡＳＳＩＶＡＴＩＯＮ  ＡＮＤ  ＥＴＣＨＩＮＧ（周期的な不動態化およびエッチングを使用する高アスペクト比の選択的横方向エッチング）」とする米国特許出願１５／６６７，５５１号に基づく優先権の利益を主張する。
【背景技術】
【０００２】
さまざまな半導体処理方式では、材料の積層の中に高アスペクト比の特徴がエッチングされる。例示的適用例は、ＤＲＡＭ素子および３Ｄ  ＮＡＮＤ素子の製造などのメモリ適用例を含むがそれらに限定されない。多くの場合、積層は、誘電体材料を含み、酸化物および窒化物、または酸化物およびポリシリコンなどの材料からなる交互層を含んでよい。高アスペクト比の特徴を（たとえば、凹状円柱、トレンチなどを形成するために）エッチングした後、選択的エッチング処理を行って、積層内の材料の１つをエッチバックする。いくつかの事例では、この選択的エッチング後、ライナ材料を堆積させてよい。次いで、選択的にエッチバックした部位の範囲内を含み、特徴の側壁に沿って材料（たとえば、多くの事例では、金属、ポリシリコン、または誘電体）を堆積させる。次いで、この材料は、事前に選択的にエッチバックされた各領域内に堆積した材料を電気的に絶縁するために取り除かれなければならない。この処理方式について、図１Ａ〜図１Ｅを参照して以下でさらに論じる。
【発明の概要】
【０００３】
本明細書のさまざまな実施形態は、半導体基板から不要な材料をエッチングするための方法、装置、およびシステムに関する。多くの例では、不要な材料は、半導体基板上の凹状特徴の側壁から横方向にエッチングされる。エッチングは、段階的に行われてよく、側壁の一部分の全域にわたって保護フィルムを堆積させる堆積操作と共に反復される。この保護フィルムは、側壁のうち覆われた部分をオーバーエッチングから保護し、後段のエッチング操作の間、特徴のさらに下方へエッチング反応物を供給することを促進する。いくつかの実施形態では、不要な材料は、側壁の最上部から側壁の最下部に向かって特徴から取り除かれる。他の実施形態では、この順序は逆になり、不要な材料は、側壁の最下部から側壁の最上部に向かって特徴から取り除かれる。
【０００４】
開示する実施形態の一様態では、基板上の特徴の側壁から不要な材料を横方向にエッチングする方法である。方法は、（ａ）エッチングプラズマに基板を暴露することによりエッチング操作を実行し、エッチングプラズマは、エッチング反応物を含む、遠隔で発生させられた誘導結合プラズマを含み、エッチング操作は、特徴の側壁の一部分から不要な材料を横方向にエッチングし、（ｂ）堆積プラズマに基板を暴露することにより堆積操作を実行し、堆積プラズマは、堆積反応物を含む容量結合プラズマを含み、堆積操作は、特徴の側壁の第２の部分の全域にわたって保護フィルムを形成し、保護フィルムは、側壁の最上部近くで最も厚く、かつ側壁の最下部に至るまで延伸しないように非共形あり、（ｃ）不要な材料が特徴の側壁全体に沿って横方向にエッチングされるまで、（ａ）のエッチング操作および（ｂ）の堆積操作を反復し、（ａ）の異なる反復は、特徴の側壁の異なる部分から不要な材料を横方向にエッチングし、（ｂ）の異なる反復は、特徴の側壁の異なる第２の部分の全域にわたって保護フィルムを堆積させ、（ａ）でのエッチング操作の少なくとも１つの反復の間、横方向にエッチングされる側壁の部分は、（ｂ）の先行する反復で堆積させられた保護フィルムにより覆われる側壁の第２の部分の真下にある。
【０００５】
いくつかの実施形態では、（ａ）におけるエッチング操作の第１の反復は、（ａ）の第１の反復が側壁上の保護フィルムなしで実行されるように、（ｂ）での堆積操作の第１の反復の前に実行され、（ａ）の第１の操作において横方向にエッチングされる側壁の部分は、側壁の最上部部分である。いくつかのそのような事例では、（ｂ）における堆積操作の第１の反復は、（ａ）におけるエッチング操作の第１の反復において横方向にエッチングされた側壁の同じ部分上に保護フィルムを形成する。（ａ）におけるエッチング操作の第２の反復は、（ｂ）での堆積操作の第１の反復の後に実行されてよく、（ａ）の第２の反復で横方向にエッチングされる側壁の部分は、（ａ）の第１の反復において横方向にエッチングされる側壁の部分と比較して特徴内でより深くまで達してよい。これらまたは他の事例では、保護フィルムが（ｂ）における堆積操作の各反復で形成される側壁の第２の部分は、不要な材料が（ａ）でのエッチング操作の直前の反復で取り除かれる側壁の部分を含んでよく、その結果、保護フィルムは、（ａ）の先行する反復でエッチングされたばかりの側壁の部分を覆うように、（ｂ）で常に形成される。
【０００６】
ある種の実装形態では、不要な材料は、（ａ）および（ｂ）の追加の反復を実行する際、側壁の最上部から側壁の最下部に向かう順序で取り除かれる。いくつかの実施形態では、保護フィルムは、（ｂ）の追加の反復を実行する際、側壁に沿って次第に深く到達するように形成される。いくつかのそのような例では、保護フィルムは、（ｂ）の異なる反復において異なる堆積条件のセットを使用して形成される。一例では、（ｂ）の異なる反復における異なる堆積条件のセットは、基板支持物温度、圧力、堆積反応物の流量、および容量結合プラズマを発生させるために使用するＲＦ出力からなるグループから選択される少なくとも１つの変数に関して互いに変化する。
【０００７】
別の実施形態では、（ｂ）における堆積操作の第１の反復は、保護フィルムが側壁上に存在する間に（ａ）の第１の反復が実行されるように、（ａ）におけるエッチング操作の第１の反復の前に実行される。いくつかの実装形態では、不要な材料は、（ａ）および（ｂ）の追加の反復を実行する際、側壁の最下部から側壁の最上部に向かう順序で取り除かれる。これらまたは他の実装形態では、保護フィルムは、（ｂ）の追加の反復を実行する際、側壁に沿って次第に浅く到達するように形成されてよい。いくつかの事例では、方法は、さらに、（ａ）におけるエッチング操作の各反復後であって、かつ（ｂ）における堆積操作の次の反復で保護フィルムを堆積させる前に、側壁から保護フィルムを剥離し、保護フィルムの剥離は、酸素を含む剥離プラズマに基板を暴露する。
【０００８】
ある種の実施形態では、保護フィルムは、ヒドロフルオロカーボンに基づく高分子フィルムである。いくつかの他の事例では、保護フィルムは、ケイ素、酸化ケイ素、または窒化ケイ素である。エッチング反応物は、さまざまな事例でフッ素ラジカルを作り出すことがある。ある種の実装形態では、不要な材料は、金属を含む。金属は、元素金属であってよい。いくつかの事例では、元素金属は、タングステンである。いくつかの他の実装形態では、不要な材料は、ポリシリコンである。いくつかの他の実装形態では、不要な材料は、窒化ケイ素である。
【０００９】
いくつかの事例では、（ａ）および（ｂ）は、同じ反応チャンバ内で行われ、反応チャンバは、ガス分配機器により分離された下部チャンバ領域および上部チャンバ領域と、上部チャンバ領域内で誘導結合プラズマを発生させる誘導結合プラズマ源と、下部チャンバ領域内で容量結合プラズマを発生させる容量結合プラズマ源とを含む。いくつかの他の事例では、（ａ）および（ｂ）は、異なる反応チャンバ内で行われ、方法は、さらに、（ａ）および（ｂ）の実行に伴い、異なる反応器の間で基板を移送する。
【００１０】
ある種の実装形態では、特徴は、第１の積層材料および第２の積層材料からなる交互層を含む積層の形で形成され、（ａ）でのエッチング操作は、第１の積層材料および第２の積層材料のうち少なくとも一方を暴露し、（ａ）におけるエッチング操作は、第１の積層材料および第２の積層材料と比較して不要な材料が優先的に取り除かれるように、選択的である。
【００１１】
本明細書の実施形態の別の様態では、基板上の特徴の側壁から不要な材料を横方向にエッチングするための装置が提供される。装置は、下部チャンバ領域および上部チャンバ領域を含む反応チャンバと、上部チャンバ領域から下部チャンバ領域を分離するガス分配機器と、上部チャンバ領域内で誘導結合プラズマを発生させる誘導結合プラズマ源と、下部チャンバ領域内で容量結合プラズマを発生させる容量結合プラズマ源と、上部チャンバ領域に気相反応物を供給するための第１の入口と、下部チャンバ領域に気相反応物を供給するための第２の入口と、下部チャンバ領域から気相材料を取り除くための出口と、コントローラとを含み、コントローラは、（ａ）基板を下部チャンバ領域内に配置する間、上部チャンバ領域内のエッチング反応物を含む誘導結合エッチングプラズマを発生させることによりエッチング操作を実行し、エッチング操作は、特徴の側壁の一部分から不要な材料を横方向にエッチングし、（ｂ）基板が下部チャンバ領域内に配置される間、下部チャンバ領域内に堆積反応物を含む容量結合堆積プラズマを発生させることにより堆積操作を実行し、堆積操作は、特徴の側壁の第２の部分の全域にわたって保護フィルムを形成し、保護フィルムは、側壁の最上部近くで最も厚く、側壁の最下部に至るまで延伸することがないように、非共形であり、（ｃ）不要な材料が特徴の側壁全体に沿って横方向にエッチングされるまで（ａ）のエッチング操作および（ｂ）の堆積操作を反復し、（ａ）の異なる反復は、特徴の側壁の異なる部分から不要な材料を横方向にエッチングし、（ｂ）の異なる反復は、特徴の側壁の異なる第２の部分の全域にわたって保護フィルムを堆積させ、（ａ）におけるエッチング操作の少なくとも１つの反復の間、横方向にエッチングされる側壁の部分は、（ｂ）の先行する反復で堆積させられた保護フィルムにより覆われる側壁の第２の部分の真下にある。
【００１２】
これらおよび他の特徴について、添付図面を参照して以下で記述する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１Ａ】さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図１Ｂ】さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図１Ｃ】さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図１Ｄ】さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図１Ｅ】さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図１Ｆ】さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【００１４】
【図１Ｇ】凹状特徴内部の異なる位置におけるエッチング剤濃度を記述するグラフであり、保護フィルムが側壁上にまったく提供されない場合に対応する。
【図１Ｈ】凹状特徴内部の異なる位置におけるエッチング剤濃度を記述するグラフであり、保護フィルムが側壁上に提供される場合に対応する。
【００１５】
【図２Ａ】材料が最初に特徴の最上部部分から取り除かれ、後に特徴の最下部部分から取り除かれる、ある実施形態に従う、高アスペクト比の特徴を横方向にエッチングする方法について記述するフローチャート。
【００１６】
【図２Ｂ】材料が最初に特徴の最下部部分から取り除かれ、後に特徴の最上部部分から取り除かれる、ある実施形態に従う、高アスペクト比の特徴を横方向にエッチンする方法について記述するフローチャート。
【００１７】
【図３Ａ】図２Ａで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図３Ｂ】図２Ａで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図３Ｃ】図２Ａで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図３Ｄ】図２Ａで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図３Ｅ】図２Ａで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図３Ｆ】図２Ａで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図３Ｇ】図２Ａで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【００１８】
【図４Ａ】図２Ｂで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図４Ｂ】図２Ｂで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図４Ｃ】図２Ｂで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図４Ｄ】図２Ｂで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図４Ｅ】図２Ｂで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図４Ｆ】図２Ｂで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図４Ｇ】図２Ｂで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図４Ｈ】図２Ｂで記述するさまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【００１９】
【図５】ある実施形態に従う、本明細書で記述されるエッチングおよび堆積に用いられ得る装置を示す機能構成図。
【００２０】
【図６Ａ】ある実施形態に従う、凹状特徴の側壁を横方向にエッチングする方法について記述するフローチャート。
【００２１】
【図６Ｂ】ある実施形態に従う、凹状特徴の側壁上に保護フィルムを堆積させる方法について記述するフローチャート。
【００２２】
【図７Ａ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図。
【図７Ｂ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図エッチング操作。
【図７Ｃ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図エッチング操作。
【図７Ｄ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図エッチング操作。
【図７Ｅ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図エッチング操作。
【図７Ｆ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図エッチング操作。
【図７Ｇ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図エッチング操作。
【図７Ｈ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図エッチング操作。
【図７Ｉ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図エッチング操作。
【図７Ｊ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図エッチング操作。
【図７Ｋ】得られる側壁が非垂直になるように各エッチング操作を制御して、特定のエッチング量を達成する、ある実施形態に従う、さまざまな処理ステップの間にわたって部分的に製造された半導体基板を示す説明図エッチング操作。
【００２３】
【図７Ｌ】ある実施形態に従う、異なる側壁プロファイルを有するエッチングされた特徴を示す説明図。
【図７Ｍ】ある実施形態に従う、異なる側壁プロファイルを有するエッチングされた特徴を示す説明図。
【図７Ｎ】ある実施形態に従う、異なる側壁プロファイルを有するエッチングされた特徴を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本出願では、「半導体ウエハ」、「ウエハ」、「基板」、「ウエハ基板」、および「部分的に製造された集積回路」という用語を交換可能に使用する。当業者は、「部分的に製造された集積回路」という用語が、その上で集積回路を製造する多くの段階のいずれかの間にあるシリコンウエハを指す可能性があることを理解されよう。半導体素子業界で使用するウエハまたは基板は、典型的には２００ｍｍ、または３００ｍｍ、または４５０ｍｍの直径を有する。以下の詳細な記述は、実施形態がウエハ上で実装されると仮定する。しかしながら、実施形態は、そのように限定されるわけではない。加工物は、さまざまな形状、サイズ、および材料からなってよい。半導体ウエハに加えて、開示する実施形態を利用してよい他の加工物は、プリント回路基板、磁気記録媒体、磁気記録センサ、鏡、光学素子、微少機械素子などのようなさまざまな物品を含む。
【００２５】
以下の記述では、提示する実施形態を十分に理解することができるようにするために、数多くの具体的な詳細について示す。開示する実施形態は、これらの具体的な詳細の一部またはすべてなしに実施されてよい。他の実例では、開示する実施形態を不必要に不明瞭にしないために、周知の処理操作について詳細に記述しない。具体的実施形態と関連づけて、開示する実施形態について記述するが、その一方で、開示する実施形態を限定することを意図するものではないことを理解されるべきである。
【００２６】
図１Ａ〜図１Ｆは、ある実施形態に従う、部分的に製造された基板をさまざまな時点で示す。図１Ａでは、基板は、第１の材料１０２および第２の材料１０３からなるいくつかの交互層を有する積層を含む。一例では、第１の材料１０２は、酸化ケイ素などの酸化物材料であり、第２の材料１０３は、ポリシリコンである、またはその逆である。別の例では、第１の材料１０２は、酸化物材料であり、第２の材料１０３は、窒化物材料（たとえば、窒化ケイ素）である、またはその逆である。一般的に言って、積層は、低ｋ誘電体材料、窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）、窒化チタン（ＴｉＮ）、酸化ケイ素（ＳｉＯ2）を含んでよい。積層を堆積させた後、図１Ｂに示すように、積層中に特徴１０４をエッチングする。特徴は、高アスペクト比の特徴であってよい。さまざまな実施形態では、特徴は、約２０〜２００の間の、幅に対する深さのアスペクト比を有してよい。いくつかの事例では、特徴は、少なくとも約２０、または少なくとも約４０、または少なくとも約６０、または少なくとも約１００、または少なくとも約１５０のアスペクト比を有してよい。これらまたは他の事例では、特徴は、約２００以下、または約１２０以下、または約１００以下、または約８０以下のアスペクト比を有してよい。一般に、本明細書に記述する技術は、広範なアスペクト比にわたり処理を可能にする。アスペクト比は、特徴の深さを特徴の臨界直径（たとえば、幅）で除算して計算される。いくつかの事例では、特徴は、約３０ｋＡ〜１２０ｋＡの間の、または約４５ｋＡ〜６０ｋＡの間の深さを有してよい。これらまたは他の事例では、特徴は、約２５０Ａ〜１５００Ａの間の、または５００Ａ〜１０００Ａの間の臨界直径を有してよい。
【００２７】
次に、図１Ｃに示すように、第１の材料を実質的に保持しながら第２の材料をエッチバックするために、選択的エッチングが実行される。この選択的エッチングは、凹状ポケット１０５を形成する。図１Ｄに示すように、特徴１０４の側壁に沿ってライナ１０６（たとえば、いくつかの事例では窒化物材料であるが、他の材料もまた使用してよい）を堆積させてよく、凹状ポケット１０５にライニングを施すステップを含む。他の事例では、ライナ１０６は省略され得る。次に、図１Ｅに示すように、凹状ポケット１０５の内部を含む特徴１０４の側壁に沿って、材料１０７（たとえば、ある種の事例では、金属、ポリシリコンまたは誘電体材料）が堆積される。次に、図１Ｆに示すように、特徴１０４の側壁から材料１０７の一部分が除去される。このエッチング操作は、事前に凹状にされたポケット１０５の各々の中に形成された材料１０７の異なる部分を電気的に絶縁する。このエッチング操作は、側壁に沿って２つ以上の材料（たとえば、材料１０７およびライナ１０６、または材料１０７および第１の材料１０２）を暴露する結果をもたらすので、エッチングは、選択的であるべきである。たとえば、ライナ１０６および／または第１の材料１０２を実質的に保持しながら、材料１０７をエッチングするためにエッチング操作は最適化され得る。
【００２８】
実際には、高アスペクト比の特徴に対してこのエッチング操作を実行することは困難であった。たとえば、ウェットエッチングを使用する場合、エッチング処理を制御することは非常に困難である。特徴がますます狭くなり、ますます高アスペクト比になるにつれて、湿った化学物質を特徴の中に（特に特徴の最下部まで）供給して、エッチング操作を開始することは困難であり、エッチングが完了した後、湿った化学物質を特徴から取り除くこともまた困難である。これらの困難は、毛細管効果に起因することがある。いくつかの事例では、湿った化学物質を取り除くことによりパターン崩壊につながる可能性があり、その場合、特徴の側壁は互いに崩壊し、事実上、特徴を破壊する。さらに、化学物質が基板の適切な部分に接触すると、エッチングが非常に迅速に行われるので、ウェットエッチング処理を制御するのは困難である。これらの効果が組み合わさって、ウェットエッチングをさまざまな処理方式に組み入れることを挑戦的にしている。
【００２９】
従来のドライエッチングを使用する場合、以前は、高アスペクト比の特徴の側壁を一様に横方向にエッチングすることは可能ではなかった。たとえば、図１Ｇに示すように、エッチング化学物質は、特徴の最上部近くで実質的により集中し／利用可能であり、特徴の最下部近くで実質的に消失する。この消失は、特徴の最上部近くの側壁で（たとえば、反応、吸収などを通して）エッチング種が失われることに起因する。図１Ｅおよび図１Ｆを参照すると、従来のドライエッチング技法は、特徴１０４の最上部近くで物質１０７のオーバーエッチングを、特徴１０４の中間および／または最下部で物質１０７のアンダーエッチング（多くの事例では、エッチングなし）をもたらす。図１Ｈについて、以下でさらに説明する。
【００３０】
本明細書のさまざまな実施形態では、高アスペクト比の特徴は、（ａ）側壁の一部分に沿って保護フィルムを堆積させること、および（ｂ）実質的に保護フィルムのない部位で側壁をドライエッチングすることを伴う技術を使用して横方向にエッチングされる。これらのステップは任意の回数繰り返されてよく、いずれのステップが最初に実行されても良い。いくつかの例では、これらのステップは、保護フィルムを取り除くことを伴うステップと共に反復されてよい。他の例では、特徴が完全にエッチングされた後、保護フィルムが除去される。特徴の側壁上の不要な材料は、特徴の最下部から上方へ、または特徴の最上部から下方へ取り除かれてよく、特徴の異なる部分は、異なるエッチング操作でエッチングされる。図２Ａおよび図２Ｂは、開示する実施形態を実施する代替方法に関するフローチャートを提供する。図２Ａは、特徴の最上部から特徴の最下部の方へ不要な側壁材料を取り除く処理を示し、一方では、図２Ｂは、特徴の最下部から特徴の最上部の方へ不要な側壁材料を取り除く処理を示す。図３Ａ〜図３Ｇに示す部分的に製造された基板に関連して図２Ａについて説明し、図４Ａ〜図４Ｈに示す部分的に製造された基板に関連して図２Ｂについて説明する。
【００３１】
図２Ａの方法は、操作２０１から始まり、操作２０１では、形成された高アスペクト比の特徴を内部に有する基板を処理装置で受け取られる。多くの例では、基板は、内部に複数の特徴を有する。例示的アスペクト比は、上述のように約２０〜２００の間である。図３Ａを参照すると、特徴３０４は、第１の材料３０２および第２の材料３０３からなる交互層の形で形成されてよい。第１の材料３０２および第２の材料３０３はそれぞれ、図１Ａ〜図１Ｆにおいてそれぞれ第１の材料１０２および第２の材料１０３に関連して記述された材料であってよい。任意選択的に、図示するようにライナ３０６が提供されても良い。材料３０８および不要な材料３０９は、同じタイプの材料であり、図１Ｅおよび図１Ｆにおいて材料１０７に関連して記述された材料であってよい。異なる参照番号３０８および３０９は、材料の位置に関係する。具体的には、材料３０８は、（たとえば図１Ｃ、図１Ｅ、および図１Ｆに関連して記述されたように）第２の材料３０３がエッチバックされたときに形成された凹部の内部において第１の材料３０２の層間に配置され、不要な材料３０９は、これらの凹部の外側で特徴３０４の側壁に沿って配置される。いくつかの実施形態の１つの目的は、材料３０８を実質的に保持しながら、不要な材料３０９を取り除くことである。
【００３２】
次に、操作２０３では、図３Ｂに示すように、特徴３０４の側壁の最上部部分を横方向にエッチングするために、プラズマエッチングが実行される。このエッチング処理について、以下でさらに記述する。エッチングは、エッチング処理の性質のために、特徴３０４の最上部部分に限定される。たとえば、図１Ｇに示すように、エッチング化学物質は、特徴３０４の最上部近くに集中し、特徴３０４のさらに下方で実質的に消失する。特徴３０４の中に深く浸透するエッチング剤はほとんどないので、エッチング剤は、特徴３０４の最上部部分に限定される。エッチング処理は、選択的エッチングであり、存在する場合にはライナ３０６を、および／または暴露された場合には第１の材料３０２を実質的に保持しながら材料３０９を取り除くようにエッチング処理が調整されることを意味する。
【００３３】
次に、操作２０５では、図３Ｃに示すように、特徴３０４の側壁の一部分の全域にわたって保護フィルム３１０が堆積される。この堆積処理について、以下でさらに説明する。一般に、保護フィルム３１０は、不要な材料３０９と比較してはるかにゆっくりとエッチングされる（またはまったくエッチングされない）ように、続くエッチング操作で使用されるエッチング化学物質に耐える材料から作製される。第１の反復では、側壁の最上部部分上に保護フィルム３１０が形成され得る。これは、事前に不要な材料３０９が除去された特徴３０４の同じ部分に対応してよい。不要な材料３０９が除去された部位に保護フィルム３１０が形成されるように目標を設定することにより、今後のエッチングステップでこれらの部位をオーバーエッチングから保護され得る。
【００３４】
操作２０７では、たとえば図３Ｄに示すように、特徴３０４の側壁の一部分を横方向にエッチングするために、追加のプラズマエッチングが実行される。操作２０７においてエッチングされる側壁の部分は、保護フィルム３１０の真下にある側壁の部分である。図１Ｈは、操作２０７の間の、エッチング化学物質の可用性を例示する。保護フィルム３１０は、特徴３０４の最上部近くにおいて、さらなる反復から側壁を保護するので、エッチング化学物質は、保護フィルムの深さに到達するまで、実質的に消失し始めることはない。エッチング化学物質は、この深さよりも深い所で、不要な材料３０９を除去するために反応し、消失し始める。
【００３５】
次に、操作２０９では、エッチングか完了したか否かが判断される。いくつかの例では、操作２０７は、特徴３０４の最下部に至るまで不要な材料３０９をすべて取り除いてよく、その場合、エッチングは完了し、方法は、操作２１１まで移行し、操作２１１において、保護フィルム３１０は、特徴３０４の側壁から剥離される。剥離操作について、以下でさらに説明する。
【００３６】
他の例では、たとえば図３Ｄに示すように、操作２０７は、（たとえば、不要な材料３０９が事前に取り除かれた最上部部分の下方であり、かつ不要な材料３０９が残っている最下部部分の上方で）残っている不要な材料３０９の部分だけを側壁から取り除く。これらの例では、方法は、操作２０９から操作２０５に進み、操作２０５では、図３Ｅに示すように、側壁の一部分の全域にわたって追加の保護フィルム３１０が堆積される。保護フィルム３１０は、事前に堆積させられた保護フィルム３１０上に直接形成され得る。しかしながら、いくつかの例では、図３Ｅの追加の保護フィルム３１０を堆積させる前に、図３Ｄの第１の保護フィルム３１０が剥離され得る。いずれの例においても、操作２０５の第２の反復で堆積させられる保護フィルム３１０は、操作２０５の第１の反復で堆積させられた保護フィルム３１０と比較して、特徴３０４の中により深く伸展する。一般的に言えば、図２Ａの方法を実施するとき、各反復に伴い保護フィルム３１０は特徴３０４の中に連続してより深く堆積され得る。しかしながら、いくつかの例では、事前に堆積させられた保護フィルム３１０と比較して特徴３０４の中にそれほど深く伸展しない保護フィルム３１０を堆積させること（たとえば、側壁の特定の部分をより完全にエッチングすること）が有益なことがある。
【００３７】
次に、操作２０７では、図３Ｆに示すように、追加のプラズマエッチングを実行して、側壁の一部分から不要な材料３０９が除去される。上述のように、エッチングされる側壁の部分は、保護フィルム３１０の真下の部分である。図１Ｈを参照すると、保護フィルムは、今では操作２０７の先の反復と比較して特徴３０４の中により深く伸展する。したがって、エッチング化学物質は、特徴の中により深く侵入して、側壁の適切な部分をエッチングすることができる。図３Ａ〜図３Ｇの例では、不要な材料３０９は、操作２０７の第２の反復後、完全に取り除かれる。したがって、操作２０９で、今ではエッチングが完了したと判断され、方法は、操作２１１に進み、操作２１１において、図３Ｇに示すように、保護フィルムは、特徴の側壁から剥離される。
【００３８】
図４Ａ〜図４Ｈを参照して、図２Ｂで別の方法について記述する。図２Ｂの方法は、操作２２１から始まり、内部にパターン形成された高アスペクト比の特徴を有する基板を処理装置内に提供する。上述のように、多くの例では、基板は、内部に複数の特徴を有する。図４Ａを参照すると、特徴４０４は、第１の材料４０２および第２の材料４０３からなる交互層の形で形成されてよい。第１の材料４０２および第２の材料４０３はそれぞれ、図１Ａ〜図１Ｆにおいて、それぞれ第１の材料１０２および第２の材料１０３に関連して記述された材料であってよい。任意選択的に、図示するように、ライナ４０６が提供されてもよい。材料４０８および不要な材料４０９は、同じタイプの材料であり、図１Ｅおよび図１Ｆにおいて材料１０７に関連して記述された材料であってよい。異なる参照番号４０８および４０９は、材料の位置を指す。具体的には、材料４０８は、（たとえば図１Ｃ、図１Ｅ、および図１Ｆに関連して記述したように）第２の材料４０３がエッチバックされたときに形成された凹部内部において、第１の材料４０２の層間に配置され、不要な材料４０９は、これらの凹部の外側で特徴４０４の側壁に沿って配置される。上記で指摘したように、いくつかの実施形態の１つの目的は、材料４０８を実質的に保持しながら、不要な材料４０９を取り除くことである。
【００３９】
方法は、操作２２３に進み、図４Ｂに示すように、特徴４０４の側壁の一部分の全域にわたって保護フィルム４１０が堆積される。保護フィルム４１０は、比較的深くまで堆積させられる。堆積について以下でさらに説明する。次に、ステップ２２５において、図４Ｃに示すように、特徴４０４の側壁の一部分が横方向にエッチングされ、不要な材料４０９が除去される。横方向にエッチングされる側壁の部分は、保護フィルム４１０の下方にある最下部部分である。保護フィルム４１０は、特徴４０４の中に深く延伸するので、エッチング化学物質を特徴の中に深く浸透させて（たとえば、エッチング化学物質は、特徴の最上部近くで不要な材料４０９と反応することによって消失することがないので）、特徴の最下部近くで側壁をエッチングすることができる。次に、操作２２７において、図４Ｄに示すように、側壁から保護フィルム４１０が剥離される。剥離操作について、以下でさらに説明する。いくつかの例では、たとえば、エッチング条件が操作２２５の間に保護フィルムのかなりの部分を取り除き、別個のステップで保護フィルムを剥離する必要が全くないような場合には、この剥離操作２２７は省略され得る。
【００４０】
次に、エッチングかほぼ完了したかどうかが判断される。エッチングは、残っている不要な材料４０９が単一のエッチング操作で除去され得るとき、ほぼ完了している。エッチングがほぼ完了した場合、方法は、操作３３１に進み、特徴４０４の側壁の最上部部分から残っている不要な材料４０９を横方向にエッチングするためにプラズマエッチングが用いられる。この操作について、図４Ｇおよび図４Ｈを参照して以下で説明する。
【００４１】
操作２２９でエッチングがまだほぼ完了していないと判断された場合、方法は、操作２２３に進み、図４Ｅに示すように、特徴４０４の側壁の一部分の全域にわたって新しい保護フィルム４１０が堆積される。操作２２３における第２の反復で堆積させられた新しい保護フィルム４１０は、操作２２３における第１の反復で堆積させられた第１の保護フィルム４１０と比較して、特徴４０４の中に浅く延伸してよい。一般に、追加の反復を実行するとき、保護フィルム４１０は、さらに浅く形成されてよい。しかしながら、いくつかの例では、たとえば、側壁の特定の部分から不要な材料４０９をより広範囲にわたって取り除くために、先行する保護フィルム４１０よりも深く保護フィルム４１０を形成することが有益なことがある。方法は、操作２２５の第２の反復に進み、特徴の側壁の一部分をエッチングするためにプラズマエッチングが使用される。エッチングされる部分は、操作２２３において堆積された保護フィルム４１０の真下にある部分である。操作２２５の間、保護フィルム４１０よりも下方に配置された、残っている不要な材料４０９を取り除くためにエッチング化学物質が特徴の内部に浸透し得るように、操作２２３において保護フィルム４１０は十分深く堆積されるべきである。保護フィルム４１０を十分深く堆積させない場合、エッチング化学物質は、特徴の中に深く浸透して、残っている保護されていない不要な材料４０９のすべてを取り除くことができる前に、過剰に消失止得る。
【００４２】
図４Ｅに示すように、保護フィルム４１０が堆積された後、操作２２５において、プラズマエッチングが実行され、図４Ｆに示すように、側壁が横方向にエッチングされ、不要な材料４０９の一部分が取り除かれる。取り除かれる不要な材料４０９の部分は、保護フィルム４１０の真下にある部分である。次に、操作２２７で、図４Ｇに示すように、特徴４０４の側壁から保護フィルム４１０が剥離される。方法は、操作２２９に進み、エッチングがほぼ完了したか否かが再度判断される。図４Ｇの図示では、残っている不要な材料４０４は単一のエッチング操作で除去され得るので、エッチングは、ほぼ完了していると判断される。したがって、方法は、操作３３１に進み、図４Ｈに示すように、側壁の最上部部分が横方向にエッチングされ、残っている不要な材料４０９が除去される。このエッチングは、側壁上に保護フィルム４１０がまったく存在しない状態で行われ、その結果、特徴４０４の最上部近くにある不要な材料４０９が除去され得る。
【００４３】
図２Ａおよび図２Ｂに記載し、図３Ａ〜図３Ｇ、および図４Ａ〜図４Ｈに示す処理方式を用いることにより、側壁の任意の部分をオーバーエッチングする危険性は、（従来のウェットエッチング方式およびドライエッチング方式と比較して）実質的に低減される。すなわち、エッチング操作側壁の各部分は、（１）特定の量をエッチングするように目標を設定され、（２）保護フィルムが存在するために、エッチングから保護され、または（３）特徴の適切な深さにエッチング化学物質が浸透することがなくエッチングから保護されるからである。さらに、エッチングは、制御可能な十分にゆっくりであり、許容可能なスループットを提供するために十分に高速な速度で実行され得る。したがって、これらの方法には、上記で記述した従来の技法よりもかなりの利点がある。
【００４４】
本明細書に記述する技術はまた、実現される側壁の特性を精密に制御可能にするという点で有利である。各エッチング操作は、側壁の特定の部分をターゲットとするので、側壁の各部分でエッチングの程度を制御することができる。側壁の各部分をターゲットとするエッチング操作の継続期間に基づき、エッチングの程度を制御することができる。たとえば、図７Ａ〜図７Ｋは、いくつかの処理ステップの間にわたって部分的にエッチングされた特徴を描き、この場合、各エッチング操作は、特定の程度のエッチングを実現するように制御される。図７Ａ〜図７Ｋは、図４Ａ〜図４Ｈに示す処理シーケンスに類似する処理シーケンスを描き、図２Ｂの方法を使用して達成されてよい。簡潔にするために、相違点について記述する。
【００４５】
この例では、特徴７０４は、第１の材料７０２および第２の材料７０３からなる交互層の形で事前に形成される。図示するように、任意選択のライナ７０６が存在し得る。不要な材料７０９は、特徴７０４の側壁にライニングを施す。保護フィルム７１０は、図に示すように、繰り返し形成され、取り除かれる。エッチング操作の（たとえば、図７Ｂから図７Ｃへ進む）第１の反復では、比較的長いエッチング継続期間が用いられる。その結果、特徴７０４の最下部近くの不要な材料７０９／材料７０８は、第１の材料７０２の層の間でかなりの程度までエッチバックされる。エッチング操作の（たとえば、図７Ｅから図７Ｆへ進む）第２の反復では、第１の反復と比較して（側壁の適切な部分で）より程度の低いエッチングを実現するようにエッチング継続期間が制御される。エッチング操作の（たとえば、図７Ｈから図７Ｊへ進む）第３の反復では、第２の反復と比較して（側壁の適切な部分で）より程度の低いエッチングを実現するようにエッチング継続期間が制御される。エッチング操作の（たとえば、図７Ｋから図７Ｌへ進む）第４の反復では、第３の反復と比較してより程度の低いエッチングを実現するようにエッチング継続期間が制御される。換言すれば、残っている材料７０８の量が、特徴７０４の最下部近くで比較的少なく、かつ特徴７０４の最上部近くで比較的多くなるように、各エッチング操作中にエッチング継続期間が制御される。別の実施形態では、その結果として得られる図７Ｌに示す同じ構造を作り出すために、図２Ａの方法が使用されても良い。図７Ａ〜図７Ｌは、簡単のために、各エッチング操作の間にエッチングのターゲットとなる単一のセルのみ（各セルは、第１の材料７０２からなる２つの層の間で画定される）が描かれている。いくつかの実施形態では、各エッチング操作は、保護フィルム７１０を堆積させる間も、各エッチング反復の間も、たとえば使用する化学物質および処理条件に応じて、側壁に沿っていくつかのセルをターゲットとしてよい。
【００４６】
図７Ｌ〜図７Ｎは、各エッチング操作の継続期間を制御することにより実現され得る交互構造物を描く。図７Ｌでは、エッチング後にセル内部に残っている材料７０８は、特徴７０４の最下部近くで実質的により多く、特徴７０４の最上部近くで実質的により少ない。図７Ｍでは、エッチング後、特徴の最上部と側壁の最下部の両方でかなりの量の材料７０８が残り、一方では、側壁の中央部近くの領域内に、より少ない量の材料７０８が残る。図７Ｎでは、エッチング後に残っている材料７０８は、より少ない量が残る材料７０８とより多くの量が残る材料７０８を交互に繰り返す。各エッチング操作の継続期間を単に制御することにより、さまざまな他の構造を望み通りに実現することができる。この技術は、各エッチング操作が側壁に沿って特定の垂直領域をターゲットとするので、成功する可能性がある。
【００４７】
本明細書に記述するいくつかの実施形態では、基板上の特徴の側壁から不要な材料を横方向にエッチングする方法は、エッチング操作および堆積操作を反復するステップを伴う。エッチング操作は、特徴の側壁の一部分から不要な材料を横方向にエッチングし、堆積操作は、特徴の側壁の第２の部分の全域にわたって保護フィルムを形成する。エッチング操作および堆積操作を互いに反復するとき、エッチング操作の異なる反復は、特徴の側壁の異なる部分から不要な材料を横方向にエッチングし、堆積操作の異なる反復は、特徴の側壁の異なる第２の部分の全域にわたって保護フィルムを堆積させる。いくつかの事例では、エッチング操作の異なる反復でエッチングされる側壁の異なる部分は、互いに重なり合ってよい。同様に、堆積操作の異なる反復で保護フィルムが堆積させられる側壁の異なる第２の部分は、互いに重なり合ってよい。換言すれば、エッチング操作および堆積操作の異なる反復は、側壁の「異なる」部分をターゲットとするが、これらの部分は重なり合ってよい。ある例として、深さ約７０ｋＡ〜９０ｋＡの間にある側壁の一部分で側壁をエッチングする第１のエッチング操作、および深さ約６０ｋＡ〜８０ｋＡの間にある側壁の一部分で側壁をエッチングする第２のエッチング操作は、両方のエッチング操作が、たとえ深さ７０ｋＡ〜８０ｋＡにある材料をターゲットとしても、側壁の異なる部分の全域にわたってエッチングすると考えられる。同様に、側壁の最上部の４０％の全域にわたって堆積させられた第１の保護フィルム、および側壁の最上部の６０％の全域にわたって堆積させられた第２の保護フィルムは、側壁の異なる第２の部分の全域にわたって堆積させられたと考えられる。
エッチング操作
【００４８】
図２Ａおよび図２Ｂに関連して記述したように、横方向エッチング操作は、少なくとも２回実行され、堆積操作および／または剥離操作を伴って任意の回数、反復されてよく、これについて、以下でさらに記述する。各横方向エッチング操作は、高アスペクト比の特徴の側壁の特有の部分をターゲットとする。このように、段階的に不要な材料が取り除かれる。いくつかの事例では、図２Ａに関連して記述したように、側壁の最上部から側壁の最下部の方へ材料が取り除かれる。他の事例では、図２Ｂで記述したように、側壁の最下部から側壁の最上部の方へ材料が取り除かれる。さらにまた、これらの何らかの組合せが用いられ得る。
【００４９】
さまざまな実施形態では、エッチング操作は、エッチング反応物を供給するステップと、エッチング反応物からプラズマを発生させるステップと、プラズマに基板を（たとえば、イン・サイチュ・プラズマの場合には直接に、または遠隔／上流プラズマの場合には間接的に）暴露して、高アスペクト比の凹状特徴の側壁を横方向にエッチングするステップとを伴う。エッチングは、典型的には等方的に行われる。いくつかの実施形態では、プラズマは、誘導結合プラズマである。誘導結合プラズマは、プラズマ発生領域と呼ばれることがある上部チャンバ領域内で、基板の上流で発生させられてよい。ガス分配機器、グリッド、または他の構造物は、上部チャンバ領域と下部チャンバ領域の間に配置されて良く、この場合、基板は、基板支持物上に配置される。ガス分配機器または他の構造物は、下部チャンバ領域の中を通してフィルタ処理して、基板と相互作用する種の組成／混合を制御する役割を果たしてよい。任意選択的に、さらにまたガス分配機器は、下部チャンバ領域および／または上部チャンバ領域にガスを供給するために使用され得る。いくつかの例では、同様に容量結合プラズマが適用されても良い。いくつかの例では、上部チャンバ領域から基板を分離する基板支持物とガス分配機器（または他の構造物）の間で、容量結合プラズマが発生されても良い。ガス分配機器（または他の構造物）を接地しながら基板支持物上にバイアス（たとえば、ＡＣバイアス）を印加することにより、容量結合プラズマが発生されてもよい。以下でさらに論じる例示的装置を図５に示す。
【００５０】
図６Ａは、選択的手法で高アスペクト比の凹状特徴の側壁を横方向にエッチングする方法６００について記述するフローチャートである。６１０では、基板処理システムの下部チャンバ領域内に基板が配置される。６１４では、上部チャンバ領域にエッチングガス混合物が供給される。６１８では、上部チャンバ領域と下部チャンバ領域の間にあるガス分配機器に冷却液が任意選択的に供給される。６２２では、ガス分配機器にパージガスが任意選択的に供給され、ガス分配機器は、下部チャンバ領域にパージガスを供給してよい。６２８では、所定のエッチング期間の間、上部チャンバ領域内でプラズマがストライクされ（打ち当てられ）、基板の側壁から不要な材料をエッチングする。不要な材料は、エッチングの間に暴露される、または暴露されるようになる追加の材料に関して選択的にエッチングされる。図１Ｅおよび図１Ｆを参照すると、エッチングは、（存在する場合には）ライナ１０６および／または（暴露される場合には）第１の材料１０２を実質的に保持しながら、材料１０７を、取り除くためのターゲットとするように、選択的である。３３２では、エッチングガス混合物は、任意選択のエッチング後の期間の間に、エッチング後のガス混合物に遷移してよい。エッチング後の期間は、特徴内部の表面からフッ素を除去するために提供されてよく、最終エッチング反復の間に特に有用なことがある。いくつかのエッチング操作において、操作６１８、６２２、および６３２の１つまたは複数が省略されてよい。３３４では、プラズマは、消滅させられる。この処理は、高アスペクト比の凹状特徴の側壁の特定の部分から不要な材料をエッチングする。各エッチング反復でターゲットとなる側壁の部分は、（エッチング中に保護フィルムが存在する反復では）保護フィルムの真下にある（たとえば、特徴内部のより深くにある）部分、または（エッチング中に保護フィルムが存在しない反復では）特徴の最上部である。
【００５１】
いくつかの異なる要因が、エッチング結果に影響を及ぼす。そのような要因は、反応チャンバ内部の圧力、反応チャンバの中へ入る種の総流量およびそのような種の組成（たとえば、そのような種のフッ素含有量を含む）、誘導結合プラズマを発生させるために使用するＲＦ出力レベル、ならびに（存在する場合には）容量結合プラズマを発生させるために使用するＲＦ出力レベルを含む。ある種の実施形態では、エッチング中の圧力は、約０．１トール（約１３．３３Ｐａ）〜約１０トール（約１３３３Ｐａ）の間であってよい。基板の直径が約３００ｍｍであり、かつエッチング剤がハロゲン含有種であるいくつかの例では、エッチング剤の流量は、約１ｓｃｃｍ〜１０００ｓｃｃｍの間であってよい。反応チャンバの中へ入る（たとえば、エッチング剤、不活性種、および任意の他の種を含む）種の総流量は、約５０ｓｃｃｍ〜５０００ｓｃｃｍの間であってよい。これらの流れは、単に例として提供され、異なるサイズの基板および装置に合わせて、ならびに異なるフッ素含有量を有するエッチング剤に合わせて調節されてよい。いくつかの実装形態では、誘導結合プラズマを発生させるために使用するＲＦ出力は、約１３．５６ＭＨｚの周波数で約２００Ｗ〜３０００Ｗの間であってよい。誘導結合プラズマに加えて容量結合プラズマを使用する事例では、容量結合プラズマを発生させるために基板支持物に印加するバイアスは、約１３．５６ＭＨｚの周波数で約５０Ｗ〜１０００Ｗの間であってよい。これらの出力レベルは、エッチング中に直径が３００ｍｍの単一基板がチャンバ内に存在すると仮定し、基板表面積に基づきスケールを調整することができる。他の出力レベルおよび周波数もまた使用することができる。基板および／または基板支持物は、約−１０℃から１２０℃の間、またはいくつかの事例では約６０℃未満の温度に維持されてよい。いくつかの事例では、各エッチング反復の継続期間は、約１０秒〜１００秒の間であってよい。
【００５２】
エッチングガス混合物の中に提供されてよい例示的エッチング剤は、フッ素に基づくエッチング剤（たとえば、四フッ化炭素（ＣＦ4）、三フッ化窒素（ＮＦ3）、六フッ化イオウ（ＳＦ6）、フルオロメタン（ＣＨ3Ｆ）、ジフルオロメタン（ＣＨ2Ｆ2）、四フッ化ケイ素（ＳｉＦ4）、ヘキサフルオロブタジエン（Ｃ4Ｆ6）、ヘキサフルオロエタン（Ｃ2Ｆ6）など）、酸素含有種（たとえば、酸素（Ｏ2）、亜酸化窒素（Ｎ2Ｏ）、硫化カルボニル（ＣＯＳ）、一酸化炭素（ＣＯ）など）、塩素含有種（たとえば、塩素（Ｃｌ2）、三塩化ホウ素（ＢＣｌ3）、塩化水素（ＨＣｌ）など）、含硫種（たとえば、硫化水素（Ｈ2Ｓ）、硫化カルボニル（ＣＯＳ）、六フッ化イオウ（ＳＦ6）など）、炭化水素（たとえば、メタン（ＣＨ4）など）、水素に基づく他の種（たとえば、水素分子（Ｈ2））、不活性種（たとえば、Ｎ2、Ａｒ、Ｈｅなど）、およびそれらの組合せを含むがそれらに限定されない。特定の例は、以下に含まれる。多くの事例では、エッチング化学物質は、側壁から不要な材料を取り除くように作用するフッ素ラジカル（Ｆ＊）を作り出す。いくつかの事例では、追加のラジカル（たとえば、Ｈ＊およびＮ＊）もまた作り出されることがある。
【００５３】
一例では、側壁から取り除かれる不要な材料は、タングステンなどの金属である。この例では、エッチングガス混合物は、フッ素に基づく反応物を含んでよい。フッ素に基づく反応物は、四フッ化炭素（ＣＦ4）、三フッ化窒素（ＮＦ3）、六フッ化イオウ（ＳＦ6）、フルオロメタン（ＣＨ3Ｆ）、ジフルオロメタン（ＣＨ2Ｆ2）、フルオロフォルム（ＣＨＦ3）、ヘキサフルオロブタジエン（Ｃ4Ｆ6）などを含んでよい。エッチングガス混合物は、分子酸素（Ｏ2）、分子窒素（Ｎ2）、分子塩素（Ｃｌ2）などをさらに含んでよい。一実施形態では、エッチングガス混合物は、分子水素（Ｈ2）、ならびに三フッ化窒素（ＮＦ3）、四フッ化炭素（ＣＦ4）、および六フッ化イオウ（ＳＦ6）からなるグループから選択された１つまたは複数のガスを含む。別の実施形態では、エッチングガス混合物は、一酸化炭素（ＣＯ）および分子窒素（Ｎ2）を含んでよい。別の実施形態では、ガス混合物は、六フッ化イオウ（ＳＦ6）、三フッ化窒素（ＮＦ3）、フルオロメタン（ＣＨ3Ｆ）、ジフルオロメタン（ＣＨ2Ｆ2）、およびテトラフルオロメタン（ＣＦ4）からなるグループから選択された１つまたは複数のガスに加えて、分子窒素（Ｎ2）および／または分子酸素（Ｏ2）を含んでよい。別の実施形態では、ガス混合物は、分子酸素（Ｏ2）および分子塩素（Ｃｌ2）を含んでよい。別の実施形態では、ガス混合物は、分子塩素（Ｃｌ2）、ならびに六フッ化イオウ（ＳＦ6）、三フッ化窒素（ＮＦ3）、フルオロメタン（ＣＨ3Ｆ）、ジフルオロメタン（ＣＨ2Ｆ2）、および四フッ化炭素（ＣＦ4）、からなるグループから選択された１つまたは複数の反応物を含んでよい。基板および／または基板支持物は、約４０℃〜１２０℃の間の温度で維持されてよい。下部チャンバ領域内の圧力は、約０．０５トール〜１０トールの間、たとえば約０．１トール〜５トールの間であってよい。金属は、いくつかの事例では、１分当たり少なくとも約５０Åのエッチング速度で取り除かれてよい。いくつかの実装形態では、別の材料（たとえば、窒化物、酸化物、他の金属材料）に対する金属の選択性は、金属層を取り除く間は約１０：１よりも大きく、これは、窒化物または酸化物が取り除かれる速度の１０倍の速度で金属が取り除かれることを意味する。いくつかの事例では、別の材料に対する金属の選択性は、２００：１よりも大きい。
【００５４】
第２の例では、不要な材料は、ケイ素（たとえば、いくつかの事例ではポリシリコン）であり、エッチングガス混合物は、フッ素に基づく種および水素に基づく種を含んでよい。水素に基づく種の濃度は、フッ素に基づく種の濃度よりも高濃度でよい。たとえば、エッチングガス混合物は、体積で約０．７％〜１０％の間でフッ素に基づく種を、体積で約５０％よりも多く水素に基づく種を含んでよい。水素に基づく種は、いくつかの事例では、水素（Ｈ2）および／またはアンモニア（ＮＨ3）を含んでよい。フッ素に基づく種は、三フッ化窒素（ＮＦ3）、フルオロフォルム（ＣＨＦ3）、ヘキサフルオロブタジエン（Ｃ4Ｆ6）、および／または四フッ化炭素（ＣＦ4）を含んでよい。基板および／または基板支持物は、約６０℃以上の温度で、またはいくつかの事例では、約４０℃〜１２０℃の間の温度で維持されてよい。下部チャンバ領域内の圧力は、約５トール以下（いくつかの事例では、約０．１トール〜５トールの間）であってよい。ケイ素は、いくつかの事例では、１分当たり約２００Åのエッチング速度で取り除かれてよい。いくつかの実装形態では、エッチング剤は、フッ素に基づく種と異なる修正ガス種をさらに含み、その場合、修正ガス種は、三フッ化窒素（ＮＦ3）、四フッ化炭素（ＣＦ4）、フルオロメタン（ＣＨ3Ｆ）、および六フッ化イオウ（ＳＦ6）のうち少なくとも１つを含む。いくつかの実装形態では、ウエハは、静電チャック上で支持され、自然酸化膜層をさらに含み、エッチング方法は、基板支持物（静電チャックとも呼ばれる）にバイアスを印加して、下部チャンバ領域内で少なくともフッ素に基づくエッチング剤の容量結合プラズマを発生させるステップと、容量結合プラズマに基板を暴露して、自然酸化膜層を取り除くステップとを含み、この場合、自然酸化膜層の除去は、ポリシリコン層の除去と共にインサイチュで実行される。いくつかの実装形態では、別の材料（たとえば、窒化物材料または酸化物材料）に対するケイ素の選択性は、ポリシリコン層を取り除く間は約５００：１よりも大きく、これは、窒化物または酸化物が取り除かれる速度の５００倍の速度でケイ素が取り除かれることを意味する。
【００５５】
第３の例では、不要な材料は、窒化ケイ素である。ケイ素をエッチングするステップに関して上記で提供した詳細は、窒化ケイ素をエッチングするステップに同様に適用されてよい。しかしながら、いくつかの事例では、窒化ケイ素エッチングは、約−１０℃〜６０℃の間の基板温度で行われてよい。窒化ケイ素をエッチングするために使用してよい例示的処理ガスは、たとえば、三フッ化窒素（ＮＦ3）、四フッ化炭素（ＣＦ4）、六フッ化ケイ素（ＳＦ6）、ヘリウム（Ｈｅ）、アルゴン（Ａｒ）、分子酸素（Ｏ2）、亜酸化窒素（Ｎ2Ｏ）、分子窒素（Ｎ2）、およびそれらの組合せを含む。
【００５６】
パージガスとして提供され得る例示的ガスは、Ｈｅ、Ａｒ、およびＮ2を含むがそれらに限定されない。エッチング後のガス混合物として提供され得る例示的ガスは、水素含有種（たとえば、Ｈ2、ＮＨ3、ＣＨ4、Ｃ2Ｈ4、Ｃ3Ｈ6、Ｃ2Ｈ6など）、酸素含有種（たとえば、Ｏ2、ＣＯ2、Ｎ2Ｏ、Ｈ2Ｏ、Ｏ3など）、およびそれらの組合せを含むがそれらに限定されない。
【００５７】
エッチング操作に影響を及ぼす、上記で記述したさまざまな要因は、単一基板上での異なるエッチング反復に関して同じであってよい。他の事例では、これらの要因の１つまたは複数は、異なるエッチング反復間で変化してよい。たとえば、各エッチング反復の継続期間を選択して、側壁の全長に沿った不要な材料の均一な除去を実現することができる。いくつかの例では、エッチング反復の継続期間は、反復の追加に伴い増大してよい。いくつかの他の例では、エッチング反復の継続期間は、反復の追加に伴い減少してよい。他の例では、エッチング反復の継続期間は、同じであってよい。いくつかの実施形態では、相対的に特徴の最上部により近い不要な材料をターゲットとするエッチング反復は、相対的に特徴の最下部により近い不要な材料をターゲットとする異なるエッチング反復よりも短い継続期間で実行されてよい。いくつかの他の実施形態では、相対的に特徴の最上部により近い不要な材料をターゲットとするエッチング反復は、相対的に特徴の最下部により近い不要な材料をターゲットとする異なるエッチング反復よりも長い継続期間で実行されてよい。これらまたは他の事例では、基板および／または基板支持物の温度は、エッチング反復の追加に伴い増大、または減少し得る。これらまたは他の事例では、反応チャンバ内（たとえば、使用される場合には、上部チャンバ領域または下部チャンバ領域内部）の圧力は、エッチング反復の追加に伴い増大、または減少してよい。これらまたは他の事例では、エッチング反応物の流量は、エッチング反復の追加に伴い増大、または減少してよい。これらまたは他の事例では、誘導結合プラズマを発生させるために使用するＲＦ出力は、エッチング反復の追加に伴い増大、または減少してよい。これらまたは他の事例では、（存在する場合には）容量結合プラズマを発生させるために使用するＲＦ出力は、エッチング反復の追加に伴い増大、または減少してよい。一例では、一方のエッチング反復を、誘導結合プラズマだけを使用して実行されてもよく、その前の、またはその後のエッチング反復を、誘導結合プラズマと容量結合プラズマの両方を使用して実行されてもよい。これらの処理変数は、基板の側壁上の該当する領域のエッチングをターゲットにするために変更され得る。しかしながら、保護フィルムの存在／位置もまた、どこがエッチングのターゲットとされているかを決定する際に大きな役割を果たす。
【００５８】
選択的エッチングのための方法および装置について、それぞれ全体が参照により本明細書に組み入れられる、２０１５年１１月１１日に出願された、「Ｕｌｔｒａｈｉｇｈ  Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ  Ｐｏｌｙｓｉｌｉｃｏｎ  Ｅｔｃｈ  ｗｉｔｈ  Ｈｉｇｈ  Ｔｈｒｏｕｇｈｐｕｔ（多スループットを伴う超高選択性ポリシリコンエッチング）」と題する米国特許出願１４／９３８，６３５、２０１５年９月２１日に出願された、「Ｓｙｓｔｅｍｓ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄｓ  ｆｏｒ  Ｕｌｔｒａｈｉｇｈ  Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ  Ｎｉｔｒｉｄｅ  Ｅｔｃｈ（超高選択性窒化物エッチングのためのシステムおよび方法）」と題する米国特許出願１５／２７１，３８１、２０１６年２月３日に出願された、「Ｓｙｓｔｅｍｓ  ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄｓ  ｆｏｒ  Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅｌｙ  Ｅｔｃｈｉｎｇ  Ｔｕｎｇｓｔｅｎ  ｉｎ  ａ  Ｄｏｗｎｓｔｒｅａｍ  Ｒｅａｃｔｏｒ（下流反応器内でタングステンを選択的にエッチングするためのシステムおよび方法）」と題する米国特許出願１５／０１４，５３９、および２０１７年３月１４日に出願された、「Ｕｌｔｒａｈｉｇｈ  Ｓｅｌｅｃｔｉｖｅ  Ｎｉｔｒｉｄｅ  Ｅｔｃｈ  ｔｏ  Ｆｏｒｍ  ＦｉｎＦＥＴ  Ｄｅｖｉｃｅｓ（ＦｉｎＦＥＴ素子を製造するための超高選択性窒化物エッチング）」と題する米国特許出願１５／４５８，２９２でさらに論じられている。
堆積操作
【００５９】
図２Ａおよび図２Ｂに関連して記述したように、堆積操作は、少なくとも一度、実行され、堆積操作および／または剥離操作を伴って任意の回数、反復されてよい。各堆積操作は、凹状特徴の側壁の一部分の全域にわたって保護フィルムを堆積させる。保護フィルムは、特徴の最上部の側壁上に形成され、少しの距離の間、特徴の中に側壁の下方へ延伸する。この距離は、堆積操作反復の追加に伴って変わってよい。換言すれば、各保護フィルムは、特定の深さに到達するように形成されてよく、この深さは、エッチング方法の全体にわたって変化する。図２Ａの方法では、保護フィルムは、図３Ａ〜図３Ｇに示すように、前の方の反復では比較的浅く、後の堆積ではより深く堆積させられてよい。図２Ｂの方法では、保護フィルムは、図４Ａ〜図４Ｈに示すように、前の反復では比較的深く、後の反復ではより浅く堆積させられてよい。これらの一般的傾向から逸脱してよいことが理解される。保護フィルムは、典型的には特徴の側壁を等角的（共形）にコートしないように形成される。代わりに、保護フィルムは、非等角的（非共形）であり、特徴の最上部近くで最大の厚さを有し、特徴の中により深く延伸するに連れて徐々に薄くなる。
【００６０】
いくつかの実施形態では、堆積操作は、１つまたは複数の堆積反応物を供給して、特徴の側壁上に保護フィルムを形成するステップを伴う。さまざまな実施形態では、保護フィルムは、高分子フィルムである。高分子フィルムは、フルオロカーボンに基づくフィルム（たとえば、ヒドロフルオロカーボンフィルム）であってよい。フルオロカーボンに基づく保護フィルムは、エッチング化学物質がフッ素に基づく場合、そのようなフィルムがこのエッチング化学物質に実質的に耐性があるので、特に有益である。さらに、フルオロカーボンに基づく保護フィルムは、上記で記述した剥離方法を使用して容易に取り除くことができる。いくつかの事例では、フルオロカーボンに基づく保護フィルムは、化学物質ＣＨxＦyを使用して堆積させられてよく、ここで、ｘ＞ｙである。特定の例示的反応物は、ＣＨ4およびＣＨ3Ｆを含む。
【００６１】
他のタイプの保護フィルムもまた使用され得る。これらフィルムは、酸化物、窒化ケイ素、ケイ素、および炭化水素に基づく材料を含んでよい。そのような場合、保護フィルムを堆積させるために使用する反応物は、所望の組成を実現するように選ばれてよい。
【００６２】
図６Ｂは、凹状特徴の側壁の一部分の上に保護フィルムを堆積させる方法６５０について記述するフローチャートである。６５２では、反応チャンバ内に基板が配置される。反応チャンバは、側壁を横方向にエッチングするために使用するものと同じであっても良く、または異なる反応チャンバ、たとえば堆積のために特別に構成された反応チャンバであってもよい。２つ以上の反応チャンバ（たとえば、堆積チャンバおよびエッチングチャンバ）を使用して図２Ａまたは図２Ｂの方法を実行する場合、方法は、反応チャンバ間で基板を適宜に移送するステップをさらに含んでよい。反応チャンバが図５に関連して記述したようなものである場合、基板は、下部チャンバ領域内に、基板支持物上に配置されて提供されてよい。６５４では、反応チャンバに堆積ガスが供給される。堆積ガスは、少なくとも１つの堆積反応物を含み、さらにまた不活性ガスを含んでよい。図５に示すように、反応チャンバが上部チャンバ領域および下部チャンバ領域を含む場合、堆積ガスは、下部チャンバ領域、上部チャンバ領域、または両方に直接提供されてよい。６５６では、堆積期間の間、反応チャンバ内でプラズマがストライクされる（打ち当てられる）。この結果、特徴の側壁上に保護フィルムが堆積さられる。プラズマは、容量結合プラズマである。反応チャンバが、図５に関連して記述したようなものである場合、基板が位置する下部チャンバ領域内で容量結合プラズマが発生され得る。その結果、基板は、容量結合プラズマに直接暴露される。ガス分配機器（またはグリッド、または他の構造物）を接地したまま、基板ホルダにバイアスを印加することにより、プラズマが発生され得る。バイアスは、バイアスサイクルの負の半分の間に、正に帯電したイオンを基板に向けて引っ張るように作用し得るＡＣバイアスであってよい。
【００６３】
容量結合プラズマに加えて、いくつかの事例では、堆積中に誘導結合プラズマも提供されてよい。たとえば、誘導結合プラズマは、基板から離間するように、上部チャンバ領域内で発生させられてよい。誘導結合プラズマは、不活性ガスおよび／または堆積反応物から発生させられてよい。多くの場合、保護フィルムを堆積させるために誘導結合プラズマは使用されない。
【００６４】
保護フィルムの組成に応じて、いくつかの異なる堆積機構が使用され得る。種々の例では、蒸着が使用される。いくつかの実装形態では、保護フィルムは、化学蒸着反応、原子層堆積反応、自己組織化単分子層反応などを通して形成され得る。
【００６５】
いくつかの要因が、保護フィルムの堆積に影響を及ぼす。いくつかの例では、基板および／または基板支持物の温度は、堆積中に約０℃〜１１０℃の間に、たとえば、４０℃〜９０℃の間に維持され得る。反応チャンバ（または基板が位置する反応チャンバの領域）内部の圧力は、約０．０５トール（約６．６６Ｐａ）〜１トールの間、たとえば、約０．１トール〜０．５トール（６６．６６Ｐａ）の間であってよい。容量結合プラズマを発生させるために使用するＲＦ出力は、約１３．５６ＭＨｚの周波数で約５０Ｗ〜１０００Ｗの間、たとえば、約１００Ｗ〜５００Ｗの間であってよい。存在する場合には誘導結合プラズマを発生させるために使用するＲＦ出力は、約１００Ｗ〜２０００Ｗの間、たとえば、約２００Ｗ〜１０００Ｗの間であってよい。堆積反応物に関する例示的流量は、約５０ｓｃｃｍ〜１０００ｓｃｃｍの間、たとえば、約１００ｓｃｃｍ〜５００ｓｃｃｍの間であってよい。反応チャンバの中へ入る（たとえば、堆積反応物、不活性種、および任意の他の種を含む）種の総流量は、約５０ｓｃｃｍ〜４０００ｓｃｃｍの間、たとえば、約１００ｓｃｃｍ〜１０００ｓｃｃｍの間であってよい。これらの流量は、異なるサイズの基板および装置に合わせて、および異なる反応物に合わせて調節されてよい。
【００６６】
これらの要因は、保護フィルムの堆積深さを制御するために、異なる保護フィルムを堆積させるステップの間にわたって（たとえば、単一基板上の異なる堆積反復で）制御され、調節されてよい。いくつかの例では、第１の基板温度または基板支持物温度で第１の保護フィルムが形成されてよく、その後、より高い、またはより低い基板温度または基板支持物温度で同じ基板上に第２の保護フィルムが形成されてよい。これらまたは他の例では、第１の圧力で第１の保護フィルムが形成されてよく、より高い、またはより低い圧力で第２の保護フィルムが形成されてよい。これらまたは他の例では、第１の堆積反応物流量で第１の保護フィルムが形成されてよく、より高い、またはより低い堆積反応物流量で第２の保護フィルムが形成されてよい。これらまたは他の例では、基板支持物に第１のＲＦバイアスを印加して、容量結合プラズマを発生させながら、第１の保護フィルムが形成されてよく、より高い、またはより低いＲＦバイアスレベルで第２の保護フィルムが形成されてよい。これらまたは他の例では、第１のＲＦ出力をコイルに印加して、誘導結合プラズマを発生させながら、第１の保護フィルムが形成されよく、コイルに印加されるより高い、またはより低いＲＦ出力レベルで、第２の保護フィルムが形成されてよい。これらの傾向は、（たとえば、保護フィルム形成の各反復で次第に高い、または次第に低い値の処理条件を使用して）追加の保護フィルムに拡張されてよい。一般的に言って、特徴の内部に比較的より深い保護フィルムの形成を促進する要因は、（１）より低い温度、（２）より低い反応物流束、および（３）基板支持物に印加される、より高いレベルのＲＦバイアスを含む。さまざまな堆積の間にわたってこれらの要因を制御することにより、保護フィルムの堆積（およびその結果、不要な材料の除去）は、図３Ａ〜図３Ｇ、および図４Ａ〜図４Ｈに示すように、望み通りに側壁の上方に、または下方に進行することができる。
剥離操作
【００６７】
いくつかの実施形態では、保護フィルムは、エッチング処理全体の期間のある時点で側壁から剥離される。いくつかの例では、保護フィルムは、図２Ｂおよび図４〜図４Ｈに関連して記述したように、周期的に取り除かれ、再び堆積させられてよい。さらに他の事例では、剥離操作が省略されてもよい。いくつかのそのような例では、別個の剥離操作を実行する理由がないように、最終エッチング反復は、保護フィルムの除去に十分であってもよい。
【００６８】
剥離操作は、それにより、保護フィルムを取り除くために、プラズマに基板を暴露するステップを伴ってよい。さまざまな実施形態では、プラズマは分子酸素（Ｏ2）から発生され得る。追加の反応物および／または不活性ガスも提供され得る。酸素含有プラズマは、詳細には、保護フィルムがフルオロカーボンフィルム（たとえば、ヒドロフルオロカーボンフィルム）である場合に有用であるが、同様にさまざまな他の保護フィルム組成を取り除くために使用されてよい。
【００６９】
プラズマを使用して保護フィルムを取り除く一例では、プラズマは、誘導結合プラズマおよび／または容量結合プラズマであってよい。基板を処理するために使用する装置が図５に示す装置に類似する場合、（存在する場合には）誘導結合プラズマは上部チャンバ領域内で発生させられてよく、（存在する場合には）容量結合プラズマは下部チャンバ領域内で発生させられてよい。他の例では、誘導結合プラズマおよび／または容量結合プラズマは、分離した上部チャンバ領域および下部チャンバ領域が欠如している反応チャンバで形成されてよい。誘導結合プラズマを使用する場合、誘導結合プラズマを発生させるために使用するＲＦ出力は、約２００Ｗ〜２０００Ｗの間であってよい。容量結合プラズマを使用する場合、容量結合プラズマを発生させるために使用するＲＦ出力は、約５０Ｗ〜５００Ｗの間であってよい。これらの出力レベルは、直径が３００ｍｍの単一基板が反応チャンバ内に存在すると仮定し、他のサイズの基板に合わせてスケールを調整されてよい。剥離中の基板および／または基板温度は、約−１０℃〜１１０℃の間で維持されてよい。剥離中の反応チャンバ内の（たとえば、存在する場合には、下部チャンバ領域内の）圧力は、約０．５トール〜３トール（３９９．９Ｐａ）の間であってよい。反応物の流量は、約２００ｓｃｃｍ〜５０００ｓｃｃｍの間であってよい。各剥離操作の継続期間は、約１０秒〜６０秒の間であってよい。
【００７０】
さらにまた他の処理を使用して、保護フィルムが剥離されてよい。そのような処理は、代わりの酸素含有種（たとえば、二酸化炭素（ＣＯ2）、亜酸化窒素（Ｎ2Ｏ）、一酸化窒素（ＮＯ））を利用してよく、および／または希釈種（たとえば、窒素（Ｎ2）、亜酸化窒素（Ｎ2Ｏ）、アルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）、元素水素（Ｈ2）など）を使用して酸素含有種を希釈してよい。
【００７１】
いくつかの実施形態では、保護フィルムを取り除くための剥離操作は、側壁の横方向エッチングおよび保護フィルムの堆積を実行するために使用するのと同じ反応チャンバで実行されてよい。この例では、図２Ａおよび図２Ｂの方法の各々は、単一の反応チャンバ内ですべて実行されてよい。別の実施形態では、エッチングおよび堆積は、分離した反応チャンバで実行され、剥離操作は、基板をエッチングするために使用する反応チャンバ内で、または保護フィルムを堆積させるために使用する反応チャンバ内で実行される。この事例では、図２Ａおよび図２Ｂの方法の各々は、２つの異なる反応チャンバを使用して実行されてよい。さらに別の実施形態では、エッチング、堆積、および剥離は、分離した反応チャンバ内ですべて実行される。この事例では、図２Ａおよび図２Ｂの方法の各々は、３つの異なる反応チャンバを使用して実行されてよい。２つ以上の反応チャンバを使用して、単一基板を処理する場合、図２Ａおよび図２Ｂの方法は、必要に応じて、異なる反応チャンバの間で基板を移送するステップをさらに含んでよい。
装置
【００７２】
本明細書で記述する方法は、任意の適切な装置により実行され得る。適切な装置は、処理操作を達成するためのハードウェア、および本実施形態による処理操作を制御するための命令を有するシステムコントローラを含む。たとえば、いくつかの実施形態では、ハードウェアは、処理ツールに含まれる１つまたは複数の処理ステーションを含んでよい。
【００７３】
次に、図５を参照すると、本開示に従って第２の材料に対して第１の材料を選択的にエッチングするための基板処理チャンバ５００の一例が示されている。特有の基板処理チャンバについて示し、記述するが、本明細書で記述する方法は、他のタイプの基板処理システム上に実装されてもよい。いくつかの例では、基板処理チャンバ５００は、遠隔の（たとえば、基板の上流の）誘導結合プラズマ（ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ  ｃｏｕｐｌｅｄ  ｐｌａｓｍａ、ＩＣＰ）源を含む。任意選択の容量結合プラズマ（ｃａｐａｃｉｔｉｖｅｌｙ  ｃｏｕｐｌｅｄ  ｐｌａｓｍａ、ＣＣＰ）源が備えられても良い。
【００７４】
基板処理チャンバ５００は、下部チャンバ領域５０２および上部チャンバ領域５０４を含む。下部チャンバ領域５０２は、チャンバ側壁表面５０８、チャンバ最下部表面５１０、およびガス分配機器５１４の下部表面により画定される。いくつかの例では、ガス分配機器５１４は省略される。
【００７５】
上部チャンバ領域５０４は、ガス分配機器５１４の上部表面、および上部チャンバ壁５１８（たとえば、ドーム形状のチャンバ）の内部表面により画定される。いくつかの例では、上部チャンバ壁５１８は、第１の環状支持物５２１上に載置される。いくつかの例では、第１の環状支持物５２１は、以下でさらに記述するように、上部チャンバ領域５０４に処理ガスを供給するための１つまたは複数のガス流路および／または穴５２３を含む。ガス流路および／または穴５２３は、上部チャンバ領域５０４の外縁の周りに一定の間隔を置いて配置されてよい。いくつかの例では、処理ガスは、ガス分配機器５１４を含む平面に対して鋭角で上向きの方向へ１つまたは複数のガス流路および／または穴５２３により供給されるが、他の角度／方向が使用されてもよい。いくつかの例では、第１の環状支持物５２１内のプレナム５３４は、１つまたは複数の間隔を置いたガス流路および／または穴５２３にガスを供給する。
【００７６】
第１の環状支持物５２１は、下部チャンバ領域５０２に処理ガスを供給するための１つまたは複数のガス流路および／または穴５２７を画定する第２の環状支持物５２５に載置されてよい。いくつかの例では、ガス分配機器５１４内の穴５３１は、ガス流路および／または穴５２７と一直線に並ぶ。他の例では、ガス分配機器５１４は、より小さな直径を有し、穴５３１は必要ない。いくつかの例では、処理ガスは、ガス分配機器５１４を含む平面に対して鋭角で、基板に向けう下向きの方向へ１つまたは複数の間隔を置いて配置されたガス流路および／または穴５２７により供給されるが、他の角度／方向が使用されてもよい。
【００７７】
他の例では、上部チャンバ領域５０４は、平坦な最上部表面を伴う円筒形であり、１つまたは複数の平坦な誘導コイルが使用されてよい。さらに他の例では、シャワーヘッドと基板支持物の間に位置するスペーサを伴う単一チャンバが使用されてもよい。
【００７８】
基板支持物５２２は、下部チャンバ領域５０４内に配列される。いくつかの例では、基板支持物５２２は、電磁チャック（ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  ｃｈｕｃｋ、ＥＳＣ）を含むが、他のタイプの基板支持物を使用することができる。基板５２６は、エッチング中に基板支持物５２２の上部表面上に配置される。いくつかの例では、ヒータプレート５４１、流路を伴う任意選択の冷却プレート、および１つまたは複数のセンサ（図示せず）により基板５２６の温度が制御されてよいが、任意の他の適切な基板支持物温度制御システムが使用されてもよい。いくつかの例では、温度コントローラ５４３を使用して、基板支持物５２２の加熱および冷却が制御されても良い。ヒータプレート５４１により加熱が実行されてよく、流路５４５を伴う冷却プレートにより冷却が実行されてよい。
【００７９】
温度コントローラ５４７を使用して、ガス分配機器５１４内でプレナムに加熱液／冷却液を供給することにより、ガス分配機器５１４の温度が制御され得る。温度コントローラ５４３および／または５４７は、流体源、ポンプ、制御弁、および温度センサ（すべて図示されているわけではない）をさらに含んでよい。
【００８０】
いくつかの例では、ガス分配機器５２８は、シャワーヘッド（たとえば、間隔を置いて配置された複数の穴５２９を有するプレート５２８）を含む。間隔を置いて配置された複数の穴５２９は、プレート５１４の上部表面からプレート５１４の下部表面まで伸展する。いくつかの例では、間隔を置いて配置された穴５２９は、０．１インチ（２．５４ミリ）〜０．７５インチ（１９．０５ミリ）の範囲の直径を有し、シャワーヘッドは、アルミニウムなどの伝導性材料、またはセラミックなどの非伝導性材料から作製され、埋め込まれた電極は、伝導性材料から作製される。以下でさらに記述する他の例では、より小さな穴５２９を使用して、体積に対する表面の比を増大させることができる。
【００８１】
上部チャンバ壁５１８の外側部分の周囲に１つまたは複数の誘導コイル５４０が配置されている。エネルギーが与えられたとき、１つまたは複数の誘導コイル５４０は、上部チャンバ壁５１８の内側に電磁場を生み出す。いくつかの例では、上部コイルおよび下部コイルが使用される。ガスインジェクタ５４２は、ガス供給システム５５０−１から上部チャンバ領域５０４の中に１つまたは複数のガス混合物を注入する。
【００８２】
いくつかの例では、ガス供給システム５５０−１は、１つまたは複数のガス源５５２、１つまたは複数の弁５５４、１つまたは複数の質量流コントローラ（ｍａｓｓ  ｆｌｏｗ  ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ、ＭＦＣ）５５６、および混合マニホルド５５８を含むが、他のタイプのガス供給システムが使用されてよい。ガススプリッタ（図示せず）を使用して、ガス混合物の流量が変更されてよい。別のガス供給システム５５０−２を使用して、ガス流路および／または穴５２３および／または５２７に（ガスインジェクタ５４２からのエッチングガスに加えて、またはそれの他に）エッチングガス、チューニングガス、パージガス、または他のガス混合物が供給されてよい。
【００８３】
全体が参照により本明細書に組み入れられる、２０１５年１２月４日に出願された、「Ｇａｓ  Ｄｅｌｉｖｅｒｙ  Ｓｙｓｔｅｍ（ガス供給システム）」と題する、同一出願人による米国特許出願１４／９４５，６８０に、適切なガス供給システムについ示され、記述されている。全体が参照により本明細書に組み入れられる、２０１６年１月７日に出願された、「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ  ｗｉｔｈ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  Ｐｏｉｎｔｓ  ａｎｄ  Ｄｕａｌ  Ｉｎｊｅｃｔｏｒ（複数の注入点および二重インジェクタを伴う基板処理システム）」と題する同一出願人による米国仮特許出願６２／２７５，８３７に、適切な単一の、または二重のガスインジェクタおよび他のガス注入場所について示され、記述されている。
【００８４】
いくつかの例では、ガスインジェクタ５４２は、下向きの方向にガスを向ける中央の注入部、および下向きの方向に対して角度をなしてガスを注入する１つまたは複数の側面の注入部を含む。いくつかの例では、ガス供給システム５５０−１は、中央の注入部にガス混合物の第１の部分を第１の流量で、ガスインジェクタ５４２の１つまたは複数の側面の注入場所にガス混合物の第２の部分を第２の流量で供給する。他の例では、ガスインジェクタ５４２により、異なるガス混合物が供給される。いくつかの例では、ガス供給システム５５０−２は、以下で記述するように、ガス流路および／もしくは穴５２３および５２７に、ならびに／または処理チャンバ内の他の場所に、チューニングガスを供給する。たとえば、ガス供給システム５５０−２はまた、ガス分配機器５１４内のプレナムにガスを供給することができる。
【００８５】
プラズマ発生器５７０を使用して、１つまたは複数の誘導コイル５４０に出力されるＲＦ出力が発生され得る。プラズマ５９０は、上部チャンバ領域５０４内で発生させられる。いくつかの例では、プラズマ発生器５７０は、ＲＦ発生器５７２および整合ネットワーク５７４を含む。整合ネットワーク５７４は、ＲＦ発生器５７２のインピーダンスを１つまたは複数の誘導コイル５４０のインピーダンスに整合させる。いくつかの例では、ガス分配機器５１４は、接地などの基準電位に接続される。弁５７８およびポンプ５８０を使用して、下部チャンバ領域５０２および上部チャンバ領域５０４の内側で圧力を制御し、反応物を排出してよい。
【００８６】
コントローラ５７６は、ガス供給システム５５０−１および５５０−２、弁５７８、ポンプ５８０、ならびに／またはプラズマ発生器５７０と通信して、処理ガス、パージガス、チューニングガス、ＲＦプラズマの流れ、およびチャンバ圧力を制御する。いくつかの例では、プラズマは、１つまたは複数の誘導コイル５４０により上部チャンバ壁５１８の内側で持続される。１つまたは複数のガス混合物は、ガスインジェクタ５４２（ならびに／またはガス流路および／もしくは穴５２３）を使用してチャンバの最上部部分から導入され、プラズマは、ガス分配機器５１４を使用して上部チャンバ壁５１８内部に閉じ込められる。
【００８７】
上部チャンバ壁５１８の中にプラズマを閉じ込めることにより、プラズマ種の体積再結合が可能になり、ガス分配機器５１４を通して所望のエッチング種を放出することが可能になる。いくつかの例では、基板５２６にＲＦバイアスがまったく印加されない。この結果、基板５２６上に活性化状態のシースはまったく存在せず、どんな有限エネルギーを伴うイオンも基板に到達しない。一部の量のイオンは、ガス分配機器５１４を通してプラズマ領域外に拡散する。しかしながら、拡散するプラズマの量は、上部チャンバ壁５１８の内側に位置するプラズマよりも１桁少ない。プラズマ内のイオンの大部分は、高圧で体積再結合により失われる。ガス分配機器５１４の上部表面での表面再結合損失はまた、イオン濃度をガス分配機器５１４よりも低下させる。
【００８８】
いくつかの例では、ＲＦバイアス発生器５８４が提供され、ＲＦ発生器５８６およびマッチング回路５８８を含む。イオンを引き寄せるために、ＲＦバイアスは、ガス分配機器５１４と基板支持物の間でプラズマを生成し、または基板５２６上に自己バイアスを生成しりために用いられ得る。コントローラ５７６を使用して、ＲＦバイアスが制御され得る。
【００８９】
いくつかの実装形態では、コントローラは、上述の例の一部であってよいシステムの一部である。そのようなシステムは、１つもしくは複数の処理ツール、１つもしくは複数のチャンバ、処理するための１つもしくは複数のプラットフォーム、および／または特有の処理構成要素（ウエハペダル、ガス流システムなど）を含む半導体処理設備を備えることができる。これらのシステムは、半導体ウエハまたは半導体基板を処理する前、その間、およびその後に自身の操作を制御するための電子機器と一体化されてよい。電子機器は、１つまたは複数のシステムのさまざまな構成要素または下位区分を制御してよい「コントローラ」と呼ばれることがある。処理要件および／またはシステムのタイプに応じて、コントローラは、処理ガスの供給、温度設定（たとえば、加熱および／または冷却）、圧力設定、真空設定、出力設定、無線周波数（ｒａｄｉｏ  ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ、ＲＦ）発生器設定、ＲＦ整合回路設定、周波数設定、流量設定、流体供給設定、位置および操作の設定、ツールおよび他の移送ツールの中へ、およびそれらからのウエハ移送、ならびに／または特有のシステムに接続された、もしくはそれとインタフェースをとるロードロックを含む、本明細書で開示するいずれの処理をも制御するようにプログラムされ得る。
【００９０】
大まかに言って、コントローラは、さまざまな集積回路、論理回路、メモリ、および／または命令を受け取り、命令を発行し、操作を制御し、クリーニング操作を可能にし、エンドポイント測定を可能にするなどを行うソフトウェアを有する電子回路として規定されてよい。集積回路は、プログラム命令を記憶するファームウェアの形をとるチップ、デジタル・シグナル・プロセッサ（ｄｉｇｉｔａｌ  ｓｉｇｎａｌ  ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ、ＤＳＰ）、特定用途向け集積回路（ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  ｓｐｅｃｉｆｉｃ  ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ、ＡＳＩＣ）として規定されるチップ、および／またはプログラム命令（たとえば、ソフトウェア）を実行するマイクロプロセッサもしくはマイクロコントローラを含んでよい。プログラム命令は、特定の処理を行うための、もしくは半導体ウエハのための操作パラメータ、またはシステムに対する操作パラメータを規定するさまざまな個々の設定（またはプログラムファイル）の形でコントローラに伝達される命令であってよい。操作パラメータは、いくつかの実施形態では、１つもしくは複数の層、材料、金属、酸化物、ケイ素、酸化ケイ素、表面、回路、および／またはウエハのダイを製造する間、１つまたは複数の処理ステップを達成するために処理技術者により規定されたレシピの一部であってよい。
【００９１】
コントローラは、いくつかの実装形態では、システムと一体化された、システムに連結された、システムに他の方法でネットワーク化された、またはそれらを組合せたコンピュータの一部であってよい、またはそのコンピュータに結合されてよい。たとえば、コントローラは、「クラウド」の中にあってよい、または半導体工場のホストコンピュータシステムのすべて、もしくは一部であってよく、これにより、ウエハ処理の遠隔アクセスを可能にすることができる。コンピュータは、製造操作の現在の進展を監視し、過去の製造操作の履歴を調べ、複数の製造操作から傾向または性能指標を調べるためにシステムに遠隔でアクセスして、現在の処理のパラメータを変更し、現在の処理に続く処理ステップを設定可能にする、または新しい処理を開始可能にする。いくつかの例では、遠隔コンピュータ（たとえば、サーバ）は、ローカルネットワークまたはインターネットを含んでよいネットワークを介してシステムに処理レシピを提供することができる。遠隔コンピュータは、パラメータおよび／または設定の入力またはプログラミングを可能にし、パラメータおよび／または設定は、次いで、遠隔コンピュータからシステムに伝達される。いくつかの例では、コントローラは、１つまたは複数の操作の間に実行すべき処理ステップごとにパラメータを指定する、データの形をとる命令を受け取る。パラメータは、実行すべき処理のタイプ、およびコントローラがインタフェースをとる、または制御するように構成されたツールのタイプに特有であってよいことを理解されたい。したがって、上記で記述したように、コントローラは、本明細書で記述する処理および制御などの共通の目的に向かって作動する、一緒にネットワーク化された１つまたは複数の別個のコントローラを備えることによるなど、分散させられてよい。そのような目的のための分散コントローラのある例は、チャンバ上の処理を制御するために組み合わせる（プラットフォームレベルで、または遠隔コンピュータの一部としてなど）遠隔に位置する１つまたは複数の集積回路と通信状態にある、チャンバ上の１つまたは複数の集積回路であってよい。
【００９２】
限定することなく、例示のシステムは、プラズマ・エッチング・チャンバまたはモジュール、堆積チャンバまたはモジュール、スピン・リンス・チャンバまたはモジュール、めっきチャンバまたはモジュール、洗浄チャンバまたはモジュール、ベベル縁部エッチングチャンバまたはモジュール、物理蒸着法（ｐｈｙｓｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＶＤ）チャンバまたはモジュール、化学蒸着（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＣＶＤ）チャンバまたはモジュール、原子層堆積（ａｔｏｍｉｃ  ｌａｙｅｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＡＬＤ）チャンバまたはモジュール、原子層エッチング（ａｔｏｍｉｃ  ｌａｙｅｒ  ｅｔｃｈ、ＡＬＥ）チャンバまたはモジュール、イオン注入チャンバまたはモジュール、トラックチャンバまたはモジュール、ならびに半導体ウエハの製造および／または制作に関連づけられてよい、またはそれで使用されてよい、任意の他の半導体処理システムを含んでよい。
【００９３】
上記で指摘したように、ツールにより実行すべき１つまたは複数の処理ステップに応じて、コントローラは、他のツール回路もしくはモジュール、他のツール構成要素、クラスタツール、他のツールインタフェース、近接したツール、隣接するツール、工場全体に位置するツール、メインコンピュータ、別のコントローラ、または半導体製造工場内のツールの場所および／またはロードポートとの間でウエハの容器を運ぶ材料搬送で使用するツールのうち１つまたは複数と通信してよい。
【００９４】
上記で記述したハードウェアおよび方法のさまざまな実施形態は、たとえば、半導体機器、表示装置、ＬＥＤ、光起電力パネルなどを製作または製造するために、リソグラフィによるパターン形成ツールまたは処理と関連づけて使用されてよい。典型的には、必ずしもではないが、そのようなツール／処理は、共通の製造施設で一緒に使用される、または行われる。
【００９５】
リソグラフィによるフィルムのパターン形成は、典型的には、（１）スピン・オンツールまたはスプレー・オン・ツールを使用して、加工物、たとえば上に窒化ケイ素フィルムが形成された基板上にフォトレジストを適用するステップ、（２）ホットプレートまたは炉または他の適切な硬化ツールを使用してフォトレジストを硬化させるステップ、（３）ウエハステッパなどのツールを用いて可視光またはＵＶ光またはＸ線光にフォトレジストを暴露するステップ、（４）レジストを選択的に取り除き、それにより、ウェットベンチまたはスプレーデベロッパなどのツールを使用してレジストをパターン形成するように、レジストを現像するステップ、（５）ドライエッチングツールまたはプラズマ支援ツールを使用することにより、下にあるフィルムまたは加工物の中にレジストパターンを移すステップ、ならびに（６）ＲＦまたはマイクロ波のプラズマレジスト剥離液などのツールを使用してレジストを取り除くステップのうち一部またはすべてを備え、各ステップは、いくつかの想定されるツールを用いて可能になる。いくつかの実施形態では、フォトレジストを適用する前に、灰化可能ハードマスク層（非晶質炭素層など）および別の適切なハードマスク（反射防止層など）を堆積させてよい。
【００９６】
本明細書で記述する構成および／または取り組み方法は、本質的に代表的なものであること、ならびに数多くの変形形態が可能であるので、これらの特有の実施形態または例は、限定する意味で考えられるべきではないことを理解されたい。本明細書で記述する特有のルーチンまたは方法は、任意の数の処理戦略の１つまたは複数を表していることがある。したがって、例示するさまざまな活動は、例示する順序で、他の順序で、並列に実行されてよい、または場合によっては省略されてよい。同様に、上記で記述する処理の順序を変更してよい。ある種の参考文献を参照により本明細書に組み入れている。そのような参考文献で行われるどの拒否も否認も、本明細書で記述する実施形態に必ずしもあてはまらないことが理解される。同様に、そのような参考文献で必要に応じて記述される任意の特徴は、本明細書の実施形態で省略されてよい。
【００９７】
本開示の主題は、本明細書で開示するさまざまな処理、システム、および構成、ならびに他の特徴、機能、活動、および／または特性のすべての新規で非自明な組合せおよび副組合せだけではなく、それらの任意のすべての均等物も含む。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図１Ｅ】
2020529732.tif 000007
【図１Ｆ】
2020529732.tif 000008
【図１Ｇ】
2020529732.tif 000009
【図１Ｈ】
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【図２Ａ】
2020529732.tif 000011
【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
2020529732.tif 000013
【図３Ｂ】
2020529732.tif 000014
【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図３Ｆ】
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【図３Ｇ】
2020529732.tif 000019
【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図４Ｇ】
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【図４Ｈ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
2020529732.tif 000031
【図７Ｂ】
2020529732.tif 000032
【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
2020529732.tif 000034
【図７Ｅ】
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【図７Ｆ】
2020529732.tif 000036
【図７Ｇ】
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【図７Ｈ】
2020529732.tif 000038
【図７Ｉ】
2020529732.tif 000039
【図７Ｊ】
2020529732.tif 000040
【図７Ｋ】
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【図７Ｌ】
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【図７Ｍ】
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【図７Ｎ】
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【国際調査報告】
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