(57)【要約】  本発明は、ターボ分子ポンプのロータ軸受に加わる軸受予荷重力を示す軸受予荷重力ゲージに関する。このゲージは、ハウジングと、軸受予荷重力を示す指示器と、アクチュエータとを含み、アクチュエータは、アクチュエータとインペラ係合面との間に弾性付勢をもたらすように構成された部材によってインペラ係合面に結合される。本発明は、軸受予荷重力ツール、及びターボ分子ポンプに加わる軸受予荷重力の測定方法にも関する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターボ分子ポンプのロータ軸受に加わる軸受予荷重力を示すための軸受予荷重力ゲージであって、ハウジングと、前記軸受予荷重力を示す指示器と、アクチュエータとを備え、該アクチュエータは、該アクチュエータとインペラ係合面との間に弾性付勢をもたらすように構成された部材によって前記インペラ係合面に結合される、
ことを特徴とする軸受予荷重力ゲージ。
【請求項２】
使用時に、前記インペラ係合面をポンプインペラに結合し、前記軸受予荷重力に打ち勝つように前記アクチュエータを弾性付勢部材の作用に抗して前記係合面に対して動かすことによって前記軸受予荷重力が示される、
請求項１に記載のゲージ。
【請求項３】
前記アクチュエータ、前記弾性付勢部材、及び前記インペラ係合面を含むインペラ配置部材は、前記ハウジングに対して往復運動の形で移動可能である、
請求項１又は２に記載のゲージ。
【請求項４】
前記軸受予荷重力に打ち勝った時に、前記軸受予荷重力指示器が、前記軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内又は範囲外のいずれに存在するかを示す、
請求項１から３に記載のゲージ。
【請求項５】
前記軸受予荷重力に打ち勝った時に前記軸受予荷重力が前記所定の好ましい範囲内に存在する場合、前記指示器が第１の指示を提供する、
請求項４に記載のゲージ。
【請求項６】
前記軸受予荷重力に打ち勝った時に前記軸受予荷重力が前記所定の好ましい範囲外に存在する場合、前記指示器が、第１の指示とは異なる第２の指示を提供する、
請求項５に記載のゲージ。
【請求項７】
前記軸受予荷重力に打ち勝った時に前記軸受予荷重力が所定の好ましい範囲外に存在する場合、前記指示器が、前記軸受予荷重力が前記所定の好ましい範囲を上回るか、それとも下回るかを示す、
請求項４から６に記載のゲージ。
【請求項８】
前記指示器によって提供される前記指示は視覚的なものである、
請求項１から７のいずれかに記載のゲージ。
【請求項９】
前記指示器は、前記ハウジング又は前記アクチュエータに結合された指標と指標識別子とを含み、使用時に、前記指標及び前記識別子は、前記軸受予荷重力を示すように互いに対して移動可能である、
請求項１から８のいずれかに記載のゲージ。
【請求項１０】
１つの指標が所定の好ましい予荷重力範囲の下限を示し、１つの指標が所定の好ましい予荷重力範囲の上限を示す、
請求項９に記載のゲージ。
【請求項１１】
前記軸受予荷重力がいつ所定の好ましい範囲内に存在するかを示す指標を含む、
請求項９又は１０に記載のゲージ。
【請求項１２】
前記指標は、前記ハウジング上の階段状の上面を含み、第１段が、所定の好ましい予荷重力範囲の下限を示し、第２段が、所定の好ましい予荷重力範囲の上限を示す、
請求項９、１０又は１１に記載のゲージ。
【請求項１３】
前記第１段及び前記第２段は、それぞれ前記所定の好ましい予荷重力範囲を示す２次指標を含む、
請求項１２に記載のゲージ。
【請求項１４】
前記弾性部材は、ばね、好ましくは圧縮ばね、好ましくは圧縮コイルばねを含む、
請求項１から１３のいずれかに記載のゲージ。
【請求項１５】
前記軸受予荷重力に打ち勝つことは可聴信号を伴う、
請求項１から１４のいずれかに記載のゲージ。
【請求項１６】
前記ターボ分子ポンプのロータ軸受に加わる前記軸受予荷重力を変更するための予荷重力調整器をさらに備える、
請求項１から１５のいずれかに記載のゲージ。
【請求項１７】
調整可能な予荷重力下にあるロータ軸受を含むターボ分子ポンプの予荷重力ツールであって、予荷重力ゲージと予荷重力調整器とを備える、
ことを特徴とするツール。
【請求項１８】
前記ゲージは、請求項１から１５のいずれかに１項に記載のゲージである、
請求項１７に記載のツール。
【請求項１９】
ターボ分子ポンプのロータ軸受に加わる軸受予荷重力の測定方法であって、
ａ）予荷重力が加わったロータ軸受を含むターボ分子ポンプを準備するステップと、
ｂ）ハウジングと、前記軸受予荷重力を示すための指示器と、弾性付勢をもたらす部材によってインペラ係合面に結合されたアクチュエータとを含む予荷重力ゲージを準備するステップと、
ｃ）前記インペラ係合面を前記インペラに結合するステップと、
ｄ）前記ロータ軸受に加わる前記軸受予荷重力に打ち勝つように、前記アクチュエータを前記弾性付勢に抗して前記インペラ係合面に対して動かすステップと、
ｅ）前記軸受予荷重力に打ち勝った時に、前記指示器からの前記軸受予荷重力の指示を読み取るステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２０】
前記軸受予荷重力ゲージは、請求項１から１６のいずれか１項に記載のゲージである、
請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
好ましくは前記ターボ分子ポンプから前記ゲージを取り外すことなく、前記ゲージを使用して前記軸受予荷重力を調整し、任意に前記軸受予荷重力を再測定するステップをさらに含む、
請求項１９又は２０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、力ゲージに関し、具体的には、ターボ分子ポンプの軸受予荷重力を測定するための力ゲージに関する。本発明は、軸受予荷重力ゲージと軸受予荷重力調整器とを含む軸受予荷重力ツール、及び軸受予荷重力の測定方法をさらに提供する。
【背景技術】
【０００２】
通常、真空ポンプは、周囲のステータに対して回転する、シャフトに取り付けられたロータの形のインペラを含む。ロータシャフトは、シャフトのそれぞれの端部又はその中間に位置する２つの軸受を含む軸受装置によって支持される。通常、入口側の上側軸受は受動型磁気軸受の形態であり、出口側の下側軸受は転がり軸受の形態であることができる。
【０００３】
通常動作条件では、転がり軸受の性能を高めるために軸受予荷重力をかけることができ、すなわちロータシャフトアセンブリが一方の軸方向に付勢される。通常、軸受予荷重力は、上側の受動型磁気軸受によって生成される。通常、ロータシャフトはポンプ入口に向かって付勢される。
【０００４】
通常は、正の予荷重と負の予荷重との間の軸方向の動きを制限するために、グロスストップ（ｇｒｏｓｓ  ｓｔｏｐ）が備わる。グロスストップは、転がり軸受の外輪、又は軸受の外輪に結合できる減衰アセンブリに作用することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
通常、転がり軸受の内輪は、ターボロータシャフトに結合される。磁気軸受の力とは逆向きの十分に大きな力がロータに加わると、ロータシャフトアセンブリは、軸方向逆向きへの位置の変更を強いられ、これは負の予荷重として知られている。通常、正の予荷重から負の予荷重への移行には、クリック音又はノック音などの可聴ノイズが伴う。
【０００６】
保守整備中には、転がり軸受の交換後に、軸受予荷重の測定及び調整が必要になることがある。このことは、許容予荷重制限内での軸受の動作を確実にするために好ましい。
【０００７】
予荷重力の測定には、力変換器、ロードセル、又はキャリア付きの重り（ｗｅｉｇｈｔｓ  ｗｉｔｈ  ｃａｒｒｉｅｒｓ）を使用することを含む多くの方法が採用されている。しかしながら、力変換器又は計器付きロードセルは、現場で使用するには法外なほど高価であることが分かっている。一方で、価格スケールの下限における重りの使用は、実際に使用するにはあまりにも複雑で大きすぎることが分かっている。さらに、重りの使用はオペレータの経験と感覚に依拠するため、オペレータの訓練にさらなる費用がかかる。このため、軸受予荷重力を測定するための安価で単純で正確な方法が必要とされている。
【０００８】
本発明は、先行技術のこれらの及びその他の問題に対処するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
従って、本発明は、第１の態様において、ターボ分子ポンプのロータ軸受に加わる軸受予荷重力を示す軸受予荷重力ゲージを提供する。
【００１０】
このゲージは、ハウジングと、軸受予荷重力を示す指示器と、アクチュエータとを含むことができ、アクチュエータは、アクチュエータとインペラ係合面との間に弾性付勢をもたらすように構成された部材によってインペラ係合面に結合される。通常、インペラ係合面は、例えばインペラ係合ペグなどの、インペラ配置部材の遠位端に位置することができる。通常、インペラ配置部材は、使用時にインペラ係合面がインペラシャフトに係合して、又はインペラシャフトに結合されてインペラシャフトと共に直接移動できる表面に係合して、インペラシャフトと共に移動できるように構成される。従って、係合面に伝わった力をインペラに伝えることができ、及び／又は係合面の動きによってインペラを動かすことができる。
【００１１】
通常、インペラ配置部材は、静止時及び／又は使用時に、ターボ分子ポンプハウジングを通じてインペラまで延びるようにハウジングの前方に延びることができる。
【００１２】
インペラ配置部材は、弾性付勢部材と係合する表面、例えば突出部の上面、例えば配置部材のシャフト上の半径方向に広がる周方向フランジをさらに含むことができる。
【００１３】
アクチュエータ、弾性部材、及びインペラ係合面を含むインペラ配置部材は、ハウジングに対して摺動構成をとることができる。すなわち、１又は２以上の部品がハウジングと滑り接触する。通常、アクチュエータ、弾性部材、及びインペラ係合面を含むインペラ配置部材は、ゲージの長手方向軸に沿って、及び／又はハウジングに対して往復運動の形で動くように構成される。使用時には、ゲージの長手方向軸が、ターボ分子ポンプのロータシャフトの軸と実質的に整列することができる。
【００１４】
ゲージのハウジングは、使用中にゲージをハウジングに対して実質的に静止した状態に保持するためにターボ分子ポンプのハウジングに結合するように構成することができる。
【００１５】
ゲージのハウジングは、軸受予荷重力調整手段を含むこともできる。通常、軸受予荷重力調整手段は、受動型磁気軸受の内輪の位置を外輪に対して調整するように構成される。軸受予荷重力は、ターボ分子ポンプからゲージを取り外すことなく測定及び調整できることが好ましい。
【００１６】
ゲージは、使用時にインペラ係合面をポンプインペラに結合し、アクチュエータを弾性付勢に抗して係合面に対して、通常は係合面に向けて動かすことによって軸受予荷重力が示されるように構成することができる。ゲージは、アクチュエータが係合面に向かって移動するにつれて、弾性部材によってもたらされる復元（反動）力が増加するように構成することができる。通常、弾性部材の復元（反動）力は、軸受予荷重力に打ち勝つ（すなわち、軸受予荷重力が正から負に変化する）まで増加する。通常、軸受予荷重力は、軸受予荷重力に打ち勝つほど十分にアクチュエータが移動した時に示される。
【００１７】
本発明の軸受予荷重力ゲージは、あらゆる配向で使用できることが有利である。従って、このゲージは、ロータシャフトと予荷重力とが水平などの非垂直方向にあることができる多段ターボ分子ポンプの測定において特に有用である。
【００１８】
本発明によるゲージは、入口側の上側受動型磁気軸受と、出口側の下側転がり軸受とを含み、及び／又は軸受予荷重力が正、すなわちポンプ入口の方向に加わるターボ分子ポンプの軸受予荷重力の測定において特に有用である。これにより、ターボ分子ポンプの軸受予荷重力を測定するための安価で正確でかつ使いやすい解決策が提供される。
【００１９】
弾性部材は、アクチュエータとインペラ係合面との間に弾性付勢をもたらすように構成される。すなわち、弾性部材は、インペラ係合面に対するアクチュエータの動きに弾性的に抵抗する。通常、弾性部材は、インペラ係合面に向かうアクチュエータの動きに弾性的に抵抗し、すなわちこれらは離れて付勢される。通常、弾性部材は、ばね、好ましくは圧縮ばね、好ましくは圧縮コイルばねである。ばねは、実質的に線形であることが好ましい。ばねのばね定数は、ばねの圧縮範囲内で好ましい予荷重力範囲が達成されるように選択することができる。
【００２０】
ゲージは、軸受予荷重力に打ち勝った時に、軸受予荷重力指示器が、軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内又は範囲外のいずれに存在するかを示すように構成されることが好ましい。軸受予荷重力指示器は、軸受予荷重力に打ち勝った時に軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内に存在する場合、軸受予荷重力が所定の範囲内にあることを示すことが好ましい。
【００２１】
これに加えて、又はこれとは別に、軸受予荷重力指示器は、軸受予荷重力に打ち勝った時に軸受予荷重力が所定の好ましい範囲外に存在する場合、軸受予荷重力が所定の好ましい範囲外にある旨の指示、好ましくは所定の好ましい範囲内にある時とは異なる指示を与えることができる。
【００２２】
指示器は、軸受予荷重力に打ち勝った時に軸受予荷重力が所定の好ましい範囲外に存在する場合、軸受予荷重力が所定の好ましい範囲を上回るか、それとも下回るかを示すことが好ましい。
【００２３】
通常、指示器によって提供される指示は視覚的なものである。指標は、ハウジング又はアクチュエータの表面内又は表面上に形成された構造、印刷された指標、或いはこれらの組み合わせから成る群から選択することができる。指示器は、１次指標及び２次指標を含むことができる。
【００２４】
本発明の指示器は、読み取って解釈しなければならない尺度又は数値出力を含まなくてもよいことが有利である。ユーザは、軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内に存在するかどうかを指示器から直接、すなわちその特定のターボ分子ポンプにとって軸受予荷重力が受け入れ可能であるかどうかを判断するために２次ソースを調べる必要なく理解できることが好ましい。通常、ゲージは、特定のポンプ形状と、所定の好ましい軸受予荷重力及びその範囲とを含む特定のターボ分子ポンプモデルのために構成される。
【００２５】
通常、指示器は、ハウジング又はアクチュエータに結合された指標と、対応する指標識別子とを含み、指標及び識別子は、使用時に軸受予荷重力を示すように互いに対して移動可能である。指標識別子は、ハウジング又はアクチュエータの他方に結合することができる。通常、指標及び指標識別子の一方は、使用時にゲージハウジング及び／又はターボ分子ポンプハウジングに対して静止したままである。通常、指標は、ハウジング又はアクチュエータの一方に形成され、指標識別子は、ハウジング又はアクチュエータの他方に形成される。
【００２６】
１つの指標は、好ましい予荷重力範囲の下限を示すことができ、１つの指標は、好ましい予荷重力範囲の上限を示すことができる。指標は、単一の指標又は別個の指標とすることができ、同様にこれらは同じ指標又は異なる指標とすることができる。
【００２７】
これに加えて、又はこれとは別に、指示器は、軸受予荷重力がいつ所定の好ましい予荷重力範囲内にあるかを識別する指標を含むこともできる。ある実施形態では、指示器が、好ましい予荷重力範囲の下限を示す第１の指標と、好ましい予荷重力範囲を識別する第２の指標と、好ましい予荷重力範囲の上限を示す第３の指標とを含む。
【００２８】
実施形態では、指標が、ゲージハウジングの上部に形成された一連の段の形をとることができる。通常は、上側の第１段が好ましい予荷重力範囲の下限を示し、典型的には隣接する下側の第２段が好ましい予荷重力範囲の上限を示す。
【００２９】
また、第１段及び第２段は、それぞれ好ましい予荷重力範囲を示す２次指標を含むこともできる。例えば、第１段上には、その段よりも上側が所定の好ましい範囲外であることを示す第１の２次指標が存在することができる。これに加えて、又はこれとは別に、第２段は、第２段の上側であって第１段の下側が所定の好ましい範囲内であることを示す、第１の指標とは異なる第２の２次指標を含むことができる。任意に、第３のさらに低い段が、第２段の下側が所定の好ましい範囲外であることを示す２次指標を含むこともできる。
【００３０】
第２段の２次指標は、書かれたもの又は記号とすることができ、一般に「成功」、「合格」、緑色又はチェックマーク（ｔｉｃｋ）などの肯定的な結果を示すことができる。これに加えて、又はこれとは別に、第１段及び／又は任意の第３段の２次指標は、書かれたもの又は記号とすることができ、一般に「不成功」、「不合格」、赤色又は×印などの否定的な結果を示すことができる。
【００３１】
これに加えて、又はこれとは別に、指標識別子は、使用時に段に対してアクチュエータと共に移動できる、アクチュエータの外面上の印刷マーク、突出部又は窪みの形をとることもできる。従って、アクチュエータに加わる力が軸受予荷重力に打ち勝つと、指標に対する識別子の位置が、軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内にあるかどうかを示す。
【００３２】
或いは、指標識別子が、ゲージのハウジングの一部、或いはゲージのハウジング上のマーク、突出部又は窪みを含み、アクチュエータが、好ましい予荷重力範囲の上限及び下限を識別する１又は２以上の指標を含み、アクチュエータをハウジングに対して移動可能とすることもできる。
【００３３】
通常、軸受予荷重力に打ち勝つことは、クリック音などの可聴信号を伴う。使用時に、ユーザはこの可聴信号を使用して、軸受予荷重力にいつ打ち勝ったか、従っていつ測定を行うべきかを指示器から判断することができる。これに加えて、又はこれとは別に、ユーザは、アクチュエータをさらに動かすのに必要な力の増加が小さくなることによって、いつ軸受予荷重力に打ち勝ったかを感じ取ることもできる。
【００３４】
実施形態では、ゲージが、ターボ分子ポンプのロータに加わる軸受予荷重力を変更するための予荷重力調整器をさらに含むことができる。
【００３５】
さらに、本発明は、軸受予荷重力が調整可能であるように構成されたターボ分子ポンプの予荷重力ツールであって、予荷重力指示器と予荷重力調整器とを含む予荷重力ツールをさらに提供する。この軸受予荷重力ゲージは、本発明の他の態様において開示した特徴のうちのいずれかを含むことができる。
【００３６】
通常、ターボ分子ポンプは、軸受予荷重力を加える受動型磁気軸受を含み、軸受予荷重力調整器は、磁気軸受によって加えられる軸受予荷重力の大きさを調整するように構成される。軸受予荷重力調整器は、磁気軸受の内輪を外輪に対して動かすことができる。
【００３７】
ツールは、ターボ分子ポンプからツールを切り離すことなく軸受予荷重力を測定及び調整するために使用できることが好ましい。
【００３８】
ハウジング、アクチュエータ及びインペラ配置部材は、それぞれ３Ｄ印刷などの付加製造を使用して形成することができる。通常、これらは重合体から形成される。通常、ばねは、ばね鋼又は別の好適な合金を含む。
【００３９】
本発明のハウジング、アクチュエータ及びインペラ配置部材は、それぞれ重合体、複合材料及び金属又は合金から成る群から選択された材料から製造することができる。
【００４０】
重合体が特に好ましく、エラストマ、熱可塑性材料又は熱硬化性樹脂から成る群から選択することができる。熱可塑性材料が好ましい。通常、重合体は、ポリエチレン及びポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリ塩化ビニル及びポリエチレンテレフタレート、並びにこれらの誘導体及び共重合体から成る群から選択される。
【００４１】
重合体は、帯電防止剤、酸化防止剤、離型剤、防炎剤、潤滑剤、着色剤、流動性向上剤、ナノフィラーを含むフィラー、光安定器及び紫外線吸収器、顔料、耐候剤、並びに可塑剤から成る群からの１つ又は２つ以上をさらに含むことができる。
【００４２】
本発明は、さらなる態様において、ターボ分子ポンプのロータ軸受に加わる軸受予荷重力を示す軸受予荷重力ゲージであって、ハウジングと、軸受予荷重力を示す指示器と、アクチュエータとを備え、アクチュエータが、アクチュエータとインペラ係合面との間に弾性付勢をもたらすように構成された部材によってインペラ配置部材に結合され、ハウジング、指示器、アクチュエータ及びインペラ配置部材のうちの１つ又は２つ以上が付加製造された、軸受予荷重力ゲージを提供する。
【００４３】
本発明の全ての態様及び実施形態では、軸受予荷重力の所定の好ましい範囲を、約５Ｎ〜約５０Ｎ、好ましくは約８Ｎ〜約１０．５Ｎとすることができる。通常、ターボ分子ポンプの好ましい軸受予荷重力の両側（ｅｉｔｈｅｒ  ｓｉｄｅ）の範囲のスパン（ｓｐａｎ  ｏｆ  ｔｈｅ  ｒａｎｇｅ）は１．５Ｎ以下、好ましくは１Ｎである。通常、所定の好ましい軸受予荷重力は、約８Ｎ〜約１０．５Ｎであり、一例では約９．３Ｎである。
【００４４】
ばね（弾性部材）は、ばねの圧縮範囲内で軸受予荷重力に打ち勝つのに必要な力と復元（反動）力とが等しくなるように選択される。ゲージは、別のばね定数を有する別のばねを選択し、又は指示器の構成（例えば、所定の好ましい軸受予荷重力の上限及び下限を示す指示器の部品間の間隔）を変更し、又はこれらの組み合わせを行うによって、異なるターボ分子ポンプの異なる予荷重力に対応するように変更することができる。弾性部材（ばね）、及び指示器の構成は、使用時に軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内に存在する場合に指示器がそうであることを示す一方で、軸受予荷重力が好ましい範囲外に存在する場合にも指示器がそうであることを示すように選択される。
【００４５】
指示器上の、所定の好ましい軸受予荷重力の範囲の下端を示す指標と、所定の好ましい軸受予荷重の範囲の上端を示す指標との間の距離は、１ｍｍよりも大きく、好ましくは約１ｍｍ〜約２０ｍｍであり、一例では２ｍｍであることが好ましい。
【００４６】
本発明の全ての態様及び実施形態では、通常、軸受予荷重力ゲージ及び／又は予荷重力ツールが実質的に電子装置を含まず、好ましくは電子装置を全く含まない。通常、ゲージ及び／又はツール、及びとりわけ指示器は、全体的に機械式である。
【００４７】
本発明のさらなる態様では、ターボ分子ポンプの軸受予荷重力の測定方法を提供する。
【００４８】
この方法は、予荷重力が加わったロータ軸受を含むターボ分子ポンプを準備するステップと、ハウジングと、軸受予荷重力を示すための指示器と、アクチュエータとインペラ係合面との間に弾性付勢をもたらすように構成された部材によってインペラ係合面に結合されたアクチュエータとを含む予荷重力ゲージを準備するステップと、インペラ係合面をインペラに結合するステップと、軸受に加わる軸受予荷重力に打ち勝つように、アクチュエータを弾性付勢に抗して係合面に対して動かすステップと、軸受予荷重力に打ち勝った時に、指示器からの軸受予荷重力の指示を読み取るステップと、を含む。
【００４９】
上記方法では、本発明の他のいずれかの態様又は実施形態によるゲージを使用することができる。
【００５０】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい特徴を一例として説明する。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】軸受予荷重力ゲージの断面図である。
【図２】原位置にある軸受予荷重力ゲージの断面図である。
【図３】軸受予荷重力ゲージを示す図である。
【図４】指示器の好ましい範囲を示す軸受予荷重力ゲージの概略図である。
【図５】静止時の軸受予荷重力ゲージを示す図である。
【図６】不合格構成の（予荷重力が小さすぎる）軸受予荷重力ゲージを示す図である。
【図７】合格構成の軸受予荷重力ゲージを示す図である。
【図８】不合格構成の（予荷重力が大きすぎる）軸受予荷重力ゲージを示す図である。
【図９】一連の構成の別の指示器を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００５２】
本発明は、ターボ分子ポンプのロータ軸受に加わる軸受予荷重力を示す軸受予荷重力ゲージを提供する。
【００５３】
図１に示すように、ある例では、ゲージ（１００）が、ハウジング（１）と、インペラ配置部材（２）と、アクチュエータ（４）と、アクチュエータ（４）とインペラ配置部材と（２）の間の弾性部材（３）（図示の例では圧縮コイルばね）とを含む。
【００５４】
図２も参照すると、インペラ配置部材（２）は、アクチュエータ（４）がインペラ配置部材（２）に加えた力をターボ分子ポンプ（７）のインペラ（６）に伝えるように構成される。インペラ配置部材（２）は、ハウジング（１）に向かって延びてポンプインペラ（７）に結合するように構成された前方部分（８）と、ゲージハウジング（１）の内壁（１０）に摺動可能に係合する、半径方向に広がる周方向フランジ（９）とを含む。周方向フランジ（９）は、インペラ配置部材（２）の長さに沿って概ね中心に位置して、配置部材の前方部分（８）と後方部分（１１）とを分割することができる。図示のインペラ配置部材（２）は、ばね（３）及びアクチュエータ（４）内に摺動可能に収容できる後方部分（１１）をさらに含む。
【００５５】
インペラ配置部材（２）は、使用時にインペラ（６）に結合するインペラ係合面（１２）を先端に含み、この係合面（１２）は、インペラ（６）に直接係合することが好ましく、ロータシャフト（１３）に直接係合することが好ましい。
【００５６】
図示のハウジング（１）は概ね円筒形であり、アクチュエータ（４）、弾性部材（３）及びインペラ配置部材（２）を収容するように構成された中心チャネルを含む。中心チャネルの（ハウジングの内壁（１０）によって形成される）壁部は、アクチュエータ（４）及び／又はインペラ配置部材（２）上の対応する突出部又は窪みと係合して摺動を支援するように構成されたリブ又は通路を含むことができる。チャネルは、その近位端（１７）及び遠位端（１８）に、アクチュエータ（４）及びインペラ配置部材（２）をハウジング（１）内に保持する肩部（１４、１５、１６）をさらに含む。
【００５７】
ハウジング（１）は、その上面（２２）上に一連の段（１９、２０、２１）をさらに含む。これらの段は、アクチュエータ（４）の周方向窪み（２３）と共に、軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内に存在するかどうかを示す指示器を形成する。
【００５８】
図３及び図４に分かりやすく示すように、この例では、上側段（１９）が、所定の好ましい軸受予荷重力範囲の下限を示し、第２段（２０）が、所定の好ましい軸受予荷重力範囲の上限を示す。この例では、アクチュエータ（４）上の周方向窪み（２３）が指標識別子であるのに対し、段が一次指標を形成する。段（１９、２０）は、その表面に形成された「合格」及び「不合格」の２次指標をさらに含む。図４に示すように、軸受予荷重力に打ち勝った時に指標識別子（２３）が上側段（１９）と第２段（２０）との間に位置していれば、これは合格である（すなわち、軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内に存在する）。一方で、図４に示すように、軸受予荷重力に打ち勝った時に指標識別子が上側の第１段（１９）の上方に位置していれば、これは不合格である（軸受予荷重力が小さすぎる）。
【００５９】
図２に示すように、ゲージハウジング（１）の下端は、軸受予荷重力の測定中にゲージハウジング（１）がポンプハウジング（２４）に対して実質的に静止したままであるように、ターボ分子ポンプ（２４）のハウジングに結合するように構成される。例示するハウジング（１）の下端（遠位端）は、（図５〜図８に分かりやすく示す）３つの調整器駆動脚部（２５、２６、２７）をさらに含む。調整器駆動脚部（２５、２６、２７）は、使用中にゲージ（１００）の安定性に寄与するとともに、典型的には受動型磁気軸受（３０）の外輪（２９）に対する内輪（２８）の動きを容易にすることによって行われる、ゲージ（１００）による軸受予荷重力の調整を可能にするように構成される。軸受予荷重力は、装置（１００）をその長手方向軸（Ａ）の周囲で一方向に回転させることによって増加させることができる一方で、装置（１００）をその長手方向軸（Ａ）の周囲で逆方向に回転させることによって減少させることができる。軸受予荷重力は、装置（１００）をターボ分子ポンプ（１０１）から切り離すことなく同じ装置（１００）によって測定及び調整できることが有利である。通常、軸受予荷重力は、ゲージ（１００）が静止構成にある時に調整される。
【００６０】
アクチュエータ（４）は、使用時にオペレータが親指又は他の指で押すことができる、後方に面したユーザインターフェイス（５）を含む。アクチュエータ（４）は、この例ではアクチュエータ（４）の遠位端において半径方向に広がる周方向フランジ（３２）の下向き（前向き）面（３１）である、弾性部材（例えば、ばね）の係合面（３１）をさらに含む。アクチュエータ（４）は、ハウジングチャネル（１０）内で往復運動の形で摺動するように構成される。アクチュエータ（４）は、インペラ配置部材（２）の後方部分（１１）を往復摺動構成で受け取るように構成された内側チャネル（３３）を含む。
【００６１】
アクチュエータ（４）は、順方向（下向き方向）に押されると、インペラ配置部材（２）にばねを押し付けることによってばね（３）を圧縮する。インペラ配置部材（２）は、ターボ分子ポンプ（１０１）のインペラ（６）に力を伝える。アクチュエータ（４）に加わる力を高めることによってばね（３）がさらに縮んでばねの復元（反動）力が増加し、同様にインペラ（６）（及びロータ軸受）に伝わる力も増加する。アクチュエータ（４）に加わる力は、インペラ（６）に伝わる力が軸受予荷重力に打ち勝つのに十分なものになるまで増加する。その時点でクリック音が聞こえ、指示器を読み取って軸受予荷重力がその所定の好ましい範囲内に存在するかどうかを確認する。
【００６２】
アクチュエータ（４）を放すと、ゲージ（１００）及びターボ分子ポンプ（１０１）はそれぞれの静止位置に戻ることができる。
【００６３】
軸受予荷重力がこのターボ分子ポンプ（１０１）の所定の好ましい範囲内に存在しなかった場合には、軸受予荷重力を調整して再測定することができる。このプロセスを、軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内に来るまで繰り返すことができる。
【００６４】
例示する装置は、Ｅｄｗａｒｄｓ  Ｖａｃｕｕｍ（商標）社から市販されているｎＥＸＴ８５（商標）において使用するためのものであり、約８．３Ｎ〜約１０．３Ｎの所定の好ましい軸受力範囲を有するように構成されている。図示のばねは、ＬｅｅＳｐｒｉｎｇ社から市販されている、１．０５Ｎ／ｍｍのばね定数を有するＬＣ０３６Ｇ０５Ｓである。最上段と次の段との間の距離は２ｍｍである。当業者であれば、特定のターボ分子ポンプの好ましい軸受予荷重力範囲に応じて特定のばね及び指示器構成が選択されると理解するであろう。
【００６５】
図示の装置は、ハンドヘルド型及び／又は手動作動型とすることができる。手動作動型とは、軸受予荷重力に打ち勝つために必要な力がオペレータの手によってアクチュエータに加えられるものであると理解される。
【００６６】
ハウジング、アクチュエータ及びインペラ配置部材は、Ｏｂｊｅｔ  Ｖｅｒｏｂｌｕｅ  ＲＧＤ８４０から付加製造される。
【００６７】
図５〜図８に、様々な構成の装置を示す。図５には、静止構成の装置（１００）を示す。この構成では、アクチュエータ（４）に力が加わっておらず、ばね（３）が変位又は圧縮されておらず、アクチュエータ（４）及びインペラ配置部材（２）がその最上位置にある。この構成では、指示器の周方向溝（２３）が、ゲージハウジング（１）の最上段（１９）よりも十分に上方に存在する。
【００６８】
図６には、軸受予荷重力が小さすぎる構成の装置（１００）を示す。ばね（３）が圧縮され、アクチュエータ（４）がハウジング（１）に対して下向き（前向き）に移動しているが、周方向溝（２３）はゲージハウジング（１）の上段（１９）の上方にあって軸受予荷重力が小さすぎることを示している。
【００６９】
図７には、軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内にある構成の装置（１００）を示す。ばね（３）がさらに圧縮され、アクチュエータ（４）及びインペラ配置部材（２）がハウジング（１）に対してさらに下向き（前向き）に移動している。この構成では、周方向溝（２３）が、ゲージハウジングの最上段（１９）よりも下方ではあるが第２段（２０）よりも上方に存在して、軸受予荷重力が所定の好ましい範囲内にあることを示している。
【００７０】
図８には、軸受予荷重力が大きすぎる構成の装置を示す。ばね（３）がさらに圧縮され、アクチュエータ（４）及びインペラ配置部材（２）がハウジング（１）に対してさらに下向き（前向き）に移動している。この構成では、周方向溝（２３）がゲージハウジング（１）の第２段（２０）の下方に存在して、軸受予荷重力が大きすぎることを示している。
【００７１】
図９に、本発明における使用に適した一連の構成の指示器の代替例を示す。この例では、指示器が、アクチュエータ（４）の表面に形成された周方向溝の形の２つの指標（３４、３５）を含む。使用時には、アクチュエータ（４）をハウジング（１）に押し込んだ時に、上側の溝（３４）が軸受予荷重力の所定の好ましい範囲の下限を示すのに対し、下側の溝（３５）が軸受予荷重力の所定の好ましい範囲の上限を示す。この例では、指標識別子（２３）が、アクチュエータ（４）に直接隣接するゲージハウジング（１）の上面である。
【００７２】
従って、これまでの例とは対照的に、指標（３４、３５）がアクチュエータ（４）上に配置され、ハウジング（１）上に配置された静止指標識別子（２３）に対して動くことができる。
【００７３】
従って、図示のように、試験中に軸受予荷重力に打ち勝った時に、両溝（３４、３５）がハウジング（１）の上方に存在すれば軸受予荷重力が小さすぎるのに対し、いずれの溝もハウジング（１）の上方に存在しなければ軸受予荷重力が大きすぎる。対照的に、軸受予荷重力に打ち勝った時に、上側の溝（３４）がハウジング（１）の上方に存在して下側の溝がそうでなければ、軸受予荷重力は所定の好ましい範囲内にある。この例では、第２の指標は採用しない。これらの溝は、印刷した線又はその他の好適な指標に置き換えることもできると理解されるであろう。
【００７４】
図示の実施形態には、添付の特許請求の範囲によって定められる、特許法の下で解釈される本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、様々な修正を行うことができると理解されるであろう。
【符号の説明】
【００７５】
１  ハウジング
２  インペラ配置部材
３  弾性部材
４  アクチュエータ
５  ユーザインターフェイス
８  インペラ配置部材の前方部分
９  周方向フランジ
１０  ハウジングの内壁
１１  インペラ配置部材の後方部分
１２  インペラ係合面
１４  肩部
１５  肩部
１６  肩部
１７  チャネルの近位端
１８  チャネルの遠位端
２０  段
２１  段
３１  弾性部材の係合面
３２  周方向フランジ
１００  ゲージ
Ａ  長手方向軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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