(57)【要約】  リサイクル溶媒流れからポストＭＬＯ（物質リフトオフ）物質を除去するための装置および方法は、スペース効率のよい設計を、メンテナンスへの機器の停止時間を大幅に短縮し、健康にやさしい方法で利用する。【選択図】図１
2020506036.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポストプロセスＭＬＯ（物質リフトオフ）溶媒をろ過するための装置であって、
ハウジングの中空の内部を第１の区画室と前記第１の区画室から完全に隔離された第２の区画室とに分割する内側分割壁を含むハウジングと、
前記第１の区画室に取り外し可能に配置された第１のろ過装置と、
前記第２の区画室内に取り外し可能に配置され、前記第１のろ過装置から完全に独立している第２のろ過装置と、
前記第１の区画室と流体連通しており、かつ、ろ過されていないポストプロセスＭＬＯ溶媒が前記第１のろ過装置の内部に流入するように位置決めされている第１の入口と、ろ過されたポストプロセスＭＬＯを受けるための前記第１のろ過装置の外部の位置で前記第１の区画室と流体連通する第１の出口と、
前記第２の区画室と流体連通し、ろ過されていないポストプロセスＭＬＯ溶媒が前記第２のろ過装置の内部に流入するように配置された第２の入口と、ろ過されたポストプロセスＭＬＯ溶媒を受け取るための前記第２のろ過装置の外部の位置で前記第２の区画室と流体連通する第２の出口とを含み、
前記第１および前記第２のろ過装置のうちの一方がオンライン動作状態にあり得、一方で、第１および前記第２のろ過装置の他方がオフライン状態にあり得るように構成される、装置。
【請求項２】
前記ハウジングが、前部壁と後部壁、頂部壁と底部壁、および第１と第２の側壁によって画定され、前記内側分割壁が、前記前部壁と前記後部壁との間に、密封関係で延び、前記頂部壁と前記底部壁との間に、密封関係で延びる、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１のろ過装置を囲む前記第１の区画室内に形成された第１の空間があり、前記第１の入口と前記第１の出口は前記第１の空間と流体連通し、前記第２のろ過装置を囲む前記第２の区画室内に形成された第２の空間があり、前記第２の入口と前記第２の出口は前記第２の空間と流体連通している、請求項２記載の装置。
【請求項４】
前記ろ過されていないポストプロセスＭＬＯ溶媒が、前記第１のろ過装置を横切ってその内部から外部へと導かれることによってろ過される、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記ハウジングが、前記頂部壁の上方に突出する第１の上部ハウジングと、前記頂部壁の上方に突出する第２の上部ハウジングとを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記第１の出口が、前記第１の入口の下方にあり且つ前記第１のろ過装置の開放上端部の下方に位置する位置に形成されている、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１のろ過装置が、中空の内部を有する外側有孔ストレーナ本体と、前記外側有孔ストレーナ本体の前記中空の内部に配置されている内側フィルタ媒体とを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記内側フィルタ媒体が、閉鎖下端部と開放上端部とを有するフィルタバッグを含む、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記フィルタバッグが、前記外側有孔ストレーナ本体のメッシュサイズとは異なるメッシュサイズを有する、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記フィルタバッグが、前記外側有孔ストレーナ本体よりも小さいメッシュサイズを有する、請求項８に記載の装置。
【請求項１１】
前記第１の区画室内で前記第１のろ過装置を封止するための第１のカバー組立体と、前記第２の区画室内で前記第２のろ過装置を封止するための第２のカバー組立体とをさらに含み、前記第１の外側有孔ストレーナ本体は、その開放上端部にフランジ部材を有し、前記第１のフィルタバッグは、前記第１の外側有孔ストレーナ本体の前記フランジ部材と前記第１のカバー組立体に関連するカバーフランジ部材との間に入れ子になっている、請求項８に記載の装置。
【請求項１２】
前記第１のカバー組立体が、前記カバーフランジ部材を含む保持部材を含み、前記第１のフィルタバッグが、前記第１の外側有孔ストレーナ本体の前記フランジ部材と前記カバーフランジ部材との間に捕捉される、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記保持部材が、前記第１のカバー組立体の蓋を適切に着座させるように構成されている一対の直立部材を含む、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
ポストプロセスＭＬＯ溶媒をろ過するためのシステムであって、
ポストプロセスＭＬＯ（物質リフトオフ）溶媒の供給源と、
前記供給源に流体的に接続された二重ろ過装置であって、
ハウジングの中空の内部を第１の区画室と前記第１の区画室から完全に隔離された第２の区画室とに分割する内側分割壁を含むハウジングと、
前記第１の区画室内に取り外し可能に配置され、第１の中空有孔外側フィルタ本体と、前記第１の有孔外側フィルタ本体の中空の内部に配置された第１のフィルタ媒体とを含む、第１のろ過装置と、
前記第２の区画室内に取り外し可能に配置され、前記第１のろ過装置から完全に独立し、第２の中空有孔外側フィルタ本体と前記第２の有孔外側フィルタ本体の中空の内部に配置された第２のフィルタ媒体とを含む第２のろ過装置と、
前記第１の区画室と流体連通し、前記ポストプロセスＭＬＯ溶媒が前記第１のフィルタ媒体の内部に流入するように、配置された第１の入口と、前記第１のフィルタ媒体と前記第１の有孔外側フィルタ本体とを横切って導かれたろ過されたポストプロセスＭＬＯ溶媒を受け取るための前記第１のろ過装置の外側の位置で、前記第１の区画室と流体連通する第１の出口と、
前記第２の区画室と流体連通し、ポストプロセスＭＬＯ溶媒が前記第２のフィルタ媒体の内部に流入するように、配置された第２の入口と、前記第２のフィルタ媒体と前記第２の有孔外側フィルタ本体とを横切って導かれたろ過されたポストプロセスＭＬＯ溶媒を受け取るための前記第２のろ過装置の外側の位置で、前記第２の区画室と流体連通する第２の出口とを含む二重ろ過装置とを含み、
前記第１および前記第２のろ過装置のうちの一方がオンライン動作状態にあり得、一方で、前記第１および前記第２のろ過装置のうちの他方がオフライン状態にあり得るように構成される、システム。
【請求項１５】
前記第１および前記第２の有孔外側フィルタ本体のそれぞれが、中空の内部を有し、その底部壁および側壁に沿って穿孔された有孔ストレーナ本体を含む、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記第１および前記第２のフィルタ媒体のそれぞれが、閉鎖下端部および開放上端部を有するフィルタバッグを含む、請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記フィルタバッグが、前記外側有孔ストレーナ本体のメッシュサイズとは異なるメッシュサイズを有する、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記フィルタバッグが、前記外側有孔ストレーナ本体よりも小さいメッシュサイズを有する、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１９】
前記フィルタバッグの前記開放上端部が、前記ストレーナ本体のフランジに対して着座するリップと、前記フィルタバッグを閉鎖する蓋とを含み、前記有孔外側フィルタ本体は、少なくとも部分的に前記フィルタバッグの前記開放上端部に挿入されている、請求項１６に記載のシステム。
【請求項２０】
ポストプロセスＭＬＯ溶媒をろ過するための装置であって、
ハウジングの中空の内部を第１の区画室と前記第１の区画室から完全に隔離された第２の区画室とに分割する内側分割壁を含むハウジングと、
前記第１の区画室内に取り外し可能に配置され、第１の中空有孔外側フィルタ本体と前記第１の有孔外側フィルタ本体の中空の内部に配置された第１のフィルタバッグとを含む第１のろ過装置と、
前記第２の区画室内に取り外し可能に配置され、前記第１のろ過装置から完全に隔離され、第２の中空有孔外側フィルタ本体と前記第２の有孔外側フィルタ本体の中空の内部に配置された第２のフィルタバッグとを含む、第２のろ過装置と、
前記第１の区画室と流体連通し、前記ポストプロセスＭＬＯ溶媒が前記第１のフィルタ媒体の内部に流入するように、配置された第１の入口と、前記第１のフィルタ媒体と前記第１の有孔外側フィルタ本体とを横切って導かれたろ過されたポストプロセスＭＬＯ溶媒を受け取るための前記第１のろ過装置の外側の位置で、前記第１の区画室と流体連通する第１の出口と、
前記第２の区画室と流体連通し、ポストプロセスＭＬＯ溶媒が前記第２のフィルタ媒体の内部に流入するように、配置された第２の入口と、前記第２のフィルタ媒体と前記第２の有孔外側フィルタ本体とを横切って導かれたろ過されたポストプロセスＭＬＯ溶媒を受け取るための前記第２のろ過装置の外側の位置で、前記第２の区画室と流体連通する第２の出口とを含み、
前記第１および前記第２のろ過装置のうちの一方がオンライン動作状態にあり得、一方で、前記第１および前記第２のろ過装置のうちの他方がオフライン状態にあり得るように構成される、装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の参照
本出願は、２０１７年１月１９日に出願された米国仮特許出願第６２／４４８，１５３号を基礎とし、その優先権を主張するものであり、その全内容は、その全体が本明細書にそれぞれ明示されるように参照により本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本発明は、一般に、液体から固体物質を除去するための装置および方法に関する。より具体的には、本発明は、スペース効率のよい設計を、メンテナンスへの機器の停止時間を大幅に短縮し、健康にやさしい方法で利用する、リサイクル溶媒流れからポストＭＬＯ（物質リフトオフ）物質を除去するための装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
物質リフトプロセス（ＭＬＯ）は、一般的に望ましくない物質を除去するために、半導体製造に使用されている。この工程は、アグレッシブなエッチング剤のような湿った化学物質が基板自体を攻撃するか、または変化しないままにしておくことが望まれる膜スタック内で他の露出材料を攻撃する場合に使用される。ＭＬＯを実行する手順は、フォトレジストを基板（回路基板またはウェーハ）に塗布してから、マスクを通して露光する。次いで、フォトレジストは、レジストの一部を除去する化学物質への露出によって現像される。その結果、基板はフォトレジストによって部分的に保護され、部分的に露出される。それから基板に、ウェーハ表面全体にわたる材料堆積（金属、誘電体など）を行う。この追加された膜は、ある場所では基板におよびその他の場所ではフォトレジストに接着する。この時点でＭＬＯ工程が発生する。溶媒が、典型的には、レジストを膨潤させてから基板から除去するために使用される。この工程の途中で、フォトレジスト上に堆積していた堆積膜（金属など）もレジストを除去する際に除去される。基板に付着した堆積膜は所定の位置に残る。溶媒は典型的には再使用のために集められる。ＭＬＯ後、基板をすすぎ洗いし、次いで乾燥する。基板は製造工程の次の工程の準備ができている。
【０００４】
除去された（またはリフトオフされた）金属（材料）は、加圧溶媒でウェーハ表面から洗い流される。この金属は、リサイクルされた溶媒の排出路をたどるために残される。場合によっては、この金属は大きな断片であり、プロセスチャンバ内の大きなメッシュストレーナに捕捉される。チャンバ排出スクリーンメッシュよりも小さいこれらの金属片（または排出スクリーンがツール設計にない場合は全ての材料）は、排出管を通ってリサイクル化学物質ループに入る。これらの材料は、ハードウェア（ポンプなど）、目詰まりフィルタの損傷を引き起こし、リサイクル溶媒流れから除去されないと、その後に処理されるウェーハの歩留まり低下（ピッチングや引っかき傷など）を引き起こす。
【０００５】
歴史的には、ストレーナはこのリフトされた材料の大きな塊を溶媒流から取り除いてきた。材料のサイズと量は、ウェーハの設計によって異なる。大量生産では、ストレーナが週に数回メンテナンスを必要とすることは珍しくない。適切に設計されたサイズの再使用可能なストレーナは、大部分の材料を捕らえ、高価で使い捨ての、小さいポアサイズのフィルタが、１ヶ月以上の寿命を持つことを可能にする。
【０００６】
ストレーナから分離した材料をきれいにするためのメンテナンスは、歴史的にツールをシャットダウンすることを必要としていた。メンテナンス要員は、溶媒で濡れたストレーナを定常的に取り外し、空にし、そして掃除することを要求されてきた。業界では、メンテナンスが少なく、作業員を溶媒にさらさない、単一の設計で、さまざまなポアサイズをカバーできる、材料を除去するのにより効率的な中断時間のないストレーナ設計が求められている。
【発明の概要】
【０００７】
一実施形態では、本発明による、ポストプロセスＭＬＯ溶媒から物質（金属、誘電体など）をろ過するための装置は、分離されたタンデムストレーナを含む溶接された筐体を含む。タンデムストレーナ溶接物の両側は、ストレーナとそこを通過する洗浄済み溶媒を保持するためのストレーナハウジングを有する。オプションの使い捨てバッグフィルタ（膜）がストレーナの内側にある。上部付近に液体（溶媒）入口があり、下部には出口がある。すすぎ剤（ＩＰＡまたはＤＩ水）および乾燥媒体（ＣＤＡまたは窒素）用の二次入口（パージポート）もある。排出開口部は各ストレーナハウジングの底部に位置する。各ストレーナハウジングには、クランプで所定の位置に固定されたＯリング密閉蓋がある。ストレーナ／フィルタインデクサは、ストレーナ、バッグフィルタ、Ｏリング、蓋が適切に並んでいる、流路をシールして流体のクロスオーバーを防ぐことを確実にする。流体入口／出口パイプは、ガスケットとクランプを介してツール配管に接続されている。
【０００８】
ポストプロセス溶媒は、ストレーナの一方の上の入口を通してタンデムストレーナ溶接物の一方の側に導入される。溶媒と金属の混合物は最初に小さいメッシュサイズ（典型的には２〜４０μｍ）の使い捨てバッグタイプのフィルタ（任意）を通過する。このフィルタは溶媒中の大部分の物質を捕捉することを目的としている。バッグフィルタはストレーナ（通常２５〜１５０μｍメッシュ）内にある。フィルタとストレーナの両方を通過したきれいな溶媒は、液体出口を通って流れることができる。バッグフィルタを含めることで、有効なメッシュサイズが小さくなり、収集効率が上がり、下流のフィルタの寿命が延び、ストレーナの清掃の規模を減らすことでメンテナンスがはるかに簡単になる。ストレーナは前世代の２倍の大きさで、ストレーナの寿命が２倍になる。タンデム設計は設置面積を減らし、運転中にバッグフィルタを交換することを可能にします（中断時間がなくなる）。すすぎポートは、交換前にバッグフィルタのすすぎおよび乾燥を可能にし、したがってメンテナンス要員の溶媒への曝露を排除する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明の一の実施に係るポストプロセスＭＬＯから材料をろ過する装置の分解斜視図である。
【図２】図２は、組み立てられた状態で装置の上部およびサイズの斜視図である。
【図３】図３はその正面図である。
【図４】図４は、図３のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図５】図５は、図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図６】図６はその右側立面図である。
【図７】図７はその上部平面図である。
【図８】図８は、図７のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の図面および説明は、明確にする目的で、本発明に見いだされる可能性がある他の多くの要素を排除する一方で、本発明の明確な理解に関連する要素を説明するために簡略化されていることを理解されたい。当業者は、本発明を実施するために他の要素が望ましいおよび／または必要であることを認識するであろう。しかしながら、そのような要素は当該技術分野において周知であり、そしてそのような要素は本発明のより良い理解を容易にしないので、そのような要素の考察は本明細書では提供されない。
【００１１】
図１〜図８は、物質リフトオフポストプロセス溶媒から固形分を除去するための装置１００を示す。特に、装置１００および関連する方法は、以下により詳細に説明されるように、スペース効率のよい設計を利用して、メンテナンスの機器の停止時間を大幅に減少させる方法で、健康にやさしい方法で、ポストＭＬＯ材料をリサイクル溶媒流れから除去するように構成される。
【００１２】
装置１００は、一般に、第１のストレーナ装置１１０と第１のストレーナ装置１１０から独立している第２のストレーナ装置１２０を含む。本明細書に記載されているように、本発明の１つの例示的な実施態様では、第１および第２のろ過（ストレーナ）装置１１０、１２０のうちの一方が動作モード（ポストＭＬＯ材料をろ過する）にあり、一方、第１および第２のろ過装置１１０、１２０の他方はオフラインモードにあることが意図されている。しかし、装置１００はまた、第１および第２のろ過装置１１０、１２０のそれぞれが互いに独立しており、専用の配管を含むために、第１および第２のろ過装置１１０、１２０の両方がアクティブ動作モードになり得るように構成される。
【００１３】
装置１００は、第１および第２のろ過装置１１０の両方を含む主ハウジング１３０、１２０を含む。主ハウジング１３０は、任意の数の異なる形状およびサイズをとることができるが、一般に、中空の内部を有する壁構造である。したがって、主ハウジング１３０は、前部壁１３２、対向する後部壁１３３、第１の側壁１３４、対向する第２の側壁１３５、底部壁１３６、および頂部壁１３７を含む。図７および図８に最もよく示されるように、第１および第２のろ過装置１１０、１２０の各々が互いに独立しているため、ハウジング１１０は、中空の内部を、第１のストレーナ装置１１０が配置される第１の区画室と第２のストレーナ装置１２０が配置される第２の区画室とに分割する内部分割壁１４０をさらに含む。図示のように、第１および第２の区画室は、それらの向きが並んでいてもよく、それによって第１および第２のろ過装置１１０、１２０を並べた向きに位置決めする。
【００１４】
図示の実施形態では、第１および第２の区画室は互いに鏡像であり、したがって同じ面積を有する。しかしながら、第１および第２の区画室は、少なくとも１つの測定または特性において互いに異なるように構成することができることを理解されよう。例えば、第１および第２の区画室のうちの一方は寸法を大きくすることができ、それによって他方の区画室に対してより大きな面積を有することになる。
【００１５】
任意の数の異なる材料を、それらが本明細書に記載され、意図される用途（単数または複数）に適しているかぎり、ハウジング１１０を含む装置１００を構築するために使用することができる。例えば、適切な材料は異なる金属、プラスチックなどを含む。
【００１６】
図に示すように、第１のろ過装置１１０は、第１の区画室に挿入するために意図されており、第２のろ過装置１２０は、第２の区画室に挿入するために意図されている。第１のろ過装置１１０が第１の区画室に挿入されたとき第１の空間１１１が、第１のろ過装置１１０および装置のそれぞれの壁の周りに形成されている。同様に、第２のろ過装置１２０が第２の区画室に挿入されたとき第２の空間１２１が、第２のろ過装置１２０および装置のそれぞれの壁の周りに形成されている。本明細書に記載されるように、これらの空間１１１、１２１は、それぞれ第１および第２のろ過装置１１０、１２０を通過したリサイクル溶媒流れを含み、したがって、ろ過されたリサイクル溶媒流れであると考えることができる。
【００１７】
図１に示される実施形態では、主ハウジング１１０は、頂部壁１３７から上方に延び、第１の区画室および第１のろ過装置１１０と関連する第１の上部ハウジング１５０と、頂部壁１３７から上方に延び、第２の区画室および第２のろ過装置１２０と関連する第２の上部ハウジング１６０とを含む。頂部壁１３７は、第１の上部ハウジング１５０の中空の内部から第１の区画室への入口を形成する第１の開口部（例えば円形の開口部）を含み、同様に、第２の上部ハウジング１６０の中空の内部から第２の区画室への入口を形成する第２の開口部（例えば円形の開口部）を含む。例示的な一実施形態では、第１および第２の上部ハウジング１５０、１６０のそれぞれは円筒形状を有し、管状構造である。第１および第２の上部ハウジング１５０、１６０は、ファスナ、接着剤などの接着物質、溶接などの使用を含む任意の数の技術を使用して頂部壁１３７に結合することができる。
【００１８】
図示のように、第１および第２の上部ハウジング１５０、１６０は頂部壁１３７の上に延びており、本明細書に記載されているように、ユーザがそれぞれの第１および第２のろ過装置１１０、１２０を挿入および除去する場所を提供する。第１および第２の上部ハウジング１５０、１６０のそれぞれの形状およびサイズは、その中に挿入された対応する第１および第２のろ過装置１１０、１２０と相補的であり、図示のように、これらの各構成要素は円筒形状を有することができる。第１の上部ハウジング１５０はその上端にフランジまたはリップ１５１を含み、同様に第２の上部ハウジング１６０はその上端にフランジまたはリップ１６１を含む。
【００１９】
ハウジング１１０は、第１および第２の区画室のそれぞれは、リサイクル溶媒流れ（または装置１００は、本明細書に記載の方法で使用されることに限定されないので、他の流体の流れ）を送達するための少なくとも１つの流体入口と、第１および第２のろ過装置１１０、１２０のうちの１つによってろ過した後にリサイクル溶媒流れを除去するための少なくとも１つの流体出口とを含むように、構成されている。
【００２０】
例えば、第１の区画室は、第１の（一次）入口２００を有することができる。好ましくは、第２の（二次）を含む出口２２０、および排出口２３０と共に、第２の（二次）入口２１０を有することができる。第２の区画室は第１の区画室の鏡像になることができるので、第２の区画室はまた、第１の（一次）入口２４０を含み、好ましくはまた出口２６０、および排出口２７０と共に、第２の（二次）入口２５０を含む。本明細書で述べたように、第１の区画室に関連した一組の入口、出口およびドレンは、第２の区画室に関連した一組の入口、出口およびドレンから完全に分離され独立している。
【００２１】
第１の入口２００は、ポストＭＬＯ材料を含むリサイクル溶媒流れを受け取る入口であり、出口２２０は、一旦それぞれのろ過装置１１０、１２０によってろ過された後にろ過されたリサイクル溶媒流れが流れる構造である。二次入口２１０は、すすぎ剤（ＩＰＡまたはＤＩ水）および乾燥媒体（ＣＤＡまたは窒素）を受け入れるためのパージポートの形態であり得る。排出口２３０は、メンテナンス時などに第１の区画室の流体内容物を排出することができる底部排出口である。第２の区画室の入口２４０、２５０、出口２６０および排出口２７０は同様の機能を果たすので、簡潔にするために詳細には説明しない。
【００２２】
第１の入口２００および第２の入口２１０は、第１の上部ハウジング１５０の一部として形成することができ、特に、角度を互いにオフセットさせることができる。第１および第２の入口２００、２１０のそれぞれは、第１の上部ハウジング１５０から半径方向外側に延びる構造を有する。それぞれは、第１の上部ハウジング１５０に形成されたそれぞれの開口によって第１の上部ハウジング１５０の中空の内部と流体連通している。図示の実施形態では、第１および第２の入口２００、２１０は互いに約４５度離れているが、この向きは単なる例示であり、それらは互いに対して異なる向きに配置することができる。さらに、第１および第２の入口２００、２１０の寸法は、同じでもよく、類似でも、異なってもよい。例えば、図示のように、主入口である第１の入口２００は、第２の入口２１０よりも大きい寸法（例えば、より大きい直径）を有することができる。第１および第２の入口２００、２１０の各々は、流体を第１の上部ハウジング１５０の中空の内部に送り込むことができるように、フローライン、チューブなどのような導管をそれに密封して取り付けることを可能にする管状構造によって画定される。
【００２３】
第２の区画室に関連する第１の（一次）入口２４０、第２の（二次）入口２５０、出口２６０、および排出口２７０は、同様の構造および特性を有することができ、したがって、簡潔さのために詳細に説明しない。
【００２４】
図示の実施形態では、第１の入口２００、２５０はハウジング１１０の両端から外向きに延び、一方で、第２の入口２１０、２６０はハウジング１１０の正面から外向きに延びている。
【００２５】
第１の入口２００、２５０のそれぞれ（および第２の入口２１０、２６０のそれぞれ）は、供給流（リサイクル溶媒流れ）を運ぶ入口導管を注入口２００、２５０に容易に取り付けることができるようにコネクタ２８０を含むことができる。コネクタ２８０は、「クイックコネクタ」タイプのものとすることができ、一般に導管と入口との間に密封接続を提供する。ガスケット２８１をコネクタ２８０と共に使用することができる。
【００２６】
第１の区画室の出口２２０および第２の区画室の出口２６０はそれぞれの区画室からの出口を提供し、そしてハウジング１１０に形成された穴を通してそれぞれの区画室と連絡する構造を含む。図示の実施形態では、出口２２０、２６０は前部壁１３２に長く配置され、特に前部壁１３２の上部領域に配置されている。本明細書に記載されるように、出口２２０、２６０は、それぞれのろ過装置によってろ過された後に、ろ過されたリサイクル溶媒流れがそれぞれの区画室を満たすことができるように、それぞれの区画室内の上昇した領域に配置される。言い換えれば、リサイクル溶媒流れは、ろ過装置のフィルタ媒体を横切って空間１１１、１２１のうちの１つに導かれ、そして最初に、このろ過されたリサイクル溶媒流れは、ろ過されたリサイクル溶媒流れが出口２２０、２６０のレベルに達する時まで、区画室を満たし始める。一旦それがそのようなレベルに達すると、ろ過されたリサイクル溶媒流れは出口２２０、２６０から自由に流出する（浴槽のオーバーフロードレインのように）。
【００２７】
図４および図５に示すように、また以下により詳細に説明するように、出口２２０、２６０はそれぞれのろ過装置１１０、１２０の頂部より下の位置に形成される。この位置決めはさらに、出口を通って出る流体がそれぞれのろ過装置１１０、１２０によってろ過された流体であることを確実にする。
【００２８】
図示の実施形態では、第２の入口が直接出口の上方に配置されている。しかしながら、これは一実施にすぎず、第２の入口および出口は互いに半径方向に変位することができる。一次入口と同様に、出口２２０、２６０は、適切なシールが出口に取り付けられる出口導管（チューブ）であることを保証する、クイックコネクト型コネクタなどのコネクタ２６５を含むことができる。
【００２９】
第１のろ過装置１１０は、第１の区画室内に配置されて固定されることを意図している。第１のろ過装置１１０は、以下に説明されるように一緒に組み立てられるいくつかの構成要素を含む。より具体的には、第１のろ過装置１１０は、閉鎖下端部４０２と開放上端部４０４とを有する有孔バスケットの形態であり得る第１のフィルタレセプタクル４００を含む。図示の実施形態では、有孔バスケット４００は円筒形状を有することができ、開放上端部４０４は外向きに延びるフランジ４０５を有する。したがって、有孔バスケット４００は、その底部壁および側壁に沿って複数の穴を有する金属またはプラスチックのバスケットの形態であり得え、装置の正常な動作中、流体がバスケット４００の中空の内部から外部に流れることを可能にする。
【００３０】
フランジ４０５は、第１の上部ハウジング１５０のフランジ１５１に対して着座するように設計され、第１のＯリング４０７は、これらの構成要素間の適切な密封嵌合を確実にするためにフランジ４０５、１５１の間に配置され得る。第１のろ過装置１１０が挿入された使用中の位置にあるとき、フランジ１５１に対するフランジ４０５の着座は、閉鎖下端部４０２が上昇して底部壁１３６から離間している点で、第１のろ過装置１１０が第１の構成要素内に吊り下げられることをもたらす。この使用位置では、入口２００は開放上端部４０４の上方に位置し、入口２００を通って流れる流体が有孔バスケット４００の開放上端部に直接流れるように位置決めされる。したがって、入口２００は、ろ過されていないリサイクル溶媒流れを重力によって有孔バスケット４００の中空の内部に落下させるように配置される。同様に、二次入口２１０もまた第１のろ過装置１１０の上方に配置されている。したがって、すすぎ剤（ＩＰＡまたはＤＩ水）および乾燥媒体（ＣＤＡまたは窒素）などのそれを通って流れる流体は、第１のろ過装置１１０の上の第１の区画室に入る。前述のように、出口は開放上端部４０４の下方の位置に配置されている。
【００３１】
有孔バスケット４００の穴は、ポストＭＬＯ材料の性質を考慮して選択される選択されたサイズ（直径）を有するように形成される。言い換えれば、バスケット４００はフィルタ／ストレーナとして作用し、したがって、ポストＭＬＰ材料がバスケット４００の中空の内部に捕捉され、穴を通過しないように穴が形成される。したがって、バスケット４００は、穴のサイズによって規定されるメッシュサイズ（スクリーンサイズ）を有すると考えることができる。一実施形態では、バスケット４００のメッシュサイズは、約２５〜１５０μｍの間である。しかしながら、これらの値は例示的なものにすぎず、したがって、ろ過される材料に応じて他の値も同様に可能であることが理解されよう。
【００３２】
第１のろ過装置１１０は、有孔バスケット４００の中空の内部に配置された取り外し可能なフィルタ媒体４２０を含む。フィルタ媒体４２０は、閉鎖下端部と開放上端部とを有するバッグの形態であり得る。したがって、フィルタ媒体４２０は靴下に似ることができる。フィルタ媒体４２０の材料は、リサイクル溶媒流れがそれを通過することができる一方で、ポストＭＬＯ材料がそれを通過することができず、それによって流体のろ過をもたらすことができるように構成される。したがって、フィルタ媒体４００は、メッシュサイズによって画定されたメッシュ材料であると考えることができる。フィルタ媒体４２０のメッシュサイズはバスケット４００のメッシュ（スクリーン）サイズよりも小さく、したがって小さな材料をろ過するように設計されている。一実施形態では、フィルタ媒体４２０のメッシュサイズは、約２〜４０μｍである。しかしながら、これらの値は例示的なものにすぎず、それゆえ、ろ過される材料に応じて他の値も同様に可能である。
【００３３】
フィルタ媒体４２０は、バスケット４００と相補的な形状を有し、図示の実施形態では、フィルタ媒体４２０は、円筒形状を有することができる。  
【００３４】
フィルタ媒体４２０をバスケット４００に挿入し、ろ過されていないリサイクル溶媒流れを複合フィルタ媒体４２０／バスケット４００構造の中空の内部に流入させることによって、流れは、２つの異なるろ過プロセス、すなわち、より細かいフィルタ媒体４２０を通過し、次いでバスケット４００の穴を通過することを経る。フィルタがバスケット４００の穴を通って流れると、ろ過された溶媒流は次に空間１１１に入り、本明細書に記載されているように、第１のろ過装置１１０の継続的な動作は、流体レベルが、ろ過された溶媒流がハウジング１１０を出て通過する出口に達し、別の場所（例えば、流体リサイクル地点）に流れるまで、空間１１１内のろ過された溶媒流のレベルの増加をもたらす。
【００３５】
バスケット４００およびフィルタ媒体４２０のそれぞれのろ過特性は、これら２つが独立した分離可能な部品であり、またこれらの部品の両方をハウジング１１０から容易に取り外すことができるので、容易に変えることができ、それによってそれらの容易な置換を可能にすることも理解されよう。言い換えれば、ポストプロセスＭＬＯ溶媒の特性に応じて、適切なバスケット４００およびフィルタ媒体４２０を、一組のバスケット４００および一組のフィルタ媒体４２０の中から選択することができる。より具体的には、除去されるべきＭＬＯ材料を考慮して（すなわち、ＭＬＯ材料の種類およびサイズを考慮して）所望のメッシュサイズ（スクリーンサイズ）を有するバスケット４００およびフィルタ媒体４２０が選択される。
【００３６】
第１のろ過装置１１０は、第１のろ過装置１１０を密閉的に覆うためのカバー組立体を含む。カバー組立体は、いくつかの異なる機能を果たす保持部材５００を含み得る。第１に、保持部材５００は、フィルタ媒体４２０が適所に保持されることを確実にするための手段を提供する。より具体的には、（フランジを含むことができる）開放上端部は、保持部材５００と第１の上部ハウジング１５０のフランジとの間に入れ子になっている。図示のように、保持部材５００は、フィルタ媒体４２０の中空の内部に収容される大きさの環状の底部を含む。保持部材５００はまた、第１の上部ハウジング１５０のフランジと組み合わさってフィルタ媒体のリップ（フランジ）を挟むように作用してフィルタ媒体が所定の位置にしっかりと保持されるように働く、外側に延びるフランジ部材５１０を含む。
【００３７】
保持部材５００はまた、一対の離間した底部脚部５２２と、底部脚部５２２の間に延びるクロス部材と、可撓性フォークの形態であり得る一対の上部脚部５２６とによって画定されるゴールポスト型構造５２０を含む。底部脚部５２２は、２つの離間した位置（例えば１８０度離れた位置）でフランジ５１０に固定されている。上部脚部５２６は、図示のように互いに対して角度を付けることができる。保持部材５００の第２の機能は、構造５２０がカバー６００（後述）が適切に着座することを確実にする（それによって密封された第１のチャンバを確実にする）位置決め機構として設計されることである。
【００３８】
カバー６００は、第１のチャンバを密閉するように構成されており、より具体的には、第１の上部ハウジング１５０を密閉する。カバー６００は円板形状とすることができ、その底部領域は、図示のように段付き構造を画定するように上部領域よりも大きい直径を有することができる。カバー６００と保持部材５００のフランジ５１０との間に第２のＯリング６１０が設けられている。
【００３９】
カバー組立体は、カバー（蓋）６００がしっかりと適所に保持されていることを確実にするカバークランプ７００を含む。カバークランプ７００は、カバー６００の周囲に受容され、つまみねじ７１０のようなクランプ７００を締め付けるための手段を含む環状の構造であり得る。
【００４０】
第２のろ過装置１２０は、第１のろ過装置１１０の同一の構成要素を含む。したがって、同様の部品が同様に番号付けされる。
【００４１】
したがって、カバー組立体は、第１および第２の区画室の一方にアクセスするための、より具体的には、そのメンテナンスを実行するために第１および第２のろ過装置１１０、１２０のうちの一方にアクセスする方法を提供ための効率的で便利な方法を提供する。
【００４２】
特に、通常の操作中、洗浄されるべきリサイクル溶媒流れは、一次入口２００、２４０に流体的に接続されることによって、第１および第２のろ過装置１１０、１２０のうちの１つまたは複数に接続される。
【００４３】
一実施では、ろ過されるリサイクル溶媒流れの供給源が、一次入口２００、２４０の一方への溶媒流の流れを選択的に制御するために使用される弁を用いて、一次入口２００、２４０の両方に接続されるように、Ｙ字型コネクタを使用する。
【００４４】
運転期間の後、運転されていたろ過装置１１０、１２０は、最初に、ろ過されていないリサイクル溶媒流れをアクティブろ過モードに設定されているろ過装置１１０、１２０の他方に送達することによってオフラインにされる。次に、オフラインにされたろ過装置の排出口が開かれて、それぞれの区画室の排出が行われる。区画室が完全に排出されると、関連するカバー組立体を最初に解放して取り外すことによって、ろ過装置１１０、１２０を取り外すことができる。一旦カバー組立体が取り外されると、組み合わされた有孔バスケット４００および取り外し可能なフィルタ媒体４２０は区画室から取り外され、そのメンテナンスおよび清掃を可能にする。一旦メンテナンスが行われると、洗浄されたバスケット４００およびフィルタ媒体４２０はそれぞれのろ過装置に挿入され戻され、したがって、待機モードにあり、他のろ過装置がその清掃のためにオフラインにされたときに、ろ過を実行する準備ができている。
【００４５】
装置１００は、以下を含むがこれらに限定されない多くの利点を提供する。２つのストレーナ（バスケット４００）と２つのフィルタ媒体（バッグフィルタ）とによって画定された二重ろ過装置の提供は、以下の特徴を提供する：（Ａ）ストレーナ：金属の２倍の容量となる（２倍寿命）、タンデムデザインで設置面積が小さくなる、洗い流して乾かすと、人体への溶媒の露出がなくなる、タンデムストレーナは停止時間の解消を意味する。ストレーナ／フィルタインデクサは適切な位置合わせを保証する。（Ｂ）バッグフィルタ：有効メッシュサイズを小さくする。バッグフィルタのポアサイズを変える可能にする、収集効率を高める、ストレーナ清掃の規模を減らすことでメンテナンスを容易にする、下流のフィルタの寿命を延ばする。
【００４６】
当業者であれば、上記の実施形態に基づいて本発明のさらなる特徴および利点を理解するであろう。したがって、本発明は、添付の特許請求の範囲によって示される場合を除いて、具体的に示され説明されたものによって限定されるべきではない。本明細書に引用された全ての刊行物および参考文献は、その全体が参照により本明細書に明確に組み込まれる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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