(57)【要約】  ４族遷移金属含有膜形成用組成物が開示される。４族遷移金属含有膜形成用組成物は、式Ｌ２−Ｍ−Ｃ５Ｒ４−［（ＥＲ２）ｍ−（ＥＲ２）ｎ−Ｏ］−（式中、Ｍは、シクロペンタジエニル基にη５結合モードで結合されたＴｉ、ＺｒまたはＨｆであり；各Ｅは、独立して、Ｃ、Ｓｉ、ＢまたはＰであり；ｍおよびｎは、独立して０、１、または２であり；ｍ＋ｎ＞１であり；各Ｒは、独立して、水素またはＣ１−Ｃ４炭化水素基であり；各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナートまたはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１−Ｃ４炭化水素基であり、および隣接するＲ’は、連結されてヒドロカルビル環を形成し得る）を有する４族遷移金属前駆体を含む。また、開示される前駆体を合成する方法と、蒸着プロセスにより、基板上に４族遷移金属含有膜を堆積させるために、開示される前駆体を使用する方法とが開示される。【選択図】図３
2020504785.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の構造式を指す、式Ｌ２−Ｍ−Ｃ５Ｒ４−［（ＥＲ２）ｍ−（ＥＲ２）ｎ−Ｏ］−を有する４族遷移金属前駆体を含有する４族遷移金属含有膜形成用組成物：
【化１】
2020504785.tif 000012
（式中、Ｍは、Ｃｐ基へη５結合モードで結合しているＴｉ、Ｚｒ、またはＨｆであり；各Ｅは、独立してＣ、Ｓｉ、Ｂ、またはＰであり；ｍおよびｎは、独立して０、１、または２であり；ｍ＋ｎ＞１であり；各Ｒは、独立して水素またはＣ１〜Ｃ４炭化水素基であり；各Ｌは、独立して−１アニオン性配位子である）。
【請求項２】
前記−１アニオン性配位子は、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナートおよびケト−イミナートからなる群から選択され、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基である、請求項１に記載の４族遷移金属含有膜形成用組成物。
【請求項３】
Ｅは、Ｃである、請求項２に記載の４族遷移金属含有膜形成用組成物。
【請求項４】
Ｍは、Ｔｉである、請求項１に記載の４族遷移金属含有膜形成用組成物。
【請求項５】
前記４族遷移金属前駆体が、（ＮＨ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ
４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＨ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＭｅ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＥｔ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＰｒ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＰｒ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｓＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｔＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］
−、（ＮＨｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＨ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＭｅ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＥｔ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＰｒ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＰｒ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｓＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｔＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−
ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＨ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＭｅ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＥｔ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＰｒ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＰｒ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｓＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ
２）２−Ｏ］−、および（ＯｔＢｕ）−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−からなる群から選択される、請求項４に記載の４族遷移金属含有膜形成用組成物。
【請求項６】
ＭがＺｒである、請求項３に記載の４族遷移金属含有膜形成用組成物。
【請求項７】
前記４族遷移金属前駆体が、（ＮＨ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ
４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＨ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＭｅ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＥｔ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＰｒ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＰｒ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｓＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｔＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］
−、（ＮＨｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＨ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＭｅ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＥｔ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＰｒ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＰｒ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｓＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｔＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−
ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＨ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＭｅ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＥｔ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＰｒ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＰｒ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｓＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ
２）２−Ｏ］−、および（ＯｔＢｕ）−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−からなる群から選択される、請求項６に記載の４族遷移金属含有膜形成用組成物。
【請求項８】
ＭがＨｆである、請求項３に記載の４族遷移金属含有膜形成用組成物。
【請求項９】
前記４族遷移金属前駆体が（ＮＨ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４
−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＨ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＭｅ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＥｔ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＰｒ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＰｒ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｓＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｔＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−
、（ＮＨｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＨ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＭｅ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＥｔ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＰｒ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＰｒ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｓＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｔＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉ
Ｐｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｔＢｕ２）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＭｅ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨＥｔ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＨｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅＥｔ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＭｅｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮＥｔｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＰｒ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｎＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＰｒｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｉＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｎＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｓＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｉＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＮｓＢｕｔＢｕ）（Ｃｐ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＨ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＭｅ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯＥｔ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＰｒ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＰｒ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｎＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｉＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＯｓＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２
）２−Ｏ］−、および（ＯｔＢｕ）−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−からなる群から選択される、請求項８に記載の４族遷移金属含有膜形成用組成物。
【請求項１０】
基板上への４族遷移金属含有膜の堆積の方法であって、
反応器であって、その中に配置された基板を有する反応器内に請求項１〜９のいずれか一項に記載の４族遷移金属含有膜形成用組成物の蒸気を導入する工程と、
前記４族遷移金属含有前駆体の少なくとも一部を前記基板上に堆積させる工程と
を含む方法。
【請求項１１】
少なくとも１種の反応物を前記反応器に導入することをさらに含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記反応物が、Ｏ２、Ｏ３、Ｈ２Ｏ、Ｈ２Ｏ２、ＮＯ、Ｎ２Ｏ、ＮＯ２、これらの酸素ラジカル、およびこれらの混合物からなる群から選択される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記反応物がＭ’含有前駆体であり、前記４族遷移金属含有膜がＭＭ’ｉＯｘ（ここで、ｉは０〜１の範囲であり；ｘは１〜６の範囲であり、Ｍ’は３族元素、異なる４族元素、５族元素、ランタノイド、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂ、Ｐ、またはＧｅから選択される）である、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記４族遷移金属含有膜形成用組成物がＤＲＡＭキャパシタを形成するために使用される、請求項１１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、２０１６年１２月３０日に出願された米国特許出願公開第１５／３９６，１１８号明細書の利益を主張するものであり、その全体があらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる。
【０００２】
式Ｌ２−Ｍ−Ｃ５Ｒ４−［（ＥＲ２）ｍ−（ＥＲ２）ｎ−Ｏ］−（式中、Ｍは、シクロペンタジエニル基にη５結合モードで結合されたＴｉ、ＺｒまたはＨｆであり；各Ｅは、独立して、Ｃ、Ｓｉ、ＢまたはＰであり；ｍおよびｎは独立して０、１、または２であり；ｍ＋ｎ＞１であり；各Ｒは、独立して、水素またはＣ１〜Ｃ４炭化水素基であり；隣接するＲは、連結されてヒドロカルビル環を形成し得；各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナートまたはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基であり、および隣接するＲ’は、連結されてヒドロカルビル環を形成し得る）を有する４族遷移金属前駆体を含む４族遷移金属含有膜形成用組成物が開示される。また、開示される前駆体を合成する方法と、蒸着プロセスにより、１つ以上の基板上に４族遷移金属含有膜を堆積させるために、開示される前駆体を使用する方法とが開示される。
【背景技術】
【０００３】
半導体デバイスの微細化に伴い、高誘電率の新しい材料が必要とされている。化学気相成長（ＣＶＤ）および原子層堆積（ＡＬＤ）は細かく定義された厚さおよび高いステップカバレッジを有する異なる膜（金属、酸化物、窒化物等）を提供することができるため、ＣＶＤおよびＡＬＤはそのような薄膜のための主要な堆積技術になっている。ＣＶＤおよびＡＬＤにおいては、前駆体分子は、高いコンフォーマル性を有し不純物が少ない高品質の膜を得るために重要な役割を果たす。
【０００４】
ｈｉｇｈ−ｋ誘電体の中でも、４族酸化物であるＴｉＯ２、ＨｆＯ２、またはＺｒＯ２などの４族を主体とする材料は、純粋な酸化物または混合酸化物として使用されるか、あるいは積層体中で使用されるかに関わらず、非常に有望である。さらに、ＴｉＮなどの４族金属含有膜は、電極および／またはＣｕ拡散バリア用途のために使用することができる。４族酸化物は、これらのエッチング耐性のため、ハードマスクまたはスペーサにより規定されるマルチパターニング用途などのリソグラフィー用途においても使用することができる。
【０００５】
シクロペンタジエニル（Ｃｐ）架橋４族金属化合物は、４族金属含有膜のＣＶＤおよび／またはＡＬＤのための前駆体として使用されてきた。例えば、Ａｈｎらの米国特許第８，９４６，０９６号明細書には、下記式：
【０００６】
【化１】
2020504785.tif 000003
【０００７】
（式中、Ｍは、Ｔｉ、Ｚｒ、またはＨｆであり、Ｒ１は、Ｃ１〜Ｃ４アルキルであり、Ｒ２およびＲ３は、独立してＣ１〜Ｃ６アルキルである）
を有するＣＶＤまたはＡＬＤにおいて利用される４族金属有機化合物が開示されている。
【０００８】
Ｃｈｏらの米国特許出願公開第２０１５／０２５５２７６号明細書には、化学式Ｘｎ（Ｍ）（Ｒ１）ｍ（Ｒ２）ｋ（式中、Ｍは、Ｔｉ、Ｚｒ、またはＨｆであり、Ｘは、Ｍの配位子であり、６，６−ジメチルフルベニル、インデニル、シクロペンタジエニル、およびアミノ基で置換されたシクロペンタジエニル、のうちの１つであり、Ｒ１およびＲ２は、Ｍの配位子であり、それぞれ独立してアミノ基またはエチレンジアミノ基であり、ｎ、ｍ、およびｋは、それぞれ正の整数であり、ｎ＋ｍ＋ｋ＝３または４である）により表される、ＣＶＤおよびＡＬＤプロセスにおいて堆積原料として使用される有機金属前駆体が開示されている。
【０００９】
Ｃａｓｔｌｅらの韓国特許出願公開第１０−２０１４−００７８５３４号明細書には、以下の構造式：
【００１０】
【化２】
2020504785.tif 000004
【００１１】
（式中、Ｍは、Ｚｒ、Ｈｆ、およびＴｉからなる群から選択され、ＸａおよびＸｂは、それぞれ独立してＮＲａＲｂまたはＯＲｃであり、Ｘｃは、（ＮＲｄ）またはＯであり、Ｒａ〜Ｒｄは、それぞれ独立して水素原子またはＣ１〜Ｃ５アルキル基であり、Ｒは、それぞれ独立して水素原子またはＣ１〜Ｃ５アルキル基であり、ｍは、０〜４の整数である）
を有する４族錯体を含む金属前駆体および金属前駆体を用いて作製された金属含有薄膜が開示されている。
【００１２】
Ｋａｎｇらは、（ＣｐＮ）Ｔｉ（ＮＭｅ２）２および酸素遠隔プラズマを用いたＴｉＯ２薄膜の形成を開示している（Ｋａｎｇ  ｅｔ  ａｌ．，“Ｇｒｏｗｔｈ  ｂｅｈａｖｉｏｒ  ａｎｄ  ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ  ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ  ｏｆ  ＴｉＯ２  ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍｓ  ｕｓｉｎｇ（ＣｐＮ）Ｔｉ（ＮＭｅ２）２  ａｎｄ  ｏｘｙｇｅｎ  ｒｅｍｏｔｅ  Ｐｌａｓｍａ”，Ｐｈｙｓ．Ｓｔａｔｕｓ  Ｓｏｌｉｄｉ  Ａ，２０１４，２１２，Ｎｏ．３，ｐ６７４−６７９）。
【００１３】
いくつかのＣｐ架橋４族金属化合物が合成され、触媒または他の目的のために使用されている。例えば、Ｊ  Ｏｋｕｄａは、Ｔｉ（Ｒ−Ｃｐ−ＳｉＭｅ２−ＮＲ−）（ＮＲ２）２などの連結されたアミド−シクロペンタジエニル配位子を有する金属有機触媒を開示している（Ｊ  Ｏｋｕｄａ，“Ｌｉｎｋｅｄ  Ａｍｉｄｏ−ＣｙｃＩｏｐｅｎｔａｄｉｅｎｙｌ  Ｃｏｍｐｌｅｘｅｓ  ｏｆ  Ｇｒｏｕｐ３  ａｎｄ  ４  Ｍｅｔａｌｓ：Ｔｈｅ  Ｆｉｒｓｔ“Ｐｏｓｔ−Ｍｅｔａｌｌｏｃｅｎｅｓ”Ｍｅｔａｌｏｒｇａｎｉｃ  Ｃａｔａｌｙｓｔｓ  ｆｏｒ  Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ  ａｎｄ  Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ”，ｐｐ２００−２１１，１９９９）。Ｈｅｒｒｍａｎｎらは、有力な触媒として調製されたＣｐ（ＣＨ２ＣＨ２−Ｏ−）Ｚｒ（ＮＭｅ２）２を開示している（Ｈｅｒｒｍａｎｎ  ｅｔ  ａｌ．，“Ｄｏｕｂｌｙ  Ｂｒｉｄｇｅｄ  ｖａｃ−Ｍｅｔａｌｌｏｃｅｎｅｓ  ｏｆ  Ｚｉｒｃｏｎｉｕｍ  ａｎｄ  Ｈａｆｎｉｕｍ”，Ａｎｇｅｗａｎｄｔｅ．Ｃｈｅｍ．Ｉｎｔ．Ｅｄ．Ｅｎｇ，１９９４，３３（１９），ｐ１９４６−１９４９）。Ｋｉｍらは、（Ｍｅ４Ｃｐ−ＣＨ２−ＮｔＢｕ）Ｚｒ（ＮＥｔ２）２および（１，３−Ｍｅ２Ｃ５Ｈ２−ＣＨＰｈ−ＮｔＢｕ−κＮ）Ｚｒ（ＮＭｅ２）２の合成を開示している（Ｋｉｍ  ｅｔ  ａｌ．，“ｓｐ３−Ｃ１−Ｂｒｉｄｇｅｄ  １，３−Ｍｅ２Ｃｐ／Ａｍｉｄｏ  Ｔｉｔａｎｉｕｍ  ａｎｄ  Ｚｉｒｃｏｎｉｕｍ  Ｃｏｍｐｌｅｘｅｓ  ａｎｄ  Ｔｈｅｉｒ  Ｒｅａｃｔｉｖｉｔｉｅｓ  ｔｏｗａｒｄｓ  Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ”，Ｅｕｒ．Ｊ．Ｉｎｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．２００４，ｐ１５２２−１５２９）。Ｊｅｓｕｓ  ＣａｎｏおよびＫｌａｕｓ  Ｋｕｎｚは、少量のＰ、Ｃ、Ｓｉを含有したＣｐ−アミノ架橋化合物の合成を開示している（Ｊｅｓｕｓ  Ｃａｎｏ，Ｋｌａｕｓ  Ｋｕｎｚ，“Ｈｏｗ  ｔｏ  ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅ  ａ  ｃｏｎｓｔｒａｉｎｅｄ  ｇｅｏｍｅｔｒｙ  ｃａｔａｌｙｓｔ（ＣＧＣ）−Ａ  ｓｕｒｖｅｙ”，Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ  ６９２，２００７，ｐ４４１１−４４２３）。炭素により架橋されたシクロペンタジエニルアミドの４族金属錯体の合成は、１９９９年のＰｉｅｔ−Ｊａｎ  ＳｉｎｎｅｍａのＰｈＤ学位論文で報告された（Ｐｉｅｔ−Ｊａｎ  Ｓｉｎｎｅｍａ，“Ｃａｒｂｏｎ−Ｂｒｉｄｇｅｄ  Ｃｙｃｌｏｐｅｎｔａｄｉｅｎｙｌ  Ａｍｉｄｏ  Ｇｒｏｕｐ  ４  Ｍｅｔａｌ  Ｃｏｍｐｌｅｘｅｓ”，Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ  ｏｆ  Ｇｒｏｎｉｎｇｅｎ，１９９９）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
したがって、当業者は、制御された厚さおよび高温での組成を有する気相薄膜堆積に適した熱安定性が高い４族化合物を継続的に求めている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
４族遷移金属含有膜形成用組成物が開示される。４族遷移金属含有膜形成用組成物は、以下の構造式：
【００１６】
【化３】
2020504785.tif 000005
【００１７】
を表す、式Ｌ２−Ｍ−Ｃ５Ｒ４−［（ＥＲ２）ｍ−（ＥＲ２）ｎ−Ｏ］−を有する４族遷移金属前駆体を含み、式中、Ｍは、Ｃｐ基へη５結合モードで結合しているＴｉ、Ｚｒ、またはＨｆであり；各Ｅは、独立してＣ、Ｓｉ、Ｂ、またはＰであり；ｍおよびｎは、独立して０、１、または２であり；ｍ＋ｎ＞１であり；各Ｒは、独立して水素またはＣ１〜Ｃ４炭化水素基であり；隣接するＲは、連結してヒドロカルビル環を形成していてもよく；各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基であり、隣接するＲ’は、連結してヒドロカルビル環を形成していてもよい。
【００１８】
本開示の４族遷移金属含有膜形成用組成物は、以下の態様のうちの１つ以上をさらに含み得る：
・ＭがＴｉである；
・ＭがＺｒである；
・ＭがＨｆである；
・各ＥがＣ、Ｓｉ、Ｂ、またはＰである；
・ＥがＣである；
・ＥがＳｉである；
・ＥがＢである；
・ＥがＰである；
・ｍが０、１、または２である；
・ｎが０、１、または２である；
・ｍ＋ｎが＞１である；
・ｍが０である；
・ｍが１である；
・ｍが２である；
・ｎが０である；
・ｎが１である；
・ｎが２である；
・ｍが１でありｎが１である；
・ｍが２でありｎが１である；
・各Ｒが独立してＨ、Ｍｅ、Ｅｔ、ｎＰｒ、ｉＰｒ、ｎＢｕ、ｓＢｕ、ｉＢｕ、またはｔＢｕである；
・ＲがＨである；
・ＲがＭｅである；
・ＲがＥｔである；
・ＲがｎＰｒである；
・ＲがｉＰｒである；
・ＲがｎＢｕである；
・ＲがｉＢｕである；
・ＲがｓＢｕである；
・ＲがｔＢｕである；
・ＬがＮＨ２である；
・ＬがＮＭｅ２である；
・ＬがＮＥｔ２である；
・ＬがＮｎＰｒ２である；
・ＬがＮｉＰｒ２である；
・ＬがＮｎＢｕ２である；
・ＬがＮｉＢｕ２である；
・ＬがＮｓＢｕ２である；
・ＬがＮｔＢｕ２である；
・ＬがＮＨＭｅである；
・ＬがＮＨＥｔである；
・ＬがＮＨｎＰｒである；
・ＬがＮＨｉＰｒである；
・ＬがＮＨｎＢｕである；
・ＬがＮＨｉＢｕである；
・ＬがＮＨｓＢｕである；
・ＬがＮＨｔＢｕである；
・ＬがＮＭｅＥｔである；
・ＬがＮＭｅｎＰｒである；
・ＬがＮＭｅｉＰｒである；
・ＬがＮＭｅｎＢｕである；
・ＬがＮＭｅｉＢｕである；
・ＬがＮＭｅｓＢｕである；
・ＬがＮＭｅｔＢｕである；
・ＬがＮＥｔｎＰｒである；
・ＬがＮＥｔｉＰｒである；
・ＬがＮＥｔｎＢｕである；
・ＬがＮＥｔｉＢｕである；
・ＬがＮＥｔｓＢｕである；
・ＬがＮＥｔｔＢｕである；
・ＬがＮｎＰｒｉＰｒである；
・ＬがＮｎＰｒｎＢｕである；
・ＬがＮｎＰｒｉＢｕである；
・ＬがＮｎＰｒｓＢｕである；
・ＬがＮｎＰｒｔＢｕである；
・ＬがＮｉＰｒｎＢｕである；
・ＬがＮｉＰｒｉＢｕである；
・ＬがＮｉＰｒｓＢｕである；
・ＬがＮｉＰｒｔＢｕである；
・ＬがＮｎＢｕｉＢｕである；
・ＬがＮｎＢｕｓＢｕである；
・ＬがＮｎＢｕｔＢｕである；
・ＬがＮｉＢｕｓＢｕである；
・ＬがＮｉＢｕｔＢｕである；
・ＬがＮｓＢｕｔＢｕである；
・ＬがＯＨである；
・ＬがＯＭｅである；
・ＬがＯＥｔである；
・ＬがＯｎＰｒである；
・ＬがＯｉＰｒである；
・ＬがＯｎＢｕである；
・ＬがＯｉＢｕである；
・ＬがＯｓＢｕである；
・ＬがＯｔＢｕである；
・ＬがＣｐである；
・Ｌがアミジナートである；
・Ｌがβ−ジケトナートである；
・Ｌがケト−イミナートである；
・Ｃｐ基がメチル置換を有する；
・Ｃｐ基がエチル置換を有する；
・Ｃｐ基がｉｓｏ−プロピル置換を有する；
・Ｃｐ基がｔｅｒｔ−ブチル置換を有する；
・４族遷移金属前駆体がＬ２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ４−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）−（式中、各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基である）である；
・４族遷移金属前駆体がＬ２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）−（式中、各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基である）である；
・４族遷移金属前駆体がＬ２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）−（式中、各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基である）である；
・４族遷移金属前駆体がＬ２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ４−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）−（式中、各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基である）である；
・４族遷移金属前駆体がＬ２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）−（式中、各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基である）である；
・４族遷移金属前駆体がＬ２−Ｚｒ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）−（式中、各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基である）である；
・４族遷移金属前駆体がＬ２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ４−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）−（式中、各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基である）である；
・４族遷移金属前駆体がＬ２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）−（式中、各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基である）である；
・４族遷移金属前駆体がＬ２−Ｈｆ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）−（式中、各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基である）である；
・４族遷移金属含有膜形成用組成物が約０．１モル％〜約５０モル％の４族遷移金属前駆体を含有する；
・４族遷移金属含有膜形成用組成物が約１〜約２０ｃｐｓ、好ましくは約１〜約５ｃｐｓ、好ましくはおよそ３ｃｐｓの粘度を有する；
・４族遷移金属含有膜形成用組成物が約９５％ｗ／ｗ〜約１００％ｗ／ｗの４族遷移金属前駆体を含む；
・４族遷移金属含有膜形成用組成物が約９９％ｗ／ｗ〜約１００％ｗ／ｗの４族遷移金属前駆体を含む；
・４族遷移金属含有膜形成用組成物が溶媒をさらに含む；
・４族遷移金属含有膜形成用組成物が約０％ｗ／ｗ〜５％ｗ／ｗの炭化水素溶媒を含む；
・溶媒が、飽和もしくは不飽和のいずれかのＣ１〜Ｃ１６炭化水素、ケトン、エーテル、グリム、エステル、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、シュウ酸ジメチル（ＤＭＯ）およびそれらの組合せからなる群から選択される；
・溶媒がＣ１〜Ｃ１６炭化水素である；
・溶媒がテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）である；
・溶媒がＤＭＯである；
・溶媒がエーテルである；
・溶媒がグリムである；または
・４族遷移金属前駆体および溶媒の沸点間の差が１００℃未満である。
【００１９】
入口導管および出口導管を有し、上記に開示される４族遷移金属含有膜形成用組成物のいずれかを収容するキャニスターを含む４族遷移金属含有膜形成用組成物送出装置も開示される。開示される送出装置は、以下の態様の１つ以上を含むことができる。
・４族遷移金属含有膜形成用組成物が１０ｐｐｍｗ未満の非４族金属汚染物質の全濃度を有する；
・入口導管の末端が４族遷移金属含有膜形成用組成物の表面より上に位置し、および出口導管の末端が４族遷移金属含有膜形成用組成物の表面より上に位置する；
・入口導管末端の末端が４族遷移金属含有膜形成用組成物の表面より上に位置し、および出口導管の末端が４族遷移金属含有膜形成用組成物の表面より下に位置する；または
・入口導管末端の末端が４族遷移金属含有膜形成用組成物の表面より下に位置し、および出口導管の末端が４族遷移金属含有膜形成用組成物の表面より上に位置する。
【００２０】
４族遷移金属含有膜を１つ以上の基板の上に堆積する方法も開示される。上記に開示される少なくとも１つの４族遷移金属含有膜形成用組成物が、反応器であって、その中に配置された少なくとも１つの基板を有する反応器中に導入される。４族遷移金属前駆体の少なくとも一部が基板上に堆積されて４族遷移金属含有膜を形成する。開示される方法は、以下の態様の１つ以上をさらに含むことができる。
・少なくとも１つの反応物が反応器中に導入される；
・反応物がプラズマ処理される；
・反応物が遠隔プラズマ処理される；
・反応物がプラズマ処理されない；
・反応物が、Ｈ２、ＮＨ３、ヒドラジン（Ｎ２Ｈ４、ＭｅＨＮＮＨ２、ＭｅＨＮＮＨＭｅなど）、有機アミン（ＮＭｅＨ２、ＮＥｔＨ２、ＮＭｅ２Ｈ、ＮＥｔ２Ｈ、ＮＭｅ３、ＮＥｔ３、ピロリジンまたはピリミジンなどの環状アミンなど）、ジアミン（エチレンジアミン、ジメチルエチレンジアミン、テトラメチルエチレンジアミン）、アミノアルコール（エタノールアミン［ＨＯ−ＣＨ２−ＣＨ２−ＮＨ２］、ビスエタノールアミン［ＨＮ（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）２］またはトリスエタノールアミン［Ｎ（Ｃ２Ｈ５ＯＨ）３］など）、ピラゾリンおよびピリジンからなる群から選択される；
・反応物が、（ＳｉＨ３）３Ｎ、ヒドリドシラン（ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６、Ｓｉ３Ｈ８、Ｓｉ４Ｈ１０、Ｓｉ５Ｈ１０、Ｓｉ６Ｈ１２など）、クロロシランおよびクロロポリシラン（ＳｉＨＣｌ３、ＳｉＨ２Ｃｌ２、ＳｉＨ３Ｃｌ、Ｓｉ２Ｃｌ６、Ｓｉ２ＨＣｌ５、Ｓｉ３Ｃｌ８など）、アルキルシラン（Ｍｅ２ＳｉＨ２、Ｅｔ２ＳｉＨ２、ＭｅＳｉＨ３、ＥｔＳｉＨ３など）およびアミノシラン（トリス−ジメチルアミノシラン、ビス−ジエチルアミノシラン、ジイソプロピルアミノシランならびに別のモノ、ジスまたはトリスアミノシランなど）からなる群から選択される；
・反応物が、ＮＨ３、Ｎ（ＳｉＨ３）３、アミノシランおよびそれらの混合物からなる群から選択される；
・反応物が、トリアルキルアルミニウム、ハロゲン化ジアルキルアルミニウム、アルミニウムのアルキルアミノおよびアルコキシ誘導体ならびにそれらの混合物から選択される；
・反応物がＮＨ３である；
・反応物が、Ｏ２、Ｏ３、Ｈ２Ｏ、Ｈ２Ｏ２、ＮＯ、Ｎ２Ｏ、ＮＯ２、アルコール、ジオール（エチレングリコールなど）、それらの酸素ラジカルおよびそれらの混合物からなる群から選択される；
・反応物がＨ２Ｏである；
・反応物がＯ２である；
・反応物が、プラズマ処理されたＯ２である；
・反応物がＯ３である；
・４族遷移金属含有膜形成用組成物と反応物とが反応器中に同時に導入される；
・反応器が化学気相成長のために構成される；
・反応器がプラズマ支援化学気相成長のために構成される；
・４族遷移金属含有膜形成用組成物と反応物とがチャンバー中に逐次導入される；
・反応器が原子層堆積のために構成される；
・反応器がプラズマ支援原子層堆積のために構成される；
・反応器が空間原子層堆積のために構成される；
・４族遷移金属含有膜が４族遷移金属酸化物（ＭｎＯｍ、ここで、Ｍは、４族遷移金属であり、かつｎおよびｍのそれぞれは、両端を含めて１〜６の範囲の整数である）である；
・４族遷移金属含有膜がＴｉＯ２、ＺｒＯ２またはＨｆＯ２である；
・４族遷移金属含有膜がＭＭ’ｉＯｘであり、ここで、ｉは、０〜１の範囲であり；ｘは、１〜６の範囲であり；およびＭ’は、３族元素、別の４族元素（すなわちＭ≠Ｍ’）、５族元素、ランタニド、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂ、ＰまたはＧｅから選択される；または
・４族遷移金属含有膜がＭＭ’ｉＮｙＯｘであり、ここで、ｉは、０〜１の範囲であり；ｘおよびｙは、１〜６の範囲であり；およびＭ’は、３族元素、別の４族元素（すなわちＭ≠Ｍ’）、５族元素、ランタニド、Ｓｉ、Ａｌ、Ｂ、ＰまたはＧｅから選択される。
【００２１】
表記および用語
特定の略語、記号および用語が以下の説明および請求項の全体にわたって使用され、そのようなものとして以下が挙げられる。
【００２２】
開示される実施形態において使用される場合、不定冠詞「１つの（ａ）または「１つの（ａｎ）」は、１つ以上を意味する。
【００２３】
開示される実施形態において使用される場合、本文中または請求項中の「約」、または「およそ」、または「おおよそ」という用語は、記載の値の±１０％を意味する。
【００２４】
開示される実施形態において使用される場合、Ｒ基の記載に関連して使用される場合の「独立して」という用語は、対象のＲ基が、同じまたは異なる下付き文字または上付き文字を有する別のＲ基に対して独立して選択されるだけでなく、その同じＲ基のあらゆる追加の種類に対しても独立して選択されることを示すものと理解されたい。例えば、式ＭＲ１ｘ（ＮＲ２Ｒ３）（４−ｘ）（ここで、ｘは、２または３である）中、２つまたは３つのＲ１基は、互いにまたはＲ２もしくはＲ３と同じ場合があるが、同じである必要はない。さらに、他に明記されない場合、Ｒ基の値は、異なる式中に使用される場合と互いに独立していることを理解されたい。
【００２５】
開示される実施形態において使用される場合、「ヒドロカルビル基」という用語は、炭素および水素を含む官能基を意味し；「アルキル基」という用語は、炭素原子および水素原子のみを含む飽和官能基を意味する。ヒドロカルビル基は、飽和または不飽和であり得る。いずれの用語も直鎖、分岐または環状の基を意味する。直鎖アルキル基の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。分岐アルキル基の例としては、ｔ−ブチルが挙げられるが、これに限定されるものではない。環状アルキル基の例としては、シクロプロピル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００２６】
本開示の実施形態において使用される場合、略語「Ｍｅ」はメチル基を指し、略語「Ｅｔ」はエチル基を指し、略語「Ｐｒ」はプロピル基を指し、略語「ｎＰｒ」は「ノルマル」または直鎖のプロピル基を指し、略語「ｉＰｒ」はイソプロピル基を指し、略語「Ｂｕ」はブチル基を指し、略語「ｎＢｕ」は「ノルマル」または直鎖のブチル基を指し、略語「ｔＢｕ」はｔｅｒｔ−ブチル基（別名１，１−ジメチルエチル）を指し、略語「ｓＢｕ」はｓｅｃ−ブチル基（別名１−メチルプロピル）を指し、略語「ｉＢｕ」はｉｓｏ−ブチル基（別名２−メチルプロピル）を指し、略語「Ｃｐ」はシクロペタジエニルを指し、略語「Ｃｐ＊」はペンタメチルシクロペンタジエニルを指す。
【００２７】
本開示の実施形態において使用される場合、化学式Ｌ２−Ｍ−Ｃ５Ｒ４−［（ＥＲ２）ｍ−（ＥＲ２）ｎ−Ｏ］−は、それぞれ次の構造式を有する化合物：
【００２８】
【化４】
2020504785.tif 000006
【００２９】
を指し、式中、Ｍは、Ｃｐ基へη５結合モードで結合しているＴｉ、Ｚｒ、またはＨｆであり；各Ｅは、独立してＣ、Ｓｉ、Ｂ、またはＰであり；ｍおよびｎは、独立して０、１、または２であり；ｍ＋ｎ＞１であり；各Ｒは、独立して水素またはＣ１〜Ｃ４炭化水素基であるか、または隣接するＲの対がヒドロカルビル環を形成し；各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基であるか、または隣接するＲ’の対がヒドロカルビル環を形成する。ここで、η５は、Ｍ原子に結合している芳香族環基の５つの隣接した原子を表す上の前駆体のハプト数である。例えば、式（Ｒ２Ｎ）２−Ｔｉ−Ｃ５Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）−は次の構造を表す：
【００３０】
【化５】
2020504785.tif 000007
【００３１】
元素周期表による元素の標準的な略語が、開示される実施形態において使用される。元素は、これらの略語によって表すことができるものと理解されたい（例えば、Ｍｎは、マンガンを意味し、Ｓｉは、ケイ素を意味し、Ｃは、炭素を意味するなど）。さらに、３族は、周期表の３族（すなわちＳｃ、Ｙ、ＬａまたはＡｃ）を意味する。同様に、４族は、周期表の４族（すなわちＴｉ、ＺｒまたはＨｆ）を意味し、５族は、周期表の５族（すなわちＶ、ＮｂまたはＴａ）を意味する。
【００３２】
開示される実施形態に列挙されるあらゆる範囲は、「両端を含めて」という用語が使用されるかどうかとは無関係に、それらの端点を含む（すなわちｘ＝１〜４または１〜４のｘの範囲は、ｘ＝１、ｘ＝４およびｘ＝その間の任意の数を含む）。
【００３３】
酸化ケイ素または窒化ケイ素などの堆積される膜または層は、それらの適切な化学量論（すなわちＳｉＯ２、ＳｉＯ３、Ｓｉ３Ｎ４）に言及することなく本明細書および請求項の範囲全体に列挙され得ることに留意されたい。これらの層は、純粋な（Ｓｉ）層、炭化物（ＳｉｏＣｐ）層、窒化物（ＳｉｋＮｌ）層、酸化物（ＳｉｎＯｍ）層またはそれらの混合物を含むことができ、ここで、ｋ、ｌ、ｍ、ｎ、ｏおよびｐは、両端を含めて１〜６の範囲である。例えば、酸化ケイ素は、ＳｉｎＯｍであり、ここで、ｎは、０．５〜１．５の範囲であり、ｍは、１．５〜３．５の範囲である。より好ましくは、酸化ケイ素層は、ＳｉＯ２またはＳｉＯ３である。これらの膜は、水素を典型的には０原子％〜１５原子％で含むこともできる。しかし、定期的に測定されるのではないため、他に明記されない限り、得られる任意の膜の組成では、それらのＨ含有量は無視される。
【００３４】
本発明の性質および目的のさらなる理解のため、添付の図面とともに以下の詳細な説明を参照すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】液体４族遷移金属含有膜形成用組成物送出装置１の一実施形態の側面図である。
【図２】４族遷移金属含有膜形成用組成物送出装置１の第２の実施形態の側面図である。
【図３】固体の４族遷移金属含有膜形成用組成物を昇華させるための固体前駆体昇華器１００の例示的な一実施形態である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
４族遷移金属含有膜形成用組成物が開示される。４族遷移金属含有膜形成用組成物は、以下の構造式：
【００３７】
【化６】
2020504785.tif 000008
【００３８】
を指す、式Ｌ２−Ｍ−Ｃ５Ｒ４−［（ＥＲ２）ｍ−（ＥＲ２）ｎ−Ｏ］−を有する４族遷移金属前駆体をさらに含み、式中、Ｍは、Ｃｐ基へη５結合モードで結合しているＴｉ、Ｚｒ、またはＨｆであり；各Ｅは、独立してＣ、Ｓｉ、Ｂ、またはＰであり；ｍおよびｎは、独立して０、１、または２であり；ｍ＋ｎ＞１であり；各Ｒは、独立して水素またはＣ１〜Ｃ４炭化水素基であり；隣接するＲがヒドロカルビル環を形成していてもよく；各Ｌは、独立して、ＮＲ’２、ＯＲ’、Ｃｐ、アミジナート、β−ジケトナート、またはケト−イミナートからなる群から選択される−１アニオン性配位子であり、ここで、Ｒ’は、ＨまたはＣ１〜Ｃ４炭化水素基であるか、または隣接するＲ’の対がヒドロカルビル環を形成する。
【００３９】
式中、ＥがＣであり、ｍ＋ｎ＝２であり、かつ各Ｒが独立して水素または最大４個の炭素原子を有する炭化水素基である例示的な４族遷移金属前駆体としては、限定するものではないが、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（
ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２
−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−
Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｍｅ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）
（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ５Ｈ４−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）
２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（Ｃ
ｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｍｅ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］
−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３
−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｉＰｒ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣｔＢｕ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−Ｅｔ−３−［（ＣＭｅＥｔ）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−
［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＨ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＭｅ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）２−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｈ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｍｅ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（Ｅｔ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＥｔＮ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｓＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｔＢｕ２Ｎ）（Ｃｐ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＨＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＭｅＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ＥｔＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｉＰｒＯ）−Ｍ−Ｃ４Ｈ３−１−ｉＰｒ−３−［（ＣＥｔ２）２−Ｏ］−、（ｎＢ
ｕＯ）−Ｍ−Ｃ