(57)【要約】  除害装置のためのノズル及び方法を開示する。ノズルは、加工ツールからの流出ストリームを処理するように作動可能な除害装置のためのものであり、ノズルは、ノズル本体であって、流出ストリームを受け入れるように作動可能なノズル入口と、ノズル出口と、ノズル入口とノズル出口の間を延びて流出ストリームをノズル入口からノズル出口まで流れの方向に運ぶように作動可能な導管とを定めるノズル本体と、流出ストリームに回転成分を付与して流出ストリームを流れの方向の周りに回転させるように構成された流出ストリーム回転器とを含む。このようにして、流出ストリームは、それがノズル本体を通過する時に回転される。そのような回転する流出ストリームを受け入れる時に除害装置によって達成される破壊速度効率は、回転しない流出ストリームに比べて有意に改善されることが見出されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工ツールからの流出ストリームを処理するように作動可能な除害装置のためのノズルであって、
ノズル本体であって、
前記流出ストリームを受け入れるように作動可能なノズル入口と、
ノズル出口と、及び
前記ノズル入口と前記ノズル出口の間を延びて前記流出ストリームを該ノズル入口から該ノズル出口まで流れの方向に運ぶように作動可能な導管と、
を定めるノズル本体と、
前記流出ストリームに回転成分を付与して該流出ストリームを前記流れの方向の周りに回転させるように構成された流出ストリーム回転器と、
を含むことを特徴とするノズル。
【請求項２】
前記流出ストリーム回転器は、前記流出ストリームを前記流れの方向によって定められる流れ軸線の周りに回転させるように構成されることを特徴とする請求項１に記載のノズル。
【請求項３】
前記流出ストリーム回転器は、前記流出ストリームを回転させて渦にするように構成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のノズル。
【請求項４】
前記流出ストリーム回転器は、前記導管の面から直立する突出構造を含むことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のノズル。
【請求項５】
前記突出構造は、螺旋状であることを特徴とする請求項４記載のノズル。
【請求項６】
前記導管は、半径Ｒを有し、前記突出構造は、約１／１６Ｒと３／１６Ｒの間であって典型的に１／８Ｒである、該導管内への直立高さを有することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のノズル。
【請求項７】
複数の前記突出構造を含むことを特徴とする請求項４から請求項６のいずれか１項に記載のノズル。
【請求項８】
前記複数の前記突出構造は、多条ネジ配置を定めることを特徴とする請求項７に記載のノズル。
【請求項９】
前記流出ストリーム回転器は、流体を運んで前記流出ストリームに前記回転成分を付与するように位置付けられた少なくとも１つの２次入口を含むことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のノズル。
【請求項１０】
前記２次入口は、前記導管内で前記流体に接線成分を導入するように向けられることを特徴とする請求項９に記載のノズル。
【請求項１１】
前記２次入口は、前記流体を前記導管に対して接線方向に導入するように向けられることを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載のノズル。
【請求項１２】
前記２次入口は、前記導管内で前記流体に流れ方向成分を導入するように向けられることを特徴とする請求項９から請求項１１のいずれか１項に記載のノズル。
【請求項１３】
複数の前記２次入口を含むことを特徴とする請求項９から請求項１２のいずれか１項に記載のノズル。
【請求項１４】
前記複数の前記２次入口は、前記導管の周りで周方向に位置付けられることを特徴とする請求項１３に記載のノズル。
【請求項１５】
加工ツールからの流出ストリームを処理するように作動可能な除害装置のためのノズルを与える段階であって、該ノズルが、該流出ストリームを受け入れるように作動可能なノズル入口と、ノズル出口と、該ノズル入口と該ノズル出口の間を延びて前記流出ストリームを該ノズル入口から該ノズル出口まで流れの方向に運ぶように作動可能な導管とを定めるノズル本体を含む、前記与える段階と、
流出ストリーム回転器を用いて前記流出ストリームに回転成分を付与し、該流出ストリームを前記流れの方向の周りに回転させる段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除害装置のためのノズル及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
除害装置は、公知であり、例えば、半導体又はフラットパネルディスプレイ製造業に使用される製造加工ツールからの流出ガスストリームを処理するために典型的に使用されている。そのような製造中に、残留ペルフルオロ化合物（ＰＦＣ）及び他の化合物が加工ツールからポンピングされる流出ガスストリームに存在する。ＰＦＣは、流出ガスから除去することが困難であり、環境へのそれらの放出は、それらが比較的高い温室効果活性を有することが知られているので望ましくない。
【０００３】
公知の除害装置は、流出ガスストリームからＰＦＣ及び他の化合物を除去するのに燃焼を使用する。典型的に、流出ガスストリームは、ＰＦＣ及び他の化合物を含有する窒素ストリームである。燃料ガスが流出ガスストリームと混合され、このガスストリーム混合物は、有孔ガスバーナの出口面によって横方向に取り囲まれた燃焼チャンバの中に運ばれる。燃料ガス及び空気は、有孔バーナに同時に供給されて出口面での無炎燃焼に影響を及ぼし、有孔バーナを通過する空気の量は、バーナへの燃料ガスサプライだけでなく、燃焼チャンバの中に噴射されるガスストリーム混合物内の全ての可燃物を消費するのにも十分である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＥＰ  ２  ９８９  ３８７  Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
流出ガスストリームを処理するための技術は存在するが、それらの各々は、それら独自の欠点を有する。従って、流出ガスストリームを処理するための改善された技術を提供することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の態様により、加工ツールからの流出ストリームを処理するように作動可能な除害装置のためのノズルを提供し、ノズルは、流出ストリームを受け入れるように作動可能なノズル入口と、ノズル出口と、ノズル入口とノズル出口の間を延びてノズル入口からノズル出口まで流れの方向に流出ストリームを運ぶように作動可能な導管とを定めるノズル本体と、流出ストリームに回転成分を付与して流出ストリームを流れの方向の周りに回転させるように構成された流出ストリーム回転器とを含む。第１の態様は、一部の入口ノズルに関する問題が、これらのノズルを用いて達成される流出ストリームの破壊速度効率が望ましいものよりも低い場合があることを認識したものである。
【０００７】
従って、除害装置ノズルを提供することができる。除害装置は、加工ツールによって提供される流出ストリームを処理するものである場合がある。ノズルは、ノズル本体又はハウジングを含むことができる。ノズル本体は、ノズルの入口又は開口を提供する又は定めることができる。ノズル入口は、流出ストリームを受け入れる又はそれが提供される場合がある。ノズル本体はまた、ノズル出口又は開口を定める又はそれが設けられる場合がある。ノズル本体は、ノズル入口とノズル出口の間を延びる又はノズル入口をノズル出口に結合する導管又はチューブを定める又はそれが設けられる場合がある。導管は、流出ストリームをノズル入口からノズル出口まで運ぶ又は連通させることができる。ノズルの入口からノズルの出口までの流出ストリームの移動は、ノズル本体を通る流出ストリームの流れの方向を定めることができる。ノズルはまた、流出ストリーム回転器又はスピン器を含むことができる。回転器は、回転又はスピン成分を流出ストリームに付与する、達成する、又は導入するように構成する又は配置することができる。この回転成分は、流出ストリームを流れの方向の周りに回転させることができる。このようにして、流出ストリームは、それがノズル本体を通過する時に回転される。そのような回転する流出ストリームを受け入れる時に除害装置によって達成される破壊速度効率は、回転しない流出ストリームと比べて有意に改善されることが見出されている。
【０００８】
一実施形態では、流出ストリーム回転器は、流れの方向によって定められる流れ軸線の周りに流出ストリームを回転させるように構成される。従って、流出ストリーム回転器は、導管を通って延びる軸線の周りに流出ストリームを周方向に回転させることができる。言い換えれば、回転は、導管に沿って延びる軸線に対して横断方向である平面内で起こると考えられる。
【０００９】
一実施形態では、流出ストリーム回転器は、流出ストリームを回転させて渦にするように構成される。従って、回転器は、流出ストリームにノズル出口から延びる渦を形成させる。渦の軸線は、導管に沿って延びる流れ軸線とほぼ位置合わせすることができる。
【００１０】
一実施形態では、流出ストリーム回転器は、導管の面から直立する突出構造を含む。従って、流出ストリームと相互作用してそれが導管を通って流れる時に回転を付与する突起又は要素は、導管の面から延びることができる。
【００１１】
一実施形態では、突出構造は細長く、かつ導管の面に沿って延びる。
【００１２】
一実施形態では、突出構造は螺旋状である。ネジ山のような螺旋構造を形成することは、流出ストリームを回転させるための便利で有効な配置である。そのような構造はまた、他に導管内で閉塞を引き起こす場合があるデブリ又は粉末の蓄積に典型的に抵抗する。
【００１３】
一実施形態では、導管は、半径Ｒを有し、突出構造は、約１／１６Ｒと３／１６Ｒの間で典型的に１／８Ｒである、導管内への直立高さを有する。
【００１４】
一実施形態では、突出構造は、少なくとも部分的に導管に沿って延びる。従って、突出構造は、導管のいずれの部分上にも設けることができる。
【００１５】
一実施形態では、ノズルは、複数の突出構造を含む。従って、構造は、不連続部を有する場合があり、及び／又は複数の構造が設けられる場合がある。突出構造の数及びそれらが導管を占める程度は、流出ストリームの流れが影響を受ける量に影響を及ぼすことになることは認められるであろう。
【００１６】
一実施形態では、複数の突出構造は、多条ネジ配置を定める。
【００１７】
一実施形態では、流出ストリーム回転器は、流体を運んで流出ストリームに回転成分を付与するように位置付けられた少なくとも１つの２次入口を含む。従って、入口又は開口を設けることができ、流体は、それを通過して流出ストリームと相互作用する。特に、流体の運動量は、流出ストリームの流れの方向の部分変化を引き起こしてそれを回転させることができる。
【００１８】
一実施形態では、２次入口は、導管内で流体に接線成分を導入するように向けられる。
【００１９】
一実施形態では、２次入口は、導管に対して接線方向に流体を導入するように向けられる。
【００２０】
一実施形態では、２次入口は、導管内で流体に流れ方向成分を導入するように向けられる。
【００２１】
一実施形態では、ノズルは、複数の２次入口を含む。
【００２２】
一実施形態では、複数の２次入口は、導管の周りで周方向に位置付けられる。
【００２３】
一実施形態では、流体は、流出ストリーム及び２次ストリームのうちの少なくとも一方を含む。
【００２４】
第２の態様により、加工ツールからの流出ストリームを処理するように作動可能な除害装置のためのノズルを与える段階であって、ノズルが、流出ストリームを受け入れるように作動可能なノズル入口と、ノズル出口と、ノズル入口とノズル出口の間を延びてノズル入口からノズル出口まで流れの方向に流出ストリームを運ぶように作動可能な導管とを定めるノズル本体を含む、上記与える段階と、流出ストリーム回転器を用いて流出ストリームに回転成分を付与し、流出ストリームを流れの方向の周りに回転させる段階とを含む方法を提供する。
【００２５】
一実施形態では、付与する段階は、流れの方向によって定められる流れ軸線の周りに流出ストリームを回転させる段階を含む。
【００２６】
一実施形態では、付与する段階は、流出ストリームを回転させて渦にする段階を含む。
【００２７】
一実施形態では、本方法は、流出ストリーム回転器として導管の面から直立する突出構造を与える段階を含む。
【００２８】
一実施形態では、突出構造は細長く、かつ導管の面に沿って延びる。
【００２９】
一実施形態では、突出構造は螺旋状である。
【００３０】
一実施形態では、導管は、半径Ｒを有し、突出構造は、約１／１６Ｒと３／１６Ｒの間で典型的に１／８Ｒである導管内への直立高さを有する。
【００３１】
一実施形態では、本方法は、少なくとも部分的に導管に沿って突出構造を延ばす段階を含む。
【００３２】
一実施形態では、本方法は、複数の突出構造を与える段階を含む。
【００３３】
一実施形態では、本方法は、複数の突出構造として多条ネジ配置を与える段階を含む。
【００３４】
一実施形態では、本方法は、流出ストリーム回転器として少なくとも１つの２次入口を与える段階と、流体を運んで流出ストリームに回転成分を付与するように少なくとも１つの２次入口を位置付ける段階とを含む。
【００３５】
一実施形態では、本方法は、導管内で流体に接線成分を導入するように２次入口を向ける段階を含む。
【００３６】
一実施形態では、本方法は、導管に対して接線方向に流体を導入するように２次入口を向ける段階を含む。
【００３７】
一実施形態では、本方法は、導管内で流れ方向成分を流体に導入するように２次入口を向ける段階を含む。
【００３８】
一実施形態では、本方法は、複数の２次入口を与える段階を含む。
【００３９】
一実施形態では、本方法は、複数の２次入口を導管の周りで周方向に位置付ける段階を含む。
【００４０】
一実施形態では、流体は、流出ストリーム及び２次ストリームのうちの少なくとも一方を含む。
【００４１】
更に別の特定のかつ好ましい態様は、添付の独立請求項及び従属請求項に説明する。従属請求項の特徴は、適切な場合に独立請求項の特徴と及び特許請求の範囲に明示的に説明する以外の組合せで組み合わせることができる。
【００４２】
装置特徴が機能を与えるように作動可能であるとして説明される場合に、これは、その機能を与える又はその機能を与えるように適応又は構成された装置特徴を含むことは認められるであろう。
【００４３】
ここで添付の図面を参照して本発明の実施形態を更に以下に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】一実施形態による除害装置アセンブリを通した概略断面図である。
【図２Ａ】実施形態によるノズルを示す図である。
【図２Ｂ】実施形態によるノズルを示す図である。
【図２Ｃ】実施形態によるノズルを示す図である。
【図３Ａ】実施形態によるネジ山プロファイルを示す図である。
【図３Ｂ】実施形態によるネジ山プロファイルを示す図である。
【図４】異なる構成ノズルによって達成される破壊速度効率（ＤＲＥ）を示す図である。
【図５Ａ】一実施形態によるノズルを示す図である。
【図５Ｂ】一実施形態によるノズルを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
実施形態をより詳細に議論する前に最初に概要を以下に与える。実施形態は、除害装置ノズルを提供する。ノズルは、入口、出口、及び導管を有する。入口は、導管を通って入口から出口まで流れる流出ストリームを受け入れる。ノズルは、流れの方向に対して横断方向である平面内で流出ストリームを回転させる回転器を有する。特に、流出ストリームは、典型的には、流出ストリームが導管に沿って入口と出口間を延びる軸線の周りを回転する渦になるように回転される。従って、回転器は、流出ストリームが、回転する流出ストリームを処理チャンバの中に送出するノズルを通過する時に、それを回転させる。一部の実施形態では、回転器は、典型的には、導管内に延びて流出ストリームの流れと相互作用してそれを回転させる面を設けることにより、流出ストリームとそれが導管を通って流れる時に相互作用する導管内に置かれた構造を含む。実施形態はまた、導管の中に噴射される流体を提供し、その流体と流出ストリームの間の相互作用は、流出ストリームを回転させる。
【００４６】
除害装置
図１は、一実施形態による全体を参照番号８に示す除害装置アセンブリの概略断面図である。除害装置アセンブリ８は、半導体又はフラットパネルディスプレイ加工ツールのような製造加工ツールからポンピングされる流出ガスストリームを典型的には真空ポンピングシステムによって処理する。流出ストリームは、ノズル１２の入口７０で受け入れられる。流出ストリームは、ノズル１２の入口７０からノズル１２の出口８０まで運ばれ、円筒形処理チャンバ１４の中に噴射される。この実施形態では、除害装置アセンブリ８は、周方向に配置された４つのノズル１２を含み、各ノズルは、それぞれの真空ポンプシステムによってそれぞれのツールからポンピングされる流出ガスストリームを運ぶ。これに代えて、単一加工ツールからの流出ストリームは、複数のストリームに分割することができ、その各１つは、それぞれのノズル１２に運ばれる。各ノズル１２は、処理チャンバ１４の上面又は進入面を定めるセラミック上板１８に形成されたそれぞれのボア１６内に位置付けられる。
【００４７】
処理チャンバ１４は、円筒形チューブの形態の有孔スリーブ２０の出口面２１によって定められた側壁を有する。有孔スリーブ２０の進入面２３と円筒形外側シェル２４の間にプレナム容積２２が定められる。円筒形外側シェル２４は、円筒形外側シェル２４の温度が仮に例えば偶然の加熱に起因して上昇した時に外面温度を安全レベルまで低減するために外側断熱スリーブ６０内に同心円状に封入される。これに加えて又はこれに代えて、冷却を提供するために外側シェル内に又はこれに当接して冷却器を位置付けることができる。
【００４８】
入口ノズル（図示しない）を通じてプレナム容積２２の中にガスが導入される。ガスは、空気及び可燃性ガス混合物（炭化水素、例えば、メタンなど）、又は水蒸気、ＣＯ2のような他の種と共に空気及び可燃性ガス混合物の配合物である場合がある。ガスは、有孔スリーブ２０の進入面２３に導入され、出口面２１まで通されて、そこで燃焼して処理チャンバ１４を加熱する。
【００４９】
ノズル
図２Ａから図２Ｃは、実施形態によるノズルを示す断面図である。これらの実施形態では、各ノズル１２Ａ〜１２Ｃは、内径が１６ミリメートル、及び軸線長さが７６ミリメートルである。
【００５０】
図２Ａに見ることができるように、ノズル１２Ａの内面１１０Ａに一条ネジのネジ山（線条）１００Ａが設けられる。作動において、流出ストリームは、入口７０Ａを通して導入され、出口８０Ａに向けて進む。流出ストリームがノズル１２Ａを通過する時に、ネジ山１００Ａが存在することにより、流出ストリームは、ノズル１２Ａ内でノズル１２Ａの長手軸線の周りで方向Ｒに周方向に回転し始める。言い換えれば、流出ストリームは、ネジ山１００Ａの上流面と相互作用する。この相互作用により、ノズル１２Ａの中心軸線の周りに回転成分Ｒが付与される。典型的に渦の形態の回転する流出ストリームは、次に処理チャンバ１４に入る。
【００５１】
図２Ｂに見ることができるように、ノズル１２Ｂの内面１１０Ｂに一条ネジのネジ山１００Ｂが設けられる。ノズル１２Ｂのネジ山１００Ｂは、断面がネジ山１００Ａと同様であるが、ピッチがより細かい。すなわち、ノズル１２Ｂは、軸線長さ当たりの巻回がノズル１２Ａの巻回と比べて多い。特に、ノズル１２Ｂは、巻回が５であるノズル１２Ａと比べて巻回が９である。作動において、流出ストリームは、入口７０Ｂを通して導入されて出口８０Ｂに向けて進む。流出ストリームがノズル１２Ｂを通過する時に、ネジ山１００Ｂが存在することにより、流出ストリームは、ノズル１２Ｂ内でノズル１２Ｂの長手軸線の周りで方向Ｒに周方向に回転し始める。言い換えれば、流出ストリームは、ネジ山１００Ｂの上流面と相互作用する。この相互作用により、ノズル１２Ｂの中心軸線の周りに回転成分Ｒが付与される。典型的に渦の形態の回転する流出ストリームは、次に処理チャンバ１４に入る。
【００５２】
図２Ｃに見ることができるように、ノズル１２Ｃの内面１１０Ｃに一条ネジのネジ山１００Ｃが設けられる。ノズル１２Ｃのネジ山１００Ｃは、断面がネジ山１００Ａの断面と同様であるが、この実施形態のネジ山は、二条ネジであり、ピッチが図２Ａのピッチと比べて粗い。すなわち、この２つのネジ山の各々に関して、ノズル１２Ｃの軸線長さ当たりの巻回がノズル１２Ａの巻回と比べて少ない。作動において、流出ストリームは、入口７０Ｃから導入されて出口８０Ｃに向けて進む。流出ストリームがノズル１２Ｃを通過する時に、ネジ山１００Ｃが存在することにより、流出ストリームは、ノズル１２Ｃ内でノズル１２Ｃの長手軸線の周りで方向Ｒに周方向に回転し始める。言い換えれば、流出ストリームは、ネジ山１００Ｂの上流面と相互作用する。この相互作用により、ノズル１２Ｂの中心軸線の周りに回転成分Ｒが付与される。典型的に渦の形態の回転する流出ストリームは、次に処理チャンバ１４に入る。
【００５３】
ネジ山プロファイル
図３Ａ及び３Ｂは、実施形態によるネジ山プロファイルを示している。図３Ａに示すように、ネジ山１００Ａは、高さＨ１が２ミリメートルであり、幅Ｔ１が２ミリメートルであり、ネジ山間のピッチがＰ１である。しかし、このサイズのノズルに関して、高さ及び幅は、典型的には、１から３ミリメートルの範囲で選択される。図３Ａには示さないが、ネジ山１００Ａの縁部は丸くなっている。同じく、図３Ｂに示すように、ネジ山１００Ａのプロファイルは逆にすることができ、ネジ溝１００Ａ’が代わりにノズル壁自体の厚みの中に突出する。図３Ｂに示すように、その高さはＨ１、その幅はＴ２、そのネジ山間ピッチはＰ１である。
【００５４】
破壊速度効率
図４は、異なる構成ノズルによって達成される破壊速度効率（ＤＲＥ）を示している。
【００５５】
結果（１）は、ＥＰ  ２  ９８９  ３８７  Ａ１に示すもののような「く」の字形部分を有する既存の入口ノズル配置を使用する流出ストリームの異なる速度での破壊速度効率を示している。
【００５６】
結果（２）は、内面上のネジ山を省略しているが、図１に示すもののような直線ノズルに対する破壊速度効率を示している。見ることができるように、そのような直線ノズルに対するＤＲＥは、既存ノズルのものに比べて低下する。
【００５７】
結果（１２Ｃ）は、ノズル１２Ｃに関するＤＲＥを示している。見ることができるように、そのようなノズルのＤＲＥは、内面上にネジ山がない直線ノズルのものに比べて改善している。
【００５８】
結果（１２Ａ）は、ノズル１２Ａに関するＤＲＥを示している。見ることができるように、ノズル１２ＡのＤＲＥは、ノズル１２Ｃのものに比べて改善している。
【００５９】
結果（１２Ｂ）は、ノズル１２Ｂの性能を示している。見ることができるように、ＤＲＥは、既存ノズルのものに匹敵するか又はそれを超えており、くの字形に集まる粉末又はデブリの問題を回避する。
【００６０】
流体回転器
図５Ａ及び５Ｂは、一実施形態によるノズル１２Ｄを示している。図５Ａは端部断面図である。図５Ｂは側部断面図である。この実施形態では、ノズル１２Ｄの壁に１又は２以上の周方向に位置付けられた開口部１８０が設けられる。開口部１８０は、流体ストリームをノズル１２Ｄに導入し、ノズル１２Ｄを通る流出ストリームの流れと相互作用させるように向けられる。特に、開口部１８０は、流出ストリームの流れの方向に対して横断方向である流れ成分を有する方向に流体を噴射するように配置される。図５Ａに見ることができるように、典型的には、各開口部８０は、流体をノズル１２Ｄの内面１１０Ｄに対して接線方向である方向Ｄに噴射するように向けられる。流体の導入は、流出ストリームと相互作用して流出ストリームを上述のものと類似の方式でノズル１２Ｄの中心軸線の周りで方向Ｒに回転させる。しかし、この配置の利点は、ネジ山１００Ａから１００Ｃに対する必要性が排除され、それによってノズル１２Ｄ内にデブリが集まる可能性を低減することである。図５Ｂに見ることができるように、開口部１８０は、流出ストリームの流れの方向Ｆにある流れ成分を与えるように傾斜している。言い換えれば、開口部１８０は、流体を少なくとも部分的に流出ストリームの流れの方向に移動するように傾斜している。これは、安定した渦を与えるのに役立つ。
【００６１】
従って、実施形態は、除害性能を高める直線貫通ノズル配置の修正を提供する。実施形態は、これらのノズルの有用な作動範囲を拡大して流量を低減することを求めるものである。
【００６２】
実施形態では、ノズルは、耐熱性及び耐化学性金属合金、例えば、ＡＮＣ１６から構成される。ノズルは、典型的には、鋳造工程、例えば、ロストワックス鋳造によって形成される。一実施形態では、ノズルの内壁から突出する少なくとも１つの螺旋ベーンが、流れ軸線の方向に少なくとも部分的に延びる。ＮＦ3のようなガスの除害性能は、この特徴部によって非常に改善することが見出されている。この改善は、ノズル直径をベーンの最も狭い寸法のものに対して縮小することによって得られるものよりも有意に大きく、ベーンによって渦流がガスの中に導入され、それによって性能が改善されることを示している。実施形態は、進入する処理ガス内に渦流を意図的に誘発する。変形は、螺旋のピッチ及び条数、同じく深さ、すなわち、ガスストリームの中への螺旋の突出を含む。そのようなノズルは、誘導加熱式及びガス点火式バーナを含む全ての放射バーナ製品と共に使用することができる。
【００６３】
本発明の例示的実施形態を添付の図面を参照して本明細書に詳しく開示したが、本発明は厳密な実施形態には限定されないこと及び添付の特許請求の範囲及びそれらの均等物によって定められるような本発明の範囲から逸脱することなく当業者によって様々な変更及び修正をそこに達成することができることは理解される。
【符号の説明】
【００６４】
除害装置アセンブリ  ８
ノズル  １２；１２Ａ〜Ｄ
処理チャンバ  １４
ボア  １６
上板  １８
有孔スリーブ  ２０
出口面  ２１
プレナム容積  ２２
進入面  ２３
外側シェル  ２４
断熱スリーブ  ６０
入口  ７０；７０Ａ〜Ｃ
出口  ８０；８０Ａ〜Ｃ
ネジ山  １００Ａ〜Ｃ
ネジ溝  １００Ａ’
内面  １１０Ａ〜Ｄ
開口部  １８０
高さ  Ｈ１
幅  Ｔ１、Ｔ２
ピッチ  Ｐ１
方向  Ｄ
方向  Ｒ
流れの方向  Ｆ
【図１】
2020513098.tif 000003
【図２Ａ】
2020513098.tif 000004
【図２Ｂ】
2020513098.tif 000005
【図２Ｃ】
2020513098.tif 000006
【図３Ａ】
2020513098.tif 000007
【図３Ｂ】
2020513098.tif 000008
【図４】
2020513098.tif 000009
【図５Ａ】
2020513098.tif 000010
【図５Ｂ】
2020513098.tif 000011
【国際調査報告】
2020513098.tif 000012
2020513098.tif 000013
2020513098.tif 000014