(57)【要約】  フレキシブルパネルの製造方法、フレキシブルパネルおよび表示装置を提供する。該フレキシブルパネルの製造方法は、ベース基板（１０１）上に、形状記憶材料が含まれている変形材料層（１１０）を形成するステップと、変形材料層（１１０）のベース基板（１０１）から離れた側に、フレキシブルパネル本体（１２０）を形成するステップと、フレキシブルパネル本体（１２０）を少なくとも部分的に剥離できるように、変形材料層（１１０）を駆動するステップと、ベース基板（１０１）を剥離するステップと、を含む。このように、該フレキシブルパネルの製造方法は、変形材料層（１１０）を変形させるように駆動することで、フレキシブルパネル本体（１２０）および変形材料層（１１０）とベース基板（１０１）との結合力を大幅に低減させ、それによってベース基板（１０１）の剥離を容易にし、フレキシブルパネルが得られる。また、剥離力の過大によるフレキシブルパネルの損傷を防止でき、フレキシブルパネルの歩留まりを向上できる。
2020514778.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブルパネルの製造方法であって、
ベース基板上に、形状記憶材料が含まれている変形材料層を形成するステップと、
前記変形材料層の前記ベース基板から離れた側に、フレキシブルパネル本体を形成するステップと、
前記フレキシブルパネル本体を少なくとも部分的に剥離できるように、前記変形材料層を駆動するステップと、
前記ベース基板を剥離するステップと、を含む、フレキシブルパネルの製造方法。
【請求項２】
前記変形材料層を形状変化させるとともに前記ベース基板と少なくとも部分的に分離するように、前記変形材料層を駆動する、請求項１に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項３】
前記変形材料層の変形後の形状は、少なくとも１つの曲げ部を含む、請求項１に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項４】
前記変形材料層を形状変化させるとともに前記ベース基板と少なくとも部分的に分離するように、前記変形材料層を駆動するステップは、
化学的駆動手段または物理的駆動手段により前記変形材料層を駆動することで、前記変形材料層を形状変化させるとともに前記ベース基板と少なくとも部分的に分離するステップを含む、請求項２に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項５】
前記化学的駆動手段は、ｐＨ値調整、対イオン交換、キレート化反応、または酸化還元反応を含む、請求項４に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項６】
前記フレキシブルパネル本体を形成する前に、前記変形材料層の初期形状を固定するステップと、
前記ベース基板を剥離した後に、前記変形材料層を駆動して前記初期形状に復帰させるステップと、をさらに含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項７】
前記形状記憶材料は、形状記憶合金、形状記憶セラミックス、および有機形状記憶材料のうちの少なくとも１つを含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項８】
前記変形材料層を形状変化させるように前記変形材料層を駆動する前に、前記フレキシブルパネル本体を封止するステップをさらに含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項９】
前記曲げ部の曲率半径は、１メートルより大きい、請求項１〜５のいずれか一項に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項１０】
前記フレキシブルパネル本体は、フレキシブルディスプレイパネル、またはフレキシブルタッチパネルの少なくとも１つを含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項１１】
前記フレキシブルパネル本体を形成するステップは、
前記変形材料層上にフレキシブルフィルムを形成するステップと、
前記フレキシブルフィルム上に薄膜トランジスタを形成するステップと、
前記薄膜トランジスタ上に第１電極を形成するステップと、を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項１２】
前記フレキシブルパネル本体を形成するステップは、
前記変形材料層上に薄膜トランジスタを直接に形成するステップと、
前記薄膜トランジスタアレイ上に第１電極を形成するステップと、を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項１３】
前記フレキシブルパネル本体を形成するステップは、
前記第１電極上に有機発光層を形成するステップをさらに含む、請求項１１または１２に記載のフレキシブルパネルの製造方法。
【請求項１４】
形状記憶材料が含まれている変形材料層と、
前記変形材料層上に設けられたフレキシブルパネル本体と、を備えるフレキシブルパネルであって、
前記変形材料層は、駆動されると変形するように配置される、フレキシブルパネル。
【請求項１５】
前記変形材料層は、駆動されると初期形状に復帰するように配置される、請求項１４に記載のフレキシブルパネル。
【請求項１６】
前記フレキシブルパネル本体の全面は、前記変形材料層上に設けられる、請求項１４に記載のフレキシブルパネル。
【請求項１７】
前記変形材料層の変形後の形状は、少なくとも１つの曲げ部を含む、請求項１４〜１６のいずれか一項に記載のフレキシブルパネル。
【請求項１８】
前記形状記憶材料は、形状記憶合金、形状記憶セラミックス、または有機形状記憶材料を含む、請求項１４〜１６のいずれか一項に記載のフレキシブルパネル。
【請求項１９】
前記曲げ部の曲率半径は、１メートルより大きい、請求項１７に記載のフレキシブルパネル。
【請求項２０】
請求項１４〜１９のいずれか一項に記載のフレキシブルパネルを備える表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、２０１６年１２月２６日に提出した中国特許出願第２０１６１１２１９１０１．３号の優先権を主張し、上記中国特許出願に開示されている全ての内容は本願の一部として援用される。
【０００２】
本発明の実施例は、フレキシブルパネルの製造方法、フレキシブルパネルおよび表示装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
ディスプレイ技術が進み、フレキシブルディスプレイ技術に対する関心が高まっている。フレキシブルディスプレイ技術は、様々な電子機器、特にウェアラブル電子機器に利用でき、より豊かなインタラクション体験を人々に提供する。
【０００４】
一方、材料技術が進み、形状記憶材料への注目が高まっている。形状記憶材料は、通常、形状記憶合金、形状記憶セラミックス、形状記憶重合体などを含む。その共通の特性としては、変形して固定された後、加熱などの外部条件による刺激を受けると、予め設定された状態に復帰できることである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
フレキシブルパネルの製造方法、フレキシブルパネルおよび表示装置を提供する。該フレキシブルパネルの製造方法は、変形材料層を変形させるように駆動することで、フレキシブルパネル本体および変形材料層とベース基板との結合力を大幅に低減させ、それによってベース基板の剥離を容易にし、フレキシブルパネルが得られる。また、剥離力の過大によるフレキシブルパネルの損傷を防止でき、フレキシブルパネルの歩留まりを向上できる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の少なくとも１つの実施例は、ベース基板上に、形状記憶材料が含まれている変形材料層を形成するステップと、前記変形材料層の前記ベース基板から離れた側に、フレキシブルパネル本体を形成するステップと、前記フレキシブルパネル本体を前記ベース基板と少なくとも部分的に剥離できるように、前記変形材料層を駆動するステップと、前記ベース基板を剥離するステップと、を含むフレキシブルパネルの製造方法を提供する。
【０００７】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記変形材料層を形状変化させるとともに前記ベース基板と少なくとも部分的に分離するように、前記変形材料層を駆動する。
【０００８】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記変形材料層の変形後の形状は、少なくとも１つの曲げ部を含む。
【０００９】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記変形材料層を形状変化させるとともに前記ベース基板と少なくとも部分的に分離するように、前記変形材料層を駆動するステップは、化学的駆動手段または物理的駆動手段により前記変形材料層を駆動することで、前記変形材料層を形状変化させるとともに前記ベース基板と少なくとも部分的に分離するステップをさらに含む。
【００１０】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記化学的駆動手段は、ｐＨ値調整、対イオン交換、キレート化反応、または酸化還元反応を含む。
【００１１】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記フレキシブルパネル本体を形成する前に、前記変形材料層の初期形状を固定するステップと、前記ベース基板を剥離した後に、前記変形材料層を駆動して前記初期形状に復帰させるステップと、をさらに含む。
【００１２】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記変形材料層は、形状記憶材料を含む。
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記形状記憶材料は、形状記憶合金、形状記憶セラミックス、または有機形状記憶材料のうちの少なくとも１つを含む。
【００１３】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記変形材料層を形状変化させるように前記変形材料層を駆動する前に、前記フレキシブルパネル本体を封止するステップをさらに含む。
【００１４】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記曲げ部の曲率半径は、１メートルより大きい。
【００１５】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記フレキシブルパネル本体は、フレキシブルディスプレイパネル、またはフレキシブルタッチパネルの少なくとも１つを含む。
【００１６】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記フレキシブルパネル本体を形成するステップは、前記変形材料層上にフレキシブルフィルムを形成するステップと、前記フレキシブルフィルム上に薄膜トランジスタを形成するステップと、前記薄膜トランジスタ上に第１電極を形成するステップと、をさらに含む。
【００１７】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記フレキシブルパネル本体を形成するステップは、前記変形材料層上に薄膜トランジスタを直接に形成するステップと、前記薄膜トランジスタアレイ上に第１電極を形成するステップと、を含む。
【００１８】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、前記フレキシブルパネル本体を形成するステップは、前記第１電極上に有機発光層を形成するステップをさらに含む。
【００１９】
本発明の少なくとも１つの実施例は、形状記憶材料が含まれている変形材料層と、前記変形材料層上に設けられたフレキシブルパネル本体と、を備え、前記変形材料層は、駆動されると変形可能であるフレキシブルパネルを提供する。
【００２０】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルにおいて、前記変形材料層は、駆動されると初期形状に復帰するように配置される。
【００２１】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルにおいて、前記フレキシブルパネル本体の全面は、前記変形材料層上に設けられる。
【００２２】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルにおいて、前記変形材料層の変形後の形状は、少なくとも１つの曲げ部を含む。
【００２３】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルにおいて、前記形状記憶材料は、形状記憶合金、形状記憶セラミックス、または有機形状記憶材料を含む。
【００２４】
例えば、本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルにおいて、前記曲げ部の曲率半径は、１メートルより大きい。
【００２５】
本発明の少なくとも１つの実施例は、上記フレキシブルパネルのいずれかを備える表示装置を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
以下、本発明の実施例による技術手段をより明確に説明するために、実施例に対応する図面を簡単に説明するが、下で述べる図面は勿論、単なる本発明の実施例の一部に触れており、本発明はこれらに限定するものではない。
【００２７】
【図１】図１は本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法の流れ図である。
【図２】図２は本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法の工程図である。
【図３】図３は本発明の一実施例に係る別のフレキシブルパネルの製造方法の工程図である。
【図４】図４は本発明の一実施例に係る別のフレキシブルパネルの製造方法の工程図である。
【図５】図５は本発明の一実施例に係るフレキシブルパネルの構造模式図である。
【図６】図６は本発明の一実施例に係る別のフレキシブルパネルの構造模式図である。
【図７】図７は本発明の一実施例に係る別のフレキシブルパネルの製造方法の流れ図である。
【図８】図８は本発明の一実施例に係る別のフレキシブルパネルの製造方法の工程図である。
【図９】図９は本発明の一実施例に係る別のフレキシブルパネルの製造方法の工程図である。
【図１０】図１０は本発明の一実施例に係る別のフレキシブルパネルの製造方法の工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施例の目的、技術手段、およびメリットをより明白にするため、本発明の実施例による技術手段について本発明の実施例の図面を参照しながら全体として明確に説明する。説明された実施例が本発明の一部の実施例のみであり、本発明の全ての実施例ではないことは明白であろう。当業者には、開示された本発明の実施例に基づき、容易に成し遂げることができた他の実施例の全ては本発明の精神から逸脱しない。
【００２９】
特に定義しない限り、本開示に使用された技術用語または科学用語は、当業者に理解される一般的な意味である。本開示に使用された「第１」、「第２」及び類似する用語は、順番、数量や重要度を表すものではなく、異なる構成要素を区別させるものに過ぎない。「備える」、「含む」および類似する用語は、挙げられた要素に加えて、他の要素が共存してもよいことを意味する。「接続」、「連結」および類似する用語は、物理的や機械的接続に限定されず、直接または間接の電気的接続を含んでもよい。
【００３０】
本発明の実施例は、フレキシブルパネルの製造方法、フレキシブルパネルおよび表示装置を提供する。該フレキシブルパネルの製造方法は、ベース基板上に、形状記憶材料が含まれている変形材料層を形成するステップと、変形材料層のベース基板から離れた側に、フレキシブルパネル本体を形成するステップと、前記フレキシブルパネル本体を少なくとも部分的に剥離できるように、変形材料層を駆動するステップと、前記ベース基板を剥離するステップと、を含む。このように、該フレキシブルパネルの製造方法は、剛性のベース基板上にフレキシブルパネル本体を形成してから、変形材料層の変形によってフレキシブルパネル本体とベース基板とを部分的に分離させることで、フレキシブルパネル本体および変形材料層とベース基板との結合力を大幅に低減させ、それによってベース基板の剥離を容易にし、フレキシブルパネルが得られる。また、剥離力の過大によるフレキシブルパネルの損傷を防止でき、フレキシブルパネルの歩留まりを向上できる。
【００３１】
以下、本発明の実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法、フレキシブルパネルおよび表示装置について、図面を参照しながら説明する。
【００３２】
本発明の少なくとも１つの実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法は、図１に示されるように、以下のようにステップＳ１０１〜Ｓ１０４を含む。
【００３３】
ステップＳ１０１において、ベース基板上に、形状記憶材料が含まれている変形材料層を形成する。
例えば、図２に示されるように、剛性のベース基板１０１上に変形材料層１１０を形成する。ベース基板１０１は、例えば、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板などの硬質基板であってもよい。
例えば、ベース基板１０１は、平坦な基板であってもよい。
【００３４】
ステップＳ１０２において、変形材料層のベース基板から離れた側にフレキシブルパネル本体を形成する。
例えば、図２に示すように、ベース基板１０１上にフレキシブルパネル本体１２０を形成する。フレキシブルパネル本体１２０は、フレキシブルディスプレイパネルおよび／またはフレキシブルタッチパネルであってもよい。
【００３５】
ステップＳ１０３において、フレキシブルパネル本体を少なくとも部分的に剥離できるように、変形材料層を駆動する。
例えば、図３に示すように、変形材料層１１０を駆動してその形状を変化させることで、ベース基板１０１と少なくとも部分的に分離し、それによってフレキシブルパネル本体１２０を少なくとも部分的に剥離できるようにする。
例えば、変形後の変形材料層１１０は、少なくとも１つの曲げ部１１５を含む。
【００３６】
ステップＳ１０４、ベース基板を剥離する。
例えば、図４に示すように、ベース基板を剥離することで、フレキシブルパネルが得られる。
【００３７】
本実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法は、硬質のベース基板上に変形材料層とフレキシブルパネル本体とを形成してから、駆動されると変形材料層を変形させ少なくとも１つの曲げ部を生じさせる。該少なくとも１つの曲げ部は、ベース基板に接する部分と、ベース基板から離れる部分と、を有する。このように、フレキシブルパネル本体および変形材料層とベース基板との結合力を大幅に低減させ、それによってベース基板の剥離を容易にし、フレキシブルパネルが得られる。また、剥離力の過大によるフレキシブルパネルの損傷を防止でき、フレキシブルパネルの歩留まりを向上できる。一方、ベース基板上の変形材料層とフレキシブルパネル本体との形成には従来の非フレキシブルパネル本体用製造装置が利用できるので、本実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法にかかるコストを削減できる。なお、本実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法において、ベース基板を剥離した後には、変形材料層が状況によって除去したり保留したり、本実施例はこれに限定されない。
【００３８】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルの製造方法において、変形材料層の変形後の形状は、複数の曲げ部を含む。
【００３９】
例えば、製造すべきフレキシブルパネルがフレキシブルディスプレイパネルまたはフレキシブルタッチパネルである場合、フレキシブルディスプレイパネルの表示やフレキシブルタッチパネルのタッチに影響を及ぼし、または、フレキシブルディスプレイパネルまたはフレキシブルタッチパネルの軽量薄型化に影響を及ぼすと、例えば、溶解などによって変形材料層が除去される。
【００４０】
例えば、製造すべきフレキシブルパネルがフレキシブルディスプレイパネルまたはフレキシブルタッチパネルである場合、フレキシブルディスプレイパネルの表示やフレキシブルタッチパネルのタッチに影響を及ぼさないと、変形材料層が保留可能である。そして、電気駆動または熱駆動などによって変形材料層を変形させることで、本実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法で製造されたフレキシブルパネルを利用した電子機器に対し、より多くの機能およびインタラクションデザインを提供する。
【００４１】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルの製造方法において、曲げ部の曲率半径は、１メートルより大きい。従って、変形材料層の変形量過大による不良を防止できる。
【００４２】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルの製造方法において、化学的駆動手段または物理的駆動手段により変形材料層を駆動することで、変形材料層を形状変化させるとともにベース基板と少なくとも部分的に分離する。
【００４３】
例えば、化学的駆動手段は、ｐＨ値調整、対イオン交換、キレート化反応、または酸化還元反応を含む。例えば、ベース基板、変形材料層およびフレキシブルパネル本体を予め調製した溶液に含浸させることで、変形材料層のｐＨ値を変えたり、変形材料層と対イオン交換、キレート化反応または酸化還元反応を行ったりする。もちろん、本発明の実施例はこれらに限定されず、変形材料の性質によって他の化学的駆動手段を選択してもよい。また、ｐＨ値調整方式は、非フレキシブルパネル（一般的なパネル）用製造装置のウェットエッチング装置により実施できるので、本実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法にかかるコストをより一層に低減させる。
【００４４】
例えば、物理的駆動手段としては、温度変化（熱駆動）または電気駆動などが含まれている。例えば、ベース基板、変形材料層およびフレキシブルパネル本体を加熱テーブルに置いていき、またはベース基板、変形材料層およびフレキシブルパネルに電圧を印加する。もちろん、本開示の実施例はこれらに限定されず、変形材料の性質によって他の物理的駆動手段を選択してもよい。
【００４５】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルの製造方法において、該製造方法は、フレキシブルパネル本体を形成する前に、変形材料層の初期形状、例えば、平坦な形状を固定するステップと、ベース基板を剥離した後に、変形材料層を駆動して初期形状に復帰させるステップと、をさらに含む。
【００４６】
例えば、ベース基板上に変形材料層を形成した後、かつ変形材料層上にフレキシブルパネル本体を形成する前に、変形材料層の初期形状を固定する。例えば、加熱などによって該変形材料層の形状が固定される。そして、図５に示すように、ベース基板を剥離した後、元の固定された初期形状に回復させるように変形材料層を駆動する。なお、上記駆動は、外部刺激（物理的駆動手段または化学的駆動手段）の追加を含んでもよく、変形材料層を形状変化させるとともにベース基板と少なくとも部分的に分離するように、変形材料層を駆動するステップにおける外部刺激（物理的駆動手段または化学的駆動手段）の取り消しとされてもよく、本発明の実施例はこれに限定されない。また、図６に示すように、変形材料層を駆動して元の固定された初期形状に回復させた後、変形材料層を除去することができる。もちろん、変形材料層を保留してもよく、本発明の実施例はこれに限定されない。
【００４７】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルの製造方法において、変形材料層は、形状記憶材料を含む。
【００４８】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルの製造方法において、形状記憶材料は、形状記憶合金、形状記憶セラミックス、または有機形状記憶材料のうちの少なくとも１つを含む。
【００４９】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルの製造方法において、変形材料層は、例えば、鹸化ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコールおよびポリアクリル酸混合物フィルムなどの有機形状記憶材料である。変形材料層として鹸化ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコールおよびポリアクリル酸混合物フィルムが用いられる場合、ｐＨ値の調整によって該変形材料層を駆動して変形させ、かつ該変形材料層の変形量を制御することができ、それによって過度の変形による不良を防止できる。また、ｐＨ値調整方式は、非フレキシブルパネル用製造装置のウェットエッチング装置により実施できるので、本実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法にかかるコストをより一層に低減させる。
【００５０】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルの製造方法において、変形材料層を形状変化させるように変形材料層を駆動する前に、フレキシブルパネル本体を封止するステップをさらに含む。従って、変形材料層を変形駆動する物理的駆動手段または化学的駆動手段によるフレキシブルパネル本体への悪影響を解消できる。
【００５１】
本発明の少なくとも１つの実施例は、フレキシブルパネルの製造方法を提供しており、図７に示すように、変形材料層上にフレキシブルパネル本体を形成するステップは以下のようにステップＳ２０１〜Ｓ２０３を含む。
【００５２】
ステップＳ２０１において、変形材料層上にフレキシブルフィルムを形成する。
例えば、図８に示すように、変形材料層１１０上にフレキシブルフィルム１２４を形成する。
【００５３】
ステップＳ２０２において、フレキシブルフィルム１２４上に薄膜トランジスタ１２２を形成する。
例えば、図８に示すように、フレキシブルフィルム１２４上にゲート電極１２２１を形成し、ゲート電極１２２１とフレキシブルフィルム１２４上にゲート電極１２２１を被覆するゲート絶縁層１２２２を形成し、ゲート絶縁層１２２２上にゲート電極１２２１の位置で活性層１２２３を形成し、活性層１２２３上にエッチングバリア層１２２６を形成し、エッチングバリア層１２２６上にソース電極１２２４とドレイン電極１２２５を形成する。ソース電極１２２４とドレイン電極１２２５は、エッチングバリア層１２２６におけるビアホールを介して活性層１２２３にそれぞれ接続される。図８に示されるゲート電極１２２１、ゲート絶縁層１２２２、活性層１２２３、エッチングバリア層１２２６、ソース電極１２２４およびドレイン電極１２２５は、ＥＳＬ（Ｅｔｃｈｉｎｇ  Ｓｔｏｐ  Ｌａｙｅｒ）型の薄膜トランジスタ１２２を構成可能であるが、本発明の実施例はこれに限定されず、薄膜トランジスタ１２２はトップゲート型またはバックチャネルエッチ型の薄膜トランジスタであってもよい。
【００５４】
ステップＳ２０３において、薄膜トランジスタ１２２上に第１電極１２３を形成する。
例えば、図８に示すように、ソース電極１２２４とドレイン電極１２２５上にパッシベーション層１２２７を形成し、薄膜トランジスタ１２２とパッシベーション層１２２７上に第１電極１２３を形成する。第１電極１２３は、パッシベーション層１２２７におけるビアホールを介してドレイン電極１２２５に電気的に接続される。なお、第１電極１２３が画素電極である場合、該フレキシブルパネル本体はフレキシブル液晶ディスプレイパネルである。
【００５５】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルの製造方法において、変形材料層上に薄膜トランジスタを直接に形成し、薄膜トランジスタ上に第１電極を形成するようにしてもよい。
【００５６】
例えば、図９に示すように、変形材料層１１０上にゲート電極１２２１を形成し、ゲート電極１２２１と変形材料層１１０上にゲート電極１２２１を被覆するゲート絶縁層１２２２を形成し、ゲート絶縁層１２２２上にゲート電極１２２１の位置で活性層１２２３を形成し、活性層１２２３上にエッチングバリア層１２２６を形成し、エッチングバリア層１２２６上にソース電極１２２４とドレイン電極１２２５を形成する。ソース電極１２２４とドレイン電極１２２５は、エッチングバリア層１２２６におけるビアホールを介して活性層１２２３にそれぞれ接続される。ソース電極１２２４とドレイン電極１２２５上にパッシベーション層１２２７を形成し、薄膜トランジスタ１２２とパッシベーション層１２２７上に第１電極１２３を形成する。第１電極１２３は、パッシベーション層１２２７におけるビアホールを介してドレイン電極１２２５に電気的に接続される。図９に示されるゲート電極１２２１、ゲート絶縁層１２２２、活性層１２２３、エッチングバリア層１２２６、ソース電極１２２４およびドレイン電極１２２５は、ＥＳＬ（Ｅｔｃｈｉｎｇ  Ｓｔｏｐ  Ｌａｙｅｒ）型の薄膜トランジスタ１２２を構成可能である。もちろん、本発明の実施例はこれに限定されず、薄膜トランジスタ１２２はトップゲート型またはバックチャネルエッチ型の薄膜トランジスタであってもよい。
【００５７】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルの製造方法において、第１電極上に有機発光層を形成するステップをさらに含む。
【００５８】
例えば、図１０に示すように、第１電極１２３上に有機発光層１２５を形成する。この場合、第１電極１２３は陽極であり、該フレキシブルパネル本体はフレキシブルＯＬＥＤディスプレイパネルである。もちろん、本発明の実施例はこれに限定されず、該フレキシブルパネル本体にタッチ電極構造を形成ことで、フレキシブルタッチパネルを形成してもよい。
【００５９】
本発明の少なくとも１つの実施例は、図５に示すように、変形材料層１１０とフレキシブルパネル本体１２０を含むフレキシブルパネルを提供する。フレキシブルパネル本体１２０は変形材料層１１０上に設けられ、例えば、図５に示すように、フレキシブルパネル本体１２０は変形材料層１１０上に直接に設けられ、つまり、フレキシブルパネル本体１２０は変形材料層１１０に接して設けられる。そして、変形材料層１１０は駆動されると変形可能であり、図４に示すように、変形材料層１１０の変形後の形状は少なくとも１つの曲げ部を含む。
【００６０】
本実施例に係るフレキシブルパネルにおいて、平坦なベース基板上に上記フレキシブルパネルを形成し、変形材料層がベース基板とフレキシブルパネル本体との間に設けられ、そして駆動されると変形材料層を変形させ、少なくとも１つの曲げ部を生じさせる。該少なくとも１つの曲げ部は、ベース基板に接する部分と、ベース基板から離れる部分と、を有する。このように、フレキシブルパネル本体および変形材料層とベース基板との結合力を大幅に低減させ、それによってベース基板の剥離を容易にし、フレキシブルパネルが得られる。また、電気駆動または熱駆動などによって変形材料層を変形させることで、本実施例に係るフレキシブルパネルを利用した電子機器に対しより多くの機能およびインタラクションデザインを提供する。
【００６１】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルにおいて、図５に示すように、フレキシブルパネル本体１２０の全面は、変形材料層１１０上に設けられる。
【００６２】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルにおいて、変形材料層は、駆動されると、例えば平坦な形状のような初期形状に復帰可能である。具体的に、上記実施例の関連説明を参照すればよいので、本実施例には詳細な説明を省略する。
【００６３】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルにおいて、変形材料層は、形状記憶材料を含む。
【００６４】
例えば、形状記憶材料は、形状記憶合金、形状記憶セラミックス、または有機形状記憶材料であってもよい。
【００６５】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルにおいて、変形材料層は、例えば、鹸化ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコールおよびポリアクリル酸混合物フィルムなどの有機形状記憶材料である。変形材料層として鹸化ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコールおよびポリアクリル酸混合物フィルムが用いられる場合、ｐＨ値の調整によって該変形材料層を駆動して変形させ、かつ該変形材料層の変形量を制御することができ、それによって過度の変形による不良を防止できる。また、ｐＨ値調整方式は、非フレキシブルパネル用製造装置のウェットエッチング装置により実施できるので、本実施例に係るフレキシブルパネルの製造方法にかかるコストをより一層に低減させる。
【００６６】
例えば、本実施例の一例示に係るフレキシブルパネルにおいて、曲げ部の曲率半径は、１メートルより大きい。従って、変形材料層の変形量の過大による不良を防止できる。
【００６７】
例えば、図８に示すように、フレキシブルパネル本体１２０には、フレキシブルフィルム１２４と、フレキシブルフィルム１２４上に設けられたゲート電極１２２１と、ゲート電極１２２１とフレキシブルフィルム１２４上に設けられゲート電極１２２１を被覆するゲート絶縁層１２２２と、ゲート絶縁層１２２２上にゲート電極１２２１の位置で設けられた活性層１２２３と、活性層１２２３上に設けられたエッチングバリア層１２２６と、エッチングバリア層１２２６上に設けられ、エッチングバリア層１２２６におけるビアホールを介して活性層１２２３にそれぞれ接続されたソース電極１２２４およびドレイン電極１２２５と、ソース電極１２２４とドレイン電極１２２５上に設けられたパッシベーション層１２２７と、薄膜トランジスタ１２２とパッシベーション層１２２７上に設けられパッシベーション層１２２７におけるビアホールを介してドレイン電極１２２５に電気的に接続された第１電極１２３と、が含まれている。図８に示されるゲート電極１２２１、ゲート絶縁層１２２２、活性層１２２３、エッチングバリア層１２２６、ソース電極１２２４およびドレイン電極１２２５は、ＥＳＬ（Ｅｔｃｈｉｎｇ  Ｓｔｏｐ  Ｌａｙｅｒ）型の薄膜トランジスタ１２２を構成可能であるが、本発明の実施例はこれに限定されず、薄膜トランジスタ１２２はトップゲート型またはバックチャネルエッチ型の薄膜トランジスタであってもよい。
【００６８】
例えば、図９に示すように、フレキシブルパネル本体１２０には、変形材料層１１０上に設けられたゲート電極１２２１と、ゲート電極１２２１と変形材料層１１０上に設けられゲート電極１２２１を被覆するゲート絶縁層１２２２と、ゲート絶縁層１２２２上にゲート電極１２２１の位置で設けられた活性層１２２３と、活性層１２２３上に設けられたエッチングバリア層１２２６と、エッチングバリア層１２２６上に設けられ、エッチングバリア層１２２６におけるビアホールを介して活性層１２２３にそれぞれ接続されたソース電極１２２４およびドレイン電極１２２５と、ソース電極１２２４とドレイン電極１２２５上に設けられたパッシベーション層１２２７と、薄膜トランジスタ１２２とパッシベーション層１２２７上に設けられた第１電極１２３と、が含まれている。第１電極１２３は、パッシベーション層１２２７におけるビアホールを介してドレイン電極１２２５に電気的に接続される。
【００６９】
例えば、図１０に示すように、フレキシブルパネル本体１２０は、第１電極１２３上に設けられた有機発光層１２５を含む。この場合、第１電極１２３は陽極であり、該フレキシブルパネルはフレキシブルＯＬＥＤディスプレイパネルである。
【００７０】
本発明の少なくとも１つの実施例に係る表示装置は、上記実施例のいずれかに記載のフレキシブルパネルを含む。上記実施例のいずれかに記載のフレキシブルパネルを有するので、該表示装置は上記フレキシブルパネルの技術的効果に対応した技術的効果を有し、具体的には上記実施例に係る３種類の関連説明を参照すればよく、ここで詳細な説明を省略する。
【００７１】
なお、
（１）本発明の実施例の図面は、本発明の実施例に係る構造のみに関し、他の構造は通常の設計を参照すればよい。
（２）明確にするために、本開示の実施例を説明するための図面において、層またはマイクロ構造の厚さや寸法は拡大または縮小される。層、膜、領域や基板のような素子が他の素子の「上」または「下」に位置すると説明される場合、該素子が他の素子の「上」または「下」に「直接」に位置してもよく、または中間素子が介在してもよいと理解すべきである。
（３）矛盾がない限り、本発明の実施例または実施例における特徴を互いに組み合わせて新しい実施例を得ることができる。
【００７２】
以上、本発明の具体的な実施形態を説明したが、本発明の保護範囲はこれらに限定されるものではなく、本開示に記載の技術的範囲を超えていない限り、当業者により容易に成し遂げることができた変更や置換はすべて本発明の保護範囲に属する。従って、本発明の保護範囲は、添付した特許請求の範囲に定められる。
【符号の説明】
【００７３】
１０１  ベース基板
１１０  変形材料層
１１５  曲げ部
１２０  フレキシブルパネル本体
１２２  薄膜トランジスタ
１２３  第１電極
１２４  フレキシブルフィルム
１２５  有機発光層
１２２１  ゲート電極
１２２２  ゲート絶縁層
１２２３  活性層
１２２４  ソース電極
１２２５  ドレイン電極
１２２６  エッチングバリア層
１２２７  パッシベーション層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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