(57)【要約】  液体を含む担体と、担体中に含まれる研磨粒子と、担体中に含まれる促進剤であって、ヨウ化物（Ｉ−）、臭化物（Ｂｒ−）、フッ化物（Ｆ−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４−）、又はそれらの任意の組合せの群から選択される少なくとも１つの遊離アニオンを含む促進剤と、担体中に飽和濃度で含まれる緩衝液であって、ＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又は任意の組合せから選択される化合物を含む緩衝液とを含む、組成物であって、Ｍが金属元素又は金属化合物を表し；Ｎが非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘが１〜６である、組成物。
2020537701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を含む担体と、
前記担体中に含まれる研磨粒子と、
前記担体中に含まれる促進剤であって、ヨウ化物（Ｉ−）、臭化物（Ｂｒ−）、フッ化物（Ｆ−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４−）、又はそれらの任意の組合せの群から選択される少なくとも１つの遊離アニオンを含む、促進剤と、
前記担体中に飽和濃度で含まれる緩衝液であって、ＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又はそれらの任意の組合せから選択される化合物を含む、緩衝液と
を含む、組成物であって、
Ｍは金属元素又は金属化合物を表し；Ｎは非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘは１〜６であり、前記緩衝液は前記促進剤とは異なる、組成物。
【請求項２】
液体を含む担体と、
前記担体中に含まれる研磨粒子であって、シリカを含む研磨粒子と、
前記担体中に含まれる促進剤であって、少なくとも０．００２Ｍかつ１．０Ｍ以下の範囲内の量で存在する遊離フッ化物イオン（Ｆ１−）を含む促進剤と、
前記担体中に含まれる緩衝液であって、ＭａＮｂＦｘを含む緩衝液と
を含む、組成物であって、
Ｍは金属元素であり、Ｎは非金属元素であり、ａ、ｂ、ｘは１〜６であり、前記緩衝液は１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する、組成物。
【請求項３】
研磨粒子と、
ヨウ化物（Ｉ１−）、臭化物（Ｂｒ１−）、フッ化物（Ｆ１−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ１−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３１−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、又はペルクロラート（ＣｌＯ４１−）の群から選択される少なくとも１つのアニオンを含む促進剤化合物と、
ＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又はそれらの任意の組合せの群から選択される化合物を含む緩衝液と
を含む、組成物であって、
Ｍは金属元素又は金属化合物を表し；Ｎは非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘは１〜６であり、前記緩衝液は前記促進剤とは異なる、組成物。
【請求項４】
前記担体が水を含む、請求項１又は２に記載の組成物。
【請求項５】
前記担体が、前記組成物の総重量に対して少なくとも４５重量％の量で存在する、請求項４に記載の組成物。
【請求項６】
前記研磨粒子がシリカを含む、請求項１又は３に記載の組成物。
【請求項７】
前記促進剤が、ＫＦ、ＮａＦ、ＲｂＦ、ＮｉＦ２、ＺｎＦ２、ＣｏＦ２、又はそれらの任意の組合せから選択される化合物を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項８】
前記緩衝液が、ＫＢＦ４、ＮａＢＦ４、ＮＨ４ＢＦ４、ＫＰＦ６、ＮａＰＦ６、ＣａＦ２、ＭｇＦ２、Ｎａ３ＡｌＦ６、ＦｅＦ３、ＬｉＦ、ＭｎＦ２、ＡｌＦ３、又はそれらの任意の組合せから選択される化合物を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項９】
前記促進剤の遊離アニオンがフッ化物（Ｆ１−）を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項１０】
前記促進剤が少なくとも０．００２Ｍ〜１．０Ｍ以下の濃度で存在する、請求項１に記載の組成物。
【請求項１１】
前記緩衝液が、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌ未満の水への溶解度を有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１２】
前記促進剤が、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌより大きい溶解度を有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１３】
前記促進剤がＫＦを含み、前記緩衝液がＫＢＦ４を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１４】
前記組成物がシリカ、水、ＫＦ、及びＫＢＦ４から本質的になる、請求項１又は２に記載の組成物。
【請求項１５】
前記研磨粒子がシリカを含み、前記促進剤が遊離フッ化物アニオンを含み、前記研磨スラリーがジルコニア研磨試験に従って、少なくとも８．０ミクロン／時の平均材料除去速度（ＭＭＲ）でジルコニア含有材料を研磨するように適合される、請求項３に記載の組成物を含む研磨スラリー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
以下は、組成物、より詳細には、粒子材料、促進剤、及び緩衝液を含む乾燥粉末組成物及び／又はスラリーに関する。
【背景技術】
【０００２】
材料除去作業で使用するための組成物は知られている。そのような研磨組成物は、研磨粒子の集合体が本体又は基板に付着している固定研磨組成物を含んでもよい。あるいは、特定の研磨組成物は、遊離研磨剤を含むことができ、研磨粒子は、本体又は基板に付着していないが、スラリー又は混合物として液体担体内に含有される。材料除去作業の種類に応じて、固定研磨剤又は遊離研磨剤の使用を選択してもよい。
【０００３】
従来の研磨スラリーは、例えば、化学機械的平坦化（ＣＭＰ）における材料（例えば、ガラス、金属など）の研磨に最もよく使用される。典型的なＣＭＰプロセスでは、基板（例えば、ウェーハ）は、移動研磨パッド、例えばプラテンに取り付けられた回転研磨パッドと接触して配置される。典型的には、研磨剤及び化学反応性混合物であるＣＭＰスラリーは、基板のＣＭＰ処理中にパッドに供給される。典型的には、金属ＣＭＰスラリーは、酸化性の水性媒体中に懸濁したシリカ又はアルミナなどの研磨材料を含有する。基板に対するスラリーの相対的な動きは、基板に対するパッドの動きの影響により、平坦化される基板膜と化学的及び機械的に相互作用することにより、平坦化（研磨）プロセスを支援する。基板上の所望の膜が除去されるまでこの方法で研磨が続けられ、通常の目的は基板を効果的に平坦化することである。
【発明の概要】
【０００４】
第１の態様によれば、組成物は、液体を含む担体と、担体中に含有される研磨粒子と、担体中に含有される促進剤であって、ヨウ化物（Ｉ−）、臭化物（Ｂｒ−）、フッ化物（Ｆ−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４−）、又はそれらの任意の組合せの群から選択される少なくとも１つの遊離アニオンを含む促進剤と、ＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又はそれらの任意の組合せから選択される化合物を含む緩衝液と、を含む組成物であって、Ｍは金属元素又は金属化合物を表し；Ｎは非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘは１〜６であり、緩衝液は促進剤とは異なる。
【０００５】
別の態様によれば、組成物は、液体を含む担体と、担体中に含有される研磨粒子であってシリカを含む研磨粒子と、担体中に含有される促進剤であって、０．００２Ｍ〜１．０Ｍの濃度で存在するアニオンを含む促進剤と、担体中に含有される緩衝液であって、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する緩衝液と、を含む。
【０００６】
さらに別の態様では、組成物は、液体を含む担体と、担体中に含有される研磨粒子であってシリカを含む研磨粒子と、担体中に含有される促進剤であって、少なくとも０．００２Ｍかつ１．０Ｍ以下の範囲内の量で存在するフッ化物（Ｆ１−）を含む促進剤と、担体中に含有される緩衝液であってＭＡＮＢＦＸを含む緩衝液と、を含む組成物であって、緩衝液は１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する。
【０００７】
別の態様の場合、組成物は、液体を含む担体と、担体中に含有される研磨粒子であってシリカを含む研磨粒子と、担体中に含有される促進剤であって、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って１０ｇ／Ｌより大きい溶解度を有する化合物から形成されたアニオンを含む、促進剤と、担体中に含有される緩衝液であって、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する、緩衝液とを含む。
【０００８】
別の態様の場合、組成物は、シリカを含む研磨粒子と、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って少なくとも１０ｇ／Ｌの溶解度を含む促進剤化合物と、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する緩衝液と、を含む組成物であって、少なくとも１．０２の溶解度比（ＳＡ／ＳＢ）を有し、ＳＡは促進剤の溶解度を表し、ＳＢは緩衝液の溶解度を表す。
【０００９】
別の態様では、組成物は、研磨粒子、ヨウ化物（Ｉ１−）、臭化物（Ｂｒ１−）、フッ化物（Ｆ１−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ１−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３１−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４１−）、又はそれらの組合せの群から選択される少なくとも１つの種を含む促進剤化合物、及びＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又はそれらの任意の組合せから選択される化合物から選択される緩衝液を含み、Ｍは金属元素又は金属化合物を表し；Ｎは非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘは１〜６であり、緩衝液は促進剤とは異なる。
【００１０】
別の態様の場合、組成物は、液体を含む担体と、担体中に含有される研磨粒子と、担体中に含有される促進剤であって、ヨウ化物（Ｉ１−）、臭化物（Ｂｒ１−）、フッ化物（Ｆ１−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ１−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３１−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４１−）、又はそれらの組合せの群から選択される少なくとも１つの遊離アニオンを含む、促進剤と、ジヒドロキシベンゼンジスルホン酸、２−ヒドロキシエチルグリシン、エチレンジアミン四酢酸、デフェロキサミン、ジエチレントリアミン五酢酸、エチドロン酸、二ナトリウム−４，５−ジヒドロキシ−１，３−ベンゼンジスルホナート、ニトリロ三酢酸、又はそれらの任意の組合せの群から選択される少なくとも１つの組成物を含むキレート剤と、を含む。
【００１１】
さらに別の態様では、ジルコニア含有材料を研磨するように構成された研磨スラリーは、液体を含む担体と、担体中に含有される研磨粒子とを含み、スラリーは、ジルコニア研磨試験に従って、少なくとも８．０ミクロン／時の平均材料除去速度及び２０オングストローム以下の表面粗さ（Ｒａ）を有することができる。
【００１２】
添付の図面を参照することにより、本開示をよりよく理解することができ、その多数の特徴及び利点が当業者に明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態による異なるスラリー組成物の材料除去速度を示すグラフを含む図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下は、材料除去作業を実施するために構成された組成物に関する。例えば、組成物又はスラリーは、研磨などの材料除去作業に使用できる。より詳細には、組成物又はスラリーは、無機材料の加工物での材料除去作業に使用され得る。いくつかの好適な無機材料には、セラミック材料が含まれ得る。無機材料は、非晶質、単結晶、多結晶、又はそれらの組合せであり得る。特定の一実施形態によれば、本明細書の実施形態の組成物又はスラリーは、例えば、アルミナ、イットリア、ジルコニア、セリアなどを含む無機酸化物化合物を含むが、これらに限定されない本体を含む装飾セラミック本体の仕上げ及び研磨に好適であり得る。特定の一実施形態では、加工物は、ジルコニア、例えば、過半量のジルコニアを含み得る。金属、顔料、ホウ化物、炭化物、窒化物などを含むがこれらに限定されない他の無機材料が、ジルコニアを含む加工物内に存在し得ることが理解されよう。特定の例では、加工物はジルコニアから本質的になり得る。
【００１５】
一態様によれば、乾燥粉末組成物などの組成物が形成され得る。乾燥粉末組成物は、粉末又は粒子状材料のみで形成できる。材料は、後で液体担体に入れてスラリーを形成し得るが、乾燥粉末組成物は液体担体を含まない。一態様では、乾燥粉末組成物は、研磨粒子、促進剤化合物、及び緩衝液を含むことができる。本明細書で使用する場合、緩衝液は、担体中に飽和濃度で使用され、担体で部分的に解離することができるが、液体では促進剤よりも低い溶解度を有する化合物に関する。緩衝液の存在は、緩衝液ではなく促進剤を使用するスラリー組成物の材料除去速度と比較して、スラリー組成物の材料除去速度をさらに高めることができる。本開示の緩衝液は、スラリー組成物のｐＨに必ずしも影響を与える又は調節するわけではない。
【００１６】
研磨粒子は、酸化物、炭化物、ホウ化物、窒化物、オキシホウ化物、オキシ炭化物、シリカ、シリカートなどの１つ以上の無機化合物を含んでもよい。特定の一実施形態では、研磨粒子は、シリカ又はシリカート（例えば、アルミノシリカート）を含むことができる。特定の一例では、研磨粒子は、過半量のシリカ（例えば、５０％を超えるシリカ）を含むことができる。さらに別の実施形態では、研磨粒子は、シリカから本質的になることができる。シリカは、非晶質又は結晶質（例えば、単結晶又は多結晶）であってもよい。有意量の非晶質相シリカを含むことができる非晶質シリカのいくつかの好適な例は、コロイドシリカ、ヒュームドシリカ、シリカフューム、溶融シリカ、又はそれらの任意の組合せであり得る。結晶質シリカのいくつかの好適な例には、石英、トリディマイト、クリストバライト、又はそれらの任意の組合せが含まれ得る。
【００１７】
特定の例では、研磨粒子は、例えば、アルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、炭化ホウ素、セリア、チタニア、イットリア、希土類酸化物、アルミノシリカート、遷移金属酸化物、又はそれらの任意の組合せを含むが、これらに限定されない１重量％未満の特定の種を含むことができる。特定の一実施形態の場合、研磨粒子は、アルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、炭化ホウ素、セリア、チタニア、イットリア、希土類酸化物、アルミノシリカート、遷移金属酸化物、又はそれらの任意の組合せを含まなくてもよい。
【００１８】
別の実施形態では、研磨粒子は、研磨材料としての使用を促進できる特定の密度を有することができる。例えば、研磨粒子の密度は、少なくとも９０％理論密度、又は少なくとも９５％理論密度、又は少なくとも９０％理論密度、又は少なくとも９９％理論密度であってもよい。
【００１９】
別の非限定的な実施形態では、研磨粒子は、少なくとも２．３ｇ／ｃｍ３、又は少なくとも２．４ｇ／ｃｍ３、又は少なくとも２．５ｇ／ｃｍ３などの密度を有し得る。さらに非限定的な一実施形態では、研磨粒子は、７．０ｇ／ｃｍ３以下、例えば、６．８ｇ／ｃｍ３以下、又は６．５ｇ／ｃｍ３以下、又は６．０ｇ／ｃｍ３以下、又は５．５ｇ／ｃｍ３以下、又は５．０ｇ／ｃｍ３以下、又は４．５ｇ／ｃｍ３以下、又は４．０ｇ／ｃｍ３以下、又は３．０ｇ／ｃｍ３以下、又は２．９ｇ／ｃｍ３以下、又は２．８ｇ／ｃｍ３以下、又は２．７ｇ／ｃｍ３以下の密度を有することができる。研磨粒子の密度が、例えば、少なくとも２．３ｇ／ｃｍ３かつ７．０ｇ／ｃｍ３以下の密度を含む、上記の最小値及び最大値のいずれかを含む範囲内であり得ることが理解されよう。特定の態様では、研磨粒子の密度は、少なくとも２．３ｇ／ｃｍ３かつ４．５ｇ／ｃｍ３以下であり得る。
【００２０】
研磨粒子は、研磨プロセスを含む材料除去作業で使用するための組成物中の研磨粒子の使用を促進し得る特定の粒径分布を有し得る。例えば、研磨粒子は、２０ミクロン以下、例えば、１８ミクロン以下、又は１５ミクロン以下、又は１２ミクロン以下、又は１０ミクロン以下、又は８ミクロン以下、又は６ミクロン以下、又は４ミクロン以下、又は２ミクロン以下、又は１０００ｎｍ以下、例えば、９００ｎｍ以下、又は８００ｎｍ以下、又は７００ｎｍ以下、又は６００ｎｍ以下、又は５００ｎｍ以下、又は４００ｎｍ以下、又は３００ｎｍ以下、又は２００ｎｍ以下、又は１００ｎｍ以下、又は８０ｎｍ以下、又は６０ｎｍ以下、又は４０ｎｍ以下、又は２０ｎｍ以下の平均粒径（Ｄ５０）を有し得る。さらに、非限定的な一実施形態では、研磨粒子は、少なくとも１０ｎｍ、例えば、少なくとも２０ｎｍ、又は少なくとも４０ｎｍ、又は少なくとも６０ｎｍ、又は少なくとも８０ｎｍ、又は少なくとも１００ｎｍ、又は少なくとも２００ｎｍ、又は少なくとも３００ｎｍ、又は少なくとも４００ｎｍ、又は少なくとも５００ｎｍ、又は少なくとも６００ｎｍ、又は少なくとも７００ｎｍ、又は少なくとも８００ｎｍ、又は少なくとも１０００ｎｍ、又は少なくとも２ミクロン、又は少なくとも３ミクロン、又は少なくとも４ミクロン、又は少なくとも６ミクロン、又は少なくとも８ミクロン、又は少なくとも１０ミクロン、又は少なくとも１２ミクロン、又は少なくとも１４ミクロン、又は少なくとも１６ミクロンの平均粒径（Ｄ５０）を有し得る。研磨粒子が、例えば、２０ミクロン以下かつ少なくとも１０ｎｍを含む範囲内を含む、上記の最小値及び最大値のいずれかを含む範囲内の平均粒径（Ｄ５０）を有し得ることが理解されよう。
【００２１】
研磨粒子の粒径分布は、組成物及び／又はスラリーの改善された性能を促進し得るＤ９０−Ｄ１０範囲値によってさらに定義され得る。Ｄ９０は、分布内の９０％の粒径を含む粒径値を表すことができ、分布内の粒子の１０％未満がＤ９０値より大きいサイズを有する。Ｄ１０は、分布内の１０％の粒子のみがＤ１０粒径値より小さい粒径値を表すことができる。Ｄ９０−Ｄ１０範囲値は、Ｄ９０値とＤ１０値との間の粒径分布の幅を示す。一実施形態によれば、Ｄ９０−Ｄ１０値の範囲は、２０ミクロン以下、例えば、１８ミクロン以下、又は１６ミクロン以下、又は１４ミクロン以下、又は１２ミクロン以下、又は１０ミクロン以下、又は８ミクロン以下、又は６ミクロン以下、又は４ミクロン以下、又は２ミクロン以下、又は１ミクロン（１０００ｎｍ）以下、又は９００ｎｍ以下、又は８００ｎｍ以下、又は７００ｎｍ以下、又は６００ｎｍ以下、又は５００ｎｍ以下、又は４００ｎｍ以下、又は３００ｎｍ以下、又は２００ｎｍ以下、又は１００ｎｍ以下、又は８０ｎｍ以下、又は６０ｎｍ以下、又は４０ｎｍ以下、又は２０ｎｍ以下、又は１０ｎｍ以下であり得る。さらに、別の非限定的な実施形態では、Ｄ９０−Ｄ１０範囲値は、少なくとも５ｎｍ、例えば、少なくとも１０ｎｍ、又は少なくとも２０ｎｍ、又は少なくとも４０ｎｍ、又は少なくとも６０ｎｍ、又は少なくとも８０ｎｍ、又は少なくとも１００ｎｍ、又は少なくとも２００ｎｍ、又は少なくとも３００ｎｍ、又は少なくとも４００ｎｍ、又は少なくとも５００ｎｍ、又は少なくとも６００ｎｍ、又は少なくとも７００ｎｍ、又は少なくとも８００ｎｍ、又は少なくとも９００ｎｍ、又は少なくとも１０００ｎｍ、又は少なくとも２ミクロン、又は少なくとも３ミクロン、又は少なくとも４ミクロン、又は少なくとも５ミクロン、又は少なくとも６ミクロン、又は少なくとも８ミクロン、又は少なくとも１０ミクロン、又は少なくとも１２ミクロン、又は少なくとも１４ミクロン、又は少なくとも１６ミクロンであってはならない。Ｄ９０−Ｄ１０範囲値が、例えば、少なくとも５ｎｍ〜２０ミクロン以下の範囲内を含む、上記の最小値及び最大値のいずれかを含む範囲内であり得ることが理解されよう。
【００２２】
一態様では、乾燥粉末組成物は、改善された材料除去作業を促進し得る特定量の研磨粒子を有することができる。例えば、研磨粒子は、乾燥粉末組成物の総重量の少なくとも５０重量％、例えば、少なくとも６０重量％、又は少なくとも７０重量％、又は少なくとも８０重量％、又は少なくとも９０重量％、又は少なくとも９２重量％、又は少なくとも９４重量％、又は少なくとも９５重量％、又は少なくとも９６重量％の量で存在し得る。さらに、非限定的な一実施形態では、研磨粒子は、乾燥粉末組成物の総重量の９９．９重量％以下、例えば、９９重量％以下、又は９８重量％以下、又は９７重量％以下、又は９６重量％以下、又は９５重量％以下、又は９４重量％以下、又は９３重量％以下、又は９２重量％以下、又は９１重量％以下、又は９０重量％以下、又は８５重量％以下の量で存在し得る。研磨粒子が、例えば、少なくとも５０重量％かつ９９．９重量％以下の範囲内を含む、上記の最小パーセンテージ及び最大パーセンテージのいずれかを含む範囲内の量で存在できることが理解されよう。
【００２３】
乾燥粉末組成物は、乾燥粉末形態での化合物を含み得る促進剤化合物を含むことができる。促進剤化合物は、乾燥粉末組成物が液体担体と組み合わされると、担体内で解離するように構成されてもよい。さらに、促進剤化合物は、研磨プロセスで使用される場合、改善された材料除去能力を促進するのに好適な特定の化学的性質を有し得る。特に、促進剤は、担体中でイオン種を形成し得る１つ以上の種を含んでもよく、そのようなイオン種（例えば、アニオン）は、材料除去作業中に加工物との化学的相互作用を促進し、したがって材料除去作業を改善し得る。一実施形態では、促進剤化合物は、ヨウ化物（Ｉ−）、臭化物（Ｂｒ−）、フッ化物（Ｆ−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４−）、又はそれらの任意の組合せの群からの少なくとも１つの種を含むことができる。
【００２４】
さらに別の態様では、特定の理論に縛られることを望むことなく、促進剤は、上記の種のうちの１つのみを含むことができる。より特定の実施形態では、促進剤化合物は、担体中で解離してフッ化物イオン（Ｆ１−）又はフッ化物を含むイオン化合物を形成するように構成することができる。
【００２５】
特定の例では、促進剤化合物は、促進剤化合物が、担体内で完全に解離又は実質的に解離し得る（すなわち、促進剤化合物の少なくとも７０％、又は少なくとも８０％、又は少なくとも９０％が解離する）ように、特に高い溶解度を有する材料を含み得る。例えば、一実施形態では、促進剤化合物は、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌを超える溶解度を有することができる。さらに他の例では、促進剤化合物の溶解度は、より大きくなり得、例えば、少なくとも１０．２ｇ／Ｌ、又は少なくとも１０．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも１１ｇ／Ｌ、又は少なくとも１２ｇ／Ｌ、又は少なくとも１４ｇ／Ｌ、又は少なくとも１６ｇ／Ｌ、又は少なくとも１８ｇ／Ｌ、又は少なくとも２０ｇ／Ｌ、又は少なくとも２５ｇ／Ｌ、又は少なくとも３０ｇ／Ｌ、又は少なくとも４０ｇ／Ｌ、又は少なくとも５０ｇ／Ｌ、又は少なくとも６０ｇ／Ｌ、又は少なくとも７０ｇ／Ｌ、又は少なくとも８０ｇ／Ｌ、又は少なくとも９０ｇ／Ｌ、又は少なくとも１００ｇ／Ｌ、又は少なくとも２００ｇ／Ｌ、又は少なくとも３００ｇ／Ｌ、又は少なくとも４００ｇ／Ｌ、又は少なくとも５００ｇ／Ｌ、又は少なくとも６００ｇ／Ｌ、又は少なくとも７００ｇ／Ｌ、又は少なくとも８００ｇ／Ｌ、又は少なくとも９００ｇ／Ｌ、又は少なくとも１０００ｇ／Ｌであり得る。さらに、非限定的な一実施形態では、促進剤化合物は、１０，０００ｇ／Ｌ以下、例えば、９０００ｇ／Ｌ以下、又は８０００ｇ／Ｌ以下、又は７０００ｇ／Ｌ以下、又は６０００ｇ／Ｌ以下、又は５０００ｇ／Ｌ以下、又は４０００ｇ／Ｌ以下、又は３０００ｇ／Ｌ以下、又は２０００ｇ／Ｌ以下、又は１０００ｇ／Ｌ以下、又は９００ｇ／Ｌ以下、又は８００ｇ／Ｌ以下、又は７００ｇ／Ｌ以下、又は６００ｇ／Ｌ以下、又は５００ｇ／Ｌ以下、又は４００ｇ／Ｌ以下、又は３００ｇ／Ｌ以下、又は２００ｇ／Ｌ以下、又は１００ｇ／Ｌ以下、又は９０ｇ／Ｌ以下、又は８０ｇ／Ｌ以下、又は７０ｇ／Ｌ以下、又は６０ｇ／Ｌ以下、又は５０ｇ／Ｌ以下の溶解度を有することができる。促進剤化合物が、例えば、少なくとも１０ｇ／Ｌ以上かつ１０，０００ｇ／Ｌ以下の範囲内を含む、上記の最小値及び最大値のいずれかを含む範囲内の溶解度を有し得ることが理解されよう。
【００２６】
さらに別の態様では、促進化合物は、第１族元素、第２族元素、第３族元素、第４族元素、第５族元素、第６族元素、第７族元素、第８族元素、第９族元素、第１０族元素、第１１族元素、第１２族元素、第１３族元素、第１４族元素、又はそれらの任意の組合せからの少なくとも１つの種を含み得る。本明細書における元素族への言及は、ｉｕｐａｃ．ｏｒｇ／ｃｍｓ／ｗｐ−ｃｏｎｔｅｎｔ／ｕｐｌｏａｄｓ／２０１５／０７／ＩＵＰＡＣ＿Ｐｅｒｉｏｄｉｃ＿Ｔａｂｌｅ−２８Ｎｏｖ１６．ｐｄｆで入手可能な２０１６年によるＩＵＰＡＣによって元素周期表で提供されるような族への言及であることが理解されよう。
【００２７】
さらにより特定の例では、促進剤化合物のカチオンは、Ｈ＋、Ｌｉ＋、Ｎａ＋、Ｋ＋、Ｃｓ＋、Ｂｅ２＋、Ｍｇ２＋、Ｃａ２＋、Ｓｒ２＋、Ｂａ２＋、ＮＨ４＋、Ａｇ＋、Ｍｎ２＋、Ｆｅ２＋、Ｆｅ３＋、Ｃｏ２＋、Ｃｏ３＋、Ｎｉ２＋、Ｎｉ３＋、Ｃｕ２＋、Ｐｂ２＋、Ｈｇ＋、Ｈｇ２＋、Ａｌ３＋、Ｃｒ２＋、Ｃｒ３＋、Ｃｒ４＋、Ｃｒ６＋、又はそれらの任意の組合せであり得る。
【００２８】
特定の実施形態では、促進剤は、ＫＦ、ＮａＦ、ＲｂＦ、ＮｉＦ２、ＺｎＦ２、ＣｏＦ２、又はそれらの任意の組合せの群から選択される化合物を含むことができる。より特定の態様では、促進剤はＫＦであり得る。
【００２９】
別の実施形態では、乾燥粉末組成物は、改善された材料除去作業を促進し得る特定量の促進剤化合物を有することができる。例えば、促進剤化合物は、乾燥粉末組成物の総重量の少なくとも０．１５重量％、例えば、少なくとも０．２重量％、又は少なくとも０．３重量％、又は少なくとも０．５重量％、又は少なくとも０．８重量％、又は少なくとも１重量％、又は少なくとも２重量％、又は少なくとも３重量％、又は少なくとも５重量％、又は少なくとも７重量％、又は少なくとも１０重量％の量で存在し得る。さらに、非限定的な一実施形態では、促進剤化合物は、乾燥粉末組成物の総重量に対して３０重量％以下、例えば、２８重量％以下、又は２５重量％以下、又は２０重量％以下、又は１８重量％以下、又は１５重量％以下、又は１２重量％以下、又は１０重量％以下、又は８重量％以下、又は６重量％以下、又は５重量％以下、又は４重量％以下、又は３重量％以下、又は２重量％以下、又は１重量％以下、又は０．８重量％以下、又は０．６重量％以下、又は０．５重量％以下、又は０．４重量％以下、又は０．３重量％以下の量で存在し得る。促進剤化合物が、例えば、少なくとも０．１５重量％かつ３０重量％以下の範囲を含む、上記の最小パーセンテージ及び最大パーセンテージのいずれかを含む範囲内の量で存在できることが理解されよう。
【００３０】
本明細書に記載されるように、乾燥粉末組成物は、緩衝液をさらに含み得る。緩衝液は、改善された材料除去作業を促進できる化合物を含み得る。より詳細には、緩衝液は、特定の条件下で解離し得る化合物を含み得る。緩衝液の解離から生じる種は、加工物との化学的相互作用を促進し、材料除去作業を改善し得る。解離を促進できる特定の好適な条件には、担体中の閾値濃度以下への特定の種（例えば、イオン）の濃度の低下、及び／又はエネルギー（例えば、熱、圧力）の組成物への適用を含むことができる。例えば、特定の例では、特定の加速イオン種の含有量が担体から除去されると、緩衝液が解離する場合がある。他の例では、組成物（すなわち、スラリー）の温度が上昇し、かつ／又は組成物に圧力が加えられると、材料除去作業中に緩衝液が解離する場合がある。緩衝液は、加工物との化学的相互作用を促進し、好適な材料除去作業を促進できる組成物中の望ましい種の特定の最小含有量を維持するために使用されてもよい。
【００３１】
実施形態によれば、緩衝液は、ＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又はそれらの任意の組合せの群から選択される化合物を含むことができ、Ｍは金属元素又は金属化合物を表し；Ｎは非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘは１〜６である。特定の例では、Ｍは、第１族元素、第２族元素、遷移金属元素、希土類元素、又はそれらの任意の組合せの群から選択される少なくとも１つの金属元素又は金属化合物を表し得る。より詳細には、Ｍは、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｃｓ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ａｇ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｐｂ、Ｈｇ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｆｅ、又はそれらの任意の組合せの群からの金属元素又は化合物を表し得る。
【００３２】
別の実施形態では、Ｎは、第１２族元素、第１３族元素、第１４族元素、第１５族元素、又はそれらの任意の組合せの群からの少なくとも１つの非金属元素又は非金属化合物を表し得る。特定の実施形態によれば、Ｎは、Ｈ、ＮＨ４＋、Ｈｇ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｂ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｔｌ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｎ、Ｐ、又はそれらの任意の組合せの群からの少なくとも１つの非金属元素又は非金属化合物を表し得る。
【００３３】
特定の一実施形態では、緩衝液は、ＫＢＦ４、ＮａＢＦ４、ＮＨ４ＢＦ４、ＫＰＦ６、ＮａＰＦ６、ＣａＦ２、ＭｇＦ２、Ｎａ３ＡｌＦ６、ＦｅＦ３、ＬｉＦ、ＭｎＦ２、ＡｌＦ３、又はそれらの任意の組合せの群から選択される化合物を含むことができる。より特定の実施形態では、緩衝液は、ＫＢＦ４、ＮａＢＦ４、ＮＨ４ＢＦ４、ＫＰＦ６、ＮａＰＦ６、又はそれらの任意の組合せを含むことができる。より詳細には、特定の例では、緩衝液はＫＢＦ４を含んでもよく、より詳細には、緩衝液はＫＢＦ４から本質的になり得る。
【００３４】
一態様では、乾燥粉末は、促進剤ＫＦとして、及び緩衝液ＫＢＦ４として含むことができる。特定の態様では、乾燥粉末は、シリカ、ＫＦ、及びＫＢＦ４から本質的になり得る。
【００３５】
緩衝液は、緩衝液の解離が制御されるように、担体内で特定の溶解度を有し得る。より詳細には、緩衝液は、促進化合物の溶解度未満であり得る溶解度を有し得る。そのような例では、担体中の緩衝液の溶解度及び解離は、担体中の促進剤の解離に対して制御することができる。一実施形態によれば、緩衝液は、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有することができる。さらに他の実施形態では、緩衝液は、９．５ｇ／Ｌ以下、例えば、９．２ｇ／Ｌ以下、又は９ｇ／Ｌ以下、又は８．５ｇ／Ｌ以下、又は８ｇ／Ｌ以下、又は７．５ｇ／Ｌ以下、又は７ｇ／Ｌ以下、又は６．５ｇ／Ｌ以下、又は６ｇ／Ｌ以下、又は５．５ｇ／Ｌ以下、又は５ｇ／Ｌ以下、又は４．５ｇ／Ｌ以下、又は４ｇ／Ｌ以下、又は３．５ｇ／Ｌ以下、又は３ｇ／Ｌ以下、又は２．５ｇ／Ｌ以下、又は２ｇ／Ｌ以下、又は１．５ｇ／Ｌ以下、又は１ｇ／Ｌ以下、又は０．５ｇ／Ｌ以下、又は０．１ｇ／Ｌ以下、又は０．０５ｇ／Ｌ以下の溶解度を有し得る。さらに非限定的な一実施形態では、緩衝液は、少なくとも０．００１ｇ／Ｌかつ１０．０ｇ／Ｌ以下、例えば、少なくとも０．００５ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．０１ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．０５ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．１ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも１ｇ／Ｌ、又は少なくとも１．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも２ｇ／Ｌ、又は少なくとも２．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも３ｇ／Ｌ、又は少なくとも３．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも４ｇ／Ｌ、又は少なくとも４．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも５ｇ／Ｌ、又は少なくとも５．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも６ｇ／Ｌ、又は少なくとも６．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも７ｇ／Ｌ、又は少なくとも７．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも８ｇ／Ｌ、又は少なくとも８．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも９ｇ／Ｌかつ１０．０ｇ／Ｌ以下の溶解度を有することができる。緩衝液が、例えば、少なくとも０．００１ｇ／Ｌ〜１０ｇ／Ｌ以下の範囲内の溶解度を含む、上記の最小値及び最大値のいずれかを含む範囲内の溶解度を有し得ることが理解されよう。
【００３６】
緩衝液は、緩衝液の成分の制御された解離を促進する材料であり得る。特定の例では、緩衝液の解離が特定の期間にわたって所与の速度で放出できるように、解離は特定の期間にわたって制御され得る。特定の例では、使用中に制御された速度で緩衝液を分離できる。そのような例では、スラリーの使用に関連する１つ以上の環境要因は、緩衝液の制御された徐放能力を促進し得る。さらに、緩衝液は、材料除去作業中に緩衝液の制御された解離を促進し得るコーティングなどの１つ以上の成分を含み得る。
【００３７】
別の実施形態では、乾燥粉末組成物は、改善された材料除去作業を促進し得る特定量の緩衝液を有することができる。例えば、緩衝液は、乾燥粉末組成物の総重量の少なくとも０．１５重量％、例えば、少なくとも０．２重量％、又は少なくとも０．３重量％、又は少なくとも０．５重量％、又は少なくとも０．８重量％、又は少なくとも１重量％、又は少なくとも２重量％、又は少なくとも３重量％、又は少なくとも５重量％、又は少なくとも７重量％、又は少なくとも１０重量％、又は少なくとも１２重量％、又は少なくとも１５重量％、又は少なくとも２０重量％、又は少なくとも２５重量％の量で存在し得る。さらに、非限定的な一実施形態では、緩衝液は、乾燥粉末組成物の総重量の３０重量％以下、例えば、２８重量％以下、又は２５重量％以下、又は２０重量％以下、又は１８重量％以下、又は１５重量％以下、又は１２重量％以下、又は１０重量％以下、又は８重量％以下、又は６重量％以下、又は５重量％以下、又は４重量％以下、又は３重量％以下、又は２重量％以下、又は１重量％以下、又は０．８重量％以下、又は０．６重量％以下、又は０．５重量％以下、又は０．４重量％以下、又は０．３重量％以下の量で存在し得る。緩衝液が、例えば、少なくとも０．１５重量％かつ３０重量％以下の範囲内を含む、上記の最小パーセンテージ及び最大パーセンテージのいずれかを含む範囲内の量で存在できることが理解されよう。
【００３８】
別の態様では、緩衝液は、促進剤化合物中に含有される種と同じ種を含み得る化合物であり得る。より詳細には、緩衝液は、担体中で解離するように構成された種、及び促進剤アニオン種と同じ緩衝液アニオン種を含む化合物であり得、促進剤アニオン種は、担体中の促進剤化合物の解離時に促進剤化合物から形成される。例えば、一実施形態では、促進剤化合物は、担体中の促進剤化合物の解離時に遊離フッ化物アニオンを形成するように構成されるフッ化物含有化合物を含むことができる。そのような例では、緩衝液は、フッ化物含有化合物も含む化合物であり得、特定の条件下で解離して担体中に遊離フッ化物アニオンを形成し得る。
【００３９】
さらに別の実施形態では、緩衝液は、促進剤化合物内に含有される種とは異なる種を含む化合物であり得る。より詳細には、緩衝液は、担体中の緩衝液の解離時にアニオン種を形成するように構成された少なくとも１つの種を含む化合物であり得、そのようなアニオン種は、担体中の促進剤の解離から形成されたアニオン種とは異なり得る。例えば、促進剤は、フッ化物含有塩を含み得、その結果、促進剤が解離すると担体内でフッ化物アニオンが形成され、緩衝液は、緩衝液が液体担体内で解離すると臭化物アニオンを形成するように構成される臭化物含有塩を含み得る。
【００４０】
乾燥粉末組成物が、添加剤の形態で他の化合物を含み得ることが理解されよう。例えば、特定の任意の添加剤には、酸化剤、分散剤、界面活性剤、潤滑剤、又はそれらの任意の組合せが含まれ得る。酸化剤のいくつかの好適な例には、過酸化物（例えば、Ｈ２Ｏ２）、過硫化物（例えば、Ｈ２Ｓ２）、ペルクロラート（例えば、ＫＣｌＯ４）、ペルヨーダート（例えば、ＫＩＯ４）、ペルブロマート（例えば、ＫＢｒＯ４）、ペルマンガナート（例えば、ＫＭｎＯ４）、クロマート（例えば、Ｋ３ＣｒＯ８）、硝酸セリウムアンモニウム（例えば、（ＮＨ４）２Ｃｅ（ＮＯ３）６）、フェロシアン化物（例えば、Ｋ４Ｆｅ（ＣＮ）６）、又はそれらの任意の組合せが含まれ得る。分散剤のいくつかの好適な例には、ヘキサメタリン酸ナトリウム、ポリビニルピロリドン、ポリナフタレンスルホン酸ナトリウム、ポリメタクリル酸ナトリウム、ポリメタクリル酸アンモニウム、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリアクリル酸アンモニウム、リグノスルホン酸ナトリウムが含まれる。界面活性剤のいくつかの好適な例には、オレイン酸、セチルトリメチルアンモニウムブロミド、ドデカンチオール、オレイルアミン、ドデシル硫酸ナトリウム、ヒドロキシルホスホノ酢酸、又はそれらの任意の組合せが含まれ得る。潤滑剤のいくつかの好適な例には、フルオロ界面活性剤、ステアリン酸亜鉛、二酸化マンガン、二硫化モリブデン、アルミノシリカート、有機シリコーンコポリマー、又はそれらの任意の組合せが含まれ得る。
【００４１】
別の実施形態によれば、乾燥粉末組成物は、酸化剤、分散剤、界面活性剤、潤滑剤、又はそれらの粉砕などのいかなる添加剤も含まなくてもよい。特定の一実施形態では、組成物は、研磨粒子、促進剤、及び緩衝液のみを含んでもよい。
【００４２】
乾燥粉末組成物を形成した後、それは顧客に出荷されてもよく、顧客はスラリーの形態で研磨組成物を作るために液体担体を添加してもよい。しかしながら、他の例では、乾燥粉末組成物は、顧客に送られる前に液体担体内に分散させることができる。液体担体のいくつかの好適な例には、極性又は無極性の液体材料が含まれ得る。一実施形態では、担体は水を含むことができ、水から本質的になり得、より詳細には、脱イオン水から本質的になり得る。
【００４３】
組成物は、スラリー組成物の好適な形成を促進するために、特定量の担体を含んでもよい。例えば、担体は、担体、研磨粒子、促進剤、緩衝液、及び任意の添加剤を含む組成物の総重量に対して少なくとも４５重量％の量で存在できる。他の例では、担体の含有量は、より大きくなり得、例えば、組成物の総重量に対して少なくとも５０重量％、例えば、少なくとも５５重量％、又は６０重量％、又は少なくとも６５重量％、又は少なくとも７０重量％、又は少なくとも７５重量％、又は少なくとも８０重量％であり得る。さらに別の非限定的な実施形態では、担体は、組成物の総重量に対して９７重量％以下、例えば、９５重量％以下、又は９０重量％以下、又は８５重量％以下、又は８０重量％以下、又は７５重量％以下、又は７０重量％以下の量で存在し得る。担体の含有量は、上記の最小パーセンテージ及び最大パーセンテージのいずれかを含む範囲内にあり得ることが理解されよう。
【００４４】
組成物は、スラリー組成物の好適な形成を促進するために特定量の研磨粒子を含んでもよい。例えば、研磨粒子は、担体、研磨粒子、促進剤、緩衝液、及び任意の添加剤を含む組成物の総重量に対して少なくとも２重量％の量で存在し得る。他の例では、研磨粒子の含有量は、より大きくなり得、例えば、組成物の総重量に対して少なくとも５重量％、例えば、少なくとも１０重量％、又は１５重量％、又は少なくとも２０重量％、又は少なくとも２５重量％、又は少なくとも３０重量％、又は少なくとも３５重量％であり得る。さらに別の非限定的な実施形態では、研磨粒子は、組成物の総重量に対して８０重量％以下、例えば、６０重量％以下、５０重量％以下、又は４０重量％以下、又は３０重量％以下、又は２５重量％以下、又は２０重量％以下の量で存在し得る。研磨粒子の含有量は、上記の最小パーセンテージ及び最大パーセンテージのいずれかを含む範囲内であり得ることが理解されよう。
【００４５】
担体を乾燥粉末組成物に添加すると、促進剤化合物の少なくとも一部が解離し、少なくとも１つの遊離促進剤カチオン種及び１つの遊離促進剤アニオン種を形成し得る。特定の例では、促進剤化合物から形成される遊離イオン種のみがスラリー組成物中にあり、スラリー組成物が促進剤化合物のいかなる未溶解微粒子も含有しなくてよいように、促進剤化合物全体が解離する場合がある。一実施形態によれば、促進剤は、ヨウ化物（Ｉ１−）、臭化物（Ｂｒ１−）、フッ化物（Ｆ１−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ１−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３１−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、水酸化物（ＯＨ１−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４１−）、又は任意のそれらの組合せの群から選択される少なくとも１つの遊離アニオンを含むことができる。より特定の実施形態では、促進剤アニオンは、フッ化物（Ｆ１−）から本質的になることができる。
【００４６】
促進剤は、材料除去作業中のスラリー組成物の改善された性能を促進し得る特定の濃度で存在し得る。特に、促進剤は、液体担体において特定のモル濃度を有する遊離アニオンであり得る。例えば、促進剤は、少なくとも０．００３モル／リットル（Ｍ）、又は少なくとも０．００４Ｍ、又は少なくとも０．００５Ｍ、又は少なくとも０．００６Ｍ、又は少なくとも０．００７Ｍ、又は少なくとも０．００８Ｍ、又は少なくとも０．００９Ｍ、又は少なくとも０．０１Ｍ、又は少なくとも０．０２Ｍ、又は少なくとも０．０３Ｍ、又は少なくとも０．０４Ｍ、又は少なくとも０．０５Ｍ、又は少なくとも０．０６Ｍ、又は少なくとも０．０７Ｍ、又は少なくとも０．０８Ｍ、又は少なくとも０．０９Ｍ、又は少なくとも０．１Ｍ、又は少なくとも０．２Ｍ、又は少なくとも０．３Ｍ、又は少なくとも０．４Ｍ、又は少なくとも０．５Ｍ、又は少なくとも０．６Ｍ、又は少なくとも０．７Ｍ、又は少なくとも０．８Ｍ、又は少なくとも０．９Ｍの濃度で存在し得る。さらに、非限定的な一実施形態では、促進剤は、１．０Ｍ以下、又は０．９Ｍ以下、又は０．８Ｍ以下、又は０．７Ｍ以下、又は０．６Ｍ以下、又は０．５Ｍ以下、又は０．４Ｍ以下、又は０．３Ｍ以下、又は０．２Ｍ以下、又は０．１Ｍ以下、又は０．０９Ｍ以下、又は０．０８Ｍ以下、又は０．０７Ｍ以下、又は０．０６Ｍ以下、又は０．０５Ｍ以下、又は０．０４Ｍ以下、又は０．０３Ｍ以下、又は０．０２Ｍ以下、又は０．０１Ｍ以下、又は０．００９Ｍ以下、又は０．００８Ｍ以下、又は０．００７Ｍ以下、又は０．００６Ｍ以下、又は０．００５Ｍ以下、又は０．００４Ｍ以下、又は０．００３Ｍ以下の濃度で存在し得る。促進剤が、例えば、少なくとも０．００２Ｍ〜１．０Ｍ以下の範囲内を含む、上記の最小値及び最大値のいずれかを含む範囲内の濃度で存在できることが理解されよう。
【００４７】
促進剤種（すなわち、アニオン種）は、本明細書に記載の特定の溶解度を有する促進剤化合物から形成することができる。したがって、促進剤は、本明細書の実施形態に記載されているように、乾燥粉末促進剤化合物の溶解度を有する化合物から形成することができる。
【００４８】
本明細書に記載されているように、促進剤化合物は、液体担体中で解離し、液体担体内でカチオン種とアニオン種とに分離することができる。したがって、液体担体を含むスラリー組成物は、第１族元素、第２族元素、第３族元素、第４族元素、第５族元素、第６族元素、第７族元素、第８族元素、第９族元素、第１０族元素、第１１族元素、第１２族元素、第１３族元素、第１４族元素、又はそれらの任意の組合せからなる群から選択される少なくとも１つのカチオン種（すなわち、元素若しくは化合物）を含むことができる。より特定の例では、スラリー組成物は、Ｈ＋、Ｌｉ＋、Ｎａ＋、Ｋ＋、Ｃｓ＋、Ｂｅ２＋、Ｍｇ２＋、Ｃａ２＋、Ｓｒ２＋、Ｂａ２＋、ＮＨ４＋、Ａｇ＋、Ｍｎ２＋、Ｆｅ２＋、Ｆｅ３＋、Ｃｏ２＋、Ｃｏ３＋、Ｎｉ２＋、Ｎｉ３＋、Ｃｕ２＋、Ｐｂ２＋、Ｈｇ＋、Ｈｇ２＋、Ａｌ３＋、Ｃｒ２＋、Ｃｒ３＋、Ｃｒ４＋、Ｃｒ６＋、又はそれらの任意の組合せの群から選択された担体内にカチオン種を含んでもよい。
【００４９】
カチオン種は、スラリー組成物内に特定の濃度で存在し得る。例えば、カチオン種は、少なくとも０．００３Ｍ、又は少なくとも０．００４Ｍ、又は少なくとも０．００５Ｍ、又は少なくとも０．００６Ｍ、又は少なくとも０．００７Ｍ、又は少なくとも０．００８Ｍ、又は少なくとも０．００９Ｍ、又は少なくとも０．０１Ｍ、又は少なくとも０．０２Ｍ、又は少なくとも０．０３Ｍ、又は少なくとも０．０４Ｍ、又は少なくとも０．０５Ｍ、又は少なくとも０．０６Ｍ、又は少なくとも０．０７Ｍ、又は少なくとも０．０８Ｍ、又は少なくとも０．０９Ｍ、又は少なくとも０．１Ｍ、又は少なくとも０．２Ｍ、又は少なくとも０．３Ｍ、又は少なくとも０．４Ｍ、又は少なくとも０．５Ｍ、又は少なくとも０．６Ｍ、又は少なくとも０．７Ｍ、又は少なくとも０．８Ｍ、又は少なくとも０．９Ｍの濃度で存在し得る。さらに、非限定的な一実施形態では、カチオン種は、１．０Ｍ以下、又は０．９Ｍ以下、又は０．８Ｍ以下、又は０．７Ｍ以下、又は０．６Ｍ以下、又は０．５Ｍ以下、又は０．４Ｍ以下、又は０．３Ｍ以下、又は０．２Ｍ以下、又は０．１Ｍ以下、又は０．０９Ｍ以下、又は０．０８Ｍ以下、又は０．０７Ｍ以下、又は０．０６Ｍ以下、又は０．０５Ｍ以下、又は０．０４Ｍ以下、又は０．０３Ｍ以下、又は０．０２Ｍ以下、又は０．０１Ｍ以下、又は０．００９Ｍ以下、又は０．００８Ｍ以下、又は０．００７Ｍ以下、又は０．００６Ｍ以下、又は０．００５Ｍ以下、又は０．００４Ｍ以下、又は０．００３Ｍ以下の濃度で存在し得る。カチオン種が、例えば、少なくとも０．００２Ｍ〜１．０Ｍ以下の範囲内を含む、上記の最小値及び最小値のいずれかを含む範囲内の濃度で存在できることが理解されよう。
【００５０】
緩衝液が液体担体に組み込まれると、緩衝液の少なくとも一部が解離する場合がある。しかしながら、有意量の緩衝液は、化合物として維持される場合があり、液体担体内で解離しない場合がある。
【００５１】
特に、緩衝液は、特定の条件が達成又は遭遇した後に解離するように構成できる。特定の例では、緩衝液は、液体担体内で促進剤種などの特定の最小濃度のアニオン種を維持して、材料除去作業中に加工物との化学的相互作用を促進するように構成できる。一実施形態によれば、スラリーは、スラリー組成物の総含有量に対して少なくとも０．０１重量％の緩衝液、例えば、少なくとも０．０５重量％、又は少なくとも０．０８重量％、又は少なくとも０．１重量％、又は少なくとも０．１５重量％、又は少なくとも０．２重量％、又は少なくとも０．２５重量％、又は少なくとも０．３重量％、又は少なくとも０．３５重量％、又は少なくとも０．４重量％、又は少なくとも０．４５重量％、又は少なくとも０．５重量％、又は少なくとも０．５５重量％、又は少なくとも０．６重量％、又は少なくとも０．６５重量％、又は少なくとも０．７重量％、又は少なくとも０．７５重量％、又は少なくとも０．８重量％、又は少なくとも０．８５重量％、又は少なくとも０．９重量％、又は少なくとも１重量％、又は少なくとも１．５重量％、又は少なくとも２重量％、又は少なくとも２．５重量％、又は少なくとも３重量％、又は少なくとも３．５重量％、又は少なくとも４重量％、又は少なくとも４．５重量％、又は少なくとも５重量％、又は少なくとも５．５重量％、又は少なくとも６重量％、又は少なくとも６．５重量％、又は少なくとも７重量％、又は少なくとも８重量％、又は少なくとも８．５重量％、又は少なくとも９重量％を含むことができる。さらに、非限定的な一実施形態では、スラリー組成物中の緩衝液の量は、スラリー組成物の総重量に対して１０重量％以下、例えば、９重量％以下、又は８重量％以下、又は７重量％以下、又は６重量％以下、又は５重量％以下、又は４重量％以下、又は３重量％以下、又は２重量％以下、又は１重量％以下、又は０．９重量％以下、又は０．８重量％以下、又は０．６重量％以下、又は０．４重量％以下、又は０．２重量％以下、又は０．１重量％以下であり得る。緩衝液の含有量が、例えば、少なくとも０．０１重量％〜１０重量％以下の範囲内を含む、上記の最小パーセンテージ及び最大パーセンテージのいずれかを含む範囲内であり得ることが理解されよう。
【００５２】
さらに別の実施形態では、担体及び乾燥粉末組成物を含むスラリー組成物は、改善された材料除去作業を促進することができる特定のｐＨを有し得る。例えば、スラリー組成物は、少なくとも８、例えば、少なくとも９、又は少なくとも１０、又は少なくとも１１のｐＨを有し得る。さらに他の実施形態では、スラリーのｐＨは、１２以下、例えば、１１以下、又は１０以下、又は９以下であり得る。スラリー組成物のｐＨが、例えば、少なくとも８かつ１２以下の範囲内のｐＨを含む、上記の最小値及び最大値のいずれかを含む範囲内であり得ることが理解されよう。
【００５３】
一実施形態によれば、スラリー組成物は、酸化剤、分散剤、界面活性剤、潤滑剤、又はそれらの任意の組合せを含むがこれらに限定されない、本明細書に記載の任意の添加剤のいずれか１つを含み得る。さらに、別の非限定的な実施形態では、組成物は、少なくとも酸化剤、分散剤、界面活性剤、潤滑剤、又はそれらの任意の組合せを含むいかなる任意の添加剤も含まなくてもよい。スラリー組成物は、液体担体、研磨粒子、促進剤、及び緩衝液のみを含み得る。特定の実施形態では、スラリーは、研磨シリカ粒子、水、ＫＦ、及びＫＢＦ４から本質的になり得る。
【００５４】
別の実施形態によれば、スラリー組成物は、本明細書に記載されるジルコニア研磨試験に従って少なくとも８．０μｍ／時の平均材料除去速度を有するように構成され得る。別の実施形態では、スラリー組成物の平均材料除去速度は、少なくとも８．３μｍ／時、例えば、少なくとも８．５μｍ／時、又は少なくとも８．７μｍ／時、又は少なくとも９μｍ／時、又は少なくとも９．３μｍ／時、又は少なくとも９．５μｍ／時、又は少なくとも９．７μｍ／時、又は少なくとも１０μｍ／時であり得る。さらに、別の実施形態では、スラリー組成物の平均材料除去速度は、ジルコニア研磨試験に従って３０μｍ／時以下、例えば、２０μｍ／時以下、又は１５μｍ／時以下、又は１２μｍ／時以下であり得る。スラリー組成物が、例えば、少なくとも８．０μｍ／時で３０μｍ／時以下、又は少なくとも８．５μｍ／時〜１５μｍ／時以下の平均材料除去速度を含む、上記の最小値及び最大値のいずれかを含む範囲内の平均材料除去速度を有し得ることが理解されよう。
【００５５】
さらに別の実施形態では、スラリー組成物は、ジルコニア研磨試験に従って特定の表面粗さ（Ｒａ）係数を有するとして特徴付けられ得る。例えば、スラリー組成物は、２０Å未満、例えば、１９Å以下、又は１８Å以下、又は１７Å以下、又は１６Å以下、又は１５Å以下、又は１２Å以下、又は１０Å以下、又は８Å以下、又は６Å以下、又は４Å以下、又は２Å以下の表面粗さ係数を有することができる。さらに、非限定的な一実施形態では、スラリー組成物は、ジルコニア研磨試験に従って、少なくとも０．５Å、例えば、少なくとも０．８Å、又は少なくとも１Å、又は少なくとも２Å、又は少なくとも３Å、又は少なくとも５Å、又は少なくとも８Å、又は少なくとも１０Å、又は少なくとも１２Å、又は少なくとも１５Åの表面粗さ係数を有することができる。表面仕上げが、例えば、２０Å以上かつ少なくとも０．５Åを含む、上記の最小値及び最大値のいずれかを含む範囲内であり得ることが理解されよう。
【００５６】
多くの異なる態様及び実施形態が可能である。それらの態様及び実施形態のいくつかは、本明細書に記載されている。本明細書を読んだ後、当業者は、それらの態様及び実施形態が例示にすぎず、本発明の範囲を限定しないことを理解するであろう。実施形態は、以下に列挙されるような実施形態のうちのいずれか１つ以上に従い得る。
【００５７】
＜実施形態＞
実施形態１．組成物であって、
液体を含む担体；
担体中に含有される研磨粒子；
担体中に含有される促進剤であって、ヨウ化物（Ｉ−）、臭化物（Ｂｒ−）、フッ化物（Ｆ−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４−）、又はそれらの任意の組合せの群から選択される少なくとも１つの遊離アニオンを含む、促進剤；及び
担体中に飽和濃度で含有される緩衝液であって、ＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又はそれらの任意の組合せから選択される化合物を含む、緩衝液を含み、Ｍが金属元素又は金属化合物を表し；Ｎが非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘが１〜６であり、緩衝液が促進剤とは異なる、組成物。
【００５８】
実施形態２．組成物であって、
液体を含む担体；
担体中に含有される研磨粒子；
担体中に含有される促進剤であって、０．００２Ｍ〜１．０Ｍの濃度で存在する遊離アニオンを含む、促進剤；及び
担体中に含有される緩衝液であって、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する、緩衝液を含む、組成物。
【００５９】
実施形態３．組成物であって、
液体を含む担体；
シリカを含む、担体中に含有される研磨粒子；
担体中に含有される促進剤であって、少なくとも０．００２Ｍかつ１．０Ｍ以下の範囲内の量で存在する遊離フッ化物イオン（Ｆ１−）を含む、促進剤；
ＭａＮｂＦｘを含む、担体中に含有される緩衝液を含み、Ｍが金属元素であり、Ｎが非金属元素であり、ａ、ｂ、ｘが１〜６であり、緩衝液が１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する、組成物。
【００６０】
実施形態４．組成物であって、
液体を含む担体；
シリカを含む、担体中に含有される研磨粒子；
担体中に含有される促進剤であって、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌより大きい溶解度を有する化合物から形成されたアニオンを含む、促進剤；
担体中に含有される緩衝液であって、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する、緩衝液を含む、組成物。
【００６１】
実施形態５．担体が水を含み、担体が水から本質的になり、担体が脱イオン水から本質的になる、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００６２】
実施形態６．担体が組成物の総重量に対して少なくとも４５重量％、又は少なくとも５０重量％、又は少なくとも５５重量％、又は少なくとも６０重量％、又は少なくとも６５重量％、又は少なくとも７０重量％、又は少なくとも７５重量％、又は少なくとも８０重量％の量で存在する、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００６３】
実施形態７．担体が、組成物の総重量に対して９７重量％以下、又は９５重量％以下、又は９０重量％以下、又は８５重量％以下、又は８０重量％以下、又は７５重量％以下、又は７０重量％以下の量で存在する、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００６４】
実施形態８．研磨粒子が２０ミクロン以下かつ少なくとも１０ｎｍの平均粒径（Ｄ５０）を含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００６５】
実施形態９．研磨粒子が、少なくとも５ｎｍ〜２０ミクロン以下のＤ９０−Ｄ１０範囲値を含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００６６】
実施形態１０．研磨粒子が、溶融シリカ、コロイドシリカ、石英、ヒュームドシリカ、シリカフューム、又はそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００６７】
実施形態１１．研磨粒子が過半量のシリカを含み、研磨粒子がシリカから本質的になる、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００６８】
実施形態１２．研磨粒子が１重量％未満のアルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、炭化ホウ素、セリア、チタニア、イットリア、希土類元素、アルミノシリカート、遷移金属元素、酸化鉄、又はそれらの任意の組合せを含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００６９】
実施形態１３．研磨粒子が、少なくとも９０％の理論密度、又は少なくとも９５％の理論密度、又は少なくとも９８％の理論密度、又は少なくとも９９％の理論密度を含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００７０】
実施形態１４．研磨粒子が少なくとも２．３ｇ／ｃｍ３、又は少なくとも２．４ｇ／ｃｍ３、又は少なくとも２．５ｇ／ｃｍ３の密度を含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００７１】
実施形態１５．研磨粒子が４．５ｇ／ｃｍ３以下、又は４．０ｇ／ｃｍ３以下、又は３．５ｇ／ｃｍ３以下、又は３ｇ／ｃｍ３以下、又は２．９ｇ／ｃｍ３以下、又は２．８ｇ／ｃｍ３以下、又は２．７ｇ／ｃｍ３以下の密度を含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００７２】
実施形態１６．促進剤が、液体中で遊離アニオンを形成できる少なくとも１つの化合物を含み、遊離アニオンがヨウ化物（Ｉ１−）、臭化物（Ｂｒ１−）、フッ化物（Ｆ１−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ１−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３１−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４１−）、又はそれらの任意の組合せの群から選択される、実施形態２及び４のいずれか１つの組成物。
【００７３】
実施形態１７．促進剤がヨウ化物（Ｉ１−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００７４】
実施形態１８．促進剤が臭化物（Ｂｒ１−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００７５】
実施形態１９．促進剤がフッ化物（Ｆ１−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００７６】
実施形態２０．促進剤がサルファート（ＳＯ４２−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００７７】
実施形態２１．促進剤が硫化物（Ｓ２−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００７８】
実施形態２２．促進剤がサルファイト（ＳＯ３２−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００７９】
実施形態２３．促進剤が塩化物（Ｃｌ１−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００８０】
実施形態２４．促進剤がシリカート（ＳｉＯ４４−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００８１】
実施形態２５．促進剤がホスファート（ＰＯ４３−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００８２】
実施形態２６．促進剤がニトラート（ＮＯ３１−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００８３】
実施形態２７．促進剤がカーボナート（ＣＯ３２−）を含む、実施形態１及び１６のいずれか１つの組成物。
【００８４】
実施形態２８．促進剤が少なくとも０．００２Ｍ〜１．０Ｍ以下の濃度で存在する、実施形態１及び４のいずれか１つの組成物。
【００８５】
実施形態２９．促進剤が、少なくとも０．００３Ｍ、又は少なくとも０．００４Ｍ、又は少なくとも０．００５Ｍ、又は少なくとも０．００６Ｍ、又は少なくとも０．００７Ｍ、又は少なくとも０．００８Ｍ、又は少なくとも０．００９Ｍ、又は少なくとも０．０１Ｍ、又は少なくとも０．０２Ｍ、又は少なくとも０．０３Ｍ、又は少なくとも０．０４Ｍ、又は少なくとも０．０５Ｍ、又は少なくとも０．０６Ｍ、又は少なくとも０．０７Ｍ、又は少なくとも０．０８Ｍ、又は少なくとも０．０９Ｍ、又は少なくとも０．１Ｍ、又は少なくとも０．２Ｍ、又は少なくとも０．３Ｍ、又は少なくとも０．４Ｍ、又は少なくとも０．５Ｍ、又は少なくとも０．６Ｍ、又は少なくとも０．７Ｍ、又は少なくとも０．８Ｍ、又は少なくとも０．９Ｍの濃度で存在する、実施形態２、３、及び２８のいずれか１つの組成物。
【００８６】
実施形態３０．促進剤が、０．９Ｍ以下、又は０．８Ｍ以下、又は０．７Ｍ以下、又は０．６Ｍ以下、又は０．５Ｍ以下、又は０．４Ｍ以下、又は０．３Ｍ以下、又は０．２Ｍ以下、又は０．１Ｍ以下、又は０．０９Ｍ以下、又は０．０８Ｍ以下、又は０．０７Ｍ以下、又は０．０６Ｍ以下、又は０．０５Ｍ以下、又は０．０４Ｍ以下、又は０．０３Ｍ以下、又は０．０２Ｍ以下、又は０．０１Ｍ以下、又は０．００９Ｍ以下、又は０．００８Ｍ以下、又は０．００７Ｍ以下、又は０．００６Ｍ以下、又は０．００５Ｍ以下、又は０．００４Ｍ以下、又は０．００３Ｍ以下の濃度で存在する、実施形態２、３、及び２８のいずれか１つの組成物。
【００８７】
実施形態３１．促進剤が、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌより大きい、又は少なくとも１０．２ｇ／Ｌ、又は少なくとも１０．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも１１ｇ／Ｌ、又は少なくとも１２ｇ／Ｌ、又は少なくとも１４ｇ／Ｌ、又は少なくとも１６ｇ／Ｌ、又は少なくとも１８ｇ／Ｌ、又は少なくとも２０ｇ／Ｌ、又は少なくとも２５ｇ／Ｌ、又は少なくとも３０ｇ／Ｌ、又は少なくとも４０ｇ／Ｌ、又は少なくとも５０ｇ／Ｌ、又は少なくとも６０ｇ／Ｌ、又は少なくとも７０ｇ／Ｌ、又は少なくとも８０ｇ／Ｌ、又は少なくとも９０ｇ／Ｌ、又は少なくとも１００ｇ／Ｌ、又は少なくとも２００ｇ／Ｌ、又は少なくとも３００ｇ／Ｌ、又は少なくとも４００ｇ／Ｌ、又は少なくとも５００ｇ／Ｌ、又は少なくとも６００ｇ／Ｌ、又は少なくとも７００ｇ／Ｌ、又は少なくとも８００ｇ／Ｌ、又は少なくとも９００ｇ／Ｌ、又は少なくとも１０００ｇ／Ｌの溶解度を有する化合物から形成された遊離アニオンを含む、実施形態１、２、及び３のいずれか１つの組成物。
【００８８】
実施形態３２．促進剤が、１０，０００ｇ／Ｌ以下、又は９０００ｇ／Ｌ以下、又は８０００ｇ／Ｌ以下、又は７０００ｇ／Ｌ以下、又は６０００ｇ／Ｌ以下、又は５０００ｇ／Ｌ以下、又は４０００ｇ／Ｌ以下、又は３０００ｇ／Ｌ以下、又は２０００ｇ／Ｌ以下、又は１０００ｇ／Ｌ以下、又は９００ｇ／Ｌ以下、又は８００ｇ／Ｌ以下、又は７００ｇ／Ｌ以下、又は６００ｇ／Ｌ以下、又は５００ｇ／Ｌ以下、又は４００ｇ／Ｌ以下、又は３００ｇ／Ｌ以下、又は２００ｇ／Ｌ以下、又は１００ｇ／Ｌ以下、又は９０ｇ／Ｌ以下、又は８０ｇ／Ｌ以下、又は７０ｇ／Ｌ以下、又は６０ｇ／Ｌ以下、又は５０ｇ／Ｌ以下の溶解度を有する化合物から形成された遊離アニオンを含む、実施形態２、３、及び３０のいずれか１つの組成物。
【００８９】
実施形態３３．促進剤が、第１族元素、第２族要素、第３族元素、第４族元素、第５族元素、第６族元素、第７族元素、第８族元素、第９族元素、第１０族元素、第１１族元素、第１２族元素、第１３族元素、第１４族元素、又はそれらの任意の組合せからなる群より選択される少なくとも１つの種を含む元素又は化合物を含む少なくとも１つの遊離カチオンを含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００９０】
実施形態３４．促進剤が担体内に含有される少なくとも１つの遊離カチオンを含み、カチオンがＨ＋、Ｌｉ＋、Ｎａ＋、Ｋ＋、Ｃｓ＋、Ｂｅ２＋、Ｍｇ２＋、Ｃａ２＋、Ｓｒ２＋、Ｂａ２＋、ＮＨ４＋、Ａｇ＋、Ｍｎ２＋、Ｆｅ２＋、Ｆｅ３＋、Ｃｏ２＋、Ｃｏ３＋、Ｎｉ２＋、Ｎｉ３＋、Ｃｕ２＋、Ｐｂ２＋、Ｈｇ＋、Ｈｇ２＋、Ａｌ３＋、Ｃｒ２＋、Ｃｒ３＋、Ｃｒ４＋、Ｃｒ６＋、又はそれらの任意の組合せの群から選択される、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００９１】
実施形態３５．担体内に含有される遊離カチオンが少なくとも０．００２Ｍかつ１．０Ｍ以下の範囲内の濃度で存在する、実施形態３３又は３４の組成物。
【００９２】
実施形態３６．促進剤が、ＫＦ、ＮａＦ、ＲｂＦ、ＮｉＦ２、ＺｎＦ２、ＣｏＦ２、又はそれらの任意の組合せから選択される化合物を含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【００９３】
実施形態３７．緩衝液が、ＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又はそれらの任意の組合せの群から選択される化合物を含み、Ｍが金属元素又は金属化合物を表し；Ｎが非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘが１〜６であり、緩衝液が促進剤とは異なる、実施形態２及び４のいずれか１つの組成物。
【００９４】
実施形態３８．促進剤及び緩衝液が同じ種類のアニオンを含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれかの組成物。
【００９５】
実施形態３９．促進剤及び緩衝液がフッ化物（Ｆ−）又はアニオンを含むフッ化物を含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれかの組成物。
【００９６】
実施形態４０．Ｍが、第１族元素、第２族元素、遷移金属元素、希土類元素、又はそれらの任意の組合せからなる群から選択される少なくとも１つの金属元素を表す、実施形態１、３、及び３７のいずれか１つの組成物。
【００９７】
実施形態４１．Ｍが、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｃｓ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ａｇ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｐｂ、Ｈｇ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｆｅ、又はそれらの任意の組合せからなる群から選択される少なくとも１つの金属元素又は金属化合物を表す、実施形態１、３、及び３７のいずれか１つの組成物。
【００９８】
実施形態４２．Ｎが、第１３族元素、第１４族元素、第１５族元素、又はそれらの任意の組合せからなる群から選択される少なくとも１つの非金属元素又は化合物を表す、実施形態１、３、及び３７のいずれか１つの組成物。
【００９９】
実施形態４３．ＮがＨ、Ｂ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｎ、Ｐ、又はそれらの任意の組合せの群から選択される少なくとも１つの非金属元素を表す、実施形態１、３、及び３７のいずれか１つの組成物。
【０１００】
実施形態４４．緩衝液がＫＢＦ４、ＮａＢＦ４、ＮＨ４ＢＦ４、ＫＰＦ６、ＮａＰＦ６、ＣａＦ２、ＭｇＦ２、Ｎａ３ＡｌＦ６、ＦｅＦ３、ＬｉＦ、ＭｎＦ２、ＡｌＦ３、又はそれらの任意の組合せから選択される化合物を含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【０１０１】
実施形態４５．緩衝液がＫＢＦ４、ＮａＢＦ４、ＮＨ４ＢＦ４、ＫＰＦ６、ＮａＰＦ６、又はそれらの任意の組合せから選択される化合物を含む、実施形態４４の組成物。
【０１０２】
実施形態４６．緩衝液がＫＢＦ４を含む、実施形態４５の組成物。
【０１０３】
実施形態４７．促進剤がＫＦを含み、緩衝液がＫＢＦ４を含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれかの組成物。
【０１０４】
実施形態４８．シリカ粒子、水、ＫＦ、及びＫＢＦ４から本質的になる、実施形態１、２、３、及び４のいずれかの組成物。
【０１０５】
実施形態４９．緩衝液が、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を含む、実施形態１の組成物。
【０１０６】
実施形態５０．緩衝液が、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、９．８ｇ／Ｌ以下、又は９．５ｇ／Ｌ以下、又は９．２ｇ／Ｌ以下、又は９ｇ／Ｌ以下、又は８．５ｇ／Ｌ以下、又は８ｇ／Ｌ以下、又は７．５ｇ／Ｌ以下、又は７ｇ／Ｌ以下、又は６．５ｇ／Ｌ以下、又は６ｇ／Ｌ以下、又は５．５ｇ／Ｌ以下、又は５ｇ／Ｌ以下、又は４．５ｇ／Ｌ以下、又は４ｇ／Ｌ以下、又は３．５ｇ／Ｌ以下、又は３ｇ／Ｌ以下、又は２．５ｇ／Ｌ以下、又は２ｇ／Ｌ以下、又は１．５ｇ／Ｌ以下、又は１ｇ／Ｌ以下、又は０．５ｇ／Ｌ以下、又は０．１ｇ／Ｌ以下、又は０．０５ｇ／Ｌ以下の溶解度を含む、実施形態２、３、４、及び４９のいずれか１つの組成物。
【０１０７】
実施形態５１．緩衝液が、少なくとも０．００１ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．００５ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．０１ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．０５ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．１ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも１ｇ／Ｌ、又は少なくとも１．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも２ｇ／Ｌ、又は少なくとも２．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも３ｇ／Ｌ、又は少なくとも３．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも４ｇ／Ｌ、又は少なくとも４．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも５ｇ／Ｌ、又は少なくとも５．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも６ｇ／Ｌ、又は少なくとも６．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも７ｇ／Ｌ、又は少なくとも７．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも８ｇ／Ｌ、又は少なくとも８．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも９ｇ／Ｌの溶解度を含む、実施形態２、３、４、及び４９のいずれか１つの組成物。
【０１０８】
実施形態５２．緩衝液が、少なくとも０．０１重量％かつ１０重量％以下の範囲内の量で存在する、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【０１０９】
実施形態５３．緩衝液の溶解度が、促進剤が生成される促進剤化合物の溶解度未満である、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【０１１０】
実施形態５４．少なくとも８、又は少なくとも９、又は少なくとも１０、又は少なくとも１１のｐＨをさらに含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【０１１１】
実施形態５５．１２以下、又は１１以下、又は１０以下、又は９以下のｐＨをさらに含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【０１１２】
実施形態５６．少なくとも８かつ１２以下のｐＨをさらに含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【０１１３】
実施形態５７．酸化剤、分散剤、界面活性剤、潤滑剤、又はそれらの任意の組合せからなる群から選択される少なくとも１つの添加剤をさらに含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【０１１４】
実施形態５８．組成物が、酸化剤、分散剤、界面活性剤、潤滑剤、又はそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含まない、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【０１１５】
実施形態５９．組成物がポリマーを含む有機化合物を含まない、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【０１１６】
実施形態６０．ジルコニア研磨試験に従って、少なくとも８．０ミクロン／時の平均材料除去速度をさらに含む、実施形態１、２、３、及び４のいずれか１つの組成物。
【０１１７】
実施形態６１．２０オングストローム未満の表面粗さ係数をさらに含む、実施形態６０の組成物。
【０１１８】
実施形態６２．組成物であって、
研磨粒子；
ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、少なくとも１０ｇ／Ｌの溶解度を含む促進剤化合物；
ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する緩衝液；及び
少なくとも１．０２の溶解度比（ＳＡ／ＳＢ）を含み、ＳＡが促進剤の溶解度を表し、ＳＢが緩衝液の溶解度を表す、組成物。
【０１１９】
実施形態６３．組成物であって、
研磨粒子；
ヨウ化物（Ｉ１−）、臭化物（Ｂｒ１−）、フッ化物（Ｆ１−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ１−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３１−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、又はペルクロラート（ＣｌＯ４１−）の群から選択される少なくとも１つのアニオンを含む促進剤化合物；及び
ＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又はそれらの任意の組合せの群から選択される化合物を含む緩衝液を含み、Ｍが金属元素又は金属化合物を表し；Ｎが非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘが１〜６であり、緩衝液が促進剤とは異なる、組成物。
【０１２０】
実施形態６４．研磨粒子が、２０ミクロン以下かつ少なくとも１０ｎｍの平均粒径（Ｄ５０）を含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１２１】
実施形態６５．研磨粒子が、少なくとも５ｎｍ〜２０ミクロン以下のＤ９０−Ｄ１０範囲を含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１２２】
実施形態６６．研磨粒子が、溶融シリカ、コロイドシリカ、石英、ヒュームドシリカ、シリカフューム、又はそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１２３】
実施形態６７．研磨粒子が過半量のシリカを含み、研磨粒子がシリカから本質的になる、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１２４】
実施形態６８．研磨粒子が１重量％未満のアルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、炭化ホウ素、セリア、チタニア、イットリア、希土類元素、アルミノシリカート、遷移金属元素、又はそれらの任意の組合せを含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１２５】
実施形態６９．研磨粒子が少なくとも９０％理論密度、又は少なくとも９５％理論密度、又は少なくとも９８％理論密度、又は少なくとも９９％理論密度の密度を含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１２６】
実施形態７０．研磨粒子が少なくとも２．３ｇ／ｃｍ３、又は少なくとも２．４ｇ／ｃｍ３、又は少なくとも２．５ｇ／ｃｍ３の密度を含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１２７】
実施形態７１．研磨粒子が４．５ｇ／ｃｍ３以下、又は４．０ｇ／ｃｍ３以下、又は３．５ｇ／ｃｍ３以下、又は３ｇ／ｃｍ３以下、又は２．９ｇ／ｃｍ３以下、又は２．８ｇ／ｃｍ３以下、又は２．７ｇ／ｃｍ３以下の密度を含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１２８】
実施形態７２．促進剤化合物が、ヨウ化物（Ｉ１−）、臭化物（Ｂｒ１−）、フッ化物（Ｆ１−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ１−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３１−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４１−）、又はそれらの任意の組合せの群から選択される少なくとも１つのアニオンを含む、実施形態６２の組成物。
【０１２９】
実施形態７３．促進剤化合物がヨウ化物（Ｉ１−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１３０】
実施形態７４．促進剤化合物が臭化物（Ｂｒ１−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１３１】
実施形態７５．促進剤化合物がフッ化物（Ｆ１−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１３２】
実施形態７６．促進剤化合物がサルファート（ＳＯ４２−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１３３】
実施形態７７．促進剤化合物がサルファイド（Ｓ２−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１３４】
実施形態７８．促進剤化合物がサルファイト（ＳＯ３２−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１３５】
実施形態７９．促進剤化合物が塩化物（Ｃｌ１−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１３６】
実施形態８０．促進剤化合物がシリカート（ＳｉＯ４４−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１３７】
実施形態８１．促進剤化合物がホスファート（ＰＯ４３−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１３８】
実施形態８２．促進剤化合物がニトラート（ＮＯ３１−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１３９】
実施形態８３．促進剤化合物がカーボナート（ＣＯ３２−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１４０】
実施形態８４．促進剤化合物がペルクロラート（ＣｌＯ４１−）を含む、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１４１】
実施形態８５．促進剤化合物が、組成物の総重量に対して少なくとも０．１５重量％〜１５重量％以下の量で存在する、実施形態６３及び７２のいずれか１つの組成物。
【０１４２】
実施形態８６．促進剤化合物が、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌより大きい、又は少なくとも１０．２ｇ／Ｌ、又は少なくとも１０．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも１１ｇ／Ｌ、又は少なくとも１２ｇ／Ｌ、又は少なくとも１４ｇ／Ｌ、又は少なくとも１６ｇ／Ｌ、又は少なくとも１８ｇ／Ｌ、又は少なくとも２０ｇ／Ｌ、又は少なくとも２５ｇ／Ｌ、又は少なくとも３０ｇ／Ｌ、又は少なくとも４０ｇ／Ｌ、又は少なくとも５０ｇ／Ｌ、又は少なくとも６０ｇ／Ｌ、又は少なくとも７０ｇ／Ｌ、又は少なくとも８０ｇ／Ｌ、又は少なくとも９０ｇ／Ｌ、又は少なくとも１００ｇ／Ｌ、又は少なくとも２００ｇ／Ｌ、又は少なくとも３００ｇ／Ｌ、又は少なくとも４００ｇ／Ｌ、又は少なくとも５００ｇ／Ｌ、又は少なくとも６００ｇ／Ｌ、又は少なくとも７００ｇ／Ｌ、又は少なくとも８００ｇ／Ｌ、又は少なくとも９００ｇ／Ｌ、又は少なくとも１０００ｇ／Ｌの溶解度を含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１４３】
実施形態８７．促進剤化合物が、１０，０００ｇ／Ｌ以下、又は９０００ｇ／Ｌ以下、又は８０００ｇ／Ｌ以下、又は７０００ｇ／Ｌ以下、又は６０００ｇ／Ｌ以下、又は５０００ｇ／Ｌ以下、又は４０００ｇ／Ｌ以下、又は３０００ｇ／Ｌ以下、又は２０００ｇ／Ｌ以下、又は１０００ｇ／Ｌ以下、又は９００ｇ／Ｌ以下、又は８００ｇ／Ｌ以下、又は７００ｇ／Ｌ以下、又は６００ｇ／Ｌ以下、又は５００ｇ／Ｌ以下、又は４００ｇ／Ｌ以下、又は３００ｇ／Ｌ以下、又は２００ｇ／Ｌ以下、又は１００ｇ／Ｌ以下、又は９０ｇ／Ｌ以下、又は８０ｇ／Ｌ以下、又は７０ｇ／Ｌ以下、又は６０ｇ／Ｌ以下、又は５０ｇ／Ｌ以下の溶解度を含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１４４】
実施形態８８．促進化合物が、第１族元素、第２族元素、第３族元素、第４族元素、第５族元素、第６族元素、第７族元素、第８族元素、第９族元素、第１０族元素、第１１族元素、第１２族元素、第１３族元素、第１４族元素、又はそれらの任意の組合せからの少なくとも１つの種を含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１４５】
実施形態８９．促進剤化合物が、Ｈ＋、Ｌｉ＋、Ｎａ＋、Ｋ＋、Ｃｓ＋、Ｂｅ２＋、Ｍｇ２＋、Ｃａ２＋、Ｓｒ２＋、Ｂａ２＋、ＮＨ４＋、Ａｇ＋、Ｍｎ２＋、Ｆｅ２＋、Ｆｅ３＋、Ｃｏ２＋、Ｃｏ３＋、Ｎｉ２＋、Ｎｉ３＋、Ｃｕ２＋、Ｐｂ２＋、Ｈｇ＋、Ｈｇ２＋、Ａｌ３＋、Ｃｒ２＋、Ｃｒ３＋、Ｃｒ４＋、Ｃｒ６＋、又はそれらの任意の組合せから選択されるカチオンを含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１４６】
実施形態９０．促進剤化合物がＫＦ、ＮａＦ、ＲｂＦ、ＮｉＦ２、ＺｎＦ２、ＣｏＦ２、又はそれらの任意の組合せを含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１４７】
実施形態９１．緩衝液が、ＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又はそれらの任意の組合せの群から選択される化合物を含み、Ｍが金属元素又は金属化合物を表し；Ｎが非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘが１〜６であり、緩衝液が促進剤化合物とは異なる、実施形態６２の組成物。
【０１４８】
実施形態９２．Ｍが、第１族元素、第２族元素、遷移金属元素、希土類元素、又はそれらの任意の組合せからなる群から選択される少なくとも１つの金属元素又は化合物を表す、実施形態６３及び９１のいずれか１つの組成物。
【０１４９】
実施形態９３．ＭがＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｃｓ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ａｇ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｐｂ、Ｈｇ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｆｅ、又はそれらの任意の組合せからなる群から選択される少なくとも１つの金属元素を表す、実施形態６３及び９１のいずれか１つの組成物。
【０１５０】
実施形態９４．Ｎが、第１２族元素、第１３族元素、第１４族元素、第１５族元素、又はそれらの任意の組合せから選択される少なくとも１つの非金属元素を表す、実施形態６３及び９１のいずれか１つの組成物。
【０１５１】
実施形態９５．Ｎが、Ｈ、Ｂ、Ｃ、Ｓｉ、Ｎ、Ｐ、又はそれらの任意の組合せから選択される少なくとも１つの非金属元素を表す、実施形態６３及び９１のいずれか１つの組成物。
【０１５２】
実施形態９６．緩衝液がＫＢＦ４、ＮａＢＦ４、ＮＨ４ＢＦ４、ＫＰＦ６、ＮａＰＦ６、ＣａＦ２、ＭｇＦ２、Ｎａ３ＡｌＦ６、ＦｅＦ３、ＬｉＦ、ＭｎＦ２、ＡｌＦ３、又はそれらの任意の組合せを含む、実施形態６３及び９１のいずれか１つの組成物。
【０１５３】
実施形態９７．緩衝液がＫＢＦ４、ＮａＢＦ４、ＮＨ４ＢＦ４、ＫＰＦ６、ＮａＰＦ６の群から選択される化合物を含む、実施形態９６の組成物。
【０１５４】
実施形態９８．緩衝液がＫＢＦ４を含む、実施形態９７の組成物。
【０１５５】
実施形態９９．促進剤がＫＦを含み、緩衝液がＫＢＦ４を含む、実施形態６２〜９８のいずれかの組成物。
【０１５６】
実施形態１００．シリカ、ＫＦ、及びＫＢＦ４から本質的になる、実施形態６２〜９９のいずれかの組成物。
【０１５７】
実施形態１０１．緩衝液が、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を含む、実施形態６３に記載の組成物。
【０１５８】
実施形態１０２．緩衝液が、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、９．８ｇ／Ｌ以下、又は９．５ｇ／Ｌ以下、又は９．２ｇ／Ｌ以下、又は９ｇ／Ｌ以下、又は８．５ｇ／Ｌ以下、又は８ｇ／Ｌ以下、又は７．５ｇ／Ｌ以下、又は７ｇ／Ｌ以下、又は６．５ｇ／Ｌ以下、又は６ｇ／Ｌ以下、又は５．５ｇ／Ｌ以下、又は５ｇ／Ｌ以下、又は４．５ｇ／Ｌ以下、又は４ｇ／Ｌ以下、又は３．５ｇ／Ｌ以下、又は３ｇ／Ｌ以下、又は２．５ｇ／Ｌ以下、又は２ｇ／Ｌ以下、又は１．５ｇ／Ｌ以下、又は１ｇ／Ｌ以下、又は０．５ｇ／Ｌ以下、又は０．１ｇ／Ｌ以下、又は０．０５ｇ／Ｌ以下の溶解度を含む、実施形態６２及び１０１のいずれか１つの組成物。
【０１５９】
実施形態１０３．緩衝液が、少なくとも０．００１ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．００５ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．０１ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．０５ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．１ｇ／Ｌ、又は少なくとも０．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも１ｇ／Ｌ、又は少なくとも１．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも２ｇ／Ｌ、又は少なくとも２．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも３ｇ／Ｌ、又は少なくとも３．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも４ｇ／Ｌ、又は少なくとも４．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも５ｇ／Ｌ、又は少なくとも５．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも６ｇ／Ｌ、又は少なくとも６．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも７ｇ／Ｌ、又は少なくとも７．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも８ｇ／Ｌ、又は少なくとも８．５ｇ／Ｌ、又は少なくとも９ｇ／Ｌの溶解度を含む、実施形態６２及び１０１のいずれか１つの組成物。
【０１６０】
実施形態１０４．緩衝液が、少なくとも０．１５重量％かつ３０重量％以下の範囲内の量で存在する、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１６１】
実施形態１０５．緩衝液が、促進剤化合物中に含有されるアニオン種と同じアニオン種を含む化合物を含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１６２】
実施形態１０６．緩衝液が、促進剤化合物中に含有されるアニオン種とは異なるアニオン種を含む化合物を含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１６３】
実施形態１０７．緩衝液の溶解度が、促進剤が生成される促進剤化合物の溶解度未満である、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１６４】
実施形態１０８．酸化剤、分散剤、界面活性剤、潤滑剤、又はそれらの任意の組合せからなる群より選択される少なくとも１つの添加剤をさらに含む、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１６５】
実施形態１０９．組成物が、酸化剤、分散剤、界面活性剤、潤滑剤、又はそれらの任意の組合せのうちの少なくとも１つを含まない、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１６６】
実施形態１１０．組成物がポリマーを含む有機材料を含まない、実施形態６２及び６３のいずれか１つの組成物。
【０１６７】
実施形態１１１．組成物であって、
液体を含む担体；
担体中に含有される研磨粒子；
担体中に飽和濃度で含有される促進剤であって、ヨウ化物（Ｉ１−）、臭化物（Ｂｒ１−）、フッ化物（Ｆ１−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ１−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３１−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４１−）、又はそれらの任意の組合せからなる群から選択される少なくとも１つの遊離アニオンを含む、促進剤；及び
ジヒドロキシベンゼンジスルホン酸、２−ヒドロキシエチルグリシン、エチレンジアミン四酢酸、デフェロキサミン、ジエチレントリアミン五酢酸、エチドロン酸、二ナトリウム−４，５−ジヒドロキシ−１，３−ベンゼンジスルホナート、ニトリロ三酢酸、又はそれらの任意の組合せからなる群から選択される少なくとも１つの組成物を含むキレート剤を含む、組成物。
【０１６８】
実施形態１１２．ジルコニア含有材料を研磨するように構成された研磨スラリーであって、
液体を含む担体；
担体中に含有される研磨粒子；
少なくとも８．０ミクロン／時の平均材料除去速度及びジルコニア研磨試験に従って、２０オングストローム以下の表面粗さ（Ｒａ）係数を含む、研磨スラリー。
【０１６９】
実施形態１１３．担体中に含有される促進剤をさらに含み、促進剤が、ヨウ化物（Ｉ１−）、臭化物（Ｂｒ１−）、フッ化物（Ｆ１−）、サルファート（ＳＯ４２−）、硫化物（Ｓ２−）、サルファイト（ＳＯ３２−）、塩化物（Ｃｌ１−）、シリカート（ＳｉＯ４４−）、ホスファート（ＰＯ４３−）、ニトラート（ＮＯ３１−）、カーボナート（ＣＯ３２−）、ペルクロラート（ＣｌＯ４１−）、又はそれらの任意の組合せからなる群より選択される少なくとも１つのアニオンを含む、実施形態１１２の研磨スラリー。
【０１７０】
実施形態１１４．担体中に含有される緩衝液をさらに含み、緩衝液が、担体中に含有される緩衝液からなる群から選択される化合物を含み、緩衝液が、ＭａＦｘ、ＮｂＦｘ、ＭａＮｂＦｘ、ＭａＩｘ、ＮｂＩｘ、ＭａＮｂＩｘ、ＭａＢｒｘ、ＮｂＢｒｘ、ＭａＮｂＢｒｘ、Ｍａ（ＳＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳＯ４）ｘ、ＭａＳｘ、ＮｂＳｘ、ＭａＮｂＳｘ、Ｍａ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＳｉＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＳｉＯ４）ｘ、Ｍａ（ＰＯ４）ｘ、Ｎｂ（ＰＯ４）ｘ、ＭａＮｂ（ＰＯ４）ｘ、Ｍａ（ＮＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＮＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＮＯ３）ｘ、Ｍａ（ＣＯ３）ｘ、Ｎｂ（ＣＯ３）ｘ、ＭａＮｂ（ＣＯ３）ｘ、又はそれらの任意の組合せの群から選択される化合物を含み、Ｍが金属元素又は金属化合物を表し；Ｎが非金属元素を表し；ａ、ｂ、及びｘが１〜６であり、緩衝液が促進剤とは異なる、実施形態１１２の研磨スラリー。
【０１７１】
実施形態１１５．担体中に含有される促進剤をさらに含み、促進剤が０．００２Ｍ〜１．０Ｍの濃度で存在するアニオンを含む、実施形態１１２の研磨スラリー。
【０１７２】
実施形態１１６．担体中に含有される緩衝液をさらに含み、緩衝液がＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する、実施形態１１２の研磨スラリー。
【０１７３】
実施形態１１７：担体中に含有される促進剤であって、
少なくとも０．００２Ｍかつ１．０Ｍ以下の範囲内の量で存在するフッ化物（Ｆ１−）を含む、促進剤；及び
ＭＡＮＢＦＸを含む、担体中に含有される緩衝液をさらに含み、緩衝液が１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する、実施形態１１２の研磨スラリー。
【０１７４】
実施形態１１８：担体中に含有される促進剤であって、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌより大きい溶解度を有する化合物から形成されたアニオンを含む、促進剤；及び
担体中に含有される緩衝液であって、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１４８に従って、１０ｇ／Ｌ未満の溶解度を有する、緩衝液をさらに含む、実施形態１１２の研磨スラリー。
【実施例】
【０１７５】
［例１］
第１の研磨スラリー組成物（サンプルＳ１）を形成し、１００ｎｍのＤ５０及び１０９ｎｍのＤ９０−Ｄ１０範囲値を有する２５重量％のコロイドシリカを含んでいた。スラリー組成物は、さらに７５重量％の水を含んでいた。スラリー組成物は、任意の添加剤を含んでいなかった。スラリー組成物のｐＨは、ＫＯＨの添加により約１０．５に調整した。
【０１７６】
第２の研磨スラリー組成物を形成した（サンプルＳ２）。乾燥粉末組成物を最初に形成し、１００ｎｍのＤ５０及び１０９ｎｍのＤ９０−Ｄ１０範囲値を有する９８．０６重量％のコロイドシリカ研磨粒子及び促進剤化合物として１．９４重量％のフッ化カリウム（ＫＦ）を含んでいた。乾燥粉末組成物を形成した後、乾燥粉末組成物を液体担体として脱イオン水と組合せて、スラリー組成物を形成した。スラリー組成物は、２４．８８重量％のシリカ研磨粒子及び０．４９重量％のＫＦを含んでいた。スラリー組成物は、任意の添加剤を含んでいなかった。スラリー組成物のｐＨは、ＫＯＨの添加により約１０．５に調整した。
【０１７７】
第３の研磨組成物を形成した（サンプルＳ３）。乾燥粉末組成物を最初に形成し、サンプルＳ１及びＳ２で使用された９３．９５重量％のコロイドシリカ、及び４．０４重量％のＫＢＦ４を含んでいた。乾燥粉末組成物を形成した後、乾燥粉末組成物を液体担体として脱イオン水と組合せて、スラリー組成物を形成した。スラリー組成物は、２４．６５重量％のシリカ研磨粒子及び１．０６重量％のＫＢＦ４を含み、さらなる添加剤は含んでいなかった。スラリー組成物のｐＨは、ＫＯＨの添加により約１０．５に調整した。
【０１７８】
サンプルＳ１、Ｓ２、及びＳ３で使用したのと同じ種類の９４．１１重量％のコロイドシリカ研磨粒子、促進剤化合物として１．８６重量％のフッ化カリウム（ＫＦ）、及び緩衝液として４．０４重量％のＫＢＦ４を含む乾燥粉末組成物を最初に形成することにより、第４の研磨スラリー組成物を形成した（サンプルＳ４）。乾燥粉末組成物を形成した後、乾燥粉末組成物を液体担体として脱イオン水と組合せて、スラリー組成物を形成した。スラリー組成物は、２４．６１重量％のシリカ、１．０６重量％の緩衝液（ＫＢＦ４）、及び０．４９重量％のＫＦを含んでいた。スラリー組成物のｐＨは、ＫＯＨの添加により約１０．５に調整した。
【０１７９】
サンプルＳ１、Ｓ２、Ｓ３、及びＳ４のスラリー組成物を、ジルコニアウェーハでジルコニア研磨試験を実施することによって比較した（以下の説明を参照）。試験結果を表１及び図１に示す。ＫＦ及びＫＢＦ４を含むスラリー組成物Ｓ４は、サンプルＳ１、Ｓ２、及びＳ３と比較して、著しく改善された材料除去速度（ＭＭＲ）を有していたことが分かる。シリカスラリー（Ｓ１）に添加剤を添加しない場合と比較して、ＫＦのみ（Ｓ２）を添加してもＭＲＲは増加せず、ＫＢＦ４のみ（Ｓ３）を添加しても、ＭＲＲの改善はわずかであった。水及びシリカを含有するスラリー組成物Ｓ１と比較したサンプルＳ４のＭＭＲ増加は、４３％であった。
【表１】
2020537701.tif 000003
【０１８０】
サンプルＳ４は、さらに１１．３Å（サンプルＳ１）及び１１．９Å（サンプルＳ２）と比較して、研磨されたジルコニアウェーハの表面粗さが９．９Åで最も低くなった。表１も参照されたい。
【０１８１】
［例２］
スラリー組成物Ｓ５及びＳ６は、使用されるコロイドシリカ研磨粒子が７４．５ｎｍのＤ５０サイズ及び２５ｎｍのＤ９０−Ｄ１０範囲値を有したことを除いて、例１と同じ手順及び組成物に従って調製した。スラリー組成物Ｓ５は、水のみに加えてシリカを含有し、サンプルＳ６は、水、シリカ、ＫＦ、及びＫＢＦ４を含有した。
【０１８２】
スラリー組成物Ｓ５及びＳ６は、例１のジルコニア研磨試験を実施することにより比較した。結果を表２に示す。シリカ、ＫＦ、及びＫＢＦ４の組合せを含むサンプルＳ６は、サンプルＳ５（シリカのみ）と比較して、著しく改善された材料除去速度を実証したことが分かる。水及びシリカのみを含有するスラリー組成物（Ｓ５）と比較したサンプルＳ６の材料除去速度の増加は、５９％であった。
【０１８３】
［例３］
スラリー組成物Ｓ７及びＳ８は、使用されたコロイドシリカ研磨粒子が、７９．６ｎｍのＤ５０サイズ及び０．０３ｎｍのＤ９０−Ｄ１０範囲値を有したことを除いて、サンプルＳ１〜Ｓ４について例１と同じ手順及び組成物に従って調製した。
【０１８４】
スラリー組成物Ｓ７には水及びシリカのみが含有され、サンプルＳ８には水、シリカ、ＫＦ、及びＫＢＦ４が含有された。
【０１８５】
スラリー組成物Ｓ７及びＳ８は、例１のジルコニア研磨試験を実施することにより比較した。結果を表２に要約する。シリカ、ＫＦ、及びＫＢＦ４の組合せを含むサンプルＳ８は、サンプルＳ７（シリカのみ）と比較して、著しく改善された材料除去速度を実証したことが分かる。水及びシリカのみを含有するスラリー組成物（Ｓ７）と比較したサンプルＳ８の材料除去速度の増加は、３３％であった。
【表２】
2020537701.tif 000004
【０１８６】
研磨スラリーの材料除去速度を測定するためのジルコニア研磨試験。
【０１８７】
ジルコニア研磨試験は、直径２インチの多結晶イットリア安定化ＺｒＯ２ウェーハで実施した。約２５０〜７５０Åの開始平均表面粗さを有する８つのウェーハを、３６インチＳｐｅｅｄｆａｍ  ＧＰＡＷ研磨機のテンプレートに置いた。新しいＥｍｉｎｅｓｓ  Ｓｕｂａ  ６００  ＸＹ溝付き研磨パッドを使用して、ウェーハの研磨を実施した。ウェーハは、６０ＲＰＭのプラテン回転速度で、５．０ｐｓｉの下向きの研磨圧力で処理した。スラリー流量を５５ｍＬ／分に設定し、研磨プロセスを開始する前に５秒間研磨パッドの中心に加えた。研磨機トラフからの排水は、トラフから排水されたスラリーが容器に戻されてスラリーがパッドにポンプで送られるように、スラリーを再循環するように設定した。容器中のスラリーは、軸流タービンインペラーで連続的に撹拌した。スラリーの総体積は２ガロンであった。ウェーハは、合計で１８０分の処理時間で、６０分間隔で３回処理した。研磨プロセス中のパッド温度は、２２〜２５℃に維持した。処理後、ウェーハは、キムワイプ及び水道水を使用して洗浄して、圧縮空気を使用して乾燥した。
【０１８８】
材料除去速度（ＭＲＲ）は、研磨前後のウェーハの質量の変化によって決定する。前後のウェーハの質量の変化を研磨に費やした時間（つまり、６０分）で割って、平均材料除去速度を計算する。ウェーハの質量は、ベンチトップスケールを使用して測定する。ウェーハの表面粗さは、Ｚｙｇｏ  ＮｅｗＶｉｅｗ  ３Ｄ光学表面プロファイラー及びＺｙｇｏ  Ｍｘソフトウェアを使用して決定する。この装置は、表面粗さ測定ごとにウェーハの０．１７ｘ０．１７ｍｍ領域をマッピングする。ウェーハごとに５回の測定をした。８つのウェーハすべての測定値を平均して、スラリー組成物の平均表面粗さ係数（Ｒａ）を計算する。
【０１８９】
上記で開示された主題は、制限ではなく例示と見なされるべきであり、添付の特許請求の範囲は、本発明の真の範囲内に入るすべてのそのような修正、拡張、及び他の実施形態を網羅することを意図している。したがって、法律で許される最大限の範囲で、本発明の範囲は、以下の特許請求の範囲及びそれらの等価物の最も広い許容可能な解釈によって決定されるものであり、前述の詳細な説明によって制限又は制限されないものとする。
【０１９０】
開示の要約は、特許法を遵守するために提供され、特許請求の範囲又は意味を解釈又は制限するために使用されないという理解とともに提出される。さらに、前述の詳細な説明では、開示を合理化する目的で、様々な特徴を一緒にグループ化するか、又は単一の実施形態で説明することがある。この開示は、請求された実施形態が各請求項で明示的に列挙されたよりも多くの特徴を必要とするという意図を反映するものとして解釈されるべきではない。むしろ、添付の特許請求の範囲が反映するように、発明の主題は、開示された実施形態のいずれかのすべての特徴よりも少ない特徴に向けられ得る。したがって、以下の特許請求の範囲は、詳細な説明に組み込まれ、各請求項は、個別に請求される主題を定義するものとして独立している。
【図１】
2020537701.tif 000005
【国際調査報告】
2020537701.tif 000006
2020537701.tif 000007