(57)【要約】  踏み台アセンブリが提供される。踏み台アセンブリは、製造設備においてモジュールの側面に接続する取り付け板と、踏み台とを備える。踏み台は、第１のジョイントにおいて取り付け板に接続するアームを有する踏み台フレームと、踏み台は、第１のジョイントを中心として下降位置と上昇位置との間で回転し、下降位置は、踏み台が製造設備の床に置かれることによって画定され、上昇位置は、踏み台が床から離れて実質的にモジュールの上方に位置することによって画定され、踏み台フレームに接続されている複数の段部板であって、踏み台が下降位置にあるときに、ユーザの踏み面を画定する、複数の段部板を含む。スリーブが、踏み台の段部板のうちの１つの下方に延伸し、製造設備において使用される電子機器を収容する。【選択図】図１
2020527659.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
踏み台アセンブリであって：
製造設備において基板を取り扱い、移送し、格納し及び／又は処理するモジュールの側面に接続する取り付け板と、
踏み台とを備え、前記踏み台は、
第１のジョイントにおいて前記取り付け板に接続するアームを有する踏み台フレームと、前記踏み台は、前記第１のジョイントを中心として下降位置と上昇位置との間で回転し、前記下降位置は、前記踏み台が前記製造設備の床に置かれることによって画定され、前記上昇位置は、前記踏み台が前記床から離れて実質的に前記モジュールの上方に位置することに画定され、前記下降位置から前記上昇位置への前記踏み台の回転は、前記第１のジョイントの回転軸と交差する垂直面を通して前記踏み台の重心を移動させることを含み、
前記踏み台フレームに接続されている複数の段部板であって、前記踏み台が前記下降位置にあるときに、ユーザの踏み面を画定する複数の段部板と
を含む、踏み台アセンブリ。
【請求項２】
請求項１に記載の踏み台アセンブリであって、前記下降位置から前記上昇位置への前記踏み台の回転は、前記踏み台の前記重心の、前記モジュールに対して横方向の場所から前記モジュールの上方位置への移動を含む、踏み台アセンブリ。
【請求項３】
請求項１に記載の踏み台アセンブリであって、前記取り付け板と前記アームとの間に接続されているガススプリングをさらに備え、前記ガススプリングは、前記踏み台を前記下降位置から前記上昇位置に持ち上げるために必要とされる力の量を低減する伸展力を加えるように構成されている、踏み台アセンブリ。
【請求項４】
請求項３に記載の踏み台アセンブリであって、前記伸展力は、前記踏み台が前記上昇位置にあるときに、前記下降位置に向かう前記踏み台の回転に抵抗し、前記伸展力は、前記踏み台が前記下降位置にあるときに、前記上昇位置に向かう前記踏み台の回転に抵抗する、踏み台アセンブリ。
【請求項５】
請求項４に記載の踏み台アセンブリであって、前記踏み台が前記下降位置と前記上昇位置との間で回転するとき、前記ガススプリングは、前記ガススプリング及び前記取り付け板を接続する第２のジョイントを中心に回転し、前記第２のジョイントは、前記アームを前記取り付け板に接続する前記第１のジョイントから水平方向にオフセットされる、踏み台アセンブリ。
【請求項６】
請求項５に記載の踏み台アセンブリであって、前記踏み台が前記下降位置から前記上昇位置に向かって回転するとき、前記ガススプリングの前記伸展力は、前記第２のジョイントを中心に、前記第１のジョイントの第１の側に向けられる方向から、前記第１のジョイントに沿う方向に向けられることを介して、前記第１のジョイントの前記第１の側とは反対側である、前記第１のジョイントの第２の側に向けられる方向まで回転する、踏み台アセンブリ。
【請求項７】
請求項６に記載の踏み台アセンブリであって、前記アームは、主長部、及び、前記主長部に沿って画定されるコネクタを含み、前記コネクタは、前記アームの前記主長部からオフセットされる位置において、前記ガススプリングとともに前記第２のジョイントを形成する、踏み台アセンブリ。
【請求項８】
請求項１に記載の踏み台アセンブリであって、前記取り付け板は、前記モジュールの前記側面に沿って画定される視認窓への視界のアクセスを提供する中央開口部を含む、踏み台アセンブリ。
【請求項９】
請求項１に記載の踏み台アセンブリであって、前記踏み台フレームに接続されているスリーブをさらに備え、前記スリーブは前記踏み台の前記段部板のうちの１つの下方に延伸し、前記スリーブは、前記製造設備において使用される電子機器を収容するように構成されている、踏み台アセンブリ。
【請求項１０】
請求項９に記載の踏み台アセンブリであって、前記スリーブが下方に延伸する前記段部板のうちの１つは、前記電子機器の視認を可能にする実質的に透明な材料から画定される、踏み台アセンブリ。
【請求項１１】
請求項１０に記載の踏み台アセンブリであって、前記電子機器は、前記製造設備におけるプロセスモジュールのための少なくとも１つの電源を含む、踏み台アセンブリ。
【請求項１２】
請求項１に記載の踏み台アセンブリであって、前記モジュールは、基板を格納するバッファモジュールである、踏み台アセンブリ。
【請求項１３】
踏み台アセンブリであって、
製造設備において基板を取り扱い、移送し、格納し及び／又は処理するモジュールの側面に接続する取り付け板と
踏み台であって、
第１のジョイントにおいて前記取り付け板に接続するアームを有する踏み台フレームと、前記踏み台は、前記第１のジョイントを中心として下降位置と上昇位置との間で回転し、前記下降位置は、前記踏み台が前記製造設備の床に置かれることによって画定され、前記上昇位置は、前記踏み台が前記床から離れて実質的に前記モジュールの上方に位置することによって画定され、前記下降位置から前記上昇位置への前記踏み台の回転は、前記第１のジョイントの回転軸と交差する垂直面を通して前記踏み台の重心を移動させることを含み、
前記踏み台フレームに接続されている複数の段部板であって、前記踏み台が前記下降位置にあるときに、ユーザの踏み面を画定する、複数の段部板と
前記踏み台フレームに接続されているスリーブであって、前記踏み台の前記段部板のうちの１つの下方に延伸し、前記製造設備において使用される電子機器を収容するように構成されている、スリーブと
を含む、踏み台と、
前記取り付け板と前記アームとの間に接続されているガススプリングであって、前記踏み台を前記下降位置から前記上昇位置に持ち上げるために必要とされる力の量を低減する伸展力を加えるように構成されている、ガススプリングと
を備える、踏み台アセンブリ。
【請求項１４】
請求項１３に記載の踏み台アセンブリであって、前記伸展力は、前記踏み台が前記上昇位置にあるときに、前記下降位置に向かう前記踏み台の回転に抵抗し、前記伸展力は、前記踏み台が前記下降位置にあるときに、前記上昇位置に向かう前記踏み台の回転に抵抗する、踏み台アセンブリ。
【請求項１５】
請求項１４に記載の踏み台アセンブリであって、前記踏み台が前記下降位置と前記上昇位置との間で回転するとき、前記ガススプリングは、前記ガススプリング及び前記取り付け板を接続する第２のジョイントを中心に回転し、前記第２のジョイントは、前記アームを前記取り付け板に接続する前記第１のジョイントから水平方向にオフセットされる、踏み台アセンブリ。
【請求項１６】
請求項１５に記載の踏み台アセンブリであって、前記踏み台が前記下降位置から前記上昇位置に向かって回転するとき、前記ガススプリングの前記伸展力は、前記第２のジョイントを中心に、前記第１のジョイントの第１の側に向けられる方向から、前記第１のジョイントに沿う方向に向けられることを介して、前記第１のジョイントの前記第１の側とは反対側である、前記第１のジョイントの第２の側に向けられる方向まで回転する、踏み台アセンブリ。
【請求項１７】
請求項１６に記載の踏み台アセンブリであって、前記アームは、主長部、及び、前記主長部に沿って画定されるコネクタを含み、前記コネクタは、前記アームの前記主長部からオフセットされる位置において、前記ガススプリングとともに前記第２のジョイントを形成する、踏み台アセンブリ。
【請求項１８】
請求項１３に記載の踏み台アセンブリであって、前記取り付け板は、前記モジュールの前記側面に沿って画定される視認窓への視界のアクセスを提供する中央開口部を含む、踏み台アセンブリ。
【請求項１９】
請求項１３に記載の踏み台アセンブリであって、前記スリーブが下方に延伸する前記段部板のうちの１つは、前記電子機器の視認を可能にする実質的に透明な材料から画定される、踏み台アセンブリ。
【請求項２０】
請求項１９に記載の踏み台アセンブリであって、前記電子機器は、前記製造設備におけるプロセスモジュールのための少なくとも１つの電源を含む、踏み台アセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の実施態様は、製造設備において使用される踏み台、並びに、関連する装置及びシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造設備におけるスペースはコストがかかるため、製造業者は、ツール及び機器を互いに近接して設置することによって、スペースの利用を最大限に高めようとしてきた。しかし、製造設備における機器へのアクセスは、多くの場合に、作業者が高い位置に到達するために梯子を使用することを必要とする。そのような梯子は、作業者によって製造設備の床の周りで運ばれなければならず、また設備における余裕のない間隔のために、これは面倒である可能性があり、機器との衝突のリスク、及び、潜在的に不所望の微粒子を発生させるリスクも課す。
【発明の概要】
【０００３】
本開示の実施態様は、製造設備において使用される踏み台を提供する。踏み台は、操作者が、製造設備において機器にアクセスし、例えばそのような機器を監視又はサービスすることを可能にするように構成されている。踏み台は、製造設備においてモジュールの側部に取り付けられ、モジュールの上に回転し／跳ね上げられることが可能であり、それによって、梯子をモジュールの上に収納するとともに、モジュールの下のエリアへのアクセスを提供する。踏み台は、ガススプリング補助式であることができ、踏み台を製造設備の床から上昇させることを容易にし、上昇されて踏み台が取り付けられているモジュールの上で反転されるとき、中央を越えるとガススプリングの幾何学的形状によって適所にさらに保持されることができる。安全ピンも使用して踏み台を適所に固定することができる。
【０００４】
幾つかの実施態様では、踏み台アセンブリが提供される。踏み台アセンブリは、製造設備において基板を取り扱い、移送し、格納し及び／又は処理するモジュールの側面に接続する取り付け板と、踏み台とを備え、踏み台は、第１のジョイントにおいて取り付け板に接続するアームを有する踏み台フレームと、踏み台は、第１のジョイントを中心として下降位置と上昇位置との間で回転し、下降位置は、踏み台が製造設備の床に置かれることによって画定され、上昇位置は、踏み台が床から離れて実質的にモジュールの上方に位置することによって画定され、下降位置から上昇位置への踏み台の回転は、第１のジョイントの回転軸と交差する垂直面を通して踏み台の重心を移動させることを含み、踏み台フレームに接続されている複数の段部板であって、踏み台が下降位置にあるときに、ユーザの踏み面を画定する、複数の段部板とを含む、踏み台アセンブリが提供される。
【０００５】
幾つかの実施態様では、下降位置から上昇位置への踏み台の回転は、踏み台の重心の、モジュールに対して横方向の場所からモジュールの上方位置への移動を含む。
【０００６】
幾つかの実施態様では、踏み台アセンブリは、取り付け板とアームとの間に接続されているガススプリングをさらに含み、ガススプリングは、踏み台を下降位置から上昇位置に持ち上げるために必要とされる力の量を低減する伸展力を加えるように構成されている。
【０００７】
幾つかの実施態様では、伸展力は、踏み台が上昇位置にあるときに、下降位置に向かう踏み台の回転に抵抗し、伸展力は、踏み台が下降位置にあるときに、上昇位置に向かう踏み台の回転に抵抗する。
【０００８】
幾つかの実施態様では、踏み台が下降位置と上昇位置との間で回転するとき、ガススプリングは、ガススプリング及び取り付け板を接続する第２のジョイントを中心に回転し、第２のジョイントは、アームを取り付け板に接続する第１のジョイントから水平方向にオフセットされる。
【０００９】
幾つかの実施態様では、踏み台が下降位置から上昇位置に向かって回転するとき、ガススプリングの伸展力は、第２のジョイントを中心に、第１のジョイントの第１の側に向かって方向付けられるところから、第１のジョイントに向けられる方向から、第１のジョイントに沿う方向に向けられることを介して、第１のジョイントの第１の側とは反対側である、第１のジョイントの第２の側に向けられる方向まで回転する。
【００１０】
幾つかの実施態様では、アームは、主長部、及び、主長部に沿って画定されるコネクタを含み、コネクタは、アームの主長部からオフセットされる位置において、ガススプリングとともに第２のジョイントを形成する。
【００１１】
幾つかの実施態様では、取り付け板は、モジュールの側面に沿って画定される視認窓への視界のアクセスを提供する中央開口部を含む。
【００１２】
幾つかの実施態様では、踏み台アセンブリは、踏み台フレームに接続されているスリーブをさらに含み、スリーブは踏み台の段部板のうちの１つの下方に延伸し、スリーブは、製造設備において使用される電子機器を収容するように構成されている。
【００１３】
幾つかの実施態様では、スリーブが下方に延伸する段部板のうちの１つは、電子機器の視認を可能にする実質的に透明な材料から画定される。
【００１４】
幾つかの実施態様では、電子機器は、製造設備におけるプロセスモジュールのための少なくとも１つの電源を含む。
【００１５】
幾つかの実施態様では、モジュールは、基板を格納するバッファモジュールである。
【００１６】
幾つかの実施態様では、踏み台アセンブリが提供される。踏み台アセンブリは、製造設備において基板を取り扱い、移送し、格納し及び／又は処理するモジュールの側面に接続する取り付け板と、踏み台であって、第１のジョイントにおいて取り付け板に接続するアームを有する踏み台フレームと、踏み台は、第１のジョイントを中心として下降位置と上昇位置との間で回転し、下降位置は、踏み台が製造設備の床置かれることによって画定され、上昇位置は、踏み台が床から離れて実質的にモジュールの上方に位置することによって画定され、下降位置から上昇位置への踏み台の回転は、第１のジョイントの回転軸と交差する垂直面を通して踏み台の重心を移動させることを含み踏み台フレーム、踏み台フレームに接続されている複数の段部板であって、踏み台が下降位置にあるときに、ユーザの踏み面を画定する、複数の段部板と、踏み台フレームに接続されているスリーブであって、踏み台の段部板のうちの１つの下方に延伸し、製造設備において使用される電子機器を収容するように構成されている、スリーブとを含む、踏み台と、取り付け板とアームとの間に接続されているガススプリングであって、踏み台を下降位置から上昇位置に持ち上げるために必要とされる力の量を低減する伸展力を加えるように構成されている、ガススプリングを含む、踏み台アセンブリが提供される。
【００１７】
幾つかの実施態様では、伸展力は、踏み台が上昇位置にあるときに、下降位置に向かう踏み台の回転に抵抗し、伸展力は、踏み台が下降位置にあるときに、上昇位置に向かう踏み台の回転に抵抗する。
【００１８】
幾つかの実施態様では、踏み台が下降位置と上昇位置との間で回転するとき、ガススプリングは、ガススプリング及び取り付け板を接続する第２のジョイントを中心に回転し、第２のジョイントは、アームを取り付け板に接続する第１のジョイントから水平方向にオフセットされる。
【００１９】
幾つかの実施態様では、踏み台が下降位置から上昇位置に向かって回転するとき、ガススプリングの伸展力は、第２のジョイントを中心に、第１のジョイントの第１の側に向けられる方向から、第１のジョイントに層方向に向けられることを介して、第１のジョイントの第１の側とは反対側である、第１のジョイントの第２の側に向けられるまで回転する。
【００２０】
幾つかの実施態様では、アームは、主長部、及び、主長部に沿って画定されるコネクタを含み、コネクタは、アームの主長部からオフセットされる位置において、ガススプリングとともに第２のジョイントを形成する。
【００２１】
幾つかの実施態様では、取り付け板は、モジュールの側面に沿って画定される視認窓への視界のアクセスを提供する中央開口部を含む。
【００２２】
幾つかの実施態様では、スリーブが下方に延伸する段部板のうちの１つは、電子機器の視認を可能にする実質的に透明な材料から画定される。
【００２３】
幾つかの実施態様では、電子機器は、製造設備におけるプロセスモジュールのための少なくとも１つの電源を含む。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本開示の実施態様による、製造設備において使用する踏み台アセンブリの斜視図である。
【００２５】
【図２Ａ】本開示の実施態様による、製造設備において基板を処理するクラスタツールシステムを概念的に示す上から見下ろした図である。
【００２６】
【図２Ｂ】本開示の実施態様による、下降位置にある踏み台を示す、図２Ａの実施態様によるクラスタツールシステムの一部の斜視図である。
【００２７】
【図２Ｃ】本開示の実施態様による、上昇位置にある踏み台を示す、図２Ａの実施態様によるクラスタツールシステムの一部の斜視図である。
【００２８】
【図３】本開示の実施態様による、上昇位置にある踏み台１００を示す、踏み台アセンブリの斜視図である。
【００２９】
【図４Ａ】本開示の実施態様による、踏み台アセンブリの上側部分の側面図である。
【００３０】
【図４Ｂ】本開示の実施態様による、上昇位置にある踏み台１００を示す、踏み台アセンブリの側面図である。
【００３１】
【図５】本開示の実施態様による、動作中に踏み台に作用する力及び結果として生じるモーメントを示す、踏み台アセンブリの側面図である。
【００３２】
【図６】本開示の実施態様による、踏み台アセンブリのガススプリングの効果を実証する、踏み台を下降位置から上昇位置に持ち上げるときに操作者によって必要とされる力を示すグラフである。
【００３３】
【図７】本開示の実施態様による、踏み台１００の上側部分の斜視図である。
【００３４】
【図８】本開示の実施態様による、取り付け板１０２の接写図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下の記載において、提示される実施形態の完全な理解を提供するために、多くの特定の詳細を記載する。開示される実施形態は、これらの特定の詳細の幾つか又は全てを伴うことなく実施してもよい。他の場合では、既知のプロセスの動作は、開示される実施形態を不必要に分かりにくくしないように、詳細には記載されていない。開示される実施形態は特定の実施形態とともに記載されているが、開示される実施形態を限定する意図はないことが理解される。
【００３６】
図１は、本開示の実施態様による、製造設備において使用する踏み台アセンブリの斜視図である。踏み台アセンブリは、製造設備における基板の処理において使用されるモジュールの側面に取り付けられる取り付け板１０２、及び、取り付け板に接続されている踏み台１００を含む。踏み台１００は、一対の接続アームを介して取り付け板１０２に接続する踏み台フレーム１０４をさらに含む。幾つかの実施態様では、踏み台フレーム１０４の幅（側部から側部）は、およそ０．３メートル〜１メートルである。幾つかの実施態様では、踏み台フレームの幅はおよそ０．４メートル〜０．７メートルである。幾つかの実施態様では、踏み台フレームの幅はおよそ０．５メートルである。
【００３７】
より具体的には、踏み台フレーム１０４は、左側アーム１０６ａ及び右側アーム１０６ｂを含む。左側アーム１０６ａは、左側ヒンジジョイント１０８ａ（又は回転ジョイント若しくはピンジョイント）において取り付け板１０２に接続されている。右側アーム１０６ｂは、右側ヒンジジョイント１０８ｂにおいて取り付け板１０２に接続されている。ヒンジジョイントが踏み台１００の回転軸を確立すること、及び、踏み台１００がヒンジジョイントを中心に下降位置と上昇位置との間で回転することが留意される。図示の実施態様では、踏み台１００は下降位置において示されている。
【００３８】
取り付け板１０２は、取り付け板を通した視界のアクセスを提供する中央開口部１０３を含む。これは、例えば、モジュールの、取り付け板１０２が接続されている側にある窓の視認を可能にするために有用である。
【００３９】
踏み台フレーム１０４の横部分は、上側及び下側サイドレールを含む。左側の上側サイドレール１１０ａ、及び、右側の上側サイドレール１１０ｂが示されている。左側の下側サイドレール１１２ａ及び右側の下側サイドレール１１２ｂも示されている。踏み台１００の下側の２つの段部／階段は、実質的に上側サイドレール間に画定されている。図示の実施態様では、踏み台１００は４つの段部／階段を含む。下側の２つの段部は、ユーザが立つための踏み面を画定する段部板１１４ａ及び１１４ｂによって画定される。段部板１１４ａ及び１１４ｂは、図示のように、例えば複数のねじ又は他の締結具によって、左側の上側サイドレール１１０ａ及び右側の上側サイドレール１１０ｂに接続されている。幾つかの実施態様では、下側の段部のそれぞれの奥行きは、およそ１０センチメートル〜２５センチメートルである。幾つかの実施態様では、下側の段部のそれぞれの奥行きは、およそ１５センチメートル〜２０センチメートルである。幾つかの実施態様では、下側の段部のそれぞれの奥行きは、およそ１７センチメートル〜１８センチメートルである。
【００４０】
踏み台フレーム１０４は、段部フレーム１１６ａ及び１１６ｂ、並びに、接続する鉛直なサイドレール１１７ａ及び１１７ｂをさらに含む。踏み台１００の第３の段部は、第３の段部の外周を画定する段部フレーム１１６ａによって骨組みが作られている。同様に、踏み台１００の第４の段部は、第４の段部の外周を画定する段部フレーム１１６ｂによって骨組みが作られている。踏み台１００の第３の段部及び第４の段部（上側段部）の段部表面は、段部フレーム１１６ａ及び１１６ｂ内にそれぞれ配置されるとともに囲まれる、段部板１１４ｃ及び１１４ｄによってそれぞれさらに画定される。図示の実施態様では、第３の段部及び第４の段部に対応する段部フレームは、これらの段部の高さの外形を実質的に画定する。幾つかの実施態様では、上側段部のそれぞれの奥行きは、およそ１５センチメートル〜２５センチメートルである。幾つかの実施態様では、上側段部のそれぞれの奥行きは、およそ２０センチメートルである。幾つかの実施態様では、上側段部の奥行きは、所定の数の電源、例えば４つの電源を収容するようにサイズ決めされる。
【００４１】
段部フレーム１１６ａの前方角部は、上側サイドレール１１０ａ及び１１０ｂの上側端に接続されている。一対の鉛直なサイドレール１１７ａ及び１１７ｂが、段部フレーム１１６ａの後方角部と段部フレーム１１６ｂの前方角部との間に接続されている。鉛直なサイドレール１１７ａ及び１１７ｂは、踏み台の第３の段部と第４の段部との間の高さの変化を画定する。
【００４２】
図示のような段部板１１４ｃ及び１１４ｄが、踏み台のこれらの第３の段部及び第４の段部の下に格納される機器の視認を可能にする実質的に透明であるか又は半透明な材料から画定されることがさらに留意される。段部板１１４ｃ及び１１４ｄはしたがって、電子機器のカバー及び段部表面として働き、それによって、ユーザが踏み台１００の第３の段部又は第４の段部を踏む／立つときに、電子機器を保護する。
【００４３】
スリーブ１１８ａが、段部フレーム１１６ａ及び／又は段部板１１４ｃの下方に延伸し、電子機器を収容するように構成されている。幾つかの実施態様では、スリーブ１１８ａは段部フレーム１１６ａに接続されている。幾つかの実施態様では、電子機器は、製造設備における基板の処理において使用される１つ又は複数のモジュールのためのものである。幾つかの実施態様では、電子機器は、処理チャンバの電源を含むことができる。
【００４４】
第２のスリーブ１１８ｂが、段部フレーム１１６ｂ及び／又は段部板１１４ｄの下方に延伸し、同様に電子機器を収容するように構成されている。幾つかの実施態様では、スリーブ１１８ｂは段部フレーム１１６ｂに接続されている。踏み台の第３の段部及び第４の段部の下に画定されるスリーブ１１８ａ及び１１８ｂは、電子機器のアクセス可能な格納場所を提供する。幾つかの実施態様では、スリーブ１１８ａ及び１１８ｂは板金から形成される。スリーブによって収容される電子機器は、例えば、ブラケット、ねじ及び／又は他のハードウェアを介してスリーブに固定することができる。幾つかの実施態様では、電源は、スリーブを通じて、例えば、スリーブのブラケット又は取り付けフランジを通じて接地される。
【００４５】
スリーブは、標準的な構成要素取り付けシステムに従って構成要素ラックシステムを画定することができる。幾つかの実施態様では、スリーブ１１８ａ及び／又は１１８ｂは、標準的な１９インチ（４８２．６ｍｍ）幅のラック取り付けシステムを提供するようにサイズ決め及び構成される。幾つかの実施態様では、所与のスリーブは、４つのラックユニット（ラックユニットあたり１．７５インチ（４４．４５ｍｍ）の厚さ）を収容することができる。
【００４６】
踏み台１００は、踏み台１００が下降位置にあるときに製造設備の床に接触するように構成されている足部１２０ａ及び１２０ｂを含む。
【００４７】
踏み台アセンブリの種々の構成要素は、限定はされないが、金属、合金、プラスチック、アルミニウム、ステンレス鋼等を含む、当該技術分野において既知の任意の好適な材料から画定できることが理解される。また、踏み台アセンブリの構成要素は、限定はされないが、ねじ、ボルト、ピン、クリップ、溶接部、クランプ等を含む、任意の好適な技法によって互いに接続することができる。
【００４８】
図２Ａは、本開示の実施態様による、製造設備において基板を処理するクラスタツールシステムを概念的に示す上から見た図である。機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）２００が、基板／ウェハをシステム内に受け取る。例えば、基板は、自動化された材料取り扱いシステムによって製造設備の周りで移動されることができる、正面開口式一体型ポッド（ＦＯＵＰ）又は他の基板キャリア等の、基板を基板キャリアデバイスに積み降ろしすることを可能にするように構成されている１つ又は複数のロードポートを通して受け取られてもよい。ＥＦＥＭ２００から、基板は、クラスタツールのプロセス環境を外部の環境及び／又は汚染から隔離するロードロック２０２を通して搬送され、例えば、処理のための制御されたガス環境又は制御された真空環境のメンテナンスを可能にする。第１のウェハ搬送モジュール２０４が、ロードロック２０２に接続されており、プロセスモジュール２１０又は２１２のいずれかに及びいずれかから基板を搬送するように構成されている。
【００４９】
プロセスモジュールは、限定はされないが、フロントエンド作業、バックエンド作業、エッチング、堆積、洗浄、プラズマ処理、アニーリング又は任意の他のプロセス動作を含む、種々のプロセス動作のいずれかを基板に対して行うように構成されている。幾つかの実施態様では、プロセスモジュールは、複数の基板を同時に処理する複数のステーションを有するマルチステーションプロセスモジュールである。そのようなマルチステーションプロセスモジュールは、基板を１つのステーションから次のステーションに内部で移動させるように構成することができる。マルチステーションプロセスモジュールの１つの例は、Lam Research Corporationによって製造されるＳｔｒａｔａプロセスモジュールである。
【００５０】
図示の実施態様に示されているように、ウェハ搬送モジュール２０４は、バッファモジュール２０６にも接続されている。踏み台１００ａ及び１００ｂは、バッファモジュール２０６の側部に接続されており、上記の図１を参照して記載した踏み台１００のようにそれぞれ構成されている。第２のウェハ搬送モジュール２０８が、バッファモジュール２０６にさらに接続されている。ロードロック２０２、ウェハ搬送モジュール２０４、バッファモジュール２０６及びウェハ搬送モジュール２０８は、図示の実施態様では直線的に配置されていることを理解されたい。しかし、他の実施態様では、他の配置が可能である。第２のウェハ搬送モジュール２０８は、基板を、プロセスモジュール２１４又は２１６のいずれかに及びいずれかから搬送するように構成されている。記載したように、幾つかの実施態様では、プロセスモジュール２１４及び２１６も、マルチステーションプロセスモジュールであるものとすることができる。
【００５１】
図示のように、踏み台１００ａは、プロセスモジュール２１０と２１４との間のスペースにおいてバッファモジュール２０６の１つの側に接続されている。一方で、踏み台１００ｂは、バッファモジュール２０６の、踏み台１００ａとは反対の側に接続されており、プロセスモジュール２１２と２１６との間のスペースに位置決めされている。踏み台１００ａは、プロセスモジュール２１０及び２１４の高い部分へのアクセスを提供し、一方で、踏み台１００ｂは、プロセスモジュール２１２及び２１６の高い部分へのアクセスを提供する。双方の踏み台は、バッファモジュール２０６の上部、並びに、搬送モジュール２０４及び２０８の上部へのアクセスを提供する。したがって、踏み台の構造は、電子機器の格納場所も提供しながらも、利用可能なスペースを効率的に使用する。踏み台のヒンジ式の構造は、踏み台が使用時に格納されることを可能にし、一方で、踏み台の下及び後ろのエリアへのアクセスを提供するように、踏み台を上方の邪魔にならない所へ容易かつ安全に移動させることが可能である。
【００５２】
図２Ｂは、本開示の実施態様による、下降位置にある踏み台を示す、図２Ａの実施態様によるクラスタツールシステムの一部の斜視図である。図示のように、踏み台１００ａは、取り付け板を介してバッファモジュール２０６に接続されており、下降位置において示されており、それによって、踏み台は製造設備の床２２０にも載っている。記載したように、踏み台１００ａは、製造設備の床２２０から、バッファモジュール２０６を実質的に覆う上昇位置まで上昇されることが可能である。
【００５３】
図示の実施態様では、上に人が立ってもよい製造設備の床２２０が示されている。製造設備の床２２０は、基礎となる下地床２２２の上で支持される高くなった床として画定される。製造設備の床２２０は、床２２０を通る空気流を可能にするように穿孔するか又は通気口を付け、製造環境から粒子を除去することができる。幾つかの実施態様では、製造設備の床２２０と下地床２２２との間の距離は、およそ２フィート（およそ６０センチメートル）である。幾つかの実施態様では、製造設備の床２２０と下地床２２２との間の距離は、およそ１．５フィート〜２．５フィート（およそ４５センチメートル〜７５センチメートル）の範囲である。幾つかの実施態様では、製造設備の床２２０と下地床２２２との間の距離は、およそ１フィート〜４フィート（およそ０．３メートル〜１．２メートル）の範囲である。
【００５４】
製造設備の床２２０と下地床２２２との間に画定される下地床スペースは、機器の格納、及び、プロセスガスライン、真空ライン、電気／ＲＦライン／供給部、データケーブル、液体供給ライン等のような種々の設備ラインを通すために使用することができる。
【００５５】
図２Ｃは、本開示の実施態様による、上昇位置にある踏み台を示す、図２Ａの実施態様によるクラスタツールシステムの一部の斜視図である。図示のように、踏み台１００ａは、バッファモジュール２０６の上に実質的に浮くように、上昇位置にある。踏み台１００ａを下降位置から上昇位置に上昇させることによって、踏み台１００ａは、取り付け板へのそのジョイントを中心に回転される。踏み台１００ａは、回転すると、プロセスにおいて同様に実質的に反転される（回転される／上下逆さまになる）。
【００５６】
図３は、本開示の実施態様による、上昇位置にある踏み台１００を示す踏み台アセンブリの斜視図である。この図において、踏み台アセンブリの付加的な構成要素が分かる。とりわけ、図示の実施態様ではガススプリング３００ａ及び３００ｂが示されており、踏み台１００を下降位置から上昇位置に持ち上げるために操作者によって必要とされる力の量を低減する伸展力を加えるように構成されている。これを達成するために、ガススプリングのそれぞれは、取り付け板１０２、及び、踏み台１００のアームのうちの一方に接続されている。より具体的には、ガススプリング３００ａは、上側ヒンジジョイント３０６ａにおいて左側アーム１０６ａに接続し；ガススプリング３００ｂは、上側ヒンジジョイント３０６ｂにおいて右側アーム１０６ｂに接続する。
【００５７】
ガススプリング３００ａは、下側ヒンジジョイント３０２ａにおいて取り付け板１０２にも接続し、一方で、ガススプリング３００ｂは、対応する下側ヒンジジョイント３０２ｂにおいて取り付け板１０２に接続する。より具体的には、ガススプリング３００ａは、取り付け板１０２の下側延長部３０４ａの端に接続する。ガススプリング３００ｂは、取り付け板１０２の下側延長部３０４ｂの端に接続する。下側延長部３０４ａ及び３０４ｂは、モジュールの、取り付け板１０２が取り付けられる側から横方向に離れるようにそれぞれ突出し、それによって、形成される下側ヒンジジョイントがモジュールのその側から実質的に水平にオフセットされるように、ガススプリング３００ａ及び３００ｂへの接続点を提供する。これは、以下で記載されるように、図４Ａ及び図４Ｂを参照してよりはっきりと示される。
【００５８】
図３を引き続き参照すると、チェーン３０８が踏み台１００の後面に沿って配置されて示されている。チェーン３０８は、ケーブルを、（踏み台１００の第３の段部及び第４の段部の下に格納されている）電子機器から、取り付け板１０２が接続されているモジュール（例えばバッファモジュール２０６）の下に経路付けする。チェーン３０８は、踏み台１００が昇降されるときにチェーン３０８が動いて形状を変えることを可能にする複数の連接型リンクからなる。
【００５９】
図４Ａは、本開示の実施態様による、踏み台アセンブリの上側部分の側面図を示している。図示の実施態様では、踏み台１００は下降位置において示されている。分かるように、下側延長部３０４ａは、モジュール２０６の、取り付け板１０２が固定される側によって画定される垂直面４００から横方向外側に離れるように延伸する。下側延長部３０４ａは、（下側ヒンジジョイント３０２ａ及び３０２ｂの双方と交差する垂直面４０４によって画定される横方向位置を有する）下側ヒンジジョイント３０２ａを位置決めするように構成されており、それによって、踏み台１００のアーム１０６ａと取り付け板１０２との間で、ジョイント１０８ａ（ヒンジジョイント１０８ａ及び１０８ｂと交差する垂直面４０２によって画定される横方向位置を有し、垂直面４０２は、ヒンジジョイント１０８ａ及び１０８ｂによって画定される回転軸と交差する）よりも、垂直面４００から（すなわち、モジュール２０６の側から）さらに横方向に離れる。
【００６０】
ガススプリング３００ａは、踏み台１００のアーム１０６ａのコネクタ４０６ａに接続する。コネクタ４０６ａは、ヒンジジョイント３０６ａを、アーム１０６ａの主長部からオフセットされる位置に配置するように構成されている。
【００６１】
ガススプリング３００ａを左側アーム１０６ａ及び取り付け板１０２の下側延長部３０２ａにそれぞれ接続する上側ヒンジジョイント３０６ａ及び下側ヒンジジョイント３０２ａの位置は、踏み台１００が下降位置にあるときに、ベクトルＦgsによって示されているガススプリングの伸展力が、ヒンジジョイント１０８ａの後ろに方向付けられるように構成されている。すなわち、踏み台１００が下降位置にあり、製造設備の床に載るときの、ガススプリング３００ａの位置合わせは、ガススプリングの伸展力が、取り付け板１０２が取り付けられるモジュールの側によって画定される面４００に横方向に向かう、ヒンジジョイント１０８ａの側に方向付けられるようなものである。
【００６２】
踏み台１００が下降位置にあるときの、上述した構成要素の幾何学的形状及びガススプリングの位置合わせに起因して、ガススプリングの伸展力が実際に踏み台１００の下方への回転を促すことを理解されたい。すなわち、踏み台が下降位置にあり、製造設備の床に載るとき、ガススプリングの力は、下降位置から離れて上昇位置に向かう踏み台１００の回転に最初は抵抗する。この特徴が、踏み台１００を下降位置に固定するのを助け、踏み台１００が下降位置にあるときの不所望の移動を防止するのを助ける。一方で、踏み台１００が下降位置から離れて（上昇位置に向かって）或る程度まで回転すると、構成要素の幾何学的形状は、ガススプリングの伸展力が、上昇位置に向かう回転を促す（換言すると、踏み台を上昇位置に向かって持ち上げるために必要な力の量を低減する）ようなものである。
【００６３】
図４Ｂは、本開示の実施態様による、上昇位置にある踏み台１００を示す踏み台アセンブリの側面図を示している。最適な位置において、踏み台１００は、実質的にモジュール２０６の上に浮く。下降位置から上昇位置に上昇するとき、指示子４１０によって示されている踏み台１００の重心は、ヒンジジョイント１０８ａによって画定される回転軸の周りで中心決めされる円形の経路４１４を辿る。さらに、重心は、踏み台が下降位置にあるときにモジュール２０６に対して横方向の初期の（地理的）場所から、梯子が上昇位置にあるときにモジュール２０６の上にある位置まで移動する。踏み台１００が上昇位置まで回転すると、その重心は、（モジュール２０６の上にない）直接的に製造設備の床の上の場所（参照符号４１２において示されている）から、ヒンジジョイント１０８ａを水平方向に越えて、参照符号４１０において示されているように直接的にモジュール２０６の上の場所まで移動することを理解されたい。すなわち、重心は、角度量θだけ、（ヒンジジョイント１０８ａの回転軸に交差する）垂直面４０２を通り越して移動する。
【００６４】
踏み台１００が上昇位置にあるとき、ガススプリングの伸展力は、踏み台の上昇位置を維持するように作用する。すなわち、ガススプリングの伸展力は、上昇位置から離れて下降位置に向かう踏み台１００の移動に抵抗する。これは、踏み台の予期しない又は不所望の下降を防止するための安全対策として作用する。
【００６５】
図４Ａ及び図４Ｂにおいて具体的に示されている側面図に起因して、上述した動作機構が、踏み台アセンブリの一方の側にある構成要素、例えば、アーム１０６ａ、ヒンジジョイント１０８ａ、ガススプリング３００ａ、上側ヒンジジョイント３０６ａ、下側ヒンジジョイント３０２ａ等を参照して記載されていることが理解される。しかし、同様の動作機構を踏み台アセンブリの他方の側について記載することができることが理解され、これらは当業者には明らかであるため、簡潔にするために本開示においては具体的には記載しない。
【００６６】
図５は、本開示の実施態様による、動作中に踏み台に作用する力及び結果として生じるモーメントを示す、踏み台アセンブリの側面図を示している。示されている図では、踏み台１００の時計回りの回転が、下降位置から上昇位置に向かう踏み台の移動に関連付けられ；一方で、反時計回りの回転は、上昇位置から下降位置に向かう踏み台の移動に関連付けられる。図示のように、踏み台１００は、上昇位置と下降位置との間にある。ガススプリングの伸展力Ｆgsは、時計回り方向へのモーメントＭgsを生成するように作用する。踏み台１００を持ち上げる操作者／ユーザによって提供される力Ｆｏｐは、同様に時計回り方向へのモーメントＭopを生成するように作用する。一方で、踏み台の重量は、反時計回り方向であり、それによってモーメントＭgs及びＭopに対向するモーメントＭwを生成するように作用する力Ｆwを生成する。
【００６７】
図６は、本開示の実施態様による、踏み台アセンブリのガススプリングの効果を明示する、踏み台を下降位置から上昇位置に持ち上げるときに操作者によって必要とされる力を示すグラフである。
【００６８】
曲線６００は、踏み台の回転角度に応じて、踏み台を下降位置から上昇位置に上昇させる／回転させるために踏み台の操作者によって必要とされる力の量を示している。０度の梯子回転角度は、下降位置に対応し、この場合、踏み台１００は製造設備の床に載っている。分かるように、操作者によって必要とされる力の量は、踏み台が上方に回転し続けるため低下するまで、０度における約３５ｌｂｆ（重量ポンド）の初期の量から、およそ６０度における７０ｌｂｆを超えるピーク量まで急速に増大する。回転のおよそ１５０度において、操作者によって必要とされる力は、ゼロｌｂｆに達し、これは、踏み台の重心が、踏み台が周りを回転するヒンジジョイント（参照符号１０８ａ及び１０８ｂ）と垂直に位置合わせされる地点に対応する。この地点を越えると、必要とされる力の量は、踏み台の重量がこの時点で踏み台を下に引っ張るため、マイナスになる。
【００６９】
曲線６０２は、本開示において記載されたようなガススプリングの補助を伴って、踏み台を下降位置から上昇位置に持ち上げる／回転させるときに操作者によって必要とされる力の量を示している。分かるように、回転の０度において必要とされる力の初期の量は、わずかに４０ｌｂｆを上回り、これは、ガススプリングを用いない場合に必要とされるよりも大きい。上記で説明したように、これは、踏み台１００が下降位置にあるときのガススプリングの幾何学的形状に起因し、それによって、ガススプリングの伸展力は、下降位置から離れる踏み台の回転に抵抗する。しかし、幾つかの実施態様では、踏み台が初期の量、例えば約５度〜７度を越えて回転すると、ガススプリングの伸展力は、踏み台を上昇位置に向かって回転させるために操作者によって必要とされる力の量を大幅に低下させる。ガススプリングを用いないシナリオとは対照的に、操作者によって必要とされる力の量は、わずかおよそ１１０度の回転においてプラスからマイナスに移る。
【００７０】
図示のグラフから分かるように、ガススプリングからの力は、下降位置において製造設備の床に載るときの踏み台の安定性を高めるとともに、踏み台を上昇位置に持ち上げるときに操作者によって必要とされる力の量も大幅に低下させる。
【００７１】
図示のグラフは、限定はされないが、ガススプリングの効果を示す１つの特定の実施態様を明示するために専ら例示として提供されていることを理解されたい。他の実施態様では、ガススプリングを用いる場合及びガススプリングを用いない場合の双方で、踏み台を持ち上げるために必要とされる特定の力は、図６の具体的に示されている実施態様とは異なり得る。
【００７２】
図７は、本開示の実施態様による、踏み台１００の上側部分の斜視図である。示されている図では、踏み台１００の第４の段部（最上の段部）が示されている。上記で記載したように、段部の外周は、段部フレーム１１６ｂによって画定されている。段部の表面は、段部の下に格納されている電子機器の視認を可能にするために実質的に透明な材料から画定される段部板１１４ｄによって画定されている。したがって、段部板１１４ｄは、電子機器の保護カバー及び操作者が踏む／立つための段部表面の双方として機能する。段部板１１４ｄは、好適な可視性及び強度を提供する任意の透明な又は実質的に透明な材料から形成することができる。例として、限定はされないが、段部板１１４ｄは、プラスチック又はガラス材料、透明なポリマー、アクリルポリマー、プレキシガラス等から形成することができる。幾つかの実施態様では、段部板１１４ｄは、下に配置される電子機器の好適な視認を可能にするために十分な穴を有する格子の形態で画定される。
【００７３】
記載したように、電子機器は、踏み台の第４の段部の下のスリーブ１１８ｂ内に収容される１つ又は複数の電源を含むことができる。図示の実施態様では、第４の段部の下に格納される電子機器は、４つの電源７０２ａ、７０２ｂ、７０２ｃ及び７０２ｄを含む。電源の電源スイッチは、段部板１１４ｄの下面に画定される複数の凹部７００ａ、７００ｂ、７００ｃ及び７００ｄによって対応される。これは、個々の電源のスイッチを容易にオンオフすることを可能にする。
【００７４】
さらに、幾つかの実施態様では、それぞれの電源は、プロセスモジュール２１０、２１２、２１４又は２１６のうちの１つ等の、マルチステーションプロセスモジュール内の個々のプロセスステーションに対応する。したがって、マルチステーションプロセスモジュールが４つのステーションを含む実施態様では、踏み台の単一の段部の下に格納される電源は、単一のマルチステーションプロセスモジュール内のステーションのそれぞれに電力を提供する。さらに、次に図２Ａのクラスタツールシステムを参照すると、踏み台１００ａ及び１００ｂの第３の段部及び第４の段部のそれぞれは、プロセスモジュール２１０、２１２、２１４及び２１６の電源を収容するように構成されている。例えば、踏み台１００の第３の段部は、プロセスモジュール２１０のステーションの電源を収容することができ、一方で、踏み台１００の第４の段部は、プロセスモジュール２１４のステーションの電源を収容することができる。また、踏み台１００ｂの第３の段部は、プロセスモジュール２１２のステーションの電源を収容することができ、一方で、踏み台１００ｂの第４の段部は、プロセスモジュール２１６のステーションの電源を収容することができる。
【００７５】
図７を引き続き参照すると、図示の実施態様では、段部板１１４ｄは、２つのカバー板７１０ａ及び７１０ｂ、並びに、数字が刻まれている番号付けされた横棒７０４を含む構成要素のアセンブリによって画定されている。番号は、その番号の下の電源がそれぞれ対応する、所与のマルチステーションプロセスモジュールのプロセスステーションを特定する。段部板１１４ｃも、本開示の実施態様によると、同様のアセンブリ構造によって画定してもよいことが理解される。
【００７６】
図７を参照して記載した実施態様は、踏み台１００の第４の段部を参照しているが、同様の記載を踏み台１００の第３の段部にも当てはめることができることが理解される。
【００７７】
図８は、本開示の実施態様による取り付け板１０２の接写図である。図示のように、取り付け板１０２は、一対のヒンジジョイントブラケット板８００ａ及び８００ｂを含む。ヒンジジョイントブラケット板は、穴８０２ａ及び８０２ｂを含む。左側アーム１０６ａの上端は、ヒンジジョイントブラケット板８００Ａ及び８００Ｂ間に配置されており、ヒンジジョイント１０８ａは、穴８０２ａ、図７に示されている左側アーム１０６ａの対応する穴７０６ａ及び穴８０２ｂを通して挿入されるコネクタピンによって形成される。
【００７８】
さらに、ヒンジジョイントブラケット板は、安全ピン８０６ａに対応する穴８０４ａ、８０４ｂ、８０６ａ及び８０６ｂを含む。踏み台１００が下降位置にあるとき、アーム１０６ａの穴７０８ａ（図７に示されている）が、穴８０６ａ及び８０６ｂと位置合わせされる。この位置において、安全ピン８０６ａを、穴８０６ａ、７０８ａ及び８０６ｂを通して挿入し、踏み台を下降位置において固定することができる。
【００７９】
踏み台１００が上昇位置にあるとき、アーム１０６ａの穴７０８ａは、穴８０４ａ及び８０４ｂと位置合わせされる。この位置において、安全ピン８０６ａを、穴８０４ａ、７０８ａ及び８０４ｂを通して挿入し、踏み台を上昇位置において固定することができる。
【００８０】
取り付け板１０２の他方の側に関して、右側アーム１０６ｂ及び右側ヒンジジョイント１０８ｂを除いて、上述したものと同様の動作機構を有する、ヒンジジョイントブラケット板８００ｃ及び８００ｄ並びに安全ピン８０６ｂを含む、同様の構成要素が存在することが理解される。
【００８１】
幾つかの実施態様では、取り付け板１０２は、ねじ穴８１０を通してねじ留めされるねじ又はボルトによってモジュールの側面に取り付けられる。
【００８２】
理解しやすくするために上記の実施形態を幾分詳細に記載したが、開示されている実施形態の範囲内で特定の変更及び修正を行ってもよいことが明らかである。本発明の実施形態のプロセス、システム及び装置を実施する多くの代替的な方法が存在することに留意されたい。したがって、本発明の実施形態は、例示的であり限定的ではないものとみなされるべきであり、実施形態は、本明細書において与えられる詳細に限定されるべきではない。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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