(57)【要約】【課題】側壁トンネル接合を形成することに関する技術を提供する。【解決手段】第１の伝導層が、第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成される。第２の伝導層が、第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して、第１の伝導層の一部分の上に形成される。酸化物層が、第１の伝導層および第２の伝導層の上に形成される。第３の伝導層が、側壁トンネル接合が第１の伝導層と上記第３の伝導層との間に位置するように、酸化物層の一部の上に形成される。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
側壁トンネル接合を形成する方法であって、
第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して第１の伝導層を形成することと、
第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して、前記第１の伝導層の一部分の上に第２の伝導層を形成することと、
前記第１の伝導層および前記第２の伝導層の上に酸化物層を形成することと、
前記側壁トンネル接合が前記第１の伝導層と第３の伝導層との間に位置するように、前記酸化物層の一部の上に前記第３の伝導層を形成することと
を含む、方法。
【請求項２】
前記側壁トンネル接合のセグメントが、前記第２の伝導層と前記第３の伝導層との間に位置する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記側壁トンネル接合の前記セグメントが、前記第１の伝導層の上方にある、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１、第２および第３の伝導層が、超伝導物質である、請求項１ないし３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
前記酸化物層が、前記第１および第２の伝導層の酸化物である、請求項１ないし４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
側壁トンネル接合を形成する方法であって、
幅寸法よりも大きな高さ寸法を有する非金属層を形成することと、
第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して、前記非金属層の一部分の上に第１の伝導層を形成することと、
前記第１の伝導層の上に酸化物層を形成することと、
前記側壁トンネル接合が前記第１の伝導層と前記第２の伝導層との間に位置するように、前記酸化物層の一部の上に第２の伝導層を形成することと
を含む、方法。
【請求項７】
前記側壁トンネル接合が、前記非金属層の上方にある、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の伝導層が、前記非金属層の一方の側に形成される、請求項６または７に記載の方法。
【請求項９】
前記第２の伝導層が、前記非金属層の、前記第１の伝導層と反対のもう一方の側に形成される、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１および第２の伝導層が、超伝導物質である、請求項６ないし９のいずれかに記載の方法。
【請求項１１】
側壁トンネル接合を形成する方法であって、
第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して、高さ寸法よりも大きな幅寸法を有する第１の伝導層を形成することと、
第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して、前記第１の伝導層の一部分の上部に第２の伝導層を形成することと、
前記第１の伝導層および前記第２の伝導層の上に酸化物層を形成することとを含み、前記第１の伝導層の一部が前記第２の伝導層の下にあり、さらに、
前記酸化物層の領域の上に前記第３の伝導層を形成することであり、前記側壁トンネル接合が前記第２の伝導層と第３の伝導層との間に位置し、かつ、前記第１の伝導層の前記一部分と前記第３の伝導層との間にも位置するように、前記第３の伝導層を形成することと
を含む、方法。
【請求項１２】
前記第２の伝導層の上部は、イン・プレーン・トンネル接合が前記第３の伝導層と前記第２の伝導層の前記上部との間に位置するように、前記酸化物層により覆われる、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記酸化物層が、前記第２の伝導層の横部分を覆い、前記横部分が前記側壁トンネル接合の反対側である、請求項１１または１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１、第２および第３の伝導層が、超伝導物質である、請求項１１ないし１３のいずれかに記載の方法。
【請求項１５】
側壁トンネル接合を形成する方法であって、
第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して、幅寸法よりも大きな高さ寸法を有する第１の伝導層を形成することと、
前記第１の伝導層の上に酸化物層を形成することと、
第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して、前記第２の伝導層を形成することとを含み、前記側壁トンネル接合が第２の伝導層と前記第１の伝導層の上部および横部分との間に位置するように、前記第１の伝導層の前記上部および前記横部分を覆っている前記酸化物層の上に前記第２の伝導層を形成すること
を含む、方法。
【請求項１６】
前記酸化物層は、前記第１の伝導層の、前記横部分の反対側のもう一方の横部分を覆う、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記第２の伝導層には、前記第１の伝導層の前記もう一方の横部分を覆っている前記酸化物層がない、請求項１５または１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記第１および第２の伝導層が、同じ物質から作られる、請求項１５ないし１７のいずれかに記載の方法。
【請求項１９】
前記第１および第２の伝導層が、超伝導物質である、請求項１５ないし１８のいずれかに記載の方法。
【請求項２０】
前記酸化物層が、前記第１の伝導層の酸化物である、請求項１５ないし１９のいずれかに記載の方法。
【請求項２１】
幅寸法よりも大きな高さ寸法を有する第１の伝導層と、
前記第１の伝導層の上に形成された酸化物層と、
前記酸化物層が第２の伝導層と前記第１の伝導層の横部分との間に側壁トンネル接合を形成するように、前記第１の伝導層の前記横部分を覆っている前記酸化物層の上の第２の伝導層と
を備える、トンネル接合デバイス。
【請求項２２】
前記酸化物層は、前記側壁トンネル接合が前記第２の伝導層と前記第１の伝導層の上部との間にも形成されるように、前記第１の伝導層の前記上部を覆う、請求項２１に記載のトンネル接合デバイス。
【請求項２３】
前記酸化物層が、前記第１の伝導層の、前記横部分の反対側のもう一方の横部分を覆う、請求項２１に記載のトンネル接合デバイス。
【請求項２４】
前記第２の伝導層には、前記第１の伝導層の前記もう一方の横部分を覆っている前記酸化物層がない、請求項２３に記載のトンネル接合デバイス。
【請求項２５】
前記第１および第２の伝導層が、超伝導物質である、請求項２１に記載のトンネル接合デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に超伝導デバイスに関する。より詳しくは、本発明は、量子コンピューティング用途のためのシャドウ・マスク側壁トンネル接合に関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸着は、薄膜堆積（deposition）の一般的な方法である。原料物質を真空中で蒸発させる。真空は、蒸気粒子が凝集して固体状態に戻るターゲット物体（基板）まで蒸気粒子が直接進むことを可能にする。蒸着は、微細加工において使用される。蒸着中には、熱い原料物質が、蒸発し、次いで基板上に凝集する。蒸着は、真空中で行われる、すなわち、原料物質以外の蒸気は、プロセスが始まる前にほとんどすべて取り除かれる。（長い平均自由行程をともなう）高真空では、蒸発した粒子は、バックグラウンド・ガスと衝突せずに堆積ターゲットまで直接進むことができる。４〜１０パスカル（Ｐａ）の典型的な圧力で、０．４ナノメートルの粒子は、６０メートルの平均自由行程を有する。異物粒子と衝突する蒸発した原子は、異物粒子と反応することがある。例えば、アルミニウムを酸素の存在しているところで堆積する場合には、アルミニウムは、酸化アルミニウムを形成する。蒸発した物質は、（集積回路が多くの場合にそうであるように）基板が粗い表面を有するのであれば、不均一に堆積する。蒸発した物質が大部分単一の方向から基板に到達する（attack）という理由で、突起した構造（feature）は、ある領域から蒸発した物質を遮断する。この現象は、「シャドーイング」または「ステップ・カバレッジ」と呼ばれる。
【０００３】
ジョセフソン接合の製造のための一般的な技術は、オフセット・マスクを通したアルミニウムのダブル・アングル・シャドウ蒸着を含み、ここでは、トンネル障壁がアルミニウム・ベース層の拡散酸化（diffusive oxidation）により形成される。シャドウ蒸着は、長く続いており、高コヒーレンスの超伝導量子ビット（またはキュービット）を作るための現在まで最も好結果をもたらす製造手法である。
【０００４】
ニーマイヤ−ドラン（Niemyeyer-Dolan）技術（ドラン技術またはシャドウ蒸着技術とも呼ばれる）は、ナノメートル・サイズの重なる構造を作成するための薄膜リソグラフィ法である。この技術は、基板の上方に吊り下げられた蒸着マスクを使用する。蒸着マスクを、レジストの２つの層から形成することができる。蒸着角に依存して、マスクの影画像が基板上の異なる位置へと投影される。堆積しようとする各々の材料に対する角度を慎重に選択することにより、マスクの隣接する開口部を、同じスポット上へと投影することができ、上手く規定された幾何学的形状を有する２つの薄膜の重ね合わせを作り出すことができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
新たなシャドウ・マスク蒸着技術が、超伝導量子コンピューティング・アプリケーションのためのジョセフソン接合などのトンネル接合を形成するために必要である。特に、製造のバラツキを減少させることができる新たな技術が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施形態は、側壁トンネル接合を形成する方法を対象とする。本方法の非限定的な例は、第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して第１の伝導層を形成することと、第１の伝導層の一部分の上に第２の伝導層を形成することを含み、第２の伝導層が第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成される。本方法は、第１の伝導層および第２の伝導層の上に酸化物層を形成することと、側壁トンネル接合が上記第１の伝導層と第３の伝導層との間に位置するように、酸化物層の一部の上に上記第３の伝導層を形成することとを含む。
【０００７】
発明の実施形態は、側壁トンネル接合を形成する方法を対象とする。本方法の非限定的な例は、幅寸法よりも大きな高さ寸法を有する非金属層を形成することと、非金属層の一部分の上に第１の伝導層を形成することを含み、第１の伝導層が第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成され、さらに、第１の伝導層の上に酸化物層を形成することと、側壁トンネル接合が第１の伝導層と第２の伝導層との間に位置するように、酸化物層の一部の上に第２の伝導層を形成することとを含む。
【０００８】
本発明の実施形態は、側壁トンネル接合を形成する方法を対象とする。本方法の非限定的な例は、第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して第１の伝導層を形成することを含み、ここで第１の伝導層が高さ寸法よりも大きな幅寸法を有し、第１の伝導層の一部分の最上部に第２の伝導層を形成することを含み、第２の伝導層が第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成される。本方法は、第１の伝導層および第２の伝導層の上に酸化物層を形成することを含み、ここで、第１の伝導層の一部が第２の伝導層の下にあり、さらに、側壁トンネル接合が第２の伝導層と第３の伝導層との間に位置するように、酸化物層の領域の上に第３の伝導層を形成することを含む。側壁トンネル接合はまた、第１の伝導層の一部と第３の伝導層との間にも位置する。
【０００９】
本発明の実施形態は、側壁トンネル接合を形成する方法を対象とする。本方法の非限定的な例は、第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して第１の伝導層を形成することを含み、第１の伝導層が幅寸法よりも大きな高さ寸法を有しており、さらに、第１の伝導層の上に酸化物層を形成することと、側壁トンネル接合が第２の伝導層と第１の伝導層の最上部部分および横部分との間に位置するように、第１の伝導層の最上部部分および横部分を覆っている酸化物層の上に第２の伝導層を形成することとを含む。第２の伝導層は、第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成される。
【００１０】
発明の実施形態は、トンネル接合デバイスを対象とする。本デバイスの非限定的な例は、幅寸法よりも大きな高さ寸法を有する第１の伝導層と、第１の伝導層の上に形成された酸化物層と、酸化物層が第２の伝導層と第１の伝導層の横部分との間に側壁トンネル接合を形成するように、第１の伝導層の横部分を覆っている酸化物層の上の第２の伝導層とを備える。
【００１１】
さらなる技術的特徴および利点が、本発明の技術を通して実現される。発明の実施形態および態様が、本明細書において詳細に説明され、そして特許請求した主題の一部として考えられる。より良く理解するために、詳細な説明および図面を参照する。
【００１２】
本明細書において説明する独占的な権利の詳細は、明細書の結論のところの特許請求の範囲に特に指摘され、個別に権利を主張する。発明の実施形態の前述のおよび他の特徴および利点は、添付した図面と合わせて考慮すると下記の詳細な説明から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図２】本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図３】本発明の実施形態による図２の断面図である。
【図４】本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図５】本発明の実施形態による図４の断面図である。
【図６】本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図７】本発明の実施形態による図６の断面図である。
【図８】本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図９】本発明の実施形態による図８の断面図である。
【図１０】本発明の実施形態による、もう１つのジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図１１】本発明の実施形態による図１０の断面図である。
【図１２】本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図１３】本発明の実施形態による図１２の断面図である。
【図１４】本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図１５】本発明の実施形態による図１４の断面図である。
【図１６】本発明の実施形態による、さらにもう１つのジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図１７】本発明の実施形態による図１６の断面図である。
【図１８】本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図１９】本発明の実施形態による図１８の断面図である。
【図２０】本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図２１】本発明の実施形態による図２０の断面図である。
【図２２】本発明の実施形態による、もう１つのジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図２３】本発明の実施形態による図２２の断面図である。
【図２４】本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイスを製造する上面図である。
【図２５】本発明の実施形態による図２４の断面図である。
【図２６】本発明の実施形態による、アウト・オブ・プレーン（out-of-plane）ジョセフソン接合デバイスの側壁トンネル接合を形成する方法のフロー・チャートである。
【図２７】本発明の実施形態による、アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合デバイスの側壁トンネル接合を形成する方法のフロー・チャートである。
【図２８】本発明の実施形態による、アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合デバイスの側壁トンネル接合を形成する方法のフロー・チャートである。
【図２９】本発明の実施形態による、アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合デバイスの側壁トンネル接合を形成する方法のフロー・チャートである。
【図３０】本発明の実施形態による概念を描いている上面図である。
【図３１】本発明の実施形態による概念を図説するための図３０の断面図である。
【図３２】本発明の実施形態による概念を図説するための図３０の断面図である。
【図３３】本発明の実施形態による概念を図説するための図３０の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本明細書において描いた図は、例示である。発明の思想から逸脱せずに本明細書において記述する図または動作に対する多くの変形があり得る。例えば、行為を、異なる順序で実行することができる、または行為を、付加する、削除する、または変更することができる。また、「結合した（coupled）」という用語およびその変形は、２つの要素の間に通信経路を有することを記載し、これらの要素の間に介在する要素／接続を用いない要素同士の間の直接接続を意味しない。これらの変形のすべては、本明細書の一部であると考えられる。
【００１５】
開示した実施形態の添付の図および下記の詳細な説明では、図に図示された様々な要素は、２桁または３桁の参照番号を与えられる。わずかな例外で、各々の参照番号の左端の桁は、その要素が最初に図示された図に対応する。
【００１６】
簡潔さのために、半導体デバイスおよび集積回路（ＩＣ）製造に関する従来技術が、本明細書において詳細に説明されることも説明されないこともある。その上、本明細書において説明する様々な課題およびプロセス・ステップを、より包括的な手順、または本明細書において詳細に説明しない追加のステップもしくは機能を有するプロセスへと組み込むことができる。特に、半導体デバイスおよび半導体に基づくＩＣの製造における様々なステップは、よく知られており、そのため、簡潔さのために、多くの従来のステップを、本明細書では簡単に述べるか、またはよく知られたプロセスの詳細を与えずに完全に省略する。
【００１７】
発明の態様により具体的に関係する技術の概要にここで転じると、量子コンピューティングにおける用途にとって技術的に関係するトンネル接合は、超伝導体を用いて作られ、一辺が約１００ナノメートルの寸法を有する。量子コンピューティングの分野において研究者により利用される２つの主なタイプのトンネル接合は、ドラン・ブリッジ（Dolan Bridge）またはマンハッタン（Manhattan）技術により得られる。両者とも、イン・プレーン（in-plane）トンネル接合幾何学的形状を作成する。イン・プレーン・トンネル接合は、平面内にその最大面積を有し、平面が基板の表面（例えば、これは直交するｘ軸およびｙ軸を含む）により規定される場合には、トンネル接合に属する最大面積がｘおよびｙ軸を含んでいる平面内に含まれる。最小面積は、（ｘ軸およびｙ軸の平面に含まれる）イン・プレーン面積と比較して、基板の表面に含まれない方向（例えば、垂直なｚ軸、または基板に平行でない傾斜した／角度を付けた軸）より、そして平面内に含まれるもう１つの直交方向（例えば、ｘ軸、ｙ軸またはこれら２つの線形結合）により規定されるはずである。２つの直交方向は、互いに直角である。傾斜した／角度を付けた方向は、基板の平面とは直交しない（しかし、平面内に含まれる方向と直交してもよい）。ｘ軸およびｙ軸を含んでいる平面は、基板の表面と平行である（例えば、交差しない）平面をやはり指定することができる。ｘ軸およびｙ軸を含んでいる平面は、基板の表面に近接しているが基板の表面と交差しない平面をやはり指定することができる。ドラン・ブリッジ技術により作られたトンネル接合は、ドラン接合と呼ばれ、一方で、マンハッタン技術により作られたトンネル接合は、マンハッタン接合と呼ばれる。マンハッタン接合を、直角に交差するストリート（street）およびアベニュー（avenue）を有するという理由で名付けられた、リソグラフィ中にマンハッタン交差点として知られているパターンを利用して製造することができる。
【００１８】
ここで発明の態様の概観に転じて、発明の１つまたは複数の実施形態は、アウト・オブ・プレーン幾何学的形状をともなうジョセフソン・トンネル接合を設けることにより先行技術の上の述べた欠点に対処する。アウト・オブ・プレーン幾何学的形状は、側壁幾何学的形状またはフィン幾何学的形状を含むことができる。アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合デバイスでは、ジョセフソン接合領域が、基板の平面に対して垂直であるまたは傾斜する／角度を付けられており、ジョセフソン接合領域は堆積した膜または前から存在するフィンなどの層の厚さにより支配される。本発明の実施形態において使用するように、シャドウ・マスクまたは角度蒸着は、高品質超伝導キュービットを作る際に利用されることがある製造技術である。ジョセフソン接合は、酸化物層（トンネル障壁として知られている）、非超伝導金属の短いセクション、または超伝導体内の物理的締め付けなどの弱いリンクのどちらかの側の上に超伝導金属から構成されるあるタイプのトンネル接合である。（通常の金属の代わりに）超伝導金属は、特別なタイプのトンネル接合のジョセフソン接合を作る。最後に、超伝導キュービットは、キュービットの特別なケースであり、１つまたは複数のジョセフソン接合を使用して作られる。これゆえ、ジョセフソン接合は、超伝導キュービットの必須の部品である。他のキュービットが存在するが、ジョセフソン接合からは作られていない。
【００１９】
より具体的に、上に説明した発明の態様は、アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン・トンネル接合を有し、そしてシャドウ・マスク蒸着により作られる構造を設けることにより先行技術の欠点に対処する。ジョセフソン接合の臨界電流（Ｉｃ）は、（所与の酸化条件に対して）トンネル接合の面積により最も良く予測される。このアウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合（またはアウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合の面積）は、リソグラフィ寸法および膜厚により制御される。アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合面積の不確定性は、イン・プレーン技術よりもリソグラフィ寸法への依存が少ない。これゆえ、アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合の目の前の利益は、接合の面積の不正確さが１つのリソグラフィ寸法の不正確さとアウト・オブ・プレーン接合を形成する層の厚さの不正確さとの組み合わせであることである。厚さの不正確さが１つのリソグラフィ寸法の不正確さよりも小さいのであれば、このタイプの接合は、結果として２つのリソグラフィ寸法の不正確さに依存するこれらのイン・プレーン接合に対するものよりも小さな総合的不正確さをもたらすはずである。本発明の実施形態の１つの他の有利な態様は、ジョセフソン・トンネル接合の面積に顕著に関与するアウト・オブ・プレーン重なりに依存する。加えて、このアウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合を有するジョセフソン接合デバイスは、非常に小さな接合についても再現可能である。
【００２０】
ここで本発明の態様のより詳細な説明に転じると、図１〜図９は、本発明の実施形態によるジョセフソン・トンネル接合デバイス１００の製造を描いている。図１は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス１００を製造する上面図を描いている。レジスト層１０６を基板１０８の上に堆積する。レジスト層１０６を、単層または２層レジストとすることができ、反射防止コーティング（ＡＲＣ）、平坦化層、もしくはハードマスク材料などの１層もしくは複数層の下地層を含むことができるか、または当業者なら理解するように、レジストを含んでいるもう１つの積層物とすることができる。レジスト層１０６は、基板１０８を露出させるトレンチ１０２および１０４のマンハッタン交差点を有するようにパターン形成される。マンハッタン技術では、トレンチ１０２は、アベニューと一般に呼ばれ、トレンチ１０４は、ストリートと一般に呼ばれる。基板１０８を、ウェハ・ステージ上のウェハとすることができ、当業者なら理解するように、ウェハ・ステージは、製造中にウェハ基板を保持し、移動させる。
【００２１】
基板１０８用の適切な材料の非限定的な例は、Ｓｉ（シリコン）、歪みＳｉ、ＳｉＣ（炭化ケイ素）、Ｇｅ（ゲルマニウム）、ＳｉＧｅ（シリコン・ゲルマニウム）、ＳｉＧｅＣ（シリコン・ゲルマニウム炭素）、Ｓｉ合金、Ｇｅ合金、ＩＩＩ−Ｖ材料（例えば、ＧａＡｓ（ガリウム・ヒ素）ＩｎＡｓ（インジウム・ヒ素）、ＩｎＰ（インジウム・リン）、もしくはアルミニウム・ヒ素（ＡｌＡｓ））、ＩＩ−ＶＩ材料（例えば、ＣｄＳｅ（セレン化カドミウム）、ＣｄＳ（硫化カドミウム）、ＣｄＴｅ（テルル化カドミウム）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、ＺｎＳｅ（セレン化亜鉛）、ＺｎＳ（硫化亜鉛）、ＺｎＴｅ（テルル化亜鉛））、サファイア、または石英、あるいはこれらの任意の組み合わせを含む。半導体材料の他の非限定的な例は、ＩＩＩ−Ｖ材料、例えば、インジウム・リン（ＩｎＰ）、ガリウム・ヒ素（ＧａＡｓ）、アルミニウム・ヒ素（ＡｌＡｓ）、またはこれらの任意の組み合わせを含む。ＩＩＩ−Ｖ材料は、アルミニウム（Ａｌ）、ホウ素（Ｂ）、ガリウム（Ｇａ）、インジウム（Ｉｎ）などの少なくとも１つの「ＩＩＩ族元素」と窒素（Ｎ）、リン（Ｐ）、ヒ素（Ａｓ）、アンチモン（Ｓｂ）などの少なくとも１つの「Ｖ族元素」とを含むことができる。
【００２２】
レジスト層１０６内のトレンチ１０２および１０４のパターンを、リソグラフィ・パターニングおよび引き続くレジスト層１０６の現像により実現することができる。１つのケースでは、トレンチ１０２および１０４のパターニングは、基板１０８上のレジスト１０６をパターニングするリソグラフィ・パターニングよるものであってもよく、そして現像プロセスは、例えば、ＴＭＡＨ現像液であってもよい。さらなる現像液は、本技術では一般に知られている。レジスト層１０６内のトレンチ１０２および１０４のパターンを、代替で、リソグラフィ・パターニングと引き続くエッチングにより実現することができる。１つのケースでは、トレンチ１０２および１０４のパターニングは、基板１０８上のレジスト１０６をパターニングするフォトリソグラフィ・パターニングによるものであってもよく、そしてエッチング・プロセスは、例えば、本明細書において論じる所望のパターンを形成するためにレジスト１０６の露出した部分を除去する反応性イオン・エッチング・プロセスであってもよい。
【００２３】
加えて、発明の実施形態において接合を、リソグラフィの単一ステップで作ることができることに留意すべきである。リソグラフィの複数のステップを行わないことにより、本発明の実施形態は、蒸着ステップ同士の間にレジストを除去することまたはリフト・オフを実行すること、次いでレジストを再びスピンし、もう１回リソグラフィ・パターンを露光することを必要としない。むしろ、本発明の実施形態は、単一のパターニング・ステップで使用され、同じ蒸発装置内で真空を破らずに多数の蒸着／酸化が行われるように特に設計されている。
【００２４】
フォトレジストは、感光性材料である。ポジ・レジストは、光に露光されたフォトレジストの部分がフォトレジスト現像液に可溶性になるタイプのフォトレジストである。フォトレジストの未露光部分は、フォトレジスト現像液に対して不溶性のままである。一方で、ネガ・フォトレジストは、光に露光されたフォトレジストの部分がフォトレジスト現像液に不溶性になるタイプのフォトレジストである。フォトレジストの未露光部分は、フォトレジスト現像液により溶解される。
【００２５】
加えて、本発明の実施形態は、電子線リソグラフィ（ｅ−ビーム・リソグラフィとしばしば短縮される）を利用することができ、これは、電子線（またはｅ−ビーム）レジストと呼ばれる電子感応性膜で覆われた表面に特注の形状を描く（すなわち露光する）ために電子の集束ビームをスキャンさせることである。電子線は、電子線レジストの溶解度を変化させ、レジストを溶剤に浸漬させること（現像すること）によりレジストの露光領域または非露光領域のいずれかの選択的除去を可能にする。目的は、フォトリソグラフィと同様に、多くの場合にエッチングまたは堆積によって基板材料にその後転写することができる非常に小さな構造をレジスト内に作り出すことである。適した電子線レジストの非限定的な例は、あるタイプのポジ電子線レジストであるポリ（メタクリル酸メチル）（ＰＭＭＡ）、およびあるタイプのネガ電子線レジストである水素シルセスキオキサン（ＨＳＱ）を含む。フォトレジストに類似して、ポジ電子線レジストは、（光ではなく）電子線に露光されるレジストの部分が電子線レジスト現像液に可溶性になるタイプのレジストである。電子線レジストの未露光部分は、電子線レジスト現像液に対して不溶性のままである。一方で、ネガ電子線レジストは、（光ではなく）電子線に露光されるレジストの部分が電子線レジスト現像液に不溶性になるタイプの電子線レジストである。電子線レジストの未露光部分は、電子線レジスト現像液により溶解される。ｅ−ビーム・リソグラフィを実行するための他の方法、例えば限定しないが、リフト・オフ・レジスト（ＬＯＲ）または電子線レジスト二重層を使用することは、当業者により理解される。
【００２６】
図２は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス１００を製造する上面図を描いている。図２は、示したようなｙ軸方向に沿った第１のシャドウ蒸着（蒸着＃１）を図示している。第１のシャドウ蒸着は、高さＨ１Ａ（図３に図示）および幅ＷｆｉｎＡを有する高いが狭い超伝導膜２０２を形成するように構成される。超伝導膜２０２は、トレンチ１０２内におよびトレンチ１０４内のレジスト１０６の側壁２０４の上に形成される。超伝導膜２０２の側壁２０４は、（ｙ軸に走っている）超伝導膜２０２に対して垂直になるようにトレンチ１０４内に、示したようにｘ軸方向に沿って走り／延び（例えば、ｙ軸またはｚ軸における寸法よりもｘ軸において大きな長さ寸法を有し）、しかし、これらの膜は、互いに物理的に接続されない（例えば、図３０〜図３３は、側壁堆積物がレジストのところに集中し、底部膜には接続しない図を図示している）。図２を参照して、（紙面（page）に垂直なｚ軸における）レジスト１０６の厚さは、基板１０８の平面に対して傾斜角θ１Ａを与えられると十分に高くなるように設計され、その超伝導膜２０２は、側壁膜２０４には接続されない。
【００２７】
説明目的で、そして図を不明瞭にしないために、第１、第２、第３の蒸着からの材料などの材料の堆積物は、レジスト層１０６の最上部にまたは（ジョセフソン接合デバイス１００、１０００、１６００、および２２００内の）側壁層２０４、４０４、６０４、１６０４、１８０４、１９０４、２２０４、または２４０４の最上部には示されない。加えて、レジスト層１０６の最上部の何らかの材料は、特に断りのないかぎり、レジスト層１０６が除去されると結局はリフト・オフされることを理解すべきである。同様に、レジスト層１０６の側壁にだけ付着したすべての材料は、側壁および（基板１０８または表面の上に固定されている別の蒸着した膜などの）１つの他の表面に付着するものとは反対に、特に断りのないかぎり、レジスト層１０６が除去されると結局はリフト・オフされることを理解すべきである。
【００２８】
リフト・オフが、デバイスを完成させるための１つの方法であることを理解すべきである。リフト・オフを、レジストに付着しているがそれ以外には付着していない何らかの材料とともに最後にはレジスト層を除去するために、Ｄｏｗ（Ｒ）Ｍｉｃｒｏｐｏｓｉｔ（ＴＭ）除去剤１１６５またはアセトンなどの溶剤を使用することにより行うことができる。当業者ならリフト・オフをどのように実行するかを理解している。
【００２９】
図３は、本発明の実施形態による図２の断面図である。断面図は、図２の破線に沿って取られている。ｚ軸における超伝導膜２０２の高さＨ１Ａは、約３０ナノメートルから３００ｎｍまでの範囲にわたることがある。ｘ軸における超伝導膜２０２の幅ＷｆｉｎＡは、約２０ｎｍから２００ｎｍまでの範囲にわたることがある。第１のシャドウ蒸着（＃１）は、図３では紙面の中に向かっており、これにより超伝導膜２０２を形成する。第１のシャドウ蒸着を、基板／ウェハ１０８（または基板１０８を保持しているウェハ・ステージ）から測定して角度θ１Ａで実行することができる。例えば、蒸発源（蒸発装置）は、基板１０８の平面に対して９０°の角度で（基板１０８と直角に）基板へと典型的には蒸発させる。傾斜を生成するために、蒸着を、基板１０８（または基板１０８を保持しているウェハ・ステージ）の平面に対してより小さな角度で実行する。本発明のいくつかの実施形態では、第１の蒸着中に第１の超伝導膜２０２を形成するために使用する蒸着傾斜角θ１Ａは、約３０°から８０°までの範囲にわたることがある。
【００３０】
図４は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス１００を製造する上面図を描いている。図４は、第２のシャドウ蒸着（例えば、蒸着＃２）を実行するためにウェハ・ステージを（その中心の周りに）９０°回転させることを図示している。中心は、平面の真ん中の点により規定され、そして通常、これらのウェハ・ステージが丸いまたは少なくとも平面であることを、当業者なら理解するはずである。発明の実施形態では、円の中心（または平面上のある点）の周りのこの平坦なステージを指す。
【００３１】
第２のシャドウ蒸着（蒸着＃２）は、左からであり、そして（図５に示した）厚さｔ１Ａを有する薄い超伝導膜４０２を形成するように構成される。超伝導膜４０２を、トレンチ１０４内におよびトレンチ１０２内のレジスト１０６の側壁４０４の上に形成する。超伝導膜４０２から形成された側壁４０４は、（ｘ軸に走っている）超伝導膜４０２に対して垂直になるようにトレンチ１０４内を示したようにｙ軸方向に沿って走り／延び（例えば、ｘ軸またはｚ軸における寸法よりもｙ軸において大きな長さ寸法を有し）、しかし、これらの膜は、互いに物理的に接続されない（例えば、図３０〜図３３は、側壁堆積物がレジストのところに集中し、底部膜に接続しない図を図示している）。第２のシャドウ蒸着は、ギャップ４０６が基板１０８の平面に対する第２の蒸着角θ２Ａに対して第１の超伝導膜２０２の（蒸着の）影の中にあるという理由で、第１の超伝導膜２０２の裏側にギャップ４０６を作り出す。ギャップ４０６の右に、第２の蒸着のシャドウイングは超伝導膜２０２のパッチ４０５を作り出す。
【００３２】
図５は、本発明の実施形態による図４の断面図を描いている。断面図を、図４の破線に沿って取っている。第２のシャドウ蒸着（＃２）は、基板１０８からの低傾斜角θ２Ａで構成される。本発明のいくつかの実施形態では、第２の蒸着中に第２の超伝導膜４０２を形成するために使用する第２の蒸着角θ２Ａは、約２０°から８０°までの範囲にわたることがある。
【００３３】
厚さｔ１Ａは、ギャップ４０６によってのみ分断された連続的な第２の膜４０２をもたらすために、第２の超伝導膜４０２の幅ＷｆｉｎＡよりも大きいまたは少なくともほぼ等しい。厚さｔ１Ａは、第１の超伝導膜２０２の上方に広がり、そして蒸着機器において典型的にモニタされるような堆積した材料の公称の厚さに等しい第２の超伝導膜４０２のくさび斜辺の長さである。上に記したように、側壁４０４は、側壁がリフト・オフにより後で除去されるので、デバイスにはかかわらない。側壁４０４は、レジスト１０６に付着するだけであり、そして側壁４０４は、さらなる堆積および酸化を受けるが、デバイスにはかかわらない。厚さｔ１Ａは、約２０ｎｍから１００ｎｍまでの範囲にわたることがある。ｚ軸における第２の超伝導膜４０２（およびパッチ４０５）の高さＨ２Ａは、幾何学的数式Ｈ２Ａ＝ｔ１Ａ×ｓｉｎ（θ２Ａ）によって厚さｔ１Ａに関係する。ここで、角度θ２Ａは基板１０８からの第２のシャドウ蒸着の傾斜であり、Ｈ２Ａは約１０ｎｍから１００ｎｍまでの範囲にわたることがある。ｘ軸における超伝導膜２０２の幅ＷｆｉｎＡは、約２０ｎｍから２００ｎｍまでの範囲にわたることがある。
【００３４】
図６は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス１００を製造する上面図を描いている。図６は、酸化物層６０２が第１の超伝導膜２０２および第２の超伝導膜４０２の最上部に成長することを示している。例えば、第１および第２の膜２０２および４０２の超伝導金属を、酸化物層６０２を形成するために酸化することができる。酸化物は、真空を破らずに、Ａｌなどの存在する超伝導金属を酸化することによって典型的には成長する。これは、蒸着チャンバまたはこのステップで真空を破らずに試料を出し入れすることができる付属の酸化チャンバへと酸素ガスを導入することにより行われる。あるいは、酸化物を、成長させることの代わりに堆積することができる。図７は、本発明の実施形態による図６の断面図を描いている。図７は、第１の超伝導膜２０２および第２の超伝導膜４０２が最上部に酸化物層６０２を有することを図示している。側壁膜２０４および４０４もやはり酸化されるが、これらの側壁膜はレジスト層１０６に付着するに過ぎず、製造における後の段階でリフト・オフ・ステップにより除去されるという理由で、これらの膜は、最終デバイスの幾何学的形状にはかかわらない。
【００３５】
図８は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス１００を製造する上面図を描いている。酸化の後で、（基板１０８を保持している）ウェハ・ステージを、（その中心の周りに）１８０°回転させる。次いで、第３のシャドウ蒸着（蒸着＃３）を、第３の超伝導膜８０２を形成するために右から基板１０８の平面に対して傾斜角θ３Ａで（これは蒸着＃２と同じであってもよい）実行する。第３のシャドウ蒸着は、ギャップ８０６が第３の蒸着角θ３Ａに関して第１の超伝導膜２０２、第２の超伝導膜４０２、および酸化物層６０２の（蒸着）影内にあるという理由で、第１の超伝導膜２０２の裏側にギャップ８０６を作り出す。第３のシャドウ蒸着は、ギャップ８０６の反対側に第３の超伝導膜８０２のパッチ８０５を作り出す。側壁膜６０４は、製造における後の段階でリフト・オフ・ステップにより除去されるレジスト層１０６の上にもやはり形成される。
【００３６】
図９は、本発明の実施形態による図８の断面図を描いている。第３の傾斜角θ３Ａは、第２の傾斜角θ２Ａに等しい（またはほぼ同じである）。第３の超伝導膜８０２の厚さは、厚さｔ２Ａである。厚さｔ２Ａは、第１および第２の膜２０２および４０２の上方で酸化物層６０２の上方の第３の超伝導膜８０２のある部分のくさび斜辺の長さである。第３のシャドウ蒸着は、厚さｔ２Ａ＞ｔ１Ａであるように実行される。厚さｔ２Ａは、約５０ｎｍから２００ｎｍまでの範囲にわたることがある。第３の超伝導膜８０２の高さＨ３Ａは、関係式Ｈ３Ａ＝ｔ２Ａ×ｓｉｎ（θ３Ａ）を満足し、ここでθ３Ａは基板１０８からの第３のシャドウ蒸着の傾斜（すなわち、ソース蒸着の角度）である。ジョセフソン・トンネル接合デバイス１００が図８および図９で形成されてきている。トンネル接合は、超伝導膜４０２および２０２の組み合わせにより作られた電極、超伝導膜８０２、および２つの電極の間に挟まれた酸化物層６０２の部分を有する。ジョセフソン・トンネル接合デバイス１００は、アウト・オブ・プレーン・トンネル接合を有する。アウト・オブ・プレーン・トンネル接合は、図８に電流の流れ矢印によって描かれた電流の流れに関係するので、縦型トンネル接合９１０および角度付きトンネル接合９１２を含む。縦型トンネル接合９１０は、ｘ軸（幅方向）におけるよりもｚ軸（縦方向）に大きな寸法を有する酸化物層６０２の一部分である。角度付きトンネル接合９１２は、その厚さよりも大きな長さを有する。ジョセフソン・トンネル接合は、酸化物層６０２を挟んでいる２つの超伝導膜（すなわち、超伝導電極）によって形成される。また、左端および右端のところに他のジョセフソン接合が形成されるが、これらの他のジョセフソン接合は、電流の流れ（すなわち、超伝導温度において流れる臨界電流）には関与しないか、または影響を及ぼさないか、あるいはその両方である。
【００３７】
特に、接合面積＝ストリート幅×（Ｈ１Ａ＋ｔ１Ａ）である。ストリート幅は、ｙ軸に沿ったトレンチ１０４（すなわち、ストリート）の幅から（ある端部不正確さを別にして）側壁堆積物２０４のｙ軸に沿った幅を引いたものである。ストリート幅は、約５０ｎｍから３５０ｎｍまでの範囲にわたることがある。
【００３８】
いくつかの実施形態では、（第２の超伝導膜４０２の）厚さｔ１Ａまたは（第３の超伝導膜８０２の）ｔ２Ａは、くさび斜辺（または長さ）が蒸発装置において使用される膜厚モニタにより与えられる厚さと一致するという理由で、くさび斜辺（または長さ）である。ソース蒸発装置は、当業者なら理解するように蒸着により堆積しようとする材料（すなわち、第１、第２、および第３の超伝導膜）を収容する装置である。
【００３９】
上に記したように、（縦型トンネル接合９１０の）ジョセフソン接合面積は、第１の超伝導膜２０２の（右）側面と第３の超伝導膜８０２の（左）側面との間の酸化物層６０２により主に規定される。しかしながら、ジョセフソン接合面積の小さい方の部分（すなわち、角度付きトンネル接合９１２）を、（第１の超伝導膜２０２の上方の）第２の超伝導膜４０２の（長さｔ１Ａを有する）くさび斜辺と第２の超伝導膜４０２の（長さｔ１Ａを有する）くさび斜辺のすぐ上方の第３の超伝導膜８０２の部分との間の酸化物層６０２により規定することができる。電流の流れを図示している矢印を、図８に示したが、図９には示していない。縦型トンネル接合９１０に関する図９では、左から右への説明として、電流は、第２の超伝導膜４０２の左へと、第１の超伝導膜２０２を通り、縦型トンネル接合（酸化物層６０２）を通り、そして第３の超伝導膜８０２へと流れる。角度付きトンネル接合９１２に関して、電流の小さな部分が第１の超伝導膜２０２を上にまたは第２の超伝導膜４０２を上にあるいはその両方を上に、角度付き酸化物層６０２を通り、そして第３の超伝導膜８０２へと流れる。
【００４０】
第１、第２、および第３の超伝導膜２０２、４０２および８０２を、各々同じ超伝導物質とすることができる。本発明のいくつかの実施形態では、第１、第２、および第３の超伝導膜２０２、４０２および８０２のうちの１つまたは複数を、互いに異なるものにすることができる。
【００４１】
ジョセフソン・トンネル接合デバイス１００の製造において様々な選択肢がある。第１、第２、および第３のシャドウ蒸着は、傾斜角θ１Ａ＝傾斜角θ２Ａ＝傾斜角θ３Ａであるように、同じ傾斜角を各々使用することができる。もう１つの選択肢として、第３のシャドウ蒸着に関する傾斜角θ３Ａは、第２の蒸着に関する傾斜角θ２Ａよりも大きい。加えて、右のパッチ４０５を克服するために、第３の超伝導膜８０２の高さＨ３Ａ＝ｔ２Ａ×ｓｉｎ（θ３Ａ）は、第２の超伝導膜４０２およびパッチ４０５の高さＨ２Ａ＝ｔ１Ａ×ｓｉｎ（θ２Ａ）以上である。そうでなければ、パッチ４０５は、第３の超伝導膜８０２に影を作り出すはずであり、パッチ４０５の背後に（すなわち、最上部に）堆積した第３の超伝導膜８０２に対してパッチ４０５の左へ第３の超伝導膜８０２を分離するギャップを作り出すはずである。パッチ４０５の影により新たなギャップが作り出されないことを確実にするために、高さＨ３Ａを、高さＨ２Ａの少なくとも倍（少なくとも２倍）にすることができる。
【００４２】
図では、基板１０８を保持しているウェハ・ステージを、その中心の周りに回転させることができることに留意する。しかしながら、図は、理解を容易にするために水平であるようにｘ軸を保っている。
【００４３】
図１０〜図１５は、さらに下記に論じるように、本発明の実施形態によるジョセフソン・トンネル接合デバイス１０００の製造を描いている。図１０は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス１０００を製造する上面図を描いている。図１１は、図１０の破線に沿って取った、本発明の実施形態による図１０の断面図を描いている。
【００４４】
ステップ・エッジ１００２が基板１０８の上に形成される。ステップ・エッジ１００２は、高さＨ１Ｂであり高いが、幅ＷｆｉｎＢであり狭い。ステップ・エッジ１００２を、リソグラフィおよびエッチングを使用して形成することができる。本発明のいくつかの実施形態では、ステップ・エッジ１００２を基板１０８にエッチングしてもよい。本発明のいくつかの実施形態では、ステップ・エッジ１００２は、基板１０８の上に堆積し次いで所望の形状へとエッチングした層であってもよい。ステップ・エッジ１００２を、超伝導性ではない（そして通常の金属でもない）材料から作る。本発明のいくつかの実施形態では、ステップ・エッジ１００２の材料は、シリコンを含むことができる。本発明のいくつかの実施形態では、ステップ・エッジ１００２は、絶縁性材料であってもよい。ｚ軸におけるステップ・エッジ１００２の高さＨ１Ｂは、約３０ｎｍから３００ｎｍまでの範囲にわたることがある。ｘ軸におけるステップ・エッジ１００２の幅ＷｆｉｎＢは、約２０ｎｍから２００ｎｍまでの範囲にわたることがある。
【００４５】
レジスト層１０６を、ステップ・エッジ１００２の最上部および基板１０８の上に形成する。レジスト層１０６を、トレンチ１０４（すなわち、ストリート）を有するようにパターニングする／形成することができる。しかしながら、トレンチ１０２（すなわち、アベニュー）は、この例では必要ない。トレンチ１０４は、シャドウ蒸着のために使用されるものである。
【００４６】
図１２は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合１０００を製造する上面図を描いている。図１３は、図１２の破線に沿って取った、本発明の実施形態による図１２の断面図を描いている。
【００４７】
（基板１０８を保持している）ウェハ・ステージを、その中心の周りに９０°回転させる。第１のシャドウ蒸着を、トレンチ１０４内に第１の超伝導膜１２０２を堆積させるために実行する。第１のシャドウ蒸着は、厚さｔ１Ｂを有する薄い第１の超伝導膜１２０２を形成するために基板１０８に対して傾斜角θ１Ｂで左からである。第１の超伝導膜１２０２の厚さは、ステップ・エッジ１００２の上方に延びている第１の超伝導膜１２０２の一部分のくさび斜辺の長さである。
【００４８】
厚さｔ１Ｂは、約２０ｎｍから１００ｎｍまでの範囲にわたることがある。厚さｔ１Ｂは、ＷｆｉｎＢよりも大きいかまたは少なくともほぼ等しい。高さＨ２Ｂ＝ｔ１Ｂ×ｓｉｎ（θ１Ｂ）は、第１の超伝導膜１２０２の高さを示している。ステップ・エッジ１００２の高さＨ１Ｂは、傾斜角θ１Ｂでの第１のシャドウ蒸着中に第１の超伝導膜１２０２内にギャップ１２０６および右に（第１の超伝導膜１２０２の）パッチ１２０５を生じさせる。傾斜角θ１Ｂは、約２０°から８０°までの範囲にわたることがある。
【００４９】
図１４は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス１０００を製造する上面図を描いている。図１５は、図１４の破線に沿って取った、本発明の実施形態による図１４の断面図を描いている。酸化物層１４０４を、まさに図１〜図９で論じたように第１の超伝導膜１２０２の最上部に形成する。酸化物層１４０４は、本発明のいくつかの実施形態では酸化物層６０２と同じ酸化物材料であってもよい。本発明の他の実施形態では、酸化物層１４０４は、酸化物層６０２とは異なる酸化物材料であってもよい。
【００５０】
酸化の後で（または前に）、ウェハ・ステージを、その中心の周りに１８０°回転させる。次いで、第２のシャドウ蒸着（＃２）を、トレンチ１０４内に第２の超伝導膜１４０２を堆積させるために傾斜角θ２Ｂで実行する。第２のシャドウ蒸着を、第１の超伝導膜１２０２よりも厚い層の第２の超伝導膜１４０２を堆積させるために（ほぼ）同じ傾斜（角度θ２Ｂ＝角度θ１Ｂ）で実行することができる。第２のシャドウ蒸着は、第２の超伝導膜１４０２のパッチ１４０５をもたらす。傾斜角θ２Ｂは、約２０°から８０°までの範囲にわたることがある。第２の超伝導膜の厚さｔ２Ｂは、くさび斜辺（長さ）である。ジョセフソン接合デバイス１０００には、厚さｔ２Ｂ＞ｔ１Ｂである条件がある。厚さｔ２Ｂは、約５０ｎｍから２００ｎｍまでの範囲にわたることがある。高さＨ３Ｂ＝ｔ２Ｂ×ｓｉｎ（θ２Ｂ）は、第２の超伝導膜１４０２の高さを示している。１８０°だけステージを回転させることおよび角度θ２Ｂだけステージを傾斜させることの代わりに、ステージを回転させず、１８０°−θ２Ｂの傾斜角を使用し、同じ蒸着（＃２）結果を達成することもやはり可能である。
【００５１】
ジョセフソン・トンネル接合デバイス１０００は、アウト・オブ・プレーン・トンネル接合を有する。アウト・オブ・プレーン・トンネル接合は、図１４の電流の流れ矢印によって描かれた電流の流れに関係するので、角度付きトンネル接合１５１２を含む。角度付きトンネル接合１５１２は、その厚さよりも大きな長さを有し、角度付きトンネル接合１５１２は、図１５でｘ軸において左から右へ下に向かって角度を付けられている。電流の流れのために利用されるように、酸化物層１４０４のジョセフソン・トンネル接合を、第１の超伝導膜１２０２の三角形部分（長さｔ１Ｂにより示す）と第２の超伝導膜１４０２の三角形部分（長さｔ２Ｂにより示す）との間に形成する。角度付きトンネル接合１５１２の一部は、ステップ・エッジ１００２の上方であり、他の部分は、第１の超伝導膜１２０２の垂直部分の上方に延びる。
【００５２】
特に、接合面積≒（ストリート幅）×（ｔ１Ｂ）である。ストリート幅は、ｙ軸に沿ったトレンチ１０４（すなわち、ストリート）の幅である。第１の超伝導膜１２０２は、トレンチ１０４内にあり、これにより（レジスト層１０６内のアンダーカットへの蒸着などの、堆積およびリソグラフィの不正確さを別にして）ストリート幅とほぼ一致する。言い換えると、側壁堆積物２０４、４０４および６０４に対応し、図１０〜図１５のジョセフソン・トンネル接合デバイス１０００の製造からもたらされる第１の超伝導膜１２０２の側壁ナローイング（narrowing）がない。側壁ナローイングがないことの利点は、側壁堆積物からの影がストリート幅へのさらなる不正確さをおそらく導入することがあり、これら図２〜図３の第１の膜２０２に関係するような第１の蒸着からの堆積した材料の厚さに依存するので、広がった試料全体にわたるストリート幅の優れた均一性である。ストリート幅は、約５０ｎｍから３５０ｎｍまでの範囲にわたることがある。
【００５３】
電流の流れを図示している矢印を、図１４に示したが図１５には示していない。左から右への説明として、電流は、第１の超伝導膜１２０２の左へと、第１の超伝導膜１２０２を通り、角度付きトンネル接合１５１２（酸化物層１４０２）を通り、第２の超伝導膜１４０２（長さｔ２Ｂを有する三角形部分）へと、第２の超伝導膜１４０２を下って通り、そして第２の超伝導膜１４０２の右側に流れ出る。
【００５４】
第１および第２の超伝導膜１２０２および１４０２を、各々同じ超伝導物質とすることができる。本発明のいくつかの実施形態では、第１および第２の超伝導膜１２０２および１４０２は、異なる超伝導物質であってもよい。
【００５５】
ジョセフソン・トンネル接合デバイス１０００の製造に様々な選択肢がある。本発明のいくつかの実施形態では、第２のシャドウ蒸着（角度θ２Ｂ）は、第１のシャドウ蒸着（角度θ１Ｂ）よりも大きな傾斜角を使用することができる。右のパッチ１２０５を克服するために、第２の超伝導膜１４０２の高さＨ３Ｂ＝ｔ２Ｂ×ｓｉｎ（θ２Ｂ）は、第１の超伝導膜１２０２およびパッチ１２０５の高さＨ２Ｂ＝ｔ１Ｂ×ｓｉｎ（θ１Ｂ）以上である。そうでなければ、パッチ１２０５は、第２の超伝導膜１４０２に影を作り出すはずであり、パッチ１２０５の背後に（すなわち、最上部に）堆積した第２の超伝導膜１４０２に対してパッチ１２０５の左へ第２の超伝導膜１４０２を分離する新たなギャップを作り出すはずである。パッチ１２０５の影により新たなギャップが作り出されないことを確実にするために、高さＨ３Ｂを、高さＨ２Ｂの少なくとも倍（少なくとも２倍）にすることができる。加えて、ステップ・エッジ１００２を、レジストから作ることができ、そしてステップ・エッジ１００２を、除去する（または溶解する、または化学的にエッチングして除去する）ことができ、これにより、角度付きトンネル接合１５１２の下に空きスペースを（すなわち、ステップ・エッジ１００２の上方の物質をリフト・オフせずに）残すことができる。
【００５６】
図１６〜図２１は、本発明の実施形態によるジョセフソン・トンネル接合デバイス１６００の製造を描いている。図１６は、本発明の実施形態によるジョセフソン・トンネル接合デバイス１６００を製造する上面図を描いている。レジスト層１０６を、基板１０８の上にあるパターンに形成し、そしてレジスト層１０６を、基板１０８を露出させるトレンチ１０２（すなわち、アベニュー）および１０４（すなわち、ストリート）のマンハッタン交差点を有するようにパターニングする。このケースでは、トレンチ１０４の幅は、トレンチ１０２の右側よりもトレンチ１０２の左側でｙ軸に広い。
【００５７】
図１６は、ｙ軸に沿った（すなわち、ｙ軸と平行な）第１のシャドウ蒸着（蒸着＃１）を図示している。図１７は、図１６の破線に沿って取った、本発明の実施形態による図１６の断面図である。第１のシャドウ蒸着（＃１）は、（図１７に図示した）高さＨ１Ｃで幅ＷｆｉｎＣを有する薄い第１の超伝導膜１６０２を形成するように構成される。第１の超伝導膜１６０２を、トレンチ１０２内およびトレンチ１０４内のレジスト１０６の側壁１６０４の上に形成する。第１の超伝導膜１６０２の側壁１６０４は、（ｙ軸に走っている）第１の超伝導膜１６０２の一部に垂直になるようにトレンチ１０４内をｘ軸に沿って走り／延び（例えば、ｙ軸またはｚ軸における寸法よりもｘ軸において大きな長さ寸法を有し）、そして側壁１６０４がレジスト層１０６に付着するが、基板１０８または第１の超伝導膜１６０２には付着しないという理由で、それ（側壁１６０４）は、第１の超伝導膜１６０２に接触しない。側壁堆積物１６０４は、トレンチ１０４の右側に堆積するだけであり、第１のシャドウ蒸着（＃１）が基板／ウェハ１０８から測定した角度θ１Ｃを有するときに、レジスト層１０６がトレンチの（狭い）ストリート幅Ｒの全体にわたりトレンチ１０４の右側全体を覆う影を作り出すという理由で、トレンチ１０４の右側の内側の基板１０８の上には堆積しない。側壁堆積物１６０４は、第１のシャドウ蒸着（＃１）が基板／ウェハ１０８から測定した同じ角度θ１Ｃを有するときに、レジスト層１０６がトレンチの（広い）ストリート幅Ｌの全体にわたってはトレンチ１０４の左側全体を覆う影を作らないという理由で、トレンチ１０４の左側およびトレンチ１０４の左側の内側の基板１０８の上の両方に堆積する（例えば、図３３は、このタイプの蒸着のさらなる理解を提供する）。
【００５８】
第１のシャドウ蒸着（＃１）は、図１６では紙面の中に向かっており、これにより第１の超伝導膜１６０２を形成する。第１のシャドウ蒸着を、基板／ウェハ１０８（または基板１０８を保持しているウェハ・ステージ）から測定して角度θ１Ｃで実行することができる。蒸発源（蒸発装置）は、基板１０８の平面に対して９０°の角度で（基板１０８と直角に）基板へと典型的には蒸発させる。傾斜を生成するために、蒸着を、基板１０８（または基板１０８を保持しているウェハ・ステージ）の平面に対して小さな角度で実行する。本発明のいくつかの実施形態では、第１のシャドウ蒸着中に第１の超伝導膜１６０２を形成するために使用する蒸着傾斜角θ１Ｃは、約２０°から８０°までの範囲にわたることがある。
【００５９】
厚さｔ１Ｃは、蒸着モニタにおける第１の超伝導膜１６０２の厚さである。第１の超伝導膜１６０２の厚さｔ１Ｃは、約２０ｎｍから１００ｎｍまでの範囲にわたることがある。第１の超伝導膜１６０２の高さＨ１Ｃは、Ｈ１Ｃ＝ｔ１Ｃ×ｓｉｎ（θ１Ｃ）である。ｚ軸における第１の超伝導膜１６０２の高さＨ１Ｃは、約１０ｎｍから１００ｎｍまでの範囲にわたることがある。構築様式（construction）により、高さＨ１Ｃは、ｔ１Ｃの一部分であり、そして常にｔ１Ｃより小さくなることに留意する。（Ｈ１Ｃに関連して）厚さｔ１Ｃが、説明目的のためにそして理解を容易にするために示されている。ｘ軸に沿った第１の超伝導膜１６０２の（トレンチ１０２内の）幅ＷｆｉｎＣは、約２０ｎｍから２００ｎｍまでの範囲にわたることがある。
【００６０】
図１８は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス１６００を製造する上面図を描いている。図１９は、図１８の破線に沿って取った、本発明の実施形態による図１８の断面図である。第２のシャドウ蒸着（蒸着＃２）は、第１のシャドウ蒸着のように、再びｙ軸に沿って（すなわち、ｙ軸に平行）である。第２のシャドウ蒸着（＃２）は、（図１９に図示した）高さＨ２Ｃおよび幅ＷｆｉｎＣを有する高いが狭い第２の超伝導膜１８０２を形成するように構成される。第２の超伝導膜１８０２を、トレンチ１０２内およびこれまでに形成した側壁１６０４の側壁１８０４の上に（これは順に、レジスト１０６の側壁の上である）形成する。第２の超伝導膜１８０２の側壁１８０４は、（ｙ軸に走っている）第２の超伝導膜１８０２の一部に対して垂直になるようにトレンチ１０４内をｘ軸に沿って走り／延び（例えば、ｙ軸またはｚ軸における寸法よりもｘ軸において大きな長さ寸法を有し）、そして（シャドウ堆積がこれまでの側壁１６０４の上で終わるという理由で）トレンチに接続されない。
【００６１】
第２のシャドウ蒸着（＃２）もまた、図１８では紙面の中に向かっており、これにより第２の超伝導膜１８０２を形成する。第２のシャドウ蒸着を、基板／ウェハ１０８（または基板１０８を保持しているウェハ・ステージ）から測定して角度θ２Ｃで実行することができる。再び、蒸発源（蒸発装置）は、基板１０８の平面に対して９０°の角度で（基板１０８と直角に）基板へと典型的には蒸発させる。傾斜を生成するために、蒸着を、基板１０８（または基板１０８を保持しているウェハ・ステージ）の平面に対してより小さな角度で実行する。本発明のいくつかの実施形態では、第２のシャドウ蒸着中に第２の超伝導膜１８０２を形成するために使用する蒸着傾斜角θ２Ｃは、約１０°から６０°までの範囲にわたることがある。角度θ２Ｃは、角度θ１Ｃと比較して基板の平面から非常に浅い傾斜角を有する（すなわち、角度θ１Ｃ＞角度θ２Ｃ）。簡単のために、第１および第２の超伝導膜１６０２および１８０２の高さ同士の間の関係を、高さＨ２Ｃ＞＞高さＨ１Ｃとすることができる。
【００６２】
図２０は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス１６００を製造する上面図を描いている。図２１は、図２０の破線に沿って取った、本発明の実施形態による図２０の断面図である。酸化物層１９２２を、（図１〜図１５に論じた通りに）第１の超伝導膜１６０２および第２の超伝導膜１８０２の最上部に形成する。酸化物層１９２２は、本発明のいくつかの実施形態では酸化物層６０２と同じ酸化物材料であってもよい。本発明の他の実施形態では、酸化物層１９２２は、酸化物層６０２とは異なる酸化物材料であってもよい。
【００６３】
酸化の後で（または前に）、ウェハ・ステージを、（その中心の周りに）９０°回転させる。次いで、第３のシャドウ蒸着（＃３）を、トレンチ１０４内に第３の超伝導膜１９０２を堆積させるために傾斜角θ３Ｃで実行する。第３のシャドウ蒸着を、第３の超伝導膜１９０２を堆積させるために傾斜角θ３Ｃで右から実行し、反対側に第３の超伝導膜１９０２のパッチ１９０５を結果として生じさせる。傾斜角θ３Ｃは、約２０°から８０°までの範囲にわたることがある。第３の超伝導膜１９０２の厚さｔ２Ｃは、くさび斜辺（長さ）である。厚さｔ２Ｃは、約５０ｎｍから２００ｎｍまでの範囲にわたることがある。
【００６４】
ジョセフソン・トンネル接合デバイス１６００は、アウト・オブ・プレーン・トンネル接合を有する。アウト・オブ・プレーン・トンネル接合は、図２０の電流の流れ矢印によって描かれた電流の流れに関係するので、縦型トンネル接合２１１０を含む。縦型トンネル接合２１１０は、図２１に描いたようにｘ軸におけるその幅よりも大きな（ｚ軸における）高さを有する。電流の流れのために利用されるように、酸化物層１９２２のジョセフソン・トンネル接合を、第２の超伝導膜１８０２（の右側）と第３の超伝導膜１９０２（の左側）との間に形成する。縦型トンネル接合２１１０の非常に小さな部分を、第１の超伝導膜１６０２の右側と第３の超伝導膜１９０２の小さな左側との間に形成する。小さなトンネル接合が第２の超伝導膜１８０２の上方にあるとはいえ、このトンネル接合は、高さＨ２Ｃ＞＞フィン幅ＷｆｉｎＣである限り、電流の流れに関与しない（または取るに足らない程度しか付加しない）。イン・プレーン・トンネル接合２１１４が形成されるが、イン・プレーン・トンネル接合２１１４は、電流の流れに関与しないか、またはほんのわずかしか関与しないあるいはその両方であることに留意する。
【００６５】
特に、図２０および図２１に示したように、接合面積≒（有効な（active）ストリート幅）×（Ｈ１Ｃ＋Ｈ２Ｃ＋ＷｆｉｎＣ）である。有効なストリート幅は、ｙ軸に沿ったトレンチ１０４（すなわち、ストリート）の右側のストリート幅Ｒからトレンチ１０４の右側の側壁堆積物１６０４と１８０４の総計のｙ軸幅を引いたものである。有効なストリート幅は、約２０ｎｍから２００ｎｍまでの範囲にわたることがある。高さＨ２Ｃ＞＞高さＨ１Ｃである限り、厚さＨ１Ｃは、この実施形態では接合面積にとって無意味であり、省略することができることに留意する。高さＨ２Ｃ＞＞幅ＷｆｉｎＣである限り、幅ＷｆｉｎＣは、この実施形態では接合面積にとって無意味であり、省略することができることに留意する。
【００６６】
電流の流れを図示している矢印を、図２０には示したが、図２１には示していない。左から右への説明として、電流は、第１の超伝導膜１６０２の左へと、第２の超伝導膜１８０２へと、縦型トンネル接合２１１０（縦の酸化物層１９２２）を通り、第３の超伝導膜１９０２へと、そして第３の超伝導膜１９０２の右側で外へ流れる。
【００６７】
第１、第２および第３の超伝導膜１６０２、１８０２および１９０２は、それぞれ同じ超伝導物質であってもよい。本発明のいくつかの実施形態では、第１、第２および第３の超伝導膜１６０２、１８０２および１９０２のうちの１つまたは複数は、互いに違っていてもよい。
【００６８】
ジョセフソン・トンネル接合デバイス１６００の製造において様々な選択肢がある。本発明のいくつかの実施形態では、第１のシャドウ蒸着（角度θ１Ｃ）は、第３のシャドウ蒸着（角度θ３Ｃ）と相等しくてもよい。高さＨ２Ｃは、接合面積≒（有効なストリート幅）×（Ｈ２Ｃ＋ＷｆｉｎＣ）についての式に達するためには、高さＨ１Ｃよりもはるかに大きいと仮定する。
【００６９】
図２２〜図２４は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス２２００の製造を描いている。図２２は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス２２００を製造する上面図を描いている。上に論じたように、レジスト層１０６を基板１０８の上にパターンに形成し、レジスト層１０６を、基板１０８を露出させるトレンチ１０２および１０４のマンハッタン交差点を有するようにパターニングする。
【００７０】
図２２は、ｙ軸に沿った（すなわち、ｙ軸と平行な）第１のシャドウ蒸着（蒸着＃１）を図示している。図２３は、本発明の実施形態による図２２の断面図である。断面を、図２２の破線に沿って取った。第１のシャドウ蒸着（＃１）は、（図２３に示した）高さＨ１Ｄおよび幅ＷｆｉｎＤを有する高いが狭い第１の超伝導膜２２０２を形成するように構成される。高さＨ１Ｄは、約３０ｎｍから３００ｎｍまでの範囲にわたることがある。幅ＷｆｉｎＤは、約２０ｎｍから２００ｎｍまでの範囲にわたることがある。第１の超伝導膜２２０２を、トレンチ１０２内におよびトレンチ１０４内のレジスト１０６の側壁２２０４の上に形成する。第１の超伝導膜２２０２の側壁２２０４は、（ｙ軸に走っている）第１の超伝導膜２２０２の一部に対して垂直になるようにトレンチ１０４内をｘ軸方向に沿って走り／延び（例えば、ｙ軸またはｚ軸における寸法よりもｘ軸において大きな長さ寸法を有し）、そして、第１の超伝導膜２２０２には接続されない。
【００７１】
第１のシャドウ蒸着（＃１）は、図２３では紙面の中に向かっており、これにより第１の超伝導膜２２０２を形成する。第１のシャドウ蒸着を、基板／ウェハ１０８（または基板１０８を保持しているウェハ・ステージ）から測定して角度θ１Ｄで実行することができる。蒸発源（蒸発装置）は、基板１０８の平面に対して９０°の角度で（基板１０８と直角に）基板へと典型的には蒸発させる。傾斜を生成するために、蒸着を、基板１０８（または基板１０８を保持しているウェハ・ステージ）の平面に対してより小さな角度で実行する。本発明のいくつかの実施形態では、第１のシャドウ蒸着中に第１の超伝導膜２２０２を形成するために使用する蒸着傾斜角θ１Ｄは、約３０°から８０°までの範囲にわたることがある。
【００７２】
図２４は、本発明の実施形態による、ジョセフソン・トンネル接合デバイス２２００を製造する上面図を描いている。図２５は、本発明の実施形態による図２４の断面図を描いている。断面を、図２４の破線に沿って取っている。酸化物層２４２２を、（図１〜図２１で論じた通りに）第１の超伝導膜２２０２の最上部に形成する。酸化物層２４２２は、本発明のいくつかの実施形態では酸化物層６０２と同じ酸化物材料であってもよい。本発明の他の実施形態では、酸化物層２４２２は、酸化物層６０２とは異なる酸化物材料であってもよい。
【００７３】
酸化の後で（または前に）、ウェハ・ステージを、（その中心の周りに）９０°回転させる。図２４は、第２のシャドウ蒸着（蒸着＃２）を実行するために、（蒸発源に対して）ウェハ・ステージを９０°回転させることを図示している。第２のシャドウ蒸着（＃２）は、右からであり、第２の超伝導膜２４０２のパッチ２４０５とともに第２の超伝導膜２４０２を形成するように構成される。第２の超伝導膜２４０２を、トレンチ１０４内およびトレンチ１０２内のレジスト１０６の側壁２４０４の上に形成する。第２の超伝導膜２４０２から形成された側壁２４０４は、（ｙ軸に走っている）第２の超伝導膜２４０２の一部分に対して垂直になるようにトレンチ１０２内をｙ軸に沿って走り／延び（例えば、ｘ軸またはｚ軸における寸法よりもｙ軸において大きな長さ寸法を有し）、これは、第２の超伝導膜２４０２には接続されない。第２のシャドウ蒸着は、ギャップ２４０６が第２の蒸着角θ２Ｄに関して第１の超伝導膜２２０２の（蒸着）影内であるという理由で、第１の超伝導膜２２０２の裏側にギャップ２４０６を作り出す。
【００７４】
第２の超伝導膜２４０２は、厚さｔ１Ｄおよび高さＨ２Ｄを有する。厚さｔ１Ｄは、第１の超伝導膜２２０２の幅ＷｆｉｎＤよりも大きいか、または少なくともほぼ等しい。厚さｔ１Ｄは、第１の超伝導膜２２０２の上方および側壁２４０４の上方に延びる第２の超伝導膜２４０２のくさび斜辺の長さである。厚さｔ１Ｄは、約２０ｎｍから１００ｎｍまでの範囲にわたることがある。ｚ軸における第２の超伝導膜２４０２の高さＨ２Ｄは、約１０ｎｍから１００ｎｍまでの範囲にわたることがある。高さＨ２Ｄ＝ｔ１Ｄ×ｓｉｎ（θ２Ｄ）であり、ここで角度θ２Ｄは、基板１０８からの第２のシャドウ蒸着の傾斜である。本発明のいくつかの実施形態では、第２のシャドウ蒸着中に第２の超伝導膜２４０２を形成するために使用する蒸着傾斜角θ２Ｄは、約２０°から８０°までの範囲にわたることがある。
【００７５】
ジョセフソン・トンネル接合デバイス２２００は、アウト・オブ・プレーン・トンネル接合を有する。アウト・オブ・プレーン・トンネル接合は、図２４に電流の流れ矢印によって描かれた電流の流れに関係するので、縦型トンネル接合２５１０を含む。縦型トンネル接合２５１０は、図２５に描いたようにｘ軸におけるその幅よりも大きな（ｚ軸における）高さを有する。電流の流れのために利用されるように、酸化物層２４２２のジョセフソン・トンネル接合は、第１の超伝導膜２２０２（の右側）と第２の超伝導膜２４０２（の左側）との間に形成される。小さなイン・プレーン・トンネル接合２５１４が第１の超伝導膜２２０２の上方にあるとはいえ、このトンネル接合は、電流の流れに関与しない（または取るに足らない程度しか付加しない）。
【００７６】
特に、接合面積≒（ストリート幅）×（Ｈ１Ｄ＋ＷｆｉｎＤ）である。ストリート幅は、ｙ軸に沿ったトレンチ１０４（すなわち、ストリート）の幅からｙ軸に沿った側壁堆積物２２０４幅を引いたものである。ストリート幅は、第１および第２の超伝導膜２２０２および２４０２を含む。ストリート幅は、約５０ｎｍから３５０ｎｍまでの範囲にわたることがある。高さＨ１Ｄ＞＞幅ＷｆｉｎＤである限り、幅ＷｆｉｎＤは、この実施形態では接合面積決定にとって無意味であり、省略することができることに留意する。
【００７７】
電流の流れを図示している矢印を、図２４には示したが、図２５には示していない。第１の超伝導膜２２０２が図２５では紙面の中および外に広がることに留意する。電流の流れの説明として、電流は、（図２５では）ｙ軸において紙面の中へと流れることにより第１の超伝導膜２２０２へと流れ、ｘ軸に沿って右方向に流れることにより縦型トンネル接合２５１０（縦の酸化物層２４２２）を通って第２の超伝導膜２４０２へと流れ、そして第２の超伝導膜２４０２の右側で外へ流れる。
【００７８】
第１および第２の超伝導膜２２０２および２４０２は、それぞれ同じ超伝導物質であってもよい。本発明のいくつかの実施形態では、第１および第２の超伝導膜２２０２および２４０２のうちの１つまたは複数は、互いに違っていてもよい。
【００７９】
ジョセフソン・トンネル接合デバイス２２００の製造には様々な選択肢がある。本発明のいくつかの実施形態では、第１のシャドウ蒸着（角度θ１Ｄ）は、第２のシャドウ蒸着（角度θ２Ｄ）と同じであってもよい。これは９０°ジョセフソン接合であり、ジョセフソン接合を横切る電流経路が上面図（図２４）では９０°回転させることを意味することに留意する。
【００８０】
図２６は、本発明の実施形態による、アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合デバイス１００の側壁トンネル接合を形成する方法のフロー・チャート２６００を描いている。ブロック２６０２において、第１の伝導層２０２を、（角度θ１Ａで）第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成する。ブロック２６０４において、第２の伝導層４０２を、第１の伝導層２０２の一部分の上に形成する。ここでは第２の伝導層４０２を、（角度θ２Ａで）第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成する。ブロック２６０６において、酸化物層６０２を、第１の伝導層２０２および第２の伝導層４０２の上に形成する。ブロック２６０８において、第３の伝導層８０２を、側壁トンネル接合（例えば、縦型トンネル接合９１０）が第１の伝導層２０２と第３の伝導層８０２との間に位置するように、酸化物層６０２の領域の上に形成する。
【００８１】
側壁トンネル接合のセグメント（例えば、角度付きトンネル接合９１２）は、第２の伝導層４０２（例えば、図９では第２の伝導層４０２の垂直部分の上方および第１の伝導層２０２の上方の第２の伝導層４０２の三角形部分）と第３の伝導層（例えば、図９では第２の伝導層４０２の垂直部分の上方および第１の伝導層２０２の上方の第３の超伝導膜８０２の三角形部分）との間に位置する。側壁トンネル接合のセグメントは、第１の伝導層の上方にある。第１、第２、および第３の伝導層２０２、４０２、８０２は、超伝導物質である。酸化物層６０２は、第１および第２の伝導層２０２、４０２の酸化物である。
【００８２】
図２７は、本発明の実施形態による、アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合デバイス１０００の側壁トンネル接合を形成する方法のフロー・チャート２７００を描いている。ブロック２７０２において、非金属層１００２（すなわち、ステップ・エッジ）を、（例えば、ｘ軸における）幅寸法よりも大きな（例えば、ｚ軸における）高さ寸法で形成する。ブロック２７０４において、第１の伝導層１２０２を、非金属層１００２の一部分の上に形成する。ここでは、第１の伝導層１２０２を、（例えば、角度θ１Ｂで）第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成する。ブロック２７０６において、酸化物層１４０４を、第１の伝導層１２０２の上に形成する。ブロック２７０８において、第２の伝導層１４０２を、側壁トンネル接合（例えば、アウト・オブ・プレーン角度付きトンネル接合１５１２）が第１の伝導層１２０２と第２の伝導層１４０２との間に位置するように、酸化物層１４０４の一部の上に形成する。
【００８３】
側壁トンネル接合（例えば、アウト・オブ・プレーン角度付きトンネル接合１５１２）は、図１５では非金属層１００２の上方にある。第１の伝導層１２０２を、非金属層１００２の一方の側に（例えば、図１３および図１５では左側に）形成する。第２の伝導層１４０２を、第１の伝導層とは反対の非金属層のもう一方の側（例えば、図１５では右側）の上に形成する。第１および第２の伝導層は超伝導物質である。
【００８４】
図２８は、本発明の実施形態による、アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合デバイス１６００の側壁トンネル接合を形成する方法のフロー・チャート２８００を描いている。ブロック２８０２において、第１の伝導層１６０２を、（例えば、角度θ１Ｃで）第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成する。ここで第１の伝導層１６０２は、（例えば、ｚ軸における）高さ寸法よりも大きな（例えば、ｘ軸における）幅寸法を有する。ブロック２８０４において、第１の伝導層１６０２の一部分の最上部に形成し、ここで、第２の伝導層１８０２を、（例えば、角度θ２Ｃで）第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成する。ブロック２８０６において、酸化物層１９２２を、第１の伝導層１６０２および第２の伝導層１８０２の上に形成し、ここで第１の伝導層１６０２の一部（例えば、図２１の底部右部分）が第２の伝導層１８０２の下にある。ブロック２８０８において、第３の伝導層１９０２を、側壁トンネル接合（例えば、縦型トンネル接合２１１０）が第２の伝導層１８０２と第３の伝導層１９０２との間に位置するように、酸化物層１９２２の一部の上に形成する。ここで側壁トンネル接合（例えば、図２１の縦型トンネル接合２１１０の底部部分）が第１の伝導層１６０２の一部と第３の伝導層１９０２（図２１では底部部分）との間にも位置する。
【００８５】
第２の伝導層１８０２の最上部部分は、イン・プレーン・トンネル接合２１１４が第３の伝導層１９０２と第２の伝導層１８０２の最上部部分との間にも位置するように、酸化物層１９２２により覆われる。酸化物層１９２２は、第２の伝導層１８０２の横部分（例えば、左側）を覆い、そしてこの横部分は、側壁トンネル接合の反対（例えば、縦型トンネル接合２１１０の反対）である。第１、第２、および第３の伝導層１６０２、１８０２、１９０２は、超伝導物質である。
【００８６】
図２９は、本発明の実施形態による、アウト・オブ・プレーン・ジョセフソン接合デバイス２２００の側壁トンネル接合を形成する方法のフロー・チャート２９００である。ブロック２９０２において、第１の伝導層２２０２を、（角度θ１Ｄで）第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して形成する。ここで第１の伝導層２２０２は、（例えば、図２３のｘ軸における）幅寸法よりも大きな（例えば、図２３のｚ軸における）高さ寸法を有する。ブロック２９０４において、酸化物層２４２２を、第１の伝導層２２０２の上に形成する。ブロック２９０６において、第２の伝導層２４０２を、側壁トンネル接合（例えば、縦型トンネル接合２５１０）が第２の伝導層２４０２と第１の伝導層２２０２の最上部部分および横部分との間に位置するように、第１の伝導層２２０２の（イン・プレーン・トンネル接合２５１４を形成するための）最上部部分および横部分を覆っている酸化物層２４２２の上に形成する。第２の伝導層２４０２を、（角度θ２Ｄで）第２のシャドウ・マスク蒸着により形成する。
【００８７】
酸化物層２４２２は、第１の伝導層２２０２のもう一方の横部分を覆い、もう一方の横部分（例えば、第１の伝導層２２０２の左側）が横部分（例えば、右側）の反対である。第２の伝導層２４０２には、第１の伝導層２２０２のもう一方の横部分（例えば、第１の伝導層２２０２の左側）を覆っている酸化物層２４２２がない。第２の伝導層２４０２の（例えば、図２５の左側の）一部分は、第１の伝導層２２０２とは間隔を空けて離れている。加えて、発明のある実施形態を、この存在する「パッチ」を用いずに巧みに処理することができる。ストリートの左側のレジストを、アベニューに近づけることができ、次いでこの部分がレジストの上に乗り、そして最終的にリフト・オフされる。
【００８８】
第１および第２の伝導層２２０２、２４０２は、超伝導物質である。第１および第２の伝導層２２０２、２４０２は、同じ物質であっても異なる物質であってもよい。酸化物層２４２２は、第１の伝導層２２０２の酸化物である。
【００８９】
（約１０〜１００ミリケルビン（ｍＫ）、または約４Ｋなどの低温における）超伝導物質の例は、ニオブ、アルミニウム、タンタル、等を含む。例えば、ジョセフソン接合を超伝導物質から作り、そしてそのトンネル接合を、酸化物などの薄いトンネル障壁から作ることができる。様々な素子を接続している任意の伝送線（すなわち、電線）が、超伝導物質から作られる。
【００９０】
図３０は、本発明の実施形態による概念を描いている上面図である。図３１は、本発明の実施形態による概念を図説するために図３０から取った断面図である。図３２は、本発明の実施形態による概念を図説するために図３０から取った断面図である。図３３は、本発明の実施形態による概念を図説するために図３０から取った断面図である。図３０、図３１、図３２、および図３３は、シャドウ蒸着がどのように機能するかの例を描いている。例えば、図３１は、影が基板の上に蒸着物（物質）ランド（堆積した膜）を作るときを図示し、一方で図３２は、影がレジストの上にだけ蒸着物（物質）ランド（側壁堆積物および最上部堆積物）を作るときを図示している。最後に、図３３は、影が部分的に基板の上に蒸着物（物質）ランド（堆積した膜）および部分的にレジストの上に蒸着物（物質）ランド（側壁堆積物および最上部堆積物）を作るときを図示している。図３３では、蒸着物（物質）のうちの一部が最上部レジスト層と基板との間の領域内に達する（land）。この領域を、当業者なら理解するように、アンダーカットをともなう底部レジスト層を使用して作り出すことができる。図３１、図３２、および図３３の最上部レジスト層の上に達する蒸着物（物質）は、単純化のために図３０の上面図には示されない。図３２および図３３の側壁堆積物は、最上部レジストの上にだけ達し、基板の上には達しない、そして側壁堆積物は基板の上に直接達するすべての堆積した膜には接続されない。
【００９１】
本発明の様々な実施形態を、関係する図面を参照して本明細書において説明している。代替の実施形態を、この発明の範囲から逸脱せずに考案することができる。様々な接続および位置関係（例えば、上方に、下方に、隣接して、等）を下記の説明においておよび図面において要素同士の間で述べているけれども、当業者なら、本明細書において説明した位置的関係のうちの多くは、向きが変わったとしても説明した機能が維持されるときには向きに無関係であることを理解するだろう。これらの接続または位置的関係あるいはその両方は、別なふうに明示しない限り、直接的であっても間接的であってもよく、そして本発明は、この点に関して限定するものではない。したがって、エンティティ同士のカップリングは、直接カップリングまたは間接カップリングのいずれかを呼ぶことができ、エンティティ同士の間の位置関係は、直接的な位置関係であっても間接的な位置関係であってもよい。間接的な位置関係の例として、層「Ｂ」の上方に層「Ａ」を形成するという本明細書における言及は、層「Ａ」および層「Ｂ」の関連する特性および機能が中間の層により実質的に変わらない限り、１つまたは複数の中間の層（例えば、層「Ｃ」）が層「Ａ」と層「Ｂ」との間にある状況を含む。
【００９２】
下記の定義および短縮は、特許請求の範囲および明細書の解釈のために使用されるべきである。本明細書において使用するように、「備える（comprise）」、「備えている（comprising）」、「含む（include）」、「含んでいる（including）」、「有する（has）」、「有している（having）」、「含有する（contain）」もしくは「含有している（containing）」という用語、またはこれらのいずれかの他の変形は、非排他的な包含関係をカバーするものとする。例えば、組成、混合物、プロセス、方法、物品、または一連の要素を含む装置は、これらの要素だけに必ずしも限定される必要がないだけでなく、このような組成、混合物、プロセス、方法、物品、または装置に明確に列挙されていないもしくは固有な他の要素を含むことができる。
【００９３】
加えて、「例示的な（exemplary）」という用語を、「例（example）、事例（instance）または実例（illustration）として働くこと」を意味するように本明細書では使用する。「例示的な」として本明細書において説明したいずれかの実施形態または設計が、他の実施形態または設計よりも好ましいか、または有利であると必ずしも解釈される必要がない。「少なくとも１つの」および「１つまたは複数の」という用語を、１以上の任意の整数、すなわち、１、２、３、４、等を含むように理解する。「複数の」という用語は、２以上の任意の整数、すなわち、２、３、４、５、等を含むように理解する。「接続」という用語は、間接「接続」および直接「接続」を含むことができる。
【００９４】
「１つの実施形態」、「ある実施形態」、「ある例の実施形態」、等への明細書における言及は、説明した実施形態がある特定の特徴、構造、または特性を含むことができるが、すべての実施形態がその特定の特徴、構造、または特性を含んでも含まなくてもよいことを示している。その上、このような言い回しは、同じ実施形態に言及することを必ずしも必要としない。さらに、ある特定の特徴、構造、または特性がある実施形態に関連して説明されるときには、明示的に説明されるか否かにかかわらず他の実施形態に関連してこのような特徴、構造、または特性に影響を及ぼすことは当業者の知識内であるとみなされる。
【００９５】
以降の説明の目的で、「上部」、「下部」、「右」、「左」、「垂直」、「水平」、「最上部」、「底部」という用語およびこれらの派生物は、描いている図に向けられているように、説明した構造および方法に関係するはずである。「重なっている」、「頂上に」、「最上部に」、「上に位置する」または「頂上に位置する」という用語は、第１の構造などの第１の要素が、第２の構造などの第２の要素の上に存在することを意味し、ここでは、界面構造などの介在する要素が第１の要素と第２の要素との間に存在することがある。「直接接触」という用語は、第１の構造などの第１の要素および第２の構造などの第２の要素が、２つの要素の界面のところに何らかの中間の伝導層、絶縁層または半導体層なしに接続されることを意味する。
【００９６】
例えば、「第１の要素は、第２の要素に対して選択的である」などの「に対して選択的」という言い回しは、第１の要素をエッチングすることができ、そして第２の要素がエッチ・ストップとして働くことができることを意味する。
【００９７】
「約」、「実質的に」、「ほぼ」という用語、およびこれらの変形は、出願を提出する時点において利用可能な機器に基づく特定の量の測定に関係する誤差の程度を含むものとする。例えば、「約」は、与えられた値の±８％または５％または２％の範囲を含むことができる。
【００９８】
本明細書においてこれまでに記したように、簡潔さのために、半導体デバイスおよび集積回路（ＩＣ）製造に関する従来技術を、本明細書において詳細に説明したことも説明しなかったこともある。背景として、しかしながら、本発明の１つまたは複数の実施形態を実装する際に利用することができる半導体デバイス製造プロセスのより一般的な説明を、ここで提供しよう。本発明の１つまたは複数の実施形態を実装する際に使用する具体的な製造操作が個々に知られていることがあるとはいえ、本発明の説明した操作または得られた構造あるいはその両方の組み合わせは、独特である。したがって、本発明による半導体デバイスの製造に関連して説明した操作の独特の組み合わせは、半導体（例えば、シリコン）基板の上に実行される様々な個々の知られている物理的プロセスおよび化学的プロセスを利用し、そのうちのいくつかが、すぐ下の段落において説明される。
【００９９】
一般に、ＩＣへとパッケージングされるマイクロ・チップを形成するために使用する様々なプロセスは、４つの一般的なカテゴリー、すなわち、膜堆積、除去／エッチング、半導体ドーピングおよびパターニング／リソグラフィへと分類される。堆積は、ウェハの上へと物質を成長させる、コーティングするか、またはそうでなければ移動させるいずれかのプロセスである。利用可能な技術は、物理気相堆積（ＰＶＤ）、化学気相堆積（ＣＶＤ）、電気化学堆積（ＥＣＤ）、分子線エピタキシ（ＭＢＥ）、そして最近は、とりわけ原子層堆積（ＡＬＤ）を含む。除去／エッチングは、ウェハから物質を除去する任意のプロセスである。例は、エッチ・プロセス（ウェットまたはドライのいずれか）、および化学機械平坦化（ＣＭＰ）、等を含む。半導体ドーピングは、例えば、トランジスタ・ソースおよびドレインのドーピングによる、一般に拡散によるまたはイオン注入によるあるいはその両方による、電気的特性の変更である。これらのドーピング・プロセスには、炉アニーリングまたは高速熱アニーリング（ＲＴＡ）が続く。アニーリングは、注入したドーパントを活性化させるように働く。導体（例えば、ポリシリコン、アルミニウム、銅、等）および絶縁体（二酸化シリコン、窒化シリコン、等の様々な形態）の両方の膜を、トランジスタおよびその構成要素を接続しそして分離するために使用する。半導体基板の様々な領域の選択的なドーピングは、基板の導電率が電圧の印加で変化することを可能にする。これらの様々な構成要素の構造を作り出すことによって、数百万個のトランジスタを、最新のマイクロエレクトロニック・デバイスの複雑な回路を形成するために、一緒に構築し配線することができる。半導体リソグラフィは、基板へのパターンのその後の転写のために半導体基板の上への三次元レリーフ像またはパターンの形成である。半導体リソグラフィでは、パターンを、フォトレジストと呼ばれる感光性ポリマにより（または代替でｅビーム・リソグラフィではｅビーム・レジストによりあるいはその両方により）形成する。トランジスタおよび回路の数百万個のトランジスタを接続する多くの配線を作る複雑な構造を構築するために、リソグラフィおよびエッチ・パターン転写ステップを多数回繰り返す。ウェハの上に印刷される各々のパターンを、これまでに形成したパターンに位置合わせし、ゆっくりと導体、絶縁体、および選択的にドーピングした領域が、最終デバイスを形成するために構築される。
【０１００】
図のフロー・チャートおよびブロック図は、本発明の様々な実施形態による製造方法または動作方法あるいはその両方の可能な実装形態を図示している。方法の様々な機能／動作が、ブロックにより流れ図では表されている。いくつかの代替の実装形態では、ブロックに記した機能が、図に記した順序とは違って生じることがある。例えば、連続して示した２つのブロックを、実際に実質的に同時に実行することができるか、またはそのブロックを、含まれる機能に応じて、反対の順序で時には実行することができる。
【０１０１】
本発明の様々な実施形態の説明が、説明の目的で提示されてきているが、開示した実施形態を網羅するものでも限定するものでもない。多くの変更形態および変形形態が、記述した実施形態の範囲および思想から逸脱することなく当業者には明らかであろう。本明細書において使用した用語法は、実施形態の原理、現実的な用途もしくは市場において見いだされる技術に対する技術的な改善を最も良く説明するように、または当業者が本明細書において説明した実施形態を理解することを可能にするように選択された。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【手続補正書】
【提出日】令和2年4月20日(2020.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
側壁トンネル接合を形成する方法であって、
第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して第１の伝導層を形成することと、
第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して、前記第１の伝導層の一部分の上に第２の伝導層を形成することと、
前記第１の伝導層および前記第２の伝導層の上に酸化物層を形成することと、
前記側壁トンネル接合が前記第１の伝導層と第３の伝導層との間に位置するように、前記酸化物層の一部の上に前記第３の伝導層を形成することと
を含む、方法。
【請求項２】
前記第１の伝導層は、高さ寸法よりも大きな幅寸法を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記側壁トンネル接合のセグメントが、前記第２の伝導層と前記第３の伝導層との間に位置する、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記側壁トンネル接合の前記セグメントが、前記第１の伝導層の上方にある、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記第１、第２および第３の伝導層が、超伝導物質である、請求項１ないし４のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
前記酸化物層が、前記第１および第２の伝導層の酸化物である、請求項１ないし５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
側壁トンネル接合を形成する方法であって、
幅寸法よりも大きな高さ寸法を有する非金属層を形成することと、
第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して、前記非金属層の一部分の上に第１の伝導層を形成することと、
前記第１の伝導層の上に酸化物層を形成することと、
前記側壁トンネル接合が前記第１の伝導層と前記第２の伝導層との間に位置するように、前記酸化物層の一部の上に第２の伝導層を形成することと
を含む、方法。
【請求項８】
前記側壁トンネル接合が、前記非金属層の上方にある、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の伝導層が、前記非金属層の一方の側に形成される、請求項７または８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第２の伝導層が、前記非金属層の、前記第１の伝導層と反対のもう一方の側に形成される、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
側壁トンネル接合を形成する方法であって、
第１のシャドウ・マスク蒸着を使用して、幅寸法よりも大きな高さ寸法を有する第１の伝導層を形成することと、
前記第１の伝導層の上に酸化物層を形成することと、
第２のシャドウ・マスク蒸着を使用して、前記第２の伝導層を形成することとを含み、前記側壁トンネル接合が第２の伝導層と前記第１の伝導層の上部および横部分との間に位置するように、前記第１の伝導層の前記上部および前記横部分を覆っている前記酸化物層の上に前記第２の伝導層を形成すること
を含む、方法。
【請求項１２】
前記酸化物層は、前記第１の伝導層の、前記横部分の反対側のもう一方の横部分を覆う、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第２の伝導層には、前記第１の伝導層の前記もう一方の横部分を覆う前記酸化物層がない、請求項１１または１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１および第２の伝導層が、超伝導物質である、請求項７ないし１３のいずれかに記載の方法。
【請求項１５】
前記酸化物層が、前記第１の伝導層の酸化物である、請求項７ないし１４のいずれかに記載の方法。
【請求項１６】
幅寸法よりも大きな高さ寸法を有する第１の伝導層と、
前記第１の伝導層の上に形成された酸化物層と、
前記酸化物層が第２の伝導層と前記第１の伝導層の横部分との間に側壁トンネル接合を形成するように、前記第１の伝導層の前記横部分を覆っている前記酸化物層の上の第２の伝導層と
を備える、トンネル接合デバイス。
【請求項１７】
前記酸化物層は、前記側壁トンネル接合が前記第２の伝導層と前記第１の伝導層の上部との間にも形成されるように、前記第１の伝導層の前記上部を覆う、請求項１６に記載のトンネル接合デバイス。
【請求項１８】
前記酸化物層が、前記第１の伝導層の、前記横部分の反対側のもう一方の横部分を覆う、請求項１６に記載のトンネル接合デバイス。
【請求項１９】
前記第２の伝導層には、前記第１の伝導層の前記もう一方の横部分を覆う前記酸化物層がない、請求項１８に記載のトンネル接合デバイス。
【請求項２０】
前記第１および第２の伝導層が、超伝導物質である、請求項１６に記載のトンネル接合デバイス。
【国際調査報告】
2020522886.tif 000036
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