(57)【要約】  ノズルを通して粘性媒体の１つ以上の液滴を噴射するように構成された噴射装置は、ノズルの出口に粘性媒体の流量を誘導するように構成された粘性媒体導管の中に位置する粘性媒体の少なくとも一部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含み得る。音響信号は超音波信号であり得る。音響信号は、音響起動に基づいて、粘性媒体の１つ以上のレオロジ特性を調整することができる。音響トランスジューサは、駆出チャンバを通って移動して粘性媒体を１つ以上の液滴としてノズルの出口を通って噴射させるように構成されている装置のアクチュエータにより実装されてよい。
2020526425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘性媒体の１つ以上の液滴を噴射するように構成された装置において、
出口を含むノズルであって、このノズルの前記出口を通って前記１つ以上の液滴を噴射するように構成されているノズルと；
前記ノズルの前記出口に対して前記粘性媒体の流量を誘導するように構成された粘性媒体導管と；
前記粘性媒体導管内に位置する前記粘性媒体の少なくとも一部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサと；
を含む装置。
【請求項２】
前記粘性媒体導管が前記ノズルの前記出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定し、前記駆出チャンバは、前記ノズルの前記出口を通って前記駆出チャンバ内部に位置する粘性媒体を移動させるべくアクチュエータの一部分を収容するように構成されており；
前記音響トランスジューサは、前記駆出チャンバ内部に位置する粘性媒体中に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記装置がさらに、前記粘性媒体導管を通って前記粘性媒体の前記流量を誘発するように構成されたアクチュエータを含み、
前記粘性媒体導管の前記部分が前記アクチュエータを少なくとも部分的に取囲んでいる、
請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記音響トランスジューサが複数の音響トランスジューサを含み、各々の音響トランスジューサは、前記粘性媒体導管の別個の部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されており、各々の音響トランスジューサはさらに、前記粘性媒体導管の別個のそれぞれの部分内に位置する粘性媒体中に別個のそれぞれの音響信号を発出するように別個にかつ独立して制御されるように構成されている、
請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記ノズルの前記出口を通した１つ以上の液滴の噴射に少なくとも部分的に基づいて、前記音響信号を発出するべく前記音響トランスジューサを制御するように構成されている制御装置、
をさらに含む、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記粘性媒体導管の少なくとも一部分を通した前記粘性媒体の前記流量の測定に基づいて流量データを生成するように構成された流量センサと；
少なくとも部分的に前記流量データに基づいて音響信号を発出するように前記音響トランスジューサを制御するように構成された制御装置と；
をさらに含む、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
ノズルの出口を通した粘性媒体の１つ以上の液滴の噴射を制御するための方法において：
前記ノズルの前記出口へ向かう粘性媒体導管を通した前記粘性媒体の流量を誘発するように粘性媒体供給部を制御するステップと；
前記粘性媒体導管内部に位置する前記粘性媒体の少なくとも一部分内に音響信号を発出するように音響トランスジューサを制御するステップと；
を含む方法。
【請求項８】
前記音響トランスジューサを制御するステップが、特定の制限された時間周期にわたり音響信号を発出するように前記音響トランスジューサに指令を出すステップを含む、
請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記音響トランスジューサを制御するステップが、前記粘性媒体の前記流量を誘発するための前記粘性媒体供給部の制御に基づいて、前記音響信号を発出するように前記音響トランスジューサに指令を出すステップを含む、
請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記粘性媒体導管が、前記ノズルの前記出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定しており、前記駆出チャンバが前記ノズルの前記出口を通って前記駆出チャンバの内部で粘性媒体を移動させるべくアクチュエータの一部分を収容するように構成されており、
前記音響トランスジューサを制御するステップには、前記駆出チャンバ内に延在させるための前記アクチュエータの制御に基づいて音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップが含まれている、
請求項７に記載の方法。
【請求項１１】
前記音響トランスジューサが複数の音響トランスジューサを含み、各々の音響トランスジューサが、前記粘性媒体導管の別個の部分と直接流体連通状態にあるように構成されており；
前記音響トランスジューサを制御するステップには、前記粘性媒体導管の内部で前記粘性媒体の別個のそれぞれの部分内に、それぞれの音響信号を別個に発出するために前記複数の音響トランスジューサの前記別個のそれぞれの音響トランスジューサに別個にかつ独立して指令を出すステップが含まれている、
請求項７に記載の方法。
【請求項１２】
前記音響トランスジューサを制御するステップには、流量センサから受信した流量データに基づいて前記音響信号を発出するように前記音響トランスジューサに指令を出すステップが含まれており、前記流量データが、前記粘性媒体導管の少なくとも一部分を通る前記粘性媒体の前記流量を標示している、
請求項７に記載の方法。
【請求項１３】
基板上に粘性媒体の１つ以上の液滴を噴射するように構成された噴射装置と；
前記粘性媒体の少なくとも一部分の音響起動に基づいて、前記粘性媒体の前記部分の１つ以上のレオロジ特性を調整するべく、前記粘性媒体の前記部分内に音響信号を発出するように構成されている音響トランスジューサと；
を含む器具。
【請求項１４】
前記音響トランスジューサが、前記粘性媒体の前記部分の前記音響起動に基づいて、
前記粘性媒体の少なくとも前記部分内の粒子の間隔の均質性の増大、および
少なくとも分散媒の粘度が調整されるような形での、前記粘性媒体の前記部分の前記音響起動に基づいた前記粘性媒体の少なくとも前記部分内の分散媒のせん断減粘性、
のうちの少なくとも１つを誘発するように構成されている、請求項１３に記載の器具。
【請求項１５】
前記噴射装置が出口を含むノズルを含み、前記ノズルが前記出口を通して前記１つ以上の液滴を噴射するように構成されており；
前記噴射装置はさらに、前記ノズルの前記出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定する粘性媒体導管を含み、前記駆出チャンバは、前記ノズルの前記出口を通って前記駆出チャンバの内部で粘性媒体を移動させるためにアクチュエータの一部分を収容するように構成されており；
前記音響トランスジューサは、前記駆出チャンバの内部に位置する粘性媒体中に音響信号を発出するように構成されている；
請求項１３に記載の器具。
【請求項１６】
前記噴射装置が出口を含むノズルを含み、前記ノズルは前記出口を通って前記１つ以上の液滴を噴射するように構成されており；
前記噴射装置がさらに、粘性媒体導管を通る粘性媒体の流量を誘発するように構成されているアクチュエータを含み；
前記噴射装置がさらに、前記ノズルの前記出口に粘性媒体の前記流量を誘導するように構成された粘性媒体導管を含み、前記粘性媒体導管の少なくとも一部分が、前記アクチュエータを少なくとも部分的に取囲んでおり；
前記音響トランスジューサが、前記粘性媒体導管の一部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
請求項１３に記載の器具。
【請求項１７】
少なくとも部分的に１つ以上の液滴の噴射に基づいて前記音響信号を発出するべく前記音響トランスジューサを制御するように構成された制御装置、
をさらに含む、請求項１３に記載の器具。
【請求項１８】
粘性媒体導管の少なくとも一部分を通した粘性媒体の流量の測定に基づいて流量データを生成するように構成された流量センサと；
少なくとも部分的に前記流量データに基づいて音響信号を発出するように前記音響トランスジューサを制御するように構成された制御装置と；
をさらに含む、請求項１３に記載の器具。
【請求項１９】
前記音響トランスジューサが複数の音響トランスジューサを含み、各々の音響トランスジューサが、前記噴射装置の内部の前記粘性媒体導管の別個のそれぞれの部分内に別個のそれぞれの音響信号を発出するように別個にかつ独立して制御されるように構成されている、
請求項１３に記載の器具。
【請求項２０】
ノズルの出口を通した粘性媒体の１つ以上の液滴の噴射を制御するための方法において：
前記ノズルの前記出口へ向かう粘性媒体導管を通した前記粘性媒体の流量を誘発するように粘性媒体供給部を制御するステップと；
前記粘性媒体導管内部に位置する粘性媒体の一部分の音響起動に基づいて、前記粘性媒体の前記部分の１つ以上のレオロジ特性を調整するように音響トランスジューサを制御するステップと；
を含む方法。
【請求項２１】
粘性媒体の前記部分の１つ以上のレオロジ特性を調整するステップには、
粘性媒体の少なくとも前記部分内で粒子の間隔の均質性の増大を誘発するステップ、
粘性媒体の少なくとも前記部分内で粒子の１つ以上の集塊の振動破砕を誘発するステップ、
せん断減粘性の誘発に基づいて粘性媒体の少なくとも前記部分内の分散媒の粘度を調整するステップ、および
粘性媒体の少なくとも前記部分内の体積分率の減少を誘発するステップ、
のうちの少なくとも１つが含まれる、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記音響トランスジューサを制御するステップが、特定の制限された時間周期にわたり音響信号を発出するように前記音響トランスジューサに指令を出すステップを含む、
請求項２０に記載の方法。
【請求項２３】
前記音響トランスジューサを制御するステップが、前記粘性媒体の前記流量を誘発するための前記粘性媒体供給部の制御に基づいて、前記音響信号を発出するように前記音響トランスジューサに指令を出すステップを含む、
請求項２０に記載の方法。
【請求項２４】
前記粘性媒体導管が、前記ノズルの前記出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定しており、前記駆出チャンバが前記ノズルの前記出口を通って前記駆出チャンバの内部で粘性媒体を移動させるべくアクチュエータの一部分を収容するように構成されており、
前記音響トランスジューサを制御するステップには、前記駆出チャンバ内に延在させるための前記アクチュエータの制御に基づいて音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップが含まれている、
請求項２０に記載の方法。
【請求項２５】
前記音響トランスジューサが複数の音響トランスジューサを含み、各々の音響トランスジューサが、前記粘性媒体導管の別個の部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されており；
前記音響トランスジューサを制御するステップには、前記粘性媒体導管の内部で前記粘性媒体の別個のそれぞれの部分内に音響波を移送する別個のそれぞれの音響信号を発出するために、前記複数の音響トランスジューサの前記別個のそれぞれの音響トランスジューサに別個にかつ独立して指令を出すステップが含まれている、
請求項２０に記載の方法。
【請求項２６】
粘性媒体の１つ以上の液滴を噴射するように構成された装置において、
出口を含むノズルであって、このノズルの前記出口を通って前記１つ以上の液滴を噴射するように構成されているノズルと；
前記ノズルの前記出口に対して前記粘性媒体の流量を誘導するように構成された粘性媒体導管であって、前記ノズルの前記出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定する粘性媒体導管と；
アクチュエータが前記駆出チャンバの少なくとも一部分を通って移動して前記粘性媒体の少なくとも一部分を前記１つ以上の液滴として前記ノズルの前記出口を通って噴射させるような形で起動されるように構成されたアクチュエータと；
を含み、
前記アクチュエータがさらに、駆出チャンバ内に位置する前記粘性媒体の少なくとも一部分内に音響波を移送する音響信号を発出するべく起動されるように構成されている、
装置。
【請求項２７】
前記アクチュエータが、同時に
前記粘性媒体の少なくとも前記部分を前記ノズルの前記出口を通って噴射させるため、および
前記音響信号を発出するため、
に制御されるように構成されている、請求項２６に記載の装置。
【請求項２８】
前記１つ以上の液滴を噴射させかつ前記音響信号を発出するべく前記アクチュエータを制御するように構成された制御装置、
をさらに含む、請求項２６に記載の装置。
【請求項２９】
前記アクチュエータが、アクチュエータ制御信号にしたがった制御に基づいて１つ以上の液滴を噴射させるように構成されており；
前記アクチュエータがさらに、音響制御信号にしたがった制御に基づいて前記音響信号を発出するように構成されており；
前記制御装置が、前記アクチュエータ制御信号と前記音響制御信号を組合わせて組合せ型制御信号を確立するように構成されており、前記制御装置がさらに、前記組合せ型制御信号にしたがって前記アクチュエータを制御するように構成されている、
請求項２８に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書中に記載の例示的実施形態は、概して基板上への粘性媒体の液滴の「噴射」の分野に関する。より具体的には、例示的実施形態は、噴射装置の性能の改善、および基板上に粘性媒体の液滴を「噴射」するように構成された噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
噴射装置は公知であり、主として、コンポーネントを上に組付ける前に例えば電子回路板などの基板上に、例えばはんだペーストまたは膠などの粘性媒体の液滴を噴射するために使用されるように意図されており、この噴射を実装するように構成され得る。このような噴射装置の一例は、参照により全体が本明細書に組込まれている特許文献１（国際公開第９９／６４１６７号）に開示されている。
【０００３】
噴射装置は、噴射前に比較的小さな体積の粘性媒体を格納するように構成されたノズル空間（本明細書においては駆出チャンバ（eject chamber）としても言及されている）、ノズル空間に結合された（例えばノズル空間と連通状態にある）噴射ノズル、粘性媒体に衝撃を与え液滴の形で噴射ノズルを通ってノズル空間からこれを噴射するように構成されている衝撃装置、およびノズル空間内に媒体を補給するように構成されたフィーダ、を含み得る。
【０００４】
電子回路板の製造においては生産速度が比較的重要な要因であることから、粘性媒体の適用は典型的には「オンザフライで（on the fly）」（すなわち粘性媒体を被着させるべきワーク上の各場所のために停止することなく）実施される。電子回路板の製造速度を改善させるためのさらなる方法は、作業員の介入の必要性を無くするかまたは削減することである。
【０００５】
いくつかの事例において、装置の優れた信頼性の高い性能は、高い精度および長時間にわたる高い生産性レベルの維持と同様、上述の２つの対策の実装において比較的重要な要因である。いくつかの事例において、このような要因が不在である場合、ワーク（例えば回路板）上の堆積物に意図せぬ変動が発生する可能性があり、このことは、このようなワーク内のエラーの存在を導き得る。このようなエラーは、このようなワークの信頼性を低減させる。例えば、回路板であるワーク上の堆積物サイズ、堆積物配置、堆積物形状などの１つ以上に意図せぬ変動があると、回路板は、橋絡、短絡などをより発生させ易くなる可能性がある。
【０００６】
いくつかの事例において、液滴サイズの優れた信頼性の高い制御は、上述の２つの対策の実装において比較的重要な要因である。いくつかの事例において、このような制御が不在である場合、ワーク（例えば回路板）上の堆積物に意図せぬ変動が発生する可能性があり、このことは、このようなワーク内のエラーの存在を導き得る。このようなエラーは、このようなワークの信頼性を低減させる。例えば、回路板であるワーク上の堆積物サイズ、堆積物配置、堆積物形状などの１つ以上に意図せぬ変動があると、回路板は、橋絡、短絡などをより発生させ易くなる可能性がある。
【０００７】
Ｍｉｔｃｈｅｌｌに対する特許文献２（米国特許第４，０４６，０７３号明細書）は、インク担持媒体（例えばインクリボン、カーボン紙など）からこのインク担持媒体が接触している印刷媒体（例えば紙）に対してインクを移送するように構成されている印刷システムを開示している。音響振動および音響エネルギから熱への変換に起因してインク担持媒体中に担持されたインクの粘度を低減させる目的で、インク担持媒体に音響エネルギを適用し、こうしてインク担持媒体から印刷媒体へとインクが移送されるようにすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】国際公開第９９／６４１６７号
【特許文献２】米国特許第４，０４６，０７３号明細書
【発明の概要】
【０００９】
いくつかの例示的実施形態によると、粘性媒体の１つ以上の液滴を噴射するように構成された装置は、ノズル、粘性媒体導管および音響トランスジューサを含み得る。ノズルは出口を含み、ノズルは、その出口を通して１つ以上の液滴を噴射するように構成され得る。粘性媒体導管は、ノズルの出口に対して粘性媒体の流量を誘導するように構成されていてよい。音響トランスジューサは、粘性媒体導管内に位置する粘性媒体の少なくとも一部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成され得る。
【００１０】
粘性媒体導管は、ノズルの出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定することができる。駆出チャンバは、ノズルの出口を通って駆出チャンバ内部に位置する粘性媒体を移動させるべくアクチュエータの一部分を収容するように構成されていてよい。音響トランスジューサは、駆出チャンバ内部に位置する粘性媒体中に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されていてよい。
【００１１】
装置はさらに、粘性媒体導管を通って粘性媒体の流量を誘発するように構成されたアクチュエータを含むことができる。粘性媒体導管の一部分はアクチュエータを少なくとも部分的に取囲んでいてよい。
【００１２】
音響トランスジューサは複数の音響トランスジューサを含むことができる。各々の音響トランスジューサは、粘性媒体導管の別個の部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されていてよい。各々の音響トランスジューサはさらに、粘性媒体導管の別個のそれぞれの部分内に位置する粘性媒体中に別個のそれぞれの音響信号を発出するように別個にかつ独立して制御されるように構成されている。
【００１３】
該装置は、ノズルの出口を通した１つ以上の液滴の噴射に少なくとも部分的に基づいて、音響信号を発出するべく音響トランスジューサを制御するように構成されている制御装置を含むことができる。
【００１４】
装置は、粘性媒体導管の少なくとも一部分を通した粘性媒体の流量の測定に基づいて流量データを生成するように構成され得る流量センサを含むことができる。装置は、少なくとも部分的に流量データに基づいて音響信号を発出するように音響トランスジューサを制御するように構成された制御装置をさらに含むことができる。
【００１５】
いくつかの例示的実施形態によると、ノズルの出口を通した粘性媒体の１つ以上の液滴の噴射を制御するための方法は、粘性媒体供給部を制御するステップと音響トランスジューサを制御するステップとを含むことができる。粘性媒体は、ノズルの出口へ向かう粘性媒体導管を通した粘性媒体の流量を誘発するように制御され得る。音響トランスジューサは、粘性媒体導管内部に位置する粘性媒体の少なくとも一部分内に音響信号を発出するように制御され得る。
【００１６】
音響トランスジューサを制御するステップは、特定の制限された時間周期にわたり音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップを含むことができる。
【００１７】
音響トランスジューサを制御するステップは、粘性媒体の流量を誘発するための粘性媒体供給部の制御に基づいて、音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップを含むことができる。
【００１８】
粘性媒体導管は、ノズルの出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定することができる。駆出チャンバは、ノズルの出口を通って駆出チャンバの内部で粘性媒体を移動させるべくアクチュエータの一部分を収容するように構成されていてよい。音響トランスジューサを制御するステップには、駆出チャンバ内に延在させるためのアクチュエータの制御に基づいて音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップが含まれていてよい。
【００１９】
音響トランスジューサは複数の音響トランスジューサを含むことができる。１つ以上の各々の音響トランスジューサは、粘性媒体導管の一部分と直接流体連通状態にあるように構成され得る。いくつかの例示的実施形態において、１つ以上の音響トランスジューサは、粘性媒体導管との直接流体連通状態から隔離されてよく、かつ粘性媒体導管の少なくとも一部分内の粘性媒体に対して音響波を移送するべく噴射装置（例えばハウジング）の少なくとも一部分を通して伝搬する音響信号を発出するように構成され得る。音響トランスジューサを制御するステップには、粘性媒体導管の内部で粘性媒体の別個のそれぞれの部分内に、それぞれの音響信号を別個に発出するために複数の音響トランスジューサの別個のそれぞれの音響トランスジューサに別個にかつ独立して指令を出すステップが含まれていてよい。
【００２０】
音響トランスジューサを制御するステップには、流量センサから受信した流量データに基づいて音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップが含まれていてよく、この流量データは、粘性媒体導管の少なくとも一部分を通る粘性媒体の流量を標示している。
【００２１】
いくつかの例示的実施形態によると、器具は、噴射装置および音響トランスジューサを含むことができる。噴射装置は、基板上に粘性媒体の１つ以上の液滴を噴射するように構成されていてよい。音響トランスジューサは、粘性媒体の少なくとも一部分の音響起動に基づいて、粘性媒体の部分の１つ以上のレオロジ特性を調整するべく、粘性媒体の一部分内に音響信号を発出するように構成されていてよい。
【００２２】
音響トランスジューサは、粘性媒体の部分の音響起動に基づいて、粘性媒体の少なくとも一部分内の粒子の間隔の均質性の増大、および少なくとも分散媒の粘度が調整されるような形での粘性媒体の一部分の音響起動に基づいた粘性媒体の少なくとも一部分内の分散媒のせん断減粘性（shear-thinning）、のうちの少なくとも１つを誘発するように構成されていてよい。いくつかの例示的実施形態において、粒子の間隔の均質性増大を誘発することにより、少なくとも分散媒の粘度を増大させることが可能になる。いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサは、間欠的に、周期的に、それらのいくつかの組合せによってなどの形で粘性媒体の音響起動に基づいて粘性媒体の少なくとも分散媒の粘度を調整（例えば増大または低減）させるように構成され得る。例えば、少なくとも分散媒の均質性の間欠的変動に基づいて、音響トランスジューサは、少なくとも分散媒の均質性を増大させるべく音響信号を間欠的に発出するように構成されてよい。
【００２３】
噴射装置は、出口を含むノズルを含むことができる。ノズルは、出口を通して１つ以上の液滴を噴射するように構成されていてよい。噴射装置はさらに、ノズルの出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定する粘性媒体導管を含むことができる。駆出チャンバは、ノズルの出口を通って駆出チャンバの内部で粘性媒体を移動させるためにアクチュエータの一部分を収容するように構成され得る。音響トランスジューサは、駆出チャンバの内部に位置する粘性媒体の中に音響信号を発出するように構成され得る。
【００２４】
噴射装置は、出口を含むノズルを含むことができる。ノズルは出口を通って１つ以上の液滴を噴射するように構成されていてよい。噴射装置はさらに、粘性媒体導管を通る粘性媒体の流量を誘発するように構成されている粘性媒体供給部を含み得る。噴射装置はさらに、ノズルの出口に粘性媒体の流量を誘導するように構成された粘性媒体導管を含み得る。粘性媒体導管の少なくとも一部分は、粘性媒体供給部を少なくとも部分的に取囲むことができる。粘性媒体供給部は、粘性媒体の流量を誘発するように構成されたモータ粘性媒体の流量を誘発するように構成された加圧供給部、それらのいくかの組合せなどを含み得る。音響トランスジューサは、粘性媒体導管の一部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されていてよい。
【００２５】
器具は、少なくとも部分的に１つ以上の液滴の噴射に基づいて、音響信号を発出するべく音響トランスジューサを制御するように構成された制御装置を含むことができる。
【００２６】
器具は、粘性媒体導管の少なくとも一部分を通した粘性媒体の流量の測定に基づいて流量データを生成するように構成された流量センサを含むことができる。器具は、少なくとも部分的に流量データに基づいて音響信号を発出するように音響トランスジューサを制御するように構成された制御装置を含むことができる。
【００２７】
音響トランスジューサは複数の音響トランスジューサを含むことができる。各々の音響トランスジューサは、噴射装置の内部の粘性媒体導管の別個のそれぞれの部分内に別個のそれぞれの音響信号を発出するように別個にかつ独立して制御されるように構成されていてよい。
【００２８】
いくつかの例示的実施形態によると、ノズルの出口を通した粘性媒体の１つ以上の液滴の噴射を制御するための方法は、粘性媒体供給部を制御するステップと音響トランスジューサを制御するステップとを含むことができる。粘性媒体供給部を制御するステップは、粘性媒体供給部にノズルの出口へ向かう粘性媒体導管を通した粘性媒体の流量を誘発させるステップを含み得る。音響トランスジューサを制御するステップは、音響トランスジューサに、粘性媒体導管内部に位置する粘性媒体の一部分の音響起動に基づいて、粘性媒体の少なくとも一部分の１つ以上のレオロジ特性を調整させるステップを含み得る。
【００２９】
粘性媒体の少なくとも一部分の１つ以上のレオロジ特性を調整するステップには、粘性媒体の少なくとも一部分内で粒子の間隔の均質性の増大を誘発するステップ、粘性媒体の少なくとも一部分内で粒子の１つ以上の集塊の振動破砕を誘発するステップ、せん断減粘性の誘発に基づいて粘性媒体の少なくとも一部分内の分散媒の粘度を低減するステップ、および粘性媒体の少なくとも一部分内の体積分率の減少を誘発するステップ、のうちの少なくとも１つが含まれる。
【００３０】
音響トランスジューサを制御するステップは、特定の制限された時間周期にわたり音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップを含むことができる。
【００３１】
音響トランスジューサを制御するステップは、粘性媒体の流量を誘発するための粘性媒体供給部の制御に基づいて、音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップを含むことができる。
【００３２】
粘性媒体導管は、ノズルの出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定し得る。駆出チャンバはノズルの出口を通って駆出チャンバの内部で粘性媒体を移動させるべくアクチュエータの一部分を収容するように構成されていてよい。音響トランスジューサを制御するステップには、駆出チャンバ内に延在させるためのアクチュエータの制御に基づいて音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップが含まれていてよい。
【００３３】
音響トランスジューサは複数の音響トランスジューサを含むことができる。各々の音響トランスジューサは、粘性媒体導管の別個の部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されていてよい。音響トランスジューサを制御するステップには、粘性媒体導管の内部で粘性媒体の別個のそれぞれの部分内に音響波を移送する、別個のそれぞれの音響信号を発出するために複数の音響トランスジューサの別個のそれぞれの音響トランスジューサに別個にかつ独立して指令を出すステップが含まれていてよい。
【００３４】
いくつかの例示的実施形態によると、粘性媒体の１つ以上の液滴を噴射するように構成された装置は、ノズル、粘性媒体導管およびアクチュエータを含み得る。ノズルは、出口を含む。このノズルの出口を通って１つ以上の液滴を噴射するように構成されていてよい。粘性媒体導管は、ノズルの出口に対して粘性媒体の流量を誘導するように構成され得る。粘性媒体導管は、ノズルの出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定し得る。アクチュエータは駆出チャンバの少なくとも一部分を通って移動して粘性媒体の少なくとも一部分を１つ以上の液滴としてノズルの出口を通って噴射させるような形で起動されるように構成されていてよい。アクチュエータはさらに、駆出チャンバ内に位置する粘性媒体の少なくとも一部分内に音響波を移送する音響信号を発出するべく起動されるように構成されていてよい。
【００３５】
装置は、１つ以上の液滴を噴射させかつ音響信号を発出するべくアクチュエータを制御するように構成され得る制御装置を含むことができる。
【００３６】
アクチュエータは、同時に粘性媒体の少なくとも一部分をノズルの出口を通って噴射させるため、および音響信号を発出するために制御されるように構成されていてよい。
【００３７】
アクチュエータは、アクチュエータ制御信号にしたがった制御に基づいて１つ以上の液滴を噴射させるように構成されていてよい。このアクチュエータはさらに、音響制御信号にしたがった制御に基づいて音響信号を発出するように構成されていてよい。制御装置は、アクチュエータ制御信号シーケンスと音響制御信号シーケンスを組合わせて組合せ型制御信号を確立するように構成されていてよい。制御装置はさらに、組合せ型制御信号にしたがってアクチュエータを制御するように構成されていてよい。
【００３８】
図面と関連して、いくつかの例示的実施形態について以下で説明する。本明細書中に記載の図面は、単に例証のみを目的としており、いかなる形であれ本開示の範囲を限定するように意図されていない。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射装置１を例示する斜視図である。
【図２】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射用アセンブリおよびドッキング装置を例示する概略図である。
【図３】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射用アセンブリを例示する概略図である。
【図４Ａ】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射装置の一部分の断面図である。
【図４Ｂ】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る図４Ａ中に例示されている噴射装置の一部分の断面図である。
【図４Ｃ】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る図４Ｂ中に例示されている噴射装置の一部分の断面図である。
【図５Ａ】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、少なくとも１つの動作を噴射装置の少なくともいくつかの要素に行なわせるために、図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置の少なくともいくつかの要素に対して経時的に伝送される制御信号を例示するタイミング図である。
【図５Ｂ】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、少なくとも１つの動作を噴射装置の少なくともいくつかの要素に行なわせるために、図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置の少なくともいくつかの要素に対して経時的に伝送される制御信号を例示するタイミング図である。
【図５Ｃ】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、少なくとも１つの動作を噴射装置の少なくともいくつかの要素に行なわせるために、図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置の少なくともいくつかの要素に対して経時的に伝送される制御信号を例示するタイミング図である。
【図６】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る制御装置を含む噴射装置を例示する回路図である。
【図７Ａ】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、１つ以上の液滴をアクチュエータに噴射させるために図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置のアクチュエータに対して経時的に伝送されるアクチュエータ制御信号を例示するタイミング図である。
【図７Ｂ】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、音響信号をアクチュエータに発出させるために図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置のアクチュエータに対して経時的に伝送される音響制御信号を例示するタイミング図である。
【図７Ｃ】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、アクチュエータに１つ以上の液滴を噴射させ音響信号を発出させるために図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置のアクチュエータに対して経時的に伝送されるアクチュエータ制御信号を例示するタイミング図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
ここで、例示的実施形態について、いくつかの例示的実施形態を例示する添付図面を参照しながら、より完全に説明する。図面中、層および領域の厚みは、明確さのために誇張されている。図面中の類似の参照番号は類似の要素を例示する。
【００４１】
本明細書中には詳細な例証的実施形態が開示されている。しかしながら、本明細書中で開示されている具体的な構造的および機能的詳細は、例示的実施形態を説明することを目的とする単なる代表にすぎない。例示的実施形態は、多くの代替的形態で具体化され得、本明細書中で明記されている例示的実施形態のみに限定されるものとみなされるべきではない。
【００４２】
開示されている特定の例示的実施形態に限定する意図は全く無く、逆に例示的実施形態は、適切な範囲内に入る全ての修正、等価物および変形形態を網羅するためのものである。図の説明全体を通して、類似の番号は類似の要素を意味する。
【００４３】
本明細書中で開示されている技術の例示的実施形態は、本開示が徹底的なものとなり、当業者に対し範囲を完全に伝えるように提供されている。本明細書中で開示されている技術の実装を徹底的に理解できるようにするために、具体的コンポーネント、装置および方法の例などの多くの具体的詳細が明記されている。当業者には、具体的詳細を利用する必要性が必ずしも無いこと、本明細書中で開示されている技術の例示的実施形態を、多くの異なる形態で具体化できること、そのいずれも本開示の範囲を限定するものとみなされるべきでないこと、が明白になるものである。本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態において、周知のプログラム、周知の装置構造、および周知の技術は詳述されない。
【００４４】
本明細書中で使用されている専門用語は、本明細書中で開示されている技術の特定の例示的実施形態を説明することのみを目的とするものであり、限定的であるようには意図されていない。本明細書中で使用されているように、文脈から明らかに別段の指示が無い限り、単数形態「ａ」、「ａｎ」および「ｔｈｅ」は複数形態も同様に含めるように意図され得る。「ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ（含む、構成する）」「ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ（含む、構成する）」、「ｉｎｃｌｕｄｅｓ（含む）」、「ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ（含む）」、「ｈａｓ（有する）」、および「ｈａｖｉｎｇ（有する）」なる用語は包含的であり、したがって表明された特徴、整数、ステップ、動作、要素および／またはコンポーネントの存在を規定するものの、１つ以上の他の特徴、整数、ステップ、動作、要素、コンポーネント、および／またはそれらの群の存在または追加を排除するものではない。本明細書中に記載の方法ステップ、プロセス、および動作は、遂行順序として具体的に識別されているのではないかぎり、論述または例示された特定の順序でのそれらの遂行を必然的に求めるものとしてみなされるべきものではない。同様に、追加のまたは代替的ステップも利用し得るということも理解すべきである。
【００４５】
要素または層が別の要素または層「の上にある」、「に係合されている」、「に連結されている、または「に結合されている」ものとして言及されている場合、それは、直接他の要素または層の上にあるか、これに連結または結合されていてよく、あるいは間在する要素または層が存在してもよい。対照的に、要素が別の要素または層「の上に直接ある」、「に直接係合されている」、「に直接連結されている」、または「に直接結合されている」ものとして言及されている場合には、間在する要素または層は全く存在しないでよい。要素間の関係を説明するために使用される他の単語は、同様の形で解釈されるべきである（例えば「〜の間」対「直接〜の間」、「隣接する」対「直接隣接する」など）。本明細書中で使用される「および／または」なる用語は、結びつけられた列挙項目の１つ以上のいずれかのおよび全ての組合せを含む。
【００４６】
本明細書中では、さまざまな要素、コンポーネント、領域、層および／または区分を説明するために第１、第２、第３などの用語が使用されているが、これらの要素、コンポーネント、領域、領域、層および／または区分は、これらの用語により限定されるべきではない。これらの用語は、１つの要素、コンポーネント、領域、層および／または区分を別の領域、層および／または区分から区別するためのみに使用され得る。「第１」、「第２」および他の数的用語などの用語は、本明細書中で使用される場合、文脈によって明確に指示されているのでないかぎり、シーケンスまたは順序を暗示しない。したがって、以下で論述する第１の要素、コンポーネント、領域、層または区分を、本明細書中で開示されている技術の例示的実施形態の教示から逸脱することなく、第２の要素、コンポーネント、領域、層または区分と呼ぶことも可能と考えられる。
【００４７】
空間的に相対的な用語、例えば「内側」、「外側」、「下側」、「下方」、「下位」、「上方」、「上位」などは、本明細書中で、図中で例示されているように別の要素または特徴に対する１つの要素または特徴の関係を説明する目的での描写の容易さのために使用され得る。空間的に相対的な用語は、図中で描かれている配向に加えて使用中または動作中の装置の異なる配向を包含するように意図され得る。例えば、図中の装置が転倒されている場合、他の要素または特徴の「下方」または「下側」として説明された要素は、このとき、他の要素または特徴の「上方」に配向されていることになる。したがって、「下方」なる用語は、上方および下方の方向を両方共包含し得る。装置は他の形で配向され得（９０度回転されているかまたは他の配向にある）、本明細書中で使用される空間的に相対的な記述子は相応して解釈され得る。
【００４８】
本明細書中で論述される「粘性媒体」なる用語は、はんだペースト、フラックス、接着剤、導電性接着剤、または基板上にコンポーネントを締結するために使用される任意の他の種類（タイプ）の媒体、導電性インク、抵抗ペーストなどであり得る。しかしながら、本明細書中で開示されている技術の例示的実施形態はこれらの例に限定されるべきではない。
【００４９】
「基板」は、ボード（例えばプリント回路板（ＰＣＢ）および／またはフレキシブルＰＣＢ）、ボール・グリッド・アレイ（ＢＧＡ）用の基板、チップ・スケール・パッケージ（ＣＳＰ）、クワッド・フラット・パッケージ（ＱＦＰ）、ウェーハ、フリップチップなどであり得る。
【００５０】
「噴射」なる用語は、「流体濡れ」などの接触分配プロセスと対比して、噴射ノズルから基板上に粘性媒体の１つ以上の液滴を形成し射出するために流体ジェットを利用する非接触分配プロセスとして解釈されるべきであることも留意されなければならない。
【００５１】
「気体流量」なる用語は、空気、圧縮空気、任意の好適なタイプの気体、例えば窒素、または気体タイプの他の任意の媒体の流量として解釈されるべきである。
【００５２】
「堆積物」なる用語は、１つ以上の噴射液滴の結果としてワーク上の１つの位置に適用される粘性媒体の連結量を意味し得る。
【００５３】
いくつかの例示的実施形態について、はんだペーストは、約４０体積％〜約６０体積％のはんだボールを含むことができ、残りの体積ははんだフラックスである。
【００５４】
いくつかの例示的実施形態において、平均的サイズのはんだボールの体積パーセントは、はんだペースト内部の固相の全体積の約５％〜約４０％の範囲内にあり得る。いくつかの例示的実施形態において、はんだボールの第１の画分の平均直径は約２ミクロン〜約５ミクロンの範囲内にあり得、一方、はんだボールの第２の画分の平均直径は、約１０〜約３０ミクロンであり得る。
【００５５】
「堆積物サイズ」なる用語は、堆積物がカバーすることになる基板などのワーク上の面積を意味する。液滴体積の増大は概して、結果として堆積物の高さならびに堆積物サイズの増大をもたらす。
【００５６】
本出願の文脈において、「粘性媒体」なる用語は、はんだペースト、はんだフラックス、接着剤、導電性接着剤、または基板上にコンポーネントを締結するために使用される他の任意の種類の流体である媒体、導電性インク、抵抗ペーストなどとして理解されるべきであること、そして用語「噴射液滴」または「ショット」なる用語は、衝撃用装置の衝撃に応えて噴射ノズルを通って強制され基板に向かって移動する粘性媒体の一体積として理解されるべきであることに留意しなければならない。噴射液滴は同様に、衝撃用装置の衝撃によって噴射される液滴の一群をも含み得る。「堆積物」なる用語または「堆積媒体」の一体積が、１つ以上の噴射液滴の結果として基板上の１つの位置に適用される粘性媒体の連結された量を意味すること、そして「基板」なる用語は、プリント配線基板（ＰＷＤ）、プリント回路板（ＰＣＢ）、ボール・グリッド・アレイ（ＢＧＡ）用の基板、チップ・スケール・パッケージ（ＣＳＰ）、クワッド・フラット・パッケージ（ＱＦＰ）、ウェーハ、フリップチップなどとして解釈されるべきであることにも留意しなければならない。
【００５７】
「噴射」なる用語は、「流体濡れ」などの接触分配プロセスと比較して、噴射ノズルから基板上へ粘性媒体の液滴を形成および射出するために流体噴射を利用する非接触分配プロセスとして解釈されるべきであることも留意されなければならない。
【００５８】
開示されている技術の一部の態様において、クレームによって定義された方法を行う装置はソフトウェア制御型エジェクタである。ソフトウェアは、どのように粘性媒体を特定の基板に適用するのかについての命令、または既定の噴射スケジュールまたは噴射プロセスにしたがってどのように適用するかについての命令を必要とする。これらの命令は「噴射プログラム」と呼ばれる。こうして、噴射プログラムは粘性媒体の液滴を基板上に噴射するプロセスを支援し、このプロセスは同様に、「噴射プロセス」または「印刷・プロセス」として言及される可能性がある。噴射プログラムは、噴射プロセスに先立ってオフラインで行われる前処理工程によって生成されてよい。
【００５９】
こうして、噴射プログラムの生成には、独自のまたは既定の基板、または同一の基板の独自のまたは既定のセットに関する基板データを、生成プログラムにインポートするステップおよび、その基板データを基にして、基板上のどこに液滴が噴射されるべきかを定義するステップが関与する。換言すると、粘性媒体は、既定の噴射プログラムにしたがって基板上に噴射されるように配設される。
【００６０】
一例として、基板に関するＣＡＤデータなどをインポートし処理するためにコンピュータプログラムが使用される。ＣＡＤデータは、例えばコンタクトパッドの位置および伸展を表すデータ、ならびに基板上に組付けられる個々のコンポーネント各々の位置、名称およびリード線を表すデータを含み得る。このプログラムは、所要体積、横方向の伸展、および／または高さを有する堆積物が各コンポーネントに具備されるように、基板上のどこに液滴を噴射すべきかを決定するために使用可能である。これは、単一の液滴のサイズおよび体積、特定のコンポーネントのニーズを満たすためにどれだけの数の液滴で十分であるか、そして基板上のどこに各々の液滴が置かれるべきであるかについての知識を必要とするプロセスである。
【００６１】
全コンポーネントについての全ての液滴の構成がプログラミングされた時点で、粘性媒体の液滴を基板上に噴射するために、例えば１つ以上のエジェクタを動作させる噴射用機械によって噴射ノズルがどのように移動させられるかを説明する噴射経路テンプレートを生成することができる。複数のエジェクタが同時にまたは連続して動作し得るということが理解される。噴射経路テンプレートは噴射用機械ひいてはエジェクタに相応して動作させるために使用される噴射プログラムに移送される。噴射プログラムは、同様に、所要の堆積物を伴う基板を提供する目的で、例えばノズル空間への粘性媒体の補給を制御するため、および衝撃用装置の衝撃を制御するための噴射パラメータをも含み得る。
【００６２】
噴射プログラムを生成する前処理ステップには、作業員によって行われるいくつかの手作業ステップが関与し得る。これには、例えばＣＡＤデータをインポートするステップおよび、特定のコンポーネントについてパッド上のどこに液滴を位置付けるべきかを決定するステップが関与し得る。しかしながら、この前処理をコンピュータなどによって自動的に行うこともできるということが認識される。
【００６３】
本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態において、基板上に粘性媒体の１つ以上の液滴を噴射するように構成され、かつ、出口を含みこの出口を通して１つ以上の液滴を噴射するように構成されたノズルを含み、さらにノズルの出口に対して粘性媒体の流量を誘導するように構成された粘性媒体導管を含む噴射装置は、さらに、粘性媒体導管の少なくとも一部分に音響波を移送する音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含むことができる。音響トランスジューサは、粘性媒体導管の一部分の内部に位置する粘性媒体の中に音響信号を発出するように構成され得、ここで、音響信号が中に発出されるこのような粘性媒体は、粘性媒体導管内の粘性媒体の一部分であり得る。
【００６４】
いくつかの例示的実施形態において、音響信号は、超音波信号（例えば２０，０００ヘルツ超の周波数を有する音響信号）であり、こうして超音波信号を発出するように構成されている音響トランスジューサは、「超音波トランスシューサ」として言及される可能性がある。しかしながら、本明細書中に記載の音響トランスジューサは、超音波信号である音響信号の生成に限定されないということが理解される。例えば、本明細書中に記載の音響トランスジューサは、２０ヘルツ〜２０，０００ヘルツの周波数を有する音響信号を生成するように構成されていてよい。別の例では、本明細書中に記載の音響トランスジューサは、２０ヘルツ未満である周波数を有する音響信号（例えば、超低周波信号）を生成するように構成されていてよく、こうして音響トランスジューサは、超低周波トランスジューサとして言及される可能性がある。
【００６５】
音響トランスジューサから粘性媒体の一部分内への音響信号の発出に基づいて、粘性媒体の少なくとも一部分の１つ以上のレオロジ特性を調整することができる。このような調整の結果として、噴射装置を通る流量として誘導されかつ／または基板上に噴射されている粘性媒体のレオロジ特性の均質性が増大する可能性がある。
【００６６】
例えば、粘性媒体が分散媒中に懸濁した１つ以上のタイプの粒子を含む場合、粘性媒体の均質性の増大には、粘性媒体中の粒子間の間隔の均質性の増大および／または分散媒の体積粘性（「体積粘性率」）の低下のうちの少なくとも１つが含まれ得る。このような間隔均質性の増大は、粘性媒体の音響起動に基づいて粘性媒体中に誘発され得、ここでこのような音響起動は、音響トランスジューサから粘性媒体中に発出される音響信号によって誘発される。
【００６７】
いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体の一部分の粘度は、それが粘性媒体の残余分の粘度、目標粘度、それらのいくつかの組合せなどとの類似性を増大させるような形で調整可能である（例えば粘度を低下させるまたは増大させることができる）。例えば、粘性媒体が、中に１つ以上の粒子が懸濁している分散媒を含む場合、粘性媒体および／または分散媒の体積粘性（「体積粘性率」）を、少なくとも分散媒の音響起動に基づいて低下または増大させ（「調整する」）ことができる。分散媒のこのような音響起動は、少なくとも分散媒のせん断減粘性を誘発し得、これにより分散媒および／または粘性媒体全体の体積粘性率の低下という結果がもたらされ得る。別の例では、粘性媒体が非ニュートン性流体を含めた均質な流体を含む場合、音響トランスジューサにより発出される音響信号は、均質な流体のせん断減粘性をひき起こすことができ、これにより粘性媒体の粘度の低下という結果がもたらされ得る。
【００６８】
いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体が、１つ以上の粒子が中に懸濁している分散媒を含む場合、音響トランスジューサにより発出された音響信号は、粘性媒体中の粒子の１つ以上の集塊の振動破砕をひき起こす可能性があり、これにより粘性媒体全体にわたり粒子間隔の均質性の増大が促進され、ここでこのような間隔は結果として粘性媒体のレオロジ的均質性をもたらし得る。
【００６９】
粘性媒体の１つ以上の部分のレオロジ特性の調整に基づいて、音響トランスジューサは、粘性媒体の局所的で時間的に同期化された流体特性を誘発することができる。このような流体特性の同期化は、噴射装置を通した粘性媒体の改善された流量および／または圧送を可能にする。
【００７０】
粘性媒体が懸濁液を含む場合を含めたいくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサにより発出される音響信号は、懸濁液中の粒子の秩序ある運動を誘発することができる。音響信号は、粘性媒体の体積内の枯渇部域の形成を誘発することができ、ここでこの枯渇部域に結び付けられる体積分率は、直ぐ近くのものよりも低い。
【００７１】
いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサにより粘性媒体中に発出された音響信号は、粘性媒体の一部分のレオロジ特性を局部的に変化させて、粘性媒体の体積流量および／または質量流量の変化を可能にすることができる。
【００７２】
いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体の流量の中に音響トランスジューサによって発出される音響信号は、流量の圧送における休止の後でさえ均一なまたは実質的に均一な（例えば材料許容誤差内で均一な）レオロジ特性を維持するために粘性媒体のレオロジ特性を「プライミング」することができ、そうでなければ粘性媒体のチキソトロピー特性に起因してレオロジ特性が変化する可能性がある。
【００７３】
いくつかの例示的実施形態において、噴射装置のノズルの出口に近接した粘性媒体の一部分内に発出された音響信号は、ノズルからの粘性媒体の液滴の分断に対する制御の改善を可能にすることができる。粘性媒体中に発出された音響信号は、粘性媒体内部に局所的なレオロジ摂動を誘発して、液滴の制御された空間的破断局所化を誘発することができる。粘性媒体の音響起動は、特定の破断点においてノズルから粘性媒体の液滴を分断させるために、粘性媒体内の粒子の特定の所望される（および／または代替的には既定の）間隔を誘発することができる。
【００７４】
その結果として、液滴特性、ひいては基板上の堆積物の特性（例えば堆積物のサイズ、堆積物の配置堆積物の形状などのうちの１つ以上）の意図せぬ変動を削減することが可能である。
【００７５】
基板上の堆積物のサイズ、堆積物の配置、堆積物の形状などのうちの１つ以上における意図せぬ変動は、噴射装置を通って誘導されているおよび／または１つ以上の液滴として噴射装置から噴射されている粘性媒体の流体特性（本明細書ではレオロジ特性としても言及されている）の変動に少なくとも部分的に基づくものであり得る。
【００７６】
例えば、基板上への多数の離散的液滴セット（「ストリップ」）の噴射を含む噴射動作を含めた噴射動作中、粘性媒体の流量は、別個の個別液滴の噴射の間および別個の液滴ストリップの噴射の間で噴射装置の少なくとも一部分を通して離散的時間増分でおよび／または間欠的に流動させられ得る。
【００７７】
いくつかの事例において、噴射装置内の粘性媒体の１つ以上の部分のレオロジ特性は、間欠的流量に少なくとも部分的に基づいて調整された状態となり得る。例えば、粒子の集塊が、噴射装置内の粘性媒体の１つ以上の部分内に形成し得る。別の例えば、粘性媒体の１つ以上の部分における粒子間隔の均質性が低下した状態となり得る。
【００７８】
レオロジ特性のこのような調整は、噴射装置内の粘性媒体の限定された部分に少なくとも部分的に局所化する可能性があり、そのため流量として噴射装置を通して誘導されているおよび／または１つ以上の液滴として噴射装置から噴射されている粘性媒体は、低下したレオロジ的均質性を有することになる。
【００７９】
粘性媒体のレオロジ的均質性このような低下は、噴射動作中に噴射装置が噴射する粘性媒体の液滴の特性の変動をもたらす可能性がある。例えば、噴射装置のノズルに近接する粘性媒体流量の一部分が粘性媒体流量の他の部分よりも比較的大きい粘度を有する場合、ノズルを通る粘性媒体流量の第１の部分の噴射に基づいて形成される噴射動作中の第１の液滴は、液滴の意図された特性から逸脱する１つ以上の特性（例えばサイズ、形状など）を有する可能性があり、さらにその後に噴射される液滴とは異なる特性を有する可能性がある。
【００８０】
したがって、噴射装置内の粘性媒体のレオロジ的均質性の低下の結果もたらされ得る液滴特性のこのような変動の結果として、ワーク上の堆積物の特性の意図せぬ変動が発生する可能性があり、このことはワークの性能、信頼性などの低下という結果をもたらし得る。
【００８１】
さらに、粘性媒体のレオロジ的均質性の低下は、噴射装置自体の１つ以上の部分の動作に悪影響を与える可能性がある。例えば、粒子集塊を有する粘性媒体の部分は、噴射装置を通る粘性媒体導管の１つ以上の部分内の粘性媒体流量の経路を削減する可能性がある。さらに、低下したレオロジ的均質性を有する粘性媒体は、粘性媒体を噴射させるアクチュエータ、噴射装置を通って粘性媒体の流量を誘発し得る（１つ以上のモータ、１つ以上の加圧タンク、それらのいくつかの組合せなどを含む）粘性媒体供給部、それらのいくつかの組合せなどを含めた、噴射装置の１つ以上の部分に対する損傷をひき起こし得る。噴射装置がこうむるこのような悪影響は、このような悪影響を解消するための望ましくない作業員の介入を導きかねず、このことは、製造プロセスの中断をもたらし、これにより製造速度全体が低下する。いくつかの事例において、装置内の粘性媒体のレオロジ的均質性の低下に起因して噴射装置がこうむる損害は、噴射装置の修繕および／または交換を必要とし、こうして資本コストおよび／またはメンテナンスコストに影響が及ぶ。
【００８２】
本明細書中に記載の技術のいくつかの例示的実施形態において、粘性媒体導管の少なくとも一部分と直接流体連通状態にあるように構成され、かつさらに粘性媒体導管の一部分の内部の粘性媒体の少なくとも一部分内に音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含む噴射装置は、粘性媒体導管の少なくとも一部分内に位置しかつ／またはこの部分を通って流れる粘性媒体の少なくとも一部分の１つ以上のレオロジ特性の調整に基づいて、ワーク上の堆積物の１つ以上の特性の意図せぬ変動の削減を可能にすることができる。その結果として、
【００８３】
粘性媒体の一部分のレオロジ特性は、１つ以上の音響トランスジューサの比較的迅速な（例えばマイクロ秒のオーダーの）起動（「活動化および／または非活動化」）に基づいて制御され得る。
【００８４】
音響トランスジューサは、液滴の駆出（「噴射」）を制御する圧力起動システム（「アクチュエータ」）と共通の制御信号に基づいて制御され得る。いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサの制御を介した粘性媒体のレオロジ特性の制御のタイミングは、アクチュエータに噴射出口からの１つ以上の液滴の噴射をひき起こさせるためにアクチュエータに伝送される起動タイミング信号（例えば「アクチュエータ制御信号」）に基づくものでありかつ／またはこの信号と同期化されていてよい。音響トランスジューサ制御信号のタイミングは、ストリップ毎または液滴毎のベースで１つ以上の音響トランスジューサを起動させるように構成され得る。粘性媒体の少なくとも一部分の１つ以上のレオロジ特性（例えば粘度）の変化の大きさは、１つ以上の音響トランスジューサの制御に基づいて制御され得る。
【００８５】
いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサは、噴射装置のノズルへの噴射されるべき粘性媒体の流量の誘発および／またはメンテナンスを制御する粘性媒体供給部で共通である制御信号に基づいて制御され得る。いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサの制御を介した粘性媒体のレオロジ特性の制御のタイミングは、噴射装置のノズルへ向かう粘性媒体導管を通した粘性媒体の流量を粘性媒体供給部に誘発および／または維持させるために、粘性媒体供給部（例えばモータ、加圧供給部）の少なくとも一部分に伝送される流量タイミング信号（例えば「流量制御信号」）に基づくものでありかつ／またはこの信号と同期化され得る。例えば、粘性媒体供給部は、圧力勾配の誘発に基づいて粘性媒体の流量を誘発するように構成されているモータを含み得る。別の例において、粘性媒体供給部は、加圧流体（例えば加圧粘性媒体、加圧液体、加圧気体、それらのいくつかの組合せなど）の放出に基づいて粘性媒体の流量を誘発するように構成されている加圧供給部を含むことができる。
【００８６】
いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサは、少なくとも一定の時間周期の間連続して音響信号を発出するように制御され得る。したがって、音響トランスジューサは、この音響トランスジューサが直接流体連通状態にある粘性媒体導管の特定の部分内に位置しかつ／またはこの特定の部分を通って流れる粘性媒体の１つ以上のレオロジ特性に対して連続的な効果を有するように制御され得る。
【００８７】
いくつかの例示的実施形態において、上述の通りの音響トランスジューサを含む噴射装置はさらに、噴射装置の粘性媒体導管の少なくとも一部分の内部の粘性媒体の流れ（例えば体積流量、質量流量、および／または流速）を測定するように構成された１つ以上の流量センサを含むことができる。制御装置が、流量センサによって生成された流量データに基づいて噴射装置内の１つ以上の音響トランスジューサを制御することができ、こうして制御装置は、粘性媒体の流量を制御するべく流量センサにより有効化されたフィードバック制御を用いて、音響トランスジューサを制御するように構成されることになる。流量センサにより生成された流量データに基づく音響トランスジューサのこのような制御は、噴射動作の１つ以上の部分全体を通した粘性媒体の均一なまたは実質的に均一な（例えば製造許容誤差および／または材料許容誤差内で均一な）流量の制御の改善を可能にすることができる。このような均一なまたは実質的に均一な粘性媒体流量は、噴射動作中に噴射される液滴中の均一性の改善を可能にし得る。
【００８８】
いくつかの例示的実施形態において、少なくとも１つの音響トランスジューサを含む噴射装置は、この音響トランスジューサが、噴射されるべきノズルの出口への噴射の流量を誘導するように構成された粘性媒体導管の少なくとも一部分に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている場合、基板上に粘性媒体の液滴を噴射するように構成され内部にこのような音響トランスジューサが存在しない噴射装置に比べて、噴射装置の全体的動作の改善を提供するように構成され得る。上述の音響トランスジューサを含む噴射装置は、噴射動作全体を通して増大したレオロジ的均質性を有する液滴を噴射することができ、これにより、基板上に液滴を噴射しかつ上述の音響トランスジューサが内部に存在していない噴射装置から噴射された液滴に比べて、液滴特性の意図せぬ変動が削減（例えば均質性が改善）された液滴が噴射されることになる。さらに、液滴の均質性を改善すること（例えば意図せぬ液滴の変動を削減すること）によって、噴射装置は、基板上に液滴を噴射し上述の音響トランスジューサが内部に存在していない噴射装置と比べて、改善された噴射動作の再現性および基板上への液滴の噴射に基づいて基板上に形成される堆積物に関する改善された位置付け精度を提供するように構成され得る。
【００８９】
さらに、上述の音響トランスジューサを含む噴射装置は、少なくとも上述の音響トランスジューサを含む噴射装置が、基板上に噴射され得る粘性媒体の流量を用いて基板（例えばワーク）上に堆積物を形成するように構成されていることを理由として、印刷媒体と接触するインク担持媒体から印刷媒体に直接インクを移送する装置に比べて、ワーク上の堆積物の改善された均質性を提供するように構成され得る。さらに、インク担持媒体から接触する印刷媒体までインクを移送させるために音響トランスジューサを使用する装置とは異なり、上述の音響トランスジューサを含む噴射装置は、各々の個別の噴射された液滴のレオロジ特性ひいてはレオロジ均質性に対する制御を可能にすることができ、これによって、基板上の各々の個別の堆積物の特性に対する制御が可能になる。
【００９０】
上述の利点の結果として、上述の音響トランスジューサを１つ以上含む噴射装置は、ボードを形成するためのワーク上に堆積物を形成するように構成されていてよく、ここでこの堆積物は、１つ以上の音響トランスジューサにより可能にされるように液滴のレオロジ特性に対する改善された制御に基づいて、サイズ、形態および／または位置の意図せぬ変動が削減されている（例えば均一性の改善、再現性の改善、信頼性の改善など）。したがってボードは、他の場合ではボード上の堆積物の意図せぬ変動の結果としてもたらされ得るエラー（例えば堆積物を横断する短絡）の影響を受けにくくなっている可能性がある。したがって上述の通り１つ以上の音響トランスジューサを含む噴射装置は、１つ以上の液滴ストリップの噴射を介してワーク上に形成された堆積物を介して生成されたボードの信頼性、性能の低下および／または耐用期間の短縮という問題を少なくとも部分的に軽減しかつ／または解決することができ、ここで信頼性の低下は、レオロジ均質性が増大し噴射動作全体にわたる液滴特性の意図せぬ変動が削減された液滴を提供するように噴射装置が構成されていることから、ワーク上に噴射された液滴を横断したレオロジ的変動によりひき起こされる堆積物の位置、形態および／またはサイズの意図せぬ変動に基づくものである。
【００９１】
いくつかの例示的実施形態において、少なくとも１つの音響トランスジューサを含む噴射装置は、この少なくとも１つの音響トランスジューサが、噴射されるべきノズルの出口への噴射の流量を誘導するように構成された粘性媒体導管の少なくとも一部分に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている場合、内部にこのような音響トランスジューサが存在していない噴射装置に比べて、噴射装置の全体的動作を改善するように構成され得る。上述の音響トランスジューサを含む噴射装置は、粘性媒体のレオロジ的に不均質な流量の発生を削減する（例えば粘性媒体導管を通って流れる粘性媒体のレオロジ的均質性および／または均一性を改善する）ように構成され得、ここで粘性媒体のレオロジ的に不均質な流量は、別の場合であれば粘性媒体導管を少なくとも部分的に塞ぐ粘性媒体の高粘度の部分の１つ以上を介して噴射装置自体に悪影響を及ぼしかつ／またはこれに損害を与える可能性があり、粘性媒体の高粘度の部分は、可動部品、それらのいくつかの組合せなどの設定された運動範囲全体に沿って移動する噴射装置の可動部品の能力に悪影響を及ぼす。その結果、上述の通りの音響トランスジューサの１つ以上を含む噴射装置は、動作の中断および／または噴射装置のメンテナンス事象の発生が削減されかつ／または最小限に抑えられた状態で噴射動作を行なうように構成され得、これにより、上述の通りの１つ以上の音響トランスジューサが存在しない噴射装置に比べて、噴射装置が関与する製造作業の速度および／または効率は改善される。さらに、同様の理由から、少なくとも１つの音響トランスジューサを含む噴射装置の耐用年数を、前記音響トランスジューサが存在しない噴射装置に比べて延長することが可能である。
【００９２】
上述の利点の結果として、音響トランスジューサの１つ以上を含む噴射装置は、噴射動作中に噴射装置内の粘性媒体のレオロジ的に不均質な流量の結果もたらされ得るボード製造効率、噴射装置メンテナンスコストおよび／または噴射装置交換コストの問題を少なくとも部分的に軽減および／または解決するように構成され得る。
【００９３】
いくつかの例示的実施形態において、少なくとも１つの音響トランスジューサを含む噴射装置は、この少なくとも１つの音響トランスジューサが、噴射されるべきノズルの出口への粘性媒体の流量を誘導するように構成されている粘性媒体導管の少なくとも一部分に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている場合、少なくとも１つの音響トランスジューサが存在しない噴射装置に比べて、ノズルからワーク上に噴射される個々の液滴のサイズ（体積および／または質量）および／または位置付けの制御の改善を提供するように構成され得る。液滴および／または液滴をノズルに連結するフィラメントを少なくとも部分的に構成し得る局部粘性媒体のレオロジ特性を含めた、噴射装置内の粘性媒体の個別の部分のレオロジ特性に対する制御の改善は、噴射動作中の噴射された液滴の個別のショットおよび／またはストリップとの関係における音響起動を通した局部粘性媒体のレオロジ特性の制御に基づく噴射装置のノズルからの個別の液滴および／または個別の液滴フィラメントの破断の空間的および／または時間的局所化（例えばそれぞれ位置および／またはタイミング）に対する制御を可能にし得る。その結果、このような液滴の破断制御の改善を可能にするように構成されていることに基づいて、この少なくとも１つの音響トランスジューサを含む噴射装置は、少なくとも１つの音響トランスジューサが存在しない噴射装置から噴射された液滴に比べて、ノズルからの各々の個別液滴の破断のタイミングおよび／または位置に関して均一性が改善された液滴を噴射するように構成され得る。このような改善された液滴破断均一性は、少なくとも１つの音響トランスジューサを含む噴射装置が、少なくとも１つの音響トランスジューサが存在しない噴射装置から噴射される液滴に比べて、サイズ、形状および／またはワーク上の位置の変動が削減された（例えば均一性の改善）液滴を噴射することを可能にし得る。
【００９４】
上述の利点の結果として、少なくとも１つの音響トランスジューサを含む噴射装置は、個別の制御が改善され均一性が改善された液滴を噴射するように構成され得る。噴射された液滴は、ボードを形成するためのワークの上に堆積物を形成することができ、ここでこれらの堆積物は少なくとも１つの音響トランスジューサによって可能にされる改善された液滴の破断制御に基づいてサイズ、形態および／または位置の意図せぬ変動が削減されている（例えば均一性の改善、再現性の改善、信頼性の改善など）。したがって、そうでなければボード上の堆積物の意図せぬ変動の結果として発生し得るエラー（例えば堆積物を横断した短絡）をボードが受ける可能性は低下する。こうして、少なくとも１つの音響トランスジューサを含む噴射装置は、液滴の１つ以上のストリップの噴射を介してワーク上に形成される堆積物を介して生成されるボードの信頼性、性能および／または耐用期間の低減という問題を少なくとも部分的に軽減および／または解決することができ、ここで信頼性の低下は、噴射動作中に噴射されるさまざまな液滴を横断した液滴の破断の空間的および／または時間的変動に基づくものである。
【００９５】
本明細書中で言及されているように、「フィラメント破断」、「フィラメントの破断」など、および「液滴破断」、「液滴の破断」などは、互換的に使用可能である。
【００９６】
図１は、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射装置１を例示する斜視図である。
【００９７】
噴射装置１は、１つ以上の堆積物を内部に有する基板２を生成（「確立」、「形成」、「提供」など）するために基板２の上に粘性媒体の１つ以上の液滴を分配（「噴射」）するように構成され得る。噴射装置１により行なわれる上述の「分配」プロセスは、「噴射」として言及され得る。
【００９８】
説明を容易にするため、以下では、粘性媒体は、以上で定義した代替物の１つであるはんだペーストとして言及され得る。同じ理由から、基板は本明細書において電気回路板として言及され得、気体は本明細書において、空気として言及され得る。
【００９９】
図１に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、Ｘビーム３およびＸ−ワゴン４を含む。Ｘ−ワゴン４は、Ｘ−レール１６を介してＸ−ビーム３に連結され得、Ｘ−レール１６に沿って往復移動可能であり得る（例えば往復移動するように構成され得る）。Ｘ−ビーム３は、Ｙ−レール１７に対して往復移動可能な形で連結されてよく、こうしてＸ−ビーム３はＸ−レール１６に直交して可動である（例えば移動されるように構成されている）。Ｙ−レール１７は、噴射装置１内に剛性的に組付けられ得る。概して、上述の可動要素は、噴射装置１内に含められ得る１つ以上のリニアモータ（図示せず）の動作に基づいて移動させられるように構成され得る。
【０１００】
図１に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、噴射装置１を通ってボード２を搬送するように構成されたコンベヤ１８、および噴射が行なわれるときにボード２を係止するための係止装置１９を含む。
【０１０１】
ドッキング装置８をＸ−ワゴン４に連結して、このドッキング装置８におけるアセンブリ５の解除可能な組付けを可能にすることができる。アセンブリ５はボード２を衝撃し、その上に堆積物を形成するはんだペーストの液滴を分配する、すなわち噴射するために配設されてよい。噴射装置１は同様に、視察装置７も含んでいてよい。図１に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、視察装置はカメラである。カメラ７は、ボード２の位置および／または回転を決定しかつ／またはボード２上の堆積物を検分することによって分配プロセスの結果を確認するために、噴射装置１の制御装置（図１には図示せず）によって使用されてよい。
【０１０２】
図１に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、流量発生器６を含む。図１に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、流量発生器６は、Ｘ−ワゴン４上に配設（「位置」、「位置付け」など）された真空エジェクタ（本明細書中では「真空ポンプ」としても言及されている）、および圧縮空気源（図示せず）である。流量発生器６ならびに圧縮空気源は、相補的な空気導管インタフェースに連結可能であり得る空気導管インタフェースを介して、ドッキング装置８と連通状態にあってよい。いくつかの例示的実施形態において、空気導管インタフェースは、図２に示されているように、ドッキング装置８の入力ニップル９を含み得る。
【０１０３】
当業者であれば理解するように、噴射装置１は、噴射装置１を作動させるソフトウェアを実行するように構成された制御装置（図１には明示的に示されていない）を含むことができる。このような制御装置は、命令プログラムを記憶するメモリおよび噴射動作を行なう目的で噴射装置１の１つ以上の部分を動作させかつ／または制御するための命令プログラムを実行するように構成されたプロセッサを含むことができる。
【０１０４】
いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は以下の通りに動作するように構成されていてよい。ボード２は、このボード２を上に置くことのできるコンベヤ１８を介して噴射装置１内に補給され得る。ボード２がＸ−ワゴン４下の特定の位置に来たならばおよび／またはその時点で、係止用装置１９を用いてこのボード２を固定することができる。カメラ７を用いて、基準マーカを位置特定することができ、このマーカはボード２の表面上に予め配設され、ボードの精確な位置を決定するために使用される。次に、特定のパターン（または代替的には既定のパターンまたは予めプログラミングされたパターンなど）にしたがってボード２上でＸ−ワゴンを移動させ、既定の場所で噴射アセンブリ５を動作させることによって、ボード２上で所望の場所においてはんだペーストが適用される。このような動作は、噴射装置１の１つ以上の部分を制御する制御装置（例えばカメラ７により捕捉された画像の処理を介して基準マーカを位置特定すること、特定のパターンにしたがってボード２全体にわたりＸ−ワゴンを移動させるようにモータを制御すること、噴射アセンブリ５を動作させることなど）によって少なくとも部分的に実装され得る。
【０１０５】
図２は、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係るドッキング装置８および噴射アセンブリ５を例示する概略図である。図３は、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射アセンブリ５を例示する概略図である。ドッキング装置８および噴射アセンブリ５は、図１に例示されている噴射装置１を含む噴射装置１の１つ以上の例示的実施形態の中に内含され得る。
【０１０６】
図２〜３に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射アセンブリ５は、ドッキング装置８のアセンブリ支持体１０に対して噴射アセンブリ５を連結するように構成されたアセンブリホルダ１１を含む。さらに、いくつかの例示的実施形態において、噴射アセンブリ５は、はんだペーストの供給物を提供するように構成された供給物コンテナ１２、およびアセンブリハウジング１５を含むことができる。噴射アセンブリ５は、ドッキング装置８の出口４１を含む相補的空気圧式インタフェースと機密係合状態で接合するために位置付けされた、入口４２を含む空気圧式インタフェースを介して、流量発生器６および加圧空気源に連結されていてよい。
【０１０７】
図４Ａは、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射装置１の一部分の断面図である。図４Ｂは、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、図４Ａに例示された噴射装置の一部分の断面図である。図４Ｃは、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、図４Ｂに例示された噴射装置の一部分の断面図である。
【０１０８】
ここで図４Ａ〜４Ｃを参照して、アセンブリハウジング内に取囲まれた装置の内容および機能についてさらに詳細に説明する。いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、アセンブリハウジング１５内でアクチュエータを支持するためのアクチュエータ止めねじ、およびアクチュエータ２１を形成する（「少なくとも部分的に構成する」）ように共に積み重ねられた一定数（数量）の薄い圧電素子によって形成された（例えば「それを少なくとも部分的に構成する」）圧電アクチュエータ２１（本明細書中では単に「アクチュエータ２１」としても言及されている）を含むことができる。アクチュエータ２１は、止めねじに対し剛性連結されていてよい。
【０１０９】
図４Ａ〜４Ｃに例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、アセンブリハウジング１５に対して剛性連結されたブッシング２５、およびアクチュエータ２１の端部に対して剛性連結されたプランジャ２３をさらに含む。プランジャ２３およびブッシング２５は、止めねじの位置とは反対側にあってよい。プランジャ２３は、ブッシング２５内のボアを通って摺動可能な形で延在する一方で、軸方向に移動可能である。噴射装置１は、アセンブリハウジング１５に対してプランジャ２３との弾力的な平衡を保ちアクチュエータ２１のための予備負荷を提供するように構成されたカップスプリングを含み得る。
【０１１０】
いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、制御装置６００を含む。制御装置６００は、はんだパターン印刷データにしたがって、圧電アクチュエータ２１に対して間欠的に駆動電圧を印加し、これによりその間欠的な伸展ひいてはアセンブリハウジング１５との関係におけるプランジャ２３の往復移動運動をひき起こすように構成されていてよい。このようなデータは、制御装置６００内に含まれているメモリの中に記憶され得る。駆動電圧は、本明細書において、「アクチュエータ制御信号」を含めた「制御信号」を含むおよび／またはこの「制御信号」内に含まれるものとして、さらに説明され得る。
【０１１１】
図４Ａ〜４Ｃに例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、はんだペースト（「粘性媒体４５０」）の１つ以上の液滴４６０が上に噴射され得るボード２（本明細書では基板および／またはワークとしても言及され得る）に対して作動的に誘導されるように構成された駆出ノズル２６（本明細書では「ノズル２６」としても言及され得る）を含む。このノズル２６は、それを通して液滴４６０を噴射できる噴射用オリフィス２７（本明細書ではノズル２６の出口２７、ノズル出口２７などとしても言及される）を含み得る。噴射出口２７を取囲み基板２に対面するノズル２６の表面（例えば図４Ａ〜４Ｃに例示されている例示的実施形態内で噴射用オリフィスを取囲んでいるノズル２６の底部表面）は、本明細書において、噴射用出口として言及されることになる。プランジャ２３は、ピストンのボアを通って摺動可能かつ軸方向に可動な形で伸展させられるように構成されたピストン部分を含み、プランジャ２３の前記ピストン部分の端部表面は、前記ノズル２６の近くに配設されている。
【０１１２】
前記プランジャ２３の端部表面の形状、ブッシング２５およびノズルオリフィス２７の内径によって、駆出チャンバ２８が画定される。プランジャ２３の端部表面の形状、ブッシング２５の内径およびノズル２６の上位表面によって画定される駆出チャンバ２８の一部分は、本明細書中では内部キャビティ４１２として言及され得る。ノズルを通って延在する導管の内側表面によって画定される駆出チャンバ２８の一部分は、本明細書中では、ノズルキャビティ４１４として言及され得る。図４Ａ〜４Ｃに示されているように、ノズルキャビティ４１４は、円錐台形空間の形状に近い体積形状を有することができる。図４Ｃに示されているように、ノズルキャビティ４１４は、円錐台形空間および隣接する円筒形空間のものに近い体積形状を有し得る。ノズルキャビティ４１４の例示的実施形態は、図４Ａ〜４Ｃに示されている例示的実施形態に限定されない。
【０１１３】
圧電アクチュエータ２１の間欠的伸展によってひき起こされ、プランジャ２３が内部キャビティ４１２内に少なくとも部分的にまたは完全に収容されることが関与する、ノズル２６へ向かうプランジャ２３の軸方向運動は、駆出チャンバ２８の体積の急速な減少、ひいては、１つ以上の液滴４６０を形成するための内部キャビティ４１２から外へそしてノズルキャビティ４１４を通って出口２７までの、内部キャビティ内に格納されたあらゆる粘性媒体の運動を含めた駆出チャンバ２８内に格納されたあらゆる粘性媒体の急速な加圧およびノズルオリフィス２７を通した噴射をひき起こす。
【０１１４】
粘性媒体４５０は、補給装置を介して、供給物コンテナから駆出チャンバ２８へと供給され得る。補給装置は、本明細書中では、粘性媒体供給部４３０として言及され得る。粘性媒体供給部４３０は、１つ以上の導管を通ってノズル２６までの粘性媒体４５０（例えば「はんだペースト」）の流量を誘発するように構成され得る。粘性媒体供給部４３０は、ピストンボアと導管３１を介して連通している出口までアセンブリハウジング１５を通って延在する管状ボア内に部分的に具備されたモータシャフトを有するモータ（図示されず、電気モータであり得る）を含むことができる。別の例示的実施形態において、粘性媒体供給部４３０は、加圧タンクからの加圧流体の放出に基づいて管状ボアを通って粘性媒体の流量を誘発するように構成された加圧供給部を含み得る。モータシャフトの一端部部分が、管状ボアの中に具備されこのボアと同軸である回転可能な送りねじを形成し得る。回転可能な送りねじの一部分は、管状ボア内でそれと同軸的に配設された弾力性あるエラストマ製のａ−リングのアレイによって取り囲まれていてよく、回転可能な送りねじのねじ山はａ−リングの最内側表面と滑り接触している。
【０１１５】
上述の加圧空気源（図示せず）から得られる加圧空気は、供給物コンテナ内に格納された粘性媒体４５０に圧力を加え、これにより前記粘性媒体４５０を導管３４と連通しさらに粘性媒体供給部４３０と流体連通状態にある入口ポート３４に補給することができる。
【０１１６】
噴射装置１の制御装置６００により粘性媒体供給部４３０に提供される電気制御信号が、粘性媒体供給部４３０のモータシャフトひいては回転可能な送りねじを所望の角度だけ、または所望の回転速度で回転させることができる。このとき、回転可能な送りねじのねじ山とａ−リングの内側表面との間に捕捉された粘性媒体４５０を、モータシャフトの回転運動にしたがって、入口ポート３４から導管３１を介して駆出チャンバまで移動させることができる。封止用ａ−リングが、ピストンボアおよびブッシング２５の頂部に具備され得、こうして、ピストンボアに向かって補給されたいかなる粘性媒体４５０もピストンボアから漏出せず、場合によってプランジャ２３の動きを妨げることがないようになっている。
【０１１７】
このとき、導管３１およびチャネル３７を介して駆出チャンバ２８内に粘性媒体４５０を補給することができる。図４Ａ〜４Ｃに示されているように、チャネル３７は、ブッシング２５を通って駆出チャンバ２８まで、駆出チャンバ２８の側壁を通って延在し得る。図４Ａ〜４Ｃに示されているように、チャネル３７は、導管３１と流体連通状態にある第１の端部および、駆出チャンバ２８の側壁（例えば図４Ａ〜４Ｃに示されている内部キャビティ４１２の側壁）を通って駆出チャンバ２８と流体連通状態にある第２の端部を有する。
【０１１８】
本明細書中に記載されているように、入口ポート３４、管状ボア、導管３１、チャネル３７および駆出チャンバ２８（これは内部キャビティ４１２および／またはノズルキャビティ４１４を含み得る）は、部分的にまたは全体的に、ノズル２６の出口２７に対し粘性媒体（「はんだペースト」）の流量を誘導するように構成されている粘性媒体導管４１０を含むことができる。
【０１１９】
図４Ａ〜４Ｃに示されているように、粘性媒体導管４１０の少なくとも一部分は、粘性媒体供給部４３０の少なくとも一部分を包含し得る。例えば、管状ボアは、粘性媒体供給部４３０を含むモータのモータシャフトを包含することができる。別の例において、粘性媒体導管４１０の少なくとも一部分が駆出チャンバ２８を画定し得る。いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体導管４１０の少なくとも一部分は、アクチュエータ２１を少なくとも部分的に包含し得る（例えばプランジャ２３を少なくとも部分的に包含し得る。）
【０１２０】
少なくとも図４Ｂ内に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、噴射方向で見た場合に、ノズルオリフィス２７の下方または下流側に位置する支持プレートを含む。支持プレートには貫通孔が具備されており、噴射された液滴４６０は、支持プレートによって邪魔されたり負の影響を受けたりすることなくこの貫通孔を通過することができる。結果として、この孔はノズルオリフィス２７と同心的である。
【０１２１】
少なくとも図４Ａ〜４Ｃ内で例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、１つ以上の音響トランスジューサを含む。各々の音響トランスジューサは、粘性媒体導管４１０の少なくとも一部分に音響波を移送する音響信号を発出するように構成され得る。各々の音響トランスジューサは、粘性媒体導管４１０の一部分の内部に位置する粘性媒体４５０内に音響信号を発出するように構成されていてよい。図４Ｂに示されているように、いくつかの例示的実施形態において、１つ以上の音響トランスジューサは、粘性媒体導管４１０に位置しかつ／またはこの粘性媒体導管を通って流れている粘性媒体４５０の少なくとも一部分と直接流体連通状態にならないように隔離されてよい。図４Ｂに示されているようなこのような１つ以上の音響トランスジューサは、粘性媒体導管４１０の少なくとも一部分に達するべく噴射装置の少なくとも一部分（例えばアセンブリハウジング１５および／またはノズル２６の少なくとも一部分）を通って伝搬する音響信号を発出するように構成されてよく、こうして音響信号は音響波を、粘性媒体導管内の粘性媒体４５０の少なくとも一部分内に移送することになる。図４Ｂ〜４Ｃに示されているように、いくつかの例示的実施形態において、各々の音響トランスジューサは、それぞれの音響トランスジューサが位置している粘性媒体導管４１０の部分に位置しかつ／またはこの部分を通って流れている粘性媒体の少なくとも一部分と直接流体連通状態になるように構成されていてよい。
【０１２２】
図４Ａに示されているように、音響トランスジューサ４０４は、導管３１に音響波を移送する音響信号を発出するように構成され、音響トランスジューサ４０４の特定の閾値近接範囲内にある導管３１の一部分内に位置する粘性媒体導管４１０内の粘性媒体４５０の局部粘性媒体４５２−１と直接流体連通状態にあるように構成されている。いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサ４０４は、局部粘性媒体４５２−１と直接流体連通状態にならないように隔離されてよく、導管３１内の少なくとも局部粘性媒体４５２−１に到達しこの局部粘性媒体中に音響波を移送するために噴射装置の少なくとも一部分（例えばアセンブリハウジング１５の少なくとも一部分）を通って伝搬する音響信号を発出するように構成されてよい。
【０１２３】
図４Ｂ〜４Ｃに示されているような別の例において、音響トランスジューサ４２２は、内部キャビティ４１２に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されており、音響トランスジューサ４２２に対する特定の閾値近接範囲内にある内部キャビティ４１２の一部分の内部に位置する粘性媒体導管４１０内の粘性媒体４５０の局部粘性媒体４５２−２に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている。図４Ｂ〜４Ｃに示されているように、音響トランスジューサ４２２は、局部粘性媒体４５２−２との直接流体連通状態から隔離されてよく、こうして音響トランスジューサ４２２は、内部キャビティ４１２および局部粘性媒体４５２−２に達するべくブッシング２５の少なくとも一部分を通って伝搬する音響信号を発出するように構成される。いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサ４２２は、少なくとも部分的に内部キャビティ４１２を画定する内側表面にあり得、こうして音響トランスジューサ４２２は局部粘性媒体４５２−２と直接流体連通状態にある。
【０１２４】
図４Ｂ〜４Ｃに示されているような別の例において、音響トランスジューサ４２４は、ノズルキャビティ４１４に対し音響波を移送する音響信号を発出するように構成され、かつ、音響トランスジューサ４２４に対する特定の閾値近接範囲内にあるノズルキャビティ４１４の一部分の内部に位置する粘性媒体導管４１０内の粘性媒体４５０の局部粘性媒体４５２−３に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている。図４Ｂに示されているように、音響トランスジューサ４２４は、局部粘性媒体４５２−３との直接流体連通状態から隔離されてよく、こうして音響トランスジューサ４２４は、ノズルキャビティ４１４および局部粘性媒体４５２−３に達するようにノズルの少なくとも一部分を通して伝搬する音響信号を発出するように構成される。図４Ｃに示されているように、いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサ４２４は、ノズルキャビティ４２４を少なくとも部分的に画定する内側表面にあってよく、こうして音響トランスジューサ４２４は、局部粘性媒体４５２−３と直接流体連通状態にある。図４Ｃに示されているように、音響トランスジューサ４２４は、ノズルキャビティ４１４の限定された部分内にある局部粘性媒体４５２−３に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されていてよい。
【０１２５】
いくつかの例示的実施形態において、各々の音響トランスジューサは、それぞれの音響トランスジューサが位置しかつ／または、それぞれの音響トランスジューサに近接する粘性媒体導管４１０の一部分に位置しかつ／またはこの部分を通って流れている粘性媒体４５０の少なくとも一部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されており、こうして音響トランスジューサは、粘性媒体４５０の一部分（例えば局部粘性媒体４５２）の少なくとも１つのレオロジ特性が音響起動に基づいて調整されるようにする。音響トランスジューサの１つ以上は、少なくとも部分的に噴射装置１を通って粘性媒体の流量を制御しかつ／または噴射動作中に噴射装置１により噴射される液滴４６０の１つ以上の特性を制御するため、少なくとも部分的に集合的におよび／または独立して、１つ以上の制御装置６００によって制御されてよい。
【０１２６】
以下でさらに説明するように、図４Ａ〜４Ｃに示されている噴射装置１の例示的実施形態は、多数の音響トランスジューサを含む。しかしながら、いくつかの例示的実施形態に係る噴射装置１は、図４Ａ〜４Ｃに示された音響トランスジューサの個別の音響トランスジューサ、図４Ａ〜４Ｃに示された音響トランスジューサのうちの限定的に選択されたもの、図４Ａ〜４Ｂに示された位置との関係において異なる噴射装置１内の位置にある１つ以上の音響トランスジューサ、それらのいくつかの組合せなどを含むことができるということが理解される。
【０１２７】
まず図４Ｂおよび図４Ｃを参照すると、いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体導管４１０は、ノズル２６の出口と流体連通状態にあるノズルキャビティ４１４を含む駆出チャンバ２８を少なくとも部分的に画定する。図４Ｂおよび図４Ｃにさらに示されているように、噴射装置１は、ノズルキャビティ４１４を画定する粘性媒体導管４１０の一部分に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている音響トランスジューサ４２４を含むことができる。その結果、音響トランスジューサ４２４は、噴射動作中にノズルキャビティ４１４内に位置しかつ／またはこのノズルキャビティ４１４を通って流れる局部粘性媒体４５２−３に音響波を移送する音響信号を発出するように構成される。
【０１２８】
いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサ４２４は、噴射動作中にノズルキャビティ４１４内に位置しかつ／またはこのノズルキャビティ４１４を通って流れる粘性媒体４５０内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成され得る。結果として、音響トランスジューサ４２４は、ノズルキャビティ４１４内に位置しかつ／またはこのノズルキャビティを通って流れる粘性媒体４５０の１つ以上のレオロジ特性を調整することができる。
【０１２９】
いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体４５０の１つ以上のレオロジ特性を調整するために粘性媒体４５０内に音響波を移送する音響信号の発出に基づいて、音響トランスジューサ４２４は、こうして、１つ以上の液滴４６０を形成するべくノズルキャビティ４１４を通るそしてさらにノズル２６の出口２７を通る粘性媒体４５０の流量の制御を可能にすることができ、こうして流量は噴射動作全体を通して均一または実質的に均一であり続ける。
【０１３０】
いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体４５０の１つ以上のレオロジ特性を調整するために粘性媒体４５０内に音響波を移送する音響信号の発出に基づいて、音響トランスジューサ４２４は、こうして、ノズル２６から出口２７を通る粘性媒体４５０の１つ以上の液滴４６０の破断の制御を可能にすることができる。
【０１３１】
なおも図４Ａ〜４Ｃを参照すると、いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体導管４１０は、ノズルキャビティ４１４を通ってノズル２６の出口２７と流体連通状態にある内部キャビティ４１２を少なくとも部分的に画定する。図４Ａ〜４Ｃに示されているように、内部キャビティ４１２は、ノズル２６の出口２７を通して内部キャビティ４１２の内部に位置する粘性媒体４５０の流量の一部分を移動させるために、プランジャ２３を含めたアクチュエータ２１の一部分を収容するように構成されてよく、こうして粘性媒体４５０の流量の一部分は、噴射装置１から少なくとも部分的に噴射されることになる。
【０１３２】
図４Ｂおよび図４Ｃに示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサ４２２は、粘性媒体導管４１０の内部キャビティ４１２を少なくとも部分的に画定するブッシング２５を通して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている。その結果として、音響トランスジューサ４２２は、ブッシングを通して伝搬し、内部キャビティ４１２内に位置しかつ／またはこの内部キャビティ４１２を通って流れる粘性媒体４５０の流量の一部分（例えば局部粘性媒体４５２−２）まで音響波を移送する音響信号を発出するように構成されてよい。いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサ４２２は、内部キャビティ４１２と直接流体連通状態にあってよく、内部キャビティ４１２内に位置しかつ／またはこの内部キャビティ４１２を通って流れている粘性媒体４５０の一部分（例えば音響トランスジューサ４２２に関しては局部粘性媒体４５２−２）内に直接音響信号を発出するように構成されていてよい。
【０１３３】
いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体４５０の１つ以上のレオロジ特性を調整するために粘性媒体４５０内に音響波を移送する音響信号の発出に基づいて、音響トランスジューサ４２２は、こうして少なくとも駆出チャンバ２８を通る（例えば少なくとも内部キャビティ４１２を通る）そしてさらにノズル２６の出口２７を通る、粘性媒体４５０の流量の制御を可能にすることができ、こうして流量は噴射動作全体を通して均一または実質的に均一であり続ける。
【０１３４】
いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサ４２２および４２４の１つ以上は、アクチュエータ２１が粘性媒体４５０を駆出チャンバ２８を通って移動させノズル２６から外へ１つ以上の液滴４６０として噴射させることに基づいておよび／またはこのことと同期化して制御され得る。例えば、トランスジューサ４２２、４２４の１つ以上は、内部キャビティ４１２から外に粘性媒体を移動させるためにアクチュエータ２１がプランジャ２３を移動させるよりも特定の時間周期だけ前の時点に始まる音響信号を発出するように制御され（「起動させられ」）てよく、こうして駆出チャンバ２８を通る粘性媒体４５０の流量は、特定の均一なまたは実質的に均一な流量に維持される。別の例では、アクチュエータ２１が粘性媒体４５０をノズル２６から外に噴射させるように制御された後、特定の時間が経過した時点で、ノズル２６からの液滴４６０の破断を制御するべく音響信号を発出するように制御され得る（起動させられ得る）。
【０１３５】
以下でさらに説明される通り、音響トランスジューサ４２２、４２４の１つ以上は、粘性媒体導管４１０に位置しかつ／またはこの粘性媒体導管４１０を通って流れる粘性媒体の少なくとも一部分と結び付けられたセンサデータを生成するように構成された流量センサによって生成される流量データに少なくとも部分的に基づいて制御されてよい。
【０１３６】
図４Ａを再び参照すると、いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、粘性媒体供給部の少なくとも一部分に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている１つ以上の音響トランスジューサを含むことができ、こうして、１つ以上の音響トランスジューサは、粘性媒体供給部を少なくとも部分的に包含する粘性媒体導管４１０の１つ以上の別個の部分に近接して位置設定される。
【０１３７】
例えば、図４Ａに示されているように、噴射装置１は、音響トランスジューサ４０２および音響トランスジューサ４０４の少なくとも１つを含むことができる。図示されているように、音響トランスジューサ４０２は、入口ポート３４に近接して位置設定され、音響トランスジューサ４０４は、導管３１の少なくとも一部分内の局部粘性媒体４５２−１に音響波を移送する音響信号を発出するように構成される。音響トランスジューサ４０２および４０４の各々は、それぞれ粘性媒体供給部４３０の一部分を少なくとも部分的に包含する管状ボアの中へまたはこのボアから外へ流れている粘性媒体４５０内に音響波を移送する音響信号を発出するように制御され得る。例えば音響トランスジューサ４０２および４０４の各々は、粘性媒体供給部４３０のモータシャフトによって直接撹拌されている粘性媒体４５０内に音響波を移送する音響信号を発出することができる。
【０１３８】
音響トランスジューサ４０２および４０４は、粘性媒体供給部４３０により直接撹拌されている粘性媒体４５０内に音響波を移送する音響信号を発出できることから、以下でさらに説明するように、音響トランスジューサ４０２および４０４の１つ以上は、音響起動を通してこのような粘性媒体４５０の１つ以上のレオロジ特性を調整することができる。ここでこのような調整は、粘性媒体供給部４３０によって誘発される粘性媒体４５０の流量の均質性を改善することができる。粘性媒体の流量のこのような改善された均質性は、噴射動作中の噴射装置１内の粘性媒体４５０の流量均質性の改善を結果としてもたらすことができる。例えば、粘性媒体供給部（例えばモータ）は、非ニュートン性流体を含む粘性媒体４５０の流量を誘発するべく噴射動作中に間欠的に動作することができるものの、音響トランスジューサ４０２および４０４は、粘性媒体供給部４３０内を通って流れかつ／またはこの粘性媒体供給部４３０と直接流体連通状態にある局部非ニュートン性流体の１つ以上のレオロジ特性の音響起動を介した調整（例えば粘度の低減）に基づいて、噴射動作全体を通した非ニュートン性流体の均一なまたは実質的に均一な流量を可能にするように制御されてよい。
【０１３９】
再び図４Ａ〜４Ｃを参照すると、いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、多数の（例えば複数の）音響トランスジューサを含む。前記複数の音響トランスジューサの各々は、粘性媒体導管４１０内に位置しかつ／またはこの粘性媒体導管４１０を通って流れている粘性媒体４５０の別個の部分に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されてよい。各音響トランスジューサはさらに、粘性媒体導管４１０の内部で粘性媒体４５０の別個のそれぞれの部分（例えば局部粘性媒体４５２−１、４５２−２および４５２−３の別個のそれぞれの例）内に音響波を移送する別個のそれぞれの音響信号を発出するように別個にかつ独立して制御されるように構成されてよい。
【０１４０】
例えば、図４Ａ〜４Ｃを参照すると、噴射装置１は、音響トランスジューサ４２２および音響トランスジューサ４２４の両方を含むことができる。音響トランスジューサ４２２および４２４の各々は、例えばノズル２６の出口２７から粘性媒体の一部分を噴射させるようにアクチュエータ２１が制御される時点との関連において異なる時点で音響信号を発出するように、別個にかつ独立して制御され得る。例えば、出口２７を介してノズル２６から外へおよび駆出チャンバ２８の残余分を通って内部キャビティ４１２内の粘性媒体４５０の少なくとも一部分（例えば局部粘性媒体４５２−２）を移動させるために、特定の時点（ｔ＝０）でプランジャ２３を内部キャビティ４１２内に移動させるようにアクチュエータ２１が制御されるとすれば、および／または制御される場合、音響トランスジューサ４２２は、アクチュエータ２１が制御される時点（ｔ＝０）に先行するおよび／またはこの時点と同時である特定の時点において内部キャビティ４１２内の局部粘性媒体４５２−２内に音響波を移送する１つ以上の音響信号を発出するように制御されてよい。さらに、音響トランスジューサ４２４は、アクチュエータ２１が制御される時点（ｔ＝０）と同時であるおよび／またはこの時点の後に起こる特定の時点（ｔ＝１）で、駆出チャンバ２８内に位置するおよび／またはこの駆出チャンバ２８を通って流れる局部粘性媒体４５２−３の中に音響波を移送する１つ以上の音響信号を発出するように制御され得る。
【０１４１】
別の例では、音響トランスジューサ４０２および４０４の各々は、例えば、粘性媒体導管４１０内で粘性媒体４５０の流量を誘発させるように粘性媒体供給部４３０が制御される時点との関係において異なる時点で音響信号を発出するために、別個にかつ独立した形で制御されてよい。例えば、モータを含む粘性媒体供給部４３０が特定の時点（ｔ＝０）で粘性媒体導管４１０を通って粘性媒体４５０の流量を誘発するように制御されるとすれば、および／または制御される場合には、音響トランスジューサ４０２は、モータが制御される時点（ｔ＝０）に先行するおよび／またはその時点と同時である時点（ｔ＝１）で入口ポート３４内に位置する粘性媒体４５０内に１つ以上の音響信号を発出するように制御されてよい。さらに音響トランスジューサ４０４は、モータが制御される時点（ｔ＝０）と同時であるおよび／またはこの時点の後に起こる特定の時点（ｔ＝１）において導管内に位置しかつ／または導管３１を通って流れる局部粘性媒体４５２−１内に１つ以上の音響信号を発出するように制御されてよい。
【０１４２】
図４Ａを再び参照すると、いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、粘性媒体導管４１０の１つ以上の部分を通る粘性媒体４５０の局部流れ（例えば体積流量、質量流量、流速など）を測定するように構成される１つ以上の流量センサを含む。例えば、図４Ａに示されているように、噴射装置１は、導管３１の内側表面にまたはその近くに位置する流量センサ４０５を含むことができ、こうして流量センサ４０５は、導管３１を通る粘性媒体４５０の測定された流量を標示する流量データを生成するように構成される。図４Ｃに示されている別の例においては、噴射装置１は、ノズルキャビティ４１４の内側表面にまたはそれに近接して位置する流量センサ４０７を含むことができ、こうして流量センサ４０７は、ノズル２６の出口２７を通る粘性媒体４５０の測定された流量を標示する流量データを生成するように構成される。
【０１４３】
いくつかの例示的実施形態において、噴射装置の音響トランスジューサの１つ以上は、噴射装置１の１つ以上の流量センサによって生成される流量データに基づいて制御され得、こうして粘性媒体導管４１０の１つ以上の部分を通る粘性媒体４５０の流量は、１つ以上の音響トランスジューサのフィードバック制御に基づいて、均一なまたは実質的に均一な流量に維持され得る。
【０１４４】
例えば、まず図４Ａを参照すると、音響トランスジューサ４０２および４０４の１つ以上は、導管３１を通る粘性媒体４５０の均一なまたは実質的に均一な流量を可能にするため流量センサ４０５により生成された流量データに基づいて制御され得る。別の例では、図４Ｂおよび図４Ｃを参照すると、音響トランスジューサ４２２および４２４の１つ以上は、ノズル２６の出口２７を通る粘性媒体４５０の均一なまたは実質的に均一な流量を可能にするため流量センサ４０７によって生成された流量データに基づいて制御され得る。
【０１４５】
少なくとも図４Ｂおよび４Ｃに示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサ（例えば図４Ｂ〜４Ｃ内の音響トランスジューサ４０２、４０４、４２２および／または４２４）は、粘性媒体導管４１０の内側表面から隔離され得る。しかしながら、音響トランスジューサは、噴射装置１との関係において任意の場所に位置設定され得、ここで音響トランスジューサは、粘性媒体導管４１０の少なくとも一部分内の粘性媒体４５０の少なくとも一部分内に音響波を移送する（「音響エネルギ」の移送としても言及される）音響信号を発出するように構成されているということが理解されるものとする。例えば、いくつかの例示的実施形態において、噴射装置は、粘性媒体導管４１０の内側表面との直接的接触から隔離される音響トランスジューサを含むことができ、こうして音響トランスジューサは、粘性媒体導管４１０内の粘性媒体４５０との直接流体連通状態から隔離される。このような音響トランスジューサは、粘性媒体導管４１０に達するために噴射装置１の少なくとも一部分（例えば噴射装置のアセンブリハウジング１５の一部分）を通って伝搬する音響信号を発出し、発出された音響信号中の音響波を粘性媒体導管４１０内に位置する粘性媒体４５０内へ移送するように構成され得る。いくつかの例示的実施形態においては、噴射装置１の外側表面に音響トランスジューサを位置設定することができる。例えば、図４Ａ〜４Ｃを参照すると、音響トランスジューサ（例えば音響トランスジューサ４２４）は、ノズル２６の出口２７に近接および／または隣接するノズル２６の外側表面上の１つの場所で、噴射装置１の外側表面（例えば駆出チャンバ２８の外側表面、ノズルキャビティ４１４の外側表面など）の上に位置設定（例えば取付け、接着など）されてよく、こうして音響トランスジューサは、粘性媒体導管４１０内の粘性媒体４５０の少なくとも一部分（例えばノズルキャビティ４１４内の粘性媒体４５２−３）に音響波を移送する音響信号を発出するように構成される。
【０１４６】
図５Ａは、図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置の少なくともいくつかの要素に本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る少なくとも１つの動作を行なわせるために、噴射装置の少なくともいくつかの要素に対して経時的に伝送される制御信号を示すタイミング図である。図５Ｂは、図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置の少なくともいくつかの要素に本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る少なくとも１つの動作を行なわせるために、噴射装置の少なくともいくつかの要素に対して経時的に伝送される制御信号を示すタイミング図である。図５Ｃは、図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置の少なくともいくつかの要素に本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る少なくとも１つの動作を行なわせるために、噴射装置の少なくともいくつかの要素に対して経時的に伝送される制御信号を示すタイミング図である。
【０１４７】
図５Ａ、図５Ｂおよび図５Ｃの各々の中で示されているように、音響トランスジューサは、噴射動作中の少なくとも１つの特定の制限された時間周期にわたり、音響信号を発出し、ひいては局部粘性媒体の少なくとも１つのレオロジ特性を調整するように制御される。さらに示されているように、音響トランスジューサは、噴射装置１の１つ以上の他の要素に関して生成および／または伝送された１つ以上の制御信号に基づいて制御され得る。
【０１４８】
まず図５Ａを参照すると、音響トランスジューサ４０２、４０４、４２２、４２４の１つ以上は、基板上に液滴の１つ以上の「ストリップ」を噴射することを含む噴射動作中、粘性媒体導管４１０内に位置しかつ／またはこの粘性媒体導管４１０を通って流れる粘性媒体４５０の少なくとも一部分の１つ以上のレオロジ特性を制御するように制御され（「起動させられ」）得る。
【０１４９】
図５Ａは、噴射動作中に噴射装置１の１つ以上の制御装置によって生成および／または伝送され得るさまざまな制御信号の大きさおよび／またはタイミングを示すタイミング図を例示する。図５Ａに例示されているタイミング図はさらに、噴射動作中の異なる時点における、そしてアクチュエータ２１および／または音響トランスジューサの１つ以上に関して生成および／または伝送される制御信号との関係における噴射装置１内の粘性媒体の少なくとも一部分のレオロジ特性の大きさをさらに示している。
【０１５０】
図示されているように、図５Ａのタイミング図は、噴射装置１内のアクチュエータ２１に伝送される制御信号５５０（「アクチュエータ制御信号」）、（図４Ａ〜４Ｂで例示されている音響トランスジューサ４０２、４０４、４２２、４０４のうちの１つ以上を含み得る）１つ以上の音響トランスジューサに伝送された制御信号５６０（「トランスジューサ制御信号」）、および噴射装置１内の粘性媒体の少なくとも一部分のレオロジ特性５７０を例示している。制御信号５６０は、単一の個別音響トランスジューサについて生成および／または伝送される制御信号として例示されているが、噴射動作中噴射装置１内の別個のそれぞれの音響トランスジューサについて別個にかつ／または独立して多数の制御信号が生成および／または伝送され得るということが理解される。
【０１５１】
なおも図５Ａを参照すると、ライン５７０は、粘性媒体導管４１０内の粘性媒体４５０の少なくとも一部分の少なくとも１つのレオロジ特性の値を表わしている。例えば、ライン５７０は、駆出チャンバ２８のノズルキャビティ４１４内部に位置する粘性媒体４５０の部分（例えば音響トランスジューサ４２４に関する局部粘性媒体４５２−３）の粘度の大きさを表わし得る。さらに、ライン５６０は、少なくとも部分的にノズルキャビティ４１４を画定する粘性媒体導管４１０に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている少なくとも音響トランスジューサ４２４に対して生成および／または伝送される制御信号を表わすことができ、こうして音響トランスジューサ４２４は、ライン５７０によって表わされる粘性媒体４５０の部分（例えば局部粘性媒体）と直接流体連通状態にあるように構成される。したがって、図５Ａに示されているように、図５Ａに示されている粘度を含めた、粘性媒体４５０の少なくとも１つのレオロジ特性は、音響トランスジューサ４２４に対する制御信号５６０の生成および／または伝送に基づいて調整され得る。
【０１５２】
図５Ａに示されているように、いくつかの例示的実施形態において、噴射動作は、多数の別個の信号セットの形で制御信号５５０を生成および／または伝送することを含み、ここで、各々の信号「パルス」セット５５２は、連続して生成／伝送された制御信号５５０のパルスセットを含む。各々の個別制御信号５５０のパルス５５２は、噴射装置１のアクチュエータ２１にノズル２６からの個別の液滴を噴射させることができる。個別液滴の個別の噴射は、本明細書において「ショット」として言及され得、噴射セットは「ストリップ」として言及され得る。したがってアクチュエータ２１によって引き起こされる個別ショットに対応する制御信号５５０の個別パルス５５２は、「ショットパルス」として言及することができ、ショットのストリップに集合的に対応する個別パルスのセットを、「ストリップパルス」セットとして言及することができる。
【０１５３】
図５Ａは、噴射装置１のアクチュエータ２１に、液滴ショットの少なくとも２つの別個のストリップを噴射させる（「トリガーする」）ための少なくとも２つの制御信号５５０パルス５５２のセットを伝送するステップを含む噴射動作を例示しており、ここでは、少なくとも最初の２つのストリップは少なくとも６つのショットを含んでいる。
【０１５４】
図５Ａに示されているように、噴射動作は、時点（「タイムスタンプ」）ｔ500において開始され得る。時点ｔ520において、噴射動作は、第１のストリップの第１のショットの噴射ステップとそれに続く時点ｔ522における１つ以上の経過時間間隔での第１のストリップの残りの５回のショットを含み、噴射装置１に液滴の第１のストリップを噴射させることができる。噴射装置１にこのような噴射を行なわせるために、図５Ａに示されているように、制御信号５５０のパルス５５２が、時点ｔ520で出発し時点ｔ520から時点ｔ530まで一つ以上の間隔で連続して生成および／または伝送されて、噴射装置１に第１のストリップのショットを噴射させることができる。
【０１５５】
第２のショットストリップを噴射装置１に実装させるために、制御信号５５０のパルス５５２が、時点ｔ550で出発し時点ｔ550から時点ｔ560まで１つ以上の間隔で連続して生成されて、噴射装置１に第２のストリップのショットを噴射させることができる。各々の別個の制御信号５５０のパルス５５２は、噴射装置１のアクチュエータ２１にノズル２６から個別の液滴を噴射させることができる。このような噴射には、アクチュエータ２１のプランジャ２３を内部キャビティ４１２内に収容してこの内部キャビティ４１２内に位置する粘性媒体４５０を駆出チャンバ２８を通して移動させ、ノズル２６の出口２７から少なくとも部分的に噴射させるステップが含まれ得る。
【０１５６】
図５Ａに示されているように、いくつかの例示的実施形態においては、噴射装置の少なくとも１つの音響トランスジューサ（例えば音響トランスジューサ４２４）を制御して、これにより粘性媒体導管４１０の一部分内に位置しかつ／またはこの一部分を通って流れている粘性媒体４５０の一部分内に音響波を移送する音響信号を少なくとも１つの音響トランスジューサに発出させるために、制御信号５６０を生成および／または伝送することができる。
【０１５７】
図５Ａに示されているように、いくつかの例示的実施形態においては、粘性媒体導管４１０の少なくとも一部分内の粘性媒体４５０の１つ以上のレオロジ特性を制御するために、所与の噴射動作中の各々の別個のショットストリップの間、前および／または後で音響信号を発出するように、音響トランスジューサを制御することができる。図５Ａに示された例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、別個のそれぞれのショットストリップを包含する別個の経過時間の周期中に音響信号を発出するために、音響トランスジューサを制御することができる。その結果、図５Ａに示されているように、音響トランスジューサは、別個のストリップの間および／または前および／または後に噴射装置中の粘性媒体４５０の少なくとも一部分の１つ以上のレオロジ特性を制御し、これにより噴射された液滴４６０のパラメータの意図せぬ変動をもたらす可能性のある粘性媒体４５０内の均質性の低下のリスクを削減および／または軽減することができる。
【０１５８】
図５Ａに示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、制御信号５６０は、第１のストリップの第１のショットに先立つ特定の経過時間周期ｔ1,startである時点ｔ510で出発する時間から継続的に生成および／または伝送され得る。その結果、時点ｔ510に先行する時間周期中、音響トランスジューサはいかなる音響信号も発出しなくてよく、音響トランスジューサは時点ｔ510で音響信号の発出を開始することができる。
【０１５９】
図５Ａに示されているように、第１のストリップの第１のショットよりも特定の経過時間周期ｔ1,startだけ先行する時点である時点ｔ510において、制御信号５６０を開始させかつ／またはその大きさを増加させることができ、これにより音響トランスジューサが直接流体連通状態にある粘性媒体４５０の少なくとも一部分内への音響信号の発出（「伝送」）を音響トランスジューサに開始させることができる。
【０１６０】
図５Ａに示されているように、制御信号５６０は、第１のストリップの最終ショットに対応する最終制御信号５５０パルス５５２が生成および／または伝送される時点ｔ530まで継続的に維持され得る。時点ｔ530において、伝送および／または生成された制御信号５６０を阻止しかつ／またはその大きさを削減することができ、こうして音響トランスジューサは音響信号の発出を停止させられることになる。
【０１６１】
図５Ａに示されているように、音響トランスジューサにより発出された音響信号が音響波を移送し得る粘性媒体４５０の少なくとも一部分（例えば、制御信号５６０により制御される音響トランスジューサが音響トランスジューサ４２４であるならば、および／またはそうである場合ノズルキャビティ４１４内の粘性媒体４５０）のレオロジ特性（例えば粘度）は、それらの粘度であり得、時点ｔ510から時点ｔ530まで、この時間周期中音響信号を発出するための制御信号５６０を介した音響トランスジューサの制御に基づいて、第１の値から第２の異なる値まで調整される。例えば、図５Ａに示されているように、粘性媒体４５０の少なくとも一部分の粘度は、時点ｔ510から時点ｔ530まで音響起動に基づいて調整（例えば低減または増大）され得る。その結果、噴射装置全体を通して位置する粘性媒体４５０のレオロジ的均質性を改善することができ、これにより、噴射動作全体を通して粘性媒体４５０の流量および液滴４６０の特性の均一性の改善がもたらされ得る。
【０１６２】
図５Ａをなおも参照すると、次のストリップの第１のショットが噴射される時点ｔ550に先立つ特定の経過時間ｔ2,startである、時点ｔ530に始まり時点ｔ540で終る特定の時間周期の間、制御信号５６０を阻止することができる。したがって図５Ａに示されているように、音響トランスジューサによって発出された音響信号が音響波を移送し得る粘性媒体４５０のレオロジ特性は、時点ｔ510の前の特性の状態に類似する未調整状態まで戻り得る。
【０１６３】
時点ｔ590において、制御信号５６０は、時点ｔ560における第２のストリップの最終ショットに至るまで、再開されかつ／または大きさが増大させられる。いくつかの例示的実施形態において、制御信号５６０は、所与のストリップの最終ショットの後、少なくとも特定の経過時間周期の間、大きさが維持されてよい。例えば、制御信号５６０は、時点ｔ540から時点ｔ560後である一時点まで維持され得、こうして音響トランスジューサは、音響信号を発出し続けひいては音響トランスジューサにより発出された音響信号が音響波を移送し得る粘性媒体４５０（本明細書中では音響トランスジューサに関する「局部」粘性媒体として言及されている）の１つ以上のレオロジ特性を少なくとも時点ｔ560後である時間中調整し続けることになる。
【０１６４】
図５Ａに示されているように、アクチュエータ２１に１つ以上の液滴を噴射させる制御信号５５０に基づいてかつ／またはこの制御信号５５０と同期的に音響トランスジューサに音響信号を発出させるような形で、制御信号５６０を介して音響トランスジューサを制御することができる。
【０１６５】
ここで図５Ｂを参照すると、いくつかの例示的実施形態において、制御信号５６０は、所与のストリップの別個のそれぞれの個別ショットに各々基づいている個別の「パルス」５６２で生成および／または伝送され得る。その結果、各々の個別の液滴噴射に基づいて、局部粘性媒体４５０の１つ以上のレオロジ特性を調整することができる。これにより、短い累積時間周期の間音響トランスジューサを起動させる一方で粘性媒体４５０の流量および／または液滴特性の均一性の増大を可能にすることができ、こうして噴射動作に付随する所要電力は削減されることになる。
【０１６６】
図５Ｂに示されているように、各々の制御信号５６０のパルス５６２の伝送および／または生成は、個別のショットに対応する個別の制御信号５５０のパルス５５２の生成および／または伝送と同時に（例えばこれと同期的に）開始され得る。図５Ｃに示されているように、制御信号５６０の各パルス５６２は、所与のショットに対応する制御信号５５０のパルス５５２の生成および／または伝送後の経過時間周期ｔ1の間維持され得、一方、制御信号５５０のパルスは「瞬間的」パルスであり得る。同じく図５Ｂに示されているように、制御信号５６０のパルス５６２は、局部粘性媒体４５０のレオロジ特性５７０を異なる値の間でパルスさせる。
【０１６７】
いくつかの例示的実施形態において、例えば制御信号５６０により制御される音響トランスジューサが図４Ｂに示された音響トランスジューサ４２４である場合、制御信号５６０の各パルス５６２は、制御信号５５０のパルス５５２の結果として液滴４６０としてノズル２６の出口２７から粘性媒体４５０が噴射されるのと同時にまたは実質的に同時に（例えば製造許容誤差および／または材料許容誤差内で同時に）、ノズルキャビティ４１４内に位置しかつ／またはこのノズルキャビティ４１４を通って流れる局部粘性媒体４５０のレオロジ特性を「パルスさせる」ことができる。
【０１６８】
その結果、音響信号パルスを生成するための音響トランスジューサのパルシングは、液滴４６０をノズル２６から離脱させ、これにより、さらに上述されているように液滴サイズを含めた液滴４６０の１つ以上のパラメータを制御することができる。その結果ストリップの各ショットと同期化してまたは実質的に同期化して（例えば製造許容誤差および／または材料許容誤差内で同期化して）音響トランスジューサをパルスさせることにより、噴射装置１はさらに、ノズル２６からの液滴４６０の分断を制御することにより個別の液滴４６０のパラメータを制御することができる。
【０１６９】
その結果、各ショットと同期化して音響トランスジューサをパルスさせるための制御信号５６０のパルシングは、意図せぬ変動が削減された堆積物を噴射装置１に生成させ、これにより基板上の堆積部の形成を通して形成される装置の信頼性を改善することができる。
【０１７０】
いくつかの例示的実施形態において、液滴の噴射に対応する制御信号５５０のパルス５５２との関係における制御信号パルス５６２のタイミングを、付加的にまたは代替的に決定および／または調整することができる。
【０１７１】
いくつかの例示的実施形態においては、粘性媒体導管４１０を通る粘性媒体４５０の流量の均一性を増大させるため、噴射動作中に噴射装置１が噴射する液滴４６０の均一性を増大させるため、および／または液滴４６０特性の制御を改善するために、噴射装置１内に含まれた１つ以上の流量センサによって生成される流量データに基づいて、制御信号５６０のタイミング、接続時間および大きさのうちの１つ以上を調整することができる。
【０１７２】
ここで図５Ｃを参照すると、いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体導管４１０を通る粘性媒体４５０の流量を誘発するための粘性媒体供給部４３０の制御に基づいて継続的に音響信号を発出することを目的として、１つ以上の音響トランスジューサを制御することができる。結果として、音響トランスジューサは、流量内の局部粘性媒体４５０の１つ以上のレオロジ特性の制御に基づいて、流量の均一性を改善することができる。
【０１７３】
図示されている通り、図５Ｃのタイミング図は、噴射装置内の粘性媒体供給部４３０（例えばモータ）の少なくとも一部分に伝送される制御信号５３０（「供給部制御信号）、１つ以上の音響トランスジューサ（図４Ａ〜４Ｂに例示された音響トランスジューサ４０２、４０４、４２２、４０４の１つ以上を含み得る）に伝送される制御信号５９０（「トランスジューサ制御信号」）、および噴射装置１内の粘性媒体４５０の少なくとも一部分のレオロジ特性５９４を例示している。制御信号５９０は単一の個別の音響トランスジューサについて生成および／または伝送される制御信号として例示されているものの、噴射動作中に噴射装置１内の別個のそれぞれの音響トランスジューサについて別個におよび／または独立して多数の制御信号を生成および／または伝送することができるということが理解されるものとする。
【０１７４】
なおも図５Ｃを参照すると、ライン５９４は、粘性媒体導管４１０内の粘性媒体４５０の少なくとも一部分の少なくとも１つのレオロジ特性の値を表わす。例えば、ライン５９４は、入口ポート３４内部に位置する粘性媒体４５０の粘度の大きさを表わし得る。さらに、ライン５６０は、少なくとも入口ポート３４に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている音響トランスジューサ４０２に対して生成および／または伝送される制御信号を表わすことができ、こうして音響トランスジューサ４０２は、ライン５９４によって表わされている粘性媒体４５０（例えば「局部」粘性媒体）に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている。したがって、図５Ｃに示されているように、図５Ｃに示されている粘度を含めた局部粘性媒体４５０の少なくとも１つのレオロジ特性を、音響トランスジューサ４０２に対する制御信号５９０の生成および／または伝送に基づいて調整することができる。
【０１７５】
図５Ｃに示されているように、いくつかの例示的実施形態においては、粘性媒体導管４１０を通る粘性媒体４５０の流量を誘発するために粘性媒体供給部４３０が制御されている間、その前および／または後に音響信号を発出するように、音響トランスジューサを制御することができる。その結果、図５Ｃに示されているように、音響トランスジューサは、粘性媒体供給部４３０が粘性媒体４３０の流量を誘発している間、および／またはその前および／またはその後に噴射装置内の粘性媒体４５０の少なくとも一部分の１つ以上のレオロジ特性を制御し、これにより粘性媒体導管４１０を通る粘性媒体４５０の不均一な流量をもたらし得る粘性媒体４５０内の均質性の低下のリスクを削減および／または軽減することができる。
【０１７６】
図５Ｃに示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態においては、粘性媒体４５０の流量の誘発開始指令が粘性媒体供給部４３０に出される時点に先行する特定の経過時間周期ｔ3、startである時点ｔ610に出発する時間から継続的に、制御信号５９０を生成および／または伝送することができる。結果として、時点ｔ610に先行する時間周期の間、音響トランスジューサは、いかなる音響信号も発出しなくてよく、音響トランスジューサは、時点ｔ610で音響信号の発出を開始してよい。
【０１７７】
図５Ｃに示されているように、時点ｔ610において、制御信号５９０を開始させかつ／またはその大きさを増加させることができ、これにより音響トランスジューサによって発出された音響信号が音響波を移送し得る局部粘性媒体４５０の中への音響信号の発出（「伝送」）を音響トランスジューサに開始させることができる。
【０１７８】
図５Ｃに示されているように、制御信号５９０は、粘性媒体４５０の流量を阻止するための時点ｔ630における粘性媒体供給部４３０の指令より経過時間周期ｔ3、stop後である時点ｔ640まで、継続的に維持され得る。時点ｔ640において、伝送および／または生成された制御信号５９０を阻止しかつ／またはその大きさを削減することができ、こうして音響トランスジューサは音響信号の発出を停止させられることになる。
【０１７９】
図５Ｃに示されているように、音響トランスジューサにより発出された音響信号が音響波を移送し得る粘性媒体の少なくとも一部分（例えば、制御信号５９０により制御される音響トランスジューサが音響トランスジューサ４２０であるならばおよび／またはそうである場合、入口ポート３４内の粘性媒体）のレオロジ特性（例えば粘度）は、それらの粘度であってよく、時点ｔ610から時点ｔ640まで、この時間周期中音響信号を発出するための制御信号５９０を介した音響トランスジューサの制御に基づいて、第１の値から第２の異なる値まで調整される。例えば、図５Ｃに示されているように、粘性媒体の少なくとも一部分の粘度は、時点ｔ610から時点ｔ640まで、音響起動に基づいて低減され得る。いくつかの例示的実施形態においては、時点ｔ610から時点ｔ640まで音響起動に基づいて粘性媒体の少なくとも一部分の粘度を増大させることができる。その結果、噴射装置１全体を通して位置する粘性媒体のレオロジ的均質性を改善することができ、これにより噴射動作全体を通して粘性媒体４５０の流量および液滴４６０の特性の均一性の改善がもたらされ得る。
【０１８０】
いくつかの例示的実施形態においては、ｔ3、startおよびｔ3、stopの１つ以上は、ゼロ値（例えばｔ610＝ｔ620および／またはｔ630＝ｔ640）であり得、こうして音響トランスジューサおよび粘性媒体供給部４３０は、それぞれ、音響信号の発出および粘性媒体４５０の流量を同時に開始または阻止するべく指令を受けることができる。
【０１８１】
図６は、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る制御装置６００を含む噴射装置１を例示する概略図である。図６に示されている噴射装置１は、図１〜３、および図４Ａ〜４Ｂ中に例示されている噴射装置１のいずれか１つを含む、本明細書中で例示され説明されている例示的実施形態のいずれかに係る噴射装置１であってよい。
【０１８２】
図６を参照すると、制御装置６００は、メモリ６２０、プロセッサ６３０、通信インタフェース６５０および制御インタフェース６６０を含む。
【０１８３】
図６に示された例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、制御装置６００は、噴射装置１内に含められていてよい。いくつかの例示的実施形態において、制御装置６００は１つ以上の計算装置を含むことができる。計算装置には、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、タブレットコンピュータ、ラップトップコンピュータ、ネットブック、それらのいくつかの組合せなどが含まれ得る。
【０１８４】
メモリ６２０、プロセッサ６３０、通信インタフェース６５０および制御インタフェース６６０は、バス６１０を通して相互に通信することができる。
【０１８５】
通信インタフェース６５０は、さまざまなネットワーク通信プロトコルを用いて外部装置からデータを通信することができる。例えば通信インタフェース６５０は、制御装置６００のセンサ（図示せず）により生成されたセンサデータを外部装置に通信することができる。外部装置は、例えば画像提供サーバ、表示装置、モバイル機器、例えば携帯電話、スマートフォン、携帯情報端末（ＰＤＡ）、タブレットコンピュータおよびラップトップコンピュータ、計算装置、例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）、タブレットＰＣおよびネットブック、画像出力装置、例えばＴＶおよびスマートＴＶ、そして画像捕捉装置、例えばカメラおよびカムコーダ、を含み得る。
【０１８６】
プロセッサ６３０は、命令プログラムを実行し制御装置６００を制御することができる。プロセッサ６３０は、１つ以上の制御インタフェース６６０を介して噴射装置１の１つ以上の要素に制御信号を生成および／または伝送することを介して、噴射装置１の１つ以上の部分を制御するために命令プログラムを実行することができる。プロセッサ６３０により実行されるべき命令プログラムを、メモリ６２０内に記憶することが可能である。
【０１８７】
メモリ６２０は情報を記憶することができる。メモリ６２０は、揮発性または不揮発性メモリであってよい。メモリ６２０は、非一時的コンピュータ可読記憶媒体であり得る。メモリは、少なくとも１つのプロセッサ６３０により実行された時点で、少なくともプロセッサ６３０に、本明細書中に記載の１つ以上の方法、機能、プロセスなどを実行させるコンピュータ可読命令を記憶することができる。いくつかの例示的実施形態において、プロセッサ６３０は、メモリ６２０内に記憶されたコンピュータ可読命令の１つ以上を実行することができる。
【０１８８】
いくつかの例示的実施形態において、制御装置６００は、噴射装置１の要素の１つ以上に対し制御信号を伝送して、噴射動作を実行および／または制御することができ、これにより１つ以上の液滴が基板に噴射され１つ以上の音響トランスジューサが１つ以上の音響信号を発出するべく制御されることになる。例えば制御装置６００は、１つ以上の命令プログラムにしたがって、１つ以上のアクチュエータ、流量発生器、音響トランスジューサ、それらのいくつかの組合せなどに対して１つ以上の制御信号セットを伝送することができる。このような命令プログラムが制御装置６００によって実装された時点で、結果として制御装置６００は、噴射装置１の１つ以上の要素に対して制御信号を生成および／または伝送して、噴射装置１に１つ以上の噴射動作を行なわせることができる。
【０１８９】
いくつかの例示的実施形態において、制御装置６００は、図５Ａ〜５Ｃおよび図７Ａ〜７Ｃに例示されているタイミング図を含めた、本明細書中に例示され説明されているタイミング図のいずれかにしたがって１つ以上の制御信号セットを生成および／または伝送することができる。いくつかの例示的実施形態において、プロセッサ６３０は、メモリ６２０内に記憶された１つ以上の命令プログラムを実行して、プロセッサ６３０に、図５Ａ〜５Ｃに例示されているタイミング図を含めた本明細書中に例示され説明されているタイミング図のいずれかにしたがって、１つ以上の制御信号セットを生成および／または伝送させることができる。
【０１９０】
いくつかの例示的実施形態において、通信インタフェース６５０は、表示パネル、タッチスクリーンインタフェース、触覚（例えば「ボタン」、「キーパッド」、「キーボード」、「マウス」、「カーソル」など）インタフェース、それらのいくつかの組合せなど１つ以上を含めたユーザインタフェースを含むことができる。情報は、通信インタフェース６５０を介して制御装置６００に提供され、メモリ６２０内に記憶され得る。このような情報には、ボード２と結び付けられた情報、ボード２に噴射されるべき粘性媒体に結び付けられた情報、粘性媒体の１つ以上の液滴と結び付けられた情報、それらのいくつかの組合せなどが含まれ得る。例えば、このような情報には、粘性媒体と結び付けられた１つ以上の特性、ボード２に噴射すべき１つ以上の液滴と結び付けられた１つ以上の特性（例えばサイズ）、それらのいくつかの組合せなどを標示する情報が含まれ得る。
【０１９１】
いくつかの例示的実施形態において、通信インタフェース６５０は、ＵＳＢおよび／またはＨＤＭＩ（登録商標）インタフェースを含むことができる。いくつかの例示的実施形態において、通信インタフェース６５０は、無線ネットワーク通信インタフェースを含むことができる。
【０１９２】
図７Ａは、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、１つ以上の液滴をアクチュエータに噴射させるために図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置のアクチュエータに対して経時的に伝送されるアクチュエータ制御信号を例示するタイミング図である。図７Ｂは、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、音響信号をアクチュエータに発出させるために図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置のアクチュエータに対して経時的に伝送される音響制御信号を例示するタイミング図である。図７Ｃは、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、アクチュエータに１つ以上の液滴を噴射させ音響信号を発出させるために図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置のアクチュエータに対して経時的に伝送されるアクチュエータ制御信号を例示するタイミング図である。
【０１９３】
いくつかの例示的実施形態において、噴射装置は、液滴の噴射を実行するように構成されている噴射装置の１つ以上の要素により実装される音響トランスジューサを含む。例えば、図４Ａ〜４Ｂに例示されている噴射装置１のアクチュエータ２１は、音響トランスジューサを実装するべく制御されるように構成され得、こうしてアクチュエータ２１は、アクチュエータ２１と流体連通状態にある粘性媒体中に音響信号を発出するように構成される。
【０１９４】
アクチュエータ２１は、ノズル２６を通って移動させるべき粘性媒体を液滴として噴射させるように移動することに加えて、駆出チャンバ２８の少なくとも一部分内に位置する粘性媒体を含めたアクチュエータ２１と流体連通状態にある粘性媒体内へとアクチュエータ２１が音響信号を生成し発出するような形でアクチュエータ２１がさらに音響周波数にしたがって起動され得るように、制御されてよい。
【０１９５】
いくつかの例示的実施形態において、音響信号の生成および発出に対応するアクチュエータ２１の動きのシーケンスは、１つ以上の液滴をノズル２６の出口２７を通って噴射させるべく駆出チャンバ２８を通して粘性媒体を移動させることと共に、駆出チャンバ２８内に位置する粘性媒体の少なくとも一部分内へと１つ以上の音響信号を生成し発出することをも目的としてアクチュエータ２１を同時に制御し得る単一の制御信号シーケンスを確立するため、液滴噴射の実装に対応するアクチュエータの動きのシーケンスと組合わされてよい。アクチュエータ２１はこのとき、アクチュエータ２１への組合わされた制御シーケンスの伝送に基づき、制御され得る。
【０１９６】
まず図７Ａを参照すると、１つ以上の液滴を噴射装置から噴射させるために、さまざまな時点で、少なくとも部分的に駆出チャンバ２８を通してアクチュエータ２１を移動させるアクチュエータ制御信号７１０にしたがって、アクチュエータ２１を制御することができる。図７Ａに示されたアクチュエータ制御信号７１０は、図５Ａ〜５Ｂを参照して例示され説明されているアクチュエータ制御信号５５０に対応し得る。
【０１９７】
図７Ａに示されているように、アクチュエータ制御信号７１０は１つ以上のパルス７１２を含むことができ、ここで制御信号の大きさは初期の大きさ７１１からパルスの大きさ７１３までパルスされる。各パルス７１２は、噴射動作の「ショット」に対応し、ここでパルス７１２は、アクチュエータ２１に伝送された時点で、アクチュエータを少なくとも部分的に駆出チャンバ２８を通って移動させて、ノズル２６の出口２７を通って液滴を噴射させ、これにより噴射動作の個別「ショット」が実装される。
【０１９８】
ここで図７Ｂを参照すると、アクチュエータ２１と流体連通状態にある駆出チャンバ２８内の粘性媒体中へとアクチュエータに音響信号を生成させ発出させるために、音響周波数にしたがって可逆的にアクチュエータ２１を移動させる音響制御信号７２０にしたがってアクチュエータ２１を制御することができる。
【０１９９】
図７Ｂに示されているように、音響制御信号７２０は、一連の音響パルスセット７２２を含み得る。各セット７２２は、特定の時間周期にわたって反復的に初期の大きさ７２０からパルスの大きさ７２３まで信号７２０の大きさをパルスする信号パルスセット７２４を含み得る。
【０２００】
各パルスセット７２２は、特定の（または代替的には既定の）音響周波数に対応する特定の周波数で発生するパルスシーケンス７２４であり得る。パルス７２４のセット７２２を有する制御信号７２０のアクチュエータ２１に対する伝送に基づいて、パルス７２４のセット７２２は、アクチュエータ２１にパルス７２４のセット７２２が伝送される時間周期に対応する時間周期にわたり音響周波数を有する音響信号をアクチュエータが生成し発出するような形で、音響周波数にしたがって反復的かつ可逆的にアクチュエータ２１を移動させる（例えば「振動させる」、「前後に」移動させるなど）ことができる。
【０２０１】
さらに図７Ｂに示されているように、制御信号７２０は、ノズル２６の出口２７を通って液滴を噴射させるべくアクチュエータ２１にノズルを通って粘性媒体を移動させるためアクチュエータ２１に対してパルス７１２が伝送される時点（例えば時点ｔ712）に先立つ時点（例えば時点ｔ710）でアクチュエータ２１に対し伝送されるパルス７２４のセット７２２を含むことができる。図７Ｂに示されているように、パルス７２４のセット７２２は、ノズル２６の出口２７を通して液滴を噴射させるべくアクチュエータ２１にノズルを通して粘性媒体を移動させるためにアクチュエータ２１にパルス７１２が伝送される時点（例えば時点ｔ712）よりも特定の時間ｔ7,shotだけ先立つ時点で、アクチュエータ２１に対して伝送され得る。
【０２０２】
さらに図７Ｂに示されているように、パルス７２４のセット７２２は、ショットを実装させるためにアクチュエータ２１にパルス７１２が伝送される時間周期（例えば時点ｔ712とｔ714の間）を通して継続され得る。図７Ｂにおいて、パルス７２２はパルス７１２と同時に（例えば時点ｔ714）で終るが、例示的実施形態はこれに限定されない。例えば、パルス７２２は、パルス７１２が終了した時点の後またはパルス７１２が終る時点に先立って終了し得る。
【０２０３】
ここで図７Ｃを参照すると、１つ以上の液滴をノズル２６の出口２７を通って噴射させるべく駆出チャンバ２８を通して粘性媒体を移動させることと共に、駆出チャンバ２８内に位置する粘性媒体の少なくとも一部分内へと１つ以上の音響信号を生成し発出することをもアクチュエータ２１に行なわせるためにアクチュエータ２１に対して伝送され得る組合わされた制御信号７３０を生成するように、制御信号７１０および７２０を組合わせることができる。
【０２０４】
図７Ｃに示されているように、制御信号７３０は、制御信号７３０がアクチュエータ制御信号７１０のパルス７１２に対応するパルス７３４を含みさらに音響制御信号７２０のパルス７２４に対応するパルス７３２を含むような形で制御信号７１０および７２０を組合わせることによってひき起こされ得る。
【０２０５】
したがって、制御信号７３０は、アクチュエータ２１に音響周波数を有する音響信号を生成させ発出させるために特定の周波数にしたがって特定の時点で開始される、大きさ７３１を有する一連のより小さいパルス７３２を示す。特定の時間周期ｔ7,shotの後、大きさ７３３を有するパルス７３４が生成されて、アクチュエータ２１にショットを実装させる。
【０２０６】
さらに図７Ｃに示されているように、制御信号７２０のパルス７２４および制御信号７１０のパルス７１２は、部分的に重複する時点で発生することから、組合わされた制御信号７３０は、組合わされた制御信号７３０の大きさが、最初パルス７３４に先立つ大きさ７３１にパルスされ、これによりパルス７１２に先立って発生するパルス７２４に対応し、組合された制御信号７３０の大きさは、大きさ７３３からパルス７３４が生成されたときの大きさ７３５までさらにパルス（例えば変調）され、こうしてパルス７１２と同時に発生するパルス７２４に対応するパルス７３６がアクチュエータ２１に伝送されることになることを示す。その結果、パルス７３４にしたがってショットを同時に実装しながら、アクチュエータ２１にパルス７３６にしたがって音響信号を生成させ発生させることができる。パルス７３２および７３６によってひき起こされる組合された制御信号７３０の大きさの変化は、同じであっても異なっていてもよく、パルス７３２および７３６の周波数は同じであっても異なっていてもよい。
【０２０７】
以上で例示し説明した制御信号７１０、７２０、７３０は、図６に例示されている制御装置６００を含めた噴射装置１に含まれる制御装置によって生成および／または伝送され得る。音響トランスジューサを実装するためにアクチュエータを制御できるようにすることに基づいて、別個の音響トランスジューサ要素を含めることなく、上述の噴射装置内の音響トランスジューサによって提供される利点を提供するように噴射装置を構成し、これにより音響トランスジューサを実装するように構成された噴射装置の製造コストを削減することが可能になる。
【０２０８】
以上の説明は、例示および説明を目的として提供されてきた。それは網羅的であるように意図されたものではない。特定の例示的実施形態の個別の要素または特徴は、概してその特定の実施例に限定されず、該当する場合互換性があり、かつたとえ具体的に図示または説明されていなくても、選択された実施形態の中で使用可能である。これらは同様に、多くの形で変形可能である。このような変形形態は、例示的実施形態からの逸脱とみなされるべきものではなく、このような修正は全て、本明細書中に記載の例示的実施形態の範囲内に内含されるように意図されている。
【０２０９】
項目別実施形態
[実施形態１]
粘性媒体の液滴を噴射するように構成されたソフトウェア制御式エジェクタにおいて、前記装置が、
出口を含み、前記出口を通って液滴を噴射するように構成されているノズルと；
前記ノズルの前記出口に対して前記粘性媒体の流量を誘導するように構成された粘性媒体導管と；
前記粘性媒体導管内に位置する前記粘性媒体の少なくとも一部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサと；
命令プログラムを記憶するように構成されたメモリと；
前記噴射装置の噴射用出口を通して基板上に粘性媒体の一連の液滴を噴射するべく、既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって噴射装置のアクチュエータを制御するため、および
アクチュエータ制御シーケンスに基づくまたはこのシーケンスに依存する前記粘性媒体の少なくとも一部分内にエネルギ量子を誘導するように構成された音響トランスジューサを制御するため、
に前記命令プログラムを実行するように構成されたプロセッサと；
を含んでいる、エジェクタ。
[実施形態２]
前記粘性媒体導管が前記ノズルの前記出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定し、前記駆出チャンバは、前記ノズルの前記出口を通って前記駆出チャンバ内部に位置する粘性媒体を移動させるべくアクチュエータの一部分を収容するように構成されており；
前記音響トランスジューサは、前記駆出チャンバ内部に位置する粘性媒体中に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
実施形態１に記載の装置。
[実施形態３]
前記装置がさらに、前記粘性媒体導管を通って前記粘性媒体の前記流量を誘発するように構成されたアクチュエータを含み、
前記粘性媒体導管の前記部分が前記アクチュエータを少なくとも部分的に取囲んでいる、
実施形態１に記載の装置。
[実施形態４]
前記音響トランスジューサが複数の音響トランスジューサを含み、各々の音響トランスジューサは、前記粘性媒体導管の別個の部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されており、各々の音響トランスジューサはさらに、前記粘性媒体導管の別個のそれぞれの部分内に位置する粘性媒体中に別個のそれぞれの音響信号を発出するように別個にかつ独立して制御されるように構成されている、
実施形態１に記載の装置。
[実施形態５]
前記ノズルの前記出口を通した１つ以上の液滴の噴射に少なくとも部分的に基づいて、前記音響信号を発出するべく前記音響トランスジューサを制御するように構成されている制御装置、
をさらに含む、実施形態１に記載の装置。
[実施形態６]
前記粘性媒体導管の少なくとも一部分を通した前記粘性媒体の前記流量の測定に基づいて流量データを生成するように構成された流量センサと；
少なくとも部分的に前記流量データに基づいて音響信号を発出するように前記音響トランスジューサを制御するように構成された制御装置と；
をさらに含む、実施形態１に記載の装置。
[実施形態７]
ノズルの出口を通した粘性媒体の１つ以上の液滴の噴射を制御するための方法において：
前記ノズルの前記出口に対する粘性媒体導管を通した前記粘性媒体の流量を誘発するように粘性媒体供給部を制御するステップと；
基板上に噴射装置の噴射用出口を通して粘性媒体の一連の液滴を噴射するために、既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって噴射装置のアクチュエータを制御するステップと；
前記粘性媒体導管内部に位置する前記粘性媒体の少なくとも一部分内に音響信号を発出するように音響トランスジューサを制御するステップであって、ここで前記音響トランスジューサの前記制御ステップが前記アクチュエータの制御シーケンスに基づくかまたはこのシーケンスに依存している、ステップと；
を含む方法。
[実施形態８]
前記音響トランスジューサを制御するステップが、特定の制限された時間周期にわたり音響信号を発出するように前記音響トランスジューサに指令を出すステップを含む、
実施形態７に記載の方法。
[実施形態９]
前記音響トランスジューサを制御するステップが、前記粘性媒体の前記流量を誘発するための前記粘性媒体供給部の制御に基づいて、前記音響信号を発出するように前記音響トランスジューサに指令を出すステップを含む、
実施形態７に記載の方法。
[実施形態１０]
前記粘性媒体導管が、前記ノズルの前記出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定しており、前記駆出チャンバが前記ノズルの前記出口を通って前記駆出チャンバの内部で粘性媒体を移動させるべくアクチュエータの一部分を収容するように構成されており、
前記音響トランスジューサを制御するステップには、前記駆出チャンバ内に延在させるための前記アクチュエータの制御に基づいて音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップが含まれている、
実施形態７に記載の方法。
[実施形態１１]
前記音響トランスジューサが複数の音響トランスジューサを含み、各々の音響トランスジューサが、前記粘性媒体導管の別個の部分と直接流体連通状態にあるように構成されており；
前記音響トランスジューサを制御するステップには、前記粘性媒体導管の内部で前記粘性媒体の別個のそれぞれの部分内に、それぞれの音響信号を別個に発出するために前記複数の音響トランスジューサの前記別個のそれぞれの音響トランスジューサに別個にかつ独立して指令を出すステップが含まれている、
実施形態７に記載の方法。
[実施形態１２]
前記音響トランスジューサを制御するステップには、流量センサから受信した流量データに基づいて前記音響信号を発出するように前記音響トランスジューサに指令を出すステップが含まれており、前記流量データが、前記粘性媒体導管の少なくとも一部分を通る前記粘性媒体の前記流量を標示している、
実施形態７に記載の方法。
[実施形態１３]
ソフトウェア制御式の噴射用の器具において、
出口を含み、前記出口を通って液滴を噴射するように構成されているノズルと；
前記ノズルの前記出口に対して前記粘性媒体の流量を誘導するように構成された粘性媒体導管と；
命令プログラムを記憶するように構成されたメモリと；
前記噴射装置の噴射用出口を通して基板上に粘性媒体の一連の液滴を噴射するべく、既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって噴射装置のアクチュエータを制御するため、および
前記粘性媒体の少なくとも一部分の音響起動に基づいて前記粘性媒体の前記部分内にエネルギ量子を誘導するアクチュエータ制御シーケンスに基づくまたはこのシーケンスに依存するように構成された音響トランスジューサを制御するための前記粘性媒体の少なくとも一部分内にエネルギ量子を誘導するように構成された音響トランスジューサを制御するため、
に前記命令プログラムを実行するように構成されたプロセッサであって、ここで前記音響トランスジューサの前記制御ステップも同様にアクチュエータ制御シーケンスに基づくかまたはこのシーケンスに依存している、プロセッサと；
を含んでいる、器具。
[実施形態１４]
前記音響トランスジューサが、前記粘性媒体の前記部分の前記音響起動に基づいて、
前記粘性媒体の少なくとも前記部分内の粒子の間隔の均質性の増大、および
少なくとも分散媒の粘度が調整されるような形での、前記粘性媒体の前記部分の前記音響起動に基づいた前記粘性媒体の少なくとも前記部分内の分散媒のせん断減粘性、
のうちの少なくとも１つを誘発するように構成されている、実施形態１３に記載の器具。
[実施形態１５]
前記噴射装置が出口を含むノズルを含み、前記ノズルが前記出口を通して前記１つ以上の液滴を噴射するように構成されており；
前記噴射装置はさらに、前記ノズルの前記出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定する粘性媒体導管を含み、前記駆出チャンバは、前記ノズルの前記出口を通って前記駆出チャンバの内部で粘性媒体を移動させるためにアクチュエータの一部分を収容するように構成されており；
前記音響トランスジューサは、前記駆出チャンバの内部に位置する粘性媒体中に音響信号を発出するように構成されている；
実施形態１３に記載の器具。
[実施形態１６]
前記噴射装置が出口を含むノズルを含み、前記ノズルは前記出口を通って前記１つ以上の液滴を噴射するように構成されており；
前記噴射装置がさらに、粘性媒体導管を通る粘性媒体の流量を誘発するように構成されているアクチュエータを含み；
前記噴射装置がさらに、前記ノズルの前記出口に粘性媒体の前記流量を誘導するように構成された粘性媒体導管を含み、前記粘性媒体導管の少なくとも一部分が、前記アクチュエータを少なくとも部分的に取囲んでおり；
前記音響トランスジューサが、前記粘性媒体導管の一部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
実施形態１３に記載の器具。
[実施形態１７]
少なくとも部分的に１つ以上の液滴の噴射に基づいて前記音響信号を発出するべく前記音響トランスジューサを制御するように構成された制御装置、
をさらに含む、実施形態１３に記載の器具。
[実施形態１８]
粘性媒体導管の少なくとも一部分を通した粘性媒体の流量の測定に基づいて流量データを生成するように構成された流量センサと；
少なくとも部分的に前記流量データに基づいて音響信号を発出するように前記音響トランスジューサを制御するように構成された制御装置と；
をさらに含む、実施形態１３に記載の器具。
[実施形態１９]
前記音響トランスジューサが複数の音響トランスジューサを含み、各々の音響トランスジューサが、前記噴射装置の内部の前記粘性媒体導管の別個のそれぞれの部分内に別個のそれぞれの音響信号を発出するように別個にかつ独立して制御されるように構成されている、
実施形態１３に記載の器具。
[実施形態２０]
ノズルの出口を通した粘性媒体の１つ以上の液滴の噴射を制御するための方法において：
基板上に噴射装置の噴射用出口を通して粘性媒体の一連の液滴を噴射するために、既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって噴射装置のアクチュエータを制御するステップと；
前記ノズルの前記出口に対する粘性媒体導管を通した前記粘性媒体の流量を誘発するように粘性媒体供給部を制御するステップと；
前記粘性媒体導管内部に位置する粘性媒体の一部分の音響起動に基づいて、前記粘性媒体の前記部分の１つ以上のレオロジ特性を調整するように音響トランスジューサを制御するステップと；
を含む方法。
[実施形態２１]
粘性媒体の前記部分の１つ以上のレオロジ特性を調整するステップには、
粘性媒体の少なくとも前記部分内で粒子の間隔の均質性の増大を誘発するステップ、
粘性媒体の少なくとも前記部分内で粒子の１つ以上の集塊の振動破砕を誘発するステップ、
せん断減粘性の誘発に基づいて粘性媒体の少なくとも前記部分内の分散媒の粘度を調整するステップ、および
粘性媒体の少なくとも前記部分内の体積分率の減少を誘発するステップ、
のうちの少なくとも１つが含まれる、実施形態２０に記載の方法。
[実施形態２２]
前記音響トランスジューサを制御するステップが、特定の制限された時間周期にわたり音響信号を発出するように前記音響トランスジューサに指令を出すステップを含む、
実施形態２０に記載の方法。
[実施形態２３]
前記音響トランスジューサを制御するステップが、前記粘性媒体の前記流量を誘発するための前記粘性媒体供給部の制御に基づいて、前記音響信号を発出するように前記音響トランスジューサに指令を出すステップを含む、
実施形態２０に記載の方法。
[実施形態２４]
前記粘性媒体導管が、前記ノズルの前記出口と流体連通状態にある駆出チャンバを少なくとも部分的に画定しており、前記駆出チャンバが前記ノズルの前記出口を通って前記駆出チャンバの内部で粘性媒体を移動させるべくアクチュエータの一部分を収容するように構成されており、
前記音響トランスジューサを制御するステップには、前記駆出チャンバ内に延在させるための前記アクチュエータの制御に基づいて音響信号を発出するように音響トランスジューサに指令を出すステップが含まれている、
実施形態２０に記載の方法。
[実施形態２５]
前記音響トランスジューサが複数の音響トランスジューサを含み、各々の音響トランスジューサが、前記粘性媒体導管の別個の部分内に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されており；
前記音響トランスジューサを制御するステップには、前記粘性媒体導管の内部で前記粘性媒体の別個のそれぞれの部分内に音響波を移送する別個のそれぞれの音響信号を発出するために、前記複数の音響トランスジューサの前記別個のそれぞれの音響トランスジューサに別個にかつ独立して指令を出すステップが含まれている、
実施形態２０に記載の方法。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７Ａ−７Ｃ】
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【国際調査報告】
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