(57)【要約】  ある実施形態では、チャック上の印刷プレートの第１の層のアライメントを提供する方法が提供される。例えば、一実施形態では、チャック上の基準マークの初期位置を特定するために、チャック上の基準マークの画像が撮像される。それらの初期位置から基準モデルが作成される。基準プレート上のアライメントマークの画像が撮像され、アライメントマークの位置が特定される。アライメントマークの位置から基準プレートモデルが作成される。次いで、基準モデルおよび基準プレートモデルからマッピングモデルが作成される。【選択図】図８
2020531900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャック上の基準マークの画像を撮像することと、
前記チャック上の前記基準マークの初期位置を特定することと、
前記基準マークの初期位置から基準モデルを作成することと、
基準プレート上のアライメントマークの画像を撮像することと、
前記基準プレート上の前記アライメントマークの位置を特定することと、
前記アライメントマークの位置から基準プレートモデルを作成することと、
前記基準モデルおよび前記基準プレートモデルからマッピングモデルを作成することと
を含む、方法。
【請求項２】
前記マッピングモデルを作成することが、
基準マークの位置におけるシフトの逆を適用することと、
前記基準プレートモデルに基づいて、前記基準プレートにおけるシフトを適用することと
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記マッピングモデルを使用して少なくとも１つのブランクプレート上に第１の層を印刷することと、
前記基準マークの画像を再び撮像することと、
前記基準マークの後の位置を特定することと
前記基準マークの後の位置を前記基準マークの初期位置と比較することと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記基準マークが前記チャックから除去可能である、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
アクティブな基準マーク位置を特定するために、前記チャック上の、第２の装置で使用するように設計された第２の基準プレート上のアライメントマークを撮像することと、
前記アクティブな基準マーク位置と前記基準マークの初期位置との差に基づいて、バリエーションモデルを作成することと、
前記バリエーションモデルおよび前記マッピングモデルに基づいて、アクティブなアライメントモデルを作成することと、
補正モデルとして前記アクティブなアライメントモデルの逆を適用することと
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
チャック上の基準マークの初期位置から基準モデルを作成することと、
第１の基準プレート上のアライメントマークの位置から基準プレートモデルを作成することと、
前記基準モデルおよび前記基準プレートモデルからマッピングモデルを作成することと
を含む、方法。
【請求項７】
アクティブな基準マーク位置を特定するために、前記チャック上の、第２の装置で使用するように設計された第２の基準プレート上のアライメントマークを撮像することと、
前記アクティブな基準マーク位置と前記基準マークの初期位置との差に基づいて、バリエーションモデルを作成することと、
前記バリエーションモデルおよび前記マッピングモデルに基づいて、アクティブなアライメントモデルを作成することと、
補正モデルとして前記アクティブなアライメントモデルの逆を適用することと
をさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記基準モデルを作成することが、
前記チャック上の基準マークの画像を撮像することと、
前記チャック上の前記基準マークの初期位置を特定することと
を含み、
前記基準プレートモデルを作成することが、
基準プレート上のアライメントマークの画像を撮像することと、
前記基準プレート上の前記アライメントマークの位置を特定することと
を含む、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
アクティブな基準マーク位置を特定するために、前記チャック上の、第２の装置で使用するように設計された第２の基準プレート上のアライメントマークを撮像することと、
前記第２の基準プレートからの前記アライメントマークを、メモリに保存することと
をさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項１０】
基準マークの初期位置から基準モデルを作成することが、
前記チャックをＸ方向にスキャンすることと、
前記基準マークの画像を撮像することと、
隣接するアイに移動することと、
前記基準マークの全ての画像が撮像されるまで、前記スキャン及び前記移動を繰り返すことと、
前記基準マークの位置を計算することと、
前記基準マークの位置をメモリに保存することと
をさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項１１】
アライメントマークの位置から基準プレートモデルを作成することが、
前記第１の基準プレートをＸ方向にスキャンすることと、
前記アライメントマークの画像を撮像することと、
隣接するアイへ移動することと、
前記アライメントマークの全ての画像が撮像されるまで、前記スキャン及び移動を繰り返すことと、
前記アライメントマークの位置を計算することと、
前記アライメントマークの位置をメモリに保存することと
をさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項１２】
アクティブな基準マーク位置を特定するために、前記チャック上の、第２の装置で使用するように設計された第２の基準プレート上のアライメントマークを撮像することと、
前記アクティブな基準マーク位置と前記基準マークの初期位置との差に基づいて、バリエーションモデルを作成することと、
前記バリエーションモデルおよび前記マッピングモデルに基づいて、アクティブなアライメントモデルを作成することと、
補正モデルとして前記アクティブなアライメントモデルの逆を適用することと
をさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項１３】
チャック上の基準マークの画像を撮像することと、
前記チャック上の前記基準マークの初期位置を特定することと、
前記基準マークの初期位置をメモリに保存することと、
基準プレート上のアライメントマークの画像を撮像することと、
前記基準プレート上の前記アライメントマークの位置を特定することと、
前記アライメントマークの位置をメモリに保存することと
を含む、方法。
【請求項１４】
少なくとも１つのブランクプレート上に印刷することと、
前記チャック上の前記基準マークの画像を再び撮像することと、
前記基準マークの後の位置を特定することと、
前記基準マークの後の位置を前記基準マークの初期位置と比較することと
をさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記基準マークの位置および前記アライメントマークの位置に基づいて、基準ツールモデルを作成することをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、広くはリソグラフィーに関し、より詳細には、チャック上のプリント層のアライメント較正に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトリソグラフィーは、半導体装置およびディスプレイ装置（例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ））の製造において広く使用される。しかし、リソグラフィー露光の間、ツールの繰り返しの使用、圧力ならびに／または機械的および／もしくは熱的変動によって、チャック（露光はこの上で実施される）が動くことがある。これらの変動は、プレート上に印刷されるパターンの位置の正確性に影響し得る。ツール上の印刷パターンを、別のツールを用いて印刷されたプレートから複製しようとする際、印刷されたパターンの位置が正確でないこともあり得る。
【０００３】
したがって、ツール上のプリント層をアライメント（位置合わせ）するために較正する必要がある。
【発明の概要】
【０００４】
本明細書に記載の実施形態は、広くはリソグラフィーに関し、より詳細には、チャック上のプリント層のアライメント較正に関する。例えば、一実施形態では、チャック上の基準マークの画像を撮像し、基準マークの初期位置を特定する方法が提供される。基準マークの初期位置から基準モデルが作成される。基準プレート上のアライメントマークの画像が撮像される。アライメントマークの位置が特定される。アライメントマークの位置から基準プレートモデルが作成される。その後、基準モデルおよび基準プレートモデルからマッピングモデルが作成される。
【０００５】
別の実施形態では、チャック上の基準マークの初期位置から基準モデルを作成し、第１の基準プレート上のアライメントマークの位置から基準プレートモデルを作成し、基準モデルおよび基準プレートモデルからマッピングモデルを作成する方法が提供される。
【０００６】
さらに別の実施形態では、チャック上の基準マークの画像を撮像し、チャック上の基準マークの初期位置を特定する方法が提供される。その後、基準マークの初期位置がメモリに保存され、基準プレート上のアライメントマークの画像が撮像される。基準プレート上のアライメントマークの位置が特定され、メモリに保存される。
【０００７】
本明細書に記載の方法と同様の特徴を有する他の方法、機器およびシステムを含む本開示の他の実施形態が提供される。
【０００８】
上記で説明した本開示の特徴を詳細に理解することができるよう、上記で概説した本開示の記載の更なる詳細が、実施例の参照によって得られる。一部の実施形態は添付図面に示す。しかし、本開示は他の等しく有効な実施形態も許容しうることから、添付図面は本開示の典型的な実施形態のみを示しており、本開示の範囲を限定すると見なすべきではないことに留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本明細書に開示の実施例の便益を受け得るシステムの斜視図である。
【図２】本明細書に開示の実施例による、図１に示されたシステムの上面図である。
【図３】本明細書に開示の実施例による、基準マークを有するチャック、およびアライメントマークを含む基準プレートの上面図である。
【図４】本明細書に開示の実施例による、チャックおよびチャック上のブランクプレートの上面図である。
【図５】Ａは、本明細書に開示の実施例による、チャック上の基準プレートの例を示す。Ｂは、本明細書に開示の実施例による、Ａに示された構成に基づく補正モデルを使用して印刷された、チャック上のプレートの例を示す。
【図６】Ａは、本明細書に開示の実施例による、チャック上の基準プレートの例を示す。Ｂは、本明細書に開示の実施例による、Ａに示された構成に基づく補正モデルを使用して印刷された、チャック上のプレートの例を示す。
【図７】本明細書に開示の実施例による、チャック上のブランクプレートのアライメントのための処理ユニットの高レベルブロック図の一実施例を示す。
【図８】本明細書に開示の実施例による、印刷プレート上の第一層をチャックとアライメントする方法の一実施例を示す。
【図９】本明細書に開示の実施例による、印刷プレート上の第一層をチャックとアライメントする方法の一実施例を示す。
【図１０】本明細書に開示の実施例による、印刷プレート上の第一層をチャックとアライメントする方法の一実施例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
理解を容易にするために、可能であれば、図面に共通の同一要素を指すために同一の参照番号が使用されている。
【００１１】
以下の明細書の記載では、本開示をより徹底的に理解するために、多くの具体的詳細が明らかにされる。しかし、当業者には明らかなように、別の構成を使用した様々な変更が、本書の範囲から逸脱することなしに得られる。他の例では、本書を不明確にするのを避けるために、周知の特徴は記載されていない。したがって、本開示は、明細書に記載された特定の例示的な実施形態に限定されるとみなされるものではなく、そのような代替的な実施形態の全てが、添付の特許請求の範囲に含まれるものと意図される。
【００１２】
アプリケーションパネル、基板、およびウエハが本書では入れ替え可能に記載されている。本明細書に記載の実施形態はステージ上の基準マークおよび基準プレート上のアライメントマークを利用する。本明細書に記載の基準マークおよびアライメントマークは、ステージ上の第１のプリント層の合わせズレを補正するために使用され得る。
【００１３】
要するに、本明細書に記載の実施形態は、広くは、初めの基準マークと後で測定される基準マークとの差、および／または、初めのアライメントマークと後で測定されるアライメントマークとの差を取得することに関する。
【００１４】
図１は、本明細書に開示の実施例の便益を受け得るシステム１００の斜視図である。システム１００は、ベースフレーム１１０、スラブ１２０、２つ以上のステージ１３１（すなわち、ステージ１３１１および１３１２）、および処理装置１６０を含む。チャック１３０（すなわち、チャック１３０１および１３０２）が各ステージ１３１に載っている。ベースフレーム１１０は製造施設のフロア上に載っていてよく、スラブ１２０を支持し得る。受動空気アイソレータ１１２が、ベースフレーム１１０とスラブ１２０との間に位置し得る。スラブ１２０は花崗岩の一枚板であり得、２つ以上のステージ１３０がスラブ１２０に配置され得る。チャック１３０上の基板１４０が２つ以上のステージ１３１の各々によって支持され得る。複数の穴（図示せず）がチャック１３０に形成され得、複数のリフトピン（図示せず）が内部を延伸できるようにしている。リフトピンは、例えば一以上の搬送ロボット（図示せず）から基板１４０を受け取るために延伸位置へと上昇し得る。一以上の搬送ロボットは、２つ以上のチャック１３０から基板１４０を載せ下ろしするために使用され得る。
【００１５】
例えば、基板１４０は石英から製造することができ、フラットパネルディスプレイの一部として使用され得る。他の実施形態では、基板１４０はガラスなどの他の材料から製造され得る。ある実施形態では、基板１４０にはフォトレジスト層が形成され得る。フォトレジストは、放射線に感受性を有するものであり、ポジ型フォトレジストまたはネガ型フォトレジストであってよい。パターンがフォトレジストに書き込まれた後、フォトレジストのうち放射線に晒される部分が、フォトレジストに塗布されるフォトレジスト現像剤に対して、ポジ型では可溶であり、ネガ型では不溶であろう。フォトレジストがポジ型フォトレジストかまたはネガ型フォトレジストであるかは、フォトレジストの化学組成によって決まる。例えば、フォトレジストはジアゾナフトキノン、フェノールホルムアルデヒド樹脂、ポリ（メチルメタクリレート）、ポリ（メチルグルタルイミド）およびＳＵ−８のうちの少なくとも１つを含み得る。このようにして、電子回路部品を形成するために、パターンが基板１４０の表面上に作成され得る。
【００１６】
システム１００は、一対の支持体１２２および一対のトラック１２４をさらに含み得る。支持体１２２の対は、スラブ１２０に配置され得る。スラブ１２０および支持体１２２の対は材料の単一片であり得る。トラック１２４の対は、支持体１２２の対によって支持され得る。２つ以上のステージ１３１がトラック１２４に沿ってＸ方向に動き得る。一実施形態では、トラック１２４の対は、平行な磁気チャネルの対である。図示するように、トラック１２４の対の各トラック１２４は線形である。他の実施形態では、トラック１２４は非線形の形状を有し得る。コントローラ（図示せず）に位置情報を提供するために各ステージ１３０にエンコーダ１２６が連結され得る。
【００１７】
処理装置１６０は、支持体１６２および処理ユニット１６４を含み得る。支持体１６２はスラブ１２０上に配置することができ、２つ以上のステージ１３１が処理ユニット１６４の下を通過する開口部１６６を含み得る。処理ユニット１６４は支持体１６２によって支持され得る。一実施形態では、処理ユニット１６４が、フォトリソグラフィープロセスにおいて、フォトレジストを露光するように構成されたパターン生成器である。
【００１８】
ある実施形態では、パターン生成器は、マスクレスリソグラフィープロセスを実行するように構成され得る。処理ユニット１６４は複数の画像投影装置（図示せず）を含み得る。一実施形態では、処理ユニット１６４は８４個の画像投影装置を含有し得る。各画像投影装置は、ケース１６５内に配置される。処理装置１６０はマスクレス直接パターニングを実行するために利用され得る。
【００１９】
動作中、２つ以上のステージ１３１のうち１つが、積載位置（図１参照）から処理位置までＸ方向に動く。処理位置とは、ステージ１３１が処理ユニット１６４の下を通過する際のステージ１３１の一以上の位置を指し得る。動作中、２つ以上のステージ１３１は複数のエアベアリング（図示せず）によって持ち上げることができ、トラック１２４の対に沿って、積載位置から処理位置まで動き得る。ステージ１３１の動きを安定させるために、複数の垂直ガイドエアベアリング（図示せず）が各ステージ１３１に連結され得、各支持体１２２の内壁１２８に隣接して位置し得る。２つ以上のステージ１３１の各々は、トラック１５０に沿って動くことにより、基板１４０を処理および／または割り出しするために、Ｙ方向にも動き得る。２つ以上のステージ１３１の各々は独立した動作が可能で、一方向に基板１４０をスキャンすることができ、他の方向に進むことができる。ある実施形態では、２つ以上のステージ１３１のうち１つが基板１４０をスキャンしている際、２つ以上のステージ１３１の別の方が露光済みの基板を下ろし、露光すべき次の基板を積載している。
【００２０】
計測システムが、リアルタイムで２つ以上のステージ１３１の各々の上のチャック１３０のＸおよびＹという横方向の位置座標を計測することによって、複数の画像投影装置の各々が、フォトレジストに覆われた基板に書き込まれるパターンを正確に位置特定することができる。計測システムは、２つ以上のステージ１３１上のチャック１３０の各々の垂直すなわちＺ軸の周りの角度位置のリアルタイム測定も提供する。角度位置の測定を用いて、サーボ機構によるスキャンの間に角度位置を一定に保つことができる。あるいは、基板１４０上に書き込まれるパターンの位置を補正するために使用することができる。
【００２１】
図２は、本明細書に開示の実施例による、図１に示されたシステム１００の上面図である。図２では、チャック１３０１の各々は、複数のアライメント領域を含む。例えば、チャック１３０２は、Ｘ軸に実質的に平行であるアライメント領域２０２１および２０２２（集合的に「アライメント領域２０２」）、Ｙ軸に実質的に平行であるアライメント領域２０４１および２０４２（集合的に「アライメント領域２０４」）を含む。アライメント領域２０２および２０４の各々は複数の基準マーク（図示せず）を含む。
【００２２】
図２では、ブリッジ２０６によって支持されるアイ（ｅｙｅ）２０８を露出するためにケース１６５が取り外されている。例示のために、３つのブリッジ２０６が示されている。しかし、他の実施形態では、システム１００は別の数のブリッジ２０６を含む。ブリッジ２０６はアイ２０８を支持するために使用される。ブリッジ２０６の各々の下に、アイの列、２０８１・・・，２０８４・・・，・・・，および２０８１１（集合的にアイ２０８）が存在する。図２では、例示のためだけであるが、１１個のアイ２０８を含むものとして列を示す。他の実施形態では、ブリッジ２０６各々の下のアイ２０８の数は、１１以外の数である。アイ２０８は、ここでは「カメラ２０８」としても称される。
【００２３】
アイ２０８は、アライメント領域２０２および２０４で基準マーク（図示せず）の画像を撮像するために使用され、処理ユニット１６４は各基準マークの位置情報を計算し、保存することができる。アイ２０８は、「基準プレート」（図２に示さず）上のアライメントマークの画像を撮像するためにも使用され、処理ユニット１６４は各アライメントマークの位置情報を計算し、保存することができる。アイ２０８は、「スキャン＆ステップ（ｓｃａｎ  ａｎｄ  ｓｔｅｐ）」方式で、または意図された基準マーク３０４、３０８およびアライメントマーク３１０の位置へステージ１３１を直接動かすことによって、画像を撮像する。例えば「スキャン＆ステップ」動作では、チャック１３０がＸ方向に動く際、アイ２０８によって１つのラインがスキャンされる。次いで、隣接するアイ２０８へとＹ方向に「ステップ」がなされて、前にスキャンされた線に隣接するラインをスキャンする。
【００２４】
アライメント領域２０２および２０４は合計４つの領域を含むが、４つの領域が全てスキャンされなくてもよい。様々な実施形態においては、１つのアライメント領域２０２のみ及び１つのアライメント領域２０４のみをスキャンして基準マークの画像および位置情報を取得するように、基準マーク（図２に示さず）がチャック１３０上に位置する。
【００２５】
図３は、本明細書に開示の実施例による、チャック１３０および基準プレート３００の上面図を示す。チャック１３０はアライメント領域２０２１、２０２２、および２０４１を含む。単純化するために、アライメント領域２０４２は図３には示されていない。チャック１３０および基準プレート３００はＸ軸方向に動くので、最終的にアイ２０８の下を通過する。チャック１３０がアイ２０８の下を通過する際、アライメント領域２０４１における基準マーク３０８の画像が同時に撮像される。例示のためだけであるが、アライメント領域２０４１は、９つの基準マークを有するものとして示されている。図３において図示を単純化するために、基準マーク３０８の３つのみが（すなわち３０８１、３０８２、および３０８８）が引き出し線および要素番号を含む。そして３つのみのアイ２０８（すなわち２０８１、２０８５、および２０８９）の視野（「ＦＯＶ」）が基準マーク３０８越しに図示されている。例示のために、アライメント領域２０２１が５つのアライメントマーク３０２を含むものとして図示される。しかし、単純化するために、２つのみの基準マーク３０２（すなわち３０２１および３０２５）が、引き出し線および要素番号を含む。例示のために、アライメント領域２０２２も５つのアライメントマーク３０４を含むものとして示されている。しかし、単純化するために、３つのみの基準マーク３０４（すなわち、３０４１、３０４４および３０４５）が引き出し線および要素番号を含む。
【００２６】
図３において、基準マーク３０２、３０４および３０８は、複数の「＋」記号として示されている。例示のために、基準マーク３０２、３０４並びに３０８およびアイ２０８は同一のピッチを有する。本明細書で使用される「ピッチ」とは、基準マーク３０２、３０４並びに３０８およびアイ２０８との間の間隔として定義される。
【００２７】
例示のためにのみ、基準マーク３０２、３０４および３０８の画像および位置を撮像することが、アライメントマーク３１０の画像および位置の撮像の前に記載されている。しかし、アライメントマーク３１０の画像撮像および位置特定の前に、基準マーク３０２、３０４および３０８の画像撮像および位置特定が生じるどうかについては、時間的な制約はない。言い換えれば、基準マーク３０２、３０４および３０８の画像撮像および位置特定は、アライメントマーク３１０の画像撮像および位置特定と同時にも生じ得る。あるいは、基準マーク３０２、３０４および３０８の画像撮像および位置特定は、アライメントマーク３１０の画像撮像および位置特定の後に生じ得る。
【００２８】
その後、一実施形態において、アイ２０８はアライメント領域２０１１および／または２０２２をスキャンする。例えば、アイ２０８は、アライメント領域２０２２がアイ２０８の下を通過する際、基準マーク３０４を順次スキャンする。引き出し線３０６１および３０６２は、基準マーク３０４１および３０４４がアイ２０８の下を通過する際のアイ２０８のＦＯＶを示す。
【００２９】
チャック１３０が動くと、ステージ１３０の上の基準プレート３００がＸ方向に動く。チャック１３０がアイ２０８の下を通過すると、基準プレート３００もまたアイ２０８の下を通過する。基準プレート３００は、少なくとも１つのアライメントマーク３１０を含む。例示のために、基準プレート３００は、アライメントマーク３１０１、３１０２、３１０４、３１０３、３１０５、３１０６、３１０７、３１０８、および３１０９（集合的に、ここでは「アライメントマーク３１０」と称す）を含む。アライメントマーク３１０の各々は、最終的にアイ２０８のＦＯＶ３１２内に入る。ＦＯＶ３１４は、基準プレート３００がアイ２０８の下を通過する際のアイ２０８のＦＯＶを表す。このＦＯＶ内には、アライメントマーク３１０が存在していない。
【００３０】
一実施形態において、基準プレート３００は、チャック１３０上の基準マーク３０２、３０４および／または３０８の較正のために、後で用いられるプレートでの使用が容認できると推定される。基準プレート３００は、「基準プレートモデル」を作成することによって、基準プレート３００上のアライメントマーク３１０に対して基準マーク３０４、３０８を較正するのに使用される。別の実施形態で、基準プレート３００は、あるツール上で用いられた（または使用が意図された）プレートであって別のツール上に印刷されるプレートの補正モデルにおいて使用されるプレートであり得る。
【００３１】
基準マーク３０４、３０８およびアライメントマーク３１０がスキャンされ、撮像された後、基準プレート３００が除去される。処理ユニット１６４は基準マーク３０４、３０８およびアライメントマーク３１０の位置を計算し、補正モデルを作成する（下記により詳しく記載）。一実施形態において、処理ユニット１６４は、画像処理アルゴリズム（一又は複数）を適用して、ＦＯＶの中心に対する基準マーク３０４、３０８およびアライメントマーク３１０の位置をＦＯＶ内に見出すことにより、基準マーク３０４、３０８およびアライメントマーク３１０の位置を特定する。基準マーク３０４、３０８およびアライメントマーク３１０の各中心のＦＯＶの中心からの距離は、基準マーク３０４、３０８およびアライメントマーク３１０の名目上の位置からのずれを提供する。画像処理アルゴリズムの例は、「相関法」、「エッジ検出法」、またはエッジ検出と相関法との組合せを含み得るが、限定されるものではない。基準マーク３０４、３０８、アライメントマーク３１０の位置および補正モデルが、メモリ７０４に保存され得る。
【００３２】
補正モデルは、後続のプレートを印刷する間に使用される。図４は、本明細書に開示の実施例による、チャック１３０上のブランクプレート４００の上面図である。図４は、アイ２０８の下を通過するチャック１３０およびブランクプレート４００を示す。アイ２０８は、ブランクプレート４００上に第１の層を印刷する前、印刷中、および／または印刷後に、基準マーク３０４、３０８の新しい画像を撮像し得る。所定の数の（例えば、５個）のブランクプレート４００上に第１の層が印刷された後、基準マーク３０４、３０８の位置（基準マーク３０４、３０８の新しい画像から計算された位置）が、チャック１３０の動作特性が変化したかどうか特定するのに使用され得る。
【００３３】
図５Ａは、本明細書に開示の実施例による、チャック１３０上の基準プレート３００の例を示す。アイ２０８は、チャック１３０上の基準マーク３０４、３０８を撮像し、基準プレート３００上のアライメントマーク３１０を撮像する。処理ユニット１６４による何らかの計算の後、アライメントマーク３１０を通過する線５０４の向きは、基準マーク３０４を通過する線５０２の向きとは異なることが特定される。例示的に、ピッチの差は、基準マーク３０４を通る水平の線５０２とアライメントマーク３１０を通る線５０４とから形成される角度５００として示される。基準マーク３０４、３０８はチャック１３０上に正確に位置しているが、アライメントマーク３１０の位置は、基準プレート３００はいくらか直角方向のエラーを有することを示す。線５０４と線５０８との間の角度が９０度ではないためである。基準マーク３０８を通る線５０６とアライメントマーク３１０を通る線５０８とは実質的に平行であり、アライメントされておりＹ軸に対する回転がほとんどないかゼロであることを示している。
【００３４】
図５Ｂは、本明細書に開示の実施例による、図５Ａに示された構成に基づく補正モデルを使用して印刷されたチャック１３０上のプレート４００の例を示す。補正モデルは、ブランクプレート４００のための変換（Ｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎ）を提供する。ここで使用する「変換」とは、基準プレート３００の印刷特徴を複写することによって、基準マーク３０４、３０８およびアライメントマーク３１０から（少なくとも１つの基準プレート３００から）、後で印刷されるプレート（すなわちブランクプレート４００）へ、位置測定データを変換するプロセスとして定義される。図５Ｂでは、基準マーク３０４およびアライメントマーク３１０の画像は、基準マーク３０４が正確に位置していること、印刷されたプレート３１０に正しい回転がなされていること、および補正モデルが精密であることを指している。
【００３５】
図６Ａは、本明細書に開示の実施例による、チャック１３０上の基準プレート３００の別の例を示す。アイ２０８は、チャック１３０上の基準マーク３０４、３０８の画像を撮像し、基準プレート３００上のアライメントマーク３１０の画像を撮像する。処理ユニット１６４による何らかの計算の後、アライメントマーク３１０のピッチが、基準マーク３０４、３０８のピッチと異なるという特定がなされる。例示的に、ピッチの差は、基準マーク３０４を通る水平の線とアライメントマーク３１０を通る線とから形成される角度５００として示される。アライメントマーク３１０の位置が、基準プレート３００がＸ軸に対していくらか回転していることを指す。
【００３６】
図６Ｂは、本明細書に開示の実施例による、図６Ａに示された構成に基づく補正モデルを使用して印刷されたチャック１３０上プレート４００の例を示す。いくつかのプレートが印刷された後、アイ２０８は、基準マーク３０４、３０８およびアライメントマーク３１０の新しい画像を撮像する。新しい画像から計算された位置を、メモリに保存された基準マーク３０４、３０８およびアライメントマーク３１０の位置と比較することによって、基準マーク３０４が前に保存された位置からシフトしたことが明らかとなる。
【００３７】
図７は、本明細書に開示の実施例による、チャック１３０上のブランクプレート４００のアライメントのための処理ユニット１６４の高レベルブロック図の実施例を示す。例えば、処理ユニット１６４は、図８および９の方法を実行することにおける使用に適している。図７の処理ユニット１６４は、プロセッサ７１０、および制御プログラム、測定データなどを保存するためのメモリ７０４を含む。
【００３８】
様々な実施形態において、メモリ７０４は、本明細書に記載の実施形態を実行することによって印刷されたプレート上の第１層のチャック１３０とのアライメントのための補正モデルを作成するプログラム（例えば、「第１層アライメントモジュール」７１２として図示）も含む。メモリ７０４は、マスクデザインのプログラム（図示せず）を含む。一実施形態において、マスクデザインに関するファイルはグラフィックデータシステムファイル（例えば「ＧＤＳ」）で保存される。しかし、ファイルはグラフィックデータを提供する任意のフォーマットであり得る。指示されると、これらのプログラムは、未使用の光をどのミラーが光ダンプ（光投棄所）へ伝送するか、あるいはどのミラーが補正モデルに基づいて基板を照射するかを決定づける。
【００３９】
プロセッサ７１０は、電源、クロック回路、キャッシュメモリなどのサポート回路７０８、およびメモリ７０４に保存されたソフトウェアルーチン７０６の実行を支援する回路と協働する。よって、本明細書でソフトウェアプロセスとして述べられる処理ステップには、記憶装置（例えば、光学式ドライブ、フロッピードライブ、ディスクドライブなど）からロードされてメモリ７０４内で実施され、プロセッサ７１０によって動作し得るものがあることが意図される。したがって、本書の様々なステップおよび方法がコンピュータ可読媒体に保存され得る。処理ユニット１６４は、処理ユニット１６４と通信する様々な機能的要素との間のインターフェースを形成する入出力回路７０２も含む。
【００４０】
図７は、本開示による様々な制御機能を実行するためにプログラムされた処理ユニット１６４を示すが、コンピュータという用語は、当技術分野において単に集積回路がコンピュータとして称されるものに限定されるものではなく、コンピュータ、プロセッサ、マイクロコントローラ、マイクロコンピュータ、プログラマブルロジックコントローラ、特定用途向け集積回路および他のプログラム可能な回路を広く称し、本明細書ではこれらの用語は入れ替え可能に使用される。加えて、１つの処理ユニット１６４が図示されているが、その図示は簡潔にするためである。ここに記載の方法の各々は、別個のコンピュータで利用され得ることが理解されよう。
【００４１】
図８は、本明細書に開示の実施例による、チャック１３０で印刷プレート４００をアライメントする方法８００の実施例を示す。ブロック８０２で、アイ２０８はチャック１３０上の基準マーク３０４、３０８の画像を撮像する。ブロック８０４で、基準マーク３０４、３０８の初期位置を特定するために、撮像された画像が処理ユニット１６４によって使用される。ブロック８０６で、基準マーク３０４、３０８の初期位置から基準モデルが作成される。基準モデルは、１つの軸（例えばＸ軸）に対する基準マーク３０４、３０８の回転および／または向きを含む。例えば、基準マーク３０４がＸ軸に対して５度回転している場合には、その回転の逆が適用される。この例においては、基準モデルは補正として−５度を含むであろう。基準モデルは、基準マーク３０４、３０８間の間隔および／または基準マーク３０４と基準マーク３０８との間の角度によって定められるスケーリング（拡大縮小）のような他のバリエーションをも含み得る。
【００４２】
ブロック８０８で、アイ２０８は基準プレート３００上のアライメントマーク３１０の画像を撮像する。ブロック８１０で、処理ユニット１６４は該基準プレート３００上のアライメントマーク３１０の位置を特定するためにソフトウェアを利用する。ブロック８１２で、アライメントマーク３１０の位置から基準プレートモデルが作成される。基準マーク３０４、３０８に対する基準プレート３００の回転および／または向きが基準プレートモデルにおいて考慮される。例えば、基準プレート３００がＸ軸に対して１０度回転している場合は、基準プレートモデルは、他のプレートを印刷するために、同じ１０度の回転を含む。ブロック８１４で、基準モデルおよび基準プレートモデルに基づいてマッピングモデルが作成される。
【００４３】
例えば、図５Ａでは、アライメントマーク３１０の位置は、基準プレート３００がＸ軸に対していくらか回転していることを指す。基準マーク３０４、３０８の位置は、基準マーク３０４および３０８が正確に位置し、Ｘ軸およびＹ軸に実質的に平行であることを指す。図５Ａでは、基準モデルはゼロである。しかし、基準プレート３００上のアライメントマーク３１０は、アライメントマーク３１０の中心を通る線５０４がＸ軸に対して角度をなすようにシフトしている。一例として、この角度が１度である場合、マッピングモデルは、後続のプレートを印刷するのに（基準プレートモデルからの）同じ１度の回転を含めて、同じマークシフトを作成する（図５Ｂ参照）。
【００４４】
図９は、本明細書に開示の実施例による、印刷プレート４００をチャック１３０とアライメントする方法９００の実施例を示す。ブロック９０２で、チャック１３０上の基準マーク３０４、３０８の初期位置から基準モデルが作成される。基準マーク３０４、３０８はメモリ７０４から読み出され、第１層アライメントモジュール７１２が基準モデルを作成するのに使用され得る。
【００４５】
ブロック９０４で、基準プレート３００上に位置するアライメントマーク３１０の位置から基準プレートモデルが作成される。基準プレートモデルは、基準プレート３００上のアライメントマーク３１０の位置における回転、シフトおよび／または歪みに従う（すなわち、模倣する）。ブロック９０６で、基準モデルおよび基準プレートモデルからマッピングモデルが作成される。
【００４６】
図１０は、本明細書に開示の実施例による、印刷プレート４００をチャック１３０とアライメントする方法１０００の実施例を示す。ブロック１００２で、チャック１３０から基準マーク３０４、３０８の画像が撮像される。ブロック１００４で、チャック１３０上の基準マークの初期位置が特定される。ブロック１００６では、基準マーク３０４、３０８の初期位置がメモリ７０４に保存される。
【００４７】
ブロック１００８で、基準プレート３００上のアライメントマーク３１０の画像が撮像される。ブロック１０１０で、アライメントマーク３１０の位置が処理ユニット１６４によって特定される。その後、ブロック１０１２で、アライメントマーク３１０の位置がメモリ７０４に保存される。
【００４８】
方法８００、９００、１０００の代替的な実施形態は、基準マーク３０４、３０８、およびアライメントマーク３１０の画像をメモリ７０４に保存して、処理ユニット１６４によってそれらのマークの位置を後で特定することを含み得る。加えて、本明細書に記載の実施形態は、アライメントマーク３１０の位置を特定する前に、基準マーク３０４、３０８の初期位置を特定することを含むように記載されている。しかし、他の実施形態は、基準マーク３０４、３０８の位置を特定する前に、アライメントマーク３１０の初期位置を特定することを含む。
【００４９】
本明細書で使用されている  「有する（ｈａｖｉｎｇ）」、「含有する（ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ）」、「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」、「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」などの用語は、記載された要素または特徴の存在を指すオープン・エンドな用語（非制限語句）である。しかし、追加の要素または特徴を排除するものではない。冠詞「ａ」、「ａｎ」および「ｔｈｅ」は、文脈上別段の意味を有することが明らかな場合を除き、単数と同様複数をも含むように意図される。
【００５０】
上記は本開示の実施形態を対象としているが、本開示の基本的な範囲を逸脱することなく本開示の他の実施形態及び更なる実施形態が考案されてもよく、本開示の範囲は、以下の特許請求の範囲によって決定される。
【図１】
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【図２】
2020531900.tif 000004
【図３】
2020531900.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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