【手続補正書】
【提出日】平成30年11月6日(2018.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の経路上にレーザ光を生成するレーザ源と、
前記レーザ光が前記第１の経路から該レーザ光によってターゲット材料を照射することができる照射部位に向かう第２の経路上に偏向される第１の状態と、該レーザ光が該第２の経路上以外の方向に透過される第２の状態との間で切換可能なブラッグ音響光学変調デバイスと、
前記レーザ光を遅延させるための前記ブラッグ音響光学変調デバイスと前記照射部位の間の前記第２の経路上の遅延デバイスと、
を含むシステムであって、
前記ブラッグ音響光学変調デバイスは、前記照射部位からの前記レーザ光のいずれの反射も前記第１の経路に沿った以外の方向に透過され、従って、前記レーザ源に到達することが防止されるように、該レーザ光が前記第２の経路上に偏向された後に前記第１の状態から前記第２の状態に切換可能であるように構成され、
前記第１の状態は、前記ブラッグ音響光学変調デバイスの電源がオンである状態を含み、前記第２の状態は該ブラッグ音響光学変調デバイスの電源がオフである状態を含み、前記システムは、該システムの作動中、該第１の状態で構成されているよりも長い時間にわたって該第２の状態で構成されている、システム。
【請求項２】
前記第２の経路は、前記第１の経路と同一線上にない、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記レーザ源と前記ブラッグ音響光学変調デバイスとの間の前記第1の経路上に位置決めされた電気光学変調器（ＥＯＭ）を更に含み、該ＥＯＭは該レーザ源によって生成されたパルスを整えるように適合される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記第１の経路に沿った以外の方向に透過された前記照射部位からの前記レーザ光のいずれの反射も収容するように位置決めされたビームダンプ要素を更に含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記ブラッグ音響光学変調デバイスは、互いに隣接して直列に位置決めされた２つのブラッグ音響光学変調器を含み、該２つのブラッグ音響光学変調器は、前記第１の状態において前記レーザ光が前記第１の経路から第３の経路上に偏向される第１のブラッグ音響光学変調器と、該第１の状態において該レーザ光が該第３の経路から前記第２の経路上に偏向される第２のブラッグ音響光学変調器を含み、該第１の経路は該第２の経路と同一直線状になく、該第２の経路は該第３の経路と同一直線状にない、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記レーザ源はシードレーザである、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記遅延デバイスは折り返し式光学配置を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
第１の経路上にレーザ光を生成するレーザ源と、
前記レーザ光が前記第１の経路から該レーザ光によってターゲット材料を照射することができる照射部位に向かう第２の経路上に偏向される第１の状態と、該レーザ光が該第２の経路上以外の方向に透過される第２の状態との間で切換可能なブラッグ音響光学変調デバイスと、
前記レーザ光を遅延させるための前記ブラッグ音響光学変調デバイスと前記照射部位の間の前記第２の経路上の遅延デバイスと、
を含むシステムであって、
前記ブラッグ音響光学変調デバイスは、前記照射部位からの前記レーザ光のいずれの反射も前記第１の経路に沿った以外の方向に透過され、従って、前記レーザ源に到達することが防止されるように、該レーザ光が前記第２の経路上に偏向された後に前記第１の状態から前記第２の状態に切換可能であるように構成され、
前記遅延デバイスは、前記ブラッグ音響光学変調デバイスから前記照射部位に至って戻る前記レーザ光の往復時間が該ブラッグ音響光学変調デバイスを前記第１の状態から前記第２の状態に切り換えるための閉時間よりも長くなるように寸法決めされる、システム。
【請求項９】
前記ブラッグ音響光学変調デバイスが前記第１の状態から前記第２の状態に切り換わることができる時間は、３００から５００ナノ秒の範囲にある、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記第１の状態は、前記ブラッグ音響光学変調デバイスの電源がオンである状態を含み、前記第２の状態は、該ブラッグ音響光学変調デバイスの電源がオフである状態を含み、前記システムは、該システムの作動中、該第１の状態で構成されているよりも長い時間にわたって該第２の状態で構成されている、請求項８に記載のシステム。
【請求項１１】
レーザ光を生成するプレパルスシードレーザと、
前記プレパルスシードレーザからの前記レーザ光が第１のビーム経路上に偏向される第１の状態と、該プレパルスシードレーザからの該レーザ光が該第１のビーム経路上以外の方向に透過される第２の状態との間で切換可能な第１のブラッグ音響光学変調デバイスと、
レーザ光を生成する主パルスシードレーザと、
前記主パルスシードレーザからの前記レーザ光が第２のビーム経路上に偏向される前記第１の状態と、該主パルスシードレーザからの該レーザ光が該第２のビーム経路上以外の方向に透過される第２の状態との間で切換可能な第２のブラッグ音響光学変調デバイスと、
前記第１のビーム経路上の前記プレパルスシードレーザからの前記レーザ光及び前記第２のビーム経路上の前記主パルスレーザからの前記レーザ光をターゲット材料を該レーザ光によって照射することができる照射部位に向かう共通ビーム経路上に向けるための結合器と、
を含むシステムであって、
前記第１のブラッグ音響光学変調デバイスは、前記照射部位からの前記レーザ光のいずれの反射も前記プレパルスシードレーザに到達することが防止されるように、該プレパルスシードレーザからの該レーザ光が前記第１のビーム経路上に偏向された後に前記第１の状態から前記第２の状態に切換可能であるように構成され、
前記第２のブラッグ音響光学変調デバイスは、前記照射部位からの前記レーザ光のいずれの反射も前記主パルスシードレーザに到達することが防止されるように、該主パルスシードレーザからの該レーザ光が前記第２のビーム経路上に偏向された後に前記第１の状態から前記第２の状態に切換可能であるように構成され、
前記第１の状態は、前記ブラッグ音響光学変調デバイスの各々の電源がオンである状態を含み、前記第２の状態は該ブラッグ音響光学変調デバイスの各々の電源がオフである状態を含み、前記システムは、該システムの作動中、該第１の状態で構成されているよりも長い時間にわたって該第２の状態で構成されている、システム。
【請求項１２】
遅延デバイスを更に含み、該遅延デバイスは、前記結合器と前記照射部位の間の前記共通ビーム経路上に配置され、前記第１のブラッグ音響光学変調デバイスから該照射部位に至って戻る前記レーザ光の往復時間が該第１のブラッグ音響光学変調デバイスの閉時間よりも長くなるような長さでサイズ設定され、その結果、該第１のブラッグ音響光学変調デバイスは、該照射部位で前記ターゲット材料から反射した光が前記プレパルスシードレーザに到達するのを防止するように閉状態になる時間を有し、
前記遅延デバイスは、前記第２のブラッグ音響光学変調デバイスから前記照射部位に至って戻る前記レーザ光の往復時間が該第２のブラッグ音響光学変調デバイスの閉時間よりも長くなるような長さでサイズ設定され、その結果、該第２のブラッグ音響光学変調デバイスは、該照射部位で前記ターゲット材料から反射した光が前記主パルスシードレーザに到達するのを防止するように閉状態になる時間を有し、
前記遅延デバイスはビーム折り返し式光学配置を含む、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記プレパルスシードレーザと前記第１のブラッグ音響光学変調デバイスとの間に位置決めされた電気光学変調器（ＥＯＭ）、および前記主パルスシードレーザと前記第２のブラッグ音響光学変調デバイスとの間に位置決めされたＥＯＭを更に含み、該ＥＯＭの各々は関連付けられたレーザによって生成されたパルスを整えるように適合される、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１４】
レーザシステムにおいてレーザパルス源をパルス反射から保護する方法であって、
レーザ源から第１の経路上にレーザパルスを発生させる段階と、
前記レーザパルスをブラッグ音響光学変調デバイスに通過させる段階であって、該ブラッグ音響光学変調デバイスが、ターゲット材料を該レーザパルスによって照射することができる照射部位に向かう第２の経路上に該パルスが偏向される、電源がオフである第１の状態と、該レーザパルスが該第２の経路上以外の方向に透過される、電源がオンである第２の状態との間で切換可能である前記通過させる段階と、
前記照射部位からの前記レーザパルスのいずれの反射も前記第１の経路に沿った以外の方向に透過され、従って、前記レーザ源に到達することが防止されるように、該レーザパルスが前記第２の経路上に偏向された後に前記ブラッグ音響光学変調デバイスを前記第１の状態から前記第２の状態に切り換える段階と、
前記レーザシステムの作動中、前記システムを、電源がオンである前記第２の状態よりも長い時間にわたって電源がオフである前記第１の状態で維持する段階と、
を含む方法。
【請求項１５】
前記レーザ源はシードレーザであり、
前記レーザパルスが前記ブラッグ音響光学変調デバイスを通過した後に該レーザパルスを折り返し式光学配置の遅延デバイスに通過させ、前記照射部位からの前記レーザ光のいずれの反射も前記レーザ源に到達することが防止されるように、該レーザ光の該照射部位への前記透過における遅延を生成する段階を更に含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記遅延デバイスは、折り返し式光学配置を含み、前記ブラッグ音響光学変調デバイスから前記照射部位に至って戻る前記レーザ光の往復時間が該ブラッグ音響光学変調デバイスを前記第１の状態から前記第２の状態に切り換えるための閉時間よりも長くなるような長さでサイズ設定される、請求項１５に記載の方法。