【事件の表示】
　特許第５７５３７４９号発明「インプリント用硬化性組成物の製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５７５３７４９号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり、訂正後の請求項〔１−１５〕、１６について訂正することを認める。
　特許第５７５３７４９号の請求項１ないし４、７ないし１６に係る特許を維持する。
　特許第５７５３７４９号の請求項５及び６に係る特許についての申立てを却下する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第５７５３７４９号の請求項１〜１６に係る特許についての出願は、平成２３年８月２２日（優先権主張　平成２２年９月２７日）に特許出願され、平成２７年５月２９日にその特許権の設定登録がなされ、その後、その特許について、特許異議申立人宮崎幸雄により特許異議の申立てがなされ、平成２８年３月２９日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である同年５月２０日に意見書の提出及び訂正の請求があったものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　本件訂正請求による訂正の内容は、以下のア〜サのとおりである。
　ア　請求項１に係る訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１において、「前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、」の要件を追加する訂正を行うものである（請求項１の記載を引用する請求項７〜１５も同様に訂正する。）。
　イ　請求項１に係る訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項１において、「前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であり、」の要件を追加する訂正を行うものである（請求項１の記載を引用する請求項７〜１５も同様に訂正する。）。
　ウ　請求項１に係る訂正事項３
　特許請求の範囲の請求項１において、「前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下である、」を「前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下であり、（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％である、」へと訂正を行うものである（請求項１の記載を引用する請求項７〜１５も同様に訂正する。）。
　エ　請求項２に係る訂正事項４
　特許請求の範囲の請求項２において、「前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、」の要件を追加する（請求項２の記載を引用する請求項３、４、および、７〜１５も同様に訂正する。）。
　オ　請求項２に係る訂正事項５
　特許請求の範囲の請求項２において、「前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であり、」の要件を追加する（請求項２の記載を引用する請求項３、４、および、７〜１５も同様に訂正する。）。
　カ　請求項２に係る訂正事項６
　特許請求の範囲の請求項２において、「前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下である、」を「前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下であり、（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％である、」に訂正する（請求項２の記載を引用する請求項３、４、および、７〜１５も同様に訂正する。）。
　キ　請求項５に係る訂正事項７
　請求項５を削除する。
　ク　請求項６に係る訂正事項８
　請求項６を削除する。
　ケ　請求項１６に係る訂正事項９
　特許請求の範囲の請求項１６において、「前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、」の要件を追加する。
　コ　請求項１６に係る訂正事項１０
　特許請求の範囲の請求項１６において、「前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であり、」の要件を追加する。
　サ　請求項１６に係る訂正事項１１
　特許請求の範囲の請求項１６において、前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下である、」を「前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下であり、（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％である、」に訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、一群の請求項、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　ア　上記（１）アの訂正事項１について
　該訂正事項は、請求項１において、フィルターの孔径を規定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、該訂正事項は、発明特定事項を直列的に付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、訂正前の請求項６の記載から、該訂正事項は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合する。
　イ　上記（１）イの訂正事項２について
　該訂正事項は、請求項１において、フィルターを通過させる際の印加圧力を規定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、該訂正事項は、発明特定事項を直列的に付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、訂正前の請求項５の記載から、該訂正事項は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合する。
　ウ　上記（１）ウの訂正事項３について
　該訂正事項は請求項１において、硬化性組成物の重合性単量体の割合を規定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、該訂正事項は、発明特定事項を直列的に付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、明細書の【０１０９】の記載から、該訂正事項は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合する。
　エ　上記（１）エの訂正事項４について
　該訂正事項は、請求項２において、フィルターの孔径を規定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、該訂正事項は、発明特定事項を直列的に付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、訂正前の請求項６の記載から、該訂正事項は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合する。
　オ　上記（１）オの訂正事項５について
　該訂正事項は、請求項２において、フィルターを通過させる際の印加圧力を規定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、該訂正事項は、発明特定事項を直列的に付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、訂正前の請求項５の記載から、該訂正事項は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合する。
　カ　上記（１）カの訂正事項６について
　該訂正事項は、請求項２において、硬化性組成物の重合性単量体の割合を規定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、該訂正事項は、発明特定事項を直列的に付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、明細書の【０１０９】の記載から、該訂正事項は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合する。
　キ　上記（１）キの訂正事項７について
　該訂正事項は、請求項５を削除しようとするものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
　ク　上記（１）クの訂正事項８について
　該訂正事項は、請求項６を削除しようとするものであるから、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合するものである。
　ケ　上記（１）ケの訂正事項９について
　該訂正事項は、請求項１６において、フィルターの孔径を規定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、該訂正事項は、発明特定事項を直列的に付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、訂正前の請求項６の記載から、該訂正事項は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合する。
　コ　上記（１）コの訂正事項１０について
　該訂正事項は、請求項１６において、フィルターを通過させる際の印加圧力を規定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、該訂正事項は、発明特定事項を直列的に付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、訂正前の請求項５の記載から、該訂正事項は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合する。
　サ　上記（１）サの訂正事項１１について
　該訂正事項は、請求項１６において、硬化性組成物の重合性単量体の割合を規定することで、特許請求の範囲を減縮しようとするものであるから、当該訂正事項は、特許法第１２０条の５第２項ただし書第１号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、該訂正事項は、発明特定事項を直列的に付加するものであり、カテゴリーや対象、目的を変更するものではないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものには該当せず、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第６項に適合する。
　また、明細書の【０１０９】の記載から、該訂正事項は、願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許法第１２０条の５第９項で準用する第１２６条第５項に適合する。
　シ　上記（１）ア〜クの訂正は一群の請求項ごとに請求されたものである。
　
（３）むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は特許法第１２０条の５第２項第１号及び第３号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第４項、及び、同条第９項において準用する同法第１２６条第４項から第６項までの規定に適合するので、訂正後の請求項〔１−１５〕及び１６について訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについて
（１）本件発明
　本件訂正請求により訂正された訂正請求項１〜１６に係る発明（以下、項番号に対応して、「本件発明１」などという。）は、その特許請求の範囲の請求項１〜１６に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】
（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）重合開始剤を含有する硬化性組成物を、２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも１回通過させる工程を有することを特徴とし、
前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、
前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であり、
前記（Ａ）重合性単量体の重量平均分子量が１０００以下であり、
前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下であり、
（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％である、インプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項２】
　（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）重合開始剤を含有する硬化性組成物を、２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも２回通過させる工程を有することを特徴とし、
前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、
前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であり、
前記（Ａ）重合性単量体の重量平均分子量が１０００以下であり、
前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、
前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下であり、
（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％である、インプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項３】
後に通過させるフィルターの方が、孔径が小さいことを特徴とする、請求項２に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項４】
前記フィルターの孔径が、いずれも、０．１μｍ以下である、請求項２または３に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項５】　（削除）
【請求項６】　（削除）
【請求項７】
前記フィルターのうち、少なくとも１種類がフツ素樹脂系フィルターまたはポリエチレン系フィルターであることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項８】
前記フィルターのうち、少なくとも１種類が、メンブレンフィルターをプリーツ状に加工したフィルターカートリッジであることを特徴とする、請求項１〜４および７のいずれか１項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項９】
前記重合性単量体（Ａ）が芳香族構造および／または脂環炭化水素構造を有する重合性単量体であることを特徴とする、請求項１〜４、７および８のいずれか１項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項１０】
前記インプリント用硬化性組成物が、フッ素原子とシリコン原子のうち少なくとも一方を有する重合性単量体を含有することを特徴とする、請求項１〜４および７〜９のいずれか１項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項１１】
前記硬化性組成物の２５℃における粘度が５〜５０ｍＰａ・ｓであることを特徴とする、請求項１〜４および７〜１０のいずれか１項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項１２】
インプリント用硬化性組成物の濾過の際の平均流量は毎分０．１〜３．０Ｌである、請求項１〜４および７〜１１のいずれか１項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項１３】
フィルターの有効濾過面積が２００〜３６００ｃｍ２である、請求項１〜４および７〜１２のいずれか１項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
【請求項１４】
請求項１〜４および７〜１３のいずれか１項に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法によって、インプリント用硬化性組成物を調製する工程と、該インプリント用硬化性組成物を、基材上に適用する工程と、該インプリント用硬化性組成物にモールドを圧接する工程と、光を照射する工程と、を含むパターン形成方法。
【請求項１５】
前記インプリント用硬化性組織物を基材上に適用する工程がインクジェット法またはスピンコート法による、請求項１４に記載のパターン形成方法。
【請求項１６】
２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを有する、２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも２回通過させる工程を有することを特徴とし、
前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、
前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であり、
前記（Ａ）重合性単量体の重量平均分子量が１０００以下であり、
前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、
前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下であり、
（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％である、インプリント用硬化性組成物の製造装置。」
　
（２）取消理由の概要
　訂正前の請求項１〜１６に係る特許に対して平成２８年３月２９日付けで特許権者に通知した取消理由は、概ね次のとおりである。
　請求項１〜１６に係る発明は、甲第１号証（以下、甲１などともいう。）に記載された発明、甲１の記載及び周知技術に基づき、容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、同項に係る特許は、取り消されるべきものである。
　
（３）甲号証の記載
　ア　甲１（特開２０１０−１８６９７９号公報）
　甲１には、「インプリント用硬化性組成物、パターン形成方法およびパターン」（発明の名称）について、次の記載がある（下線は、当審が付与した。以下、同じ。）。
　（ア）「【請求項１】
下記一般式（Ｉ）で表される重合性単量体（Ａｘ）と光重合開始剤を含有するインプリント用硬化性組成物。
【化１】
（一般式（Ｉ）中、Ｒ1は水素原子、アルキル基またはハロゲン原子を表し、Ｚは芳香族基を含有する分子量１００以上の基を表す。但し、重合性単量体（Ａｘ）が２５℃において液体であるとき、２５℃における粘度が５００ｍＰａ・ｓ以下である。）
【請求項２】
一般式（Ｉ）中のＺが−Ｚ1−Ｚ2で表される基であり、Ｚ1は、単結合または炭化水素基であり、該炭化水素基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよく、Ｚ２は、置換基を有していてもよい芳香族基であり、分子量９０以上であることを特徴とする、請求項１に記載のインプリント用硬化性組成物。
【請求項３】
重合性単量体（Ａｘ）が下記一般式（ＩＩ）で表される化合物である、請求項１に記載のインプリント用硬化性組成物。
【化２】
（一般式（ＩＩ）中、Ｒ1は水素原子、アルキル基またはハロゲン原子を表し、Ｘ1は単結合または炭化水素基であり、該炭化水素基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよい。Ｙ1は分子量１５以上の置換基を表し、ｎ１は０〜３の整数を表す。但し、ｎ１が０のときは、Ｘ1は炭素数２以上の炭化水素基である。Ａｒは、１つの芳香環を有する芳香族基、または２つ以上の芳香環が直列に結合した芳香族基である。）
【請求項４】
重合性単量体（Ａｘ）が下記一般式（ＩＩＩ）で表される化合物である、請求項１に記載のインプリント用硬化性組成物。
【化３】
（一般式（ＩＩＩ）中、Ｒ1は水素原子、アルキル基またはハロゲン原子を表す。Ｘ1は単結合または炭化水素基であり、該炭化水素基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよい。Ｙ1は分子量１５以上の置換基を表し、ｎ１は０〜３の整数を表す。但し、ｎ１が０のときは、Ｘ1は炭素数２以上の炭化水素基である。）
【請求項５】
重合性単量体（Ａｘ）が下記一般式（ＩＶ）で表される化合物である、請求項１に記載のインプリント用硬化性組成物。
【化４】
（一般式（ＩＶ）中、Ｒ1は水素原子、アルキル基またはハロゲン原子を表す。Ｘ2は単結合、または、炭化水素基であり、該炭化水素基は、その鎖中にヘテロ原子を含む連結基を含んでいてもよい。Ｙ2は分子量１５以上の芳香族基を有さない置換基を表し、ｎ２は０〜３の整数を表す。但し、ｎ２が０のときは、Ｘ2は炭素数２または３の炭化水素基である。）」
　（イ）「【００５４】
　
他の重合性単量体として、フッ素及び／又はシリコン原子を有する重合性化合物を含有することも好ましい。
　フッ素及び／又はシリコン原子を有する重合性化合物はフッ素及び／又はシリコン原子を有する官能基と重合性官能基を有するポリマーであってもよい。
　フッ素及び／又はシリコン原子を有する重合性化合物の好ましい添加量としては、全重合性単量体に対し、０．０１〜１０質量％であり、好ましくは０．１〜８質量％、特に好ましくは０．３〜５質量％である。」
　（ウ）「【００７１】
−溶剤−
　本発明の硬化性組成物には、種々の必要に応じて、溶剤を用いることができる。特に膜厚５００ｎｍ以下のパターンを形成する際には溶剤を含有していることが好ましい。好ましい溶剤としては常圧における沸点が８０〜２００℃の溶剤である。溶剤の種類としては組成物を溶解可能な溶剤であればいずれも用いることができるが、好ましくはエステル構造、ケトン構造、水酸基、エーテル構造のいずれか１つ以上を有する溶剤である。具体的に、好ましい溶剤としてはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、ガンマブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、乳酸エチルから選ばれる単独あるいは混合溶剤であり、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含有する溶剤が塗布均一性の観点で最も好ましい。
　本発明の組成物中における前記溶剤の含有量は、溶剤を除く成分の粘度、塗布性、目的とする膜厚によって最適に調整されるが、塗布性改善の観点から、全組成物中０〜９９質量％が好ましく、０〜９７質量％がさらに好ましい。特に膜厚５００ｎｍ以下のパターンを形成する際には２０〜９９質量％が好ましく、４０〜９９質量％がさらに好ましく、７０〜９８質量％が特に好ましい。」
　（エ）「【００７２】
−ポリマー成分−
　本発明の組成物では、架橋密度をさらに高める目的で、前記多官能の他の重合性単量体よりもさらに分子量の大きい多官能オリゴマーを、本発明の目的を達成する範囲で配合することもできる。光ラジカル重合性を有する多官能オリゴマーとしてはポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエーテルアクリレート、エポキシアクリレート等の各種アクリレートオリゴマーが挙げられる。オリゴマー成分の添加量としては組成物の溶剤を除く成分に対し、０〜３０質量％が好ましく、より好ましくは０〜２０質量％、さらに好ましくは０〜１０質量％、最も好ましくは０〜５質量％である。
　
本発明の硬化性組成物は
ポリマー成分を含有していてもよい
前記ポリマー成分の重量平均分子量としては、
２０００〜１０００００が好ましく、
も好ましくは２質量％以下である。
　（オ）「【００９５】
　本発明の硬化性組成物は、上述の各成分を混合して調整することができる。また、前記各成分を混合した後、例えば、
孔径０．００３μｍ〜５．０μｍのフィルターで濾過すること
濾過は、多段階で行ってもよいし、多数回繰り返してもよい。
濾過に使用するフィルターの材質は、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、フッソ樹脂、ナイロン樹脂などのものが使用できる
　（カ）「【００９６】
（粘度）
 
本発明の組成物は溶剤を除く全成分の混合液の粘度が
３〜３０ｍＰａ・ｓである
　（キ）「【０１１７】
［実施例１］
[
Ｒ−１−１
の合成
　後述する表に示した
単官能アクリレートモノマーＲ−１−１
は、前駆体であるアルコールをアクリル化して合成し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製した。
　（ク）「【０１２２】
【表１】
【表２】
【０１２３】
＜２官能モノマー＞
Ｓ−１：ネオペンチルグリコールジアクリレート
・・・（略）・・・
【０１２４】
Ｔ−１：トリメチロールプロパントリアクリレート
【０１２５】
＜酸化防止剤＞
Ａ−１：スミライザーＧＡ８０
Ａ−２：アデカスタブＡＯ５０３
Ａ−３：Ｉｒｇａｎｏｘ１０３５ＦＦ（Ｃｉｂａ社製、ヒンダードフェノール＋チオエーテル系）
Ａ−４：アデカスタブＬＡ−５７（アデカジャパン（株）製、ヒンダードアミン系）
Ａ−５：ＴＩＮＵＶＩＮ１４４（Ｃｉｂａ社製、ヒンダードアミン系＋ヒンダードフェノール系）
【０１２６】
＜光重合開始剤＞
Ｐ−１：２，４，６−トリメチルベンゾイル−エトキシフェニル−ホスフィンオキシド
【０１２７】
＜非イオン性界面活性剤＞
Ｗ−１−１：非フッ素系界面活性剤
Ｗ−１−２：フッ素系界面活性剤
　（ケ）「【０１２８】
［実施例１−１］
（インプリント用硬化性組成物の調製）
　重合性モノマーＲ−１−１（４０質量％）、重合性モノマーＳ−１（３０質量％）、重合性モノマーＴ−１（３０質量％）、光重合開始剤Ｐ−１（重合性モノマーの合計量に対して０．５質量％）、酸化防止剤Ａ−１（重合性モノマーの合計量に対して１．５質量％）および酸化防止剤Ａ−２（重合性モノマーの合計量に対して０．５質量％）、界面活性剤Ｗ−１−１（重合性モノマーの合計量に対して０．１質量％）および界面活性剤Ｗ−１−２（重合性モノマーの合計量に対して０．０４質量％）を加えて実施例１−１のインプリント用硬化性組成物を調製した。」
　
　イ　甲２（特開２００９−２０６１９６号公報）
　甲２には、「ナノインプリント用硬化性組成物、これを用いた硬化物およびその製造方法、並びに、液晶表示装置用部材」（発明の名称）について、次の記載がある。
　（ア）「【０１３７】
　以下において、本発明のナノインプリント用硬化性組成物を用いた硬化物の製造方法（パターン形成方法（パターン転写方法））について具体的に述べる。
　本発明の硬化物の製造方法においては、まず、本発明の組成物を基材上に塗布してパターン形成層を形成する。
　本発明の
ナノインプリント用硬化性組成物を基材上に塗布する際の塗布方法としては、一般によく知られた塗布方法、例えば、ディップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、エクストルージョンコート法、スピンコート方法、スリットスキャン法、インクジェット法などを挙げることができる。
【０１３８】
　本発明のナノインプリント用硬化性組成物を塗布するための基材（基板または支持体）は、種々の用途によって選択可能であり、例えば、石英、ガラス、光学フィルム、セラミック材料、蒸着膜、磁性膜、反射膜、Ｎｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｆｅなどの金属基板、紙、ＳＯＧ（Spin On Glass）、ポリエステルフイルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム等のポリマー基板、ＴＦＴアレイ基板、ＰＤＰの電極板、ガラスや透明プラスチック基板、ＩＴＯや金属などの導電性基材、絶縁性基材、シリコーン、窒化シリコーン、ポリシリコーン、酸化シリコーン、アモルファスシリコーンなどの半導体作製基板など特に制約されない。また、基材の形状も特に限定されるものではなく、板状でもよいし、ロール状でもよい。また、後述のように前記基材としては、モールドとの組み合わせ等に応じて、光透過性、または、非光透過性のものを選択することができる。
【０１３９】
　次いで、本発明の硬化物の製造方法においては、パターン形成層にパターンを転写するために、パターン形成層表面にモールドを（押圧）押接する。これにより、モールドの押圧表面にあらかじめ形成された微細なパターンをパターン形成層に転写することができる。
　本発明で用いることのできるモールド材について説明する。本発明の組成物を用いた光ナノインプリントリソグラフィは、モールド材および／または基材の少なくとも一方に、光透過性の材料を選択こする。
本発明に適用される光インプリントリソグラフィでは、基材の上に本発明のナノインプリント用硬化性組成物を塗布してパターン形成層を形成し、この表面に光透過性のモールドを押圧し、モールドの裏面から光を照射し、前記パターン形成層を硬化させる。
　前記光照射は、モールドを付着させた状態で行ってもよいし、モールド剥離後に行ってもよいが、本発明では、モールドを密着させた状態で行うのが好ましい。」
　（イ）「【０１５０】
　
本発明のナノインプリント用硬化性組成物は、前記各成分を混合した後、例えば、孔径０．０５μｍ〜５．０μｍのフィルターで濾過することによって溶液として調製することができる。
濾過に使用する材質は、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、フッソ樹脂、ナイロン樹脂などのものが使用できる
　
　ウ　甲３（特開２００７−２５３１２６号公報）
　甲３には、「樹脂組成物のろ過方法」（発明の名称）について、次の記載がある。
　（ア）「【技術分野】
【０００１】
　本発明は樹脂組成物のろ過方法に関し、特に粒子を含有する高粘度樹脂組成物を効率良くろ過することが可能なろ過方法に関する。」
　（イ）「【００２９】
　以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【実施例】
【００３０】
（実施例１）
　
粒子を含む樹脂組成物
を、第一のフィルタ
ろ過面積７０６．５ｃｍ
２
を備える第一のろ過工程
第二のフィルタ
ろ過面積７０６．５ｃｍ
２
を備える第二のろ過工程、の２工程により、連続的にろ過した。
第二のフィルタへの加圧が０．４ＭＰａ以下となるようにスネイクポンプの吸引量を調整した
　
　エ　甲４（特開２００９−２５１５３２号公報）
　甲４には、「レジスト組成物又は液浸用上層膜形成用組成物の製造方法」（発明の名称）について、次の記載がある。
　（ア）「【００１２】
　上記フィルターは、上記レジスト組成物等をろ過することができる限り、その個数及び性質には特に限定はない。上記フィルターの個数は通常は１個であるが、２個以上でもよい。上記
フィルターの材質として好ましくは、ポリエチレン（ＰＥ）
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）
フィルターの孔径は、
好ましくは０．００５μｍ〜０．１μｍである。
　（イ）「【００１４】
　
本発明は、上記レジスト組成物等を上記流路に通液して上記フィルターでろ過する工程を備える。
　
　オ　甲５（特開２００１−４６８１１号公報）
　甲５には、「濾過フィルター及び濾過装置」（発明の名称）について次の記載がある。
　（ア）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は濾過フィルター及び濾過装置に関し、特に繊維原液又はフィルム原液として使用されるセルロースアセテートやアクリル、ポリエステル等のポリマー流体のような高粘度流体を濾過するのに適した濾過フィルター及び濾過装置に関するものである。」
　（イ）「【００３８】
【実施例】以下、本発明について実施例と比較例とを挙げて具体的に説明する。
【００３９】「実施例１」図１及び２に示す濾過部が２層構造をなす形態の濾過フィルター１２を備えた濾過装置１０であって、ケーシング１１の内径はφ６５ｍｍである。濾過体１２ａ−１としては焼結金属不織布フィルターを採用している。更に、濾過部材１２ａ，１２ｂの絶対濾過精度は１０μｍであり、外側濾過部材１２ａの最外周径はφ６０ｍｍ、有効長３００ｍｍで、内側濾過部材１２ｂの最外周径はφ４０ｍｍ、有効長２６０ｍｍである。前記外側濾過部材１２ａと前記内側濾過部材１２ｂとは互いにネジ式のシール構造により分離可能に連結されている。かかる構造による
濾過フィルター１２の有効濾過面積は、０．０８９ｍ
2
 であった
【００４０】この濾過装置により、アセテートセルロース溶解原液を流量０．６l/min で定量濾過した際に、同装置を連続して有効に使用できる期間は約１４０日間であり、長期にわたっての使用が可能であった。なお、濾過の際の上限圧力差は設備上の関係から４ＭＰa とした。この濾過済の原液にて紡糸した際の糸切れ率は１．２回／t と極めて少なく、原液の濾過が有効になされ、且つ原液の変性もみられなかった。
【００４１】「実施例２」実施例１と同様に図１及び２に示す構造の、濾過部材１２ａ，１２ｂの絶対濾過精度が１０μｍ、外側濾過部材１２ａの最外周径はφ６０ｍｍ、有効長３００ｍｍで、内側濾過部材１２ｂの最外周径はφ４０ｍｍ、有効長２６０ｍｍである濾過装置１０を使用している。更には、
濾過フィルター１２のフィルター構造としてプリーツ加工を施している。この濾過装置によると有効濾過面積が０．２０７ｍ
2
と上述の実施例１よりも更に濾過面積を増大させることができる
　
　カ　甲８（特開２００７−２５３４１号公報）
　甲８には、「レジスト組成物の製造方法、ろ過装置、レジスト組成物の塗布装置およびレジスト組成物」（発明の名称）について、次の記載がある。
　（ア）「【００１０】
　ここで、本発明において、
「フィルタ」とは、少なくともレジスト組成物を通過させる多孔性の膜と、該膜を支持する支持部材とを備えたものである。
フィルタの形態は、
カートリッジタイプ等の、容器内に膜が収納されたものが使用できる。
　本発明の製造方法において、フィルタを通過させる「レジスト組成物」には、製品と同様の固形分濃度を有するレジスト組成物はもちろん、製品よりも固形分濃度が高い（たとえば固形分濃度８〜１５質量％程度の）、いわゆる原液のレジスト組成物も含まれる。
　また、本発明において使用する「ろ過」という用語には、通常使用される化学的な「ろ過」（「多孔質性物質の膜や相を用いて流動体の相［気体もしくは液体］だけを透過させ、半固相もしくは固体を流動体の相から分離すること」化学大事典９昭和３７年７月３１日発行　共立出版株式会社）の意味に加えて、単に「フィルタを通過させる」場合、すなわち膜を通過させることによって当該膜によってトラップされた半固相もしくは固体が視覚的に確認できない場合等も含むものとする。」
　（イ）「【００１７】
　フィルタ（ｆ１）に用いる膜の孔径は、フィルタのメーカーの公称値にて好ましい範囲を規定することができる。該好ましい範囲は、ろ過部の組合せ（フィルタの形態、膜の種類、膜を通過させる回数等の組合せ）によって、生産性と本発明の効果の観点から適宜調整される。
　効果の点では、
フィルタ（ｆ１）としては、膜の孔径が
好ましくは０．０４μｍ以下である
　ただし、あまり小さくなりすぎると生産性（レジスト組成物製造や塗布のスループット）は低下する傾向があるため、下限値は０．０１μｍ程度であることが好ましく、より好ましくは０．０２μｍ以上である。そして、ディフェクト低減効果、異物の改善等の効果と生産性とを考慮すると、フィルタ（ｆ１）に用いる膜の孔径は、０．０１μｍ〜０．１μｍの範囲内であることが好ましく、より好ましくは０．０１〜０．０４μｍ、さらに好ましくは０．０１〜０．０４μｍである。」
　（ウ）「【００３０】
　
フィルタ（ｆ２）に用いる膜の孔径は、
　効果の点では、フィルタ（ｆ１）は、膜の孔径が０．２μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．１μｍ以下、さらに
好ましくは０．０４μｍ以下である。
　ただし、あまり小さくなりすぎると生産性（レジスト組成物製造や塗布のスループット）は低下する傾向があるため、下限値は０．０１μｍ程度であることが好ましく、より好ましくは０．０２μｍ以上である。そして、ディフェクト低減効果、異物の改善等の効果と生産性とを考慮すると、フィルタ（ｆ１）に用いる膜の孔径は、０．０１μｍ〜０．１μｍの範囲内であることが好ましく、より好ましくは０．０２〜０．１μｍ、さらに好ましくは０．０２〜０．０４μｍである。効果と生産性の両立の点から０．０４μｍ程度が最も好ましい。」
　（エ）「【００８９】
　図１に示すろ過装置の第二のろ過部４内における第二のフィルタ４ａとして下記に示すポリエチレン製の中空糸膜フィルタを配置し、上記で調製したレジスト組成物２０００ｍｌを、貯留槽１から直接、第二のろ過部４に供給し、第二のろ過部４内に備えられた第二のフィルタ４ａにおいて、そのポリエチレン製の中空糸膜を通過させてレジスト組成物を得た。
　なお、第二のろ過部４に供給する
レジスト組成物のろ過圧は０．３ｋｇｆ／ｃｍ
２
・ポリエチレン製の
中空糸膜フィルタ：
孔径０．０２μｍであり
表面積（ろ過面積）３０００ｃｍ
２
であった
　
（４）甲１発明の認定
　ア　上記（３）ア（エ）の【００７２】から、硬化性組成物には、重量平均分子量の２０００以上のポリマー成分が２質量％以下であることが望ましいことと理解できる。
　イ　上記（３）ア（ケ）の【０１２８】の実施例１−１において、【０１２２】の【表１】から、重合性モノマーＲ−１−１の分子量は１９０であり、技術常識によれば、重合性モノマーＳ−１（ネオペンチルグリコールジアクリレート）の分子量は２１２であり、重合性モノマーＴ−１（トリメチロールプロパントリアクリレート）の分子量は２９６である。
　そうすると、甲１の「実施例１−１」の重合性モノマーの平均分子量は２５８（＝１９０×０．４＋２１２×０．３＋２９６×０．４）となる。
　ウ　上記実施例１−１の硬化性組成物の調製には、溶剤を用いておらず、溶剤が含まれていないことは明らかである。
　エ　上記実施例１−１の硬化性組成物は、「重合性モノマーＲ−１−１（４０質量％）、重合性モノマーＳ−１（３０質量％）、重合性モノマーＴ−１（３０質量％）」に対し、「光重合開始剤Ｐ−１（重合性モノマーの合計量に対して０．５質量％）、酸化防止剤Ａ−１（重合性モノマーの合計量に対して１．５質量％）および酸化防止剤Ａ−２（重合性モノマーの合計量に対して０．５質量％）、界面活性剤Ｗ−１−１（重合性モノマーの合計量に対して０．１質量％）および界面活性剤Ｗ−１−２（重合性モノマーの合計量に対して０．０４質量％）」が含まれていることから、重合性モノマーの量は全成分中　９７．４％（（４０＋３０＋３０）／｛（４０＋３０＋３０）＋（０．５＋１．５＋０．５＋０．１＋０．０４）｝×１００）含まれることになる。
　
　エ　甲１の記載及び上記ア〜エより、甲１の「実施例１−１」には、
「（Ａ）重合性モノマー（平均分子量は２５８）として、
　前駆体であるアルコールをアクリル化して合成し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製した単官能アクリレートモノマーであるＲ−１−１（４０質量％）、ネオペンチルグリコールジアクリレートであるＳ−１（３０質量％）及びトリメチロールプロパントリアクリレートであるＴ−１（３０質量％）と、
　（Ｂ）光重合開始剤として、２，４，６−トリメチルベンゾイル−エトキシフェニル−ホスフィンオキシドであるＰ−１（重合性モノマーの合計量に対して０．５質量％）と、
　（Ｃ）酸化防止剤として、スミライザーＧＡ８０であるＡ−１（重合性モノマーの合計量に対して１．５質量％）及びアデカスタブＡＯ５０３であるＡ−２（重合性モノマーの合計量に対して０．５質量％）と、
　（Ｄ）界面活性剤として、非フッ素系界面活性剤であるＷ−１−１（重合性モノマーの合計量に対して０．１質量％）及びフッ素系界面活性剤であるＷ−１−２（重合性モノマーの合計量に対して０．０４質量％）と、を含有し、
　硬化性組成物は、重量平均分子量２０００以上のポリマー成分が２質量％以下であり、
　（Ａ）重合性モノマーは、硬化性組成物の全成分中、９７．４％含まれ、
　溶剤を含まない、インプリント用硬化性組成物の製造方法。」（以下、「甲１発明」という。）が記載されていると認められる。
　
（５）対比・判断
　ア　本件発明１について
　本件発明１と甲１発明とを対比する。
　（ア）甲１発明の「前駆体であるアルコールをアクリル化して合成し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーで精製した単官能アクリレートモノマーであるＲ−１−１（４０質量％）、ネオペンチルグリコールジアクリレートであるＳ−１（３０質量％）及びトリメチロールプロパントリアクリレートであるＴ−１（３０質量％）」の「（Ａ）重合性モノマー（平均分子量は２５８）」は、本件発明１の「重量平均分子量が１０００以下」の「（Ａ）重合性単量体」に相当する。
　（イ）甲１発明の「２，４，６−トリメチルベンゾイル−エトキシフェニル−ホスフィンオキシドであるＰ−１（重合性モノマーの合計量に対して０．５質量％）」の「（Ｂ）光重合開始剤」は、本件発明１の「（Ｂ）光重合開始剤」に相当する。
　（ウ）甲１発明の「硬化性組成物は、重量平均分子量２０００以上のポリマー成分が２質量％以下であ」る構成は、本件発明１の「硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であ」る構成に相当する。
　（エ）甲１発明の「溶剤を含まない」構成は、本件発明１の「硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下であ」る構成に相当する。
　（オ）甲１発明の「（Ａ）重合性モノマーは、硬化性組成物の全成分中、９７．４％含まれ」る構成は、本件発明１の「（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％である」構成に含まれる。
　
　（カ）上記（ア）〜（オ）より、本件発明１と甲１発明とは、
「（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）重合開始剤を含有する硬化性組成物であって、
前記（Ａ）重合性単量体の重量平均分子量が１０００以下であり、
前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、
前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下であり、
（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％である、インプリント用硬化性組成物の製造方法。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
（相違点１）
　「（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）重合開始剤を含有する硬化性組成物」について、本件発明１は、「２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも１回通過させる工程を有」し、「前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であ」るのに対し、甲１発明は、「インプリント用硬化性組成物」について、フィルターを通過させる工程は備えていない点。
　
　ここで、上記相違点１について検討する。
　甲２には、ナノインプリント用硬化組成物を、孔径０．０５μｍ〜５μｍのフィルターで濾過して溶液として調製することが記載されているのみで、フィルターの有効濾過面積及びフィルターを通過させる工程における印加圧力は記載されていない。
　また、樹脂組成物に対して、２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを用いることは、甲３、甲５、甲８に示され、０．１μｍ以下の孔径のフイルターは、甲４、甲８に示され、樹脂組成物のフィルターを通過させる工程における印加圧力を０．５ＭＰａ以下とすることは、甲３、甲８に示されている。
　しかしながら、甲３、甲４、甲５及び甲８に記載された樹脂組成物は、インプリント用硬化性組成物ではなく、本件発明１のように、硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下であって、重合性単量体が硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％である樹脂組成物ではない。
　そうすると、甲１発明に、甲３、甲４、甲５及び甲８に記載されたフィルターに関する技術を適用する動機付けを見出すことができない。
　そして、本件発明１は、上記相違点１に係る構成を備えることで、甲１発明に比較して、「パターン剥がれを抑制」し、「インプリント用硬化性組成物の基板への適用の際の目詰まりによる吐出不良抑制」（【００１４】）といった、甲１発明及び甲３、甲４、甲５及び甲８の記載からは予測し得ない、格別顕著な作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件発明１は、甲１発明、甲１の記載及び周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
　イ　本件発明２について
　本件発明２と甲１発明とを対比すると、本件発明２と甲１発明とは、
「（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）重合開始剤を含有する硬化性組成物であって、
前記（Ａ）重合性単量体の重量平均分子量が１０００以下であり、
前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、
前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下であり、
（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％である、インプリント用硬化性組成物の製造方法。」である点で一致し、次の点で相違する。
　
（相違点２）
　「（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）重合開始剤を含有する硬化性組成物」について、本件発明１は、「２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも２回通過させる工程を有」し、「前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であ」るのに対し、甲１発明は、「インプリント用硬化性組成物」について、フィルターを通過させる工程は備えていない点。
　
　そして、相違点２について検討すると、本件発明１と同様な理由から、本件発明２は、甲１発明、甲１の記載及び周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
　ウ　本件発明３、７〜１５について
　本件発明３、７〜１５は、本件発明１又は２を引用し、さらに限定するものであるから、本件発明１又は２と同様な理由から、甲１発明、甲１の記載及び周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
　エ　本件発明１６について
　本件発明１６は、本件発明１の製造装置であるから、本件発明１と同様な理由から、甲１発明、甲１の記載及び周知技術に基づき、当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
　オ　むすび
　
【異議決定日】
平成２８年７月２８日（２０１６．７．２８）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）重合開始剤を含有する硬化性組成物を、２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも１回通過させる工程を有することを特徴とし、
前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、
前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であり、
前記（Ａ）重合性単量体の重量平均分子量が１０００以下であり、
前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、
前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下で
あり、
（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％で
　【請求項２】
（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）重合開始剤を含有する硬化性組成物を、２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも２回通過させる工程を有することを特徴とし、
前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、
前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であり、
前記（Ａ）重合性単量体の重量平均分子量が１０００以下であり、
前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、
前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下で
あり、
（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％で
　【請求項３】
後に通過させるフィルターの方が、孔径が小さいことを特徴とする、請求項２に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
　【請求項４】
前記フィルターの孔径が、いずれも、０．１μｍ以下である、請求項２または３に記載のインプリント用硬化性組成物の製造方法。
　【請求項５】　（削除）
　【請求項６】　（削除）
　【請求項７】
前記フィルターのうち、少なくとも１種類がフッ素樹脂系フィルターまたはポリエチレン系フィルターであることを特徴とする、請求項１〜
４
　【請求項８】
前記フィルターのうち、少なくとも１種類が、メンブレンフィルターをプリーツ状に加工したフィルターカートリッジであることを特徴とする、請求項１〜
４および
　【請求項９】
前記重合性単量体（Ａ）が芳香族構造および／または脂環炭化水素構造を有する重合性単量体であることを特徴とする、請求項１〜
４、７および
　【請求項１０】
前記インプリント用硬化性組成物が、フッ素原子とシリコン原子のうち少なくとも一方を有する重合性単量体を含有することを特徴とする、請求項１〜
４および７〜
　【請求項１１】
前記硬化性組成物の２５℃における粘度が５〜５０ｍＰａ・ｓであることを特徴とする、請求項１〜
４および７〜
　【請求項１２】
インプリント用硬化性組成物の濾過の際の平均流量は毎分０．１〜３．０Ｌである、請求項１〜
４および７〜
　【請求項１３】
フィルターの有効濾過面積が２００〜３６００ｃｍ２である、請求項１〜
４および７〜
　【請求項１４】
請求項１〜
４および７〜
　【請求項１５】
前記インプリント用硬化性組成物を基材上に適用する工程がインクジェット法またはスピンコート法による、請求項１４に記載のパターン形成方法。
　【請求項１６】
２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを有する、インプリント用硬化性組成物の製造装置であって、（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）重合開始剤を含有する硬化性組成物を、２００ｃｍ２以上の有効濾過面積を有するフィルターを少なくとも１回通過させる手段を有し、
前記フィルターの少なくとも１種類の孔径が０．１μｍ以下であり、
前記フィルターを通過させる工程における印加圧力が０．５ＭＰａ以下であり、
前記（Ａ）重合性単量体の重量平均分子量が１０００以下であり、
前記硬化性組成物における重量平均分子量２０００以上のポリマー成分の含有量が溶剤を除く成分に対し、２質量％以下であり、
前記硬化性組成物における溶剤の含有量が３質量％以下で
あり、
（Ａ）重合性単量体は、硬化性組成物の溶剤を除いた全成分中、７０〜９９．５質量％で