【手続補正書】
【提出日】平成30年7月20日(2018.7.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のＸ線透過部を有し、Ｘ線源からのＸ線の一部を透過する線源格子と、前記Ｘ線透過部からのＸ線を周期構造により回折し、干渉パターンを形成するビームスプリッター格子と、前記干渉パターンの一部を遮蔽するアナライザー格子と、前記アナライザー格子からのＸ線を検出する検出器と、を備え、
前記ビームスプリッター格子は、前記複数のＸ線透過部の夫々からのＸ線を前記周期構造により回折することで前記複数のＸ線透過部の夫々に対応する干渉パターンを形成し、前記複数のＸ線透過部は、
前記複数のＸ線透過部の夫々に対応する前記干渉パターンを互いに重畳させることにより特定の空間周波数成分が強調された周期パターンを形成するように配置され、
前記特定の空間周波数成分は、前記干渉パターンに固有の空間周波数成分が被検体により変調されることで発生する側波帯に含まれる空間周波数成分であり、
前記線源格子と前記アナライザー格子との間に被検体が配置されていないときにおける前記周期パターンと前記アナライザー格子の格子パターンとの位置関係は、写野内全体において略等しいことを特徴とするＸ線トールボット干渉計。
【請求項２】
前記干渉パターンのピッチと前記アナライザー格子のピッチとが等しく、且つ、前記干渉パターンの周期方向と前記アナライザー格子の周期方向とが同一であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項３】
前記写野は、前記検出器における検出面全体に対応することを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項４】
複数のＸ線透過部を有し、Ｘ線源からのＸ線の一部を透過する線源格子と、前記Ｘ線透過部からのＸ線を周期構造により回折し、干渉パターンを形成するビームスプリッター格子と、前記干渉パターンの一部を遮蔽するアナライザー格子と、前記アナライザー格子からのＸ線を検出する検出器と、を備え、
前記ビームスプリッター格子は、前記複数のＸ線透過部の夫々からのＸ線を前記周期構造により回折することで前記複数のＸ線透過部の夫々に対応する干渉パターンを形成し、前記複数のＸ線透過部は前記複数のＸ線透過部の夫々に対応する前記干渉パターンを互いに重畳させることにより特定の空間周波数成分が強調された周期パターンを形成するように配置され、
前記干渉パターンのピッチと前記アナライザー格子のピッチとが等しく、且つ、前記干渉パターンの周期方向と前記アナライザー格子の周期方向とが同一であり、前記線源格子の前記複数のＸ線透過部のピッチｄ０が下記式で表されることを特徴とするＸ線トールボット干渉計。
【数１】
2017032508.tif 000001
但し、ｄ１を前記ビームスプリッター格子の格子ピッチ、ｎ１、ｍを正の整数、Ｌ０１を前記線源格子と前記ビームスプリッター格子との間の距離、Ｌ１２を前記ビームスプリッター格子と前記アナライザー格子との間の距離とする。またα１を、
【数２】
2017032508.tif 000002
の範囲にある定数とする。但しｗＳを前記Ｘ線源におけるＸ線発光点の発光強度分布の半値全幅とする。
【請求項５】
前記ｍが１又は２であることを特徴とする請求項４に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項６】
前記周期パターンのピッチと前記アナライザー格子のピッチとが等しく、
前記線源格子と前記検出器との間に被検体が配置されていないとき、
前記周期パターンの周期方向において、
前記周期パターンの明部の中心と前記アナライザー格子のＸ線遮蔽部の中心との距離と、
前記周期パターンの明部の中心と前記アナライザー格子のＸ線透過部の中心との距離と、のうち短い方の距離が、前記周期パターンのピッチの１／８倍以下となるように、
前記線源格子と前記ビームスプリッター格子と前記アナライザー格子とが配置されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項７】
前記周期パターンの明部の中心と前記アナライザー格子のＸ線遮蔽部の中心との距離と、
前記周期パターンの明部の中心と前記アナライザー格子のＸ線透過部の中心との距離と、のうち短い方の距離が、前記周期パターンのピッチの１／１０倍以下となるように、
前記線源格子と前記ビームスプリッター格子と前記アナライザー格子とが配置されていることを特徴とする請求項６に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項８】
前記線源格子と前記ビームスプリッター格子と前記アナライザー格子とは、方向の異なる複数の周期成分を含む格子パターンを有する格子であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項９】
前記線源格子と前記ビームスプリッター格子と前記アナライザー格子との少なくともいずれかの位置を移動する移動部と、実行する撮像モードを指示する撮像モード指示部とを備え、
前記撮像モード指示部は、第１の撮像モードと第２の撮像モードとを指示することが可能であり、
前記第１の撮像モードは、
前記線源格子と前記アナライザー格子との間に被検体が配置されていないときに、
前記周期パターンと前記アナライザー格子の格子パターンとの位置関係が写野内全体において略等しい状態において撮像を行う撮像モードであり、
前記第２の撮像モードは、
位相ステッピング法を行う撮像モードであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項１０】
前記線源格子と前記ビームスプリッター格子と前記アナライザー格子との少なくともいずれかの位置を移動する移動部を備え、
前記検出器はＸ線を検出する複数の検出画素を有し、
前記移動部により前記干渉パターンと前記アナライザー格子との位置関係を変更することで、第１の撮像モードから第２の撮像モード、又は第２の撮像モードから第１の撮像モードに撮像モードを変更することが可能であり、
前記第１の撮像モードは、
前記線源格子と前記アナライザー格子との間に被検体が配置されていないときに、
前記周期パターンと前記アナライザー格子の格子パターンとの位置関係が写野内全体において略等しい状態において撮像を行う撮像モードであり、
前記第２の撮像モードは、
前記線源格子と前記ビームスプリッター格子と前記アナライザー格子とが、
前記線源格子と前記アナライザー格子との間に被検体が配置されていないときに、前記検出画素の画素ピッチの２倍以上２０倍以下の周期を持つ強度分布が前記写野内に形成されるように配置された状態で撮像を行う撮像モードであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項１１】
前記Ｘ線源を備えることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項１２】
前記検出器が取得したＸ線強度分布を表示する画像表示部を備えることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項１３】
前記周期パターンと前記アナライザー格子の格子パターンとの前記位置関係が写野内全体において略等しいとは、
前記周期パターンのピッチと前記アナライザー格子のピッチとが等しく、
前記線源格子と前記検出器との間に被検体が配置されていないとき、
前記周期パターンの周期方向において、前記周期パターンの明部の中心と前記アナライザー格子のＸ線遮蔽部の中心との距離が、前記干渉パターンのピッチの１／４倍以下となるように、前記線源格子と前記ビームスプリッター格子と前記アナライザー格子とが配置されていることであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項１４】
前記周期パターンの明部の中心と前記アナライザー格子のＸ線遮蔽部の中心との距離が、前記干渉パターンのピッチの１／８倍以下となるように、前記線源格子と前記ビームスプリッター格子と前記アナライザー格子とが配置されていることを特徴とする請求項１３に記載のＸ線トールボット干渉計。
【請求項１５】
前記周期パターンの明部の中心と前記アナライザー格子のＸ線遮蔽部の中心との距離が、前記干渉パターンのピッチの１／１０倍以下となるように、前記線源格子と前記ビームスプリッター格子と前記アナライザー格子とが配置されていることを特徴とする請求項１４に記載のＸ線トールボット干渉計。