【手続補正書】
【提出日】平成30年8月7日(2018.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に配列された複数の感圧素子により構成される感圧素子列を有し、前記一方向が生体の動脈の走行方向に交差する状態で、前記感圧素子列の形成される感圧面が前記生体の体表面に押圧されて使用されるセンサチップと、前記センサチップが固定される基板と、を有する圧脈波センサの検査方法であって、
前記基板は、貫通孔及び基板側端子部を有し、
前記センサチップは、前記感圧面の反対側に前記感圧面に垂直な方向に凹む凹部を有し、前記凹部によって前記垂直な方向に厚みの薄くなった部分の前記感圧面に前記感圧素子列が形成されており、
前記センサチップは、さらに、前記感圧素子列と電気的に接続されたチップ側端子部を、前記一方向に延びる前記感圧素子列の一端又は両端に有し、
前記凹部が前記基板の前記貫通孔のみによって大気と連通するように、前記基板に前記センサチップを接着固定する第一の工程と、
前記センサチップが接着固定された前記基板の基板側端子部と前記センサチップのチップ側端子部とを導電部材により接続する第二の工程と、
前記第二の工程で形成された前記導電部材を保護部材で覆う第三の工程と、
前記第三の工程後に、前記基板の前記貫通孔から空気を吸引して前記感圧面に負圧を印加した状態で、前記基板側端子部から出力される信号に基づいて前記センサチップの前記複数の感圧素子のバラツキに関する特性評価を行う第四の工程と、を備える圧脈波センサの検査方法。
【請求項２】
請求項１記載の圧脈波センサの検査方法であって、
前記チップ側端子部は、前記感圧面の前記一方向における両端部にそれぞれ配置された第一の端子部と第二の端子部を含み、
前記基板側端子部は、前記基板の前記センサチップが接着固定される面に形成された第三の端子部と第四の端子部を含み、
前記感圧面に垂直な方向からみた平面視において、前記第三の端子部、前記第一の端子部、前記第二の端子部、及び前記第四の端子部はこの順で前記一方向に並んでおり、
前記第二の工程では、前記第一の端子部と前記第三の端子部とを第一の導電部材により接続し、前記第二の端子部と前記第四の端子部とを第二の導電部材により接続し、
前記第三の工程では、前記第二の工程で形成された前記第一の導電部材と前記第二の導電部材をそれぞれ保護部材で覆う圧脈波センサの検査方法。
【請求項３】
一方向に配列された複数の感圧素子により構成される感圧素子列を有し、前記一方向が生体の動脈の走行方向に交差する状態で、前記感圧素子列の形成される感圧面が前記生体の体表面に押圧されて使用されるセンサチップと、前記センサチップが固定される基板と、を有する圧脈波センサの製造方法であって、
前記基板には、貫通孔及び基板側端子部が形成され、
前記センサチップには、前記感圧面の反対側に前記感圧面に垂直な方向に凹む凹部が形成され、前記凹部によって前記垂直な方向に厚みの薄くなった部分の前記感圧面に前記感圧素子列が形成されており、
前記センサチップには、さらに、前記感圧素子列と電気的に接続されたチップ側端子部が、前記一方向に延びる前記感圧素子列の一端又は両端に形成され、
前記凹部が前記基板の前記貫通孔のみによって大気と連通するように、前記基板に前記センサチップを接着固定する第一の工程と、
前記センサチップが接着固定された前記基板の基板側端子部と前記センサチップのチップ側端子部とを導電部材により接続する第二の工程と、
前記第二の工程で形成された前記導電部材を保護部材で覆う第三の工程と、
前記第三の工程後に、前記基板の前記貫通孔から空気を吸引して前記感圧面に負圧を印加した状態で、前記基板側端子部から出力される信号に基づいて前記センサチップの前記複数の感圧素子のバラツキに関する特性評価を行う第四の工程と、
前記第四の工程の特性評価の結果に基づいて合格と判定されたセンサチップと、前記センサチップの前記チップ側端子部及び前記基板側端子部を接続する導電部材を覆う前記保護部材とを保護する保護層を形成する第五の工程と、を備える圧脈波センサの製造方法。
【請求項４】
請求項３記載の圧脈波センサの製造方法であって、
前記チップ側端子部は、前記感圧面の前記一方向における両端部にそれぞれ配置された第一の端子部と第二の端子部を含み、
前記基板側端子部は、前記基板の前記センサチップが接着固定される面に形成された第三の端子部と第四の端子部を含み、
前記感圧面に垂直な方向からみた平面視において、前記第三の端子部、前記第一の端子部、前記第二の端子部、及び前記第四の端子部はこの順で前記一方向に並んでおり、
前記第二の工程では、前記第一の端子部と前記第三の端子部とを第一の導電部材により接続し、前記第二の端子部と前記第四の端子部とを第二の導電部材により接続し、
前記第三の工程では、前記第二の工程で形成された前記第一の導電部材と前記第二の導電部材をそれぞれ保護部材で覆い、
前記第五の工程では、前記センサチップの露出面と前記保護部材を保護材料で覆うことで前記保護層を形成する圧脈波センサの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の圧脈波センサの検査方法は、一方向に配列された複数の感圧素子により構成される感圧素子列を有し、前記一方向が生体の動脈の走行方向に交差する状態で、前記感圧素子列の形成される感圧面が前記生体の体表面に押圧されて使用されるセンサチップと、前記センサチップが固定される基板と、を有する圧脈波センサの検査方法であって、前記基板は、貫通孔及び基板側端子部を有し、前記センサチップは、前記感圧面の反対側に前記感圧面に垂直な方向に凹む凹部を有し、前記凹部によって前記垂直な方向に厚みの薄くなった部分の前記感圧面に前記感圧素子列が形成されており、前記センサチップは、さらに、前記感圧素子列と電気的に接続されたチップ側端子部を、前記一方向に延びる前記感圧素子列の一端又は両端に有し、前記凹部が前記基板の前記貫通孔のみによって大気と連通するように、前記基板に前記センサチップを接着固定する第一の工程と、前記センサチップが接着固定された前記基板の基板側端子部と前記センサチップのチップ側端子部とを導電部材により接続する第二の工程と、前記第二の工程で形成された前記導電部材を保護部材で覆う第三の工程と、前記第三の工程後に、前記基板の前記貫通孔から空気を吸引して前記感圧面に負圧を印加した状態で、前記基板側端子部から出力される信号に基づいて前記センサチップの前記複数の感圧素子のバラツキに関する特性評価を行う第四の工程と、を備えるものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の圧脈波センサの製造方法は、一方向に配列された複数の感圧素子により構成される感圧素子列を有し、前記一方向が生体の動脈の走行方向に交差する状態で、前記感圧素子列の形成される感圧面が前記生体の体表面に押圧されて使用されるセンサチップと、前記センサチップが固定される基板と、を有する圧脈波センサの製造方法であって、前記基板には、貫通孔及び基板側端子部が形成され、前記センサチップには、前記感圧面の反対側に前記感圧面に垂直な方向に凹む凹部が形成され、前記凹部によって前記垂直な方向に厚みの薄くなった部分の前記感圧面に前記感圧素子列が形成されており、前記センサチップには、さらに、前記感圧素子列と電気的に接続されたチップ側端子部が、前記一方向に延びる前記感圧素子列の一端又は両端に形成され、前記凹部が前記基板の前記貫通孔のみによって大気と連通するように、前記基板に前記センサチップを接着固定する第一の工程と、前記センサチップが接着固定された前記基板の基板側端子部と前記センサチップのチップ側端子部とを導電部材により接続する第二の工程と、前記第二の工程で形成された前記導電部材を保護部材で覆う第三の工程と、前記第三の工程後に、前記基板の前記貫通孔から空気を吸引して前記感圧面に負圧を印加した状態で、前記基板側端子部から出力される信号に基づいて前記センサチップの前記複数の感圧素子のバラツキに関する特性評価を行う第四の工程と、前記第四の工程の特性評価の結果に基づいて合格と判定されたセンサチップと、前記センサチップの前記チップ側端子部及び前記基板側端子部を接続する導電部材を覆う前記保護部材とを保護する保護層を形成する第五の工程と、を備えるものである。