【事件の表示】
　特許第５７００２６４号「ウエハエッジ加工装置及びそのエッジ加工方法」の請求項１〜６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５７００２６４号の請求項１〜６に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第５７００２６４号の請求項１〜６に係る特許についての出願は、特願２００９−２５０８４２号の一部を、平成２５年１０月２８日に出願したものであり、平成２７年２月２７日に特許の設定登録がされ、その後、その特許に対し、特許異議申立人　目黒　こと美により特許異議の申立てがされたものである。
２．本件発明
　特許第５７００２６４号の請求項１〜６に係る特許は、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定されるとおりのものである。
３．申立理由の概要
　特許異議申立人　目黒　こと美は、証拠として下記甲第１〜５号証（以下、「甲１〜５」という。）を提出し、請求項１〜６に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、請求項１〜６に係る特許を取り消すべきものである旨主張している。
　甲１：特開２００６−１４２３８８号公報
　甲２：特開２００８−３０６１７９号公報
　甲３：特開平９−１１７８５２号公報
　甲４：特開平８−６６８６４号公報
　甲５：特許第２８３７３４２号公報
４．甲１〜５の記載
（１）甲１には、「ワーク２０を載置して回転可能なスピンドルと、研磨テープ３０を接触させることによってワーク２０のエッジ２１を研磨する研磨ヘッド１１と、研磨ヘッド１１をスピンドルに対して相対的に移動させる機構と、を備える研磨装置１０であって、研磨ヘッド１１は、円筒状の接触ローラ１３を用いてワーク２０のエッジ２１に研磨テープ３０を当接させる接触当接手段を備える研磨装置」の発明が記載されている。
（２）甲２は、バッキングパッドを使用して基板の両面の縁部から膜及び薄片を除去する方法及び装置に関する発明であって、バッキングパッドとしてローラーバッキングパッドが使用でき、図４Ｃに図示した形状であること、及び、ローラーバッキングパッドは研磨テープ２０６を図４Ｃ中に４０４として図示された箇所で押圧するように用いられること、並びに研磨テープは、バッキングパッドの平坦面に配置されていることが記載されている。
（３）甲３は、ガラス板等に形成された微細パターン領域に発生した突起等を部分的に研磨する装置に関するものであって、研磨粒子を付着させたラッピングテープ（研磨体１３）を押し当てる研磨用ヘッドの形状が、円筒であった場合（図４）には線接触となり、研磨用ヘッドとして図１（ａ）ないし（ｃ）とし、研磨体１３の表面を略球面形状にさせた場合には被研磨体と点接触になることが記載されている。
（４）甲４は、研磨装置の定圧押当て機構に関する発明であって、プーリに張設された研磨ベルト６を突出させる回転ローラ２（図示の図示では円筒状の形状である）が設けられた研磨装置であって、ワーク７の研磨として、回転ローラ２がある突出箇所で研磨を行うことも、回転ローラ２がない部分Ｂにて研磨を行うこともできる旨記載されている。
（５）甲５は、研磨テープによる研磨装置に関する発明であって、研磨テープをウェハ−Ｗの端面に沿った研磨面に対して任意の接触角で接触させることができるよう、研磨ヘッドを揺動させる機構が記載されている。
５．特許法第２９条第２項についての対比・判断
（１）対比・判断
（ア）請求項１に係る発明について
　請求項１に係る発明と特許異議申立人が提出した甲１の発明とを対比すると、当該甲１には、「軸方向の中央部で径が最大となり前記軸方向の両端部に向かうにつれて径が次第に小さくなる樽形状のローラを用いて前記ウエハの端部に前記研磨テープを略点接触にて当接させる点接触当接手段」を「研磨部」が「備える」としたことが記載されていない。
　この点は、甲２ないし３にも記載されていない。したがって、請求項１に係る発明は、上記甲１ないし３に記載の発明から当業者が容易になし得るものではない。
　特許異議申立人は、甲２の図４Ｃに、「軸方向の中央部で径が最大となり前記軸方向の両端部に向かうにつれて径が次第に小さくなる樽形状のローラーバッキングパッド４００」が記載されている旨、主張すると共に、甲２の図４Ｃに示す「ローラーバッキングパッド４００」は、その用途が基板縁部１０４に接触すること、当該パッド４００の基板に対する設置位置が同じであること、研磨テープを使用して基板のエッジ研磨を行うためのものであることを挙げつつ、甲１の円筒状ローラに代えて甲２のローラーバッキングパッド４００を用いるとすることは、当業者が容易に想到し得たとし、このようにローラを置換した場合、ワークへの当接状態が略点接触になることは、甲３の【００１２】、【００１５】、【００２３】、図１（ｂ）、（ｃ）から、当該技術分野において従来から周知であるとして、請求項１に係る発明は、甲１装置発明及び甲２記載事項（１）並びに甲３記載事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたと主張している。
　ところが、甲２の図４Ｃに示す「ローラーバッキングパッド４００」は、その形状について【００１０】や、【００１９】並びに【００２１】に、
「【００１０】
  [0031]本発明は、基板の縁部を洗浄及び／または研磨するための改善された方法及び装置を提供する。基板の縁部は、例えば、基板が回転したり、または他の方式で移動しながら（例えば、振動）、研磨ヘッドを介して基板の縁部に接触する砥粒研磨パッドまたは砥粒研磨ヘッドを付けることにより、研磨することができる。一部の実施形態において、バッキングパッドは、研磨テープが基板に接触して研磨するように、研磨テープの非研磨面に接触することができる。本発明によると、研磨またはバッキングパッドの表面は、膜の除去が要望される基板上の位置にマッピングされたり、或いはそれに対応する輪郭を有することができる。言い換えれば、例えば、
バッキングパッドが基板の縁部に
研磨テープを介して接触）するとき、（研磨テープを介した）バッキングパッドが、それ自身の形状を基板１００に付加することができ、さらに、基板の縁部から膜の対応するプロファイルまたは領域を除去することができるように、バッキングパッドの表面形状は、角度を有することができる
「【００１９】
  [0040]図４Ａ及び図４Ｂを見ると、本発明によるバッキングパッド４００の例示的な実施形態が提供される。図４Ａにおいて、バッキングパッド４００の曲線状の上部面４０２は、中心位置とは垂直な方向に対称の輪郭４０１を有し、上部面４０２上にストリップ状の特徴部４０４を提供する。本明細書に示された例示的な実施形態において、図４Ｂの断面で示された回転の中心Ｒは、中心位置として機能することができる。他の中心位置が使用されることもできる。
一部の実施形態において、ストリップ４０４は、研磨テープ２０６の滑らかな裏面に接触する、バッキングパッド４００の唯一の領域であり
「【００２１】
  [0042]他の実施形態において、バッキングパッド４００は、図４Ｃに示されたローラーバッキングパッド４００のように、半球型または凸形状であることができる。
ローラーバッキングパッド４００は、図４Ａ及び図４Ｂに示されたバッキングパッドと同一の輪郭４０１及び研磨ストリップ４０４を含むことができる
研磨ストリップ４０４が研磨テープ２０６に対して押圧され
バッキングパッド４００の平坦面（図示せず）
との説明がなされているところを見る限り、研磨テープ２０６を押圧するローラーバッキングパッドの研磨ストリップ４０４が位置する予定箇所の形状が、研磨テープ２０６の幅方向において凸形状を意味する記載や、示唆する記載はない。
　また、研磨テープ２０６が接触するのは研磨ストリップ４０４の範囲であるところ、甲２の他の記載からも図４Ｃの研磨ストリップ４０４の範囲が樽形状であると認めることはできない。
　そうすると、甲２のローラバッキングパッドの形状が、請求項１に係る特許の「軸方向の中央部で径が最大となり前記軸方向の両端部に向かうにつれて径が次第に小さくなる樽形状」とする事項と一致するものとはいえない。その結果、甲１装置発明に甲２記載事項のローラーバッキングパッド４００を代えた装置が、ウエハ端部と接触する様は、甲３記載事項と照らすと、「点接触」とはなり得ない。また、甲３記載事項を甲１装置発明に適用する動機付けもない。
　よって、かかる主張は根拠がない。
（イ）請求項２〜６に係る発明について
　請求項２及び３に係る発明は、請求項１に係る発明を更に減縮したものであるから、上記請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、上記甲１〜３に記載の発明から当業者が容易になし得るものではない。
　また、請求項４〜６に係る特許は、それぞれ請求項１〜３の装置発明を加工方法の発明として記載した発明に相当するものであるから、これらの特許も請求項１〜３に係る特許と同様、当業者が甲１〜３に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものではなく、また、他に証拠として提出された甲４〜５には、ウエハエッジ加工装置として樽形状のローラを用いて点接触当接を果たすとした記載もないことから、申立て理由とは異なる理由の発見に至るものでもない。
（２）まとめ
　以上のとおり、請求項１〜６に係る発明は、甲１〜５に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものではない。
６．むすび
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、請求項１〜６に係る特許を取り消すことはできない。　
　また、他に請求項１〜６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成２８年１月１５日（２０１６．１．１５）