【手続補正書】
【提出日】平成30年10月31日(2018.10.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の一形態において、前記非定常状態は、前記基板処理装置の故障時の状態、基板ホルダのメンテナンス時の状態、又はアノードホルダのメンテナンス時の状態を含む。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の一形態において、前記基板処理部は、基板ホルダに保持された前記基板にめっき処理するめっき処理部を有し、前記搬送部は、前記基板を収容する基板収納容器と前記基板を前記基板ホルダに対して着脱するフィキシングステーションとの間で基板を搬送する前段搬送部と、前記フィキシングステーションと前記めっき処理部との間で基板を搬送する後段搬送部とを有し、前記基板処理装置は、前記前段搬送部を含む装置前段部と、前記めっき処理部及び前記後段搬送部を含む装置後段部とを有する。前記モデル化工程は、前記装置前段部及び前記装置後段部の処理条件、処理時間、及び制約条件をそれぞれモデル化し、前記装置前段部における前段側グラフ・ネットワークと、前記装置後段部における後段側グラフ・ネットワークとを別々に作成する。前記基板搬送方法は、さらに、前記前段側グラフ・ネットワークと、前記後段側グラフ・ネットワークとを結合する処理を行い、各ノードへの最長経路長の計算を行う結合工程を有する。前記計算工程は、前記結合工程で算出された前記最長経路長に基づいて基板搬送スケジュールを計算する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
続いて、図１６に示したステップＳ２０３の装置前段部の基板搬送スケジュールの具体的な計算手順について説明する。図１７は、ステップＳ２０３のサブルーチンを示すフロ
ー図である。図示のように、装置前段部の基板搬送スケジュールを計算するためには、まず、装置前段部に関連する処理時間、制約条件、及びプロセスレシピ（処理条件）等のデータを基板搬送制御スケジューラ４０に取り込む（ステップＳ３０１）。取り込んだこれらのデータから、装置前段部の搬送順序が作成される（ステップＳ３０２）。この搬送順序は、特にプロセスレシピ（処理条件）に基づいて作成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
次に、図１８に示したステップＳ２０４の装置後段部の基板搬送スケジュールの具体的な計算手順について説明する。図１８は、ステップＳ２０４のサブルーチンを示すフロー図である。図示のように、装置後段部の基板搬送スケジュールを計算するためには、まず、装置後段部に関連する処理時間、制約条件、及びプロセスレシピ（処理条件）等のデータを基板搬送制御スケジューラ４０が取得する（ステップＳ４０１）。取り込んだこれらのデータから、装置後段部の搬送順序が作成される（ステップ４０２）。この搬送順序は、特にプロセスレシピ（処理条件）に基づいて作成される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を行う複数の基板処理部と、前記基板を搬送する搬送部と、前記搬送部と前記基板処理部を制御する制御部を備えた基板処理装置の前記制御部に内蔵され、基板搬送スケジュールを計算するスケジューラであって、
前記基板処理装置の処理条件、処理時間、及び制約条件を、グラフ・ネットワーク理論を用いてノード及びエッジにモデル化し、グラフ・ネットワークを作成し、各ノードへの最長経路長の計算を行うモデル化部と、
前記最長経路長に基づいて前記基板搬送スケジュールを計算する計算部と、を有する、スケジューラ。
【請求項２】
請求項１に記載されたスケジューラにおいて、
前記基板処理部は、基板ホルダに保持された前記基板にめっき処理するめっき処理部を有し、
前記搬送部は、前記基板を収容する基板収納容器と前記基板を前記基板ホルダに対して着脱するフィキシングステーションとの間で基板を搬送する前段搬送部と、前記フィキシングステーションと前記めっき処理部との間で基板を搬送する後段搬送部とを有し、
前記基板処理装置は、前記前段搬送部を含む装置前段部と、前記めっき処理部及び前記後段搬送部を含む装置後段部とを有し、
前記モデル化部は、前記装置前段部及び前記装置後段部の処理条件、処理時間、及び制約条件をそれぞれモデル化し、前記装置前段部における前段側グラフ・ネットワークと、前記装置後段部における後段側グラフ・ネットワークとを別々に作成し、
前記スケジューラは、さらに、前記前段側グラフ・ネットワークと、前記後段側グラフ・ネットワークとを結合する処理を行い、各ノードへの最長経路長の計算を行う結合部を有し、
前記計算部は、前記結合部で算出された前記各ノードへの最長経路長に基づいて、前記基板搬送スケジュールを計算する、スケジューラ。
【請求項３】
請求項２に記載されたスケジューラにおいて、
指定された前記基板の処理枚数を任意の枚数のミニバッチに分割し、
前記モデル化部は、前記ミニバッチ分の前記前段側グラフ・ネットワークと、前記ミニバッチ分の前記後段側グラフ・ネットワークを作成し、
前記結合部は、前記ミニバッチ分の前記前段側グラフ・ネットワークと、前記ミニバッチ分の前記後段側グラフ・ネットワークとを結合し、
指定された処理枚数分まで前記ミニバッチ分の前記前段側グラフ・ネットワークと前記ミニバッチ分の前記後段側グラフ・ネットワークとの作成及び結合を繰り返す、スケジューラ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載されたスケジューラにおいて、
前記基板処理装置が非定常状態に移行したか否かを検知する検知部を有し、
前記モデル化部は、前記基板処理装置が非定常状態に移行したことを前記検知部が検知したとき、前記非定常状態における前記基板処理装置の処理条件、処理時間、及び制約条件を、グラフ・ネットワーク理論を用いてノード及びエッジにモデル化し、グラフ・ネットワークを作成し、各ノードへの最長経路長の計算を行い、
前記計算部は、前記非定常状態における前記各ノードへの最長経路長に基づいて、前記基板搬送スケジュールを計算するように構成される、スケジューラ。
【請求項５】
請求項４に記載されたスケジューラにおいて、
前記非定常状態は、前記基板処理装置の故障時の状態、基板ホルダのメンテナンス時の状態、又はアノードホルダのメンテナンス時の状態を含む、スケジューラ。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載されたスケジューラを内蔵する前記制御部を備えた、基板処理装置であって、
前記制御部は、計算された前記基板搬送スケジュールに基づいて前記搬送部を制御するように構成される、基板処理装置。
【請求項７】
基板の処理を行う複数の基板処理部と、前記基板を搬送する搬送部と、前記搬送部と前記基板処理部を制御する制御部を備えた基板処理装置を用いた基板搬送方法であって、
前記基板処理装置の処理条件、処理時間、及び制約条件を、グラフ・ネットワーク理論を用いてノード及びエッジにモデル化し、グラフ・ネットワークを作成し、各ノードへの最長経路長の計算を行うモデル化工程と、
前記最長経路長に基づいて基板搬送スケジュールを計算する計算工程と、
前記基板搬送スケジュールに基づいて前記基板を搬送する工程と、を有する、基板搬送方法。
【請求項８】
請求項７に記載された基板搬送方法において、
前記基板処理部は、基板ホルダに保持された前記基板にめっき処理するめっき処理部を有し、
前記搬送部は、前記基板を収容する基板収納容器と前記基板を前記基板ホルダに対して着脱するフィキシングステーションとの間で基板を搬送する前段搬送部と、前記フィキシングステーションと前記めっき処理部との間で基板を搬送する後段搬送部とを有し、
前記基板処理装置は、前記前段搬送部を含む装置前段部と、前記めっき処理部及び前記後段搬送部を含む装置後段部とを有し、
前記モデル化工程は、前記装置前段部及び前記装置後段部の処理条件、処理時間、及び制約条件をそれぞれモデル化し、前記装置前段部における前段側グラフ・ネットワークと、前記装置後段部における後段側グラフ・ネットワークとを別々に作成し、
前記基板搬送方法は、さらに、前記前段側グラフ・ネットワークと、前記後段側グラフ
・ネットワークとを結合する処理を行い、各ノードへの最長経路長の計算を行う結合工程を有し、
前記計算工程は、前記結合工程で算出された前記最長経路長に基づいて基板搬送スケジュールを計算する、基板搬送方法。
【請求項９】
請求項８に記載された基板搬送方法において、
指定された前記基板の処理枚数を任意の枚数のミニバッチに分割する工程を有し、
前記モデル化工程は、前記ミニバッチ分の前記前段側グラフ・ネットワークと、前記ミニバッチ分の前記後段側グラフ・ネットワークを作成し、
前記結合工程は、前記ミニバッチ分の前記前段側グラフ・ネットワークと、前記ミニバッチ分の前記後段側グラフ・ネットワークとを結合し、
前記基板搬送方法は、さらに、指定された処理枚数分まで前記ミニバッチ分の前記前段側グラフ・ネットワークと前記ミニバッチ分の前記後段側グラフ・ネットワークとの作成及び結合を繰り返す工程を有する、基板搬送方法。
【請求項１０】
請求項７から９のいずれか一項に記載された基板搬送方法において、
前記基板処理装置が非定常状態に移行したか否かを検知する工程を有し、
前記モデル化工程は、前記基板処理装置が非定常状態に移行したことを検知したとき、前記非定常状態における前記基板処理装置の処理条件、処理時間、及び制約条件を、グラフ・ネットワーク理論を用いてノード及びエッジにモデル化し、グラフ・ネットワークを作成し、前記各ノードへの最長経路長の計算を行う工程を含み、
前記計算工程は、前記非定常状態の前記各ノードへの最長経路長に基づいて、前記基板搬送スケジュールを計算する工程を含む、基板搬送方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載された基板搬送方法において、
前記非定常状態は、前記基板処理装置の故障時の状態、前記基板ホルダのメンテナンス時の状態、又はアノードホルダのメンテナンス時の状態を含む、基板搬送方法。