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　平成　９年特許願第　　５２９８号「レーザーダイオード励起固体レーザー」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　７月３１日出願公開、特開平１０−２００１７７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成９年１月１６日に出願された特許出願であって、原審において、平成１４年３月２２日付で拒絶査定がなされたところ、平成１４年５月２日に拒絶査定に対する審判請求がなされ、これに対して、平成１６年３月２２日付で拒絶理由を通知したところ、平成１６年５月２１日に手続補正がなされたものであって、その請求項に係る発明は、上記手続補正がなされた明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１〜３に記載されたとおりのものと認められるところ、請求項２に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のものである。
　　
「【請求項２】　固体レーザー結晶をレーザーダイオードから発せられたレーザービームによって励起する、共振器内部パワーが１０Ｗ以上のレーザーダイオード励起固体レーザーにおいて、
　共振器内温度を所定温度に保つ温度調節手段が設けられるとともに、
　共振器内に、複数の共振器モードの中の１つを選択して発振波長を単一化する波長選択素子が設けられ、
　この波長選択素子として、アニール処理を受けたコートを有するエタロンからなり、レーザービーム吸収による温度上昇値が、該素子が選択する共振器モードが変化する温度変化値未満となる特性のものが用いられていることを特徴とするレーザーダイオード励起固体レーザー。」
　　
２．引用例
　原審の拒絶の理由に引用された特開昭６２−１８９７８３号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　　
（ア）発明の目的に関して
「従って、本発明の目的は、効率がよく、寿命が長い空胴内周波数２倍化ＲＥ：固体レーザーを提供することである。
  本発明の他の目的は、コンパクトな空胴内周波数２倍化ＲＥ：固体レーザーを提供することである。
  本発明の他の目的は、効率がよく、寿命が長く、比較的コンパクトなレーザーダイオードでポンピングされる空胴内周波数２倍化ＲＥ：固体レーザーを提供することである。
  本発明の他の目的は、振幅ノイズが低いＲＥ：固体レーザーを提供することである。」（４頁右上欄１６行〜同頁左下欄７行）
　　
（イ）実施例に関して
「 図面において、第１図は、ネオジム−ＹＡＧレーザー組立体１０の縦断面図を示す。レーザー１０の主要成分は、ネオジム−ＹＡＧレーザーロッド１１及び組立体の後方に向かうレーザーダイオード１２である。組立体はレンズ１３及び１４を含み、これらレンズを通ってレーザーダイオードビームは途中でレーザーロッド１１を通過する。さらに組立体は、レーザーロッドの出力側にある周波数ダブラー１６（破線）、組立体の前端にある（前面が鏡から成る）出力カップラー１７、組立体の後部にあるヒートシンク１８、ダイオード１２とヒートシンク１８との間にあるペルチエ冷却器１９、及びハウジング２１を含む。」（５頁右下欄６〜１８行）
　　
（ウ）レーザー空胴に関して
「Ｎｄ−ＹＡＧレーザーロッドのためのレーザー空胴が、出力カップラーと、対置する後部鏡との間で画成される。カップラー１７は部分的鏡面から成り、対置する後部鏡はＮｄ−ＹＡＧロッド１１の後部のどこかに設置される。本発明の一実施例で、レーザーロッド１１自体の後面３９は、１．０６ミクロンでかなり反射するようにコーティングされ、レーザー空胴の後部鏡として役立つ。」（６頁左下欄１４行〜同頁右下欄１行）
　　
（エ）出力に関して
「本発明のレーザーダイオードアレーポンピングＮｄ−ＹＡＧレーザー組立体を用いて、可視低電力レーザービーム出力のため、約０．５％〜１．０％の効率が達成されうることがわかる。例えば、約１ワットの電力が約２０％の効率を有するレーザーダイオードに供給されるならば、レーザーダイオード出力ビームは、約２００ミリワットの電力を有するであろう。一般にこれらのポンピングレベルで１．０６ミクロンの出力はダイオードレーザー出力のほぼ３０％であり、そのため１．０６ミクロンの出力ビームは約６０ミリワットの電力を有する。従って、ほぼ５％の効率が、１．０６ミクロンでの出力のために達成される。効率のよい周波数２倍化のため、出力カップラーは、１．０６ミクロンでかなり反射し、０．５３２ミクロンでかなり透過するようにコーティングされる。
２００ミリワットのポンピングレベルで、１．０６ミクロンの空胴内強度は、ほぼ１０ワットである。
  レーザーダイオードへの実質的により高い電力、例えば１０ワットの入力で、２ワットの出力のダイオードビームが、ＹＡＧロッドを励起して約
６００ミリワットのレーザービーム
  高電力出力で、本発明のＮｄ−ＹＡＧレーザーは、かなりずっと効率がよい。例えば、レーザーダイオードへの入力が４０ワットであるならば、約
２．４ワットのレーザービーム
　　
（オ）エタロンの挿入に関して
「前述のような小型化レーザーダイオードポンピング空胴内周波数２倍化Ｎｄ：ＹＡＧレーザーで起こる他の問題が、大きな振幅スパイクを含む振幅ノイズの発生である。この振幅スパイクは、非常に安定な或いは一定の出力を必要とする適用での使用を妨げ或いは制限する。短いレーザー空胴は比較的広く間隔を置いた縦方向モードをもたらすが、利得曲線は、一般に十分に広く、多数の縦方向モードがレーザー空胴内で振動するのを可能にする。これらの多数のモードの結合は、振幅ノイズを生じる。
振幅ノイズを減少し或いは除去するために、振幅ノイズ抑制エタロン５２が、第１図、第２Ｄ図及び第３図で示すとおり、ビームに垂直な空胴内に配置される。変形的に、ノイズを減少するためにレーザーをモードロックすることが可能であろう。エタロン５２を用いることによって、レーザーは、静かな単一モードで動作する。
　　
　そして、上記（エ）によれば、ポンピング用レーザーダイオードの出力が２００ミリワットの時にレーザー空胴内強度がほぼ１０ワットであるから、それよりポンピング用レーザーダイオードの出力を高めた例（６００ミリワット及び２．４ワットの場合が例示されている）では、レーザーダイオードの出力に応じてレーザー空胴内強度も１０ワット以上になると容易に推認することができる。
　　
　したがって、これら（ア）〜（オ）の記載によれば、引用例１には、
「Ｎｄ−ＹＡＧレーザーロッドをレーザーダイオードから発せられたレーザービームによってポンピングする、レーザー空胴内強度が１０ワット以上のレーザーダイオードポンピング固体レーザーにおいて、レーザー空胴内に、多数の縦方向モードを単一モードにするエタロンが挿入されていることを特徴とするレーザーダイオードポンピング固体レーザー。」
との事項が開示されていると認めることができる。（以下、「引用例１発明」という。）
　　
　同じく、原審の拒絶の理由に引用された特開平４−１７３７９号公報（以下、「引用例２」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
　　
（カ）技術分野に関して
「本発明は、固体レーザーロッドを半導体レーザー（レーザーダイオード）によってポンピングする・・・レーザーダイオードポンピング固体レーザーに関するものである。」（２頁左下欄３〜１２行）
　　
（キ）レーザーダイオードポンピング固体レーザーの技術課題について
「次に比較例として、従来から知られている第８図の構成を取った際の結果について説明する。ＮＹＡＢロッド１３は結晶長Ｌ＝５ｍｍにカットされ、ＬＤ１１の端面１３ａに波長１０６２ｎｍに対する反射コート、波長８０４ｎｍに対するＡＲコートが施され、共振器ミラーの一方を構成している。反対側のロッド端面１３ｂは、波長１０６２ｎｍに対するＡＲコート、波長５３１ｎｍに対するＡＲコートが施されている。共振器を構成するもう一方の出力ミラー３０は、内側の端面３０ａがＲ＝１００ｍｍの曲率半径を有し、そこに波長１０６２ｎｍに対する反射コート、波長５３１ｎｍに対するＡＲコートが施されている。そしてこの共振器の間に、エタロン板２２が挿入されている。
　
この比較例の場合は、共振器長が非常に長いので、縦モードが何十本と発振しているために、エタロン板２２を入れることで、単一縦モード化を実現している。
共振器長が長いために、周囲の温度変化に対しても縦モードポップが生じやすく、パワーの不安定性をより増長する構成になっている。
波長変換効率が落ちるのは、構成部品が多いために、その分、発振レーザービーム１５の散乱、吸収、反射ロスが増大してしまうことに起因する
　　
３．対比
　そこで、本願発明と、引用例１発明とを、以下に比較すると、
　引用例１発明の「Ｎｄ−ＹＡＧレーザーロッド」は、本願発明の「固体レーザー結晶」に相当し、以下同様に、「レーザーダイオード」は、「レーザーダイオード」に、「レーザー空胴」は、「共振器」に、「レーザー空胴内強度」は、「共振器内部パワー」に、「レーザーダイオードポンピング固体レーザー」は、「レーザーダイオード励起固体レーザー」に相当し、引用例１発明の「エタロン」は、共振器内に挿入され多数の縦方向モードを単一モードにする光学素子であるから、本願発明の「複数の共振器モードの中の１つを選択して発振波長を単一化する波長選択素子として用いられるエタロン」に相当するから、
　両者は、
「固体レーザー結晶をレーザーダイオードから発せられたレーザービームによって励起する、共振器内部パワーが１０Ｗ以上のレーザーダイオード励起固体レーザーにおいて、共振器内に、複数の共振器モードの中の１つを選択して発振波長を単一化する波長選択素子が設けられ、この波長選択素子としてエタロンが用いられていることを特徴とするレーザーダイオード励起固体レーザー。」
である点で一致し、次の点で相違している。
　　
［相違点１］本願発明のレーザーは、「共振器内温度を所定温度に保つ温度調節手段が設けられる」のに対して、引用例１発明のレーザーは、上記温度調節手段を備えない点。
　
［相違点２］本願発明のエタロンは、「アニール処理を受けたコートを有するエタロンからなり、レーザービーム吸収による温度上昇値が、該素子（エタロン）が選択する共振器モードが変化する温度変化値未満となる特性のもの」であるのに対し、引用例１発明のエタロンは、上記コーティング処理を受けた上記のような特性のものであるとの開示がない点。
　　　
４．判断
［相違点１について］
　レーザーダイオード励起固体レーザーにおいて、共振器内温度を所定温度に保つ温度調節手段を設ける点は、周知技術（特開平８−１１６１２１号公報：段落【００１３】，【図１】、特開平７−２０２３０８号公報：段落【００２２】，【図２】等参照）であって、当業者が適宜採用可能な事項にすぎない。
　　
［相違点２について］
　引用例１発明において共振器内にエタロンを挿入した理由は、複数の共振器モードの中の１つを選択して発振波長を単一化することにある（摘記事項（オ）参照）。
　他方、引用例２には、同様にエタロンを挿入したレーザーダイオード励起固体レーザーにおいて「周囲の温度変化に対しても縦モードポップが生じやすく、パワーの不安定性をより増長する構成になっている。」（摘記事項（キ））と記載され、発振モードを単一化すべくエタロンを挿入した場合にあっても、温度変化により発振モードが不安定になることがあり得ることを示唆している。言い換えれば、上記摘記事項（キ）は、エタロンを挿入して発振モードを単一化するには、当該エタロンが縦モードポップを起こさない温度範囲で使用すべきであると教示しているのであり、これによれば、上記相違点の「レーザービーム吸収による温度上昇値が、該素子（エタロン）が選択する共振器モードが変化する温度変化値未満となる」なる事項は、本件出願前によく知られた課題であるということができる。
　　
　そこで、上記「レーザービーム吸収による温度上昇値が、エタロンが選択する共振器モードが変化する温度変化値未満となる特性」、すなわち、エタロンを低吸収特性とすることについて検討すると、本願発明においては上記特性を、アニール処理を受けたコートをエタロンに設けることにより獲得していることが明らかである（本願明細書の段落【００２９】〜【００３１】参照）。
　　
　しかしながら、当該固体レーザーの分野で用いられる光学薄膜について、成膜後、酸素雰囲気でアニール処理を施すことにより、該薄膜の酸素不足を解消し透明な薄膜（すなわち、低吸収な薄膜）を得ることは、例えば、特開平７−１５４０３３号公報の段落【００１８】に「本発明に係る高屈折率物質膜としてのＴａ２Ｏ５膜、
ＨｆＯ
２
膜、
酸素中で２００〜４００度で１０時間以上アニールする。
酸素あるいは大気中で１０〜２０時間、２００〜３００℃の条件でアニーリング処理を行う。
大気中で２０時間、２５０℃でアニーリング処理を施した。
　
　また、上記引用例２の摘記事項（キ）に「先の実施例より波長変換効率が落ちるのは、構成部品が多いために、その分、発振レーザービーム１５の散乱、
吸収
　　
　してみると、エタロンを挿入したレーザーダイオード励起固体レーザーにおいて、温度変化により縦モードポップが生じ得ることが本願出願前に知られており、当該固体レーザーの分野において、アニール処理を施した低吸収の光学薄膜を用いることが周知技術であり、しかも構成部品が低吸収であることが求められるのであるから、これらの事項に基づけば、引用例１発明のエタロンに、アニール処理を受けたコートを設けるについて十分な動機があったというべきであり、上記相違点２は、当業者が容易に想到し得た事項であるといえる。
　　
　また、本願発明の作用効果も、引用例１，２に記載された発明及び周知技術から当業者が予測できる範囲のものである。
　　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１，２に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　
　よって、結論のとおり審決する。