【事件の表示】
　平成　９年特許願第１３２０７４号「スクリュー型真空ポンプ」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年１２月　２日出願公開、特開平１０−３１８１６８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
１．特許出願：平成９年５月２２日
２．手続補正書（明細書）の提出：平成９年６月３日
３．拒絶理由の通知：平成１６年６月２日（発送日：平成１６年６月８日）
４．意見書，手続補正書（明細書）の提出：平成１６年８月５日
５．拒絶理由の通知：平成１６年８月２３日（発送日：平成１６年８月３１日）
６．意見書，手続補正書（明細書及び図面）の提出：平成１６年１１月１日
７．補正却下の決定：平成１６年１２月２２日（発送日：平成１６年１２月２８日）
８．拒絶査定：平成１６年１２月２２日（発送日：平成１６年１２月２８日）
９．審判請求書の提出：平成１７年１月２７日
１０．手続補正書（明細書及び図面），手続補正書（審判請求書）の提出：平成１７年２月２５日
    　
第２　平成１７年２月２５日付けの手続補正についての補正却下の決定　 
【補正却下の決定の結論】 
　平成１７年２月２５日付けの手続補正を却下する。 
【理由】　 
１．補正の内容
　上記第１、６の手続補正書（明細書及び図面）による手続補正は、上記第１、７の補正却下の決定により却下されているから、上記第１、１０の手続補正書（明細書及び図面）による手続補正（以下、「本件補正」という。）は、上記第１、２及び上記第１、４の手続補正書（明細書）により補正された明細書（以下、「原明細書」という。）及び図面を下記のとおり補正するものである。
（１）特許請求の範囲に係る補正の内容 
　特許請求の範囲を次のように補正する。 
「【請求項１】　
　内部の室と該室に連通する吸入口および吐出口とが形成されたポンプ筐体と、
　前記ポンプ筐体の内部に収納されてポンプ筐体との間に移送可能な作動室を形成し、該作動室の容積を前記吸入口に連通する移送区間で増加させるとともに前記吐出口に連通する移送区間で減少させるよう軸線回りに回転可能なロータと、を備えた容積移送型ポンプにおいて、
　前記吸入口の側の温度及び前記吐出口の側の温度のうち前記吸入口の側の温度のみを増加させる温度制御手段を設けたことを特徴とする容積移送型ポンプ。
【請求項２】　
　前記温度制御手段が、前記ポンプ筐体およびロータのうちすくなくとも一方に設けられて前記吐出口の近傍から前記吸入口の近傍に熱を移動させる熱移動手段であることを特徴とする請求項１に記載の容積移送型ポンプ。
【請求項３】　
　前記熱移動手段が前記作動室を取り囲むポンプ筐体の周壁部内に設けられたことを特徴とする請求項２に記載の容積移送型ポンプ。」とあるのを
「【請求項１】　
　内部の室と該室に連通する吸入口および吐出口とが形成されたポンプ筐体と、
　前記ポンプ筐体の内部に収納されてポンプ筐体との間に移送可能な螺旋状の作動室を形成し、該作動室の容積を前記吸入口に連通する移送区間で増加させるとともに前記吐出口に連通する移送区間で減少させるよう軸線回りに回転可能であり、回転することによって前記作動室を軸線方向に移送するロータと、を備えたスクリュー型真空ポンプにおいて、
　前記吸入口の側の温度及び前記吐出口の側の温度のうち前記吸入口の側の温度のみを増加させる温度制御手段を設け、
　前記温度制御手段が、前記ポンプ筐体とは別に前記ポンプ筐体に前記ロータの軸線方向に延在して設けられ前記吐出口の近傍から前記吸入口の近傍に熱を移動させる熱移動手段であることを特徴とするスクリュー型真空ポンプ。
【請求項２】　
　前記温度制御手段が、前記熱移動手段としてのヒートパイプであることを特徴とする請求項１に記載のスクリュー型真空ポンプ。
【請求項３】　
　前記熱移動手段が前記作動室を取り囲むポンプ筐体の周壁部内に設けられたことを特徴とする請求項２に記載のスクリュー型真空ポンプ。」と補正する。
　
（２）発明の詳細な説明、図面の簡単な説明及び図面に係る補正の内容 
　特許請求の範囲の補正に整合させて、明細書段落［０００１］〜段落［００２２］及び図１〜図６を本件補正書のとおりに補正する（記載省略）。 
　 
２．補正の目的の適否について 
　本件補正は、拒絶査定に対する審判を請求する場合において、その審判の請求から３０日以内になされたものであり、その目的の適否について検討する。 
　原明細書の請求項１（以下、「補正前請求項１」という。）と本件補正により補正された請求項１（以下、「補正後請求項１」という。）とを比較すると、補正後請求項１においては、補正前請求項１における「ポンプ筐体の内部に収納されてポンプ筐体との間に移送可能な作動室」、「ロータ」及び「温度制御手段」について、それぞれ、「螺旋状」である点、「回転することによって前記作動室を軸線方向に移送する」点及び「前記ポンプ筐体とは別に前記ポンプ筐体に前記ロータの軸線方向に延在して設けられ前記吐出口の近傍から前記吸入口の近傍に熱を移動させる熱移動手段であること」がさらに付加されている。
　また、補正後請求項１においては、補正前請求項１における「容積移送型ポンプ」について、その下位概念に属する、「スクリュー型真空ポンプ」と特定されている。
　そして、上記補正は、補正前請求項１に記載される発明と補正後請求項１に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。 
　そこで、補正後請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明１」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるのかどうか（すなわち、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものであるのかどうか）について、次に検討する。 
　 
３．本願補正発明の独立特許要件について 
（１）本願補正発明１ 
　本願補正発明１は、上記した補正後請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。 
　
（２）引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願前に頒布された刊行物である、特開平８−２９６５５７号公報（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。 
ア．「【請求項１】　常温、常圧或いはそれに近い状態で液化又は固化する気体を排気する真空ポンプにおいて、前記気体の流路を構成するケーシング及びシリンダ、ロータ等の主要部品がアルミニウム又はアルミニウム合金で製作されていることを特徴とする真空ポンプ。」（［特許請求の範囲］の［請求項１］）
イ．「【産業上の利用分野】本発明は真空ポンプに関するものであり、特に減圧ＣＶＤやドライエッチング等の半導体製造プロセスにおいて生成される常温、常圧或いはそれに近い状態で液化又は固化する気体を排気するためのドライ真空ポンプに関する。」（段落［０００１］）
ウ．「半導体製造プロセスのうち、塩素系ガスを用いるアルミニウムのドライエッチングやジクロルシラン（ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ）とアンモニア（ＮＨ3　）を原料ガスとして窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）の成膜を行なう減圧ＣＶＤ等では、反応によって生成される塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ3 ）ガスや塩化アンモニウム（ＮＨ4 Ｃｌ）ガスが常温、常圧或はそれに近い状態で固化（昇華）するため、このガスが常温近傍の真空ポンプ内に取り込まれることによって固化温度以下に冷却され、固体状の反応生成物となって流路の各部位に付着、堆積する不都合のあることが知られている。」（段落［０００３］）
エ．「ここで、Ｘ点の状態にあるこの物質を前記真空ポンプ１００で排気することを考える。図３の１段目の真空ポンプユニット１１０の吸気口近傍の温度は室温にあり、図２のＸ点の状態にある気体は吸気口の壁に接し冷却されてＢ点の状態になり液化又は固化し始める。流路Ｌ1 を進み真空ポンプユニット１１２、１１４、１１６を通過して圧縮されるに伴い気体の温度は上昇するが、流路Ｌ1 を含む真空ポンプユニット１１２、１１４、１１６は鋳鉄製であり熱が放散されにくいのでそれらの温度も上昇する。そして、高温になった気体は４段目の真空ポンプユニット１１６の下流側で冷却器１３４によって冷却される。冷却器１３４は室温の冷却水が流過しているので、その冷却面に接する気体は図２のＥ点の状態となり、冷化又は固化して冷却器１３４の冷却面に付着する。」（段落［０００５］）
オ．「本発明は上述の問題に鑑みてなされ、減圧ＣＶＤやドライエッチング等の半導体製造プロセスにおいて生成される常温、常圧或いはそれに近い状態で液化又は固化する気体を液化又は固化させることなく排気することのできる真空ポンプを提供することを目的とする。」（段落［００１０］）
カ．「【作用】真空ポンプにおいて気体の流路を構成する主要部品が熱伝導率の大きいアルミニウム又はアルミニウム合金で製作されているので、気体の圧縮熱は直ちに真空ポンプの主要部品の全体に伝達され、かつ主要部品から外部へ放散される。そのため、気体が最も圧縮され、最も温度が高くなる真空ポンプの排気口近傍においても気体の温度は上昇せず、真空ポンプの吸気口近傍は伝達、伝導される圧縮熱によって昇温されるので、気体は液化又は固化されない。従って気体は液化又は固化することなく排気される。」（段落［００１２］）
キ．「真空ポンプ１０は円筒状のケーシング１内おいて吸気口２から排気口５に至る間に、シリンダ３1 、３2 、３3 、３4 、３5 、３6 と、これらを結ぶ連絡流路４1 、４2 、４3 、４4 、４5 が設けられている。」（段落００１３）
ク．「各シリンダ３1 、３2 、３3 、３4 、３5 、３6  には、ケーシング１の軸心部を貫通する回転軸９に固定した羽根車８1 、８2 、８3 、８4 、８5 、８6 がそれぞれ組み合わされ、６段に圧縮して排気するようになっている。回転軸９の一方の端部は吸気側カバー６に固定したベアリング１２に軸支され、その内側においてリップシール１３によって気体の流路と大気とシールしている。・・・・そして、吸気側カバー６、排気側カバー７、シリンダ３1 、３2 、・・・、３6 と一体的なケーシング１、及びロータ１１など気体と接する主要部品は鋳鉄に比して約４倍以上の熱伝導率を有するアルミニウム合金で製作されている。」（段落００１４）
ケ．「大部は各シリンダ３1 、３2 、３3 、３4 、３5 、３6 を通過するに従って圧縮が強められ発熱して、排気口５の近傍においては最も昇温する。【００１６】この時、アルミニウム合金は熱伝導率が大きいので、圧縮熱は直ちにケーシング１、ロータ１１に伝達され、ケーシング１及び排気側カバー７から外部へ放散されると共に、ケーシング１、ロータ１１において温度の高い排気口側から温度の低い吸気口側へ伝達されて、吸気口２の近傍のケーシング１の温度、吸気側カバー６の温度及び羽根車８1 の温度を上昇させる。」（段落［００１５］［００１６］）
コ．「以上、本発明の実施例について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。」（段落［００１８］）
　
　ここで、上記記載事項カ．及びケ．から、熱伝導率が大きいアルミニウム合金で製作されたケーシング１は、吸気口２の側の温度及び排気口５の側の温度のうち前記吸気口２の側の温度のみを増加させる温度制御手段であり、前記温度制御手段は、ケーシング１にロータ１１の軸線方向に延在した、前記排気口の近傍から前記吸気口の近傍に熱を移動させる熱移動手段であるといえる。
　
　したがって、上記各記載事項ア．〜コ．及び第１〜４図の記載を総合すると、引用例１には、次のような発明が記載されているものと認められる。
「内部のシリンダと該シリンダに連通する吸気口２および排気口５とが形成されたケーシング１と、
　前記ケーシング１の内部に収納されてケーシング１との間に流路を形成し、該流路の気体は、各シリンダ３1 、３2 、３3 、３4 、３5 、３6を通過するに従い圧縮が強められ、軸線回りに回転可能であるロータ１１と、を備えた真空ポンプにおいて、
　前記吸気口２の側の温度及び前記排気口５の側の温度のうち前記吸気口２の側の温度のみを増加させる温度制御手段を有し、
　前記温度制御手段が、ケーシング１にロータ１１の軸線方向に延在しており、前記排気口の近傍から前記吸気口の近傍に熱を移動させる熱移動手段である真空ポンプ。」（以下、「引用発明１」という。）
　
（４）対比・判断
　本願補正発明１と引用発明１とを対比すると、引用発明１における「吸気口２」、「排気口５」、「ケーシング１」は、その技術的意義、機能に照らして、本願補正発明１の「吸入口」、「吐出口」、「ポンプ筐体」に、それぞれ相当する。
　また、本願補正発明１の「スクリュー型真空ポンプ」と引用発明１の「真空ポンプ」とは、「真空ポンプ」の限りにおいて一致している。
　そして、本願補正発明１の「ロータ」と引用発明１の「ロータ１１」とは、「回転型ポンプの回転部材」の限りにおいて一致している。
　さらに、本願補正発明１の「温度制御手段を設け」ることと引用発明１の「温度制御手段を有」することとは、「温度制御手段を有」することの限りにおいて一致している。
　
　したがって、両発明は
「内部に連通する吸入口および吐出口とが形成されたポンプ筐体と、
　前記ポンプ筐体の内部に収納されて軸線回りに回転可能である回転型ポンプの回転部材と、を備えた真空ポンプにおいて、
　前記吸入口の側の温度及び前記吐出口の側の温度のうち前記吸入口の側の温度のみを増加させる温度制御手段を有し、
　前記温度制御手段が、前記ポンプ筐体に前記回転型ポンプの回転部材の軸線方向に延在しており、前記吐出口の近傍から前記吸入口の近傍に熱を移動させる熱移動手段である真空ポンプ。」
である点で一致し、次の点で相違する。
　
［相違点１］
　本願補正発明１は、内部の室と該室に連通する吸入口および吐出口とが形成されたポンプ筐体と、前記ポンプ筐体の内部に収納されてポンプ筐体との間に移送可能な螺旋状の作動室を形成し、該作動室の容積を前記吸入口に連通する移送区間で増加させるとともに前記吐出口に連通する移送区間で減少させるよう軸線回りに回転可能であり、回転することによって前記作動室を軸線方向に移送するロータと、を備えたスクリュー型真空ポンプであるのに対し、引用発明１は、内部のシリンダと該シリンダに連通する吸気口２および排気口５とが形成されたケーシング１と、前記ケーシング１の内部に収納されてケーシング１との間に流路を形成し、該流路の気体は、各シリンダ３1 、３2 、３3 、３4 、３5 、３6を通過するに従い圧縮が強められ、軸線回りに回転可能であるロータ１１と、を備えた真空ポンプである点。
　
［相違点２］
　本願補正発明１は、ポンプ筐体とは別に前記ポンプ筐体にロータの軸線方向に延在して設けられた熱移動手段である温度制御手段を設けたのに対し、引用発明１は、ケーシング１がロータ１１の軸線方向に延在している熱移動手段としての温度制御手段そのものである点。
　
　以下に、上記相違点１、２について検討する。
　
［相違点１について］
　内部の室と該室に連通する吸入口および吐出口とが形成されたポンプ筐体と、前記ポンプ筐体の内部に収納されてポンプ筐体との間に移送可能な螺旋状の作動室を形成し、該作動室の容積を前記吸入口に連通する移送区間で増加させるとともに前記吐出口に連通する移送区間で減少させるよう軸線回りに回転可能であり、回転することによって前記作動室を軸線方向に移送するロータと、を備えたスクリュー型真空ポンプは、周知技術（例えば、特開平９−３２７６６号公報（例えば、段落［０００５］〜［００１５］，第１〜３図（特に、段落［００１３］の「両ロータの噛み合い部は吸入口３３から吐出口３５へ向かって移動するが、この際作動室４１はその容積を減少させ作動室内の気体を圧縮する。」、段落［００１５］の「図中、作動室４３は吐出口３５を通して気体の吐出中であり、また吸入口３３と連通している各作動室は、ロータの回転とともにその容積を増大させ気体の吸入作用をなしている。」））、実公平７−１６０６４号公報（例えば、第１頁第１欄下から４行目〜同第２欄第３行、第２頁第３欄第２２〜４５行、同第４欄第４２行〜第３頁第５欄第８行，第１〜３図，第６〜１０図（特に、第２頁第３欄第３４〜４０行の「吸入区間を過ぎると、直ちに容積が減少し始めすなわち圧縮区間になっている。この図は、また一歯溝に着目した場合のその経時的変化を示し、すなわち時間の経過とともに回転し、かつ右方へ進むので、横軸に上記同様ロータ方向の距離をとり、その位置での容積との関係を示すものであり、・・・」）））である。
　したがって、引用発明１に上記周知技術を適用して、本願補正発明１の上記相違点１に係わる発明特定事項とすることは、当業者が容易になし得る程度の事項にすぎない。
　
［相違点２について］
　温度制御手段について、所定方向に延在して設け所定位置から他の位置に熱を移動させる熱移動手段として、ヒートパイプは慣用技術（例えば、越後亮三，機械工学辞典，１９９３年６月１日初版第３刷，株式会社朝倉書店発行，ｐ．８３０のヒートパイプの項、社団法人実践教育訓練研究協会，機械用語大辞典，１９９７年１１月２８日初版第１刷発行，株式会社日刊工業新聞社発行，ｐ．７１３のヒートパイプの項）であり、一般的に、熱を移動させるために、ヒートパイプを様々なところに設けることは、広く行われており、周知技術（例えば、特開昭５０−１０８６１３号公報（例えば、第１頁右下欄第２０行〜第２頁左上欄第５行、第１，２図（特に、第２頁左上欄第４〜５行の「ロータ２，３には、いわゆるヒートパイプが形成されている」））、特開昭５６−１６７８９４号公報（特に、第３頁左上欄第８〜１１行の「実施例で用いたヒートパイプ１４は、周知の様に密閉された管の内壁に、ウィックを内張りにしたもので、管内を真空にしたのち、作動液（水，アルコール、Ｒ１１等）を封入したものである。」、第２，５図）））である。
　したがって、引用発明１において、上記周知技術を踏まえて、ケーシングにおける熱移動の効率を向上させるべく、引用発明１の熱移動手段として、上記慣用技術を適用して、熱移動手段、即ち、ヒートパイプをケーシングとは別にケーシングにロータの軸線方向に延在して設けることにより、本願補正発明１の上記相違点２に係わる発明特定事項とすることは、格別困難性を伴うことなく容易に想到し得るものと認められる。
　
［本願補正発明１の効果について］
　本願補正発明１全体としても、引用発明１、上記周知技術及び上記慣用技術から予測される以上の格別の効果を奏するものとも認められない。
　
（５）独立特許要件についてのむすび 
　よって、本願補正発明１は、引用発明１、上記周知技術及び上記慣用技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
４．むすび 
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第５項の規定に違反するので、特許法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。 
　よって上記補正却下の決定の結論のとおり決定する。 
　
第３　本願発明１
１．本願発明１について 
　平成１７年２月２５日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし３に係る発明は、上記第１、４の手続補正書（明細書）によって補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載されたとおりのものと認められるところ、その請求項１に記載された発明（以下、「本願発明１」という。）は次のとおりのものである。
　
「【請求項１】　
　内部の室と該室に連通する吸入口および吐出口とが形成されたポンプ筐体と、
　前記ポンプ筐体の内部に収納されてポンプ筐体との間に移送可能な作動室を形成し、該作動室の容積を前記吸入口に連通する移送区間で増加させるとともに前記吐出口に連通する移送区間で減少させるよう軸線回りに回転可能なロータと、を備えた容積移送型ポンプにおいて、
　前記吸入口の側の温度及び前記吐出口の側の温度のうち前記吸入口の側の温度のみを増加させる温度制御手段を設けたことを特徴とする容積移送型ポンプ。」
　 
２．引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物（特開平８−２９６５５７号公報）、及び、その記載事項は、前記第２の【理由】３．（２）に記載したとおりである。
　
３．対比・判断
　本願発明１は、本願補正発明１における発明を特定する事項である「作動室」、「ロータ」及び「温度制御手段」についての限定を省き、「ポンプ」の型式をスクリュー型真空ポンプの上位概念である、「容積移送型ポンプ」としたものに相当する。
　そうすると、本願発明１の発明特定事項をすべて含み、さらに他の事項を付加したもの及び上位概念としたものに相当する本願補正発明１が、上記第２、３に示したとおり、引用発明１、上記周知技術及び上記慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明１も同様の理由により、引用発明１、上記周知技術及び上記慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
    　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明１は、引用発明１、上記周知技術及び上記慣用技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。