【手続補正書】
【提出日】平成30年9月19日(2018.9.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内で物体を保持する可動テーブルを冷却する可動テーブル冷却装置であって、
圧縮機と、
前記真空容器に固定されるコールドヘッドであって、前記真空容器内に配置される冷却部を備えるコールドヘッドと、
分岐部を備え、前記圧縮機から前記コールドヘッドに冷媒ガスを供給する冷凍機ガス供給ラインと、
合流部を備え、前記コールドヘッドから前記圧縮機に冷媒ガスを排気する冷凍機ガス排気ラインと、
前記圧縮機から前記可動テーブルに冷媒ガスが流入するよう前記分岐部にて前記冷凍機ガス供給ラインから分岐し第１可動テーブル流路に接続される第１ガス流入ラインであって、前記冷却部と熱的に結合する熱交換部を備える第１ガス流入ラインと、
前記可動テーブルから前記圧縮機に冷媒ガスが流出するよう前記第１可動テーブル流路に接続され前記合流部にて前記冷凍機ガス排気ラインに合流する第１ガス流出ラインと、
前記圧縮機から前記可動テーブルに冷媒ガスが流入するよう前記分岐部にて前記冷凍機ガス供給ラインから分岐し第２可動テーブル流路に接続される第２ガス流入ラインであって、前記冷却部と熱的に非結合に配設される第２ガス流入ラインと、
前記可動テーブルから前記圧縮機に冷媒ガスが流出するよう前記第２可動テーブル流路に接続され前記合流部にて前記冷凍機ガス排気ラインに合流する第２ガス流出ラインと、を備えることを特徴とする可動テーブル冷却装置。
【請求項２】
前記第１ガス流入ラインは、前記真空容器内で前記可動テーブルが移動可能であるよう前記第１可動テーブル流路に接続される第１ガス流入フレキシブル管を備え、
前記第１ガス流出ラインは、前記真空容器内で前記可動テーブルが移動可能であるよう前記第１可動テーブル流路に接続される第１ガス流出フレキシブル管を備え、
前記第２ガス流入ラインは、前記真空容器内で前記可動テーブルが移動可能であるよう前記第２可動テーブル流路に接続される第２ガス流入フレキシブル管を備え、
前記第２ガス流出ラインは、前記真空容器内で前記可動テーブルが移動可能であるよう前記第２可動テーブル流路に接続される第２ガス流出フレキシブル管を備えることを特徴とする請求項１に記載の可動テーブル冷却装置。
【請求項３】
前記冷凍機ガス供給ラインは、冷凍機ガス流量調節バルブを備え、
前記第１ガス流入ラインは、第１ガス流量調節バルブを備え、
前記第２ガス流入ラインは、第２ガス流量調節バルブを備え、
前記可動テーブル、前記圧縮機、及び／または前記コールドヘッドの状態に基づいて、前記冷凍機ガス流量調節バルブ、前記第１ガス流量調節バルブおよび前記第２ガス流量調節バルブの少なくとも１つを制御するバルブ制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の可動テーブル冷却装置。
【請求項４】
前記可動テーブルの測定温度を前記バルブ制御部に出力する可動テーブル温度センサをさらに備え、
前記バルブ制御部は、
前記可動テーブルの測定温度が温度しきい値より高い場合に、前記第１ガス流量調節バルブを閉じ前記第２ガス流量調節バルブを開き、
前記可動テーブルの測定温度が前記温度しきい値より低い場合に、前記第１ガス流量調節バルブを開き前記第２ガス流量調節バルブを閉じることを特徴とする請求項３に記載の可動テーブル冷却装置。
【請求項５】
前記バルブ制御部は、
前記可動テーブルの測定温度が前記温度しきい値より高い場合に、前記冷凍機ガス流量調節バルブを所定の開度に開き、
前記可動テーブルの測定温度が前記温度しきい値より低い場合に、前記冷凍機ガス流量調節バルブを前記所定の開度より大きい開度に開くことを特徴とする請求項４に記載の可動テーブル冷却装置。
【請求項６】
前記圧縮機は、圧縮機モータと、前記圧縮機モータの運転周波数を制御するとともに前記運転周波数を前記バルブ制御部に出力する圧縮機制御部と、を備え、
前記バルブ制御部は、前記運転周波数に応じて前記第１ガス流量調節バルブ及び／または前記第２ガス流量調節バルブの開度を決定することを特徴とする請求項４または５に記載の可動テーブル冷却装置。
【請求項７】
前記冷却部の測定温度を前記バルブ制御部に出力するコールドヘッド温度センサをさらに備え、
前記バルブ制御部は、前記冷却部の測定温度に応じて前記冷凍機ガス流量調節バルブを制御することを特徴とする請求項３から６のいずれかに記載の可動テーブル冷却装置。
【請求項８】
真空容器内で物体を保持する可動テーブルを冷却する可動テーブル冷却装置であって、
圧縮機と、
前記真空容器に固定されるコールドヘッドであって、前記真空容器内に配置される冷却部を備えるコールドヘッドと、
分岐部を備え、前記圧縮機から前記コールドヘッドに冷媒ガスを供給する冷凍機ガス供給ラインと、
合流部を備え、前記コールドヘッドから前記圧縮機に冷媒ガスを排気する冷凍機ガス排気ラインと、
前記圧縮機から前記可動テーブルに冷媒ガスが流入するよう前記分岐部にて前記冷凍機ガス供給ラインから分岐し第１可動テーブル流路に接続される第１ガス流入ラインであって、前記冷却部と熱的に結合する熱交換部を備える第１ガス流入ラインと、
前記可動テーブルから前記圧縮機に冷媒ガスが流出するよう前記第１可動テーブル流路に接続され前記合流部にて前記冷凍機ガス排気ラインに合流する第１ガス流出ラインと、
前記冷凍機ガス供給ラインに配置される冷凍機ガス流量調節バルブと、
前記第１ガス流入ラインに配置される第１ガス流量調節バルブと、
前記可動テーブル、前記圧縮機、及び／または前記コールドヘッドの状態に基づいて、前記冷凍機ガス流量調節バルブおよび前記第１ガス流量調節バルブの少なくとも１つを制御するバルブ制御部と、を備えることを特徴とする可動テーブル冷却装置。
【請求項９】
圧縮機と、
複数の可動テーブル冷却サブシステムであって、各々が、
真空容器に固定されるコールドヘッドであって、前記真空容器内に配置される冷却部を備えるコールドヘッドと、
分岐部を備え、前記圧縮機から前記コールドヘッドに冷媒ガスを供給する冷凍機ガス供給ラインと、
合流部を備え、前記コールドヘッドから前記圧縮機に冷媒ガスを排気する冷凍機ガス排気ラインと、
前記圧縮機から前記真空容器内で物体を保持する可動テーブルに冷媒ガスが流入するよう前記分岐部にて前記冷凍機ガス供給ラインから分岐し第１可動テーブル流路に接続される第１ガス流入ラインであって、前記冷却部と熱的に結合する熱交換部を備える第１ガス流入ラインと、
前記可動テーブルから前記圧縮機に冷媒ガスが流出するよう前記第１可動テーブル流路に接続され前記合流部にて前記冷凍機ガス排気ラインに合流する第１ガス流出ラインと、
前記圧縮機から前記可動テーブルに冷媒ガスが流入するよう前記分岐部にて前記冷凍機ガス供給ラインから分岐し第２可動テーブル流路に接続される第２ガス流入ラインであって、前記冷却部と熱的に非結合に配設される第２ガス流入ラインと、
前記可動テーブルから前記圧縮機に冷媒ガスが流出するよう前記第２可動テーブル流路に接続され前記合流部にて前記冷凍機ガス排気ラインに合流する第２ガス流出ラインと、を備える複数の可動テーブル冷却サブシステムと、を備えることを特徴とする可動テーブル冷却システム。
【請求項１０】
前記複数の可動テーブル冷却サブシステムの各々が、前記第１ガス流入ラインに第１ガス流量調節バルブを備え、前記第２ガス流入ラインに第２ガス流量調節バルブを備え、
前記可動テーブル、前記圧縮機、及び／または前記コールドヘッドの状態に基づいて、前記第１ガス流量調節バルブおよび前記第２ガス流量調節バルブの少なくとも１つを制御するバルブ制御部をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の可動テーブル冷却システム。
【請求項１１】
前記圧縮機は、圧縮機モータと、前記圧縮機モータの運転周波数を制御するとともに前記運転周波数を前記バルブ制御部に出力する圧縮機制御部と、を備え、
前記バルブ制御部は、前記運転周波数に応じて各可動テーブル冷却サブシステムの第２ガス流量調節バルブの開度を共通に決定し、及び／または、前記運転周波数に応じて各可動テーブル冷却サブシステムの第１ガス流量調節バルブの開度を共通に決定することを特徴とする請求項１０に記載の可動テーブル冷却システム。
【請求項１２】
前記圧縮機は、圧縮機モータと、前記圧縮機モータの運転周波数を制御するとともに前記運転周波数を前記バルブ制御部に出力する圧縮機制御部と、を備え、
前記バルブ制御部は、前記複数の可動テーブル冷却サブシステムから一の可動テーブル冷却サブシステムを選択し、選択された可動テーブル冷却サブシステムについて、前記運転周波数に応じて前記第１ガス流量調節バルブおよび前記第２ガス流量調節バルブの少なくとも１つを制御することを特徴とする請求項１０に記載の可動テーブル冷却システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
圧縮機１６は、圧縮機１６を駆動するための圧縮機モータ５０と、高圧冷媒ガスの圧力を測定するための第１圧力センサ５２と、低圧冷媒ガスの圧力を測定するための第２圧力センサ５４と、圧縮機１６を制御する圧縮機制御部５６と、を備える。圧縮機制御部５６は、制御装置４４に設けられていてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
一方、バルブ制御部４６は、可動テーブル１０４の測定温度Ｔが目標温度Ｔｔ以下である場合（Ｓ１８のＮ）、本方法を繰り返す。すなわち、バルブ制御部４６は再び、可動テーブル１０４の測定温度Ｔを温度しきい値と比較し、室温冷却運転または低温冷却運転を選択する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
図３および図４に例示される冷却方法が可動テーブル冷却システム７０に適用される場合、制御装置４４のバルブ制御部４６は、圧縮機１６の運転周波数に応じて各可動テーブル冷却サブシステム７２の第２ガス流量調節バルブＶ２の開度を共通に決定し、及び／または、圧縮機１６の運転周波数に応じて各可動テーブル冷却サブシステム７２の第１ガス流量調節バルブＶ１の開度を共通に決定してもよい。このようにしても、圧縮機１６への負荷を緩和し、可動テーブル冷却システム７０の省エネルギー性を向上することができる。