【事件の表示】
　平成　８年特許願第２６７３４４号「室の流出物のモニターシステム、および吸着分光測定からなる半導体加工システム、およびその使用方法」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　８月　５日出願公開、特開平　９−２０３７０７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明　
　本願は、平成８年１０月８日（パリ条約による優先権主張１９９５年１０月１０日、１９９６年４月１８日及び１９９６年９月１０日、米国）の出願であって、その請求項１〜６９に係る発明は、平成１３年１０月３１日付け手続補正書で補正された明細書及び図面の記載によれば、その特許請求の範囲の請求項１〜６９に記載された事項により特定されるものと認められるところ、請求項１に記載された事項は次のとおりである。（以下、請求項１に係る発明を「本願発明」という。）　
［請求項１］　
「下記の(a)(b)からなる室内流出物のモニターシステム。　
(a) 室と接続された排気ラインを備えており、前記排気ラインは、実質的にすべての流出物が通過する試料区域を含む、　
(b) 光源と、１つまたは複数の光透過窓を介して試料区域と光学的に連通する主要検出器とからなり、　
　光源が、１つまたは複数の光透過窓を介して試料区域に光ビームを指向し、　
　光ビームが、試料区域を通過し、１つまたは複数の光透過窓を通って試料区域を出て、
　主要検出器が、試料区域を出る光ビームに応答する、　
　気相の微量物を検出するための吸着分光測定システム、」　
　
２．引用刊行物記載の発明　
２−１．原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願日前に頒布された特開昭６３−８９９５号公報（以下、「引用刊行物１」という。）には、次の事項が記載されている。　
ア．「可燃性ガスを使用して半導体等を製造する半導体製造工場のクリーンルームにおける防災用警報設備において、・・・前記クリーンルームの換気用排気ダクトに設けられて漏洩ガスおよび該漏洩ガスの燃焼によって生ずる燃焼生成物を検知するダクト用微粒子検知装置と、・・・とを備えたことを特徴とするクリーンルームにおける防災用多段階警報設備。」（特許請求の範囲）
イ．「本発明によれば、・・・第２に室内部分の空気を還気（排気）するダクト部分で漏洩ガス若しくは漏洩ガスの燃焼によって生ずる燃焼生成物を検知して警報し、・・・というように災害の危険拡大規模に応じて段階的に警報を発することができる。」（第２頁右上欄第５〜１２行）
ウ．「第１図において、全体として符号１で示すものは半導体を製造するためのクリーンルームである。クリーンルーム１の上部には浄化されて極めて清浄なる空気を室内２に供給するための空気供給口３が設けられる一方、床面４の下部には室内の空気を排気するための排気ダクト５が設けられ、さらに床面４がグレーチング等の有孔板で構成されることにより、常に清浄な空気が室内２を換気できるようになっている。また、クリーンルーム１の内部には半導体製造装置６が設置され、かつこの半導体製造装置６には半導体の製造する際に使用されるシランガスがボンベ７より配管８を介して供給されるようになっている。」（第２頁右上欄第１６行から左下欄第８行）
エ．「また、前記排気ダクト５にはダクト用微粒子検知装置１０が取り付けられている。ダクト用微粒子検知装置１０として、本実施例では第３図に示すようなものの使用を提案している。これは、排気ダクト５内にその一部として嵌め込まれるダクトユニット１６と、このダクトユニット１６内に配設された少なくとも１本の導管１７と、排気ダクト５内を流れる気流中の微粒子を検知するために前記導管１７に接続配管１８を介して連通されると共にダクトユニット１６の外側に固定された微粒子検知器１９と、前記微粒子を導管１７から検知器１９まで吸引するポンプ２０とを具備してなるものである。」（第２頁右下欄第１３行から第３頁左上欄第５行）
オ．「クリーンルームにおいては、室内の空気を常に清浄化する目的で絶えず多量の清浄空気を空気供給口３から室内に供給すると同時に、室内の空気を排気ダクト５より排出している。そのため、漏洩ガスまたは漏洩したシランガスの自然燃焼により生成された燃焼生成物、すなわちシリカ（ＳｉＯ２）の煙粒子等は必然的に排気ダクト５に達することになる。ところでこの排気ダクト５には、上気したとおりダクト用微粒子検知装置１０が設けられているから、シランガス又はシリカの微粒子はこのダクト用微粒子検知装置１０の微粒子検知器１９により検知され、この検知信号がケーブル１５ｂにより制御盤に伝達され警報が発せられる。」（第３頁右上欄第１７行から左下欄第１０行）
カ．「排気ダクトに設置されるダクト用微粒子検知装置１０においても上記説明のものに限定されず、たとえば、本出願人等が既に提案している、発光体と平常時にはこの発光体の光を受けない受光体とを有して、これらの間に微粒子が飛び込むとこれら微粒子の乱反射により受光体が微粒子の存在を感知して検知信号を発する、というようなものであってもよい。」（第４頁左上欄第１３〜２０行）
　また、第１図の記載から、クリーンルーム１には一つの排気ダクト５が設けられていることが、また、第３図の記載から、ダクト用微粒子検知装置１０のダクトユニット１６内には、微粒子検知器１９に連通される導管１７が、位置を変えて３つ配置されていること、が見て取れる。　
　上記記載事項ア〜オによれば、引用刊行物１には、　
「クリーンルーム１と接続された排気ダクト５を備えており、該排気ダクト５は、クリーンルームの流出物が通過する試料区域を含み、該試料区域の微量物を検出するダクト用微粒子検知装置１０が設けられている、クリーンルームにおける警報設備。」（引用刊行物１記載の発明）が記載されていると認められる。　
　
２−２．また、原査定の拒絶の理由に引用した特開平５−１９６５６９号公報には、次の記載がある。　
キ．「図１は本発明の水素センサーに使用する水素検出子の例を示す。検出子１０は、ガラス等の透明基板１１の表面に、水素または含水素化合物ガスを吸着解離する触媒金属から成る薄膜層１２、一例としてパラジウム（Ｐｄ）の層を蒸着、スパッタリング等周知の薄膜形成方法を用いて密着形成したものである。　図２は上記の検出子１０を用いて本発明の水素センサーを構成した一例を示す。図において、２１は水素ガスの流路配管であり、この流路の途中に透光室２２が設けてある。この透光室２２には水素ガスの流路を挟んだ対向側壁にそれぞれ開口２３が設けてあり、開口２３はガラス窓２４で気密に封止してあるとともに、一方のガラス窓２４の内側に図１で説明した水素検出子１０を、その触媒金属層１２を水素ガス側に暴露して取り付けてある。　そして水素ガス流路配管の外側には、上記両ガラス窓２４、２４を通るように光束２を投射する光源１が配置してあり、かつ透光室２２を挟んだ反対側には上記光束２を受光する光検出器３が配置してあり、この光検出器３に接続した測定機４で受光量を計測する。」（第３頁左欄第４〜２３行）　
　
２−３．また、原査定の拒絶の理由に引用した特表平３−５０５７８２号公報には、次の記載がある。
ク．「本発明は、試料と比較セルを通過した光源からの光線の強度を検出し試料中のガスの濃度を示す信号を発生し、試料中のガスの濃度を分光分析的に測定する方法と装置に関する。」（第２頁右下欄第３〜５行）　
ケ．「第８図に示す装置においては、レーザー（１）からのレーザー光線は測定セル（４）および比較セル（５）にビーム・スプリッター（１９）とガラスプリズム（２０）により配分され、測定セルの検出器（４’）と比較セルの検出器（５’）で検出される。」（第８頁右上欄第６〜１０行）　
　
２−４．さらに、原査定の拒絶の理由に引用した特開平６−３０８０２０号公報には、次の記載がある。　
コ．「赤外線ガス分析装置は、試料セル内にガスを導入し、導入したガスの光吸収スペクトルを測定し、そのスペクトルの光吸収強度により試料ガスの濃度を求める装置であり、非接触で簡易にガスの濃度を測定でき、広く使われている。・・・　図３は、従来のホワイト型試料セルの構成の一例を示す図である。図において、１は光入射窓、２は光出射窓、３，４，５は凹面ミラー、６，７は調整ネジであり、凹面ミラー３はセルに固定され、凹面ミラー４，５はそれぞれ調整ネジ６，７によって角度が調整できるように取り付けられている。８は試料ガスの導入口、９は試料ガスの排出口、１０は光検出器である。・・・光路長Ｌは、凹面ミラー間の距離をｄ、光の往復回数をｎとすれば、Ｌ＝２（ｎ＋１）ｄとなり、光吸収強度は光路長に比例して増加するので、試料セルを用いることで高感度にスペクトルを測定できる。」（第２頁左欄第３１行から右欄第１５行）　
　
３．対比・判断　
　本願発明と引用刊行物１記載の発明とを対比する。　
　本願明細書には、段落［００７１］に、室内流出物のモニターシステムを、クリーンルームの環境をモニターするために応用する実施例が記載されているから、引用刊行物１記載の「クリーンルーム１」が本願発明の「室」に相当することが明らかであり、そうすると、引用刊行物１記載の「排気ダクト５」は本願発明の「排気ライン」に相当するものである。そして、引用刊行物１記載の「ダクト用微粒子検知装置１０」は、試料区域における微量物を検出するための検出手段という点で、本願発明の「気相の微量物を検出するための吸着分光測定システム」に対応するものであり、また、引用刊行物１記載の「クリーンルームにおける警報設備」は、漏洩ガス若しくは漏洩ガスの燃焼によって生ずる燃焼生成物を検知して警報するものであるから、本願発明の「室内流出物のモニターシステム」に相当するものである。　
　してみると、両者は、「下記の（ａ）（ｂ）からなる室内流出物のモニターシステム。（ａ）室と接続された排気ラインを備えており、前記排気ラインは、流出物が通過する試料区域を含む、（ｂ）試料区域における気相の微量物を検出するための検出手段、」である点で一致し、次の点で相違すると認められる。　
（相違点１）　
　本願発明では、試料区域が、実質的にすべての流出物が通過するものであるのに対して、引用刊行物１には、この構成が明記されていない点。　
（相違点２）　
　試料区域における気相の不純物を検出するための検出手段が、本願発明では、「光源と、１つまたは複数の光透過窓を介して試料区域と光学的に連通する主要検出器とからなり、　光源が、１つまたは複数の光透過窓を介して試料区域に光ビームを指向し、　光ビームが、試料区域を通過し、１つまたは複数の光透過窓を通って試料区域を出て、　主要検出器が、試料区域を出る光ビームに応答する、　気相の微量物を検出するための吸着分光測定システム」であるのに対して、引用刊行物１記載のものが、ダクトユニット内に配設された導管１７に連通する微粒子検出器１９である点。　
　
　上記相違点について、判断する。　
　相違点１について、　
　上記２−１．に記載したように、引用刊行物１の第１図の記載から、クリーンルーム１には一つの排気ダクト５が設けられていることが、また、第３図の記載から、ダクト用微粒子検知装置１０のダクトユニット１６内には、微粒子検知器１９に連通される導管１７が、位置を変えて３つ配置されていることが見て取れるから、引用刊行物１にも、排気ダクトの流出物を漏れなく検知することが示唆されているということができるし、また、流出物を漏れなく検知するためには、検出する試料区域にすべての流出物を通過させる必要があることは明らかであるから、引用刊行物１記載の発明において、試料区域に実質的にすべての流出物が通過するように構成することは、当業者ならば容易に想到し得たものと認められる。　
　
　相違点２について、　
　試料区域における気相の微量物を検出するための検出手段として、「光源と、１つまたは複数の光透過窓を介して試料区域と光学的に連通する主要検出器とからなり、光源が、１つまたは複数の光透過窓を介して試料区域に光ビームを指向し、光ビームが、試料区域を通過し、１つまたは複数の光透過窓を通って試料区域を出て、主要検出器が、試料区域を出る光ビームに応答する、吸着分光測定システム。」は、上記２−２乃至２−４に記載したように周知の技術であり、また、引用刊行物１にも、上記２−１．の摘記事項カに記載されているように、検知装置として光学的な検出手段を用いることが示唆されているから、検出手段としてこの周知の手段を用いることは当業者ならば容易に想到し得たものである。　
　
　そして、本願発明の作用効果も、引用刊行物１及び上記周知技術から当業者が予測できる範囲のものである。　
　
４．むすび　
　以上のとおり、本願発明は引用刊行物１及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　
　よって、結論のとおり審決する。