【事件の表示】
　平成１１年特許願第２９１２３４号「進行メガソニック波を用いたウェハ洗浄システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年５月３０日出願公開、特開２０００−１５０４４０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１１年１０月１３日（パリ条約による優先権主張１９９８年（平成１０年）１１月１０日、米国）の特許出願であって、同１３年９月１４日付けで拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同１４年３月２５日に意見書と共に明細書について手続補正書が提出されたが、同１４年７月１８日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同１４年１０月８日に本件審判の請求がされると共に明細書について再度手続補正（以下、「本件補正」という。）がされたものである。
　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲について補正するものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前の請求項１
「対象物のほぼ平坦な表面を液体と接触させる装置であって、
　（ａ）前記平坦な表面の少なくとも一部分を露出させる、前記対象物を保持する手段と、
　（ｂ）前記液体の少なくとも一部分を前記露出した平坦な表面と接触させる、前記液体を供給する手段と、
　（ｃ）前記露出した平坦な表面付近の前記液体と接触する複数の変換器であり、メガソニック周波数で動作することができ、前記露出表面付近の前記液体中で進行メガソニック波を形成することができるように十分に近接しており、前記平坦な表面の内側領域から前記平坦な表面の外側縁部に向かって延びる直線を形成する少なくても３つの変換器と、
　（ｄ）前記露出表面付近の前記液体中で、前記直線に沿った進行方向を有する進行メガソニック波を発生するように、前記変換器の動作周波数および位相関係を制御する電子手段と
を含む装置。」
（２）補正後の請求項１
「対象物のほぼ平坦な表面を液体と接触させる装置であって、
　（ａ）前記平坦な表面の少なくとも一部分を露出させる、前記対象物を保持する手段と、
　（ｂ）前記液体の少なくとも一部分を前記露出した平坦な表面と接触させる、前記液体を供給する手段と、
　（ｃ）前記露出した平坦な表面付近の前記液体と接触する複数の変換器であり、メガソニック周波数で動作することができ、前記露出表面付近の前記液体中で進行メガソニック波を形成することができるように十分に近接しており、前記平坦な表面の
中心
上に配置された
　（ｄ）前記露出表面付近の前記液体中で、前記直線に沿っ
て前記中心から前記外側縁部に向かう
　（ｅ）
前記平坦な表面に対して平行な平面内で前記対象物を前記中心の周りで回転させるように、前記対象物を保持する手段を駆動する手段とを含み、　前記対象物の回転の間、前記中心から前記外側縁部に向かう前記進行メガソニック波の発生が維持されることを特徴とする
２　補正の適否　　　
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１についての補正は、変換器の配置について「平坦な表面の内側領域から前記平坦な表面の外側縁部に向かって延びる直線を形成する」を「平坦な表面の
中心
上に配置された
て前記中心から前記外側縁部に向かう
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び願書に最初に添付した図面の記載からみて、前記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
（２）先願発明
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願の優先権主張日である平成１０年１１月１０日の前の同１０年３月１０日の特許出願であって、その優先権主張日後の同１１年９月２４日に出願公開された特許出願である特願平１０−７８４７８号（特開平１１−２６０７８１号）の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、特願平１０−７８４７８号を「先願」といい、その願書に最初に添付した明細書又は図面を「先願明細書等」という。）には以下の事項が記載されている。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウェハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板等の基板の処理を行なうための基板処理装置に関する。」
「【００２４】
【発明の実施の形態】Ａ．基板処理装置の基本的構成：以下、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。図１は、本発明による基板処理装置の基本的構成の一例を示す説明図である。図１（Ｂ）に示すように、この基板処理装置は、超音波振動発生部２０と、基板Ｗを保持するための基板保持部５０と、制御部６０とを有している。超音波振動発生部２０の中央には、超音波振動発生部２０を貫通するように管路４０が設けられている。この管路４０を介して、洗浄液や乾燥用気体などの流体が、基板Ｗと超音波振動発生部２０との間に供給される。
【００２５】図２は、超音波振動発生部２０の分解斜視図である。超音波振動発生部２０は、圧電素子部２２と、振動伝達材２４とを有している。圧電素子部２２は、リング状（円環状）に形成された圧電素子３０と、圧電素子３０の下面のほぼ全面にわたって設けられた接地電極３２と、圧電素子３０の上面に設けられた複数の分割電極３４と、を有している。複数の分割電極３４は、互いにほぼ等しい幅を有しており、隣接する分割電極同士は絶縁されている。また、複数の分割電極３４は、全体として円環状の形状を有している。図２の例では、１２個の分割電極３４が圧電素子３０の上面に形成されている。振動伝達材２４の表面付近には、分割電極３４と同じピッチでスリット２４ａが形成されている。振動伝達材２４と圧電素子部２２とは例えば接着剤で接着される。なお、振動伝達材２４の内側には、略円形の板状体２６がはめ込まれている。この板状体２６は、液体が下に漏れて、分割電極３４と接地電極３２とを短絡させないようにするためのものである。
【００２６】制御部６０から複数の分割電極３４に交流駆動信号Ｓdr（図１（Ｂ））を印加すると、振動伝達材２４の表面（振動面）に超音波振動（たわみ波）の進行波が発生する。図３は、分割電極３４に供給する交流駆動信号の波形の一例を示す説明図である。図３（Ａ）では、１２個の分割電極３４が、４種類（３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ）に区別されている。各分割電極３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄに描かれた模様は、図示の便宜のためである。図３（Ｂ）には、４種類の分割電極３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄに供給される交流駆動信号の波形が示されている。すなわち、４種類の分割電極３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄには、９０°ずつ順次位相が異なる正弦波である４種類の交流駆動信号が供給される。圧電素子３０の各分割電極の直下の部分は、各分割電極に与えられた駆動信号に応じて伸縮し、この伸縮に応じて振動伝達材２４の表面を周状に伝播する進行波が発生する。
【００２７】基板処理用の流体（例えば洗浄液）は、図１（Ｂ）に示すように超音波振動発生部２０の上方において基板Ｗが基板保持部５０に保持された状態で、管路４０を介して基板Ｗと超音波振動発生部２０の間隙に供給される。なお、基板Ｗと超音波振動発生部２０の間隙は、洗浄液でほぼ満たされる程度に十分に狭く（例えば約１ｃｍ以下に）設定される。この状態において、図３（Ｂ）に示すような交流駆動信号を分割電極３４に供給すると、振動伝達材２４の表面に進行波が発生する。洗浄液は、この進行波に駆動され、図１（Ａ）に矢印で示すように周方向に回転しつつ基板Ｗの外側に排出される。すなわち、進行波によって洗浄液が回転すると、遠心力が外側に働くので渦流が発生し、最終的に基板Ｗの端部から外側に洗浄液が排出される。従って、基板Ｗを回転することなく、洗浄液の渦流で洗浄することができる。同様に、管路４０から薬液を供給すれば薬液による処理を行うことができ、また、乾燥用気体（例えば窒素）を供給すれば乾燥処理を行うことができる。」
「【００３３】上記の種々の構成では、超音波振動の進行波が円環状の振動伝達材の周囲に沿って回転するようにしていたが、進行波を回転させる必要はなく、特定の方向に進行波を伝播させるようにしてもよい。例えば、基板Ｗの中央付近から外周に向かう方向に進むように進行波を発生させてもよい。」
「【００４９】図１２は、本発明による基板処理装置の第３実施例を示す説明図である。第３実施例の基板処理装置は、図１１に示す第２実施例の下方の超音波振動発生部２０を基板回転部９０に置き換えた構成を有している。
【００５０】基板回転部９０は、基板Ｗを載置した状態で回転する回転台９２と、回転台９２を回転させる回転機構としてのモータ９４とを備えている。また、回転台９２の上面の外周近傍の複数箇所には、基板Ｗを保持するための保持部材（保持ピン）５０’が設けられている。さらに、回転台９２の中央には、二重管構造の流体管路４０’が設けられている。
【００５１】第３実施例の基板処理装置で洗浄を行う場合には、基板回転部９０で基板Ｗを比較的低速で回転させながら、基板Ｗの上方と下方からそれぞれ洗浄液を供給する。このとき、超音波振動発生部２０’において超音波振動の進行波を発生させることによって、洗浄液に渦流を発生させることができる。この基板処理装置では、超音波振動発生部２０’による洗浄効果を期待できるので、比較的低速で基板Ｗの回転させた状態で洗浄処理を行うことが可能である。乾燥処理の場合も同様である。」
　基板を保持する保持部材は、基板の平坦な表面を露出させるようにして基板を保持し、また、保持部材を有する回転台は、基板の平坦な表面に対して平行な平面内で基板をその平坦な表面の中心の周りで回転させること。（【図１２】参照）
　超音波振動発生部は、基板の平坦な表面の外側縁部に沿ってリング状に配置されていること。（【図１】、【図１２】等参照）
　これらの記載事項を補正発明に照らして整理すると先願明細書等には次の発明（以下「先願発明」という。）が記載されていると認めることができる。
「基板の平坦な表面を液体と接触させる装置であって、
　（ａ）前記平坦な表面を露出させる前記基板を保持する保持部材と、
　（ｂ）前記液体を前記露出した平坦な表面と接触させる、前記液体を供給する流体管路と、
　（ｃ）前記露出した平坦な表面付近の前記液体と接触する複数の分割電極を備えた超音波振動発生部であり、交流駆動信号で動作することができ、前記露出表面付近の前記液体中で進行波を形成することができるように十分に近接しており、前記平坦な表面の外側縁部に沿ってリング状に配置された超音波振動発生部と、
　（ｄ）前記露出表面付近の前記液体中で、前記外側縁部に沿って円周方向に回転する進行波を発生するように、前記超音波振動発生部の動作周波数および位相関係を制御する制御部と、
　（ｅ）前記平坦な表面に対して平行な平面内で前記基板を平坦な表面の中心の周りで回転させるように、前記保持部材を有する回転台を駆動するモータとを含み、
　前記基板の回転の間、前記外側縁部に沿って円周方向に回転する進行波の発生が維持される基板処理装置。」
（３）対比・検討
　補正発明と先願発明とを対比すると、先願発明の「基板」は、補正発明の「対象物」に相当し、以下同様に「基板を保持する保持部材」は、「対象物を保持する手段」に、「液体を供給する流体管路」は、「液体を供給する手段」に、「進行波」は、「進行メガソニック波」に、「制御部」は、「電子手段」に、「保持部材を有する回転台を駆動するモータ」は、「対象物を保持する手段を駆動する手段」に相当することが明らかである。
　また、先願発明において「複数の分割電極を備えた超音波振動発生部」が、交流駆動信号で動作することができるということは、技術常識からみて、メガソニック周波数で動作することができるということにほかならず、当該「複数の分割電極を備えた超音波振動発生部」は、露出した平坦な表面付近の前記液体と接触する複数の変換器であり、メガソニック周波数で動作することができ、前記露出表面付近の前記液体中で進行メガソニック波を形成することができるように十分に近接して配置された変換器であるという限りで、補正発明の「変換器」と共通している。
　したがって、補正発明と先願発明とは、
「対象物のほぼ平坦な表面を液体と接触させる装置であって、
　（ａ）前記平坦な表面の少なくとも一部分を露出させる、前記対象物を保持する手段と、
　（ｂ）前記液体の少なくとも一部分を前記露出した平坦な表面と接触させる、前記液体を供給する手段と、
　（ｃ）前記露出した平坦な表面付近の前記液体と接触する複数の変換器であり、メガソニック周波数で動作することができ、前記露出表面付近の前記液体中で進行メガソニック波を形成することができるように十分に近接して配置された変換器と、
　（ｄ）前記露出表面付近の前記液体中で、進行メガソニック波を発生するように、前記変換器の動作周波数および位相関係を制御する電子手段と、
　（ｅ）前記平坦な表面に対して平行な平面内で前記対象物を前記平坦な表面の中心の周りで回転させるように、前記対象物を保持する手段を駆動する手段とを含み、
　前記対象物の回転の間、前記進行メガソニック波の発生が維持される装置」である点で一致し、以下の点で一応相違している。
〈一応の相違点〉
　補正発明では、変換器が、対象物の平坦な表面の中心から前記平坦な表面の外側縁部に向かって延びる直線上に配置された少なくても３つの変換器であって、進行メガソニック波は、前記直線に沿って前記中心から前記外側縁部に向かう進行方向を有しているのに対して、先願発明では、変換器が、対象物の平坦な表面の外側縁部に沿ってリング状に配置されており、進行メガソニック波は、対象物の外側縁部に沿って円周方向に回転する点。
　そこで、この一応の相違点について、以下検討する。
　前記（２）に摘記したように先願明細書等の段落【００３３】には「上記の種々の構成では、超音波振動の進行波が円環状の振動伝達材の周囲に沿って回転するようにしていたが、進行波を回転させる必要はなく、特定の方向に進行波を伝播させるようにしてもよい。例えば、基板Ｗの中央付近から外周に向かう方向に進むように進行波を発生させてもよい。」と記載されていることからみて、先願発明において、進行メガソニック波を、対象物の外側縁部に沿って円周方向に回転させるか、あるいは、対象物の平坦な表面の中心から前記平坦な表面の外側縁部に向かって延びる直線に沿って進行させるかは、必要に応じて適宜選択すればよい事項であるということができる。
　また、進行メガソニック波を利用するいわゆる超音波モータにおいて、進行メガソニック波を円周方向に回転させるために変換器を円周方向に配置すること、あるいは、進行メガソニック波を直進させるために変換器を直線上に配置することは、いずれも従来周知である。さらに、補正発明では、変換器の数を「少なくても３つ」と限定しているが、本件明細書の記載を見る限り、上記数値限定に格別の技術的意義を見出せず、配置する変換器の数をどの程度とするかは、進行メガソニック波の所望到達距離の大きさ等に応じて適宜定めればよい事項にすぎない。
　そうしてみると、補正発明と先願発明との上記一応の相違点は、課題解決のために周知技術を転換し、数値を限定しただけの設計上の微差にすぎないということができ、補正発明と先願発明とは実質上同一であるとみるのが相当である。
　以上のように、補正発明は、先願発明と実質上同一であり、しかも、本件出願の発明者が先願の発明者と同一ではなく、また本件出願の時において、その出願人が先願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により独立して特許を受けることができない。
３　むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１５年法律第４７号による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するので、その余の補正の要件について検討するまでもなく、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件発明について
１　本件発明
　平成１４年１０月８日付けの補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成１４年３月２５日付け手続補正書により補正された明細書及び願書に最初に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項２５に記載されたとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、前記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
２　先願発明
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された先願発明は、前記第２の２（２）に示したとおりである。
３　対比・検討
　本件発明は、前記第２の２で検討した補正発明から前記第２の２冒頭に記載した限定ないし付加事項を削除したものである。
　そうすると、本件発明を発明特定事項の全てを含み、さらに他の事項を限定ないし付加する補正発明が前記第２の２（３）ウで示したとおり、先願発明と実質上同一であるから、本件発明も同様の理由により先願発明と実質上同一であるということができ、しかも、本件出願の発明者が先願の発明者と同一ではなく、また本件出願の時において、その出願人が先願の出願人と同一でもない。
４　むすび
　したがって、本件発明は、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない。
　よって、本件出願の請求項２ないし請求項２５に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する。