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【手続補正書】
【提出日】平成30年7月9日(2018.7.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のユーザが参照できる共有宛先表と、特定のユーザのみが参照できる個人宛先表と、を格納する格納手段を備える画像処理装置であって、
前記特定のユーザの指示に従いネットワークを介してスキャナでスキャンして生成した画像データを送信する送信機能のための宛先を設定する場合には前記共有宛先表及び前記個人宛先表から宛先を指定できるように制御し、前記特定のユーザの指示に従い外部から受信した画像データを転送する転送機能のための宛先を設定する場合には、前記個人宛先表は利用させずに、前記共有宛先表から宛先を指定できるように制御する制御手段と、
前記特定のユーザの指定に従って宛先を設定する設定手段と、を有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記特定のユーザの指示に従い前記送信機能のための宛先を設定する場合の制御として、前記共有宛先表または前記個人宛先表を選択した上で宛先を指定できるように、前記共有宛先表及び前記個人宛先表を表示部に表示するよう制御することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記特定のユーザの指示に従い前記転送機能のための宛先を設定する場合の制御として、前記共有宛先表から宛先を指定させるために、表示部に、前記個人宛先表を表示せずに、前記共有宛先表を表示するよう制御することを特徴とする請求項１または２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
複数のユーザが参照できる共有宛先表と、特定のユーザのみが参照できる個人宛先表と、を格納する格納手段を備える画像処理装置を制御する制御方法であって、
制御手段が、前記特定のユーザの指示に従いネットワークを介してスキャナでスキャンして生成した画像データを送信する送信機能のための宛先を設定する場合には前記共有宛先表及び前記個人宛先表から宛先を指定できるように制御し、前記特定のユーザの指示に従い外部から受信した画像データを転送する転送機能のための宛先を設定する場合には、前記個人宛先表は利用させずに、前記共有宛先表から宛先を指定できるように制御する制御工程と、
設定手段が、前記特定のユーザの指定に従って宛先を設定する設定工程と
を有することを特徴とする画像処理装置の制御方法。
【請求項５】
コンピュータを、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像処理装置の各手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明の一態様に係る画像処理装置は以下のような構成を備える。即ち、
複数のユーザが参照できる共有宛先表と、特定のユーザのみが参照できる個人宛先表と、を格納する格納手段を備える画像処理装置であって、
前記特定のユーザの指示に従いネットワークを介してスキャナでスキャンして生成した画像データを送信する送信機能のための宛先を設定する場合には前記共有宛先表及び前記個人宛先表から宛先を指定できるように制御し、前記特定のユーザの指示に従い外部から受信した画像データを転送する転送機能のための宛先を設定する場合には、前記個人宛先表は利用させずに、前記共有宛先表から宛先を指定できるように制御する制御手段と、
前記特定のユーザの指定に従って宛先を設定する設定手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成29年12月18日(2017.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受電装置に対して無線電力伝送を行うための送電アンテナに与える出力電圧を得るために、入力電圧を変換するＤＣ／ＤＣ変換器と、
前記受電装置の消費電力に基づき前記ＤＣ／ＤＣ変換器の目標出力電圧を決定し、該決定した目標出力電圧の値を前記ＤＣ／ＤＣ変換器に指示する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記決定した目標出力電圧が前記ＤＣ／ＤＣ変換器の入力電圧と等しい電圧を含む所定範囲内にある場合、前記ＤＣ／ＤＣ変換器に指示する目標出力電圧を、前記所定範囲外の値に補正することを特徴とする送電装置。
【請求項２】
前記受電装置と通信する通信部を更に有し、
前記制御部は、前記通信部を介して受信した前記受電装置の消費電力の情報に基づいて、前記ＤＣ／ＤＣ変換器の目標出力電圧を決定する
ことを特徴とする請求項１に記載の送電装置。
【請求項３】
前記ＤＣ／ＤＣ変換器は、前記制御部から指示された目標出力電圧が前記入力電圧より高い場合は昇圧変換を、前記目標出力電圧が前記入力電圧以下の場合は降圧変換を行って、前記昇圧変換又は前記降圧変換によって得られた出力電圧を前記送電アンテナに与えることを特徴とする請求項１又は２に記載の送電装置。
【請求項４】
前記受電装置の消費電力と前記目標出力電圧との対応関係を記憶する記憶部を更に有し、
前記制御部は、前記記憶部に記憶された対応関係に基づいて、前記目標出力電圧を決定する
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の送電装置。
【請求項５】
受電アンテナにおける受電電力に基づく電圧を負荷に与えるための電圧に変換する受電側ＤＣ／ＤＣ変換器を有する受電装置に対して無線電力伝送を行うための送電アンテナに与える出力電圧を得るために、入力電圧を変換するＤＣ／ＤＣ変換器と、
前記受電装置の消費電力に基づき前記ＤＣ／ＤＣ変換器の目標出力電圧を決定し、該決定した目標出力電圧の値を前記ＤＣ／ＤＣ変換器に指示する制御部と、
前記受電装置の消費電力と前記目標出力電圧と前記受電側ＤＣ／ＤＣ変換器の入力電圧との対応関係を記憶する記憶部とを有し、
前記制御部は、前記受電装置の消費電力に基づき決定した前記目標出力電圧に対応する前記受電側ＤＣ／ＤＣ変換器の入力電圧を前記対応関係から特定し、前記特定した入力電圧が前記所定範囲から所定の割合で変換した第２所定範囲内にある場合、前記ＤＣ／ＤＣ変換器に指示する目標出力電圧を、前記第２所定範囲外の値に補正することを特徴とする送電装置。
【請求項６】
受電アンテナにおける受電電力に基づく電圧を負荷に与えるための電圧に変換する受電側ＤＣ／ＤＣ変換器を有する受電装置に対して無線電力伝送を行うための送電アンテナに与える出力電圧を得るために、入力電圧を変換するＤＣ／ＤＣ変換器と、
前記受電装置の消費電力に基づき前記ＤＣ／ＤＣ変換器の目標出力電圧を決定し、該決定した目標出力電圧の値を前記ＤＣ／ＤＣ変換器に指示する制御部と、
前記受電装置の消費電力と前記目標出力電圧と前記受電側ＤＣ／ＤＣ変換器の入力電圧との対応関係を記憶する記憶部とを有し、
前記制御部は、
前記受電装置の消費電力に基づき決定した前記目標出力電圧に対応する前記受電側ＤＣ／ＤＣ変換器の入力電圧を前記対応関係から特定し、
前記特定した入力電圧が、前記ＤＣ／ＤＣ変換器の入力電圧と等しい電圧を含む所定範囲内にある場合、前記ＤＣ／ＤＣ変換器に指示する目標出力電圧を、前記所定範囲外の値に補正し、
前記特定した入力電圧が前記所定範囲から所定の割合で変換した第２所定範囲内にある場合、前記ＤＣ／ＤＣ変換器に指示する目標出力電圧を、前記第２所定範囲外の値に補正する
ことを特徴とする送電装置。
【請求項７】
前記無線電力伝送は、磁界共鳴方式により行われることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の送電装置。
【請求項８】
受電装置に対して電力を無線伝送するための送電アンテナと、前記送電アンテナに与える出力電圧を得るために、入力電圧を変換するＤＣ／ＤＣ変換器とを有する送電装置の制御方法であって、
前記受電装置の消費電力の情報を取得する取得工程と、
前記取得した情報に基づき前記ＤＣ／ＤＣ変換器の目標出力電圧を決定し、該決定した目標出力電圧の値を前記ＤＣ／ＤＣ変換器に指示する制御工程と、
を有し、
前記制御工程は、前記決定した目標出力電圧が前記ＤＣ／ＤＣ変換器の入力電圧と等しい電圧を含む所定範囲内にある場合、前記ＤＣ／ＤＣ変換器に指示する目標出力電圧を、前記所定範囲外の値に補正する補正工程を含むことを特徴とする送電装置の制御方法。
【請求項９】
コンピュータに、請求項８に記載の制御方法の各工程を実行させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月29日(2018.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体と、前記振動体に配置された圧電素子、および前記振動体を支持する支持部と、を有する圧電振動部と、
前記振動体を被駆動部材に押圧する弾性部材と、
前記弾性部材と面接触状態を保ちつつ相互の位置関係を変更可能である熱伝導部材と、
を備える、圧電駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記振動体と前記弾性部材との間に位置し、前記支持部と接触し前記振動体に配置された前記圧電素子と接触しない中間部材を備える、圧電駆動装置。
【請求項３】
請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記弾性部材は、前記支持部と接触し、前記圧電素子と接触しない、圧電駆動装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記弾性部材は、前記圧電振動部に接触する面とは反対側の面で前記熱伝導部材と接触する、圧電駆動装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記振動体と、前記圧電素子と、前記支持部と、前記弾性部材とを収納する筐体を備え、
前記熱伝導部材は、前記筐体の一部を構成する、圧電駆動装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記熱伝導部材の熱伝導率は、０．１Ｗ／ｍＫ以上である、圧電駆動装置。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記熱伝導部材の熱伝導率は、１０Ｗ／ｍＫ以上である、圧電駆動装置。
【請求項８】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記熱伝導部材はシリコンで形成されている、圧電駆動装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記振動体と前記支持部とは、同一の材料で一体に形成されている、圧電駆動装置。
【請求項１０】
複数のリンク部と、
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記リンク部を前記関節部において回動させる請求項１〜９のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を備えるロボット。
【請求項１１】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記圧電素子に、周期的に変化する電圧であって、前記圧電素子の圧電体に印加する電界の方向が一方向である脈流電圧を印加する圧電駆動装置の駆動方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。本発明の一形態によれば、圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、振動体と、前記振動体に配置された圧電素子、および前記振動体を支持する支持部と、を有する圧電振動部と、前記振動体を被駆動部材に押圧する弾性部材と、前記弾性部材と面接触状態を保ちつつ相互の位置関係を変更可能である熱伝導部材と、を備える。この形態によれば、弾性部材と面接触状態を保ちつつ相互の位置関係を変更可能である熱伝導部材を用いて圧電駆動装置（圧電振動部）の熱を容易に放熱できる。
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月30日(2018.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極、第２電極、および前記第１電極と前記第２電極との間に位置する圧電体、によりそれぞれ形成される第１圧電素子と第２圧電素子をそれぞれ有する第１圧電振動部および第２圧電振動部を備え、
前記第１圧電振動部に含まれる前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とを第１接続方式で接続して第１圧電素子群を形成し、
前記第２圧電振動部に含まれる前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とを前記第１接続方式で接続して第２圧電素子群を形成し、
前記第１圧電素子群と前記第２圧電素子群とを第２接続方式で接続し、
前記第１接続方式と前記第２接続方式のうちの一方が直列接続であり、他方が並列接続である、圧電駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電駆動装置において、
前記第１接続方式は、並列接続であり、
前記第２接続方式は、直列接続である、圧電駆動装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧電駆動装置において、
直列接続された前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とは大きさが揃っている、圧電駆動装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧電駆動装置において、
前記第１圧電素子と前記第２圧電素子に駆動電圧を印加したときに、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子への電圧の印加方向が同一方向である、圧電駆動装置。
【請求項５】
請求項４に記載の圧電駆動装置において、さらに、
前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とを有する振動板を備え、
前記第１電極は、前記第２電極よりも前記振動板側に位置し、
前記電圧の印加方向は、前記第２電極から前記第１電極に向かう向きである、圧電駆動装置。
【請求項６】
請求項２に記載の圧電駆動装置において、
前記並列接続された前記第１圧電素子と前記第２圧電素子の前記第１電極は、一体形成された１つの電極を形成している、圧電駆動装置。
【請求項７】
複数のリンク部と
前記複数のリンク部を接続する関節部と、
前記リンク部を前記関節部において回動させる請求項１〜６のいずれか一項に記載の圧電駆動装置と、
を備えるロボット。
【請求項８】
請求項７に記載のロボットの駆動方法であって
前記圧電駆動装置の前記第１電極と前記第２電極との間に周期的に変化する電圧を印加することで前記圧電駆動装置を駆動し、前記リンク部を前記関節部において回動させる、ロボットの駆動方法。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の圧電駆動装置の駆動方法であって、
前記第１圧電素子と前記第２圧電素子の前記第１電極と前記第２電極との間に、周期的に変化する電圧であって、前記第１圧電素子と前記第２圧電素子の前記圧電体に印加する電圧の方向が前記第１電極と前記第２電極のうちの一方の電極から他方の電極に向かう一方向である脈流電圧を印加する圧電駆動装置の駆動方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。本発明の一形態によれば、圧電駆動装置が提供される。この圧電駆動装置は、第１電極、第２電極、および前記第１電極と前記第２電極との間に位置する圧電体、によりそれぞれ形成される第１圧電素子と第２圧電素子をそれぞれ有する第１圧電振動部および第２圧電振動部を備え、前記第１圧電振動部に含まれる前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とを第１接続方式で接続して第１圧電素子群を形成し、前記第２圧電振動部に含まれる前記第１圧電素子と前記第２圧電素子とを前記第１接続方式で接続して第２圧電素子群を形成し、前記第１圧電素子群と前記第２圧電素子群とを第２接続方式で接続し、前記第１接続方式と前記第２接続方式のうちの一方が直列接続であり、他方が並列接続である。この形態の圧電駆動装置によれば、圧電素子と圧電素子との接続の形態に直列接続が含まれるので、静電容量を少なくでき、複数の振動体を同時に駆動する場合に大きな電流を供給しなくてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月15日(2018.3.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板と、
前記配線基板上に接続された第１電子部品と、
前記配線基板と前記第１電子部品との間に充填され、前記第１電子部品の周囲に配置された台座部と、前記台座部の上面に形成されたアライメントマークとを備えた第１アンダーフィル樹脂と、
前記第１電子部品上に接続された第２電子部品と、
前記第１電子部品と前記第２電子部品との間に充填された第２アンダーフィル樹脂と
を有する電子部品装置。
【請求項２】
前記アライメントマークは、前記第１アンダーフィル樹脂の台座部の凸部又は凹部からなることを特徴とする請求項１に記載の電子部品装置。
【請求項３】
前記第１電子部品は平面視して四角形であり、前記アライメントマークは、少なくとも、前記第１電子部品の対角線上の一組の対頂点の外側領域に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品装置。
【請求項４】
前記第２アンダーフィル樹脂は、前記第１アンダーフィル樹脂の台座部の上面及び前記第２電子部品の側面を被覆していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電子部品装置。
【請求項５】
前記第２電子部品の側面は、前記第１電子部品の側面と前記第１アンダーフィル樹脂の台座部の側面との間の領域に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電子部品装置。
【請求項６】
配線基板の上に第１封止樹脂材を形成する工程と、
前記第１封止樹脂材を介して第１電子部品の電極を前記配線基板にフリップチップ接続し、前記配線基板と前記第１電子部品との間に第１アンダーフィル樹脂を充填すると共に、前記第１電子部品の周囲に前記第１アンダーフィル樹脂により上面にアライメントマークを備えた台座部を形成する工程と、
前記第１電子部品の上に第２封止樹脂材を形成する工程と、
前記アライメントマークを画像認識することに基づいて、第２電子部品を前記第１電子部品に位置合わせする工程と、
前記第２封止樹脂材を介して第２電子部品の電極を前記第１電子部品にフリップチップ接続し、前記第１電子部品と前記第２電子部品との間に第２アンダーフィル樹脂を充填する工程と
を有することを特徴とする電子部品装置の製造方法。
【請求項７】
配線基板の上に第１封止樹脂材を形成する工程と、
前記第１封止樹脂材に第１電子部品の電極を押し込んで前記配線基板にフリップチップ接続し、前記配線基板と前記第１電子部品との間に第１アンダーフィル樹脂を充填すると共に、前記第１電子部品の周囲に前記第１アンダーフィル樹脂により上面にアライメントマークを備えた台座部を形成する工程と、
前記アライメントマークを画像認識することに基づいて、第２電子部品を前記第１電子部品に位置合わせする工程と、
前記第１電子部品の上に第２電子部品をフリップチップ接続する工程と、
前記第１電子部品と前記第２電子部品との間に第２アンダーフィル樹脂を充填する工程と
を有することを特徴とする電子部品装置の製造方法。
【請求項８】
前記第１アンダーフィル樹脂により上面にアライメントマークを備えた台座部を形成する工程において、
前記第１電子部品は、前記第１電子部品よりも面積が大きなボンディングツールに吸着された状態で前記第１封止樹脂材に押し込まれ、前記ボンディングツールの周縁部に凹部又は凸部が形成されており、
前記ボンディングツールの周縁部で前記第１封止樹脂材の周縁部が押圧されて前記台座部及び前記アライメントマークが形成されることを特徴とする請求項６又は７に記載の電子部品装置の製造方法。
【請求項９】
前記第１アンダーフィル樹脂により上面にアライメントマークを備えた台座部を形成する工程において、
前記第１電子部品は平面視して四角形であり、前記アライメントマークは、少なくとも、前記第１電子部品の対角線上の一組の対頂点の外側領域に配置されることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の電子部品装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第２電子部品の面積は、前記第１電子部品の面積よりも大きく、
前記第２アンダーフィル樹脂を充填する工程において、
前記第２アンダーフィル樹脂は、前記第１アンダーフィル樹脂の台座部の上面及び前記第２電子部品の側面を被覆することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一項に記載の電子部品装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
以下の開示の一観点によれば、配線基板と、前記配線基板上に接続された第１電子部品と、前記配線基板と前記第１電子部品との間に充填され、前記第１電子部品の周囲に配置された台座部と、前記台座部の上面に形成されたアライメントマークとを備えた第１アンダーフィル樹脂と、前記第１電子部品上に接続された第２電子部品と、前記第１電子部品と前記第２電子部品との間に充填された第２アンダーフィル樹脂とを有する電子部品装置が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、その開示の他の観点によれば、配線基板の上に第１封止樹脂材を形成する工程と、前記第１封止樹脂材を介して第１電子部品の電極を前記配線基板にフリップチップ接続し、前記配線基板と前記第１電子部品との間に第１アンダーフィル樹脂を充填すると共に、前記第１電子部品の周囲に前記第１アンダーフィル樹脂により上面にアライメントマークを備えた台座部を形成する工程と、前記第１電子部品の上に第２封止樹脂材を形成する工程と、前記アライメントマークを画像認識することに基づいて、第２電子部品を前記第１電子部品に位置合わせする工程と、前記第２封止樹脂材を介して第２電子部品の電極を前記第１電子部品にフリップチップ接続し、前記第１電子部品と前記第２電子部品との間に第２アンダーフィル樹脂を充填する工程とを有する電子部品装置の製造方法が提供される。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月13日(2018.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルコキシシランを含む原料溶液を霧化または液滴化し、得られたミストまたは液滴をキャリアガスでもって基体まで搬送し、ついで、前記基体上で、オゾンと前記ミストまたは液滴とを３００℃以下の温度で熱反応させて、前記基体上にシリコン酸化膜を成膜することを特徴とするシリコン酸化膜の成膜方法。
【請求項２】
アルコキシシランがテトラエトキシシランである請求項１記載の成膜方法。
【請求項３】
キャリアガスが不活性ガスである請求項１または２に記載の成膜方法。
【請求項４】
熱反応を２５０℃以下の温度で行う請求項１〜３のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項５】
フェイスアップ方式で前記基体にシリコン酸化膜を成膜する請求項１〜４のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項６】
熱反応を、原料溶液を霧化または液滴化し、空中に浮遊させ、空中に浮遊したミストまたは液滴をキャリアガスでもって前記基体まで搬送した後に行う請求項１〜５のいずれか記載の成膜方法。
【請求項７】
霧化または液滴化を、超音波を用いて行う請求項１〜６のいずれかに記載の成膜方法。
【請求項８】
シリコン酸化膜を用いて、半導体装置を製造する方法において、アルコキシシランを含む原料溶液を霧化または液滴化し、得られたミストまたは液滴をキャリアガスでもって基体まで搬送し、ついで、前記基体上で、オゾンと前記ミストまたは液滴とを３００℃以下の温度で熱反応させて、前記基体上に前記シリコン酸化膜を成膜することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項９】
半導体装置が、半導体レーザ、ダイオードまたはトランジスタである請求項８記載の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
すなわち、本発明は、以下の発明に関する。
［１］アルコキシシランを含む原料溶液を霧化または液滴化し、得られたミストまたは液滴をキャリアガスでもって基体まで搬送し、ついで、前記基体上で、オゾンと前記ミストまたは液滴とを３００℃以下の温度で熱反応させて、前記基体上にシリコン酸化膜を成膜することを特徴とするシリコン酸化膜の成膜方法。
［２］アルコキシシランがテトラエトキシシランである前記［１］記載の成膜方法。
［３］キャリアガスが不活性ガスである前記［１］または［２］に記載の成膜方法。
［４］熱反応を２５０℃以下の温度で行う前記［１］〜［３］のいずれかに記載の成膜方法。
［５］フェイスアップ方式で前記基体にシリコン酸化膜を成膜する前記［１］〜［４］のいずれかに記載の成膜方法。
［６］ 熱反応を、原料溶液を霧化または液滴化し、空中に浮遊させ、空中に浮遊したミストまたは液滴をキャリアガスでもって前記基体まで搬送した後に行う請求項１〜５記載の成膜方法。
［７］霧化または液滴化を、超音波を用いて行う前記［１］〜［６］のいずれかに記載の成膜方法。
［８］  シリコン酸化膜を用いて、半導体装置を製造する方法において、アルコキシシランを含む原料溶液を霧化または液滴化し、得られたミストまたは液滴をキャリアガスでもって基体まで搬送し、ついで、前記基体上で、オゾンと前記ミストまたは液滴とを３００℃以下の温度で熱反応させて、前記基体上に前記シリコン酸化膜を成膜することを特徴とする半導体装置の製造方法。
［９］  半導体装置が、半導体レーザ、ダイオードまたはトランジスタである前記［８］記載の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月5日(2018.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内部の処理室内に配置された試料台上面に載せられた処理対象の試料を当該処理室内に形成したプラズマを用いて処理するプラズマ処理装置であって、
前記試料台は、基材部と、この基材部上方に配置され前記試料を加熱するヒータを備えた上部部材とを有すると共に、ベース上に配置された絶縁部材を含むベース部材の上に配置されており、
前記ベース部材と前記試料台とは位置決めされ、複数の連結部材により連結されており、
前記連結部材の各々は、前記絶縁部材の外周側部分を貫通する複数の貫通孔の各々の内部で隙間を空けて配置され且つ前記上部部材と接続され、前記貫通孔内部の前記隙間内を前記試料台の径方向に移動可能に構成されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマ処理装置であって、
前記連結部材の各々は、前記ベース部材の大気の側と当該ベース部材を貫通して前記上部部材との間を連結するものであって、前記絶縁部材の前記貫通孔内部と前記大気との間に配置されてこれらの間を気密に封止するシール部材を備えていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載のプラズマ処理装置であって、
前記絶縁部材の前記貫通孔内部と前記大気との間を気密に封止する前記シール部材は、
前記連結部材と前記ベース部材との間に配置されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記連結部材の各々が、前記ベース部材の大気に曝された面に連通して当該ベース部材を貫通する複数の別の貫通孔の各々を貫通して配置され前記上部部材と前記ベース部材に対して前記試料台の径方向に移動可能に構成されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記連結部材が、前記大気側に配置された下部と前記上部部材と接続された上部とに分割されて、前記上部が前記処理室内側において着脱可能に構成されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項６】
真空容器と、前記真空容器内部の処理室内に配置された試料台と、プラズマ生成手段とを有するプラズマ処理装置であって、
前記試料台は、冷媒が循環する冷媒溝を備えた基材部と、この基材部上方に配置され前記試料台を加熱するヒータを備えた上部部材とを有すると共に、ベース上に配置された絶縁部材を含むベース部材の上に配置されており、
前記ベース部材と前記試料台とは位置決めされ、複数の連結部材により連結されており、
前記連結部材の各々は、前記絶縁部材の外周側部分を貫通する複数の貫通孔の各々の内部で隙間を空けて配置され且つその一端は前記試料台に固定され、その他端は前記ベース部材に対して摺動可能に取り付けられ、前記ヒータによる前記試料台の熱膨張に応じて前記貫通孔内部の前記隙間内を前記試料台の径方向に移動可能に構成されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項７】
請求項６に記載のプラズマ処理装置であって、
前記ベース部材は、前記連結部材の他端が摺動する部分の表面の摩擦を小さくするために鏡面加工され或いは潤滑要素が塗布されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項８】
請求項６に記載のプラズマ処理装置であって、
前記連結部材には柔軟性を有する真空シール部材が取り付けられており、真空容器内に配置される前記試料台と大気中に配置される前記ベース部材との間はシールされていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項９】
請求項８に記載のプラズマ処理装置であって、
前記真空シール部材は、Ｏリング、ゴム或いは接着剤であることを特徴とするプラズマ処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月25日(2018.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内部に配置され内側を減圧可能な処理室と、この処理室内に配置され処理対象の試料が載せられて保持される試料台と、前記処理用ガスを用いてプラズマを形成するプラズマ形成手段とを備え、前記試料を前記プラズマを用いて処理するプラズマ処理装置であって、
前記試料台を構成し接地された金属製の基材の上方に配置され内側に高周波電力が供給される膜状の電極を備えた誘電体の膜と、前記基材内の空間に配置され発熱または冷却する機能を備えた素子を各々が含む複数の温度調節用のアレイと、これら温度調節用のアレイに電力を供給する給電経路とを備え、この給電経路上に前記高周波を抑制するフィルタを有していないプラズマ処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマ処理装置であって、
前記複数の温度調節用のアレイは前記基材の内部で相互に直列に接続されて前記試料の周方向に配置され前記電力が供給される少なくとも１つの集合を有したプラズマ処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載のプラズマ処理装置であって、
前記集合を構成する前記複数の温度調節用のアレイは、前記試料の複数の半径位置において周方向に円弧状に配置されて前記給電経路を介して前記電力を供給する電源に接続されたプラズマ処理装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載のプラズマ処理装置であって、
前記試料台が加熱及び冷却の運転を実施可能に構成されたプラズマ処理装置。
【請求項５】
請求項１または２に記載のプラズマ処理装置であって、
前記基材内の前記複数の温度調節用のアレイの下方に配置され当該基材の温度を調節する冷媒が通流する冷媒流路を備えたプラズマ処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載のプラズマ処理装置であって、
前記冷媒が、水またはエチレングリコールまたは絶縁性の冷媒であるプラズマ処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記目的は、真空容器内部に配置され内側を減圧可能な処理室と、この処理室内に配置され処理対象の試料が載せられて保持される試料台と、前記処理用ガスを用いてプラズマを形成するプラズマ形成手段とを備え、前記試料を前記プラズマを用いて処理するプラズマ処理装置であって、前記試料台を構成し接地された金属製の基材の上方に配置され内側に高周波電力が供給される膜状の電極を備えた誘電体の膜と、前記基材内の空間に配置され発熱または冷却する機能を備えた素子を各々が含む複数の温度調節用のアレイと、これら温度調節用のアレイに電力を供給する給電経路とを備え、この給電経路上に前記高周波を抑制するフィルタを有していないプラズマ処理装置により達成される。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月5日(2018.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧された真空容器内部の処理室内に配置された処理対象のウェハを当該処理室内に形成されたプラズマを用いて処理する処理ユニットと、前記ウェハを内部に収納して当該内部の排気及びガスの供給により前記減圧された圧力と大気圧の間で圧力を増減可能なロック室とを備え、
前記ロック室の排気経路上に配置された貯留部に前記ロック室内部のガスを吸引して当該ロック室内部の圧力を所定の真空度まで低減した後に前記貯留部を通して前記ロック室内部のガスを外部に排気して当該ロック室を減圧することを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
前記貯留部内に配置され前記ロック室から吸引されるガスに含まれる粒子を付着させて捕捉する部材を供えたことを特徴とする請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項３】
前記貯留部は、その内部を排気する経路を閉じた状態で減圧された前記貯留部の内部に前記ロック室内部のガスを吸引することを特徴とする請求項１または２に記載の真空処理装置。
【請求項４】
前記貯留部は、前記貯留部と前記ロック室とを連通する前記排気する経路を閉じた状態で前記貯留部の内部の圧力が所定の値まで減圧された後に、当該排気する経路が開かれて前記貯留部と前記ロック室とが連通されて、前記ロック室内部のガスを吸引することを特徴とする請求項３に記載の真空処理装置。
【請求項５】
大気搬送室を含む大気側ブロックと、
前記大気搬送室に第１ゲードバルブを介して接続されたロック室と、前記ロック室を排気する真空ポンプと、前記ロック室に第２ゲートバルブを介して接続された真空搬送室と、前記真空搬送室に第３ゲートバルブを介して接続された処理ユニットとを含む真空側ブロックとを備えた真空処理装置において、
前記ロック室と前記真空ポンプとの間の排気経路上に配置され、前記ロック室と第１排気バルブを介して接続され、前記真空ポンプと第２排気バルブを介して接続された貯留部を更に有し、
前記貯留部は、前記第１排気バルブが閉められ前記第２排気バルブが開の状態で前記貯留部の内部が排気され所定の圧力に減圧された後に前記第２排気バルブが閉とされ、前記第２排気バルブ、前記第１ゲートバルブ及び前記第２ゲートバルブが閉の状態で前記第１排気バルブを開とすることにより前記ロック室を減圧するものであることを特徴とする真空処理装置。
【請求項６】
前記貯留部は、第１開口を含む複数の開口を有する第１仕切り板と、前記第１開口とは異なる位置に配置された第２開口を含む複数の開口を有する第２仕切り板とを備え、排気ガスの流れを蛇行させる構造となっていることを特徴とする請求項５に記載の真空処理装置。
【請求項７】
前記所定の圧力は、前記ロック室での結露や微粒子の発生が抑制される圧力変化速度となる圧力であることを特徴とする請求項５または６に記載の真空処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月10日(2018.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と、
前記振動子が加圧接触する摩擦部材と、
前記振動子及び前記摩擦部材のいずれか一方が固定された固定部材と、
前記振動子及び前記摩擦部材のうち前記固定部材に固定されていない他方と一体的に移動する可動部材と、
前記固定部材と前記可動部材との相対移動を可能にする複数の転動部材と、
前記固定部材又は前記可動部材に設けられた前記転動部材の脱落を防止する脱落規制部と、を備え、
前記脱落規制部は、前記脱落規制部に対向する対向部に当接して前記可動部材の加圧方向の可動範囲を規制することを特徴とする振動波モータ。
【請求項２】
前記転動部材は、前記可動部材の面に設けられた第一の挟持部と、前記可動部材に対向する前記固定部材の面に設けられた第二の挟持部とで挟持され、
前記脱落規制部の前記可動範囲が規制された際、前記第一の挟持部が設けられた面と前記第二の挟持部が設けられた面との加圧方向の間隙が前記転動部材の直径よりも小さいことを特徴とする、請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項３】
対向する前記第一の挟持部と前記第二の挟持部の組のうち、少なくとも二つの組の前記第一の挟持部と前記第二の挟持部の組がＶ字状の斜面を有する凹部であることを特徴とする、請求項２に記載の振動波モータ。
【請求項４】
前記固定部材は、前記振動子及び前記摩擦部材のいずれか一方を固定する第一の固定部材と、前記可動部材を相対移動可能に保持する、前記第一の固定部材に固定される第二の固定部材とから構成され、
前記転動部材は、前記可動部材と前記第二の固定部材との間に設けられていることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項５】
前記振動子又は前記摩擦部材は、前記可動部材と一体的に前記第二の固定部材に対し相対移動することを特徴とする、請求項４に記載の振動波モータ。
【請求項６】
前記相対移動の方向と前記加圧方向のそれぞれに直交する方向において、前記振動子と前記摩擦部材との当接面を中心として前記脱落規制部が前記転動部材よりも外側に設けられていることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項７】
前記相対移動の方向において、前記振動子と前記摩擦部材との当接面に対して、前記脱落規制部が前記転動部材よりも外側に設けられていることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項８】
前記相対移動の方向において、前記脱落規制部が前記振動子に備えられた前記摩擦部材と当接する突起部よりも外側まで設けられていることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項９】
前記脱落規制部及び前記対向部が前記振動子と前記摩擦部材との当接面よりも重力方向において高い位置に設けられていることを特徴とする、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項１０】
前記振動波モータは、前記振動子が超音波領域の高周波振動をする超音波モータであることを特徴とする、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動波モータを用いて光学素子を移動させることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記の課題を解決するために本発明は、振動子と、前記振動子が加圧接触する摩擦部材と、前記振動子及び前記摩擦部材のいずれか一方が固定された固定部材と、前記振動子及び前記摩擦部材のうち前記固定部材に固定されていない他方と一体的に移動する可動部材と、前記固定部材と前記可動部材との相対移動を可能にする複数の転動部材と、前記固定部材又は前記可動部材に設けられた前記転動部材の脱落を防止する脱落規制部と、を備え、前記脱落規制部は、前記脱落規制部に対向する対向部に当接して前記可動部材の加圧方向の可動範囲を規制することを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月27日(2018.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像内の領域を特定する特定手段と、
前記特定手段により特定された特定領域の画像データを通信するための第１モードと、前記特定領域の画像データに加えて前記特定手段により特定されていない非特定領域の画像データを通信するための第２モードとを含む複数のモードから、画像データの通信のために用いられるモードを決定する決定手段と、
前記決定手段により決定されたモードに従って他の通信装置との間で画像データを通信する通信手段とを備えることを特徴とする通信装置。
【請求項２】
前記通信手段は、前記モードに基づいて前記他の通信装置から画像データを受信することを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項３】
前記画像が分割された複数の分割領域のそれぞれに対応する画像データを前記他の通信装置に対して要求するための複数のＵＲＬが記述されたプレイリストを取得する取得手段をさらに備え、
前記通信手段は、
前記決定手段により前記画像データの通信のために前記第1モードを用いることが決定された場合、前記特定領域に対応する１つ又は複数のＵＲＬに対する要求を送信し、
前記決定手段により前記画像データの通信のために前記第２モードを用いることが決定された場合、前記特定領域に対応する１つ又は複数のＵＲＬに対する要求と、前記非特定領域に対応する１つ又は複数のＵＲＬに対する要求とを送信することを特徴とする請求項２に記載の通信装置。
【請求項４】
前記通信手段は、前記モードに基づいて前記他の通信装置に対して画像を送信することを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項５】
前記画像が分割された複数の分割領域のそれぞれに対応する画像データを要求するための複数のＵＲＬが記述されたプレイリストを提供する提供手段をさらに備え、
前記通信手段は、
前記決定手段により前記画像データの通信のために前記第1モードを用いることが決定された場合、前記他の通信装置からの１又は複数のＵＲＬに対する要求の受信に応答して、前記１又は複数のＵＲＬに対応する分割領域の画像データを前記他の通信装置へ送信し、
前記決定手段により前記画像データの通信のために前記第２モードを用いることが決定された場合、前記他の通信装置からの１又は複数のＵＲＬに対する要求の受信に応答して、前記１又は複数のＵＲＬに対応する前記分割領域の画像データと、前記分割領域の周辺の分割領域の画像データとを前記他の通信装置へ送信することを特徴とする請求項４に記載の通信装置。
【請求項６】
前記決定手段は、ユーザ指示、前記通信装置と前記他の通信装置とを接続するネットワークにおける通信状況、及び、前記通信装置の負荷状況のうち、少なくとも何れかに基づいて前記モードを決定することを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項７】
前記第２モードにおいて通信される前記非特定領域の範囲を、ユーザ指示、前記通信装置と前記他の通信装置とを接続するネットワークにおける通信状況、及び、前記通信装置の負荷状況のうち、少なくとも何れかに基づいて決定する領域決定手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項８】
前記第２モードでは、前記特定領域の画像のビットレートが前記非特定領域のビットレートよりも高くなるように符号化された画像が通信されることを特徴とする請求項１に記載の通信装置。
【請求項９】
前記通信手段は、前記特定領域の画像として、スケーラブル符号化方式におけるベースレイヤの画像とエンハンスメントレイヤの画像を通信し、前記非特定領域の画像としてベースレイヤの画像を通信することを特徴とする請求項８に記載の通信装置。
【請求項１０】
前記特定領域に対応する画像を表示させる表示制御手段であって、
前記特定領域を変更するためのユーザ操作を受け付けたときに前記第２モードであれば、前記ユーザ操作に応じて前記特定領域を変更する処理を実行し、前記特定領域を変更するためのユーザ操作を受け付けたときに前記第１モードであれば、前記ユーザ操作に応じて前記特定領域を変更する処理を実行しないことを特徴とする請求項２に記載の通信装置。
【請求項１１】
前記特定領域に対応する画像を表示させる表示制御手段であって、
前記特定領域を変更するためのユーザ操作に応じた変更後の特定領域に対応する画像を表示できると判定した場合は前記ユーザ操作に応じて特定領域を変更する制御を実行し、
前記特定領域を変更するためのユーザ操作に応じた変更後の特定領域に対応する画像を表示できないと判定した場合は前記ユーザ操作に応じた特定領域の変更を制限する表示制御手段とを有することを特徴とする請求項２に記載の通信装置。
【請求項１２】
画像内の領域を特定する特定工程と、
前記特定工程により特定された特定領域の画像を通信するための第１モードと、前記特定領域の画像に加えて前記特定工程により特定されていない非特定領域の画像を通信するための第２モードとを含む複数のモードから、前記画像の通信のためのモードを決定する決定工程と、
前記決定工程により決定されたモードに従って他の通信装置との間で画像を通信する通信工程とを備えることを特徴とする通信方法。
【請求項１３】
前記決定工程は、ユーザ指示、前記通信装置と前記他の通信装置とを接続するネットワークにおける通信状況、及び、前記通信装置の負荷状況のうち、少なくとも何れかに基づいて前記モードを決定することを特徴とする請求項１２に記載の通信方法。
【請求項１４】
前記第２モードにおいて通信される前記非特定領域の範囲を、ユーザ指示、前記通信装置と前記他の通信装置とを接続するネットワークにおける通信状況、及び、前記通信装置の負荷状況のうち、少なくとも何れかに基づいて決定する領域決定工程をさらに備えることを特徴とする請求項１２に記載の通信方法。
ち
【請求項１５】
コンピュータを請求項１乃至１１のうち、何れか１項に記載の通信装置の各手段として動作させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月28日(2018.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像部と、
撮像関連情報を生成する生成部と、
前記撮像部によって取得された映像信号に対する前記撮像関連情報の重畳を行うことが可能な映像処理部と、
録画機器に前記映像信号に対して、前記撮像関連情報を重畳した出力映像信号を出力することが可能な出力部と、
を備える撮像装置であって、
指令入力手段から前記録画機器での録画開始指令が入力された場合、前記出力部が、前記映像信号に対して前記撮像関連情報を重畳していない状態の信号を、前記出力映像信号として出力するように構成されている、ことを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記指令入力手段から前記録画機器での録画開始指令が入力された場合、前記映像処理部は、前記撮像部によって取得された前記映像信号に対して、前記撮像関連情報を重畳せず、前記出力部は、前記撮像関連情報が重畳されていない前記映像信号を、前記出力映像信号として前記録画機器に出力する、ことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記指令入力手段から前記録画機器での録画開始指令が入力された場合、前記出力部は、前記撮像部からの前記映像信号を、前記映像処理部を介さずに前記録画機器に出力する、ことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記指令入力手段から前記録画機器での録画開始指令が入力された場合、前記撮像関連情報が生成されている場合は前記映像処理部による前記重畳を中止した後に、前記録画機器に対し録画開始指令を出力する、ことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記指令入力手段から前記録画機器での録画開始指令が入力された場合、前記制御部は、前記生成部で生成された前記撮像関連情報の内容に基づいて前記映像処理部による前記重畳を継続または中止した後に、前記録画機器に対し録画開始指令を出力する、ことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記生成部で生成される前記撮像関連情報ごとに、録画の可否を設定する設定手段を有し、
前記指令入力手段から前記録画機器での録画開始を指令する指令信号が入力された場合、前記制御部は、前記設定手段で設定された情報に基づいて、前記映像処理部による前記重畳を継続または中止した後に、前記録画機器に対し録画開始指令を出力する、
ことを特徴とする請求項５に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記出力部は、外部の録画機器に前記映像処理部からの映像信号をシリアルデジタル信号に変換して出力し、
前記指令入力手段から前記録画機器での録画開始指令が入力された場合、前記制御部は、前記映像処理部による前記重畳を中止し、前記録画開始指令及び所定の撮像装置の設定値を前記シリアルデジタル信号の映像データ以外の領域に含むように前記出力部を制御する、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記指令入力手段から前記録画機器での録画開始指令が入力された場合、前記映像処理部による撮像関連情報の前記映像信号への重畳の可否に関する指令を待ち、前記指令入力手段から所定の指令の入力がない場合は前記録画機器に対して録画開始指令を出力しない、ことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項９】
前記指令入力手段は、前記撮像装置に備えられた操作部又は前記撮像装置と通信可能に接続された外部操作手段であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１０】
撮像部と、前記撮像部からの映像信号に重畳するための撮像関連情報を生成する生成部と、前記映像信号に前記撮像関連情報を重畳する映像処理部と、外部の録画機器に前記映像処理部からの映像信号を出力する出力部と、を有する撮像装置と通信し、前記撮像装置を操作するための外部操作器であって、
前記外部操作器は、前記録画機器での録画開始を指令する操作がされた場合は、前記映像処理部による前記重畳を中止させる指令を前記撮像装置に出力した後に、前記録画機器に対する録画開始指令を前記撮像装置に出力する、
ことを特徴とする外部操作器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するための本発明に係る撮像装置は、撮像部と、撮像関連情報を生成する生成部と、前記撮像部によって取得された映像信号に対する前記撮像関連情報の重畳を行うことが可能な映像処理部と、録画機器に前記映像信号に対して、前記撮像関連情報を重畳した出力映像信号を出力することが可能な出力部と、を備える撮像装置であって、指令入力手段から前記録画機器での録画開始指令が入力された場合、前記出力部が、前記映像信号に対して前記撮像関連情報を重畳していない状態の信号を、前記出力映像信号として出力するように構成されていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月5日(2018.3.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無線中継装置と無線通信を行う無線通信端末であって、
無線中継装置との間で送信または受信されるデータの種類を解析し解析情報を生成する解析部と、
前記解析情報を受け取り、特定の種類のデータであるか否かの判断を行い、前記データのすべての送信または受信が完了したのち、前記判断の結果に応じて、互いに異なる待機時間の経過後にスリープ状態に遷移するよう制御部に指示通知する状態判断部と、
前記状態判断部からの通知に従って無線通信端末自身をスリープ状態に遷移させる制御部とを備える無線通信端末。
【請求項２】
前記互いに異なる待機時間は、第１の待機時間と、これより小なる第２の待機時間であり、前記解析部が解析したデータが前記特定の種類のデータである場合は、前記待機時間は第１の待機時間とし、解析部が解析したデータが前記特定の種類のデータでない場合は、第２の待機時間とする請求項１に記載の無線通信端末。
【請求項３】
前記状態判断部は、新たな送受信すべきデータの通信が第２の待機時間の到来前に開始され、当該データが前記特定の種類のデータによるものである場合には、時間カウントをクリアし当該データの通信が完了したのち再び時間カウントを行い、第１の待機時間までアウェイク状態を維持するように前記制御部に通知する請求項１または２に記載の無線通信端末。
【請求項４】
前記特定の種類のデータは、予め設定された特定プロトコルによるものである請求項１〜３のいずれか１項に記載の無線通信端末。
【請求項５】
前記特定の種類のデータは、無線通信端末自身と任意の端末との間でコネクションを確立したのち通信を開始する種類のものである請求項１〜４のいずれか１項に記載の無線通信端末。
【請求項６】
前記特定の種類は、無線通信端末自身の上位レイヤーからの指示に基づいて決定される請求項１〜５のいずれか１項に記載の無線通信端末。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月14日(2018.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線を放出する電子源と、
前記電子線が照射されることでＸ線を発生するターゲットと、
前記電子源から前記ターゲットに至る前記電子線の進路に配置された部材と、
を備え、
前記部材および前記ターゲットの少なくとも一方の少なくとも一部は、軽元素でかつ導電性を有する材料を含む、Ｘ線発生装置。
【請求項２】
前記軽元素は、炭素、ケイ素、アルミ二ウムのいずれか一つの元素を含む、請求項１に記載のＸ線発生装置。
【請求項３】
前記材料は、真空状態でのガス放出量が所定の条件を満たす材料を少なくとも一部に含む、請求項１または請求項２に記載のＸ線発生装置。
【請求項４】
前記進路は、前記部材で反射された反射電子線の照射範囲を含む、請求項１から３のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項５】
前記部材の少なくとも一部は、前記進路を形成する管の内面である、請求項１から４のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項６】
前記部材の少なくとも一部は、前記進路に配置された開口部である、請求項１から５のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項７】
前記開口部は重金属で形成され、前記重金属の表面が前記材料により被覆されている、請求項６に記載のＸ線発生装置。
【請求項８】
前記ターゲットの照射面の一部が前記材料で被覆されている、請求項１から７のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載のＸ線発生装置と、
前記Ｘ線発生装置から射出されたＸ線を検出する検出器と、を備える、Ｘ線装置。
【請求項１０】
構造物の形状に関する設計情報を作製する設計工程と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作成する成形工程と、
作製された前記構造物の形状を請求項９に記載のＸ線装置を用いて計測する工程と、
前記計測工程で得られた形状情報と前記設計情報とを比較する検査工程と、を有する、構造物の製造方法。
【請求項１１】
前記検査工程の比較結果に基づいて実行され、前記構造物の再加工を実施するリペア工程を有する、請求項１０に記載の構造物の製造方法。
【請求項１２】
構造物の形状に関する設計情報を作製する設計装置と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作製する成形装置と、
作製された前記構造物の形状を測定する請求項９に記載のＸ線装置と、
前記Ｘ線装置によって得られた前記構造物の形状に関する形状情報と前記設計情報とを比較する検査装置と、を含む、構造物製造システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の態様によれば、電子線を放出する電子源と、電子線が照射されることでＸ線を発生するターゲットと、電子源からターゲットに至る電子線の進路に配置された部材と、を備え、部材およびターゲットの少なくとも一方の少なくとも一部は、軽元素でかつ導電性を有する材料を含む、Ｘ線発生装置が提供される。
本発明の第１態様によれば、電子線を放出する電子源と、電子源が照射されることでＸ線を発生するターゲットと、電子線が電子源からターゲットに至る進路中の部材と、を備え、部材の少なくとも一部は軽元素でかつ導電性を有する材料を少なくとも一部に含む、Ｘ線発生装置が提供される。