【誤訳訂正書】
【提出日】平成30年7月12日(2018.7.12)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
共重合体組成物であって、
ポリ（アクリレート）ブロック及びポリ（シリルアクリレート）ブロックを有するブロック共重合体と、
酸化防止剤とを含む共重合体組成物
前記ブロック共重合体は、１〜１，０００ｋｇ／モルの数平均分子量（ＭＮ）を示し、
前記共重合体組成物は、（前記ブロック共重合体の重量に基づいて）≧２重量％の酸化防止剤を含有し、
前記ブロック共重合体は、１〜２の多分散（ＰＤ）を示し、
前記ポリ（アクリレート）ブロックは、アクリレートモノマー、重水素化アクリレートモノマー、アクリレートブロック修飾モノマー、及び重水素化アクリレートブロック修飾モノマーのうちの少なくとも１つからの残基を含み、前記ポリ（アクリレート）ブロックは、＞７５重量％のアクリレートモノマー誘導単位を含み、前記アクリレートモノマーは、Ｃ６−１４アリール（Ｃ１−５アルキル）アクリレート、Ｃ１−５アルキル（Ｃ１−５アルキル）アクリレートからなる群から選択され、前記重水素化アクリレートモノマーは、重水素化Ｃ６−１４アリール（Ｃ１−５アルキル）アクリレート、重水素化Ｃ１−５アルキル（Ｃ１−５アルキル）アクリレートからなる群から選択され、前記アクリレートブロック修飾モノマーは、Ｃ１−５アルケン及びＣ３−７シクロアルケンからなる群から選択され、
前記重水素化アクリレートブロック修飾モノマーは、Ｃ１−５アルケン及び重水素化Ｃ３−７シクロアルケンからなる群から選択され、
前記ポリ（シリルアクリレート）ブロックは、シリルアクリレートモノマー、重水素化シリルアクリレートモノマー、シリルアクリレートブロック修飾モノマー、及び重水素化シリルアクリレート修飾モノマーのうちの少なくとも１つからの残基を含み、
前記ポリ（シリルアクリレート）ブロックは、＞７５重量％シリルアクリレートモノマー誘導単位を含み、前記シリルアクリレートモノマーは、以下の式
（Ｒ１（Ｒ２）（Ｒ３）Ｓｉ）ｒＲ４ｘＯＯＣＣ（Ｒ５）＝ＣＲ６２
に従い、
式中Ｒ１、Ｒ２及びＲ３各々は、互いに独立して、Ｃ１−６アルキル基、シリル化Ｃ１−６アルキル基、オキシＣ１−６アルキル基、オキシシリル化Ｃ１−６アルキル基、Ｃ６−１０アリール基、オキシＣ６−１０アリール基、シリル化Ｃ６−１０アリール基、オキシシリル化Ｃ６−１０アリール基、Ｃ１−１０アリールアルキル基、オキシＣ１−１０アリールアルキル基、シリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、オキシシリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、Ｃ６−１０アルキルアリール基、オキシＣ６−１０アルキルアリール基、シリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基、オキシシリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基からなる群から選択され、ｒは、０、１、２及び３からなる群から選択され、Ｒ４は、Ｃ１−３アルキルからなる群から選択され、ｘは、０及び１からなる群から選択され、Ｒ５は、水素及びメチル基からなる群から選択され、
各Ｒ６は、水素であり、前記シリルアクリレートモノマーは、少なくとも１つのＳｉ原子を含み、前記重水素化シリルアクリレートモノマーは、以下の式
（Ｒ７（Ｒ８）（Ｒ９）Ｓｉ）ｔＲ１０ｙＯＯＣＣ（Ｒ１１）＝ＣＲ１２２
に従い、
式中Ｒ７、Ｒ８及びＲ９各々は、互いに独立して、Ｃ１−６アルキル基、シリル化Ｃ１−６アルキル基、オキシＣ１−６アルキル基、オキシシリル化Ｃ１−６アルキル基、Ｃ６−１０アリール基、オキシＣ６−１０アリール基、シリル化Ｃ６−１０アリール基、オキシシリル化Ｃ６−１０アリール基、Ｃ１−１０アリールアルキル基、オキシＣ１−１０アリールアルキル基、シリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、オキシシリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、Ｃ６−１０アルキルアリール基、オキシＣ６−１０アルキルアリール基、シリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基、オキシシリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基、重水素化Ｃ１−６アルキル基、重水素化シリル化Ｃ１−６アルキル基、重水素化オキシＣ１−６アルキル基、重水素化オキシシリル化Ｃ１−６アルキル基、重水素化Ｃ６−１０アリール基、重水素化オキシＣ６−１０アリール基、重水素化シリル化Ｃ６−１０アリール基、重水素化オキシシリル化Ｃ６−１０アリール基、重水素化Ｃ１−１０アリールアルキル基、重水素化オキシＣ１−１０アリールアルキル基、重水素化シリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、重水素化オキシシリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、重水素化Ｃ６−１０アルキルアリール基、重水素化オキシＣ６−１０アルキルアリール基、重水素化シリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基及び重水素化オキシシリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基から選択され、ｔは、０、１、２及び３からなる群から選択され、Ｒ１０は、Ｃ１−３アルキル基及び重水素化Ｃ１−３アルキル基からなる群から選択され、ｙは、０又は１であり、Ｒ１１は、水素、重水素、メチル基及び重水素化メチル基からなる群から選択され、各Ｒ１２は、水素及び重水素から選択され、前記重水素化シリルアクリレートモノマーは、少なくともＳｉ原子を１つ含有し、前記重水素化シリルアクリレートモノマーは、少なくとも重水素を１つ含有し、前記シリルアクリレートブロック修飾モノマーは、アルケン及びシクロアルケンからなる群から選択され、前記重水素化シリルアクリレートブロック修飾モノマーは、重水素化アルケン及び重水素化シクロアルケンからなる群から選択される、共重合体組成物。
【請求項２】
前記共重合体組成物は、（前記ブロック共重合体の重量に基づいて）５〜３０重量％の酸化防止剤を含む、請求項１に記載の共重合体組成物。
【請求項３】
前記酸化防止剤は、
少なくとも１つの２，６−ジ−ターシャルブチルフェノール部分を含有する抗酸化剤酸化防止剤、
下記式
【化１】
2014169436.tif 000001
による少なくとも１つの部分を含有する抗酸化剤酸化防止剤、
下記式
【化２】
2014169436.tif 000002
による少なくとも１つの部分を含有する抗酸化剤酸化防止剤、
下記式
【化３】
2014169436.tif 000003
による少なくとも１つの部分を含有する抗酸化剤酸化防止剤、
及びそれらの混合物からなる群から選択される、請求項１に記載の共重合体組成物。
【請求項４】
前記酸化防止剤は、
【化４】
2014169436.tif 000004
【化５】
2014169436.tif 000005
【化６】
2014169436.tif 000006
【化７】
2014169436.tif 000007
【化８】
2014169436.tif 000008
【化９】
2014169436.tif 000009
及びこれらの混合物からなる群から選択される、請求項１に記載の共重合体組成物。
【請求項５】
前記共重合体組成物は、（前記ブロック共重合体の重量に基づいて）５〜３０重量％の酸化防止剤を含有する、請求項１に記載の共重合体組成物。
【請求項６】
前記アクリレートモノマーは、ブチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート）、エチル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレートからなる群から選択され、前記重水素化アクリレートモノマーは、重水素化ブチル（メタ）アクリレート、重水素化プロピル（メタ）アクリレート）、重水素化エチル（メタ）アクリレート、重水素化メチル（メタ）アクリレートからなる群から選択され、前記アクリレートブロック修飾モノマーは、エチレンであり、
前記重水素化アクリレートブロック修飾モノマーは、重水素化エチレンであり、前記シリルアクリレートモノマーは、（トリメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（トリエチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（トリプロピルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（トリイソプロピルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（トリブチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（トリ−ｓｅｃ−ブチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（トリイソブチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（ｓｅｃ−ブチルメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（ｓｅｃ−ブチルジメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（ジメチルプロピルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（モノメチルジプロピルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（メチルエチルプロピルシリル）メチル（メタ）アクリレート、ビス（トリメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、トリス（トリメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、（ペンタメチルジリル）メチル（メタ）アクリレート、トリス（トリメチルシロキシ）メチル（メタ）アクリレート、トリス（トリメチルシロキシ）プロピル（メタ）アクリレート）、（ペンタメチルジシロキシ）メチル（メタ）アクリレート、（ペンタメチルジシロキシ）プロピル（メタ）アクリレート、（トリメトキシシリル）プロピル（メタ）アクリレート及び（トリエトキシシリル）プロピル（メタ）アクリレートからなる群から選択され、前記重水素化シリルアクリレートモノマーは、重水素化（トリメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（トリエチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（トリプロピルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（トリイソプロピルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（トリブチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（トリ−ｓｅｃ−ブチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（トリイソブチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（ｓｅｃ−ブチルメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（ｓｅｃ−ブチルジメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（ジメチルプロピルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（モノメチルジプロピルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（メチルエチルプロピルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化ビス（トリメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化トリス（トリメチルシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（ペンタメチルジシリル）メチル（メタ）アクリレート、重水素化トリス（トリメチルシロキシ）メチル（メタ）アクリレート、重水素化トリス（トリメチルシロキシ）プロピル（メタ）アクリレート）、重水素化（ペンタメチルジシロキシ）メチル（メタ）アクリレート、重水素化（ペンタメチルジシロキシ）プロピル（メタ）アクリレート、重水素化（トリメトキシシリル）プロピル（メタ）アクリレート及び重水素化（トリエトキシシリル）プロピル（メタ）アクリレートからなる群から選択され、シリルアクリレートブロック修飾モノマーがエチレンであり、前記重水素化シリルアクリレートブロック修飾モノマーは、重水素化エチレンから選択される、請求項１に記載の共重合体組成物。
【請求項７】
前記ポリ（アクリレート）ブロックは、＞９５重量％のアクリレートモノマー誘導単位を含み、前記アクリレートモノマーは、メチル（メタ）アクリレートであり、及び
前記ポリ（シリルアクリレート）は、＞９５重量％のシリルアクリレートモノマー誘導単位を含み、前記シリルアクリレートモノマーは、（トリメチルシリル）メチルメタクリレートである、請求項６に記載の共重合体組成物。
【請求項８】
前記共重合体組成物は、（前記ブロック共重合体の重量に基づいて）５〜３０重量％の酸化防止剤を含有する、請求項７に記載の共重合体組成物。
【請求項９】
前記ブロック共重合体が１〜６０ｋｇ／モルの数平均分子量（ＭＮ）を示す、請求項１〜８のいずれか１項に記載の共重合体組成物。
【請求項１０】
方法であって、
基板を提供することと、
請求項１に記載の共重合体組成物を提供することと、
前記共重合体組成物の膜を前記基板に貼り付けることと、
任意に、前記膜をベーキングすることと、
前記膜をアニールし、ポリ（アクリレート）ドメイン及びポリ（シリルアクリレート）ドメインのパターンを残すことと、
前記アニールした膜から前記ポリ（アクリレート）ドメインを除去するために処理し、前記アニールされた膜中の前記ポリ（シリルアクリレート）ドメインをＳｉＯｘに変えることとを含む、方法。
【請求項１１】
共重合体組成物であって、
ポリ（アクリレート）ブロック及びポリ（シリルアクリレート）ブロックを有するブロック共重合体と、酸化防止剤とを含み、前記ブロック共重合体は、１〜１，０００ｋｇ／モルの数平均分子量（ＭＮ）を示し、前記ブロック共重合体は、１〜２の多分散（ＰＤ）を示し、前記ブロック共重合体は、≦７５重量％のポリ（メチルメタクリレート）−ブロック−ポリ（（トリメチルシリル）メチルメタクリレート）ジブロック共重合体を含有し、
前記ポリ（アクリレート）ブロックは、アクリレートモノマー、重水素化アクリレートモノマー、アクリレートブロック修飾モノマー、及び重水素化アクリレートブロック修飾モノマーのうちの少なくとも１つからの残基を含み、前記ポリ（アクリレート）ブロックは、＞７５重量％のアクリレートモノマー誘導単位を含み、前記アクリレートモノマーは、Ｃ６−１４アリール（Ｃ１−５アルキル）アクリレート、Ｃ１−５アルキル（Ｃ１−５アルキル）アクリレートからなる群から選択され、前記重水素化アクリレートモノマーは、重水素化Ｃ６−１４アリール（Ｃ１−５アルキル）アクリレート、重水素化Ｃ１−５アルキル（Ｃ１−５アルキル）アクリレートからなる群から選択され、前記アクリレートブロック修飾モノマーは、Ｃ１−５アルケン及びＣ３−７シクロアルケンからなる群から選択され、
前記重水素化アクリレートブロック修飾モノマーは、Ｃ１−５アルケン及び重水素化Ｃ３−７シクロアルケンからなる群から選択され、
前記ポリ（シリルアクリレート）ブロックは、シリルアクリレートモノマー、重水素化シリルアクリレートモノマー、シリルアクリレートブロック修飾モノマー、及び重水素化シリルアクリレート修飾モノマーのうちの少なくとも１つからの残基を含み、
前記ポリ（シリルアクリレート）ブロックは、＞７５重量％シリルアクリレートモノマー誘導単位を含み、前記シリルアクリレートモノマーは、以下の式
（Ｒ１（Ｒ２）（Ｒ３）Ｓｉ）ｒＲ４ｘＯＯＣＣ（Ｒ５）＝ＣＲ６２
に従い、
式中Ｒ１、Ｒ２及びＲ３各々は、互いに独立して、Ｃ１−６アルキル基、シリル化Ｃ１−６アルキル基、オキシＣ１−６アルキル基、オキシシリル化Ｃ１−６アルキル基、Ｃ６−１０アリール基、オキシＣ６−１０アリール基、シリル化Ｃ６−１０アリール基、オキシシリル化Ｃ６−１０アリール基、Ｃ１−１０アリールアルキル基、オキシＣ１−１０アリールアルキル基、シリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、オキシシリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、Ｃ６−１０アルキルアリール基、オキシＣ６−１０アルキルアリール基、シリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基、オキシシリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基からなる群から選択され、ｒは、０、１、２及び３からなる群から選択され、Ｒ４は、Ｃ１−３アルキルからなる群から選択され、ｘは、０及び１からなる群から選択され、Ｒ５は、水素及びメチル基からなる群から選択され、
各Ｒ６は、水素であり、前記シリルアクリレートモノマーは、少なくとも１つのＳｉ原子を含み、前記重水素化シリルアクリレートモノマーは、以下の式
（Ｒ７（Ｒ８）（Ｒ９）Ｓｉ）ｔＲ１０ｙＯＯＣＣ（Ｒ１１）＝ＣＲ１２２
に従い、
式中Ｒ７、Ｒ８及びＲ９各々は、互いに独立して、Ｃ１−６アルキル基、シリル化Ｃ１−６アルキル基、オキシＣ１−６アルキル基、オキシシリル化Ｃ１−６アルキル基、Ｃ６−１０アリール基、オキシＣ６−１０アリール基、シリル化Ｃ６−１０アリール基、オキシシリル化Ｃ６−１０アリール基、Ｃ１−１０アリールアルキル基、オキシＣ１−１０アリールアルキル基、シリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、オキシシリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、Ｃ６−１０アルキルアリール基、オキシＣ６−１０アルキルアリール基、シリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基、オキシシリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基、重水素化Ｃ１−６アルキル基、重水素化シリル化Ｃ１−６アルキル基、重水素化オキシＣ１−６アルキル基、重水素化オキシシリル化Ｃ１−６アルキル基、重水素化Ｃ６−１０アリール基、重水素化オキシＣ６−１０アリール基、重水素化シリル化Ｃ６−１０アリール基、重水素化オキシシリル化Ｃ６−１０アリール基、重水素化Ｃ１−１０アリールアルキル基、重水素化オキシＣ１−１０アリールアルキル基、重水素化シリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、重水素化オキシシリル化Ｃ１−１０アリールアルキル基、重水素化Ｃ６−１０アルキルアリール基、重水素化オキシＣ６−１０アルキルアリール基、重水素化シリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基及び重水素化オキシシリル化Ｃ６−１０アルキルアリール基から選択され、ｔは、０、１、２及び３からなる群から選択され、Ｒ１０は、Ｃ１−３アルキル基及び重水素化Ｃ１−３アルキル基からなる群から選択され、ｙは、０又は１であり、Ｒ１１は、水素、重水素、メチル基及び重水素化メチル基からなる群から選択され、各Ｒ１２は、水素及び重水素から選択され、前記重水素化シリルアクリレートモノマーは、少なくともＳｉ原子を１つ含有し、前記重水素化シリルアクリレートモノマーは、少なくとも重水素を１つ含有し、前記シリルアクリレートブロック修飾モノマーは、アルケン及びシクロアルケンからなる群から選択され、前記重水素化シリルアクリレートブロック修飾モノマーは、重水素化アルケン及び重水素化シクロアルケンからなる群から選択される、共重合体組成物。
【請求項１２】
前記ブロック共重合体は、＜０．００１重量％のポリ（メチルメタクリレート）−ブロック−ポリ（（トリメチルシリル）メチルメタクリレート）ジブロック共重合体を含有する、請求項１１に記載の共重合体組成物。