Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成30年1月25日(2018.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットアームと、
前記ロボットアームの位置を位置目標値を用いて指示する入力部と、
前記入力部から入力された位置目標値に応じて、前記ロボットアームを移動させるアクチュエータと、
前記ロボットアームの位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段で検出されたロボットアームの位置を示す位置応答値と、前記位置目標値との差分に応じて、前記アクチュエータを駆動する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記位置目標値と前記位置応答値との差分から位置修正量を計算し、前記位置目標値を該位置修正量に応じて修正することを特徴とする、外力追従制御システム。
【請求項２】
前記制御部は、前記ロボットアームに加えられている外力に応じて前記位置目標値を修正することを特徴とする、請求項１に記載の外力追従制御システム。
外力追従制御システム。
【請求項３】
前記制御部は、前記外力によって移動したロボットアームの位置を、外力が除荷されても、前記外力によって移動する前の位置に戻さないことを特徴とする請求項１または２に記載の外力追従制御システム。
【請求項４】
前記アクチュエータに加えられた外力を検出して外力信号として出力する力センサをさらに備え、前記制御部は、外力信号に応じて、前記位置目標値を上書きすることを特徴とする、請求項１ないし３のうち一項に記載の外力追従制御システム。
【請求項５】
前記制御部は、前記ロボットアームの移動量が予め設定された閾値を超えた場合に、外力信号に応じて、前記位置目標値を上書きすることを特徴とする、請求項１ないし４のうち一項に記載の外力追従制御システム。
【請求項６】
前記制御部は、制御用センサにて検出された圧力値から得られる力信号を外力信号として用いることを特徴とする、請求項１ないし５のうち一項に記載の外力追従制御システム。
【請求項７】
前記アクチュエータに設けられた制御用の圧力センサとは、別体で前記ロボットアームに加わる外力を検出する力センサを設けて、前記制御部は、前記力センサにて検出された外力に基づく外力信号を用いて、位置目標値を修正することを特徴とする、請求項１ないし６のうち一項に記載の外力追従制御システム。
【請求項８】
前記制御部は、前記ロボットアームに加わる外力を、前記アクチュエータの駆動状況から算出する外力推定部を含むことを特徴とする請求項１ないし７のうち一項に記載の外力追従制御システム。
【請求項９】
前記ロボットアームは、空気圧アクチュエータによって駆動される医療用ロボットのアームであることを特徴とする請求項１ないし８のうち一項に記載の外力追従制御システム。
【請求項１０】
前記ロボットアームは、電動モータによって駆動されるロボットのアームであることを特徴とする請求項１ないし９のうち一項に記載の外力追従制御システム。
【手続補正書】
【提出日】平成30年11月14日(2018.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御部と、
基台と、
第１アームと第２アームと第３アームとを有し、前記基台に接続された胴部と、
第１の位置センサーと、
第２の位置センサーと、
第３の位置センサーと、
慣性センサーと、
力センサーと、
前記第１の位置センサーの信号を送受信する第１回路と、
前記第２の位置センサーの信号と前記慣性センサーの信号とを多重化および送受信する第２回路と、
前記第３の位置センサーの信号と前記力センサーの信号とを多重化および送受信する第３回路と、を備え、
前記制御部と前記第１回路とは、第１シリアル配線で接続されており、
前記第１回路と前記第２回路とは、第２シリアル配線で接続されており、
前記第２回路と前記第３回路とは、第３シリアル配線で接続されており、
前記第１アーム、前記第２アーム、および前記第３アームが同一直線上に配置されているとき、前記第１回路は、前記第２回路と前記第３回路と比較して前記基台の側に配置され、前記第２回路は、前記第３回路と比較して前記基台の側に配置されているロボット。
【請求項２】
前記第１アームを駆動する第１の駆動部と、前記第１の駆動部の速度を減速する第１の減速機と、を備え、
前記第１の位置センサーは、前記第１の減速機の入力軸に設けられ、
前記第２の位置センサーは、前記第１の減速機の出力軸に設けられ、
前記第１の位置センサーと前記第２の位置センサーとは、前記第１アームの位置を検出する請求項１に記載のロボット。
【請求項３】
前記第２アームを駆動する第２の駆動部と、前記第２の駆動部の速度を減速する第２の減速機と、を備え、
前記第１の位置センサーは、前記第２の減速機の入力軸に設けられ、
前記第２の位置センサーは、前記第２の減速機の出力軸に設けられ、
前記第１の位置センサーと前記第２の位置センサーとは、前記第２アームの位置を検出する請求項１に記載のロボット。
【請求項４】
前記第３アームを駆動する第３の駆動部と、前記第３の駆動部の速度を減速する第３の減速機と、を備え、
前記第２の位置センサーは、前記第３の減速機の入力軸に設けられ、
前記第３の位置センサーは、前記第３の減速機の出力軸に設けられ、
前記第１の位置センサーと前記第２の位置センサーとは、前記第３アームの位置を検出する請求項１に記載のロボット。
【請求項５】
前記第２回路は、前記第２の位置センサーの種別と前記第２の位置センサーの信号の送信に関する優先度とを示す情報を含む第１の識別子を前記第２の位置センサーの信号に付加し、前記慣性センサーの種別と前記慣性センサーの信号の送信に関する優先度とを示す情報を含む第２の識別子を前記慣性センサーの信号に付加する前記識別子付加部と、前記第１の識別子と前記第２の識別子とに基づいて、前記慣性センサーの信号と比べて前記第１の位置センサーの信号を先に送信させる送信順決定部と、を有する請求項１から４のいずれか１項に記載のロボット。
【請求項６】
基台と、
第１アームと第２アームと第３アームとを有し、前記基台に接続された胴部と、
第１の位置センサーと、
第２の位置センサーと、
第３の位置センサーと、
慣性センサーと、
力センサーと、
前記第１の位置センサーの信号を送受信する第１回路と、
前記第２の位置センサーの信号と前記慣性センサーの信号とを多重化および送受信する第２回路と、
前記第３の位置センサーの信号と前記力センサーの信号とを多重化および送受信する第３回路と、を備えるロボットを制御する制御装置であって、
前記制御装置と前記第１回路とは、第１シリアル配線で接続されており、
前記第１回路と前記第２回路とは、第２シリアル配線で接続されており、
前記第２回路と前記第３回路とは、第３シリアル配線で接続されており、
前記第１アーム、前記第２アーム、および前記第３アームが同一直線上に配置されているとき、前記第１回路は、前記第２回路と前記第３回路と比較して前記基台の側に配置され、前記第２回路は、前記第３回路と比較して前記基台の側に配置されているロボットを制御する制御装置。
【請求項７】
制御装置と、
基台と、
第１アームと第２アームと第３アームとを有し、前記基台に接続された胴部と、
第１の位置センサーと、
第２の位置センサーと、
第３の位置センサーと、
慣性センサーと、
力センサーと、
前記第１の位置センサーの信号を送受信する第１回路と、
前記第２の位置センサーの信号と前記慣性センサーの信号とを多重化および送受信する第２回路と、
前記第３の位置センサーの信号と前記力センサーの信号とを多重化および送受信する第３回路と、を備え、
前記制御装置と前記第１回路とは、第１シリアル配線で接続されており、
前記第１回路と前記第２回路とは、第２シリアル配線で接続されており、
前記第２回路と前記第３回路とは、第３シリアル配線で接続されており、
前記第１アーム、前記第２アーム、および前記第３アームが同一直線上に配置されているとき、前記第１回路は、前記第２回路と前記第３回路と比較して前記基台の側に配置され、前記第２回路は、前記第３回路と比較して前記基台の側に配置されているロボットシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月28日(2018.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
人物の動作に連動して撮像方向が変化する、撮像方向の異なる複数の撮像画像を取得する取得手段と、
当該人物の動作、又は前記取得手段により取得される複数の撮像画像内における被写体像の移動状況を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出される人物の動作、又は被写体像の移動状況に応じて、前記取得手段により取得される複数の撮像画像のうちの何れかを、前記人物の動作に連動して当該人物が視認可能に表示方向が変化する表示手段が切り替えて表示するように出力する制御を行う表示制御手段と、
を備えることを特徴とする表示制御装置。
【請求項２】
複数の撮像画像内の各々における被写体像の移動状況が異常であるか否かを判別する異常判別手段を更に備え、
前記表示制御手段は、前記異常判別手段により被写体像の移動状況が異常であると判別された撮像画像を前記表示手段が切り替えて表示するように出力する制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の表示制御装置。
【請求項３】
前記検出手段は、前記異常判別手段により被写体像の移動状況が異常であると判別された場合、被写体像の移動方向を検出し、
前記表示制御手段は、前記検出手段により検出される被写体像の移動方向に応じて、前記表示手段が切り替えて表示する撮像画像を左右反転して表示するように出力する制御を行うことを特徴とする請求項２に記載の表示制御装置。
【請求項４】
前記検出手段により検出される人物の動作が所定の閾値を超えて急激であるか否かを判別する動作判別手段を更に備え、
前記表示制御手段は、前記動作判別手段による判別結果に応じて異なるように、前記表示手段が切り替えて表示するように出力する制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の表示制御装置。
【請求項５】
前記動作判別手段は、人物の位置の移動量が所定の閾値を超えるか否かを判別し、
前記表示制御手段は、前記動作判別手段による判別結果に応じて、前記表示手段が切り替えて表示するように出力する制御とは異なる出力の制御を行うことを特徴とする請求項４に記載の表示制御装置。
【請求項６】
前記検出手段により検出される人物の動作に応じて、予め設定されている複数の前記撮像画像の撮像方向が維持されるように撮像画像を加工する画像加工手段を更に備え、
前記表示制御手段は、前記表示手段が、前記画像加工手段により加工された画像を表示するように出力する制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の表示制御装置。
【請求項７】
前記表示制御手段は、前記表示手段が、複数の撮像画像を並べて表示するように出力し、前記動作判別手段により検出される人物の動作に応じて、そのうちの一つの撮像画像を他の撮像画像と識別可能に切り替えて表示するように出力する制御を行うことを特徴とする請求項４に記載の表示制御装置。
【請求項８】
前記表示制御手段は、前記表示手段が切り替えて表示する撮像画像の撮像方向に応じて、左右反転して表示するように出力する制御を行うことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項９】
前記表示手段は、人物の両眼各々が独立して視認可能な２つの表示領域からなり、
前記表示制御手段は、前記検出手段により検出される人物の動作に応じて、前記２つの表示領域で、異なるように切り替えて表示するように出力する制御を行うことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項１０】
撮像方向の異なる複数の撮像手段、を更に備え、
前記取得手段は、前記撮像手段が撮像する撮像画像を取得し、
前記表示手段と前記複数の撮像手段とは、当該表示制御装置と一体であり、
当該表示制御装置は、人物に装着され、当該人物の動作に連動して、前記撮像手段の撮像方向及び前記表示手段の表示方向が変化することを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の表示制御装置。
【請求項１１】
人物の動作に連動して撮像方向が変化する、撮像方向の異なる複数の撮像画像を取得する取得処理と、
当該人物の動作、又は前記取得処理により取得される複数の撮像画像内における被写体像の移動状況を検出する検出処理と、
前記検出処理により検出される人物の動作、又は被写体像の移動状況に応じて、前記取得処理により取得される複数の撮像画像のうちの何れかを、前記人物の動作に連動して当該人物が視認可能に表示方向が変化する表示手段に切り替えて表示するように出力する制御を行う表示制御処理と、
を含むことを特徴とする表示制御方法。
【請求項１２】
コンピュータに、
人物の動作に連動して撮像方向が変化する、撮像方向の異なる複数の撮像画像を取得する取得機能と、
当該人物の動作、又は前記取得機能により取得される複数の撮像画像内における被写体像の移動状況を検出する検出機能と、
前記検出機能により検出される人物の動作、又は被写体像の移動状況に応じて、前記取得機能により取得される複数の撮像画像のうちの何れかを、前記人物の動作に連動して当該人物が視認可能に表示方向が変化する表示手段に切り替えて表示するように出力する制御を行う表示制御機能と、
を実現させることを特徴とするプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年12月7日(2017.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体上に画像を印刷する画像形成装置において、
印刷データに基づく静電潜像が形成される像担持体と、
前記像担持体上に現像剤を供給する現像剤担持体を有する現像部と、
前記像担持体上から現像剤を除去する除去部と、
時間を計測する時間計測部と、
装置全体の動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記時間計測部により計測された、印刷動作が終了したときから次の印刷動作が開始されるときまでの経過時間が、予め定められた時間閾値以上であるときには、前記現像部内の現像剤の一部を前記像担持体を経由して移動させ前記除去部に除去させる廃棄動作を実行させた後に、前記次の印刷動作を開始させる
ことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記経過時間が前記時間閾値未満であるときには、前記廃棄動作を行わずに、前記次の印刷動作を開始させることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記現像部内における前記現像剤の損傷の程度を示す指標であるダメージ値を記憶する記憶部をさらに有し、
前記ダメージ値は、前記印刷動作に応じて増加又は減少する値であり、
前記制御部は、前記ダメージ値に基づいて前記次の印刷動作における条件を設定する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記現像部は、前記現像剤担持体に現像剤を供給する供給部材をさらに有し、
前記次の印刷動作における条件は、前記供給部材に印加される電圧を含む
ことを特徴とする請求項３に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記次の印刷動作における条件は、前記現像剤担持体に印加される電圧を含むことを特徴とする請求項３又は４に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記現像部は、前記現像剤担持体上の現像剤の厚さを規制する現像剤像規制部材をさらに有し、
前記次の印刷動作における条件は、前記現像剤像規制部材に印加される電圧を含む
ことを特徴とする請求項３から５のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記像担持体を一様に帯電させる帯電部材をさらに有し、
前記次の印刷動作における条件は、前記帯電部材に印加される電圧を含む
ことを特徴とする請求項３から６のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項８】
温度検出部をさらに備え、
前記制御部は、
前記温度検出部によって検出された温度が高いほど、前記ダメージ値の１印刷ジョブあたりの変化率を大きくし、
前記温度検出部によって検出された温度が低いほど、前記ダメージ値の１印刷ジョブあたりの変化率を小さくする
ことを特徴とする請求項３から７のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項９】
記録媒体上に画像を印刷する印刷動作を行う画像形成方法において、
像担持体上に印刷データに基づく静電潜像を形成するステップと、
現像部内の現像剤を前記像担持体上に供給して現像剤像を形成するステップと、
前記現像剤像を前記記録媒体上に転写させるステップと、
を有し、
印刷動作が終了したときから次の印刷動作が開始されるときまでの経過時間が、予め定められた時間閾値以上であるときには、前記現像部内の現像剤の内の一部を前記像担持体を経由して移動させ除去させる廃棄動作を実行した後に、前記次の印刷動作を開始する
ことを特徴とする画像形成方法。
【請求項１０】
前記経過時間が前記時間閾値未満であるときには、前記次の印刷動作を開始することを特徴とする請求項９に記載の画像形成方法。
【請求項１１】
記録媒体上に画像を印刷する画像形成装置において、
印刷データに基づく静電潜像が形成される像担持体と、
前記像担持体上に現像剤を供給する現像剤担持体を有する現像部と、
前記像担持体上から現像剤を除去する除去部と、
時間を計測する時間計測部と、
温度を検出する温度検出部と、
前記温度検出部で計測された前記温度を記憶する記憶部と、
装置全体の動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記記憶部に記憶されている温度が予め定められた温度閾値以上であり、且つ、前記時間計測部により計測された、印刷動作が終了したときから次の印刷動作が開始されるときまでの経過時間が予め定められた時間閾値以上であるときには、前記現像部内の現像剤の一部を前記像担持体を経由して移動させ前記除去部に除去させる廃棄動作を実行させた後に、前記次の印刷動作を開始させる
ことを特徴とする画像形成装置。
【請求項１２】
前記制御部は、前記記憶部に記憶されている温度が前記温度閾値未満であるときには、前記廃棄動作を行わずに、前記次の印刷動作を開始させることを特徴とする請求項１１に記載の画像形成装置。
【請求項１３】
前記制御部は、前記時間計測部により計測された経過時間が前記時間閾値未満であるときには、前記廃棄動作を行わずに、前記次の印刷動作を開始させることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の画像形成装置。
【請求項１４】
前記記憶部に記憶されている温度は、前回の印刷動作の終了時において前記温度検出部が検出した温度であることを特徴とする請求項１１から１３のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項１５】
前記温度検出部によって検出される温度は、装置内部の温度及び装置外部の温度の少なくとも一方であることを特徴とする請求項１１から１４のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一態様の画像形成装置は、記録媒体上に画像を印刷する画像形成装置において、印刷データに基づく静電潜像が形成される像担持体と、前記像担持体上に現像剤を供給する現像剤担持体を有する現像部と、前記像担持体上から現像剤を除去する除去部と、時間を計測する時間計測部と、装置全体の動作を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記時間計測部により計測された、印刷動作が終了したときから次の印刷動作が開始されるときまでの経過時間が、予め定められた時間閾値以上であるときには、前記現像部内の現像剤の一部を前記像担持体を経由して移動させ前記除去部に除去させる廃棄動作を実行させた後に、前記次の印刷動作を開始させることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本発明の一態様の画像形成装置は、記録媒体上に画像を印刷する画像形成装置において、印刷データに基づく静電潜像が形成される像担持体と、前記像担持体上に現像剤を供給する現像剤担持体を有する現像部と、前記像担持体上から現像剤を除去する除去部と、時間を計測する時間計測部と、温度を検出する温度検出部と、前記温度検出部で計測された前記温度を記憶する記憶部と、装置全体の動作を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記記憶部に記憶されている温度が予め定められた温度閾値以上であり、且つ、前記時間計測部により計測された、印刷動作が終了したときから次の印刷動作が開始されるときまでの経過時間が予め定められた時間閾値以上であるときには、前記現像部内の現像剤の一部を前記像担持体を経由して移動させ前記除去部に除去させる廃棄動作を実行させた後に、前記次の印刷動作を開始させることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月6日(2018.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性基体上に感光層を有する電子写真感光体であって、前記感光層が、窒素原子の質
量比が１５ｐｐｍ以上１００ｐｐｍ以下であるポリアリレート樹脂を含有し、該ポリアリ
レート樹脂が、窒素原子の質量比が０．１ｐｐｍ以上１０ｐｐｍ以下である酸塩化物と、
ビスフェノールとの反応物であることを特徴とする、電子写真感光体。
【請求項２】
前記酸塩化物の構造が下記構造式（１）で表されることを特徴とする、請求項１に記載
の電子写真感光体。
【化１】
2017049298.tif 000001
（式（１）中、Ｘは酸素原子、又は単結合、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立してアルキル基
、ｎ及びｍは０〜２の整数を表す。）
【請求項３】
前記ビスフェノールが、下記構造式（２）で表されるビスフェノール残基を含有するこ
とを特徴とする請求項１又は２に記載の電子写真感光体。
【化２】
2017049298.tif 000002
（式（２）中、Ｒ５〜Ｒ８はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜２０のアルキル基、
炭素数１〜２０のアルコキシル基、ハロゲン化アルキル基、ベンジル基、又はアリール基
を示し、Ｘ1は単結合、アルキレン基、−ＣＲ９Ｒ１０−、酸素原子、又は硫黄原子を示
す。Ｒ９、Ｒ１０はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜２０のアルキル基、アリール
基、又はＲ９とＲ１０が互いに結合して置換基を有していてもよい環を形成する基を示す
。）
【請求項４】
前記ポリアリレート樹脂の粘度平均分子量が、２０，０００〜１００，０００であるこ
とを特徴とする請求項１〜３のいずれか1項に記載の電子写真感光体。
【請求項５】
酸塩化物と、ビスフェノールとを用いて反応を行うポリアリレート樹脂の製造方法であ
って、前記酸塩化物中の窒素原子の質量比が１０ｐｐｍ以下であることを特徴とする、ポ
リアリレート樹脂の製造方法。
【請求項６】
前記酸塩化物の構造が下記構造式（１）で表されることを特徴とする、請求項５に記載
のポリアリレート樹脂の製造方法。
【化３】
2017049298.tif 000003
（式（１）中、Ｘは酸素原子、又は単結合、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立してアルキル基
、ｎ及びｍは０〜２の整数を表す。）
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月25日(2018.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像形成装置に着脱可能な画像加熱ユニットであって、
記録材に形成されたトナー像を加熱するためのニップ部を形成する一対の回転体と、
前記一対の回転体の外側に位置した外壁と、
記憶素子を備えた電気基板と、
を有し、
前記電気基板は、前記記憶素子が前記外壁の外面と所定のギャップを介して対面するように、前記外壁の外面に取り付けられていることを特徴とする画像加熱ユニット。
【請求項２】
前記電気基板は前記記憶素子が設けられた面にコネクタを備えていることを特徴とする請求項１に記載の画像加熱ユニット。
【請求項３】
前記電気基板は、前記外壁に逆向きに取り付けられるのを防止する防止部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の画像加熱ユニット。
【請求項４】
前記防止部は、前記電気基板を前記外壁に位置決めするための第１の穴と、前記電気基板を前記外壁にビス止めするための第２の穴と、を備えており、前記第１の穴と前記第２の穴は大きさが異なることを特徴とする請求項３に記載の画像加熱ユニット。
【請求項５】
前記記憶素子には、前記画像加熱ユニットの使用履歴が記憶されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の画像加熱ユニット。
【請求項６】
前記画像形成装置と電気的に接続可能な電気接点と、前記電気接点と前記電気基板を電気的に接続する配線部と、を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像加熱ユニット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】画像形成装置に着脱可能な画像加熱ユニット
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明はシート上の画像を加熱する画像加熱ユニットに関する。この画像加熱ユニットは、例えば、複写機、プリンタ、ファックス、及びこれらの機能を複数備えた複合機等の画像形成装置に用いられる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の目的は、メモリの損傷を抑制可能な画像加熱ユニットを提供することである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係る画像形成装置に着脱可能な画像加熱ユニットは、画像形成装置に着脱可能な画像加熱ユニットであって、記録材に形成されたトナー像を加熱するためのニップ部を形成する一対の回転体と、前記一対の回転体の外側に位置した外壁と、記憶素子を備えた電気基板と、を有し、前記電気基板は、前記記憶素子が前記外壁の外面と所定のギャップを介して対面するように、前記外壁の外面に取り付けられていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明によれば、メモリの損傷を抑制可能な画像加熱ユニットを提供できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
（画像加熱ユニットとしての定着装置）
図２は、画像形成装置本体１００ａ（図１）に着脱可能な本発明の実施形態に係る画像加熱ユニットとしての定着装置１４（図１）の主断面図である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
また、電気基板４０１には、位置決め用の穴４０４と、基板固定用のビス止め穴４０５が設けてあり、位置決め用穴４０４を第１の穴として直径４ｍｍの丸穴、ビス止め穴４０５を第２の穴として短辺方向の開口幅３ｍｍ、長辺方向の開口幅５ｍｍの二法取り穴（長穴）としている。本実施形態では、このような穴が、ＩＣチップ基板３０７の逆向きの装着を規制（防止）する規制部（防止部）として作用することで、ＩＣチップ基板３０７の逆付けが出来ない構成としている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
そして、図６Ａ（ａ）で、シャッターユニット６０１内のＩＣチップ基板３０７が装着される領域の周辺部には、ＩＣチップ基板３０７から見て４方向のうち３方向に外壁としての壁６１０（斜線で示す）が備わる。ＩＣチップ基板３０７は、これらの壁６１０に囲まれるようにして外側に開放される位置（ユニットにおける外側位置）に装着され、固定用ビス６０８が位置決めボス６０７に締結されることで壁６１０に対し一段凹部となった領域に固定される。このように、ＩＣチップ基板３０７が放熱が期待される外側に開放される位置に装着されることで、熱に弱いＩＣチップ基板３０７に対しては好ましい配置となる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
即ち、図８（ｂ）において、記憶素子としてのＩＣチップ４０２と、ニップ部を形成する一対の回転体（定着フィルム２０１および加圧ローラ２５１）との間の空間を遮る遮蔽部材７００が設けられる。そして、遮蔽部材７００とＩＣチップ基板３０７(図４）における電子回路基板としての電気基板４０１の間にＩＣチップ４０２が位置する（外壁としての壁６１０の外面に対面する）ように、電気基板４０１が遮蔽部材７００に対して固定手段で固定される。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月23日(2018.8.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空粒子と、中実粒子と、バインダーを有する反射防止膜であって、
前記中実粒子の含有量は、前記中空粒子の含有量に対して０．０５質量％以上０．６６質量％以下であり、
前記中実粒子の平均粒子径は、前記中空粒子の平均粒子径以上であることを特徴とする反射防止膜。
【請求項２】
前記中実粒子の平均粒子径が６０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であり、
前記中空粒子の平均粒子径が５０ｎｍ以上６０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の反射防止膜。
【請求項３】
前記反射防止膜の平均の膜厚が１００ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であり、
前記中実粒子の平均粒子径は、前記反射防止膜の平均の膜厚以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の反射防止膜。
【請求項４】
基材上に反射防止膜が形成された光学部材であって、
前記反射防止膜は、中空粒子と、中実粒子と、バインダーとを有し、
前記反射防止膜における前記中実粒子の含有量は、前記中空粒子の含有量に対して０．０５質量％以上０．６６質量％以下であり、
前記中実粒子の平均粒子径は、前記中空粒子の平均粒子径以上であることを特徴とする光学部材。
【請求項５】
前記中実粒子の平均粒子径が６０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であり、
前記中空粒子の平均粒子径が５０ｎｍ以上６０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項４に記載の光学部材。
【請求項６】
前記反射防止膜の平均の膜厚が１００ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であり、
前記中実粒子の平均粒子径は、前記反射防止膜の平均の膜厚以下であることを特徴とする請求項４又は５に記載の光学部材。
【請求項７】
前記基材がガラスまたは樹脂からなることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか一項に記載の光学部材。
【請求項８】
請求項４乃至７のいずれか一項に記載の光学部材であって、前記光学部材が光学レンズであることを特徴とする光学部材。
【請求項９】
少なくとも中空粒子と、中実粒子と、バインダーと、溶剤を含有する塗料であって、前記塗料の全固形分に対して、前記中空粒子の含有量が５０．０質量％以上８５．０質量％以下で、前記中実粒子の含有量が０．０２５質量％以上１．１３質量％以下である前記塗料を基材の上に塗工する工程と、
前記基材の上に塗工された前記塗料を乾燥して反射防止膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする光学部材の製造方法。
【請求項１０】
前記中実粒子の平均粒子径が６０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であり、
前記中空粒子の平均粒子径が５０ｎｍ以上６０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項９に記載の光学部材の製造方法。
【請求項１１】
前記反射防止膜の平均の膜厚が１００ｎｍ以上１５０ｎｍ以下であり、
前記中実粒子の平均粒子径は、前記反射防止膜の平均の膜厚以下であることを特徴とする請求項９又は１０に記載の光学部材の製造方法。
【請求項１２】
前記基材がガラスまたは樹脂からなることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法。
【請求項１３】
請求項４乃至８のいずれか一項に記載の光学部材を備えたことを特徴とする撮像機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の反射防止膜は、中空粒子と、中実粒子と、バインダーを有する反射防止膜であって、前記中実粒子の含有量は、前記中空粒子の含有量に対して０．０５質量％以上０．６６質量％以下であり、前記中実粒子の平均粒子径は、前記中空粒子の平均粒子径以上であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の光学部材は、基材上に反射防止膜が形成された光学部材であって、前記反射防止膜は、中空粒子と、中実粒子と、バインダーとを有し、前記反射防止膜における中実粒子の含有量は、前記中空粒子の含有量に対して０．０５質量％以上０．６６質量％以下であり、前記中実粒子の平均粒子径は、前記中空粒子の平均粒子径以上であることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成30年11月15日(2018.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性基板の主表面上に位相シフト膜および遮光膜を備えたマスクブランクであって、
前記位相シフト膜は、前記透光性基板側から下層と上層がこの順に積層された構造を有し、
前記下層は、ケイ素および窒素を含有する材料からなり、
前記上層は、ケイ素、アルミニウムおよび酸素を含有する材料からなり、
前記遮光膜は、ケイ素、タンタルおよびクロムから選ばれる１以上の元素を含有する材料からなり、
前記遮光膜は、前記上層の表面に接して形成されていることを特徴とするマスクブランク。
【請求項２】
前記上層は、酸素含有量が６０原子％以上であることを特徴とする請求項１記載のマスクブランク。
【請求項３】
前記上層は、前記ケイ素および前記アルミニウムの合計含有量に対する前記ケイ素の含有量の原子％による比率が、４／５以下であることを特徴とする請求項１または２記載のマスクブランク。
【請求項４】
前記上層は、ケイ素、アルミニウムおよび酸素からなることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項５】
前記上層は、厚さが３ｎｍ以上であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項６】
前記下層は、遷移金属、ケイ素および窒素を含有する材料からなることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項７】
前記位相シフト膜は、露光光を１％以上の透過率で透過させる機能と、前記位相シフト膜を透過した前記露光光に対して前記位相シフト膜の厚さと同じ距離だけ空気中を通過した前記露光光との間で１５０度以上１８０度以下の位相差を生じさせる機能とを有することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項８】
前記透光性基板の主表面に接してエッチングストッパー膜が形成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項９】
前記エッチングストッパー膜は、酸素含有量が６０原子％以上であることを特徴とする請求項８記載のマスクブランク。
【請求項１０】
前記エッチングストッパー膜は、前記ケイ素および前記アルミニウムの合計含有量に対する前記ケイ素の含有量の原子％による比率が、４／５以下であることを特徴とする請求項８または９記載のマスクブランク。
【請求項１１】
前記エッチングストッパー膜は、ケイ素、アルミニウムおよび酸素からなることを特徴とする請求項８から１０のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項１２】
前記エッチングストッパー膜は、厚さが３ｎｍ以上であることを特徴とする請求項８から１１のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項１３】
前記遮光膜は、遷移金属およびケイ素を含有する材料からなることを特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項１４】
前記遮光膜上に、クロムを含有する材料からなるハードマスク膜を備えることを特徴とする請求項１３記載のマスクブランク。
【請求項１５】
請求項１から１３のいずれかに記載のマスクブランクの前記位相シフト膜に位相シフトパターンが形成され、前記遮光膜に遮光パターンが形成されていることを特徴とする位相シフトマスク。
【請求項１６】
請求項１から１４のいずれかに記載のマスクブランクを用いた位相シフトマスクの製造方法であって、
ドライエッチングにより前記遮光膜に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンを有する遮光膜をマスクとし、塩化ホウ素ガスを含有するエッチングガスを用いるドライエッチングにより前記上層に位相シフトパターンを形成する工程と、
前記位相シフトパターンを有する遮光膜をマスクとし、フッ素系ガスを含有するエッチングガスを用いるドライエッチングにより前記下層に位相シフトパターンを形成する工程と、
ドライエッチングにより前記遮光膜に遮光帯を含むパターンを形成する工程と
を備えることを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
【請求項１７】
請求項１５記載の位相シフトマスクを用い、半導体基板上のレジスト膜に転写パターンを露光転写する工程を備えることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
【請求項１８】
請求項１６記載の位相シフトマスクの製造方法により製造された位相シフトマスクを用い、半導体基板上のレジスト膜に転写パターンを露光転写する工程を備えることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月21日(2018.8.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
用紙を収納する収納手段と、
前記収納手段から送られた用紙を搬送路に沿って搬送する搬送手段と、
前記搬送手段により搬送される用紙を前記搬送路で検知する検知手段と、
前記搬送手段により搬送される用紙を搬送途中で停止させる位置を指定する位置指定手段と、
搬送する用紙の枚数に関する情報を指定する枚数指定手段と、
前記搬送手段により用紙を搬送中に、前記検知手段による用紙の検知に基づいて前記位置指定手段により指定された位置に用紙が到達したか否かを判定し、前記枚数指定手段により指定された枚数の用紙が到達するまでは前記指定された位置に用紙を停止させずに搬送を続行させ、前記指定された位置に前記指定された枚数の用紙が到達すると、前記指定された位置に用紙を停止させるよう前記搬送手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
用紙に画像形成する画像形成手段を有し、
前記制御手段は、前記位置指定手段により指定された位置に用紙を停止させるとともに、前記画像形成手段の動作を停止させることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記搬送手段は複数の搬送モータを有し、
前記制御手段は、前記指定された位置に前記指定された枚数の用紙が到達すると、前記複数の搬送モータを停止させることを特徴とする請求項１または２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
情報を表示する表示手段を有し、
前記制御手段は、前記指定した位置に用紙を停止させると、前記表示手段に用紙の停止位置を表示させることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記指定した位置に用紙を停止させると、前記表示手段に用紙を取り除くことの指示を表示させることを特徴とする請求項４に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記検知手段は、前記搬送路の異なる位置に配置され、それぞれ用紙を検知する複数のセンサを含み、
前記制御手段は、前記位置指定手段により指定された位置に対応するセンサが用紙を検知してから所定時間経過後に用紙の搬送を停止するよう前記搬送手段を制御することを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の画像形成装置は、用紙を収納する収納手段と、
前記収納手段から送られた用紙を搬送路に沿って搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送される用紙を前記搬送路で検知する検知手段と、前記搬送手段により搬送される用紙を搬送途中で停止させる位置を指定する位置指定手段と、搬送する用紙の枚数に関する情報を指定する枚数指定手段と、前記搬送手段により用紙を搬送中に、前記検知手段による用紙の検知に基づいて前記位置指定手段により指定された位置に用紙が到達したか否かを判定し、前記枚数指定手段により指定された枚数の用紙が到達するまでは前記指定された位置に用紙を停止させずに搬送を続行させ、前記指定された位置に前記指定された枚数の用紙が到達すると、前記指定された位置に用紙を停止させるよう前記搬送手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月23日(2018.8.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無端状のベルトと、
前記ベルトを張架して搬送する複数の張架ローラであって、前記ベルトを幅方向に移動させる傾動可能なステアリングローラを含む複数の張架ローラと、
前記ベルトの幅方向の位置を検知する検知部と、
前記ステアリングローラを傾動させる駆動部と、
前記検知部の検知結果に基づいて前記駆動部を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記検知部によって前記ベルトが所定の位置から離れる方向に移動するベルト寄りが検知された場合、前記駆動部によって前記ステアリングローラを前記ベルト寄りを戻す方向に間欠的に傾動させ、該間欠的な傾動の間の停止期間に前記検知部によって前記ベルトの移動方向が前記所定の位置に近付く方向に変化したことが検知された場合、次の前記ステアリングローラの傾動を行わせずに待機することを特徴とするベルト搬送装置。
【請求項２】
前記制御部は、
前記検知部によって前記ベルト寄りが検知される前の前記ステアリングローラの傾動方向の初期位置を記憶し、
前記ベルト寄りを戻す方向の間欠的な傾動に続く前記待機の間に、前記検知部によって前記ベルトが前記所定の位置に戻ったことが検知された場合、前記初期位置を現在の位置よりも前記ベルト寄りを戻す方向に傾動した位置に更新して記憶すると共に、前記駆動部によって前記ステアリングローラを前記ベルト寄りを戻す方向とは逆方向に間欠的に傾動させて、前記更新の後の前記初期位置まで前記ステアリングローラの前記傾動方向の位置を戻すことを特徴とする請求項１に記載のベルト搬送装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記ベルト寄りを戻す方向の間欠的な傾動に続く前記待機の間に、前記検知部によって前記ベルトが前記所定の位置に戻ったことが検知された場合、前記駆動部によって前記ステアリングローラを前記ベルト寄りを戻す方向とは逆方向に間欠的に傾動させ、該間欠的な傾動の間の停止期間に前記検知部によって前記ベルトの移動方向が前記所定の位置から離れる方向に変化したことが検知された場合、次の前記ステアリングローラの傾動を行わせずに待機することを特徴とする請求項１に記載のベルト搬送装置。
【請求項４】
前記駆動部は、前記ステアリングローラを傾動させるステッピングモータを有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のベルト搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のベルト搬送装置と、前記ベルト又は前記ベルトに担持された記録材にトナー像を形成するトナー像形成手段と、を有する画像形成装置。
【請求項６】
前記トナー像形成手段は、前記ベルトの搬送方向に並んで配置された、それぞれがトナー像を担持する複数の像担持体を有し、
前記ベルトは、前記複数の像担持体と接触して、前記複数の像担持体から前記ベルト又は前記ベルトに担持された記録材にトナー像を転写する複数の転写部を形成し、
前記制御部は、前記ステアリングローラを間欠的に傾動させる際の１回の傾動に要する時間を、前記ベルトの搬送方向において隣接する前記転写部の間の距離を前記ベルトが搬送される時間よりも短くするように制御することを特徴とする請求項５に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記ステアリングローラを間欠的に傾動させる際の一の傾動の開始から次の傾動の開始までの時間を、前記複数の転写部のうち前記ベルトの搬送方向において最初に前記転写が行われる前記転写部から最後に前記転写が行われる前記転写部までの距離を前記ベルトが搬送される時間よりも長くするように制御することを特徴とする請求項６に記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記ベルトの搬送速度が異なる複数の速度モードに切り替える搬送速度切り替え部を有することを特徴とする請求項６又は７に記載の画像形成装置。
【請求項９】
前記複数の像担持体のうち前記ベルトが接触されて前記転写部を形成する像担持体の数が異なる複数の画像形成モードに切り替える画像形成モード切り替え部を有し、
前記制御部は、前記ステアリングローラを間欠的に傾動させる際の１回の傾動量を、画像形成モードに応じて変更することを特徴とする請求項６〜８のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記ステアリングローラを間欠的に傾動させる際の１回の傾動量を、複数の前記転写部を形成する画像形成モードよりも、１つの前記転写部を形成する画像形成モードの方を多くすることを特徴とする請求項９に記載の画像形成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月4日(2018.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
試料の表面に近接させる探針が設けられたカンチレバーと、
前記カンチレバーを水平面に対して所定の取付角で取り付けるカンチレバー支持部と、
前記カンチレバーの位置を調整する移動機構と、
検出光を照射する光源部と、
前記カンチレバーに設けられた反射面で反射された前記検出光を検出し、前記カンチレバーの変位を検出する検出部と、
前記カンチレバーに対向して配置され、該カンチレバーの近傍を観察又は撮像する対物レンズと、を備えた走査プローブ顕微鏡であって、
さらに、前記カンチレバーを前記カンチレバー支持部に取り付けない状態で、前記対物レンズで撮像した前記検出光のスポット光のスポット位置を検出し、前記対物レンズで撮像した前記カンチレバーの位置を検出し、前記スポット位置、前記カンチレバーの位置、前記検出光の入射角、及び前記取付角に基づき、前記カンチレバーを前記カンチレバー支持部に取り付けたときに前記反射面で前記検出光が反射されるように前記移動機構を制御する制御手段を備えることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
試料の表面に近接させる探針が設けられたカンチレバーと、
前記カンチレバーを水平面に対して所定の取付角で取り付けるカンチレバー支持部と、
前記カンチレバーの位置を調整する移動機構と、
検出光を照射する光源部と、
前記カンチレバーに設けられた反射面で反射された前記検出光を検出し、前記カンチレバーの変位を検出する検出部と、
前記カンチレバーに対向して配置され、該カンチレバーの近傍を観察又は撮像する対物レンズと、を備えた走査プローブ顕微鏡の光軸調整方法であって、
前記カンチレバーを前記カンチレバー支持部に取り付けない状態で、前記対物レンズで撮像した前記検出光のスポット光の前記スポット位置を検出するスポット位置検出工程と、
前記対物レンズで撮像した前記カンチレバーの位置を検出するカンチレバー位置検出工程と、
前記スポット位置、前記カンチレバーの位置、前記検出光の入射角、及び前記取付角に基づき、前記カンチレバーを前記カンチレバー支持部に取り付けたときに前記反射面で前記検出光が反射されるよう、前記カンチレバーの取付位置を幾何学的に算出するカンチレバー取付位置算出工程と、
前記カンチレバーが前記取付位置に来るよう、前記移動機構を制御して前記カンチレバーを前記カンチレバー支持部に取り付けるカンチレバー取付工程と、
を有する走査プローブ顕微鏡の光軸調整方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明の走査プローブ顕微鏡は、試料の表面に近接させる探針が設けられたカンチレバーと、前記カンチレバーを水平面に対して所定の取付角で取り付けるカンチレバー支持部と、前記カンチレバーの位置を調整する移動機構と、検出光を照射する光源部と、前記カンチレバーに設けられた反射面で反射された前記検出光を検出し、前記カンチレバーの変位を検出する検出部と、前記カンチレバーに対向して配置され、該カンチレバーの近傍を観察又は撮像する対物レンズと、を備えた走査プローブ顕微鏡であって、さらに、前記カンチレバーを前記カンチレバー支持部に取り付けない状態で、前記対物レンズで撮像した前記検出光のスポット光のスポット位置を検出し、前記対物レンズで撮像した前記カンチレバーの位置を検出し、前記スポット位置、前記カンチレバーの位置、前記検出光の入射角、及び前記取付角に基づき、前記カンチレバーを前記カンチレバー支持部に取り付けたときに前記反射面で前記検出光が反射されるように前記移動機構を制御する制御手段を備えることを特徴とする。
この走査プローブ顕微鏡によれば、制御手段は、カンチレバーの位置、検出光の入射角、及び取付角に基づき、カンチレバーの反射面に検出光が反射されるように、カンチレバーをカンチレバー支持部に取り付ける位置を幾何学的に自動計算する。そして、制御手段は、カンチレバーがこの取付位置に来るよう、移動機構を制御してカンチレバーをカンチレバー支持部に取り付けるので、対物レンズを用いて光テコの光軸調整を自動的に行える。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の走査プローブ顕微鏡の光軸調整方法は、試料の表面に近接させる探針が設けられたカンチレバーと、前記カンチレバーを水平面に対して所定の取付角で取り付けるカンチレバー支持部と、前記カンチレバーの位置を調整する移動機構と、検出光を照射する光源部と、前記カンチレバーに設けられた反射面で反射された前記検出光を検出し、前記カンチレバーの変位を検出する検出部と、前記カンチレバーに対向して配置され、該カンチレバーの近傍を観察又は撮像する対物レンズと、を備えた走査プローブ顕微鏡の光軸調整方法であって、前記カンチレバーを前記カンチレバー支持部に取り付けない状態で、前記対物レンズで撮像した前記検出光のスポット光の前記スポット位置を検出するスポット位置検出工程と、前記対物レンズで撮像した前記カンチレバーの位置を検出するカンチレバー位置検出工程と、前記スポット位置、前記カンチレバーの位置、前記検出光の入射角、及び前記取付角に基づき、前記カンチレバーを前記カンチレバー支持部に取り付けたときに前記反射面で前記検出光が反射されるよう、前記カンチレバーの取付位置を幾何学的に算出するカンチレバー取付位置算出工程と、前記カンチレバーが前記取付位置に来るよう、前記移動機構を制御して前記カンチレバーを前記カンチレバー支持部に取り付けるカンチレバー取付工程と、を有する。
この走査プローブ顕微鏡の光軸調整方法によれば、カンチレバーの位置、検出光の入射角、及び取付角に基づき、カンチレバーの反射面に検出光が反射されるように、カンチレバーをカンチレバー支持部に取り付ける位置を幾何学的に自動計算する。そして、カンチレバーがこの取付位置に来るよう、移動機構を制御してカンチレバーをカンチレバー支持部に取り付けるので、対物レンズを用いて光テコの光軸調整を自動的に行える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
具体的には、まず図４に示すように、カンチレバー４を斜面ブロック１１に取り付けない状態で、制御手段４０は、試料１８表面の点Ｑで反射されたレーザ光Ｌ０のスポット光を対物レンズ１７で撮像し、画像処理によってレーザ光Ｌ０のスポット位置（図４ではスポット光の重心Ｇ１）を検出する（スポット位置検出工程  図６のＳ１００）。又、図５に示すように、カンチレバー４を斜面ブロック１１に取り付けない状態（つまり、カンチレバー供給機構２９にカンチレバー４を保持した状態）で、制御手段４０は、レーザ光Ｌ０を照射しないでカンチレバー４を対物レンズ１７で撮像し、画像処理によってカンチレバー４の位置（図５ではカンチレバー４の重心Ｇ２）を検出する（カンチレバー位置検出工程  図６のＳ１４）。重心Ｇ２は、例えばカンチレバー４の輪郭を画像処理にて抽出して求めることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月11日(2018.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に薄膜が形成されているぜんまいであって、
前記ぜんまいの外周部のみに、前記薄膜が形成されていない非成膜領域を配置する
ことを特徴とするぜんまい。
【請求項２】
前記非成膜領域を複数個所配置し、
複数の前記非成膜領域は、等間隔に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載のぜんまい。
【請求項３】
前記非成膜領域は、前記ぜんまいの外周部と内周部の膜量が等しくなるように設定されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のぜんまい。
【請求項４】
突出部を有するヒゲぜんまいを形成する工程と、
表面に薄膜を形成する工程と、
突出部を除去する工程と、
を含むぜんまいの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ぜんまい及びぜんまいの製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
表面に薄膜が形成されているぜんまいであって、前記ぜんまいの外周部のみに、前記薄膜が形成されていない非成膜領域を配置することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、非成膜領域を複数個所配置し、複数の非成膜領域は、等間隔に配置されていることを特徴とする。さらに、非成膜領域は、ぜんまいの外周部と内周部の膜量が等しくなるように設定されていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
これによって、ぜんまい部に局所的に膜力差が大きくなる領域が形成されるのを防ぐことができる。
さらに、本発明のぜんまいの製造方法は、突出部を有するヒゲぜんまいを形成する工程と、表面に薄膜を形成する工程と、突出部を除去する工程と、を含むことを特徴とする。