【事件の表示】
　平成　８年特許願第２１６２２６号「ウエハステージ」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　３月　６日出願公開、特開平１０−　６４９８４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成８年８月１６日の特許出願であって、同１４年５月２３日付で拒絶の理由が通知され、同１４年７月２６日に意見書とともに手続補正書が提出されたが、同１５年４月１７日付で拒絶をすべき旨の査定がされ、同１５年５月２２日に本件審判の請求がされるとともに、同１５年６月２３日に明細書を補正対象書類とする手続補正（以下「本件補正」という。）がされたものである。
　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は特許請求の範囲を含む明細書について補正するものであって、補正前後の特許請求の範囲の請求項１の記載は以下のとおりである。
（１）補正前の請求項１
「静電チャックと、該静電チャックの下に配設され、温調手段を備えた金属製ジャケットとからなるウエハステージであって、
　前記静電チャックは、前記金属製ジャケットの上方に配置されたヒータと、
　前記ヒータの上側あるいは下側の少なくとも一方に配設された金属板と、
　積層された前記ヒータおよび前記金属板の側面および上部を覆うように金属製ジャケット上に配設された窒化アルミニウム板と、
　前記窒化アルミニウム板上に配設されたろう付け層からなる電極と、
　前記電極の側面および上部を覆うように配設されるとともに、当該電極により前記窒化アルミニウム板に固定された絶縁材料からなる誘電体とを備えた
　ことを特徴とするウエハステージ。」
（２）補正後の請求項１
「静電チャックと、該静電チャックの下に配設され、温調手段を備えた金属製ジャケットとからなるウエハステージであって、
　前記静電チャックは、前記金属製ジャケットの上方に配置されたヒータと、
　前記ヒータの上側あるいは下側の少なくとも一方に配設された金属板と、
　積層された前記ヒータおよび前記金属板の側面および上部を覆うように金属製ジャケット上に配設された窒化アルミニウム板と、
　前記窒化アルミニウム板上に配設されたろう付け層からなる電極と、
　前記電極の側面および上部を覆うように配設されるとともに、当該電極により前記窒化アルミニウム板に固定された絶縁材料からなる誘電体とを備え、
　
前記誘電体にはプッシャーピンを突出させるための貫通孔が設けられるとともに、前記誘電体の下面における当該貫通孔の周辺部には、当該プッシャーピンと前記電極との接触を防止するように、当該電極と同じ高さの筒部が設けられている
　
２　補正の適否　　　
　請求項１における補正は、誘電体について、貫通孔が設けられ、当該貫通孔の周辺部に筒部が設けられている旨の限定事項を付加するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるので、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討する。　
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正がされた明細書及び図面の記載からみて、前記１の（２）の補正後の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
　
（２）刊行物記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開昭６３−１６０３５５号公報（以下「刊行物１」という。）、特開平６−２８３５９４号公報（以下「刊行物２」という。）及び特開平８−７００３６号公報（以下「刊行物３」という。）には、以下のとおり記載されている。
ア　刊行物１
（ア）第２頁左上欄第１４行−右上欄第１行
「〔実施例〕
　・・・第１図は本発明を実施した静電チャックの断面を示すもので、金属板７の上に絶縁層６、電極５、絶縁層４を被着して誘電体を構成している。加熱体として本実施例ではフォイルヒータ８を用い、前記誘電体の裏面へ接触させ熱伝導によってウエハ３を加熱する。」
　
（イ）第１図
　フォイルヒータ８の上側に金属板７が配設され、積層されたフォイルヒータ８および金属板７の上部を覆うように絶縁層６が配設されていること。
　
　上記記載事項及び図面の記載からみて、刊行物１には、次の「静電チャック」の発明が記載されていると認める。
　「フォイルヒータ８と、前記フォイルヒータ８の上側に配設された金属板７と、積層された前記フォイルヒータ８および前記金属板７の上部を覆うように配設された絶縁層６と、前記絶縁層６上に配設された電極５と、前記電極５の上部を覆うように配設された絶縁層４とを備えた静電チャック。」（以下「刊行物１記載の発明」という。）。
　
イ　刊行物２
（ア）第１欄第１９行
「【産業上の利用分野】本発明は静電チャックに関する。」
　
（イ）第３欄第３−１７行
「【０００９】また、前記処理容器１の内部の底面中央部には導電性部材、例えばアルミニウム等の金属で形成された円柱形状のサセプタ支持台５が設けられている。このサセプタ支持台５の内部には冷却媒体、例えば液体窒素を溜める冷媒ジャケット６が形成され、この冷媒ジャケット６には前記液体窒素を冷媒ジャケット６に導入するための導入管７と冷媒ジャケット６より前記液体窒素の気化したＮ２を排出するための排出管８がそれぞれ前記処理容器１の底面に気密に貫通して設けられている。また、前記サセプタ支持台５の上部には、下部電極としての導電性部材、例えばアルミニウム等の金属・・・よりなるサセプタ１０が設けられ、このサセプタ１０は、図示しないボルトにより前記サセプタ支持台５に取付けられている。」
　
（ウ）第３欄第３０−４４行
「【００１０】また、図１および図２に示すように、前記サセプタ１０の上部には接合部材２０、例えば弾性体としての液性で室温硬化性のシリコーンゴムのＲＴＶゴムが着設されており、この接合部材２０の上部に前記サセプタ１０と熱膨張率の異なる載置部材３１が接着され、この載置部材３１の上面に前記半導体ウエハ２が載置されるよう構成されている。さらに、前記載置部材３１は、図３に示すように、絶縁部材、例えばセラミックス製・・・で内部には電極板３１ｂとヒーター３１ａが設けられており、このヒーター３１ａと前記冷媒ジャケット６における熱冷却により、前記サセプタ１０を介して前記半導体ウエハ２の温度を、例えば２００°Ｃ〜−１６０°Ｃに図示しない温度調整装置により適宜設定可能に制御するよう構成されている。」
　
　上記記載事項及び図面の記載からみて、刊行物２には、「載置部材３１と、該載置部材３１の下に配置され、冷媒ジャケット６、導入管７、排出管８等の温度を調整する手段を備えたアルミニウム製のサセプタ支持台５の上部に取付けられているアルミニウム製のサセプタ１０とからなる静電チャック」（以下「刊行物２記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
　
ウ　刊行物３
（ア）第１欄第２−７行
「【請求項１】静電チャックの吸着機構部が、間に電極金属の層を挟んで絶縁体セラミックの板の上に誘電体セラミックの板が接合一体化された三層構造からなり、該絶縁体と誘電体の板は電極形状に配された接合金属の層によって冶金的に融着接合されてなることを特徴とする静電チャック。」
　
（イ）第３欄第４２−４８行
「一方、ろう付け金属で電極を形成されたものは、誘電体セラミックはこの絶縁体セラミックと電極の模様状にろう付けされている。このろう付けは誘電体セラミックと絶縁体セラミックにあらかじめ電極の模様状にメタライズした後、ろう付けしても良いし、セラミック融着性のろう材で電極の模様状に直接ろう付けしても良い。」
　
（ウ）第４欄第４２行−第５欄第９行
「【０００６】本発明では、吸着機構部の電極金属の側面（厚さ部分）は外気にむき出しになっているためにこの部分はプラズマ処理中、プラズマ雰囲気に晒され、プラズマの回り込みによる損傷を受けることがある。また、従来構造の静電チャックでも、電極金属の側面（厚さ部分）が外気にむき出しになる場合もあるし、また、台座は外気に晒されている。このために、この露出部分で導電体の部分はプラズマで損傷される。損傷防止のためには、露出部分にセラミック質の絶縁被膜を被覆するのが有効である。また、セラミック材料からなる電気絶縁性のシェルを被嵌するのも有効である。また、静電チャックの吸着機構部を凹型の絶縁体の凹部に嵌め込んで該吸着機構部の電極側面部をシールすると共に、この絶縁体が台座の表面をシールする広さで台座に貼着するのも有効である。以上のプラズマ損傷防止のための機構は、上記した本発明構造の静電チャックに限定されるものではなく、従来構造のものにも有効であることは勿論である。」
　
（エ）第４欄第３４−３６行
「以上・・・セラミック絶縁体の材質としては特別な制約はないがアルミナ、シリカ、窒化アルミ等のセラミックが最も好ましい材料である。」
　
（オ）図１
　セラミック誘電体２と絶縁体セラミック３との間に電極（ロー材金属）４が配設されていること。
　
（カ）図２
　電極（ロー材金属）４の側面及び台座５の露出面を絶縁セラミック被膜で覆うこと。
　
　上記記載事項及び図面の記載からみて、刊行物３には、「静電チャックの吸着機構部において、絶縁体セラミックである窒化アルミニウム板上に配設されたロー材金属からなる電極と、前記電極の上部を覆うように配設されるとともに、当該電極により前記窒化アルミニウム板に固定された絶縁材料からなるセラミック誘電体とを備えること」（以下「刊行物３記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
　
（３）対比
　補正発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、刊行物１記載の発明の「フォイルヒータ８」は、補正発明の「ヒータ」に相当していることが明らかである。
　さらに、刊行物１記載の発明の「絶縁層４」が補正発明の「絶縁材料からなる誘電体」に相当していることは、技術常識より明らかである。
　また、刊行物１記載の発明の「絶縁層６」は、絶縁体であることに限り、補正発明の「窒化アルミニウム板」と一致している。
　したがって、両者は、
「静電チャックは、ヒータと、
　前記ヒータの上側に配設された金属板と、
　積層された前記ヒータおよび前記金属板の上部を覆うように配設された絶縁体と、
　前記絶縁体上に配設された電極と、
　前記電極の上部を覆うように配設された絶縁材料からなる誘電体とを備えている」点で一致し、次の点で相違している。
［相違点１］
　補正発明は、静電チャックと、該静電チャックの下に配設され、温調手段を備えた金属製ジャケットとからなるウエハステージであり、金属製ジャケットの上方に静電チャックのヒータが配置されているのに対し、刊行物１記載の発明は、静電チャックであり、該静電チャックの下に金属製ジャケットが配設されるものであるのか明らかではない点。
［相違点２］
　補正発明では、誘電体は電極の側面を覆うように配設されており、また、絶縁体は積層されたヒータおよび金属板の側面を覆うように金属製ジャケット上に配設されているのに対し、刊行物１記載の発明では、誘電体は電極の側面を覆うものではなく、また、絶縁体は積層されたヒータおよび金属板の側面を覆うように金属製ジャケット上に配設されているものではない点。
［相違点３］
　補正発明では、絶縁体が窒化アルミニウム板であり、電極がろう付け層であり、当該電極により窒化アルミニウム板に誘電体を固定するのに対し、刊行物１記載の発明では、そのように特定されていない点。
［相違点４］
　補正発明では、誘電体にプッシャーピンを突出させるための貫通孔が設けられるとともに、前記誘電体の下面における当該貫通孔の周辺部には、当該プッシャーピンと電極との接触を防止するように、当該電極と同じ高さの筒部が設けられているのに対し、刊行物１記載の発明では、そのように特定されていない点。
　
（４）相違点の検討
　前記各相違点について、以下検討する。
ア　相違点１について
　刊行物２には、前記（２）のイに示したとおりの刊行物２記載の技術的事項が記載されており、その「載置部材３１」が補正発明の「静電チャック」に相当しており、以下同様に、「冷媒ジャケット６、導入管７、排出管８等の温度を調整する手段」が「温調手段」に、「アルミニウム製のサセプタ支持台５」と「アルミニウム製のサセプタ支持台５の上部に取付けられているアルミニウム製のサセプタ１０」とが「金属製ジャケット」に、及び、「静電チャック」が「ウエハステージ」にそれぞれ相当していることが明らかであるので、結局、刊行物２記載の技術的事項は、「静電チャックと、該静電チャックの下に配設され、温調手段を備えた金属製ジャケットとからなるウエハステージ」であるとすることができる。
　刊行物１記載の発明と刊行物２記載の技術的事項とは、静電チャックという同一の技術分野に属するものであるので、刊行物１記載の発明に刊行物２記載の技術的事項を適用し、静電チャックの下に温調手段を備えた金属製ジャケットを配設してウエハステージとすることに、格別の困難性は見当たらない。そして、静電チャックの下に金属製ジャケットが配設されることになるのであるから、金属製ジャケットの上方に静電チャックのヒータが配置されることになることは自明の事項である。
　
イ　相違点２について
　静電チャックにおいて、プラズマ雰囲気に晒されて損傷を受けることになる導電性材料を絶縁材料で覆うことは、例えば、前記刊行物３（前記（２）のウの（ウ）及び（カ）参照。）、拒絶査定時に引用された特開平６−２１６２２４号公報（第８欄第１５−１８行参照。）等に記載されているように、従来周知の事項であるので、刊行物１記載の発明において、電極の側面を絶縁材料で覆うことに格別の困難性は見当たらず、そして、電極の上部については、絶縁材料からなる誘電体で既に覆っているものであるので、当該誘電体で電極の上部を覆うとともに側面をも覆うことは、当業者が容易に想到することができたことである。
　また、刊行物１記載の発明は、積層されたヒータおよび金属板を備えているので、上記電極と同様に、刊行物１記載の発明において、積層されたヒータおよび金属板の側面を絶縁材料で覆うことに格別の困難性は見当たらず、そして、積層されたヒータおよび金属板の上部については、絶縁体で既に覆っているものであるので、当該絶縁体で積層されたヒータおよび金属板の上部を覆うとともに側面をも覆うことは、当業者が容易に想到することができたことである。
　さらに、このヒータの側面を覆う絶縁体の配置について、前記相違点１についてで検討したように、金属製ジャケットの上方にヒータが配置されることになるのであるから、このヒータの側面を覆う絶縁体を金属製ジャケット上に配設することは、必要に応じて適宜なし得る設計的事項にすぎない。
　
ウ　相違点３について
　刊行物３には、前記（２）のウに示したとおりの刊行物３記載の技術的事項が記載されており、その「静電チャックの吸着機構部」が補正発明の「静電チャック」に相当しており、同様に、「ロー材金属からなる電極」が「ろう付け層からなる電極」に相当しているので、結局、刊行物３記載の技術的事項は、「静電チャックにおいて、窒化アルミニウム板上に配設されたろう付け層からなる電極と、前記電極の上部を覆うように配設されるとともに、当該電極により前記窒化アルミニウム板に固定された絶縁材料からなる誘電体とを備えること」であるとすることができる。
　刊行物１記載の発明と刊行物３記載の発明とは、静電チャックという同一の技術分野に属するものであるので、刊行物１記載の発明に刊行物３記載の技術的事項を適用し、絶縁体を窒化アルミニウム板とし、電極をろう付け層として、当該電極により前記窒化アルミニウム板に絶縁材料からなる誘電体を固定することに格別の困難性は見出せない。
　
エ　相違点４について
　静電チャックにおいて、プッシャーピンを突出させるための貫通孔を設けるとともに、当該貫通孔の周辺部を当該プッシャーピンと電極との接触を防止するよう絶縁材料で覆うことは、例えば、特開平６−３３８４６３号公報、特開平７−２６３５２８号公報、特開平５−２８３５１３号公報等に記載されているように、従来周知の事項であるので、刊行物１記載の発明に上記従来周知の事項を適用し、相違点４に係る補正発明の構成とすることは、当業者が容易になし得たことである。
　
オ　補正発明の作用効果
　補正発明が奏する作用効果は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の技術的事項、刊行物３記載の技術的事項及び前記従来周知の各事項から当業者であれば予測できる範囲内のものであって格別顕著なものとはいえない。
　
　以上のとおりであるので、補正発明は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の技術的事項、刊行物３記載の技術的事項及び前記従来周知の各事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
　なお、請求人は、平成１６年９月１０日付回答書において、静電チャックと金属製ジャケットとは、ろう付け層を介して接合されて一体化されている点を特定する補正をしたい旨回答している。
　しかしながら、上記の点は、前記刊行物３に記載された吸着機構部と台座とをロー付けする点（第２欄第４２−４６行参照。）より、当業者が容易に想到することができる事項であるので、特許出願の際独立して特許を受けることができるものとなるものではない。
　
３　むすび
　以上のとおりであるので、本件補正は、平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件発明について 
１　本件発明
　本件補正は、前記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１及び２に係る発明は、平成１４年７月２６日付手続補正書により補正がされた明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定されるとおりのものであると認めるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、前記第２の１の（１）の補正前の請求項１に示したとおりである。
　
２　刊行物記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載事項は、前記第２の２の（２）に示したとおりである。
　
３　対比・判断
　本件発明は、前記第２の２に示したとおり、補正発明の発明特定事項から前記限定事項を省いたものである。
　そうすると、本件発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の発明特定事項である前記限定事項を付加したものに相当する補正発明が、前記第２の２の（４）で検討したとおり、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の技術的事項、引用例３記載の技術的事項及び前記従来周知の各事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明も、同様の理由により、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の技術的事項、刊行物３記載の技術的事項及び前記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　以上のとおりであるので、本件発明は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の技術的事項、刊行物３記載の技術的事項及び前記従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願の請求項２に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。