【手続補正書】
【提出日】平成29年12月11日(2017.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体状の金属からなる蒸着原料を真空環境下で気化させて被処理物の表面に付着させる真空蒸着装置において、
前記蒸着原料および前記被処理物をそれぞれ収容する処理炉と、
前記処理炉内にて前記蒸着原料を保持して加熱する原料気化手段と、
前記処理炉内にて前記被処理物を保持するワーク保持手段と、
前記処理炉内の空気を吸引して同処理炉内を真空状態とする炉内真空手段と、
前記原料気化手段の作動を制御する制御装置とを備え、
前記原料気化手段は、
前記処理炉内における内壁に隣接した複数の位置に配置されており、
前記制御装置は、
前記複数の原料気化手段の作動を個別に制御することを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載した真空蒸着装置において、
前記原料気化手段は、
前記ワーク保持手段の周囲を取り囲んで配置されていることを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載した真空蒸着装置において、
前記原料気化手段は、
前記処理炉内における床面側と天井面側との間の上下方向に沿って延びる正負一対の電極と、
前記正負一対の電極間に前記上下方向に沿って複数架設された電熱線で構成されて前記蒸着原料を保持する原料保持具とを有することを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１つに記載した真空蒸着装置において、
前記制御装置は、
前記複数の原料気化手段を互いに異なるタイミングで作動させることを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項５】
請求項４に記載した真空蒸着装置において、さらに、
前記処理炉における床面側に同処理炉内に蒸着促進ガスを導入するためのガス供給口を備え、
前記制御装置は、
前記複数の原料気化手段をそれぞれ作動させて各前記蒸着原料を気化するタイミングに応じて前記ガス供給口から各前記蒸着原料に応じた前記蒸着促進ガスを供給させることを特徴とする真空蒸着装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の特徴は、固体状の金属からなる蒸着原料を真空環境下で気化させて被処理物の表面に付着させる真空蒸着装置において、蒸着原料および被処理物をそれぞれ収容する処理炉と、処理炉内にて蒸着原料を保持して加熱する原料気化手段と、処理炉内にて被処理物を保持するワーク保持手段と、処理炉内の空気を吸引して同処理炉内を真空状態とする炉内真空手段と、原料気化手段の作動を制御する制御装置とを備え、原料気化手段は、処理炉内における内壁に隣接した複数の位置に配置されており、制御装置は、前記複数の原料気化手段の作動を個別に制御することにある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の他の特徴は、前記真空蒸着装置において、原料気化手段は、ワーク保持手段の周囲を取り囲んで配置されていることにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の他の特徴は、前記真空蒸着装置において、原料気化手段は、処理炉内における床面側と天井面側との間の上下方向に沿って延びる正負一対の電極と、正負一対の電極間に上下方向に沿って複数架設された電熱線で構成されて蒸着原料を保持する原料保持具とを有することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の他の特徴は、前記真空蒸着装置において、制御装置は、複数の原料気化手段を互いに異なるタイミングで作動させることにある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の他の特徴は、前記真空蒸着装置において、さらに、処理炉における床面側に同処理炉内に蒸着促進ガスを導入するためのガス供給口を備え、制御装置は、複数の原料気化手段をそれぞれ作動させて各蒸着原料を気化するタイミングに応じてガス供給口から各蒸着原料に応じた蒸着促進ガスを供給させることにある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
このように構成した本発明の他の特徴によれば、真空蒸着装置は、処理炉における床面側に同処理炉内に蒸着促進ガスを導入するためのガス供給口が設けられているため、処理炉内における底部に配置される重量物からなる被処理物に対しても効率的に蒸着促進ガスを供給することができる。なお、処理炉内に供給される蒸着促進ガスとしては、蒸着原料としてアルミニウム材を用いる場合にはアルゴンガスを用いるとよく、蒸着原料として窒化チタン材や酸化チタン材を用いる場合には窒素ガスを用いるとよく、蒸着原料としてガラス材を用いる場合には酸素を用いるとよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
これらの場合、真空蒸着装置は、固体状の金属からなる蒸着原料を真空環境下で気化させて被処理物の表面に付着させる真空蒸着装置において、蒸着原料および被処理物をそれぞれ収容する処理炉と、処理炉内にて蒸着原料を保持して加熱する原料気化手段と、処理炉内にて被処理物を保持するワーク保持手段と、処理炉内の空気を吸引して同処理炉内を真空状態とする炉内真空手段とを備え、処理炉は、平面視で方形に形成されており、原料気化手段は、処理炉内における内壁に隣接するとともに同処理炉内の対角線上に対向した状態で配置されているとよい。これによれば、真空蒸着装置は、平面視で方形に形成された処理炉内における対角線上に対向した状態で原料気化手段が配置されているため、原料気化手段を被処理物に対して適当な距離（気化した蒸着物質が被処理物の半面に放射可能な位置）を確保して配置しつつ処理炉内における隅部を有効活用することができる。この場合、処理炉は、平面視で長方形または正方形に形成した直方体状または立方体状に構成することができる。

【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、これらの場合、前記真空蒸着装置において、原料気化手段は、ワーク保持手段の周囲を取り囲んで配置されているとよい。これによれば、真空蒸着装置によれば、原料気化手段がワーク保持手段の周囲を取り囲んで配置されているため、被処理物に対して複数の位置から効率的に蒸着処理を行うことができる。なお、原料気化手段は、ワーク保持手段の全周に亘って蒸着処理を行う場合には均等配置されることが好ましいが、被処理物における特定の部分に蒸着処理を行う場合には当該蒸着処理部分に対応した位置に配置するとよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、これらの場合、前記真空蒸着装置において、ワーク保持手段は、被処理物を保持して原料気化手段が配置された方向に沿って回転させるとよい。これによれば、真空蒸着装置は、ワーク保持手段が被処理物を保持して原料気化手段の配置方向に沿って回転させるため、被処理物の全体に対して効率的に蒸着処理を行うことができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、これらの場合、前記真空蒸着装置において、原料気化手段は、処理炉内における床面側と天井面側との間の上下方向に沿って延びる正負一対の電極と、正負一対の電極間に前記上下方向に沿って複数架設された電熱線で構成されて蒸着原料を保持する原料保持具とを有するとよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
これによれば、真空蒸着装置は、原料気化手段が被処理物の高さ方向に沿って蒸着原料を複数保持しているため、長尺の被処理物に対して精度良く蒸着処理を行うことができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、これらの場合、前記真空蒸着装置において、処理炉は、同処理炉内における壁面および／または構成部品の各表面に蒸着原料と同じ材料で構成された箔状または板状のカバー体が設けられているとよい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
このように構成した本発明の他の特徴によれば、真空蒸着装置は、処理炉の内壁面や原料気化手段およびワーク保持手段の少なくとも一部に蒸着原料（例えば、アルミニウム材）と同じ材料で構成された箔状（例えば、アルミ箔）または板状（例えば、アルミ板）のカバー体が設けられているため、気化した蒸着原料のうちの被処理物に付着しなかった蒸着原料をカバー体に付着させることによって処理炉内の汚損を防止することができるとともに被処理物に付着しなかった蒸着原料を効率的に回収してカバー体ごと一体的にリサイクルに供することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
（真空蒸着装置１００の構成）
真空蒸着装置１００は、処理炉１０１を備えている。処理炉１０１は、被処理物ＷＫおよび蒸着原料Ｍを収容して被処理物ＷＫの表面に気化させた蒸着原料Ｍを付着させる蒸着処理を行うための金属製（例えば、ステンレス製）容器であり、真空蒸着装置１００が設置される床面Ｇに対して上方に向かって延びる直方体状に形成されている。この処理炉１０１は、内部空間を真空状態とした場合であっても変形することなく形状を維持することができる十分な剛性を持って構成されて金属製の基台１０２を介して床面上に固定的に設置されている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
一方、リング部１１１ａ上で互いに同一直線上に形成された支柱受け体１１２ｃおよび支柱受け体１１２ｄは、リング部１１１ａに対して回転可能な状態で設けられており、ワーク支持柱１１６をリング部１１１ａ上で回転可能に支持する。より具体的には、支柱受け体１１２ｃ，１１２ｄは、ベース体１１１の内部においてベース体１１１に対して図示しない歯車を介して連結されており、ベース体１１１の回転駆動に応じて回転駆動する。すなわち、支柱受け体１１２ｃ，１１２ｄに支持されたワーク支持柱１１６は、ベース体１１１の回転駆動によってリング部１１１ａの周方向に沿って回転駆動（公転）するとともに、支柱受け体１１２ｃ，１１２ｄを回転中心として回転駆動（自転）する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
処理炉１０１の内部には、ガス供給口１３０および空気圧調整孔１３２がそれぞれ設けられている。ガス供給口１３０は、被処理物ＷＫへの蒸着処理を促進するための蒸着促進ガスを処理炉１０１内に導入するための配管であり、処理炉１０１の底部中央部に上方に向かって開口して設けられている。より具体的には、ガス供給口１３０は、処理炉１０１内におけるベース体１１１のリング部１１１ａの内側に蒸着促進ガスの種類ごとに設けられている。本実施形態においては、ガス供給口１３０は、アルゴンガス、窒素ガスおよび酸素ガスの３つの蒸着促進ガスごとに設けられている。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、処理炉１０１内の内壁１０３、ワーク保持機構１１０を構成するベース体１１１、サイド支柱１１３、支持天板１１４、および原料気化機構１２０を構成する電極１２１の各外表面は、カバー体１４０で覆われている。カバー体１４０は、気化した蒸着原料Ｍが処理炉１０１の内部に露出する各部の表面に直接付着することを防止するための部品であり、蒸着原料Ｍと同じ材料を箔状に形成して構成されている。本実施形態にいては、カバー体１４０は、アルミニウム箔（所謂アルミ箔）で構成されている。なお、図１および図２においては、カバー体１４０を処理炉１０１の内壁面にのみ設けた状態を示しているが、実際には処理炉１０１内に存在して露出する部品（原料保持具１２３を除く）の各部を覆っている。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
次いで、制御装置１５０は、原料気化機構１２０に対して所定時間だけ通電した後、すなわち、被処理物ＷＫに対して必要な蒸着処理を行った後、原料気化機構１２０の通電を停止する。この場合、制御装置１５０は、駆動モータ１１８および／または電磁弁１３１が作動状態にある場合には、原料気化機構１２０への通電停止とともに駆動モータ１１８および／または電磁弁１３１の作動も併せて停止させる。次いで、制御装置１５０は、大気圧開放弁１３４を開くように制御して処理炉１０１内に空気を導入して処理炉１０１内を大気圧にした後、処理炉１０１内が大気圧となった場合には大気圧開放弁１３４を閉じる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
例えば、上記実施形態においては、真空蒸着装置１００は、ワーク保持機構１１０におけるワーク支持柱１１６を支柱受け体１１２ｃ，１１２ｄと支柱嵌合部１１５ｃ，１１５ｄとに保持させて自転させない状態で蒸着処理を行うようにした。しかし、真空蒸着装置１００は、ワーク保持機構１１０におけるワーク支持柱１１６を支柱受け体１１２ａ，１１２ｂと支柱嵌合部１１５ａ，１１５ｂとに保持させて自転させた状態で蒸着処理を行うようにできることは当然である。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
また、上記実施形態においては、ワーク保持機構１１０は、処理炉１０１内において回転駆動するように構成した。しかし、ワーク保持機構１１０は、被処理物ＷＫを保持することができればよい。したがって、ワーク保持機構１１０は、処理炉１０１内において固定的に被処理物ＷＫを保持するように構成することもできる。