【手続補正書】
【提出日】平成30年5月25日(2018.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象物又は処理対象物を処理するための処理用部材が主面に取り付けられるテーブルと、
前記テーブルが接続され、直線運動を行う可動部と、
前記可動部を直線運動させる駆動機構と、
前記駆動機構を駆動する駆動源と、
前記直線運動の方向に沿う第１方向に前記可動部を案内する案内部材と、
前記可動部において前記第１方向に沿う一方側に接続され、前記テーブルにおける前記主面の反対面の側において前記駆動機構及び前記案内部材の周囲を囲う第１ジャバラと、
前記可動部において前記第１方向に沿う他方側に接続され、前記テーブルにおける前記反対面の側において前記駆動機構及び前記案内部材の周囲を囲う第２ジャバラと、
前記第１ジャバラにおける前記可動部とは反対側の端部を支持する第１支持部材と、
前記第２ジャバラにおける前記可動部とは反対側の端部を支持する第２支持部材とを備え、
前記可動部は、前記第１ジャバラによって囲まれた第１空間と前記第２ジャバラによって囲まれた第２空間とを連通する連通孔を含み、
前記可動部が移動する際に前記第１空間と前記第２空間との間に気圧差が生じないように前記連通孔の大きさ及び前記連通孔の断面形状が設定され、
前記連通孔の端部における前記可動部の稜角には面取りが設けられ、
前記第１支持部材と前記第２支持部材と前記第１側壁部材と前記第２側壁部材とは枠状部材に含まれる、処理装置。
【請求項２】
前記駆動機構はボールねじ機構又はリニアモータ機構である、請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記第１支持部材と前記第２支持部材とに接続された第１側壁部材と、
前記第１支持部材と前記第２支持部材とに接続され前記第１側壁部材に相対向する第２側壁部材と、
前記枠状部材の内部に侵入した粉塵を前記枠状部材の外部に排出するために高圧の空気を噴射する第１噴射装置とを備え、
前記枠状部材は前記第１ジャバラと前記第２ジャバラとを囲む、請求項１に記載の処理装置。
【請求項４】
前記枠状部材の内側に前記駆動源が配置された、請求項１に記載の処理装置。
【請求項５】
前記可動部と前記テーブルとを接続する接続部材と、
前記第１ジャバラと前記テーブルとの間及び前記第２ジャバラと前記テーブルとの間において、平面視して前記接続部材の直線運動を妨げない位置に配置された板状部材とを備える、請求項１に記載の処理装置。
【請求項６】
前記板状部材は、前記テーブルにおける前記反対面の側において少なくとも前記第１ジャバラと前記第２ジャバラとを平面視して覆うように配置され、
前記接続部材は、平面視して前記第１方向に交わる第２方向における前記可動部の両方の端部に接続される、請求項５に記載の処理装置。
【請求項７】
前記板状部材は、前記テーブルにおける前記反対面の側において少なくとも前記第１ジャバラと前記第２ジャバラとを平面視して覆うように配置され、
前記板状部材は、平面視して前記駆動機構に重なる稜部と、平面視して前記稜部から前記第１方向に交わる第２方向に向かう下り勾配とを有する、請求項５に記載の処理装置。
【請求項８】
前記第１ジャバラ及び前記第２ジャバラの上部又は前記板状部材の上部に向かって高圧の空気を噴射する第２噴射装置を備える、請求項５に記載の処理装置。
【請求項９】
テーブルにおける主面の反対面に接続され、直線運動を行う可動部と、
前記可動部を直線運動させる駆動機構と、
前記駆動機構を駆動する駆動源と、
前記直線運動の方向に沿う第１方向に前記可動部を案内する案内部材と、
前記可動部において前記第１方向に沿う一方側に接続され、前記テーブルにおける前記主面の反対面の側において前記駆動機構及び前記案内部材の周囲を囲う第１ジャバラと、
前記可動部において前記第１方向に沿う他方側に接続され、前記テーブルにおける前記反対面の側において前記駆動機構及び前記案内部材の周囲を囲う第２ジャバラと、
前記第１ジャバラにおける前記可動部とは反対側の端部を支持する第１支持部材と、
前記第２ジャバラにおける前記可動部とは反対側の端部を支持する第２支持部材とを備え、
前記可動部は、前記第１ジャバラによって囲まれた第１空間と前記第２ジャバラによって囲まれた第２空間とを連通する連通孔を含み、
前記可動部が移動する際に前記第１空間と前記第２空間との間に気圧差が生じないように前記連通孔の大きさ及び前記連通孔の断面形状が設定され、
前記連通孔の端部における前記可動部の稜角には面取りが設けられ、
前記第１支持部材と前記第２支持部材と前記第１側壁部材と前記第２側壁部材とは枠状部材に含まれる、テーブル移動装置。
【請求項１０】
前記駆動機構はボールねじ機構又はリニアモータ機構である、請求項９に記載のテーブル移動装置。
【請求項１１】
前記第１支持部材と前記第２支持部材とに接続された第１側壁部材と、
前記第１支持部材と前記第２支持部材とに接続され前記第１側壁部材に相対向する第２側壁部材と、
前記枠状部材の内部に侵入した粉塵を前記枠状部材の外部に排出するために高圧の空気を噴射する第１噴射装置とを備え、
前記枠状部材は前記第１ジャバラと前記第２ジャバラとを囲む、請求項９に記載のテーブル移動装置。
【請求項１２】
前記枠状部材の内側に前記駆動源が配置された、請求項９に記載のテーブル移動装置。
【請求項１３】
前記可動部と前記テーブルとを接続する接続部材と、
前記第１ジャバラと前記テーブルとの間及び前記第２ジャバラと前記テーブルとの間において、平面視して前記接続部材の直線運動を妨げない位置に配置された板状部材とを備える、請求項９に記載のテーブル移動装置。
【請求項１４】
前記板状部材は、前記テーブルにおける前記反対面の側において少なくとも前記第１ジャバラと前記第２ジャバラとを平面視して覆うように配置され、
前記接続部材は、平面視して前記第１方向に交わる第２方向における前記可動部の両方の端部に接続される、請求項１３に記載のテーブル移動装置。
【請求項１５】
前記板状部材は、前記テーブルにおける前記反対面の側において少なくとも前記第１ジャバラと前記第２ジャバラとを平面視して覆うように配置され、
前記板状部材は、平面視して前記駆動機構に重なる稜部と、平面視して前記稜部から前記第１方向に交わる第２方向に向かう下り勾配とを有する、請求項１３に記載のテーブル移動装置。
【請求項１６】
前記第１ジャバラ及び前記第２ジャバラの上部又は前記板状部材の上部に向かって高圧の空気を噴射する第２噴射装置を備える、請求項１３に記載のテーブル移動装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図１（ｃ）に示されるように、可動部５には、第１ジャバラ１１内に形成された第１空間１３と第２ジャバラ１２内に形成された第２空間１４とを連通する２個の連通孔１５が設けられる。２個の連通孔１５は、図１（ａ）に示されるＺ方向に沿って見て（平面視して）、ボールねじ４を挟んでボールねじ４の両側に設けられる。可動部５に連通孔１５が設けられることによって、第１空間１３と第２空間１４との間において、連通孔１５を経由して互いに空気を流動させることができる。連通孔１５は四角形の断面形状を有する。連通孔１５の端部における可動部５の４つの稜角には、Ｃ面取り又はＲ面取りなどの面取りを施すことが好ましい。このことにより、空気をより滑らかに流動させることができる。