【事件の表示】
　平成　８年特許願第１５４８４８号「リソグラフィー用ペリクルの製造方法およびリソグラフィー用ペリクル」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年１２月１２日出願公開、特開平　９−３１９０７３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成８年５月２７日の出願であって、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
「フッ素系ポリマーからなるペリクル膜を、フッ素系ポリマーからなる接着剤を用いて、ペリクル枠に接着することによるリソグラフィー用ペリクルの製造方法において、ＹＡＧレーザーを照射することによりペリクル膜をペリクル枠に接着させる、ことを特徴とするリソグラフィー用ペリクルの製造方法。」
　
２．引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願日前である平成８年５月７日に頒布された特開平８−１１４９１２号公報（以下、「引用例１」という。）には、次の事項が記載されている。
（１）「【請求項５】  加熱接着により膜が接着剤で金属製フレームに接着させてなるペリクルの製造方法において、ペリクル膜を高周波加熱により金属製フレームに加熱接着させることを特徴とするペリクルの製造方法。
【請求項６】  加熱処理が該フレームの周辺内で接着剤処理部分の温度が最高となるように高周波加熱により加熱処理される請求項５に記載したペリクルの製造方法。
【請求項７】  高周波加熱の出力周波数が５KHz 〜200KHzである請求項６に記載したペリクルの製造方法。
【請求項８】  膜と接着剤が共に非晶質なフッ素樹脂からなるものとされる請求項５に記載したペリクルの製造方法。」（【特許請求の範囲】【請求項５乃至８】）
（２）「【発明が解決しようとする課題】このペリクル構成物の中では、ペリクル膜およびペリクル枠に膜を固着させる接着剤がリソグラフィー時に直接露光光源に曝されるために、これらの耐久性が重要であり、この接着剤については数ミクロンの超薄膜を枠に常時張った状態で接着させておくことが必要とされることから、ペリクルの性能に大きな影響を与えるものである。しかし、従来使用されているアクリル系接着剤やエポキシ系接着剤では接着強度が不充分であり、経時で接着力が低下し、その結果、ペリクルにシワが発生するなどの問題があるし、さらにこれらの接着剤は光の照射による劣化が激しく、ある程度使用していると接着剤が劣化、分解してこれがゴミの発生源になるという不利もある。」（【０００４】）
（３）「すなわち、本発明者らはペリクル膜と金属フレームとの強力な接着方法について種々検討した結果、この加熱接着方式についてはこれを高周波加熱によるものとすると、金属製フレーム自体を発熱させることができるために接着部付近の局部加熱が可能となり、膜と接着剤の界面付近のフレームの加熱が十分となるので、膜の歪みやシワなどのない接着強度の強靭なペリクルを作ることができることを見出すと共に、この加熱方法では加熱エリアがフレーム部分のみと小さいので、クリーンルームに与える熱負荷が他の加熱方法に比べて小さく、ルーム内の気流が熱によって乱されることが最小限に押えられるということを確認して本発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述する。」（【０００７】）
　
　これらの記載によると、引用例１には、「フッ素樹脂からなるペリクル膜を、フッ素樹脂からなる接着剤を用いて、ペリクル枠に接着することによるリソグラフィー用ペリクルの製造方法において、高周波加熱することによりペリクル膜をペリクル枠に接着させる、ことを特徴とするリソグラフィー用ペリクルの製造方法。」（以下、「引用発明」という。）が開示されていると認めることができる。
　
　また、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願日前である昭和５６年８月１日に頒布された特開昭５６−９５２２０号公報（以下、「引用例２」という。）には、次の事項が記載されている。
（４）「（１）合成樹脂からなる上透明基板と下基板と、該上下基板間に挟持されたスペーサからなる液晶セルの製造方法において、上下基板間のスペーサ部に、赤外線光線またはレーザー光線を局所的に照射して接着したことを特徴とする液晶表示セルの製造方法。」（特許請求の範囲）
（５）「レーザー光源はＹＡＧレーザーを使用した。ＹＡＧレーザーの波長は１μｍ以上であるために、透明基板では吸収されず、着色したスペーサー部で吸収され熱に変換される。次に、レーザー光を矢印５方向に走査して、スペーサー部を接着する。このように上下基板を接着した結果、液晶セル全体は全く加熱されず、液晶収納部の厚さは初期の厚さを保持した。」（第２頁左上欄第１７行乃至右上欄第４行）
　
　また、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願日前である平成６年４月２６日に頒布された特開平６−１１４９４３号公報（以下、「引用例３」という。）には、次の事項が記載されている。
（６）「図１は、本発明の溶融接着方法を実施する装置の概念図である。図中、鋼板１の上に接着剤２を塗布し、その上に、片面をプラズマ処理などの特殊処理を行うことにより凹凸を付け、接着性を向上させたフッ素樹脂フィルム３をライニングする。このとき、ライニングフィルム３同志の突き合わせ継目部４を接着してシールする必要があるが、フッ素樹脂はその表面が非粘着性であるため、フッ素樹脂同志を接着剤で接着することは不可能である。そこで、本願発明では、フッ素樹脂が熱可塑性であることに着目して、主加熱装置としてＹＡＧレーザを使用して加熱溶融接着方法で継目処理を行うものである。」（【０００７】）
 　
　また、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願日前である平成４年４月３日に頒布された特開平４−１０２５８０号公報（以下、「引用例４」という。）には、次の事項が記載されている。
（７）「（１）対象材にフッ素樹脂フィルムを接着した際のフッ素樹脂フィルムの突き合せ継目部に、該フッ素樹脂フィルムと同質であってＹＡＧレーザ光を吸収する色に着色されたカバー用フッ素樹脂フィルムを載置し、該カバー用フッ素樹脂フィルムをＹＡＧレーザで加熱溶融接着することを特徴とするフッ素樹脂フィルムの突き合せ継目部の溶融接着方法。」（特許請求の範囲）
　
　また、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願日前である平成７年８月４日に頒布された国際公開第９４／１６８８８号パンフレット（１９９４）（以下、「引用例５」という。）には、次の事項が記載されている。
（８）「 本発明によれば、組成物は、それを基板に付与する前にそれをノズルを介して通すことによって加熱される。該ノズルは組成物の流路を電磁エネルギー・ビームの光学通路と組み合わせる。好ましい具体例において、該組成物は高温溶融接着剤であり、エネルギー・ビーム４はヤグ（ＹＡＧ）
レーザーから得られる。
  ノズルの流路には、該流路に対して横方向に延出するチャンネルを介して液体接着剤が供給される。この流路は円筒形でよいが、より好ましくは、接着剤に対して狭い排出オリフイスを得るように円錐形がよい。該排出オリフイスの反対側の流路端部には光学窓が形成され、該窓を通してレーザー・ビームが流路に入ることが許容される。光学窓及び流路は、レーザー・ビーム及び流路が同軸状態となるように位置付けられている。光学窓は平面状であってもよいが、より好ましくは、湾曲面を有し、ノズルの円錐角に近似の角度にレーザー・ビームを集中させるように光学的力を付与するようにすることである。この構成により、接着剤に対して最大のエネルギー伝達が可能となり、ノズルとレーザー・ビームの両側の相互作用を阻止し、そして同時に基板及び接着剤を加熱する。」（第２頁第４行乃至第２４行）
　
　また、本願の出願日前である昭和６２年６月２５日に頒布された特開昭６２−１４２０９２号公報（以下、「周知例１」という。）には、次の事項が記載されている。
（９）「そしてかかる後に第１の部材（５）を支持するガラス板（３）、及び第１の部材（５）を介して例えば、ＹＡＧレーザ等のレーザ光（１０）を接着剤として使用されたカーボンブラックを含有したポリエチレン（７）に向けて照射すると、レーザ光（１０）はガラス板（８）及び第１の部材（５）を透過してポリエチレン（７）の表面（７ａ）にて吸収され、該ポリエチレン（７）を加熱溶融して第１、第２の部材（５）、（６）を接着せしめる。」（第２頁右下欄第１行乃至第９行）
　
　また、本願の出願日前である平成６年３月１８日に頒布された特開平６−７６８６４号公報（以下、「周知例２」という。）には、次の事項が記載されている。
（１０）「次に、透明基板１１の透明接続端子１３と回路基板２１の接続端子２３とを導電接続する場合について説明する。この場合には、透明基板１１の透明接続端子１３を含む接続部分の上面に異方導電性接着剤３１を載置し、異方導電性接着剤３１の上面に回路基板２１の接続端子２３およびレーザ光吸収パターン２４を含む接続部分を位置合わせして載置し、波長１μｍのＹＡＧレーザ光を照射しながら加圧して圧着する。すると、ＹＡＧレーザ光が回路基板２１の接続端子２３およびレーザ光吸収パターン２４に吸収されて熱に変換され、この熱により異方導電性接着剤３１中の絶縁性接着剤３２を軟化させ、この軟化した絶縁性接着剤３２の一部が流動して逃げることにより、異方導電性接着剤３１中の導電性粒子３３の一部が透明基板１１の透明接続端子１３と回路基板２１の接続端子２３とに共に接触し、これにより透明基板１１の透明接続端子１３と回路基板２１の接続端子２３とが導電接続され、また一度軟化した絶縁性接着剤３２が硬化することにより、透明基板１１の透明接続端子１３を含む接続部分と回路基板２１の接続端子２３を含む接続部分とが接着される。」（【０００９】）
　
３．対比
　そこで、本願発明と引用発明とを比較すると、引用発明の「フッ素樹脂」は本願発明の「フッ素系ポリマー」に相当するものであるから、両者は、
「フッ素系ポリマーからなるペリクル膜を、フッ素系ポリマーからなる接着剤を用いて、ペリクル枠に接着することによるリソグラフィー用ペリクルの製造方法。」
である点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点］ペリクル膜をペリクル枠に接着させることに関して、本願発明がＹＡＧレーザーを照射することによるのに対して、引用発明は高周波加熱することによる点。
　
４．判断
　そこで、相違点について検討する。
　引用発明において、高周波加熱を用いることの意義について、引用例１には、接着部分のみに熱を加えるという技術思想が開示されている（前記記載事項（３））。そして、引用例２には、ＹＡＧレーザーを局所的に照射するという技術思想が開示されている（前記記載事項（４）及び（５））。さらに、引用例３乃至５にも記載されているように局所的加熱手段としてＹＡＧレーザーを用いることは、周知の事項である。接着剤を加熱して接着する手段としてＹＡＧレーザーを用いることも、周知例１及び２に記載されているように周知の事項である。
　したがって、引用発明における高周波加熱することを引用例２に記載された発明におけるＹＡＧレーザーを照射することに置き換えることは、当業者が容易に想到し得た事項である。
　
　そして、本願発明の作用効果も、引用発明、引用例２乃至５に記載された発明、及び上記周知の事項から当業者が予測できる範囲のものである。
　
５．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１乃至５に記載された発明、及び上記周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。