【手続補正書】
【提出日】平成30年1月9日(2018.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第1の光線を方向付けるように動作可能な第1の光源および第2の光線を方向付けるように動作可能な第2の光源を支持する光学素子であって、前記第2の光線が前記第1の光線に対して非平行である、光学素子と、
前記光学素子に近接して配置された撮像デバイスであって、前記撮像デバイスが、前記第1の光線および前記第2の光線を直接受け取って電気信号に変換するように動作可能であり、前記撮像デバイス及び前記光学素子が互いに対して移動可能である、撮像デバイスと、
前記光学素子を前記撮像デバイスに接続する1つ又は複数の弾性部材であって、前記撮像デバイスと前記光学素子の相対運動を容易にするように動作可能である、1つ又は複数の弾性部材と、
前記電気信号を受け取って、前記撮像デバイス上の前記第1の光線および前記第2の光線の位置を求めるように構成された光位置モジュールと、
前記撮像デバイス上の前記第1の光線および前記第2の光線の前記位置に基づいて前記撮像デバイスと前記光学素子の相対位置を求めるように構成された位置モジュールと、を備えるセンサ。
【請求項２】
前記撮像デバイスと前記光学素子が、第1の並進自由度において互いに対して移動可能であり、
前記位置モジュールは、前記第1の並進自由度に対して前記撮像デバイスと前記光学素子の前記相対位置を求めるようにさらに構成され、
前記第1の光線が、前記第1の並進自由度の軸に対して実質的に垂直に方向付けられる請求項1に記載のセンサ。
【請求項３】
前記撮像デバイスと前記光学素子が、第2の並進自由度において互いに対して移動可能であり、
前記位置モジュールは、前記第２の並進自由度に対して前記撮像デバイスと前記光学素子の前記相対位置を求めるようにさらに構成され、
前記第1の光線が、前記第2の並進自由度の軸に対して実質的に垂直に方向付けられる請求項2に記載のセンサ。
【請求項４】
前記撮像デバイスと前記光学素子が、第1の回転自由度において互いに対して移動可能であり、
前記位置モジュールは、前記第1の回転自由度に対して前記撮像デバイスと前記光学素子の前記相対位置を求めるようにさらに構成されており、
前記第1の光線が、前記第1の回転自由度の軸に対して実質的に垂直に方向付けられる請求項1に記載のセンサ。
【請求項５】
前記撮像デバイスと前記光学素子が、第2の回転自由度において互いに対して移動可能であり、
前記位置モジュールは、前記第２の回転自由度に対して前記撮像デバイスと前記光学素子の前記相対位置を求めるようにさらに構成されており、
前記第1の光線が、前記第2の回転自由度の軸に対して実質的に平行に方向付けられる請求項４に記載のセンサ。
【請求項６】
前記撮像デバイス上の前記第1の光線および前記第2の光線の中心位置が、前記撮像デバイス上の前記第1の光線および前記第2の光線の位置に統計的手法を適用して求められる請求項1に記載のセンサ。
【請求項７】
前記撮像デバイスが電荷結合デバイス(CCD)または相補型金属酸化膜半導体(CMOS)を備える請求項1に記載のセンサ。
【請求項８】
前記撮像デバイスが色分解機構を備える請求項1に記載のセンサ。
【請求項９】
前記撮像デバイスが複数の撮像デバイスを備える請求項1に記載のセンサ。
【請求項１０】
前記第1の光源が、LED、レーザ、有機LED、電界放出表示要素、表面伝導電子エミッタ表示ユニット、量子ドット、帯電したイオン化ガスを含有しているセル、蛍光灯、発光面の外部に配置された大型光源からの光を通すことができる穴、またはそれらの組合せを備える請求項1に記載のセンサ。
【請求項１１】
第1の光源とともに動作可能なコリメータおよびレンズのうち少なくとも1つをさらに備える請求項1に記載のセンサ。
【請求項１２】
前記撮像デバイスおよび前記光学素子のうち少なくとも1つに関連付けられた質量をさらに備える請求項1に記載のセンサ。
【請求項１３】
クロックをさらに備える請求項1に記載のセンサ。
【請求項１４】
前記撮像デバイスは、表面に固定されており、
前記位置モジュールは、前記撮像デバイスと前記光学素子の前記相対位置に基づいて、1つ又は複数の自由度において前記表面上の歪みを求めるようにさらに構成される、請求項1に記載のセンサ。
【請求項１５】
第1の光線を方向付けるように動作可能な第1の光源および前記第1の光線に対して非平行な第2の光線を方向付けるように動作可能な第2の光源を支持する光学素子、と、
前記光学素子に近接して配置された撮像デバイスであって、前記撮像デバイスが、前記第1の光線および前記第2の光線を直接受け取って電気信号に変換するように動作可能であり、前記撮像デバイスと前記光学素子が、少なくとも2つの並進自由度および少なくとも2つの回転自由度で互いに対して移動可能である、撮像デバイスと、
前記光学素子を前記撮像デバイスに接続する1つ又は複数の弾性部材であって、前記撮像デバイスと前記光学素子の相対運動を容易にするように動作可能である、1つ又は複数の弾性部材と、
前記電気信号を受け取って、前記撮像デバイス上の前記第1の光線および前記第2の光線の位置を求めるように構成された光位置モジュールと、
前記撮像デバイス上の前記第1の光線および前記第2の光線の前記位置に基づいて前記撮像デバイスと前記光学素子の相対位置を求めるように構成された位置モジュールと、を備える多自由度センサ。
【請求項１６】
クロックをさらに備える請求項１５に記載の多自由度センサ。
【請求項１７】
前記撮像デバイスは、表面に固定されており、
前記位置モジュールは、前記撮像デバイスと前記光学素子の前記相対位置に基づいて、1つ又は複数の自由度において前記表面上の歪みを求めるようにさらに構成される、請求項１５に記載の多自由度センサ。
【請求項１８】
光線を方向付けるように動作可能な複数の光源を支持する光学素子であって、前記光線のうち少なくとも2つの光線が互いに対して非平行である、光学素子と、
前記光学素子に近接して配置された撮像デバイスであって、前記撮像デバイスが前記光線を直接受け取って電気信号に変換するように動作可能であり、前記撮像デバイスと前記光学素子が、複数の並進自由度および複数の回転自由度で互いに対して移動可能である、撮像デバイスと、
前記光学素子を前記撮像デバイスに接続する1つ又は複数の弾性部材であって、前記撮像デバイスと前記光学素子の相対運動を容易にするように動作可能である、1つ又は複数の弾性部材と、
前記電気信号を受け取って、前記撮像デバイス上の前記光線の位置を求めるように構成された光位置モジュールと、
前記撮像デバイス上の前記光線の位置に基づいて前記撮像デバイスと前記光学素子の相対位置を求めるように構成された位置モジュールと、
を備える多自由度センサ。
【請求項１９】
少なくとも1つの光線が、並進自由度の軸に対して実質的に垂直に方向付けられる請求項１８に記載の多自由度センサ。
【請求項２０】
少なくとも1つの光線が、回転自由度の軸に対して実質的に平行に方向づけられる請求項１８に記載の多自由度センサ。
【請求項２１】
前記撮像デバイスは、表面に固定されており、
前記位置モジュールは、前記撮像デバイスと前記光学素子の前記相対位置に基づいて、1つ又は複数の自由度において前記表面上の歪みを求めるようにさらに構成される、請求項１８に記載の多自由度センサ。
【請求項２２】
第1の光源によって第1の光線を方向付けるステップと、
第2の光源によって第2の光線を方向付けるステップであって、前記第1の光源と第2の光源が光学素子によって支持されるステップと、
前記光学素子に近接して配置された撮像デバイスによって、前記第1の光線および前記第2の光線を直接受け取るステップと、
前記撮像デバイスによって、前記第1の光線及び前記第2の光線を電気信号に変換するステップであって、前記第2の光線が前記第1の光線に対して非平行であるステップと、
1つまたは複数の弾性部材によって、前記光学素子を前記撮像デバイスに接続するステップと、
光位置モジュールによって、前記電気信号を受け取るステップと、
前記光位置モジュールによって、前記撮像デバイス上の前記第1の光線および前記第2の光線の位置を求めるステップと、
位置モジュールによって、前記撮像デバイス上の前記第1の光線および前記第2の光線の前記位置に基づいて前記撮像デバイスと前記光学素子の相対位置を求めるステップと、
1つまたは複数の弾性部材によって、前記撮像デバイスと前記光学素子の相対運動を容易にするステップと、
を含む、変位計測を容易にするための方法。
【請求項２３】
前記撮像デバイスと前記光学素子の相対運動を容易にするステップが、並進自由度および回転自由度のうち少なくとも1つにおける相対運動を容易にするステップを含む請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記撮像デバイスは、表面に固定されており、
前記方法は、前記撮像デバイスと前記光学素子の前記相対位置に基づいて、1つ又は複数の自由度において前記表面上での歪みを求めるステップをさらに備える、請求項22に記載の方法。