(57)【要約】  本発明は、基板トレイ搬送機構及び基板トレイ昇降・返送機構を備える基板トレイ返送装置を提供する。基板トレイ搬送機構は、塗布手段の底部に配置され、且つ塗布手段の入口端と出口端にはそれぞれ１つの基板トレイ昇降・返送機構が配置される。塗布手段の入口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、基板トレイ搬送機構によって返送された基板トレイを受け取り、そして基板トレイを塗布手段中の搬送ベルトに搬送するように配置される。塗布手段の出口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、搬送ベルトによって搬出された基板トレイを受け取り、そして基板トレイを基板トレイ搬送機構に搬送するように配置される。
2020507534.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板トレイ搬送機構（１）及び基板トレイ昇降・返送機構（２）を備え、
前記基板トレイ搬送機構（１）は塗布手段（３）の底部に配置され、且つ塗布手段の入口端（Ｘ１）と出口端（Ｘ２）には、それぞれ１つの基板トレイ昇降・返送機構（２）が配置され、
前記塗布手段の入口端（Ｘ１）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）は、前記基板トレイ搬送機構（１）によって返送された基板トレイ（１５）を受け取り、そして基板トレイ（１５）を前記塗布手段（３）中の前記搬送ベルト（４）に搬送するように配置され、
前記塗布手段の出口端（Ｘ２）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）は、前記搬送ベルト（４）によって搬出された基板トレイ（１５）を受け取り、そして前記基板トレイ（１５）を前記基板トレイ搬送機構（１）上に搬送するように配置される、
ことを特徴とする基板トレイ返送装置。
【請求項２】
前記基板トレイ搬送機構（１）は、前記搬送ベルト（４）によって搬出された基板トレイ（１５）を搬送ベルトの入口端（４０１）に連動移動するように配置される第１の返送体（１００）と、
前記第１の返送体（１００）の底部に固定して設けられる支持脚（６）とを有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の基板トレイ返送装置。
【請求項３】
前記基板トレイ昇降・返送機構（２）は、第２の返送体（２００）と、前記第２の返送体（２００）の底部に設けられる昇降装置（８）とを有し、
前記塗布手段の出口端（Ｘ２）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）中の前記第２の返送体（２００）は、前記搬送ベルト（４）によって搬出された基板トレイ（１５）を前記基板トレイ返送装置の入口端（Ｘ３）に連動移動するように配置され、
前記塗布手段の入口端（Ｘ１）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）中の前記第２の返送体（２００）は、前記基板トレイ搬送機構（１）によって搬出された前記基板トレイ（１５）を、前記搬送ベルト（４）の入口端（４０１）に連動移動するように配置される、
ことを特徴とする請求項２に記載の基板トレイ返送装置。
【請求項４】
前記第１の返送体（１００）と、前記第２の返送体（２００）と同一構造であり、何れも架体（９）と、基板トレイ（１５）を搬送するための複数の搬送ローラ（１０）と、複数の回転軸（１１）と、駆動モータ（１２）とを有し、
前記架体（９）の両側には、それぞれ１つの取付溝（１３）が設けられ、且つ２つの前記取付溝（１３）には何れも前記搬送ローラ（１０）が配置され、その内、一方の前記取付溝（１３）内の前記搬送ローラ（１０）は、前記回転軸（１１）を介して他方の前記取付溝（１３）内の前記搬送ローラ（１０）に連結され、隣接する任意２つの前記回転軸（１１）は、ベルト（１４）を介してプーリー（３００）と連動し、
前記駆動モータ（１２）は前記架体（９）に取付けられ、前記駆動モータ（１２）の出力軸は前記回転軸（１１）の何れか１つに連結される、
ことを特徴とする請求項３に記載の基板トレイ返送装置。
【請求項５】
前記搬送ローラはシーブであり、
前記基板トレイ返送装置は、基板トレイ（１５）をさらに有し、前記基板トレイ（１５）の底部には、互いに平行して配置される２本のガイドバー（１６）が設けられ、且つ前記２本のガイドバー（１６）は前記取付溝（１３）内の前記シーブと適合する、
ことを特徴とする請求項４に記載の基板トレイ返送装置。
【請求項６】
前記昇降装置（８）は、油圧シリンダ、エアシリンダ、及び電気プッシュプルロッドのいずれか１つである、
ことを特徴とする請求項３に記載の基板トレイ返送装置。
【請求項７】
塗布手段の入口端（Ｘ１）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）は、基板トレイ（１５）を押し上げ、そして搬送ベルト（４）上に搬入し、搬送ベルト（４）は基板トレイ（１５）を塗布手段の入口端（Ｘ１）から塗布手段の出口端（Ｘ２）に搬送し、そして基板トレイ（１５）を、塗布手段の出口端（Ｘ２）に位置すると共に上昇状態である基板トレイ昇降・返送機構（２）に搬入し、
塗布手段の出口端（Ｘ２）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）は、基板トレイ（１５）を載せて下降し、且つ基板トレイ（１５）を基板トレイ搬送機構（１）に搬入し、
基板トレイ搬送機構（１）は、基板トレイ（１５）を塗布手段（３）の底部から塗布手段の入口端（Ｘ１）に位置すると共に下降状態である基板トレイ昇降・返送機構２に返送し、基板トレイ（１５）を繰り返し返送するための１つの返送過程を完成することを特徴とする、
請求項１に記載の基板トレイ返送装置に適用する基板トレイ返送方法。
【請求項８】
前記搬送ベルト（４）による前記基板トレイ（１５）の搬送中に、前記塗布手段の入口端（Ｘ１）に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構２は、第３の所定位置までに下降し、
前記第３の所定位置は、前記基板トレイ搬送機構（１）と同一平面にある位置である、
ことを特徴とする請求項７に記載の基板トレイ返送方法。
【請求項９】
前記基板トレイ（１５）の返送中に、前記塗布手段の出口端（Ｘ２）に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構（２）は、第４の所定位置までに上昇し、
前記第４の所定位置は、前記搬送ベルト（４）と同一平面にある位置である、
ことを特徴とする請求項７に記載の基板トレイ返送方法。
【請求項１０】
塗布手段（３）を備え、
基板搬入機構（７）と、返送手段（１７）と、基板搬出機構（１８）とをさらに備え、
前記塗布手段（３）は、複数の平行して配置された搬送ベルト（４）を有し、隣接する２本の前記搬送ベルト（４）の間には第１の隙間（４００）が形成され、各前記搬送ベルト（４）は、前記塗布手段（３）に亘って配置され、且つ、各前記搬送ベルト（４）の両端はそれぞれ前記基板搬入機構（７）と前記基板搬出機構（１８）内に入り込み、
前記返送手段（１７）は、前記塗布手段（３）の下方に配置され、且つ請求項１に記載の基板トレイ返送装置であり、前記返送手段（１７）の両端はそれぞれ前記基板搬入機構（７）と基板搬出機構（１８）内に位置され、
前記基板搬入機構（７）は、前記塗布手段の入口端（Ｘ１）に連結され、ガラス基板（５００）を返送して搬送ベルト（４）の入口端に位置する基板トレイ（１５）に送入するように配置され、
基板搬出機構（１８）は、前記塗布手段の出口端（Ｘ２）に連結され、搬送ベルト（４）の出口端に位置する基板トレイ（１５）上のガラス基板（５００）を搬出し、次のステーションに送るように配置される、
ことを特徴とする全自動塗布機。
【請求項１１】
前記基板搬入機構（７）は、第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）、第１の基板リフト機構（Ｉ−２０）、第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）、第１の基板リフト機構（Ｉ−２２）及び第１の走行レール（Ｉ−２３）を含み、
前記第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）は、ガラス基板（５００）を基板搬入機構（７）に搬入するように配置され、
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）は、第１の走行レール（Ｉ−２３）上に摺動可能に配置され、且つ前記第１の走行レール（Ｉ−２３）において、前記第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）の直上方に位置する第１の所定位置（Ｙ１）と、前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２２）に対向する第２の所定位置（Ｙ２）とを有し、
前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２０）は、第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）に対して、前記第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）に直交な方向に沿って昇降するように移動し、
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）は、第２の所定位置（Ｙ２）に摺動する際に伸長して、ガラス基板（５００）を搬送ベルト（４）の直上方に搬送するように配置され、
前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２２）は、前記搬送ベルト（４）の入口端の下方に配置される、
ことを特徴とする請求項１０に記載の全自動塗布機。
【請求項１２】
前記基板搬出機構（１８）は、第２の基板搬送ベルト（II−１９）、第２の基板リフト機構（II−２０）、第２の基板搬送機構（II−２１）、第２の基板リフト機構（II−２２）及び第２の走行レール（II−２３）を含み、
前記第２基板搬送機構（II−２１）は、前記第２の走行レール（II−２３）上に摺動可能に配置され、且つ前記第２の走行レール（II−２３）において、前記第２の基板搬送ベルト（II−１９）の直上方に位置する第５の所定位置（Ｙ５）及び前記第２の基板リフト機構（II−２２）に対向する第６の所定位置（Ｙ６）を有し、
前記第２の基板搬送機構（II−２１）は、第６の所定位置（Ｙ６）までに摺動する際に、伸長するように配置され、
前記第２の基板リフト機構（II−２２）は、前記搬送ベルト（４）の出口端の下方に配置され、
前記第２の基板リフト機構（II−２０）は、第２の基板搬送ベルト（II−１９）に対して、第２の基板搬送ベルト（II−１９）に直交な方向に沿って昇降するように移動し、
前記第２の基板搬送ベルト（II−１９）は、ガラス基板（５００）を前記基板搬出機構（１８）から搬出し、次のステーションに送るように配置される、
ことを特徴とする請求項１１に記載の全自動塗布機。
【請求項１３】
前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２０）及び前記第２の基板リフト機構（II−２０）は、いずれも第１のリフトフォーク（５０）と、リフトシリンダ（４０）を含み、
前記第１のリフトフォーク（５０）は、複数の第１のフォークバー（２５）と、第１のフォークバー連接棒（２６）と、リフトシリンダ連接棒（２７）とを有し、前記複数の第１のフォークバー（２５）は、第１のフォークバー連接棒（２６）において等間隔で平行して固定され、前記第１のフォークバー連接棒（２６）は、前記リフトシリンダ連接棒（２７）を介して前記リフトシリンダ（４０）の伸縮端（４１）に固定連結され、
前記第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）は複数であり、互いに等間隔で平行して配置されており、前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２０）の第１のフォークバー（２５）は、昇降時に隣接する２つの前記第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）の間の第２の隙間（１９１）を通過するように配置され、
前記第２の基板搬送ベルト（II−２０）は複数であり、互いに等間隔で平行して配置され、前記第２の基板リフト機構（II−２０）の第１のフォークバー（２５）は、昇降時に隣接する２つの前記第２の基板搬送ベルト（II−１９）の間の第２の隙間（１９１）を通過するように配置される、
ことを特徴とする請求項１２に記載の全自動塗布機。
【請求項１４】
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）及び前記第２の基板搬送機構（II−２１）は、いずれも第２のリフトフォーク（６０）と、伸縮シリンダ（２８）と  、スライダ（２９）と、キャリッジ（３０）とを含み、
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）のキャリッジ（３０）は、前記第１の走行レール（Ｉ−２３）に摺動可能に配置され、前記第２の基板搬送機構（II−２１）のキャリッジ（３０）は、前記第２の走行レール（II−２３）に摺動可能に配置され、
前記スライダ（２９）は、摺動可能に前記キャリッジ（３０）上に配置され、
前記伸縮シリンダ（２８）は、前記スライダ（２９）に固定され、
前記前記第２のリフトフォーク（６０）は、複数の第２のフォークバー（３６）と、第２のフォークバー連接棒（３７）とを含み、前記複数の第２のフォークバー（３６）は、前記第２のフォークバー連接棒（３７）において等間隔で平行して固定され、前記第２のフォークバー連接棒（３７）は、前記伸縮シリンダ（２８）の伸縮端（２８１）に固定される、
ことを特徴とする請求項１２に記載の全自動塗布機。
【請求項１５】
前記第１の走行レール（Ｉ−２３）及び前記第２の走行レール（II−２３）は、いずれも上方レール（２３１）と中間レール（２３２）及び下方レール（２３３）を含み、
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）のキャリッジ（３０）は、前記第１の走行レール（Ｉ−２３）の上方レール（２３１）、中間レール（２３２）及び下方レール（２３３）に摺動可能に連結され、
前記第２の基板搬送機構（II−２１）のキャリッジ（３０）は、前記第２の走行レール（II−２３）の上方レール（２３１）、中間レール（２３２）及び下方レール（２３３）に摺動可能に連結される、
ことを特徴とする請求項１４に記載の全自動塗布機。
【請求項１６】
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）及び前記第２の基板搬送機構（ＩＩ−２１）は、いずれも第１のサーボモーター（３１）及び第１のラック（３３）をさらに含み、
前記第１のラック（３３）は、中間レール（２３２）に固定され、
前記第１のサーボモーター（３１）は前記スライダ（２９）に固定され、前記第１のサーボモーター（３１）には前記第１のラック（３３）と噛み合う第１の歯車（７１）が連結される、
ことを特徴とする請求項１５に記載の全自動塗布機。
【請求項１７】
前記キャリッジ（３０）の一側には、縦方向に沿って平行して配置された２つの第２のスライドレール（３４）が配置され、
前記スライダ（２９）は、第２のスライドレール（３４）によって摺動可能にキャリッジ（３０）に取り付けられる、
ことを特徴とする請求項１６に記載の全自動塗布機。
【請求項１８】
第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）及び第２の基板搬送機構（ＩＩ−２１）は、いずれも第２のサーボモーター（３２）及び第２のラック（３５）をさらに含み、
前記第２のラック（３５）は、第２のスライドレール（３４）と平行するように前記キャリッジ（３０）に配置され、
前記第２のサーボモーター（３２）は前記スライダ（２９）に固定され、前記第２のサーボモーター（３２）には、前記第２のラック（３５）と噛み合う第２の歯車（７２）が連結される、
ことを特徴とする請求項１７に記載の全自動塗布機。
【請求項１９】
前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２２）及び前記第２の基板リフト機構（ＩＩ−２２）は、いずれもベース（３８）と、前記ベース（３８）に固定され伸縮可能な複数のリフトシリンダ（３９）を含み、各前記リフトシリンダ（３９）は、伸縮時に隣接する２つの搬送ベルト（４）の間の第１の隙間（４００）を通過し、且つ隣接する２つの第２のフォークバー（３６）の間を通過するように配置される、
ことを特徴とする請求項１４に記載の全自動塗布機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
＜関連出願の相互参照＞
本出願は、２０１７年１２月２１日に中国庁に出願された中国特許出願第２０１７１１３９７０５８．４号「基板トレイ返送装置と基板トレイの返送方法」及び第２０１７１１３９４５９１．５号「全自動塗布機」の優先権を主張し、これらの出願の開示内容は参照によって本出願に組み込まれる。
【０００２】
本開示は、コーティングの分野に関し、特に、基板トレイ返送装置、基板トレイ返送方法及び全自動塗布機に関する。
【背景技術】
【０００３】
光起電力発電分野に使用される生産型マグネトロンスパッタリング装置は、主として、横型マグネトロンスパッタリング装置と縦型マグネトロンスパッタリング装置の２種類に大別される。その中で、横型マグネトロンスパッタリング装置は、全体として膜厚の均一性が良好なので、主力機種に使用されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
スパッタ成膜工程において、ターゲット材料のオーバーコーティングが回避できないため、ガラス膜層の縁部にはアークが発生しやすく、成膜の品質はひどく影響されてしますのである。アークが発生しないように、ガラスの縁部を遮蔽するための基板トレイが必要となる。基板トレイが増設されると、自動制御を実現するため返送系統の増設も必要となる。しかしながら、工場ではスペースが限られているため、基板トレイ返送系統を外部に取り付けることができない。さらに、自動化が実現可能なのかも課題となっている。
【０００５】
本発明は、基板トレイが返送でき、自動化製造が実現できるほか、既存の塗布手段の底部空間を効果的に利用して占用面積を減らし、生産に投入された塗布手段の改良を効果的に解決可能な基板トレイ返送装置、基板トレイ返送方法、全自動塗布機を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の幾つかの実施形態に係る基板トレイ返送装置は、基板トレイ返送装置と基板トレイ昇降・返送機構を備え、前記搬送装置は前記塗布手段の底部に配置され、且つ前記塗布手段の入口端及び出口端には、それぞれ１つの前記昇降返送装置が設けられる。
塗布手段の入口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、基板トレイ返送装置によって搬出された基板トレイを受け取り、これらの基板トレイを塗布手段の搬送ベルトに搬送するように配置される。
塗布手段の出口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、搬送ベルトによって搬出された基板トレイを受け取り、これらの基板トレイを基板トレイ返送装置に搬送するように配置される。
【０００７】
いくつかの実施形態において、前記基板トレイ返送装置は、ベルトコンベア又は搬送ベルトである。
いくつかの実施形態において、前記基板トレイ返送装置は、第１の返送体及び前記第１の返送体の底部に固定して配置される支持脚を含む。第１の返送体は、搬送ベルトによって搬出される基板トレイを搬送ベルトの入口端に連動移動するように配置される。
基板トレイ昇降・返送機構は、第２の返送体と該第２の返送体の底部に配置される昇降装置とを有する。塗布手段の出口端に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構の第２の返送体は、搬送ベルトによって搬出された基板トレイを基板トレイ返送装置の入口端に移動させるように配置される。塗布手段の入口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構の第２の返送体は、基板トレイ返送装置によって搬出された基板トレイを搬送ベルトの入口端までに連動移動するように配置される。
【０００８】
いくつかの実施形態において、前記第１の返送体は、前記第２の返送体と同一構造であり、いずれも架体と、基板トレイを搬送するための複数の搬送ローラと、複数の回転軸と、駆動モータとを有する。前記架体の両側には、それぞれ１つの取付溝が設けられ、且つ２つの取付溝内には何れも前記搬送ローラが配置される。１つの前記取付溝内の前記搬送ローラは、前記回転軸によって他の１つの前記取付溝内の前記搬送ローラに連結される。隣接する任意２つの前記回転軸は、ベルト及びプーリーによって連動される。前記駆動モータは前記架体に固定して取付けられ、前記駆動モータの出力軸は前記回転軸の何れかに連結される。
【０００９】
いくつかの実施形態において、前記搬送ローラはシーブである。前記基板トレイ返送装置は、基板トレイをさらに有する。該基板トレイの底部には、互いに平行して配置される２本のガイドバーが設けられ、且つこの２本のガイドバーは前記取付溝内の前記シーブと適合する。
いくつかの実施形態において、前記昇降機構は、油圧シリンダ、エアシリンダ、及び電気プッシュプルロッドのいずれか１つである。
【００１０】
本開示のいくつかの実施形態は、基板トレイ返送装置に適用する基板トレイ返送方法を提供する。塗布手段の入口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、基板トレイを押し上げ、搬送ベルトに搬入してから、搬送ベルトは、基板トレイを塗布手段の入口端から塗布手段の出口端まで搬送して、そして塗布手段の出口端に位置する上昇状態である基板トレイ昇降・返送機構に搬入する。その後、塗布手段の出口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、基板トレイを載せたまま下降し、基板トレイ返送装置に搬送する。基板トレイ返送装置は、基板トレイを塗布手段の底部から塗布手段の入口端に位置する下降状態である基板トレイ昇降・返送機構に返送し、基板トレイを返送するための一つの返送過程を完了する。
【００１１】
いくつかの実施形態において、搬送ベルトによる基板トレイの搬送中、前記塗布手段の入口端に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構は、基板トレイ返送装置と同一平面にある第３の所定位置までに下降する。
いくつかの実施形態において、基板トレイの返送中、前記塗布手段の出口端に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構は、搬送ベルトと同一平面にある第４の所定位置までに上昇する。
【００１２】
本開示のいくつかの実施形態は、全自動塗布機を提供する。該全自動塗布機は、基板搬入機構、返送手段及び基板搬出機構を備える。塗布手段は、平行して配置され、隣接する２つの間に第１の隙間が形成される複数の搬送ベルトを有する。各搬送ベルトは、各搬送ベルトの両端がそれぞれ基板搬入機構と基板搬出機構内に入り込むように、塗布手段に亘って配置される。
前記返送手段は前記塗布手段の下方に配置され、且つ前記返送手段は、前記基板トレイ返送装置である。前記返送手段の両端は、それぞれ前記基板搬入機構と前記基板搬出機構内に配置される。
基板搬入機構は、塗布手段の入口端に接続され、ガラス基板を搬送し、且つ搬送ベルトの入口端に位置する基板トレイに搬入するように配置される。基板搬出機構は、前記塗布手段の出口端に接続され、搬送ベルトの出口端に位置する基板トレイ上のガラス基板を搬出し、次のステーションに送入するように配置される。
【００１３】
いくつかの実施形態において、基板搬入機構は、第１の基板搬送ベルトと、第１の基板リフト機構と、第１の基板搬送機構と、第１の基板リフト機構と、第１の走行レールとを含む。
第１の基板搬送ベルトは、ガラス基板を基板搬入機構内に搬入するように配置される。
第１の基板搬送機構は、第１の走行レールに摺動可能に配置され、第１の走行レールにおいて、基板搬送ベルトの直上方に位置する第１の所定位置と、第１の基板リフト機構に対向する第２の所定位置とを有する。
第１の基板リフト機構は、基板搬送ベルトに直交な方向に沿って、第１基板搬送ベルトに対して昇降移動する。第１の基板リフト機構は、上昇時に第１の基板搬送ベルト上のガラス基板を押し上げ、下降時にガラス基板を下降させて、第１の所定位置に摺動した第１の基板搬送機構に送入ように配置される。
第１の基板搬送機構は、第２の所定位置までに摺動する時に伸長して、ガラス基板を搬送ベルトの直上方に搬送するように配置される。
第１の基板リフト機構は、搬送ベルトの入口端の下方に配置され、上昇時に第１の基板搬送機構上のガラス基板を押し上げ、下降時にガラス基板を下降させて搬送ベルトに位置する基板トレイに送入するように配置される。
【００１４】
いくつかの実施形態において、前記基板搬出機構は、第２の基板搬送ベルト、第２の基板リフト機構、第２の基板搬送機構、第２の基板リフト機構及び第２の走行レールを有する。
第２基板搬送機構は、第２の走行レールに摺動可能に配置される。前記第２の基板搬送機構は、第２の走行レールにおいて、第２の基板搬送ベルトの直上方に位置する第５の所定位置及び第２の基板リフト機構に対向する第６の所定位置を有する。
第２の基板搬送機構は、前記第６の所定位置までに摺動する時に伸長するように配置される。
【００１５】
第２の基板リフト機構は、搬送ベルトの出口端の下方に配置され、上昇時に搬送ベルトに位置する基板トレイ上のガラス基板を押し上げ、下降時にガラス基板を下降させて、第６の所定位置までに摺動し伸長する第２の基板搬送機構に送入ように配置される。
第２の基板リフト機構は、第２の基板搬送ベルトに直交な方向に沿って、基板搬送ベルトに対して昇降移動する。第２の基板リフト機構は、上昇時に第５の所定位置までに摺動した第２の基板搬送機構上のガラス基板を押し上げ、下降時にガラス基板を下降させて、第２の基板搬送ベルトに送入するように配置される。
第２の基板搬送ベルトは、ガラス基板を基板搬出機構から搬出し、次のステーションに送入するように配置される。
【００１６】
いくつかの実施形態において、前記第１の基板リフト機構及び前記第２の基板リフト機構は、いずれも第１のリフトフォークとリフトシリンダを有する。前記第１のリフトフォークは、複数の第１のフォークバー、第１のフォークバー連接棒及びリフトシリンダ連接棒を含む。前記複数の第１のフォークバーは、第１のフォークバー連接棒において等間隔で平行して固定される。前記第１のフォークバー連接棒は、リフトシリンダ連接棒によって前記リフトシリンダの伸縮端に固定連結される。前記第１の基板搬送ベルトは複数であり、等間隔で互いに平行して配置される。第１の基板リフト機構の第１のフォークバーは、上昇時に、隣接する２つの第１の基板搬送ベルトの間の第２の隙間に通過するように配置される。前記第２の基板搬送ベルトは複数であり、間隔的且つ平行して配置されている。第２の基板リフト機構の第１のフォークバーは、上昇時に、隣接する２つの第２の基板搬送ベルトの間の第２の隙間を通過するように配置される。
【００１７】
いくつかの実施形態において、第１の基板搬送機構及び第２の基板搬送機構は、いずれも第２のリフトフォーク、伸縮シリンダ、スライダ、及びキャリッジを含む。第１の基板搬送機構のキャリッジは、第１の走行レールに摺動可能に配置される。第２の基板搬送機構のキャリッジは、第２の走行レールに摺動可能に配置される。スライダは、キャリッジの上に摺動可能に配置される。伸縮シリンダはスライダに固定される。前記第２のリフトフォークは、複数の第２のフォークバーと第２のフォークバー連接棒を有し、複数の第２のフォークバーは、第２のフォークバー連接棒において等間隔で平行して固定される。第２のフォークバー連接棒は、伸縮シリンダの伸縮端に固定連結される。
【００１８】
いくつかの実施形態において、第１の走行レール及び第２の走行レールは、いずれも上方レール、中間レール及び下方レールを含む。第１の基板搬送機構のキャリッジは、第１の走行レールの上方レール、中間レール及び下方レールに摺動可能に連結される。第２の基板搬送機構のキャリッジは、第２の走行レールの上方レール、中間レール及び下方レールに摺動可能に連結される。
いくつかの実施形態において、第１の基板搬送機構及び第２の基板搬送機構は、いずれも第１のサーボモーター及び中間レールに固定される第１のラックをさらに含む。第１のサーボモーターはスライダに固定される。第１のサーボモーターには、第１のラックと噛み合う第１の歯車に連結される。
【００１９】
いくつかの実施形態において、キャリッジの一側には、縦方向に沿って平行して配置された２つの第２のスライドレールが配置され、この第２のスライドレールによって、スライダは摺動可能にキャリッジに取り付けられる。
いくつかの実施形態において、第１の基板搬送機構及び第２の基板搬送機構は、いずれも第２のサーボモーター及び第２のラックをさらに含む。第２のラックは、第２のスライドレールと平行するようにキャリッジに固定され、第２のサーボモーターはスライダに固定され、第２のサーボモーターには第２のラックと噛み合う第２の歯車が連結される。
【００２０】
いくつかの実施形態において、第１の基板リフト機構及び第２の基板リフト機構は、いずれもベース及び複数の昇降可能なリフトシリンダーを含み、各リフトシリンダはベースに固定され、伸縮時に、隣接する２つの搬送ベルトの間の第１の隙間及び２つの第２のフォークバーの間を通過するように配置される。
【００２１】
本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送装置は、スパッタコーティング中の基板トレイの自動返送を実現した。塗布手段を配置する底部のスペースを十分に活用し、大きな占用面積を必要とする基板トレイ返送装置を塗布手段の下方に配置することにより、生産に導入された塗布手段に存する、限られたスペースで基板トレイの返送システムを追加できないという不具合を解消した。構造が簡略化、占用面積が小さいという利点があり、基板トレイを繰り返し利用することができ、１台が使用されると同時にもう一台は待機し、塗布手段の入口端に基板トレイのバッファー室を設ける必要がないので、コストを大いに削減できる。
【００２２】
本発明の実施形態のいくつかの実施形態に係る全自動塗布機は、基板トレイ返送装置と、基板搬入機構及び基板搬出機構との協働により、基板の自動的な搬入、搬出及び基板トレイの自動的な返送が実現され、人的操作が必要なく、塗布機構の自動制御が実現され、生産率が大いに向上される。また、返送装置が塗布機構の底部に位置されるので、既存のスペースを有効的に利用できるだけでなく、占用面積が少なく、省スペース化され、新しい機器の配置と古い機器の改造に適合する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送装置の全体的な構造を示す軸測図である。
【図２】本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送機構の軸測図である。
【図３】本開示のいくつかの実施形態に係る第１の返送体の軸測図である。
【図４】本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ昇降・返送機構の軸測図である。
【図５】本開示のいくつかの実施形態に係る第２の返送体の軸測図である。
【図６】本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイの軸測図である。
【図７】本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送方法を示すフローチャート図である。
【図８】本開示のいくつかの実施形態に係る全自動塗布機の全体構造を示す軸測図である。
【図９】本開示のいくつかの実施形態に係る基板搬入機構の構造を示す軸測図である。
【図１０】本開示のいくつかの実施形態に係る基板搬出機構の構造を示す軸測図である。
【図１１】本開示のいくつかの実施形態に係る第１の基板リフト機構及び第２の基板リフト機構の軸測図である。
【図１２】本開示のいくつかの実施形態に係る第１の基板搬送機構及び第２の基板搬送機構の軸測図である。
【図１３】本開示のいくつかの実施形態に係る第１の歯車と第１のラックが噛み合う構造を示す軸測図である。
【図１４】本開示のいくつかの実施形態に係る第２の歯車と第２のラックが噛み合う構造を示す軸測図である。
【図１５】本開示のいくつかの実施形態に係る第１の基板リフト機構及び第２の基板リフト機構の軸測図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照しながら本開示の実施形態を詳細的に説明する。図面において、同一又は類似の要素、同一又は類似の機能を有する要素は、同一又は類似の参照符号が付される。図面を参照して説明される実施形態は例示として、本開示の説明のみに使用され、本開示を限定するものと意図しない。
従来の技術では、横型マグネトロンスパッタリング装置の入口端及び出口端にバッファー室を設け、そして返送系統を横型マグネトロンスパッタリング装置の横側に設けることにより、基板トレイを補充する。しかしながら、この設計に必要な占用面積は非常に大きいので、空間を事前に確保することが必要であり、生産に導入された機器に適さない。
【００２５】
本開示の実施形態に係る基板トレイ返送装置は、図１に示すように、基板トレイ搬送機構１と基板トレイ昇降・返送機構２とを備える。基板トレイ搬送機構１は塗布手段３の底部に配置され、且つ塗布手段３の両端には、それぞれ１つの基板トレイ昇降・返送機構２が設けられる。一つの基板トレイ昇降・返送機構２は、塗布手段の入口端Ｘ１に配置され（これに対応して該基板トレイ昇降・返送機構２も基板トレイ搬送機構１の出口端Ｘ４に位置する）、他の一つの基板トレイ昇降・返送機構２は、塗布手段３の出口端Ｘ２に配置される（これに対応して該基板トレイ昇降・返送機構２も基板トレイ搬送機構１の入口端Ｘ４に位置する）。
【００２６】
塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ搬送機構１によって返送された基板トレイ１５を受け取り、そして基板トレイ１５を塗布手段３中の搬送ベルト４に搬入するように配置される。塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、搬送ベルト４によって搬出された基板トレイ１５を受け取り、そして基板トレイ１５を基板トレイ搬送機構１に搬送するように配置される。
当業者が理解できるように、本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送装置は基板トレイ１５の返送に用いられ、これに対して、基板トレイ１５は塗布対象となるガラス基板の載置体である。
【００２７】
本開示のいくつかの実施形態において、基板トレイの返送装置の作業プロセスは、次の通りである。塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を載置して上昇する。基板トレイ昇降・返送機構２は、塗布手段３の搬送ベルト４に接触する（いくつかの実施形態において、基板トレイ昇降・返送機構２は、塗布手段３の搬送ベルト４と同一平面にある）ように上昇する時、基板トレイ１５の搬送を開始し、基板トレイ１５を塗布手段３の搬送ベルト４上に搬入する。そして、基板トレイ１５の上に載置されるガラス基板は、搬送ベルト４に連動移動され塗布手段３に搬入され、塗布が実行される。搬送ベルト４による基板トレイ１５の搬送中、塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ搬送機構１に接触する（いくつかの実施形態において、基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ搬送機構１と同一平面にある）ように下降する。塗布が終了すると、基板トレイ１５は、ガラス基板を載置しながら塗布手段の出口端Ｘ２から搬出され、そして塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２上に搬送される（この場合、基板トレイ昇降・返送機構２は上昇する状態にあり、搬送ベルト４と同一平面にある）。塗布済みのガラス基板は、人工又は機械装置によって搬出された後、塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を載置して基板トレイ搬送機構１と接触するまでに下降し、基板トレイ１５を基板トレイ搬送機構１の上に搬入する。基板トレイ搬送機構１は、基板トレイ１５を塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２に搬送する（この場合、塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は下降状態にあり、基板トレイ搬送機構１と同一平面にある）、基板トレイを返送する一つの作業循環を完了する。基板トレイ搬送機構１による基板トレイ１５の搬送中、塗布手段の入口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は上昇し、次の作業循環に必要な基板トレイ１５の受け取りに待機する。
【００２８】
本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送装置は、スパッタコーティング中の基板トレイの自動的返送を実現した。本実施形態は、塗布手段を設置する底部のスペースを十分に活用し、大きな占用面積を必要とする基板トレイ返送装置を塗布手段の下方に配置することにより、生産に導入された塗布手段に存する、限られたスペースで基板トレイの返送システムを追加できないという不具合を解消した。構造が簡略化、占用面積が小さいという利点があり、基板トレイを繰り返し利用することができ、１台が使用されると同時にもう一台は待機し、塗布手段の入口端に基板トレイのバッファー室を設ける必要がないので、コストを大いに削減できる。
【００２９】
説明すべきなのは、基板トレイ搬送機構１は、種々の構造を有してもよい。いくつかの実施形態において、基板トレイ搬送機構１として、ベルトコンベアが利用される。他の実施形態において、基板トレイ搬送機構１として、コンベアベルトが利用される。更に他の実施形態において、基板トレイ搬送機構１として、搬送機能を有する装置は利用される。
いくつかの実施形態において、図２に示すように、基板トレイ搬送機構１は、第１の返送体１００と、第１の返送体１００の底部に固定された支持脚６とを含む。
【００３０】
いくつかの実施形態において、支持脚部６は、折り畳み可能な支持脚である。基板トレイ搬送機構１の非使用時、支持脚６を折り畳み、基板トレイ搬送機構１の占用空間を抑制することは、運搬に有利である。稼動使用中に基板トレイ搬送機構１を保守する場合、支持脚６を折り畳むと、基板トレイ搬送機構１の占用空間を抑制することができ、保守に便利をもたらすことができる。
いくつかの実施形態において、第１の返送体１００は、基板トレイ１５を塗布手段の出口端Ｘ２から塗布手段の入口端Ｘ１に返送するため、搬送ベルト４によって搬出された基板トレイ１５を搬送ベルトの入口端４０１に移動させるように配置される。ここでは、搬送ベルトの入口端４０１は、即ち塗布手段の入口端Ｘ１である。
【００３１】
いくつかの実施形態において、図３に示すように、第１の返送体１００は、架体９、複数の搬送ローラ１０、複数の回転軸１１、及び駆動モータ１２を含む。架体９の両側には、それぞれ１つの取付溝１３が設けられ、且つ両取付溝１３内には、何れも搬送ローラ１０が配置される。そのうち、１つの取付溝１３内の各搬送ローラ１０は、１つの回転軸１１によって他の１つの取付溝１３内の１つの搬送ローラ１０に連結される（いくつかの実施形態において、回転軸１１は、架体９の幅方向Ｗに沿って配置される）。隣接する任意２つの回転軸１１は、ベルト１４及びプーリー３００によって連動される。駆動モータ１２は架体９に固定され、駆動モータ１２の出力軸は回転軸１１の何れか１つに連結される。
【００３２】
いくつかの実施形態において、隣接する任意２つの回転軸１１は、ベルト１４及びプーリー３００を介して、以下の方式により連動を実現する。両端側の回転軸１１中の各々の回転軸１１の一端部にはそれぞれ１つのプーリー３００が設けられる以外、他の回転軸１１は、いずれも一端部に２つのプーリー３００が設けられており、隣接する任意２つのプーリー３００はベルト１４によって連結される。他のいくつかの実施形態において、ベルト１４の締付け具合の調整を実現するため、２つの回転軸１１の間にはテンションホイール５が配置される。テンションホイール５は、位置が調整可能であり、隣接する２つの回転軸１１の間のベルト１４の滑りを防止することができる。
【００３３】
いくつかの実施形態において、図４に示すように、基板トレイ昇降・返送機構２は、第２の返送体２００及び第２の返送体２００の底部に配置された第２の昇降装置８を含む。塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２中の第２の返送体２００は、搬送ベルト４により搬出された基板トレイ１５を前記基板トレイ搬送機構１の入口端Ｘ３までに移動させるように配置される。塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２中の第２の返送体２００は、基板トレイ搬送機構１により返送された基板トレイ１５を搬送ベルトの入口端４０１までに移動させるように配置される。
【００３４】
いくつかの実施形態において、昇降装置８は油圧シリンダである。他のいくつかの実施形態において、昇降装置８はエアシリンダである。さらに他の実施形態において、昇降装置８は電気プッシュプルロッドである。勿論、昇降装置８の具体的な構造は、例示されたものに限定されない。
【００３５】
いくつかの実施形態において、第２の返送体２００は、第１の返送体１００と同一構造である。図５に示すように、第２の返送体２００も、架体９、複数の搬送ローラ１０、複数の回転軸１１、及び駆動モータ１２を含む。架体９の両側には、それぞれ１つの取付溝１３が設けられ、且つ両取付溝１３内には、何れも搬送ローラ１０が配置される。そのうち、１つの取付溝１３内の各搬送ローラ１０は、１つの回転軸１１によって他の１つの取付溝１３内の１つの搬送ローラ１０に連結され、隣接する任意２つの回転軸１１は、ベルト１４及びプーリー３００によって連動される。駆動モータ１２は架体９に固定され、駆動モータ１２の出力軸は回転軸１１の何れか１つに連結される。
【００３６】
いくつかの実施形態において、両端側の回転軸１１中の各々の回転軸１１の一端部にはそれぞれ１つのプーリー３００が設けられる以外、他の回転軸１１は、いずれも一端部に２つのプーリー３００が設けられており、隣接する任意２つのプーリー３００はベルト１４によって連結される。他のいくつかの実施形態において、ベルト１４の締付け具合の調整を実現するため、２つの回転軸１１の間にはテンションホイール５が配置される。テンションホイール５は、位置が調整可能であり、隣接する２つの回転軸１１の間のベルト１４の滑りを防止することができる。
【００３７】
説明すべきなのは、駆動モータ１２は、一本の回転軸１１を回転させるように駆動する。隣接する任意２つの回転軸１１の間がベルト１４によって連結されるので、全ての回転軸１１は、同一方向に回転すると同時に、その上の搬送ローラ１０を回転させ、よって搬送ローラ１０に基板トレイ１５を搬送するように移動させて基板トレイ１５の搬送を実現する。
【００３８】
いくつかの実施形態において、図４に示すように、搬送ローラ１０は、基板トレイ１５が偏移することがなく所定の経路に沿って移動させるため、シーブを採用する。これにより、図６に示すように、基板トレイ返送装置は、基板トレイ１５の搬送に用いられるため、いくつかの実施形態において、前記基板トレイ返送装置は底部に２つのガイドロッド１６が平行して配置された基板トレイ１５をさらに含む。図４に示すように、２本のガイドロッド１６は、それぞれ両取付溝１３のシーブに嵌合する、即ち２本のガイドロッド１６がそれぞれ両取付溝１３内のシーブの溝内に位置付けられるので、基板トレイ１５の搬送中、基板トレイ１５の底部に位置するガイドロッド１６が搬送ローラ１０の溝に沿って移動し、偏移することを効果的に防止することができ、且つ二者間の接触面積が増大され、摩擦が増大され、滑り防止の機能を発揮できる。
【００３９】
本開示のいくつかの実施形態は、図７に示すように、基板トレイ返送装置に適用する基板トレイ返送方法を提供する。
Ｓ１、塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を押し上げ搬送ベルト４に搬入し、搬送ベルト４は、塗布手段３の入口端Ｘ１から塗布手段の出口端Ｘ２まで基板トレイを搬送し、塗布手段の出口端Ｘ２に位置する上昇状態である基板トレイ昇降・返送機構２に搬送する。
Ｓ２、塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を載置しながら下降し、且つ基板トレイ１５を基板トレイ搬送機構１に搬入する。
Ｓ３、基板トレイ搬送機構１は、基板トレイ１５を塗布手段３の底部から塗布手段の入口端Ｘ１に位置し且つ下降状態にある基板トレイ昇降・返送機構２に返送し、基板トレイ１５を繰り返し返送するための一つの返送過程を完了する。
【００４０】
いくつかの実施形態において、基板トレイ返送装置に適用する基板トレイ返送方法は、以下の工程を有する。
Ｓ１０、塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を押し上げ、搬送ベルト４に搬入し、搬送ベルト４は、基板トレイを塗布手段の入口端Ｘ１から塗布手段の出口端Ｘ２まで搬送し、そして塗布手段の出口端Ｘ２に位置し且つ第４の所定位置までに上昇する基板トレイ昇降・返送機構２に搬入する。塗布手段の入口端Ｘ１に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構２は、搬送ベルト４による基板トレイ１５の搬送中に、第３の所定位置までに下降する。
【００４１】
工程Ｓ１０において、塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を押し上げる過程は、基板トレイ１５が上昇する過程である。搬送ベルト４は、基板トレイを塗布手段の入口端Ｘ１から塗布手段の出口端Ｘ２まで搬送し、そして基板トレイを塗布手段の出口端Ｘ２に位置し且つ上昇状態である基板トレイ昇降・返送機構２に搬入する過程は、いわゆる基板トレイ１５が搬送される過程である。
いくつかの実施形態において、第３の所定位置は、基板トレイ搬送機構１と同一平面にある位置を指す。第４の所定位置は、搬送ベルト４と同一平面にある位置を指す。
【００４２】
Ｓ２０、塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を載置しながら基板トレイ搬送機構１に搬入する。
Ｓ３０、基板トレイ搬送機構１は、基板トレイ１５を塗布手段３の底部から塗布手段の入口端Ｘ１に位置し且つ第３の所定位置にある基板トレイ昇降・返送機構２に返送し、基板トレイを返送するための一つの作業循環を完了する。基板トレイ１５の返送中に、塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、第４の所定位置までに上昇する。
ここでは、第３の所定位置の「第３」及び第４の所定位置の「第４」は、上述した２つの所定位置を区分するのみのものである。
【００４３】
本開示のいくつかの実施形態に係る全自動塗布機は、図８に示すように、塗布手段３、基板搬入機構７、返送手段１７、及び基板搬出機構１８を備える。塗布手段３は、等間隔で平行して配置され、且つ塗布手段の全体に亘って配置される複数の搬送ベルト４を備える。隣接する２本の搬送ベルト４の間には、第１の隙間４００（図９及び図１０を参照）が形成され、且つ搬送ベルト４の両端部がそれぞれ基板搬入機構７と基板搬出機構１８内に入り込む。返送手段１７は、塗布手段３の下方に配置され、且つ上述した基板トレイ返送装置である。返送手段１７の両端は、それぞれ基板搬入機構７と基板搬出機構１８内に入り込む。
【００４４】
いくつかの実施形態において、返送手段１７の両端がそれぞれ基板搬入機構７と基板搬出機構１８内に入り込むことは、すなわち返送手段１７の両側の基板トレイ昇降・返送機構２は、それぞれ基板搬入機構７と基板搬出機構１８内に位置付けられることである。
基板搬入機構７は、塗布手段の入口端Ｘ１に連結され、ガラス基板５００を搬送し、搬送ベルト４の入口端に位置する基板トレイ１５に送入するように配置される。
基板搬出機構１８は、塗布手段の出口端Ｘ２に連結され、搬送ベルト４の出口端に位置する基板トレイ１５上のガラス基板５００を搬送し、次のステーションに送入するように配置される。
【００４５】
いくつかの実施形態では、基板搬入機構７及び基板搬出機構１８内には、予備の基板トレイ１５を保管するための予備基板トレイ保管領域が設けられる。即ち、異常な状況に備え、使用中基板トレイ以外、他の基板トレイを待機させ、装置の正常動作を保証する。
いくつかの実施形態において、図８に示すように、基板搬入機構７は、基板搬出機構１８と同一構造であり、且つ占用空間を減らすため、塗布手段３に対して対称的に配置される。
いくつかの実施形態において、図９に示すように、基板搬入機構７は、第１の基板搬送ベルトＩ−１９と、第１の基板リフト機構Ｉ−２０と、第１の基板搬送機構Ｉ−２１と、第１の基板リフト機構Ｉ−２２とを含む。
【００４６】
第１の基板搬送ベルトＩ−１９は、返送手段１７に直交する、すなわち第１の基板搬送ベルトＩ−１９の長さ方向（又は搬送方向）は返送手段１７に直交し、且つ基板トレイ昇降・返送機構２に接近して配置される。第１の基板搬送ベルトＩ−１９は、基板搬入機構７にガラス基板を搬送するように配置される。
【００４７】
全自動塗布機は、返送手段１７に平行して配置された第１の走行レールＩ−２３をさらに備える。第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第１の走行レールＩ−２３に摺動可能に配置され、第１の走行レールＩ−２３において、第１の基板搬送ベルトＩ−１９の直上方に位置する第１の所定位置Ｙ１と、第１の基板リフト機構Ｉ−２２に対向する第２の所定位置Ｙ２とを有する。第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第２の所定位置Ｙ２までに摺動する時に伸長して、ガラス基板を搬送ベルト４の直上方に移動させるように配置される。
【００４８】
第１の基板リフト機構Ｉ−２０は、第１の基板搬送ベルトＩ−１９と基板トレイ昇降・返送機構２の間に配置される。第１の基板リフト機構Ｉ−２０は、第１の基板搬送ベルトＩ−１９に対して、第１の基板搬送ベルトＩ−１９に直交な方向に沿って昇降移動する。第１の基板リフト機構Ｉ−２０は、上昇時に第１の基板搬送ベルトＩ−１９上のガラス基板５００を押し上げ、下降時にガラス基板５００を下降させ、かつ第１の所定位置Ｙ１までに摺動した第１の基板搬送機構Ｉ−２１に送入するように配置される。
第１の基板リフト機構Ｉ−２２は、塗布手段３の搬送ベルト４の入口端の下方（即ち、第１の基板リフト機構は、基板トレイ昇降・返送機構２の下方に接近する搬送ベルト４の入口端に配置される）に配置される。第１の基板リフト機構Ｉ−２２は上、昇時に第１の基板搬送機構Ｉ−２１上のガラス基板５００を押し上げ、下降時にガラス基板５００を下降させ、かつ搬送ベルト４に位置する基板トレイ１５に送入するように配置される。
【００４９】
いくつかの実施形態において、基板搬入機構７内の第１の基板搬送ベルトＩ−１９は、ガラス基板５００を基板搬入機構７内に搬入し、第１の基板リフト機構Ｉ−２０は、まず、上昇移動して第１基板搬送ベルトＩ−１９からガラス基板５００を押し上げて取り外してから、下降移動してガラス基板５００を第１の所定位置Ｙ１に位置する第１の基板搬送機構Ｉ−２１に送入する。第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第２の所定位置Ｙ２までに摺動し、ガラス基板５００を搬送ベルト４の直上方に搬送し、第１の基板リフト機構Ｉ−２２は、まず、上昇移動して第１基板搬送機構Ｉ−２１上のガラス基板５００を押し上げ、そして下降移動してガラス基板５００を搬送ベルト４上に位置する基板トレイ１５に送入する。
【００５０】
いくつかの実施形態において、図１０に示すように、基板搬出機構１８は、第２の基板搬送ベルトII−１９、第２の基板リフト機構II−２０、第２の基板搬送機構II−２１、第２の基板リフト機構II−２２及び第２の走行レールII−２３を含む。
第２基板搬送機構II−２１は、第２の走行レールII−２３に摺動可能に配置され、第２の走行レールII−２３において、第２の基板搬送ベルトII−１９の直上方に位置する第５の所定位置Ｙ５と、第２の基板リフト機構II−２２に対向する第６の所定位置Ｙ６を含む。
第２の基板搬送機構II−２１は、第６の所定位置Ｙ６に摺動する時に伸長するように配置される。
【００５１】
第２の基板リフト機構II−２２は、搬送ベルト４の出口端の下方に配置される。第２の基板リフト機構II−２２は、上昇時に搬送ベルト４に位置する基板トレイ１５上のガラス基板５００を持ち上げ、下降時にガラス基板５００を下降させ、かつガラス基板５００を第６の所定位置Ｙ６に摺動する時に伸長する第２の基板搬送機構II−２１に送入する。
第２の基板リフト機構II−２０は、第２の基板搬送ベルトII−１９に対して、第１の基板搬送ベルトＩ−１９に直交な方向に沿って移動する。第２の基板リフト機構II−２０は、上昇時に第５の所定位置Ｙ５までに摺動した第２の基板搬送機構II−２１上のガラス基板５００を押し上げ、下降時にガラス基板５００を下降させ、かつ第２の基板搬送ベルトII−１９上に送入するように配置される。
【００５２】
第２の基板搬送ベルトII−１９は、ガラス基板５００を基板搬出機構１８から搬出し、次のステーションに搬送するように配置される。
基板搬出機構１８内の第２基板リフト機構II−２２は上昇移動して、基板トレイ１５上のガラス基板５００を突き上げ、第６の所定位置Ｙ６に位置する第２基板搬送機構II−２１は、搬送ベルト４の直上方のガラス基板５００を受け取り、そして第５の所定位置Ｙ５までに摺動し、ガラス基板５００を第２の基板搬送ベルトII−１９の直上方に搬送する。第２の基板リフト機構II−２０は、まず上昇移動して第２の基板搬送ベルトII−１９の直上方のガラス基板５００を受け取り、そして下降移動してガラス基板５００を第２の基板搬送ベルトII−１９上に搬入し、第２の基板搬送ベルトII−１９は、ガラス基板５００を基板搬出機構１８から搬出して、次のステーションに搬入する。
【００５３】
これにより、当該全自動塗布機は、ガラス基板の搬入、搬出、および塗布作業を自動的に完了することができ、完全な自動化制御を実現し、作業過程には人的操作が必要ない。
【００５４】
いくつかの実施形態において、図１１に示すように、第１の基板リフト機構Ｉ−２０及び第２の基板リフト機構II−２０は、いずれも第１のリフトフォーク５０と、リフトシリンダ４０を含み、第１のリフトフォーク５０は複数の第１のフォークバー２５、第１のフォークバー連接棒２６とリフトシリンダ連接棒２７を有する。複数の第１のフォークバー２５は、第１のフォークバー連接棒２６において等間隔で平行して固定され、第１のフォークバー連接棒２６は、リフトシリンダ連接棒２７によってリフトシリンダ４０の伸縮端４１に固着する。
【００５５】
図１１に示すように、第１の基板搬送ベルトＩ−１９は複数であり、かつ互いに等間隔で平行して配置され（即ち、隣接する任意２つの第１のスリットＩ−１９の間には第２の隙間１９１が形成される）、第１基板リフト機構Ｉ−２０の第１のフォークバー２５は、第１の基板搬送ベルトＩ−１９の間の第２の隙間１９１と一対一で対向して配置され、第１のフォークバー２５を昇降させることにより、隣接する第１の基板搬送ベルトＩ−１９の間の第２の隙間１９１を通過させることができる、すなわち、第１フォークバー２５の幅は、第１の基板搬送ベルトＩ−１９の間の第２の隙間１９１よりも小さい。図１１に示すように、第２の基板搬送ベルトII−１９は複数であり、かつ互いに等間隔で平行して配置され（即ち、隣接する任意２つの第２のスリットII−１９の間には第２の隙間１９１が形成される）、第２の基板リフト機構II−２０の第１のフォークバー２５は、第２の基板搬送ベルトII−１９の間の第２の隙間１９１と一対一で対向して配置され、第１のフォークバー２５を昇降させることにより、隣接する第２の基板搬送ベルトII−１９の間の第２の隙間１９１を通過させることができる、すなわち、第１フォークバー２５の幅は、第２の基板搬送ベルトII−１９の間の第２の隙間１９１よりも小さい。
【００５６】
こうして、基板搬入機構７にとっては、第１の基板リフト機構Ｉ−２０は、ガラス基板５００を第１の基板搬送ベルトＩ−１９から取り外し、そして第１の基板搬送機構Ｉ−２１に搬入することを実現する。基板搬出機構１８にとっては、第２の基板リフト機構II−２０は、ガラス基板５００を第２の基板搬送機構II−２１から取り外し、そして第２の基板搬送ベルトII−１９に搬入することを実現する。
【００５７】
いくつかの実施形態において、図１２に示すように、第１の基板搬送機構Ｉ−２１及び第２の基板搬送機構II−２１は、いずれも第２のリフトフォーク６０、伸縮シリンダ２８、スライダ２９、及びキャリッジ３０を含む。
第１の基板搬送機構Ｉ−２１のキャリッジ３０は、第１の走行レールＩ−２３に摺動可能に配置される。第２の基板搬送機構II−２１のキャリッジ３０は、第２の走行レールII−２３に摺動可能に配置される。
スライダ２９は、キャリッジ３０に摺動可能に配置される。
伸縮シリンダ２８はスライダ２９に固定されている。
【００５８】
第２のリフトフォーク６０は、複数の第２のフォークバー３６と第２のフォークバー連接棒３７を含む。複数の第２のフォークバー３６は第２のフォークバー連接棒３７において等間隔で平行して固定される。第２のフォークバー連接棒３７は、リフトシリンダ２８の伸縮端２８１に固定される。第２のリフトフォーク６０は、伸縮シリンダ２８によってスライダ２９に固定される。第２のリフトフォーク６０は、伸縮シリンダ２８に連動されて伸縮する。
こうして、基板搬出機構７にとっては、第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第１の走行レールII−２３に摺動し、かつ第２の所定位置Ｙ２までに摺動する時、伸長してガラス基板５００を搬送ベルト４の直上方に搬送することを実現する。基板搬出機構１８にとっては、第２の基板搬送機構II−２１は、第６の所定位置Ｙ６までに摺動する時に伸長して、搬送ベルト４の直上方のガラス基板５００を受け取り、そして第５の所定位置Ｙ５までに摺動して、ガラス基板５００を第２の基板搬送ベルトII−１９の直上方に搬送する。
【００５９】
いくつかの実施形態において、図１２に示すように、第１の走行レールＩ−２３及び第２の走行レールII−２３は、いずれも平行して配置される上方レール２３１、中間レール２３２及び下方レール２３３を含む。第１の基板搬送機構Ｉ−２１のキャリッジ３０は、第１の走行レールＩ−２３の上方レール２３１、中間レール２３２及び下方レール２３３に摺動可能に連結する。第２の基板搬送機構II−２１のキャリッジ３０は、第２の走行レールII−２３の上方レール２３１、中間レール２３２及び下方レール２３３に摺動可能に連結する。
これにより、第１の走行レールＩ−２３、又は第２の走行レールII−２３は、上方レール２３１、中間レール２３２及び下方レール２３３を含み、かつキャリッジ３０を上方レール２３１、中間レール２３２及び下方レール２３３と摺動可能に設けることにより、キャリッジ３０の安定的な摺動を保証することができる。
【００６０】
いくつかの実施形態において、図１２に示すように、第１の基板搬送機構Ｉ−２１及び第２の基板搬送機構II−２１は、いずれも第１のサーボモーター３１及び第１のラック３３を含む。第１のラック３３は中間レール２３２に固定される。第１のサーボモーター３１はスライダ２９に固定される。第１のサーボモーター３１には、第１のラック３３と噛み合う第１の歯車７１（図１３を参照）が連結される。
第１のラック３３を中間レール２３２に固定させ、かつ第１のサーボモーター３１に第１のラック３３と噛み合う第１の歯車７１（図１３に参照）を連結させることにより、第１のサーボモーター３１は、スライダ２９に追従して中間レール２３２の延在方向に沿って摺動すると共に、スライダ２９に大きな力を与えなく、スライダ２９の変形が避けられる。
【００６１】
いくつかの実施形態において、図１２に示すように、キャリッジ３０の一側には、縦方向に沿って平行して配置された２つの第２のスライドレール３４が配置され、スライダ２９は、第２のスライドレール３４によってキャリッジ３０に摺動可能に取り付けられる。これにより、スライダ２９は、第２のスライドレール３４に沿ってキャリッジ３０の上を摺動する時、第２リフトフォーク６０を連動して上下移動させることができる。
【００６２】
いくつかの実施形態において、図１２に示すように、第１の基板搬送機構Ｉ−２１及び第２の基板搬送機構II−２１は、いずれも第２のサーボモーター３２及び第２のラック３５をさらに含む。第２のラック３５はキャリッジ３０上に設けられ、かつ第２のスライドレール３４に平行して配置される。第２のサーボモーター３２はスライダ２９に固定される。第２のサーボモーター３２には、第２のラック３５と噛み合う第２の歯車７２（図１４を参照）が連結される。これにより、第２のサーボモーター３２は、第２のサーボモーター３２はスライダ２９に追従して直交方向に沿って摺動すると共に、スライダ２９に大きな力を与えなく、スライダ２９の変形が避けられる。
【００６３】
いくつかの実施形態において、図１５に示すように、第１の基板リフト機構Ｉ−２２及び第２の基板リフト機構II−２２は、いずれもベース３８及び複数の伸縮可能なリフトシリンダ３９を含む。リフトシリンダ３９はベース３８に固定される。各リフトシリンダ３９は、伸縮時に隣接する２つの搬送ベルト４の間の第１の隙間４００を通過し、そして２つの第２のフォークバー３６の間を通過するように配置される。
リフトシリンダ３９の数は少なくとも３つである。
【００６４】
いくつかの実施形態において、リフトシリンダ３９は、搬送ベルト４の間の第１の隙間４００及び第２のフォークバー３６の間を通過するように伸張して、ガラス基板を押し上げることを実現する、すなわち、リフトシリンダ３９の伸縮端の幅は、隣接する２つの搬送ベルト４の間の第１の隙間４００よりも小さく、しかも２つの隣接する第２のフォークバー３６の隙間よりも小さい。このように、基板搬出機構７にとっては、第１の基板リフト機構Ｉ−２２は、ガラス基板５００を第１の基板搬送機構Ｉ−２１上の第２リフトフォーク６０から取り外し、かつ搬送ベルト４の基板トレイ１５に送入することを実現する。基板搬出機構１８にとっては、第２の基板リフト機構II−２２は、ガラス基板５００を基板トレイ１５から取り外し、かつ第２の基板搬送機構II−２１上の第２のリフトフォーク６０に送入することを実現する。
【００６５】
以下、基板搬入機構７、返送手段１７、基板搬出機構１８を備える自動塗布機に基づいて、その動作原理を説明する。
基板搬入フロー：基板トレイ１５は基板トレイ返送装置１によって塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２に搬送され、基板トレイ昇降・返送機構２の昇降装置８は伸長し、かつ第２の返送体２００を押し上げる。第２の返送体２００は塗布手段３の搬送ベルト４と同一平面にある時、昇降装置８は伸長を停止する。同時に、第２の返送体２００上の駆動モータ１２が動作を開始し、搬送ローラ１０は、搬送載置部１５を連動移動し、搬送載置部１５を搬送ベルト４に搬送する。基板トレイ１５は搬送ベルト４において第１の基板リフト機構Ｉ−２２の直上方までに移動された後、搬送ベルト４の動作を停止し、ガラス基板５００の搬入を待つ。基板トレイ１５が搬送ベルト４に搬送された後、昇降装置８は収縮し、かつ第２の返送体２００を載せて下降し、基板トレイ返送装置１に付き合わせる。
【００６６】
基板トレイ１５の搬送中において、ガラス基板５００基板は第１の基板搬送ベルトＩ−１９によって搬入装置７内に搬入され、そしてガラス基板５００基板が第１の基板トレイリフト機構Ｉ−２０の第１のリフトフォーク５０の直上方までに搬送した後、第１の基板搬送ベルトＩ−１９は動作を停止する。第１の基板リフト機構Ｉ−２０のリフトシリンダ４０は伸長し、第１の基板搬送ベルトＩ−１９の下方に位置する第１のリフトフォーク５０は、上昇時にガラス基板５００を押し上げ、且つ第１の基板搬送機構Ｉ−２１の第２のリフトフォーク６０より高い位置までに上昇した後に上昇を停止する。第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第１のサーボモータ３１の駆動下で第１の走行レールＩ−２３に沿って第１の所定位置Ｙ１までに移動し、このとき、第１の基板搬送機構Ｉ−２１上の第２のリフトフォーク６０は、丁度よくガラス基板５００の直下方に位置するようになる。第１の基板リフト機構Ｉ−２０のリフトシリンダ４０の収縮によって、ガラス基板５００を第２のリフトフォーク６０上に送入させる。そして、第１のリフトフォーク５０は、リフトシリンダ４０の収縮により、第１の基板搬送ベルトＩ−１９の下方までに移動して次のガラス基板５００の受け取りを待つ。第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第１のサーボモータ３１の駆動下で第２の所定位置Ｙ２（基板トレイ１５に対向する位置）までに移動し、その後、伸縮シリンダ２８は伸長し、ガラス基板５００を基板トレイ１５の直上方に搬送する。搬送ベルト４の下方に位置する第１の基板リフト機構Ｉ−２２のリフトシリンダ３９は、伸長して基板トレイ１５を通過し、且つガラス基板５００を押し上げ、ガラス基板５００を第２のリフトフォーク６０から分離させる。その後、伸縮シリンダ２８は収縮して初期位置に戻る。リフトシリンダ３９は収縮してガラス基板５００を下降させ、ガラス基板５００は基板トレイ１５に搬入されるようになる。搬送ベルト４は、基板トレイ１５とガラス基板５００とを塗布手段3内に搬入して塗布を受ける。塗布工程が完了した後、基板搬出機構１８に進入する。
【００６７】
基板搬出フロー：基板トレイ１５及び塗布済みのガラス基板５００を搬送ベルト４の出口端に搬送した後、搬送ベルト４は停止し、基板搬出機構１８中の第２の基板リフト機構II−２２のリフトシリンダ３９は伸長し、かつ塗布済みのガラス基板５００を押し上げる。第２の基板搬送機構II−２１の第２のリフトフォーク６０は、伸縮シリンダ２８の伸長作用により、塗布されたガラス基板５００の直下方までに移動し、リフトシリンダ３９は収縮して、塗布済みのガラス基板５００を第２のリフトフォーク６０に搬入する。第２の基板搬送機構II−２１の伸縮シリンダ２８は伸縮し、第２のリフトフォークを初期位置に戻させ、第１のサーボモータ３１の駆動下で塗布済みのガラス基板５００を第２の基板搬送ベルトII−１９の直上方（すなわち第５の所定位置Ｙ５）に搬送する。第２の基板リフト機構II−２０上の第１リフトフォーク５０は上昇し、かつ塗布済みのガラス基板５００を受け取る。そして、第２の基板搬送機構II−２１は、空いた基板トレイ１５に対向する位置（すなわち第６の所定位置Ｙ６）までに移動し、次の塗布済みのガラス基板５００の受け取りを待ち、第１のリフトフォーク５０は下降し、かつ塗布図のガラス基板５００を第２の基板搬送ベルトII−１９に送入し、第２の基板搬送ベルトII−１９は、塗布済みのガラス基板５００を次のステーションに搬送する。
【００６８】
搬送ベルト４は、空いた基板トレイ１５を返送手段１７内の塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２に搬送する。基板トレイ昇降・返送機構２の昇降装置８が収縮し、基板トレイ昇降・返送機構２は基板トレイ返送装置１に付き合わせる状態になるまで下降し、付き合わせた後に空いた基板トレイ１５を基板トレイ返送装置１上に搬送する。ここまで、１つの完全な作業プロセスが完了される。
【００６９】
以上の説明は、本開示の実施形態の一部のみであり、本開示にこれに限定されない。本開示の構想と精神から逸脱しない変形、置換え又はこれに同等する実施形態は、本開示の範囲内にあるものとする。
【図１】
2020507534.tif 000003
【図２】
2020507534.tif 000004
【図３】
2020507534.tif 000005
【図４】
2020507534.tif 000006
【図５】
2020507534.tif 000007
【図６】
2020507534.tif 000008
【図７】
2020507534.tif 000009
【図８】
2020507534.tif 000010
【図９】
2020507534.tif 000011
【図１０】
2020507534.tif 000012
【図１１】
2020507534.tif 000013
【図１２】
2020507534.tif 000014
【図１３】
2020507534.tif 000015
【図１４】
2020507534.tif 000016
【図１５】
2020507534.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成30年10月3日(2018.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板トレイ搬送機構（１）及び基板トレイ昇降・返送機構（２）を備え、
前記基板トレイ搬送機構（１）は塗布手段（３）の底部に配置され、且つ塗布手段の入口端（Ｘ１）と出口端（Ｘ２）には、それぞれ１つの基板トレイ昇降・返送機構（２）が配置され、
前記塗布手段の入口端（Ｘ１）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）は、前記基板トレイ搬送機構（１）によって返送された基板トレイ（１５）を受け取り、そして基板トレイ（１５）を前記塗布手段（３）中の搬送ベルト（４）に搬送するように配置され、
前記塗布手段の出口端（Ｘ２）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）は、前記搬送ベルト（４）によって搬出された基板トレイ（１５）を受け取り、そして前記基板トレイ（１５）を前記基板トレイ搬送機構（１）上に搬送するように配置される、
ことを特徴とする基板トレイ返送装置。
【請求項２】
前記基板トレイ搬送機構（１）は、前記搬送ベルト（４）によって搬出された基板トレイ（１５）を搬送ベルトの入口端（４０１）に連動移動するように配置される第１の返送体（１００）と、
前記第１の返送体（１００）の底部に固定して設けられる支持脚（６）とを有し、
及び/又は、
前記基板トレイ昇降・返送機構（２）は、第２の返送体（２００）と、前記第２の返送体（２００）の底部に設けられる昇降装置（８）とを有し、
前記塗布手段の出口端（Ｘ２）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）中の前記第２の返送体（２００）は、前記搬送ベルト（４）によって搬出された基板トレイ（１５）を前記基板トレイ返送装置の入口端（Ｘ３）に連動移動するように配置され、
前記塗布手段の入口端（Ｘ１）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）中の前記第２の返送体（２００）は、前記基板トレイ搬送機構（１）によって搬出された前記基板トレイ（１５）を、前記搬送ベルト（４）の入口端（４０１）に連動移動するように配置される、
ことを特徴とする請求項１に記載の基板トレイ返送装置。
【請求項３】
前記第１の返送体（１００）と、前記第２の返送体（２００）と同一構造であり、何れも架体（９）と、基板トレイ（１５）を搬送するための複数の搬送ローラ（１０）と、複数の回転軸（１１）と、駆動モータ（１２）とを有し、
前記架体（９）の両側には、それぞれ１つの取付溝（１３）が設けられ、且つ２つの前記取付溝（１３）には何れも前記搬送ローラ（１０）が配置され、その内、一方の前記取付溝（１３）内の前記搬送ローラ（１０）は、前記回転軸（１１）を介して他方の前記取付溝（１３）内の前記搬送ローラ（１０）に連結され、隣接する任意２つの前記回転軸（１１）は、ベルト（１４）を介してプーリー（３００）と連動し、
前記駆動モータ（１２）は前記架体（９）に取付けられ、前記駆動モータ（１２）の出力軸は前記回転軸（１１）の何れか１つに連結される、
ことを特徴とする請求項２に記載の基板トレイ返送装置。
【請求項４】
塗布手段の入口端（Ｘ１）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）は、基板トレイ（１５）を押し上げ、そして搬送ベルト（４）上に搬入し、搬送ベルト（４）は基板トレイ（１５）を塗布手段の入口端（Ｘ１）から塗布手段の出口端（Ｘ２）に搬送し、そして基板トレイ（１５）を、塗布手段の出口端（Ｘ２）に位置すると共に上昇状態である基板トレイ昇降・返送機構（２）に搬入し、
塗布手段の出口端（Ｘ２）に位置する基板トレイ昇降・返送機構（２）は、基板トレイ（１５）を載せて下降し、且つ基板トレイ（１５）を基板トレイ搬送機構（１）に搬入し、
基板トレイ搬送機構（１）は、基板トレイ（１５）を塗布手段（３）の底部から塗布手段の入口端（Ｘ１）に位置すると共に下降状態である基板トレイ昇降・返送機構２に返送し、基板トレイ（１５）を繰り返し返送するための１つの返送過程を完成することを特徴とする、
請求項１に記載の基板トレイ返送装置に適用する基板トレイ返送方法。
【請求項５】
前記搬送ベルト（４）による前記基板トレイ（１５）の搬送中に、前記塗布手段の入口端（Ｘ１）に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構２は、第３の所定位置までに下降し、
前記第３の所定位置は、前記基板トレイ搬送機構（１）と同一平面にある位置であり、
及び/又は、
前記基板トレイ（１５）の返送中に、前記塗布手段の出口端（Ｘ２）に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構（２）は、第４の所定位置までに上昇し、
前記第４の所定位置は、前記搬送ベルト（４）と同一平面にある位置である、
ことを特徴とする請求項４に記載の基板トレイ返送方法。
【請求項６】
塗布手段（３）を備え、
基板搬入機構（７）と、返送手段（１７）と、基板搬出機構（１８）とをさらに備え、
前記塗布手段（３）は、複数の平行して配置された搬送ベルト（４）を有し、隣接する２本の前記搬送ベルト（４）の間には第１の隙間（４００）が形成され、各前記搬送ベルト（４）は、前記塗布手段（３）に亘って配置され、且つ、各前記搬送ベルト（４）の両端はそれぞれ前記基板搬入機構（７）と前記基板搬出機構（１８）内に入り込み、
前記返送手段（１７）は、前記塗布手段（３）の下方に配置され、且つ請求項１に記載の基板トレイ返送装置であり、前記返送手段（１７）の両端はそれぞれ前記基板搬入機構（７）と基板搬出機構（１８）内に位置され、
前記基板搬入機構（７）は、前記塗布手段の入口端（Ｘ１）に連結され、ガラス基板（５００）を返送して搬送ベルト（４）の入口端に位置する基板トレイ（１５）に送入するように配置され、
基板搬出機構（１８）は、前記塗布手段の出口端（Ｘ２）に連結され、搬送ベルト（４）の出口端に位置する基板トレイ（１５）上のガラス基板（５００）を搬出し、次のステーションに送るように配置される、
ことを特徴とする全自動塗布機。
【請求項７】
前記基板搬入機構（７）は、第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）、第１の基板リフト機構（Ｉ−２０）、第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）、第１の基板リフト機構（Ｉ−２２）及び第１の走行レール（Ｉ−２３）を含み、
前記第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）は、ガラス基板（５００）を基板搬入機構（７）に搬入するように配置され、
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）は、第１の走行レール（Ｉ−２３）上に摺動可能に配置され、且つ前記第１の走行レール（Ｉ−２３）において、前記第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）の直上方に位置する第１の所定位置（Ｙ１）と、前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２２）に対向する第２の所定位置（Ｙ２）とを有し、
前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２０）は、第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）に対して、前記第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）に直交な方向に沿って昇降するように移動し、
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）は、第２の所定位置（Ｙ２）に摺動する際に伸長して、ガラス基板（５００）を搬送ベルト（４）の直上方に搬送するように配置され、
前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２２）は、前記搬送ベルト（４）の入口端の下方に配置され、
及び/又は、
前記基板搬出機構（１８）は、第２の基板搬送ベルト（II−１９）、第２の基板リフト機構（II−２０）、第２の基板搬送機構（II−２１）、第２の基板リフト機構（II−２２）及び第２の走行レール（II−２３）を含み、
前記第２基板搬送機構（II−２１）は、前記第２の走行レール（II−２３）上に摺動可能に配置され、且つ前記第２の走行レール（II−２３）において、前記第２の基板搬送ベルト（II−１９）の直上方に位置する第５の所定位置（Ｙ５）及び前記第２の基板リフト機構（II−２２）に対向する第６の所定位置（Ｙ６）を有し、
前記第２の基板搬送機構（II−２１）は、第６の所定位置（Ｙ６）までに摺動する際に、伸長するように配置され、
前記第２の基板リフト機構（II−２２）は、前記搬送ベルト（４）の出口端の下方に配置され、
前記第２の基板リフト機構（II−２０）は、第２の基板搬送ベルト（II−１９）に対して、第２の基板搬送ベルト（II−１９）に直交な方向に沿って昇降するように移動し、
前記第２の基板搬送ベルト（II−１９）は、ガラス基板（５００）を前記基板搬出機構（１８）から搬出し、次のステーションに送るように配置される、
ことを特徴とする請求項６に記載の全自動塗布機。
【請求項８】
前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２０）及び前記第２の基板リフト機構（II−２０）は、いずれも第１のリフトフォーク（５０）と、リフトシリンダ（４０）を含み、
前記第１のリフトフォーク（５０）は、複数の第１のフォークバー（２５）と、第１のフォークバー連接棒（２６）と、リフトシリンダ連接棒（２７）とを有し、前記複数の第１のフォークバー（２５）は、第１のフォークバー連接棒（２６）において等間隔で平行して固定され、前記第１のフォークバー連接棒（２６）は、前記リフトシリンダ連接棒（２７）を介して前記リフトシリンダ（４０）の伸縮端（４１）に固定連結され、
前記第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）は複数であり、互いに等間隔で平行して配置されており、前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２０）の第１のフォークバー（２５）は、昇降時に隣接する２つの前記第１の基板搬送ベルト（Ｉ−１９）の間の第２の隙間（１９１）を通過するように配置され、
前記第２の基板搬送ベルト（II−２０）は複数であり、互いに等間隔で平行して配置され、前記第２の基板リフト機構（II−２０）の第１のフォークバー（２５）は、昇降時に隣接する２つの前記第２の基板搬送ベルト（II−１９）の間の第２の隙間（１９１）を通過するように配置され、
及び/又は、
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）及び前記第２の基板搬送機構（II−２１）は、いずれも第２のリフトフォーク（６０）と、伸縮シリンダ（２８）と  、スライダ（２９）と、キャリッジ（３０）とを含み、
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）のキャリッジ（３０）は、前記第１の走行レール（Ｉ−２３）に摺動可能に配置され、前記第２の基板搬送機構（II−２１）のキャリッジ（３０）は、前記第２の走行レール（II−２３）に摺動可能に配置され、
前記スライダ（２９）は、摺動可能に前記キャリッジ（３０）上に配置され、
前記伸縮シリンダ（２８）は、前記スライダ（２９）に固定され、
前記前記第２のリフトフォーク（６０）は、複数の第２のフォークバー（３６）と、第２のフォークバー連接棒（３７）とを含み、前記複数の第２のフォークバー（３６）は、前記第２のフォークバー連接棒（３７）において等間隔で平行して固定され、前記第２のフォークバー連接棒（３７）は、前記伸縮シリンダ（２８）の伸縮端（２８１）に固定される、
ことを特徴とする請求項７に記載の全自動塗布機。
【請求項９】
前記第１の走行レール（Ｉ−２３）及び前記第２の走行レール（II−２３）は、いずれも上方レール（２３１）と中間レール（２３２）及び下方レール（２３３）を含み、
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）のキャリッジ（３０）は、前記第１の走行レール（Ｉ−２３）の上方レール（２３１）、中間レール（２３２）及び下方レール（２３３）に摺動可能に連結され、
前記第２の基板搬送機構（II−２１）のキャリッジ（３０）は、前記第２の走行レール（II−２３）の上方レール（２３１）、中間レール（２３２）及び下方レール（２３３）に摺動可能に連結され、
及び/又は、
前記第１の基板リフト機構（Ｉ−２２）及び前記第２の基板リフト機構（ＩＩ−２２）は、いずれもベース（３８）と、前記ベース（３８）に固定され伸縮可能な複数のリフトシリンダ（３９）を含み、各前記リフトシリンダ（３９）は、伸縮時に隣接する２つの搬送ベルト（４）の間の第１の隙間（４００）を通過し、且つ隣接する２つの第２のフォークバー（３６）の間を通過するように配置され、
及び/又は、
前記キャリッジ（３０）の一側には、縦方向に沿って平行して配置された２つの第２のスライドレール（３４）が配置され、
前記スライダ（２９）は、第２のスライドレール（３４）によって摺動可能にキャリッジ（３０）に取り付けられる、
ことを特徴とする請求項８に記載の全自動塗布機。
【請求項１０】
前記第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）及び前記第２の基板搬送機構（ＩＩ−２１）は、いずれも第１のサーボモーター（３１）及び第１のラック（３３）をさらに含み、
前記第１のラック（３３）は、中間レール（２３２）に固定され、
前記第１のサーボモーター（３１）は前記スライダ（２９）に固定され、前記第１のサーボモーター（３１）には前記第１のラック（３３）と噛み合う第１の歯車（７１）が連結され、
及び/又は、
第１の基板搬送機構（Ｉ−２１）及び第２の基板搬送機構（ＩＩ−２１）は、いずれも第２のサーボモーター（３２）及び第２のラック（３５）をさらに含み、
前記第２のラック（３５）は、第２のスライドレール（３４）と平行するように前記キャリッジ（３０）に配置され、
前記第２のサーボモーター（３２）は前記スライダ（２９）に固定され、前記第２のサーボモーター（３２）には、前記第２のラック（３５）と噛み合う第２の歯車（７２）が連結される、
ことを特徴とする請求項９に記載の全自動塗布機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
＜関連出願の相互参照＞
本出願は、２０１７年１２月２１日に中国庁に出願された中国特許出願第２０１７１１３９７０５８．４号「基板トレイ返送装置と基板トレイの返送方法」及び第２０１７１１３９４５９１．５号「全自動塗布機」の優先権を主張し、これらの出願の開示内容は参照によって本出願に組み込まれる。
【０００２】
本開示は、コーティングの分野に関し、特に、基板トレイ返送装置、基板トレイ返送方法及び全自動塗布機に関する。
【背景技術】
【０００３】
光起電力発電分野に使用される生産型マグネトロンスパッタリング装置は、主として、横型マグネトロンスパッタリング装置と縦型マグネトロンスパッタリング装置の２種類に大別される。その中で、横型マグネトロンスパッタリング装置は、全体として膜厚の均一性が良好なので、主力機種に使用されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
スパッタ成膜工程において、ターゲット材料のオーバーコーティングが回避できないため、ガラス膜層の縁部にはアークが発生しやすく、成膜の品質はひどく影響されてしますのである。アークが発生しないように、ガラスの縁部を遮蔽するための基板トレイが必要となる。基板トレイが増設されると、自動制御を実現するため返送系統の増設も必要となる。しかしながら、工場ではスペースが限られているため、基板トレイ返送系統を外部に取り付けることができない。さらに、自動化が実現可能なのかも課題となっている。
【０００５】
本発明は、基板トレイが返送でき、自動化製造が実現できるほか、既存の塗布手段の底部空間を効果的に利用して占用面積を減らし、生産に投入された塗布手段の改良を効果的に解決可能な基板トレイ返送装置、基板トレイ返送方法、全自動塗布機を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の幾つかの実施形態に係る基板トレイ返送装置は、基板トレイ返送装置と基板トレイ昇降・返送機構を備え、前記搬送装置は前記塗布手段の底部に配置され、且つ前記塗布手段の入口端及び出口端には、それぞれ１つの前記昇降返送装置が設けられる。
塗布手段の入口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、基板トレイ返送装置によって搬出された基板トレイを受け取り、これらの基板トレイを塗布手段の搬送ベルトに搬送するように配置される。
塗布手段の出口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、搬送ベルトによって搬出された基板トレイを受け取り、これらの基板トレイを基板トレイ返送装置に搬送するように配置される。
【０００７】
いくつかの実施形態において、前記基板トレイ返送装置は、ベルトコンベア又は搬送ベルトである。
いくつかの実施形態において、前記基板トレイ返送装置は、第１の返送体及び前記第１の返送体の底部に固定して配置される支持脚を含む。第１の返送体は、搬送ベルトによって搬出される基板トレイを搬送ベルトの入口端に連動移動するように配置される。
いくつかの実施形態において、基板トレイ昇降・返送機構は、第２の返送体と該第２の返送体の底部に配置される昇降装置とを有する。塗布手段の出口端に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構の第２の返送体は、搬送ベルトによって搬出された基板トレイを基板トレイ返送装置の入口端に移動させるように配置される。塗布手段の入口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構の第２の返送体は、基板トレイ返送装置によって搬出された基板トレイを搬送ベルトの入口端までに連動移動するように配置される。
【０００８】
いくつかの実施形態において、前記第１の返送体は、前記第２の返送体と同一構造であり、いずれも架体と、基板トレイを搬送するための複数の搬送ローラと、複数の回転軸と、駆動モータとを有する。前記架体の両側には、それぞれ１つの取付溝が設けられ、且つ２つの取付溝内には何れも前記搬送ローラが配置される。１つの前記取付溝内の前記搬送ローラは、前記回転軸によって他の１つの前記取付溝内の前記搬送ローラに連結される。隣接する任意２つの前記回転軸は、ベルト及びプーリーによって連動される。前記駆動モータは前記架体に固定して取付けられ、前記駆動モータの出力軸は前記回転軸の何れかに連結される。
【０００９】
いくつかの実施形態において、前記搬送ローラはシーブである。前記基板トレイ返送装置は、基板トレイをさらに有する。該基板トレイの底部には、互いに平行して配置される２本のガイドバーが設けられ、且つこの２本のガイドバーは前記取付溝内の前記シーブと適合する。
いくつかの実施形態において、前記昇降機構は、油圧シリンダ、エアシリンダ、及び電気プッシュプルロッドのいずれか１つである。
【００１０】
本開示のいくつかの実施形態は、基板トレイ返送装置に適用する基板トレイ返送方法を提供する。塗布手段の入口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、基板トレイを押し上げ、搬送ベルトに搬入してから、搬送ベルトは、基板トレイを塗布手段の入口端から塗布手段の出口端まで搬送して、そして塗布手段の出口端に位置する上昇状態である基板トレイ昇降・返送機構に搬入する。その後、塗布手段の出口端に位置する基板トレイ昇降・返送機構は、基板トレイを載せたまま下降し、基板トレイ返送装置に搬送する。基板トレイ返送装置は、基板トレイを塗布手段の底部から塗布手段の入口端に位置する下降状態である基板トレイ昇降・返送機構に返送し、基板トレイを返送するための一つの返送過程を完了する。
【００１１】
いくつかの実施形態において、搬送ベルトによる基板トレイの搬送中、前記塗布手段の入口端に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構は、基板トレイ返送装置と同一平面にある第３の所定位置までに下降する。
いくつかの実施形態において、基板トレイの返送中、前記塗布手段の出口端に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構は、搬送ベルトと同一平面にある第４の所定位置までに上昇する。
【００１２】
本開示のいくつかの実施形態は、全自動塗布機を提供する。該全自動塗布機は、塗布手段を備え、さらに基板搬入機構、返送手段及び基板搬出機構を備える。塗布手段は、平行して配置され、隣接する２つの間に第１の隙間が形成される複数の搬送ベルトを有する。各搬送ベルトは、各搬送ベルトの両端がそれぞれ基板搬入機構と基板搬出機構内に入り込むように、塗布手段に亘って配置される。
前記返送手段は前記塗布手段の下方に配置され、且つ前記返送手段は、前記基板トレイ返送装置である。前記返送手段の両端は、それぞれ前記基板搬入機構と前記基板搬出機構内に配置される。
基板搬入機構は、塗布手段の入口端に接続され、ガラス基板を搬送し、且つ搬送ベルトの入口端に位置する基板トレイに搬入するように配置される。基板搬出機構は、前記塗布手段の出口端に接続され、搬送ベルトの出口端に位置する基板トレイ上のガラス基板を搬出し、次のステーションに送入するように配置される。
【００１３】
いくつかの実施形態において、基板搬入機構は、第１の基板搬送ベルトと、第１の基板リフト機構と、第１の基板搬送機構と、第１の基板リフト機構と、第１の走行レールとを含む。
第１の基板搬送ベルトは、ガラス基板を基板搬入機構内に搬入するように配置される。
第１の基板搬送機構は、第１の走行レールに摺動可能に配置され、第１の走行レールにおいて、基板搬送ベルトの直上方に位置する第１の所定位置と、第１の基板リフト機構に対向する第２の所定位置とを有する。
第１の基板リフト機構は、第１の基板搬送ベルトに直交な方向に沿って、第１基板搬送ベルトに対して昇降移動する。第１の基板リフト機構は、上昇時に第１の基板搬送ベルト上のガラス基板を押し上げ、下降時にガラス基板を下降させて、第１の所定位置に摺動した第１の基板搬送機構に送入ように配置される。
第１の基板搬送機構は、第２の所定位置までに摺動する時に伸長して、ガラス基板を搬送ベルトの直上方に搬送するように配置される。
第１の基板リフト機構は、搬送ベルトの入口端の下方に配置され、上昇時に第１の基板搬送機構上のガラス基板を押し上げ、下降時にガラス基板を下降させて搬送ベルトに位置する基板トレイに送入するように配置される。
【００１４】
いくつかの実施形態において、前記基板搬出機構は、第２の基板搬送ベルト、第２の基板リフト機構、第２の基板搬送機構、第２の基板リフト機構及び第２の走行レールを有する。
第２基板搬送機構は、第２の走行レールに摺動可能に配置される。前記第２の基板搬送機構は、第２の走行レールにおいて、第２の基板搬送ベルトの直上方に位置する第５の所定位置及び第２の基板リフト機構に対向する第６の所定位置を有する。
第２の基板搬送機構は、前記第６の所定位置までに摺動する時に伸長するように配置される。
【００１５】
第２の基板リフト機構は、搬送ベルトの出口端の下方に配置され、上昇時に搬送ベルトに位置する基板トレイ上のガラス基板を押し上げ、下降時にガラス基板を下降させて、第６の所定位置までに摺動し伸長する第２の基板搬送機構に送入ように配置される。
第２の基板リフト機構は、第２の基板搬送ベルトに直交な方向に沿って、基板搬送ベルトに対して昇降移動する。第２の基板リフト機構は、上昇時に第５の所定位置までに摺動した第２の基板搬送機構上のガラス基板を押し上げ、下降時にガラス基板を下降させて、第２の基板搬送ベルトに送入するように配置される。
第２の基板搬送ベルトは、ガラス基板を基板搬出機構から搬出し、次のステーションに送入するように配置される。
【００１６】
いくつかの実施形態において、前記第１の基板リフト機構及び前記第２の基板リフト機構は、いずれも第１のリフトフォークとリフトシリンダを有する。前記第１のリフトフォークは、複数の第１のフォークバー、第１のフォークバー連接棒及びリフトシリンダ連接棒を含む。前記複数の第１のフォークバーは、第１のフォークバー連接棒において等間隔で平行して固定される。前記第１のフォークバー連接棒は、リフトシリンダ連接棒によって前記リフトシリンダの伸縮端に固定連結される。前記第１の基板搬送ベルトは複数であり、等間隔で互いに平行して配置される。第１の基板リフト機構の第１のフォークバーは、上昇時に、隣接する２つの第１の基板搬送ベルトの間の第２の隙間に通過するように配置される。前記第２の基板搬送ベルトは複数であり、間隔的且つ平行して配置されている。第２の基板リフト機構の第１のフォークバーは、上昇時に、隣接する２つの第２の基板搬送ベルトの間の第２の隙間を通過するように配置される。
【００１７】
いくつかの実施形態において、第１の基板搬送機構及び第２の基板搬送機構は、いずれも第２のリフトフォーク、伸縮シリンダ、スライダ、及びキャリッジを含む。第１の基板搬送機構のキャリッジは、第１の走行レールに摺動可能に配置される。第２の基板搬送機構のキャリッジは、第２の走行レールに摺動可能に配置される。スライダは、キャリッジの上に摺動可能に配置される。伸縮シリンダはスライダに固定される。前記第２のリフトフォークは、複数の第２のフォークバーと第２のフォークバー連接棒を有し、複数の第２のフォークバーは、第２のフォークバー連接棒において等間隔で平行して固定される。第２のフォークバー連接棒は、伸縮シリンダの伸縮端に固定連結される。
【００１８】
いくつかの実施形態において、第１の走行レール及び第２の走行レールは、いずれも上方レール、中間レール及び下方レールを含む。第１の基板搬送機構のキャリッジは、第１の走行レールの上方レール、中間レール及び下方レールに摺動可能に連結される。第２の基板搬送機構のキャリッジは、第２の走行レールの上方レール、中間レール及び下方レールに摺動可能に連結される。
いくつかの実施形態において、第１の基板搬送機構及び第２の基板搬送機構は、いずれも第１のサーボモーター及び中間レールに固定される第１のラックをさらに含む。第１のサーボモーターはスライダに固定される。第１のサーボモーターには、第１のラックと噛み合う第１の歯車に連結される。
【００１９】
いくつかの実施形態において、キャリッジの一側には、縦方向に沿って平行して配置された２つの第２のスライドレールが配置され、この第２のスライドレールによって、スライダは摺動可能にキャリッジに取り付けられる。
いくつかの実施形態において、第１の基板搬送機構及び第２の基板搬送機構は、いずれも第２のサーボモーター及び第２のラックをさらに含む。第２のラックは、第２のスライドレールと平行するようにキャリッジに固定され、第２のサーボモーターはスライダに固定され、第２のサーボモーターには第２のラックと噛み合う第２の歯車が連結される。
【００２０】
いくつかの実施形態において、第１の基板リフト機構及び第２の基板リフト機構は、いずれもベース及び複数の昇降可能なリフトシリンダーを含み、各リフトシリンダはベースに固定され、伸縮時に、隣接する２つの搬送ベルトの間の第１の隙間及び２つの第２のフォークバーの間を通過するように配置される。
【００２１】
本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送装置は、スパッタコーティング中の基板トレイの自動返送を実現した。塗布手段を配置する底部のスペースを十分に活用し、大きな占用面積を必要とする基板トレイ返送装置を塗布手段の下方に配置することにより、生産に導入された塗布手段に存する、限られたスペースで基板トレイの返送システムを追加できないという不具合を解消した。構造が簡略化、占用面積が小さいという利点があり、基板トレイを繰り返し利用することができ、１台が使用されると同時にもう一台は待機し、塗布手段の入口端に基板トレイのバッファー室を設ける必要がないので、コストを大いに削減できる。
【００２２】
本発明の実施形態のいくつかの実施形態に係る全自動塗布機は、基板トレイ返送装置と、基板搬入機構及び基板搬出機構との協働により、基板の自動的な搬入、搬出及び基板トレイの自動的な返送が実現され、人的操作が必要なく、塗布機構の自動制御が実現され、生産率が大いに向上される。また、返送装置が塗布機構の底部に位置されるので、既存のスペースを有効的に利用できるだけでなく、占用面積が少なく、省スペース化され、新しい機器の配置と古い機器の改造に適合する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送装置の全体的な構造を示す軸測図である。
【図２】本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送機構の軸測図である。
【図３】本開示のいくつかの実施形態に係る第１の返送体の軸測図である。
【図４】本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ昇降・返送機構の軸測図である。
【図５】本開示のいくつかの実施形態に係る第２の返送体の軸測図である。
【図６】本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイの軸測図である。
【図７】本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送方法を示すフローチャート図である。
【図８】本開示のいくつかの実施形態に係る全自動塗布機の全体構造を示す軸測図である。
【図９】本開示のいくつかの実施形態に係る基板搬入機構の構造を示す軸測図である。
【図１０】本開示のいくつかの実施形態に係る基板搬出機構の構造を示す軸測図である。
【図１１】本開示のいくつかの実施形態に係る第１の基板リフト機構及び第２の基板リフト機構の軸測図である。
【図１２】本開示のいくつかの実施形態に係る第１の基板搬送機構及び第２の基板搬送機構の軸測図である。
【図１３】本開示のいくつかの実施形態に係る第１の歯車と第１のラックが噛み合う構造を示す軸測図である。
【図１４】本開示のいくつかの実施形態に係る第２の歯車と第２のラックが噛み合う構造を示す軸測図である。
【図１５】本開示のいくつかの実施形態に係る第１の基板リフト機構及び第２の基板リフト機構の軸測図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照しながら本開示の実施形態を詳細的に説明する。図面において、同一又は類似の要素、同一又は類似の機能を有する要素は、同一又は類似の参照符号が付される。図面を参照して説明される実施形態は例示として、本開示の説明のみに使用され、本開示を限定するものと意図しない。
従来の技術では、横型マグネトロンスパッタリング装置の入口端及び出口端にバッファー室を設け、そして返送系統を横型マグネトロンスパッタリング装置の横側に設けることにより、基板トレイを補充する。しかしながら、この設計に必要な占用面積は非常に大きいので、空間を事前に確保することが必要であり、生産に導入された機器に適さない。
【００２５】
本開示の実施形態に係る基板トレイ返送装置は、図１に示すように、基板トレイ搬送機構１と基板トレイ昇降・返送機構２とを備える。基板トレイ搬送機構１は塗布手段３の底部に配置され、且つ塗布手段３の両端には、それぞれ１つの基板トレイ昇降・返送機構２が設けられる。一つの基板トレイ昇降・返送機構２は、塗布手段の入口端Ｘ１に配置され（これに対応して該基板トレイ昇降・返送機構２も基板トレイ搬送機構１の出口端Ｘ４に位置する）、他の一つの基板トレイ昇降・返送機構２は、塗布手段３の出口端Ｘ２に配置される（これに対応して該基板トレイ昇降・返送機構２も基板トレイ搬送機構１の入口端Ｘ４に位置する）。
【００２６】
塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ搬送機構１によって返送された基板トレイ１５を受け取り、そして基板トレイ１５を塗布手段３中の搬送ベルト４に搬入するように配置される。塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、搬送ベルト４によって搬出された基板トレイ１５を受け取り、そして基板トレイ１５を基板トレイ搬送機構１に搬送するように配置される。
当業者が理解できるように、本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送装置は基板トレイ１５の返送に用いられ、これに対して、基板トレイ１５は塗布対象となるガラス基板の載置体である。
【００２７】
本開示のいくつかの実施形態において、基板トレイの返送装置の作業プロセスは、次の通りである。塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を載置して上昇する。基板トレイ昇降・返送機構２は、塗布手段３の搬送ベルト４に接触する（いくつかの実施形態において、基板トレイ昇降・返送機構２は、塗布手段３の搬送ベルト４と同一平面にある）ように上昇する時、基板トレイ１５の搬送を開始し、基板トレイ１５を塗布手段３の搬送ベルト４上に搬入する。そして、基板トレイ１５の上に載置されるガラス基板は、搬送ベルト４に連動移動され塗布手段３に搬入され、塗布が実行される。搬送ベルト４による基板トレイ１５の搬送中、塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ搬送機構１に接触する（いくつかの実施形態において、基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ搬送機構１と同一平面にある）ように下降する。塗布が終了すると、基板トレイ１５は、ガラス基板を載置しながら塗布手段の出口端Ｘ２から搬出され、そして塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２上に搬送される（この場合、基板トレイ昇降・返送機構２は上昇する状態にあり、搬送ベルト４と同一平面にある）。塗布済みのガラス基板は、人工又は機械装置によって搬出された後、塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を載置して基板トレイ搬送機構１と接触するまでに下降し、基板トレイ１５を基板トレイ搬送機構１の上に搬入する。基板トレイ搬送機構１は、基板トレイ１５を塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２に搬送する（この場合、塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は下降状態にあり、基板トレイ搬送機構１と同一平面にある）、基板トレイを返送する一つの作業循環を完了する。基板トレイ搬送機構１による基板トレイ１５の搬送中、塗布手段の入口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は上昇し、次の作業循環に必要な基板トレイ１５の受け取りに待機する。
【００２８】
本開示のいくつかの実施形態に係る基板トレイ返送装置は、スパッタコーティング中の基板トレイの自動的返送を実現した。本実施形態は、塗布手段を設置する底部のスペースを十分に活用し、大きな占用面積を必要とする基板トレイ返送装置を塗布手段の下方に配置することにより、生産に導入された塗布手段に存する、限られたスペースで基板トレイの返送システムを追加できないという不具合を解消した。構造が簡略化、占用面積が小さいという利点があり、基板トレイを繰り返し利用することができ、１台が使用されると同時にもう一台は待機し、塗布手段の入口端に基板トレイのバッファー室を設ける必要がないので、コストを大いに削減できる。
【００２９】
説明すべきなのは、基板トレイ搬送機構１は、種々の構造を有してもよい。いくつかの実施形態において、基板トレイ搬送機構１として、ベルトコンベアが利用される。他の実施形態において、基板トレイ搬送機構１として、コンベアベルトが利用される。更に他の実施形態において、基板トレイ搬送機構１として、搬送機能を有する装置は利用される。
いくつかの実施形態において、図２に示すように、基板トレイ搬送機構１は、第１の返送体１００と、第１の返送体１００の底部に固定された支持脚６とを含む。
【００３０】
いくつかの実施形態において、支持脚部６は、折り畳み可能な支持脚である。基板トレイ搬送機構１の非使用時、支持脚６を折り畳み、基板トレイ搬送機構１の占用空間を抑制することは、運搬に有利である。稼動使用中に基板トレイ搬送機構１を保守する場合、支持脚６を折り畳むと、基板トレイ搬送機構１の占用空間を抑制することができ、保守に便利をもたらすことができる。
いくつかの実施形態において、第１の返送体１００は、基板トレイ１５を塗布手段の出口端Ｘ２から塗布手段の入口端Ｘ１に返送するため、搬送ベルト４によって搬出された基板トレイ１５を搬送ベルトの入口端４０１に移動させるように配置される。ここでは、搬送ベルトの入口端４０１は、即ち塗布手段の入口端Ｘ１である。
【００３１】
いくつかの実施形態において、図３に示すように、第１の返送体１００は、架体９、複数の搬送ローラ１０、複数の回転軸１１、及び駆動モータ１２を含む。架体９の両側には、それぞれ１つの取付溝１３が設けられ、且つ両取付溝１３内には、何れも搬送ローラ１０が配置される。そのうち、１つの取付溝１３内の各搬送ローラ１０は、１つの回転軸１１によって他の１つの取付溝１３内の１つの搬送ローラ１０に連結される（いくつかの実施形態において、回転軸１１は、架体９の幅方向Ｗに沿って配置される）。隣接する任意２つの回転軸１１は、ベルト１４及びプーリー３００によって連動される。駆動モータ１２は架体９に固定され、駆動モータ１２の出力軸は回転軸１１の何れか１つに連結される。
【００３２】
いくつかの実施形態において、隣接する任意２つの回転軸１１は、ベルト１４及びプーリー３００を介して、以下の方式により連動を実現する。両端側の回転軸１１中の各々の回転軸１１の一端部にはそれぞれ１つのプーリー３００が設けられる以外、他の回転軸１１は、いずれも一端部に２つのプーリー３００が設けられており、隣接する任意２つのプーリー３００はベルト１４によって連結される。他のいくつかの実施形態において、ベルト１４の締付け具合の調整を実現するため、２つの回転軸１１の間にはテンションホイール５が配置される。テンションホイール５は、位置が調整可能であり、隣接する２つの回転軸１１の間のベルト１４の滑りを防止することができる。
【００３３】
いくつかの実施形態において、図４に示すように、基板トレイ昇降・返送機構２は、第２の返送体２００及び第２の返送体２００の底部に配置された第２の昇降装置８を含む。塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２中の第２の返送体２００は、搬送ベルト４により搬出された基板トレイ１５を前記基板トレイ搬送機構１の入口端Ｘ３までに移動させるように配置される。塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２中の第２の返送体２００は、基板トレイ搬送機構１により返送された基板トレイ１５を搬送ベルトの入口端４０１までに移動させるように配置される。
【００３４】
いくつかの実施形態において、昇降装置８は油圧シリンダである。他のいくつかの実施形態において、昇降装置８はエアシリンダである。さらに他の実施形態において、昇降装置８は電気プッシュプルロッドである。勿論、昇降装置８の具体的な構造は、例示されたものに限定されない。
【００３５】
いくつかの実施形態において、第２の返送体２００は、第１の返送体１００と同一構造である。図５に示すように、第２の返送体２００も、架体９、複数の搬送ローラ１０、複数の回転軸１１、及び駆動モータ１２を含む。架体９の両側には、それぞれ１つの取付溝１３が設けられ、且つ両取付溝１３内には、何れも搬送ローラ１０が配置される。そのうち、１つの取付溝１３内の各搬送ローラ１０は、１つの回転軸１１によって他の１つの取付溝１３内の１つの搬送ローラ１０に連結され、隣接する任意２つの回転軸１１は、ベルト１４及びプーリー３００によって連動される。駆動モータ１２は架体９に固定され、駆動モータ１２の出力軸は回転軸１１の何れか１つに連結される。
【００３６】
いくつかの実施形態において、両端側の回転軸１１中の各々の回転軸１１の一端部にはそれぞれ１つのプーリー３００が設けられる以外、他の回転軸１１は、いずれも一端部に２つのプーリー３００が設けられており、隣接する任意２つのプーリー３００はベルト１４によって連結される。他のいくつかの実施形態において、ベルト１４の締付け具合の調整を実現するため、２つの回転軸１１の間にはテンションホイール５が配置される。テンションホイール５は、位置が調整可能であり、隣接する２つの回転軸１１の間のベルト１４の滑りを防止することができる。
【００３７】
説明すべきなのは、駆動モータ１２は、一本の回転軸１１を回転させるように駆動する。隣接する任意２つの回転軸１１の間がベルト１４によって連結されるので、全ての回転軸１１は、同一方向に回転すると同時に、その上の搬送ローラ１０を回転させ、よって搬送ローラ１０に基板トレイ１５を搬送するように移動させて基板トレイ１５の搬送を実現する。
【００３８】
いくつかの実施形態において、図４に示すように、搬送ローラ１０は、基板トレイ１５が偏移することがなく所定の経路に沿って移動させるため、シーブを採用する。これにより、図６に示すように、基板トレイ返送装置は、基板トレイ１５の搬送に用いられるため、いくつかの実施形態において、前記基板トレイ返送装置は底部に２つのガイドロッド１６が平行して配置された基板トレイ１５をさらに含む。図４に示すように、２本のガイドロッド１６は、それぞれ両取付溝１３のシーブに嵌合する、即ち２本のガイドロッド１６がそれぞれ両取付溝１３内のシーブの溝内に位置付けられるので、基板トレイ１５の搬送中、基板トレイ１５の底部に位置するガイドロッド１６が搬送ローラ１０の溝に沿って移動し、偏移することを効果的に防止することができ、且つ二者間の接触面積が増大され、摩擦が増大され、滑り防止の機能を発揮できる。
【００３９】
本開示のいくつかの実施形態は、図７に示すように、基板トレイ返送装置に適用する基板トレイ返送方法を提供する。
Ｓ１、塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を押し上げ搬送ベルト４に搬入し、搬送ベルト４は、塗布手段３の入口端Ｘ１から塗布手段の出口端Ｘ２まで基板トレイを搬送し、塗布手段の出口端Ｘ２に位置する上昇状態である基板トレイ昇降・返送機構２に搬送する。
Ｓ２、塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を載置しながら下降し、且つ基板トレイ１５を基板トレイ搬送機構１に搬入する。
Ｓ３、基板トレイ搬送機構１は、基板トレイ１５を塗布手段３の底部から塗布手段の入口端Ｘ１に位置し且つ下降状態にある基板トレイ昇降・返送機構２に返送し、基板トレイ１５を繰り返し返送するための一つの返送過程を完了する。
【００４０】
いくつかの実施形態において、基板トレイ返送装置に適用する基板トレイ返送方法は、以下の工程を有する。
Ｓ１０、塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を押し上げ、搬送ベルト４に搬入し、搬送ベルト４は、基板トレイを塗布手段の入口端Ｘ１から塗布手段の出口端Ｘ２まで搬送し、そして塗布手段の出口端Ｘ２に位置し且つ第４の所定位置までに上昇する基板トレイ昇降・返送機構２に搬入する。塗布手段の入口端Ｘ１に位置する前記基板トレイ昇降・返送機構２は、搬送ベルト４による基板トレイ１５の搬送中に、第３の所定位置までに下降する。
【００４１】
工程Ｓ１０において、塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を押し上げる過程は、基板トレイ１５が上昇する過程である。搬送ベルト４は、基板トレイを塗布手段の入口端Ｘ１から塗布手段の出口端Ｘ２まで搬送し、そして基板トレイを塗布手段の出口端Ｘ２に位置し且つ上昇状態である基板トレイ昇降・返送機構２に搬入する過程は、いわゆる基板トレイ１５が搬送される過程である。
いくつかの実施形態において、第３の所定位置は、基板トレイ搬送機構１と同一平面にある位置を指す。第４の所定位置は、搬送ベルト４と同一平面にある位置を指す。
【００４２】
Ｓ２０、塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、基板トレイ１５を載置しながら基板トレイ搬送機構１に搬入する。
Ｓ３０、基板トレイ搬送機構１は、基板トレイ１５を塗布手段３の底部から塗布手段の入口端Ｘ１に位置し且つ第３の所定位置にある基板トレイ昇降・返送機構２に返送し、基板トレイを返送するための一つの作業循環を完了する。基板トレイ１５の返送中に、塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２は、第４の所定位置までに上昇する。
ここでは、第３の所定位置の「第３」及び第４の所定位置の「第４」は、上述した２つの所定位置を区分するのみのものである。
【００４３】
本開示のいくつかの実施形態に係る全自動塗布機は、図８に示すように、塗布手段３、基板搬入機構７、返送手段１７、及び基板搬出機構１８を備える。塗布手段３は、等間隔で平行して配置され、且つ塗布手段の全体に亘って配置される複数の搬送ベルト４を備える。隣接する２本の搬送ベルト４の間には、第１の隙間４００（図９及び図１０を参照）が形成され、且つ搬送ベルト４の両端部がそれぞれ基板搬入機構７と基板搬出機構１８内に入り込む。返送手段１７は、塗布手段３の下方に配置され、且つ上述した基板トレイ返送装置である。返送手段１７の両端は、それぞれ基板搬入機構７と基板搬出機構１８内に入り込む。
【００４４】
いくつかの実施形態において、返送手段１７の両端がそれぞれ基板搬入機構７と基板搬出機構１８内に入り込むことは、すなわち返送手段１７の両側の基板トレイ昇降・返送機構２は、それぞれ基板搬入機構７と基板搬出機構１８内に位置付けられることである。
基板搬入機構７は、塗布手段の入口端Ｘ１に連結され、ガラス基板５００を搬送し、搬送ベルト４の入口端に位置する基板トレイ１５に送入するように配置される。
基板搬出機構１８は、塗布手段の出口端Ｘ２に連結され、搬送ベルト４の出口端に位置する基板トレイ１５上のガラス基板５００を搬送し、次のステーションに送入するように配置される。
【００４５】
いくつかの実施形態では、基板搬入機構７及び基板搬出機構１８内には、予備の基板トレイ１５を保管するための予備基板トレイ保管領域が設けられる。即ち、異常な状況に備え、使用中基板トレイ以外、他の基板トレイを待機させ、装置の正常動作を保証する。
いくつかの実施形態において、図８に示すように、基板搬入機構７は、基板搬出機構１８と同一構造であり、且つ占用空間を減らすため、塗布手段３に対して対称的に配置される。
いくつかの実施形態において、図９に示すように、基板搬入機構７は、第１の基板搬送ベルトＩ−１９と、第１の基板リフト機構Ｉ−２０と、第１の基板搬送機構Ｉ−２１と、第１の基板リフト機構Ｉ−２２とを含む。
【００４６】
第１の基板搬送ベルトＩ−１９は、返送手段１７に直交する、すなわち第１の基板搬送ベルトＩ−１９の長さ方向（又は搬送方向）は返送手段１７に直交し、且つ基板トレイ昇降・返送機構２に接近して配置される。第１の基板搬送ベルトＩ−１９は、基板搬入機構７にガラス基板を搬送するように配置される。
【００４７】
全自動塗布機は、返送手段１７に平行して配置された第１の走行レールＩ−２３をさらに備える。第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第１の走行レールＩ−２３に摺動可能に配置され、第１の走行レールＩ−２３において、第１の基板搬送ベルトＩ−１９の直上方に位置する第１の所定位置Ｙ１と、第１の基板リフト機構Ｉ−２２に対向する第２の所定位置Ｙ２とを有する。第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第２の所定位置Ｙ２までに摺動する時に伸長して、ガラス基板を搬送ベルト４の直上方に移動させるように配置される。
【００４８】
第１の基板リフト機構Ｉ−２０は、第１の基板搬送ベルトＩ−１９と基板トレイ昇降・返送機構２の間に配置される。第１の基板リフト機構Ｉ−２０は、第１の基板搬送ベルトＩ−１９に対して、第１の基板搬送ベルトＩ−１９に直交な方向に沿って昇降移動する。第１の基板リフト機構Ｉ−２０は、上昇時に第１の基板搬送ベルトＩ−１９上のガラス基板５００を押し上げ、下降時にガラス基板５００を下降させ、かつ第１の所定位置Ｙ１までに摺動した第１の基板搬送機構Ｉ−２１に送入するように配置される。
第１の基板リフト機構Ｉ−２２は、塗布手段３の搬送ベルト４の入口端の下方（即ち、第１の基板リフト機構は、基板トレイ昇降・返送機構２の下方に接近する搬送ベルト４の入口端に配置される）に配置される。第１の基板リフト機構Ｉ−２２は上、昇時に第１の基板搬送機構Ｉ−２１上のガラス基板５００を押し上げ、下降時にガラス基板５００を下降させ、かつ搬送ベルト４に位置する基板トレイ１５に送入するように配置される。
【００４９】
いくつかの実施形態において、基板搬入機構７内の第１の基板搬送ベルトＩ−１９は、ガラス基板５００を基板搬入機構７内に搬入し、第１の基板リフト機構Ｉ−２０は、まず、上昇移動して第１基板搬送ベルトＩ−１９からガラス基板５００を押し上げて取り外してから、下降移動してガラス基板５００を第１の所定位置Ｙ１に位置する第１の基板搬送機構Ｉ−２１に送入する。第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第２の所定位置Ｙ２までに摺動し、ガラス基板５００を搬送ベルト４の直上方に搬送し、第１の基板リフト機構Ｉ−２２は、まず、上昇移動して第１基板搬送機構Ｉ−２１上のガラス基板５００を押し上げ、そして下降移動してガラス基板５００を搬送ベルト４上に位置する基板トレイ１５に送入する。
【００５０】
いくつかの実施形態において、図１０に示すように、基板搬出機構１８は、第２の基板搬送ベルトII−１９、第２の基板リフト機構II−２０、第２の基板搬送機構II−２１、第２の基板リフト機構II−２２及び第２の走行レールII−２３を含む。
第２基板搬送機構II−２１は、第２の走行レールII−２３に摺動可能に配置され、第２の走行レールII−２３において、第２の基板搬送ベルトII−１９の直上方に位置する第５の所定位置Ｙ５と、第２の基板リフト機構II−２２に対向する第６の所定位置Ｙ６を含む。
第２の基板搬送機構II−２１は、第６の所定位置Ｙ６に摺動する時に伸長するように配置される。
【００５１】
第２の基板リフト機構II−２２は、搬送ベルト４の出口端の下方に配置される。第２の基板リフト機構II−２２は、上昇時に搬送ベルト４に位置する基板トレイ１５上のガラス基板５００を持ち上げ、下降時にガラス基板５００を下降させ、かつガラス基板５００を第６の所定位置Ｙ６に摺動する時に伸長する第２の基板搬送機構II−２１に送入する。
第２の基板リフト機構II−２０は、第２の基板搬送ベルトII−１９に対して、第１の基板搬送ベルトＩ−１９に直交な方向に沿って移動する。第２の基板リフト機構II−２０は、上昇時に第５の所定位置Ｙ５までに摺動した第２の基板搬送機構II−２１上のガラス基板５００を押し上げ、下降時にガラス基板５００を下降させ、かつ第２の基板搬送ベルトII−１９上に送入するように配置される。
【００５２】
第２の基板搬送ベルトII−１９は、ガラス基板５００を基板搬出機構１８から搬出し、次のステーションに搬送するように配置される。
基板搬出機構１８内の第２基板リフト機構II−２２は上昇移動して、基板トレイ１５上のガラス基板５００を突き上げ、第６の所定位置Ｙ６に位置する第２基板搬送機構II−２１は、搬送ベルト４の直上方のガラス基板５００を受け取り、そして第５の所定位置Ｙ５までに摺動し、ガラス基板５００を第２の基板搬送ベルトII−１９の直上方に搬送する。第２の基板リフト機構II−２０は、まず上昇移動して第２の基板搬送ベルトII−１９の直上方のガラス基板５００を受け取り、そして下降移動してガラス基板５００を第２の基板搬送ベルトII−１９上に搬入し、第２の基板搬送ベルトII−１９は、ガラス基板５００を基板搬出機構１８から搬出して、次のステーションに搬入する。
【００５３】
これにより、当該全自動塗布機は、ガラス基板の搬入、搬出、および塗布作業を自動的に完了することができ、完全な自動化制御を実現し、作業過程には人的操作が必要ない。
【００５４】
いくつかの実施形態において、図１１に示すように、第１の基板リフト機構Ｉ−２０及び第２の基板リフト機構II−２０は、いずれも第１のリフトフォーク５０と、リフトシリンダ４０を含み、第１のリフトフォーク５０は複数の第１のフォークバー２５、第１のフォークバー連接棒２６とリフトシリンダ連接棒２７を有する。複数の第１のフォークバー２５は、第１のフォークバー連接棒２６において等間隔で平行して固定され、第１のフォークバー連接棒２６は、リフトシリンダ連接棒２７によってリフトシリンダ４０の伸縮端４１に固着する。
【００５５】
図１１に示すように、第１の基板搬送ベルトＩ−１９は複数であり、かつ互いに等間隔で平行して配置され（即ち、隣接する任意２つの第１のスリットＩ−１９の間には第２の隙間１９１が形成される）、第１基板リフト機構Ｉ−２０の第１のフォークバー２５は、第１の基板搬送ベルトＩ−１９の間の第２の隙間１９１と一対一で対向して配置され、第１のフォークバー２５を昇降させることにより、隣接する第１の基板搬送ベルトＩ−１９の間の第２の隙間１９１を通過させることができる、すなわち、第１フォークバー２５の幅は、第１の基板搬送ベルトＩ−１９の間の第２の隙間１９１よりも小さい。図１１に示すように、第２の基板搬送ベルトII−１９は複数であり、かつ互いに等間隔で平行して配置され（即ち、隣接する任意２つの第２のスリットII−１９の間には第２の隙間１９１が形成される）、第２の基板リフト機構II−２０の第１のフォークバー２５は、第２の基板搬送ベルトII−１９の間の第２の隙間１９１と一対一で対向して配置され、第１のフォークバー２５を昇降させることにより、隣接する第２の基板搬送ベルトII−１９の間の第２の隙間１９１を通過させることができる、すなわち、第１フォークバー２５の幅は、第２の基板搬送ベルトII−１９の間の第２の隙間１９１よりも小さい。
【００５６】
こうして、基板搬入機構７にとっては、第１の基板リフト機構Ｉ−２０は、ガラス基板５００を第１の基板搬送ベルトＩ−１９から取り外し、そして第１の基板搬送機構Ｉ−２１に搬入することを実現する。基板搬出機構１８にとっては、第２の基板リフト機構II−２０は、ガラス基板５００を第２の基板搬送機構II−２１から取り外し、そして第２の基板搬送ベルトII−１９に搬入することを実現する。
【００５７】
いくつかの実施形態において、図１２に示すように、第１の基板搬送機構Ｉ−２１及び第２の基板搬送機構II−２１は、いずれも第２のリフトフォーク６０、伸縮シリンダ２８、スライダ２９、及びキャリッジ３０を含む。
第１の基板搬送機構Ｉ−２１のキャリッジ３０は、第１の走行レールＩ−２３に摺動可能に配置される。第２の基板搬送機構II−２１のキャリッジ３０は、第２の走行レールII−２３に摺動可能に配置される。
スライダ２９は、キャリッジ３０に摺動可能に配置される。
伸縮シリンダ２８はスライダ２９に固定されている。
【００５８】
第２のリフトフォーク６０は、複数の第２のフォークバー３６と第２のフォークバー連接棒３７を含む。複数の第２のフォークバー３６は第２のフォークバー連接棒３７において等間隔で平行して固定される。第２のフォークバー連接棒３７は、リフトシリンダ２８の伸縮端２８１に固定される。第２のリフトフォーク６０は、伸縮シリンダ２８によってスライダ２９に固定される。第２のリフトフォーク６０は、伸縮シリンダ２８に連動されて伸縮する。
こうして、基板搬出機構７にとっては、第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第１の走行レールII−２３に摺動し、かつ第２の所定位置Ｙ２までに摺動する時、伸長してガラス基板５００を搬送ベルト４の直上方に搬送することを実現する。基板搬出機構１８にとっては、第２の基板搬送機構II−２１は、第６の所定位置Ｙ６までに摺動する時に伸長して、搬送ベルト４の直上方のガラス基板５００を受け取り、そして第５の所定位置Ｙ５までに摺動して、ガラス基板５００を第２の基板搬送ベルトII−１９の直上方に搬送する。
【００５９】
いくつかの実施形態において、図１２に示すように、第１の走行レールＩ−２３及び第２の走行レールII−２３は、いずれも平行して配置される上方レール２３１、中間レール２３２及び下方レール２３３を含む。第１の基板搬送機構Ｉ−２１のキャリッジ３０は、第１の走行レールＩ−２３の上方レール２３１、中間レール２３２及び下方レール２３３に摺動可能に連結する。第２の基板搬送機構II−２１のキャリッジ３０は、第２の走行レールII−２３の上方レール２３１、中間レール２３２及び下方レール２３３に摺動可能に連結する。
これにより、第１の走行レールＩ−２３、又は第２の走行レールII−２３は、上方レール２３１、中間レール２３２及び下方レール２３３を含み、かつキャリッジ３０を上方レール２３１、中間レール２３２及び下方レール２３３と摺動可能に設けることにより、キャリッジ３０の安定的な摺動を保証することができる。
【００６０】
いくつかの実施形態において、図１２に示すように、第１の基板搬送機構Ｉ−２１及び第２の基板搬送機構II−２１は、いずれも第１のサーボモーター３１及び第１のラック３３を含む。第１のラック３３は中間レール２３２に固定される。第１のサーボモーター３１はスライダ２９に固定される。第１のサーボモーター３１には、第１のラック３３と噛み合う第１の歯車７１（図１３を参照）が連結される。
第１のラック３３を中間レール２３２に固定させ、かつ第１のサーボモーター３１に第１のラック３３と噛み合う第１の歯車７１（図１３に参照）を連結させることにより、第１のサーボモーター３１は、スライダ２９に追従して中間レール２３２の延在方向に沿って摺動すると共に、スライダ２９に大きな力を与えなく、スライダ２９の変形が避けられる。
【００６１】
いくつかの実施形態において、図１２に示すように、キャリッジ３０の一側には、縦方向に沿って平行して配置された２つの第２のスライドレール３４が配置され、スライダ２９は、第２のスライドレール３４によってキャリッジ３０に摺動可能に取り付けられる。これにより、スライダ２９は、第２のスライドレール３４に沿ってキャリッジ３０の上を摺動する時、第２リフトフォーク６０を連動して上下移動させることができる。
【００６２】
いくつかの実施形態において、図１２に示すように、第１の基板搬送機構Ｉ−２１及び第２の基板搬送機構II−２１は、いずれも第２のサーボモーター３２及び第２のラック３５をさらに含む。第２のラック３５はキャリッジ３０上に設けられ、かつ第２のスライドレール３４に平行して配置される。第２のサーボモーター３２はスライダ２９に固定される。第２のサーボモーター３２には、第２のラック３５と噛み合う第２の歯車７２（図１４を参照）が連結される。これにより、第２のサーボモーター３２は、第２のサーボモーター３２はスライダ２９に追従して直交方向に沿って摺動すると共に、スライダ２９に大きな力を与えなく、スライダ２９の変形が避けられる。
【００６３】
いくつかの実施形態において、図１５に示すように、第１の基板リフト機構Ｉ−２２及び第２の基板リフト機構II−２２は、いずれもベース３８及び複数の伸縮可能なリフトシリンダ３９を含む。リフトシリンダ３９はベース３８に固定される。各リフトシリンダ３９は、伸縮時に隣接する２つの搬送ベルト４の間の第１の隙間４００を通過し、そして２つの第２のフォークバー３６の間を通過するように配置される。
リフトシリンダ３９の数は少なくとも３つである。
【００６４】
いくつかの実施形態において、リフトシリンダ３９は、搬送ベルト４の間の第１の隙間４００及び第２のフォークバー３６の間を通過するように伸張して、ガラス基板を押し上げることを実現する、すなわち、リフトシリンダ３９の伸縮端の幅は、隣接する２つの搬送ベルト４の間の第１の隙間４００よりも小さく、しかも２つの隣接する第２のフォークバー３６の隙間よりも小さい。このように、基板搬出機構７にとっては、第１の基板リフト機構Ｉ−２２は、ガラス基板５００を第１の基板搬送機構Ｉ−２１上の第２リフトフォーク６０から取り外し、かつ搬送ベルト４の基板トレイ１５に送入することを実現する。基板搬出機構１８にとっては、第２の基板リフト機構II−２２は、ガラス基板５００を基板トレイ１５から取り外し、かつ第２の基板搬送機構II−２１上の第２のリフトフォーク６０に送入することを実現する。
【００６５】
以下、基板搬入機構７、返送手段１７、基板搬出機構１８を備える自動塗布機に基づいて、その動作原理を説明する。
基板搬入フロー：基板トレイ１５は基板トレイ返送装置１によって塗布手段の入口端Ｘ１に位置する基板トレイ昇降・返送機構２に搬送され、基板トレイ昇降・返送機構２の昇降装置８は伸長し、かつ第２の返送体２００を押し上げる。第２の返送体２００は塗布手段３の搬送ベルト４と同一平面にある時、昇降装置８は伸長を停止する。同時に、第２の返送体２００上の駆動モータ１２が動作を開始し、搬送ローラ１０は、搬送載置部１５を連動移動し、搬送載置部１５を搬送ベルト４に搬送する。基板トレイ１５は搬送ベルト４において第１の基板リフト機構Ｉ−２２の直上方までに移動された後、搬送ベルト４の動作を停止し、ガラス基板５００の搬入を待つ。基板トレイ１５が搬送ベルト４に搬送された後、昇降装置８は収縮し、かつ第２の返送体２００を載せて下降し、基板トレイ返送装置１に付き合わせる。
【００６６】
基板トレイ１５の搬送中において、ガラス基板５００基板は第１の基板搬送ベルトＩ−１９によって搬入装置７内に搬入され、そしてガラス基板５００基板が第１の基板トレイリフト機構Ｉ−２０の第１のリフトフォーク５０の直上方までに搬送した後、第１の基板搬送ベルトＩ−１９は動作を停止する。第１の基板リフト機構Ｉ−２０のリフトシリンダ４０は伸長し、第１の基板搬送ベルトＩ−１９の下方に位置する第１のリフトフォーク５０は、上昇時にガラス基板５００を押し上げ、且つ第１の基板搬送機構Ｉ−２１の第２のリフトフォーク６０より高い位置までに上昇した後に上昇を停止する。第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第１のサーボモータ３１の駆動下で第１の走行レールＩ−２３に沿って第１の所定位置Ｙ１までに移動し、このとき、第１の基板搬送機構Ｉ−２１上の第２のリフトフォーク６０は、丁度よくガラス基板５００の直下方に位置するようになる。第１の基板リフト機構Ｉ−２０のリフトシリンダ４０の収縮によって、ガラス基板５００を第２のリフトフォーク６０上に送入させる。そして、第１のリフトフォーク５０は、リフトシリンダ４０の収縮により、第１の基板搬送ベルトＩ−１９の下方までに移動して次のガラス基板５００の受け取りを待つ。第１の基板搬送機構Ｉ−２１は、第１のサーボモータ３１の駆動下で第２の所定位置Ｙ２（基板トレイ１５に対向する位置）までに移動し、その後、伸縮シリンダ２８は伸長し、ガラス基板５００を基板トレイ１５の直上方に搬送する。搬送ベルト４の下方に位置する第１の基板リフト機構Ｉ−２２のリフトシリンダ３９は、伸長して基板トレイ１５を通過し、且つガラス基板５００を押し上げ、ガラス基板５００を第２のリフトフォーク６０から分離させる。その後、伸縮シリンダ２８は収縮して初期位置に戻る。リフトシリンダ３９は収縮してガラス基板５００を下降させ、ガラス基板５００は基板トレイ１５に搬入されるようになる。搬送ベルト４は、基板トレイ１５とガラス基板５００とを塗布手段3内に搬入して塗布を受ける。塗布工程が完了した後、基板搬出機構１８に進入する。
【００６７】
基板搬出フロー：基板トレイ１５及び塗布済みのガラス基板５００を搬送ベルト４の出口端に搬送した後、搬送ベルト４は停止し、基板搬出機構１８中の第２の基板リフト機構II−２２のリフトシリンダ３９は伸長し、かつ塗布済みのガラス基板５００を押し上げる。第２の基板搬送機構II−２１の第２のリフトフォーク６０は、伸縮シリンダ２８の伸長作用により、塗布されたガラス基板５００の直下方までに移動し、リフトシリンダ３９は収縮して、塗布済みのガラス基板５００を第２のリフトフォーク６０に搬入する。第２の基板搬送機構II−２１の伸縮シリンダ２８は伸縮し、第２のリフトフォークを初期位置に戻させ、第１のサーボモータ３１の駆動下で塗布済みのガラス基板５００を第２の基板搬送ベルトII−１９の直上方（すなわち第５の所定位置Ｙ５）に搬送する。第２の基板リフト機構II−２０上の第１リフトフォーク５０は上昇し、かつ塗布済みのガラス基板５００を受け取る。そして、第２の基板搬送機構II−２１は、空いた基板トレイ１５に対向する位置（すなわち第６の所定位置Ｙ６）までに移動し、次の塗布済みのガラス基板５００の受け取りを待ち、第１のリフトフォーク５０は下降し、かつ塗布図のガラス基板５００を第２の基板搬送ベルトII−１９に送入し、第２の基板搬送ベルトII−１９は、塗布済みのガラス基板５００を次のステーションに搬送する。
【００６８】
搬送ベルト４は、空いた基板トレイ１５を返送手段１７内の塗布手段の出口端Ｘ２に位置する基板トレイ昇降・返送機構２に搬送する。基板トレイ昇降・返送機構２の昇降装置８が収縮し、基板トレイ昇降・返送機構２は基板トレイ返送装置１に付き合わせる状態になるまで下降し、付き合わせた後に空いた基板トレイ１５を基板トレイ返送装置１上に搬送する。ここまで、１つの完全な作業プロセスが完了される。
【００６９】
以上の説明は、本開示の実施形態の一部のみであり、本開示にこれに限定されない。本開示の構想と精神から逸脱しない変形、置換え又はこれに同等する実施形態は、本開示の範囲内にあるものとする。
【国際調査報告】
2020507534.tif 000018
2020507534.tif 000019
2020507534.tif 000020
2020507534.tif 000021
2020507534.tif 000022
2020507534.tif 000023