Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成30年2月23日(2018.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム、ガリウムおよびインジウムから選ばれる１種または２種以上を少なくとも含む結晶性酸化物半導体を主成分として含み、前記結晶性酸化物半導体がコランダム構造を有することを特徴とする紫外線発光材料。
【請求項２】
前記結晶性酸化物半導体が、少なくともガリウムを含む請求項１記載の紫外線発光材料。
【請求項３】
前記結晶性酸化物半導体が、膜状である請求項１または２に記載の紫外線発光材料。
【請求項４】
紫外線を発光する紫外線発光材料を含む紫外線発光素子において、紫外線発光材料として、請求項１〜３のいずれかに記載の紫外線発光材料を含むことを特徴とする紫外線発光素子。
【請求項５】
原料溶液から紫外線発光材料を製造する方法において、アルミニウム、ガリウムおよびインジウムから選ばれる１種または２種以上を少なくとも含む原料溶液を霧化または液滴化して生成されるミストまたは液滴を、キャリアガスでもってコランダム構造を有する結晶物を主成分として含む結晶基板まで搬送し、ついで該結晶基板上で該ミストまたは該液滴を加熱により熱反応させることを特徴とする紫外線発光材料の製造方法。
【請求項６】
前記原料溶液が、少なくともガリウムを含む請求項５記載の製造方法。
【請求項７】
結晶基板の結晶成長面上に、直接または他の層を介して、凹部または凸部からなる凹凸部を形成し、前記凹凸部上で、前記ミストまたは前記液滴を加熱により熱反応させる請求項５または６に記載の製造方法。
【請求項８】
前記凹凸部を複数かつ周期的に形成する請求項７記載の製造方法。
【請求項９】
前記凹凸部の形成を、ストライプ状またはドット状に凹部または凸部を形成することにより行う請求項７または８に記載の製造方法。
【請求項１０】
前記基体が、サファイア基板である請求項５〜９のいずれかに記載の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
すなわち、本発明は、以下の発明に関する。
［１］  アルミニウム、ガリウムおよびインジウムから選ばれる１種または２種以上を少なくとも含む結晶性酸化物半導体を主成分として含み、前記結晶性酸化物半導体がコランダム構造を有することを特徴とする紫外線発光材料。
［２］  前記結晶性酸化物半導体が、少なくともガリウムを含む前記［１］記載の紫外線発光材料。
［３］  前記結晶性酸化物半導体が、膜状である前記［１］または［２］に記載の紫外線発光材料。
［４］  紫外線を発光する紫外線発光材料を含む紫外線発光素子において、紫外線発光材料として、前記［１］〜［３］のいずれかに記載の紫外線発光材料を含むことを特徴とする紫外線発光素子。
［５］  原料溶液から紫外線発光材料を製造する方法において、アルミニウム、ガリウムおよびインジウムから選ばれる１種または２種以上を少なくとも含む原料溶液を霧化または液滴化して生成されるミストまたは液滴を、キャリアガスでもってコランダム構造を有する結晶物を主成分として含む結晶基板まで搬送し、ついで該結晶基板上で該ミストまたは該液滴を加熱により熱反応させることを特徴とする紫外線発光材料の製造方法。
［６］  前記原料溶液が、少なくともガリウムを含む前記［５］記載の製造方法。
［７］  結晶基板の結晶成長面上に、直接または他の層を介して、凹部または凸部からなる凹凸部を形成し、前記凹凸部上で、前記ミストまたは前記液滴を加熱により熱反応させる前記［５］または［６］に記載の製造方法。
［８］  前記凹凸部を複数かつ周期的に形成する前記［７］記載の製造方法。
［９］  前記凹凸部の形成を、ストライプ状またはドット状に凹部または凸部を形成することにより行う前記［７］または［８］に記載の製造方法。
［１０］  前記基体が、サファイア基板である前記［５］〜［９］のいずれかに記載の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年2月20日(2018.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ストロンチウム化合物とジルコニウム化合物とを混合する混合工程と、
該混合工程により得られた混合物を焼成する焼成工程とを含む複合金属酸化物研磨材料の製造方法であって、
該混合工程におけるストロンチウム化合物は、炭酸ストロンチウム及び水酸化ストロンチウムからなる群から選択される少なくとも１種であり、
該ジルコニウム化合物に含まれる硫黄化合物のＳＯ３換算量は、該ジルコニウム化合物のＺｒＯ２換算量１００重量部に対し、２．０重量部以下である
ことを特徴とする複合金属酸化物研磨材料の製造方法。
【請求項２】
前記混合工程におけるジルコニウム化合物は、炭酸ジルコニウム及び水酸化ジルコニウムからなる群から選択される少なくとも１種である
ことを特徴とする請求項１に記載の複合金属酸化物研磨材料の製造方法。
【請求項３】
前記焼成工程における焼成温度は、８００℃を超えて１５００℃以下である
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の複合金属酸化物研磨材料の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月20日(2018.3.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チョクラルスキー法による単結晶の引き上げ工程中に前記単結晶と融液面との境界部の画像をカメラで撮影し、前記境界部に現れるフュージョンリングの周方向の最高輝度分布の少なくとも最大値よりも小さい値を閾値として設定し、前記最高輝度分布において最高輝度が前記閾値以下となる領域を直径計測領域として指定して、引き上げられている単結晶の直径計測処理を行うことを特徴とする単結晶の製造方法。
【請求項２】
前記カメラの撮影画像は、前記単結晶の引き上げ軸方向と直交する方向を行方向とし、前記引き上げ軸方向と平行な方向を列方向とする二次元画像であり、
前記直径計測処理は、
前記フュージョンリングと交差し且つ前記行方向に延びる少なくとも一本の測定ラインを前記直径計測領域に設定し、
前記フュージョンリングと前記測定ラインとの交点の位置から前記単結晶の直径を求める、請求項１に記載の単結晶の製造方法。
【請求項３】
前記撮影画像の各行の最高輝度のうち前記閾値以下の最高輝度を持つ行に前記測定ラインを設定する、請求項２に記載の単結晶の製造方法。
【請求項４】
前記撮影画像の各行の最高輝度のうち当該最高輝度の最小値を持つ行に前記測定ラインを設定する、請求項２に記載の単結晶の製造方法。
【請求項５】
前記撮影画像を前記列方向に分割し、複数の分割領域の各々において、当該分割領域内の各行の最高輝度のうち、当該最高輝度の最小値を持つ行を選択し、前記複数の分割領域の各々から選択された複数の行の少なくとも一つに前記測定ラインを設定する、請求項４に記載の単結晶の製造方法。
【請求項６】
前記撮影画像を前記列方向に分割し、複数の分割領域の各々において、当該分割領域内の各行の最高輝度の平均値のうち、当該平均値が最小となる分割領域を選択し、当該選択された分割領域内に前記測定ラインを設定する、請求項４に記載の単結晶の製造方法。
【請求項７】
前記各行の最高輝度の極大値を持つ行に分割ラインを設定して前記撮影画像を分割する、請求項５または６に記載の単結晶の製造方法。
【請求項８】
融液を支持するルツボと、
前記融液を加熱するヒーターと、
前記融液から単結晶を引き上げる引き上げ軸と、
前記ルツボの上下方向の位置を制御するルツボ昇降機構と、
前記単結晶と前記融液との境界部の画像を撮影するカメラと、
前記カメラで撮影した画像を処理する画像処理部と、
前記ヒーター、前記引き上げ軸および前記ルツボ昇降機構を制御する制御部とを備え、
前記画像処理部は、
前記境界部に現れるフュージョンリングの周方向の最高輝度分布の少なくとも最大値よりも小さい値を閾値として設定し、前記最高輝度分布において最高輝度が閾値以下となる領域を直径計測領域として指定して、引き上げられている単結晶の直径計測処理を行うことを特徴とする単結晶製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明において、前記カメラの撮影画像は、前記単結晶の引き上げ軸方向と直交する方向を行方向とし、前記引き上げ軸方向と平行な方向を列方向とする二次元画像であり、前記直径計測処理は、前記フュージョンリングと交差し且つ前記行方向に延びる少なくとも一本の測定ラインを前記直径計測領域に設定し、前記フュージョンリングと前記測定ラインとの交点の位置から前記単結晶の直径を求めることが好ましい。この方法によれば、撮影画像中のフュージョンリングから単結晶の直径を正確かつ容易に求めることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
次に、測定ラインＬ１とフュージョンリング４との２つの交点Ｄ１、Ｄ１'を検出する。フュージョンリング４と第１の測定ラインＬ１との一方の交点Ｄ１の座標を（ｘ１，ｙ１）とし、他方の交点Ｄ１'の座標を（ｘ１'，ｙ１）とする。フュージョンリング４と測定ラインＬ１との交点Ｄ１、Ｄ１'の概略位置は、測定ラインＬ１上の輝度ピークの位置である。フュージョンリング４と測定ラインＬ１との交点Ｄ１、Ｄ１'の詳細位置については後述する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
図８に示すように、この設定方法では、最高輝度の列方向の分布１０１から閾値Ｈ以下の最高輝度を持つ行に測定ラインＬ１を設定する。具体的には、類似輝度がある範囲以上存在している画素の輝度を固液界面部の輝度Ｐｉとし、固液界面部の輝度Ｐｉを同一画素列内の最高輝度Ｐｍと比較し、固液界面部の輝度Ｐｉと最高輝度Ｐｍと輝度差が閾値Ｈ以下となるＸ軸方向の画素列を直径計測対象領域とする。図７のように最高輝度の最小値Ｐ１を持つ行に測定ラインを設定する場合にはその一行にしか測定ラインを設定することができないので、画像処理上の制約が大きく、また複数の測定ラインを設定することもできない。しかし閾値Ｈ以下であればどこでもよいとする場合には、測定ラインの設定範囲に多少の幅を持たせることができ、測定ラインの設定位置の自由度を高めることができる。また撮影画像中に２本以上の測定ラインを設定することも可能である。
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月9日(2018.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の金属元素と第２の金属元素とを有するスピネル型の遷移金属複合酸化物を含む焼成体であり、第１の導電性部材と第２の導電性部材とを接合する導電性の接合材の焼成前の状態である接合材前駆体であって、
有機物と、
前記接合材前駆体をエタノール中で超音波洗浄（３８ｋＨｚ、５分間）にかけた後、乾燥（１００℃、３０分間）させたときに前記第１の金属元素の酸化物により構成された金属酸化物部分と前記第２の金属元素により構成された金属部分とをそれぞれ有する複数の第１の粒子と、を備えることを特徴とする、接合材前駆体。
【請求項２】
請求項１に記載の接合材前駆体において、
各前記第１の粒子は、複数の前記金属酸化物部分と複数の前記金属部分とを有することを特徴とする、接合材前駆体。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の接合材前駆体において、
前記第１の粒子の数は、前記金属酸化物部分のみから構成された金属酸化物粒子と前記金属部分のみから構成された金属粒子との少なくとも一方である他の粒子の数より多いことを特徴とする、接合材前駆体。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の接合材前駆体において、
前記第１の金属元素は、Ｍｎであり、前記第２の金属元素は、ＣｏとＣｕとＺｎとのいずれかであることを特徴とする、接合材前駆体。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の接合材前駆体において、
前記第１の導電性部材は、固体酸化物を含む電解質層と、前記電解質層を挟んで互いに対向する空気極および燃料極と、を備える電気化学反応単セルにおける前記空気極であることを特徴とする、接合材前駆体。
【請求項６】
請求項５に記載の接合材前駆体において、
前記第２の導電性部材は、前記電気化学反応単セルと、前記電気化学反応単セルの前記空気極の側に配置された集電部材と、を備える電気化学反応単位における前記集電部材であることを特徴とする、接合材前駆体。
【請求項７】
複数の電気化学反応単位を備える電気化学反応セルスタックであって、
各前記電気化学反応単位は、
固体酸化物を含む電解質層と、前記電解質層を挟んで互いに対向する空気極および燃料極と、を含む電気化学反応単セルと、
前記電気化学反応単セルの前記空気極の側に配置された集電部材と、を備え、
前記第１の導電性部材としての前記空気極と前記第２の導電性部材としての前記集電部材とは、請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の接合材前駆体により形成された前記接合材により接合されていることを特徴とする、電気化学反応セルスタック。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】接合材前駆体および電気化学反応セルスタック
【手続補正書】
【提出日】平成30年9月13日(2018.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明において、前記中間壁は、前記内周壁と外周壁との中間位置より外周壁側に寄った位置に形成されていることが望ましい。
また、本発明において、前記中間壁の下端部は、前記フィルタ集合体の内側コア部材、内側濾過部材、外側コア部材、及び外側濾過部材のうち、少なくとも内側コア部材、内側濾過部材、及び外側コア部材の上端部より下方位置まで延出している。
更に、本発明において、前記内側濾過部材は蛇腹状に折曲されていることが望ましい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
前記内側濾過部材１２及び外側濾過部材１４は、例えば、直径が数μｍ−数十μｍ程度の微細な化学繊維を、規則的にあるいは不規則に積層して形成した繊維シートや、積層した化学繊維を接着剤や融着あるいは絡着等の方法で接合して形成した不織布、セラミック製微細粒子の集合体、あるいは合成樹脂製多孔質シート等により形成することができる。また、前記内側濾過部材１２は、前記外側濾過部材１４より細径の繊維を使用して空隙率（目の粗さ）を小さくすることにより、微細な塵埃や、油分あるいは水分等の細かいミストを確実に捕集することができる程度に緻密に形成され、これに対して前記外側濾過部材１４は、前記内側濾過部材１２より太径の繊維を使用して空隙率（目の粗さ）を大きくすることにより、前記内側濾過部材１２が捕集した油分や水分等の液体を下部エンドキャップ４まで速やかに導くことができるように形成されている。従って、前記内側濾過部材１２は細目の濾過部材であり、前記外側濾過部材１４は粗目の濾過部材であるということができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
そのあと前記接着剤５を硬化させることにより、前記フィルタ集合体２の上端部に前記上部エンドキャップ３が接着、固化されることになる。硬化に要する時間は、２５℃の温度下で１２時間以上である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
このように、前記上部エンドキャップ３に中間壁２１を設けることにより、該上部エンドキャップ３を接着剤５で前記フィルタ集合体２の上端部に接着、固定したとき、前記中間壁２１で接着剤５の流動が制限されると共に流動方向が変えられて、分布状態が均一化され、従来のフィルタエレメントのように接着剤の介在しない窪みが形成されてそれが吹き溜まりとなるようなことがなくなる。これにより、濾過部材に捕集された液体粒子が前記吹き溜まりに一旦滞留したあと、圧縮空気と接触して再飛散するといった問題が解消される。このことは、上部エンドキャップ３に、前記中間壁２１を形成しないでフィルタ集合体２に接着する場合と、様々な形状及び高さの中間壁２１を形成してフィルタ集合体２に接着する場合とについて、様々な実験を重ねることにより、確かめられた。
【手続補正書】
【提出日】平成30年2月6日(2018.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可変表示を行い、遊技者にとって有利な有利状態に制御可能な遊技機であって、
可変表示に対応する特別画像を表示する特別画像表示手段と、
前記特別画像の態様を変化させる特別画像変化演出を実行する変化演出実行手段と、
可変表示を一旦仮停止表示させた後、再可変表示を行なう特定演出を実行可能な特定演出実行手段と、
を備え、
前記特別画像表示手段は、前記特別画像変化演出により変化した前記特別画像を表示した後、変化前の前記特別画像を表示することが可能であり、
前記変化演出実行手段は、
前記特定演出において前記再可変表示を行うことに関連して、前記特別画像変化演出を実行可能であり、
前記有利状態に制御される期待度に応じて、前記特別画像変化演出の実行回数を異ならせることが可能である、
ことを特徴とする遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
（Ａ）上記目的を達成するため、本願発明に係る遊技機は、
可変表示を行い、遊技者にとって有利な有利状態に制御可能な遊技機であって、
可変表示に対応する特別画像を表示する特別画像表示手段と、
前記特別画像の態様を変化させる特別画像変化演出を実行する変化演出実行手段と、
可変表示を一旦仮停止表示させた後、再可変表示を行なう特定演出を実行可能な特定演出実行手段と、
を備え、
前記特別画像表示手段は、前記特別画像変化演出により変化した前記特別画像を表示した後、変化前の前記特別画像を表示することが可能であり、
前記変化演出実行手段は、
前記特定演出において前記再可変表示を行うことに関連して、前記特別画像変化演出を実行可能であり、
前記有利状態に制御される期待度に応じて、前記特別画像変化演出の実行回数を異ならせることが可能である、
ことを特徴とする遊技機。
（１）上記目的を達成するため、別態様に係る遊技機は、
開始条件（例えば、第１特図や第２特図を用いた特図ゲームを開始するための条件など）が成立したことに基づいて可変表示を行い、遊技者にとって有利な有利状態（例えば、大当り遊技状態など）に制御可能な遊技機であって、
前記開始条件が成立したことに基づいて、該開始条件が成立した可変表示に対応する保留表示を移動させて特別画像（例えば、図２１に示す特別画像ＳＨ０など）として表示する特別画像表示手段（例えば、ステップＳ４０２Ａの処理を実行する演出制御用ＣＰＵ１２０など）と、
可変表示の進行状況（例えば、可変表示結果が導出されるまでの残り時間など）に応じて前記特別画像の表示態様（例えば、形状など）を変化させる表示態様変化手段（例えば、ステップＳ５１２の処理を実行する演出制御用ＣＰＵ１２０など）と、
前記表示態様変化手段によって変化された前記特別画像の表示態様を、変化開始時の表示態様まで戻す変化回復手段と、
を備え、
前記有利状態に制御されるか否かに応じて、前記特別画像の表示態様が変化する回数が異なる、
ことを特徴とする。
また、上記の遊技機において、前記有利状態に制御されるか否かに応じて、前記特別画像の表示態様が異なるようにしてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成30年1月10日(2018.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
抽選条件の成立に基づいて抽選処理を実行するとともに、当該抽選処理の結果に応じて演出実行コマンドを演出制御部に出力する遊技制御部と、
表示装置と、
前記遊技制御部から受け取った前記演出実行コマンドに基づいて、抽選結果を前記表示装置に表示する前記演出制御部と、
電源スイッチの操作に応じて電力の供給を開始したり供給中の電力を停止する主電源と、
前記供給中の電力が停止される直前に停電予告信号を出力する停電監視部と、
を備え、
前記演出制御部は、
制御部と、
前記制御部の内部又は外部に設けられており特定領域を有する履歴情報記憶部と、
映像の表示に用いる映像データを記憶可能な映像記憶部と、
現在時刻を取得する時刻取得部と、
前記停電監視部による停電予告信号の出力を契機として、少なくとも前記制御部、前記履歴情報記憶部及び前記時刻取得部に対する電力供給を開始したり、前記主電源による電力供給が開始されたことを契機として電力供給を停止する副電源と、
を有し、
前記制御部は、
前記時刻取得部によって取得された時刻情報に基づく履歴情報を、前記特定領域に書き込む履歴情報書き込み手段と、
外部から受け入れられたコマンドの内容を解析するコマンド解析手段と、
前記特定領域に書き込まれた前記履歴情報の読み出しを規制する読み出し規制手段と、
前記コマンド解析手段により前記受け入れられたコマンドが前記遊技制御部が出力可能な前記演出実行コマンドである場合には、前記読み出し規制手段による規制を解除することなく演出表示する一方、
前記受け入れられたコマンドが前記遊技制御部が出力可能な前記演出実行コマンドとは異なる履歴情報読み出しコマンドである場合には、前記読み出し規制手段による規制を解除して前記特定領域に書き込まれた履歴情報の読み出しを許容する履歴情報制御手段と
を備えることを特徴とする遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記した目的を達成するため、本発明にかかる遊技機は、抽選条件の成立に基づいて抽選処理を実行するとともに、当該抽選処理の結果に応じて演出実行コマンドを演出制御部に出力する遊技制御部と、表示装置と、前記遊技制御部から受け取った前記演出実行コマンドに基づいて、抽選結果を前記表示装置に表示する前記演出制御部と、電源スイッチの操作に応じて電力の供給を開始したり供給中の電力を停止する主電源と、前記供給中の電力が停止される直前に停電予告信号を出力する停電監視部と、を備え、前記演出制御部は、制御部と、前記制御部の内部又は外部に設けられており特定領域を有する履歴情報記憶部と、映像の表示に用いる映像データを記憶可能な映像記憶部と、現在時刻を取得する時刻取得部と、前記停電監視部による停電予告信号の出力を契機として、少なくとも前記制御部、前記履歴情報記憶部及び前記時刻取得部に対する電力供給を開始したり、前記主電源による電力供給が開始されたことを契機として電力供給を停止する副電源と、を有し、前記制御部は、前記時刻取得部によって取得された時刻情報に基づく履歴情報を、前記特定領域に書き込む履歴情報書き込み手段と、外部から受け入れられたコマンドの内容を解析するコマンド解析手段と、前記特定領域に書き込まれた前記履歴情報の読み出しを規制する読み出し規制手段と、前記コマンド解析手段により前記受け入れられたコマンドが前記遊技制御部が出力可能な前記演出実行コマンドである場合には、前記読み出し規制手段による規制を解除することなく演出表示する一方、前記受け入れられたコマンドが前記遊技制御部が出力可能な前記演出実行コマンドとは異なる履歴情報読み出しコマンドである場合には、前記読み出し規制手段による規制を解除して前記特定領域に書き込まれた履歴情報の読み出しを許容する履歴情報制御手段とを備えることを特徴とする遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成30年2月6日(2018.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可変表示を行い、遊技者にとって有利な有利状態に制御可能な遊技機であって、
可変表示に対応する特別画像を表示する特別画像表示手段と、
前記特別画像の態様を変化させる特別画像変化演出を実行する変化演出実行手段と、
前記特別画像変化演出の実行を示唆する示唆演出を実行する示唆演出実行手段と、を備え、
前記特別画像表示手段は、前記特別画像変化演出により変化した前記特別画像を表示した後、変化前の前記特別画像を表示することが可能であり、
前記変化演出実行手段は、前記有利状態に制御される期待度に応じて、前記特別画像変化演出の実行回数を異ならせることが可能である、
ことを特徴とする遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
（Ａ）上記目的を達成するため、本願発明に係る遊技機は、
可変表示を行い、遊技者にとって有利な有利状態に制御可能な遊技機であって、
可変表示に対応する特別画像を表示する特別画像表示手段と、
前記特別画像の態様を変化させる特別画像変化演出を実行する変化演出実行手段と、
前記特別画像変化演出の実行を示唆する示唆演出を実行する示唆演出実行手段と、を備え、
前記特別画像表示手段は、前記特別画像変化演出により変化した前記特別画像を表示した後、変化前の前記特別画像を表示することが可能であり、
前記変化演出実行手段は、前記有利状態に制御される期待度に応じて、前記特別画像変化演出の実行回数を異ならせることが可能である、
ことを特徴とする。
（１）上記目的を達成するため、別態様に係る遊技機は、
開始条件（例えば、第１特図や第２特図を用いた特図ゲームを開始するための条件など）が成立したことに基づいて可変表示を行い、遊技者にとって有利な有利状態（例えば、大当り遊技状態など）に制御可能な遊技機であって、
可変表示に関する情報を保留記憶として記憶する保留記憶手段と、
前記保留記憶手段に記憶された保留記憶に対応して保留表示を行う保留表示手段と、
前記開始条件が成立したことに基づいて、該開始条件が成立した可変表示に対応する保留表示を移動させて特別画像（例えば、図２１に示す特別画像ＳＨ０など）として表示する特別画像表示手段（例えば、ステップＳ４０２Ａの処理を実行する演出制御用ＣＰＵ１２０など）と、
前記特別画像の表示態様を変化させる表示態様変化手段（例えば、ステップＳ５１２又はステップＳ５１４の処理を実行する演出制御用ＣＰＵ１２０など）と、を備え、
前記表示態様変化手段は、前記特別画像において変化可能な複数種別の表示態様（例えば、表示図形及び形状といった２つの種別の表示態様など）のうちの第１種別の表示態様（例えば、表示図形など）を、前記開始条件が成立した可変表示に基づいて前記有利状態に制御されるか否かに応じて異なる割合（例えば、図１４に示す割合など）で変化させ、該第１種別とは異なる第２種別の表示態様（例えば、形状など）を、該第１種別の表示態
様が変化するか否かに応じて異なる割合（例えば、図１５〜図１７に示す割合など）で変化させ、
前記第１種別の表示態様と前記第２種別の表示態様とを同時に視認可能に変化可能であり、
前記第１種別の表示態様と前記第２種別の表示態様は、同一の前記特別画像に対応した表示形態である、
ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成29年12月25日(2017.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面状の座面（３２ａ）を形成している締結部材（３０）により移動体（２）内の基台（４）に締結され、投影ユニット（１０）から表示光像（１００）が投影されることにより、前記表示光像を前記移動体内の乗員（６）から視認可能に虚像表示させるコンバイナ（２０）であって、
投影領域（２７）が設定され、前記投影領域に投影された前記表示光像を反射して虚像表示させる両反射面（２１，２２）を、曲面状に形成している投影本体（２５）と、
前記投影本体から突出しており、挿通された前記締結部材により前記基台に締結される締結突起（２６）として、前記座面に面接触する平面状の締結面（２９ｂ）を形成している締結突起とを、備え、
前記両反射面のそれぞれに沿って前記締結突起の突出側に延長される一対の仮想延長曲面（Ｓ１，Ｓ２）を、想定した場合に、
前記締結突起は、少なくとも一方の前記仮想延長曲面から外れる箇所にて前記締結面を形成している締結部（２９）を、有し、
上下方向に延伸する仮想鉛直面（Ｓｈ）を、想定した場合に、
前記締結部は、前記投影本体の重心（Ｇ）を通る前記仮想鉛直面上に位置するコンバイナ。
【請求項２】
前記締結突起は、少なくとも一方の前記仮想延長曲面が通過する箇所にて前記投影本体と前記締結部との間を中継している中継部（２８）を、有する請求項１に記載のコンバイナ。
【請求項３】
前記締結突起は、前記投影本体における横方向の複数箇所から下方へ突出して、締結先の前記基台により下方から支持される請求項１又は２に記載のコンバイナ。
【請求項４】
前記基台は、前記表示光像の前記乗員からの視認を許容する許容位置（Ｐｐ）と、当該視認を規制する規制位置（Ｐｃ）との間にて、駆動可能であり、
前記締結突起は、前記基台及び前記投影本体と共に駆動される請求項１〜３のいずれか一項に記載のコンバイナ。
【請求項５】
前記投影本体と前記締結突起とは一体に樹脂成形されており、
前記投影本体は、ゲートカット部（２４）を有する請求項１〜４のいずれか一項に記載のコンバイナ。
【請求項６】
前記基台は、平面状の基面（４ａ）を有し、
前記締結突起は、前記基面に面接触する平面状の突起面（２９ａ）を、形成している請求項１〜５のいずれか一項に記載のコンバイナ。
【請求項７】
平面状の座面（３２ａ）を形成している締結部材（３０）により移動体（２）内の基台（４）に締結されるコンバイナ（２０）を含み、前記コンバイナへ投影ユニット（１０）から表示光像（１００）を投影することにより、前記表示光像を前記移動体内の乗員（６）から視認可能に虚像表示させるヘッドアップディスプレイ装置（１）であって、
前記コンバイナは、
投影領域（２７）が設定され、前記投影領域に投影された前記表示光像を反射して虚像表示させる両反射面（２１，２２）を、曲面状に形成している投影本体（２５）と、
前記投影本体から突出しており、挿通された前記締結部材により前記基台に締結される締結突起（２６）として、前記座面に面接触する平面状の締結面（２９ｂ）を形成している締結突起とを、備え、
前記両反射面のそれぞれに沿って前記締結突起の突出側に延長される一対の仮想延長曲面（Ｓ１，Ｓ２）を、想定した場合に、
前記締結突起は、少なくとも一方の前記仮想延長曲面から外れる箇所にて前記締結面を形成している締結部（２９）を、有し、
上下方向に延伸する仮想鉛直面（Ｓｈ）を、想定した場合に、
前記締結部は、前記投影本体の重心（Ｇ）を通る前記仮想鉛直面上に位置するヘッドアップディスプレイ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上述の課題を解決するために開示された第一発明は、
平面状の座面（３２ａ）を形成している締結部材（３０）により移動体（２）内の基台（４）に締結され、投影ユニット（１０）から表示光像（１００）が投影されることにより、表示光像を移動体内の乗員（６）から視認可能に虚像表示させるコンバイナ（２０）であって、
投影領域（２７）が設定され、投影領域に投影された表示光像を反射して虚像表示させる両反射面（２１，２２）を、曲面状に形成している投影本体（２５）と、
投影本体から突出しており、挿通された締結部材により基台に締結される締結突起（２６）として、座面に面接触する平面状の締結面（２９ｂ）を形成している締結突起とを、備え、
両反射面のそれぞれに沿って締結突起の突出側に延長される一対の仮想延長曲面（Ｓ１，Ｓ２）を、想定した場合に、
締結突起は、少なくとも一方の仮想延長曲面から外れる箇所にて締結面を形成している締結部（２９）を、有し、
上下方向に延伸する仮想鉛直面（Ｓｈ）を、想定した場合に、
締結部は、投影本体の重心（Ｇ）を通る仮想鉛直面上に位置する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、上述の課題を解決するために開示された第二発明は、
平面状の座面（３２ａ）を形成している締結部材（３０）により移動体（２）内の基台（４）に締結されるコンバイナ（２０）を含み、コンバイナへ投影ユニット（１０）から表示光像（１００）を投影することにより、表示光像を移動体内の乗員（６）から視認可能に虚像表示させるヘッドアップディスプレイ装置（１）であって、
コンバイナは、
投影領域（２７）が設定され、投影領域に投影された表示光像を反射して虚像表示させる両反射面（２１，２２）を、曲面状に形成している投影本体（２５）と、
投影本体から突出しており、挿通された締結部材により基台に締結される締結突起（２６）として、座面に面接触する平面状の締結面（２９ｂ）を形成している締結突起とを、備え、
両反射面のそれぞれに沿って締結突起の突出側に延長される一対の仮想延長曲面（Ｓ１，Ｓ２）を、想定した場合に、
締結突起は、少なくとも一方の仮想延長曲面から外れる箇所にて締結面を形成している締結部（２９）を、有し、
上下方向に延伸する仮想鉛直面（Ｓｈ）を、想定した場合に、
締結部は、投影本体の重心（Ｇ）を通る仮想鉛直面上に位置する。
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月24日(2018.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【特許文献１】特開２０１２−２１０７７３号公報
【特許文献２】特開２０１５−１６３４７５号公報
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
第１１態様によれば、第１態様と同様の効果を得ることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５６】
図２に示された異常検出部１２６が用いられる異常検出は、以下の手順に従い実行される。まず、図１に示された液体吐出ヘッド５６Ｃ、液体吐出ヘッド５６Ｍ、液体吐出ヘッド５６Ｙ、及び液体吐出ヘッド５６Ｋが用いられて媒体にテストパターンが形成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５７】
次に、媒体に形成されたテストパターンがインラインセンサ５８を用いて読み取られる。異常検出部１２６が用いられてテストパターンの読取結果が表されるインラインセンサ５８の出力信号が取得される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９４】
ヘッドモジュール２００は、圧力室２１８の容積の変化に伴う圧力変化によりノズル連通路２２０を介してノズル開口２８０からインク液滴を吐出させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０４】
図７に示されたパラメータ設定部１３３は、制御部３００が備えられている。制御部３００は、パラメータ設定部１３３の各部を統括的に制御する。制御部３００は、図２に示されたシステムコントローラ１００と兼用されてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２８２】
上記［表１］より、ノズル部２８１ごとの標準偏差σｔの中央値σＭＥＤは０．４０マイクロメートルなので、使用される媒体の種類はグロス紙と判定される。そして、図７に示された記録パラメータ設定部３５０では、グロス紙に対応する記録パラメータの設定が可能である。また、異常検出パラメータ設定部３５４では、グロス紙に対応する異常検出パラメータの設定が可能である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３１１】
複数の吐出異常検出モードが具備される場合、吐出異常検出モードごとに定数Ａの値が決められており、吐出異常検出モード設定部において吐出異常検出モード設定されると、図７に示された異常検出パラメータ設定部３５４では、自動的に定数Ａの値が設定され、吐出異常検出閾値が自動的に設定される態様が好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月6日(2018.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートクッションとシートバックとヘッドレストを備えた車両用シートであって、
前記シートクッションとシートバックとヘッドレストとの何れかは、
ウレタンパッドの表面を表皮部材で覆った構造を有し、
前記ウレタンパッドと前記表皮部材とは一体成型により部分的に接着されて形成されて
いることを特徴とする車両用シート。
【請求項２】
請求項１記載の車両用シートであって、前記ウレタンパッドと前記表皮部材との部分的
に接着されている部分以外の部分には、前記ウレタンパッドと前記表皮部材との間にフィ
ルムが挿入されていることを特徴とする車両用シート。
【請求項３】
請求項１記載の車両用シートであって、前記ウレタンパッドと前記表皮部材との部分的
に接着されている部分以外の部分には、前記ウレタンパッドと前記表皮部材との間に前記
ウレタンパッドを構成するウレタンと前記一体成型する時に反応しない性質を有するフィ
ルムが挿入されていることを特徴とする車両用シート。
【請求項４】
請求項１記載の車両用シートであって、前記ウレタンパッドと前記表皮部材との部分的
に接着されている部分以外の部分の前記表皮部材の側には、前記ウレタンパッドと接する
面に前記ウレタンパッドを構成するウレタンと前記一体成型する時に反応しない性質を有
する材料が塗布されていることを特徴とする車両用シート。
【請求項５】
請求項１記載の車両用シートであって、前記表皮部材は表面を覆う表皮材と前記表皮材
の下のポリウレタンで形成されたクッション材と前記クッション材の裏面を覆う裏生地で
形成されており、前記裏生地は前記ウレタンパッドと接していて前記裏生地が部分的に前
記ウレタンパッドと接着していることを特徴とする車両用シート。
【請求項６】
シートクッションとシートバックとヘッドレストを備えた車両用シートであって、
前記シートクッションとシートバックとヘッドレストとの何れかは、
ウレタンパッドと前記ウレタンパッドの表面を覆う多層構造の表皮部材を有して前記ウ
レタンパッドと前記多層構造の表皮部材の前記ウレタンパッドの側の層とは部分的に接着
されて形成されていることを特徴とする車両用シート。
【請求項７】
請求項６記載の車両用シートであって、前記ウレタンパッドと前記多層構造の表皮部材
の前記ウレタンパッドの側の層とは、一体成型により部分的に接着されていることを特徴
とする車両用シート。
【請求項８】
請求項６記載の車両用シートであって、前記ウレタンパッドと前記多層構造の表皮部材
の前記ウレタンパッドの側の層との部分的に接着されている部分以外の部分には、前記ウ
レタンパッドと前記多層構造の表皮部材の前記ウレタンパッドの側の層との間にフィルム
が挿入されていることを特徴とする車両用シート。
【請求項９】
請求項７記載の車両用シートであって、前記ウレタンパッドと前記多層構造の表皮部材
の前記ウレタンパッドの側の層との部分的に接着されている部分以外の部分には、前記ウ
レタンパッドと前記多層構造の表皮部材の前記ウレタンパッドの側の層との間に前記ウレ
タンパッドを構成するウレタンと前記一体成型する時に反応しない性質を有するフィルム
が挿入されていることを特徴とする車両用シート。
【請求項１０】
請求項７記載の車両用シートであって、前記ウレタンパッドと前記多層構造の表皮部材
の前記ウレタンパッドの側の層との部分的に接着されている部分以外の前記多層構造の表
皮部材の前記ウレタンパッドの側の層の側の面には、前記ウレタンパッドを構成するウレ
タンと前記一体成型する時に反応しない性質を有する材料が塗布されていることを特徴と
する車両用シート。
【請求項１１】
請求項６記載の車両用シートであって、前記多層構造の表皮部材は表面を覆う表皮材と
前記表皮材の下のポリウレタンで形成されたクッション材と前記クッション材の裏面を覆
う裏生地で形成されており、前記裏生地は前記ウレタンパッドと接していて前記裏生地が
部分的に前記ウレタンパッドと接着していることを特徴とする車両用シート。
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月29日(2018.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
船体内において前記船体の前後方向における端部に位置する区画空間と、前記区画空間に対して前記前後方向に隣接する空所部と、が設けられる船舶であって、
前記区画空間と前記空所部とを区画する区画壁を備え、
前記区画壁は、前記船体の外板に連結され、
前記区画壁と前記船体の外板とがなす前記端部側の連結角度は、前記前後方向と直交する幅方向に延長する仮想線と前記船体の外板とがなす前記端部側の角度よりも大きい、
船舶。
【請求項２】
前記連結角度は、７５°以上１０５°以下である、請求項１記載の船舶。
【請求項３】
前記区画壁は、前記船体の外板からの圧力を分力する分力板に連結されている、請求項１又は２記載の船舶。
【請求項４】
前記仮想線は、前記前後方向において、前記区画壁のうちの前記空所部に最も近い位置から前記幅方向に延長する、請求項１から３のいずれか１項記載の船舶。
【請求項５】
前記区画壁は、前記幅方向に延在する中央壁と、前記船体の外板と連結される側壁と、を有し、
前記仮想線は、前記中央壁を前記幅方向に延長したものである、請求項１から４のいずれか１項記載の船舶。
【請求項６】
チェーンを格納するチェーンロッカーを更に有し、
前記側壁と前記中央壁は、それぞれ前記チェーンロッカーに連結されている、請求項５記載の船舶。
【請求項７】
前記区画空間は、前記空所部よりも船首側に位置する、請求項１から６のいずれか１項記載の船舶。
【手続補正書】
【提出日】平成30年1月10日(2018.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウインチと、ウインチに巻き掛けられて先端側が所定位置から垂下されるワイヤロープと、ワイヤロープに吊り下げられるフックブロックと、所定位置側及びフックブロック側の少なくともフックブロック側に設けられ、所定位置側及びフックブロック側の一方から他方に向かって延びるワイヤロープを他方から一方に向かって延びるように向きを変えるシーブと、を備え、所定位置から垂下されたワイヤロープをシーブに掛け回すとともに、ワイヤロープの端部を所定位置側またはフックブロック側に固定し、ウインチによるワイヤロープの繰り出し動作及び巻き上げ動作を行うことでフックブロックを上下方向に移動させるクレーン装置において、
所定位置とフックブロックとの間に位置するワイヤロープにおける上下方向に延びる部分である３以上の上下延伸部の互いの間隔を保持する間隔保持部材を備え、
間隔保持部材は、
フックブロックを上下方向の一方に移動させる際に、ワイヤロープが上下方向の一方に向かって移動する上下延伸部に接して転動する第１シーブと、
フックブロックを上下方向の一方に移動させる際に、上下方向の他方に向かってワイヤロープが移動する上下延伸部、または、ワイヤロープが移動しない上下延伸部に接して転動する第２シーブと、
第１シーブ及び第２シーブが接する上下延伸部以外の上下延伸部を案内するガイドローラと、を有し、
第１シーブ及び第２シーブを互いに連動させることで、所定位置とフックブロックとの間隔の変化に応じて、所定位置とフックブロックとの間を上下方向に移動する
ことを特徴とするクレーン装置のワイヤロープ絡まり防止構造。
【請求項２】
第１シーブ及び第２シーブは、互いに異なる径方向寸法を有し、それぞれの回転中心が軸方向に重なる位置で互いに固定されることで連動する
ことを特徴とする請求項１に記載のクレーン装置のワイヤロープ絡まり防止構造。
【請求項３】
第１シーブ及び第２シーブは、動力伝達部材を介して互いが連結されることで連動する
ことを特徴とする請求項１に記載のクレーン装置のワイヤロープ絡まり防止構造。
【請求項４】
間隔保持部材は、上下方向に移動するフックブロックと所定位置との中間部に位置する
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のクレーン装置のワイヤロープ絡まり防止構造。
【請求項５】
間隔保持部材には、クレーン装置による作業の際に使用される機器が取り付けられている
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のクレーン装置のワイヤロープ絡まり防止構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、前記目的を達成するために、ウインチと、ウインチに巻き掛けられて先端側が所定位置から垂下されるワイヤロープと、ワイヤロープに吊り下げられるフックブロックと、所定位置側及びフックブロック側の少なくともフックブロック側に設けられ、所定位置側及びフックブロック側の一方から他方に向かって延びるワイヤロープを他方から一方に向かって延びるように向きを変えるシーブと、を備え、所定位置から垂下されたワイヤロープをシーブに掛け回すとともに、ワイヤロープの端部を所定位置側またはフックブロック側に固定し、ウインチによるワイヤロープの繰り出し動作及び巻き上げ動作を行うことでフックブロックを上下方向に移動させるクレーン装置において、所定位置とフックブロックとの間に位置するワイヤロープにおける上下方向に延びる部分である３以上の上下延伸部の互いの間隔を保持する間隔保持部材を備え、間隔保持部材は、フックブロックを上下方向の一方に移動させる際に、ワイヤロープが上下方向の一方に向かって移動する上下延伸部に接して転動する第１シーブと、フックブロックを上下方向の一方に移動させる際に、上下方向の他方に向かってワイヤロープが移動する上下延伸部、または、ワイヤロープが移動しない上下延伸部に接して転動する第２シーブと、第１シーブ及び第２シーブが接する上下延伸部以外の上下延伸部を案内するガイドローラと、を有し、第１シーブ及び第２シーブを互いに連動させることで、所定位置とフックブロックとの間隔の変化に応じて、所定位置とフックブロックとの間を上下方向に移動する。
【手続補正書】
【提出日】平成30年10月24日(2018.10.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図９に示されるように、ボビン１００は、円筒部１１０と、複数の鍔部１２０と、二つの歯車１３０とを有している。円筒部１１０は、第１方向（Ｘ方向、軸方向）に延びる中心軸を有している。円筒部１１０の外周面上にコイル２１０，２２０が巻回されることにより、コイル２１０の軸は円筒部１１０の中心軸に一致する。鍔部１２０は、中心軸に直交する径方向において、円筒部１１０の外周面から外側へ向かって広がっている。鍔部１２０には、その目的に応じて、いくつかの切り欠きが形成されている。図１、図２及び図４から理解されるように、Ｘ方向において中央寄りの六つの鍔部１２０は、円筒部１１０に巻回されるコイル２１０，２２０のＸ方向の位置を規定する。特に、Ｘ方向において最も内側に位置する二つの鍔部１２０、即ち、内側鍔１２２は、Ｘ方向において、コイル２１０，２２０の間の距離を規定する。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月6日(2018.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極を有するプラズマ処理装置であって、
予め定められた周波数を有する設定周波数成分を含む波形データを用いて、プラズマ生成用の高周波を生成する高周波生成部と、
前記高周波生成部により生成された前記高周波を前記電極に伝送する経路において前記高周波に付与される歪み成分を抽出する歪み成分抽出部と、
前記歪み成分の位相を逆転して得られる逆位相成分を、前記高周波生成部における前記高周波の生成に用いられる波形データの前記設定周波数成分に合成することによって、前記波形データを補正する波形補正部と
を有することを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
前記歪み成分抽出部は、
前記電極に印加される前記高周波の電力、前記高周波の電力と前記高周波がプラズマで反射された反射波の電力との差分、又は前記電極の電圧値に関して、波形を取得する波形取得部と、
前記波形をフーリエ変換することによって、前記波形に含まれる複数の周波数成分を抽出するフーリエ変換部と、
前記複数の周波数成分と、前記設定周波数成分とを比較することによって、前記設定周波数成分以外の周波数成分を前記歪み成分として抽出する比較部と
を有することを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記歪み成分抽出部は、
前記高周波生成部により生成された前記高周波を前記電極に伝送する経路の電圧を前記電極の電圧値として測定する電圧測定部をさらに有し、
前記波形取得部は、
前記電圧測定部により測定された前記経路の電圧に関して、波形を取得することを特徴とする請求項２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記電極は、被処理体の載置台として機能し、
前記電極上には、前記被処理体を静電力により吸着する静電チャックが設けられ、
前記歪み成分抽出部は、
前記静電チャックの電圧を前記電極の電圧値として測定する電圧測定部をさらに有し、
前記波形取得部は、
前記電圧測定部により測定された前記静電チャックの電圧に関して、波形を取得することを特徴とする請求項２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記電極は、被処理体の載置台として機能し、
前記電極上には、前記被処理体が載置される領域を囲むようにフォーカスリングが設けられ、
前記歪み成分抽出部は、
前記フォーカスリングの電圧を前記電極の電圧値として測定する電圧測定部をさらに有し、
前記波形取得部は、
前記電圧測定部により測定された前記フォーカスリングの電圧に関して、波形を取得することを特徴とする請求項２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
電極を備えたプラズマ処理装置における波形補正方法であって、
予め定められた周波数を有する設定周波数成分を含む波形データを用いて、プラズマ生成用の高周波を生成し、
生成された前記高周波を前記電極に伝送する経路において前記高周波に付与される歪み成分を抽出し、
前記歪み成分の位相を逆転して得られる逆位相成分を、前記高周波の生成に用いられる波形データの前記設定周波数成分に合成することによって、前記波形データを補正する
ことを特徴とする波形補正方法。