【事件の表示】
　平成　７年特許願第　３０２８０号「ポリシングプレートの加圧方法」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年　８月　６日出願公開、特開平　８−１９７４１０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明　 
　本願は、平成７年１月２７日の出願であって、その請求項１に係る発明は、願書に添付した明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。（以下、「本願発明」という。） 
「ポリシングクロスを張着させ且つ一方の回転軸に軸着されたポリシングプレートと、他方の回転軸に軸着されたベースプレートと、前記ポリシングプレートと前記ベースプレートとの間で研磨されるワークと、該ワークを内抱するように周設させた頂面を平坦面としたコントロールリングとを具備した研磨装置を用いて、前記ベースプレートへワークの非研磨面を吸着又は貼着させると共に、該コントロールリングを流体加圧手段で加圧調整させることによって、該コントロールリングの頂面により前記ポリシングプレートを下方より押圧調整することを特徴とするポリシングプレートの加圧方法。」
 　 
２．引用例記載の発明（事項）及び従来周知の事項 
　これに対し、当審において平成１６年８月１０日付けで通知した拒絶の理由に引用した、本願出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開昭５５−１５７４７３号公報（以下、「引用例１」という。）には、以下の事項が記載されていると認められる。
（ア）第２頁右上欄第１５行−左下欄第１３行
「・・・加工物１を接着する加工物接着皿２・・・。また、研摩空間を閉塞し、前記研摩液の貯溜と、塵埃のまきこみの防止のため、前記加工物接着皿２の外周に滑合する修正輪６を設ける。該修正輪６の下端面は切れ目のない平坦面とし、ポリシヤ５の表面に前記修正輪６の自重で押圧されるので、ポリシヤ５は修正輪６の下端面と密着しながら弾性変形し、第５図に示すように、修正輪６とポリシヤ５および加工物接着皿２の下端面とで研摩空間が閉塞されることになる。・・・ポリシヤ５を表面に具える定盤４を回転してポリシングが行なわれる。」
（イ）第２頁左下欄第１９行−右下欄第７行
「以上、説明した本発明にかかるポリシング方法では、修正輪６を用いることにより、その自重によりポリシヤ５を弾性変形させ、研摩空間を閉塞することができるので、・・・研摩空間の内側から外側への流れや、逆に外側から内側への流れを制限することができる。」
（ウ）第３頁左上欄第３−１１行
「さらに、修正輪６がその自重によりポリシヤ５の表面を弾性変形させることは前述したが、研摩空間を閉塞するだけでなく、加工物１の周辺に到達したポリシヤ５の表面は、あらかじめ圧縮された状態となつているので、加工物１の周辺と中央部とでポリシヤ５による押圧力に差がなくなり、加工物１の周辺だれを減少することができ、平面度の優れたポリシングが行なえるなど多大な利点がある。」
　以上のとおりであるので、上記（ア）−（ウ）の摘記事項及び第３−５図の記載からみて、引用例１には、
「ポリシヤ５を表面に具え且つ回転駆動される定盤４と、加工物接着皿２と、前記定盤４と前記加工物接着皿２との間で研摩される加工物１と、加工物接着皿２の外周に滑合する下端面を平坦面とした修正輪６とを具備した研摩装置を用いて、前記加工物接着皿２へ加工物１の非研摩面を接着させ、修正輪６の下端面により前記定盤４を上方より押圧する定盤４の加圧方法。」（以下、「引用例１記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
　また、同じく、本願出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開昭４８−３３４９１号公報（以下、「引用例２」という。）には、以下の事項が記載されていると認められる。
（エ）第２頁左上欄第１−８行
「すなわち、本発明は、上面に布、革、フエルト等の軟い材料を装着した回転ラツプ上に工作物を載置し、少なくとも研磨料と所定の押圧下でポリツシングするものにおいて、前記工作物のまわりに所定の間隙を有する摩耗リングを配し、所定の押圧下で前記工作物と前記リングとを前記ラツプ上に対し、互いに独立して上下動しながらポリツシングするポリツシ加工法にその特徴がある。」
（オ）第２頁左上欄第１４−１８行
「回転ラツプ１０の上面１０’に厚いフエルト１１が貼付してあり、このフエルト１１上に工作物２０を載置する。この工作物２０は環状の内周摩耗リング１２と環状の外周摩耗リング１３との間に位置され、・・・」
（カ）第２頁右上欄第１４−１６行
「前記工作物２０をラツプ１０に押圧するための重錘１５は空気圧ピストンあるいはばねに置き換えることが可能であり、・・・」
（キ）第２頁右上欄第１９−２０行
「・・・本発明によると工作物の周縁部の研削だれが防止される効果を有している。」
（ク）第２頁左下欄第１−７行
「第３図は工作物の研削面のだれと曲りを示し、第４図は摩耗リングの面圧と工作物の面圧との比に対するだれの関係を示すものであつて、これによると両者の面圧の比が零、すなわち摩耗リングがない場合には１５μのだれが生じるのに対し、面圧比を０・５乃至１・５にとるとだれを２μ以下におさえることができる。」
　以上のとおりであるので、上記（エ）−（ク）の摘記事項及び第２−４図の記載からみて、引用例２には、
「上面に布、革、フエルト等の軟い材料を装着した回転ラツプ上に工作物を載置し、所定の押圧下でポリツシングするものであって、前記工作物のまわりに所定の間隙を有する摩耗リングを配し、所定の押圧下で、工作物と摩耗リングとを前記ラツプ上に対し、互いに独立して上下動しながらポリツシングすること、前記工作物は空気圧ピストンにより上下動させられること、及び前記摩耗リングは工作物のだれをおさえるものであること。」（以下、「引用例２記載の事項」という。）が記載されていると認められる。
　さらに、本願出願前に以下の事項が周知である。
「研磨クロスとワークの両者を回転駆動して研磨を行うこと。」（以下、「従来周知の事項１」という。なお、必要であれば、特開平２−２９４０３２号公報の第２頁左下欄第１−６行の記載等を参照。）、及び「研磨部材とワークとの上下位置関係が変更可能であること。」（以下、「従来周知の事項２」という。なお、必要であれば、特開平６−３２０４１５号公報の第１欄第４３行−第２欄第１行の記載、特開昭５７−１５６１６６号公報の第２頁右上欄第１４−１５行の記載等を参照。）
　　　
３．対比 
　そこで、本願発明と引用例１記載の発明とを対比すると、後者の「ポリシヤ５」は前者の「ポリシングクロス」に、後者の「定盤４」は前者の「ポリシングプレート」に、後者の「加工物接着皿２」は前者の「ベースプレート」に、後者の「研摩」は前者の「研磨」に、後者の「加工物１」は前者の「ワーク」に、後者の「修正輪６」は前者の「コントロールリング」に、それぞれ相当する。 
　また、後者の「ポリシャ５を表面に具え且つ回転駆動される定盤４」と前者の「ポリシングクロスを張着させ且つ一方の回転軸に軸着されたポリシングプレート」は、「ポリシングクロスを表面に具え且つ回転駆動されるポリシングプレート」である点で一致しており、後者の「加工物接着皿２の外周に滑合する下端面を平坦面とした修正輪６」と前者の「ワークを内抱するように周設させた頂面を平坦面としたコントロールリング」とは、「ワークを内抱するように周設させた端面を平坦面としたコントロールリング」である点で一致しており、後者の「加工物接着皿２へ加工物１の非研摩面を接着させる」と前者の「ベースプレートへワークの非研磨面を吸着又は貼着させる」とは、「ベースプレートへワークの非研磨面を固定させる」点で一致している。 
　そうすると、本願発明と引用例１記載の発明とは、 
「ポリシングクロスを表面に具え且つ回転駆動されるポリシングプレートと、ベースプレートと、前記ポリシングプレートと前記ベースプレートとの間で研磨されるワークと、該ワークを内抱するように周設させた端面を平坦面としたコントロールリングとを具備した研磨装置を用いて、前記ベースプレートへワークの非研磨面を固定させ、該コントロールリングの端面により前記ポリシングプレートを押圧するポリシングプレートの加圧方法。」
である点で一致し、以下の点で相違する。 
〈相違点１〉前者は、ベースプレートが回転軸に軸着されているのに対し、後者は、そのようになっていない点。 
〈相違点２〉前者は、コントロールリングを流体加圧手段で加圧調整させることによって、該コントロールリングの端面によりポリシングプレートを押圧調整するのに対し、後者は、コントロールリングを加圧調整する手段を有しない点。 
〈相違点３〉前者は、コントロールリングの端面によりポリシングプレートを下方より押圧するのに対し、後者は、ポリシングプレートを上方より押圧する点。 
 　 
４．当審の判断 
（１）相違点１について 
　研磨クロスとワークの両者を回転駆動して研磨を行うことは、従来周知の事項１である。
　そうすると、引用例１記載の発明において従来周知の事項１を採用し、相違点１に係る本願発明の構成とすることは、当業者が容易になし得ることである。 
（２）相違点２について 
　ポリシングクロスを表面に具えたポリシングプレートとベースプレートとの間で該ベースプレートへ固定させたワークを研磨する装置において、ワークを内抱するように周設されたリングを該ワークと独立して上下動させること、及びワークを上下動させる手段として空気圧ピストンを用いることは、引用例２に記載されている。 
　そうすると、引用例１記載の発明と引用例２記載の事項が、ポリシングクロスによるワークの研磨において同一の技術分野に属するものであり、且つ引用例１に記載された「修正輪」と引用例２に記載された「摩耗リング」が、ポリシングクロスの弾性変形により生じるワークのだれを防止する点で共通の機能を有するものであることから、引用例１記載の発明に引用例２記載の事項を適用する点に格別の困難性は見い出せないし、引用例２には、摩耗リングを上下動させる手段について特に記載はされていないが、ワークを上下動させる手段として空気圧ピストンを用いる点について言及されており、また摩耗リングを上下動させる手段として空気圧ピストンを用いることを、特に阻害する要因も見当たらないことから、上記引用例１記載の発明に引用例２記載の事項を適用するに際し、コントロールリングを加圧調整させる手段として空気圧ピストンのような流体加圧手段を採用することで、相違点２に係る本願発明の構成とすることは、当業者が容易になし得ることである。 
（３）相違点３について 
　研磨部材とワークとの上下位置関係が変更可能であることは、従来周知の事項２である。
　そうすると、引用例１記載の発明に従来周知の事項２を適用することで、相違点３に係る本願発明の構成とすることは、当業者が容易になし得るものである。
　（４）本願発明の作用効果について 
　本願発明の作用効果は、引用例１記載の発明及び引用例２記載の事項並びに従来周知の事項から当業者が予測できる範囲のものである。
　なお、審判請求人は、平成１６年１０月２５日付け意見書において、本願発明は「極薄で拡径され、少しの圧力や衝撃で、割れたり、欠けたりする半導体ウエハをミクロン単位で撫でるようにして研磨するものであり、その為には、本願発明のように『下方に位置させたワークの上面をコントロールリングで押圧調整しながらポリシングクロスで研磨する』ことが必要となるもので、特に、ワークである半導体ウエハとポリシングクロスとが強く接触させることなく圧力を微少に調整できるものである。」旨主張しているが、コントロールリングで押圧調整するポリシングクロスによりワークを研磨するに際し、下方に位置させたワークの上面を研磨する場合と、上方に位置させたワークの下面を研磨する場合とで、作用効果上格別な差異が生じるものとは認めがたく、したがって、上記審判請求人の主張は認められない。
 　 
５．むすび 
　したがって、本願発明は、引用例１記載の発明及び引用例２記載の事項並びに従来周知の事項から当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 
　よって、結論のとおり審決する。