【手続補正書】
【提出日】平成30年9月25日(2018.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１クラッド層と、
前記第１クラッド層に形成された溝部と、
前記溝部に埋め込まれたコア層と、
前記第１クラッド層及び前記コア層の上に形成された第２クラッド層と
を有し、
前記コア層の上面は水平面となっており、
前記第２クラッド層の厚みは全体にわたって均一であり、
前記コア層の一端の幅及び厚みが前記コア層の他端の幅及び厚みよりも大きいことを特徴とする光導波路。
【請求項２】
前記溝部の底面が傾斜しており、
前記コア層の一端が配置された前記溝部の深さが、前記コア層の他端が配置された前記溝部の深さよりも深いことを特徴とする請求項１に記載の光導波路。
【請求項３】
複数の前記コア層が横方向に並んで配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の光導波路。
【請求項４】
第１クラッド層と、
前記第１クラッド層に形成された溝部と、
前記溝部に埋め込まれたコア層と、
前記第１クラッド層及び前記コア層の上に形成された第２クラッド層と
を有し、前記コア層の一端の幅及び厚みが前記コア層の他端の幅及び厚みよりも大きい光導波路と、
前記光導波路のコア層の一端に光結合された第１の光ファイバ又は光素子と、
前記コア層の他端に光結合された第２の光ファイバと
を有することを特徴とする光導波路装置。
【請求項５】
配線基板と、
前記配線基板の上に形成され、
第１クラッド層と、
前記第１クラッド層に形成された溝部と、
前記溝部に埋め込まれたコア層と、
前記第１クラッド層及び前記コア層の上に形成された第２クラッド層と
を有し、前記コア層の上面は水平面となっており、前記第２クラッド層の厚みは全体にわたって均一であり、前記コア層の一端の幅及び厚みが前記コア層の他端の幅及び厚みよりも大きい光導波路と、
前記光導波路のコア層の一端に光結合された光路変換ミラーと、
前記配線基板に接続され、前記光路変換ミラーを介して前記コア層の一端に光結合された光素子と、
前記コア層の他端に光結合された光ファイバと
を有することを特徴とする光導波路装置。
【請求項６】
基板の上に第１クラッド層を形成する工程と、
前記第１クラッド層に、一端の幅及び深さが他端の幅及び深さよりも大きい溝部を形成する工程と、
前記溝部にコア層を埋め込んで形成する工程と、
前記第１クラッド層及び前記コア層の上に第２クラッド層を形成する工程と
を有し、
前記コア層の上面が水平面となって形成され、前記第２クラッド層の厚みが全体にわたって均一に形成され、前記コア層の一端の幅及び厚みが前記コア層の他端の幅及び厚みよりも大きく形成されることを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項７】
前記溝部を形成する工程は、
一端の幅が他端の幅よりも大きい長手形状の光通過部を備えたマスクと、遮蔽板とを用意し、
前記第１クラッド層の上に前記マスクを配置し、前記マスクの光通過部を前記遮蔽板で遮蔽し、
前記マスクの光通過部の一端から他端に向けて前記遮蔽板を一定の速度で移動させながら、前記遮蔽板から露出する前記光通過部を通して、レーザを前記第１クラッド層に照射することを含むことを特徴とする請求項６に記載の光導波路の製造方法。
【請求項８】
前記第２クラッド層を形成する工程の後に、
前記基板を除去する工程を有することを特徴とする請求項６又は７に記載の光導波路の製造方法。
【請求項９】
前記基板は、配線基板であることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の光導波路の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
以下の開示の一観点によれば、第１クラッド層と、前記第１クラッド層に形成された溝部と、前記溝部に埋め込まれたコア層と、前記第１クラッド層及び前記コア層の上に形成された第２クラッド層とを有し、前記コア層の上面は水平面となっており、前記第２クラッド層の厚みは全体にわたって均一であり、前記コア層の一端の幅及び厚みが前記コア層の他端の幅及び厚みよりも大きい光導波路が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
さらに、その開示の他の観点によれば、基板の上に第１クラッド層を形成する工程と、前記第１クラッド層に、一端の幅及び深さが他端の幅及び深さよりも大きい溝部を形成する工程と、前記溝部にコア層を埋め込んで形成する工程と、前記第１クラッド層及び前記コア層の上に第２クラッド層を形成する工程とを有し、前記コア層の上面が水平面となって形成され、前記第２クラッド層の厚みが全体にわたって均一に形成され、前記コア層の一端の幅及び厚みが前記コア層の他端の幅及び厚みよりも大きく形成される光導波路の製造方法が提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
第１の光ファイバ４０は、短距離伝送用のマルチモードのファイバであり、コア４０ａの直径は５０μｍ程度である。光導波路１のコア層２２の一端Ｅ１の断面サイズは、第１の光ファイバ４０のコア４０ａと低損失で光結合できるように、例えば３０μｍ×３０μｍ程度に設定される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
また、第２の光ファイバ４２は、長距離伝送用のシングルモードのファイバであり、コア４２ａの直径は１０μｍ程度である。光導波路１のコア層２２の他端Ｅ２の断面サイズは、第２の光ファイバ４２のコア４２ａに低損失で光結合できるように、例えば２μｍ×２μｍ程度に設定される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
このように、本実施形態の光導波路１では、一端Ｅ１と他端Ｅ２とで断面サイズが異なるコア層２２を容易に形成することができる。これにより、コア４０ａ，４２ａの直径が異なる第１の光ファイバ４０と第２の光ファイバ４２とを光導波路１に低損失で光結合することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
このため、特に、直径が小さなコア４２ａを有する第２の光ファイバ４２の光結合部の光損失を低減させることができ、十分な光通信の性能を得ることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
あるいは、第１の光ファイバ４０の代わりに、光素子を光導波路１のコア層２２の一端Ｅ１に光結合させてもよい。光素子としては、半導体レーザ素子などの発光素子部品又はフォトダイオードなどの受光素子部品などがある。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
１…光導波路、２，２ａ…光導波路装置、１０…基板、２０…第１クラッド層、２０ａ…下地クラッド層、２０ｂ…埋込クラッド層、２２…コア層、２４…第２クラッド層、３０…メタルマスク、３０ａ，３４ｘ…光通過部、３２…遮蔽板、３４…ガラスマスク、３４ａ…ガラス基板、３４ｂ…遮光層、４０…第１の光ファイバ、４０ａ，４２ａ，４４ａ…コア、４０ｂ，４２ｂ，４４ｂ…クラッド、４２…第２の光ファイバ、４４…光ファイバ、５０…配線基板、６０…樹脂部品、７０…発光素子、７０ａ…発光部、７２…接続端子、７４…アンダーフィル樹脂、ＣＨ…コンタクトホール、Ｇ…溝部、Ｍ…光路変換ミラー、ＩＳ…傾斜面。