【事件の表示】
　平成　８年特許願第２８１２５４号「流体噴射装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　４月２８日出願公開、特開平１０−１１１５６１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成８年１０月３日の出願であって、平成１５年５月２２日付けで拒絶査定がなされ、平成１５年６月２６日付けで審判請求がなされるとともに、平成１５年７月２３日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１５年７月２３日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　　平成１５年７月２３日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　平成１５年７月２３日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）により、特許請求の範囲の請求項１は、
「流体を圧送して供給する第１の配管と、第１の配管からの流体の通過を開閉して制御する第１の制御弁と、第１の制御弁を経て吐出された流体をノズルへ供給する第２の配管とを備えた、ノズルから流体を噴射する流体噴射装置であって、第１の制御弁とノズルとの間の第２の配管を分岐し、第２の制御弁を介して減圧部を連結して設けており、流体の噴射停止時には、第１の制御弁を閉じると同時に、ないし第１の制御弁を閉じた後に、第２の制御弁を開いて、ノズルからの吸引向きがノズルからの吐出の向きとは逆の向きになるようにして、第２の配管を介して減圧部側に流体を吸引して、ノズル内に残った流体を外部に排出するものであり、前記流体噴射装置がフオトマスク製造用の現像装置であり、流体が現像液ないしリンス液である、あるいは、前記流体噴射装置がフオトマスク製造用のエッチング装置であり、流体がエッチング液ないしリンス液であることを特徴とする流体噴射装置。」
と補正された。
　上記補正は、補正前の請求項１の「第２の制御弁を開いて、第２の配管を介して減圧部側に流体を吸引して」を「第２の制御弁を開いて、ノズルからの吸引向きがノズルからの吐出の向きとは逆の向きになるようにして、第２の配管を介して減圧部側に流体を吸引して」と限定したものであり、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について検討する。
　
（２）刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６０−６２１２１号公報（以下、「引用刊行物」という。）には、
　「本発明は半導体素子製造工程における半導体基板（以下ウエハと呼ぶ）にフオトレジストを塗布処理をするフオトレジスト塗布装置内のフオトレジスト吐出装置に関するものである。」（第１頁左欄第１６〜１９行）
　「フオトレジスト吐出口先端の溜り量の垂れ落ちを防止するため、フオトレジスト吐出後、若干量のフオトレジストを引き戻す方法が採用されている。」（第１頁右欄第５〜８行）
　「図において、フオトレジスト吐出口１に空気作動弁等よりなる第１の開閉弁２及びフオトレジスト用フイルター３を介して、エアシリンダーとベローズ等による定量機能をもつたフオトレジストの主吐出手段４を配管接続し、フオトレジスト用フイルター３に空気作動弁等よりなる第２の開閉弁５を介して、エアシリンダーとベローズ等による定量機能をもつた引き戻し手段６を配管接続する。さらに第１の逆止弁７を介して第１の開閉弁２とフオトレジスト吐出口１との中間にフオトレジストの引き戻し手段６を主吐出手段４と並列に配管接続し、また、主吐出手段４に第２の逆止弁８を介してフオトレジスト吸引口９を設け、該吸引口９をフオトレジスト貯蔵容器１０に接続する。
　本発明によるフオトレジスト吐出装置の動作について説明する。まず、主吐出手段４と引き戻し手段６の吐出動作及び第１の開閉弁２と第２の開閉弁５の開動作を同時に行い、主吐出手段４からフオトレジストをフイルター３を通してフオトレジスト吐出口１に供給する。次に、一定時間経過後又は主吐出手段４及び引き戻し手段６の復帰行程動作の終了後、主吐出手段４の吸引動作及び第１の開閉弁２と第２の開閉弁５の閉動作を同時に行い、主吐出手段４により容器１０よりフオトレジストを吸い上げる。一定時間経過後又は主吐出手段４の吸引行程動作の終了後、引き戻し手段６の吸引動作を行い第１の開閉弁２からフオトレジスト吐出口１までの小さく閉ざされた空間内のフオトレジストを逆止弁７を介して引き戻すものである。」（第２頁右上欄第４行〜左下欄第１３行）
との記載とともに、図面としてフオトレジスト吐出装置の構成図が示されている。
　上記記載および図面を参照すると、引用刊行物には、
「フオトレジストをエアシリンダーとベローズ等による主吐出手段により（第１の）配管から供給し、（第１の）配管を通過したフオトレジストを開閉して制御する第１の開閉弁と、第１の開閉弁を経て吐出されたフオトレジストをフオトレジスト吐出口へ供給する（第２の）配管とを備えた、フオトレジスト吐出口からフオトレジストを吐出するフオトレジスト吐出装置であって、第１の開閉弁とフオトレジスト吐出口との間の（第２の）配管を分岐し、第１の逆止弁を介して引き戻し手段を連結して設けており、フオトレジスト吐出後は、第１の開閉弁を閉じ、引き戻し手段側にフオトレジストを吸引して、第１の開閉弁からフオトレジスト吐出口までのフオトレジストを第１の逆止弁を介して引き戻すようにしたものであり、前記フオトレジスト吐出装置が半導体素子製造工程におけるウエハ処理用のフオトレジスト塗布装置であり、フオトレジストを吐出することを特徴とするフオトレジスト吐出装置。」
の発明が記載されている。
　
（３）対比
　本願補正発明と引用刊行物記載の発明（以後、「引用発明」という。）を比較すると、引用発明における「フオトレジスト」は本願補正発明における「流体」に相当し、以下、同様に、「エアシリンダーとベローズ等による主吐出手段により供給」は「圧送して供給」に、「（第１の）配管」は「第１の配管」に、「第１の開閉弁」は「第１の制御弁」に、「フオトレジスト吐出口」は「ノズル」に、「（第２の）配管」は「第２の配管」に、「フオトレジスト吐出装置」は「流体噴射装置」に、「第１の逆止弁」は「第２の制御弁」に、「引き戻し手段」は「減圧部」に、（第１の開閉弁からフオトレジスト吐出口までのフオトレジストを逆止弁を介して）「引き戻す」は（ノズル内に残った液体を）「外部に排出する」にそれぞれ相当するので、両者は、
「流体を圧送して供給する第１の配管と、第１の配管を通過した流体を開閉して制御する第１の制御弁と、第１の制御弁を経て吐出された流体をノズルへ供給する第２の配管とを備えた、ノズルから流体を吐出する流体噴射装置であって、第１の制御弁とノズルとの間の第２の配管を分岐し、第２の制御弁を介して減圧部を連結して設けており、流体吐出後は第１の制御弁を閉じ、減圧部側に流体を吸引して、第１の制御弁からノズルまでの流体を第２の制御弁を介して外部に排出するようにした流体噴射装置。」
の点で一致するが、以下の点で相違する。
［相違点１］
　本願補正発明では、「流体の噴射停止時には、第１の制御弁を閉じると同時に、ないし第１の制御弁を閉じた後に、第２の制御弁を開いて」とされているのに対し、引用発明では、「第１の開閉弁を閉じ」とされているのみであり、第２の制御弁の開閉について特定がされていない点。
［相違点２］
　本願補正発明では、第１の制御弁を閉じ、第２の制御弁を開き、「ノズルからの吸引向きがノズルからの吐出の向きとは逆の向きになるようにして」いるのに対し、引用発明では、ノズルからの吸引の向きがノズルからの吐出の向きとの関連で特定されていない点。
［相違点３］
　本願補正発明では、流体噴射装置が「フオトマスク製造用」であるのに対し、引用発明では、「半導体素子製造工程におけるウエハ処理用」である点。
［相違点４］
　本願補正発明では、流体噴射装置が「現像装置」で、液体が「現像液あるいはリンス液」、もしくは、流体噴射装置が「エッチング装置」で、流体が「エッチング液もしくはリンス液」であるのに対し、引用発明では、流体噴射装置が「フオトレジスト塗布装置」であり、液体が「フオトレジスト」である点。
　
（４）当審の判断
　上記［相違点１］〜［相違点４］について検討する。
［相違点１］について
　本願補正発明では、流体の噴射停止時には、第１の制御弁を閉じ、第２の制御弁を開き、減圧部側に流体を吸引することから、開かれた第２の制御弁ではノズル側から減圧部側への流体の流れが生じるものである。
　引用発明では、フオトレジスト吐出後は、主吐出手段とフオトレジスト吐出口の間の第１の開閉弁を閉じ、引き戻し手段側にフオトレジストを吸引することで、フオトレジストは引き戻し側への流れる力が生じ、その力で「逆止弁」は「開」に相当する動作を行い、フオトレジスト吐出口側から引き戻し手段側にフオトレジストの流れが生じることになる。
　したがって、両発明は、構成上の相違は有るとしても弁により流体の流れを制御するという点で実質的な動作に差異はない。
　そして、逆止弁に替えて制御弁を採用して「開閉」動作を行わせるようにすることは当業者が容易に採用できる程度のものであり、それによる作用効果も格別のものではない。
［相違点２］について
　前記［相違点１］の検討において示したように、引用発明においては、第１の開閉弁の「閉」と引き戻し手段による吸引によりフオトレジストはフオトレジスト吐出口から逆止弁方向に吸引されることになる。
　とするならば、引用刊行物に明示的な記載がないとしても、引用発明は本願補正発明における「ノズルからの吸引向きがノズルからの吐出の向きとは逆の向き」に相当する動作がなされるので、［相違点２］は実質的な相違点ではない。
［相違点３］について
　本願明細書には、「本発明は、ノズルから流体を噴射する流体噴射装置に関するもので、特に、ＩＣ、ＬＳＩ等の半導体素子の製造に用いられるフオトマスクの製造における、現像液やエッチング液の噴射装置に関する。」（【０００１】段落）との記載があり、本願補正発明も引用発明も共に半導体素子の製造に係る処理装置という技術分野で一致するので、たとえ、装置自体が異なるものであるとしても半導体素子製造工程におけるウエハ処理技術をフオトマスクの製造に適用することに何ら困難性はないし、阻害要因も認められないので、相違点３は格別のものではない。
［相違点４]について
　引用発明は、半導体素子の製造技術分野において、ウエハにフオトレジストを塗布するにあたり、ぼた落ちを防止する課題を解決するものであるので、同じ半導体素子の製造技術分野における現像装置の現像液あるいはリンス液のぼた落ちを防止するために、引用発明の吐出装置を現像装置に適用し、流体を現像液あるいはリンス液とすることには何ら困難性はなく、阻害要因も認められないので、相違点４は格別のものではない。
　
　このように、［相違点１］ないし「相違点４」は引用刊行物記載の発明並びに周知技術に基づき当業者が容易に想到し得る程度のものであるし、それによる作用効果も当業者が予測できる範囲のものである。
　
　なお、請求人は平成１６年１１月３０日付けの当審の審尋に対し、引用刊行物（特開昭６０−６２１２１号公報）記載の発明と本願補正発明との相違点として、「引用例１に記載の引き戻し手段の引き戻し容量には制限があるのに対し、本願請求項１の発明の吸引手段の吸引の容量には制限はなく、第２の制御弁（図１の１３２参照）が開いている間は吸引し続け、処理液の液垂れを発生させない減圧部を第２の配管に接続した構造のもので、引用例１に記載の引き戻し手段と本願請求項１の発明の吸引手段とは、機能、構造が全く異なる。」と主張した。
　しかしながら、引用刊行物記載の引き戻し手段は、「引き戻し手段６の吸引動作を行い第１の開閉弁２からフオトレジスト吐出口１までの小さく閉ざされた空間内のフオトレジストを逆止弁７を介して引き戻すもの」とされており、本願補正発明における「ノズル内に残った流体を外部に排出するもの」と実質的に同じ目的を有しており、「機能、構造が全く異なる。」との請求人の主張は採用できない。
　
　したがって、本願補正発明は、引用刊行物に記載された発明に基づき当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１５年７月２３日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成１５年５月２日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものと認める。（以下、「本願発明」という。）
　
４．引用刊行物の発明
　原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６０−６２１２１号公報（引用刊行物）の記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
５．対比・判断
　本願発明は、前記２．で認定した本願補正発明から、「ノズルからの吸引向きがノズルからの吐出の向きとは逆の向きになるようにして」という発明特定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の発明特定事項を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（４）」に記載したとおり、上記引用刊行物に記載された発明並びに周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用刊行物に記載された発明並びに周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用刊行物に記載された発明並びに周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　よって、結論のとおり審決する。