【手続補正書】
【提出日】平成30年4月5日(2018.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透過電子顕微鏡用のＴＥＭグリッドであって、
外縁と内縁を有するホルダ本体と、
前記ホルダ本体に取り付けられた複数の取付け要素であり、それぞれの取付け要素がＴＥＭ上で観察するために準備された複数の薄い試料を取り付けるために適合され、前記ホルダ本体に取り付けられた基部を有し、少なくとも２つの段を有し、それぞれの段が前記複数の薄い試料のそれぞれの取り付けを受け止めることに適合され、それぞれの取付け要素の前記段が、前記基部から異なる距離のところに配置された、取付け要素と
を備え、それぞれの前記取付け要素が前記少なくとも２つの段とは反対の側を有し、前記反対の側は段を含まず、前記ＴＥＭグリッドの大部分から所定の距離のところに取付けた試料を受け止めるようにさらに適合されており、再付着が非常に少ない試料の薄化によって、細かなエネルギー分散型Ｘ線分光分析を可能にするよう適合されている
ＴＥＭグリッド。
【請求項２】
前記複数の取付け要素が、それらの基部が前記内縁の介在する部分によって分離されている状態で前記内縁に沿って間隔を置いて配置されている、請求項１に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項３】
それぞれの前記取付け要素が少なくとも３つの段を含む、請求項１に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項４】
少なくとも３つの前記取付け要素を含み、前記少なくとも３つの取付け要素がそれぞれ、少なくとも３つの段を含む、請求項１に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項５】
前記ホルダ本体が導電性材料からなる、請求項１に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項６】
前記少なくとも２つの段が、それぞれの前記取付け要素の同じ側にあり、前記段を含まない側がそれぞれの前記取付け要素に対して同じ方向に向けられている、請求項１に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項７】
それぞれの前記取付け要素を識別する識別マークをさらに備える、請求項１に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項８】
それぞれの前記取付け要素の前記少なくとも２つの段のそれぞれを識別する識別マークをさらに備える、請求項１に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項９】
それぞれの前記段が、材料を付着させ前記複数の薄い試料のそれぞれを取り付けるために、集束イオン・ビームを受けることによって前記複数の薄い試料のそれぞれの取り付けを受け止めるように適合されている、請求項１に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項１０】
前記取付け要素の段を含まない側がどの方向に向いているかを示す指標を前記ホルダ本体上にさらに有する、請求項１に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項１１】
前記複数の取付け要素のそれぞれが、前記少なくとも２つの段のところに、前記薄い試料を取り付けることができるセットバックを含む、請求項１に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項１２】
透過電子顕微鏡で観察するための試料を準備する方法であって、
基板から第１の試料を切り離すために、前記基板に向かって集束イオン・ビームを導くことと、
前記第１の試料をマニピュレータに取り付けることと、
前記第１の試料をＴＥＭグリッドへ移動させることであり、前記ＴＥＭグリッドが本体および２つ以上の取付け構造体を含み、複数の前記取付け構造体のそれぞれが複数の段を含み、複数の前記取付け構造体のそれぞれが他の前記取付け構造体とは異なる形状を有する頂部を有することと、
複数の前記取付け構造体のうちの第１の取付け構造体をその頂部の形状から識別すること、および、前記第１の取付け構造体上の前記複数の段のうちの選択された１つの段に前記第１の試料を取り付けることと、
基板から第２の試料を切り離すために、前記基板に向かって集束イオン・ビームを導くことと、
複数の前記取付け構造体のうちの第２の取付け構造体をその頂部の形状から識別すること、および、前記第２の取付け構造体上の前記複数の段のうちの選択された１つの段に前記第２の試料を取り付けることと
を含む方法。
【請求項１３】
前記第１の試料の透過電子画像を形成するために、前記第１の試料に向かって電子ビームを導くこと、および、前記第２の試料の透過電子画像を形成するために、前記第２の試料に向かって電子ビームを導くことをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１の取付け構造体上の前記複数の段のうちの前記選択された１つの段に前記第１の試料を取り付けることが、材料を付着させ、それによって前記複数の段のうちの前記選択された１つの段に前記第１の試料を取り付けるために集束イオン・ビームを導くことを含み、
前記第２の取付け構造体上の前記複数の段のうちの前記選択された１つの段に前記第２の試料を取り付けることが、材料を付着させ、それによって前記複数の段のうちの前記選択された１つの段に前記第２の試料を取り付けるために集束イオン・ビームを導くことを含む、
請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記第１の試料をマニピュレータに取り付けること、または前記第２の試料をマニピュレータに取り付けることが、ビーム誘起付着、スパッタ付着、接着剤または静電引力によって、前記第１の試料または前記第２の試料を前記マニピュレータに取り付けることを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
前記第１の試料または前記第２の試料を前記ＴＥＭグリッドに取り付けた後に、前記集束イオン・ビームを使用して、前記第１の試料または前記第２の試料を薄くすることをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
マシン・ビジョンを使用して、前記複数の取付け構造体のうちの選択された前記取付け構造体に固有の識別マークを自動的に認識することをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１８】
直径約３ミリメートルの部分円の形態の外縁、および前記外縁の内側にあって前記部分円の弦によって形成された内縁を有する本体と、
前記内縁から延びる少なくとも２本の柱と
を備え、前記少なくとも２本の柱のそれぞれが、透過電子顕微鏡上で観察するための薄い試料を取り付けるために適合された複数の試料装着位置を形成する少なくとも１つの鋸歯状の縁を有し、それぞれの試料位置が異なる線セグメント上にあり、前記少なくとも２本の柱のそれぞれが、前記他の柱とは異なる形状を有する頂部を有する
ＴＥＭグリッド。
【請求項１９】
前記少なくとも１つの鋸歯状の縁が、少なくとも３つの試料装着位置を形成する、請求項１８に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項２０】
前記少なくとも２本の柱のそれぞれが、１つのまっすぐな縁と、少なくとも３つの試料装着位置を含む１つの鋸歯状の縁とを含む、請求項１８に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項２１】
前記少なくとも２本の柱のそれぞれが少なくとも３本の柱を含み、それぞれの柱が、その柱の片側に鋸歯状の縁を含む、請求項１８に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項２２】
前記少なくとも２本の柱のそれぞれが、前記内縁の介在する部分によって分離されている複数の柱を含み、前記複数の柱がそれぞれ、前記透過電子顕微鏡上で観察するための薄い試料の取付けのために適合された複数の試料装着位置を形成している少なくとも１つの鋸歯状の縁を含む、請求項１８に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項２３】
前記複数の試料装着位置のそれぞれを識別する識別マークをさらに備える、請求項１８に記載のＴＥＭグリッド。
【請求項２４】
前記少なくとも２本の柱のそれぞれが、前記内縁の介在する部分によって分離されている複数の柱を含み、前記複数の柱がそれぞれ、前記透過電子顕微鏡上で観察するための薄い試料の取付けのために適合された複数の試料装着位置をそれぞれ形成している少なくとも２つの鋸歯状の縁を含む、請求項１８に記載のＴＥＭグリッド。