【事件の表示】
　特許第５７４７３９６号「光軸調整装置」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて，次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５７４７３９６号の請求項１ないし６に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　事案の概要
　１　手続の経緯
　特許第５７４７３９６号（以下「本件特許」という。）は，特願２０１４−１９２４０１号として平成２６年９月２２日（優先権主張　平成２６年２月２５日（以下「優先日」という。））に出願されたものであって，平成２７年５月２２日に特許権の設定登録がされたものである。
　本件特許について，特許異議申立人　特許業務法人プロテックから，平成２８年１月１４日付け特許異議申立書により，特許異議の申立て（異議２０１６−７０００２２号）が申し立てられた。
　以下，本件特許に関し，その特許請求の範囲の請求項１〜６に係る特許を，それぞれ，「本件特許１」〜「本件特許６」という。また，本件特許の特許請求の範囲の請求項１〜６に係る発明を，それぞれ，「本件特許発明１」〜「本件特許発明６」という。
　２　本件特許発明
　本件特許発明１〜６は，それぞれ，本件特許の特許請求の範囲の請求項１〜６に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ，構成要件毎に分説して記載すると，以下のとおりである。
「【請求項１】
Ａ　第１の光学部品と第２の光学部品との光軸調節を行うための光軸調整装置であって，
Ｂ　前記第１の光学部品を載置する載置ステージと，
Ｃ　前記載置ステージの位置及び姿勢を調整するステージ調整機構と，
Ｄ　前記ステージ調整機構を制御するコントローラとを，備え，
Ｅ　前記載置ステージにおける前記第１の光学部品が載置される載置面と平行となる所定の方向をＸと定義し，前記載置面と平行且つ前記Ｘと直交する方向をＹと定義し，前記Ｘ及び前記Ｙに対して直交する方向をＺと定義し，前記Ｘ及び前記Ｙと平行となる面をＸ−Ｙ平面と定義し，
Ｆ　前記第１の光学部品は，光軸が前記Ｚに沿うように前記載置ステージに載置され，
Ｇ　前記ステージ調整機構は，
　前記載置ステージを前記Ｘ−Ｙ平面の平面方向，かつ前記Ｘ−Ｙ平面に垂直となるＺ軸方向へ移動させるシフトユニットと，
　前記載置ステージを前記Ｘ−Ｙ平面に平行するＸ軸周り，及び前記Ｘ−Ｙ平面に平行し且つ前記Ｘ軸に直交するＹ軸周りに揺動させるチルトユニットとを有し，
Ｈ　前記コントローラは，前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行となるように，前記シフトユニット及び前記チルトユニットを制御し，
Ｉ　前記コントローラは，
　前記第１の光学部品の基準位置から前記Ｘ軸までの長さであるＸ軸チルト半径，及び前記第１の光学部品の基準位置から前記Ｙ軸までの長さであるＹ軸チルト半径の情報を保持し，
　前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行となるための前記Ｘ軸周りの補正角度，及び前記Ｙ軸周りの補正角度を算出するチルト補正条件算出部と，
Ｊ　前記チルト補正条件算出部が算出した前記Ｘ軸周りの補正角度及び前記Ｘ軸チルト半径を利用して，前記チルトユニットを前記Ｘ軸周りに揺動させるためのＸ軸回転制御値と，前記Ｘ軸周りの補正角度で前記チルトユニットを揺動させる際に該Ｘ軸チルト半径の揺動端が前記Ｙ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動するシフト量を相殺するために，前記シフトユニットを前記Ｙ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動させるＸチルト時復帰制御値と，の双方を算出するＸチルト値変換手段と，
Ｋ　前記チルト補正条件算出部が算出した前記Ｙ軸周りの補正角度及び前記Ｙ軸チルト半径を利用して，前記チルトユニットを前記Ｙ軸周りに揺動させるためのＹ軸回転制御値と，前記Ｙ軸周りの補正角度で前記チルトユニットを揺動させる際に該Ｙ軸チルト半径の揺動端が前記Ｘ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動するシフト量を相殺するために前記シフトユニットを前記Ｘ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動させるＹチルト時復帰制御値と，の双方を算出するＹチルト値変換手段と，を有し，
Ｌ　前記Ｘ軸回転制御値及び前記Ｙ軸回転制御値に基づいて前記チルトユニットが前記載置ステージを揺動し，かつ，前記Ｘチルト時復帰制御値と前記Ｙチルト時復帰制御値に基づいて前記シフトユニットが前記載置ステージを前記Ｘ−Ｙ平面方向又は前記Ｚ軸方向に移動させることで，前記Ｘ軸チルト半径及び前記Ｙ軸チルト半径の前記揺動端が前記基準位置でほぼ静止したまま，前記Ｘ軸周りの補正角度及び前記Ｙ軸周りの補正角度によるチルト制御を行う
　ことを特徴とする光軸調整装置。
【請求項２】
Ｍ　前記コントローラは，
　前記第１の光学部品と前記第２の光学部品の光軸が所定平面で一致させるための前記Ｘ−Ｙ平面内の補正移動量を算出するシフト補正条件算出部と，
Ｎ　前記シフト補正条件算出部が算出した前記Ｘ−Ｙ平面内の補正移動量を利用して，前記シフトユニットを前記Ｘ−Ｙ平面内で移動させるためのＸ−Ｙ平面移動制御値を算出するＸ−Ｙシフト値変換手段と，を有し，
Ｏ　前記Ｘ−Ｙ平面移動制御値に基づいて前記シフトユニットが前記載置ステージを前記Ｘ−Ｙ平面方向に移動させることで，前記Ｘ−Ｙ平面内の補正移動量によるシフト制御を行う
　ことを特徴とする請求項１に記載の光軸調整装置。
【請求項３】
Ｐ　前記コントローラは，
　前記載置ステージに搭載される前記第１の光学部品の前記基準面の位置を計測することで，前記Ｘ軸チルト半径及び前記Ｙ軸チルト半径を算出するチルト半径算出部を有する
　ことを特徴とする請求項１又は２に記載の光軸調整装置。
【請求項４】
Ｑ　前記光軸調整を行うことを目的として，前記載置ステージの位置又は姿勢を補正するための条件を，前記載置ステージの補正条件と定義した場合，
　前記コントローラは，前記載置ステージの補正条件が，前記ステージ調整機構の可動範囲内であるか否かの判定を行う判定部を有し，
Ｒ　前記載置ステージの補正条件が前記ステージ調整機構の可動範囲外であると判定された場合，前記ステージ調整機構の可動範囲内で，前記載置ステージの位置または姿勢の調節を行うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光軸調整装置。
【請求項５】
Ｓ　前記載置ステージ及び前記ステージ調整機構を９０度の角度範囲で回転させるステージ姿勢切替機構をさらに備えたことを特徴とする請求項１ないし４のうちいずれか１項記載の光軸調整装置。
【請求項６】
Ｔ　前記載置ステージに載置された前記第１の光学部品を保持する保持状態と，前記保持が解除された保持解除状態との間で切替え可能なチャック機構をさらに備えたことを特徴とする請求項５記載の光軸調整装置。」
　３　申立の理由の概要
　特許異議申立人は，本件特許１〜６は，特許法２９条２項の規定に違反してされたものであるとして特許異議の申立てをするところ，その申立の理由の概要は，以下のとおりである。
　(1) 本件特許発明１及び４について
　本件特許発明１及び４は，甲１発明を主引用発明として，甲１発明及び甲２記載事項に基づいて，当業者が容易に発明できたものである。
　(2) 本件特許発明２，３，５及び６について
　本件特許発明２，３，５及び６は，甲１発明を主引用発明として，甲１発明，甲２記載事項及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　４　証拠方法
　申立の理由について，異議申立人が提出した証拠方法は，甲１〜４であるところ，これらはいずれも，本件特許の優先日前に頒布された以下の刊行物である。
　(1) 甲１　特開平１１−１６１３３７号公報（【公開日】平成１１年６月１８日，【発明の名称】ゴニオステージのワーク傾動中心位置補正装置，【出願番号】特願平９−３２５９８２号，【出願日】平成９年（１９９７）１１月２７日，【出願人】シャープ株式会社）
　(2) 甲２　特開平８−１７３８０号公報（【公開日】平成８年（１９９６）１月１９日，【発明の名称】２軸傾斜試料微動装置及び像の逃げ補正方法，【出願番号】特願平６−１４８１０９号，【出願日】平成６年（１９９４）６月２９日，【出願人】株式会社日立製作所，株式会社日立サイエンスシステムズ）
　(3) 甲３　特開２０１０−５７０３８号公報（【公開日】平成２２年３月１１日，【発明の名称】カメラマウント組立装置およびカメラマウントの組立方法，【出願番号】特願２００８−２２１５１８号，【出願日】平成２０年８月２９日，【出願人】東芝テリー株式会社）
　(4) 甲４　特開２００５−８６６５９号公報（【公開日】平成１７年３月３１日，【発明の名称】カメラモジュール生産方法およびその方法を用いた組立装置，【出願番号】特願２００３−３１８４１５号，【出願日】平成１５年９月１０日，【出願人】ソニー株式会社）
第２　当合議体の判断
　１　甲１〜４に記載の事項及び甲１発明等
　(1) 甲１に記載の事項
　甲１には，以下の事項が記載されている。
　ア　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，回転中心が外側にあるステージ，すなわち対象ワークをステージ外に保持しそのワークをワーク自体の一部を傾動中心にして傾動させるゴニオステージにおけるワーク傾動中心位置補正装置に関する。ゴニオステージは，例えば光素子（光ファイバーなど）や半導体モジュールの精密なアライメントや計測データ取りを実施する際に用いられる。」
　イ　「【０００２】
【従来の技術】図９の（ａ），（ｂ）は従来のゴニオステージの概略の構成を示す平面図と正面図である。
【図９】
この図において，７１は例えばβ軸用ゴニオステージ，７２はゴニオステージ７１にギアを介して回転自在に保持された旋回ブロック，７３は駆動回転により旋回ブロック７２を回転させるための駆動源（モーター）である。旋回ブロック７２の回転中心Ｏはゴニオステージ７１の外側に位置している。８１はワーク取付け治具である。このワーク取付け治具８１は，旋回ブロック７２に対して着脱自在に取り付けられるベース板８１ａと，ベース板８１ａから垂直に突設されたアーム部８１ｂとからなり，アーム部８１ｂの先端に形成されたワーク保持部（貫通孔）８２に対してワーク９０が着脱自在に保持されるようになっている。ワーク保持部８２の中心線は旋回ブロック７２の回転中心Ｏを通る状態となっている。
【０００３】駆動源７３を駆動して旋回ブロック７２を外側の回転中心Ｏまわりに指定角度θだけ回転させると，ワーク取付け治具８１も一体となって同一角度回転され，保持されているワーク９０が角度θだけ傾動する。この状態でワーク９０に何らかの作用を与えることにより，傾動角度θにおけるデータを取得する。傾動角度θを適当に調整することにより，ワークにおける傾斜特性が得られる。
【０００４】ゴニオステージ７１はワークのデータ取得だけでなく，ワークのアライメントに使われる場合もある。
【０００５】ワーク９０をワーク自体の一部を傾動中心として傾動させるものであって，その傾動中心となるべき回転中心Ｏをステージ７１の外側に設定する関係上，ワークを保持するためには外側へ突出するワーク取付け治具８１を用いる必要がある。
【０００６】ワーク９０の所要の部位を傾動中心としてワーク９０を傾動させるためには，そのワーク９０を保持して旋回ブロック７２に取り付けられるワーク取付け治具８１の加工公差だけでなく治具と旋回ブロックとの取り付け精度を厳密に管理し調整しなければならない。もしその条件が満たされないと，旋回ブロック７２を回転させたときにワーク９０は所要の部位を中心にして傾動しないことになるからである。ワークが所要の部位を中心にして傾動しないときは，その所要部位は旋回ブロック７２の回転中心Ｏまわりに回転移動することになり，ワークの所要部位が正規の位置からずれてしまう。この位置ずれ状態でデータを取得すると，傾き要素と位置ずれ要素が複合された形での取得データとなるためそのデータは正確さに欠けることになる。アライメントするときも，その位置精度が低下する。
【０００７】このような不都合を避けるため，現状では，ワーク９０の傾動中心としたいワークの所要部位を常に旋回ブロック７２の回転中心Ｏと一致させるべく，ワーク取付け治具８１の加工公差およびワーク取付け治具と旋回ブロックとの取り付け精度が厳密なものとなるようにワーク取付け治具をきわめてシビアに製作している。」
　ウ　「【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の技術においては，次のような不都合が生じている。
【０００９】  ワークの傾動中心となるべき所要部位をその場で変更した場合に，その変更後の所要部位を傾動中心としてワークを傾動させることは，ゴニオステージの機械的な制約から（傾動中心が回転中心Ｏからずれてしまうので）不可能となっている。
【００１０】  別のワークをもってきてワークの傾動中心が変わるときには，そのワークの傾動中心を旋回ブロックの回転中心に一致させるためのワーク取付け治具が必要となり，新たにそのワーク取付け治具を製作しなければならない。
【００１１】  ワークの寸法が変わるときには，そのワークの傾動中心を旋回ブロックの回転中心に一致させるためのワーク取付け治具が必要となり，新たにそのワーク取付け治具を製作しなければならない。
【００１２】本発明はこのような事情に鑑みて創案されたものであって，ワークにおける任意の部位を傾動中心として定めたときに，その傾動中心がゴニオステージ（旋回ブロック）の回転中心からずれていても，常にその傾動中心として定めた所要部位を結果的に傾動中心としてワークを傾動させることが可能となるゴニオステージのワーク傾動中心位置補正装置を提供することを目的としている。この目的の達成を通して，ワーク取付け治具に要求される厳密な精度の緩和を図るとともに，ワーク条件が変わってもその都度新たにワーク取付け治具を製作する必要性を解消しようとしている。」
　エ　「【００１７】
【発明の実施の形態】以下，本発明に係るゴニオステージのワーク傾動中心位置補正装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１８】図１は６軸のゴニオステージ１０の全体的な斜視図である。
【図１】
このゴニオステージ１０は，Ｘ軸ステージ１１，Ｙ軸ステージ１２，Ｚ軸ステージ１３，γ軸用θステージ１４，β軸用ゴニオステージ１５およびα軸用ゴニオステージ１６を備えている。ゴニオステージ１０にワーク取付け治具２１が着脱自在に取り付けられている。ワーク取付け治具２１は，ゴニオステージ１０に取り付けられるベース板２１ａと，ベース板２１ａから垂直に突設されたアーム部２１ｂとからなり，アーム部２１ｂの先端にはワーク保持部（貫通孔）２２が形成されている。このワーク保持部２２は，対象ワークの一例としての光ファイバー６０を挿入によって着脱自在に保持するようになっている。６軸のゴニオステージ１０は，光ファイバー６０を３次元方向で任意の位置に移動させ，かつ任意の角度に傾動させることができる。
【００１９】図２はワーク取付け治具２１の斜視図，図３は中心で切断したワーク取付け治具２１の断面図である。
【図２】
【図３】
ワーク取付け治具２１のアーム部２１ｂはＸ軸方向に沿っており，そのＸ軸方向端面２３ｘにＹ−Ｚ平面用の第１のアライメントマーク２４ｘが設けられている。また，アーム部２１ｂのＹ軸方向側面２３ｙにはＺ−Ｘ平面用の第２のアライメントマーク２４ｙが設けられ，Ｚ軸方向側面２３ｚにはＸ−Ｙ平面用の第３のアライメントマーク２４ｚが設けられている。第１のアライメントマーク２４ｘおよび第２のアライメントマーク２４ｙは，アーム部２１ｂのワーク保持部２２に保持されている光ファイバー６０の端面である受光面６０ａの中心のＸ軸方向およびＹ軸方向の投影箇所に設けられている。第３のアライメントマーク２４ｚはワーク保持部２２の近傍に設けられている。第１ないし第３のアライメントマーク２４ｘ，２４ｙ，２４ｚはともに微小なものであり，例えばアーム部２１ｂをタッピングして円錐状の凹部として構成したり，ペイントの塗布によりマーク付けをしてもよい。
【００２０】図４はアライメントマーク位置認識装置３０をワーク取付け治具２１とともに示す斜視図である。
【図４】
このアライメントマーク位置認識装置３０は，第１のアライメントマーク２４ｘを撮像するための光軸がＸ軸方向に沿った第１の鏡筒３１ｘおよび第１の撮像装置３２ｘと，第２のアライメントマーク２４ｙを撮像するための光軸がＹ軸方向に沿った第２の鏡筒３１ｙおよび第２の撮像装置３２ｙと，第３のアライメントマーク２４ｚを撮像するための光軸がＺ軸方向に沿った第３の鏡筒３１ｚおよび第３の撮像装置３２ｚと，所要の画像処理に基づいて撮像した各アライメントマーク２４ｘ，２４ｙ，２４ｚの座標位置検出を行う画像処理装置３３とを備えている。各撮像装置３２ｘ，３２ｙ，３２ｚはＣＣＤカメラで構成されている。画像処理装置３３は制御部４０に接続されている。制御部４０については図５で説明する。
【図５】
」
　オ　「【００２１】図５は６軸のゴニオステージ１０の全体的な概略の構成を示すブロック図である。マイクロコンピュータをもって構成された制御部４０は，ＣＰＵ（中央演算処理装置）４１とＲＯＭ（リードオンリーメモリ）４２とＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）４３から構成され，操作部４４が接続されている。制御部４０の入力ポートにはアライメントマーク位置認識装置３０の画像処理装置３３が接続され，出力ポートには各ステージ１１〜１６の駆動源（モーター）１１ａ〜１６ａが接続されている。
【００２２】図６はワーク取付け治具２１を介してゴニオステージ１０に取り付けられた光ファイバー６０の受光光量の角度特性評価装置５０の概略的な構成を示す。
【図６】
５１は赤外線レーザ，５２は集光レンズ，５３は検査用光ファイバー，５４は受光光量検出装置，５５は受光光量記録装置である。赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸とが一致し，かつ鉛直になるように設定されている。赤外線レーザ５１から出射され集光レンズ５２で集光されたレーザ光５６を光ファイバー６０の受光面６０ａ上の任意の特定位置である所要部位（これは中心であってもよいが，そうでなくてもよい）に焦点を結ぶように入射させる。入射されたレーザ光は光ファイバー６０および検査用光ファイバー５３を通って受光光量検出装置５４に入力され受光光量が検出されて，受光光量記録装置５５に記録される。受光光量の角度特性を正確に測定するためには，光ファイバー６０が点線のように傾動しても受光面６０ａ上の全く同じ部位すなわち所要部位にレーザ光５６を入射させなければならない。その部位が結果的に光ファイバー６０の傾動中心となるべき所要部位である。ここで「結果的に」と表現しているのは，光ファイバー６０の実際の傾動中心はゴニオステージ１０の回転中心であり，受光面６０ａ上の所要部位ではなく，傾動後の所要部位をＸ軸ステージ１１やＺ軸ステージ１３の移動によって傾動前の所要部位に一致させることから，みかけ上は光ファイバー６０が所要部位を傾動中心として傾動した状況となるからである。」
　カ　「【００２５】ワーク取付け治具２１が水平状態にあるときにあらかじめ図４に示すアライメントマーク位置認識装置３０における第２の鏡筒３１ｙと第２の撮像装置３２ｙとによりワーク取付け治具２１のＹ軸方向側面２３ｙの第２のアライメントマーク２４ｙを撮像し，この第２のアライメントマーク２４ｙの位置と光ファイバー６０の受光面６０ａ上の傾動中心とするべき所要部位（ここでは受光面６０ａの中心とする）との２次元的な相対位置関係を測定しておき，そのデータを制御部４０におけるＲＡＭ４３に記憶させておく。図８のベクトル図に示すように，この回転前の第２のアライメントマーク２４ｙの位置ベクトルをＭ１，受光面６０ａの所要部位（中心）の位置ベクトルをＷ１とする。
【図８】
なお，ベクトルを表すときに，後記する数式中および図面中では文字の上に矢印（→）を付加するが，説明文中では表記制約の都合上，矢印を省略する。
【００２６】ワーク取付け治具２１が水平状態にあり光ファイバー６０が鉛直姿勢にあるときに，受光光量の角度特性評価装置５０の赤外線レーザ５１を駆動し，レーザ光５６を光ファイバー６０の水平な受光面６０ａに対して入射させ，そのときの受光光量を受光光量検出装置５４で検出し，受光光量記録装置５５によって記録しておく。」
　キ　「【００２７】作業者は操作部４４において光ファイバー６０に与えるべき傾動角度θを入力し，β軸用ゴニオステージ１５を起動する。入力された傾動角度θのデータはＲＡＭ４３に格納される。制御部４０はβ軸用ゴニオステージ１５の駆動源（モーター）１５ａに対して駆動信号と傾動角度θの信号を送出する。駆動源１５ａが駆動され，旋回ブロック１５ｂを回転中心Ｏｙまわりに角度θだけ回転して停止する。この旋回ブロック１５ｂの回転に伴ってワーク取付け治具２１も回転中心Ｏｙまわりに同一角度だけ回転し，ワーク取付け治具２１に保持されている光ファイバー６０も傾動角度θだけ傾動する。これに伴って，図７の部分拡大図に示すようにＹ軸方向側面２３ｙに設けてある第２のアライメントマーク２４ｙも回転中心Ｏｙまわりに角度θだけ回転移動する。
【図７】
この回転移動後の第２のアライメントマークを２４ｙ′で表し，傾動後の受光面を６０ａ′で表す。
【００２８】旋回ブロック１５ｂの回転中に第２の鏡筒３１ｙおよび第２の撮像装置３２ｙにより移動後の第２のアライメントマーク２４ｙ′を撮像しているが，旋回ブロック１５ｂが角度θだけ回転し駆動源１５ａが停止した後に，画像処理装置３３により移動後の第２のアライメントマーク２４ｙ′のＸ軸方向およびＺ軸方向の座標を検出する。制御部４０はその座標の信号を入力し，ＲＡＭ４３に格納する。図８において，移動後の第２のアライメントマーク２４ｙ′の位置ベクトルをＭ２で表し，傾動角度θの傾動後の光ファイバー６０の受光面６０ａの中心の位置ベクトルをＷ２で表す。
【図８】
位置ベクトルＭ２は位置ベクトルＭ１が角度θだけ回転したものに相当し，位置ベクトルＷ２は位置ベクトルＷ１が角度θだけ回転したものに相当する。」
　ク　「【００４８】すでに述べたように，ＲＡＭ４３には回転開始前にあらかじめ，Ｍ１＝（Ｍ１ｘ，Ｍ１ｚ）とＷ１＝（Ｗ１ｘ，Ｗ１ｚ）と傾動角度θとが格納されており，回転後の測定によって，Ｍ２＝（Ｍ２ｘ，Ｍ２ｚ）がＲＡＭ４３に格納されるから，ＣＰＵ４１は（数９），（数１０）の演算に基づいて，Ｘ軸方向戻し寸法ΔＸとＺ軸方向戻し寸法ΔＺとを算出することができる。
【００４９】この演算が終わると，ＣＰＵ４１は続いてＸ軸ステージ１１の駆動源１１ａに対して駆動信号とＸ軸方向戻し寸法ΔＸの信号を送出するとともに，Ｚ軸ステージ１３の駆動源１３ａに対して駆動信号とＺ軸方向戻し寸法ΔＺの信号とを送出する。すると，Ｘ軸ステージ１１はＸ軸方向戻し寸法ΔＸだけ戻り移動して停止し，Ｚ軸ステージ１３はＺ軸方向戻し寸法ΔＺだけ戻り移動して停止する。これにより，角度θだけ傾動した光ファイバー６０の受光面６０ａ′の中心は，光ファイバー６０の傾動姿勢を保ったままで回転前の原点での受光面６０ａの中心と一致することになる。これが図６で点線で示す状態である。Ｘ軸方向とＺ軸方向への戻し修正により，結果的に光ファイバー６０はレーザ光５６を入射させるべき所要部位をみかけ上，傾動中心として傾動されたことになる。
【００５０】以上のようにして光ファイバー６０を傾動させた状態において，再び，受光光量の角度特性評価装置５０の赤外線レーザ５１を駆動し，レーザ光５６を光ファイバー６０の受光面６０ａに対して入射させ，そのときの受光光量を受光光量検出装置５４で検出し，受光光量記録装置５５によって記録する。この場合，光ファイバー６０が角度θの傾斜姿勢にあり受光面６０ａも水平面に対して角度θの傾斜姿勢になっているが，レーザ光５６が入射する受光面６０ａ上での部位は光ファイバー６０を回転する前の受光面６０ａへの入射部位と全く同じである。すなわち，光ファイバー６０の傾動にかかわらずレーザ光５６の入射部位は不変であり，この部位を所要部位と呼んでいるわけであり，常に所要部位にレーザ光５６を入射させて受光光量を検出しているのである。
要部位にレーザ光５６を入射させて受光光量を検出しているのである。
【００５１】実際上は，傾動角度θを少しずつシフトさせながら，上記と同様にして光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行い，そして受光光量を検出・記録することにより，光ファイバー６０の受光光量の角度特性を計測する。」
　ケ　「【００５４】光ファイバーの受光光量の角度特性の測定の場合はα軸用ゴニオステージ１６を駆動することはない。しかし，半導体モジュールなどのアライメントの場合には，α軸用ゴニオステージ１６を駆動してワークをＸ−Ｙ平面で回転させることがある。この場合，撮像系は第３の鏡筒３１ｚおよび第３の撮像装置３２ｚを用いて第３のアライメントマーク２４ｚの位置を検出する。α軸用ゴニオステージ１６の回転後の戻し移動は，Ｘ軸ステージ１１とＹ軸ステージ１２の駆動となる。」
　(2) 甲１発明
　ア　甲１発明に関する異議申立人の主張について
　(ア)構成要件Ａについて
　異議申立人は，甲１発明の構成要件Ａを，以下のとおり認定している。
　「光ファイバー６０と赤外線レーザ５１及び集光レンズ５２の光軸調整を行うための光軸調整を行う角度特性評価装置５０」
　しかしながら，甲１には，「光軸調整」という記載は存在しない。段落【００２２】及び【００５１】の記載に基づくと，角度特性評価装置５０に関して，以下の事項が理解できる。
　「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸とが一致し，かつ鉛直になるように設定され，傾動角度θを少しずつシフトさせながら，光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行い，そして受光光量を検出・記録することにより，光ファイバー６０の受光光量の角度特性を計測する角度特性評価装置５０」
　(イ)構成要件Ｅ及びＦについて
　異議申立人は，図２から，「ワーク取付け治具２１における光ファイバー６０が載置される載置面と平行となる所定の方向をＸと定義し，前記載置面と平行かつ前記Ｘと直交する方向をＹと定義し，前記Ｘ及び前記Ｙに対して直交する方向をＺと定義した際に，光ファイバー６０の光軸が前記Ｚに沿うように前記ワーク取付け治具２１に保持される」という点が読み取れると主張する（特許異議申立書の１３頁１４〜１９行）。
　しかしながら，甲１には「光ファイバー６０が載置される載置面」という記載は存在しない。【図２】及び段落【００２６】の記載に基づくと，Ｘ，Ｙ及びＺ軸の定義に関して，以下の事項が理解できる。
「ワーク取付け治具２１が水平状態にあるときのアーム部２１ｂが沿っている方向をＸ軸と定義し，鉛直方向をＺ軸と定義し，Ｘ軸及びＺ軸に垂直な方向をＹ軸と定義する。」
　また，段落【００１８】及び【００２６】の記載に基づくと，光ファイバー６０の配置に関して，以下の事項が理解できる。
「ワーク保持部２２は，光ファイバー６０を着脱自在に保持し，ワーク取付け治具２１が水平状態にあるとき光ファイバー６０が鉛直姿勢にあり，光ファイバー６０の受光面６０ａは水平である。」
　(ウ)構成要件Ｈについて
　異議申立人は，甲１発明の構成要件Ｈを，以下のとおり認定している。
　「前記制御部４０は，前記光ファイバー６０の光軸が前記赤外線レーザ５１及び集光レンズ５２の光軸に対する傾動角度を変化させるように，前記ゴニオステージ１０を制御する」
　しかしながら，甲１には，「光ファイバー６０の光軸」という記載は存在しない。【図５】及び段落【００５１】の記載に基づくと，制御部４０に関して，以下の事項が理解できる。
「制御部４０は，傾動角度θを少しずつシフトさせながら光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行う」
　イ　甲１発明
　甲１には，以下の発明が記載されている（構成要件毎に，分説して記載する。以下「甲１発明」という。）。
「Ａ　赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸とが一致し，かつ鉛直になるように設定され，傾動角度θを少しずつシフトさせながら，光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行い，そして受光光量を検出・記録することにより，光ファイバー６０の受光光量の角度特性を計測する角度特性評価装置５０であって，
Ｂ　ゴニオステージ１０に取り付けられるベース板２１ａと，ベース板２１ａから垂直に突設されたアーム部２１ｂとからなり，光ファイバー６０を着脱自在に保持するワーク取付け治具２１，
Ｃ，Ｄ　ワーク取付け治具２１に保持されている光ファイバー６０を傾動するために，ゴニオステージ１０の駆動源（モーター）１１ａ〜１６ａを制御する制御部４０とを，備え，
Ｅ　ワーク取付け治具２１が水平状態にあるときのアーム部２１ｂが沿っている方向をＸ軸と定義し，鉛直方向をＺ軸と定義し，Ｘ軸及びＺ軸に垂直な方向をＹ軸と定義し，
Ｆ　ワーク保持部２２は，光ファイバー６０を着脱自在に保持し，ワーク取付け治具２１が水平状態にあるとき光ファイバー６０が鉛直姿勢にあり，光ファイバー６０の受光面６０ａは水平であり，
Ｇ　Ｘ軸ステージ１１，Ｙ軸ステージ１２，Ｚ軸ステージ１３，γ軸用θステージ１４，β軸用ゴニオステージ１５及びα軸用ゴニオステージ１６を備える６軸のゴニオステージ１０，
Ｈ　制御部４０は，傾動角度θを少しずつシフトさせながら光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行い，
Ｌ　駆動源１１ａ，１３ａが駆動信号に基づいてＸ軸ステージ１１，Ｚ軸ステージ１３を駆動し，かつＸ軸方向戻し寸法ΔＸ，Ｚ軸方向戻し寸法ΔＺだけ戻り移動して停止することにより，角度θだけ傾動した光ファイバー６０の受光面６０ａ′の中心は，光ファイバー６０の傾動姿勢を保ったままで回転前の原点での受光面６０ａの中心と一致することになる，
　角度特性評価装置５０。」
　(3) 甲２について
　甲２には，以下の事項が記載されている。
　ア　「【００１２】すなわち，本発明のユーセントリック・サイドエントリー２軸傾斜試料微動装置は，光軸と略直交する方向に進退可能でその中心軸上に位置する支点を中心に首振り運動及び回動可能な試料ホルダーと，試料ホルダー上に回動可能に設けられた試料台と，光軸に対する試料位置及び試料傾斜角を制御する手段と，演算手段とを有し，試料ホルダー上に試料ホルダーの中心軸と直交するｘ軸が設定され，光軸上に位置する観察点と前記支点とを結び光軸と直交する軸をｙ軸とし，ｘ軸及びｙ軸に垂直な軸をｚ軸とし，光軸に垂直な平面に対するｘ軸の傾斜角をθx とし，ｘ軸の回りに回動可能な試料台の試料ホルダー中心軸に対する傾斜角をθy とし，試料ホルダーの中心軸とｘ軸の交点を原点とする観察点の座標を（ｘ，ｙ，ｚ）とするとき，傾斜角θy をθy1からθy2まで変化させたとき演算手段によって下式
Δｙ＝ｙ（１−cosθy2／cosθy1）
Δｚ＝ｙ（sinθy2−sinθy1)／cosθy1
に基づいて観察像の逃げ補正量Δｙ及びΔｚを算出し，前記試料位置制御手段によって観察点を座標（ｘ,ｙ−Δｙ,ｚ−Δｚ）に移動することにより像の逃げを自動的に補正することを特徴とする。」
　イ　「【００１７】
【実施例】図１は，本発明の一実施例のハード構成ブロック図である。
１は電子線の光軸を表わし，２は鏡体の一部を表わしている。３は試料である。電子顕微鏡の一般的な操作は，操作パネル４により，ホストＣＰＵ１０を介して行われる。ユーセントリック・サイドエントリー・ゴニオメータ・ステージ５，５’は，ゴニオメータ・ステージ制御用ＣＰＵ９で各々制御される水平方向試料微動（ｘ,ｙ），垂直方向試料微動（ｚ），及び試料２軸傾斜（θx,θy）の機能を備えている。６，６’はｘ，ｙ方向の試料微動の操作部で，試料の視野探しや試料位置の設定等に使用される。７はｚ方向の試料微動の操作部である。８，８’は，試料２軸傾斜（θx,θy）の操作部である。
【００１８】ゴニオメータステージ制御用のＣＰＵ９はホストＣＰＵ１０と接続されており，電子顕微鏡の操作条件，例えば，倍率等にリンクして，試料微動や試料傾斜のスピードを自動的にコントロールするようなこともできる。ホストＣＰＵ１０は，後述するような，試料傾斜時の試料移動を補正するための計算を迅速に行わしめるため１６ｂｉｔクラス以上のＣＰＵが使用されている。」
　ウ　「【００１９】図６は，図５の光軸近傍の拡大図で，試料傾斜による試料位置のずれを定量的に説明するためのものである。
【図５】
【図６】
１は光軸である。３は試料，１７はｘ方向の傾斜軸（θx 軸）であり，１５はｙ方向の傾斜軸（θy 軸）である。試料微動のｘ軸は１５に一致しており，ｙ軸は１７に一致している。厳密には，ｘ軸１５はｙ軸１７と直交していないが，軸１７と軸１２のなす角θ0 は最大でも１°前後であり，軸１５と軸１７は直交しているとして扱っても支障はない。
【００２０】図中，点（０，０）は試料微動ｘ，ｙの原点である。ここからｘ＝ｘ01（θx＝０°），ｙ＝ｙ01（θy ＝０°）の位置を，傾斜角零度（θx ＝０°，θy ＝０°）で検鏡しているとする。即ち，光軸１とＡ点で交わっている点を検鏡している。Ａ点のｚ0 は，ｚ方向の制御で，（ｘ0,ｙ0）位置の焦点を合わせた時のｚの値である。この状態からθx1,θy1だけ試料を傾けたとすると，検鏡している位置は，Ｂ点に移動する。Ａ点からの偏位は次式で与えられる。
【００２１】
　    Δｘ＝ｙ01sinθy1・tanθx1                                   （１）
　    Δｙ＝ｙ01（１−cosθy1）                                   （２）
　    Δｚ＝ｙ01sinθy1                                           （３）
この偏位を補正してやれば，検鏡位置はＡ点に戻り，元の位置を検鏡することができる。補正後の座標（ｘ1,ｙ1,ｚ1）は
　    ｘ1＝ｘ01−Δｘ＋（Δｚ）x＝ｘ01                            （４）
　    ｙ1＝ｙ01−Δｙ＝ｙ01cosθy1                                （５）
　    ｚ1＝ｚ01−Δｚ＝ｚ01−ｙ0sinθy1                           （６）
となる。（４）式中の（Δｚ）x はｚをΔｚ補正した時のｘ方向の成分であり，その値はΔｘに等しく，従って，ｚ方向でΔｚの補正を行えば，ｘ方向のΔｘが自動的に補正されることになり，ｘ方向の特別な補正は不要である。ｘ01，ｙ01が一定で，傾斜角を変えるだけならば，傾斜角に応じて，（４）〜（６）式で示される（ｘ1,ｙ1,ｚ1）に座標を移せばよいが，現実には，傾斜角をθx,θy に保って，試料微動を働かせて，新しい試料位置を検鏡するのが普通である。」
　(4) 甲３について
　甲３には，以下の事項が記載されている。
　ア　「【００１４】
　本発明の実施形態に係るカメラマウント組立装置は，図１および図２に示すように，矩形状の撮像面を有するイメージセンサ（以下ＣＣＤと称す）を取付けたセンサホルダ（以下ＣＣＤホルダと称す）１０を撮像面を上方に向け露出させて固定支持するＸＹ軸移動テーブル（以下，単にテーブルと称す）６と，上記撮像面のアオリおよび光軸位置に対するＸ，Ｙ方向のずれを光学的に計測する三次元測定器１と，この三次元測定器１の計測値をもとに上記テーブル６をＸ，Ｙ方向に移動させて上記撮像面の光軸位置合わせ調整を行う，Ｘ軸移動ステージ２およびＹ軸移動ステージ３を組み合わせたＸ，Ｙ方向２軸直交移動ステージと，このＸ，Ｙ方向２軸直交移動ステージに搭載され，上記三次元測定器１の計測値をもとに上記テーブル６をＸ，Ｙ方向に傾斜させて上記撮像面のアオリを調整する，Ｘ軸傾斜ステージ５およびＹ軸傾斜ステージ４を組み合わせたＸ，Ｙ２軸方向傾斜移動ステージと，上記テーブル６の上方においてマウントベース２０を保持し，このマウントベース２０を上記撮像面との間にフランジバックを保つ位置まで下降させて上記ＣＣＤホルダ１０を上記マウントベース２０に接着固定するＺ軸移動ステージ７とを具備して構成される。
【図１】
【図２】
」
　イ　「【００２１】
　工程１；ＣＣＤ１２が実装されたＣＣＤホルダ１０を撮像面１２ａを上方に向け露出させて，テーブル６に固定支持する。ここでは，テーブル６に固定したホルダ支持パレット９に，ＣＣＤホルダ１０を取り付け，ＣＣＤホルダ１０をテーブル６に固定支持する。
【００２２】
　工程２；三次元測定器１の光学測定部１ｂにより，ＣＣＤホルダ１０に実装されたＣＣＤ１２の撮像面１２ａのアオリを測定する。このアオリ測定は，図６に示すように，撮像面１２ａのＸ軸方向中心線上の両端付近の二点と前記撮像面のＹ軸方向中心線上の両端付近の二点をそれぞれ計測ポイントとして，距離を測定し，フランジ面に平行する基準面に対してのＸ軸，Ｙ軸方向の傾きを三次元測定する。なお図６において，符号Ｏ３は撮像面１２ａの重心位置を示している。
【図６】
【００２３】
　工程３；上記工程２における三次元測定器１の計測値をもとに，Ｘ軸傾斜ステージ５およびＹ軸傾斜ステージ４を組み合わせたＸ，Ｙ２軸方向傾斜移動ステージにより，テーブル６をＸ軸，Ｙ軸方向に傾斜させて，撮像面１２ａのアオリを調整する。すなわち，撮像面１２ａがフランジ面と平行になるようにテーブル６の傾きを調整する。
【００２４】
　工程４；三次元測定器１の光学測定部１ｂにより，図７に示す，基準取付面２１ｆと平行する基準面Ｏ２に対する，光軸と平行な垂直軸回りの傾きθ，および図８に示す，撮像面１２ａの光軸位置Ｏ１に対するＸ，Ｙ方向のずれを計測する。
【図７】
【図８】
【００２５】
　工程５；上記工程４における三次元測定器１の計測値をもとに，撮像面１２ａの傾きθ，および光軸位置Ｏ１に対するＸ，Ｙ方向のずれを調整する。ここで，傾きθに規定角以上のずれがあるときは，ホルダ支持パレット９のテーブル６への固定状態を一旦解除して傾きθに規定角以内に収め，ホルダ支持パレット９を再びテーブル６に固定する。なお，ここでは，傾きθの規定角以上のずれの発生頻度が低いことを前提に上記パレットの再固定による調整手段を適用しているが，実機では，Ｘ軸傾斜ステージ５とテーブル６の間にθ角調整ステージを設け，このθ角調整ステージによりθ角の調整を行っている。また，Ｘ軸移動ステージ２およびＹ軸移動ステージ３を組み合わせたＸ，Ｙ方向２軸直交移動ステージにより，光軸位置Ｏ１に対するＸ，Ｙ方向の調整する。
【００２６】
　工程６；テーブル６上において，該テーブル６にホルダ支持パレット９を介在して固定支持された上記調整後のＣＣＤホルダ１０をマウントベース２０に接着固定する。この工程では，図５（ｂ）および図９に示すように，テーブル６上のホルダ支持パレット９に固定支持されたＣＣＤホルダ１０の接着面１５に，接着剤（例えば紫外線硬化型接着剤）Ｐａを塗布する。
【図５】
【図９】
また，Ｚ軸移動ステージ７の上昇位置にある昇降テーブル７ａに固定されたブラケット８に，マウントベース２０を取り付け，マウントベース２０をブラケット８に固定支持する。その後，図１０に示すように，マウントベース２０を撮像面１２ａとの間にフランジバック（ＦＢ）を保つ位置まで矢印ｅｄ方向に下降させて，接着剤Ｐａを硬化（ａｆ）させ，ＣＣＤホルダ１０をマウントベース２０に接着固定する。
【図１０】
」
　(5) 甲４について
　甲４には，以下の事項が記載されている。
　ア　「【０００９】
　次に，カメラモジュール２０を組み立てる組立装置について説明する。
　図４は組立装置４０の構成を示す説明図である。
【図４】
　組立装置４０はフレーム４２を有し，フレーム４２には，撮像ユニット支持機構４４，鏡筒支持機構４６，第１，第２のレーザー光照射手段４８，５０，表示部５２，テストパターン照射手段５４が配設され，フレーム４２の外部には第１，第２のディスプレイ５６，５８が設置されている。
　フレーム４２は，水平方向に延在する底壁４２０２と，該底壁４２０２の上方に間隔をおいて底壁４２０２と平行をなすように延在する上壁４２０４と，底壁４２０２の延在方向の両端から起立し上壁４２０４の両端に接続される２つの側壁４２０６とを有している。底壁４２０２の上面には底壁４２０２の延在方向と平行に延在するレール４２０８が設けられている。
　撮像ユニット支持機構４４は，レール４２０８上に配設された基台４４０２と，基台４４０２に連結された６軸調整ステージ４４０４（姿勢調整機構）と，６軸調整ステージ４４０４の上端に設けられ撮像ユニット２６を着脱可能に保持する保持部４４０６とを有している。
　６軸調整ステージ４４０４は保持部４４０６を，該保持部４４０６で保持した撮像ユニット２６の受光面２４０２に沿って互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向に，かつ，受光面２４０２に直交するＺ軸方向に，かつ，受光面２４０２のＺ軸回り方向（Ｚ軸を中心として回転するθ方向）に，かつ，受光面２４０２の向きを変化させる方向に高い精度で移動できるように構成されている。
　本実施例では，６軸調整ステージ４４０４は，ＸＹステージ，回転ステージ，ゴニオステージを組み合わせることによって構成されており，各ステージに設けられたつまみを操作することによって，保持部４４０６に保持された撮像ユニット４４０６を，Ｘ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，Ｚ軸回り方向，受光面２４０２の向きを変化する方向のそれぞれに動かすことができるようになっており，このような６軸ステージ４４０４として市販品を使用可能である。
　また，撮像ユニット支持機構４４は基台４４０２がレール４２０８に沿って移動することにより，底壁４２０８の延在方向の一方寄りの箇所の第１の調整位置Ｐ１と，他方寄りの箇所の第２の調整位置Ｐ２との間を往復移動可能に構成されるとともに，不図示の保持機構により第１，第２の調整位置Ｐ１，Ｐ２のそれぞれの位置で移動不能に位置決め係止されるように構成されている。」
　２　対比及び判断
　(1) 対比
　ア　構成要件Ａについて
　甲１発明は，「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸とが一致し，かつ鉛直になるように設定され，傾動角度θを少しずつシフトさせながら，光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行い，そして受光光量を検出・記録することにより，光ファイバー６０の受光光量の角度特性を計測する角度特性評価装置５０」である。
　ここで，甲１発明の「光ファイバー６０」は，本件特許発明１の「第１の光学部品」に相当する。また，甲１発明の「赤外線レーザ５１」及び「集光レンズ５２」は，本件特許発明１の「第２の光学部品」に相当する。
　また，甲１発明の「傾動」及び「平面移動」と，本件特許発明１の「光軸調節」は，「相対移動」の点で共通する。また，甲１発明の「角度特性評価装置５０」と本件特許発明１の「光軸調整装置」は，「相対移動装置」の点で共通する。
　したがって，甲１発明の「角度特性評価装置５０」と本件特許発明１の「光軸調整装置」は，「第１の光学部品と第２の光学部品との」相対移動を行うための相対移動「装置」の点で共通する。
　イ　構成要件Ｂについて
　甲１発明は，「ゴニオステージ１０に取り付けられるベース板２１ａと，ベース板２１ａから垂直に突設されたアーム部２１ｂとからなり，光ファイバー６０を着脱自在に保持するワーク取付け治具２１」を具備する。
　ここで，甲１発明の「保持」と本件特許発明１の「載置」とは，「設置」の点において共通する。
　したがって，甲１発明の「ワーク取付け治具２１」と本件特許発明１の「載置ステージ」は，「前記第１の光学部品を」設置「する」設置「ステージ」の点で共通する。
　ウ　構成要件Ｃ及びＤについて
　甲１発明は，「Ｘ軸ステージ１１，Ｙ軸ステージ１２，Ｚ軸ステージ１３，γ軸用θステージ１４，β軸用ゴニオステージ１５及びα軸用ゴニオステージ１６を備える６軸のゴニオステージ１０」及び「ワーク取付け治具２１に保持されている光ファイバー６０を傾動するために，ゴニオステージ１０の駆動源（モーター）１１ａ〜１６ａを制御する制御部４０」を具備する。
　ここで，甲１発明の「ゴニオステージ１０」及び「駆動源（モーター）１１ａ〜１６ａ」と本件特許発明１の「ステージ調整機構」は，「前記」設置「ステージの位置及び姿勢を調整するステージ調整機構」の点で共通する。
　また，甲１発明の「制御部４０」は，本件特許発明１の「コントローラ」に相当し，本件特許発明１の「前記ステージ調整機構を制御するコントローラ」の要件を満たす。
　エ　構成要件Ｅについて
　甲１発明は，「ワーク取付け治具２１が水平状態にあるときのアーム部２１ｂが沿っている方向をＸ軸と定義し，鉛直方向をＺ軸と定義し，Ｘ軸及びＺ軸に垂直な方向をＹ軸と定義し」ている。
　ここで，甲１発明の「Ｘ軸」の方向，「Ｙ軸」の方向及び「Ｚ軸」の方向は，それぞれ，本件特許発明１の「Ｘ」，「Ｙ」及び「Ｚ」に相当する。また，甲１発明の「ワーク取付け治具２１が水平状態にあるときのアーム部２１ｂが沿っている方向」は，本件特許発明１の「所定の方向」に相当する。
　そうしてみると，甲１発明の「ワーク取付け治具２１が水平状態にあるときのアーム部２１ｂが沿っている方向をＸ軸と定義し，鉛直方向をＺ軸と定義し，Ｘ軸及びＺ軸に垂直な方向をＹ軸と定義し」ている点と，本件特許発明１の「前記載置ステージにおける前記第１の光学部品が載置される載置面と平行となる所定の方向をＸと定義し，前記載置面と平行且つ前記Ｘと直交する方向をＹと定義し，前記Ｘ及び前記Ｙに対して直交する方向をＺと定義し，前記Ｘ及び前記Ｙと平行となる面をＸ−Ｙ平面と定義し」ている点は，「前記」設置「ステージにおける前記第１の光学部品が」設置「される」設置「面と平行となる所定の方向をＸと定義し，前記」設置「面と平行且つ前記Ｘと直交する方向をＹと定義し，前記Ｘ及び前記Ｙに対して直交する方向をＺと定義し，前記Ｘ及び前記Ｙと平行となる面をＸ−Ｙ平面と定義し」ている点で，共通する。
　オ　構成要件Ｆについて
　甲１発明の「ワーク保持部２２は，光ファイバー６０を着脱自在に保持し，ワーク取付け治具２１が水平状態にあるとき光ファイバー６０が鉛直姿勢にあり，光ファイバー６０の受光面６０ａは水平であ」る。
　したがって，甲１発明において，「ワーク取付け治具２１が水平状態にあるとき」，甲１発明と本件特許発明１は，「前記第１の光学部品は，光軸が前記Ｚに沿うように前記」設置「ステージに」設置「され」ている点で共通する。
　カ　構成要件Ｇについて
　甲１発明は，「Ｘ軸ステージ１１，Ｙ軸ステージ１２，Ｚ軸ステージ１３，γ軸用θステージ１４，β軸用ゴニオステージ１５及びα軸用ゴニオステージ１６を備える６軸のゴニオステージ１０」を具備する。
　ここで，甲１発明の「Ｘ軸ステージ１１」，「Ｙ軸ステージ１２」及び「Ｚ軸ステージ１３」は，本件特許発明１の「シフトユニット」に相当する。また，甲１発明の「γ軸用θステージ１４」，「β軸用ゴニオステージ１５」及び「α軸用ゴニオステージ１６」は，本件特許発明の「チルトユニット」に相当する。
　したがって，甲１発明の「ゴニオステージ１０」と本件特許発明１の「ステージ調整機構」は，「前記ステージ調整機構は，前記」設置「ステージを前記Ｘ−Ｙ平面の平面方向，かつ前記Ｘ−Ｙ平面に垂直となるＺ軸方向へ移動させるシフトユニットと，前記」設置「ステージを前記Ｘ−Ｙ平面に平行するＸ軸周り，及び前記Ｘ−Ｙ平面に平行し且つ前記Ｘ軸に直交するＹ軸周りに揺動させるチルトユニットとを有し」ている点で共通する。
　キ　構成要件Ｈについて
　甲１発明の「制御部４０は，傾動角度θを少しずつシフトさせながら光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行」う。
　したがって，甲１発明の「制御部４０」と本件特許発明１の「コントローラ」は，「前記コントローラは」「前記シフトユニット及び前記チルトユニットを制御し」ている点で共通する。
　ク　構成要件Ｌについて
　甲１発明は，「駆動源１１ａ，１３ａが駆動信号に基づいてＸ軸ステージ１１，Ｚ軸ステージ１３を駆動し，かつＸ軸方向戻し寸法ΔＸ，Ｚ軸方向戻し寸法ΔＺだけ戻り移動して停止することにより，角度θだけ傾動した光ファイバー６０の受光面６０ａ′の中心は，光ファイバー６０の傾動姿勢を保ったままで回転前の原点での受光面６０ａの中心と一致することになる」構成を具備する。
　ここで，引用発明の「受光面６０ａの中心」は，本件特許発明１の「基準位置」に相当する。
　したがって，甲１発明の「駆動源１１ａ，１３ａが駆動信号に基づいてＸ軸ステージ１１，Ｚ軸ステージ１３を駆動し，かつＸ軸方向戻し寸法ΔＸ，Ｚ軸方向戻し寸法ΔＺだけ戻り移動して停止することにより，角度θだけ傾動した光ファイバー６０の受光面６０ａ′の中心は，光ファイバー６０の傾動姿勢を保ったままで回転前の原点での受光面６０ａの中心と一致することになる」構成と，本件特許発明の「前記Ｘ軸回転制御値及び前記Ｙ軸回転制御値に基づいて前記チルトユニットが前記載置ステージを揺動し，かつ，前記Ｘチルト時復帰制御値と前記Ｙチルト時復帰制御値に基づいて前記シフトユニットが前記載置ステージを前記Ｘ−Ｙ平面方向又は前記Ｚ軸方向に移動させることで，前記Ｘ軸チルト半径及び前記Ｙ軸チルト半径の前記揺動端が前記基準位置でほぼ静止したまま，前記Ｘ軸周りの補正角度及び前記Ｙ軸周りの補正角度によるチルト制御を行う」構成は，「前記チルトユニットが前記」設置「ステージを揺動し，かつ，」「前記シフトユニットが前記」設置「ステージを前記Ｘ−Ｙ平面方向又は前記Ｚ軸方向に移動させることで」「基準位置でほぼ静止したまま」「チルト制御を行う」点で共通する。
　(2) 一致点
　本件特許発明１と甲１発明は，以下の構成において一致する。
「Ａ　第１の光学部品と第２の光学部品との相対移動を行うための相対移動装置であって，
Ｂ　前記第１の光学部品を設置する設置ステージと，
Ｃ　前記設置ステージの位置及び姿勢を調整するステージ調整機構と，
Ｄ　前記ステージ調整機構を制御するコントローラとを，備え，
Ｅ　前記設置ステージにおける前記第１の光学部品が設置される設置面と平行となる所定の方向をＸと定義し，前記設置面と平行且つ前記Ｘと直交する方向をＹと定義し，前記Ｘ及び前記Ｙに対して直交する方向をＺと定義し，前記Ｘ及び前記Ｙと平行となる面をＸ−Ｙ平面と定義し，
Ｆ　前記第１の光学部品は，光軸が前記Ｚに沿うように前記設置ステージに設置され，
Ｇ　前記ステージ調整機構は，
　前記設置ステージを前記Ｘ−Ｙ平面の平面方向，かつ前記Ｘ−Ｙ平面に垂直となるＺ軸方向へ移動させるシフトユニットと，
　前記設置ステージを前記Ｘ−Ｙ平面に平行するＸ軸周り，及び前記Ｘ−Ｙ平面に平行し且つ前記Ｘ軸に直交するＹ軸周りに揺動させるチルトユニットとを有し，
Ｈ　前記コントローラは，前記シフトユニット及び前記チルトユニットを制御し，
Ｌ　前記チルトユニットが前記設置ステージを揺動し，かつ，前記シフトユニットが前記設置ステージを前記Ｘ−Ｙ平面方向又は前記Ｚ軸方向に移動させることで，基準位置でほぼ静止したまま，チルト制御を行う
　相対移動装置。」
　(3) 相違点
　本件特許発明１と甲１発明は，以下の点で相違する。
　ア　相違点１
　本件特許発明１は，第１の光学部品と第２の光学部品との「光軸調節を行うための光軸調整」装置であるのに対して，甲１発明は，「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸とが一致し，かつ鉛直になるように設定され，傾動角度θを少しずつシフトさせながら，光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行い，そして受光光量を検出・記録することにより，光ファイバー６０の受光光量の角度特性を計測する角度特性評価装置５０」である点。
　イ　相違点２
　本件特許発明１の「第１の光学部品」は，（載置ステージに）「載置」されるのに対し，甲１発明の「光ファイバー６０」は，（ワーク取付け治具２１に）「保持」されるものである点。
　ウ　相違点３
　本件特許発明１の「コントローラ」は，「前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行となるように，」前記シフトユニット及び前記チルトユニットを制御し，「前記第１の光学部品の基準位置から前記Ｘ軸までの長さであるＸ軸チルト半径，及び前記第１の光学部品の基準位置から前記Ｙ軸までの長さであるＹ軸チルト半径の情報を保持し，前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行となるための前記Ｘ軸周りの補正角度，及び前記Ｙ軸周りの補正角度を算出するチルト補正条件算出部と，前記チルト補正条件算出部が算出した前記Ｘ軸周りの補正角度及び前記Ｘ軸チルト半径を利用して，前記チルトユニットを前記Ｘ軸周りに揺動させるためのＸ軸回転制御値と，前記Ｘ軸周りの補正角度で前記チルトユニットを揺動させる際に該Ｘ軸チルト半径の揺動端が前記Ｙ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動するシフト量を相殺するために，前記シフトユニットを前記Ｙ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動させるＸチルト時復帰制御値と，の双方を算出するＸチルト値変換手段と，前記チルト補正条件算出部が算出した前記Ｙ軸周りの補正角度及び前記Ｙ軸チルト半径を利用して，前記チルトユニットを前記Ｙ軸周りに揺動させるためのＹ軸回転制御値と，前記Ｙ軸周りの補正角度で前記チルトユニットを揺動させる際に該Ｙ軸チルト半径の揺動端が前記Ｘ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動するシフト量を相殺するために前記シフトユニットを前記Ｘ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動させるＹチルト時復帰制御値と，の双方を算出するＹチルト値変換手段と」を有するのに対して，甲１発明は，この構成を具備するとはいえない点。
　そして，本件特許発明１の「光軸調整装置」は，「前記Ｘ軸回転制御値及び前記Ｙ軸回転制御値に基づいて」前記チルトユニットが前記載置ステージを揺動し，かつ，「前記Ｘチルト時復帰制御値と前記Ｙチルト時復帰制御値に基づいて」前記シフトユニットが前記載置ステージを前記Ｘ−Ｙ平面方向又は前記Ｚ軸方向に移動させることで，「前記Ｘ軸チルト半径及び前記Ｙ軸チルト半径の前記揺動端が前記」基準位置でほぼ静止したまま，「前記Ｘ軸周りの補正角度及び前記Ｙ軸周りの補正角度による」チルト制御を行うものであるのに対し，甲１発明は，「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸とが一致し，かつ鉛直になるように設定され，傾動角度θを少しずつシフトさせながら，光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行い，そして受光光量を検出・記録することにより，光ファイバー６０の受光光量の角度特性を計測する角度特性評価装置５０」である点。
　(4) 判断
　相違点３に関して，本件特許発明１の「コントローラ」は，少なくとも，「前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行となるための前記Ｘ軸周りの補正角度，及び前記Ｙ軸周りの補正角度を算出するチルト補正条件算出部」（以下「チルト補正条件算出部」という。）を有するところ，甲１発明は，「チルト補正条件算出部」の構成を具備せず，また，本件特許の優先日より前において，当業者が，甲１発明において，「チルト補正条件算出部」の構成を採用することが容易であったとはいえない。
　その理由は以下のとおりである。
　ア　甲１の段落【００２２】には，「図６はワーク取付け治具２１を介してゴニオステージ１０に取り付けられた光ファイバー６０の受光光量の角度特性評価装置５０の概略的な構成を示す。５１は赤外線レーザ，５２は集光レンズ，５３は検査用光ファイバー，５４は受光光量検出装置，５５は受光光量記録装置である。」と記載され，続けて，「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸とが一致し，かつ鉛直になるように設定されている。赤外線レーザ５１から出射され集光レンズ５２で集光されたレーザ光５６を光ファイバー６０の受光面６０ａ上の任意の特定位置である所要部位（これは中心であってもよいが，そうでなくてもよい）に焦点を結ぶように入射させる。」と記載されている。
　甲１の上記記載からみて，甲１発明の「角度特性評価装置５０」は，「光ファイバー６０」を取り付けただけで，「光ファイバー６０の光軸」と「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸」が一致するように，その機械的な配置があらかじめ調整されている（ワーク取付け治具２１が水平状態にあるときの，甲１の【図３】の符号２２が指し示す貫通孔の中心が，光軸に一致するようにあらかじめ調整されている）と考えるのが妥当である。
　したがって，甲１には，甲１発明の制御部４０（本件特許発明１のコントローラ）において，第１の光学部品の光軸と第２の光学部品の光軸が平行でないことを前提に，これを平行とするべく「前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行となるように，」前記シフトユニット及び前記チルトユニットを制御する構成（以下，括弧付きで「平行制御手段」という。）を採用すること，その際，「チルト補正条件算出部」の構成を採用することについて，記載又は示唆があるとはいえない。
　イ　甲１発明は，「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸とが一致し，かつ鉛直になるように設定され，傾動角度θを少しずつシフトさせながら，光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行い，そして受光光量を検出・記録することにより，光ファイバー６０の受光光量の角度特性を計測する角度特性評価装置５０」であるところ，甲１発明の「ワーク保持部２２は，光ファイバー６０を着脱自在に保持し，ワーク取付け治具２１が水平状態にあるとき光ファイバー６０が鉛直姿勢にあり，光ファイバー６０の受光面６０ａは水平であり」，甲１発明の「制御部４０は，傾動角度θを少しずつシフトさせながら光ファイバー６０を傾動し，受光面６０ａの中心をレーザ光５６の入射部位に戻す平面移動を行」うものである。すなわち，甲１発明の制御部４０は，「前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行」となっている状態から，「前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行」とならない状態（角度θだけ傾動した状態）に制御するための「制御部４０」である。
　そうしてみると，甲１発明において，「光ファイバー６０」（第１の光学部品）の「受光面６０ａに垂直かつその中心を通る線」（以下「光ファイバー６０の光軸」という。）は，「制御部４０」が制御する前に，「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸」と平行となっている。
　したがって，甲１発明において「平行制御手段」を採用する必要はなく，また，「前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行となるための前記Ｘ軸周りの補正角度，及び前記Ｙ軸周りの補正角度を算出するチルト補正条件算出部」を具備する必要もなく，これら構成を採用することについて，動機付けが存在しない。
　ウ　ところで，上記アでも述べたとおり，甲１発明の「角度特性評価装置５０」は，「光ファイバー６０」を取り付けただけで，「光ファイバー６０の光軸」と「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸」が一致するように，その機械的な配置があらかじめ調整されていると考えるのが妥当であるところ，「あらかじめ調整」するためには，しかるべき調整機構が必要である。また，本件特許発明１の構成を後知恵として踏まえるならば，この調整機構として，「制御部４０」が「チルト補正条件算出部」のような構成を設けることも，あり得るかもしれない。
　しかしながら，甲１発明には，「制御部４０」が制御する前に，どのようにして，「光ファイバー６０の光軸」と「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸」を平行に調整しているのか，記載が存在しない。
　したがって，甲１には，甲１発明の「制御部４０」が「平行制御手段」及び「チルト補正条件算出部」を具備することを示唆する記載が存在するとはいえない。
　エ　念のために，甲１発明において，「光ファイバー６０の光軸」と「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸」が一致するように，その機械的な配置をあらかじめ調整する方法についても検討すると，以下のとおりとなる。
　甲１の段落【００２７】には，「作業者は操作部４４において光ファイバー６０に与えるべき傾動角度θを入力し，β軸用ゴニオステージ１５を起動する。」と記載されている。すなわち，甲１発明では，「少しずつシフトさせながら」（段落【００５１】），すなわち，何回も繰り返し行われる傾斜角度θの変更ですら，作業者の操作指示により行われている。
　そうしてみると，甲１発明において，あらかじめ１回行えば良いだけである「光ファイバー６０の光軸」と「赤外線レーザ５１の出射軸と集光レンズ５２の光軸」を一致させる調整作業については，なおさら，作業者の手作業（操作部４４における入力等）により行われていると考えるのが妥当である。
　したがって，甲１には，甲１発明において「平行制御手段」及び「チルト補正条件算出部」の構成を採用することについて，記載又は示唆があるといえないばかりか，むしろ，これを阻害する記載があるといえる。
　オ　以上のとおりであるから，本件特許の優先日より前において，甲１発明において，「平行制御手段」及び「チルト補正条件算出部」の構成を採用することが，容易であったとはいえない。
　そして，甲１発明において，「チルト補正条件算出部」の構成を採用することが容易であったとはいえないからには，「チルト補正条件算出部」の構成を前提とする構成である，「前記チルト補正条件算出部が算出した前記Ｘ軸周りの補正角度及び前記Ｘ軸チルト半径を利用して，前記チルトユニットを前記Ｘ軸周りに揺動させるためのＸ軸回転制御値と，前記Ｘ軸周りの補正角度で前記チルトユニットを揺動させる際に該Ｘ軸チルト半径の揺動端が前記Ｙ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動するシフト量を相殺するために，前記シフトユニットを前記Ｙ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動させるＸチルト時復帰制御値と，の双方を算出するＸチルト値変換手段」（以下「Ｘチルト値変換手段」という。）の構成及び「前記チルト補正条件算出部が算出した前記Ｙ軸周りの補正角度及び前記Ｙ軸チルト半径を利用して，前記チルトユニットを前記Ｙ軸周りに揺動させるためのＹ軸回転制御値と，前記Ｙ軸周りの補正角度で前記チルトユニットを揺動させる際に該Ｙ軸チルト半径の揺動端が前記Ｘ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動するシフト量を相殺するために前記シフトユニットを前記Ｘ軸方向又は前記Ｚ軸方向に移動させるＹチルト時復帰制御値と，の双方を算出するＹチルト値変換手段」（以下「Ｙチルト値変換手段」という。）の構成を採用することも，容易であったとはいえない。また，「前記Ｘ軸回転制御値及び前記Ｙ軸回転制御値に基づいて前記チルトユニットが前記載置ステージを揺動し，かつ，前記Ｘチルト時復帰制御値と前記Ｙチルト時復帰制御値に基づいて前記シフトユニットが前記載置ステージを前記Ｘ−Ｙ平面方向又は前記Ｚ軸方向に移動させることで，前記Ｘ軸チルト半径及び前記Ｙ軸チルト半径の前記揺動端が前記基準位置でほぼ静止したまま，前記Ｘ軸周りの補正角度及び前記Ｙ軸周りの補正角度によるチルト制御を行う」構成にも到らない。
　カ　なお，仮に，甲１発明において，「チルト補正条件算出部」の構成を採用したとしても，甲１発明において，「Ｘチルト値変換手段」及び「Ｙチルト値変換手段」の構成を採用するとは限らない。
　すなわち，「チルト補正条件算出部」により「前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行となるための前記Ｘ軸周りの補正角度，及び前記Ｙ軸周りの補正角度を算出」したと仮定しても，甲１発明が採り得る手段には，(A)まず，「前記第１の光学部品の光軸が前記第２の光学部品の光軸と平行となるための前記Ｘ軸周りの補正角度，及び前記Ｙ軸周りの補正角度」に基づいて，Ｘ軸のチルト及びＹ軸のチルトを修正し（光ファイバー６０の受光面６０ａを水平状態にし），(B)次に，光ファイバー６０の受光面６０ａの中心が集光レンズ５２の光軸（赤外線レーザ５１の出射軸）上に移動するように，Ｘ軸ステージ１１及びＹ軸ステージ１２を制御する構成（前記Ｘ軸チルト半径及び前記Ｙ軸チルト半径の前記揺動端が前記基準位置でほぼ静止したまま，前記Ｘ軸周りの補正角度及び前記Ｙ軸周りの補正角度によるチルト制御を行わない構成）が考えられる。
　前記エで述べたとおり，甲１に記載された「角度特性評価装置５０」は，作業員の操作指示によりゴニオステージ１０を制御するものである。したがって，仮に，甲１発明において，「チルト補正条件算出部」の構成を採用したとしても，その後は，算出されたチルト補正値を，作業員がゴニオステージ１０に対して操作指示する（例えば上記(A)及び(B)の手順のように操作指示する）と考えるのが妥当である。
　キ　甲２〜４について
　(ア)甲２について
　甲１発明において，「平行制御手段」及び「チルト補正条件算出部」の構成を採用することについて，甲１に記載又は示唆があるといえないからには，甲１発明に対して，甲２記載事項を組み合わせることについても，甲１に記載又は示唆があるとはいえない。
　なお，甲２には，傾斜角θy をθy1からθy2まで変化させたとき，演算手段によって観察像の逃げ補正量Δｙ及びΔｚを算出し，前記試料位置制御手段によって観察点を座標（ｘ,ｙ−Δｙ,ｚ−Δｚ）に移動することにより像の逃げを自動的に補正するという事項が開示されている。
　すなわち，甲２に記載された事項は，傾斜角θが既知であることを前提として，観察像の逃げ補正量Δｙ及びΔｚを算出する技術であるから，仮に，甲１発明と甲２記載事項を組み合わせるとしても，甲２に記載された事項は，制御部４０が傾斜角度θを変化させたときに，Ｘ軸方向戻し寸法ΔＸ及びＺ軸方向戻し寸法ΔＺを算出する構成において組み合わせられるべき技術である。
　したがって，仮に，甲１発明と甲２記載技術を組み合わせるとしても，本件特許発明１の構成には到らない。
　(イ)甲３について
　異議申立人は，本件特許発明１については，甲１発明と甲３記載技術の組合せに基づく容易推考を主張していないところではあるが，念のため，甲３記載技術についても検討する。
　甲１発明において，「平行制御手段」及び「チルト補正条件算出部」の構成を採用することについて，甲１に記載又は示唆があるといえないからには，甲１発明に対して，甲３記載事項を組み合わせることについても，甲１に記載又は示唆があるとはいえない。
　なお，甲３には，工程３においてアオリを調整して（段落【００２３】），その後，工程５において撮像面１２ａの（面内方向の）傾きθ及びＸ，Ｙ方向のずれを調整する（段落【００２５】）という，本件特許発明１とは異なる構成が開示されている。
　したがって，仮に，甲１発明と甲３記載技術を組み合わせたとしても，本件特許発明１とは異なる構成となるはずであるから，本件特許発明１の構成には到らない。
　(ウ)甲４について
　異議申立人は，本件特許発明１については，甲１発明と甲４記載技術の組合せに基づく容易推考を主張していないところではあるが，念のため，甲４記載技術についても検討する。
　甲１発明において，「平行制御手段」及び「チルト補正条件算出部」の構成を採用することについて，甲１に記載又は示唆があるといえないからには，甲１発明に対して，甲４記載事項を組み合わせることについても，甲１に記載又は示唆があるとはいえない。
　なお，甲４には，【図５】〜【図９】の手順によって，レンズ鏡筒２３と撮像ユニット２６の光軸調整を行うという，本件特許発明１とは異なる構成が開示されている。
　仮に，甲１発明と甲４記載技術を組み合わせるとしても，本件特許発明１とは異なる構成となるはずであるから，本件特許発明１の構成には到らない。
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
　(5) 小括
　本件特許発明１は，甲１発明及び甲２記載事項に基づいて，当業者が容易に発明できたものであるということができない。
　また，仮に，甲３記載事項及び甲４記載事項も考慮したとしても，本件特許発明１は，甲１発明及び甲２〜４記載事項に基づいて，当業者が容易に発明できたものであるということができない。
　本件特許発明２〜６は，本件特許発明１をさらに減縮したものである。
　同様の理由により，本件特許発明２〜６は，甲１発明及び甲２〜４記載事項に基づいて，当業者が容易に発明できたものであるということができない。
第３　むすび
　したがって，特許異議申立の理由及び証拠によっては，本件特許１〜６を取り消すことはできない。
　また，他に本件特許１〜６を取り消すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成２８年３月３日（２０１６．３．３）