【事件の表示】
　平成１０年特許願第３２７５６５号「走査電子顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　９月　７日出願公開、特開平１１−２４２９４１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯／本願発明
  本願は、平成４年１０月２０日に出願された特願平４−３０６２０５号の一部を特許法４４条１項の規定により平成１０年１０月７日に新たな特許出願としたものであって、その請求項１乃至９に係る発明は、平成１１年１２月２７日付け及び平成１２年１０月１０日付け手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至９に記載されたとおりのものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下。「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「【請求項１】　電子源と、
　前記電子源から放出される一次電子線を収束する対物レンズと、
　前記一次電子線の照射に起因して試料から放出される電子を検出する電子検出器と、
　前記試料および／または前記試料を配置する試料台に負電圧を印加する負電圧印加手段とを備えた電子顕微鏡において、
　前記電子検出器は前記対物レンズよりも電子源側に配置されると共に、前記一次電子線の軸外であって当該一次電子線と交差する方向に前記電子を受ける部分が広がり、
　前記電子検出器の電子を受ける部分と前記試料との間にはエネルギフィルタが配置され、
　前記エネルギフィルタには、前記試料および／または試料台に印加される負電圧に相当する第１負電圧と、前記負電圧によって減速された二次電子および反射電子のうち反射電子を選択的に通過させるための第２負電圧とが、重畳して印加されることを特徴とする走査電子顕微鏡。」
　なお、平成１２年１０月１０日付け手続補正については、原審において平成１３年５月２９日付けで補正却下の決定がなされたが、これに対し、補正却下の決定に対する審判が請求され、原決定を取り消す旨の審決がなされている。
　
２．引用刊行物 
２−１．刊行物１
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開平３−４９１４２号公報（以下、「刊行物１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
１ａ．「１．電子銃からでた電子線を細く絞って試料に照射するレンズ手段、該電子線を該試料上で二次元的に走査する走査手段、該試料からでてくる二次電子を検出する検出手段とからなる装置において、該試料には負の電圧を印加し、かつ該レンズと該検出手段との間に補助レンズ手段を設けたことを特徴とする走査形電子顕微鏡及びその類似装置。」（１ページ「特許請求の範囲」）
１ｂ．「低加速電圧で高分解能を得るためには、試料をレンズの内部に配置したインレンズ形でかつこの試料に負の電圧を印加して一次電子線を減速させればよいことはすでに述べた。この光学系で、二次電子の高検出効率化を図るためには、一次電子線の減速電界で加速された二次電子の大半をレンズ通過後検出器の方に向かって進むようにすればよい。」（２ページ右上欄１４行〜左下欄１行）
１ｃ．「電子銃１からでた電子線２は、幾つかのレンズ（本実施例では対物レンズ３以外省略）により細く絞られて試料４上を照射する。この電子線２は偏向器５により試料４上で２次元的に走査される。また、試料４からでてきた二次電子６は、二次電子検出器７により検出されて映像信号となる。ここで、試料４は電子線２を減速するために負の電圧ＶＲが印加されている。このとき、出てきた二次電子６はこの減速電圧ＶＲにより逆に加速されるが、補助レンズ８により検出器７の電界が染みだしている領域に二次電子６が十分に到達できるようにする。・・・このようにして、低加速電圧でも高分解能な二次電子像を得ることができる。なお、二次電子検出器７にはシンチレータ、チャンネルプレート等いずれを用いても実現できる。本実施例では試料４を対物レンズの内部に配置したが、試料４を対物レンズ３の下側に配置し、二次電子検出器７を対物レンズ３の上側にしてもよい。」（２ページ右下欄５行〜３ページ左上欄１６行）
１ｄ．図面の第１図及び第２図から、二次電子検出器７は、対物レンズ３の上側（対物レンズ３よりも電子銃１に近い側）に位置し、また、その検出面が一次電子線２と交差する方向に配置されていることが見てとれる。
　
２−２．刊行物２
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開昭５１−１０８５６９号公報（以下、「刊行物２」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
２ａ．「本発明は走査電子顕微鏡又はその類似装置、特にその試料からの反射電子の検出効率を向上させるための改良に関する。」（１ページ左下欄１５行〜１７行）
２ｂ．「第１図において試料台５上に戴置された試料６は絶縁物４を介して外側及び内側メツシユ２、３により２重に包囲されている。１次電子線１を試料６に照射すると反射電子Ｂ．Ｓ．Ｅ、２次電子ＳＥ（１）が発生する。ここで外側メツシユ２に印加されるバイアス電圧Ｅ１に対し内側メツシユ３のバイアス電圧Ｅ２を若干負にすればエネルギーの低い２次電子ＳＥ（１）は内側メツシユ３を通過することができず、検出器に到達することはできない。また高エネルギーの反射電子Ｂ．Ｓ．Ｅは内側メツシユ３を通過するか、又は内側メツシユ３に衝突して２次電子ＳＥ（２）（反射電子の情報を持った２次電子）を発生する。ここで発生した２次電子ＳＥ（２）は若干正にバイアスされた外側メツシユ２の電界によつて外側メツシユ２を通過し検出器に到達する。この検出器では２次電子は金属蒸着膜７に印加された後段加速電圧Ｅｐにより引き込まれてこの膜を通過しシンチレータ８で光に変換されライトガイド９を通つて２次電子増倍管（図示せず）に導かれる。」（２ページ左上欄４行〜右上欄３行）
２ｃ．図面の第１図〜第３図から、試料台５が接地され、内側メツシユ３には、試料台５との間に負のバイアス電圧Ｅ２が印加されていることが見てとれる。
　
３．対比／判断
　上記「２−１．刊行物１」の１ａ．〜１ｄ．の記載から、刊行物１には次の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
「電子銃１と、電子銃１からでた一次電子線２を細く絞って試料４に照射する対物レンズ３と、試料４からでてきた二次電子６を検出する二次電子検出器７と、試料４に一次電子線２を減速するための負の電圧ＶＲが印加されている走査形電子顕微鏡であって、二次電子検出器７は、対物レンズ３の上側（対物レンズ３よりも電子銃１に近い側）に位置し、また、その検出面が一次電子線２と交差する方向に配置されているもの。」
　そこで、本願発明（前者）と上記刊行物１記載の発明（後者）とを対比する。
  後者の「電子銃１」、「一次電子線２」、「対物レンズ３」、「試料４」、「走査形電子顕微鏡」は、それぞれ、前者の「電子源」、「一次電子線」、「対物レンズ」、「試料」、「走査電子顕微鏡」に相当する。
　後者の「二次電子検出器７」は、一次電子線２が試料４に照射された結果、試料４からでてきた二次電子６を検出するものであるが、一次電子線２の照射により試料から放出される電子としては、二次電子の外に反射電子もあり（この点に関しては、例えば、原査定の拒絶の理由に引用された特開平１−２９８６３３号公報に、一次電子を減速させて色収差等を改善するようにした走査型電子顕微鏡において、試料から放出される電子として二次電子と後方散乱電子があり、この両者を検出器ＤＴで検出することが示されている。なお、当該公報においては、二次電子と後方散乱電子を二次電子ＳＥと総称している。）、後者において、これらの電子を特に区別して検出する構成も認められないから、後者の「二次電子検出器７」は、二次電子６のみを検出するものではなく、一次電子線２の照射により試料から放出される二次電子や反射電子を検出しているものと認められる。したがって、後者の「二次電子検出器７」は、前者の、一次電子線の照射に起因して試料から放出される電子を検出する「電子検出器」に相当する。
　後者においても、試料４に一次電子線２を減速するための負の電圧ＶＲが印加されているのであるから、試料および／または前記試料を配置する試料台に負電圧を印加する負電圧印加手段が存在することは明らかであり、また、二次電子検出器７の検出面は、一次電子線２と交差する方向に配置されているから、一次電子線の軸外であって当該一次電子線と交差する方向に前記電子を受ける部分が広がっていることも明らかである。
　以上より、両者は、
「電子源と、前記電子源から放出される一次電子線を収束する対物レンズと、前記一次電子線の照射に起因して試料から放出される電子を検出する電子検出器と、前記試料および／または前記試料を配置する試料台に負電圧を印加する負電圧印加手段とを備えた電子顕微鏡において、前記電子検出器は前記対物レンズよりも電子源側に配置されると共に、前記一次電子線の軸外であって当該一次電子線と交差する方向に前記電子を受ける部分が広がっている走査電子顕微鏡」
　の点の構成で一致し、以下の点で相違する。
［相違点］
　前者が、電子検出器の電子を受ける部分と試料との間にエネルギフィルタが配置され、前記エネルギフィルタには、前記試料および／または試料台に印加される負電圧に相当する第１負電圧と、前記負電圧によって減速された二次電子および反射電子のうち反射電子を選択的に通過させるための第２負電圧とが、重畳して印加されているのに対し、後者はこのような構成を有していない点。
　
　上記相違点について検討する。
  本願発明のエネルギフィルタは、試料および／または前記試料を配置する試料台の電位（第１負電圧）に比して第２負電圧分だけ負の電位になるように、第１負電圧と第２負電圧とを重畳してエネルギフィルタに印加し、二次電子および反射電子のうち反射電子を選択的に通過させるためのものであるから、エネルギフィルタに第１負電圧と第２負電圧とを重畳して印加することは、エネルギフィルタの電位が、試料および／または前記試料を配置する試料台の電位に比して、第２負電圧分だけ負の電位になるように設定されることを意味するものである。
　一方、上記刊行物２には、内側メツシユ３に、試料台５に比して負のバイアス電圧Ｅ２を印加し、１次電子線１を試料に照射して発生した反射電子Ｂ．Ｓ．Ｅ、２次電子ＳＥ（１）の中、エネルギーの低い２次電子ＳＥ（１）は内側メツシユ３を通過させず、高エネルギーの反射電子Ｂ．Ｓ．Ｅのみ、内側メツシユ３を通過させるか、該内側メツシユ３に衝突させて２次電子ＳＥ（２）（反射電子の情報を持った２次電子）を発生させて、検出器に到達させることが示されている。この内側メツシユ３は、本願発明のエネルギフィルタと同様、それに印加されるバイアス電圧によって反射電子を選択的に通過させるという機能を有するものであり、また、その印加されるバイアス電圧も、内側メツシユ３の電位が、試料台の電位に比してバイアス電圧Ｅ２分だけ負の電位になるように設定されるものである。
　また、走査電子顕微鏡において反射電子を弁別して検出することは、普通に行われているところである。
　したがって、刊行物１記載の発明に、刊行物２に記載された、試料台の電位に比して負の所定電位になるように設定され、本願発明のエネルギフィルタと同様の機能を有する内側メツシユ３に関する技術事項を適用して本願発明のように構成することは、当業者が格別の推考力を要することなくなし得る程度のことと認められる。
  そして、本願発明による効果も、刊行物１及び刊行物２の記載から当業者が予測しうる範囲のものにすぎない。
  したがって、本願発明は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
 　以上のとおり、本願発明は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願の請求項１に係る発明（本願発明）が特許を受けることができないものであるから、本願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。