【事件の表示】
　上記当事者間の特許第３２６９２１３号発明「誘電体バリヤ放電ランプ」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第３２６９２１３号の請求項１、２及び６に係る発明についての特許を無効とする。
　審判費用は、被請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第３２６９２１３号についての手続の経緯は、以下のとおりである。
平成　５年　９月　８日　　特許出願
平成１４年　１月１８日　　特許権の設定登録
平成１５年１１月　４日　　請求項１、２及び６に係る発明についての特許　　　　　　　　　　　　　に対して、特許の無効の審判の請求
平成１６年　１月２６日　　答弁書及び訂正請求書提出
平成１６年　３月　４日　　弁駁書提出
平成１６年　４月　２日付　被請求人への無効理由及び訂正拒絶理由通知
平成１６年　４月　２日付　請求人への職権審理結果通知
平成１６年　５月１８日　　無効理由に対する意見書、訂正拒絶理由に対す　　　　　　　　　　　　　る意見書及び訂正請求書提出
平成１６年　６月　４日付　訂正拒絶理由通知
平成１６年　７月　８日　　訂正拒絶理由に対する意見書提出
平成１６年　７月２０日　　平成１６年１月２６日付訂正請求の取下げ
平成１６年　７月２３日付　被請求人への無効理由及び訂正拒絶理由通知
平成１６年　７月２３日付　請求人への職権審理結果通知
平成１６年　８月２５日　　平成１６年５月１８日付訂正請求の取下げ
平成１６年　９月１６日付　審理終結通知
　
第２　本件発明
　上記のとおり、平成１６年１月２６日付訂正請求及び平成１６年５月１８日付訂正請求はいずれも取り下げられたので、本件請求項１、請求項２及び請求項６に係る発明は、願書に添付された明細書の特許請求の範囲の請求項１、２及び６に記載された、以下のとおりのものである。
【請求項１】　放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該エキシマ分子から放射される光を取り出す窓部材を有し、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体であり、かつ、放電容器と誘電体バリヤ放電の誘電体とを兼ねている部分の誘電体の放電空間の反対側の表面に設けられた導電性薄膜からなる電極を含む誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性薄膜を化学的・機械的に保護するための部材を設けたことを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。
【請求項２】　該導電性薄膜を保護するための部材が、シリコンゴム、フッ素樹脂、酸化物、窒化物およびフッ化物の中から選ばれた少なくとも一種であることを特徴とした請求項１に記載の誘電体バリヤ放電ランプ。
【請求項６】　該エキシマ分子から放射される光が波長２００ｎｍ以下の紫外線であることを特徴とした請求項１から請求項５に記載の誘電体バリヤ放電ランプ。　
　
第３　請求人の主張
　請求人は、無効審判請求書に添付された下記の甲第１号証ないし甲第３号証、及び平成１６年３月４日付弁駁書に添付された下記の参考資料１ないし７を提示するとともに、本件の請求項１、請求項２及び請求項６に係る発明は、本件の出願前に頒布された刊行物である甲第１号証に記載された発明と同一又はこれに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件の請求項１、２及び６に係る特許は、特許法第１２３条第１項第２号の規定により無効とされるべきものである旨主張している。
　　　　　　　　　　　　　　　記
甲第１号証：欧州特許出願公開第０２５４１１１号明細書
甲第２号証：「岩波　理化学辞典　第４版」、株式会社岩波書店、１９８７　　　　　　年１０月１２日発行、第１１０５頁「フッ化マグネシウム」の　　　　　　項及び第１３４８〜１３４９頁「リチウム」の項
甲第３号証：「化学大辞典７　初版」、共立出版株式会社、昭和３６年１０　　　　　　月３０日発行、第８８１〜８８２頁の「ふっかマグネシウム」　　　　　　の項
参考資料１：「岩波　理化学辞典　第４版」、株式会社岩波書店、１９８７　　　　　　年１０月１２日発行、「オゾン」の項
参考資料２：実願平１−５０３８１号（実開平２−１４２４３６号）のマイ　　　　　　クロフィルム
参考資料３：特開昭５３−９３１９６号公報
参考資料４：特開平３−８８７０２号公報
参考資料５：特開平２−２８９４０２号公報
参考資料６：特開昭６４−４２３０６号公報
参考資料７：特開昭６２−３００２号公報
　
第４　当審における無効理由通知の概要
　当審において平成１６年７月２３日付けで通知した無効理由の概要は、以下のとおりである。
　本件の請求項１、２及び６に係る発明は、本件の出願前に頒布された下記の刊行物１又は刊行物２に記載された発明であるか、あるいは、下記の刊行物１又は刊行物２に記載された発明及び刊行物３ないし刊行物６に記載のごとき周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１、２及び６に係る発明についての特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定、あるいは、同条第２項の規定に違反して特許されたものである。
　よって、本件の請求項１、２及び６に係る発明についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し、無効とすべきものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
刊行物１：特開平５−１７４７９２号公報
刊行物２：欧州特許出願公開第２５４１１１号（請求人の提出した甲第１号　　　　　証）
刊行物３：特開平２−７３５３号公報（特に、第４頁左下欄下から第６〜４　　　　　行）
刊行物４：特開平４−２２９６７１号公報（特に、段落【００１１】、【０　　　　　０１３】）
刊行物５：特開平５−１１７０６１号公報（特に、段落【００１２】）
刊行物６：「洗浄設計」１９８７年夏季号、１０〜１６頁“紫外放射とオゾ　　　　　ンを利用した光洗浄装置”
　
　なお、上記無効理由通知に対して、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、被請求人からは何の応答もなかった。
　また、請求人へも上記の職権審理結果を通知したが、何の応答もなかった。
　
第５　各刊行物に記載された技術事項
１　刊行物１
　刊行物１には、以下の記載がある。
(1a)「【請求項１】　放電条件下でビームを発射する充填ガスの充填された放電室（４）と、
　放電の給電のための交流電源（６）とを有する、例えば紫外線用の高出力ビーム発生器であって、
　前記交流電源は第１および第２の電極に接続されており、
　前記放電室の壁部は第１および第２の誘電体（１、２）により形成され、放電室（４）とは反対側の該誘電体の表面には格子状または網状の金属第１電極（５）と第２電極（３）が設けられている高出力ビーム発生器において、
　少なくとも第１電極（５）には保護層（８；８ａ；８ｂ；８ｃ）が設けられているか、または上記第１電極は保護層に埋め込まれていることを特徴とする高出力ビーム発生器。
　【請求項２】　電極（３、５）の形成される材料にのみ保護層（８）、有利にはワイヤラッカーからなる保護層が設けられている請求項１記載の高出力ビーム発生器。」
(1b)従来の技術について、「光化学的手法の工業的使用は適切なＵＶ源の使用性に強く依存している。古典的なＵＶビーム発生器は固有の離散的な波長において低中強度のＵＶビームを送出する。例えば水銀低圧ランプは１８５ｎｍおよび特に２５４ｎｍにおいてビームを放射する。実際に高いＵＶ出力は高圧ランプ（Ｘｅ、Ｈｇ）からのみ得られる。しかし高圧ランプのビームは大きな波長領域にわたって分布されている。新しいエキシマレーザはいくつかの新しい波長を光化学的基礎実験に提供した。しかし現在のところエキシマレーザはコスト的理由から工業プロセスには例外的にしか適しない。
　冒頭に述べたＥＰ特許出願または“Ｎｅｕｅ　ＵＶ−ａｎｄ　ＶＵＶ　Ｅｘｉｃｉｍｅｒｓｔｒａｈｌｅｒ”,Ｖ．Ｋｏｇｅｌｓｃｈａｔｚ、Ｂ．Ｅｌｉａｓｓｏｎ著、第１０回ドイツ化学者協会講演大会、専門群、光化学、ヴュルツブルグ（旧西ドイツ）、１９８７年１１月には、新しいエキシマビーム発生器が記載されている。この新しいビーム発生器形式は、エキシマビームをサイレント放電においても形成し得ることと、オゾン発生のために工業的に使用される放電形式に基づいている。この放電の短時間（＜１ｍｓ）でのみ存在する電流フィラメントにおいて、希ガス原子が電子衝突によって励起され、希ガス原子は励起された分子群（エキシマ）に対してさらに反応する。このエキシマの寿命は僅か数１００ｎｓであり、崩壊の際にその結合エネルギをＵＶビームの形で放出する。
　この種のエキシマビーム発生器の構成は電流供給部まではほぼ古典的オゾン発生器に相応する。大きな相違は、放電室を画定する電極および／または誘電層の少なくとも１つが、形成されたビームのために透明であることである。この電極はＵＶ高透過性である他に次の特性を有していなければならない。電流の良好な伝導性、可及的に密な誘電体との接触を得るための良好な可とう性そして長寿命である。長寿命のためには特にビーム発生器の雰囲気の化学的反応性の低いことが要求される。ビーム発生器を光源として化学反応に使用したいならば、多くの適用のために多数の物質に対する化学的不活性さえ絶対必要である。」（段落【０００３】〜【０００５】）
(1c)課題の解決手段について、「上記課題は本発明により、少なくとも第１電極には保護層が設けられているか、または保護層に埋め込まれているように構成して解決される。
　このように構成されたビーム発生器は実際上のすべての要求を満たす。
　−雰囲気に曝された電極は化学的侵害作用から保護される（寿命の延長）　。
　−電極はさらに物理的崩壊作用に対して保護される。放電は浸食を引き起　こす。浸食は電極材料を剥離し、その電極材料は誘電体の透明個所に沈着　してその個所の透明度を低減させる。
　−雰囲気自体がＵＶビームを処理すべきガスまたは液体ならば、この物質　の金属接触が、金属の関与する付加的化学反応を引き起こさないために回　避される（化学的不活性）。
　−雰囲気中に場合により発生する、電極から誘電体への放電（例えばコロ　ナ）、または近傍に存在する誘電部材への放電、または誘電体に沿った表　面放電が、誘電体への良好な接触により回避される。電極の電気絶縁性の　改善によりさらにエネルギを消費する不所望な放電が阻止される。」（段落【０００７】〜【００１２】
(1d)実施例について、「図１に模式的に示されたＵＶ高出力ビーム発生器は、外部の誘電管１（例えば石英ガラス製）およびそれに同心配置された内部の誘電管２からなる。内部誘電管の内壁には内部電極３が設けられている。２つの管１と２の間のリング状空間はビーム発生器の放電室４を形成する。内部管２はガス気密に外部管１へ差し込まれており、外部管には前もってガスまたはガス混合体が充填されている。このガスはサイレント放電の影響の下でＵＶビームまたはＶＵＶビームを放射する。
　外部電極５として、外部管１の全周囲にわたって延在している金属網または金属格子を用いる。外部電極５と外部誘電管１は共に形成されるＵＶビームに対して透明である。」（段落【００１５】〜【００１６】）
(1e)充填ガスについて、「ビームの所望のスペクトル組成に応じて、物質／物質混合気が以下の表に従い使用される。
　　　充填ガス　　　　　　　　　　　　　　ビーム
　ヘリウム　　　　　　　　　　　６０〜１００　ｎｍ
　ネオン　　　　　　　　　　　　８０〜９０　　ｎｍ
　アルゴン　　　　　　　　　　　１０７〜１６５ｎｍ
　アルゴン＋フッ素　　　　　　　１８０〜２００ｎｍ
　アルゴン＋塩素　　　　　　　　１６５〜１９０ｎｍ
　アルゴン＋クリプトン＋塩素　　１６５〜１９０、２００〜２４０ｎｍ
　クセノン　　　　　　　　　　　１６５〜１９ｎｍ
　窒素　　　　　　　　　　　　　３３７〜４１５ｎｍ
　クリプトン　　　　　　　　　　１２４、１４０〜１６０ｎｍ
　クリプトン＋フッ素　　　　　　２４０〜２５５ｎｍ
　クリプトン＋塩素　　　　　　　２００〜２４０ｎｍ
　水銀　　　　　　　　　　　　　185,254,320〜370nm,390〜420nm
　セレン　　　　　　　　　　　　１９６、２０４、２０６ｎｍ
　ジューテリウム　　　　　　　　１５０〜２５０ｎｍ
　クセノン＋フッ素　　　　　　　３４０〜３６０、４００〜５５０ｎｍ
　クセノン＋塩素　　　　　　　　３００〜３２０ｎｍ
　その他、次の一連の充填ガスが考えられる。」（段落【００１９】〜【００２０】
(1f)「実施例に基づき前に説明した本発明はいわゆる外部ビーム発生器に関連するものである。その際に示した電極保護手段は勿論、いわゆる内部ビーム発生器に対してもあてはまる。透明電極５の位置を別にすれば、このような内部ビーム発生器は図１に示した外部ビーム発生器に相応する。
　さらにＵＶビームが外部と内部に照射されるビーム発生器構成も可能である。図６はこのようなビーム発生器の断面を示す。このような構成では、２つの誘電管１、２およびそれぞれの電極３、５は形成されるビームに対して透明でなければならない。この場合、第１電極５も第２電極３も上に述べたようにして化学的および物理的侵食作用から最適に保護することができる。」（段落【００２９】〜【００３０】）
(1g)「外部および内部ビーム発生器は規則的に流動する冷却剤によって冷却される。この冷却剤は、外部ビーム発生器の場合、内部誘電管２を通って案内される。内部ビーム発生器の場合、冷却剤は外部誘電管１の回りを流れる。この場合も前記の材料からなる保護層は、冷却剤による浸食作用を阻止するか、少なくとも軽減するのに寄与する。この場合、ＵＶビームを透過させる必要のない電極を取り扱う限り、別の保護層（例えば陽極酸化処理、エナメル塗布による）を被覆することができる。このようにすると、誘電体にアルミニウム電極を蒸着またはスパッタリングする際に自由表面を陽極酸化できる。」（段落【００３１】）
　
２　刊行物２
　刊行物２には、「高出力放射器」に関し、以下の記載がある。
(2a)技術分野について、「この発明は、例えばG.A.Volkova、N.N.Kirillova、E.N.Pavlovskaya、A.V.Yakovleva共著の Zhurnal Prikladnoi Spektroskopil SU 誌（41［1984］No.4、691-695、プレナム出版社から1985年に英訳出版、図書番号：0021−9037／84／4104−1194、8.5 ドル、1194 ページ）における“不活性ガス中のバリヤ放電による真空紫外線ランプ”の技術内容に関連している。」（第２頁第１１〜１５行、請求人が提出した翻訳文第１頁第３５行〜第２頁第３行）
(2b)従来技術について、「高出力放射器、特に紫外線高出力放射器は、例えば殺菌、塗料及び合成樹脂の硬化、排気ガスの浄化、特殊な化合物の分解及び合成等、様々に利用されている。一般に放射器の波長は、意図するプロセスに非常に整合させなければならない。最も公知の放射器は恐らく、波長２５４ｎｍと１８５ｎｍの紫外線を高い効率で放射する水銀放射器であろう。この放射器の中では、希ガス−水銀蒸気混合気体中で低圧−グロー放電が行われている。」（第２頁第２０〜２６行）
(2c)「放電室５の外側は通常の方法で接合するが、その前に真空にして、不活性ガスあるいは放電時にエキシマを形成する水銀、不活性ガス、不活性ガス／金属蒸気混合ガス、不活性ガス／ハロゲン混合ガスなどを充填する。場合によっては、別の不活性ガス（アルゴン、ヘリウム、ネオン）を緩衝ガスとして使用する。」（第４頁第１９〜第２２行、同翻訳文第４頁第５行〜８行）
(2d)「放射線のスペクトル構造に応じて、下表のガスを使用する。
　　充填ガス　　　　　　　波長
　ヘリウム　　　　　　６０〜１００ｎｍ　
　ネオン　　　　　　　８０〜９０ｎｍ
　アルゴン　　　　　　１０７〜１６５ｎｍ
　キセノン　　　　　　１６０〜１９０ｎｍ
　窒素　　　　　　　　３３７〜４１５ｎｍ
　　充填ガス　　　　　　波長
　クリプトン　　　　　１２４ｎｍ、１４０〜１６０ｎｍ
　クリプトン＋フッ素　２４０〜２５５ｎｍ
　水銀　　　　　　　　１８５ｎｍ、２５４ｎｍ
　セレン　　　　　　　１９６ｎｍ、２０４ｎｍ、２０６ｎｍ
　重水素　　　　　　　１５０〜２５０ｎｍ
　キセノン＋フッ素　　４００〜５５０ｎｍ
　キセノン＋塩素　　　３００〜３２０ｎｍ」（第４頁第２３〜５０行、同翻訳文第４頁第９〜２６行）
(2e)「無声放電（誘電体バリヤ放電　dielectric barrier discharge）では、放電室の間隙、圧力、温度（冷却の程度）を変えることによって、電極のエネルギー分布を最適にすることができる。」（第４頁第５３〜５５行、同翻訳文第４頁第２７〜２９行）
(2f)「特定の充填ガスを溶融石英容器または溶融ガラス容器などで密閉した放電室で利用するのがよいということが、実験的に判明した。このような構造では、充墳ガスが金属電極とは接触せず、放電は誘電体によって制限される。このような高出力放射器の原理構造は、図４にも利用されている。図４は図１と同じ部品に同じ番号を振っている。図１と図４の原理の違いは、放電室５と金属電極１との間に第２誘電体１７を配置しているところである。図１と同様に金属電極１は、冷却媒質２によって冷却される。放射線は、放射線を透過させる誘電体４と第２電極となっている金網６を通って放電室から透過する。」（第５頁第２７〜３６行、同翻訳文第５頁第１４〜２０行）
(2g)「図５はこの高出力放射器を実用化した構造の概略図を示している。内側管１９と外側管２０で構成されている二重石英管１８の外側に、第１電極の金網６が包囲している。第２電極は、内側管１９の内壁の金属薄膜２１である。内側管と外側管との間の環状スペースが放電室５である。」（第５頁第３７〜４２行、同翻訳文第５頁第２１〜２４行）
(2h)「図５の場合も、金網６をそのような薄膜に代えることができる。金属薄膜２１を酸化インジウムまたは酸化スズなどの透過性薄膜にすると、放射線がじかに水などの冷却媒質に作用する。冷却材自体が電解質の場合、冷却材が電極２１の機能を果たすことになる。
　提唱されている非干渉性放射器では、放電ギャップ内の各体積要素（Volumenelement）が全立体角４πで放射線を放射する。紫外線透過性電極６から生じる放射線のみを利用する場合、反対電極２１が紫外線をよく反射する（アルミニウムなど）材料であれば利用できる放射線は倍加する。図５の構造では、内側電極にアルミニウム蒸着材を利用すればよい。
　紫外線透過性の導電性電極６には、アルカリ金属の薄膜（０．１〜１μｍ）も利用できる。周知のように、リチウム、カリウム、ルビジウム、セシウムのアルカリ金属は、紫外スペクトル領域では透過性が高く、反射が少ない。合金（例えば、２５％ナトリウム／７５％カリウム）も利用できる。アルカリ金属は空気と（一部はきわめて激しく）反応するので、真空にしてから紫外線透過性保護膜（例えば、ＭｇＦ２）とともに使用しなければならない。」（第５頁第５５行〜第６頁第１０行、同翻訳文第５頁第３３行〜第６頁第８行）
  
第６　対比・判断
１　本件の請求項１に係る発明について
(１)刊行物１に記載された発明との対比
　本件の請求項１に係る発明と刊行物１に記載された発明とを対比する。
ア　刊行物１に記載された発明における「放電室４」及び「高出力ビーム発　生器」は、それぞれ本件の請求項１に係る発明における「放電容器」及び　「誘電体バリヤ放電ランプ」に相当する。
イ　刊行物１に記載された発明の高出力ビーム発生器は、外部の誘電管１お　よびそれに同心配置された内部の誘電管２からなっており、刊行物１記載　の発明において、外部ビーム発生器の場合は外部の「誘電管１」が、内部　ビーム発生器の場合は内部の「誘電管２」が、それぞれ本件の請求項１に　係る発明における「窓部材」に相当する。
ウ　刊行物１に記載された発明においても、高出力ビーム発生器の放電室４　内に充填されるガスが放電時によってエキシマを形成するものである。
エ　刊行物１に記載された発明においては、誘電管１と誘電管２との間のリ　ング状空間が放電室４であるから、該「誘電管１」と該「誘電管２」は、　本件の請求項１に係る発明における「放電容器と誘電体バリヤ放電の誘電　体とを兼ねている部分の誘電体」に相当し、刊行物１に記載された発明に　おける「外部電極１」及び「内部電極３」のいずれも、本件の請求項１に　係る発明の上記誘電体の「放電空間の反対側の表面に設けられた電極」に　相当する。
オ　摘記事項(1g)からみて、刊行物１に記載された発明においては、冷却剤　が内部誘電管を通って案内される（すなわち、外部ビーム発生器の）場合　には、「内部電極３」に保護層が設けられ、冷却剤が外部誘電管の回りを　流れる（すなわち、内部ビーム出力器の）場合は、「外部電極５」に保護　層が設けられることは明らかである。そして、摘記事項(1g)の「誘電体に　アルミニウム電極を蒸着またはスパッタリングする・・・」の記載から、　刊行物１に記載された発明における「ＵＶビームを透過させる必要のない　電極」とは、アルミニウムの導電性薄膜を意味することは明らかである。
　　あるいは、ＵＶビームを透過させる必要のない電極として、紫外線をよ　く反射するアルミニウムからなる導電性薄膜が用いられることは、刊行物　２、刊行物３及び刊行物４（段落【００１１】）にも記載されているとお　り、本件出願前に既に周知であるから、当業者であれば、刊行物１に記載　された発明における「ＵＶビームを透過させる必要のない電極」が、アル　ミニウムからなる導電性薄膜を意味することは自明である。
　　よって、刊行物１に記載された発明における「ＵＶビームを透過させる　必要のない電極」及び「保護層」が、それぞれ本件の請求項１に係る発明　における「導電性薄膜」及び「該導電性薄膜を化学的・機械的に保護する　ための部材」に相当する。
　　以上のア〜オのことから判断して、両者は、
「放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該エキシマ分子から放射される光を取り出す窓部材を有し、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体であり、かつ、放電容器と誘電体バリヤ放電の誘電体とを兼ねている部分の誘電体の放電空間の反対側の表面に設けられた導電性薄膜からなる電極を含む誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性薄膜を化学的・機械的に保護するための部材を設けた誘電体バリヤ放電ランプ。」である点で一致しており、相違点は存在しない。
　したがって、本件の請求項１に係る発明は、刊行物１に記載された発明であるから、本件の請求項１に係る発明についての特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものである。
　
(２)　刊行物２に記載された発明との対比
　本件の請求項１に係る発明と刊行物２に記載された発明とを対比する。
ア　刊行物２に記載された発明における「放電室５」及び「高出力放射器」　は、それぞれ本件の請求項１に係る発明における「放電容器」及び「誘電　体バリヤ放電ランプ」に相当するものである。
イ　摘記事項(2c)からみて、刊行物２に記載された発明においては、放電室　５内に、放電時にエキシマを形成するガスが充填されていることは明らか　である　。
ウ　刊行物２に記載された発明は、図４に示す例においては「誘電体４」と　第２電極となっている金網６を通って放射線が放射され、また、図５に示　す例においては「外側管２０」から、或いは「内側管１９」と「外側管２　０」とから放射線が放射されるから、刊行物２に記載された発明における　「誘電体４」、「外側管２０」及び「内側管」は、いずれも本件の請求項　１に係る発明における「窓部材」に相当し、かつ、本件の請求項１に係る　発明における「放電容器と誘電体バリヤ放電の誘電体とを兼ねている部分　の誘電体」にも相当するものである。
エ　刊行物２に記載された発明における「紫外線透過性の電極６」は、本件　の請求項１に係る発明における「放電容器と誘電体バリヤ放電の誘電体と　を兼ねている部分の誘電体の放電空間の反対側の表面に設けられた」もの　に相当し、該「紫外線透過性の電極６」として用いられる「アルカリ金属　」及びそれとともに用いられる「紫外線透過性保護膜（例えば、ＭｇＦ２　）」は、それぞれ本件の請求項１に係る発明における「導電性薄膜」及び　「該導電性薄膜を化学的・機械的に保護するための部材」に相当する。
　以上のア〜エのことから判断して、両者は、
「放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該エキシマ分子から放射される光を取り出す窓部材を有し、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体であり、かつ、放電容器と誘電体バリヤ放電の誘電体とを兼ねている部分の誘電体の放電空間の反対側の表面に設けられた導電性薄膜からなる電極を含む誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性薄膜を化学的・機械的に保護するための部材を設けた誘電体バリヤ放電ランプ。」である点で一致しており、相違点は存在しない。
　したがって、本件の請求項１に係る発明は、刊行物２に記載された発明であるから、本件の請求項１に係る発明についての特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものである。
　
２　本件の請求項２に係る発明について
　本件の請求項２に係る発明は、本件の請求項１に係る発明の構成要件に加えて、「該導電性薄膜を保護するための部材が、シリコンゴム、フッ素樹脂、酸化物、窒化物およびフッ化物の中から選ばれた少なくとも一種である」ことを構成要件とするものである。
　そこで、該構成要件について刊行物１及び刊行物２に記載があるか否かを検討する。
　刊行物１には、陽極酸化処理により保護層とすることが記載されており、これは、本件の請求項２に係る発明における「酸化物」に相当する。
　したがって、前項「１　本件の請求項１に係る発明について　(１)　刊行物１に記載された発明との対比」に記載したと同じ理由により、本件の請求項２に係る発明は、刊行物１に記載された発明である。
　また、刊行物２には、「紫外線透過性保護膜（例えば、ＭｇＦ２）」と記載されており、これは、本件の請求項２に係る発明における「フッ化物」に相当する。
　したがって、前項「１　本件の請求項１に係る発明について　(２)　刊行物２に記載された発明との対比」に記載したと同じ理由により、本件の請求項２に係る発明は、刊行物２に記載された発明である。
　よって、本件の請求項２に係る発明についての特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものである。
　
３　本件の請求項６に係る発明について
(１)　刊行物１及び刊行物２に記載された発明との対比
　本件の請求項６に係る発明は、本件の請求項１又は請求項２に係る発明の構成要件に加えて、「該エキシマ分子から放射される光が波長２００ｎｍ以下の紫外線である」ことを構成要件とするものである。
　そこで、刊行物１及び刊行物２に記載された発明について検討すると、刊行物１及び刊行物２に記載された、充填ガスと放射される紫外線の波長との関係を示した表の中には、波長２００ｎｍ以下の紫外線を放射するものが多数含まれているが、刊行物１及び刊行物２に記載された発明では、２００ｎｍより長い波長である場合も例示されており、２００ｎｍ以下の限定するものではない。
　したがって、本件の請求項６に係る発明と、刊行物１及び刊行物２に記載された発明とは、以下の点で相違している。
相違点：
　「エキシマ分子から放射される光」について、本件の請求項６に係る発明では、「波長２００ｎｍ以下の紫外線である」と限定しているのに対して、刊行物１及び刊行物２に記載された発明では、２００ｎｍ以下に限定するものではない点。
　
(２)　相違点についての判断
　上記相違点について検討するに、刊行物５（段落【００１２】）及び刊行物６にも記載されているとおり、２００ｎｍ以下の紫外線放射がオゾンを生成させること、及びそのオゾンを利用して表面処理を行うことは、本件の出願前にすでに周知であるから、当業者であれば、刊行物１又は刊行物２に記載された発明において、エキシマ分子から放射される光を、「２００ｎｍ以下の紫外線」に限定することに格別な創意を要するものではない。
　なお、被請求人は、平成１６年１月２６日付意見書において、ランプから放射される波長２００ｎｍ以下の紫外線や、その紫外線により発生するオゾンなどの活性物質による電極の損耗という本件発明特有の技術課題がある旨主張しているが、請求人が提出した参考資料２ないし７にも記載されているとおり、オゾンによる電極損傷は本件の出願前に既に周知であるから、「２００ｎｍ以下の紫外線」に限定したことにより、予期し得ない格別な効果を奏しているとすることもできない。
　したがって、本件の請求項６に係る発明は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項６に係る発明についての特許は、特許法第２９条第２に規定に違反してされたものである。
　
第７　結び
　以上のとおり、本件の請求項１及び２に係る発明についての特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してされたものであり、また、本件の請求項６に係る発明についての特許は、同条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件の請求項１、２及び６に係る発明についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号の規定に該当し、無効とすべきものである。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定において準用する民事訴訟法第６１条の規定により、被請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。