【事件の表示】
平成４年特許願第２０３６６５号「試料分解方法及びその装置」拒絶査定不服審判事件〔平成６年６月７日出願公開、特開平６−１６０２５６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成４年７月３０日の出願であって、その請求項１ないし３に係る発明は手続補正書により補正された明細書および図面の記載からみて、その特許請求の範囲に記載されたとおりのものと認められる。（なお、請求項２の記載における「通機孔」は「通気孔」の誤記と認める。）
【請求項１】　密閉容器中に収容される試料分解用の溶媒を加熱して生じる気体を、前記密閉容器内に前記溶媒と離間して配置される収納容器に収容される純水に吸収させて、前記純水に浸される試料を当該純水に吸収された溶媒によって分解する試料分解方法であって、
　前記収納容器内部を冷却手段によって冷却すると共に、前記気体は前記収納容器に設けられる複数の通気孔を通って前記純水に吸収されることを特徴とする試料分解方法。
　
【請求項２】　試料分解用の溶媒を収容する密閉容器と、
　前記溶媒を加熱する加熱手段と、
　前記密閉容器内に前記溶媒と離間して配設され、純水と該純水中に浸される試料とを収容し複数の通気孔を有する収納容器と、
　前記収納容器の近傍に設けられ、前記加熱手段で加熱された前記溶媒から生じた溶媒気体を冷却する冷却手段とを有し、
　前記溶媒気体を前記通気孔を通して前記収納容器内の前記純水に吸収させ、前記純水に浸される前記試料を当該純水に吸収された溶媒によって分解することを特徴とする試料分解装置。
　
【請求項３】　前記収納容器は前記密閉容器の上部に配設される請求項２記載の試料分解装置。
　
２．原査定の拒絶の理由に引用された刊行物に記載された事項。
刊行物１（特開平２−１９２７５０号公報）　
（１ａ）半導体基板表面の不純物回収方法及び装置（特許請求の範囲）
「（１）弗化水素酸溶液の蒸気雰囲気中において、
（ａ）半導体基板を冷却することによりこの半導体基板の一主表面の表面温度を下げ、（ｂ）前記弗化水素酸溶液の蒸気を前記半導体基板の一主表面上で露結凝縮させ、
（ｃ）前記半導体基板の一主表面上の酸化膜を不純物とともに分解液化し、
（ｄ）得られた溶解酸化膜を前記半導体基板を回転させることによる遠心力を利用して回収することを特徴とする半導体基板表面の不純物回収方法。
・・・・
（４）弗化水素酸溶液の蒸気を充満させるチャンバと、このチャンバ内に配置され半導体基板が装着される、回転軸の設けられた保持台と、前記半導体基板を冷却する冷却手段と、前記保持台の周囲に一方へ傾斜をつけて取り付けられた液回収部材とを具備することを特徴とする半導体基板表面の不純物回収装置。
（５）前記チャンバの外周にこのチャンバ内を加熱するための加熱手段を設け、かつ、前記チャンバの天井に傾斜を付けたことを特徴とする請求項４記載の半導体基板表面の不純物回収装置。」
　
（１ｂ）従来の技術、蒸気による溶解（２頁左上欄下から２行〜右上欄１５行）
「従来、半導体基板表面の不純物を測定するのには、二次イオン質量分析・・・問題があった。
　また、これらに代わり基板表面を簡便に分析できる方法として気相分解分析法が知られている。この方法は、あらかじめ半導体基板表面に測定に必要な分解液量が得られるだけの適切な熱酸化膜を形成した後、この熱酸化膜を自然酸化膜とともに弗化水素酸溶液の蒸気により溶解する。この後、溶解した熱酸化膜を回収し、分光分析装置にかけて不純物の測定を行なうというものである。」
　
（１ｃ）蒸気の加熱と露結凝縮（３頁左上欄６行〜１１行）
「また、半導体基板の冷却とともに弗化水素酸溶液の蒸気雰囲気を加熱すれば、前記半導体基板と前記弗化水素酸溶液の上記との温度差が大きくなるので、前記弗化水素酸溶液の蒸気を前記半導体基板の一主表面に露結凝縮させる時間が速くなる。」
　
（１ｄ）蒸気の冷却手段を備えた装置の具体例（３頁右上欄１１行〜４頁左上欄１行、第１図）
　第１図には、装置の一具体例として、密閉されたチャンバ１内の中央部に配置されている円柱型の保持台２の周囲に液回収部材６が取り付けられていて、この液回収部材６は、上部及び下部がそれぞれ内方へ湾曲していて保持台２上に真空チャックで装着されたウェーハ（半導体基板）４を取り囲み、保持台２とともにウェーハ４を収納する空間を形成している装置が記載され、チャンバ１内底部の周囲には弗化水素酸溶液９を溜めておく溝10が設けられ、これによりチャンバ１内に弗化水素酸溶液９の蒸気を充満させることができるようになっていて、保持台２を挟んでウェーハと反対側には、液体窒素又は冷却水を用いた冷却部８が配置され、チャンバ１内に充満した弗化水素酸溶液９の蒸気はウェーハ４の表面で露結凝縮することにより、ウェーハ４表面上の自然酸化膜４′が分解液化され不純物（Na,Ka,Fe等）を含んだ自然酸化膜４′の溶解物が形成されることが記載されている。
　
刊行物２（特開昭６２−７３１３７号公報）
（２ａ）試料分解装置及びそれを用いた試料分解方法（特許請求の範囲）
「１．密閉容器；該密閉容器内に配設された少なくとも１個の酸液貯蔵容器；該密閉容器内に配設され、内部には試料と純水が収容されている収納容器；該酸液貯蔵容器を加熱する加熱手段；並びに該酸液貯蔵容器に磁気力を及ぼす磁界発生手段を具備することを特徴とする試料分解装置。
　２．該試料が半導体ウエハーである特許請求の範囲第１項記載の試料分解装置。
　３．該収納容器が蓋付き容器である特許請求の範囲第１項記載の試料分解装置。
　４．密閉容器の中で、試料分解用の酸液を磁界中で蒸発させ、該酸液蒸気を試料が浸漬されている純水に吸収させ、得られた高純度酸液で該試料を分解することを特徴とする試料分解方法。
　５．該試料が半導体結晶ウエハーであり、該酸液が硝酸並びにフッ化水素酸若しくは塩酸である特許請求の範囲第４項記載の方法。」
　
（２ｂ）図面記載の装置（２頁右上欄下から３行〜４頁左上欄末行、図面）
　図面には、密閉容器１内に酸液と離間して、純水と該純水中に浸される試料とを収容する上面が開口した収納容器３が配設され、密閉容器１の外部に加熱手段７が設置された装置が記載され、該加熱手段が前記酸液を加熱する加熱手段であることが説明されている。
　
（２ｃ）通気孔を有する蓋で覆われた収納容器（２頁右下欄９行〜１２行）
　そして、前記収納容器３については、「更には、容器３は上面を開口することなく通気孔を例えば側壁に具備する蓋で覆えば、容器１の天井等から滴下する酸溶液からの汚染を防止し得て有効である。」と記載されている。
　
３．本願の請求項２に係る発明と刊行物２に記載された発明との対比、検討
　刊行物２には、側壁に通気孔を備えた蓋で覆われた収納容器を用いる試料分解装置が記載されており（前記記載（２ｃ）参照）、刊行物２の「酸液」は試料分解用の溶媒に他ならないから、刊行物２には、
「試料分解用の溶媒を収容する密閉容器と、
　前記溶媒を加熱する加熱手段と、
　前記密閉容器内に前記溶媒と離間して配設され、純水と該純水中に浸される試料とを収容し通気孔を有する収納容器と、
　前記溶媒気体を前記通気孔を通して前記収納容器内の前記純水に吸収させ、前記純水に浸される前記試料を当該純水に吸収された溶媒によって分解する試料分解装置。」が記載されている。（以下、「刊行物２記載の発明」という。）
　
　本願の請求項２に係る発明と刊行物２記載の発明とを対比すると、両者は、
「試料分解用の溶媒を収容する密閉容器と、
　前記溶媒を加熱する加熱手段と、
　前記密閉容器内に前記溶媒と離間して配設され、純水と該純水中に浸される試料とを収容し通気孔を有する収納容器と、
　前記溶媒気体を前記通気孔を通して前記収納容器内の前記純水に吸収させ、前記純水に浸される前記試料を当該純水に吸収された溶媒によって分解する試料分解装置。」である点で一致するが、次の点で相違する。
（相違点１）
　収納容器の通気孔の数が、本願装置発明では、「複数」であるのに対し、刊行物２記載の発明では、その数が記載されていない点。
（相違点２）
　本願請求項２に係る発明では、「前記収納容器の近傍に設けられ、前記加熱手段で加熱された前記溶媒から生じた溶媒気体を冷却する冷却手段とを有し」ているのに対し、刊行物２には、そのような冷却手段を設けることについて記載されていない点。
　相違点について検討すると、
　通気孔の数については、収納容器内へ試料分解用溶媒の蒸気の流入が通気孔を通して行われるものである以上、該溶媒の収納容器内への効率的な供給を考慮すれば、通気孔を複数設けることは当業者が普通に設計する事項である。
　また、試料分解用溶媒として弗化水素酸溶液を利用した試料の分解に際して、従来該溶媒を蒸気状態で使用していたものを、試料が収納されている空間の近傍に冷却手段を設け、該溶媒蒸気を結露凝縮させて利用することは、刊行物１に記載されているように本願出願前に公知の事項であって、一旦蒸気となった酸を液体に戻すという基本着想として刊行物２に記載された装置と変わりがない技術であるから、刊行物１に記載された技術を刊行物２に記載された装置に利用することは当業者が容易に成しうることである。
　
４．むすび
　したがって、本願の請求項２に係る発明は、刊行物１〜２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められ特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。よって、他の請求項に係る発明についての検討・判断を示すまでもなく、本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。