【事件の表示】
　平成９年特許願第２９７９８８号「高性能チップのための改善された配線構造」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　６月３０日出願公開、特開平１０−１７８０１６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
一．本願は、平成９年１０月３０日（パリ条約による優先権主張１９９６年１２月１６日、ドイツ国）の出願であって、拒絶査定後以下の手続きがなされた。
　審判請求　　　　　　　　　　　　平成１４年１０月１７日
　手続補正書提出　　　　　　　　　平成１４年１０月１７日
　拒絶理由通知　　　　　　　　　　平成１６年　８月１０日（発送日）
　意見書、手続補正書提出　　　　　平成１７年　２月４日
　
　そして、審判請求時提出の補正書で補正された請求項１〜４に対し、上記平成１７年２月４日付手続補正により、請求項１が補正され、請求項３、４が削除されたものである。
　前記拒絶理由の内、まず請求項１に対する理由３（特許法第２９条第２項）につき、以下のとおり検討する。
　
二．本願発明について
　本願の請求項１に係る発明は、平成１７年２月４日付手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
「多層状に重ねられる複数の配線層を含む電子部品であって、
　前記配線層内における導体の各配線方向が、少なくとも、所定の配線層からみて隣接する配線層および前記隣接する配線層を隔てて配設される配線層からなる誘導及び容量干渉結合領域内で複数の角度αで傾斜されて配置されており、
　配線層Ｍ０と、配線層Ｍ１と、配線層Ｍ２と、配線層Ｍ３と、前記配線層Ｍ３よりも上側に配置される配線層Ｍ４と、配線層Ｍ５と、配線層Ｍ６とが下から順に平行に積層された７つの多重配線層を有し、
　前記配線層が、前記配線層Ｍ３を境として上層では、前記配線層Ｍ５が前記配線層Ｍ６に対して約４５゜、前記配線層Ｍ４が前記配線層Ｍ５に対して約９０゜で配置され、前記配線層Ｍ３は、前記配線層Ｍ４に対して約１３５゜、前記配線層Ｍ２が前記配線層Ｍ３に対して約９０゜、前記配線層Ｍ１が前記配線層Ｍ２に対して約９０゜、前記配線層Ｍ０が前記配線層Ｍ１に対して約９０゜、それぞれ反時計方向に向かった回転角度で傾斜された導体を含む、電子部品。」（以下、「本願発明」という。）
　
三．刊行物の記載
１ ．刊行物１
　当審の拒絶理由で引用された本願優先権主張日前に頒布された刊行物である刊行物１（特開昭５９−８６２４８号公報）には、第１〜４図とともに、以下のとおり記載されている。
「第１の方向に平行に走る配線群を有する第１の配線層、上記第１の方向と垂直な第２の方向に平行に走る配線群を有する第２の配線層、上記第１の方向とは斜めの第３の方向に走る配線群を有する第３の配線層、及び上記第３の方向と垂直な第４の方向に走る配線群を有する第４の配線層を相互間に絶縁層を挟んで重畳してなることを特徴とする多層配線構造。」（特許請求の範囲第１項）
　
「この発明は、例えば半導体装置における多層配線構造に係り、特にその配線格子の構造に関するものである。」（１頁右下欄第４〜６行）
　
「第２図は第１図で一点鎖線で囲んだ部分ＩＩの拡大平面図で・・・（６）は配線領域に設けられ横方向に並行に配設された配線群（６ｘ）をもつ第１の配線層と、縦方向に並行に配設された配線群（６ｙ）をもつ第２の配線層とが絶縁層を挟んで重畳された２層構造の配線格子・・・」（１頁右下欄第１３〜１９行）
　
「２層の配線層だけでは賄いきれず、更に別の配線層を重畳させた場合、これもｘ方向またはｙ方向の配線群を有しているので、配線層間で平行に走る配線群が生じることになる。その場合、これらの配線群間の静電容量が大きくなり、信号の伝播遅延時間が大きくなつたり、信号間のクロストークが発生するなどの欠点がある。
　［発明の概要］
　この発明は上記のような欠点を除去することを目的とし、それぞれの配線群の方向が異なる４層の配線層を重畳して構成することによつて、信号伝播遅延時間の増大、信号間のクロストークの発生の少い配線格子を提供するものである。」（２頁右上欄第５〜１８行）　
　
　よって刊行物１には、以下の発明（以下、「刊行物１の発明」という。）が記載されている。
「第１の方向に平行に走る配線群を有する第１の配線層と、上記第１の方向と垂直な第２の方向に平行に走る配線群を有する第２の配線層と、上記第１の方向とは斜めの第３の方向に走る配線群を有する第３の配線層と、上記第３の方向と垂直な第４の方向に走る配線群を有する第４の配線層とを、上記第１の配線層、上記第２の配線層、上記第３の配線層及び上記第４の配線層が、この順に、相互間に絶縁層を挟んで重畳してなることを特徴とする多層配線構造を備えた半導体装置。」
　
２．刊行物２　
　当審の拒絶理由で刊行物２として引用された本願優先権主張日前に頒布された刊行物（原審の引用例１）特開平４−２３３４８号公報の２頁左上欄第１〜３行には、「従来は、各配線層間で配線が直交するように、水平方向及び垂直方向の配線が交互に繰り返されて配線されている。」と記載されている。
３．刊行物３　
　当審の拒絶理由で刊行物３として引用された本願優先権主張日前に頒布された刊行物である（原審の引用例２）特開平２−２６２３５４号公報の２頁右上欄第６〜７行には、「将来も４層以上の多層配線を用いた集積回路装置の開発が行われていく」と記載されている。
　
４．刊行物４
　当審の拒絶理由で刊行物４として引用された本願優先権主張日前に頒布された刊行物である特開平４−１６２６６９号公報の２頁左上欄第１１〜１６行には、「従来の半導体集積回路では、基本セルの配列方向はチップの一辺に対して直交する２つの方向にわたってアレイ状に配列され、例えば第１層と第３層の金属配線の方向を横方向とし、第２層と第４層の金属配線方向を縦方向のように配列している。」と記載されている。
　
四．本願発明と、刊行物１の発明との一致点・相違点の検討
１．刊行物１の発明の「相互間に絶縁層を挟んで重畳してなることを特徴とする多層配線構造を備えた半導体装置。」とは、多層に重畳された複数の配線層を含む電子部品と言えるから、本願発明の「多層状に重ねられる複数の配線層を含む電子部品」に相当する。
　
２．刊行物１の発明の、「上記第１の方向と垂直な第２の方向に平行に走る配線群を有する第２の配線層と、上記第１の方向とは斜めの第３の方向に走る配線群を有する第３の配線層と、上記第３の方向と垂直な第４の方向に走る配線群を有する第４の配線層」における、各配線群の第１〜第４の方向は、複数の角度で、お互い斜め又は垂直の方向に配置されている。
　これに対し、本願発明の「前記配線層内における導体の各配線方向が」、「複数の角度αで傾斜されて配置されて」いるという構成においても、「前記配線層Ｍ２が前記配線層Ｍ３に対して約９０゜」すなわち配線層の導体がお互い垂直の方向に配置されている場合を含むから、上記刊行物１の発明の配線層における配線群がお互い斜め又は垂直の方向に配置されていることは、本願発明の「前記配線層内における導体の各配線方向が」、「複数の角度αで傾斜されて配置されて」いるという構成と一致する。
　
３．（ａ）刊行物１の発明は「上記第１の配線層、上記第２の配線層、上記第３の配線層、上記第４の配線層が、この順に、相互間に絶縁層を挟んで重畳してなることを特徴とする多層配線構造を備えた半導体装置」であり、
上記第１の配線層と、上記第２の配線層と、前記第２の配線層よりも上側に配置される上記第３の配線層と、上記第４の配線層とが、下から順に、平行に積層された多重配線層を有する半導体装置と言い換えることができるから、本願発明の「配線層Ｍ２と、配線層Ｍ３と、前記配線層Ｍ３よりも上側に配置される配線層Ｍ４と、配線層Ｍ５と」、「が下から順に平行に積層された」、「多重配線層を有」した「電子部品」に相当するとも言える。
（ｂ）そして、刊行物１の発明の
「第１の方向に平行に走る配線群を有する第１の配線層と、上記第１の方向と垂直な第２の方向に平行に走る配線群を有する第２の配線層と、上記第１の方向とは斜めの第３の方向に走る配線群を有する第３の配線層と、上記第３の方向と垂直な第４の方向に走る配線群を有する第４の配線層」において、上記配線群の
第１の方向は、第２の方向に対して垂直の方向であり、
第３の方向は、第１の方向に対して斜めの方向であるから、
第３の方向は、第２の方向に対しても斜めの方向であり、
第４の方向は、第３の方向に対して垂直の方向と言い換えることができる。
これは、
第３の方向が、第４の方向に対して９０°の方向であり、
第２の方向は、第３の方向に対して斜めの方向であり、
第１の方向が、第２の方向に対して９０°の方向と言い換えることができる。
　従って、上記刊行物１の発明の、
配線層は、第２の配線層を境として上層では、
第３の配線層の配線群が、第４の配線層の配線群に対して９０°の方向に、
第２の配線層の配線群は、第３の配線層の配線群に対して斜めの方向に、
第１の配線層の配線群が、第２の配線層の配線群に対して９０°の方向に、
それぞれ反時計方向に向かった回転角度で傾斜された配線群を含む、と言える。
　そして、上記「第２の配線層の配線群は、第３の配線層の配線群に対して斜めの方向」とは、例えば反時計方向に約１３５°の方向という意味も含み、上記各「９０°」は、「約９０°」にも相当する。
　
　従って、上記（ａ）、（ｂ）より、
刊行物１の発明の
「第１の方向に平行に走る配線群を有する第１の配線層と、上記第１の方向と垂直な第２の方向に平行に走る配線群を有する第２の配線層と、上記第１の方向とは斜めの第３の方向に走る配線群を有する第３の配線層と、上記第３の方向と垂直な第４の方向に走る配線群を有する第４の配線層とを備えた半導体装置。」は、
本願発明の、
「配線層Ｍ２と、配線層Ｍ３と、前記配線層Ｍ３よりも上側に配置される配線層Ｍ４と、配線層Ｍ５と」、「が下から順に平行に積層された」、「多重配線層を有し、
　前記配線層が、前記配線層Ｍ３を境として上層では」、「前記配線層Ｍ４が前記配線層Ｍ５に対して約９０゜で配置され、前記配線層Ｍ３は、前記配線層Ｍ４に対して約１３５゜、前記配線層Ｍ２が前記配線層Ｍ３に対して約９０゜」、「それぞれ反時計方向に向かった回転角度で傾斜された導体を含む、電子部品。」に相当する。
（要するに、刊行物１の発明の第１〜４の配線層及び配線群の方向は、それぞれ本願発明の配線層Ｍ２〜Ｍ５及び配線方向に相当する。）
　
（一致点）
　従って、刊行物１の発明と、本願発明とは、
「多層状に重ねられる複数の配線層を含む電子部品であって、
　前記配線層内における導体の各配線方向が、複数の角度αで傾斜されて配置されており、
　配線層Ｍ２と、配線層Ｍ３と、前記配線層Ｍ３よりも上側に配置される配　線層Ｍ４と、配線層Ｍ５とが下から順に平行に積層された多重配線層を有し
　前記配線層が、前記配線層Ｍ３を境として上層では、前記配線層Ｍ４が前記配線層Ｍ５に対して約９０゜で配置され、前記配線層Ｍ３は、前記配線層Ｍ４に対して約１３５゜、前記配線層Ｍ２が前記配線層Ｍ３に対して約９０゜、それぞれ反時計方向に向かった回転角度で傾斜された導体を含む、電子部品。」の点で一致する。　
　
（相違点１）
　本願発明では、「前記配線層内における導体の各配線方向が、少なくとも、所定の配線層からみて隣接する配線層および前記隣接する配線層を隔てて配設される配線層からなる誘導及び容量干渉結合領域内で複数の角度αで傾斜されて配置されており、」という構成を備えているのに対して、
　刊行物１の発明は、上記の構成を備えていない点で相違する（以下、「相違点１」という。）。
　
（相違点２）
　本願発明では、「配線層Ｍ０と、配線層Ｍ１と、配線層Ｍ２と、配線層Ｍ３と、前記配線層Ｍ３よりも上側に配置される配線層Ｍ４と、配線層Ｍ５と、配線層Ｍ６とが下から順に平行に積層された７つの多重配線層を有し、
前記配線層が、前記配線層Ｍ３を境として上層では、
前記配線層Ｍ５が前記配線層Ｍ６に対して約４５゜、
前記配線層Ｍ４が前記配線層Ｍ５に対して約９０゜で配置され、
前記配線層Ｍ３は、前記配線層Ｍ４に対して約１３５゜、
前記配線層Ｍ２が前記配線層Ｍ３に対して約９０゜、
前記配線層Ｍ１が前記配線層Ｍ２に対して約９０゜、
前記配線層Ｍ０が前記配線層Ｍ１に対して約９０゜」
それぞれ反時計方向に向かった回転角度で傾斜された導体を含む、という構成を備えているのに対して（刊行物１の発明との対比が明瞭になるように、配線層の記載をそろえた。）、
　刊行物１の発明は、本願発明の「配線層Ｍ２と、配線層Ｍ３と、前記配線層Ｍ３よりも上側に配置される配線層Ｍ４と、配線層Ｍ５」に相当する構成は備えているものの、
本願発明の「配線層Ｍ０と、配線層Ｍ１」と、「配線層Ｍ６」を加えた「７つ」の多重配線層の構成は備えていない点で、相違するとも言えるとともに、刊行物１の発明は、本願発明の配線層が、
「前記配線層Ｍ４が前記配線層Ｍ５に対して約９０゜で配置され、
　前記配線層Ｍ３は、前記配線層Ｍ４に対して約１３５゜、
　前記配線層Ｍ２が前記配線層Ｍ３に対して約９０゜」
それぞれ反時計方向に向かった回転角度で傾斜された導体を含むという構成は備えているものの、
本願発明の配線層が
「前記配線層Ｍ５が前記配線層Ｍ６に対して約４５゜」、
「前記配線層Ｍ１が前記配線層Ｍ２に対して約９０゜、
　前記配線層Ｍ０が前記配線層Ｍ１に対して約９０゜」
それぞれ反時計方向に向かった回転角度で傾斜された導体を含む、という構成を備えていない点で相違する（以下、「相違点２」という。）。
　
（相違点１の検討）
１．刊行物１には、「２層の配線層だけでは賄いきれず、更に別の配線層を重畳させた場合、これもｘ方向またはｙ方向の配線群を有しているので、配線層間で平行に走る配線群が生じることになる。その場合、これらの配線群間の静電容量が大きくなり、信号の伝播遅延時間が大きくなつたり、信号間のクロストークが発生するなど欠点がある。
　［発明の効果］
　この発明は上記のような欠点を除去することを目的とし、それぞれの配線群の方向が異なる４層の配線層を重畳して構成することによって、信号伝播遅延時間の増大、信号間のクロストークの発生の少い配線格子を提供するものである。」と記載されている（２頁右上欄第５〜１８行）。
　
２．上記刊行物１の「配線層間で平行に走る配線群が生じることになる。その場合、これらの配線群間の静電容量が大きくなり、信号の伝播遅延時間が大きくなつたり、信号間のクロストークが発生する」とは、これらの配線層からなる領域内で容量干渉結合しているということである。
　そして、このような容量干渉結合は、少なくとも、所定の配線層からみて隣接する配線層および前記隣接する配線層を隔てて配設される配線層からなる領域内でも生じる。
　従って、前記配線層内における配線群の各配線方向は、少なくとも、所定の配線層からみて隣接する配線層および前記隣接する配線層を隔てて配設される配線層からなる容量干渉結合領域内に配置されていると言える。
　
３．そして、容量干渉結合の欠点を除去する目的のため、刊行物１の発明では、それぞれの配線群の方向が異なる４層の配線層を重畳して構成している。
　すなわち、刊行物１の発明の第１〜第４の各配線群の第１〜第４の方向は、複数の角度で、お互い斜め又は垂直の方向に配置されているから、上記各配線群の方向は、容量干渉結合領域内で、（垂直も含む）複数の角度αで傾斜されて配置されていると言える。
　
４．従って、上記２．及び上記３．から、刊行物１の発明の
「第１の方向に平行に走る配線群を有する第１の配線層と、上記第１の方向と垂直な第２の方向に平行に走る配線群を有する第２の配線層と、上記第１の方向とは斜めの第３の方向に走る配線群を有する第３の配線層と、上記第３の方向と垂直な第４の方向に走る配線群を有する第４の配線層」の配線層内における各配線群すなわち導体の各配線方向は、少なくとも、所定の配線層からみて隣接する配線層および前記隣接する配線層を隔てて配設される配線層からなる容量干渉結合領域内で複数の角度αで傾斜されて配置されていると言える。
　
　さらに、ある配線層内の配線群を構成する各導体Ａと、隣接する配線層内の配線群を構成する各導体Ｂが、相互に容量干渉結合する領域内にある場合には、各導体Ａまたは各導体Ｂに電流が流れる際に相互に誘導干渉結合が生ずることは当業者に明らかであるから、刊行物１の発明において、所定の配線層からみて隣接する配線層及び前記隣接する配線層を隔てて配設される配線層が相互に容量干渉結合領域にある場合には、所定の配線層からみて隣接する配線層及び前記隣接する配線層を隔てて配設される配線層が相互に誘導干渉結合領域内にあることは当業者に明らかであり、容量干渉結合に加え誘導干渉結合の欠点も除去する必要があれば、誘導及び容量干渉結合領域内で複数の角度αで傾斜されて配置されているようにする程度のことは、当業者であれば適宜なし得ることである。
　
　従って、相違点１に関する本願発明の構成は、刊行物１の発明から当業者であれば容易になし得たものである。
　
（相違点２の検討）
１．刊行物３（特開平２−２６２３５４号公報）の２頁右上欄第６〜７行に、「将来も４層以上の多層配線を用いた集積回路装置の開発が行われていく」と記載されているとともに、以下の周知例に記載されているように、７層以上の多層配線層とすることは、この分野で周知である。
（周知例１　特開平３−３８８３０号公報　７頁左下欄第１０行〜末行、
　周知例２　特開平５−３４３５４０号公報　４欄第１１〜１２行、
　周知例３　特開平８−２０４００２号公報　段落０００２　）
　
　刊行物１の発明において、第１〜第４の配線層だけでは賄いきれず、更に別の配線層が必要であれば、上記周知例１〜３に記載のように、これらの配線層に適宜配線層を加え、本願発明のように、「順に平行に積層された（少なくとも）７つの多重配線層」という構成にすることは、当業者が、必要に応じて、適宜なし得ることである。
　
２．そして、以下の場合について検討する。
（ａ）刊行物１の発明の、第４の配線層の上に、必要に応じて、第５の配線層を付加する場合
　刊行物１の発明において、配線層間で平行に走る配線群が生じることになると、これらの配線群間の静電容量が大きくなり、信号の伝播遅延時間が大きくなつたり、信号間のクロストークが発生するという欠点を除去するため、それぞれの配線群の方向が異なるように、配線層を重畳して構成しているのであるから（２頁右上欄第５〜１８行参照）、第５の配線層の配線群を必要に応じて付加する場合には、第４の配線層の配線群に対して異なる方向、例えば時計方向に約４５゜、９０°、１３５°等の方向に重ねることとなる。
　このように重ねることは、刊行物１の発明の、第４の配線層が、上記更に重ねた第５の配線層に対して約４５゜反時計方向に向かった回転角度で傾斜された配線群を含むということであり、本願発明の構成の「前記配線層Ｍ５が前記配線層Ｍ６に対して約４５゜」で、「反時計方向に向かった回転角度で傾斜された導体を含む」ことに相当し、このようなことは当業者であれば適宜なし得ることにすぎない。
　
（ｂ）刊行物１の発明の、第１の配線層の下に、必要に応じて、二つの配線層を付加する場合
　刊行物２（特開平４−２３３４８号公報）の２頁左上欄第１〜３行に「従来は、各配線層間で配線が直交するように、水平方向及び垂直方向の配線が交互に繰り返されて配線されている。」と記載され、刊行物４（特開平４−１６２６６９号公報）の２頁左上欄第１１〜１６行に「従来の半導体集積回路では、基本セルの配列方向はチップの一辺に対して直交する２つの方向にわたってアレイ状に配列され、例えば第１層と第３層の金属配線の方向を横方向とし、第２層と第４層の金属配線方向を縦方向のように配列している。」と記載されているように、交互に直交する配線群を繰り返す少なくとも４層の多層配線層は、周知である。
　また、刊行物１には、「第２図は第１図で一点鎖線で囲んだ部分ＩＩの拡大平面図で・・・（６）は配線領域に設けられ横方向に並行に配設された配線群（６ｘ）をもつ第１の配線層と、縦方向に並行に配設された配線群（６ｙ）をもつ第２の配線層とが絶縁層を挟んで重畳された２層構造の配線格子」（１頁右下欄第１３〜１９行）と記載され、また、「２層の配線層だけでは賄いきれず、更に別の配線層を重畳させた場合、これもｘ方向またはｙ方向の配線群を有しているので、配線層間で平行に走る配線群が生じることになる。」（２頁右上欄第５〜９行）と記載されているから、刊行物１の発明において、直交する配線群として前記第１、及び前記第２の２層の配線層（本願発明の配線層Ｍ２、Ｍ３に相当する。）だけでは賄いきれない場合、上記周知の、交互に直交する配線群を有する配線層を繰り返し設けて、４層の交互に直交する配線群（本願発明の配線層Ｍ０〜Ｍ３の導体に相当する。）とする程度のことは、当業者であれば、必要に応じて行えばよいことである。
　そして、上記４層の交互に直交する配線群は、約９０°づつ、それぞれ反時計方向に向かった回転角度で傾斜された導体であり、本願発明の
「前記配線層Ｍ２が前記配線層Ｍ３に対して約９０゜  、
　前記配線層Ｍ１が前記配線層Ｍ２に対して約９０゜、
　前記配線層Ｍ０が前記配線層Ｍ１に対して約９０゜」、
「それぞれ反時計方向に向かった回転角度で傾斜された導体」に相当することになる。
　
　以上のとおり、刊行物１の発明において、上記１．のように配線層を付加して７つ多重配線層とし、２．のように各配線層が、所定角度で傾斜された導体を含むようにして、相違点２に関する本願発明の構成にすることは、当業者であれば容易になし得たものである。　
　
　よって、本願発明は、当審の拒絶理由通知に示した理由１（特許法第３６条第６項第１号、第２号）及び、理由２（特許法第３６条第４項）について検討するまでもなく、刊行物１〜４に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
五．むすび
　以上のとおりであるから、本願は、請求項２に係る発明について検討するまでもなく、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。