【事件の表示】
　平成９年特許願第１９２７５４号「走査型プローブ顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年２月１２日出願公開、特開平１１−３８０１９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯、本願発明
　本願は、平成９年７月１７日の出願であって、その請求項１ないし５に係る発明は、平成１３年８月２４日付け、および平成１６年５月３１日付け手続補正書により補正された内容を含む明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項によって特定されるとおりのものであるところ、そのうち請求項１に係る発明は、請求項１に記載された事項によって特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】　試料表面に探針を近接させ、両者の間隙を予定値に保つための制御信号に基づいて探針および試料の少なくとも一方をＺ方向へ微動させながら探針を試料表面でＸＹ方向に走査させる走査型プローブ顕微鏡において、前記走査型プローブ顕微鏡は、前記制御信号に基づいて観察像を表示するための表示制御手段を含み、この表示制御手段の動作を制御するＭＰＵは前記制御信号に基づいて前記試料表面の傾き量を演算し、この演算により得られた前記試料表面の傾き量に基づいて生成された傾き補正信号を段階的に前記制御信号に加算することにより前記試料表面の傾き量が補正されたアクチュエータ駆動信号を得、該アクチュエータ駆動信号に従って前記Ｚ方向へ微動を行わせることにより、探針あるいは試料表面にダメージを与えることなく、傾斜している試料表面形状を正確に検出できるようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。」
　
２．引用刊行物の記載事項
　これに対して、当審において拒絶理由通知に引用された刊行物１：特開平５−１８０６１４号公報には、以下の事項が記載されている。
(1a）「【産業上の利用分野】本発明は、トンネル顕微鏡（以下ＳＴＭと略称する），原子間力顕微鏡（以下ＡＦＭと略称する）および磁気力顕微鏡等、試料面に探針を近ずけて試料から受ける物理量により試料の表面を観察する表面観察方法に関する。」（段落【０００１】）
(1b）「因って、本発明は前記従来技術における欠点に鑑みて開発されたもので、傾きを持っていたり傾いて取り付けられた試料においても、これらに影響されることなくリアルタイムに傾きを補正して表示できる表面観察方法の提供を目的とする。」（段落【０００４】）
(1c）「図１は本発明で用いる装置の概念図である。本発明は、あらかじめ試料面を走査して面の傾きを求め、この傾き量を基に観察像の傾きを補正・制御する。図１に示すように、探針１を試料３に対向して配置し、試料３を探針１に近づける事によりこれらの間に物理量を働かせる。この物理量はＳＴＭではトンネル電流、ＡＦＭでは原子間力、磁気力顕微鏡では磁気力として働く。　【０００７】走査制御器２は探針１を保持し、試料面３ａ上のＸ，Ｙ方向と、面に対し垂直なＺ方向に動作する。前記Ｘ，Ｙ方向の動作は試料面３ａの走査を行い、Ｚ方向は前記物理量が一定となる様に制御する。傾き取り込み装置５はこの制御量を取り込み、前記試料面３ａのＸ、Ｙ方向の傾きデータを記憶する。」（段落【０００６】〜【０００７】）
(1d）「従って、コンピュータ１５の指令値は、試料３の面の凹凸に対応している。【００１２】傾き記憶装置１６は上記指令値を使い、あらかじめ試料３の試料面３ａの傾きを走査して取り込み、傾き量として求めた値を保存する為のメモリである。」（段落【００１１】〜【００１２】）
(1e）「【実施例３】図７は本実施例で用いる装置を示す概略構成図である。２ｃｈＤ／Ａコンバータ２４への入力は、コンピュータ１５の指令と傾き記憶装置１６の出力とし、これらは、２ｃｈＤ／Ａコンバータ２４を通り傾き補正回路２２に入力する。傾き補正回路２２は一般的な加算回路で構成できる。この出力はＺ軸走査アンプ１０の入力信号とする。他は前記実施例１と同様である。　　　【００１８】以上の構成から成る装置を用いての観察方法は、Ｚ軸走査アンプ１０が試料面に垂直方向の走査制御器２を駆動し、コンピュータ１５に取り込んだトンネル電流が一定に成るよう制御される。制御は、コンピュータ１５に直接制御される制御量と、傾き記憶装置１６に記憶されている制御量を加算したもので行う。傾き補正回路２２はこの動作を行う。この動作により、試料面３ａの傾きは前記傾き記憶装置１６に記憶されている制御量で制御され、試料の凹凸の制御を前記直接制御される制御量でおこなう。この直接制御される制御量を表示装置１７で観察する。２ｃｈＤ／Ａコンバータ２４はデジタル量をアナログ量に変換する。以後は前記実施例１と同様である。また、傾き補正回路２２はコンピュータ１５内の演算器に置き換える事ができる。　【００１９】本実施例によれば、試料面の凹凸だけを制御すれば良く、高い周波数でＺ軸の制御をおこなえ、観察スピードが向上する。」（段落【００１７】〜【００１９】）
(1f）「本発明に係る表面観察方法によれば、傾きを持っていたり、傾いて取り付けられた試料においても、これらに影響されることなくリアルタイムに傾きを補正し、高速で試料表面を観察できる。」
が、それぞれ図面と共に記載されている。
　ここで、刊行物１に記載の、トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）および原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）は走査型プローブ顕微鏡として総称されるものであるから、摘記事項(1a）、(1c）から「試料３表面に探針１を近接させ、両者の間隙を予定値に保つための制御信号に基づいて探針および試料の少なくとも一方をＺ方向へ微動させながら探針を試料表面でＸＹ方向に走査させる走査型プローブ顕微鏡」が把握され、また、摘記事項(1d）、(1e）には、コンピュータ１５が、前記制御信号に基づいて観察像を表示装置１７に表示すると共に、この制御信号に基づいて前記試料表面の傾き量を求めて傾き記憶装置１６に保存すること、および、この傾き記憶装置に記憶されている制御量を前記制御信号に傾き補正回路２２で加算したもので走査制御器２を駆動し、Ｚ軸を制御することが記載されている。
　そして、一般的に検査装置においては、装置と試料にダメージを与えないようにすることは当然に配慮されるべきことであるから、引用発明における走査型プローブ顕微鏡においても、探針あるいは試料表面にダメージを与えないようにすることは当然に行われているべきことである。また、傾斜している試料表面形状を正確に検出できるようにしたことも、引用発明においても摘記事項(1f）に記載されるように行われている。
　以上のことから、刊行物１には
「試料表面に探針を近接させ、両者の間隙を予定値に保つための制御信号に基づいて探針および試料の少なくとも一方をＺ方向へ微動させながら探針を試料表面でＸＹ方向に走査させる走査型プローブ顕微鏡において、前記走査型プローブ顕微鏡は、前記制御信号に基づいて観察像を表示するためのコンピュータを含み、このコンピュータは前記制御信号に基づいて前記試料表面の傾き量を演算し、この演算により得られた前記試料表面の傾き量に基づいて生成された制御量を前記制御信号に加算することにより前記試料表面の傾き量が補正された走査制御器駆動信号を得、該走査制御器駆動信号に従って前記Ｚ方向へ微動を行わせることにより、探針あるいは試料表面にダメージを与えることなく、傾斜している試料表面形状を正確に検出できるようにした走査型プローブ顕微鏡。」が記載されているものと認められる。
　　
３．対比・判断
　本願請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）と刊行物１に記載の発明（以下、「引用発明」という。）とを対比すると、引用発明におけるコンピュータと本願発明１における表示制御手段およびＭＰＵとは情報を処理する手段である点で共通し、引用発明における「傾き量に基づいて生成された制御量」、および「走査制御器」が、それぞれ本願発明１における「傾き量に基づいて生成された傾き補正信号」、および「アクチュエータ」に相当するから、両者は、
「試料表面に探針を近接させ、両者の間隙を予定値に保つための制御信号に基づいて探針および試料の少なくとも一方をＺ方向へ微動させながら探針を試料表面でＸＹ方向に走査させる走査型プローブ顕微鏡において、前記走査型プローブ顕微鏡は、前記制御信号に基づいて観察像を表示するための情報処理手段を含み、この情報処理手段は前記制御信号に基づいて前記試料表面の傾き量を演算し、この演算により得られた前記試料表面の傾き量に基づいて生成された傾き補正信号を前記制御信号に加算することにより前記試料表面の傾き量が補正されたアクチュエータ駆動信号を得、該アクチュエータ駆動信号に従って前記Ｚ方向への微動を行わせることにより、探針あるいは試料表面にダメージを与えることなく、傾斜している試料表面形状を正確に検出できるようにした走査型プローブ顕微鏡。」で一致し、以下の点で相違する。
相違点(a）：情報処理手段が、本願発明１においては、表示制御手段とその動作を制御するＭＰＵとからなるのに対し、引用発明ではコンピュータであって、その内部構成は明記されていない点。
相違点(b）：本願発明では、「傾き補正信号を段階的に前記制御信号に加算することにより前記試料表面の傾き量が補正されたアクチュエータ駆動信号を得」ているのに対し、引用発明では、傾き補正信号の加算の仕方については明記されていない点。
　
　そこで、上記相違点について検討する。
相違点(a）について、
　情報処理手段において、表示制御手段とその動作を制御する手段とを別の回路として構成するか、１つのコンピュータに前記２つの動作を行わせるかは、必要に応じて適宜採用される単なる設計事項にすぎない。
相違点(b）について、
　一般的に、ものの位置を移動制御する際に、必要な移動量に相当する制御信号を一度に加えたときに移動の対象物が過剰に移動するおそれがあるような場合には、少し小さめの制御信号から徐々に大きな制御信号を加えて段階的に制御し、いきすぎることなく適正な位置に移動させるということは制御分野における技術常識である。このことは走査型プローブ顕微鏡の探針の移動に関しても同様のことがいえる（例えば、特開平６−５０７０７号公報「Ｚ軸方向の位置制御については、試料表面への接近移動に関し、通常、単位の移動量が設定されるので、目標とする所定のトンネル電流値が試料・探針間に検出されるまで、予め設定された回数の位置制御が繰り返される。」（段落【0005】）、特開平５−２８８５０８号公報「探針のＺ軸制御用圧電素子への印加電圧を徐々に印加すること。」（段落【0010】）、特開平４−３５３７０２号公報「探針の試料表面への接近は、初期には高速で、その後低速で接近させること。」（段落【0007】））。
　走査型プローブ顕微鏡において探針または試料を移動させる場合に、探針または試料の移動量を探針が試料に接触しないように制御することは当然に考慮すべき事項であるから、Ｚ軸制御信号に補正信号を加えて探針または試料を移動させる際に、補正信号によって探針または試料が過大な動きをするおそれがある場合には、探針または試料が過大な動きをすることなくすみやかに適正な位置に移動するように、探針または試料の制御信号の内過大な動きの原因となる補正信号を少し小さめの補正信号から段階的に徐々に大きくして適正量を加える程度のことは、当業者が必要に応じて上記技術常識を用いることにより容易になし得たことである。
　
　以上のとおり、本願発明１の上記相違点ａおよびｂに係る構成は、引用発明においても当業者が技術常識に照らして適宜採用することによって容易になし得たことと認められる。
　
　なお、請求人が意見書において主張する、傾き補正信号が一度に加算されて探針が大きく移動することによる探針と試料との接触や衝突の発生を防止し、探針あるいは試料表面にダメージを与えることなく表面形状を正確に検出できる旨の明細書記載の効果については、上述のとおり引用発明および技術常識に基づいて当業者が容易に予測できた程度のことにすぎない。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本願の請求項１に係る発明は、刊行物１に記載された発明および技術常識に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明についての判断を示すまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。