【手続補正書】
【提出日】平成30年8月2日(2018.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持するための基板保持ユニットと、
前記基板を処理するための処理液を吐出する処理液ノズルと、
前記処理液ノズルに接続され、処理液供給ユニットからの処理液を前記処理液ノズルに供給する処理液配管と、
前記処理液配管を開閉するための開閉バルブと、
前記開閉バルブの下流側または上流側に設定された分岐位置で前記処理液配管に分岐接続された分岐配管と、
前記処理液供給ユニットから前記処理液配管に供給された処理液を、前記処理液配管における前記分岐位置よりも下流側の下流側部分に導く状態と前記分岐配管に導く状態との間で切り換えるための切換えユニットと、
前記開閉バルブおよび前記切換えユニットを制御して、前記開閉バルブを開きかつ前記処理液配管に供給される処理液を前記分岐位置から前記下流側部分に導くことにより、前記処理液ノズルからプリディスペンスのために処理液を吐出するプリディスペンスステップと、前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を、前記分岐位置から前記分岐配管に導くことにより、前記処理液ノズルからの処理液の吐出を停止させる吐出停止ステップと、前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を前記分岐位置から前記下流側部分に導くことにより、前記処理液ノズルから前記基板に向けて処理液を吐出する処理液吐出ステップとを実行する制御ユニットとを含む、基板処理装置。
【請求項２】
前記基板処理装置は、前記処理液ノズルから吐出される処理液を前記基板の上面に供給する処理位置と、前記処理液ノズルから吐出される処理液を排液するためのプリディスペンス位置との間で、前記処理液ノズルを移動させるための処理液ノズル移動ユニットをさらに含み、
前記制御ユニットによって実行される前記プリディスペンスステップは、前記処理液ノズルを前記プリディスペンス位置に配置した状態で前記処理液ノズルから処理液を吐出するステップを含み、
前記制御ユニットは、前記処理液ノズルからの処理液吐出が停止されている状態で、前記処理液ノズル移動ユニットを制御して、前記処理液ノズルを前記プリディスペンス位置から前記処理位置に移動させるノズル移動ステップをさらに実行し、
前記制御ユニットによって実行される前記処理液吐出ステップは、前記処理液ノズルを前記処理位置に配置した状態で前記処理液ノズルから処理液を吐出するステップを含む、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記処理液ノズルの前記プリディスペンス位置は、平面視で、前記基板保持ユニットの側方に配置されている、請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記切換えユニットは、前記下流側部分を液体が流通するのに要する圧力損失を変更する圧力損失変更ユニットを含み、
前記制御ユニットは、前記吐出停止ステップにおいて、前記圧力損失変更ユニットをその圧力損失が相対的に大きい大圧力損失状態にし、かつ前記プリディスペンスステップおよび前記処理液吐出ステップにおいて、前記圧力損失変更ユニットをその圧力損失が相対的に小さい小圧力損失状態にする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記圧力損失変更ユニットは、前記下流側部分の開度を調整するための開度調整バルブを含み、
前記開度調整バルブをその開度が相対的に低い低開度状態とすることにより前記大圧力損失状態を実現し、かつ前記開度調整バルブをその開度が相対的に高い高開度状態とすることにより前記小圧力損失状態を実現する、請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記開度調整バルブは、前記処理液配管において前記開閉バルブよりも下流側に配置されている、請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記切換えユニットは、前記分岐配管を開閉するための分岐配管バルブを含み、
前記制御ユニットは、前記吐出停止ステップにおいて前記分岐配管バルブを開き、かつ前記プリディスペンスステップおよび前記処理液吐出ステップにおいて前記分岐配管バルブを閉じる、請求項１〜６のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記分岐位置は、前記処理液配管において前記開閉バルブの上流側に設定されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記分岐位置は、前記処理液配管において前記開閉バルブの下流側に設定されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記下流側部分は、前記分岐位置よりも上下方向に高い高位置部分を一部に有する、請求項１〜９のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記処理液供給ユニットは、処理液が循環する循環配管を含み、
前記処理液配管の上流端が前記循環配管に接続され、かつ前記分岐配管の下流端が前記循環配管に接続されている、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１２】
処理液ノズルから基板に向けて処理液を吐出する処理液吐出方法であって、
前記処理液ノズルに処理液を供給する処理液配管に供給される処理液を、前記処理液配管において前記処理液配管を開閉するための開閉バルブの下流側または上流側に設定された分岐位置から、前記処理液配管における前記分岐位置よりも下流側の下流側部分に導き、かつ前記開閉バルブを開くことにより、前記処理液ノズルからプリディスペンスのために処理液を吐出するプリディスペンスステップと、
前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を、前記分岐位置から、当該分岐位置において前記処理液配管に分岐接続された分岐配管に導くことにより、前記処理液ノズルからの処理液の吐出を停止させる吐出停止ステップと、
前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を前記分岐位置から前記下流側部分に導くことにより、前記処理液ノズルから前記基板に向けて処理液を吐出する処理液吐出ステップとを含む、処理液吐出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
前記の目的を達成するための請求項１に記載の発明は、基板を保持するための基板保持ユニットと、前記基板を処理するための処理液を吐出する処理液ノズルと、前記処理液ノズルに接続され、処理液供給ユニットからの処理液を前記処理液ノズルに供給する処理液配管と、前記処理液配管を開閉するための開閉バルブと、前記開閉バルブの下流側または上流側に設定された分岐位置で前記処理液配管に分岐接続された分岐配管と、前記処理液供給ユニットから前記処理液配管に供給された処理液を、前記処理液配管における前記分岐位置よりも下流側の下流側部分に導く状態と前記分岐配管に導く状態との間で切り換えるための切換えユニットと、前記開閉バルブおよび前記切換えユニットを制御して、前記開閉バルブを開きかつ前記処理液配管に供給される処理液を前記分岐位置から前記下流側部分に導くことにより、前記処理液ノズルからプリディスペンスのために処理液を吐出するプリディスペンスステップと、前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を、前記分岐位置から前記分岐配管に導くことにより、前記処理液ノズルからの処理液の吐出を停止させる吐出停止ステップと、前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を前記分岐位置から前記下流側部分に導くことにより、前記処理液ノズルから前記基板に向けて処理液を吐出する処理液吐出ステップとを実行する制御ユニットとを含む、基板処理装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
したがって、開閉バルブ内で発生したパーティクルを含む処理液が基板に供給されることを確実に防止できる。
請求項２に記載の発明は、前記基板処理装置は、前記処理液ノズルから吐出される処理液を前記基板の上面に供給する処理位置と、前記処理液ノズルから吐出される処理液を排液するためのプリディスペンス位置との間で、前記処理液ノズルを移動させるための処理液ノズル移動ユニットをさらに含み、前記制御ユニットによって実行される前記プリディスペンスステップは、前記処理液ノズルを前記プリディスペンス位置に配置した状態で前記処理液ノズルから処理液を吐出するステップを含み、前記制御ユニットは、前記処理液ノズルからの処理液吐出が停止されている状態で、前記処理液ノズル移動ユニットを制御して、前記処理液ノズルを前記プリディスペンス位置から前記処理位置に移動させるノズル移動ステップをさらに実行し、前記制御ユニットによって実行される前記処理液吐出ステップは、前記処理液ノズルを前記処理位置に配置した状態で前記処理液ノズルから処理液を吐出するステップを含む、請求項１に記載の基板処理装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項５に記載の発明は、前記圧力損失変更ユニットは、前記下流側部分の開度を調整するための開度調整バルブを含み、前記開度調整バルブをその開度が相対的に低い低開度状態とすることにより前記大圧力損失状態を実現し、かつ前記開度調整バルブをその開度が相対的に高い高開度状態とすることにより前記小圧力損失状態を実現する、請求項４に記載の基板処理装置である。
請求項６に記載の発明は、前記開度調整バルブは、前記処理液配管において前記開閉バルブよりも下流側に配置されている、請求項５に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、内部でパーティクルが発生する可能性がない開度調整バルブが、開閉バルブよりも処理液ノズル側に配置されている。すなわち、処理液配管において開閉バルブと処理液ノズルとの間に開度調整バルブが配置されている。そのため、開閉バルブの内部でパーティクルが発生した場合であっても、そのパーティクルの処理液ノズルへのダイレクトな供給が阻害される。これにより、パーティクルが処理液ノズルに供給されるのを抑制できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項７に記載の発明は、前記切換えユニットは、前記分岐配管を開閉するための分岐配管バルブを含み、前記制御ユニットは、前記吐出停止ステップにおいて前記分岐配管バルブを開き、かつ前記プリディスペンスステップおよび前記処理液吐出ステップにおいて前記分岐配管バルブを閉じる、請求項１〜６のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項８に記載の発明は、前記分岐位置が、前記処理液配管において前記開閉バルブの上流側に設定されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、分岐位置を開閉バルブよりも上流側に配置するので、開閉バルブの内部で発生したパーティクルが分岐配管に流入するのを確実に防止できる。これにより、分岐配管を流通する処理液を清浄に保つことができる。
請求項９に記載のように、前記分岐位置が、前記処理液配管において前記開閉バルブの下流側に設定されていてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項１０に記載の発明は、前記下流側部分は、前記分岐位置よりも上下方向に高い高位置部分を一部に有する、請求項１〜９のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、下流側部分の一部に高位置部分を設けることにより、高位置部分の高低差による処理液の水頭圧による圧力損失がさらに生じる。下流側部分に供給される処理液の供給圧が、高位置部分の高低差による処理液の水頭圧を含んだ圧力損失を下回ると、分岐位置と高位置部分との高低差を処理液が乗り越えることができない。一方、下流側部分に供給される処理液の供給圧が、高位置部分の高低差による処理液の水頭圧を含んだ圧力損失を上回ると、分岐位置と高位置部分との高低差を処理液が乗り越えることができ、処理液ノズルから処理液が吐出される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項１１に記載の発明は、前記処理液供給ユニットは、処理液が循環する循環配管を含み、前記処理液配管の上流端が前記循環配管に接続され、かつ前記分岐配管の下流端が前記循環配管に接続されている、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の基板処理装置である。
この構成によれば、分岐配管を流通する処理液を、循環配管に戻すことができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
前記の目的を達成するための請求項１２に記載の発明は、処理液ノズルから基板に向けて処理液を吐出する処理液吐出方法であって、
前記処理液ノズルに処理液を供給する処理液配管に供給される処理液を、前記処理液配管において前記処理液配管を開閉するための開閉バルブの下流側または上流側に設定された分岐位置から、前記処理液配管における前記分岐位置よりも下流側の下流側部分に導き、かつ前記開閉バルブを開くことにより、前記処理液ノズルからプリディスペンスのために処理液を吐出するプリディスペンスステップと、前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を、前記分岐位置から、当該分岐位置において前記処理液配管に分岐接続された分岐配管に導くことにより、前記処理液ノズルからの処理液の吐出を停止させる吐出停止ステップと、前記開閉バルブを開状態に保持したままの状態で、前記処理液配管に供給される処理液を前記分岐位置から前記下流側部分に導くことにより、前記処理液ノズルから前記基板に向けて処理液を吐出する処理液吐出ステップとを含む、処理液吐出方法を提供する。