【事件の表示】
　特願２０００−５１７４３２号「静電マイクロリレー」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年４月２９日国際公開、ＷＯ９９／２１２０４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、１９９８年１０月２１日（優先権主張１９９７年１０月２１日、日本国）を国際出願日とする出願であって、平成１６年２月１９日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年３月２５日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年４月２０日付で手続補正がなされたものである。
　
２．平成１６年４月２０日付の手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　　平成１６年４月２０日付の手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「ベースの固定電極と可動基板の可動電極との間に電圧を印加し、発生する静電引力に基づいてベースの固定接点と可動基板の可動接点とを接離する静電マイクロリレーにおいて、
　前記可動電極を、前記ベースに
、少
　前記固定電極は、前記可動電極と前記第１の弾性支持部の両方に対向しており、　前記第１の弾性支持部は、前記可動電極の外周に沿って形成され、前記固定電極との間に電圧を印加することにより発生する静電引力に基づいて変形可能とし、
　前記第２の弾性支持部に絶縁膜を介して前記可動接点を設け、
　前記第１の弾性支持部の弾性力を、接点が閉成するまでに発生する静電引力よりも小さくし、
　前記両弾性支持部の弾性力の合計を、接点が閉成した時点で発生している静電引力よりも小さくしたことを特徴とする静電マイクロリレー。」
と補正された。
　上記補正は、第１の弾性支持部について、「前記可動電極の外周に形成した」としていたものを「前記固定電極は、前記可動電極と前記第１の弾性支持部の両方に対向しており、前記第１の弾性支持部は、前記可動電極の外周に沿って形成され、前記固定電極との間に電圧を印加することにより発生する静電引力に基づいて変形可能とし、」と、固定電極に対向しており、静電引力に基づいて変形可能とする限定を付加するものであって、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　　
（２）引用例
（２−１）原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である、独国特許第４２０５３４０号明細書（以下、「引用例１」という）には、図１〜９と共に、以下の事項が記載されているものと認められる。
（イ）「本発明は、ベース基板、ベース基板の上に配置されている平面状の少なくともひとつのベース電極、ベース基板の上に配置されているベース接触部、ならびにベース電極とベース接触部への通電線、フレームの形をしたアーマチュア基板を伴ったマイクロメカニクスの静電リレーに関するものであるが、このフレームの形をしたアーマチュア基板は、弾力的な支承帯を通じて平坦なアーマチュアを支えており、その結果、アーマチュアの上に備え付けられているアーマチュア電極が、ベース電極と平面で向かい合っており、そして、アーマチュアの上に配置されている少なくともひとつのアーマチュア接触部がベース接触部と向かい合うようになっているが、その際に、少なくとも一本の柔軟性のある導線がアーマチュア電極に備え付けられている。」（明細書第１欄第２〜１７行）
（ロ）「本発明に基づいて、この課題は、次のようにして解決が図られる。すなわち、アーマチュアが、支承帯によってベース電極に対してシンメトリックに平行に保持されており、アーマチュア電極とベース電極との間に電圧をかけると、電極面に対して垂直方向に、ベース電極全体に接触するようになり、そして、接触部の少なくともひとつが、弾性的な保持通路の少なくともひとつを通して、付属する支持基板に結び付けられているが、その際に、保持通路が持つばねの特性は、アーマチュア支承帯が持つばねの特性よりも硬いものになっている。」（明細書第１欄第５３〜６２行）
（ハ）「本発明に従ったリレーの場合は、したがって、アーマチュアが、平行コンデンサーの形をしてベース電極の上に多方面から柔軟性をもって吊るされており、その結果、アーマチュアは、励起が生じている場合には、シーソーの動きをするのではなく、電極面に対して垂直の横断方向の動きをおこなうことになり、したがって、アーマチュアが引きつけられている場合には、間隙が生じることがなく、最大限の静電力のときに、最大限の接触力をもまたもたらすことになる。この接触力は、このとき、ひとつのあるいは幾つかの弾性的な保持通路によって固定されており、この保持通路のばねの特性は、アーマチュアの支承帯と比較したときに比較的硬いものになっている。」（明細書第１欄第６３行〜第２欄第６行）
（ニ）「図1に表示されている静電リレーは、ベース基板1とアーマチュア基板2からなっており、これらの基板は、好ましくはそれぞれシリコンウェーハから形作られている。これらの基板は、例えば、２００から５００μの厚みを持っている。ベース基板1の表側の面には、相応する接続線11aを伴っている金属薄膜の形態を取っている二つに分割されているベース電極11が配置されている。これ以外にも、ベース基板は、それぞれに配線回路の形をした電気接続12aが備え付けられている、二つのベース接触部12を中心に持っている。ベース接触部12は、一方においてはアーマチュアに対する距離を調整するために、もう一方においては接触圧力を生み出すのに保持通路を湾曲させるために、基板の表面に対して高い位置にあるピラミッド形をした台座の上に載せられている。」（明細書第３欄第３２〜４７行）
（ホ）「アーマチュア基板2は、枠の形をしており、その中央に薄い板状の形をした、基板をエッチングして遊離させたアーマチュア21があり、このアーマチュアは、多方面からの薄い支承帯22を通して基板に掛けられている。アーマチュアは、ベース電極11に対して平行に位置しているアーマチュア電極23として、図では見ることのできない金属薄膜をその下側に持っている。アーマチュア21の中心には、アーマチュア接触部24が、これが、多方面からの弾性的な保持通路25を通して結び付けられているように遊離されて残されてある。支承帯22も保持通路25も、アーマチュアの縦方向に対して斜めに配置されているか、あるいは、支承帯や保持通路が、基板2に対するアーマチュア21の弾性的な動きを、そして、アーマチュア21に対するアーマチュア接触部24の弾性的な動きを、それぞれの表面に対して垂直方向に許容するような別の形態を取っている。その際に、保持通路25のばねの特性が、支承帯22のばねの特性よりも硬いために、支承帯22のばね力が、静電引力に対してわずかな抵抗しか示さないのに対して、アーマチュア21が保持通路25を通して基板1に引き寄せられた後には、比較的大きな接触力が生み出され、この接触力によって、アーマチュア接触部24が、ブリッジ接触要素となってベース接触部12の上に載る。」（明細書第３欄第４８行〜第４欄第３行）
（ヘ）「リレーを完全なものにするために、アーマチュア基板2が、ベース基板1の上に載せられ、そして、縁の部分のところで適切な方法で、例えば、陽極接合によって接続されている。システム全体が、次に、目的に応じて容器の中に密閉される。リレーが作動しているときには、ベース電極11とアーマチュア電極23（これらのうちの少なくともひとつの電極は、電気絶縁薄膜を持っている）の間に電圧がかけられており、これによって、アーマチュアは、アーマチュアの表面に対して垂直にベース電極に引き寄せられ、そして、全面にわたって間隙がないか、もしくは、ごくわずかな間隙を伴う状態で、ベース電極11の上に載せられている。このとき、アーマチュア接触部24は、高いところに配置されているベース接触部12によって上方に押し上げられており、その際、弾性的な保持通路25は、ブリッジ接触のための接触力を生み出している。」（明細書第４欄第４〜１９行）
（ト）図１には、アーマチュア21の外周から４つの支承帯22が斜めにアーマチュア基板2へ延びてこれに接続されることが示されている。　
　これらの記載事項及び図示内容を総合すると、上記引用例１には、
「ベース基板1のベース電極11とアーマチュア基板2のアーマチュア21の下側のアーマチュア電極23との間に電圧をかけ、静電引力によりアーマチュア21が引きつけられてベース基板1のベース接触部12の上にアーマチュア21のアーマチュア接触部24が載るマイクロメカニクスの静電リレーにおいて、
　アーマチュア21を、ベース基板1の上に載せられたアーマチュア基板2に、４つの弾力的な支承帯22でベース電極11に対してシンメトリックに平行に保持し、ベース電極11の電極面に対して弾性的な動きで垂直の横断方向の動きをおこなって、電極面に対して垂直方向に、ベース電極全体に接触するようにし、
　アーマチュア電極23が、ベース電極11と平面で向かい合っており、
　支承帯22は、アーマチュア21の外周から斜めにアーマチュア基板2へ延びてこれに接続され、
　アーマチュア21の中心には、アーマチュア接触部24が、支承帯22のばねの特性よりも硬い弾性的な保持通路25を通して結び付けられており、
　ベース電極11とアーマチュア電極23のうちの少なくともひとつの電極は、電気絶縁薄膜を持っており、
　ベース基板1とアーマチュア基板2、アーマチュア21は、シリコンウェーハから形作られ、
　アーマチュア接触部24は高いところに配置されているベース接触部12によって上方に押し上げられており、アーマチュア21がベース電極に引き寄せられる際、弾性的な保持通路25は、ブリッジ接触のための接触力を生み出している
マイクロメカニクスの静電リレー。」の発明（以下、「引用発明１」という）が記載されていると認められる。
　
（２−２）次に、同じく拒絶の理由に引用された刊行物である、特開平６−１２９６２号公報（以下、「引用例２」という）には、図１〜１２と共に、以下の事項が記載されている。
（イ）「【請求項１】固定電極を形成せるシリコンウェハからなる２つの固定片と、可動電極を形成せるシリコンウェハからなり上記両固定片によってサンドイッチ状に挟まれ上記可動電極が移動可能に支持された可動片とで構成され、上記両固定片の各固定電極上にエレクトレットを形成し、可動片と固定片とには可動片の移動により互いに接離する接点を設けたことを特徴とする静電駆動型リレー。
【請求項２】可動電極は一端が支持固定された周辺部位と、この周辺部位に囲まれた内部において、上記周辺部位の他端に一端が固定されて、自由端に接点を設けた中央部位とから成ることを特徴とする請求項１記載の静電駆動型リレー。」（第２頁第１欄第２〜１４行、【特許請求の範囲】の【請求項１】及び【請求項２】）
（ロ）「【作用】而して本発明の構成によれば、固定電極を形成せるシリコンウェハからなる２つの固定片と、可動電極を形成せるシリコンウェハからなり上記両固定片によってサンドイッチ状に挟まれ上記可動電極が移動可能に支持された可動片とで構成され、上記両固定片の各固定電極上にエレクトレットを形成しているので、エレクトレットによる可動電極に及ぼす静電力と、外部印加による静電力を重ね合わせた力を利用することができ、しかも、可動電極が固定電極に対し平行に近い状態で移動させることができるため通常より静電力が大きく、その結果接点圧が大きく取れ、接点の接触信頼性が良い。また外部よりの振動、衝撃に対して誤動作しにくいのである。更に可動電極と固定電極の空隙も広くとることもでき、結果接点間の空隙も大きくなって接点間耐圧を大きくすることができ、更に電極への印加電圧も低くてすみ、駆動回路の耐圧を低くすることができる。」（第２頁第２欄第３４〜４９行、段落【０００８】）
（ハ）「【実施例】以下本発明を実施例により説明する。
（実施例１）本実施例は図１に示すように上部固定片１と、可動片２と、下部固定片３とで構成され、上下の固定片１、３間に可動片２をサンドイッチ状に挟持する構造となっている。
【００１２】可動片２は、図２に示すようにシリコン単結晶ウェハを基材とするもので、可動電極２１、固定接点２２、可動接点２３、固定片接合用金属薄膜層２４、電極端子２８を形成している。可動電極２１は可動片２の周辺部より異方性エッチング等により、上下から凹部に加工されたもので絶縁膜２０に覆われており、外周はコの字状にエッチング形成され、その一端が支持固定端２５となっている。さらにその内部に上記コの字と逆方向のコの字状にエッチングされ、周辺部位となる端部可動電極２１ａと中央部位となる中央可動電極２１ｂを形成しており、端部可動電極２１ａは、上記支持固定端２５を中心に回転し、中央可動電極２１ｂは、支持固定端２５とは反対側に位置する中央可動電極支持固定端２６を中心に回転する。
【００１３】よって中央可動電極２１ｂは、後述する上下の固定片１、３の固定電極１０、３０に対し、平行に移動する。また下部固定片３の固定接点から電気信号を取り出せるように可動片２の隅には切欠き２７も設けられている。可動接点２３は、上記絶縁膜２０上に形成され、可動電極２１の凹部により、２つの固定片１、３が上下に接合されるだけで接点間ギャップを設けることができるようになっている。また上記金属薄膜層２４及び固定接点２２も上記絶縁膜２０上に形成されたもので、金属薄膜層２４は金或いは金合金層からなり、可動片２の基材であるシリコン単結晶ウェハに接続されている。尚２８は電極端子である。」（第３頁第３欄第１３〜４３行、段落【００１１】〜【００１３】）
（ニ）「固定片１、３は可動片２と同様にシリコン単結晶ウェハを基材とするもので、図３、図４に示すように絶縁膜１４、３４上に固定電極１０、３０、エレクトレット１１、、３１、固定接点１２、３２、可動片接合用の金或いは金合金層からなる金属薄膜層１３、３３を夫々形成し、各電極１０、３０とエレクトレット１１はコンタクト１５、３５により接続されている。尚１６は上部固定片１の電極端子である。また２２ａ、２２ｂは固定接点１２、３２に接続される可動片１の固定接点２２の端部に設けた固定接点端子である。
【００１５】而して、これら可動片２、上下の固定片１、３の接合用金属薄膜層２４と１３及び２４と３３とが合わさるように接触させて、適当な圧力を加えながら加熱すると接合用金属薄膜層２４、１３、３３が互いに基材のシリコンとともに共晶化して、機械的にも、電気的にも接続されることになるのである。図５は可動片２を固定片１、３で挟持した状態の断面図を示す。」（第３頁第３欄第４４行〜第４欄第１０行、段落【００１４】〜【００１５】）
（ホ）図１〜５には、上部及び下部固定片１、３の固定電極１０、３０が可動片２の可動電極２１の端部可動電極２１ａ及び中央可動電極２１ｂに対面する構成が示されている。
　
（３）対比・判断
　そこで、本願補正発明と上記引用発明１とを対比すると、機能、構造からみて、引用発明１の「ベース基板1」は本願補正発明の「ベース」に相当し、以下同様に、「ベース電極11」は「固定電極」に、「アーマチュア基板2」と「アーマチュア21」を含めた構成が「可動基板」に、「アーマチュア21」と「アーマチュア21の下側のアーマチュア電極23」を含めた構成が「可動電極」に、「ベース接触部12」は「固定接点」に、「アーマチュア接触部24」は「可動接点」に、「マイクロメカニクスの静電リレー」は「静電マイクロリレー」に、「弾力的な支承帯22」及び「支承帯22」は「第１の弾性支持部」に、「弾性的な保持通路25」は「第２の弾性支持部」にそれぞれ相当する。
　また、引用発明１の「静電引力によりアーマチュア21が引きつけられてベース基板1のベース接触部12の上にアーマチュア21のアーマチュア接触部24が載る」態様は本願補正発明の「発生する静電引力に基づいてベースの固定接点と可動基板の可動接点とを接離する」態様に相当し、
引用発明１の「アーマチュア21を、ベース基板1の上に載せられたアーマチュア基板2に、４つの弾力的な支承帯22でベース電極11に対してシンメトリックに平行に保持し、ベース電極11の電極面に対して弾性的な動きで垂直の横断方向の動きをおこなって、電極面に対して垂直方向に、ベース電極全体に接触するようにし」た態様は、本願補正発明の「可動電極を、ベースに、少なくとも２つの第１の弾性支持部を介して均等に支持することにより、固定電極に対して平行な状態を維持したままで接離可能とし」た態様に相当する。
　さらに、引用発明１の「支承帯22のばねの特性よりも硬い弾性的な保持通路25」は本願補正発明の「第１の弾性支持部よりも大きな弾性力を有する第２の弾性支持部」に相当する。
　そうしてみると、両者は、「ベースの固定電極と可動基板の可動電極との間に電圧を印加し、発生する静電引力に基づいてベースの固定接点と可動基板の可動接点とを接離する静電マイクロリレーにおいて、
　前記可動電極を、前記ベースに、少なくとも２つの第１の弾性支持部を介して均等に支持することにより、前記固定電極に対して平行な状態を維持したままで接離可能とし、
　前記固定電極は、前記可動電極に対向しており、
　前記第１の弾性支持部は、前記可動電極の外周に形成され、
　前記可動電極の中央に、前記第１の弾性支持部よりも大きな弾性力を有する第２の弾性支持部を形成した静電マイクロリレー。」である点で一致し、以下の点で相違しているものと認められる。
　
相違点
（Ａ）本願補正発明が、固定電極は、可動電極「と第１の弾性支持部の両方」に対向しており、前記第１の弾性支持部は、前記可動電極の外周に「沿って」形成され、「前記固定電極との間に電圧を印加することにより発生する静電引力に基づいて変形可能とし」ているのに対して、引用発明１においては第１の弾性支持部は、アーマチュア21（可動電極）の外周から斜めにアーマチュア基板2（可動基板）へ延びてこれに接続されているものの、固定電極は可動電極に対向しているため、上記の構成については明確にされていない点。
（Ｂ）本願補正発明が、「第２の弾性支持部に絶縁膜を介して前記可動接点を設け」ているのに対して、引用発明１は、かかる配置構成を備えていない点。
（Ｃ）本願補正発明は、「前記第１の弾性支持部の弾性力を、接点が閉成するまでに発生する静電引力よりも小さくし、前記両弾性支持部の弾性力の合計を、接点が閉成した時点で発生している静電引力よりも小さくした」ことにより、弾性支持部と静電引力の関係を規定しているのに対して、引用発明１はそのような規定を有していない点。
　
　そこで、これらの相違点について検討する。
相違点（Ａ）について
　引用例２には、引用発明１と技術分野を同じくするシリコンウェハからなる静電駆動型リレーが記載されており、可動電極２１について、（２−２）の記載事項、特に（ハ）の「外周はコの字状にエッチング形成され、その一端が支持固定端２５となっている。さらにその内部に上記コの字と逆方向のコの字状にエッチングされ、周辺部位となる端部可動電極２１ａと中央部位となる中央可動電極２１ｂを形成しており、端部可動電極２１ａは、上記支持固定端２５を中心に回転し、中央可動電極２１ｂは、支持固定端２５とは反対側に位置する中央可動電極支持固定端２６を中心に回転する。」なる記載事項や（ホ）の事項及び図１、２の可動電極２１の形状、を参照すると、中央可動電極２１ｂを２つの端部可動電極２１ａにより支持し、
固定電極１０、３０は中央可動電極２１ｂと端部可動電極２１ａの両方に対向しており、
端部可動電極２１ａは中央可動電極２１ｂの外周に沿って形成され、可動電極２１に働く静電力により変形することが示されていると認められる。
　そして、その構成からみて静電力は、本願補正発明と同様に、端部可動電極２１ａにも働くことが明らかであるから、引用発明１における第１の弾性支持部の構成として、上記引用例２に記載の事項を適用して、相違点Ａに係る本願補正発明の構成とすることは当業者にとって容易になし得ることと認められる。
　上記相違点Ａに係る効果についても、引用例２に記載の事項から当業者が容易に想到しうることにすぎない。
　
相違点（Ｂ）について
　引用発明１は、可動電極の中心に可動接点が第２の弾性支持部を通して結び付けられるものであるが、この弾性を伴った接点としての機能を維持しつつ、可動接点を第２の弾性支持部に直接設けて、構成を簡略化する程度のことは、当業者にとって適宜なし得る設計的事項と言うべきである。
　また、可動接点が絶縁膜を介することについて、引用発明１では単にアーマチュア接触部24（可動接点）とされるのみであるが、引用発明１でもベース基板1とアーマチュア基板2、アーマチュア21はシリコンウェーハから形作られ、ベース電極11とアーマチュア電極23のうちの少なくともひとつの電極は、電気絶縁薄膜を持っているものであるし、例えば引用例２でも可動電極２１がシリコンウェーハで構成されることが示されるように、シリコンウェーハはある程度の導電性を有することが周知であって、引用例２には、シリコン単結晶ウェハを基材とする可動片２の可動電極２１が絶縁膜２０に覆われ、可動接点２３は、上記絶縁膜２０上に形成されること〔（２−２）（ハ）参照〕が示されているのであるから、可動接点を絶縁膜を介して設けることも、当業者にとって適宜なし得る設計的事項であると認められる。
　そうすると、可動接点を直接第２の弾性支持部に設けると共に絶縁膜を介することにより、上記相違点（Ｂ）にかかる本願補正発明のような構成とすることは、当業者が実施に際して容易に採用し得る程度の設計的事項であるというべきであるし、それによる作用効果についても当業者の予測し得る範囲内のものでしかない。
　
相違点（Ｃ）について
　引用発明１は、「アーマチュア接触部24は高いところに配置されているベース接触部12によって上方に押し上げられており、アーマチュア21がベース電極に引き寄せられる際、弾性的な保持通路25は、ブリッジ接触のための接触力を生み出している」ものであるから、アーマチュア21が引き寄せられると、先ず、アーマチュア接触部24がベース接触部12に接触した後に、さらに弾性的な保持通路25の弾性力にも抗して、アーマチュア21がベース電極に引き寄せられるものであるといえる。
　そして、４つの弾力的な支承帯22で保持されたアーマチュア21は、静電引力により引きつけられるのであるから、接点が閉成するまでは、支承帯22のみの弾性力によりアーマチュア21が支持されるのであって、その弾性力は当然、静電引力より小さく設定されるべきのものである。
　接点が閉成した後は、支承帯22（第１の弾性支持部）の弾性力に加え、弾性的な保持通路25 （第２の弾性支持部）の弾性力も加えた弾性力が働くのであるから、この両弾性支持部の弾性力の合計を静電引力より小さくするべきことも明らかである。
　従って、相違点（Ｃ）の構成は、引用発明１においても、当業者が当然になす筈の設計的事項にすぎないと認められる。
　
　そして、本願補正発明を全体としてみても、その効果が格別であるとはいえない。
　したがって、本願補正発明は、上記引用例１および２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１６年４月２０日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１４年１１月１日付手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
（なお、平成１５年７月１１日付手続補正書は平成１６年２月１９日付補正却下の決定で却下されている。）
「ベースの固定電極と可動基板の可動電極との間に電圧を印加し、発生する静電引力に基づいてベースの固定接点と可動基板の可動接点とを接離する静電マイクロリレーにおいて、
　前記可動電極を、前記ベースに、前記可動電極の外周に形成した、少なくとも２つの第１の弾性支持部を介して均等に支持することにより、前記固定電極に対して平行な状態を維持したままで接離可能とし、
　前記可動電極の中央に、前記第１の弾性支持部よりも大きな弾性力を有する第２の弾性支持部を形成し、
　前記第２の弾性支持部に絶縁膜を介して前記可動接点を設け、
　前記第１の弾性支持部の弾性力を、接点が閉成するまでに発生する静電引力よりも小さくし、
　前記両弾性支持部の弾性力の合計を、接点が閉成した時点で発生している静電引力よりも小さくしたことを特徴とする静電マイクロリレー。」
　
（１）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例、および、その記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　　
（２）対比・判断
　本願発明は、前記２．で検討した本願補正発明から、「前記固定電極は、前記可動電極と前記第１の弾性支持部の両方に対向しており、前記第１の弾性支持部は、前記可動電極の外周に沿って形成され、前記固定電極との間に電圧を印加することにより発生する静電引力に基づいて変形可能とし」という、固定電極及び第１の弾性支持部についての限定を省くと共に、本願補正発明に、第１弾性支持部についての「前記可動電極の外周に形成した」とする構成を付加するものである。
　上記第１弾性支持部の構成について、要するに本願補正発明は「前記可動電極の外周に
沿って
　そうしてみると、本願発明の構成要件を実質的に全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（３）」に記載したとおり、引用例１および２に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用例１および２に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものといえる。
　　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１および２に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。