【誤訳訂正書】
【提出日】平成30年2月2日(2018.2.2)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３２】
本発明のいくつかの態様によれば、本発明の照明システムは、複数の照明源（例えば、エミッタ）を含む。各エミッタの強度は、個別に遠隔制御することができる。個々のエミッタは、例えば照明センサによるビームスプリッタを通じてサンプリングされ記録される。いくつかのアプローチでは、記録されたデータは、電流対光出力モデル及び劣化予測モデルへフィッティングするために用いることができる。劣化予測モデルは、新しい動作パラメータを計算することにより、エミッタの予測寿命を均等化するのに用いることができる。動作パラメータを積極的に適用することにより、頻繁な測定を行わないでも、照明を一定に保つことができる。いくつかの別のアプローチでは、１以上のエミッタの損失を補償しながら、冗長性に対処するために、及び照明システムの寿命を予測するために、同一のモデルを使用することができる。制御装置は、光出力の限度、電力の限度、及び各エミッタの範囲をモニタするように構成することができる。制御装置はまた、エミッタの照明出力に関連して、照明装置の予測寿命を見直す（またはリレベル（re-level）する）ように構成することができる。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明システムを制御するための方法であって、
複数の照明源の光出力を或る期間にわたってモニタするステップであって、
前記複数の照明源のサブセットの較正された光出力を求めるべく、前記複数の照明源のサブセットを順次較正するステップと、
較正前の光出力及び駆動電流を順次記録するステップを含むモニタするステップと、
予め定められたレベルの光出力を維持するべく、前記複数の照明源を制御するステップであって、前記複数の照明源を制御するステップは、前記記録された光出力及び駆動電流を劣化予測モデルへフィッティングさせて新しい動作パラメータを計算することによって、予め定められたレベルの光出力を維持することができるステップを含む制御するステップとを含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記複数の照明源が、
化学線照明源及び非化学線照明源、及び、
第１の露光波長を有する第１のセットの照明源及び第２の露光波長を有する第２のセットの照明源のうちの少なくとも１つを含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記複数の照明源を制御するステップが、
前記予め定められたレベルの光出力を維持するべく、前記複数の照明源のうちの１以上の照明源の劣化を補償するステップを含む、請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記複数の照明源のうちの１以上の照明源の劣化を補償する前記ステップが、
前記光出力を増加させるべく前記複数の照明源へ印加する電流を増加させるステップ、及び
前記光出力を増加させるべくアクティブな照明源の数を増加させるステップのうちの少なくとも１つのステップを含む、請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記複数の照明源を制御する前記ステップが、
前記複数の照明源の第１のセットをアクティブな状態に維持するステップと、
前記複数の照明源の第２のセットを非アクティブな状態に維持するステップと、
前記複数の照明源の前記第１のセットにおける少なくとも１つの故障した照明源を補償するべく、前記複数の照明源の前記第２のセットのうちの少なくとも１つの照明源を前記複数の照明源の前記第１のセットへ転換するステップとを含む、請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記複数の照明源の寿命を前記複数の照明源のパラメータに基づいて予測するステップ、及び
前記複数の照明源の定期メンテナンスを品質管理スケジュールに従って実行するステップのうちの少なくとも１つのステップをさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項７】
照明システムであって、
少なくとも１つのプロセッサと、
前記少なくとも１つのプロセッサと協働するように構成された制御装置とを含み、前記制御装置が、
前記複数の照明源の光出力を或る期間にわたってモニタするように構成された第１ロジックであって、
前記複数の照明源のサブセットの較正された光出力を求めるべく、前記複数の照明源のサブセットを順次較正するように構成された第２ロジックと、
較正前の光出力及び駆動電流を順次記録するように構成された第３ロジックを含む第１ロジックと、
予め定められたレベルの光出力を維持するべく、前記複数の照明源を制御するように構成された第４ロジックであって、第４ロジックは、前記記録された光出力及び駆動電流を劣化予測モデルへフィッティングさせて新しい動作パラメータを計算することによって、予め定められたレベルの光出力を維持することができるように構成された第５ロジックを含む第４ロジックとを含むシステム。
【請求項８】
前記複数の照明源が、
化学線照明源及び非化学線照明源、及び
第１の露光波長を有する第１のセットの照明源及び第２の露光波長を有する第２のセットの照明源のうちの少なくとも１つを含む、請求項７記載のシステム。
【請求項９】
前記複数の照明源を制御するように構成された前記第４ロジックが、
前記予め定められたレベルの光出力を維持するべく、前記複数の照明源のうちの１以上の照明源の劣化を補償するように構成された第６ロジックを含む、請求項７記載のシステム。
【請求項１０】
前記複数の照明源のうちの１以上の照明源の劣化を補償するように構成された前記第６ロジックが、
前記光出力を増加させるべく前記複数の照明源へ印加する電流を増加させるように構成された第７ロジック、及び
前記光出力を増加させるべくアクティブな照明源の数を増加させるように構成された第８ロジックのうちの少なくとも１つのロジックを含む、請求項９記載のシステム。
【請求項１１】
前記複数の照明源を制御するように構成された前記第４ロジックが、
前記複数の照明源の第１のセットをアクティブな状態に維持するように構成された第９ロジックと、
前記複数の照明源の第２のセットを非アクティブな状態に維持するように構成された第１０ロジックと、
前記複数の照明源の前記第１のセットにおける少なくとも１つの故障した照明源を補償するべく、前記複数の照明源の前記第２のセットのうちの少なくとも１つの照明源を前記複数の照明源の前記第１のセットへ転換するように構成された第１１ロジックとを含む、請求項７記載のシステム。
【請求項１２】
１以上のコンピュータシステムにより実行するためのコンピュータプログラムを格納する非一時的なデータ記録媒体であって、
複数の照明源の光出力を或る期間にわたってモニタするように構成された第１コードであって、
前記複数の照明源のサブセットの較正された光出力を求めるべく、前記複数の照明源のサブセットを順次較正するように構成された第２コードと、
較正前の光出力及び駆動電流を順次記録する第３コードを含む第１コードと、
予め定められたレベルの光出力を維持するべく、前記複数の照明源を制御するように構成された第４コードであって、第４コードは、前記記録された光出力及び駆動電流を劣化予測モデルへフィッティングさせて新しい動作パラメータを計算することによって、予め定められたレベルの光出力を維持することができる第５コードを含む第４コードとを含むことを特徴とするデータ記録媒体。
【請求項１３】
前記複数の照明源が、
化学線照明源及び非化学線照明源、及び
第１の露光波長を有する第１のセットの照明源及び第２の露光波長を有する第２のセットの照明源のうちの少なくとも１つを含む、請求項１２記載のデータ記録媒体。
【請求項１４】
前記複数の照明源を制御するように構成された前記第４コードが、
前記予め定められたレベルの光出力を維持するべく、前記複数の照明源のうちの１以上の照明源の劣化を補償するように構成された第６コードを含む、請求項１２記載のデータ記録媒体。