【手続補正書】
【提出日】平成30年8月17日(2018.8.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
台の上の中央部に形成された突起状パターンの外周部に囲い状に形成されて内側から外側に向けて厚みが徐々に増加する傾斜部を有する原版、及び熱可塑性樹脂シートを準備する準備工程と、
加熱された前記原版を、前記原版の傾斜部と前記熱可塑性樹脂シートの表面とが密接する位置で、前記熱可塑性樹脂シートに押圧し、前記原版を押圧した状態で前記原版を冷却し、前記原版と前記熱可塑性樹脂シートと引き離して、前記熱可塑性樹脂シートに前記突起状パターンの反転形状の凹状パターンを形成する形成工程と、を備えたモールドの作製方法。
【請求項２】
前記原版と前記熱可塑性樹脂シートとを相対的に移動し、前記原版を前記熱可塑性樹脂シートに押圧する位置を決める位置決め工程と、前記形成工程とを繰り返し行う請求項１に記載のモールドの作製方法。
【請求項３】
前記傾斜部は縦断面形状が直角三角形に形成され、内側から外側に向けて厚みが直線的に増加する請求項１又は２に記載のモールドの作製方法。
【請求項４】
前記傾斜部は縦断面形状が弓形に形成され、内側から外側に向けて厚みが円弧状に増加した後、増加が徐々に小さくなる請求項１又は２に記載のモールドの作製方法。
【請求項５】
前記原版は前記傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部を有する請求項１又は２に記載のモールドの作製方法。
【請求項６】
前記原版を前記熱可塑性樹脂シートに押圧する際、前記熱可塑性樹脂シートの表面の位置を検出し、前記熱可塑性樹脂シートの表面の位置から一定量を押し込む請求項１から５の何れか一項に記載のモールドの作製方法。
【請求項７】
前記原版を前記熱可塑性樹脂シートに押圧する際、前記原版にかかる圧力を測定し、設定されたある圧力値と比較し、前記原版の押し込み量を決定する請求項１から５の何れか一項に記載のモールドの作製方法。
【請求項８】
請求項１から７の何れか一項に記載の作製方法によりモールドを作製する工程と、
前記モールドの凹状パターンにポリマー溶解液を供給する供給工程と、
前記ポリマー溶解液を乾燥させてポリマーシートとする乾燥工程と、
前記ポリマーシートを前記モールドから剥離するポリマーシート剥離工程と、
を含む突起状パターンを有するパターンシートの製造方法。
【請求項９】
請求項１から７の何れか一項に記載の作製方法によりモールドを作製する工程と、
前記モールドの凹状パターンに、電鋳法により金属体を形成する電鋳工程と、
前記金属体を前記モールドから剥離する剥離工程と、
を含む突起状パターンを有する電鋳金型の作製方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の作製方法により電鋳金型を作製する工程と、
突起状パターンを有する前記電鋳金型を用いて、前記電鋳金型の突起状パターンの反転形状である凹状パターンを有する樹脂製のモールドを作製する工程と、
を含む電鋳金型を用いたモールドの作製方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の作製方法によりモールドを作製する工程と、
前記モールドの凹状パターンにポリマー溶解液を供給する供給工程と、
前記ポリマー溶解液を乾燥させてポリマーシートとする乾燥工程と、
前記ポリマーシートを前記モールドから剥離する剥離工程と、
を含む突起状パターンを有するパターンシートの製造方法。
【請求項１２】
熱可塑性樹脂シートの表面に押圧して突起状パターンを前記熱可塑性樹脂シートに転写する原版であって、
平面の上の中央部に形成された前記突起状パターンの外周部に囲い状に形成されて内側から外側に向けて厚みが徐々に増加する傾斜部を有する原版。
【請求項１３】
前記傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部を有する請求項１２の原版。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
【図１】本発明の実施の形態の原版の一態様を示す斜視図
【図２Ａ】直線型の傾斜部を有する原版の縦断面図
【図２Ｂ】弓型の傾斜部を有する原版の縦断面図
【図３Ａ】直線型の傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部を有する原版の縦断面図
【図３Ｂ】弓型の傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部を有する原版の縦断面図
【図４Ａ】原版の傾斜部の最大厚みＤを設定する方法を説明する説明図
【図４Ｂ】原版の傾斜部の最大厚みＤを設定する方法を説明する別の説明図
【図５Ａ】モールドの作製方法で原版と熱可塑性樹脂シートを準備する縦断面図
【図５Ｂ】モールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートの途中まで押圧した縦断面図
【図５Ｃ】モールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートに密接するまで押圧した縦断面図
【図５Ｄ】モールドの作製方法で形成されたモールドの縦断面図
【図６Ａ】傾斜部を有する原版で作製したモールドの端部を説明する断面図
【図６Ｂ】図６Ａの丸印部分の拡大断面図
【図６Ｃ】複製品をモールドから剥離している図
【図７Ａ】傾斜部の無い原版で作製したモールドの端部を説明する断面図
【図７Ｂ】図７Ａの丸印部分の拡大断面図
【図７Ｃ】複製品をモールドから剥離している図
【図８Ａ】直線型の傾斜部が熱可塑性樹脂シート表面に密接した場合と密接しない場合の部分断面図
【図８Ｂ】弓型の傾斜部が熱可塑性樹脂シート表面に密接した場合と密接しない場合の部分断面図
【図９Ａ】直線型の傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部が無い場合の部分断面図
【図９Ｂ】直線型の傾斜部の傾斜終端に連続して平坦部が有る場合の部分断面図
【図１０】押圧装置の全体構成を説明する構成図
【図１１】本発明の別態様の原版であって図１と異なる突起部の形状を有する原版の斜視図
【図１２Ａ】図１０の突起部を有し、且つ直線型の傾斜部を有する原版の断面図
【図１２Ｂ】図１０の突起部を有し、且つ弓型の傾斜部を有する原版の断面図
【図１３】本発明の更に別態様の原版であって図１と異なる突起部の形状を有する原版の斜視図
【図１４Ａ】図１３の突起部を有し、且つ直線型の傾斜部を有する原版の断面図
【図１４Ｂ】図１３の突起部を有し、且つ弓型の傾斜部を有する原版の断面図
【図１５Ａ】モールドの作製方法で図１２Ｂの原版と熱可塑性樹脂シートを準備する断面図
【図１５Ｂ】モールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートの途中まで押圧した断面図
【図１５Ｃ】モールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートに密接するまで押圧した断面図
【図１５Ｄ】モールドの作製方法で形成されたモールドの断面図
【図１６Ａ】大型のモールドの作製方法で原版を準備する断面図
【図１６Ｂ】大型のモールドの作製方法で熱可塑性樹脂シートを準備する断面図
【図１６Ｃ】大型のモールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートの領域に押圧した断面図
【図１６Ｄ】大型のモールドの作製方法で原版を熱可塑性樹脂シートの別の領域に押圧した断面図
【図１６Ｅ】大型のモールドの作製方法で作製されたモールドの断面図
【図１７】一つの突起状パターンの原版と複数の凹状パターンを有する熱可塑性樹脂シートの斜視図
【図１８Ａ】パターンシートの製造方法の工程手順でモールドを準備した図
【図１８Ｂ】パターンシートの製造方法の工程手順で凹状パターンにポリマー溶解液を供給する図
【図１８Ｃ】パターンシートの製造方法の工程手順でポリマー溶解液を乾燥している図
【図１８Ｄ】パターンシートの製造方法の工程手順でポリマーシートをモールドから剥離する前の図
【図１８Ｅ】パターンシートの製造方法の工程手順でポリマーシートをモールドから剥離した後の図
【図１８Ｆ】パターンシートの製造方法の工程手順でポリマーシートを個別のパターンシートに切断する前の図
【図１８Ｇ】パターンシートの製造方法の工程手順でポリマーシートを個別のパターンシートに切断した後の図
【図１９】個別のパターンシートの斜視図
【図２０Ａ】モールドを用いて電鋳金型の作製方法の工程手順でモールドを準備した図
【図２０Ｂ】モールドを用いて電鋳金型の作製方法の工程手順で電鋳している図。
【図２０Ｃ】モールドを用いて電鋳金型の作製方法の工程手順でモールドから金属体を剥離した図
【図２１Ａ】電鋳金型を用いたモールドの作製方法の工程手順で電鋳金型を準備した図
【図２１Ｂ】電鋳金型を用いたモールドの作製方法の工程手順で紫外線硬化樹脂を電鋳金型に押圧した図
【図２１Ｃ】電鋳金型を用いたモールドの作製方法の工程手順で硬化した紫外線硬化樹脂から電鋳金型を剥離した図
【図２２Ａ】電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でモールドを準備した図
【図２２Ｂ】電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順で凹状パターンにポリマー溶解液を供給する図
【図２２Ｃ】電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でポリマー溶解液を乾燥している図
【図２２Ｄ】電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でポリマーシートをモールドから剥離する前の図
【図２２Ｅ】電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でポリマーシートをモールドから剥離した後の図
【図２２Ｆ】電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でポリマーシートを個別のパターンシートに切断する前の図
【図２２Ｇ】電鋳金型を用いて作製されたモールドを用いたパターンシートの作製方法の工程手順でポリマーシートを個別のパターンシートに切断した後の図
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
そして、傾斜部１０Ｃの最大厚みＤは、突起状パターン１０Ａを構成する１６個の突起部１２（１２Ａ）について、熱可塑性樹脂シート２０に押し込んだ部分（図４Ａの網状部分）の合計体積（Ｘ１+Ｘ２+Ｘ３+Ｘ４+……+Ｘ１６）と、原版１０の平面１０Ｂ、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂ、及び傾斜部１０Ｃで囲まれた空間１３（図４Ａの白抜き部分）の合計体積（Ｙ１+Ｙ２+Ｙ３+Ｙ４+Ｙ５+……+Ｙ２５）とが等しくなるように設定する。なお、突起状パターン１０Ａが４行×４列の２次元配列で合計１６個の突起部１２（１２Ａ）が配列されている場合、空間１３は２５個形成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
この場合も、傾斜部１０Ｃの最大厚みＤは、熱可塑性樹脂シート２０に押し込んだ部分（図４Ｂの網状部分）の合計体積（Ｘ１+Ｘ２+Ｘ３+Ｘ４+……+Ｘ１６）と、原版１０の平面１０Ｂ、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂ、及び傾斜部１０Ｃで囲まれた空間１３（図４Ｂの白抜き部分）の合計体積（Ｙ１+Ｙ２+Ｙ３+Ｙ４+Ｙ５+……+Ｙ２５）とが等しくなるように設定する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
図８Ａ及び図８Ｂは、図２Ａ及び図２Ｂで示した原版１０の直線型の傾斜部１０Ｃと弓型の傾斜部１０Ｃとにおいて、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの凹状パターン２０Ａの端部に形成される盛り上がり部Ｐがどのように相違するかを対比した図である。なお、図８Ａ及び図８Ｂでは、原版１０の傾斜部１０Ｃの部分及び傾斜部１０Ｃに対応する熱可塑性樹脂シート２０の部分のみを図示している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
図８Ａは直線型の傾斜部１０Ｃの場合で、図８Ａの左側の図は原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが押圧により密接したときの図であり、右側の図は密接しなかったときの図である。また、図８Ｂは弓型の傾斜部１０Ｃの場合で、図８Ｂの左側の図は原版１０の傾斜部１０Ｃと熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂとが押圧により密接したときの図であり、右側の図は密接しなかったときの図である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
図９Ａ及び図９Ｂは、直線型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に平坦部１０Ｄが無い場合（図９Ａ）と、有る場合（図９Ｂ）とにおいて、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの凹状パターン２０Ａの端部に形成される盛り上がり部Ｐがどのように相違するかを対比した図である。なお、図９Ａ及び図９Ｂでは、原版１０の傾斜部１０Ｃの部分及び傾斜部１０Ｃに対応する熱可塑性樹脂シート２０の部分のみを図示している。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
図１０は、位置決め機能を備えた押圧装置３０の一例を示す概略構成図である。図１０に示すように、押圧装置３０は、原版１０をＺ軸方向に駆動するＺ軸駆動機構３２と、Ｚ軸駆動機構３２に連結された連結部３４と、連結部３４に取り付けられた保持部３６と、熱可塑性樹脂シート２０を支持するテーブル３８と、テーブル３８をＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動機構４０と、テーブル３８をＹ軸方向に駆動するＹ軸駆動機構４２と、架台４４と、制御システム４６と、レーザー変位計４８と、を有している。そして、原版１０は保持部３６により、例えば吸着等により保持されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
また、図示しなかったが、図１２Ａの直線型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して図３Ａのように平坦部１０Ｄを設けることができ、図１２Ｂの弓型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して図３Ｂのように平坦部１０Ｄを設けることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
図１４Ａ及び図１４Ｂは、図１３の突起部１２を有する原版１０の縦断面図であり、図１４Ａは直線型の傾斜部１０Ｃを有する場合、図１４Ｂは弓型の傾斜部１０Ｃを有する場合である。なお、図１４Ａ及び図１４Ｂは、原版１０を概念的に示した図であり、図１４Ａ及び図１４Ｂと図１３とで、突起状パターン１０Ａを構成する突起部１２の数が異なっている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
また、図示しなかったが、図１４Ａの直線型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して図３Ａのように平坦部１０Ｄを設けることができ、図１４Ｂの弓型の傾斜部１０Ｃの傾斜終端に連続して図３Ｂのように平坦部１０Ｄを設けることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
図１５Ａ〜図１５Ｄは、図１１の錐台部１２Ｂと針部１２Ａとで構成される突起部１２を有する突起状パターン１０Ａと、弓型の傾斜部１０Ｃとの組み合わせを有する原版１０でモールド２２を作製する工程を示したものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
図１５Ｂに示すように、加熱された原版１０を熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧する。これにより、原版１０の突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０に押圧される。図１５Ｂは、原版１０の突起状パターン１０Ａを構成する突起部１２の途中までを熱可塑性樹脂シート２０に押し込んだ図である。この突起状パターン１０Ａの押し込みによって、熱可塑性樹脂シート２０は突起部１２の押し込み体積に相当する体積分だけ表面２０Ｂが盛り上がり、盛り上がり部Ｐが形成される。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２４】
次いで、加熱された原版１０を、押圧装置３０のＺ軸駆動機構３２により、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に押圧する。この押圧によって、原版１０の突起状パターン１０Ａが熱可塑性樹脂シート２０に押圧されて熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂが盛り上がる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２８】
次に、図１６Ｄに示すように、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０とを引き離して、熱可塑性樹脂シート２０の表面２０Ｂの側に、突起状パターン１０Ａの反転形状の凹状パターン２０Ａを形成する。なお、原版１０と熱可塑性樹脂シート２０との引き離しは、上述したＺ軸駆動機構３２により実行することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４Ｂ】
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