【事件の表示】
　特許第３３２７８１７号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第３３２７８１７号に係る明細書を本件審判請求書に添付された訂正明細書のとおり訂正することを認める。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　特許第３３２７８１７号の請求項１乃至２５に係る発明は、平成９年８月１８日（パリ条約による優先権主張１９９６年８月１６日、米国）に特許出願され、平成１４年７月１２日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、平成１５年３月２４日に特許異議申立人八木俊和より全請求項に係る特許に対して特許異議の申立てがなされ、請求項１７乃至２５に係る特許について取消しの決定がなされ、その後、平成１６年９月２３日に特許取消決定に対する訴えの提起がなされ、法定期間内である平成１６年１１月１日に訂正審判の請求がなされ、訂正拒絶の理由が通知され、平成１７年２月２８日に意見書が提出されたものである。
 　 
第２　訂正の内容 
　本件訂正審判の請求の趣旨は、設定登録時の願書に添付した明細書を本件訂正審判請求書に添付された訂正明細書のとおりに訂正することを求めるものであり、訂正事項は次のとおりのものである。なお、下線は訂正個所を明確化するために、当審で付したものである。 
１　訂正事項ａ 
　設定登録時の願書に添付した明細書又は図面（以下、「本件特許明細書等」という。）の特許請求の範囲の請求項１を、 
「【請求項１】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面と、 
　前記ポリッシング面に形成され、第１の寸法を持つ第１セクションおよび異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する開口と、 
　前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と、前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有する実質的に透明なプラグと、 
　前記プラグを前記開口内に固定する手段とを備えるポリッシングパッド。」から、 
「【請求項１】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面
を有するパッド部
　前記ポリッシング面に形成され
前記パッド部を貫通した開口であって、前記ポリッシング面に隣接し
前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは
前記
　前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と、前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有する実質的に透明なプラグと、 
　前記プラグを前記開口内
の前記パッド部
２　訂正事項ｂ 
　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１１を、 
「【請求項１１】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する第１層と、 
　前記第１層に隣接する第２層と、 
　前記第１層および前記第２層を貫通し、第１の断面積を持つ前記第１層内の第１開口、および、より小さい第２の断面積を持つ前記第２層の第２開口とを有する開口と、 
　前記開口に配置され、前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と、前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有するプラグと、 
　前記プラグを前記開口に固定する接着材料とを備えるポリッシングパッド。」から、 
「【請求項１１】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する第１層と、 
　前記第１層に隣接する第２層と、 
　前記第１層および前記第２層を貫通
する開口であって
前記
　前記開口に配置され、前記
第１層の前記第１開口
第２層の前記第２開口
実質的に透明な
　前記プラグを前記開口
内の前記第１層と前記第２層
、
３　訂正事項ｃ 
　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１３を、 
「【請求項１３】　ポリッシングパッドを形成する方法であって、 
　開口が第１の寸法を持つ第１セクション、および、異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有するように、ポリッシングパッドに前記開口を形成するステップと、 
　実質的に透明なプラグを、前記プラグが前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有する状態で、前記開口に配置するステップと、 
　前記プラグを前記開口に固定する固定ステップと、
を備えるポリッシングパッド形成方法。」から、 
「【請求項１３】　
ポリッシング面を持つ
　開口が
、前記ポリッシング面に隣接し
前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは
　実質的に透明なプラグを、前記プラグが前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有する状態で、前記開口に配置するステップと、 
　前記プラグを前記開口
内の前記ポリッシングパッド
を備えるポリッシングパッド形成方法。」に訂正する。 
　なお、平成１６年１１月１日付訂正審判請求書に添付された全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１３には、「研磨面を持つポリッシングパッドを形成する方法であって、・・・」と記載されているが、その「研磨面」は「ポリッシング面」の誤記であるとして、訂正事項ｃを上記のとおり認定した。 
４　訂正事項ｄ 
　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１７を、 
「【請求項１７】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する物体と、 
　該物体に形成された開口であって、該開口は第１の寸法を有する第１部分及び異なる第２の寸法を有する第２部分を有する、該開口と、 
　該開口に固定された実質的に透明なプラグとを備えるポリッシングパッド。」から、 
「【請求項１７】　機械化学的ボリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する物体と、 
　該物体に形成された開口であって、該開口は
前記ポリッシング面に隣接し
、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは
と
　該開口
の前記第１部分に対応する同一の形状を有しており且つ前記第１部分内において該開ロ内の前記物体
、
５　訂正事項ｅ 
　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２２を、 
「【請求項２２】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する物体と、 
　前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口と、
　前記開口の前記第１セクション内に固定され、前記開口の前記第１セクションと実質的に同じ寸法を有する実質的に透明なプラグとを備えるポリッシングパッド。」から、 
「【請求項２２】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する
被覆層及び前記被覆層の下側に位置している裏打ち層を包含する
　前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持
ち、前記被覆層に形成された
前記
ち、前記裏打ち層に形成された
　前記開口の前記第１セクション内
の前記物体
の前記第１寸法及び前記被覆層の厚さと夫々
、
６　訂正事項ｆ 
　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２３を、 
「【請求項２３】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する物体と、 
　前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口と、
　前記開口の前記第１セクション内に固定され、前記ポリッシング面と実質的に同じ高さである上面を有する実質的に透明なプラグとを備えるポリッシングパッド。」から、 
「【請求項２３】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する物体と、 
　前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、
前記
　前記開口の前記第１セクション内に
位置決めされた第１部分と前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有しており、前記物体に
と共に前記第２部分の厚さが前記開口の前記第２セクションの深さより小さい
、
７　訂正事項ｇ 
　本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２５を、 
「【請求項２５】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　透過性を低下させる添加物を含むポリウレタンで形成されたポリッシング面を有する物体と、 
　前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口と、
　前記開口の前記第１セクション内に固定され、透過性を低下させる添加物を含まないポリウレタンで形成された、実質的に透明なプラグとを備えるポリッシングパッド。」から、
「【請求項２５】　機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　透過性を低下させる添加物を含むポリウレタンで形成されたポリッシング面を有する物体と、 
　前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、
前記
　前記開口の
前記第１セクションに対応する同一の形状を有しており、
、
８　訂正事項ｈ 
　本件特許明細書等の発明の詳細な説明（特許掲載公報第１０欄第４６，４７行（段落【００１８】参照））に記載された、「そうではなく、上側プラグ部６０２を下側プラグ部６０よりも小さくしてもよい。」を削除する。 
 　 
第３　訂正の適否についての判断 
１　目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否について 
(1)訂正事項ａについて 
　訂正事項ａは、請求項１における「ポリッシング面と、前記ポリッシング面に形成され、第１の寸法を持つ第１セクションおよび異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する開口」を「ポリッシング面を有するパッド部と、前記ポリッシング面に形成され前記パッド部を貫通した開口であって、前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクションおよび前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する前記開口」と限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　また、請求項１における「プラグを前記開口内に固定する手段」について、「プラグを前記開口内の前記パッド部に固定する手段」であることを明りょうにするものであるので、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　そして、訂正事項ａの「前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクションおよび前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する前記開口」は、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２２に記載された「前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口」の事項より、本件特許明細書等に記載された事項の範囲内のものである。 
　また、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１７に記載された「ポリッシング面を有する物体と、該物体に形成された開口であって、・・・該開口に固定された・・・プラグ」及び図３（Ｄ）より、ポリッシングパッドを構成する部分でありパッド部と称することができる部分（請求項１７における「物体」、図３（Ｄ）に示された「裏打ち層２０」及び「被覆層２２」参照）がポリッシング面を有し、パッド部に貫通した開口が形成され、開口内のそのパッド部にプラグが固定されていることが明らかであるので、訂正事項ａの「ポリッシング面を有するパッド部」、「前記パッド部を貫通した開口」及び「プラグを前記開口内の前記パッド部に固定する手段」は、本件特許明細書等に記載された事項の範囲内のものである。 
　さらに、訂正事項ａの訂正によって発明の目的が変更されるものではないので、訂正事項ａは、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
(2) 訂正事項ｂについて 
　訂正事項ｂは、請求項１１における「プラグ」を「実質的に透明なプラグ」と限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　また、請求項１１における「前記第１層および前記第２層を貫通し、第１の断面積を持つ前記第１層内の第１開口、および、より小さい第２の断面積を持つ前記第２層の第２開口とを有する開口」を「前記第１層および前記第２層を貫通する開口であって、第１の断面積を持つ前記第１層内の第１開口、および、より小さい第２の断面積を持つ前記第２層の第２開口とを有する前記開口」とすること、「開口」と「プラグ」との関係について、「前記開口に配置され、前記第１層の前記第１開口内に位置決めされた第１部分と、前記第２層の前記第２開口内に位置決めされた第２部分とを有する・・・プラグ」とすること、「プラグを前記開口に固定する接着材料」について、「プラグを前記開口内の前記第１層と前記第２層に固定する接着材料」とすること、「・・・とを備えるポリッシングパッド」を「・・と、を備えるポリッシングパッド」とすることは、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　そして、訂正事項ｂの「実質的に透明なプラグ」は、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１に記載されている事項であり、「前記開口に配置され、前記第１層の前記第１開口内に位置決めされた第１部分と、前記第２層の前記第２開口内に位置決めされた第２部分とを有する・・・プラグ」は、本件特許明細書等の図３（Ｄ）より明らかであり、「プラグを前記開口内の前記第１層と前記第２層に固定する接着材料」は、本件許明細書等の発明の詳細な説明に記載された「このことにより、上側プラグ部６０２と被覆層２２の間、または下側プラグ部６０４と裏打ち層２０との間の間隙に、接着剤６１４が押し込まれる。」（特許掲載公報第１１欄第１６−１９行（段落【００２０】参照））及び図３（Ｅ），（Ｆ）より明らかであるので、訂正事項ｂは、本件特許明細書等に記載された事項の範囲内のものである。 
　さらに、訂正事項ｂの訂正によって発明の目的が変更されるものではないので、訂正事項ｂは、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
(3)訂正事項ｃについて 
　訂正事項ｃは、請求項１３における「ポリッシングパッドを形成する方法であって、開口が第１の寸法を持つ第１セクション、および、異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する」を「ポリッシング面を持つポリッシングパッドを形成する方法であって、開口が、前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクション、および、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する」と限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　また、請求項１３における「プラグを前記開口に固定する固定ステップ」について、「プラグを前記開口内の前記ポリッシングパッドに固定する固定ステップ」であることを明りょうにするものであるので、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　そして、訂正事項ｃの「ポリッシング面を持つポリッシングパッド」は、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１１に記載された「ポリッシング面を有する第１層」から明らかであり、「開口が、前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクション、および、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する」については、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２２に記載された「前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口」より明らかであり、「プラグを前記開口内の前記ポリッシングパッドに固定する」は、本件特許明細書等の図３（Ｄ）〜（Ｆ）より明らかであるので、訂正事項ｃは、本件特許明細書等に記載された事項の範囲内のものである。 
　さらに、訂正事項ｃの訂正によって発明の目的が変更されるものではないので、訂正事項ｃは、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
(4)訂正事項ｄについて 
　訂正事項ｄは、請求項１７における「該開口は第１の寸法を有する第１部分及び異なる第２の寸法を有する第２部分を有する」を「該開口は前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を有する第１部分及び、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を有する第２部分とを有する」と、「該開口に固定された実質的に透明なプラグ」を「該開口の前記第１部分に対応する同一の形状を有しており且つ前記第１部分内において該開ロ内の前記物体に固定された実質的に透明なプラグ」と限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　また、請求項１７における「・・・とを備えるポリッシングパッド。」を「・・・と、を備えるポリッシングパッド。」とすることは、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　そして、訂正事項ｄの「該開口は前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を有する第１部分及び、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を有する第２部分とを有する」については、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２２に記載された「前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口」より明らかであり、「該開口の前記第１部分に対応する同一の形状を有しており且つ前記第１部分内において該開ロ内の前記物体に固定された実質的に透明なプラグ」については、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項２２に記載された「前記開口の前記第１セクション内に固定され、前記開口の前記第１セクションと実質的に同じ寸法を有する実質的に透明なプラグ」より明らかであるので、訂正事項ｄは、本件特許明細書等に記載された事項の範囲内のものである。 
　さらに、訂正事項ｄの訂正によって発明の目的が変更されるものではないので、訂正事項ｄは、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
(5)訂正事項ｅについて 
　訂正事項ｅは、請求項２２における「ポリッシング面を有する物体」を「ポリッシング面を有する被覆層及び前記被覆層の下側に位置している裏打ち層を包含する物体」と、「第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口」を「第１の寸法を持ち、前記被覆層に形成された第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持ち、前記裏打ち層に形成された第２セクションとを有する開口」と、「前記開口の前記第１セクション内に固定され、前記開口の前記第１セクションと実質的に同じ寸法を有する実質的に透明なプラグ」を「前記開口の前記第１セクション内の前記物体に固定され、前記開口の前記第１セクションの前記第１寸法及び前記被覆層の厚さと夫々実質的に同じ寸法を有する実質的に透明なプラグ」と限定しようとするのものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　また、請求項２２における「・・・とを備えるポリッシングパッド。」を「・・・と、を備えるポリッシングパッド。」とすることは、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　そして、訂正事項ｅの「ポリッシング面を有する被覆層及び前記被覆層の下側に位置している裏打ち層を包含する物体」、「第１の寸法を持ち、前記被覆層に形成された第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持ち、前記裏打ち層に形成された第２セクションとを有する開口」、「前記開口の前記第１セクション内の前記物体に固定され、前記開口の前記第１セクションの前記第１寸法及び前記被覆層の厚さと夫々実質的に同じ寸法を有する実質的に透明なプラグ」については、本件特許明細書等の発明の詳細な説明に記載された「図３の（Ｅ）と（Ｆ）によれば、ポリッシングパッド１８を以下のように組み立ててもよい。・・・ポリッシングパッド１８に開口６１２を切削加工する。或は、ポリッシングパッド１８を開口６１２と一体に成形してもよい。開口６１２は２つのセクションを含む。開口の第１セクションを被覆層２２の孔６３０とし、開口の第２セクションを裏打ち層２０の孔６３２としてもよい。開口６１２は２段型プラグ６００の形状に合わせる。プラグの形は、異なる断面積を持つ隣接する長方形の平板でもよい。具体的には、下側プラグ部６０４の断面積は、上側プラグ部６０２の断面積より大きい。・・・上側プラグ部６０２の厚さＴ１は、被覆層２２の厚さに等しく、約５０ミル（１２７０μｍ）である。従って、厚さＴ１は、開口の第１セクションの深さＤ１に等しい。」（特許掲載公報第１０欄第２２−５０行（段落【００１８】参照））、「このことにより、上側プラグ部６０２と被覆層２２の間、または下側プラグ部６０４と裏打ち層２０との間の間隙に、接着剤６１４が押し込まれる。」（特許掲載公報第１１欄第１６−１９行（段落【００２０】参照））及び図３（Ｅ），（Ｆ）より明らかであるので、訂正事項ｅは、本件特許明細書等に記載された事項の範囲内のものである。 
　さらに、訂正事項ｅの訂正によって発明の目的が変更されるものではないので、訂正事項ｅは、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
(6)訂正事項ｆについて 
　訂正事項ｆは、請求項２３における「前記開口の前記第１セクション内に固定され、前記ポリッシング面と実質的に同じ高さである上面を有する実質的に透明なプラグ」を「前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有しており、前記物体に固定され、前記ポリッシング面と実質的に同じ高さである上面を有すると共に前記第２部分の厚さが前記開口の前記第２セクションの深さより小さい実質的に透明なプラグ」と限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　また、請求項２３における「第１の寸法とは異なる」を「前記第１の寸法とは異なる」とすること、「・・・とを備えるポリッシングパッド。」を「・・・と、を備えるポリッシングパッド。」とすることは、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　そして、訂正事項ｆの「開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有しており、前記物体に固定され、前記ポリッシング面と実質的に同じ高さである上面を有すると共に前記第２部分の厚さが前記開口の前記第２セクションの深さより小さい実質的に透明なプラグ」は、本件特許明細書等の発明の詳細な説明に記載された「２段型プラグ６００は、上側プラグ部６０２と下側プラグ部６０４とを含む。上側プラグ部６０２は被覆層２２の孔、つまり開口６３０に嵌合し、下側プラグ部６０４は裏打ち層２０の孔、つまり開口６３２に嵌合する。上側プラグ部６０２の上面６０６は、ポリッシングパッド１８の上面２３と同一平面である。下側プラグ部６０４の下面６０８とプラテン１６の上面１７との間に、間隙６１０があってもよい。」（特許掲載公報第１０欄第２−１０行（段落【００１６】参照））及び図３（Ｄ）より明らかであるので、訂正事項ｆは、本件特許明細書等に記載された事項の範囲内のものである。 
　さらに、訂正事項ｆの訂正によって発明の目的が変更されるものではないので、訂正事項ｆは、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
(7)訂正事項ｇについて 
　訂正事項ｇは、請求項２５における「前記開口の前記第１セクション内に固定され・・・実質的に透明なプラグ」を、「前記開口の前記第１セクションに対応する同一の形状を有しており、前記第１セクション内に固定され・・・実質的に透明なプラグ」と限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当する。
　また、請求項２５における「第１の寸法とは異なる」を「前記第１の寸法とは異なる」とすること、「・・・とを備えるポリッシングパッド。」を「・・・と、を備えるポリッシングパッド。」とすることは、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。 
　そして、訂正事項ｇの「前記開口の前記第１セクションに対応する同一の形状を有しており、前記第１セクション内に固定され・・・実質的に透明なプラグ」については、上記（ｅ）における検討のとおりであるので、訂正事項ｇは、本件特許明細書等に記載された事項の範囲内のものである。 
　さらに、訂正事項ｇの訂正によって発明の目的が変更されるものではないので、訂正事項ｇは、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
(8)訂正事項ｈについて 
　訂正事項ｈは、本件特許明細書等の発明の詳細な説明において、前後の文脈から不明りょうな記載事項である、「そうではなく、上側プラグ部６０２を下側プラグ部６０よりも小さくしてもよい。」を削除するものであるので、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、また、明らかに本件特許明細書等に記載された事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
　
２　独立特許要件について 
　上記のとおり、本件の訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるので、訂正後における特許請求の範囲に記載されている事項により特定される発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものか否かについて、以下検討する。 
(1)本件訂正発明 
　訂正後における特許請求の範囲の請求項１乃至２５に記載されている事項により特定される発明（以下、「本件訂正発明１乃至２５」という。）は、次のとおりのものである。 
「【請求項１】機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有するパッド部と、 
　前記ポリッシング面に形成され前記パッド部を貫通した開口であって、前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクションおよび前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有する前記開口と、 
　前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と、前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有する実質的に透明なプラグと、 
　前記プラグを前記開口内の前記パッド部に固定する手段とを備えるポリッシングパッド。 
【請求項２】前記プラグがポリウレタン材料で造られている、請求項１に記載のポリッシングパッド。 
【請求項３】前記固定手段が接着材料を有する、請求項１に記載のポリッシングパッド。
【請求項４】前記接着材料がゴム弾性ポリウレタン材で造られている、請求項３に記載のポリッシングパッド。 
【請求項５】前記プラグの前記第１部分が前記開口の前記第１セクションと実質的に同一寸法であり、前記プラグの前記第２部分が前記開口の前記第２セクションと実質的に同一寸法である、請求項１に記載のポリッシングパッド。 
【請求項６】前記プラグの前記第１部分が、前記ポリッシング面と同じ高さである上面を有する、請求項５に記載のポリッシングパッド。 
【請求項７】前記プラグの前記第２部分の厚さが前記開口の前記第２セクションの深さより小さい、請求項６に記載のポリッシングパッド。 
【請求項８】前記第１の寸法が前記第２の寸法より大きい、請求項６に記載のポリッシングパッド。 
【請求項９】前記プラグがリムを有する、請求項１に記載のポリッシングパッド。 
【請求項１０】前記固定手段が、前記リム上に配置された接着材料を有する、請求項１に記載のポリッシングパッド。 
【請求項１１】機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する第１層と、 
　前記第１層に隣接する第２層と、 
　前記第１層および前記第２層を貫通する開口であって、第１の断面積を持つ前記第１層内の第１開口、および、より小さい第２の断面積を持つ前記第２層の第２開口とを有する前記開口と、 
　前記開口に配置され、前記第１層の前記第１開口内に位置決めされた第１部分と、前記第２層の前記第２開口内に位置決めされた第２部分とを有する実質的に透明なプラグと、
　前記プラグを前記開口内の前記第１層と前記第２層に固定する接着材料と、 
を備えるポリッシングパッド。 
【請求項１２】前記第１層が第１デュロメータ測定値を持ち、前記第２層が第２の、より小さいデュロメータ測定値を持つ、請求項１１に記載のポリッシングパッド。 
【請求項１３】ポリッシング面を持つポリッシングパッドを形成する方法であって、 
　開口が、前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を持つ第１セクション、および、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションを有するように、ポリッシングパッドに前記開口を形成するステップと、 
　実質的に透明なプラグを、前記プラグが前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と前記開口の前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有する状態で、前記開口に配置するステップと、 
　前記プラグを前記開口内の前記ポリッシングパッドに固定する固定ステップと、 
を備えるポリッシングパッド形成方法。 
【請求項１４】前記固定ステップが、前記プラグを接着材料で前記開口に固定するステップを有する、請求項１３に記載のポリッシングパッド形成方法。 
【請求項１５】前記開口を形成するステップが、前記ポリッシングパッドから材料を除去する除去ステップを有する、請求項１３に記載のポリッシングパッド形成方法。 
【請求項１６】前記除去ステップが、前記ポリッシングパッドの第１層から前記第１セクションを除去するステップと、前記ポリッシングパッドの第２層から前記第２セクションを除去するステップとを有する、請求項１５に記載のポリッシングパッド形成方法。 
【請求項１７】機械化学的ボリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する物体と、 
　該物体に形成された開口であって、該開口は前記ポリッシング面に隣接し第１の寸法を有する第１部分及び、前記ポリッシング面から遠く前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を有する第２部分とを有する、該開口と、 
　該開口の前記第１部分に対応する同一の形状を有しており且つ前記第１部分内において該開ロ内の前記物体に固定された実質的に透明なプラグと、 
を備えるポリッシングパッド。 
【請求項１８】前記物体が、該ポリッシング面を有する第１層と、該第１層に隣接する第２層とを有する請求項１７に記載のポリッシングパッド。 
【請求項１９】該開口が、該第１層および該第２層を貫通する請求項１８に記載のポリッシングパッド。 
【請求項２０】該開口の該第１部分が該ポリッシング面に隣接し、該開口の該第１部分の寸法が該開口の該第２部分よりも大きい請求項１９に記載のポリッシングパッド。 
【請求項２１】該プラグの上面が、該ポリッシング面と実質的に同じ高さにある請求項１７に記載のポリッシングパッド。 
【請求項２２】機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する被覆層及び前記被覆層の下側に位置している裏打ち層を包含する物体と、 
　前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持ち、前記被覆層に形成された第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持ち、前記裏打ち層に形成された第２セクションとを有する開口と、 
　前記開口の前記第１セクション内の前記物体に固定され、前記開口の前記第１セクションの前記第１寸法及び前記被覆層の厚さと夫々実質的に同じ寸法を有する実質的に透明なプラグと、 
を備えるポリッシングパッド。 
【請求項２３】機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　ポリッシング面を有する物体と、 
　前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口と、 
　前記開口の前記第１セクション内に位置決めされた第１部分と前記第２セクション内に位置決めされた第２部分とを有しており、前記物体に固定され、前記ボリッシング面と実質的に同じ高さである上面を有すると共に前記第２部分の厚さが前記開口の前記第２セクションの深さより小さい実質的に透明なプラグと、 
を備えるポリッシングパッド。 
【請求項２４】該上面が、該ポリッシング面のプラグと直に隣接する部分と実質的に共面である請求項２３に記載のボリッシングパッド。 
【請求項２５】機械化学的ポリッシング装置用のポリッシングパッドであって、 
　透過性を低下させる添加物を含むポリウレタンで形成されたポリッシング面を有する物体と、 
　前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、前記第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口と、 
　前記開口の前記第１セクションに対応する同一の形状を有しており、前記第１セクション内に固定され、透過性を低下させる添加物を含まないポリウレタンで形成された、実質的に透明なプラグと、 
を備えるポリッシングパッド。」 
　
(2)特許法第２９条違反について 
ア　引用例 
　引用例１：特開平７−２３５５２０号公報
　　　　　（特許異議申立人が提出した甲第１号証）
　引用例２：特開平７−２８５０５０号公報
　　　　　（特許異議申立人が提出した甲第２号証） 
　引用例３：特開平７−５２０３２号公報
　　　　　（特許異議申立人が提出した甲第３号証） 
イ　対比・判断 
　本件訂正発明１，１１，１３，１７，２２，２３及び２５と、引用例１乃至３に記載された発明とを対比すると、引用例１乃至３には、プラグを「ポリッシング面を有するパッド部」、「ポリッシング面を有する第１層と、該第１層に隣接する第２層」、「ポリッシングパッド」、「ポリッシング面を有する物体」、又は「ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクション」に固定することについて記載がなく、示唆もされていない。 
　したがって、本件訂正発明１，１１，１３，１７，２２，２３及び２５のいずれの発明についても、引用例１乃至３のいずれかに記載された発明であるとすることはできず、また、引用例１乃至３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。 
　さらに、本件訂正発明２乃至１０は本件訂正発明１に従属し、本件訂正発明１２は本件訂正発明１１に従属し、本件訂正発明１４乃至１６は本件訂正発明１３に従属し、本件訂正発明１８乃至２１は本件訂正発明１７に従属し、本件訂正発明２４は本件訂正発明２３に従属しているので、本件訂正発明２乃至１０，１２，１４乃至１６，１８乃至２１，２４のいずれの発明についても、引用例１乃至３のいずれかに記載された発明であるとすることはできず、また、引用例１乃至３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　
(3)特許法第１７条の２第３項違反について 
　本件訂正発明１７における「該物体に形成された開口であって、該開口は」「第１の寸法を有する第１部分及び」「異なる第２の寸法を有する第２部分」「を有する、該開口と、該開口」「に固定された実質的に透明なプラグ」は、平成１２年２月１７日付け手続補正書により補正がなされた発明特定事項であり、本件訂正発明２２における「前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持」つ「第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、」「第１の寸法とは異なる第２の寸法を持」つ「第２セクションとを有する開口と、前記開口の前記第１セクション内」「に固定され、前記開口の前記第１セクション」と「実質的に同じ寸法を有する実質的に透明なプラグ」、本件訂正発明２３における「前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、」「第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口と、前記開口の前記第１セクション内」「に固定され、前記ポリッシング面と実質的に同じ高さである上面を有する」「実質的に透明なプラグ」及び本件訂正発明２５における「前記ポリッシング面に隣接し、第１の寸法を持つ第１セクションと、前記ポリッシング面から遠く、」「第１の寸法とは異なる第２の寸法を持つ第２セクションとを有する開口と、前記開口の」「前記第１セクション内に固定され、透過性を低下させる添加物を含まないポリウレタンで形成された、実質的に透明なプラグ」は、平成１４年４月２２日付け手続補正書により補正がなされた発明特定事項であるので、これらの補正が本件の出願当初の明細書又は図面（以下、「本件当初明細書等」という。）に記載した事項の範囲内においてされたものかについて、以下検討する。 
　本件当初明細書等の発明の詳細な説明には、「図３の（Ｂ）は、プラテン１６とパッド１８の別の実施形態を示している。・・・プラテン１６の孔３０の上に位置する部分で、パッド１８の裏打ち層２０（存在する場合）が除去されている。これによって、ウェーハ１４と、プラテン１６の底との間にはパッド１８のポリウレタン被覆層２２だけが残る。被覆層２２で使用されるポリウレタン材は、レーザー干渉計３２からのレーザービーム３４を実質的に透過させることが分かっている。従って、プラテン孔３０上に位置する被覆層２２の部分がレーザービーム３４の窓として働く。・・・パッドの被覆層で使用されるポリウレタン材料はレーザービームを実質的に透過できるが、ナイロン微小球体等の或る種の添加物を含み、この添加物がその透過性を妨げる。この問題は、図３の（Ｃ）に記載された本発明の実施形態で解消される。この実施形態では、プラテン孔３０上に位置する領域の代表的なパッド材料が、中実のポリウレタンプラグ４２と置き換わっている。このプラグ４２は、レーザービーム用の窓として働くが、ナイロン微小球体を含まないポリウレタン材料でできている。従って、プラグ４２を通るレーザービーム３４の減衰は最小になる。」（段落【００１３】，【００１４】及び【図３】（Ｂ），（Ｃ）参照）と記載されており、図３（Ｃ）に関する実施例が、被覆層２２と裏打ち層２０からなるパッド１８であって、該パッド１８には被覆層２２と裏打ち層２０に亘って開口が設けられており、該被覆層２２に設けられた開口に対しプラグ４２を固定したものであることは明らかであるところ、当該パッド１８の被覆層２２および裏打ち層２０に開口を設け、該被覆層にプラグ４２を固定したことの技術的意義を考慮すれば、レーザービーム３４の窓として働くプラグ４２を固定する被覆層２２の開口とレーザービーム３４の通過路としての裏打ち層２０の開口とが同じ断面寸法である必然性がないことは、当業者にとって自明というべき事項である。
　一方、本件当初明細書等の発明の詳細な説明には、「図３の（Ｄ）によれば、別の実施形態では、２段型プラグ６００が、プラテン孔３０の上のポリッシングパッド１８中に位置決めされている。・・・２段型プラグ６００は、上側プラグ部６０２と下側プラグ部６０４とを含む。上側プラグ部６０２は被覆層２２の孔、つまり開口６３０に嵌合し、下側プラグ部６０４は裏打ち層２０の孔、つまり開口６３２に嵌合する。」（段落【００１６】及び【図３】（Ｄ）参照）、「図３の（Ｅ）と（Ｆ）によれば、ポリッシングパッド１８を以下のように組み立ててもよい。中実のポリウレタンピースから２段型プラグ６００を機械加工するか成形加工する。ポリッシングパッド１８に開口６１２を切削加工する。或は、ポリッシングパッド１８を開口６１２と一体に成形してもよい。開口６１２は２つのセクションを含む。開口の第１セクションを被覆層２２の孔６３０とし、開口の第２セクションを裏打ち層２０の孔６３２としてもよい。開口６１２は２段型プラグ６００の形状に合わせる。プラグの形は、異なる断面積を持つ隣接する長方形の平板でもよい。・・・図３の（Ｄ）〜（Ｆ）には、上側プラグ部６０２の断面積が下側プラグ部６０４の断面積よりも小さく図示されているが、必ずしもその必要はない。」（段落【００１８】及び【図３】（Ｄ）−（Ｆ）参照）と記載されており、当該記載は、図３（Ｄ）−（Ｆ）に関する２段型プラグを用いた実施例として、上側プラグ部６０２の断面積が下側プラグ部６０４の断面積よりも小さい２段型プラグを、該プラグの形状に合わせた開口、即ち被覆層の断面積が裏打ち層の断面積よりも小さい開口に嵌合するもの以外に、上側プラグ部の断面積を下側プラグ部の断面積よりも大きくした２段型プラグを、該プラグの形状に合わせた開口、即ち被覆層の断面積が裏打ち層の断面積よりも大きい開口に嵌合するものをも示唆するものである。
　そうすると、上記各手続補正書により補正がなされた発明特定事項は、上記二つの実施例が記載された本件当初明細書等に接した当業者が、本件当初明細書等に記載されているのと同然であると理解し得ないとまではいえないものであって、上記補正が本件当初明細書等に記載した事項の範囲内においてされたものでないとすることはできない。
　
(4)その他 
　本件訂正発明１乃至２５が、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明であるとするその他の理由も発見しない。 
　
第４　むすび 
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２６条第１項ただし書き、第３項乃至第５項の規定に適合する。
　よって、結論のとおり審決する。