【手続補正書】
【提出日】平成30年2月7日(2018.2.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力端子と、
出力端子と、
前記入力端子と前記出力端子との間に直列に接続された１または複数の直列弾性波共振器と、前記入力端子と前記出力端子との間に並列に接続された１または複数の並列弾性波共振器と、を備え、通過帯域における前記入力端子と前記出力端子との間の経路の少なくとも一部の特性インピーダンスが前記通過帯域における前記入力端子の入力インピーダンスおよび前記出力端子の出力インピーダンスの少なくとも一方より高いラダー回路と、
を具備するフィルタ。
【請求項２】
前記少なくとも一部の特性インピーダンスは前記入力インピーダンスおよび前記出力インピーダンスの少なくとも一方の２倍以上である請求項１記載のフィルタ。
【請求項３】
前記入力インピーダンスおよび前記出力インピーダンスの少なくとも一方は実質的に５０Ωであり、前記少なくとも一部の特性インピーダンスは１００Ω以上である請求項１記載のフィルタ。
【請求項４】
前記ラダー回路内の前記経路のいずれの箇所においても前記通過帯域における特性インピーダンスは前記入力インピーダンスおよび前記出力インピーダンスの少なくとも一方より高い請求項１から３のいずれか一項記載のフィルタ。
【請求項５】
前記少なくとも一部の特性インピーダンスは、前記入力インピーダンスおよび前記出力インピーダンスより高い請求項１から４のいずれか一項記載のフィルタ。
【請求項６】
前記ラダー回路内の前記経路のいずれの箇所においても前記通過帯域における特性インピーダンスは前記入力インピーダンスおよび前記出力インピーダンスの２倍以上である請求項１から３のいずれか一項記載のフィルタ。
【請求項７】
前記入力インピーダンスを前記少なくとも一部の特性インピーダンスに変換する入力インピーダンス変換部と、
前記少なくとも一部の特性インピーダンスを前記出力インピーダンスに変換する出力インピーダンス変換部と、
を具備する請求項５または６記載のフィルタ。
【請求項８】
前記１または複数の直列弾性波共振器および前記１または複数の並列弾性波共振器が形成された基板を具備し、
前記出力インピーダンス変換部および前記入力インピーダンス変換部の少なくとも一方は、前記基板に形成された弾性波共振器であるキャパシタを備える請求項７記載のフィルタ。
【請求項９】
前記入力インピーダンスおよび前記出力インピーダンスは実質的に５０Ωであり、
１つの直列腕に１つの直列腕共振器が接続されるように前記１または複数の直列弾性波共振器を合成し、１つの並列腕に１つの並列腕共振器が接続されるように前記１または複数の並列弾性波共振器を合成し、
全ての隣接する前記直列腕共振器と前記並列腕共振器との静電容量の積の平均を（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅ［ｐＦ２］、前記フィルタの通過帯域の中心周波数をｆｏ［ＧＨｚ］としたとき、（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅ≦２．７８６３／ｆｏ２である請求項１から８のいずれか一項記載のフィルタ。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
【請求項１１】
共通端子と送信端子との間に接続された送信フィルタと、
前記共通端子と受信端子との間に接続された受信フィルタと、
を具備し、
前記フィルタは送信フィルタである請求項１０記載のマルチプレクサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記構成において、前記入力インピーダンスおよび前記出力インピーダンスは実質的に５０Ωであり、１つの直列腕に１つの直列腕共振器が接続されるように前記１または複数の直列弾性波共振器を合成し、１つの並列腕に１つの並列腕共振器が接続されるように前記１または複数の並列弾性波共振器を合成し、全ての隣接する前記直列腕共振器と前記並列腕共振器の静電容量の積の平均を（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅ［ｐＦ２］、前記フィルタの通過帯域の中心周波数をｆｏ［ＧＨｚ］としたとき、（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅ≦２．７８６３／ｆｏ２である構成とすることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
圧電膜２２として、例えば（００２）方向を主軸とする窒化アルミニウム（ＡｌＮ）膜を用いる。圧電膜２２として、窒化アルミニウム以外にＺｎＯ（酸化亜鉛）、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）、ＰｂＴｉＯ3（チタン酸鉛）等を用いることができる。また、例えば、圧電膜２２は、窒化アルミニウムを主成分とし、共振特性の向上または圧電性の向上のため他の元素を含んでもよい。例えば、添加元素として、Ｓｃ（スカンジウム）、２族元素と４族元素との２つの元素、または２族元素と５族元素との２つの元素を用いることにより、圧電膜２２の圧電性が向上する。このため、圧電薄膜共振器の実効的電気機械結合係数を向上できる。２族元素は、例えばＣａ（カルシウム）、Ｍｇ（マグネシウム）、Ｓｒ（ストロンチウム）またはＺｎ（亜鉛）である。４族元素は、例えばＴｉ、Ｚｒ（ジルコニウム）またはＨｆ（ハフニウム）である。５族元素は、例えばＴａ、Ｎｂ（ニオブ）またはＶ（バナジウム）である。さらに、圧電膜２２は、窒化アルミニウムを主成分とし、Ｂ（ボロン）を含んでもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
直列腕共振器をＮ個、並列腕共振器をＭ個とする。ただしＮとＭとは、Ｍ＝Ｎ−１、Ｍ＝ＮまたはＮ＝Ｍ＋１の関係にある。ここで図１２のＭ＝Ｎの場合を例に説明すると、直列腕共振器Ｒｓ１、Ｒｓ２・・・Ｒｓｉ・・・Ｒｓｎの静電容量Ｃｏｓ１、Ｃｏｓ２・・・Ｃｏｓｉ・・・Ｃｏｓｎおよび並列腕共振器Ｒｐ１、Ｒｐ２・・・Ｒｐｉ・・・Ｒｐｎの静電容量Ｃｏｐ１、Ｃｏｐ２・・・Ｃｏｐｉ・・・Ｃｏｐｎとする。このとき、静電容量積は、（Ｃｏｓｉ×Ｃｏｐｉ＋Ｃｏｐｉ×Ｃｏｓ（ｉ＋１））をｉ＝１からＮ−１まで合計し、さらにＣｏｓＮ×ＣｏｐＮを加えた値となる。静電容量積の平均（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅは静電容量積を２Ｎ−１で除した値となる。Ｍ＝Ｎ−１またはＭ＝Ｎ＋１の場合も同様に計算する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
図１３（ｂ）に示すように、特性インピーダンスＺｏが１００Ωのとき、Ｃｏｓ×Ｃｏｐ＝０．６３３３ｐＦ２、（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅ＝０．５９７５ｐＦ２である。（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅ／（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）は０．９４である。図１４（ａ）に示すように、特性インピーダンスＺｏが１５０Ωのとき、Ｃｏｓ×Ｃｏｐ＝０．２８１４ｐＦ２、（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅ＝０．２９７５ｐＦ２である。（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅ／（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）は１．０６である。図１４（ｂ）に示すように、特性インピーダンスＺｏが２００Ωのとき、Ｃｏｓ×Ｃｏｐ＝０．１５８３ｐＦ２、（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅ＝０．１５９５ｐＦ２である。（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）ａｖｅ／（Ｃｏｓ×Ｃｏｐ）は１．０１である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
図１７は、ＩＰＤ技術を用いたインダクタの斜視図である。基板５０上にインダクタ５８が設けられている。インダクタ５８は、スパイラル状のコイル５１および５２を備えている。基板５０上にコイル５２が設けられ、コイル５２上に空隙を介しコイル５１が設けられている。コイル５１およびコイル５２はほぼ重なるように設けられている。基板５０上に配線５３および５４が設けられている。配線５３はコイル５２の最外周の終端においてコイル５２と接続されている。配線５４はコイル５１の最外周の終端において接続配線５６を介しコイル５１と接続されている。コイル５１と５２とは最内周の終点において接続配線５５を介し接続されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
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【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
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【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
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