Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月4日(2018.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに分離した複数の発光ダイスを含む半導体構造を提供するステップにおいて、各前記発光ダイスが、発光素子と、第１電極と、第２電極とを含み、前記第１電極および前記第２電極が、前記発光素子の同じ側に配置され、前記第１電極と前記第２電極の間に間隙を有するステップと、
成形コンパウンドを形成して、前記発光ダイスをカプセル化するステップにおいて、前記成形コンパウンドが、各前記発光ダイスの前記発光素子をカプセル化し、各前記発光ダイスの前記第１電極および前記第２電極を露出するステップと、
前記発光ダイスの前記第１電極および前記第２電極にパターン化金属層を形成するステップにおいて、前記パターン化金属層が、前記発光ダイスの前記第１電極および前記第２電極に結合し、前記第１電極および前記第２電極から前記成形コンパウンドの上方に延伸するステップと、
半透明の基板を提供するステップにおいて、前記成形コンパウンドが、前記発光ダイスの前記半透明の基板と前記発光素子の間に設置されるステップと、
分離プロセスを行って、前記半導体構造、前記パターン化金属層、前記成形コンパウンドおよび前記半透明の基板を分離し、直列接続ループ、並列接続ループまたは直並列接続ループで発光ユニットを定義するステップと、
を含む発光ユニットの製造方法。
【請求項２】
前記成形コンパウンドが、蛍光体材料と混合され、前記蛍光体材料が、黄色蛍光体粉末、赤色蛍光体粉末、緑色蛍光体粉末、青色蛍光体粉末、イットリウムアルミニウムガーネット蛍光体粉末、または上述した材料の組み合わせを含む請求項１に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項３】
前記発光ユニットが、少なくとも２つの前記発光ダイスを含み、１つの前記発光ダイスの前記第１電極が、前記パターン化金属層を介して別の前記発光ダイスの前記第２電極に電気接続され、前記直列接続ループを有する前記発光ユニットを形成する請求項１に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項４】
前記発光ユニットが、少なくとも２つの前記発光ダイスを含み、１つの前記発光ダイスの前記第１電極が、前記パターン化金属層を介して別の前記発光ダイスの前記第１電極に電気接続され、１つの前記発光ダイスの前記第２電極が、前記パターン化金属層を介して別の前記発光ダイスの前記第２電極に電気接続され、前記並列接続ループを有する前記発光ユニットを形成する請求項１に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項５】
前記発光ユニットが、少なくとも４つの前記発光ダイスを含み、１つの前記発光ダイスの前記第１電極が、前記パターン化金属層を介して別の前記発光ダイスの前記第１電極に電気接続され、１つの前記発光ダイスの前記第２電極および別の前記発光ダイスの前記第２電極が、前記パターン化金属層を介してさらに別の前記発光ダイスの前記第１電極および又別の前記発光ダイスの前記第１電極に電気接続され、さらに別の前記発光ダイスの前記第２電極が、前記パターン化金属層を介して又別の前記発光ダイスの前記第２電極に電気接続され、前記直並列接続ループを有する前記発光ユニットを形成する請求項１に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項６】
前記パターン化金属層の材料が、各前記発光ダイスの前記第１電極および前記第２電極の材料と同じである請求項１に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項７】
前記パターン化金属層の材料が、各前記発光ダイスの前記第１電極および前記第２電極の材料と異なる請求項１に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項８】
前記発光ユニットの下に配置された外部回路を提供するステップをさらに含み、前記発光ユニットが、前記パターン化金属層を介して前記外部回路に電気接続される請求項１に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項９】
前記外部回路が、キャリアボードと、前記キャリアボードの上に配置された第１外部接点と、前記キャリアボードの上に配置された第２外部接点とを含み、前記発光ユニットが、前記パターン化金属層を介して前記第１外部接点および前記第２外部接点に電気接続された請求項８に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項１０】
前記外部回路が、キャリアボードと、前記キャリアボードの上に配置され、且つ前記パターン化金属層に対応するパターン化回路層とを含み、前記発光ユニットが、前記パターン化金属層を介して前記パターン化回路層に電気接続された請求項８に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項１１】
前記パターン化金属層と前記パターン化回路層が、コンフォーマルに配置された請求項１０に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項１２】
前記発光ユニットと前記外部回路の間に配置された放熱素子を提供するステップをさらに含む請求項８に記載の発光ユニットの製造方法。
【請求項１３】
前記半透明の基板の材料が、樹脂、ガラス、セラミックまたはサファイアを含む請求項１に記載の発光ユニットの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月4日(2018.4.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】トナー及びトナーの製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
該トナー粒子のテトラヒドロフラン不溶分の29Ｓｉ−ＮＭＲの測定において、該有機ケイ素重合体の全ピーク面積に対する式（Ｔ３）で表わされる部分構造のピーク面積の割合ＳＴ３が４０％以上であり、
サイズ排除クロマトグラフィー−多角度光散乱（ＳＥＣ−ＭＡＬＬＳ）法にて測定した、該トナーの２５℃におけるテトラヒドロフラン可溶分の重量平均分子量Ｍｗが５０００以上１０００００以下であり、平均回転半径Ｒｗと該Ｍｗとの比（Ｒｗ／Ｍｗ）が５．０×１０-4以上１．０×１０-2以下であり、
透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いた該トナーの断面観察において、該磁性体がトナー表面から投影面積相当径の１０％の深さまでに６５面積％以上存在する該トナーの割合が、７０個数％以上であることを特徴とするトナーに関する。
また、本発明は、上記構成のトナーを製造するトナーの製造方法であって、
重合性単量体および該磁性体を含有する重合性単量体組成物の粒子を水系媒体中で形成し、該重合性単量体組成物の該粒子に含まれる該重合性単量体を重合させることにより、該トナー粒子を得る
ことを特徴とするトナーの製造方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
【化１】
2016200662.tif 000001
（式（Ｚ）中、Ｒ１は炭素数１乃至６のアルキル基又はフェニル基を表し、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ独立して、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、アセトキシ基、又はアルコキシ基である。）
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結着樹脂及び磁性体を含有するトナー粒子を有するトナーであって、
該トナー粒子が、下記式（Ｔ３）で表される部分構造を有する有機ケイ素重合体を表面に有し、
Ｒ−Ｓｉ（Ｏ1/2）3          （Ｔ３）
（式（Ｔ３）中のＲは、炭素数１以上６以下のアルキル基又はフェニル基を表わす。）
該トナー粒子のテトラヒドロフラン不溶分の29Ｓｉ−ＮＭＲの測定において、該有機ケイ素重合体の全ピーク面積に対する式（Ｔ３）で表わされる部分構造のピーク面積の割合ＳＴ３が４０％以上であり、
サイズ排除クロマトグラフィー−多角度光散乱（ＳＥＣ−ＭＡＬＬＳ）法にて測定した、該トナーの２５℃におけるテトラヒドロフラン可溶分の重量平均分子量Ｍｗが５０００以上１０００００以下であり、平均回転半径Ｒｗと該Ｍｗとの比（Ｒｗ／Ｍｗ）が５．０×１０-4以上１．０×１０-2以下であり、
透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いた該トナーの断面観察において、該磁性体がトナー表面から投影面積相当径の１０％の深さまでに６５面積％以上存在する該トナーの割合が、７０個数％以上であることを特徴とするトナー。
【請求項２】
該磁性体の１次粒子の個数平均径が１５０ｎｍ以上２２０ｎｍ以下である請求項１に記載のトナー。
【請求項３】
該トナー粒子のテトラヒドロフラン不溶分の29Ｓｉ−ＮＭＲの測定において、該有機ケイ素重合体の全ピーク面積に対する、ケイ素に結合するＯ1/2の数が２．０である構造のピーク面積の割合［ＳＸ２］と前記［ＳＴ３］が、［ＳＴ３］／［ＳＸ２］≧１．００の関係を満たす請求項１又は２に記載のトナー。
【請求項４】
該有機ケイ素重合体は、下記式（Ｚ）で表わされる構造を有する有機ケイ素化合物を重合して得られる有機ケイ素重合体である請求項１乃至３のいずれか一項に記載のトナー。
【化１】
2016200662.tif 000002
（式（Ｚ）中のＲ１は炭素数１乃至６のアルキル基又はフェニル基を表わし、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ独立してハロゲン原子、水酸基、アセトキシ基又はアルコキシ基である。）
【請求項５】
該式（Ｚ）中のＲ１はメチル基、エチル基、プロピル基またはフェニル基である請求項４に記載のトナー。
【請求項６】
該式（Ｚ）中のＲ２、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ独立してアルコキシ基である請求項４に記載のトナー。
【請求項７】
該トナー粒子が、重合性単量体および該磁性体を含有する重合性単量体組成物の粒子を水系媒体中で形成し、該重合性単量体組成物の該粒子に含まれる該重合性単量体を重合させることにより得られたトナー粒子である請求項１乃至６のいずれか一項に記載のトナー。
【請求項８】
該トナー粒子が該磁性体を該重合性単量体に分散する分散工程を経て製造されたトナー粒子であって、
該分散工程が撹拌装置を用いて分散処理する工程であり、
該撹拌装置が、複数のスリットを具備するリング状の突起が同心円状に多段に形成された回転子と同様の形状の固定子が一定間隔を保ち、相互に噛み合うように同軸上に設置された撹拌装置である請求項７に記載のトナー。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のトナーを製造するトナーの製造方法であって、
重合性単量体および該磁性体を含有する重合性単量体組成物の粒子を水系媒体中で形成し、該重合性単量体組成物の該粒子に含まれる該重合性単量体を重合させることにより、該トナー粒子を得る
ことを特徴とするトナーの製造方法。
【請求項１０】
該製造方法が、該磁性体を該重合性単量体に分散して該重合性単量体組成物を得る分散工程を有し、
該分散工程が、撹拌装置を用いて分散処理する工程であり、
該撹拌装置が、複数のスリットを具備するリング状の突起が同心円状に多段に形成された回転子と同様の形状の固定子が一定間隔を保ち、相互に噛み合うように同軸上に設置された撹拌装置である
請求項９に記載のトナーの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月4日(2018.4.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】トナー及びトナーの製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
該トナー粒子のテトラヒドロフラン不溶分の29Ｓｉ−ＮＭＲの測定において、該有機ケイ素重合体の全ピーク面積に対する、式（Ｔ３）で表される部分構造のピーク面積の割合［ＳＴ３］が４０％以上であり、
該トナーの熱伝導率が、０．１９０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上０．３００Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下であることを特徴とするトナーに関する。
また、本発明は、上記構成のトナーを製造するトナーの製造方法であって、
重合性単量体および該磁性体を含有する重合性単量体組成物の粒子を水系媒体中で形成し、該重合性単量体組成物の該粒子に含まれる該重合性単量体を重合させることにより、該トナー粒子を得る
ことを特徴とするトナーの製造方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結着樹脂及び磁性体を含有するトナー粒子を有するトナーであって、
該トナー粒子が、下記式（Ｔ３）で表される部分構造を有する有機ケイ素重合体を表面に有し、
Ｒ−Ｓｉ（Ｏ1/2）3          （Ｔ３）
（式（Ｔ３）中のＲは炭素数１以上６以下のアルキル基又はフェニル基を表わす。）
該トナー粒子のテトラヒドロフラン不溶分の29Ｓｉ−ＮＭＲの測定において、該有機ケイ素重合体の全ピーク面積に対する、式（Ｔ３）で表される部分構造のピーク面積の割合［ＳＴ３］が４０％以上であり、
該トナーの熱伝導率が、０．１９０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上０．３００Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下であることを特徴とするトナー。
【請求項２】
該磁性体は、シラン化合物により表面処理された磁性体である請求項１に記載のトナー。
【請求項３】
該シラン化合物がアルコキシシランに加水分解処理を施したシラン化合物であり、該シラン化合物の加水分解率が５０％以上である請求項２に記載のトナー。
【請求項４】
該磁性体は磁性酸化鉄であり、該磁性酸化鉄は表面にケイ素元素を有しており、該磁性酸化鉄を鉄元素の溶解率が５．００質量％になるまでに溶解したときに溶出するケイ素の量が、該磁性酸化鉄を基準として０．０５質量％以上０．５０質量％以下である請求項１乃至３のいずれか一項に記載のトナー。
【請求項５】
該トナー粒子のテトラヒドロフラン不溶分の29Ｓｉ−ＮＭＲの測定において、該有機ケイ素重合体の全ピーク面積に対する、ケイ素に結合するＯ1/2の数が２．０である構造のピーク面積の割合［ＳＸ２］と前記［ＳＴ３］が、［ＳＴ３］／［ＳＸ２］≧１．００の関係を満たす請求項１乃至４のいずれか一項に記載のトナー。
【請求項６】
該有機ケイ素重合体は、下記式（Ｚ）で表される構造を有する有機ケイ素化合物を重合して得られる有機ケイ素重合体である請求項１乃至５のいずれか一項に記載のトナー。
【化１】
2016200663.tif 000001
（式（Ｚ）中、Ｒ1は炭素数１乃至６のアルキル基又はフェニル基を表し、Ｒ2、Ｒ3及びＲ4は、それぞれ独立して、ハロゲン原子、水酸基、アセトキシ基、又はアルコキシ基である。）
【請求項７】
該式（Ｚ）中のＲ1は、メチル基、エチル基、プロピル基又はフェニル基である請求項６に記載のトナー。
【請求項８】
該式（Ｚ）中のＲ2、Ｒ3及びＲ4は、それぞれ独立してアルコキシ基である請求項６又は７に記載のトナー。
【請求項９】
該トナー粒子が、重合性単量体および該磁性体を含有する重合性単量体組成物の粒子を水系媒体中で形成し、該重合性単量体組成物の該粒子に含まれる該重合性単量体を重合させることにより得られたトナー粒子である請求項１乃至８のいずれか一項に記載のトナー。
【請求項１０】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のトナーを製造するトナーの製造方法であって、
重合性単量体および該磁性体を含有する重合性単量体組成物の粒子を水系媒体中で形成し、該重合性単量体組成物の該粒子に含まれる該重合性単量体を重合させることにより、該トナー粒子を得る
ことを特徴とするトナーの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月3日(2018.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
次に、図２は照明光学装置を示す図である。図２は、集光光学系１０５と光学フィルタ２０２とロッド型オプティカルインテグレータ１０６を示す。まず、光学フィルタ２０２（光量調整部）上に配置された光軸上のフィルタパターン３ｃは、ロッド型オプティカルインテグレータ１０６の内面で反射しない２次光源からの光束の強度分布をコントロールする。なお、図２において、光軸方向に沿う方向をＺ軸、紙面に平行かつＺ軸に垂直な方向をＹ軸、紙面に垂直な方向をＸ軸と定義する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2016200649.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2016200649.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月6日(2018.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉空間内に形成され、前記密閉空間内に配置された冷却対象を冷却する第１流体が循環する第１循環流路と、
前記第１流体の熱が伝導される第２流体が循環する第２循環流路と、
前記第２流体から熱が伝導される第３流体が循環し、前記第３流体が循環する過程で前記第３流体に伝導された熱が放熱される第３循環流路と、を有し、
前記第１流体は、気体であり、
前記第２流体及び前記第３流体は、液体であることを特徴とするプロジェクター。
【請求項２】
請求項１に記載のプロジェクターにおいて、
前記第２循環流路と前記第３循環流路とに接続され、前記第２循環流路を循環する前記第２流体の熱を、前記第３循環流路を循環する前記第３流体に伝導する熱交換装置を有し、
前記熱交換装置は、
内部を流通する前記第２流体から受熱する受熱部と、
内部を流通する前記第３流体に、前記受熱部から伝導された熱を放熱する放熱部と、
吸熱面が前記受熱部に熱伝導可能に接続され、放熱面が前記放熱部に熱伝導可能に接続される熱電変換素子と、を有することを特徴とするプロジェクター。
【請求項３】
請求項２に記載のプロジェクターにおいて、
前記第２循環流路は、
前記第２流体を圧送する第２循環流路側ポンプと、
前記密閉空間内に配置され、内部を流通する前記第２流体に前記第１流体から吸熱した熱を伝導する吸熱器と、
前記第２流体を貯留する第２循環流路側タンクと、
前記第２循環流路側ポンプ、前記吸熱器、前記第２循環流路側タンク及び前記熱交換装置を接続する複数の第２循環流路側流通管と、を含んで構成され、
前記第２循環流路側ポンプにより圧送された前記第２流体は、前記熱交換装置、前記吸熱器及び前記第２循環流路側タンクを順に流通した後、前記第２循環流路側ポンプに流入することによって前記第２循環流路を循環することを特徴とするプロジェクター。
【請求項４】
請求項３に記載のプロジェクターにおいて、
前記第２循環流路は、内部を流通する前記第２流体の熱を放熱する第２循環流路側放熱器を含んで構成されることを特徴とするプロジェクター。
【請求項５】
請求項２から請求項４のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
前記第３循環流路は、
前記第３流体を圧送する第３循環流路側ポンプと、
内部を流通する前記第３流体の熱を放熱する放熱器と、
前記第３流体を貯留する第３循環流路側タンクと、
前記第３循環流路側ポンプ、前記放熱器、前記第３循環流路側タンク及び前記熱交換装置を接続する複数の第３循環流路側流通管と、を含んで構成され、
前記第３循環流路側ポンプにより圧送された前記第３流体は、前記放熱部、前記熱交換装置及び前記第３循環流路側タンクを順に流通した後、前記第３循環流路側ポンプに流入することによって前記第３循環流路を循環することを特徴とするプロジェクター。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
前記密閉空間内に配置され、前記第１流体を循環させる循環ファンを備えることを特徴とするプロジェクター。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
内部に前記密閉空間が形成される密閉筐体と、
前記密閉筐体外に設けられ、冷却空気を送風する冷却ファンと、を備え、
前記密閉筐体には、前記密閉筐体内の熱を外部に放熱する放熱部材が設けられ、
前記冷却ファンは、前記放熱部材に前記冷却空気を流通させることを特徴とするプロジェクター。
【請求項８】
請求項７に記載のプロジェクターにおいて、
光源装置と、
前記光源装置から出射された光を変調して画像を形成する光変調装置と、
前記光源装置から出射された光の光路上に配置され、前記光変調装置による画像形成に寄与する光学部品と、を備え、
前記光学部品は、フィールドレンズを含み、
前記フィールドレンズは、前記密閉筐体とともに前記密閉空間を形成することを特徴とするプロジェクター。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
光源装置と、
前記光源装置から出射された光を変調して画像を形成する光変調装置と、
前記光源装置から出射された光の光路上に配置され、前記光変調装置による画像形成に寄与する光学部品と、を備え、
前記冷却対象は、前記光源装置、前記光変調装置及び前記光学部品のうち少なくともいずれかであることを特徴とするプロジェクター。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
外装を構成する外装筐体を備え、
前記第１循環流路、前記第２循環流路及び前記第３循環流路は、前記外装筐体の内部に配置されていることを特徴とするプロジェクター。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記一態様では、光源装置と、前記光源装置から出射された光を変調して画像を形成す
る光変調装置と、前記光源装置から出射された光の光路上に配置され、前記光変調装置による画像形成に寄与する光学部品と、を備え、前記冷却対象は、前記光源装置、前記光変調装置及び前記光学部品のうち少なくともいずれかであることが好ましい。
上記一態様によれば、冷却対象が、光源、光変調装置及び光学部品の少なくともいずれかであることにより、当該冷却対象を効果的に冷却できることで、画像投射を安定して実施できる他、冷却対象の劣化や投射画像の劣化を抑制できる。
上記一態様では、外装を構成する外装筐体を備え、前記第１循環流路、前記第２循環流路及び前記第３循環流路は、前記外装筐体の内部に配置されていることが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月23日(2018.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１冷却対象及び第２冷却対象と、
第１密閉筐体を有し、前記第１密閉筐体内の第１冷却気体を循環させて、前記第１密閉筐体内に配置された前記第１冷却対象を冷却する第１循環冷却装置と、
第２密閉筐体を有し、前記第２密閉筐体内の第２冷却気体を循環させて、前記第２密閉筐体内に配置された前記第２冷却対象を冷却する第２循環冷却装置と、を備え、
前記第１冷却対象は、入射される光を変調して画像を形成する光変調装置を有する画像形成部であり、
前記第２冷却対象は、前記光変調装置による前記画像の形成に寄与する光学部品に含まれる第１光学部品であることを特徴とするプロジェクター。
【請求項２】
請求項１に記載のプロジェクターにおいて、
前記第１光学部品は、偏光変換素子であることを特徴とするプロジェクター。
【請求項３】
請求項１に記載のプロジェクターにおいて、
前記第１光学部品は、入射された励起光によって励起され蛍光光を出射する波長変換素子であることを特徴とするプロジェクター。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
前記第１密閉筐体及び前記第２密閉筐体は、隔壁により分断され、
前記隔壁は、前記光学部品を保持する光学部品用筐体と、前記光学部品に含まれる第２光学部品と、により構成されていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項５】
請求項４に記載のプロジェクターにおいて、
前記第２光学部品は、入射される光を反射する反射部材を含むことを特徴とするプロジェクター。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載のプロジェクターにおいて、
前記第２光学部品は、レンズを含むことを特徴とするプロジェクター。
【請求項７】
請求項４に記載のプロジェクターにおいて、
前記第２光学部品は、入射される光を反射する反射部材と、レンズと、を含み、
前記光学部品用筐体は、前記第１光学部品が配置される位置に対応する部分に、前記第１光学部品を冷却する前記第２冷却空気を流通させる開口部を有し、
前記隔壁の一部を構成する前記反射部材及び前記レンズは、前記開口部の一部を囲うように前記光学部品用筐体に固定されていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項８】
請求項４から請求項７のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
前記隔壁の一部を構成する前記第２光学部材は、前記第２密閉筐体の一部を構成することを特徴とするプロジェクター。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
前記第１循環冷却装置は、
前記第１冷却気体を前記第１密閉筐体内で循環させる第１循環ファンと、
循環される前記第１冷却気体を冷却する第１冷却器と、を備え、
前記第２循環冷却装置は、
前記第２冷却気体を前記第２密閉筐体内で循環させる第２循環ファンと、
循環される前記第２冷却気体を冷却する第２冷却器と、を備えることを特徴とするプロジェクター。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
外装筐体２は、天面部２１、底面部２２、正面部２３、背面部２４及び左右の側面部２５，２６を有する略直方体形状に形成されている。
天面部２１には、使用者がプロジェクター１を把持したり、天井等に設置された器具にプロジェクター１を固定したりする際に利用される一対の把手２１１が設けられている。また、天面部２１には、後述する光源装置３１Ａ，３１Ｂを外装筐体２内に交換可能に収納するための開口部（図示省略）が形成され、当該開口部は、カバー部材２１２によって覆われている。
底面部２２には、図示を省略するが、設置台等の設置面上に載置される際に、当該設置面と接触する脚部が設けられている。
正面部２３には、後述する画像形成装置３を構成する投射光学装置３５の一部が露出する開口部２３１が形成されている。
これらの他、図示を省略するが、右側の側面部２６には、外装筐体２外の空気を内部に導入する導入口が形成され、左側の側面部２５には、外装筐体２内の空気を外部に排出する排気口が形成されている。
なお、以下の図及び説明において、Ｚ方向は、投射光学装置３５から投射された光の進行方向（投射方向）を示し、Ｘ方向及びＹ方向は、当該Ｚ方向に直交し、かつ、互いに直交する方向を示す。これらのうち、Ｙ方向は、平面視でＺ方向が水平方向に沿うようにプロジェクター１が配置された場合に、鉛直方向における上方（すなわち、外装筐体２の底面部２２から天面部２１に向かう方向）を示し、Ｘ方向は、Ｚ方向側（光の進行方向側）から見て左から右に向かう方向を示す。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
外側面部３６６は、光学部品用筐体３６をＹ方向側から見て、最もＺ方向側に位置するＵ字状の側面部である。この外側面部３６６のＸ方向とは反対方向側の端部は、前述したように外側面部３６５と接続され、Ｘ方向側の端部は、外側面部３６７と接続されている。この外側面部３６５には、反射ミラー３３４が固定されている。
また、外側面部３６６には、一対の溝部３６６１，３６６２，３６６３が形成され、それぞれフィールドレンズ３４０がＹ方向側から嵌め込まれ、固定されている。
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月23日(2018.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却対象が配置される密閉空間内の冷却気体を循環させて、前記冷却対象を冷却する循環冷却装置と、
前記冷却気体の熱が伝導される第１液体を循環させる吸熱装置と、
前記第１液体の熱が伝導される第２液体を循環させ、前記第２液体の熱を放出する放熱装置と、
前記第１液体及び前記第２液体が内部を流通可能に構成され、前記第１液体の熱を前記第２液体に伝導する熱交換装置と、
を備え、
前記循環冷却装置は、密閉筐体を備え、
前記吸熱装置は、
前記密閉筐体と組み合わされて前記密閉空間を形成するダクトと、
前記ダクト内に配置され、前記ダクト内を流通する前記冷却気体から吸熱して、吸熱した熱を前記第１液体に伝導する吸熱器と、を備え、
前記放熱装置は、前記第２液体の熱を放熱する放熱器を備え、
前記熱交換装置、前記ダクト、前記吸熱器及び前記放熱器は、ユニットとして一体化されていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項２】
請求項１に記載のプロジェクターにおいて、
前記熱交換装置、前記ダクト、前記吸熱器及び前記放熱器が取り付けられるフレームを備えることを特徴とするプロジェクター。
【請求項３】
請求項２に記載のプロジェクターにおいて、
前記ダクト及び前記放熱器の少なくともいずれかは、前記フレームに遊嵌構造によって取り付けられていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載のプロジェクターにおいて、
前記吸熱装置は、前記第１液体が貯留される第１貯留部と、前記第１液体を圧送する第１圧送部と、を備え、
前記放熱装置は、前記第２液体が貯留される第２貯留部と、前記第２液体を圧送する第２圧送部と、を備え、
前記第１貯留部、前記第１圧送部、前記第２貯留部及び前記第２圧送部は、前記熱交換装置、前記ダクト、前記吸熱器及び前記放熱器とともに前記ユニットとして一体化されていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項５】
請求項４に記載のプロジェクターにおいて、
前記フレームは、第１フレームと、前記第１フレームに対して鉛直方向上側に接続される第２フレームと、を有し、
前記第１貯留部、前記第１圧送部、前記第２貯留部、前記第２圧送部及び前記熱交換装置は、前記第１フレームに取り付けられ、
前記ダクト、前記吸熱器及び前記放熱器は、前記第２フレームに取り付けられることを特徴とするプロジェクター。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載のプロジェクターにおいて、
前記第１圧送部及び前記第２圧送部は、１つのポンプによって構成されていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
前記循環冷却装置は、前記密閉空間内の前記冷却気体を循環させる循環ファンを備え、
前記循環ファンは、前記ダクト内に配置されていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
前記吸熱器は、前記第１液体が内部に流入する流入口を有し、
前記流入口は、前記熱交換装置が前記第１液体の循環流路において前記吸熱器の上流に位置するように、当該熱交換装置と流通管を介して接続され、
前記熱交換装置は、前記吸熱器に対して前記流入口側に配置されていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
前記放熱器は、前記放熱器を流通した前記第２液体が流出される流出口を有し、
前記流出口は、前記熱交換装置が前記第２液体の循環流路において前記放熱器の下流に位置するように、当該熱交換装置と流通管を介して接続され、
前記熱交換装置は、前記放熱器に対して前記流出口側に配置されていることを特徴とするプロジェクター。
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月23日(2018.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却対象が内部に配置され、冷却空気が流通する循環流路が形成された密閉筐体と、
前記密閉筐体内の前記冷却空気を循環させる循環ファンと、
前記循環流路上に配置され、前記密閉筐体内の前記冷却空気の熱を吸熱する吸熱器と、
前記冷却空気を送出する冷却ファンと、
前記冷却ファンから送出された前記冷却空気を前記冷却対象に導く導風ダクトと、
を備え、
前記密閉筐体は、環状の前記循環流路を形成する内壁部を内側に有し、
前記吸熱器は、前記内壁部を挟んで前記冷却対象とは反対側に配置され、
前記循環ファンは、前記密閉筐体内において第１方向に前記冷却空気を循環し、
前記冷却ファンは、前記密閉筐体内において前記第１方向とは反対の第２方向に前記冷却空気が流通する位置に配置され、かつ、前記冷却空気の送出方向が前記第２方向に沿うように配置されていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項２】
請求項１に記載のプロジェクターにおいて、
前記吸熱器は、前記密閉筐体内において前記第１方向に前記冷却空気が流通する位置に配置されていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項３】
請求項１または２に記載のプロジェクターにおいて、
前記冷却ファンは、前記冷却対象に対して前記第２方向における上流側に配置されていることを特徴とするプロジェクター。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
外装を構成する外装筐体をさらに備え、
前記冷却ファンの回転軸及び前記循環ファンの回転軸は、前記外装筐体の底面に対して略直交することを特徴とするプロジェクター。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載のプロジェクターにおいて、
前記冷却空気は、前記吸熱器を基準とした場合に、前記吸熱器、前記循環ファン、前記冷却ファン、前記冷却対象の順に流通することを特徴とするプロジェクター。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
このような密閉筐体８１は、当該密閉筐体８１の外縁を形成する断面視略矩形の外壁部８１１と、当該密閉筐体８１の内側に位置する縦断面視略矩形の内壁部８１２とを有し、これらにより、当該密閉筐体８１は、内部の空気が環状に循環するダクト様に形成されている。
この密閉筐体８１内の密閉空間Ｓにおいては、後述する循環ファン８２により、当該密閉筐体８１内の空気が、第１方向Ｃ１、第２方向Ｃ２、第３方向Ｃ３及び第４方向Ｃ４に沿って順に流通して循環される。なお、第１方向Ｃ１（本発明の反対の方向に相当）と第３方向Ｃ３（本発明の一方の方向に相当）とは互いに反対方向であり、第２方向Ｃ２と第４方向Ｃ４とは互いに反対方向である。また、第１方向Ｃ１と第２方向Ｃ２とは略直交し、第３方向Ｃ３と第４方向Ｃ４とは略直交する。具体的に、第１方向Ｃ１は、天面部２１から底面部２２に向かう方向であり、第３方向Ｃ３は、底面部２２から天面部２１に向かう方向である。また、第２方向Ｃ２及び第４方向Ｃ４は、それぞれ天面部２１及び底面部２２と略平行な面に含まれる方向であり、かつ、互いに反対方向である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
上記実施形態では、正置き姿勢の際に、吸熱器５１及び電気光学装置４５が、水平方向に沿って離間するように配置され、横置き姿勢の際に、吸熱器５１が、電気光学装置４５の下方に配置されるように構成されたが、本発明はこれに限らない。すなわち、横置き姿勢の際に、電気光学装置４５及び吸熱器５１が、水平方向に沿って離間するように配置されてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月16日(2018.8.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブローバイガスを導入するブローバイガス導入口と、
ブローバイガスを吸気側に排出するブローバイガス排出口と、
前記ブローバイガス導入口と前記ブローバイガス排出口との間に形成されたブローバイガス通路において、ブローバイガスの流れる方向に離れて設置され、ブローバイガスに含まれるオイルミストを分離する上流側オイル分離部および下流側オイル分離部と、
前記上流側オイル分離部と前記下流側オイル分離部との間において、前記ブローバイガス通路の底面に形成され、オイルを排出するオイルドレン孔と、
一端部が前記オイルドレン孔に連通するとともに他端部がオイルパンに開口する開口部に連通するオイルドレン通路とを備えた内燃機関のオイル分離構造であって、
前記上流側オイル分離部が、ブローバイガスが流通する上流側流通孔を有し、前記下流側オイル分離部が、ブローバイガスが流通する下流側流通孔を有し、
前記開口部の開口面積が、前記オイルドレン孔の開口面積よりも小さく形成されることを特徴とする内燃機関のオイル分離構造。
【請求項２】
前記ブローバイガス通路が、クランク室を有するシリンダブロックに形成され、
前記シリンダブロックの端部に、クランク軸の駆動力が伝達されるタイミングチェーンを覆うチェーンケースが取付けられることにより、前記チェーンケース、前記シリンダブロックによって囲まれるチェーン収容室が形成され、
前記シリンダブロックは、前記チェーン収容室と前記ブローバイガス通路とを連通する連通路を有することを特徴とする請求項１に記載の内燃機関のオイル分離構造。
【請求項３】
前記オイルドレン通路は、前記シリンダブロックの内部に形成され、
前記開口部は、前記シリンダブロックの下部と前記オイルパンの上部とで挟まれて形成されることを特徴とする請求項２に記載の内燃機関のオイル分離構造。
【請求項４】
前記ブローバイガス排出口を開閉する開閉弁を有し、
前記下流側流通孔の開口面積の総和が前記開閉弁の直上流の通路面積の２倍以下となるように前記下流側流通孔が形成されることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の内燃機関のオイル分離構造。
【請求項５】
バルブを駆動するカムを有するカム軸を収容し、前記ブローバイガス導入口を通して前記ブローバイガス通路に連通するカム室を有するシリンダヘッドと、
外部の空気を取り入れる容積室、前記カム軸に連結されるバキュームポンプ駆動軸、バキュームポンプ駆動軸を回転自在に支持し、前記容積室と前記カム室とを仕切るバキュームポンプ軸受部および前記バキュームポンプ軸受部に潤滑油を供給する給油路を有し、前記シリンダヘッドに取付けられたバキュームポンプとを備え、
前記バキュームポンプの内部で圧縮された圧縮空気を前記カム室に排出する排出孔を有することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の内燃機関のオイル分離構造。
【請求項６】
前記シリンダブロックは、スカート部を有し、
前記オイルドレン通路は、前記スカート部の上部と下部とを連通するように前記シリンダブロックと一体に形成されていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の内燃機関のオイル分離構造。
【請求項７】
シリンダブロックおよびシリンダブロックの下部に取り付けられるオイルパンと、
前記シリンダブロックの側面に形成されるケース部と、
前記ケース部に取り付けられるカバー部材と、
前記ケース部と前記カバー部材によって形成されるオイル分離室と、
前記オイル分離室にブローバイガスを導入するブローバイガス導入口と、
前記オイル分離室からブローバイガスを吸気側に排出するブローバイガス排出口と、
前記オイル分離室内に設置され、ブローバイガスに含まれるオイルミストを分離するオイル分離部と、
前記オイル分離室の底面に形成され、前記オイル分離部にて分離されたオイルを排出するオイルドレン孔と、
一端部が前記オイルドレン孔に連通するとともに他端部が前記オイルパンに開口する開口部に連通するオイルドレン通路とを備えた内燃機関のオイル分離構造であって、
前記オイル分離部は、前記ケース部に配置される前記ケース部の仕切壁と、前記ケース部の仕切壁と当接するよう前記カバー部材に配置され、かつブローバイガスを通す連通孔を複数個有する前記カバー部材の仕切壁と、を備え、
前記カバー部材は、前記連通孔を通過したブローバイガスを衝突させる衝突壁を有し、
前記オイルドレン通路は、前記シリンダブロックの下部と前記オイルパンの上部との間にて通路が絞られ、前記開口部の開口面積が、前記オイルドレン孔の開口面積よりも小さく形成されていることを特徴とする内燃機関のオイル分離構造。
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月6日(2018.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の円環部及び前記一対の円環部間を連結して円周方向に所定の間隔で配置される複数の柱部を有する保持器と、
前記一対の円環部及び互いに隣り合う前記柱部によって形成される前記保持器のポケットにそれぞれ配置される複数のころと、を備え、内径面に円筒状の軌道面を有するハウジングと、前記ハウジングに挿通されて外径面に軌道面を有する軸との間に、前記ころが転動可能に配置されて使用されるケージアンドローラに於いて、
前記一対の円環部の内、一方の円環部の外径面に円周溝を設け、この円周溝にスナップリングが嵌められており、前記スナップリングの外径は前記ハウジングの軌道面よりも大きいことを特徴とするケージアンドローラ。
【請求項２】
一対の円環部及び前記一対の円環部間を連結して円周方向に所定の間隔で配置される複数の柱部を有する保持器と、
前記一対の円環部及び互いに隣り合う前記柱部によって形成される前記保持器のポケットにそれぞれ配置される複数のころと、を備え、内径面に円筒状の軌道面を有するハウジングと、前記ハウジングに挿通されて外径面に軌道面を有する軸との間に、前記ころが転動可能に配置されて使用されるケージアンドローラに於いて、
前記一対の円環部の内、一方の円環部の内径面に円周溝を設け、この円周溝にスナップリングが嵌められており、前記スナップリングの内径は前記ハウジングの軌道面よりも小さいことを特徴とするケージアンドローラ。
【請求項３】
前記スナップリングの内径面と、前記円周溝の溝底外径との間は、前記スナップリングの外径面が縮径可能なように隙間を有していることを特徴とする請求項１に記載のケージアンドローラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）一対の円環部及び前記一対の円環部間を連結して円周方向に所定の間隔で配置される複数の柱部を有する保持器と、
前記一対の円環部及び互いに隣り合う前記柱部によって形成される前記保持器のポケットにそれぞれ配置される複数のころと、を備え、内径面に円筒状の軌道面を有するハウジングと、前記ハウジングに挿通されて外径面に軌道面を有する軸との間に、前記ころが転動可能に配置されて使用されるケージアンドローラに於いて、
前記一対の円環部の内、一方の円環部の外径面に円周溝を設け、この円周溝にスナップリングが嵌められており、前記スナップリングの外径は前記ハウジングの軌道面よりも大きいことを特徴とするケージアンドローラ。
（２）一対の円環部及び前記一対の円環部間を連結して円周方向に所定の間隔で配置される複数の柱部を有する保持器と、
前記一対の円環部及び互いに隣り合う前記柱部によって形成される前記保持器のポケットにそれぞれ配置される複数のころと、を備え、内径面に円筒状の軌道面を有するハウジングと、前記ハウジングに挿通されて外径面に軌道面を有する軸との間に、前記ころが転動可能に配置されて使用されるケージアンドローラに於いて、
前記一対の円環部の内、一方の円環部の内径面に円周溝を設け、この円周溝にスナップリングが嵌められており、前記スナップリングの内径は前記ハウジングの軌道面よりも小さいことを特徴とするケージアンドローラ。
（３）前記スナップリングの内径面と、前記円周溝の溝底外径との間は、前記スナップリングの外径面が縮径可能なように隙間を有していることを特徴とする上記（１）に記載のケージアンドローラ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
以下、本発明に係るケージアンドローラの実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、ケージアンドローラ１の一方の円環部３は、その外径面に円周溝７を有しており、この円周溝７には、スナップリング８が嵌められている。
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月26日(2018.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサデータとユーザデータを取得するデータ取得部と、
前記センサデータとユーザデータを匿名化処理して匿名化データとする匿名化部と、
前記匿名化データを格納する格納部と、
前記匿名化データを前記格納部に格納したタイミング又は前記センサデータを取得したタイミングに応じた所定の送信タイミングと異なるように前記匿名化データの送信タイミングを変更するタイミング変更部と、
変更後の前記送信タイミングに基づいて前記匿名化データを送信する送信部と
を備える情報配信装置。
【請求項２】
前記タイミング変更部が、前記匿名化データの匿名化レベル又はセキュリティリスクに応じ、前記匿名化レベルが高い又はセキュリティリスクが低い場合には前記送信タイミングの変更を小さくし、前記匿名化レベルが低い又はセキュリティリスクが高い場合には前記送信タイミングの変更を大きくする請求項１に記載の情報配信装置。
【請求項３】
前記センサデータとユーザデータを匿名化する際の区分数を取得する区分数取得部と、
前記区分数を増加させた場合の最小出現数の減少量を示す減少係数と前記区分数とに基づいて、個人情報を前記区分数で匿名化した場合の最小出現数が所定の基準値を下回ると判定した場合に、最小出現数が所定の基準値以上となる区分数を求める匿名状態予測部と、
を備える請求項１又は２に記載の情報配信装置。
【請求項４】
センサデータとユーザデータを取得するステップと、
前記センサデータとユーザデータを匿名化処理して匿名化データとするステップと、
前記匿名化データを格納するステップと、
前記匿名化データを格納したタイミング又は前記センサデータを取得した
タイミングに応じた所定の送信タイミングと異なるように前記匿名化データの送信タイミングを変更するステップと、
変更後の前記送信タイミングに基づいて前記匿名化データを送信するステップと
をコンピュータが実行する情報配信方法。
【請求項５】
センサデータとユーザデータを取得するステップと、
前記センサデータとユーザデータを匿名化処理して匿名化データとするステップと、
前記匿名化データを格納するステップと、
前記匿名化データを格納したタイミング又は前記センサデータを取得したタイミングに応じた所定の送信タイミングと異なるように前記匿名化データの送信タイミングを変更するステップと、
変更後の前記送信タイミングに基づいて前記匿名化データを送信するステップと
をコンピュータに実行させるための情報配信プログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成29年11月24日(2017.11.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置基部と、
該装置基部に設定され、被測定物を支持するステージと、
該装置基部に設定され、該ステージによって支持されている被測定物の表面形状を測定するための表面形状センサユニットと、
該ステージを該表面形状センサユニットに対して相対的に移動させる移動機構と、
を備える表面形状測定装置であって、
該表面形状センサユニットが、
所定の測定軸線の方向での所定幅をもった検出限界を有し、該測定軸線と交わる物体表面上の点を測定点として、該測定軸線の方向での該検出限界内における該測定点の位置を測定する第１センサと、
該第１センサを保持する第１アクチュエータであって、該検出限界の幅よりも広い該測定軸線の方向での所定幅をもった第１可動範囲を有し、該測定点が該検出限界内に位置するように該第１センサを該第１可動範囲内で該測定軸線の方向で移動させる第１アクチュエータと、
該第１アクチュエータによる該第１センサの移動距離を測定する第２センサと、
該第１アクチュエータを保持する第２アクチュエータであって、該第１可動範囲の幅よりも広い該測定軸線の方向での所定幅をもった第２可動範囲を有し、該第１アクチュエータが該第１センサを該第１可動範囲内で移動させて該測定点を該検出限界内に位置させることができるように、該第１アクチュエータを該第２可動範囲内で該測定軸線の方向で移動させる第２アクチュエータと、
該第２アクチュエータによる該第１アクチュエータの移動距離を測定する第３センサと、を備え、
該移動機構によって該第１センサの該測定点が被測定物の表面上を相対的に移動していくように該ステージと該第１センサとを相対的に移動させたときの、該第１、第２、及び第３センサの出力値に基づいて被測定物の表面形状を測定するようにされた、表面形状測定装置。
【請求項２】
該第１アクチュエータが、該検出限界内に位置する測定基準点を有し、該表面形状センサユニットによる被測定物の表面形状測定の最中に、該測定点が該測定基準点に近づくように該第１センサを連続的に移動させるようにされた、請求項１に記載の表面形状測定装置。
【請求項３】
該第２アクチュエータが、該表面形状センサユニットによる被測定物の表面形状測定の最中には該第１アクチュエータを移動させないようにされた、請求項１又は２に記載の表面形状測定装置。
【請求項４】
該検出限界の幅が１マイクロメートル以上０．１ミリメートル未満であり、該第１可動範囲の幅が０．１ミリメートル以上２ミリメートル未満であり、該第２可動範囲の幅が１０ミリメートル以上である、請求項１乃至３の何れか一項に記載の表面形状測定装置。
【請求項５】
該第１アクチュエータがピエゾアクチュエータであり、該第２アクチュエータがモータ駆動の直動テーブルであり、該第２センサがひずみゲージであり、該第３センサがリニアスケールである、請求項４に記載の表面形状測定装置。
【請求項６】
該第１センサが、光式の非接触センサである、請求項１乃至５の何れか一項に記載の表面形状測定装置。
【請求項７】
該移動機構が、該ステージを該測定軸線に対して垂直な平面内で移動させる水平面移動機構を有する、請求項１乃至６の何れか一項に記載の表面形状測定装置。
【請求項８】
該移動機構が、該ステージを該測定軸線に対して垂直な回転軸線周りで回転させる回転機構と、該表面形状センサユニットを該回転軸線と平行な方向に移動させる垂直移動機構と、を有する、請求項１乃至６の何れか一項に記載の表面形状測定装置。
【請求項９】
所定の測定軸線の方向での所定幅をもった検出限界を有し、該測定軸線と交わる物体表面上の点である測定点の該測定軸線の方向での位置を測定する第１センサと、該第１センサを保持して該第１センサを該測定軸線の方向で移動させる第１アクチュエータと、該第１アクチュエータによる該第１センサの移動距離を測定する第２センサと、該第１アクチュエータを保持して該第１アクチュエータを該測定軸線の方向で移動させる第２アクチュエータと、該第２アクチュエータによる該第１アクチュエータの移動距離を測定する第３センサと、を備える表面形状センサユニットによって、ステージ上に支持された被測定物の表面形状を測定する表面形状測定方法であって、
該被測定物の表面上の任意の測定開始点に該第１センサの該測定点が位置するように、該ステージと該表面形状センサユニットとを移動機構によって相対的に移動させるステップと、
該測定点が該検出限界内に位置するように、該第２アクチュエータによって該第１アクチュエータ及び該第１センサを該測定軸線の方向で移動させるステップと、
該測定点が該被測定物の表面上を相対的に移動していくように該移動機構によって該ステージと該表面形状センサユニットとを相対的に移動させるステップと、
該ステージと該表面形状センサユニットとを相対的に移動させるステップの最中に、該測定点が該検出限界内に維持されるように該第１アクチュエータによって該第１センサを該測定軸線の方向で移動させるステップと、
該ステージと該表面形状センサユニットとを相対的に移動させるステップの最中に、該第１乃至第３センサの出力値を読み取るステップと、
該測定点を該検出限界内に維持するために必要とされる該第１センサの移動距離が該第１アクチュエータの可動範囲を超えることになる表面を測定するときに、該移動機構による該ステージと該表面形状センサユニットとの相対的な移動を一旦停止して、該測定点が該検出限界内に位置するように該第２アクチュエータによって該第１アクチュエータ及び該第１センサを該測定軸線の方向で移動させるステップと、
を含む、表面形状測定方法。
【請求項１０】
該第１アクチュエータが、該検出限界内に位置する測定基準点を有し、
該第１センサを該測定軸線の方向で移動させるステップが、該測定点が該測定基準点に近づくように該第１アクチュエータによって該第１センサを該測定軸線の方向で連続的に移動させるステップである、請求項９に記載の表面形状測定方法。
【請求項１１】
該移動機構が、該ステージを該測定軸線に対して垂直な回転軸線周りで回転させる回転機構と、該表面形状センサユニットを該回転軸線と平行な方向に移動させる垂直移動機構と、を有し、該被測定物が円筒状表面を有する部材であり、
該ステージと該表面形状センサユニットとを相対的に移動させるステップが、該測定点が該被測定物の該円筒状表面上を移動していくように該回転機構によって該ステージを回転させるステップであり、
該第１乃至第３センサの出力値に基づいて、該被測定物の直径と真円度とのうちの少なくとも一方を求めるようにされた、請求項９又は１０に記載の表面形状測定方法。