【手続補正書】
【提出日】平成30年6月4日(2018.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の一態様は、振動体と被駆動体を備える振動型駆動装置であって、前記振動体は、主成分が電気的に絶縁性、誘電性または半導電性の材料からなる弾性体と、前記弾性体と接合される電気−機械エネルギ変換素子と、を有し、前記電気−機械エネルギ変換素子は、圧電体と、前記圧電体において前記弾性体と接合される面に設けられた開ループ構造を有する第１の電極と、前記圧電体を介して前記第１の電極と対向するように設けられた、少なくとも２つの第２の電極と、前記少なくとも２つの第２の電極のうちの少なくとも１つの第２の電極と、前記第１の電極と、を電気的に接続する導通路と、を有し、前記少なくとも２つの第２の電極の間に間隙部が設けられていることを特徴とする振動型駆動装置、である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明によれば、変動磁場環境に適した振動型駆動装置を実現することができる。例えば、振動型駆動装置を備えるマニピュレータをＭＲＩ診断装置のガントリー近傍又は内部に設置しても、ＭＲＩ診断装置とその周辺機器へのノイズや振動の影響を軽減することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
圧電素子３０Ａには、圧電セラミックスの表裏面に形成された電極を電気的に接続するために、圧電セラミックスを貫通するように３カ所に貫通孔３８が設けられている。貫通孔３８は、圧電素子３０Ａにおいて相対的に歪みが小さい内径側に設けることが好ましく、例えば、圧電素子３０Ａの内外径の中心円Ｄの内側に設けられる。但し、中心円Ｄの外部に設けることも可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
図５（ｃ）には、貫通孔３８の内部に棒材又は線材からなる固体導体１１４が挿入されており、固体導体１１４を用いて共通電極１０９と非駆動電極１１０とを電気的に接続する構成が示されている。この場合、固体導体１１４と貫通孔３８の内壁との間に接着剤等の樹脂又は銀ペースト等を、導電体であるか非導電体であるかを問わずに充填することによって、固体導体１１４を固定することが望ましい。例えば、圧電体３０ｐに貫通孔３８を形成した後に共通電極１０９を形成し、続いて、共通電極１０９が形成面の反対側の面から固体導体１１４を貫通孔３８に挿入して固定する。その後、非駆動電極１１０を形成することによって、図５（ｃ）の構造を実現することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
図８は、圧電素子３０の第４の電極構造を示す部分断面図である。図８の電極構造が図５（ａ）の電極構造と異なる第１の点は、図５に示す電極構造において共通電極１０９に対して設けられた間隙部１４１が、図８では絶縁部である２つの間隙部１８２，１８３の間に電極１８１が設けられた構成に変更されている点である。また、図８の電極構造が図５（ａ）の電極構造と異なる第２の点は、間隙部１８２，１８３の間に設けられた電極１８１が、貫通孔３８に充填された導電体１１２によって非駆動電極１１０と電気的に接続されている点である。図８の電極構造は、その他の点では図５（ａ）の電極構造と同じであるため、以下、この相違点についてのみ説明する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体と被駆動体を備える振動型駆動装置であって、
前記振動体は、
主成分が電気的に絶縁性、誘電性または半導電性の材料からなる弾性体と、
前記弾性体と接合される電気−機械エネルギ変換素子と、を有し、
前記電気−機械エネルギ変換素子は、
圧電体と、
前記圧電体において前記弾性体と接合される面に設けられた開ループ構造を有する第１の電極と、
前記圧電体を介して前記第１の電極と対向するように設けられた、少なくとも２つの第２の電極と、
前記少なくとも２つの第２の電極のうちの少なくとも１つの第２の電極と、前記第１の電極と、を電気的に接続する導通路と、を有し、
前記少なくとも２つの第２の電極の間に間隙部が設けられていることを特徴とする振動型駆動装置。
【請求項２】
前記被駆動体は、電気的に絶縁性、誘電性または半導電性の材料からなることを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。
【請求項３】
前記第１の電極の一端と別の一端との間の領域が、前記間隙部と少なくとも一部で重なるように対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型駆動装置。
【請求項４】
前記圧電体において前記弾性体と接合される面に、前記第１の電極の一端と別の一端のそれぞれとの間に隙間を設けて形成された第３の電極を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型駆動装置。
【請求項５】
前記第３の電極が、前記少なくとも２つの第２の電極のうちの１つの第２の電極と前記導通路によって電気的に接続されていることを特徴とする請求項４に記載の振動型駆動装置。
【請求項６】
前記少なくとも２つの第２の電極のうち前記第３の電極と電気的に接続された第２の電極がＧＮＤ電位に接続されることを特徴とする請求項５に記載の振動型駆動装置。
【請求項７】
前記第３の電極は、前記間隙部と対向する位置、または、前記少なくとも２つの第２の電極のうち前記第１の電極と電気的に接続された第２の電極と対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項８】
前記第１の電極は、少なくとも２つの前記導通路によって、前記少なくとも２つの第２の電極のうち２つの第２の電極と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項９】
前記少なくとも２つの第２の電極のうち前記第１の電極と電気的に接続された第２の電極がＧＮＤ電位に接続されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項１０】
前記圧電体において前記少なくとも２つの第２の電極が設けられている面に、前記弾性体の歪みの大きさに応じた電位を示す振動検出用の電極が設けられていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項１１】
前記圧電体において前記少なくとも２つの第２の電極が設けられている面は、電圧を印加するための配線を有するフレキシブル基板によって覆われていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項１２】
前記導通路は、前記圧電体を貫通するように形成された貫通孔の内部に導電体が配置され、または、前記圧電体の側面に形成された溝部に導電体が固着されることにより形成されていることによって形成されていることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項１３】
前記圧電体は、円環状の形状を有し、
前記導通路は、前記圧電体の内外径の中心円の内側に設けられることを特徴とする請求項１２に記載の振動型駆動装置。
【請求項１４】
請求項１乃至１３いずれか１項に記載の振動型駆動装置と、
被検者に対して診断または手術を行う多関節ロボットと、を備える医用システムであって、
前記多関節ロボットは、複数の関節部を有し、
前記振動型駆動装置は、前記関節部に組み込まれて前記関節部での回転運動を行うことを特徴とする医用システム。
【請求項１５】
磁場を発生する磁場発生手段を有し、
前記磁場発生手段が発生した磁場の内部または近傍に前記多関節ロボットが配置されていることを特徴とする請求項１４に記載の医用システム。