【手続補正書】
【提出日】平成30年11月2日(2018.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の物理量を計測する物理量計測装置であって、
前記流体の湿度に応じた湿度信号を出力する少なくとも二つの湿度検出部（６０）と、
二つの前記湿度検出部から取得した前記湿度信号の差が異常判定閾値（Ｔｈ）を超えた場合に、前記湿度検出部に異常が生じていると判定する異常判定部（７３，２７３，１０７３）と、を備え、
前記異常判定部は、前記湿度信号の差が前記異常判定閾値を超え、且つ、前記異常判定閾値を超えている状態が異常判定時間（ＲＴ）以上継続した場合に、前記湿度検出部に異常が生じていると判定する物理量計測装置。
【請求項２】
前記異常判定部によって前記湿度検出部に異常が生じていると判定された場合に、二つの前記湿度検出部を加熱する加熱部（６４）、をさらに備え、
前記異常判定部は、前記加熱部による加熱が行われた後、二つの前記湿度検出部から取得した前記湿度信号の差に基づき、異常の再判定を行う請求項１に記載の物理量計測装置。
【請求項３】
流体の物理量を計測する物理量計測装置であって、
前記流体の湿度に応じた湿度信号を出力する少なくとも二つの湿度検出部（６０）と、
二つの前記湿度検出部から取得した前記湿度信号の差が異常判定閾値（Ｔｈ）を超えた場合に、前記湿度検出部に異常が生じていると判定する異常判定部（７３，２７３，１０７３）と、
前記異常判定部によって前記湿度検出部に異常が生じていると判定された場合に、二つの前記湿度検出部を加熱する加熱部（６４）と、を備え、
前記異常判定部は、前記加熱部による加熱が行われた後、二つの前記湿度検出部から取得した前記湿度信号の差に基づき、異常の再判定を行う物理量計測装置。
【請求項４】
二つの前記湿度検出部は、一つの湿度センサアッセンブリ（３０，２３０，３３０，４３０，５３０，６３０，７３０，８３０，９３０，１０３０，１１３０，２２３０）に設けられ、
前記異常判定部は、前記湿度センサアッセンブリの各前記湿度検出部から出力された前記湿度信号の比較に基づき、前記湿度検出部の異常を判定する請求項１〜３のいずれか一項に記載の物理量計測装置。
【請求項５】
前記湿度センサアッセンブリは、少なくとも二つの湿度センササブアッセンブリ（６４０，８４０）を含み、
各前記湿度センササブアッセンブリには、前記湿度検出部を一つ有する湿度センサチップ（５０，４５０）が一つ設けられている請求項４に記載の物理量計測装置。
【請求項６】
前記湿度センサアッセンブリは、前記湿度検出部を一つ有する湿度センサチップ（５０，４５０）が二つ設けられた一つのセンサ基板（４３，１８４３）を含む請求項４に記載の物理量計測装置。
【請求項７】
前記流体の湿度とは異なる物理量に応じた計測信号を出力する物理量検出部（８０）を有する計測チップ（１８０）、をさらに備え、
二つの前記湿度センサチップは、前記計測チップと共に前記センサ基板に実装されている請求項６に記載の物理量計測装置。
【請求項８】
前記湿度センサアッセンブリは、
前記湿度検出部を少なくとも二つ有する湿度センサチップ（１１５０，２２５０）、及び前記湿度センサチップが実装されているセンサ基板（１０４３，１１４３）、を有する請求項４に記載の物理量計測装置。
【請求項９】
内燃機関（９０）の燃焼室（９９）に供給される吸入空気の流量に応じた流量信号を出力する流量検出部（１２）と、
前記流量検出部を収容し、前記吸入空気の流路内に配置されるハウジング（１８１１，２１１１）と、をさらに備え、
二つの前記湿度センサチップは、共に前記ハウジングに収容されている請求項５〜８のいずれか一項に記載の物理量計測装置。
【請求項１０】
前記異常判定部は、前記湿度センサチップに設けられている請求項５〜９のいずれか一項に記載の物理量計測装置。
【請求項１１】
前記異常判定部は、前記湿度センサアッセンブリに収容されている請求項４〜９のいずれか一項に記載の物理量計測装置。
【請求項１２】
前記湿度検出部を一つずつ有する複数の湿度センサアッセンブリ（１２３０）、を備え、
前記異常判定部は、各前記湿度センサアッセンブリの各前記湿度検出部から出力された前記湿度信号の比較に基づき、前記湿度検出部の異常を判定する請求項１〜３のいずれか一項に記載の物理量計測装置。
【請求項１３】
内燃機関の燃焼室に供給される吸入空気の流量に応じた流量信号を出力する流量検出部（１２）と、
前記流量検出部を収容し、前記吸入空気の流路内に配置されるハウジング（１１）と、
をさらに備え、
複数の前記湿度センサアッセンブリは、前記流路内にて前記ハウジングに並んで保持されている請求項１２に記載の物理量計測装置。
【請求項１４】
内燃機関の燃焼室に供給される吸入空気の流路が第一流路部（９２ａ）及び第二流路部（９２ｂ）に分岐されており、
複数の前記湿度センサアッセンブリは、前記第一流路部内に配置される第一湿度センサアッセンブリと、前記第二流路部内に配置される第二湿度センサアッセンブリと、を含む請求項１２に記載の物理量計測装置。
【請求項１５】
内燃機関（９０）の燃焼室（９９）に供給される吸入空気の流量に応じた流量信号を出力する流量検出部（１２）と、
前記流量検出部を収容し、前記吸入空気の流路内に配置されるハウジング（１１）と、
をさらに備え、
複数の前記湿度センサアッセンブリには、前記ハウジングに保持された状態で前記流路内に配置される第一湿度センサアッセンブリと、前記ハウジングから離れた位置にて前記流路内に配置される第二湿度センサアッセンブリと、を含む請求項１２に記載の物理量計測装置。
【請求項１６】
前記湿度センサアッセンブリからの出力される前記湿度信号が入力される演算処理回路（１１０）、をさらに備え、
前記演算処理回路は、前記異常判定部を有する請求項４〜９及び１２〜１５のいずれか一項に記載の物理量計測装置。
【請求項１７】
二つの前記湿度検出部は、互いに同一の方向へ向けられている請求項１〜１６のいずれか一項に記載の物理量計測装置。
【請求項１８】
二つの前記湿度検出部は、互いに異なる方向へ向けられている請求項１〜１６のいずれか一項に記載の物理量計測装置。
【請求項１９】
流体の物理量を計測する計測部（ＭＳ）の異常を検出する異常検出装置であって、
前記計測部に含まれる少なくとも二つの湿度検出部（６０）から、前記流体の湿度に応じた湿度信号を取得する信号取得部（７１）と、
二つの前記湿度検出部から取得した前記湿度信号の差が異常判定閾値を超えた場合に、前記湿度検出部に異常が生じていると判定する異常判定部（７３）と、を備え、
前記異常判定部は、前記湿度信号の差が前記異常判定閾値を超え、且つ、前記異常判定閾値を超えている状態が異常判定時間（ＲＴ）以上継続した場合に、前記湿度検出部に異常が生じていると判定する異常検出装置。
【請求項２０】
流体の物理量を計測する計測部（ＭＳ）の異常を検出する異常検出装置であって、
前記計測部に含まれる少なくとも二つの湿度検出部（６０）から、前記流体の湿度に応じた湿度信号を取得する信号取得部（７１）と、
二つの前記湿度検出部から取得した前記湿度信号の差が異常判定閾値を超えた場合に、前記湿度検出部に異常が生じていると判定する異常判定部（７３）と、
前記異常判定部によって前記湿度検出部に異常が生じていると判定された場合に、二つの前記湿度検出部を加熱する加熱部（６４）と、を備え、
前記異常判定部は、前記加熱部による加熱が行われた後、二つの前記湿度検出部から取得した前記湿度信号の差に基づき、異常の再判定を行う異常検出装置。
【請求項２１】
流体の物理量を計測する計測部（ＭＳ）の異常を検出する異常検出方法であって、
少なくとも一つの処理部（１１１）は、
前記計測部に含まれる少なくとも二つの湿度検出部（６０）から、前記流体の湿度に応じた湿度信号を取得し（Ｓ１０１，Ｓ４０１，Ｓ５０１）、
二つの前記湿度検出部から取得した前記湿度信号の差が異常判定閾値を超え、且つ、前記異常判定閾値を超えている状態が異常判定時間（ＲＴ）以上継続した場合に、前記湿度検出部に異常が生じていると判定する（Ｓ１０５，Ｓ４０９，Ｓ５０７）、異常検出方法。
【請求項２２】
流体の物理量を計測する計測部（ＭＳ）の異常を検出する異常検出方法であって、
少なくとも一つの処理部（１１１）は、
前記計測部に含まれる少なくとも二つの湿度検出部（６０）から、前記流体の湿度に応じた湿度信号を取得し（Ｓ４０１，Ｓ５０１）、
二つの前記湿度検出部から取得した前記湿度信号の差が異常判定閾値を超えた場合に、前記湿度検出部に異常が生じていると判定し（Ｓ４０５，Ｓ５０４）、
前記湿度検出部に異常が生じていると判定された場合に、二つの前記湿度検出部を加熱部（６４）によって加熱し（Ｓ４０６，Ｓ５０５）、
前記加熱部による加熱が行われた後、二つの前記湿度検出部から取得した前記湿度信号の差に基づき、異常の再判定を行う（Ｓ４０９，Ｓ５０７）、異常検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するため、開示された一つの態様は、流体の物理量を計測する物理量計測装置であって、流体の湿度に応じた湿度信号を出力する少なくとも二つの湿度検出部（６０）と、二つの湿度検出部から取得した湿度信号の差が異常判定閾値（Ｔｈ）を超えた場合に、湿度検出部に異常が生じていると判定する異常判定部（７３，２７３，１０７３）と、を備え、異常判定部は、湿度信号の差が異常判定閾値を超え、且つ、異常判定閾値を超えている状態が異常判定時間（ＲＴ）以上継続した場合に、湿度検出部に異常が生じていると判定する物理量計測装置とされる。
また開示された一つの態様は、流体の物理量を計測する物理量計測装置であって、流体の湿度に応じた湿度信号を出力する少なくとも二つの湿度検出部（６０）と、二つの湿度検出部から取得した湿度信号の差が異常判定閾値（Ｔｈ）を超えた場合に、湿度検出部に異常が生じていると判定する異常判定部（７３，２７３，１０７３）と、異常判定部によって湿度検出部に異常が生じていると判定された場合に、二つの湿度検出部を加熱する加熱部（６４）と、を備え、異常判定部は、加熱部による加熱が行われた後、二つの湿度検出部から取得した湿度信号の差に基づき、異常の再判定を行う物理量計測装置とされる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また開示された一つの態様は、流体の物理量を計測する計測部（ＭＳ）の異常を検出する異常検出装置であって、計測部に含まれる少なくとも二つの湿度検出部（６０）から、流体の湿度に応じた湿度信号を取得する信号取得部（７１）と、二つの湿度検出部から取得した湿度信号の差が異常判定閾値を超えた場合に、湿度検出部に異常が生じていると判定する異常判定部（７３）と、を備え、異常判定部は、湿度信号の差が異常判定閾値を超え、且つ、異常判定閾値を超えている状態が異常判定時間（ＲＴ）以上継続した場合に、湿度検出部に異常が生じていると判定する異常検出装置とされる。
さらに開示された一つの態様は、流体の物理量を計測する計測部（ＭＳ）の異常を検出する異常検出装置であって、計測部に含まれる少なくとも二つの湿度検出部（６０）から、流体の湿度に応じた湿度信号を取得する信号取得部（７１）と、二つの湿度検出部から取得した湿度信号の差が異常判定閾値を超えた場合に、湿度検出部に異常が生じていると判定する異常判定部（７３）と、異常判定部によって湿度検出部に異常が生じていると判定された場合に、二つの湿度検出部を加熱する加熱部（６４）と、を備え、異常判定部は、加熱部による加熱が行われた後、二つの湿度検出部から取得した湿度信号の差に基づき、異常の再判定を行う異常検出装置とされる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
加えて開示された一つの態様は、流体の物理量を計測する計測部（ＭＳ）の異常を検出する異常検出方法であって、少なくとも一つの処理部（１１１）は、計測部に含まれる少なくとも二つの湿度検出部（６０）から、流体の湿度に応じた湿度信号を取得し（Ｓ１０１，Ｓ４０１，Ｓ５０１）、二つの湿度検出部から取得した湿度信号の差が異常判定閾値を超え、且つ、異常判定閾値を超えている状態が異常判定時間（ＲＴ）以上継続した場合に、湿度検出部に異常が生じていると判定する（Ｓ１０５，Ｓ４０９，Ｓ５０７）、異常検出方法とされる。
また開示された一つの態様は、流体の物理量を計測する計測部（ＭＳ）の異常を検出する異常検出方法であって、少なくとも一つの処理部（１１１）は、計測部に含まれる少なくとも二つの湿度検出部（６０）から、流体の湿度に応じた湿度信号を取得し（Ｓ４０１，Ｓ５０１）、二つの湿度検出部から取得した湿度信号の差が異常判定閾値を超えた場合に、湿度検出部に異常が生じていると判定し（Ｓ４０５，Ｓ５０４）、湿度検出部に異常が生じていると判定された場合に、二つの湿度検出部を加熱部（６４）によって加熱し（Ｓ４０６，Ｓ５０５）、加熱部による加熱が行われた後、二つの湿度検出部から取得した湿度信号の差に基づき、異常の再判定を行う（Ｓ４０９，Ｓ５０７）、異常検出方法とされる。