【手続補正書】
【提出日】平成30年6月4日(2018.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一態様は、振動体と被駆動体を備える振動型駆動装置であって、前記振動体は、主成分が電気的に絶縁性、誘電性または半導電性の材料からなる弾性体と、前記弾性体と接合される電気−機械エネルギ変換素子と、を有し、前記電気−機械エネルギ変換素子は、圧電体と、前記圧電体において前記弾性体と接合される面に設けられた第１の電極と、前記圧電体を介して前記第１の電極と対向するように設けられた第２の電極と、前記圧電体に設けられた貫通孔または前記圧電体の側面に設けられた溝部に配置された導電体を有する少なくとも２つの導通路と、を有し、前記少なくとも２つの導通路のうちの１つは、前記第１の電極と前記第２の電極とを電気的に接続することを特徴とする振動型駆動装置、である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、弾性体と電気−機械エネルギ変換素子とを接合させた後の貫通孔内の導通検査を直接的に、且つ、容易に行うことができる。その際に、貫通孔の面積を小さく取ることによって、電気−機械エネルギ変換素子の空間的な利用効率を高めて、小型化或いは高密度での実装が可能となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
Ａ相交流電圧２３，Ｂ相交流電圧２４，Ｃ相交流電圧２５の中心電位と振幅が等しいときには、図４（ｄ）に示すように、Ａ−Ｃ相交流電圧２６とＢ−Ｃ相交流電圧２７の振幅は、理論上、Ａ相交流電圧２３の振幅の２１／２倍となる。これにより、入力電圧に制限がある場合であっても、入力電圧を大きくすることなく、圧電素子３０Ａに生じる電位差を大きくして、振動振幅を大きくすることが可能となる。なお、Ａ−Ｃ相交流電圧２６とＢ−Ｃ相交流電圧２７の位相差が９０度となる正弦波の設定方法はこれに限定されず、Ａ相交流電圧２３、Ｂ相交流電圧２４及びＣ相交流電圧２５に複数の周波数成分を重畳させた任意波形を設定する方法を用いることもできる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
フレキシブル基板１５によって非駆動電極１１０をＧＮＤ電位に接続することにより、２カ所に設けられた貫通孔３８内の導電体１１２を介して共通電極１０９はＧＮＤ電位に接続される。したがって、弾性体２が、例えば、絶縁体や半導体、絶縁体又は半導体に導電性材料を含有させた複合材料のいずれかで形成されているために電気抵抗が大きく導電体として機能しない場合でも、圧電素子３０の共通電極１０９をＧＮＤ電位に容易に接続することができる。また、圧電素子３０を弾性体２へ接着剤等を用いて接合することにより共通電極１０９が被覆された後でも、２つの非駆動電極１１０にテスタのプローブを直接当てることで、共通電極１０９と非駆動電極１１０との間の導通と電気抵抗を確認することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
図５（ｃ）には、貫通孔３８の内部に棒材又は線材からなる固体導体１１４が挿入されており、固体導体１１４を用いて共通電極１０９と非駆動電極１１０とを電気的に接続する構成が示されている。この場合、固体導体１１４と貫通孔３８の内壁との間に接着剤等の樹脂又は銀ペースト等を、導電体であるか非導電体であるかを問わずに充填することによって、固体導体１１４を固定することが望ましい。例えば、圧電体３０ｐに貫通孔３８を形成した後に共通電極１０９を形成し、続いて、共通電極１０９が形成面の反対側の面から固体導体１１４を貫通孔３８に挿入して固定する。その後、非駆動電極１１０を形成することによって、図５（ｃ）の構造を実現することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体と被駆動体を備える振動型駆動装置であって、
前記振動体は、
主成分が電気的に絶縁性、誘電性または半導電性の材料からなる弾性体と、
前記弾性体と接合される電気−機械エネルギ変換素子と、を有し、
前記電気−機械エネルギ変換素子は、
圧電体と、
前記圧電体において前記弾性体と接合される面に設けられた第１の電極と、
前記圧電体を介して前記第１の電極と対向するように設けられた第２の電極と、
前記圧電体に設けられた貫通孔または前記圧電体の側面に設けられた溝部に配置された導電体を有する少なくとも２つの導通路と、を有し、
前記少なくとも２つの導通路のうちの１つは、前記第１の電極と前記第２の電極とを電気的に接続することを特徴とする振動型駆動装置。
【請求項２】
前記第２の電極がＧＮＤ電位に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。
【請求項３】
前記第２の電極との間に隙間が形成されるように、且つ、前記圧電体を介して前記第１の電極と対向するように設けられた第３の電極を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型駆動装置。
【請求項４】
前記少なくとも２つの導通路のうちの別の１つは、前記第１の電極と前記第３の電極とを電気的に接続することを特徴とする請求項３に記載の振動型駆動装置。
【請求項５】
前記第３の電極がＧＮＤ電位に接続されていることを特徴とする請求項４に記載の振動型駆動装置。
【請求項６】
前記第１の電極は、閉ループ構造を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項７】
前記第１の電極は、開ループ構造を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項８】
前記第１の電極は、開ループ構造を有し、
前記第１の電極の一端と別の一端との間の領域は、前記第２の電極と前記第３の電極との間に設けられた隙間と少なくとも一部で重なるように対向する位置、または、前記第２の電極と対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項９】
前記圧電体において前記弾性体と接合される面に、前記第１の電極の一端と別の一端のそれぞれとの間に隙間を設けて形成された第４の電極を有することを特徴とする請求項８に記載の振動型駆動装置。
【請求項１０】
前記第４の電極と前記第３の電極とを電気的に接続する更に別の前記導通路が、前記圧電体に設けられた貫通孔に導電体が配置されることにより形成されていることを特徴とする請求項９に記載の振動型駆動装置。
【請求項１１】
前記圧電体において前記第２の電極が設けられている面に、前記弾性体の歪みの大きさに応じた電位を示す振動検出用の電極が設けられていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項１２】
前記圧電体において、前記第２の電極と前記第３の電極との間に設けられた第５の電極と、
前記圧電体に設けられ、前記第４の電極と第５の電極とを導通させる別の導通路と、を有することを特徴とする請求項９に記載の振動型駆動装置。
【請求項１３】
前記圧電体において前記第２の電極が設けられている面は、電圧を印加するための配線を有するフレキシブル基板によって覆われていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
【請求項１４】
前記圧電体は、円環状の形状を有し、
前記導通路は、前記圧電体の内外径の中心円の内側に設けられた前記貫通孔の内部に前記導電体が配置されて形成されていることを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。