【手続補正書】
【提出日】平成30年3月26日(2018.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る可動反射素子は、
平板状の固定枠と、
前記固定枠との間に隙間が空くように前記固定枠の枠内に配置された平板状の可動枠と、
反射面を有し、前記可動枠との間に隙間が空くように前記可動枠の枠内に配置された平板状の鏡面部と、
前記固定枠と前記可動枠とを連結し、前記固定枠の内辺から第１の方向に沿って延びた部分に、前記第１の方向に沿って伸縮する圧電素子が形成された、可撓性のある線状の一対の部材であり、その部材のそれぞれが、前記第１の方向に交差する第２の方向における前記可動枠の両側に配置され、前記圧電素子の伸縮により変形して第１の回転軸を中心に前記固定枠に対して前記可動枠を揺動させる第１のアクチュエータ部と、
前記可動枠と前記鏡面部とを連結し、前記可動枠の内辺から前記第２の方向に沿って延びた部分に、前記第２の方向に沿って伸縮する圧電素子が形成された、可撓性のある線状の一対の部材であり、その部材のそれぞれが、前記第１の方向における前記鏡面部の両側に配置され、前記圧電素子の伸縮により変形して前記第１の回転軸に交差する第２の回転軸を中心に前記可動枠に対して前記鏡面部を揺動させる第２のアクチュエータ部と、
を備え、
前記第１のアクチュエータ部の前記第１の方向に沿って延びた部分の長さは、
前記第１のアクチュエータ部が接続された前記固定枠の内辺から前記第１の方向に沿った前記可動枠の外辺の中点までの距離よりも長い。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の固定枠と、
前記固定枠との間に隙間が空くように前記固定枠の枠内に配置された平板状の可動枠と、
反射面を有し、前記可動枠との間に隙間が空くように前記可動枠の枠内に配置された平板状の鏡面部と、
前記固定枠と前記可動枠とを連結し、前記固定枠の内辺から第１の方向に沿って延びた部分に、前記第１の方向に沿って伸縮する圧電素子が形成された、可撓性のある線状の一対の部材であり、その部材のそれぞれが、前記第１の方向に交差する第２の方向における前記可動枠の両側に配置され、前記圧電素子の伸縮により変形して第１の回転軸を中心に前記固定枠に対して前記可動枠を揺動させる第１のアクチュエータ部と、
前記可動枠と前記鏡面部とを連結し、前記可動枠の内辺から前記第２の方向に沿って延びた部分に、前記第２の方向に沿って伸縮する圧電素子が形成された、可撓性のある線状の一対の部材であり、その部材のそれぞれが、前記第１の方向における前記鏡面部の両側に配置され、前記圧電素子の伸縮により変形して前記第１の回転軸に交差する第２の回転軸を中心に前記可動枠に対して前記鏡面部を揺動させる第２のアクチュエータ部と、
を備え、
前記第１のアクチュエータ部の前記第１の方向に沿って延びた部分の長さは、
前記第１のアクチュエータ部が接続された前記固定枠の内辺から前記第１の方向に沿った前記可動枠の外辺の中点までの距離よりも長い、
可動反射素子。
【請求項２】
前記第１のアクチュエータ部は、
前記圧電素子が形成されており、一端が前記固定枠の内辺に接続し、前記固定枠と前記可動枠との隙間を前記第１の方向に沿って、前記一端から前記可動枠の外辺の中点を超えて直線状に延びた第１のアーム部と、
一端が前記第１のアーム部の他端と接続し、前記第２の方向に沿って延びた前記第２のアーム部と、
一端が前記第２のアーム部の他端と接続し、前記第２のアーム部の他端から折り返して前記第１のアームに沿って延び、他端が前記可動枠の外辺の中点と接続する第３のアーム部と、
を備える請求項１に記載の可動反射素子。
【請求項３】
前記第２のアクチュエータ部は、
前記圧電素子が形成されており、一端が前記可動枠の内辺に接続し、前記可動枠と前記鏡面部との隙間を前記第２の方向に沿って、前記一端から前記鏡面部の外辺の中点を超えて直線状に延びた第４のアーム部と、
一端が前記第４のアーム部の他端と接続し、前記第１の方向に沿って延びる前記第５のアーム部と、
一端が前記第５のアーム部の他端と接続し、前記第５のアーム部の他端から折り返して前記第４のアーム部に沿って延び、前記第２の方向に沿った前記鏡面部の外辺の中点と他端が接続する第６のアーム部と、
を備える請求項２に記載の可動反射素子。
【請求項４】
前記第１のアクチュエータ部の一対の部材それぞれが、前記鏡面部を中心として２回回転対称に配置され、
前記第２のアクチュエータ部の一対の部材それぞれが、前記鏡面部を中心として２回回転対称に配置され、
前記第１のアーム部の一端から他端へ向かう向きと、前記第４のアーム部の一端から他端へ向かう向きとが、前記鏡面部を中心とする回転方向に関して同じである、
請求項３に記載の可動反射素子。
【請求項５】
前記第１のアクチュエータ部の一対の部材それぞれが、前記鏡面部を中心として２回回転対称に配置され、
前記第２のアクチュエータ部の一対の部材それぞれが、前記鏡面部を中心として２回回転対称に配置され、
前記第１のアーム部の一端から他端へ向かう向きと、前記第４のアーム部の一端から他端へ向かう向きとが、前記鏡面部を中心とする回転方向に関して逆向きである、
請求項３に記載の可動反射素子。
【請求項６】
前記第２のアクチュエータ部は、
前記圧電素子が形成されており、一端が前記可動枠の内辺に接続し、前記可動枠と前記鏡面部との隙間を前記第２の方向に沿って、前記一端から前記鏡面部の外辺の中点を超えて直線状に延び、前記鏡面部の角部に他端が接続する第７のアーム部を有する、
請求項２に記載の可動反射素子。
【請求項７】
前記第１のアクチュエータ部は、
前記圧電素子が形成されており、一端が前記固定枠の内辺に接続し、前記固定枠と前記可動枠との隙間を前記第１の方向に沿って、前記一端から前記可動枠の外辺の中点を超えて直線状に延びた第８のアーム部を有し、
前記第８のアーム部の他端から折り返すことなく、前記可動枠の外辺の中点を避けて前記可動枠と接続する、
請求項１に記載の可動反射素子。
【請求項８】
前記第１のアクチュエータ部は、
前記第８のアーム部の他端から、前記固定枠と前記可動枠との隙間を前記第２の方向に沿って延び、前記第２の方向に沿った前記可動枠の外辺の中点を超えて前記可動枠の角部と接続する第９のアーム部を有する、
請求項７に記載の可動反射素子。
【請求項９】
前記第２のアクチュエータ部は、
前記圧電素子が形成されており、一端が前記可動枠の内辺に接続し、前記可動枠と前記鏡面部との隙間を前記第２の方向に沿って、前記一端から前記鏡面部の外辺の中点を超えて直線状に延びた第１０のアーム部を有し、
前記第１０のアーム部の他端から折り返すことなく、前記第２の方向に延びる前記鏡面部の外辺の中点を避けて前記鏡面部と接続する、
請求項７又は８に記載の可動反射素子。
【請求項１０】
前記第２のアクチュエータ部は、
前記第１０のアーム部の他端から前記第１の方向に沿って延び、前記第１の方向に沿った前記鏡面部の外辺の中点を超えて前記鏡面部の角部と接続する第１１のアーム部を有する、
請求項９に記載の可動反射素子。
【請求項１１】
前記可動枠の前記第２の方向に沿った２つの外辺に凹部が設けられ、
前記第１のアクチュエータ部は、
前記圧電素子が形成されており、一端が前記固定枠の内辺に接続し、前記固定枠と前記可動枠との隙間を前記第１の方向に沿って、前記一端から前記可動枠の外辺の中点を超えて直線状に延びた第１２のアーム部と、
前記第１２のアーム部の他端から前記第２の方向に沿って前記可動枠の外辺の中点まで延びる第１３のアーム部と、
一端が前記第１２のアーム部の他端と接続し、他端が前記凹部と接続する第１４のアーム部と、
を備える請求項１に記載の可動反射素子。
【請求項１２】
前記第２のアクチュエータ部は、
前記圧電素子が形成されており、一端が前記可動枠に接続し、前記可動枠と前記鏡面部との隙間を前記第２の方向に沿って、前記一端から前記鏡面部の外辺の中点を超えて直線状に延びた第１５のアーム部と、
前記第１５のアーム部の他端から前記可動枠と前記鏡面部との隙間を前記第１の方向に沿って前記可動枠の外辺の中点まで延びる第１６のアーム部と、
一端が前記第１６のアーム部の他端と接続し、他端が前記鏡面部の外辺の中点に接続する第１７のアーム部と、
を備える請求項１１に記載の可動反射素子。
【請求項１３】
前記第１のアクチュエータ部と前記固定枠とが接続する部分に設けられ、前記第１のアクチュエータ部の幅よりも広い幅である第１の幅広部と、
前記第２のアクチュエータ部と前記可動枠とが接続する部分に設けられ、前記第２のアクチュエータ部の幅よりも広い幅である第２の幅広部と、
の少なくとも一方が設けられている、
請求項１１又は１２に記載の可動反射素子。
【請求項１４】
前記第１のアクチュエータ部及び前記第２のアクチュエータ部の少なくとも一方に、
独立して駆動される前記圧電素子が複数設けられている、
請求項１から１３のいずれか一項に記載の可動反射素子。
【請求項１５】
前記第１のアクチュエータ部の変位を検出し、前記第１のアクチュエータ部の幅よりも狭い幅である第１の検出用電極と、
前記第２のアクチュエータ部の変位を検出し、前記第２のアクチュエータ部の幅よりも狭い幅である第２の検出用電極と、
の少なくとも一方を備える、
請求項１から１４のいずれか一項に記載の可動反射素子。
【請求項１６】
前記第１の検出用電極は、前記第１のアクチュエータ部と前記固定枠とが接続する部分に設けられ、
前記第２の検出用電極は、前記第２のアクチュエータ部と前記可動枠とが接続する部分に設けられている、
請求項１５に記載の可動反射素子。
【請求項１７】
前記可動枠は、前記鏡面部より厚く形成されている、
請求項１から１６のいずれか一項に記載の可動反射素子。
【請求項１８】
前記第１のアクチュエータ部及び前記第２のアクチュエータ部の少なくとも一方は、
前記固定枠から前記可動枠に向かうにつれて、又は、前記可動枠から前記鏡面部に向かうにつれて、幅が異なっている、
請求項１から１６のいずれか一項に記載の可動反射素子。
【請求項１９】
前記可動枠に重りが取り付けられている、
請求項１から１８のいずれか一項に記載の可動反射素子。
【請求項２０】
前記可動枠に対する前記鏡面部の動きを制限するために、前記可動枠の内辺から延び、前記可動枠と前記鏡面部との隙間に配置された第１の制限部と、
前記固定枠に対する前記可動枠の動きを制限するために、前記固定枠の内辺から延び、前記固定枠と前記可動枠との隙間に配置された第２の制限部と、
の少なくとも一方が設けられている、
請求項１から１９のいずれか一項に記載の可動反射素子。
【請求項２１】
前記鏡面部は、前記第１の制限部を避けて、且つ、静止状態における重心が前記鏡面部の中心になるよう、外周面が形成されており、
前記可動枠は、前記第２の制限部を避けて、且つ、静止状態における重心が前記可動枠の中心になるよう、外周面が形成されている、
請求項２０に記載の可動反射素子。
【請求項２２】
請求項１から２１のいずれか一項に記載の可動反射素子と、
前記可動反射素子を二次元方向に駆動して、二次元走査を行う制御部と、
を備える、二次元走査装置。