【事件の表示】
　平成　６年特許願第　１００８５号「電子顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成　７年　８月１８日出願公開、特開平　７−２２０６６９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】手続の経緯・本願発明
　本願は、平成６年１月３１日の出願であって、その請求項１〜３に係る発明は、特許法第１７条の２の規定によって平成１２年１２月６日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜３に記載されたとおりのものと認められるところ、その特許請求の範囲の請求項１には次のとおり記載されている（以下『本願発明』という。）。
「　【請求項１】電子顕微鏡の像を撮影するカメラと、撮影した像を取り込んでデータ処理するコンピュータと、データを格納するメモリと、表示装置とを備え、前記カメラからコンピュータに取り込んだ像をフーリエスペクトルパターンに変換し、電子顕微鏡の非点補正コイル電流を変化させたときのフーリエ変換パターンの変化から非点補正データを作成して前記メモリに格納しておき、格納した非点補正データに基づき非点補正を行うようにしたことを特徴とする電子顕微鏡。」。
　
【２】引用刊行物記載の発明
　本願発明に対する原査定の拒絶の理由で引用された本願の出願前に国内において頒布された特開昭６１ー２３７３５４号公報（以下『引用例１』という。）には、「電子顕微鏡の非点収差補正方法」（発明の名称）が記載され、図面とともに以下の記載がある。
　
１．「本発明は電気顕微鏡の非点収差補正方法に関するものであり、特に詳細には蓄積性螢光体シート等の２次元センサに電子顕微鏡像を記録し、この２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって光を放出させ、この光を光電的に読み取って得た画像信号を利用して演算により正確に補正量を求めるようにした電子顕微鏡の非点収差補正方法に関するものである。」（２頁左上欄３行〜１０行）
　
２．「そこで従来より、この非点収差を補正するスティグメータを備えた電子顕微鏡が広く用いられている。このスティグメータは、一般にコイルで構成されており、このコイルの相直交するｘ軸方向、ｙ軸方向の電流量を変化させることによって、上記非点収差を補正するものである。」（２頁右上欄下から４行〜左下欄３行）
　
３．「このような問題を解消するため従来より、前記アモルファス物質の像をフーリエ変換した光変換図形を用いて、非点収差量を定量的に求める試みもなされている。この方法は、上記光変換図形における同心円状のリングパターンが、非点収差がある場合には楕円状となる、ということを利用するものである。すなわち上記同心円状リングパターンの低角側から数えた強度０のリングの次数をｎ、このリングの短軸、長軸の長さを各々ｓ、ｌ、電子線の波長をλ、像の倍率をＭとすると、非点収差量δz は、
　δz ＝（４ｎ／λＭ２）（１／ｓ２−１／ｌ２）……（１）
となる。そして一例としてθを測るうえで基準とする任意の方向とｘ軸、ｙ軸がなす角をπ／４とすれば、非点収差量δzを解消するスティグメータのｘ軸方向電流量δＩz 、ｙ軸方向電流量δＩy は、
　δＩx ＝Ｃδz ×sin （｜θ−α｜−π／４）……（２）
　δＩy ＝Ｃδz ×sin （｜θ−α＋π／４｜−π／４）……（３）
となるので、非点収差量δz が定量的に求められれば、非点収差を正しく補正するスティグメータの電流量が一義的に決められる。」（２頁左下欄１５行〜右下欄末行）
　
４．「電子顕微鏡の結像面に上記蓄積性螢光体シート等の２次元センサを配置して、該センサに透過電子線による電子顕微鏡像を蓄積記録したならば、このセンサを可視光等の励起光で走査するか掃引加熱して螢光を生ぜしめ、この螢光を光電的に読み取れば、透過電子線像に対応する電気的画像信号が得られる。
　こうして得られた画像信号に対して電気的にフーリエ変換を施せば、前述したようなリングパターンを担持する変換画像信号が得られる。そしてこの変換画像信号を用いれば、後に詳述するようにしてリングパターンの次数、短軸と長軸の長さ、および傾き（すなわち非点収差の起こっている角度）を演算によって求めることができる。これらの値が分かれば、前記（１）、（２）および（３）式に基づいて、スティグメータの電流量δＩx、δＩy を演算することができる。」（３頁右下欄１３行〜４頁左上欄９行）
　前記記載事項３、４から、
・電子顕微鏡像をフーリエ変換して得られた変換画像信号から非点収差量δｚを解消するスティグメータのｘ軸方向電流量δＩｘ、ｙ軸方向電流量δＩｙを演算により求めること、
が読みとれる。
　
５．「以下、図面に示す実施態様に基づいて本発明を詳細に説明する。
　第１図は本発明の一実施態様方法により非点収差補正を行なう電子顕微鏡を示すものである。電子顕微鏡１の鏡体部１ａは、一様の速度の電子線２を射出する電子銃３と、電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レンズ等からなる少なくとも１コの集束レンズ４と、試料台５と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、投影レンズ７とを有している。試料台５上に載置された試料８を透過した電子線２は上記対物レンズ６により屈折され、該試料８の拡大散乱像８ａを形成する。この拡大散乱像８ａは投影レンズ７により、結像面９に結像投影される（図中の８ｂ）。
　上記鏡体部１ａの下方には、電子顕微鏡像記録読取装置10が配置されている。この電子顕微鏡像記録読取装置10は、鏡体部１ａ内の前記結像面９に固定された蓄積性螢光体からなる２次元センサ（以下、蓄積性螢光体シート11という）と、励起光源12および光走査系13からなる励起手段と、前記鏡体部１ａの周壁に設けられた透光窓14を介して上記蓄積性螢光体シート11に対向するように配されたフォトマルチプライヤー（光電子増倍管）15と、消去光源16とを有している。」（４頁左上欄１１行〜右上欄１４行）
　
６．「上記輝尽発光光をフォトマルチプライヤー15によって読み取って得られた電気的画像信号Ｓは、画像処理回路22に伝えられ必要な画像処理が施された上、画像再生装置23へ送られる。この画像再生装置23は、ＣＲＴ等のディスプレイでもよいし、感光フィルムに光走査記録を行なう記録装置でもよい。このように前記輝尽発光光量に対応した電気信号Ｓを用いて画像を出力することにより、上記輝尽発光光が担持する前記拡大散乱像８ｂが再生される。」（５頁右上欄１行〜１０行）
　前記記載事項５、６から、
・電子顕微鏡１は、試料８の拡大散乱像８ａをフォトマルチプライヤー15によって読取り電気的画像信号Ｓを得る電子顕微鏡像記録読取装置10を備えること、
・電子顕微鏡１は、ＣＲＴ等のディスプレイで構成される画像再生装置２３を備えていること、
が読みとれる。
　
７．「上記画像信号Ｓはフーリエ変換回路25に入力され、ここで電気的にフーリエ変換を施される。この変換を受けた変換画像信号Ｓ′は、先に述べたような同心円状リングパターンを表わすものとなり、演算回路26に入力される。このリングパターンは、非点収差が生じていなければ正円状となるが、非点収差があると楕円状となる。演算回路26はこの変換画像信号Ｓ′から、上記リングパターン（第２図参照）のうちの１つのリングＲの次数ｎと、このリングＲの短軸、長軸の長さｓ、ｌと、所定方向に対する長軸の傾き（すなわち非点収差の起こっている角度）θを求める。」（５頁右下欄１４行〜６頁左上欄５行）
　前記記載事項７から、
・電子顕微鏡１は、電子顕微鏡像記録読取装置10から取り込んだ画像信号Ｓをフーリエ変換して変換画像信号Ｓ´を出力するフーリエ変換回路２５を備えること、
が読みとれる。
　
８．「演算回路26は以上説明のようにして求めたリングＲの次数ｎ、短軸、長軸の長さｓ、ｌから、前記（１）式に基づいて非点収差量δz を算出する。次いで演算回路26は、この非点収差量δz と上記傾きθとから前記（２）、（３）式に基づいて、該非点収差量δz を解消するスティグメータ30のｘ軸方向電流量δＩx 、ｙ軸方向電流量δＩy を求める。こうして求められた電流量δＩx 、δＩy は例えばＣＲＴ27に表示される。電子顕微鏡オペレータが、こうして表示された通りの値にスティグメータ30の電流量δＩx 、δＩy を設定すれば、上記非点収差が確実に解消される。」
（６頁左上欄末行〜右上欄１１行）
　前記記載事項８から、
・演算回路２６は、変換画像信号Ｓ´から演算によりスティグメータ３０のｘ軸方向電流量δＩx 、ｙ軸方向電流量δＩy を算出し、該電流量δＩｘ、δＩｙに基づき非点補正を行なうこと、
が読みとれる。
　以上のことを勘案すると、引用例１には次の発明が記載されているものと認められる。
（引用例１に記載された発明）　
　試料８の拡大散乱像８ａをフォトマルチプライヤー15によって読取り電気的画像信号Ｓを得る電子顕微鏡記録読取装置１０と、該電気的画像信号Ｓをフーリエ変換して変換画像信号Ｓ´を出力するフーリエ変換回路２５と、ＣＲＴ等のディスプレイで構成される画像再生装置２３とを備え、前記電子顕微鏡記録読取装置１０からフーリエ変換回路２５に取り込んだ画像信号Ｓをフーリエ変換し、得られた変換画像信号Ｓ´から演算によりスティグメータ３０の電流量δＩｘ、δＩｙを算出し、該電流量δＩｘ、δＩｙに基づき非点補正を行うようにした電子顕微鏡（以下『引用例１に記載された発明』という。）。
　
【３】対比
　ここで、本願発明と前記引用例１に記載された発明とを対比する。
　先ず、引用例１に記載された発明において、「電気的画像信号Ｓをフーリエ変換して変換画像信号Ｓ´を出力するフーリエ変換回路２５」についての具体的な記載は見あたらないが、フーリエ変換の演算はコンピュータを用いるのが通例であることから、引用例１に記載された発明における
「フーリエ変換して変換画像信号Ｓ´を出力するフーリエ変換回路２５」は、本願発明における
「データ処理するコンピュータ」に相当すると言えるものである。
　次に、引用例１に記載された発明における「電子顕微鏡記録読取装置１０」は、「試料８の拡大散乱像８ａをフォトマルチプライヤー15によって読取り電気的画像信号Ｓを得る」ものであることから、入力された画像を電気的画像信号に変換する機能を有する故、本願発明における「カメラ」に相当すると言い得るものである。
　さらに、引用例１に記載された発明における
「試料８の拡大散乱像８ａ」、「フォトマルチプライヤー15によって読取り電気的画像信号Ｓを得る」、「電気的画像信号Ｓ」、「ＣＲＴ等のディスプレイで構成される画像再生装置２３」、「フーリエ変換回路２５に取り込んだ画像信号Ｓ」、「フーリエ変換」、「スティグメータ３０の電流量δＩｘ、δＩｙ」、「スティグメータ３０」、「変換画像信号Ｓ´」、は、それぞれ、本願発明における
「電子顕微鏡の像」、「撮影する」、「撮影した像」、、「表示装置」、「コンピュータに取り込んだ像」、「フーリエスペクトルパターンに変換」、「非点補正データ」、「非点補正コイル」、「フーリエ変換パターン」、に相当する。
　また、本願発明における
「電子顕微鏡の非点補正コイル電流を変化させたときのフーリエ変換パターンの変化から非点補正データを作成」することも、
引用例１に記載された発明における
「変換画像信号Ｓ´から演算によりスティグメータ３０の電流量δＩｘ、δＩｙを算出」することも、共に「フーリエ変換パターン情報から非点補正データを作成」することと言える。
　したがって両者は、
（一致点）
「電子顕微鏡の像を撮影するカメラと、撮影した像を取り込んでデータ処理するコンピュータと、表示装置とを備え、前記カメラからコンピュータに取り込んだ像をフーリエスペクトルパターンに変換し、フーリエ変換パターン情報から非点補正データを作成し、該非点補正データに基づき非点補正を行うようにした電子顕微鏡」、で一致し、次の点で相違する。
（相違点）
１．フーリエ変換パターン情報から非点補正データを作成する点について、
　本願発明では、「電子顕微鏡の非点補正コイル電流を変化させたときのフーリエ変換パターンの変化から」非点補正データを作成しているのに対し、引用例に記載された発明では、カメラからコンピュータに取り込んだ像をフーリエ変換したフーリエ変換パターンから演算により非点補正データを作成している点。
２．メモリについて、
　本願発明では、非点補正データを格納するメモリを備えるのに対し、引用例１に記載された発明では、特にこの点について明記されていない点。
　
【４】当審の判断
　相違点１について、
　電子顕微鏡における非点収差補正技術において、非点補正コイル電流を段階的にいくつも変え、その都度像をフーリエ変換して得られたフーリエ変換パターンから非点収差がなくなる非点補正コイル電流値（「非点補正データ」に相当する）を得ることは、従来から普通に行われている非点収差補正方法である（例えば、特開昭６３ー４３２５１号公報、２頁右上欄１行〜６行の記載参照）。
　そうしてみると、引用例１に記載された発明において、カメラからコンピュータに取り込んだ像をフーリエ変換したフーリエ変換パターンから演算により非点補正データを作成する代わりに、非点補正コイル電流を変化させたときのフーリエ変換パターンの変化から非点補正データを作成することは、当業者が容易に想到し得るところと言える。
　
相違点２について、
　電子顕微鏡において、非点補正データをメモリに格納しておくことは、普通に採用されている周知の構成に過ぎず（例えば、特開平５ー２３４５５１号公報、特開平４ー２２０５５号公報参照）、引用例１に記載された発明において、メモリを備えて非点補正データを格納する構成とすることは、当業者が容易に想到し得るところと言えるものである。
　そして、本願発明による効果も当業者が容易に予測し得る範囲のものに過ぎない。
　なお、審判請求人は審判請求書に対する平成１４年５月８日付け手続補正書において、本願発明は、ある状態で得た像のフーリエ変換パターンと、その状態からＸ方向、Ｙ方向の非点補正電流をそれぞれ変化させたときのフーリエ変換パターンの変化から非点補正データを作成している点で、引用例１に記載された発明とは相違する旨、主張しているので、この点について検討すると、引用例１に記載された発明における「スティグメータ３０の電流量δＩｘ、δＩｙ」、及び、周知例として引用した特開昭６３−４３２５１号公報における「非点収差がなくなる非点補正コイル電流値」は、いずれも「非点収差を補正するための物理的データ」と言うことができ、それらが本願発明における「非点補正データ」に相当することは明らかである。
　そして、非点補正コイル電流を変化させたときのフーリエ変換パターンから非点補正データを得ることは、【４】相違点１について、で述べたように周知である以上、非点補正データを作成する構成についても格別の創意を要したものとは言えないことになるから、審判請求人の主張は採用し得ない。
　
【５】むすび
　したがって、本願の請求項１に係る発明は、引用例に記載された発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　前記のとおり、本願の請求項１に係る発明が特許を受けることができないものであるから、本願のその余の請求項に係る発明について審究するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。