【事件の表示】
　平成３年特許願第１４５５８０号「微細加工装置」拒絶査定不服審判事件〔平成４年９月４日出願公開、特開平４−２４９７０４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯、本願発明
　本願は、平成３年５月２０日（優先権主張平成２年１０月２日、平成２年１１月２７日）の出願であって、その請求項１ないし５に係る発明は、平成１２年７月１４日付手続補正書により補正された内容を含む明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載されたとおりのものであるところ、そのうち請求項１および４に係る発明は、請求項１および４に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】　Ｘ方向位置駆動手段，Ｙ方向位置駆動手段及び高さ方向位置駆動手段を有し、試料と探針の相対位置を変化させる三次元駆動機構、試料と探針との間にバイアス電圧を印加する手段、前記試料と前記探針との間に流れるトンネル電流が設定値になる様に前記高さ方向駆動手段を制御する手段、試料上の加工すべき位置を設定する手段、及び、該加工位置において前記探針が該試料に接触せずに試料が加工される様に、トンネル電流，バイアス電圧及び前記探針が加工すべき位置に止まる時間の少なくとも１つを加工すべき試料の種類に応じて記憶する手段を備えた微細加工装置。
　【請求項４】　Ｘ方向位置駆動手段，Ｙ方向位置駆動手段及び高さ方向位置駆動手段を有し、試料と探針の相対位置を変化させる三次元駆動機構、試料と探針との間に負のバイアス電圧を印加する手段、前記試料と前記探針との間に流れるトンネル電流が設定値になる様に前記高さ方向駆動手段を制御する手段、及び、試料上の加工すべき位置を設定し且つ、該加工位置において前記探針が該試料に接触せずに試料が加工される様に、トンネル電流，バイアス電圧及び前記探針が加工すべき位置に止まる時間の少なくとも１つを加工すべき試料に応じて設定する手段を備えた微細加工装置。」
　
２．引用例記載の発明
　これに対して、原審において拒絶の理由に引用された引用文献１：特開平１−３１２７５３号公報（以下、「刊行物１」という。）、引用文献２：特開平２−２０１７５３号公報（以下、「刊行物２」という。）、および引用文献３：特開平１−３０２５５６号公報（以下、「刊行物３」という。）には、それぞれ以下の事項が記載されている。
　
(1）刊行物１
　走査型トンネル顕微鏡を応用して、試料表面を局所的に溶融または蒸発させて、加工する技術について記載されており、
(1a）「第１図で、記録すべき記録信号１２と記録媒体２上の記録位置信号が図示せぬ制御回路から送られてくる。そのときプローブ電極１は、ＸＹ方向微動及び粗動機構７、８により、指定の記録位置まで、記録媒体２との距離が制御された状態で移動し、記録位置に到達した時、記録信号１２に対応するパルス電圧を発生するパルス電圧回路１１により、プローブ電極１に書き込み用のパルス電圧が与えられることになる。このパルス電圧により、記録位置に過大な電流が流れ、局所的に記録媒体２の表面が溶融又は蒸発して表面形状が変化し、記録がなされる。」（第3頁左下欄15行〜右下欄6行）とあり、第１図から正極性のパルス信号波形１２をプローブ電極１に印加することが把握できる。
(1b）「第２図(a），(b）は、本発明の記録媒体２上に生じる記録形状例を示す斜視図で、記録時のプローブ電極１に印加するパルス電圧の大きさ、印加時間、記録媒体２の材質等の違いにより記録形状が異なってくる。・・・。そのため、記録媒体２の表面は、第２図(a）のように、局所的に溶融して、プローブ電極１との間の強電界により吸引力が働き、凸部１４が形成されたり、第２図(b）のように、局所的に蒸発して凹部１５が形成される場合があり、その形状の制御は、記録条件を調整することにより最適化することが可能である。」（第4頁左上欄5〜19行）とあり、試料の材質によって、プローブ電極に印加するバイアス電圧、印加時間を変えて最適化することが開示されている。
　
(2）刊行物２
　刊行物２にも、刊行物１と同様の内容が記載されている。
　
(3）刊行物３
(3a）「本発明は、超微細放電加工に位置付けられ、超微細放電加工によって形成された原子レベルの凹みにもしくは貫通孔によって情報の書込みを行う。」（第2頁右下欄7〜9行）
(3b）「例えば、Ｗの探針とグラファイトの記憶媒体の間に３Ｖのバイアス電圧を０．５sec間印加すると、グラファイトの表面には直径約６nm、深さ約４nmの円形の凹みが形成される。同様に、バイアス電圧２Ｖ、印加時間０．１secに設定すると、直径約１nm、深さ約０．５nmの凹みが表面に形成される。これら原子レベルの凹みの存在は、バイアス電圧０．１Ｖ以下、トンネル電流値数ｎＡの条件下で観察したグラファイト表面のトンネル電流像により明瞭に識別・判定することができる。」（第2頁右下欄13行〜3頁左上欄2行）
(3c）「第１図は本発明の一実施例である記録再生装置の構成図である。１は・・・Ｗ製の探針である。１は探針はＸ、Ｙ、およびＺ方向に精密駆動可能なアクチュエータ２に取付けられており、記憶媒体３の表面上を極めて微小な間隔を保って移動することができる。」（第3頁左上欄8〜14行）
(3d）「本装置は従来走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）と総称されている表面観察装置と同様の機能を有しており、探針／記憶媒体間に流れるトンネル電流を定電流モードで測定することができる。また探針／記憶媒体間の距離はトンネル電流の測定により調整する。一定のトンネル電流値を与えるためにＺ方向のアクチュエーターを駆動するフィードバック電圧をモニターすることにより、凹みもしくは貫通孔の有無を判定した。なお、高電圧を印加した際に針材料が電界蒸発しがたいこと、先端が極めて鋭利に加工できることを考慮して、本発明では探針にＷを用いた。また、記憶媒体には原子像レベルの観察が容易なグラファイトを用いたが、ＡｕやＰｔなどの貴金属も腐食により表面や記憶単位が変化することがなく、高いトンネル電流が得られることから、適している。」（第3頁左上欄20行〜右上欄15行）
(3e）「第３図は本発明のトンネル電流による記憶再生装置のシステム構成図である。６、７、および８はそれぞれＸ、Ｙ、およびＺ方向のアクチュエーターを駆動する精密電源である。９は探針と媒体間に印加するバイアス電圧用の電源、１０は媒体に凹みもしくは貫通孔を形成するための高応答性の電源、１１は記憶媒体を固定した試料台を駆動する粗調用電源、１２は探針と記憶媒体間に流れるトンネル電流の検知装置であり、電流検知装置１２とサーボ回路１３により精密電源８と粗調用電源１１は制御されており、探針と機構媒体表面との位置決め制御を行う。・・・。情報は、Ｘ、Ｙアクチュエーターにより探針を記憶単位を書込みたい位置に移動させた後に、情報書込み用の信号発生装置１５と電源１０により所定の電圧を、所定の時間だけ探針／媒体間に印加することによって媒体に書込まれる。」（第3頁右下欄1〜18行）
が、それぞれ図面と共に記載されており、
これらの記載から刊行物３には
「Ｘ方向アクチュエータ、Ｙ方向アクチュエータ及びＺ方向アクチュエータを有し、記憶媒体と探針の相対位置を変化させるＸＹＺ精密駆動アクチュエータ、記憶媒体と探針との間にバイアス電圧を印加するバイアス電圧用電源９、前記記憶媒体と前記探針との間に流れるトンネル電流が設定値になる様に前記Ｚ方向アクチュエータを制御する手段、記憶媒体上の加工すべき位置を設定する手段、及び、該加工位置において前記探針が該試料に接触せずに試料が加工される様に、所定の電圧及び所定の時間を加工すべき記憶媒体に応じて設定する手段を備えた超微細放電加工する装置。」が記載されているものと認められる。
　
３．対比・判断
３．１　本願請求項１に係る発明（以下、「本願発明１」という。）と刊行物３に記載の発明（以下、「引用発明」という。）とを対比すると、
　引用発明における、「Ｘ方向アクチュエータ」、「Ｙ方向アクチュエータ」、「Ｚ方向アクチュエータ」、「記憶媒体」、「ＸＹＺ精密駆動アクチュエータ」、「バイアス電圧を印加する電源９」、「所定の電圧」、「所定の時間」、および「超微細放電加工する装置」が、それぞれ本願発明における、「Ｘ方向位置駆動手段」、「Ｙ方向位置駆動手段」、「高さ方向位置駆動手段」、「試料」、「三次元駆動機構」、「バイアス電圧を印加する手段」、「バイアス電圧」、「探針が加工すべき位置に止まる時間」、および「微細加工装置」に相当するから、両者は表現は相違するが、
「Ｘ方向位置駆動手段，Ｙ方向位置駆動手段及び高さ方向位置駆動手段を有し、試料と探針の相対位置を変化させる三次元駆動機構、試料と探針との間にバイアス電圧を印加する手段、前記試料と前記探針との間に流れるトンネル電流が設定値になる様に前記高さ方向駆動手段を制御する手段、試料上の加工すべき位置を設定する手段、及び、該加工位置において前記探針が該試料に接触せずに試料が加工される様にバイアス電圧及び前記探針が加工すべき位置に止まる時間の少なくとも１つを加工すべき試料の種類に応じて設定する手段を備えた微細加工装置。」の構成で一致し、以下の点で相違する。
　
〈相違点ａ〉：本願発明が、「トンネル電流，バイアス電圧及び前記探針が加工すべき位置に止まる時間の少なくとも１つを加工すべき試料の種類に応じて記憶する手段」を備えているのに対し、引用発明では、「所定のバイアス電圧及び前記バイアス電圧を印加する所定の時間を記憶媒体の種類に応じて設定する手段」を備えている点。
　
　上記相違点ａについて検討する。
　刊行物３には、試料としては異なる種類のものも用いられること（摘記事項(3d））、バイアス電圧、バイアス電圧の印加時間を変えることによって加工の程度を変化できること（摘記事項(3b））、が記載されており、加工に際しては、情報書込み用の信号発生装置と電源により所定の電圧を、所定の時間だけ探針／媒体間に印加するものであるから、試料の種類に応じて所望の加工が行えるように所定の電圧および所定の時間を設定することは当業者なら当然考えるべきことであって、そのときの条件、すなわち試料の種類に応じた所定の電圧および所定の時間を記憶手段にプリセットしておく程度のことは、技術常識から見て当業者が必要に応じて容易に想到できたことである。
　
３．２　本願請求項４に係る発明（以下、「本願発明４」という。）と刊行物３に記載の発明（以下、「引用発明」という。）とを対比すると、
　本願発明１においてと同様に、
以下の一致点、および相違点を有する。
〈一致点〉：
「Ｘ方向位置駆動手段，Ｙ方向位置駆動手段及び高さ方向位置駆動手段を有し、試料と探針の相対位置を変化させる三次元駆動機構、試料と探針との間にバイアス電圧を印加する手段、前記試料と前記探針との間に流れるトンネル電流が設定値になる様に前記高さ方向駆動手段を制御する手段、及び、試料上の加工すべき位置を設定し且つ、該加工位置において前記探針が該試料に接触せずに試料が加工される様に、トンネル電流，バイアス電圧及び前記探針が加工すべき位置に止まる時間の少なくとも１つを加工すべき試料に応じて設定する手段を備えた微細加工装置。」の構成で一致し、以下の点で相違する。
〈相違点ｂ〉：　本願発明４では、試料と探針との間に印加するバイアス電圧が、負のバイアス電圧であるのに対し、引用発明では、前記バイアス電圧の極性が明記されていない点。
　
　上記相違点ｂについて検討する。
　本願明細書の段落【００１７】および【００２９】には、試料と探針間に印加する電圧は、試料側が負電圧となるように印加するものであって、その逆向きの印加では加工されなかった旨が記載されている。
　一方、刊行物１には、本願発明と同様の構成において、探針と試料との間に正極性のパルス電圧を、試料側が負電圧となるように印加することが示されており、刊行物３には、本願発明と同様の構成を有する装置において、探針と記憶媒体間にバイアス電圧を印加して、媒体の加工をすること、例えば、探針と媒体との間に３Ｖまたは２Ｖのバイアス電圧を印加することが記載されている。
　そして、引用発明においてはバイアス電圧を印加することによって加工が行われているのであるから、引用発明においてもバイアス電圧は加工が行われる方向に印加されているはずであって、刊行物１に記載のもののように試料側が負電圧となるときに加工される試料に対しては本願発明と同方向、即ち、試料側が負電圧となるように印加すべきものとして理解することが妥当である。
　よって、上記相違点ｂは、当業者が技術常識に照らして当然採用すべきことに過ぎず、格別の相違とは認められない。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本願の請求項１および４に係る発明は、いずれも刊行物１ないし３に記載された発明および周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
  よって、結論のとおり審決する。