Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月23日(2018.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンジンの燃料を収容するための燃料タンク本体と、
前記燃料タンク本体の底面に設けられた少なくとも一つの弾性部材と、を備え、
前記弾性部材は、下方に向かって突設するとともに地面と接地する接地面を有する少なくとも一つの凸部を含み、且つ、前記エンジンのクランク軸の軸方向（以下、前後方向という。）又は前記前後方向と交わる水平方向（以下、左右方向という。）の少なくとも一方について非対称な形状を有する燃料タンク。
【請求項２】
前記前後方向のうち前記クランク軸の出力側を前方向と定義すると、
前記凸部は、
前記前後方向における前側に形成された前側側面と、
前記前後方向における後側に形成された後側側面と、
を含み、
鉛直方向に対する前記前側側面の傾斜角は、鉛直方向に対する前記後側側面の傾斜角と異なる請求項１に記載の燃料タンク。
【請求項３】
鉛直方向に対する前記後側側面の傾斜角は、前記前側側面の鉛直方向に対する傾斜角よりも大きい請求項２に記載の燃料タンク。
【請求項４】
前記左右方向のうち前記クランク軸の下端での回転接線方向を左方向と定義すると、
前記凸部は、
前記左右方向における左側に形成された左側側面と、
前記左右方向における右側に形成された右側側面と、
を含み、
鉛直方向に対する前記左側側面の傾斜角は、鉛直方向に対する前記右側側面の傾斜角と異なる請求項１乃至３のいずれか１項に記載の燃料タンク。
【請求項５】
鉛直方向に対する前記左側側面の傾斜角は、鉛直方向に対する前記右側側面の傾斜角よりも大きい請求項４に記載の燃料タンク。
【請求項６】
前記凸部の前記接地面は、前記前後方向又は前記左右方向の少なくとも一方に傾斜している請求項１乃至５のいずれか１項に記載の燃料タンク。
【請求項７】
前記前後方向のうち前記クランク軸の出力側を前方向と定義すると、
前記凸部の前記接地面は、前記前方向へ向かうにつれて下方に位置するよう傾斜している請求項６に記載の燃料タンク。
【請求項８】
前記左右方向のうち前記クランク軸の下端での回転接線方向を左方向と定義すると、
前記凸部の前記接地面は、前記右方向へ向かうにつれて下方に位置するよう傾斜している請求項６又は７に記載の燃料タンク。
【請求項９】
前記少なくとも一つの凸部は、前記前後方向に沿ってそれぞれ延在する複数の凸部からなる第１凸部群と、前記左右方向に沿ってそれぞれ延在する複数の凸部からなる第２凸部群と、前記前後方向に沿ってそれぞれ延在する複数の凸部からなる第３凸部群と、を含み、
前記第２凸部群は、前記前後方向において前記第１凸部群と前記第３凸部群の間に配置されている請求項１乃至８の何れか１項に記載の燃料タンク。
【請求項１０】
前記前後方向のうち前記クランク軸の出力側を前方向と定義すると、
前記第３凸部群は、前記第１凸部群よりも後側に配置されており、
前記第１凸部群〜第３凸部群の各凸部は、
前記前後方向における前側に形成された前側側面と、
前記前後方向における後側に形成された後側側面と、
を含み、
前記第１凸部群〜第３凸部群の各凸部において、鉛直方向に対する前記後側側面の傾斜角は鉛直方向に対する前側側面の傾斜角よりも大きい請求項９に記載の燃料タンク。
【請求項１１】
前記前後方向のうち前記クランク軸の出力側を前方向と定義すると、
前記第３凸部群は、前記第１凸部群よりも後側に配置されており、
前記第１凸部群〜第３凸部群の各凸部は、
前記前後方向における前側に形成された前側側面と、
前記前後方向における後側に形成された後側側面と、
を含み、
前記第３凸部群の各凸部における前記後側側面の鉛直方向に対する傾斜角は、前記第１凸部群の各凸部における前記後側側面の鉛直方向に対する傾斜角よりも大きい請求項９又は１０に記載の燃料タンク。
【請求項１２】
前記弾性部材は、前記燃料タンク本体の底面側に第１穴と第２穴とを含み、
前記燃料タンク本体の前記底面には、前記第１穴の内周面に当接する外周面を有する第１突起、及び前記第２穴の内周面に当接する外周面を有する第２突起が形成されており、
前記第１穴と前記第２穴とは、前記前後方向又は前記左右方向の少なくとも一方について非対称に配置されている請求項１乃至１１の何れか１項に記載の燃料タンク。
【請求項１３】
前記少なくとも一つの弾性部材は、互いに異なる弾性率を有する二つの弾性部材を含む請求項１乃至１２の何れか１項に記載の燃料タンク。
【請求項１４】
エンジンの燃料を収容するための燃料タンク本体と、
前記燃料タンク本体の底面に設けられ、地面と設置する接地面をそれぞれ有する少なくとも二つの弾性部材と、を備え、
前記少なくとも二つの弾性部材は、互いに異なる弾性率を有する二つの弾性部材を含む燃料タンク。
【請求項１５】
シリンダーと、前記シリンダーとともに燃焼室を形成するピストンと、前記ピストンの往復運動を回転運動に変換するためのクランク軸と、請求項１乃至１４の何れか１項に記載の燃料タンクと、を備えたエンジン。
【請求項１６】
操作竿と、
前記操作竿の一端側に設けられた回転可能な刈刃と、
前記刈刃の一部を覆うように設けられた保護カバーと、
前記操作竿の他端側に設けられた請求項１５に記載のエンジンと、
を備えた刈払機。
【請求項１７】
前記弾性部材は、前記エンジンが振動時に移動しやすい方向と反対方向への反力が生じるように非対称に構成される、請求項１乃至１３の何れか１項に記載の燃料タンク。
【請求項１８】
前記少なくとも二つの弾性部材は、前記エンジンが振動時に移動しやすい方向と反対方向への反力が生じるように、各々の弾性率が異なるように構成される、請求項１４に記載の燃料タンク。
【手続補正書】
【提出日】平成29年12月5日(2017.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
a) 多色光を発する光源と、
b) 1個の回折格子と、
c) 前記光源からの光を前記回折格子に導き、そのうちの1波長を選択して励起光として試料に照射する励起光学系と、
d) 前記励起光が照射された試料が発する観測光を前記回折格子に導き、分光する検出光学系と、
e) 前記検出光学系により分光された観測光を検出する光検出器と
を備えることを特徴とする分光検出器。
【請求項２】
前記回折格子における前記励起光の入射面と、前記観測光の入射面がずれていることを特徴とする請求項１に記載の分光検出器。
【請求項３】
さらに、前記回折格子を回動させる回折格子回動部と、前記回折格子の回動によって移動する前記観測光の回折光が導入される位置に前記光検出器を移動させる光検出器移動部とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の分光検出器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明に係る分光検出器において、前記回折格子を回動させる回折格子回動部と、前記回折格子の回動によって移動する前記観測光の回折光が導入される位置に前記光検出器を移動させる光検出器移動部とを備える、という構成を取ることができる。これにより、試料に照射される励起光の波長を変更するために回折格子を回動させると共に、その回動によって移動する観測光の回折光を光検出器に導入することができる。なお、同じ目的成分を有する試料を繰り返し測定する場合のように、試料に照射する励起光の波長を変更しない場合には、これら回折格子回動部や光検出器移動部を設ける必要はない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、回折格子１３に入射する入射光及び回折格子１３で回折される回折光の光軸は略水平であり、回折格子１３における励起光の入射面も略水平であるのに対して、回折格子１３における観測光の入射面は水平から傾斜している。このように、励起光の入射面と観測光の入射面がずれているため、励起光が迷光として光検出器１５に入射することが防止される。
【手続補正書】
【提出日】平成30年1月23日(2018.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両用のレールの劣化に関する検査データを生成するレール検査装置であって、
検査対象の前記レールと対向する面に、互いに逆向きの交流磁場を発生する第１発振コイル、第２発振コイルと、前記第１発振コイルと前記第２発振コイルの中間またはその近傍に位置し、前記第１発振コイルおよび前記第２発振コイルから受けた磁場に基づく磁場波形を前記検査データとして出力する受信コイルと、を含むセンサ部を複数備え、
複数の前記センサ部として、少なくとも、前記レールの伸長方向に対して、平行な方向に配置されたセンサ部と、垂直な方向に配置されたセンサ部と、斜めの方向に配置されたセンサ部と、を備える
ことを特徴とするレール検査装置。
【請求項２】
複数の前記センサ部は、
前記レールの表面の劣化を検出するために、前記第１発振コイルまたは前記第２発振コイルの中心から、前記受信コイルの中心まで、第１の距離だけ離れているセンサ部と、
前記レールの内部の劣化を検出するために、前記第１発振コイルまたは前記第２発振コイルの中心から、前記受信コイルの中心まで、前記第１の距離よりも大きい第２の距離だけ離れているセンサ部と、を含んでいる
ことを特徴とする請求項１に記載のレール検査装置。
【請求項３】
車両用のレールの劣化に関する検査データを生成するレール検査装置であって、
検査対象の前記レールと対向する面に、
前記レールの伸長方向に沿って配置され、互いに逆向きの交流磁場を発生する第１発振コイル、第２発振コイルと、
前記第１発振コイルと前記第２発振コイルの中間またはその近傍に前記レールの幅方向に沿って並べて配置され、それぞれが前記第１発振コイルおよび前記第２発振コイルから受けた磁場に基づく磁場波形を前記検査データとして出力する、１つの前記第１発振コイルと１つの前記第２発振コイルに対し複数の受信コイルと、
を備えることを特徴とするレール検査装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のレール検査装置と、
前記レール検査装置から受信した前記検査データに基づいて、前記レールの劣化箇所を特定する検査処理を実行する評価装置と、を備え、
前記評価装置は、前記検査データに基づいて、前記レールに存在する前記レールの繋ぎ目のレール伸長方向位置を特定し、当該特定した前記繋ぎ目のレール伸長方向位置によって、前記レールの劣化箇所のレール伸長方向位置を特定する
ことを特徴とするレール検査システム。
【請求項５】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のレール検査装置と、
前記レール検査装置から受信した前記検査データに基づいて、前記レールの劣化箇所を特定する検査処理を実行する評価装置と、を備え、
前記評価装置は、前記検査データに基づいて、
前記検査データのｃｏｓ成分の波形と、
前記検査データのｃｏｓ成分の２乗およびｓｉｎ成分の２乗の和の平方根の波形と、を比較し、
それらの波形の異なる部分を、前記レールの劣化箇所として特定する
ことを特徴とするレール検査システム。
【請求項６】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のレール検査装置と、
前記レール検査装置から受信した前記検査データに基づいて、前記レールの劣化箇所を特定する検査処理を実行する評価装置と、を備え、
前記評価装置は、前記検査データに基づいて、
前記検査データのｃｏｓ成分の波形と、
ａｔａｎ（前記検査データのｓｉｎ成分／ｃｏｓ成分）の波形と、を比較し、
それらの波形の異なる部分を、前記レールの劣化箇所として特定する
ことを特徴とするレール検査システム。
【請求項７】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のレール検査装置と、
前記レール検査装置から受信した前記検査データに基づいて、前記レールの劣化箇所を特定する検査処理を実行する評価装置と、を備え、
前記評価装置は、前記検査データに基づいて、
前記検査データのｃｏｓ成分を一方の軸とし、前記検査データのｓｉｎ成分を他方の軸として座標平面上に軌跡を表示する
ことを特徴とするレール検査システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記課題を解決するために、本発明は、車両用のレールの劣化に関する検査データを生成するレール検査装置であって、検査対象の前記レールと対向する面に、互いに逆向きの交流磁場を発生する第１発振コイル、第２発振コイルと、前記第１発振コイルと前記第２発振コイルの中間またはその近傍に位置し、前記第１発振コイルおよび前記第２発振コイルから受けた磁場に基づく磁場波形を前記検査データとして出力する受信コイルと、を含むセンサ部を複数備え、複数の前記センサ部として、少なくとも、前記レールの伸長方向に対して、平行な方向に配置されたセンサ部と、垂直な方向に配置されたセンサ部と、斜めの方向に配置されたセンサ部と、を備えることを特徴とする。その他の手段については後記する。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月14日(2018.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１固定電極部を有する第１固定電極側固定部と、
第２固定電極部を有する第２固定電極側固定部と、
前記第１固定電極部に対向している部分を有する第１可動電極部、および、前記第２固定電極部に対向している部分を有する第２可動電極部を有し、平面視で前記第１固定電極側固定部および前記第２固定電極側固定部を囲む形状をなしている可動質量部と、
平面視で前記可動質量部の外側に配置されている第１可動電極側固定部および第２可動電極側固定部と、
前記可動質量部を第１方向に変位可能に前記第１可動電極側固定部と前記可動質量部の前記第１方向での一端側の部分とを接続している第１弾性部と、
前記可動質量部を前記第１方向に変位可能に前記第２可動電極側固定部と前記可動質量部の前記第１方向での他端側の部分とを接続している第２弾性部と、
を備えることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
前記第１可動電極部は、前記第１方向に対して交差する第２方向に延びる複数の第１可動電極指を有し、
前記第２可動電極部は、前記第２方向に延びる複数の第２可動電極指を有し、
前記第１固定電極部は、前記第２方向に延びる複数の第１固定電極指を有し、
前記第２固定電極部は、前記第２方向に延びる複数の第２固定電極指を有する請求項１に記載の物理量センサー。
【請求項３】
前記第１固定電極側固定部は、前記第１方向に延び、前記複数の第１固定電極指を支持している第１延出部を有し、
前記第２固定電極側固定部は、前記第１方向に延び、前記複数の第２固定電極指を支持している第２延出部を有する請求項２に記載の物理量センサー。
【請求項４】
前記第１固定電極側固定部および前記第２固定電極側固定部は、前記第１方向に並んで配置されており、
前記第１延出部は、前記第２固定電極側固定部とは反対側に延出し、
前記第２延出部は、前記第１固定電極側固定部とは反対側に延出している請求項３に記載の物理量センサー。
【請求項５】
前記第１固定電極側固定部および前記第２固定電極側固定部は、前記第１方向に対して交差する第２方向に並んで配置されており、
前記第１延出部は、前記第１方向での一方側に延出する部分を有し、
前記第２延出部は、前記第１方向での他方側に延出する部分を有する請求項３に記載の物理量センサー。
【請求項６】
前記第１延出部および前記第２延出部のそれぞれは、前記第１方向での一方側および他方側に延出している２つの部分を有する請求項５に記載の物理量センサー。
【請求項７】
前記可動質量部は、
平面視で前記可動質量部の内側に向けて２つの前記第１可動電極指間、２つの前記第２可動電極指間または前記第１可動電極指と前記固定電極指との間に延出し、前記第１可動電極指または前記第２可動電極指の幅よりも幅が広い錘部を有する請求項２ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項８】
基板と、
前記基板に設けられ、前記第１固定電極指に電気的に接続されている第１固定電極側配線と、
前記基板に設けられ、前記第２固定電極指に電気的に接続されている第２固定電極側配線と、を備え、
前記第１延出部は、平面視で前記第１固定電極側配線と重なり、
前記第２延出部は、平面視で前記第２固定電極側配線と重なる請求項３ないし７のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項９】
基板と、
前記基板に設けられ、前記第１可動電極指および前記第２可動電極指のそれぞれに電気的に接続されている可動電極側配線と、を備え、
前記第１可動電極指および前記第２可動電極指のそれぞれの先端部は、平面視で前記可動電極側配線と重なっている請求項２ないし８のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１０】
基板と、
前記基板に設けられている可動電極側配線と、を備え、
前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部のうちの少なくとも一方の固定部は、前記可動電極側配線に接続されている複数の接続部を有する請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１１】
前記接続部と前記可動電極側配線との間にこれら両者に接して設けられている導電性のコンタクト部を備える請求項１０に記載の物理量センサー。
【請求項１２】
平面視で前記可動質量部と重なって前記基板の主面に設けられている突起部を備える請求項８ないし１１のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１３】
前記可動質量部は、平面視で前記可動質量部の内側に向けて延出する錘部を有する請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１４】
前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部が固定されている基板を備え、
前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部のそれぞれの前記基板に固定されている部分の前記第２方向での長さは、前記可動質量部の前記第２方向での長さよりも短い請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１５】
前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部のうちの少なくとも一方に設けられ、前記第１方向および前記第２方向の少なくとも一方の方向における前記可動質量部の変位量を規制するストッパーを備える請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１６】
請求項１ないし１５のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１７】
請求項１ないし１５のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする移動体。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月14日(2018.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１固定電極部を有する第１固定電極側固定部と、
前記第１固定電極部に対して第１方向に並んで配置されている第２固定電極部を有する第２固定電極側固定部と、
前記第１方向に交差する第２方向に並んで配置されている第１可動電極側固定部および第２可動電極側固定部と、
前記第１固定電極部に対向している部分を有する第１可動電極部、および、前記第２固定電極部に対向している部分を有する第２可動電極部を有し、平面視で前記第１固定電極側固定部、前記第２固定電極側固定部、前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部を囲む可動質量部と、
前記可動質量部を前記第２方向に変位可能に前記第１可動電極側固定部と前記可動質量部とを接続している第１弾性部と、
前記可動質量部を前記第２方向に変位可能に前記第２可動電極側固定部と前記可動質量部とを接続している第２弾性部と、
を備えることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
前記第１可動電極部は、前記第１方向に延びる複数の第１可動電極指を有し、
前記第２可動電極部は、前記第１方向に延びる複数の第２可動電極指を有し、
前記第１固定電極部は、前記第１方向に延びる複数の第１固定電極指を有し、
前記第２固定電極部は、前記第１方向に延びる複数の第２固定電極指を有する請求項１に記載の物理量センサー。
【請求項３】
前記第１固定電極側固定部は、前記第２方向に延び、前記複数の第１固定電極指を支持している第１延出部を有し、
前記第２固定電極側固定部は、前記第２方向に延び、前記複数の第２固定電極指を支持している第２延出部を有する請求項２に記載の物理量センサー。
【請求項４】
前記第１延出部は、前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部に対して前記第１方向での一方側に配置され、
前記第２延出部は、前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部に対して前記第１方向での他方側に配置されている請求項３に記載の物理量センサー。
【請求項５】
基板と、
前記基板に設けられ、前記第１固定電極指に電気的に接続されている第１固定電極側配線と、
前記基板に設けられ、前記第２固定電極指に電気的に接続されている第２固定電極側配線と、を備え、
前記第１延出部は、前記基板と離間しており、平面視で前記第１固定電極側配線と重なり、
前記第２延出部は、前記基板と離間しており、平面視で前記第２固定電極側配線と重なる請求項４に記載の物理量センサー。
【請求項６】
基板と、
前記基板に設けられ、前記第１可動電極指および前記第２可動電極指のそれぞれに電気的に接続されている可動電極側配線と、を備え、
前記第１可動電極指および前記第２可動電極指のそれぞれの先端部は、平面視で前記可動電極側配線と重なっている請求項２ないし５のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項７】
基板と、
前記基板に設けられている可動電極側配線と、を備え、
前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部のうちの少なくとも一方の固定部は、前記基板に接続されている複数の接続部を有する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項８】
前記接続部と前記可動電極側配線との間にこれら両者に接して設けられている導電性のコンタクト部を備える請求項７に記載の物理量センサー。
【請求項９】
平面視で前記可動質量部と重なって前記基板の主面に設けられている突起部を備える請求項７または８に記載の物理量センサー。
【請求項１０】
前記第１固定電極側固定部および前記第２固定電極側固定部は、それぞれ、平面視で前記第１可動電極側固定部と前記第２可動電極側固定部との間に位置している部分を有する請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１１】
前記第１可動電極側固定部と前記第２可動電極側固定部とを連結し、かつ、前記第１可動電極側固定部および前記第２可動電極側固定部と同じ材料で構成されている連結部を備える請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１２】
前記第１可動電極側固定部は、前記第２方向に延びる第１支持部を有し、
前記第２可動電極側固定部は、前記第２方向に延びる第２支持部を有し、
前記第１弾性部は、前記第１支持部から延び、
前記第２弾性部は、前記第２支持部から延びる請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１４】
請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする移動体。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月14日(2018.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動電極側固定部と、
第１方向に沿うように配置されている第１固定電極部を有する第１固定電極側固定部および第２固定電極部を有する第２固定電極側固定部と、
前記第１固定電極部に対向している部分を有する第１可動電極部、および、前記第２固定電極部に対向している部分を有する第２可動電極部を有し、平面視で前記可動電極側固定部、前記第１固定電極側固定部および前記第２固定電極側固定部を囲む可動質量部と、
前記可動質量部を前記第１方向に変位可能に前記可動電極側固定部と前記可動質量部とを接続している弾性部と、を備えていることを特徴とする物理量センサー。
【請求項２】
前記第１可動電極部は、前記第１方向に交差する第２方向に延びる複数の第１可動電極指を有し、
前記第２可動電極部は、前記第２方向に延びる複数の第２可動電極指を有し、
前記第１固定電極部は、前記第２方向に延びる複数の第１固定電極指を有し、
前記第２固定電極部は、前記第２方向に延びる複数の第２固定電極指を有する請求項１に記載の物理量センサー。
【請求項３】
前記第１固定電極側固定部は、前記第１方向に延び、前記複数の第１固定電極指を支持している第１延出部を有し、
前記第２固定電極側固定部は、前記第１方向に延び、前記複数の第２固定電極指を支持している第２延出部を有する請求項２に記載の物理量センサー。
【請求項４】
前記第１延出部は、前記可動電極側固定部に対して前記第１方向での一方側に配置され、
前記第２延出部は、前記可動電極側固定部に対して前記第１方向での他方側に配置されている請求項３に記載の物理量センサー。
【請求項５】
基板と、
前記基板に設けられ、前記第１固定電極指に電気的に接続されている第１固定電極側配線と、
前記基板に設けられ、前記第２固定電極指に電気的に接続されている第２固定電極側配線と、を備え、
前記第１延出部は、平面視で前記第１固定電極側配線と重なり、
前記第２延出部は、平面視で前記第２固定電極側配線と重なる請求項３または４に記載の物理量センサー。
【請求項６】
基板と、
前記基板に設けられ、前記第１可動電極指および前記第２可動電極指のそれぞれに電気的に接続されている可動電極側配線と、を備え、
前記第１可動電極指および前記第２可動電極指のそれぞれの先端部は、平面視で前記可動電極側配線と重なっている請求項２ないし５のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項７】
平面視で前記可動質量部と重なって前記基板の主面に設けられている突起部を備える請求項５または６に記載の物理量センサー。
【請求項８】
前記可動電極側固定部は、前記第１方向に交差する第２方向に並んで配置されている第１可動電極側固定部および第２可動電極側固定部を有する請求項１ないし７のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項９】
前記第１可動電極側固定部と前記第２可動電極側固定部との離間距離は、前記第１固定電極側固定部と前記第２固定電極側固定部との離間距離よりも短い請求項８に記載の物理量センサー。
【請求項１０】
前記第１可動電極側固定部と前記第２可動電極側固定部との離間距離は、前記第１固定電極側固定部と前記第２固定電極側固定部との離間距離よりも長い請求項８に記載の物理量センサー。
【請求項１１】
前記弾性部は、前記可動質量部を前記第１方向に変位可能に前記第１可動電極側固定部と前記可動質量部とを接続している第１弾性部と、前記可動質量部を前記第１方向に変位可能に前記第２可動電極側固定部と前記可動質量部とを接続している第２弾性部と、を有する請求項８ないし１０のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１２】
前記可動電極側固定部は、前記第１方向に交差する第２方向に延びる部分を有する第１支持部と、前記第１支持部とは反対側に前記第２方向に延びる部分を有する第２支持部と、を有し、
前記第１弾性部は、前記第１支持部に接続され、
前記第２弾性部は、前記第２支持部に接続されている請求項１１に記載の物理量センサー。
【請求項１３】
前記可動電極側固定部は、平面視で前記第１固定電極側固定部と前記第２固定電極側固定部との間に位置している部分を有する請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１４】
前記可動電極側固定部は、平面視で前記可動質量部の重心と重なる請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の物理量センサー。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１６】
請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする移動体。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月3日(2018.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
（実施例２）
図６は、この発明の放射能検出装置１０を用いた、この発明の他の実施例の放射能測定装置２０の外観図である。特に、図６（ａ）は放射能測定装置２０を正面から見た斜視図、図６（ｂ）は背面から見た斜視図を示す。
放射能測定装置２０は、６面のうちの１面だけを開口部とした箱状の筐体２１に、マルチコリメータ１１が開口部から外（図６（ａ）の正面）を向くように放射能検出装置１０を収納し、開口部に蓋部材２２を装着して構成される。また、筐体２１の上面には、持ち運び用の把持部（取っ手）２３が装着される。
蓋部材２２には、放射線を測定する周囲環境（又は景色）を写真撮影するときに周囲環境の画像を筐体２１内部に取り込むための透視孔２４が形成される。
また、筐体２１の内部には、ＰＳＤ１５によって検出された放射線の飛来する方向別のエネルギーと強度を測定処理するための回路基板（図示せず）が放射能検出装置１０の裏側に収納されるとともに、蓋部材２２の透視孔２４の近傍に撮像カメラ（例えば、ＣＣＤセンサとレンズ）が内蔵される。ここで、検出対象の放射線は、素材が鉛の遮蔽体を通さないが、ＣＣＤセンサのような鉛以外の物質を通す性質を有するので、マルチコリメータ１１の前面にＣＣＤセンサを配置したり、アルミニュームや鉄板等からなる蓋部材２２で開口部の蓋をしても、飛来する放射線のエネルギー及び強度を検出する上で何ら支障がない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図７は放射能測定装置２０のブロック図である。
放射能測定装置２０は、複数のγ線検出器１６（Ｄ１〜Ｄ６４）と、Ａ／Ｄ変換回路ＡＤ１〜ＡＤ６４と、ＧＰＳ情報検出部３１と、撮像カメラ（ＣＣＤセンサ）３２と、計測処理のための中央処理ユニット（ＣＰＵ；又はコンピュータ）３３と、記憶装置３４と、距離計３５と、送受信回路３６を含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
送受信回路３６は、遠隔場所又は遠隔地のパーソナルコンピュータ（ＰＣ；以下「パソコン」という）４０にケーブル（又は無線回線）を介して測定データを送信し又はパソコン４０からの制御データを受信するものである。
さらに、放射能測定装置２０は、必要に応じて、ＵＳＢ端子３７が設けられる。ＵＳＢ端子３７には、各種データ入力のためのキーボード３８が外付け接続される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
１０      放射能検出装置
１１      球殻状のマルチコリメータ
１２      コリメータ
１５      ＰＳＤ（ポジション・センシティブ・ディテクタ）
１６（Ｄ１〜Ｄ６４），１６ａ  ガンマ線検出器
１７，１７ｂ，１７ｃ    取付部
２０      放射能測定装置
２１      筐体
２２      蓋部材
２５      液晶表示器
２５ａ〜２５ｄ    表示領域
３１      ＧＰＳ情報検出部
３２      撮像カメラ
３３      中央処理ユニット（ＣＰＵ）
３４      記憶装置
３４ａ    プログラム記憶用メモリ
３４ｂ    処理用メモリ
３４ｃ    表示用メモリ
３５      距離計
３６      送受信回路
３７      ＵＳＢ端子
３８      キーボード
４０      パソコン（ＰＣ）
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月14日(2018.5.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空調機からの給気と、外気を合流させて送出するミキシングチャンバーであって、
チャンバー本体と、
前記チャンバー本体の内部を、前記給気が導入される給気室と、外気が導入される外気室とに仕切る隔壁と、
前記隔壁の縁を跨ぐようにして前記チャンバー本体に設けられ、前記給気室及び前記外気室に接続された送出管と、
を備えたことを特徴とするミキシングチャンバー。
【請求項２】
前記チャンバー本体には前記送出管との接続口が形成されており、
前記隔壁によって、前記接続口が、前記給気室に連なる給気側接続口部と、前記外気室に連なる外気側接続口部とに仕切られていることを特徴とする請求項１に記載のミキシングチャンバー。
【請求項３】
前記送出管と前記給気室及び前記外気室との間に前記接続口が介在されることによって、前記送出管が、前記給気室及び前記外気室と直接には面していないことを特徴とする請求項２に記載のミキシングチャンバー。
【請求項４】
前記給気側接続口が、前記外気側接続口部より大きいことを特徴とする請求項２又は３に記載のミキシングチャンバー。
【請求項５】
前記隔壁が、前記チャンバー本体における前記給気が導入される側と前記外気が導入される側のうち前記外気が導入される側に偏って配置されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のミキシングチャンバー。
【請求項６】
前記チャンバー本体が長手方向及び幅方向を有する箱状であり、前記送出管が前記チャンバー本体の長手方向に離れて複数配置されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のミキシングチャンバー。
【請求項７】
前記チャンバー本体の前記幅方向に対向する一対の側板のうち一方の側板に前記給気の導入管が接続され、前記一対の側板のうち他方の側板に前記送出管が設けられ、
前記チャンバー本体の前記一対の側板と交差するとともに前記長手方向へ延びる側板に外気の導入管が接続されていることを特徴とする請求項６に記載のミキシングチャンバー。
【手続補正書】
【提出日】平成29年12月11日(2017.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷媒を圧縮する圧縮機と、該圧縮機で圧縮された冷媒を凝縮させる凝縮器と、該凝縮器を出た冷媒を減圧する膨張機構と、外部熱源から回収した熱で冷媒を蒸発させる蒸発器とを環状に接続したヒートポンプ部と、
被加熱水を前記冷媒によって加熱する前記凝縮器、前記凝縮器で生成された気液二相流が流通する蒸気経路、該蒸気経路から供給される気液二相流を水と水蒸気とに分離する水蒸気分離器、該水蒸気分離器で分離された水蒸気を分離した水を前記凝縮器に流通させる水循環経路、該水循環経路に接続され、給水ポンプの動力によって前記被加熱水を供給する給水経路及び前記水蒸気分離器で分離された水蒸気を外部に送り出す送出経路を有する蒸気生成部と、
を備えるヒートポンプ式蒸気生成装置であって、
前記給水経路を開閉可能とする給水経路開閉手段と、前記送出経路を開閉可能とする送出経路開閉手段と、該給水経路開閉手段及び該送出経路開閉手段を開閉制御する制御部とを備え、
前記制御部は、当該ヒートポンプ式蒸気生成装置の運転停止時に前記給水経路開閉手段及び前記送出経路開閉手段を閉制御することを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。
【請求項２】
請求項１に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置において、
前記蒸気生成部は、蒸気圧力を検出する圧力検出手段を有し、
前記制御部は、当該ヒートポンプ式蒸気生成装置の運転時に前記圧力検出手段の検出値に基づいて前記送出経路開閉手段を開制御することを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。
【請求項３】
冷媒を圧縮する圧縮機と、該圧縮機で圧縮された冷媒を凝縮させる凝縮器と、該凝縮器を出た冷媒を減圧する膨張機構と、外部熱源から回収した熱で冷媒を蒸発させる蒸発器とを環状に接続したヒートポンプ部と、
被加熱水を前記冷媒によって加熱する前記凝縮器、前記凝縮器で生成された気液二相流が流通する蒸気経路、該蒸気経路から供給される気液二相流を水と水蒸気とに分離する水蒸気分離器、該水蒸気分離器で分離された水蒸気を分離した水を前記凝縮器に流通させる水循環経路、該水循環経路に接続され、給水ポンプの動力によって前記被加熱水を供給する給水経路及び前記水蒸気分離器で分離された水蒸気を外部に送り出す送出経路を有する蒸気生成部と、
を備えるヒートポンプ式蒸気生成装置であって、
前記給水経路を開閉可能とする給水経路開閉手段を開閉制御する制御部と、
前記送出経路に設けられ、外部から前記水蒸気分離器への逆流を防止する逆止弁と、
を備え、
前記制御部は、当該ヒートポンプ式蒸気生成装置の運転停止時に前記給水経路開閉手段を閉制御することを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置において、
前記蒸気生成部は、蒸気圧力を検出する圧力検出手段を有し、
前記制御部は、当該ヒートポンプ式蒸気生成装置の運転時に前記圧力検出手段の検出値に基づいて前記給水経路開閉手段を開制御することを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置において、
前記制御部は、当該ヒートポンプ式蒸気生成装置の運転開始時に前記給水経路開閉手段を開制御することを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。
【請求項６】
請求項５に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置において、
前記蒸気生成部は、前記水蒸気分離器の水位を検出する水位検出手段を有し、
前記制御部は、当該ヒートポンプ式蒸気生成装置の運転時に前記水位検出手段の検出値に基づいて前記給水ポンプの給水量を制御することを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置において、
前記水蒸気分離器の液相領域又は前記水循環経路に接続され、外部に水を排出するブローダウン経路、及び該ブローダウン経路を開閉可能とするブローダウン経路開閉手段を備えることを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置において、
前記水蒸気分離器の液相領域又は前記水循環経路に接続され、外部に水を排出するブローダウン経路、及び該ブローダウン経路に設けられ、外部から前記水蒸気分離器の液相領域又は前記水循環経路への逆流を防止する逆止弁を備えることを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。
【請求項９】
請求項７に記載のヒートポンプ式蒸気生成装置において、
前記蒸気生成部は、蒸気圧力を検出する圧力検出手段を有し、
前記制御部は、当該ヒートポンプ式蒸気生成装置の運転時に前記圧力検出手段の検出値に基づいて前記ブローダウン経路開閉手段を開制御することを特徴とするヒートポンプ式蒸気生成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月6日(2018.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクリロニトリル系重合体を含む炭素繊維前駆体繊維を酸化性雰囲気中で２００〜３５０℃に加熱して耐炎化処理し、耐炎化繊維を得る工程と、
アセチレンおよびアセチレン誘導体の少なくとも一方からなるガス状物質（Ａ）を含む非酸化性雰囲気中で、前記耐炎化繊維を加熱して炭素化処理する工程（ただし、１６００℃以上に加熱する場合を除く。）とを含む、炭素繊維の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】炭素繊維の製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、炭素繊維の製造方法に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月9日(2018.8.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送されるシート材の厚みを検出するシート材厚み検出装置であって、
前記シート材の一方の面をガイドするガイド部材と、
前記シート材の厚みに応じて変位可能な状態で該シート材を前記ガイド部材に押し当てる非回転構成の押し当て部材と、
前記シート材の厚みに応じて変位する前記押し当て部材の変位量を磁気的に又は電気的に検出するセンサと、
前記センサの出力信号に基づいて前記シート材の厚みを算出する算出手段と、
を備えることを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項２】
請求項１のシート材厚み検出装置において、
前記センサは、前記ガイド部材に対する前記押し当て部材の変位によって透磁率が変化する空間を通過するように磁気回路を形成するコイルと、そのコイルのインダクタンスによって発振周波数が変化する発振回路とを有し、その発振回路の発振周波数に対応する信号を出力することを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項３】
請求項１又は２のシート材厚み検出装置において、
回転駆動される駆動回転体と、前記駆動回転体との間に前記シート材を挟むように配置された従動回転体と、を備えることを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項４】
請求項３のシート材厚み検出装置において、
前記シート材を押し当てている前記押し当て部材の押し当て位置は、前記シート材の搬送方向における前記駆動回転体と前記従動回転体との対向位置と同じ位置又は該対向位置よりも下流側の位置であることを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項５】
請求項３又は４のシート材厚み検出装置において、
駆動軸の軸方向に設けられた複数の駆動回転体と、複数の駆動回転体それぞれとの間に前記シート材を挟むように配置された複数の従動回転体と、を備え、
互いに隣り合う駆動回転体の間で且つシート材搬送方向に直交する幅方向の中心付近に、前記センサと前記押し当て部材とを配置したことを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項６】
請求項３乃至５のいずれかのシート材厚み検出装置において、
前記押し当て部材の固有振動数と、前記駆動回転体の偏心量と回転速度とから生じる周期変動周波数とが互いに異なることを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項７】
請求項３乃至６のいずれかのシート材厚み検出装置において、
前記駆動回転体と前記従動回転体との対向位置を通過するように前記シート材の搬送経路を形成するように設けられた前記駆動回転体側のガイド部材と前記従動回転体側のガイド部材とを備え、
前記センサは、前記駆動回転体側のガイド部材の前記搬送経路側とは反対側の表面に固定され、
前記押し当て部材は、前記従動回転体側のガイド部材の前記搬送経路側の表面に設けられていることを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかのシート材厚み検出装置において、
前記押し当て部材は、非磁性導電性を有する金属板であることを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項９】
請求項１乃至７のいずれかのシート材厚み検出装置において、
前記押し当て部材は、磁性導電性を有する金属板であることを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかのシート材厚み検出装置において、
前記押し当て部材は、弾性変形可能な材料で形成され、弾性変形内で前記シート材を前記ガイド部材に押し当てることを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかのシート材厚み検出装置において、
前記シート材搬送方向に直交する幅方向に前記センサを複数設け、
前記押し当て部材は、前記複数のセンサそれぞれに対応するように前記幅方向について複数に分割され、
前記複数のセンサそれぞれの出力信号に基づいて、前記シート材における該複数のセンサそれぞれに対応する複数部分の厚みに対応する値を互いに比較する比較手段を備えることを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項１２】
請求項１１のシート材厚み検出装置において、
前記センサは、前記シート材の幅方向における両端部及び中央部の３箇所それぞれに対応するように３つ設けられ、
前記押し当て部材は、前記３つのセンサそれぞれに対応するように前記幅方向について３分割されていることを特徴とするシート材厚み検出装置。
【請求項１３】
搬送されるシート材の異常を検出するシート材異常検出装置であって、
シート材搬送方向に直交する幅方向に、該シート材の厚みに対応する信号を出力可能なセンサを複数設け、
前記複数のセンサそれぞれの出力信号に基づいて、前記シート材における該複数のセンサそれぞれに対応する複数部分の厚みに対応する値を互いに比較する比較手段を備えることを特徴とするシート材異常検出装置。
【請求項１４】
請求項１３のシート材異常検出装置において、
前記シート材の一方の面をガイドするガイド部材と、
前記シート材の厚みに応じて変位可能な状態で該シート材を前記ガイド部材に押し当てる非回転構成の押し当て部材と、を備え、
前記センサは、前記シート材の厚みに応じて変位する前記押し当て部材の変位量を磁気的に又は電気的に検出することを特徴とするシート材異常検出装置。
【請求項１５】
請求項１４のシート材異常検出装置において、
前記センサは、前記ガイド部材に対する前記押し当て部材の変位によって透磁率が変化する空間を通過するように磁気回路を形成するコイルと、そのコイルのインダクタンスによって発振周波数が変化する発振回路とを有し、その発振回路の発振周波数に対応する信号を出力することを特徴とするシート材異常検出装置。
【請求項１６】
請求項１４又は１５のシート材異常検出装置において、
前記押し当て部材は、前記複数のセンサそれぞれに対応するように前記幅方向について複数に分割されていることを特徴とするシート材異常検出装置。
【請求項１７】
請求項１６のシート材異常検出装置において、
前記センサは、前記シート材の幅方向における両端部及び中央部の３箇所それぞれに対応するように３つ設けられ、
前記押し当て部材は、前記３つのセンサそれぞれに対応するように前記幅方向について３分割されていることを特徴とするシート材異常検出装置。
【請求項１８】
請求項１乃至１２のいずれかのシート材厚み検出装置又は請求項１３乃至１７のいずれかのシート材異常検出装置を備えたことを特徴とするシート材供給装置。
【請求項１９】
請求項１乃至１２のいずれかのシート材厚み検出装置又は請求項１３乃至１７のいずれかのシート材異常検出装置と、前記シート材に画像を形成する画像形成手段と、を備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２０】
画像形成対象の第一シート材を供給する第一シート供給手段と、形成対象の画像を含む第二シート材を供給する第二シート供給手段と、前記第二シート供給手段で供給された前記第二シート材の画像を読み取る画像読取手段と、前記画像読取手段で読み取った画像に基づいて前記第一シート材に画像を形成する画像形成手段と、を備え、
前記第二シート供給手段として、請求項１８のシート材供給装置を用いることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月7日(2018.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定電圧発生回路と、
前記定電圧発生回路の定電圧によって駆動されて、前記定電圧発生回路を制御する定電圧制御回路と、
前記定電圧発生回路が停止されている場合に、初期化信号に対応して前記定電圧発生回路を作動する制御信号を出力する起動回路と、
を備えることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記定電圧発生回路の定電圧によって駆動される発振回路を備え、
前記定電圧発生回路は、前記定電圧を、第１電圧と、前記第１電圧よりも高い第２電圧とに切り換え可能に構成され、前記起動回路から制御信号が入力されると、前記第２電圧とし、所定時間経過後に前記第１電圧とする
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の半導体装置を備えることを特徴とする電子時計。
【請求項４】
請求項３に記載の電子時計において、
前記起動回路に前記初期化信号を出力する初期化信号出力部を備える
ことを特徴とする電子時計。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月23日(2018.7.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器の内部に配置され減圧された内側にプラズマが形成される処理室と、
この処理室内に配置され前記プラズマにより処理されるウエハが載せられる試料台と、
前記処理室内に前記プラズマを形成するために供給される電界を形成する手段と、
前記処理室の外周でこれを囲んで配置され前記真空容器に熱的に接続された前記プラズ
マを形成するための磁界を形成する磁石と、
この磁石の温度を調節する調節器と、
を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマ処理装置であって、
前記磁石が前記真空容器に配置され当該真空容器に接続されて前記ウエハが内側を搬送
される搬送路の開口より下方または前記処理室内の試料台の上面より下方で当該処理室を
囲んで配置されたことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のプラズマ処理装置であって、
前記処理室の上方または側方の周囲を囲んで配置され前記プラズマを形成するための磁
界を形成する別の磁石を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載のプラズマ処理装置であって、
前記電界がマイクロ波のものであることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項５】
真空容器の内部に配置され減圧された内側にプラズマが形成される処理室と、
前記処理室内に配置され前記プラズマにより処理される被処理基板が載せられる試料台
と、
前記処理室内に前記プラズマを形成するために供給される電界を形成する手段と、
前記処理室の外周を囲むように前記処理室に一体化して配置された電磁石と、
を有することを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載のプラズマ処理装置であって、
前記電磁石を構成するコイルの抵抗値を用いて前記処理室の温度を調節する調節器を更に有することを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載のプラズマ処理装置であって、
前記電磁石は、前記試料台の上面より下方に配置されることを特徴とするプラズマ処理
装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月28日(2018.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
半導体基板ＳＵＢは、たとえばシリコン（Ｓｉ）の単結晶からなる基板ＳＢと、基板ＳＢにｐ型不純物が注入されることによって主表面Ｓ１から所定の深さにまで形成されたｐ型ウェルＰＷとを含んでいる。半導体基板ＳＵＢの主表面Ｓ１には、各メモリセル毎に１つのメモリソース領域ＭＳが形成されている。ゲート電極構造体は、第１ゲート絶縁膜ＧＩ１、フローティングゲート電極ＦＧ、第２ゲート絶縁膜ＧＩ２、コントロールゲート電極ＣＧ、ハードマスク層ＨＭ、側壁ゲート絶縁膜ＧＩ３，ＧＩ４、およびトンネル絶縁膜ＴＦを有している。１対のゲート電極構造体は、メモリソース領域ＭＳを挟んで主表面Ｓ１上に配置された２つの上記ゲート電極構造体により構成されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
このとき、感光体膜ＰＳＦが塗布膜ＬＱＦと同一材料で構成されており、周辺領域ＰＲに形成されている塗布膜ＬＱＦと感光体膜ＰＳＦとの合計の膜厚はメモリセル形成領域ＭＣＲに形成されている塗布膜ＬＱＦの膜厚よりも厚い。そのため、メモリセル形成領域ＭＣＲにおいて塗布膜ＬＱＦおよびポリシリコン膜ＧＰが上記のようにエッチバック処理されるときに、周辺領域ＰＲにおいては塗布膜ＬＱＦおよび感光体膜ＰＳＦが主にエッチングされる。これにより、図１１に示されるように、周辺領域ＰＲに形成されたポリシリコン膜ＧＰに対するエッチングを抑制することができ、たとえば周辺領域ＰＲにおいてはポリシリコン膜ＧＰの一部のみがエッチバック処理され得る。なお、感光体膜ＰＳＦの膜厚、プラズマエッチング処理の条件などを適宜選択することにより、周辺領域ＰＲに形成されたポリシリコン膜ＧＰがエッチバック処理されることを完全に防止することもできる。周辺領域ＰＲに形成されたポリシリコン膜ＧＰは、たとえば後述するゲート電極ＧＥ（図１３参照）として必要な膜厚未満にエッチングされることが抑制されていればよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
次に、図１２に示されるように、メモリセル形成領域ＭＣＲおよび周辺領域ＰＲにおいて残存している塗布膜ＬＱＦおよび感光体膜ＰＳＦを選択的に除去する。塗布膜ＬＱＦおよび感光体膜ＰＳＦは、たとえばウエットエッチング処理により除去される。ウエットエッチング処理の条件は、塗布膜ＬＱＦおよび感光体膜ＰＳＦのエッチングレートが第１段差部ＯＨ１およびポリシリコン膜ＧＰのエッチングレートよりも速い条件である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
その後、上記のようにして平坦化されたポリシリコン膜ＧＰが加工される。具体的には、メモリセル形成領域ＭＣＲにおいてメモリドレイン領域ＭＤ（図１３参照）となるべき領域および周辺領域ＰＲにおいてソース領域ＳＲ（図１３参照）およびドレイン領域ＤＲ（図１３参照）となるべき領域上に位置するポリシリコン膜ＧＰが除去される。その後、半導体基板ＳＵＢの主表面Ｓ１側からポリシリコン膜ＧＰ等をマスクとして不純物をイオン注入する。これにより、メモリセル形成領域ＭＣＴにいわゆるＬＤＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｄｏｐｅｄ  Ｄｒａｉｎ）領域（図１３参照）が形成される。また、周辺領域ＰＲに低濃度ソース領域ＳＲ１および低濃度ドレイン領域ＤＲ１が形成される。その後、選択ゲート電極ＳＧにおいてフローティングゲート電極ＦＧと対向する側壁とは反対側の側壁を覆うように、サイドウォール絶縁膜ＳＷ（図１３参照）が形成される。また、ゲート電極ＧＥの側壁を覆うように、サイドウォール絶縁膜ＳＷ（図１３参照）が形成される。サイドウォール絶縁膜ＳＷは、たとえばシリコン酸化膜、シリコン窒化膜などの単体、またはこれらの任意の組み合わせからなっている。さらに、半導体基板ＳＵＢの主表面Ｓ１側からサイドウォール絶縁膜ＳＷ等をマスクとして不純物をイオン注入する。これにより、メモリセル形成領域ＭＣＴにおいてＬＤＤ領域よりも高い不純物濃度を有するメモリドレイン領域ＭＤ（図１３参照）が形成される。さらに、周辺領域ＰＲにおいて低濃度ソース領域ＳＲ１の不純物濃度よりも高い高濃度ソース領域ＳＲ２（図１３参照）、および低濃度ドレイン領域ＤＲ１の不純物濃度よりも高い高濃度ドレイン領域ＤＲ２（図１３参照）が形成される。このようにして、図１３に示されるように、メモリセル形成領域ＭＣＲおよび周辺領域ＰＲにおいて半導体装置の主要部分が形成される。なお、実施の形態１に係る半導体装置の製造方法は、上記具体例に示されるようにフラッシュメモリを備える半導体装置の製造方法に好適であるが、第１領域Ｒ１および第２領域Ｒ２を備える任意の半導体装置の製造方法にも好適である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
次に、図１６に示されるように、半導体基板ＳＵＢの主表面Ｓ１上に塗布膜ＬＱＦが形成される。塗布膜ＬＱＦは、基本的には実施の形態１と同様の構成を備えるが、感光体膜ＰＳＦの開口部内に表出している第１領域Ｒ１および第２領域Ｒ２の一部上で平坦化されている点で異なっている。塗布膜ＬＱＦの上面Ｓ４は、第２領域Ｒ２に形成されている段差部ＯＨ２上において平坦に形成されている。