【手続補正書】
【提出日】平成30年1月18日(2018.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）下記一般式（１）で示される繰り返し単位を有し、重量平均分子量が３，０００〜５００，０００のものであるシロキサン鎖を有する高分子化合物、
（Ｂ）光により酸を発生しアルカリ水溶液に対する溶解速度が増大する感光材、
（Ｃ）ホルムアルデヒド又はホルムアルデヒド−アルコールにより変性されたアミノ縮合物、１分子中に平均して２個以上のメチロール基又はアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物、多価フェノールの水酸基の水素原子をグリシジル基に置換した化合物、多価フェノールの水素原子を下記式（Ｃ−１）で示される置換基に置換した化合物、及び下記式（Ｃ−２）で示されるグリシジル基を有した窒素原子を２つ以上含有した化合物から選ばれる１種又は２種以上の架橋剤、及び
（Ｄ）溶剤、
を含有するものであることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】
2017156685.tif 000001
（式中、Ｒ１〜Ｒ４はそれぞれ異なっていても同一でもよい炭素数１〜１５の１価の有機基を示し、酸素原子を含んでいてもよい。Ｒ１８、Ｒ１９はそれぞれ異なっていても同一でもよい炭素数１〜２８の１価の有機基を示し、酸素原子を含んでいてもよい。ｍは１〜１００の整数、ｏは０〜１００の整数である。ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、及びｊは０又は正数である。ただし、ｇ及びｈが０の場合、ｉ及びｊは正数であり、また、ｉ及びｊが０の場合、ｇ及びｈは正数である。また、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＋ｆ＋ｇ＋ｈ＋ｉ＋ｊ＝１である。さらに、Ｘは下記一般式（２）又は下記一般式（３）で示される２価の有機基であり、Ｙは下記一般式（４）で示される２価の有機基であり、Ｗは下記一般式（５）で示される２価の有機基であり、Ｕは下記一般式（６）で示される２価の有機基であり、Ｓは下記一般式（７）で示される２価の有機基である。）
【化２】
2017156685.tif 000002
【化３】
2017156685.tif 000003
（式中、Ｚは
【化４】
2017156685.tif 000004
のいずれかより選ばれる２価の有機基であり、点線は結合を表し、ｎは０又は１である。Ｒ５及びＲ６はそれぞれ炭素数１〜４のアルキル基又はアルコキシ基であり、相互に異なっていても同一でもよい。ｘは０、１、及び２のいずれかである。）
【化５】
2017156685.tif 000005
（式中、Ｖは
【化６】
2017156685.tif 000006
のいずれかより選ばれる２価の有機基であり、点線は結合を表し、ｐは０又は１である。Ｒ７及びＲ８はそれぞれ炭素数１〜４のアルキル基又はアルコキシ基であり、相互に異なっていても同一でもよい。ｙは０、１、及び２のいずれかである。）
【化７】
2017156685.tif 000007
（式中、点線は結合を表し、Ｔは炭素数１〜１０のアルキレン基又は２価の芳香族基を示し、Ｒ９は水素原子又はメチル基を示す。）
【化８】
2017156685.tif 000008
（式中、点線は結合を表し、Ｔ及びＲ９は上記と同様であり、Ｒ１０は１価のカルボキシル基含有有機基を示す。）
【化９】
2017156685.tif 000009
【化１０】
2017156685.tif 000010
（式中、点線は結合を示し、Ｒｃは炭素数１〜６の直鎖状、分岐状、又は環状のアルキル基を示し、ｓは１又は２を表す。）
【請求項２】
前記一般式（６）中のＲ１０が、下記一般式（８）で示される１価のカルボキシル基含有有機基であることを特徴とする請求項１に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化１１】
2017156685.tif 000011
（式中、点線は結合を表し、Ｒ１１〜Ｒ１４はそれぞれ異なっていても同一でもよい置換基であって、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜１２の直鎖状、分岐状、環状のアルキル基、芳香族基を示し、Ｒ１１とＲ１３、Ｒ１２とＲ１４は連結して炭素数１〜１２の置換もしくは無置換の環状構造を形成してもよい。ｋは１〜７のいずれかである。）
【請求項３】
前記一般式（１）中のａが０≦ａ≦０．５であり、ｂが０≦ｂ≦０．３であり、ｃが０≦ｃ≦０．５であり、ｄが０≦ｄ≦０．３であり、ｅが０≦ｅ≦０．８であり、ｆが０≦ｆ≦０．５であり、ｇが０≦ｇ≦０．８であり、かつｈが０≦ｈ≦０．５であり、ｉが０≦ｉ≦０．８であり、かつｊが０≦ｊ≦０．５であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記一般式（１）中のａがａ＝０であり、ｂがｂ＝０であり、ｃがｃ＝０であり、ｄがｄ＝０であり、ｅが０≦ｅ≦０．３であり、ｆが０≦ｆ≦０．２であり、ｇが０≦ｇ≦０．８であり、かつｈが０≦ｈ≦０．５であり、ｉが０≦ｉ≦０．８であり、かつｊが０≦ｊ≦０．５であることを特徴とする請求項３に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記一般式（１）中のｏが１〜１００の整数であり、Ｒ１〜Ｒ４は同一でも異なっていてもよい炭素数１〜８の１価炭化水素基であり、Ｒ１８は下記一般式（２７）で示される水酸基もしくはアルコキシ基を含有するフェニル置換基であり、Ｒ１９はＲ１〜Ｒ４と同一でも異なっていてもよく酸素原子を含んでいてもよい炭素数１〜１０の１価の有機基、又はＲ１８と同一でも異なっていてもよい下記一般式（２７）で示される水酸基もしくはアルコキシ基を含有するフェニル置換基であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化１２】
2017156685.tif 000012
（式中、ｒは０〜１０の整数であり、Ｒ２０は水酸基もしくは炭素数１〜１２の直鎖状、分岐状又は環状のアルコキシ基である。）
【請求項６】
前記一般式（２７）で示されるフェニル置換基が、下記式（２８）の中から選ばれる１種又は２種以上の基であることを特徴とする請求項５に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化１３】
2017156685.tif 000013
（式中、波線を伴う直線は結合手を示す。）
【請求項７】
膜厚１０〜１００μｍである光硬化性樹脂層が、支持フィルム及び保護フィルムで挟まれた構造を有する光硬化性ドライフィルムであって、前記光硬化性樹脂層が請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物からなるものであることを特徴とする光硬化性ドライフィルム。
【請求項８】
（Ｉ）請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物を支持フィルム上に連続的に塗布し、光硬化性樹脂層を形成する工程、
（ＩＩ）前記光硬化性樹脂層を連続的に乾燥させる工程、
（ＩＩＩ）さらに、前記光硬化性樹脂層上に保護フィルムを貼り合わせる工程、
を含むことを特徴とする光硬化性ドライフィルムの製造方法。
【請求項９】
（１）請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のポジ型感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、感光材皮膜を形成する工程、
（２）次いで加熱処理後、フォトマスクを介して波長１９０〜５００ｎｍの高エネルギー線又は電子線で感光材皮膜を露光する工程、
（３）加熱処理した後、現像液を用いて現像する工程、
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項１０】
（ｉ）請求項７に記載の光硬化性ドライフィルムから前記保護フィルムを剥離することにより露出した光硬化性樹脂層を基板に密着させる工程、
（ｉｉ）前記支持フィルムを介して又は前記支持フィルムを剥離した状態で、フォトマスクを介して光硬化性樹脂層を波長１９０〜５００ｎｍの高エネルギー線又は電子線で露光する工程、
（ｉｉｉ）露光後の加熱処理を行う工程、
（ｉｖ）現像液にて現像する工程、
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項１１】
前記現像工程の後に、前記現像によりパターン化された皮膜を、温度１００〜２５０℃において後硬化する工程を含むことを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載のパターン形成方法。
【請求項１２】
前記基板が、開口幅が１０〜１００μｍであり、かつ、深さが１０〜１２０μｍである溝及び孔のいずれか又は両方を有する基板であることを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載のパターン形成方法。
【請求項１３】
開口幅が１０〜１００μｍであり、かつ、深さが１０〜１２０μｍである溝及び孔のいずれか又は両方を有する基板に請求項７に記載の光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層が積層されてなるものであることを特徴とする積層体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
このとき、前記一般式（６）中のＲ１０が、下記一般式（８）で示される１価のカルボキシル基含有有機基であることが好ましい。
【化１１】
2017156685.tif 000014
（式中、点線は結合を表し、Ｒ１１〜Ｒ１４はそれぞれ異なっていても同一でもよい置換基であって、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜１２の直鎖状、分岐状、環状のアルキル基、芳香族基を示し、Ｒ１１とＲ１３、Ｒ１２とＲ１４は連結して炭素数１〜１２の置換もしくは無置換の環状構造を形成してもよい。ｋは１〜７のいずれかである。）
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
また、上記一般式（６）中のＲ１０は、下記一般式（８）で示される１価のカルボキシル基含有有機基であることが好ましい。
【化３１】
2017156685.tif 000015
（式中、点線は結合を表し、Ｒ１１〜Ｒ１４はそれぞれ異なっていても同一でもよい置換基であって、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜１２の直鎖状、分岐状、環状のアルキル基、芳香族基を示し、Ｒ１１とＲ１３、Ｒ１２とＲ１４は連結して炭素数１〜１２の置換もしくは無置換の環状構造を形成してもよい。ｋは１〜７のいずれかである。）
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
このようにして導入されたカルボン酸は、上記一般式（１）中のＵのユニットとして示され、Ｕは上記一般式（６）として示される。さらに上記一般式（６）中のＲ１０は下記一般式（８）として示すことができる。
【化５９】
2017156685.tif 000016
（式中、点線は結合を表し、Ｒ１１〜Ｒ１４はそれぞれ異なっていても同一でもよい置換基であって、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜１２の直鎖状、分岐状、環状のアルキル基、芳香族基を示し、Ｒ１１とＲ１３、Ｒ１２とＲ１４は連結して炭素数１〜１２の置換もしくは無置換の環状構造を形成してもよい。ｋは１〜７のいずれかである。）