(57)【要約】  射出成形されたばかりのディスク基板の冷却が効率良く行なわれると共に、限られた冷却空間内に多数のディスク基板を収容することができる光ディスクの冷風冷却装置を提供すること。  ディスク基板を起立した状態で移送する移送手段を有する光ディスクの冷風冷却装置４であって、該移送手段は、ディスク基板を複数点で支持して載置するための同期回転駆動される複数本の送り螺子軸を備えており、該送り螺子軸に形成された螺子のピッチが軸方向の位置によって異なっている光ディスクの冷風冷却装置。【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク基板を起立した状態で移送する移送手段を有する光ディスクの冷風冷却装置であって、
該移送手段は、ディスク基板を複数点で支持して載置するための同期回転駆動される複数本の送り螺子軸を備えており、
該送り螺子軸に形成された螺子のピッチが軸方向の位置によって異なっていることを特徴とする光ディスクの冷風冷却装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、
前記送り螺子軸は、
ディスク基板が搬入される側に位置する第１領域部と、
ディスク基板が搬出される側に位置する第２領域部と、
を有しており、
第１領域部に形成された螺子のピッチは、第２領域部に形成された螺子のピッチより大きいことを特徴とする光ディスクの冷風冷却装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、
前記第１領域部と第２領域部との間に、第１領域部から第２領域部にかけて徐々にピッチが小さくなる中間領域部が設けられていることを特徴とする光ディスクの冷風冷却装置。
【請求項４】
請求項２に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、
前記第１領域部は第２領域部より長いことを特徴とする光ディスクの冷風冷却装置。
【請求項５】
請求項１に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、
前記起立した状態のディスク基板に向かって上方から冷風を吹き付ける冷風吹付け手段を有していることを特徴とする光ディスクの冷風冷却装置。
【請求項６】
請求項１に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、
前記起立した状態のディスク基板を覆うための空調室を備え、
該空調室内に冷風を供給するための冷風供給手段を有していることを特徴とする光ディスクの冷風冷却装置。
【請求項７】
請求項１に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、
ディスク基板を支持するのは３点であって、そのうち一点が隣接するディスク基板の支持のために共用化されていることを特徴とする光ディスクの冷風冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスクの冷風冷却装置に関し、更に詳しくは、合成樹脂材等を使用して成形されたディスク基板を効率的に冷却するために、ディスク基板を起立した状態で移送する移送手段を備えた光ディスクの冷風冷却装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光ディスクの製造装置において、ディスク基板は，例えば射出成形を使って合成樹脂等の材料により成形されている。
そして、成形直後のディスク基板はまだ温度が高い状態（例えば８０℃程度）にあり、ディスク基板自体には反りが生じている。
このようなディスク基板は、次工程に移送する前に空調室を有する冷却装置によって所定温度（例えば２３℃程度）に冷却される。
この冷却装置においてディスク基板は、一定温度に保たれた空調室（冷風によって冷却されている）の中を移送手段の上に載せられ移送される。
そして、ディスク基板は空調室内で所定温度まで所定時間冷却され、反りは解消されることとなる。【０００３】
冷風冷却装置に設けられたディスク基板を移送する移送手段には、一定ピッチで螺子山が形成された複数のボールスクリューを用いたものが知られている（特許文献１参照）。
すなわち、この移送装置は、ボールスクリューの螺子溝にディスク基板が挿入され、ボールスクリューの回転に伴ってディスク基板が起立した状態で移送される構造である。【０００４】
この場合、相隣接するディスク基板同士の間隔は、ディスク基板を効率良く冷却することができるように、冷風を円滑に通過することができる程度に一定幅に広げられている。
【特許文献１】特開２００２−９２９６７号公報（段落００２３、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような光ディスクの冷風冷却装置では、ディスク基板同士の間隔を一定ピッチで統一して広げているために、多数のディスク基板を空調室内に収容して冷却するには、ディスク基板を支持するボールスクリューの長さを延長する必要がある。
しかしボールスクリューの長さが増すと、それに応じて空調室も大きくなり、より広い床面積が必要になるというスペース上の難点があった。【０００６】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、射出成形されたばかりのディスク基板の冷却が効率良く行なわれると共に、限られた冷却空間内に多数のディスク基板を収容することができる光ディスクの冷風冷却装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、このような課題背景に対して鋭意研究を重ねた結果、送り螺子軸のピッチを軸方向の位置によって異なるようにすることにより、上記の諸問題を解決することができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させたものである。【０００８】
すなわち、本発明は、（１）、ディスク基板を起立した状態で移送する移送手段を有する光ディスクの冷風冷却装置であって、該移送手段は、ディスク基板を複数点で支持して載置するための同期回転駆動される複数本の送り螺子軸を備えており、該送り螺子軸に形成された螺子のピッチが軸方向の位置によって異なっている光ディスクの冷風冷却装置に存する。【０００９】
また、本発明は、（２）、上記（１）に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、前記送り螺子軸は、ディスク基板が搬入される側に位置する第１領域部と、ディスク基板が搬出される側に位置する第２領域部と、を有しており、第１領域部に形成された螺子のピッチは、第２領域部に形成された螺子のピッチより大きい光ディスクの冷風冷却装置に存する。【００１０】
また、本発明は、（３）、上記（２）に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、前記第１領域部と第２領域部との間に、第１領域部から第２領域部にかけて徐々にピッチが小さくなる中間領域部が設けられている光ディスクの冷風冷却装置に存する。【００１１】
また、本発明は、（４）、上記（２）に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、前記第１領域部は第２領域部より長い光ディスクの冷風冷却装置に存する。【００１２】
また、本発明は、（５）、上記（１）に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、前記起立した状態のディスク基板に向かって上方から冷風を吹き付ける冷風吹付け手段を有している光ディスクの冷風冷却装置に存する。【００１３】
また、本発明は、（６）、上記（１）に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、前記起立した状態のディスク基板を覆うための空調室を備え、該空調室内に冷風を供給するための冷風供給手段を有している光ディスクの冷風冷却装置に存する。【００１４】
また、本発明は、（７）、上記（１）に記載の光ディスクの冷風冷却装置において、ディスク基板を支持するのは３点であって、そのうち一点が隣接するディスク基板の支持のために共用化されている光ディスクの冷風冷却装置に存する。【００１５】
本発明は、この目的に沿ったものであれば、上記（１）から（７）の中から選ばれた２つ以上を組み合わせた構成も採用可能である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、冷風冷却装置に供給されたディスク基板は、同期回転駆動される複数本の送り螺子軸を備えた移送手段に起立状態で支持されながら移送され、その過程で冷却されるが、送り螺子軸に形成された螺子のピッチが軸方向の位置によって異なっているので、ディスク基板の反りが大きい搬入側のピッチを大きくし、ディスク基板の反りが小さい搬出側のピッチを小さくすることにより、一定の長さの送り螺子軸でより多くのディスク基板を収容することができる。【００１７】
また、送り螺子軸は、ディスク基板が搬入される側の第１領域部と、ディスク基板が搬出される側の第２領域部と、を有しており、第１領域部に形成された螺子のピッチは、第２領域部に形成された螺子のピッチより大きくされている。
更に、第１領域部と第２領域部との間に、第１領域部から第２領域部にかけて徐々にピッチが小さくなる中間領域部が形成されている。【００１８】
そのため、起立状態で支持されたディスク基板は、第１領域部ではピッチが大きいため、相互間で熱影響を及ぼし合うことが少ない上、相互の基板同士の接触も生じなく、また冷風が通過し易くなり冷却を促進することができる。
一方、第２領域部ではピッチが小さいため、ディスク基板の送り速度の低下に伴って滞留時間が長くなり、反りが小さくなった又は解消されたディスク基板の冷却化を促進することができる。
しかも、この領域では密度を高くディスク基板を支持することができるために、収容量を大きくすることができる。【００１９】
また、第１領域部から第２領域部にかけて徐々にピッチが小さくなる中間領域部が設けられているため、搬送中のディスク基板が急激に速度を落とするようなことがなく、送り螺子軸に接地する部分への負荷を少なくすることができる。【００２０】
そして、第１領域部の螺子のピッチに合わせて全体を一定のピッチとしないため、むやみに空調室の長さを大きくする必要がなくなり、限られた冷却空間内に多数のディスク基板を収容することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面に基づき、本発明の光ディスクの冷風冷却装置の好適な実施の形態を説明する。
図１は、光ディスクの冷風冷却装置を含む光ディスク製造装置の概略を示している。
この光ディスク製造装置１は、ディスク基板２を射出成形するための射出成形機３Ａ，３Ｂと、射出成形されたディスク基板２を所定温度まで冷却するための冷風冷却装置４とを備えている。【００２２】
また光ディスク製造装置１は、冷風冷却装置４から移載装置１７によって搬送コンベア５上に移載されたディスク基板２に対して反射膜を形成するためのスパッタリング装置６と、反射膜が形成されたディスク基板２を搬送コンベア５上から取り出したり或いは搬送コンベア５上に移載するための移載装置７と、を備えている。
更に光ディスク製造装置１は、移載装置７により搬送コンベア５上から取り出されたディスク基板２を一定時間ストックしておくためのストッカー８と、搬送コンベア５上からディスク基板２を取り出すための移載装置９と、この移載装置９により移載されたディスク基板２を二枚一組で貼り合わせるための貼合わせ装置１０とを備えている。【００２３】
ここで射出成形機３Ａと射出成型機３Ｂとは、相互に間隔をおいて並設されており、２機の射出成形機３Ａ，３Ｂにより各ディスク基板２が成形される。
冷風冷却装置４には、ディスク基板２を起立した状態で移送する移送手段であるクーリングコンベア１１Ａ，１１Ｂが設けられている。
射出成形機３Ａと射出成形機３Ｂとの間の、クーリングコンベア１１Ａ，１１Ｂのディスク基板２が搬入される側には、成形されたディスク基板２を供給するための移載装置１２Ａ，１２Ｂが設けられている。【００２４】
次に、図２を用いて冷風冷却装置４の詳細について説明する。
冷風冷却装置４には、ディスク基板２の搬送方向に沿ってクーリングコンベア１１Ａ全体を囲繞する空調室が形成されている。
そのため、冷気を外部に拡散せず効果的にディスク基板２を冷却することができる。
なお、空調室は、内部の状態が十分確認できるように、透明性のある風洞構造とすることが好ましい。【００２５】
空調室上部には、その内部に冷風を供給するための冷風供給手段であるダクトＤｉｎが設けられている。
これにより、クーリングコンベア１１Ａに載置されたディスク基板２は一定温度（例えば２０〜２５℃）にまで冷却される。
このダクトＤｉｎには、図示しない冷却装置からブロワーにより冷気Ｒが送り込まれる。【００２６】
ダクトＤｉｎから流入した冷気Ｒは、冷風冷却装置４の上壁部で拡散され、冷風吹付け手段である吹出し口Ｎから空調室内に供給される。
そのため起立した状態のディスク基板２に向かって上方から冷風が吹き付けられる。
そして空調室内でディスク基板２を移送させながら所定時間滞留させることで、ディスク基板２を所望の温度（例えば２３℃程度）に冷却することができる。
ディスク基板２を通過した冷気Ｒは、冷風冷却装置４の側面の下側に設けられた排出部Ｄｏｕｔから排出される。
なお、冷風冷却装置４の下端には、高さ調整用の脚部１８が複数設けられている。【００２７】
次に、図３ないし図５を用いて冷風冷却装置４について更に詳細に説明する。
図３は、冷風冷却装置４のクーリングコンベア１１Ａ付近の正面図である。
なお、この冷風冷却装置４は、ディスク基板の流れが２列流れである。【００２８】
図４は図３の平面図であり、図５は図４のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
クーリングコンベア１１Ａは、３本の左リードの送り螺子軸１３Ａ〜１３Ｃを備えている。
同様に、クーリングコンベア１１Ｂは、３本の右リードの送り螺子軸１４Ａ〜１４Ｃを備えている。
この送り螺子軸１３Ａ〜１３Ｃ，１４Ａ〜１４Ｃは、前後に立設配置された側板１５，１６に、図示しない軸受を介して回転自在に軸支されている。【００２９】
そして、側板１５に挿通され突出した送り螺子軸１３Ａ，１３Ｃの左端には、プーリＰ２，Ｐ３が装着されている。
原動機であるモーターＭ１の出力軸に固定されたプーリＰ１には、タイミングベルトＢが係合され、このタイミングベルトＢは更に、テンションプーリＰ４によりテンションを調整されながら、プーリＰ２，Ｐ３に係合されている。【００３０】
また、側板１６に挿通され突出した送り螺子軸１３Ｂ，１３Ｃの右端にはプーリが装着され、このプーリには、タイミングベルトＢがテンションプーリによりテンションを調整されながら係合されている。
そして、モーターＭ１が回転すると、タイミングベルトＢを介して３本の送り螺子軸１３Ａ〜１３Ｃが、モーターＭ１の回転に同期して回転する。【００３１】
一方、側板１６に挿通され突出した送り螺子軸１４Ａ，１４Ｃの右端には、送り螺子軸１３Ａ，１３Ｃの左端と同様にプーリが装着されている。
原動機であるモーターＭ２の出力軸に固定されたプーリには、タイミングベルトＢが係合され、このタイミングベルトＢはテンションプーリによりテンションを調整されながら、送り螺子軸１４Ｃの右端に取り付けられたプーリに係合されている。【００３２】
また、側板１５に挿通され突出した送り螺子軸１４Ｂ，１４Ｃの左端には、それぞれプーリＰ５，Ｐ６が設けられている。
そして、タイミングベルトＢがテンションプーリＰ７によりテンションを調整されながら、プーリＰ５，Ｐ６に係合されている。
そして、モーターＭ２が回転すると、タイミングベルトＢを介して３本の送り螺子軸１４Ａ〜１４Ｃが、モーターＭ２の回転に同期して回転する。【００３３】
クーリングコンベア１１Ａ側のディスク基板２は、その両側の外周端を送り螺子軸１３Ａと送り螺子軸１３Ｂの螺子溝で挟まれて支持され、また下端位置の外周端を送り螺子軸１３Ｃの螺子溝に置かれて支持されている。
そのため、ディスク基板２は、３点で送り螺子軸に接地した状態で支持し載置するために、起立した状態に維持される。
なお、図３に示すように、送り螺子軸１３Ａ〜１３Ｃ，送り螺子軸１４Ａ〜１４Ｃは、第１領域部Ｓ１と第２領域部Ｓ２と中間領域部Ｓ３とに分けられているが、その詳細については、図６を用いて以下に説明する。【００３４】
図６に示すように、送り螺子軸１３Ａは、ディスク基板２の搬入される側である第１領域部Ｓ１（例えば長さ５００ｍｍ）と、ディスク基板２の搬出される側である第２領域部Ｓ２（例えば長さ３００ｍｍ）と、第１領域部Ｓ１と第２領域部Ｓ２との間に設けられた中間領域部Ｓ３（例えば長さ１００ｍｍ）とを有している。【００３５】
そして、第１領域部Ｓ１に形成された螺子のピッチＰＴ１（例えば６ｍｍ）は、第２領域部Ｓ２に形成された螺子のピッチＰＴ２（例えば４ｍｍ）より大きく設定されている。
また中間領域部Ｓ３に形成される螺子のピッチは、第１領域部Ｓ１側から第２領域部Ｓ２側にかけて徐々にピッチが小さくなるように、すなわち具体的には、ピッチがＰＴ１〜ＰＴ２の範囲で漸次縮小するように設定されている。【００３６】
そしてディスク基板２は、送り螺子軸の２つの螺子山の間に嵌まり込んで支持されながら、送り螺子軸１３Ａの回転と共に図中矢印方向に移送される。【００３７】
本発明の冷風冷却装置では、小さいピッチＰＴ２の第２領域部Ｓ２を有するために、収容するディスク基板数を多く確保できる。
因みに、射出成形後の初期の段階では、保有熱によるディスク基板２の反りが解消されていないため相互のディスク基板間隔を広めにした方が好ましい。
ディスク基板２が比較的高温な状態（例えば８０℃前後）である第１領域部Ｓ１において、ディスク基板同士の間隔が広くなるために、基板相互間の熱影響を極力少なくすることができる。
また、基板同士の接触を防止することができる上、当然、ディスク基板間に冷風を十分に供給することができ、効果的なディスク基板２の冷却ができる。【００３８】
そして、第１領域部Ｓ１における螺子の大きいピッチＰＴ１に合わせて全体のピッチを統一するようなことはしないので、空調室を大きくする必要がなくなり、限られた冷却空間内に多数のディスク基板２をコンパクトに効率よく収容することができる。【００３９】
次に、図１を用いて冷風冷却装置４の作用について説明する。
先ず、モーターＭ１，Ｍ２（図３記載）が起動することにより、冷風冷却装置４の空調室内のクーリングコンベア１１Ａ，１１Ｂに載置されたディスク基板２は移送可能な状態にされる。        
すなわち、クーリングコンベア１１Ａ，１１Ｂを構成する３本の送り螺子軸１３Ａ〜１３Ｃ，送り螺子軸１４Ａ〜１４Ｃ（図４記載）がそれぞれ一定回転数で同期して回転される。【００４０】
次いで、射出成形機３Ａにより射出成形されたディスク基板２が、移載装置１２Ａ，１２Ｂによりクーリングコンベア１１Ａ，１１Ｂの第１領域部Ｓ１（図６参照）側に供給される。
クーリングコンベア１１Ａ，１１Ｂを構成する３本の送り螺子軸１３Ａ〜１３Ｃ，送り螺子軸１４Ａ〜１４Ｃの第１領域部Ｓ１側に供給されたディスク基板２は、ピッチＰＴ１の螺子溝に嵌まり込んで３点で支持されながら、第２領域部Ｓ２側に移送される。
この移送中に空調室内にダクトＤ（図２参照）を介して供給された冷気Ｒにより、射出成形されたばかりのディスク基板２が冷却される。【００４１】
ここで空調室内を起立状態で移送するディスク基板２は、搬入側の領域では広いピッチＰＴ１を有する送り螺子軸により移送される。
すなわち、この部分では密度が低い状態でディスク基板２を移送することができる。
そのために、空調室上部のダクトＤから吹出し口Ｎを介してディスク基板２へ向けて吹き付ける冷気Ｒが、十分に相互に隣接するディスク基板間を通過し、比較的高い温度を有するディスク基板２を効率良く冷却することができる。【００４２】
また、ピッチＰＴ１が広いため基板相互間の熱影響も少なく、基板同士が接触するようなこともない。
ディスク基板２が中間領域部Ｓ３を経て第２領域部Ｓ２に至ると、送り螺子軸のピッチＰＴ２が小さくなっているために送り速度が低下して滞留時間が長くなる。
この部分ではディスク基板２は密度高く収容することができる。【００４３】
この第２領域部Ｓ２、すなわち搬出側の領域では、ディスク基板２がほぼ所定温度（例えば２３℃程度）に冷却されているために、基板相互間の熱影響は心配なく、ディスク基板２の反りもほぼ収束し解消されているために基板同士が接触するようなこともない。
以上、第２領域部Ｓ２では、第１領域部Ｓ１のような広いピッチＰＴ１とせずにそれより小さいピッチＰＴ２としたため、結果的に、全体から見て空調室を延長することなく、冷却容量（冷却されるディスク基板２の数）を増大することができる。【００４４】
ところで先述したように、送り螺子軸には、第１領域部Ｓ１から第２領域部Ｓ２にかけて徐々にピッチが小さくなる中間領域部Ｓ３が設けられている。
そのため移送中のディスク基板２が急に速度を落とすようなことはなく、ディスク基板を支持し載置している３本の送り螺子軸１３Ａ〜１３Ｃ，送り螺子軸１４Ａ〜１４Ｃに対する該基板の接地部分に余計な負荷を与えない。【００４５】
さて冷風冷却装置により所望の温度まで冷却された各ディスク基板２は、搬送コンベア５上に移載されてディスク基板２に反射膜を形成するスパッタリング装置６に移送され、各種工程を経て上述した貼合わせ装置１０に移送される。
以下、必要に応じて検査等の工程が遂行される。【００４６】
〔ディスク基板の流れを多くした例〕
以上説明した冷風冷却装置のディスク基板の流れを多くして４列流れにしたのが、図７に示す冷風冷却装置である。
ここでは、一方のディスク基板２Ａは、３本の送り螺子軸Ｘ、１３Ｙ、１３Ｚにより３点支持されて載置されており、同様にディスク基板２Ｂは３本の送り螺子軸Ｘ、１４Ｙ、１４Ｚにより３点支持されて載置されている。【００４７】
そして、送り螺子軸Ｘは、両ディスク基板２Ａ、２Ｂを支える支持点として共通となっている。
すなわち、ディスク基板を支持するのは３点であるが、そのうち一点が隣接するディスク基板の支持のために共用化されているのである。【００４８】
この図で冷却されるディスク基板は４列流れであることから、図５に示すような支え方をすると送り螺子軸が、１２本必要となる。
しかし、この支持方法を採用すると送り螺子軸は９本で済むこととなり、部品数も少なくなり効率的である。
また、図のように全体をタンミングベルトＢで連結すれば、全体が同期化することが可能であり、その場合は図示しない原動機であるモーターは一つでよい。【００４９】
以上、本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形等が可能である。
例えば送り螺子軸は、３本に限らず４本以上としても良く、要するにディスク基板を支持して移送することができればよい。
また、冷却効率の向上とディスク基板２の収容量とを考慮してピッチの配分を適宜変えた設計を行なっても良い。
また、送り螺子軸を駆動するための駆動手段は、図で説明したもの以外にも種々のものが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、ディスク基板を起立した状態で移送する移送手段を備えた光ディスクの冷風冷却装置に関するものであるが、その原理である送り螺子軸に形成された螺子のピッチが軸方向の位置によって異なっている点を利用する限り、他の分野、例えば、熱変形性を有する板状のワークを冷却する分野等に広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る光ディスクの冷風冷却装置を含む説明図である。
【図２】図２は、図１の冷風冷却装置の内部構造を示す正面図である。
【図３】図３は、図１の冷風冷却装置の内部構造を示す正面図である。
【図４】図４は、図３の冷風冷却装置の平面図である。
【図５】図５は、図４のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図６】図６は、図４の送り螺子軸の詳細を示す説明図である。
【図７】図７は、４列流れの冷風冷却装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  光ディスク製造装置
２，２Ａ，２Ｂ  ディスク基板
３Ａ，３Ｂ  射出成形機
４  冷風冷却装置
５  搬送コンベア
６  スパッタリング装置
７，９，１２Ａ，１２Ｂ，１７  移載装置
８  ストッカー
１０  貼合わせ装置
１１Ａ，１１Ｂ  クーリングコンベア
１３Ａ〜１３Ｃ，１４Ａ〜１４Ｃ  送り螺子軸
１５，１６  側板
１８  脚部
Ｂ  タイミングベルト
Ｄｉｎ  ダクト
Ｄｏｕｔ  排出部
Ｍ１，Ｍ２  モーター
Ｎ  吹出し口
Ｐ１〜Ｐ３，Ｐ５，Ｐ６  プーリ
Ｐ４，Ｐ７  テンションプーリ
ＰＴ１，ＰＴ２  ピッチ
Ｓ１  第１領域部
Ｓ２  第２領域部
Ｓ３  中間領域部
Ｒ  冷気
【図１】
2005057569.tif 000002
【図２】
2005057569.tif 000003
【図３】
2005057569.tif 000004
【図４】
2005057569.tif 000005
【図５】
2005057569.tif 000006
【図６】
2005057569.tif 000007
【図７】
2005057569.tif 000008
【国際調査報告】
2005057569.tif 000009
2005057569.tif 000010
2005057569.tif 000011
2005057569.tif 000012