Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成30年9月4日(2018.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性基板上に位相シフト膜を備えたマスクブランクであって、
前記位相シフト膜は、ＡｒＦエキシマレーザーの露光光を２％以上１０％未満の透過率で透過させる機能と、前記位相シフト膜を透過した前記露光光に対して前記位相シフト膜の厚さと同じ距離だけ空気中を通過した前記露光光との間で１５０度以上１９０度以下の位相差を生じさせる機能とを有し、
前記位相シフト膜は、前記透光性基板側から下層と上層が積層した構造からなり、
前記下層および前記上層は、ケイ素を含有する材料で形成され、
前記下層は、屈折率ｎが１．００以上１．９０以下であり、
前記下層は、消衰係数ｋが３．３０以下であり、
前記上層は、屈折率ｎが２．００以上２．６５以下であり、
前記上層は、消衰係数ｋが０．２０以上０．６０以下であり、
前記下層の厚さは、前記位相シフト膜の全体の厚さの１／３０以上１／３以下であることを特徴とするマスクブランク。
【請求項２】
前記下層は、消衰係数ｋが２．４０以上であることを特徴とする請求項１記載のマスクブランク。
【請求項３】
前記下層は、前記透光性基板の表面に接して形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のマスクブランク。
【請求項４】
前記位相シフト膜は、厚さが５０ｎｍ以上９０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項５】
前記下層は、厚さが２ｎｍ以上２０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項６】
前記下層は、窒素を含有し、前記下層の窒素含有量は、５原子％以上であることを特徴とする請求項１から５にいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項７】
前記下層の窒素含有量は、１９原子％以下であることを特徴とする請求項６記載のマスクブランク。
【請求項８】
前記上層は、窒素を含有し、前記上層の窒素含有量は、２０原子％以上であることを特徴とする請求項１から７にいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項９】
前記位相シフト膜上に、遮光膜を備えることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のマスクブランク。
【請求項１０】
請求項９記載のマスクブランクを用いた位相シフトマスクの製造方法であって、
ドライエッチングにより前記遮光膜に転写パターンを形成する工程と、
前記転写パターンを有する遮光膜をマスクとするドライエッチングにより前記位相シフト膜に転写パターンを形成する工程と、
遮光帯パターンを含むパターンを有するレジスト膜をマスクとするドライエッチングにより前記遮光膜に遮光帯パターンを含むパターンを形成する工程と
を備えることを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
【請求項１１】
透光性基板上に転写パターンを有する位相シフト膜を備えた位相シフトマスクであって、
前記位相シフト膜は、ＡｒＦエキシマレーザーの露光光を２％以上１０％未満の透過率で透過させる機能と、前記位相シフト膜を透過した前記露光光に対して前記位相シフト膜の厚さと同じ距離だけ空気中を通過した前記露光光との間で１５０度以上１９０度以下の位相差を生じさせる機能とを有し、
前記位相シフト膜は、前記透光性基板側から下層と上層が積層した構造からなり、
前記下層および上層は、ケイ素を含有する材料で形成され、
前記下層は、屈折率ｎが１．００以上１．９０以下であり、
前記下層は、消衰係数ｋが３．３０以下であり、
前記上層は、屈折率ｎが２．００以上２．６５以下であり、
前記上層は、消衰係数ｋが０．２０以上０．６０以下であり、
前記下層の厚さは、前記位相シフト膜の全体の厚さの１／３０以上１／３以下である
ことを特徴とする位相シフトマスク。
【請求項１２】
前記下層は、消衰係数ｋが２．４０以上であることを特徴とする請求項１１記載の位相シフトマスク。
【請求項１３】
前記下層は、前記透光性基板の表面に接して形成されていることを特徴とする請求項１１または１２に記載の位相シフトマスク。
【請求項１４】
前記位相シフト膜は、厚さが５０ｎｍ以上９０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１１から１３のいずれかに記載の位相シフトマスク。
【請求項１５】
前記下層は、厚さが２ｎｍ以上２０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１１から１４のいずれかに記載の位相シフトマスク。
【請求項１６】
前記下層は、窒素を含有し、前記下層の窒素含有量は、５原子％以上であることを特徴とする請求項１１から１５にいずれかに記載の位相シフトマスク。
【請求項１７】
前記下層の窒素含有量は、１９原子％以下であることを特徴とする請求項１６記載の位相シフトマスク。
【請求項１８】
前記上層は、窒素を含有し、前記上層の窒素含有量は、２０原子％以上であることを特徴とする請求項１１から１７にいずれかに記載の位相シフトマスク。
【請求項１９】
前記位相シフト膜上に、遮光帯パターンを含むパターンを有する遮光膜を備えることを特徴とする請求項１１から１８にいずれかに記載の位相シフトマスク。
【請求項２０】
請求項１１から１９のいずれかに記載の位相シフトマスクを用い、半導体基板上のレジスト膜に転写パターンを露光転写する工程を備えることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月6日(2018.3.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プランジャと、前記プランジャが進退自在に内挿されたハウジングと、前記ハウジング内に配置された脈動低減機構とを備え、前記ハウジングは、前記プランジャの進退方向に延びる筒状の空間からなる筒状室と、前記筒状室と連通し、前記プランジャの一端部が進退する加圧室とを有している燃料供給装置であって、
前記ハウジングは、少なくとも、前記プランジャの進退方向で前記筒状室の一端側を形成する第１ハウジング部材と、前記筒状室の他端側を形成する第２ハウジング部材とを接合して形成され、
前記脈動低減機構は、前記筒状室に収納される筒状のダンパを有していることを特徴とする燃料供給装置。
【請求項２】
請求項１に記載の燃料供給装置であって、
前記脈動低減機構は、前記ダンパを前記第１ハウジング部材又は前記第２ハウジング部材に固定する固定部材を有し、
前記固定部材は、内周面が前記筒状室の内周側の内壁面に嵌合し、前記ダンパに内挿される筒状部と、前記筒状部の端部から径方向外方に向かって延設され、前記ダンパが結合される環状部とで構成されていることを特徴とする燃料供給装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の燃料供給装置であって、
前記ダンパは、ベローズ式ダンパであることを特徴とする燃料供給装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の燃料供給装置であって、
前記ハウジングは、前記加圧室と前記筒状室とを連通する燃料通路を有し、
前記燃料通路は、前記ダンパの伸縮方向に沿う方向に延びるように形成されていることを特徴とする燃料供給装置。
【請求項５】
プランジャと、前記プランジャが進退自在に内挿されたハウジングとを備え、前記ハウジングは、前記プランジャの進退方向に延びる筒状の空間からなる筒状室と、前記筒状室と連通し、前記プランジャの一端部が進退する加圧室とを有し、前記ハウジング内に配置された燃料供給装置用のベローズ式ダンパであって、
蛇腹状の金属薄膜で形成された筒状の外周部と、前記筒状の外周部の内周側に配置される蛇腹状の金属薄膜で形成された筒状の内周部と、前記筒状の外周部及び前記筒状の内周部の一端側に配置される環状の第１端部と、前記筒状の外周部及び前記筒状の内周部の他端側に配置される環状の第２端部とを有することを特徴とするベローズ式ダンパ。
【請求項６】
請求項５に記載のベローズ式ダンパであって、
前記ハウジングは、前記加圧室と前記筒状室とを連通する燃料通路を有し、
前記燃料通路の前記筒状室側の開口に対向するように前記環状の第１端部が配置されたことを特徴とするベローズ式ダンパ。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載のベローズ式ダンパであって、
前記筒状室の内周面に嵌合し、前記筒状の内周部に内挿される筒状部と、前記筒状部の端部から径方向外方に向かって延設された環状部とからなる固定部材を有し、
前記環状部の前記筒状部側の面に前記環状の第２端部が溶接で固定され、前記環状部の前記筒状部とは反対側の面が筒状室の端部となる内面に固定されていることを特徴とするベローズ式ダンパ。
【請求項８】
請求項５〜請求項７のいずれか１項に記載のベローズ式ダンパであって、
前記環状の第１端部及び前記環状の第２端部は平坦な板状に形成されていることを特徴とするベローズ式ダンパ。
【請求項９】
請求項５〜請求項８のいずれか１項に記載のベローズ式ダンパであって、
前記筒状室の端部に前記環状の第２端部が固定され、
前記環状の第１端部の前記環状の第２端部の反対側には半球状の突起部が設けられることを特徴とするベローズ式ダンパ。
【請求項１０】
請求項５〜請求項９のいずれか１項に記載のベローズ式ダンパであって、
前記プランジャの進退方向に沿う方向に伸縮することを特徴とするベローズ式ダンパ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】燃料供給装置及びベローズ式ダンパ
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、内部に流入した燃料に圧力を加え、内燃機関に供給する燃料供給装置、特に、圧力の脈動を低減する脈動低減機構を備えた燃料供給装置、及び、その燃料供給装置に用いられるベローズ式ダンパに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであり、組み立て性が良く、脈動低減効率の良い燃料供給装置、及び、その燃料供給装置に用いられるベローズ式ダンパを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明の燃料供給装置においては、ダンパは、ベローズ式ダンパを用いて構成してもよい。
そのようなベローズ式ダンパとしては、例えば、以下のように構成されたものが挙げられる。
すなわち、本発明のベローズ式ダンパは、プランジャと、プランジャが進退自在に内挿されたハウジングとを備え、ハウジングは、プランジャの進退方向に延びる筒状の空間からなる筒状室と、筒状室と連通し、プランジャの一端部が進退する加圧室とを有し、ハウジング内に配置された燃料供給装置用のベローズ式ダンパであって、蛇腹状の金属薄膜で形成された筒状の外周部と、筒状の外周部の内周側に配置される蛇腹状の金属薄膜で形成された筒状の内周部と、筒状の外周部及び筒状の内周部の一端側に配置される環状の第１端部と、筒状の外周部及び筒状の内周部の他端側に配置される環状の第２端部とを有することを特徴とする。
また、本発明のベローズ式ダンパにおいては、ハウジングは、加圧室と筒状室とを連通する燃料通路を有し、燃料通路の筒状室側の開口に対向するように環状の第１端部が配置されたことが好ましい。
また、本発明のベローズ式ダンパにおいては、筒状室の内周面に嵌合し、筒状の内周部に内挿される筒状部と、筒状部の端部から径方向外方に向かって延設された環状部とからなる固定部材を有し、環状部の筒状部側の面に環状の第２端部が溶接で固定され、環状部の筒状部とは反対側の面が筒状室の端部となる内面に固定されていることが好ましい。
また、本発明のベローズ式ダンパにおいては、環状の第１端部及び環状の第２端部は平坦な板状に形成されていることが好ましい。
また、本発明のベローズ式ダンパにおいては、筒状室の端部に環状の第２端部が固定され、環状の第１端部の環状の第２端部の反対側には半球状の突起部が設けられることが好ましい。
また、本発明のベローズ式ダンパにおいては、プランジャの進退方向に沿う方向に伸縮することが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成30年1月11日(2018.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図８は、本発明のセンサ装置のアクティブ論理切替回路６の一例を示す回路図である。
図８のアクティブ論理切替回路６は、レーザートリミングヒューズ１０、プルダウン素
子１１、トランジスタ２１〜３０、インバータ３７を有する。レーザートリミングヒュー
ズ１０、プルダウン素子１１は電源端子２と接地端子３の間に直列に接続され、その中点
電圧はアクティブ論理切替信号１２である。レーザートリミングヒューズ１０はレーザー
トリミング装置によってウェハ検査工程中で溶断することが可能である。プルダウン素子
１１の抵抗値がレーザートリミングヒューズ１０の抵抗値に対し十分大きいとき、アクテ
ィブ論理切替信号１２はレーザートリミングヒューズ１０が溶断前の状態では  “Ｈ”、
溶断後の状態では“Ｌ”となる。
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月15日(2018.5.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
チャンバー１０の内部には、複数枚の被処理基板に対して基板処理を施す２つの処理部１１ａ、１１ｂが設けられている。２つの処理部１１ａ、１１ｂのそれぞれには、基板載置台６１ａ、６１ｂが各々設けられている。基板載置台６１ａ、６１ｂには、被処理基板であるウエハＷａ、Ｗｂが１枚ずつ水平状態にて載置される。基板載置台６１ａ、６１ｂの上方には、処理ガスをチャンバー１０内に導入するためのガス導入部材１２ａ、１２ｂが設けられている。ガス導入部材１２ａ、１２ｂは蓋部５２の内側に取り付けられている。ガス導入部材１２ａと基板載置台６１ａ、およびガス導入部材１２ｂと基板載置台６１ｂは、それぞれ対向して設けられている。そして、ガス導入部材１２ａと基板載置台６１ａを囲むように円筒状をなす内壁７１ａが設けられており、ガス導入部材１２ｂと基板載置台６１ｂを囲むように円筒状をなす内壁７１ｂが設けられている。内壁７１ａ、７１ｂは、蓋部５２の上壁内側からチャンバー本体５１の底部５１ｂにかけて設けられており、これらの上部はそれぞれガス導入部材１２ａおよび１２ｂの側壁を構成している。ガス導入部材１２ａと基板載置台６１ａの間、およびガス導入部材１２ｂと基板載置台６１ｂの間の空間は、内壁７１ａ、７１ｂにより略密閉されウエハＷａ、Ｗｂに対して基板処理を施す処理空間Ｓが形成される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
チャンバー１０の外部には、ガス導入部材１２ａ、１２ｂにガスを供給するガス供給機構１４と、チャンバー１０内を排気する排気機構１５と、ＣＯＲ処理装置１００を制御する制御部１６とが設けられている。チャンバー本体５１の側壁部５１ａには、外部との間でウエハＷを搬送するための搬入出口（図示せず）が設けられており、この搬入出口は、ゲートバルブ（図示せず）により開閉可能となっている。また、内壁７１ａ，７１ｂにも搬入出口（図示せず）が設けられており、この搬入出口はシャッター（図示せず）により開閉可能となっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
表面にエッチング対象膜（例えばＳｉＯ２膜）が形成された２枚のウエハＷa、Ｗｂをチャンバー１０内の処理部１１ａおよび処理部１１ｂ内に搬入し、それぞれ基板載置台６１ａおよび基板載置台６１ｂ上に載置する。そして、排気機構１５によりチャンバー１０内を所定の圧力に調整し、圧力を安定させる圧力安定化工程の後、基板処理工程を実施する。処理部１１ａ、１１ｂは排気機構１５を共有しているので、圧力安定化工程および基板処理工程の際の圧力調整は、共通の自動圧力制御弁（ＡＰＣ）１０２により行う。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
（処理シーケンスの他の例）
上記の処理シーケンス例においては、独立基板処理モードＳ２−２において、一方の処理部における処理ガス（ＨＦガス、ＮＨ３ガス）を停止した際に、他方の処理部においてＡｒガスおよびＮ２ガスを増量させて補完ガスとして機能させることにより、処理部１１ａと処理部１１ｂとの間の圧力差が生じることを阻止するようにして、処理部１１ａ、１１ｂ相互間でのガスの流入を抑制するが、処理部１１ａ，１１ｂは、内壁７１ａ、７１ｂの基板載置台６１ａ、６１ｂよりも下の部分に形成されたスリットを介して繋がっているため、一方の処理部から他の処理部への処理ガス（ＨＦガス、ＮＨ３ガス）の回り込み、および他方の処理部から一方の処理部への補完ガス（Ａｒガス、Ｎ２ガス）の回り込みを完全に防止することは困難であり、わずかなガスの回り込み（ガスの逆拡散）が生じる。処理ガスの流量がある程度以上の場合には、このようなわずかなガスの回り込みはエッチング量に大きな影響を与えず、処理部１１ａ，１１ｂで所望のエッチング量での処理を実現することができるが、低流量領域の処理においては、このようなガスの回り込みの影響が無視し得なくなり、設定したエッチング量に対する偏差が大きくなってしまい、処理部１１ａ，１１ｂにおいて所望の独立処理が行えなくなる。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月5日(2018.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】複層ワイヤ
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｃｕ合金ワイヤと、前記Ｃｕ合金ワイヤの表面に形成されたＰｄ被覆層とを含む、ボンディングワイヤを形成するための複層ワイヤであって、
前記Ｃｕ合金ワイヤの直径が０．３ｍｍ以上１．４ｍｍ以下であり、
前記Ｐｄ被覆層の厚さが１μｍ以上１５μｍ以下であり、
前記複層ワイヤがＩｎを含み、複層ワイヤ全体に対するＩｎの濃度が０．０１１質量％以上１．２質量％以下である、複層ワイヤ。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月8日(2018.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
有利には、光源から放出された照射光線束は、入射平面に対して対称的または反対称的な鏡面対称性を有する直線偏光を備える。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
光源から放出された照射光線束Ｂは、入射平面Ｅに対して対称的または反対称的な鏡面対称性を有する直線偏光を備える；好ましくは、この場合には照射光線束Ｂはｓ偏光またはｐ偏光されている。すなわち、対応したいわゆる「ジョーンズベクトル」（数１）
【数１】
2015232562.tif 000001
は、
【数２】
2015232562.tif 000002
もしくは
【数３】
2015232562.tif 000003
である。偏光を考慮して直線的な光学結像を記述するための既知のジョーンズ計算法に関しては、インターネット百科事典ＷＩＫＩＰＥＤＩＡの項目「ジョーンズ計算法」を参照されたい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの測定方向に沿って互いに相対的に移動可能に配置された第１基準器および第２基準器の相対位置を検出するための光学式位置測定装置であって、
分割用回折格子では、光源から放出された照射光線束が少なくとも２つの部分光線束に分割され、部分光線束が、走査走路を通過する場合に様々な偏光光学作用を受け、様々に偏光された部分光線束が結合用回折格子において再結合された後に、生じた信号光線束から、位相をずらされ、ずれに依存した複数の走査信号を生成することができ、部分光線束の走査光路には、分割用回折格子と結合用回折格子との間に偏光光学構成素子が設けられていない光学式位置測定装置において、
部分光線束に様々な偏光光学作用をもたらすために、
円錐状に入射する照射光線束が分割用回折格子に入射し、入射する照射光線束が測定方向に対して垂直方向の入射平面を０°とは異なる角度で通過し、入射平面が、分割用回折格子に対する格子垂線と、照射光線束の入射方向との間に延在し、
部分光線束の走査光路が、入射平面に対して鏡面対称的に形成されていることを特徴とする光学式位置測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光学式位置測定装置において、
前記光源から放出された前記照射光線束が、入射平面に対して対称的または反対称的な鏡面対称性を有する直線偏光を備える光学式位置測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光学式位置測定装置において、
前記部分光線束の前記走査光路には、分割用回折格子と結合用回折格子との間にそれぞれ１つ以上の回折格子が配置されており、該回折格子が、
前記部分光線束のための前記入射平面に対する鏡面対称性が保持され、
垂直方向および平行に偏光された前記部分光線束（ＴＳ１，ＴＳ２）の偏光クロストークが可能となるように構成されている光学式位置測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の光学式位置測定装置において、
再結合位置における前記部分光線束が、逆向きの円偏光を備えている光学式位置測定装置。
【請求項５】
請求項３に記載の光学式位置測定装置において、
再結合位置における前記部分光線束が、互いに直交する楕円偏光を備えている光学式位置測定装置。
【請求項６】
請求項３に記載の光学式位置測定装置において、
再結合位置における前記部分光線束が、対応するジョーンズベクトルのベクトル積が値２／３を超えないように偏光される光学式位置測定装置。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれか一項いずれか一項に記載の光学式位置測定装置において、
第１基準器が、測定方向に延在する第１反射型回折格子または透過型回折格子を含み、該第１反射型回折格子または透過型回折格子が、前記照射光線束のための分割用回折格子として作用する光学式位置測定装置。
【請求項８】
請求項７に記載の光学式位置測定装置において、
前記第１基準器が、前記測定方向に延在する第２反射型回折格子または透過型回折格子を含み、該第２反射型回折格子または透過型回折格子が、前記部分光線束のための結合用回折格子として作用する光学式位置測定装置。
【請求項９】
請求項７または８に記載の光学式位置測定装置において、
第２基準器が透明なプレートを含み、該プレート内にそれぞれの前記分割光線束のために、レンズおよびリフレクタを有する回折性レトロリフレクタまたは回折性屋根形プリズムが形成されている光学式位置測定装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の光学式位置測定装置において、
前記透明なプレートの、前記第１基準器に向いた第１面に、少なくとも１つの透過型回折格子の形式のレンズが形成されており、
前記透明なプレートの、前記第１基準器に向いていない第２面に、少なくとも１つの反射層の形式のリフレクタが形成されており、反射層の反射面は前記透明なプレートの第１面の方向に向けられている光学式位置測定装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の光学式位置測定装置において、
第１基準器および第２基準器の構成要素が次のように形成および配置されている：
前記光源から入射した照射光線束が第１基準器の第１反射型回折格子で２つの部分光線束（ＴＳ１，ＴＳ２）に分割され、次いで部分光線束が第２基準器の方向に伝播し、
前記部分光線束が、前記第２基準器の透明なプレートにおいてそれぞれ回折性レトロリフレクタまたは屋根型リフレクタを通過し、次いで測定方向に対して垂直方向に変位され、再び前記第１基準器の方向に伝播し、
前記部分光線束が、前記第１基準器の第２反射型回折格子の結合位置で重畳され、重畳された一対の前記部分光線束を有する信号光線束が再び前記第２基準器の方向に伝播するように形成および配置されている光学式位置測定装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の光学式位置測定装置において、
２つの基準器に対して不動の走査ユニットに、偏向ミラー、回折格子、レンズ、および複数の偏光器が配置されており、前記走査ユニットが１つ以上の光ファイバを介して光源および複数の検出素子に結合されている光学式位置測定装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載の光学式位置測定装置において、
２つの基準器に対して不動の走査ユニットに、光源、偏向ミラー、回折格子、レンズ、複数の偏光器、および複数の検出素子が配置されている光学式位置測定装置。
【請求項１４】
請求項１から１３までのいずれか一項に記載の光学式位置測定装置において、
２つの基準器のそれぞれが、少なくとも１つの測定方向に沿って移動可能に配置されている光学式位置測定装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月14日(2018.5.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
＜工程（Ｉ）＞
図５（ａ）に示すように、帯状の補強布２の表面にゴムシートを貼付するか、あるいは
液状ゴムを塗布乾燥させた後、所定の長さに切断する。ゴムシートの貼付は、接着剤を使
用してもよく、あるいは加熱加圧による接着でもよい。使用するゴムシートの厚さまたは
液状ゴムの塗布量は、形成される内部ゴム層１の厚さに応じて調整する。
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月9日(2018.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性の軸芯体と導電層とを有する電子写真用部材であって、
該導電層が、ウレタン樹脂とイオン導電剤とを含み、
該ウレタン樹脂は、隣接する２つのウレタン結合の間に、下記構造式（１）で示される構造と、下記構造式（２）で示される構造および下記構造式（３）で示される構造からなる群から選ばれる少なくとも一方の構造とを有し、
該イオン導電剤は、フッ化スルホニルイミドアニオン、フッ化スルホニルメチドアニオン、フッ化スルホン酸アニオン、フッ化カルボン酸アニオン、フッ化ホウ酸アニオン、フッ化リン酸アニオン、フッ化ヒ酸アニオン、フッ化アンチモン酸アニオン、ジシアナミドアニオン、ビス（オキサラト）ホウ酸アニオンから選ばれる少なくとも一つのアニオンを含有することを特徴とする電子写真用部材：
【化１】
2015232704.tif 000001
【化２】
2015232704.tif 000002
【化３】
2015232704.tif 000003
。
【請求項２】
前記導電層のトルエン浸漬法による体積膨潤率が２０％以上６０％以下である請求項１に記載の電子写真用部材。
【請求項３】
前記イオン導電剤のカチオンが、前記ウレタン樹脂と化学結合している請求項１または２に記載の電子写真用部材。
【請求項４】
前記イオン導電剤のカチオンが、前記ウレタン樹脂との間に複数の化学結合を有する請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子写真用部材。
【請求項５】
前記カチオンが、４級アンモニウム塩基である請求項３または４に記載の電子写真用部材。
【請求項６】
前記カチオンが、ピペリジニウム基、ピロリジニウム基、モルホリニウム基、オキサゾリウム基、ピリジニウム基、ピリミジニウム基、ピラジニウム基、ピリダジニウム基、イミダゾリウム基、ピラゾリウム基およびトリアゾリウム基からなる群から選ばれるいずれかの含窒素複素環基である請求項３または４に記載の電子写真用部材。
【請求項７】
前記ウレタン樹脂は、
前記構造式（１）で示される構造と、前記構造式（２）で示される構造および前記構造式（３）で示される構造から選ばれる少なくとも一つの構造とを有するポリエーテルポリオールと、ポリイソシアネートとの反応物であるイソシアネート基末端プレポリマー、および、
前記構造式（１）で示される構造と、前記構造式（２）で示される構造および前記構造式（３）で示される構造から選ばれる少なくとも一つの構造とを有するポリエーテルポリオールと、ジイソシアネートと、の反応物である水酸基末端プレポリマー
のいずれか一方、または両方の熱硬化物である請求項１〜６のいずれか１項に記載の電子写真用部材。
【請求項８】
帯電部材及び現像剤担持体のいずれか一方を少なくとも有し、電子写真装置の本体に着脱可能に構成されているプロセスカートリッジであって、
該帯電部材または該現像剤担持体が、請求項１〜７のいずれか１項に記載の電子写真用部材であることを特徴とするプロセスカートリッジ。
【請求項９】
電子写真感光体、帯電部材、及び現像剤担持体を備えている電子写真装置において、
該帯電部材または該現像剤担持体が、請求項１〜７のいずれか１項に記載の電子写真用部材であることを特徴とする電子写真装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月11日(2018.5.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂および着色剤を含有するトナー母粒子と該トナー母粒子に固着した樹脂粒子とを有するトナー粒子を有するトナーであって、
該樹脂が、スチレンアクリル樹脂およびポリエステル樹脂Ａを含有し、
該スチレンアクリル樹脂の含有割合が、該樹脂を基準として、５０．０質量％以上であり、
該ポリエステル樹脂Ａの含有割合が、該樹脂を基準として、１．０質量％以上４０．０質量％以下であり、
該ポリエステル樹脂Ａが、下記式（１）で示されるユニットを有し、
下記式（１）で表されるユニットの割合が、該ポリエステル樹脂Ａを構成する全てのユニットの数を基準として、０．１０個数％以上３０．００個数％以下であり、
【化１】
2015232706.tif 000001
該樹脂粒子の該トナー母粒子に対する固着量が、該トナー母粒子１００．０質量部に対して、０．１質量部以上５．０質量部以下であり、
該トナー母粒子のガラス転移温度をＴｇ１（℃）とし、該樹脂粒子のガラス転移温度をＴｇ２（℃）としたとき、該Ｔｇ２が該Ｔｇ１よりも高い
ことを特徴とするトナー。
【請求項２】
前記ポリエステル樹脂Ａの酸価が、０．５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上２５．０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である請求項１に記載のトナー。
【請求項３】
前記樹脂粒子のガラス転移温度Ｔｇ２（℃）が、６０．０℃以上１０５．０℃以下である請求項１または２に記載のトナー。
【請求項４】
前記トナー母粒子のガラス転移温度Ｔｇ１（℃）が、５０．０℃以上５８．０℃以下である請求項１〜３のいずれか１項に記載のトナー。
【請求項５】
前記スチレンアクリル樹脂が、スチレンとアクリル酸ブチルとの共重合体である請求項１〜４のいずれか１項に記載のトナー。
【請求項６】
前記スチレンアクリル樹脂のピーク分子量（Ｍｐ）が、５０００以上３００００以下である請求項１〜５のいずれか１項に記載のトナー。
【請求項７】
前記樹脂粒子は体積基準のメジアン径（Ｄ５０）が、２０ｎｍ以上２００ｎｍ以下である請求項１〜６のいずれか１項に記載のトナー。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のトナーを製造するトナーの製造方法であって、
該製造方法が、水系媒体中で、前記ポリエステル樹脂Ａ、前記着色剤および重合性単量体を含有する重合性単量体組成物の粒子を形成し、該重合性単量体を重合させることによって、前記トナー母粒子を得る工程を有し、
前記スチレンアクリル樹脂が、該重合性単量体から得られた樹脂である
ことを特徴とするトナーの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】トナーおよびトナーの製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、電子写真および静電印刷などの画像形成方法に用いられる静電潜像（静電荷像）を現像するためのトナーおよびその製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、樹脂および着色剤を含有するトナー母粒子と該トナー母粒子に固着した樹脂粒子とを有するトナー粒子を有するトナーであって、
該樹脂が、スチレンアクリル樹脂およびポリエステル樹脂Ａを含有し、
該スチレンアクリル樹脂の含有割合が、該樹脂を基準として、５０．０質量％以上であり、
該ポリエステル樹脂Ａの含有割合が、該樹脂を基準として、１．０質量％以上４０．０質量％以下であり、
該ポリエステル樹脂Ａが、下記式（１）で示されるユニットを有し、
下記式（１）で表されるユニットの割合が、該ポリエステル樹脂Ａを構成する全てのユニットの数を基準として、０．１０個数％以上３０．００個数％以下であり、
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
該樹脂粒子の該トナー母粒子に対する固着量が、該トナー母粒子１００．０質量部に対して、０．１質量部以上５．０質量部以下であり、
該トナー母粒子のガラス転移温度をＴｇ１（℃）とし、該樹脂粒子のガラス転移温度をＴｇ２（℃）としたとき、該Ｔｇ２が該Ｔｇ１よりも高い
ことを特徴とするトナーである。
また、本発明は、上記トナーを製造するトナーの製造方法であって、
該製造方法が、水系媒体中で、前記ポリエステル樹脂Ａ、前記着色剤および重合性単量体を含有する重合性単量体組成物の粒子を形成し、該重合性単量体を重合させることによって、前記トナー母粒子を得る工程を有し、
前記スチレンアクリル樹脂が、該重合性単量体から得られた樹脂である
ことを特徴とするトナーの製造方法である。
【手続補正書】
【提出日】平成29年11月23日(2017.11.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】発光素子、発光装置および照明装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極間に、蛍光発光を呈する第１の発光層と、燐光発光を呈する第２の発光層と、を有する積層構造を有し、
前記第２の発光層は、励起錯体を形成する第１の層と、励起錯体を形成する第２の層と、励起錯体を形成する第３の層と、を有し、
前記第２の層は、前記第１の層と前記第３の層との間に位置し、
前記第２の層は、前記第１の層および前記第３の層と接しており、
前記第２の層の発光ピーク波長は、前記第１の層の発光ピーク波長よりも長く、
前記第２の層の発光ピーク波長は、前記第３の層の発光ピーク波長よりも長い発光素子。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１の発光層と前記第２の発光層とは互いに接している発光素子。
【請求項３】
一対の電極間に、第１の発光層と、第２の発光層と、を有する積層体を有し、
前記第１の発光層は、蛍光発光物質を有し、
前記第２の発光層は、第１の層と、第２の層と、第３の層を有し、
前記第１の層は、第１の燐光発光物質を有し、
前記第２の層は、第２の燐光発光物質を有し、
前記第３の層は、第３の燐光発光物質を有し、
前記第２の層の発光ピーク波長は、前記第１の層の発光ピーク波長よりも長く、
前記第２の層の発光ピーク波長は、前記第３の層の発光ピーク波長よりも長く、
前記第１の発光層と前記第２の発光層とは互いに接している発光素子。
【請求項４】
請求項３において、
前記第２の層は、前記第１の層および前記第３の層と接している発光素子。
【請求項５】
一対の電極間に、第１の発光層と、第２の発光層とが積層された積層体を有し、
前記第１の発光層は、蛍光発光物質を有し、
前記第２の発光層は、第１の層と、第２の層と、第３の層を有し、
前記第１の層は、第１の燐光発光物質を有し、
前記第２の層は、第２の燐光発光物質を有し、
前記第３の層は、第３の燐光発光物質を有し、
前記第２の層の発光ピーク波長は、前記第１の層の発光ピーク波長よりも長く、
前記第２の層の発光ピーク波長は、前記第３の層の発光ピーク波長よりも長く、
前記第２の発光層の前記第１の層の発光ピーク波長は、前記第１の発光層の発光ピーク波長よりも長い発光素子。
【請求項６】
請求項５において、
前記第２の層は、前記第１の層および前記第３の層と接している発光素子。
【請求項７】
請求項５または請求項６において、
前記第１の発光層と前記第２の発光層とは互いに接している発光素子。
【請求項８】
請求項３乃至請求項７のいずれか一において、
前記第１の層、前記第２の層および前記第３の層は、それぞれ励起錯体を形成する物質を含む発光素子。
【請求項９】
請求項８において、
前記第１の層に含まれる前記励起錯体を形成する物質と、前記第３の層に含まれる前記励起錯体を形成する物質とは同じ物質であり、
前記第１の層に含まれる前記第１の燐光発光物質と、前記第３の層に含まれる前記第３の燐光発光物質とは同じ物質である発光素子。
【請求項１０】
請求項８において、
前記第１の層、前記第２の層、前記第３の層は、励起錯体を形成する同じ物質を含む発光素子。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一において、
前記第１の発光層は、ホスト材料を含み、
前記ホスト材料のＴ１準位は前記蛍光発光物質のＴ１準位よりも低い発光素子。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれか一に記載の発光素子を含む画素部と、前記画素部に電気的に接続された駆動回路と、前記駆動回路と電気的に接続されたフレキシブルプリント回路とを含む発光装置。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１１のいずれか一に記載の発光素子を有する照明装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月22日(2018.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
緑色蛍光体と赤色蛍光体を含み、且つ、紫色光を放射する半導体発光素子と青色光を放射する半導体発光素子とを含む発光装置であって、
該緑色蛍光体は、該紫色光を放射する半導体発光素子から放出される、３８０以上、４３０ｎｍ以下の波長を有する紫色光を照射することにより、４９０ｎｍ以上、５３０ｎｍ以下の範囲に発光ピーク波長を有し、
該赤色蛍光体は、青色光を放射する半導体発光素子から放出される４３０ｎｍ以上、４７０ｎｍ以下の波長を有する青色光を照射することにより、６００ｎｍ以上、６５０ｎｍ以下の範囲に発光ピーク波長を有し、且つ該発光スペクトルの半値幅は２０ｎｍ以下であることを特徴とする、発光装置。
【請求項２】
前記緑色蛍光体が、アルミン酸系蛍光体であることを特徴とする、請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記緑色蛍光体が、ＥｕおよびＭｎ賦活アルミン酸系蛍光体であることを特徴とする、請求項２に記載の発光装置。
【請求項４】
前記赤色蛍光体が、Ｍｎ4+付活フッ化物蛍光体であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項５】
前記緑色蛍光体が、ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：（Ｅｕ，Ｍｎ）であり、前記赤色蛍光体が、Ｋ2ＳｉＦ6：Ｍｎ、Ｋ2ＴｉＦ6：Ｍｎ、Ｋ2（Ｓｉ、Ｔｉ）Ｆ6：Ｍｎ、Ｋ3ＡｌＦ6：Ｍｎ、およびＫ2Ｓｉ1-xＮａxＡｌxＦ6：Ｍｎ（０＜ｘ＜１）から選ばれるいずれか１つ以上であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の発光装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の発光装置を光源として含むことを特徴とする画像表示装置。
【請求項７】
ＢＴ．２０２０に対するカバー率が８０％以上であることを特徴とする、請求項６に記載の画像表示装置。
【請求項８】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の発光装置を光源として含むことを特徴とする照明装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年3月2日(2018.3.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷装置と通信可能な通信部と、
前記通信部により、前記印刷装置に対して特定の通信ポートを利用する通信を要求し、前記要求に対する前記印刷装置の応答状態に基づいて、前記印刷装置が対応可能なデータの形態を判別し、前記印刷装置の通信ポートを選択する制御部と、を備え、
前記印刷装置が対応可能なデータの形態とは、コマンド体系、言語、文字コード、通信プロトコル、データフォーマットのいずれかに係るものであること、
を特徴とする印刷制御装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記印刷装置の応答状態に基づいて判別した形態のデータと選択した前記印刷装置の通信ポートを用いて、前記通信部により前記印刷装置と通信する、
請求項１に記載の印刷制御装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記通信部により前記印刷装置に対して特定の通信ポートを利用する通信を要求した後、前記印刷装置から応答を受信した場合、前記印刷装置に対して第１のデータの形態で前記印刷装置に関する印刷装置情報を要求するデータを送信する、
請求項１または２記載の印刷制御装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記要求に応答して、前記印刷装置から前記印刷装置情報を受信した場合、前記特定の通信ポート以外の通信ポートを選択し、前記印刷装置が対応可能なデータの形態を第１のデータの形態と判別し、
前記印刷装置から前記印刷装置情報を受信しない場合、前記特定の通信ポートを選択し、前記印刷装置が対応可能なデータの形態を第２のデータの形態と判別する、
請求項３に記載の印刷制御装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記通信部により前記印刷装置に対して特定の通信ポートを利用する通信を要求した後、前記印刷装置から応答を受信しない場合、前記特定の通信ポート以外の通信ポートを選択し、前記印刷装置が対応可能なデータの形態を第１のデータの形態と判別する、
請求項１から４のいずれかに記載の印刷制御装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記印刷装置が対応可能なデータの形態に適合するデータと選択した前記印刷装置の通信ポートを用いて前記印刷装置に印刷データを送信し、印刷を実行させる、
請求項１から５のいずれかに記載の印刷制御装置。
【請求項７】
前記通信部は、複数の前記印刷装置を接続可能な通信ネットワークに接続され、
前記制御部は、前記通信部により、前記通信ネットワークに接続された前記印刷装置を検索し、検索した前記印刷装置に対して特定の通信ポートを利用する通信を要求する、
請求項１から６のいずれかに記載の印刷制御装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記印刷装置が対応可能なデータの形態の判別結果と前記印刷装置とを対応付けるデータ形式情報を生成する、
請求項７記載の印刷制御装置。
【請求項９】
印刷データに基づき印刷を実行する印刷装置と、
前記印刷装置と通信可能な通信部、及び、前記通信部によって前記印刷装置に対して特定の通信ポートを利用する通信を要求し、前記要求に対する前記印刷装置の応答状態に基づいて、前記印刷装置が対応可能なデータの形態を判別し、前記印刷装置の通信ポートを選択する制御部を備える通信制御装置と、を備え、
前記印刷装置が対応可能なデータの形態とは、コマンド体系、言語、文字コード、通信プロトコル、データフォーマットのいずれかに係るものであること、
を特徴とする印刷システム。
【請求項１０】
印刷装置の印刷制御方法であって、
前記印刷装置に対して特定の通信ポートを利用する通信を要求し、
前記要求に対する前記印刷装置が送信する前記印刷装置の応答状態に基づいて、前記印刷装置が対応可能なデータの形態を判別し、前記印刷装置の通信ポートを選択し、
前記印刷装置が対応可能なデータの形態とは、コマンド体系、言語、文字コード、通信プロトコル、データフォーマットのいずれかに係るものであること、
を特徴とする印刷制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
プリンター６は、プリンター５と同様に、端末装置１から送信される印刷データに基づき印刷を実行するプリンターである。プリンター６が備える構成部のうち、プリンター５が備える構成部と共通するものについては、同符号を付して説明を省略する。
プリンター６は、プリンター６の各部を制御するプリンター制御部５０ａを備える。プリンター制御部５０ａは、プリンター制御部５０と同様、図示しないＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える。プリンター制御部５０ａのＲＯＭには、ＣＰＵによって実行可能なファームウェア、ファームウェアに係るデータ等が不揮発的に記憶される。また、ＲＡＭにはＣＰＵが実行するファームウェアに係るデータ等が一時的に記憶される。プリンター制御部５０ａは、その他の周辺回路等を備えていてもよい。プリンター制御部５０ａは、プリンター制御部５０と同様に印刷制御部５２、受信バッファー５３、及びプリントバッファー５４を備える。一方、プリンター制御部５０ａは、プリントサーバー部５１を有していない。このため、プリンター６は、端末装置１が送信した印刷データを通信インターフェース６３により受信した場合、プリンター制御部５０ａが、受信した印刷データを受信バッファー５３に記憶させる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
なお、ここで例に挙げたポート番号は、ＴＣＰ／ＩＰ（Transmission Control Protocol/Internet Protocol）またはＵＤＰ（User Datagram Protocol）を利用した通信を実行する場合のポート番号である。端末装置１とプリンター５またはプリンター６が、ＴＣＰ／ＩＰまたはＵＤＰを利用しない形態で接続された場合、httpリクエストは実行されない。例えば、USB、IEEE1284、IEEE1394、RS-232C等の各種規格に準拠した１対１接続の通信ケーブル、或いは、Bluetoothで接続された場合に該当する。
従って、図２の動作は端末装置１に対して有線ＬＡＮや無線ＬＡＮ等の、ＴＣＰ／ＩＰまたはＵＤＰに対応した形態でプリンター５またはプリンター６が接続された場合に適用される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2016181103.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成30年2月28日(2018.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機材料を含む機能層のうちの少なくとも１層を形成する際に用いられる組成物であって、
機能層形成用の固形分と、
電子吸引基を有する第１芳香族溶媒と、
電子供与基を有する第２芳香族溶媒と、を含み、
前記第１芳香族溶媒の沸点よりも前記第２芳香族溶媒の沸点のほうが高く、
前記電子吸引基がニトロ基であることを特徴とする組成物。
【請求項２】
前記第１芳香族溶媒の沸点が２００℃以上であって、
前記第２芳香族溶媒の沸点が２５０℃以上であることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記第２芳香族溶媒の沸点が３５０℃以下であることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
前記電子供与基がアルコキシ基またはアミノ基であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項５】
前記第２芳香族溶媒の含有割合が１０％以上、９０％以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項６】
前記第２芳香族溶媒の含有割合は、前記第１芳香族溶媒の含有割合と同じまたは多いことを特徴とする請求項５に記載の組成物。
【請求項７】
前記第１芳香族溶媒は、ニトロベンゼン、２，３−ジメチルニトロベンゼン、２，４−ジメチルニトロベンゼンの中から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項８】
前記第２芳香族溶媒は、トリメトキシトルエン、ジフェニルエーテル、３−フェノキシトルエン、ベンジルフェニルエーテル、アミノビフェニル、ジフェニルアミンの中から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項９】
有機材料を含む機能層のうちの少なくとも１層を液相プロセスにより形成する際に用いられる組成物の製造方法であって、
電子吸引基を有する第１芳香族溶媒に機能層形成用の固形分を溶解させる工程と、
前記機能層形成用の固形分が溶解した前記第１芳香族溶媒に電子供与基を有する第２芳香族溶媒を添加する工程と、を含み、
前記第１芳香族溶媒の沸点よりも前記第２芳香族溶媒の沸点のほうが高いことを特徴とする組成物の製造方法。
【請求項１０】
一対の電極間に発光層を含む機能層が挟持された有機ＥＬ素子の製造方法であって、
前記一対の電極のうち一方の電極上に、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の組成物を塗布する工程と、塗布された前記組成物を乾燥して固化し、前記機能層のうちの少なくとも１層を形成する工程と、を含むことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１１】
前記組成物を塗布する工程は、インクジェット法により前記一方の電極上の膜形成領域に前記組成物を塗布することを特徴とする請求項１０に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月5日(2018.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
図３のように両側板１８、１８間の一端側上部に接着テープ供給手段としての接着テープ供給ロール２１が設けられている。また、両側板１８、１８の下部にはセパレータ巻取ロール２２が設けられ、同じく両側板１８、１８の他端側の上部には切り抜き後の余剰接着テープを巻き取る接着テープ巻取ロール２３が設けられている。また、両側板１８、１８間には、さらに接着テープ供給ロール２１から引き出された接着テープＴを下方に誘導するガイドローラ２４と、前記ガイドローラ２４の下方で接着テープＴからセパレータＴｓを剥がす一対のガイドローラ２５と、前記接着テープ切断テーブル１９の上面に対して接着テープＴの供給方向の後方に位置するガイドローラ２６と、接着テープＴを上方のテープ巻取ロール２３に誘導する一対のガイドローラ２７、２７とが設けられている。そして、セパレータＴｓを剥がされた接着テープＴは、一対のガイドローラ２５、２５とガイドローラ２６の間の部分が、その粘着面を下に向けた略水平状態で、貼り付けテーブル１９の上面に供給される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、剥離ローラ３２も前記レール４５に沿って前後に移動自在となるように架設され、適宜の駆動源によって往復移動することにより、カッター刃５１による切り抜き後の接着テープ切断テーブル１９上に接着された余剰接着テープＴを接着テープ切断テーブル１９の上面から剥がすようになっている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
前記接着テープ貼り付け部ｄと接着テープ切断部ｆとの間の上方にはテープ搬送体７０が設けられている。該テープ搬送体７０の上方には前記側板１８、１８上から前記下部チャンバ８上方に至るまでの間に渡って支持板６５が設けられ、該支持板６５の下面にレール６６、６６が敷設されている。また前記レール６６に沿ってボールネジ６７が設けられている。該ボールネジ６７の一端は、前記テープ貼り付け部ｄの上方で前記支持板６５の一端に固定されたモータ枠８７に軸支されており、前記ボールネジ６７の他端は、機枠２の一端側の側板１８に軸支されている。また、モータ枠８７には、モータ６８が固定され、該モータ６８と前記ボールネジ６７の一端が接続されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
Ｐ１  第１接着テープ切断位置
Ｐ２  第２接着テープ切断位置
Ｗ    基板（ウエハ）
Ｔ    接着テープ
Ｔｈ  くり貫き孔
Ｔｓ  セパレータ
ａ    基板供給／収納部
ｂ    位置決め部
ｃ    基板搬送機構
ｄ    接着テープ貼り付け部
ｅ    基板搬送機構
ｆ    接着テープ切断部
ｇ    接着テープ搬送機構
１    接着テープ貼り付け装置
２    機台
３    収納カセット
４    搬送ロボット
５    位置決めテーブル
６    回転モータ
７    位置決めセンサ
８    下部チャンバ
９    保持テーブル
１０    吸着パッド
１１    通気パイプ
１２    ベルト
１３    シリンダ
１４    支持板
１５    吸着ハンド
１６    スライダ
１７    レール
１８    側板
１８ａ  開口部
１９    接着テープ切断テーブル
１９ａ  切欠き部
１９ｂ  切欠き部
２０    シリンダ
２１    テープ供給ロール
２２    セパレータ巻取ロール
２３    テープ巻取ロール
２４    ガイドローラ
２５    剥離ローラ
２６    ガイドローラ
２７    ガイドローラ
２８    開孔
２９    貼り付けローラ
３０    テープチャック機構
３１    上部チャック
３２    剥離ローラ
３３    シリンダ
３５    ガイドローラ
３６    支持枠
３７    レール
３８    スライダ
３９    テーブル台
４０    カッター機構
４１    スライダ
４２    モータ
４３    ボールネジ
４４    ナット部材
４５    レール
４６    支持板
４７    スライダ
５０    カッター機構（接着テープ切断手段）
５１    カッター刃
５２    回転軸
５３    モータ
５４    駆動プーリ
５５    従動プーリ
５６    ベルト
５７    モータ枠
５７ａ  上方突出部
５８    支持枠
５８ａ  底板
５９    シリンダ
６０    スライダ
６１    レール
６２    シリンダ
６５    支持板
６６    レール
６７    ボールネジ
６８    モータ
７０    上部チャンバ
７１    支持枠
７２    シリンダ
７３    ガイド部材
７４    スライダ
７５    ナット部材
７６    真空アダプタ
７７    接着テープ搬送体
７８    支持枠
７９    軸
８０    バネ
８１    押圧ローラ
８２    レール
８３    貼り付けローラ
８４    支持板
８５    シリンダ
８６    支持枠
８７  モータ枠