【手続補正書】
【提出日】平成30年5月25日(2018.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドに押し付けるための研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドを回転させるためのヘッドモータとを備え、
前記研磨ヘッドは、
基板接触面を有するヘッド本体と、
前記ヘッド本体に連結されたドライブリングと、
前記基板接触面を囲み、前記ドライブリングに接続されたリテーナリングとを備え、
前記ドライブリングには第１ねじが形成され、前記リテーナリングには前記第１ねじに係合する第２ねじが形成されており、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、
前記ドライブリングは、環状ドライブリング本体と、前記環状ドライブリング本体の下面から下方に突出する環状突部を有しており、
前記リテーナリングの上面には、前記環状突部が収容される環状凹部が形成されており、
前記環状突部の側面には前記第１ねじが形成され、前記環状凹部の側面には前記第２ねじが形成されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記環状突部は、前記環状ドライブリング本体に固定されたねじリングの少なくとも一部から構成されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記環状ドライブリング本体の下面は、前記リテーナリングの上面と接触していることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記リテーナリングは、環状リテーナリング本体と、前記環状凹部および前記第２ねじが形成された凹リングとを有しており、
前記凹リングは、前記環状リテーナリング本体よりも高い強度を有することを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項５】
研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドに押し付けるための研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドを回転させるためのヘッドモータとを備え、
前記研磨ヘッドは、
基板接触面を有するヘッド本体と、
前記ヘッド本体に連結されたドライブリングと、
前記基板接触面を囲み、前記ドライブリングに接続されたリテーナリングとを備え、
前記ドライブリングには第１ねじが形成され、前記リテーナリングには前記第１ねじに係合する第２ねじが形成されており、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、
前記リテーナリングは、環状リテーナリング本体と、前記環状リテーナリング本体の上面から上方に突出する環状突部を有しており、
前記ドライブリングの下面には、前記環状突部が収容される環状凹部が形成されており、
前記環状凹部の側面には前記第１ねじが形成され、前記環状突部の側面には前記第２ねじが形成されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項６】
前記環状突部は、前記環状リテーナリング本体に固定されたねじリングの少なくとも一部から構成されていることを特徴とする請求項５に記載の研磨装置。
【請求項７】
前記環状リテーナリング本体の上面は、前記ドライブリングの下面と接触していることを特徴とする請求項５に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記第１ねじおよび前記第２ねじの内側および外側には、前記ドライブリングと前記リテーナリングとの間の隙間を封止するシールリングがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項９】
前記リテーナリングの外周面には、該リテーナリングをその軸心の周りに回転させるための締め付け工具が係合する窪みが形成されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１０】
前記ヘッドモータは、前記研磨ヘッドの回転をロックするロック機能を有することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１１】
前記第２ねじが締め付けられる方向は、前記基板の研磨時に前記ヘッドモータが前記研磨ヘッドを回転させる方向とは反対であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１２】
前記第１ねじおよび前記第２ねじの緩み止め構造体をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１３】
前記緩み止め構造体は、前記リテーナリングを前記ドライブリングに押さえ付けるロックリングであることを特徴とする請求項１２に記載の研磨装置。
【請求項１４】
前記緩み止め構造体は、前記ドライブリングに対する前記リテーナリングの回転を止めるロックねじであることを特徴とする請求項１２に記載の研磨装置。
【請求項１５】
前記緩み止め構造体は、前記ドライブリングに上下動自在に支持されたピンを備えており、前記リテーナリングは、前記ピンの先端が挿入されることが可能な穴を有することを特徴とする請求項１２に記載の研磨装置。
【請求項１６】
前記緩み止め構造体は、前記ドライブリングに回転可能に支持されたカムシャフトをさらに備えており、前記カムシャフトは、前記ピンに係合するカム部と、露出した端部とを有することを特徴とする請求項１５に記載の研磨装置。
【請求項１７】
前記第１ねじに対する前記第２ねじの緩みを検出する緩み検出器をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１８】
前記緩み検出器は、前記ドライブリングに形成された第１目印と、前記リテーナリングに形成された第２目印との相対位置を検出する目印検出器であることを特徴とする請求項１７に記載の研磨装置。
【請求項１９】
前記緩み検出器は、前記ドライブリングと前記リテーナリングとの間に挟まれたロードセルであることを特徴とする請求項１７に記載の研磨装置。
【請求項２０】
基板接触面を有するヘッド本体と、
前記ヘッド本体に連結されたドライブリングと、
前記基板接触面を囲み、前記ドライブリングに接続されたリテーナリングとを備え、
前記ドライブリングには第１ねじが形成され、前記リテーナリングには前記第１ねじに係合する第２ねじが形成されており、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、
前記ドライブリングは、環状ドライブリング本体と、前記環状ドライブリング本体の下面から下方に突出する環状突部を有しており、
前記リテーナリングの上面には、前記環状突部が収容される環状凹部が形成されており、
前記環状突部の側面には前記第１ねじが形成され、前記環状凹部の側面には前記第２ねじが形成されていることを特徴とする研磨ヘッド。
【請求項２１】
前記環状突部は、前記環状ドライブリング本体に固定されたねじリングの少なくとも一部から構成されていることを特徴とする請求項２０に記載の研磨ヘッド。
【請求項２２】
前記環状ドライブリング本体の下面は、前記リテーナリングの上面と接触していることを特徴とする請求項２０に記載の研磨ヘッド。
【請求項２３】
前記リテーナリングは、環状リテーナリング本体と、前記環状凹部および前記第２ねじが形成された凹リングとを有しており、
前記凹リングは、前記環状リテーナリング本体よりも高い強度を有することを特徴とする請求項２０に記載の研磨ヘッド。
【請求項２４】
基板接触面を有するヘッド本体と、
前記ヘッド本体に連結されたドライブリングと、
前記基板接触面を囲み、前記ドライブリングに接続されたリテーナリングとを備え、
前記ドライブリングには第１ねじが形成され、前記リテーナリングには前記第１ねじに係合する第２ねじが形成されており、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、
前記リテーナリングは、環状リテーナリング本体と、前記環状リテーナリング本体の上面から上方に突出する環状突部を有しており、
前記ドライブリングの下面には、前記環状突部が収容される環状凹部が形成されており、
前記環状凹部の側面には前記第１ねじが形成され、前記環状突部の側面には前記第２ねじが形成されていることを特徴とする研磨ヘッド。
【請求項２５】
前記環状突部は、前記環状リテーナリング本体に固定されたねじリングの少なくとも一部から構成されていることを特徴とする請求項２４に記載の研磨ヘッド。
【請求項２６】
前記環状リテーナリング本体の上面は、前記ドライブリングの下面と接触していることを特徴とする請求項２４に記載の研磨ヘッド。
【請求項２７】
前記第１ねじおよび前記第２ねじの内側および外側には、前記ドライブリングと前記リテーナリングとの間の隙間を封止するシールリングがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項２０乃至２６のいずれか一項に記載の研磨ヘッド。
【請求項２８】
基板接触面を有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に連結されたドライブリングとを備えた研磨ヘッドに使用されるリテーナリングであって、
前記ドライブリングに形成された第１ねじに係合する第２ねじを有し、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、
前記リテーナリングの上面には環状凹部が形成されており、前記環状凹部の側面に前記第２ねじが形成されていることを特徴とするリテーナリング。
【請求項２９】
基板接触面を有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に連結されたドライブリングとを備えた研磨ヘッドに使用されるリテーナリングであって、
前記ドライブリングに形成された第１ねじに係合する第２ねじを有し、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、
前記リテーナリングは、環状リテーナリング本体と、前記環状リテーナリング本体の上面から上方に突出する環状突部を有しており、
前記環状突部の側面に前記第２ねじが形成されていることを特徴とするリテーナリング。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上述した目的を達成するために、本発明の一態様は、研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、基板を前記研磨パッドに押し付けるための研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドを回転させるためのヘッドモータとを備え、前記研磨ヘッドは、基板接触面を有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に連結されたドライブリングと、前記基板接触面を囲み、前記ドライブリングに接続されたリテーナリングとを備え、前記ドライブリングには第１ねじが形成され、前記リテーナリングには前記第１ねじに係合する第２ねじが形成されており、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、前記ドライブリングは、環状ドライブリング本体と、前記環状ドライブリング本体の下面から下方に突出する環状突部を有しており、前記リテーナリングの上面には、前記環状突部が収容される環状凹部が形成されており、前記環状突部の側面には前記第１ねじが形成され、前記環状凹部の側面には前記第２ねじが形成されていることを特徴とする研磨装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の好ましい態様は、前記環状突部は、前記環状ドライブリング本体に固定されたねじリングの少なくとも一部から構成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記環状ドライブリング本体の下面は、前記リテーナリングの上面と接触していることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記リテーナリングは、環状リテーナリング本体と、前記環状凹部および前記第２ねじが形成された凹リングとを有しており、前記凹リングは、前記環状リテーナリング本体よりも高い強度を有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の他の態様は、研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、基板を前記研磨パッドに押し付けるための研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドを回転させるためのヘッドモータとを備え、前記研磨ヘッドは、基板接触面を有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に連結されたドライブリングと、前記基板接触面を囲み、前記ドライブリングに接続されたリテーナリングとを備え、前記ドライブリングには第１ねじが形成され、前記リテーナリングには前記第１ねじに係合する第２ねじが形成されており、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、前記リテーナリングは、環状リテーナリング本体と、前記環状リテーナリング本体の上面から上方に突出する環状突部を有しており、前記ドライブリングの下面には、前記環状突部が収容される環状凹部が形成されており、前記環状凹部の側面には前記第１ねじが形成され、前記環状突部の側面には前記第２ねじが形成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記環状突部は、前記環状リテーナリング本体に固定されたねじリングの少なくとも一部から構成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記環状リテーナリング本体の上面は、前記ドライブリングの下面と接触していることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のさらに他の態様は、基板接触面を有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に連結されたドライブリングと、前記基板接触面を囲み、前記ドライブリングに接続されたリテーナリングとを備え、前記ドライブリングには第１ねじが形成され、前記リテーナリングには前記第１ねじに係合する第２ねじが形成されており、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、前記ドライブリングは、環状ドライブリング本体と、前記環状ドライブリング本体の下面から下方に突出する環状突部を有しており、前記リテーナリングの上面には、前記環状突部が収容される環状凹部が形成されており、前記環状突部の側面には前記第１ねじが形成され、前記環状凹部の側面には前記第２ねじが形成されていることを特徴とする研磨ヘッドである。
本発明のさらに他の態様は、基板接触面を有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に連結されたドライブリングと、前記基板接触面を囲み、前記ドライブリングに接続されたリテーナリングとを備え、前記ドライブリングには第１ねじが形成され、前記リテーナリングには前記第１ねじに係合する第２ねじが形成されており、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、前記リテーナリングは、環状リテーナリング本体と、前記環状リテーナリング本体の上面から上方に突出する環状突部を有しており、前記ドライブリングの下面には、前記環状突部が収容される環状凹部が形成されており、前記環状凹部の側面には前記第１ねじが形成され、前記環状突部の側面には前記第２ねじが形成されていることを特徴とする研磨ヘッドである。
本発明のさらに他の態様は、基板接触面を有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に連結されたドライブリングとを備えた研磨ヘッドに使用されるリテーナリングであって、前記ドライブリングに形成された第１ねじに係合する第２ねじを有し、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、前記リテーナリングの上面には環状凹部が形成されており、前記環状凹部の側面に前記第２ねじが形成されていることを特徴とする。
本発明のさらに他の態様は、基板接触面を有するヘッド本体と、前記ヘッド本体に連結されたドライブリングとを備えた研磨ヘッドに使用されるリテーナリングであって、前記ドライブリングに形成された第１ねじに係合する第２ねじを有し、前記第２ねじは前記リテーナリングの周方向に延びており、前記リテーナリングは、環状リテーナリング本体と、前記環状リテーナリング本体の上面から上方に突出する環状突部を有しており、前記環状突部の側面に前記第２ねじが形成されていることを特徴とする。