【事件の表示】
　平成１１年特許願第３６９３５１号「表面形状の計測装置および計測方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　７月　６日出願公開、特開２００１−１８３１１７〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】（手続の経緯・本願発明）
　本願は、平成１１年１２月２７日の出願であって、その請求項１〜７に係る発明は、明細書及び図面の記載からみて、平成１４年５月２２日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項７には次のとおり記載されている（以下、請求項７に係る発明を「本願発明」という。）。
「【請求項７】　レーザスポット光を回転ミラーにより被測定物上で扇状に走査し、被測定物表面で散乱反射した前記レーザスポット光の反射光を受光素子に受光し、所期の間隔で受光素子上の受光位置に基づいて被測定物表面までの距離に対応した距離を求め、前記回転ミラーと同軸に配され一体で回転するスキャナ角度検出用ミラーで反射するレーザ光に基づいて前記所期の間隔に同期して前記回転ミラーの角度を検出し、同一時刻における前記距離と前記回転ミラー角度に基づいて、被測定物の表面形状を計測することを特徴とする表面形状の計測方法。」
　
【２】（引用例）
　これに対し、原査定の拒絶の理由に引用され、本願出願前に頒布された刊行物である特開平１１−１３２７３４号公報（以下、「引用例」という）には、被測定面上の測定物の形状を測定するための形状測定装置に関し、図面とともに以下の記載がある。
ａ．「【００１４】走査ミラー３が回転軸心３Ｂを中心に揺動駆動されると、水平方向から経路ａを通って入射されたレーザ光は、θｂの走査角度をもって経路ｂ1 から経路ｂ2までの間を走査する。ここで、走査ミラー３に投光されるレーザ光は、常に反射面３Ａの回転軸心３Ｂ上の一点（図１においてＰで示す位置）で反射されることとなるから、走査ミラー３の揺動駆動により経路ａからのレーザ光が、経路ｂ（経路ｂ1 〜経路ｂ2 内）のいずれの経路を通る場合でも、経路ｂは図２における紙面左右方向にずれることがないため、被測定面４上での走査軌跡Ｌを直線とすることができる。」
　前記記載ａ．から、
・レーザ光を走査ミラー３により被測定面４上でθｂの走査角度をもって走査する構成が読みとれる。
ｂ．「【００１５】被測定面４上に投光されたスポット光は、拡散反射し、その一部が経路ｃを通って受光レンズとしてのシリンダーレンズ５に入射する。・・・シリンダーレンズ５を通過した反射光は、走査ミラー３の反射面３Ａの回転軸心３Ｂ上のＰ点へと投光されることとなる。」
ｃ．「【００１７】反射面３Ａで反射された反射光は、経路ｅを通って、対物レンズ７Ａを通過させることにより被測定面４上のスポット光の実像が形成され、続いて、接眼レンズ７Ｂを通過させることにより該実像が一次元ＰＳＤ７に１：１で結像されるように拡大される。被測定面４のスポット光の当たる部分の高さが変化した場合、反射面３Ａと経路ｄとの合点は、回転軸心３Ｂに沿って上下方向に変化するので、これにより経路ｅも上下方向に変化する。この上下方向の変化を一次元ＰＳＤ７で検出することにより、被測定面４上の高さを測定することができる。」
　前記記載ｂ．ｃ．より、
・被測定面４上で拡散反射したレーザ光を一次元ＰＳＤ７に結像し、該一次元ＰＳＤ７上の上下方向の変化に基づいて被測定面４上の高さを求めることが読みとれる。
ｄ．「【００２７】要するに、ＬＤ発光タイミング検出回路２４は、レーザ光が検出幅約２２[mm]を走査する期間を検出してＬＤ発光信号を出力する。そして、この検出出力に応じてＬＤ２は、パルス発光される。２５は高さ検出回路であり、ＬＤ２の発光に同期して１次元ＰＳＤ７により検出された検出信号をアナログからデジタルに変換してＣＰＵ２０へと出力するものである。」
　前記記載ｄ．から、
・ＬＤ２のパルス発光に同期して一次元ＰＳＤ７より被測定面４上の高さを示す信号を検出することが読みとれる。
ｅ．「【００１９】８はビームスプリッタであり、経路ｂの途中に配置され、走査ミラー３からのレーザ光を、９０％被測定面４上へと透過し、１０％取り出すものである。」
ｆ．「【００２０】ビームスプリッタ８で反射され水平方向へと進むレーザ光の進路には、ＣＣＤラインセンサ９が、やはり、ビームスプリッタ８と同様にレーザ光の走査方向に伸長し、且つ受光面９Ａにレーザ光が垂直に当たるように配置されている。」
ｇ．「【００２１】・・・ＣＣＤラインセンサ９の受光面９Ａ上でのレーザ光の走査幅は、被測定面４上の走査幅と同一の約３４[mm]であるから、レーザ光の全走査位置が検出可能である。」
　前記記載ｅ．〜ｇ．より、
・走査ミラー３で反射するレーザ光に基づいて該レーザ光の走査位置をＣＣＤラインセンサ９で検出する構成が読みとれる。
ｈ．「【００２８】２６は走査位置検出回路であり、ＬＤ発光タイミング検出回路２４からの検出出力に基いて、ＬＤ発光タイミングでない時（高さ検出期間ではない時）に、高さ検出期間にＣＣＤラインセンサ９に蓄積された走査位置情報を取り出してＣＰＵ２０へと出力する。」
ｉ．「【００３２】・・・高さ検出期間にＣＣＤラインセンサ９からの走査位置信号の出力が確認される（ステップ１４）と、各受光セルに蓄えられたＣＣＤカウンタ値が読み込まれ（ステップ１５）、そのカウンタ値に基いてＣＰＵ２０により走査位置が演算される（ステップ１６）。」
　前記記載ｉ．中、「高さ検出期間にＣＣＤラインセンサ９からの走査位置信号の出力が確認される（ステップ１４）」時とは、すなわちＬＤ２のパルス発光時であることを考慮すると、前記記載ｈ．〜ｉ．より、
・ＬＤ２のパルス発光に同期して走査ミラー３の走査位置を検出する構成、
が読みとれる。
ｊ．「【００３１】ＬＤ２が発光されて１次元ＰＳＤ７によりそのＬＤ発光信号が出力される（ステップ５）と、・・・ＰＳＤ出力値が読み込まれ（ステップ７）、その出力値に基いてＣＰＵ２０にて高さ演算処理が行われる（ステップ８）。演算処理により求められた高さデータは、メモリにストアされ（ステップ９）・・・」
ｋ．「【００３３】演算処理により求められた走査位置データは、高さデータと同じくメモリにストアされ」
ｌ．「【００３７】上記の工程により、図６（ｃ）に示した走査位置データ表が完成される。図６（ｃ）の場合も、高さデータメモリアドレスと走査位置データメモリアドレスとに示される番号は、互いに対応しており、例えば、走査位置データメモリアドレスが１の走査位置では、高さは高さデータメモリアドレスが１の値であるということである。このように、高さデータと走査位置データとを対応させることによって、所定の走査位置における正確な高さデータを得ることができる。」
　前記記載ｊ．〜ｌ．より、
・アドレス番号が互いに対応する高さデータメモリアドレスと走査位置データメモリアドレスでの高さデータと走査位置データに基づいて所定の走査位置における高さデータを計測する構成、
が読みとれる。
　以上のことを考慮すると、引用例には次の発明が記載されていることになる。
（引用例に記載された発明）
　レーザ光を走査ミラー３により被測定面４上でθｂの走査角度をもって走査し、被測定面４上で拡散反射したレーザ光を一次元ＰＳＤ７に結像し、ＬＤ２のパルス発光に同期して該一次元ＰＳＤ７上の上下方向の変化に基づいて被測定面４上の高さを求め、走査ミラー３で反射するレーザ光に基づいて前記ＬＤ２のパルス発光に同期して前記レーザ光の走査位置をＣＣＤラインセンサ９で検出し、アドレス番号が互いに対応する高さデータメモリアドレスと走査位置データメモリアドレスでの高さデータと走査位置データに基づいて所定の走査位置における高さデータを計測する被測定面の形状の測定方法。
　
【３】（対比・当審の判断）  
　本願発明と引用例に記載された発明とを対比すると、先ず、引用例に記載された発明における「走査ミラー３」は、本願発明における「回転ミラー」に相当し、さらに引用例に記載された発明における「走査ミラー３で反射するレーザ光の走査位置」は、走査ミラー３の回転角度に対応していることは明らかであるから、本願発明における「回転ミラーの角度」に相当すると言える。
　また、引用例に記載された発明における「アドレス番号が互いに対応する高さデータメモリアドレスと走査位置データメモリアドレスでの高さデータと走査位置データ」は、それぞれ高さ検出期間におけるＬＤ２のパルス発光に同期しているのであるから、同一時刻におけるデータであることは明らかである。
　以上のことを考慮すると、引用例に記載された発明における
「レーザ光」、「被測定面４」、「θｂの走査角度をもって走査」、「拡散反射」、「一次元ＰＳＤ７」、「結像」、「ＬＤ２のパルス発光に同期して」、「一次元ＰＳＤ７上の上下方向の変化」、「被測定面４上の高さ」、「レーザ光の走査位置をＣＣＤラインセンサ９で検出」、「アドレス番号が対応する高さデータメモリアドレスと走査位置データメモリアドレスでの高さデータと走査位置データ」、「所定の走査位置における高さデータ」、「被測定面の形状」、
は、それぞれ、本願発明における
「レーザスポット光」、「被測定物」、「扇状に走査」、「散乱反射」、「受光素子」、「受光」、「所期の間隔で」、「受光素子上の受光位置」、「被測定物表面までの距離に対応した距離」、「回転ミラーの角度を検出」、「同一時刻における前記距離と前記回転ミラー角度」、「被測定物の表面形状」、「表面形状」、
に相当し、
本願発明における「回転ミラーと同軸に配され一体で回転するスキャナ角度検出用ミラー」も、引用例に記載された発明における「走査ミラー３」も共に反射鏡であるから、
本願発明と引用例に記載された発明とは、
（一致点）
　レーザスポット光を回転ミラーにより被測定物上で扇状に走査し、被測定物表面で散乱反射した前記レーザスポット光の反射光を受光素子に受光し、所期の間隔で受光素子上の受光位置に基づいて被測定物表面までの距離に対応した距離を求め、反射鏡で反射するレーザ光に基づいて前記所期の間隔に同期して前記回転ミラーの角度を検出し、同一時刻における前記距離と前記回転ミラー角度に基づいて、被測定物の表面形状を計測する表面形状の計測方法、
で一致し、以下の点で相違する。
（相違点）
　回転ミラーの角度を検出する「反射鏡」について、
　本願発明では、回転ミラーとは別に「回転ミラーと同軸に配され一体で回転するスキャナ角度検出用ミラー」を設けているのに対し、引用例に記載された発明では「走査ミラー３」であること、すなわち、引用例に記載された発明では、特にスキャナ角度検出用ミラーを設けることなく、回転ミラーの角度を直接検出している点。
　前記相違点について検討する。
　本願発明においても、引用例に記載された発明においても、共に回転ミラーの角度を検出する点で両者に差異はない。ただ、その具体的構成において、本願発明では、
１．スキャナ角度検出用ミラーを回転ミラーとは別に設け、回転ミラーの角度を該スキャナ角度検出用ミラーにより検出していること、及び、
２．スキャナ角度検出用ミラーは回転ミラーと同軸に配され一体で回転するものであること、
の２点で、回転ミラーの角度を直接検出する引用例に記載された発明とは相違するものであると捉えることができる。
　しかしながら、
１．について、
　反射鏡式偏向器の角度検出技術分野において、回転ミラーとは別に回転ミラーの角度を検出するミラーを設けたものは周知である（例えば、実願平２−９３４１９号（実開平４−５１６２５号）のマイクロフィルム参照）から、引用例に記載された発明において、回転ミラーの角度を直接検出する代わりに、スキャナ角度検出用ミラーを別に設ける構成を採用することに、格別の創意を要するものとは言えない。
２．について、
　反射鏡式偏向器の角度検出技術分野において、回転ミラーの角度を検出する機構を回転ミラーと同軸かつ一体に回転するように配置したものは周知であり（例えば、実願平２−９３４１８号（実開平４−５１６２４号）のマイクロフィルム参照）、かつ、二つのミラーを同軸かつ一体に回転するように配したミラー構成自体も普通に見られる構成である（特開昭５３−３９７０４号公報、実願昭６２−１４７３６９号（実開昭６４−５１８０７号）のマイクロフィルム参照）ことを併せ考えれば、引用例に記載された発明において、回転ミラーの角度を直接検出する構成に代えてスキャナ角度検出用ミラーを回転ミラーと同軸に配し一体で回転する構成を採用することは、当業者が容易に想到し得るところと言えるものである。
　そして、本願発明による効果は、当業者が引用例及び周知事項から容易に予測できる範囲のものである。
　
【４】（むすび）
  したがって本願の請求項７に係る発明は、前記引用例に記載された発明及び周知事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることが出来ない。
　前記のとおり、本願の請求項７に係る発明が特許を受けることができないものであるから、本願の請求項１乃至６に係る発明について審究するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。