【事件の表示】
　特許第３２７６９３６号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．請求の要旨
　本件審判の請求の要旨は、特許第３２７６９３６号（平成１０年１２月２５日特許出願、平成１４年２月８日設定登録）の願書に添付した明細書を、平成１５年９月２日付け審判請求書に添付した訂正明細書のとおり訂正することを求めるものと認められるところ、その要旨は、以下の訂正事項１〜７のとおりのものと認める。
　（１）訂正事項１
　願書に添付した明細書中の請求項１を以下のように訂正する。
「【請求項１】一側に被制御流体の流入部（１２）を有し弁座（１６）を介して他側に被制御流体の流出部（１５）が形成されたチャンバ（２０）を有するボディ本体（１１）と、前記弁座を開閉する弁部（４１）と前記流入部側に配された第一ダイヤフラム部（５０）と前記流出部側に配された第二ダイヤフラム部（６０）とを有する弁機構体（４０）とからなり、
　前記各ダイヤフラム部は、それらの外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャンバ内に取り付けられていて、該チャンバを第一ダイヤフラム部外側の第一加圧室（２１）、前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部に囲まれ前記流入部及び弁座ならびに流出部を有する弁室（２５）、及び第二ダイヤフラム部外側の第二加圧室（３０）に区分しており、前記第一加圧室及び第二加圧室に設けられた第一加圧手段（Ｍ１）及び第二加圧手段（Ｍ２）によって前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部を常時弁室方向に一定圧力を加えるようにしてなる流量コントロールバルブ（１０）において、
　前記弁機構体（４０）の第一ダイヤフラム部（５０）に弁部（４１）を有する第一部材（５１）を一体に設けるとともに、前記第二ダイヤフラム部（６０）には前記第一部材と分離自在に遊嵌結合された第二部材（６１）を一体に設け、前記第一部材と第二部材の分離によって前記弁部と弁座との間の微細な塵の発生を防止しうるようにした
　ことを特徴とする流量コントロールバルブ。」
　（２）訂正事項２
　願書に添付した明細書中の【０００６】を次のように訂正する。
「【０００６】
　しかしながら、この先行技術においては、前記弁機構体１２０が第一ダイヤフラム部１２２側と第二ダイヤフラム部１２３側とが一体に結合されていることにより、次のような問題が新たに生ずることがわかった。
　すなわち、流出側（二次側）につまりや閉状態などの負荷の増大が生じ流出部１１２側の第二ダイヤフラム部１２３に大きな背圧が加わった場合には、弁機構体１２０に負荷がかかるということである。弁機構体１２０に負荷がかかると、第一ダイヤフラム部１２２と第二ダイヤフラム部１２３の固着部（通常は螺着部）に劣化や損傷を生ずるおそれがある。のみならず、流出部１１２側の背圧により弁機構体１２０の弁部１２１が移動して弁座１１３を閉じる場合には、第一加圧手段１５１から第一ダイヤフラム部１２２側を介してかかる設定圧力のほかに第二ダイヤフラム部１２３側にかかる外向きの背圧が加わるので、当該弁機構体１２０の弁部１２１とボディ本体１１０の弁座１１３との間に大きな摩擦力が働き、塵（パーティクル）の発生を招くおそれがある。」
　（３）訂正事項３
　願書に添付した明細書中の【０００７】を次のように訂正する。
「【０００７】
　これらの問題は流量コントロールバルブの機能ならびに耐久性を低下させるのみならず、流量制御の信頼性を損ねることにもなりかねない。特に、この種のバルブが超純水や薬液等に用いられる場合には、微細な塵の発生はそのような用途へのこの種バルブの適用を拒絶する。」
　（４）訂正事項４
　願書に添付した明細書中の【０００８】を次のように訂正する。
「【０００８】
　　【発明が解決しようとする課題】
　この発明は、このような問題に対処するために提案されたものであって、流出側（二次側）の負荷の増大に伴う弁部と弁座間の塵の発生を解消することができる新規な流量コントロールバルブの構造を提供することを目的とする。また、この発明は、さらに進んで、二次側を閉状態とすることができ、これによって新たな使用態様を可能にする流量コントロールバルブの構造を提供することを目的とする。
　もちろん、この発明は、機械的あるいは電気的な複雑かつ高価な機構を用いることなく、ダイヤフラム機構を採用することによって、瞬間的な負荷変動あるいは脈動のような変化に対しても、瞬時に対応することができ、機構的にも簡単かつ単純で、設備および維持上においても優れた流量コントロールバルブを提供することを目的とする。」
　（５）訂正事項５
　願書に添付した明細書中の【０００９】を次のように訂正する。
「【０００９】
　　【課題を解決するための手段】
　すなわち、請求項１の発明は、一側に被制御流体の流入部（１２）を有し弁座（１６）を介して他側に被制御流体の流出部（１５）が形成されたチャンバ（２０）を有するボディ本体（１１）と、前記弁座を開閉する弁部（４１）と前記流入部側に配された第一ダイヤフラム部（５０）と前記流出部側に配された第二ダイヤフラム部（６０）とを有する弁機構体（４０）とからなり、前記各ダイヤフラム部は、それらの外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャンバ内に取り付けられていて、該チャンバを第一ダイヤフラム部外側の第一加圧室（２１）、前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部に囲まれ前記流入部及び弁座ならびに流出部を有する弁室（２５）、及び第二ダイヤフラム部外側の第二加圧室（３０）に区分しており、前記第一加圧室及び第二加圧室に設けられた第一加圧手段（Ｍ１）及び第二加圧手段（Ｍ２）によって前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部を常時弁室方向に一定圧力を加えるようにしてなる流量コントロールバルブ（１０）において、前記弁機構体（４０）の第一ダイヤフラム部（５０）に弁部（４１）を有する第一部材（５１）を一体に設けるとともに、前記第二ダイヤフラム部（６０）には前記第一部材と分離自在に遊嵌結合された第二部材（６１）を一体に設け、前記第一部材と第二部材の分離によって前記弁部と弁座との間の微細な塵の発生を防止しうるようにしたことを特徴とする流量コントロールバルブに係る。」
　（６）訂正事項６
　願書に添付した明細書中の【００３３】を次のように訂正する。
「【００３３】
　このように、この発明構造にあっては、従来のこの種バルブの問題点であった、弁機構体４０全体に多大な負荷がかかって弁機構体４０の弁部４１とボディ本体１１の弁座１６との間の微細な塵が発生することをことごとく防止することができるのである。」
　（７）訂正事項７
　願書に添付した明細書中の【００４１】を次のように訂正する。
「【００４１】
　　【発明の効果】
　以上図示し説明したように、この発明の流量コントロールバルブにあっては、流出側（二次側）の負荷の増大に伴う弁部と弁座間の塵の発生を解消することができ、特に、被制御流体が超純水や薬液等である場合には、高い適用性を有する。」
　
２．訂正拒絶の理由
　上記訂正事項１は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものと認められるところ、平成１５年１０月１５日付けで通知した訂正の拒絶の理由の概要は、次のとおりである。
　「訂正後における特許請求の範囲の請求項１に記載されている事項により構成されている発明は、上記特許出願の出願前に頒布された特開平６−２９５２０９号公報（平成６年１０月２１日発行：以下「引用例１」という。）、特開平７−１９３７０号公報（平成７年１月２０日発行：以下「引用例２」という。）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができるものではない。したがって、本件審判の請求は、特許法第１２６条第４項の規定に適合しない。」
　
３．上記訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１の記載と引用例の記載
　上記訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１の記載は次のとおりである。
　「【請求項１】一側に被制御流体の流入部（１２）を有し弁座（１６）を介して他側に被制御流体の流出部（１５）が形成されたチャンバ（２０）を有するボディ本体（１１）と、前記弁座を開閉する弁部（４１）と前記流入部側に配された第一ダイヤフラム部（５０）と前記流出部側に配された第二ダイヤフラム部（６０）とを有する弁機構体（４０）とからなり、
　前記各ダイヤフラム部は、それらの外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャンバ内に取り付けられていて、該チャンバを第一ダイヤフラム部外側の第一加圧室（２１）、前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部に囲まれ前記流入部及び弁座ならびに流出部を有する弁室（２５）、及び第二ダイヤフラム部外側の第二加圧室（３０）に区分しており、前記第一加圧室及び第二加圧室に設けられた第一加圧手段（Ｍ１）及び第二加圧手段（Ｍ２）によって前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部を常時弁室方向に一定圧力を加えるようにしてなる流量コントロールバルブ（１０）において、
　前記弁機構体（４０）の第一ダイヤフラム部（５０）に弁部（４１）を有する第一部材（５１）を一体に設けるとともに、前記第二ダイヤフラム部（６０）には前記第一部材と分離自在に遊嵌結合された第二部材（６１）を一体に設け、前記第一部材と第二部材の分離によって前記弁部と弁座との間の微細な塵の発生を防止しうるようにした
　ことを特徴とする流量コントロールバルブ。」
　
　そして、引用例１には、「流体コントロールバルブ」に関して、図１〜図６とともに次のような記載がある。
　Ａ）「【００１１】図１ないし図３に示す実施例のコントロールバルブ１０は、弁体１１と、その弁体が収容されるバルブ本体３１とからなる。弁体１１は、図１及び図２に示されるように、ロッド部１２とダイヤフラム２２からなる。ロッド部１２は、上端１３側が下端１４側よりも大径となった縦断面形状がほぼ「Ｔ」字形からなる筒状のもので、上下２つの半体１５，１６が螺合により一体に組み合わされてなる。ロッド部１２の下端１４側には、流量制御部１７（図２及び図３に示す）が環状突出形状に形成されている。」
　Ｂ）「【００１２】ダイヤフラム２２は前記ロッド部１２の上端部にロッド部１２と一体に形成されたものである。このダイヤフラム２２はロッド部１２の上端部外周に鍔状に突出して、その外周縁２３が厚肉となっている。」
　Ｃ）「【００１３】バルブ本体３１は、第１ブロック３２と第２ブロック４２間に第３ブロック５２を挟んだ３層構造の円筒状からなり、・・・第１ブロック３２及び第２ブロック４２内には、加圧気体流入路３３，４３と加圧室３４，４４が形成されている。加圧気体流入路３３，４３は一端がバルブ本体外面で開口し、他端が加圧室３４，４４に通じている。」
　Ｄ）「【００１４】第３ブロック５２は、バルブ本体３１の中間部を構成するもので、中央には内部を貫通する弁室５３が形成されている。弁室５３は、中間部が細くなってほぼ「エ」字形の縦断面形状をした貫通穴からなるもので、ロッド部１２の外径より大となっている。弁室５３両端の内径は、第１ブロック３２の加圧室３４内径とほぼ等しくされ、また第１ブロック３２との合わせ面には弁室５３外周に凹溝５５が形成されている。
　【００１５】前記凹溝５５にダイヤフラム２２の外周縁２３が嵌着されて弁体１１が弁室５３内に収容され、その後各ブロック３２，４２，５２が組み合わされて一体にされる。バルブ本体３１内に収容された弁体１１のロッド部１２外周面と、弁室５３内壁面間には被制御流体通路５６が形成される。その被制御流体通路５６において、前記弁体ロッド部１２の流量制御部１７に対向する弁室内壁面５４（図３に示す）との間が流量制御通路部５８になる。また、被制御流体通路５６は、ロッド部１２の小径端部側において被制御流体流入口５９に通じ、他方ロッド部１２の大径側端部において被制御流体流出口６０に通じている。」
　Ｅ）「【００１６】このようにしてなるコントロールバルブ１０は、流量及び圧力を制御したい気体あるいは液体からなる被制御流体の供給源に、パイプを介して被制御流体流入口５９が接続され、その被制御流体流入口５９から内部に被制御流体が送り込まれる。また、加圧気体流入路３３，４３からは、一定圧力に加圧された気体、たとえば圧縮空気が吹き込まれる。この加圧気体の圧力は、被制御流体の２次側流量及び圧力等により定められる。」
　Ｆ）「【００１８】そして、被制御流体の１次側流量あるいは圧力が変動した場合には次のように作動する。まず流量あるいは１次圧力が増大した場合について説明する。その場合には、初めに被制御流体流出口６０から流出する流量および２次圧力が増大する。
　【００１９】しかし、それと同時に前記ロッド部１２端部の大径側端部に内側から加わる圧力も増大するため、その内圧がロッド部の大径側端部外側にある加圧室３４の圧力に打ち勝ってロッド部１２が大径側端部方向に押される。そして鎖線のようにダイヤフラム２２が変形してロッド部１２が大径側端部方向へスライドし、それにより流量制御通路部５８が狭くなって被制御流体通路５６を流れる流量が減少する。その結果、２次側の被制御流体流出口６０から流出する流量が減少して２次圧力が低下し、２次側の流量及び圧力変動が抑えられる。
　【００２０】一方、１次側流量及び圧力が減少した場合には、被制御流体流出口６０から流出する流量及び２次圧力が一旦減少する。しかし、それと同時に前記ロッド部１２端部の大径側端部に内側から加わる圧力が低下して加圧室３４の圧力よりも低下するため、ロッド部１２が小径側端部方向に押されてスライドする。それにより流量制御通路部５８が広くなって被制御流体通路５６を流れる流量が増大する。その結果、２次側の被制御流体流出口６０から流出する流量が増大して２次圧力が増大し、２次側の流量及び圧力変動が抑えられる。」
　Ｇ）「【００２１】図４ないし図６に他の実施例を示す。この実施例のコントロールバルブ７０は、弁体７１がロッド部７２の大径側端部に第１のダイヤフラム７４、小径側端部に第２のダイヤフラム７６を有するものである。図中７８はバルブ本体、７９，８０は加圧室、８１は弁室、８２は流量制御部、８３は流量制御通路部、８４は被制御流体通路、８５，８６は加圧気体流入路、８７は被制御流体流入口、８８は被制御流体流出口である。この実施例においては、弁室８１と加圧室７９，８０とは、第１ダイヤフラム７４，第２ダイヤフラム７６により仕切られている。」
　　
　上記Ａ）、Ｃ）〜Ｅ）の記載と図１，図３とからみて、引用例１の図１ないし図３に記載されたコントロールバルブ１０（以下、「第１実施例のもの」という。）は、加圧室３４の形成された第１ブロック３２と加圧室４４の形成された第２ブロック４２との間に、流入口５９，流出口６０，弁室５３の形成された第３ブロック５２を挟むことにより内部に一つのチャンバが形成されたバルブ本体３１と、螺合により結合された上下の半体１５，１６で構成されるロッド部１２と上側の半体１５に一体形成され流出口６０側に配されたダイヤフラム２２とを有する弁体１１と、からなる流量コントロールバルブであって、下側の半体１６には流量制御部１７が設けられ、これに対向する弁室内壁面５４との間に流量制御通路部５８が形成されており、下側の半体１６の下端には加圧室４４の加圧面が形成されているものと認める。そして上記Ｆ）の記載から、弁室５３のロッド部大径側の部分と加圧室３４との圧力差によってダイヤフラム２２が変形し、ロッド部１２がスライドして流量制御部１７が弁室内壁面５４に接近離間し、これにより流量制御通路部５８が拡縮して２次側の流量及び圧力変動を抑えるようにしているものと認められるから、上記流量制御部１７は弁部として、弁室内壁面５４は弁座として機能しているものと認める。
　したがってこれらの記載からみて、バルブ本体３１は、一側に被制御流体の流入口５９を有し弁座として機能する弁室内壁面５４を介して他側に被制御流体の流出口６０が形成されたチャンバを有するとともに、弁体１１は弁室内壁面５４に接近離間する弁部として機能する流量制御部１７と流出口６０側に配されたダイヤフラム２２とを有しているものと認める。
　また、上記Ｂ）、Ｄ）の記載からみて、ダイヤフラム２２は外周縁２３がバルブ本体１１の凹溝５５に嵌着固定されてバルブ本体１１のチャンバ内に取り付けられているものと認められ、上記Ｅ）の記載からみて、加圧室３４，４４には加圧気体流入路３３，４３から一定圧力に加圧された気体がそれぞれ吹き込まれ、ダイヤフラム２２及び半体１６下端の加圧面を常時弁室方向に一定圧力で加圧しているものと認められる。
　また、引用例１の図４ないし図６に記載されたコントロールバルブ７０（以下、「第２実施例のもの」という。）は、上記Ｇ）の記載と図４、図６とからみて、第１実施例の流量コントロールバルブにおいて、ロッド部の下側の半体の下端に形成されていた加圧面を、該半体と一体の第２ダイヤフラム７６（両者は図６からみて明らかに一体である。）として構成し、さらに、ダイヤフラム２２と呼んでいた上側の半体と一体の部分を第１ダイヤフラム７４と呼び直したものであって、これらのダイヤフラムによって、チャンバを第２ダイヤフラム７６外側の加圧室８０、第２ダイヤフラム７６及び第１ダイヤフラム７４に囲まれ流入口８７及び流量制御部８２に対向する弁室内壁面ならびに流出口８８を有する弁室８１、及び第１ダイヤフラム７４外側の加圧室７９に区分しているものと認める。
　そして第２実施例のものは、これ以外の部分については第１実施例のものと構成上の差異が認められないから、第２実施例のものの他の部分、例えば流量制御部８２やこれに対向する弁室内壁面、ダイヤフラム等の作動形態、取付構造は、第１実施例のものの対応する部分の作動形態、取付構造と差異がないものと認める。
　したがって、引用例１の第２実施例のものは、一側に被制御流体の流入口８７を有し、流量制御部８２に対向する弁室内壁面を介して他側に被制御流体の流出口８８が形成されたチャンバを有するバルブ本体７８と、螺合により結合された上下の半体からなり下側の半体が該弁室内壁面に接近離間する流量制御部８２を有するロッド部７２、下側の半体と一体で流入口８７側に配された第２ダイヤフラム７６、上側の半体と一体で流出口８８側に配された第１ダイヤフラム７４とを有する弁体７１とからなり、各ダイヤフラムはバルブ本体１１に固定されてチャンバ内に取り付けられ、加圧室７９，８０にそれぞれ送り込まれた加圧気体によってダイヤフラム７４，７６を常時弁室方向に一定圧力を加えるようにしているものと認められる。
　したがって、引用例１には、
　「一側に被制御流体の流入口８７を有し流量制御部８２に対向する弁室内壁面を介して他側に被制御流体の流出口８８が形成されたチャンバを有するバルブ本体７８と、前記弁室内壁面に接近離間する流量制御部８２と前記流入口８７側に配された第２ダイヤフラム７６と前記流出口６０側に配された第１ダイヤフラム７４とを有する弁体７１とからなり、
　前記各ダイヤフラムは、それらの外周部が前記バルブ本体７８に固定されて前記チャンバ内に取り付けられていて、該チャンバを第２ダイヤフラム７６外側の加圧室８０、前記第２ダイヤフラム７６及び第１ダイヤフラム７４に囲まれ前記流入口８７及び流量制御部８２に対向する弁室内壁面ならびに流出口８８を有する弁室８１、及び第１ダイヤフラム７４外側の加圧室７９に区分しており、前記加圧室８０及び加圧室７９に設けられた第一の加圧気体及び第二の加圧気体によって前記第２ダイヤフラム７６及び第１ダイヤフラム７４を常時弁室８１方向に一定圧力を加えるようにしてなる流量コントロールバルブ７０において、
　前記弁体７１の第２ダイヤフラム７６に流量制御部８２を有するロッド部７２の下側の半体を一体に設けるとともに、前記第１ダイヤフラム７４には前記ロッド部７２の下側の半体と螺合により結合されたロッド部７２の上側の半体を一体に設けた流量コントロールバルブ。」の発明（以下、「引用例１の発明」という。）が記載されているものと認める。
　
　さらに、引用例２には、「流体制御弁」に関して、図１とともに次の事項が記載されている。
　Ｈ）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は・・・流体制御弁、詳しくは強制開弁機構またはバイパス機構、およびこれに加えて強制閉止機構を具えた減圧弁、減圧定流量弁または定流量弁に関するものである。」
　Ｉ）「【００１３】
【実施例１】図１，２，３は・・・第一発明の実施例を示すものであって、弁本体１の内部に形成された流路２の中間部にシート面が下向きの弁座３が設けられ、その上方である一次室５は流路２の一次通路６と連通し下方である二次室７は二次通路８と連通している。二次室７にはディスク形の弁体１０が装入されており、この弁体１０を固着して弁座孔４，一次室５を貫通し上方へ延びる弁体ステム１１が一次室５の上方において弁本体１に貫通形成したピストンガイド孔１２に液密に嵌装されたピストン１３に結合されている。また、弁体１０から二次室７を貫通して下方へ延びる案内棒１４が弁本体１の下ふた体１５の案内孔１６に挿入されているとともに、弁体１０と下ふた体１５との間に圧縮コイルばねからなる閉弁ばね１７が装入されている。
【００１４】弁本体１の上方にはばねケース１８が取付けられており、それらに外側周縁部を挟み固定したダイヤフラム１９の中心下面に重ねてボルト２０により固着したナット状のダイヤフラムステム２１がピストン１３の上面へ開口した嵌入孔２２に先端を孔底に接触させて嵌入している。」
　Ｊ）「【００１５】減圧弁においてダイヤフラムと弁体とはステムによって直結されており、これらが常に一体に動くようになっているのが普通であるが、本実施例のように弁体１０と一体に動く弁体ステム１１およびダイヤフラム１９と一体に動くダイヤフラムステム２１を互いに嵌合して別体に動くように構成すると、ダイヤフラム１９に初期通水時、耐圧・気密試験時或いは万一の一次側からの漏洩時の高圧流体が働いて弁体１０の閉弁ストロークよりも大きく動いても、弁体１０はこのダイヤフラム１９に引張られることなく閉弁ばね１７のばね力のみで弁座３に接触し喰込みを生じることがなくなる。
【００１６】また、正常な閉弁時においても閉弁終期には閉弁ばね１７のばね力のみで弁座３に着座し、二次側流体圧力が急激に上昇した場合であっても衝撃なく閉弁させることができる、という利点がある。」
　Ｋ）「【００１９】以上の構成は二次側流体圧力をダイヤフラム１９で検知し対抗する調節ばね２８のばね力と不均衡を生じたときダイヤフラム１９の動きに連動して弁体１０が開閉動作を行なうものであり、実公昭４６−５７５４号公報などに見られるように広く知られた減圧弁と同じ働きをする。」
　
　上記Ｈ）〜Ｋ）の記載と図１とからみて、引用例２の図１の流体制御弁（減圧弁）は、一側に被制御流体の流入部である一次通路６を有し弁座３を介して他側に被制御流体の流出部である二次通路８が形成された弁本体１と、弁座３を開閉する弁体１０を固着して弁座孔４を貫通し上方へ延びる弁体ステム１１と、ダイヤフラムステム２１が固着され二次通路８に配されたダイヤフラム１９と、弁体ステム１１の上方に結合されダイヤフラムステム２１が嵌入するピストン１３とを有するものであって、二次側流体圧力をダイヤフラム１９で検知して、該二次側流体圧力が調節ばね２８のばね力と不均衡を生じたとき、ダイヤフラム１９の動きに連動して弁体１０が開閉動作を行なうものと認められ、特に上記Ｊ）の記載からみて、弁体１０と一体に動く弁体ステム１１およびダイヤフラム１９と一体に動くダイヤフラムステム２１とが、ピストン１３の部分で互いに嵌合して別体に動くように構成されていることにより、ダイヤフラム１９に大きな背圧が加わってダイヤフラムステム２１に多大な負荷がかかっても、その力が弁体１０にかかることがなく、弁体１０の弁座３へ喰込みや衝撃の発生のないもの、すなわち、弁体ステム１１とダイヤフラムステム２１とを分離することによって、弁体１０と弁座３との間に過大な力が加わらないようにしているものと認められる。
　したがって、引用例２には、　
　「一側に被制御流体の流入部である一次通路６を有し弁座３を介して他側に被制御流体の流出部である二次通路８が形成された弁本体１と、弁座３を開閉する弁体１０を固着して弁座孔４を貫通し上方へ延びる弁体ステム１１と、ダイヤフラムステム２１が固着され二次通路８に配されたダイヤフラム１９と、弁体ステム１１の上方に結合されダイヤフラムステム２１が嵌入するピストン１３とを有する流体制御弁であって、弁体ステム１１とダイヤフラムステム２１の分離によって、弁体１０と弁座３との間に過大な力が加わらないようにした流体制御弁。」の発明（以下、「引用例２の発明」という。）が記載されているものと認める。
　
４．対比
　そこで、訂正後における特許請求の範囲の請求項１に記載されている事項により構成されている発明（以下、「訂正発明」という。）と引用例１の発明とを対比すれば、引用例１の発明の「流入口８７」、「流量制御部８２に対向する弁室内壁面」、「流出口８８」、「バルブ本体７８」、「流量制御部８２」、「第２ダイヤフラム７６」、「第１ダイヤフラム７４」、「弁体７１」、「加圧室８０」、「弁室８１」、「加圧室７９」、「第一の加圧気体」、「第二の加圧気体」、「流量コントロールバルブ７０」、「ロッド部７２の下側の半体」、「ロッド部７２の上側の半体」は、それぞれ訂正発明の「流入部（１２）」、「弁座（１６）」、「流出部（１５）」、「ボディ本体（１１）」、「弁部（４１）」、「第一ダイヤフラム部（５０）」、「第二ダイヤフラム部（６０）」、「弁機構体（４０）」、「第一加圧室（２１）」、「弁室（２５）」、「第二加圧室（３０）」、「第一加圧手段（Ｍ１）」、「第二加圧手段（Ｍ２）」、「流量コントロールバルブ（１０）」、「第一部材（５１）」、「第二部材（６１）」に対応している。
　したがって訂正発明は、引用例１の発明と、
　「一側に被制御流体の流入部を有し弁座を介して他側に被制御流体の流出部が形成されたチャンバを有するボディ本体と、弁部と前記流入部側に配された第一ダイヤフラム部と前記流出部側に配された第二ダイヤフラム部とを有する弁機構体とからなり、
　前記各ダイヤフラム部は、それらの外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャンバ内に取り付けられていて、該チャンバを第一ダイヤフラム部外側の第一加圧室、前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部に囲まれ前記流入部及び弁座ならびに流出部を有する弁室、及び第二ダイヤフラム部外側の第二加圧室に区分しており、前記第一加圧室及び第二加圧室に設けられた第一加圧手段及び第二加圧手段によって前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部を常時弁室方向に一定圧力を加えるようにしてなる流量コントロールバルブにおいて、
　前記弁機構体の第一ダイヤフラム部に弁部を有する第一部材を一体に設けるとともに、前記第二ダイヤフラム部には第二部材を一体に設けた流量コントロールバルブ。」
 である点で一致し、以下の相違点で相違しているものと認める。
＜相違点＞
　１）訂正発明の弁部は弁座を開閉できるものであるのに対し、引用例１の発明の流量制御部８２は弁室内壁面に接近離間するものの、弁室内壁面を開閉できるものであるかどうかについては言及がない点。
　２）訂正発明では、第二ダイヤフラム部と一体の第二部材が、弁部を有する第一部材と分離自在に遊嵌結合され、第一部材と第二部材の分離によって前記弁部と弁座との間の微細な塵の発生を防止しうるようにされているのに対し、引用例１の発明では、第１ダイヤフラム７４と一体のロッド部７２の上側の半体が、流量制御部８２を有する下側の半体と分離自在に遊嵌結合さたものでなく、それゆえ、弁部（流量制御部８２）と弁座（流量制御部８２に対向する弁室内壁面）との間の微細な塵の発生を防止しうるようにされたものではない点。
　
５．相違点の検討
　（１）相違点１）に関して
　　引用例１の発明のような流量コントロールバルブが、二次側の流体の圧力変動に対しても二次側のダイヤフラムが変形して流量制御通路部が拡縮し、これにより二次側の流体の流量及び圧力変動を抑えるように機能すること、及び、このような流量コントロールバルブが、二次側の流体の圧力如何によっては弁座を閉じることができることは当業者において自明であり（この点については、本件の特許明細書の段落【０００６】に「・・・この先行技術（日本特許第２６７１１８３号）においては、・・・流出部１１２側の背圧により弁機構体１２０の弁部１２１が移動して弁座１１３を閉じる場合には、・・・」と記載されているように、本件出願人である特許権者も自ら認めるところである。）、さらに、このような二次側の流体の圧力変動に対してそれを抑えるように機能するバルブにおいて、弁座を開閉できるようにしておくことは引用例２の発明にみられるように周知技術である。してみれば、引用例１の発明で、弁部である流量制御部によって、弁座である弁室内壁面を開閉できるようにしておくことは、上記周知技術から当業者が容易に行うことができたものである。
　（２）相違点２）に関して
　流量コントロールバルブ等の制御弁を、半導体製造装置のようなクリーンな環境に適用する場合、微細な塵（パーティクル）の発生を極力抑えなければならないことは当業者において技術常識であるとともに、このような環境で使用される弁が、弁体と弁座との間に過大な力が加わることによって、この部分にパーティクルが発生しやすいことも当業者において周知である（例えば、特開平９−２１７８４５号公報の【０００４】、特開平１０−１５３２６８号公報の【００１４】、特開平９−７２４３５号公報の【０００４】、特開平８−７５０１７号公報の【００３７】、特開平８−９２７２６号公報の【０００９】等の記載を参照されたい。）。
　してみれば、制御弁を半導体製造装置のようなクリーンな環境に適用する場合、弁体と弁座との間に加わる過大な力を避けて該部分に微細な塵（パーティクル）が発生しないようにすることは、当業者における周知の技術課題というべきところ、引用例２には、引用例１に記載された流量コントロールバルブと同様、２次側に設けられたダイヤフラムによって弁体が弁座に接触して弁口を開閉し得る制御弁において、弁体と弁座との間に過大な力が加わらないようにするために、該ダイヤフラムと一体のダイヤフラムステムを、弁体を有する弁体ステムと分離自在に遊嵌結合しておく発明が記載されている。そしてこの発明は、２次側に設けられたダイヤフラムによって弁体が弁座に接触して弁口を開閉し得る制御弁に等しく適用可能であって、この発明を引用例１の発明に適用することには何ら困難性が存在しないから、引用例１に記載された流量コントロールバルブをクリーンな環境に適用するにあたり、当業者における周知の技術課題である弁体と弁座との間に加わる過大な力を避けて該部分における微細な塵（パーティクル）の発生を抑えるため、２次側に設けられた第１ダイヤフラム７４と一体のロッド部７２の上側の半体（第二ダイヤフラムと一体の第二部材）を、流量制御部８２を有する下側の半体（弁部を有する第一部材）と分離自在に遊嵌結合して、該部分に過大な力が加わらないようにすることは、引用例１の発明に引用例２の発明を適用することにより、当業者が容易に行うことができたものである。
　
　そして、訂正発明が奏する作用効果は、上記引用例１、２の発明に示唆された事項から予測しうる程度以上のものでないから、訂正発明は、上記引用例１の発明に上記引用例２の発明を適用することにより、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
６．むすび
　以上、詳述したとおり、本件の訂正後における特許請求の範囲の請求項１に記載されている事項により構成されている発明は、上記特許出願の出願前に頒布された引用例１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができるものではない。
　したがって、本件審判の請求は、特許法第１２６条第４項の規定に適合しない。
　よって、結論のとおり審決する。