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　特願２０００−３１８２３２「走査形電子顕微鏡」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　５月２５日出願公開、特開２００１−１４３６４９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯／本願発明
  本願は、平成５年１２月２８日に出願された特願平５−３３４８９４号の一部を特許法第４４条第１項の規定により平成１２年１０月１３日に新たな特許出願としたものであって、その請求項１乃至１０に係る発明は、平成１４年４月２５日付け及び同年１２月２６日付け手続き補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至１０に記載されたとおりのものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下。「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「【請求項１】
　電子源と、当該電子源から放出された一次電子線を試料上で走査する走査偏向器と、前記電子線を集束する対物レンズと、前記試料から放出される電子を検出する検出器を備えた走査形電子顕微鏡において、
　前記対物レンズより前記電子源側に、前記試料から放出される反射電子を前記一次電子線の軸外に偏向する電界を発生する電界発生器と、当該電界発生器と同じ方向に前記試料から放出される反射電子を偏向する磁界を発生する磁界発生器を配置し、前記電界発生器と磁界発生器より電子源側であって、電界発生器と磁界発生器によって偏向される反射電子の軌道上に、前記試料から放出され、前記電界発生器と磁界発生器によって偏向される反射電子の衝突によって二次電子を発生する二次電子変換電極を備え、前記検出器は当該二次電子変換電極で発生した二次電子を偏向して検出することを特徴とする走査形電子顕微鏡。」
　
２．引用刊行物 
２−１．刊行物１
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である実願昭５０−１４７８８号（実開昭５１−９６４９４号）のマイクロフィルム（以下、「刊行物１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
１ａ．「照射電子の入射側において、試料の上方に、試料からの反射電子の入射によつて２次電子を発生するリング状のターゲツトを設け、同２次電子を試料側方の検出器によつて検出するようにした電子線分析装置の反射電子検出装置。」（明細書１ページ「実用新案登録請求の範囲」）
１ｂ．「本考案は、・・・電子線走査型分析装置の反射電子検出装置を提供することを目的とする。・・・１は電子線走査型分析装置の対物レンズで、２は試料である。３は、通常この種の装置に附加されている電子線検出器で、試料２の側方にあつて、・・・２次電子の検出のためには同検出器前面に下記ターゲツトに対して正電圧が印加されている。４，４’はリング状のターゲツトで、対物レンズ１の開口下面に同心的に取付取外し自在に設置されており、反射面は２次電子が発生し易いように金メツキされている。このターゲツトは・・・４と４’に２分割され、・・・４の側に相対的に浅い負電圧が、そして４’の側により深い負電圧が印加されている。・・・試料２には同試料からの２次電子が検出器３に進入しないように検出器に対し小許の正電圧が与えられ、さらに試料からの反射電子が直接検出器３に到達しないように、検出器３は試料面より低い位置に置かれる。」（明細書２ページ３行〜３ページ６行）
１ｃ．「本考案は以上のごとく、試料からの反射電子を直接検出せず、リング状のターゲツトに入射させて・・・２次電子により反射電子量を検出するものであつて、２次電子検出器は既設のものをそのまゝ利用でき簡便な構造で・・・検出しうる点に利点を有する。」（明細書４ページ６行〜１２行）
　
２−２．刊行物２
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である特開昭６２−１６８３２４号公報（以下、「刊行物２」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
２ａ．「１）対物レンズ（４）により収束された一次電子線（２）が試料の１つの点（１３）に、または順次に一連の点に向けられ、また点から出る二次電子（ＳＥ）および（または）後方散乱電子が電気的吸引場を通過して検出器（１４ないし１７）に到達する電子線装置内の二次および（または）後方散乱電子の検出装置において、電子光学的軸線（７）に対して垂直な１つの平面内に２つの電極（２１、２２）が配置されており、それらの間に二次電子および（または）後方散乱電子を一方の電極（２１）へ吸引する電場が存在しており、検出器がこの電極の後ろに位置しており、前記平面内に２つの磁極片（２３、２４）が設けられており、それらの間に電場に対して垂直な磁場が存在しており、また磁場の方向および強さが、一次線（２）の電子には、電場により一次線（２）の電子に及ぼされる力を補償する力を及ぼすように、しかし二次電子（ＳＥ）および（または）後方散乱電子には、検出器への二次電子（ＳＥ）および（または）後方散乱電子の吸引を助ける力を及ぼすように選定されていることを特徴とする電子線装置内の二次および（または）後方散乱電子の検出装置。
・・・
７）電極（２１、２２）および磁極片（２３、２４）が対物レンズ（４）と試料（５）との間に配置されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第６項のいずれか１項に記載の装置。」（１ページ〜２ページ「特許請求の範囲」）
２ｂ．「この種の従来の装置は、特に一次線がたとえば１ｋＶの比較的低い加速電圧で発生される場合に、一次線が二次電子に対して設けられている電気的吸引場によりその方向に影響されるという欠点を有する。・・・本発明の目的は、冒頭に記載した種類の装置であって、上記の問題が生じない装置を提供することである。」（２ページ右下欄１１行〜１９行）
２ｃ．「部分１４ないし１７から成る装置は後方散乱検出器とも呼ばれる。対物レンズ４と試料５との間に軸線７に対して垂直な平面内に２つの電極２１および２２が配置されており、・・・両電極の間に、電子に電極２１に向かう力を及ぼす電気的吸引場が生ずる。電極２１および２２の平面内にはさらに、・・・２つの磁極片２３，２４が位置している。・・・電場の強さの大きさをＥで、また磁場の強さの大きさをＢで表せば、一次線２の軸線７の付近に位置する電子には電場により電極２２から電極２１へ向かう向きに作用する力ｑ・Ｅ（ここにｑは電子の素電荷）が及ぼされる。しかし、同時に、下方に試料５に向かって速度ｖで運動する電子には、電極２１から電極２２へ向かう向きに作用する大きさｑ・ｖ・Ｂを有するいわゆるローレンツ力が及ぼされる。大きさＥ、Ｂおよびｖが関係式ｖ＝Ｅ／Ｂを満足すれば、一次線２の電子は電極２１と電極２２との間の吸引場により影響されない。すなわち、軸線７に対してほぼ平行に延びている電子の運動軌跡から偏向させられない。それに対して、試料から上方に運動する二次電子または上方への速度成分を有する二次電子は磁場により、電極２２から電極２１へ向かう向きのローレンツ力を受けるので、吸引作用はそれにより一層強められる。吸引された二次電子は電極２１の格子を通ってシンチレータ１４に到達する。二次電子と共に一般に後方散乱電子、すなわち点１３において再び出た一次電子もシンチレータ１４に到達する。それによって・・・一次線２の方向に取るに足るほどの影響を与えることなく、二次電子ＳＥの非常に効率的な吸引が達成される。」（３ページ左下欄１２行〜４ページ右上欄１行）
２ｄ．「第５図には、第１図による電気・磁気的双極場（２１ないし２３）［当審注；（２１ないし２４）の誤記と認められる。］および後方散乱検出器（１４ないし１７）が投影レンズ４”の試料５とは反対の側に設けられている実施例が示されている。」（５ページ右下欄９行〜１２行）
　
３．対比／当審の判断
　上記「２−１．刊行物１」の１ａ．〜１ｃ．の記載から、刊行物１の電子線走査型分析装置は、対物レンズ１を備えたものであり、また、明示はないものの、照射電子を放出する電子源、及び、電子線を試料上で走査する走査偏向器は、その構成上当然備えているものと解される。上記刊行物１の明細書の「試料２には同試料からの２次電子が検出器３に進入しないように検出器に対し小許の正電圧が与えられ」（「１ｂ．」の記載参照）との記載からみて、検出器に電圧を印加して試料からの２次電子は検出器３に入射しないようにし、その一方でターゲットで発生した２次電子は検出器に入射させているものであるから、これらの２次電子には検出器に印加された電圧に起因する電場が作用していることが読み取れ、このことから、ターゲットで発生した２次電子はこのような電場による偏向作用を受けているものと認められる。
　したがって、刊行物１には次の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
「電子源と、当該電子源から放出された照射電子を試料上で走査する走査偏向器と、対物レンズと試料から放出される電子を検出する電子線検出器を備えた電子線走査型分析装置であって、照射電子の入射側において、試料の上方に、試料からの反射電子の入射によつて２次電子を発生するリング状であって電圧が印加されるターゲツトを設け、該２次電子を偏向して電子線検出器によつて検出するようにしたもの。」
　そこで、本願発明（前者）と上記刊行物１記載の発明（後者）とを対比する。
  後者の「電子源」、「照射電子」、「走査偏向器」、「試料」、「対物レンズ」、「電子線検出器」、「電子線走査型分析装置」は、前者の「電子源」、「一次電子線」、「走査偏光器」、「試料」、「対物レンズ」、「検出器」、「走査型電子顕微鏡」に相当する。後者の反射電子の入射によって２次電子を発生する「ターゲツト」は、試料からの反射電子の軌道上に設けられていることは明らかであり、また、電圧が印加されることから電極といえるものであるから、前者の「二次電子変換電極」に相当するものである。
　以上より、両者は、
「電子源と、当該電子源から放出された一次電子線を試料上で走査する走査偏向器と、前記電子線を集束する対物レンズと、前記試料から放出される電子を検出する検出器を備えた走査形電子顕微鏡において、前記試料から放出される反射電子の軌道上に、反射電子の衝突によって二次電子を発生する二次電子変換電極を備え、前記検出器は当該二次電子変換電極で発生した二次電子を偏向して検出することを特徴とする走査形電子顕微鏡。」
　の点の構成で一致し、以下の点で相違する。
［相違点］
　前者が、対物レンズより前記電子源側に、前記試料から放出される反射電子を前記一次電子線の軸外に偏向する電界を発生する電界発生器と、当該電界発生器と同じ方向に前記試料から放出される反射電子を偏向する磁界を発生する磁界発生器を配置し、前記電界発生器と磁界発生器より電子源側であって、電界発生器と磁界発生器によって偏向される反射電子の軌道上に、前記試料から放出され、前記電界発生器と磁界発生器によって偏向される反射電子の衝突によって二次電子を発生する二次電子変換電極を備えているのに対し、後者は、反射電子の軌道上に、反射電子の衝突によって２次電子を発生するターゲットを備えてはいるものの、電界発生器と磁界発生器を設ける点の構成については記載がない点。
　
　上記相違点について検討する。
　上記刊行物２には、電気・磁気的双極場（２１ないし２４）および本願発明の反射電子に相当する後方散乱電子を検出する後方散乱検出器（１４ないし１７）が投影レンズ４”の試料５とは反対の側に設けられている実施例が示されており（「２ｄ．」の記載参照）、この電気・磁気的双極場（２１ないし２４）は、「電場の強さの大きさをＥで、また磁場の強さの大きさをＢで表せば、一次線２の軸線７の付近に位置する電子には電場により電極２２から電極２１へ向かう向きに作用する力ｑ・Ｅ（ここにｑは電子の素電荷）が及ぼされる。しかし、同時に、下方に試料５に向かって速度ｖで運動する電子には、電極２１から電極２２へ向かう向きに作用する大きさｑ・ｖ・Ｂを有するいわゆるローレンツ力が及ぼされる。大きさＥ、Ｂおよびｖが関係式ｖ＝Ｅ／Ｂを満足すれば、一次線２の電子は電極２１と電極２２との間の吸引場により影響されない。すなわち、軸線７に対してほぼ平行に延びている電子の運動軌跡から偏向させられない。それに対して、試料から上方に運動する二次電子または上方への速度成分を有する二次電子は磁場により、電極２２から電極２１へ向かう向きのローレンツ力を受けるので、吸引作用はそれにより一層強められる。吸引された二次電子は電極２１の格子を通ってシンチレータ１４に到達する。」（「２ｃ．」の記載参照）という機能を有するものである。
　したがって、刊行物１記載の発明に、このような刊行物２に記載された、本願発明の電界発生器と磁界発生器に相当する電気・磁気的双極場の配置関係とそれが有する機能に関する技術事項を適用して本願発明のように構成することは、当業者が格別の推考力を要することなくなし得る程度のことと認められる。
  そして、本願発明による効果も、刊行物１及び刊行物２の記載から当業者が予測しうる範囲のものにすぎない。
  したがって、本願発明は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
  なお、審判請求人は、審判請求書の請求の理由において、「本願発明は、直交電磁界を採用したとしても、一次電子線のエネルギー分散を抑制するという引用文献１（当審注；上記刊行物２）には示唆されていない技術課題を解決することを目的としております。直交電磁界発生器は、電界発生器による一次電子線への偏向作用を相殺するように磁場発生器を作用させます。つまり磁界発生器と電界発生器は、特定のエネルギー（一次電子線の平均エネルギー）の一次電子線を相対する方向に偏向させるが、一次電子線のエネルギー幅の範囲でエネルギーの異なる一次電子線に対しては、電磁界の偏向作用が完全に相殺されないため、一次電子線がエネルギー分散を起こします。
　特に一次電子線と同等のエネルギーを持つ反射電子を偏向するための強い直交電磁界は、エネルギー分散をより大きく生じさせるという問題があります。これを解消するためには、偏向力を弱くする必要があります。ところが引用文献１に記載されているような、二次および（または）後方散乱電子の偏向軌道先に検出器を配置し、直接的に電子を導入させるような構成の場合、検出器を一次電子線に近接させなければ、小さい偏向角で飛散する反射電子を捉えることができません。
　一方、高電圧が印加される検出器は、一次電子線を偏向してしまうことになるため、一次電子線から離間させる必要があります。
　引用文献１に開示の技術では、高電圧が印加される検出器を十分に一次電子線から離間させようとすると、エネルギー分散が発生し、逆にエネルギー分散を嫌って偏向角を小さくすると、検出器からの電界に基づく一次電子線の軸ずれの問題が懸念されます。エネルギー分散や軸ずれは何れも色収差の原因となり、装置の分解能が低下します。
　以上のような問題が懸念される引用文献１に対し、本願発明によれば、直交電磁界発生器によって偏向される反射電子の軌道上に、高電圧が印加される検出器ではなく、二次電子変換電極を配置しているため、それ程大きな偏向力を必要としません。よって、直交電磁界発生器による一次電子線のエネルギー分散の影響を抑制することができ、更に高電圧が印加された検出器の代わりに二次電子変換電極を採用することにより、一次電子線への軸ずれの影響をも抑制することが可能になります。」と主張しているので、この主張について検討する。
　審判請求人の上記主張に従えば、色収差の発生の防止という効果は、二次電子変換電極を配置したことのみによって得られるものではなく、直交電磁界発生器の発生する出力の大きさにも依存するものであるところ、本願発明には直交電磁界発生器の発生する出力の大きさについては特に記載がないものである。したがって、審判請求人の上記主張は、本願発明の構成に基づく主張とは認められず、採用しない。また、二次電子変換電極を配置及び直交電磁界発生器の発生する出力の大きさを考慮して色収差の発生の防止することは、本願の原出願である特願平５−３３４８９４号の出願当初の明細書及び図面（特開平７−１９２６７９号公報参照）に記載のない事項であり、審判請求人の上記主張はこの点からみても採用できないものである。
　
４．むすび
 　以上のとおり、本願発明は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願の請求項１に係る発明（本願発明）が特許を受けることができないものであるから、本願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
よって、結論のとおり審決する。