【事件の表示】
　平成　７年特許願第　４１０２４号「ウェハ保持装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年　９月１３日出願公開、特開平　８−２３６５９９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成７年２月２８日の出願であって、平成１５年３月３１付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年５月８日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年６月６日付けで明細書を補正対象書類とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲は、
「　【請求項１】Ｓｉ含有量が１５００ｐｐｍ以下の窒化アルミニウム質焼結体から成る基体中に、Ｗ，Ｍｏ，ＷＣの少なくとも一種を９０〜９９重量％と、ＡｌＮを１〜１０重量％からなる混合体を発熱抵抗体として埋設してなるウェハ保持装置。
　　【請求項２】Ｓｉ含有量が１５００ｐｐｍ以下の窒化アルミニウム質焼結体から成る基体中に、Ｗ，Ｍｏ，ＷＣの少なくとも一種を５０〜９９重量％と、ＡｌＮを１〜５０重量％からなる混合体を静電吸着用電極として埋設してなるウェハ保持装置。
　　【請求項３】Ｓｉ含有量が１５００ｐｐｍ以下の窒化アルミニウム質焼結体から成る基体中に、Ｗ，Ｍｏ，ＷＣの少なくとも一種を８０〜９９重量％と、ＡｌＮを１〜２０重量％からなる混合体をプラズマ発生用電極として埋設してなるウェハ保持装置。」
と、補正された。
　上記補正は、以下の事項からなる。
補正事項
　請求項１ないし３に記載された発明の構成事項である「窒化アルミニウム質焼結体」について「Ｓｉ含有量が１５００ｐｐｍ以下の」との限定を付加するものであって、これは、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
（２）請求項１に係る発明について
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明１」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
（２−１）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平６−１５１３３２号公報（以下、「引用例１」という。）には、「セラミックスヒーター」に関して、
「【請求項１】　緻密なセラミックス基材に高融点金属からなる抵抗発熱体を埋設したセラミックスヒーターにおいて、プラズマ発生用電極を前記セラミックス基材に埋設し、ウェハー設置面に対し前記プラズマ発生用電極が絶縁性を有する構造としたことを特徴とするセラミックスヒーター。」（【特許請求の範囲】）
「　【実施例】図１は本発明のセラミックスヒーター１の構造を説明するための図である。図１に示す例において、例えば円盤状のセラミックス基材２の内部に、Ｗ、Ｍｏ等の高融点金属からなる抵抗発熱体３が埋設されている。この抵抗発熱体３は好ましくは螺旋状に巻回されるとともに、円盤状のセラミックス基体２を平面的にみると、抵抗発熱体３は渦巻形をなすように設置されている。抵抗発熱体３の両端部には、電力供給用の端子４とそれに続く電力供給用ケーブル５を設けている。また、セラミックス基材２の内部の抵抗発熱体３の上側に、セラミックス基材２よりも若干小さい直径を有する円盤状のプラズマ発生用電極６を設け、このプラズマ発生用電極６には、高周波供給用の端子７とそれに続くケーブル８を供給する高周波信号に応じた必要な本数（ここでは１本）だけ設けている。」（【０００９】）
「　セラミックス基体２は、例えば熱ＣＶＤ装置においては最大６００℃から１１００℃程度まで加熱されるので、耐熱性の点で、アルミナ、窒化珪素焼結体、サイアロン、炭化珪素、窒化アルミニウム、アルミナ−炭化珪素複合材料等から形成することが好ましい。特に、セラミックス基体２は非酸化物系セラミックスで形成することが好ましい。これは、アルミナ等の酸化物系セラミックスに比べて、ＳｉＣ、Ｓｉ３Ｎ４、Ａ１Ｎ等の非酸化物系共有結合セラミックスは、高真空中でのガス放出量が少ないためである。このうち、特に窒化珪素を使用すると、セラミックスヒーター１全体の強度が高くなり、熱膨張係数がウェハーとして代表的なシリコンとほぼ同等であり、さらに腐食性ガスにも耐久性が高いため好ましい。」（【００１０】）
「電極６は、充分に高周波を伝えるためにリアクタンス成分を低減する必要があり、１Ω以下となるように充分な肉厚が必要である。このため、タングステン、モリブデンから電極６を構成する場合、８μｍ以上の厚さが必要となる。」（【００１１】）
「　図２は本発明のセラミックスヒーター１を組み込んだ加熱装置の一例の構造を説明するための図である。図２に示す例において、デポジション用ガス等に曝露される容器１１内に、アーム１２を介してセラミックスヒーター１を設置する。この際、プラズマ発生用電極６が上面となるようにセラミックスヒーター１を設置し、このセラミックスヒーター１の上面にウェハーＷを載置する。また、一対の電力供給用のケーブル５および高周波信号供給用のケーブル８は、それぞれ容器１１の外部へ導通するよう構成する。この状態で、一対のケーブル５を介して抵抗発熱体３を加熱するための電力を供給するとともに、ケーブル８を介して電極６においてプラズマを発生させるための高周波信号を供給することにより、加熱とプラズマ発生を実施することができる。」（【００１２】）
「　本発明は上述した実施例にのみ限定されるものでなく、幾多の変形、変更が可能である。例えば、上述した実施例では、電極６をプラズマ発生用の電極としてのみ使用したが、この電極６を同時にウェハーＷを静電容量によりチャックするための静電チャック電極として働かせることができる。」（【００１３】）
との記載が認められる。
　そして、上記【００１２】の記載「この際、プラズマ発生用電極６が上面となるようにセラミックスヒーター１を設置し、このセラミックスヒーター１の上面にウェハーＷを載置する。」によれば、このセラミックスヒーターは「ウェハ保持装置」とみることもできることが、明らかである。
　以上によれば、引用例１には、
「窒化アルミニウム基体中に、Ｗ、Ｍｏ等の高融点金属からなる抵抗発熱体、プラズマ発生用電極、または、静電チャック電極が埋設されてなるウェハ保持装置。」
との発明（以下、「引用例発明１」という。）
が開示されていると認められる。
　同じく、原査定の拒絶の理由に引用された特開平４−８３７８３号公報（以下、「引用例２」という。）には、「メタライズ金属層を有する窒化アルミニウム質焼結体」に関して、以下の記載がある。
「窒化アルミニウム質焼結体に設けた貫通孔内にメタライズ金属層を接合させて成るメタライズ金属層を有する窒化アルミニウム質焼結体において、前記メタライズ金属層が、平均粒径１．０乃至１．５μｍのタングステン粉末に窒化アルミニウム質焼結体と実質的に同一の組成から成る無機物を３．０乃至１０．０重量％含有したことを特徴とするメタライズ金属層を有する窒化アルミニウム質焼結体。」（特許請求の範囲）
「メタライズ金属層として粒径を調整したタングステン粉末に所定の無機物を所定量含有させたものを使用すると該メタライズ金属層を窒化アルミニウム質焼結体に設けた貫通孔内にクラックや突出等を形成することなく強固に接合させ得ることを知見した。」（公報第２頁左下欄第２０行〜同頁右下欄第５行）
「また前記メタライズ金属層５は平均粒径１．０乃至１．５μｍのタングステン粉末に絶縁基体１を構成する窒化アルミニウム質焼結体と実質的に同一の組成から成る無機物、具体的には窒化アルミニウム、酸化エルビニウム、カルシア等の無機物を３．０乃至１０．０重量％含有させたものから成り、該タングステン粉末及び無機物粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して得た金属ペーストを絶縁基体１となるグリーンシートの貫通孔及び上下面に印刷塗布するとともにこれを焼成し、グリーンシートと金属ペーストとを焼結一体化させることによって絶縁基体１の所定位置に被着形成される。」（公報第３頁右下欄第１１行〜公報第４頁左上欄第２行）
「また前記タングステン粉末に含有される無機物は窒化アルミニウム質焼結体と実質的に同一の組成から成り、該無機物はタングステン粉末と窒化アルミニウム質焼結体との接合強度を強固とする作用を為し、その含有量が３．０重量％未満であれば所望する前記性質は付与されず、メタライズ金属層と窒化アルミニウム質焼結体との接合強度が低いものとなってしまい、また１０．０重量％を越えるとメタライズ金属層の電気抵抗が高くなり、半導体素子収納用パッケージや回路基板等の回路配線導体としては不向きとなる。従って、タングステン粉末に含有される無機物はその含有量が３．０乃至１０．０重量％の範囲に特定される。」（公報第３頁左上欄第２０行〜同頁右上欄第１２行）
　以上の記載によれば、引用例２には、
「窒化アルミニウム基体と金属層との接合強度を高める」という課題解決のための、
「窒化アルミニウム質焼結体からなる基体中に、タングステン粉末を９０〜９７重量％と、窒化アルミニウム粉末を３〜１０重量％からなる金属ペーストを焼結一体化して埋設したメタライズ金属層」（以下、「引用例発明２」という。）が記載されている。
（２−２）対比
　そこで、本願補正発明１と引用例発明１とを比較すると、引用例発明１の「抵抗発熱体」は、本願補正発明１の「発熱抵抗体」と一致している。
　また、「窒化アルミニウム基体」は「窒化アルミニウムから成る基体」に相当しているから、両者は、
「窒化アルミニウムから成る基体中に、Ｗ，Ｍｏ，ＷＣの少なくとも一種を発熱抵抗体として埋設してなるウェハ保持装置。」
の点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１−１］
　本願補正発明では、「発熱抵抗体」が、「Ｗ，Ｍｏ，ＷＣの少なくとも一種を９０〜９９重量％と、ＡｌＮを１〜１０重量％からなる混合体」であるのに対し、引用例発明１の「抵抗発熱体」はそのようなものではない点。
［相違点１−２］
　本願補正発明では、基体が、「Ｓｉ含有量が１５００ｐｐｍ以下の焼結体」であるのに対し、引用例発明１の「基体」はそのようなものではない点。
（２−３）判断
○　相違点１−１について
　そこで、相違点１−１を検討すると、引用例２には窒化アルミニウム基体とタングステンからなる金属層との接合強度を高めるために、タングステンに窒化アルミニウムを混合して用いることが記載されており（引用例発明２参照。）、しかも、窒化アルミニウムの配合量の点でも、本願発明１と引用例発明２とに相違はない。
　そして、引用例発明１に引用例発明２を適用し、「発熱抵抗体」とするにあたっての阻害要因も見いだせない。
　してみれば、相違点１−１に係る構成の違いは、引用例発明１に引用例発明２を組み合わせたにすぎないものであり、当業者が容易に想到し得たものである。
○　相違点１−２について
　一般に窒化アルミニウム焼結体の耐食性を向上させるためには、不純物濃度が小さい方がよく、シリコン（Ｓｉ）の含有量を抑制して耐食性を向上させることも従来周知の事項（例えば、特開平５−１１７０３８号公報、特開昭６３−２７４６７０号公報、特開昭６３−２１００６９号公報等参照。）である。
　してみれば、相違点１−２に係る構成の違いは、引用例発明１に周知事項を適用したにすぎないものであり、当業者が容易に想到し得たものである。
　したがって、本願補正発明１は、引用例発明１、引用例発明２及び周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
（３）請求項２に係る発明について
　本件補正後の前記請求項２に記載された発明（以下、「本願補正発明２」という。）について、同様に、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて以下に検討する。
　本願補正発明２の本願補正発明１との相違点は、混合体のＷ，Ｍｏ，ＷＣとＡｌＮの割合、及び、混合体が「静電吸着用電極」である点である。
　してみると、本願補正発明２と引用例発明１との比較において、一致点は、本願補正発明１と同様であり、以下の点で相違している。
［相違点２−１］
　本願補正発明２では、「静電吸着用電極」が、「Ｗ，Ｍｏ，ＷＣの少なくとも一種を５０〜９９重量％と、ＡｌＮを１〜５０重量％からなる混合体」であるのに対し、引用例発明１の「静電チャック電極」はそのようなものではない点。
［相違点２−２］
　本願補正発明では、基体が、「Ｓｉ含有量が１５００ｐｐｍ以下の焼結体」であるのに対し、引用例発明１の「基体」はそのようなものではない点。
○　相違点２−１について
　上記（２−３）で述べたとおり、引用例２には、
「窒化アルミニウム基体と金属層との接合強度を高める」という課題解決のための、
「窒化アルミニウム質焼結体からなる基体中に、タングステン粉末を９０〜９７重量％と、窒化アルミニウム粉末を３〜１０重量％からなる金属ペーストを焼結一体化して埋設したメタライズ金属層」が記載されている。
　さらに、「メタライズ金属層の電気抵抗は、混合する窒化アルミニウム粉末の割合によること」も、併せて、引用例２に記載されている。
　そこで、相違点２−１を検討すると、引用例２には窒化アルミニウム基体とタングステンからなる金属層との接合強度を高めるために、タングステンと窒化アルミニウムを混合して用いることが記載されており（引用例発明２参照。）、静電吸着用電極として必要な条件により、窒化アルミニウムの配合量を調整することは、当業者が適宜行い得る事項である。
　そして、引用例発明１に引用例発明２を適用し、これを「静電吸着用電極」とするにあたっての阻害要因も見いだせない。
　してみれば、相違点２−１に係る構成の違いは、引用例発明１に引用例発明２を組み合わせたにすぎないものであり、当業者が容易に想到し得たものである。
○　相違点２−２について
　相違点２−２は、相違点１−２と同様であり、引用例発明１に従来周知の事項を適用することにより、当業者が容易に想到し得たものである。
　したがって、本願補正発明２は、引用例発明１、引用例発明２及び周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
（４）請求項３に係る発明について
本件補正後の前記請求項３に記載された発明（以下、「本願補正発明３」という。）について、同様に、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて以下に検討する。
　本願補正発明３の本願補正発明１との相違点は、混合体のＷ，Ｍｏ，ＷＣとＡｌＮの割合、及び、混合体が「プラズマ発生用電極」である点である。
　してみると、本願補正発明３と引用例発明１との比較において、一致点は、本願補正発明１と同様であり、以下の点で相違している。
［相違点３−１］
　本願補正発明３では、「プラズマ発生用電極」が、「Ｗ，Ｍｏ，ＷＣの少なくとも一種を８０〜９９重量％と、ＡｌＮを１〜２０重量％からなる混合体」であるのに対し、引用例発明１の「プラズマ発生用電極」はそのようなものではない点。
［相違点３−２］
　本願補正発明では、基体が、「Ｓｉ含有量が１５００ｐｐｍ以下の焼結体」であるのに対し、引用例発明１の「基体」はそのようなものではない点。
○　相違点３−１について
　引用例２の記載については、上記（３）で述べたとおりである。
　そこで、相違点３−１を検討すると、引用例２には窒化アルミニウム基体とタングステンからなる金属層との接合強度を高めるために、タングステンと窒化アルミニウムを混合して用いることが記載されており（引用例発明２参照。）、プラズマ発生用電極として必要な条件により、窒化アルミニウムの配合量を調整することは、当業者が適宜行い得る事項である。
　そして、引用例発明１に引用例発明２を適用し、これを「プラズマ発生用電極」とするにあたっての阻害要因も見いだせない。
　してみれば、相違点３−１に係る構成の違いは、引用例発明１に引用例発明２を組み合わせたにすぎないものであり、当業者が容易に想到し得たものである。
○　相違点３−２について
　相違点３−２は、相違点１−２と同様に、引用例発明１に従来周知の事項を適用したにすぎず、当業者が容易に想到し得たものである。
　したがって、本願補正発明３は、引用例発明１、引用例発明２及び周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するので、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
３．本願発明について
（１）本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし３に係る発明は、平成１４年７月２２日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載されたとおりのものと認められるところ、請求項１ないし３に係る発明（以下、「本願発明１」ないし「本願発明３」という。）は、以下のとおりのものである。
「　【請求項１】窒化アルミニウム質焼結体から成る基体中に、Ｗ，Ｍｏ，ＷＣの少なくとも一種を９０〜９９重量％と、ＡｌＮを１〜１０重量％からなる混合体を発熱抵抗体として埋設してなるウェハ保持装置。
　　【請求項２】窒化アルミニウム質焼結体から成る基体中に、Ｗ，Ｍｏ，ＷＣの少なくとも一種を５０〜９９重量％と、ＡｌＮを１〜５０重量％からなる混合体を静電吸着用電極として埋設してなるウェハ保持装置。
　　【請求項３】窒化アルミニウム質焼結体から成る基体中に、Ｗ，Ｍｏ，ＷＣの少なくとも一種を８０〜９９重量％と、ＡｌＮを１〜２０重量％からなる混合体をプラズマ発生用電極として埋設してなるウェハ保持装置。」
（２）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例、および、その記載事項、ならびに周知事項は、前記２．に記載したとおりである。
（３）対比・判断
　本願発明１ないし３は、前記２．で検討した本願補正発明１ないし３から、前記２．（１）に記載した補正事項の構成を省いたものである。
　そうすると、本願発明１ないし３の構成を全て含み、さらに他の構成を付加したものに相当する本願補正発明１ないし３が、前記２．（２−３）、（３）、（４）に記載したとおり、引用例発明１、引用例発明２及び周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明１ないし３も、同様の理由により、引用例発明１、引用例発明２及び周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
（４）むすび
　以上のとおり、本願発明１ないし３は、引用例発明１、引用例発明２及び周知事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができず、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。