【事件の表示】
　平成　７年特許願第１２２３１１号「基板部材保持装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年１１月２９日出願公開、特開平　８−３１３８１６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成７年５月２２日の出願であって、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１５年９月１９日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
　「基板部材の側縁部に沿って配置され該基板部材を載置して吸着保持する吸着パッドを有する基板載置部と、
　前記基板部材の辺に沿って複数箇所に固定配置され、前記基板部材の端部を押し当てることにより基準位置に位置決めする基準部材と、
　前記基板載置部に載置される前記基板部材を挟んで前記基準部材と反対側に配置された押し付け部材と、
　前記押し付け部材を前記基板部材の搬入時に該基板部材端から離間する方向に移動させるとともに、前記押し付け部材を前記基板部材の搬入後に前記基準部材方向に移動させる押し付け部材移動手段と、
　前記基準部材に位置決めされた前記基板部材周辺の複数箇所に配置され、該基板部材の側縁部を前記吸着パッド方向に押圧する押圧部材と、
　前記基板部材が前記基板載置部の載置面に位置決めされたときに前記押圧部材を該基板部材側に近接するように移動させるとともに、該押圧部材を上方から前記吸着パッド方向に移動させる押圧部材移動手段と、
　を具備したことを特徴とする基板部材保持装置。」
　
２．引用例
　これに対して原査定の拒絶の理由に引用された、
　引用例１（特開平５−２５１３０４号公報）には、
　「【産業上の利用分野】本発明は、露光装置や座標測定装置における基板の位置決め装置に関し、特に矩形基板の位置決め装置に関するものである。」（段落【０００１】）、
　「【００１０】
【実施例】図１は本発明が適用される露光装置の構成図であり、図２は本発明の実施例による位置決め装置の構成を示す上面図である。露光光源１から射出した露光光は、照明光学系２を介してレチクル３をほぼ均一に照明する。レチクル３の投影像は投影光学系４を介して基板５上に露光転写されパターン像が基板のフォトレジスト上に焼付けられる。
【００１１】基板５は、後述のように、ホルダ６上に位置決めされ、真空吸着装置８により固定されている。この真空吸着装置８は、例えば真空装置を開閉する電磁弁等の駆動手段（不図示）により動作する。ホルダ６は、ＸＹ平面内で移動可能なＸＹテーブルおよびＸＹ平面に直交する軸廻りに回転可能なθテーブルからなる移動テーブル７上に搭載される。移動テーブル７は、Ｘ、Ｙ各方向の駆動モータおよびθ回転モータからなる駆動手段９により平面内の移動動作および回転動作を行なう。真空吸着装置８および移動テーブル７の駆動装置９はそれぞれ制御回路１３に接続され、所定のプログラムに従って駆動制御される。
【００１２】図２には、基板５が縦位置でホルダ６上に位置決めされた状態を実線で示してあり、この場合に基板５の短辺５ａが当接する２個のＹ方向基準ピン１１Ｙは基板短辺より短い間隔でホルダ６上に設けられている。同様に、縦位置に対して９０゜回転した横位置で基板５を位置決めした状態を破線で示してあり、この場合に基板５の短辺５ａが当接する２個のＸ方向基準ピン１１Ｘは基板短辺より狭い間隔でホルダ６上に設けられている。基板５は、縦位置では、押圧アーム１０Ｙおよび押圧ピン１５ＹからなるＹ方向押圧機構１６Ｙにより、基準ピン１１Ｙに対して押圧される。一方、横位置での基板５は、押圧アーム１０Ｘおよび押圧ピン１５ＸからなるＸ方向押圧機構１６Ｘにより、基準ピン１１Ｘに対して押圧される。各押圧アーム１０Ｘ、１０Ｙは図示しない流体圧シリンダまたは適当な押圧モータに連結され図１に示す制御回路１３により駆動制御される。ＸＹ各方向の押圧機構１６Ｘ、１６Ｙには押圧ピン１５Ｘ、１５Ｙの移動量またはその位置を検出するための位置計測器１２Ｘ、１２Ｙが備わる。これらの位置計測器１２Ｘ、１２Ｙからの位置情報を制御回路１３に入力する。制御回路１３はＣＰＵ１４に記憶された所定のプログラムにしたがって基板５の位置決め制御を行なう。
【００１３】次に、図３のフローチャートを参照して上記構成の位置決め装置の動作について説明する。まず、基板に焼き付けるレチクルのパターン領域の形状や寸法および数等を考慮して基板の最適な配置方向（縦位置か横位置か）を決定する。（ステップ２１）。ここでは例として、図２の実線で示した縦位置に位置決めする場合について説明する。基板５は縦位置で且つ所定の位置に対して大まかに位置決めされた状態でホルダ６上に載置する。ここでＹ方向押圧機構１６Ｙを駆動し押圧ピン１５Ｙにより基板５を短辺５ｂ側から基準ピン１１Ｙに対し押圧する（ステップ２２）。基板５が基準ピン１１Ｙに対し完全に押し付けられた状態で基板５をホルダ６に真空吸着して固定する（ステップ２３）。」（段落【００１０】〜【００１３】）
が記載されている。
　そして、引用例１記載の発明には、前記した発明の詳細な説明の記載（段落【００１３】）の「基板５が基準ピン１１Ｙに対し完全に押し付けられた状態で基板５をホルダ６に真空吸着して固定する」という記載から、ホルダ上面に基板を真空吸着して固定する吸着部を備えていることが記載されていると認める。
　同じく原査定の拒絶の理由に引用された引用例２（特開平５−２２６２９５号公報）には、
　段落【０００２】、【０００６】、【０００７】の記載によれば、「透明絶縁基板（ガラス板その他）のドライエッチング装置に係るもので、基板の外縁部を下位電極板上に抑圧して密着保持するために、基板抑えを定設した昇降杆を複数設け、さらに、前記昇降杆は、１８０°回動し、基板抑えが互いに内向きに相対するような姿勢にしてから下降させ基板の外縁部を下位電極板上に抑圧して密着保持する」ことが記載されていると認める。
　
３．対比・判断
　本願発明と引用例１に記載された発明を対比すると、引用例１に記載された発明の「基板」、「ホルダ」、「基準ピン」、「押圧ピン」、「押圧機構」は、本願発明の「基板部材」、「基板載置部」、「基準部材」、「押し付け部材」、「押し付け部材移動手段」に相当するから、両者は、「基板部材を載置する基板載置部と、前記基板部材の辺に沿って複数箇所に固定配置され、前記基板部材の端部を押し当てることにより基準位置に位置決めする基準部材と、前記基板載置部に載置される前記基板部材を挟んで前記基準部材と反対側に配置された押し付け部材と、前記押し付け部材を前記基板部材の搬入時に該基板部材端から離間する方向に移動させるとともに、前記押し付け部材を前記基板部材の搬入後に前記基準部材方向に移動させる押し付け部材移動手段を具備したことを特徴とする基板部材保持装置。」である点で一致し、
　本願発明では、基板載置部に「基板部材の側縁部に沿って配置され該基板部材を載置して吸着保持する吸着パッド」を備えているのに対して、引用例１に記載された発明では、ホルダ上面に基板を真空吸着して固定する吸着部を備えているにとどまる点（相違点１）、
　本願発明では、「基準部材に位置決めされた前記基板部材周辺の複数箇所に配置され、該基板部材の側縁部を前記吸着パッド方向に押圧する押圧部材と、前記基板部材が前記基板載置部の載置面に位置決めされたときに前記押圧部材を該基板部材側に近接するように移動させるとともに、該押圧部材を上方から前記吸着パッド方向に移動させる押圧部材移動手段」を備えているのに対して、引用例１に記載された発明では、そのような構成を備えていない点（相違点２）の２点で相違する。
　そこで、上記相違点について検討する。
　相違点１について、
　引用例１に記載された発明のホルダは、吸着パッドを備えるものではないが、その上面の吸着部はその機能からみて実質的に本願発明の吸着パッドに相当するものである。また、引用例１に記載された発明は、吸着部が基板の側縁部に沿って配置されているかどうか明確な記載はない。しかしながら、本願発明において、吸着パッドが基板部材の側縁部に沿って配置されていることにより格別な効果が期待できるとは認められない。
　よって、吸着部を基板の側縁部に沿って配置することにより本願発明のように構成することは当業者が設計に際して必要に応じて任意に決定できる設計的事項にとどまるものと認められ、この相違点は格別なものとはならない。
　
　相違点２について、
　引用例１に記載された発明に示される真空吸着を利用した基板位置決め装置が属する技術分野において、基板の周辺部に反りがあると吸着不良を生じる場合があることは、周知（例えば、特開平３−１０１１１９号公報を参照）であると認められるから、引用例２に示される、基板の外縁部を下位電極板上に抑圧して密着保持するために基板抑えを設けるという技術思想を引用例１に記載された発明に適用することは、当業者が格別困難性を要しないものと認められる。
　そして、引用例２の基板抑えが互いに内向きに相対するような姿勢になるように１８０°回動するという構成は、本願発明の押圧部材が基板部材側に近接するように移動するという構成に対応するから、本願発明の押圧部材移動手段は実質的に引用例２に記載されていると認められ、結局、引用例２に記載された技術思想を引用例１に記載された発明に適用することにより本願発明のように構成することは当業者が容易に想到しえたものと認められる。
　また、前記各相違点を総合的に検討しても奏される効果は当業者が当然予測できる範囲内のものと認められる。
　
４．むすび
　したがって、本願発明は、引用例１、２に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。