【手続補正書】
【提出日】平成29年12月13日(2017.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アノードを保持するように構成されるアノードホルダと、
多角形基板を保持するように構成される基板ホルダと、
前記アノードホルダ及び前記基板ホルダを収容して、前記アノード及び前記基板をめっき液に浸漬するためのめっき槽と、
前記アノードと前記基板との間に流れる電流を制御するための制御装置と、を有し、
前記基板ホルダは、前記多角形基板の各辺に沿って配置される複数の給電部材を有し、
前記制御装置は、前記複数の給電部材に少なくとも２つの異なる値の電流が同時に供給されるように、電流を制御し得るように構成された、めっき装置。
【請求項２】
請求項１に記載されためっき装置において、
前記給電部材は、前記多角形基板の辺の中央部を含む辺中央領域に接触可能な第１給電部材と、前記辺中央領域に隣接する中間領域に接触可能な第２給電部材及び／又は前記中間領域よりも前記多角形基板の角部に近接する領域に接触可能な第３給電部材とを含み、
前記制御装置は、前記第１給電部材と、前記第２給電部材及び／又は前記第３給電部材とに、それぞれ異なる値の電流を供給するように、電流を制御し得るように構成された、めっき装置。
【請求項３】
請求項２に記載されためっき装置において、
前記制御装置は、前記第２給電部材に流れる電流の値が、前記第１給電部材に流れる電流の値よりも大きくなるように、前記電流を制御し得るように構成された、めっき装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載されためっき装置において、
前記制御装置は、めっき開始時に第１値の電流が前記第１給電部材に供給され、その後前記第１値よりも大きい第２値の電流が前記第１給電部材に供給されるように、前記電流を制御し得るように構成された、めっき装置。
【請求項５】
請求項４に記載されためっき装置において、
前記制御装置は、前記第１給電部材に流れる電流が、前記第１値から前記第２値に段階的に増加するように、前記電流を制御し得るように構成された、めっき装置。
【請求項６】
請求項４に記載されためっき装置において、
前記制御装置は、前記第１給電部材に流れる電流が、前記第１値から前記第２値に連続的に増加するように、前記電流を制御し得るように構成された、めっき装置。
【請求項７】
請求項２ないし６のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記制御装置は、前記第３給電部材に流れる電流の値が、前記第１給電部材に流れる電流の値よりも小さくなるように、前記電流を制御し得るように構成された、めっき装置。
【請求項８】
請求項２ないし７のいずれか一項に記載されためっき装置において、
前記第３給電部材は、前記多角形基板の辺の交点以外の領域に接触するように構成される、めっき装置。
【請求項９】
アノードと多角形基板との間に電流を流して前記多角形基板にめっきする方法であって、
前記多角形基板の各辺に沿って複数の給電部材を接触させる工程と、
前記アノードと、前記多角形基板と、をめっき液に浸漬する工程と、
前記複数の給電部材に、少なくとも２つの異なる値の電流を同時に供給する工程と、を有する、めっき方法。
【請求項１０】
請求項９に記載されためっき方法において、
前記複数の給電部材を接触させる工程は、
前記多角形基板の辺の中央部を含む辺中央領域に第１給電部材を接触させる工程と、
前記辺中央領域に隣接する中間領域に第２給電部材を接触させ、且つ／又は前記中間領域よりも前記多角形基板の角部に近接する領域に第３給電部材を接触させる工程と、を含み、
前記電流を供給する工程は、前記第１給電部材と、前記第２給電部材及び／又は前記第３給電部材とに、それぞれ異なる値の電流を供給する工程を含む、めっき方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載されためっき方法において、
前記電流を供給する工程は、前記第２給電部材に流れる電流の値が、前記第１給電部材に流れる電流の値よりも大きくなるように、前記第１給電部材及び前記第２給電部材に電流を供給する工程を含む、めっき方法。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載されためっき方法において、
前記電流を供給する工程は、めっき開始時に第１値の電流を前記第１給電部材に供給し、その後前記第１値よりも大きい第２値の電流を前記第１給電部材に供給する工程を含む、めっき方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載されためっき方法において、
前記電流を供給する工程は、前記第１給電部材に流れる電流を、前記第１値から前記第２値に段階的に増加させる工程を含む、めっき方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載されためっき方法において、
前記電流を供給する工程は、前記第１給電部材に流れる電流を、前記第１値から前記第２値に連続的に増加させる工程を含む、めっき方法。
【請求項１５】
請求項１０ないし１４のいずれか一項に記載されためっき方法において、
前記電流を供給する工程は、前記第３給電部材に流れる電流の値が、前記第１給電部材に流れる電流の値よりも小さくなるように、前記第１給電部材及び前記第３給電部材に電流を供給する工程を含む、めっき方法。
【請求項１６】
請求項１０ないし１５のいずれか一項に記載されためっき方法において、
前記多角形基板の前記角部領域に第３給電部材を接触させる工程は、前記第３給電部材を前記多角形基板の辺の交点以外の領域に接触させる工程を含む、めっき方法。
【請求項１７】
多角形基板を保持するための基板ホルダであって、
前記多角形基板を保持するための基板保持面と、
前記基板保持面に保持された前記多角形基板に給電するための複数の給電部材と、を有し、
前記給電部材は、前記多角形基板と接触可能に構成される接点部を有し、
前記接点部は、前記多角形基板の辺に沿うように、略直線状に整列される、基板ホルダ。
【請求項１８】
請求項１７に記載された基板ホルダにおいて、
前記給電部材に電流を供給するための電源と電気的に接続される外部接点部と、
前記外部接点部と、前記給電部材とを接続する接続ユニットと、を有し、
前記給電部材は、前記多角形基板の辺の中央部を含む辺中央領域に接触可能な第１給電部材と、前記辺中央領域に隣接する中間領域に接触可能な第２給電部材及び／又は前記中間領域よりも前記多角形基板の角部に近接する領域に接触可能な第３給電部材を含み、
前記接続ユニットは、前記外部接点部から、前記第１給電部材と、前記第２給電部材及び／又は第３給電部材とにそれぞれ接続される、互いに電気的に独立した複数の接続ユニットを有する、基板ホルダ。
【請求項１９】
請求項１８に記載された基板ホルダにおいて、
前記外部接点部は、前記第１給電部材と前記接続ユニットを介して接続される複数の第１外部接点部と、前記第２給電部材と前記接続ユニットを介して接続される複数の第２外部接点部及び／又は前記第３給電部材と前記接続ユニットを介して接続される複数の第３外部接点部と、を有し、
前記接続ユニットは、
前記複数の第１外部接点部にそれぞれ接続される複数の第１接点配線と、前記複数の第１接点配線と接続される第１プレートと、前記第１プレートと前記第１給電部材とを電気的に接続する第１給電配線と、
前記複数の第２外部接点部にそれぞれ接続される複数の第２接点配線、前記複数の第２接点配線と接続される第２プレート、及び前記第２プレートと前記第２給電部材とを電気的に接続する第２給電配線、並びに／又は、前記複数の第３外部接点部にそれぞれ接続される複数の第３接点配線、前記複数の第３接点配線と接続される第３プレート、及び前記第３プレートと前記第３給電部材とを電気的に接続する第３給電配線と、を有する、基板ホルダ。
【請求項２０】
請求項１７ないし１９のいずれか一項に記載された基板ホルダにおいて、
前記第３給電部材は、前記多角形基板の辺の交点以外の領域に接触するように構成される、基板ホルダ。