【事件の表示】
　平成１１年特許願第１９５９４２号「ウェーハ吸着パッド」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年１月２６日出願公開、特開２００１−２４０５１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成１１年７月９日の特許出願であって、同１４年６月１０日付けで拒絶の理由が通知され、同１４年８月１２日に意見書とともに手続補正書が提出されたが、同１５年５月８日付けで拒絶をすべき旨の査定がされ、同１５年６月６日に本件審判の請求がされるとともに、同１５年７月１日に手続補正（以下「本件補正」という。）がされたものである。
　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は特許請求の範囲を含む明細書について補正するものであって、補正前後の特許請求の範囲の請求項１の記載は以下のとおりである。
（１）補正前の請求項１
「ウェーハを薄く加工する平面加工装置に組み込まれたウェーハ搬送手段の搬送アームに設けられ、極薄状のウェーハを吸着保持するウェーハ吸着パッドにおいて、
　円盤状に形成され、下面に平坦なウェーハ吸着面が形成されたパッド本体と、
　前記パッド本体のウェーハ吸着面側に同心円状に複数形成された環状の溝と、
　前記各溝に個別に接続されたエアの吸気ラインと、
　前記各吸気ラインが接続され、エアを吸引するエア吸引手段と、
　前記各吸気ラインに個別に設けられたバルブと、
　吸着するウェーハの外径に応じて前記バルブの開閉を切り換える切換手段と、
からなり、吸着するウェーハの外径に応じて前記切換手段で前記バルブの開閉を切り換えてエアの吸気範囲を拡縮させることにより、さまざまなサイズのウェーハを全面吸着して保持することを特徴とするウェーハ吸着パッド。」
（２）補正後の請求項１
「ウェーハを薄く加工する平面加工装置に組み込まれたウェーハ搬送手段の搬送アームに設けられ、極薄状のウェーハを吸着保持するウェーハ吸着パッドにおいて、
　円盤状に形成され、下面に平坦なウェーハ吸着面が形成されたパッド本体と、
　前記パッド本体のウェーハ吸着面側に同心円状に複数形成された環状の溝と、
　
通気性を有し、前記各溝に組み合わされて前記ウェーハ吸着面を平坦に形成する部材と、
　前記各吸気ラインが接続され、エアを吸引するエア吸引手段と、
　前記各吸気ラインに個別に設けられたバルブと、
　吸着するウェーハの外径に応じて前記バルブの開閉を切り換える切換手段と、
からなり、吸着するウェーハの外径に応じて前記切換手段で前記バルブの開閉を切り換えてエアの吸気範囲を拡縮させることにより、さまざまなサイズのウェーハを全面吸着して保持することを特徴とするウェーハ吸着パッド。」
２　補正の適否　　　
　請求項１における補正は、各溝に組み合わされてウェーハ吸着面を平坦に形成する通気性を有する部材を設ける旨の限定事項を付加するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるので、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか否かについて、以下検討する。
（１）補正発明
　補正発明は、本件補正により補正がされた明細書及び図面の記載からみて、前記１の（２）の補正後の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
（２）周知発明及び引用例記載事項
ア　周知発明
　ウェーハを薄く加工する平面加工装置に組み込まれたウェーハ搬送手段の搬送アームに設けられ、下面にウェーハ吸着面が形成されたウェーハを吸着保持するウェーハ吸着パッドは、例えば、特公昭６３−３５３７５号公報及び特公平４−３５３１２号公報等に記載されているように、従来周知である（以下、この従来周知のウェーハ吸着パッドを「周知発明」という。）。
イ　引用例１記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平６−３４５２６２号公報（以下「引用例１」という。）には、以下のとおり記載されている。
（ア）第３欄第４８行−第４欄第６行
「【００１１】また、この発明の第２の処理装置によれば、被処理体を保持するアームに被処理体の周方向数箇所を支承するための複数の爪を設けると共に、各爪の上面に、被処理体の周縁近傍の下面に当接してこれを数点支持する突起状吸着部を数種類の被処理体の径寸法に対応させて数箇所に設けることにより、被処理体をその周縁がアームに対して非接触の状態で保持し、しかも、径寸法の異なる数種類の被処理体に対して、アームを交換することなく対応できる。」
（イ）第７欄第７−２０行
「【００２９】◎第二実施例
図９には、この発明の第二実施例の搬送機構の第３のアームを示す平面図、図１０には、図９の要部の拡大平面図及び断面図が示されている。この第二実施例において、第３のアーム８以外の構成は第一実施例と同様であるので、その説明は省略する。
【００３０】第二実施例の第３のアーム８は、図９，図１０に示すように、一部切欠円環状に形成されたウエハ支持枠９の両端部及び中間部の計３箇所に、ウエハＷを支承するための爪２５が支持枠９の半径方向内側に突出して設けられ、各爪２５の上面に、ウエハＷの周縁近傍の下面に当接してこれを３点支持するための突起状吸着部２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃが３種類のウエハＷA,ＷB,ＷC の径寸法に対応させて設けられている。」
　上記記載事項より、引用例１には、ウエハ搬送機構のアームに、さまざまなサイズのウエハを吸着して保持することができるウエハ支持枠を設けること（以下「引用例１記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
ウ　引用例２記載事項
　本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平８−１４６４号公報（以下「引用例２」という。）第２欄第３４行−第３欄第２５行には、以下のとおり記載されている。
「【０００９】本発明は、半導体ウエハＷ等をバキューム吸着機構でチャックして研削する研削盤のユニバーサルチャック機構１において、前記ユニバーサルチャック機構１を構成する円盤形状のチャック本体２を不通気性部材で形成し、該チャック本体２の中心部辺へ中央凹陥部３を形成し、該中央凹陥部３の外方へ同心状とした複数の環状溝４ａを環状部４とした隔壁を有して形成し、前記中央凹陥部３の底面中心へは前記バキューム吸着機構へ連通する連通管１１を挿通させた貫通孔５を穿設すると共に、前記中央凹陥部３と夫々の環状溝４ａとへは夫々通気性部材で形成された円板部材６と夫々の環状部材４ｂを上面を平坦状にして嵌入固定させ、前記夫々の環状溝４ａの底部へは一端を前記連通管１１へ貫通させ他端を封栓７で塞ぎ且つ球状弁１０の弁座１２を備えた通気機構８を水平方向に形成し、前記通気機構８の一端側へはコイルスプリング９を水平に保持するコイルスプリング固定管１３を固着し、前記コイルスプリング９の他端側へ遊動自在な球状弁１０を介設したものである。
【００１０】即ち、本発明のユニバーサルチャック機構１は、平面自動研削盤のローターリーテーブルの複数個所へ当間隔を有して配設され半導体ウエハＷ等をバキューム吸着機構（図示しない）で空気を吸引して負圧をかけてチャックするものであり、前記ユニバーサルチャック機構１を構成する円盤形状のチャック本体２はアルミナセラミック等の不通気性部材で形成したものである。
【００１１】前記チャック本体２の中心部辺にはポーラスセラミック等の通気性部材で形成した円板部材６を嵌入固定させる中央凹陥部３を形成し、該中央凹陥部３の底面の中心部へは通気するためのバキューム吸着機構へ連通する連通管１１を挿通させた貫通孔５を穿設するものである。
【００１２】そして、ポーラスセラミック等の通気性部材で形成した複数の環状部材４ｂを嵌入固定させる中央凹陥部３の外方で且つ同心状の複数の環状溝４ａを環状部４とした隔壁を有して形成したものである。
【００１３】前記中央凹陥部３へはその内側形状と合致する形状のポーラスセラミック等の通気性部材で形成した円板部材６を嵌入固定させると共に、前記複数の環状溝４ａへは、該夫々の環状溝４ａの形状と合致する形状のポーラスセラミック等の通気性部材で形成した該夫々の環状部材４ｂを密着状態で夫々嵌入固定させ、夫々の上面は平坦状にしたものである。」
　上記記載事項より、引用例２には、さまざまなサイズのウエハを上面に吸着して保持することができるチャック機構において、ウエハ吸着面側に同心円状に複数形成された環状の溝に組み合わされて前記ウエハ吸着面を平坦に形成する通気性部材を設けること（以下「引用例２記載の技術的事項」という。）が記載されていると認める。
（３）対比
　補正発明と周知発明とを対比すると、両者は、ウェーハを薄く加工する平面加工装置に組み込まれたウェーハ搬送手段の搬送アームに設けられ、下面にウェーハ吸着面が形成されたウェーハを吸着保持するウェーハ吸着パッドであることで一致している。
　そして、両者は、次の点で相違している。
　補正発明では、ウェーハが極薄状であり、ウェーハ吸着パッドが、円盤状に形成され、平坦なウェーハ吸着面が形成されたパッド本体と、前記パッド本体のウェーハ吸着面側に同心円状に複数形成された環状の溝と、通気性を有し、前記各溝に組み合わされて前記ウェーハ吸着面を平坦に形成する部材と、前記各溝に個別に接続されたエアの吸気ラインと、前記各吸気ラインが接続され、エアを吸引するエア吸引手段と、前記各吸気ラインに個別に設けられたバルブと、吸着するウェーハの外径に応じて前記バルブの開閉を切り換える切換手段と、からなり、吸着するウェーハの外径に応じて前記切換手段で前記バルブの開閉を切り換えてエアの吸気範囲を拡縮させることにより、さまざまなサイズのウェーハを全面吸着して保持するのに対して、周知発明では、ウェーハの厚さが明らかでなく、また、そのような環状の溝、切換手段等を備えておらず、そのようにさまざまなサイズのウェーハを全面吸着して保持するものではない点（以下「相違点」という。）。
（４）相違点の検討
　前記相違点について検討すると、平面加工装置でウェーハの裏面を研削して極薄状のウェーハとすることは、例示するまでもなく従来周知の事項であるので、周知発明において、吸着保持するウェーハを極薄状のものとすることに格別の困難性は見当たらない。
　また、円盤状に形成され、上面に平坦なウェーハ吸着面が形成されたパッド本体と、前記パッド本体のウェーハ吸着面側に同心円状に複数形成された環状の溝と、前記各溝に個別に接続されたエアの吸気ラインと、前記各吸気ラインが接続され、エアを吸引するエア吸引手段と、前記各吸気ラインに個別に設けられたバルブと、吸着するウェーハの外径に応じて前記バルブの開閉を切り換える切換手段と、からなり、吸着するウェーハの外径に応じて前記切換手段で前記バルブの開閉を切り換えてエアの吸気範囲を拡縮させることにより、さまざまなサイズのウェーハを全面吸着して保持するウェーハ吸着パッドは、例えば、実願昭６２−１０７９５０号（実開昭６４−１３１３２号）のマイクロフィルムに記載されているように、従来周知であり（以下、この従来周知のウェーハ吸着パッドを「周知のウェーハ吸着パッド」という。）、この周知のウェーハ吸着パッドは、上面にウェーハ吸着面が形成されているが、このウェーハ吸着面を下向きにしてウェーハの上面を吸着すること、すなわちウェーハ吸着面を下面とすることに阻害要因が見当たらず、そして、前記（２）のイに示した引用例１記載の技術的事項のように、さまざまなサイズのウェーハを吸着して保持することができる吸着手段を設けることは、ウェーハ搬送手段の搬送アームにおいても行われていることであるので、周知発明に周知のウェーハ吸着パッドを採用して、ウェーハ吸着パッドが、円盤状に形成され、下面に平坦なウェーハ吸着面が形成されたパッド本体と、前記パッド本体のウェーハ吸着面側に同心円状に複数形成された環状の溝と、前記各溝に個別に接続されたエアの吸気ラインと、前記各吸気ラインが接続され、エアを吸引するエア吸引手段と、前記各吸気ラインに個別に設けられたバルブと、吸着するウェーハの外径に応じて前記バルブの開閉を切り換える切換手段と、からなり、吸着するウェーハの外径に応じて前記切換手段で前記バルブの開閉を切り換えてエアの吸気範囲を拡縮させることにより、さまざまなサイズのウェーハを全面吸着して保持するものすることは、当業者が容易に想到することができたことである。
　さらに、引用例２には、前記（２）のウに示した引用例２記載の技術的事項が記載されており、周知発明、周知のウェーハ吸着パッド、引用例１記載の技術的事項及び引用例２記載の技術的事項は、いずれもウェーハ吸着技術に関するものであってその技術分野が共通するので、上記周知のウェーハ吸着パッドの採用に際し、引用例２記載の技術的事項を採用し、通気性を有し、各溝に組み合わされてウェーハ吸着面を平坦に形成する部材を設けることも、当業者が容易に想到することができたことである。
　そして、補正発明が奏する作用効果も、周知発明、従来周知の事項、周知のウェーハ吸着パッド、引用例１記載の技術的事項及び引用例２記載の技術的事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　以上のとおりであるので、補正発明は、周知発明、従来周知の事項、周知のウェーハ吸着パッド、引用例１記載の技術的事項及び引用例２記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
３　むすび
　以上のとおりであるので、本件補正は、平成１５年法律第４７号による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
  
第３　本件発明について 
１　本件発明
　本件補正は、前記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１乃至３に係る発明は、平成１４年８月１２日付け手続補正書により補正がされた明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載された事項により特定されるとおりのものであると認めるところ、請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、前記第２の１の（１）の補正前の請求項１に示したとおりである。
２　周知発明及び引用例記載事項
　これに対して、周知発明並びに原査定の拒絶の理由に引用された引用例１及びその記載事項は、前記第２の２の（２）のア及びイに示したとおりである。
３　対比・判断
　本件発明は、前記第２の１に示したとおり、補正発明の特定事項から、各溝に組み合わされてウェーハ吸着面を平坦に形成する通気性を有する部材を設ける旨の限定事項を省いたものである。
　そうすると、本件発明を構成する事項のすべてを含み、さらに他の事項を付加する補正発明が、周知発明、従来周知の事項、周知のウェーハ吸着パッド、引用例１記載の技術的事項及び引用例２記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明も、同様の理由により、周知発明、従来周知の事項、周知のウェーハ吸着パッド及び引用例１記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
４　むすび
　以上のとおりであるので、本件発明は、周知発明、従来周知な事項、周知のウェーハ吸着パッド及び引用例１記載の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願の請求項２及び３に係る発明について判断するまでもなく、本件出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。