【手続補正書】
【提出日】平成30年11月14日(2018.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面および裏面と、
前記表面および前記裏面を貫通する貫通孔と、
前記貫通孔を挟んで両側に位置する壁部と、を有する第１振動腕を有し、
前記壁部は、前記貫通孔の前記壁部側に位置する二つの内側面のそれぞれに配設され、互いに異なる電位が印加され、前記表面および前記裏面に沿って並延されている二つの電極を備え、
それぞれの前記電極のうち、一方の前記内側面の前記表面側に位置する第１の電極と、他方の前記内側面の前記裏面側に位置する第２の電極とは、二つの前記内側面を繋ぐ一方の端側面に配置されている第１の配線によって短絡されていることを特徴とする振動デバイス。
【請求項２】
前記電極は、前記他方の前記内側面の前記表面側に位置する第３の電極と、前記一方の前記内側面の前記裏面側に位置する第４の電極とを短絡する第２の配線を備え、
前記第２の配線は、二つの前記内側面を繋ぐ他方の端側面に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項３】
前記端側面の幅は、二つの前記内側面間の幅よりも狭い部分を有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動デバイス。
【請求項４】
基部と、前記基部から延出されている第２振動腕と、を有し、
前記第１振動腕は、前記第２振動腕の延出方向と反対方向に前記基部から延出されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【請求項５】
少なくとも前記第１振動腕を収納するパッケージを有していることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動デバイス。
【請求項６】
表面および裏面と、
前記表面および前記裏面を貫通する貫通孔と、
前記貫通孔を挟んで両側に位置する壁部と、を有する第１振動腕を有し、
前記壁部は、前記貫通孔の前記壁部側に位置する二つの内側面のそれぞれに配設され、互いに異なる電位を有し、前記表面および前記裏面に沿って並延されている二つの電極を備え、
それぞれの前記電極は、一方の前記内側面の前記表面側に位置する第１の電極と、他方の前記内側面の前記裏面側に位置する第２の電極とを短絡する第１の配線を備え、
前記第１の配線は、二つの前記内側面を繋ぐ前記貫通孔の一方の端側面に配置されている振動デバイスの製造方法であって、
前記貫通孔が形成された前記第１振動腕の露出面に金属膜を形成する工程と、
前記端側面と前記内側面とにおいて、前記金属膜を分割して前記電極を形成する工程と、を含むことを特徴とする振動デバイスの製造方法。
【請求項７】
前記金属膜を分割して前記電極を形成する工程は、四回の露光工程を含んでいることを特徴とする請求項６に記載の振動デバイスの製造方法。
【請求項８】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［適用例２］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記電極は、前記他方の前記内側面の前記表面側に位置する第３の電極と、前記一方の前記内側面の前記裏面側に位置する第４の電極とを短絡する第２の配線を備え、前記第２の配線は、二つの前記内側面を繋ぐ他方の端側面に配置されていることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本適用例によれば、他方の内側面の表面側に位置する第３の電極と、一方の内側面の裏
面側に位置する第４の電極とを短絡する第２の配線が、二つの内側面を繋ぐ他方の端側面
に配置されている。このような第２の配線の配置により、表裏面の狭い領域に第２の配線
に相当する配線を設けることが不要となり、二つの内側面を繋ぐ配線（第２の配線）の幅
を広くすることができる。また、配線を貫通孔の内部にある端側面に設けるため、表裏面
と比べ周波数調整などの際に用いる、例えばレーザー光などの照射がされ難くなる。これ
らにより、配線が切断されてしまうなどの不具合の発生を抑制することが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
【図１】本発明の振動デバイスの第１実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の概略を示す平面図。
【図２】第１実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の電極構成を説明する図であり、図１のＡ−Ａ断面図。
【図３】第１実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の電極構成を説明する図であり、図１のＢ−Ｂ断面図。
【図４】第１実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の電極構成を説明する図であり、図１のＣ−Ｃ断面図。
【図５】検出腕に形成されている電極の電気的接続状態を示す図。
【図６】第１実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の製造方法を示す工程フロー図。
【図７Ａ】第１実施形態係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の製造方法における露光方向を示し、一方の検出腕における図１のＡ−Ａ断面図。
【図７Ｂ】貫通孔の端部における露光状態を示す断面図。
【図８】本発明の振動デバイスの第２実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の概略を示す部分平面図。
【図９】第２実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の製造方法を示す工程フロー図。
【図１０Ａ】第２実施形態係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の製造方法における露光方向を示し、一方の検出腕における図１のＡ−Ａ断面図。
【図１０Ｂ】露光方向を示し、一方の検出腕における図８のＤ−Ｄ断面図。
【図１０Ｃ】貫通孔の端部における露光状態を示す断面図。
【図１１】本発明に係る振動デバイスの第３実施形態に係るジャイロセンサーの概略構成を示す正断面図。
【図１２】電子機器の一例としてのデジタルビデオカメラの構成を示す斜視図。
【図１３】電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。
【図１４】電子機器の一例としての情報携帯端末の構成を示す斜視図。
【図１５】移動体の一例としての自動車の構成を示す斜視図。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
ジャイロ素子３００は、中心部分に位置する略矩形状の基部１と、基部１のＹ軸方向の一方の端部（図中−Ｙ軸方向の端部）から、並行するようにＹ軸に沿って延伸された一対の振動腕２ａ，２ｂ（第２振動腕）と、基部１の他方の端部（図中＋Ｙ軸方向の端部）からＹ軸に沿って並行するように延伸された一対の検出腕３ａ，３ｂ（第１振動腕）と、を有している。換言すれば、振動腕２ａ，２ｂは、検出腕３ａ，３ｂの延出方向（＋Ｙ軸方向）と反対方向（−Ｙ軸方向）に基部１から延出されている。このように、基部１の両端部から反対方向に向かって、一対の振動腕２ａ，２ｂと、一対の検出腕３ａ，３ｂとが、それぞれ同軸方向に延伸されている。このような形状から、本実施形態に係るジャイロ素子３００は、Ｈ型ジャイロ素子と呼ばれることがある。Ｈ型のジャイロ素子３００は、第２振動腕としての振動腕２ａ，２ｂと第１振動腕としての検出腕３ａ，３ｂとが、基部１の同一軸方向の両端部からそれぞれ延伸されているので、駆動系と検出系が分離される。ジャイロ素子３００は、このように駆動系と検出系が分離されることにより、駆動系と検出系の電極間あるいは配線間の静電結合が低減され、検出感度が安定するという特徴を有する。なお、本実施形態ではＨ型振動片を例に振動腕および検出腕を各々２本ずつ設けているが、振動腕の本数は１本であっても３本以上であっても良い。また、１本の振動腕に後述する駆動電極と検出電極を形成しても良い。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
このような端側面５８ｃ，５８ｄ，５８ｅ，５８ｆを備えていることにより、二つの内側面間の幅を規定する方向である検出腕３ａ，３ｂの幅方向（Ｘ軸方向）から、端側面５８ｃ，５８ｄ，５８ｅ，５８ｆを容易に視認することができる。これにより、後述する第１の配線２５，３５（図２参照）、および第２の配線２７，３７（図３参照）の形成されている状態（良否）を容易に確認することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
まず、検出腕３ａ，３ｂに形成され、検出腕３ａ，３ｂが振動することによって基材である水晶に発生する歪みを検出する検出電極について説明する。図２に示すように、検出腕３ａ，３ｂには、前述したように、表面と裏面をつなぐ側面３ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋ、および検出腕３ａ，３ｂの平面視中央部において表裏面を貫通する貫通孔５８ａ，５８ｂが設けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
さらに、検出腕３ａには、側面３ｉに設けられた第３検出電極２２ａおよび第２検出電極２１ｂと対向する貫通孔５８ａの壁部３ｅ側の内側面２６ｉに、検出腕３ａの厚み方向（Ｚ軸方向）の略中央に有って検出腕３ａの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた電極分割部２６ｆによって分割された、表面側の第１検出電極２１ａと裏面側の第４検出電極２２ｂとが設けられている。本形態では、壁部３ｅ側の内側面２６ｉに位置する、第１検出電極２１ａが請求項における第１の電極に相当し、第４検出電極２２ｂが請求項における第４の電極に相当する。換言すれば、貫通孔５８ａの壁部３ｅ側の内側面２６ｉには、表面および裏面に沿って並延されている二つの電極（第１の電極としての第１検出電極２１ａと裏面側の第４の電極としての第４検出電極２２ｂ）が備えられている。このように、第１の電極としての第１検出電極２１ａは、貫通孔５８ａの内側面２６ｉの表面側に位置し、第４の電極としての第４検出電極２２ｂは、内側面２６ｉの裏面側に位置している電極である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
ここで、図５を参照しながら、検出腕３ａ，３ｂに形成されている電極の電気的接続状態について説明する。図５に示すように、検出腕３ａにおいては、第１検出電極２１ａと第２検出電極２１ｂとは同電位となるように接続され、第３検出電極２２ａと第４検出電極２２ｂとは同電位となるように接続されている。具体的に、第１検出電極２１ａおよび第２検出電極２１ｂは、接続端子Ｅ１に接続され、第３検出電極２２ａおよび第４検出電極２２ｂは、接続端子Ｅ２に接続されている。そして、検出腕３ａの振動によって生じる歪みを、第１検出電極２１ａおよび第２検出電極２１ｂと、第３検出電極２２ａおよび第４検出電極２２ｂとの電極間の電位差を検出することにより検出することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
また、振動腕３ａ，３ｂに設けられた貫通孔５８ａ，５８ｂの他方の内側面２６ｈ、３６ｊの表面側に位置する第３の電極（第３検出電極２２ａ，第７検出電極３２ａ）と、一方の内側面２６ｉ、３６ｋの裏面側に位置する第４の電極（第４検出電極２２ｂ，第８検出電極３２ｂ）とを短絡する第２の配線２７，３７が、二つの内側面２６ｈ，２６ｉおよび二つの内側面３６ｊ，３６ｋを繋ぐ他方の端側面５８ｄ，５８ｆに配置されている。このように、貫通孔５８ａ，５８ｂの端側面５８ｄ，５８ｆに第２の配線２７，３７が配置されていることにより、表裏面の狭い領域に第２の配線２７，３７に相当する配線を設けることが不要となり、二つの内側面２６ｈ，２６ｉおよび二つの内側面３６ｊ，３６ｋに設けられた電極を繋ぐ配線（第２の配線２７，３７）の幅を広くすることができる。また、配線（第２の配線２７，３７）を貫通孔５８ａ，５８ｂの内部にある端側面５８ｄ，５８ｆに設けるため、表裏面と比べ周波数調整などの際に用いる、例えばレーザー光などの照射がされ難くなる。これらにより、配線が切断されてしまうなどの不具合の発生を抑制することが可能となる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
３．ジャイロ素子の製造方法
次に、上述した振動素子の第２実施形態に係るジャイロ素子４００の製造方法の一例を、図９、図１０Ａ、図１０Ｂ、および図１０Ｃを参照して説明する。図９は、第２実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の製造方法を示す工程フロー図である。図１０Ａは、第２実施形態に係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の製造方法における露光方向を示し、一方の検出腕における図１のＡ−Ａ断面図に相当する断面図である。図１０Ｂは、第２実施形態係るジャイロ素子（Ｈ型ジャイロ素子）の製造方法における露光方向を示し、一方の検出腕における図８のＤ−Ｄ断面図である。図１０Ｃは、貫通孔の端部における露光状態を示す断面図である。なお、図１０Ａ、図１０Ｂ、および図１０Ｃでは、検出腕４０３ａを例示して説明するが、検出腕４０３ｂにおいても適用することができる。また、以下の説明では、ジャイロ素子４００の構成部位については、図８を参照し、同符号を用いて説明することがある。また、以下に説明する製造方法は、一例であって、他の製造方法を適用してジャイロ素子４００を製造することもできる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
同様に、図１０Ｂに示す矢印Ｌ１４の方向（＋Ｙ軸方向から−Ｙ軸方向に向けて図中斜め上方から斜め下方に向かう方向）から露光する第４露光工程（ステップＳ２０７）では、検出腕４０３ａの貫通孔４５８ａの端側面４５８ｄの厚み方向（Ｚ軸方向）中央部に向けて光を照射する。換言すれば、第４露光工程（ステップＳ２０７）では、検出腕４０３ａの表面側から光を照射する。このとき、貫通孔４５８ａの幅が狭いため、端側面４５８ｄの上部（表面側）には十分な光が届き露光が行われるが、端側面４５８ｄの下部（裏面側）には光が届きにくく、十分な露光を行うことができ難い。したがって、矢印Ｌ１４の方向から露光する第４露光工程（ステップＳ２０７）では、図１０Ｃに示す端側面４５８ｃの上部（表面側）の領域Ｐ１３と同様な部分に相当する端側面４５８ｄの領域（不図示）の露光が行われる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
同様に、図１０Ｂに示す矢印Ｌ１６の方向（＋Ｙ軸方向から−Ｙ軸方向に向けて図中斜め下方から斜め上方に向かう方向）から露光する第６露光工程（ステップＳ２０９）では、検出腕４０３ａの貫通孔４５８ａの端側面４５８ｄの厚み方向（Ｚ軸方向）中央部に向けて光を照射する。換言すれば、第６露光工程（ステップＳ２０９）では、検出腕４０３ａの裏面側から光を照射する。このとき、貫通孔４５８ａの幅が狭いため、端側面４５８ｄの下部（裏面側）には十分な光が届き露光が行われるが、端側面４５８ｄの上部（表面側）には光が届きにくく、十分な露光を行うことができ難い。したがって、矢印Ｌ１６の方向から露光する第６露光工程（ステップＳ２０９）では、図１０Ｃに示す端側面４５８ｃの下部（裏面側）の領域Ｐ１４と同様な部分に相当する端側面４５８ｄの領域（不図示）の露光が行われる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
なお、本発明の実施形態に係るジャイロ素子３００を一例とする振動素子は、図１２のデジタルビデオカメラ１０００、図１３の携帯電話機、および図１４の情報携帯端末の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、リアルタイムクロック装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、有線又は無線の通信機能を有し各種のデータを送信可能なガスメーターや水道メーターや電力量計（スマートメーター）等の各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等の電子機器に適用することができる。