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　平成　７年特許願第　８２２６１号「光熱信号検出方法及び装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　８年１０月２２日出願公開、特開平　８−２７８２５０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成７年４月７日の出願であって、平成１４年４月５日付けで拒絶査定（発送日１４年４月１６日）がなされ、これに対し、平成１４年５月１５日に審判請求がなされるとともに、平成１４年６月１４日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１４年６月１４日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１４年６月１４日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正内容
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１，４−９及び明細書段落００１３，００１４を補正をするものであり、
　Ａ）請求項１，９中に補正前に「第２の光の前記試料表面からの反射光」（計２箇所ある）、「光電変換素子からなる検出器」（計２箇所ある）、「複数の測定点の光学像」（計６箇所ある）、「光学像の検出信号」（計２箇所ある）、「前記試料の複数の測定点の表面及び内部情報を得る」（計２箇所ある）と記載されていたのをそれぞれいずれの箇所においても、「第２の光の前記試料表面からの前記周期的な反射率の変化と同期して周期的に変化する反射光」、「光電変換素子を備えた検出器」、「複数の測定点を含む光学像」、「光学像の前記複数の測定点に対応した複数の検出信号」、「前記試料の複数の測定点ごとの表面及び内部情報を分離して得る」と補正し、
　Ｂ）請求項４−８中に補正前に「複数の測定点の光学像」（計７箇所ある）と記載されていたのをいずれの箇所においても、「複数の測定点を含む光学像」と補正するものである。
　これらの補正事項Ａ），Ｂ）は、補正前の明細書及び図面に実質的に記載されている内容に基づいており、かつ、いずれも特許請求の範囲の減縮に該当するから、特許法第１７条の２第４項第２号の規定（特許請求の範囲の減縮）を満足するものと認められる。
　
　また、明細書段落【００１３】，【００１４】の補正はいずれも、今回の特許請求の範囲の補正と整合をとるための補正であって、明りょうでない記載の釈明に該当するものと認められる。
　
（２）本願補正発明
　本件補正後の請求項１−１６に係る発明は、平成１４年６月１４日付けの手続補正によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その請求項１−１６に記載されたとおりのものであり、請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という）は、
　「【請求項１】所望の周波数で強度変調した第１の光を結像光学系を介して試料表面の複数の測定点に同時に照射して該複数の測定点の表面において前記所望の周波数と同期した周期的な反射率の変化を同時に発生させ、前記試料表面の複数の測定点に同時に第２の光を前記結像光学系を介して照射し、該照射した第２の光の前記試料表面からの前記周期的な反射率の変化と同期して周期的に変化する反射光を前記結像光学系を介して前記試料表面の複数の測定点に対応した複数個の光電変換素子を備えた検出器上に結像させて該検出器上に前記試料表面の複数の測定点を含む光学像を形成し、該形成した前記試料表面の複数の測定点を含む光学像を前記検出器で検出し、該検出器で検出した前記試料表面の複数の測定点を含む光学像の前記複数の測定点に対応した複数の検出信号を用いて前記試料の複数の測定点ごとの表面及び内部情報を分離して得ることを特徴とする光熱信号検出方法。」
　であるが、これが特許出願の際独立して特許を受けることができたものであるか（平成１５年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同様第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下検討する。
　
（３）引用刊行物
　原査定の拒絶理由で示された刊行物は次のものである。
刊行物１：特公平３−４７７０３号公報
刊行物２：特開平５−１７２７３７号公報
　
　刊行物１には、
　「熱波を用いる顕微法（thermal wave microscopy）の分野では著しく多くの研究が現在行われている。熱波顕微法では標本の表面に周期的な熱源が供給される。この熱源は代表的な場合、強度変調されたレーザービーム……によって与えられる。……。熱波顕微法で標本表面下の熱的特徴が、これらの特徴に因る熱波の散乱及び反射を感知することにより、検出され、像映される。」（第２頁左欄第２５−４０行）、
　「第１図に示されているように、熱波を発生する装置が示されている。この装置は変調器３２によって強度変調されるレーザビーム３４を出力するレーザー３０により構成される。好ましい実施例ではビーム３４は顕微鏡対物レンズ３８によって標本表面上に収束される。この周期的加熱がビームの中心部から外方へ伝播する熱波源である。」（第４頁左欄第５−１１行）、
　「その検出装置は、変調されたエネルギービーム３４により周期的に加熱された標本の表面に指向される光プローブビームを含む。」（第４頁左欄第３８−４０行）、
　「好ましい実施例では、この加熱ビーム及びプローブビームはこれら両者が重畳してレンズ３８を通過し、標本表面上の小領域に収束されるように、整合されている。プローブビーム及び加熱ビームを同一小領域に収束させることによって最大の信号出力が達成できる。」（第４頁右欄第２４−２９行）、
　「プローブビームは標本表面から反射される際に電子と相互作用するので表面にて標本の格子構造と相互作用する。標本の格子構造は標本の温度が周期的に変化するに伴い周期的変化を行う。このプローブビームはこの格子構造の変化を実質上「見る」のであり、ビームの強度変化レベルは標本表面の熱的状態と共に変化するのである。」（第５頁左欄第３７行−第４４行）、　「プローブビームを検出器５６に向けて上方に反射する。放射線ビームの強度変化が検出されるべきなので、標準的光検出器が感知機構として使用できる。測定される強度変化は次に、……プロセッサに与えるように出力される。……。すべての場合にプロセッサは、標本の周期的加熱により発生される周期的反射率変化の結果である入射プローブビームの強度変化を評価するように設計されている。」（第５頁右欄第８−２０行）、
　「周期的反射率信号の熱波の導出は測定された信号の位相又は大きさのいずれかを規格化することによって行われる。これらの規格化された値は次に既知基準標本から採られた規格化済みの値に比較される。」（第５頁右欄第２３−２７行）、
　「一旦熱波情報が導出されると標本について有意な情報を与えるための解析を行うことができる。……たとえば、薄いフィルムの厚さに関する評価が行える。さらに熱的パラメータの深度プロファイル的変化を得ることができる。」（第５頁右欄第３８行−第６頁左欄第１行）、
　「再び第１図を参照すると、加熱ビーム及びプローブビームに対する標本の運動を簡単化するように制御される標本台２４が与えられている。このように構成することによって、２次元熱波像が直ちに発生できる。」（第６頁左欄第２−６行）、
　「熱波解析は集積回路の評価には特に適している。」（第６頁左欄第９−１０行）、
　が記載されている。
　
　刊行物２には、
　「【請求項１】所望の周波数で強度変調した光を試料表面の複数の測定点に照射して該複数の測定点の表面あるいは内部において光音響効果あるいは光熱効果を発生させ、該複数の測定点に光を照射してその反射光と参照光との干渉光を試料表面と共役の関係にあり、且つ各測定点に対応した複数個の光電変換素子からなる検出器で検出し、該検出した干渉光強度信号の中から複数の測定点において生じた、上記強度変調周波数と同じ周波数成分の熱歪を検出し、該周波数成分の熱歪より試料の複数の測定点の表面及び内部情報を検出することを特徴とする光音響信号検出方法。」、
　「【０００５】その一例を図２９に基づいて説明する。レーザ１から出射した平行光を音響光学変調素子（ＡＯ変調器）２により強度変調し、その断続光、即ち励起光をビームエキスパンダ３により所望のビーム径の平行光１９とした後、ハーフミラー４で反射させ、レンズ５によりＸＹステージ６上の試料７の表面に集光させる。試料７上の集光部２１から生じた熱歪波により超音波が発生し、同時に試料７表面に微小変位が生じる。この微小変位を以下に述べるマイケルソン干渉計で検出する。レーザ８から出射した平行光をビームエキスパンダ９により所望のビーム径に拡大した後、ハーフミラー１０で２つの光路に分離し、一方はプローブ光２４としてレンズ５により試料７上の集光部２１に集光させる。他方は参照ミラー１１に照射させる。試料７からの反射光と上記参照ミラー１１からの反射光とは、ハーフミラー１０上で互いに干渉し、この干渉光がレンズ１２によりホトダイオード等の光電変換素子１３上に集光される。……」、
　「【０００７】即ち、図２９に示す従来の光音響検出光学系では、試料の２次元内部情報を得ようとする場合、光音響効果を発生させるための励起光と、光音響効果によって生じた試料表面の微小変位を検出するためのプローブ光とを、各々相対的に試料上を２次元走査する必要がある。この２次元走査は１点ずつ情報を検出していくいわゆるポイント走査であるため、試料の全面にわたって走査しようとすると、莫大な検出時間を要してしまう。」、　「【０００９】【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、本発明は、強度変調した光を試料表面の複数の測定点に照射して、複数の測定点の表面あるいは内部にて光音響効果あるいは光熱効果を発生させると共に、複数の測定点に光を照射しその反射光と参照光とを干渉させ、その干渉光を、試料表面と共役の関係にあり、かつ各測定点に対応した複数個の光電変換素子から成る検出器で検出し、検出した干渉光強度信号の中から、複数の測定点における上記強度変調周波数と同じ周波数成分の熱歪を光音響信号として検出する。これにより、試料の複数の測定点の表面及び内部情報をほぼ同時に抽出することを可能とし、従来方式に比べ格段に高速な光音響信号の検出を可能としたものである。」、
　「【００３５】励起光学系２０１について、図３に基づいて更に詳細に説明する。図３（ａ）及び（ｂ）において、シリンドリカルレンズ３９の焦点位置と対物レンズ４２の後側焦点位置４４とは一致しており、また対物レンズの前側焦点位置は試料４７の表面と一致している。従って、同図（ａ）に示すようにｘ方向に関して、シリンドリカルレンズ３９から出たビーム４０は対物レンズ４２の後側焦点位置４４に集光するため、対物レンズ４２から出たビーム４６は平行光となって試料４７表面上に入射するわけである。……その結果、図４に示すように、試料４７の表面上には、励起ビームとして、ｘ方向に幅を持ちｙ方向に集束した、１本のストライプビーム１０１が得られる。……。次に、光音響効果に基づく試料表面の微小変位の分布１１０（破線）を検出するためのヘテロダイン形トワイマン・グリーン干渉光学系２０２の構成とその機能について、図１から図９に基づいて説明する。……、ビームエキスパンダ７０により所望のビーム径に拡大し、更にシリンドリカルレンズ（円筒レンズ）７１により楕円ビームにする。この楕円ビームは、偏光ビームスプリッタ７３によりｐ偏光ビーム７２とｓ偏光ビーム７４に分離される。ｐ偏光ビーム７２はｆC1だけ周波数シフトしておりダイクロイクプリズム４１を通過した後、対物レンズ４２の瞳４３即ち後側焦点位置４４にｘ方向のみ集光する。一方、ｙ方向に関してはシリンドリカルレンズ７１は曲率を持たない板ガラスとみなせるので、対物レンズ４２の後側焦点位置４４には平行光のままで入射する。対物レンズ４２から出射したビームはλ／４板４５通過後円偏光ビーム１４５となり、図４に示すように、対物レンズの前側焦点位置、即ち試料４７の表面上には、励起ビーム１０１と同じ位置に、プローブビーム
としてｘ方向に幅を持ちｙ方向に集束した、１本のストライプビーム１９０が得られる。……」、
　「【００３６】……。この干渉光８０を中心波長６３３ｎｍの干渉フィルタ８１を通して迷光を除去した後、結像レンズ７８により、ＣＣＤ１次元センサ等の蓄積形固体撮像素子８２上に結像させる。ＣＣＤ１次元センサ８２の撮像面と試料４７の表面とは結像関係にあるので、当然ながら、撮像面には試料４７の表面に形成されたプローブビームと同様ストライプ状の干渉光が結像する。……」、
　「【０１０２】……第１〜第３の実施例ではストライプ状の励起ビームを用いているのに対し、本実施例では、励起光学系５０１にて複数スポットビーム並列照射光学系１９７を採用している点が大きく異なる。……。図２７に基づき、複数スポットビーム並列照射光学系１９７を説明する。ビームエキスパンダ３８からの拡大平行光は図２８に示すストライプ状の開口２１０ａを有すマスク２１０を通過した後ストライプビームとなり、１次元微小レンズアレイ２１０に入射する。……」、
　「【０１１２】また、以上述べた第１〜第３の実施例では、１次元のストライプ状の励起ビームとプローブビームを用いているが、ある一定の面積を持った２次元形状のビームを用いることも可能である。その場合には、当然ながら干渉光検出用に２次元センサを用いる。同様に、第４の実施例においても、複数のスポットビームを２次元形状に配置し、２次元のセンサを用いることも可能である。」、
　「【０１１３】【発明の効果】本発明によれば、複数の測定点を並列に同時に励起し、各点で生じた光音響信号の検出に光干渉を利用し、干渉光を並列に同時に検出することにより、試料の複数測定点の光音響信号を並列に同時に検出することができ、試料の２次元表面及び内部情報を高速に検出することが可能となるという大きな効果を有する。」、
　が記載されている。
　
（４）対比・検討
　本願補正発明と、刊行物１に記載された発明を対比すると、刊行物１において、「加熱ビーム３４及びプローブビームを対物レンズ３８を介して照射・収束させた標本面上の同一小領域」が、本願補正発明における、「第１の光および第２の光が結像するところの測定点」に相当し、刊行物１において、強度変調された加熱ビーム３４を対物レンズ３８を介して照射し、標本面上の小領域を周期的及び局所的に加熱して、「標本の周期的変化により発生される周期的反射率の変化」（第５頁右欄第１８行−１９行）を発生させることが、本願補正発明における「所望の周波数で強度変調した第１の光を結像光学系を介して試料表面の測定点に照射して該測定点の表面において前記所望の周波数と同期した周期的な反射率の変化を発生させ」ることに相当し、刊行物１において、検出器５６が光電変換作用により光検出するものであることは明らかであり、刊行物１において、「プローブビーム５２を対物レンズ３８を介して、加熱ビーム３４で周期的に加熱している小領域に照射し、該小領域で反射されたプローブビームを前記対物レンズ３８を介して検出器５６に与えること」、が、本願補正発明における「前記試料表面の測定点に第２の光を前記結像光学系を介して照射し、該照射した第２の光の前記試料表面からの反射光を前記結像光学系を介して前記試料表面の測定点に対応した光検出器上に反射光を与え」ることに相当し、刊行物１において、検出器５６に与えられる反射光が、「標本の周期的加熱により発生される周期的反射率変化の結果である入射プローブビーム強度変化」（第５頁右欄第１８−２０行）の情報を有しているということが、本願補正発明において、第２の光の反射光が、「試料表面からの前記周期的な反射率の変化と同期して周期的に変化する反射光」であるということに相当し、刊行物１の「薄いフィルム層の厚さに関する評価が行える。さらに熱的パラメータの深度パラメータ的変化を得ることができる」（第５頁右欄第３行−第６頁左欄第１行）という記載は、標本たるフィルムにおいて深度０の表面および内部の深い箇所の情報を得ることを意味し、これは、本願補正発明の「試料の表面及び内部情報を得る」に相当し、さらにまた、刊行物１の「加熱ビーム及びプローブビームに対する標本の運動を簡単化するように制御される標本台２４が与えられている。このように構成することによって、２次元熱波像が直ちに発生できる」（第６頁左欄第２−６行）という記載は、同じ小領域に対して、加熱ビーム及びプローブビームを同時照射して、これを各小領域毎に順次行い、それらを寄せ集めて全体として、２次元熱波像を得ることを意味し、その場合、小領域毎に、深度０の表面および内部の深い箇所の情報が分離して得られることも明らかであり、「２次元熱波画像」が、本願補正発明における「試料表面の複数の測定点を含む光学像」に相当するから、
　両者は、
　「所望の周波数で強度変調した第１の光を結像光学系を介して試料表面の複数の測定点に照射して該複数の測定点の表面において前記所望の周波数と同期した周期的な反射率の変化を発生させ、前記試料表面の複数の測定点に第２の光を前記結像光学系を介して照射し、該照射した第２の光の前記試料表面からの前記周期的な反射率の変化と同期して周期的に変化する反射光を前記結像光学系を介して前記試料表面の測定点に対応した光検出器上に反射光を与え、前記試料表面の複数の測定点を含む光学像を得るとともに、該光検出器で検出した前記試料表面の複数の測定点を含む反射光に対応した複数の検出信号を用いて前記試料の複数の測定点ごとの表面及び内部情報を分離して得ることを特徴とする光熱信号検出方法。」
　である点で一致し、次の点で相違する。
　
　相違点１
　本願補正発明は、第１の光を複数の測定点に同時に照射し、同時に第２の光を前記複数点に照射するものであり、複数の測定点に対応した複数個の光電変換素子を備えた検出器を具備するものであるのに対し、刊行物１に記載の発明は、第１の光（加熱ビーム）を１個の測定点に照射し、同時に第２の光（プローブビーム）を前記１個の測定点に照射し、前記測定点に対応した光検出器（検出器５６）を具備するに過ぎない点。
　
　相違点２
　本願補正発明は、第２の光の試料表面からの反射光を前記試料表面の複数の測定点に対応した複数個の光電変換素子を備えた検出器上に結像させるものであり、試料表面の複数の測定点を含む光学像は、検出器上に形成させるものであるのに対し、刊行物１に記載の発明は、第２の光の試料表面からの反射光を光検出器で検出することは記載されているものの、光検出器上に結像させることについては、記載がなく、また、光学像（２次元熱波像）は、複数個の測定点について順次測定を行いそれらの結果を寄せ集めて形成するに過ぎない点。
　
　前記相違点について検討すると、
　相違点１について
　刊行物２に記載の発明は、本願補正発明と同様に熱波を用いる顕微法［注：「熱波を用いる顕微法」は、刊行物１の第２頁左欄第２５−４０行に記載されているとおりのものである］の技術分野に属するものであって、この刊行物２には、励起ビーム（加熱ビームのことである）、プローブビームをスポット的に試料の同一測定点に順次照射してゆき、各測定点でのプローブビームの反射に係る光を参照光と干渉させて、干渉光を順次検出して、試料全表面の２次元情報を得るのは測定時間が莫大であるから、それに替えて、励起ビーム、プローブビームをシリンドリカルレンズを用いて、ストライプ状のものに収束させて、試料の表面にストライプ状に投影照射することで、ストライプ状の照射下にある複数の測定点の同時照射を実現したり、または励起ビーム、プローブビームに対して一次元微小レンズアレイを用いて、複数個のスポットビームを発生させて、複数の測定点の同時照射を実現することとし、プローブビームの試料表面での反射によるこれらストライプ状に一列に並んだ複数の測定点に係る光を参照光と干渉させ、干渉光として並列に同時にＣＣＤ１次元センサで検出することが記載されており、このＣＣＤ１次元センサが複数の測定点に対応して一列に並んだ複数個の光電変換素子を備えた検出器であることは明らかであるから、刊行物１に記載の発明において、加熱ビーム（第１の光）を複数の測定点に同時に照射し、同時にプローブビーム（第２の光）を前記複数点に照射するようにし、プローブビームの標本表面からの反射光を前記複数の測定点に対応した複数個の光電変換素子を備えた検出器で検出するようにすることは、当業者が容易に想到できたものである。
　
　相違点２について
　刊行物２には、試料表面からのプローブビームの反射に係る光［ここで「反射に係る光」というのは、刊行物２において光電検出素子が検出するのは、反射光そのものではなくて、反射光が参照光により干渉された干渉光であるからである］を、試料表面と共役の関係にある光電検出素子で検出することとし、該反射に係る光を、光電検出素子上で結像させることが示されているから、刊行物１に記載の発明において、加熱ビーム（第２の光）の標本表面の測定点からの反射光自体を検出器上に結像させるようにすることは当業者が普通に行う程度の事項であり、また刊行物１に記載の発明において、加熱ビーム（第１の光）を複数の測定点に同時に照射し、同時にプローブビーム（第２の光）を前記複数点に照射するようにし、プローブビームの標本表面からの反射光を前記複数の測定点に対応した複数個の光電変換素子を備えた検出器を設けるようにした場合に、プローブビームからの反射光が検出器上で結像するようにすることも当業者が容易に想到できたものであって、その場合、光電変換素子が１次元配列であれば、１次元の光学像が検出器上に得られ、光電変換素子が２次元配列であれば、２次元の光学像が検出器上に得られることは、自明なことである。
　
　そして、相違点１，２を総合的に検討しても、本願補正発明は当業者が容易に発明できたものである。
　したがって、本願補正発明は、引用刊行物１，２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１５年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　よって、補正却下の決定の結論のとおり、決定する。
　
３．本願発明について
　平成１４年６月１４日付けの手続補正は上記のように却下された。したがって、本願請求項１−１６に係る発明は、平成１３年１２月１０日付けの手続補正書により補正された明細書および図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１−１６に記載されたとおりのものであり、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という）は、次のものである。
　「【請求項１】所望の周波数で強度変調した第１の光を結像光学系を介して試料表面の複数の測定点に同時に照射して該複数の測定点の表面において前記所望の周波数と同期した周期的な反射率の変化を同時に発生させ、前記試料表面の複数の測定点に同時に第２の光を前記結像光学系を介して照射し、該照射した第２の光の前記試料表面からの反射光を前記結像光学系を介して前記試料表面の複数の測定点に対応した複数個の光電変換素子からなる検出器上に結像させて該検出器上に前記試料表面の複数の測定点の光学像を形成し、該形成した前記試料表面の複数の測定点の光学像を前記検出器で検出し、該検出器で検出した前記試料表面の複数の測定点の光学像の検出信号を用いて前記試料の複数の測定点の表面及び内部情報を得ることを特徴とする光熱信号検出方法。」
　
４．引用刊行物
　原査定の拒絶理由で示された刊行物は前記「２．（２）引用刊行物」で示されたとおりのものである。
　
５．対比・検討
　本願発明は、前記「２．（４）」で検討した本願補正発明から、「第２の光の前記試料表面からの反射光」について、反射光が前記周期的な反射率の変化と同期して周期的に変化する反射光であるという限定、「光電変換素子からなる検出器」について、検出器が光電変換素子からなっているものにおいて、それが光電変換素子を備えたものであるという限定、「複数の測定点の光学像」について、複数の測定点の光学像において、それが複数の測定点を含む光学像であるという限定、「光学像の検出信号」について、光学像の前記複数の測定点に対応した複数の検出信号であるとの限定、「前記試料の複数の測定点の表面及び内部情報を得る」について、前記試料の複数の測定点ごとの表面及び内部情報を分離して得る、との限定、に係る構成事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件をすべて含み、さらに上記限定を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２（４）」に記載したとおり、刊行物１，２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、上記限定を欠く本願発明は、当然に、刊行物１，２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明できたものである。
　
６．むすび
　したがって、本願請求項１に係る発明は、刊行物１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　上記のとおり、本願請求項１に係る発明が特許を受けることができないものであるから、本願のその余の請求項について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。