【手続補正書】
【提出日】平成30年8月30日(2018.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力の異なる２つの空間を隔てるシール構造であって、前記圧力の異なる２つの空間のうち高圧側の空間に配置される筒状のハウジングと、前記ハウジングに挿入されるシャフトと、前記シャフトの一端部に固定されて前記シャフトとともに回転または、軸方向に移動し、前記ハウジングに接して、前記シャフトの外径面と前記シャフトが挿入される前記ハウジングの貫通穴との間の隙間である第１隙間を密封する環状の第１シール部材と、を備えることを特徴とするシール構造。
【請求項２】
前記第１シール部材は、前記シャフトの径方向内側に向かって突出し、前記シャフトおよび前記シャフトの一端部に固定されて、前記シャフトとともに回転する回転部材に挟まれて固定されるシールフランジ部を備えることを特徴とする請求項１に記載のシール構造。
【請求項３】
前記第１シール部材は、前記シャフトに接する固定部と、前記ハウジングに接するリップ部と、前記固定部と前記リップとを連結する環状連結部と、を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のシール構造。
【請求項４】
前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲まれる空間に設けられて、前記リップ部を前記ハウジングに押し付ける付勢部材を備えることを特徴とする請求項３に記載のシール構造。
【請求項５】
前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲まれる空間は、前記圧力の異なる２つの空間のうち、高圧側の空間に向かって開口していることを特徴とする請求項３または４に記載のシール構造。
【請求項６】
前記第１シール部材と軸方向に所定の間隔を有して前記シャフトに固定されて前記シャフトとともに回転し、かつ側面が所定の大きさの隙間である前記第１隙間を有して前記ハウジングの内壁と対向するシール固定部材と、前記シール固定部材に固定されて前記シール固定部材とともに回転し、前記ハウジングに接して、前記第１隙間を密封する環状の第２シール部材を、さらに備えることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のシール構造。
【請求項７】
前記ハウジング内周面と、前記第１シール部材と、前記第２シール部材と、前記シャフト外周面とで囲まれる空間を排気するための排気孔が前記ハウジングに形成されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のシール構造。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載のシール構造と、前記シャフトを回転させる電動機とを備える、回転駆動装置。
【請求項９】
請求項１から７のいずれか１項に記載のシール構造と、被搬送物を移動させる可動部材を備え、前記シャフトの回転と、前記可動部材とが連動する、搬送装置。
【請求項１０】
請求項１から７のいずれか１項に記載のシール構造を備える、工作機械。
【請求項１１】
請求項１から７のいずれか１項に記載のシール構造を備える、半導体製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係るシール構造は、圧力の異なる２つの空間を隔てるシール構造であって、前記圧力の異なる２つの空間のうち高圧側の空間に配置される筒状のハウジングと、前記ハウジングに挿入されるシャフトと、前記シャフトの一端部に固定されて前記シャフトとともに回転または、軸方向に移動し、前記ハウジングに接して、前記シャフトの外径面と前記シャフトが挿入される前記ハウジングの貫通穴との間の隙間である第１隙間を密封する環状の第１シール部材と、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の望ましい態様として、前記第１シール部材と軸方向に所定の間隔を有して前記シャフトに固定されて前記シャフトとともに回転し、かつ側面が所定の大きさの隙間である第１隙間を有して前記ハウジングの内壁（内周面）と対向するシール固定部材と、前記シール固定部材に固定されて前記シール固定部材とともに回転し、前記ハウジングに接して、前記第１隙間を密封する環状の第２シール部材を、さらに備えることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
シール固定部３２には、第１シール部材５が備えられている。第１シール部材５は、例えば、樹脂またはゴム等の非金属材料で形成されている。第１シール部材５は、回転中心軸Ｚｒを中心とした環状の弾性部材であり、ハウジングの貫通孔２２の内径面に接するようにシャフト８１のシール固定凹部３２ｂに嵌められるとともに、シャフト８１のシール固定部３２と可動部材３３の胴部３３１の端面とで挟まれて固定されている。これにより、第１シール部材５は、シャフト８１及び可動部材３３とともに回転中心軸Ｚｒを中心として回転する。第１シール部材５は、シャフト８１の外径面８２ｂとハウジング２の貫通穴２２との間の隙間（第１隙間）１５を密封する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
実施形態１に係るシール構造１は、シャフト８１に固定されてシャフト８１とともに回転する可動部材（シール押え部材）３３を備える。また、第１シール部材５は、シャフト８１の径方向内側に向かって突出しシール固定部３２および可動部材（シール押え部材）３３に挟まれて固定されるシールフランジ部５４を備える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
第２実施形態では、シャフト８１と可動部材３３との間に、シール固定部材３５が設けられる。シール固定部材３５は、軸方向両端に形成されたねじ部３５ａと、シャフト８１及び可動部材３３に形成されたねじ穴３３１ａ、３５ａによって互いに固定される。シール固定部材３５のシャフト８１側端面は、シャフト８１のシール固定凹部３２ｂに挿入された第１シール部材５のシールフランジ部５４を挟み込み固定する。シール固定部材３５の軸方向端面側端部にはシール固定凹部３５ｂが形成されており、そこに挿入された第２シール部材５０のフランジ部５４０を、可動部材３３の軸方向端面で挟み込み固定する。
本実施例では、第２シール部材５０は、第１シール部材５と同一のものを用いているが、同様の構成であれば、形状や大きさは異なっていても良い。例えば、シャフト８１に対して、可動部材３３の外径を大きく、又は小さく形成し、それに合わせて第１シール部材５に対して大きい、又は小さい第２シール部材５０を使用しても良い。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
上記実施形態によれば、ハウジング２とシャフト８１、可動部材３３及びシール固定部材３５との間の隙間を第１シール部材５及び第２シール部材５０で２重に密封することができるので、よりシール性能を向上させることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
（実施形態３）
図５は、実施形態３に係るシール構造を模式的に示す断面図である。上述した実施形態２とは、ハウジング２の軸方向中間に形成された気体通路２２ｂから、シャフト８１、貫通孔２２の内壁、第１シール部材５、及び、第２シール部材５０で囲まれた空間Ｓの気体を排気する点が異なる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
気体通路２２ｂは、ハウジング２の筒状部２１Ａの軸方向中間位置に形成される。
筒状部２１Ａの貫通孔２２の内壁には環状溝２２ａが形成され、環状溝２２ａの底部に気体通路２２ｂが開口している。環状溝２２ａは、シャフト８１のハウジング２に対する軸方向移動の範囲において、常に第１シール部材５と、第２シール部材５０との間に位置する様な位置に形成される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
上記実施形態によれば、ハウジング２とシャフト８１、可動部材３３及びシール固定部材３５と、第１シール部材５と、第２シール部材５０で囲まれる空間を気体通路２２ｂから排気することによって、よりシール性能を向上させることができる。