【事件の表示】
　平成８年特許願第５２５３９号「パターン検査装置および方法」拒絶査定不服審判事件〔平成９年８月２６日出願公開、特開平９−２２２３１２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成８年２月１６日の出願であって、平成１４年１２月１０日付けで拒絶査定がなされ、同謄本が同月１８日に発送され、これに対し、平成１５年１月１６日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同年２月１７日に手続補正書が提出されたものである。
　
第２　平成１５年２月１７日提出の手続補正書による手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　　平成１５年２月１７日提出の手続補正書による手続補正を却下する。
　
［理由］
　１　平成１５年２月１７日提出の手続補正書による手続補正（以下、「本件補正」という。）の内容
　本件補正は、特許法等の一部を改正する法律（平成１４年法律第２４号）附則第２条第１項の規定によりなお従前の例によるものとされる同法による改正前の特許法（以下、「平成１４年改正前特許法」という。）第１７条の２第１項第３号の規定に基づく補正であって、平成１５年２月１７日提出の手続補正書の記載からみて、その補正前の平成１４年５月２０日に提出された手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲に記載された請求項１に記載された
「【請求項１】  被検パターンの画像データを取得する手段と、この画像データと、基準パターンの画像データとに基づいて被検パターンの欠陥を検査する画像処理手段とを備え、この画像処理手段は、被検パターンの画像データで表現される被検画像のパターンと、基準パターンの画像データで表現される基準画像のパターンの少なくともいずれかのパターンの幅を細くしあるいは太くした画像データを用意することによって被検画像のパターン幅より基準画像のパターン幅が細い状態または太い状態とし、その状態において被検画像と基準画像とを重ねた場合に基準画像のパターンのみまたは被検画像のパターンのみが存する部分を欠陥として抽出するための画像処理を行なうものであることを特徴とするパターン検査装置。」
を
「【請求項１】　被検パターンの画像データを取得する手段と、この画像データと基準パターンの画像データとに基づいて被検パターンの欠陥を検査する画像処理手段とを備え、この画像処理手段は、被検パターンの画像データで表現される被検画像のパターンと、基準パターンの画像データで表現される基準画像のパターンの少なくともいずれかのパターンの幅を
該パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って
該パターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って
　２　請求項１についての補正事項の適否
　請求項１についての補正事項は、補正前の請求項１に係る発明の発明特定事項である「基準パターンの画像データで表現される基準画像のパターンの少なくともいずれかのパターンの幅を細くしあるいは太くした画像データ」を「基準パターンの画像データで表現される基準画像のパターンの少なくともいずれかのパターンの幅を
該パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って
該パターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って
　３　補正後発明１の独立特許要件の判断　
　そこで、補正後発明１が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか（特許法等の一部を改正する法律（平成１５年法律第４７号）附則第２条第７項の規定によりなお従前の例によるものとされる同法による改正前の特許法（以下、「平成１５年改正前特許法」という。）第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　（１）補正後発明１
　補正後発明１は、平成１５年２月１７日提出の手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるつぎのとおりのものであると認められる。
　「【請求項１】　被検パターンの画像データを取得する手段と、この画像データと基準パターンの画像データとに基づいて被検パターンの欠陥を検査する画像処理手段とを備え、この画像処理手段は、被検パターンの画像データで表現される被検画像のパターンと、基準パターンの画像データで表現される基準画像のパターンの少なくともいずれかのパターンの幅を該パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って細くしあるいは該パターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って太くした画像データを用意することによって被検画像のパターン幅より基準画像のパターン幅が細い状態または太い状態とし、その状態において被検画像と基準画像とを重ねた場合に基準画像のパターンのみまたは被検画像のパターンのみが存する部分を欠陥として抽出するための画像処理を行なうものであることを特徴とするパターン検査装置。」
　（２）引用刊行物
　原査定の拒絶の理由において引用された本願出願前に頒布された刊行物である特開昭６３−５６７６１号公報（以下、「引用刊行物」という。）には、図面とともにつぎの事項が記載されている。
　　ア　「［産業上の利用分野］この発明は、例えばプリント回路、ＩＣのマスクパタ−ン、文字・マ−クの印刷等の物体形状の良否を検査する形状検査装置に関する。」（第１頁左欄下から第３行〜右欄第２行）
　　イ　「（従来の技術）物体形状の良否を検査する従来の形状検査装置は、一般的に第２図に示すように構成されている。第２図中、２１は例えば印刷文字「Ｔ」からなる被検査物体（被検査対象）で、図示の印刷文字「Ｔ」上には、正常な「Ｔ」文字パタ−ンと比べて、付加的な印刷欠陥２２および欠如的な印刷欠陥２３が生じている。形状検査装置は、この付加的および欠如的な印刷欠如２２、２３を画像上で検出して被検査物体２１の形状の良否を検査するもので、ＩＴＶカメラのような撮像装置２４および検査部２５が備えられており、さらに画像表示用の図示省略のディスプレイ等が備えられている。検査部２５は、画像演算器２６等で構成されており、また検査部２５には、被検査物体２１である印刷文字「Ｔ」の正常パタ−ンの画像を所要量膨脹させた第１の比較画像２７および同様の正常パタ−ンの画像を所要量収縮させた第２の比較画像２８が予め準備されている。第１の比較画像２７における膨脹パタ−ンの輪郭線が、付加的な印刷欠陥２２を検出するための検出限界線であり、また第２の比較画像２８における収縮パタ−ンの輪郭線が欠如的な印刷欠陥２３を検出するための検出限界線である。そして被検査物体２１を撮像装置２４で撮像して得た被検査画像と、第１、第２の比較画像２７、２８とを検査部２５で演算比較し、第１の比較画像２７における膨張パタ−ンからはみ出た付加欠陥、または第２の比較画像２８における収縮パタ−ン内に入り込んだ欠如欠陥を検出することにより、被検査物体２１の形状の良否を検査するようにしている。」（第１頁右欄第３行〜第２頁左上欄第１６行）
　　ウ　「第３図は、形状検査装置をさらに詳細に示す第１の従来例を示すものである・・・。第３図中、３１は前記第２図中の印刷文字「Ｔ」と同様の被検査物体を撮像して得た被検査画像で、被検査画像３１は、文字パタ−ン３１ａの部分が白画素（明）で構成され、背景部分３１ｂが黒画素（暗）で構成されている。３２、３３は、それぞれ被検査画像３１に現われた付加欠陥および欠如欠陥である。また、予め準備される第１、第２の各比較画像２７、２８についても、被検査画像３１と同様に、膨脹パタ−ン２７ａおよび収縮パタ−ン２８ａの部分が白画素で構成され、各背景部分２７ｂ、２８ｂが黒画素で構成されている。３４、３５は、それぞれ第１、第２の論理和演算器、３６、３７は、それぞれ第１、第２の排他的論理和演算器、３８は第３の論理和演算器である。そして第１の論理和演算器３４で第１の比較画像２７および被検査画像３１の論理和演算がされて論理和パタ−ン３９ａが得られ、さらに第１の排他的論理和演算器器３６で、その論理和パタ−ン３９ａの画像３９および第１の比較画像２７の排他的論理和演算がされて付加欠陥３２ａが明パタ−ンで検出される。一方、第２の論理和演算器３５で第２の比較画像２８および被検査画像３１の論理和演算がされて論理和パタ−ン４１ａが得られ、さらに第２の排他的論理和演算器３７で、その論理和パタ−ン４１ａの画像４１および被検査画像３１の排他的論理和演算がされて欠如欠陥３３ａが明パタ−ンで検出される。第３の論理和演算器３８では、さらに付加欠陥３２ａの画像４２および欠如欠陥３３ａの画像４３の論理和演算がされて付加欠陥３２ａおよび欠如欠陥３３ａが１画面４４上に表示され、この１画面４４上に表示された付加欠陥３２ａおよび欠如欠陥３３ａで被検査物体の形状の良否が検査される。」（第２頁左上欄第１７行〜左下欄第１８行）
　　エ　「第１図中、１は前記第２図中の印刷文字「Ｔ」と同様の被検査物体（被検査対象）を撮像して得た被検査画像で、被検査画像１は、文字パタ−ン１ａの部分が白画素（明）で構成され、背景部分１ｂが黒画素（暗）で構成されている。２、３は、それぞれ被検査画像１に現われた付加欠陥および欠如欠陥である。４は膨脹パタ−ン４ａを有する第１の比較画像であり、５は収縮パタ−ン５ａを有する第２の比較画像であって、両比較画象４、５は検査に先立って予め準備される。膨脹パタ−ン４ａは、正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量膨脹することにより得られ、収縮パタ−ン５ａは、正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量収縮することにより得られる。ここでパタ−ンの部分と、背景部分との明暗関係を、前記の被検査画像１におけるように文字パタ−ン１ａの部分が白画素（明）で構成され、背景部分１ｂが黒画素（暗）で構成されたものが、正常画像における明暗関係であるとすると、第１、第２の比較画像４、５は、ともに膨張パタ−ン４ａおよび収縮パタ−ン５ａの部分が黒画素（暗）で構成され、各背景部分４ｂ、５ｂが白画素（明）で構成されており、正常画像の明暗関係を反転したものとなっている。６は論理積演算器で、この論理積演算器６により、第１の比較画像４および被検査画像１の論理積演算をして付加欠陥を検出するための付加欠陥検出手段が構成される。７は論理和演算器で、この論理和演算器７により、第２の比較画像５および被検査画像１の論理和演算をして欠如欠陥を検出するための欠如欠陥手段が構成される。８は排他的論理和演算器である。」（第３頁右下欄第６行〜第４頁左上欄下から第２行）
　　オ　「次に作用を説明する。検査の際は、論理積演算器６で第１の比較画像４および被検査画像１の論理積演算がされて、論理積画像９中に付加欠陥２ａが明パタ−ンで検出される。一方、論理和演算器７で第２の比較画像５および被検査画像１の論理和演算がされて、論理和画像１１中に欠如欠陥３ａが明パタ−ンで検出される。而して論理積画像９に含まれる白画素数を調べることにより付加欠陥２ａの有無およびその欠陥の程度を検知することができ、また論理和画像１１中に含まれる黒画素数を調べることにより欠如欠陥３ａの有無およびその欠陥の程度を検出することができる。この付加欠陥２ａおよび欠如欠陥３ａの有無およびその程度により、被検査物体の形状の良否が検査される。このように論理積画像９および論理和画像１１により、付加欠陥２ａおよび欠如欠陥３ａが検出されるが、さらに排他的論理和演算器８で論理積画像９および論理和画像１１の排他的論理和演算がされると、付加欠陥・・・および欠如欠陥３ａが、１画面１２上にともに暗パタ−ンで表示され、１画面１２で被検査物体の形状の良否を検査することができる。」（第４頁左上欄最下行〜左下欄第５行）
　　カ　図面の第１図には、正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量膨脹させた膨脹パターン４ａとして、正常な形状を有する被検査物体のパターンの幅を太くしたものが、正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量収縮させた収縮パターン５ａとして正常な形状を有する被検査物体のパターンの幅を細くしたものが見てとれる。
　（３）対比
　　ア　上記（２）の摘記事項イから、引用刊行物には、「ＩＴＶカメラのような撮像装置２４および検査部２５が備えられており」、「検査部２５は、画像演算器２６等で構成され」た「形状検査装置」が記載されており、「被検査物体２１を撮像装置２４で撮像して」「被検査画像」を得ること、「検査部２５」には、「第１の比較画像」、「第２の比較画像」が準備されていること、及び「被検査物体２１と第１、第２の比較画像を検査部２５で演算比較」することが記載されているものと認められる。
　　イ　同摘記事項エから、「文字パタ−ン１ａの部分が白画素（明）で構成され、背景部分１ｂが黒画素（暗）で構成され」た「被検査画像１」と、「正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量膨脹することにより得られ」る「膨脹パタ−ン４ａ」を有する第１の比較画像４及び「正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量収縮することにより得られ」る「収縮パタ−ン５ａ」を有する第２の比較画像５であって、第１及び第２の比較画像は、「膨張パタ−ン４ａおよび収縮パタ−ン５ａの部分が黒画素（暗）で構成され、各背景部分４ｂ、５ｂが白画素（明）で構成され」ているものを検査に先立って用意し、「論理演算器６により、第１の比較画像４及び被検査画像１の論理積演算をして付加欠陥を検出するための付加欠陥検出手段が構成され」、「論理和演算器７により第２の比較画像５及び被検査画像１の論理和演算をして欠如欠陥を検出するための欠如欠陥」検出「手段が構成され」る点が記載されているものと認められる。
　　ウ　また、同摘記事項イ及びエ並びに第１図から、膨脹パターン４ａが正常な形状のパターンの幅を太くしたものであること、及び収縮パターン５ａが正常な形状のパターンの幅を細くしたものであることが認められる。
    エ　上記のアないしウから、引用刊行物には「被検査物体２１を撮像して被検査画像１を得る撮像装置２４と、被検査画像１と第１、第２の比較画像４、５とに基づいて被検査画像の付加欠陥及び欠如欠陥を検出する検査部２５とを備え、検査部２５において、正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量膨脹させることによりその形状パターンの幅を太くした第１の比較画像４と正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量収縮させることによりその形状パターンの幅を細くした第２の比較画像５であって、膨張パタ−ン４ａおよび収縮パタ−ン５ａの部分が黒画素（暗）で各背景部分４ｂ、５ｂが白画素（明）で構成されたものを予め用意し、文字パタ−ン１ａの部分が白画素（明）で背景部分１ｂが黒画素（暗）で構成された被検査画像１及び第１の比較画像４の論理積演算をして付加欠陥を、前記被検査画像１及び第２の比較画像５の論理和演算をして欠如欠陥を検出する演算を行う形状検査装置」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
　　オ　補正後発明１と引用発明とを対比すると、引用発明の「被検査物体２１を撮像して被検査画像を得る撮像装置２４」、「被検査画像１」、「第１、第２の比較画像４、５」、「被検査画像の付加欠陥及び欠如欠陥」、「検出」、「画像演算器２５」は、それぞれ補正後発明１の「被検パターンの画像データを取得する手段」、「被検パターンの画像データ」、「基準パターンの画像データ」、「被検パターンの欠陥」、「検査」、「画像処理手段」に相当する。
　　カ　引用発明の「正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量膨脹させることによりその形状パターンの幅を太くした第１の比較画像４と正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量収縮させることによりその形状パターンの幅を細くした第２の比較画像５」の「正常な形状を有する被検査物体の画像」、「形状パターン」は補正後発明１の「基準パターンの画像データ」、「基準画像のパターン」に相当する。また、引用発明の「正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量膨脹させることによりその形状パターンの幅を太くした第１の比較画像４」と補正後発明１の「いずれかのパターンの幅を該パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って細くし・・・た画像データ」とは、ともに「基準画像のパターンの幅を細くした画像データ」である点で共通し、また、引用発明の「正常な形状を有する被検査物体の画像を所要量収縮させることによりその形状パターンの幅を細くした第２の比較画像５」と補正後発明１の「いずれかのパターンの幅を・・・該パターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って太くした画像データ」とは、ともに「基準画像のパターンの幅を太くした画像データ」である点で共通する。
　そして、引用発明の第１の比較画像は、被検査画像のパターン幅より細い状態となっており、第２の比較画像は、被検査画像のパターン幅より太い状態となっていることは引用刊行物の第１図の記載から明らかである。
　　キ　引用発明は、「文字パタ−ン１ａの部分が白画素（明）で背景部分１ｂが黒画素（暗）で構成された被検査画像１及び」「膨張パタ−ン４ａおよび収縮パタ−ン５ａの部分が黒画素（暗）で各背景部分４ｂ、５ｂが白画素（明）で構成された」「第１の比較画像４」とを「論理積演算をして付加欠陥を検出し」ていることから、被検査画像のパターンのみが存在する部分を欠陥として抽出しているものといえ、また、同じく引用発明は「文字パタ−ン１ａの部分が白画素（明）で背景部分１ｂが黒画素（暗）で構成された被検査画像１及び」「収縮パタ−ン５ａの部分が黒画素（暗）で各背景部分４ｂ、５ｂが白画素（明）で構成された」「第２の比較画像５」とを「論理和演算をして欠如欠陥を検出し」ていることから、第２の比較画像５のパターン５ａのみが存在する部分を欠陥として抽出しているものといえる。
　　ク　また、引用発明は、印刷パターンの「形状検査装置」であることから、「パターン検査装置」であるといえる。
　　ケ　したがって、補正後発明１と引用発明とは、「被検パターンの画像データを取得する手段と、この画像データと基準パターンの画像データとに基づいて被検パターンの欠陥を検査する画像処理手段とを備え、この画像処理手段は、基準パターンの画像データで表現される基準画像のパターンの幅を細くしあるいは太くした画像データを用意することによって被検画像のパターン幅より基準画像のパターン幅が細い状態または太い状態とし、その状態において被検画像と基準画像とを重ねた場合に基準画像のパターンのみまたは被検画像のパターンのみが存する部分を欠陥として抽出するための画像処理を行うものであることを特徴とするパターン検査装置」である点で一致し、つぎの相違点Ａで相違する。
　
相違点Ａ　基準画像のパターンのパターン幅を細くしあるいは太くした画像データを用意することに関し、補正後発明１は、「パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って細くしあるいは該パターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って太くし」ているのに対して、引用発明は正常な形状を有する被検査物体の画像を「所要量膨脹させて太くし」「所要量収縮させて細くし」ている点
　
　（４）相違点についての判断
　上記相違点Ａについて検討するに、例えば特開昭６１−２５１７０５号公報（第６図及び第７図とその説明参照）や特開昭６２−２４９０３７号公報（第６図ないし第１７図及びその説明参照）に記載されているように、パターン検査において、検査対象のパターンと比較する検査基準パターンを判定基準に対応するサイズとするために、パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って細くし、また、パターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って太くして作成することは、従来周知の技術であって、引用発明の所要量膨脹させて太くし、所要量収縮させて細くすることに代えて、周知技術を適用してパターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って太くし、パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って細くするようにすることは、当業者であれば容易になし得る程度のことである。
　なお、この点に関して請求人は、請求の理由において、「本願発明は、被検パターンおよび基準パターンの少なくともいずれかのパターン幅を該パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って細くしあるいは該パターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って太くしたパターンを用意することによって、被検画像のパターン幅より基準画像のパターン幅が細い状態または太い状態とすることで、欠陥抽出を行うことを特徴とする。このような構成を有する本願発明は、欠陥部分を強調し、欠陥の抽出を確実にすることができる（第００２０段落）等、格別な作用効果を奏するものである。しかしながら、この本願発明の『パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って細く』、『パターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って太く』するという構成は、引用例１（当審注：引用刊行物と同じ。）には全く記載されていない。」として、概ね「本願発明の『パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って細く』、『パターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って太く』する処理と、膨張、収縮といった処理とを比較すると、引用例１のような比較的単純なＴ字型等では、結果にそれほど違いは現れないが、より複雑な形状では大きな違いが現れる。例えばパターンに穴が開いている形状を膨張した場合、パターン中の穴も同時に膨張するため、穴の大きさは大きくなる。一方、パターンをパターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って太くした場合は、逆に穴は小さくなるか、又は無くなる（本願の図７等）。また、穴の中心位置もパターンを膨張又は収縮する場合は、穴の中心位置を中心に膨張又は収縮しない限り、位置がずれるが本願発明の処理ではその穴の中心位置は動かない。このような作用の違いにより、本願発明は引用例１に記載された発明では得られない顕著な効果を奏する。すなわち、パターンマッチングによる欠陥検出では、欠陥をもれなく検出するとともに、過検出を防止することが重要な要素となるのである。上述のように、基準パターンに穴がある場合、基準パターンの画像を『膨張』させて被検査画像のみに存在する部分を欠陥として検出しようとすると、基準パターンの穴は拡大するため、被検パターンのうち、この拡大した穴からはみ出した部分が欠陥として検出されてしまう（過検出）。これに対して、本願発明では、穴は小さくなり（又は無くなり）、このような過検出は生じない（本願の図７等）。逆に、基準パターンの画像を『収縮』させて、基準パターンのみに存在する部分を欠陥として検出すると、収縮した穴の周辺が、被検パターンの穴からはみ出すため、欠陥として検出されてしまう。これに対して、本願発明では、穴の周辺が削り取られ穴が大きくなる（本願の図４等）。従って、この場合も過検出は生じない。さらに、画像を膨張、収縮する場合、倍率が大きくなると、画像の周辺部分ではパターンの座標にずれが生じるため、多少複雑なパターンになると欠陥検出の正確さが損なわれるという問題も生ずるが、本願発明ではこのような問題も生じない。」という点を主張している。
　しかしながら、既に説示したように、特開昭６１−２５１７０５号公報（第６図及び第７図とその説明参照）や特開昭６２−２４９０３７号公報（第６図ないし第１７図及びその説明参照）に記載されているように、パターン検査において、検査対象のパターンと比較する検査基準パターンを判定基準に対応するサイズとするために、パターンの輪郭から一定の厚さだけ削り取る処理を行って細くすること及びパターンの輪郭に対し一定の厚さを加える処理を行って太くすることは従来周知の技術であり、そのような処理を用いた場合には、請求人が主張するような本願発明の効果を奏することは当業者が予測し得る程度のことであるから、請求人の主張は採用することができない。
　そして、補正後発明１の効果も当業者が予測し得る程度のものであって格別のものであるとも認められない。
　よって、補正後発明１は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるので、補正後発明１は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　４　補正却下の決定についてのむすび
  以上のとおりであるから、本件補正は、平成１５年改正前特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反してされたものであるから、平成１４年改正前特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
第３　本願発明
　平成１５年２月１７日提出の手続補正書による手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし１２に係る発明は、平成１４年５月２０日提出の手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし１２に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）はつぎのとおりのものである。
　
【請求項１】  被検パターンの画像データを取得する手段と、この画像データと、基準パターンの画像データとに基づいて被検パターンの欠陥を検査する画像処理手段とを備え、この画像処理手段は、被検パターンの画像データで表現される被検画像のパターンと、基準パターンの画像データで表現される基準画像のパターンの少なくともいずれかのパターンの幅を細くしあるいは太くした画像データを用意することによって被検画像のパターン幅より基準画像のパターン幅が細い状態または太い状態とし、その状態において被検画像と基準画像とを重ねた場合に基準画像のパターンのみまたは被検画像のパターンのみが存する部分を欠陥として抽出するための画像処理を行なうものであることを特徴とするパターン検査装置。
　　
第４　原査定の拒絶の理由の概要
　原査定の拒絶の理由は、本願発明は、上記引用刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。
　
第５　引用刊行物に記載された事項及び引用刊行物に記載された発明
　引用刊行物には、上記「第２」の「３（２）」において摘記した事項が記載されており、上記「第２」の「３（３）エ」において認定した引用発明が記載されているものと認められる。
  　
第６　対比・判断
　本願発明は、上記「第２の３」において検討した補正後発明１の発明特定事項の限定の一部を欠く発明である。そうすると、本願発明の発明特定事項をすべて含みさらに他の事項を付加した補正後発明１が、上記「第２の３」において説示した理由により引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第７　むすび　
　以上のとおりであるから、本願発明は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願発明が特許を受けることができないものであるから、その他の請求項２ないし１２に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　　
　よって、結論のとおり審決する。