【手続補正書】
【提出日】平成30年2月26日(2018.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが載置されるテーブルと、当該テーブルの移動を制御するテーブル駆動制御部と、前記ワークに形成された描画位置の基準となるアライメントマークを読取るための第一のカメラと、前記ワークに光を照射して描画を行うための複数の光学ヘッドを有するパターン描画装置において、遮光部と当該遮光部の内側に位置する透過部から成る校正パターンが形成された校正パターン部であって前記第一のカメラにより前記校正パターンの全体画像を読取ることができるものと、前記光学ヘッドのうちの描画位置の基準となる光学ヘッドからの照射光を前記透過部を通過させて少なくとも当該透過部及び前記通過した照射光の画像を読取ることができる第二のカメラと、前記第一のカメラの読取画像に基づいて当該第一のカメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第一のずれを求めるとともに前記第二のカメラの読取画像に基づいて当該第二のカメラの視野中心と前記照射光間の第二のずれ及び当該第二のカメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第三のずれを求めるずれ検出部とを有し、前記テーブル駆動制御部は前記第一、第二及び第三のずれを用いてアライメントマーク読取り結果によって決定される移動量を補正することを特徴とするパターン描画装置。
【請求項２】
ワークに形成されたアライメントマークの読取り位置を基準にして前記ワークが載置されるテーブルの移動を制御するパターン描画方法において、前記アライメントマークを読取るための第一のカメラにより遮光部と当該遮光部の内側に位置する透過部から成る校正パターンの全体画像を読取ることにより当該第一のカメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第一のずれを求め、描画位置の基準となる光学ヘッドからの照射光を前記透過部を通過させて少なくとも当該透過部及び前記通過した照射光の画像を読取ることができる第二のカメラの読取画像に基づいて当該第二のカメラの視野中心と前記照射光間の第二のずれ及び当該第二のカメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第三のずれを求め、前記ワークが載置されるテーブルの移動を制御する場合に前記第一、第二及び第三のずれを用いてアライメントマーク読取り結果によって決定される移動量を補正することを特徴とするパターン描画方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
上記の如きパターン描画装置においては、基板上に形成された描画位置の基準となるアライメントマーク（以下ＡＭと呼ぶ）を読取るためのＡＭ用カメラが設けられる。前記パターン描画装置で描画を行う際、ＡＭ用カメラと光学ヘッドとの位置関係を事前に計測する方法が提案されている。
例えば、特許文献１においては、校正用パターンを用意し、この校正用パターンを前記ＡＭ用カメラで計測し、次に光学ヘッドからの照射光の位置を光学ヘッド観察用カメラで計測し、さらにこの光学ヘッド観察用カメラで校正用パターンを計測することにより行われる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
この問題は、照射光が大きければ解決するが、光学ヘッドに例えばデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ：登録商標）を使用した、微細照射光を用いるパターン描画装置の場合、その照射光を大きくしようとすると高精細なパターン描画ができなくなる欠点がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するため、請求項１に記載のパターン描画装置においては、ワークが載置されるテーブルと、当該テーブルの移動を制御するテーブル駆動制御部と、前記ワークに形成された描画位置の基準となるアライメントマークを読取るための第一のカメラと、前記ワークに光を照射して描画を行うための複数の光学ヘッドを有するパターン描画装置において、遮光部と当該遮光部の内側に位置する透過部から成る校正パターンが形成された校正パターン部であって前記第一のカメラにより前記校正パターンの全体画像を読取ることができるものと、前記光学ヘッドのうちの描画位置の基準となる光学ヘッドからの照射光を前記透過部を通過させて少なくとも当該透過部及び前記通過した照射光の画像を読取ることができる第二のカメラと、前記第一のカメラの読取画像に基づいて当該第一のカメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第一のずれを求めるとともに前記第二のカメラの読取画像に基づいて当該第二のカメラの視野中心と前記照射光間の第二のずれ及び当該第二のカメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第三のずれを求めるずれ検出部とを有し、前記テーブル駆動制御部は前記第一、第二及び第三のずれを用いてアライメントマーク読取り結果によって決定される移動量を補正することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、請求項２に記載のパターン描画方法においては、ワークに形成されたアライメントマークの読取り位置を基準にして前記ワークが載置されるテーブルの移動を制御するパターン描画方法において、前記アライメントマークを読取るための第一のカメラにより遮光部と当該遮光部の内側に位置する透過部から成る校正パターンの全体画像を読取ることにより当該第一のカメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第一のずれを求め、描画位置の基準となる光学ヘッドからの照射光を前記透過部を通過させて少なくとも当該透過部及び前記通過した照射光の画像を読取ることができる第二のカメラの読取画像に基づいて当該第二のカメラの視野中心と前記照射光間の第二のずれ及び当該第二のカメラの視野中心と前記校正パターンの中心間の第三のずれを求め、前記ワークが載置されるテーブルの移動を制御する場合に前記第一、第二及び第三のずれを用いてアライメントマーク読取り結果によって決定される移動量を補正することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
図３は、図２の本発明の一実施例において、光学ヘッド観察用カメラ周辺の構造を説明するための図である。図３において、光学ヘッド観察用カメラテーブル５上に搭載される校正用光学部４は、透光性の平板部材に遮光性を持ったリング状の校正用パターン２１が形成された校正板２２と、校正用パターン２１のリングの内側にある透過部２３を通過した光を反射する反射鏡２４を保持する台座２５と、校正用基板２２を台座２５に対して所定の間隔を設けて取付ける筒状のスペーサ２６から成る。光学ヘッド観察用カメラ３は反射鏡２３からの光を受光する位置に配置されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図６は、この状態での光学ヘッド観察用カメラの画像を説明するための図である。図６において、図５と同じ番号のものは同じものである。６１は描画基準照射光である。また、画像には現れないが、６２は光学ヘッド観察用カメラ３の視野、６３は視野６２の中心である。なお、校正パターン５１については、透光部５２を含んだ一部が現れるだけである。
図４における光学ヘッド観察用カメラ制御部４５は、光学ヘッド観察用カメラ３の読取画像を処理し、透過部５２の部分から校正パターン５１の中心５６の光学ヘッド観察用カメラ３の視野６２における座標を求める。また、光学ヘッド観察用カメラ３の読取画像のうち、描画基準照射光６１の光学ヘッド観察用カメラ３の視野６２における座標を求める。前記座標の原点は、視野の縦と横のピクセル数のそれぞれ１／２の位置とし、予め求めておくものする。