【事件の表示】
　平成　９年特許願第２９２１１１号「液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子製造装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　５月１１日出願公開、特開平１１−１２５８１１〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯・本願発明
　本願は、平成９年１０月２４日の特許出願であって、平成１５年２月１３日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年３月２０日に拒絶査定に対する審判請求がなされたものである。
　そして、請求項１乃至請求項４に係る発明は、願書に添付した明細書及び図面、並びに平成１４年１１月２８日付の手続補正書の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１乃至請求項４に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりである。
「【請求項１】　複数の吸着口が開口する平坦な載置面を有する載置台上に、前記吸着口を通して吸着力を作用させて絶縁性基板を固定し、前記絶縁性基板に各種の処理を施す液晶表示素子の製造方法において、
　前記絶縁性基板を少なくとも二つの領域に分割し、前記領域のうち最初に前記絶縁性基板に吸着力を作用させる領域を最も小さくして、前記絶縁性基板の一端側から他端側へ順に前記領域毎に時間差を設けて前記吸着口を通して前記絶縁性基板に吸着力を作用させ、前記絶縁性基板を固定して各種の処理を施すことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。」
　
第２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用した本願出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平７−１８３３６６号公報（以下「引用例」という。）には、次の事項が記載されている。
「【特許請求の範囲】
【請求項１】　液晶パネル用の方形の大型ガラス基板を対象とし、載置台に載置され、エア吸着された該ガラス基板に対して、マスク板のパターンを転写する露光装置において、前記載置台の表面に、前記載置されるガラス基板の中心点に関して対称的で、適当な間隔に配列された複数の方形の吸着溝を設け、前記載置台に載置されて周辺が上方に湾曲した大型ガラス基板を、該中心点に近い吸着溝から遠い吸着溝の順序で、適当なタイムラッグをなして順次にエア吸着してその全面を前記載置台に密着させることを特徴とする、大型ガラス基板のエア吸着方法。」、
「【０００７】
【実施例】
　図１はこの発明の一実施例を示し、(a) は複数の吸着溝を設けた載置台２の平面および断面図、(b) はエア制御部６の構成図、(c) はエア制御部６の各制御信号Ｓのタイミングを示す信号波形図である。図１(a) において、載置台２の表面には、複数（この場合は４個）の方形の吸着溝21a 〜21d が中心点Ｏに関して対称的に、適当な間隔ｄをなして設けられ、吸着溝21a 〜21d は内部の貫通孔22a 〜22d により、それぞれの出力端23a 〜23d に接続される。なお、この場合は吸着溝の個数を４個としたが、ガラス基板11の大きさに応じて個数を増加または減少する。次に図(b) に示すエア制御部６は、各出力端23a 〜23d と従来のエア吸引部３との間にそれぞれ接続された電磁弁61a 〜61d と、これらに対して制御信号Ｓa 〜Ｓd を出力する制御回路62とにより構成される。
【０００８】
　以下図１に図３を併用して、上記の載置台２に対する大型ガラス基板11のエア吸着動作を説明する。載置台２に載置された大型ガラス基板11は、前記した図４のように周辺が上方に湾曲している。ここで、各電磁弁61a 〜61d に対して制御回路62より、(c) に示すように、制御信号Ｓa,Ｓb,Ｓc,Ｓd の順序で、タイムラッグδｔをなして供給すると、まず電磁弁61a が動作して吸着溝21a によりガラス基板11の中心部が吸着され、ついで電磁弁61b,61c,61d が順序に動作して周辺部までが吸着され、全面が載置台２に確実に密着して載置台２に固定される。なお、上記における各制御信号Ｓa 〜Ｓd のタイムラッグδｔは、試行実験により適切な値を決定して制御回路62に設定する。ただし、場合によっては制御部６を省略し、エア吸引部３により直接各吸着溝21a 〜21d を動作して同時にエアを吸引する方法としてもよい。その理由は、各吸着溝21a 〜21d の吸引力は、載置台２との離間距離に依存し、離間距離は中心部の吸着溝21a が最も小さいために、その吸引力が最も大きく、ガラス基板11は中心部がまず吸着され、離間距離が順次に大きい吸着溝21b 〜21d の順序で遅れて吸着する、すなわち自らタイムラッグδｔの間隔で吸着するからである。以上により載置台２に固定された大型ガラス基板11は、移動機構４によりＺ移動して、マスク板52のパターンがガラス基板11の全面に合焦し、その正確な映像が投影露光されるものである。
【０００９】
【発明の効果】
　以上の説明のとおり、この発明によるエア吸着方法によれば、載置台に載置されて周辺が上方に湾曲した大型ガラス基板は、その全面が載置台に密着されて安定に固定されるもので、これにより位置ズレが防止されるとともに、その全面に対して露光装置の焦点が合焦されて、マスク板のパターンが正確に投影露光できる効果には大きいものがある。」
　
第３　対比・判断
　本願発明と引用例記載の事項とを対比すると、
（１）引用例記載のものにおける「大型ガラス基板」、「投影露光」、「液晶パネル」は、本願発明における「絶縁性基板」、「各種の処理」、「液晶表示素子」にそれぞれ相当し、
（２）引用例の図１（ａ）において、符号２１ａ〜２１ｄで示される平面矩形状の吸着溝には、それぞれ４個ずつの丸印が認識でき、この丸印の部分が本願発明における「吸着口」に相当することは明らかであり、
（３）引用例の図１（ａ）からは、引用例記載の大型ガラス基板１１は、平坦な載置面を有する載置台２上に載置され、載置台の矩形の吸着溝２１ａで囲まれた部分に対応する領域、同じく２１ｂで囲まれた部分に対応する領域、さらに２１ｃ、２１ｄで囲まれた部分に対応する領域を有することが把握でき、そのうち２１ａに対応する領域が最も小さいことが読み取れ、
（４）引用例の段落０００８には、「各電磁弁61a 〜61d に対して制御回路62より、(c) に示すように、制御信号Ｓa,Ｓb,Ｓc,Ｓd の順序で、タイムラッグδｔをなして供給すると、まず電磁弁61a が動作して吸着溝21a によりガラス基板11の中心部が吸着され、ついで電磁弁61b,61c,61d が順序に動作して周辺部までが吸着され、全面が載置台２に確実に密着して載置台２に固定される。」と記載され、つまり、吸着溝を通して大型ガラス基板に吸着力を作用させる順序は、最初に、載置台の矩形の吸着溝２１ａで囲まれた部分に対応する領域とし、その後タイムラッグをもって順次２１ｂ、２１ｃ、２１ｄで囲まれた部分に対応する領域となっているので、
　本願発明と引用例記載の発明とは、
「複数の吸着口が開口する平坦な載置面を有する載置台上に、前記吸着口を通して吸着力を作用させて絶縁性基板を固定し、前記絶縁性基板に各種の処理を施す液晶表示素子の製造方法において、
　前記絶縁性基板を少なくとも二つの領域に分割し、前記領域のうち最初に前記絶縁性基板に吸着力を作用させる領域を最も小さくして、前記領域毎に時間差を設けて前記吸着口を通して前記絶縁性基板に吸着力を作用させ、前記絶縁性基板を固定して各種の処理を施す液晶表示素子の製造方法」の点で一致し、次の点で相違している。
［相違点］
　本願発明では、絶縁性基板への吸着力を、絶縁性基板の一端側から他端側へ順に作用させているのに対し、引用例記載の発明では、絶縁性基板の中心から周辺部へ順に作用させている点。
　
　以下相違点につき検討する。
　従来、絶縁性基板への吸着力を作用させる場合、絶縁性基板の一端側から他端側へ順に作用させか、絶縁性基板の中心から周辺部へ順に作用させるかは、例えば特開昭６０−１２７９３５号公報（特許請求の範囲の記載を参照）に見られるように慣用的になされているものであり、当業者が適宜選択しうる事項に過ぎない。
　そして、本願発明によってもたらされる効果は、引用例に記載の技術及び慣用技術から、当業者が予測し得る程度のものであり、格別とはいえない。
　なお、請求人は平成１５年３月２８日付手続補正書「３．拒絶理由について」において、本願発明の、特に上記相違点に基づく作用効果として、段落００１２に記載したアライメントマークがＣＣＤカメラ等から外れにくい点を縷々主張しているが、仮に、液晶表示素子において、アライメントマークを絶縁性基板の四隅に設けることが従来周知であったとしても、該主張は特許請求の範囲の記載に基づくものとは認められない。
　
第４　むすび
　したがって、本願発明は、引用例記載の発明及び慣用技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。