【手続補正書】
【提出日】平成30年1月31日(2018.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の成分：
（Ａ）ポリイミド前駆体であるポリアミド酸、ポリアミド酸エステル、ポリアミド酸塩及びポリアミド酸アミドから成る群より選ばれる少なくとも１種の樹脂；
（Ｂ）感光剤；並びに
（Ｃ）多官能（メタ）アクリレート及び分子量１０００未満の低分子量イミド化合物から成る群より選ばれる少なくとも１種；
を含む感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記（Ｃ）成分が、イソシアヌル酸トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、及びジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートから成る群から選択される少なくとも１つである、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記（Ａ）成分が、下記一般式（Ａ１）：
【化１】
2017219850.tif 000001
｛式中、Ｘ１は、４価の有機基であり、Ｙ１は、２価の有機基であり、ｌは、２〜１５０の整数であり、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、水素原子、又はラジカル重合可能な１価の有機基である。但し、Ｒ１及びＲ２の両者が同時に水素原子であることはない。｝
で表されるポリイミド前駆体である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記（Ａ）成分が、下記一般式（Ａ２）：
【化２】
2017219850.tif 000002
｛式中、Ｘ２は、４価の有機基であり、Ｙ２は、２価の有機基であり、ｎは、２〜１５０の整数であり、Ｒ６及びＲ７は、それぞれ独立に、水素原子、下記一般式（Ａ３）：
【化３】
2017219850.tif 000003
（式中、Ｒ８、Ｒ９及びＲ１０は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１〜３の有機基であり、そしてｐは、２〜１０の整数である。）
で表される１価の有機基、又は炭素数１〜４の飽和脂肪族基である。但し、Ｒ６及びＲ７の両者が同時に水素原子であることはない。｝
で表されるポリイミド前駆体である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記一般式（Ａ２）中のＸ２が、下記式：
【化４】
2017219850.tif 000004
で表される４価の有機基のいずれかであり、かつＹ２が、下記式：
【化５】
2017219850.tif 000005
【化６】
2017219850.tif 000006
｛式中、Ａは、メチル基（−ＣＨ３）、エチル基（−Ｃ２Ｈ５）、プロピル基（−Ｃ３Ｈ７）又はブチル基（−Ｃ４Ｈ９）を表す。｝
で表される２価の有機基のいずれかである、請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記一般式（Ａ２）中のＸ２が、
【化７】
2017219850.tif 000007
である、請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記一般式（Ａ２）中のＹ２が、
【化８】
2017219850.tif 000008
である、請求項６に記載に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記一般式（Ａ２）中のＸ２が、
【化９】
2017219850.tif 000009
である、請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
前記一般式（Ａ２）中のＹ２が、
【化１０】
2017219850.tif 000010
である、請求項８に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記一般式（Ａ２）中のＹ２が、
【化１１】
2017219850.tif 000011
である、請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
前記（Ｃ）成分が、イソシアヌル酸トリアクリレートである、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
前記（Ｂ）成分が、オキシム系光重合開始剤である、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１３】
前記（Ｂ）成分が、下記（Ｂ１）及び（Ｂ２）：
（Ｂ１）０．００１ｗｔ％溶液のｉ線吸光度が０．１５〜０．５であり、かつ０．００１ｗｔ％溶液のｇ線吸光度及びｈ線吸光度が０．２以下である、オキシムエステル化合物；及び
（Ｂ２）０．００１ｗｔ％溶液のｉ線吸光度が０．１以下であり、かつ０．００１ｗｔ％溶液のｇ線吸光度又はｈ線吸光度が０．０５以上である、オキシムエステル化合物；
のうちの少なくとも一方を含む、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１４】
前記（Ｂ１）成分の０．００１ｗｔ％溶液のｉ線吸光度が、０．１５〜０．３５である、請求項１３に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１５】
前記（Ｂ１）成分が、下記一般式（Ｂ１１）及び（Ｂ１２）：
【化１２】
2017219850.tif 000012
｛式中、Ｒ１４はＣ１〜Ｃ１０のフッ素含有アルキル基であり、Ｒ１５、Ｒ１６、及びＲ１７は、それぞれ独立に、Ｃ１〜Ｃ２０のアルキル基、Ｃ３〜Ｃ２０のシクロアルキル基、Ｃ６〜Ｃ２０のアリール基、又はＣ１〜Ｃ２０のアルコキシ基であり、かつｒは０〜５の整数である。｝
【化１３】
2017219850.tif 000013
｛式中、Ｒ１８はＣ１〜Ｃ３０の２価の有機基であり、Ｒ１９〜Ｒ２６は、それぞれ独立に、Ｃ１〜Ｃ２０のアルキル基、Ｃ３〜Ｃ２０のシクロアルキル基、Ｃ６〜Ｃ２０のアリール基、又はＣ１〜Ｃ２０のアルコキシ基であり、かつｓは０〜３の整数である。｝
で表されるオキシムエステル化合物から成る群より選択される少なくとも１種を含む、請求項１３又は１４に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１６】
上記（Ａ）〜（Ｃ）成分に加えて、
下記一般式（Ｄ１）：
【化１４】
2017219850.tif 000014
｛式中、Ｒ２７及びＲ２８はＣ１〜Ｃ４のアルキル基であり、Ｒ２９はＣ１〜Ｃ６の２価の有機基であり、Ｒ３０は、窒素、酸素、及びイオウから成る群より選ばれる原子によってカルボニル基と結合するＣ１〜Ｃ２０の有機基であり、ｔは１、２、及び３から選ばれる整数であり、ｕは０、１、及び２から選ばれる整数であり、かつｔ及びｕは、ｔ＋ｕ＝３の関係を満たす。｝
で表されるシリコン含有化合物を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１７】
前記一般式（Ｄ１）で表されるシリコン含有化合物に加えて、下記一般式（Ｄ２）：
【化１５】
2017219850.tif 000015
｛式中、Ｒ３１及びＲ３２はＣ１〜Ｃ４のアルキル基であり、Ｒ３３はＣ１〜Ｃ６の２価の有機基であり、ｖは１、２、及び３から選ばれる整数であり、ｗは０、１、及び２から選ばれる整数であり、かつｖ及びｗは、ｖ＋ｗ＝３の関係を満たす。｝
で表されるシリコン含有化合物を更に含む、請求項１６に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１８】
上記（Ａ）〜（Ｃ）成分に加えて、
（Ｅ）下記一般式（Ｅ１）：
【化１６】
2017219850.tif 000016
｛式中、Ｒ３４はＣ１〜Ｃ２０の有機基もしくはシリコン含有有機基であり、かつＲ３５は、窒素、酸素、及びイオウから成る群より選ばれる原子によってチオカルボニル基と結合するＣ１〜Ｃ２０の有機基である。｝
で表されるイオウ含有化合物を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１９】
前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；及び
前記（Ｃ）成分１〜４０質量部；
を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項２０】
前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；及び
前記（Ｃ）成分１０〜３５質量部；
を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項２１】
前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；
前記（Ｃ）成分１〜４０質量部；及び
前記式（Ｄ１）で表されるシリコン含有化合物０．１〜２０質量部；
を含む、請求項１６又は１７に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項２２】
前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；
前記（Ｃ）成分１０〜３５質量部；及び
前記式（Ｄ１）で表されるシリコン含有化合物０．１〜２０質量部；
を含む、請求項１６又は１７に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項２３】
前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；
前記（Ｃ）成分１〜４０質量部；及び
前記（Ｅ）成分０．１〜２０質量部；
を含む、請求項１８に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項２４】
前記（Ａ）成分１００質量部に対して、
前記（Ｂ）成分０．１〜２０質量部；
前記（Ｃ）成分１０〜３５質量部；及び
前記（Ｅ）成分０．１〜２０質量部；
を含む、請求項１８に記載の感光性樹脂組成物。