【手続補正書】
【提出日】平成30年11月14日(2018.11.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、前記基材上に位置する絶縁膜と、液体を吐出するための熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子と、前記発熱抵抗素子を覆う保護膜と、前記絶縁膜内に設けられ前記発熱抵抗素子に電流を供給するための第１の電気配線層と、前記絶縁膜内を延びて前記第１の電気配線層と前記発熱抵抗素子とを接続する複数の第１の接続部材と、前記絶縁膜内を延びて前記第１の電気配線層と前記発熱抵抗素子とを接続する複数の第２の接続部材と、を有する液体吐出ヘッドの素子基板であって、
前記電流は、前記複数の第１の接続部材から前記複数の第２の接続部材へ、前記発熱抵抗素子を第１の方向に沿って流れるようにされ、
前記素子基板の前記発熱抵抗素子が設けられる面に直交する方向からみて、前記複数の第１の接続部材および前記複数の第２の接続部材は前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って配設されている、液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項２】
前記複数の第１の接続部材の前記発熱抵抗素子との当接面と、前記複数の第２の接続部材の前記発熱抵抗素子との当接面と、前記絶縁膜の前記発熱抵抗素子との当接面とは同一平面に設けられている、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項３】
前記直交する方向からみて、前記複数の第１の接続部材および前記複数の第２の接続部材は前記発熱抵抗素子に覆われている、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項４】
前記絶縁膜の、前記第１の電気配線層とは異なる層に設けられ、前記発熱抵抗素子に電流を供給するための第２の電気配線層と、
前記絶縁膜の、前記第１の電気配線層および前記第２の電気配線層とは異なる層に設けられ、前記発熱抵抗素子を駆動するためのロジック電源配線を含む第３の電気配線層と、を備える、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項５】
前記第１の電気配線層および前記第２の電気配線層は、前記第３の電気配線層よりも、前記発熱抵抗素子に近い側に配されている、請求項４に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項６】
前記絶縁膜の、前記第１の電気配線層とは異なる層に設けられ、前記発熱抵抗素子に電流を供給するための第２の電気配線層と、
前記絶縁膜の、前記第１の電気配線層および前記第２の電気配線層とは異なる層に設けられ、前記発熱抵抗素子を駆動するための信号配線を含む第４の電気配線層と、を備える、請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項７】
前記発熱抵抗素子は、前記複数の第１の接続部材が接続される第１の接続領域と、前記複数の第２の接続部材が接続される第２の接続領域と、前記第１の接続領域と前記第２の接続領域との間に設けられ、液体が発泡する発泡領域と、を有し、前記第１の接続領域および前記第２の接続領域は、前記第２の方向において前記発泡領域の全長を含む範囲を延びている、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項８】
前記複数の第１の接続部材および前記複数の第２の接続部材は前記絶縁膜内を延びるプラグである、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項９】
前記発熱抵抗素子は、前記第１の方向に関して、前記複数の第１の接続部材が接続される第１の接続領域を含む第１の電極領域と、前記複数の第２の接続部材が接続される第２の接続領域を含む第２の電極領域と、前記第１の電極領域と前記第２の電極領域との間に位置する中央領域と、に区画され、前記第１の電極領域と前記第２の電極領域と前記中央領域とは前記第２の方向に関し同一の寸法を有している、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項１０】
前記発熱抵抗素子は、前記第１の方向に関して、前記複数の第１の接続部材が接続される第１の接続領域を含む第１の電極領域と、前記複数の第２の接続部材が接続される第２の接続領域を含む第２の電極領域と、前記第１の電極領域と前記第２の電極領域との間に位置する中央領域と、に区画され、前記複数の第１の接続部材の前記第２の方向における長さの合計は前記第１の電極領域の前記第２の方向における長さの５０％以下であり、前記複数の第２の接続部材の前記第２の方向における長さの合計は前記第２の電極領域の前記第２の方向における長さの５０％以下である、請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項１１】
前記第２の方向に関して両端部の２つの前記第１の接続部材は、前記第２の方向において前記発熱抵抗素子の周縁部から同じ距離だけ離れており、前記第２の方向に関して両端部の２つの前記第２の接続部材は、前記第２の方向において前記発熱抵抗素子の周縁部から同じ距離だけ離れている、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項１２】
前記第２の方向に関して両端部の２つの前記第１の接続部材の各々と前記発熱抵抗素子の周縁部との間の距離は、前記複数の第１の接続部材の前記第２の方向における平均間隔の１／４以上１未満であり、前記第２の方向に関して両端部の２つの前記第２の接続部材の各々と前記発熱抵抗素子の前記周縁部との間の距離は、前記複数の第２の接続部材の前記第２の方向における平均間隔の１／４以上１未満である、請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項１３】
前記発熱抵抗素子は、前記第１の方向に関して、前記複数の第１の接続部材が接続される第１の接続領域を含む第１の電極領域と、前記複数の第２の接続部材が接続される第２の接続領域を含む第２の電極領域と、前記第１の電極領域と前記第２の電極領域との間に位置する中央領域と、に区画され、前記第１の電極領域および前記第２の電極領域は前記第２の方向に関し前記中央領域より長い寸法を有している、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項１４】
前記第１の接続領域および前記第２の接続領域は、前記第２の方向に関し前記中央領域の範囲内に配置されている、請求項１３に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項１５】
前記第２の方向に関して両端部の２つの前記第１の接続部材の各々と前記発熱抵抗素子の周縁部との間の距離は、前記複数の第１の接続部材の前記第２の方向における平均間隔より大きく、前記第２の方向に関して両端部の２つの前記第２の接続部材の各々と前記発熱抵抗素子の周縁部との間の距離は、前記複数の第２の接続部材の前記第２の方向における平均間隔より大きい、請求項１から１１、１３、１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項１６】
前記発熱抵抗素子は、前記第１の方向に関して、前記複数の第１の接続部材が接続される第１の接続領域を含む第１の電極領域と、前記複数の第２の接続部材が接続される第２の接続領域を含む第２の電極領域と、前記第１の電極領域と前記第２の電極領域との間に位置する中央領域と、に区画され、前記中央領域と前記基材との間の前記絶縁膜には前記第１の電気配線層とは別の電気配線層が配されている、請求項１から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項１７】
前記別の電気配線層は前記基材と電気的に接続されている、請求項１６に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項１８】
前記発熱抵抗素子は、前記第１の方向に関して、前記複数の第１の接続部材が接続される第１の接続領域を含む第１の電極領域と、前記複数の第２の接続部材が接続される第２の接続領域を含む第２の電極領域と、前記第１の電極領域と前記第２の電極領域との間に位置する中央領域と、に区画され、前記中央領域と前記基材との間の前記絶縁膜にはトランジスタが配されている、請求項１から１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項１９】
前記発熱抵抗素子の膜厚は０．０１〜０．０５μｍの範囲にあり、前記保護膜の膜厚は０．１５〜０．３μｍの範囲にある、請求項１から１８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項２０】
前記複数の第１の接続部材の前記第２の方向における平均間隔および前記複数の第２の接続部材の前記第２の方向における平均間隔は、１.２μｍ以下である、請求項１から１９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項２１】
前記第２の方向は、前記素子基板の長手方向である、請求項１から２０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項２２】
複数の前記発熱抵抗素子と、前記複数の発熱抵抗素子の配列される方向に沿って配列され、前記複数の発熱抵抗素子に液体を供給するための複数の供給口と、を備える、請求項１から２１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項２３】
前記複数の発熱抵抗素子の配列される方向に沿って配列され、前記複数の供給口から供給された液体を回収するための複数の回収口を含み、前記供給口と前記回収口とを介して液体が循環される、請求項２２に記載の液体吐出ヘッドの素子基板。
【請求項２４】
素子基板を備える液体吐出ヘッドであって、
前記素子基板は、基材と、前記基材上に位置する絶縁膜と、液体を吐出するための熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子と、前記発熱抵抗素子を覆う保護膜と、前記絶縁膜内に設けられ前記発熱抵抗素子に電流を供給するための第１の電気配線層と、前記第１の電気配線層と前記発熱抵抗素子の前記保護膜が設けられる側の裏面とを接続する、前記絶縁膜内を延びる複数の第１の接続部材と、前記第１の電気配線層と前記発熱抵抗素子の前記裏面とを接続する、前記絶縁膜内を延びる複数の第２の接続部材と、を有し、
前記素子基板の前記発熱抵抗素子が設けられる面に直交する方向からみて、前記複数の第１の接続部材は前記発熱抵抗素子の第１の方向における一端側と接続され、前記複数の第２の接続部材は前記発熱抵抗素子の前記第１の方向における他端側と接続され、
前記直交する方向からみて、前記複数の第１の接続部材および前記複数の第２の接続部材は、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って配設されている、液体吐出ヘッド。
【請求項２５】
前記絶縁膜の、前記第１の電気配線層とは異なる層に設けられ、前記発熱抵抗素子に電流を供給するための第２の電気配線層と、
前記絶縁膜の、前記第１の電気配線層および前記第２の電気配線層とは異なる層に設けられ、前記発熱抵抗素子を駆動するためのロジック電源配線を含む第３の電気配線層と、を備える、請求項２４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２６】
前記絶縁膜の、前記第１の電気配線層とは異なる層に設けられ、前記発熱抵抗素子に電流を供給するための第２の電気配線層と、
前記絶縁膜の、前記第１の電気配線層および前記第２の電気配線層とは異なる層に設けられ、前記発熱抵抗素子を駆動するための信号配線を含む第４の電気配線層と、を備える、請求項２４または２５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２７】
前記第１の電気配線層および前記第２の電気配線層は、前記第３の電気配線層に対して前記発熱抵抗素子に近い側に配されている、請求項２５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２８】
前記基材の前記絶縁膜側には、前記発熱抵抗素子を駆動するための駆動回路が設けられており、前記第３の電気配線層は、前記第１の電気配線層および前記第２の電気配線層に対して前記駆動回路に近い側に配されている、請求項２５に記載の液体吐出ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の液体吐出ヘッドの素子基板は、基材と、基材上に位置する絶縁膜と、液体を吐出するための熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子と、発熱抵抗素子を覆う保護膜と、絶縁膜内に設けられ発熱抵抗素子に電流を供給するための第１の電気配線層層と、絶縁膜内を延びて第１の電気配線層と発熱抵抗素子とを接続する複数の第１の接続部材と、絶縁膜内を延びて第１の電気配線層と発熱抵抗素子とを接続する複数の第２の接続部材と、を有している。電流は、複数の第１の接続部材から複数の第２の接続部材へ、発熱抵抗素子を第１の方向に沿って流れるようにされ、素子基板の発熱抵抗素子が設けられる面に直交する方向からみて、複数の第１の接続部材および複数の第２の接続部材は第１の方向と交差する第２の方向に沿って配設されている。