【事件の表示】
　平成　８年特許願第　　９８０９号「静電吸着装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　９年　８月　５日出願公開、特開平　９−２０５１３３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成８年１月２４日に出願されたものであって、同１５年５月２８日付で拒絶をすべき旨の査定がなされ、これに対し、同年７月３日に本件審判の請求がなされるとともに、同年８月４日に明細書を補正対象書類とする手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。
　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
　本件補正による特許請求の範囲の記載に関する補正事項は、次のとおりである。
１　補正の内容及び補正発明
　本件補正の内容は、下記（１）の補正前の特許請求の範囲の請求項１ないし５を、下記（２）の補正後の特許請求の範囲の請求項１ないし５に補正するものである。
（１）補正前の特許請求の範囲
「【請求項１】　静電力が働く導電性材料からなる電極を有し、前記静電力によりウエハを吸着する静電吸着装置において、前記ウエハの積載面の中心からウエハ半径方向６０％〜８０％の領域に前記ウエハを離間し３個以上で保持する保持部材を配置することを特徴とする静電吸着装置。
　【請求項２】　導電性材料からなる電極と、前記電極の上に取り付けられた誘電膜を有し、該誘電膜とウエハの間に電界を発生させ、静電気力によりウエハを固定する静電吸着装置において、前記誘電膜上の前記ウエハの積載面の中心から半径方向６０〜８０％の領域に前記電極及び誘電膜を貫通する貫通孔を３個以上設け、前記貫通孔内には前記ウエハを保持しうる棒状体を配置することを特徴とする静電吸着装置。
　【請求項３】　電極と、前記電極の上に取り付けられた誘電膜を有し、該誘電膜と供給されるウエハとの間の静電力により前記ウエハを吸着する静電吸着装置において、前記誘電膜上の前記ウエハの積載面の中心から半径方向６０〜８０％の領域に前記電極及び誘電膜を貫通する貫通孔を３個以上設け、前記静電膜面から離間された前記ウエハを保持する棒状体を前記貫通孔内に配置することを特徴とする静電吸着装置。
　【請求項４】　導電性材料からなる電極と、前記電極の表面に取り付けられた表面の平坦な誘電膜を有し、該誘電膜とウエハの間に電界を発生させ、静電気力によりウエハを吸着固定する静電吸着装置において、前記誘電膜上のウエハの積載面の中心から半径方向６０〜８０％の領域に前記電極及び誘電膜を貫通する貫通孔を３個以上設け、前記貫通孔内には上下方向に可動に形成され、前記ウエハを保持できる棒状体を設置したことを特徴とする静電吸着装置。
　【請求項５】　請求項１から４の何れかにおいて、前記静電吸着装置は真空処理室内に配置ｌされることを特徴とする静電吸着装置。」
（２）補正後の特許請求の範囲
「【請求項１】　静電力が働く導電性材料からなる電極を有し、前記静電力によりウエハを吸着する静電吸着装置において、前記ウエハの積載面の中心からウエハ半径方向６０％〜８０％の領域に前記ウエハを前記電極側から離間して３個以上で保持する保持部材を配置することを特徴とする静電吸着装置。
　【請求項２】　導電性材料からなる電極と、前記電極の上に取り付けられた誘電膜を有し、該誘電膜とウエハの間に電界を発生させ、静電気力によりウエハを固定する静電吸着装置において、前記誘電膜上の前記ウエハの積載面の中心から半径方向６０〜８０％の領域に前記電極及び誘電膜を貫通する貫通孔を３個以上設け、前記貫通孔内には前記電極及び導電膜から離れた前記ウエハを保持しうる棒状体を配置することを特徴とする静電吸着装置。
　【請求項３】　電極と、前記電極の上に取り付けられた誘電膜を有し、該誘電膜と供給されるウエハとの間の静電力により前記ウエハを吸着する静電吸着装置において、前記誘電膜上の前記ウエハの積載面の中心から半径方向６０〜８０％の領域に前記電極及び誘電膜を貫通する貫通孔を３個以上設け、前記静電膜面から離間された前記ウエハを保持する棒状体を前記貫通孔内に配置することを特徴とする静電吸着装置。
　【請求項４】　導電性材料からなる電極と、前記電極の表面に取り付けられた表面の平坦な誘電膜を有し、該誘電膜とウエハの間に電界を発生させ、静電気力によりウエハを吸着固定する静電吸着装置において、前記誘電膜上のウエハの積載面の中心から半径方向６０〜８０％の領域に前記電極及び誘電膜を貫通する貫通孔を３個以上設け、前記貫通孔内には上下方向に可動に形成され、前記静電膜面から離された前記ウエハを保持できる棒状体を設置したことを特徴とする静電吸着装置。
　【請求項５】　請求項１から４の何れかにおいて、前記静電吸着装置は真空処理室内に配置ｌされることを特徴とする静電吸着装置。」
　
　上記補正は、請求項１の「ウエハを離間し」を「ウエハを前記電極側から離間して」とし、請求項２の「前記ウエハを保持しうる」を「前記電極及び導電膜から離れた前記ウエハを保持しうる」とし、請求項４の「前記ウエハを保持できる」を「前記静電膜面から離された前記ウエハを保持できる」とし、ウエハを電極側、導電膜、又は静電膜面から離間させることを限定するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて、以下検討する。
　
２　刊行物記載事項
　原査定における拒絶の理由に引用した本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平６−１１２３０３号公報（以下「刊行物１」という。）には、次の事項が記載されていると認める。
ア　第６欄第１８−４１行
「実施例１は、本発明の第１の態様のウエハ処理装置及びウエハ処理方法に関する。実施例１のウエハ処理装置は、低温エッチング装置であり、図１にその概要を示す。・・ウエハ５０、ウエハを搬送する搬送アーム２４、支持台１２及び静電チャック３０の配置を、図２に模式的に示す。搬送アーム２４は左右に移動可能であり、プッシャー３６は支持台１２に設けられた孔部１２Ａを通して昇降可能である。尚、プッシャー３６を昇降させる機構の図示は省略した。・・静電チャック３０は電極３２を具備している。電極３２には電源３４から直流電圧を印加することができる。静電チャック３０は単極式であり、支持台１２に固定されている。静電チャック３０は、アルミナセラミックから成る。電極３２の平面形状を二重螺旋状とした。また、プッシャー３６は、アルミニウムから成り、接地されている。」
イ　第７欄第２８−３２行
「プッシャー３６を上昇させてウエハ５０を静電チャック３０から取り除き、更に、搬送アーム２４上にウエハ５０を移送する。次に、搬送アーム２４を、支持台１２上方からアンロード室（図示せず）へ搬出する。」
ウ　図２
　「ウエハ５０の積載面にウエハ５０を４個で保持するプッシャー３６を配置する」点が看取される。　
　上記記載事項アないしウ、図１及び図２の記載からみて、刊行物１には、次の発明が記載されていると認める。（以下「刊行物１記載の発明」という。）
　静電力が働く導電性材料からなる電極３２を有し、前記静電力によりウエハ５０を吸着する静電チャック３０において、前記ウエハ５０の積載面に前記ウエハ５０を前記電極３２側から離間して４個で保持するプッシャー３６を配置する静電チャック３０。
　
３　対比・判断
　補正発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「静電チャック３０」は前者の「静電吸着装置」に、後者の「プッシャー３６」は前者の「保持部材」に、それぞれ相当している。
　よって、両者は、次の一致点及び相違点を有している。
［一致点］
　静電力が働く導電性材料からなる電極を有し、前記静電力によりウエハを吸着する静電吸着装置において、前記ウエハの積載面に前記ウエハを前記電極側から離間して４個で保持する保持部材を配置する静電吸着装置。
［相違点］
　保持部材が、前者では、ウエハの積載面の中心からウエハ半径方向６０％〜８０％の領域に配置されているのに対し、後者では、そのように特定されていない点。
　上記相違点について検討する。
［相違点について］
　ウエハを保持部材によって保持する場合、各保持部材にかかる力が均等になるように、かつ、ウエハが傾いたりするようなモーメントもかからないよう配置しなければならないことは、当業者にとって自明の課題であり、さらに、静電チャックにおいて、ウエハの大口径化に伴い、残留電荷によって肉厚の薄いウエハに局部的な反り曲がり、あるいはクラックの発生による破損が生じるとの課題が従来周知（例えば、特開平２−１５９７４４号公報第２頁左下欄第１８行−同頁右下欄第１７行の記載を参照のこと。）であったことからみても、これらの課題を考慮して、保持部材の具体的な配置をどのようにするかは、技術の具体的適用に伴う設計変更の範囲内であるといえる。
　そして、ウエハ自身の重量による撓みを考慮し、その支持ポイントを半径の５０〜９０％（さらに望ましくは６５〜８５％）の領域とすることが、例えば、特開平６−１６９０１０号公報第３欄第３４−４１行及び第５欄第４３−５０行、特開平６−１６８９０２号公報第５欄第１３−１９行に示されていることからみても、「ウエハ半径方向６０％〜８０％の領域」も、本件出願前、保持部材の配置として通常採用される範囲内のものである。
　してみると、刊行物１記載の発明における保持部材の配置を、相違点に係る補正発明の事項のごとく、「ウエハ半径方向６０％〜８０％の領域」とすることが、当業者にとって格別困難なことということもできない。
　また、補正発明の効果は、上記刊行物１記載の発明及び上記従来周知の事項から予測しうる程度のものであって、格別なものではない。
　
　よって、補正発明は、本件出願前に日本国内において頒布された刊行物１記載の発明及び上記従来周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができるものではない。
　したがって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであるので、同法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下する。
　
第３　本件発明について
１　本件発明
　上記のとおり本件補正は却下されたので、本件出願の請求項１ないし５に係る発明は、平成１５年４月４日付手続補正書により補正された明細書、及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、上記「第２　１（１）」の請求項１に記載されたとおりのものである。
　
２　刊行物記載事項
　上記刊行物１記載事項は、上記「第２　２」のとおりである。
　
３　対比・判断
　本件発明は、上記「第２　１」のとおり、補正発明において、ウエハを「電極側から」離間するとの限定を省いたものである。
　そうすると、本件発明の特定する事項を全て含み、さらに他の事項を付加したものに相当する補正発明が、上記「第２　３」のとおり、刊行物１記載の発明及び上記従来周知の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明も、同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　以上のとおりであるので、本件発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件出願の請求項２ないし５に係る発明について判断するまでもなく、本件出願は拒絶すべきである。
　よって、結論のとおり審決する。