【事件の表示】
　平成　６年特許願第１８９１０８号「静電チャックの電極構造、この組み立て方法、この組み立て治具及び処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　７年　３月１７日出願公開、特開平　７−　７４２３４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴う平成６年６月６日（優先日、平成５年６月２８日）の特許出願であって、同１２年１２月２１日付で第１回目の拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同１３年３月１９日に意見書と共に明細書について手続補正書が提出され、その後、同１４年８月２１日付で第２回目の拒絶の理由が通知されたが出願人からは何らの応答もなく、同１４年１２月１６日付で第２回目の拒絶の理由によって拒絶をすべき旨の査定がされ、同１５年１月２２日に本件審判の請求がされ、その後、同１５年２月１３日に明細書について再度手続補正書が提出されたものである。
　
第２　平成１５年２月１３日付の補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１５年２月１３日付の補正を却下する。
　
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲について補正すると共にそれに伴って発明の詳細な説明の一部について補正するものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
（１）補正前の請求項１
【請求項１】　サセプタ支持台上に着脱可能に設けたサセプタの載置面に被処理体を静電力で吸着保持するための静電チャックシートを設けてなる静電チャックの前記静電チャックシートに、前記サセプタの載置面の反対面側に位置する給電ピンから電圧を印加させる電極構造において、前記サセプタの厚さ方向に貫通させて形成された給電孔と、前記給電孔の内壁との間で絶縁部材を介在させて設けられた給電補助ピンとを備え、前記給電補助ピンの一端に、前記サセプタ支持台側に設けた前記給電ピンを接触させると共に他端に前記静電チャックシートを接触させるように構成したことを特徴とする静電チャックの電極構造。
　
（２）補正後の請求項１
【請求項１】　サセプタ支持台上に着脱可能に設けたサセプタの載置面に被処理体を静電力で吸着保持するための静電チャックシートを設けてなる静電チャックの前記静電チャックシートに、前記サセプタの載置面の反対面側に位置する給電ピンから電圧を印加させる電極構造において、前記サセプタの厚さ方向に貫通させて形成された給電孔と、前記給電孔の内壁との間で絶縁部材を介在させて設けられた給電補助ピンとを備え、前記給電補助ピンの一端に、前記サセプタ支持台側に設けた前記給電ピンを
弾発部材の付勢力により前記給電補助ピンに
　
２　補正の適否　　　
　本件補正のうち特許請求の範囲の請求項１についての補正は、給電ピンを給電補助ピンに接触させるために、弾発部材の付勢力を用いることを限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とすることが明らかであるので、さらに、補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
（１）補正発明
　補正発明は、平成１３年３月１９日付手続補正書及び本件補正により補正された明細書及び願書に最初に添付した図面の記載からみて、前記１（２）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「静電チャックの電極構造」であると認める。
　
（２）引用刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願の優先日前に日本国内において頒布された刊行物である特開平５−１２１５３０号公報（以下「刊行物１」という。）、特開平４−１４７６４３号公報（以下「刊行物２」という。）及び特開平５−１４４９２９号公報（以下「刊行物３」という。）の記載内容はそれぞれ以下のとおりである。
　
ア　刊行物１
　刊行物１には、以下の事項が記載されている。
（１−イ）「【産業上の利用分野】本発明は、静電チャックシートを設けた静電チャックに関する。」（段落【０００１】）
　
（１−ロ）「【実施例】以下、添付図を参照して本発明の実施例を説明する。図１〜図３は本発明の一実施例を適用した枚葉式プラズマエッチング装置の構成を示す図であって、図１は装置全体の略断面図、図２は要部の分解斜視図、図３はこの実施例による静電チャックの部分拡大断面図である。
　この実施例のエッチング装置において、反応容器１０の底面中央部に円柱形のサセプタ支持台１２が配設され、このサセプタ支持台１２の上にサセプタ１４がボルト１５によって取付される。サセプタ１４およびサセプタ支持台１２のいずれもアルミニウム等の導電性金属からなる。サセプタ支持台１２の内部には冷却ジャケット１２Ａが形成されており、導入管１６を通って冷却ジャケット１２Ａ内に供給された冷却液は排出管１８を通って装置外部へ排出される。
　サセプタ１４は、肉厚なウエハ載置台１４Ａと肉薄な鍔部またはフランジ部１４Ｂとを一体成形した円盤体で、ウエハ載置台１４Ａの上面つまりウエハ載置面の周縁部１４Ｃは図示のように曲率半径の大きな湾曲面に形成されている。サセプタ支持台１２およびサセプタ１４には、Ｏ2 等の冷却ガスを半導体ウエハ２２の裏面に供給するための貫通孔１２Ｃ，１４Ｄが形成されている。
　サセプタ１４のウエハ載置面には静電チャックシート２０が冠着され、この静電チャックシート２０の上に半導体ウエハ２２が載置される。サセプタ１４の載置面および静電チャックシート２０の径は、半導体ウエハ２２の径よりも小さな径に選ばれている。静電チャックシート２０は、図３に明示されるように、２枚の高分子フィルム２０Ａ，２０Ｂの間に銅箔等の導電膜２０Ｃを封入したものであって、その周縁部２０Ｄはウエハ載置面の周縁部１４Ｃに重なるように曲率半径の大きな湾曲面に形成されている。この静電チャックシート２０にも、図２に示されるように、冷却ガスたとえばＯ2 を半導体ウエハ２２の裏面に供給するための貫通孔２０Ｅが形成されている。
　図１に示されるように、静電チャックシート２０の導電膜２０Ｃは、サセプタ１４に内蔵された絶縁ケーブル２４に被われた導電線およびサセプタ支持台１２の貫通孔１２Ｂ内に通された給電棒２６を介して直流電源２８に接続される。また、サセプタ支持台１２には高周波電源３０が接続される。」（段落【００１８】〜【００２２】）
　
（１−ハ）「静電チャックシート２０の導電膜２０Ｃには、直流電源２８より高圧の直流電圧たとえば２．０ＫＶが印加される。これにより、静電チャックシート２０の表面に分極による静電気が発生し、そのクーロン力によって半導体ウエハ２２が静電チャックシート２０に吸着される。」（段落【００２６】）
　
（１−ニ）図１の記載によれば、給電棒２６は、サセプタ１４の載置面の反対面側に位置し、サセプタ支持台１２側に設けられていること及び絶縁ケーブル２４に被われた導電線は、サセプタ１４の厚さ方向に備えられていることが看取できる。
　
　これらの記載事項を補正発明に照らして整理すると刊行物１には以下の発明が記載されていると認めることができる。
「サセプタ支持台１２上に着脱可能に設けたサセプタ１４の載置面に被処理体であるウエハを静電力で吸着保持するための静電チャックシート２０を設けてなる静電チャックの前記静電チャックシート２０に、前記サセプタ１４の載置面の反対面側に位置する給電棒２６から電圧を印加させる電極構造において、前記サセプタ１４の厚さ方向に絶縁ケーブル２４に被われた導電線を備え、前記導電線の一端に、前記サセプタ支持台１２側に設けた前記給電棒２６を接触させると共に他端に前記静電チャックシート２０を接触させるように構成した静電チャックの電極構造。」
　
イ　刊行物２  
　刊行物２には、以下の事項が記載されている。
（２−イ）「第１図は実施例の構成図である。第１図において１はウエハ、２はパレット、３は真空チャック用溝、４は静電チャック用電極、５は上側接点、６は下側接点、７は付勢手段である接点押さえバネ、８はＯリング、９は接点覆い（絶縁体）、１０は真空チャック用真空配管、１１は溶着被覆電線、１２は真空容器壁、１３は貫通端子、１６は開口部である。
　本例の真空継ぎ手は、開口部１６を有する接点覆い９と、開口部１６内において接点押さえバネ７を介して接点覆い９に取り付けられた接点６と、接点６に電気的に接続された給電線１１と、開口部１６と連通させて接点覆い９に接続された真空配管１０とを有し、給電線１１を真空配管内１０に配してある。
　一方、本例のパレットは、真空チャック用溝３の排気口１８の近傍に静電チャック用接点５を有している。」（第３頁右上欄第１８行〜同頁左下欄第１５行）
　
（２−ロ）「静電チャック用電極４には、パレット２の裏面に埋め込まれた上側接点５、接点押さえバネ７を介して接点覆い９に取り付けられている下側接点６、給電線１１、貫通端子１３を通じて電圧が印加される。」（第３頁右下欄第９〜１３行）
　
　これらの記載事項を補正発明に照らして整理すると刊行物２には、以下の事項が記載されていると認める。　
「パレット２の載置面の反対面側に位置する下側接点６から電圧を印加させる静電チャックの電極構造において、前記パレット２の載置面の反対面に上側接点５を埋め込み、この上側接点５の一端に、前記下側接点６を接点押さえバネ７の付勢力により前記上側接点５に接触させると共に他端に静電チャック用電極４を接触させるように構成すること。」
　
ウ　刊行物３
（３−イ）「一方、電極基板１内には金属箔５に直流電圧を印加するための給電部材６が埋め込まれ、この給電部材６は金属箔５に接続されている。給電部材６と上述の電極基板１とは絶縁材７により絶縁され、さらに給電部材６は直流電源８の正極に接続されている。」（段落【００１２】）　
　
（３−ロ）図１〜３の記載によれば、給電部材６は、電極基板１の厚さ方向に貫通させて形成された孔の内壁との間に絶縁材７を介在させて設けられることが看取できる。
　
　これらの記載事項を補正発明に照らして整理すると刊行物３には、以下の事項が記載されていると認める。　
「静電チャックの電極構造において、給電部材６を、電極基板１の厚さ方向に貫通させて形成された孔の内壁との間に絶縁材７を介在させて設けること。」　
　
（３）対比
　補正発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、刊行物１記載の発明における「給電棒２６」は、補正発明における「給電ピン」に相当することが明らかであり、また、刊行物１記載の発明における「絶縁ケーブル２４に被われた導電線」は、サセプタの厚さ方向に備えられている給電部材であるという限りにおいて補正発明における「給電補助ピン」と共通している。
　したがって、補正発明と刊行物１記載の発明とは、
「サセプタ支持台上に着脱可能に設けたサセプタの載置面に被処理体を静電力で吸着保持するための静電チャックシートを設けてなる静電チャックの前記静電チャックシートに、前記サセプタの載置面の反対面側に位置する給電ピンから電圧を印加させる電極構造において、前記サセプタの厚さ方向に給電部材を備え、前記給電部材の一端に、前記サセプタ支持台側に設けた前記給電ピンを接触させると共に他端に前記静電チャックシートを接触させるように構成した静電チャックの電極構造。」
である点で一致し、次の点で相違している。 
［相違点］
　補正発明では、サセプタの厚さ方向に貫通させて形成された給電孔と、前記給電孔の内壁との間で絶縁部材を介在させて設けられた給電部材としての給電補助ピンとを備え、前記給電補助ピンの一端に、前記サセプタ支持台側に設けた前記給電ピンを弾発部材の付勢力により前記給電補助ピンに接触させると共に他端に前記静電チャックシートを接触させるように構成しているのに対して、刊行物１記載の発明では、サセプタの厚さ方向に備えられた給電部材が絶縁ケーブルに被われた導電線であり、また、給電ピンを付勢する弾発部材を備えているか否か明らかでない点。
　
（４）相違点についての検討
　刊行物２には、前記（２）イで認定したように、パレット２の載置面の反対面側に位置する下側接点６から電圧を印加させる静電チャックの電極構造において、前記パレット２の載置面の反対面に上側接点５を埋め込み、この上側接点５の一端に、前記下側接点６を接点押さえバネ７の付勢力により前記上側接点５に接触させると共に他端に静電チャック用電極４を接触させるように構成することが記載されている。
　刊行物２記載の事項における「パレット２」、「上側接点５」、「下側接点６」及び「接点押さえバネ７」は、それぞれ「サセプタ」、「給電補助ピン」、「給電ピン」及び「弾発部材」ということができるものである。
　そして、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項は、共に静電チャックの電極構造の技術に関するものであるから、刊行物１記載の発明に刊行物２記載の事項を適用して、絶縁ケーブルに被われた導電線に代えて給電補助ピンをサセプタに設け、この給電補助ピンの一端に、サセプタ支持台側に設けた給電ピンを弾発部材の付勢力により前記給電補助ピンに接触させると共に他端にチャックシートを接触させるように構成することに格別の困難性は見当たらない。           
　補正発明では、給電補助ピンが、サセプタの厚さ方向に貫通させて形成された給電孔の内壁との間に絶縁部材を介在させて設けられているが、この点については、例えば、刊行物３に、静電チャックの電極構造において、給電部材６を、電極基板１の厚さ方向に貫通させて形成された孔の内壁との間に絶縁材７を介在させて設けることが示されており、給電補助ピンを、補正発明のように設けることは、刊行物２記載の事項を刊行物１記載の発明に適用するに当たって適宜なし得る設計的事項にすぎない。
　
　また、補正発明によってもたらされる効果も、刊行物１記載の発明及び刊行物２、３に記載の事項から当業者であれば予測できる範囲内のものであって格別顕著なものとはいえない。
　
　したがって、補正発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２、３に記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３　むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１７条の２第４項において読み替えて準用する同法第１２６条第３項の規定に適合しないので、その余の補正の要件について検討するまでもなく、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
第３　本件発明について
１　本件発明
　平成１５年２月１３日付の補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項に係る発明は、平成１３年３月１９日付手続補正書により補正された明細書及び願書に最初に添付した図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項１１に記載されたとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、前記第２の１（１）に示す特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりの「静電チャックの電極構造」であると認める。
　
２　引用刊行物
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載内容は、前記第２の２（２）に示したとおりである。
　
３　対比・判断
　本件発明は、前記第２の２で検討した補正発明から、給電ピンを給電補助ピンに接触させるための、「弾発部材の付勢力により前記給電補助ピンに」という構成を削除したものである。
　そうすると、本件発明を構成要件の全てを含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する補正発明が、前記第２の２（４）に示したとおり、刊行物１記載の発明及び刊行物２、３に記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４　むすび
　以上のとおり、本件発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２、３に記載の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく本件出願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。