【事件の表示】
　上記当事者間の特許第２１３３９９９号発明「圧力変動吸着分離方法」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　訂正を認める。
　本件審判の請求は、成り立たない。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第２１３３９９９号の請求項１及び２に係る発明は、平成１年６月２９日に特許出願され、平成９年１２月１９日にその特許の設定登録がなされたものである。
　これに対し、山陽電子工業株式会社から平成１６年４月２８日付けで請求項１及び２に係る発明の特許について無効審判の請求がなされたところ、その後の手続の経緯は、次のとおりである。
答弁書：　　　　　　　　　　　　　　　平成１６年　８月３１日
訂正請求：　　　　　　　　　　　　　　平成１６年　８月３１日
口頭審理陳述要領書（請求人）：　　　　平成１６年１１月１９日
口頭審理陳述要領書（被請求人）：　　　平成１６年１１月１９日
口頭審理：　　　　　　　　　　　 　　 平成１６年１１月１９日
上申書（被請求人）：　　　　　　　　　平成１６年１１月１９日
上申書（被請求人）：　　　　　　　　　平成１６年１２月２０日
上申書（請求人）：　　　　　　　　　　平成１７年　１月２４日
ＩＩ．訂正の適否
１．訂正の内容　
　訂正事項ａ
　特許明細書の【特許請求の範囲】【請求項１】を次のとおりに訂正する。
「【請求項１】吸着剤を充填した２筒の吸着筒を、吸着工程、均圧工程、再生工程、均圧工程の４工程に順次切替えて空気から酸素を分離する圧力変動吸着分離方法であって、前記均圧工程は、前記吸着工程を終えた吸着筒の原料供給弁と、前記再生工程を終えた吸着筒の原料供給弁とをそれぞれ開いて両吸着筒の原料供給端同士を連通させて、前記吸着工程を終えた吸着筒内に充圧されていたガスを、空気圧縮機から供給される原料空気と共に前記再生工程を終えた吸着筒に導入することで行い、前記再生工程は、吸着筒内のガスを大気に放出することで行うことを特徴とする圧力変動吸着分離方法。」
　訂正事項ｂ
　特許明細書の第５頁１〜１２行（特許公告公報第２頁第３欄４１行〜第４欄１行）を次のとおりに訂正する。
「〔課題を解決するための手段〕　上記した目的を達成するために、本発明は、吸着剤を充填した２筒の吸着筒を、吸着工程、均圧工程、再生工程、均圧工程の４工程に順次切替えて空気から酸素を分離する圧力変動吸着分離方法であって、前記均圧工程は、前記吸着工程を終えた吸着筒の原料供給弁と、前記再生工程を終えた吸着筒の原料供給弁とをそれぞれ開いて両吸着筒の原料供給端同士を連通させて、前記吸着工程を終えた吸着筒内に充圧されていたガスを、空気圧縮機から供給される原料空気と共に前記再生工程を終えた吸着筒に導入することで行い、前記再生工程は、吸着筒内のガスを大気に放出することで行うことを特徴とし、特に、前記均圧工程の時間を、サイクルタイムの１／３０乃至１／４としたことを特徴としている。
〔作用〕　上記のごとく、両吸着筒の原料供給弁をそれぞれ開いて、両吸着筒を原料供給端で連通させて極めて短時間で均圧操作を行うことにより、吸着工程、均圧工程、再生工程、均圧工程の４工程に順次切替えて空気から酸素を分離する圧力変動吸着分離のサイクルタイムを短くでき、装置の小型化が図れる。」
　訂正事項ｃ
　特許明細書の第１１頁下から１４行〜下から１１行（特許公告公報第３頁第６欄１３〜１６行）を次のとおりに訂正する。
「以上説明したように、本発明は、吸着剤を充填した２筒の吸着筒を、吸着工程、均圧工程、再生工程、均圧工程の４工程に順次切替えて空気から酸素を分離する圧力変動吸着分離方法であって、前記均圧工程は、前記吸着工程を終えた吸着筒の原料供給弁と、前記再生工程を終えた吸着筒の原料供給弁とをそれぞれ開いて両吸着筒の原料供給端同士を連通させて、前記吸着工程を終えた吸着筒内に充圧されていたガスを、空気圧縮機から供給される原料空気と共に前記再生工程を終えた吸着筒に導入することで行い、前記再生工程は、吸着筒内のガスを大気に放出することで行うから、」
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、「少なくとも２筒の吸着筒」を「２筒の吸着筒」に限定し、「均圧工程」について「前記吸着工程を終えた吸着筒内に充圧されていたガスを、空気圧縮機から供給される原料空気と共に前記再生工程を終えた吸着筒に導入することで行い」と限定し、「再生工程」について「前記再生工程は、吸着筒内のガスを大気に放出することで行う」と限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。また、訂正事項ｂ及びｃは、上記訂正事項ａと整合を図るとともに特許請求の範囲の記載と整合を図るものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。そして、訂正事項ａ〜ｃは、特許明細書第６頁第１行（特許公告公報第２頁第４欄９〜１０行）の「２基の吸着筒Ａ、Ｂ」、特許明細書第７頁１１〜１６行（特許公告公報第２頁第４欄３６〜４０行）の「Ｂ筒の排気弁７ｂが閉じられるとともに〜原料空気と共にＢ筒の原料供給弁５ｂからＢ筒内に導入される。」、特許明細書第７頁４〜６行（特許公告公報第２頁第４欄３０〜３１行）の「一方のＢ筒においては、排気弁７ｂを介して筒内のガスが大気に放出されて減圧される」及び第１、２図に記載されるのであるから、訂正事項ａ〜ｃは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、また、実質的に特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　なお、請求人は、この訂正請求について、平成１６年１１月１９日付けの口頭審理陳述要領書（第２０頁下から３行〜第２１頁５行）において「再生工程が大気放出さえ行っていれば、減圧パージの作用は不問になったから、特許請求の範囲の実質的な変更である」旨主張するので、この旨を検討すると、本件特許明細書【特許請求の範囲】の「吸着工程、均圧工程、再生工程、均圧工程の４工程を順次」（特許公告公報補１頁）との記載から、「再生工程」は「吸着工程」を経た「均圧工程」と次の「均圧工程」間の工程であることは明らかであり、また、Ｂ筒の排気弁７ｂに着目して「均圧工程」をみると、特許公告公報第２頁第４欄２０〜４７行の記載から、均圧工程においては、該弁７ｂが閉となって均圧工程に入り、再生工程においては排気弁７ｂを開として筒内のガスが大気に放出されて減圧されているといえ、また、圧力変動吸着分離法では減圧することによって脱着再生させることは当業者にとって自明であることからみれば、「再生工程は、吸着筒内のガスを大気に放出する」との限定は、「再生工程」の構成を限定するものであって、「再生工程」の技術内容を変更するものとはいえず、その限定を以て特許請求の範囲を実質的に変更するとはいえない。
３．むすび
　したがって、上記訂正は、特許法の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項で準用する平成６年法律第１１６号による改正前の第１２６条第１項ただし書、第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
ＩＩＩ．本件訂正後の特許発明
　本件無効審判請求の対象となった請求項１及び２に係る発明については、上記訂正を認容することができるから、本件訂正後の発明は、訂正明細書の請求項１及び２に記載された事項により特定される次のとおりのもの（以下、それぞれ「本件訂正発明１」及び「本件訂正発明２」という。）である。
【請求項１】吸着剤を充填した２筒の吸着筒を、吸着工程、均圧工程、再生工程、均圧工程の４工程に順次切替えて空気から酸素を分離する圧力変動吸着分離方法であって、前記均圧工程は、前記吸着工程を終えた吸着筒の原料供給弁と、前記再生工程を終えた吸着筒の原料供給弁とをそれぞれ開いて両吸着筒の原料供給端同士を連通させて、前記吸着工程を終えた吸着筒内に充圧されていたガスを、空気圧縮機から供給される原料空気と共に前記再生工程を終えた吸着筒に導入することで行い、前記再生工程は、吸着筒内のガスを大気に放出することで行うことを特徴とする圧力変動吸着分離方法。
【請求項２】前記均圧工程の時間を、サイクルタイムの１／３０乃至１／４としたことを特徴とする圧力変動吸着分離方法。
ＩＶ．請求人の主張と証拠方法
１．請求人の主張
　請求人は、証拠方法として甲第１〜６号証および参考資料１，２を提出して、口頭審理（口頭陳述要領書を含む）及びその後の上申書において、これまでの主張を整理して次のとおり主張している。
（１）無効理由１：本件訂正発明１及び２は、甲第１号証と甲第３号証又は参考資料２の特開昭５８−１８９０２２号公報（以下、「資料刊行物」という。）に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、
（２）無効理由２：本件訂正発明１及び２は、甲第２号証と甲第３号証又は資料刊行物に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、
（３）無効理由３：本件訂正発明１及び２は、甲第３号証に記載の発明と同一であるか、または当該発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、
　特許法第２９条第１項もしくは第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、これら発明についての特許は、特許法第１２３条第１項第２号に該当し無効とすべきである。
（４）無効理由４：本件訂正発明１及び２は、（ｉ）特許請求の範囲請求項１に記載される「吸着工程」、「再生工程」の意味が不明瞭であり、また（ｉｉ）「吸着工程を終えた」「再生工程を終えた」の「終えた」がいかなる意味を奏するのか不明瞭であるから、発明の構成に欠くことができない事項が記載されていなく、また、詳細な説明に当業者がその発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分な記載がないから、特許法第３６条第３項及び第４項の規定により特許を受けることができないものであるから、この発明についての特許は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し無効とすべきである。
　なお、上記資料刊行物は請求時に提出された参考資料２に含まれていた公報であり、これを無効理由に加えることは訂正請求に伴い請求の趣旨を逸脱しない範囲内であるとの理由により、被請求人の承諾の下容認したものである。
２．証拠の記載事項
　無効理由１〜４で引用されている甲第１号証〜甲第３号証及び資料刊行物には、それぞれ次の事項が記載されている。
（１）甲第１号証：特開昭６０−１３２６２０号公報
（ア）「本発明はプレッシャースイング吸着（ＰＳＡ）方式により、空気等の混合ガスから、特定ガスのみを濃縮する方法において、該特定ガスの純度をより向上させるための方法に関するものである。まず、従来のＰＳＡ（・・・）方式により空気から窒素を濃縮する方法について、・・・第１図においてＩ、ＩＩは吸着塔、１〜８は弁を示す。吸着塔Ｉ、ＩＩは酸素を選択的に吸着する吸着剤が充填されている。（工程Ａ）吸着塔Ｉが吸着工程、吸着塔ＩＩが脱着工程にあるとする。・・・（工程Ｂ）次に均圧化工程に入る。均圧化工程とは、吸着工程を終了した高圧の吸着筒と脱着工程を終了した低圧の吸着塔の圧力を一時的に連結させ、低圧の吸着塔の圧力を所定の吸着圧、脱着圧の中間圧まで昇圧する工程である。・・・通常吸着塔の出口側同士および入口側同士を連結して行なわれる。・・工程Ａが完了した時点で弁１、３、６、７、８を閉じ、次いで弁１、２、３、４を開く。・・・吸着塔Ｉ、ＩＩの圧力が均衡する。（・・）（工程Ｃ）次に、工程Ａと逆に、吸着塔ＩＩが吸着工程、吸着塔Ｉが脱着工程に入る。・・・残留ガスが脱着排気される。（・・）（工程Ｄ）再度均圧化工程に入り、弁２、４、５、７、８を閉じ、弁１、２、３、４を開くことにより、吸着工程の完了した吸着塔ＩＩの上部から弁４、３を通って、また同時に吸着塔ＩＩの下部から弁２、１を通って吸着筒ＩＩ内の高圧のガスが低圧の吸着塔Ｉに移行し、吸着塔Ｉ、ＩＩの圧力が均衡する。（・・）　以上、工程Ａ〜Ｄを繰り返す。・・・連続的に製品ガスを取り出す方法である。」（第１頁右欄６行〜第２頁右上欄１８行）
（イ）「排出の方法は、大気圧に開放してもよいし、また真空ポンプによって排気してもよい。」（第３頁右下欄９〜１１行）
（ウ）第１図及び第２図には、上記（ア）の吸着塔Ｉ、ＩＩ及び弁の構成、均圧化工程の様子が記載されている。（第５頁）
（２）甲第２号証：特開昭６３−９１１１９号公報
（ア）「このガス吸着の原理は更に水素、・・・、酸素および窒素のガス富化法に洗練された。更には周期的に加圧する２以上の吸着容器を用いる方法が開発され、広く圧力スイング吸着（・・）と称されるガス富化のための吸着法がもたらされた。」（第３頁右上欄１〜８行）」
（イ）「従来のガス富化のためのＰＳＡ法たとえば空気から窒素を富化する方法は、炭素モレキュラーシーブ材料を充填した２以上の吸着床を使用し、・・一般には明確に区別された四工程に付される。サイクルの第一工程では、一方の吸着床は加圧され、それに伴って窒素を生産し、他方の吸着床は排気などにより再生される。この吸着は、プロダクト品質ガス（「パージ」・・）を向流で流すことによっても再生される。第二工程は均圧化工程とも称されるが、そこでは複数の吸着床を相互接続して中間の圧力にする。サイクルの第三工程では、第一吸着床は第二床で用いた手順に従って再生され、第二床は生産工程に入る。サイクルの最終工程は、吸着床間で均圧化をはかることである。このような圧力スイングの間に、吸着床の圧力条件は、炭素モレキュラーシーブを用いる窒素の生産では・・・、結晶性ゼオライトを用いる酸素の生産では若干低目の圧力範囲で変動する。圧力スイング吸着法に酸素分離膜を用いることは・・・ゼオライト粒子を充填した吸着カラムを用いるＰＳＡ法により酸素を製造しており、各吸着カラムのパージサイクル時には酸素パージガスを通している。酸素パージガスは、各吸着カラムの生産サイクル時に酸素富化流をガス分離膜に通して得られる透過ガス流である。」（第３頁右上欄９行〜同頁左下欄１８行）
（ウ）「本発明の一目的は、所要エネルギーの少ない・・・他の目的は、サイクル時間を長くできる改善されたＰＳＡ法および装置を提供することである。」（第３頁左下欄末行〜同頁右上欄５行）
（エ）「本発明の説明は、炭素モレキュラーシーブの吸着剤床を用いる空気の窒素富化に関して行うが、当業者には本発明の方法および装置が圧力スイング吸着技術を用いるガス富化そのものに適用可能なることが理解されるであろう。」（第４頁右上欄７〜１２行）
（オ）「本発明の別の特徴は、基準点を突破して製品純度水準が低下した際にガス富化プロダクト流の一部を上方ガス拡散容器に導入し、不透過流すなわちプロダクトの設計基準に合致する純度のガス流と、パージおよび／またはバックフィル（・・）用に用いる透過流を形成することである。」（第５頁右上欄末行〜同頁左下欄５行）
（カ）「本発明のＰＳＡ法における均圧化工程は、通常のＰＳＡ法におけるものと同一であるが、ただ再生を受けている吸着容器からの排気を下方ガス拡散セルで処理したあと、および生産中の吸着容器からのテール−エンドプロダクトを上方ガス拡散セルで処理したあとで実施される。」（第６頁右下欄１２〜１７行）
（キ）「実施例ＩＩＩ　下記実施例は、ガス拡散容器１４からの透過流を用いて一方の吸着床をパージする窒素製造法でのサイクル時間を説明する。（弁−第１図）　
工程　　容器10　　　　　　容器12　　　　　　開放弁　　　代表時間
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（秒）
１　新原料で加圧　　　大気へ直接排出　　28,32,44,54　　　　　10
２　Ｎ２プロダクトの　大気へ直接排出　 28,32,44,54,93,102,　　100
　　生産　　　　　　　　　　　　　　　106
３　上方拡散セルでプ　上方拡散セルから  28,32,44,54,93,102, 　　35
　　ロダクトを精製、　の透過流で容器　　114,116,121,136
　　容器12へパージ　　12をパージ　　　
　　ガスを提供
４　容器12と均圧化　　容器10と均圧化　　32,36,134,136　　　　5
５　大気へ直接排出　　新原料で加圧　　　　28,36,40,54　　　　10
６　大気へ直接排出　　Ｎ２プロダクトの　28,36,40,54,95,102,  　100
　　　　　　　　　　　生産　　　　　　　106
７　上方拡散セルから　上方拡散セルで　　28,36,40,54,95,102,　　35
　　の透過流でパージ　プロダクトを精製、114,116,121,134
　　　　　　　　　　　容器10にパージ
　　　　　　　　　　　ガスを提供
８　容器12と均圧化　　容器10と均圧化　　32,36,134,136　　　　5
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　5分／サイクル」（第８頁右上欄）（なお、当審では、開放弁の符号「116」は導管であるとみれるので、「118」の誤記であると認める。）
（ク）第１図には「本発明の好適実施態様の概念的フロー図」が図示され、上記（キ）の容器１０、容器１２、上方ガス拡散セル１４，弁などの構成が記載されている。
（３）甲第３号証：特開昭６３−１６６７０２号公報
（ア）「本発明は、圧力変動吸着法（ＰＳＡ法）を利用して空気の如き、酸素と窒素とアルゴンを含む混合ガスから窒素を吸着分離し、濃縮酸素ガスを得るものである。即ち、合成ゼオライト、天然ゼオライト等の窒素に対して選択吸着性を有する吸着剤を充填した３個の吸着筒に対し、以下に説明する各工程を順次繰り返しながら吸着剤に窒素を吸着させ酸素およびアルゴンを濃縮して製品ガスとして取り出す方法である。」（第４頁左上欄６〜１５行）
（イ）「
工程１．
（ウ）「
工程２．
（エ）「
工程３．
（オ）「
工程４．
（カ）「
工程５−１．
工程５−２．
（キ）「
工程６．
（ク）「
工程７．
（ケ）「
工程８．
（コ）「本発明者等は・・・製品ガス発生量を出来るだけ減少させることなく製品ガス中の窒素の含有量を低減させる事に成功した。その大きな発明の第一は吸着工程終了後の各筒間における筒内ガスの回収の方法、すなわち吸着（工程２）の終了した筒から製品加圧（工程７）による再生を終了した筒へのガスの移動、均圧の操作である。」（第７頁右上欄１６行〜同頁左下欄４行）
（サ）「本発明者らは更に検討を加え第１のケース即ち原料端部から原料端部へガスを移動させるのと同時に製品端部から製品端部へもガスを移動させる第２のケースを発明した。ガスを２筒間で移動させる均圧（工程３および工程８）は、原料ガスを導入しながら２筒間の圧力差がほぼ同一になる時間で行われる。そしてこのガスの移動は吸着筒の空隙部に存在する気相部分のガスを回収するのが目的であり、特に固相内に吸着されている選択吸着性の高い窒素が脱着しないうちに実施するのが好ましい。即ち吸着筒内の空隙部に存在するガス及び吸着剤から脱着し易いアルゴンや酸素だけを回収するのが目的であるから、出来るだけ短時間で行うのが好ましい。・・・第１のケースに於て１〜７秒・・第２のケースでは１〜３秒・・にする事が出来た。」（第８頁左上欄１〜１９行）
（シ）「さらに製品加圧（工程７）すなわち製品の一部を加圧に使用することは、高濃度の酸素の濃縮、特に窒素濃度の低い製品ガスを発生させるためには不可欠なものであり、製品加圧量の増加とともに、低窒素濃度の製品ガス発生量は増加する。・・・真空排気到達圧力よりも２５０〜４５０Torr高い範囲の圧力まで製品加圧する事が好ましいことをつきとめた。」（第８頁左下欄１９行〜同頁右下欄６行）
（ス）第１図Ａには「本発明方法を説明するための系統図」が図示され、吸着筒Ａ、Ｂ、Ｃ、製品貯留タンク１１、弁の構成など記載されている。
（セ）第３図（第１４頁）には上記（ア）の各工程、即ち次の内容が図示される。
「　　　　　　　　　　　吸着筒
　工程　　　　Ａ　　　　Ｂ　　　　　Ｃ　　　
　１　　　　吸着　　　パージ　　　減圧
　　　　　　　　　　　真空排気
　２　　　　吸着　　製品ガス加圧　真空排気
　３　　　　均圧　　　均圧　　　　真空排気
　４　　　　減圧　　　吸着　　　　パージ
　　　　　　　　　　　　　　　　　真空排気　
　５−１　真空排気　　吸着　　　　製品ガス加圧　
　５−２　真空排気　　均圧　　　　均圧　
　６　　　パージ　　　減圧　　　　吸着
　　　　　真空排気
　７　　製品ガス加圧　真空排気　　吸着
　８　　　　均圧　　　真空排気　　均圧　　　」
（４）資料刊行物：特開昭５８−１８９０２２号公報
（ア）「本発明は、とくにモレキュラーシーブ類を使用する圧力揺動吸着（・・）（ＰＳＡ）システムによって強化（・・）ガス流を提供する吸着プロセスに関するものである。」（第２頁右下欄１０〜１４行）
（イ）「空気からの強化窒素の製造のために、カーボンモレキュラーシーブ類を使用することは、既知の方法である。」（第３頁左下欄１２〜１４行）
（ウ）「本発明の方法に他のモレキュラーシーブ類が有用であろうことが予期される。すなわち、ゼオライト類およびこの分野で認められている他の選択的な吸着体類もまた本発明に使用されうる。図面を詳細にみると、まず２本の耐圧塔“Ａ”および“Ｂ”があり、それぞれにはカーボンモレキュラーシーブ類が詰められている。」（第４頁右下欄３〜１１行）
（エ）「各塔は吸着、部分均等化（・・）、降圧、パージ、生成物再加圧およびフィード再加圧の諸工程を経てサイクルされる。・・・塔の吸着サイクルの終了時に、ほとんど使い果されたカーボン塔は、その入口（または底部）で部分的に換気され、この換気ガスは再加圧されるべき塔の底部（または入口）へ送られる。この部分換気は、バルブ“１”または“２”を開くことによって吸着のために再生中である塔の正流フィードガス再加圧と実質的に同時に起こる。この部分“底部”均等化工程につづいて、このほとんど使い果たされたカーボン塔、“Ｂ”は隔離され、バルブ“４”を経由してその入口で大気圧にまで全体的に降圧される。それによって多量の副生放出物、すなわち、吸着された酸素を脱着および放出する。次に、この換気された塔は、生成物タンクからバルブ“７”を経由して導入される制御流下、・・の生成ガスで逆流的に洗い流され、バルブ“４”を経由してこのカーボン塔から余分の残渣および吸着された酸素をパージする。次に、この隔離された塔“Ｂ”は、バルブ“６”を経由する生成物タンクからの生成ガスを用いて吸着圧力の１０％乃至３０％まで再加圧されることによって部分再生される。再生された塔の最終再加圧は、その吸着サイクルをすでに完了した塔の底部からの換気ガスと、オープンバルブ“１”および“２”を経由する圧縮フィード空気との実質的同時導入により吸着圧力の４０％乃至８０％に達するまで行われ、その後バルブ“１”を閉める。このほとんど使い果たされた塔“Ａ”の再加圧塔“Ｂ”への同時部分換気は、全フィード再加圧サイクルのごく短い部分である。・・・生成ガスがバルブ“５”を経由して生成物タンクへ導入されて吸着サイクルが始まる。・・・ついで塔“Ｂ”が強化窒素ガスを生成し、塔“Ａ”が再生されるように反復される。」（第５頁左下欄１７行〜第６頁右上欄２行）
（オ）第１表（第６頁）には、上記（エ）のサイクル操作が記載され、バルブ操作として「Ａ：入口を降圧してＢへ、Ｂ：Ａからの入口再加圧およびフィードガス再加圧・・バルブ１，２が開、他のバルブは閉」、「Ａ：Ｂからの入口再加圧およびフィードガス再加圧、Ｂ：入口脱圧してＡへ・・バルブ１，２が開、他のバルブは閉」、並びに「Ａ：生成物再加圧、Ｂ：が吸着・・・バルブ２、５及び６が開、他のバルブは閉」と記載されている。
　なお、他の証拠の甲第４号証は判定２００３−６００８５判定請求書であり、甲第５号証（特開昭６４−７０１２１号公報）は該判定請求書に添付された証拠書類であり、甲第６号証（特公昭５１−４０５４９号公報）は本件特許明細書に従来技術として記載されている公報である。この甲第４号証には「なお、特開昭６４−７０１２１号公報は、速度分離型により空気から窒素を分離する窒素ＰＳＡに関するものであるので、平衡分離型により空気から酸素を分離する酸素ＰＳＡとは分離型式を異にするものであるが、両ＰＳＡにおける吸着工程や再生工程や均圧工程の操作が同一であることは、本件特許発明の出願前の技術常識である」（判定請求書第８頁１１〜１５行）と記載されている。また、甲第６号証の第９頁右欄３４〜３９行には「例えば、カルシウムゼオライトＡを吸着剤として特別に記載したが、好適な吸着剤の選択は分離されるべき供給ガスの組成と同じように周知の因子に依存し、したがって本発明の一部ではない。その他の周知の選択的吸着剤は活性炭及びシリカゲルを包含される」旨記載されている。また、口頭審理において、「医器学　Ｖｏｌ．５２、Ｎｏ．９（１９８２）、ｐ４４８〜４４９」、「『酸素関連医療技術からみた　呼吸、循環系医療機器技術の最新動向について』（株）フジ・テクノシステム、昭和５８年」及び「特開昭５９−１９９５０３号公報」を参考文献として提出した。これらの参考文献は、医療用の小型の酸素ＰＳＡが出願前に知られていたという技術水準を示す文献として提出されたものである（第１回口頭審理調書）。
Ｖ．被請求人の反論
　被請求人は、請求人の上記主張に対して乙第１〜８号証を提示して、答弁書、口頭審理（口頭審理陳述要領書を含む）及び上申書を整理すると、次のとおり反論している。
（１）無効理由１〜３については、本件訂正発明１及び２は、甲第１号証または甲第２号証と甲第３号証あるいは資料刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないし、甲第３号証に記載の発明と同一であるか、または当該発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
（２）無効理由４については、「吸着工程」「再生工程」及び「それらの工程を終えた」は明細書の記載から明らかであり、請求人の主張の記載不備はない。
ＶＩ．乙号証について　
（１）乙第１号証：「高圧ガス　（１９８６　Ｖｏｌ．２３　Ｎｏ．８）」昭和６１年８月２０日、高圧ガス保安協会発行、第９〜１３頁、５６頁
（２）乙第２号証：「ゼオライトの最新応用技術」１９８６年１月２４日、株式会社シーエムシー発行、第１２７〜１２８頁
（３）乙第３号証：化学工学協会編「化学工学便覧（改訂五版）」昭和６３年３月１８日、丸善株式会社発行、第５９１頁
（４）乙第４号証：判定２００３−６００８５に係る「判定」（平成１６年２月９日）
（５）乙第５号証：「Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ　Ｇａｓｅｓ」１９９７年、ＢＬＡＣＫＩＥ　ＡＣＡＤＥＭＩＣ　＆　ＰＲＯＦＥＳＳＩＯＮＡＬ発行、第９８〜１１１頁　
（６）乙第６号証：「Ｐｒｅｓｓｕｒｅ　Ｓｗｉｎｇ　Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ」１９９４年、ＶＣＨ　Ｐｕｂｌｉｓｈｅｒｓ、Ｉｎｃ．発行、第６７〜８３頁
（７）乙第７号証：「最新　吸着技術」平成５年１１月２４日、株式会社総合技術センター発行、第５０７〜５１８頁
（８）乙第８号証：「Ａｄｖａｎｃｅｓ　ｉｎ　ＶＳＡ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｆｏｒ　ｏｎ−ｓｉｔｅ　ｏｘｙｇｅｎ　ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ」１９９５年１１月、ＢＯＣ　ＴＥＣＨＮＯＫＬＯＧＹ　発行、第２９〜３３頁　
　乙第１、２号証は「平衡分離型である酸素ＰＳＡ法と、速度分離型である窒素ＰＳＡ法との異同を説明するため」に、乙第３号証は「吸着剤ＭＳ−５Ａの充填密度について」に、乙４号証は「再生工程を説明するため」に、乙第５、６号証は「医療用及び工業用酸素ＰＳＡを説明するため」に、乙第７号証は「医療用ＰＳＡを説明するため」に、乙第８号証は「工業用酸素ＰＳＡの技術改良を説明するため」に提出されたものである。
ＶＩＩ．当審の判断
１．無効理由１について
１−１．本件訂正発明１について
　甲第１号証の記載事項アには、吸着塔Ｉに着目してみてみると、「プレッシャースイング吸着（ＰＳＡ）方式により空気から窒素を分離する方法において、工程Ａの吸着工程、工程Ｂの均圧化工程、工程Ｃの脱着工程、工程Ｄの均圧化工程を繰り返す」ことが記載され、この「均圧化工程」は、弁１、２、３、４を開くことによって行われることから「吸着塔の入口及び出口側同士を連結して行われる」ことが記載されるといえ、また、「均圧化工程」においては、空気を供給する弁７が閉じられていることから「原料空気の供給は止められている」とみれる。これらのことから、記載事項アを本件訂正発明１の記載振りに則して整理すると、甲第１号証には「吸着剤を充填した２塔の吸着塔を、吸着工程、均圧化工程、脱着工程、均圧化工程に順次切替えてプレッシャースイング吸着（ＰＳＡ）方式により空気から窒素を分離する方法であって、均圧化工程は、原料空気の供給を止めて吸着筒の入口及び出口側同士を連結して行う方法」の発明（以下、「甲第１発明」という。）が記載されているといえる。
　そこで、本件訂正発明１と甲第１発明を対比すると、甲第１発明の「プレッシャースイング吸着（ＰＳＡ）」、「均圧化工程」及び「脱着工程」は、夫々本件訂正発明１の「圧力変動吸着」、「均圧工程」及び「再生工程」に相当し、また、甲第１発明の「均圧化工程は、吸着筒の入口側同士を連結して行う」ことは、記載事項イを参酌すると、均圧化工程が、工程Ａ、即ち吸着塔Ｉが吸着工程で、吸着塔ＩＩが脱着工程、の完了後に原料供給弁１，２を開いて入口側同士を連結していることからみて、吸着工程を終えた吸着塔Ｉの原料供給弁と、脱着工程を終えた吸着塔ＩＩの原料供給弁を開いて入口側同士を連結しているとみれるから、両者は、「吸着剤を充填した２筒の吸着筒を、吸着工程、均圧工程、再生工程、均圧工程の４工程に順次切替えて空気から分離する圧力変動吸着分離方法であって、前記均圧工程は、前記吸着工程を終えた吸着筒の原料供給弁と、前記再生工程を終えた吸着筒の原料供給弁とをそれぞれ開いて両吸着筒の原料供給端同士を連通させる」点で一致し、次の点で相違している。
　相違点ａ１：本件訂正発明１は「空気から酸素を分離する圧力変動吸着分離方法」であるのに対し、甲第１発明は「空気から窒素を分離する」ものである点
　相違点ｂ１：本件訂正発明１は「均圧工程」が「前記吸着工程を終えた吸着筒内に充圧されていたガスを、空気圧縮機から供給される原料空気と共に前記再生工程を終えた吸着筒に導入することで行う」のに対し、甲第１発明では、「原料空気の供給を止めて吸着筒の入口及び出口側同士を連結して行う」点
　相違点ｃ１：本件訂正発明１は「前記再生工程は、吸着筒内のガスを大気に放出することで行う」のに対し、甲第１発明では、かかる構成が明らかでない点
　そこで、これらの相違点について、順次検討する。
（ａ）相違点ａ１について、被請求人の提示する乙第１号証及び乙第２号証からみれば、空気から酸素を分離する圧力変動吸着分離方法（酸素ＰＳＡ）と空気から窒素を分離するもの（窒素ＰＳＡ）とは、使用する吸着剤に違いがあり、その吸着剤は平衡分離型と速度分離型の特性の違いがないとはいえない。一方、酸素ＰＳＡと窒素ＰＳＡとで、吸着・均圧・再生・均圧工程の操作における各工程を全く同一の操作で行える根拠が明らかであるともいえない。しかしながら、酸素ＰＳＡと窒素ＰＳＡの互換性については、甲第２号証の記載事項イ及びエ、甲第４号証における上記「ＩＶ．２．」の「なお書き」、並びに資料刊行物の記載事項ウからみれば、夫々に応じた吸着剤の転換により窒素ＰＳＡを酸素ＰＳＡに転用することができないとまではいえない。
（ｂ）相違点ｂ１について、甲第３号証、資料刊行物に基づいて検討すると、
（ｂ−１）甲第３号証の検討
　甲第３号証の記載事項ア〜ケ及び記載事項セには「圧力変動吸着法（ＰＳＡ法）により空気から窒素を選択的に吸着して酸素を分離する」方法に関し、吸着筒Ａに着目すると「工程３及び工程８が均圧、工程７が製品ガス加圧」と記載され、「均圧」の工程について「吸着が終了した吸着筒と製品ガス加圧が終了した吸着筒の原料端部を連結して、原料ガスを導入しながら、前者の吸着筒から後者のものにガスを供給して両筒を均圧する」ことが、また「製品ガス加圧」の工程について「弁３Ａ、５Ａが閉じられ、弁４Ａが開かれて、真空排気を止めるとともにパージ工程を終了したＡ筒の製品端部へ製品貯留タンクより製品ガスが供給されて加圧される」ことが記載されている。これらの記載からみると、甲第３号証には、均圧工程に関し「原料ガスを導入しながら、吸着が終了した吸着筒から製品ガス加圧が終了した吸着筒にガスを供給」することが記載されているといえる。これを操作手段という観点でみれば、甲第３号証には「原料ガスを導入すると共に吸着を終えた吸着筒のガスを導入する」均圧手段が開示されているとみれ、これは本件訂正発明１と共通するところもあるが、均圧工程においては吸着を終えた吸着筒の均圧対象となる筒は、甲第３号証では「製品ガス加圧が終了した筒」であるのに対し、本件訂正発明１の「再生を終えた筒」であり、また、甲第３号証の「製品ガス加圧」は「真空排気を止めて、製品ガスが供給されて加圧される」のであるのに対し、本件訂正発明１の「再生」は「吸着筒内のガスを大気に放出することで行う」（相違点ｃ）のであるから、甲第３号証には、本件訂正発明１の相違点ｂ１に係る構成が記載されているとはいえない。
　このことについて、請求人は「製品ガス加圧工程」も再生工程として捉えられる旨主張（第１回口頭審理調書）するので、ここでみておくと、甲第３号証に記載された「製品ガス加圧」とは、記載事項クによれば「真空排気を止め、パージ工程を終了した吸着筒へ製品貯留タンクより製品ガスを供給し加圧する」ものであり、その操作によって「吸着筒の製品端部側から順次酸素分圧をより高め、パージ終了後も吸着筒製品端部側に吸着して残存している窒素ガスを脱着させて原料端部側に押しさげるとともに、一旦吸着筒製品端部より流出した製品ガスを再度吸着筒に戻して微量の窒素まで吸着剤に吸着させ」るものであり、「低窒素濃度の製品ガスを安定して得るためには欠く事の出来ない操作である」とみれることから、この「製品ガス加圧」は「吸着筒製品端部側に吸着して残存している窒素ガスを脱着させて原料端部側に押しさげる」意味合いにおいて再生をしているといえるが、そこでは「再生後の吸着筒が加圧され、製品ガスで加圧し、酸素分圧を高め、吸着筒製品端部より流出した製品ガスを再度吸着筒に戻して微量の窒素まで吸着剤に吸着させ」るものであるから、構成上の違いは上記したとおりであり、技術内容或いは技術的意義からみても甲第３号証の「製品ガス加圧工程」が本件訂正発明１の「再生工程」に相当しないことは明らかである。
　そして、更に請求人は、口頭陳述要領書第１２頁１４〜２３行で「甲第３号証の『Ａ筒の原料端部からＢ筒の原料端部にＡ筒内のガスが原料空気とともに供給され』との下部均圧の動作を甲第１号証に適用することは格別困難を有しない」旨主張するので、この点も検討すると、確かに甲第３号証には上記主張の技術的事項が開示されていることは前述（均圧手段）のとおりであるが、甲第３号証の記載事項コに「製品ガス中の窒素の含有量を低減させる事・・その大きな発明の第一は吸着工程終了後の各筒間における筒内ガスの回収の方法、すなわち吸着（工程２）の終了した筒から製品加圧（工程７）による再生を終了した筒へのガスの移動、均圧の操作である」と製品ガス加圧と均圧操作との密接な関係が記載され、また、甲第３号証の「製品ガス加圧」の工程は、上記したとおり「低窒素濃度の製品ガスを安定して得るためには欠く事の出来ない操作である」ことからみて、製品ガス加圧操作を抜きにして均圧工程を採用することを予定するものでないことは明らかであるから、圧力変動吸着分離法が共通するからといって、甲第３号証の上記した「原料ガスを導入すると共に吸着を終えた吸着筒のガスを導入する」という均圧手段を直ちに製品ガス加圧のない甲第１発明に適用することができるとはいえない。
（ｂ−２）資料刊行物の検討
　資料刊行物の記載事項ア、イには「圧力揺動吸着法により空気から窒素を製造する」ことが記載される。また、記載事項エに「各塔は吸着、部分均等化、降圧、パージ、生成物再加圧およびフィード再加圧の諸工程を経てサイクルされる。・・・この部分”底部”均等化工程につづいて・・・」と記載され、この記載中「この部分”底部”均等化工程につづいて」の前段の記載からみて「部分均等化工程」が「部分換気とともにフィード再加圧」によって行われる均圧工程といえ、また、「部分均等化工程」は「降圧、パージ、生成物再加圧の工程」を経たものいえる。その「部分均等化工程」については同事項エに「再生された塔の最終加圧は、その吸着サイクルをすでに完了した塔の底部からの換気ガスと、オープンバルブ”１”および”２”を経由する圧縮フィード空気との実質的同時導入により吸着圧力の４０％乃至８０％に達するまで行われる」と記載される。また、記載事項ウには「ゼオライト類も使用されうる」旨が記載されている。これらのことから、ゼオライト類が使用できる「圧力揺動吸着法」において「均圧工程は、下部均圧であって原料空気と共に吸着工程の完了した塔内のガスを導入する」ことが資料刊行物に記載されているといえる。しかしながら、下部均圧する塔は、上記したとおり、再生である降圧、パージの工程に生成物再加圧を経た塔であり、また「生成物再加圧」は、記載事項エ及びオから吸着塔Ａに着目してみると「バルブ２、５、６を開けて、生成物再加圧となり、その時にはバルブ１及び３が閉じられ」、その状態でバルブ６の開により「吸着塔Ａは生成物タンクからの生成ガスにより再加圧されている」とみれる。そうすると、資料刊行物の「生成物再加圧」は実質的に甲第３号証に記載される「製品ガス加圧」と同じであるから、資料刊行物に記載された技術的事項を甲第１発明に適用するには、上記「（ｂ−１）」で述べたと同じ阻害要因があり、困難と云わざるを得ない。
（ｂ−３）なお、相違点ｂ１に関し、請求人は、口頭審理陳述要領書第１２頁下から３行〜第１３頁１１行で「本件特許明細書（特許公報）の第３頁左欄３６行〜４０行には『状態均圧工程において、原料空気の供給を継続しながら均圧を実施することにより、原料空気の供給分だけ筒内圧力を高めることができるが、原料空気を止めても均圧工程が短時間であるから同様の作用効果を得ることができる』旨記載されている。このことは、下部均圧工程における原料空気の供給の要否は、作用効果上格別の差異は無いことを意味している。・・・よって本件特許発明の下部均圧工程は、甲第１号証のＰＳＡにおける下部均圧工程に、甲第３号証に記載のような、原料空気と共に導入する技術を適用することにより当業者に容易に行える」旨主張している。しかしながら、上記主張は、「短時間である」ことの前提を欠いたものであり、その記載から請求人が主張する「原料空気の供給の要否は、作用効果上格別の差異は無い」とは直ちにいえない。また、仮に「短時間」を前提にその様に云えたとしても、本件特許明細書の記載があるからといって、出願前に知られていたものではないし、また上記事項が出願前に周知のものであるともいえないのであるから、甲第１号証のＰＳＡにおける下部均圧工程に、甲第３号証に記載の「原料空気と共に導入する技術」を適用することにより当業者に容易に行えることにはならない。
　また、請求人は、口頭審理において「甲第３号証に短時間で行うとの記載があるから、組み合わせは容易である」旨（第１回口頭審理調書）主張する。そこで、甲第３号証をみると記載事項サに「窒素が脱着しないうちに出来るだけ短時間で行う」旨が記載され、第１ケース即ち原料端部から原料端部へガスを移動させるときには「１〜７秒で２筒間の圧力差を０．０１ｋｇ／ｃｍ３に出来る」と記載されている。しかしながら、甲第３号証は、前述したとおり「製品ガス加圧」を行った後で均圧を行うものであるのであり、また、記載事項サからみると「原料端部から原料端部へガスを移動させるのに加えて、製品端部から製品端部へもガスを移動させる第２のケース」によって更に短時間に行えると示唆されているとみれ、甲第１発明において甲第３号証の「短時間に」行うようにしようとすると、入口側端と出口側端を双方連結して均圧を行っているものをわざわざ入口側端に変更しないとみる方が自然であるから、この主張も認めることができない。
　また更に、請求人は、上申書第６頁１０〜２０行において「下部均圧は窒素ＰＳＡにも酸素ＰＳＡにも適用されていること、また下部均圧は、４工程からなるＰＳＡにも５工程或いはそれ以上の工程数からなるＰＳＡにも適用されていること。更に下部均圧の前段階の工程が、吸着工程や再生工程のＰＳＡであろうと、或いは生成物再加圧工程のＰＳＡであろうと適用されていること。逆に言えば、下部均圧工程において原料空気と同時に導入することは参考資料２のように５工程からなるＰＳＡのみに実現される技術ではないこと、及びその前段階が生成物再加圧工程であるＰＳＡのみに実現される技術でもないことは、明らかである」と主張している。しかしながら、「５工程からなるＰＳＡのみに実現される技術でもない」とか「前段階が生成物再加圧工程であるＰＳＡのみに実現される技術でもない」とかは「下部均圧」についていえても、「下部均圧工程において原料空気と同時に導入すること」についての根拠は依然不明であるから、この主張も認めることはできない。
（ｃ）相違点ｃ１について、相違点ｃ１に係る「再生工程は、吸着筒内のガスの放出」については、甲第１号証の記載事項アには「脱着排気」とあるのみで、具体的な排気については記載がない。しかしながら、甲第１号証の記載事項ウに「排気の方法は、大気圧に開放してもよいし、また真空ポンプによって排気してもよい」旨記載されている。この記載は、甲第１発明に係る従来技術においてのものではないが、排気を大気開放で行うことが普通に行われていることを示すものであり、また、そのことは、排気手段として資料刊行物の記載事項エや乙第２号証の第１２８頁１８〜２０行の「現在実用化されているＰＳＡ酸素製造装置は、・・（１）加圧型（大気圧減圧、パージ脱着型）　（２）真空型（真空脱着または真空パージ脱着型）」にみられるように周知慣用の常套手段であるので、大気圧排気と真空排気とが再生・吸着効率等で設計上違いがあるにせよ、甲第１発明において、大気開放とすることに格別困難があるとはいえない。
（ｄ）以上したことに加え全体的にみると、相違点ａ１及びｃ１は独自にみれば上記（ａ）及び（ｃ）でみたとおりであるが、本件訂正発明１は、圧力変動吸着分離法により酸素を製造する方法において、上記相違点ｂ１の構成を採ることにより、相違点ａ１及びｃ１の構成と相俟って、均圧工程を短時間で終了させ、次の減圧パージ工程の時間をサイクルタイムに比べて十分に長く取ることにより、再生度を高め、製品酸素の純度を高めるとともに純度の安定性や回収率を向上させ、ひいては少ない吸着剤量で従来と同等以上の製品量を得ることができ、吸着筒や空気圧縮機等の小形化が図れ、装置全体を大幅に小形化するものであり、こうした技術思想は甲第１号証、甲第３号証及び資料刊行物のいずれからも見出すことはできないし、また、かかる構成によって上記したとおりの本件特許明細書に記載の効果を奏するものといえる。
　以上のとおりであるから、本件訂正発明１は甲第１発明と甲第３号証或いは資料刊行物に記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
１−２．本件訂正発明２について
　本件訂正発明２は、本件訂正発明１を引用し、本件訂正発明１の構成に加え、更に「均圧工程の時間」の構成を付加するものであるから、上記「１−１．」と同様の理由があることは明白であるから、甲第１発明と甲第３号証或いは資料刊行物に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
２．無効理由２について
２−１．本件訂正発明１について
　甲第２号証には、記載事項キに実施例ＩＩＩとして「２つの容器１０、１２が８つの工程を行って圧力スイング法により窒素を製造する方法」が記載され、この「８つの工程」は容器１０に着目すると「１：新原料で加圧、２：Ｎ２プロダクトの生産、３：上方拡散セルでプロダクトを精製、容器１２へパージガスを提供、４：容器１２と均圧化、５：大気へ直接排出、６：大気へ直接排出、７：上方拡散セルからの透過流でパージ、８：容器１２と均圧化」であり、記載事項イを参酌して作用や弁動作からみれば「１：新原料で加圧、２：Ｎ２プロダクトの生産、３：上方拡散セルでプロダクトを精製、容器１２へパージガスを提供、」が「吸着工程」に、「４：容器１２と均圧化」が「均圧工程」に、「５：大気へ直接排出、６：大気へ直接排出、７：上方拡散セルからの透過流でパージ」が「再生工程」に、「８：容器１２と均圧化」が「均圧工程」に相当するとみれる。そして、この「均圧工程」では、記載事項キ、クの実施例ＩＩＩの弁動作からみると「弁２８が閉鎖され、弁３２及び弁３６が開放され、弁１３４及び弁１３６が開放されている」ので、「容器１０は原料空気が止められ、原料の入口側同士と出口側同士の双方で均圧している」とみれる。また、「再生工程」では「弁４０及び弁５４が開放されて、その状態で弁１２１及び弁１３４が開放され、弁１１４、弁１１８が開放される」ので、「容器１０は大気へ直接排気された後、その状態で上方拡散セルからの透過流でパージされる」とみれる。これらのことから、甲第２号証には、記載事項ア〜キを本件訂正発明１の記載振りに則して整理すると、「吸着剤を充填した２つの吸着容器を、吸着工程、均圧化工程、脱着工程、均圧工程に順次切替えて圧力スイング法により空気から窒素を分離する方法であって、均圧工程は、原料空気を止めて吸着容器筒の原料の入口側同士と出口側同士の双方を連結して行い、再生工程は直接大気排出して行う方法」の発明（以下、「甲第２発明」という。）が記載されているといえる。
　そこで、本件訂正発明１と甲第２発明を対比すると、甲第２発明の「圧力スイング」は、本件訂正発明１の「圧力変動吸着」に相当し、「均圧工程」については実施例ＩＩＩの記載から「吸着工程を終えた吸着筒と、前記再生工程を終えた吸着筒を均圧」していることは明らかであるから、両者は、「吸着剤を充填した２筒の吸着筒を、吸着工程、均圧工程、再生工程、均圧工程の４工程に順次切替えて空気から分離する圧力変動吸着分離方法であって、前記均圧工程は、前記吸着工程を終えた吸着筒の原料供給弁と、前記再生工程を終えた吸着筒の原料供給弁とをそれぞれ開いて両吸着筒の原料供給端同士を連通させ、再生工程は、吸着筒内のガスを大気に放出する」点で一致し、次の点で相違している。
　相違点ａ２：本件訂正発明１は「空気から酸素を分離する圧力変動吸着分離方法」であるのに対し、甲第２発明では「空気から窒素を分離する」ものである点
　相違点ｂ２：本件訂正発明１は「均圧工程」が「吸着工程を終えた吸着筒内に充圧されていたガスを、空気圧縮機から供給される原料空気と共に再生工程を終えた吸着筒に導入することで行う」のに対し、甲第２発明では「原料空気の供給を止めて吸着筒の入口側同士を連結して行う」と共に「出口側同士でも連結して行う」点
　そこで、これらの相違点について検討すると、相違点ａ２については、上記「１．無効理由１について」の相違点ａ１と同じであるから、上記「１−１．（ａ）」でみたとおり、相違点ａ２は格別のものとはいえない。しかしながら、相違点ｂ２については、前記「１．無効理由１について」の相違点ｂ１と同じであるから、上記「１−１．（ｂ）及び（ｄ）」で述べた理由により、本件訂正発明１は、甲第２発明と甲第３号証或いは資料刊行物に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
２−２．本件訂正発明２について
　本件訂正発明２は、本件訂正発明１を引用し、本件訂正発明１の構成に加え、更に「均圧工程の時間」の構成を付加するものであるから、上記「２−２．」と同様の理由があることは明白であるから、甲第２発明と甲第３号証或いは資料刊行物に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
３．無効理由３について
３−１．本件訂正発明１について
　甲第３号証の記載事項アには、「本発明は、圧力変動吸着法を利用して空気から濃縮酸素ガスを得るためのものである」こと、また、「吸着剤を充填した３個の吸着筒Ａ、Ｂ，Ｃに対し、以下の各工程を順次繰り返す」ことが記載され、その「以下の各工程」として、記載事項イ〜ケに「８つの工程」が記載されている。吸着筒Ａに着目して、これらの記載事項ア〜ケ及びセをみてみると、この「８つの工程」は、「工程１：吸着、工程２：吸着、工程３：均圧、工程４：減圧、工程５：真空排気、工程６：パージ、工程７：製品ガス加圧、工程８：均圧」といえる。また「均圧」の「工程３」及び「工程８」は、記載事項エ及びケから「吸着を終えた吸着筒の原料端部から製品ガス加圧を終えた吸着筒の原料端部に原料空気とともに供給して」実施しているものといえる。そして、「工程５」にみられるように排気は真空ポンプにより「真空排気」されている（記載事項カ）。以上のことから、甲第３号証には、記載事項ア〜ク及びセを、本件訂正発明１の記載振りに則して整理すると、「吸着剤を充填した３個の吸着筒を、工程１：吸着、工程２：吸着、工程３：均圧、工程４：減圧、工程５：真空排気、工程６：パージ、工程７：製品ガス加圧、工程８：均圧の８つの工程を順次繰り返して圧力変動吸着方法により空気から酸素を分離する方法であって、均圧は吸着を終えた吸着筒の原料端部から製品ガス加圧を終えた吸着筒の原料端部に原料空気とともに供給して行い、排気は真空排気で行う方法」の発明（以下、「甲第３発明」という。）が記載されているといえる。
　そこで、本件訂正発明１と甲第３発明を対比すると、「工程」の作用や弁操作からみて甲第３発明の「工程１、２」は「製品ガスを流出している」ことから本件訂正発明１の「吸着工程」に相当し、また、「工程３、８」は「吸着が終了した吸着筒と製品ガス加圧が終了した吸着筒の原料端部を連結して、原料ガスを導入しながら、前者から後者にガスを供給して両筒を均圧する」ことから「均圧工程」とはいえる。しかしながら、この均圧工程については上記「１−１．（ｂ）」で述べたとおり、本件訂正発明１とは均圧対象となる吸着筒の状態に違いがある。また、甲第３発明の「工程４〜７」については、「工程４」では、吸着筒Ａは、弁１Ａが閉じられて原料ガスの供給を止め、弁５Ｃの開放によりＡ筒の濃縮酸素ガスがＣ筒にパージさせながら真空排気され、Ａ筒は減圧され、「工程５」では、弁５Ｃが閉じられ、弁３Ａが開かれるので、Ａ筒は真空排気される。「工程６」では、弁１Ｂが閉じられて弁５Ａが開かれることから、Ｂ筒の製品端部から濃縮酸素ガスが供給され、パージされながら真空排気される。そして、「工程７」では、弁３Ａ、５Ａが閉じられ、弁４Ａが開かれて、真空排気を止めるとともにパージ工程を終了したＡ筒の製品端部へ製品貯留タンクより製品ガスが供給されて加圧される。つまり、「工程４〜６」は真空排気によって減圧・排気・パージを行って脱着させて再生しているものとみれる。その意味で「工程４〜６」は、排気・パージを行う本件訂正発明１の「再生工程」に相当するものといえるが、「工程７」は排気を止めて製品ガスにより加圧するものであるから、「再生工程」とは別の工程としての「製品ガス加圧工程」を有するものとみれる。以上のことから、両者は「吸着剤を充填した吸着筒を、吸着工程、均圧工程、再生工程、均圧工程を切替えて空気から分離する圧力変動吸着分離方法であって、均圧工程は、前記吸着を終えた吸着筒の原料供給弁と、吸着筒の原料供給弁とをそれぞれ開いて両吸着筒の原料供給端同士を連通させて、吸着を終えた吸着筒内に充圧されていたガスを、空気圧縮機から供給される原料空気と共に吸着筒に導入することで行う」点で一致し、次の点で相違している。
　相違点ａ３：本件訂正発明１は「２筒の吸着筒を、吸着工程、均圧工程、再生工程、均圧工程の４工程に順次切替え」るのに対し、甲第３発明では「３個の吸着筒を、吸着工程、均圧工程、再生工程、製品ガス加圧工程、吸着工程の５つの工程を順次繰り返」す点
　相違点ｂ３：本件訂正発明１は「前記均圧工程は、前記吸着工程を終えた吸着筒の原料供給弁と、前記再生工程を終えた吸着筒の原料供給弁とをそれぞれ開いて両吸着筒の原料供給端同士を連通させて、前記吸着工程を終えた吸着筒内に充圧されていたガスを、空気圧縮機から供給される原料空気と共に前記再生工程を終えた吸着筒に導入することで行う」のに対し、甲１発明では「均圧は吸着を終えた吸着筒の原料端部から再生工程の後の製品ガス加圧工程を終えた吸着筒の原料端部に原料空気とともに供給して行う」点
　相違点ｃ３：本件訂正発明１は「前記再生工程は、吸着筒内のガスを大気に放出することで行う」のに対し、甲第３発明では、「排気は真空排気で行う」のである点
　そこで、これら相違点について、さらに甲第３号証をみてみると、
　相違点ａ３、ｂ３については、いずれも甲第３発明が「製品ガス加圧工程」を有することに起因するので、併せて検討すると、甲第３発明の「製品ガス加圧」とは、記載事項カによれば「パージ工程を終了した吸着筒へ製品貯留タンクより製品ガスを供給し加圧する」ものであり、その操作により「吸着筒の製品端部側から順次酸素分圧をより高め、パージ終了後も吸着筒製品端部側に吸着して残存している窒素ガスを脱着させて原料端部側に押しさげるとともに、一旦吸着筒製品端部より流出した製品ガスを再度吸着筒に戻して微量の窒素まで吸着剤に吸着させ」るものであって、「低窒素濃度の製品ガスを安定して得るためには欠く事の出来ない操作」（記載事項シ）であり、また記載事項コで「発明の第一は吸着（工程２）の終了した筒から製品加圧（工程７）による再生を終了した筒へのガスの移動、均圧の操作である」と述べているように、製品加圧と均圧操作とは密接な関係を有し、甲第３発明は、製品ガス加圧操作を前提としたものであることは明らかであるから、甲第３発明において「製品ガス加圧工程」を除くことには、阻害要因があるといわざるを得ない。また、本件訂正発明１と甲第３発明とは、前記「１−１．（ｂ）」でみたとおり「製品ガス加圧工程」それに伴い均圧工程の意味合いの違いがあるのであるから、「製品ガス加圧工程」を除き「再生工程を終えた段階」で上記した均圧操作を行うことが容易に想到し得るといえることにはならない。
　したがって、相違点ｂ３は上記以外にも吸着筒の数の違いがみられるが、これについては、圧力変動吸着法において２個以上の吸着筒で行うことは周知であるから、システム構築上工夫を要するとしても３個の吸着筒における工程操作を２個のものに適用できないとまではいえないし、また、相違点ｃ３については、上記「１．無効理由１について」の相違点ｃ１についての上記「１−１．（ｃ）」で検討しているとおり、相違点ｃ３については格別のものとはいえないものの、本件訂正発明１は、圧力変動吸着分離法により酸素を製造する方法において、上記相違点ａ３、ｂ３の構成を採用することによって、相違点ｃ３の構成と相俟って、酸素少ない吸着剤量で従来と同等以上の製品量を得ることができ、吸着筒や空気圧縮機等の小形化が図れ、装置全体を大幅に小形化することができる等本件特許明細書に記載する効果を奏するものといえる。
　以上のとおりであるから、本件訂正発明１は甲第３発明と同一であるとも、甲第３発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものともすることができない。
３−２．本件訂正発明２について
　本件訂正発明２は、本件訂正発明１を引用し、本件訂正発明１の構成に加え、更に「均圧工程の時間」の構成を付加するものであるから、上記「３−１．」と同様の理由があることは明白であるから、本件訂正発明２は甲第３発明であるとも、甲第３発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものともすることができない。
４．無効理由４について
  請求人は（ｉ）特許請求の範囲請求項１に記載される「吸着工程」、「再生工程」の意味が不明瞭であり、また（ｉｉ）「吸着工程を終えた」「再生工程を終えた」の「終えた」がいかなる意味を奏するのか不明瞭である、と主張している。
（ｉ）「吸着工程」及び「再生工程」に関し、本件特許明細書には「まず、初期の３０秒間（工程１）は、一方の吸着筒Ａ（以下、Ａ筒と称する。）が吸着工程、他方の吸着筒Ｂ（以下、Ｂ筒と称する。）が再生工程の一部である減圧パージステップにある。この間、空気圧縮機２で所定圧力に圧縮された原料空気は、原料空気弁５ａを介してＡ筒に導入されており、該空気中の窒素が吸着剤に吸着され、弱吸着成分である酸素が製品導出端から導出されている。Ａ筒から導出された酸素は、一部がオリフィス４を経由してＢ筒の製品導出端からＢ筒内に導入され、残部が製品酸素となり製品導出弁６ａを介して製品槽３に貯留される。一方Ｂ筒においては・・・前記オリフィス４を介して導入される酸素により筒内がパージされる。この時、Ｂ筒の原料供給弁５ｂと製品導出弁６ａ及びＡ筒の排気弁７ａが閉じられている。」（特許公告公報第２頁第４欄２０〜３４行、記載ｘ）、「６秒間の均圧工程を終えた後は、Ｂ筒が３０秒間の吸着工程に入り、Ａ筒が減圧パージ工程に入る（工程３）。即ち、Ｂ筒の原料供給弁５ｂと製品導出弁６ｂ及びＡ筒の排気弁７ａが開となり、他の弁が閉じられる。」（特許公告公報第２頁第４欄４３〜４６行、記載ｙ）、及び第２図には「工程１でＡ筒が『吸着』、Ｂ筒が『減圧パージ』、工程３でＡ筒が『減圧パージ』、Ｂ筒が『吸着』」（特許公告公報第４頁、記載ｚ）と記載されている。これらの記載からみれば、「吸着工程」は「原料空気を吸着筒に導入し、空気中の窒素を吸着剤に吸着し、弱吸着成分である酸素を製品導出端から導出する」ものといえる。一方、「再生工程」については、上記記載ｘの「再生工程の一部である減圧パージステップ」、上記記載ｙの「減圧パージ工程」並びに上記記載ｘの「減圧パージ」の記載のみからみると、「再生工程」と「減圧パージ工程」の関係が必ずしも明確とはいえない。しかしながら、口頭審理において被請求人は「再生工程の一部に減圧パージステップがあり、再生工程には、減圧をした後に減圧パージステップに入ってゆく意味合いで、減圧パージ工程と再生工程は同じ」旨（第１回口頭審理調書参照）釈明しており、更に、上記記載ｘ及びｙの弁の開閉をもみると「吸着筒Ａでは、排気弁７ａが開で他の弁、すなわち原料空気弁５ａが閉じられている」ことから、「再生工程」は「原料供給端が閉鎖され、排気弁が大気に開放されている」もので「減圧パージ工程」と解することができる。以上のことから、「吸着工程」及び「再生工程」について当業者がその発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分な記載がないとはいえない。
（ｉｉ）「吸着工程を終えた」「再生工程を終えた」の「終えた」の意味については、いずれも「均圧工程」に関連した構成であるので、「均圧工程」をみておくと、「均圧工程」については、特許明細書には「次の６秒間（工程２）は、両筒の原料供給端を連通させる均圧工程である。即ち、Ｂ筒の排気弁７ｂが閉じられるとともに両原料供給弁５ａ、５ｂが開かれてＡ筒内に所定圧力で充圧されていたガスがＡ筒の原料供給弁５ａを逆流して空気圧縮機２から供給される原料空気と共にＢ筒の原料供給弁５ｂからＢ筒内に導入される。この時、Ａ筒の製品導出弁６ａは、開あるいは閉いずれの状態でも差支えない。」（特許公告公報第２頁第４欄３５〜４２行、記載ｗ）と記載されている。この記載ｗからみると「吸着工程を終えた」とは「均圧工程に入る時点のＢ筒の排気弁７ｂを閉、Ａ・Ｂ筒の原料供給弁５ａ、５ｂが開に操作された」とき、すなわち「Ａ筒内のガスが逆流を開始した」ときを意味し、同様に「再生工程を終えた」とは「均圧工程に入る時点のＢ筒の排気弁７ｂを閉、Ａ・Ｂ筒の原料供給弁５ａ、５ｂが開に操作された」とき、すなわち「排出が停止されて原料空気がＡ筒内のガスとともに導入された」ときとみれる。してみると、「吸着工程を終えた」「再生工程を終えた」についても、当業者がその発明の実施をすることができる程度に明確かつ十分な記載がないとはいえない。したがって、請求人の上記した記載不備の主張は採用することができない。
ＶＩＩＩ．結び
　以上のとおりであるから、請求人の主張及び証拠方法によっては、本件訂正後の請求項１及び２に係る発明についての特許を無効にすることはできない。
　審判に関する費用については、特許法第１６９状第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、請求人が負担すべきものとする。
　よって、結論のとおり審決する。