【事件の表示】
　特許第５６９１２２８号「感光性接着剤組成物、フィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法」の請求項１、３ないし６、８ないし１１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５６９１２２８号の特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正特許請求の範囲のとおり訂正することを認める。
　特許第５６９１２２８号の請求項１、３ないし６、８ないし１１に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯 
　特許第５６９１２２８号の請求項１、３ないし６、８ないし１１に係る発明についての出願は、平成２２年４月７日に特許出願され、平成２７年２月１３日に特許の設定登録がされ、その後、その特許について、特許異議申立人特許業務法人朝日奈特許事務所（以下、「特許異議申立人」という。）により特許異議の申立てがなされ、平成２７年１２月４日付けで取消理由が通知され、その指定期間内である平成２８年２月２日に意見書の提出及び訂正請求があり、さらに平成２８年３月１６日付けで特許異議申立人から特許法第１２０条の５第５項に基づく意見書の提出があったものである。 
  
第２　訂正請求について 
１　訂正の内容 
　本件訂正請求による訂正の内容は以下の（１）、（２）のとおりである。 
（１）請求項１及び４に「ベースポリマー」とあるのを、「主鎖にイミド基を有するポリマーを含むベースポリマー（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）」に訂正する。 
（２）請求項２を削除する。 
　そして、これら訂正は、請求項１の記載を引用する請求項３、並びに、請求項１及び４の記載を引用する請求項５ないし１１も同様に訂正することが本件訂正請求書の訂正事項において明示されていて、一群の請求項ごとに請求されたものである。 
 
２　訂正の目的の適否、一群の請求項、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記（１）の訂正の内、「主鎖にイミド基を有するポリマーを含むベースポリマー」の点については、訂正前の本件特許明細書【００２０】に「ベースポリマーは、主鎖にイミド基を有するポリマーを含むことが好ましい。」と記載されていたのに加え、訂正前の請求項２において「ベースポリマーが、主鎖にイミド基を有するポリマーを含む」と規定されていたことに基づくものである。また、同じく「（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）」の点については、所謂除くクレームとする訂正であって、新たな技術的事項を導入するものではない。よって、上記（１）の訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
　上記（２）の訂正は、請求項２を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。 
３　独立特許要件
　請求項７については、請求項１及び４の記載を引用する一群の請求項として訂正を請求するものである。そして、請求項１及び４についての訂正は、上記２のとおり特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるから、請求項７についての訂正も同様の目的においてなされたものと認める。請求項７は特許異議の申立てがされていない請求項であるので、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第７項に基づき、訂正後の請求項７についての独立特許要件を以下に検討する。
３−１　訂正後の請求項７が引用する請求項４について
（１）訂正前の請求項４に係る取消理由の概要
ア　本件特許発明
　特許第５６９１２２８号の請求項１に係る発明（以下、「本件発明１」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものと認められる。 
 「【請求項１】 
　ベースポリマーと、光重合性化合物と、熱硬化性成分と、を含有する感光性接着剤組成物であって、 前記光重合性化合物が、官能基当量が２５０〜１３００である光重合性化合物を含み、 
 前記官能基当量が２５０〜１３００である光重合性化合物が、下記一般式（１）、（４）又は（５）で表される化合物である、感光性接着剤組成物。 
 【化１】
  ［式中、ｎ及びｍはそれぞれ０以上、且つ、ｎ＋ｍ＝３〜３０となる数を示す。］ 
 【化２】 
  ［式中、ｐ及びｑはそれぞれ０以上、且つ、ｐ＋ｑ＝４〜３０となる数を示す。］ 
 【化３】 
 ［式中、Ｒは水素原子又はメチル基を示し、ｒ、ｓ、ｔ及びｕはそれぞれ０以上、且つ、ｒ＋ｓ＋ｔ＋ｕ＝３〜３０となる数を示す。］ 」
　同じく、請求項４に係る発明（以下、「本件発明４」という。）は、その特許請求の範囲の請求項４に記載された事項により特定される、以下のとおりのものであると認められ、実質上、本件発明１において「光重合性化合物が、官能基当量が２５０〜１３００である」という発明特定事項が除外されたものに相当する。 
「【請求項４】
　ベースポリマーと、光重合性化合物と、熱硬化性成分と、を含有する感光性接着剤組成物であって、 前記光重合性化合物が、下記一般式（１）、（４）又は（５）で表される化合物を含む、感光性接着剤組成物。 
 【化４】
  ［式中、ｎ及びｍはそれぞれ０以上、且つ、ｎ＋ｍ＝３〜３０となる数を示す。］ 
 【化５】
 ［式中、ｐ及びｑはそれぞれ０以上、且つ、ｐ＋ｑ＝４〜３０となる数を示す。］ 
 【化６】 
 ［式中、Ｒは水素原子又はメチル基を示し、ｒ、ｓ、ｔ及びｕはそれぞれ０以上、且つ、ｒ＋ｓ＋ｔ＋ｕ＝３〜３０となる数を示す。］ 」
イ　理由Ａ（特許法第２９条第１項第３号）について 
イ−１　刊行物  
 　特開２００９−６９６６４号公報（以下、「甲１文献」という。） 
　 特開２００８−２３９８０２号公報（以下、「甲２文献」という。） 
イ−２　甲１文献の記載事項 
（ア）「【請求項１】 
　（Ａ）主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂、（Ｂ）分子内に感光性基を少なくとも１つ有する（Ａ）以外の感光性化合物、（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄ）熱硬化性化合物を少なくとも含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 
 …… 
【請求項１２】 
　請求項１〜１０のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を基材表面に塗布、乾燥して得られる感光性フィルム。 
 ……」（特許請求の範囲）  
 　  
（イ）「上記状況に鑑み、本発明の課題は、感光性を有するため微細加工が可能であり、希アルカリ水溶液で現像可能であり、低温（２００℃以下）で硬化可能であり、シロキサンジアミンを用いずに、柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、ハンダ耐熱性、耐有機溶剤性に優れ、硬化後の基板の反りが小さく、封止剤との密着性に優れる感光性樹脂組成物を提供することにある。」（段落【００１４】）  
  
（ウ）「＜（Ｄ）熱硬化性化合物＞ 
　本願発明の感光性樹脂組成物には、上記熱硬化性化合物の硬化剤として、特に限定されないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、アミノ樹脂、ユリア樹脂、メラミン、ジシアンジアミド等が挙げられ、これらを単独で又は２種類以上を組み合わせて使用できる。」（段落【０１０５】）  
  
（エ）「本願発明の感光性樹脂組成物を直接又は、上記感光性樹脂組成物溶液を調整した後に、以下のようにしてパタ−ンを形成することができる。先ず上記の感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、乾燥して有機溶媒を除去する。基板への塗布はスクリ−ン印刷、ローラーコーティング、カ−テンコーティング、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により行うことができる。塗布膜（好ましくは厚み：５〜１００μｍ）の乾燥は１２０℃以下、好ましくは４０〜１００℃で行う。乾燥後、乾燥塗布膜にネガ型のフォトマスクを置き、紫外線、可視光線、電子線などの活性光線を照射する。次いで、未露光部分をシャワー、パドル、浸漬または超音波等の各種方式を用い、現像液で洗い出すことによりパタ−ンを得ることができる。なお、現像装置の噴霧圧力や流速、現像液の温度によりパターンが露出するまでの時間が異なる為、適宜最適な装置条件を見出すことが好ましい。 
　上記現像液としては、アルカリ水溶液を使用することが好ましく、この現像液には、メタノ−ル、エタノ−ル、ｎ−プロパノ−ル、イソプロパノ−ル、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等の水溶性有機溶媒が含有されていてもよい。……」（段落【０１１６】〜【０１１７】）  
 　  
（オ）「本願発明の感光性樹脂組成物から形成した硬化膜からなるパタ−ンは、耐熱性、電気的及び機械的性質に優れており、特に柔軟性に優れている。例えば、この発明の絶縁膜は、好適には厚さ２〜５０μｍ程度の膜厚で光硬化後少なくとも１０μｍまでの解像性、特に１０〜１０００μｍ程度の解像性である。この為、本願発明の絶縁膜は高密度フレキシブル基板の絶縁材料として特に適しているのである。また更には、光硬化型の各種配線被覆保護剤、感光性の耐熱性接着剤、電線・ケーブル絶縁被膜等に用いられる。」（段落【０１２０】）  
 　  
（カ）「（実施例１〜１１、比較例１） 
　合成例１〜１０で得られたポリイミド樹脂に、感光性化合物、光重合開始剤、熱硬化性化合物、有機溶剤を添加して感光性樹脂組成物を作製した。それぞれの構成原料の樹脂固形分での配合量及び原料の種類を表１〜３に記載する。なお、表中の溶媒である１，２-ビス（２-メトキシエトキシ）エタンは上記合成樹脂溶液等に含まれる溶剤等も含めた全溶剤量である。」（段落【０１３３】）  
 　  
（キ）「（ポリイミドフィルム上への塗膜の作製） 
　上記感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて、７５μｍのポリイミドフィルム（株式会社カネカ製：商品名７５ＮＰＩ）に最終乾燥厚みが２５μｍになるように１００ｍｍ×１００ｍｍの面積に流延・塗布し、８０℃で２０分乾燥した後、５０ｍｍ×５０ｍｍの面積のライン幅／スペース幅＝１００μｍ／１００μｍのネガ型フォトマスクを置いて減圧下で紫外線を３００ｍＪ／ｃｍ２露光して感光させた。この感光フィルムに対し、１．０重量％の炭酸ナトリウム水溶液を３０℃に保温した溶液を用いて、１．０ｋｇｆ／ｍｍ２の吐出圧で９０秒スプレー現像を行った。現像後、純粋で十分洗浄した後、１５０℃のオーブン中で６０分加熱乾燥させて感光性樹脂組成物の硬化膜を作製した。」（段落【０１３５】）  
  
（ク）「（反り量） 
　上記感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて、２５μｍ厚みのポリイミドフィルム（株式会社カネカ製アピカル２５ＮＰＩ）に最終乾燥厚みが２５μｍになるように１００ｍｍ×１００ｍｍの面積に流延・塗布し、８０℃で２０分乾燥した。この全面を減圧下で紫外線を３００ｍＪ／ｃｍ２露光して感光させた。この感光フィルムに対し、１．０重量％の炭酸ナトリウム水溶液を３０℃に加熱した溶液を用いて、１．０ｋｇｆ／ｍｍ２の吐出圧でスプレー現像を行った。但し、全面が露光されているため、膜面積の変化は見られなかった。現像後、純粋で十分洗浄した後、１５０℃のオーブン中で６０分加熱乾燥させて感光性樹脂組成物の硬化膜を作製した。 
　この硬化膜を５０ｍｍ×５０ｍｍの面積のフィルムに切り出して平滑な台の上に塗布膜が上面になるように置き、フィルム端部の反り高さを測定した。測定部位の模式図を図１に示す。ポリイミドフィルム表面での反り量が少ない程、プリント配線板表面での応力が小さくなり、プリント配線板の反り量も低下することになる。反り量は５ｍｍ以下であることが好ましい。」（段落【０１４０】〜【０１４１】）  
 　  
（ケ）「【表１】 
 
  【表２】 
  【表３】 
 
 
 ※１：新中村化学工業株式会社製、商品名ＮＫエステル　ＢＰＥ−５００（エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレート、ＥＯ＝１０） 
 ※２：日本化薬株式会社製、商品名ＫＡＹＡＲＡＤ　ＺＡＲ−１４０１Ｈ（多塩基酸無水物変性エポキシアクリレート樹脂） 
 ※３：チバスペシャルティケミカルズ製、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタノン−１　 
 ※４：ジャパンエポキシレジン株式会社製、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂 
 ※５：旭化成ケミカルズ株式会社製、商品名デュラネートＴＰＡ−Ｂ８０Ｅ（ヘキサメチレンジイソシアネート系ブロックイソシアネート化合物） 
 ※６：日本アエロジル株式会社製、超微粒子状無水シリカ」（段落【０１６１】〜【０１６３】 
イ−３　甲２文献の記載事項  
（ア）「【請求項１】 
 （Ａ）ポリアミック酸と、 
 （Ｂ）分子内にエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、 
 （Ｃ）光重合開始剤と、 
 を含む感光性接着剤組成物。 
 【請求項２】 
 更に（Ｄ）架橋剤を含む、請求項１に記載の感光性接着剤組成物。……」（特許請求の範囲）  
  
（イ）「本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、十分に高い接着強度が得られるとともに、基板（被接着部材）との間にボイドが生じることを十分に抑制することが可能な感光性接着剤組成物及び基板の接着方法を提供することを目的とする。」（段落【０００９】） 
  
（ウ）「また、本発明の感光性接着剤組成物には、更に（Ｄ）架橋剤を加えてもよい。（Ｄ）架橋剤としては、特に制限されないが、エポキシ化合物、ブロック化イソシアネート化合物などが挙げられる。エポキシ化合物として具体的には、ＹＨ−４３４Ｌ（商品名、東都化成株式会社製、アミン型エポキシ樹脂）が好ましい。また、ブロック化イソシアネート化合物として具体的には、ＢＬ−３１７５（商品名、住化バイエルウレタン株式会社製、ブロック化イソシアネート）が好ましい。これらの架橋剤を添加すると、硬化後の感光性接着剤組成物の接着性をより向上させることができる。」（段落【００６５】） 
  
（エ）「次に、感光性接着剤組成物を塗布した基板を乾燥して、感光性接着剤組成物からなる感光性接着剤組成物層を得る。乾燥は、オーブン、ホットプレートなどを使用し、６０〜１２０℃の範囲で１分〜１時間行うことが好ましい。 
　次に、この感光性接着剤組成物層上に必要に応じて所望のパターンを有するマスクを置き、それを介して活性光線を照射して露光する。露光に用いられる活性光線としては、紫外線、可視光線、電子線、Ｘ線などが挙げられる。これらの中でも特に、紫外線、可視光線が好ましい。 
　露光後に、現像液を用いて未露光部を除去することにより、パターンを形成することができる。ここで、現像液としては、Ｎ−メチルピロリドン、エタノールのような有機溶剤、または炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラエチルアンモニウムハイドロオキサイド等のアルカリ水溶液などを使用することができる。これらの中でも、金属性イオン化合物が少ないことから、感光性接着剤組成物の現像には、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドを用いることが好ましい。」（段落【００７５】〜【００７７】） 
  
（オ）「（合成例１） 
　３００ｍＬの４つ口セパラブルフラスコに、４，４’−ジアミノジフェニルスルホン（ＤＤＳ）９．３６ｇ（０．０３８ｍｏｌ）、２，２−ビス−［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン（ＢＡＰＰ）４．８９ｇ（０．０１２ｍｏｌ）、及び、γ−ブチロラクトン１０．０ｇを加えて４０℃で１５分間攪拌した。次に、４，４’−オキシジフタル酸二無水物（ＯＤＰＡ）１６．４４ｇ（０．０５３ｍｏｌ）、及び、γ−ブチロラクトン２９．６６ｇを１５分間かけて添加した。添加終了後、得られた混合液を６０℃まで昇温し、３時間攪拌することで、ポリアミック酸のγ−ブチロラクトン溶液を得た。得られた溶液中の固形分は４４質量％であり、ポリアミック酸の重量平均分子量は３８０００、分散度（重量平均分子量／数平均分子量）は１．９であった。 
 （合成例２） 
　３００ｍＬの４つ口セパラブルフラスコに４，４’−ジアミノジフェニルスルホン（ＤＤＳ）１２．４ｇ（０．０５ｍｏｌ）、及び、Ｎ−メチルピロリドン１０．０ｇを加えて４０℃で１５分間攪拌した。次に、４，４’−オキシジフタル酸二無水物（ＯＤＰＡ）８．２２ｇ（０．０２７ｍｏｌ）、デカメチレンビストリメリテート二無水物（ＤＢＴＡ）２６．１１ｇ（０．０２７ｍｏｌ）、及び、Ｎ−メチルピロリドン４７．７７ｇの混合溶液を１５分間かけて添加した。添加終了後、得られた混合液を６０℃まで昇温し、３時間攪拌することで、ポリアミック酸のＮ−メチルピロリドン溶液を得た。得られた溶液中の固形分は４５質量％であり、ポリアミック酸の重量平均分子量は３２０００、分散度（重量平均分子量／数平均分子量）は２．４であった。 
 （感光性接着剤組成物１〜６の作製） 
　上記各合成例で合成した（Ａ）側鎖にカルボキシル基を有するアルカリ可溶性ポリアミック酸の溶液、（Ｂ）分子内にエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、及び、（Ｄ）架橋剤を、それぞれ下記表１に示した配合割合（質量部）で混合し、溶媒（γ−ブチロラクトン）を加えて、感光性接着剤組成物１〜６の溶液を得た。このとき、感光性接着剤組成物１〜６の溶液について、粘度が２０Ｐａ・ｓ又は５Ｐａ・ｓとなるように溶媒の量を調整し、それぞれ２種類の粘度の感光性接着剤組成物１〜６の溶液を得た。また、感光性接着剤組成物の溶液の粘度は、東機産業株式会社製のＴＯＫＩ ＲＥ−８０Ｕ（商品名）を用いて測定した。なお、表１中の数字は固形分の質量部を示している。また、表１中の各成分は、以下に示すものである。 
　ＴＭＣＨ−５（商品名、ウレタン結合と脂環式炭化水素骨格とを有する２官能アクリレート、重量平均分子量９５０、日立化成工業株式会社製）、 
　ＵＡ−２１（商品名、ウレタン結合とイソシアヌル環骨格とを有する３官能メタクリレート、重量平均分子量３０００、新中村化学工業株式会社製）、 
　ＦＡ−３２１Ａ（商品名、ビスフェノールＡジアクリレート、日立化成工業株式会社製）、 
　ＢＬ−３１７５（商品名、ブロック化イソシアネート、住化バイエルウレタン株式会社製）、 
　ＹＨ−４３４Ｌ（商品名、アミン型エポキシ樹脂、東都化成株式会社製）、 
　Ｉ−６５１（商品名、ベンジルジメチルケタール、チバスペシャリティーケミカルズ株式会社製）。」（段落【００８９】〜【００９２】） 
  
（カ）「【表１】 
 」（段落【００９５】） 
  
（キ）「以上のように、本発明の感光性接着剤組成物を用いた基板の接続方法によれば、フォトリソグラフィーにより所定の箇所にのみ感光性接着剤組成物層を形成することが可能であり、また、半導体素子と封止用部材との接着後（又は半導体素子同士の接着後）、高温でのピール強度（接着強度）に優れ、且つ、ボイドの発生も十分に抑制され、封止後の樹脂形状安定性にも優れることが確認された。」（段落【０１０３】） 
イ−４　甲１文献に記載の発明
　甲１文献には、感光性を有するため微細加工が可能であり、希アルカリ水溶液で現像可能であり、低温（２００℃以下）で硬化可能であり、シロキサンジアミンを用いずに、柔軟性に富み、電気絶縁信頼性、ハンダ耐熱性、耐有機溶剤性に優れ、硬化後の基板の反りが小さく、封止剤との密着性に優れる感光性樹脂組成物を提供する（摘示イ−２（イ））ことを解決しようとする課題として、（Ａ）主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂、（Ｂ）分子内に感光性基を少なくとも１つ有する（Ａ）以外の感光性化合物、（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄ）熱硬化性化合物を少なくとも含有することを特徴とする感光性樹脂組成物（摘示イ−２（ア））が記載されている。 
　そして、実施例１〜９及び１１には、上記の感光性樹脂組成物の具体的な態様として、（Ａ）成分として樹脂Ａ〜Ｉで特定されるポリイミド樹脂、（Ｂ）成分としてＢＰＥ−５００（エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレート、ＥＯ＝１０）、（Ｃ）成分としてＩＲＧＡＣＵＲＥ３６９（２−ベンジル−ジメチルアミノ−１−（４−）モルフォリノフェニル）ブタノン−１、（Ｄ）成分としてｊＥＲ８２８（ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂）又はＴＰＡ−Ｂ８０Ｅ（ヘキサメチレンジイソシアネート系ブロックイソシアネート化合物）を含む感光性樹脂組成物が記載されている（摘示イ−２（カ）、（ケ））。 
　これらの記載を総合すると、甲１文献には、次のとおりの発明が記載されている。 
 「（Ａ）樹脂Ａ〜Ｉで特定されるポリイミド樹脂、（Ｂ）エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレート、ＥＯ＝１０である感光性化合物、（Ｃ）２−ベンジル−ジメチルアミノ−１−（４−）モルフォリノフェニル）ブタノン−１、（Ｄ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂又はヘキサメチレンジイソシアネート系ブロックイソシアネート化合物である熱硬化性化合物を含む感光性接着剤樹脂組成物。」 
イ−５　甲２文献に記載の発明
　甲２文献には、十分に高い接着強度が得られるとともに、基板（被接着部材）との間にボイドが生じることを十分に抑制することが可能な感光性接着剤組成物及び基板の接着方法を提供することを目的として（摘示イ−３（イ））、（Ａ）ポリアミック酸、（Ｂ）分子内にエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）架橋剤を含む感光性接着剤組成物が記載されている（請求項１、２） 
　そして、上記（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）成分の具体的な態様として、摘示イ−３（カ）には、組成物３として、（Ａ）合成例１により製造されたポリアミック酸、（Ｂ）光重合性化合物であるＦＡ−３２１Ａ、（Ｃ）光重合開始剤であるＩ−６５１、（Ｄ）架橋剤であるＢＬ−３１７５を含む組成物が記載されており、摘示イ−３（オ）には、ＦＡ−３２１ＡがビスフェノールＡジアクリレート、Ｉ−６５１がベンジルメチルケタール、ＢＬ−３１７５がブロック化イソシアネートであることが記載されている。 
　さらに、甲２文献には、感光性接着剤層を塗布した基板を乾燥し、感光性接着剤組成物層を得て、所望のパターンを有するマスクを置き、それを介して活性光線を照射して露光すること、露光後に、アルカリ水溶液等の現像液を用いて未露光部を除去し、パターンを形成することができる旨の記載がある（摘示イ−３（エ））。 
　これらの記載を総合すると、甲２文献には、次のとおりの発明が記載されている。 
 「（Ａ）合成例１により製造されたポリアミック酸、（Ｂ）ビスフェノールＡジアクリレートであるＦＡ−３２１Ａ、（Ｃ）ベンジルメチルケタールであるＩ−６５１、（Ｄ）ブロック化イソシアネートであるＢＬ−３１７５を含む組成物を含む感光性接着剤樹脂組成物。」 
イ−６　対比・判断
（ア）本件発明４と甲１文献に記載の発明との対比・判断    
　甲１文献に記載の発明における「（Ａ）樹脂Ａ〜Ｉで特定されるポリイミド樹脂」、「（Ｂ）エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレート、ＥＯ＝１０である感光性化合物」、「（Ｄ）ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂又はヘキサメチレンジイソシアネート系ブロックイソシアネート化合物」はそれぞれ、本件発明４における「ベースポリマー」、「一般式（１）で表され、ｎ＋ｍが１０である光重合性化合物」、「熱硬化性成分」に相当する。 
　したがって、本件発明４は、甲１文献に記載された発明である。
（イ）本件発明４と甲２文献に記載の発明との対比・判断
　甲２文献に記載の発明における「（Ａ）合成例１により製造されたポリアミック酸」、「（Ｄ）架橋剤としてのＢＬ−３１７５」は、それぞれ、本件発明４における「ベースポリマー」「熱硬化性成分」に相当する。また、甲２文献に記載の発明における「（Ｂ）ビスフェノールＡジアクリレートであるＦＡ−３２１Ａ」、「（Ｃ）ベンジルメチルケタールであるＩ−６５１」は、それぞれ摘示イ−３（カ）より、「光重合性化合物」、「光重合開始剤」であって、本件発明４において、光重合開始剤を必要に応じて添加できることは技術常識から自明である。 
　したがって、本件発明４と甲２文献に記載の発明とは、 
「ベースポリマーと、光重合性化合物と、熱硬化性成分と、を含有する感光性接着剤樹脂組成物。」の点で一致し、次の相違点１で一応相違する。 
  
 ○相違点１：本件発明４は、光重合性化合物が、一般式（１）、（４）又は（５）で表される光重合性化合物を含むと特定するのに対し、甲２文献に記載の発明のＦＡ−３２１Ａは、一般式（１）、（４）又は（５）で表されるとの特定がない点。 
  
　そこで、上記相違点１について検討する。 
　甲２文献には、商品名ＦＡ−３２１Ａの具体的な化学構造についての明記はないものの、本件特許異議の申立てに係る甲第４号証（日立機能性アクリレート　メタクリレート　ＦＡＮＣＲＹＬ（日立化成株式会社カタログ）平成２３年７月発行　（１１頁））によれば、商品名ＦＡ−３２１Ａで表される商品の化学構造は、本件発明の一般式（４）で表され、ｐ＋ｑが１０である構造を有する化合物に相当することが示されている。（なお、上記甲第４号証のカタログの作成年月は、カタログの記載によれば、本件の優先日後の２０１１年７月であると認められるが、一般に、単一組成の化合物の商品において、異なる化学構造を有する化合物に変更することは極めて稀であることが技術常識であるから、甲２文献に記載の発明にかかるＦＡ−３２１Ａの化合物も、本件発明の一般式（４）で表され、ｐ＋ｑが１０である構造を有する化合物であると認められる。） 
　したがって、本件発明４は、甲２文献に記載された発明である。  
 　  
ウ　理由Ｂ（特許法第２９条第２項）について 
　本件発明４は、上記イのとおり、甲１文献に記載された発明であるが、仮に相違したとしても、甲１発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
　本件発明４は、上記イのとおり、甲２文献に記載された発明であるが、仮に相違したとしても、甲２発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 
エ　本件発明４についての取消理由の概要まとめ
　以上のとおり、本件発明４についての特許は、特許法第２９条第１項第３号に該当し、また、本件発明４についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、本件特許は取り消されるべきものである。
（２）本件訂正を踏まえた取消理由についての判断
　本件訂正は、本件発明４について上記１（１）のとおりとするものであるから、これを踏まえ上記取消理由について検討する。
　訂正後の本件発明４は以下のとおりのものである（下線は当審による）。
 「【請求項４】 
　
主鎖にイミド基を有するポリマーを含むベースポリマー（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）
 【化４】   
  ［式中、ｎ及びｍはそれぞれ０以上、且つ、ｎ＋ｍ＝３〜３０となる数を示す。］ 
 【化５】 
  ［式中、ｐ及びｑはそれぞれ０以上、且つ、ｐ＋ｑ＝４〜３０となる数を示す。］ 
 【化６】 
 ［式中、Ｒは水素原子又はメチル基を示し、ｒ、ｓ、ｔ及びｕはそれぞれ０以上、且つ、ｒ＋ｓ＋ｔ＋ｕ＝３〜３０となる数を示す。］ 」
ア　理由Ａ（特許法第２９条第１項第３号）について
（ア）甲１文献に記載の発明との対比・判断
　訂正後の本件発明４と甲１文献に記載の発明とを対比する。本件訂正と、上記（１）イでの検討とを踏まえると、本件発明４のベースポリマーに関し、訂正後の本件発明４は、「主鎖にイミド基を有するポリマーを含むベースポリマー（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）」と特定するのに対し、甲１文献に記載の発明は、「（Ａ）樹脂Ａ〜Ｉで特定されるポリイミド樹脂」と特定している点で相違している。
　この相違点をさらに考察するに、甲１文献に記載の発明における「（Ａ）樹脂Ａ〜Ｉで特定されるポリイミド樹脂」は、上記イ−４で言及したように、摘示イ−２（カ）、（ケ）のとおり、甲１文献の実施例１〜９及び１１に感光性樹脂組成物の具体的な態様として記載されたものであるから、少なくとも甲１文献の特許請求の範囲、特に請求項１において特定された要件である「（Ａ）主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂」（摘示イ−２（ア））であることを満たすものとして開示されたものであると認められる。他方、訂正後の本件発明４は、「（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）」と特定しているのであるから、この相違点は実質的なものである。
　したがって、訂正後の本件発明４は、甲１文献に記載された発明であるとはいえない。  
（イ）甲２文献に記載の発明との対比・判断
　訂正後の本件発明４と甲２文献に記載の発明とを対比する。本件訂正と、上記（１）イでの検討とを踏まえると、本件発明４のベースポリマーに関し、訂正後の本件発明４は、「主鎖にイミド基を有するポリマーを含むベースポリマー（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）」と特定するのに対し、甲２文献に記載の発明は、「（Ａ）合成例１により製造されたポリアミック酸」と特定している点で相違している。即ち、甲２文献に記載の発明では、「主鎖にイミド基を有する」とは特定されていない。
　この相違点についてさらに考察するに、ポリアミック酸はポリイミド前駆体であって、加熱等により硬化することで主鎖にイミド基を有するポリマーとなることから、一見すると相違点は実質的でないようにも思われる。しかしながら、上記イ−５で認定した甲２文献に記載の発明たる感光性接着剤組成物は、それを加熱等により硬化したものを包含する概念ではないし、当該感光性接着剤組成物を加熱等することによりポリアミック酸をイミド化反応させポリイミド樹脂が形成されるときには、当該感光性接着剤組成物に包含される他の成分、例えば、熱硬化性成分（（Ｄ）架橋剤としてのＢＬ−３１７５）も反応して硬化してしまうか、あるいは光重合性化合物成分（（Ｂ）ビスフェノールＡジアクリレートであるＦＡ−３２１Ａ）も反応して硬化してしまうと認められ、このような硬化物はもはや感光性ではない。よって、いずれにしても、訂正後の本件発明４と同じ感光性接着剤組成物とはならないから、この相違点は実質的なものである。
　したがって、訂正後の本件発明４は、甲２文献に記載された発明であるとはいえない。  
イ　理由Ｂ（特許法第２９条第２項）について 
（ア）甲１文献に記載の発明との対比・判断
　訂正後の本件発明４と甲１文献に記載の発明とを対比した相違点は、上記ア（ア）で検討したとおり、本件発明４のベースポリマーに関し、訂正後の本件発明４は、「主鎖にイミド基を有するポリマーを含むベースポリマー（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）」と特定するのに対し、甲１文献に記載の発明は、「（Ａ）樹脂Ａ〜Ｉで特定されるポリイミド樹脂」と特定している点である。そして、甲１文献に記載の発明における「（Ａ）樹脂Ａ〜Ｉで特定されるポリイミド樹脂」は、「（Ａ）主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂」である。
　甲１文献に記載の発明では、摘示イ−２（イ）のとおり、所定の課題を解決するための発明であって、摘示イ−２（キ）、（ク）のとおりの硬化後の基板の反りが小さく、封止剤との密着性に優れる感光性樹脂組成物を提供するために、「（Ａ）主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂」と特定するものであるから、これに換えて反り量が多くなってしまう他の成分をベースポリマーとして採用することには阻害要因があるといえる。甲１文献には、摘示イ−２（ク）の比較例１として、他の成分であるポリイミド樹脂Ｊを用いることが記載されてはいるが、反り量が多くなっていて効果に劣るものとして開示されているだけであるから、他の成分であるポリイミド樹脂を用いることの動機づけになるとはいえない。
　さらに、特許異議申立人から特許法第１２０条の５第５項に基づき提出のあった意見書では、甲第５号証（再公表特許ＷＯ２００５／０１９２３１号）の記載について言及がなされているが、甲第５号証にはホスファゼン化合物とともに用いられる感光性樹脂組成物について縷々記載されているものの、甲１文献に記載の発明と本件訂正後の本件発明４との上記相違点について、取消理由を補完するような技術事項についての記載は特に見当たらない。
　以上のことから、上記相違点は、当業者が容易に想到できたものではない。
（イ）甲２文献に記載の発明との対比・判断
　訂正後の本件発明４と甲２文献に記載の発明とを対比した相違点は、上記ア（イ）で検討したとおり、本件発明４のベースポリマーに関し、訂正後の本件発明４は、「主鎖にイミド基を有するポリマーを含むベースポリマー（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）」と特定するのに対し、甲２文献に記載の発明は、「（Ａ）合成例１により製造されたポリアミック酸」と特定している点である。
　上記ア（イ）で検討したとおり、ポリアミック酸はポリイミド前駆体であることは技術常識であって自明であるが、甲２文献にはポリアミック酸に換えてポリイミド樹脂とすることの記載や示唆は見当たらない。むしろ、甲２文献に記載の発明では、摘示イ−３（エ）の実施態様のように、現像液を用いて未露光部を除去できるようにポリアミック酸を用いているといえるから、このベースポリマーについて、現像液への溶解性に劣るポリイミド樹脂へと換えることには阻害要因があるといえる。
　以上のことから、上記相違点は、当業者が容易に想到できたものではない。
（ウ）小括
　以上のことから、訂正後の本件発明４について、通知した取消理由は解消している。
（３）本件発明４に係る異議申立て理由について
ア　特許異議申立人の主張
　本件発明４に係る特許異議申立人の主張は、概略、次の（ア）ないし（エ）のとおりであり、本件発明４についての特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべき、というものである。 
（ア）本件発明４は、甲第１号証に記載されており、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができない発明である。
（イ）本件発明４は、甲第２号証に記載されており、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができない発明である。
（ウ）本件発明４は、甲第１号証に記載された発明から当業者が容易に発明できたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。
（エ）本件発明４は、甲第２号証に記載された発明から当業者が容易に発明できたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。
　
　また，証拠方法として、以下の文書（甲第１号証〜甲第４号証）を提示している。 
 　・甲第１号証：　特開２００９−６９６６４号公報 
 　・甲第２号証：　特開２００８−２３９８０２号公報 
 　・甲第３号証：　国際公開第２００８／１４９６２５号 
 　・甲第４号証：　日立化成株式会社カタログ（上記（１）イ−４（イ）を参照）
イ　訂正後の本件発明４についての検討
　特許異議申立人の上記主張を踏まえ、訂正後の本件発明４について検討するに、提示された甲第１号証及び甲第２号証は、上記（１）イ−１の刊行物である甲１文献及び甲２文献にそれぞれ該当し、対比・判断については上記（２）で検討したとおりであるから、特許異議申立人の主張する申立ての理由及び証拠によっては、訂正後の本件発明４に係る特許を取り消すことはできない。
（４）訂正後の請求項４についてのまとめ
　上記（２）、（３）のとおりであるから、訂正後の本件発明４についての取消理由は解消しており、特許異議申立人の主張する申立ての理由及び証拠によっては、訂正後の本件発明４に係る特許を取り消すことはできない。また、他に当該特許が１１３条各号のいずれかに該当すると認めるに足る理由も見当たらない。
　
３−２　訂正後の請求項７が引用する請求項１、３及び５について
　本件訂正後の請求項１、３及び５に係る発明は以下のとおりのものである。
 「【請求項１】
　主鎖にイミド基を有するポリマーを含むベースポリマー（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）と、光重合性化合物と、熱硬化性成分と、を含有する感光性接着剤組成物であって、 前記光重合性化合物が、官能基当量が２５０〜１３００である光重合性化合物を含み、前記官能基当量が２５０〜１３００である光重合性化合物が、下記一般式（１）、（４）又は（５）で表される化合物である、感光性接着剤組成物。 
 【化１】
  ［式中、ｎ及びｍはそれぞれ０以上、且つ、ｎ＋ｍ＝３〜３０となる数を示す。］ 
 【化２】
  ［式中、ｐ及びｑはそれぞれ０以上、且つ、ｐ＋ｑ＝４〜３０となる数を示す。］ 
 【化３】 
 ［式中、Ｒは水素原子又はメチル基を示し、ｒ、ｓ、ｔ及びｕはそれぞれ０以上、且つ、ｒ＋ｓ＋ｔ＋ｕ＝３〜３０となる数を示す。］ 
【請求項３】
　前記熱硬化性成分が、エポキシ化合物及び硬化剤を含む、請求項１記載の感光性接着剤組成物。
【請求項５】
　請求項１、３又は４に記載の感光性接着剤組成物をフィルム状に成形してなるフィルム状接着剤。」
　本件訂正後の請求項１に係る発明については、実質上、訂正後の請求項４についての発明を特定するための事項をすべて含み、さらに「光重合性化合物が、官能基当量が２５０〜１３００である」という発明特定事項を付加したものであるから、訂正後の請求項４に係る発明と同様に、特許を取り消すべき理由は見当たらない。
　本件訂正後の請求項３に係る発明については、訂正後の請求項１についての発明を特定するための事項をすべて含み、さらに技術的限定を加えて特定したものであるから、訂正後の請求項１に係る発明と同様に、特許を取り消すべき理由は見当たらない。
　本件訂正後の請求項５に係る発明については、訂正後の請求項１、３又は４についての発明を特定するための事項をすべて含み、さらに技術的限定を加えて特定したものであるから、訂正後の請求項１、３又は４に係る発明と同様に、特許を取り消すべき理由は見当たらない。
３−３　訂正後の請求項７に係る発明について
　本件訂正後の請求項７に係る発明は以下のとおりのものである。
 「【請求項７】 
　請求項５記載のフィルム状接着剤とダイシングシートとを積層した構造を有する接着シート。」
　本件訂正後の請求項７に係る発明については、訂正後の請求項５についての発明を特定するための事項をすべて含み、さらに技術的限定を加えて特定したものであるから、訂正後の請求項５に係る発明と同様に、特許を取り消すべき理由は見当たらない。
３−４　小括
　以上、訂正後の請求項７に係る発明については、特許を取り消すべき理由は見当たらないから、特許法第１２０条の５第９項で準用する同法第１２６条第７項に規定する独立特許要件を満たすものである。
　
４　本件訂正についての判断
　以上のとおりであるから、本件訂正請求による訂正は特許法第１２０条の５第２項第１号に掲げる事項を目的とするものであり、かつ、同条第４項及び同条第９項において準用する同法第１２６条第４項から第７項までの規定に適合するので、訂正を認める。 
  
第３　特許異議の申立てについて 
１　特許異議の申立ての概要
　特許異議申立人の主張は、上記第２の３−１（３）で述べた点を含み、概略、次の（１）ないし（４）のとおりであり、請求項１ないし６及び８ないし１１についての特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべき、というものである。 
（１）請求項１ないし６及び８ないし１１に係る発明は、甲第１号証に記載されており、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができない発明である。
（２）請求項１、２、４、８に係る発明は、甲第２号証に記載されており、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができない発明である。
（３）請求項１ないし６及び８ないし１１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明から当業者が容易に発明できたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。
（４）請求項１ないし６及び８ないし１１に係る発明は、甲第２号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明から当業者が容易に発明できたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。
２　取消理由の概要 
　請求項１ないし６及び８ないし１１に係る特許に対して、平成２７年１２月４日付けで特許権者に通知した取消理由の要旨は、上記第２の３−１（１）で述べた点を含み、概略、次の（１）ないし（５）のとおりであり、請求項１ないし６及び８ないし１１についての特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべき、というものである。
（１）請求項１ないし６及び８に係る発明は、甲第１号証に記載されており、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができない発明である。
（２）請求項１、２、４、８に係る発明は、甲第２号証に記載されており、特許法第２９条第１項第３号に該当し特許を受けることができない発明である。
（３）請求項１ないし６及び８に係る発明は、甲第１号証に記載された発明から当業者が容易に発明できたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。
（４）請求項１、２、４、８に係る発明は、甲第２号証に記載された発明から当業者が容易に発明できたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。
（５）請求項３、５、６及び９ないし１１に係る発明は、甲第２号証に記載された発明及び甲第３号証に記載された発明から当業者が容易に発明できたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である。
３　当合議体の判断 
（１）訂正後の請求項１，３ないし５に係る発明について
　訂正後の請求項１、３ないし５に係る発明については、上記第２の３−１及び３−２で述べたとおり、上記取消理由によって、特許を取り消すことはできないものであり、また、異議申立人の提示した甲各号証の内容について、取消理由を踏まえてさらに検討しても、他に特許を取り消すべき理由を発見しない。
（２）訂正後の請求項６、８ないし１１に係る発明について
　本件訂正後の請求項６、８ないし１１に係る発明は以下のとおりのものである。
 「【請求項６】 
　基材と、該基材の一方の面上に設けられた請求項１、３又は４に記載の感光性接着剤組成物からなる接着剤層と、を備える接着シート。 
【請求項８】 
　請求項１、３又は４に記載の感光性接着剤組成物からなる接着剤層を被着体上に形成し、該接着剤層を露光し、露光後の接着剤層をアルカリ現像液により現像処理することにより形成される、接着剤パターン。 
【請求項９】 
　半導体ウェハと、該半導体ウェハの一方の面上に設けられた請求項１、３又は４に記載の感光性接着剤組成物からなる接着剤層と、を備える接着剤層付半導体ウェハ。 
【請求項１０】 
　請求項１、３又は４に記載の感光性接着剤組成物によって半導体素子と半導体素子搭載用支持部材とが接着された構造を有する半導体装置。 
【請求項１１】 
　請求項１、３又は４に記載の感光性接着剤組成物を用いて、半導体素子と半導体素子搭載用支持部材とを接着する工程を有する半導体装置の製造方法。」 
　本件訂正後の請求項６、８ないし１１に係る発明については、いずれも訂正後の請求項１、３又は４についての発明を特定するための事項をすべて含み、さらに技術的限定を加えて特定したものであるから、訂正後の請求項１、３又は４に係る発明と同様に、特許を取り消すべき理由は見当たらない。
第４　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する申立ての理由及び証拠によっては，本件訂正後の特許異議の申立てに係る特許を取り消すことはできない。また，他に当該特許が特許法第１１３条各号のいずれかに該当すると認めるに足る理由もない。 
　よって、結論のとおり決定する。 
【異議決定日】
平成２８年４月２７日（２０１６．４．２７）
【訂正の要旨】
審決（決定）の【理由】欄参照。
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　
主鎖にイミド基を有するポリマーを含む
（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）
　前記光重合性化合物が、官能基当量が２５０〜１３００である光重合性化合物を含み、
　前記官能基当量が２５０〜１３００である光重合性化合物が、下記一般式（１）、（４）又は（５）で表される化合物である、感光性接着剤組成物。
　【化１】
［式中、ｎ及びｍはそれぞれ０以上、且つ、ｎ＋ｍ＝３〜３０となる数を示す。］
　【化２】
［式中、ｐ及びｑはそれぞれ０以上、且つ、ｐ＋ｑ＝４〜３０となる数を示す。］
　【化３】
［式中、Ｒは水素原子又はメチル基を示し、ｒ、ｓ、ｔ及びｕはそれぞれ０以上、且つ、ｒ＋ｓ＋ｔ＋ｕ＝３〜３０となる数を示す。］
　【請求項２】（削除）
　【請求項３】
　前記熱硬化性成分が、エポキシ化合物及び硬化剤を含む、請求項
１記
　【請求項４】
　
主鎖にイミド基を有するポリマーを含む
（ただし、主鎖にエーテルイミド骨格、ポリカーボネート骨格、及びウレタン結合を有し、少なくとも側鎖に現像性基、主鎖末端に感光性基を有するポリイミド樹脂を除く）
　前記光重合性化合物が、下記一般式（１）、（４）又は（５）で表される化合物を含む、感光性接着剤組成物。
　【化４】
［式中、ｎ及びｍはそれぞれ０以上、且つ、ｎ＋ｍ＝３〜３０となる数を示す。］
　【化５】
［式中、ｐ及びｑはそれぞれ０以上、且つ、ｐ＋ｑ＝４〜３０となる数を示す。］
　【化６】
［式中、Ｒは水素原子又はメチル基を示し、ｒ、ｓ、ｔ及びｕはそれぞれ０以上、且つ、ｒ＋ｓ＋ｔ＋ｕ＝３〜３０となる数を示す。］
　【請求項５】
　請求項１
、３又は４
　【請求項６】
　基材と、該基材の一方の面上に設けられた請求項１
、３又は４
　【請求項７】
　請求項５記載のフィルム状接着剤とダイシングシートとを積層した構造を有する接着シート。
　【請求項８】
　請求項１
、３又は４
　【請求項９】
　半導体ウェハと、該半導体ウェハの一方の面上に設けられた請求項１
、３又は４
　【請求項１０】
　請求項１
、３又は４
　【請求項１１】
　請求項１
、３又は４