【手続補正書】
【提出日】平成30年3月8日(2018.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板搬送方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、基板搬送方法に関し、特に、基板のずれを補正する基板搬送方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の目的は、基板搬送のスループットを向上することができるとともに、基板のさらなるずれが生じるのを抑制することができる基板搬送方法を提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の基板搬送方法は、円板状の基板を搬送手段によって基板処理室へ搬送する基板搬送方法であって、前記基板を搬送する際の前記基板の位置の基準となる基準基板位置を予め取得する工程と、前記基板処理室へ搬送される前記基板の位置である搬送時基板位置を取得する工程と、前記基準基板位置に対する前記搬送時基板位置の位置ずれを算出する工程と、前記算出された位置ずれを解消するように前記基板処理室までの前記基板の進路を修正する工程と、前記修正された基板の進路に基づいて前記基板を前記基板処理室へ搬送する工程とを有し、前記搬送時基板位置を取得する工程は、前記基板の搬送経路において、２つの位置センサを前記基板の直径よりも小さい間隔で互いに離間し、且つ前記搬送される基板に対向するように配置する工程と、前記基板が前記基板処理室へ搬送される間に、前記２つの位置センサが前記基板の外縁と交差する４つの交差点を取得する工程と、前記４つの交差点のうち２つの交差点を基準交差点として選択する工程と、前記２つの基準交差点を通過し且つ互いに直径が異なる２つの円を規定する工程と、前記４つの交差点から前記基準交差点として選択されなかった２つの交差点のうち前記２つの円によって囲われた領域内に存在する交差点、並びに前記２つの基準交差点を選別し、前記選別された交差点に基づいて前記搬送時基板位置を取得する工程とを有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の基板搬送方法は、円板状の基板を搬送手段によって基板処理室へ搬送する基板搬送方法であって、前記基板を搬送する際の前記基板の位置の基準となる基準基板位置を予め取得する工程と、前記基板処理室へ搬送される前記基板の位置である搬送時基板位置を取得する工程と、前記基準基板位置に対する前記搬送時基板位置の位置ずれを算出する工程と、前記算出された位置ずれを解消するように前記基板処理室までの前記基板の進路を修正する工程と、前記修正された基板の進路に基づいて前記基板を前記基板処理室へ搬送する工程とを有し、前記搬送時基板位置を取得する工程は、前記基板の搬送経路において、２つの位置センサを前記基板の直径よりも小さい間隔で互いに離間し、且つ前記搬送される基板に対向するように配置する工程と、前記基板が前記基板処理室へ搬送される間に、前記２つの位置センサが前記基板の外縁と交差する４つの交差点を取得する工程と、前記４つの交差点から３つの交差点からなる交差点の組合せを複数作成する工程と、各前記組合せにおいて前記３つの交差点を通過する円を規定する工程と、前記規定された円のうち、前記搬送される基板の径にもっとも近い径を有する円に基づいて前記搬送時基板位置を取得する工程とを有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の基板搬送方法は、円板状の基板を搬送手段によって基板処理室へ搬送する基板搬送方法であって、前記基板を搬送する際の前記基板の位置の基準となる基準基板位置を予め取得する工程と、前記基板処理室へ搬送される前記基板の位置である搬送時基板位置を取得する工程と、前記基準基板位置に対する前記搬送時基板位置の位置ずれを算出する工程と、前記算出された位置ずれを解消するように前記基板処理室までの前記基板の進路を修正する工程と、前記修正された基板の進路に基づいて前記基板を前記基板処理室へ搬送する工程とを有し、前記搬送時基板位置を取得する工程は、前記基板の搬送経路において、位置センサを前記搬送される基板に対向するように配置する工程と、前記基板が前記基板処理室へ搬送される間に、前記位置センサが前記基板の外縁と交差する４つの交差点のうちの２つの交差点を取得する工程と、前記２つの交差点及び前記搬送される基板の半径に基づいて前記搬送時基板位置を幾何学的に取得する工程とを有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状の基板を搬送手段によって基板処理室へ搬送する基板搬送方法であって、
前記基板を搬送する際の前記基板の位置の基準となる基準基板位置を予め取得する工程と、
前記基板処理室へ搬送される前記基板の位置である搬送時基板位置を取得する工程と、
前記基準基板位置に対する前記搬送時基板位置の位置ずれを算出する工程と、
前記算出された位置ずれを解消するように前記基板処理室までの前記基板の進路を修正する工程と、
前記修正された基板の進路に基づいて前記基板を前記基板処理室へ搬送する工程とを有し、
前記搬送時基板位置を取得する工程は、
前記基板の搬送経路において、２つの位置センサを前記基板の直径よりも小さい間隔で互いに離間し、且つ前記搬送される基板に対向するように配置する工程と、
前記基板が前記基板処理室へ搬送される間に、前記２つの位置センサが前記基板の外縁と交差する４つの交差点を取得する工程と、
前記４つの交差点のうち２つの交差点を基準交差点として選択する工程と、
前記２つの基準交差点を通過し且つ互いに直径が異なる２つの円を規定する工程と、
前記４つの交差点から前記基準交差点として選択されなかった２つの交差点のうち前記２つの円によって囲われた領域内に存在する交差点、並びに前記２つの基準交差点を選別し、前記選別された交差点に基づいて前記搬送時基板位置を取得する工程とを有することを特徴とする基板搬送方法。
【請求項２】
円板状の基板を搬送手段によって基板処理室へ搬送する基板搬送方法であって、
前記基板を搬送する際の前記基板の位置の基準となる基準基板位置を予め取得する工程と、
前記基板処理室へ搬送される前記基板の位置である搬送時基板位置を取得する工程と、
前記基準基板位置に対する前記搬送時基板位置の位置ずれを算出する工程と、
前記算出された位置ずれを解消するように前記基板処理室までの前記基板の進路を修正する工程と、
前記修正された基板の進路に基づいて前記基板を前記基板処理室へ搬送する工程とを有し、
前記搬送時基板位置を取得する工程は、
前記基板の搬送経路において、２つの位置センサを前記基板の直径よりも小さい間隔で互いに離間し、且つ前記搬送される基板に対向するように配置する工程と、
前記基板が前記基板処理室へ搬送される間に、前記２つの位置センサが前記基板の外縁と交差する４つの交差点を取得する工程と、
前記４つの交差点から３つの交差点からなる交差点の組合せを複数作成する工程と、
各前記組合せにおいて前記３つの交差点を通過する円を規定する工程と、
前記規定された円のうち、前記搬送される基板の径にもっとも近い径を有する円に基づいて前記搬送時基板位置を取得する工程とを有することを特徴とする基板搬送方法。
【請求項３】
円板状の基板を搬送手段によって基板処理室へ搬送する基板搬送方法であって、
前記基板を搬送する際の前記基板の位置の基準となる基準基板位置を予め取得する工程と、
前記基板処理室へ搬送される前記基板の位置である搬送時基板位置を取得する工程と、
前記基準基板位置に対する前記搬送時基板位置の位置ずれを算出する工程と、
前記算出された位置ずれを解消するように前記基板処理室までの前記基板の進路を修正する工程と、
前記修正された基板の進路に基づいて前記基板を前記基板処理室へ搬送する工程とを有し、
前記搬送時基板位置を取得する工程は、
前記基板の搬送経路において、位置センサを前記搬送される基板に対向するように配置する工程と、
前記基板が前記基板処理室へ搬送される間に、前記位置センサが前記基板の外縁と交差する４つの交差点のうちの２つの交差点を取得する工程と、
前記２つの交差点及び前記搬送される基板の半径に基づいて前記搬送時基板位置を幾何学的に取得する工程とを有することを特徴とする基板搬送方法。
【請求項４】
前記搬送時基板位置を取得する工程は、
前記基板の搬送経路において、他の位置センサを前記搬送される基板に対向するように配置する工程と、
前記他の位置センサが前記基板の外縁と交差する２つの他の交差点を取得する工程と、
前記２つの他の交差点及び前記搬送される基板の半径に基づいて前記基板処理室へ搬送される前記基板の位置である他の搬送時基板位置を幾何学的に取得する工程と、
前記搬送時基板位置及び前記他の搬送時基板位置を平均した平均基板位置を算出する工程と、
前記基準基板位置に対する前記平均基板位置の位置ずれを算出する工程とを有することを特徴とする請求項３記載の基板搬送方法。
【請求項５】
前記基板が搬送される度に、前記搬送時基板位置を取得する工程と、前記位置ずれを算出する工程と、前記基板の進路を修正する工程とを実行することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板搬送方法。
【請求項６】
前記搬送手段の経年劣化が予測される時点において、前記搬送時基板位置を取得する工程と、前記位置ずれを算出する工程と、前記基板の進路を修正する工程とを実行することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板搬送方法。
【請求項７】
前記位置センサを交換した時点において、前記搬送時基板位置を取得する工程と、前記位置ずれを算出する工程と、前記基板の進路を修正する工程とを実行することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板搬送方法。