【事件の表示】
　平成１０年特許願第３５５６１３号「紫外線照射装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１２年　６月３０日出願公開、特開２０００−１８０５９８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯及び本願発明
　本願は、平成１０年１２月１５日の出願であって、平成１４年８月３０日付けで拒絶査定がなされ、平成１４年１０月９日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、平成１４年１１月１日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１４年１１月１日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１４年１１月１日付けの手続補正を却下する。
　
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「【請求項１】
　容器内部に真空紫外光を放射する
誘電体バリア放電ランプ
誘電体バリア放電ランプ
前記容器内部には真空紫外光を吸収しないガス状の不活性体が充満し、
　
前記窓部材は、真空紫外光を放射する放射面の一部が、被処理物方向に突出した突出放射面となっており、　前記突出放射面は、被処理物方向に前記窓部材の厚みを大きくすることによって突出していることを特徴とする紫外線照射装置。
　上記補正は、本件補正前の構成要件である「紫外線ランプ」をその下位概念である「誘電体バリア放電ランプ」に限定し、また、「容器内部には真空紫外光を吸収しないガス状の不活性体が充満し、」との構成要件を付加するとともに「窓部材」を、「真空紫外光を放射する放射面の一部が、被処理物方向に突出した突出放射面となっており、前記突出放射面は、被処理物方向に前記窓部材の厚みを大きくすることによって突出している」と限定するもので、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平７−１７９６２８号公報（以下、「刊行物１」という。）には、次の（ａ１）〜（ａ５）の事項が記載されている。
（ａ１）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表面への塗装、印刷、あるいはプラスチックスの接着などが容易に行うことができるようにするためのＣ−Ｆ結合を有するプラスチックス表面の改質方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラスチックスの表面改質方法としては、例えばポリプロピレン系の樹脂を紫外線吸収性溶剤と接触させて水銀ランプからの紫外光を照射すると良いという技術が特開昭６４−７５０７９に開示され、１９９１年４月号の「Ｏ plus Ｅ  第９７頁〜第１０２頁」には、弗素樹脂の処理に、アンモニア化合物や硼素化合物と接触させてアルゴン弗素エキシマレーザから放射される紫外光１９３ｎｍの光を照射すると良いことが示されている。また最近では、弗素樹脂の表面改質を水酸化アルミニウム水溶液と接触させてアルゴン弗素エキシマレーザからの波長１９３ｎｍの紫外光を照射する方法（レーザー学会学術講演会２０周年記念（第１３回）年次大会  講演予稿集第１３０頁）、ポリエチレンフィルムの表面改質を、水と接触させて誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫外光１７２ｎｍの光を照射する方法（第５４回応用物理学会学術講演会  講演予稿集第１頁）などが開示され、表面が低活性なために、塗装、印刷、染色、接着のしにくいプラスチックスの表面改質の研究が盛んに行われている。
」（段落【０００１】〜【０００２】）
（ａ２）「【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため、本発明は、紫外線放射源として誘電体バリヤ放電ランプを選び、紫外線照射処理において弗素用スカベンジャーを組み合わせ、それらを次のように組み合わせるとともに、種々の条件を設定する。
」（段落【０００６】）
（ａ３）「【００１２】
【作用】放電容器内にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充満し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ放電あるいは無声放電。電気学会発行改定新版（放電ハンドブック）平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子から放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ放電ランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電ランプにはない種々の特徴を有している。このランプ自体は、例えば特開平２−７３５３等によって既知である。
【００１３】このランプにおいて、透光窓部材として合成石英ガラスを使用し、放電用ガスとしてキセノンもしくはキセノンを主成分とするガスを選定すると、波長１７２ｎｍをピークとする波長１６０ｎｍから波長１９０ｎｍにまたがる真空紫外エキシマ光が得られ、アルゴンと塩素を含むガスもしくは塩素化合物を含むガスを選定すると、波長１６５ｎｍから波長１９０ｎｍにまたがる真空紫外エキシマ光が得られ、アルゴンと弗素を含むガスもしくは弗素化合物を含むガスを選定すると、波長１８０から波長２００ｎｍにまたがる真空紫外エキシマ光が得られる。他方、アルミニウム化合物や硼素化合物の水溶液の吸収波長帯域は波長２００ｎｍ以下の真空紫外光にあり、それぞれの溶液の層における放射光透過最短距離を適切に選ぶと、Ｃ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表面において、Ｃ−Ｆ結合が切断されるとともに、遊離したＦを水溶液中のアルミニウムもしくは硼素が捕獲し、Ｃ−Ｆ再結合を防止するとともに、Ｃに対しては、ＯやＯＨなどの他のラジカルが結合する。これによってＣ−Ｆ結合を有するプラスチックスの表面を親水性に変えることが出来ると推定される。
【００１４】誘電体バリヤ放電ランプは前記のとうり、従来のアーク放電ランプやグロー放電ランプとは異なり、強く冷却しても分光放射特性が殆ど変わらないので、電気入力を大きくしても十分に冷却できるので、一般的に熱に弱いプラスチックスに極接近させて使用しても、被照射物であるプラスチックスへの熱ダメージを与えない長所を有する。特に、このランプにおいて、ランプの管壁負荷、（電気入力／管壁面積）の値を０．２Ｗ／ｃｍ2 以上に設計し、液体窒素や水で冷却を十分に行いながらプラスチックスに極接近させて使用すると、表面改質のスピードが著しく大きい。
【００１５】誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該放電から生ずるエキシマ光は、自己吸収が小さいので、ランプの容器を棒状あるいは板状に長く設計し、長手方向と直行する方向に放電電流を流しておいて長手方向ら放射光を取り出せる。したがって、強力なビーム光を得易い。
」（段落【００１２】〜【００１５】）
（ａ４）「【００２０】図３は、本発明に使用する誘電体バリヤ放電ランプの他の設計例の説明図である。図において、放電空間５を取り囲む四方の壁は、二重の壁８１，８２から成り、他の対面する一対の壁も同様の構造をしており、壁８１，８２の間１４には、冷却流体である液体窒素がらせん状に流れるように、階段状もしくはらせん状の仕切９が設けられている。ランプ１０３の上面は、上面部材１０でおおい、電力供給線１１を引き出す。ランプ１０３の下面は、放射光取出部３であるが、中央部１２が、放射光が集光できるように凸レンズ状になっており、かつ溝６から流れる液体が、中央部１２の頂点（頂線）１３に伝わり易く形成されている。集光のために、中央部を凹レンズ状に形成しても、その周淵において頂点（頂線）を形成させることができる。放電空間５の大きさは、図１に示したランプ１００と同様であって、内寸法でたて方向２０ｃｍ、横方向３ｍｍ、紙面に垂直な奥行方向３０ｃｍである。したがって、放射光の形は前記同様、線状のビームである。
【００２１】上記ランプ１０３の放電空間５に、アルゴンと塩素とを等モル封入し、バッファーガスとしてネオン６００トール封入して、４００Ｗで点灯する。溝６に注入する液体は、硼酸の水溶液であって、図２に示す方法と同様に、ポリ四弗化エチレンシートと対接させて表面改質を行った。この時、ランプ１０３とシート１０１との間隙１０２は頂点（頂線）１３とシート１０１との距離であって、硼酸水溶液は一部はスリット７から降下し、一部はその頂点（頂線）まで伝わって来る。この場合は、シート１０１の走行スピードが２ｍｍ／分の時で、水に対する接触角を３０度まで小さく出来る。そして、硼酸水溶液の層の厚みが、２０μｍを越すと、ほとんど表面改質効果が見られない。尚、上記ランプ１０３では、ランプの上面、下面を除いた四辺を液体窒素で冷却しており、電極２の附されている壁８１の温度を１００℃以下に保つことが出来るとともに、そのように低温制御しても、ランプからの分光放射特性は変わらない。むしろ、３００℃を越えるとランプからの放射強度が低下する。
【００２２】また、上記の実施例では、放射光取出部３の温度を１００℃以下に冷却できるので、間隙１０２が極端に小さくても、硼酸水溶液やシートの加熱を抑制できる。」（段落【００２０】〜【００２２】）
（ａ５）「【００２６】図６は、本発明の他の実施例の説明図である。図において、誘電体バリヤ放電ランプ１０５には、放電空間５の寸法・形状は図１のランプと同じではあるが、溝６がなく、またランプ全体を冷却する構造とはなっていない。しかし、放射光取出部３には、両側から冷却流体ノズル２６から噴射される冷却液によってその部分のみ冷却できるようになっている。放電空間５には、アルゴンと弗素とネオンが充填され、放射光取出部３は、被処理物である弗素樹脂系のシートに極接近して配置される。ここで冷却液を硼酸の水溶液にすれば、放射光取出部３の冷却流体とスカベンジャー用水溶液１９とが兼務でき、かつ、その液の層の厚さも、間隙１０２の距離によって実質上決めることができる。このシートで、水に対する接触角は１１０度のものが２０度にまで小さくすることができ、表面改質効果が得られることが分かる。」（段落【００２６】）
　以上の（ａ１）〜（ａ５）の記載及び明細書に添付の図面から、刊行物１には、「誘電体バリア放電ランプは、放電空間５を四方から取り囲む二重の壁８１、８２からなり、放電用ガスとしてキセノンもしくはキセノンを中心とするガスが用いられ、壁８１、８２の間１４には冷却流体が流れ、ランプ１０３の下面の放射光取出部３は中央部が凸レンズ状になっており、放射光取出部は被処理物質に極接近状態で配置されることを特徴とする誘電体バリア放電ランプを用いた紫外線照射装置。」についての発明が記載されているものと認められる。
　
　同じく、原査定の拒絶の理由に引用された実願昭５９−１２９２６５号（実開昭６１−４４２２７号）のマイクロフィルム（以下、「刊行物２」という。）には、高圧水銀ランプを用いた紫外線照射器において、被照射物の形状・構造に応じて照射するために、また、紫外線の照射量を制御しやすくするために、水銀ランプの箱体に複数の光ファイバを設けた紫外線照射器が開示されている。
　
（３）本願補正発明と刊行物１に記載された発明との対比
　本願補正発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、刊行物１に係る誘電体バリア放電ランプもエキシマ光を放出するもので、本願補正発明と同様に真空紫外光を放出するものであり、また、刊行物１の発明に係る「四方の壁８２からなる空間」、「放電空間をその中に有する四方の壁８１からなる部材」、「放射光取出部」は、それぞれ本願補正発明に係る「容器」、「誘電体バリア放電ランプ」、「窓部材」に実質的に相当するから、両者は、「容器内部に真空紫外光を放射する誘電体バリア放電ランプが配置され、該容器に前記誘電体バリア放電ランプから放射される真空紫外光を取り出す窓部材が形成され、該窓部材から放射された真空紫外光によって被処理物を処理する紫外線照射装置。」である点で一致し、次の点で相違する。
相違点１；本願補正発明では、容器内部は真空紫外光を吸収しないガス状の不活性体が充満されているのに対し、刊行物１に記載の発明では、冷却流体が充満されている点。
相違点２；本願補正発明では、窓部材は、真空紫外光を放射する放射面の一部が、被処理物方向に突出した突出放射面となっており、前記突出放射面は、被処理物方向に前記窓部材の厚みを大きくすることによって突出しているのに対し、刊行物１に記載の発明に係る窓部材は、そのような構成とはなっていない点。
　
（４）当審の判断
相違点１について；
　誘電体バリア放電ランプにおいて、容器内を真空紫外光を吸収しない不活性ガスで充満させることは周知の技術手段である（周知例として、特開平９−７４０７９号公報、特開平９−２２８８９号公報、特開平１０−１４９９８２号公報、特開平１０−２８９６９４号公報を参照のこと。）
相違点２について；
　本願補正発明に係る真空紫外光は、いわゆるエキシマ光と称されるものであって、刊行物１に記載の真空紫外エキシマ光と同様に、酸素に吸収されオゾンを生成するものである。そして、そして被処理物表面を処理する際に、窓と被処理物の間の距離が大きければ、そこの存在する酸素が先にエキシマ光を吸収してしまい、被処理物の表面を処理するという所期の目的な達成できないことになるから、前記距離をできるだけ小さくすることは、当該分野において、自明の技術的課題といえるものである。
　その前提にたち、相違点２を考察すると、紫外線ランプ容器における紫外光取出部に光ガイド部材を付設し、被照射物と放射面との間の距離を短くすることは刊行物２に記載されているとおりである。してみれば、本願補正発明に係る被処理物に突出した突出放射面も外部の雰囲気ガスに触れずに紫外光を被処理物表面近傍に導くものであり、機能的に刊行物２に記載の光ファイバよりなる光ガイド部材と差異はないものである。したがって、窓と被処理物表面との距離をできるだけ小さくするという当該技術分野における周知の技術的課題の下で、刊行物１に記載の誘電体バリア放電ランプの窓部材に、そのような光ガイド部材に相当する突出放射面を設けることは、当業者であれば容易に想到することができたものであり、かつ、突出放射面として、窓部材の厚みを大きくすることも、当業者であれば、第一義的に想起しうるものであって、格別な創意工夫を要しないものである。。
　
　そして、本願補正発明の作用効果も上記刊行物１、２及び周知技術から当業者が予測できる範囲のものでる。
  
　したがって、本願補正発明は刊行物１、２に記載された発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明することができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
　（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
（１）本願発明
　平成１４年１１月１日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明は、平成１４年７月２５日付けの手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである（以下、同項記載の発明を「本願発明」という。）。
「【請求項１】
　容器内部に真空紫外光を放射する紫外線ランプが配置され、該容器に前記紫外線ランプから放射される真空紫外光を取り出す窓部材が形成されて、該窓部材から放射された真空紫外光によって被処理物を処理する紫外線照射装置において、
　前記窓部材は、真空紫外光を放射する放射面の一部が、被処理物方向に当該窓部材の厚みを大きくすることによって突出した突出放射面となっていることを特徴とする紫外線照射装置。」
　
（２）刊行物１
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物１乃至３の記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（３）対比・判断
　本願発明は、前記２．で認定した本願補正発明に係る構成要件である「誘電体バリア放電ランプ」にかえてその上位概念である「紫外線ランプ」を構成要件とし、また、「容器内部には真空紫外光を吸収しないガス状の不活性体が充満し、」との構成要件が削除され、さらに、窓部材の構成が上記補正前の「真空紫外光を放射する放射面の一部が、被処理物方向に突出した突出放射面となっており、前記突出放射面は、被処理物方向に前記窓部材の厚みを大きくすることによって突出している」から「真空紫外光を放射する放射面の一部が、被処理物方向に当該窓部材の厚みを大きくする」に、より限定を省いた構成になっているものである。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（４）」に記載したとおり、上記刊行物１、２に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、刊行物１、２に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１、２に記載された発明及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
  よって、結論のとおり審決する。