【手続補正書】
【提出日】平成30年9月26日(2018.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体を含み、第１方向に沿って駆動振動し、物理量が加わることで前記第１方向に直交する第２方向に沿って検出振動する検出腕と、
前記検出腕に配置されている第１検出信号電極、第２検出信号電極および基準電位電極と、を有し、
前記第１検出信号電極は、第１電極部と、第２電極部と、を有し、
前記第２検出信号電極は、第３電極部と、第４電極部と、を有し、
前記基準電位電極は、
前記第１電極部に対して基準電位となる第１基準電位電極部と、
前記第２電極部に対して基準電位となる第２基準電位電極部と、
前記第３電極部に対して基準電位となる第３基準電位電極部と、
前記第４電極部に対して基準電位となる第４基準電位電極部と、を有し、
前記第１電極部と前記第１基準電位電極部の間に発生する信号と、前記第２電極部と前記第２基準電位電極部の間に発生する信号とは、前記駆動振動のときに逆相であり、前記検出振動のときに同相であり、
前記第３電極部と前記第３基準電位電極部の間に発生する信号と、前記第４電極部と前記第４基準電位電極部の間に発生する信号とは、前記駆動振動のときに逆相であり、前記検出振動のときに同相であることを特徴とする物理量検出振動片。
【請求項２】
前記検出腕は、
前記第１方向の一方側に向けて突出する第１突出部と、
前記第１方向の他方側に向けて突出する第２突出部と、
前記第１突出部に対して前記第２方向の一方側に位置し、前記第１方向の前記一方側に向けて突出する第３突出部と、
前記第２突出部に対して前記第２方向の前記一方側に位置し、前記第１方向の前記他方側に向けて突出する第４突出部と、を有し、
前記第１電極部および前記第１基準電位電極部は、前記第１突出部を間に挟んで配置され、
前記第２電極部および前記第２基準電位電極部は、前記第２突出部を間に挟んで配置され、
前記第３電極部および前記第３基準電位電極部は、前記第３突出部を間に挟んで配置され、
前記第４電極部および前記第４基準電位電極部は、前記第４突出部を間に挟んで配置されている請求項１に記載の物理量検出振動片。
【請求項３】
圧電体を含み、第１方向に沿って駆動振動し、物理量が加わることで前記第１方向に直交する第２方向に沿って検出振動する検出腕と、
前記検出腕に配置されている第１検出信号電極および第２検出信号電極と、を有し、
前記第１検出信号電極は、第１電極部と、第２電極部と、を有し、
前記第２検出信号電極は、第３電極部と、第４電極部と、を有し、
前記第１電極部と前記第３電極部の間に発生する信号と、前記第２電極部と前記第３電極部の間に発生する信号とは、前記駆動振動のときに逆相であり、前記検出振動のときに同相であり、
前記第１電極部と前記第４電極部の間に発生する信号と、前記第２電極部と前記第４電極部の間に発生する信号とは、前記駆動振動のときに逆相であり、前記検出振動のときに同相であることを特徴とする物理量検出振動片。
【請求項４】
前記検出腕は、
前記第１方向の一方側に配置されている検出腕第１主面と、
前記第１方向の他方側に配置されている検出腕第２主面と、
前記第２方向の一方側に配置されている検出腕第１側面と、
前記第２方向の他方側に配置されている検出腕第２側面と、
前記検出腕第１主面に開放する検出腕第１溝部と、
前記検出腕第２主面に開放する検出腕第２溝部と、を有し、
前記第１電極部は、前記検出腕第１溝部に配置され、
前記第２電極部は、前記検出腕第２溝部に配置され、
前記第３電極部は、前記検出腕第１側面に配置され、
前記第４電極部は、前記検出腕第２側面に配置されている請求項３に記載の物理量検出振動片。
【請求項５】
前記検出腕を挟んで配置されている一対の駆動腕と、
前記検出腕および前記駆動腕が接続されている基部と、を有する請求項１ないし４のいずれか１項に記載の物理量検出振動片。
【請求項６】
前記検出腕は、前記基部を挟んで少なくとも２本配置されている請求項５に記載の物理量検出振動片。
【請求項７】
前記第１方向および前記第２方向に直交する方向を第３方向としたとき、
基部と、
前記基部から互いに前記第３方向の反対側に延びている一対の前記検出腕と、
前記基部から互いに前記第２方向の反対側に延びている一対の連結腕と、
一方の前記連結腕から互いに前記第３方向の反対側へ延びている一対の駆動腕と、
他方の前記連結腕から互いに前記第３方向の反対側へ延びている一対の駆動腕と、を有している請求項１ないし４のいずれか１項に記載の物理量検出振動片。
【請求項８】
一方の前記検出腕の前記第１方向の一方側の面に設けられている第１錘部と、
他方の前記検出腕の前記第１方向の他方側の面に設けられている第２錘部と、を有している請求項７に記載の物理量検出振動片。
【請求項９】
前記駆動腕は、
前記第１方向の一方側に配置されている駆動腕第１主面と、
前記第１方向の他方側に配置されている駆動腕第２主面と、
前記第２方向の一方側に配置されている駆動腕第１側面と、
前記第２方向の他方側に配置されている駆動腕第２側面と、
前記駆動腕第１主面に設けられている駆動腕第１溝部と、
前記駆動腕第２主面に設けられている駆動腕第２溝部と、
前記駆動腕第１溝部の前記第２方向の一方側に位置し、前記駆動腕第１主面と前記駆動腕第１側面とを接続している第１段差部と、
前記駆動腕第２溝部の前記第２方向の他方側に位置し、前記駆動腕第２主面と前記駆動腕第２側面とを接続している第２段差部と、を有し、
前記第１方向および前記第２方向に直交する方向を第３方向としたとき、
前記第１段差部の前記第３方向の先端は、前記駆動腕第１溝部の前記第３方向の先端よりも前記駆動腕の先端側に位置し、
前記第２段差部の前記第３方向の先端は、前記駆動腕第２溝部の前記第３方向の先端よりも前記駆動腕の先端側に位置している請求項５ないし８のいずれか１項に記載の物理量検出振動片。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量検出振動片と、
前記物理量検出振動片と電気的に接続されている回路と、を有することを特徴とする物理量検出装置。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量検出振動片を有することを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載の物理量検出振動片を有することを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
駆動腕２４４は、図３に示すように、上面（駆動腕第１主面）に開放し、Ｙ軸方向に延びる溝部（駆動腕第１溝部）２４４１と、下面（駆動腕第２主面）に開放し、Ｙ軸方向に延びる溝部（駆動腕第２溝部）２４４２と、を有する。また、駆動腕２４４は、溝部２４４１の＋Ｘ軸側に位置し、上面と＋Ｘ軸側の側面（駆動腕第１側面）とを接続する段差部２４４３と、溝部２４４２の−Ｘ軸側に位置し、下面と−Ｘ軸側の側面（駆動腕第２側面）とを接続する段差部２４４４と、を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
第４実施形態の物理量検出振動片は、主に、錘部を有すること以外は、前述した第１実施形態の物理量検出振動片と同様である。なお、図１５ないし図１８では、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
第５実施形態の物理量検出振動片は、主に、駆動腕の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の物理量検出振動片と同様である。なお、図１９では、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
図１９に示すように、本実施形態の駆動腕２４１では、段差部２４１３、２４１４の先端が、溝部２４１１、２４１２の先端よりも、駆動腕２４１の先端側に位置している。図示しないが、他の駆動腕２４２、２４３、２４４についても同様である。このような構成とすることで、各駆動腕２４１、２４２、２４３、２４４の非対称性な部分をより長くすることができるため、駆動振動モードにおいて、駆動腕２４１〜２４４をより円滑に斜め振動させることができる。なお、溝部２４１１、２４１２の長さをＬ１とし、段差部２４１３、２４１４の長さをＬ２としたとき、Ｌ１、Ｌ２は、Ｌ１＜Ｌ２≦１．５Ｌ１の関係を満足することが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
チャージアンプ６２（第２の電流・電圧変換部）は、演算増幅器と帰還抵抗と帰還容量を備えて構成されており、演算増幅器の反転入力端子（−端子）には、検出腕２２１の第１検出信号電極３３から出力された検出信号（第１電極部３３１から出力された検出信号および第２電極部３３２から出力された検出信号）Ｓａが入力され、この演算増幅器の非反転入力端子（＋端子）は基準電位に固定される。チャージアンプ６２は、演算増幅器に入力された検出信号を交流電圧信号に変換する。
なお、検出信号Ｓａと検出信号Ｓｂとは、電気的特性が逆である。