【手続補正書】
【提出日】平成30年6月26日(2018.6.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理部が、ワークを撮像する撮像装置の撮像タイミングを制御し、前記ワーク及び撮像装置の少なくとも一方を移動させる移動装置の動作を制御し、前記撮像装置の撮像結果に基づき前記ワークを検査する検査方法であって、
前記処理部が、前記移動装置を予め設定された経路データに従って動作させて、前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を変化させる移動工程と、
前記処理部が、前記移動工程にて前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を変化させながら前記撮像装置に前記ワークを撮像させて複数の画像を取得する画像取得工程と、
前記処理部が、前記撮像装置に前記ワークを撮像させた時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を求める位置計算工程と、
前記処理部が、前記経路データにしたがって前記ワークを移動中に、前記画像取得工程で取得した画像から前記ワークの欠陥を検出して、前記位置計算工程にて計算した前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置に基づき、前記ワークにある欠陥の位置を特定する特定工程と、を備えたことを特徴とする検査方法。
【請求項２】
前記位置計算工程において、前記処理部が、前記複数の画像のうち１つの画像を解析して、該画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を求め、残りの画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を、前記１つの画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置、及び前記経路データに従う前記移動装置の姿勢に基づいて求めることを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
前記移動装置の姿勢は、前記１つの画像の撮像時の前記移動装置の姿勢に対する移動量であることを特徴とする請求項２に記載の検査方法。
【請求項４】
前記処理部が、前記移動装置を所定の姿勢としたときに前記撮像装置により前記ワークを撮像して得られた計測用画像を解析して、該計測用画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を求める計測工程を更に備え、
前記位置計算工程において、前記処理部が、前記画像取得工程にて取得した前記各画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を、前記計測工程にて求めた前記計測用画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置、及び前記経路データに従う前記移動装置の姿勢に基づいて求めることを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項５】
前記移動装置の姿勢は、前記計測用画像の撮像時の前記移動装置の姿勢に対する移動量であることを特徴とする請求項４に記載の検査方法。
【請求項６】
前記位置計算工程において、前記処理部が、前記画像取得工程にて取得した前記複数の画像それぞれを解析して、前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を求めることを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項７】
前記処理部が、前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置に基づき、前記各画像における、前記ワークの検査対象部分に対応する検査領域を計算する検査領域計算工程を更に備え、
前記特定工程において、前記処理部が、前記各画像における前記検査領域について、前記欠陥を検出することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項８】
前記処理部が、前記移動工程時に前記ワークが前記撮像装置に対して所定の経路を辿るように、前記移動工程に先立って、前記移動装置を所定の姿勢としたときの前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置に基づき、前記経路データを補正する経路再設定工程を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項９】
前記移動装置が、ロボットアームと、前記ロボットアームに取り付けられた、前記ワークを把持するロボットハンドとを有するロボットであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の検査方法。
【請求項１０】
ワークを撮像する撮像装置と、
前記ワーク及び前記撮像装置のうち少なくとも一方を移動させる移動装置と、
前記撮像装置の撮像タイミング及び前記移動装置の動作を制御し、前記撮像装置の撮像結果に基づき前記ワークを検査する処理部と、を備え、
前記処理部は、
前記移動装置を予め設定された経路データに従って動作させて、前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を変化させる移動処理と、
前記移動処理にて前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を変化させながら前記撮像装置に前記ワークを撮像させて複数の画像を取得する画像取得処理と、
前記撮像装置に前記ワークを撮像させた時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を求める位置計算処理と、
前記経路データにしたがって前記ワークを移動中に、前記画像取得処理で取得した画像から前記ワークの欠陥を検出して、前記位置計算処理にて計算した前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置に基づき、前記欠陥の位置を特定する特定処理と、実行することを特徴とする検査装置。
【請求項１１】
前記処理部は、
前記位置計算処理において、前記複数の画像のうち１つの画像を解析して、該画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を求め、残りの画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を、前記１つの画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置、及び前記経路データに従う前記移動装置の姿勢に基づいて求めることを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記移動装置の姿勢は、前記１つの画像の撮像時の前記移動装置の姿勢に対する移動量であることを特徴とする請求項１１に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記処理部は、
前記移動装置を所定の姿勢としたときに前記撮像装置により前記ワークを撮像して得られた計測用画像を解析して、該計測用画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を求める計測処理を更に実行し、
前記位置計算処理において、前記画像取得処理にて取得した前記各画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を、前記計測処理にて求めた前記計測用画像の撮像時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置、及び前記経路データに従う前記移動装置の姿勢に基づいて求めることを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１４】
前記移動装置の姿勢は、前記計測用画像の撮像時の前記移動装置の姿勢に対する移動量であることを特徴とする請求項１３に記載の検査装置。
【請求項１５】
前記処理部は、前記位置計算処理において、前記画像取得処理にて取得した前記複数の画像それぞれを解析して、前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を求めることを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１６】
前記処理部は、
前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置に基づき、前記各画像における、前記ワークの検査対象部分に対応する検査領域を計算する検査領域計算処理を更に実行し、
前記特定処理において、前記各画像における前記検査領域について、前記欠陥を検出することを特徴とする請求項１０乃至１５のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１７】
前記処理部は、
前記移動処理時に前記ワークが前記撮像装置に対して所定の経路を辿るように、前記移動処理に先立って、前記移動装置を所定の姿勢としたときの前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置に基づき、前記経路データを補正する経路再設定処理を更に実行することを特徴とする請求項１０乃至１６のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１８】
前記移動装置が、ロボットアームと、前記ロボットアームに取り付けられた、前記ワークを把持するロボットハンドとを有するロボットであることを特徴とする請求項１０乃至１７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１９】
ワークを撮像する撮像装置の撮像タイミングを制御し、前記ワーク及び前記撮像装置のうち少なくとも一方を移動させる移動装置の動作を制御し、前記撮像装置の撮像結果に基づき前記ワークを検査する処理部を備えた処理装置であって、
前記処理部は、
前記移動装置を予め設定された経路データに従って動作させて、前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を変化させる移動処理と、
前記移動処理にて前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を変化させながら前記撮像装置に前記ワークを撮像させて複数の画像を取得する画像取得処理と、
前記撮像装置に前記ワークを撮像させた時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を求める位置計算処理と、
前記経路データにしたがって前記ワークを移動中に、前記画像取得処理で取得した画像から前記ワークの欠陥を検出して、前記位置計算処理にて計算した前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置に基づき、前記欠陥の位置を特定する特定処理と、実行することを特徴とする処理装置。
【請求項２０】
コンピュータに、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の検査方法の各工程を実行させるためのプログラム。
【請求項２１】
請求項２０に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の検査方法は、処理部が、ワークを撮像する撮像装置の撮像タイミングを制御し、前記ワーク及び撮像装置の少なくとも一方を移動させる移動装置の動作を制御し、前記撮像装置の撮像結果に基づき前記ワークを検査する検査方法であって、前記処理部が、前記移動装置を予め設定された経路データに従って動作させて、前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を変化させる移動工程と、前記処理部が、前記移動工程にて前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を変化させながら前記撮像装置に前記ワークを撮像させて複数の画像を取得する画像取得工程と、前記処理部が、前記撮像装置に前記ワークを撮像させた時の前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置を求める位置計算工程と、前記処理部が、前記経路データにしたがって前記ワークを移動中に、前記画像取得工程で取得した画像から前記ワークの欠陥を検出して、前記位置計算工程にて計算した前記ワークと前記撮像装置との相対的な位置に基づき、前記ワークにある欠陥の位置を特定する特定工程と、を備えたことを特徴とする。