【事件の表示】
　特許第５８１９９８７号発明「液体管理システムおよび液体管理方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第５８１９９８７号の請求項１、３及び４に係る特許を維持する。
【理　由】
１　手続の経緯　 
　特許第５８１９９８７号（以下「本件特許」という。）の請求項１−７に係る特許についての出願は、平成２４年１２月１４日に特許出願され、平成２７年１０月９日に特許の設定登録がされ、その後、その特許に対し、特許異議申立人　伊勢川和江により特許異議の申立てがされたものである。 
２　本件発明
　特許第５８１９９８７号の請求項１、３及び４の特許に係る発明は、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１、３及び４に記載された事項により特定されるとおりのものである。
３　申立理由の概要
　特許異議申立人は、証拠として特開２００３−２９７７９５号公報（以下「刊行物１」という。）及び従たる証拠として特開平９−５７０６９号公報（以下「刊行物２」という。）を提出し、請求項１、３及び４に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、請求項１、３及び４に係る特許を取り消すべきものである旨主張した。
４　刊行物の記載 
（１）　刊行物１及び刊行物１発明
ア　刊行物１には、図面とともに以下の記載がある。
（ア）　「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハの洗浄・乾燥装置、及び洗浄・乾燥方法に係り、
特にイソプロピルアルコール（ＩｓｏＰｒｏｐｙｌ  Ａｌｃｏｈｏｌ；以下、ＩＰＡと略称する）と超純水とよりなる混合液を洗浄液として用い、特に洗浄液を、洗浄の行われる処理槽に供給する前に正確な濃度にあらかじめ混合する
工程済みの洗浄液は循環させてリサイクルできる半導体ウェーハの洗浄・乾燥装置
（イ）　「【００１８】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき、本発明を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例に係る半導体ウェーハの洗浄・乾燥装置の全体的な構成を概略的に示す図面である。図面を参照すれば、本実施例に係る
半導体ウェーハの洗浄・乾燥装置は、その内部でウェーハＷの洗浄・乾燥が行われる処理槽１１
・・・・
【００２３】
一方、前記洗浄液混合ユニット５０は、２つのＩＰＡタンク１８、１９と、前記各ＩＰＡタンク１８、１９と各々連結される２つの混合タンク２４、２５とを有する。前記２つのＩＰＡタンク１８、１９は並列に構成されているために、外部から供給されるＩＰＡは両側のＩＰＡタンク１８、１９に同時に供給されうる。また、前記２つの混合タンク２４、２５も並列に構成されているために、外部から供給される超純水は両側の混合タンク２４、２５内に同時に供給されうる。
【００２４】
また、前記各ＩＰＡタンク１８、１９には、多数のレベルセンサー２０が備えられている。前記レベルセンサー２０は、ＩＰＡタンク１８、１９内に供給されるＩＰＡの流量を感知して所望量だけのＩＰＡを供給可能にする。同様に、前記混合タンク２４、２５にも多数のレベルセンサー２１が設けられている。前記レベルセンサー２１は、混合タンク２４内に供給される超純水の流量を感知して所望量だけの超純粋を供給可能にする。
【００２５】図面番号４４はオーバフロードレイン管である。前記オーバフロードレイン管４４は、後述するようにリターンライン５４やドレインライン９０を通じて帰還した洗浄液が混合タンク２４、２５内で所定レベル以上に上昇する時、洗浄液を混合タンク２４、２５の外部に排出するパイプである。
前記各ＩＰＡタンク１８、１９は連結パイプ５６を通じて混合タンク２４、２５と連結されている。したがって、各ＩＰＡタンク１８、１９に供給されているＩＰＡはそれぞれの連結パイプ５６を通じて混合タンク２４、２５に移動しうる。
【００２６】前記各混合タンク２４、２５内には必要量だけの超純水が独立して供給される。したがって、
各混合タンク２４、２５の内部にはＩＰＡタンク１８、１９から供給されたＩＰＡと超純水とが所定比率で混在する。
超純水に対するＩＰＡの濃度が制御可能になって混合タンク２４、２５内で所望の濃度の洗浄液が得られる。
【００２７】
前記各連結パイプ５６は、２本に分岐され、分岐された一側の連結パイプにはＩＰＡ補充ポンプ２２、２３が設けられる。前記ＩＰＡ補充ポンプ２２、２３は、必要時にＩＰＡをＩＰＡタンク１８、１９から混合タンク２４、２５に追加供給する時に使用するものであって、正確な量のＩＰＡを迅速に移動させうる。
【００２８】前記ＩＰＡは、揮発性物質なので洗浄液の循環中に洗浄液から徐々に揮発してなくなることがある。このようにＩＰＡが揮発した場合、洗浄液内のＩＰＡの濃度が薄くなるので、前記ＩＰＡ補充ポンプ２２、２３に不足分だけのＩＰＡを補充すれば良い。
【００２９】前述したように、
各混合タンク２４、２５の内部にはＩＰＡと超純水とが所望の比率で混在すが、超純水とＩＰＡとを確実に混合可能に窒素気泡発生器２６がさらに設けられる。前記窒素気泡発生器２６は、外部から供給された窒素ガスを混合タンク２４、２５の内側下部に噴射して収容されている超純水とＩＰＡとを完全に混合させる。
【００３０】前記各混合タンク２４、２５は、混合液供給弁２８、２９を通じて供給パイプ５８に連結される。前記２つの混合液供給弁２８、２９は同時に開放されることではなく、交互に開放される。すなわち、一方の混合液供給弁２８が開放される時、他方の混合液供給弁２９は閉塞され、逆に、一方の混合液供給弁２８が閉塞される時、他方の混合液供給弁２９は開放される。
【００３１】
これは一方の混合タンク２４内の洗浄液だけが循環して処理槽１１に供給され、その間に他方の混合タンク２５内の洗浄液は混合タンク２５内で待っていることを意味する。すなわち、一方の混合液供給弁２８のみを開放し、一方の混合タンク２４内の洗浄液だけでウェーハの洗浄を行っていて、一定時間後に洗浄液が許容値以上に汚染された場合、該当混合液供給弁２８は閉塞し、他方の混合液供給弁２９を開放して待っていた他方の混合タンク２５内の未使用の洗浄液を循環させて洗浄し続ける
【００３２】前記のように他方の混合タンク２５内の洗浄液を処理槽１１に供給する間に、一方の混合タンク２４の混合液排液弁３０を開放して混合タンク２４内の汚染された洗浄液を排出する。混合タンク２４が完全に空になると、排液弁３０を閉塞して外部から新しいＩＰＡと超純水とを供給されて所望の比率に混合させた状態で待つ。
【００３３】前述したように混合タンク２４、２５を２つ備えて交互に使用することによって、装置を止めずにきれいな洗浄液を供給し続けるために、ウェーハの洗浄・乾燥が迅速でかつ効率よく行われる。
各混合タンク２４、２５の下部に備えられている排液管６４、６５は、必要時に混合タンク２４内の洗浄液を回収ユニット８２側に排出するパイプであって各々混合液排液弁３０、３１により開閉される。
【００３４】基本的に、前記回収ユニット８２はウェーハの洗浄により許容値以上に汚染された洗浄液を収容し、汚染された洗浄液を純粋なＩＰＡ及びＤＩＷとリサイクルする役割を行う。
前記回収ユニット８２は、前記排液管６４、６５と連結され、汚染された洗浄液を収容する加熱タンク７０と、前記加熱タンク７０に各々連結するＩＰＡ回収タンク７４及びＤＩＷ回収タンク７８と、前記加熱タンク７０からＩＰＡ回収タンク７４に移動するＩＰＡ内の不純物を除去するＩＰＡフィルター７２と、前記加熱タンク７０からＤＩＷ回収タンク７８に移動するＤＩＷ内の不純物を除去するＤＩＷフィルター７６と、を含む。
【００３５】
前記加熱タンク７０は、洗浄液を受け入れ、該受け入れた洗浄液を加熱して洗浄液内で沸騰点の相対的に低いＩＰＡを蒸発させてＤＩＷとＩＰＡとを相互分離する。
加熱タンク７０の内部で気体状態に相変化したＩＰＡはＩＰＡフィルター７２を経て不純物の除去された状態でＩＰＡ回収タンク７４に移動し続けつつ冷却されて経時的に液状に再凝縮される。
記ＩＰＡ回収タンク７４に集まったＩＰＡ液は洗浄液混合ユニット５０のＩＰＡタンク１８、１９に供給されてリサイクルされる。
【００３６】
前記ＩＰＡが溢れ出た後の加熱タンク７０内には汚染された状態の超純水が残っている。前記超純水はＤＩＷフィルター７６を通過して浄化された後、ＤＩＷ回収タンク７８内に臨時貯蔵される。前記ＤＩＷ回収タンク７８内に集まったＤＩＷ液は洗浄液混合ユニット５０のＤＩＷタンク２４、２５に供給されてリサイクルされる。
・・・・
【００３８】前記循環ポンプ３６により処理槽１１に移動する洗浄液はまずフィルター３８を通過しつつ浄化される。前記フィルター３８は洗浄液を通過させ、内部に混ざっている不純物をろ過して洗浄液の使用時間を最大限に延ばす。
前記フィルター３８に直列に連結されたＩＰＡ濃度計４０は循環する洗浄液内のＩＰＡの濃度をチェックする。前記ＩＰＡは揮発性なので、洗浄液が循環し続ける間にはその濃度が徐々に薄くなり得るので、ＩＰＡ濃度計４０を設けて洗浄液内のＩＰＡの濃度を持続的に点検する。前記ＩＰＡ濃度計４０を通じてＩＰＡの濃度が薄くなったことを見つけた場合には、前記ＩＰＡ補充ポンプ２２、２３を作動させてＩＰＡタンク１８、１９内のＩＰＡを混合タンク２４、２５にポンピングすることによって洗浄液の最適の濃度を回復させる。
【００３９】また、前記液状微粒子検出器４２は循環する洗浄液内の液状微粒子の量を検出して洗浄液の入れ替えの如何を決定可能にする。前記液状微粒子は前記フィルター３８によりろ過されていない汚染物質である。
前記洗浄液供給部５２を通過して処理槽１１内に供給された洗浄液は処理槽内でウェーハＷを洗浄した後、処理槽１１から溢れ出てリターンライン５４に移動する。
【００４０】
前記リターンライン５４を通じて流動する洗浄液は再び液状微粒子検出器４３を通過する。
前記リターンライン５４を通過する洗浄液は開放されているリターン弁６０または６１を経て混合タンク２４、２５内に帰還する。
（ウ）　「【００５８】
図１３は、一定量のＩＰＡ及びＤＩＷが混合されて構成された一定濃度の洗浄液を濃度変化無しに処理槽に供給できることを示す。
【００５９】図１６は、超純水に対するＩＰＡの濃度を漸進的に変化させず、一定の時間間隔をおいて段階的に増加させうることを示す。
図１７は、図１６の逆過程であって処理槽に純粋なＩＰＡだけを供給していて所定の時間間隔で超純水を供給してＩＰＡ濃度を段階的に下げられることを示す。
（エ）　「【００６１】
【発明の効果】以上述べたように、
本発明に係る半導体ウェーハの洗浄・乾燥装置、及びこれを用いた洗浄・乾燥方法は、処理槽内に供給する超純水とＩＰＡとを処理槽に供給する前に、あらかじめ完全に混合することによって洗浄・乾燥作業を効率よく行え、かつ洗浄液をリサイクルすることによって洗浄液の浪費を防止しうる。
（オ）　図１には、混合タンク２４及び２５の洗浄液を、ＩＰＡ濃度計４０を含む洗浄液供給部５２を介して、処理槽１１に供給するパイプが図示されている。
（カ）　図１には、混合タンク２４及び２５に超純水（ＤＩＷ）を供給するパイプが図示されている。
イ　以上より、刊行物１には以下の発明（以下、「刊行物１発明」という。）が記載されていると認められる。
「半導体ウエーハＷの洗浄の行われる処理槽１１を含み、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と超純水とよりなる混合液を洗浄液として用い、洗浄の行われる処理槽に供給する前に正確な濃度にあらかじめ混合する洗浄・乾燥装置であって、
　ＩＰＡタンク１８及び１９から供給されるイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と超純水（ＤＩＷ）とを混合して一定濃度の洗浄液を得る混合タンク２４及び２５と、
　混合タンク２４及び２５の一定濃度の洗浄液を、ＩＰＡ濃度計４０を介して、処理槽１１に供給するパイプと、
　処理槽１１から溢れ出た洗浄液を、混合タンク２４及び２５内に帰還させるリターンライン５４と、
　混合タンク２４及び２５の下部に備えられている排液管６４及び６５を通じて、混合タンク２４及び２５の一方の汚染された洗浄液を回収ユニット８２側に排出し、
　回収ユニット８２は、汚染された洗浄液を加熱して、超純水（ＤＩＷ）とイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）に相互分離する加熱タンク７０と、加熱タンク７０の内部で気体状態に相変化したＩＰＡの不純物を除去するＩＰＡフィルター７２と、ＩＰＡフィルター７２を経た不純物の除去されたＩＰＡを回収するＩＰＡ回収タンク７４とを有し、
　ＩＰＡ回収タンク７４に集まったＩＰＡ液をＩＰＡタンク１８及び１９に供給し、リサイクルすることと、
　ＩＰＡ供給タンク１８及び１９から混合タンク２４及び２５にＩＰＡを供給する連結パイプ５６と、
　混合タンク２４及び２５に超純水（ＤＩＷ）を供給するパイプと、
　洗浄液内のＩＰＡ濃度を点検するＩＰＡ濃度計４０と、
　ＩＰＡ濃度計４０を通じてＩＰＡの濃度が薄くなったことを見つけた場合には、パイプ５６に設けられたＩＰＡ補充ポンプ２２及び２３を作動させてＩＰＡタンク１８及び１９内のＩＰＡを混合タンク２４及び２５にポンピングすることによって、洗浄液の濃度を一定の濃度にすること
　を有する洗浄・乾燥装置。」
（２）　刊行物２
ア　刊行物２には、図面とともに以下の記載がある。
（ア）　「【請求項１】  
水を選択的に透過させる浸透気化膜を用いて水を除去する工程を含む、イオン性不純物と水分とを含有する有機液体の精製方法において、浸透気化膜モジュールに供給する前の液体及び浸透気化膜モジュールから抜き出した膜を透過していない液体の一方又は両方をイオン交換樹脂で処理することを特徴とする有機液体の精製方法。
（イ）　「【０００２】
【従来の技術】一般に、
半導体ウェーハ等の加工に於いては、被処理物の水洗後に、イソプロピルアルコール（以下ＩＰＡと称す）等のアルコール類の蒸気による乾燥を行うため、いわゆる蒸気乾燥装置が使用される。
近年、環境に対する配慮やコスト削減の要請から、水分の多くなったアルコール等の薬液を分離膜モジュールを使用した浸透気化法により精製して利用することが行われるようになった。
（ウ）　「【００３０】
【発明の効果】
本発明の方法によれば、半導体産業等で使用された有機液体を再使用できる程度まで精製できるので、産業上有用である。
イ　以上より、刊行物２には以下の発明（以下、「刊行物２発明」という。）が記載されていると認められる。
　「浸透気化膜モジュールの前又は後でイオン交換樹脂で有機液体（イソプロピルアルコール）を精製するもの」
５　請求項１に係る発明（以下、「本願第１発明」という。）と刊行物１発明との対比
ア　刊行物１発明の「半導体ウエーハＷ」及び「洗浄の行われる処理槽」は、本願第１発明の「対象物」及び「洗浄装置」にそれぞれ相当する。そして、刊行物１発明の「洗浄・乾燥装置」は、「超純水とよりなる混合液を洗浄液として用い、洗浄の行われる処理槽に供給する前に正確な濃度にあらかじめ混合する」ことから、後述の相違点を除き、本願第１発明の「洗浄液を管理する液体管理システム」に相当するといえる。
　そうすると、刊行物１発明の「半導体ウエーハＷの洗浄の行われる処理槽１１を含み、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と超純水とよりなる混合液を洗浄液として用い、洗浄の行われる処理槽に供給する前に正確な濃度にあらかじめ混合する洗浄・乾燥装置」は、後述の相違点を除き、本願第１発明の「対象物を洗浄する洗浄装置で使う洗浄液を管理する液体管理システム」に相当するといえる。
イ　刊行物１発明の「イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）」及び「超純水」は、本願第１発明の「アルコール」及び「純水」に相当する。また、刊行物１発明の「ＩＰＡタンク１８及び１９から供給されるイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と超純水（ＤＩＷ）とを混合して一定濃度の洗浄液を得る混合タンク２４及び２５」との構成から、「混合タンク２４及び２５」により、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と超純水（ＤＩＷ）とを混合して洗浄液が作られていることは自明であるから、刊行物１発明の「混合タンク２４及び２５」は、本願第１発明の「混合手段」に相当するといえる。
ウ　刊行物１発明の「ＩＰＡタンク１８及び１９から供給されるイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と超純水（ＤＩＷ）とを混合して
一定濃度の洗浄液
混合タンク２４及び２５内で洗浄液の濃度を一定の濃度にする
　なお、刊行物第１発明の「濃度調整手段」と本願第１発明の「濃度調整手段」の詳細な構成とについては下記（キ、ク、ケ及びコ）において、詳細に記載する。
　
エ　刊行物１発明の「混合タンク２４及び２５の一定濃度の洗浄液を、ＩＰＡ濃度計４０を介して、処理槽１１に供給するパイプ」との構成における、「混合タンク２４及び２５の一定濃度の洗浄液」は、上記ウより、本願第１発明の「その濃度調整された洗浄液」に相当するといえる。
　そうすると、刊行物１発明の「混合タンク２４及び２５の一定濃度の洗浄液を、ＩＰＡ濃度計４０を介して、処理槽１１に供給するパイプ」は、本願第１発明の「その濃度調整された洗浄液を前記洗浄装置へ供給するライン」に相当するといえる。
オ　刊行物１発明の「処理槽１１から溢れ出た洗浄液を、混合タンク２４及び２５内に帰還させるリターンライン５４」との構成から、「処理槽１１」から排出された「洗浄液」を回収して、「混合タンク２４及び２５」内に戻す「リターンライン５４」が特定されていることは明らかであるから、刊行物１発明の「処理槽１１から溢れ出た洗浄液を、混合タンク２４及び２５内に帰還させるリターンライン５４」は、本願第１発明の「前記洗浄装置から排出された洗浄液を回収して前記混合手段へ戻すライン」に相当するといえる。
カ　刊行物１発明は、「混合タンク２４及び２５の下部に備えられている排液管６４及び６５を通じて、混合タンク２４及び２５の一方の汚染された洗浄液を回収ユニット８２側に排出し、回収ユニット８２は、汚染された洗浄液を加熱して、超純水（ＤＩＷ）とイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）に相互分離する加熱タンク７０と、加熱タンク７０の内部で気体状態に相変化したＩＰＡの不純物を除去するＩＰＡフィルター７２と、ＩＰＡフィルター７２を経た不純物の除去されたＩＰＡを回収するＩＰＡ回収タンク７４とを有し、ＩＰＡ回収タンク７４に集まったＩＰＡ液をＩＰＡタンク１８及び１９に供給し、リサイクルすること」が特定されている。
　上記「汚染された洗浄液」は、「汚染されている」ことから、上記オより、「処理槽１１」から排出されている洗浄液であることは自明である。よって、刊行物１発明の「汚染された洗浄液」は、本願第１発明の「洗浄装置から排出された洗浄液」に相当するといえる。
　また、上記「加熱タンク７０」は、「超純水（ＤＩＷ）とイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）に相互分離」していることから、「イソプロピルアルコール」を濃縮していることは自明である。よって、刊行物１発明の「加熱タンク７０」は、本願第１発明の「アルコールを濃縮する濃縮装置」に相当するといえる。
　また、上記「ＩＰＡフィルター７２」は、「加熱タンク７０の内部で気体状態に相変化したＩＰＡの不純物を除去」していることから、本願第１発明の「不純物を除去する精製装置」に相当するといえる。
　したがって、本願第１発明の「前記混合手段へ戻すライン上に設けられ、前記洗浄装置から排出された洗浄液中の不純物を除去する精製装置と、前記精製装置の上流側または下流側に位置し、前記洗浄装置から排出された洗浄液中のアルコールを濃縮する濃縮装置」と、刊行物１発明の「混合タンク２４及び２５の下部に備えられている排液管６４及び６５を通じて、混合タンク２４及び２５の一方の汚染された洗浄液を回収ユニット８２側に排出し、回収ユニット８２は、汚染された洗浄液を加熱して、超純水（ＤＩＷ）とイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）に相互分離する加熱タンク７０と、加熱タンク７０の内部で気体状態に相変化したＩＰＡの不純物を除去するＩＰＡフィルター７２と、ＩＰＡフィルター７２を経た不純物の除去されたＩＰＡを回収するＩＰＡ回収タンク７４とを有し、ＩＰＡ回収タンク７４に集まったＩＰＡ液をＩＰＡタンク１８及び１９に供給し、リサイクルすること」とは、「前記洗浄装置から排出された洗浄液中の不純物を除去する精製装置と、前記精製装置の上流側に位置し、前記洗浄装置から排出された洗浄液中のアルコールを濃縮する濃縮装置」との構成を備える点で共通するといえる。
キ　刊行物１発明の「混合タンク２４及び２５にＩＰＡを供給する連結パイプ５６」は、本願第１発明の「前記混合手段にアルコールを供給するアルコール供給手段」に相当する。
ク　刊行物１発明の「混合タンク２４及び２５に超純水（ＤＩＷ）を供給するパイプ」は、本願第１発明の「前記混合手段に純水を供給する純水供給手段」に相当する
ケ　刊行物１発明において、「混合タンク２４及び２５の一定濃度の洗浄液を、ＩＰＡ濃度計４０を介して、処理槽１１に供給するパイプ」との構成が特定されていることより、「ＩＰＡ濃度計４０」  が「混合タンク２４及び２５」と「処理槽１１」とが接続する「パイプ」に「ＩＰＡ濃度計４０」が設けられていることは自明である。
　本願明細書には、「
混合槽４と洗浄装置１００とが配管１４ａを介して互いに接続され、
混合槽４内の洗浄液の成分濃度と、混合槽４から流出した直後の洗浄液の成分濃度とは実質的に同一である。
配管１４ａ上に濃度測定装置５を設ける場合も、
混合槽４内の洗浄液の成分濃度を測定することが可能である。
　そうすると、刊行物１発明の「ＩＰＡ濃度を点検する」ことは、本願第１発明の「アルコール濃度を測定する」ことに相当するから、刊行物１発明の「洗浄液内のＩＰＡ濃度を点検するＩＰＡ濃度計４０」は、本願発明の「前記混合手段によりアルコールと純水を混合した洗浄液のアルコール濃度を測定する濃度測定手段」に相当するといえる。
　
コ　刊行物１発明の「ＩＰＡ濃度計４０を通じてＩＰＡの濃度が薄くなったことを見つけた場合には」との構成は、本願第１発明の「前記濃度測定手段の測定結果に基づいて」との構成に相当することは明らかである。
　よって、上記ウ、キ、ク及びケより、本願第１発明の「前記濃度測定手段の測定結果に基づいて前記アルコール供給手段と前記純水供給手段の双方または一方を制御することにより、前記混合手段によりアルコールと純水を混合した洗浄液のアルコール濃度を所定の濃度範囲内に維持する濃度調整処理を実行する」ことと、刊行物１発明の「ＩＰＡ濃度計４０を通じてＩＰＡの濃度が薄くなったことを見つけた場合には、パイプ５６に設けられたＩＰＡ補充ポンプ２２及び２３を作動させてＩＰＡタンク１８及び１９内のＩＰＡを混合タンク２４及び２５にポンピングすることによって、混合タンク２４及び２５内で洗浄液の濃度を一定の濃度にすること」は、「前記濃度測定手段の測定結果に基づいて前記アルコール供給手段と前記純水供給手段の一方を制御することにより、前記混合手段によりアルコールと純水を混合した洗浄液のアルコール濃度を所定の濃度範囲内に維持する濃度調整処理を実行する第一の制御手段」という点で共通しているといえる。　
サ　以上をまとめると、本願第１発明と刊行物１発明の、一致点及び相違点は次のとおりである。
（ア）　一致点
  「 対象物を洗浄する洗浄装置で使う洗浄液を管理する液体管理システムであって、
　アルコールと純水とを混合して洗浄液を作る混合手段と、
　前記混合手段で前記洗浄液中のアルコール濃度を所定の濃度範囲内に調整する濃度調整手段と、
　その濃度調整された洗浄液を前記洗浄装置へ供給するラインと、
　前記洗浄装置から排出された洗浄液を回収して前記混合手段へ戻すラインと、
　前記洗浄装置から排出された洗浄液中の不純物を除去する精製装置と、
　前記精製装置の上流側に位置し、前記洗浄装置から排出された洗浄液中のアルコールを濃縮する濃縮装置と、を有し、
　前記濃度調整手段は、
　前記混合手段にアルコールを供給するアルコール供給手段と、
　前記混合手段に純水を供給する純水供給手段と、
　前記混合手段によりアルコールと純水を混合した洗浄液のアルコール濃度を測定する濃度測定手段と、
　前記濃度測定手段の測定結果に基づいて前記アルコール供給手段と前記純水供給手段の一方を制御することにより、前記混合手段によりアルコールと純水を混合した洗浄液のアルコール濃度を所定の濃度範囲内に維持する濃度調整処理を実行する第一の制御手段と、
を有する液体管理システム。」
（イ）　相違点
・相違点１
　本願第１発明において、「精製装置」を、「前記洗浄装置から排出された洗浄液を回収して前記混合手段へ戻すライン上」に設けることを特定しているのに対し、刊行物１発明の「ＩＰＡフィルタ７２」は、「処理槽１１」から排出された洗浄液を回収して「混合タンク２４及び２５」へ戻すライン上に設けられていない点。
　
・相違点２
　本願第１発明において、「濃縮装置」は、「前記洗浄装置から排出された洗浄液を回収して前記混合手段へ戻すライン上」に設けられた「精製装置」の「上流側または下流側に位置し」ていることを特定しているのに対し、刊行物１発明の「加熱タンク７０」は、「ＩＰＡフィルタ７２」の上流側に設けられていることが特定されているものの、「加熱タンク」は、「処理槽１１から溢れ出た洗浄液を、混合タンク２４及び２５内に帰還させるリターンライン５４」上に設けられていない点。
（ウ）　特許異議申立人の主張について
　特許異議申立人は、本願第１発明と刊行物１発明とを対比して、「刊行物１において、洗浄液混合ユニット５０の混合タンク２４，２５→供給パイプ５８→
処理槽１１→リターンライン５４→混合タンク２４，２５
　しかしながら、特許異議申立人の上記の主張は採用できない。その理由は以下のとおりである。 
　処理槽１１（本願第１発明の「洗浄装置」に相当）と混合タンク２４及び２５（本願第１発明の「混合手段」に相当）の間に設けるリターンライン５４が、処理槽１１から排出された洗浄液を混合タンク２４及び２５に戻していることから、上記オのとおり、刊行物発明の「処理槽１１から溢れ出た洗浄液を、混合タンク２４及び２５内に帰還させるリターンライン５４」が、本願第１発明の「前記洗浄装置から排出された洗浄液を回収して前記混合手段に戻すライン」に相当することは明らかである。
６　相違点についての検討
　相違点１及び２をまとめて判断する。
　刊行物２には、「浸透気化膜モジュール」（本願第１発明の「濃縮装置」に相当）及び「イオン交換樹脂」（本願第１発明の「精製装置」に相当）についての記載がある。
　しかしながら、刊行物１及び２のいずれにも、「精製装置」を「前記洗浄装置から排出された洗浄液を回収して前記混合手段へ戻すライン上」に設けること、及び、「前記混合手段へ戻すライン上に設けられ」た「精製装置」の「上流側または下流側」に「濃縮装置」を位置させる旨の記載も示唆もされていない。
　したがって、刊行物１発明において「精製装置」を「処理槽１１から溢れ出た洗浄液を、混合タンク２４及び２５内に帰還させるリターンライン５４」に設けること、及び、前記精製装置の「上流側または下流側」に「濃縮装置」を位置させることは、刊行物１及び２のいずれの記載に基づいても、当業者が容易に想到し得たということはできない。
　そして、本願明細書の記載によれば、本願第１発明は、相違点１及び２それぞれに係る構成によって、「本実施形態では、洗浄装置１００から混合槽４へ洗浄液を回収するための液体回収路に濃縮器１６を設けたことにより、回収する洗浄液の濃縮を行い、洗浄液を循環させられる。よって、濃度調整のために添加するＩＰＡの使用量を少なくすることができる」（【００４０】）、及び「精製装置１７が濃縮器１６の前段と後段のいずれか一方または両方に設けられている。このため、高純度の洗浄液を安定して洗浄装置１００へ供給することができる」（【００７０】）との格別の作用効果を奏する。
７　小括
　以上より、請求項１に係る発明（本願第１発明）は、刊行物１及び２に記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
８　請求項３及び４に係る発明
　請求項３及び４に係る発明は、請求項１に係る発明を更に減縮したものであるから、上記請求項１に係る発明（本願第１発明）についての判断と同様の理由により、上記刊行物１及び２に記載の発明から当業者が容易になし得るものではない。 
　以上のとおりであるから、請求項３及び４に係る発明は、刊行物１及び２に記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 
９　むすび 
　以上のとおりであるから、特許異議申し立ての理由及び証拠によっては、請求項１、３及び４に係る特許を取り消すことはできない。 
　また、他に請求項１、３及び４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成２８年７月２８日（２０１６．７．２８）