【手続補正書】
【提出日】平成29年11月29日(2017.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料がプラズマ処理される処理室と、前記処理室内にプラズマを生成するための高周波電力を供給する高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、
入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑化法を用いて前記プラズマの発光データが処理されるデータ処理装置をさらに備え、
前記データ処理装置は、前記誤差をパラメータとする確率密度関数を用いて前記平滑化パラメータの応答係数を求めることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
試料がプラズマ処理される処理室と、前記処理室内にプラズマを生成するための高周波電力を供給する高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、
入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑化法を用いて前記プラズマの発光データが処理されるデータ処理装置をさらに備え、
前記データ処理装置は、前記平滑化されたデータの予測値を算出する式の入力データとして前記入力データの最新時における多項式適合法により平滑化された前記入力データを用いるとともに前記平滑化されたデータの傾きの予測値を算出する式における平滑化されたデータの予測値の傾きとして前記平滑化されたデータの予測値の最新時における多項式適合法により一次微分された前記平滑化されたデータの予測値を用いることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載のプラズマ処理装置において、
前記データ処理装置は、前記誤差をパラメータとする確率密度関数を用いて前記平滑化パラメータの応答係数を求めることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項４】
請求項２に記載のプラズマ処理装置において、
前記データ処理装置は、Ｎを０以上の整数とした場合、前記誤差の相対値の予測値を前記誤差の絶対値の予測値により除して定数が加えられた値をＮ乗して前記平滑化パラメータの応答係数を求めることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項５】
試料がプラズマ処理される処理室と、前記処理室内にプラズマを生成するための高周波電力を供給する高周波電源とを備えるプラズマ処理装置において、
入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑化法を用いて前記プラズマの発光データが処理されるデータ処理装置をさらに備え、
前記データ処理装置は、前記誤差を指数荷重移動平均するとともに平滑化されたデータの傾きの予測値に基づいて前記指数荷重移動平均の係数を変化させることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項６】
請求項１に記載のプラズマ処理装置において、
前記データ処理装置は、前記誤差を指数荷重移動平均するとともに平滑化されたデータの傾きの予測値に基づいて前記指数荷重移動平均の係数を変化させることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項７】
２段指数平滑化法を用いてデータが処理されるデータ処理装置において、
入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑化法を用いて前記データが処理され、
前記平滑化パラメータの応答係数は、前記誤差をパラメータとする確率密度関数を用いて求められることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項８】
２段指数平滑化法を用いてデータが処理されるデータ処理装置において、
入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑化法を用いて前記データが処理され、
前記入力データの最新時における多項式適合法により平滑化された前記入力データが前記平滑化されたデータの予測値を算出する式の入力データとして用いられ、
前記平滑化されたデータの予測値の最新時における多項式適合法により一次微分された前記平滑化されたデータの予測値が前記平滑化されたデータの傾きの予測値を算出する式における平滑化されたデータの予測値の傾きとして用いられることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項９】
請求項８に記載のデータ処理装置において、
前記平滑化パラメータの応答係数は、前記誤差をパラメータとする確率密度関数を用いて求められることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項１０】
請求項８に記載のデータ処理装置において、
Ｎを０以上の整数とした場合、前記平滑化パラメータの応答係数は、前記誤差の相対値の予測値を前記誤差の絶対値の予測値により除して定数が加えられた値をＮ乗して求められることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項１１】
２段指数平滑化法を用いてデータが処理されるデータ処理装置において、
入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑化法を用いて前記データが処理され、
前記誤差が指数荷重移動平均され、
前記指数荷重移動平均の係数は、平滑化されたデータの傾きの予測値に基づいて変化させられることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項１２】
請求項７ないし請求項９のいずれか一項に記載のデータ処理装置において、
前記誤差が指数荷重移動平均され、
前記指数荷重移動平均の係数は、平滑化されたデータの傾きの予測値に基づいて変化させられることを特徴とするデータ処理装置。
【請求項１３】
２段指数平滑化法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、
入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑化法を用いて前記データを処理し、
前記平滑化パラメータの応答係数は、前記誤差をパラメータとする確率密度関数を用いて求められることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１４】
２段指数平滑化法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、
入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑化法を用いて前記データを処理し、
前記入力データの最新時における多項式適合法により平滑化された前記入力データは、前記平滑化されたデータの予測値を算出する式の入力データとして用いられ、
前記平滑化されたデータの予測値の最新時における多項式適合法により一次微分された前記平滑化されたデータの予測値は、前記平滑化されたデータの傾きの予測値を算出する式における平滑化されたデータの予測値の傾きとして用いられることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載のデータ処理方法において、
前記平滑化パラメータの応答係数は、前記誤差をパラメータとする確率密度関数を用いて求められることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１６】
請求項１４に記載のデータ処理方法において、
前記平滑化パラメータの応答係数は、Ｎを０以上の整数とした場合、前記誤差の相対値の予測値を前記誤差の絶対値の予測値により除して定数が加えられた値をＮ乗して求められることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１７】
２段指数平滑化法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、
入力データと平滑化されたデータの予測値との誤差に基づいて平滑化パラメータを変化させる応答型２段指数平滑化法を用いて前記データを処理し、
前記誤差は、指数荷重移動平均され、
前記指数荷重移動平均の係数は、平滑化されたデータの傾きの予測値に基づいて変化させられることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１８】
請求項１３に記載のデータ処理方法において、
前記誤差は、指数荷重移動平均され、
前記指数荷重移動平均の係数は、平滑化されたデータの傾きの予測値に基づいて変化させられることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項１９】
指数平滑化法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、
データスムージング処理結果として指数平滑化されたデータの予測値を求める工程と、
前記指数平滑化法を用いたデータ処理のパラメータの値を評価関数が最小となる値にして前記指数平滑化法を用いたデータ処理を行う工程とを有し、
前記評価関数は、入力データと前記データスムージング処理結果との平均二乗誤差と、前記データスムージング処理結果の二次微分の二乗平均値に係数を乗じた値と、の和であることを特徴とするデータ処理方法。
【請求項２０】
指数平滑化法を用いてデータを処理するデータ処理方法において、
データスムージング処理結果として指数平滑化されたデータの予測値を求める工程と、
前記指数平滑化されたデータの予測値を用いて一次微分処理結果または二次微分処理結果を求める工程と、
前記指数平滑化法を用いたデータ処理のパラメータの値を評価関数が最小となる値にして前記指数平滑化法を用いたデータ処理を行う工程とを有し、
前記評価関数は、入力データと前記データスムージング処理結果との平均二乗誤差と、二次微分の二乗平均値に係数を乗じた値と、の和であり、
前記二次微分は、前記一次微分処理結果の二次微分または、前記二次微分処理結果の二次微分であることを特徴とするデータ処理方法。