【事件の表示】
　平成９年特許願第１８８６５２号「ウェハーキャリヤ」拒絶査定に対する審判事件［平成１０年３月１０日出願公開、特開平１０−７０１８５］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成９年７月１４日（パリ条約による優先権主張１９９６年７月１２日、米国）の出願であって、平成１３年１２月２８日付け（平成１４年１月８日発送）で拒絶査定がなされ、これに対し、平成１４年４月８日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１４年４月８日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　　平成１４年４月８日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正の内容
　当該手続補正により、特許請求の範囲を、
「【請求項１】　ウェハーをほぼ水平位置で保持するためのウェハーキャリヤであって、開口した前部と、後部と、上部と、底部と、左側部及び右側部とを有しており、
　さらに、前記上部から前記底部に向けて延びる一対のウェハーサポートコラムを有し、これらのウェハーサポートコラムは互いに対して左右の側に配置されており、また各ウェハーコラムは上下方向に配置された複数の細長い棚を有し、この棚は上面を有しまたこの上面から上方に延びる少なくとも一つのビードを有し、この
ビードは部分球の形状を有して
前記棚はウェハーに対する挿入レベルと着座レベルとを有しており、ウェハーを開口した前部を介して挿入レベルにおいてキャリヤの中へ挿入し、下降させて着座レベルにおいて前記ビードに着座させるようになっている
【請求項２】　前記底部は装置インターフェースを有しており、前記底部と前記ウェハーサポートコラムとは静電気消散性の材料から別個に形成されており、かつ導電性を有する状態で互いに接続されている請求項１記載のウェハーキャリヤ。
【請求項３】　前記左側部、右側部及び前記後部は閉じており、また当該ウェハーキャリヤは開口した前記前部を閉じるためのドアを有して、閉鎖可能な容器を構成している請求項１記載のウェハーキャリヤ。
【請求項４】　前記後部は開口しており、また当該ウェハーキャリヤは前記底部に装置インターフェースを有する請求項１記載のウェハーキャリヤ。
【請求項５】　前記装置インターフェースはＨバーインターフェースである請求項４記載のウェハーキャリヤ。
【請求項６】　前記棚はウェハーが着座位置に位置した状態でウェハーの周辺部分に沿って位置するウェハーストップをさらに有する請求項１記載のウェハーキャリヤ。
【請求項７】　ほぼ円形の周辺と下面とを有するウェハーをほぼ水平位置で保持するためのウェハーキャリヤであって、開口した前部と、開口した後部と、上部と、底部と、左側部及び右側部とを有しており、
　さらに、前記上部から前記底部に向けて延びる一対のウェハーサポートコラムを有し、これらのウェハーサポートコラムは互いに対して左右の側に配置されており、また各ウェハーコラムは上下方向に配置された複数の細長い棚を有し、この棚は上面を有しまたこの上面から上方に延びる少なくとも一つのビードを有し、このビードは対応する棚と一体となっており、かつウェハーに対してほぼ半径方向に延びる部分円柱ロッドの形状を有していて、ウェハーの下面がビードにほぼウェハーの半径方向の線で接触するようになっており、また
前記棚はウェハーに対する挿入レベルと着座レベルとを有しており、ウェハーを開口した前部を介して挿入レベルにおいてキャリヤの中へ挿入し、下降させて着座レベルにおいて前記ビードに着座させるようになっている
【請求項８】　前記底部は装置インターフェースを有しており、前記底部と前記ウェハーサポートコラムとは静電気消散性の材料から別個に形成されており、かつ導電性を有する状態で互いに接続されている請求項７記載のウェハーキャリヤ。
【請求項９】　前記左側部、右側部及び前記後部は閉じており、また当該ウェハーキャリヤは開口した前記前部を閉じるためのドアを有して、閉鎖可能な容器を構成している請求項７記載のウェハーキャリヤ。
【請求項１０】　前記後部は開口しており、また当該ウェハーキャリヤは前記底部に装置インターフェースを有する請求項７記載のウェハーキャリヤ。
【請求項１１】　前記装置インターフェースはＨバーインターフェースである請求項１０記載のウェハーキャリヤ。
【請求項１２】　前記棚はウェハーが着座位置に位置した状態でウェハーの周辺部分に沿って位置するウェハーストップをさらに有する請求項７記載のウェハーキャリヤ。」から
「【請求項１】　ウェハーをほぼ水平位置で保持するためのウェハー容器であって、
　容器部分とドアとを有し、前記容器部分は開口した前部と、閉じた後部と、閉じた上部と、閉じた底部と、閉じた左側部及び閉じた右側部とを有し、前記ドアは前記容器部分の開口した前記前部を閉じるように寸法設定されており、
　さらに、前記容器部分は前記上部から前記底部に向けて延びる一対のウェハーサポートコラムを有し、これらのウェハーサポートコラムは互いに対して左右の側に配置されており、また各ウェハーコラムは上下方向に配置された複数の細長い棚を有し、この棚は上面を有しまたこの上面から上方に延びる複数のビードを有し、各ビードはウェハーのほぼ半径方向内側に向けられていて、ウェハーが各ビードに最小範囲で接触するようになっているウェハー容器。
【請求項２】　前記容器部分は透明なプラスチックシェルを有し、前記底部は３つの溝による機械的連結装置である装置インターフェースを有している請求項１記載のウェハー容器。
【請求項３】　ほぼ円形の周部と下面とを有するウェハーをほぼ水平位置で保持するためのウェハーキャリヤであって、
　開口した前部と、開口した後部と、上部と、底部と、左側部及び右側部とを有し、
　さらに、前記上部から前記底部に向けて延びる一対のウェハーサポートコラムを有し、これらのウェハーサポートコラムは互いに対して左右の側に配置されており、また各ウェハーコラムは上下方向に配置された複数の細長い棚を有し、この棚は上面を有しまたこの上面から上方に延びる一対のビードを有し、各ビードは対応する棚と一体で形成されており、かつウェハーに対してほぼ半径方向に延びる部分円柱ロッドの形状を有していて、ウェハーの下面がビードに最小範囲で接触するようになっているウェハーキャリヤ。
【請求項４】　前記左側部、前記右側部及び前記後部は閉じており、また、前記開口した前部を閉じるためのドアをさらに有していて閉鎖可能な容器を形成している請求項３記載のウェハーキャリヤ。
【請求項５】　前記後部は開口しており、さらに、前記底部に設けられた装置インターフェースをさらに有する請求項３記載のウェハーキャリヤ。
【請求項６】　前記装置インターフェースはＨバーである請求項５記載のウェハーキャリヤ。
【請求項７】　前記装置インターフェースは３つの溝による機械的連結装置である請求項５のウェハーキャリヤ。」と補正する。
　
（２）当審の判断
　補正後の請求項１が補正前の請求項１、又は、補正前の請求項１を直接もしくは間接に引用する補正前の請求項２〜６を補正したものであるとする。そうすると、補正後の請求項１に係る発明は、補正前の請求項１の上記記載内容のうち下線を付した、補正前の請求項１〜６に係る発明の発明特定事項である、「ビードは部分球の形状を有し」、及び、「前記棚はウェハーに対する挿入レベルと着座レベルとを有しており、ウェハーを開口した前部を介して挿入レベルにおいてキャリヤの中へ挿入し、下降させて着座レベルにおいて前記ビードに着座させるようになっている」との事項を、発明特定事項とするものではない。
  また、補正後の請求項１が補正前の請求項７、又は、補正前の請求項７を直接もくしは間接に引用する補正前の請求項８〜１２を補正したものであるとする。そうすると、補正後の請求項１に係る発明は、補正前の請求項７の上記記載内容のうち下線を付した、補正前の請求項７〜１２に係る発明の発明特定事項である、「前記棚はウェハーに対する挿入レベルと着座レベルとを有しており、ウェハーを開口した前部を介して挿入レベルにおいてキャリヤの中へ挿入し、下降させて着座レベルにおいて前記ビードに着座させるようになっている」との事項を、発明特定事項とするものではない。
　してみると、補正後の請求項１が補正前の請求項１〜１２のいずれを補正したものとしても、補正前の請求項１〜１２のいずれかを補正後の請求項１とする補正事項は、特許請求の範囲の減縮に該当しない。そして、上記補正事項は、請求項の削除、誤記の訂正、明りょうでない記載の釈明にも該当しない。
　したがって、本件手続補正は、特許法第１７条の２第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１４年４月８日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜１２に係る発明は、平成１２年１２月２０日付けの手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜１２に記載された事項により特定されるとおりのものであると認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
「ウェハーをほぼ水平位置で保持するためのウェハーキャリヤであって、開口した前部と、後部と、上部と、底部と、左側部及び右側部とを有しており、
　さらに、前記上部から前記底部に向けて延びる一対のウェハーサポートコラムを有し、これらのウェハーサポートコラムは互いに対して左右の側に配置されており、また各ウェハーコラムは上下方向に配置された複数の細長い棚を有し、この棚は上面を有しまたこの上面から上方に延びる少なくとも一つのビードを有し、このビードは部分球の形状を有して、ウェハーの下面がビードに最小範囲で接触するようになっており、また前記棚はウェハーに対する挿入レベルと着座レベルとを有しており、ウェハーを開口した前部を介して挿入レベルにおいてキャリヤの中へ挿入し、下降させて着座レベルにおいて前記ビードに着座させるようになっているウェハーキャリヤ。」
　
４．刊行物記載の発明（事項）
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先権主張の日前に国内で頒布された刊行物である特開平４−７９３４７号公報（以下、「刊行物１」という。）には、
（イ）「第１図は、本発明の実施例における概略図である。半導体ウェハ（６）を運搬・保管するウェハキャリア（１）は、・・・真空容器（２）と開閉可能な蓋（３）から成り立っている。この蓋（３）は真空容器（２）と回転式中心軸（８）を共有しており、さらに、この蓋（３）を閉じると半導体ウェハ（６）はキャリア（１）内でほとんどがたつかない様に作られている。真空容器（２）には溝が切られており、この溝で半導体ウェハ（６）を保持する。」（第２頁左上欄１０行〜１９行）と記載されており、そして、
（ロ）第１図から、「半導体ウェハ（６）をほぼ水平位置で保持するための溝がウェハキャリア（１）の左右側部に設けられていること」が看取できる。
　上記（イ）、（ロ）及び第１図の記載からみて、刊行物１には、
「半導体ウェハ（６）をほぼ水平位置で保持するためのウェハキャリア（１）であって、開口した前部と、後部と、上部と、底部と、左側部及び右側部とを有しており、
　左右側部はそれ自体に上下方向に配置された複数の溝を有し、溝と溝との間に細長い突起を有し、この突起は上面を有し、この上面で半導体ウェハ（６）の下面をサポートするウェハキャリア（１）」の発明（以下、「刊行物記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
　
　同じく原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先権主張の日前に国内で頒布された刊行物である特開平６−２１６２２９号公報（以下、「刊行物２」という。）には、
（ハ）「図５は本発明によるウェハキャリアの第３実施例を示す部分斜視図である。・・・本実施例は、図１の構成において、溝４の半導体ウェハ３が載置される面に帯状の突起６を設け、半導体ウェハ３の裏面と溝４の下面との接触が線接触になるようにし、異物などの発生が最小限に抑えられるようにしたものである。・・・なお、帯状の突起６に代え、図６に示すように点状の突起７を一列に並べても、同等の効果が得られる。この突起７は・・・半球状などであってもよい。」（第３欄１５行〜２５行）と記載されている。
　上記（ハ）及び図５、６の記載からみて、刊行物２には、　         
「ウェハキャリア側壁１の溝４がその上面から上方に延びる多数のビードを有し、このビードは部分球の形状を有して、ウェハの下面がビードに最小範囲で接触するようになっている」との事項が記載されているものと認められる。
　
５．対比
　そこで、本願発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「半導体ウェハ（６）」は前者の「ウェハー」に、後者の「ウェハキャリア（１）」は前者の「ウェハーキャリヤ」に、それぞれ相当することは明らかである。また、後者の「突起」は、ウェハーをサポートするとの機能からみて、前者の「棚」に相当する。そして、前者の「上下方向に配置された複数の細長い棚を有」し、「互いに対して左右の側に配置されており、」「上部から底部に向けて延びる一対のウェハーサポートコラム」は、本願明細書及び図面の記載からみて、上部から底部に向けて延びる一対の左右側部に設けられているから、両者は、「一対の左右側部は上下方向に配置された複数の細長い棚を設けている」限りで一致する。
　してみると、両者の一致点、相違点は以下のとおりである。
〈一致点〉ウェハーをほぼ水平位置で保持するためのウェハーキャリヤであって、開口した前部と、後部と、上部と、底部と、左側部及び右側部とを有しており、一対の左右側部は上下方向に配置された複数の細長い棚を有し、この棚は上面を有するウェハーキャリヤ。
〈相違点１〉前者は、棚をウェハーキャリアの左右側部とは別体の上部から底部に向けて延びる一対のウェハーサポートコラムに設けるのに対して、後者は、ウェハーキャリアの左右側部とは別体のウェハーサポートコラムを設けることなく、棚をウェハーキャリアの左右側部それ自体に設ける点。
〈相違点２〉前者は、棚がその上面から上方に延びる少なくとも一つのビードを有し、このビードは部分球の形状を有して、ウェハーの下面がビードに最小範囲で接触するようになっており、また前記棚はウェハーに対する挿入レベルと着座レベルとを有しており、ウェハーを開口した前部を介して挿入レベルにおいてキャリヤの中へ挿入し、下降させて着座レベルにおいて前記ビードに着座させるようになっているのに対して、後者は、棚がそのように設けられていない点。
　
６．当審の判断
  上記相違点１、２等について以下検討する。
〈相違点１について〉
　本願明細書の記載をみても、棚をウェハーキャリアの左右側部とは別体のウェハーサポートコラムに設けることに格別の技術的意義を見出せないことからみて、棚をウェハーキャリアの左右側部それ自体に設けることに換えて、ウェハーキャリアの左右側部とは別体のものに設けることとすることは、当業者が容易になし得る程度の設計変更である。
　したがって、刊行物１記載の発明の相違点１に係る構成を本願発明のものとすることは、当業者が容易になし得ることである。
〈相違点２について〉
　棚を、その上面から上方に延びる少なくとも一つのビードを有し、このビードは部分球の形状を有して、ウェハーの下面がビードに最小範囲で接触するようにすることは、ウェハーキャリアという刊行物１記載の発明と同一技術分野に属する刊行物２記載の事項に示されている。そして、刊行物２の記載内容からみて、ウェハーとウェハーキャリアの棚との間の接触を必要最小限にするとの課題があることは明らかであるから、ウェハーをウェハーキャリアの棚に搬入するに際しても、両者間の接触を必要最小限にする必要があることも、また当業者にとって明らかである。
　してみると、刊行物１記載の発明に同一技術分野に属する刊行物２記載の事項を適用すること、また、その適用に際して、ウェハーを棚における着座レベルすなわち棚の上面に挿入するのではなく、ウェハーと棚の上面とが接触しないレベルでウェハーを挿入することは、当業者が容易になし得ることである。なお、搬入物を棚の挿入レベルにおいて挿入し、その後棚内で搬入物を下降させて着座レベルに着座させるとの技術思想は、原査定の拒絶の理由に引用された実願平５−５６３２８号（実願平７−２１６１１号）のＣＤ−ＲＯＭの段落【００３１】〜【００３２】、【図３】等に示されているように、本願の優先権主張の日前に周知である。
　したがって、刊行物１記載の発明の相違点２に係る構成を本願発明のものとすることも、また、当業者が容易になし得ることである。
　
　そして、本願発明の作用効果は、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。
　
７．むすび
　以上のとおりであるから、本願発明は、刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、請求項２〜１２に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。