(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム天井面に設置されていて、その内部にフィルタ固定棒によりフィルタが取り付けられている給気ボックスの供給口下部に、前記供給口を覆って配置され、外面に多数の小孔が穿孔される容器状の内部拡散ユニットと、
前記天井面の下部に、前記内部拡散ユニットを覆って配置され、外面に多数の小孔が穿孔される容器状の外部拡散ユニットとを有し、
前記内部拡散ユニットは、前記フィルタの下面から突出する前記フィルタ固定棒に取り付けられ、前記フィルタの下面の周囲に当接される上面枠を有することを特徴とするクリーンルーム用空気吹出装置。
【請求項２】
請求項１記載のクリーンルーム用空気吹出装置において、
前記内部拡散ユニットは、前記給気ボックスの対向面が略正方形状の四角容器状に形成され、
前記外部拡散ユニットは、内面が前記内部拡散ユニットの外面に対向し、前記給気ボックスの対向面が長方形状の四角容器状に形成され、
前記内部拡散ユニットにおいて、前記外部拡散ユニットの長手方向に略直交する側面部の小孔による開口率は、前記外部拡散ユニットの長手方向に平行な側面部の小孔による開口率より大きく設定されていることを特徴とするクリーンルーム用空気吹出装置。
【請求項３】
請求項１記載のクリーンルーム用空気吹出装置において、
前記外部拡散ユニットは、前記給気ボックスの対向面が長方形状の四角容器状に形成され、
前記給気ボックスは、前記クリーンルーム天井面に間隔を置いて設置され、
前記各給気ボックスを覆って取り付けられる前記外部拡散ユニットは、長手方向を前記給気ボックスの配列方向に向けて配置され、
前記外部拡散ユニットの間には、外面に多数の小孔が穿孔され、前記外部拡散ユニットを互いに接続するための接続ユニットが配置され、
前記外部拡散ユニットと前記接続ユニットの接続部分は、開口されていることを特徴とするクリーンルーム用空気吹出装置。
【請求項４】
請求項１記載のクリーンルーム用空気吹出装置において、
前記外部拡散ユニットは、前記給気ボックスの対向面が四角状の容器状に形成され、
前記外部拡散ユニットにおいて、側面部の小孔による開口率は、底面部の小孔による開口率より大きく設定されていることを特徴とするクリーンルーム用空気吹出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体工場，精密機械工場および薬品製造工場などに設置されるコンベンショナルフロー方式のクリーンルーム用空気吹出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体工場，精密機械工場および薬品製造工場などに設置されるコンベンショナルフロー方式のクリーンルーム用空気吹出装置として、例えば、実公平４−４８４３５号公報に開示されているものが知られている。
図１３および図１４は、この公報に開示されるクリーンルーム用空気吹出装置を示すもので、これ等の図において符号１はクリーンルームの室内を示している。
【０００３】
室内１の天井３には、清浄空気５を室内１に供給する供給口７が形成されている。
供給口７の直下には、多数の小孔９ａが形成される第１の多孔板９が配置されている。
また、天井３の下部には、供給口７を覆って、多数の小孔１１ａが形成される容器状の第２の多孔板１１が配置され、天井３と第２の多孔板１１との間の空間に吹出用空間１３が形成されている。
【０００４】
そして、第２の多孔板１１の底面部には、天井３に向かって、多数の小孔１５ａが形成される案内用多孔板１５が取り付けられている。
上述したクリーンルーム用空気吹出装置では、供給口７から供給される清浄空気５の一部が、第１の多孔板９により、供給口７の下方の吹出用空間１３の長手方向Ｌと幅方向Ｗとに供給される。
【０００５】
また、清浄空気５の別の一部が、第１の多孔板９により、供給口７の下方の吹出用空間１３に供給される。
長手方向Ｌに供給される清浄空気５は、案内用多孔板１５に当たり、第２の多孔板１１を通り室内１に吹き出される。
そして、幅方向Ｗおよび下方に供給される清浄空気５は、第２の多孔板１１を通り室内１に吹き出される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のクリーンルーム用空気吹出装置では、第１の多孔板９が、平面形状をしており、吹出用空間１３の中空の位置に取り付けられているため、所望の量の清浄空気５を、吹出用空間１３の各部に供給するには、第１の多孔板９の大きさ，取付位置および穿孔される孔の大きさを、相互に関連性を持たせて設定する必要があり、その調整が困難であるという問題があった。
【０００７】
そして、吹出用空間１３に供給された清浄空気５を、室内の広範囲に、均一に吹き出させるためには、案内用多孔板１５の大きさ，取付枚数，取付角度および案内用多孔板１５に穿孔される孔の大きさを、相互に関連性を持たせて設定する必要があり、その調整が困難であるという問題があった。
また、第１の多孔板９の大きさが、供給口７の開口部の大きさより小さいため、供給口７の側壁面から供給される清浄空気５ａが直接室内１へ吹き込み、渦流が発生するという問題があった。
【０００８】
本発明は、かかる従来の問題点を解決するためになされたもので、比較的簡易な構造で、室内の広範囲に、均一な清浄空気を供給できるクリーンルーム用空気吹出装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１のクリーンルーム用空気吹出装置は、クリーンルーム天井面に設置されていて、その内部にフィルタ固定棒によりフィルタが取り付けられている給気ボックスの供給口下部に、前記供給口を覆って配置され、外面に多数の小孔が穿孔される容器状の内部拡散ユニットと、前記天井面の下部に、前記内部拡散ユニットを覆って配置され、外面に多数の小孔が穿孔される容器状の外部拡散ユニットとを有し、前記内部拡散ユニットは、前記フィルタの下面から突出する前記フィルタ固定棒に取り付けられ、前記フィルタの下面の周囲に当接される上面枠を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項２のクリーンルーム用空気吹出装置は、請求項１記載のクリーンルーム用空気吹出装置において、前記内部拡散ユニットは、前記給気ボックスの対向面が略正方形状の四角容器状に形成され、前記外部拡散ユニットは、内面が前記内部拡散ユニットの外面に対向し、前記給気ボックスの対向面が長方形状の四角容器状に形成され、前記内部拡散ユニットにおいて、前記外部拡散ユニットの長手方向に略直交する側面部の小孔による開口率は、前記外部拡散ユニットの長手方向に平行な側面部の小孔による開口率より大きく設定されていることを特徴とする。
請求項３のクリーンルーム用空気吹出装置は、請求項１記載のクリーンルーム用空気吹出装置において、前記外部拡散ユニットは、前記給気ボックスの対向面が長方形状の四角容器状に形成され、前記給気ボックスは、前記クリーンルーム天井面に間隔を置いて設置され、前記各給気ボックスを覆って取り付けられる前記外部拡散ユニットは、長手方向を前記給気ボックスの配列方向に向けて配置され、前記外部拡散ユニットの間には、外面に多数の小孔が穿孔され、前記外部拡散ユニットを互いに接続するための接続ユニットが配置され、前記外部拡散ユニットと前記接続ユニットの接続部分は、開口されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項４のクリーンルーム用空気吹出装置は、請求項１記載のクリーンルーム用空気吹出装置において、前記外部拡散ユニットは、前記給気ボックスの対向面が四角状の容器状に形成され、前記外部拡散ユニットにおいて、側面部の小孔による開口率は、底面部の小孔による開口率より大きく設定されていることを特徴とする。
【００１３】
（作用）
本発明のクリーンルーム用空気吹出装置では、給気ボックスから供給される清浄空気が、容器状の内部拡散ユニットに送られ、内部拡散ユニットの多数の小孔を通して、容器状の外部拡散ユニット内部に均一に拡散され、さらに外部拡散ユニットの多数の小孔を通して、室内の広範囲に、均一な清浄空気が吹き出される。
【００１４】
本発明のクリーンルーム用空気吹出装置では、給気ボックスから供給される清浄空気が、容器状の内部拡散ユニットに送られる。
送られた清浄空気は、内部拡散ユニットの側面部，底面部および斜面部の小孔を通して、横方向，下方向および斜め下方向に吹き出され、容器状の外部拡散ユニット内の空間に均一に拡散される。
【００１５】
そして、清浄空気が、外部拡散ユニットの側面部，底面部および斜面部のそれぞれの小孔を通して、横方向，下方向および斜め下方向に吹き出され、室内の広範囲に、均一な清浄空気が供給される。
本発明のクリーンルーム用空気吹出装置では、内部拡散ユニットの上端に形成される上面枠により、内部拡散ユニットが給気ボックスに固定され、外部拡散ユニットの上端に形成される上面枠により、外部拡散ユニットが給気ボックスに固定される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
【００２０】
図１および図２は、本発明のクリーンルーム用空気吹出装置の第１の実施形態（請求項１ないし４に対応する）を示しており、これ等の図において符号１７はクリーンルームの天井を示している。
天井１７の開口部１９には給気ボックス２１が配置されている。
給気ボックス２１の側面には給気取入口２３が形成され、給気ボックス２１の下部には供給口２５が形成されている。
【００２１】
そして、給気ボックス２１の内部にはフィルタ２７が配置され、フィルタ２７は、フィルタ固定棒２９により給気ボックス２１に取り付けられている。
また、開口部１９には、供給口２５を覆って、例えばアルミニウム板からなる四角容器状の内部拡散ユニット３１が配置されている。
この内部拡散ユニット３１には、外面に多数の小孔３３が穿孔され、フィルタ固定棒２９の下端のねじ部２９ａとナット２９ｂとにより、給気ボックス２１に取り付けられている。
【００２２】
さらに、開口部１９の下方には、内部拡散ユニット３１を覆って、例えばアルミニウム板からなる四角容器状の外部拡散ユニット３７が配置されている。
この外部拡散ユニット３７には、外面に多数の小孔３３が穿孔され、給気ボックス２１の下部のねじ穴２１ａとビス２１ｂとにより、給気ボックス２１に取り付けられている。
【００２３】
そして、内部拡散ユニット３１と外部拡散ユニット３７とから、拡散ユニット４３が形成されている。
この拡散ユニット４３の、内部拡散ユニット３１と外部拡散ユニット３７との間には吹出用空間４１が形成されている。
なお、本実施形態では、小孔３３は内部拡散ユニット３１および外部拡散ユニット３７の略全面に穿孔されるが、図１においては煩雑を避けるため、一部のみを示している。
【００２４】
図３は、拡散ユニット４３の詳細を示しており、符号３１は内部拡散ユニットであり、符号３７は外部拡散ユニットである。
内部拡散ユニット３１は、横断面が正方形の容器形状をしており、側面部４５と底面部４７とが斜面部４９により接続されている。
そして、側面部４５の上端には、上面枠５１が配置されている。
【００２５】
また、側面部４５，底面部４７および斜面部４９には、同じ大きさの多数の小孔３３が穿孔されている。
外部拡散ユニット３７は、横断面が長方形の容器形状をしており、長手方向Ｌに沿った面には、側面部５３，底面部５５および斜面部５７が配置されている。
そして、側面部５３と底面部５５とが斜面部５７により接続されている。
【００２６】
一方、幅方向Ｗに沿った面には、側面枠５９が配置され、側面部５３，底面部５５および斜面部５７のそれぞれの端と側面枠５９とが接続されている。
さらに、側面部５３と側面枠５９の上端には、上面枠６１が配置されている。また、側面部５３，底面部５５および斜面部５７には、同じ大きさの多数の小孔３３が穿孔されている。
【００２７】
側面枠５９には、側面枠５９と同形状の蓋５９ａが着脱可能に配置されている。
なお、本実施形態では、側面部４５，５３、底面部４７，５５および斜面部４９，５７の全面に小孔３３が穿孔されているが、煩雑を避けるため一部のみを示している。
図４は、内部拡散ユニット３１に形成される小孔３３の穿孔状態を示しており、側面部４５は２枚の側面板４５Ｌと２枚の側面板４５Ｗとで形成されている。
【００２８】
この側面板４５Ｌは、長手方向Ｌの垂直面に互いに対向して配置され、側面板４５Ｗは、幅方向Ｗの垂直面に、互いに対向して配置されている。
そして、斜面部４９は２枚の斜面板４９Ｌと２枚の斜面板４９Ｗとで形成されている。
この斜面板４９Ｌは、長手方向Ｌの垂直面に互いに上方を向いて斜めに配置され、斜面板４９Ｗは、幅方向Ｗの垂直面に互いに上方を向いて斜めに配置されている。
【００２９】
また、底面部４７は高さ方向Ｈに垂直な面を持つ１枚の板で構成されている。さらに、上面枠５１は四角形の環形状をしており、側面部４５の上部に配置されている。
【００３０】
側面板４５Ｌ，４５Ｗ、斜面板４９Ｌ，４９Ｗおよび底面部４７には、各部の吹出量に応じる間隔で小孔３３が穿孔される。
ここで、各部の面積に対する各部の小孔３３の総面積の比率を開口率αと呼び、開口率αは、各部の吹出量に応じて決められる。
そして、この開口率αから穿孔間隔が計算される。
【００３１】
この実施形態において、開口率αは、側面板４５Ｌおよび斜面板４９Ｌが３０％とされ、側面板４５Ｗ，斜面板４９Ｗおよび底面部４７が１５％とされている。
図５は、外部拡散ユニット３７に形成される小孔３３の穿孔状態を示しており、側面部５３は２枚の側面板５３Ｗで形成され、幅方向Ｗの垂直面に互いに対向して配置されている。
【００３２】
また、斜面部５７は２枚の斜面板５７Ｗで形成され、幅方向Ｗの垂直面に互いに上方を向いて斜めに配置されている。
そして、底面部５５は高さ方向Ｈに垂直な面を持つ１枚の板で構成される。
さらに、側面枠５９は、外部拡散ユニット３７の横断面形状を有する環状の板で形成され、外部拡散ユニット３７の長手方向Ｌの両端に配置されている。
【００３３】
また、上面枠６１は長方形の環形状をしており、側面部５３および側面枠５９の上部に配置されている。
この実施形態において、開口率αは、側面板５３Ｗおよび斜面板５７Ｗが１５％とされ、底面部５５が８％とされている。
図６および図７は、上述したクリーンルーム用空気吹出装置から吹き出される空気の流れを示しており、これ等の図において、符号６３は清浄空気の流れである。
【００３４】
このクリーンルーム用空気吹出装置では、給気ボックス２１の給気取入口２３から空気６３ａが取り込まれ、取り込まれた空気６３ａは、フィルタ２７で清浄化される。
【００３５】
清浄化された清浄空気６３は、供給口２５を通り内部拡散ユニット３１に送られる。
内部拡散ユニット３１へ送られた清浄空気６３の一部は、開口率αが３０％と大きい、側面板４５Ｌと斜面板４９Ｌとを通過して、吹出用空間４１の長手方向Ｌに多量に供給される。
【００３６】
また、清浄空気６３の別の一部は、開口率αが１５％と小さい、側面板４５Ｗと斜面板４９Ｗとを通過して、吹出用空間４１の幅方向Ｗに少量供給される。
清浄空気６３のさらに別の一部は、開口率αが１５％と小さい、底面部４７を通過して、底面部４７直下の吹出用空間４１に少量供給される。
このようにして清浄空気６３は、吹出用空間４１に均一に拡散されながら、外部拡散ユニット３７に送られる。
【００３７】
外部拡散ユニット３７へ送られた清浄空気６３の一部は、開口率αが１５％と小さい、側面板５３Ｗと斜面板５７Ｗとを通過して、室内６５の幅方向Ｗに吹き出される。
また、別の一部は開口率αが８％と極小さい、底面部５５を通過して、底面部５５直下の室内６５に吹き出される。
【００３８】
そして、清浄空気６３が室内６５の広範囲に供給され、室内６５が清浄化される。
図８は、吹出用空間４１の長手方向Ｌおよび幅方向Ｗに流れる清浄空気６３の状態を示すものである。
内部拡散ユニット３１から吹出用空間４１に送られる清浄空気６３は、長手方向Ｌには多量に、幅方向Ｗには少量供給され、吹出用空間４１に均一に拡散される。
【００３９】
そして、外部拡散ユニット３７から吹き出される清浄空気６３が、室内６５の広範囲に、均一に供給される。
以上のように構成されたクリーンルーム用空気吹出装置では、清浄空気６３が、内部拡散ユニット３１の小孔３３を通り、外部拡散ユニット３７内の空間に均一に拡散された後、清浄空気６３が、外部拡散ユニット３７から室内６５に吹き出されるため、清浄空気６３の流れを２段階に調整でき、室内６５の広範囲に、均一な清浄空気６３を供給することができ、また、塵埃の飛散および滞留の原因となる渦流の発生を防止することができる。
【００４０】
そして、内部拡散ユニット３１および外部拡散ユニット３７の側面部４５，５３、斜面部４９，５７および底面部４７，５５に穿孔される小孔３３により、清浄空気６３の吹出量を、横方向，斜め方向および下方向にそれぞれ調整できるため、室内６５の広範囲に、均一な清浄空気６３を供給することができ、同時に、塵埃の飛散および滞留の原因となる渦流の発生を防止することができる。
【００４１】
また、既に設置されている給気ボックス２１のフィルタ固定棒２９に、内部拡散ユニット３１を固定でき、給気ボックス２１のねじ穴２１ａに、外部拡散ユニット３７を固定できるため、設備の流用ができ、少ない投資で室内６５の広範囲に、均一な清浄空気６３を供給できるクリーンルームを形成することができる。さらに、内部拡散ユニット３１および外部拡散ユニット３７に穿孔される小孔３３の大きさを同一にし、穿孔間隔を変えているため、簡便かつ精度良く、各方向への必要吹出量を調整することができ、室内６５の広範囲に、均一な清浄空気６３を供給することができ、同時に、塵埃の飛散および滞留の原因となる渦流の発生を防止することができる。
【００４２】
図９および図１０は、上述したクリーンルーム用空気吹出装置を用いたクリーンルームを示すものであり、これ等の図において符号６５はクリーンルームの室内を示している。
クリーンルームの室内６５の側壁６５ａには、空調機６７が配置され、天井１７の上部には４つの給気ボックス２１が均等に配置されている。
【００４３】
そして、空調機６７と４つの給気ボックス２１とが、給気ダクト６８により接続される。
給気ボックス２１の内部には、フィルタ２７が配置され、給気ボックス２１の下部には、拡散ユニット４３が配置されている。
そして、２つの拡散ユニット４３の間に接続ユニット６９が配置され、拡散ユニット４３の一端と接続ユニット６９とが接続されている。
【００４４】
また、拡散ユニット４３の他端には、蓋５９ａが取り付けられ、拡散ユニット４３，接続ユニット６９および蓋５９ａにより、ダクトユニット７１が形成される。
そして、室内６５の長手方向に、間隔を空けた２本のダクトユニット７１が配置される。
【００４５】
このクリーンルームでは、接続ユニット６９には、前述した外部拡散ユニット３７が使用される。
そして、図１０に示すように、室内６５の空気６３ａは、送風機６７ａにより空調機６７に吸い込まれ、給気ダクト６９に供給される。
給気ダクト６９に供給された空気６３ａは、それぞれの給気ボックス２１に供給され、フィルタ２７により清浄化される。
【００４６】
清浄化された清浄空気６３は、ダクトユニット７１の内部に均一に拡散される。  そして、ダクトユニット７１から吹き出された清浄空気６３が、室内６５の広範囲に、均一に供給され、室内６５の空気清浄度が高められる。
また、このクリーンルームでは、清浄空気６３が、ダクトユニット７１の内部に均一に拡散され、室内６５に均一に供給されるように、拡散ユニット４３および接続ユニット６９の各部の開口率αが決められている。
【００４７】
そして、その開口率αから計算される穿孔間隔により、各部に図示しない小孔が穿孔されている。
上述したクリーンルームでは、拡散ユニット４３，接続ユニット６９および蓋５９ａにより、ダクトユニット７１を形成したので、室内６５の広範囲に、均一な清浄空気６３を供給することができる。
【００４８】
なお、従来のダクト状の吹出口を有するクリーンルームでは、供給口から離れるに従い、清浄空気の吹出量が減少するため、供給口から離れる程、幅方向での清浄化可能な領域が狭くなっていた。
しかし、上述したクリーンルームでは、ダクトユニット７１のどの部分からも均一かつ十分な吹出量を得ることができるため、ダクトユニット７１の間隔を、例えば、従来より広げて６ｍとしても、十分な清浄度を得ることができた。
【００４９】
図１１は、上述したクリーンルーム用空気吹出装置を用いた別のクリーンルームを示すものであり、前述のクリーンルームの蓋５９ａに替えて、多数の小孔が穿孔され、例えばアルミニウム板からなる蓋７５が取り付けられている。
このクリーンルームでは、蓋７５を取り付けることで、ダクトユニット７１の両端の蓋７５の小孔から清浄空気が吹き出されるため、室内６５の隅々まで清浄空気６３を供給することができる。
【００５０】
図１２は、本発明のクリーンルーム用空気吹出装置の第２の実施形態を示すもので、図１２において、符号８１は装置本体を示している。
装置本体８１の側面には、空気取入口８３が形成され、前面には、供給口２５が形成されている。
【００５１】
そして、装置本体８１の内部には、送風機８５およびフィルタ８６が配置されている。
また、供給口２５を覆って内部拡散ユニット３１が配置され、内部拡散ユニット３１の供給口２５と反対側に、内部拡散ユニット３１を覆って外部拡散ユニット３７が配置されている。
【００５２】
この外部拡散ユニット３７の上面枠６１の外気に接する部分には、側蓋８９が取り付けられている。
さらに、装置本体８１の下部には複数の車輪８７が配置されている。
この実施形態では、まず室内９１に装置本体８１が運ばれ、さらに空気の清浄化が必要とされる空間９３の近傍に、装置本体８１が移動される。
【００５３】
そして、送風機８５により室内９１の空気６３ａが、空気取入口８３から装置本体８１に吸い込まれる。
吸い込まれた空気６３ａは、フィルタ８６を通過して清浄化される。
清浄空気６３は、内部拡散ユニット３１を通して、外部拡散ユニット３７内部に均一に拡散される。
【００５４】
そして、外部拡散ユニット３７から清浄空気６３が吹き出され、装置本体８１前方の空間９３の空気清浄度が高められる。
以上のように構成されたクリーンルーム用空気吹出装置では、装置本体８１に車輪８７を配置したので、空気の清浄化が必要とされる異なる室内９１に装置本体８１を移動することができる。
【００５５】
また、空気の清浄化が必要とされる空間９３の近傍に、装置本体８１を容易に移動でき、局所的に空気清浄度を高めることができる。
また、清浄空気６３が、内部拡散ユニット３１を通り、外部拡散ユニット３７内の空間に均一に拡散された後、外部拡散ユニット３７から室内６５に吹き出されるため、清浄空気６３の流れを２段階に調整でき、空間９３の広範囲に、均一な清浄空気６３を供給することができる。
【００５６】
なお、上述した第１の実施形態では、小孔３３を穿孔間隔を変えて、同じ大きさにした例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、例えば、穿孔間隔を同一にして、穿孔する大きさを変えても良く、また、穿孔間隔を徐々に変えても良く、さらに穿孔間隔と穿孔する大きさとを両方変えても良い。
【００５７】
また、さらに、小孔３３は、千鳥状に形成しても良く、あるいは規則性を持たずにランダムに形成しても良い。
また、上述したクリーンルームでは、ダクトユニット７１を、２つの拡散ユニット４３を接続ユニット６９で接続して構成した例について示したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、例えば、３つの拡散ユニット４３と２つの接続ユニット６９とを交互に接続して構成しても良い。
【００５８】
また、上述したクリーンルームでは、ダクトユニット７１を２本配置して構成した例について示したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、ダクトユニット７１の配置本数を増やして構成しても良い。
また、上述した第１および第２の実施形態では、小孔３３の形状を円形にした例について示したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、穿孔形状は、例えば、四角形でも楕円形でも良い。
【００５９】
さらに、上述した第１の実施形態では、フィルタ２７が取り付けられる給気ボックス２１に、内部拡散ユニット３１および外部拡散ユニット３７を固定した例について示したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、例えば、送風機とフィルタとを取り付けた給気ボックス（ファンフィルタユニット）に内部拡散ユニット３１および外部拡散ユニット３７を固定しても良い。
【００６０】
また、空調機能と清浄機能とを備えた給気ボックスに内部拡散ユニット３１および外部拡散ユニット３７を固定しても良く、さらにセル天井方式のクリーンルームのフィルタに外部拡散ユニット３７だけを固定しても良い。
なお、上述した第２の実施形態では、外部拡散ユニット３７の長手方向を上下方向に向けた例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、例えば、外部拡散ユニット３７の長手方向を水平方向に向けても良い。
【００６１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のクリーンルーム用空気吹出装置では、清浄空気が、内部拡散ユニットの小孔を通り、外部拡散ユニット内の空間に均一に拡散された後、清浄空気が、外部拡散ユニットから室内に吹き出されるため、清浄空気の流れを２段階に調整でき、室内の広範囲に、均一な清浄空気を供給することができるとともに、塵埃の飛散および滞留の原因となる渦流の発生を防止することができる。
【００６２】
本発明のクリーンルーム用空気吹出装置では、内部拡散ユニットおよび外部拡散ユニットの側面部，斜面部および底面部に穿孔される小孔により、清浄空気の吹出量を、横方向，斜め方向および下方向にそれぞれ調整できるため、室内の広範囲に、均一な清浄空気を供給することができるとともに、塵埃の飛散および滞留の原因となる渦流の発生を防止することができる。
【００６３】
本発明のクリーンルーム用空気吹出装置では、内部拡散ユニットの上面枠により、内部拡散ユニットを簡便に給気ボックスに固定させることができ、また、外部拡散ユニットの上面枠により、外部拡散ユニットを簡便に給気ボックスに固定させることができるため、少ない投資で、室内の広範囲に、均一な清浄空気を供給できるクリーンルームを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のクリーンルーム用空気吹出装置の第１の実施形態を示す説明図である。
【図２】図１のII−II線に沿う縦断面図である。
【図３】本発明のクリーンルーム用空気吹出装置の拡散ユニットを示す斜視図である。
【図４】本発明のクリーンルーム用空気吹出装置の内部拡散ユニットを示す斜視図である。
【図５】本発明のクリーンルーム用空気吹出装置の外部拡散ユニットを示す斜視図である。
【図６】本発明のクリーンルーム用空気吹出装置における清浄空気の流れを示す説明である。
【図７】図６のVII−VII線に沿う縦断面図である。
【図８】本発明のクリーンルーム用空気吹出装置における清浄空気の流れを示す説明図である。
【図９】本発明のクリーンルーム用空気吹出装置を用いたクリーンルームを示す上面図である。
【図１０】本発明のクリーンルーム用空気吹出装置を用いたクリーンルームを示す側面図である。
【図１１】本発明のクリーンルーム用空気吹出装置を用いたクリーンルームを示す側面図である。
【図１２】本発明のクリーンルーム用空気吹出装置の第２の実施形態を示す説明図である。
【図１３】従来のクリーンルーム用空気吹出装置を示す説明図である。
【図１４】図１３のXIII−XIII線に沿う縦断面図である。
【符号の説明】
１７  天井
２１  給気ボックス
２５  供給口
３１  内部拡散ユニット
３３  小孔
３７  外部拡散ユニット
４５  側面部
４７  底面部
４９  斜面部
５１  上面枠
８１  装置本体
８３  空気取入口
８５  送風機
８６  フィルタ
８７  車輪
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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