(57)【要約】ファインパターン化されたコンタクト部に対し、電気検査を行う針状体の位置精度を確保する。パターン形成されたコンタクト部に先端部３ａが接触する複数の導電性の針状体３と、各針状体３と同軸的に連結され、針状体３をコンタクト部との接触方向に付勢する複数の導電性のコイルばね４と、少なくともコイルばね４を個々に収容する収容孔１２が形成されると共に、抜け止め状態で針状体３の先端部が抜き出されるガイド孔１３が各収容孔１２と連通するように形成された絶縁性のホルダ２とを備える。収容孔１２の中心に対し全てまたは一部のガイド孔１３の中心を同一平面内の特定の一方向にずらすことにより、針状体３の位置精度を確保する。
2003005044.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン形成されたコンタクト部に先端部が接触する複数の導電性の針状体と、各針状体と同軸的に連結され、針状体を前記コンタクト部との接触方向に付勢する複数の導電性のコイルばねと、少なくともコイルばね又は針状体の鍔部を個々に収容する収容孔が形成されると共に、抜け止め状態で針状体の先端部が抜き出されるガイド孔が各収容孔と連通するように形成された絶縁性のホルダとを備え、前記収容孔の中心と全てまたは一部のガイド孔の中心とが相対的に同一平面内の特定の一方向にずれていることを特徴とする導電性接触子。
【請求項２】
中心がずれている全てのガイド孔は、前記収容孔の中心に対するずれ量が同一となっていることを特徴とする請求の範囲第１項記載の導電性接触子。
【請求項３】
前記収容孔の中心に対するガイド孔の中心のずれ量は、針状体の外径とガイド孔との間のクリアランスと略等しいか大きいことを特徴とする請求の範囲第１項または第２項記載の導電性接触子。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、ＩＣやプリント配線板、液晶表示パネルの基板等にパターン形成された電極等のコンタクト部の電気的検査を行うために使用される導電性接触子に関する。
背景技術
一般に導電性接触子は、コイルばねによって付勢された導電性の針状体を基板側のコンタクト部に接触させることにより、電気的検査を行っている。従前の導電性接触子においては、針状体及びコイルばねをパイプ状のリセプタクルの内部に組み込み、このリセプタクルの複数を絶縁板に配設して検査を行っていたが、近年の狭いピッチパターン（ファインピッチ）に対応することができない問題が発生している。このため、特開平１０−２３９３４９号公報、特開平６−２０１７２５号公報、特許第２５３２３３１号公報等に記載されるように、リセプタクルを省いて、コイルばね及び針状体を絶縁性のホルダに直接に組み込んだ構造の導電性接触子が開発されている。
第１１図は、これらの公報に記載されている従来の導電性接触子６０を示し、共に絶縁材料からなる下側プレート６１、中間プレート６２、上側プレート６３が積層されることにより、ホルダ６４が形成されている。
中間プレート６２には板厚方向に貫通する収容孔６５が複数形成される一方、下側プレート６１には収容孔６５よりも小径となっているガイド孔６６が各収容孔６５と連通した状態で貫通している。そして、各収容孔６５には、下端に針状体６８が取り付けられたコイルばね６７が収容される。
針状体６８はホルダ６４のガイド孔６６を貫通している。針状体６８は検査基板等の各コンタクト部（図示省略）に対応するものであり、先鋭に形成された下端部が基板等のコンタクト部と接触する。針状体６８の上部には、ガイド孔６６よりも大径の鍔部６８ａが一体的に形成されることにより、ガイド孔６６からの抜け止めがなされている。また、針状体６８の上端部はコイルばね６７に圧入されることにより、コイルばね６７との連結及び電気的接続がなされている。
コイルばね６７は下側プレート６１から外側に突出する方向（コンタクト部と接触する方向）にそれぞれの針状体６８を付勢しており、この付勢によって針状体６８のコンタクト部への接触が確保されるようになっている。それぞれのコイルばね６７の上部には、上端部が先鋭に形成された接続用針状体６９が配置されている。接続用針状体６９はその下部がコイルばね６７に圧入されることにより、コイルばね６７との連結及び電気的接続がなされている。
これらの針状体６８、コイルばね６７、接続用針状体６９は、いずれも金、ロジウム、ニッケル等の導電材料によって表面処理したものや、酸化しにくい導電性金属が用いられる。
上側プレート６３には、各接続用針状体６９と対応する導線７０の下端部が圧入されて、接続用針状体６９の上端部に臨んでいる。この導線７０の延設端部は検査装置（図示省略）に接続されている。
以上のような導電性接触子６０による検査基板の検査は、導電性接触子６０を検査基板に接近させて、検査基板にパターン形成されたコンタクト部のそれぞれに針状体６８を接触させて、針状体６８、コイルばね６７、接続用針状体６９、導線７０を介して電気信号を入出力することにより行うことができる。
近年のパターンのファインピッチ化においては、検査基板のコンタクト部の径が例えば１２０μｍから９０μｍとさらに小さくなっており、しかもコンタクト部の位置にバラツキが生じている。従って、導電性接触子の位置精度をできるだけ確保することが接触性を向上させるために必要となっている。導電性接触子の位置精度は、第１２図に示すように、針状体６８の径ｄと、ホルダ６４のガイド孔６６の孔径Ｄとのクリアランス（（Ｄ−ｄ）／２）によって決定される。
しかしながら、針状体６８をホルダ６４に組み込んだ場合には、第１３図及び第１１図に示すような位置ずれが発生することが多いものとなっている。
第１３図では、針状体６８が収容孔６５内で傾いた状態を拡大して示すものであり、針状体６８が傾くことによって、その下端部の中心がΔＥずれる。このずれ量ΔＥがＤ−ｄよりも大きくなる（ΔＥ＞Ｄ−ｄ）と、針状体６８の下端部がコンタクト部と接触しにくくなる場合がある。
第１１図は針状体６８が傾くことなく、ガイド孔６６の中心に対し変位状態（ずれた状態）で貫通している場合を示している。同図においては、最左端側の針状体６８の軸心がガイド孔６６の中心に対して左側にΔｘ１ずれ、最左端から３本目の針状体６８の軸心がガイド孔６６の中心に対して右側にΔｘ２ずれ、最右端側の針状体６８の軸心がガイド孔６６の中心に対して右側にΔｘ３ずれて変位している。
以上の第１３図の傾きや第１１図の変位は、全ての針状体６８に一律に規則的に発生するものではなく、方向性がないばかりでなく、ずれ量もバラバラとなっており、さらには、傾く針状体、変位する針状体が混在し、しかも、検査基板のコンタクト部の位置精度や導電性接触子の位置精度にも左右されることにより、一部の針状体がコンタクト部と接触しても、他の一部の針状体はコンタクト部と接触しにくくなる場合が生じ、検査を良好に行うことができない問題が生じる可能性がある。
さらに、検査基板では、コンタクト部以外の領域がセラミックス等の硬質材料から形成されている場合もあり、この場合には、検査基板のコンタクト部の位置精度や導電性接触子の位置精度が原因でコンタクト部から外れている針状体が硬質材料と接触して摩耗し、これにより、耐久性が低下するおそれがある。
本発明は、このような従来の問題点を考慮してなされたものであり、コンタクト部に対する針状体の位置精度を確保してコンタクト部への接触を確実に行うことが可能な構造の導電性接触子を提供することを目的とする。
発明の開示
請求の範囲第１項の発明の導電性接触子は、パターン形成されたコンタクト部に先端部が接触する複数の導電性の針状体と、各針状体と同軸的に連結され、針状体を前記コンタクト部との接触方向に付勢する複数の導電性のコイルばねと、少なくともコイルばね又は針状体の鍔部を個々に収容する収容孔が形成されると共に、抜け止め状態で針状体の先端部が抜き出されるガイド孔が各収容孔と連通するように形成された絶縁性のホルダとを備え、前記収容孔の中心と全てまたは一部のガイド孔の中心とが相対的に同一平面内の特定の一方向にずれていることを特徴とする。
上記構造において、各針状体がコイルばねに連結された状態で、検査対象のコンタクト部に接触することにより、コンタクト部と針状体とコイルばねとが導通状態となるため検査を行うことができる。
この発明では、全てまたは一部のガイド孔の中心が収容孔の中心に対して特定の一方向に相対的にずれて取り付けられていることにより、ガイド孔を貫通している針状体に対して次のように作用する。
▲１▼針状体が特定方向との反対方向に傾いている場合は、ガイド孔がずれた分だけ傾きが特定方向に修正される。
▲２▼針状体が特定方向に沿って傾いている場合は、特定方向への傾きが減少する。
▲３▼針状体が特定方向以外に傾いている場合は、その方向への傾き状態を維持しながらガイド孔がずれた分だけ特定方向へも傾く。
▲４▼針状体が特定方向と反対の方向に変位している場合は、ガイド孔がずれた分だけ特定方向側に変位量が修正される。
▲５▼針状体が特定方向側に変位している場合は、その位置に留まるか、ガイド孔のずれ分に応じて特定方向側に変位する。
▲６▼針状体が特定方向以外の方向に変位している場合は、その方向への変位状態を維持しながらガイド孔がずれた分だけ特定方向へも変位する。
▲７▼針状体が傾きながら且つ変位している場合には、以上の▲１▼〜▲６▼の作用が混合して作用して傾き及び変位する。
このような作用では、全てまたは一部の針状体が特定の一方向に倣うように一律に挙動するため、その特定方向における針状体のコンタクト部に対する位置精度を確保することができる。このため、針状体がコンタクト部に確実に接触することができる。これにより、針状体をコンタクト部に接触させるための位置合わせが簡単となり、短時間での検査を良好に行うことができると共に、針状体が電極部以外の硬質材料と接触して摩耗することがなく、その耐久性を向上させることが可能となる。
請求の範囲第２項の発明は、請求の範囲第１項記載の導電性接触子であって、中心がずれている全てのガイド孔は、前記収容孔の中心に対するずれ量が同一となっていることを特徴とする。
このようにガイド孔のずれ量が同一となっていることにより、ガイド孔を貫通した針状体に対して、請求の範囲第１項における上述した▲１▼〜▲７▼の作用を画一化することができる。従って、コンタクト部に対する特定方向における針状体の位置精度をさらに良好に確保することができる。
請求の範囲第３項の発明は、請求の範囲第１項または第２項記載の導電性接触子であって、前記収容孔の中心に対するガイド孔の中心のずれ量は、針状体の外径とガイド孔との間のクリアランスと略等しいか大きいことを特徴とする。
このようにガイド孔のずれ量を設定することにより、針状体の先端をコンタクト部に臨ませることができるため、コンタクト部に対する針状体の位置精度を確保することができる。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明を図示する実施の形態により具体的に説明する。なお、各実施の形態において、同一の部材には同一の符号を付して対応させてある。
（実施の形態１）
第１図〜第４図は、本発明の実施の形態１であり、第１図に示すように、この実施の形態の導電性接触子１は、ホルダ２と、第１の針状体３と、コイルばね４と、第２の針状体５とを備えている。この導電性接触子１は、第１の針状体３を検査基板６にパターン形成された電極等のコンタクト部７に接触させることにより検査基板６の電気的検査を行うために使用される。
ホルダ２は、検査基板６側から第１のプレート８、第２のプレート９、第３のプレート１０及び第４のプレート１１が順に積層されることにより形成されている。これらのプレート８，９，１０，１１は、相互の位置決め状態で積層され、ボルト等による締結、接着剤等による接合、その他の手段によって組み立てられる。また、いずれのプレート８，９，１０，１１も絶縁材料が用いられており、これによりホルダ２全体が絶縁性となっている。
第２のプレート９及び第３のプレート１０には、複数の収容孔１２が板厚方向に貫通している。収容孔１２は後述するコイルばね４を含めた検査アッシーを個々に収容するものであり、検査基板６のコンタクト部７と対応した位置及び数が形成される。
第１のプレート８には、収容孔１２のそれぞれに連通するガイド孔１３が板厚方向に貫通している。ガイド孔１３は収容孔１２よりも小径で且つ第１の針状体３よりも幾分大径となっており、それぞれのガイド孔１３に第１の針状体３が挿通することにより、第１の針状体３の先端部（下端部）が検査基板６側に抜き出されている。
第４のプレート１１にも、各収容孔１２と連通するガイド孔１４が板厚方向に貫通しており、ガイド孔１４には第２の針状体５がそれぞれ挿通している。このガイド孔１４も収容孔１２よりも小径で且つ第２の針状体５よりも幾分大径となっている。第４のプレート１１は中継基板１５と対向するものであり、中継基板１５が第４のプレート１１に取り付けられることにより、第２の針状体５は中継基板１５にパターン形成された電極部（コンタクト部）１６のそれぞれと接触する。
第１の針状体３及び第２の針状体５は、先端部が先鋭に形成された針状部３ａ、５ａと、対応したガイド孔１３，１４よりも大径に形成された鍔部３ｂ、５ｂと、鍔部３ｂ、５ｂからコイルばね４側に延びた連結部３ｃ、５ｃとが軸方向に一体に連設されることにより構成されている。これらの第１の針状体３及び第２の針状体５は、先鋭の針状部３ａ、５ａが反対方向を向くようにコイルばね４の両端部に組み付けられる。
針状部３ａ、５ａは対向しているコンタクト部７、電極部１６と接触する部位であり、鍔部３ｂ、５ｂは収容孔１２からの針状体３，５の抜け止めを行う部位である。連結部３ｃ、５ｃはコイルばね４のそれぞれの端部に圧入または半田付けされることにより、コイルばね４との連結を行う部位である。
コイルばね４は細い径の線材をコイル状に巻回することによって形成された圧縮コイルばねとなっている。コイルばね４は収容孔１２の長さと同程度或いは幾分短い長さとなっており、上述したようにその両端部に針状体３，５が連結されることにより検査アッシーが形成される。そして、コイルばね４は、それぞれの針状体３，５がコンタクト部７、電極部１６と接触するように付勢している。
ここで、第１の針状体３、コイルばね４及び第２の針状体５は金、ロジウム、ニッケル等の導電材料によって表面処理（メッキ）したものや、酸化しにくい導電性金属を表面処理しないものが用いられる。これにより、コイルばね４を介して第１の針状体３及び第２の針状体５との間で電気信号の入出力を行うことが可能となっている。
以上の構造において、この実施の形態では、収容孔１２の中心に対し、第１のプレート８側の全てのガイド孔１３の中心が同一平面内の特定に一方向にずれるように設定されている。第２図はこれを部分的に示しており、収容孔１２の中心線２１に対してガイド孔１３の中心線２２が左側にずれている。このずれは、第１のプレート８を第２のプレート９に対して左側にずらすことにより行われ、これにより、第１のプレート８の全てのガイド孔１３を左側にずらした状態とすることができる。
このようにガイド孔１３の中心線２２が収容孔１２の中心線２１から左方向にずれることにより、ガイド孔１３を貫通する第１の針状体３が同方向に倣うように挙動する。
第３図はガイド孔１３を左側にずらした場合の挙動を、ずらす前の従来と比較して示すものであり、（Ａ）は従来の針状体６８の挙動を、（Ｂ）はこの実施の形態の第１の針状体３の挙動である。また、（Ｂ）におけるｂ１は（Ａ）におけるａ１に対応し、ｂ２はａ２に、ｂ３はａ３に、ｂ４はａ４に、ｂ５はａ５にそれぞれ対応している。これらのｂ１〜ｂ５及びａ１〜ａ５は順の隣接位置を表したものである。
左側にずらす前において、ａ１では、針状体６８がガイド孔６６の左側面と接触しているが、ずらした後は、ｂ１で示すように第１の針状体３がガイド孔１３に対して右側に相対的に変位するため、ガイド孔１３の右側面と接触した状態となる。ａ２では、針状体６８がガイド孔６６の右側面と接触しており、左側にずらした後のｂ２においては、第１の針状体３は右側面と接触した状態のままである。ａ３では、針状体６８が左側に傾いているのに対し、ガイド孔１３を左側にずらした後では、第１の針状体３はｂ３のように傾きが修正されて直立状となりガイド孔１３の右側面に接触している。ａ４では、針状体６８がガイド孔６６の中心に位置しているが、ガイド孔１３を左側にずらした後は、ｂ４のように第１の針状体３が相対的に変位してガイド孔１３の右側面に接触している。ａ５では、針状体６８が右側に傾いているのに対し、ガイド孔１３を左側にずらした後の第１の針状体３は、傾きが修正されて直立状となり、ガイド孔１３の右側面に接触している。
このように全てのガイド孔１３を左側にずらすことにより、ガイド孔１３を貫通している全ての第１の針状体３は、傾きが修正されたり、右側に変位する。そして、全ての第１の針状体３が特定の方向（左方向）に倣うことにより、その特定方向においては、コンタクト部７に対する第１の針状体３の位置精度を向上させることができ、これにより、コンタクト部７の径が９０μｍ前後の小径であっても、コンタクト部７との位置合わせが容易となり、電気的検査に対応することができる。
また、これに加えて、全ての第１の針状体３をコンタクト部７に接触させるための位置合わせが簡単となり、短時間での検査を良好に行うことができる。また、これにより、第１の針状体３が検査基板のコンタクト部（電極）以外の硬質部分と接触して摩耗することが少なくなり、耐久性を向上させることが可能となる。
第４図は、ガイド孔を特定方向（左方向）にずらした場合の作用を数値によって説明するものであり、ガイド孔６６，１３を下面から見た状態を示している。同図において、（Ａ）はずらす前の従来を、（Ｂ）はずれ量Ｒでずらした後を示し、第３図におけるａ３、ａ２及びこれらに対応したｂ３、ｂ２を例にしてある。また、２２はガイド孔６６，１３の中心を、２３は針状体６８，３の中心をそれぞれ示している。
ガイド孔のピッチＰ１に対し、ずらす前のガイド孔６６では、（Ａ）で示すようにａ３の針状体６８が左側に傾いており、ａ２の針状体６８が右側に傾いていることから、隣接している針状体６８同士のピッチＰ２は、Ｐ２＝Ｐ１＋Δｘ５＋Δｘ６となり、隣接している針状体６８同士の中心２３が離れる向きにずれている。
これに対し、（Ｂ）で示すように、全てのガイド孔１３を左方向にＲだけずらした場合、隣接している第１の針状体３のピッチＰ３は、Ｐ３＝Ｐ２−２Ｒとなり、Ｐ３＜Ｐ２となって隣接している第１の針状体３のピッチを本来の設計値に近づけることができ、このため、第１の針状体３の位置精度を向上させることが可能となる。
ガイド孔１３のずれ量Ｒとしては、第１の針状体３の外径とガイド孔１３との間のクリアランスと等しいか、或いはクリアランスよりも大きいことが望ましい。さらに望ましいずれ量Ｒとしては、次のように設定することができる。すなわち、第１の針状体３の外径をｄ１、ガイド孔の孔径をＤ１、コイルばね４の外径をｄ２、コイルばねの収容孔１２の孔径をＤ２とし、ガイド孔の加工位置精度を±ε（ｅｘ．ε＝１０μｍ）とした場合、ずれ量Ｒは、概ね
（Ｄ１−ｄ１）／２  ≦Ｒ  ≦  （Ｄ２−ｄ２）＋２ε
と設定することができる。なお、この場合、第１の針状体３がガイド孔１３に挿入できることがＲの上限となることはいうまでもないものである。
このようにガイド孔１３のずれ量Ｒを設定することにより、第１の針状体３の先端をコンタクト部７に臨ませることができるため、コンタクト部７に対する針状体の位置精度を確保することができる。この場合、ずれ量Ｒを全てのガイド孔１３で同一とすることが好ましく、これによりガイド孔１３を貫通する第１の針状体３のコンタクト部７に対する位置精度をさらに良好に確保することができる。また、全てのガイド孔１３のずれ量Ｒを同一としない場合には、ガイド孔１３を同一の方向にずらすことにより、上述と同様に作用することができる。
（実施の形態２）
第５図〜第８図による実施の形態２を説明すると、第５図は第２のプレート９に対して第１のプレート８をずらしていない場合を、第６図〜第８図は第２のプレート９に対し第１のプレート８を右側にずらした後の状態をそれぞれ示す。また、これらの図において、２２はガイド孔１３の中心である。
第１のプレート８をずらすことにより、第２のプレート９の収容孔１２の中心に対して第１のプレート８のガイド孔１３の中心が同じ方向にずれる。このガイド孔１３のずれによって、ずらす前においては第５図に示すように、その先端がガイド孔１３の中心よりも左側に偏っている状態の第１の針状体３は、第６図〜第８図のように挙動する。
第６図においては、第１の針状体３全体が右側に傾くことによって、その先端がガイド孔１３の中心よりも右側に位置している。第７図においては、ずれたガイド孔１３の中心に第１の針状体３が位置することにより、その先端がガイド孔１３の中心よりも右側に位置している。第８図においては、第１の針状体３がさらに右側に傾くことによって、第６図、第７図と同様にその先端がガイド孔１３の中心よりも右側に位置している。
このように、ガイド孔１３の中心が収容孔の中心に対して右側にずれることにより、いずれの第１の針状体３においても、その先端がガイド孔１３のずれ方向に倣って同一の方向（右側）にずれるため、その方向（右方向）ではコンタクト部７に対する第１の針状体３の位置精度を確保することができる。従って、径が９０μｍ前後の電極径のコンタクト部７と第１の針状体３との位置が一致し易くなり、さらに効率的な電気的検査を行うことができる。
（実施の形態３）
第９図は本発明の実施の形態３を示す。この実施の形態の導電性接触子３１では、ホルダ３２が絶縁性の単一のプレートによって形成されており、収容孔３３及び小径のガイド孔３４が連通状態で板厚方向に形成されている。これらの収容孔３３及びガイド孔３４は所定ピッチで複数がホルダ３２に形成されるものである。また、ガイド孔３４は収容孔３３の中心線２１に対して、その中心線２２がずれるように形成されるものである。このずれ量は、実施の形態１と同様な寸法となるように設定される。
このようにガイド孔３４及び収容孔３３のずれを確保した状態となっているホルダ３２の作製は、単一のプレートの一側の面（上面）から収容孔３３を所定深さまで形成し、その後、中心線２２が収容孔３３の中心線２１とずれた状態でガイド孔３４を他側の面（下面）から形成して収容孔３３と連通させることにより行うことができる。なお、収容孔３３，ガイド孔３４の形成は、極小径のドリルによる穿孔、その他の手段によって行うことができる。
収容孔３３内には、コイルばね３５及び針状体３６が収容される。針状体３６は、ガイド孔３４を貫通してガイド孔３４から抜き出る先鋭の先端部３６ａと、抜け止めのためにガイド孔３４よりも大径となっている鍔部３６ｂと、鍔部３６ｂから収容孔３３内を延びる軸部３６ｃとから構成されている。
コイルばね３５は、軸部３６ｃが圧入、もしくは軸部３６ｃと半田付けすることによって針状体３６と連結される。コイルばね３５は針状体３６が検査基板６のコンタクト部７と接触する方向に針状体３６を付勢している。これらのコイルばね３５及び針状体３６は、導電材料によって成形されることにより、電気信号の入出力が可能となっている。
コイルばね３５における針状体３６との反対側の端部は密着巻き部３５ａとなっており、この密着巻き部３５ａ側に中継基板３７が配置されている。中継基板３７における収容孔３３との対応部位には、導電材からなる導通路３８が厚さ方向に形成されている。コイルばね３５の密着巻き部３５ａはこの導通路３８と接触することにより、電気信号を導通路３８に伝達する。
このような実施の形態においても、ガイド孔３４の中心線２２を収容孔３３の中心線２１に対して特定の一方向にずらすことにより、コンタクト部７に対する針状体３６の位置精度を確保することができ、ファインピッチに良好に対応することが可能となる。
（実施の形態４）
この実施の形態の導電性接触子は、第１１図及び第１２図と大略同様な構造となるものであり、ホルダ６４における下側プレート６１が中間プレート６２に対し一方向にずれる点だけが異なっている。従って、第１１図及び第１２図を参照して、この実施の形態の導電性接触子を説明する。
第１１図及び第１２図に示すように、ホルダ６４の上側プレート６３には導線７０が固定されている。また、接続用針状体６９及び針状体６８はコイルばね６７の両端に取り付けられて一体化された状態で、中間プレート６２の収容孔６５に挿入される。そして、その中心線が中間プレート６２の収容孔６５の中心線から一方向（例えば、右方向）にずれるように下側プレート６１を積層し、この状態で図示を省略してあるボルト等を上側プレート６３、中間プレート６２、下側プレート６１に貫通させてプレート６３，６２，６１を結合させ、導電性接触子を組み立てる。
このような実施の形態においても、下側プレート６１のガイド孔６６の中心線が中間プレート６２の収容孔６５の中心線からずれているため、下側プレート６１のガイド孔６６を貫通している針状体６８が一方向に倣うように挙動するため、コンタクト部に対する針状体６８の位置精度を確保することができる。このため、コンタクト部への位置合わせが簡単となり、検査基板の検査を短時間で行うことができる。
（実施の形態５）
この実施の形態では、導電性接触子が電気的検査を行う対象である検査基板６について説明する。第１０図は検査基板６であり、絶縁材からなる基板本体２６の上面に多数のコンタクト部７が形成されている。コンタクト部７は基板本体２６の中央領域に縦横方向に規則正しく配置された円形パターンとなっている。各コンタクト部７は、径が９０μｍ程度の２００μｍ以下のファインピッチとなっており、以上の実施の形態の導電性接触子１，３０の第１の針状体３が接触して検査が行われる。
コンタクト部７の形成領域の周囲には、コンタクト部の一部である電極部２７が形成されている。電極部２７は１×２ｍｍ程度の大きさの矩形パターンとなっている。この電極部２７に対しても導電性接触子の第１の針状体３が接触して検査が行われるが、このような大きなパターンの電極部２７に対しては、第１の針状体３が確実に接触することができる。このため、電極部２７に対応した第１の針状体３に対しては、上述した実施の形態のような位置精度を確保するためのずらし処理を行う必要がない場合もある。
このようにファインピッチパターンのコンタクト部７と大きなパターンの電極部２７とが混在した検査基板に対しては、コンタクト部７と対応した第１の針状体３のガイド孔１３に対して、そのずらしを行い、電極部２７と対応した第１の針状体３のガイド孔１３に対して必ずしもずらしを行う必要がない。このため、このような検査基板に対しては、必要な部位（一部）のガイド孔１３だけの中心を収容孔１４の中心に対してずらすだけで良く、全てのガイド孔１３をずらす必要がないものである。
以上の実施の形態では、第１のプレート８側のガイド孔１３を特定方向にずらしているが、中継基板１５に対応した第４のプレート１１のガイド孔１４を特定方向にずらして、ガイド孔１４を貫通している第２の針状体５の傾きや変位を修正することも可能である。この場合には、中継基板１５の電極部（コンタクト部）１６に対する第２の針状体５の位置精度を同様に向上させることができ、中継基板１５に対する位置合わせが簡単となる。ここで、第１のプレート８をずらすと、検査アッシーがねじれ、このねじれに起因したコイルばね４の反作用力により第２の針状体５が第１の針状体３の反対方向に倣うように挙動する場合があり、この場合には第４のプレート１１をずらす必要がなくなる。
また、第９図に示す実施の形態３における単一プレートからなるホルダ３２、密着巻き部３５ａを有したコイルばね３５及び導通路３８を有した中継基板３７を、実施の形態１，２，４及び５に対して同様に適用することも可能である。
産業上の利用可能性
請求の範囲第１項の発明によれば、針状体が貫通する全てまたは一部のガイド孔の中心と収容孔の中心とが相対的に特定の一方向にずれていることにより、特定方向における針状体のコンタクト部に対する位置精度を確保できるため、全ての針状体をコンタクト部に接触させるための位置合わせが簡単となり、短時間での検査を良好に行うことができると共に、針状体がコンタクト部以外の硬質材料と接触して摩耗することがなく、耐久性を向上させることが可能となる。
請求の範囲第２項の発明によれば、請求の範囲第１項の発明の効果に加えて、針状体に対し画一的に位置精度を確保することが可能となる。
請求の範囲第３項の発明によれば、請求の範囲第１項及び第２項の効果に加えて、針状体の先端をコンタクト部に臨ませることができるため、コンタクト部に対する針状体の位置精度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の実施の形態１の断面図であり、第２図は、収容孔に対するガイド孔のずれを示す断面図であり、第３図は、ガイド孔をずらした作用を説明する断面図であり、（Ａ）は従来例を、（Ｂ）は一実施の形態を示し、第４図は、ガイド孔をずらすための設定を説明する底面図であり、（Ａ）は従来例を、（Ｂ）は一実施の形態を示し、第５図は、実施の形態２のずらし前の断面図であり、第６図は、実施の形態２のずらし後の挙動を示す断面図であり、第７図は、実施の形態２のずらし後の別の挙動を示す断面図であり、第８図は、実施の形態２のずらし後のさらに別の挙動を示す断面図であり、第９図は、実施の形態３の断面図であり、第１０図は、実施の形態５における検査基板の平面図であり、第１１図は、従来の導電性接触子の断面図であり、第１２図は、従来の導電性接触子の拡大断面図であり、第１３図は、針状体のずれを説明する断面図である。
符号の説明
１  導電性接触子
２  ホルダ
３  第１の針状体
４  コイルばね
５  第２の針状体
６  検査基板
７  コンタクト部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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