(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンを形成するために感光材料の塗布されたパネルに光を照射する光学系を備えた露光装置において、
前記光学系は地面と垂直に配置されて光を照射する２個のランプと、
前記ランプに各々設置されて照射された光が上側または下側に照射されるように反射させる楕円鏡と、
各々のランプおよび楕円鏡から照射された光の経路を調整する第１経路調整系と、
入射される光が均一な強さの光として発散されるフライアイレンズと、
前記フライアイレンズから発散された光を露光面に垂直に反射させるコリメートミラーと、
前記フライアイレンズに直交するように配置され、前記第１経路調整系によって経路の調整された光を前記フライアイレンズに反射させる二角ミラーと、から構成され、
各々の楕円鏡は近接配置され、相互干渉を防止するように、重畳される一端が切断されて接合されている、
ことを特徴とする二重ランプ露光装置。
【請求項２】
前記二角ミラーは、一辺が互いに接合された２枚の反射鏡で構成され、
前記二角ミラーを介して前記フライアイレンズに入射される光の入射角は、前記ランプから照射する光と前記楕円鏡から照射する光間の角度の１．５倍以下の角度を有するように配置されることを特徴とする請求項１記載の二重ランプ露光装置。
【請求項３】
前記二角ミラーは平面ミラーからなることを特徴とする請求項２記載の二重ランプ露光装置。
【請求項４】
前記二角ミラーは球面ミラーからなることを特徴とする請求項２記載の二重ランプ露光装置。
【請求項５】
前記二重ランプ露光装置は、前記二角ラーとフライアイレンズとの間に配置されて前記楕円鏡およびランプから照射された光が前記フライアイレンズに入射されるように光を屈折させるプリズムをさらに含めて構成されることを特徴とする請求項１記載の二重ランプ露光装置。
【請求項６】
前記二角ミラーを介して前記フライアイレンズに入射される光の入射角は、前記プリズムを通過して前記フライアイレンズに入射される光の入射角を超える角度を有するように配置されることを特徴とする請求項５記載の二重ランプ露光装置。
【請求項７】
前記二角ミラーを介して前記フライアイレンズに入射される光の入射角は、前記ランプから照射する光と前記楕円鏡から照射する光間の角度の０．５倍を超える角度を有するように配置されることを特徴とする請求項５記載の二重ランプ露光装置。
【請求項８】
各々のランプから前記二角ミラーとプリズムを介して前記フライアイレンズに入射される光の中心の差は、前記フライアイレンズの大きさの１／２以下であることを特徴とする請求項５記載の二重ランプ露光装置。
【請求項９】
前記第１経路調整系は、前記ランプと二角ミラーとの間に配置されて前記ランプおよび楕円鏡から照射された光を前記二角ミラーに全反射させる少なくとも一つ以上の全反射鏡から構成されることを特徴とする請求項１記載の二重ランプ露光装置。
【請求項１０】
前記全反射鏡から前記二角ミラーに最終的に反射される光の角度は０ないし４５°範囲内の角度を有するように配置されることを特徴とする請求項９記載の二重ランプ露光装置。
【請求項１１】
前記二重ランプ露光装置は、前記フライアイレンズと前記コリメートミラーとの間に配置されて前記フライアイレンズから発散された光が前記コリメートミラーに全反射されるように光の経路を調整する第２経路調整系をさらに含めて構成されることを特徴とする請求項１記載の二重ランプ露光装置。
【請求項１２】
前記第２経路調整系は、前記フライアイレンズから発散された光の拡散経路上に配置されて前記コリメートミラーに光を反射させる少なくとも一つ以上の全反射鏡から構成されることを特徴とする請求項１１記載の二重ランプ露光装置。
【請求項１３】
前記接合部から照射される光とランプから照射される光間の角度は、前記ランプから照射する光と前記楕円鏡が傾かない場合に照射する光間の角度の１．５倍以下の角度で配置されることを特徴とする請求項１記載の二重ランプ露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、２個のランプを使用してパターンを形成する露光装置に関し、さらに詳細には、感光材料の塗布されたパネルに光を照射するランプが傾いて配設されるのを防止することによってランプの照度を増加させるとともに、構造的に光の損失を低減せしめうる二重ランプ露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、電子装置の回路の形成されるパネルにパターンを焼きつけるには、前記パネルに感光材料を塗布し光を照射した後、後処理工程を経てパターンを形成させる方法が主として使用されている。ところで、最近の電子装置は高密度、大型化しつつあり、こうした傾向の一環として有機ＥＬ(Electro luminescent)、ＬＣＤ(Liquid Crystal Display)およびＰＤＰ(Plasma Display Panel)などの大面積パネルを用いた製品が開発されているところ、大面積パネルにおいて安定的で高照度の光源を確保するのが極めて重要な課題となってきた。
【０００３】
そこで、従来の露光装置では、高い照度の確保と大面積パネルへの照射のために高出力ランプを使用してきたが、ランプの出力を無限定に大きくするには限界があり、ランプの大きさが増大するほど光の損失も大きくなってしまう。
【０００４】
図９は、従来技術による二重ランプ露光装置の概略図であって、日本特開２０００−２５０２２３号には２個の露光ランプを使用するシステムが例示されている。かかる従来の露光装置は、矩形状のレンズユニットが縦横方向に各々複数個並列配置されて構成された複合レンズであるフライアイレンズ１(Fly Eye Lens)と、前記フライアイレンズ１の長辺方向に沿って配置された第１、２ランプ２ａ、２ｂと、前記第１、２ランプ２ａ、２ｂに各々対応するように設置されて前記フライアイレンズ１に前記第１、２ランプ２ａ、２ｂの光を反射する第１、２楕円鏡３ａ、３ｂと、前記第１、２ランプ２ａ、２ｂと第１、２楕円鏡３ａ、３ｂから照射される光の経路を調整して前記照射された光が前記フライアイレンズ１に入射されるようにする第１ミラー４と、前記フライアイレンズ１を通過した光が露光面９に安着されて感光材料の塗布されたパネルＰに照射されるようにする第２、３ミラー５、６と、を含めて構成される。
【０００５】
しかし、前記従来の二重ランプ露光装置では、２個のランプが相互干渉する現象を解消するために前記第１、２ランプを傾けて設置しているが、このようにランプが傾くと、このときに使用されるランプが超高圧水銀ランプなためその寿命が短縮し、また、高い照度を得るために前記ランプを一定角度以上傾けると、多量の光が照射領域外に漏れ、光の損失を招くという問題点があった。
【０００６】
このような光損失問題を解決するために、従来の露光装置では前記第２ミラーまたは第３ミラーとして球面ミラーを使用したが、これでは前記光損失の問題を根本的に解決することはできなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記の従来技術の問題点を解決するために案出されたものであり、２個のランプを傾けないように配設してランプの寿命を向上させ、構造的にパネルのパターン形成のために照射される光の損失を低減させて大面積パネルの製作を可能とし、また、感光材料の短時間での硬化を可能にして製造時間を短縮させた二重ランプ露光装置を提供することにその目的がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明による二重ランプ露光装置は、パターンを形成するために感光材料の塗布されたパネルに光を照射する光学系を備えた露光装置において、前記光学系は地面と垂直に配置されて光を照射する２個のランプと、前記ランプに各々設置されて照射された光が上側または下側に照射されるように反射させる楕円鏡と、各々のランプおよび楕円鏡から照射された光の経路を調整する第１経路調整系と、入射される光が均一な強さの光として発散されるフライアイレンズと、前記フライアイレンズから発散された光を露光面に垂直に反射させるコリメートミラーと、前記フライアイレンズに直交するように配置され、前記第１経路調整系によって経路の調整された光を前記フライアイレンズに反射させる二角ミラーと、から構成される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を添付図面に基づき詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施形態による二重ランプ露光装置を示す概略図である。
本発明による二重ランプ露光装置は、図１に示すように、感光材料の塗布されたパネルＰが安着される露光面２０と、前記露光面２０に光を照射させる光学系とからなり、ここで、前記感光材料は前記露光面２０に照射された光に露出されることによって硬化される。
【００１０】
本発明による光学系は、大面積のパネルに高照度の光を供給できるように２個のランプが使用されるが、これら第１、２ランプ１０ａ、１０ｂは同一線上に配置され、地面に対して垂直に設置されて光を照射する。
また、各々のランプには、照射される光が上側または下側に集光されるように後方または側方周囲に照射される光を上側または下側に反射させる第１、２楕円鏡１１ａ、１１ｂが設置され、前記第１、２ランプ１０ａ、１０ｂおよび第１、２楕円鏡１１ａ、１１ｂから照射される光の経路線上には光の経路を調整できるように第１経路調整系が位置される。
【００１１】
一方、前記光学系の一側には入射される光が均一な強さの光として発散されるフライアイレンズ１３が配置され、前記フライアイレンズ１３から発散される光の経路上には前記フライアイレンズ１３から発散された光を露光面２０に垂直に反射させるコリメートミラー１６が配設される。
前記コリメートミラー１６は球面ミラーであって、前記フライアイレンズ１３を通過した光が平行に反射されて前記パネル２０に垂直に照射されるようにする。
【００１２】
そして、前記フライアイレンズ１３と前記第１経路調整系との間には、前記第１、２ランプ１０ａ、１０ｂから照射された光が一つのフライアイレンズ１３に照射されるように前記第１経路調整系によって経路の調整された光を前記フライアイレンズ１３に反射させる二角ミラー１２が配設されるが、このとき、前記二角ミラー１２は前記フライアイレンズ１３に直交するように配置される。
【００１３】
前記第１経路調整系とは、露光装置の内部構成によって前記第１、２ランプ１０ａ、１０ｂおよび第１、２楕円鏡１１ａ、１１ｂから照射された光が前記二角ミラー１２に全反射されるようにランプと二角ミラー１２との間に配置される少なくとも一つ以上の全反射鏡のことを言うが、本実施形態において前記全反射鏡は第１、２ミラー３０ａ、３０ｂからなる。
【００１４】
本発明において、前記第１、２ミラー３０ａ、３０ｂは平面ミラーからなり、前記第１、２ミラー３０ａ、３０ｂは前記第１、２ランプ１０ａ、１０ｂおよび第１、２楕円鏡１１ａ、１１ｂから照射される光が前記二角ミラー１２の反射面に照射されるようにする。
【００１５】
一方、前記二角ミラー１２は、図２ａに示すように、一辺が接合される２枚の反射鏡で構成されるが、この反射鏡は平面ミラーからなって光を全反射させる。また、前記二角ミラー１２を介して前記フライアイレンズ１３に入射される光が高い照度を確保するためには入射される光の入射角θ11は小さくなるのが好ましい。
【００１６】
ここで、前記二角ミラー１２を介して前記フライアイレンズ１３に入射される光の入射角θ11は、図２ｂに示すように、前記ランプ１０ａから照射される光と前記楕円鏡１１ａから反射する光間の角度θr１の１．５倍以下の角度を有するように配置される。
つまり、前記二角ミラー１２を介して前記フライアイレンズ１３に入射される光の入射角θ11は、前記ランプ１０ａから照射する光と前記楕円鏡１１ａから照射する光間の角度θr1と下記の数学式１を満足するように定められる。
【００１７】
【数１】
0003849017.tif 000002
【００１８】
一方、前記フライアイレンズ１３は、縦横の長さが各々ａ、ｂであるレンズユニットの２次元構造で構成される。したがって、ａとｂの縦横比は前記パネルＰに光が照射される照射領域の縦横比と略同一に構成される。仮に、前記パネルＰに光を照射する照射領域の縦横比が１６：９であれば、前記フライアイレンズ１３の縦横比も１６：９に相似する値を有する。したがって、前記第１、２ランプ１０ａ、１０ｂから前記フライアイレンズ１３に入射される光は高い照度を確保するために常時フライアイレンズ１３をなすレンズユニットの長手方向に入射されなければならない。
【００１９】
したがって、本発明による実施形態では、フライアイレンズ１３のレンズユニットの長辺は、前記第１、２ランプ１０ａ、１０ｂの配置とそれによって入射される光がレンズユニットの長手方向に入射されうるように縦、横方向に置かれるようになる。
そして、前記フライアイレンズ１３と前記コリメートミラー１６との間には、前記フライアイレンズ１３から発散された光の経路を調整する第２経路調整系がさらに配設される。
【００２０】
前記第２経路調整系はフライアイレンズ１３から発散された光の拡散経路上に配設されて前記コリメートミラー１６に光を反射させる少なくとも一つ以上の全反射鏡１５から構成されるが、その枚数は必要によって増減可能である。
一方、前記第１経路調整系または前記第２経路調整系に使用された全反射鏡は、前記フライアイレンズ１３または前記コリメートミラー１６に入射される光の入射角を小さくするために球面ミラーを使用できることは勿論である。
【００２１】
図３は、本発明による第２実施形態の一部構成要素を示す平面図であって、二角ミラー１２、第１、２ミラー３０ａ、３０ｂおよびフライアイレンズ１３を上から見た部分平面図である。
ここで、前記二角ミラー１２を介して前記フライアイレンズ１３に入射される光の角度θ11は、前記第１実施形態と同様に前記数学式１を満足する。
【００２２】
なお、第１経路調整系は、露光装置の内部構成によって前記ランプおよび楕円鏡から照射された光が前記二角ミラー１２に全反射されるように前記ランプと二角ミラー１２との間に配置される少なくとも一つ以上の全反射鏡で構成され、前記全反射鏡から前記二角ミラー１２に最終的に反射される光の角度θ2１は０ないし４５°範囲内の角度を有するように配置する。
【００２３】
つまり、本発明において、前記全反射鏡は、第１、２ミラー３０ａ、３０ｂからなり、前記二角ミラー１２を介して前記フライアイレンズ１３に入射される光の中心軸の垂直軸と前記第１ミラー３０ａから照射される光の方向間の角度θ2１または前記第２ミラー３０ｂから照射される光の方向間の角度θ22は、下記の数学式２を満足する。
【００２４】
【数２】
0003849017.tif 000003
【００２５】
本発明において、光の中心軸の垂直軸と前記第１ミラー３０ａから照射される光の方向間の角度θ2１と、前記第２ミラー３０ｂから照射される光の方向間の角度θ22は同一角度を保持するように配置されるのが好ましい。
【００２６】
一方、前記第１ランプ１０ａと第２ランプ１０ｂが同一線上に配置されない場合、前記第１、２ミラー３０ａ、３０ｂの配置は、前記二角ミラー１２の光反射過程で発生する光の損失を防止するために、前記フライアイレンズ１３に直交する線と前記二角ミラー１２の内側面とがなす２個の角度θ31、θ32を調節することによってθ12が一定に保持されるようにする。
一方、前記第１、２ミラー３０ａ、３０ｂは前記フライアイレンズ１３に入射される光の入射角を小さくするために球面ミラーを使用できることは勿論である。
【００２７】
図４は、本発明による第３実施形態の二重ランプ露光装置を示す概略図である。
本発明による二重ランプ露光装置は、図４に示すように、感光材料の塗布されたパネルＰが安着される露光面６０と、前記露光面６０に光を照射する光学系とからなり、前記感光材料は前記露光面６０に照射された光に露出されることによって硬化される。
【００２８】
前記光学系は同一線上に配置され、地面に対して垂直に設置されて光を照射する第１、２ランプ５０ａ、５０ｂと、前記第１、２ランプ５０ａ、５０ｂに各々設置されて前記第１、２ランプ５０ａ、５０ｂから照射される光が上側または下側に照射されるように後方または側方周囲に反射される光を反射させる第１、２楕円鏡５１ａ、５１ｂと、前記第１、２ランプ５０ａ、５０ｂおよび第１、２楕円鏡５１ａ、５１ｂから照射される光の経路線上に位置されて光の経路を調整する第１経路調整系と、入射される光が均一な強さの光として発散されるフライアイレンズ５４と、前記フライアイレンズ５４から発散された光を露光面６０に垂直に反射させるコリメートミラー５６と、前記フライアイレンズ５４と直交するように配置されて各々のランプおよび楕円鏡から反射された光を前記フライアイレンズ５４に反射させる二角ミラー５２と、前記二角ミラー５２とフライアイレンズ５４との間に配置されて前記楕円鏡およびランプから照射された光が前記フライアイレンズ５４に入射されるように光を屈折させるプリズム５３と、から構成される。
【００２９】
前記第１経路調整系は、露光装置の内部構成によって前記ランプおよび楕円鏡から照射された光が前記二角ミラー５２に全反射されるように前記ランプと二角ミラー５２との間に配置される少なくとも一つ以上の全反射鏡で構成されるが、本実施例において前記全反射鏡は第１、２ミラー７０ａ、７０ｂからなる。
ここで、前記第１、２ミラー７０ａ、７０ｂは平面ミラーからなり、前記第１、２ミラー７０ａ、７０ｂは前記第１、２ランプ５０ａ、５０ｂおよび第１、２楕円鏡５１ａ、５１ｂから照射される光が前記二角ミラー５２の反射面に照射されるようにする。
【００３０】
図５ａは、本発明による第３実施形態の二重ランプ露光装置の二角ミラーから照射される光の経路を示す構成図であり、図５ｂは、本発明による第３実施形態の二重ランプ露光装置のランプから照射される光の経路を示す構成図である。
ここで、前記二角ミラー５２は、図５ａに示すように、一辺が互いに接合された２枚の反射鏡から構成され、前記二角ミラー５２を介して前記フライアイレンズ５４に入射される光の入射角θ13は、前記プリズム５３を介して前記フライアイレンズ５４に入射される光の入射角θ23を超える角度を有するように配置される。
【００３１】
つまり、前記二角ミラー５２を介して反射されて前記プリズム５３に入射される光の入射角をθ13とし、前記プリズム５３を通過して前記フライアイレンズ５４に入射される光の入射角をθ23とするとき、これらは下記数学式３を満足する。
【００３２】
【数３】
0003849017.tif 000004
【００３３】
ここで、前記θ23は可能な限り小さくするのが好ましい。つまり、前記θ23が最小である場合、前記二角ミラー５２による光損失も最小化するので、光の照度確保に有効である。
また、図５ｂに示すように、前記二角ミラー５２を介して前記フライアイレンズ５４に入射される光の入射角θ13 は、前記ランプ５０ａ、５０ｂから照射される光と前記楕円鏡５１ａ、５１ｂから照射される光間の角度θr3の０．５倍を超える角度を有するように配置される。
つまり、前記ランプから照射される光と前記楕円鏡から反射される光間の角度θr3と前記二角ミラー５２を介して前記フライアイレンズ５４に入射される入射角θ13は、下記数学式４を満足する。
【００３４】
【数４】
0003849017.tif 000005
【００３５】
また、前記フライアイレンズ５４に入射される前記第１、２ランプ５０ａ、５０ｂおよび前記第１、２楕円鏡５１ａ、５１ｂの光はその差が前記フライアイレンズ５４の大きさの１／２でなければならなく、可能な限り前記フライアイレンズ５４の中心に同時に入射しなければならない。とくに、本発明の第３実施形態では前記差が前記フライアイレンズ５４の横長さの１／２以下でなければならない。
【００３６】
一方、前記フライアイレンズ５４と前記コリメートミラー５６との間には前記フライアイレンズ５４から発散された光の経路を調整する第２経路調整系がさらに配設され、前記第２経路調整系は前記フライアイレンズ５４から発散された光の拡散経路上に配置されて前記コリメートミラー５６に光を反射させる少なくとも一つ以上の全反射鏡で構成される。
【００３７】
図６は、本発明による第４実施形態の二重ランプ露光装置を示す概略図である。
本発明の第４実施形態による二重ランプ露光装置は、図６に示すように、地面と垂直に配置されて上に向いて光を照射する第１、２ランプ８０ａ、８０ｂと、前記第１、２ランプ８０ａ、８０ｂから照射される光を集光する第１、２楕円鏡８１ａ、８１ｂと、前記第１、２ランプ８０ａ、８０ｂおよび前記第１、２楕円鏡８１ａ、８１ｂから照射された光が二角ミラー８２に入射されるように光の経路を調整する第１経路調整手段である第１、２ミラー１００ａ、１００ｂと、を含めて構成される。
【００３８】
ここで、前記第１、２ランプ８０ａ、８０ｂおよび前記第１、２楕円鏡８１ａ、８１ｂから照射された光は、前記第１、２ミラー１００ａ、１００ｂを介して前記二角ミラー８２に入射され、前記二角ミラー８２は、前記第３実施形態と同様に、前記プリズム８３に前記入射された光を反射させて前記光がパネル９０に照射されるようにする。
【００３９】
また、前記第１、２ランプ８０ａ、８０ｂは地面に垂直に配置され、その照射光が前記フライアイレンズ８４の長手方向に入射されなければならないため、前記フライアイレンズ８４はそのレンズユニットの長辺が縦方向に置かれている。図７は、図６の一部を拡大した平面構成図であって、ブロックプリズム８３を適用した例を上から見た平面図である。
【００４０】
この場合、本発明の第３実施形態と同様に、お互い向かい合うように地面と水平に設置された第１、２ランプ８０ａ、８０ｂおよび第１、２楕円鏡８１ａ、８１ｂから照射される光は、二角ミラー８２と４５°の角度で入射され、前記フライアイレンズ８４を介して垂直に反射される。前記二角ミラー８２を介して入射された光が垂直に反射される場合、前記二角ミラー８２による光損失は最小化する。また、前記ブロックプリズム８３を介して前記二角ミラー８２の反射光が前記フライアイレンズ８４に入射されることから前記θ24が減少され、照度確保が容易になる。
【００４１】
図８ａは、本発明による第５実施形態の二重ランプ露光装置を示す概略図であり、図８ｂは、本発明による第５実施形態の二重ランプ露光装置のランプから照射される光の経路を示す構成図である。
本発明の第５実施形態による二重ランプ露光装置は、図８ａおよび図８ｂに示すように、前記第１、２ランプ１５０ａ、１５０ｂが互いに近接して配置されている場合、第１、２楕円鏡１５１ａ、１５１ｂによる干渉領域が生じ、その照度が劣ることになるが、本実施形態では、干渉領域を発生させる第１、２楕円鏡１５１ａ、１５１ｂの一部を切断して接合した接合楕円鏡１５１を具現することによって前記干渉領域の発生を解決している。前記接合楕円鏡１５１は各々地面と垂直に配置された第１、２ランプ１５０ａ、１５０ｂの光を集光し、傾けて反射させる。
【００４２】
また、前記接合楕円鏡１５１の側端から照射される光と第１ランプ１５０ａから照射される光間の角をθ40とする場合、つまり、前記第１楕円鏡１５１ａが前記第１ランプ１５０ａに対して反射ミラー１６０に向いてθ40だけ傾いた場合、図８ｂに示すように、光源１１０ｃと傾いていない楕円鏡１１１ｃから照射される光間の角度θr5と、前記θ40は下記の数学式５を満足するように定められる。
【００４３】
【数５】
0003849017.tif 000006
【００４４】
仮に、前記θ40が小さすぎると、前記第１、２反射鏡１５１ａ、１５１ｂの領域が大きくなり、それによる干渉によって光の損失が起こるので、前記θ40は楕円鏡の切断による光損失とフライアイレンズへの光入射角を考慮して適宜選択する。
以上では本発明による二重ランプ露光装置を実施例および添付図面に基づいて説明してきたが、本発明はこれに限定されず、当分野で通常の知識を持つ者によって様々な変形が可能なことは勿論である。
【００４５】
【発明の効果】
以上のように構成される本発明による二重ランプ露光装置は、地面と垂直に配置される光源と、前記光源から照射される光を集光する楕円鏡と、前記光源および楕円鏡から照射される光がパターンを形成しようとするパネルに誘導されるように光の経路を調整する二角ミラーとを使用することによって、光源を傾けることなく前記光源から照射される光が前記パネルに照射されるようにしたため、高い照度を確保できるとともに光源として使用される超高圧水銀ランプの寿命を延長させることができ、パネルのパターン形成のために照射される光源の損失を低減させることによって大面積パネルの製作を可能にし、また、パネルに光の照射される照射領域が高照度を有するようにして平面ディスプレー装置の製造工程中露光に所要される時間を縮減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による二重ランプ露光装置を示す概略図である。
【図２】本発明による二重ランプ露光装置の光の経路を示す図で、（ａ）は二角ミラーから照射される光の経路を示す構成図、（ｂ）はランプから照射される光の経路を示す構成図である。
【図３】本発明による第２実施形態の一部構成要素を示す構成図である。
【図４】本発明による第３実施形態の二重ランプ露光装置を示す概略図である。
【図５】本発明による第３実施形態の二重ランプ露光装置の光の経路を示す図で、（ａ）は二角ミラーから照射される光の経路を示す構成図、（ｂ）はランプから照射される光の経路を示す構成図である。
【図６】本発明による第４実施実施の二重ランプ露光装置を示す概略図である。
【図７】図６の一部を拡大して示す平面構成図である。
【図８】本発明による第５実施例形態を示す図で、（ａ）は二重ランプ露光装置を示す概略図、（ｂ）はランプから照射される光の経路を示す構成図である。
【図９】従来技術による二重ランプ露光装置を示す概略図である。
【符号の説明】
１０ａ…第１ランプ
１０ｂ…第２ランプ
１１ａ…第１楕円鏡
１１ｂ…第２楕円鏡
１２…二角ミラー
１３…フライアイレンズ
１５…全反射鏡
１６…コリメートミラー
２０…露光面
３０ａ…第１ミラー
３０ｂ…第２ミラー
Ｐ…パネル
【図１】
0003849017.tif 000007
【図２】
0003849017.tif 000008
【図３】
0003849017.tif 000009
【図４】
0003849017.tif 000010
【図５】
0003849017.tif 000011
【図６】
0003849017.tif 000012
【図７】
0003849017.tif 000013
【図８】
0003849017.tif 000014
【図９】
0003849017.tif 000015