(57)【要約】ＤＷＤＤ（Ｄｏｍａｉｎ  Ｗａｌｌ  Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ  Ｄｉｔｅｃｔｉｏｎ）によるランド・グルーブ記録の光記録媒体にあって、光磁気記録媒体のグルーブ３の深さｄ（ｎｍ）を、３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ      ・・・（１）または、１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ      ・・・（２）に選定することによっれ、ランドとグルーブの特性のバランス化を図る。
2002089129.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体にあって、
グルーブの深さｄ（ｎｍ）を、
３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ      ・・・（１）
または、
１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ      ・・・（２）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、ｎは、屈折率）
に選定して成ることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体にあって、
上記ランドとグルーブの境界が傾斜面を含み、
上記ランドの平坦部の幅ＷＬ（ｎｍ）と、グルーブの平坦部の幅ＷＧ（ｎｍ）とを、
３５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＬ
＜５５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（３）
４００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＧ
＜６５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（４）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定して成ることを特徴とする光記録媒体。
【請求項３】
請求の範囲第１項または第２項に記載の光記録媒体において
グルーブピッチＧＰ（μｍ）を、
１．０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＧＰ
＜１．３（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（５）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定して成ることを特徴とする光記録媒体。
【請求項４】
請求の範囲第１項、第２項または第３項に記載の光記録媒体において、
情報の記録がなされる情報記録層が、上記ランドおよびグルーブに差し渡って形成されて成ることを特徴とする光記録媒体。
【請求項５】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体の製造方法にあって、
該光記録媒体を構成する光記録媒体基板の少なくとも一方の面に、グルーブを形成する工程と、
該グルーブを形成する面に、少なくとも記録層と切断層と移動層の積層膜を有する情報の記録がなされる情報記録層を形成する工程とを有し、
上記グルーブの深さｄ（ｎｍ）を、
３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ      ・・・（１）
または、
１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ      ・・・（２）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、ｎは屈折率）
に選定することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項６】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体の製造方法にあって、
該光記録媒体を構成する光記録媒体基板の少なくとも一方の面に、グルーブを形成する工程と、
該グルーブを形成する面に、少なくとも記録層と切断層と移動層の積層膜を有する情報の記録がなされる情報記録層を形成する工程とを有し、
上記ランドとグルーブの境界が傾斜面を含み、
上記ランドの平坦部のＷＬ（ｎｍ）と、グルーブの平坦部の幅ＷＧ（ｎｍ）とを、
３５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＬ
＜５５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（３）
４００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＧ
＜６００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（４）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項７】
請求の範囲第５項または第６項に記載の光記録媒体の製造方法において、
グルーブピッチＧＰ（μｍ）を
１．０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＧＰ
＜１．３（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（５）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項８】
請求の範囲第５項、第６項または第７項に記載の光記録媒体の製造方法において、
上記光記録媒体の情報の記録層を、上記ランドおよびグルーブに差し渡って形成することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項９】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体の光記録方法にあって、
上記ランドおよびグルーブに差し渡って少なくとも記録層と切断層と移動層の各磁性層の積層による情報記録層を有し、
グルーブの深さｄ（ｎｍ）を、
３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ      ・・・（１）
または、
１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ      ・・・（２）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、ｎは屈折率）
に選定された光記録媒体に対して、光記録がなされ、
上記グルーブに対する光記録を、上記グルーブのほぼ幅方向を電場ベクトル方向とするレーザ光による光変調記録、あるいは上記グルーブのほぼ幅方向を電場ベクトル方向とするレーザ光を照射し磁界変調記録によって上記情報記録層に情報の記録を行うことを特徴とする光記録媒体の光記録方法。
【請求項１０】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体の光記録方法にあって、
上記ランドおよびグルーブに差し渡って少なくとも記録層と切断層と移動層の各磁性層の積層による情報記録層を有し、
上記光記録媒体が、上記ランドとグルーブの境界が傾斜面を含み、
上記ランドの平坦部の幅ＷＬ（ｎｍ）と、グルーブの平坦部の幅ＷＧ（ｎｍ）とを、
３５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＬ
＜５５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（３）
４００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＧ
＜６００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（４）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定された光記録媒体に対して、光記録がなされ、
上記グルーブに対する光記録を、上記グルーブのほぼ幅方向を電場ベクトル方向とするレーザ光による光変調記録、あるいは上記グルーブのほぼ幅方向を電場ベクトル方向とするレーザ光を照射し磁界変調記録によって上記情報記録層に情報の記録を行うことを特徴とする光記録媒体の光記録方法。
【請求項１１】
請求の範囲第９項または第１０項に記載の光記録媒体の光記録方法において、
上記光記録媒体のグルーブピッチＧＰ（μｍ）を
１．０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＧＰ
＜１．３（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（５）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定することを特徴とする光記録媒体の光記録方法。
【請求項１２】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体の光再生方法にあって、
上記ランドおよびグルーブに差し渡って少なくとも記録層と切断層と移動層の各磁性層の積層による情報記録層を有し、
グルーブの深さｄ（ｎｍ）を、
３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ      ・・・（１）
または、
１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ      ・・・（２）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、ｎは屈折率）
に選定した光記録媒体を用いて、再生レーザ光の照射によって上記情報記録層の移動層における磁壁移動を生じさせて情報の読み出しを行うことを特徴とする光記録媒体の光再生方法。
【請求項１３】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体の光再生方法にあって、
上記光記録媒体が、上記ランドおよびグルーブに差し渡って少なくとも記録層と切断層と移動層の各磁性層の積層による情報記録層を有し、
上記ランドとグルーブの境界が傾斜面を含み、
上記ランドの平坦部の幅ＷＬ（ｎｍ）と、グルーブの平坦部の幅ＷＧ（ｎｍ）とを
３５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＬ
＜５５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（３）
４００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＧ
＜６００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（４）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定することを特徴とする光記録媒体の光再生方法。
【請求項１４】
請求の範囲第１２項または第１３項に記載の光記録媒体の光再生方法において、
グルーブピッチＧＰ（μｍ）を、
１．０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＧＰ
＜１．３（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（５）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定することを特徴とする光記録媒体の光再生方法。
【請求項１５】
請求の範囲第１２項、第１３項または第１４に記載の光記録媒体の光再生方法において、
上記グルーブに対する上記再生レーザ光の電場ベクトル方向を上記グルーブのほぼ幅方向に選定することを特徴とする光記録媒体の光再生方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、ランド・グルーブ記録形態における磁壁移動検出方式いわゆるＤＷＤＤ方式による光記録媒体、光記録媒体の製造方法、光記録媒体の記録方法と光再生方法に関し、ランドとグルーブの特性のバランス化を図る。
背景技術
昨今、大記録容量化に伴う高密度化のために、光記録媒体において、その例えばトラッキングサーボ用に設けられたグルーブ内と、これら隣り合うグルーブ間のランドとの双方にデータを記録するいわゆるランド・グルーブ記録の実用化が図られている。
図１は、このランド・グルーブ記録形態による光記録媒体１１の要部を示す模式的斜視図で、この光記録媒体１１は、この光記録媒体を構成する光記録媒体基板１の記録情報形成面に、例えばトラッキングサーボ信号を得るためのグルーブ３が形成されて成る。この光記録媒体においては、グルーブの側面（図示の例では一側面）２がアドレス情報を導出するウォブリング側面とされた構成を有する。
そして、この光記録媒体１１に対し、例えばデータ情報記録による記録マーク４が、グルーブ３内と、グルーブ３間のランド５との双方に記録されたそれぞれグルーブ記録部１３とランド記録部１５とを有し、高記録密度化が図られる。
図１の例では、記録マーク４が、磁界変調記録による場合が示されており、この場合記録マーク４は、一部がオーバーラップして記録されている。
図２は、光記録媒体におけるグルーブ３によって導出されるトラッキングサーボ信号の振幅、すなわちプッシュプル振幅と、グルーブ３の位相深さｎｄ／λ（但し、ｎは光記録媒体基板１の屈折率、ｄはグルーブの深さ（ｎｍ）、λは再生光の波長（ｎｍ））との関係を示す。この場合、プッシュプル振幅のピークは、離散的ピーク、すなわち（２ｍ＋１）／８（ｍは、０と正の整数）の深さにおいて、ピークを示す。
そして、従来この種の光記録媒体においては、浅い方からの振幅ピーク、すなわち第１の最適点、第２の最適点、第３の最適点・・・のうち、最も浅い１／８を中心とする最適点を中心とする所要の範囲ｚに選定される。
従来、このグルーブ深さの選定は、光記録媒体基板１の作製、例えば射出成形法、あるいは２Ｐ法（Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ法）による作製において、グルーブ３やランド５の成形が容易となる最も浅い最適深さの第１の最適点を中心とする範囲ｚとしているものである。
一方、ＤＷＤＤによる再生は、記録マークの再生に当たって磁壁移動を生じさせて、記録マークの拡大を図って、この拡大された記録マークを読み出すというものであり、このようにすることによって、記録マークを、再生光のスポット径による限界以下に微小化できるようにして、高記録密度化を図っているものである。
このＤＷＤＤ方式による光記録媒体、すなわち光磁気記録媒体は、図３にその一例の概略断面図を示すように、光記録媒体基板１上に、非磁性の誘電体層６と、それぞれ磁性層による磁壁抗磁力が小さい特性の移動層７、低いキュリー温度Ｔｓを有する切断層８、磁壁抗磁力が大きい特性の記録層９の積層膜による情報記録層２０と、更に非磁性の保護層１０が順次積層されて成る。
この光記録媒体１１は、通常状態では、記録層９と移動層７とが切断層８を通じて磁気交換結合された状態にあり、記録層９に記録された記録マーク４が移動層７に転写されている。
そして、再生時には、レーザ光Ｌが例えば光記録媒体基板１の背面側から照射される。
図４は、移動層７と切断層８と記録層９による情報記録層２０におけるレーザ光照射によるＤＷＤＤの再生動作説明図で、この場合、図４Ａは、その要部の模式的平面図であり、図４Ｂは、図４Ａの磁性領域７Ａに対応する模式的断面図で、その磁化状態を矢印をもって示している。
移動層７は、図４Ａに示すように、ＤＷＤＤ動作すなわち磁壁移動がなされるトラック部分は磁性領域７Ａとされるが、そのトラック幅方向の両側が非磁性もしくは磁気特性が異なった領域７Ｂとされている。
また、図４Ｃは、レーザ光Ｌの照射による光記録媒体１１における温度分布曲線を示す。
図４において、光記録媒体は、レーザ光スポットＳＰに対して矢印ａで示すように、図４において右側から左側方向へと移行する場合を示している。
この場合、レーザ照射による温度のピークＴｐを示す位置は、スポットＳＰの後方側に片寄った位置ｂとなり、また切断層９のキュリー温度Ｔｓとなる等温線は、図４Ａ中破線ｃで示すように、スポットＳＰより後方側に広がり、この破線ｃで囲まれた温度Ｔｓ以上の領域においては、図４Ｂで斜線を付して示すように、切断層８の磁性が消失された磁性消失領域１９となる。
このとき、通常状態にある、すなわち上述した磁性消失領域１９以外の領域上においては、記録層９の記録マーク４が、この記録層９と切断層８を介して交換結合される移動層７に転写されていて、この記録マーク４すなわち磁区を構成する磁壁１４は、記録層９と移動層７とにおいてほぼ一致した位置にある。
しかしながら、上述した切断層８の磁性が消失した領域１９上においては、記録層９と移動層７との交換結合が絶たれることから、移動層７における磁壁１４は移動し易い状態となり、図４Ｄに示すように、温度のピークＴｐ側の磁壁１４Ｄは、磁壁駆動力Ｆ（ｘ）＝−∂σ／∂ｘ（σは磁壁エネルギー）がゼロとなる温度ピークＴｐを示す破線ｂの位置へと広がる（光スポットの先端側を＋ｘとすると、駆動力は負で光中心側へ働く。）。
すなわち、この領域１９上における移動層７におけるマーク４は、記録層９における記録マーク４より拡大された拡大マーク４Ｄとなる。
したがって、このＤＷＤＤによる光磁気記録媒体では、その記録マーク４を、移動層７における拡大されたマーク４Ｄとして、光磁気光学系を用いた検出法により再生することにより、本来、光学系の分解能で規制される分解能以上の分解能による再生、すなわち、高密度再生が可能となる。
そして、この拡大再生動作は、ＩＳＯＭ  １９９２  Ｄｉｇｅｓｔ  ｐ４７−に報告されているように、ランドと、グルーブの何れかに情報を記録し、かつ再生することができるが、移動層において、図４Ａで示したように、そのランドもしくはグルーブのいずれか一方を磁性領域７Ａとし、他方のグルーブもしくはランドを、高いレーザパワーを走査することによって非磁性もしくは磁気特性が異なった領域７Ｂとする。
このようにすることによって、磁壁の移動をトラック幅方向に関して制限するものであり、これによって磁壁面積のトラック幅方向の拡大によるエネルギー増加を抑えることができ、磁壁のトラック長方向の移動を円滑することができる。また、このように、トラック幅方向に関する磁気的不連続性の形成によって、隣接トラック間のデータの移動動作の混在を避けることができるという効果が生じる。
これに対し、ランドとグルーブの双方に関して記録を行う、ランド・グルーブ記録方式を適用するＤＷＤＤ方式による場合は、トラック間の磁気的分断は、これらランドとグルーブとの境界におけるスロープすなわち側壁面で行わなければならない。
例えばＩＳＯＭ  １９９２  Ｄｉｇｅｓｔ  ｐ７５−では、６６０ｎｍの波長の光学系でグルーブ深さを１６０ｎｍと、ｍ＝２の周期に相当する深さに設定するという条件下で、上述したような熱的な処理を行うことなく、ランドとグルーブについて、それぞれＤＷＤＤ再生動作を得ることができるという報告がなされれている。
ところが、このような条件では、ランドにおける記録パワーマージンについて十分な特性が得難い。また、ランドのボトムジッタ特性もグルーブのそれに比し劣り、実用レベルでのランド・グルーブ記録のバランスに問題がある。
発明の開示
上述したように、ランド・グルーブ記録形態におけるＤＷＤＤ方式においては、ランドにおけるボトム特性および記録パワーマージンが、グルーブのそれに比し劣り、実用レベルでのランド・グルーブ間のバランスに課題がある。
本発明者は、鋭意、研究考察を行った結果、このような課題の解決を図った光記録媒体とその製造方法および光記録再生方法を見出すに至ったものである。
すなわち、上述したランド・グルーブ記録におけるアンバランスの発生原因は、次のように説明することができる。
グルーブが形成された光記録媒体基板面に対して、上述した磁性層の積層による情報記録層２０を成膜する方法は、通常、真空中でのスパッタリング等による方法が採られる。この成膜は、図１４Ａにそのランド５とこれに隣合うグルーブ３における断面図を示すように、成膜材料の飛翔粒子２１が、光記録媒体基板１の表面に被着堆積して形成される。
この場合、その飛翔粒子２１の回り込みにより、ランド５に対しては、そのトラック幅方向の断面形状が、茸の傘の断面形状のような堆積成膜がなされる。すなわち、ランド５に関しては、その両側面のスロープ３５を含んで情報記録層２０が成膜される。そして、グルーブ３においては、グルーブ底面に到来した飛翔粒子２１の堆積によって成膜がなされることから、スロープ３５とグルーブ３の突き合わせ屈曲部におけるこれら成膜の欠除ないしは肉薄の分離溝２２が発生する。
したがって、情報記録層２０の移動層７における磁壁移動度（すなわち１／磁壁抗磁力）は、図１４Ｂに示すように、分離溝２２において、例えば最も低い値を示し、磁気的にランド５とグルーブ３とが分離され、これらランド５とグルーブ３に対してそれぞれ移動層７に転写した記録マーク４は、図４で説明した再生動作において、それぞれ図１４Ｃに破線で示すように磁壁移動を生じる。
この磁壁移動は、この磁気分離により、それぞれ再生対象トラックの記録マークに基く移動が行われるが、その分離が不十分であると、隣接トラックのマークの影響を受け、速やかに磁壁移動ができない。
また、この場合、ランド５の両側においては、スロープ３５の存在によって、緩やかに磁壁移動度が低下することから、このスロープ３５の磁性層の特性に引きずられて、グルーブ３におけるより、磁壁の移動量あるいは速度が小さい。このため、ランド・グルーブ記録において、ランド５における記録マークは、グルーブ３に比して、再生出力振幅が低く、このランドおいては、十分なボトムジッタ特性が取れず、ランドとグルーブの特性がアンバランスとなる。
つまり、理想的には十分な磁気分離とスロープを含むランドの磁壁移動度が高いことがバランスに優れたＤＷＤＤ動作をもたらすのである。
次に、記録パワーマージンのアンバランスについて図１５を参照して考察する。
図１５ＡおよびＢは、図１４ＡおよびＢと同様に、ランド５およびグルーブ３の断面図と磁壁移動度の関係を示したもので、図１５において、図１４と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
いま、図１５Ｃ１に示すように、グルーブ３に記録がなされた場合について考察すると、高い記録パワーにおいて、分離溝２２を超えてスロープ３５に進入した磁区は、図１５Ｂに示すように、スロープ３５における磁壁移動度が緩やかに変化するため、この進入した磁区によるランド５における記録マークの再生に与える影響は小さい。
これに比し、図１５Ｃ２に示すように、ランド５に記録がなされた場合について考察すると、高い記録パワーにおいて、分離溝２２を超えた磁区は、磁壁移動度が急激に変化するため、この進入した磁区によるグルーブ３における記録マークの再生に与える影響は大きい。図１５Ｂにおける実線矢印と破線矢印は、ランドとグルーブ相互のクロスライト（ｃｒｏｓｓ  ｗｒｉｔｅ）の大小を各矢印の長さをもって模式的に示したものである。
このように、ランド５への記録によるグルーブ３へのクロスライトは、グルーブ３への記録によるランド５へのクロスライトより生じ易い。すなわち、ランド５に対する記録パワーマージンは狭くなり、パワーマージンのアンバランスが生じる。
図１６は、ジッターもしくはビットエラーレート特性を示し、曲線５１Ｇはグルーブにおける特性、曲線５１Ｌはランドにおける特性を示す。これら曲線５１Ｇおよび曲線５１Ｌは、それぞれグルーブおよびランドの、上述した磁壁移動度に依存する特性曲線５１ＧＡおよび５１ＬＡそれぞれと、上述したクロスライトに依存する特性曲線５１ＧＢおよび５１ＬＢのそれぞれとの合成曲線となる。
図１６において、曲線５１は、いわば本来示す特性である。
図１６によって明らかなように、ランドにおいては、曲線５１Ｌに示すように、ボトムジッターに劣り、また記録パワーマージンが小さくなっている。
本発明は、上述したＤＷＤＤによるランド・グルーブ記録の光記録媒体とその製造方法および光記録再生方法にあって、そのランドにおけるジッター特性の改善、記録パワーマージンの改善を図り、ランドとグルーブとの特性のバランスの改善を図るできるようにする。
すなわち、本発明による光記録媒体は、ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体、すなわち光磁気記録媒体であって、そのグルーブの深さｄ（ｎｍ）を、
３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ      ・・・（１）
または、
１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ      ・・・（２）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、ｎは屈折率）
に選定する構成とする。
また、本発明による光記録媒体は、ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体にあって、ランドとグルーブの境界が傾斜面を含み、ランドの平坦部の幅ＷＬ（ｎｍ）と、グルーブの平坦部の幅ＷＧ（ｎｍ）とを、
３５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＬ
＜５５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（３）
４００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＧ
＜６００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（４）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定する構成とする。
また、本発明製造方法は、上述した各光記録媒体の製造方法であって、これら光記録媒体を構成する光記録媒体基板の少なくとも一方の面に、グルーブを形成する工程と、このグルーブを形成する面に、少なくとも記録層と切断層と移動層の積層膜を有する情報の記録がなされる情報記録層を形成する工程とを有し、上述した少なくとも上記式（１）または（２）、または／および上記式（３）および（４）の条件に基く構成とする。
また、本発明による光記録媒体の記録方法は、ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録再生方法であって、上述した本発明による光記録媒体を用い、この光記録媒体に対して、グルーブのほぼ幅方向を電場ベクトル方向とするレーザ光による光変調記録、あるいは同様のレーザ光を照射し磁界変調記録によって上記情報記録層に情報の記録を行う。
更に、本発明による光記録媒体の光再生方法は、ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録再生方法であって、上述した本発明による光記録媒体を用い、再生レーザ光照射によって情報記録層の移動層における磁壁移動を生じさせて情報の読み出しを行う。
上述したように、本発明においては、グルーブの深さｄを、上記（１）および（２）の、図２で説明した従前における浅い第１の最適点近傍の範囲ｚより、深い範囲ＩおよびＩＩに選定したことに特徴を有するものであり、このようにすることによって、ランドに関するジッター特性の改善、記録パワーマージンの改善が図られ、ランドとグルーブとのバランスの改善が図られた。
この改善の理由は、その一因としてグルーブの深さを従来より深くしたことによる再生光照射による熱クロストークが低減され例えばクロスライトの改善が図られたと考えられる。また、本発明によってジッターのボトム特性の改善も図られた。
これは、情報記録層のグルーブの両側、すなわち隣り合うランドとの間に情報記録層の構成膜に、その膜質ないしは厚さが変化することによる熱伝導性が低下し、不連続部が顕著に生じるものと考えられる。この不連続性により磁気的な分離が強くなり、特にランドの磁壁移動が速やかとなり、記録パワーが小さいマークでのジッターの低下によるパワーマージン下限値の低下とクロスライトにおける隣接トラックへの進入が抑えられることによるパワーマージンの上限値の増加が起きると考えられる。
更に、上述した上記式（３）および（４）の選定によって後述するように、クロスライト、ジッターの改善が図られた。
発明を実施するための最良の形態
本発明による光記録媒体は、前述したように、ランド・グルーブ記録形態によるＤＷＤＤ方式による再生方法がとられる光記録媒体、すなわち光磁気記録媒体構成とする。その一実施形態は、図１および図３で示した構成とすることができる。
しかしながら、本発明による光記録媒体は言うまでもなく、この構成に限定されるものではない。
この例においては、図１に示すように、例えばポリカーボネート（ＰＣ）、あるいはポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）等の樹脂あるいはガラス基板等による光記録媒体基板１の例えば一主面に、例えば多重スパイラルあるいは例えば同心円状等に平行配列された複数のグルーブ３が形成され、隣合うグルーブ間にランド５が形成された構成とする。
また、この例では、ランド５の一方の側面２が、例えばアドレス信号を導出することができるウォブリング側面とされている。
グルーブ３の深さｄは、図２で示した従来における浅い領域での範囲ｚに設定するものではなく、前述したように、特に、これより深い特定された範囲Ｉあるいは範囲ＩＩ、すなわち前記（１）または（２）で示した範囲に選定するものである。
また、ランド５とグルーブ３の境界が傾斜面を含み、ランド２の平坦部の幅ＷＬ（ｎｍ）とグルーブ３の平坦部の幅ＷＧ（ｎｍ）とが、再生光学系の波長をλ（ｎｍ）、対物レンズの開口数をＮ．Ａ．とするとき、
３５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＬ
＜５５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（３）
４００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＧ
＜６００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（４）
に選定する。
また、グルーブピッチＧＰ（μｍ）を
１．０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＧＰ
＜１．３（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（５）
とする。
そして、光記録媒体基板１のランドおよびグルーブが形成された面には、図３に示すように、例えば非磁性の誘電体層６と、それぞれ磁性層による磁壁抗磁力が小さい特性の移動層７、低いキュリー温度Ｔｓを有する切断層８、磁壁抗磁力が大きい特性の記録層９の積層膜による情報記録層２０と、更に非磁性の保護層１０が順次積層する。
この光記録媒体１１は、図４で説明したように、レーザ光Ｌの照射による温度分布（図４Ｃ）によって、図４Ｂで斜線を付して示すように、切断層８の磁性が消失された領域１９を形成し、この領域１９上において、記録層９と移動層７との交換結合が絶たれることによって、移動層７における磁壁１４は移動し易い状態となり、その温度のピークＴｐ側の磁壁１４Ｄは、温度ピークを示す鎖線ｂで示す位置へと広がり移動層７において記録マーク４より拡大された拡大マーク４Ｄとなる。
一方、本発明による光記録媒体の製造方法は、光記録媒体基板１を、例えば前述したＰＣあるいはＰＭＭＡによる樹脂を用いた射出成形によって形成し、この成形を行う金型のキャビティ内に、所要の凹凸パターンを有するスタンパを配置することによって、基板１の成形と同時に、その例えば一主面に、スタンパの凹凸パターンの転写によって前述したグルーブ３およびランド５を形成する。
あるいは、平坦面を有する例えばガラス基板、あるいはＰＣやＰＭＭＡ等による樹脂基板の表面に、例えば紫外線硬化樹脂を塗布し、これに所要の凹凸パターンを有するスタンパを押圧することによって前述したグルーブ３およびランド５を転写形成するいわゆる２Ｐ法（Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ法）によって形成する。
このようにして形成した光記録媒体基板１のランドおよびグルーブが形成された面に、順次例えばマグネトロンスパッタリングによって、図３で示した移動層７、切断層８、記録層９による情報記録層２０を形成し、その上に保護層１０を、例えば紫外線樹脂を回転塗布法によって形成する。
本発明による光再生方法を、図５で示す記録再生装置の一例の構成図を参照してその記録方法と共に説明する。
この記録再生装置は、従来周知の構成を用いることができる。すなわち光記録媒体１１この例では光ディスクの駆動装置、すなわち光ディスクを回転駆動するスピンドルモータ６１を有し、光ディスク１１を挟んでその一方に配置される記録磁気ヘッド６２と、光ディスク１１の他方に配置される光学ピックアップ装置６３と、磁気ヘッド６２および光学ピックアップ装置６３の駆動制御や記録および再生動作のための回路部６４とを有して成る。
記録磁気ヘッド６２および光学ピックアップ装置６３は、光ディスク１１の半径方向に移動する構成とされる。
光学ピックアップ装置６３は、光源例えば半導体レーザー６５、コリメートレンズ６６、ビームスプリッタ６７、対物レンズ６８、この対物レンズ６８の光ディスク１１に対するフォーカス位置およびトラッキング位置を制御する２軸アクチュエータ６９を有する。
また、偏光ビームスプリッタ７０と、これによって分岐される２つの光路にそれぞれコリメートレンズ７１および７２と、光検出素子７３および７４例えば４分割ダイオードとをとを有して成る。
また回路部６４は、記録信号の入力端子７５、磁気ヘッド駆動回路７６、レーザ６５の駆動回路７７、電流−電圧変換回路７８、マトリックス回路７９、位相補償回路８０、２軸駆動回路８１、セクター検出回路８２、タイミング発生回路８３、振幅検出回路８４、再生信号出力端子８５、パワー設定回路８６等を有して成る。
この例では光ディスクすなわち光記録媒体１１に対する記録を磁界変調方法によって行う場合で、この場合レーザ６５から発生させたレーザ光をコリメートレンズ６６、ビームスプリッタ６７、対物レンズ６８によって、光ディスク１１の前述のグルーブ３、ランド５の記録位置に、所要の記録パワーをもって照射してレーザ照射によって加熱する。一方、このレーザ光照射位置に、記録信号入力端子７５からの記録信号によって制御した磁気ヘッド駆動回路７６による磁気ヘッド６２からの記録信号磁界を印加し、光記録媒体１１の情報記録層に、図１で示した記録磁区すなわち記録マーク４を形成する。
また、この記録に際して、レーザ光の戻り光をビームスプリッタ６７および偏光ビームスプリッタ７０、コリメートレンズ７１および７２によって光検出素子７３および７４に導入してこれら光検出素子７３および７４を構成する各４分割ダイオード１Ａ〜１Ｄ，２Ａ〜２Ｄによって得た出力電流を電流電圧変換回路７８によって電圧信号に変換してマトリックス回路７９に入力し、これによる演算によってフォーカスエラー信号ＦＥ、トラッキングエラー信号ＴＥ、和信号ＲＦを得て、信号ＦＥおよびＴＥを位相補償回路８０に導入し、２軸駆動回路８１を制御して対物レンズ６８の２軸アクチュエータ６９を動作してフォーカシングおよびトラッキング制御がなされる。
一方、和信号ＲＦは、セクター検出回路８２に入力されてえられたセクター検出によってタイミング発生回路８３によってタイミング信号によってパワー設定回路８６が制御され、レーザ駆動回路７７によって光記録媒体の所定のランド・グルーブにレーザ照射がなされ、上述した記録磁気ヘッド６２による記録がなされる。
光記録媒体１１からの記録マークの読み出し、すなわち光再生は、同様のレーザ６５からのレーザ光を、光記録媒体１１に照射し、前述した移動層７における磁壁移動によって拡大された拡大マーク４Ｄにおける光磁気相互作用、すなわちカー効果によって偏光面の回転に応じた偏光ビームスプリッタ７０によって、分岐されて光検出素子７４に導入された光による電流信号を電流電圧変換回路７８、マトリックス回路７９によって記録情報信号ＭＯを得て前述したタイミング発生回路８３によるタイミン信号によってタイミング制御された振幅検出回路８４に振幅検出を行い再生信号出力を端子８５から取り出す。
上述した、各信号ＲＦ、ＦＥ、ＴＥおよびＭＯは、通常におけると同様に、マトリックス回路７９により、次の演算がなされることによって得る。
すなわち、上述の光検出素子７３および７４の各分割ダイオード素子の各出力を、図５に示すように、１Ａ〜１Ｄ，２Ａ〜２Ｄとするとき、
ＲＦ＝１Ａ＋１Ｂ＋１Ｃ＋１Ｄ＋２Ａ＋２Ｂ＋２Ｃ＋２Ｄ
ＦＥ＝（１Ａ＋１Ｃ）−（１Ｂ＋１Ｄ）
＋（２Ａ＋２Ｃ）−（２Ｂ＋２Ｄ）
ＴＥ＝（１Ａ＋１Ｂ）−（１Ｄ＋１Ｃ）
＋（２Ａ＋２Ｂ）−（２Ｄ＋２Ｃ
ＭＯ＝（１Ａ＋１Ｂ＋１Ｃ＋１Ｄ）
−（２Ａ＋２Ｂ＋２Ｃ＋２Ｄ）
によって得られる。
このようにして、記録マーク４の記録および再生を行うことができるが、この記録、再生において、記録および再生レーザ光を、その偏光面を、グルーブのほぼ幅方向を電場ベクトル方向とするように照射する。
次に、本発明による光記録媒体とその製造方法および光再生方法の具体例を挙げて説明する。
光記録媒体として、光ディスクを構成した。この光ディスクは、図１で示した一主面にランド５と側面２がアドレス信号導出のウォブリング側面としたグルーブ３とが形成された光記録媒体基板１を射出成形によって形成した。
このランド５およびグルーブ３を有する基板１の主面上に、順次マグネトロンスパッタリングによって、厚さ３５ｎｍの窒化珪素層による光透過性の誘電体層６を形成し、この上に情報記録層２０として、厚さ３０ｎｍのＧｄＦｅＣｏＡｌによる移動層７、厚さ１５ｎｍのＴｂＦｅＣｏＡｌによる切断層８、厚さ５５ｎｍのＴｂＦｅＣｏによる記録層９を順次成膜した。そして、更に、この上に、厚さ１０μｍの紫外線硬化樹脂による保護層を回転塗布法によって塗布し、紫外線照射によって硬化した。
この構成による光記録媒体において、グルーブ３の深さｄをそれぞれ１６５ｎｍとした多数の試料１と、深さ１９０ｎｍの試料２とをそれぞれ作製した。
また、比較のための試料３としてグルーブ３の深さｄを１４５ｎｍとした同様の構成による多数の試料３を作製した。
これら試料１〜３を、図５で示した記録再生装置によって、記録および再生を行った。光学系の構成はＭＤ−ＤＡＴＡ２に用いられるＮ．Ａ．＝０．５２、λ＝６５０ｎｍで入射偏光方向はグルーブに対して垂直方向に配置する条件を用いた。線速度１．８ｍ／ｓにてパルスストローブ磁界変調記録により記録層９に記録し、再生はＤＷＤＤの動作が可能となる光照射パワー１．４ｍＷ〜２．０ｍＷに設定して、移動層７の磁壁移動による光磁気差動信号の変化を電磁変換して信号検出した。記録データは（１．７）ＲＬＬ変調ランダム信号を用いて１８ＭＨｚのチャンネルクロックで記録した。線密度は０．１５μｍ／ｂｉｔに相当する。
上述した各試料１〜３において、そのランドとグルーブ幅の比率を変化した各試料を複数用意し、それぞれについてジッターを測定し、ジッタのグルーブ深さの依存性を測定した。
その結果を図６にプロットした。これによりランド記録部におけるジッターのグルーブ深さ依存性は、曲線１００Ｌとなり、グルーブ記録部におけるジッターのグルーブ深さ依存性は、曲線１００Ｇとなった。
これより明らかなように、本発明による前記（１）および（２）よりグルーブの深さが小さい１４０ｎｍとした場合、ランド記録部におけるジッターは極めて大きくなるが、３λ／８に相当する１６５ｎｍを変曲点として、これ以上の深さでジッターが１２．５％以下の良好な特性が得られる。
このように、グルーブの深さを大きくすることによって、ボトムジッターの改善が図られる。これは、ランドにおける上述したスロープにおける磁壁の移動度がグルーブの深さを大きくすることによって変化することによると考えられる。
これらの結果から、本発明においては、図２で示したように、プッシュプル振幅、すなわちトラック信号が得られる範囲で、前記（１）式および（２）式で示すグルーブの深さを従来に比し深い範囲ＩおよびＩＩに選定する所以がある。
また、図７および図８は、それぞれ試料１および２に基く、ＳＥＭ（走査電子顕微鏡）観察により確認したランドおよびグルーブの各平坦部のＷＬおよびＷＧとボトムジッター特性の相関結果を示す図である。図７中、黒塗り三角印が試料１すなわちグルーブ深さｄ＝１６５ｎｍの場合、黒塗り四角印が試料２すなわちグルーブ深さｄ＝１９０ｎｍの場合である。また、図８中、白抜き三角印が試料１すなわちグルーブ深さｄ＝１６５ｎｍの場合、白抜き四角印が試料２すなわちグルーブ深さｄ＝１９０ｎｍの場合である。
これら図７および図８によれば、ランド幅ＷＬおよびグルーブ幅ＷＧは、これらが余り大きくなってもジッターが大きくなることが分かる。
すなわち、ＤＷＤＤにおいては、グルーブ幅ＷＬは、前記（３）式による０．３５μｍ〜０．５０μｍ、好ましくは０．３７μｍ〜０．５０μｍとする。
また、グルーブ幅ＷＬは、（４）式による０．４０μｍ〜０．６０μｍ、好ましくは０．４１μｍ〜０．５８μｍに選定する。
図９および図１０は、それぞれ上述した記録方法による記録を行い、再生した場合の、ビットエラーレート（信号誤り率）の記録レーザパワーＰｗの依存性の測定結果を示し、図９は、グルーブの深さを１９０ｎｍとした場合、図１０は、グルーブの深さを１６５ｎｍとした場合である。図９および図１０において、黒塗り四角印はランドにのみ記録を行った場合の記録パワーＰｗと再生時のビットエラーレートとの関係の測定結果をプロットしたものである。また、図９および図１０において、白抜き四角印はランドへの記録に先立ってこのランドと隣接するグルーブにのみ同様の記録を行い、その後ランドへの記録を行った場合、すなわちグルーブ記録によるクロスライトの影響を有する場合の同様の記録パワーＰｗと再生時のビットエラーレートとの関係の測定結果をプロットしたものである。
また、図９および図１０において、黒丸印は、グルーブにのみ記録を行った場合の記録パワーＰｗと再生時のビットエラーレートとの関係の測定結果をプロットしたものであり、白丸印はグルーブへの記録に先立って先ずこのグルーブと隣接するランドにのみ同様の記録を行い、その後グルーブへの記録を行った場合、すなわちランド記録によるクロスライトの影響を有する場合の同様の記録パワーＰｗと再生時のビットエラーレートとの関係の測定結果をプロットしたものである。
すなわち、ランド・グルーブ記録において、ランド記録とグルーブ記録相互のクロスライトの影響を考慮することにより、ランドおよびグルーブ記録に係わるビットエラレートは、グルーブの深さを１９０ｎｍとした場合は、図９に示すように、ランド記録およびグルーブ記録に関しては実線曲線１０１Ｌおよび１０１Ｇであり、グルーブ深さ１６５ｎｍとした場合は、図１０に示すように、実線曲線１０２Ｌおよび１０２Ｇとなる。
すなわち、例えばビットエラーレートの閾値を５×１０−４とすると、ランド・グルーブ記録において、そのランドのみの記録およびグルーブのみの記録におけるビットエラーレートが５×１０−４以下となる最小記録パワーが、記録パワーマージンの下限を決定し、クロスライトによるの特性において、ビットエラーレートが５×１０−４以下となる最大記録パワーが記録パワーマージンの上限を決定する。
例えばグルーブの深さが１９０ｎｍである場合、上述したように、ビットエラーレートの閾値を５×１０−４とすると、グルーブの深さが１９０ｎｍである場合は、図９の実線曲線１０１Ｇによってグルーブにおける記録パワーの下限は、約４．６ｍＷであり、上限は、約７．２ｍＷとなり、パワーマージンは約２．６ｍＷとなるに比し、ランドにおける記録パワーの下限は、約５．１ｍＷであり、上限は、約６．９ｍＷとなり、パワーマージンは約１．８ｍＷとなり、グルーブ記録に比して記録パワーマージンが小さい。
図１１は、グルーブの深さを１９０ｎｍ、１６５ｎｍとした場合のそれぞれのパワーマージンのトラックピッチＴｐ依存性の測定結果を示したものである。黒塗四角印および黒丸印は、それぞれ、グルーブ深さを１９０ｎｍとした場合のランドおよびグルーブ記録におけるトラックピッチＴｐを変化させたときのパワーマージンをプロットしたものであり、白抜き四角印および白丸印は、それぞれ、グルーブ深さを１６５ｎｍとした場合のランドおよびグルーブ記録におけるトラックピッチＴｐを変化させたときのパワーマージンをプロットしたものである。
これによれば、グルーブの深さを大とするほどパワーマージンが大きくなることが分かる。
例えばＴｐ＝１．０μｍで、かつグルーブ深さ１６５ｎｍ以上で実用上必要な±１０％以上のマージンが確保される。
また、本発明においては、記録再生におけるレーザ光の偏光面を、グルーブ３の幅方向にほぼ電場ベクトルが向く方向として光記録媒体１１へ照射して、図５で説明した記録および再生を行う。
図１２および図１３は、図５で説明した記録方法において、記録パワーとＣ／Ｎ（キャリア／ノイズ）の関係を測定した結果を示し、図１２は、本発明によって行う偏光方向すなわち電場のベクトル方向をグルーブと垂直方向すなわちグルーブの幅方向とした場合、図１３は、偏光方向すなわち電場のベクトル方向をグルーブと平行方向すなわちグルーブの長手方向とした場合である。図１２および図１３において、黒塗り四角印と黒丸印は、それぞれランド５とグルーブ３とにそれぞれ２Ｔマーク、すなわち２パルスで１マークを記録した場合であり、白抜き四角印と白丸印は、それぞれランド５とグルーブ３とにそれぞれ８Ｔマーク、すなわち８パルスで１マークを記録した場合である。
図１２と図１３とを比較して明らかなように、偏光面の選定によってＣ／Ｎの増加が図られる。これはＯＤＳ  ２０００  Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ  ｏｆ  ＳＰＩＥ  ｐ７４において報告されているように偏光方向により実効的ビームプロファイルがランド・グルーブ上で変形することによると考えられる。特にグルーブの深さの位相深さを３／８以上に設定するとき、その差が顕著になると考えられる。
上述したところから明らかなように、本発明による光記録媒体においては、グルーブの深さを、従来に比し大の特定範囲ＩおよびＩＩと選定したことによってランド・グルーブ記録によるＤＷＤＤ再生形態において、格段にランド部とグルーブ部におけるボトム特性とパワーマージンの改善が図られることから、ランドとグルーブのバランスにすぐれた光記録、再生を行うことができるものである。
これはグルーブの深さを大にしたことによって、図１４で説明した光記録媒体の情報記録層２０の成膜において前述した茸の傘状の堆積において、グルーブの側面と、グルーブ底面に境界に堆積する粒子が減少し、熱的分離、磁気的分離が良好に行われることによると考えられる。
上述したように、本発明による光記録媒体は、また本発明による記録方法および再生方法によれば、ランド・グルーブ記録によるＤＷＤＤ再生形態において、格段にランド部とグルーブ部におけるボトム特性とパワーマージンの改善が図られることから、ランドとグルーブのバランスにすぐれた光記録、再生を行うことができるものである。
【図面の簡単な説明】
図１は、ランド・グルーブ記録形態による光記録媒体の要部の模式的斜視図であり、図２は、光記録媒体におけるグルーブの位相深さと、プッシュプル振幅との関係を示す図であり、図３は、本発明で対象とする磁壁移動検出方式による光記録媒体の一例の概略断面図であり、図４は、磁壁移動検出方式による再生動作説明図で、図４Ａは要部の模式的平面図、図４Ｂは図４Ａに対応する模式的断面図、図４Ｃは温度分布曲線、図４Ｄは、磁壁駆動力を示す曲線図であり、図５は本発明の光再生方法を実施する光記録再生装置の一例の構成図であり、図６は、ジッターのグルーブ深さの依存性を示す測定曲線であり、図７は、ジッターのランド幅依存性を示す測定曲線であり、図８は、ジッターのグルーブ幅依存性を示す測定曲線であり、図９は、グルーブ深さ１９０ｎｍにおけるビットエラーレートと記録パワーとの関係の測定曲線図であり、図１０は、グルーブ深さ１６５ｎｍにおけるビットエラーレートと記録パワーとの関係の測定曲線図であり、図１１は、グルーブ深さを変化させた場合のパワーマージンとトラックピッチとの関係の測定曲線図であり、図１２は、記録レーザの偏光面をグルーブ幅方向としたときのＣ／Ｎと記録パワーとの関係の測定曲線図であり、図１３記録レーザの偏光面をグルーブ長方向としたときのＣ／Ｎと記録パワーとの関係の測定曲線図であり、図１４は、ランド・グルーブ記録の磁壁移動の説明図で、図１４Ａは、そのランド・グルーブの断面図、図１４Ｂは、その磁壁移動度を示す図、図１４Ｃは、記録マークの磁壁移動の説明図であり、図１５は、ランド・グルーブ記録のクロスライトの説明図であり、図１５Ａは、そのランド・グルーブの断面図、図１５Ｂは、その磁壁移動度とクロスライトの関係を示す図、図１５Ｃ１およびＣ２は記録マークの磁壁移動の説明図であり、図１６は、ランド・グルーブのジッター特性を示す図である。
引用符号の説明
１    ・・・・・・  光記録媒体
２    ・・・・・・  側面
３    ・・・・・・  グループ
４    ・・・・・・  記録マーク
４Ｄ  ・・・・・・  拡大マーク
５    ・・・・・・  ランド
６    ・・・・・・  誘電体層
７    ・・・・・・  移動層
８    ・・・・・・  切断層
９    ・・・・・・  記録層
１０  ・・・・・・  保護層
１１  ・・・・・・  光記録媒体
１３  ・・・・・・  グループ記録部
１４  ・・・・・・  磁壁
１５  ・・・・・・  ランド記録部
１９  ・・・・・・  磁性消失領域
２０  ・・・・・・  情報記録層
２１  ・・・・・・  飛翔端子
２２  ・・・・・・  分離溝
３５  ・・・・・・  スロープ
６１  ・・・・・・  フピンドルモータ
６２  ・・・・・・  記録磁気ヘッド
６３  ・・・・・・  光学ピックアップ装置
【図１】
2002089129.tif 000003
【図２】
2002089129.tif 000004
【図３】
2002089129.tif 000005
【図４Ａ】
2002089129.tif 000006
【図４Ｂ】
2002089129.tif 000007
【図４Ｃ】
2002089129.tif 000008
【図４Ｄ】
2002089129.tif 000009
【図５】
2002089129.tif 000010
【図６】
2002089129.tif 000011
【図７】
2002089129.tif 000012
【図８】
2002089129.tif 000013
【図９】
2002089129.tif 000014
【図１０】
2002089129.tif 000015
【図１１】
2002089129.tif 000016
【図１２】
2002089129.tif 000017
【図１３】
2002089129.tif 000018
【図１４Ａ】
2002089129.tif 000019
【図１４Ｂ】
2002089129.tif 000020
【図１４Ｃ】
2002089129.tif 000021
【図１５Ａ】
2002089129.tif 000022
【図１５Ｂ】
2002089129.tif 000023
【図１５Ｃ１】
2002089129.tif 000024
【図１５Ｃ２】
2002089129.tif 000025
【図１６】
2002089129.tif 000026
【手続補正書】
【提出日】平成14年4月23日(2002.4.23)
【手続補正００１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体にあって、
グルーブの深さｄ（ｎｍ）を、
３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ      ・・・（１）
または、
１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ      ・・・（２）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、ｎは光記録媒体基板の屈折率）
に選定し、
かつ、上記ランドとグルーブの境界が傾斜面を含み、
上記ランドの平坦部の幅ＷＬ（ｎｍ）と、グルーブの平坦部の幅ＷＧ（ｎｍ）とを、
３５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＬ
＜５５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（３）
４００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＧ
＜６００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（４）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定して成ることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
（削除）
【請求項３】
請求の範囲第１項に記載の光記録媒体において、
グルーブピッチＧＰ（μｍ）を、
１．０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＧＰ
＜１．３（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（５）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定して成ることを特徴とする光記録媒体。
【請求項４】
請求の範囲第１項または第３項に記載の光記録媒体において、
情報の記録がなされる情報記録層が、上記ランドおよびグルーブに差し渡って形成されて成ることを特徴とする光記録媒体。
【請求項５】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体の製造方法にあって、
該光記録媒体を構成する光記録媒体基板の少なくとも一方の面に、グルーブを形成する工程と、
該グルーブを形成する面に、少なくとも記録層と切断層と移動層の積層膜を有する情報の記録がなされる情報記録層を形成する工程とを有し、
上記グルーブの深さｄ（ｎｍ）を、
３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ        ・・・（１）
または、
１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ        ・・・（２）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、ｎは光記録媒体基板の屈折率）
に選定し、
かつ、上記ランドとグルーブの境界が傾斜面を含み、
上記ランドの平坦部のＷＬ（ｎｍ）と、グルーブの平坦部の幅ＷＧ（ｎｍ）とを、
３５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＬ
＜５５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（３）
４００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＧ
＜６００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（４）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項６】
（削除）
【請求項７】
請求の範囲第５項に記載の光記録媒体の製造方法において、
グルーブピッチＧＰ（μｍ）を、
１．０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＧＰ
＜１．３（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（５）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項８】
請求の範囲第５項または第７項に記載の光記録媒体の製造方法において、
上記光記録媒体の情報の記録層を、上記ランドおよびグルーブに差し渡って形成することを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項９】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体の光記録方法にあって、
上記ランドおよびグルーブに差し渡って少なくとも記録層と切断層と移動層の各磁性層の積層による情報記録層を有し、
グルーブの深さｄ（ｎｍ）を、
３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ      ・・・（１）
または、
１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ      ・・・（２）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、ｎは光記録媒体基板の屈折率）
に選定し、
かつ、上記ランドとグルーブとの境界が傾斜面を含み、
上記ランドの平坦部の幅ＷＬ（ｎｍ）と、グルーブの平坦部の幅ＷＧ（ｎｍ）とを、
３５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＬ
＜５５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（３）
４００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＧ
＜６００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（４）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定した光記録媒体に対して、光記録がなされ、
上記グルーブに対する光記録を、上記グルーブのほぼ幅方向を電場ベクトル方向とするレーザ光による光変調記録、あるいは上記グルーブのほぼ幅方向を電場ベクトル方向とするレーザ光を照射し磁界変調記録によって上記情報記録層に情報の記録を行うことを特徴とする光記録媒体の光記録方法。
【請求項１０】
（削除）
【請求項１１】
請求の範囲第９項に記載の光記録媒体の光記録方法において、
上記光記録媒体のグルーブピッチＧＰ（μｍ）を、
１．０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＧＰ
＜１．３（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（５）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定することを特徴とする光記録媒体の光記録方法。
【請求項１２】
ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体の光再生方法にあって、
上記ランドおよびグルーブに差し渡って少なくとも記録層と切断層と移動層の各磁性層の積層による情報記録層を有し、
グルーブの深さｄ（ｎｍ）を、
３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ      ・・・（１）
または、
１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ      ・・・（２）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、ｎは光記録媒体基板の屈折率）
に選定し、
かつ、上記ランドとグルーブの境界が傾斜面を含み、
上記ランドの平坦部の幅ＷＬ（ｎｍ）と、グルーブの平坦部の幅ＷＧ（ｎｍ）とを
３５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＬ
＜５５０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（３）
４００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＷＧ
＜６００（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（４）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定した光記録媒体を用いて、再生レーザ光の照射によって上記情報記録層の移動層における磁壁移動を生じさせて情報の読み出しを行うことを特徴とする光記録媒体の光再生方法。
【請求項１３】
（削除）
【請求項１４】
請求の範囲第１２項に記載の光記録媒体の光再生方法において、
グルーブピッチＧＰ（μｍ）を、
１．０（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）＜ＧＰ
＜１．３（λ／Ｎ．Ａ．）／（６５０／０．５２）
・・・（５）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、Ｎ．Ａ．は対物レンズの開口数）
に選定することを特徴とする光記録媒体の光再生方法。
【請求項１５】
請求の範囲第１２項または第１４項に記載の光記録媒体の光再生方法において、
上記グルーブに対する上記再生レーザ光の電場ベクトル方向を上記グルーブのほぼ幅方向に選定することを特徴とする光記録媒体の光再生方法。
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【手続補正００２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
イトは、グルーブ３への記録によるランド５へのクロスライトより生じ易い。すなわち、ランド５に対する記録パワーマージンは狭くなり、パワーマージンのアンバランスが生じる。
図１６は、ジッターもしくはビットエラーレート特性を示し、曲線５１Ｇはグルーブにおける特性、曲線５１Ｌはランドにおける特性を示す。これら曲線５１Ｇおよび曲線５１Ｌは、それぞれグルーブおよびランドの、上述した磁壁移動度に依存する特性曲線５１ＧＡおよび５１ＬＡそれぞれと、上述したクロスライトに依存する特性曲線５１ＧＢおよび５１ＬＢのそれぞれとの合成曲線となる。
図１６において、曲線５１は、いわば本来示す特性である。
図１６によって明らかなように、ランドにおいては、曲線５１Ｌに示すように、ボトムジッターに劣り、また記録パワーマージンが小さくなっている。
本発明は、上述したＤＷＤＤによるランド・グルーブ記録の光記録媒体とその製造方法および光記録再生方法にあって、そのランドにおけるジッター特性の改善、記録パワーマージンの改善を図り、ランドとグルーブとの特性のバランスの改善を図ることができるようにする。
すなわち、本発明による光記録媒体は、ランド・グルーブ記録形態による磁壁移動検出方式による光記録媒体、すなわち光磁気記録媒体であって、そのグルーブの深さｄ（ｎｍ）を、
３λ／８ｎ＜ｄ＜１λ／２ｎ      ・・・（１）
または、
１λ／２ｎ＜ｄ＜３λ／４ｎ      ・・・（２）
（但し、λは照射光の波長（ｎｍ）、ｎは屈折率）
に選定する構成とする。
かつ、本発明による光記録媒体は、ランド・グルーブ記録形態
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【国際調査報告】
2002089129.tif 000027
2002089129.tif 000028
2002089129.tif 000029
2002089129.tif 000030
2002089129.tif 000031
2002089129.tif 000032
2002089129.tif 000033
2002089129.tif 000034