(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の部品（１０２）が実装されているプリント回路基板（１００）上の製造欠陥を検出する装置であって、
電磁界（３１０）を受けるとともに発生する複数のセンサ（１０４）であって、各センサは前記素子の１つの上に配置され、各センサは第１層（２１０）上に少なくとも１つの螺旋状アンテナ素子（２１５Ａ，２１５Ｂ）を有し、該螺旋状アンテナ素子は、第１端子（２２０Ａ）および第２端子（２２０Ｃ）間に導電路を形成する、複数のセンサと、
各センサに切換え可能に結合されている少なくとも１つの信号源（１２２Ａ，１２２Ｂ）と、
前記プリント回路基板に切換え可能に結合され、前記基板上の電圧または電流信号のいずれかを測定する少なくとも１つの計器（１１４Ａ，１１４Ｂ）と、
前記プリント回路基板に切換え可能に接続され、前記基板上に導電ループを形成するバイアス源（１１２）と、
前記信号源の各センサへの結合、および前記計器の前記プリント回路基板への接続を制御する検査制御手段（１２４）であって、前記検査制御手段は前記複数のセンサの１つを接続し、前記第１および第２端子間に電流を通過させ、前記プリント回路基板と前記複数のセンサの前記１つとの間に誘導的に結合される検査信号を測定する検査制御手段と、
を備え、
各センサは、第２層（２１２）上に少なくとも１つの螺旋状アンテナ素子（２１７Ａ，２１７Ｂ）を有し、前記第２層上の螺旋状アンテナ素子は、第３端子（２２０Ｂ）と第４端子（２２０Ｄ）との間に導電路を形成し、
前記検査制御手段は、前記複数のセンサの１つを接続し、前記第１と第２端子間、ならびに前記第３と第４端子間に電流を通過させ、前記プリント回路基板と前記複数のセンサの前記１つとの間に誘導的に結合される検査信号を測定し、
前記検査手段は、前記複数のセンサの１つを接続し、前記第１と第２端子間、ならびに前記第３と第４端子間における電流を妨げ、前記プリント回路基板と前記複数のセンサの前記１つとの間に容量的に結合される検査信号を測定する、
装置。
【請求項２】
請求項１記載のプリント回路基板上の製造欠陥を検出する装置において、
前記検査制御手段は、前記第１および第２端子を互いに接続し、前記第３および第４端子を互いに接続することにより、端子間の電流を妨げるスイッチ・マトリクス（１１８）を備えている装置。
【請求項３】
請求項１記載のプリント回路基板上の製造欠陥を検出する装置において、
前記検査制御手段は、前記第１と第２端子間、ならびに前記第３と第４端子間に前記少なくとも１つの信号源を接続することにより、前記端子間に電流を通過させるスイッチ・マトリクス（１１８）を備えている装置。
【請求項４】
請求項１記載のプリント回路基板上の製造欠陥を検出する装置において、
前記検査制御手段は、
ネール・ベッド（１０６）と、
前記ネール・ベッド、前記少なくとも１つの計器、および前記バイアス源に接続されたセレクタ（１０８）と、
前記少なくとも１つの計器および前記セレクタに接続されたマイクロプロセッサ（１２４）と、
を備えている装置。
【請求項５】
請求項１記載のプリント回路基板上の製造欠陥を検出する装置において、
各螺旋状アンテナ素子は、時計方向に巻回された第１アンテナ素子（２１６）と、反時計方向に巻回された第２アンテナ素子（２１４）とから成る装置。
【請求項６】
複数の部品（１０２）を有するプリント回路基板（１００）の検査方法であって、各部品が前記プリント回路基板上の導電性トレースに接続された複数のリードを有し、
ａ）前記複数の部品の第１部品の近くにセンサ（１０４）を構成し、前記第１部品近傍に磁界を発生するステップであって、ステップ（ａ）における構成は、前記センサの第１層（２１０）上の第１螺旋状アンテナ素子（２１５Ａ，２１５Ｂ）の２端部（２２０Ａ，２２０Ｃ）間に第１ＲＦ信号を印加するサブステップを含み、
ｂ）前記第１部品のリードの第１リードを含む前記プリント回路基板上のループにおいて、前記磁界によって誘導される電圧を測定するステップと、
ｃ）前記第１部品近傍に電界（３１０）を発生するように前記センサ（１０４）を構成するステップであって、ステップ（ｃ）における構成は、前記第１螺旋状アンテナ素子と、前記センサの第２層（２１２）上の第２螺旋状アンテナ素子（２１７Ａ，２１７Ｂ）間に第２ＲＦ信号を印加するサブステップを含み、
ｄ）前記センサから前記第１部品上のリードを通して前記プリント回路基板上のトレースに容量的に結合される電流を測定するステップと、
ｅ）前記測定電圧がスレシホルド値を下回る場合、または前記測定電流がスレシホルド値を下回る場合、前記プリント回路基板上の欠陥を検出するステップと、
を含む方法。
【請求項７】
請求項８記載の方法において、前記ステップ（ｂ）における測定は、前記ループにバイアス源（１１２）を接続するステップを含む方法。
【請求項８】
請求項８記載の方法において、前記ステップ（ｂ）における測定、および前記ステップ（ｄ）における測定は、同一リードを用いる方法。
【請求項９】
請求項８記載の方法において、前記ステップ（ｂ）における測定、および前記ステップ（ｄ）における測定は、異なるリードを用いる方法。
【請求項１０】
請求項８記載の方法において、前記ステップ（ｃ）における構成は、前記第１螺旋状アンテナ素子の前記２端部を互いに接続するサブステップと、前記第２螺旋状アンテナ素子の２端部（２２０Ｂ，２２０Ｄ）を互いに接続するサブステップとを含む方法。
【発明の詳細な説明】
本発明は、一般的にプリント回路基板を検査する機器に関し、更に特定すれば、プリント回路基板上における製造上の欠陥を検出する機器に関するものである。
Cilingirogluに付与された米国特許第５，１２４，６６０に記載されている製造欠陥分析装置がある。この製造欠陥分析装置では、全体的に平坦な板のような形状の金属電極を、プリント回路基板上の部品の上に配置する。電界を発生する発振器によってこの電極を駆動する。電界は、検査対象（被検査）部品上のリード構造に結合する。この種の結合を、「容量性結合」と呼ぶ。
検査プローブをプリント回路基板に取り付け、基板に容量的に結合される信号を測定する。検査対象部品の特定のリードがプリント回路基板に適正に接続されているか否かについて判定するために、当該リードが接続されているプリント回路基板上のトレースを、電流測定装置に接続する。基板上の他のトレースは、接地に接続し、疑似信号を避けるようにする。これを、「保護（ガーディング：guarding）」と呼ぶ。
電流測定装置が電流を検出した場合、部品のリード・フレームからプリント回路基板に導電路があることを示す。電流が検出されない場合、検査対象部品のリード・フレームとプリント回路基板との間には断線があることを示す。このような断線は、製造上の欠陥を示す。
同様のシステムが、Crook等に付与された米国特許第５，２５４，９５３号に開示されている。この特許では、検査対象部品のリード・フレームと、平板状の導電性電極との間に検査信号を容量的に結合させる。
同様の別のシステムがＦｒｅｖｅのヨーロッパ特許出願ＥＰ０，６３６，８８７Ａ１に開示されている。この特許では、弾性発泡（ｃｅｌｌｕｌａｒ）材料から成るスペーサが導電性プローブ板とプローブ取付面との間に固定されている。この場合も、試験信号は検査対象部品のピンと導電性プローブ板との間に結合される。しかし、スペーサによって導電性プローブ板が部品の上面プローブ取付面との間の機械的平行関係からのずれに適応可能となり、キャパシタンスの繰返し精度（ｒｅｐｅａｔａｂｉｌｉｔｙ）を改善している。
上述の米国特許第５，１２４，６６０号および第５，２５４，９５３号、ならびにヨーロッパ特許出願ＥＰ０，６３６，８８７Ａ１は、この言及により本願に援用する。
別の検査技法が、Sheen et等により１９９４年４月１５日に出願された、係属中の米国特許出願第０８／２２７，８５４号"Printed Circuit Board Tester"に開示されている。
この特許は、製造欠陥分析装置について記載しており、プリント回路基板上の検査対象部品上に、アンテナ・アレイを配置するというものである。アンテナ・アレイは、検査対象部品に磁界を生成するような構成となっている。
検査対象部品のリードと含むループを形成するように、検査プローブをプリント回路基板に取り付ける。他のトレースは、この場合も、接地しておく。検査対象部品がプリント回路基板に適正に接続されている場合、そのループは導電ループである。磁界が導電ループ内に電圧を誘起するので、検査対象部品がプリント回路基板に適正に接続されている場合は、電圧が誘導される。電圧が検出されない場合、製造欠陥が示されることになる。この検査信号をプリント回路基板に結合する方法を、「誘導性結合」と呼ぶ。
上述の米国特許出願第０８／２２７，８５４号も、この言及により本願にも含まれているものとする。
各手法、即ち、容量性結合および誘導性結合には、いくつかの欠点があることを我々は確認した。各手法は、プリント回路基板上のリードの内のいくつかの欠陥の検出が可能であるに過ぎない。欠陥を検出可能な基板上の全リードの割合のことは、部品の障害カバリッジ（fault coverage）と称されている。理想的には、障害カバリッジは１００％となるべきであろう。しかしながら、容量性および誘導性技法の障害カバリッジは、プリント回路基板の種類によっては８０％程度の低さになる可能性もある。
これらの技法の有効性を妨げる要因には、検査対象部品の特定の種類に関係するものがある。容量性結合は、接地シールドが施された部品では、有効性が減少する。誘導性結合は、部品を装着していないソケットの検査では、有効性が減少する。
我々が確認した他の欠点に、検査対象部品上のリードをプリント回路基板に接続する特定の方法に関係するものがある。電流測定装置に容量的に結合される実際の信号は、電極と検査対象部品のリード・フレームとの間の容量、および残りの部品のネットワークの容量の比によって異なる。通常、電極とリード・フレームとの間の容量は非常に小さい。その結果、容量性結合信号は非常に小さいものとなる。
通常、誘導性結合信号は、容量性結合信号よりも大きい。信号が大きい程測定精度を高めることが可能となる。しかしながら、我々は、誘導性結合信号が大きくならない状況を確認した。多数の部品がプリント回路基板上の同一のノードに接続されている場合、誘導性結合信号は容量性結合信号よりも小さくなる可能性がある。
上述の米国特許出願番号第０８／２２７，８５４号に記載されているように、プリント回路基板上の導電ループは、プリント回路基板上にバイアス電流を強制的に流すことによって形成される。このバイアス電流は、半導体部品には本来存在する基板ダイオード（substrate diode）に順方向バイアスをかける。検査対象部品の基板ダイオードが、同一ノードに取り付けられている他の部品の基板ダイオードよりも高いターン・オン電圧（turn on voltage）を有する場合、バイアス電流の殆どは、検査対象部品ではなく、他の部品に流れてしまう。検査対象部品に流れ込むバイアス電流が小さ過ぎると、その基板ダイオードは完全に順方向バイアスされないことになる。この場合、基板上に誘導される信号は非常に小さくなる。更に、ノード上の部品に流れ込むバイアス電流が、それらの基板ダイオードを順方向にバイアスすることになる。この順方向にバイアスされたダイオードは別の導電経路を表わし、分圧器を形成することにより、測定に得ることができる信号を更に弱めてしまう。
このように、検査対象部品の特定のリードによっては、容量性結合の方が大きな信号を供給し、そのため高い精度の結果が得られる場合がある。我々は、容量性または誘導性結合のいずれかを用いて部品を検査可能な製造欠陥分析装置を提供することによって、大きな利点が得られることを認識した。また、我々は、誘導性結合検査または容量性結合検査のいずれかに容易に構成可能であり、しかもこの構成変更をピン毎に行うことができる製造欠陥分析装置によって、大きな利点が得られることを認識した。
発明の概要
上述の背景に鑑み、本発明は、高い率の障害カバリッジを有する製造欠陥分析装置を提供することを目的とする。
また、本発明の目的は、容量性結合検査または誘導性結合検査を行うことができる製造欠陥分析装置を提供することである。
本発明の他の目的は、容量性または誘導性技法のいずれかにより、ピン毎に製造欠陥について部品を検査可能な製造欠陥分析装置を提供することである。
本発明の更に他の目的は、精度の向上を図った製造欠陥分析装置を提供することである。
上述のおよびその他の目的は、２つの平行面に群状に配置されたアンテナ部品を備えたセンサを有する製造欠陥分析装置によって達成される。群は、位相外れ信号によって別個に駆動すれば、誘導性結合検査のための磁界を生成することができる。１つの信号を２つの群間に印加すれば、容量性結合検査のための電界を生成することができる。
【図面の簡単な説明】
本発明は、以下のより詳細な説明および添付図面を参照することにより、一層の理解が得られよう。
第１図は、本発明による検査システムの概要を示す。
第２図は、第１図のセンサ素子を概略形状で示す。
第３図は、第２図のセンサを容量性結合用に構成した場合に発生する電界を示す。
好適実施例の説明
第１図は、検査対象基板１００を示す。基板１００上には多数の部品１０２が実装されている。従来の基板検査システムにおけると同様、基板１００は固定具（図示せず）内に装着されている。
センサ１０４は、検査すべき各部品１０２の上に取り付ける。センサ１０４の取り付けは、固定具のオーバー・クランプ（over clamp）のような、都合のよい方法で行う。好ましくは、柔軟性のある支持部を用いる。好ましくは、センサ１０４および部品１０２間に誘電体物質を挿入する。誘電体（絶縁体）物質は、センサ１０４が基板１００上の部品と短絡するのを防止する。好ましくは、誘電体物質をできるだけ薄くして、センサ１０４を部品１０２に近接可能とする。
センサ１０４については、以下で第２図と関連してより詳細に説明する。各センサ１０４は入力を有し、部品１０２全体に磁界または電界のいずれかを生成するように駆動可能である。ここで用いる「センサ」という用語は、導体と誘電体内の電磁界との間の遷移点として作用する部品のことを言う。好適実施例では、「センサ」は、電界および磁界を発生するために用いられる。しかしながら、別の実施例では、同一素子を用いてかかる電界および磁界を受けることも可能である。
爪（ネール）１０６によって、プリント回路基板１００の下側から電気的接触を形成する。爪１０６は、従来の回路基板テスタにおけると同様、爪床（ネール・ベッド：bed of nails）を構成することが好ましい。爪１０６は、プリント回路基板１００上の導電性トレースに接触し、部品１０２のリード（付番せず）に接続されなければならない。
爪１０６はセレクタ１０８に接続されている。セレクタ１０８は、電圧計１１４Ａまたは電流計１１４Ｂに接続を行うことができる。セレクタ１０８は、これらの計器を爪１０６のいずれか１つに接続することにより、プリント回路基板１００上のいずれかの点における電圧信号または電流信号のいずれかを測定することができる。
また、セレクタ１０８はバイアス電流源１１２にも接続されている。バイアス電流源１１２は、プリント回路基板１００のいずれかの点に接続し、誘導性結合検査のための導電ループを確立することができる。
電圧計１１４Ａおよび電流計１１４Ｂによって得られる測定値は、コントローラ１２４に伝送される。好ましくは、コントローラ１２４はマイクロプロセッサであり、値はデジタル形式で伝送されるようにする。
コントローラ１２４は、検査プログラムを実行するようにプログラムされている。これによって、必要な制御入力がセレクタ１０８に発生され、計器１１４およびバイアス源１１２を、プリント回路基板１００上の各点に接続する。接続が行われると、各部品１０２の各リードがプリント回路基板１００に適正に接続されているか否かについて検査が行われる。各リードの検査には、容量性結合または誘導性結合を用いることができる。
容量性結合検査では、前述のCilingirogluに付与された米国特許第５，１２４，６６０号に記載されているように、セレクタ１０８は電流計１１４Ｂをプリント回路基板１００上の回路ノードに接続する。誘導性検査では、前述のSheen et al.による特許出願番号第０８／２２７，８５４号"Printed Circuit Board Tester"に記載されているように、セレクタ１０８は、電圧計１１４Ａおよびバイアス源１１２を、プリント回路基板１００上の回路ノードに接続する。
検査用刺激（励起）信号は、信号源（ソース）１２２Ａおよび１２２Ｂから供給される。信号源１２２はＲＦ源である。これらは、同一周波数で動作するように設計されている。信号源群１２２の相対的な位相も制御可能とすべきである。誘導性結合では、信号源は９０°位相がずれていることが好ましい。容量性結合では、信号源は同相であることが好ましい。
信号源１２２Ａおよび１２２Ｂは、スイッチ１２３を介して互いに接続することができる。容量性結合時にはスイッチ１２３を閉じて、入力電力を二倍にすると効果的である。
信号源群１２２はセレクタ１１８に接続されている。セレクタ１１８は、センサ１０４の各々に接続されている。各センサ１０４は、複数の入力を有する。これについては、以下でより詳細に説明する。セレクタ１１８はスイッチ・マトリクスであり、信号源群１２２を同時に１つのセンサ１０４の入力群に接続可能とする。
次に第２図を参照すると、センサ１０４の１つの一部分が、概略的に示されている。上述の特許出願番号第０８／２２７，８５４号に記載されているように、各センサ１０４は、プリント回路基板上において、螺旋状ループ・アンテナ素子群で構成されている。第２図は、螺旋状ループ・アンテナへの電気接続を示す。実際の製造では、螺旋状ループはプリント回路基板の層の表面上にあり、電気接続を示すために第２図において用いた配向は有していない。
螺旋状アンテナ素子は２群に構成され、９０°位相がずれた信号によって駆動される。各群では、隣接する螺旋状アンテナ素子は、逆方向に巻回されている。
第２図は、多層プリント回路基板の層２１０および２１２を示す。一方のアンテナ素子群は、層２１０上に形成されている。他方のアンテナ素子群は層２１２上に形成されている。第２図に示すように、これらの群は位置をずらしてあり、層２１２上の一方のアンテナ素子が、層２１０の各アンテナ素子の間に位置するようにしてある。
各群におけるアンテナ素子は対で構成されている。層２１０上に形成されている群については、対２１５Ａおよび２１５Ｂが示されている。層２１２上の群については、対２１７Ａおよび２１７Ｂが示されている。各対は、反時計方向回りの螺旋２１４と、時計方向回りの螺旋２１６とで構成されている。層２１０上の群を駆動するために用いられる信号に対して９０°位相がずれた信号を用いて層２１２上の群を駆動すると、その結果、この螺旋状アンテナ素子の構成では、各アンテナ素子が隣接するアンテナ素子と比較して位相が９０°進むことになる。
各群におけるアンテナ素子対は、センサ１０４が形成されているプリント回路基板上の回路トレースを通じて、並列に接続されている。したがって、センサ１０４には４本の入力端子がある。端子２２０Ａは層２１０上のアンテナ素子の反時計方向回りの螺旋に接続する。端子２２０Ｂは、層２１２上のアンテナ素子の反時計方向回りの螺旋に接続する。端子２２０Ｃは、層２１０上のアンテナ素子の時計方向回りの螺旋に接続する。端子２２０Ｄは、層２１２上のアンテナ素子の時計方向回りの螺旋に接続する。
誘導性結合では、ＲＦ源１２２Ａを端子２２０Ａおよび２２０Ｃ間に接続する。ＲＦ源１２２Ｂは、ＲＦ源１２２Ａとは９０°位相がずれており、端子２２０Ｂおよび２２０Ｄ間に接続する。前述の特許出願番号第０８／２２７，８５４号に記載されているように、磁界が発生する。
容量性結合では、ＲＦ源１２２Ａおよび１２２Ｂは同相であり、共に接続する。ＲＦ源１２２の一方側を端子２２０Ａおよび２２０Ｃ双方に接続する。ＲＦ源１２２の他方側を、端子２２０Ｂおよび２２０Ｄ双方に接続する。
上述の接続の結果得られる電界３１０を、第３図に示す。層２１０上のアンテナ素子は、互いに接続され、導電板と同様に作用する。層２１２上のアンテナ素子も同様に互いに接続され、導電板として作用する。２枚の導電板近傍における電界は、第３図に示す通りである。
電界３１０は、センサ１０４を越えて延び、部品１０２を貫通する。このように、前述のCilingirogluに付与された米国特許第５，１２４，６６０号に記載されているように、検査対象部品に信号を容量的に結合することができる。
第１図に示すように、同一のハードウエアを使用して、容量性結合または誘導性結合を用いた測定を行うことができる。ハードウエアの構成変更は、単に、セレクタ１０８、セレクタ１１８およびスイッチ１２３における接続を変更するだけで行うことができる。これらの素子は全て、コントローラ１２４の制御の下で動作する。
コントローラ１２４は、検査プログラムを記憶している。検査プログラムは、人またはコンピュータ支援を受ける設計プログラムを実行するコンピュータによって開発する。これは、第１図に示すハードウエアを、プリント回路基板１００上の各部品１０２の各リードを検査するように構成するコマンドを含む。更に、プログラムには、測定を行いスレシホルド値と比較するコマンドもある。スレシホルド値未満の測定値は、リードのプリント回路基板に対する欠陥接続を示す。また、検査プログラムは、報告または警報のようないずれかの好都合な方法で、障害をユーザに報告するためのコマンドも含む。
本発明は、容量性または誘導性技法によって各リードの検査を可能にするので、検査プログラム内のコマンドは、容量性検査、誘導性検査、または双方のいずれにもハードウエアを構成することができる。検査方法は、各リード毎に選択し、リードを適正に接続したときに最大の信号を与えるようにすることが好ましい。この情報は、検査プログラムを書くときに、プリント回路基板の設計を分析することによって得ることができる。
あるいは、「学習モード」の間に既知の正常な基板上で測定を行うことによって、情報を得ることも可能である。学習モードでは、コントローラ１２４は、各リードに容量的および誘導的に結合された信号を測定するようにプログラムされる。発生する信号レベルが大きな方の技法を識別し、そのリードに対する検査プログラムに含ませることができる。また、測定値を用いて、障害を確認するために用いられるスレシホルドを設定することも可能である。スレシホルドは、既知の正常な基板における測定値よりも多少低めにすべきである。
２種類の測定技法を使用可能とすることにより、双方の技法を同時に使用し、精度向上を図ることができる。例えば、単一のスレシホルドを有する代わりに、２つのスレシホルドを１つの技法に対して確立してもよい。上側のスレシホルドは、測定信号がこれを上回れば、当該リードが適正に接続されたことを示す信号レベルを確立する。下側のスレシホルドは、測定信号がこれを下回れば、当該リードは適正に接続されなかったことを示す信号レベルを確立する。
測定信号が２つのスレシホルドの間にある場合、第２の技法を用いて測定を行う。第２の技法に対する測定でスレシホルドを上回った場合、障害は確認されなかったことになる。測定でスレシホルドを下回った場合、障害を示すことになる。
スレシホルドの数値は、プリント回路基板上に用いられている部品の種類、およびプリント回路基板の具体的な設計毎に異なる。
以上一実施例について説明したが、多数の代替実施例または変形も得ることができる。例えば、センサ１０４は、プリント回路基板の異なる２層上にあるアンテナ素子間に信号を接続することによって、容量性結合のための構成とし、密接配置された平行板間に信号を接続する効果を近似するものとして示している。螺旋状ループ・アンテナ全てを、プリント回路基板の１つの層に形成することも可能である。この場合、全素子の入力および出力を共に接続すればよい。かかる接続では、螺旋状ループ・アンテナは単一の導電板に近づく。信号は、この単一接続点に駆動すればよく、こうすることによって、アンテナ素子は、Cilingirogluに付与された米国特許第５，１２４，６６０号における検査システムの電極のように作用する。
別の変形として、センサ１０４を形成するプリント回路基板は、螺旋状ループ・アンテナの上に接地層（grounded layer）を含んでもよい。この接地層に信号を接続できるようにセンサを配線すれば、接地層は平行板として作用することができる。これは、米国特許第５，１２４，６６０号における電極を形成するために用いられる平行板とすることができる。あるいは、第３図に示すように、２枚の平行板の一方とすることも可能である。その場合、第２の平行板は、センサ１０４を構成するプリント回路基板の１つ以上のレベルにあるアンテナ素子を相互接続することによって形成することができる。
また、第２図は、螺旋状ループ・アンテナ素子を示す。かかるアンテナ素子は磁界を放射するので望ましいものであるが、他の形式のアンテナ素子も用いることができる。
第１図は、２つのソースを用いて、９０°位相がずれたアンテナ素子群を駆動する場合を示す。単一のソースを移相ネットワークと共に用いてもよい。
また、アンテナ素子を２つの群に分割し、各群内においてアンテナ素子を対に分割し、１８０°移相がずれるように配線したことも示した。任意の数の群を用いてもよく、各群内の素子間には、どのような形式の配線を用いてもよい。しかしながら、各群のアンテナ素子の位相をずらすことによって、全アンテナ素子が発生する信号が遠方界（ｆａｒ  ｆｉｅｌｄ）では打ち消し合うようにすることが望ましい。
好適実施例では、本発明のテスタは、基板テスタのネール・ベッドの一部となっている。本発明は、別個のユニットとしても容易に製造可能である。
更に、各リードは、好適実施例では、誘導性または容量性技法のいずれかを用いて検査するように記載した。また、使用する検査はあらかじめ選択し、検査プログラムに記録しておくことも記載した。かかる構成は、全検査時間を短縮する。しかしながら、検査の間双方の技法を用いて信号レベルを測定し、次いで、より大きな信号を供給する技法を選択するようにしてもよい。更に、より大きな信号を選択の基準にする代わりに、信号対ノイズ比またはその他のパラメータの予測に基づいて選択を行ってもよい。
他の変形として、検査対象のプリント回路基板１００への信号を駆動するためのみにセンサ１０４を用いる場合について記載した。検査信号は、検査対象回路基板１００内に注入し、センサ１０４によって測定するようにしてもよい。
更に、容量性結合について、アンテナ素子の各群の２端部を共に接続し、共通信号によって駆動することも記載した。本発明は、更に、各素子の一方の端部のみを駆動し、他方の端部を未接続としても動作可能である。
したがって、本発明は、添付の請求の範囲の主旨および範囲によってのみ限定を受けるものとする。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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