(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成した所定パターンを有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを形成し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色に対応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の色に対応したインクのそれぞれを乾燥させるカラーフィルタの製造方法であって、
前記所定の色に対応したインクのそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３以下に収斂する）ように、乾燥後の前記インクの形状の平坦性を確保することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記所定の色に対応したインクとして、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応するとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記所定の色に対応したインクの粘度が、Ｇ（緑）色のインクが８〜１２ｍＰａ・ｓで、Ｒ（赤）色のインクが６〜１０ｍＰａ・ｓで、かつＢ（青）の色のインクが４〜８ｍＰａ・ｓである請求項１又は２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記Ｇ（緑）色のインクを最も高温で、Ｒ（赤）色のインクを中間の温度で、及びＢ（青）の色のインクを最も低温で、それぞれ乾燥させる請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記Ｇ（緑）色のインクを４０〜６０℃で、前記Ｒ（赤）色のインクを３０〜５０℃で、かつ前記Ｂ（青）の色のインクを２０〜４０℃で乾燥させる請求項１〜４のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
初めに、粘度の最も大きなインク、次いで、中間の粘度を有するインク、最後に、粘度の最も小さなインクの順番で乾燥させる請求項１〜５のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
初めに、前記Ｇ（緑）の色のインク、次いで、前記Ｒ（赤）色のインク、最後に、前記Ｂ（青）色のインクの順番で乾燥させる請求項６に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項８】
前記バンクの所定パターンの間隙に前記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、インクジェットプリンティングヘッドを用いて配設する請求項１〜７のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項９】
基板上に形成した所定パターンを有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを形成し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色に対応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の色に対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィルタを作製するに際し、前記所定の色に対応したインクのそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３以下に収斂する）ように、乾燥後の前記インクの形状の平坦性を確保してカラーフィルタを作製し、前記カラーフィルタのインクが乾燥、硬化した後、その上面に平坦化層を配設し、この平坦化層上に一の電極（共通電極）を配設してカラーフィルタ用基板を形成し、前記カラーフィルタ用基板と、前記カラーフィルタに用いられた基板（共通電極）に対向して一対の対向基板を形成する、他の電極（画素電極）を配設した他の基板（画素電極基板）とが形成する間隙に液晶を封入することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記所定の色に対応したインクとして、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応するとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる請求項９に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記マトリックスパターンの間隙に前記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、インクジェットプリンティングヘッドを用いて配設する請求項９又は１０に記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法に関する。
さらに詳しくは、複数の画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとともに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂させる）ことが可能なカラーフィルタを得ることができる、特に、ノート型パソコン、デスクトップ型パソコン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカメラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等の電子機器に好適に用いられるカラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピューター、特に、携帯用パーソナルコンピューターの進歩に伴い、電子機器、例えば、ノート型パソコン、デスクトップ型パソコン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカメラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等に用いられるカラー液晶表示装置（ディスプレイ）の需要が急増している。これに対応し、適正価格で高精細かつ美麗な表示装置（ディスプレイ）を供給する手段の早急な確立が求められている。
【０００３】
また、地球規模の環境保護の要請が高まり、環境負荷を低減することが可能なプロセスの実現が焦眉の急となっている。
【０００４】
このような状況に対応するため、カラーフィルタの製造における画素の形成（着色）方法として、インクジェットの印刷技法（インクジェットプリンティング方式）が用いられるようになっている。
【０００５】
この技法は、圧電体薄膜素子を用いたインクジェットヘッドの加圧室にインク（例えば、熱硬化性樹脂からなるＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色の画素形成用インク）をそれぞれ貯蔵し、圧電体素子の振動による加圧室の体積変化を利用して画素形成用インクを吐出させることによってカラーフィルタ用の基板上に画素を形成するものであるが、従来から用いられてきたフォトリソグラフィ技法による画素の形成技法のように、遮光材料（例えば、クロム等の金属薄膜を所定形状にパターン化したブラックマトリックス）及び各色に対応した複数の画素の形成のため、これらのパターン形状ごとに異なるパターンのマスクを用い、露光、現像、洗浄等の煩雑な工程を経る必要がないため生産効率を向上させることが可能であり、また、インク量の高度な制御が可能であるため高精細なカラーフィルタの効率的な製造を可能にするとともに、フォトリソグラフィ技法に比べ材料を浪費することがないので環境に対する負荷を低減することができるという点で優れた方法である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、カラーフィルタは高精細化の一途を辿り、数１０μｍ角という微細なＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色のそれぞれの、各種表示装置に用いられた場合における色調のバラツキを小さく抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂させる）ことへの要求が飛躍的に高まり、インクジェット印刷技法を用いた場合であっても、従来の方法のままでは十分に上述の要求に対応することができなくなってきている。
【０００７】
すなわち、基板上に形成した所定パターンを有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを形成し、バンクの所定パターンの間隙に、複数の色に対応した複数のインクのそれぞれを塗布した後に、インクのそれぞれを乾燥させるカラーフィルタを製造する場合、所定の色に対応したインクは、それぞれの色によって用いる有機顔料、分散溶媒等が異なること等から、それぞれ有するの固有の物性、例えば、粘度、表面張力等に起因する流動特性（レオロジー特性）も異なるものとなり、全ての色を一律の条件で乾燥すると、上述のそれぞれの色の流動特性の相違に起因して、形成されるそれぞれの画素の形状の平坦性にバラツキを生じ、表示装置に用いた場合に色調のバラツキ（色調ムラ）を発生させるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、複数の画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとともに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂させる）ことが可能なカラーフィルタを得ることができる、特に、ノート型パソコン、デスクトップ型パソコン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカメラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等の電子機器に好適に用いられるカラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、上記目的を達成するため鋭意研究した結果、カラーフィルタに用いられる複数の画素の色にそれぞれ対応したインクをそれぞれの最適な条件で乾燥させることによって、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されることを見出し、本発明を完成させた。すなわち、本発明によって、以下のカラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法が提供される。
【００１０】
［１］  基板上に形成した所定パターンを有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを形成し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色に対応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の色に対応したインクのそれぞれを乾燥させるカラーフィルタの製造方法であって、前記所定の色に対応したインクのそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３以下に収斂する）ように、乾燥後の前記インクの形状の平坦性を確保することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【００１１】
このように構成することによって、複数の画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとともに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂させる）ことが可能なカラーフィルタを得ることができる。
【００１２】
［２］  前記所定の色に対応したインクとして、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応するとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる前記［１］に記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１３】
［３］  前記所定の色に対応したインクの粘度が、Ｇ（緑）色のインクが８〜１２ｍＰａ・ｓで、Ｒ（赤）色のインクが６〜１０ｍＰａ・ｓで、かつＢ（青）の色のインクが４〜８ｍＰａ・ｓである前記［１］又は［２］に記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１４】
［４］  前記Ｇ（緑）色のインクを最も高温で、Ｒ（赤）色のインクを中間の温度で、及びＢ（青）の色のインクを最も低温で、それぞれ乾燥させる前記［１］〜［３］のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１５】
［５］  前記Ｇ（緑）色のインクを４０〜６０℃で、前記Ｒ（赤）色のインクを３０〜５０℃で、かつ前記Ｂ（青）の色のインクを２０〜４０℃で乾燥させる前記［１］〜［４］のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１６】
［６］  初めに、粘度の最も大きなインク、次いで、中間の粘度を有するインク、最後に、粘度の最も小さなインクの順番で乾燥させる前記［１］〜［５］のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１７】
［７］  初めに、前記Ｇ（緑）の色のインク、次いで、前記Ｒ（赤）色のインク、最後に、前記色Ｂ（青）のインクの順番で乾燥させる前記［６］に記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１８】
［８］  前記マトリックスパターンの間隙に前記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、インクジェットプリンティングヘッドを用いて配設する前記［１］〜［７］のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１９】
［９］  基板上に形成した所定パターンを有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを形成し、前記バンクの所定パターンの間隙に、所定の色に対応したインクをそれぞれ配設した後に、前記所定の色に対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィルタを作製するに際し、前記所定の色に対応したインクのそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３以下に収斂する）ように、乾燥後の前記インクの形状の平坦性を確保してカラーフィルタを作製し、前記カラーフィルタのインクが乾燥、硬化した後、その上面に平坦化層を配設し、この平坦化層上に一の電極（共通電極）を配設してカラーフィルタ用基板を形成し、前記カラーフィルタ用基板と、前記カラーフィルタに用いられた基板（共通電極）に対向して一対の対向基板を形成する、他の電極（画素電極）が配設された他の基板（画素電極基板）とが形成する間隙に液晶を封入することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【００２０】
［１０］  前記所定の色に対応したインクとして、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応するとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いる前記［９］に記載の液晶表示装置の製造方法。
【００２１】
［１１］  前記マトリックスパターンの間隙に前記所定の色に対応した前記インクのそれぞれを、インクジェットプリンティングヘッドを用いて配設する前記［９］又は［１０］に記載の液晶表示装置の製造方法。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を具体的に説明する。
【００２３】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、図１にその流れ工程を示すように、基板１上に形成した所定パターンを有する遮光層２ａ上に（図１（ｄ）参照）、樹脂による所定パターンのバンク５ａを形成し（図１（ｇ）参照）、バンク５ａの所定パターンの間隙に、所定の色に対応したインク６をそれぞれ配設した後に（図１（ｈ）参照）、所定の色に対応したインクのそれぞれを乾燥させる（図１（ｉ）参照）カラーフィルタの製造方法であって、所定の色に対応したインク６のそれぞれを、そのインク６が有する粘度の大きさに応じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３以下に収斂する）ように、乾燥後のインク６の形状の平坦性を確保することを特徴とする。
【００２４】
前述のように、インク６のそれぞれは、固有の物性、例えば、粘度、表面張力等に起因するそれぞれの流動特性（レオロジー特性）を有するため、乾燥後のインク６の形状の平坦性を確保するためには、それぞれのインク６の固有の流動特性に適合した乾燥条件を採用する必要がある。
【００２５】
図２（ａ）に示すように、本発明のカラーフィルタの製造方法によって得られたカラーフィルタにおける乾燥後のインク６のそれぞれの形状は、各色ともそれぞれ最適な乾燥条件を採用しているため、インク６の色の如何に関わらず、バンク５ａの所定パターンの間隙に配設した直後の断面形状１７が凸形状であったものが、乾燥途上の断面形状１８を経て平坦な形状１９を有するものとなる。
【００２６】
一方、従来の方法では、乾燥条件がインク６の流動特性と適合しない場合は、図２（ｂ）に示すように、凹形状２０、又は図２（ｃ）に示すように、凸形状２１となり易く、平坦性を確保することが困難で、表示装置に用いられた場合、画素色調のバラツキの原因となり易い。一般に、粘度の低いインク６程、凹形状２０になり易く、粘度の高いインク程、凸形状２１になり易い。
【００２７】
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法を、図１を用いてさらに具体的に説明する。
【００２８】
まず、図１（ａ）に示すように、透明ガラス基板、アクリル等のプラスチック基板（フィルム）等の光透過性基板及びこれらの表面処理品、又は反射膜が基板上に形成された反射性の基板等の基板１上に、遮光層（例えば、遮光性薄膜金属層）２ａ（図１（ｄ）参照）を形成する材料として、クロム、ニッケル、アルミニウム等の電子デバイス加工プロセスで汎用されている金属を用い（薄膜形成が簡便であること及びフォトレジストエッチングを含む全工程の効率を高めることができるものが好ましい）、金属薄膜２を形成し、この金属薄膜２を、例えば、ドライめっき法で付着させる。この場合、金属薄膜２の厚さは、０．１〜０．５μｍであることが好ましい。０．１μｍ未満であると、十分な遮光性が得られないことがあり、０．５μｍを超えると、得られた金属薄膜２の密着性、脆性等が低下することがある。
【００２９】
次に、図１（ｂ）〜（ｄ）に示すように、遮光層２ａを形成するが、本実施の形態においては、フォトレジストエッチング法を用いる場合を説明する。すなわち、マスク３及び第１の感光性樹脂４を用いて露光、現像等し、金属薄膜２のうち、基板１上の画素形成領域となるパターン区画間隙部分に対応する部分を除去し、所定のマトリックスパターン形状の遮光層２ａを得る。この場合、第１の感光性樹脂４の厚さは、０．８〜１．２μｍが好ましい。
【００３０】
次に、図２（ｅ）〜（ｇ）に示すように、バンク５ａを形成するが、本実施の形態においては、フォトレジストエッチング法を用いる場合を説明する。すなわち、遮光層２ａの上に、第２の感光性樹脂５を用いたフォトレジストエッチング法によって、所定パターンのバンク５ａを形成する。この場合、第２の感光性樹脂５の厚さは、１．５〜５μｍが好ましい。第２の感光性樹脂５の役割は、インクを配設すべきマトリックスパターン間隙をバンクとして仕切り、隣接するインク相互の混色を防止することにある。
【００３１】
なお、第１の感光性樹脂４のマトリックスパターンと第２の感光性樹脂５のマトリックスパターンとは重ね合わせる必要がある。重ね合わせ精度は、平均的に、第１の感光性樹脂４のパターン幅（第２の感光性樹脂５のパターン幅より広く設定する）から第２の感光性樹脂５のパターン幅を差し引いた値が５μｍ程度となるものであることが好ましい。この第２の感光性樹脂５からなるバンク５ａの高さは、乾燥後に画素として形成されるインクの膜厚との関係で決定される。第２の感光性樹脂５としては、水に対する接触角が大きく、撥水性に優れたものであるものが好ましい。
【００３２】
また、バンク５ａとしては、特に黒色のものを用いる必要はない。例えば、ウレタン系又はアクリル系光硬化型の感光性樹脂組成物を好適例として挙げることができる。
【００３３】
次に、図１（ｈ）に示すように、所定の色に対応したインクをそれぞれ配設するが、本実施の形態では、インクを配設する方法として、インクジェットプリンティング方式（プリンティングヘッドを用いたインクジェット技法）で行う場合を説明する。前述のように、インクジェットプリンティング方式は、５０μｍ角のような微細な面積に精度よくインクを配設したい場合、吐出するインク滴を微細化し、吐出インク滴数を制御することができることから好ましい方法である。
【００３４】
また、インクジェットプリンティング方式を用いることによって、フォトリソグラフィ法を用いる場合のような複雑な工程を経る必要もなく、材料を浪費することもないので環境に対する負荷を低減することができる。
【００３５】
具体的には、微細化したインク６の液滴（インク滴）を精度よく目標とする位置、すなわちマトリックスパターン間隙に配設するため、インク滴のサイズをターゲットであるバンク５ａの所定のパターン（例えば、マトリックスパターン）間隙のサイズに合わせて制御することが好ましい。インク６の液滴サイズは、５０μｍ角程度の画素サイズの形成に対応させるためには、６〜３０ピコリットルに制御することが好ましい。スループットを考慮すれば、１２〜２０ピコリットルがさらに好ましい。また、インクジェットプリンティングヘッドからインク滴を飛翔させ、ターゲットに正確に到達させて付着させるためには、インク滴が飛翔途中に分裂するがことなく、しかも真っ直ぐに飛翔するような条件を適宜選択して制御することが好ましい。
【００３６】
次に、図１（ｉ）に示すように、所定の色に対応したインクのそれぞれを上述の最適な条件で乾燥、硬化させる。すなわち、前記所定の色に対応したインクの構成に関しては、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色に対応するとともに、それぞれ、有機顔料、アクリル系樹脂、モノマー、分散溶剤及び高沸点溶媒を含むものを用いることが平坦化の上で好ましい。
【００３７】
このように、高沸点溶媒（沸点が２００〜３００℃の溶剤）、例えば、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテート等を用いることによって、乾燥途上のインクの形状の平坦性を改善することができる。
【００３８】
また、所定の色に対応したインクに含まれる分散溶剤として、Ｇ（緑）色のインクにメトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等を、Ｒ（赤）色のインクにエチルエトキシプロピオネート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等を、かつＢ（青）の色のインクにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−３−エトキシプロピオネート等をそれぞれ用いることによって、各色最適な膜を得る上で好ましい。
【００３９】
具体的には、初めに、Ｇ（緑）の色のインク、次いで、Ｒ（赤）色のインク、最後に、Ｂ（青）色のインクの順番で乾燥させることが、各色最適な膜を得る上で好ましい。
【００４０】
このように構成することによって、カラーフィルタに用いられる複数の画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性を確保することができ、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂させる）ことができる。
【００４１】
ここで、ΔＥ＊ａｂで算出した色差とは、均等色空間（Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系）における二つの試料間の色の差（座標上の距離）を意味する。
【００４２】
最後に、図１（ｊ）〜（ｋ）に示すように、表示装置におけるカラーフィルタ用基板とするため、表面を平坦化させるための平坦化層（オーバーコート層）７を形成し、さらに、必要に応じて、その表面に共通電極１０を形成してもよい。
【００４３】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、まず、上述のカラーフィルタの製造方法を用いてカラーフィルタを製造する。すなわち、基板上に形成した所定パターンを有する遮光層上に、樹脂による所定パターンのバンクを形成し、バンクの所定パターンの間隙に、所定の色に対応したインクをそれぞれ配設した後に、所定の色に対応したインクのそれぞれを乾燥させてカラーフィルタを作製するに際し、所定の色に対応したインクのそれぞれを、そのインクが有する粘度の大きさに応じて、粘度の大きなものほど高い温度で乾燥させ、色調のバラツキが抑制される（ΔＥ＊ａｂで算出した色差が３以下に収斂する）ように、乾燥後のインクの形状の平坦性を確保してカラーフィルタを作製する。
【００４４】
次いで、カラーフィルタのインクが乾燥、硬化した後、その上面に平坦化層を配設し、この平坦化層上に一の電極（共通電極）を配設してカラーフィルタ用基板を形成し、カラーフィルタ用基板と、カラーフィルタに用いられた基板（共通電極）に対向して一対の対向基板を形成する、他の電極（画素電極）が配設された他の基板（画素電極基板）とが形成する間隙に液晶を封入することを特徴とする。
【００４５】
図３に、本発明の液晶表示装置の製造方法を用いて得られる液晶表示装置を示す。
【００４６】
図３に示すように、画素電極１３に対向する位置にＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の三色の画素が配列するようにカラーフィルタ９を配置する。
【００４７】
また、基板１及びガラス基板１４の面内には配向膜１１を形成し、これをラビング処理することにより液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、それぞれの基板１、１４の外側には偏光板１５を接着、配置し、液晶組成物１２はこの基板１、１４の間隙に充填する。また、通常、バックライト光（図示せず）として、蛍光灯と散乱板との組み合わせが用いる。この場合、液晶組成物１２を、バックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させてもよい。
【００４８】
【実施例】
以下、本発明を実施例によってさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によっていかなる制限を受けるものではない。
【００４９】
実施例１
厚さ０．７ｍｍ、縦３７ｃｍ、横３０ｃｍの無アルカリガラス透明基板の表面を、熱濃厚硫酸に過酸化水素水を１％添加した洗浄液で洗浄し、純水でリンスの後、エア乾燥を行って清浄表面を有する透明基板を得た。この表面に、スパッタリング法によって、クロム皮膜を皮膜厚さ平均０．２μｍで形成した。この表面に、フォトレジスト（東京応化（株）製、商品名：ＯＦＰＲ−８００）をスピンコートした。基板を、ホットプレート上で、８０℃で、５分間乾燥し、フォトレジスト皮膜を形成した。この基板表面に、所定のマトリックスパターン形状を描画したマスクフィルムを密着し、ＵＶ露光を行った。次に、これを、水酸化カリュウム８％のアルカリ現像液に浸漬して露光部の画素部分のフォトレジストを除去した。続いて、露出した画素部クロム皮膜を塩酸を主成分とするエッチング液でエッチング除去した。このようにして、所定のマトリックスパターンの第１の感光性樹脂層及び遮光層（ブラックマトリックス（略称：ＢＭ））を得た。
【００５０】
この基板上に、第２の感光性樹脂層として、ネガタイプ透明アクリル系感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布した。１００℃で２０分間プレベークした後、クロムマトリックスパターンのパターニングに使用したマスクの補正版を用いてＵＶ露光を行った。未露光部分である画素部分の樹脂を、アルカリ性の現像液で現像し、純水でリンスの後スピン乾燥した。最終乾燥としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹脂部を十分硬化させてバンクを得た。このバンクの厚さは、平均２．５μｍであった。
【００５１】
この基板上パターン間隙画素部分に、インクジェットプリンティングヘッドから色材であるインクを高精度で制御しつつ吐出、塗布した。インクジェットプリンティングヘッドには、ピエゾ圧電効果応用の精密ヘッドを使用し、インク滴は８〜１０ピコリットルの微小滴を画素毎に３〜８滴ずつ、各色を選択的に飛ばした。ヘッドよりターゲットである画素間隙への飛翔速度、飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴発生防止のためには、インクの物性はもとよりヘッドのピエゾ素子を駆動する電圧と、その波形が重要であることから、あらかじめ条件設定した波形をプログラムして、インク滴をＧ（緑）、Ｒ（赤）及びＢ（青）の順番で吐出し、塗布した。
【００５２】
インクとしては、ポリウレタン樹脂オリゴマーに有機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノン、酢酸ブチルを、また高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、さらに非イオン系界面活性剤０．０１％を分散剤として添加したものを用い、かつ、各色のインクとして、表１に示す構成のものを用いた。
【００５３】
【表１】
0003855687.tif 000002
【００５４】
上記のようにして得られた基板に、透明アクリル樹脂塗料を平坦化層（オーバーコート）としてスピンコートし、平坦化された面を得た。さらにこの上面にＩＴＯ電極膜を所定のパターンに形成して、カラーフィルタ（用基板）とした。得られたカラーフィルタ（用基板）は、熱サイクル耐久試験、紫外線照射試験、加湿試験等の耐久試験に合格し、液晶表示装置用の基板として好適に用い得ることを確認した。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によって、複数の画素の色にそれぞれ対応したインクの、乾燥後のそれぞれの形状の平坦性が確保されるとともに、表示装置に用いられた場合に、色調のバラツキを抑制する（ΔＥ＊ａｂで算出した色差を３以下に収斂させる）ことが可能なカラーフィルタを得ることができる、特に、ノート型パソコン、デスクトップ型パソコン、車載用ナビゲーションシステム、電子スチルカメラ、ゲーム機器、プロジェクタ、携帯電話等の電子機器に好適に用いられるカラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法の一の実施の形態を流れ工程順に模式的に示す断面図である。
【図２】インク配設直後、乾燥途上及び乾燥後のインクの形状を模式的に示す断面図である。
【図３】本発明の液晶表示装置の一の実施の形態を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
１…（透明）基板
２…金属薄膜
２ａ…遮光層
３…マスク
４…第１の感光性樹脂層
５…第２の感光性樹脂層
５ａ…バンク
６…インク
７…平坦化層（オーバーコート）
９…カラーフィルタ
１０…共通電極
１１…配向膜
１２…液晶組成物
１３…画素電極
１４…ガラス基板
１５…偏向板
１７…インクの配設直後の断面形状
１８…インクの乾燥途上の断面形状
１９…平坦形状
２０…凹形状
２１…凸形状
【図１】
0003855687.tif 000003
【図２】
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【図３】
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