(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の回転中心部材を有する回転多面鏡の加工装置であって、
回転操作される回転操作体と、拡大し縮小することによって回転多面鏡と一体の上記回転中心部材を保持しこの保持を解除する拡縮部と、上記回転操作体の回転運動を上記拡縮部に伝達して拡縮部を拡大させ縮小させる運動変換手段とを具備する保持手段が角度割り出し機構に取り付けられ、
上記拡縮部は、軸線方向へ移動する移動体とともに内外に配置されており、
上記移動体は、軸線方向への移動によって拡縮部を拡大させ縮小させるテーパー面を有するとともに、上記回転中心部材の中心孔にはまって回転多面鏡の回転中心位置出しを行う位置出し部を有し、
上記角度割り出し機構は、回転多面鏡の各鏡面を加工するために上記保持手段を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出すものであることを特徴とする回転多面鏡加工装置。
【請求項２】
拡縮部は、この拡縮部によって保持される回転多面鏡と一体の回転中心部材よりも硬度の低い金属または非金属からなる請求項１記載の回転多面鏡加工装置。
【請求項３】
保持手段の拡縮部は、拡大することによって回転多面鏡の筒状の回転中心部材を保持する請求項１記載の回転多面鏡加工装置。
【請求項４】
モータのロータヨークと一体に設けられるとともに回転中心部材として軸を一体に有する回転多面鏡の加工装置であって、
回転操作される回転操作体と、拡大し縮小することによって回転多面鏡と一体の上記軸を保持しこの保持を解除する拡縮部と、上記回転操作体の回転運動を上記拡縮部に伝達して拡縮部を拡大させ縮小させる運動変換手段とを具備する保持手段が角度割り出し機構に取り付けられ、
上記拡縮部は、軸線方向への移動によって拡縮部を拡大し縮小するテーパー面を有していて縮小することにより上記軸の外周を保持し、
上記角度割り出し機構は、回転多面鏡の各鏡面を加工するために上記保持手段を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出すものであることを特徴とする回転多面鏡加工装置。
【請求項５】
回転多面鏡と一体の軸には位置決め部材が嵌められ、この位置決め部材は保持手段によって位置規制され、上記軸の中心が保持手段の中心に合わせられる請求項４記載の回転多面鏡加工装置。
【請求項６】
拡縮部は、この拡縮部によって保持される回転多面鏡と一体の軸の材質よりも硬度の低い金属または非金属からなる請求項４記載の回転多面鏡加工装置。
【請求項７】
拡縮部は、回転多面鏡と一体の軸と当接する介在部材を有する請求項４記載の回転多面鏡加工装置。
【請求項８】
介在部材は、この介在部材によって保持される回転多面鏡と一体の軸の材質よりも硬度の低い金属または非金属からなる請求項７記載の回転多面鏡加工装置。
【請求項９】
回転操作体と、拡縮部と、運動変換手段とを具備する保持手段を用い、
上記回転操作体を回転操作することにより、この回転力を上記運動変換手段が上記拡縮部に伝達して拡縮部を拡大縮小させ、この拡縮部の拡大縮小によって回転多面鏡と一体の回転中心部材を上記保持手段の拡縮部で保持し、
角度割り出し機構により上記保持手段を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出して回転多面鏡の各鏡面を加工する回転多面鏡加工方法であって、
回転多面鏡と一体の回転中心部材が筒状の部材の場合、保持手段の拡縮部が拡大して上記筒状の部材の内周を保持することを特徴とする回転多面鏡加工方法。
【請求項１０】
回転操作体と、拡縮部と、運動変換手段とを具備する保持手段を用い、
上記回転操作体を回転操作することにより、この回転力を上記運動変換手段が上記拡縮部に伝達して拡縮部を拡大縮小させ、この拡縮部の拡大縮小によって回転多面鏡と一体の回転中心部材を上記保持手段の拡縮部で保持し、
角度割り出し機構により上記保持手段を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出して回転多面鏡の各鏡面を加工する回転多面鏡加工方法であって、
回転多面鏡と一体の回転中心部材が軸の場合、保持手段の拡縮部が縮小して上記軸の外周を保持することを特徴とする回転多面鏡加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複写機、レーザービームプリンター、ファクシミリなどの画像形成装置、画像読取装置等の光偏向器として用いることができる回転多面鏡の加工装置および加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザー複写機、レーザービームプリンター、レーザーファクシミリなどに用いられる画像形成装置、画像読取装置では、レーザー光を感光体または原稿上で主走査方向に走査しながら感光体または原稿を副走査方向に移動させることにより、感光体上に所定の静電潜像を形成し、または原稿上の画像を読み取る。レーザー光を主走査方向に走査するために光偏向器が用いられ、光偏向器として一般には回転多面鏡が用いられる。回転多面鏡は外周面に複数の光反射面が等間隔に形成されていて、これをモータによって高速回転駆動しながら上記光反射面にレーザービームを照射すると、レーザービームは各光反射面ごとに偏向され、感光体または原稿上を走査し、上記のように静電潜像の形成や画像読み取りを行うことができる。回転多面鏡の各光反射面の表面粗さ、平面度、面倒れ精度等を含む加工、組立精度は、走査光の集光スポット精度、走査ピッチ精度等に大きく影響するため、回転多面鏡の各光反射面の加工精度は厳しく管理する必要がある。
【０００３】
図１５〜図１７は、回転多面鏡の例と、その従来の加工装置の例および上記回転多面鏡を用いたスキャナモータのロータ部分の例を示す。図１５に示す回転多面鏡７１は、中心孔７８を有するとともに周方向に等間隔に複数（図示の例では６個）の光反射面を有している。このような回転多面鏡７１を得るための加工装置は、図１６に示すように、加工治具８０、治具ベース１８、角度割り出し盤１６、回転工具３１等を有してなる。加工治具８０は、治具ベース１８に縦向きに固定され、上下方向の中心より下方寄りに鍔部８２を有し、上半部に小径の回転多面鏡保持部８４を有し、さらにその上にねじ部８５を有している。回転多面鏡保持部８４には複数個の回転多面鏡７１の上記中心孔７８が嵌められることによって複数個の回転多面鏡７１が重ねられている。上記ねじ部８５には座金状のクランパー８６が嵌められ、さらにその上から締め付けねじ８８がねじ込まれている。ねじ８８の締め付けによってクランパー８６の下端面が回転多面鏡保持部８４を下方に押し、加工治具８０の上記回転多面鏡保持部８４の下端である段部とクランパー８６との間で複数個の回転多面鏡７１が強固に保持されている。
【０００４】
複数個の回転多面鏡７１を保持した加工治具８０は、その下端部が治具ベース１８の取付孔に挿入され、この取付孔の周縁に上方に突出して形成された突堤１９に加工治具８０の鍔部８２が当接している。そして、この状態で治具ベース１８が加工治具８０に強固に固定されるように適宜の固定手段が用いられる。治具ベース１８は角度割り出し機構１６の上に取り付けられている。角度割り出し機構１６は治具ベース１８を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出すことができる。
【０００５】
上記のようにして固定された加工治具８０で保持されている複数個の回転多面鏡７１の側方には回転工具３１がある。回転工具３１は水平方向の回転軸３７を中心として回転駆動され、回転多面鏡７１との対向面側に加工工具３３が取り付けられている。回転工具３１は、これを回転軸３７を中心として回転駆動しながら水平方向と垂直方向に移動させることにより、回転多面鏡７１の一つの光反射面を切削加工することができる。一つの光反射面の加工が終了したなら、角度割り出し機構１６によって治具ベース１８および回転多面鏡７１とともに加工治具８０を回転させながら所定の回転角度を割り出し、その位置で治具ベース１８を固定して回転工具３１により同様に別の光反射面を加工する。このようにして順次光反射面を加工し、全ての光反射面の加工が終了したら加工治具８０から回転多面鏡７１を取り外す。
【０００６】
加工済の回転多面鏡７１はスキャナモータのロータに一体に取り付けられる。図１７はその例で、カップを下向きにした形のロータヨーク７５は上面に円形の膨出部７９を有し、この膨出部７９に回転多面鏡７１の中心孔７８が嵌められる。ロータヨーク７５は軸孔を有し、この軸孔に軸７４が圧入されて、ロータヨーク７５に軸７４が一体に取り付けられている。軸７４には回転多面鏡７１の上から押さえ板７２が嵌められ、その上から止めリング７３が軸７４にはめられることにより、押さえ板７２の介在のもとにロータヨーク７５に回転多面鏡７１が一体に取り付けられている。ロータヨーク７５の内周面には円筒状のロータマグネット７６が固着されている。周知のように、ロータマグネット７６は図示されないステータコアの外周面と対向し、ステータコアに巻かれた複数のコイルへ通電し、また通電を切り換えることにより、回転多面鏡７１とともにロータを回転させることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、回転多面鏡を回転駆動するスキャナモータは、技術の進歩に伴い回転の高速化が要求される。高速回転化に伴い、ロータの回転中心に対する回転多面鏡の中心位置精度や、各光反射面の面精度その他の面状態が高精度であることが要求される。仮に、これらの要求精度を満たしていないとすれば、回転中心のずれ、偏重心等によって円滑な回転状態を得ることができず、高速化が不可能であるとか、振動、騒音の原因となる、というような様々な問題を生じる。
【０００８】
しかるに、図１６に示したような従来の回転多面鏡の加工装置、ないしは加工方法によれば、回転多面鏡単独で加工し、加工後、何点かの部品とともに組み付けてロータを構成するものであるため、個々の部品が有する加工誤差が積み上げられ、これに組付時の誤差が加わり、高速回転に要求される精度を得ることは非常に難しい。ここで、要求精度の例を挙げて比較しながら説明すると、鏡面加工された光反射面の平面度（以下これを「面精度」という）は、現状では４／５λ（λ＝６３３ｎｍ）であるにの対し、要求精度は１／４λである。また、ロータヨークの回転中心線に対する鏡面加工された各光反射面の平行度（以下これを「面倒れ」という）は、現状が１００秒であるのに対し、２５秒が要求されている。
【０００９】
現状と同じ構成部品で高速回転に要求される精度を満足させようとすると、各部品単位の精度を今まで以上に高精度化しなければならず、部品コストが高騰する。例えば、図１７に示す例では、ロータヨーク７５に回転の中心となる軸７４が圧入により一体に取り付けられ、その後ロータヨーク７５の上面に、その膨出部７９に回転多面鏡７１の中心孔がはめられることにより回転多面鏡７１が取り付けられる。この回転多面鏡７１の取り付け時に、ロータの回転中心線となる軸７４とロータヨーク７５上面との直角度、これに加えてロータヨーク７５上面に取り付けられる回転多面鏡７１の底面と各光反射面との直角度が面倒れ精度となる。そのため、軸７４、ロータヨーク７５、回転多面鏡の各部品の精度向上、さらに、これら各部品の組付精度などの向上を図る必要があり、部品コストの高騰、組立コストの高騰の要因となっていた。
【００１０】
また、図１６について説明したように、回転多面鏡の光反射面は切削加工によって鏡面仕上げされるが、その切削加工中は加工工具が回転多面鏡の被削面に接触するため、切削加工抵抗が発生する。上記回転工具３１のような工具を使用した加工方法では、加工工具３３が回転工具３１の回転軸３７を中心として回転し、被削物である回転多面鏡は固定されているため、加工工具３３が被削面に接触している間は切削加工抵抗が工具３３の回転方向に発生する。この切削加工抵抗は、被削面とこの被削面を有する回転多面鏡本体を変形させる力として作用する。被削面から加工工具３３が抜けると、それまで被削面および回転多面鏡本体を変形させていた力はゼロとなり、被削物を元に戻そうとする反発力が発生する。この被削物を元に戻そうとする反発力が発生した直後に、回転してきた次の加工工具３３が再度被削面に接触し、被削面および回転多面鏡本体を変形させようとする切削加工抵抗が発生する。このような、被削面および回転多面鏡本体を変形させようとする切削加工抵抗と、この抵抗がゼロとなって被削物である回転多面鏡を元に戻そうとする反発力とが交互に繰り返して発生し、被削面の加工が終了するまで続く。
【００１１】
このようにして、被削面に切削加工抵抗と反発力とが交互に継続して発生し、被削面が微小ではあるが動かされる。この動きのことを加工の現場では被削物の「ビビリ」といい、回転多面鏡の鏡面加工においてビビリが大きいと、面精度を悪化させる原因となる。このビビリの大きさは、切削抵抗のかかる点（以下これを「力点」という）と被削面にかかる切削加工抵抗に対して支えとなる支点との距離に関係し、上記力点と支点との距離が長くなればなるほどビビリも大きくなる。ビビリが大きくなると、加工された光反射面の面精度も悪くなるので、力点と支点との距離を極力短くして鏡面加工を行うのが望ましい。
【００１２】
本発明は以上のような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、第１の目的は、各構成部品の精度向上、組付精度向上を低コストで容易に図ることができ、もって、回転の高速化の要求に低コストで応えることができる回転多面鏡加工装置および加工方法を提供することにある。
本発明の第２の目的は、加工時に、回転多面鏡と一体の回転中心部材に傷が付かないように工夫して、回転むらによる形成画像の品質低下、読み取り品質の低下を防止し、かつ、画像形成装置または読取装置の短命化を防止することができる回転多面鏡加工装置および加工方法を提供することにある。
本発明の第３の目的は、加工時に、加工抵抗がかかる力点と加工抵抗に対して支えとなる支点との距離を短くすることを可能にして、加工時の回転多面鏡のいわゆるビビリを抑え、加工された光反射面の面精度を高めることができる回転多面鏡加工装置および加工方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、筒状の回転中心部材を有する回転多面鏡の加工装置であって、回転操作される回転操作体と、拡大し縮小することによって回転多面鏡と一体の上記回転中心部材を保持しこの保持を解除する拡縮部と、上記回転操作体の回転運動を上記拡縮部に伝達して拡縮部を拡大させ縮小させる運動変換手段とを具備する保持手段が角度割り出し機構に取り付けられ、上記拡縮部は、軸線方向へ移動する移動体とともに内外に配置されており、上記移動体は、軸線方向への移動によって拡縮部を拡大させ縮小させるテーパー面を有するとともに、上記回転中心部材の中心孔にはまって回転多面鏡の回転中心位置出しを行う位置出し部を有し、上記角度割り出し機構は、回転多面鏡の各鏡面を加工するために上記保持手段を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出すものであることを特徴とする。
【００１４】
拡縮部は、請求項２記載の発明のように、この拡縮部によって保持される回転多面鏡と一体の回転中心部材よりも硬度の低い金属または非金属から構成することができる。
保持手段の拡縮部は、請求項３記載の発明のように、拡大することによって回転多面鏡の筒状の回転中心部材を保持するように構成することができる。
【００１５】
請求項４記載の発明は、モータのロータヨークと一体に設けられるとともに回転中心部材として軸を一体に有する回転多面鏡の加工装置であって、回転操作される回転操作体と、拡大し縮小することによって回転多面鏡と一体の上記軸を保持しこの保持を解除する拡縮部と、上記回転操作体の回転運動を上記拡縮部に伝達して拡縮部を拡大させ縮小させる運動変換手段とを具備する保持手段が角度割り出し機構に取り付けられ、上記拡縮部は、軸線方向への移動によって拡縮部を拡大し縮小するテーパー面を有していて縮小することにより上記軸の外周を保持し、上記角度割り出し機構は、回転多面鏡の各鏡面を加工するために上記保持手段を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出すものであることを特徴とする。
【００１６】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、回転多面鏡と一体の軸には位置決め部材が嵌められ、この位置決め部材は保持手段によって位置規制され、上記軸の中心が保持手段の中心に合わせられていることを特徴とする。
請求項６記載の発明は、請求項４記載の発明において、拡縮部は、この拡縮部によって保持される回転多面鏡と一体の軸の材質よりも硬度の低い金属または非金属からなることを特徴とする。
【００１７】
請求項７記載の発明は、請求項４記載の発明において、拡縮部は、回転多面鏡と一体の軸と当接する介在部材を有することを特徴とする。
請求項８記載の発明は、請求項４記載の発明において、介在部材は、この介在部材によって保持される回転多面鏡と一体の軸の材質よりも硬度の低い金属または非金属からなることを特徴とする。
【００１８】
請求項９記載の発明は、回転操作体と、拡縮部と、運動変換手段とを具備する保持手段を用い、上記回転操作体を回転操作することにより、この回転力を上記運動変換手段が上記拡縮部に伝達して拡縮部を拡大縮小させ、この拡縮部の拡大縮小によって回転多面鏡と一体の回転中心部材を上記保持手段の拡縮部で保持し、角度割り出し機構により上記保持手段を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出して回転多面鏡の各鏡面を加工する回転多面鏡加工方法であって、回転多面鏡と一体の回転中心部材が筒状の部材の場合、保持手段の拡縮部が拡大して上記筒状の部材の内周を保持することを特徴とする。
【００１９】
請求項１０記載の発明は、回転操作体と、拡縮部と、運動変換手段とを具備する保持手段を用い、上記回転操作体を回転操作することにより、この回転力を上記運動変換手段が上記拡縮部に伝達して拡縮部を拡大縮小させ、この拡縮部の拡大縮小によって回転多面鏡と一体の回転中心部材を上記保持手段の拡縮部で保持し、角度割り出し機構により上記保持手段を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出して回転多面鏡の各鏡面を加工する回転多面鏡加工方法であって、回転多面鏡と一体の回転中心部材が軸の場合、保持手段の拡縮部が縮小して上記軸の外周を保持することを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図１４を参照しながら本発明に係る回転多面鏡加工装置および加工方法の実施の形態について説明する。
図１〜図４は回転多面鏡がその回転中心部材として筒状の部材を有する形式の加工装置および加工方法の実施の形態を示す。図１において、回転多面鏡１１は周面に適宜数の平滑な光反射面を周方向に等間隔で有するとともに、下面側に円形の凹部を有し、この凹部に筒状の部材からなる回転中心部材１２の一端部が嵌合されて回転多面鏡１１と一体に設けられている。上記回転中心部材１２の外周側には扁平なカップ状のロータヨーク１３が嵌合されて固着され、ロータヨーク１３の周壁内周面にはロータマグネット１４が固着されている。上記筒状の部材１２は、例えば空気動圧軸受の回転側の軸受部材を構成していて、内周面に対向させて動圧軸受の固定側の軸受部材を配置し、回転側と固定側の軸受部材の相対向する面の少なくとも一方側に動圧発生用グルーブを形成することにより、上記回転多面鏡１１、筒状の部材１２、ロータヨーク１３、ロータマグネット１４を含むロータを無接触で回転自在に支持することができる。周知の通り、ロータマグネット１４の内周面はステータコアの外周面と適宜の間隙をおいて対向し、ステータコアの各突極に巻かれた駆動コイルへの通電を切り換えることによって上記ロータを回転駆動することができる。
【００２２】
上記回転多面鏡１１の加工装置の実施形態を図２に示す。図２において、符号１６は角度割り出し機構を示す。この角度割り出し機構１６の上には治具ベース１８が載せられている。治具ベース１８は回転多面鏡加工治具２０をはめるための縦方向に向いた円筒状の中心孔を有し、この中心孔の上面周縁が立ち上がった円形の突堤１９を有している。上記加工治具２０は、縦方向に向けた状態で下端寄りの位置に鍔部２２を有している。円筒面をなす加工治具２０の下部を治具ベース１８の上記中心孔にはめることにより上記鍔部２２の下面が治具ベース１８の突堤１９に当たり、加工治具２０が上下方向に位置決めされるとともに、加工治具２０の中心軸線が治具ベース１８の中心軸線に合致するように位置決めされている。また、治具ベース１８の中心軸線は角度割り出し機構１６の回転中心軸線と一致するようにあらかじめ調整してある。
【００２３】
図３にも示すように、加工治具２０の上端部外周にはねじ２４が形成されていて、このねじ２４にはリング状の回転操作体３０がねじ込まれ、その上からロックナット３２がねじ込まれている。加工治具２０の上端には拡縮部３４が配置されている。拡縮部３４は工作機械などにおいてワークやバイトなどを保持するチャックに類似のものと考えてよく、周方向に等間隔に分割されることによって形成された複数個の部分円筒状の部材が全体として円筒形をなすように配置されている。拡縮部３４は適宜のばね付勢力により径を拡大する向きに付勢されている。拡縮部３４と加工治具２０の上端部中心孔に、軸線方向への移動体として位置出しテーパーピン２６が上下方向に移動可能に挿入されている。加工治具２０の上端近くに形成された孔とテーパーピン２６の下端部に形成された孔を水平方向に貫いてピン２８が挿入されている。加工治具２０の上記孔は上下方向の長孔となっていてこの長孔の範囲でピン２８が相対移動可能であるのに対し、テーパーピン２６の孔に対してはピン２８が相対移動不可能にまたはこれに近い状態で嵌められている。
【００２４】
テーパーピン２６の上端部外周面は、上から下に向かって連続的に径が小さくなるテーパー面２５になっていて、このテーパー面２５に対向する拡縮部３４の内周面も、上記テーパー面２５に接するテーパー面となっている。従って、テーパーピン２６が上下動すると、テーパー面２５が拡縮部３４の内周面を外側に向かって押し、また、テーパー面２５が拡縮部３４の内周面から逃げて拡縮部３４の径が拡大し、また、縮小するようになっている。この拡縮部３４の外周には、加工しようとする回転多面鏡１１と一体の前記回転中心部材１２の中心孔が挿入される。そして、テーパーピン２６の上端部外周には、上記のように拡縮部３４に回転中心部材１２の中心孔を挿入したとき、回転中心部材１２の中心孔面に摺接して回転中心部材１２および回転多面鏡１１の位置出しを行い、加工治具２０の中心軸線と回転多面鏡１１の中心軸線とを一致させるための鍔状の位置出し部２７を一体に有している。上記ピン２８の両端部は加工治具２０の外周面から突出していて、このピン２８の突出両端部上面には前記回転操作体３０が当たっている。また、回転操作体３０の下端外周部にはピン２８の両端を覆う周壁３０ａが一体に形成されている。
【００２５】
加工治具２０に対して回転操作体３０を回転操作すると、回転操作体３０が加工治具２０のねじ２４に沿って上下動し、この回転操作体３０の上下動に伴いピン２８、テーパーピン２６が上下動し、テーパーピン２６のテーパー面２５によって拡縮部３４が拡大し縮小する。拡縮部３４が拡大することによってその外周面を上記回転中心部材１２の中心孔周面に当接させ、回転中心部材１２とともに回転多面鏡１１を保持することができる。上記ピン２８、テーパーピン２６、そのテーパー面２５は、回転操作体３０の回転運動を上記拡縮部３４に伝達して拡縮部３４を拡大させ縮小させる運動変換手段を構成している。また、上記回転操作体３０、上記運動変換手段および拡縮部３４は、回転多面鏡１１の保持手段１０を構成している。拡縮部３４は、軸線方向への移動体である上記テーパーピン２６とともに内外に配置されて二重構造になって、上記テーパーピン２６の移動によって拡大し縮小して回転多面鏡１１と一体の回転中心部材１２を保持し、この保持を解除することができる。前記ロックナット３２は、上記のように回転多面鏡１１を保持した状態で回転させ、回転操作体３０に押し付けることにより、回転操作体３０の緩みを防止することができる。
【００２６】
前記角度割り出し機構１６は、治具ベース１８を介して上記保持手段１０を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出すことができる。保持手段１０の側方には回転工具３１が配置されている。図１６において説明したように、回転工具３１は水平方向の回転軸３７を中心として回転駆動され、回転多面鏡１１との対向面側に加工工具３３が取り付けられていて、上記回転軸３７を中心として回転駆動しながら水平方向と垂直方向に移動させることにより、回転多面鏡１１の一つの光反射面を加工することができる。一つの光反射面の加工が終了したなら、角度割り出し機構１６によって治具ベース１８および回転多面鏡１１とともに加工治具２０を回転させながら所定の回転角度を割り出し、その位置で治具ベース１８を固定して回転工具３１により同様に別の光反射面を加工することができる。
【００２７】
以上説明した回転多面鏡加工装置を用いた回転多面鏡加工方法について順を追って説明する。まず、拡縮部３４を縮小させた状態でその外周に回転多面鏡１１と一体の回転中心部材１２の内周側をはめる。このとき、位置出し部２７が回転中心部材１２の内周に摺接し、保持手段１０に対する回転多面鏡のおおよその中心位置出しが行われる。次に回転操作体３０を回転操作してねじ２４に沿い下に向かって移動させ、回転操作体３０でピン２８を押し下げてテーパーピン２６を下降させる。これにより前述のとおり拡縮部３４が拡大し、拡縮部３４の外周面が回転中心部材１２の内面に当接して回転多面鏡１１が保持手段１０によって強固に保持される。この保持状態をロックナット３２の締め付けによって維持することができる。保持手段１０によって回転多面鏡１１を保持した状態では、加工治具２０の中心軸線と保持手段１０の中心軸線とが一致している。
【００２８】
次に回転工具３１を駆動し、回転多面鏡１１の一つの光反射面を鏡面加工する。一つの光反射面の鏡面加工が終了したら、角度割り出し機構１６によって治具ベース１８および回転多面鏡１１とともに加工治具２０を回転させながら所定の回転角度を割り出し、その位置で治具ベース１８を固定して回転工具３１により同様に別の光反射面を加工する。上記角度割り出し機構１６の回転中心軸線と加工治具２０および回転中心部材１２の中心軸線は一致しているため、鏡面加工された各光反射面は、回転中心部材１２の中心軸線との相対位置関係が精度よく仕上げられる。このようにして順次光反射面を加工し、全ての光反射面の加工が終了したら加工治具２０から回転多面鏡１１を取り外す。
【００２９】
以上説明した実施の形態によれば、保持手段１０の回転操作体３０を回転操作して拡縮部３４を拡大させることにより、回転多面鏡１１と一体の筒状の回転中心部材１２を保持し、角度割り出し機構１６により上記保持手段１０を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出しながら回転多面鏡１１の各鏡面を加工するようにしたため、拡縮部３４が均等に拡大することにより回転多面鏡１１の中心軸線が回転多面鏡加工治具２０の中心線に一致し、角度割り出し機構１６によって回転多面鏡１１とともに加工治具２０を回転させ所定の回転角度を割り出しながら、回転多面鏡１１の各光反射面を回転中心軸に対する位置精度および平行度を良好に保ち、精度よく鏡面加工することができる。
【００３０】
しかも、回転多面鏡１１と一体の回転中心部材１２を拡縮部３４で保持して鏡面加工するため、状来の加工装置および加工方法のように回転多面鏡単独で加工するものと異なり、個々の部品の精度誤差の積み上げがなく、面倒れ精度の良好な回転多面鏡を容易にローコストで得ることができる。また、部品組付による精度誤差の積み上げも少なく、この点からも精度の良い回転多面鏡をすることができる。このように精度よく鏡面加工することができるため、回転多面鏡を用いた光走査装置の高速化、高品質化を図ることができる。
【００３１】
拡縮部３４による回転多面鏡１１と一体の筒状の回転中心部材１２の保持力が弱いと、加工時に回転多面鏡１１が動き、加工された光反射面の面精度が悪化し、場合によっては、回転多面鏡１１が動いて回転中心部材１２や加工治具２０、回転工具３１などに過大な負荷がかかり、これらを損傷させる原因となる。逆に拡縮部３４による回転中心部材１２の保持力が強いと、回転中心部材１２や回転多面鏡１１を変形させた状態で保持することになるため、この状態で加工し、拡縮部３４を縮小させて回転中心部材１２とともに回転多面鏡１１を取り外すと、回転中心部材１２および回転多面鏡１１の変形が戻り、回転多面鏡１１の加工面が変形して面精度を悪化させることになる。しかし、前述の実施の形態によれば、回転操作体３０の回転によってテーパーピン２６を下降させ、拡縮部３４を均一に拡大させて上記回転中心部材１２を保持するため、回転中心部材１２および回転多面鏡１１の変形が少なく、また、例えば回転操作体３０の回転トルクを管理することによって保持力を管理することができるため、保持力の過不足による上記のような不具合を防止することができる。
【００３２】
拡縮部３４が回転多面鏡１１と一体の回転中心部材１２に当接することによって回転中心部材１２の内周面に傷が付くと、回転多面鏡１１の回転精度、寿命等に悪影響を及ぼすことになる。そこで、拡縮部３４で回転中心部材１２を保持したとき回転中心部材１２の内周面に傷が付かないように、拡縮部３４は回転中心部材１２よりも硬度の低い金属または非金属からなることが望ましい。
また、図４に示すように、拡縮部３４の外周に回転中心部材１２よりも硬度の低い金属または非金属からなるカラー３８を取り付け、拡縮部３４が拡大したとき、上記カラー３８が回転中心部材１２の内周面に当接して回転中心部材１２を保持するようにしてもよい。こうすることによって、拡縮部３４で回転中心部材１２を保持したとき回転中心部材１２の内周面に傷が付くことを防止することができる。図４に示す実施の形態は、カラー３８を有する点以外は図３に示す構成と同じであるから、説明は省略する。
【００３３】
本発明の技術思想は、回転多面鏡と一体の回転中心部材として、筒状の部材ではなく、円柱状の軸を有するものにも適用することができる。図５〜図８はその実施の形態を示す。図５は回転多面鏡４１を含むモータのロータ４０の例を示すもので、回転多面鏡４１は円筒状のロータヨーク４２と一体に成形され、回転多面鏡４１の回転中心位置に形成された中心孔には回転中心部材として円柱状の軸４３が圧入されて、回転多面鏡４１と一体に軸４３が設けられている。ロータヨーク４２の内周面には円筒状のロータマグネット４４が固着されている。軸４３は適宜のラジアル軸受によってその中心軸線を中心にして回転可能に保持される。ロータマグネット４４の内周面は図示されないステータコアの外周面と間隙をおいて対向し、ステータコアの複数の突極に巻かれた駆動コイルへの通電を制御することによってロータ４０が回転駆動される。
【００３４】
上記回転多面鏡４１の加工装置および加工方法の実施の形態を図６〜図８に示す。図６、図７に示す加工装置の大半は図２、図３に示す加工装置と同様に、角度割り出し機構１６、治具ベース１８、ピン２８、回転操作体３０、回転工具３１、ロックナット３２等を有し、同様に構成されている。この加工装置が図２、図３に示す加工装置と異なる点は、保持手段１０の構成である。治具ベース１８の中心孔にはめて固定される加工治具６０は、図２、図３に示す例の加工治具２０と外観上はよく似ていて、治具ベース１８の突堤１９に当接する鍔部６２を有しており、さらに、加工治具６０の筒状上端部６４の内周側にテーパーピン状の部材が配置されて二重構造になっているが、図２、図３に示す例と異なって、上記内側のテーパーピン状の部材が拡縮部５０となっている。上記筒状上端部６４に形成された上下方向の長孔と拡縮部５０の下端部に形成された嵌合孔とを貫いてピン２８が水平方向に嵌められ、図２、図３に示す例と同様に、回転操作部材３０の回転操作に伴い、ピン２８を介して拡縮部５０が上下方向に移動するようになっている。
【００３５】
拡縮部５０は前述のチャックに類似した構成になっており、周方向に等間隔に分割されることによって形成された複数個の部材が全体として円筒形をなすように配置され、適宜のばね付勢力により、径を縮小する向きに付勢されている。拡縮部５０の上部外周面は上から下に向かって連続的に径が小さくなるテーパー面５２になっていて、このテーパー面５２に対向する上記筒状上端部６４の内周面も、上記テーパー面５２に接するテーパー面となっている。従って、拡縮部５０が上下動すると、テーパー面５２が上記筒状上端部６４のテーパー面に沿って内側に向かって押され、また、テーパー面５２が筒状上端部６４のテーパー面に沿って外側に広がり、もって拡縮部５０の中心孔５４の径が拡大し、また、縮小するようになっている。
【００３６】
拡縮部５０が拡大している状態でその中心孔５４に前記回転多面鏡４１と一体の軸４３が嵌められるが、その前に軸４３に位置決め部材７０が嵌められる。位置決め部材７０は扁平なカップを伏せた形の部材で、軸４３が貫通する中心孔と内周壁面との相対位置関係が精度よく加工されている。位置決め部材７０の中心孔に軸４３を貫通させた状態で軸４３を拡縮部５０の中心孔５４に挿入したとき、位置決め部材７０の周壁内面が上記筒状上端部６４の外周面に沿って嵌まる。この状態で回転操作体３０を回転操作し、ピン２８を介して拡縮部５０を下降させると、上記のように拡縮部５０が縮小する。このとき拡縮部５０は縮小しながら下降し、これに伴って位置決め部材７０が上記筒状上端部６４と回転多面鏡４１との間に挟み込まれ上下方向に位置規制される。そして、この位置決め部材７０によって保持手段１０に対する軸４３の位置が規制されて保持手段１０の中心軸線と軸４３の中心軸線とが一致する。
【００３７】
ここにおいて角度割り出し機構１６による加工治具６０の回転中心軸線と軸４３の回転中心軸線とが一致し、角度割り出し機構１６により回転角度を割り出しながら回転工具３１を駆動し、回転多面鏡の各光反射面を鏡面加工する。こうして、前述の実施の形態と同様に回転多面鏡４１の回転中心となる軸４３の中心軸線に対し各光反射面が位置精度よくかつ面倒れ精度よく加工される。全ての光反射面の鏡面加工が終了したら、回転操作体３０を逆向きに回転操作して拡縮部５０を拡大させ、軸４３、回転多面鏡４１等を一体に有するロータ４０を取り外す。
【００３８】
前述の実施の形態では、拡縮部が拡大することによって回転多面鏡と一体の回転中心部材を保持し、各光反射面を鏡面加工するものであるのに対し、図５〜図７に示す実施の形態は、拡縮部５０が縮小することによって、回転多面鏡４１と一体の部材である軸４３を保持し、各光反射面を鏡面加工する点で異なるものであるが、両者は技術的には共通のものであり、共通の作用効果を奏する。
【００３９】
拡縮部を縮小させて回転多面鏡と一体の回転中心部材を保持する場合も、回転中心部材に傷を付けないようにすることが望ましい。そこで、拡縮部５０は、この拡縮部５０によって保持される回転多面鏡４１と一体の部材である軸４３の材質よりも硬度の低い金属または非金属で形成するのが望ましい。
また、図８に示すように、拡縮部５０の内周側に上記軸４３の材質よりも硬度の低い金属または非金属で形成したスリーブ状の介在部材７２を嵌め、この介在部材７２を介して上記軸４３を挟持するようにしてもよい。
【００４０】
図６〜図８に示す実施の形態において、回転多面鏡４１の光反射面を切削加工するとき、各部に力がかかる。この力がかかる各点を図９に示す。前記回転工具３３は被削面１００に接触しながら、図９に示すように上から下に移動して被削面１００を切削加工する。このとき被削面１００と工具３３との接触点に切削加工抵抗が生じ、これが力点１０１となる。図示の例では、力点１０１に回転多面鏡４１を上から下に押しつける力が生じる。このときの支点１０２は、軸４３を挟持している拡縮部５０の上端にある。軸４３と回転多面鏡４１との連結部が作用点１０３となり、この作用点１０３を経由して、上記支点１０２を中心に、回転多面鏡４１を下方に押しつける力が働く。上記力点１０１から支点１０２までの距離が長いと、加工中に生じる前述のいわゆるビビリが大きくなり、加工精度等の上から望ましくない。図９に示す例では力点１０１から支点１０２までの距離が比較的長くなっているので、この距離をなるべく短くするのが望ましい。
【００４１】
図６〜図８に示す実施の形態では、保持手段１０に取り付けられた位置決め部材７０によって保持手段１０に対する軸４３の位置を規制し、保持手段１０の中心軸線と軸４３の中心軸線とを一致させている。上記位置決め部材の形状を工夫してこれを有効に利用することにより、力点１０１から支点１０２までの距離を短くすることができる。その実施の形態を図１０、図１１に示す。
【００４２】
図１０において、位置決め部材１０５は、扁平な二つのカップを背中合わせにした形、換言すれば、円筒の中心軸線方向中央に底部を一体に形成することにより、底部の上下にそれぞれ円筒部１０６、１０７を形成した形をしている。位置決め部材１０５の下側の円筒部１０６は、その内周壁面が前記加工治具６０の筒状上端部６４の外周面に上から嵌まっている。位置決め部材１０５の中心孔に軸４３を貫通させた状態で軸４３を拡縮部５０の中心孔に挿入することにより、保持手段１０の中心軸線と軸４３の中心軸線とを一致させることができる。一方、位置決め部材１０５の上側の円筒部１０７の上面に回転多面鏡４１の内側天井面を当接させる。この状態で拡縮部５０を縮小させ、軸４３を挟持して、前述のように回転多面鏡４１の各光反射面を鏡面加工する。
【００４３】
図１０に示す例によれば、加工時の力点１０１に近い位置で位置決め部材１０５の上側の円筒部１０７と回転多面鏡４１の天井面を当接させ、この当接面を加工抵抗に対する支持面、すなわち支点１０２としているため、力点１０１と支点１０２との距離が短くなり、加工時の回転多面鏡４１のいわゆるビビリの発生が抑制され、加工された光反射面の面精度を高めることができる。
【００４４】
図１１に示す実施の形態は、図６〜図８に示す実施の形態における回転多面鏡と同じ構成の回転多面鏡４１を加工するものであるが、この回転多面鏡４１を上下反転させた姿勢で加工するものである。図１１において、位置決め部材１１０は、下側に前記加工治具６０の筒状上端部６４の外周面に上から嵌まる円筒面１１１と、上側に回転多面鏡４１の端面が当接する周壁１１２とを有してなる。回転多面鏡４１を上下反転させ、位置決め部材１１０の中心孔に回転多面鏡４１と一体の軸４３を貫通させた状態で、軸４３を拡縮部５０の中心孔に挿入する。これにより、保持手段１０の中心軸線と軸４３の中心軸線とを一致させることができる。一方、位置決め部材１１０の上記周壁１１２の上面に回転多面鏡４１の端面を当接させる。この状態で拡縮部５０を縮小させ、軸４３を挟持して、前述のように回転多面鏡４１の各光反射面を鏡面加工する。
【００４５】
図１１に示す実施の形態においても、加工時の力点１０１に近い位置で位置決め部材１１０の上側の周壁１１２と回転多面鏡４１の端面を当接させ、この当接面を、加工抵抗に対する支持面、すなわち支点１０２としているため、力点１０１と支点１０２との距離が短くなり、加工時の回転多面鏡４１のいわゆるビビリの発生が抑制され、加工された光反射面の面精度を高めることができる。
【００４６】
図５〜図１１に示す回転多面鏡４１は、モータのロータケースを兼ねており、円筒状のロータヨーク４２を一体に有している。ロータヨーク４２の内周面にはロータマグネット４４が圧入によって固着されている。ロータマグネット４４の圧入によってロータヨーク４２が歪むことがあり得るが、ロータヨーク４２は鏡面加工面１００である光反射面から軸線方向にずれた位置にあり、かつ、ロータヨーク４２は比較的薄肉になっているため、ロータヨーク４２の歪みが鏡面加工面１００に至ることはなく、鏡面加工面１００の精度を損なうことがないような形状になっている。
【００４７】
図１２に示す実施の形態における回転多面鏡は、図５〜図１１に示す実施の形態における回転多面鏡の変形例というべきものである。図１２において、回転多面鏡１４１は、外周面に鏡面１００からなる複数の光反射面を有する円板状の部分と、その下面側に突出して一体に形成された円筒状のロータヨーク１４２と、上記円板状の部分の上側に突出して一体に形成された小径の有底筒部１４５とを有してなる。ロータヨーク１４２の内周面にはロータマグネット１４４が圧入によって固着されている。上記有底筒部１４５の中心には軸１４３が圧入され、軸１４３が回転多面鏡１４１と一体に、かつ、ロータヨーク１４２側に伸び出た形で固着されている。
【００４８】
このように構成された回転多面鏡１４１の場合も、ロータヨーク１４２は被削面１００から軸線方向にずれた位置にあり、かつ、ロータヨーク１４２は比較的薄肉になっているため、ロータヨーク１４２の歪みが被削面１００に至ることはない。さらに、軸１４３の圧入位置も、被削面１００から軸線方向にずれた位置である有底筒部１４５の底部中心にあるため、軸１４３の圧入によって生じるロータヨーク１４２の歪みが被削面１００に至ることはなく、被削面１００の精度を損なうことがないような形状になっている。
【００４９】
ところで、図１２に示す実施の形態では、図９に示す位置決め部材７０と同じ構成の位置決め部材７０を有しており、力点１０１である被削面１００と工具３３との接触点と、軸４３を挟持している拡縮部５０の上端の支点１０２と、軸４３と回転多面鏡４１との連結部の作用点１０３との関係が図９に示す例とほぼ同様になり、力点１０１から支点１０２までの距離が比較的長くなっている。この距離は、前述のようになるべく短くするのが望ましい。力点１０１から支点１０２までの距離を短くした実施の形態を図１３、図１４に示す。
【００５０】
図１３に示す実施の形態は、位置決め部材１１５の形状を、フランジ１１７付の扁平なカップ状とし、これを伏せた姿勢で上記カップの内周面を前記加工治具６０の筒状上端部６４の外周面に上から嵌め、上記フランジ部１１７に上記ロータヨーク１４２の下端面を当接させたものである。位置決め部材１１５の中心孔に軸１４３を貫通させた状態で軸１４３を拡縮部５０の中心孔に挿入し、拡縮部５０を縮小させることにより、保持手段１０に対する軸４３の位置が規制されて保持手段１０の中心軸線と軸４３の中心軸線とが一致する。
【００５１】
図１３に示す実施の形態によれば、位置決め部材１１５のフランジ１１７と、回転多面鏡１４１と一体のロータヨーク１４２の下端面との当接面が支点１０２となり、回転多面鏡１４１の円板状本体とロータヨーク１４２との連結部が作用１０３点となる。被削面１００を切削加工するとき、切削加工抵抗が生じて力点１０１に上から下に向かって押しつけ力が働くと、上記支点１０２を中心に、作用点１０３を経由して回転多面鏡１４１を下方に押しつける力が働く。しかしながら、位置決め部材１１５のフランジ１１７に回転多面鏡１４１の支持面を設け、この支持面を回転多面鏡１４１の加工面近くにしたため、力点１０１から支点１０２までの距離が短くなり、加工時のいわゆるビビリが抑制され、加工された光反射面の面精度を高めることができる。
【００５２】
図１４に示す実施の形態は、上記回転多面鏡１４１を上下反転させた姿勢で加工するようにしたものである。保持手段１０に取り付けられた位置決め部材１２０は、下側中心部に、加工治具６０の筒状上端部６４の外周面に上から嵌まる円筒状の孔１２３を有し、上側中心部に、回転多面鏡１４１の有底筒部１４５を空間的余裕を持って受け入れる円筒状の孔１２１と、上側外周に、回転多面鏡１４１の加工面近くで加工抵抗に対する支持面となる円筒状の周壁１２２を有してなる。回転多面鏡１４１はこれを上下反転させた姿勢で、その軸１４３を位置決め部材１１５の中心孔に貫通させ、拡縮部５０の中心孔に挿入し、拡縮部５０を縮小させ、保持手段１０の中心軸線と軸１４３の中心軸線とが一致した状態で軸１４３を挟持し、回転多面鏡１４１の被削面を切削加工する。
【００５３】
図１４に示す実施の形態によれば、力点１０１のすぐ近くに支点１０２をおくことができ、加工時のいわゆるビビリが抑制され、加工された光反射面の面精度を高めることができる。
【００５４】
【発明の効果】
本発明によれば、回転操作される回転操作体と、拡大し縮小することによって回転多面鏡と一体の回転中心部材を保持しこの保持を解除する拡縮部と、上記回転操作体の回転運動を上記拡縮部に伝達して拡縮部を拡大させ縮小させる運動変換手段とを具備する保持手段が角度割り出し機構に取り付けられていて、上記角度割り出し機構により上記保持手段を所定角度ずつ回転させ回転角度を割り出して回転多面鏡の各鏡面を加工するようにしたため、拡縮部が均等に拡大縮小することにより回転多面鏡の中心軸線が保持手段の中心線に一致し、角度割り出し機構によって回転多面鏡とともに保持手段を回転させ所定の回転角度を割り出しながら、回転多面鏡の各光反射面を、回転中心軸に対する位置精度および平行度を良好に保ち、精度よく鏡面加工することができる。しかも、回転多面鏡と一体の回転中心部材を拡縮部で保持して鏡面加工するため、従来の加工装置および加工方法のように回転多面鏡を単独の部品の状態で加工するものと異なり、個々の部品の精度誤差の積み上げがなく、面倒れ精度の良好な回転多面鏡を容易にローコストで得ることができる。このように精度よく鏡面加工することができるため、回転多面鏡を用いた光走査装置の高速化、高品質化を図ることができる。
【００５５】
請求項２、請求項６、請求項８記載の発明によれば、拡縮部は、この拡縮部によって保持される回転多面鏡と一体の回転中心部材の材質よりも硬度の低い金属または非金属からなり、あるいは回転多面鏡と一体の回転中心部材と当接する介在部材の材質を、この介在部材によって保持される回転多面鏡と一体の回転中心部材の材質よりも硬度の低い金属または非金属にしたため、拡縮部で回転中心部材を保持したとき回転中心部材に傷が付くことを防止することができ、傷による回転多面鏡の回転精度、回転性能、寿命等に悪影響を与えることを防止することができる。
【００５６】
請求項５記載の発明によれば、保持手段に位置決め部材を取り付け、この位置決め部材は、回転多面鏡の加工面近くで加工抵抗に対する支持面を有しているため、加工時に、加工抵抗がかかる力点と加工抵抗に対して支えとなる支点との距離を短くすることが可能であり、加工時の回転多面鏡のいわゆるビビリを抑え、加工された光反射面の面精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる加工装置および加工方法によって得られる回転多面鏡の例を示す（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は縦断面図である。
【図２】本発明にかかる回転多面鏡加工装置および加工方法の実施の形態を示す縦断面図である。
【図３】同上実施の形態の要部を拡大して示す縦断面図である。
【図４】本発明にかかる回転多面鏡加工装置および加工方法の別の実施の形態の要部を示す縦断面図である。
【図５】本発明にかかる加工装置および加工方法によって得られる回転多面鏡の別の例を示す（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は縦断面図である。
【図６】本発明にかかる回転多面鏡加工装置および加工方法のさらに別の実施の形態を示す縦断面図である。
【図７】同上実施の形態の要部を拡大して示す縦断面図である。
【図８】本発明にかかる回転多面鏡加工装置および加工方法のさらに別の実施の形態の要部を示す縦断面図である。
【図９】本発明にかかる回転多面鏡加工装置および加工方法のさらに別の実施の形態を示す縦断面図である。
【図１０】本発明にかかる回転多面鏡加工装置および加工方法のさらに別の実施の形態を示す縦断面図である。
【図１１】本発明にかかる回転多面鏡加工装置および加工方法のさらに別の実施の形態を示す縦断面図である。
【図１２】本発明にかかる回転多面鏡加工装置および加工方法のさらに別の実施の形態を示す縦断面図である。
【図１３】本発明にかかる回転多面鏡加工装置および加工方法のさらに別の実施の形態を示す縦断面図である。
【図１４】本発明にかかる回転多面鏡加工装置および加工方法のさらに別の実施の形態を示す縦断面図である。
【図１５】従来の回転多面鏡の一般的な例を示す斜視図である。
【図１６】従来の回転多面鏡加工装置および加工方法の例を示す縦断面図である。
【図１７】従来の回転多面鏡回転駆動装置の例を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１０    保持手段
１１    回転多面鏡
１２    回転中心部材
１６    角度割り出し機構
２５    テーパー面
２６    運動変換手段としてのテーパーピン
２７    位置出し部
２８    運動変換手段としてのピン
３０    回転操作体
３４    拡縮部
４１    回転多面鏡
４２    ロータヨーク
４３    回転中心部材としての軸
５０    拡縮部
７０    位置決め部材
７２    介在部材
１０５    位置決め部材
１１０    位置決め部材
１１５    位置決め部材
１２０    位置決め部材
１４１    回転多面鏡
１４３    軸
【図１】
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【図２】
0003798185.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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