(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の固定光ファイバーに対して、少なくとも１本の可動光ファイバーを移動させて光路を変える切替手段を有する光スイッチであって、前記可動光ファイバーはＶ溝を有する可動ブロックに固定され、前記固定光ファイバーはＶ溝を有する固定ブロックに固定され、前記可動ブロックと、前記可動光ファイバーを介して前記可動ブロックを支持する支持ブロックの間に少なくとも１個の永久磁石を配置し、前記可動ブロックは前記永久磁石を有した電磁アクチュエーターによって平行移動し、前記可動ブロックを平行移動させる際のストッパーとして、前記固定ブロックには突出させた２本のガイドピンを設け、前記可動ブロックには前記ガイドピンを挿入させる為に２カ所の幅広の孔を設け、あるいは、前記可動ブロックには突出させた２本のガイドピンを設け、前記固定ブロックには前記ガイドピンを挿入させる為に２カ所の幅広の孔を設け、前記幅広の孔の内部で前記ガイドピンが平行移動する光スイッチであって、前記可動ブロックと前記支持ブロックの間に、前記電磁アクチュエーターを含む磁気回路を配置し、磁気回路の一部が支持ブロックとして機能することを特徴とする光スイッチ。
【請求項２】
前記電磁アクチュエーターはＥ字型のヨーク部を有し、前記ヨーク部は前記可動光ファイバーをまたぐとともに、ヨーク部の先端のギャップ内に前記可動ブロックを有するように配置されることを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光スイッチに関し、特に光ファイバーの接続を切替える機械式光スイッチに関わる。
【０００２】
【従来の技術】
光通信の発達に伴って、光ファイバー通信網は長い光路と複雑な分岐を持つようになった。このような環境では光通信装置や光伝送装置内において、回線間で光ファイバーの光路（伝送経路）を切替える用途が増大し、多くの光スイッチが用いられている。光スイッチを切替方式でみると、電気的あるいは光学的に光路の屈折率や位相を変化させて光の進行方向を切替える方式のものや、機械的に光路を移動させて光の進行方向を切替える方式のもの等が開発されている。精密な駆動を実現する低損失な光スイッチとしては、後者の機械式光スイッチが有望である。光スイッチを分岐の数でみると、１本の可動光ファイバーを２本の固定光ファイバーに対して切替える１×２型光スイッチや、多数の光ファイバーの端面を対向させた１×ｍ型光スイッチあるいはｎ×ｍ型光スイッチ等がある。また、切替の目的は、通常の回線切替の他に、断線した伝送経路を別の断線していない経路に切替える障害復旧用途や、建物内や地域内の光通信ネットワークの回線を切替える保守点検用途、あるいは測定装置における光路の変更等にも用いられている。
【０００３】
従来の光スイッチは、例えば特開昭６３−８５５２２号公報に開示されている。この光スイッチは、光ファイバーを位置決め固定した２個のブロック（プラグ）をつき合わせて接続し、一方のブロック（可動側）を他方のブロック（固定側）に対して平行移動させて、固定光ファイバーと可動光ファイバー間で光路を切替える光スイッチである。精密な平行移動を実現すべく、ガイドピンとガイドピンを保持する穴と、ガイドピンを内部でスライドさせる穴を有する。この構成は光スイッチの切替機構を開口した容器の中に配置している。電磁力を利用したアクチュエーターでブロックを平行移動させる。なお、可動光ファイバーから固定光ファイバーに光信号を伝える用途に限らず、その逆向きに光信号を伝える用途もある。そこで、光信号を光スイッチに入力してくる側を入力側光ファイバーと称し、光信号を光スイッチから出力する側を出力側光ファイバーと称する。さらに、可動光ファイバーを支持するブロックを支持ブロックと称し、固定光ファイバーを固定するブロックを固定ブロックと称する。
【０００４】
他の従来技術では、固定ブロックを磁性体とし、可動ブロックを永久磁石の磁力によって保持できるように磁束の流れを制御した電磁アクチュエーターを用いている。さらに、光スイッチを並列に並べた場合に電磁アクチュエーターを有した磁気回路同士が干渉しないように各々の磁気回路は磁束の閉ループ構造をとっている。
【０００５】
従来の光スイッチには、１×ｍ光スイッチ、マトリクススイッチ、光学モジュール内に組み込む光スイッチ等のように複数の光スイッチを有するものがある。１×ｍ光スイッチは、ｍ個の光スイッチを接続して１パッケージ化するので、１×ｍスイッチ自体が大きくなる。他の装置内に１×ｍ光スイッチを組み込むためには装置自体を大きくせざるを得ない。また、マトリクススイッチは３２×３２や１２８×１２８等のようにチャンネルの数が多いため、機械式光スイッチでマトリックススイッチを構成するとスイッチ全体が大きくなる。また、光学部品モジュール内に光スイッチを入れる場合、決められた大きさのケース内に複数の光スイッチを納めるために大きさの制約を受ける。１×ｍ光スイッチ、マトリクススイッチ、光学部品モジュールなどで機械式光スイッチを使用するためには小型化が必要になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、機械式光スイッチでは可動光ファイバーが占める割合が多く、光スイッチ長さ方向の寸法の５０％以上を占める。可動光ファイバーの長さは電磁アクチュエーターの可動吸引力と光ファイバー曲げ力とのバランスで決まることから、可動光ファイバーを短くして光スイッチの長さＬを小型化することは困難である。可動光ファイバーを短くし過ぎると可動光ファイバーへの曲げひずみの増加（静疲労）により可動光ファイバーの寿命を短くするという問題が発生する。また、従来の光スイッチでは、電磁アクチュエーターのヨーク部の両側の腕部に巻き線するコイルの高さｈが大きいため、光スイッチ全体の高さＨが大きくなっている。そこで本発明の目的は、光スイッチを小型化することにある。特に、可動光ファイバーの長さを変えることなく光スイッチの長さＬを小さくし、光スイッチの高さＨも小さくした光スイッチを提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の光スイッチは、複数の固定光ファイバーに対して、少なくとも１本の可動光ファイバーを移動させて光路を変える切替手段を有する光スイッチであって、
前記可動光ファイバーはＶ溝を有する可動ブロックに固定され、前記固定光ファイバーはＶ溝を有する固定ブロックに固定され、
前記可動ブロックと、前記可動光ファイバーを介して前記可動ブロックを支持する支持ブロックの間に少なくとも１個の永久磁石を配置し、
前記可動ブロックは前記永久磁石を有した電磁アクチュエーターによって平行移動し、
前記可動ブロックを平行移動させる際のストッパーとして、
前記固定ブロックには突出させた２本のガイドピンを設け、前記可動ブロックには前記ガイドピンを挿入させる為に２カ所の幅広の孔を設け、
あるいは、前記可動ブロックには突出させた２本のガイドピンを設け、前記固定ブロックには前記ガイドピンを挿入させる為に２カ所の幅広の孔を設け、
前記幅広の孔の内部で前記ガイドピンが平行移動する光スイッチであって、
前記可動ブロックと前記支持ブロックの間に、前記電磁アクチュエーターを含む磁気回路を配置したことを特徴とする。
【０００８】
上記の光スイッチは、電磁アクチュエーターを有する磁気回路を可動ブロックと支持ブロック間に配置することで光スイッチを小型化する。可動ブロックや固定ブロックは、光ファイバーを固定するＶ溝を有する部材に相当する。可動ブロックは電磁アクチュエーターから発生する磁界で平行移動可能なように、軟磁性材とする。また、可動光ファイバーと固定光ファイバーは対向し、双方の間隔は光学ギャップとなる。この光学ギャップを基準にして、可動ブロックを配置した側に磁気回路を構成する電磁アクチュエーターを配置し、固定ブロックを配置した側には磁気回路等を配置しないことによって、光スイッチの小型化を図る構成とも言える。可動ブロック、支持ブロック、固定ブロックは同一基板上に構成するとよい。
【０００９】
上記本発明は、可動光ファイバーの支点と力点の間に電磁アクチュエーターを含む磁気回路が配置された構成と言える。ここで、支点とは支持ブロックの端点に相当する。力点とは可動光ファイバーを平行移動させる可動ブロックの端点に相当する。可動光ファイバーは端に設けた可動ブロックを揺動させることにより光路を切り替えるため、揺動する際の支点と力点を有する。
【００１０】
可動ブロックと支持ブロックの間に、電磁アクチュエーターを含む磁気回路を配置することとは、電磁アクチュエーターのヨーク部の内側に通すように可動光ファイバーが配置されている状態、電磁アクチュエーターの凹部で可動光ファイバーの一部を覆っている状態、あるいは基板上に設けられた電磁アクチュエーターと基板の間の隙間を可動光ファイバーが通っている状態等を含む。
【００１１】
上記本発明において、前記磁気回路の一部が前記支持ブロックとして機能することを特徴とする。すなわち、単独の支持ブロックを無くし、電磁アクチュエーターのヨーク部の一部にＶ溝を形成して、ヨーク部に支持ブロックと同様の機能を持たせて、可動光ファイバーをヨーク部に固定することにより、部品点数を減らすことができる。可動ブロックや固定ブロックには光ファイバーの端を設けるため、Ｖ溝やブロック形状を精度良く形成する必要がある。これに対して、支持ブロックは可動光ファイバーを支持できれば良く、可動ブロックほど精度を必要としないため、ヨーク部で代替することができる。なお、電磁アクチュエーターのヨーク部（特にヨーク腕部）を、支持ブロックの寸法分だけ長くすることも可能である。この場合、ヨーク部の両側の腕部が長くなった分、ヨーク部の両側の腕部に巻線する領域も広がるのでコイル長さを長くすることができ、コイルを重ねて巻く回数を少なくすることができる。その結果、コイル高さｈが小さくなり、光スイッチ全体の高さＨを小さくできる。なお、同じ線径でコイル高さｈを小さくしない場合にはコイル巻数を増加することができる。
【００１２】
上記本発明において、前記電磁アクチュエーターはＥ字型のヨーク部を有し、前記ヨーク部は前記可動光ファイバーをまたぐとともに、ヨーク部の先端のギャップ内に前記可動ブロックを有するように配置されることを特徴とする。ここで、電磁アクチュエーターはＥ字型のヨーク部とコイルで構成することができる。Ｅ字型のヨーク部は、コイルを巻線した両側のヨーク腕部と、中央のヨーク腕部の先端に設けた永久磁石を備える。中央のヨーク腕部を別の磁性体ブロックで置き換えても良い。その場合、永久磁石の位置は中央のヨーク腕部と磁性体ブロックの間、磁性体ブロックの先端のどちらでも良い。また、磁気回路を閉構造とする場合には、非磁性体の固定ブロックが望ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の１実施形態を説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態である２ｘ４光スイッチの分解斜視図である。２本の可動光ファイバー１０（入力側）を有する可動ブロック１を、４本の光ファイバー１１（出力側）を有する固定ブロック２に対して平行移動させて光路を切替える構成とした。ヨーク部４の腕に相当するヨーク腕部４ｋ間で可動ブロック１をＹもしくはＹ’方向に平行移動させ、かつそれを保持する機能を持たせた電磁アクチュエーター８を配置する。可動光ファイバー１０と固定光ファイバー１１間の光ギャップを基準にみたときに（図中の２点鎖線）、電磁アクチュエーター８を可動ブロック１側にのみ配置して、固定ブロック２側には設けない構成とした。
【００１４】
次に、各々の構成を説明する。電磁アクチュエーター８は、ヨーク部４と永久磁石６と磁性体ブロック４と、可動ブロック１とコイル５で構成した。ヨーク部４は、コイル５を巻くヨーク腕部４ｋと、中央のヨーク腕部４ｎと、ヨーク部全体を支えるヨーク脚部４ｍを備える。さらに、中央のヨーク腕部４ｎの先端に永久磁石６と磁性体ブロック７を設け、磁性体ブロックは可動ブロック１と対向させた。前記可動ブロック１と前記支持ブロック３の間の距離は１０ｍｍとした。電磁アクチュエーター８は可動光ファイバー１０をまたぐようにしてベースガラス板９上に接着で固定した。電磁アクチュエーターと固定ブロック２と支持ブロック３はベースガラス板９上にあり、ベースガラス板９を介して筐体１４に固定した。光ファイバー駆動用電極１３に導通する光ファイバー駆動用電極板１２には、コイル５の端をはんだで固定した。
【００１５】
図２は、図１の構成で筐体１４に蓋１５を接合させた様子を示す斜視図である。図２において、光スイッチは一対のファイバー駆動用電極１３と光スイッチ切替手段等を設けたセラミックスの筺体１４と、一対の補助電極１６が設けられたセラミックス製の蓋１５をエポキシ系の接着剤１７で接合した。筐体１４に設けられた切り欠き部から入力の可動光ファイバー１０と出力の固定光ファイバー１１が突出するように接着剤１７で固定した。筐体１４に設けられた切り欠き部も接着剤１７で塞ぎ、密封した。筐体１４と蓋１５の密封された空間には注入口１５ｄから屈折率整合剤を満たした後、注入口１５ｄを封止した。
【００１６】
図１において、蓋１５の一方の側面に設けられた凹み１５ｃは、筺体１４に設けられた一対のファイバー駆動用電極１３に対応する。凹み１５ｃは、蓋１５と筐体１４を接合した状態でも、蓋１５がファイバー駆動用電極１３を圧迫しないようにするために設けた。蓋１５の他端には一対の補助電極１６が打ち込まれている。補助電極１６は、光スイッチ内に他の電気回路を組んだときに電流を供給する手段として使うためのものとした。
【００１７】
図１及び図２の構成とすることにより、光スイッチの長さＬを小さくすることができた。比較例のＬ＝２８．０ｍｍに対して本実施例はＬ＝２５．０ｍｍになった。比較例の構成は後の図５で詳細に説明する。また、図１の構成において定電圧駆動によるスイッチの切替ができ、可動ブロックの自己保持機能を有することも確認した。
【００１８】
図３は、図２の構成を側断面でみた概略図である。図１及び図２の詳細を補足説明する。光スイッチの高さＨは主にコイル５の高さから規定されているため、光スイッチの内部にはヨーク部４より上部で空間が存在する。支持ブロック３はそのＶ溝に可動光ファイバー１０の途中の部分を入れて蓋３ｃで固定した。可動ブロック１はそのＶ溝に可動光ファイバー１０の端近傍を入れて蓋１ｃで固定した。固定ブロック２はそのＶ溝に固定光ファイバー１１の端近傍を入れて蓋２ｃで固定した。蓋３ｃと蓋２ｃとヨーク脚部４ｍはベースガラス板９に接合させた。可動光ファイバー１０や固定光ファイバー１１と、筐体１４及び蓋１５の間を接着剤１７ｂ、１７ｃで封止することで、筐体１４と蓋１５間に屈折率整合剤１５ｅを満たした。
【００１９】
図１の構成を更に詳細に説明する。可動光ファイバー１０は光信号を入力する側として用い、固定光ファイバー１１は出力側として用いた。２本の可動光ファイバー１０は途中の部分を支持ブロック３で支持され、その先端には可動ブロック１が設けられた。４本の固定光ファイバー１１は、その先端を固定ブロック２に設けた。可動ブロック１と固定ブロック２は、各々に設けられた光ファイバー１０、１１の端面と共に対向させて光ギャップを構成した。対向する光ファイバー間では光信号（レーザー光）の伝達が可能となる。各々のヨーク腕部４ｋに巻いたコイル５に流す電流の向きを変えることによって、ヨーク腕部４ｋの先端の間（ギャップ）で可動ブロック１をＹもしくはＹ′方向に平行移動させて、可動光ファイバー１０と固定光ファイバー１１が接続する組合せを変更することができた。可動ブロック１を平行移動させる際のストッパーとして、固定ブロック２には突出させた２本の非磁性超硬ピンを設けた。可動ブロック１には前記非磁性超硬ピンを挿入させる為に２カ所の幅広の孔を設けた。この幅広の孔の内部で非磁性超硬ピンが平行移動することで、可動ブロック１が平行移動した際に、ヨーク腕部４ｋの一方の先端との間に隙間を残した状態で近接させることができた。なお、説明を分かり易くするため、図４では、前述非磁性超硬ピンおよび光ファイバー１０、１１を覆う被覆の図示は省略した。
【００２０】
（実施形態２）
図４は、磁気回路である電磁アクチュエーター８のヨーク部４ｂにＶ溝を形成して支持ブロックを代替した光スイッチの側断面の概略図である。磁性体で構成したヨーク４ｂの一部を支持ブロック３として機能させる。図３の実施形態１の構成をさらに改良したものであり、光スイッチの高さＨ’を小さくすることができた。また、図１に示すような単体の支持ブロックを無くした分、電磁アクチュエーター８のヨーク部４ｂを可動光ファイバー１０の長さ方向に伸ばして配置することができた。ヨーク腕部が長くなったことにより、コイル５ｂの巻き線長さを実施形態２の１０ｍｍに増やすことができ、コイル５ｂの高さｈを半分にすることができた。実施形態１でコイル５の巻線長さは５ｍｍであった。コイル高さｈはヨーク腕部に巻いたコイルの厚さに相当する。その結果、実施形態１ではＨ＝８．３ｍｍであるのに対して、実施形態２ではＨ’＝７．３ｍｍに小さくすることができた。筐体１４ｂと蓋１５ｂの密閉された空間には屈折率整合剤１５ｅを満たした。ヨーク腕部を長くし光スイッチ高さを小さくした実施形態２は、実施形態１よりも屈折率整合剤の充填量を減らすことができ、コストを低減することができた。
【００２１】
（比較例）
次に、本願と対比している比較例の構成を説明する。小型化していないが、類似の構造は実施例１と同様の符号で説明する。図５は比較例の２×４スイッチについて筐体１４ｂから蓋１５ｂをはずした様子を斜視図で示している。この光スイッチは、ファイバー駆動用電極１３に流す電流の向きを変えることにより、電磁アクチュエーター８ｃを駆動し、可動光ファイバー１０と対向する固定光ファイバー１１の組合せを変更して、可動光ファイバー１０あるいは固定光ファイバー１１から入射させたレーザー光を固定光ファイバー１１あるいは可動光ファイバー１０に導くように光路を切替えるものである。ベースガラス板９上に設けた電磁アクチュエーター８ｃは、Ｅ字型のヨーク部４と、ヨーク腕部に設けたコイル５と、中央のヨーク腕部に設けた永久磁石６と、永久磁石の先端に設けた固定ブロック２を備える。ヨーク腕部４ｋの間には可動ブロック１を配置した。図１とは異なって、可動光ファイバー１０の先端近傍に設けた可動ブロック１と、支持ブロック３の間には、電磁アクチュエーター８ｃが配置されない構成であるため、光スイッチの長さＬ’は短くなっていない。
以  上
【００２２】
（実施形態３）
図６は、１ｘ４光スイッチの蓋を外した状態の内部の上面図である。図６の（ａ）は比較例の１ｘ４光スイッチの上面図である、図６の（ｂ）は実施形態３の１ｘ４光スイッチの上面図である。比較例（ａ）の構成は、図５の光スイッチ内部の構造と同様の電磁アクチュエーターを２個用意し、支持ブロックを兼用させて共通支持ブロック３ｂとし、且つ共通支持ブロック３ｂを中心に対称となるように電磁アクチュエーター８ｃ，８ｄを共通の筐体１４ｃ内に配置した。２本の可動光ファイバー１０ｂは、真ん中を共通支持ブロック３ｂで固定し、一方の端に可動ブロック１を設け、他方の端に可動ブロック１ｂを設けた。但し、一方の固定ブロック２には１本の固定光ファイバー１１ｃを設け、他方の固定ブロック２ｂには４本の固定光ファイバー１１ｂを設けた。可動ブロック１と可動ブロック１ｂの位置を変えることにより、電磁アクチュエーター８ｃ側を１×２光スイッチとし、電磁アクチュエーター８ｄ側を２×４光スイッチとすることにより、１×４光スイッチとして機能させた。なお、筐体１４ｃの四隅にはコイル５のための光ファイバー駆動用電極板１２ｂと光ファイバー駆動用電極１３ｂ，１３ｃを設けた。
【００２３】
これに対して、実施形態３である図６の（ｂ）の構成は、可動ブロック１と共通支持ブロック３ｂ間のスペースに図１の電磁アクチュエーター８を配置し、可動ブロック１ｂと共通支持ブロック３ｂ間のスペースに図１と同様の電磁アクチュエーター８ｂを配置した。さらに可動ブロック１と対向して１本の固定光ファイバー１１ｃを設けた固定ブロック２を設け、可動ブロック１ｂと対向して４本の固定光ファイバー１１ｂを固定した固定ブロック２ｂを設けた。光スイッチの長さＬを比べたところ、比較例は５２．６ｍｍであった。実施形態３は４６．６ｍｍであって。このように（ｂ）の構成にすると、光スイッチを小さくすることができた。
【００２４】
図７は、電磁アクチュエーター８の上面図である。図７の（ａ）は図１等で用いた電磁アクチュエーターの上面図であり、Ｅ字型のヨーク部４においてヨーク腕部４ｋにコイル５を巻き、中央のヨーク腕部４ｎの先に永久磁石６と磁性体ブロック７を配置した。ヨーク腕部４ｋの先端の間のスペースは、可動ブロックを配置・移動させるためのギャップとした。図７の（ｂ）は、他の電磁アクチュエーター８ｃの上面図であり、（ａ）に代えて用いることができた。中央のヨーク腕部４ｎを伸ばし、その先端に永久磁石６を配置した。（ｂ）は（ａ）の電磁アクチュエーター８に比べて部品点数を１点減らすことができた。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、複数の固定光ファイバーに対して、少なくとも１本の可動光ファイバーを移動させて光路を変える切替手段を有する光スイッチであって、
前記可動光ファイバーはＶ溝を有する可動ブロックに固定され、前記固定光ファイバーはＶ溝を有する固定ブロックに固定され、
前記可動ブロックと、前記可動光ファイバーを介して前記可動ブロックを支持する支持ブロックの間に少なくとも１個の永久磁石を配置し、
前記可動ブロックは前記永久磁石を有した電磁アクチュエーターによって平行移動し、
前記可動ブロックを平行移動させる際のストッパーとして、
前記固定ブロックには突出させた２本のガイドピンを設け、前記可動ブロックには前記ガイドピンを挿入させる為に２カ所の幅広の孔を設け、
あるいは、前記可動ブロックには突出させた２本のガイドピンを設け、前記固定ブロックには前記ガイドピンを挿入させる為に２カ所の幅広の孔を設け、
この幅広の孔の内部で前記ガイドピンが平行移動する光スイッチであって、
前記可動ブロックと前記支持ブロックの間に、前記電磁アクチュエーターを含む磁気回路を配置した光スイッチを用いることで、光スイッチを小型化することができる。特に可動光ファイバーの長さを変えることなく光スイッチの長さＬを小さくできる。また、コイルの高さを小さくすることも可能であり、その場合に光スイッチ高さＨを小さくできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態である光スイッチの分解斜視図である。
【図２】図１の構成を組み立てた様子を示す斜視図である。
【図３】図２の構成の側断面の概略図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る側断面の概略図である。
【図５】比較例の光スイッチの分解斜視図である。
【図６】１ｘ４光スイッチの蓋を外した状態を示す上面図であり、（ａ）は比較例であり（ｂ）は１実施形態である。
【図７】本発明の実施形態に係る電磁アクチュエーターの上面図であり、（ａ）は比較例であり、（ｂ）は１実施形態である。
【符号の説明】
１  可動ブロック、１ｂ  可動ブロック、１ｃ  蓋、２  固定ブロック、
２ｂ  固定ブロック、２ｃ  蓋、３  支持ブロック、３ｂ  共通支持ブロック、
３ｃ  蓋、４  ヨーク部、４ｂ  ヨーク部、４ｃ  ヨーク部、
４ｋ  ヨーク腕部、４ｍ  ヨーク脚部、４ｎ  中央のヨーク腕部、５  コイル、
５ｂ  コイル、６  永久磁石、７  磁性体ブロック、
８  電磁アクチュエーター、８ｂ  電磁アクチュエーター、
８ｃ  電磁アクチュエーター、８ｄ  電磁アクチュエーター、
９  ベースガラス板、１０  可動光ファイバー、１０ｂ  可動光ファイバー、
１１  固定光ファイバー、１１ｂ  固定光ファイバー、
１１ｃ  固定光ファイバー、
１２  １２ｂ  １２ｃ  光ファイバー駆動用電極板、
１３  １３ｂ  １３ｃ  光ファイバー駆動用電極、
１４  筐体、１４ｂ  筐体、１４ｃ  筐体、１４ｄ筐体、１５  蓋、
１５ｂ  蓋、１５ｃ  凹み、１５ｄ  注入口、１５ｅ  屈折率整合剤
１６  補助電極、１７  １７ｂ  １７ｃ  接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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