(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
危険場所に配備された被測定物理量を測定するセンサ部と、センサ部の端子Ａ，Ｂとで接続された、非危険場所または危険場所内の耐圧防爆構造ケース内に配備された安全保持回路であって、
該端子Ａと負入力端子間に電流制限用の抵抗が接続され、かつ該端子Ａと出力端子間に電流制限用の抵抗が接続された、センサ部に所定の電圧を駆動する第一のオペアンプと、
該端子Ｂと負入力端子間に電流制限用の抵抗が接続され、かつ該端子Ｂと出力端子間に電流制限用の抵抗が接続された、センサ部からの電流を帰還する第二のオペアンプと、
を有することを特徴とする本質安全防爆型の安全保持回路。
【請求項３】
危険場所に配備された被測定物理量を測定するセンサ部と、
センサ部の端子Ａ，Ｂとで接続された、非危険場所または危険場所内の耐圧防爆構造ケース内に配備された安全保持回路であって、
該端子Ａと負入力端子間に電流制限用のブロッキングコンデンサが接続され、かつ該端子Ａと出力端子間に電流制限用のブロッキングコンデンサが接続された、センサ部に所定の電圧を駆動する第一のオペアンプと、
該端子Ｂと負入力端子間に電流制限用のブロッキングコンデンサが接続され、かつ該端子Ｂと出力端子間に電流制限用のブロッキングコンデンサが接続された、センサ部からの電流を帰還する第二のオペアンプと、
を有することを特徴とする本質安全防爆型の安全保持回路。
【請求項４】
請求項1に記載の安全保持回路において、該端子Ｂと、該端子Ｂと第二のオペアンプの出力端子間に接続する電流制限用抵抗との間に基準抵抗を挿入接続して、センサ信号を電圧値として得ることを特徴とする本質安全防爆型のセンサ信号処理回路。
【請求項５】
請求項３に記載の安全保持回路において、該端子Ｂと、該端子Ｂと第二のオペアンプの出力端子間に接続する電流制限用ブロッキングコンデンサとの間に基準抵抗を挿入接続して、センサ信号を電圧値として得ることを特徴とする本質安全防爆型のセンサ信号処理回路。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、抵抗性または容量性のインピーダンスを有する圧力、温度、その他の物理量を計測するセンサに対して、外部から一定の電源を供給することで駆動し、センサ部からの応答信号を被測定物理量の関数として取り出すセンサ信号処理回路に関し、特に危険場所に配備されたセンサ素子に供給する事故エネルギーの制限を図る防爆構造を実現するセンサ信号処理回路に関する。
背景技術
被測定対象の物理量に対応するインピーダンスを有するセンサは、それ自体エネルギー源を持たずに受動的なものであり、駆動電源をセンサ外部から加える必要がある。そこで、本質安全防爆の実現のためには、非危険場所に安全保持用の回路を設け、電流電圧制限の抵抗、ツェナーダイオード、およびフューズなどにより構成する大規模なものが多く採用されている。
そこでは、当該電流制限用の抵抗その他のインピーダンス分と真のセンサ測定インピーダンス値が直列に接続するため両者の区別が困難であり、電流制限用の抵抗の温度特性などによる雑音のために、精度の良いセンサ信号処理が測れない問題があった。
また従来、他の分野では、ブロッキングコンデンサを用いて本質安全防爆の条件を満足する技術はマイクロ波帯の受信アンテナ部のバリア装置に応用されている（特開平  １０−１３１３０号）。このように、交流信号で変調された信号を取り扱う場合にはブロッキングコンデンサが有効であることが知られている。
しかし、本発明の産業上の利用分野である圧力その他の物理量測定センサ装置においては、センサ素子の駆動電源構造が直流電源駆動によるものが一般的であることと、さらにブロッキングコンデンサの容量値の変化によるセンサ精度への影響も大きいため、その影響を回避することが困難であった。
これらどのようなセンサ計測方式においても、センサを含めた計器全体のさらに外部の電源周りに安全保持器（ツェナーバリア）を備えて計器を一括で本質安全防爆構造とするのが最も簡易確実でであるが、その場合には計器の使用者にとって外部保持器を計装する必要があるため、配線、設置面積その他の負担があった。
従って、本発明は、危険場所に配備するセンサ素子に印加する電圧と電流を制限して、電気的に発生する火花、アーク、熱などにより点火し爆発するエネルギーが発生しない限度に制することができる安全保持回路を、非危険場所または耐圧防爆構造のケース内の計器内部に配備することが出来る程度の小規模かつ低コストの簡便な構成とすることを目的としている。
発明の開示
本発明を実施するべき全体構成を図１および図２に示す。ここでは危険場所にセンサ素子を配備し、非危険場所（図１）または危険場所であるが耐圧防爆構造のケース内の安全領域（図２）に安全保持回路および計器の本体を配備することで、電源を持たないセンサ素子のみを部分的に本質安全防爆構造にする方式を採用する。
はじめに従来の回路例として、電流制限抵抗にて安全を保持する回路方式を図３に示す。これは故障事故時の最大想定電圧である高電圧、例えば２５０Ｖ（ＤＣ又は商用５０／６０Ｈｚ）が印加された場合にも、電流制限抵抗によって危険場所に流出するエネルギーを制限するものである。電圧の制限は別途（図外）ツェナーダイオードにより行われる場合があるが、あるいは電圧の制限なしに電流の制限のみでエネルギーを制限する場合もある。
通常の計測時には、センサのインピーダンスＺＳのみならず電流制限抵抗インピーダンスＲｈも含めて得られる電流値はテブナンの定理により式（１）に示すようになる。これでは電流制限抵抗Ｒｈが温度変化したような場合にノイズ成分が上昇するため計測誤差が生じるものである。
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かかる課題を解決するために大きく二つの手段がある。第一の手段は図４に示すように、駆動用および帰還用のオペアンプをセンサ端子からの信号線の両端に装備して、電流制限抵抗のインピーダンス分を無視できるようにする手段が考えられる。この場合、説明の簡略化のために、以降すべてのオペアンプは理想的なものであり、オペアンプの開放利得Ａｖは無限大、入力インピーダンスは無限大、かつ出力インピーダンスは０と仮定する。センサの端子をそれぞれＡ，Ｂ点とすると、Ａ点の電圧は下式（２）となる。
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次にＢ点の電圧は下式（３）となる。
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よって電流計で計測される電流は下式（４）となり、これからセンサインピーダンスＺＳを求めれば、電流制限抵抗に影響されずセンサ素子のインピーダンスが計測できることになる。
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次に第二の手段として、電流制限抵抗のようにある程度大きな抵抗を用いずに事故時の電流制限を実現する回路方式に関するものであり、それを図５に示す。そこでは、商用電源である５０／６０Ｈｚよりも十分高い周波数を持つ計測用のセンサ駆動のための交流駆動電源とセンサ素子の間に安全保持のためのブロッキングコンデンサを設ける。それらコンデンサのインピーダンスは印加周波数に反比例する性質を持つため、事故時に想定される商用電源５０／６０Ｈｚ以下の周波数帯域においてはエネルギーを制限するべく十分なインピーダンスを持ち、通常の計測時には相当高い計測用駆動周波数によりインピーダンスは計測値への影響を無視できる程度に小さいインピーダンスが実現できる。図５の回路にて計測される電流値は、テブナンの定理により式（５）になる。
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ここで計測用駆動周波数ωを数ＫＨｚ以上としＣｈとＲｈの相関においても十分に大きくとれば、式（５）の分母第２項が小さな値となり無視できて下式（６）になる。
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以上のように、駆動用および帰還用のオペアンプによるセンサ駆動回路構成をとることで電流制限抵抗のインピーダンスを無視する手段、さらにブロッキングコンデンサのインピーダンスが高周波帯での使用時に無視できることを利用する手段により、センサ信号処理における本質安全防爆構造の回路を実現し、課題を解決する。
発明を実施するための最良の形態
以下に図面を参照して、具体的な本発明の実施の形態について説明する。
（１）請求項１に係る発明の実施例
前述の第一の手段に関するもので、図４に示すようなセンサ信号処理回路において、センサ１に印加する電圧７ａのＶｉｎを駆動用オペアンプ１０でバッファしてセンサ１に与える。帰還用オペアンプ２０はセンサ１に流れる電流値を帰還させて計測する。その結果、式（４）により、与えた電圧Ｖｉｎと計測した電流Ｉからセンサ１のインピーダンスＺＳが求められる。その結果、ＺＳに種々演算を行うことによって被測定対象の物理量が求められるものである。
事故時を想定すると、駆動用および帰還用のオペアンプ回路はセンサ１につながる全てのラインに（センサから端子Ａ，Ｂを通じて）直列に電流制限抵抗Ｒｈを４つ装備するものであるので、もし電流制限抵抗以外の全ての部品が壊れたと仮定した場合、例えば、各電流制限抵抗Ｒｈ全てに２５０Ｖが加わったような場合には４つのＲｈからセンサを通してグランドＦＧに流れ込む総電流値を１０ｍＡ以下に制限することが安全保持の条件であるとする。その場合、４つのＲｈを各々１００ＫΩ以上として各Ｒｈからの電流を２．５ｍＡに制限するように設計すればよい。
（２）請求項２に係る発明の実施例
前述の第二の手段に関するもので、図５に示すようなセンサ信号処理回路において、安全保持部品であるブロッキングコンデンサＣｈの効果により、通常の計測時にセンサ１に与えられる電流は式（６）の如く計測され、単純にＶｉｎに商用電源が印加した時には電流が式（５）の如く小さく制限される。なお、ブロッキングコンデンサＣｈは本質安全上の要請により少なくとも２段の多段構成を取るものとする。また、Ｒｈは電流制限と直流バイアスのために付加するものである。さらに事故時として、例えば、各電流制限抵抗Ｒｈと各ブロッキングコンデンサに２５０Ｖが加わったような場合には、それらからセンサを通してグランドＦＧに流れ込む総電流値を１０ｍＡに制限することが安全保持に必要であるとする。その場合、２つのＲｈを各々１００ＫΩ以上とし経路電流を２．５ｍＡ以下に制限し、また経路に少なくとも１つ生存したコンデンサ容量は、２πｆ・Ｃｈ（ｆは商用周波数６０Ｈｚとした場合）と２５０Ｖの積で求まる電流を２．５ｍＡ以下に制限するために、Ｃｈは２６ｎＦ以下程度に設計すればよい。
（３）請求項３に係る発明の実施例
前述の第一の手段と第二の手段の組み合わせに関するもので、図６に示すように、計測時においてもオペアンプの利用により周波数ωに関係なくブロッキングコンデンサＣｈの影響を無視できるようにするものである。計測される電流値は下式（７）となる（前述の式（２）と（３）に示す原理による）。この場合も図中二つのオペアンプ１０，２０は理想的なものと仮定した。
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駆動用および帰還用のオペアンプ回路１０と２０はセンサ１につながる全てのラインに電流制限抵抗またはブロッキングコンデンサを装備するものである。事故時にもし電流制限抵抗またはブロッキングコンデンサ以外の全ての部品が壊れた場合、例えば、各電流制限抵抗ＲｈとＣｈの経路全てに２５０Ｖが加わったような場合には、電流経路は８つとして各値を定めるのは前述の通りで、Ｒｈは２００ＫΩ以上、Ｃｈは１３ｎＦ以下程度に設計すればよい。
（４）請求項４に係る発明の実施例
請求項１に係る発明の実施例（図４）では電流値を電流計で測るものであるが、電流計測は電気回路の実装上現実的でなく、電圧測定が望ましい。しかし、これを単純に図４における帰還用オペアンプ２０の出力で計測するだけでは、下式（８）のように電流制限抵抗Ｒｈの精度に依存することになり不都合である。
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そこで請求項１にかかる発明の改良発明として、図７に示すように、基準抵抗１００（ＺＲＥＦ）をもって負帰還回路を構成すれば、オペアンプ２０の出力電圧は下式（９）のようなＲｈを含まない形で得られて、電圧測定の結果をＶｉｎとＺＲＥＦで除算等して、センサインピーダンスＺＳが精度の良く求めることが可能である。
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事故時に想定される高電圧がかかる部分であるオペアンプ１０，２０の入出力端子からセンサ１の間には全て電流制限抵抗Ｒｈが備えられているので、事故時にもし制限抵抗以外の全ての部品が壊れた場合、例えば、各電流制限抵抗Ｒｈの経路全てに２５０Ｖが加わったような場合には、電流経路は５つとしてＲｈ値を定めるのは前述の通りであり、１２５ＫΩ以上程度に設計すればよい。
なお、基準抵抗ＺＲＥＦは防爆とは関係ない素子で、センサと同程度の値のものを用いる（次の請求項５に係る発明にも共通である）もので、抵抗の代わりに容量性素子を持って構成することも可能である。
（５）請求項５に係る発明の実施例
請求項３にかかる実施例（図６）でも電流を計測するものであるのでやはり現実的でない。しかし、そのままオペアンプの出力を計測しようとすると、ＲｈとＣｈによるインピーダンスとセンサ素子のインピーダンスＺｓからなるオペアンプの負帰還電圧増幅の計算から、計測される電圧は前記式（７）の電流をオペアンプの負帰還インピーダンスとの積となるため下式（１０）となる。
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これではブロッキングコンデンサと制限抵抗Ｒｈを含むため精度よくセンサインピーダンスＺＳは得られない。そこで、請求項３に係る発明の改良発明として、図８に示す回路を構成することで、基準抵抗１００（ＺＲＥＦ）を用いた式（１１）でオペアンプ２０の出力電圧が得られ、センサインピーダンスが精度良く求めることができる。
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請求項４に係る発明の実施例の場合と同様に、電流制限抵抗ＲｈおよびブロッキングコンデンサＣｈはオペアンプ１０，２０の端子とセンサ１の間には全て備えられて本質安全防爆機能を確保しているものである。事故時に、例えば、各電流制限抵抗ＲｈとＣｈの経路全てに２５０Ｖが加わったような場合には、電流経路は１０コとして各Ｒｈ，Ｃｈの値を定めることは前述の通りであり、Ｒｈは２５０ＫΩ以上、Ｃｈは１０ｎＦ以下程度に設計すればよい。
なお、以上の設計上のＲｈおよびＣｈはあくまで実施例での参考的数値であり、発明の構成要件としてはこの数値範囲に限定するものではない。
産業上の利用可能性
以上のように、
電流制限抵抗を用いる場合には、駆動用および帰還用のオペアンプ回路を構成してセンサの持つインピーダンスを測定する発明、
また、ブロッキングコンデンサを用いる場合には、信号処理のための駆動用交流電源Ｖｉｎの周波数は大きいため容量性インピーダンスは無視できる程度に小さくかつ商用周波数においての容量性インピーダンスは大きくなる性質を持つブロッキングコンデンサの作用によりセンサの持つインピーダンスを精度よく測定することができる発明、
および、電圧検出のための基準抵抗による負帰還回路構成の発明、
によりスペース的かつコスト的にも小規模な本質安全防爆構造のセンサ信号処理回路を構成できる。これらの発明に係る安全保持回路は小さな回路で実現されるため、非危険場所または危険場所であるが耐圧防爆構造のケース内にも容易に装備することができる。これにより、本計器のユーザは計器に外付けの特別な機器を必要とせずに、防爆型の計器を、非防爆型の計器と変わりなく、簡便に計装することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  センサ素子のみ危険場所に配備する計器装備の全体構成図を示す。
【図２】  センサ素子を危険場所に、安全保持回路を含む計器本体を危険場所における耐圧防爆構造ケース内に配備する計装器装備の全体構成図を示す。
【図３】  従来例である電流制限抵抗Ｒｈだけによる本質安全防爆回路の例を示す。
（図中に示すところの非危険場所には、危険場所内の耐圧防爆構造ケース内も含める。以降の図でも共通とする。）
【図４】  請求項１に係る発明の電流制限抵抗Ｒｈおよびオペアンプによる電流測定回路方式の例を示す。
【図５】  請求項２に係る発明のブロッキングコンデンサ回路構成の例を示す。
【図６】  請求項３に係る発明のブロッキングコンデンサおよびオペアンプによる回路構成であり、電流計測方式回路の例を示す。
【図７】  請求項４に係る発明である請求項１の改良回路構成であり、電圧計測方式回路の例を示す。
【図８】  請求項５に係る発明である請求項３の改良回路構成であり、電圧計測方式回路の例を示す。
【符号の説明】
１        センサ素子
２        センサ素子以外の計器全体
３        計器内の安全保持回路
４        計器内のその他内部回路
５        受信器
６        商用電源
７ａ      計測用センサ駆動電源（直流）
７ｂ      計測用センサ駆動電源（交流）
１０      駆動用オペアンプ
２０      帰還用オペアンプ
Ｒｈ      安全保持用電流制限抵抗
Ｃｈ      ブロッキングコンデンサ
Ｖｉｎ    ７ａまたは７ｂの計測用駆動電圧
ＺＳ      センサインピーダンス
ＦＧ      フレームグランド
Ｖｃｃ    オペアンプ電源
３０      電流計
３１      電圧計
１００    基準抵抗
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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