(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向に設置された透明石英管内で加熱溶融するフローティング・ゾーン方式の単結晶育成装置であって、装置本体にはコンピュータが接続され、そのコンピュータのＰＣモニター画面には、前記フローティング・ゾーンの画像を表示するとともに、前記装置本体を制御可能なボタン類や、制御部位毎の設定値あるいは現状値を表示する表示窓や、時間経過情報を表示する表示窓を任意の設定時間間隔で自動的に切り換えて、前記ボタン類や表示窓のうち少なくとも一つをフローティング・ゾーンの画像と同一画面内に表示することを特徴とする単結晶育成装置。
【請求項２】
前記コンピュータにはＶＴＲが接続され、ＰＣモニター画面全体の画像を記録することを特徴とする請求項１に記載の単結晶育成装置。
【請求項３】
前記画像表示画面には、任意に設定可能な、長さを示すスケールが表示されたことを特徴とする請求項１に記載の単結晶育成装置。
【請求項４】
前記コンピュータはネットワークを介して接続された複数のコンピュータからなり、各コンピュータのＰＣモニター画面は、同じ画像、同じ表示窓を表示したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の単結晶育成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集中加熱式でフローティング・ゾーン法により、高融点材料の単結晶を育成する単結晶育成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フローティング・ゾーン法（以降ＦＺ法と呼ぶ）の単結晶育成装置は、原料棒を一端で鉛直に保持し、その原料棒と種結晶の接合部を加熱溶融して溶融帯（フローティング・ゾーン、以降ＦＺと呼ぶ）を作り、順次原料棒を溶融凝固させることにより単結晶化するものである。その大きな特徴の一つとして、分解溶融物の単結晶を得ることができるという利点を有する。そのため、例えば酸化物超電導材料などの単結晶育成が困難な材料に対して、近年よく利用されている。
【０００３】
ここで、図７を用いて、一般的な単結晶育成装置の構造について述べる。図７は正面図であり、装置本体１と制御盤２とからなる。装置本体１については、部分的に断面図で描いている。
【０００４】
まず装置本体１の構造、機能の説明をする。加熱源としてハロゲンランプ等のランプ３が用いられ、そのランプ３を回転楕円面鏡４の一方の焦点に置く。そして他方の焦点をＦＺに置き、ランプ３から発せられた光を回転楕円面鏡４でＦＺに集光させて、ＦＺを形成するものである。図に示すものは、回転楕円面鏡４が二つの形態である双楕円面鏡による単結晶育成装置である。
【０００５】
また、上下を気密シールされた透明石英管５の中に、原料棒７が吊り下げられ、その下方には結晶棒８が取付けられる。原料棒７と結晶棒８は、それぞれ上主軸１０及び下主軸１１にセットされている。ここで、上主軸１０は回転及び上下動が可能で、それらの駆動源はＡ回転モータ１２及びＡ上下動モータ１３である。同様に、下主軸１１も回転及び上下動が可能で、それらの駆動源はＢ回転モータ１４及びＢ上下動モータ１５となっている。従って、その両主軸１０，１１の回転・上下動に伴い、両棒７，８が同様に動く。
【０００６】
一方、透明石英管５には、バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３を介して配管が接続されている。いずれも図示はしないが、Ｖ１には真空排気装置が接続され、Ｖ２には不活性ガス供給部（Ｎ２，Ａｒ等のガスボンベ）が接続されていて、Ｖ３はリークバルブとなっている。
【０００７】
この装置を用いた、単結晶の育成は次のように行われる。まず、Ｖ２，Ｖ３を閉じたままＶ１を開き、透明石英管５の内部を真空排気する。その後Ｖ１を閉じて、Ｖ２，Ｖ３をそれぞれ適度に開いて、透明石英管３内部を、所定流量あるいは所定圧力のガスで置換する。
【０００８】
この後、ランプ３を点灯し、原料棒７に回転を与えながら原料棒７の先端を加熱する。先端部が溶けたら、原料棒７と結晶棒８とを接近させて、両者を接合し、ＦＺを形成する。引き続き、この状態で原料棒７と結晶棒８をゆっくりと引き下げていくと、単結晶が順次育成されていく。
【０００９】
図８は、そのときのＦＺ付近を表す拡大図である。ＦＺは中央がくびれた形状となり、正常に単結晶が育成されている状態である。
【００１０】
次に、図７に戻り、制御盤２の説明に移る。その制御盤２は、大きく分けて３つの部分からなる。まずランプ３の照度を調整するランプ照度調整部、次に原料棒７及び結晶棒８を回転あるいは上下動させるモータのスピードを調整するモータ調整部、それにモニター１７である。このモニター１７は、ＦＺ付近に設置されたＣＣＤカメラ（図示省略）が捕らえた、ＦＺの映像を映し出すものである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来の単結晶育成装置には、以下の問題点があった。例えば、酸化物超電導材料（ＢｉＳｒ２Ｃｕ３Ｏ７＋δやＬａ２−ｘＳｒｘＣｕＯ４等）は、分解溶融物のため、ＴＳＦＺ法（トラベリング・ソルベント・ＦＺ法）による単結晶の育成が行なわれている。このＴＳＦＺ法は、目的の結晶組成が絶えず析出するように、ＦＺの融液組成が調整されている。この場合、析出型の結晶成長であるために、結晶成長速度は通常極めて遅くなり、０．３〜０．５ｍｍ／時間となってしまう。従って、１００〜２００ｍｍの単結晶を育成するのに、１〜２週間連続で単結晶育成装置を稼動するのが常である。
【００１２】
また、立ち上げ時の、ＦＺを形成し単結晶育成を開始する時には、前に説明したように、図８に示したような正常な単結晶を育成するために、特に次の作業が必要であった。ランプの照度や、各モータの回転あるいは下降スピードを、初期の設定値のまま育成を継続したのでは、正常なＦＺを維持するのは困難となるため、モニターでＦＺの状態を監視しながら、或る時間間隔で、それらの設定値を逐一適当な値に調整しなければならなかった。そしてこの調整作業は微妙な調整を要し、通常一昼夜にも及ぶものであった。これは次の理由によるものであった。
【００１３】
結晶成長が進むと、元来ポーラスな原料棒が結晶化する過程で、その熱伝導率や光吸収率が変化して、ＦＺの形状が微妙に変化していく。そのために、当初は１時間程度ごとにＦＺの様子を監視しながら、微調整を行なう必要があった。そして、時間が経過するとともに、ＦＺは安定になっていくため、微調整を行なう時間間隔をだんだん長くすることはできた。しかし、１００〜２００ｍｍ長の単結晶を得る間は、適当な時間間隔で監視、微調整をする必要があった。
【００１４】
ちなみに、図９に、正常ではない状態のＦＺ形状を１例として示す。これは、原料棒７の直径φｄに対してＦＺの長さｈが長くなってしまって、ＦＺが自重に耐え切れず、周囲に垂れ落ちる寸前の状態である。この主要因は、ランプ照度が高すぎたことにある。逆に、図示はしないが、ランプ照度が低い場合には、ＦＺの長さｈが短くなって、ＦＺの粘性が高くなり、原料棒が鉛直状態で回転せずに芯振れを起こしながら回転し、ＦＺの安定維持が困難となる。
【００１５】
つまり、これまで説明した、監視しながらの調整作業を怠ると、容易にこのような不具合が発生してしまった。
【００１６】
これは言い換えると、初めの約１日間は、装置（制御盤）の側に付きっきりで、モニターを見ながら調整作業をしなければならず、装置から離れて他の業務を行なうことがほとんど不可能に近かった。同時に休憩さえも間々ならないものであった。
【００１７】
更に制御盤について述べると（図７参照）、ランプ照度調整部には照度調整ボリュームが、またモータ調整部には各モータのスピードコントロールパネルや正逆転・停止スイッチが最低限必要となる。そのために、制御盤全体がどうしても大きなものになってしまった。これに加えてモニターも必要となる。図７では、モニターを制御盤の表面パネルの中にレイアウトしているが、作業者がモニター画面を見やすくしようとして、制御盤と別置きに配置する場合も多い。そうなると、装置本体以外のものが、一層多くの場所を占有することになった。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上述した問題点を解決するために、本発明の単結晶育成装置は次の手段をとっている。
【００１９】
まず、装置本体にはコンピュータが接続され、そのコンピュータのＰＣモニター画面には、ＦＺの画像を表示するとともに、装置本体を制御可能なボタン類や、制御部位毎の設定値あるいは現状値を表示する表示窓や、時間経過情報を表示する表示窓を任意の設定時間間隔で自動的に切り換えて、前記ボタン類や表示窓のうち少なくとも一つをＦＺの画像と同一画面内に表示することができる。
【００２０】
更に、コンピュータにはＶＴＲが接続され、それにＰＣモニター画面全体の画像を記録することができる。
【００２１】
これに加えて、画像表示画面には、任意に設定可能な、長さを示すスケールが表示されている。従って、そのスケールを用いて、ＦＺの長さ等を知ることができる。
【００２２】
最後に、この単結晶育成装置において、ネットワークで接続された複数のコンピュータを備え、各コンピュータのＰＣモニター画面全てが同じ表示機能を有しており、別のいずれのコンピュータであっても装置本体の駆動部或いはランプ照度を制御でき、また、駆動部のそれぞれの設定値あるいはランプ電圧を表示、もしくは時間経過情報を表示できる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下添付図面にしたがって、本発明に係る単結晶育成装置の好ましい形態について詳述する。なお、従来の装置と同じ構成部品については、同一符号を用いる。
【００２４】
【実施例１】
まず実施例１について説明する。図１は、本発明の単結晶育成装置の正面図であり、装置本体とコンピュータとからなる。装置本体については、一部断面で描いている。
【００２５】
最初に全体の構成から述べる。装置本体１ａは、従来と変わらず、基本的に同じ構成である。装置本体１ａの近くには、コンピュータ２０と、そのコンピュータ２０に接続されたＰＣモニター２１が配置される。
【００２６】
装置本体１ａの駆動部やランプ照度調節部、それにＣＣＤカメラはそれぞれコンピュータ２０と電気配線されている。コンピュータ２０には、インターフェース用のボードやビデオキャプチャー用のボードが内蔵されている。コンピュータは、インターフェース用のボードを介して、駆動部のモータやランプ照度調節部に接続されている、またビデオキャプチャー用のボードを介してＣＣＤカメラに接続されている（これらの配線は図示していない）。
【００２７】
従ってこの構成により、所定の信号をコンピュータ２０が出すことにより、装置本体１ａの駆動部の各モータを正逆転・停止することができ、そのスピードも変更することができる。また、別な所定の信号をコンピュータ２０が出すことで、ランプの照度を設定する（ランプの印加電圧・電流等で）ことができる。それと同時に、コンピュータ２０に取り込んだＣＣＤカメラの画像を、ＰＣモニター２１で映し出すことができる。それらの具体的な手段を、図２〜図５に示す各種のＰＣモニター２１画面を用いながら、以下に詳しく説明する。
【００２８】
なお、ＰＣモニター２１が大画面であれば、その画面の中に、ＦＺを表示する画像表示画面とともに、駆動部あるいはランプ照度を制御可能なボタン類と、制御部位毎の設定値あるいは現状値を表示する表示窓と、時間経過情報を表示する表示窓の全てを一度に映し出すことができる。しかし、通常のモニターの場合、画面はさほど大きくはなく、全てを一度に映し出そうとすると、後に説明するボタン類や表示窓が大変小さいものとなって、使用に適さない。従って、図２〜図５に示す各種のＰＣモニター２１画面は、その不具合を回避するために、ボタン類や表示窓を適当に大きくとった、通常のモニターを用いたとき実用的なものであって、各画面を別々に表示するものとなっている。
【００２９】
まず図２から説明する。これはメイン画面であり、ここにはＦＺの画像を表示する画像表示画面はない。これは、単結晶を育成する際のランプ電圧のタイムスケジュールを設定するもので、このタイムスケジュールに沿って自動運転を開始することができる。また、経験的に決められた基本スケジュールを持つ何種類かのプログラムを、コンピュータ２０の中に事前にプログラム（セーブ）しておいて、その中の一つを選択して、自動運転を開始することも可能となっている。図２では、プログラム名「テスト１」で運転している状態を示している。
【００３０】
ここで、「Monitor」ボタンを（コンピュータ２０に接続された）マウスでクリックすると、以下図３〜図５に順次示すように、画像表示画面とともに装置本体の制御可能なボタン類や表示窓を表示する画面に変わる。
【００３１】
図３について説明する。画面の左側は、ＣＣＤカメラにより取り込んだ画像をリアルタイムの動画で映し出す画像表示画面となっている。
【００３２】
一方、画面右側の左半分には「Monitor」エリアがある。この中のボタン類や表示窓の機能あるいは表示内容は以下の通りである。
１）フレーム「Set Point」…上向き・下向き矢印キーをクリックすることで、ランプ電圧の設定値を変更。
２）フレーム「Lamp Power Monitor」…ランプの実測電圧値（Ｖ）・実測電流値（Ａ）・電力（Ｗ）を表示。
３）フレーム「Offset」…ランプ電圧の設定値とランプの実測電圧値の差を矯正。つまり、このモニターエリアには、ランプ照度の調節機能と表示機能を併せ持っている。また、「Ｌ」「Ｒ」はランプ電源の呼び名であり、現在２個ある電源を１個ずつ各ランプに割り当てている。
【００３３】
なお、右半分には「Control」エリアがあり、ここでの主なボタン類の機能は以下の通りである。
４）フレーム「Upper Rotation」…上主軸の正転・逆転。
５）フレーム「Gap」…上主軸のみを上下動させてＦＺの長さを変えるもので、各モータの低速・高速が選択できる。なお、この場合、上記２種類の回転スピード（上下動速度）は、装置本体に組み込まれた各モータのスピードコントロールパネルで設定されている。ボタンをクリックすることにより、所定のスピードコントロールパネルを選択するものである。
６）フレーム「Feed」…上主軸と下主軸が一定の間隔を保ったまま、同時に上下動するもので、これも各々低速・高速が選択できる。
【００３４】
次に図４の説明に移る。これもこれまでと同様に、画面の左側が、ＣＣＤカメラにより取り込んだ画像をリアルタイムの動画で映し出す画像表示画面であり、また画面右側の左半分にはランプの「Monitor」エリアがある。そして、これは右半分が各モータとガス関係の設定値を表示する「Motor Gas」表示画面である。
【００３５】
これにより、各モータの回転数や上下動速度を知ることができる。同時に、ガスの種類や圧力も知ることができる。なお、これらの数値や名称は、運転の前あるいは運転中にキー入力してもいいし、価格が許せば、回転数やガス圧力を検知する電気的センサーを装置本体に取りつけて、それらが検出した値を、コンピュータに逐一フィードバックさせて自動的に表示することもできる。
【００３６】
また、モータの回転数制御に関して言うと、これも価格が許せば、サーボモータ等を採用して、任意な回転数を画面で設定（数値設定あるいはボリューム調整バー等を表示させて）し、同時にその実測値を画面に表示することもできる。
【００３７】
最後に図５の説明に移る。これもこれまでと同様に、画面の左側は、ＣＣＤカメラにより取り込んだ画像をリアルタイムの動画で映し出す画像表示画面であり、また画面右側の左半分にはランプの「Monitor」エリアがある。そして、これは右半分が情報表示画面となっている。ここでは、装置稼動開始時刻や稼動経過時間あるいはランプ３の使用時間等、各種の時間情報を表示する。
【００３８】
以下に例をいくつかあげる。
１）装置稼動開始時刻…「Start Time」下の表示窓に、開始日・時刻を表示。
２）稼動経過時間…「Total Pass Time」下の表示窓に、経過時間を表示。
３）ランプ使用時間…「Lamp Use Time」下の表示窓に、ランプ使用時間を表示。
【００３９】
以上、図３〜図５を用いて、各表示画面の特徴・機能を説明したが、これら３つの表示画面は、コンピュータ２０にプログラムし、任意の設定時間間隔で自動的に切り換えている。
【００４０】
またこの切り換えの際、ＰＣモニター画面左側の、ＣＣＤカメラが取り込んだＦＺの画像は何ら変化はしない。
【００４１】
更に補足すると、画面最下段の「Close」ボタンをクリックすれば、図２で説明したメイン画面に移ることができる。
【００４２】
いま、「R-Info」を選択したときの画面を添付していないが、この画面は、図５で説明した「L-Info」の内容と同等である。異なる点は、「Lamp Use Time」下の表示窓に表示されるランプ使用時間（電源Ｒに割り当てられたランプ）だけである。
【００４３】
また、コンピュータ２０のモニター出力端子にスキャンコンバータを接続して、映像をスキャンコンバータからＰＣモニター２１とＶＴＲに振り分ければ、ＰＣモニター２１の画面全体をＶＴＲに記録することができる（後に説明する図６参照）。連続的な画像データを記録するとなると、その容量は膨大な量になる。そのため、それを記録するのは、ＨＤ（ハード・ディスク）では容量不足となり、ＶＴＲが適当な記録装置となる。
【００４４】
ただ、画面全体を連続的に記録するのではなく、ある瞬間を定期的・非定期的に記録するのであれば、ＨＤで十分である。そして、その記録を後で取り出して、それをスライド映像にして発表することもできるし、レポートに添付することもできる。
【００４５】
更に本発明の単結晶育成装置は、ＰＣモニター２１画面左側の、画像表示画面において、次の特徴も有している（図３参照）。
【００４６】
ここには、長さを示すスケールが表示されている。またこのスケールとともに、スケールの全長を示す数値が表示されている。この数値は、コンピュータ２０で任意に設定後、画面に貼り付けることができる。なお、このスケールは通常、映し出された物の長さ・大きさを把握するためのものであり、等倍で実測する場合、以下のようにして数値を決める。
【００４７】
装置稼動の前に、スケール位置に、既に長さがわかっている物を映し出して、スケールと物とを対比させる。そこでスケールの全長を把握し、その数値を画面に貼り付ける。
【００４８】
また、スケールは任意な長さに、マウスでドラッグして変更することができるし、数値ともども複数（例えば縦・横に）配置することもできる。従って、ＣＣＤカメラにズームレンズを装着して、倍率を変化させた場合も、その倍率に合ったスケールあるいは数値に変更すればよい。図３〜図５においては、スケールと数値を縦横に２式配置しており、ＦＺの長さ及び太さを知ることができる。
【００４９】
以上図１〜図５を用いて説明した、本発明の実施例１について、その効果を以下にまとめる。
（１）コンピュータのＰＣモニター画面内で、ＦＺの様子を監視できるとともに、装置本体の駆動部やランプ照度を調節することが可能である。そのため、これまでにない、スマートでかつ作業者に優しい操作環境を提供できるとともに、大変省スペース化が図れる。
（２）同時に、ＰＣモニター画面内では、これまで述べたＦＺの画像を表示する画像表示画面とともに、駆動部あるいはランプ照度を制御可能なボタン類や、制御部位毎の設定値あるいは現状値を表示する表示窓や、時間経過情報を表示する表示窓を任意の時間間隔で自動的に切り換えて少なくとも一つ表示している。従って、単結晶を育成する最中、ＰＣモニター画面内で各種の情報を知ることができる。
【００５０】
それに、画面全体を連続的にＶＴＲに記録することもできるため、単結晶の育成状態を、後で各種の情報とともに振り返ることができる。これは、育成の途中で何かトラブルが生じたときの原因解明に大いに役に立つ。また、ある瞬間を定期的・非定期的に記録する場合は、ＶＴＲではなくＨＤに記録することもでき、その記録は色々なプレゼンテーション用の資料として大変有効なものとなる。
（３）ＦＺの様子を監視する画像表示画面には、長さを示すスケールが表示されている。このスケールに照らし合わせて、例えばＦＺの実際の長さ等を知ることができる。これは、ランプ照度あるいは材料棒の回転数・下降スピード等重要なパラメータを設定する際、大変有効な情報となる。
【００５１】
また、ＰＣモニター画面内にはマウスのポインタがあり、これはマウスにより画面内を自由に移動することができる。このポインタは、他の作業者と、ＰＣモニター画面を見ながら画面内の情報を確認し合う時に役に立つ。
【実施例２】
次の実施例２の大きな特徴は、装置本体に接続されたコンピュータが１台だけではなく、複数台に及ぶ点である。図６を用いて、その構成を述べる。図６は、それらの接続状態を示すイメージ図である。
【００５２】
装置本体１ａには、まずコンピュータ２０ａが接続され、その先にハブ（分岐装置）が接続される。そのハブに複数のコンピュータ２０ｂ，２０ｃ，２０ｄが接続される（いわゆるＬＡＮ；ローカル・エリア・ネットワーク）。接続回線の長さが許す限り、それぞれのコンピュータ２０ｂ，２０ｃ，２０ｄは、装置本体１ａから遠く離して設置することができる。例えば、３つのコンピュータ２０ｂ，２０ｃ，２０ｄをそれぞれ、装置本体１ａとは別の部屋に設置することもできる。
【００５３】
ここで、複数のコンピュータ２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ及びそのＰＣモニター２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの画面は全て、実施例１で説明したコンピュータ及びそのＰＣモニター画面と同じ機能を有している。従って、いずれのコンピュータであっても、実施例１で説明した操作ができる。
【００５４】
すなわち、装置本体１ａが設置された実験室とは別の、例えば研究室にコンピュータ２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを設置すれば、研究室にいながら単結晶の育成状態を監視できるし、そこで装置本体１ａをコントロールすることもできる。もちろん、研究室内に既にコンピュータがある場合、その中に所定のインターフェース用のボード等を組み込めば、専用のコンピュータを新たに設置する必要はない。また、新たに専用のコンピュータを設置したとしても、それは研究室に何ら違和感をもたらすものでもない。
【００５５】
同時に、研究室であれば、実験室ではできなかった、別のデスクワークをしながらでも、監視・調整作業を続けることができる。
【００５６】
更なる展開として、接続されるコンピュータはＬＡＮに止まらず、電話回線を利用した、外部へのダイヤルアップネットワーク接続も可能である。装置本体１ａに接続されたコンピュータ２０ａからモデムを介して電話回線に入り、電話回線は、その先のモデムにつながり、そこから別のコンピュータ２０ｅ及びＰＣモニター２１ｅに接続される。
【００５７】
こうすれば、作業者の自宅にコンピュータを設置し、そのコンピュータに接続して、自宅にいながら監視・調整作業をすることができる。
【００５８】
前に、現状の問題点として指摘したように、単結晶の育成作業においては、育成開始直後の約１日間が、安定した結晶を得るのに重要な期間であり、その間は、不具合が生じないように、小刻みな監視・調整作業がどうしても必要である。そのために、初めの約１日間は、装置（制御盤）の側に付きっきりにならなければならなかった。
【００５９】
しかし本発明の単結晶育成装置であれば、自宅でリラックスしてその作業ができる。また、従来であれば、初めの約１日間は自宅に戻ることさえできなかったものが、逆に、最初から自宅で作業をすることさえ可能である。
【００６０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の単結晶育成装置であれば、コンピュータのＰＣモニター画面上で、ＦＺの監視作業とともに、前記装置本体を制御可能なボタン類や、制御部位毎の設定値あるいは現状値を表示する表示窓や、時間経過情報を表示する表示窓を任意の設定時間間隔で自動的に切り換えて、前記ボタン類や表示窓のうち少なくとも一つをＦＺの画像と同一画面内に表示することで、大変見易く操作し易いスマートな操作環境になるとともに、大きく省スペース化が図れる。
【００６１】
また、単結晶育成中のＰＣモニター画面全体を、連続的な映像あるいは瞬間的な静止映像として、ＶＴＲやＨＤに記録することができる。この記録映像は、トラブル発生時の原因究明用として、あるいは発表資料用として大変役にたつ。
【００６２】
更に、コンピュータを装置本体とは別室に設置したり、場合によっては自宅に設置して、そのコンピュータのＰＣモニター画面上で、先程と同等の、ＦＺの監視作業、また各種の調整作業ができる。従って、リラックスした環境で作業ができるとともに、育成開始直後の重要な期間においても、不具合が発生することなく正常な単結晶を育成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の単結晶育成装置を示す正面図（一部断面図）
【図２】 本発明の単結晶育成装置のＰＣモニター画面で、メイン画面
【図３】 本発明の単結晶育成装置のＰＣモニター画面で、画像表示画面と、ランプモニタリング及びコントロール画面
【図４】 本発明の単結晶育成装置のＰＣモニター画面で、画像表示画面と、ランプモニタリング及びモータ情報表示画面
【図５】 本発明の単結晶育成装置のＰＣモニター画面で、画像表示画面と、ランプモニタリング及び時間情報表示画面
【図６】 本発明の単結晶育成装置において、装置本体と複数のコンピュータとの接続状態を示すイメージ図
【図７】 従来の単結晶育成装置を示す正面図（一部断面図）
【図８】 正常に単結晶が育成する様子を示すＦＺの拡大図
【図９】 単結晶が育成する過程で、不具合が生じたＦＺの様子を示す拡大図
【符号の説明】
１，１ａ 装置本体
２ 制御盤
３ ランプ
４ 回転楕円面鏡
５ 透明石英管
７ 原料棒
８ 結晶棒
１０ 上主軸
１１ 下主軸
１２ Ａ回転モータ
１３ Ａ上下動モータ
１４ Ｂ回転モータ
１５ Ｂ上下動モータ
１７ モニター
２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ コンピュータ
２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ ＰＣモニター
【図１】
0003761387.tif 000002
【図２】
0003761387.tif 000003
【図３】
0003761387.tif 000004
【図４】
0003761387.tif 000005
【図５】
0003761387.tif 000006
【図６】
0003761387.tif 000007
【図７】
0003761387.tif 000008
【図８】
0003761387.tif 000009
【図９】
0003761387.tif 000010