【手続補正書】
【提出日】平成29年12月4日(2017.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
上述の全ての移送について、ＶＴＭロボットは、ウエハを、ＯＵＴエアロック６２にそれに関連付けられたスロットバルブ６１を通して逆経路に沿って移動させるように、また、真空処理モジュール８０、８３、１２２のうちの選択されたいずれかとＰＴＭ８７との間でいずれかの方向に沿って移動させるようにも構成される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
外側プロセスチャンバ１０８は、ＰＦＡ（ペルフルオロアルコキシ）樹脂でコーティングされたアルミニウムで作成されることが好ましい。この実施形態におけるチャンバは、円筒主壁１０と、下方部分（下方の壁）１４と、上方部分１５とを有する。上方部分１５からは、より狭い円筒壁３４が伸びて、蓋３６によって閉じられる。ウエハは、側方の開口部（不図示）を通じて内側チャンバ１１０に対して出し入れされることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
外側プロセスチャンバ１０８の上方部分には、ロータリチャック３０が配置されている。ロータリチャック３０は、装置の使用時にウエハＷを回転自在に支持する。ロータリチャック３０は、リングギア３８を含むロータリドライブを組み入れており、該ロータリドライブは、後ほど詳しく説明されるように、ウエハＷの周縁部への接触及びウエハＷの周縁部の解放を選択的に行うための複数の偏心可動式把持部材４０に係合して該部材を駆動する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
この実施形態では、ロータリチャック３０は、円筒壁３４の内表面に隣接して提供されるリングロータである。リングロータの反対側には、円筒壁３４の外表面に隣接してステータ３２が配置されている。ロータ３０及びステータ３２は、リングロータ３０を（及びそれによって支持ウエハＷを）回転させて能動磁気軸受けを通じて浮遊させ得るモータとして機能する。例えば、ステータ３２は、ロータ上に提供された対応する永久磁石を通してロータリチャック３０を回転自在に駆動するように能動制御されえる複数の電磁コイル又は電磁巻き線を含むことができる。ロータリチャック３０のアキシャル・ラジアル（軸方向及び半径方向の）軸受けは、ステータの能動制御によって又は永久磁石によって実現されてもよい。こうして、ロータリチャック３０は、機械的接触に縛られることなく浮遊されえる及び回転自在に駆動され得る。或いは、ロータは、受動軸受けによって保持されてよく、この場合、ロータの磁石は、チャンバの外の外側ロータ上に円周方向に配置された対応する高温超伝導磁石（ＨＴＳ磁石）によって保持される。この代替の実施形態によって、リングロータの各磁石は、外側ロータ上のその対応するＨＴＳ磁石に留め付けられる。したがって、内側ロータは、物理的に接続されることなく外側ロータと同じ動きをする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
蓋３６は、その外側にマニホールド４２を取り付けられ、該マニホールドは、蓋３６を突っ切ってウエハＷの上方でチャンバ内へ通じる媒体入口４４を提供する。この実施形態におけるウエハＷは、入口４４を通して供給される流体がウエハＷの上向き表面に衝突するように、ロータリチャック３０から下向きに吊り下がり、把持部材４０によって支持される。ウエハは、下方からチャック３０に装填されることが好ましく、したがって、チャック３０の内径は、ウエハＷの直径よりも小さくてよい。更に、蓋３６は、着脱可能である必要はない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
ウエハＷが、例えば直径が３００ｍｍ又は４５０ｍｍの半導体ウエハである場合、ウエハＷの上向きの側は、ウエハＷのデバイス側又は表側のいずれかであってよく、ウエハがロータリチャック３０上にどのように位置決めされるかによって決定され、これは、更に、内側チャンバ１１０内で実施されている具体的なプロセスによって決定付けられる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
図３の装置は、更に、内部カバー２を含み、該カバー２は、外側プロセスチャンバ１０８に対して相対的に可動である。内部カバー２は、図３において、その第１の、即ち開かれた状態で示されており、この状態では、ロータリチャック３０は、外側プロセスチャンバ１０８の円筒状の外壁１０と連通している。この実施形態におけるカバー２は、概ねカップ状であり、起立する円筒壁２１によって取り囲まれたベース２０を含む。カバー２は、更に、ベース２０を支持する及び外側プロセスチャンバ１０８の下方の壁１４を突っ切る中空シャフト２２を含む。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
中空シャフト２２は、外側プロセスチャンバ１０８内に形成されたボス１２によって取り囲まれ、これらの要素は、中空シャフト２２が外側プロセスチャンバ１０８との気密シールを維持しつつボス１２に対して相対的に変位されることを許容する動的シールを通じて接続される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
カバー２は、更に、吐出菅２５内へ通じる処理液吐出開口２３を含む。吐出菅２５は、カバー２のベース２０に強固に取り付けられる一方で、気密シールを維持しつつ底壁１４に対して相対的に軸方向に滑動され得るように、動的シール１７を通じて外側プロセスチャンバ１０８の底壁１４を突っ切る。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
排気口１６が、外側プロセスチャンバ１０８の壁１０を突っ切る一方で、ロータリチャック３０の内表面の近くでは、別の排気口４６が、蓋３６を突っ切る。各排気口は、適切な排気導管（不図示）に接続され、これらの導管は、それぞれのバルブ及び通気機器を通じて独立に制御されることが好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
図３に示された状態は、ウエハＷの出し入れ時に相当する。具体的には、ウエハＷは、蓋３６を通して、又はより好ましくは、チャンバ壁１０に設けられたサイドドア（不図示）を通して、ロータリチャック３０に装填できる。しかしながら、蓋３６が適切な位置にあり、いずれのサイドドアも閉じられているときは、外側プロセスチャンバ１０８は、気密性であり、定められた内部圧力を維持することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
下方のカップ２は、カバー２上のシールガスケット２６が外側プロセスチャンバ１０８の内側に接触するとともに、外側プロセスチャンバ１０８の内側のガスケット１８が偏向部材２４に接触し、それによって、自身の内側でウエハＷの処理が実施される密閉された外側プロセスチャンバ１０８が形成されるまで、外側プロセスチャンバ１０８に対して相対的に垂直方向に可動である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
上述のように、ガス流Ｇ３が、チャンバ１０１内且つ外側プロセスチャンバ１０８の外の容積内へ提供され、排気口Ｅ３を通して排出されるのに対し、開口４６は、例えば、吐出管２５を通して引き続き排出できる（Ｅ２）内側のガス流Ｇ４を可能にするために利用できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
図４は、第２の大気圧処理モジュール１２５がＡＰＭ１０１に並行して提供される代替の一実施形態を示している。この実施形態のＡＴＭ１２８は、２つのＡＰＭおよび２つのＰＴＭにアクセスし、このとき一方がＩＮ（進入）し、他方がＯＵＴ（退出）するようにアクセスする。図４の実施形態は、その他の点では、図１〜３に関連して説明されたのと同様である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2017183712.tif 000001