(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上のパッドを介して入力された信号に応じて画像を表示する電気光学装置であって、
前記基板の面上に形成された薄膜トランジスタと、
前記基板の面上に形成され、前記パッドに対応する部分を有する第１導電膜と、
前記基板の面上に形成され、前記薄膜トランジスタおよび前記第１導電膜を覆う第１層間絶縁膜と、
前記第１層間絶縁膜の面上に形成され、前記パッドに対応する部分を有し、前記第１導電膜とは電気的に導通していない第２導電膜と、
前記薄膜トランジスタを覆い、かつ前記第１層間絶縁膜の面上に積層された複数の絶縁層からなる第２層間絶縁層であって、前記複数の絶縁層のうちの一部の絶縁層は前記パッドが形成される領域と当該パッドの周辺の領域とからなるパッド形成領域を避けて形成される一方、他の絶縁層は前記パッド形成領域を含む領域にわたって形成された第２層間絶縁層と、
前記他の絶縁層に形成された開孔部を介して前記第２導電膜に接触し、前記パッドを構成する第３導電膜と
を具備することを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記一部の絶縁層は、前記パッド形成領域に加えて当該パッド形成領域から前記基板の縁辺に至る縁辺領域を避けて形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記パッド形成領域は、前記基板上に列をなす複数の前記パッドのうち隣接するパッド同士の間の領域を含む
ことを特徴とする請求項１または２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記開孔部は、前記他の絶縁層のうち前記第３導電膜に対応する領域の大部分にわたって設けられている
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の電気光学装置。
【請求項５】
前記他の絶縁層は、前記第２導電膜のうち前記パッド形成領域内に位置する周縁部を覆う
ことを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置。
【請求項６】
前記第１導電膜は、前記開孔部の内周縁よりも内側に形成されている
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の電気光学装置。
【請求項７】
前記開孔部は、前記他の絶縁層のうち前記パッドに対応する領域内に複数設けられている
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の電気光学装置。
【請求項８】
基板上のパッドを介して入力された信号に応じて画像を表示する電気光学装置であって、
前記基板の面上に形成された薄膜トランジスタと、
前記基板の面上に形成され、前記パッドに対応する部分を有する第１導電膜と、
前記基板の面上に形成され、前記薄膜トランジスタおよび前記第１導電膜を覆う第１層間絶縁膜と、
前記第１層間絶縁膜の面上に形成され、前記パッドに対応する部分を有し、前記第１導電膜とは電気的に導通していない第２導電膜と、
前記薄膜トランジスタを覆い、かつ前記パッドに対応する領域と当該パッドの周辺の領域とからなるパッド形成領域を含んで形成されて前記第２導電膜を覆う第２層間絶縁膜と、
前記パッド形成領域内において前記第２層間絶縁膜に形成された複数の開孔部を介して前記第２導電膜に接触し、前記パッドを構成する第３導電膜と
を具備することを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
前記複数の開孔部は、前記第３導電膜によって覆われる領域内において略均等に分布する
ことを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置。
【請求項１０】
前記複数の開孔部は、前記第３導電膜によって覆われる領域内に形成され、かつ略矩形状の当該第３導電膜のうち対向する二辺の近傍に偏在する
ことを特徴とする請求項８または９に記載の電気光学装置。
【請求項１１】
前記第３導電膜のうちの中央部近傍に対応して、前記開孔部がさらに設けられている
ことを特徴とする請求項１０に記載の電気光学装置。
【請求項１２】
前記第３導電膜は、導通粒子を介して実装部品の端子と接続されるものであり、前記開孔部は、前記開孔部に対応して前記第３導電膜に形成された窪みに前記導通粒子が嵌り込むように、その大きさが選定されている
ことを特徴とする請求項８ないし１１のいずれかに記載の電気光学装置。
【請求項１３】
前記開孔部は、前記第３導電膜の窪みに嵌り込んだ前記導通粒子の一部が当該第３導電膜の表面に対して突出するように、その大きさが選定されている
ことを特徴とする請求項１２に記載の電気光学装置。
【請求項１４】
基板上のパッドを介して入力された信号に応じて画像を表示する電気光学装置の製造方法であって、
薄膜トランジスタおよび前記パッドに対応する部分を有する第１導電膜を前記基板の面上に形成する第１工程と、
前記薄膜トランジスタおよび前記第１導電膜を覆う第１層間絶縁膜を前記基板の面上に形成する第２工程と、
前記パッドに対応する部分を有し、前記第１導電膜とは電気的に導通していない第２導電膜を前記第１層間絶縁膜の面上に形成する第３工程と、
前記薄膜トランジスタを覆い、かつ前記第１層間絶縁膜の面上に複数の絶縁層を積層して第２層間絶縁膜を形成する工程であって、前記複数の絶縁層のうちの一部の絶縁層を前記パッドに対応する領域と当該パッドの周辺の領域とからなるパッド形成領域を避けて形成する一方、他の絶縁層を前記パッド形成領域を含む領域にわたって形成する第４工程と、
前記他の絶縁層に形成された開孔部を介して前記第２導電膜と接触する第３導電膜を前記パッドとして形成する第５工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
前記第１工程は、前記薄膜トランジスタのゲート電極の形成とともに当該ゲート電極と同一の層から前記第１導電膜を形成する工程であり、
前記第３工程は、前記薄膜トランジスタのソース電極の形成とともに当該ソース電極と同一の層から前記第２導電膜を形成する工程である
ことを特徴とする請求項１４に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１６】
前記電気光学装置は、
前記薄膜トランジスタに接続されて、電気光学物質に電圧を印加する画素電極を具備し、
前記第５工程は、前記画素電極の形成とともに当該画素電極と同一の層から前記第３導電膜を形成する工程である
ことを特徴とする請求項１５に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１７】
前記第４工程は、前記基板上に形成された前記第２層間絶縁膜のうち、当該薄膜トランジスタと前記画素電極とを電気的に接続するための開孔部に対応する領域と、前記パッド形成領域とを同時に除去する工程を含む
ことを特徴とする請求項１６に記載の電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気光学装置、および、その製造方法に関し、特に、外部からの信号が入力されるパッド近傍の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気光学装置は、液晶やＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子といった電気光学物質を保持する基板と、当該電気光学物質に対して電圧を印加するための電極とを備えた構成が一般的である。さらに、この種の電気光学装置として、上記基板上に複数のパッドが形成されたものが知られている。かかる構成の下、上記電極への印加電圧を指示する信号（すなわち表示画像に応じた信号）は、外部装置から上記パッドを介して入力されるようになっている。
【０００３】
図２２は、従来の電気光学装置の一例たる液晶装置の構成を示す平面図である。なお、同図においては、上記電極に与えられるべき駆動信号を生成して出力する駆動回路（走査線駆動回路およびデータ線駆動回路）が、基板の表面に直接形成された液晶装置が例示されている。同図に示すように、液晶装置１０は、アクティブマトリクス基板２０と対向基板３０とがシール材４０を介して貼り合わされ、両基板間に液晶が封止された構成となっている。すなわち、シール材４０に設けられた液晶注入口４１から液晶が注入された後、当該液晶注入口４１が封止材４２によって封止される。対向基板３０には、その全面にわたって対向電極が形成されるとともに、表示に寄与し得る領域以外の領域を遮光する遮光層３１が形成されている。一方、アクティブマトリクス基板２０の面上には、複数の走査線およびデータ線と、これらの各交差に対応して設けられた画素電極および薄膜トランジスタとが設けられている。また、アクティブマトリクス基板２０は、対向基板３０から張り出した領域を有しており、この領域には、上記走査線に対して走査信号を出力する走査線駆動回路２１１と、データ線に対してデータ信号を出力するためのデータ線駆動回路２１２とが形成されている。これらの駆動回路は、複数の引廻し配線２１３を介して、アクティブマトリクス基板２０の縁辺に沿って列をなす複数のパッド２１４の各々に接続されている。そして、アクティブマトリクス基板２０のうちパッド２１４の近傍の領域には、フレキシブルプリント基板（Flexible Print Circuit；以下、「ＦＰＣ」と表記する）の一方の縁端部が接合されるようになっている。このような構成の下、走査線駆動回路２１１およびデータ線駆動回路２１２は、外部装置からＦＰＣを介してパッドに入力された信号に応じて走査信号またはデータ信号をそれぞれ生成する。
【０００４】
図２３は、図２２に示した液晶装置１０のパッド２１４近傍の構成を示す断面図である。同図に示すように、アクティブマトリクス基板２０を覆うゲート絶縁膜２８２上には第１導電膜２７１と第２導電膜２７２と第３導電膜２７３とが形成され、当該第３導電膜２７３がパッド２１４として機能する。この第３絶縁膜２７３は、底側から開口側に向かってテーパー状に広くなる断面凹状の形状となっており、開口側に鍔状の接地面２７３１を有している。また、隣接するパッド２１４同士の間には、第１層間絶縁膜２８３と第２層間絶縁膜２８４とが図２３における下側から順に設けられている。より具体的には、第１層間絶縁膜２８３のうち第１導電膜２７１上の部分は除去されており、第２導電膜２７２はこの部分を介して第１導電膜２７１と導通するようになっている。また、第２層間絶縁膜２８４のうち第２導電膜２７２上の部分は除去されており、第３導電膜２７３はこの部分を介して第２導電膜２７２と導通するようになっている。すなわち、第１導電膜２７１と第２導電膜２７２と第３導電膜２７３とは相互に導通している。
【０００５】
一方、パッド２１４に接続されるＦＰＣは、図２４（ａ）に示すように、略平行に配列された複数の金属導線９１の周囲を絶縁性の合成樹脂層９２によって被覆したものであり、可撓性を有する平板状の実装部品である。ここで、図２４（ｂ）は、このＦＰＣ９のうちアクティブマトリクス基板２０と接合されるべき部分の近傍の構成を示す断面図である。同図に示すように、ＦＰＣ９の縁端部においては、金属導線９１に対して一方の側の合成樹脂層９２が剥離されるとともに、当該合成樹脂層９２に代えて異方性導電膜９３が貼着されている。この異方性導電膜９３は、多数の導通粒子９３１が分散された接着剤９３２からなる。この導通粒子９３１としては、金属のメッキが施された樹脂製の粒子、または銅などの金属や導電性樹脂材料などからなる粒子が用いられる。
【０００６】
次に、図２５は、ＦＰＣ９がアクティブマトリクス基板２に接合された状態を示す断面図である。これらを接合する場合、パッド２１４（第３導電膜２７３）上にＦＰＣ９の金属導線９１を重ね合わせた状態で、当該ＦＰＣ９をアクティブマトリクス基板２側に熱圧着する。そしてこれにより、図２５に示すように、ＦＰＣ９上の金属導線９１と、アクティブマトリクス基板２０上の第３導電膜２７３の接地面２７３１および内面２７３２とが、接着剤９３２中の金属粒子９３１を介して導通するのである。
【０００７】
また、図２６は、従来の電気光学装置の他の例として液晶装置１１の構成を示す平面図である。同図に示すように、この液晶装置１１は、走査線駆動回路２１１およびデータ線駆動回路２１２がアクティブマトリクス基板２０上に形成されておらず、これらの駆動回路が外部に設けられている点で、図２２に示した液晶装置１０とは異なっている。かかる液晶装置１１のアクティブマトリクス基板２０上には、走査線およびデータ線の本数と同数以上のパッド２１５が設けられている。図２７は、この液晶装置１１におけるパッド２１５の構成を示す概略断面図である。同図に示すように、この液晶装置１１におけるパッド２１５の層構造は、前掲図２３に示した液晶装置１０におけるパッド２１４の構成と同様である。すなわち、パッド２１５を構成する第３導電膜２７３は、その下層に形成された第１導電膜２７１および第２導電膜２７２と導通している。そして、第３導電膜２７３は、底側から開口側に向かってテーパー状に広くなる断面視凹状であり、開孔部に鍔状の接地面２７３１を有している。ただし、図２６に示した液晶装置１１は、図２２に示した液晶装置１０と比較してパッド２１５の数が多いため、パッド２１５同士の間隔が狭くなっている。図２８は、液晶装置１１のアクティブマトリクス基板２０に図２４に示したＦＰＣ９を接合した状態を表す断面図である。図２８に示すように、これらが接合された状態において、ＦＰＣ９の金属導線９１と、第３導電膜２７３の接地面２７３１および内面２７３２とが、導通粒子９３１を介して導通される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した液晶装置１０または１１においては、金属導線９１と第３導電膜２７３との接触面積が少ないため、パッド２１４または２１５と金属導線９１とが導通不良を起こしやすいという問題があった。これは、第３導電膜２７３がテーパー状に設けられた第２層間絶縁膜２８３の開孔部に入り込むように形成されるため、当該第２層間絶縁膜２８３の面上に位置する接地面２７３１を狭くせざるを得ず、加えて、当該第３導電膜２７３の段差が大きいため導通粒子９３１および接着剤９３２が第３導電膜２７３の全面にわたって接触しないためである。特に、図２６に示した液晶装置１１のように、駆動回路が外部に設けられている構成を採った場合には、数多くのパッド２１５を形成する必要があるため、隣接するパッド２１５同士の間隔を狭くせざるを得ない。このため、各パッド２１５に対応する第３導電膜２７３の接地面２７３１の面積が極めて狭くなってしまい、当該第３導電膜２７３と金属導線９１との導通不良が生じやすいという問題が生じていた。
【０００９】
加えて、近年においては、表示の高精細化および高解像度化の要請が強い。かかる要請に応えるべく入力信号の数を増大させた場合には、さらにパッド２１４または２１５同士の間隔を狭くせざるを得ない。かかる事情を考慮すると、第３導電膜２７３の接地面２７３１の面積を充分に確保することがより一層困難になってきており、これに伴ってパッド２１４または２１５とＦＰＣ９との導通不良がより一層生じやすくなってきているといえる。また、これらの問題は、液晶装置に限られるものではなく、ＥＬディスプレイパネルなどの他の電気光学装置においても同様に生じ得る問題である。
【００１０】
本発明は、以上説明した事情に鑑みてなされたものであり、ＦＰＣなどの実装部品の端子との間で導通不良が生じにくいパッドを備えた電気光学装置、および、その製造方法を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の電気光学装置は、基板上のパッドを介して入力された信号に応じて画像を表示する電気光学装置であって、前記基板の面上に形成され、前記パッドに対応する部分を有する第１導電膜と、前記基板の面上に形成されて前記第１導電膜を覆う第１層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜の面上に形成され、前記パッドに対応する部分を有する第２導電膜と、前記第１層間絶縁膜の面上にあって前記パッドが形成される領域と当該パッドの周辺の領域とからなるパッド形成領域を避けて形成された第２層間絶縁膜と、前記第２導電膜と接触して、前記パッドを構成する第３導電膜とを具備することを特徴としている。
【００１２】
この電気光学装置においては、第２層間絶縁膜がパッド形成領域を除く領域に設けられているため、当該第２層間絶縁膜の厚さの分だけ、第３導電膜の段差を低く抑えることができる。このため、上記パッドのうちフレキシブルプリント基板などの実装部品の配線との導通に用いられ得る部分の面積を広く確保することができるから、当該パッドと実装部品の配線との間の導通不良を防止することができる。このため、歩留まりを向上させることができる。
【００１３】
すなわち、第２層間絶縁膜をパッド形成領域にも至るように形成するとともに、第２導電膜と第３導電膜とを、パッドに対応して当該第２層間絶縁膜に設けられた開孔部を介して導通させる構成を採った場合には、当該第２層間絶縁膜の厚さに対応して、第３導電膜の段差（すなわち、底側から開口側までの深さ）が大きくなり、基板と実装部品とを接合するための接着剤を第３導電膜の窪み部分に十分に入り込ませることができない。また、上記第２層間絶縁膜の開孔部の形状を、第２導電膜側の開口面積よりも第３導電膜が形成される側の開口面積の方が大きくなるテーパー状の形状とすると、第３導電膜のうち第２層間絶縁膜の面上に位置する接地面の面積を狭くせざるを得ない。このように、第２層間絶縁膜をパッド形成領域にも至るように形成した場合には、実装部品との接合に用いられ得る面積を十分に確保することができないため、当該実装部品の配線とパッドとの導通不良が生じやすくなってしまう。これに対し、本発明によれば、上述した通り、かかる問題を解決できるのである。
【００１４】
上記電気光学装置においては、前記第２層間絶縁膜が、前記パッド形成領域に加えて当該パッド形成領域から前記基板の縁辺に至る縁辺領域を避けて形成されていることが望ましい。こうすれば、パッド形成領域と縁辺領域との段差を抑えることができるから、特にフレキシブルプリント基板のような実装部品を基板に接合する場合に、その接合を容易に行なうことができる。なお、上記電気光学装置においては、前記パッド形成領域を、前記基板上に列をなす複数の前記パッドのうち隣接するパッド同士の間の領域を含むものとしてもよい。こうすれば、パッドの近傍の段差をより少なくすることができるから、パッドと実装部品の配線との導通不良をより確実に抑えることができる。
【００１５】
また、上記電気光学装置においては、前記第２導電膜のうち前記パッド形成領域内に位置する周縁部を覆う保護絶縁層をさらに設けることが望ましい。上述したように、第２層間絶縁膜はパッド形成領域を避けるように形成されているため、第２導電膜の周縁部が第３導電膜のみによって覆われた構成を採ることも考えられる。しかしながら、かかる構成の下では、場合によっては第２導電膜が、その周縁部において第１層間絶縁膜から剥離しやすくなるといった問題が生じ得る。これに対し、上記保護絶縁膜によって第２導電膜の周縁部を覆う構成を採れば、当該第２導電膜が周縁部において剥離する事態が抑えられるのである。
【００１６】
なお、保護絶縁層を設けた場合には、上記第１導電膜が、当該保護絶縁層のうち第２導電膜の周縁部に沿った内周縁よりも内側に形成された構成を採ることが望ましい。換言すれば、基板面と垂直方向からみて、保護絶縁層と第１導電膜とが重ならない構成を採ることが望ましい。こうすれば、両者が重なる構成を採った場合と比較して、保護絶縁層の表面の高さを第１導電膜の厚さの分だけ低くすることができるから、パッド近傍の領域をより確実に平坦化することができる。この場合、前記保護絶縁層の厚さと前記第１導電膜の厚さとを略同一とすれば、パッド近傍の領域をほとんど段差のない平坦な領域にすることができる。
【００１７】
また、上記課題を解決するため、本発明は、基板上のパッドを介して入力された信号に応じて画像を表示する電気光学装置であって、前記基板の面上に形成され、前記パッドに対応する部分を有する第１導電膜と、前記基板の面上に形成されて前記第１導電膜を覆う第１層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜の面上に形成され、前記パッドに対応する部分を有する第２導電膜と、前記第１層間絶縁膜の面上に積層された複数の絶縁層からなる第２層間絶縁層であって、前記複数の絶縁層のうちの一部の絶縁層は前記パッドが形成される領域と当該パッドの周辺の領域とからなるパッド形成領域を避けて形成される一方、他の絶縁層は前記パッド形成領域を含む領域にわたって形成された第２層間絶縁層と、前記他の絶縁層に形成された開孔部を介して前記第２導電膜に接触し、前記パッドを構成する第３導電膜とを具備することを特徴としている。
【００１８】
かかる電気光学装置によれば、第２層間絶縁膜を構成する一部の絶縁層がパッド形成領域を避けて形成されている。このため、第２層間絶縁層の全部をパッド形成領域にも至るように形成した場合と比較して、当該一部の絶縁層の厚さの分だけ、第３導電膜に生じる段差を抑えることができる。このため、上述した電気光学装置について示したのと同様の理由により、当該第３導電膜によって構成されるパッドと、実装部品の配線との導通不良を防止することができる。なお、この電気光学装置においても、上記と同様に、前記一部の絶縁層を、前記パッド形成領域に加えて当該パッド形成領域から前記基板の縁辺に至る縁辺領域を避けて形成されたものとしてもよいし、または前記パッド形成領域を、前記基板上に列をなす複数の前記パッドのうち隣接するパッド同士の間の領域を含むものとしてもよい。
【００１９】
また、この電気光学装置においては、前記開孔部を、前記他の絶縁層のうち前記第３導電膜に対応する領域の大部分にわたって設けた構成が望ましい。こうすれば、第２導電膜と第３導電膜とを当該開孔部に対応する広い領域にわたって接触させることができるから、当該パッドにおける抵抗値を低く抑えることができる。
【００２０】
なお、かかる開孔部を設けた場合には、前記他の絶縁層が、前記第２導電膜のうち前記パッド形成領域内に位置する周縁部を覆う構成とすることが望ましい。こうすれば、第２導電膜が、その周縁部において第１層間絶縁膜の表面から剥離するのを抑えることができるから、かかる剥離部分から水分などが浸入して第２導電膜の腐食の原因となるのを抑えることができる。さらにこの場合、前記第１導電膜を、前記開孔部の内周縁よりも内側に形成することが望ましい。こうすれば、第１導電膜が他の絶縁層と重なるように形成された場合と比較して、他の絶縁層の表面の高さを第１導電膜の厚さの分だけ低く抑えることができる。換言すれば、第１導電膜を設けない場合と比較して、第３導電膜の中央部近傍の高さを当該第１導電膜の厚さの分だけ高く維持することができる。したがって、当該パッド近傍の領域に形成される段差を抑えることができるから、より確実に導通不良を抑えることができるのである。
【００２１】
一方、他の絶縁層のうちパッドに対応する領域の大部分にわたって前記開孔部を設けるのではなく、前記他の絶縁層のうち前記パッドに対応する領域内に複数の開孔部を設けた構成としてもよい。こうすれば、第３導電膜のうち開孔部に対応する領域以外の領域の高さを他の絶縁層の厚さの分だけ高く維持することができるから、パッド近傍の領域をより平坦化することができる。なお、この構成を採った場合には、前記複数の開孔部が、前記第３導電膜によって覆われる領域内において略均等に分布するようにしてもよいし、略矩形状の前記第３導電膜によって覆われる領域のうち対向する二辺の近傍に偏在するようにしてもよい。後者の構成を採る場合には、さらに前記第３導電膜のうちの中央部近傍に対応して開孔部を設けることも望ましい。
【００２２】
また、上記のように他の絶縁層に複数の開孔部を設けた場合であって、第３導電膜と実装部品の端子とを導通粒子を介して接続する場合には、当該開孔部の大きさが、前記開孔部に対応して前記第３導電膜に形成された窪みに前記導通粒子が嵌り込むように選定されることが望ましい。こうすれば、窪みに嵌り込んだ導通粒子が、その位置から移動してしまうのを回避することができるから、上記実装部品の端子と第３導電膜との間に確実に導通粒子を位置させることができる。さらにこの場合、前記第３導電膜の窪みに嵌り込んだ前記導通粒子の一部が当該第３導電膜の表面に対して突出するように、前記開孔部の大きさを選定することが望ましい。導通粒子が第３導電膜の窪みに完全に入り込むとすれば、この導通粒子は、実装部品の端子とパッドとの導通に何ら寄与し得ないものとなるが、開孔部の大きさを上記のように選定することによってかかる事態を抑えることができ、この結果、両者の導通をより確実に図ることができる。
【００２３】
また、本発明に係る電気光学装置においては、前記第１層間絶縁膜のうち前記第１導電膜と第２導電膜とが対向する領域に設けられた開孔部を介して、当該第１導電膜と当該第２導電膜とが接触した構成が望ましい。こうすれば、当該パッドにおける抵抗値を低く抑えることができる。
【００２４】
なお、この場合には、前記第１層間絶縁膜のうち前記第３導電膜に対応する領域の大部分にわたって前記開孔部を設けた構成とすれば、第１導電膜と第２導電膜との接触面積を大きくすることができるから、より大幅に抵抗値を低くすることができる。一方、前記第１層間絶縁膜において、前記第３導電膜に対応する領域内に複数の開孔部を設けた構成とすれば、第１層間絶縁膜のうち開孔部以外の部分において、当該第１層間絶縁膜の厚さの分だけ第３導電膜の高さを高く維持することができるから、パッド近傍の領域を段差の少ない平坦な領域とすることができる。
【００２５】
また、本発明に係る電気光学装置においては、前記基板の面上に形成された薄膜トランジスタを具備し、前記第１導電膜は、前記薄膜トランジスタのゲート電極と同一層から形成され、前記第２導電膜は、前記薄膜トランジスタのソース電極と同一層から形成されていることが望ましい。こうすれば、薄膜トランジスタの形成工程において、同時にパッド近傍の構成要素を形成することができるから、製造工程をより簡素化することができる。なお、この場合の薄膜トランジスタは、画素電極に接続されて当該画素電極に印加される電圧を制御するためのものであってもよいし、または基板上に形成された駆動回路に含まれる薄膜トランジスタであってもよい。なお、前者の場合には、前記第３導電膜が、前記画素電極と同一層から形成されるものとすれば、製造工程をより一層簡素化することができる。
【００２６】
また、上記課題を解決するため、本発明に係る電子機器は、上述した電気光学装置を備えることを特徴としている。上述したように、本発明に係る電気光学装置によれば、パッドと実装部品の端子との導通不良を有効に抑えることができるから、これを搭載した電子機器においても、高い信頼性を確保することができる。
【００２７】
また、上記課題を解決するため、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、基板上のパッドを介して入力された信号に応じて画像を表示する電気光学装置の製造方法であって、前記パッドに対応する部分を有する第１導電膜を前記基板の面上に形成する第１工程と、前記第１導電膜を覆う第１層間絶縁膜を前記基板の面上に形成する第２工程と、前記パッドに対応する部分を有する第２導電膜を前記第１層間絶縁膜の面上に形成する第３工程と、前記第１層間絶縁膜の面上に、前記パッドに対応する領域と当該パッドの周辺の領域とからなるパッド形成領域を避けて第２層間絶縁膜を形成する第４工程と、前記第２導電膜に接触する第３導電膜を前記パッドとして形成する第５工程とを有することを特徴としている。
【００２８】
また、本発明に係る電気光学装置の他の製造方法は、基板上のパッドを介して入力された信号に応じて画像を表示する電気光学装置の製造方法であって、前記パッドに対応する部分を有する第１導電膜を前記基板の面上に形成する第１工程と、前記第１導電膜を覆う第１層間絶縁膜を前記基板の面上に形成する第２工程と、前記パッドに対応する部分を有する第２導電膜を前記第１層間絶縁膜の面上に形成する第３工程と、前記第１層間絶縁膜の面上に複数の絶縁層を積層して第２層間絶縁膜を形成する工程であって、前記複数の絶縁層のうちの一部の絶縁層を前記パッドに対応する領域と当該パッドの周辺の領域とからなるパッド形成領域を避けて形成する一方、他の絶縁層を前記パッド形成領域を含む領域にわたって形成する第４工程と、前記他の絶縁層に形成された開孔部を介して前記第２導電膜と接触する第３導電膜を前記パッドとして形成する第５工程とを有することを特徴としている。
【００２９】
これらの製造方法によって得られた電気光学装置によれば、上述したのと同様の理由により、パッドと実装部品の端子との間の導通不良を有効に抑えることができる。
【００３０】
上記製造方法を、前記基板上に形成された薄膜トランジスタを具備する電気光学装置に適用した場合、前記第１工程を、前記薄膜トランジスタのゲート電極の形成とともに当該ゲート電極と同一の層から前記第１導電膜を形成する工程とする一方、前記第３工程を、前記薄膜トランジスタのソース電極の形成とともに当該ソース電極と同一の層から前記第２導電膜を形成する工程とすることが望ましい。こうすれば、第１導電膜と第２導電膜とを基板上に形成する工程を別個に実行する必要がなくなるため、製造工程の簡素化が図られる。
【００３１】
また、前記薄膜トランジスタが、電気光学物質に電圧を印加する画素電極に接続されるものである場合、前記第５工程を、前記画素電極の形成とともに当該画素電極と同一の層から前記第３導電膜を形成する工程とすることが望ましい。こうすれば、第３導電膜を形成するための工程を独立して実行する必要がないから、製造工程をさらに簡素化することができる。
【００３２】
さらに、上記製造方法においては、前記第４工程を、前記基板上に形成された前記第２層間絶縁膜のうち、当該薄膜トランジスタと前記画素電極とを電気的に接続するための開孔部に対応する領域と、前記パッド形成領域とを同時に除去する工程を含むものとすることが望ましい。こうすれば、薄膜トランジスタと画素電極とを接続するための開孔部と、パッド形成領域を除去するための工程とを各々別個に実行した場合と比較して、製造工程を簡素化することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。なお、以下に示す各図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材ごとに縮尺を異ならせてある。
【００３４】
＜Ａ−１：第１実施形態＞
＜Ａ−１−１：電気光学装置の構成＞
まず、電気光学物質として液晶を用いた液晶装置に本発明を適用した第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図である。同図に示す液晶装置１０１は、スイッチング素子としてＴＦＴ（Thin Film Transistor）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置である。さらに、液晶装置１０１は、画素電極にデータ信号を書き込むか否かを制御するＴＦＴに加え、駆動回路（走査線駆動回路およびデータ線駆動回路）を構成するＴＦＴについても基板上に形成された構成となっている。
【００３５】
図１に示すように、液晶装置１０１は、相互に対向するアクティブマトリクス基板２０と対向基板３０とが略長方形状のシール材４０を介して貼り合わされるとともに、両基板とシール材４０とによって囲まれた領域に、電気光学物質として例えばＴＮ（Twisted Nematic）型などの液晶が封入された構成となっている。アクティブマトリクス基板２０および対向基板３０は、ガラスや石英、プラスチックといった光透過性を有する絶縁性の板状部材である。このうち対向基板３０におけるアクティブマトリクス基板２０との対向面上には、その全面にわたってＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料からなる対向電極が形成されるとともに、表示に寄与し得る領域以外の領域を遮光するための遮光層３１などが形成されている。一方、アクティブマトリクス基板２０の面上には、画素電極やＴＦＴなどが形成されている。なお、実際には、アクティブマトリクス基板２０および対向基板３０の外側表面には、入射光を反射させるための偏光板や、干渉色を補償するための位相差板などが貼着されるが、本発明とは直接の関係がないため、その図示および説明を省略する。
【００３６】
ここで、アクティブマトリクス基板２０は、対向基板３０の縁辺から張り出した部分（以下、「張出領域」と表記する）２０１を有する。そして、この張出領域２０１には、図示しない外部回路からの各種信号が入力される複数のパッド２２１と、引廻し配線２１３を介して当該各パッド２２１に接続された走査線駆動回路２１１およびデータ線駆動回路２１２とが形成されている。この走査線駆動回路２１１およびデータ線駆動回路２１２は、アクティブマトリクス基板２０上に直接形成されたＴＦＴを含む回路であり、各パッド２２１から入力された信号に応じて走査信号およびデータ信号をそれぞれ生成して出力する。
【００３７】
また、アクティブマトリクス基板２０のうちシール材４０の内側に対応する領域（以下、「表示領域」と表記する）には、所定の方向に延在する複数の走査線と、当該走査線に交差する方向に延在する複数のデータ線とが設けられている（ともに図示略）。さらに、表示領域には、走査線およびデータ線の各交差に対応して、ＴＦＴと、当該ＴＦＴを介して走査線およびデータ線に接続された画素電極とが設けられている。複数の画素電極は、ＩＴＯなどの透明導電材料によって形成されてマトリクス状に配列するとともに、対向基板３０上の対向電極に液晶を挟んで対向するようになっている。かかる構成の下、画素電極と対向電極との間に挟まれた液晶は、両電極の間に印加された電圧に応じてその配向方向が変化する。
【００３８】
次に、図２は、表示領域内において各画素に対応して設けられたＴＦＴ２４の近傍の構成を示す断面図である。同図に示すように、アクティブマトリクス基板２０の表面には、ＳｉＯ2（酸化珪素）などからなる下地保護膜２８１を下地として、シリコン層２４１が形成されている。このシリコン層２４１の表面はゲート絶縁膜２８２によって覆われている。そして、このシリコン層２４１のうち、ゲート絶縁膜２８２を挟んでゲート電極２４２と重なる領域がチャネル領域２４１ａとなっている。このゲート電極２４２は走査線の一部である。一方、シリコン層２４１およびゲート電極２４２が形成された下地保護膜２８１の表面は、ＳｉＯ2などからなる第１層間絶縁膜２８３によって覆われている。
【００３９】
また、図２に示すように、シリコン層２４１のうちチャネル領域２４１ａのソース側には低濃度ソース領域２４１ｂおよび高濃度ソース領域２４１Ｓが設けられる一方、チャネル領域２４１ａのドレイン側には低濃度ドレイン領域２４１ｃおよび高濃度ドレイン領域２４１Ｄが設けられて、いわゆるＬＤＤ（Lightly Doped Drain）構造となっている。このうち、高濃度ソース領域２４１Ｓは、ゲート絶縁膜２８２と第１層間絶縁膜２８３とにわたって開孔するコンタクトホールを介して、ソース電極２４３に接続されている。このソース電極２４３は、上述したデータ線（図２における紙面垂直方向に延在する）の一部として構成される。一方、高濃度ドレイン領域２４１Ｄは、ゲート絶縁膜２８２と第１層間絶縁膜２８３とにわたって開孔するコンタクトホールを介して、ソース電極２４３と同一層からなるドレイン電極２４４に接続されている。
【００４０】
ソース電極２４３およびドレイン電極２４４が形成された第１層間絶縁膜２８３の表面は、例えばアクリル系の樹脂材料などからなる第２層間絶縁膜２８４によって覆われている。そして、上述した画素電極２３は、この第２層間絶縁膜２８４の面上に形成されるとともに、当該第２層間絶縁膜２８４に設けられたコンタクトホール２３ａを介してドレイン電極２４４に接続されている。すなわち、画素電極２３は、ドレイン電極２４４を介して、シリコン層２４１の高濃度ドレイン領域２４１Ｄに接続されている。
【００４１】
なお、走査線駆動回路２１１およびデータ線駆動回路２１２に含まれるＴＦＴ、すなわち、例えばこれらの駆動回路のうちシフトレジスタに含まれるインバータを構成するＮチャネル型およびＰチャネル型のＴＦＴは、後の製造プロセスの説明において詳述するように、画素電極２３と接続されていない点を除いて上記ＴＦＴ２４と同様の構成となっている。
【００４２】
次に、アクティブマトリクス基板２０の張出領域２０１に形成されたパッド２２１の構成について説明する。図１に示すように、外部装置から与えられた信号の入力端子として機能するパッド２２１は、アクティブマトリクス基板２０の縁辺に沿って列をなすように形成される。ここで、図３（ａ）は、このパッド２２１近傍の構成を示す断面図であり、図３（ｂ）はアクティブマトリクス基板２０と前掲図２４に示したＦＰＣ９とを接合した状態におけるパッド２２１近傍の構成を示す断面図である。
【００４３】
図３（ａ）に示すように、アクティブマトリクス基板２０を覆うゲート絶縁膜２８２上には、パッド２２１に対応した部分を有する第１導電膜２７１および第２導電膜２７２と、当該パッド２２１を構成する第３導電膜２７３とが形成されている。このうち第１導電膜２７１は、上述したゲート電極２４２（すなわち走査線）と同一層から形成される一方、第２導電膜２７２は、上述したソース電極２４３（およびドレイン電極２４４）と同一層から形成される。ここで、表示領域内においてゲート電極２４２とソース電極２４３との間に第１層間絶縁膜２８３が介在しているのは図２を例示して説明した通りであるが、この第１層間絶縁膜２８３は張出領域２０１にも至るように形成されている。ただし、第１層間絶縁膜２８３のうちパッド２２１に対応する部分には開孔部２７２ａが設けられており、当該開孔部２７２ａを介して第１導電膜２７１と第２導電膜２７２とが面接触するようになっている。逆に、隣接するパッド２２１同士の間の領域においては、表示領域と同様に第１層間絶縁膜２８３が形成されている。このように第１導電膜２７１と第２導電膜２７２とを導通させるのは、パッド２２１から走査線駆動回路２１１またはデータ線駆動回路２１２に至る引廻し配線２１３の抵抗値を低く抑えるためである。
【００４４】
また、パッド２２１に相当する第３導電膜２７３は、上述した画素電極２３と同一層から形成される。ここで、表示領域内において画素電極２３とソース電極２４３との間に第２層間絶縁膜２８４が介在しているのは上述した通りであるが、この第２層間絶縁膜２８４は、表示領域のみならず張出領域２０１にも至るように形成される。ただし、本実施形態における第２層間絶縁膜２８４は、図１に示すように、各パッド２２１が形成された領域と当該各パッド２２１の周辺の領域（すなわち、各パッド２２１の外側の領域であって当該パッド２２１を包囲する領域）とからなるパッド形成領域２０１ａ内には設けられていない。なお、このようにパッド形成領域２０１ａ内には第２層間絶縁膜２８４は形成されていないので、図３（ａ）においては当該第２層間絶縁膜２８４は現われていない。また、本実施形態においては、図１に示すように、アクティブマトリクス基板２０上に列をなす複数のパッド２２１の各々の間の領域も、パッド形成領域２０１ａに含まれるようになっており、この領域にも第２層間絶縁膜２８４は設けられていない。
【００４５】
さらに、本実施形態においては、上記パッド形成領域２０１ａに加えて、当該パッド形成領域２０１ａからアクティブマトリクス基板２０における当該各パッド２２１に近接する縁辺までの領域（以下、「縁辺領域」と表記する）２０１ｂにおいても、第２層間絶縁膜２８４が設けられていない。このように、本実施形態においては、第２層間絶縁膜２８４がパッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂを避けるように形成されているため、パッド２２１を構成する第３導電膜２７３は、第２導電膜２７２の表面を覆うとともに当該第２導電膜２７２と接触するように形成され、図３（ａ）に示すように断面視凹状の形状となっている。かかる構成により、第１導電膜２７１と第２導電膜２７２と第３導電膜２７３とが相互に導通するようになっている。
【００４６】
そして、かかるアクティブマトリクス基板２０のうちパッド２２１近傍の領域には、図２４に示したＦＰＣ９が接合される。すなわち、パッド２２１とＦＰＣ９の金属導線９１とがＡＣＦ９３を挟んで対向するようにアクティブマトリクス基板２０とＦＰＣ９とを配置させるとともに、ＡＣＦ９３の接着剤９３２を加熱した状態で両者を圧着するのである。このとき、図３（ｂ）に示すように、パッド２２１とＦＰＣ９との導通は金属導線９１と第３導電膜２７３の表面全体との接触により得られる。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態に係る液晶装置１０１においては、アクティブマトリクス基板２０を覆う第２層間絶縁膜２８４が、パッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂを避けるように形成されている。すなわち、第２導電膜２７２と第３導電膜２７３との間や隣接するパッド２２１同士の間には、第２層間絶縁膜２８４が形成されていない。したがって、第２導電膜２７２の表面を覆うように第３導電膜２７３が形成されたとき、図２３に示した従来の液晶装置と比較して、第３導電膜２７３の凹状の内面の深さを第２層間絶縁膜２８４の厚さの分だけ浅くすることができる。このため、ＦＰＣ９の接着剤９３２は第３導電膜２７３の内面に充分に入り込むことができるから、第３導電膜２７３の表面全体をＦＰＣ９との接合に利用することができる。このように、本実施形態に係る液晶装置１０１によれば、パッド２２１（第３導電膜２７３）におけるＦＰＣ９と接触する部分の面積を十分に確保することができるから、当該パッド２２１とＦＰＣ９の金属導線９１とを導通粒子９３１を介して確実に導通させることができる。こうして両者間の導通不良が防止される結果、液晶装置の歩留まりが向上される。また、第２導電膜２７２の表面を覆うように第３導電膜２７３が形成されるので、第２導電膜２７２と第３導電膜２７３との導通がより一層確実なものとなる。
【００４８】
さらに、この液晶装置１０１においては、第２層間絶縁膜２８４が、パッド形成領域２０１ａに加えて縁辺領域２０１ｂをも避けるように形成されている。このため、パッド２２１の近傍の領域と縁辺領域２０１ｂとの段差を少なくすることができるから、アクティブマトリクス基板２０とＦＰＣ９との接合を容易に行なうことができる。
【００４９】
＜Ａ−１−２：製造プロセス＞
次に、本実施形態に係る液晶装置１０１の製造プロセスについて説明する。
まず、図４ないし図６を参照して、液晶装置１０１の製造プロセス、特にアクティブマトリクス基板２０上の各構成要素に関する製造プロセスを説明する。なお、図４ないし図６に示す各断面図は、図１中のＡ−Ａ’線の断面のうち駆動回路が形成される領域の断面（図面左側）と、ＴＦＴ２４が形成される領域の断面（図面中央）と、パッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂの断面（図面右側）とにそれぞれ対応している。なお、以下の説明において、不純物濃度は、いずれも活性化アニール後の不純物濃度として表されている。
【００５０】
まず、図４（ａ）に示すように、石英基板やガラス基板などの絶縁性基板であるアクティブマトリクス基板２０の表面に、シリコン酸化膜などからなる下地保護膜２８１を形成する。次に、ＩＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法などを用いてアモルファスシリコン層５０１を形成した後、レーザアニール法または急速加熱法により結晶粒を成長させてポリシリコン層とする。さらに、図４（ｂ）に示すように、当該ポリシリコン層をフォトリソグラフィ法によってパターニングして、島状のシリコン層２４１、２５１および２６１を残す。このうちシリコン層２４１は、表示領域内に形成されて画素電極２３に接続されるＴＦＴ（以下、「画素用ＴＦＴ」と表記する場合がある）２４を構成するものであり、シリコン層２５１および２６１は、走査線駆動回路２１１またはデータ線駆動回路２１２に含まれるＰチャネル型およびＮチャネル型のＴＦＴ（以下、「駆動回路用ＴＦＴ」と表記する場合がある）２５および２６をそれぞれ構成するものである。
【００５１】
次に、プラズマＣＶＤ法、熱酸化法などにより、シリコン層の全表面に厚さが約３０ｎｍ〜約２００ｎｍのシリコン酸化膜からなるゲート絶縁膜２８２を形成する。ここで、熱酸化法を利用してゲート絶縁膜２８２を形成する際には、シリコン層２４１、２５１および２６１の結晶化も行い、これらのシリコン層をポリシリコン層とすることができる。チャネルドープを行う場合には、例えば、このタイミングで約１×１０12ｃｍ-2のドーズ量でボロンイオンを打ち込む。その結果、シリコン層２４１、２５１および２６１は、不純物濃度が約１×１０17ｃｍ-3の低濃度Ｐ型のシリコン層となる。
【００５２】
次に、図４（ｃ）に示すように、ゲート絶縁膜２８２の表面全体に、ドープドシリコンやシリサイド膜、あるいはアルミニウム膜やクロム膜、タンタル膜といった金属膜などからなるゲート電極形成用導電膜５０２を形成する。当該導電膜５０２の厚さはおおむね２００ｎｍ程度である。
【００５３】
次に、ゲート電極形成用導電膜５０２の表面にパターニング用マスク５０３を形成し、この状態でパターニングを行なって、図４（ｄ）に示すように、Ｐチャネル型の駆動回路用ＴＦＴ２５を構成するゲート電極２５２を形成する。このとき、ゲート電極形成用導電膜５０２のうち、画素用ＴＦＴ２４およびＮチャネル型の駆動回路用ＴＦＴ２６に対応する部分はパターニング用マスク５０３で覆われているので、上記パターニングに際して除去されない。また、ゲート電極形成用導電膜５０２のうちパッド２２１に対応する部分も除去されることはない。
【００５４】
続いて、図４（ｅ）に示すように、上記パターニングにおいて除去されることなく残ったゲート電極形成用導電膜５０２をマスクとして用い、シリコン層２５１に対してボロンイオンを約１×１０15ｃｍ-2ドーズ量でイオン注入する。その結果、不純物濃度が１×１０20ｃｍ-3の高濃度のソース領域２５１Ｓおよびドレイン領域２５１Ｄがゲート電極２５２に対してセルフアライン的に形成される。シリコン層２５１のうちゲート電極２５２によって覆われていた領域はチャネル領域２５１ａとなる。
【００５５】
次に、図５（ａ）に示すように、Ｐチャネル型の駆動回路用ＴＦＴ２５に対応する部分を完全に覆うとともに、画素用ＴＦＴ２４のゲート電極およびＮチャネル型の駆動回路用ＴＦＴ２６のゲート電極が形成されるべき領域を覆うパターニング用マスク５０４を形成する。このとき、同時にパッド形成領域２０１ａ内において第１導電膜２７１となるべき領域もパターニング用マスク５０４によって覆う。この後、図５（ｂ）に示すように、パターニング用マスク５０４を使用してゲート電極形成用導電膜５０２をパターニングし、画素用ＴＦＴ２４のゲート電極２４２と、Ｎチャネル型の駆動回路用ＴＦＴ２６のゲート電極２６２と、張出領域２０１内の第１導電膜２７１とを同時に形成する。
【００５６】
次に、パターニング用マスク５０４を残したまま、リンイオンを１×１０15ｃｍ-2のドーズ量でイオン注入する。その結果、パターニング用マスク５０４に対してセルフアライン的に不純物が導入されて、シリコン層２４１および２６１中に高濃度ソース領域２４１Ｓおよび２６１Ｓならびに高濃度ドレイン領域２４１Ｄおよび２６１Ｄが形成される。ここで、シリコン層２４１および２６１のうち、高濃度のリンが導入されない領域は、ゲート電極２４２および２６２によって覆われていた領域よりも広い。したがって、シリコン層２４１および２６１において、ゲート電極２４２および２６２と、高濃度ソース領域２４１Ｓおよび２６１Ｓならびに高濃度ドレイン領域２４１Ｄおよび２６１Ｄとの間（すなわち、ゲート電極２４２および２６２の両側）には、高濃度のリンが導入されない領域が形成される。
【００５７】
次いで、パターニング用マスク５０４を除去し、この状態でリンイオンを１×１０13ｃｍ-2のドーズ量でイオン注入する。その結果、シリコン層２４１および２６１にはゲート電極２４２および２６２に対してセルフアライン的に低濃度の不純物が導入され、図５（ｃ）に示すように、低濃度ソース領域２４１ｂおよび２６１ｂ、ならびに低濃度ドレイン領域２４１ｃおよび２６１ｃが形成される。一方、ゲート電極２４２および２６２と重なる領域にはチャネル形成領域２４１ａおよび２６１ａがそれぞれ形成される。この後、図５（ｄ）に示すように、アクティブマトリクス基板２０の全面にわたって第１層間絶縁膜２８３を形成するとともに、フォトリソグラフィ法を用いて当該第１層間絶縁膜２８３をパターニングすることによって、各ＴＦＴのソース電極およびドレイン電極に対応する位置にコンタクトホールを形成する。このとき、同時に第１層間絶縁膜２８３のうち各パッド２２１に対応する部分を除去して、第１導電膜２７１と第２導電膜２７２とを接触させるための開孔部２７２ａを形成する。
【００５８】
次に、第１層間絶縁膜２８３を覆うように、アルミニウムやクロム、タンタルなどの金属からなる導電膜５０５を形成する。この導電膜５０５の厚さは概ね２００ｎｍないし３００ｎｍ程度である。この後、導電膜５０５のうちＴＦＴ２４、２５および２６のソース電極およびドレイン電極が形成されるべき領域と、パッド形成領域２０１ａ内の第２導電膜２７２が形成されるべき領域を覆うようにパターニング用マスク５０６を形成するとともに、当該導電膜５０５をパターニングして、図５（ｅ）に示すソース電極２４３、２５３、２６３、ドレイン電極２４４および２５４、ならびに第２導電膜２７２を同時に形成する。
【００５９】
次いで、図６（ａ）に示すように、これらが形成された第１層間絶縁膜２８３を覆う第２層間絶縁膜２８４を、例えばアクリル系などの樹脂材料によって形成する。この第２層間絶縁膜２８４は、約１μｍないし２μｍ程度の厚さに形成されることが望ましい。続いて、図６（ｂ）に示すように、当該第２層間絶縁膜２８４のうち画素用ＴＦＴ２４のドレイン電極２４４に対応する部分をエッチングなどによって除去してコンタクトホール２３ａを形成する。このとき、同時に第２層間絶縁膜２８４のうちパッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂに対応する領域も除去する。
【００６０】
この後、アクティブマトリクス基板２０の全面を覆うようにＩＴＯなどの透明導電材料からなる薄膜を形成する。そして、当該薄膜をパターニングすることにより、図６（ｃ）に示すように、上記第２層間絶縁膜２８４のコンタクトホール２３ａを介してドレイン電極２４４と導通する画素電極２３を形成すると同時に、第２導電膜２７２の上面に位置する第３絶縁膜２７３をパッド２２１として形成する。さらに、当該アクティブマトリクス基板２０の表示領域を覆うように配向膜を形成するとともに、当該配向膜に対して所定の方向にラビング処理を施す。
【００６１】
こうして各構成要素が形成されたアクティブマトリクス基板２０のうち対向基板３０と対向すべき領域の縁辺に沿って、光硬化性樹脂インクをディスペンサによって描画し、未硬化のシール材４０を形成する。このとき、シール材４０の一部には液晶注入口４１を形成しておく。
【００６２】
他方、アクティブマトリクス基板２０とは別に、透明な絶縁基板である対向基板３０の一方の面上に、対向電極および遮光層３１を形成するとともに、配向膜を塗布して所定の方向にラビング処理を施す。
【００６３】
次に、以上の工程により得られたアクティブマトリクス基板２０と対向基板３０とを、それぞれの基板に形成された配向膜が内側を向くように対向させ、未硬化のシール材４０を硬化させて両基板を貼り合わせる。その後、液晶注入装置を用いることにより、アクティブマトリクス基板２０と対向基板３０と間に液晶注入口４１を介して液晶を注入する。そして、液晶注入口４１を封止剤４２で封止して液晶装置１０１が完成する。
【００６４】
以上説明したように、本実施形態に係る液晶装置１０１の製造方法においては、パッド２２１に対応する第１導電膜２７１とＴＦＴ（画素用ＴＦＴおよび駆動回路用ＴＦＴ）のゲート電極、パッド２２１に対応する第２導電膜２７２とＴＦＴのソース電極（およびドレイン電極）、パッド２２１を構成する第３導電膜２７３と画素電極２３が、それぞれ同一の工程において同一の層から形成されるようになっている。加えて、本実施形態においては、画素用ＴＦＴ２４と画素電極２３とを接続するためのコンタクトホール２３ａを第２層間絶縁膜２８４に形成すると同時に、当該第２層間絶縁膜２８４のうちパッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂに相当する領域を除去するようになっている。このため、ＴＦＴを形成すると同時にパッド２２１が形成され、パッド２２１を形成するための特別な工程を追加する必要がない。したがって、ＴＦＴを備える一般的な液晶装置の製造と同等の生産効率を確保しつつ、導通不良が生じにくいパッドを備えた液晶装置を製造することができるのである。
【００６５】
＜Ａ−２：第２実施形態＞
次に、図７を参照して、本発明の第２実施形態に係る液晶装置について説明する。前掲図１を例示して説明したように、上記第１実施形態に係る液晶装置１０１においては、第２層間絶縁膜２８４が、パッド形成領域２０１ａに加えて縁辺領域２０１ｂを避けるように形成された構成とした。これに対し、本実施形態に係る液晶装置１０２は、図７に示すように、第２層間絶縁膜２８４がパッド形成領域２０１ａのみを避けるように形成されており、縁辺領域２０１ｂには形成されている点で、上記第１実施形態に示した液晶装置１０１とは異なっている。
【００６６】
本実施形態に係る液晶装置１０２においても、第２層間絶縁膜２８４がパッド形成領域２０１ａを避けるように形成されているため、第２導電膜２７２と第３導電膜２７３との間や隣接するパッド２２１同士の間には、第２層間絶縁膜２８４が存在しない。したがって、第２導電膜２７２の表面を覆うように第３導電膜２７３が形成され、第３導電膜２７３の凹状の内面の深さが、第２層間絶縁膜２８４の厚さの分だけ浅くなる。このため、第３導電膜２７３の内面にＡＣＦ９３の接着剤９３２を十分に入り込ませることができるから、パッド２２１におけるＦＰＣ９と接触する部分の面積を十分に確保することができ、パッド２２１とＦＰＣ９の金属導線９１とを導通粒子９３１を介して確実に導通させることができるという第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００６７】
＜Ａ−３：第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る液晶装置について説明する。上記第１または第２実施形態においては、第２層間絶縁膜２８４が単一層からなる構成を例示した。これに対し、本実施形態に係る液晶装置は、第２層間絶縁膜２８４が複数の層からなる構成を採る。
【００６８】
図８は、アクティブマトリクス基板２０のうち表示領域内に形成された（画素用）ＴＦＴ２４近傍の構成を示す断面図である。同図に示すように、本実施形態に係る液晶装置においては、第２層間絶縁膜２８４と画素電極２３との間に、アルミニウムや銀といった光反射性を有する材料からなる反射層２９が形成されている。かかる構成の下、対向基板３０側から入射した太陽光や室内照明光などの外光は、当該反射層２９の表面で反射して対向基板３０側に出射し、これによりいわゆる反射型表示が実現される。さらに、本実施形態においては、第１層間絶縁膜２８３と画素電極２３との間に介在する第２層間絶縁膜２８４が、当該第１層間絶縁膜２８３側に位置する下側絶縁層２８４ａと、画素電極２３側に位置する上側絶縁層２８４ｂの２層から構成されている。詳述すると、以下の通りである。
【００６９】
本実施形態においては、第２層間絶縁膜２８４のうち反射層２９に接する表面（すなわち、上側絶縁層２８４ｂの表面）が、多数の微細な凹凸（図示略）が形成された粗面となっている。したがって、かかる粗面上に薄膜状に形成された反射層２９の表面には、当該粗面を反映した凹凸（すなわち散乱構造）が形成されることとなる。この結果、対向基板３０側からの入射光は、当該反射層２９の表面において適度に散乱した後に対向基板３０側に出射するため、当該反射層２９表面における鏡面反射を回避して広い視野角を確保することができるのである。そして、本実施形態においては、第２層間絶縁膜２８４の表面を粗面化するために以下に示す方法を用いる。すなわち、まず、ソース電極２４３などが形成された第１層間絶縁膜２８３を覆うように樹脂層を形成するとともに、当該絶縁層表面のうち表示領域内の多数の微細な部分をエッチングによって選択的に除去し、表面に凹凸を有する下側絶縁層２８４ａを形成する。このようにエッチングによって形成された凹凸は滑らかな粗面とはならず、角部を有している。次いで、かかる下側絶縁層２８４ａの表面に樹脂材料を塗布することによって上側絶縁層２８４ｂを形成する。この結果、上側絶縁層２８４ｂの表面は、先に形成された下側絶縁層２８４ａ表面の凹凸を反映し、かつ滑らかな凹凸形状の粗面となる。このように滑らかな粗面上に反射層２９を形成することによって、当該反射層２９の表面に良好な特性をもった散乱構造を形成することができるのである。すなわち、本実施形態においては、良好な散乱特性を有する反射層を形成するために樹脂材料を二度塗りするようになっており、この各々の工程において下側絶縁層２８４ａおよび上側絶縁層２８４ｂが形成される。
【００７０】
次に、本実施形態に係る液晶装置のパッド２２１の構成を説明する。図９（ａ）は、各パッド２２１の構成を示す概略断面図であり、図９（ｂ）はアクティブマトリクス基板２０とＦＰＣ９とを接合した状態を示す断面図である。下側絶縁層２８４ａと上側絶縁層２８４ｂの２層からなる第２層間絶縁膜２８４は、表示領域のみならず張出領域２０１にも至るように形成される。しかしながら、このうちの上側絶縁層２８４ｂは、パッド２２１が形成される領域および当該パッド２２１の周辺の領域からなるパッド形成領域２０１ａと、当該パッド形成領域２０１ａからアクティブマトリクス基板２０の縁辺に至る縁辺領域２０１ｂとを除く領域に設けられている。このため、図９（ａ）および（ｂ）中に上側絶縁層２８４ｂは現われていない。その一方、下側絶縁層２８４ａは、図９（ａ）および（ｂ）に示すように、パッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂにも至るように形成されている。そして、下側絶縁層２８４ａのうちパッド２２１に対応する領域には開孔部２７３ａが形成されている。パッド２２１を構成する第３導電膜２７３は、当該下側絶縁層２８４ａを覆うように形成されるため、開孔部２７３ａを介して第２導電膜２７２と面接触する。
【００７１】
このように、本実施形態に係る液晶装置においては、隣接するパッド２２１同士の間や第２導電膜２７２と第３導電膜２７３との間には下側絶縁層２８４ａのみが形成されており、上側絶縁層２８４ｂは形成されていない。このため、第３導電膜２７３の凹状の内面の深さを、上側絶縁層２８４ｂの厚さの分だけ薄くすることができる。この結果、図９（ｂ）に示すように、第３導電膜２７３の内面に接着剤９３２を充分に行き渡らせることができ、第３導電膜２７３の表面全体をＦＰＣ９との接合に利用することができる。これにより、本実施形態に係る液晶装置においても、上記第１または第２実施形態に係る液晶装置と同様に、パッド２２１におけるＦＰＣ９と接触する部分の面積を十分に確保することができ、パッド２２１とＦＰＣ９の金属導線９１とを導通粒子９３１を介して確実に導通させることができるという効果が得られる。
【００７２】
＜Ａ−４：第４実施形態＞
次に、図１０を参照して、本発明の第４実施形態に係る液晶装置１０４について説明する。上述した第１実施形態においては、走査線駆動回路２１１およびデータ線駆動回路２１２がアクティブマトリクス基板２０上に直接形成された液晶装置１０１を例示した（図１参照）。これに対し、本実施形態に係る液晶装置１０４においては、図１０に示すように、駆動回路がアクティブマトリクス基板２０上には形成されていない。すなわち、本実施形態においては、ＦＰＣ９のうちアクティブマトリクス基板２０に接合されるべき縁端部とは反対側の縁端部に回路基板が接合されるようになっており、この回路基板上に走査線駆動回路およびデータ線駆動回路を搭載したＩＣチップが実装されているのである。このように、本実施形態においては、外部に設けられた駆動回路から各走査線および各データ線に対して駆動信号が与えられるようになっているため、アクティブマトリクス基板２０には、走査線およびデータ線の数と同数のパッド２２２が設けられている。したがって、図１０に示すように、液晶装置１０４のパッド２２２は、図１に示した液晶装置１０１のパッド２２１と比較して数が多く、かつパッド２２２同士の間隔が狭くなっている。なお、以下では、アクティブマトリクス基板２０上に駆動回路が直接形成された液晶装置におけるパッド（すなわち図１に示したパッド２２１）と、駆動回路が外部に設けられた液晶装置におけるパッド（すなわち図４に示すパッド２２２）とを特に区別する場合、前者を「大パッド」と表記する一方、後者を「小パッド」と表記するものとする。
【００７３】
図１１（ａ）は、本実施形態に係る液晶装置１０４のパッド２２２近傍の構造を示す概略断面図であり、図１１（ｂ）は、アクティブマトリクス基板２０とＦＰＣ９とを接続した状態を示す断面図である。これらの図に示すように、本実施形態におけるパッド２２２近傍の層構造は、上記第１実施形態と同様の構造となっている。すなわち、画素電極２３と同一層から形成されてパッド２２２を構成する第３導電膜２７３が、ソース電極２４３（もしくは２５３または２６３）と同一層からなる第２導電膜２７２、およびゲート電極２４２（もしくは２５２または２６２）と同一層からなる第１導電膜２７１と導通する。そして、表示領域内においてソース電極２４３と画素電極２３との間に介在する第２層間絶縁膜２８４は、パッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂを避けるように形成されている。ただし、本実施形態においては、上述したように、隣接するパッド２２２同士の間隔および各パッド自体の幅が狭いため、各パッド２２２に対応して第１層間絶縁膜２８３に形成された開孔部２７２ａも面積が小さい。したがって、当該開孔部２７２ａに入り込んだ第２導電膜２７２の表面は概ね平坦となる。この結果、前掲図３に示した第３導電膜２７３と比較すれば明らかな通り、第２導電膜２７２を覆うように形成された第３導電膜２７３の表面は概ね平坦となる。したがって、アクティブマトリクス基板２０とＦＰＣ９とを接合した場合、図１１（ｂ）に示すように、当該ＦＰＣ９の金属導線９１は、第３導電膜２７３の表面全体と接触して導通することとなる。
【００７４】
このように、本実施形態においても、上記第１実施形態と同様に、第２層間絶縁膜２８４がパッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂを避けるように形成されているため、図１１（ａ）に示すように、隣接するパッド２２２同士の間や第２導電膜２７２と第３導電膜２７３との間には、第２層間絶縁膜２８４が存在しない。この結果、第３導電膜２７３の表面を概ね平坦にすることができるから、パッド２２２同士の間隔および各パッド２２２の幅が狭いにもかかわらず、ＦＰＣ９の金属導線９１との接触に利用できる第３導電膜２７３の面積を十分に確保することができる。したがって、パッド２２２とＦＰＣ９の金属導線９１とを導通粒子９３１を介して確実に導通させることができ、両者間の導通不良を有効に防止することができる。また、第２導電膜２７２の表面を覆うように第３導電膜２７３が形成されるので、第２導電膜２７２と第３導電膜２７３との導通がより一層確実なものとなる。
【００７５】
＜Ａ−５：第５実施形態＞
次に、図１２は、本発明の第５実施形態に係る液晶装置１０５の構成を示す平面図である。同図に示すように、この液晶装置１０５は、第２層間絶縁膜２８４がパッド形成領域２０１ａのみを避けるように設けられている点で、パッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂの双方の領域にわたって第２層間絶縁膜２８４が除去された構成を採る上記第４実施形態に係る液晶装置１０４（図１０参照）とは異なっている。
【００７６】
本実施形態においても、第２層間絶縁膜２８４がパッド形成領域２０１ａを避けるように形成されているため、第２導電膜２７２と第３導電膜２７３との間やパッド２２２同士の間には第２層間絶縁膜２８４が存在しない。この結果、第２導電膜２７２の表面を覆うように形成された第３導電膜２７３の表面を、前掲図１１（ａ）および（ｂ）に示したのと同様に、概ね平坦な形状にすることができる。したがって、第３導電膜２７３の表面全体をＦＰＣ９の金属導線９１との接触に利用することができるから、パッド２２２同士の間隔や各パッド２２２自体の幅が狭いにもかかわらず金属導線９１との接触に利用できる第３導電膜２７３の面積を十分に確保することができる。したがって、パッド２２２とＦＰＣ９の金属導線９１とを導通粒子９３１を介して確実に導通させることができ、両者間の導通不良を防止することができる。
【００７７】
＜Ａ−６：第６実施形態＞
次に、本発明の第６実施形態に係る液晶装置について説明する。本実施形態に係る液晶装置は、第２層間絶縁膜２８４が下側絶縁層２８４ａおよび上側絶縁層２８４ｂの２層から構成される点で、上記第３実施形態に示した液晶装置と共通するが、走査線駆動回路およびデータ線駆動回路が外部に設けられているため、当該第３実施形態に示した液晶装置と比較してパッド２２２の数が多く、かつパッド２２２同士の間隔が狭くなっている。
【００７８】
図１３（ａ）は、本実施形態に係る液晶装置の構成を示す概略断面図であり、図１３（ｂ）は、アクティブマトリクス基板２０とＦＰＣ９とが接続された状態を示す断面図である。これらの図に示すように、本実施形態におけるパッド２２２近傍の層構造は、上記第３実施形態に示したものと同様である。すなわち、第２層間絶縁膜２８４は表示領域のみならず張出領域２０１にも至るように形成されるが、図１３（ａ）および（ｂ）に示すように、当該第２層間絶縁膜２８４のうち上側絶縁層２８４ｂは、パッド２２２が形成される領域および当該パッド２２２の周辺の領域からなるパッド形成領域２０１ａと、当該パッド形成領域２０１ａからアクティブマトリクス基板２０の縁辺に至る縁辺領域２９１ｂとを除く領域に設けられている。その一方、下側絶縁層２８４ａは、パッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂにも至るように形成されるとともに、当該下側絶縁層２８４ａのうちパッド２２２に対応する領域に設けられた開孔部２７３ａを介して、第２導電膜２７２と第３導電膜２７３とが接触するようになっている。この場合、第３導電膜２７３は、図１３（ａ）および（ｂ）に示すように、底側から開口側に向かってテーパー状に広くなる断面視凹状であり、下側絶縁層２８４ａの面上に位置する鍔状の接地面２７３１を有している。
【００７９】
このように、本実施形態においては、第２導電膜２７２と第３導電膜２７３との間やパッド２２２同士の間には下側絶縁層２８４ａのみが形成されており、上側絶縁層２８４ｂは形成されていない。このため、第３導電膜２７３の凹状の内面の深さを、上側絶縁層２８４ｂの厚さの分だけ薄くすることができる。このため、図１３（ｂ）に示すように、ＦＰＣ９の接着剤９３２を第３導電膜２７３の内面に十分に行き渡らせることができるから、第３導電膜２７３の表面全体をＦＰＣ９との接合に利用することができる。また、第３導電膜２７３の底側から開口側までの深さが浅いため、第３導電膜２７３の底側の内径と開口側の内径との差が小さくなる。この結果、パッド２２２同士の間隔が狭いにもかかわらず、ＦＰＣ９との接触に利用できる第３導電膜２７３の接地面２７３１の面積を十分に確保することができる。したがって、この液晶装置においても、パッド２２２におけるＦＰＣ９と接触する部分の面積を十分に確保することができ、パッド２２２とＦＰＣ９の金属導線９１とを導通粒子９３１を介して確実に導通させることができ、両者間の導通不良を有効に防止することができる。
【００８０】
ところで、上記第３または第６実施形態においては、第２層間絶縁膜２８４のうち上側絶縁層２８４ｂをパッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂを避けるように形成した場合を想定したが、これらの領域を避けるように形成されるのは必ずしも上側絶縁層２８４ｂである必要はない。すなわち、上記の例とは逆に、下側絶縁層２８４ａをパッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂを避けるように形成する一方、上側絶縁層２８４ｂを両領域に至るように形成してもよい。反射層２９の散乱構造を形成するために、第２層間絶縁膜２８４を下側絶縁層２８４ａと上側絶縁層２８４ｂの２層から形成する場合には、下側絶縁層２８４ａをパッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂを避けるように形成する方がむしろ望ましいといえる。その理由は、以下の通りである。すなわち、第２層間絶縁膜２８４の表面（上側絶縁層２８４ｂの表面）を粗面とする場合には、上記第３実施形態において例示したように、下側絶縁層２８４ａとなる樹脂層表面を選択的に除去することによって微細な凹凸を形成した後、この面上に上側絶縁層２８４ｂを形成する方法を採ることが考えられる。かかる方法を採った場合には、下側絶縁層２８４ａの表面を選択的に除去するのと同時に、当該下側絶縁層２８４ａのうちパッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂに対応する領域を除去すれば、上側絶縁層２８４ｂの一部を除去する場合と比較して、絶縁層のうちパッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂに対応する部分を除去するためだけの独立した工程が不要となり、製造プロセスを簡素化することができるのである。
【００８１】
また、上記第３または第６実施形態においては、第２層間絶縁膜２８４が２層から形成される場合を例示したが、当該第２層間絶縁膜２８４を構成する層の数はこれに限られるものではない。要は、第２層間絶縁膜２８４が複数の層から構成されるとともに、そのうちの一部の層がパッド形成領域２０１ａ（またはパッド形成領域２０１ａおよび縁辺領域２０１ｂの双方）を避けるように形成される一方、他の一部の層が当該領域にも至るように形成されていればよいのである。
【００８２】
＜Ａ−７：第７実施形態＞
次に、本発明の第７実施形態に係る液晶装置の構成を説明する。上記第３実施形態においては、パッド形成領域２０１ａに至るように形成された第２層間絶縁膜２８４の一部の層（下側絶縁層２８４ａ）のうち、パッド２２１に対応する領域の大部分にわたって開孔部２７３ａが形成され、第２導電膜２７２と第３導電膜２７３とが当該開孔部２７３ａを介して接触する構成を例示した。これに対し、本実施形態に係る液晶装置は、第２層間絶縁膜２８４のうち上側絶縁層２８４ｂがパッド形成領域２０１ａにも至るように形成される一方、当該上側絶縁層２８４ｂのうち第３導電膜２７３に対応する領域内に複数の開孔部２７３ａが設けられた構成となっている。
【００８３】
図１４（ａ）は本実施形態に係る液晶装置のパッド２２１近傍の構成を示す平面図であり、同図（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ’線視断面図である。図１４（ａ）に示すように、本実施形態においては、第２層間絶縁膜２８４のうち、下側絶縁層２８４ａはパッド形成領域２０１ａを避けるように形成される一方、上側絶縁層２８４ｂはパッド形成領域２０１ａ内にも形成されて第２導電膜２７２を覆うようになっている。そして、上側絶縁層２８４ｂのうちパッド２２１に対応する領域内には、複数（本実施形態においては９個）の開孔部２７３ａが設けられている。パッド２２１を構成する第３導電膜２７３は、かかる上側絶縁層２８４ｂを覆うように形成されるため、当該第３導電膜２７３の一部は上記開孔部２７３ａに入り込んで第２導電膜２７２と接触する。さらに、本実施形態においては、ひとつのパッド２２１に対応して上側絶縁層２８４ｂに設けられた複数の開孔部２７３ａが、当該パッド２２１に対応する領域内にわたって概ね均等に（すなわち、当該領域内の一部に偏ることなく）分布するようになっている。
【００８４】
また、本実施形態においては、第３導電膜２７３とＦＰＣ９の金属導線９１とを導通させるための導通粒子９３１の径に対応して、上側絶縁層２８４ｂに設けられた開孔部２７３ａの大きさが選定されている。具体的には、図１４（ｂ）に示すように、各開孔部２７３ａに対応して第３導電膜２７３の表面に形成される窪みに上記導通粒子９３１が嵌り込むように、各開孔部２７３ａの大きさが選定されているのである。さらに、本実施形態においては、図１４（ｂ）に示すように、導通粒子９３１の全体が上記窪みに完全に入り込むのではなく、その一部のみが当該窪みに嵌りこむように、すなわち導通粒子９３１の一部が第３導電膜２７３の表面からみて突出するように、当該開孔部２７３ａの大きさが選定されている。
【００８５】
このように、本実施形態においては、上側絶縁層２８４ｂのうちパッド２２１に対応する領域に、相互に離間する複数の開孔部２７３ａが形成されるようになっているため、パッド２２１の表面を広い範囲にわたって平坦化することができる。したがって、接着剤９３２をパッド２２１の全面に容易に行き渡らせることができるから、パッド２２１とＦＰＣ９の金属導線９１とを導通粒子９３１を介してより確実に導通させることができる。
【００８６】
さらに、本実施形態においては、パッド２２１とＦＰＣ９の金属導線９１とを導通させるための導通粒子９３１が第３導電膜２７３の窪みに嵌り込むように、開孔部２７３ａの大きさが選定されている。ここで、アクティブマトリクス基板２０とＦＰＣ９との接合時には、加熱により軟化した接着剤９３２が流動するため、これに伴って導通粒子９３１も移動しやすくなる。しかしながら、本実施形態によれば、図１４（ｂ）に示したように第３導電膜２７３の窪みに嵌り込んだ導通粒子９３１は、当該接着剤９３２の流動にもかかわらず、その位置が保持されることとなる。この結果、導通対象となるパッド２２１と金属導線９１との間に位置すべき導通粒子９３１が接着剤９３２の流動に伴って移動してしまうといった事態を回避することができるから、両者の導通をより確実に図ることができるのである。また、本実施形態においては、導通粒子９３１の全体が第３導電膜２７３の窪みに完全に入り込むことは回避されるようになっているから、この観点からも両者の導通が確実に図られる。
【００８７】
なお、本実施形態においては、走査線駆動回路２１１およびデータ線駆動回路２１２がアクティブマトリクス基板２０に直接形成され、大パッド２２１を備える液晶装置を例示したが、これらの駆動回路が外部に設けられ、小パッド２２２を備える液晶装置においても同様の構成を採ることができる。すなわち、この場合には、図１５（ａ）および（ｂ）に示した構成とすればよい。なお、この場合にも、開孔部２７３ａの大きさを、導通粒子９３１の大きさに応じて選定することが望ましい。
【００８８】
＜Ａ−８：第８実施形態＞
次に、本発明の第８実施形態に係る液晶装置について説明する。図１６（ａ）は、本実施形態に係る液晶装置のパッド近傍の構成を示す平面図であり、同図（ｂ）は（ａ）におけるＤ−Ｄ’線視断面図である。なお、図１６（ａ）および（ｂ）においては、走査線駆動回路およびデータ線駆動回路が外部に設けられ、小パッドを備えた液晶装置が例示されている。
【００８９】
上記第７実施形態においては、上側絶縁層２８４ｂに形成された複数の開孔部２７３ａが、パッド２２１に対応する領域内において略均等に分布する構成を採った。これに対し、本実施形態においては、図１６（ａ）および（ｂ）に示すように、複数の開孔部２７３ａがパッド２２２に対応する領域のうち特定の部分に偏在するようになっている。具体的には、上側絶縁層２８４ｂの面上にあってパッド２２２に対応する略長方形状の領域のうち、対向する二辺（短辺）の近傍に偏在するように、複数の開孔部２７３ａが形成されている。なお、図１６（ａ）および（ｂ）においては、上記二辺の近傍にそれぞれ４個の開孔部２７３ａが形成された場合が例示されている。加えて、本実施形態においては、パッド２２２に対応する領域の中央部近傍にも開孔部２７３ａが形成されている。かかる構成を採った場合にも、上記第７実施形態と同様の効果が得られる。なお、本実施形態においても、開孔部２７３ａの大きさを、導通粒子９３１の大きさに応じて選定することが望ましい。
【００９０】
＜Ａ−９：第９実施形態＞
次に、図１７（ａ）および（ｂ）を参照して、本発明の第９実施形態に係る液晶装置について説明する。前掲図９に示した第３実施形態に係る液晶装置においては、第１導電膜２７１と第２導電膜２７２とが第１層間絶縁膜２８３に形成された開孔部２７２ａを介して導通する構成を例示した。これに対し、本実施形態においては、図１７（ａ）および（ｂ）に示すように、第１層間絶縁膜２８３には開孔部２７２ａが形成されていない。したがって、第１導電膜２７１と第２導電膜２７２との間には第１層間絶縁膜２８３が介在し、両導電膜は導通していない。
【００９１】
また、本実施形態における第２層間絶縁膜２８４は、下側絶縁層２８４ａおよび上側絶縁層２８４ｂの２層からなり、このうち下側絶縁層２８４ａはパッド形成領域２０１ａを避けるように形成されている一方、上側絶縁層２８４ｂはパッド形成領域２０１ａ内にも形成されている。ただし、上側絶縁層２８４ｂのうち各パッド２２２に対応する領域には、図１７（ｂ）に示すように、その大部分にわたって開孔部２７３ａが形成されている。第３導電膜２７３は、第２層間絶縁膜２８４の面上に形成されるから、当該開孔部２７３ａを介して第２導電膜２７２に面接触する。さらに、図１７（ｂ）に示すように、上側絶縁層２８４ｂの開孔部２７３ａは、その内周縁が第２導電膜２７２の外周縁よりも内側に位置するようになっている。換言すれば、第２導電膜２７２の外周縁は、上側絶縁層２８４ｂによって覆われているのである。かかる構成を採った場合、第２導電膜２７２が、その外周縁において第１層間絶縁膜２８３から剥離するのを抑えることができる。したがって、両者の剥離部分から侵入した水分などに起因して当該第２導電膜２７２が腐食するといった事態を防止することができるのである。
【００９２】
加えて、本実施形態においては、第１層間絶縁膜２８３に覆われた第１導電膜２７１が、上側絶縁層２８４ｂの開孔部２７３ａにおける内周縁よりも内側の領域に形成されている。すなわち、アクティブマトリクス基板２０の基板面と垂直な方向からみて、第１導電膜２７１は、その全体にわたって上側絶縁層２８４ｂと重ならないようになっている。ここで、上側絶縁層２８４ｂの内周縁の近傍と、第１導電膜２７１の外周縁の近傍とが重なる構成を採った場合、当該上側絶縁層２８４ｂにおける内周縁近傍の表面の高さは第１導電膜２７１の厚さ分だけ高くなる。これに対し、本実施形態によれば、上側絶縁層２８４ｂが第１導電膜２７１と重ならないようになっているから、上記の場合と比較して、上側絶縁層２８４ｂの表面の高さを第１導電膜２７１の厚さの分だけ低くすることができる。その一方、第３導電膜２７３の下側（アクティブマトリクス基板２０側）には第１導電膜２７１が形成されているから、当該第１導電膜２７１が形成されていない場合と比較して、第３導電膜２７３表面の高さは第１導電膜２７１の厚さの分だけ高くなる。このように、本実施形態によれば、上側絶縁層２８４ｂの表面の高さを低く抑える一方、第３導電膜２７３の表面の高さを第１導電膜２７１の厚さ分だけ高く維持することができるから、両表面の間に生じる段差を小さくすることができる。したがって、アクティブマトリクス基板２０とＦＰＣ９とを接合するときに、当該ＦＰＣ９の接着剤９３２を第３導電膜２７３の全面にわたって行き渡らせることができる。この結果、アクティブマトリクス基板２０とＦＰＣとがより確実に接合されるとともに、パッド２２２と金属導線９１とを導通粒子９３１を介して確実に導通させることができる。
【００９３】
＜Ａ−１０：第１０実施形態＞
次に、本発明の第１０実施形態に係る液晶装置について説明する。上記第１および２実施形態においては、パッド形成領域２０１ａ内の第２層間絶縁膜２８４を完全に除去する構成を採った。この場合、図３からも明らかなように、第２導電膜２７２のうち第１層間絶縁膜２８３の面上に至った外周縁は、第３導電膜２７３のみによって覆われている。このため、場合によっては、製造プロセス中で第３導電膜２７３をパターニングする際に当該第２導電膜２７２のうち外周縁近傍の部分が電触によって同時に除去されたり、当該第２導電膜２７２が外周縁において第１層間絶縁膜２８３から剥離し、両者の間に水分が浸入して当該第２導電膜２７２が腐食するといった事態が起こり得る。本実施形態は、かかる事態を有効に抑えるという観点に基づくものである。
【００９４】
図１８（ａ）は本実施形態に係る液晶装置のパッド２２２近傍の構成を示す平面図であり、同図（ｂ）は（ａ）におけるＦ−Ｆ’線視断面図である。同図に示すように、本実施形態に係る液晶装置は、第２層間絶縁膜２８４の全部がパッド形成領域２０１ａを避けるように形成されている点で上記第１または第２実施形態と共通するが、第１層間絶縁膜２８３の面上に位置する第２導電膜２７２の外周縁が、保護絶縁層２８５によって覆われている点で異なっている。この保護絶縁層２８５は、ＳｉＮなどの絶縁性物質によって第１層間絶縁膜２８３の面上に形成される。パッド２２２を構成する第３導電膜２７３は、図１８（ｂ）に示すように、その外周縁の近傍の領域が保護絶縁層２８５の面上に位置することとなる。つまり、前掲図１７（ｂ）に示した第９実施形態に係る液晶装置においては、第２層間絶縁膜２８４のうち上側絶縁層２８４ｂによって第２導電膜２７２の外周縁を覆う構成を採ったが、本実施形態においては、この上側絶縁層２８４ｂに代えて保護絶縁層２８５を別途設け、これによって第２導電膜２７２の外周縁を覆う構成となっているのである。
【００９５】
かかる保護絶縁層２８５は、図６（ｂ）に示した工程において、アクティブマトリクス基板２０の全面を覆う第２層間絶縁膜２８４のうちパッド形成領域２０１ａ内の部分を除去した後、第２導電膜２７２を覆う第３導電膜２７３を形成する工程（図６（ｃ）に示す工程）の前に形成される。すなわち、図６（ｂ）に示した工程の後、アクティブマトリクス基板２０の全面を覆うようにＳｉＮなどからなる薄膜を形成し、この薄膜をフォトリソグラフィやエッチングの技術を用いてパターニングすることによって、上述した形状の保護絶縁層２８５を形成するのである。なお、この保護絶縁層２８５は、アクティブマトリクス基板２０の基板面全体にわたって形成されていてもよいが、液晶装置の薄型化などを考慮すると、パッド形成領域２０１ａ内にのみ形成されることが望ましいと考えられる。
【００９６】
以上説明したように、本実施形態によれば、上記第２実施形態と同様の効果を得ることができる。加えて、本実施形態によれば、第２導電膜２７２のうち第１層間絶縁膜２８３の面上に位置する外周縁を覆うように保護絶縁層２８５が形成されているため、第３導電膜２７３パターニングの際に当該第２導電膜２７２のうち外周縁近傍の部分が電蝕によって同時に除去されたり、当該第２導電膜２７２が外周縁において第１層間絶縁膜２８３から剥離してこの隙間に水分などが浸入するといった事態を抑えることができるから、液晶装置の信頼性をより向上させることができる。
【００９７】
＜Ａ−１１：第１１実施形態＞
次に、本発明の第１１実施形態に係る液晶装置の構成を説明する。この液晶装置は、第２導電膜２７２と第３導電膜２７３とが第１層間絶縁膜２８３に設けられた複数の開孔部２７２ａを介して導通する点で上記第１０実施形態に係る液晶装置とは異なっている。
【００９８】
ここで、図１９（ａ）は本実施形態に係る液晶装置のパッド２２２近傍の構成を示す平面図であり、同図（ｂ）は（ａ）におけるＧ−Ｇ’線視断面図である。上記第１０実施形態においては、第１導電膜２７１と第２導電膜２７２とが、第１層間絶縁膜２８３のうちパッド２２２に対応する領域の大部分にわたって設けられた開孔部２７２ａを介して面接触する構成とした。これに対し、本実施形態においては、図１９（ａ）および（ｂ）に示すように、第１導電膜２７１がその大部分にわたり第１層間絶縁膜２８３によって覆われている一方、当該第１層間絶縁膜２８３のうちパッド２２２に対応する領域内に設けられた複数の開孔部２７２ａを介して第１導電膜２７１と第２導電膜２７２とが導通するようになっている。図１９（ａ）および（ｂ）においては、第１層間絶縁膜２８３のうち、ひとつのパッド２２２に対応する領域内に、２つの開孔部２７２ａが形成された場合が図示されている。なお、第２導電膜２７２のうち第１層間絶縁膜２８３の面上に位置する外周縁を覆うように保護絶縁層２８５が形成されている点は上記第１０実施形態と同様である。
【００９９】
かかる構成を採る本実施形態においても、上記第１０実施形態と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態においては、第１導電膜２７１と第２導電膜２７２とを導通させることにより抵抗値を低く抑えることができるとともに、パッド２２２に対応する領域の大部分にわたって第１層間絶縁膜２８３が形成されているため、パッド２２２を構成する第３導電膜２７３の表面を平坦化することができる。例えば、前掲図１８（ｂ）に示した第１０実施形態に係る液晶装置においては、第３導電膜２７３の中央部と周縁部との間に第１層間絶縁膜２８３の厚さに対応する段差が形成されるが、本実施形態によれば、図１９（ｂ）に示すようにかかる段差は生じない。したがって、第３導電膜２７３表面の大部分を金属導線９１との接続に用いることができるから、両者の間の導通不良を有効に抑えることができる。
【０１００】
＜Ａ−１２：第１２実施形態＞
次に、本発明の第１２実施形態に係る液晶装置の構成を説明する。この液晶装置は、第２導電膜２７２のうち第１層間絶縁膜２８３の面上に位置する外周縁を覆うように保護絶縁層２８５が設けられている点で上記第１０または第１１実施形態に示した液晶装置と共通するが、第１層間絶縁膜２８３に開孔部２７２ａが設けられていない点で異なっている。
【０１０１】
図２０（ａ）は本実施形態に係る液晶装置のパッド２２２近傍の構成を示す平面図であり、同図（ｂ）は（ａ）におけるＨ−Ｈ’線視断面図である。同図に示すように、本実施形態においては、第１導電膜２７１がその全面にわたって第１層間絶縁膜２８３に覆われており、当該第１層間絶縁膜２８３の面上に設けられた第２導電膜２７２とは導通していない。さらに、第１層間絶縁膜２８３によって覆われた第１導電膜２７１は、保護絶縁層２８５の内周縁（すなわち、第２導電膜２７２の外周縁に沿った縁部）よりも内側の領域に形成されている。逆にいえば、保護絶縁層２８５は、第１導電膜２７１の外周縁よりも外側に形成されているのである。つまり、アクティブマトリクス基板２０の基板面と垂直な方向からみて、第１導電膜２７１は、その全体にわたって保護絶縁層２８５と重ならないように形成されている。
【０１０２】
かかる構成を採った場合、保護絶縁層２８５が形成されたパッド２２２の周縁部近傍においては、第１導電膜２８１が形成されていない分だけ当該保護絶縁層２８５の表面の高さを抑えることができる。他方、パッド２２２の中央部近傍においては、保護絶縁層２８５が形成されていないものの第１導電膜２８１が形成されている分だけ第３導電膜２７３の表面の高さを高く維持することができる。このように、本実施形態によれば、パッド２２２の周縁部と中央部との間に段差が形成されるのを抑えて、当該パッド２２２の近傍の領域を平坦化することができる。特に、図２０（ｂ）に示すように、第１導電膜２７１の厚さと保護絶縁層２８５の厚さとを略同一とすれば、パッド２２２近傍の領域をほとんど段差のない平坦な領域とすることができる。
【０１０３】
以上説明したように、本実施形態によれば、パッド２２２近傍の領域を平坦化することができるから、パッド２２２の周縁部における表面と中央部における表面との間に段差がある場合（例えば図３に示した場合）と比較して、当該パッド２２２と金属導線９１とをより確実に接続することができる。上述したように、この効果は、第１導電膜２７１の厚さと保護絶縁層２８５の厚さとを略同一とした場合により顕著に現れる。
【０１０４】
＜Ｂ：変形例＞
以上この発明の一実施形態について説明したが、上記実施形態はあくまでも例示であり、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。
【０１０５】
＜Ｂ−１：変形例１＞
上記第７ないし第１２実施形態においては、第２層間絶縁膜２８４の一部または全部が、パッド形成領域２０１ａのみを除くように形成された場合を例示したが、上記第１または第４実施形態に示したように、当該第２層間絶縁膜２８４の一部または全部が、パッド形成領域２０１ａのみならず縁辺領域２０１ｂをも避けるように形成されるようにしてもよい。また、第９ないし第１２実施形態においては、走査線駆動回路およびデータ線駆動回路が外部に設けられ、小パッドを備える液晶装置を例示したが、上記第１ないし第３実施形態に示したように、走査線駆動回路およびデータ線駆動回路がアクティブマトリクス基板２０上に直接形成され、大パッドを備える液晶装置にあっても同様の構成を採用することができることは言うまでもない。
【０１０６】
＜Ｂ−２：変形例２＞
上記各実施形態においては、パッド２２１（または２２２）近傍の各構成要素、すなわち第１ないし第３導電膜ならびに第１および第２層間絶縁膜を、ＴＦＴの形成工程と同時に形成するようにした。かかる製造プロセスを用いた場合、上述したようにパッド２２１に関わる製造プロセスを独立して実行する必要がないため、生産性の低下を回避することができるという利点があるが、必ずしもこうする必要はなく、パッド２２１に関わる構成要素をＴＦＴとは別個の工程において形成してもよい。
【０１０７】
＜Ｂ−３：変形例３＞
上記各実施形態においては、電気光学物質として液晶を用いた液晶装置に本発明を適用した場合を例示したが、本発明を適用できる電気光学装置はこれに限られるものではない。すなわち、電気光学物質としてＥＬ素子を用いたＥＬディスプレイパネルや、電気光学物質としてガスを用いたプラズマディスプレイパネルなど、電気光学物質の電気光学効果によって表示を行なう各種の装置にも、本発明を適用可能である。このように、表示画像を指示する信号が入力されるパッドを基板上に備えた構成を採る電気光学装置であれば、他の構成要素の態様の如何を問わず本発明を適用可能である。また、本発明は、電気光学装置のみならず、半導体装置にも適用できる。この場合においても、パッドにおける外部との接続に使用されるＦＰＣなどと接触する部分の面積を十分に確保することができ、当該パッドとＦＰＣとを導通粒子を介して確実に導通させることができる。
【０１０８】
＜Ｃ：電子機器＞
次に、本発明に係る電気光学装置を用いた電子機器について説明する。
【０１０９】
＜Ｃ−１：モバイル型コンピュータ＞
まず、本発明に係る電気光学装置を、可搬型のパーソナルコンピュータ（いわゆるノート型パソコン）の表示部に適用した例について説明する。図２１（ａ）は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ８１は、キーボード８１１を備えた本体部８１２と、本発明に係る電気光学装置を適用した表示部８１３とを備えている。
【０１１０】
＜Ｃ−２：携帯電話機＞
続いて、本発明に係る電気光学装置を、携帯電話機の表示部に適用した例について説明する。図２１（ｂ）は、この携帯電話機の構成を示す斜視図である。同図に示すように、携帯電話機８２は、複数の操作ボタン８２１のほか、受話口８２２、送話口８２３とともに、本発明に係る電気光学装置を適用した表示部８２４を備える。
【０１１１】
なお、本発明に係る電気光学装置を適用可能な電子機器としては、図２１（ａ）に示したパーソナルコンピュータや同図（ｂ）に示した携帯電話機のほかにも、液晶テレビや、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ディジタルスチルカメラ、あるいは本発明に係る電気光学装置をライトバルブとして用いたプロジェクタなどが挙げられる。上述したように、本発明に係る電気光学装置によれば、基板上のパッドと実装部品の配線（端子）との導通不良を抑えることができるから、これを具備する電子機器においては、かかる導通不良に起因して生じ得る不都合を防止して高い信頼性を確保することができる。
【０１１２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る電気光学装置によれば、第２層間絶縁膜の一部または全部が、パッドが形成されるべき領域および当該パッドの周辺の領域からなるパッド形成領域を避けるように形成されているので、ＦＰＣなどの実装部品を基板に接合する際に、その接合に利用できる面積を十分に確保することができる。したがって、実装部品の配線（端子）とパッドとの間の導通不良を抑えることができる。
【０１１３】
また、本発明の電気光学装置の製造方法によれば、パッドと薄膜トランジスタを同時に形成することができる。したがって、パッドを形成するために特段の工程を増やすことなく、一般的なＴＦＴを有する液晶装置を製造する製造方法と同等の生産効率を維持しつつ、ＴＦＴを備え、かつ実装部品とパッドとの間の導通不良が生じにくい電気光学装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態に係る液晶装置の外観構成を示す平面図である。
【図２】  同液晶装置の表示領域内に形成されたＴＦＴ近傍の構成を示す断面図である。
【図３】  （ａ）は、同液晶装置のパッド近傍の構成を示す概略断面図であり、（ｂ）は当該パッドとＦＰＣとを接続した状態を示す断面図である。
【図４】  （ａ）ないし（ｅ）は同液晶装置の製造プロセスの一部を示す断面図である。
【図５】  （ａ）ないし（ｅ）は同液晶装置の製造プロセスのうち上記図４に示す工程に続いて行なわれる工程を示す断面図である。
【図６】  （ａ）ないし（ｃ）は同液晶装置の製造プロセスのうち上記図５に示す工程に続いて行なわれる工程を示す断面図である。
【図７】  本発明の第２実施形態に係る液晶装置の外観構成を示す平面図である。
【図８】  本発明の第３実施形態に係る液晶装置の表示領域内に形成されたＴＦＴ近傍の構成を示す断面図である。
【図９】  （ａ）は本発明の第３実施形態に係る液晶装置のパッド近傍の構成を示す断面図であり、（ｂ）は当該パッドとＦＰＣとを接続した状態を示す断面図である。
【図１０】  本発明の第４実施形態に係る液晶装置の外観構成を示す平面図である。
【図１１】  （ａ）は同液晶装置のパッド近傍の構成を示す断面図であり、（ｂ）は当該パッドとＦＰＣとを接続した状態を示す断面図である。
【図１２】  本発明の第５実施形態に係る液晶装置の外観構成を示す平面図である。
【図１３】  （ａ）は本発明の第６実施形態に係る液晶装置のパッド近傍の構成を示す断面図であり、（ｂ）は当該パッドとＦＰＣとを接続した状態を示す断面図である。
【図１４】  （ａ）は本発明の第７実施形態に係る液晶装置のパッド近傍の構成を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ’線視断面図である。
【図１５】  （ａ）は上記第７実施形態の他の例に係る液晶装置のパッド近傍の構成を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ’線視断面図である。
【図１６】  （ａ）は本発明の第８実施形態に係る液晶装置のパッド近傍の構成を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＤ−Ｄ’線視断面図である。
【図１７】  （ａ）は本発明の第９実施形態に係る液晶装置のパッド近傍の構成を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＥ−Ｅ’線視断面図である。
【図１８】  （ａ）は本発明の第１０実施形態に係る液晶装置のパッド近傍の構成を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＦ−Ｆ’線視断面図である。
【図１９】  （ａ）は本発明の第１１実施形態に係る液晶装置のパッド近傍の構成を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＧ−Ｇ’線視断面図である。
【図２０】  （ａ）は本発明の第１２実施形態に係る液晶装置のパッド近傍の構成を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＨ−Ｈ’線視断面図である。
【図２１】  （ａ）は本発明に係る電気光学装置を適用した電子機器の一例たるパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図であり、（ｂ）は本発明に係る電気光学装置を適用した電子機器の一例たる携帯電話機の構成を示す斜視図である。
【図２２】  従来の液晶装置の外観構成を示す平面図である。
【図２３】  同液晶装置のパッド近傍のの構造を示す断面図である。
【図２４】  （ａ）はフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）の外観構成を示す斜視図であり、（ｂ）は当該ＦＰＣの縁端部近傍の構成を示す断面図である。
【図２５】  図２３に示したパッドに図２４に示したＦＰＣを接続した状態を示す断面図である。
【図２６】  従来の他の液晶装置の外観構成を示す平面図である。
【図２７】  同液晶装置のパッド近傍の構成を示す断面図である。
【図２８】  図２７に示したパッドに図２４に示したＦＰＣを接続した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１０１，１０２，１０４，１０５……液晶装置（電気光学装置）、２……アクティブマトリクス基板（基板）、２０１……張出領域、２０１ａ……パッド形成領域、２０１ｂ……縁辺領域、２２１，２２２……パッド、２３……画素電極、２４，２５，２６……ＴＦＴ、２４２，２５２，２６２……ゲート電極、２４３，２５３，２６３……ソース電極、２４４，２５４……ドレイン電極、２７１……第１導電膜、２７２……第２導電膜、２７２ａ，２７３ａ……開孔部、２７３……第３導電膜、２８２……ゲート絶縁膜、２８３……第１層間絶縁膜、２８４……第２層間絶縁膜、２８４ａ……下側絶縁層、２８４ｂ……上側絶縁層、２９……反射層、３０……対向基板、９……ＦＰＣ（実装部品）、９１……金属導線、９３……ＡＣＦ、９３１……導通粒子、９３２……接着剤。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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