(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端が固定されている測定チューブ内に被測定流体を流し、励振手段により前記測定チューブを共振振動させ、前記測定チューブに設置された上流センサ並びに下流センサで得られる一対のコリオリ信号を信号演算処理部に導き質量流量を演算するコリオリ質量流量計において、
前記測定チューブの共振周波数に基づいて演算される密度測定値のレベル値が目標設定以下になったときに前記共振振動の振幅を変更し、前記コリオリ信号の振動振幅を安定化する
ことを特徴とするコリオリ質量流量計。
【請求項２】
両端が固定されている測定チューブ内に被測定流体を流し、励振手段により前記測定チューブを共振振動させ、前記測定チューブに設置された上流センサ並びに下流センサで得られる一対のコリオリ信号を信号演算処理部に導き質量流量を演算するコリオリ質量流量計において、
前記測定チューブの共振周波数に基づいて演算される密度測定値の揺らぎの大きさが目標設定以上になったときに前記共振振動の振幅を変更し、前記コリオリ信号の振動振幅を安定化する
ことを特徴とする記載のコリオリ質量流量計。
【請求項３】
前記一対のコリオリ信号の夫々と前記信号演算処理部との間に、第１振幅変更回路並びに第２振幅変更回路を設け、
これら振幅変更回路の利得を前記信号演算処理部より与えられる目標設定信号により変更し、前記コリオリ信号が小さくなった場合に振幅を大きくする
ことを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流量計。
【請求項４】
前記一対のコリオリ信号の夫々と前記信号演算処理部との間に、第１振幅変更回路並びに第２振幅変更回路を設け、
これら振幅変更回路の利得を前記信号演算処理部より与えられる目標設定信号により変更し、前記コリオリ信号が小さくなった場合に振幅を大きくする
ことを特徴とする請求項２記載のコリオリ質量流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、両端が固定されている測定チューブ内に被測定流体を流し、励振手段により測定チューブを所定モードで共振振動させ、測定チューブの中央に対して上下流で得られる一対のコリオリ信号を用いて質量流量を演算するコリオリ質量流量計における励振手段の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１２は周知のコリオリ質量流量計のセンサ部の概要を示す構成図、図１３は図１２に示すコリオリ質量流量計のセンサ部の動作を説明する波形図、図１４はコリオリ質量流量計の全体構成、特に本発明の対象である励振回路部の構成を示す機能ブロック図である。
【０００３】
以下、図１２乃至図１４に基づき、従来のコリオリ質量流量計について説明する。この場合の測定チューブは、例えばＵ字管方式など他の方式でも良いが、簡単のため直管方式のもので以下に説明する。
【０００４】
図１２において、１は被測定流体を流す測定チューブであり、この測定チューブ１の両端は支持部材２, ３に固定されている。この測定チューブ１の中央部近傍には、この測定チューブ１を上下に機械振動をさせる加振器４が設置されている。
【０００５】
測定チューブ１の支持部材２, ３の近傍には、この測定チューブ１の振動を検出する上流センサ５Ａ、下流センサ５Ｂが固定されている。また、支持部材３の近傍には温度補償に使用する温度センサ６が設けられている。これら要素によりセンサ部ＳＮＳが構成されている。
【０００６】
図１３に示すように、加振器４から測定チューブ１にＭ１, Ｍ２に示すような１次モードの形状で振動が与えられている状態で、測定チューブ１に被測定流体が流れると、Ｍ３, Ｍ４に示すような２次モードの形状で測定チューブ１が振動する。
【０００７】
実際には、この２種類の振動パターンが重畳された形で測定チューブ１が振動する。測定チューブ１のこの変形をセンサ５Ａ, ５Ｂで検出して変位信号ＳＡ, ＳＢとして信号演算処理部に送出される。同様に温度補償用の温度センサ６の検出信号ＳＴも信号演算処理部に送出される。
【０００８】
図１４において、ＴＲは信号演算処理部であり、センサ５Ａ, ５Ｂ並びに温度センサ６の検出信号ＳＡ, ＳＢ, ＳＴを入力して質量流量ＱＭ、密度Ｈを演算出力する。この信号演算処理部ＴＲの構成については、出願人の先願である特開平7-181069号に詳細に開示されているので、細部の説明は省略する。
【０００９】
ＤＲは励振回路部であり、７は上流センサ（又は下流センサ）の検出信号ＳＡを入力する第１可変増幅部である。８はこの第１可変増幅部で制御される駆動出力部であり、センサ部の加振器４を所定モードで共振振動させる。これら要素により閉ループ自己発振回路が形成されている。
【００１０】
９は平滑部であり、上流センサ（又は下流センサ）の検出信号ＳＡを整流平滑しその振幅に比例する直流電圧ＶＡを出力する。１０は第１比較部であり、前記直流電圧ＶＡと第１目標設定部１１の第１目標設定電圧Ｖｒ１を入力する。この第１比較部出力により第１可変増幅部７の利得を制御して共振振動の振幅を前記第１目標設定電圧に制御する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
チューブ口径の異なる複数のセンサを一義的な設計定数を有する励振回路部で駆動する場合、口径毎に異なる共振特性等を有するので、口径によっては、励振回路部で信号飽和などが起こり、安定な振動を確保することが難しい。
【００１２】
信号飽和現象により、加振器に対して必要な供給電力が制限されてしまうことが起こる。電源投入時には、信号ＳＡがほぼゼロなので、加振器への信号が安定な振動状態に達するまでに時間がかかる。
【００１３】
泡の混入で、信号ＳＡが小さくなるが、その場合駆動部の信号が飽和し、必要な電力を供給できず、信号ＳＡが安定した信号の振幅を維持することが難しい。このような場合には、電力が供給できないため、泡が除去された後に、安定な振動状態への復帰が遅くなる。又、安定な振動が得られないため、質量流量、密度の出力の揺らぎが大きくなり、出力の精度が悪くなる。
【００１４】
本発明の目的の第１は、口径の異なる複数のセンサを一義的な設計定数を有する励振回路で駆動を行っても、安定な振動を確保できるコリオリ質量流量計を実現することにある。
【００１５】
目的の第２は、電源投入後、安定なコリオリ信号、共振振動振幅を得るための時間を短縮したコリオリ質量流量計を実現することにある。
【００１６】
目的の第３は、泡混入時に、駆動出力部の飽和を防止し、必要な電力供給を行うことを可能とし、これにより安定な振動を維持して、正確かつ揺らぎの少ない測定を行うコリオリ質量流量計を実現することにある。
【００１７】
目的の第４は、泡等の外乱要因に対し出力変動、復帰時間の改善を図ったコリオリ質量流量計を実現することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成する本発明は、次の通りである。
（Ｃ１）両端が固定されている測定チューブ内に被測定流体を流し、励振手段により前記測定チューブを共振振動させ、前記測定チューブに設置された上流センサ並びに下流センサで得られる一対のコリオリ信号を信号演算処理部に導き質量流量を演算するコリオリ質量流量計において、前記測定チューブの共振周波数に基づいて演算される密度測定値のレベル値が目標設定以下になったときに前記共振振動の振幅を変更し、前記コリオリ信号の振動振幅を安定化することを特徴とするコリオリ質量流量計。
（Ｃ２）両端が固定されている測定チューブ内に被測定流体を流し、励振手段により前記測定チューブを共振振動させ、前記測定チューブに設置された上流センサ並びに下流センサで得られる一対のコリオリ信号を信号演算処理部に導き質量流量を演算するコリオリ質量流量計において、前記測定チューブの共振周波数に基づいて演算される密度測定値の揺らぎの大きさが目標設定以上になったときに前記共振振動の振幅を変更し、前記コリオリ信号の振動振幅を安定化することを特徴とする記載のコリオリ質量流量計。
（Ｃ３）前記一対のコリオリ信号の夫々と前記信号演算処理部との間に、第１振幅変更回路並びに第２振幅変更回路を設け、これら振幅変更回路の利得を前記信号演算処理部より与えられる目標設定信号により変更し、前記コリオリ信号が小さくなった場合に振幅を大きくすることを特徴とする（Ｃ１）記載のコリオリ質量流量計。
（Ｃ４）前記一対のコリオリ信号の夫々と前記信号演算処理部との間に、第１振幅変更回路並びに第２振幅変更回路を設け、これら振幅変更回路の利得を前記信号演算処理部より与えられる目標設定信号により変更し、前記コリオリ信号が小さくなった場合に振幅を大きくすることを特徴とする（Ｃ２）記載のコリオリ質量流量計。
このような本発明の実施例は、次の通りである。
（１）両端が固定されている測定チューブ内に被測定流体を流し、励振手段により前記測定チューブを所定モードで共振振動させ、前記測定チューブの中央に対して上下流に設置された上流センサ並びに下流センサで得られる一対のコリオリ信号を信号演算処理部に導き質量流量を演算するコリオリ質量流量計において、前記共振振動の振幅を変更可能としたことを特徴とするコリオリ質量流量計。
（２）前記励振手段は、前記上流センサ又は下流センサの検出信号を入力する第１可変増幅部と、この第１可変増幅部で制御され前記測定チューブを所定モードで共振振動させる駆動出力部よりなる閉ループ自己発振回路と、前記上流センサ又は下流センサの検出信号振幅に比例する直流電圧と第１目標設定電圧を入力する第１比較部とを具備し、この第１比較部出力により前記第１可変増幅部の利得を制御して前記共振振動の振幅を前記第１目標設定電圧に制御するとともに、前記第１目標設定電圧を選択的に切換えて前記共振振動振幅を可変にしたことを特徴とする（１）記載のコリオリ質量流量計。
（３）前記第１目標設定電圧が、デューティ・サイクルが異なるパルス幅変調信号で切換え設定されることを特徴とする（１）又は（２）記載のコリオリ質量流量計。
（４）前記第１可変増幅部と前記駆動出力部の間に設けた第２可変増幅部と、前記上流センサ又は下流センサの検出信号振幅に比例する直流電圧と前記第１目標設定電圧より小さい第２目標設定電圧とを比較する第２比較部と、前記第２比較部出力に基づき前記第２可変増幅部の利得を変更する起動回路部を具備し、前記第１目標設定電圧の選択的に切換えに連動して前記第２目標設定電圧を選択的に切換えることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載のコリオリ質量流量計。
（５）前記測定チューブの共振周波数に基づいて演算される密度測定値のレベル値に基づいて前記共振振動の振幅を変更することを特徴とする（１）乃至（４）のいずれかに記載のコリオリ質量流量計。
（６）前記測定チューブの共振周波数に基づいて演算される密度測定値の揺らぎの大きさに基づいて前記共振振動の振幅を変更することを特徴とする（１）乃至（４）のいずれかに記載のコリオリ質量流量計。
（７）前記測定チューブの共振周波数に基づいて演算される密度測定値のレベル値及び揺らぎの大きさに基づいて前記共振振動の振幅を変更することを特徴とする（１）乃至（４）のいずれかに記載のコリオリ質量流量計。
（８）前記一対のコリオリ信号の夫々と前記信号演算処理部との間に、第１振幅変更回路並びに第２振幅変更回路を設け、これら振幅変更回路の利得を前記信号演算処理部より自動的に又は手動的に与えられる目標設定信号により変更することを特徴とする（２）又は（３）記載のコリオリ質量流量計。
（９）前記一対のコリオリ信号の夫々と前記信号演算処理部との間に、第１振幅変更回路並びに第２振幅変更回路を設け、これら振幅変更回路の利得を前記信号演算処理部より自動的に又は手動的に与えられる目標設定信号により変更することを特徴とする（４）記載のコリオリ質量流量計。
（１０）前記一対のコリオリ信号の夫々と前記信号演算処理部との間に、第１振幅変更回路並びに第２振幅変更回路を設け、これら振幅変更回路の利得を前記信号演算処理部より自動的に又は手動的に与えられる目標設定信号により変更することを特徴とする（５）乃至（７）のいずれかに記載のコリオリ質量流量計。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下本発明実施態様を、図面を用いて説明する。図１は本発明を適用したコリオリ質量流量計の一例を示す機能ブロック図であり、図１４の従来構成で説明した要素と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【００２０】
本発明の特徴は、第１目標設定部１１の構成にあり、スイッチ手段ＳＷ１により、第１目標設定電圧を複数値Ｖｒ11，Ｖｒ12 …に切換えて第１比較部１０に入力可能とした点である。
【００２１】
口径変更や泡の混入状態に伴い、スイッチ手段ＳＷ１を切換えることにより、第１比較部1０の入力となる目標設定電圧を、Ｖｒ11，Ｖｒ12 …に選択、変更する。選択された目標設定電圧に対応して信号ＳＡの振動振幅が変更され、飽和等の現象やそれに伴う必要な電力供給できないことを回避できる。
【００２２】
図２は、励振回路部ＤＲの駆動出力部８からセンサ部の加振器４への励振電力と、質量流量出力搖動の程度を実際に測定した結果の例を示す特性図であり、横軸が流体に混入した泡の割合、縦軸左側スケールが励振電力、右側スケールが質量流量出力の搖動を示す。実線Ａは従来の励振電力特性、実線Ｂが従来の質量流量出力の揺動特性である。
【００２３】
この特性で明らかなように、従来の励振電力特性Ａを用いた励振回路では、励振電力が飽和すると、矢印に示すように、泡の混入割合がＸの地点で必要な電力が供給されないことにより、出力の搖動Ｂが急激に大きくなり、出力の安定性が失われる。
【００２４】
本願では、第１目標設定電圧Ｖｒ１の選択により、点線Ｃに示したように励振電力の飽和が起こらない特性に選択可能なため、安定な振動振幅を確保することができ、点線Ｄに示すように、質量流量出力がＸ点で急激に変化することが回避される。
【００２５】
次に、図３乃至図７により本発明の他の実施形態を説明する。
図３は、第１目標設定電圧Ｖｒ１の変更手段に関するものである。デューティ・サイクルの異なる複数のパルス幅信号ＳＧ１またはＳＧ２を、ローパスフィルタＬＰＦ等を通し平滑化して、バッファ増幅器ＢＡを介して目標設定電圧Ｖｒ11及びＶｒ12を得る。デューティ・サイクルの変更により、目標設定電圧の任意な変更が可能となる。
【００２６】
図４は電源投入時や泡の混入や外乱の影響により、センサの信号ＳＡが極小である場合に有効な起動回路に本発明を適用した実施例である。以下図１に対する追加要素を説明する。１２は第２可変増幅部であり、第１可変増幅部７と駆動出力部８の間に設けられる。
【００２７】
１３は第２目標設定部であり、第１目標設定電圧Ｖｒ１より小さい第２目標設定電圧Ｖｒ２を設定する。この第２目標設定部１３では、スイッチ手段ＳＷ２により、第２目標設定電圧を複数値Ｖｒ21，Ｖｒ22 …に切換えて設定可能な構成をとる。
【００２８】
１４は第２比較部であり、上流センサ（又は下流センサ）の検出信号振幅に比例する直流電圧ＶＡと第２目標設定電圧Ｖｒ２（Ｖｒ21，Ｖｒ22 …）とを比較し、第２比較部１４の出力に基づき第２可変増幅部１２の利得を変更する。
第２可変増幅部１２、第２目標設定部１３、第２比較部起動回路部１４で起動回路を構成する。
【００２９】
この実施例の特徴は、第１目標設定部１１のスイッチ手段ＳＷ１と第２目標設定部１３のスイッチ手段ＳＷ２とが連動しており、記前記第１目標設定電圧Ｖｒ11，Ｖｒ12 …の選択的に切換えに連動して、前記第２目標設定電圧Ｖｒ21，Ｖｒ22 …を選択的に切換える点にある。
【００３０】
第２可変増幅部１２の機能であるが、前述のように、平滑部９の出力信号ＶＡとＶｒ21，Ｖｒ22 …を第２比較部１４より比較して、その比較部出力によって利得が変更される。
【００３１】
電源投入時や泡の混入や外乱の影響により、センサ信号ＳＡが極小である場合に、即ち、平滑部９の出力信号ＶＡが第２比較部１４の目標設定電圧Ｖｒ２より小さい場合は、利得を大きく（例えば、数百倍）し、励振振幅が飽和するレベルまで励振して、センサ部ＳＮＳの信号ＳＡの振幅を急速に大きくする。
【００３２】
この結果、平滑部９の出力信号ＶＡが一定のレベルまで達し（通常状態のレベルを含む）、出力信号ＶＡが第２比較部１４の目標設定電圧Ｖｒ２より大きくなると、第２可変増幅部１２の利得を小さく（例えば、数倍）変更し、安定な振動状態の動作に戻す。
【００３３】
上記のように、閉ループ自己発振回路のループ利得を変化させることにより、励振回路部ＤＲの過渡特性を変更し、電源投入時に、安定な励振振幅やセンサ部ＳＮＳの信号ＳＡの振動振幅を得るまでの時間を短縮している。同様に、泡が混入しその除去後の安定な励振振幅や信号ＳＡの振幅への復帰時間を短縮している。
【００３４】
そして、第１目標設定部１１のスイッチ手段ＳＷ１と第２目標設定部１３のスイッチ手段ＳＷ２とを連動させることにより、第１目標設定電圧Ｖｒ１の選択的な切換えに連動して、第２目標設定電圧Ｖｒ２を選択的に切換えて第２可変増幅部の利得を変更させることにより、第１目標設定電圧をＶｒ１変更しても上記の一連の動作を行うことを可能としている。
【００３５】
次に、泡の混入状態を密度測定信号により推定して第１目標設定電圧を選択的に切換える実施例を説明する。
【００３６】
図５の機能ブロック線図において、１５は信号演算処理部ＴＲ内の密度演算部であり、センサ部ＳＮＳからの信号ＳＡの振動周波数ｆと温度センサの検出信号ＳＴを入力し、密度信号Ｈを演算する。
【００３７】
励振回路部ＤＲにおいて、１６は第３比較部、１７は第３目標設定部である。第３比較部１６は、密度信号Ｈと第３目標設定部の目標設定電圧Ｖｒ３の比較出力で第１目標設定部のスイッチ手段ＳＷ１を切換え制御する。
【００３８】
目標設定電圧Ｖｒ３は、密度信号Ｈの大きさが所定値を超えて変化した時にスイッチＳＷ１を切換えるように設定する場合と、密度信号Ｈの揺らぎが所定値を超えたときにスイッチ手段ＳＷ１を切換えるように設定する場合がある。
【００３９】
図６は泡の混入による密度変動の特性図であり、定常状態では、密度値はFを保っているが、泡の混入により、ある値Ｇ以下に変動する。この値Ｇに相当する目標設定電圧Ｖｒ３を設定することで、励振電力が飽和する前に、スイッチ手段ＳＷ１の切換えを行い、第１比較部１１の目標設定電圧Ｖｒ１を変更し、一定の励振振幅やセンサ部ＳＮＳからの信号ＳＡの振動振幅を安定化することができる。
【００４０】
図７は不均一な泡の混入による密度変動の特性図であり、この場合には揺らぎ変動を発生する。即ち、定常状態では、密度の揺らぎ（例えば変動率や変動の振幅）はI以下を保っているが、不均一な泡の混入により、I以上のJの大きさに変化する。揺らぎ値がこの値Ｊに相当する目標設定電圧Ｖｒ３を設定することで、励振電力が飽和する前に、スイッチ手段ＳＷ１の切換えを行い、第１比較部１１の目標設定電圧Ｖｒ１を変更し、一定の振動振幅やＳＡの振動振幅を安定化することができる。
【００４１】
図１、図４、図５の実施例では、第１目標設定部１１のスイッチ手段ＳＷ１を切換え、目標設定電圧をＶｒ11，Ｖｒ12 …に変更することにより、信号演算処理部ＴＲに入力する信号ＳＡ, ＳＢの振幅レベルが変化する。
【００４２】
振幅レベルが小さくなると、信号対ノイズ比（S/N比）が悪くなり、逆に振幅レベルが大きくなると所定の信号処理の入力レンジを超え、信号が制限され波形が歪み、質量流量や密度測定の精度が低下する問題が新たに発生する。
【００４３】
図８は、図１の実施例にこの問題を解消するための対応回路を付加した実施例である。この実施例の特徴部は、一対のコリオリ信号ＳＡ及びＳＢの夫々と信号演算処理部ＴＲとの間に、第１振幅変更回路１８及び第２振幅変更回路１９を設け、これら振幅変更回路の利得を第１目標設定部１１のスイッチＳＷ１の操作に関連して信号演算処理部ＴＲより自動的に又は手動的に与えられる目標設定信号Ｖｒａ及びＶｒｂにより変更し、レベル調整した信号ＳＣ及びＳＤを信号演算処理部ＴＲに導く構成にある。
【００４４】
このような構成により、以下の効果が期待でき、その結果、安定な質量流量・密度測定が確保できる。
（１）スイッチ手段ＳＷ１の切換えにより、信号ＳＡ、ＳＢが小さくなった場合は、振幅を大きくすることにより、S/N比を良くできる。スイッチ手段ＳＷ１の切換えにより、信号ＳＡ、ＳＢが大きくなった場合は、振幅を小さくすることにより、信号処理を行う信号の波形の歪みをなくすことができる。
（２）泡混入時に、駆動出力部の飽和を防止し、必要な電力供給を行い、安定な振動を維持して、正確かつ揺らぎの少ない流量測定を行うことができる。
【００４５】
図９は、第１振幅変更回路１８の具体的な実施例を示す回路構成図である。２０は信号ＳＡを入力し、信号ＳＣを出力する増幅器、２１は信号演算処理部ＴＲからの目標設定信号Ｖｒａで作動するアナログスイッチである。
【００４６】
抵抗Ｒ１, Ｒ２, Ｒ３の直列回路は、増幅器２０の出力信号ＳＣの電圧を分圧し、負帰還信号電圧Ｖａ及びＶｂを発生させる。この負帰還信号電圧Ｖａ及びＶｂがアナログスイッチ２１で切換えられて増幅器２０の負帰還入力端子に供給され、増幅器２０の利得が２段に切換えられる。
【００４７】
第１目標設定部１１の目標設定電圧がＶｒ１であるときは、アナログスイッチ２１の切換えをＶａとし、そのときの信号ＳＡに対する増幅率を[R1/(R2+R3)]+1とする。また、第１目標設定部１１の設定電圧がＶｒ２であるときは、アナログスイッチ２１の切換えをＶｂとし、そのときの信号ＳＡに対する増幅率を[(R1+R2)/R3]+1とする。
【００４８】
このように、信号ＳＡの増幅率は、第１目標設定部１１の目標設定電圧の変更に伴い、小さくした場合は大きく、大きくした場合は小さくするように変更を行う。
【００４９】
図１０は、図４の実施例に図８で説明した第１振幅変更回路１８及び第２振幅変更回路１９を導入した実施例であり、これら振幅変更回路の作用効果については図８と同様である。
【００５０】
図１１は、図５の実施例に図８で説明した第１振幅変更回路１８及び第２振幅変更回路１９を導入した実施例であり、これら振幅変更回路の作用効果についても図８と同様である。
【００５１】
図５の実施例では、第３比較部１６は、密度信号Ｈと第３目標設定部の目標設定電圧Ｖｒ３の比較出力で第１目標設定部のスイッチ手段ＳＷ１を切換え制御する構成であるが、図４のように起動回路を有する場合には、第３比較部１６の出力でスイッチ手段ＳＷ１及びＳＷ２を連動して切換える構成となる。
【００５２】
以上説明した実施例では、第１及び第２目標設定部１１, １３の切換えは手動操作の例を示したが、プロセッサ等による自動切換えの構成を取ることも可能である。
【００５３】
本発明の適応対象となるコリオリ質量流量計における密度演算は、デジタル演算処理方式のみでなく、アナログ回路を用いたチューブの共振周波数測定に伴う流体の密度測定値の大きさや密度測定値の揺らぎを検出する方式にも有効に適用されるものである。
【００５４】
また、各実施例で示した第１可変増幅部７は、信号ＳＡと第１比較部１０の出力の掛け算を行う、掛け算器を用いても構成することができる。
更に、実施例ではセンサの上流側の信号ＳＡのみを励振回路部ＤＲの入力信号とした構成を示したが、下流側の信号ＳＢも同様に励振回路部ＤＲの入力信号として構成することも可能である。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果を期待することができる。
（１）口径の異なる複数のセンサを一義的な設計定数を有する励振回路で駆動を行っても、安定な振動を確保できるコリオリ質量流量計を実現できる。
（２）電源投入後、安定なコリオリ信号、共振振動振幅を得るための時間を短縮したコリオリ質量流量計を実現できる。
【００５６】
（３）泡混入時に、駆動出力部の信号の飽和を防止し、必要な電力供給を行うことが可能であり、これにより、安定な振動を維持して、正確かつ揺らぎの少ない測定を行うコリオリ質量流量計を実現できる。
（４）泡などの外乱要因に対し出力変動、復帰時間の改善を図ったコリオリ質量流量計を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したコリオリ質量流量計の一例を示す機能ブロック図である。
【図２】励振回路部からセンサ部の加振器への励振電力と質量流量出力搖動の程度を実際に測定した結果の例を示す特性図である。
【図３】第１目標設定電圧の変更手段に、デューティ・サイクルの異なるパルス幅信号を用いる実施励を示す回路図である。
【図４】電源投入時や泡の混入や外乱の影響により、センサの信号ＳＡが極小である場合に有効な起動回路に本発明を適用した実施例を示す機能ブロック図である。
【図５】泡の混入状態を密度測定信号により推定して第１目標設定電圧を選択的に切換える本発明の実施例を示す機能ブロック図である。
【図６】泡の混入による密度変動の特性図である。
【図７】不均一な泡の混入による密度の揺らぎ変動の特性図である。
【図８】図１の実施例に第１振幅変更回路及び第２振幅変更回路を導入した実施例を示す機能ブロック図である。
【図９】第１振幅変更回路の実施例を示す回路構成図である。
【図１０】図４の実施例に第１振幅変更回路及び第２振幅変更回路を導入した実施例を示す機能ブロック図である。
【図１１】図５の実施例に第１振幅変更回路及び第２振幅変更回路を導入した実施例を示す機能ブロック図である。
【図１２】周知のコリオリ質量流量計のセンサ部の概要を示す構成図である。
【図１３】コリオリ質量流量計のセンサ部の動作を説明する波形図である。
【図１４】従来のコリオリ質量流量計の全体構成、特に励振回路部の構成を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
ＳＮＳ  センサ部
ＴＲ  信号処理演算部
ＤＲ  励振回路部
４  加振器
７  第１可変増幅部
８  駆動出力部
９  平滑部
１０  第１比較部
１１  第１目標設定部
【図１】
0003849576.tif 000002
【図２】
0003849576.tif 000003
【図３】
0003849576.tif 000004
【図４】
0003849576.tif 000005
【図５】
0003849576.tif 000006
【図６】
0003849576.tif 000007
【図７】
0003849576.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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