(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリカーボネートからなる透明基板と、透明基板上に形成された薄膜層と、薄膜層の上に形成された紫外線硬化樹脂からなる薄膜保護膜を有する光情報記録媒体であって、前記薄膜層が、誘電体膜，記録膜及び反射膜の少なくとも一つの層からなる単層膜又は多層膜であり、薄膜保護膜の湿度膨張係数（相対湿度差（２５℃における含有水蒸気量／飽和水蒸気量）が１％上昇したときの薄膜保護膜の伸びる割合（１／％））が、透明基板の湿度膨張係数よりも大きく、１．７×１０-4（１／％）より小さいことを特徴とする光情報記録媒体。
【請求項２】
前記薄膜保護膜の膜厚が、５μｍ以上２０μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体。
【請求項３】
前記薄膜保護膜の湿度膨張係数が、７×１０-6（１／％）より大きく、５×１０-5より小さいことを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、情報を記録又は再生する光情報記録媒体に関し、特に、環境変化や経時変化により反りを抑制できる光情報記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１に、光情報記録媒体の構成を示す断面模式図を示す。図８に、従来の光情報記録媒体の平面図（ａ）及び側面図（ｂ）を示す。
従来、光情報記録媒体１０は図１及び図９に示すように、ポリカーボネート等からなる円盤状の基板２０上に、スパッタ等により、誘電体膜４１，４３（窒化シリコン等）、記録膜４２（ＴｂＦｅＣｏ等）、反射膜４４（Ａｌ等）等の薄膜からなる単層または多層の薄膜層４０が形成されている。また、これら薄膜層４０上に樹脂膜等による薄膜保護膜５０が形成され、基板の光入射面上には樹脂等からなる基板保護膜３０が形成されている。
【０００３】
これらの層のそれぞれの厚さは、基板２０が約１．２［ｍｍ］、スパッタ等で形成される単層あるいは多層薄膜層４０の厚さは１０〜３００［ｎｍ］、薄膜保護膜厚５０が１〜３０［μｍ］、基板保護膜厚３０が１〜３０［μｍ］であり、媒体の全厚のほとんどがポリカーボネート基板２０によって占められている。
【０００４】
このため光情報記録媒体の剛性は、そのほとんどが、ポリカーボネート基板２０に依存しており、ポリカーボネート基板２０が十分に厚いため、環境変化（温湿度変化）による変形は非常に小さく、各層に発生する応力や曲げモーメントのバランスは考慮する必要がなかった。
【０００５】
ところが、近年光情報記録媒体の高密度記録再生が求められ、ビームスポットを小径化するために対物レンズの高ＮＡ化および基板の薄型化が図られてきている。基板厚さとしては、従来の１．２ｍｍ厚から、０．６ｍｍ厚、０．５ｍｍ厚へと半分もしくはそれ以下へと薄くなる傾向がある。したがって、環境変化（温湿度変化）が起こった場合、光情報記録媒体の剛性は、ポリカーボネート基板２０だけでなく、各層に発生する応力や曲げモーメントに起因する変形が大きくなってきており、各層の厚さなどのバランス設計が重要となってきている。
【０００６】
光情報記録媒体の変形を抑制する手法として、特開平４−１９５７４５号公報には基板の裏面（薄膜層の形成されていない面）に反り防止用の誘電体膜を設ける手法が提案されている。
【０００７】
図９に、この従来の光情報記録媒体の構成を示す断面図を示す。なお、図９においては図１と同一の部分については同一符号を示している。
図９に示すように、ここでは、ポリカーボネート基板２０の光入射側に誘電体層６０を設けて、透明基板２０の相対する側に位置する第１誘電体膜４１、記録膜４２及び第２誘電体膜４３の３つの膜の湿度膨張率と、光入射側の誘電体層６０との湿度膨張率を同等とすることで、光情報記録媒体の反りを防止できるようにしている。
【０００８】
また、図１０に、従来の光情報記録媒体の他の例として、特開平４−３６４２４８号公報に記載された構成の断面図を示す。
この記録媒体は、薄膜保護膜５０、薄膜層４０、基板２０、基板保護膜（誘電体層）３０を備え、さらに湿度変化による反りを防止するために、基板２０と基板保護膜３０との間に、ＳｉＯ2やＡｌＮからなる透湿防止膜７０を設けたものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平４−１９５７４５号公報に記載の記録媒体も、特開平４−３６４２４８号公報に記載の記録媒体も、基板の光入射側にスパッタ等により誘電体層（６０，３０）を設ける必要があるため、生産において、基板に対して一方側の面に薄膜層４０を形成した後、その基板をひっくりかえして反対側の面に誘電体層（６０，３０）を形成する必要があり、工程が複雑化するとともに生産設備の高価格化を齎し、コストアップに繋がるという問題がある。
【００１０】
ところで、湿度膨張係数は、ポリカーボネート基板２０より薄膜保護膜５０の厚さがかなり大きくなっている場合がほとんどである。このとき、薄膜保護膜５０をできるだけ薄くすれば、湿度上昇によって薄膜保護膜５０が膨張することにより光情報記録媒体１０の反り量は抑えられる。しかし、磁界発生手段と薄膜層４０とが近接しすぎると磁界発生手段と光情報記録媒体１０の摺動により薄膜保護膜５０にスクラッチが入るため、薄膜保護膜５０の膜厚を薄くすることは、光情報記録媒体１０の寿命を縮めることになるという問題がある。
【００１１】
この発明は、このような事情を考慮してなされたものであって、温湿度変化に伴う変形（すなわち反り）を防止でき、かつ、その製造が容易な光情報記録媒体を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明は、ポリカーボネートからなる透明基板と、透明基板上に形成された薄膜層と、薄膜層の上に形成された紫外線硬化樹脂からなる薄膜保護膜を有する光情報記録媒体であって、前記薄膜層が、誘電体膜，記録膜及び反射膜の少なくとも一つの層からなる単層膜又は多層膜であり、薄膜保護膜の湿度膨張係数（相対湿度差（２５℃における含有水蒸気量／飽和水蒸気量）が１％上昇したときの薄膜保護膜の伸びる割合（１／％））が、透明基板の湿度膨張係数よりも大きく、１．７×１０-4（１／％）より小さいことを特徴とする光情報記録媒体を提供するものである。
この発明によれば、実質上記録再生に悪影響を及ぼさない程度に、媒体自体の変形（反り）を防止でき、従来よりも記録再生回数の信頼性を向上できる。
【００１４】
ここで、前記薄膜保護膜の膜厚は、５μｍ以上、２０μｍ以下とし、
また、前記透明基板の材料は、たとえばポリカーボネートまたはポリオレフィンを用いることができる。
また、媒体の反りを効果的に防止するために、前記薄膜保護膜は、前記した湿度膨張係数またはヤング率を満たす材料で形成されるが、たとえば紫外線硬化樹脂、特に、ポリエステルアクリレート，エポキシアクリレート，ウレタンアクリレート，またはポリエーテルアクリレートなどを主成分とする紫外線硬化樹脂で形成することができる。
【００１５】
また、薄膜保護膜の材質としては、湿度膨張係数をできるだけ小さくするという観点からは、親水性の少ない成分を多く含むものが好ましい。
【００１６】
なお、この発明の光情報記録媒体には、従来のような基板保護膜３０は設ける必要はないが、媒体全体の厚みは少し厚くなるが傷つき防止及び反り抑制等のために、透明基板２０の光入射面側に、基板保護膜３０を設けてもよい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
最初に、湿度変化時における光情報記録媒体の変形（反り）とその原理について説明する。
この発明で対象となる光情報記録媒体は、たとえば図１に示すように、ポリカーボネート等の透明基板２０上に、スパッタ等により、誘電体膜４１，４３（窒化アルミニウム、窒化シリコン等）、記録膜４２（ＴｂＦｅＣｏ等）、反射膜４４（Ａｌ合金等）等の薄膜からなる単層、または多層の薄膜層４０を形成し、さらに該薄膜層４０の上に樹脂を主成分とする薄膜保護膜５０を形成し、該透明基板２０の反対の面上に透明基板２０を保護するために樹脂を主成分とする基板保護膜３０が形成されたものである。
【００２０】
このような構成の媒体は種々のものが市販されているが、この発明の対象としては、光磁気記録媒体（ＭＤ，ＭＯ等）、あるいは、薄膜層４０の内訳が反射膜４４（Ａｌ等）のみからなる再生専用媒体（ＣＤ，ＤＶＤ，ＤＶＤ−ＲＯＭ等）、薄膜層４０の内訳が有機色素膜・反射膜４４（Ａｕ，Ａｇ等）からなる追記型光媒体（ＣＤ−Ｒ，ＤＶＤ−Ｒ等）、薄膜層４０の内訳が誘電体膜４１，４３（ＺｎＳ−ＳｉＯ2等）、記録膜４２（ＧｅＳｂＴｅ，ＡｇＩｎＳｂ等）、反射膜４４（Ａｌ合金等）からなる相変化光記録媒体（ＣＤ−ＲＷ，ＤＶＤ−ＲＷ，ＤＶＤ−ＲＡＭ，ＤＶＲ等）などが含まれる。
【００２１】
このように光情報記録媒体は多層で構成されているので、各層の物性値である湿度膨張係数が異なり、湿度変化時に各層に発生する応力も異なる結果となる。すなわち、一般的にはポリカーボネート基板２０、基板保護膜３０、及び薄膜保護膜５０の湿度膨張係数は、単層、又は多層の薄膜層４０のそれに比較して大きく、単層、又は多層の薄膜層４０の基板の半径方向への膨張は、その他の各層に比較して非常に小さくなる。
【００２２】
また、この時、透明基板２０の厚さは基板保護膜３０及び薄膜保護膜５０の厚さに比較して非常に大きく、薄膜層４０の各薄膜のヤング率が他の層に比較して非常に大きくなる。したがって、湿度変化時における変形の原因としては、薄膜層４０の膨張が小さいこと、基板２０もしくは薄膜保護膜５０、基板保護膜３０の膨張が大きいことが支配的になりやすい。
【００２３】
湿度膨張係数はポリカーボネート等の透明基板２０に比較してＵＶ硬化型樹脂で形成される薄膜保護膜５０もしくは基板保護膜３０ほうが一般的に大きくなりやすいことが知られている。その結果、光情報記録媒体１０はその半径方向に垂直であり、厚さ方向には薄膜保護膜５０もしくは基板保護膜３０の湿度膨張率の小さい面側に反りが生じやすい。特に、基板保護膜３０のない場合、もしくは非常に薄い場合には、光入射面側（図１の紙面の上方向）に反りやすくなる。
図２はその反りを説明する模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。ここで、図２（ｂ）のように、光入射面側（基板保護膜３０）への反りを−方向とし、逆に薄膜保護膜５０側への反りを＋方向とする。
【００２４】
ここで、薄膜保護膜５０の湿度膨張係数、ヤング率、及び膜厚を適切に調整すれば、膜厚方向に垂直な面を中立面として、透明基板２０および基板保護膜３０の湿度変化による曲げモーメントと薄膜保護膜５０のそれとが釣り合い、湿度変化による変形（すなわち、光情報記録媒体１０の半径方向に垂直であり、厚さ方向の基板保護膜面側もしくは光入射面側への反り）が小さくなる可能性がある。このことから、湿度変化時における変形を小さくするための薄膜保護膜５０の湿度膨張係数、ヤング率、及び膜厚の適切な値を求めるために次のような近似計算を行った。
【００２５】
光情報記録媒体１０には、温度変化時に半径方向に働く応力（軸力）と円周方向に働く応力と膜厚方向に働く応力が発生するが、光情報記録媒体１０は、円盤状であるため、円周方向に働く応力は円周内で均一になり、膜厚方向の力も各層内では一様に働くため、変形には寄与しないと仮定できるため、光情報記録媒体１０の変形すなわち反り（光情報記録媒体１０の半径方向に垂直であり、厚さ方向の薄膜保護膜面側（＋）または光入射面側（−）への反り、反り角度θで変形の大小を評価）はその断面部に相当する多層はりにおける反りに置換できる。図３はその多層はりを示す図である。
【００２６】
なお、図３ではｎ層はりを示しているが、このｎは光情報記録媒体の層数であり、図１の光情報記録媒体の場合にはｎ＝７である。
更にこの多層はりにおける湿度変化時の反り角度θは各層の軸力Ｐｉ（ｉ＝１，２，３，…，ｎ）と曲げモーメントＭｉの釣り合いから導かれる式（１）〜（５）（「はり理論による電子デバイス」、尾田十八、金沢大学、機論、５９巻、５６３号、１０７７７〜１０７８２頁、１９９３年、参照）によって表すことができる。
【００２７】
【数１】
0003859444.tif 000002
【００２８】
ここで、式（１）〜（５）における各記号の意味を次に示す。
αi：ｉ層の湿度膨張係数、
Ｅi：ｉ層のヤング率、
ｔi：ｉ層の厚さ、
Ｐi：ｉ層における軸力、
Ｍi：ｉ層における曲げモーメント、
Ｒi：ｉ層における曲率半径、
Ｉi：ｉ層の断面２次モーメント、
ｂ：はりの幅（単位長とする）、
Ｔ：変化した相対湿度（％）、
Ｌ：はりの長さ、
ｙ：ｎ層はりの中立面位置、
θ：最大変化部における長さ４［ｍｍ］での反り角度
【００２９】
また、各層の厚さが曲率半径に比較しはるかに小さいため、各層（ｉ＝１，２，…，ｎ）における曲率半径は同一（Ｒ1＝Ｒ2＝Ｒ3＝…＝Ｒn＝Ｒ）とする。湿度膨張係数とは、相対湿度差が１％上昇した場合に物質の伸びる割合を正の湿度膨張係数と定義し、単位は１／％とする。
ここで相対湿度差とは、２５℃における含有水蒸気量／飽和水蒸気量をいう。
【００３０】
相対湿度変化時の反りを制御するために、θが小さくなるように、これらの式を用いて、薄膜保護膜５０のヤング率と湿度膨張係数と膜厚を選択する。すなわち、これらの式を用いることにより、湿度変化時における中立面位置（ｙ）を薄膜層内にするためのヤング率等の選択が可能になる。更に式（１）〜（５）より、薄膜保護膜５０のヤング率の値や湿度膨張係数が基板２０と同程度に低い場合には、記録膜等の薄膜層４０を中立面位置（ｙ）として反りを抑制できることが分かる。
【００３１】
次に、上記原理に基づき形成した光情報記録媒体の実施例について説明する。
この実施例では、基板保護膜３０がない光情報記録媒体の実施例を示す。もし基板保護膜３０が存在する場合には、それをも考慮して各層（特に薄膜保護膜５０）の膜厚等の設計を行う必要がある。
【００３２】
＜実施例１＞
実施例１として、ポリカーボネート基板（透明基板２０）上に、窒化アルミニウム薄膜層（薄膜層４０）と、式（１）〜（５）を用いて設計された紫外線（ＵＶ）硬化樹脂１（薄膜保護膜５０）が形成された媒体を形成した。また、比較例１として、ポリカーボネート基板上に、薄膜層と従来の紫外線（ＵＶ）硬化樹脂２（薄膜保護膜５０）が形成された光情報記録媒体を形成した。図１１，１２にそれぞれ実施例１、比較例１の構成を示す。
【００３３】
図１１，図１２から分かるように、両者の違いは、ＵＶ硬化樹脂の湿度膨張係数であり、図１１に示したこの発明の光情報記録媒体の方が、湿度膨張係数が小さい。なお、透明基板２０としては、両者とも内径φが８ｍｍ、外径φが５０ｍｍ、基板厚が０．５ｍｍのものを使用している。
【００３４】
ここで、この発明の光情報記憶媒体に使用する薄膜保護膜５０として、従来使用されていたＵＶ硬化樹脂２より小さな湿度膨張係数（１．６０×１０-5）を持ち、式（１）〜（５）を用いて膜厚（１６μｍ）を決定した薄膜保護層５０を選定した。図１２に示した従来の光情報記録媒体と比較するために、両媒体に２５℃、５０％ＲＨから２５℃、９０％ＲＨへと湿度が上昇するような環境変化を与えた場合の、外周部（ｒ＝２４ｍｍ）における反り角θ（図３参照）の変化量（Δθ）の経時変化を測定した。
【００３５】
図４及び図５に、相対湿度変化時における反り角の変化量（半径方向チルト：ｍｒａｄ）と経過時間（ｈｏｕｒ）との関係のグラフを示す。図４は、図１２に示した従来の光情報記録媒体であり、図５は、図１１に示したこの発明の実施例１の光情報記録媒体のグラフである。
ここで、反り角の変化量がプラス値の場合は、薄膜保護膜５０側に反っていることを示し、逆にマイナス値の場合は基板保護膜３０側（光入射面側）に反っていることを示す。
【００３６】
図４では、湿度膨張係数は６．２５×１０-5（１／％）であり、図５では１．６０×１０-5（１／％）である。
したがって、図４の従来の場合、薄膜保護膜は高湿度膨張係数かつ高ヤング率の材質を持ち、図５の実施例１の場合、薄膜保護膜は低湿度膨張係数かつ高ヤング率の材質を持つと言える。
【００３７】
図４において、湿度が９０％となると、反り角の変化量が−７．０ｍｒａｄ程度となり、光入射面側に大きく反っていることがわかる。
一方、この発明の図５において、湿度が９０％となっても、反り角の変化量は−０．７ｍｒａｄ程度であり、光入射面側にわずかに反っているにすぎないことがわかる。
【００３８】
すなわち、この発明の光情報記録媒体では、従来の比較例１と比較すると、同じ湿度変化でも反り角の変化量が非常に小さくなっていることが分かる。その結果、この発明の光情報記録媒体では、薄膜保護膜５０の膜厚が１０μｍ以上であっても変形が抑制されていることが分かる。
【００３９】
図７に、図１１に示したこの発明の実施例１の光情報記録媒体の湿度膨張係数とヤング率の関係のグラフを示す。ここで、グラフａは、薄膜保護膜５０の膜厚が５μｍで、反りの変化量が−５ｍｒａｄの場合の関係グラフであり、グラフｂは、薄膜保護膜５０の膜厚が２０μｍで、反りの変化量が−５ｍｒａｄの場合の関係グラフである。
【００４０】
ここで、薄膜保護膜５０の膜厚が、５μｍから２０μｍまでの間の場合、湿度膨張係数とヤング率の関係グラフは、グラフａとグラフｂの間に入る。また、反りの変化量が０〜５ｍｒａｄの範囲に収まるように、湿度膨張係数またはヤング率の範囲を適切に選択する必要がある。
【００４１】
たとえば、ヤング率を２．０×１０9（Ｐａ）に固定した場合を考えると、薄膜保護膜の膜厚を２０μｍとした場合、薄膜保護膜の湿度膨張係数は、透明基板のそれよりも大きく、１．７×１０-4（１／％）より小さいことが好ましい。
【００４２】
したがって、このグラフによれば、薄膜保護膜５０の膜厚が５〜２０μｍの間の場合には、反りの変化量を０〜５ｍｒａｄに抑えるためには、薄膜保護膜の湿度膨張係数は、１．７×１０-4（１／％）より小さく、透明基板の湿度膨張係数よりも大きいことが好ましい。さらに好ましくは、７．０×１０-5（１／％）より小さく５．０×１０-5（１／％）より大きい範囲内であればよい。すなわち、透明基板２０の湿度膨張係数（７．０×１０-6（１／％））の７倍程度とすればよい。
【００４３】
以上のように、適切な数値範囲の湿度膨張係数を持つように薄膜保護膜を選定すれば、光情報記録媒体の反り量を実質的に記録再生に影響を与えない所定の範囲内に抑えることができる。
【００４４】
＜実施例２＞
次に、ヤング率の小さなＵＶ硬化樹脂３を使用した場合の光情報記録媒体について説明する。この実施例２の媒体は実施例１の媒体とほぼ同じ材質であるＵＶ硬化樹脂を用いるが、その特性のうちヤング率が異なっているものである。図１３に実施例２の構成を示す。
【００４５】
図１３の実施例２と、図１２の比較例１とを比較すると、薄膜保護膜５０のＵＶ硬化樹脂３の材質が異なり、さらに図１３に示したこの発明の実施例２の光情報記録媒体の方が、ヤング率（９．００×１０9（Ｐａ））が小さくなっている点が異なる。すなわち、この実施例２の薄膜保護膜５０は低ヤング率かつ高湿度膨張係数を持つものである。
【００４６】
図６に、この発明の実施例２において、相対湿度変化時における反り角の変化量（ｍｒａｄ）と経過時間（ｈｏｕｒ）との関係のグラフを示す。
ここで、実施例１と同様に、２５℃，５０％ＲＨから２５℃，９０％ＲＨへと湿度が上昇するような環境変化を与えた場合に、媒体の外周部（ｒ＝２４ｍｍ）における反り角θの変化量（Δθ）の経時変化を測定したものである。
【００４７】
図６によれば、湿度が９０％となると、反り角の変化量が−４．０ｍｒａｄ程度となり、光入射面側に反っているが、これは図４に示した従来のものに比べて反りの変化量が少ないことがわかる。
また、前記した図７の湿度膨張係数とヤング率との関係グラフによれば、薄膜保護膜５０の膜厚が５〜２０μｍの間において、反りの変化量を５ｍｒａｄ以下に抑えるためには、薄膜保護膜５０のヤング率は、少なくとも透明基板のヤング率よりも大きいことが必要であり、かつ２．０×１０9（Ｐａ）よりも大きく、１．０×１０10（Ｐａ）よりも小さいことが好ましい。さらに好ましくは、３．０×１０9（Ｐａ）から６．０×１０9（Ｐａ）の範囲内にあればよい。
【００４８】
【発明の効果】
この発明によれば、薄膜保護膜の湿度膨張係数が透明基板のそれよりも大きく、かつ所定の湿度膨張係数を持つ薄膜保護膜を用いて光情報記録媒体を構成しているので、薄膜保護膜の膜厚を１０μｍ以上確保した場合でも、実質的に記録再生に悪影響を及ぼすことがないように、従来よりも反り量を抑えることができる。
また、薄膜保護膜のヤング率が、透明基板よりも大きく、できるだけ小さい所定範囲のヤング率を持つ薄膜保護膜を用いて光情報記録媒体を構成しているので、実質的に従来よりも反り量の少ない光情報記録媒体を提供でき、したがって、記録再生の信頼性を向上できる。
また、基板保護膜を設けない場合には、環境相対湿度変化時の反り量変化の小さい光情報記録媒体の製造が安価になるとともに、連続磁気記録再生回数信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】光情報記録媒体の構成を示す断面模式図である。
【図２】光情報記録媒体の反りを説明する図である。
【図３】多層はりを説明する図である。
【図４】従来における相対湿度変化時における反り角の時間依存（高湿度膨張係数、高ヤング率）の関係グラフである。
【図５】この発明の実施例１の相対湿度変化時における反り角の時間依存（低湿度膨張係数、高ヤング率）の関係グラフである。
【図６】この発明の実施例２の相対湿度変化時における反り角の時間依存（低ヤング率、高湿度膨張係数）の関係グラフである。
【図７】この発明の実施例１の湿度膨張係数とヤング率の関係グラフである。
【図８】従来の光情報記録媒体の構成を示す平面図、側面図である。
【図９】従来の光情報記録媒体の一例を示す断面模式図である。
【図１０】従来の光情報記録媒体の他の例を示す断面模式図である。
【図１１】この発明の実施例１の構成要素の設定値の説明図である。
【図１２】従来の光情報記録媒体の構成要素の設定値の説明図である。
【図１３】この発明の実施例２の構成要素の設定値の説明図である。
【符号の説明】
１０：光情報記録媒体
２０：透明基板
３０：基板保護膜
４０：薄膜層
４１：第１誘電体膜
４２：記録膜
４３：第２誘電体膜
４４：反射膜
５０：薄膜保護膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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