(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧電源部にケーブルを介して接続された放電電極からコロナ放電する放電装置であって、
前記ケーブルまたは前記放電電極から輻射された電磁波の内、前記放電電極への印加電圧周波数成分より高周波で前記放電電流の周波数帯域内の特定周波数成分を検出する受信手段と、
前記受信手段で検出された前記特定周波数成分の電磁波強度に基づいて放電電流値に対応付けられたモニタ値を出力する出力手段とを設けて放電電流を評価する放電電流モニタと、
この放電電流モニタから出力されたモニタ値に基づいて、前記高圧電源部からの出力を所定の目標値に制御する出力制御手段と、を備えてある放電装置。
【請求項２】
前記放電電流モニタから出力されたモニタ値に基づいて、前記放電電極を洗浄する洗浄機構を作動させて自動洗浄する洗浄制御手段を設けてある請求項１に記載の放電装置。
【請求項３】
前記洗浄機構は、前記放電電極の表面に向けて洗浄水を噴射する洗浄ノズルと、
この洗浄ノズルへの前記洗浄水の供給を開始及び停止するための洗浄液供給弁と、で構成されている請求項２に記載の放電装置。
【請求項４】
高圧電源部にケーブルを介して接続された放電電極からコロナ放電する放電装置であって、
前記高圧電源部の出力側を流れる電流の内の全部または一部の前記放電電流の周波数帯域内の特定周波数成分を、前記放電電極への印加電圧周波数成分より高周波成分を通過させる高域通過フィルタを介して検出する電流検出手段と、
前記電流検出手段で検出された前記特定周波数成分の電流値に基づいて放電電流値に対応付けられたモニタ値を出力する出力手段とを設けて放電電流を評価する放電電流モニタと、
この放電電流モニタから出力されたモニタ値に基づいて、前記高圧電源部からの出力を所定の目標値に制御する出力制御手段と、
前記放電電流モニタから出力されたモニタ値に基づいて、前記放電電極の表面に向けて洗浄水を噴射する洗浄ノズルと、この洗浄ノズルへの前記洗浄水の供給を開始及び停止するための洗浄液供給弁と、で構成されている洗浄機構を作動させて前記放電電極を自動洗浄する洗浄制御手段と、を設けてある放電装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高圧電源部にケーブルを介して接続された放電電極からコロナ放電する放電装置に関し、特に、放電を利用したプラズマ脱臭装置、オゾン発生装置、電気集塵装置、或いは、放電ガス処理装置等に使用するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の放電装置の放電電流を測定するには、放電電極に接続されているケーブルに電流プローブを装着し、検出した電流を増幅器を介してオシロスコープの表示管面上に電圧波形表示した上、その電圧値を読み取ることにより当該測定を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、かかる放電現象は電極間に高電圧を印加した際の一瞬の短絡現象であり、短絡開始時における放電電流の立ち上がりは極めて急峻であり、その放電電流を測定するためには、数ＭＨｚ〜数百ＭＨｚの高い周波数を測定可能な電流プローブを使用する必要であった。
ところで、この高周波電流プローブは測定器として極めて高価であるため、オシロスコープを含め当該測定にかかる設備費が高騰し、また、この測定設備により装置サイズも大きくなるため、一般設備に採用するには問題があった。
【０００４】
また、放電を利用したプラズマ脱臭装置では、放電装置における電極等の設計評価に当り、高価な高周波電流プローブを用いた放電電流の測定を行わずに、放電により発生したオゾン量といった副次的な因子で放電状態を評価し、電極の評価等を行っていたが、正確な評価をするためには複数回の再現試験が必要であり、当該評価に非常に手間がかかっていた。
【０００５】
本発明の目的は、上述の問題点を解消し、簡易且つ確実に放電電流の評価が可能で、更に放電電流の安定制御が可能な放電装置を提供する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するための本発明に係る放電電流モニタの第一の特徴構成は、特許請求の範囲の欄の請求項１に記載した通り、高圧電源部にケーブルを介して接続された放電電極からコロナ放電する放電装置であって、前記ケーブルまたは前記放電電極から輻射された電磁波の内、前記放電電極への印加電圧周波数成分より高周波で前記放電電流の周波数帯域内の特定周波数成分を検出する受信手段と、前記受信手段で検出された前記特定周波数成分の電磁波強度に基づいて放電電流値に対応付けられたモニタ値を出力する出力手段とを設けて放電電流を評価する放電電流モニタと、この放電電流モニタから出力されたモニタ値に基づいて、前記高圧電源部からの出力を所定の目標値に制御する出力制御手段とを備えてある点にある。
【０００７】
同第二の特徴構成は、特許請求の範囲の欄の請求項２に記載した通り、上記第一の特徴構成を有する放電装置の放電電流モニタから出力されたモニタ値に基づいて、前記放電電極を洗浄する洗浄機構を作動させて自動洗浄する洗浄制御手段を設けてある点にある。
【０００８】
同第三の特徴構成は、特許請求の範囲の欄の請求項３に記載した通り、上記第二の特徴構成を有する放電装置の前記洗浄機構が、前記放電電極の表面に向けて洗浄水を噴射する洗浄ノズルとこの洗浄ノズルへの前記洗浄水の供給を開始及び停止するための洗浄液供給弁とで構成されている点にある。
【０００９】
同第四の特徴構成は、特許請求の範囲の欄の請求項４に記載した通り、高圧電源部にケーブルを介して接続された放電電極からコロナ放電する放電装置であって、前記高圧電源部の出力側を流れる電流の内の全部または一部の前記放電電流の周波数帯域内の特定周波数成分を、前記放電電極への印加電圧周波数成分より高周波成分を通過させる高域通過フィルタを介して検出する電流検出手段を設け、前記電流検出手段で検出された前記特定周波数成分の電流値に基づいて放電電流値に対応付けられたモニタ値を出力する出力手段を設けて放電電流を評価する放電電流モニタと、この放電電流モニタから出力されたモニタ値に基づいて、前記高圧電源部からの出力を所定の目標値に制御する出力制御手段と、前記放電電流モニタから出力されたモニタ値に基づいて、前記放電電極の表面に向けて洗浄水を噴射する洗浄ノズルとこの洗浄ノズルへの前記洗浄水の供給を開始及び停止するための洗浄液供給弁とで構成されている洗浄機構を作動させて前記放電電極を自動洗浄する洗浄制御手段とを設けてある点にある。
【００１０】
以下に、作用並びに効果について説明する。
前記高圧電源部から前記放電電極間に印加される電圧が一定の高電圧に達するとコロナ放電を開始し、その放電電流の周波数帯域は極めて高周波域で数ＭＨｚ〜数百ＭＨｚの広範囲に及ぶが、その印加電圧以外の前記放電電流成分を含むノイズ成分は略ＤＣレベルから数百ＭＨｚの広範囲にわたり均一なエネルギ分布のホワイトノイズであること、更には、前記ケーブルまたは前記放電電極から輻射される電磁波も数ＭＨｚ〜数百ＭＨｚの広範囲な周波数帯域において均一なエネルギ分布のフラットな周波数特性を示すことが、本発明者等の鋭意研究の結果確認することができた。従って、前記放電電流或いは前記電磁波の前記周波数帯域内の特定周波数成分だけを検出しても、放電電流を的確に評価することができるのである。
【００１１】
そこで、上記放電装置の第一の特徴構成によれば、放電電流モニタは、前記受信手段が前記電磁波の内の前記周波数帯域内の特定周波数成分を検出し、前記出力手段が前記受信手段で検出された前記特定周波数成分の電磁波強度に基づいて放電電流値に対応付けられたモニタ値を出力することにより、そのモニタ値によって前記放電電流を的確に評価することができるのである。
更に、このように放電状態を数値的に把握できるため、放電電極の劣化や汚染等による放電電流の減少を客観的に判断できるのである。
また、本特徴構成によれば、前記放電電流の非接触検出が可能なため、既設の放電装置に対して後工事によって前記放電電流モニタを前記放電装置に装着することができるのである。
【００１２】
ここで、前記放電電流の評価とは、前記モニタ値の増減から前記放電電流値の増減を把握する相対的な評価と、前記モニタ値と前記放電電流値とを予め対応付けておくことによる絶対的な評価の両者を含むものである。また、絶対的な評価は、必ずしも電流値として評価せずに、例えば放電現象の結果としてのオゾン発生量等に基づく放電電流値が適正範囲内にあるかどうかの評価であっても構わない。
【００１３】
上記放電装置の第一の特徴構成によれば、放電電流モニタから出力されたモニタ値によって、前記放電電流を的確に評価することができるため、前記出力制御手段が前記モニタ値に基づいて、前記高圧電源部からの出力を所定の目標値に制御することで、前記放電電流を適正範囲内に維持することが可能となり、放電装置の安定稼働が可能となるのである。
【００１４】
上記放電装置の第二の特徴構成によれば、上記第一の特徴構成を有する放電装置の放電電流モニタから出力されたモニタ値によって、放電状態が評価でき、放電電流量の低下が認識された場合、放電電極が劣化や汚染等していると判断できるため、前記洗浄制御手段が前記洗浄機構を作動させて前記放電電極を洗浄することにより、放電電極の劣化や汚染等を回復させ、放電状態を正常に維持することができるのである。この結果、例えば、本放電装置を使用したプラズマ脱臭装置の場合、放電によるオゾン発生量を常時適正範囲内に維持することが可能となり、プラズマ脱臭装置の安定稼働が可能となるのである。
また、上記放電装置の第三の特徴構成によれば、前記洗浄機構は、放電電極の表面に向けて洗浄水を噴射する洗浄ノズルと洗浄ノズルへの洗浄水の供給を開始及び停止するための洗浄液供給弁で構成されている。洗浄液供給弁は弁の開閉を操作する操作部が、洗浄制御手段からの制御信号を受信して弁の開閉を制御する構成となっている。
放電電流モニタが放電電流量の低下を検出して、その状態に応じたモニタ値を出力することで、洗浄制御手段が、放電電極が洗浄が必要な状態にあると判断して、洗浄液供給弁を開成し、洗浄ノズルから洗浄水が噴射され、噴射された洗浄水によって汚染した放電電極の表面が洗浄される。その結果、プラズマ脱臭装置の安定稼働が可能となるのである。
【００１５】
更に、同第四の特徴構成によれば、前記高圧電源部の出力側即ち前記ケーブルを流れる電流或いはその一部が前記高域通過フィルタを通過することで、前記放電電極に印加する印加電圧の周波数成分が除去され、前記ケーブルを流れる放電電流の全部または一部が前記電流検出手段によって検出される。ところで、上記の如く、前記放電電流はその広範囲な周波数帯域において均一なエネルギ分布のフラットな周波数特性を示すことから、前記電流検出手段によって検出された周波数成分が前記放電電流の前記周波数帯域内の特定周波数成分のみであっても、前記出力手段がその電流値に基づいて放電電流値に対応付けられたモニタ値を出力することにより、そのモニタ値によって前記放電電流を的確に評価することができるのである。
尚、本特徴構成によれば、前記放電電流は接触検出となるため、上記第一の特徴構成のように既設の放電装置に対して後工事によって前記放電電流モニタを前記放電装置に装着することはできないものの、非接触検出と異なり、検出ポイントによって検出レベルが異なり校正が煩雑になるという問題は回避することができるのである。
さらに、放電装置の放電電流モニタから出力されたモニタ値によって、前記放電電流を的確に評価することができるため、前記出力制御手段が前記モニタ値に基づいて、前記高圧電源部からの出力を所定の目標値に制御することで、前記放電電流を適正範囲内に維持することが可能となり、放電装置の安定稼働が可能となるのである。
さらに放電電流モニタから出力されたモニタ値によって、放電状態が評価でき、放電電流量の低下が認識された場合、放電電極が劣化や汚染等していると判断できるため、前記洗浄制御手段が前記洗浄機構を作動させて前記放電電極を洗浄することにより、放電電極の劣化や汚染等を回復させ、放電状態を正常に維持することができるのである。この結果、例えば、本放電装置を使用したプラズマ脱臭装置の場合、放電によるオゾン発生量を常時適正範囲内に維持することが可能となり、プラズマ脱臭装置の安定稼働が可能となるのである。
また、前記洗浄機構は、放電電極の表面に向けて洗浄水を噴射する洗浄ノズルと洗浄ノズルへの洗浄水の供給を開始及び停止するための洗浄液供給弁で構成されている。洗浄液供給弁は弁の開閉を操作する操作部が、洗浄制御手段からの制御信号を受信して弁の開閉を制御する構成となっている。
放電電流モニタが放電電流量の低下を検出して、その状態に応じたモニタ値を出力することで、洗浄制御手段が、放電電極が洗浄が必要な状態にあると判断して、洗浄液供給弁を開成し、洗浄ノズルから洗浄水が噴射され、噴射された洗浄水によって汚染した放電電極の表面が洗浄される。その結果、プラズマ脱臭装置の安定稼働が可能となるのである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明に係る放電電流モニタを備えた放電装置、並びに、その放電現象を利用したオゾン発生装置を示す概略構成図である。
図１に示すように、前記放電装置は、放電室１２内に設けられた一対の放電電極３（放電電極と誘導電極）がケーブル２を介して高圧電源部１に接続され、前記高圧電源部１が出力する１００ＫＨｚ以下の発振周波数（例えば、１５ＫＨｚ）の高電圧の交流電圧が前記放電電極３の間に印加され、前記放電電極３間の電圧が一定電圧以上となるとコロナ放電する構成となっている。また、前記オゾン発生装置は、前記放電装置に加え、前記放電室１２内に被処理ガスを供給する送風機１３、処理ガス排出用の風洞１４を備えて構成されている。
【００１７】
前記放電電流モニタは、前記ケーブル２を流れる高周波の放電電流成分によって発生する電磁波の数ＭＨｚ〜数百ＭＨｚの周波数帯域内の特定周波数成分を同調検波する受信手段４と、前記受信手段４で検出された前記特定周波数成分の電磁波強度に基づいて前記放電電流の電流値に対応付けられたモニタ値を出力する出力手段５とからなる。前記受信手段４は、具体的には、同調コイルＬ、可変コンデンサＣ1 、ダイオードＤ1 、抵抗Ｒ1 、コンデンサＣ2 から構成されている。前記可変コンデンサＣ1 は同調周波数を前記特定周波数に調整するためのものである。更に、前記モニタ値に基づいて、前記高圧電源部１の出力を所定の目標値に制御する出力制御手段９が設けられている。前記高圧電源部１は、例えば、１００Ｖの商用交流電圧を入力して、内部でＡＣ／ＤＣ変換後、チョッパ方式等による電力安定化制御を行い、インバータでＤＣ／ＡＣ変換したものを昇圧トランスにより高電圧を出力するものである。ここで、前記高圧電源部１の出力制御は前記商用交流電圧の入力レベルを調整することで行う。
【００１８】
次に、前記放電電流モニタによって前記放電電流を的確に評価できることを実験結果に基づいて説明する。
図２に示すように、実験用の回路ブロック構成は、図１に示す前記放電装置、前記放電電流モニタ、前記オゾン発生装置に対して、前記出力制御手段９を設けずに、前記商用交流電圧を電力計１１を介して前記高圧電源部１に入力し、前記ケーブル２の一方側に抵抗ＲS を挿入し、その両端の電圧降下により前記ケーブル２を流れる電流量を評価するための抵抗電圧測定回路１０を前記抵抗ＲS の両端に設け、前記放電電流モニタの前記出力手段５として第１直流電圧計を設け、前記風洞１４の下流側に設けた採取口Ｆから発生したオゾンを採取してオゾン発生量を測定するオゾンモニタ１５と前記オゾンモニタ１５の出力信号レベルを読み取る第３直流電圧計１６とから構成されている。
【００１９】
図３に示すように、前記ケーブル２を流れる高圧電流の点Ａでの電圧波形は、前記高圧電源部１から前記１００ＫＨｚ以下の交流のベース電流による電圧波形に、放電電流による高周波成分が重畳された形で現れる。図３において、放電開始とともに現れるノイズ波形は放電電流の高周波成分を含むホワイトノイズであり、各周期毎に印加電圧の極性が正負反転するため２回発生する。
【００２０】
前記放電電流の高周波成分によって前記ケーブル２から輻射する前記電磁波の特定周波数成分が、前記受信手段４の点Ｂにおいて、前記同調コイルＬと前記可変コンデンサＣ1 で構成される共振回路によって検出される。図４に示すように、この特定周波数は数ＭＨｚ〜数百ＭＨｚの広範囲に分布するホワイトノイズの周波数帯域の中から選ばれ、点Ｂでの検出波形からは前記ベース電流の周波数成分は除去されている。点Ｂで検出された電流信号は、前記ダイオードＤ1 、前記抵抗Ｒ1 、前記コンデンサＣ2 で構成される整流平滑化回路で電圧変換され、前記第１直流電圧計５で点Ｄにおける電圧値が測定される。これにより、輻射電磁波として検出される放電電流量を電圧値として表し、放電電流を評価するモニタ値として取り出すことができ、放電状態つまり放電電流の大小を簡単にモニタリングすることができるのである。
【００２１】
図２に示すように、前記抵抗電圧測定回路１０は、前記ケーブル２を流れる電流を検出すべく、抵抗Ｒ2 とフォトカップラＰの発光ダイオード部の直列回路を前記抵抗ＲS と並列に設け、前記フォトカップラＰの受光トランジスタ部とエミッタ抵抗Ｒ3 を直列に接続し、前記発光ダイオード部を流れる電流を前記受光トランジスタ部側で電圧変換し、第２直流電圧計で点Ｅにおける電圧を測定して前記ケーブル２を流れる電流値を間接的に評価するものである。
また、具体的な放電状態は、放電によるオゾン発生量を前記オゾンモニタ１５及び前記第３直流電圧計１６で検出して評価することができる。
【００２２】
次に、モニタ値である点Ｄにおける放電検出電圧が、前記オゾンモニタ１５が検出したオゾン濃度、及び、前記抵抗電圧測定回路１０で測定した点Ｅにおける抵抗電圧との相関関係を検証した実験結果につき説明する。
【００２３】
この検証実験は、前記商用電源の入力電圧をＡＣ７５ＶからＡＣ９０Ｖまで５Ｖ刻みで変化させ、その際の入力電力、前記放電検出電圧、前記オゾン濃度、前記抵抗電圧を、夫々各順に、前記電力計１１、前記第１直流電圧計５、前記第３直流電圧計１６、前記第２直流電圧計で測定したものを、各別に図５、図６、図７に示す。尚、夫々横軸はＡＣ入力電圧である。また、各図に対応する実測値を表１に示す。表１の括弧内は数字は入力電圧の５Ｖ増加毎の各測定値の増加率を表している。
【００２４】
図５、図６、及び、表１より、ＡＣ入力電圧の変化に対して、前記放電検出電圧と前記オゾン濃度は同一の増加率で変化していることが分かる。尚、点Ｅにおける前記抵抗電圧は前の２測定値と少し異なった増加率で変化しており、前記抵抗電圧でもって完全に放電状態を評価しているとは言えない。この点については後述する。
【００２５】
【表１】
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【００２６】
更に、上記実験結果より、前記放電検出電圧と前記オゾン濃度は線形で正の相関関係にあることが分かるが、更にこの点を検証すべく、前記放電検出電圧を０．１Ｖ刻みに１．１Ｖまで変化するように前記ＡＣ入力電圧を調整しながら、前記オゾン濃度、前記抵抗電圧、及び、前記入力電力を測定した結果を、図８、図９、図１０に各別に示す。
図８より、前記放電検出電圧と前記オゾン濃度が線形で正の相関関係にあることが明確であり、前記出力手段５が出力するモニタ値、つまり本検証実験での放電検出電圧が的確に放電状態を評価していることが判明した。
【００２７】
ところで、図９及び図１０より、前記抵抗電圧と前記入力電力は共に前記放電検出電圧とは線形な相関関係になく、前記抵抗電圧と前記入力電力とが線形な相関関係にあることが分かる。このことは、前記ケーブル２を流れる電流には前記ベース電流（１００ＫＨｚ以下）が含まれているためである。つまり、前記ベース電流は放電現象を起こすためのキャリアであり、放電電流とは異なるため、入力電力の変化と一致するのは、ベース電流分の損失と一致して増減するためである。
【００２８】
従って、前記抵抗電圧の測定において、前記ベース電流の周波数成分を高域通過フィルタを介して除去することで、前記放電検出電圧と同様に、前記抵抗電圧によっても、的確に放電状態を評価できると考えられる。この点を検証するために、図２に示す実験回路に対して、図１１に示すように、前記抵抗Ｒ2 と前記フォトカップラＰの発光ダイオード部の直列回路に前記ベース電流の周波数成分を除去する高域通過フィルタ６を挿入する変更を加えて、前記放電検出電圧に対する前記抵抗電圧の測定を行い、その結果を図１２に示す。
【００２９】
図１２より、前記高域通過フィルタ６を挿入後の前記抵抗電圧も前記放電検出電圧と同様に、的確に放電状態を評価できることが判明した。このことは、前記受信手段４と前記出力手段５からなる前記放電電流モニタの代わりに、前記抵抗電圧測定回路１０に前記高域通過フィルタ６を挿入したものが、別の放電電流モニタとして使用できることを意味する。
【００３０】
従って、図１３に示すように、本発明に係る放電電流モニタの別実施形態として、放電電流モニタを、前記高圧電源部１の出力側即ち前記ケーブル２を流れる電流の内の全部または一部の前記放電電流の周波数帯域内の特定周波数成分を、前記放電電極３への印加電圧周波数成分より高周波成分を通過させる前記高域通過フィルタ６を介して検出する電流検出手段７を設け、前記電流検出手段７で検出された前記特定周波数成分の電流値に基づいて放電電流値に対応付けられたモニタ値を出力する出力手段８を設けて構成するようにするのも好ましい。
この場合、図１に示す実施の形態と同様に、前記出力制御手段９が、前記出力手段８が出力するモニタ値に基づいて、前記高圧電源部１の出力を所定の目標値に制御する。
【００３１】
次に、本発明に係る放電電流モニタを備えた放電装置の別実施形態として、前記放電電極３を洗浄する洗浄機構を備え、前記放電電流モニタから出力されたモニタ値に基づいて、前記洗浄機構を作動させて前記放電電極３を自動洗浄する洗浄制御手段を設けるのも好ましい。
一般に、放電装置では、被処理ガス中でのコロナ放電に伴って生成する塩類が前記放電電極３の表面に付着して、前記放電電極を汚染するため、これを除去して、適正な放電状態を維持する必要がある。
【００３２】
前記洗浄機構は、具体的には、前記放電室１２内部の前記放電電極３の表面に向けて洗浄水を噴射する洗浄ノズルと前記洗浄ノズルへの前記洗浄水の供給を開始及び停止するための洗浄液供給弁で構成されている。前記洗浄液供給弁は弁の開閉を操作する操作部が、前記洗浄制御手段からの制御信号を受信して弁の開閉を制御する構成となっている。
前記放電電流モニタが放電電流量の低下を検出して、その状態に応じた前記モニタ値を出力することで、前記洗浄制御手段が、前記放電電極３が洗浄が必要な状態にあると判断して、前記洗浄液供給弁を開成し、前記洗浄ノズルから洗浄水が噴射され、噴射された洗浄水によって汚染した前記放電電極３の表面が洗浄される。尚、電極洗浄時には、前記送風機１３を停止するとともに、前記高圧電源部１の二次側出力を停止するように構成してある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る放電電流モニタを備えた放電装置、並びに、その放電現象を利用したオゾン発生装置を示す概略構成図
【図２】本発明に係る放電電流モニタの実用性を検証する検証実験用の回路ブロック構成図
【図３】ケーブルを流れる高圧電流の電圧波形図
【図４】高周波検出信号の電圧波形図
【図５】ＡＣ入力電圧と放電検出電圧の相関関係図
【図６】ＡＣ入力電圧とオゾン濃度の相関関係図
【図７】ＡＣ入力電圧と抵抗電圧の相関関係図
【図８】放電検出電圧とオゾン濃度の相関関係図
【図９】放電検出電圧と抵抗電圧の相関関係図
【図１０】放電検出電圧と入力電力の相関関係図
【図１１】検証実験用の回路ブロック構成図の変更を示す説明図
【図１２】放電検出電圧と高域通過フィルタ挿入前後の抵抗電圧との相関関係図
【図１３】本発明に係る放電電流モニタの別実施形態を示す概略構成図
【符号の説明】
１    高圧電源部
２    ケーブル
３    放電電極
４    受信手段
５    出力手段
６    高域通過フィルタ
７    電流検出手段
８    出力手段
９    出力制御手段
１２  放電室
１３  送風機
１４  風洞
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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