(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャビティを形成するための貫通孔を有する第１のセラミックグリーンシートと少なくとも前記貫通孔の位置に貫通孔を有しない第２のセラミックグリーンシートとをそれぞれ作製する工程と、
前記第１のセラミックグリーンシートと前記第２のセラミックグリーンシートとを積層し積層方向にプレスすることによって、積層方向での少なくとも一方の端面に開口を位置させるように前記貫通孔によって形成されたキャビティを有するグリーンシート積層体を作製する工程と、
前記グリーンシート積層体を焼成する工程と
を備える、多層セラミック基板の製造方法であって、
前記グリーンシート積層体を作製する工程において生じた残留応力が原因となって前記グリーンシート積層体を焼成する工程において前記第１のセラミックグリーンシートと前記第２のセラミックグリーンシートとの界面部に生じる収縮応力を緩和するための収縮緩和材料を用意する工程をさらに備え、
前記グリーンシート積層体を作製する工程は、前記キャビティの内周面の底面側端部において当該キャビティの内周面の全周にわたって露出する状態で、前記第１のセラミックグリーンシートと前記第２のセラミックグリーンシートとの界面の少なくとも一部に沿って、前記収縮緩和材料からなる収縮緩和パッドを設ける工程を含み、
前記収縮緩和パッドは、ガラス成分を含み、その軟化温度は、前記第１および第２のセラミックグリーンシートの収縮開始温度と同等かそれより低いことを特徴とする、多層セラミック基板の製造方法。
【請求項２】
前記収縮緩和パッドは、前記キャビティの内周面の近傍においてのみ、前記第１のセラミックグリーンシートの主面の面積の１０％以上の面積をもって設けられる、請求項１に記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項３】
前記収縮緩和パッドは、前記第１のセラミックグリーンシートと実質的に同じ平面形状をもって、前記第１のセラミックグリーンシートと前記第２のセラミックグリーンシートとの界面に沿って層状に設けられる、請求項１に記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項４】
前記収縮緩和パッドは、前記キャビティの深さに対して２０％以下の厚みをもって設けられる、請求項１ないし３のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項５】
前記第１および第２のセラミックグリーンシートは、ガラス成分を含む、請求項１ないし４のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項６】
前記第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれる前記ガラス成分の含有率は、前記収縮緩和パッドに含まれるガラス成分の含有率より少ない、請求項５に記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項７】
前記収縮緩和パッドに含まれる前記ガラス成分は、前記第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれる前記ガラス成分と同種のものを含む、請求項６に記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項８】
前記収縮緩和パッドに含まれる前記ガラス成分と前記第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれる前記ガラス成分とは、同種である、請求項７に記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項９】
前記第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料よりも焼結温度の高い収縮抑制用無機材料を用意する工程をさらに備え、
前記グリーンシート積層体を作製する工程は、前記キャビティの開口を露出させる貫通部を形成した状態としながら、前記グリーンシート積層体の積層方向での各端面を覆うように、前記収縮抑制用無機材料を含む収縮抑制層を設ける工程を含み、
前記グリーンシート積層体を焼成する工程は、前記第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれる前記セラミック材料のみが焼結する条件下で実施される、請求項５ないし８のいずれかに記載の多層セラミック基板の製造方法。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の製造方法によって得られた、多層セラミック基板。
【請求項１１】
積層方向にプレスする工程を経て作製されたグリーンシート積層体を焼成する焼成工程を経て得られるものであって、キャビティを形成するための貫通孔を有する第１のセラミック層と少なくとも前記貫通孔の位置に貫通孔を有しない第２のセラミック層とが積層されており、かつ積層方向での少なくとも一方の端面に開口を位置させるように前記貫通孔によって形成されたキャビティを有する、積層体を備え、
前記キャビティの内周面の底面側端部において当該キャビティの内周面の全周にわたって露出する状態で、前記第１のセラミック層と前記第２のセラミック層との界面の少なくとも一部に沿って、収縮緩和パッドが設けられ、
前記収縮緩和パッドは、焼成工程における前記第１のセラミック層と前記第２のセラミック層との界面部に、前記グリーンシート積層体を作製した際に生じた残留応力が原因となって生じる収縮応力を緩和するための収縮緩和材料としてのガラス成分を含み、その軟化温度は、前記第１および第２のセラミックグリーンシートの収縮開始温度と同等かそれより低い、多層セラミック基板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、多層セラミック基板およびその製造方法に関するもので、特に、電子部品を実装かつ収容するためのキャビティを有する多層セラミック基板およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器に対する小型軽量化、多機能化、高信頼性化等の要望が、近年、ますます高まっており、これに伴い、基板への実装技術の向上も求められている。基板への実装技術の向上を図る効果的な方法として、最も典型的には、基板での配線の高密度化を図ることがある。
【０００３】
そこで、このような基板での配線の高密度化に対応するため、セラミックグリーンシートに導体膜等を印刷によって形成したものを複数枚積み重ね、プレスした後、焼成することによって作製される多層セラミック基板の開発が進められている。
【０００４】
他方、多層セラミック基板自身の小型化および低背化を図るため、多層セラミック基板に、電子部品実装用のキャビティを形成することが有効である。
【０００５】
しかしながら、このようなキャビティを形成した多層セラミック基板の場合には、これを得るための焼成工程の結果、キャビティの底面部の端部においてクラックが発生しやすいという問題がある。このようなクラックは、焼成工程の前において、多層セラミック基板となるべきグリーンシート積層体をプレスするとき、キャビティが存在しているために、グリーンシート積層体全体に対して均一な圧力をかけることが困難であり、そのため、キャビティの底面部の端部に残留応力がもたらされることが原因となって発生するものと考えられる。
【０００６】
上述の問題を解決するため、特開平９−３９１６０号公報には、キャビティを有するグリーンシート積層体を、１対のゴムシートで挟んだ状態で真空パックし、静止流体中で等方加圧することによってプレス工程を実施することが記載されている。
【０００７】
また、特開平９−１８１４４９号公報には、キャビティと同形状の凸部分を有する弾性体をもって、グリーンシート積層体を加圧することによってプレス工程を実施することが記載されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平９−３９１６０号公報または特開平９−１８１４４９号公報に記載されている方法は、いずれも、プレス時に均等な圧力をかけることを目的とするものであるが、実際には、圧力を均等にかけることは非常に困難である。たとえば、特開平９−１８１４４９号公報に記載の方法では、用いる弾性体の形状や性質などを細かくかつ厳しく規定する必要があり、また、いかなる弾性体を用いても、完全に均一な圧力をかけることはほとんど不可能であると言っても過言ではない。
【０００９】
そのため、キャビティを形成したグリーンシート積層体に対してプレス工程において均一な圧力をかけようとする方法に頼る限り、部分的に残留する応力の問題を回避することが不可能に近く、そのため、焼成工程において、収縮応力がかかり、この収縮応力のかかり方によって、特にキャビティの底面部の端部に発生するクラックを完全に防ぐことはできないのが現状である。
【００１０】
そこで、この発明の目的は、上述したような問題を解決し得る多層セラミック基板の製造方法およびこの製造方法によって得られた多層セラミック基板を提供しようとすることである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明は、キャビティを形成するための貫通孔を有する第１のセラミックグリーンシートと少なくとも上記の貫通孔の位置に貫通孔を有しない第２のセラミックグリーンシートとをそれぞれ作製する工程と、第１のセラミックグリーンシートと第２のセラミックグリーンシートとを積層し積層方向にプレスすることによって、積層方向での少なくとも一方の端面に開口を位置させるように貫通孔によって形成されたキャビティを有するグリーンシート積層体を作製する工程と、グリーンシート積層体を焼成する工程とを備える、多層セラミック基板の製造方法に向けられるものであって、上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。
【００１２】
すなわち、上記グリーンシート積層体を作製する工程において生じた残留応力が原因となって上述したグリーンシート積層体を焼成する工程において第１のセラミックグリーンシートと第２のセラミックグリーンシートとの界面部に生じる収縮応力を緩和するための収縮緩和材料が用意される。
【００１３】
そして、グリーンシート積層体を作製する工程において、キャビティの内周面の底面側端部において当該キャビティの内周面の全周にわたって露出する状態で、第１のセラミックグリーンシートと第２のセラミックグリーンシートとの界面の少なくとも一部に沿って、上述の収縮緩和材料からなる収縮緩和パッドを設けるようにされることを特徴としている。この収縮緩和パッドは、ガラス成分を含み、その軟化温度は、第１および第２のセラミックグリーンシートの収縮開始温度と同等かそれより低いものとされる。
【００１４】
上述の収縮緩和パッドは、キャビティの内周面の近傍においてのみ、第１のセラミックグリーンシートの主面の面積の１０％以上の面積をもって設けられたり、あるいは、第１のセラミックグリーンシートと実質的に同じ平面形状をもって、第１のセラミックグリーンシートと第２のセラミックグリーンシートとの界面に沿って層状に設けられたりすることができる。
【００１５】
収縮緩和パッドは、キャビティの深さに対して２０％以下の厚みをもって設けられることが好ましい。
【００１７】
上述の実施態様において、第１および第２のセラミックグリーンシートは、ガラス成分を含むことが好ましい。
【００１８】
上述の場合、第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれるガラス成分の含有率は、収縮緩和パッドに含まれるガラス成分の含有率より少なくされることが好ましい。
【００１９】
また、収縮緩和パッドに含まれるガラス成分は、第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれるガラス成分と同種のものを含むことが好ましい。この場合において、収縮緩和パッドに含まれるガラス成分と第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれるガラス成分とが、同種であることがより好ましい。
【００２０】
この発明は、焼成工程においてグリーンシート積層体の主面方向での収縮を実質的に生じさせないようにすることができる、いわゆる無収縮プロセスを適用した、多層セラミック基板の製造方法にも適用することができる。
【００２１】
上述の無収縮プロセスによる多層セラミック基板の製造方法においては、第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料よりも焼結温度の高い収縮抑制用無機材料が用意され、グリーンシート積層体を作製する工程では、キャビティの開口を露出させる貫通部を形成した状態としながら、グリーンシート積層体の積層方向での各端面を覆うように、上述の収縮抑制用無機材料を含む収縮抑制層を設けるようにされ、グリーンシート積層体を焼成する工程は、第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料のみが焼結する条件下で焼成が実施される。
【００２２】
この発明は、また、上述したような製造方法によって得られた多層セラミック基板にも向けられる。
【００２３】
この発明に係る多層セラミック基板は、積層方向にプレスする工程を経て作製されたグリーンシート積層体を焼成する焼成工程を経て得られるものであって、キャビティを形成するための貫通孔を有する第１のセラミック層と少なくとも上記の貫通孔の位置に貫通孔を有しない第２のセラミック層とが積層されており、かつ積層方向での少なくとも一方の端面に開口を位置させるように上記の貫通孔によって形成されたキャビティを有する、積層体を備えている。また、キャビティの内周面の底面側端部において当該キャビティの内周面に全周にわたって露出する状態で、第１のセラミック層と第２のセラミック層との界面の少なくとも一部に沿って、収縮緩和パッドが設けられている。この収縮緩和パッドは、焼成工程における第１のセラミック層と第２のセラミック層との界面部に、前述のグリーンシート積層体を作製した際に生じた残留応力が原因となって生じる収縮応力を緩和するための収縮緩和材料としてのガラス成分を含み、その軟化温度は、第１および第２のセラミックグリーンシートの収縮開始温度と同等かそれより低いものとされる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図１には、この発明の一実施形態による製造方法を実施して多層セラミック基板を製造する途中の段階で得られるグリーンシート積層体１が図解的に断面図で示されている。
【００２５】
グリーンシート積層体１は、積層方向での各端部に第１および第２の端面２および３を有しているが、第１の端面２に開口４を位置させているキャビティ５を形成している。
【００２６】
このようなグリーンシート積層体１を作製するにあたって、キャビティ５を形成するための貫通孔６をそれぞれ有する複数の第１のセラミックグリーンシート７と貫通孔を有しない複数の第２のセラミックグリーンシート８とがそれぞれ用意される。第１および第２のセラミックグリーンシート７および８は、ガラス成分を含むガラスセラミックをもって構成されてもよい。
【００２７】
そして、第１のセラミックグリーンシート７と第２のセラミックグリーンシート８とが積層されることによって、グリーンシート積層体１が得られる。より具体的には、グリーンシート積層体１を得るため、複数の第２のセラミックグリーンシート８が積層されたものの上に、複数の第１のセラミックグリーンシート７が積層される。
【００２８】
また、グリーンシート積層体１には、第１のセラミックグリーンシート７と第２のセラミックグリーンシート８との界面に一部に沿って、収縮緩和パッド９が設けられている。収縮緩和パッド９は、後述する焼成工程において、第１のセラミックグリーンシート７と第２のセラミックグリーンシート８との界面部に生じる収縮応力を緩和するための収縮緩和材料としてのガラス成分を含んでいる。そして、収縮緩和パッド９による収縮応力の緩和作用を適正に働かせるようにするため、このガラス成分の軟化温度は、第１および第２のセラミックグリーンシート７および８の収縮開始温度と同等かそれより低くされる。
【００２９】
また、第１および第２のセラミックグリーンシート７および８が、前述したように、ガラス成分を含む場合、このガラス成分の含有率は、収縮緩和パッド９に含まれるガラス成分の含有率より少なくされることが好ましい。収縮緩和パッド９による収縮応力の緩和作用を適正に働かせることを可能にするためである。
【００３０】
また、収縮緩和パッド９に含まれるガラス成分は、第１および第２のセラミックグリーンシート７および８に含まれるガラス成分と同種のものを含むことが好ましい。これによって、焼成後において、収縮緩和パッド９とこれに接する第１および第２のセラミックグリーンシート７および８との界面部分での接合性を向上させることができる。この接合性の向上のためには、収縮緩和パッド９に含まれるガラス成分と第１および第２のセラミックグリーンシート７および８に含まれるガラス成分とが、同種であることがより好ましい。
【００３１】
収縮緩和パッド９は、キャビティ５の内周面の底面側端部において当該キャビティ５の内周面の全周にわたって露出するように設けられる。このような収縮緩和パッド７の形成方法としては、たとえば、収縮緩和材料をペースト化し、このペーストを、第１のセラミックグリーンシート７または第２のセラミックグリーンシート８上の所定の位置にスクリーン印刷する方法が採用される。また、収縮緩和材料を含むペーストからグリーンシートを作製し、このグリーンシートを第１のセラミックグリーンシート７または第２のセラミックグリーンシート８上の所定の位置に配置するようにしてもよい。
【００３２】
収縮緩和パッド９は、第１のセラミックグリーンシート７の主面の面積の１０％以上の面積をもって設けられることが好ましい。第１のセラミックグリーンシート７の主面の面積に対して、収縮緩和パッド９が１０％未満の面積しか有していない場合には、収縮緩和パッド９がその機能を十分に果たすことができないことがあるからである。
【００３３】
また、収縮緩和パッド９は、キャビティ５の深さに対して２０％以下の厚みをもって設けられることが好ましい。収縮緩和パッド９の厚みが、キャビティ５の深さに対して、２０％より厚いと、キャビティ５の側壁部の変形が大きくなってしまうことがあるためである。
【００３４】
なお、図示しないが、グリーンシート積層体１には、セラミックグリーンシート７および８の各々の間の特定の界面に沿って内部導体膜が形成されたり、セラミックグリーンシート７および８の特定のものを貫通するようにビアホール導体が形成されたり、端面２および３上に外部導体膜が形成されたりしている。
【００３５】
次に、グリーンシート積層体１は、その積層方向にプレスされる。このプレス工程では、キャビティ５の周辺部がプレスされるとともに、開口４を通してキャビティ５の底面部がプレスされる。より具体的には、グリーンシート積層体１を、シリコーンゴム等の弾性体などとともに金型（図示せず。）内に入れ、静水圧プレス法を適用することによって、グリーンシート積層体１をプレスすることが行なわれる。
【００３６】
次に、グリーンシート積層体１は、金型から取り出され、次いで焼成される。この焼成にあたっては、より具体的には、通常の酸化性雰囲気において、まず、グリーンシート積層体１に含まれる有機成分を分解しかつ消失させる脱脂工程を実施し、さらに本焼成工程を実施するようにされる。
【００３７】
上述の焼成工程において、グリーンシート積層体１のキャビティ５の内周面の底面側端部に露出する状態で収縮緩和パッド９が設けられているので、キャビティ５の底面部の端部に収縮応力がかかっても、セラミックグリーンシート７および８の収縮開始温度に達したときには、収縮緩和パッド９を十分に軟化している状態とすることができ、そのため、第１のセラミックグリーンシート７と第２のセラミックグリーンシート８との界面で各々の収縮挙動を分離させることができ、キャビティ５の底面部の端部にかかる収縮応力を緩和することができる。その結果、この部分でのクラックの発生を抑制することができる。
【００３８】
このようにして、図１に示したグリーンシート積層体１の焼成によって、図２に示すように、目的とする多層セラミック基板１０を適正な状態で得ることができる。図２において、図１に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００３９】
図２を参照して、多層セラミック基板１０は、貫通孔６を有する第１のセラミックグリーンシート７から得られた第１のセラミック層１１と貫通孔を有しない第２のセラミックグリーンシート８から得られた第２のセラミック層１２とが積層されており、かつ積層方向での第１の端面２に開口４を位置させるように貫通孔６によって形成されたキャビティ５を有する、積層体１３を備えている。
【００４０】
また、キャビティ５の内周面の底面側端部において当該キャビティ５の内周面の全周にわたって露出する状態で、第１のセラミック層１１と第２のセラミック層１２との界面の一部に沿って、収縮緩和パッド９が設けられている。
【００４１】
図３は、この発明の他の実施形態による製造方法を実施して多層セラミック基板を製造する途中の段階で得られるグリーンシート積層体２１を図解的に示す断面図である。図３において、図１に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００４２】
図３に示したグリーンシート積層体２１においては、収縮緩和パッド２１の形成態様が、図１に示した収縮緩和パッド９の場合と異なっている。すなわち、収縮緩和パッド２２は、第１のセラミックグリーンシート７と実質的に同じ平面形状をもって、第１のセラミックグリーンシート７と第２のセラミックグリーンシート８との界面に沿って層状に設けられている。
【００４３】
このような収縮緩和パッド２２は、たとえば、収縮緩和材料を含むペーストをシート状に成形して、グリーンシートの状態にし、このグリーンシートを、グリーンシート積層体２１の作製工程において、第１のセラミックグリーンシート７と第２のセラミックグリーンシート８との間に挿入するようにすればよい。
【００４４】
なお、収縮緩和パッドの形成態様に関して、図１に示した収縮緩和パッド９および図３に示した収縮緩和パッド２２は、いずれも、キャビティ５の底面上にははみ出さないように形成されたが、キャビティ５内での電子部品の実装を妨げない範囲であれば、収縮緩和パッドがキャビティ５の底面上にまで延び出すように設けられてもよい。
【００４５】
図４は、この発明のさらに他の実施形態による製造方法を実施して多層セラミック基板を製造する途中の段階で得られるグリーンシート積層体３１を図解的に示す断面図である。図４において、図１または図３に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００４６】
図４に示したグリーンシート積層体３１は、いわゆる無収縮プロセスを適用するための構造を有していて、図３に示したグリーンシート積層体２１と実質的に同様の要素を備えている。
【００４７】
グリーンシート積層体３１を得るため、前述した第１および第２のセラミックグリーンシート７および８ならびに収縮緩和パッド９のための収縮緩和材料に加えて、第１および第２のセラミックグリーンシート７および８に含まれるセラミック材料よりも焼結温度の高い収縮抑制用無機材料が用意される。この場合、第１および第２のセラミックグリーンシート７および８は、ガラス成分を含むことが好ましく、収縮抑制用無機材料としては、たとえばアルミナ粉末が用いられる。
【００４８】
そして、グリーンシート積層体３１を作製するにあたって、第１および第２のセラミックグリーンシート７および８の積層方向での第１および第２の端面２および３を覆うように、収縮抑制用無機材料を含む収縮抑制層３２および３３がそれぞれ設けられる。第１の端面２上に位置される収縮抑制層３２にあっては、キャビティ５の開口４を露出させる貫通部３４を形成している。この貫通部３４は、好ましくは、キャビティ５の開口４と実質的に同じ形状とされる。
【００４９】
上述した収縮抑制層３２および３３は、たとえば、収縮抑制用無機材料を含むスラリーをシート状に成形することによって、無機材料シート３５を作製し、この無機材料シート３５を、第１および第２のセラミックグリーンシート７および８とともに積層することによって、端面２および３にそれぞれ沿って設けることができる。この場合、収縮抑制層３２および３３の各々において必要とする厚みは、無機材料シート３５の積層数によって調整されることができる。
【００５０】
次に、グリーンシート積層体３１は、図１を参照して前述したように、弾性体とともに、静水圧プレス法を適用して積層方向にプレスされる。このとき、収縮抑制層３２に貫通部３４が設けられているので、キャビティ５の底面部を容易にプレスすることができる。
【００５１】
次に、グリーンシート積層体３１は焼成される。より具体的には、通常の酸化性雰囲気において、まず、グリーンシート積層体３１に含まれる有機成分を分解しかつ消失させる脱脂工程を実施し、さらに本焼成工程を実施するようにされる。なお、脱脂工程では、２００〜６００℃程度の温度が付与され、本焼成工程では、８００〜１０００℃程度の温度が付与されることが好ましく、これによって、第１および第２のセラミックグリーンシート７および８に含まれるセラミック材料のみが焼結するようにされる。
【００５２】
上述した焼成工程において、収縮緩和パッド２２は、第１のセラミックグリーンシート７と第２のセラミックグリーンシート８との界面部に生じる収縮応力を緩和するように作用し、キャビティ５の底面部の端部において、クラックの発生を抑制する。
【００５３】
また、この焼成工程において、収縮抑制層３２および３３に含まれる収縮抑制用無機材料は、実質的に焼結しないため、収縮抑制層３２および３３には、実質的な収縮が生じない。したがって、グリーンシート積層体３１に備えるセラミックグリーンシート７および８にあっては、焼成工程において、厚み方向にのみ収縮が生じ、主面方向の収縮は、収縮抑制層３２および３３によって拘束されるため、実質的に生じないようにすることができる。
【００５４】
このようにして、グリーンシート積層体３１の焼成によって、目的とする多層セラミック基板を適正な状態で得ることができる。このように多層セラミック基板が得られた後、通常、収縮抑制層３２および３３は除去される。
【００５５】
以上、図面を参照して説明した各実施形態では、第２のセラミックグリーンシート８は、キャビティのための貫通孔を有しないものであったが、これら第２のセラミックグリーンシート８の少なくともいくつかは、第１のセラミックグリーンシート７にある貫通孔６の位置には対応しない位置に貫通孔を有していてもよい。
【００５６】
【実験例】
以下に、この発明による効果を確認するため実施した実験例について説明する。
【００５７】
（実施例１）
この実施例１においては、図１に示すような構造を有するグリーンシート積層体を作製し、このグリーンシート積層体を焼成して図２に示すような構造を有する多層セラミック基板を得た。なお、グリーンシート積層体としては、焼成後において分割することによって複数の多層セラミック基板を取り出すことができる多層集合基板となるべきものを作製した。
【００５８】
まず、複数のキャビティを分布させている１００ｍｍ□の平面寸法を有するグリーンシート積層体を得るため、複数の貫通孔を有する第１のセラミックグリーンシートと貫通孔を有しない第２のセラミックグリーンシートとを用意し、これらを積層するとともに、第１のセラミックグリーンシートと第２のセラミックグリーンシートとの界面部に、ガラス成分を含む収縮緩和材料ペーストをスクリーン印刷することによって、収縮緩和パッドを形成した。
【００５９】
この収縮緩和パッドに含まれるガラス成分として、その軟化温度が第１および第２のセラミックグリーンシートの収縮開始温度以下のものを用いた。また、収縮緩和パッドは、第１のセラミックグリーンシートの主面の面積の２０％以上の面積を有するようにした。また、キャビティの深さを３００μｍとし、収縮緩和パッドの厚みを３０μｍとした。
【００６０】
次に、上述のようにして得られたグリーンシート積層体全体を、弾性体とともにプラスチックからなる袋に入れ、この袋によって真空パック状態にした。そして、金型とともに真空パックされたグリーンシート積層体を、静水圧プレス装置の水槽内に入れ、６０℃の温度で２０００ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力をかけてプレスした。
【００６１】
次に、プレス後のグリーンシート積層体を袋から取り出した後、グリーンシート積層体に対して、プレスを付与しない状態で、４５０℃で４時間の脱脂工程および１４００℃で２０分間の本焼成工程を実施した。
【００６２】
このようにして、キャビティを有する多層セラミック基板となるべき多層集合基板を、キャビティの底面部の端部にクラックを生じさせない状態で作製することができた。
【００６３】
（実施例２）
この実施例２では、図４に示すような構造を有するグリーンシート積層体を作製し、このグリーンシート積層体を焼成して多層セラミック基板を得た。なお、グリーンシート積層体としては、実施例１の場合と同様、多層集合基板となるべきものを作製した。
【００６４】
まず、複数のキャビティを分布させている１００ｍｍ□の平面寸法を有するグリーンシート積層体を得るため、複数の貫通孔を有する第１のセラミックグリーンシートと貫通孔を有しない第２のセラミックグリーンシートとを用意した。これらセラミックグリーンシートは、ガラス成分を含む組成をもって構成した。
【００６５】
また、収縮緩和パッドとなるべきガラス成分を含む収縮緩和材料ペーストから、第１のセラミックグリーンシートと同形状の収縮緩和材料グリーンシートを作製した。なお、収縮緩和材料に含まれるガラス成分として、セラミックグリーンシートに含まれるガラス成分と同種のものを用いた。
【００６６】
また、収縮抑制層を形成するためのアルミナ粉末を含むスラリーから収縮抑制用無機材料粉末を含む無機材料シートを作製した。
【００６７】
次に、上述した第１および第２のセラミックグリーンシート、収縮緩和材料グリーンシートおよび無機材料シートを用いて、グリーンシート積層体を作製した。すなわち、第１のセラミックグリーンシートと第２のセラミックグリーンシートとの間に収縮緩和パッドを設けるように収縮緩和材料グリーンシートを積層するとともに、収縮緩和パッドを挟んで積層された第１および第２のセラミックグリーンシートを挟むように収縮抑制層を設けるように無機材料シートを配置することによって、グリーンシート積層体を作製した。このグリーンシート積層体において、キャビティの深さを３００μｍとし、収縮緩和パッドの厚みを３０μｍとした。
【００６８】
次に、上述のようにして得られたグリーンシート積層体を、実施例１の場合と同様の方法によってプレスした。
【００６９】
次に、プレス後のグリーンシート積層体を、袋から取り出した後、グリーンシート積層体に対して、プレスを付与しない状態で、４５０℃で４時間の脱脂工程および９００℃で２０分間の本焼成工程を実施した。
【００７０】
このようにして、キャビティを有する多層セラミック基板となるべき多層集合基板を、キャビティの底面部の端部においてクラックが生じない状態で作製することができた。
【００７１】
（比較例）
この比較例においては、収縮緩和パッドを設けないことを除いて、実施例１と同様の操作を実施して、キャビティを有する多層セラミック基板となるべき多層集合基板を作製したが、キャビティの底面部の端部において、深さ約１０μｍのクラックが発生していた。
【００７２】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、キャビティを有する多層セラミック基板を得るために焼成されるグリーンシート積層体において、収縮緩和パッドが、キャビティの内周面の底面側端部において当該キャビティの内周面の全周にわたって露出する状態で、キャビティのための貫通孔を有する第１のセラミックグリーンシートと貫通孔を有しない第２のセラミックグリーンシートとの界面の少なくとも一部に沿って設けられ、この収縮緩和パッドは、ガラス成分を含み、その軟化温度が、第１および第２のセラミックグリーンシートの収縮開始温度と同等かそれより低いので、焼成工程において、キャビティの底面部の端部で生じる収縮応力が緩和され、したがって、この部分にクラックを生じさせない状態で多層セラミック基板を得ることができる。
【００７３】
また、上述のように、キャビティの底面部の端部において焼成時に生じる収縮応力が緩和されるので、焼成前のグリーンシート積層体に対して実施されるプレス工程において用いる弾性体について、その形状や性質を細かくかつ厳格に規定する必要がなく、プレス工程で用いる設備コストを低減でき、かつプレス工程の能率性を高めることができる。
【００７４】
この発明において、収縮緩和パッドが、キャビティの内周面の近傍においてのみ設けられる場合、第１のセラミックグリーンシートの主面の面積の１０％以上の面積をもって収縮緩和パッドを設けるようにすれば、収縮緩和パッドによる収縮応力を緩和する効果を確実に得ることができる。
【００７５】
また、この発明において、収縮緩和パッドが、キャビティの深さに対して２０％以下の厚みをもって設けられると、キャビティの側壁部における不所望な変形を防止することができる。
【００７６】
また、この発明において、第１および第２のセラミックグリーンシートが、ガラス成分を含む場合には、第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれるガラス成分の含有率を、収縮緩和パッドに含まれるガラス成分の含有率より少なくすることによって、収縮緩和パッドにとって必要な性質を容易に与えることができる。
【００７７】
また、上述のように、第１および第２のセラミックグリーンシートがガラス成分を含む場合、収縮緩和パッドに含まれるガラス成分が、第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれるガラス成分と同種のものを含むようにしたり、より好ましくは、収縮緩和パッドに含まれるガラス成分と第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれるガラス成分とが同種であったりすると、焼成後において、収縮緩和パッドと第１および第２のセラミックグリーンシートとの界面部分における接合性を向上させることができる。
【００７８】
また、この発明において、第１および第２のセラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料よりも焼結温度の高い収縮抑制用無機材料を含む収縮抑制層を、グリーンシートの積層方向での各端面を覆うように設けた状態で、焼成工程を実施すれば、主面方向での収縮を実質的に伴わない状態で、第１および第２のセラミックグリーンシートから第１および第２のセラミック層をそれぞれ与えることができるので、得られた多層セラミック基板において不均一な変形がもたらされにくくなり、そのため、多層セラミック基板に関連して設けられる配線導体において不所望な変形や歪がもたらされにくくすることができ、その結果、配線導体の高密度化を問題なく進めることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態による製造方法を実施して多層セラミック基板を製造する途中の段階で得られるグリーンシート積層体１を図解的に示す断面図である。
【図２】図１に示したグリーンシート積層体１を焼成して得られた多層セラミック基板１０を図解的に示す断面図である。
【図３】この発明の他の実施形態による製造方法を実施して多層セラミック基板を製造する途中の段階で得られるグリーンシート積層体２１を図解的に示す断面図である。
【図４】この発明のさらに他の実施形態による製造方法を実施して多層セラミック基板を製造する途中の段階で得られるグリーンシート積層体３１を図解的に示す断面図である。
【符号の説明】
１，２１，３１  グリーンシート積層体
２，３  端面
４  開口
５  キャビティ
６  貫通孔
７  第１のセラミックグリーンシート
８  第２のセラミックグリーンシート
９，２２  収縮緩和パッド
１０  多層セラミック基板
１１  第１のセラミック層
１２  第２のセラミック層
１３  積層体
３２，３３  収縮抑制層
３４  貫通部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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