(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群、負の屈折力を有する第２レンズ群、正の屈折力を有する第３レンズ群、正の屈折力を有する第４レンズ群で構成し、少なくとも前記第２レンズ群と第４レンズ群を移動させてズーミングを行うと共に、フォーカシングを前記第４レンズ群を移動させて行うズームレンズであって、前記第１レンズ群を正、負それぞれ１枚ずつの２枚のレンズで構成し、光軸に対して回転対称な少なくとも１つの回折光学面を有し、前記回折光学面の位相φ（ｈ）を、
φ（ｈ）＝２π／λ（C2・ｈ2＋C4・ｈ4＋…＋C2・i・ｈ2・i）
λ：基準波長
Ci：係数
ｈ：光軸からの高さ
とし、前記第１レンズ群を構成する２枚のレンズの焦点距離、アッベ数をそれぞれｆ1i、ν1i（ｉ＝１、２）、前記第１レンズ群の焦点距離をf1、前記第１レンズ群中の負レンズの焦点距離をｆ1nとするとき、
｜０．５７９７・C2＋Σ（１／（ｆ1i・ν1i））｜・f1＜０．０２
２．２＜｜ｆ1n／f1｜＜４．５
なる条件を満足することを特徴とするズームレンズ。
【請求項２】
前記第１レンズ群の回折光学面は正の屈折力を有する請求項１に記載のズームレンズ。
【請求項３】
前記第２レンズ群を２枚の負レンズと１枚の正レンズで構成した請求項１又は２に記載のズームレンズ。
【請求項４】
前記第２レンズ群を２枚の負レンズのみで構成した請求項１又は２に記載のズームレンズ。
【請求項５】
前記第２レンズ群は少なくとも１つの回折光学面を有する請求項３又は４に記載のズームレンズ。
【請求項６】
前記第２レンズ群中の像側の負レンズの物体側及び像側の面の曲率半径をそれぞれＲａ，Ｒｂとするとき、
１＜（Ｒｂ＋Ｒａ）／（Ｒｂ−Ｒａ）＜２
なる条件を満足することを特徴とする請求項４に記載のズームレンズ。
【請求項７】
前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２、全系の広角端及び望遠端での焦点距離をそれぞれｆｗ、ｆｔとするとき、
０．２５＜｜f2／（ｆｗ・ｆｔ）1/2｜＜０．３５
なる条件を満足することを特徴とする請求項１〜６の何れか１つの請求項に記載のズームレンズ。
【請求項８】
前記回折光学面を２つの回折格子を積層して形成した積層型回折光学素子とした請求項１〜７の何れか１つの請求項に記載のズームレンズ。
【請求項９】
請求項１〜８の何れか１つの請求項に記載のズームレンズを有することを特徴とするカメラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特にビデオカメラや電子スチルカメラ、銀塩写真用カメラに好適な変倍比１０程度以上でＦナンバ１．８程度以上の高変倍比、大口径比を持ち、かつ良好な光学性能を維持しながら小型化を図ったズームレンズに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近、ホームビデオカメラ等の小型軽量化に伴い、撮像用のズームレンズの小型化にも目覚しい進歩が見られ、特にレンズ全長の短縮化や前玉径の小型化、構成の簡略化に力が注がれている。
【０００３】
これらの目的を達成する１つの手段として、物体側の第１レンズ群以外のレンズ群を移動させてフォーカスを行う所謂リアフォーカス式のズームレンズが知られている。一般に、リアフォーカス式のズームレンズは、第１レンズ群を移動させてフォーカスを行うズームレンズに比べて第１レンズ群の有効径が小さくなり、レンズ系全体の小型化が容易になり、また近接撮影特に極至近撮影が容易となり、更に小型軽量のレンズ群を移動させているので、レンズ群の駆動力が小さくて済み、迅速な焦点合わせができる等の利点がある。
【０００４】
このようなリアフォーカス式のズームレンズとして、例えば特開昭６２−２４２１３号公報や特開昭６３−２４７３１６号公報では、物体側から順に正の屈折力の第１レンズ群、負の屈折力の第２レンズ群、正の屈折力の第３レンズ群、正の屈折力の第４レンズ群の４つのレンズ群を有し、第２レンズ群を移動させて変倍を行い、第４レンズ群を移動させて変倍に伴う像面変動とフォーカスを行っている。
【０００５】
また、特開平２−３９０１１号公報や特開平６−１８７８２号公報では、６〜８倍の変倍比を持つズームレンズの第１レンズ群を、正負２枚のレンズ構成とすることで、レンズ枚数の削減を図っている。
【０００６】
一方、色収差の発生を抑制する方法として、近年では回折光学素子を撮像光学系に応用する提案がなされている。例えば、特開平４−２１８４２１号公報、特開平６−３２４２６２号公報では、単レンズに回折光学素子を応用することで色収差の低減を図っている。
【０００７】
また、米国特許第５２６８７９０号公報ではズームレンズの第２レンズ群又は第８レンズ群に回折光学素子を用いることが提案され、従来例に対してレンズ枚数の削減や小型化に寄与しているが、レンズ枚数の削減や小型化は十分には達成されていない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、光学系を小型化するために屈折力を強めながら、レンズ枚数を削減しようとすると、レンズ肉厚が増してしまい効果が不十分になってしまう。
【０００９】
特に、ズーム比が１０倍以上の高変倍比のズームレンズでは、第１レンズ群内で発生する色収差を或る程度補正しないと、変倍に伴う色収差の変動を補正することは困難である。従って、単に非球面を用いてレンズ枚数を削減しようとすると、正レンズの屈折力が強くなり過ぎて実現不可能な形状になり、結局は変倍部の屈折力を弱くする必要が生じて、レンズ全長の小型化は達成されない。
【００１０】
本発明の目的は、第１レンズ群に回折光学面を導入し、回折光学的な作用と屈折系の色消し効果を合成することで第１レンズ群で発生する色収差を低減し、変倍部の屈折力を維持しながらレンズ枚数を削減することで、レンズ全長の小型化を達成すると共に、広角端から望遠端に至る全変倍範囲に渡り良好な光学性能を有する小型のズームレンズを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明に係るズームレンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群、負の屈折力を有する第２レンズ群、正の屈折力を有する第３レンズ群、正の屈折力を有する第４レンズ群で構成し、少なくとも前記第２レンズ群と第４レンズ群を移動させてズーミングを行うと共に、フォーカシングを前記第４レンズ群を移動させて行うズームレンズであって、前記第１レンズ群を正、負それぞれ１枚ずつの２枚のレンズで構成し、光軸に対して回転対称な少なくとも１つの回折光学面を有し、前記回折光学面の位相φ（ｈ）を、
φ（ｈ）＝２π／λ（C2・ｈ2＋C4・ｈ4＋…＋C2・i・ｈ2・i）
λ：基準波長
Ci：係数
ｈ：光軸からの高さ
とし、前記第１レンズ群を構成する２枚のレンズの焦点距離、アッベ数をそれぞれｆ1i、ν1i（ｉ＝１、２）、前記第１レンズ群の焦点距離をf1、前記第１レンズ群中の負レンズの焦点距離をｆ1nとするとき、
｜０．５７９７・C2＋Σ（１／（ｆ1i・ν1i））｜・f1＜０．０２
２．２＜｜ｆ1n／f1｜＜４．５
なる条件を満足することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の実施例１のレンズ断面図であり、物体側から順に正の屈折力の第１レンズ群Ｌ１、負の屈折力の第２レンズ群Ｌ２、正の屈折力の第３レンズ群Ｌ３、正の屈折力の第４レンズ群Ｌ４が配列されている。広角端から望遠端への変倍に際しては、少なくとも第２レンズ群Ｌ２を像面側に移動させると共に、変倍に伴う像面変動を第４レンズ群Ｌ４を矢印のように移動させて補正している。
【００１３】
また、第４レンズ群Ｌ４を光軸上移動させてフォーカシングを行うリアフォーカス式を採用しており、第４レンズ群Ｌ４の実線の軌跡４ａと点線の軌跡４ｂはそれぞれ無限遠物体と近距離物体にフォーカスしているときの広角端から望遠端への変倍に伴う像面変動を補正するための移動軌跡を示している。
【００１４】
なお、本実施例では第１レンズ群Ｌ１、第３レンズ群Ｌ３は変倍及びフォーカスの際には固定としているが、第２レンズ群Ｌ２の変倍分担を少なくするために、少なくとも第１レンズ群Ｌ１を移動させることも可能である。
【００１５】
本実施例においては、第４レンズ群Ｌ４を移動させて変倍に伴う像面変動の補正を行うと共に、第４レンズ群Ｌ４を移動させてフォーカスを行うようにしている。特に、曲線４ａ、４ｂに示すように広角端から望遠端への変倍に際しては、物体側へ凸状の軌跡を有するように移動させている。これにより、第３レンズ群Ｌ３と第４レンズ群Ｌ４の間の空間の有効利用を図り、レンズ全長の短縮化を効果的に達成している。
【００１６】
そして実施例１では、第１レンズ群Ｌ１を負メニスカスレンズと両凸レンズの２枚のレンズで構成し、少なくとも１面の具体的には最も像面側に回折光学面を有するようにして、その位相を適切に設定することで、第１レンズ群Ｌ１で発生する色収差を低減し、変倍全域に渡って色収差を良好に補正するようにしている。
【００１７】
第１レンズ群Ｌ１を正レンズのみで構成し回折光学面を設けても、例えばｄ線とｇ線といった２波長のみの色収差を考えたときは色収差を抑えることができる。しかし、回折光学面は異常分散性を有しているため、特に望遠端ではそれ以外の波長に対する色収差、所謂２次スペクトルが大きくなってしまい、全可視波長範囲内で色収差を補正することができない。
【００１８】
回折光学面を用いることなく屈折面のみで色収差を補正しようとすると、色消しのために正レンズと負レンズの屈折力が強くなってしまうために、その屈折力を維持したまま、第１レンズ群Ｌ１を正負の単レンズの２枚構成といった少ない枚数で構成することは困難になる。
【００１９】
第１レンズ群Ｌ１の色消し効果を回折光学面に分担させるには、回折光学面の屈折力は正の屈折力を持つことが望ましい。回折光学面の屈折力が負になると、通常の屈折光学系と発生する色収差が同じになってしまい、回折光学面による色消し効果が生ぜず、光学系全域で十分な色収差の補正が行えない。
【００２０】
第１レンズ群Ｌ１で発生する色収差を補正しながら、レンズ枚数の削減を達成するには、第１レンズ群Ｌ１の全体、及びその負レンズの焦点距離をそれぞれｆ1 、ｆ1nとするとき、次の条件式を満足するようにすることが好ましい。
【００２１】
２．２＜｜ｆ1n／ｆ1 ｜＜４．５                            …(1)
【００２２】
条件式(1) の下限を超えて負レンズの屈折力が強くなり過ぎると、正レンズの屈折力も強くなり、その曲率も大きくなって第１レンズ群Ｌ１を２枚構成にすることが困難になる。逆に、負レンズの屈折力が弱くなり過ぎると、回折光学面での色消し効果が大きくなり過ぎて、２次スペクトルによる光学性能劣化が大きくなるので好ましくない。
【００２３】
変倍全域で球面収差やコマ収差、歪曲等の諸収差の補正を十分に行うには、第１レンズ群Ｌ１で発生する球面収差やコマ収差、歪曲等を補正する必要があり、このためには第１レンズ群Ｌ１内の少なくとも１面に非球面を設けることがよい。
【００２４】
この非球面形状は、光軸方向にＸ、光軸と垂直方向にＨ、光の進行方向を正とし、Ｒを近軸曲率半径、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅをそれぞれ非球面係数としたとき、次式で表している。
【００２５】
Ｘ＝（Ｈ2 ／Ｒ）／［１＋｛１−（１＋Ｋ)(Ｈ／Ｒ)2}1/2］＋ＢＨ4 ＋ＣＨ6 ＋ＤＨ8 ＋ＥＨ10                                                …(2)
【００２６】
実施例１では、第１レンズ群Ｌ１の最も物体側のレンズ面に非球面を設けることにより、特に望遠端で発生する球面収差やコマ収差を良好に補正している。第１レンズ群Ｌ１の非球面は周辺にゆくに従って正の屈折力が弱まる形状が、球面収差やコマ収差の補正には効果的である。
【００２７】
また、第２レンズ群Ｌ２を２枚の負レンズと１枚の正レンズで構成して、第２レンズ群Ｌ２で発生する色収差や他の諸収差を良好に補正することが好ましい。更に、この第２レンズ群Ｌ２は物体側から順に像側に強い凹面を向けた負メニスカスレンズ、両凹レンズ、物体側に強い凸面を向けた正レンズで構成することが望ましい。
【００２８】
更に、第３レンズ群Ｌ３の最も物体側のレンズ面と第４レンズ群Ｌ４の最も物体側のレンズ面が非球面とされている。
【００２９】
また、第１レンズ群Ｌ１の最も像側のレンズ面が回折光学面とされている。
【００３０】
図２、図３はそれぞれ実施例２、３のレンズ断面図である。これらの実施例２、３では、第２レンズ群Ｌ２は２枚の負レンズで構成されている。実施例２、３における非球面は実施例１の場合以外に、第２レンズ群Ｌ２の物体側のレンズの像面側レンズ面が非球面とされている。
【００３１】
また、第１レンズ群Ｌ１の最も物体側のレンズ面及び第２レンズ群Ｌ２の像面側のレンズの物体側レンズ面に回折光学面が設けられ、少ない枚数で第２レンズ群Ｌ２内の色収差を補正し、変倍全域に渡って色収差の発生を低減している。また、第２レンズ群Ｌ２を２枚といった少ない枚数で構成することができるため、更にレンズ全長を短縮することができる。
【００３２】
第２レンズ群Ｌ２の回折光学面は負の屈折力を持つことが、第２レンズ群Ｌ２内で色収差補正を行う点で効果的である。特に、第２レンズ群Ｌ２のみに回折光学面を設けた場合に、２波長に限っては色収差が補正できるが、２次スペクトルの補正が困難になる。
【００３３】
それに対して、前述のように第１レンズ群Ｌ１を正レンズ、負レンズの２枚構成として回折光学面を設けることで、第２レンズ群Ｌ２で発生する色の２次スペクトルの影響を相殺することができ、変倍全域、全可視波長範囲で良好に色収差を補正することが可能となる。
【００３４】
実施例２、３と同様の構成のレンズにおいて、第２レンズ群Ｌ２で発生する歪曲や非点収差を補正し、変倍に伴うこれらの収差の変動を抑制するためには、第２レンズ群Ｌ２は物体側から順に像面側に強い凹面を向けた負メニスカスレンズと物体側に強い凹面を向けた負メニスカスレンズで構成することがよい。
【００３５】
更に、第２レンズ群Ｌ２中の像側の負レンズの物体側面、及び像側の曲率半径（非球面の場合は軸上と有効径で決定される参照球面）を、それぞれＲａ、Ｒｂとするとき、次の条件式を満足することが好ましい。
【００３６】
１＜（Ｒｂ＋Ｒａ）／（Ｒｂ−Ｒａ）＜２                    …(3)
【００３７】
条件式(3) の下限を超えると広角端で発生する歪曲収差が負に大きくなり過ぎ、逆に上限を超えると望遠端での歪曲収差が補正しきれなくなる。
【００３８】
また、第２レンズ群Ｌ２中に回折光学面とは別に、実施例２、３のように少なくとも１面の非球面を設けるか、回折光学面のベースの面を非球面にすると、更に光学性能が改善される。
【００３９】
実施例１〜３において、回折光学面は位相をφ（ｈ）、λを基準波長（ｄ線）、ｈを光軸からの距離とすると、次の式で表される。
【００４０】
φ（ｈ）＝２π／λ（C2・ｈ2 ＋C4・ｈ4 ＋・・＋C2・i・ｈ2・i ）…(4)
【００４１】
第１レンズ群Ｌ１で十分な色収差補正が行うためには、第１レンズ群Ｌ１の２枚のレンズの焦点距離、アッべ数をそれぞれｆ1i、ν1i（ｉ＝１、２）、第１レンズ群Ｌ１の回折光学面の２次項の係数をC2とするとき、次式の条件を満足することが望ましい。
【００４２】
｜０．５７９７・C2＋Σ（１／（ｆ1i・ν1i））｜・ｆ1 ＜０．０２  ・・・(5)
【００４３】
条件式(5) は第１レンズ群Ｌ１に関して屈折光学面と回折光学面での色消し効果が合成されて、十分に色収差が補正されるための条件である。条件式(5) の範囲内を超えると、第１レンズ群Ｌ１で発生する色収差の補正が不十分になってしまうので好ましくない。
【００４４】
一般に、屈折光学系のアッべ数（分散値）は、ｄ、Ｃ、Ｆ線の各波長における屈折力をＮｄ、ＮＣ、ＮＦとしたとき、次式で表される。
【００４５】
νｄ＝（Ｎｄ−１）／（ＮＦ−ＮＣ）
【００４６】
一方、回折光学面でのｄ線による分散値νｄは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線の各波長をλｄ、λＣ、λＦとしたとき、νｄ＝λｄ／（λＦ一λＣ）で表され、νｄ＝−３．４５となる。
【００４７】
また、回折光学面の主波長における近軸的な１次回折光の屈折力ψは、回折光学面の位相を表す前式から２次項の係数をC2としたとき、ψ＝−２・C2で表される。
【００４８】
或るレンズ群で発生する色収差はψ／νに比例するので、これに相当する量は回折光学面では、次の通りとなる。
【００４９】
−２・C2／（−３．４５）＝０．５７９７・C2                … (6)
【００５０】
また、屈折光学系ではこの量はΣ１／（ｆ・ν）となる。従って、この和が０に近い程、そのレンズ群の色収差補正が十分に行われていることが分かる。
【００５１】
実施例において、第２レンズ群Ｌ２の移動量を少なくして、ズーム部のレンズ全長を短縮するには、第２レンズ群Ｌ２、全系の広角端、望遠端の焦点距離をそれぞれｆ2 、ｆｗ、ｆｔとするとき、次の条件式を満足することが好ましい。
【００５２】
０．２５＜｜ｆ2 ／（ｆｗ・ｆｔ）1/2 ｜＜０．３５          …(7)
【００５３】
条件式(7) は第２レンズ群Ｌ２の屈折力に関するものであり、変倍に伴う収差変動を少なくしながら所定の変倍比を効果的に得るためのものである。下限値を超えて第２レンズ群Ｌ２の屈折力が強くなり過ぎると小型化には有利になるが、べッツヴァール和が負の方向に増大し、像面湾曲が大きくなると共に変倍に伴う収差変動が大きくなり過ぎるので良くない。逆に、上限値を超えると第２レンズ群Ｌ２の移動量が大きくなり過ぎて、レンズ全長が長くなってしまう。
【００５４】
次に、実施例１〜３の数値実施例１〜３を示す。これらの数値実施例において、riは物体側から順に第ｉ番目のレンズ面の曲率半径、diは第ｉ番目のレンズ厚又は空気間隔、niとνi は第ｉ番目のレンズのガラスの屈折率とアッべ数である。なお、数値実施例における最も像面側の屈折力を持たない１７面、１８面は、光学フィルタ、フェースプレート等を表している。
【００５５】
0003792846.tif 000002
【００５６】
0003792846.tif 000003
【００５７】
0003792846.tif 000004
【００５８】
0003792846.tif 000005
【００５９】
0003792846.tif 000006
【００６０】
0003792846.tif 000007
【００６１】
0003792846.tif 000008
【００６２】
0003792846.tif 000009
【００６３】
0003792846.tif 000010
【００６４】
0003792846.tif 000011
【００６５】
0003792846.tif 000012
【００６６】
0003792846.tif 000013
【００６７】
なお、次表は前述の各条件式(1) 、(3) 、(5) 、(7) と数値実施例１〜３の関係を示す。
【００６８】
数値実施例１    数値実施例２    数値実施例３
条件式(1)     2.844           3.410           3.479
条件式(3)                     1.649           1.506
条件式(5)     2.03・10-3 -2.26・10-3 -1.78・10-3
条件式(7)     0.296           0.323           0.318
【００６９】
図４〜図１２は実施例１〜３の広角状態、中間状態、望遠状態の収差図である。
【００７０】
回折光学面はホログラフィック光学素子（ＨＯＥ）の製作手法であるリソグラフィック手法で２値的に製作した光学素子であるバイナリオプテイックス（BINARY OPTICS ）で製作してもよい。この場合に、更に回折効率を上げるために、図１２に示すようなキノフォームと呼ばれる鋸状の形状にすることもできる。また、これらの方法で製作した型によって成形により製造してもよい。
【００７１】
図１３は回折光学素子の断面図を示し、基材１の表面に紫外線硬化樹脂を塗布し、この樹脂部２に波長５３０ｎｍで１次回折効率が１００％となるような格子厚ｄの格子３を成形している。図１４はこの回折光学素子の１次回折効率の波長依存性を示し、設計次数での回折効率は最適化した波長５３０ｎｍから離れるに従って低下し、一方で設計次数近傍の次数０次、２次回折光が増大している。この設計次数以外の回折光の増加はフレアとなり、光学系の解像度の低下につながる。
【００７２】
図１５は図１３の格子形状を前述の数値実施例１を作成した場合の場合の望遠端の軸上における空間周波数に対するＭＴＦ（Modulation Transfer Function）特性を示しており、低周波数領域のＭＴＦが所望の値より低下していることが分かる。
【００７３】
更に、回折効率を改善するためには、次に説明するような積層構造の回折光学素子にすることが好ましい。そこで、図１６に示すような積層型の回折格子を実施例における回折光学素子の格子形状とすることが考えられる。基材１上に紫外線硬化樹脂（Ｎｄ＝１．４９９、νｄ＝５４）から成る第１の回折格子４が構成され、その上に別の紫外線硬化樹脂（ｎｄ＝１．５９８、νｄ＝２８）から成る第２の回折格子５が形成されている。
【００７４】
この材質の組み合わせでは、第１の回折格子４の格子厚ｄｌはｄｌ＝１３．８μｍ、第２の回折格子５の格子厚ｄ２はｄ２＝１０．５μｍとしている。図１７はこの構成の回折光学素子の１次回折効率の波長依存性を示し、このように積層構造の回折格子にすることにより、設計次数の回折効率は使用波長全域で９５％以上の高い回折劾率が得られる。
【００７５】
図１８はこの場合の空間周波数に対するＭＴＦ特性を示し、積層構造の回折格子を用いることで、低周波のＭＴＦは改善され、所望のＭＴＦ特性が得られている。このように、実施例の回折光学素子として積層構造の回折格子を用いることで、光学性能は更に改善される。
【００７６】
なお、前述の回折光学素子として、材質を紫外線硬化樹脂に限定するものでなく、他のプラスチック材なども使用できるし、基材によっては第１の回折格子４を直接基材に形成してもよい。また、各格子の厚みが必ずしも異なる必要はなく、材料の組み合わせによっては図１９に示すように２つの格子厚を等しくできる。この場合に、回折光学素子の表面に格子形状が形成されないので、防塵性に優れ、回折光学素子の組み立て作業性が向上し、より安価な光学系が得られる。
【００７７】
【発明の効果】
本発明に係る小型のズームレンズによれば、第１レンズ群を正、負それぞれ１枚ずつの２枚のレンズで構成し、光軸に対して回転対称な少なくとも１枚の回折光学面を有するような構成とすることにより、レンズ枚数の削減を可能とし、光学性能を良好に維持したままレンズ全長の短縮化を達成することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１のレンズ断面図である。
【図２】実施例２のレンズ断面図である。
【図３】実施例３のレンズ断面図である。
【図４】実施例１の広角状態の収差図である。
【図５】実施例１の中間状態の収差図である。
【図６】実施例１の望遠状態の収差図である。
【図７】実施例２の広角状態の収差図である。
【図８】実施例２の中間状態の収差図である。
【図９】実施例２の望遠状態の収差図である。
【図１０】実施例３の広角状態の収差図である。
【図１１】実施例３の中間状態の収差図である。
【図１２】実施例３の望遠状態の収差図である。
【図１３】回折光学素子の断面図である。
【図１４】１次回折効率波長特性のグラフ図である。
【図１５】ＭＴＦ特性のグラフ図である。
【図１６】多層構造の回折光学素子の断面図である。
【図１７】１次回折効率波長特性多層構造のグラフ図である。
【図１８】ＭＴＦ特性のグラフ図である。
【図１９】他の多層構造の回折光学素子の断面図である。
【符号の説明】
Ｌ１  第１レンズ群
Ｌ２  第２レンズ群
Ｌ３  第３レンズ群
Ｌ４  第４レンズ群
１  基材
２  樹脂部
３、４、５  回折格子
△Ｍ  メリディオナル像面
△Ｓ  サジタル像面
【図１】
0003792846.tif 000014
【図２】
0003792846.tif 000015
【図３】
0003792846.tif 000016
【図４】
0003792846.tif 000017
【図５】
0003792846.tif 000018
【図６】
0003792846.tif 000019
【図７】
0003792846.tif 000020
【図８】
0003792846.tif 000021
【図９】
0003792846.tif 000022
【図１０】
0003792846.tif 000023
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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