(57)【要約】開口部を有する枠状に形成され、ガラス基板（４）の周縁部を吸着保持する基板ホルダ（１）と、この基板ホルダの開口部内における所定の位置に設けられ、ガラス基板を吸着保持する基板吸引部材（２０）とを備える。
2003006971.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有する枠状に形成され、基板の周縁部を吸着保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダの前記開口部内における所定の位置に設けられ、前記基板を吸着保持する基板吸引部材と、
を具備したことを特徴とする基板保持装置。
【請求項２】
前記基板ホルダの前記開口部内に設けられ、前記基板を支持する複数の支持ピンを備えたことを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項３】
前記基板吸引部材は、前記基板の少なくとも中央部に対応する位置に設けられたことを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項４】
前記基板吸引部材又は前記支持ピンは、前記基板ホルダの前記開口部の互いに対向する２辺間に架設される桟状の保持体に設けられたことを特徴とする請求項１又は２記載の基板保持装置。
【請求項５】
前記保持体は、前記基板吸引部材又は前記支持ピンを挟持する帯状の２枚の保持板からなることを特徴とする請求項４記載の基板保持装置。
【請求項６】
前記保持板は、その板面に防振材をコーティングしたことを特徴とする請求項５記載の基板保持装置。
【請求項７】
前記保持板は、制振金属で作られていることを特徴とする請求項５記載の基板保持装置。
【請求項８】
前記保持板は、帯状の２枚の保持板からなり、この２枚の保持板の間に透明な防振材を設けたことを特徴とする請求項５記載の基板保持装置。
【請求項９】
前記基板吸引部材又は前記支持ピンは、高さ調整可能であることを特徴とする請求項１又は２記載の基板保持装置。
【請求項１０】
前記基板吸引部材は、前記基板ホルダにおける前記開口部の下面を閉塞する透明な保持体上に設けたことを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
【請求項１１】
前記基板吸引部材は、内部に空間が形成された基板吸引部材本体と、
この基板吸引部材本体に対して移動可能で、前記空間に連通する吸引通路が形成された基板保持軸と、
この基板保持軸の先端部に設けられた弾性材により形成された吸着部材と、
前記基板吸引部材本体に接続され、前記空間を介して前記吸引通路に連通した吸引チューブと、
から成ることを特徴とする請求項１項記載の基板保持装置。
【請求項１２】
前記吸引チューブは、光透過性の材料により形成され前記基板吸引部材を挟持する２枚の保持板間に沿って配置されることを特徴とする請求項１１項記載の基板保持装置。
【請求項１３】
前記２枚の保持板の空間には、透過照明光を散乱又は拡散させる光学部材が配置されたことを特徴とする請求項５記載の基板保持装置。
【請求項１４】
前記支持部材は、先端部にボールが設けられた保持軸と、
この保持軸を移動可能に受ける保持軸受けと、
前記保持軸を前記保持軸受けに対して固定する固定ネジと、
から成ることを特徴とする請求項２記載の基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、例えば液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の大型のガラス基板を保持する基板保持装置に関する。
背景技術
特開２０００−７１４６公報には、例えば液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板（プラスチック基板も含む半導体デバイス基板）を保持するガラス基板保持具が記載されている。このガラス基板保持具は、ガラス基板を吸着保持する保持枠と、この保持枠の透過照明用開口を閉塞する透明部材と、この透明部材の上面に複数立設されてガラス基板を支持する支持ピンとからなるガラス基板保持具が記載されている。
このガラス基板保持具では、薄いガラス基板を複数の支持ピンに載せ、そのガラス基板の周縁のみを保持枠に吸着保持しているため、クリーンルームのダウンフローやグレーチング床等からの振動によりガラス基板の中央部分が撓んだり振動してしまう。
又、ガラス基板の大型化に伴い図１０に示す基板保持装置が提案された。基板ホルダ１は、枠状に形成されている。この基板ホルダ１の開口部には、角柱の複数の保持台２が架設されている。これら保持台２の上面には、所定間隔で複数の支持ピン３がそれぞれ一列に配置されて固定されている。
基板ホルダ１の枠部周縁には、ガラス基板４を吸着保持するための複数の吸引部材（吸着パッド）５が設けられている。これら吸引部材５は、図示しない吸引チューブに接続され、吸引ポンプの吸引動作を受けて吸引作用を行なう。又、基板ホルダ１の枠部周縁には、複数の基準ピン６及び複数の押付けピン７が設けられている。
ガラス基板４の表面検査を行なうときは、ガラス基板４が基板ホルダ１上に載置され、複数の押付けピン７により複数の基準ピン６に押し付けられて、基準位置にセッティングされる。この後、ガラス基板４は、複数の吸引部材５により基板ホルダ１上に吸着固定される。
しかしながら、薄いガラス基板４を押付けピン７により基準ピン６に押し付けたとこに、ガラス基板４の中央部に浮きが生じることがある。又、マクロ検査のために基板ホルダ１を揺動させることによりガラス基板４の中央部が上下方向に煽られて大きく振動したり、クリーンルームのダウンフロー等によってガラス基板４の中央部に振動が生じることがある。
このように、ガラス基板４の中央部が上下方向に煽られて大きく振動すると、欠陥が揺れ動いてしまい観察し難くなる。又、顕微鏡を用いてガラス基板４を観察する場合、ガラス基板４が浮き上がっていると顕微鏡の観察位置を振動せた際に対物レンズとガラス基板４の表面との間隔が変化し、焦点ずれが生じる。又、顕微鏡で観察する場合、ガラス基板４に振動が生じると、振動が治まるまでオートフォーカスができなくなる問題が生じる。
又、上下方向の振動を受けると、ガラス基板４の裏面が支持ピン３に当たり傷が付くおそれがある。さらにダウンフローの風圧の変化により、ガラス基板４の中央部が上下方向に大きく振れたり、ガラス基板４が薄くなると、ガラス基板４自体の自動ダウンフローの風圧により支持ピン３との間で微少な撓みが生じ、ガラス基板４が波打つことがある。このため、ガラス基板４の水平度を維持することができなくなり、顕微鏡等によるミクロ観察の際に焦点位置がずれてしまう。一方、保持台２の強度を上げるために金属製の角柱を用いると、透過検鏡法による透過照明光が複数の保持台２により遮られ、ガラス基板４上に影となって投影され検査に支障をきたす。
本発明は、基板中央部分の浮きや振動を防止できる基板保持装置を提供することを目的とする。
本発明は、基板ホルダ枠に架設された保持台による透過照明光の光量の減少による影響を抑え、良好な透過検鏡を実現でき、かつ支持ピンの高さ調整が簡単な基板保持装置を提供することを目的とする。
発明の開示
本発明の主要な観点によれば、開口部を有する枠状に形成され、基板の周縁部を吸着保持する基板ホルダと、基板ホルダの開口部内における所定の位置に設けられ、基板を吸着保持する基板吸引部材とを具備した基板保持装置が提供される。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１０と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図１は基板保持装置の構成図である。この基板保持装置は、フラットパネルディスプレイのガラス基板４の表面を検査する表面検査装置に適用される。基板ホルダ１の開口部内には、複数の保持台１０が架設されている。これら保持台１０は、桟状に形成され、基板ホルダ１の開口部内の互いに対向する２辺間に所定の間隔で並設されている。これら保持台１０は、互いの板面が向かい合って配置された帯状の２枚の保持板１０ａ、１０ｂとから構成される。これら保持板１０ａ、１０ｂの間には、透過照明光が通過するための空間部１１が形成されている。保持板１０ａ、１０ｂは、板厚に対して充分に長い幅寸法を有し、剛性の高い金属からなる。又、保持板１０ａ、１０ｂは、振動を抑える目的でその板面に防振材（高減衰材料）をコーティングしたり、保持板１０ａ、１０ｂを粒界腐食ステンレス等の制振金属で作製する。防振材としては、高分子のゴム、樹脂や、振動吸収塗料、ゲル状物質を用いるとよい。振動吸収塗料としては、ウレタン、アクリル、シリコン系樹脂塗料がある。又、ゲル状物質としては、オルガノゲル、ポリマー系ゲル、シリコン系ゲル、フッ素イオン交換樹脂などがある。又、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に透明な防止材を挟んでもよい。又、各保持台１０が振動しないように保持板１０ａ、１０ｂの板厚を変えたり、防振材の厚みや量を変えるなど各保持台１０の共振周波数を異ならせ、保持台１０同士間の共振をなくすことが好ましい。
基板ホルダ１の開口部内における所定位置、例えば中央部分に対応する各保持台１０には、複数の基板吸引部材２０が設けられている。又、各保持台１０には、複数の支持ピン３０が設けられている。
図２Ａ及び図２Ｂは保持台１０に対する基板吸引部材２０及び支持ピン３０の取り付けを示す構成図であって、図２Ａは上方から見た構成図、図２Ｂは側面図である。これら基板吸引部材２０及び支持ピン３０は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に所定間隔に挟持されている。各基板吸引部材２０には、吸引チューブ２１が接続されている。この吸引チューブ２１は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に配置されている。この吸引チューブ２１は、例えば光透過性の材料により形成されている。２枚の保持板１０ａ、１０ｂの底面は、光透過性の部材により形成されているのが好ましい。
図３Ａ及び図３Ｂは保持台１０に対して支持ピン３０のみを取り付けた構成図であって、図３Ａは上方から見た構成図、図３Ｂは側面図である。２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間には、複数の支持ピン３０が所定間隔毎に挟持されている。
図４は基板吸引部材２０の断面構成図である。基板吸引部材２０には、基板保持軸２２が設けられている。この基板保持軸２２には、吸引通路２３が軸方向に形成されている。基板保持軸２２の先端部には、弾性材により形成された吸着部材２４が抜けでないように取り付けられている。この吸着部材２４には、吸引通路２３と連通するための吸引孔２５が形成されている。吸着部材２４は、抜け防止リング２６によって基板保持軸２２の先端部に保持されている。又、基板吸引部材２０の下部には、取り付け端部２７によって吸引チューブ２１が取り付けられている。この吸引チューブ２１は、基板吸引部材２０に取り付けられることにより吸引通路２３に連通する。なお、吸引チューブ２１は、基板ホルダ１の外部に設けられた吸引ポンプＰに接続されている。
図５は支持ピン３０の断面構成図である。支持ピン３０には、円柱状の保持軸３１が設けられている。この保持軸３１の先端部には、凹部３２が形成され、この凹部３２内にボール３３が回転可能に設けられている。保持軸３１の元側には、固定ネジ３４のネジ締めを受けるための当付け溝３５と、固定ネジ３６が当接しないようにするための逃げ溝３７とが形成されている。さらに、逃げ溝３７の下方の保持軸３１にはネジ３１ａが形成され、保持軸３１３１は保持軸受け３８の下部に形成されたネジ孔３８ａに螺合し、上下方向（矢印イ方向）に移動可能に設けられている。
従って、支持ピン３０の高さ調整は、保持軸受け３８の底部開口からドライバを用いて保持軸３１を回転させながら矢印イ方向に移動させて、高さ位置を調整した後、固定ネジ３４を締めて保持軸３１を保持軸受け３８に固定することにより行われる。
保持軸受け３８の下部には、２枚の保持板１０ａ、１０ｂを受けるための各平面部３９、４０が両側に形成されている。又、保持軸受け３８には、各固定ネジ３４、３６を通すための各ネジ穴４１、４２が形成されている。
このような構造の支持ピン３０であれば、固定ネジ３６を緩めることにより、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に対して取り付け、取り外しが可能で、かつ保持軸３１を回転させるだけで支持ピン３０の高さを調整できる。
次に、基板ホルダ１に設けられる複数の基板吸引部材２０及び複数の支持ピン３０の高さ調整について図６を参照して説明する。
基準平面４４が形成された基準ブロック４３が用意される。この基準平面４４は、歪みや凹凸の無い平面である。この基準平面４４上の両端には、それぞれ各基準台４５が設けられている。これら基準台４５は、複数の基板吸引部材２０及び複数の支持ピン３０の各高さを調整するための基準高さＨに形成されている。これら基準台４５は、基板ホルダ１のサイズに適合した間隔に配置され、この基準台４５、４５間に保持台１０を逆さまに載置する。
又、基板吸引部材２０及び支持ピン３０の高さ調整は、基板ホルダ１を基準平面４４上に載置してもよい。
基板吸引部材２０の高さ調整は、図４に示す基板保持軸２２の先端部の吸着部材２４が弾性材により形成されているので、この吸着部材３４が基準平面４４に当接されると、基準平面４４の高さに従って伸縮する。この状態に、基板吸引部材２０は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂに対して固定ネジ等により固定される。
一方、支持ピン３０の高さ調整は、図５に示す保持軸受け３８を底部開口よりドライバを差し込み、保持軸３１の先端部のボール３３が基準平面４４に当接するまで回転させる。この保持軸３１の高さを調整した後、固定ネジ３４を締め付け、保持軸３１を保持軸受け３８に固定する。
この結果、全ての基板吸引部材２０及び支持ピン３０の高さ位置が基準平面４４に揃い、これら基板吸引部材２０及び支持ピン３０の高さ調整が終了する。
なお、複数の支持ピン３０のみの高さ調整は、上記同様に、各支持ピン３０の各保持軸３１がそれぞれ上下移動させることにより行われる。
次に、上記の如く構成された装置の作用について説明する。
ガラス基板４の表面検査を行なうとき、ガラス基板４は、各押付けピン７により各基準ピン６に押し付けられて基準位置にセッティングされた後、先ず、ガラス基板４の中央部分が基板吸引部材２０により吸着固定される。続いて、各吸引パッド５によりガラス基板４の周縁が基板ホルダ１上に吸着固定される。
吸引ポンプＰが吸引動作すると、複数の基板吸引部材２０は、それぞれ吸着動作を行い、ガラス基板４をその中央部において吸着保持する。これと共に、ガラス基板４は、複数の支持ピン３０により支持される。
この結果、ガラス基板４は、周縁部と中央部とにおいて吸着保持されるので、水平度が常に維持される。従って、マクロ検査時に基板ホルダ１を揺動したとしても、又ダウンフロー等の影響を受けたとしても、ガラス基板４の中央部に浮きは生じない。
表面検査は、ガラス基板４に対して透過照明又は落射照明を用いた検鏡方式によって行われる。透過照明の検鏡方式では、透過照明光は、ガラス基板４の下方から照射される。保持台１０の架設位置では、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間の空間部１３を通って透過照明光がガラス基板４に照射される。これと共に各保持板１０ａ、１０ｂの回りから透過照明光が回り込み、この回り込んだ透過照明光がガラス基板４に照射される。又、吸引チューブ２１が設けられている位置でも、透過照明光は、光透過性の吸引チューブ２１により拡散されてガラス基板４に照射される。
従って、透過照明検鏡方式であっても、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量が保持台１０の架設位置でも光量の減少を少なく抑えることができ、ガラス基板４の表面検査を良好に行なえる。
このように上記一実施の形態においては、ガラス基板４を基板ホルダ１上に載置したときのガラス基板４の中央部に対応するところに複数の基板吸引部材２０を取り付けたので、ガラス基板４は、基板ホルダ１周辺部の各吸引部材５により周辺部が固定吸着されると共に、中央部が固定吸着される。この結果、ガラス基板４を高い水平度で確実に保持できる。これにより、ガラス基板４のマクロ検査に誤検査が生じることなく、正確にガラス基板４の表面検査を行なうことができる。顕微鏡等による高倍率でのミクロ観察時でも、対物レンズとガラス基板４表面との距離が一定に保たれて焦点ずれが生ぜず、ガラス基板４の全面において合焦点の画像で検査ができる。
複数の基板吸引部材２０を２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に挟み、複数の支持ピン３０も２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に挟み込む構成としたので、透過照明光は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間の空間部１３を通ってガラス基板４に照射され、かつこれら保持板１０ａ、１０ｂの回りから回り込んだ透過照明光がガラス基板４に照射される。さらに、透過照明光は、光透過性の吸引チューブ２１により拡散されてガラス基板４に照射される。これにより、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量の減少を最小限に抑えることができ、良好な透過検鏡を実現することができる。
各保持板１０ａ、１０ｂは、加工が容易であり、製造時間を短縮でき、コストダウンが図れる。
複数の基板吸引部材２０は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に対して取り付け、取り外しが可能なので、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの直線上における所望の位置に取り付け、取り外しできる。これら基板吸引部材２０は、配置間隔をガラス基板４のサイズや重量に応じて任意に調整できる。
複数の基板吸引部材２０及び複数の支持ピン３０は、基準ブロック４３及び各基準台４５を用いて全ての高さを同一に調整できる。この場合、基板吸引部材２０は、吸着部材２４が基準平面４４に倣うことにより高さ調整し、支持ピン３０は、保持軸３１を上下移動させることにより高さ調整できる。従って、ガラス基板４を高い水平度で確実に保持できる。
保持板１０ａ、１０ｂを防振材でコーティング、若しくは制振金属で作製し、又保持板１０ａ、１０ｂの隙間に防振材を挟むことで、保持台１０の振動を低減できる。従って、支持ピン３０上に載置されるガラス基板４の振動を抑えることができる。
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１乃至図６と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。この第２の実施の形態の上記第１の実施の形態と相違するところは、図７に示すように２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に、光散乱又は拡散用の光学部品としての光学レンズ５０を設けたことである。
この光学レンズ５０は、かまぼこレンズ状に形成され、かつ各係止部５０ａが形成されている。これにより光学レンズ５０は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂに対して係止され、各保持板１０ａ、１０ｂに対して取り付け、取り外し自在で、かつ各保持板１０ａ、１０ｂの間から落下しない。なお、光学レンズ５０は、かまぼこレンズ状に限らず、拡散板を設けたり、プリズム、フルネルレンズなどを設けても良い。
２枚の保持板１０ａ、１０ｂの下部には、互い内側を向いて各切欠き部５１ａ、５１ｂが形成されている。各切欠き部５１ａ、５１ｂは、下方からの透過照明光の一部をそれぞれ各保持板１０ａ、１０ｂの間に反射させ、光学レンズ５０により拡散される透過照明光の光量を増加させる作用を持つ。
次に、光学レンズ５０の製造方法の一例を説明する。先ず、図８Ａに示すような光透過性の樹脂（例えばプラスチック）により形成した円柱部材（ロット）５２を図８Ｂに示すようにその長手方向に２分割して、２つのレンズ部材５２ａ、５２ｂを作成する。
次に、各レンズ部材５２ａ、５２ｂの両側をそれぞれカットし、２本のかまぼこレンズ状の光学レンズ５０を製造する。
なお、レンズ部材５２ａ、５２ｂの両側をそれぞれカットせずに、レンズ部材５２ａ、５２ｂのままで２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に挿入できれば、これらレンズ部材５２ａ、５２ｂを光学レンズ５０として用いても良い。
次に、上記の如く構成された装置の作用について説明する。
透過照明の検鏡方式でガラス基板４の表面検査を行うとき、ガラス基板４の下方から照射される透過照明光は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に設けられた光学レンズ４０により拡散されてガラス基板４に照射される。これと共に２枚の保持板１０ａ、１０ｂの各切欠き部５１ａ、５１ｂに当たった透過照明光は、これら切欠き部５１ａ、５１ｂで２枚の保持板１０ａ、１０ｂ間に向けて反射し、光学レンズ４０を通って拡散されてガラス基板４に照射される。
従って、透過照明の検鏡方式であっても、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量が保持台１０の架設位置でも、その光量の減少を少なく抑えることができ、透過照明の検鏡方式でのガラス基板４の表面検査が可能になる。そのうえ透過照明光の一部が各切欠き部５１ａ、５１ｂで反射して２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に入射するので、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量を上記第１の実施の形態よりも増加できる。
このように上記第２の実施の形態においては、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に、光散乱又は拡散用の光学部品としての光学レンズ５０を設けたので、この光学レンズ５０により透過照明光を拡散してガラス基板４に照射することができ、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量の減少を少なく抑え、透過照明の検鏡方式でのガラス基板４の表面検査の範囲を拡大できる。
さらに、各切欠き部５１ａ、５１ｂを形成することにより、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量を上記第１の実施の形態よりも増加できる。
なお、本発明は、上記第１及び第２の実施の形態に限定されるものでなく、種々に変形することが可能である。
例えば、上記第１及び第２の実施の形態では、液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイのガラス基板４の表面を検査する表面検査装置に適用されるものについて説明したが、これに限らず、フラットパネルディスプレイのガラス基板４の製造ラインに配備されるステッパーなどの各種製造の基板ホルダにも適用できる。
又、基板吸引部材２０は、基板ホルダ１の開口部内の任意の位置に設けることができ、各保持台の全てに設けてもよい。さらに基板吸引部材２０は、基板ボルダ１の支持ピン３０の全てを基板吸引部材２０に代えてもよい。
又、透過照明が可能なので、基板ホルダ１の下面開口部を透明な保持体（例えばガラス板）で閉鎖し、この透明な保持体上に基板吸引部材２０を配置してもよい。
又、基板吸引部材２０は、図９に示すように基板吸引部材本体６０に対して基板保持軸６１を螺合して設け、この基板保持軸６１ｂを回転させながら上下移動させることにより高さ調整可能にしてもよい。基板吸引部材本体６０ａの内面にはネジ溝６２が形成され、かつ基板保持軸６１の先端部にはネジ山６３が形成されている。基板吸引部材本体６０と基板保持軸６１との間には、吸引漏れ防止用のＯリング６４が設けられている。吸引通路２３は、基板吸引部材本体６０の空間部６５を介して吸引チューブ２１に連通している。
基板吸引部材２０の高さ調整は、基板保持軸６１が回転させながら上下移動され、この基板保持軸６１の先端部の吸着部材２４が基準平面４４に当接される。この後、固定ネジ６６が締め付けら、基板保持軸６１が固定される。
産業上の利用可能性
本発明は、例えば液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板などの半導体ガラス基板の表面欠陥検査に用いられる。
【図面の簡単な説明】
図１は本発明の第１の実施の形態を示す基板保持装置の構成図。
図２Ａは保持台に対する基板吸引部材及び支持ピンの取付上面図。
図２Ｂは保持台に対する基板吸引部材及び支持ピンの取付側面図。
図３Ａは保持台に対する支持ピンの取付上面図。
図３Ｂは保持台に対する支持ピンの取付側面図。
図４は基板吸引部材の断面構成図。
図５は支持ピンの断面構成図。
図６は複数の基板吸引部材及び支持ピンの高さ調整方法を説明するための図。
図７は本発明の第２の実施の形態を示す光学レンズの構成図。
図８Ａは光学レンズの製造方法の一例を示す図。
図８Ｂは光学レンズの製造方法の一例を示す図。
図８Ｃは光学レンズの製造方法の一例を示す図。
図９は基板吸引部材の変形例を示す構成図。
図１０は従来の基板保持装置の概略構成図。
【図１】
2003006971.tif 000003
【図２Ａ】
2003006971.tif 000004
【図２Ｂ】
2003006971.tif 000005
【図３Ａ】
2003006971.tif 000006
【図３Ｂ】
2003006971.tif 000007
【図４】
2003006971.tif 000008
【図５】
2003006971.tif 000009
【図６】
2003006971.tif 000010
【図７】
2003006971.tif 000011
【図８Ａ】
2003006971.tif 000012
【図８Ｂ】
2003006971.tif 000013
【図８Ｃ】
2003006971.tif 000014
【図９】
2003006971.tif 000015
【図１０】
2003006971.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成14年10月23日(2002.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（補正後）開口部を有する枠状に形成され、基板の周縁部を吸着保持する基板ホルダと、
前記開口部内に基板載置面より低く架設される複数の保持体と、
これら保持体に多数設けられ、前記基板を水平に保持するための高さ調整機構を備えた支持ピンと、
を具備したことを特徴とする基板保持装置。
【請求項２】
（補正後）請求項１記載の基板保持装置において、
前記支持ピンは、先端部に回転自在なボールを有し、元側にネジが形成されてなる保持軸と、この保持軸が螺合されるネジ孔を形成した保持軸受けと、前記保持軸を前記保持軸受けに固定する固定ネジとから構成されることを特徴とする基板保持装置。
【請求項３】
（補正後）請求項２記載の基板保持装置において、
前記保持軸受けは、内部が貫通した筒状に形成され、元側端部の開口から回転工具の挿入により前記保持部材を回転させることにより前記支持ピンの高さ調整を可能とすることを特徴とする。
【請求項４】
（補正後）請求項１記載の基板保持装置において、
前記基板ホルダの前記開口部内に架設された前記保持体の所定位置に、更に前記基板を保持する基板吸引部材を設けたことを特徴とする。
【請求項５】
（補正後）請求項４記載の基板保持装置において、
前記基板吸引部材は、前記基板を水平に保持するための高さ調整機構を備えたことを特徴とする。
【請求項６】
（補正後）請求項５記載の基板保持装置において、
前記基板吸引部材は、先端部に前記基板を吸着する弾性部材からなる吸着部を有し、元側にネジ溝が形成された基板保持軸と、
この基板保持軸に貫通して形成され、前記吸着部と連通する気体流通路と、
前記基板保持軸と螺合するネジ孔が形成され、かつ前記気体流通路と連通する空間を有する基板吸引部材本体と、
前記基板保持軸を前記基板吸引部材本体に固定する固定ネジと、
から構成されることを特徴とする。
【請求項７】
（補正後）請求項１記載の基板保持装置において、
前記保持体は、帯状の２枚の保持板を互いに板面が対向するように配置して構成され、これら２枚の保持板の間に前記支持ピンを挟持して固定することを特徴とする。
【請求項８】
（補正後）請求項４記載の基板保持装置において、
前記保持体は、帯状の２枚の保持板を互いに板面が対向するように配置して構成され、これら２枚の保持板の間に前記基板吸引部材を挟持して固定し、かつこの基板吸引部材に連通する吸引チューブを光透過性部材により形成することを特徴とする。
【請求項９】
（補正後）請求項１記載の基板保持装置において、
前記保持体は、帯状の２枚の保持板を互いに板面が対向するように配置して構成され、これら２枚の保持板の間に透過照明光を透過、散乱又は拡散する光学部材を設けたことを特徴とする。
【請求項１０】
（補正後）請求項９記載の基板保持装置において、
前記光学部材は、光透過性の樹脂を円柱に形成したレンズを長手方向に２分割したレンズからなることを特徴とする。
【請求項１１】
（補正後）請求項１記載の基板保持装置において、
前記保持体は、その表面を防振材によりコーティングしたことを特徴とする。
【請求項１２】
（補正後）請求項１記載の基板保持装置において、
前記保持体は、その空間部に振動を抑制する光透過性の防振材料を設けたことを特徴とする。
【請求項１３】
（補正後）請求項１記載の基板保持装置において、
前記複数の保持体は、厚みや質量を変えて共振周波数を異ならせ、これら保持体同士の共振をなくすことを特徴とする。
【請求項１４】
（補正後）請求項１記載の基板保持装置において、
前記保持板は、帯状の２枚の保持板を互いの板面が対向するように配置して構成され、これら２枚の保持板の厚みや質量を変えて共振周波数を異ならせることを特徴とする。
【国際調査報告】
2003006971.tif 000017
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