(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバ母材を加熱線引して光ファイバを製造する光ファイバ線引方法であって、前記光ファイバの線引開始後の当初は前記光ファイバの設定線速と実際線速との線速差に基づいて前記光ファイバ母材の供給速度を制御し、前記実際線速が前記設定線速の一定割合以上になった後には前記線速差と前記実際線速の単位時間当たりの変化量とに基づいて前記供給速度を制御する、ことを特徴とする光ファイバ線引方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバ母材を加熱線引して光ファイバを製造する光ファイバ線引方法および線引装置に関するものであり、光ファイバの不良部分を減少させて生産性向上を図るものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバ母材を加熱線引する工程において、光ファイバ母材からの線引条件および樹脂コーティング条件の変動は、光ファイバの品質に大きな影響を与える。そこで従来より、光ファイバの線引速度が設定線速に達して安定した後に製造された光ファイバの部分を良品としている。
【０００３】
また、光ファイバ母材を連続供給することは非常に困難であるため、光ファイバ母材を大型化して、１つの光ファイバ母材から得られる光ファイバ単長を長くすることが行われ、このようにすることにより、母材供給装置への光ファイバ母材のセットや段取り等から生じる線引装置の稼働率低下を抑制するとともに、光ファイバの不良部分の発生割合を低減している。しかし、一方で、生産性向上を図るべく光ファイバの線引速度は上昇の一途を辿っており、このことは、光ファイバの不良部分を増加させる要因となっている。
【０００４】
この問題を解決すべく、光ファイバ母材の供給速度を急速に変化させ加熱炉に対する光ファイバ母材の位置を制御することにより、光ファイバの線引速度を短時間に設定線速に到達させる技術が、特公昭６２−５０４１９号公報に開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この特公昭６２−５０４１９号公報に開示された技術では、光ファイバ母材の外径や加熱炉の温度等の条件が異なると、光ファイバの線引速度の変化量も異なる。したがって、光ファイバ母材の外径や加熱炉の温度等の条件に無関係に光ファイバ母材の供給速度を急速に変化させ加熱炉に対する光ファイバ母材の位置を制御するだけでは、光ファイバの線引速度を安定に制御するのは困難で、光ファイバの不良部分の発生量のばらつきが大きくなるという問題点がある。
【０００６】
すなわち、光ファイバ母材の外径が小さい場合または加熱炉の温度が高い場合には、光ファイバの線引速度は、設定線速に一旦到達した後その設定線速を越え、その後、設定線速に到達し安定するまで時間を要する。逆に、光ファイバ母材の外径が大きい場合または加熱炉の温度が低い場合には、光ファイバに線引速度は、設定線速に漸近していくが、設定線速に到達するまで時間を要する。
【０００７】
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、光ファイバ母材の外径や加熱炉の温度等の条件に依らずに、光ファイバの線引速度を短時間に設定線速に到達させることができる光ファイバ線引方法および線引装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る光ファイバ線引方法は、光ファイバ母材を加熱線引して光ファイバを製造する光ファイバ線引方法であって、光ファイバの設定線速と実際線速との線速差に基づいて、または、線速差と実際線速の単位時間当たりの変化量とに基づいて、光ファイバ母材の供給速度を制御する、ことを特徴とする。この光ファイバ線引方法によれば、光ファイバの設定線速と実際線速との線速差に基づいて、または、線速差と実際線速の単位時間当たりの変化量とに基づいて、光ファイバ母材の供給速度が制御されて、光ファイバの線引速度は、安定に設定線速に制御される。
【０００９】
光ファイバの線引開始後の当初から線速差と変化量とに基づいて供給速度を制御すれば、光ファイバの線引速度は、短時間のうちに設定線速に到達する。また、光ファイバの線引開始後の当初は線速差に基づいて供給速度を制御し、実際線速が設定線速の一定割合以上になった後には線速差と変化量とに基づいて供給速度を制御すれば、光ファイバの線引速度は、更に短時間のうちに設定線速に到達する。
【００１０】
本発明に係る光ファイバ線引装置は、光ファイバ母材を加熱線引して光ファイバを製造する光ファイバ線引装置であって、(1) 光ファイバ母材を供給する母材供給手段と、(2) 光ファイバの設定線速と実際線速との線速差に基づいて、または、線速差と実際線速の単位時間当たりの変化量とに基づいて、光ファイバ母材を供給すべき速度を算出する演算手段と、(3) 演算手段により算出された速度に基づいて、母材供給装置による光ファイバ母材の供給速度を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
この光ファイバ線引装置によれば、光ファイバ母材を供給すべき速度は、光ファイバの設定線速と実際線速との線速差に基づいて、または、線速差と実際線速の単位時間当たりの変化量とに基づいて、演算手段により算出され、母材供給装置による光ファイバ母材の供給速度は、演算手段により算出された速度に基づいて、制御手段により制御される。そして、光ファイバの線引速度は、安定に設定線速に制御される。
【００１２】
演算手段は、(1) 光ファイバの設定線速と実際線速との差を線速差として出力する第１の減算器と、(2) 第１の減算器から出力された線速差に第１の係数を乗算し、その結果を出力する第１の乗算器と、(3) 光ファイバの設定線速に対応した光ファイバ母材の供給速度に、第１の乗算器からの出力を加算し、その結果を光ファイバ母材を供給すべき速度として出力する加算器と、を備えることとしてもよい。この場合、第１の減算器により、光ファイバの設定線速と実際線速との差である線速差が得られ、第１の乗算器により、その線速差に第１の係数が乗算されて出力され、そして、加算器により、光ファイバの設定線速に対応した光ファイバ母材の供給速度に、第１の乗算器からの出力が加算され、その結果が、光ファイバ母材を供給すべき速度として出力される。
【００１３】
演算手段は、更に、(4) 互いに一定時間だけ異なる光ファイバの実際線速の差を変化量として出力する第２の減算器と、(5) 第２の減算器から出力された変化量に第２の係数を乗算し、その結果を出力する第２の乗算器と、を備え、加算器は、更に第２の乗算器からの出力を減算し、その結果を光ファイバ母材を供給すべき速度として出力する、こととしてもよい。この場合、第２の減算器により、互いに一定時間だけ異なる光ファイバの実際線速の差が変化量として出力され、第２の乗算器により、その変化量に第２の係数が乗算されて出力され、そして、加算器により、光ファイバの設定線速に対応した光ファイバ母材の供給速度に、第１の乗算器からの出力が加算され、さらに、第２の乗算器からの出力が減算され、その結果が、光ファイバ母材を供給すべき速度として出力される。
【００１４】
母材供給装置は、光ファイバ母材の供給速度の設定可能範囲が少なくとも−２０ｍｍ／分から２０ｍｍ／分までの範囲であるのが好適である。この場合、光ファイバの線引開始から設定線速に到達するまで好適に光ファイバ母材の供給速度を好適に制御することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。尚、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１６】
図１は、本発明に係る光ファイバ線引装置の構成図である。母材供給装置１に保持された光ファイバ母材２は、加熱炉３に供給され、加熱線引されて光ファイバ４となる。その光ファイバ４は、外径測定器５により外径がオンライン測定され、その測定値がキャプスタン６にフィードバックされて外径が一定となるように制御される。その後、光ファイバ４は、プライマリコーティングダイス７によりコーティング樹脂液８を塗布され、樹脂硬化炉９によりコーティング樹脂が加熱硬化され、光ファイバ素線１０となる。そして、光ファイバ素線１０は、キャプスタン６を経て、巻取機１１により巻取られる。
【００１７】
母材供給装置１は、ドライバ１３からの電気信号に基づいて回転するモータ１２により、光ファイバ母材２を加熱炉３に供給する。また、ドライバ１３は、演算部１４からの指示により、モータ１２に送るべき電気信号を出力する。この演算部１４は、光ファイバ４の設定線速と実際線速との線速差に基づいて、または、光ファイバ４の設定線速と実際線速との線速差および実際線速の変化速度の双方に基づいて、光ファイバ母材２を供給すべき速度を演算により求める。あるいは、この演算部１４は、加算器、減算器および乗算器などから構成される回路であってもよい。なお、実際線速は、例えば、キャプスタン６の回転速度から求められる。
【００１８】
次に、光ファイバ母材２の供給速度の制御方法について説明する。以下に説明する光ファイバ母材２の供給速度は、演算部１４により求められるものである。
【００１９】
光ファイバ母材２の外径をＤ、光ファイバ４の外径をｄ、光ファイバ４の設定線速をｖ1とすると、この光ファイバ４の設定線速に対応した光ファイバ母材２の設定供給速度Ｖf1は、
Ｖf1＝ｖ1・ｄ2／Ｄ2 … (1)
で決められる速度になる。また、線引中の或る時刻ｔにおける光ファイバ４の実際線速をｖ(t)とし、この設定線速ｖ1と実際線速ｖ(t)との線速差に正の係数Ｋ1を乗じた値をΔＶf1とする。また、光ファイバ４の実際線速ｖ(t)の単位時間当たりの変化量（すなわち加速度）に正の係数Ｋ2を乗じた値をΔＶf2とする。すなわち、ΔＶf1およびΔＶf2それぞれは、
ΔＶf1＝Ｋ1・｛ｖ1−ｖ(t)｝ … (2)
ΔＶf2＝Ｋ2・｛ｖ(t)−ｖ(t−Δt)｝／Δｔ … (3)
で表される。
【００２０】
そして、時刻ｔにおける光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)は、ΔＶf1に基づいて、または、ΔＶf1およびΔＶf2の双方に基づいて、求められる。すなわち、光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)を、ΔＶf1およびΔＶf2の双方に基づいて求める場合には、
Ｖf(t)＝Ｖf1±ΔＶf± ΔＶf2    … (4)
で表され、また、光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)をΔＶf1のみ基づいて求める場合には、
Ｖf(t)＝Ｖf1±ΔＶf1            … (5)
で表される。
【００２１】
このようにして演算部１４で求められた光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)に基づいて、ドライバ１３はモータ１２を回転させ、光ファイバ母材２を供給速度Ｖf(t)で供給する。
【００２２】
以下に数値の一例を挙げる。設定線速ｖ1 を１０００ｍ／分とし、実際線速ｖを５００ｍ／分とし、係数Ｋ1 の値を（５ｍｍ／分）／（１０００ｍ／分）とすると、ΔＶf1は、２．５ｍｍ／分となる。また、実際線速ｖが１分間に４５０ｍ／分から５００ｍ／分へ変化したとし、係数Ｋ2 の値を（４ｍｍ／分）／（５０ｍ／分2 ）とすると、ΔＶf2は、４ｍｍ／分となる。そして、（４）式または（５）式により、光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)を求める。
【００２３】
次に、演算部１４を回路で構成した場合における回路ブロックについて説明する。図２は、光ファイバ母材の供給速度を求める演算回路の回路ブロック図である。この図は、光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)を、ΔＶf1およびΔＶf2の双方に基づいて求める場合、すなわち、上記（４）式に従って求める場合のものである。
【００２４】
減算器２１は、光ファイバ４の実際線速ｖ(t)と設定線速ｖ1とを入力して、これらの線速差を求め、乗算器２３は、その減算器２１から出力された線速差に係数Ｋ1を乗算して、上記（２）式で表されるΔＶf1を出力する。一方、減算器２２は、光ファイバ４の実際線速ｖ(t)とその一定時間前の実際線速ｖ(t−Δt)とを入力して、これらの差を求め、乗算器２４は、その減算器２２から出力された差に係数Ｋ2／Δｔを乗算して、上記（３）式で表されるΔＶf2を出力する。そして、加算器２５は、上記（１）式で表される光ファイバ母材２の設定供給速度Ｖf1に、乗算器２３から出力されたΔＶf1を加算し、さらに、乗算器２４から出力されたΔＶf2を減算し、その結果を光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)として出力する。
【００２５】
なお、光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)をΔＶf1のみ基づいて求める場合、すなわち、上記（５）式に従って求める場合には、図２において、減算器２２および乗算器２４は取り去られ、加算器２５は、光ファイバ母材２の設定供給速度Ｖf1に、乗算器２３から出力されたΔＶf1を加算して、その結果を光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)として出力する。或いは、乗算器２４と加算器２５との間にスイッチを設け、そのスイッチのＯＮ／ＯＦＦにより、上記（４）式および（５）式の何れに従って光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)を出力するかを選択するようにしてもよい。
【００２６】
また、乗算器２３における係数Ｋ1 の値および乗算器２４における係数Ｋ2 の値は、それぞれ、一定値であってもよいが、可変であってもよい。係数Ｋ2 の値が可変に設定できる場合には、係数Ｋ2 を値０以外の値にすれば、上記（４）式に従って光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)が出力され、係数Ｋ2 を値０にすれば、上記（５）式に従って光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)が出力される。
【００２７】
次に、線引開始後の線速上昇時における光ファイバ線引方法の第１の実施形態について、図３を用いて説明する。本実施形態は、線引開始当初から上記（４）式に従って光ファイバ母材２の供給速度を制御するものである。
【００２８】
時刻ｔ＝Ｔ0 までは、光ファイバ４の実際線速は、口出し時の低線速ｖ0 であり、光ファイバ母材２の供給速度は、それに対応した速度Ｖf0であり、この間は、演算部１４は上述の演算を行わない。時刻ｔ＝Ｔ0 以降、演算部１４は、光ファイバ４の線引速度を設定線速ｖ1 に上昇させるべく、上記（４）式の演算を行う。
【００２９】
光ファイバ４の設定線速ｖ1 と実際線速ｖ(t) との線速差は、当初大きく、実際線速ｖ(t) が設定線速ｖ1 に近づくにつれて次第に値０に漸減する。したがって、ΔＶf1の値も、当初の正値から次第に値０に漸減する。また、光ファイバ４の実際線速ｖ(t) の単位時間当たりの変化量は、当初の値０から次第に大きくなり、或る時刻以降は次第に値０に漸減していき、ΔＶf2の値も、これに応じて変化する。光ファイバ母材２の供給速度Ｖf(t)は、このようなΔＶf1およびΔＶf2から上記（４）式で求められる。
【００３０】
このように上記（４）式に従って光ファイバ母材２の供給速度を制御すると、その供給速度Ｖf(t)は、図３（ｂ）に示すように、時刻ｔ＝Ｔ0 以前は口出し時の供給速度Ｖf0であったものが、時刻ｔ＝Ｔ0 直後は大きな正値となり、その後一旦減少した後、時刻ｔ＝Ｔ1 で増加に転じて、設定供給速度Ｖf1に落ちつく。一方、光ファイバ４の線引速度は、図３（ａ）に示すように、時刻ｔ＝Ｔ0 以前の口出し時の線引速度ｖ0 から次第に増加して、やがて設定線速ｖ1 に落ちつく。
【００３１】
なお、図３（ｂ）からも判るように、光ファイバ母材２の供給速度は負の値を取り得る。すなわち、母材供給装置１は、光ファイバ母材２を加熱炉３から遠ざけることもあり得る。そして、光ファイバ母材２の供給速度が取り得る値の範囲について検討したところ、母材供給装置１は、光ファイバ母材２の供給速度の設定可能範囲が少なくとも−２０ｍｍ／分から２０ｍｍ／分までであることが必要である。
【００３２】
次に、線引開始後の線速上昇時における光ファイバ線引方法の第２の実施形態について、図４を用いて説明する。本実施形態は、当初は上記（５）式に従い、後に上記（４）式に従って、光ファイバ母材２の供給速度を制御するものである。
【００３３】
この場合、演算部１４は、光ファイバ４の線引速度を設定線速ｖ1 に上昇させるべく、時刻ｔ＝Ｔ0 以降、上記（５）式の演算を行い、その後、光ファイバ４の線引速度ｖ(t) が設定線速ｖ1 の一定割合（図４では５０％）になる時刻ｔ＝Ｔ1 以降は、上記（４）式の演算を行う。
【００３４】
このように光ファイバ母材２の供給速度を制御すると、時刻ｔ＝Ｔ1 までは、光ファイバ母材２の供給速度が大きいので、光ファイバ４の線引速度は速やかに上昇し、時刻ｔ＝Ｔ1 以降は、光ファイバ母材２の供給速度が小さくなる（場合によっては負の値になる）ので、光ファイバ４の線引速度の増加速度は減速し、そして、光ファイバ４の線引速度は設定線速ｖ1 に安定に漸近する。したがって、第１の実施形態に係る光ファイバ線引方法の場合と比較して、光ファイバ４の線引速度が設定線速ｖ1 に上昇するのに要する時間は短い。
【００３５】
次に、上記の第１および第２の実施形態それぞれに係る光ファイバ線引方法による実験を行った結果について説明する。図５は、第１の実施形態に係る光ファイバ線引方法による線引の実験結果のグラフであり、また、図６は、第２の実施形態に係る光ファイバ線引方法による線引の実験結果のグラフである。図７は、比較のために示したもので、従来技術（特公昭６２−５０４１９号公報に記載の技術）の光ファイバ線引方法による線引の実験結果のグラフである。
【００３６】
これらの実験において共通の条件は、以下のとおりである。光ファイバ母材として、外径９５ｍｍφ、１００ｍｍφおよび１０５ｍｍφの３種類のものを用い、それぞれの光ファイバ母材から外径１２５μｍφの光ファイバを線引した。光ファイバの口出し時の線速を２０ｍ／分とし、光ファイバの設定線速を１０００ｍ／分とした。
【００３７】
第１の実施形態に係る光ファイバ線引方法による線引実験では、上記（２）式における係数Ｋ1 を（３ｍｍ／分）／（１０００ｍ／分）とし、上記（３）式における係数Ｋ2 を（３ｍｍ／分）／（５０ｍ／分2 ）とし、そして、時刻０より、上記（４）式により光ファイバ母材の供給速度の制御を行った。また、第２の実施形態に係る光ファイバ線引方法による線引実験では、係数Ｋ1 および係数Ｋ2 の値それぞれを、第１の実施形態に係る光ファイバ線引方法による線引実験の場合と同じ値とし、そして、時刻０より、上記（５）式により光ファイバ母材の供給速度の制御を行い、光ファイバの実際線速が７００ｍ／分（設定線速の７０％）に達した時刻以降では、上記（４）式により光ファイバ母材の供給速度の制御を行った。
【００３８】
また、従来技術の光ファイバ線引方法による線引実験では、光ファイバ母材の供給速度を、時刻０まで（口出し時）は、＋０．０３ｍｍ／分（光ファイバの線速２０ｍ／分に相当）とし、時刻０から時刻２分までは、＋２０ｍｍ／分とし、時刻２分から時刻７分までは、＋０．０３ｍｍ／分とし、時刻７分以降は、＋１．５６ｍｍ／分（光ファイバの線速１０００ｍ／分に相当）とした。
【００３９】
以上の条件の下に行った実験の結果を示すグラフ（図５乃至図７）を見ると、以下のことが判る。すなわち、第１の実施形態に係る光ファイバ線引方法による線引実験では、外径１００ｍｍφの光ファイバ母材の場合、光ファイバの線引速度が設定線速１０００ｍ／分に到達するまでに要する時間は約２０分であった。また、外径９５ｍｍφおよび１０５ｍｍφそれぞれの光ファイバ母材の場合も、同程度の時間で設定線速に達することができた。第２の実施形態に係る光ファイバ線引方法による線引実験では、外径１００ｍｍφの光ファイバ母材の場合、光ファイバの線引速度が設定線速に到達するまでに要する時間は約１５分であり、第１の実施形態に係る光ファイバ線引方法による線引よりも５分間ほど短かった。また、外径９５ｍｍφおよび１０５ｍｍφそれぞれの光ファイバ母材の場合も、同程度の時間で設定線速に達することができた。
【００４０】
これに対して、従来技術の光ファイバ線引方法による線引実験では、外径１００ｍｍφの光ファイバ母材の場合には、光ファイバの線引速度が設定線速に到達するまでに要する時間は約３０分であった。しかし、外径９５ｍｍφの光ファイバ母材の場合には、光ファイバの線引速度は、急速に上昇して時刻１８分頃に設定線速に到達するが、その後も上昇したのち下降に転じて、時刻４０分頃に設定線速に到達し安定する。また、外径１０５ｍｍφの光ファイバ母材の場合には、光ファイバの線引速度は、上昇が遅く、設定線速に到達するまでに要した時間は約４５分間であった。
【００４１】
以上のように、本発明に係る光ファイバ線引方法（第１および第２の実施形態に係る光ファイバ線引方法）は、光ファイバの線引速度が設定線速に到達するまでに要する時間が従来の線引方法に比べて短い。特に、第２の実施形態に係る光ファイバ線引方法の場合には、光ファイバの線引速度が設定線速に到達するまでに要する時間が短い。さらに、従来の線引方法では、光ファイバ母材の外径が異なると、光ファイバの線引速度の単位時間当たりの変化量も異なるため、光ファイバの線引速度を安定に制御するのは困難であるのに対して、本発明に係る光ファイバ線引方法では、光ファイバ母材の外径に依らずに、光ファイバの線引速度を短時間に設定線速に到達させることができる。したがって、本願発明によれば、光ファイバの不良部分の発生が少なく、且つ、その発生量のばらつきが小さい。
【００４２】
なお、従来の線引方法では、加熱炉における光ファイバ母材の加熱温度の変化によっても、光ファイバ母材の外径が変化する場合と同様に、光ファイバの線引速度の単位時間当たりの変化量が異なるため、光ファイバの線引速度を安定に制御するのは困難であるが、本発明に係る光ファイバ線引方法では、このような問題は生じないことも確認された。
【００４３】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したとおり本発明によれば、光ファイバの設定線速と実際線速との線速差に基づいて、または、線速差と実際線速の単位時間当たりの変化量とに基づいて、光ファイバ母材の供給速度が制御される。このようにすることにより、光ファイバの線引速度は、安定に設定線速に制御される。
【００４４】
特に、光ファイバの線引開始後の当初から線速差と単位時間当たりの変化量とに基づいて供給速度を制御すれば、光ファイバの線引速度は短時間のうちに設定線速に到達する。また、光ファイバの線引開始後の当初は線速差に基づいて供給速度を制御し、実際線速が設定線速の一定割合以上になった後には線速差と単位時間当たりの変化量とに基づいて供給速度を制御すれば、光ファイバの線引速度は更に短時間のうちに設定線速に到達する。さらに、光ファイバ母材の外径や加熱炉の加熱温度等の条件に依らず、略一定時間の経過後に、設定線速に到達する。
【００４５】
したがって、光ファイバの不良部分の発生量が少なく、また、その発生量のばらつきは小さく、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光ファイバ線引装置の構成図である。
【図２】光ファイバ母材の供給速度を求める演算回路の回路ブロック図である。
【図３】光ファイバ線引開始後の線速上昇時における光ファイバ線引方法の第１の実施形態の説明図である。
【図４】光ファイバ線引開始後の線速上昇時における光ファイバ線引方法の第２の実施形態の説明図である。
【図５】第１の実施形態に係る光ファイバ線引方法による線引の実験結果のグラフである。
【図６】第２の実施形態に係る光ファイバ線引方法による線引の実験結果のグラフである。
【図７】従来の光ファイバ線引方法による線引の実験結果のグラフである。
【符号の説明】
１…母材供給装置、２…光ファイバ母材、３…加熱炉、４…光ファイバ、５…外径測定器、６…キャプスタン、７…プライマリコーディングダイス、８…コーティング樹脂液、９…樹脂硬化炉、１０…光ファイバ素線、１１…巻取機、１２…モータ、１３…ドライバ、１４…演算部、２１，２２…減算器、２３，２４…乗算器、２５…加算器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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