(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スポット指示手段から対象平面に対してスポット光を照射すると共に、当該スポット指示手段が備える位置情報発信手段から発信される信号を３次元計測手段で受信し、前記スポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を取得し、他方、位置検出手段によって前記対象平面の位置情報を取得し、これらの取得情報を基にして演算手段によって同一の空間座標系における前記スポット光の空間直線の式及び前記対象平面の平面の式を求め、前記スポット光の空間直線と前記対象平面との交点座標値を算出することを特徴とする空間座標値測定方法。
【請求項２】
スポット指示手段から対象平面に対してスポット光を照射すると共に、当該スポット指示手段が備える位置情報発信手段から発信される信号を３次元計測手段で受信し、前記スポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を求めるために位置情報発信手段の発信源の位置情報を取得し、他方、位置検出手段によって前記対象平面の位置情報を取得し、これらの取得情報を基にして演算手段によって同一の空間座標系における前記スポット光の空間直線の式及び前記対象平面の平面の式を求め、前記スポット光の空間直線と前記対象平面との交点座標値を算出することを特徴とする空間座標値測定方法。
【請求項３】
対象平面に対してスポット光を照射する手段及び位置情報発信手段を備えたスポット指示手段と、
前記位置情報発信手段から発信される信号を受信し、前記スポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を出力する３次元計測手段と、
前記対象平面の位置を検出しその位置情報を出力する位置検出手段と、
前記３次元計測手段及び位置検出手段からの情報を基にして、同一の空間座標系における前記スポット光の空間直線の式及び前記対象平面の平面の式を求め、前記スポット光の空間直線と前記対象平面との交点座標値を算出する演算手段と、
を備えたことを特徴とする空間座標値測定装置。
【請求項４】
前記スポット指示手段の位置情報発信手段は少なくとも２以上の発光素子を離間して配設したものであり、前記スポット指示手段はスポット光を発するレーザ照射手段を備え、該レーザ照射手段の発するスポット光の光軸と前記位置情報発信手段の２個の発光素子を結ぶ直線とが一致又は近接することを特徴とする請求項３に記載の空間座標値測定装置。
【請求項５】
前記スポット指示手段の位置情報発信手段は３個の発光素子を一直線上に並ばないように配置したものであり、前記スポット指示手段は前記３個の発光素子に対して既知の位置関係で設けたレーザ照射手段を有することを特徴とする請求項３に記載の空間座標値測定装置。
【請求項６】
前記発光素子は、赤外線を発する発光素子であることを特徴とする請求項４又は５に記載の空間座標値測定装置。
【請求項７】
前記３次元計測手段は、所定の距離だけ離間して配設した複数の受光素子で構成され、前記受光素子は、赤外線のみに高い受光感度を有する波長制限された受光素子であることを特徴とする請求項３〜６のいずれか１項に記載の空間座標値測定装置。
【請求項８】
検査の対象平面を保持する保持手段と、
当該保持手段に少なくとも平行移動、回転及び揺動のいずれかを行わせるための駆動手段と、
前記保持手段の平行移動量、回転角度及び揺動角度を検出してその位置情報を出力する位置検出手段と、
前記対象平面に照明光を照射する照射手段と、
前記対象平面の欠陥箇所をスポット光で指示する手段及び位置情報発信手段を備えたスポット指示手段と、
前記位置情報発信手段から発信される信号を受信し、前記スポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を出力する３次元計測手段と、
前記位置検出手段及び３次元計測手段からの情報を基にして、同一の空間座標における前記スポット光の空間直線の式及び前記対象平面の平面の式を求め、前記スポット光の空間直線と前記対象平面との交点にある欠陥箇所の空間座標値を算出する演算手段と、
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項９】
前記スポット指示手段の位置情報発信手段は少なくとも２以上の発光素子を離間して配設したものであり、前記スポット指示手段はスポット光を発するレーザ照射手段を備え、該レーザ照射手段の発するスポット光の光軸と前記位置情報発信手段の２個の発光素子を結ぶ直線とが一致又は近接することを特徴とする請求項８に記載の欠陥検査装置。
【請求項１０】
前記スポット指示手段の位置情報発信手段は３個の発光素子を一直線上に並ばないように配置したものであり、前記スポット指示手段は前記３個の発光素子に対して既知の位置関係で設けたレーザ照射手段を有することを特徴とする請求項８に記載の欠陥検査装置。
【請求項１１】
前記発光素子は、赤外線を発する発光素子であることを特徴とする請求項９又は１０に記載の欠陥検査装置。
【請求項１２】
前記３次元計測手段は、所定の距離だけ離間して配設した３個の受光素子で構成され、該受光素子は、赤外線のみに高い受光感度を有する波長制限された受光素子であることを特徴とする請求項８〜１１のいずれか１項に記載の欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平面上の任意の点の空間座標値を測定する方法に関し、詳しくは、対象平面上の測定点をスポット光で指示し、当該スポット光の空間直線の式と対象平面の平面の式からその交点の座標を演算して求めることによって、測定点の空間座標値を測定する空間座標値測定方法及びその測定装置並びに当該装置を応用した基板等の欠陥検査装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、検査対象の平面の欠陥部を検出する欠陥検査装置には、特開平１０−１０３９１６号公報に開示のものがある。
この欠陥検査装置は、検査対象の平面を３次元的に回転及び揺動させる回転揺動手段と、検査対象の平面の回転角度及び揺動角度を検出する角度検出手段と、検査対象の平面に検査用照明光を照射する照射手段と、検査の対象平面を回転及び揺動させて発見された欠陥箇所を指示する例えばレーザ光を発射する指示手段と、この指示手段の指示データ及び欠陥箇所からのレーザ光の反射光を取り込むＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメラから出力された画像データ及び上記角度検出手段から検出された検出データに基づいて欠陥箇所の位置を示す座標データを演算する画像処理装置とを備えたものである。
【０００３】
この欠陥検査装置は、検査対象の平面（例えば、半導体ウエハ、ガラス基板またはプリント回路基板等）に様々な方向から強い外部照明光を与え検査の対象平面表面の損傷、異物、欠陥等からの散乱光により欠陥箇所を視認し、当該欠陥箇所を指示手段のレーザ光でスポット指示して、その欠陥箇所で反射されたレーザ光をＣＣＤカメラに取り込めるようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の欠陥検査装置においては、ＣＣＤカメラは一般に固定されているため欠陥箇所におけるレーザ光の反射方向とＣＣＤカメラの取り付け位置とが一致しない場合に、欠陥箇所の位置座標を演算処理するのに十分な光量の受光が得られず検査精度を低下させる問題があった。
【０００５】
また、強い外部照明光は、検査対象の平面の他の欠陥箇所において反射光を生成させ、または欠陥検査装置の本体部等において反射光を生成させる。これらの反射光をＣＣＤカメラが取り込んだ場合は、この反射光がノイズとなりスポット指示したレーザ光の欠陥箇所における微弱な反射光の受光感度を低下させ検査精度を劣化させる問題があった。
【０００６】
さらにまた、ＣＣＤカメラの受光感度を上げるためＣＣＤカメラを検査対象の平面に近づけて配置しようとした場合には、該検査対象の平面の回転及び揺動等の自由な運動を妨げる等、検査装置の設計自由度を制約する問題があった。
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、対象平面上の測定点をスポット光で指示し、当該スポット光の空間直線の式と対象平面の平面の式からその交点の座標を演算して求めることによって、測定点の空間座標値を測定する空間座標値測定方法及びその測定装置並びに当該装置を応用した基板等の欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明による空間座標値測定方法は、スポット指示手段から対象平面に対してスポット光を照射すると共に、当該スポット指示手段が備える位置情報発信手段から発信される信号を３次元計測手段で受信し、前記スポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を取得し、他方、位置検出手段によって前記対象平面の位置情報を取得し、これらの取得情報を基にして演算手段によって同一の空間座標系における前記スポット光の空間直線の式及び前記対象平面の式を求め、前記スポット光の空間直線と前記対象平面の平面との交点座標値を算出するものである。
【０００８】
本発明の他の空間座標値測定方法は、スポット指示手段から対象平面に対してスポット光を照射すると共に、当該スポット指示手段が備える位置情報発信手段から発信される信号を３次元計測手段で受信し、前記スポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を求めるために位置情報発信手段の発信源の位置情報を取得し、他方、位置検出手段によって前記対象平面の位置情報を取得し、これらの取得情報を基にして演算手段によって同一の空間座標系における前記スポット光の空間直線の式及び前記対象平面の平面の式を求め、前記スポット光の空間直線と前記対象平面との交点座標値を算出するものである。
【０００９】
また、本発明の空間座標値測定装置は、対象平面に対してスポット光を照射する手段及び位置情報発信手段を備えたスポット指示手段と、前記位置情報発信手段から発信される信号を受信し、前記スポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を出力する３次元計測手段と、前記対象平面の位置を検出しその位置情報を出力する位置検出手段と、前記３次元計測手段及び位置検出手段からの情報を基にして、同一の空間座標系における前記スポット光の空間直線の式及び前記対象平面の平面の式を求め、前記スポット光の空間直線と前記対象平面との交点座標値を算出する演算手段と、を備えたものである。
【００１０】
このような構成により、対象平面の任意の測定点をスポット指示手段のスポット光で指示すると共に、当該スポット光の空間直線の式をスポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を基に演算して求め、他方、対象平面の式を位置検出手段で取得した位置情報を基に演算して求め、上記二つの式について同一の座標系で演算してその交点座標値を算出し、上記測定点の空間座標値を測定する。これにより、外部照明光の影響を受けることなく対象平面の任意の測定点の空間座標値を測定できる。
【００１１】
また、前記スポット指示手段の位置情報発信手段は少なくとも２以上の発光素子を離間して配設したものであり、前記スポット指示手段はスポット光を発するレーザ照射手段を備え、該レーザ照射手段の発するスポット光の光軸と前記位置情報発信手段の２個の発光素子を結ぶ直線とが一致又は近接するようにしたものである。これにより、上記２個の発光素子の空間座標を測定することによって、当該空間座標からスポット光の空間直線の式を求めることができ、対象平面の任意の測定点の空間座標値の計算が容易となる。
【００１２】
または、前記スポット指示手段の位置情報発信手段は３個の発光素子を一直線上に並ばないように配置したものであり、前記スポット指示手段は前記３個の発光素子に対して既知の位置関係で設けたレーザ照射手段を有するようにしたものである。
そして、前記発光素子は、赤外線を発する発光素子としたものである。可視光の外部照明光とは異なる波長を有する赤外線によって、スポット光の空間直線の式に係わる２点の空間座標を測定するので外部照明光の影響を受けることなく対象平面の任意の測定点の空間座標値が測定できる。
【００１３】
さらにまた、前記３次元計測手段は、所定の距離だけ離間して配設した複数の受光素子で構成され、該受光素子は、赤外線のみに高い受光感度を有する波長制限された受光素子である。可視光の外部照明光の影響を受けることなく対象平面の任意の測定点の空間座標値が測定できる。
また、本発明の欠陥検査装置は、検査の対象平面を保持する保持手段と、当該保持手段に少なくとも平行移動、回転及び揺動のいずれかを行わせるための駆動手段と、前記保持手段の平行移動量、回転角度及び揺動角度を検出してその位置情報を出力する位置検出手段と、前記対象平面に照明光を照射する照射手段と、前記対象平面の欠陥箇所をスポット光で指示する手段及び位置情報発信手段を備えたスポット指示手段と、前記位置情報発信手段から発信される信号を受信し、前記スポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を出力する３次元計測手段と、前記位置検出手段及び３次元計測手段からの情報を基にして、同一の空間座標における前記スポット光の空間直線の式及び前記対象平面の平面の式を求め、前記スポット光の空間直線と前記対象平面との交点にある欠陥箇所の空間座標値を算出する演算手段と、を備えたものである。
【００１４】
このような構成により、強い外部照明光を与え検査の対象平面の損傷、異物、欠陥等からの散乱光等の光学現象により欠陥箇所を視認し、当該欠陥箇所をスポット指示手段のスポット光で指示すると共に、当該スポット光の空間直線の式をスポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を基に演算して求め、他方、対象平面の式を位置検出手段の位置情報を基に演算して求め、上記二つの式について同一の座標系で演算してその交点座標値を算出し、上記測定点の空間座標値を測定する。これにより、外部照明光の影響を受けることなく検査の対象平面の欠陥箇所の空間座標値を測定できる。
【００１５】
そして、前記スポット指示手段の位置情報発信手段は少なくとも２以上の発光素子を離間して配設したものであり、前記スポット指示手段はスポット光を発するレーザ照射手段を備え、該レーザ照射手段の発するスポット光の光軸と前記位置情報発信手段の２個の発光素子を結ぶ直線とが一致又は近接するようにしている。上記２個の発光素子の空間座標を測定することにより、当該空間座標からスポット指示手段の姿勢に無関係にスポット光の空間直線の式を求めることができ、検査の対象平面の欠陥箇所の空間座標値の計算が容易となる。
【００１６】
または、前記スポット指示手段の位置情報発信手段は３個の発光素子を一直線上に並ばないように配置したものであり、前記スポット指示手段は前記３個の発光素子に対して既知の位置関係で設けたレーザ照射手段を有するようにしたものである。
そして、前記発光素子は、赤外線を発する発光素子である。可視光の外部照明光とは異なる波長を有する赤外線によって、スポット光の空間直線の式に係わる２点の空間座標を測定するので外部照明光の影響を受ることなく検査の対象平面の欠陥検査をするができる。
【００１７】
そして、前記３次元計測手段は、所定の距離だけ離間して配設した複数の受光素子で構成され、該受光素子は、赤外線のみに高い受光感度を有する波長制限された受光素子である。これにより、可視光の外部照明光の影響を受けることなく検査の対象平面の欠陥箇所の空間座標値の測定が可能である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明による空間座標値測定装置の第１の実施形態を示す概略構成図である。この空間座標値測定装置１は、スポット指示手段２と、３次元計測手段３と、対象平面４の位置を検出する位置検出手段５と、演算手段６と、制御手段７とを有する。
【００１９】
スポット指示手段２は、図２に示すように、そのトップ面に当該スポット指示手段２の空間位置を認識させるための位置情報発信手段２１を備える。この位置情報発信手段２１は、一直線上に並ばないように例えば三角形状に配設したＬＥＤ等からなる発光素子（発信源）Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３で構成され、当該発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３で赤外線を発光し、スポット指示手段２の位置を知らせる光信号を発信するようになっている。発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３は、後述の制御手段７によって所定の時間差をおいて所定期間だけ順次発光する。あるいはまた、発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３に対してそれぞれ異なる発光状態を呈するようにさせてもよい。
【００２０】
また、上記位置情報発信手段２１と略同一平面内にレーザ照射手段としてのレーザ発振器２２を備え、レーザ光線のスポット光Ｂを発射するようにするとともに、当該スポット光Ｂの光軸が上記三角形状に配設した発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３のうち発光素子Ｓ１と当該発光素子Ｓ１の対向辺である発光素子Ｓ２及びＳ３の中点Ｐとを結ぶ直線と一致又は近接するように予め調整してある。なお、上記レーザ照射手段としては、光ファイバなどでレーザ光を誘導して照射するレーザ照射器であってもよい。さらに、スポット指示手段２は、その把持部２３にトリガースイッチ２４を備え、測定開始を示すトリガー信号を発するようにされている。
【００２１】
３次元計測手段３は、上記発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の発する赤外線のみに感度を有する波長制限された３個の受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３で構成され、例えばＰＳＤ（位置検出素子）、ラインセンサー等からなる。また、受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ所定の距離（図１においてはＬ）だけ離間して配設されている。これらの受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３は所定のラインに沿った方向から入射する光に対して高い受光感度を有するものであり、隣合う受光素子Ｔ１とＴ２及びＴ２とＴ３の受光感度のラインは互いに直交する態様をなしている。すなわち、図１においては、Ｔ１とＴ３は３次元計測手段３の長手方向、即ち、図９で説明するＧ２空間座標系のＹ”軸に沿う方向に高い受光感度を有し、Ｔ２は同空間座標系においてＸ”軸方向に高い受光感度を有するようにされる。
【００２２】
３次元計測手段３には制御手段７が接続され、前記スポット指示手段２と３次元計測手段３と制御手段７とで、図３に示すように、３次元位置検出手段８を構成している。ここで、３次元計測手段３は、スポット指示手段２の発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の方位角を入射光の直交成分に分解してその入射角度を検出する角度検出回路３１ａ、３１ｂ、３１ｃを備えている。また、制御手段７は、スポット指示手段２のトリガースイッチ２４のトリガー信号に基づいて、発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の発光状態及び角度検出回路３１ａ、３１ｂ、３１ｃの検出タイミングを制御する制御回路７１と、上記発光素子Ｓ１〜Ｓ３を選択する発光素子選択手段７２と、上記発光素子Ｓ１〜Ｓ３の点灯を切換える点灯切換手段７３とを備えている。なお、制御手段７は、上記角度検出回路３１ａ〜３１ｃから入力した角度データを時系列的に後段の演算手段６に出力する作用もなす。
【００２３】
また、位置検出手段５は、図４に示すように、対象平面４の３次元平行移動距離、回転角度及び揺動角度をそれぞれ検出するエンコーダ等からなる検出器５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ、５１ｅと、Ｘ軸変移量を計測するＸ軸変移量計測回路５２、Ｙ軸変移量を計測するＹ軸変移量計測回路５３、Ｚ軸変移量を計測するＺ軸変移量計測回路５４、回転角度を計測する回転角度θ計測回路５５、揺動角度を計測する揺動角度ψ計測回路５６、及びそれぞれの計測結果を後段の演算手段６に出力する出力回路５７とを備えている。なお、対象平面４を自動的に動かすための駆動手段を備えることも可能であるが、ここでは、そのような駆動手段を備えていない場合を例に示している。
【００２４】
演算手段６は、図５に示すように、制御手段７からの角度データ、位置検出手段５からの位置検出データを入力する入力部６１と、これらのデータを基にスポット指示手段２のスポット光Ｂで指示された対象平面４上の測定点Ａの空間座標値を演算して求める演算部６２と、演算経過を一時保存するメモリ６３と、演算結果を蓄積する蓄積部６４と、演算結果を出力する出力部６５と、演算結果を表示する表示部６６とを備えている。
【００２５】
次に、このように構成された空間座標値測定装置を用いて空間座標値を測定する方法を、図６のフローチャートを参照して説明する。まず、対象平面４の面上の任意の測定点Ａに対してスポット指示手段２からレーザ光線のスポット光Ｂを照射する（ＳＴ１）。次に、トリガースイッチ２４をＯＮして測定を開始する（ＳＴ２）。測定開始と共に発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３が所定の発光状態、例えば時間差をおいて順次発光しそれぞれの位置情報に係る赤外線を発信する（ＳＴ３）。３次元計測手段３が、受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３で上記発信された赤外線を受光して、各発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の赤外線の入射角度を検出し、角度データを出力する（ＳＴ４）。そして、演算手段６において上記角度データを基に発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標値を順次演算する（ＳＴ５）。ここでは、発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標値についての演算が全て終了するまで演算は繰り替えされる（ＳＴ６）。
【００２６】
ＳＴ６において演算が全て終了した場合は（ＹＥＳ）、次のステップに進んで発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標値を対象平面４と同一の座標系に変換する演算が演算手段６においてなされる（ＳＴ７）。当該演算は、発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の全ての空間座標値の座標変換が終了するまで続けられる（ＳＴ８）。ＳＴ８において座標変換が終了すると（ＹＥＳ）、座標変換された発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標値を用いてスポット光Ｂの空間直線の式が算出される（ＳＴ９）。そして、当該空間直線の式と別に演算して求めた対象平面４の面の式とにより両者の交点の空間座標値が演算される（ＳＴ１０）。こうして、対象平面４面上における任意の測定点Ａの空間座標値が求まる。そして、その結果は表示部６６等に出力される（ＳＴ１１）。
【００２７】
ここで、上記空間直線の式は図７を参照して次のようにして求めることができる。スポット指示手段２の位置が測定された結果、発光素子Ｓ１の空間座標が（ｘ１，ｙ１，ｚ１）、発光素子Ｓ２とＳ３の中点Ｐの座標が（ｘ２，ｙ２，ｚ２）であったとする。なお、上記各点の座標は、説明の便宜上座標変換された後の座標である。この場合、発光素子Ｓ１と中点Ｐを結ぶ直線の空間直線の式は、
0003823047.tif 000002
となる。
【００２８】
一方、対象平面４の面の式は、
ｚ＝０  …（２）
であるから、上記空間直線と対象平面４面の交点の座標値は、（２）式を（１）式に代入して
ｘ＝ｘ２＋ｚ２（ｘ１−ｘ２）／（ｚ２−ｚ１）
ｙ＝ｙ２＋ｚ２（ｙ１−ｙ２）／（ｚ２−ｚ１）
ｚ＝０
となる。
【００２９】
ところで、スポット指示手段２が備える発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標値は、次のようにして測定することができる。ここでは、図８を参照してその測定方法を説明する。なお、ここで扱う空間座標系は図９で説明する３次元計測手段３の受光素子Ｔ２を原点としたＧ２空間座標系である。そして、発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標は、それらが発する赤外線を３次元計測手段３の３個の受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３で受光することによって次のようにして求めることができる。ここでは、説明の便宜から発光素子Ｓ１の空間座標値の測定例を基に説明する。他の発光素子についても同様の考え方が適用できる。
【００３０】
前述したようにように受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３は所定のラインに沿った方向から入射する光に対してのみ高い受光感度を有する。そして、受光素子Ｔ１とＴ３は図９のＧ２空間座標系においてＹ”軸方向に感度を有し、受光素子Ｔ２はＸ”軸方向に感度を有するようにされている。
この場合、発光素子Ｓ１から発した光が受光素子Ｔ１で受光されたとき、受光素子Ｔ１はその光のＹ”成分のみに感度を有するから、受光素子Ｔ１によって図８の角度α１が測定される、同様にして、受光素子Ｔ３もＹ”成分のみに感度を有するから、受光素子Ｔ３では角度−α２が測定される。一方、受光素子Ｔ２は、Ｘ”成分のみに感度を有するため受光素子Ｔ２では角度βが測定されることになる。なお、ここでは、角度の正負符号は各座標軸の＋方向を正、−方向を負として扱っている。また、受光素子Ｔ１とＴ２及びＴ３とはそれぞれ寸法Ｌだけ離間して配設されている。これらのことを知った上で、発光素子Ｓ１の空間座標（ｘ，ｙ，ｚ）は次のようにして算出することができる。
【００３１】
即ち、図８における△ａｂｃ、△ｄｅｃ及び△ｆｇｈに対して余弦定理を適用してｘ、ｙ、ｚについて求める。
先ず、△ａｂｃより
（ｙ＋Ｌ）／ｚ＝tanα１  …（３）
また、△ｄｅｃより
（Ｌ−ｙ）／ｚ＝tan（−α２）  …（４）
また、△ｆｇｈより
ｘ／ｚ＝tanβ  …（５）
上記（３）、（４）、（５）式より、Ｓ１のｘ、ｙ、ｚ座標値は、
ｘ＝２Ｌtanβ／（tanα１−tanα２）
ｙ＝Ｌ（tanα１＋tanα２）／（tanα１−tanα２）
ｚ＝２Ｌ／（tanα１−tanα２）
となる。
【００３２】
次に、空間座標系の変換方法について説明する。
図９に示すように、本発明の空間座標値測定装置１は、３つの座標系で考えることができる。即ち、当該装置の図示せぬ本体部の所定の位置を原点とする固定のＧ空間座標系（以下、Ｇ（ｘ，ｙ，ｚ）座標系と記す）と、対象平面４または当該対象平面を保持する図示せぬ保持手段の所定の位置を原点とするＧ１空間座標系（以下、Ｇ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系と記す）及び３次元計測手段３の所定の位置（図９では受光素子Ｔ２）を原点とするＧ２空間座標系（以下、Ｇ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系と記す）である。
【００３３】
ここで、Ｇ（ｘ，ｙ，ｚ）座標系とＧ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系の関係は、
Ｇ１（ｘ，ｙ，ｚ）＝Ｇ（ｘ，ｙ，ｚ）−Ｎ（ｘ’，ｙ’，ｚ’）…（６）
で表される。Ｎ（ｘ’，ｙ’，ｚ’）は原点の平行移動量を示し、Ｇ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系の原点は固定点ではないからｘ’、ｙ’、ｚ’は変数である。
さらに、Ｇ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系、即ち、対象平面４は少なくとも回転及び揺動が可能であるから、回転角をθ、揺動角をψとし、回転に係る関数をＭ（θ，ψ）とすると、（６）式は
0003823047.tif 000003
で表される。
【００３４】
次に、Ｇ（ｘ，ｙ，ｚ）座標系とＧ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系の関係を説明する。Ｇ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系はＧ（ｘ，ｙ，ｚ）座標系を所定の距離だけ平行移動した固定空間座標系である。  ここで、平行移動量をＫ（ｌ，ｍ，ｎ）とすると、Ｇ（ｘ，ｙ，ｚ）座標系とＧ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系は、
Ｇ（ｘ，ｙ，ｚ）＝Ｇ２（ｘ，ｙ，ｚ）＋Ｋ（ｌ，ｍ，ｎ）…（８）
の関係を有する。
【００３５】
ところで、前述したようにスポット指示手段２の位置を決定する発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標はＧ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系で測定されたものである。従って、これらの空間座標に基づいて導き出される空間直線（スポット光Ｂの輝線）は、Ｇ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系に属することになる。一方、対象平面４は上記したようにＧ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系に属する。従って、上記空間直線と上記照明対象４の交点座標を求めるためには、Ｇ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系とＧ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系のいずれかに統一して、同一の空間座標系の下で扱う必要がある。そこで、空間座標変換が必要になる。ここでは、Ｇ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系をＧ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系に変換する場合を説明する。
【００３６】
そして、Ｇ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系をＧ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系に変換するための式は、（８）式を（７）式に代入することによって求められる。即ち、
0003823047.tif 000004
である。
【００３７】
このようにして、Ｇ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系で測定された発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標はＧ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系に変換され、Ｇ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系におけるスポット光Ｂに係る空間直線が導き出される。そして、Ｇ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系の下に上記空間直線と対象平面４との交点座標値が求められる。
【００３８】
以上詳述したように、本発明の空間座標値測定装置によれば、対象平面４の測定点Ａに対してスポット指示手段２からスポット光Ｂを照射し、スポット指示手段２の位置情報に基づいて上記スポット光Ｂの空間直線の式を導き、当該空間直線と上記対象平面との交点（測定点Ａ）の空間座標値を演算して求めるようにしたものであり、しかもスポット指示手段２の位置情報は発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３が発する赤外線であり、かつ３次元計測手段３の受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３は当該赤外線にのみ感度を有する波長制限されたものであるため、可視光である外部照明光の影響を受けることなくスポット指示手段２の空間位置を高精度に測定することができる。従って、上記位置情報に基づいて演算して求められる上記対象平面４の測定点Ａの空間座標値も高精度に求めることができる。
【００３９】
また、スポット指示手段２の位置を測定する３次元計測手段３は、スポット指示手段２が備える発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の強い赤外線を受光することができるため、対象平面４から十分な距離を隔てて配設することができ、対象平面４の３次元平行移動、回転及び揺動を制限することがなく装置の設計自由度が増す。
次に、本発明による空間座標値測定装置の第２の実施形態を、図１０を参照して説明する。ここでは、第１の実施形態と異なる部分についてのみ説明する。また、図１と同一の構成要素については同一の符号を用いて示す。
【００４０】
この第２の実施形態に適用されるスポット指示手段１００は、そのトップ面に当該スポット指示手段１００の空間位置を認識させるための位置情報発信手段２１を備える。位置情報発信手段２１は、三角形状に配設したＬＥＤ等からなる発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３で構成され、当該発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３で赤外線を発光し、スポット指示手段１００の位置情報を発信するようにしている。また、上記位置情報発信手段２１と所定の距離（図１０においてはｄ）隔てた位置にレーザ発振器２２を備えている。さらに、スポット指示手段１００をその位置情報発信手段２１側から俯瞰したとき（図１０（ａ）参照）、当該レーザ発振器２２のスポット光Ｂの光軸が上記三角形状に配設した発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３のうち発光素子Ｓ１と当該発光素子Ｓ１の対向辺である発光素子Ｓ２及びＳ３の中点Ｐとを結ぶ直線と一致又は近接するように予め調整してレーザ発振器２２を備えている。また、把持部２３にはトリガースイッチ２４を備える。
【００４１】
次に、上記第２の実施形態の空間座標値測定装置を用いた測定方法を説明する。ここでは、第２の実施形態の特徴的部分であるスポット指示手段１００により、スポット光Ｂの空間直線の式を求める方法について図１１を参照して説明する。
スポット指示手段１００において、発光素子Ｓ１と中点Ｐを結ぶ直線とスポット光Ｂとは距離ｄだけずれている。この場合、ｄが予め定められた値であればこのずれ量を考慮して、発光素子Ｓ１及び中点Ｐの空間座標より前述の（１）式を用いてスポット光Ｂの空間直線の式を導き出すことができる。例えば、スポット指示手段１００の姿勢が傾いていた場合には、位置情報発信手段２１の三つの発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標値を計測し、発光素子Ｓ２とＳ３の中点Ｐの座標値を算出して、発光素子Ｓ１と中点Ｐを結ぶ直線の空間直線の式を導く。スポット光Ｂの空間直線の式は、上記線分Ｓ１・Ｐの空間直線の式を面Ｓ１Ｓ２Ｓ３の法線方向に距離ｄだけ平行移動することによって求めることができる。
【００４２】
この第２の実施形態によれば、３個の発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標を測定するようにしているので、レーザ発振器２２が上記発光素子Ｓ１、Ｓ２，Ｓ３を備えた位置情報発信手段２１面から所定の距離隔てて備えられていても、またスポット指示手段２の姿勢が傾いていた場合でもレーザ光線に係るスポット光Ｂの空間直線の式を求めることが可能である。
【００４３】
また、前述の第１の実施形態と同様に外部照明光の影響を受けることなく対象平面４の測定点Ａの空間座標値を高精度に測定することができ、また、スポット指示手段２の位置を測定する３次元計測手段３を対象平面４から十分な距離を隔てて配設することができるため、対象平面４の３次元平行移動、回転及び揺動が制限されず、装置の設計自由度が増す。
【００４４】
次に、本発明による空間座標値測定装置の第３の実施形態を、図１２を参照して説明する。ここでは、第１の実施形態と異なる部分についてのみ説明する。また、図１と同一の構成要素については同一の符号を用いて示す。
この第３の実施形態に適用されるスポット指示手段１２０は、そのトップ面に当該スポット指示手段１２０の空間位置を認識させるための位置情報発信手段１２１を備える。位置情報発信手段１２１は、二つのＬＥＤ等からなる発光素子Ｓ１、Ｓ２を離間して配置した構成を有し、当該発光素子Ｓ１、Ｓ２で赤外線を発光してスポット指示手段１２０の位置情報を発信するようにしている。また、スポット指示手段１２０の先端部には、スポット光Ｂを発射するレーザ発振器２２を備え、スポット光の光軸が上記発光素子Ｓ１とＳ２を結ぶ直線と一致又は近接するようにされている。さらにまた、把持部２３にはトリガースイッチ２４を備える。
【００４５】
次に、上記第３の実施形態の空間座標値測定装置を用いた測定方法を説明する。ここでは、第３の実施形態の特徴的部分であるスポット指示手段１２０により、スポット光Ｂの空間直線の式を求める方法について図１３を参照して説明する。
先ず、スポット指示手段１２０が備える発光素子Ｓ１とＳ２の空間座標値が計測される。この場合、上述したようにレーザ光線に係るスポット光Ｂが発光素子Ｓ１とＳ２を結ぶ直線と一致又は近接しているため、受光素子Ｓ１及びＳ２の空間座標値を基に前述の（１）式を用いてスポット光Ｂの空間直線の式が導き出せる。また、スポット光Ｂが上記発光素子Ｓ１とＳ２を結ぶ直線と一致又は近接しているため、図１３に示すように、スポット指示手段１２０の姿勢を考慮することなく発光素子Ｓ１、Ｓ２の空間座標値のみでスポット光Ｂの空間直線の式を導くことができる。
【００４６】
この第３の実施形態によれば、上記したように、スポット指示手段１２０が離隔して２個の発光素子Ｓ１、Ｓ２を備え、当該２個の発光素子Ｓ１、Ｓ２を結ぶ直線とレーザ発振器２２のスポット光Ｂの光軸とを一致させているので、スポット指示手段１２０の姿勢を考慮することなく上記２個の発光素子Ｓ１、Ｓ２の空間座標値のみから上記スポット光Ｂの空間直線の式を導くことができ計算が容易となる。
【００４７】
また、前述の第１の実施形態と同様に外部照明光の影響を受けることなく対象平面４の測定点Ａの空間座標値を高精度に測定することができ、また、スポット指示手段１２０の位置を測定する３次元計測手段３を対象平面４から十分な距離を隔てて配設することができるため、対象平面４の３次元平行移動、回転及び揺動が制限されず、装置の設計自由度が増す。
【００４８】
次に、本発明による欠陥検査装置について説明する。図１４は、本発明の欠陥検査装置を示す概略構成図である。ここでは、図１と同一の構成要素については同一の符号を用いて説明する。この欠陥検査装置１４０は、検査の対象平面１４１の保持手段１４２と、照射手段１４３と、スポット指示手段２と、３次元計測手段３と、演算手段６と、制御手段７とを有する。
【００４９】
対象平面１４１の保持手段１４２は、保持部１４４と固定手段１４５とを有し、当該固定手段１４５により半導体ウエハ、ガラス基板またはプリント回路基板等の対象平面１４１を保持部１４４に固定できるようにしている。さらに、保持部１４４は中央部をくり貫いた額縁形状とし、対象平面１４１である基板を裏面からも観察できるようにしている。また、保持手段１４２は、当該保持部１４４を少なくとも３次元平行移動、回転及揺動させる駆動手段１４６、及び保持部１４４の位置を検出する位置検出手段５を備えている。
【００５０】
図１５に示すように、駆動手段１４６は、Ｘ軸方向への平行移動を司るモータＭ１と、Ｙ軸方向への平行移動を司るモータＭ２と、Ｚ軸方向への平行移動を司るモータＭ３と、保持部を回転させるモータＭ４と、揺動させるモータＭ５とで構成される。また、位置検出手段５は、保持部１４４の３次元平行移動距離、回転角度及び揺動角度をそれぞれ検出するエンコーダ等からなる検出器５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ、５１ｅと、Ｘ軸変移量を計測するＸ軸変移量計測回路５２と、Ｙ軸変移量を計測するＹ軸変移量計測回路５３と、Ｚ軸変移量を計測するＺ軸変移量計測回路５４と、回転角度を計測する回転角度θ計測回路５５と、揺動角度を計測する揺動角度ψ計測回路５６と、それぞれの計測結果を後段の演算手段６に出力する出力回路５７とを備えている。
【００５１】
照射手段１４３は、上記保持部１４４の可動範囲外に設置された強い可視光線を発する照明光源であり、斜め方向から対象平面１４１を照明して当該対象平面１４１の面内の損傷、異物、欠陥等からの散乱光、屈折光等の光学的現象を目視観察して欠陥箇所Ｃを視認できるようにしている。
スポット指示手段２は、そのトップ面に当該スポット指示手段２の空間位置を認識させるための位置情報発信手段２１を備える。位置情報発信手段２１は、三角形状に配設したＬＥＤ等からなる発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３で構成され、当該発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３によって赤外線を発光し、スポット指示手段２の位置情報を発信するようにしている。上記発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３は、制御手段７によって所定の時間差をおいて所定期間だけ順次発光する。あるいはまた、発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３に対してそれぞれ異なる発光状態を呈するようにさせてもよい。
【００５２】
また、上記位置情報発信手段２１と略同一平面内にレーザ発振器２２を備えレーザ光線のスポット光Ｂを発射するようにするとともに、当該スポット光Ｂの光軸が上記三角形状に配設した発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３のうち発光素子Ｓ１と当該発光素子Ｓ１の対向辺である発光素子Ｓ２及びＳ３の中点Ｐとを結ぶ直線と一致又は近接するように予め調整してレーザ発振器２２を備えている（図２を参照）。さらにスポット指示手段２はその把持部２３にトリガースイッチ２４を備え、測定開始を示すトリガー信号を発するようにされている。
【００５３】
３次元計測手段３は、上記発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の発する赤外線のみに感度を有する波長制限された３個の受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３で構成され、受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ所定の距離（図１４においてはＬ）だけ離間して配設されている。これらの受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３は所定のラインに沿った方向から入射する光に対して高い受光感度を有するものであり、隣合う受光素子Ｔ１とＴ２及びＴ２とＴ３の受光感度のラインは互いに直交する態様をなしている。図１４においては、Ｔ１とＴ３は３次元計測手段３の長手方向、即ち、図９に示すＧ２（ｘ，ｙ，ｚ）座標系のＹ”軸に沿う方向に高い受光感度を有し、Ｔ２は同座標系においてＸ”軸方向に高い受光感度を有するようにされる。
【００５４】
３次元計測手段３には制御手段７が接続され、前記スポット指示手段２と３次元計測手段３と制御手段７とで、図３に示すように、３次元位置検出手段８を構成している。ここで、３次元計測手段３は、スポット指示手段２の発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の方位角を入射光の直交成分に分解してその入射角度を検出する角度検出回路３１ａ、３１ｂ、３１ｃを備えている。また、制御手段７は、スポット指示手段２のトリガースイッチ２４のトリガー信号に基づいて、発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の発光状態及び角度検出回路３１ａ、３１ｂ、３１ｃの検出タイミングを制御する制御回路７１と、上記発光素子Ｓ１〜Ｓ３を選択する発光素子選択手段７２と、上記発光素子Ｓ１〜Ｓ３の点灯を切換える点灯切換手段７３とを備えている。なお、制御手段７は、上記角度検出回路３１ａ、３１ｂ、３１ｃから入力した角度データを時系列的に後段の演算手段６に出力する作用もなす。
【００５５】
演算手段６は、図５にブロック図で示すように、制御手段７からの角度データ、位置検出手段５からの位置検出データを入力する入力部６１と、これらのデータを基にスポット指示手段２のスポット光Ｂで指示された検査の対象平面１４１上の欠陥箇所Ｃの空間座標値を演算して求める演算部６２と、演算経過を一時保存するメモリ６３と、演算結果を蓄積する蓄積部６４と、演算結果を出力する出力部６５と、演算結果を表示する表示部６６とを備えている。
【００５６】
演算は、３次元計測手段３の角度データ及び位置検出手段からの位置検出データに基づいて行われるが、演算部６２とメモリ６３間のデータの出し入れによって演算は進行し、一連の演算の最終結果が蓄積部６４に蓄積保存される。また、演算結果は、表示部６６に表示されるが、図示せぬプリンタ等に出力することも可能である。
【００５７】
次に、このように構成された欠陥検査装置により対象平面４の欠陥を検査する状態について説明する。
先ず、保持手段１４２の保持部１４４に検査の対象平面１４１である基板等を設置する。次に、照射手段１４３を点灯して対象平面１４１を照明する。この状態で、保持部１４４、即ち対象平面１４１は駆動手段１４６の駆動によって３次元平行移動、回転及び揺動され、対象平面１４１の欠陥箇所Ｃにおける散乱光、屈折光等の光学現象が最も明確に確認できる位置に固定される。このとき、対象平面１４１の面の式が演算手段６によって求められる。
【００５８】
欠陥箇所Ｃが発見されると、スポット指示手段２の発するスポット光Ｂを照射して当該欠陥箇所Ｃを指示する。この状態で、スポット指示手段２のトリガースイッチ２４がＯＮされると、次に、スポット指示手段２のトップ面に配設した位置情報発信手段２１の発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の発する赤外線の光に基づいて、３次元計測手段３によって発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の位置情報を含む光の入射角度のデータが電気信号として出力される。そして、これらの角度データを基に演算手段６で演算して発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標値が求められる（図８及び（３）式〜（５）式を参照）。この場合、３次元計測手段３の受光素子Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３は、発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３が発する赤外線に対してのみに受光感度を有する波長制限された受光素子であるため、可視光の照明光に影響されることなく発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の光だけを受信することができる。
【００５９】
演算して求められた発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標値は、３次元計測手段３を基準とするＧ２（ｘ，ｙ，ｚ，）座標系に属するものであるため、その後の演算を進めるには当該空間座標系を検査の対象平面１４１を含むＧ１（ｘ，ｙ，ｚ）座標系に変換しなければならない。これは、前述した空間座標系変換の（９）式に基づいて演算される。その後、座標変換された発光素子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の空間座標値を基にスポット光Ｂの空間直線の式が導かれ、当該空間直線と対象平面１４１の面との交点、即ち欠陥箇所Ｃの空間座標値が算出される。
【００６０】
以上説明したように、本発明の欠陥検査装置１４０によれば、照射手段１４３の強い照明光の影響を受けることなくスポット光Ｂの空間直線と検査の対象平面１４１との交点の欠陥箇所Ｃの位置が算出されるため、高精度な測定が可能となる。また、スポット指示手段２の位置を測定する３次元計測手段３及び照射手段１４３を検査の対象平面１４１から十分な距離を隔てて配設することができるため、検査の対象平面１４１の３次元平行移動、回転及び揺動が制限されず、装置の設計自由度が増す。
【００６１】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されたので、請求項１〜７に係る発明によれば、外部照明光の影響を受けることなく対象平面の測定点の空間座標値を測定することができる。従って、測定精度の高い空間座標値測定装置を提供することができる。また、スポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を測定する３次元計測手段を対象平面から十分な距離を隔てて配設することができるため、対象平面の３次元平行移動、回転及び揺動が制限されず、装置の設計自由度を増すことができる。
【００６２】
また、請求項８〜１２に係る発明によれば、欠陥箇所を指示するスポット光の空間直線と検査の対象平面との交点座標を演算により求めるものであるから、照射手段の強い照明光の影響を受けることなく欠陥箇所の測定が可能である。従って、高精度な欠陥検査装置を提供することができる。また、スポット指示手段の３次元位置及びスポット光の照射角度を測定する３次元計測手段及び照明光の照射手段を対象平面から十分な距離を隔てて配設することができるため、対象平面の３次元平行移動、回転及び揺動が制限されず、装置の設計自由度を増すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による空間座標値測定装置の第１の実施形態を示す概略構成図である。
【図２】  上記の空間座標値測定装置に適用されるスポット指示手段の概略斜視図である。
【図３】  上記の空間座標値測定装置に適用される３次元位置検出手段の概略構成を示すブロック図である。
【図４】  上記の空間座標値測定装置に適用される位置検出手段の概略構成を示すブロック図である。
【図５】  上記の空間座標値測定装置に適用される演算手段の概略構成を示すブロック図である。
【図６】  本発明による空間座標値測定方法を説明するフローチャートである。
【図７】  空間直線の式を導く方法を説明する３次元座標図である。
【図８】  空間の任意の点の空間座標を３次元計測する方法を説明するための図である。
【図９】  本発明の各空間座標の関係を説明するための図である。
【図１０】  本発明による空間座標値測定装置の第２の実施形態を示す概略構成図であり、（ａ）はスポット指示手段の上面図、（ｂ）はその側面図である。
【図１１】  上記の空間座標値測定装置に適用されるスポット指示手段の姿勢が傾いている場合に、スポット光の空間直線を導く方法を説明する図である。
【図１２】  本発明による空間座標値測定装置の第３の実施形態を示す概略構成図であり、（ａ）はスポット指示手段の上面図、（ｂ）はその側面図である。
【図１３】  上記の空間座標値測定装置に適用されるスポット指示手段の姿勢とスポット光の空間直線の式との関係を説明する図である。
【図１４】  本発明による欠陥検査装置を示す概略構成図である。
【図１５】  上記の欠陥検査装置に適用される駆動手段及び位置検出手段の概略構成を示したブロック図である。
【符号の説明】
１…空間座標値測定装置
２，１００，１２０…スポット指示手段
３…３次元計測手段
４…対象平面
５…位置検出手段
６…演算手段
２１，１２１…位置情報発信手段
２２…レーザ発振器
１４０…欠陥検査装置
１４１…検査の対象平面
１４２…保持手段
１４６…駆動手段
１４３…照射手段
Ａ…測定点
Ｂ…スポット光
Ｃ…欠陥箇所
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３…発光素子（発信源）
Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３…受光素子
【図１】
0003823047.tif 000005
【図２】
0003823047.tif 000006
【図３】
0003823047.tif 000007
【図４】
0003823047.tif 000008
【図５】
0003823047.tif 000009
【図６】
0003823047.tif 000010
【図７】
0003823047.tif 000011
【図８】
0003823047.tif 000012
【図９】
0003823047.tif 000013
【図１０】
0003823047.tif 000014
【図１１】
0003823047.tif 000015
【図１２】
0003823047.tif 000016
【図１３】
0003823047.tif 000017
【図１４】
0003823047.tif 000018
【図１５】
0003823047.tif 000019