(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入口室（１４）と出口室（１９）との間に分離薄膜（１３）を配設し、前記入口室に導管（１５）と排気管（１６）を接続し、前記出口室をポンプ（２０）を経て貯蔵槽に接続して薄膜濾過装置（２９）を構成し、液体燃料の貯蔵槽の内部圧力を解放するために、貯蔵槽の液面上に発生した燃料蒸気と空気の混合物を排気管へ流れさせ、燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する方法において、燃料蒸気と空気の混合物を貯蔵槽から前記導管と前記入口室を経て前記薄膜濾過装置（２９）の分離薄膜を貫流させる過程と、前記ポンプにより前記出口室の負圧を発生させて前記出口室に燃料蒸気に富む透過成分を生じさせかつ貯蔵槽へ戻す過程と、燃料蒸気に富む透過成分を激減された残留成分を前記入口室に生じさせる過程と、前記残留成分を前記排気管の端部に設けた圧力弁（２６）を押し開いて大気へ放出させる過程と、前記圧力弁が開いている時前記ポンプを作動し、前記圧力弁が閉じている時前記ポンプを停止する過程とを具備することを特徴とする、貯蔵槽から排気管へ排出される燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する方法。
【請求項２】
入口室（１４）と出口室（１９）との間に分離薄膜（１３）を配設し、前記入口室に導管（１５）と排気管（１６）を接続し、前記出口室をポンプ（２０）を経て貯蔵槽に接続して薄膜濾過装置（２９）を構成し、液体燃料の貯蔵槽の内部圧力を解放するために、貯蔵槽の液面上に発生した燃料蒸気と空気の混合物を排気管へ流れさせ、燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する方法において、燃料蒸気と空気の混合物を貯蔵槽から前記導管と前記入口室を経て前記薄膜濾過装置（２９）の分離薄膜を通過させる過程と、前記ポンプにより前記出口室に負圧を発生させて前記出口室に燃料蒸気に富む透過成分を生じさせかつ貯蔵槽へ戻す過程と、燃料蒸気に富む透過成分を激減された残留成分を前記入口室に生じさせる過程と、前記残留成分を前記排気管の端部に設けた圧力弁（２６）を押し開いて大気へ放出させる過程と、貯蔵槽から液体燃料を取り出す給油ガン（９）または貯蔵槽へ液体燃料を補給する充填装置（７）の充填弁（７ａ）を開いた時前記ポンプを作動し、前記圧力弁が開いた時にも前記ポンプを作動し、前記給油ガンおよび前記充填弁を閉じかつ前記圧力弁が閉じた時前記ポンプを停止する過程とを具備することを特徴とする、貯蔵槽から排気管へ排出される燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する方法。
【請求項３】
液体燃料の貯蔵槽の内部圧力を解放するために、貯蔵槽の液面上に発生した燃料蒸気と空気の混合物を排気管へ排出するようにした、燃料蒸気と空気の混合物から空気を分離するものにおいて、入口室（１４）と出口室（１９）との間に分離薄膜（１３）を配設してなる薄膜濾過装置（２９）と、貯蔵槽の液面上に発生した燃料蒸気と空気の混合物を前記薄膜濾過装置の入口室へ流れさせる導管（１５）と、燃料蒸気に富む透過成分が滞留する前記薄膜濾過装置の出口室に負圧を生じさせるポンプ（２０）と、前記出口室の透過成分を前記ポンプにより貯蔵槽へ戻す第２の導管（１５ａ）と、前記ポンプを制御する制御スイツチ（２１，２８）と、前記薄膜濾過装置の入口室で透過成分を激減された残留成分を外部へ放出するための排気管（１６）と、前記排気管の端部に備えた前記残留成分を外部へ放出させる圧力弁とを備えており、前記制御スイツチは、前記圧力弁が開いた時前記ポンプを作動し、前記圧力弁が閉じた時前記ポンプを停止することを特徴とする、貯蔵槽から排気管へ排出される燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する装置。
【請求項４】
貯蔵槽の液面上に発生した燃料蒸気と空気の混合物を導管（１５）を経て、入口室（１４）と出口室（１９）との間に分離薄膜（１３）を配設してなる薄膜濾過装置（２９）へ流れさせ、前記ポンプにより前記薄膜濾過装置の出口室に負圧を発生させて燃料蒸気に富む透過成分を生じさせかつ透過成分を貯蔵槽へ戻し、かつ前記薄膜濾過装置の入口室の燃料蒸気を含まない残留成分を排気管へ流れさせるようにし、前記排気管の正圧が所定値を超えるか、前記排気管を開閉する前記圧力弁が開いた時前記ポンプを作動し、前記排気管の正圧が所定値以下になるか、前記圧力弁が閉じた時前記ポンプを停止する、請求項３に記載の貯蔵槽から排気管へ排出される燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する装置。
【請求項５】
前記排気管の正圧が所定値を超えた時前記圧力弁が開いて前記ポンプを作動して前記薄膜濾過装置の出口室に負圧を発生させ、貯蔵槽の液面上に発生した燃料蒸気と空気の混合物を前記薄膜濾過装置の入口室へ流れさせ、前記出口室に生じた燃料蒸気に富む透過成分を貯蔵槽へ戻し、かつ前記入口室の燃料蒸気を含まない残留成分を前記排気管へ排出するようにし、貯蔵槽へ液体燃料を補給する充填装置（７）の充填弁（７ａ）または液体燃料の取出装置（４）の給油ガン（９）を開いた時にも前記圧力弁が開いて前記ポンプを作動する、請求項３に記載の貯蔵槽から排気管へ排出される燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する装置。
【請求項６】
入口室（１４）と出口室（１９）との間に分離薄膜（１３）を配設して薄膜濾過装置（２９）を構成し、液体燃料の貯蔵槽の上部空域を導管（１５）を経て前記入口室に接続し、前記入口室に排気管（１６）を接続し、前記薄膜濾過装置の出口室を第２の導管（１５ａ）を経て貯蔵槽に接続し、前記出口室に負圧を発生させて燃料蒸気に富む透過物を貯蔵槽へ戻すポンプ（２０）を第２の導管（１５ａ）の途中に接続し、前記ポンプを制御する圧力スイツチ（２３）の受圧部（２２）を貯蔵槽の内部に臨ませ、貯蔵槽の内圧が所定値を超えた時、前記受圧部の信号に基づき前記圧力スイツチが閉じて前記ポンプを作動し、貯蔵槽の内圧が所定値以下の時、前記受圧部の信号に基づき前記圧力スイツチが開いて前記ポンプを停止することを特徴とする、貯蔵槽から排気管へ排出される燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する装置。
【請求項７】
入口室（１４）と出口室（１９）との間に分離薄膜（１３）を配設して薄膜濾過装置（２９）を構成し、液体燃料の貯蔵槽の上部空域を導管（１５）を経て前記入口室に接続し、前記薄膜濾過装置の出口室を第２の導管（１５ａ）を経て貯蔵槽に接続し、前記出口室に負圧を発生させて燃料蒸気に富む透過物を生じさせかつ透過物を貯蔵槽へ戻すポンプ（２０）を第２の導管（１５ａ）の途中に接続し、前記入口室に接続した排気管（１６）の端部に前記入口室の透過成分を激減された残留成分の圧力により開かれる圧力弁（２６）と貯蔵槽の内部が負圧状態の時開く負圧弁（２７）とを設け、前記圧力弁に前記ポンプの制御スイツチ（２８）を配設し、該制御スイツチにより、前記圧力弁が開いた時前記ポンプを作動し、前記圧力弁が閉じた時前記ポンプを停止することを特徴とする、貯蔵槽から排気管へ排出される燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する装置。
【発明の詳細な説明】
貯蔵槽から排気管へ排出される燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する方法および装置
本発明は容器ないし貯蔵槽から排気管を経て排出される液体燃料（炭化水素）から有害ガス（エミツシヨン）つまり液体燃料の気化物である燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する方法および装置、特に内燃機関用液体燃料を貯蔵する地下埋設貯蔵槽の過大な蒸気圧を均衡化する（大気圧にする）ために、貯蔵槽から排気管へ排出される燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する方法および装置に関するものである。
一般に、自動車用液体燃料の給油所（ガソリンスタンド）では、液体燃料は地中埋設貯蔵槽に貯蔵される。地中埋蔵貯蔵槽は内部圧力を均衡化するために、通気装置としての少なくとも１つの排気管（呼気管）により大気に開放されているので、貯蔵槽の内部圧力が許容できないような過大な値になることはない。特に、貯蔵槽から液体燃料を取り出すか貯蔵槽へ液体燃料を充填する時、液面上の空域の容量が変化するので、貯蔵槽の内部圧力を均衡化するために、外気が排気管を経て貯蔵槽の内部へ流入するか、液面上の空域の燃料蒸気と空気の混合物が排気管を経て外部（大気中）へ排出される。しかし、貯蔵槽の内部圧力は貯蔵槽の内部温度により変化し、液体燃料の蒸気圧や外気圧によつても変化する。例えば外気の導入により貯蔵槽の内部圧力（負圧）を均衡化することは、環境への影響という観点では問題がないと言える。しかし、貯蔵槽の過大な内部圧力（正圧）を均衡化するために、燃料蒸気と空気の混合物を外部へ排出することは、周囲の従事者に健康上の害を及ぼす。
貯蔵槽から液体燃料を自動車の燃料槽へ移す際に、燃料蒸気と空気の混合物の有害ガス（エミツシヨン）を減じるために、いわゆる強制還流装置が知られている。この強制還流装置は貯蔵槽から液体燃料を自動車の燃料槽へ移す際に発生する燃料蒸気と空気の混合物を、適当な真空ポンプにより吸引して貯蔵槽へ戻す。通常、この種の強制還流装置は貯蔵槽へ戻された燃料蒸気と空気の混合物の容量が、取り出された液体燃料の容量と等しくなるように運転される。上述の強制還流装置の効率を高めるには、貯蔵槽へ戻された燃料蒸気と空気の混合物の容量が、取り出された液体燃料の容量と等しいか多いことが好ましい。このため、貯蔵槽から液体燃料を取り出す際に、燃料取出量よりも多量の空気が貯蔵槽へ戻されると、貯蔵槽の内部圧力が上昇し、燃料蒸気と空気の混合物が排気管を経て周囲へ排出されることがある。一般に、排気管は濾過部材を備えておらず、また濾過部材を備えていても完全なものではないので、貯蔵槽の強制的な圧力均衡化により、自動車の燃料槽へ液体燃料を供給する際に作動する強制還流装置は効率が大幅に低下してしまう。何故なら、給油所（ガソリンスタンド）の内部領域では有害物質の発生が抑えられても、貯蔵槽の内部圧力によりある程度の燃料蒸気と空気の混合物が給油所の外部領域へ排出されるからである。
本発明の主な課題は、液体燃料貯蔵槽特に自動車用液体燃料貯蔵槽の排気管から外部領域へ発散される有害物質の量を減じる方法と装置を提供することにある。
本発明の上述の課題は、次のような構成により解決される。すなわち、本発明の方法は入口室（１４）と出口室（１９）との間に分離薄膜（１３）を配設し、前記入口室に導管（１５）と排気管（１６）を接続し、前記出口室をポンプ（２０）を経て貯蔵槽に接続して薄膜濾過装置（２９）を構成し、液体燃料の貯蔵槽の内部圧力を解放するために、貯蔵槽の液面上に発生した燃料蒸気と空気の混合物を排気管へ流れさせ、燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する方法において、燃料蒸気と空気の混合物を貯蔵槽から前記導管と前記入口室を経て前記薄膜濾過装置（２９）の分離薄膜を貫流させる過程と、前記ポンプにより前記出口室に負圧を発生させて前記出口室に燃料蒸気に富む透過成分を生じさせかつ貯蔵槽へ戻す過程と、燃料蒸気に富む透過成分を激減された残留成分を前記入口室に生じさせる過程と、前記残留成分を前記排気管の端部に設けた圧力弁（２６）を押し開いて大気へ放出させる過程と、前記圧力弁が開いている時前記ポンプを作動し、前記圧力弁が閉じている時前記ポンプを停止する過程とを具備することを特徴とする。
また、本発明の装置は液体燃料の貯蔵槽の内部圧力を解放するために、貯蔵槽の液面上に発生した燃料蒸気と空気の混合物を排気管へ排出するようにした、燃料蒸気と空気の混合物から空気を分離するものにおいて、入口室（１４）と出口室（１９）との間に分離薄膜（１３）を配設してなる薄膜濾過装置（２９）と、貯蔵槽の液面上に発生した燃料蒸気と空気の混合物を前記薄膜濾過装置の入口室へ流れさせる導管（１５）と、燃料蒸気に富む透過成分が滞留する前記薄膜濾過装置の出口室に負圧を生じさせるポンプ（２０）と、前記出口室の透過成分を前記ポンプにより貯蔵槽へ戻す第２の導管（１５ａ）と、前記ポンプを制御する制御スイツチ（２１，２８）と、前記薄膜濾過装置の入口室で透過成分を激減された残留成分を外部へ放出するための排気管（１６）と、前記排気管の端部に備えた圧力弁とを備えており、前記制御スイツチは、前記圧力弁が開いた時前記ポンプを作動し、前記圧力弁が閉じた時前記ポンプを停止することを特徴とする。
本発明では貯蔵槽から燃料蒸気と空気の混合物を、少くとも１つの分離薄膜を有する薄膜濾過装置を通過させるようにし、少くとも１つの真空ポンプにより薄膜濾過装置の透過側つまり出口室に負圧を発生させ、燃料蒸気に富む透過物（Permeate）を貯蔵槽へ戻し、燃料蒸気の少い残留物を排気管を経て外部へ排出する。
本発明による貯蔵槽の排気管の領域での有害物質の発散を削減する方法は、簡単な手段により実現できる。特に、燃料蒸気を透過させる半透過性ガス分離薄膜を使用すると、燃料蒸気と空気の混合物からかなりの燃料蒸気が、薄膜濾過装置に作用する負圧により分離される。こうして、排気管から出る残留物は殆ど環境に害を与えず、環境を破壊することはない。
本発明の好適な構成によれば、貯蔵槽の内部圧力が予め決められた所定値を超えると、真空ポンプの制御スイツチが閉じる。真空ポンプの制御スイツチは、燃料蒸気と空気の混合物が流出する時にのみ作動し、動力の浪費を抑える。また、本発明によれば、真空ポンプが停止して外気が流入する時、外気に含まれる汚染粒子により分離薄膜が目詰りする恐れがないので、貯蔵槽の内部圧力（負圧）を均衡化するために、排気管を通じて通気を行うこともできる。
本発明の他の好適な構成によれば、少くとも１つの圧力弁により排気管を閉鎖することができる。真空ポンプの制御スイツチは圧力弁が開いた時に閉じ、圧力弁が閉じた時に開く。本発明の方法では貯蔵槽の内部圧力が均衡化した時に、排気管が完全に閉鎖されるので、液体燃料と外気との混合・拡散が起らない。さらに、本発明の方法では真空ポンプを作動する例えば弁体ないし弁球からなる機械的な制御スイツチが１つだけあればよいので、極めて簡単な手段で実施できるという利点がある。
本発明の好適な構成によれば、分離薄膜の透過側つまり出口室に負圧を生じさせるために、貯蔵槽の状態に応じて燃料取出装置の給油ガンおよび／または充填装置の充填弁が開いた時真空ポンプが作動するので、特に貯蔵槽の液体燃料の充填量が多い時、燃料蒸気と空気の混合物が確実に流出し、貯蔵槽が燃料蒸気から開放されるという利点がある。すなわち、給油ガンを含む取出装置に、上述した燃料蒸気と空気の混合物のいわゆる強制還流装置を備えると、液体燃料例えばガソリンを取り出す時、燃料蒸気と空気の混合物が発生する。この時、取り出された液体燃料よりも多量の燃料蒸気と空気の混合物が給油ガンの部分から吸い込まれ、貯蔵槽の内部へ戻される。その場合、液体燃料の取出速度が遅くなり、したがつて燃料蒸気と空気の混合物の戻り速度も遅くなるので、目立つた圧力上昇が見られずに、排気管を通じて圧力均衡が達せられる。特に、真空ポンプを制御するために圧力スイツチを用いる場合は、圧力上昇を伴わない燃料蒸気と空気の混合物の緩やかな流出に圧力スイツチが応動しないと、燃料蒸気と空気の混合物は燃料蒸気に富む透過物を分散されずに周囲へ放散される恐れがある。
本発明の装置は、貯蔵槽の圧力均衡を図る時に、貯蔵槽の液面上から排気管へ排出される燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離するために、少くとも１つの分離薄膜からなる薄膜濾過装置を有し、薄膜濾過装置の残留側つまり入口室が排気管に接続され、薄膜濾過装置の燃料蒸気と空気の混合物の透過側つまり出口室が真空ポンプを経て貯蔵槽に接続される。真空ポンプは燃料蒸気に富む透過物を分離薄膜へ送り、分離薄膜の透過側つまり出口室に負圧を発生させる。圧力スイツチの受圧部は貯蔵槽の内部へ接続され、貯蔵槽の内部圧力が所定値を超えると、負圧ポンプないし真空ポンプが作動するように働く。
本発明の他の構成では、排気管は少くとも１つの圧力弁により閉鎖可能になつており、少くとも１つの制御スイツチを有する制御装置は、負圧を発生させるために、真空ポンプを圧力弁と連動させ、圧力弁が開いている時真空ポンプを駆動し圧力弁が閉じている時真空ポンプを停止する。この構造によれば、特に内燃機関用液体燃料のような液体燃料を貯蔵する貯蔵槽より流出した燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離するために、貯蔵槽を完全に閉鎖できる。
尚、本発明の他の構成では、排気管に少くとも１つの絞り部材が備えられるので、過剰な燃料蒸気と空気の混合物が貯蔵槽から排気管へ流れることはなく、したがつて、圧力スイツチが効果的に応動する。絞り部材は有孔板から構成され、配管系としての貯蔵槽の排気管に簡単に装着できる。
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明に係る有害ガス（エミツシヨン）を減じる装置を備えた給油所（ガソリンスタンド）の概略構成図である。
図２は本発明の他の実施例に係る有害ガス（エミツシヨン）を減じる方法を実施するための装置を備えた給油所（ガソリンスタンド）の概略構成図である。
図１に示すた実施例と図２に示す実施例とは、構造は実質的に同じであるが、分離薄膜の透過側つまり出口室に負圧を生じさせるための真空ポンプの制御が異なる。したがつて、本発明による有害ガス（エミツシヨン）低減装置の同じ部分と部材には同じ符号を付してある。
図１に概略構成を示すガソリンスタンド１は、貯蔵用液体燃料３を貯える貯蔵槽２を備えている。貯蔵槽２は液体燃料の取出装置４に接続される。貯蔵槽２はさらに通気装置５を備えられ、該通気装置５により貯蔵槽２と周囲６との圧力均衡が図られる。さらに貯蔵槽２は充填装置７を備えられ、充填弁７ａを開いて液体燃料を貯蔵槽２の内部へ充填できるようになつている。
取出装置４は一般に知られている計量スタンド８を備えており、該計量スタンド８は可撓性の導管１１に自動車へ液体燃料を供給するための給油ノズルないし給油ガン９を接続されている。詳細には図示していないが、取出装置４は自動車へ液体燃料を供給する時に発生する燃料蒸気と空気の混合物を貯蔵槽２へ戻すための強制還流装置１２を備えている。強制還流装置１２は一般に知られているものであるので、これ以上説明しない。
通気装置５は分離薄膜１３の残留側つまり入口室１４を導管１５を経て貯蔵槽２へ連通され、また排気管１６を経て周囲６に連通されている。この構造を詳述すると、導管１５は貯蔵槽２の液面１８よりも上方の空域１７に連通する。圧力均衡を図る場合には、貯蔵槽２の内部で発生する燃料蒸気と空気の混合物は、導管１５から薄膜濾過装置２９の入口室１４へ流入し、さらに排気管１６、絞り部材２４を経て周囲６へ流出する。
薄膜濾過装置２９の透過側つまり出口室１９は真空ポンプ２０の負圧側つまり吸込口に連通されており、真空ポンプ２０の正圧側つまり吐出口は貯蔵槽２に連通している。真空ポンプ２０の運転中、薄膜濾過装置２９の出口室１９は負圧になるので、薄膜濾過装置２９の入口室１４を通過する燃料蒸気と空気の混合物の内の燃料蒸気は、分離薄膜１３を透過する。分離薄膜１３は半透過性ガス分離薄膜から構成されるのが好ましい。こうして、燃料蒸気に富む透過物は、真空ポンプ２０を経て貯蔵槽２の内部へ戻される。
図１に示す実施例では、真空ポンプ２０を制御するために制御スイツチ２１が設けられている。制御スイツチ２１の受圧部２２は貯蔵槽２の上部空域１７に配設される。実際には、図示のように受圧部２２から延びる部分が上部空域１７へ臨む。受圧部２２は真空ポンプ２０を駆動・停止するための圧力スイツチ２３と一緒に働く。この構造を詳述すると、貯蔵槽２の内部圧力が所定値を超えると圧力スイツチ２３が閉じ、真空ポンプ２０が作動ないし駆動される。貯蔵槽２の内部の燃料蒸気と空気の混合物は、貯蔵槽２の内部圧力を受けて薄膜濾過装置２９の入口室１４を通過する。薄膜濾過装置２９の内部（出口室１９）で分離薄膜１３に作用する負圧により、燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気だけが分離薄膜１３を通過して分離されるので、排気管１６から出る残留物は燃料蒸気を含んでいない。制御スイツチ２１が応動するのに十分な、貯蔵槽２の内部圧力を得るために、排気管１６には有孔板２５から形成された絞り部材２４が配設される。
図２に示す実施例では、排気管１６の端部に配設した圧力弁２６が、排気管１６から空気が流出する時に開く。つまり、排気管１６の空気の圧力が大気圧よりも高くなると、みずから圧力弁２６を押し開く。さらに、排気管１６の端部に配設した負圧弁２７は、貯蔵槽２の内部が負圧状態になり、周囲６の空気が排気管１６へ流入する時に開く。圧力弁２６には真空ポンプ２０を制御する制御スイツチ２８が備えられる。この構造を詳述すると、制御スイツチ２８は圧力弁２６が開くと、すなわち入口室１４の空気が排気管１６から流出すると応動し、真空ポンプ２０を駆動するようになつている。こうして、燃料蒸気と空気の混合物が貯蔵槽２から流出すると、薄膜濾過装置２９の内部で燃料蒸気と空気の混合物から燃料蒸気を分離する作用が確実に進行する。
以上説明した図示の実施態様から、ガソリンスタンドの貯蔵槽２の排気管１６の領域での有害ガス（エミツシヨン）の確実な低減が実現することが分る。真空ポンプ２０は取出装置４の取出弁（給油ガン９）の作動に応じて駆動するか、充填装置７の充填弁７ａの作動に応じて駆動するように構成することができる。特に、貯蔵槽２へ液体燃料を充填する際に生じる燃料蒸気と空気の混合物を、再び貯蔵槽２へ戻す強制還流装置１２を使用する場合には、燃料蒸気と空気の混合物は薄膜濾過装置２９の内部で分離され、貯蔵槽２の内部に圧力が生じなくても、または僅かしか生じなくても、確実に燃料蒸気が貯蔵槽へ戻され、分離された残留物は排気管１６から外部へ流出する。
１：ガソリンスタンド  ２：貯蔵槽  ３：貯蔵液体燃料  ４：取出装置  ５：通気装置  ６：周囲  ７：充填装置  ７ａ：充填弁  ８：計量スタンド  ９：給油ガン  １０：自動車  １１：導管  １２：強制還流装置  １３：分離薄膜  １４：入口室  １５：導管  １５ａ：第２の導管  １６：排気管  １７：貯蔵槽の空域  １８：液面  １９：出口室  ２０：真空ポンプ  ２１：制御スイツチ  ２２：受圧部  ２３：圧力スイツチ  ２４：絞り部材  ２５：有孔板  ２６：圧力弁  ２７：負圧弁  ２８：制御スイツチ  ２９：薄膜濾過装置
【図１】
0003761570.tif 000002
【図２】
0003761570.tif 000003