(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅張り積層板の切断に際してバリのない良好な仕上げ面を得るための切断加工方法であって、丸鋸刃のような切断工具による切断後、バリを除去するためのシェーパ加工を同一装置内で行うことを特徴とする銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項２】
シェーパ加工を行うときの切屑除去は、工具の掬い面を下方に傾けて掬い面と工具の加工送り方向とのなす角度を１００〜１５０°とすることで行うことを特徴とする請求項１記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項３】
少なくとも１つの、切り込み方向に移動可能で且つ丸鋸刃のような切断工具の幅より小さいシェーパ工具によりバリを除去することを特徴とする請求項１記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項４】
シェーパ加工の切り込みを定寸切り込みにより行うことを特徴とする請求項３記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項５】
自動的に原点を検知した後、定寸切り込みを行うことを特徴とする請求項４記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項６】
原点検知を通電接触により行うことを特徴とする請求項５記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項７】
原点検知をロードセルにより行うことを特徴とする請求項５記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項８】
原点検知をＡＥ（アコーステックエミッション）センサーにより行うことを特徴とする請求項５記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項９】
原点検知を画像認識により行うことを特徴とする請求項５記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項１０】
定寸切り込み量の移動を圧電素子により行うことを特徴とする請求項４記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項１１】
定寸切り込み量の移動を楔機構により行うことを特徴とする請求項４記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項１２】
シェーパ加工の切り込みがシェーパ工具の幅を丸鋸刃のような切断工具の幅より大きくすることで行われることを特徴とする請求項１記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項１３】
シェーパ工具の掬い面にＶ溝を設け、切屑をＶ溝に集めることを特徴とする請求項１２記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項１４】
丸鋸刃のような切断工具による切断後の切断面のうねりや凹凸にシェーパ工具を倣わせながら加工することを特徴とする請求項１記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項１５】
シェーパ工具をシリンダあるいはバネ等の加圧手段により丸鋸刃のような切断工具の切断面に押し付けて、うねりや凹凸に倣わせて加工することを特徴とする請求項１４記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項１６】
シェーパ工具をワーク厚み方向に回動自在として取り付け、シリンダあるいはバネ等の加圧手段により丸鋸刃の切断面に押し付けて、ワーク厚み方向の傾きに倣わせて加工することを特徴とする請求項１５記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項１７】
シェーパ工具を保持する工具保持具を切断工具による切断面に摺接させ、工具保持具とシェーパ工具のエッジに段差を設け、シェーパ工具のエッジを工具保持具先端より切り込み量分だけ突出させて加工することを特徴とする請求項１５記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項１８】
シェーパ工具を保持する工具保持具はシェーパ工具の送り方向前後で切断工具による切断面に摺接させることを特徴とする請求項１７記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項１９】
切断工具による切断面を測定手段を用いて測定した後、測定した切断面の位置情報に応じてシェーパ工具の位置を制御しながらシェーパ加工することを特徴とする請求項１記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項２０】
切断工具による切断面全体を走査して測定した後、シェーパ加工することを特徴とする請求項１９記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項２１】
測定手段の後にシェーパ工具を設け、切断工具の切断後の切断面を測定すると同時にシェーパ工具の位置を制御しながらシェーパ加工することを特徴とする請求項１９記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項２２】
加工面全体を走査して測定した後、寸法精度誤差判定を行うことを特徴とする請求項１９記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項２３】
切り込み方向への刃先位置を揃えた複数のシェーパ工具を設けて加工を行うことを特徴とする請求項１記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項２４】
切り込み方向への刃先位置を違え、送り方向に対して前方の刃より順番に切り込み量を大きくした複数のシェーパ工具を設けて、１度に複数回分の切り込みを行って加工を行うことを特徴とする請求項１記載の銅張り積層板の切断加工方法。
【請求項２５】
銅張り積層板のワークを丸鋸刃のような切断工具にて切断する切断装置と、上記切断装置による切断後にバリを除去するためにシェーパ加工するシェーパ加工装置を同一装置内に具備し、シェーパ加工装置は、切断した少なくとも一方のワークのバリを除去するために切削加工するシェーパ工具と、シェーパ工具を保持する工具の保持手段と、シェーパ工具をワークに切り込ませる切り込み手段と、シェーパ工具を加工方向に移動する手段と、シェーパ工具を加工送り方向に移動する移動手段と、シェーパ工具による切削時に切屑を除去する切屑除去手段を具備することを特徴とする銅張り積層板の切断加工装置。
【請求項２６】
シェーパ工具をシリンダあるいはバネ等の加圧手段により丸鋸刃のような切断工具の切断面に押し付けて、うねりや凹凸に倣わせて加工するようにしたことを特徴とする請求項２５記載の銅張り積層板の切断加工装置。
【請求項２７】
シェーパ工具をワーク厚み方向に回動自在として取り付け、シリンダあるいはバネ等の加圧手段により丸鋸刃の切断面に押し付けて、ワーク厚み方向の傾きに倣わせて加工するようにしたことを特徴とする請求項２６記載の銅張り積層板の切断加工装置。
【請求項２８】
シェーパ工具を保持する工具保持具を切断工具による切断面に摺接させ、工具保持具とシェーパ工具のエッジに段差を設け、シェーパ工具のエッジを工具保持具先端より切り込み量分だけ突出させて加工するようにしたことを特徴とする請求項２６記載の銅張り積層板の切断加工装置。
【請求項２９】
シェーパ工具を保持する工具保持具はシェーパ工具の送り方向前後で切断工具による切断面に摺接させるようにしたことを特徴とする請求項２８記載の銅張り積層板の切断加工装置。
【請求項３０】
切り込み方向への刃先位置を揃えた複数のシェーパ工具を設けて加工を行うようにしたことを特徴とする請求項２５記載の銅張り積層板の切断加工装置。
【請求項３１】
切り込み方向への刃先位置を違え、送り方向に対して前方の刃より順番に切り込み量を大きくした複数のシェーパ工具を設けて、１度に複数回分の切り込みを行って加工を行うようにしたことを特徴とする請求項２５記載の銅張り積層板の切断加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス繊維のシートにエポキシ樹脂等を含浸し、銅箔と共にプレス加工して製造された銅張り積層板を切断加工する方法及び切断加工装置に関し、詳しくは銅張り積層板を丸鋸刃のような切断工具で切断したときバリのない良好な仕上げ面を得るための切断加工方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の従来例としては本特許出願人が先に出願した特開平９−２０１７９５号公報に開示されるものがある。これは上下に当て板を当てた銅張り積層板をテーブルの上に載せ、この銅張り積層板を上から押さえ板に押さえ、テーブルの鋸走行用スリットから上に突出させた丸鋸刃（チップソー）を走行させて銅張り積層板を切断するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
プリント配線板等に用いられる銅張り積層板は、ガラス繊維のシートにエポキシ樹脂等をが含浸させて形成したプリプレグを銅箔に重ねて成形した後、所望の寸法に切断して使用されるが、銅張り積層板を切断加工するには以下のような問題点があった。
【０００４】
通常、銅張り積層板の切断加工はシャリングによる切断や上記従来のような丸鋸刃による切断等の方法が採られるが、切断時に銅のバリが生成し、両面の銅箔間の絶縁性が破壊されたり、エッチング加工時にドライフィルムを傷付けたりするという問題がある。
【０００５】
またバリのない良好な切断品質を得ようとした場合、通常は上記のように切断加工した後に、ルータ加工機やベルトサンダー等の別の設備により、切断面を仕上げ加工してバリのない積層板としており、工程が多くなる上に、２台の設備が必要となり、加工効率が悪くコストも高く付いていた。
【０００６】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、銅張り積層板を切断加工する際に、銅のバリを発生させず、良好な加工品質を得ることできると共に切断加工を安価に行うことができる銅張り積層板の切断加工方法及びそれに用いる切断加工装置を提供することを課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の銅張り積層板の切断加工方法は、銅張り積層板の切断に際してバリのない良好な仕上げ面を得るための切断加工方法であって、丸鋸刃のような切断工具による切断後、バリを除去するためのシェーパ加工を同一装置内で行うことを特徴とする。上記のように切断工具による切断とシェーパ加工によるバリ除去とを同一装置内で行うことにより、１回の加工で良好な切断品質が得られ、積層板の銅箔間の絶縁を確保することが可能であり、またエッチング加工時にドライフィルムを傷付けたりすることも防止可能である。さらに１台の設備で加工が可能なので、リードタイムの短縮と切断コストの削減を図ることが可能である。
【０００８】
また本発明の銅張り積層板の切断加工装置は、銅張り積層板のワークを丸鋸刃のような切断工具にて切断する切断装置と、上記切断装置による切断後にバリを除去するためにシェーパ加工するシェーパ加工装置を同一装置内に具備し、シェーパ加工装置は、切断した少なくとも一方のワークのバリを除去するために切削加工するシェーパ工具と、シェーパ工具を保持する工具の保持手段と、シェーパ工具をワークに切り込ませる切り込み手段と、シェーパ工具を加工方向に移動する手段と、シェーパ工具を加工送り方向に移動する移動手段と、シェーパ工具による切削時に切屑を除去する切屑除去手段を具備することを特徴とする。切断工具による切断と、シェーパ加工装置のシェーパ工具によりバリを切削するシェーパ加工とを同一装置内で行うことにより、１回の加工で良好な切断品質が得られ、積層板の銅箔間の絶縁を確保することが可能であり、またエッチング加工時にドライフィルムを傷付けたりすることも防止可能である。さらに１台の設備で加工が可能なので、リードタイムの短縮と切断コストの削減を図ることが可能である。
【０００９】
またシェーパ加工を行うときの切屑除去は、工具の掬い面を下方に傾けて掬い面と工具の加工送り方向とのなす角度を１００〜１５０°とすることで行うことを特徴とすることも好ましい。この場合、シェーパ工具で発生する切屑が下方に落ち、切屑のはけがよくなり、良好な切削面を得ることができる。
【００１０】
また少なくとも１つの、切り込み方向に移動可能で且つ丸鋸刃のような切断工具の幅より小さいシェーパ工具によりバリを除去することを特徴とすることも好ましい。この場合、切断工具で切断した左右の切断面を別々にシェーパ工具で切削でき、左右の切断面の切り込み量を別々に設定することが可能であり、またシェーパ工具が磨耗しても磨耗補正が可能である。
【００１１】
またシェーパ加工の切り込みを定寸切り込みにより行うことを特徴とすることも好ましい。この場合、加工後の寸法精度及び直進性よい。
【００１２】
また自動的に原点を検知した後、定寸切り込みを行うことを特徴とすることも好ましい。切断工具による切断幅の変動による切り込み量のバラツキ、シェーパ工具の磨耗による切り込み量のバラツキを小さくできる。
【００１３】
また原点検知を通電接触により行うことを特徴とすることも好ましい。この場合、原点検知が簡便な方法で可能である。
【００１４】
また原点検知をロードセルにより行うことを特徴とすることも好ましい。この場合、原点検知と同時に加工時の切削抵抗のモニタリングが可能で、シェーパ工具の磨耗状態の監視等が可能である。
【００１５】
また原点検知をＡＥ（アコーステックエミッション）センサーにより行うことを特徴とする好ましい。この場合、原点検知装置の小型化と刃先欠損検知が可能である。
【００１６】
また原点検知を画像認識により行うことを特徴とすることも好ましい。この場合、原点検知と刃先磨耗のインライン直接計測が可能である。
【００１７】
また定寸切り込み量の移動を圧電素子により行うことを特徴とすることも好ましい。この場合、精度のよい定寸切り込みが可能であると共に切り込み装置の小型化が可能である。
【００１８】
また定寸切り込み量の移動を楔機構により行うことを特徴とすることも好ましい。この場合、定寸切り込みが簡単な機構で可能である。
【００１９】
またシェーパ加工の切り込みがシェーパ工具の幅を丸鋸刃のような切断工具の幅より大きくすることで行われることを特徴とすることも好ましい。１本のシェーパ工具で同時にワークの両端面が加工可能であるために工具のコストが安くなる上に、シェーパ工具の切り込み量設定装置が不要になるため、機構が単純化し、設備コストも安くすることが可能である。
【００２０】
またシェーパ工具の掬い面にＶ溝を設け、切屑をＶ溝に集めることを特徴とすることも好ましい。この場合、Ｖ溝の掬い角の効果による切れ味向上と、Ｖ溝による良好な切屑排除ができる。
【００２１】
また丸鋸刃のような切断工具による切断後の切断面のうねりや凹凸にシェーパ工具を倣わせながら加工することを特徴とすることも好ましい。切断工具の切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら同一の切り込み量でシェーパ加工を行うことができ、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができる。またシェーパ加工の加工量が一定に保たれるので、シェーパ工具の寿命延長が図れる。
【００２２】
またシェーパ工具をシリンダあるいはバネ等の加圧手段により丸鋸刃のような切断工具の切断面に押し付けて、うねりや凹凸に倣わせて加工することを特徴とすることも好ましい。この場合、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながらシェーパ加工を行うことができ、また加圧力を変化させることにより切り込み量を変えることができるため、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができる。
【００２３】
またシェーパ工具をワーク厚み方向に回動自在として取り付け、シリンダあるいはバネ等の加圧手段により丸鋸刃の切断面に押し付けて、ワーク厚み方向の傾きに倣わせて加工することを特徴とすることも好ましい。この場合、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸または厚み方向への傾きが生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができ、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができる。
【００２４】
またシェーパ工具を保持する工具保持具を切断工具による切断面に摺接させ、工具保持具とシェーパ工具のエッジに段差を設け、シェーパ工具のエッジを工具保持具先端より切り込み量分だけ突出させて加工することを特徴とすることも好ましい。この場合、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができる倣い加工を比較的安価な方法で行うことができる。
【００２５】
またシェーパ工具を保持する工具保持具はシェーパ工具の送り方向前後で切断工具による切断面に摺接させることを特徴とすることも好ましい。この場合、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができる倣い加工を比較的安価な方法で行うことができるが、摺接する工具保持具の先端がシェーパ工具の前後にあるため、ワークの出入り口で正確な切り込みができる。
【００２６】
また切断工具による切断面を測定手段を用いて測定した後、測定した切断面の位置情報に応じてシェーパ工具の位置を制御しながらシェーパ加工することを特徴とすることも好ましい。この場合、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面を測定してシェーパ加工の工具経路を設定できるため、切断加工時の精度誤差を吸収することができ、切断面の良し悪しに左右されない良好な仕上げ加工面を得ることができる。
【００２７】
また切断工具による切断面全体を走査して測定した後、シェーパ加工することを特徴とすることも好ましい。切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面を測定してシェーパ加工の工具経路を設定できるため、切断加工時の精度誤差を吸収することができ、また切り込み量や回数の設定もできるため、シェーパ加工時に取り残しの防止や切り込み過ぎによる無理な加工を防止できる。
【００２８】
また測定手段の後にシェーパ工具を設け、切断工具の切断後の切断面を測定すると同時にシェーパ工具の位置を制御しながらシェーパ加工することを特徴とすることも好ましい。この場合、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面を測定してシェーパ加工のシェーパ工具を設定できるため、切断加工時の精度誤差を吸収することができ、また測定と同時期にシェーパ加工が行えるため、能率よく良好な仕上げ加工面を得ることができる。
【００２９】
また加工面全体を走査して測定した後、寸法精度誤差判定を行うことを特徴とすることも好ましい。この場合、切断面の形状精度に応じて切断工具の交換時期の判断や切断寸法の変更が行えるため、切断面に切断工具の磨耗や切断装置の劣化による異常なうねりや凹凸、過大な仕上げ代が生じにくく、シェーパ加工時に無理な切り込みによる工具の切損や仕上げ面の劣化が防げる。また切断面や仕上げ加工面の精度良否判定ができる。
【００３０】
また切り込み方向への刃先位置を揃えた複数のシェーパ工具を設けて加工を行うことを特徴とすることも好ましい。この場合、一つのシェーパ工具が欠損や磨耗しても他のシェーパ工具で加工が可能なため、加工品質が良好な状態で保持可能である。
【００３１】
また切り込み方向への刃先位置を違え、送り方向に対して前方の刃より順番に切り込み量を大きくした複数のシェーパ工具を設けて、１度に複数回分の切り込みを行って加工を行うことを特徴とすることも好ましい。この場合、必要な取り代が多い場合に工具にかかる負荷を軽減して、工具の破損を防止可能である。シェーパ加工で荒加工と仕上げ加工を行い、加工品質の向上が可能である。
【００３２】
【発明の実施の形態】
先ず、図１及び図２に示す実施の形態の例について説明する。図１（ａ）は本発明を実施する切断加工装置の使用状態の要部を示した平面図であり、図１（ｂ）は同上の使用状態の概略斜視図であり、図２は正面から見た断面図である。
【００３３】
本発明の対象となるワークＡとしての銅張り積層板１は、例えばガラス等の無機繊維にエポキシ樹脂等を含浸して乾燥したプリプレグを銅箔と重ねて熱加圧して、樹脂を硬化させたものが用いられる。切断加工の際は銅張り積層板１の基板を所定の高さになるまで積層した上で一番外側の両面にフェノール樹脂等の当て板２を付けて積層体としてある。
【００３４】
図１、図２に示すようにワークＡとしての銅張り積層板１はワーク積載テーブル３に載せられ、上方から昇降シリンダ４により下降するワーク押さえ板５によって加圧固定されるようになっている。ワーク積載テーブル３の下方には切断工具６としての丸鋸刃６ａが設けられ、丸鋸刃６ａは本例の場合、チップソーであり、チップとしては燒結ダイヤモンドや超硬合金等の硬質材料が固着されている。丸鋸刃６ａはスピンドル７に装着された工具フランジ８にて、台金の両側より挟み込まれて固定され、丸鋸回転用モータ９により反時計方向に回転するようになっている。丸鋸刃６ａは鋸刃走行スリット１０より上方に突出して図面左方から右方へ送り移動するようになっている。
【００３５】
丸鋸刃６ａの左方には、切断面の直進性を測定する測定子１１が設けられ、測定子１１の先端部には金属球が装着され、その金属球の径は丸鋸刃６ａの工具幅ａより小さくなっている。測定子１１は測定子移動ユニット１２にて図１（ａ）の平面図上で上下方向となる方向（矢印ｂ方向）に移動可能としてあり、通電接触検知等の方法でワークＡと接触した時にその座標位置を読み込むことができるようになっている。さらに測定子１１の左方には２本のシェーパ工具１３が位置し、２本のうち右方は左切断面用シェーパ工具１３ａであり、左方は右切断面用シェーパ工具である。夫々のシェーパ工具１３ａ，１３ｂはシェーパ工具移動用モータ１４とボールネジ１５により、切断面に対して垂直方向に所定量の切り込みが与えられるようにしている。符号ｃはシェーパ切り込み代である。シェーパ工具１３の材質はチップソーよりなる丸鋸刃６ａと同様な硬質材料が用いられる。
【００３６】
丸鋸刃６ａで切断する切断装置、測定子１１で測定する測定装置及びシェーパ工具１３でシェーパ加工するシェーパ加工装置は昇降ベース１６上に配設され、昇降ベース１６は昇降シリンダ１７と昇降ガイド１８により、図２の断面図上で上下方向に移動するようになっている。また昇降シリンダ１７と昇降ガイド１８は送り移動ベース１９上に固定され、送り移動ベース１９は送り移動ガイド２０上に装着され、送り移動ベース１９は送り移動用モータ２１と送りネジ２２により、左右スライド移動可能としてある。
【００３７】
次に上記のような切断加工装置により銅張り積層板を切断加工する方法について説明する。上記のようにワークＡとしての銅張り積層板１をワーク積載テーブル３の上でワーク押さえ板５により固定した後、丸鋸刃６ａが回転し、丸鋸刃６ａとシェーパ工具１３と測定子１１が昇降ベース１６と一緒に上昇する。このとき、丸鋸刃６ａ及びシェーパ工具１３が共に刃先がワークＡとしての積層体より僅かに上方に突出するようにしている。次に送り移動ベース１９の移動にて丸鋸刃６ａは左方端より右方端へ所定の送り速度で矢印ｅのような加工送り方向ｅに送られ、ワークＡとしての積層体を切断する。丸鋸刃６ａの直後に追従する測定子１１は図１（ａ）の平面図上を上下に移動しながら、切断面の寸法を検知し、位置情報をシェーパ工具１３のコントローラに送る。シェーパ工具１３のコントローラでは、位置情報に基づいてシェーパ工具１３に所定の切り込み量を与えるようにシェーパ工具移動用モータ１４を駆動する。シェーパ工具１３は所定量ワークＡに切り込みながら、丸鋸刃６ａと一緒に送られ、丸鋸刃６ａ切断後の断面の銅箔バリを除去して仕上げる。シェーパ工具１３がワークＡとしての積層体の右方に突き抜けた後、丸鋸刃６ａとシェーパ工具１３と測定子１１が昇降ベース１６と一緒に下降し、送り移動ベース１９が左方にスライド移動して、初期入りに戻り、丸鋸刃６ａの回転が停止する。最後にワーク押さえ板５が上昇し、ワークＡのクランプを解除する。
【００３８】
ここで図２６に本発明による銅張り積層板の加工例を、図２７に丸鋸刃のみの切断例を、図２８に研削加工による切断後の仕上げ例を示す。図２６は本発明による銅張り積層板の加工例で、丸鋸切断＋シェーパ加工であり、銅箔部分が鏡面加工できるために黒く見えている。図２７は丸鋸刃のみの切断加工例であり、基材両面の銅箔バリが大きいために短絡してしまう。図２８は切断した後、砥石により研削仕上げしたものであり、銅や樹脂により砥石が直ぐに目詰まりしてしまい、基材両面の銅箔バリが大きくなって短絡してしまう。このため、図２６により、本発明によれば他の工法に比べて非常に良好な切断品質が得られることがわかる。
【００３９】
上記のように本発明では切断加工とシェーパ加工によるバリ除去とを同一装置内で行うことにより、１回の加工で良好な切断品質が得られ、積層板の銅箔間の絶縁を確保することが可能であり、またエッチング加工時にドライフィルムを傷付けたりすることも防止可能である。さらに１台の設備で加工が可能なので、リードタイムの短縮と切断コストの削減を図ることが可能である。
【００４０】
次に図３に示す実施の形態の例について説明する。丸鋸刃６ａによる切断後に、シェーパ加工を行うシェーパ工具１３の掬い面２３を下方に傾け、シェーパ工具１３の掬い面２３と、シェーパ工具１３の送り方向（矢印ｄ方向）とのなす角度αを１００〜１５０°としている。これにより、シェーパ工具１３で発生する切屑が矢印ｓのようにワークＡの下方に落ちるため、丸鋸刃６ａで切断した後の非常に細いワークＡ間の隙間であっても、切屑が隙間に詰まって、切削面を悪化させることなく、バリや切屑付着のない良好な切削面を得ることができる。このように本発明では横掬い角を付与することにより、切屑のはけがよくなり、良好な切削面を得ることが可能である。
【００４１】
次に図４に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、左右切り込み方向にシェーパ工具移動用モータ１４にて切り込み量設定可能な左切断面用シェーパ工具１３ａと右切断面用シェーパ工具１３ｂを丸鋸刃６ａと共通の昇降ベース１６の上に丸鋸刃６ａの送り方向の後方の位置で設けてあり、所定のシェーパ工具切り込み量を設定した後に、丸鋸刃６ａの切断と同一工程で左右の切断面をシェーパ加工してバリを除去するようになっている。このときシェーパ工具１３としての左切断面用シェーパ工具１３ａと右切断面用シェーパ工具１３ｂの幅は丸鋸刃６ａの工具幅ａより小さくなっており、左切断面用シェーパ工具１３ａと右切断面用シェーパ工具１３ｂで別々に所定の切り込みを入れて切削できるようになっている。図４でｃは切り込み代、ｅは加工送り方向である。この場合、丸鋸刃６ａで切断した左右の切断面を別々にシェーパ工具１３で切削でき、左右の切断面の切り込み量を別々に設定することが可能であり、またシェーパ工具１３が磨耗しても磨耗補正が可能である。
【００４２】
次に図４、図５に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、シェーパ工具１３としての左切断面用シェーパ工具１３ａと右切断面用シェーパ工具１３ｂを切り込み方向にシェーパ工具移動用モータ１４にて設定した定寸の切り込み量だけ移動させて、丸鋸刃６ａの刃物幅ａである切断幅より幅広な位置に位置させ、この位置に左切断面用シェーパ工具１３ａと右切断面用シェーパ工具１３ｂを固定し、丸鋸刃６ａによる切断と同一工程で左右切断面をシェーパ加工し、バリを除去する。図５で符号ｆは切り込み送り方向である。このように定寸の切り込みを入れて加工送り方向ｅ方向にシェーパ加工にて切削すると、加工後の寸法精度及び直進性がよい。
【００４３】
次に図６に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、丸鋸刃６ａによる切断後、シェーパ工具１３を原点測定位置に移動させ、シェーパ工具１３を切り込み方向に移動させて刃先をワークＡの切断面である加工面２４に接触させ、原点検知するなどの原点検知手段を持つ。つまり、丸鋸刃６ａにより切断した後、図６（ａ）に示すように左切断面用シェーパ工具１３ａと右切断面用シェーパ工具１３ｂを原点測定位置に移動させる。ここでａは丸鋸刃６ａの工具幅であって、丸鋸刃６ａによる切断幅であり、ｈはシェーパ工具先端位置を示す。図６（ａ）のように原点測定位置に移動させた後、シェーパ工具移動用モータ１４にて左切断面用シェーパ工具１３ａと右切断面用シェーパ工具１３ｂを移動させて図６（ｂ）のように加工面２４に接触させ原点位置を検知する。図６（ｂ）のように原点位置を検知した後、図６（ｃ）の矢印ｉ方向に移動させてスタート位置に戻し、シェーパ工具移動用モータ１４にて左切断面用シェーパ工具１３ａと右切断面用シェーパ工具１３ｂを移動させて切り込み量ｊを設定する。図６（ｃ）のように切り込み量を設定した後、図６（ｄ）のように加工送り方向ｅに左切断面用シェーパ工具１３ａと右切断面用シェーパ工具１３ｂを送ってシェーパ加工にて切削する。このようにシェーパ工具１３の定寸切り込みの際に、自動的に原点を検知する手段を持つと、丸鋸刃６ａによる切断幅の変動による切り込み量のバラツキ、シェーパ工具１３の磨耗による切り込み量のバラツキを小さくできる。
【００４４】
次に図７に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合シェーパ工具１３を切り込み方向に移動させ、刃先を加工面２４に接触させ、原点検知する際に、図７に示すようにシェーパ工具１３、銅箔２５、電極２６、直流電源２７、電流検知装置２８が閉回路になるように回路を形成し、導通によりシェーパ工具１３の原点を検知する。そして原点を検知した後、矢印ｋのように切り込み量を設定する。このようにして原点検知をすると、原点検知が簡便な方法で可能である。
【００４５】
次に図８に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、シェーパ工具１３とシェーパ工具移動手段との間にロードセル２９を介して取り付けてあり、シェーパ工具１３を切り込み方向に移動させた際の刃先の加工面２４への接触をロードセル２９により検知するようになっている。そして原点を検知した後、矢印ｋのように切り込み量を設定する。さらにシェーパ加工中も当該ロードセル２９の出力をモニターすることにより切削抵抗の測定を行うようになっている。ここで３０はアンプ、３１は表示装置である。このようにすると、原点検知と同時に加工時の切削抵抗のモニタリングが可能で、シェーパ工具１３の磨耗状態の監視等が可能である。
【００４６】
次に図９に示す実施の形態の例について述べる。本例の場合、シェーパ工具１３にＡＥ（アコーステックエミション）センサー３２を取り付けてあり、シェーパ工具１３を切り込み方向に移動させ、刃先の加工面２４への接触をＡＥセンサー３２で検知するようになっている。ここで符号ｍはシェーパ工具１３からＡＥセンサー３２に伝わる接触微振動を示す。そして原点を検知した後、矢印ｋのように切り込み量を設定する。さらにシェーパ加工中も当該ＡＥセンサー３２の出力をモニターすることにより刃先欠損をモニターするようになっている。このようにすると、原点検知装置の小型化と刃先欠損検知が可能である。
【００４７】
次に図１０に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、画像取り込み用のカメラ３３が丸鋸刃６ａやシェーパ工具１３を設ける昇降ベース１６にカメラ取り付けベース３４を介して、シェーパ工具１３と同期して仕上げ加工方向に移動可能に設置してあり、シェーパ工具１３を切り込み方向に移動させた際の刃先の加工面２４への接触を画像認識により検知すると同時に加工中もシェーパ工具１３の画像をモニターすることによりシェーパ工具１３の磨耗状態をインラインで検査するようになっている。そして原点を検知した後、矢印ｋのように切り込み量を設定する。ここで３５はモニター装置である。このようにすると、原点検知と刃先磨耗のインライン直接計測が可能である。
【００４８】
次に図１１に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、シェーパ工具移動ガイド３６に切り込み方向に移動自在に取り付けられたシェーパ工具１３を圧電素子３７により矢印ｋのように定寸切り込み量分移動させることで切り込み量を設定するようになっている。このように圧電素子３７にて定寸切り込みを行うと、精度のよい定寸切り込みが可能であると共に切り込み装置の小型化が可能である。
【００４９】
次に図１２に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、シェーパ工具移動ガイド３６に切り込み方向に移動自在に取り付けられたシェーパ工具１３を楔機構３８により定寸切り込み量移動させることができるようになている。つまり、シェーパ工具移動用モータ１４にてボールネジ３９を駆動することで楔機構３８の可動楔３８ａを移動させて定寸切り込みができるようになっている。このように定寸切り込みが楔機構３８で行うことができると、定寸切り込みが簡単な機構で可能である。また楔機構３８で移動させると楔機構３８を駆動するシェーパ工具移動用モータ１４のモータ保持力を小さくできるために小型のモータで対応可能となり、また別途のシェーパ工具１３の位置保持機構が不要となる。
【００５０】
次に図１３に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、丸鋸刃６ａより図１３中左方に位置するシェーパ工具１３の幅を、シェーパ加工に必要な切り込み量だけ丸鋸刃６ａの工具幅ａより大きくしてあり、シェーパ工具１３の幅方向の中心と丸鋸刃６ａの幅方向の中心とを一致させてある。加工時には丸鋸刃６ａの直後をシェーパ工具１３が追走し、丸鋸刃６ａによる切断ラインの両側の端面を、同時に所定の切り込み量だけ切り込んでシェーパ加工し、切断面を仕上げるようにしている。このとき図３の実施の形態の例で説明したようにシェーパ工具１３の掬い面２３を送り方向に対して傾け、切屑を下方に排出するようにしてもよい。このようにすると、１本のシェーパ工具１３で同時にワークＡの両端面が加工可能であるために工具のコストが安くなる上に、シェーパ工具の切り込み量設定装置が不要になるため、機構が単純化し、設備コストも安くすることが可能である。
【００５１】
次に図１４に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、丸鋸刃６ａより図中左方に位置するシェーパ工具１３の幅を、シェーパ加工に必要な切り込み量だけ丸鋸刃６ａの工具幅ａより大きくしたシェーパ工具１３において、シェーパ工具１３の掬い面２３を平面図上でＶ字型とし、掬い角βを大きくすると共に掬い面２３上を流れてくる切屑をＶ溝４０に集めるようにしている。また図３の実施の形態の例のようにシェーパ工具１３の掬い面２３を送り方向に対して傾きを設けているため、Ｖ溝４０に集まった切屑５０は横掬い角に沿って下方に排出されるように構成している。このようにしていると、掬い角βの効果による切れ味向上と、Ｖ溝４０による良好な切屑排除ができる。
【００５２】
次に図１５に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、丸鋸刃６ａによる切断後のバリ除去のためのシェーパ加工において、丸鋸刃６ａによる切断面に生じやすいうねりや凹凸による未加工部分をなくすために、シェーパ工具１３を切断面に倣わせてシェーパ加工を行うようになっている。図１５で符号ｎは倣い方式のシェーパ工具１３の経路であり、符号ｎ′は定寸切り込みのシェーパ工具１３の経路である。このように丸鋸刃６ａによる切断後の切断面のうねりや凹凸にシェーパ工具１３を倣わせながら加工するようにすると、丸鋸刃６ａの切断面に丸鋸刃６ａの磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具１３が倣いながら同一の切り込み量でシェーパ加工を行うことができ、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができる。またシェーパ加工の加工量が一定に保たれるので、シェーパ工具１３の寿命延長が図れる。
【００５３】
次に図１６に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、シェーパ工具１３を取り付け保持する工具保持具４１を加圧することにより、シェーパ工具１３を切断面に倣わせてシェーパ加工を行うようにしてある。つまり、シェーパ工具１３を保持した工具保持具４１はリニアースライド４２に対してスライド自在に装着してあり、工具保持具４１に取り付け保持されたシェーパ工具１３はエアーシリンダ４３により加圧されて切断面に押し付けられることにより一定量の切り込みが与えられ、加工送り方向にシェーパ工具１３が動くことにより切断面に倣った加工が可能である。また加圧のための手段はバネ等を用いてもよい。このようにすると、丸鋸刃６ａの切断面に丸鋸刃６ａの磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具１３が倣いながらシェーパ加工を行うことができ、また加圧力を変化させることにより切り込み量を変えることができるため、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができる。
【００５４】
次に図１７に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、工具保持具４１は第1保持部４１ａと第２保持部４１ｂと第３保持部４１ｃとで構成され、第２保持部４１ｂはリニアスライド４２に沿ってスライド自在になっており、シェーパ工具１３を保持した第１保持部４１ａは第２保持部４１ｂに対してベアリングを介してワーク厚み方向に回動自在にしてあり、第２保持部４１ｂはエアーシリンダ４３にて加圧してあり、シェーパ工具１３に設けた第３保持部４１ｃはエアーシリンダ４４で加圧してあり、シェーパ工具１３を回動させる方向に加圧するようにしてある。加圧によりワークＡの切断面に押し付けられているシェーパ工具１３は第２保持部４１ｂを加圧するエアーシリンダ４３によりさらに加圧されて一定量の切り込みが与えられ、加工送り方向に動くことにより切断面に倣った加工が可能であり、切断面に傾きがある場合は、第３保持部４１ｃを加圧するエアーシリンダ４４の加圧で切断面に沿った加工が可能である。このとき上記、エアーシリンダ４３，４４の加圧に代えてバネ等による加圧を用いてもよい。このようにすると、丸鋸刃６ａによる切断面に丸鋸刃６ａの磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸または厚み方向への傾きが生じても、切断面にシェーパ工具１３が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができ、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができる。
【００５５】
次に図１８に示す実施の形態の例について説明する。固定用支柱４５には加工送り方向ｅと直交する方向に移動可能に工具保持具４１を取り付けてあり、工具保持具４１にはシェーパ工具１３を取り付けてあり、工具保持具４１はエアーシリンダ４３にて加圧することができるようになっている。工具保持具４１にはワークＡの切断面に当接する当接部４６を設けてあり、シェーパ工具１３のエッジが当接部４６の切り込み代だけ突出している。このシェーパ工具１３のエッジが当接部４６より突出する量は調整ネジ等で可変可能にしてある。しかして、丸鋸刃６ａの切断面に当接部４６を摺接させ、エアーシリンダ４３で加圧することにより切断面に倣わせてシェーパ加工を行うことができる。このとき当接部４６が切断面に摺接する部分からシェーパ工具１３のエッジが突出する分（エッジと当接部４６の段差分）だけ切り込み量としてシェーパ加工できる。かかるエアーシリンダ４３による加圧に代えてバネ等を用いもよい。このようにすると、丸鋸刃６ａによる切断面に丸鋸刃６ａの磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具１３が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができる倣い加工を比較的安価な方法で行うことができる。
【００５６】
次に図１９に示す実施の形態の例について説明する。固定用支柱４５には加工送り方向ｅと直交する方向に移動可能に工具保持具４１を取り付けてあり、工具保持具４１にはシェーパ工具１３を取り付けてあり、工具保持具４１はエアーシリンダ４３にて加圧することができるようになっている。工具保持具４１にはワークＡの切断面に当接する当接部４６を設けてあり、シェーパ工具１３のエッジが当接部４６に対して切り込み代だけ突出している。この例の場合、当接部４６は加工送り方向ｅにおけるシェーパ工具１３の前後に設けてある。このシェーパ工具１３のエッジが当接部４６より突出する量は調整ネジ等で可変可能にしてある。しかして、丸鋸刃６ａの切断面にシェーパ工具１３の前後で当接部４６を摺接させ、エアーシリンダ４３で加圧することにより切断面に倣わせてシェーパ加工を行うことができる。このとき当接部４６が切断面に摺接する部分からシェーパ工具１３のエッジが突出する分（エッジと当接部４６の段差分）だけ切り込み量としてシェーパ加工できる。かかるエアーシリンダ４３による加圧に代えてバネ等を用いてもよい。このようにすると、丸鋸刃６ａによる切断面に丸鋸刃６ａの磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具１３が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができる倣い加工を比較的安価な方法で行うことができるが、摺接する工具保持具４１の当接部４６がシェーパ工具１３の前後にあるため、ワークＡの出入り口でも正確な切り込みができる。
【００５７】
次に図２０に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、丸鋸刃６ａによる切断後にバリを除去するためのシェーパ加工を、測定子１１として通電測定子１１ａを用いて切断面を測定し、測定して得られた断面形状情報を基に一定量の切り込みを加味したシェーパ工具加工経路を算出し、加工位置を数値制御しながら加工送り方向にシェーパ加工を行うようになっており、切断面の形状変化に対しても一定の切り込み量を保ちながら切断面に沿ったシェーパ加工が可能である。図２０で符号ｐは測定経路であり、符号ｑは加工経路である。このとき、切断面の測定に用いる通電測定子１１ａは３次元測定機等に用いられる電子プローブ等を用いてもよい。このようにすると、丸鋸刃６ａによる切断面に丸鋸刃６ａの磨耗や精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面を測定してシェーパ加工の工具経路を設定できるため、切断加工時の精度誤差を吸収することができ、切断面の良し悪しに左右されない良好な仕上げ加工面を得ることができる。
【００５８】
次に図２１に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、丸鋸刃６ａの切断面全体を予め通電測定子１１ａ等を用いて走査して切断面形状情報を取り込み、取り込んだ形状情報を基にシェーパ工具１３の加工経路を一定量の切り込み量を加味して算出設定した後に、加工経路を数値制御しながらシェーパ加工を行うようになっている。図２１で符号ｐは測定経路であり、符号ｑは加工経路である。このようにすると、丸鋸刃６ａによる切断面に丸鋸刃６ａの磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面を測定してシェーパ加工の工具経路を設定できるため、切断加工時の精度誤差を吸収することができ、また切り込み量や回数の設定もできるため、シェーパ加工時に取り残しの防止や切り込み過ぎによる無理な加工を防止できる。
【００５９】
次に図２２に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、丸鋸刃６ａによる切断面を通電測定子１１ａを用いて測定する測定子１１と、測定子１１に真近な位置で、測定子１１外周径よりも切り込み量分刃先エッジを突出させたシェーパ加工用のシェーパ工具１３とを工具保持具４１に取り付けてあり、シェーパ工具１３の前にある測定子１１が通過した経路と同経路をシェーパ工具１３が移動することにより切断面に沿ったシェーパ加工が可能となるようにしてある。このとき、測定子１１とシェーパ工具１３とは別の保持具に一定距離を保って取り付け、測定子１１の移動位置からのオフセット量を算出してシェーパ工具１３の位置制御を行ってもよい。このようすると、丸鋸刃６ａによる切断面に丸鋸刃６ａの磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面を測定してシェーパ加工のシェーパ工具１３を設定できるため、切断加工時の精度誤差を吸収することができ、また測定と同時期にシェーパ加工が行えるため、能率よく良好な仕上げ加工面を得ることができる。
【００６０】
次に図２３に示す実施形態の例について説明する。本例の場合、丸鋸刃６ａにて切断した切断面全体を予め通電測定子１１ａを用いて走査して切断面形状を測定し、表示窓に結果を表示させ、予め定めた切断面形状規格値と比較することにより切断面の形状精度を判定させ、シェーパ加工前の切断工具６である丸鋸刃６ａの交換や切断寸法の変更を決定するようになっている。このとき、切断面形状の規格値と測定値の比較はコンピュータを用いた方法でもよい。このようにすると、切断面の形状精度に応じて切断工具６としての丸鋸刃６ａの交換時期の判断や切断寸法の変更が行えるため、切断面に丸鋸刃６ａの磨耗や切断装置の劣化による異常なうねりや凹凸、過大な仕上げ代が生じにくく、シェーパ加工時に無理な切り込みによる工具の切損や仕上げ面の劣化が防げる。また切断面や仕上げ加工面の精度良否判定ができる。
【００６１】
次に図２４に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、丸鋸刃６ａの送り方向ｅの後方に位置するシェーパ工具１３を、片方のワークＡ端面につき２つ設け、ワークＡへの切り込み方向への刃先位置を揃えて配置している。図２４でｊは切り込み量であり、ｒは切り込み方向である。長時間の加工時にはシェーパ工具１３が磨耗したり、場合によっては欠損したりすることがあり、加工面２４の品質が悪化するが、本例では図中右方のシェーパ工具１３に磨耗や欠損が発生して刃先位置がワークＡに対して後退しても、図中左方のシェーパ工具１３が、前方のシェーパ工具１３が削り残した部分を切削して、加工品質を悪化させないようにしている。またシェーパ工具１３の数は３つ以上でも構わない。このようにしてあると、一つのシェーパ工具１３が欠損や磨耗しても他のシェーパ工具１３で加工が可能なため、加工品質が良好な状態で保持可能である。
【００６２】
次に図２５に示す実施の形態の例について説明する。本例の場合、丸鋸刃６ａの送り方向ｅの後方に位置するシェーパ工具１３を、片方のワークＡ端面につき２つ設け、ワークＡへの切り込み方向の刃先位置を違え、送り方向に対して前方のシェーパ工具１３より順番に切り込み量を大きくして配置している。図２５でｊ１は１回目の切り込み量であり、ｊ２は２回目の切り込み量である。シェーパ加工での加工代が大きい時には、1度に大きな切り込みを与えるとシェーパ工具１３が欠損したり、場合によっては折損したりすることがあり、加工面の品質が悪化するが、本例では２本のシェーパ工具１３に必要な切り込み量を分割して与え、シェーパ工具１３に与える負荷を軽減している。また図示の右方のシェーパ工具１３の切り込み量を必要な切り込み量の半分以上として、図示の左方のシェーパ工具１３の実質的な切り込み量を減らして、右方のシェーパ工具１３で荒切削し、左方のシェーパ工具１３で仕上げ切削して、加工品質をより向上させることも有効である。またシェーパ工具１３の数は３つ以上であっても構わない。このようにしてあると、必要な取り代が多い場合にシェーパ工具１３にかかる負荷を軽減して、シェーパ工具１３の破損を防止可能である。シェーパ加工で荒加工と仕上げ加工を行い、加工品質の向上が可能である。
【００６３】
【発明の効果】
本発明の請求項１の発明は、銅張り積層板の切断に際してバリのない良好な仕上げ面を得るための切断加工方法であって、丸鋸刃のような切断工具による切断後、バリを除去するためのシェーパ加工を同一装置内で行うので、１回の加工で良好な切断品質が得られ、積層板の銅箔間の絶縁を確保することが可能なものであり、またエッチング加工時にドライフィルムを傷付けたりすることも防止可能なものであり、さらに１台の設備で加工が可能なので、リードタイムの短縮と切断コストの削減を図ることが可能なものである。
【００６４】
また本発明の請求項２の発明は、請求項１において、シェーパ加工を行うときの切屑除去は、工具の掬い面を下方に傾けて掬い面と工具の加工送り方向とのなす角度を１００〜１５０°とすることで行うので、シェーパ工具で発生する切屑が下方に落ち、切屑のはけがよくなり、良好な切削面を得ることができるものである。
【００６５】
また本発明の請求項３の発明は、請求項１において、少なくとも１つの、切り込み方向に移動可能で且つ丸鋸刃のような切断工具の幅より小さいシェーパ工具によりバリを除去するので、切断工具で切断した左右の切断面を別々にシェーパ工具で切削でき、左右の切断面の切り込み量を別々に設定することが可能なものであり、またシェーパ工具が磨耗しても磨耗補正が可能なものである。
【００６６】
また本発明の請求項４の発明は、請求項３において、シェーパ加工の切り込みを定寸切り込みにより行うので、加工後の寸法精度及び直進性よいものである。
【００６７】
また本発明の請求項５の発明は、請求項４において、自動的に原点を検知した後、定寸切り込みを行うので、切断工具による切断幅の変動による切り込み量のバラツキ、シェーパ工具の磨耗による切り込み量のバラツキを小さくできるものである。
【００６８】
また本発明の請求項６の発明は、請求項５において、原点検知を通電接触により行うので、原点検知が簡便な方法で可能なものである。
【００６９】
また本発明の請求項７の発明は、請求項５において、原点検知をロードセルにより行うので、原点検知と同時に加工時の切削抵抗のモニタリングが可能で、シェーパ工具の磨耗状態の監視等が可能なものである。
【００７０】
また本発明の請求項８の発明は、請求項５において、原点検知をＡＥ（アコーステックエミッション）センサーにより行うので、原点検知装置の小型化と刃先欠損検知が可能なものである。
【００７１】
また本発明の請求項９の発明は、請求項５において、原点検知を画像認識により行うので、原点検知と刃先磨耗のインライン直接計測が可能なものである。
【００７２】
また本発明の請求項１０の発明は、請求項４において、定寸切り込み量の移動を圧電素子により行うので、精度のよい定寸切り込みが可能であると共に切り込み装置の小型化が可能なものである。
【００７３】
また本発明の請求項１１の発明は、請求項４において、定寸切り込み量の移動を楔機構により行うので、定寸切り込みが簡単な機構で可能なものである。
【００７４】
また本発明の請求項１２の発明は、請求項１において、シェーパ加工の切り込みがシェーパ工具の幅を丸鋸刃のような切断工具の幅より大きくすることで行われるので、１本のシェーパ工具で同時にワークの両端面が加工可能であるために工具のコストが安くなる上に、シェーパ工具の切り込み量設定装置が不要になるため、機構が単純化し、設備コストも安くすることが可能となるものである。
【００７５】
また本発明の請求項１３の発明は、請求項１２において、シェーパ工具の掬い面にＶ溝を設け、切屑をＶ溝に集めるので、Ｖ溝の掬い角の効果による切れ味向上と、Ｖ溝による良好な切屑排除ができるものである。
【００７６】
また本発明の請求項１４の発明は、請求項１において、丸鋸刃のような切断工具による切断後の切断面のうねりや凹凸にシェーパ工具を倣わせながら加工するので、切断工具の切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら同一の切り込み量でシェーパ加工を行うことができ、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができるものであり、またシェーパ加工の加工量が一定に保たれるので、シェーパ工具の寿命延長が図れるものである。
【００７７】
また本発明の請求項１５の発明は、請求項１４において、シェーパ工具をシリンダあるいはバネ等の加圧手段により丸鋸刃のような切断工具の切断面に押し付けて、うねりや凹凸に倣わせて加工するので、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながらシェーパ加工を行うことができ、また加圧力を変化させることにより切り込み量を変えることができるため、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができるものである。
【００７８】
また本発明の請求項１６の発明は、請求項１５において、シェーパ工具をワーク厚み方向に回動自在として取り付け、シリンダあるいはバネ等の加圧手段により丸鋸刃の切断面に押し付けて、ワーク厚み方向の傾きに倣わせて加工するので、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸または厚み方向への傾きが生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができ、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができるものである。
【００７９】
また本発明の請求項１７の発明は、請求項１５において、シェーパ工具を保持する工具保持具を切断工具による切断面に摺接させ、工具保持具とシェーパ工具のエッジに段差を設け、シェーパ工具のエッジを工具保持具先端より切り込み量分だけ突出させて加工するので、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができる倣い加工を比較的安価な方法で行うことができるものである。
【００８０】
また本発明の請求項１８の発明は、請求項１７において、シェーパ工具を保持する工具保持具はシェーパ工具の送り方向前後で切断工具による切断面に摺接させるので、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができる倣い加工を比較的安価な方法で行うことができるが、摺接する工具保持具の先端がシェーパ工具の前後にあるため、ワークの出入り口で正確な切り込みができるものである。
【００８１】
また本発明の請求項１９の発明は、請求項１において、切断工具による切断面を測定手段を用いて測定した後、測定した切断面の位置情報に応じてシェーパ工具の位置を制御しながらシェーパ加工するので、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面を測定してシェーパ加工の工具経路を設定できるため、切断加工時の精度誤差を吸収することができ、切断面の良し悪しに左右されない良好な仕上げ加工面を得ることができるものである。
【００８２】
また本発明の請求項２０の発明は、請求項１９において、切断工具による切断面全体を走査して測定した後、シェーパ加工するので、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面を測定してシェーパ加工の工具経路を設定できるため、切断加工時の精度誤差を吸収することができ、また切り込み量や回数の設定もできるため、シェーパ加工時に取り残しの防止や切り込み過ぎによる無理な加工を防止できるものである。
【００８３】
また本発明の請求項２１の発明は、請求項１９において、測定手段の後にシェーパ工具を設け、切断工具の切断後の切断面を測定すると同時にシェーパ工具の位置を制御しながらシェーパ加工するので、切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面を測定してシェーパ加工のシェーパ工具を設定できるため、切断加工時の精度誤差を吸収することができ、また測定と同時期にシェーパ加工が行えるため、能率よく良好な仕上げ加工面を得ることができるものである。
【００８４】
また本発明の請求項２２の発明は、請求項１９において、加工面全体を走査して測定した後、寸法精度誤差判定を行うので、切断面の形状精度に応じて切断工具の交換時期の判断や切断寸法の変更が行えるため、切断面に切断工具の磨耗や切断装置の劣化による異常なうねりや凹凸、過大な仕上げ代が生じにくく、シェーパ加工時に無理な切り込みによる工具の切損や仕上げ面の劣化が防げるものであり、また切断面や仕上げ加工面の精度良否判定ができるものである。
【００８５】
また本発明の請求項２３の発明は、請求項１において、切り込み方向への刃先位置を揃えた複数のシェーパ工具を設けて加工を行うので、一つのシェーパ工具が欠損や磨耗しても他のシェーパ工具で加工が可能なため、加工品質が良好な状態で保持可能なものである。
【００８６】
また本発明の請求項２４の発明は、請求項１において、切り込み方向への刃先位置を違え、送り方向に対して前方の刃より順番に切り込み量を大きくした複数のシェーパ工具を設けて、１度に複数回分の切り込みを行って加工を行うので、必要な取り代が多い場合に工具にかかる負荷を軽減して、工具の破損を防止可能なものであり、またシェーパ加工で荒加工と仕上げ加工を行い、加工品質の向上が可能なものである。
【００８７】
また本発明の請求項２５の発明は、銅張り積層板のワークを丸鋸刃のような切断工具にて切断する切断装置と、上記切断装置による切断後にバリを除去するためにシェーパ加工するシェーパ加工装置を同一装置内に具備し、シェーパ加工装置は、切断した少なくとも一方のワークのバリを除去するために切削加工するシェーパ工具と、シェーパ工具を保持する工具の保持手段と、シェーパ工具をワークに切り込ませる切り込み手段と、シェーパ工具を加工方向に移動する手段と、シェーパ工具を加工送り方向に移動する移動手段と、シェーパ工具による切削時に切屑を除去する切屑除去手段を具備するので、切断工具による切断と、シェーパ加工装置のシェーパ工具によりバリを切削するシェーパ加工とを同一装置内で行うことにより、１回の加工で良好な切断品質が得られ、積層板の銅箔間の絶縁を確保することが可能なものであり、またエッチング加工時にドライフィルムを傷付けたりすることも防止可能であり、さらに１台の設備で加工が可能なので、リードタイムの短縮と切断コストの削減を図ることが可能なものである。
【００８８】
また本発明の請求項２６の発明は、請求項２５において、シェーパ工具をシリンダあるいはバネ等の加圧手段により丸鋸刃のような切断工具の切断面に押し付けて、うねりや凹凸に倣わせて加工するようにしたので、請求項１５と同様に切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながらシェーパ加工を行うことができ、また加圧力を変化させることにより切り込み量を変えることができるため、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができるものである。
【００８９】
また本発明の請求項２７の発明は、請求項２６において、シェーパ工具をワーク厚み方向に回動自在として取り付け、シリンダあるいはバネ等の加圧手段により丸鋸刃の切断面に押し付けて、ワーク厚み方向の傾きに倣わせて加工するようにしたので、請求項１６と同様に切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸または厚み方向への傾きが生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができ、バラツキのない良好な仕上げ加工面を得ることができるものである。
【００９０】
また本発明の請求項２８の発明は、請求項２６において、シェーパ工具を保持する工具保持具を切断工具による切断面に摺接させ、工具保持具とシェーパ工具のエッジに段差を設け、シェーパ工具のエッジを工具保持具先端より切り込み量分だけ突出させて加工するようにしたので、請求項１７と同様に切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができる倣い加工を比較的安価な方法で行うことができるものである。
【００９１】
また本発明の請求項２９の発明は、請求項２８において、シェーパ工具を保持する工具保持具はシェーパ工具の送り方向前後で切断工具による切断面に摺接させるようにしたので、請求項１８と同様に切断工具による切断面に切断工具の磨耗や切断装置の精度劣化によるうねりや凹凸が生じても、切断面にシェーパ工具が倣いながら任意の切り込み量でシェーパ加工を行うことができる倣い加工を比較的安価な方法で行うことができるが、摺接する工具保持具の先端がシェーパ工具の前後にあるため、ワークの出入り口で正確な切り込みができるものである。
【００９２】
また本発明の請求項３０の発明は、請求項２５において、切り込み方向への刃先位置を揃えた複数のシェーパ工具を設けて加工を行うようにしたので、請求項２３と同様に一つのシェーパ工具が欠損や磨耗しても他のシェーパ工具で加工が可能なため、加工品質が良好な状態で保持可能なものである。
【００９３】
また本発明の請求項３１の発明は、請求項２５において、切り込み方向への刃先位置を違え、送り方向に対して前方の刃より順番に切り込み量を大きくした複数のシェーパ工具を設けて、１度に複数回分の切り込みを行って加工を行うようにしたので、請求項２４と同様に必要な取り代が多い場合に工具にかかる負荷を軽減して、工具の破損を防止可能なものであり、またシェーパ加工で荒加工と仕上げ加工を行い、加工品質の向上が可能なものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明を実施する切断加工装置の使用状態の要部を示した平面図、（ｂ）は（ａ）の使用状態の概略斜視図である。
【図２】同上の正面から見た断面図である。
【図３】同上の他の実施の形態の例を示す正面図である。
【図４】同上の他の実施の形態の例を示す平面図である。
【図５】同上の他の実施の形態の例を示す斜視図である。
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は同上の他に実施の形態の例を説明する平面図である。
【図７】同上の他の実施の形態の例を説明する説明図である。
【図８】同上の他の実施の形態の例を説明する説明図である。
【図９】同上の他の実施の形態の例を説明する説明図である。
【図１０】同上の他の実施の形態の例を説明する説明図である。
【図１１】同上の他の実施の形態の例を説明する説明図である。
【図１２】同上の他の実施の形態の例を説明する説明図である。
【図１３】同上の他の実施の形態の例を説明する平面図である。
【図１４】同上の他の実施の形態の例を説明するもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図１５】同上の他の実施の形態の例を説明するもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図１６】同上の他の実施の形態の例を説明する説明図である。
【図１７】同上の他の実施の形態の例を説明する説明図である。
【図１８】同上の他の実施の形態の例を説明する平面から見た断面図である。
【図１９】同上の他の実施の形態の例を説明する平面から見た断面図である。
【図２０】同上の他の実施の形態の例を説明する斜視図である。
【図２１】同上の他の実施の形態の例を説明するもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図２２】同上の他の実施の形態の例を説明する斜視図である。
【図２３】同上の他の実施の形態の例を説明するフローチャートである。
【図２４】同上の他の実施の形態の例を説明する平面図である。
【図２５】同上の他の実施の形態の例を説明する平面図である。
【図２６】本発明による銅張り積層板の加工例の加工面を撮影した写真をプリントしたものの複写物である。
【図２７】丸鋸刃で切断しただけの銅張り積層板の加工例の加工面を撮影した写真をプリントしたものの複写物である。
【図２８】丸鋸刃で切断した後に研削加工した銅張り積層板の加工例の加工面を撮影した写真をプリントしたものの複写物である。
【符号の説明】
１  銅張り積層板
６  切断工具
６ａ  丸鋸刃
１３  シェーパ工具
１４  シェーパ工具移動用モータ
２３  掬い面
２９  ロードセル
３２  ＡＥセンサー
３７  圧電素子
３８  楔機構
４０  Ｖ溝
４１  工具保持具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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