(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアテーブル上に搬入し位置決めした透明板状体の一端面から光を照射し、透明板状体の上方に設けたラインカメラにて透明板状体の表面を走査し、得られた画像信号により透明板状体の欠陥を検出する方法において、線状光源を昇降自在とし、検査中のみ透明板状体の端面に近接させ、非検査時は搬送コンベアの頂部よりやや下方に待避させ、透明板状体の搬出時に通過自在とし、透明板状体の端面のみから前記線状光源を照射して透明板状体の表裏面間を繰り返し全反射させ、透明板状体の斜め上方に設けたラインカメラをカメラの走査方向と直交する水平方向に一定速度で移動させながら透明板状体面の法線に対して角度θの傾斜角度をもって透明板状体全面を撮像走査し、得られた輝度信号の所定レベルを境界として良否を判定することを特徴とする透明板状体の欠陥検出方法。
【請求項２】
透明板状体の端面より照射する前記線状光源と走行移動するカメラの走査位置との距離に応じて感度補正を行い、光源からの距離の遠近による差を無くすようにしたことを特徴とする請求項１記載の透明板状体の欠陥検出方法。
【請求項３】
透明板状体を浮上させるエアテーブルと、浮上した透明板状体を搬送手段により搬送させ、所定位置で位置決め停止させる位置決め手段と、透明板状体の一端面と近接し端面より光を照射する線状光源と、透明板状体面の斜め上部に設け透明板状体面を幅方向に走査するラインカメラと、ラインカメラを透明板状体を搬送する方向に一定速度で走行させる走行手段と、撮像した輝度信号を処理し所定レベルを境界として良否を判定処理する判定処理手段とからなり、前記線状光源を複数本の光ファイバーからなる帯状光源とし、該帯状光源を位置決めされた透明板状体の一端面に近接離反させ、検査時のみ透明板状体の端面に近接させて端面より光を入射させる昇降手段を設けたことを特徴とする透明板状体の欠陥検出装置。
【請求項４】
エアテーブルで浮上した透明板状体の片端面に当接、かつフリー回転する円筒状の押圧ローラーと、対向する端面に当接する円筒状の駆動ローラーとで、透明板状体の対向する二辺を押圧挟持し、前記駆動ローラーの回転で透明板状体を搬送するようにした搬送手段を設けたことを特徴とする請求項３記載の透明板状体の欠陥検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板等の透明板状体中の微細な泡、異物等の内部欠陥、及びキズ等の表面欠陥を検出する方法、および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス板や樹脂板等の透明板状体の欠陥検出方法、装置に於ける従来技術としては、リボン状に連なった透明板状体の欠陥を検査するものや、切断後の透明板状体の欠陥を検査するもの等、それぞれについて種々のものが知られている。
【０００３】
まず、リボン状の透明板状体の欠陥を検出するものとして、特開平１−１８９５４９号公報に示される様に、ガラスを搬送制御する機構と、線状に配置した光源からの光をスリットを通して、ガラスに投光することにより、ガラスの内部欠点、表面欠点を光の陰影として１次元カメラにて捉え、２次元データに変換後ガラスの良否を判定するガラス欠点検出装置が開示されている。
【０００４】
また、実開平３−２７３４３号公報に示されるように、移動する板ガラスの一表面より隔離して設けられ板ガラスに光線を照射する点状の光源と、板ガラスの他の表面から隔離して設けられ、該光源から照射され板ガラスを透過した透過光線により形成される映像を映写するスクリーンと、該スクリーン上を走査し板ガラスの欠点の映像をラインセンサーにより検出する板ガラス欠点検出装置が開示されている。
【０００５】
さらに、特開昭６１ー１７６８３８号、特開昭６１ー１７６８３９号に見られる様な光の屈折の違いを利用して背景の線の歪みを捉えるもの、レーザーフライングスポットによるレーザー光の透過光、反射光を利用したものなどがあげられる。
【０００６】
また、切断後の透明板状体の欠陥を検出するものとしては、例えば特開平４−３２０９５１号公報には、表面が平滑な被検査のガラス板を支持台に支持し、該ガラス板の側面に対して、適当な角度の白色光束を投射して内面により全反射させ、前記表面に存在する欠陥による該全反射光の散乱光を、前記表面側または裏面側で目視により観察し、または受光器により受光して該欠陥を検出するガラス板の表面欠陥検査方法と、ベース盤に固定され、表面が平滑な被検査の角型ガラス板の４辺を支持するフレームと、該フレームに支持された該角型ガラス板の直交する２辺の側面に対して適当な角度の白色光束を投射する２個の線光源と、該角型ガラス板の内面による全反射光の欠陥による散乱光を受像する受像カメラ、および前記側面の反射光による該受像に対する妨害を排除する遮蔽板とよりなるガラス板の表面欠陥検査装置が開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
まず、特開平１−１８９５４９号のように、線状に配置した光源からの光を１つのスリットを通して移動する板ガラスに投光することにより、板ガラスの欠点を光の陰影として１次元カメラにて検出し画像処理する例に於いては、透明板状体に付着した埃、汚れと欠陥の判別が不可能で、微小欠陥を検出しようとすると、埃、汚れなどを誤検出してしまう。
【０００８】
次に、実開平３−２７３４３のように、移動する板ガラスに点状の光源による光線を照射し、板硝子を透過後のスクリーンへの投影像を１次元カメラにて走査し、欠点による明暗部を検出する例においては、歪み欠陥の検出は可能であるが、外乱（外部光、埃、汚れ等）の影響を受け易く、また微細な欠陥の検出もできない。
【０００９】
更に、特開昭６１−１７６８３８〜９号の様に、検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間隔な複数の線列を透明な板状体を介して観察し、欠点部を線列の乱れとして、カメラで検出処理する例に於いては、等間隔の線列を横切って走査することにより欠点部分を通過する光の屈折率の違いにより、規則正しいパルス幅、ピッチの信号とは異なる信号を検出することを利用するもので、透明板状体の種々の欠点中、微小、もしくは淡いディストーションを伴った欠点の検出に於て、同方法を当てはめようとすると線列の乱れは確実に検出できない。しかも、透明板状体に付着した埃、汚れと欠点の判別が不可能で、埃、汚れを誤検出してしまう。
【００１０】
レーザーフライングスポットによるレーザー光の透過光、反射光を利用したものについては、装置自体も大型化となり高価格であり、非常に微細な欠点の検出が可能であるが、埃等による誤検出も多いという問題点がある。
【００１１】
すなわち、前述のような従来の検出方法にあっては、いずれの方法にしても、透明板状体の種々の欠点の内、例えば泡や異物等の透明板状体中の内部欠陥や、キズ等の表面欠陥のミクロンオーダーの微細な欠陥の検出について、確実に検出することができないという問題点があった。
【００１２】
さらに、切断後の透明板状体の欠陥を検出するものとして示した特開平４−３２０９５１号公報については、ガラス板を支持台上で支持し、ガラス板の側面に対して白色光束を投射し、側面の反射光により受像カメラに対する妨害を排除するための遮蔽板を必要とするものであり、本公報のものはガラス板のサイズが大きい場合、ガラス板が湾曲するが欠陥検査には差し支えない旨の記載があるが、近年基板も大型化かつ薄板化し、大サイズの薄板を検査する場合に、撓みによりカメラとガラス板の距離が一定とはならず、ピントが甘くなり、微小欠陥を検出しようとした場合、検出感度の低下により精度のよい欠陥検査ができない恐れがあった。さらに、ガラス板のサイズが大きくなると、投射した光量が端面から遠く離れるに従って少しづつ減衰して弱くなり、光源から離れた位置にある欠陥部分の輝度が減少することにより実際より小さめのサイズと判断され、許容範囲外のサイズの欠陥であっても許容範囲内のサイズであると誤判断される恐れがある。
【００１３】
さらにまた、二次元カメラをＸ軸、Ｙ軸方向に移動させてガラス板を検査をする旨の記載があるが、この方法は処理に時間がかかるという難点がある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、従来困難であった非常に微細なミクロン単位の泡、異物等の内部欠陥、およびキズ等の表面欠陥を塵埃や汚れの影響も受けず、安価にしかも確実、かつ速いタクトで自動的に全数検査できることを目的とするものである。 すなわち、本発明は、  エアテーブル上に搬入し位置決めした透明板状体の一端面から光を照射し、透明板状体の上方に設けたラインカメラにて透明板状体の表面を走査し、得られた画像信号により透明板状体の欠陥を検出する方法において、線状光源を昇降自在とし、検査中のみ透明板状体の端面に近接させ、非検査時は搬送コンベアの頂部よりやや下方に待避させ、透明板状体の搬出時に通過自在とし、透明板状体の端面のみから前記線状光源を照射して透明板状体の表裏面間を繰り返し全反射させ、透明板状体の斜め上方に設けたラインカメラをカメラの走査方向と直交する水平方向に一定速度で移動させながら透明板状体面の法線に対して角度θの傾斜角度をもって透明板状体全面を撮像走査し、得られた輝度信号の所定レベルを境界として良否を判定することを特徴とする透明板状体の欠陥検出方法である。
あるいはまた、本発明は、透明板状体の端面より照射する前記線状光源と走行移動するカメラの走査位置との距離に応じて感度補正を行い、光源からの距離の遠近による差を無くすようにしたことを特徴とする上述の透明板状体の欠陥検出方法である。
あるいはまた、本発明は、透明板状体を浮上させるエアテーブルと、浮上した透明板状体を搬送手段により搬送させ、所定位置で位置決め停止させる位置決め手段と、透明板状体の一端面と近接し端面より光を照射する線状光源と、透明板状体面の斜め上部に設け透明板状体面を幅方向に走査するラインカメラと、ラインカメラを透明板状体を搬送する方向に一定速度で走行させる走行手段と、撮像した輝度信号を処理し所定レベルを境界として良否を判定処理する判定処理手段とからなり、前記線状光源を複数本の光ファイバーからなる帯状光源とし、該帯状光源を位置決めされた透明板状体の一端面に近接離反させ、検査時のみ透明板状体の端面に近接させて端面より光を入射させる昇降手段を設けたことを特徴とする透明板状体の欠陥検出装置である。
あるいはまた、本発明は、エアテーブルで浮上した透明板状体の片端面に当接、かつフリー回転する円筒状の押圧ローラーと、対向する端面に当接する円筒状の駆動ローラーとで、透明板状体の対向する二辺を押圧挟持し、前記駆動ローラーの回転で透明板状体を搬送するようにした搬送手段を設けたことを特徴とする上述の透明板状体の欠陥検出装置である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明は、ガラス板やアクリル等の樹脂板等の透明板状体中の微細な泡、異物等の内部欠陥、及びキズ等の表面欠陥を検出する方法、および装置であって、前記課題を解決するための手段に記載した通りの構成からなる。
【００１６】
すなわち、本装置１は、透明板状体Ｇを浮上させるエアテーブル１２と、浮上した透明板状体Ｇを搬送する搬送手段１０と、所定位置で位置決め停止させる位置決め手段２０と、透明板状体Ｇの一端面と近接し端面より光を照射する線状光源３と、透明板状体Ｇの面の斜め上部に設け、透明板状体Ｇ面の法線に対して角度θの傾斜角度をもって、該面を幅方向に走査する複数のラインカメラ５、５、・・と、該ラインカメラ５、５、・・を透明板状体Ｇを搬送する方向に一定速度で走行させる走行手段３０と、撮像した明暗の輝度信号を処理し所定レベルを境界として良否を判定処理する判定処理手段としてのパソコン５２とからなり、好ましくは線状光源３を昇降自在とする昇降手段４０を設けた。
【００１７】
前記ラインカメラの走査線と透明板状体Ｇ面の法線との傾斜角度θは０〜６０度程度であるが、検出感度的には３０〜４５度の範囲とする方が好ましい。
エアテーブル１２は、架台７上に設け、上部面をフラットとしたテーブル板に複数の細孔を等間隔に設け、該細孔から高圧エアを噴出させるようにし、搬入したガラス板や樹脂板等の透明板状体Ｇを浮上させることができる。
【００１８】
該エアテーブル１１の上部には、エアテーブル１１上に搬入され浮上する透明板状体Ｇの端面に当接する押圧ロール２１、２１、・・と駆動ロール１４、１４、・・とで挟持押圧して搬送する搬送手段１０を設けた。
【００１９】
該搬送手段１０は透明板状体Ｇの搬送方向と平行に設けた押圧フレーム２３上に複数の押圧レバー２２、２２、・・の片端を軸着し、該押圧レバー２２、２２、・・の他端側先端部のそれぞれに透明板状体Ｇの端面に当接し自由回転する円筒形状の押圧ロール２１、２１、・・を設けた。
【００２０】
前記押圧レバー２２、２２、・・と押圧フレーム２３間にはそれぞれスプリング２４、２４、・・を設け、該スプリング２４、２４、・・の弾性力によって透明板状体Ｇの端面を適度な押圧力で常時押圧できるように押圧位置調整手段２５によって調整する。
【００２１】
また、透明板状体Ｇの押圧ロール２１、２１、・・と当接する辺と対向する辺の端面には、円筒形状の駆動ロール１４、１４、・・を当接させ、該駆動ロール１４、１４、・・は駆動モーター１５により駆動ベルト１６を介して回転駆動される。
【００２２】
また、エアテーブル１２の先端の所定位置には昇降自在なストッパーからなる位置決め手段を設け、透明板状体Ｇがエアテーブル１２上の所定位置にきた時に下降し、透明板状体Ｇの先端端面とストッパーを当接させて位置決めさせ、該位置で停止させるようにした。
【００２３】
線状光源３は、透明板状体Ｇの先端部端面より光を入射させるものであり、複数本の細長い光ファイバーを帯状に束ね、各ファイバーの先端の光の照射する部分の断面形状を線状とした帯状光源であり、光ファイバーの他端付近に設けたハロゲン光や水銀光等の光源からの光を光ファイバーを経由して透明板状体の先端部の端面へ導くようにしたもので、図６、図７に示すように搬出コンベア１３とエアテーブル１２間に設けた浮揚コンベア１７の下方位置に線状光源３を光源支持部材８を介して取り付け、昇降手段４０によって浮揚コンベア１７と共に昇降自在となるように設けた。
【００２４】
前記線状光源３としては前記光ファイバーを束ねたものに限らず、細長い１本のスリットを通して光源からの光を透明板状体Ｇの端面に照射するようにさせても良い。
【００２５】
また、前記線状光源３の光源の照射方向角度は図１に示すように、水平面より斜め下方の角度φ（１０度程度）から透明板状体Ｇの端面を照射するように配置させ、さらに、線状光源３の上部で線状光源３とラインカメラ５、５、・・間には、線状光源３からの直接光がラインカメラ５、５、・・に入射しないような位置に遮蔽カバー９を設けるようにした。
【００２６】
該昇降手段４０は、昇降シリンダ４１のシリンダロッドの先端に取付部材４２を介して昇降部材４４と遮蔽板４３を設けた。該昇降部材４４の上部には浮揚コンベア１７の下端部と当接する回動自在な押上ロール４５を設け、昇降シリンダ４１の作動により浮揚コンベア１７を昇降させる。
【００２７】
また、同時に昇降シリンダ４１の作動と共に遮蔽板４３が上昇し、透明板状体Ｇの先端の下端辺に当接させ、線状光源３からの光を透明板状体Ｇの端面以外の下面から入射しないようにさせるものである。
【００２８】
浮揚コンベア１７の浮揚側の下方には線状光源３の先端を光源支持部材８を介して取り付け固定し、浮揚コンベア１７の上昇と共に透明板状体Ｇの先端側端面に近接させるものである。
【００２９】
また、走行手段３０は、図１に示すように、透明板状体Ｇの斜め上方にはθの角度をもって、複数台のラインカメラ５、５、・・を設け、透明板状体Ｇの面の幅方向を各ラインカメラ５、５、・・で分担して走査させる。
【００３０】
当該ラインカメラ５、５、・・は、図５に示すように、架台７より支柱を設け、該支柱の上端側で透明板状体Ｇの搬送方向と平行な方向に走行レール３２を設け、該レール３２と嵌合し、レール３２に沿って走行するガイドに走行フレーム３３を搬送コンベアを横切る幅方向に水平に設けた。該走行フレーム３３には取付部材３４、３４、・・を介してラインカメラ５、５、・・を同一角度で同一方向に一列に取付け固定した。
【００３１】
さらに、前記押圧位置調整手段２５は、図４に示すように、検査する透明板状体Ｇの大きさによって調整する。前記押圧レバー２２、２２、・・の先端に回動自在に設けた押圧ロール２１、２１、・・がスプリング２４、２４、・・の弾性力によって透明板状体Ｇの端面を適度な押圧力で常時押圧できるように、ハンドル操作により、押圧フレーム２３の位置を自由に調整できる。
【００３２】
また、前記判定処理手段としてのパソコン５２は、複数台のラインカメラ５、５、・・によって撮像した明暗の輝度信号を画像処理装置５１によって、所定の輝度レベルを境界として二値化し、不合格となる画素の大きさが所定の画素数を超えた時に、符号良否を判定処理するものである。
【００３３】
さらに、感度補正手段６０は、透明板状体Ｇの端面より照射する前記線状光源３の位置を固定し、ラインカメラ５、５、・・を走行手段３０により走行移動させた時に、ラインカメラ５、５、・・の走査位置が線状光源３から離れるため、照度低下となるため、走査位置と線状光源３との距離に応じて感度補正、すなわち二値化のためのスライスレベルを下げるか、明暗の輝度信号を上げる等のいずれかを行い、線状光源３からの距離の遠近による差を無くすようにした。
【００３４】
本発明の欠陥検査装置１は前記構成からなるものであり、つぎに本装置を用いて欠陥を検査する方法について述べる。
まず、搬入コンベア１１により透明板状体Ｇを搬送させ、上面に複数の細孔を設け、該細孔より高圧エアを噴出するエアテーブル１２上にガラス板や樹脂板等の透明板状体Ｇを搬入して浮上させる。
【００３５】
続いて、浮上させた状態の透明板状体Ｇを搬送する方向と平行な辺の一端面に自由回転する円筒形状の押圧ロール２１、２１、・・を当接させ、対向する一辺の端面に円筒形状の駆動ロール１４、１４、・・を押圧させて挟持し、エアテーブル１２の先端の所定位置まで搬送移動させる。
【００３６】
透明板状体Ｇが前記搬送手段１０によってエアテーブル１２の先端の所定位置に移動接近すると、エアテーブル１２内に設けた図示しないセンサーによって駆動モーター１５を減速させ、エアテーブル１２の先端付近に設けたストッパを透明板状体Ｇの先端辺に当接する高さまで下降させ、透明板状体Ｇを浮上状態のまま停止させる。
【００３７】
続いて、エアテーブル１２と搬出コンベア１３間の浮揚コンベア１７を昇降シリンダ４１の作動によって上昇浮揚させ、浮揚コンベア１７の下部に設けた線状光源３を透明板状体Ｇの先端側端面の斜め下方に近接させる。また、同時に昇降手段によって上昇した遮蔽板４３を透明板状体Ｇの先端辺より僅かに突き出すように当接させ、斜め下方からの線状光源３の光が透明板状体Ｇの下面から入射しないようにした。
【００３８】
また、線状光源３の先端部の上部で線状光源３とラインカメラ５、５、・・を結ぶ中心線上には遮蔽カバー９を設け、線状光源３からの光が直接ラインカメラ５、５、・・に入射しないようにした。
【００３９】
前記線状光源３は、光源からの光が帯状に束ねたファイバーを経由して透明板状体Ｇの端面より斜めに入射し、透明板状体Ｇの表裏両面間を繰り返し全反射し、透明板状体Ｇ中の泡や異物等の内部欠陥に光が照射したり、キズ等の表面欠陥に光が照射したりすると該欠陥部分の光が散乱し、散乱光がラインセンサー５、５、・・で撮像される。
【００４０】
図１、図５に示すように、エアテーブル１２の上方に一列に設けた複数台のラインカメラ５、５、・・により、透明板状体Ｇの全幅を分割して走査するが、各ラインセンサー５、５、・・によって撮像された画像データはカメラのコントローラーによって輝度レベルを表す電気信号に変換後、画像処理装置５１に取り込まれ、透明板状体Ｇの検査幅に組み立て合成される。
【００４１】
得られた輝度波形について設定したスライスレベルで二値化し、低輝度信号「０」と高輝度信号「１」に分け、高輝度信号の画素数が規定数より大の場合、欠陥とみなし、パソコン等にそのＸ座標、Ｙ座標等を記憶させる。
【００４２】
また、図３、図５に示すような走行手段３０により各ラインカメラ５、５、・・が透明板状体Ｇの先端側から後端側に走行しながら透明板状体Ｇの全面を走査し、走査線毎にそれぞれの輝度信号波形を前記と同様にスライスレベルで二値化し、良否の判定を行う。
【００４３】
このようにして透明板状体Ｇを複数台のラインカメラ５、５、・・で走査しながら、走行手段３０を走行移動させて透明板状体Ｇの全面について欠陥を検出するものである。
【００４４】
また、透明板状体Ｇの端面より照射する前記線状光源３と走行移動するカメラの走査位置との距離に応じて感度補正を行うようにした。
さらに、透明板状体Ｇの端面より照射する前記線状光源３の位置を固定し、ラインカメラ５、５、・・を走行手段３０により走行移動させた時に、ラインカメラ５、５、・・の走査位置が線状光源３から徐々に遠く離れて僅かづつ照度低下となるため、感度補正手段６０により、走査位置と線状光源３との距離に応じて感度補正、すなわち二値化のためのスライスレベルを下げるか、明暗の輝度信号レベルを上げる等のいずれかの補正を行い、線状光源３からの距離の遠近による輝度差を無くし一定となるようにした。
【００４５】
さらに、透明板状体Ｇの端縁より数ミリ部分については、シーミング部分の散乱光がラインカメラ５、５、・・に入射しても、欠陥とみなさないように、ソフト的にマスキング処理等を行うようにした。
【００４６】
透明板状体Ｇの全面について検査が完了すると、前記線状光源３は昇降手段４０の昇降シリンダ４１の復動により遮蔽板４３と昇降部材４４が下降する。
昇降部材４４の下降により浮揚コンベア１７が下降し、浮揚コンベア１７の下部に固定された線状光源３も下降し、透明板状体Ｇを搬出可能とし、搬送手段１０と搬出コンベア１３の作動により透明板状体を搬出させた。
【００４７】
さらに、得られた結果をパソコン等にて記憶処理させれば、前記ラインカメラ５、５、・・の走行手段３０による走行位置と合わせて、透明板状体ＧのＸ軸、Ｙ軸方向の欠陥位置、大きさ等により、管理情報を得ることが出来る。
【００４８】
本発明のように、エアテーブル１２上で透明板状体Ｇを浮上させた状態で欠陥を検査するようにしたので、台上に載置して検査する場合に比べて、透明板状体Ｇが撓むことなくフラットな好条件で欠陥検査ができる。
【００４９】
非常に微小な欠陥を検出しなければならないので、透明板状体の表面を撮像する時のピントは精度を要し、エアテーブル１２はエアテーブル１２上で浮上する透明板状体Ｇの大きさ、板厚が変わっても、透明板状体Ｇの浮上高さがテーブル上端面から常に一定になるように風量を調節することができ、透明板状体のサイズ、板厚毎の風量を予め設定登録しておけば、検査品種の変更時にワンタッチで変更できる。
【００５０】
また、ファイバーによる帯状の線状光源３を透明板状体Ｇの端面に近接させて斜め下方より照射するようにし、透明板状体Ｇの下方より遮蔽板４３を透明板状体Ｇのエッジより僅かにはみ出すような位置に当接させるようにしたので、線状光源３による光が透明板状体Ｇの端面以外から入射することがなく、精度よく安定して欠陥の検出が可能である。
【００５１】
さらに、欠陥検出装置１を透明板状体Ｇを搬送するラインの途中に設け、照明である線状光源３を昇降自在とし、検査開始時、終了時に瞬時に昇降し透明板状体Ｇの端面に近接、あるい離反させるようにしたので、処理タクトの高速化を図ることができる。
【００５２】
以上のようにして、ガラス板やアクリル樹脂板、ポリカーボネート樹脂板のような透明板状体Ｇの表面欠陥、および内部欠陥を検出したがこれに限るものではなく種々の透明板状体に応用ができる。
【００５３】
また、透明板状体Ｇの板厚も０．５５ｍｍや０．７ｍｍといった１ｍｍ以下の薄板から数ｍｍの板厚のものまで対応できる。
以上のようにして検出された欠陥は更に演算処理を行い、求められた欠陥のＸ軸、Ｙ軸座標位置等の情報をパソコン等に出力記憶させ、後工程においてパソコン等の指示制御に基づいて欠陥と判定された部分を含むガラスを除去し、あるいは各種管理情報に加工することもできる。
【００５４】
【発明の効果】
本発明は、線状光源をファイバー光源としたので、非常に板厚の薄い透明板状体であっても、確実にその端面に近接させ、端面より照射することができる。
【００５５】
また、線状光源を昇降手段により昇降自在としたので、検査中のみ透明板状体の端面に近接するようにし、検査完了後は瞬時に搬送コンベアの下方に待避するので、透明板状体の入れ替えが高速となり、速いタクトで全数全面検査が実現できる。
【００５６】
さらに、１０ミクロン程度の微細な内部欠陥と表面欠陥であっても自動的に安価に確実に検出でき、透明板状体に付着した汚れや埃、ゴミ等の影響も受けることがない。
【００５７】
さらにまた、エアテーブル上で透明板状体を浮上させた状態で検査し、その搬送も透明板状体の端面エッジを挟持押圧して行うので、透明板状体の自重による撓みもないフラットな状態で検査でき、誤検出もなく、検査により透明板状体にキズをつけたり汚したりする恐れもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の欠陥検出装置の要部概略斜視図。
【図２】ラインカメラが撮像した輝度信号波形。
【図３】本発明の欠陥検出装置の側面図。
【図４】本発明の欠陥検出装置の平面図。
【図５】本発明の欠陥検出装置の正面図。
【図６】線状光源を上昇させて、透明板状体の検査状態を示す欠陥検出装置の側面図。
【図７】線状光源を下降させて、透明板状体の搬送状態を示す欠陥検出装置の側面図。
【符号の説明】
Ｇ          透明板状体
１          欠陥検出装置
２          欠陥
３          線状光源
５          ラインカメラ
６          コントローラー
７          架台
９          遮蔽カバー
１０          搬送手段
１１          搬入コンベア
１２          エアテーブル
１３          搬出コンベア
１４          駆動ロール
１５          駆動モーター
１６          駆動ベルト
１７          浮揚コンベア
２０          位置決め手段
２１          押圧ロール
２２          押圧レバー
２３          押圧フレーム
２４          スプリング
２５          押圧位置調整手段
２６          調整手段走行レール
３０          走行手段
３２          走行レール
３３          走行フレーム
４０          昇降手段
４１          昇降シリンダ
４３          遮蔽板
４４          昇降部材
４５          押上ロール
５１          画像処理装置
５２          パソコン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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