(57)【要約】診断装置（１０３，１１６，１２４）は、産業用機器（１０１，１０２，１１１〜１１５，１２１〜１２３）から送られてくる情報、あるいは前記産業用機器から定期的に収集した情報に基づいて、前記産業用機器の性能に関する所定の項目について、関連するデータを抽出し、前記産業用機器の異常の有無を早期に診断し、異常があればその原因を分析するとともに、診断結果及び分析結果を外部に通知する。これにより、産業用機器の異常を予測あるいは早期に検知するとともに、その原因を分析することが可能となる。
2002061514.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１台の産業用機器を診断する診断装置であって、
前記産業用機器の情報に基づいて、前記産業用機器における異常の有無の診断を行うとともに、異常が有る場合には異常分析を行う異常診断部と；
前記異常診断部による処理結果を外部に通知する異常通知部と；を備える診断装置。
【請求項２】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、異常内容毎に予め定めた診断理由について前記異常の有無の診断を行い、
前記異常通知部は、前記異常内容及び診断理由を前記診断結果に付加して外部に通知することを特徴とする診断装置。
【請求項３】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、前記異常分析に際して異常原因の分析及び該異常に対する対策の検討を行い、
前記異常通知部は、前記異常分析の結果に異常の原因及びその対策を付加して外部に通知することを特徴とする診断装置。
【請求項４】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、複数の分析ツールを更に備え、前記異常分析に際して異常の内容に基づいて前記複数の分析ツールのうちで最適な分析ツールを自動的に選択し、その選択された分析ツールを用いて前記異常分析を行うことを特徴とする診断装置。
【請求項５】
請求項１に記載の診断装置において、
前記産業用機器の情報は、前記産業用機器のイベント情報、前記産業用機器の稼働履歴情報、前記産業用機器の点検情報、前記産業用機器のエラー情報、前記産業用機器の自己計測情報、及び前記産業用機器の自己診断情報、のうち少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１に記載の診断装置。
【請求項６】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定の情報の発生頻度に基づいて行われることを特徴とする診断装置。
【請求項７】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定のイベントの発生の有無に基づいて行われることを特徴とする診断装置。
【請求項８】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定の情報の経時変化に基づいて行われることを特徴とする診断装置。
【請求項９】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定の情報に関して、同一産業用機器グループとの比較結果に基づいて行われることを特徴とする診断装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断は、前記産業用機器における所定の情報の経時変化に基づく異常予測を含むことを特徴とする診断装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部での診断結果は、異常の程度により複数段階のレベルに分けられることを特徴とする診断装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の診断装置において、
前記レベルの段階数は異常の内容によって異なることを特徴とする診断装置。
【請求項１３】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常通知部は、前記異常診断部による結果を電子メールで前記外部に通知することを特徴とする診断装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の診断装置において、
前記電子メールは、前記結果の内容に応じて自動作成され、対応する前記外部に自動送信されることを特徴とする診断装置。
【請求項１５】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、診断時の判定値及び診断方法の妥当性を評価するための診断シミュレーションを更に行うことを特徴とする診断装置。
【請求項１６】
請求項１に記載の診断装置において、
前記産業用機器は、デバイス製造装置であることを特徴とする診断装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の診断装置において、
前記デバイス製造装置は露光装置であり、前記異常診断は、アライメント系の精度診断、オートフォーカス系の変動診断、レンズ系の駆動機能診断及び光学特性変動診断、ステージ系の駆動機能診断及び精度診断、搬送系の搬送機能診断、並びに照明系の照度均一性診断及び照度診断、の少なくとも１つであることを特徴とする診断装置。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれか一項に記載の診断装置と；
該診断装置とネットワークで接続される少なくとも１台の産業用機器と；を備える診断システム。
【請求項１９】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記ネットワークはＬＡＮであることを特徴とする診断システム。
【請求項２０】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記ネットワークには、イントラネットが構築されていることを特徴とする診断システム。
【請求項２１】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記ネットワークには、管理者端末が更に接続されていることを特徴とする診断システム。
【請求項２２】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記診断装置は、前記産業用機器の情報を定期的に収集及び管理する収集部を更に備えることを特徴とする診断システム。
【請求項２３】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記産業用機器は、自己計測を行い、その結果を前記診断装置に通知することを特徴とする診断システム。
【請求項２４】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記産業用機器は、自己診断を行い、その結果を前記診断装置に通知することを特徴とする診断システム。
【請求項２５】
請求項２４に記載の診断システムにおいて、
前記自己診断は、前記産業用機器のイベント情報、前記産業用機器の稼働履歴情報、前記産業用機器の点検情報、前記産業用機器のエラー情報、及び前記産業用機器の自己計測情報の少なくとも１つに基づいて行われることを特徴とする診断システム。
【請求項２６】
請求項１８に記載の診断システムと；
前記診断システムと通信手段で接続され、前記診断システムからの情報に基づいて前記産業用機器を保全する管理サーバと；を備える遠隔保全システム。
【請求項２７】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記診断システムは、所定の条件下でのみ前記管理サーバからのアクセスを許可する認証部を更に備えることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項２８】
請求項２７に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記認証部は、前記産業用機器の情報に関するデータファイルや、前記異常診断及び異常分析に関するデータファイルへの外部からのアクセスに対して、ファイル毎に認証チェックを行うことを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項２９】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記診断システムを構成する前記診断装置の前記異常通知部は、前記異常診断部による処理結果を、診断結果に応じて異なる外部に通知することを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３０】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、前記診断システムからの情報に基づいて前記産業用機器の異常分析を行うことを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３１】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、前記産業用機器のベンダー側のネットワークに更に接続されていることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３２】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、更に部品管理システムとリンクされ、前記産業用機器の部品を交換する必要が生じた場合に、前記部品管理システムに前記部品の在庫の有無を確認するとともに、在庫がない場合には発注を指示することを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３３】
請求項３２に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、前記部品管理システムに対して担当者への前記部品の送付を指示することを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３４】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記通信手段は、専用回線を利用したものであることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３５】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記通信手段は、公衆回線を利用したものであることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３６】
請求項３５に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記通信手段は、インターネットを利用したものであることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３７】
請求項３６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、電子メールを送受信するためのメールサーバ機能及びＨＴＭＬ形式のファイル等を転送するウエブサーバ機能を有していることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３８】
少なくとも１台の産業用機器に発生するトラブルを解決するために、前記産業用機器に関する複数の情報を収集するための情報収集装置であって、
前記トラブル発生時に限らず、前記複数の情報を定期的に獲得する診断処理部と；
前記診断処理部によって獲得された情報を一括管理する管理部と；を備える情報収集装置。
【請求項３９】
請求項３８に記載の情報収集装置において、
前記診断処理部は、前記情報を処理するとともに、前記管理部が一括管理する情報には、前記診断処理部にて処理された情報が含まれることを特徴とする情報収集装置。
【請求項４０】
請求項３９に記載の情報収集装置において、
前記診断処理部による情報の処理は、所定情報の発生頻度の検出及び特定情報の経時変化の検出の少なくとも一方を特徴とする情報収集装置。
【請求項４１】
請求項３９に記載の情報収集装置において、
前記診断処理部による情報の処理は、所定イベントの発生の検出を含むことを特徴とする情報収集装置。
【請求項４２】
請求項３９に記載の情報収集装置において、
前記診断処理部による情報の処理は、同一産業用機器グループとの比較を含むことを特徴とする情報収集装置。
【請求項４３】
請求項３８に記載の情報収集装置において、
前記診断処理部は、前記情報の獲得のために、前記産業用機器の自己計測機能又は自己診断機能を用いることを特徴とする情報収集装置。
【請求項４４】
請求項３８〜４３のいずれか一項に記載の情報収集装置において、
前記産業用機器は、デバイス製造装置であることを特徴とする情報収集装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、診断装置、情報収集装置、診断システム及び遠隔保全システムに係り、更に詳しくは、デバイス製造装置等の産業用機器を診断する診断装置、定期的に産業用機器を診断する情報収集装置、前記診断装置を備えた診断システム、及び遠隔地にある前記診断システムを用いて産業用機器を保全する遠隔保全システムに関する。
背景技術
従来、保守を必要とする産業用機器は、ユーザ側の管理者やベンダー側の保守要員により定期的にメンテナンスが行われ、ハードウエアの各種調整や消耗部品の交換等により、産業用機器の性能維持あるいは回復が行われていた。
また、産業用機器にトラブルが発生すると、ユーザ側の管理者は電話やファックス等によりベンダー側の保守要員にトラブルの状況（現象）を通知していた。そして、連絡を受けたベンダー側の保守要員は、過去の経験やマニュアル、あるいはデータベース等を参照し、トラブルの原因を分析していた。
トラブルの原因が明白で、対策も既知の場合は、ユーザ側の管理者に対応策を指示したり、必要であれば保守要員が現地で機器の調整あるいは部品交換を行っていたが、原因が不明であったり、機器の調整等では解決しない場合には、保守要員は、トラブルが発生した産業用機器、すなわち実機での種々のデータ計測を行い、その計測データを分析しながら原因の絞込みを行っていた。
また、公衆回線を利用して、産業用機器の稼働状態をリモートで監視するシステムも一部では実施されているが、得られる情報が限定されており、一部のトラブルの有無を検知することは可能であるが、原因の分析は、上記と同様に保守要員が行っていた。
しかしながら、最近の産業用機器は、非常に複雑化しているために、トラブルの状況（現象）だけからは、その原因の絞込み、及び特定は困難になってきている。さらに、産業用機器の種類も増加しているために、保守要員が、迅速に原因の分析を行うことが困難になってきている。
しかも、トラブルが生じてからベンダー側に通知されるため、交換部品の調達、保守要員の確保、及び情報収集等に時間を要し、また、原因を特定するために実機での種々の計測を行わなければならず、その間は生産を中止しなければならなかった。
また、多種多様な部品が複雑にかかわりあっているために、小さな異常が大きなトラブルに発展することがあり、トラブルが発生してから対処したのでは、大規模な修理が必要になり、結果的にダウンタイムが非常に長くなって生産性を著しく低下させることとなるおそれもあった。
本発明は、かかる事情の下になされたものであり、その第１の目的は、産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムを極力抑制して生産性の向上に貢献することができる診断装置を提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムの低減を図ることが可能な診断システムを提供することにある。
また、本発明の第３の目的は、遠隔地にある産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムの低減を図ることが可能な遠隔保全システムを提供することにある。
また、本発明の第４の目的は、産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムを極力抑制して生産性の向上に貢献することができる情報収集装置を提供することにある。
発明の開示
本発明は、第１の観点からすると、少なくとも１台の産業用機器を診断する診断装置であって、前記産業用機器の情報に基づいて、前記産業用機器における異常の有無の診断を行うとともに、異常が有る場合には異常分析を行う異常診断部と；前記異常診断部による処理結果を外部に通知する異常通知部と；を備える診断装置である。
本明細書において、「産業用機器の情報」とは、例えば産業用機器から送られてくる情報、産業用機器からの指示で計測器から送られてくる情報、あるいは産業用機器から定期的に収集した情報などの産業用機器に関する情報の全てを含む。
これによれば、異常診断部は、産業用機器の情報に基づいて、産業用機器の性能に関する所定の項目について、関連するデータを抽出し、産業用機器の異常の有無を早期に診断し、異常があればその原因を分析する。そして、異常通知部は、診断結果、及び異常分析が行われた場合にはその分析結果をも外部に通知する。
従って、前記産業用機器に重大なトラブルが発生する前に、異常を検知することができ、初期段階での調整や部品交換等により、前記産業用機器の性能及び精度を維持することが可能となり、結果的に生産性の向上を図ることができる。
この場合において、例えば、異常診断部による異常有無の診断方法は、種々考えられ、例えば、前記異常診断部が、異常内容毎に予め定めた診断理由について前記異常の有無の診断を行う場合には、前記異常通知部は、前記異常内容及び診断理由を前記診断結果に付加して外部に通知することとすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常診断部が、前記異常分析に際して異常原因の分析及び該異常に対する対策の検討を行う場合には、前記異常通知部は、前記異常分析の結果に異常の原因及びその対策を付加して外部に通知することとすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常診断部は、複数の分析ツールを更に備える場合、前記異常分析に際して異常の内容に基づいて前記複数の分析ツールのうちで最適な分析ツールを自動的に選択し、その選択された分析ツールを用いて前記異常分析を行うこととすることができる。
本発明の診断装置では、前記産業用機器の情報は、前記産業用機器のイベント情報、前記産業用機器の稼働履歴情報、前記産業用機器の点検情報、前記産業用機器のエラー情報、前記産業用機器の自己計測情報、及び前記産業用機器の自己診断情報、のうち少なくとも１つを含むこととすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定の現象の発生頻度に基づいて行われる、あるいは前記産業用機器における所定のイベントの発生の有無に基づいて行われることとすることができる。この他、前記異常診断及び異常分析は、前記産業用機器における所定の情報の経時変化に基づいて行われる、あるいは前記産業用機器における所定の情報に関して、同一産業用機器グループとの比較結果に基づいて行われることとすることもできる。
本発明の診断装置では、前記異常診断は、前記産業用機器における所定の情報の経時変化に基づく異常予測を含むこととすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常診断部での診断結果は、異常の程度により複数段階のレベルに分けられることとすることができる。
この場合において、前記レベルの段階数は異常の内容によって異なることとすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常通知部は、前記異常診断部による結果を電子メールで前記外部に通知することとすることができる。
この場合において、前記電子メールは、前記結果の内容に応じて自動作成され、対応する前記外部に自動送信されることとすることができる。
本発明の診断装置では、前記異常診断部は、診断時の判定値及び診断方法の妥当性を評価するための診断シミュレーションを更に行うこととすることができる。
本発明の診断装置では、産業用機器としては種々の物が考えられ、例えば前記産業用機器は、デバイス製造装置であることとすることができる。
この場合において、前記デバイス製造装置が、露光装置である場合には、前記異常診断は、アライメント系の精度診断、オートフォーカス系の変動診断、レンズ系の駆動機能診断及び光学特性変動診断、ステージ系の駆動機能診断及び精度診断、搬送系の搬送機能診断、並びに照明系の照度均一性診断及び照度診断の少なくとも一つであることとすることができる。
本発明は、第２の観点からすると、本発明の診断装置と；該診断装置とネットワークで接続される少なくとも１台の産業用機器と；を備える診断システムである。
これによれば、診断装置と産業用機器とは、ネットワークで接続されているために、ほぼリアルタイムで双方向通信を行うことができ、診断装置は、産業用機器のイベントに関する前記異常診断及び異常分析をほぼリアルタイムで行うことが可能となる。従って、産業用機器に重大なトラブルが発生する前に、診断装置からほぼリアルタイムで通知される異常診断結果及び異常分析結果に基づいて、初期段階での調整や部品交換等を行うことにより、産業用機器の性能及び精度を維持することが可能となり、産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムの低減、ひいては生産性の向上を図ることが可能となる。
この場合において、前記ネットワークはＬＡＮであることとすることができる。
本発明の診断システムでは、前記ネットワークには、イントラネットが構築されていることとすることができる。
本発明の診断システムでは、前記ネットワークには、管理者端末が更に接続されていることとすることができる。
本発明の診断システムでは、前記診断装置は、前記産業用機器の情報を定期的に収集及び管理する収集部を更に備えることとすることができる。
本発明の診断システムでは、前記産業用機器は、自己計測を行い、その結果を前記診断装置に通知することとすることができる。
本発明の診断システムでは、前記産業用機器は、自己診断を行い、その結果を前記診断装置に通知することとすることができる。
この場合において、前記自己診断は、前記産業用機器のイベント情報、前記産業用機器の稼働履歴情報、前記産業用機器の点検情報、前記産業用機器のエラー情報、及び前記産業用機器の自己計測情報の少なくとも一つに基づいて行われることとすることができる。
本発明は、第３の観点からすると、本発明の診断システムと；前記診断システムと通信手段で接続され、前記診断システムからの情報に基づいて前記産業用機器を保全する管理サーバと；を備える遠隔保全システムである。
これによれば、診断システムは、産業用機器のイベントに関する前記異常診断及び異常分析をほぼリアルタイムで行い、それらの結果を通信手段を介して管理サーバに即座に通知する。そして、管理サーバは、前記診断結果及び分析結果に基づいて、迅速な対応を関係者に指示する。従って、産業用機器に重大なトラブルが発生する前に、保守要員等による初期段階での調整や部品交換等を行うことができる。これにより、産業用機器の精度を維持することができるとともに、産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムの低減を図ることが可能となり、ひいては生産性の向上を図ることが可能となる。
この場合において、前記診断システムは、所定の条件下でのみ前記管理サーバからのアクセスを許可する認証部を更に備えることとすることができる。
この場合において、前記認証部は、前記産業用機器の情報に関するデータファイルや、前記異常診断及び異常分析に関するデータファイルへの外部からのアクセスに対して、ファイル毎に認証チェックを行うこととすることができる。
本発明の遠隔保全システムでは、前記診断システムを構成する前記診断装置の前記異常通知部は、前記異常診断部による処理結果を、診断結果に応じて異なる外部に通知することとすることができる。
本発明の遠隔保全システムでは、前記管理サーバは、前記診断システムからの情報に基づいて前記産業用機器の異常分析を行うこととすることができる。
本発明の遠隔保全システムでは、前記管理サーバは、前記産業用機器のベンダー側のネットワークに更に接続されていることとすることができる。
本発明の遠隔保全システムでは、前記管理サーバは、更に部品管理システムとリンクされ、前記産業用機器の部品を交換する必要が生じた場合に、前記部品管理システムに前記部品の在庫の有無を確認するとともに、在庫がない場合には発注を指示することとすることができる。
この場合において、前記管理サーバは、前記部品管理システムに対して担当者への前記部品の送付を指示することとすることができる。
本発明の遠隔保全システムでは、前記通信手段は、専用回線を利用したものであることとすることもできるし、あるいは前記通信手段は、公衆回線を利用したものであることすることもできる。後者の場合、前記通信手段は、インターネットを利用したものであることとすることができる。この場合において、前記管理サーバは、電子メールを送受信するためのメールサーバ機能及びＨＴＭＬ形式のファイル等を転送するウエブサーバ機能を有していることとすることができる。
本発明は、第４の観点からすると、少なくとも１台の産業用機器に発生するトラブルを解決するために、前記産業用機器に関する複数の情報を収集するための情報収集装置であって、前記トラブル発生時に限らず、前記複数の情報を定期的に獲得する診断処理部と；前記診断処理部によって獲得された情報を一括管理する管理部と；を備える情報収集装置である。
これによれば、診断処理部は、異常の有無に関係なく、常時、産業用機器に関する複数の情報を獲得し、管理部は、診断処理部が獲得した情報を一括管理する。この結果、予め各種情報の蓄積がなされているため、トラブル発生時の情報収集が容易になり、トラブルの早期解決を図ることができる。そして、結果的に産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムを極力抑制して生産性の向上に貢献することが可能となる。
この場合において、前記診断処理部は、前記情報を処理するとともに、前記管理部が一括管理する情報には、前記診断処理部にて処理された情報が含まれることとすることができる。
この場合において、前記診断処理部による情報の処理は、種々考えられる。例えば、前記診断処理部による情報の処理は、所定情報の発生頻度の検出及び特定情報の経時変化の検出の少なくとも一方を含むこととすることもができる。あるいは、前記診断処理部による情報の処理は、所定イベントの発生の検出を含むこととすることができる。あるいは、前記診断処理部による情報の処理は、同一産業用機器グループとの比較を含むこととすることもできる。
本発明の情報収集装置では、前記診断処理部は、前記情報の獲得のために、前記産業用機器の自己計測機能又は自己診断機能を用いることとすることができる。
本発明の情報収集装置では、前記産業用機器は、デバイス製造装置であることとすることができる。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の一実施形態を図１〜図２０に基づいて説明する。
図１には、本発明の一実施形態に係る遠隔保全システムの構成が示されている。
この図１に示される遠隔保全システムは、産業用機器を供給しているベンダー１５０と、該ベンダー１５０と専用回線１４０を介して接続されている前記産業用機器のユーザである第１顧客Ｃ１及び第２顧客Ｃ２とを含んで構成された遠隔保全システムである。
前記第１顧客Ｃ１は、第１工場Ｆ１と第２工場Ｆ２の２つの工場を有している。このうち、第１工場Ｆ１には、２台の産業用機器１０１，１０２が設置されている。産業用機器１０１と産業用機器１０２とは、それぞれＬＡＮ１０４に接続されている。また、産業用機器１０１，１０２の情報に基づいて産業用機器１０１，１０２における異常診断及び異常分析を行うための診断装置としての第１工場Ｆ１用の診断サーバ１０３も前記ＬＡＮ１０４に接続されている。
前記第２工場Ｆ２には、５台の産業用機器１１１，１１２，１１３，１１４，１１５が設置されている。各産業用機器１１１〜１１５はそれぞれＬＡＮ１１７に接続されている。また、各産業用機器１１１〜１１５の情報に基づいて各産業用機器１１１〜１１５における異常診断及び異常分析を行うための診断装置としての第２工場Ｆ２用の診断サーバ１１６も前記ＬＡＮ１１７に接続されている。
前記ＬＡＮ１０４と前記ＬＡＮ１１７は、ファイアウォール１０５，１１８をそれぞれ介して第１顧客Ｃ１の社内ＬＡＮ１１０と接続されている。前記ファイアウォール１０５は、前記ＬＡＮ１０４上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、外部から不正に情報を取得されないようにする目的で設置されている。前記ファイアウォール１１８も同様に、前記ＬＡＮ１１７上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、外部から不正に情報を取得されないようにする目的で設置されている。
前記社内ＬＡＮ１１０には、第１顧客Ｃ１側の管理者端末１０６が接続されている。すなわち、前記診断サーバ１０３及び前記診断サーバ１１６はＬＡＮ間接続により前記管理者端末１０６と通信することができる。また、前記診断サーバ１０３と前記診断サーバ１１６とのサーバ間通信も前記社内ＬＡＮ１１０を介して行うことができる。これは、第１工場Ｆ１での産業用機器の稼動状態と第２工場Ｆ２での産業用機器の稼動状態を互いに知ることができることを意味している。
前記第２顧客Ｃ２は１つの工場を有し、該工場内には、３台の産業用機器１２１，１２２，１２３が設置されている。各産業用機器１２１〜１２３はそれぞれＬＡＮ１２５に接続されている。また、各産業用機器１２１〜１２３の情報に基づいて各産業用機器１２１〜１２３における異常診断及び異常分析を行うための診断装置としての診断サーバ１２４も前記ＬＡＮ１２５に接続されている。
前記ＬＡＮ１２５は、ファイアウォール１２６を介して第２顧客Ｃ２の社内ＬＡＮ１２０と接続されている。前記ファイアウォール１２６は、前記ＬＡＮ１２５上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、外部から不正に情報を取得されないようにする目的で設置されている。
前記社内ＬＡＮ１２０には、第２顧客Ｃ２側の管理者端末１２７が接続されている。すなわち、前記診断サーバ１２４はＬＡＮ間接続により管理者端末１２７と通信することができる。
第１顧客Ｃ１の社内ＬＡＮ１１０は、ファイアウォール１０７を介して専用回線１４０と接続されている。ファイアウォール１０７は、前記社内ＬＡＮ１１０上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、外部から不正にアクセスされないようにする目的で設置されている。
また、第２顧客Ｃ２の社内ＬＡＮ１２０は、ファイアウォール１２８を介して専用回線１４０と接続されている。ファイアウォール１２８は、前記社内ＬＡＮ１２０上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、外部から不正にアクセスされないようにする目的で設置されている。
前記ベンダー１５０側には、第１顧客Ｃ１側に設置されている７台の産業用機器１０１，１０２，１１１〜１１５の遠隔保全を行うための管理サーバ１５１と、第２顧客Ｃ２側に設置されている３台の産業用機器１２１〜１２３の遠隔保全を行うための管理サーバ１５２とが設けられている。これらの管理サーバ１５１，１５２は、ファイアウォール１５３，１５４をそれぞれ介してＬＡＮ１５６と接続されている。ファイアウォール１５３，１５４は、管理サーバ１５１，１５２にそれぞれ格納されているプログラムやデータが、外部から不正に盗まれたり、改ざんされたり、あるいは消去されたりしないようにする目的で設置されている。
さらに、前記管理サーバ１５１，１５２を介して各産業用機器の異常を詳細に分析するための情報分析端末１５５もＬＡＮ１５６に接続されている。また、ＬＡＮ１５６は、ファイアウォール１５７を介してベンダー側の社内ＬＡＮ１３０と接続されている。ファイアウォール１５７は、前記ＬＡＮ１５６上を流れる通信データが外部に漏れないようにするとともに、社内ＬＡＮ１３０上を流れる通信データが前記ＬＡＮ１５６に漏れないようにし、さらに外部から不正にアクセスされないようにする目的で設置されている。なお、前記情報分析端末１５５は、前記管理サーバ１５１，１５２にアクセスすることができるならば、必ずしも前記ＬＡＮ１５６に直接、接続されていなくても良い。
前記社内ＬＡＮ１３０には、ベンダー側の担当者端末１５９が接続されている。すなわち、前記管理サーバ１５１，１５２、及び情報分析端末１５５はＬＡＮ間接続により担当者端末１５９と通信することができる。これは、担当者端末１５９から前記情報分析端末１５５の操作ができることを意味している。さらに、担当者端末１５９は、管理サーバ１５１，１５２に格納されている各種ファイル、及び各種データベース等を参照することができる。また、社内ＬＡＮ１３０には、図示しない保守要員端末も接続されている。すなわち、社内ＬＡＮ１３０にメールサーバを備えることにより、前記診断サーバ１０３，１１６，１２４からベンダー側の担当者端末１５９及び保守要員端末に直接、電子メール等を送付することができる。
前記各ファイアウォールは、ＬＡＮへの不正侵入を防止するためのものであり、複雑な認証機構を利用した専用装置が用いられている。なお、場合によっては、ＩＰアドレスの識別のみを行うルータ、ブリッジ、あるいは両方の機能を有するブルータが用いられたり、アクセス制御を行うプロキシサーバ等が用いられたりすることもある。
なお、前記管理サーバ１５１，１５２は、情報の不正漏洩を防止するために、顧客側で許可されている場合のみ、前記診断サーバ１０３，１１６，１２４にアクセスし、各種ファイルやデータベース等を収集することができる。例えば、第１顧客Ｃ１は、認証部としての前記ファイアウォール１０７にて、ベンダーからの接続要求（アクセス）を許可あるいは拒否することができ、第２顧客Ｃ２は、認証部としての前記ファイアウォール１２８にて、ベンダーからの接続要求（アクセス）を許可あるいは拒否することができる。あるいは、診断サーバにて、各種ファイルやデータベース等にロック機能を設けることにより、外部からのアクセスを拒否あるいは許可することも可能である。これにより、ベンダー側で、詳細分析等に必要な場合のみ、顧客側の情報をダウンロードすることができ、顧客側の情報漏洩に対するセキュリティを高めることができる。
次に、前記診断サーバ１０３，１１６，１２４に送付され異常診断及び異常分析に用いられる前記産業用機器の情報に関して、各産業用機器において行われるデータ処理について説明する。
各産業用機器は、前記データ処理を行うため、図２に示されるように、情報出力部３０１と自己診断部３０２とを備えている。
前記情報出力部３０１は、ログファイル作成機能と、ログファイル送付機能と、装置定数ファイル作成機能と、イベントリアルタイム通知機能と、レシピファイル作成機能とを有している。
前記ログファイル作成機能とは、産業用機器内でのイベント情報、エラー情報、稼動履歴情報、計測データ、設定データ、通信データ等をログファイルとして作成する機能である。
イベントログファイルには、イベントの内容とイベントの発生時間とが含まれている。また、イベントに関連して、イベント発生後、一定時間内での産業用機器の稼動情報をロギングした内容を含むシーケンスログファイルも作成される。
エラーログファイルには、エラーの内容とエラーの発生日時とが含まれている。
さらに、稼動履歴ログファイルには、産業用機器のすべての操作及び動作に関連する情報が発生日時とともに含まれている。
計測データログファイルには、自動的に計測されたデータだけでなく、オペレータの指示により計測されたデータも含まれている。また、定期的に行われる計測だけではなく、試験的に行われる計測等も含まれている。
設定データログファイルには、各種設定データだけでなく、設定日時（又は更新日時）も含まれる。設定データは変更されることがあり、その変更された日だけでなく時間も重要である。その理由は、設定内容が各種計測データに影響を及ぼすことがあり、データ処理やデータ比較の有効性に関係してくるからである。
さらに、通信データログファイルには、送受信データと送受信時刻とが含まれている。
なお、イベントログファイル、シーケンスログファイル、エラーログファイル、計測データログファイル、及び設定データログファイルは、作成された時点でそれぞれの産業用機器の診断サーバに送信される。但し、計測データログファイルは、リアルタイム性を必要としないため、前記診断サーバが収集するのを待っていても良い。なお、前記診断サーバに送信されたファイル、及び前記診断サーバに収集されたファイルは、前記診断サーバに送信後、一定時間が経過すると自動的に削除される。産業用機器が備えるハードディスク等の記憶媒体の容量が診断サーバ等に比べてあまり大きくないからである。
産業用機器１０１，１０２，１１１〜１１５，１２１〜１２３としては、本実施形態では、例えば露光装置が用いられる。この露光装置の情報出力部３０１が作成するエラーログファイルには、アライメント系におけるサーチエラー、オートフォーカス（ＡＦ）系におけるポジショニングエラー、レンズ系（結像系）やレンズコントローラ（ＬＣ）系でのレンズ駆動機構のストロークエラー、ステージ系におけるＺチルト（ＺＴ）駆動エラー，可動レチクルブラインドの追従エラー，ポジショニングエラー，及びステージ駆動エラー、並びに搬送系におけるロードスライダー位置決めエラー、オリエンテーションフラット（ＯＦ）中心位置エラー、ＣＴ位置決めエラー、ＣＯＺ軸エラー、ＬＺ軸エラー等がある。
また、露光装置の情報出力部３０１が作成する計測データログファイルには、プリアライメント精度計測データ、同期精度計測データ、照度計測データ等がある。
さらに、露光装置の情報出力部３０１が作成するイベントログファイルには、レチクル予約処理の開始及び終了、レチクルの異物検査の開始及び終了、レチクル交換処理の開始及び終了、ロット処理の開始及び終了、パイロット露光の開始及び終了、本露光の開始及び終了、待ち状態の開始、エラー発生アラーム等がある。
また、例えば、レチクル交換処理のイベントログファイルには、開始及び終了時刻、終了状態（正常終了又は異常終了）、発生したエラーの統計データ、等が含まれる。ロット処理のイベントログファイルには、開始及び終了時刻、終了状態（正常終了又は異常終了）、発生したエラーの統計データ、ロット名、品名、工程名、処理ウエハ枚数、等が含まれる。
また、前記ログファイル送付機能とは、前記ログファイル作成機能にて作成された前記各種ログファイルを、リアルタイムで前記診断サーバに送付する機能である。そして、前記装置定数ファイル作成機能とは、メンテナンス時に設定あるいは更新された装置定数をファイリングする機能である。更新されたときは更新イベントを前記診断サーバに通知する。また、前記イベントリアルタイム通知機能とは、予め指定されたイベントが発生した時にイベント発生情報をリアルタイムで前記診断サーバに通知する機能である。さらに、前記レシピファイル作成機能とは、レシピファイルを作成、及び変更する機能である。
前記自己診断部３０２は、自己計測機能と自己診断機能とを有している。
前記自己計測機能とは、一定時間毎、あるいは産業用機器が停止状態のときに、予め設定されている項目の計測を自動的に行う機能である。ここでは、産業用機器によって処理された対象物についての計測（寸法等の計測）も含まれる。また、前記自己診断機能とは、イベント情報、稼働履歴情報、点検情報、エラー情報、及び自己計測情報等のうちの少なくとも一つに基づいて、産業用機器内部の診断を自動的に行う機能である。ここでは、内蔵されている各種性能評価用ツールが利用される。自己計測結果及び自己診断結果は、ファイリングされるとともに、前記診断サーバに送付される。また、自己診断結果を管理者端末に電子メール等で送付することも可能である。さらに、診断サーバが設置されていない場合には、ベンダー側の管理サーバに直接、ファイル転送や電子メール等で送付することも可能である。なお、前記自己計測及び自己診断は、予め設定されているスケジュールに従って自動的に行われるだけでなく、オペレータ、前記管理者端末、前記診断サーバ及び前記管理サーバからの要求により随時、行うことも可能である。
次に、前記診断サーバ１０３，１１６，１２４の機能について、図２を用いて説明する。
前記診断サーバは、図２に示されるように、収集部としての情報収集部３０３，情報分別部３０４，情報保存部３０５及び情報登録部３０６と、異常診断部としての診断部３０７及び情報分析部３０９と、異常通知部としての診断結果通知部３０８と、サーバ保守部３１０等を備えている。
前記情報収集部３０３は、ファイル収集機能、ファイル監視機能、及びイベントリアルタイム受信機能等を有している。
前記ファイル収集機能とは、各産業用機器の情報を日常的に収集及び一括管理する機能であり、具体的には、各産業用機器内に保存されている各種ファイルをスケジュール情報に基づいて定期的に収集したり、収集したファイルの履歴（収集の有無、最終収集ファイル作成日等）を管理したり、収集履歴（収集ファイル名、収集日等）を保存する機能である。なお、収集対象となるファイルはデータベースあるいは定義ファイルに保存されており、設定、変更することができる。さらに、ファイル毎に収集する時間間隔も変更することができる。
また、前記ファイル監視機能とは、前記ファイル収集機能にて収集したファイルの内容を定期的に監視し、最新ファイルを保存する機能である。なお、ファイル種毎に監視する時間間隔を変更することができる。さらに、イベントリアルタイム受信機能とは、リアルタイムで各産業用機器との双方向通信を行う機能である。一例として、受信割り込み処理が利用される。各産業用機器から送付される各種ファイル等は、ここで受信される。
前記情報分別部３０４は、前記情報収集部３０３が各産業用機器から受信あるいは収集した各種ファイル等を点検し、必要な情報（日時、サマリー情報等）のみを抽出して新たなファイルを作成する。すなわち、情報のフィルタリング処理を行う。
前記情報保存部３０５は、前記情報収集部３０３が各産業用機器から受信あるいは収集した各種ファイル等、及び前記情報分別部３０４にて作成されたファイル等を圧縮し、ハードディスク等の記憶媒体に保存する。なお、保存期間は各ファイル毎に設定、及び変更ができるようになっている。アクセスを許可されたベンダーは、ここで保存されたファイル等を、ネットワークを介して容易に収集することができる。保存期間を経過したファイル等は自動的に削除される。
前記情報登録部３０６は、前記情報分別部３０４にて分別された各種情報を、それぞれに対応するデータベースに登録する。ここで登録されたデータは、前記診断部３０７での診断に利用される。また、アクセスを許可されたベンダーは、ここで登録されたデータ等を、ネットワークを介して容易に収集することができ、ベンダー側での簡易分析等に利用される。なお、産業用機器内の各種装置のバージョン情報及び調整情報もデータベースに登録される。また、データベース内に登録された情報は、指定された保存期間が経過すると、自動的に削除される。
前記診断部３０７は、頻度診断機能、経時変化診断機能、装置間比較診断機能、及びイベント診断機能等を有している。診断結果は、異常の程度によりレベル１からレベル３の３段階に分けられる。ここでは、レベル１は最も異常の程度が高く、迅速な対応が要求される異常である。なお、異常のレベルは３段階に限定されるものではなく、診断対象によって異なっていても良い。また、前記診断部３０７は、異常と診断すると診断結果としての異常判定情報を作成する。但し、異常のレベルが低い場合には、異常判定情報を作成しないこともある。
前記頻度診断機能とは、予め設定されている項目に関して、予め設定されている判定期間内での異常の発生頻度に基づいて診断する機能である。なお、判定期間、及び判定値は設定、及び変更が可能である。また、診断対象となる項目も変更可能である。
前記経時変化診断機能とは、予め設定されている項目に関して、予め設定されている判定期間内でのデータの変化量に基づいて診断する機能である。すなわち、図２０に示されるように、データベース等に登録されている過去（判定期間内）のデータから将来（予測日：数日又は数週間先等）におけるデータ値を予測し、その予測値と判定値とを比較して異常の予測及び予測される異常のレベルを診断する。なお、判定期間（又は判定開始日、あるいは判定終了日）、判定値、及び予測日はあらかじめ設定されており、変更が可能である。また、診断対象となる項目も変更可能である。
さらに、前記装置間比較診断機能とは、予め設定されている項目に関して、予め設定されている対象産業用機器、あるいは同一産業用機器グループにおけるデータとの差分に基づいて診断する機能である。なお、対象産業用機器、産業用機器グループ、及び判定値は変更が可能である。また、診断対象となる項目も変更可能である。
前記イベント診断機能とは、特定イベントの発生の有無や、産業用機器からの自己診断結果に基づいて診断する機能である。診断対象となるイベントは変更可能である。
これらの診断機能は、データ毎に、いずれか一つあるいは複数の機能が所定の組み合わせで選択されるように設定されている。また、前記経時変化診断機能は、他の診断と併用される場合もある。なお、異常診断は、産業用機器から情報を受信した時だけでなく、診断する項目によってはスケジュール情報に基づいて定期的に行われる。
また、診断時の診断条件を変更し、マニュアル起動で診断を実行することもできる。これにより、診断時の判定値、及び診断方法の妥当性を評価することが可能となる。但し、マニュアル起動は、一種の診断シミュレーションであるため、異常と診断された場合でも、診断結果は通知されない。また、診断条件は、診断シミュレーション用として設定することが可能であり、自動診断に影響を与えないように診断条件を変更することができる。さらに、診断条件、診断時に使用した情報及び診断結果等は、グラフィカルに表示される。
なお、産業用機器からの受信情報に対して、診断する項目（診断項目）と、その診断に必要なデータ（モニター対象データ）と、モニター対象データが格納されているファイル名については、予め診断データベースに登録されている。例えば、露光装置において、図３に示されるように、受信情報がプリアライメントサーチエラー情報の場合は、エラーログファイル及びエラー情報データベースに格納されているプリアライメントサーチエラーの発生頻度に基づいてアライメント系のプリアライメント精度が診断され、受信情報が照度計測データ情報の場合は、照度データファイル及び照度データベースに格納されている照度データの予測値に基づいて照度低下が診断され、受信情報がウエハ交換情報の場合は、ウエハ交換データファイル及びウエハ交換データベースに格納されているウエハ交換時間のトレンドデータに基づいてウエハ搬送機能低下が診断される。また、異常と診断されたときの対策についても既知の場合はエラー情報データベースに登録されている。
図２に戻り、前記診断結果通知部３０８は、不定期通知機能と、定期通知機能とを有している。
前記不定期通知機能とは、前記診断部３０７において、異常と診断された時に、前記診断部３０７で作成された診断結果としての異常判定情報をリアルタイムで、電子メール等で前記管理サーバ及び管理者端末等に通知する機能である。ここでは、前記異常判定情報は、その内容に応じて、顧客側で対応できる場合は顧客側の担当者端末に通知され、早急な対応が必要な場合はベンダー側の保守要員に通知され、予測される異常の場合や詳細分析が必要とされる異常の場合はベンダー側の担当者端末に通知される。また、前記内容と宛先との関係は、あらかじめデータベースに登録されている。
前記定期通知機能とは、前記診断部３０７での診断結果を、日報等の形で前記管理サーバ及び管理者端末に定期的に通知する機能である。電子メールで通知する場合は、情報の内容に合わせて件名を自動作成し、情報の内容あるいは件名から宛先のアドレスを抽出し、情報の内容に合わせてメール本文を作成し、送信する。件名、宛先、送信日時等は履歴情報として保存される。
前記情報分析部３０９は、前記診断部３０７での診断結果が異常の場合に、その異常の原因を特定するために、種々の分析ツールを用いて異常分析を行い、その分析結果をベンダー側や管理者端末からブラウザ等で参照できるようにＨＴＭＬ形式でファイル化する。なお、本実施形態では、前記管理サーバからの指示により分析ツールが選択され異常分析が行われるようになっているため、異常分析を行うか否かは、ベンダーの担当者が判断するが、異常の内容に基づいて最適の分析ツールを自動的に選択し、異常分析を行うことも可能である。
前記サーバ保守部３１０は、システム設定機能と、システム稼動履歴保存機能とを有している。
前記システム設定機能とは、装置情報や各種条件等の設定（登録、変更、削除）を行う機能である。例えば、前記診断部３０７にて参照される対象産業用機器や産業用機器グループの設定、診断時の判定値、診断方法、判定期間及び分割期間等の診断条件の設定、前記情報保存部３０５にて参照されるデータの保存期間等の設定に利用される機能である。なお、診断条件は、産業用機器毎に設定することができ、未設定の産業用機器についてはデフォルト値が使用される。また、診断方法は産業用機器の情報毎に複数設定することができる。さらに、自動的に診断を行う項目についても設定可能であり、診断無効と設定されている項目については自動診断は実行されない。また、オペレータが、操作しやすいようにグラフィカルユーザーインターフェース（ＧＵＩ）を有している。また、勝手に内容が変更されないように、パスワードが一致しなければ変更できないようになっている。なお、変更履歴はファイルに保存される。
前記システム稼動履歴保存機能とは、診断サーバの稼動履歴をファイルとして保存する機能である。遠隔保全システム自身の稼動診断に利用される。
次に、前記管理サーバ１５１，１５２の機能について図２を用いて説明する。
前記管理サーバは、顧客別にベンダー側に設置されており、図２に示されるように、通知部３１１、集計部３１２、詳細情報収集部３１３、分析操作参照部３１４、サーバ保守部３１５、及び社内システムとのリンク部３１６等を備えている。
前記通知部３１１は、診断サーバの前記診断部３０７での診断結果が異常の場合に、診断サーバの前記診断結果通知部３０８から送られてくる診断結果としての異常判定情報に基づいて、異常情報を一括管理している図示しない管理センターに表示データを送付したり、ベンダー側の担当者端末１５９や図示しない保守要員端末に電子メール等で前記異常判定情報の内容を通知する。電子メールで通知する場合は、情報の内容に応じて自動的に宛先を選択する。
前記集計部３１２は、前記通知部３１１が受信した異常判定情報の履歴を集計したり、定期診断情報の履歴を週報や月報のような定期レポートに編集する。
前記詳細情報収集部３１３は、前記通知部３１１が異常判定情報を受信した場合に、前記通知部３１１の指示により、診断サーバの記憶媒体に保存されている関連するファイルやデータベースのデータ等を、前記診断サーバの情報保存部３０５や情報登録部３０６を介して、ブラウザ等で収集する。なお、収集を実行した履歴はオペレーション履歴として保存される。但し、異常判定情報の内容がすでに既知であり、その原因及び対策が明確な場合には利用されないことがある。
前記分析操作参照部３１４は、診断サーバの前記情報分析部３０９で利用可能な分析ツールを操作し、前記詳細情報収集部３１３が収集したファイルやデータベースに基づいて異常分析を行うとともに、その分析結果をファイルとして出力する。なお、出力結果はブラウザ等で参照できるようになっている。なお、ここでは、前記診断サーバ側に搭載されている分析ツールをリモートアクセスして利用しているが、これに限定されるものではなく、例えば、管理サーバ側にも搭載することができる。但し、前記詳細情報収集部３１３が利用されない場合には、当然、ここでの分析は行われない。
前記サーバ保守部３１５は、システム設定機能と、システム診断機能とを有している。
前記システム設定機能は、管理サーバで使用される各種設定データの登録、変更及び削除を行う機能である。また、前記システム診断機能は、診断サーバから定期的に通知される前記システム稼動履歴の有無をチェックし、遠隔保全システム自身が正常に動作しているか否かを診断する機能である。なお、ハードディスク等の記憶媒体のバックアップを取ることも、前記システム診断機能に含まれる。
前記社内システムとのリンク部３１６は、社内システムにおける消耗品管理システム（不図示）、およびバージョン管理システム（不図示）等と、リンクしている。また、社内システムのウエブサーバ（不図示）に前記異常判定情報の内容を転送し、社内に公開することにより、未解決のトラブルの早期解決を図っている。特に、消耗品管理システムとのリンクにより、産業用機器の部品を交換する必要が生じた場合に、消耗品管理システムに在庫の有無を確認するとともに、在庫がない場合には即座に発注することが可能となる。また、必要な部品を、担当の保守要員に直ちに送付することもできる。
また、前記管理サーバ１５１，１５２は、電子メールを送受信するためのメールサーバ機能、ファイルを送受信するためのＦＴＰサーバ機能、及びＨＴＭＬ形式のファイル等を転送するウエブサーバ機能も有している。
次に、前記情報分析端末１５５の機能について、図２を用いて説明する。
ベンダー側に設置されている前記情報分析端末１５５は、図２に示されるように、詳細分析部３１７を備えており、管理サーバの前記詳細情報収集部３１３が収集したファイルやデータベースのデータ等の詳細情報に基づいて異常分析を行うための、既存ツール分析機能と、簡易ツール分析機能と、詳細ツール分析機能と、ユーザ間比較機能と、を有している。これらの機能は、異常の内容及び程度によって使い分けられる。
前記既存ツール分析機能とは、既存の分析ツールを使用して異常の原因と対策を詳細に分析する機能である。ここでは、目的に応じて専用のアプリケーション・ソフトが利用される。一方、前記簡易ツール分析機能とは、汎用性の高い表計算ソフト等を利用した柔軟性の高いツールを使用して診断サーバに保存されているデータベース等に基づいて、各種データの経時変化グラフやヒストグラム等を表示する機能である。これは、表計算ソフト等のマクロ機能を利用することにより容易に行うことができる。また、前記詳細ツール分析機能とは、管理サーバの前記分析操作参照部３１４を介して前記診断サーバ側に搭載されている分析ツールをリモートアクセスにより利用して異常の原因と対策を詳細に分析するとともに、その分析結果をブラウザ等から参照できるようにファイル化する機能である。さらに、ユーザ間比較機能とは、詳細情報に基づいて、同一の産業用機器を使用している他の顧客におけるデータと比較して異常の原因と対策を分析する機能である。
診断サーバから通知された異常判定情報が、すでにその原因と対策が判明している内容であれば、前記情報分析端末１５５での異常分析は行われない場合がある。例えば、露光装置において、異常判定情報が搬送系におけるロードスライダー動作不良の場合には、スライダー交換という対策がエラー情報データベースに登録されているので、前記情報分析端末１５５での異常分析は行われないことがある。但し、エラー情報データベースに登録されていても、同時期に複数の項目について異常判定情報が通知される場合には、他の要因が考えられるため、前記情報分析端末１５５での異常分析が行われることもある。すなわち、前記情報分析端末１５５での異常分析を行うか否かは、ベンダー側の担当者が判断する。
なお、前記情報分析端末１５５での分析結果は、エラー情報データベースに登録される。分析結果を有効利用するためである。
次に、本実施形態における情報の流れについて、図２を用いて説明する。
ＤＡＴＡ１は、産業用機器のイベント情報、稼動履歴情報、エラー情報、及び計測データ等であり、産業用機器の情報出力部３０１から診断サーバの情報収集部３０３に送信される。
ＤＡＴＡ２は、産業用機器の自己計測データ、及び自己診断結果等であり、産業用機器の自己診断部３０２から診断サーバの情報収集部３０３に送信される。
ＤＡＴＡ３は、産業用機器の自己診断結果等であり、産業用機器の自己診断部３０２から診断サーバの診断結果通知部３０８に送信される。
ＤＡＴＡ４は、診断サーバの情報保存部３０５が圧縮保存したファイル等であり、管理サーバの詳細情報収集部３１３に送信される。
ＤＡＴＡ５は、診断サーバの情報登録部３０６が登録したデータベース等であり、管理サーバの詳細情報収集部３１３に送信される。
ＤＡＴＡ６は、産業用機器の自己診断結果等、及び診断サーバの診断部３０７での診断結果（異常判定情報）等であり、診断サーバの診断結果通知部３０８から管理サーバの通知部３１１に送信される。
ＤＡＴＡ７は、管理サーバの分析操作参照部３１４から診断サーバの情報分析部３０９への分析操作指示、及び診断サーバの情報分析部３０９での分析結果等である。
ＤＡＴＡ８は、管理サーバの詳細情報収集部３１３が診断サーバから収集した前記ＤＡＴＡ４及び前記ＤＡＴＡ５と同一内容であり、管理サーバの詳細情報収集部３１３から情報分析端末の詳細分析部３１７に送信される。
ＤＡＴＡ９は、情報分析端末の詳細分析部３１７から管理サーバの分析操作参照部３１４への分析操作指示、及び診断サーバの情報分析部３０９での分析結果等である。
次に、各産業用機器と診断サーバとの間の通信について説明する。
各産業用機器と診断サーバとは、双方向通信であり、しかもリアルタイム性が要求される。そこで、一例として、第２顧客Ｃ２における各産業用機器１２１〜１２３と診断サーバ１２４との間の通信について説明する。
通信方式としては、診断サーバ１２４を親側、各産業用機器１２１〜１２３を子側とするポーリング・セレクティング方式を用いる。
ポーリング・セレクティング方式では、親側である診断サーバ１２４が通信の主導権を有しており、子側である各産業用機器１２１〜１２３は、親側の指示に基づいて各種情報を情報電文として送受信する。
また、各産業用機器は、識別用のＳＡ（ステーションアドレス）を有しており、診断サーバ１２４は、ＳＡで産業用機器を特定する。本実施形態では、一例として、１台目の産業用機器１２１のＳＡを４０Ｈ、２台目の産業用機器１２２のＳＡを４１Ｈ、３台目の産業用機器１２３のＳＡを４２Ｈとする。ここで、数字の後に付加された「Ｈ」は、１６進数であることを意味する。
診断サーバ１２４は、各産業用機器に対してポーリング電文又はセレクティング電文を送信し、各産業用機器との通信を制御する。
ここで、ポーリング電文とは、図６Ａに示されるように、ＳＡ部、５１Ｈ、０５Ｈ、の３バイトで構成される電文である。例えば、１台目の産業用機器１２１に対するポーリング電文は、ＳＡ部が１台目の産業用機器１２１のＳＡである４０Ｈとなる。
また、セレクティング電文とは、図６Ｂに示されるように、ＳＡ部、４１Ｈ、０５Ｈ、の３バイトで構成される電文である。例えば、２台目の産業用機器１２２に対するセレクティング電文は、ＳＡ部が２台目の産業用機器１２２のＳＡである４１Ｈとなる。
なお、ポーリングとは、診断サーバ１２４が、いずれか１台の産業用機器を指定して、診断サーバ１２４への情報電文の送信を許可することを意味し、セレクティングとは、いずれか１台の産業用機器を指定して、診断サーバ１２４からの送信電文があることを意味する。
また、ポーリング・セレクティング方式で用いられる通信制御キャラクタとして、情報電文の始まりを示すキャラクタをＳＴＸ（０２Ｈ）、情報電文の終わりを示すキャラクタをＥＴＸ（０３Ｈ）、受信電文に対する肯定応答を示すキャラクタをＡＣＫ（１０Ｈ）、受信電文に対する否定応答を示すキャラクタをＮＡＫ（１５Ｈ）、送信終了を示すキャラクタをＥＯＴ（０４Ｈ）、とする。これらは、一般的に用いられている通信制御キャラクタである。
ここで、各産業用機器から診断サーバ１２４に送信する情報電文の構成について説明する。各産業用機器から送信される情報電文は、図６Ｃに示されるように、ＳＴＸ、ＳＡ部、５１Ｈ、情報部、ＥＴＸ、ＢＣＣで構成される可変長電文である。ＢＣＣとは、ブロックチェックコードを意味し、ＳＡ部からＥＴＸまでの排他的論理和の値がセットされる。電文の正当性を担保するために付加されている。ＥＴＸは、情報部が可変長であるために、情報部の終了であることを示すために情報部の後に付加されている。また、情報部は、通信制御キャラクタと区別するためにＡＳＣＩＩコードに変換される。例えば、０〜９は３０Ｈ〜３９Ｈとなる。
次に、診断サーバ１２４から各産業用機器に送信する情報電文の構成について説明する。診断サーバ１２４から送信される情報電文は、図６Ｄに示されるように、ＳＴＸ、ＳＡ部、４１Ｈ、情報部、ＥＴＸ、ＢＣＣで構成される可変長電文である。ＢＣＣとは、上述と同様にブロックチェックコードを意味し、ＳＡ部からＥＴＸまでの排他的論理和の値がセットされる。電文の正当性を担保するために付加されている。ＥＴＸは、情報部が可変長であるために、情報部の終了であることを示すために情報部の後に付加されている。また、情報部は、通信制御キャラクタと区別するためにＡＳＣＩＩコードに変換される。例えば、０〜９は３０Ｈ〜３９Ｈとなる。
次に、ポーリング・シーケンスについて、図４を用いて具体的に説明する。
診断サーバ１２４は、先ず、図４に示されるように、１台目の産業用機器１２１へのポーリング電文（ＰＯＬ１）として、４０Ｈ（ＳＡ部）、５１Ｈ、０５Ｈ、の３バイト電文を送信する。
各産業用機器は、このポーリング電文を受信するが、ＳＡ部が４０Ｈであるため、１台目の産業用機器１２１のみがこのポーリング電文を取り込み、２台目と３台目の産業用機器１２２，１２３は、このポーリング電文を無視する。これにより、診断サーバ１２４と１台目の産業用機器１２１との通信回線が確保される。１台目の産業用機器１２１は、取り込んだ受信電文の２バイト目が５１Ｈであるために、ポーリング電文であると判断し、診断サーバ１２４に送る情報が有るかどうかをチェックし、情報がなければ、図４に示されるように、ＥＯＴ（０４Ｈ）を送信する。
一方、診断サーバ１２４は、ポーリング電文（ＰＯＬ１）を送信後、ＥＯＴ（０４Ｈ）を受信すると、次に、２台目の産業用機器１２２に対するポーリング電文（ＰＯＬ２）として、４１Ｈ（ＳＡ部）、５１Ｈ、０５Ｈの３バイト電文を送信する。各産業用機器は、このポーリング電文を受信するが、ＳＡ部が４１Ｈであるため、２台目の産業用機器１２２のみがこの電文を取り込み、１台目と３台目の産業用機器１２１，１２３は、このポーリング電文を無視する。すなわち、診断サーバ１２４と２台目の産業用機器１２２との通信回線が確保される。
２台目の産業用機器１２２は、取り込んだ受信電文の２バイト目が５１Ｈであるために、ポーリング電文であると判断し、診断サーバ１２４に送る情報が有るかどうかをチェックし、情報があれば、情報電文を作成し、診断サーバ１２４に送信する。
診断サーバ１２４は、ポーリング電文（ＰＯＬ２）を送信後、情報電文を受信すると、受信電文のＳＡからＥＴＸまでの排他的論理和を算出し、ＢＣＣと一致するか否かをチェックする。ここで、もし一致したならば、正しい情報電文を受信したと判断し、図４に示されるように、肯定応答であるＡＣＫ（１０Ｈ）を送信する。もし一致しなければ、情報電文がノイズ等の外乱により壊れていると判断し、否定応答であるＮＡＫ（１５Ｈ）を送信し、情報電文の再送を要求する。なお、情報電文であるか否かは、受信電文の先頭バイトがＳＴＸであるか否かで判別する。
２台目の産業用機器１２２は、情報電文送信後、ＡＣＫ（１０Ｈ）を受信すると、図４に示されるように、ＥＯＴ（０４Ｈ）を送信するが、ＮＡＫ（１５Ｈ）を受信すると、同じ情報電文を再送信する。
診断サーバ１２４は、ＡＣＫ送信後、ＥＯＴ（０４Ｈ）を受信すると、２台目の産業用機器１２２との通信を終了し、３台目の産業用機器１２３に対するポーリング電文（ＰＯＬ３）として、４２Ｈ（ＳＡ部）、５１Ｈ、０５Ｈの３バイト電文を送信する。各産業用機器は、このポーリング電文を受信するが、ＳＡ部が４２Ｈであるため、３台目の産業用機器１２３のみがこのポーリング電文を取り込み、１台目と２台目の産業用機器１２１，１２２は、このポーリング電文を無視する。すなわち、診断サーバ１２４と３台目の産業用機器１２３との通信回線が確保される。
３台目の産業用機器１２３は、取り込んだ受信電文の２バイト目が５１Ｈであるために、ポーリング電文であると判断し、診断サーバ１２４に送る情報が有るかどうかをチェックし、情報がなければ、図４に示されるように、ＥＯＴ（０４Ｈ）を送信する。
一方、診断サーバ１２４は、ポーリング電文（ＰＯＬ３）を送信後、ＥＯＴ（０４Ｈ）を受信すると、次に、１台目の産業用機器１２１に対するポーリング電文（ＰＯＬ１）として、４０Ｈ（ＳＡ部）、５１Ｈ、０５Ｈの３バイト電文を送信する。
このように、１台目の産業用機器１２１と、２台目の産業用機器１２２と、３台目の産業用機器１２３とが、それぞれ順番に診断サーバ１２４との通信回線を確保して情報を送信する。
次に、セレクティング・シーケンスについて、図５を用いて具体的に説明する。
診断サーバ１２４は、１台目の産業用機器１２１に送信したい情報が有れば、図５に示されるように、セレクティング電文（ＳＥＬ１）として、４０Ｈ（ＳＡ部）、４１Ｈ、０５Ｈの３バイト電文を送信する。
各産業用機器は、このセレクティング電文を受信するが、ＳＡ部が４０Ｈであるため、１台目の産業用機器１２１のみがこのセレクティング電文を取り込み、２台目と３台目の産業用機器１２２，１２３は、このセレクティング電文を無視する。すなわち、診断サーバ１２４と１台目の産業用機器１２１との通信回線が確保される。１台目の産業用機器１２１は、取り込んだ受信電文の２バイト目が４１Ｈであるために、セレクティング電文であると判断し、受信可能であることを通知するために、ＡＣＫ（１０Ｈ）を送信する。
一方、診断サーバ１２４は、セレクティング電文（ＳＥＬ１）を送信後、ＡＣＫ（１０Ｈ）を受信すると、情報電文を作成し、１台目の産業用機器１２１に送信する。１台目の産業用機器１２１は、情報電文を受信すると、ＳＡからＥＴＸまでの排他的論理和の値を求め、ＢＣＣと合致するかどうかのチェックを行う。１台目の産業用機器１２１は、ＢＣＣが一致すると、肯定応答としてＡＣＫ（１０Ｈ）を送信する。
診断サーバ１２４は、情報電文送信後、ＡＣＫ（１０Ｈ）を受信すると、ＥＯＴ（０４Ｈ）を送信し、１台目の産業用機器１２１との通信を終了する。次に、診断サーバ１２４は、２台目の産業用機器１２２に送信したい情報があれば、図５に示されるように、セレクティング電文（ＳＥＬ２）として、４１Ｈ（ＳＡ部）、４１Ｈ、０５Ｈの３バイト電文を送信する。
各産業用機器は、このセレクティング電文を受信するが、ＳＡ部が４１Ｈであるため、２台目の産業用機器１２２のみがこの電文を取り込み、１台目と３台目の産業用機器１２１，１２３は、このセレクティング電文を無視する。すなわち、診断サーバ１２４と２台目の産業用機器１２２との通信回線が確保される。２台目の産業用機器１２２は、取り込んだ受信電文の２バイト目が４１Ｈであるために、セレクティング電文であると判断し、受信可能であることを通知するために、ＡＣＫ（１０Ｈ）を送信する。
一方、診断サーバ１２４は、セレクティング電文（ＳＥＬ２）を送信後、ＡＣＫ（１０Ｈ）を受信すると、情報電文を作成し、２台目の産業用機器１２２に送信する。
２台目の産業用機器１２２は、情報電文を受信すると、ＳＡからＥＴＸまでの排他的論理和の値を求め、ＢＣＣと合致するかどうかのチェックを行う。例えば、２台目の産業用機器は、上記の排他的論理和とＢＣＣとが一致しない場合には、図５に示されるように、否定応答としてＮＡＫ（１５Ｈ）を送信する。
診断サーバ１２４は、情報電文送信後、ＮＡＫ（１５Ｈ）を受信すると、図５に示されるように、同一の情報電文を再送する。２台目の産業用機器１２２は、情報電文を受信すると、同様にＳＡからＥＴＸまでの排他的論理和の値を求め、ＢＣＣと合致するかどうかのチェックを行う。
２台目の産業用機器１２２は、上記の排他的論理和とＢＣＣとが一致すると、肯定応答としてＡＣＫ（１０Ｈ）を送信する。診断サーバ１２４は、情報電文の再送信後、ＡＣＫ（１０Ｈ）を受信すると、ＥＯＴ（０４Ｈ）を送信し、２台目の産業用機器１２２との通信を終了する。
このように、ポーリング・セレクティング方式による通信では、ハンドシェイクで互いに情報の正当性の確認をとりながら通信が行われるため、取りこぼしがなく情報のやりとりができる。なお、再送信の回数や、無応答待ち時間等は、システムの構成に応じて自由に設定できるようになっている。
上述したポーリング・セレクティング方式は、第１顧客Ｃ１の第１工場Ｆ１における診断サーバ１０３と産業用機器１０１，１０２間の通信、及び第２工場Ｆ２における診断サーバ１１６と産業用機器１１１〜１１５間の通信にも用いることができる。
なお、診断サーバと各産業用機器との通信は、ポーリング・セレクティング方式に限定されるものではなく、通信回線が空いていれば親子の区別なく送信することができるコンテンション方式（いわゆる早い者勝ち方式）でも良い。但し、コンテンション方式では、電文の衝突が起こり易いため、電文衝突時の対策が必要となってくる。
また、診断サーバと各産業用機器が接続されているＬＡＮにイントラネット環境が構築されていれば、診断サーバと各産業用機器との通信は、ファイル転送等で行っても良い。すなわち、診断サーバと各産業用機器にそれぞれプライベートなＩＰアドレスを設定し、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルのアプリケーション・プロトコルであるＦＴＰの各種コマンド（例えば、ＧＥＴやＰＵＴ等）を実行してファイルの転送を行うことができる。この場合は、診断サーバがＦＴＰサーバとしての機能も備えることとなる。
一方、各診断サーバ１０３，１１６，１２４と各管理サーバ１５１，１５２との通信プロトコルは、ＴＣＰ／ＩＰをベースにした上位のアプリケーション・プロトコルとして、ファイル転送のＦＴＰ、仮想端末のｔｅｌｎｅｔ、サーバとブラウザ間のファイル転送のＨＴＴＰ、電子メールのＳＭＴＰ等が利用される。これらはシステム環境によって使い分けられる。
次に、本実施形態に係る遠隔保全システムにおける診断プロセスについて具体的に説明する。なお、図１に示される各産業用機器は、露光装置であるものとする。さらに、通信途中にあるファイアウォールでは、正常に認証され、情報の通過が阻止されないものとする。また前記ＬＡＮ１０４，１１７，１２５には、図示しないコータ・デベロッパーや、自動線幅測定器やパターン座標測定器等の図示しない計測器も接続されている。
図７には、本実施形態に係る遠隔保全システムにおける産業用機器としての露光装置１００が示されている。この露光装置１００は、ステップ・アンド・リピート方式の縮小投影露光装置（いわゆるステッパ）である。
この投影露光装置１００は、照明系ＩＯＰ、マスクとしてのレチクルＲを保持するレチクルステージＲＳＴ、レチクルＲに形成されたパターンの像を感光剤（フォトレジスト）が塗布された基板としてのウエハＷ上に投影する投影光学系ＰＬ、ウエハＷを保持して２次元平面（ＸＹ平面内）を移動するＸＹステージ２０、ＸＹステージ２０を駆動する駆動系２２、及びこれらの制御系等を備えている。制御系は、ＰＣＩバスコントローラ，Ｉ／Ｏインターフェース等を含んで構成されるワークステーション（又はマイクロコンピュータ）から成り、装置全体を統括制御する主制御装置２８を中心として構成されている。
前記主制御装置２８は、ＰＣＩバスコントローラを介してＬＡＮアダプタと接続されており、さらに該ＬＡＮアダプタを介して、診断サーバが接続されているＬＡＮケーブルとつながっている。すなわち、露光装置１００と診断サーバは、ＬＡＮで接続されている。なお、露光装置１００と診断サーバとの間の通信をＲＳ４８５等に準拠したシリアルデータ伝送で行う場合には、ＬＡＮアダプタのかわりにＲＳ４８５通信アダプタ等が用いられる。
前記レチクルステージＲＳＴは、照明系ＩＯＰの図７における下方に配置されている。このレチクルステージＲＳＴ上には不図示のバキュームチャック等の固定手段を介してレチクルＲが固定されており、このレチクルステージＲＳＴは、不図示の駆動系によってＸ軸方向（図７における紙面左右方向）、Ｙ軸方向（図７における紙面直交方向）及びθｚ方向（ＸＹ面に直交するＺ軸回りの回転方向）に微小駆動可能とされている。これにより、このレチクルステージＲＳＴは、レチクルＲのパターンの中心（レチクルセンタ）が投影光学系ＰＬの光軸ＡＸｐとほぼ一致する状態でレチクルＲを位置決め（レチクルアライメント）できるようになっている。図７では、このレチクルアライメントが行われた状態が示されている。
前記投影光学系ＰＬは、レチクルステージＲＳＴの図７における下方に、その光軸ＡＸｐの方向がＸＹ面に直交するＺ軸方向となるように配置されている。この投影光学系ＰＬとしては、ここでは両側テレセントリックな縮小系であって、Ｚ軸方向の共通の光軸ＡＸを有する複数枚のレンズエレメントから成る屈折光学系（図示省略）が用いられている。該レンズエレメントのうちの特定の数枚は、主制御装置２８からの指令に基づいて、図示しない結像特性補正コントローラによって駆動が制御され、投影光学系ＰＬの倍率、ディストーション、コマ収差、及び像面湾曲などを調整できるようになっている。
この投影光学系ＰＬの投影倍率は、例えば１／５（あるいは１／４）などとされている。このため、レチクルＲのパターンとウエハＷ上のショット領域との位置合わせ（アライメント）が行われた状態で、パルス照明光ＩＬによりレチクルＲが均一な照度で照明されると、パターン形成面のパターンが投影光学系ＰＬにより縮小されて、フォトレジストが塗布されたウエハＷ上に投影され、ウエハＷ上の各ショット領域にパターンの縮小像が形成される。
前記ＸＹステージ２０は、実際には不図示のベース上をＹ軸方向に移動するＹステージと、このＹステージ上をＸ軸方向に移動するＸステージとで構成されているが、図７ではこれらが代表的にＸＹステージ２０として示されている。このＸＹステージ２０上にウエハテーブル１８が搭載され、このウエハテーブル１８上に不図示のウエハホルダを介してウエハＷが真空吸着等によって保持されている。
前記ウエハテーブル１８は、ウエハＷを保持するウエハホルダをＺ軸方向及びＸＹ面に対する傾斜方向に微小駆動するもので、Ｚ・チルトステージとも称される。このウエハテーブル１８の上面には、移動鏡２４が設けられており、この移動鏡２４にレーザビームを投射して、その反射光を受光することにより、ウエハテーブル１８のＸＹ面内の位置を計測するレーザ干渉計２６が移動鏡２４の反射面に対向して設けられている。なお、実際には、移動鏡はＸ軸に直交する反射面を有するＸ移動鏡と、Ｙ軸に直交する反射面を有するＹ移動鏡とが設けられ、これに対応してレーザ干渉計もＸ方向位置計測用のＸレーザ干渉計とＹ方向位置計測用のＹレーザ干渉計とが設けられているが、図７ではこれらが代表して移動鏡２４、レーザ干渉計２６として図示されている。なお、Ｘレーザ干渉計及びＹレーザ干渉計は測長軸を複数有する多軸干渉計であり、ウエハテーブル１８のＸ、Ｙ位置の他、回転（ヨーイング（Ｚ軸回りの回転であるθｚ回転）、ピッチング（Ｘ軸回りの回転であるθｘ）、ローリング（Ｙ軸回りの回転であるθｙ））も計測可能となっている。従って、以下の説明ではレーザ干渉計２６によって、ウエハテーブル１８のＸ、Ｙ、θｚ、θｙ、θｘの５自由度方向の位置が計測されるものとする。
レーザ干渉計２６の計測値は主制御装置２８に出力され、主制御装置２８はこのレーザ干渉計２６の出力に基づいて駆動系２２を介してＸＹステージ２０を制御することにより、ウエハテーブル１８が位置決めされる。この他、ウエハＷ表面のＺ方向位置は、例えば特開平６−２８３４０３号公報及びこれに対応する米国特許第５，４４８，３３２号等に開示される送光系５０ａ及び受光系５０ｂを有する斜入射方式の多点焦点位置検出系から成るフォーカスセンサＡＦＳによって計測されるようになっている。このフォーカスセンサＡＦＳの計測値も主制御装置２８に出力されており、主制御装置２８では、フォーカスセンサＡＦＳの出力に基づいて駆動系２２を介してウエハテーブル１８を制御していわゆるフォーカスレベリング制御を行うようになっている。本国際出願で指定した指定国又は選択した選択国の国内法令が許す限りにおいて、上記公報及び米国特許における開示を援用して本明細書の記載の一部とする。
本実施形態の露光装置１００では、上述のようにしてウエハテーブル１８を介してウエハＷがＸ、Ｙ、Ｚ、θｘ、θｙの５自由度方向の位置及び姿勢制御がなされるようになっている。なお、残りのθｚ（ヨーイング）の誤差については、レーザ干渉計２６で計測されたウエハテーブル１８のヨーイング情報に基づいてレチクルステージＲＳＴを回転させることによって補正される。
また、ウエハテーブル１８上には、その表面がウエハＷの表面と同じ高さになるような基準板ＦＰが固定されている。この基準板ＦＰの表面には、いわゆるベースライン計測等に用いられる基準マークを含む各種の基準マークが形成されている。
更に、本実施形態では、投影光学系ＰＬの側面に、ウエハＷに形成されたアライメントマークを検出するマーク検出系としてのオフ・アクシス方式のアライメント検出系ＡＳが設けられている。このアライメント検出系ＡＳは、ＬＳＡ（Ｌａｓｅｒ  Ｓｔｅｐ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）系、ＦＩＡ（Ｆｉｌｅｄ  Ｉｍａｇｅ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）系、ＬＩＡ（Ｌａｓｅｒ  Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｉｃ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）系の３種類のアライメントセンサを有しており、基準板ＦＰ上の基準マーク及びウエハ上のアライメントマークのＸ、Ｙ２次元方向の位置計測を行なうことが可能である。
ここで、ＬＳＡ系は、レーザ光をマークに照射して、回折・散乱された光を利用してマーク位置を計測する最も汎用性のあるセンサであり、従来から幅広いプロセスウエハに使用される。ＦＩＡ系は、ハロゲンランプ等のブロードバンド（広帯域）光でマークを照明し、このマーク画像を画像処理することによってマーク位置を計測するセンサであり、アルミ層やウエハ表面の非対称マークに有効に使用される。また、ＬＩＡ系は、回折格子状のマークに周波数をわずかに変えたレーザ光を２方向から照射し、発生した２つの回折光を干渉させて、その位相からマークの位置情報を検出するセンサであり、低段差や表面荒れウエハに有効に使用される。
本実施形態では、これら３種類のアライメントセンサを、適宜目的に応じて使い分け、アライメント検出系ＡＳのいわゆるベースライン計測や、ウエハ上の各ショット領域の正確な位置計測を行なうファインアライメント等を行なうようになっている。この他、アライメント検出系ＡＳとして、コヒーレントな検出光を対象マークに照射し、その対象マークから発生する２つの回折光（例えば同次数）を干渉させて検出するアライメントセンサなども用いることができる。
アライメント検出系ＡＳを構成する各アライメントセンサからの情報ＤＳは、アライメント制御装置１６によりＡ／Ｄ変換され、デジタル化された波形信号を演算処理してマーク位置が検出される。この結果が主制御装置２８に送られるようになっている。
さらに、本実施形態の露光装置１００では、図示が省略されているが、レチクルＲの上方に、例えば特開平７−１７６４６８号公報及びこれに対応する米国特許第５，６４６，４１３号等に開示される、投影光学系ＰＬを介してレチクルＲ上のレチクルマーク（図示省略）と基準板ＦＰ上のマークとを同時に観察するための露光波長を用いたＴＴＲ（Ｔｈｒｏｕｇｈ  Ｔｈｅ  Ｒｅｔｉｃｌｅ）アライメント系から成る一対のレチクルアライメント顕微鏡が設けられている。これらのレチクルアライメント顕微鏡の検出信号は、アライメント制御装置１６を介して主制御装置２８に供給されるようになっている。なお、本国際出願で指定した指定国又は選択した選択国の国内法令が許す限りにおいて、上記公報及び米国特許における開示を援用して本明細書の記載の一部とする。
上述したように、前記主制御装置２８は、露光装置１００の各部を制御するとともに、各種センサ等からのデータが供給される。前記情報出力部３０１及び前記自己診断部３０２は、前記主制御装置２８の一部を構成し、露光装置１００の各種センサ等から供給される情報に基づいて各種ファイルを作成したり、露光装置１００の各部における状態の自己計測、自己診断を行うとともに、前記ＬＡＮアダプタ及び前記ＬＡＮケーブルを介して診断サーバに各種ファイル等を送信することができる。
前記各露光装置から診断サーバへの情報は、一部コード化されており、そのコードには、情報の種別を示す情報コード、工場を示すＦａｂコード、露光装置を特定するための装置コード、データの種別を示す項目コード、顧客を特定するための顧客コード等がある。
例えば、情報コードは、図８に示されるように、イベントログファイルに「００５」、シーケンスログファイルに「００８」、エラーログファイルに「０１１」、稼動履歴ログファイルに「０１５」、計測データログファイルに「０２５」、設定データログファイルに「０３１」、診断結果ファイルに「１００」、等が設定されている。
また、Ｆａｂコードは、図９に示されるように、第１工場に「００１」、第２工場に「００２」、等が設定されている。
さらに、装置コードは、図１０に示されるように、１台目の露光装置に「００１」、２台目の露光装置に「００２」、３台目の露光装置に「００３」、４台目の露光装置に「００４」、５台目の露光装置に「００５」、等が設定されている。
また、項目コードは、図１１に示されるように、ポジショニングエラーに「００４５」、プリアライメントサーチエラーに「０２８９」、ウエハ交換開始時刻に「０３０１」、ウエハ交換終了時刻に「０３０２」、ウエハ搬送機能に「０４５７」、照度データに「１４２０」、照度低下に「１４７５」、等が設定されている。
顧客コードは、例えば、第１顧客に「１５５３７」、第２顧客に「１８４７３」が設定されている。
上述した各コードの長さや設定内容は一例であり、産業用機器の種類やシステム構成によって異なってくる。また、上記設定内容はデータベース化されており、ファイル作成時やファイル分析時等に参照できるようになっている。
また、診断時において、モニター対象データが正常か異常かの判断基準となる判定値は、あらかじめモニター対象データ毎に設定されており、判定値データベースに登録されている。本実施形態では、一例として、図１２に示されるように、ポジショニングエラー及びプリアライメントサーチエラーの発生頻度は、０．１回以上０．３回未満でレベル３異常、０．３回以上０．５回未満でレベル２異常、０．５回以上でレベル１異常、と判定し、ロードスライダー位置決めエラー、ＣＯＺ軸エラー及びＬＺ軸エラーの発生頻度は、０．２回以上０．４回未満でレベル３異常、０．４回以上０．６回未満でレベル２異常、０．６回以上でレベル１異常、と判定するように判定値データベースに登録されている。但し、これらの判定値は、変更できるようになっている。
次に、露光装置の情報出力部３０１で作成され、前記診断サーバに通知される前記エラーログファイル、前記計測データログファイル、及び前記シーケンスログファイルの構成について説明する。
前記エラーログファイルは、一例として、図１３Ａに示されるように、情報コード部と、工場を特定するためのＦａｂコード部と、露光装置を特定するための装置コード部と、エラーの種別を示す項目コード部と、エラーの発生日時を示す日時部とから構成される。なお、Ｆａｂコード部については、各顧客の各工場毎に診断サーバが設置されているため、必ずしも必要ではないが、本実施形態では、情報の有効性チェック用として前記エラーログファイルにＦａｂコード部を付加している。但し、エラーログファイルは、図１３Ａに示される形式に限定されるものではなく、産業用機器の種類やシステム構成によって異なり、更に他のコード及び情報が付加される場合がある。
前記計測データログファイルは、一例として、図１４Ａに示されるように、情報コード部と、工場を特定するためのＦａｂコード部と、露光装置を特定するための装置コード部と、計測データの種別を示す項目コード部と、計測日時を示す日時部と、計測データを示す計測データ部とから構成される。計測データ部は、計測データの種別によってデータ長が異なっている。なお、Ｆａｂコード部については、各顧客の各工場毎に診断サーバが設置されているため、必ずしも必要ではないが、本実施形態では、前記エラーログファイルと同様な理由で前記計測データログファイルにＦａｂコード部を付加している。但し、計測データログファイルは、図１４Ａに示される形式に限定されるものではなく、産業用機器の種類やシステム構成によって異なり、更に他のコード及び情報が付加される場合がある。
前記シーケンスログファイルは、一例として、図１５Ａに示されるように、情報コード部と、工場を特定するためのＦａｂコード部と、露光装置を特定するための装置コード部と、ロギング開始日時を示す日時部と、シーケンスデータを示すシーケンスデータ部とから構成される。シーケンスデータ部は、可変長であり、複数のイベント項目データと該イベント発生時刻とから構成されている。なお、Ｆａｂコード部については、各顧客の各工場毎に診断サーバが設置されているため、必ずしも必要ではないが、本実施形態では、前記エラーログファイルと同様な理由で前記シーケンスログファイルにＦａｂコード部を付加している。但し、シーケンスログファイルは、図１５Ａに示される形式に限定されるものではなく、産業用機器の種類やシステム構成によって異なり、更に他のコード及び情報が付加される場合がある。
次に、前記診断サーバから前記管理サーバに通知される前記異常判定情報の構成について説明する。
前記異常判定情報は、一例として、図１６Ａに示されるように、情報コード部と、顧客を特定するための顧客コード部と、工場を特定するためのＦａｂコード部と、露光装置を特定するための装置コード部と、異常診断の項目を示す項目コード部と、異常の発生日時を示す日時部と、異常の内容を示す内容部と、から構成される。また、内容部は、異常レベル情報、判定の対象データ情報、及び判定値情報等から構成される。前記異常レベル情報には、レベル１異常の場合は「０１」、レベル２異常の場合は「０２」、レベル３異常の場合は「０３」、レベル１異常予測の場合は「１１」、レベル２異常予測の場合は「１２」、レベル３異常予測の場合は「１３」がセットされる。なお、本実施形態では、管理サーバが、顧客毎に設置されているため、顧客コード部は省略されていても良い。
本実施形態に係る頻度診断の一具体例として、第１顧客Ｃ１の第２工場Ｆ２の露光装置１１２におけるプリアライメント精度悪化の診断の場合について説明する。
露光装置１１２において、主制御装置２８は、プリアライメントサーチ時に、アライメント制御装置１６からのデータに基づいて、プリアライメントサーチエラーを検出すると、情報出力部３０１にてエラーログファイルを作成し、診断サーバ１１６に出力する。
本実施形態において、プリアライメントサーチエラーが発生した場合に、情報出力部３０１にて作成されるエラーログファイルは、図１３Ｂに示されるように、情報コード部にエラーログファイルを示す「０１１」が、Ｆａｂコード部に第２工場を示す「００２」が、装置コード部に２台目を示す「００２」が、項目コード部にプリアライメントサーチエラーを示す「０２８９」が、日時部にエラー発生日時を示す「２０００１２１５１８２１」がセットされている。なお、エラー発生日時は、２０００年１２月１５日１８時２１分を意味している。
第１顧客Ｃ１の第２工場Ｆ２における診断サーバ１１６と各露光装置１１１〜１１５との間の通信が、前述したポーリング・セレクティング方式で行われている場合には、前記エラーログファイルは、図１３Ｃに示されるように、前記情報電文における情報部にセットされて、露光装置１１２から診断サーバ１１６に送信される。なお、実際には、前記情報電文における情報部のデータは、ＡＳＣＩＩコードに変換されている。例えば、情報コードデータ「０１１」は、３０Ｈ、３１Ｈ、３１Ｈの３バイトデータに変換されている。
診断サーバ１１６の情報収集部３０３は、露光装置１１２から情報電文を正常に受信すると、受信した情報電文から情報部を抽出する。そして、情報収集部３０３は、情報部の情報コードが「０１１」であるため、受信した情報がエラーログファイルであると判断し、情報分別部３０４を介してエラー情報ファイルを作成をする。情報分別部３０４で作成されるエラー情報ファイルは、前記エラーログファイルと同一内容である。
前記エラー情報ファイルは、情報保存部３０５にて、圧縮され、記憶媒体に保存されるとともに、情報登録部３０６にて、エラー情報データベースに登録される。該エラー情報データベースのデータレコードは、本実施形態では、一例として、図１７に示されるように、顧客コードフィールドと、Ｆａｂコードフィールドと、装置コードフィールドと、項目コードフィールドと、日時フィールドと、から構成されている。なお、診断サーバ１１６は、第１顧客の第２工場Ｆ２専用であるため、顧客コードフィールドやＦａｂコードフィールドは必ずしも必要ではないが、ベンダー側で前記エラー情報データベースを参照する場合を考慮して、顧客コードフィールド及びＦａｂコードフィールドを設けている。
また、本実施形態では、前記エラー情報データベースは、図１７に示されるように、発生日時順に登録されているが、装置コード順あるいは項目コード順に登録されても良い。更に、装置コード別あるいは項目コード別のエラー情報データベースを作成しても良い。
次に、診断サーバ１１６の診断部３０７は、前記エラー情報ファイルの項目コードが「０２８９」であることから、エラーの内容がプリアライメントサーチエラーであると判断する。さらに、診断部３０７は、前記診断データベースを参照し、受信情報がプリアライメントサーチエラーであることから、前記エラー情報ファイル及び前記エラー情報データベースに格納されているプリアライメントサーチエラーの発生頻度に基づいてプリアライメント精度悪化の診断を行うことを確認する。
そこで、診断部３０７は、前記エラー情報ファイルから装置コード（００２）と日時データ（２０００１２１５１８２１）を抽出する。そして、診断部３０７は、記憶媒体に保存されているイベントログファイルを参照し、２０００年１２月１４日１８時２１分から２０００年１２月１５日１８時２１分までの間（２４時間）に、露光装置１１２において処理されたウエハの枚数Ｎを求める。さらに、診断部３０７は、記憶媒体に保存されている前記エラー情報データベースを参照し、２０００年１２月１４日１８時２１分から２０００年１２月１５日１８時２１分までの間（２４時間）に、露光装置１１２において発生したプリアライメントサーチエラーの件数Ｍを求める。そして、次の（１）式を用いてウエハ１枚あたりのプリアライメントサーチエラーの発生頻度ＭＡを算出する。
ＭＡ＝Ｍ／Ｎ      …（１）
さらに、診断部３０７は、記憶媒体に保存されている前記判定値データベース（図１２参照）を検索して、プリアライメントサーチエラー発生頻度の判定値を抽出し、上記（１）式を用いて算出したウエハ１枚当たりのプリアライメントサーチエラーの発生頻度ＭＡと比較する。ここで、例えば、ウエハ１枚当たりのプリアライメントサーチエラーの発生頻度ＭＡが０．２回であれば、レベル３異常の判定値すなわち０．１回を超えており、しかもレベル２異常の判定値すなわち０．３回未満であるため、診断部３０７は、露光装置１１２のレベル３異常と診断し、診断結果としての異常判定情報を作成するとともに、診断結果通知部３０８を介してベンダー側の管理サーバ１５１に通知する。
なお、ウエハ１枚当たりのプリアライメントサーチエラーの発生頻度ＭＡがレベル３異常の判定値未満であっても、所定の期間内におけるウエハ１枚当たりのプリアライメントサーチエラーの発生頻度ＭＡに基づいて、最小二乗法を用いた近似処理にて所定の将来における発生頻度ＭＡを予測し、この予測される発生頻度ＭＡが、レベル３異常の判定値を超えていれば、診断部３０７は、診断結果としての異常判定情報を作成するとともに、診断結果通知部３０８を介してベンダー側の管理サーバ１５１に通知する。
診断部３０７で作成される前記異常判定情報では、図１６Ｂに示されるように、情報コード部に診断結果ファイルを示す「１００」が、顧客コード部に第１顧客Ｃ１を示す「１５５３７」が、Ｆａｂコード部に第２工場を示す「００２」が、装置コード部に２台目の露光装置を示す「００２」が、項目コード部にプリアライメントサーチエラーであることを示す「０２８９」が、日時部に異常発生日時を示す「２０００１２１５１８２１」が、内容部に診断結果がレベル３異常であることを示す「０３」とウエハ１枚当たりのプリアライメントサーチエラー頻度が０．２回であることを示す「０００２」と判定値が０．１回を示す「０００１」とが、セットされる。
診断サーバ１１６の診断結果通知部３０８から送信される前記異常判定情報は、図１のファイアウォール１１８を通過し、第１顧客Ｃ１の社内ＬＡＮ１１０を経由して、ファイアウォール１０７を通過して、専用回線１４０を介し、さらに、ファイアウォール１５８を通過して、ベンダー１５０側の社内ＬＡＮ１３０を経由し、さらにファイアウォール１５７及び１５３を通過して、管理サーバ１５１に到達する。診断サーバ１１６から送信された前記異常判定情報は、ほぼリアルタイムで、管理サーバ１５１に到達する。なお、本実施形態では、専用回線を利用しているが、これに限定されるものではなく、公衆回線を利用することも可能である。さらに、インターネットを利用して、前記異常判定情報を診断サーバ１１６から管理サーバ１５１に送信することも可能である。また、前記異常判定情報は、電子メール等で、第１顧客Ｃ１の管理者端末１０６にも通知される。
管理サーバ１５１の通知部３１１は、診断サーバ１１６から前記異常判定情報を受信すると、その受信内容を電子メール等で担当者端末１５９に転送する。なお、前記異常判定情報は、診断サーバ１１６から直接、担当者端末１５９に電子メール等で送付することも可能である。
管理サーバ１５１の集計部３１２は、前記異常判定情報の内容を異常診断結果履歴データベースに登録する。該異常診断結果履歴データベースのデータレコードは、図１８に示されるように、顧客フィールドと、Ｆａｂフィールドと、装置フィールドと、項目フィールドと、日時フィールドと、診断結果フィールドと、判定データフィールドと、判定値フィールドと、で構成されている。
なお、本実施形態では、前記異常診断結果履歴データベースは、図１８に示されるように、診断日時順に登録されているが、装置コード順あるいは項目コード順に登録されても良い。更に、装置別あるいは項目別の異常診断結果履歴データベースを作成しても良い。
さらに、管理サーバ１５１の詳細情報収集部３１３は、前記異常判定情報のＦａｂコードが「００２」、装置コードが「００２」、項目コードが「０２８９」であることから、診断サーバ１１６の情報保存部３０５や情報登録部３０６を介して、診断サーバ１１６の記憶媒体に保存されている露光装置１１２のイベントログファイルや関連するデータベースからデータをダウンロードし、管理サーバ１５１の記憶媒体に保存する。
担当者は、担当者端末１５９に送付された前記異常判定情報の内容をチェックし、分析の必要があると判断した場合には、情報分析端末１５５を操作し、管理サーバ１５１の記憶媒体に保存されている露光装置１１２の前記イベントログファイルや関連する前記データベース等を分析し、プリアライメントサーチエラーが発生した原因を調査する。そして、担当者は、その原因に応じて、社内システムとのリンク部３１６を介して部品交換の手配を行う。分析結果や対応策は、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０を介して図示しない保守要員端末に通知され、保守要員は必要な場合には即座に対応する。また、同時に、第１顧客Ｃ１側の管理者端末１０６にも分析結果は電子メール等で通知され、第１顧客Ｃ１側の管理者は、その通知に基づいて必要な処置を行う。
以上、説明したように、プリアライメント精度の悪化については、プリアライメントのサーチエラーの発生頻度を常時チェックすることにより、初期段階で異常を検知することができ、さらに、その原因も即座に分析することができるため、早期対応が可能となり、プリアライメントの精度を維持することができる。さらに、プリアライメント精度の悪化による露光装置のダウンタイムを必要最小限に抑制することができ、生産性の向上を図ることが可能となる。
また、エラーの現象、その原因、分析方法、及び対応策については、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０のウエブサーバ上のデータベースに登録され、関係者はブラウザ等で閲覧することができるようになっている。
次に、本実施形態に係る経時変化診断の一具体例として、第２顧客Ｃ２の工場に設置されている露光装置１２１における光学系の照度低下の診断の場合について説明する。
露光装置１２１の情報出力部３０１は、定期メンテナンスが行われると、照度データを含む計測データログファイルを作成し、診断サーバ１２４に送信する。
本実施形態において、情報出力部３０１で作成される計測データログファイルは、図１４Ｂに示されるように、情報コード部に計測データログファイルを示す「０２５」が、Ｆａｂコード部に第１工場を示す「００１」が、装置コード部に１台目を示す「００１」が、項目コード部に照度データを示す「１４２０」が、日時部に計測日時を示す「２０００１２２００９１５」が、計測データ部に露光領域内の複数の計測点での照度データがセットされている。なお、計測日時は、２０００年１２月２０日９時１５分を意味している。
第２顧客Ｃ２における診断サーバ１２４と各露光装置１２１〜１２３との間の通信が、前述したポーリング・セレクティング方式で行われている場合には、計測データログファイルは、図１４Ｃに示されるように、前記情報電文における情報部にセットされて、露光装置１２１から診断サーバ１２４に送信される。なお、実際には、前記情報電文における情報部のデータは、ＡＳＣＩＩコードに変換されている。例えば、情報コードデータ「０２５」は、３０Ｈ、３２Ｈ、３５Ｈの３バイトデータに変換されている。
診断サーバ１２４の情報収集部３０３は、露光装置１２１から情報電文を正常に受信すると、受信した情報電文から情報部を抽出する。そして、情報収集部３０３は、情報部の情報コードが「０２５」であり、さらに、項目コードが「１４２０」であるため、受信した情報が照度データの計測データログファイルであると判断する。そこで、情報収集部３０３は、情報分別部３０４を介して前記情報部から計測日時と計測データを抽出し、照度データファイルを作成する。該照度データファイルには、露光領域内の複数の計測点での照度データと計測日時が含まれている。
前記照度データファイルは、情報保存部３０５にて、圧縮され、記憶媒体に保存されるとともに、情報登録部３０６にて、照度データベースに登録される。
次に、診断サーバ１２４の診断部３０７は、前記診断データベースを参照し、受信情報が照度計測データであることから、前記照度データファイル及び前記照度データベースに格納されている照度データから算出される照度データの予測値に基づいて照度低下の診断を行うことを確認する。そこで、診断部３０７は、前記照度データファイルから照度データを抽出するとともに、前記照度データベースを参照し、予め設定されている期間内に計測された照度データを抽出する。そして、照度データの経時変化を示す近似直線を最小二乗法により算出し、予め設定されている将来（数日又は数週間先等）での照度データＰを予測する。ここでは、露光領域内の複数の計測点での照度データの平均値を用いているが、所定の計測点での照度データを用いても良い。なお、照度ムラの診断の場合には、露光領域内での照度の不均一性に基づいて、診断が行われる。
さらに、診断部３０７は、記憶媒体に保存されている前記判定値データベースから照度データの判定値を検索し、照度データの前記予測値Ｐと比較する。ここで、前記予想値Ｐがレベル３異常の判定値Ｓ以上であり、かつレベル２異常の判定値未満である場合は、診断部３０７は、露光装置１２１のレベル３異常と診断し、異常判定情報を作成し、診断結果通知部３０８を介してベンダー側の管理サーバ１５２に通知する。
前記異常判定情報では、図１６Ｃに示されるように、情報コード部に診断結果ファイルを示す「１００」が、顧客コード部に第２顧客Ｃ２を示す「１８４７３」が、Ｆａｂコード部に第１工場を示す「００１」が、装置コード部に１台目の露光装置を示す「００１」が、項目コード部に照度低下であることを示す「１４７５」が、日時部に異常発生日時「２０００１２２００９１５」が、内容部に診断結果がレベル３異常予測であることを示す「１３」（受信した照度データそのものの値がすでに前記判定値Ｓ以上であれば「０３」）と照度データの前記予想値Ｐと前記判定値Ｓとが、セットされる。なお、異常発生日時は、２０００年１２月２０日９時１５分を意味している。
診断サーバ１２４の診断結果通知部３０８から送信される前記異常判定情報は、図１のファイアウォール１２６を通過し、第２顧客Ｃ２の社内ＬＡＮ１２０を経由し、ファイアウォール１２８を通過して、専用回線１４０を介し、さらに、ファイアウォール１５８を通過して、ベンダー１５０側の社内ＬＡＮ１３０を経由し、さらにファイアウォール１５７及び１５４を通過して、管理サーバ１５２に到達する。また、前記異常判定情報は、電子メール等で、第２顧客Ｃ２の管理者端末１２７にも通知される。
診断サーバ１２４から前記異常判定情報を受信すると、管理サーバ１５２の通知部３１１は、受信内容を電子メール等で担当者端末１５９に転送する。また、集計部３１２は、前記異常判定情報の内容を異常診断結果履歴データベースに登録する。
さらに、詳細情報収集部３１３は、前記異常判定情報の装置コードが「００１」、項目コードが「１４７５」であることから、診断サーバ１２４の情報保存部３０５や情報登録部３０６を介して、診断サーバ１２４の記憶媒体に保存されている露光装置１２１の前記照度データファイルや前記照度データベースからデータをダウンロードし、管理サーバ１５２の記憶媒体に保存する。
担当者は、担当者端末１５９に送付された前記異常判定情報の内容をチェックし、分析の必要があると判断した場合には、情報分析端末１５５を操作し、管理サーバ１５２の記憶媒体に保存されている前記照度データファイル及び前記照度データベース等を参照し、照度の均一性等の詳細データを分析し、照度低下の原因を調査する。そして、担当者は、その原因に応じて、社内システムとのリンク部３１６を介してＢＭＵ（ビームマッチングユニット）やＩＵ（照明ユニット）の部品の手配を行う。分析結果や対応策は、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０を介して図示しない保守要員端末に通知され、保守要員は必要な場合には即座に対応する。また、同時に、第２顧客Ｃ２側の管理者端末１２７にも分析結果は電子メール等で通知され、第２顧客Ｃ２側の管理者は、その通知に基づいて必要な処置を行う。例えば、光学系の清掃等を行う。
以上、説明したように、照度低下については、照度の経時変化を常時チェックし、異常を予測することにより、製品の品質に悪影響を及ぼす前に異常を検知することができ、さらに、その原因も即座に分析することができるため、早期対応が可能となり、露光精度を維持することが可能となる。また、交換が必要となる部品を、交換時期に備えて手配するため、不要な部品の在庫を減らすことができる。しかも、対応時期に余裕があるため、保守要員の手配を予約することができる。さらに、照度低下による露光装置のダウンタイムを極力抑制することができ、生産性の向上を図ることが可能となる。
また、エラーの現象、その原因、分析方法、及び対応策については、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０のウエブサーバ上のデータベースに登録され、関係者はブラウザ等で閲覧することができるようになっている。
さらに、本実施形態に係る装置間比較診断の一具体例として、第１顧客Ｃ１の第１工場Ｆ１に設置されている露光装置１０１におけるウエハ搬送系の搬送機能診断の場合について説明する。なお、ここでは、第１工場Ｆ１に設置されている露光装置１０１，１０２、及び第２工場Ｆ２に設置されている露光装置１１１，１１２，１１３，１１４，１１５はグループ化されているものとする。
露光装置１０１の情報出力部３０１は、ウエハの交換が指示されると、シーケンスログの取得を開始する。そして、所定の時間が経過すると、シーケンスログの取得を停止し、シーケンスログファイルを作成するとともに、作成したシーケンスログファイルを診断サーバ１０３に送信する。
本実施形態において、作成されるシーケンスログファイルは、図１５Ｂに示されるように、情報コード部にシーケンスログファイルを示す「００８」が、Ｆａｂコード部に第１工場を示す「００１」が、装置コード部に１台目を示す装置コード「００１」が、日時部にロギング開始日時を示す「２０００１２２５１３００」が、シーケンスデータ部にウエハ交換開始の項目コード「０３０１」とウエハの交換開始時刻ｔＳ、及びウエハ交換終了の項目コード「０３０２」とウエハの交換終了時刻ｔＦがセットされている。なお、ロギング開始日時は、２０００年１２月２５日１３時００分を意味している。
第１顧客Ｃ１の第１工場Ｆ１における診断サーバ１０３と露光装置１０１，１０２との間の通信が、前述したポーリング・セレクティング方式で行われている場合には、シーケンスログファイルは、図１５Ｃに示されるように、前記情報電文における情報部にセットされて、露光装置１０１から診断サーバ１０３に送信される。なお、実際には、前記情報電文における情報部のデータは、ＡＳＣＩＩコードに変換されている。例えば、情報コードデータ「００８」は、３０Ｈ、３０Ｈ、３８Ｈの３バイトデータに変換されている。
診断サーバ１０３の情報収集部３０３は、露光装置１０１からの情報電文を正常に受信すると、受信した情報電文から情報部を抽出する。そして、情報収集部３０３は、情報部の情報コードが「００８」であるため、受信した情報がシーケンスログファイルであると判断し、情報分別部３０４を介して、前記情報部から必要な情報を抽出し、ウエハ交換データファイルを作成する。該ウエハ交換データファイルは、図１９Ａに示されるように、一例として、情報の種別を示す情報コード部と、工場を特定するためのＦａｂコード部と、露光装置を特定するための装置コード部と、データの種別を示す項目コード部と、ウエハ交換を開始した日付を示す交換日部と、交換を開始した時刻を示す交換開始時刻部と、交換を終了した時刻を示す交換終了時刻と、から構成される。
前記ウエハ交換データファイルは、情報保存部３０５にて、圧縮され、記憶媒体に保存されるとともに、情報登録部３０６にて、ウエハ交換データベースに登録される。ウエハ交換データベースのデータレコードは、図１９Ｂに示されるように、一例として、顧客フィールドと、Ｆａｂフィールドと、装置フィールドと、項目フィールドと、交換日フィールドと、交換開始時刻フィールドと、交換終了時刻フィールドと、から構成される。
次に、診断サーバ１２４の診断部３０７は、前記診断データベースを参照し、受信情報がウエハ交換データであることから、前記ウエハ交換データファイル及び前記ウエハ交換データベースに格納されているウエハ交換時間のトレンドデータに基づいてウエハ搬送機能低下の診断を行うことを確認する。そこで、先ず診断部３０７は、前記ウエハ交換データファイルからウエハの交換開始時刻ｔＳ、及びウエハの交換終了時刻ｔＦを抽出し、次の（２）式によりウエハの交換に要した時間ｔＣ（以下、「ウエハ交換時間」と略述する）を算出する。
ｔＣ＝ｔＦ−ｔＳ        …（２）
さらに、診断部３０７は、前記ウエハ交換データベースを参照し、２０００年１２月２４日１３時００分から２０００年１２月２５日１３時００分までの間（２４時間）に行われたウエハ交換に要した時間の平均値、すなわち平均ウエハ交換時間ｔＡＣを算出する。また、予め設定されている装置グループに属する他の露光装置１０２，１１１，１１２，１１３，１１４，１１５についても、それぞれ同様に、２０００年１２月２４日１３時００分から２０００年１２月２５日１３時００分までの間（２４時間）に行われたウエハ交換に要した時間の平均値ｔＢＣ，ｔＣＣ，ｔＤＣ，ｔＥＣ，ｔＦＣ，ｔＧＣを算出する。なお、第２工場に設置されている露光装置１１１〜１１５については、第２工場側の診断サーバ１１６に依頼する。そして、次の（３）式を用いて、グループ内の露光装置全体の平均ウエハ交換時間ｔＴＣを算出する。
ｔＴＣ＝（ｔＡＣ＋ｔＢＣ＋ｔＣＣ＋ｔＤＣ＋ｔＥＣ＋ｔＦＣ＋ｔＧＣ）／７      …（３）
次に、露光装置全体の平均ウエハ交換時間ｔＴＣと診断対象となる露光装置１０１の平均ウエハ交換時間ｔＡＣとの差分ΔｔＣを次の（４）式を用いて算出する。
ΔｔＣ＝｜ｔＴＣ−ｔＡＣ｜      …（４）
さらに、診断部３０７は、記憶媒体に格納されている判定値データベースからウエハ交換時間の判定値を検索し、前記差分ΔｔＣと比較する。ここで、前記差分ΔｔＣがレベル３異常の判定値ＷＳ以上でかつレベル２異常の判定値未満の場合は、露光装置１０１のレベル３異常と診断し、異常判定情報を作成するとともに、診断結果通知部３０８を介してベンダー側の管理サーバ１５１に通知する。
なお、前記差分ΔｔＣがレベル３異常の判定値未満であっても、所定の期間内における差分ΔｔＣに基づいて、最小二乗法を用いた近似処理にて所定の将来における差分ΔｔＣを予測し、この予測される差分ΔｔＣが、レベル３異常の判定値を超えていれば、診断部３０７は、診断結果としての異常判定情報を作成するとともに、診断結果通知部３０８を介してベンダー側の管理サーバ１５１に通知する。
前記異常判定情報では、図１６Ｄに示されるように、情報コード部に診断結果であることを示す「１００」が、顧客コード部に第１顧客Ｃ１を示す「１５５３７」が、Ｆａｂコード部に第１工場を示す「００１」が、装置コードに１台目を示す「００１」が、項目コード部にウエハ搬送系のエラーであることを示す「０４５７」が、日時部に発生日時「２０００１２２５１３００」が、内容部に診断結果がレベル３異常であることを示す「０３」（但し、予測値がレベル３異常であれば「１３」）と前記差分ΔｔＣと前記判定値ＷＳとが、セットされている。なお、異常発生日時は、２０００年１２月２５日１３時００分を意味している。
図１に戻り、診断サーバ１０３からの前記異常判定情報は、ファイアウォール１０５を通過し、第１顧客Ｃ１の社内ＬＡＮ１１０を経由し、ファイアウォール１０７を通過して、専用回線１４０を介し、さらに、ファイアウォール１５８を通過して、ベンダー１５０側の社内ＬＡＮ１３０を経由し、さらにファイアウォール１５７及び１５３を通過して、管理サーバ１５１に到達する。また、前記異常判定情報は、電子メール等で、第１顧客Ｃ１の管理者端末１０６にも通知される。
管理サーバ１５１の通知部３１１は、診断サーバ１０３から前記異常判定情報を受信すると、その受信内容を電子メール等で担当者端末１５９に転送する。また、集計部３１２は、前記異常判定情報の内容を前記異常診断結果履歴データベースに登録する。
詳細情報収集部３１３は、前記異常判定情報のＦａｂコードが「００１」、装置コードが「００１」、項目コードが「０４５７」であることから、診断サーバ１０３の情報保存部３０５や情報登録部３０６を介して、診断サーバ１０３の記憶媒体に保存されている露光装置１０１のウエハ１枚毎の交換時間データ、ウエハ位置の詳細情報（ウエハが露光装置内のどの位置に停滞していたか等）、ウエハの搬送に関連するエラー情報等をダウンロードし、管理サーバ１５１の記憶媒体に保存する。
担当者は、担当者端末１５９に送付された前記異常判定情報の内容をチェックし、分析が必要があると判断した場合には、情報分析端末１５５を操作し、管理サーバ１５１の記憶媒体に保存されている前記ウエハ位置の詳細情報、前記エラー情報等を参照し、問題箇所を限定して原因を調査する。そして、担当者は、その原因に応じて、必要があれば社内システムとのリンク部３１６を介して部品交換の手配を行う。これらの情報は、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０を介して保守要員にも通知され、保守要員は必要な場合には即座に対応する。また、同時に、第１顧客Ｃ１側の管理者端末１０６にも分析結果は電子メール等で通知され、第１顧客Ｃ１側の管理者は、その通知に基づいて必要な処置を行う。
以上のように、ウエハ搬送系の搬送機能については、ウエハ交換に要する時間を他の露光装置の場合と定期的に比較することにより、初期段階で異常を検知することができ、さらに、その原因も即座に分析することができるため、早期対応が可能となり、高いスループットを維持することができる。さらに、ウエハ搬送機能の低下による露光装置のダウンタイムを極力抑制することができ、生産性の向上を図ることが可能となる。
また、エラーの現象、その原因、分析方法、及び対応策については、ベンダー側の社内ＬＡＮ１３０のウエブサーバ上のデータベースに登録され、関係者はブラウザ等で閲覧することができるようになっている。
以上のように、本実施形態に係る遠隔保全システムによると、異常を予測することにより、早期の部品交換やハードウエア調整が可能となり、産業用機器の性能及び精度維持を図ることができる。しかも、タイムリーな部品交換やハードウエア調整、さらにはプロセスに応じたパラメータの最適化により、産業用機器の稼働率を向上させることができる。また、トラブル発生時の対応も迅速に行うことができ、トラブルに起因するダウンタイムを極力抑制することが可能となる。
さらに、ベンダー側は、ネットワークを介して顧客側の産業用機器の各種情報をダウンロードすることが可能なため、ベンダー側で詳細な異常分析を効率的に行うことができる。なお、顧客側は、外部からの接続要求に対して、許可あるいは拒否することが可能なため、情報の不正漏洩を防止することができる。
また、難易度の高いトラブルであっても迅速な対応が可能となり、修理時間の短縮を図ることができるため、産業用機器の稼働率を向上させることが可能となる。
さらに、保守要員は、予め、保守対象である産業用機器の状態を把握しているため定期メンテナンスを効率化できるとともに、定期メンテナンス間隔を延長することも可能である。
また、産業用機器の診断結果に応じて、診断結果を通知する宛先を自動的に選択しているため、担当者及び保守要員の負荷を軽減することができる。
しかも、異常を予測することにより、異常発生を未然に防ぐことができるとともに、対応時期に合わせて交換部品の手配や、保守要員の予約を行うことが可能となる。
さらに、ベンダー側は、収集した各種情報に基づいて、産業用機器の改良や、開発を促進することができる。
また、顧客側とベンダー側との通信手段として、専用回線を利用しているため、情報の不正漏洩を防止することができる。
なお、本実施形態では、診断サーバにて、すべての異常の診断を行っているが、診断の項目によっては、産業用機器側で行っても良い。例えば、上述したプリアライメントの精度についての診断は、産業用機器自身で行うことが可能である。これは、診断サーバの診断部３０７と同等の診断機能が、産業用機器側に備えられることにより可能となる。この場合には、診断結果が産業用機器から診断サーバに通知されるので、診断サーバでは、診断部３０７での診断が行われないこと以外は、上述したのと同様に、関連する各種ファイルやデータベースの収集、及びファイルやデータベース作成等が行われる。どの項目を診断対象とするかは、産業用機器の記憶媒体の容量や、処理時間に依存する。従って、長期間の経時変化で診断する場合や、他の産業用機器との性能比較で診断する場合等は、診断サーバ側で行うほうが効率的である。
また、本実施形態では、顧客側とベンダー側とは、専用回線で接続しているが、公衆回線を用いても良い。但し、この場合は、セキュリティ対策を専用回線の場合よりも強固にする必要がある。
さらに、本発明に係る診断システムでは、無線ＬＡＮを利用して、ＬＡＮ環境を構築することも可能である。
また、本発明に係る遠隔保全システムでは、診断装置と管理サーバとの通信手段として、ＰＨＳや携帯電話を利用しても良い。特に、ＰＨＳでは高速データ通信が可能であり非常に有効である。また、設置場所を容易に移動できるという大きな利点がある。
さらに、本実施形態では、ベンダー側の情報分析端末１５５で詳細分析が行われているが、ユーザ側の管理者端末から診断サーバの情報分析部３０９をアクセスし、ユーザ側の管理者が詳細分析を行うことも可能である。
また、本実施形態では、ベンダー側の担当者が、担当者端末に送付された異常判定情報の内容に基づいて、部品の手配を行うように構成しているが、異常判定情報の内容から一義的に必要な部品を決定できるような場合には、本実施形態のシステムとは別途構築されている図示しない在庫管理システムと本実施形態に係るシステムとをリンクさせておき、在庫管理システム（消耗品管理システムを含む）へ自動的に部品手配の入力がなされるように構成しても良い。
なお、本実施形態では、診断サーバは、異常診断時に異常分析を行う機能を有しているが、予め産業用機器の各種情報の蓄積がなされている場合には、異常分析機能は不要である。すなわち、診断サーバの代わりに、産業用機器の複数の情報をトラブル発生時に限らず、定期的に獲得する診断処理部と、該診断処理部によって獲得された情報を一元管理する管理部とを備える情報収集装置を用いることができる。この場合、診断処理部は、更に産業用機器の複数の情報に基づいて所定情報の発生頻度を検出したり、特定の情報の経時変化を検出したり、あるいは同一産業用機器グループとの比較を行うことにより、本実施形態における、異常診断が可能となる。また、診断処理部は、産業用機器の自己計測機能又は自己診断機能を用いて情報を獲得することも可能である。そして、管理部は、診断処理部が産業用機器から獲得した情報のみではなく、診断処理部にて処理された情報、すなわち、所定情報の発生頻度情報、特定情報の経時変化情報及び同一産業用機器グループとの比較情報等も一元管理する。
この結果、情報収集装置では、予め産業用機器の各種情報の蓄積がなされているため、トラブル発生時の情報収集が容易になり、トラブルの早期解決を図ることができる。そして、結果的に産業用機器のトラブルに起因するダウンタイムを極力抑制して生産性の向上に貢献することが可能となる。
産業上の利用可能性
以上説明したように、本発明に係る診断装置は、産業用機器の異常予測あるいは早期検知、及びその原因の分析に適している。また、本発明に係る診断システムは、ほぼリアルタイムな産業用機器の異常検知及びその原因の分析に適している。また、本発明に係る遠隔保全システムは、遠隔地にある産業用機器の異常予測あるいは早期検知、及びその原因の分析に適している。また、本発明に係る情報収集装置は、トラブル発生時の情報収集及びトラブルの解決に適している。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明の一実施形態に係る遠隔保全システムの構成を概略的に示す図である。
図２は、一実施形態に係る遠隔保全システムの情報の流れを説明するための図である。
図３は、診断データベースの一例を示す図である。
図４は、ポーリング・シーケンスを説明するための図である。
図５は、セレクティング・シーケンスを説明するための図である。
図６Ａ〜図６Ｄは、ポーリング・セレクティング方式における電文形式を説明するための図である。
図７は、一実施形態に係る露光装置の構成を概略的に示す図である。
図８は、情報の種類と情報コードとの対応を説明するための図である。
図９は、工場とＦａｂコードとの対応を説明するための図である。
図１０は、装置と装置コードとの対応を説明するための図である。
図１１は、データの項目と項目コードとの対応を説明するための図である。
図１２は、判定値データベースを説明するための図である。
図１３Ａ〜図１３Ｃは、エラーログファイルの構成を説明するための図である。
図１４Ａ〜図１４Ｃは、計測データログファイルの構成を説明するための図である。
図１５Ａ〜図１５Ｃは、シーケンスログファイルの構成を説明するための図である。
図１６Ａ〜図１６Ｄは、異常判定情報の構成を説明するための図である。
図１７は、エラー情報データベースを説明するための図である。
図１８は、異常診断結果履歴データベースを説明するための図である。
図１９Ａ、図１９Ｂは、ウエハ交換データファイル、ウエハ交換データベースをそれぞれ説明するための図である。
図２０は、異常診断におけるデータの予測と判定レベルとを説明するための説明図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
2002061514.tif 000011
【図７】
2002061514.tif 000012
【図８】
2002061514.tif 000013
【図９】
2002061514.tif 000014
【図１０】
2002061514.tif 000015
【図１１】
2002061514.tif 000016
【図１２】
2002061514.tif 000017
【図１３Ａ】
2002061514.tif 000018
【図１３Ｂ】
2002061514.tif 000019
【図１３Ｃ】
2002061514.tif 000020
【図１４Ａ】
2002061514.tif 000021
【図１４Ｂ】
2002061514.tif 000022
【図１４Ｃ】
2002061514.tif 000023
【図１５Ａ】
2002061514.tif 000024
【図１５Ｂ】
2002061514.tif 000025
【図１５Ｃ】
2002061514.tif 000026
【図１６Ａ】
2002061514.tif 000027
【図１６Ｂ】
2002061514.tif 000028
【図１６Ｃ】
2002061514.tif 000029
【図１６Ｄ】
2002061514.tif 000030
【図１７】
2002061514.tif 000031
【図１８】
2002061514.tif 000032
【図１９Ａ】
2002061514.tif 000033
【図１９Ｂ】
2002061514.tif 000034
【図２０】
2002061514.tif 000035
【手続補正書】
【提出日】平成14年8月30日(2002.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１台のデバイス製造装置を診断する診断装置であって、
前記デバイス製造装置の情報に基づいて、前記デバイス製造装置における異常の有無の診断を行うとともに、異常が有る場合には異常の原因又は対策を特定するための異常分析を行う異常診断部と；
前記異常診断部による処理結果を外部に通知する異常通知部と；を備える診断装置。
【請求項２】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、異常内容毎に予め定めた診断理由について前記異常の有無の診断を行い、
前記異常通知部は、前記異常内容及び診断理由を前記診断結果に付加して外部に通知することを特徴とする診断装置。
【請求項３】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、前記異常分析に際して異常原因の分析及び該異常に対する対策の検討を行い、
前記異常通知部は、前記異常分析の結果に異常の原因及びその対策を付加して外部に通知することを特徴とする診断装置。
【請求項４】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、複数の分析ツールを更に備え、前記異常分析に際して異常の内容に基づいて前記複数の分析ツールのうちで最適な分析ツールを自動的に選択し、その選択された分析ツールを用いて前記異常分析を行うことを特徴とする診断装置。
【請求項５】
請求項１に記載の診断装置において、
前記デバイス製造装置の情報は、前記デバイス製造装置のイベント情報、前記デバイス製造装置の稼働履歴情報、前記デバイス製造装置の点検情報、前記デバイス製造装置のエラー情報、前記デバイス製造装置の自己計測情報、及び前記デバイス製造装置の自己診断情報、のうち少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１に記載の診断装置。
【請求項６】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記デバイス製造装置における所定の情報の発生頻度に基づいて行われることを特徴とする診断装置。
【請求項７】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記デバイス製造装置における所定のイベントの発生の有無に基づいて行われることを特徴とする診断装置。
【請求項８】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記デバイス製造装置における所定の情報の経時変化に基づいて行われることを特徴とする診断装置。
【請求項９】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断及び異常分析は、前記デバイス製造装置における所定の情報に関して、同一デバイス製造装置グループとの比較結果に基づいて行われることを特徴とする診断装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断は、前記デバイス製造装置における所定の情報の経時変化に基づく異常予測を含むことを特徴とする診断装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部での診断結果は、異常の程度により複数段階のレベルに分けられることを特徴とする診断装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の診断装置において、
前記レベルの段階数は異常の内容によって異なることを特徴とする診断装置。
【請求項１３】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常通知部は、前記異常診断部による結果を電子メールで前記外部に通知することを特徴とする診断装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の診断装置において、
前記電子メールは、前記結果の内容に応じて自動作成され、対応する前記外部に自動送信されることを特徴とする診断装置。
【請求項１５】
請求項１に記載の診断装置において、
前記異常診断部は、診断時の判定値及び診断方法の妥当性を評価するための診断シミュレーションを更に行うことを特徴とする診断装置。
【請求項１６】
削除
【請求項１７】
請求項１に記載の診断装置において、
前記デバイス製造装置は露光装置であり、前記異常診断は、アライメント系の精度診断、オートフォーカス系の変動診断、レンズ系の駆動機能診断及び光学特性変動診断、ステージ系の駆動機能診断及び精度診断、搬送系の搬送機能診断、並びに照明系の照度均一性診断及び照度診断、の少なくとも１つであることを特徴とする診断装置。
【請求項１８】
請求項１〜１５、１７のいずれか一項に記載の診断装置と；
該診断装置とネットワークで接続される少なくとも１台のデバイス製造装置と；を備える診断システム。
【請求項１９】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記ネットワークはＬＡＮであることを特徴とする診断システム。
【請求項２０】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記ネットワークには、イントラネットが構築されていることを特徴とする診断システム。
【請求項２１】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記ネットワークには、管理者端末が更に接続されていることを特徴とする診断システム。
【請求項２２】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記診断装置は、前記デバイス製造装置の情報を定期的に収集及び管理する収集部を更に備えることを特徴とする診断システム。
【請求項２３】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記デバイス製造装置は、自己計測を行い、その結果を前記診断装置に通知することを特徴とする診断システム。
【請求項２４】
請求項１８に記載の診断システムにおいて、
前記デバイス製造装置は、自己診断を行い、その結果を前記診断装置に通知することを特徴とする診断システム。
【請求項２５】
請求項２４に記載の診断システムにおいて、
前記自己診断は、前記デバイス製造装置のイベント情報、前記デバイス製造装置の稼働履歴情報、前記デバイス製造装置の点検情報、前記デバイス製造装置のエラー情報、及び前記デバイス製造装置の自己計測情報の少なくとも１つに基づいて行われることを特徴とする診断システム。
【請求項２６】
請求項１８に記載の診断システムと；
前記診断システムと通信手段で接続され、前記診断システムからの情報に基づいて前記デバイス製造装置を保全する管理サーバと；を備える遠隔保全システム。
【請求項２７】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記診断システムは、所定の条件下でのみ前記管理サーバからのアクセスを許可する認証部を更に備えることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項２８】
請求項２７に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記認証部は、前記デバイス製造装置の情報に関するデータファイルや、前記異常診断及び異常分析に関するデータファイルへの外部からのアクセスに対して、ファイル毎に認証チェックを行うことを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項２９】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記診断システムを構成する前記診断装置の前記異常通知部は、前記異常診断部による処理結果を、診断結果に応じて異なる外部に通知することを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３０】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、前記診断システムからの情報に基づいて前記デバイス製造装置の異常分析を行うことを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３１】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、前記デバイス製造装置のベンダー側のネットワークに更に接続されていることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３２】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、更に部品管理システムとリンクされ、前記デバイス製造装置の部品を交換する必要が生じた場合に、前記部品管理システムに前記部品の在庫の有無を確認するとともに、在庫がない場合には発注を指示することを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３３】
請求項３２に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、前記部品管理システムに対して担当者への前記部品の送付を指示することを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３４】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記通信手段は、専用回線を利用したものであることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３５】
請求項２６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記通信手段は、公衆回線を利用したものであることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３６】
請求項３５に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記通信手段は、インターネットを利用したものであることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３７】
請求項３６に記載の遠隔保全システムにおいて、
前記管理サーバは、電子メールを送受信するためのメールサーバ機能及びＨＴＭＬ形式のファイル等を転送するウエブサーバ機能を有していることを特徴とする遠隔保全システム。
【請求項３８】
削除
【請求項３９】
削除
【請求項４０】
削除
【請求項４１】
削除
【請求項４２】
削除
【請求項４３】
削除
【請求項４４】
削除
【請求項４５】
所定パターンを基板上に形成する露光装置を含むデバイス製造装置の運用方法であって、
前記露光装置をユーザサイドに配置し、
前記露光装置の状態に応じて、前記露光装置の異常の原因、又は異常への対策に関する情報を出力する第１分析部を、前記ユーザサイドに配置し、
前記露光装置の異常の原因、又は異常への対策に関する情報を出力する第２分析部をベンダサイドに配置し、
前記ユーザサイドに配置された第１分析部と前記ベンダサイドに配置された第２分析部との間を情報通信可能に接続し、
前記露光装置の状態に関する情報を前記ユーザサイドで前記第１分析部を用いて分析可能に構成するとともに、前記露光装置の状態に関する情報をベンダサイドで前記第２分析部を用いて分析可能に構成することを特徴とするデバイス製造装置の運用方法。
【請求項４６】
請求項４５に記載の運用方法において、
前記ベンダサイドに配置される第２分析部を複数ユーザサイドに配置される複数の第１分析部と情報通信可能に接続し、
前記第２分析部で前記複数のユーザサイドの複数の第１分析部から送信された情報を比較することを特徴とするデバイス製造装置の運用方法。
【請求項４７】
請求項４６に記載の運用方法において、
前記第２分析部で、前記第１分析部から送信された情報に基づいてグラフ又はヒストグラムを表示することを更に含むことを特徴とするデバイス製造装置の運用方法。
【請求項４８】
所定パターンを基板上に形成する露光装置を含むデバイス製造システムであって、
ユーザサイドに配置され、前記露光装置の状態に応じて、前記露光装置の異常の原因、又は異常への対策に関する情報を出力する第１分析部と；
ベンダサイドに配置され、前記露光装置の異常の原因、又は異常への対策に関する情報を出力する第２分析部と；を備えるデバイス製造システム。
【請求項４９】
請求項４８に記載のデバイス製造システムにおいて、
前記ベンダサイドに配置される第２分析部は、複数ユーザサイドに配置される複数の第１分析部と情報通信可能に接続され、
前記第２分析部が、前記複数ユーザサイドの複数の第１分析部から送信された情報を比較することを特徴とするデバイス製造システム。
【請求項５０】
ユーザサイドに配置され、所定パターンを基板上に形成する露光装置において、
前記露光装置の状態に関する情報を、ユーザサイドに配置され、前記露光装置の異常の原因、又は異常への対策に関する情報を出力する第１分析部に対して送信するとともに、前記露光装置の状態に関する情報を、ベンダサイドに配置され、前記露光装置の異常の原因、又は異常への対策に関する情報を出力する第２分析部に対して送信する送信部を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項５１】
所定パターンを基板上に形成する露光装置を含むデバイス製造装置の運用方法であって、
前記露光装置を複数のユーザサイドに配置し、
前記露光装置の状態に応じて、前記露光装置の状態に関する情報をユーザサイドからベンダサイドへ出力し、
前記ベンダサイドで、異なるユーザサイドに配置された露光装置同士の情報を比較し、
前記比較結果に基づいて、所定のユーザサイドに配置された露光装置の異常の原因又は対策を分析することを特徴とするデバイス製造装置の運用方法。
【請求項５２】
所定のパターンを基板上に形成する露光装置を含むデバイス製造システムであって、
複数のユーザサイドに配置される露光装置と；
前記露光装置の状態に応じて、前記露光装置の状態に関する情報を前記ユーザサイドからベンダサイドへ出力する出力手段と；
前記ベンダサイドで、異なるユーザサイドに配置された露光装置同士の情報を比較する比較手段と；
前記比較結果に基づいて、所定のユーザサイドに配置された露光装置の異常の原因又は対策を分析する分析手段と；を備えるデバイス製造システム。
【請求項５３】
所定パターンを基板上に形成する露光装置を含むデバイス製造装置の運用方法であって、
前記露光装置は、露光に供される前記基板が基板ステージ上に載置される前に、前記基板の位置を調整するプリアライメント装置を備え、
前記プリアライメント装置によるプリアライメント精度の悪化を示す情報を前記露光装置より出力し、
前記情報の発生頻度を算出することを特徴とするデバイス製造装置の運用方法。
【請求項５４】
請求項５３に記載の運用方法において、
前記プリアライメント精度の悪化を示す情報の発生頻度を判定値と比較することを更に含むことを特徴とするデバイス製造装置の運用方法。
【請求項５５】
請求項５４に記載の運用方法において、
前記プリアライメント精度の悪化を示す情報の発生頻度を、複数の判定値と比較することを特徴とするデバイス製造装置の運用方法。
【請求項５６】
所定パターンを基板上に形成する露光装置を含むデバイス製造システムであって、
前記露光装置は、
露光に供される前記基板が基板ステージ上に載置される前に、前記基板の位置を調整するプリアライメント機構と；
前記プリアライメント機構によるプリアライメント精度の悪化を示す情報を出力する出力手段と；
前記露光装置の出力手段より出力される前記情報の発生頻度を算出する算出手段と；を有することを特徴とするデバイス製造システム。
【請求項５７】
請求項５６に記載のデバイス製造システムにおいて、
前記プリアライメント精度の悪化を示す情報を判定値と比較する比較手段を備えることを特徴とするデバイス製造システム。
【請求項５８】
請求項５７に記載のデバイス製造システムにおいて、
前記比較手段は、前記プリアライメント精度の悪化を示す情報の発生頻度を、複数の判定値と比較することを特徴とするデバイス製造システム。
【請求項５９】
所定パターンを基板上に形成する露光装置を含むデバイス製造システムの運用方法であって、
前記所定パターンに対応する前記基板上での露光領域内の照度に関する情報を検出し、
前記検出手段で検出された情報から、前記照度の予測値を算出することを特徴とするデバイス製造システムの運用方法。
【請求項６０】
請求項５９に記載の運用方法において、
前記検出手段で検出された情報から、近似直線を算出することを更に含むことを特徴とするデバイス製造システムの運用方法。
【請求項６１】
請求項６０に記載の運用方法において、
前記検出手段で検出された情報に基づいて、光学部品を手配することを更に含むことを特徴とするデバイス製造システムの運用方法。
【請求項６２】
所定パターンを基板上に形成する露光装置を含むデバイス製造システムであって、
前記所定パターンに対応する前記基板上での露光装置内の照度に関する情報を検出する検出手段と；
前記検出手段で検出された情報から、前記照度の予測値を算出する演算手段と；を備えるデバイス製造システム。
【請求項６３】
請求項６２に記載のデバイス製造システムにおいて、
前記演算手段が、前記検出手段で検出された情報から、近似曲線を算出することを特徴とするデバイス製造システム。
【国際調査報告】
2002061514.tif 000036
2002061514.tif 000037
2002061514.tif 000038
2002061514.tif 000039