(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂封止して成形するモールド金型を備えた装置に集塵装置を備え付け、その集塵装置の集塵機とモールド金型の上型又は下型を清掃するクリーナとをダクトを介して接続し、そのクリーナの吸込口部に密閉用弾性部材を吸込口の周囲をリング状に取り巻くように配置し、その密閉用弾性部材の先端面を集塵時に上型下面又は下型上面より１〜２ｍｍ離れた直近位置まで達するように突出させて取り付けてなる樹脂成形用モールド金型装置において、上記密閉用弾性部材の少なくともクリーナの移動方向とほぼ直角に配置した部分を、その吸込口部取付側の基端面の幅と比べ、先端面を幅広にして、吸込口部取付用段差箇所を設けた断面Ｌ形ブロック状にし、その直角配置部分の先端面付近の少なくとも吸込口に臨む内側縁部をコーナ取りして弧状に形成し、更にその直角配置部分に上型下面又は下型上面に設置した突起物を避ける突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設けることを特徴とする樹脂成形用モールド金型装置。
【請求項２】
密閉用弾性部材の直角配置部分に設けた突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用の板状弾性部材で閉じ、その密閉用板状弾性部材を突起物の当接によって突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるように支持することを特徴とする請求項１記載の樹脂成形用モールド金型装置。
【請求項３】
密閉用弾性部材の直角配置部分に設けた突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用ローラで閉じ、その密閉用ローラを突起物の当接によって突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるように軸支することを特徴とする請求項１記載の樹脂成形用モールド金型装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体集積回路等を樹脂封止して成形するモールド金型を備えた樹脂成形用モールド金型装置、特にその装置に備え付ける集塵装置のクリ−ナ吸込口部の密閉構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、一般的な半導体パッケージは基板の各セクションに接合した半導体集積回路等をそれぞれ樹脂封止して成形するモールド金型を備えた樹脂成形用モールド金型装置を用いて製造している。この樹脂成形用モールド金型装置の作動時に、モールド金型の上型、下型のキャビティ内等には樹脂バリ等の粉塵が発生したり、封止用樹脂材料のタブレットを供給するタブレット供給部にはタブレットの振動供給によって粉塵が発生する等装置内の各所に粉塵が発生する。そこで、粉塵による成形工程上の不具合、成形品に対する悪影響を除くため集塵装置を備え付け、装置内の各所に発生した粉塵を集塵機で集めて取り除いている。因みに、ＢＧＡ（ボ−ルグリッドアレイ）型半導体パッケージ、ＣＳ（チップサイズ）型半導体パッケージ等ではボ−ル半田面側への樹脂バリの付着が致命的な欠陥となる。
【０００３】
このような集塵装置を備え付ける場合、樹脂成形用モールド金型装置内各所の粉塵発生箇所の近傍に、集塵装置の各吸込口をそれぞれ配設する。その際、モールド金型に対しては図９に示すような上型クリ−ナ１と下型クリ−ナ２とを使用し、樹脂封止後の基板取り出しのための型開き時に上型、下型の清掃を必ず実施する。この各クリ−ナ１、２は矢印で示す基板の搬送方向に沿って前進後退自在に備え付けられており、配置構造は大略上下対称となっている。そして、上型クリ−ナ１では箱状のブラシ収納ケース３に吸込口となる上開口を設け、そのケース３の吸込口部４の付近内部にクリーニング用の回転ブラシ５を設置する。又、下型クリ−ナ２では同様のブラシ収納ケース６に吸込口となる下開口を設け、そのケース６の吸込口部７の付近内部に同様の回転ブラシ８を設置する。なお、各クリ−ナの吸込口内に回転ブラシを設ける代わりに、その吸込口の前後両側或いは片側にクリ−ナの進行方向に対し、直角方向に揺動する揺動ブラシを設置する場合もある。
【０００４】
又、このような各クリ−ナ１、２の吸込口部４、７に密閉用の薄い例えば１．０ｍｍのゴム板９、１０を吸込口の周囲をリング状に取り巻くようにそれぞれ配置して取り付ける。その際、吸込口の密閉によって集塵効果を高めるため、ブラシ収納ケース３、６を上型下面１１、下型上面１２に向けて移動させた時にゴム板９、１０の先端面１３、１４が上型下面１１、下型上面１２の直近まで例えば１〜２ｍｍ離れた位置まで達するようにする。更に、各クリ−ナ１、２には集塵時に上型、下型のキャビティ（図示せず）に空気を吹き付け、キャビティ等に付着した樹脂バリ等の粉塵を回転ブラシ５、８と協同して除去するエアブロー１５、１６、回転ブラシ５、８を駆動するモータ１７、１８、ブラシ収納ケース３、６を上型下面１１、下型上面１２に向けて移動する電磁シリンダー１９、２０等も設置する。なお、上型下面１１、下型上面１２はモールド金型のパーティングラインを形成する基準面である。
【０００５】
このような薄い密閉用ゴム板９、１０を吸込口部４、７にそれぞれ設置して用いると、ゴム板９、１０が弾力性を有するため、図１０に示すように上型下面１１、下型上面１２等から基板を位置決めするピン等の突起物２１が突出していても、各クリーナ１、２の前進時等に、薄いゴム板９、１０が突起物２１に当ると、突起物２１によってゴム板９、１０を押し曲げることができる。それ故、ゴム板９、１０を設置しても、各クリーナ１、２の前進等にとって突起物２１の突出があまり邪魔にならない。そこで、各クリーナ１、２を前進させながら上型、下型のキャビティ内等にエアブロー１５、１６によって適宜空気を吹き付け、図１１の矢印で示すように空気を吸い込み、粉塵を各クリーナ１、２の共通ダクト２２等を経て集塵機へと送る。なお、タブレット供給部に対してもそのタブレット移動経路に沿って複数箇所例えば２箇所に吸込口をそれぞれ設け、やはりその各吸込口と集塵機とを粉塵を送るダクトを介して接続する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このように密閉用のゴム板９、１０を各クリ−ナ１、２の吸込口部４、７にそれぞれ取り付け、上型下面１１、下型上面１２に向けて垂直方向に突出させておくと、上型下面１１、下型上面１２に平行なキャビティ内面からほぼ垂直方向に空気を吸い込むため空気の流れが悪くなり、乱気流を起して吸い込みが悪くなる。それ故、樹脂バリ等の粉塵がキャビティ内に残ってしまう。又、ゴム板９、１０が薄く先端コーナ部が直角になっていると、空気の流れによって自然に変形し、図１２に示すように突起物２１に当らなくても局部的にめくれて大きく開いたりする。それ故、密閉作用が劣ったものとなって真空度が上がらず、集塵効果を高めることができない。更に、ゴム板９、１０は薄いため、多数のねじを用いて取り付けていたが、取り付け作業の負担が大きく、交換性にも問題がある。
【０００７】
本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであり、各クリ−ナ吸込口部の密閉作用を向上させて真空度を上げ、更に吸い込み作用を優れたものにすることによって、集塵効果を高めることができる樹脂成形用モールド金型装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明による樹脂成形用モールド金型装置では樹脂封止して成形するモールド金型を備えた装置に集塵装置を備え付け、その集塵装置の集塵機とモールド金型の上型又は下型を清掃するクリーナとをダクトを介して接続し、そのクリーナの吸込口部に密閉用弾性部材を吸込口の周囲をリング状に取り巻くように配置し、その密閉用弾性部材の先端面が集塵時に上型下面又は下型上面より１〜２ｍｍ離れた直近位置まで達するように突出させて取り付ける。
【０００９】
そして、上記密閉用弾性部材の少なくともクリーナの移動方向とほぼ直角に配置した部分を、その吸込口部取付側の基端面の幅と比べ、先端面を幅広にして、吸込口部取付用段差箇所を設けた断面Ｌ形ブロック状にし、その直角配置部分の先端面付近の少なくとも吸込口に臨む内側縁部をコーナ取りして弧状に形成し、更にその直角配置部分に上型下面又は下型上面に設置した突起物を避ける突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設ける。
【００１０】
又、密閉用弾性部材の直角配置部分に設けた突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用の板状弾性部材で閉じ、その密閉用板状弾性部材を突起物の当接によって突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるように支持すると好ましくなる。
【００１１】
又、密閉用弾性部材の直角配置部分に設けた突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用ローラで閉じ、その密閉用ローラを突起物の当接によって突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるように軸支するとよい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図１〜８を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明を適用した樹脂成形用モールド金型装置に備え付けた集塵装置のモールド金型を清掃する上型、下型クリ−ナの一方、例えば下型クリ−ナの吸込口部付近を示す底面図、図２は同下型クリ−ナの吸込口部付近の左側面図、図３は図１のＸ−Ｘ線断面図である。このモールド金型を清掃する上型、下型クリ−ナも従来の上型、下型クリ−ナ１、２とほぼ同一構造にする。そして、図１に示すようにゴム、プラスチック等からなる一対の密閉用長手弾性部材２４（２４ａ、２４ｂ）と一対の密閉用短手弾性部材２５（２５ａ、２５ｂ）とを長方形吸込口２６の周囲に長方形リング状に配置する。その際、一対の密閉用長手弾性部材２４は矢印で示すクリ−ナの移動方向に直角に配置し、一対の密閉用短手弾性部材２５は平行に配置する。しかし、これ等の密閉用弾性部材２４、２５の構造や密閉用弾性部材２４、２５をクリ−ナの吸込口部に取り付ける方法等は異ならせる。
【００１３】
そこで、各密閉用弾性部材２４、２５として、肉厚を厚く例えばクリーナの吸込口部を取り付ける基部側を５ｍｍ、先端部側を１０ｍｍのブロック状にし、その吸込口部取付側の基端面の幅と比べ、先端面２７（２７ａ、２７ｂ）、２８（２８ａ、２８ｂ）を２倍に幅広にして、高さと幅をほぼ等しくし、吸込口部取付用段差箇所を設けた断面Ｌ形体をそれぞれ採用する（図３参照）。しかも、各弾性部材２４、２５はその先端面付近の少なくとも吸込口２６に臨む内側縁部２９（２９ａ、２９ｂ）、３０（３０ａ、３０ｂ）をコーナ取りして弧状にそれぞれ形成しておく。又、各長手弾性部材２４には上型下面、下型上面等の型面に設置したピンやその他の突起物等を避けるため、先端面２７に内側縁部２９から外側縁部まで横切る突起物逃げ凹所をそれぞれ設けておく。その際、各長手弾性部材２４の中央部に設ける突起物逃げ凹所３１（３１ａ、３１ｂ）はキャビティを支持するロックブロックの突出部分を避けるため幅広にし、その両側に２箇所ずつ設ける突起物逃げ凹所３２（３２ａ、…３２ｄ）はサイドピンを避けるため幅狭にして溝にする。
【００１４】
これ等の各密閉用弾性部材２４、２５はクリ−ナの吸込口部にねじ止めして固定し取り付ける。その際、各弾性部材２４、２５はブロック状でその先端面２９、３０が幅広で剛性が大きいため、取り付けに使用するねじ３３の数が少なくて済む。そこで、各長手弾性部材２４についてはねじ３３を４本ずつ、又各短手弾性部材２５についてはねじ３３を２本ずつそれぞれ使用する。それ故、各弾性部材２４、２５が取り付け易く、交換も容易である。なお、各弾性部材２４、２５の取り付けに当ってはクリ−ナ吸込口部の外側に係合する取付金具３４（３４ａ、３４ｂ）等も使用する（図２、３参照）。
【００１５】
そして、各長手弾性部材２４に設けた幅広の突起物逃げ凹所３１に対し、外側から従来使用していたのと同様の薄いゴム板等の密閉用弾性部材３５（３５ａ、３５ｂ）を被せてそれぞれ閉鎖する。すると、突起物に対する密閉用弾性部材３５の弾性力による屈曲作用を利用でき、各長手弾性部材２４に幅広の突起物逃げ凹所３１を設けても、密閉作用の低下を補償して集塵効果を高めることができる。その際、各密閉用弾性部材３５をねじ３３を２本ずつ用いて取り付けるが、取り付け用の細長い板状の弾性部材３６（３６ａ、３６ｂ）をそれぞれ介在する。
【００１６】
このような密閉用弾性部材２４、２５を吸込口部に取り付けたクリ−ナを用いると、図４に示すように各密閉用弾性部材２４（２５）の肉厚が厚く、その先端面２７（２８）が幅広で剛性が大きいため、それ等の密閉用のブロック状弾性部材２４（２５）が空気の流れにより変形して局部的にめくれたりすることがない。それ故、密閉作用が優れたものになって、クリ−ナのブラシ収納ケース内の真空度が上がり、集塵効果を高めることができる。なお、３７がブラシ収納ケース、３８が回転ブラシである。
【００１７】
又、各密閉用弾性部材２４（２５）の吸込口２６に臨む内側縁部２９（３０）をコーナ取りして弧状に形成しておくと、それ等の弧面に沿って空気が矢印で示すように流れ、型面に平行なキャビティ内面から空気を斜め方向に吸い込むようになる。それ故、乱気流を起すことなく、吸い込みが良くなって集塵効果を高めることができる。なお、このような密閉用のブロック状弾性部材３９は図５に示すようにその内側縁部４０と対応する外側縁部４１もコーナ取りして弧状に形成してもよい。何故なら、両弧面に沿って空気が矢印で示すように流れ、型面に平行なキャビティ内面から斜め方向に空気を一層良好に吸い込むことができるようになるからである。
【００１８】
上記実施の形態ではクリ−ナの移動方向と直角に配置する各密閉用長手弾性部材２４に型面から突出するピン等の突起物を避けるため、各先端面２７、２８の対応位置に突起物逃げ凹所３１、３２をそれぞれ設け、その各中央部にある幅広の突起物逃げ凹所３１のみを密閉用の板状弾性部材３５を用いて閉鎖したが、図６に示すように各密閉用長手弾性部材４２（４２ａ、４２ｂ）の先端面４３（４３ａ、４３ｂ）に設ける全ての突起物逃げ凹所４４（４４ａ、……４４ｆ）を幅広にし、その各突起物逃げ凹所４４を密閉用のローラ４５（４５ａ、……４５ｆ）で閉じることもできる。なお、４６が吸込口、４７（４７ａ、４７ｂ）が密閉用短手弾性部材、４８（４８ａ、４８ｂ）がその各弾性部材４７の先端面、４９（４９ａ、……４９ｆ）が密閉用ロ−ラ４５の回転軸である。
【００１９】
そして、各密閉用ロ−ラ４５の回転軸４９を図７に示すようにブラシ収納ケース５０の吸込口部内に設置したスプリング５１から付勢力が働くように支持する。すると、各突起物逃げ凹所４４の内部を密閉用ロ−ラ４５で常閉でき、クリ−ナの移動中に各密閉用ロ−ラ４５が突起物５２に当ると、その時のみ突起物５２の当接によってスプリング５１の付勢力に抗して密閉用ローラ４５を移動して突起物逃げ凹所４４を開放できる。このようにして、密閉用ローラ４５を用いると、幅広の突起物逃げ凹所４４を設けても、密閉作用、吸い込み作用の低下を補償して集塵効果を高めることができる。なお、このようなスプリング付き密閉用ローラは図８に示すようにブラシ収納ケース５３の吸込口部の外側に設置し、突起物逃げ凹所５４を外側から開閉してもよい。当然、外側に設置した方がスプリング５５、密閉用ローラ５６、両者を関係付ける支持体５７等の構造、大きさ等を自由に選択できて好都合となる。
【００２０】
なお、上記実施の形態では密閉用短手弾性部材２５も肉厚を厚くブロック状にし、その先端面２８を幅広にしたが、従来通りの薄いゴム板等の密閉用の板状弾性部材を使用してもよい。
又、上記実施の形態では密閉用長手弾性部材２４の先端面２７に突起物逃げ凹所３１、３２を設けたが、その部分の部材を除いた突起物逃げ切断部にしてもよい。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明した本発明によれば、請求項１記載の発明では密閉用弾性部材の少なくともクリーナの移動方向とほぼ直角に配置した部分を、その吸込口部取付側の基端面の幅と比べ、先端面を幅広にして、吸込口部取付用段差箇所を設けた断面Ｌ形ブロック状にすることにより、剛性を大きくして、空気の流れによって生じる変形をなくすことができる。又、先端面付近の少なくとも吸込口に臨む内側縁部をコーナ取りして弧状に形成することにより、その弧面に沿って空気が流れるので、乱気流を起すことなく吸い込み性能が良くなる。従って、集塵効果を高めることができる。又、密閉用弾性部材の少なくともクリーナの移動方向とほぼ直角に配置した部分を、その先端面を幅広にして、吸込口部取付用段差箇所を設けた断面Ｌ形ブロック状にすることにより、剛性を大きくしたため、クリーナの吸込口部に密閉用弾性部材が取り付け易くなり、交換も容易に行える。
【００２２】
又、請求項２記載の発明では密閉用弾性部材の直角配置部分に型面から突出する突起物を避ける突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設けても、その突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用の板状弾性部材で閉じ、その弾性部材を突起物の当接によって突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるように支持することにより、突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設けたことによる密閉作用の低下を補償して、集塵効果を高めることができる。
【００２３】
又、請求項３記載の発明では密閉用弾性部材の直角配置部分に型面から突出する突起物を避ける突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設けても、その突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を密閉用ローラで閉じ、その密閉用ローラを突起物の当接によって突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部が開放可能となるように支持することにより、突起物逃げ凹所又は突起物逃げ切断部を設けたことによる密閉作用、吸い込み作用の低下を補償して、集塵効果を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した樹脂成形用モールド金型装置に備え付けた集塵装置のモールド金型を清掃する上型、下型クリ−ナの一方、例えば下型クリ−ナの吸込口部付近を示す底面図である。
【図２】同下型クリ−ナの吸込口部付近の左側面図である。
【図３】同下型クリ−ナの吸込口部付近を示す図１のＸ−Ｘ線断面図である。
【図４】同下型クリ−ナの要部を示す正面図である。
【図５】同下型クリ−ナの吸込口部に取り付ける密閉用ブロック状弾性部材の変形例を示す縦断面図である。
【図６】同下型クリ−ナの吸込口部付近の変形例を示す底面図である。
【図７】同下型クリ−ナの要部を示す図６に対応する縦断面図である。
【図８】同下型クリ−ナの吸込口部付近の他の変形例を示す縦断面図である。
【図９】従来の樹脂成形用モールド金型装置に備え付けた集塵装置のモールド金型を清掃する上型、下型クリ−ナの正面図である。
【図１０】同下型クリ−ナの要部を示す縦断面図である。
【図１１】同上型、下型クリ−ナのクリーニング時における吸い込み動作を示す概略縦断面図である。
【図１２】同下型クリ−ナの吸込口部に取り付ける密閉用板状弾性部材の吸い込みによる変形を示す縦断面図である。
【符号の説明】
２４、２５、３９、４２、４７…密閉用ブロック状弾性部材  ２６、４６…吸込口  ２７、２８、４３、４８…先端面  ２９、３０、４０…内側縁部  ３１、３２、４４、５４…突起物逃げ凹所  ３３…ねじ  ３４…取付金具  ３５…密閉用板状弾性部材  ３７、５０、５３…ブラシ収納ケース  ３８…回転ブラシ  ４１…外側縁部  ４５、５６…密閉用ローラ  ４９…回転軸  ５１、５５…スプリング  ５２…突起物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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