(57)【要約】電子ビームの利用効率を向上することができ、簡単な構造により実現することができる冷陰極電子源を提供する。本発明の冷陰極電子源は、基板２上に絶縁層３を介して形成されたゲート電極４と、該絶縁層３及びゲート電極４を貫通して設けられゲート開口部に設けられたエミッタ６とを備え、該エミッタ６からの電子放出時には、アノード−エミッタ間距離をＨａ［μｍ］、アノード−エミッタ間電圧をＶａ［Ｖ］、ゲート−エミッタ間距離をＨｇ［μｍ］、ゲート−エミッタ間電圧をＶｇ［ｖ］とした場合、１０［Ｖ／μｍ］≧（Ｖａ−Ｖｇ）／（Ｈａ−Ｈｇ）≧Ｖｇ／Ｈｇを満たし、さらにＶｇ／Ｈｇ［Ｖ／μｍ］≧Ｖａ×１０−４×（９．７−１．３×ｌｎ（Ｈｇ））×（１０００／Ｈａ）０．５を満たす。
2002027745.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に絶縁層を介して形成されたゲートと、該絶縁層及びゲートを貫通して設けられたゲート開口部に設けられたエミッタとを備え、該エミッタからの電子放出時には、アノード−エミッタ間距離をＨａ［μｍ］、アノード−エミッタ間電圧をＶａ［Ｖ］、ゲート−エミッタ間距離をＨｇ［μｍ］、ゲート−エミッタ間電圧をＶｇ［Ｖ］とした場合、
１０［Ｖ／μｍ］≧（Ｖａ−Ｖｇ）／（Ｈａ−Ｈｇ）≧Ｖｇ／Ｈｇ
を満たし、さらに
Ｖｇ／Ｈｇ［Ｖ／μｍ］≧Ｖａ×１０−４×（９．７−１．３×ｌｎ（Ｈｇ））×（１０００／Ｈａ）０．５
を満たすことを特徴とする冷陰極電子源。
【請求項２】
前記ゲート開口部の開口幅をＤｇとした場合、Ｄｇ／Ｈｇ≦５／３を満たすことを特徴とする請求項１記載の冷陰極電子源。
【請求項３】
前記エミッタからの電子放出時に、
（Ｖａ−Ｖｇ）／（Ｈａ−Ｈｇ）≒Ｖｇ／Ｈｇ
を満たし、さらに、前記ゲート開口部の開口幅をＤｇとした場合、Ｄｇ／Ｈｇ≦２／１を満たすことを特徴とする請求項１記載の冷陰極電子源。
【請求項４】
請求項２又は請求項３記載の冷陰極電子源が２次元マトリクス状に形成されていることを特徴とするフィールドエミッションディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、冷陰極電子源に関し、特に、電子ビームの利用効率を向上することができる冷陰極電子源及び該電子源を用いたフィールドエミッションディスプレイに関する。
背景技栃
電子放出には、熱電子放出以外に電界電子放出、二次電子放出、光電子放出等がある。冷陰極は、電界電子放出により電子放出を行う陰極である。電界電子放出は、物質の表面近傍に強電界（１０９Ｖ／ｍ）を加え、表面のポテンシャル障壁を下げることでトンネル効果により電子放出を行うものである。
冷陰極は、熱陰極のように加熱を必要とせず、その電流−電圧特性は、ファウラ‐ノードハイムの式で近似できる。電子放出部は、絶縁を保ちながら強電界を印加するために、電界集中定数を大きくする構造（針状等）を持たせている。
初期の冷陰極は、ウィスカーのような針状単結晶を電界研磨して用いた二極管構造だったが、近年、集積回路又は薄膜の分野において用いられている微細加工技術により、高電界において電子を放出する電界放出型電子源（フィールドエミッタアレイ）製造技術の進歩は目覚ましく、特に極めて小型な構造を有する電界放出型冷陰極が製造されている。
この種の電界放出型冷陰極は、３極管の超小型電子管又は超小型電子銃を構成する主要部品の内、最も基本的な電子放出デバイスである。構造の微細化が進んだことにより、電子源としては熱陰極に比較して高い電流密度を得ることができる利点がある。
冷陰極を用いたフィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）は自発光型フラットパネルディスプレイへの応用が期待され、電界放出型電子源の研究、開発が盛んに行われている。
このような電界放出型電子源の動作及び製造方法は、Ｓｔａｎｆｏｒｄ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ　ＩｎｓｔｉｔｕｔｅのＣ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔ等によるＪｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｖｏｌ．４７，Ｎｏ．１２，ｐｐ．５２４８〜５２６３（１９７６）に発表された研究報告により公知であり、また、Ｃ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔ等による米国特許第３，６６５，２４１号明細書、並びにＨ．Ｆ．Ｇｒａｙ等による米国特許第４，３０７，５０７号明細書等に開示されている。
これらの文献に開示された電界放出型電子源は、いずれも半導体基板や金属基板上に形成された突起状の電子放出部（エミッタ）を持ち、エミッタの周辺には電子を引き出す電界を印加するためのゲートが形成されている。ゲートへの電圧印加によってエミッタから放出された電子は、図８（ａ）の様にエミッタ上方に形成されたアノードに向かって進行する。
これらの冷陰極電子源では、電子を放出させるためにゲート−エミッタ間にエミッタから電子を放出させられるだけの高い電界をかけ、アノードは出てきた電子を集めるため、正電圧をかけていたが、アノード−ゲート間の電界は、ゲート−エミッタ間の電界よりも弱いため、放出された電子が広がるという問題があった。
最近では、特開平５−２８２９９０号公報に示されるように、エミッタ部分にダイアモンド等の低電界で電子を放出する材料を用いて、アノードに印加する電圧によってエミッタから電子を引き出し、ゲート電極を電子放出の抑制に用いる空乏モード電子放出装置用の電子源が開示されている。
また、特開２０００−１５６１４７号公報に示されるように、アノード、ゲート及びエミッタからなる電界放出型素子において、アノード−エミッタ間の電界により電子放出を行い、ゲート−エミッタ間の電界により電子ビームの集束を行う冷陰極電界電子放出素子が開示されている。この素子において、ゲート開口の面積は、ゲート開口底面の面積より大きく設けられる。更に、構造に係らず等電位線の条件が記載されている。
ＦＥＤに用いられる電界放出型電子源の材料は様々のものが知られているが、従来の材料は、充分な電子放出を得るために実効値として１０００Ｖ／μｍという電界強度を必要とするため、前述したような電界集中定数を大きくする構造により、実印加電界強度として１００Ｖ／μｍ程度の値を得ている。
一方、近年、電子放出材料として、カーボンナノチューブ（Ｃａｒｂｏｎ　Ｎａｎｏｔｕｂｅ）をはじめとする炭素材料が極めて小さい電界強度で電子放出を行うことが確認され、注目されている。伊勢電子の上村等は、ＳＩＤ　９８　ＤＩＧＥＳＴ，ｐｐ．１０５２〜１０５５において、エミッタにカーボンナノチューブを用い、図８（ｅ）の様なゲート電極をメッシュあるいはグリッド状にした電界放出型電子源を提案している。
従来の突起状の電子放出部を有する冷陰極電子源では、双葉電子の伊藤筏生等が特開平７−２９４８４号公報で開示しているように、図８（ｂ）の様な集束電極を設けて電子が拡がるのを抑制していた。そのため製造工程が増え構造が複雑になるという問題があった。
また、エミッタに電子を放出しやすい材料を用いた場合は、アノード−エミッタ間の電界で十分電子を放出させることができるため、特開平５−２８２９９０号公報で開示されているように、空乏モードで動作させることも考えられる。空乏モードは、エミッタからの電子放出を抑制する電圧をゲート電極にかけて電子の通り道を狭くして、電子の放出を制御するという手法のため、ゲート近傍のエミッタ領域では電子放出が行われず、図８（ｃ）の様に電界の強い領域がゲートホール中心付近のエミッタに限られるためエミッタ上で電子を放出する領域が狭くなってしまい、エミッタの利用効率が悪い。
また、特開２０００−１５６１４７号公報においては、ゲート電極は、電子ビームの集束のために用いられており、図８（ｄ）の様にゲート開口の面積をゲート開口底面の面積より大きくする構造を取るため、アノードからの電界を完全に抑制することが困難であり、作成工程も複雑になる。また、等電位線の条件だけでは集束に関する一般条件だけで、正確な解析がなされていない。
また、ＳＩＤ　９８　ＤＩＧＥＳＴ，ｐｐ．１０５２〜１０５５においては、図８（ｅ）の様に、メッシュあるいはグリッド状のゲート電極を用いているため、ゲート電極をエミッタに近接させることが困難であり、また、ゲート開口直下以外にもエミッタが存在するため、ゲート電極に流れる電流が増加してしまう。アノード電極に到達し、蛍光体を発光させる電子以外は、損失となるため、効率が低下してしまう。
本発明の目的は、電子ビームの利用効率を向上することができ、簡単な構造により実現することができる冷陰極電子源、及び該電子源を用いたフィールドエミッションディスプレイを安価に提供することにある。
発明の開示
本発明の冷陰極電子源は、基板上に絶縁層を介して形成されたゲートと、該絶縁層及びゲートを貫通して設けられたゲート開口部に設けられたエミッタとを備え、該エミッタからの電子放出時には、アノード−エミッタ間距離をＨａ［μｍ］アノード−エミッタ間電圧をＶａ［Ｖ］、ゲート−エミッタ間距離をＨｇ［μｍ］、ゲート−エミッタ間電圧をＶｇ［Ｖ］とした場合、
１０［Ｖ／μｍ］≧（Ｖａ−Ｖｇ）／（Ｈａ−Ｈｇ）≧Ｖｇ／Ｈｇ
を満たし、さらに
Ｖｇ／Ｈｇ［Ｖ／μｍ］≧Ｖａ×１０−４×（９．７−１．３×ｌｎ（Ｈｇ））×（１０００／Ｈａ）０．５
を満たすものである。
また、前記ゲート開口部の開口幅をＤｇとした場合、Ｄｇ／Ｈｇ≦５／３を満たすことで、アノード−ゲート間の電界強度がゲート−エミッタ間の電界強度より高い場合にエミッタからの電子の放出を抑制することができる。
また、前記エミッタからの電子放出時には、
（Ｖａ−Ｖｇ）／（Ｈａ−Ｈｇ）≒Ｖｇ／Ｈｇ
を満たすことで、エミッタから放出された電子は、アノードに向かって実質的に平行に進むため、ゲート開口径と実質的に同じ大きさのままアノードに到達させることができる。
また、前記ゲート開口部の開口幅をＤｇとした場合、Ｄｇ／Ｈｇ≦２／１を満たすことで、アノード−ゲート間の電界強度がゲート−エミッタ間の電界強度より高い場合にエミッタからの電子の放出を抑制することができる。
他の観点において本発明は、上記冷陰極電子源が２次元マトリクス状に形成されているフィールドエミッションディスプレイである。
本発明の冷陰極電子源は、アノード−ゲート間の電界をゲート−エミッタ間の電界よりも強くすることにより電界の向きを電子が集束する方向に向け、ゲート電極を集束電極としても機能する様にする。これにより、集束電極を別にもうける必要を無くし、製造工程を単純化することができると同時に、平面状のエミッタを用いた場合に、ゲート電極には電子が実質的に放出されないようにすることができる。
また、好ましくは、アノード−エミッタ間距離をＨａ［μｍ］、アノード電圧をＶａ［Ｖ］、ゲート−エミッタ間をＨｇ［μｍ］、ゲート電圧をＶｇ［Ｖ］とした場合、
Ｖｇ／Ｈｇ［Ｖ／μｍ］≧Ｖａ×１０−４×（９．７−１．３×ｌｎ（Ｈｇ））×（１０００／Ｈａ）０．５
を満たすことにより、集束された電子ビームがアノード面に焦点を結ばなくても、アノード面におけるビームスポットサイズが、エミッタ面積あるいはゲート開口面積より大きくならないことを可能にするものである。
また、好ましくは、表示画素の輝度がピーク輝度の１／１０００になるまで、電子ビームのアノード到達時のスポットサイズがエミッタ面積又はゲート開口面積より大きくならない条件にすることで、クロストークの防止を可能とするものである。
また、好ましくは、１０Ｖ／μｍ以下の電界強度で電子放出を行う材料をエミッタに用いることで、放電等による絶縁破壊の防止を可能とするものである。
本明細書は本願の優先権の基礎である日本国特許出願　特願２０００−２９６７８７号の明細書および／または図面に記載される内容を包含する。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の実施の形態を添付図面と対応して詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施の形態による冷陰極電子源とアノード電極１とにより構成される装置を説明する図である。
本電子源は、基板２の上に形成される絶縁層３、該絶縁層３の上に形成されるゲート電極４による積層構造を有しており、絶縁層３とゲート電極４とを貫通するホール（ゲート開口部）には、基板２の上にエミッタ６が形成されている。
エミッタ６には、カーボンナノチューブ１０ｗｔ％を市販の焼成型銀ペーストに分散させたものをスクリーン印刷により塗布したものを用いた。エミッタ材料は、１０Ｖ／μｍ以下の電界強度で１０ｍＡ／ｃｍ２程度の電流密度が得られる材料であれば、カーボンナノチューブに限定されるものではない。また、エミッタ形成手段もスクリーン印刷に限定されるものではない。
アノード−ゲート間の電界強度が、ゲート−エミッタ間の電界強度より強い時に、ゲートホールの開口径が大きいとゲート電圧Ｖｇが０Ｖでもエミッタ６から電子が放出されてしまうため、ゲートの開口幅Ｄｇ（２Ｒｅ）とゲート−エミッタ間距離Ｈｇとの比は、本実施の形態では、Ｄｇ／Ｈｇ≦５／３を満たすことが望ましい。
つぎに、スクリーン印刷により２０μｍ厚の絶縁層３を形成し、その上部に５μｍ厚のゲート電極４を形成した。本実施の形態では、ゲートは、２０μｍφの円形の開口を持つ形状としたが、ワッフル型やストライプ型でもよいし、特にその形状は、限定されない。
アノード電極１には、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ　Ｒａｙ　Ｔｕｂｅ）に用いられる蛍光体Ｐ２２を塗布し、その上にメタルバックを形成した基板を用いた。
電子ビーム８は、ゲート電圧による集束効果でアノード面より手前で焦点を形成する場合、図１に示す焦点Ｌｃを形成し、その後は逆に拡散していき、アノード電極１の位置Ｌａにおいて半径Ｒａのスポットを形成する。
図２は、本実施の形態による電子源において、アノード電圧Ｖａ＝５０００Ｖ、アノード−エミッタ間距離Ｈａ＝１０００μｍ、ゲート電圧を１０Ｖ〜６０Ｖに変化させた時の電子ビームの軌道を説明する図である。
ここでは、図１のＬを縦軸に、ビームスポット半径Ｒｓを横軸に取りビーム軌道を示している。Ｖｇ＜６０Ｖでは、焦点Ｌｃ通過後のビームの拡散により、アノード面においてそのスポット２Ｒａが広がる結果を示している。
図３は、本実施の形態による電子源において、ゲート−エミッタ間距離を５０μｍ〜２５０μｍまで変化させた構成において、２Ｒａ＝Ｄｇを満たすゲート−エミッタ間の距離とゲート−エミッタ間の電界強度をプロットした図である。
ここでは、２０μｍφの孔加工を行い、ゲートの開口幅Ｄｇを２０μｍとした５０μｍ厚の絶縁シートを積層し、その最上部にゲート電極を形成したものをエミッタ６上に配置することで、ゲート高さを１０μｍ〜３００μｍまで変化させた構成において、アノード面でのビームスポット２Ｒａとゲート開口幅Ｄｇが、２Ｒａ＝Ｄｇを満たすゲート高さとゲート−エミッタ間の電界強度をプロットしている。
その変化量は、対数近似で近似できる。近似曲線よりも上の領域が、アノード面でのビームスポット２Ｒａが、ゲート開口幅Ｄｇよりも小さい領域となり、この条件を満たす構成が選択されることが望ましい。
また、ゲート開口幅，エミッタ−アノード間の距離が一定の場合、ゲート高さを高くすることで、より低い電界強度で、同様の効果を得ることができ、ゲート−エミッタ間の絶縁維持には有利になるが、動作電圧が高くなるため、駆動の面からは好ましくない。
この結果及び一般的に真空ギャップでの絶縁耐圧が１０ｋＶ／μｍであること、及びＶｇ／Ｈｇが（Ｖａ−Ｖｇ）／（Ｈａ−Ｈｇ）より大きくなる場合、ゲート電圧により電子が引き出されるため、電子ビームが拡散してしまうことを考慮し、スポット径がアノード面において広がらない条件式として、
１０［Ｖ／μｍ］≧（Ｖａ−Ｖｇ）／（Ｈａ−Ｈｇ）
≧Ｖｇ／Ｈｇ
≧Ｖａ×１０−４×（９．７−１．３×ｌｎ（Ｈｇ））
×（１０００／Ｈａ）０．５　　　　　・・・・・（１）
が導かれた。
本実施の形態では、上記条件式を満たす構成として、アノード電圧Ｖａ＝５０００Ｖ、アノード−エミッタ間の距離Ｈａ＝１０００μｍ、ゲート高さＨｇ＝２０μｍ、ゲート電圧Ｖｇ＝６０Ｖを選択した。メタルバックを形成した蛍光体Ｐ２２において、充分な電子透過率及び発光輝度が得られるアノード電圧と、スクリーン印刷で形成が容易であるゲート高さとしてこの構成を選択したが、この構成に限定されるものではない。
ここで、ゲート開口部底面に作製するエミッタの面積を底面積の６４％とし、且つ、ゲート開口部の中心に位置することで、アノード面でのスポットサイズを変化させずに、ゲート電圧Ｖｇを６０Ｖから４０Ｖに低電圧化することができる。
図４は、本実施の形態による電子源において、ゲート−エミッタ間の電界強度とビームスポット及び電流密度の変化をプロットした図である。
ここでは、３Ｖ／μｍの電界強度において、１０ｍＡ／ｃｍ２の電流密度のエミッションが得られるカーボンナノチューブエミッタを用い、ゲート電圧を変化させた際のビームスポット及び電流密度の変化を、電界強度を横軸に取りプロットしている。
電界強度が２．５Ｖ／μｍになった時に、スポット径は１．７５倍になるが、電流密度が３Ｖ／μｍ時の４％程度となり、輝度は電流密度とほぼ比例関係にあるので、この状態ではクロストークもそれほど目立たなくなる。ゲート電圧Ｖｇを６０〜４０Ｖの間で変化させることにより電子の放出量をコントロールすることができ、ＦＥＤに使用すれば階調をとることができる。
次に、ゲート開口形状が正方形の場合にエミッタ幅２Ｒｅをゲート開口幅Ｄｇよりも小さくした場合についての実施例を示す。
図９は、本実施の形態による電子源において、アノード電圧Ｖａ＝５０００Ｖ、アノード―エミッタ間距離Ｈａ＝１０００μｍ、ゲート―エミッタ間距離Ｈｇ＝２０μｍ、ゲート開口幅Ｄｇ＝２０μｍ、エミッタ幅２Ｒｅ＝１６μｍ、ゲート厚さ１０μｍ、ゲート電圧を２０Ｖ〜１００Ｖに変化させた時の電子ビームのアノードでのスポット径（２Ｒａ）をプロットした図である。
この場合、スポット径（２Ｒａ）は、以下の式で近似できる。
（２Ｒａ）＝０．０１７×Ｖｇ２−２．７×Ｖｇ＋１１２
この場合、ゲート電圧Ｖｇ＝３５Ｖ（ゲート―エミッタ間電界強度Ｅｇ＝１．７５Ｖ／μｍ）になった時に、スポット径は、２倍になるが、電流密度がゲート電圧Ｖｇ＝５２Ｖ（ゲート―エミッタ間電界強度Ｅｇ＝２．６Ｖ／μｍ）の時の４％程度となり、輝度は電流密度とほぼ比例関係にあるので、この状態ではクロストークもそれほど目立たなくなる。ゲート電圧Ｖｇを５２Ｖ〜３５Ｖの間で変化させることにより電子の放出量をコントロールすることができ、ＦＥＤに使用すれば階調を取ることができる。
また、エミッタ幅２Ｒｅが、ゲート開口幅Ｄｇと等しい場合のゲート電圧Ｖｇの変化範囲６０Ｖ〜４０Ｖに対して、動作電圧の低電圧化が可能となる。
次に、ゲート―エミッタ間距離を更に近接させ、エミッタ幅２Ｒｅをゲート開口幅Ｄｇよりも小さくした場合についての実施例を示す。
この場合のゲート絶縁膜は、ゾルゲル法により形成し、ゲート開口は、露光装置によるパターニングにより形成した。ゲート絶縁膜の作製法は、ゾルゲル法に限定されるものではなく、絶縁フィルムをラミネートしてもよいし、感光性ポリイミド等も用いて、塗布・パターニングしてもよい。特にその手法は、限定されない。
図１０は、本実施の形態による電子源において、アノード電圧Ｖａ＝５０００Ｖ、アノード―エミッタ間距離Ｈａ＝１０００μｍ、ゲート―エミッタ間距離Ｈｇ＝３μｍ、ゲート開口幅Ｄｇ＝３μｍ、エミッタ幅２Ｒｅ＝２．６μｍ、ゲート厚さ０．５μｍ、ゲート電圧を３Ｖ〜１５Ｖに変させた時の電子ビームのアノードでのスポット径（２Ｒａ）をプロットした図である。
この場合、スポット径（２Ｒａ）は、以下の式で近似できる。
（２Ｒａ）＝０．３６×Ｖｇ２−８．７×Ｖｇ＋５４．２
この場合、ゲート電圧Ｖｇ＝９Ｖ（ゲート―エミッタ間電界強度Ｅｇ＝３Ｖ／μｍ）になっと時に、スポット径は、１．３倍になるが、電流密度がゲート電圧Ｖｇ＝１４Ｖ（ゲート―エミッタ間電界強度Ｅｇ＝４．７Ｖ／μｍ）の時の４％程度となり、輝度は電流密度とほぼ比例関係にあるので、この状態ではクロストークもそれほど目立たなくなる。ゲート電圧Ｖｇを１４Ｖ〜９Ｖの間で変化させることにより電子の放出量をコントロールすることができ、ＦＥＤに使用すれば階調を取ることができる。
更に、この場合は、動作電圧が１４Ｖであり、既存のドライバを用いることもできる為、駆動回路の低コスト化も可能となる。
エミッタ幅２Ｒｅが、ゲート開口幅Ｄｇと等しい場合、ゲート電圧Ｖｇを１４Ｖ〜９Ｖの間で変化させた場合、スポット径は４倍となるので、エミッタ幅２Ｒｅをゲート開口幅Ｄｇよりも小さくした場合、クロストークが低減できる。
また、同じスポット径の変化量では、ゲート電圧Ｖｇの変化範囲は、１０Ｖ〜６．７Ｖでよく、動作電圧の低電圧化が可能となる。
次に、ゲート開口形状が円形の場合の実施例を示す。
図１１は、作製、評価した電子源の構成、ビームスポット径が最小となる電界強度、ビームスポット径≦ゲート開口径を満たすゲート：エミッタ間電界強度領域及びビームスポット径≦（２×ゲート開口径）を満たすゲート：エミッタ間電界強度領域をまとめたものである。
ここでいうビームスポット径は、アノード（蛍光体）面でのビームスポット径であり、ゲート：エミッタ間電界強度は、ゲート電圧／（ゲート：エミッタ間距離）のことであり、アノード：エミッタ間電界強度は、アノード電圧／（アノード：エミッタ間距離）のことである。
ビームスポット径≦ゲート開口径を満たすゲート：エミッタ間電界強度領域がない場合は、無しという表記と共に、最小のビームスポット径となる電界強度及びその際のビームスポット径／ゲート開口径の値を記載している。
図１１の領域１は、スペーサ高さを１．５ｍｍまで許容し、アノード電圧を高電圧化することで輝度確保が容易になる。また、輝度確保のために必要な電流量が減少するため、長寿命化が期待できる。
図１１の領域２は、低速電子線励起蛍光体を用いたＦＥＤ、あるいは、蛍光表示管（ＶＦＤ）への利用が考えられる。この領域では、ビームスポットが広がらないゲート：エミッタ間電界強度領域を広く取ることができるため、電子放出材料の選択の幅が広い。
また、今後、高速電子線励起蛍光体（ＣＲＴ用Ｐ２２等）の改良による低電圧領域での輝度改善が図られた場合、高速電子線励起蛍光体を用いたＦＥＤの構成となることも考えられる。
図１１の領域３は、現状のＦＥＤの構成に最適なゲート：エミッタ間電界強度領域を示している。
各構成において、ビームスポット径≦ゲート開口径を満たすゲート：エミッタ間電界強度領域での使用が望ましいが、その中でもビームスポット径が最小となる電界強度よりも高い領域で用いることで、放出電流減少時（印加電圧減少時）のビームスポットの広がりを防ぐことができる。
また、ビームスポット径≦ゲート開口径を満たすゲート：エミッタ間電界強度領域で用いるのが望ましいが、エミッタ形成領域に対してアノード側の画素領域の面積が大きい場合には、より広いゲート：エミッタ間電界強度領域で用いることが可能となる。
例えば、ビームスポット径がゲート開口径の２倍まで許容されれば、図１１中のビームスポット径≦（２×ゲート開口径）を満たすゲート：エミッタ間電界強度領域を用いることができる。
特に、ゲート開口径３μｍの場合のようにゲートをエミッタに近接させた場合、アノード：エミッタ間距離が１ｍｍ以上では、ビームスポット径をゲート開口径以下にすることは困難であり、駆動電圧を下げるためには、ビームスポット径がゲート開口径の４〜５倍程度になることを許容する構成になるよう、画素サイズをエミッタサイズより大きく取ることが望ましい。
また、ゲート高さ：ゲート径比を３：５とした場合、放出電流を制御できる構成としては、ゲート絶縁層の膜厚を最小にすることができるので、作製が容易になる。
また、ゲート高さ：ゲート径比を１：１とした場合、ゲート高さ：ゲート径比が３：５の場合と比較して、ビームスポット径の広がりを抑えることができる。
本実施の形態による電子源を用いた駆動方法により、電界の向きを電子が集束する方向に向けることができ、簡単な構造で電子の拡散を抑制することができる。また、エミッタ全体から電子が放出され、エミッタの面積利用効率を高くすることができる。
図５は、本発明の第２実施の形態による冷陰極電子源とアノード電極１とにより構成される装置を説明する図である。なお、上述した第１実施の形態と同じ構成には同一符号を付して説明を省略する。
本電子源は、基板２の上に形成される絶縁層３、該絶縁層３の上に形成されるゲート電極４による積層構造を有しており、絶縁層３とゲート電極４とを貫通するホールには、基板２の上にエミッタ６が形成されている。
本実施の形態では、上記式（１）に対応して
１０［ｖ／μｍ］≧（Ｖａ−Ｖｇ）／（Ｈａ−Ｈｇ）＝Ｖｇ／Ｈｇ≧０・・・・・（２）
とし、アノード−ゲート間の電界とゲート−エミッタ間の電界がほぼ等しくなるようなゲート電圧にして駆動する。
たとえば、ＦＥＤで耐圧を考慮しアノード−ゲート間を広げた場合を考え、アノード電圧Ｖａ＝５ｋＶ、アノード−ゲート間の距離（Ｈａ−Ｈｇ）＝１．７ｍｍとする。この時のアノード−ゲート間の電界は３．０Ｖ／μｍとなる。
ゲート開口径が大きいとゲート電圧Ｖｇが０Ｖでもアノードからの電界がエミッタ面に進入し、エミッタから電子が放出されてしまう。このため、本実施の形態では、ゲートの開口幅Ｄｇとゲート上端からエミッタまでの距離Ｈｇの比は、Ｄｇ／Ｈｇ≦２／１を満たすことが望ましい。
この条件では、ゲート電圧Ｖｇが０Ｖの時にエミッタ面に進入するアノードからの電界を３０％以下に抑えられるため、アノードからの電界だけでは電子が放出されなくなる。上述した第１実施の形態による電子源によれば、電圧によって電子の収束量が変化し電子ビームのスポットサイズが変化し、またアノード−ゲート間の距離によっても電子ビームのスポットサイズが変化するが、本実施の形態では、電子がアノードに向かってほぼ平行に進むため、電子ビームはアノード−エミッタ間の距離によらず、ゲート開口径とほぼ同じ大きさのままアノードに到達する。
図７は、上述した第１又は第２実施の形態による電子源を用いてマトリクス状に配置することにより構築したＦＥＤを説明する図である。なお、上述した第１又は第２実施の形態と同じ構成には同一符号を付して説明を省略する。
図７に示すＦＥＤは、２次元マトリクス上に配列された各画素に対応して上記電子源を有するカソードパネル（リアプレート１０上に設けられる構成全体）と、該パネルとスペーサ１６を介して、上記電子源から電界放出される電子との衝突により励起されて発行する蛍光体層を有するアノードパネル（フェイスプレート１２上に設けられる構成全体）により構成される。
本実施の形態ではフェイスプレート１２やリアプレート１０はガラス基板を用い、ブラックマトリクス１５に設けられる蛍光体１４はＣＲＴと同じＰ２２を用いる。
ゲート電極４やカソードライン１１は、ニオブを蒸着で推積して作成しているがニオブ以外の金属を用いても良いし、蒸着でなくスパッタやスクリーン印刷を用いて配線しても良い。
エミッタ６の材料には、カーボンナノチューブを用いたが、カーボンナノチューブでなくても、ダイアモンド等の低電界で電子を放出しやすい物質を用いればよい。
図６は、図７に示すＦＥＤの駆動について説明するための図である。
ここで例示されているＦＥＤには、リアプレート１０上に６本のエミッタライン６が形成されており、各エミッタライン６に印加されるパルス電圧が示されている。また、６本のエミッタラインと実質的に直交するように３本のゲートライン４が形成されており、各ゲートラインに印加されるパルス電圧が示されている。
このＦＥＤは、ゲートライン電圧を順次走査していき、エミッタライン電圧を変化させることで駆動される。具体的には、第１〜３段の各ゲートラインにパルス電圧が印加され、各エミッタライン電圧に応じて電子がアノード（図示せず）の方向に放出され蛍光層の所定位置が発行する。ここでは階調をエミッタ６の電圧を変化させてとったが、エミッタ６の電圧を固定してエミッタラインの電圧パルスの幅を変化させて階調をとってもよい。
本実施の形態では、１つの蛍光体１４に１つのエミッタ６を用いる構成にしたが、１つの蛍光体１４に複数のエミッタを用いる構成としてもよい。本実施の形態では、ゲートラインを順次操作するという駆動法をとったがカソードラインを順次駆動するという方法をとってもよい。
このように駆動することで、等電位面５がゲート近傍において図１又は図５に示すように常にエミッタ６側に向かって凸又は平行になる。電子は等電位面５に対して垂直方向に力を受けるため、電子はアノードに向かって進行しながら集束又は平行に進むことになる。したがって、エミッタから放出される電子を容易に集束させることができ、簡易な製造工程により実現することができる。
本発明によれば、アノード−ゲート間の電界をゲート−エミッタ間の電界より強くするか少なくとも同等の強さにするという駆動方法を取ることにより、ゲート電極だけで電子ビーム量の制御及び電子ビームの集束が可能となる。
また、エミッタ全体から電子が放出され、エミッタの面積利用効率が高くなる。
さらに、集束電極がない簡単な構造でも電子の拡散を抑制することができる。
さらに、ゲート電極の開口部底面に作製するエミッタの面積が底面積よりも小さく、且つ、ゲート開口部の中心に位置することで、駆動電圧の低電圧化が可能となる。
さらに、アノード−ゲート間の電界をゲート−エミッタ間の電界と同等の強さにした場合、電子が平行に進むため、アノードの位置にかかわらず到達電子ビームの径がほぼ一定になり、ＦＥＤの構造が設計しやすくなる。
さらに、エミッタを平面にし特定の領域に電子放出が集中しなくなるため、エミッタが破壊されにくくなる。電子の放出領域が広いため、多くの電流が取れるようになる。
さらに、カーボンナノチューブのような低電界で電子を放出する材料を用いることにより、電子を放出させるのに必要なゲート−エミッタ間の電界よりもアノード−ゲート間の電界を強くできるようになる。
さらに、集束電極を用いない簡単な構造でありながら、電子が拡散しないためクロストークが発生しなくなり、電子を効率的に蛍光体に当てられるフィールドエミッションディスプレイが可能となる。
本明細書で引用した全ての刊行物、特許および特許出願をそのまま参考として本明細書にとり入れるものとする。
産業上の利用の可能性
本発明は、電子ビームの利用効率を向上することができ、簡単な構造により実現することができる冷陰極電子源を提供する。
【図面の簡単な説明】
図１は本発明の第１実施の形態による冷陰極電子源とアノード電極１とにより構成される装置を説明する図である。
図２は本発明の第１実施の形態による電子源において、アノード電圧５０００Ｖ、アノード−エミッタ間の距離１０００μｍ、ゲート電圧Ｖｇを５Ｖ〜６０Ｖに変化させた時のビーム軌道を説明する図である。
図３は本発明の第１実施の形態による電子源において、ゲート−エミッタ間の距離を５０μｍ〜２５０μｍまで変化させ、２Ｒａ＝Ｄｇを満たすゲート−エミッタ間の距離とゲート−エミッタ間の電界強度をプロットした図である。
図４は本発明の第１実施の形態による電子源において、ゲート−エミッタ間の電界強度とビームスポット及び電流密度の変化をプロットした図である。
図５は本発明の第２実施の形態による冷陰極電子源とアノード電極１とにより構成される装置を説明する図である。
図６は本発明の冷陰極電子源を用いた電子源アレイ図である。
図７は本発明の第３の実施の形態の断面図である。
図８は従来技術を説明する図である。図８（ａ）は、コーン型エミッタを用いた冷陰極電子源の等電位面の断面図、図８（ｂ）は、集束電極を用いた冷陰極電子源の等電位面の断面図、図８（ｃ）は、空乏モードを用いた冷陰極電子源の等電位面の断面図、図８（ｄ）は、集束用ゲート電極を用いた冷陰極電子源の等電位面の断面図、図８（ｅ）は、メッシュ状ゲートを用いた冷陰極電子源の等電位面の断面図、図８（ｆ）は、集束用ゲート電極を用いた冷陰極電子源の等電位面の断面図である。
図９は本発明の第１実施の形態による電子源において、アノード電圧５０００Ｖ、アノード―エミッタ間距離１０００μｍ、ゲート開口幅２０μｍ、エミッタ幅１６μｍ、ゲート―エミッタ間距離２０μｍ、ゲート厚さ１０μｍ、ゲート電圧２０Ｖ〜１００Ｖに変化させた時のビームスポット径を説明する図である。
図１０は本発明の第１実施の形態による電子源において、アノード電圧５０００Ｖ、アノード―エミッタ間距離１０００μｍ、ゲート開口幅３μｍ、エミッタ幅２．６μｍ、ゲート―エミッタ間距離３μｍ、ゲート厚さ０．５μｍ、ゲート電圧３Ｖ〜１５Ｖに変化させた時のビームスポット径を説明する図である。
図１１は本発明の第１実施の形態による電子源において、円形のゲート開口を形成、作製、評価した電子源の構成、ビームスポット径が最小となる電界強度、ビームスポット径≦ゲート開口径を満たすゲート：エミッタ間電界強度領域及びビームスポット径≦（２×ゲート開口径）を満たすゲート：エミッタ間電界強度領域をまとめた図である。
【図１】
2002027745.tif 000003
【図２】
2002027745.tif 000004
【図３】
2002027745.tif 000005
【図４】
2002027745.tif 000006
【図５】
2002027745.tif 000007
【図６】
2002027745.tif 000008
【図７】
2002027745.tif 000009
【図８】
2002027745.tif 000010
【図９】
2002027745.tif 000011
【図１０】
2002027745.tif 000012
【図１１】
2002027745.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成14年4月10日(2002.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に絶縁層を介して形成されたゲートと、該絶縁層及びゲートを貫通して設けられたゲート開口部に設けられたエミッタとを備え、該エミッタからの電子放出時には、アノード−エミッタ間距離をＨａ［μｍ］、アノード−エミッタ間電圧をＶａ［Ｖ］、ゲート−エミッタ間距離をＨｇ［μｍ］、ゲート−エミッタ間電圧をＶｇ［Ｖ］とした場合、
１０［Ｖ／μｍ］≧（Ｖａ−Ｖｇ）／（Ｈａ−Ｈｇ）≧Ｖｇ／Ｈｇ
を満たし、さらに
Ｖｇ／Ｈｇ［Ｖ／μｍ］≧Ｖａ×１０−４×（９．７−１．３×ｌｎ（Ｈｇ））×（１０００／Ｈａ）０．５
を満たすことを特徴とする冷陰極電子源。
【請求項２】
前記ゲート開口部の開口幅をＤｇとした場合、Ｄｇ／Ｈｇ≦５／３を満たすことを特徴とする請求項１記載の冷陰極電子源。
【請求項３】
前記エミッタからの電子放出時に、
（Ｖａ−Ｖｇ）／（Ｈａ−Ｈｇ）≒Ｖｇ／Ｈｇ
を満たし、さらに、前記ゲート開口部の開口幅をＤｇとした場合、Ｄｇ／Ｈｇ≦２／１を満たすことを特徴とする請求項１記載の冷陰極電子源。
【請求項４】
請求項２又は請求項３記載の冷陰極電子源が２次元マトリクス状に形成されていることを特徴とするフィールドエミッションディスプレイ。
【請求項５】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒１０００［Ｖ］、Ｈａ≒２００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
５［Ｖ／μｍ］≧Ｖｇ／Ｈｇ≧１．５［Ｖ／μｍ］の式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【請求項６】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒２５００［Ｖ］、Ｈａ≒５００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
５［Ｖ／μｍ］≧Ｖｇ／Ｈｇ≧１．８［Ｖ／μｍ］の式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【請求項７】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒５０００［Ｖ］、Ｈａ≒１０００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
５［Ｖ／μｍ］≧Ｖｇ／Ｈｇ≧３．３［Ｖ／μｍ］の式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【請求項８】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒７５００［Ｖ］、Ｈａ≒１０００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
７．５［Ｖ／μｍ］≧Ｖｇ／Ｈｇ≧５．０［Ｖ／μｍ］の式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【請求項９】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒１００００［Ｖ］、Ｈａ≒１０００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
１０［Ｖ／μｍ］≒Ｖｇ／Ｈｇを満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【請求項１０】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒７５００［Ｖ］、Ｈａ≒１５００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
５［Ｖ／μｍ］≧Ｖｇ／Ｈｇ≧３．７［Ｖ／μｍ］の式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【請求項１１】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒１５０００［Ｖ］、Ｈａ≒１５００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
１０［Ｖ／μｍ］≒Ｖｇ／Ｈｇの式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【手続補正書】
【提出日】平成14年4月10日(2002.4.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒１０００［Ｖ］、Ｈａ≒２００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
５［Ｖ／μｍ］≧Ｖｇ／Ｈｇ≧１．５［Ｖ／μｍ］の式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒２５００［Ｖ］、Ｈａ≒５００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
５［Ｖ／μｍ］≧Ｖｇ／Ｈｇ≧１．８［Ｖ／μｍ］の式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒５０００［Ｖ］、Ｈａ≒１０００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
５［Ｖ／μｍ］≧Ｖｇ／Ｈｇ≧３．３［Ｖ／μｍ］の式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒７５００［Ｖ］、Ｈａ≒１０００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
７．５［Ｖ／μｍ］≧Ｖｇ／Ｈｇ≧５．０［Ｖ／μｍ］の式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒１００００［Ｖ］、Ｈａ≒１０００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
１０［Ｖ／μｍ］≒Ｖｇ／Ｈｇを満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒７５００［Ｖ］、Ｈａ≒１５００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
５［Ｖ／μｍ］≧Ｖｇ／Ｈｇ≧３．７［Ｖ／μｍ］の式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
請求項３記載の冷陰極電子源の駆動方法において、Ｖａ≒１５０００［Ｖ］、Ｈａ≒１５００［μｍ］、Ｄｇ≒２０［μｍ］、Ｈｇ≒１２［μｍ］において、
１０［Ｖ／μｍ］≒Ｖｇ／Ｈｇの式を満たすことを特徴とする冷陰極電子源の駆動方法。
【国際調査報告】
2002027745.tif 000014
2002027745.tif 000015