(57)【要約】ネットワークＩＮを介してユーザ端末２１と設計支援サイト１１とを接続する。設計支援サイト１１は、ユーザ端末２１からの指示に従って、ブロック化された流体制御機器を組み合わせて構成されるガス供給ユニット装置を設計する作業を支援する。この設計支援サイト１１は、各流体制御機器に関する情報とそのシンボルマークとを対応付けて記憶し、さらに、ユーザ端末２１からネットワークＩＮを介して供給される指示に応答して、シンボルマークを読み出して、連結することにより機器の関係を視覚的に表すフロー図を作成する。このフロー図に基づいて、設計図面や部品表、見積書などを生成する。
2002046974.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークの情報を蓄積する記憶部（２０４ａ）と、
ユーザ端末（１０１）からの入力を、ネットワークを介して受け付けて、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を、前記記憶部に記憶されているシンボルマークを読み出して組み合わせて作成するフロー図作成部（２０１，２０２）と、
を備えたことを特徴とする設計支援システム。
【請求項２】
前記フロー図作成部（２０１，２０２）は、ユーザ端末の表示装置にフロー図作成画面を表示し、ユーザ端末からの指示に従って、当該フロー図作成画面上で前記シンボルマークを組み合わせてフロー図を作成する、ことを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項３】
前記フロー図作成部（２０１，２０２，１１１）は、前記ユーザ端末の画像読取装置で読み取られた図面データに従って、前記シンボルマークを用いたフロー図を作成することを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項４】
機器を接続する接続部材についての情報を蓄積する接続部材情報記憶部（２０４ａ）と、
前記シンボルマークの組み合わせに応じて前記接続部材情報記憶部から接続部材を選択する接続部材選択部（２０１，２０２）と、をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項５】
前記フロー図作成部により作成されたフロー図から配管組立図を作成する配管組立図作成部（２０１，２０２）を備えたことを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項６】
前記フロー図作成部（２０１，２０２）により作成されたフロー図に係る流体制御装置について、前記ユーザ端末からの発注を受け付ける受注部（４０８）を備えたことを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項７】
前記ユーザ端末からの発注を受け付けた場合に、当該発注のあった流体制御装置に関して前記ネットワーク上の発注者端末（１０３）に発注を行う発注部（４０８）を備えたことを特徴とする請求項６に記載の設計支援システム。
【請求項８】
前記ユーザ端末からの受注を受け付けた場合に、発注のあった流体制御装置に関して前記ネットワークを介して入札を受け付ける入札部、を備えたことを特徴とする請求項７に記載の設計支援システム。
【請求項９】
前記シンボルマークと他のマークとを相互に変換するための変換部（４０９）を備えたことを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項１０】
機器に関する情報とそのシンボルマークとを対応付けて記憶する記憶部（１１３）と、
ユーザ端末からネットワークを介して供給される指示に応答して、前記記憶部からシンボルマークを読み出して、連結することにより機器の関係を視覚的に表す概要図を作成する概要図作成部（１１１）と、
を備える設計支援システム。
【請求項１１】
前記記憶部（１１３）は、各機器について、その設計図データを記憶しており、
前記概要図作成部により作成された概要図に基づいて、前記記憶部から図形データを読み出し、設計されたシステムの設計図を作成する設計図作成部（１１１）を備えることを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１２】
システムを構成する機器のリストを生成するリスト生成部（１１１）を備える、ことを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１３】
前記記憶部（１１３）は、各機器について、そのコストを記憶しており、
前記概要図作成部により作成された概要図と前記記憶部に記憶されたコストに基づいて、設計されたシステムのコストを求めるコスト取得部（１１１）を備えることを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１４】
前記記憶部は、あらかじめ設計された装置の概要図を蓄積する部を備え、
前記作成部は、前記蓄積部に記憶された概要図を読み出して、該概要図を編集することにより、新たな概要図を生成する生成部部（１１１）を備える、ことを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１５】
設計された複数のシステムの内容を対比するための一覧を表示する一覧表示部（１１１）をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１６】
設計されたシステムを構成する部品を発注する発注部（１１１）を備えることを特徴とする請求項１１に記載の設計支援システム。
【請求項１７】
前記機器は、ガスユニットを構成するためのブロック化された機器から構成され、前記図面は機器の配置とガスの流路を示すフロー図である、ことを特徴とする請求項１１に記載の設計支援システム。
【請求項１８】
機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークの情報を蓄積する記憶部（２０４ａ，１１３）と、
外部からの入力に応答して、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を、前記記憶部に記憶されているシンボルマークを読み出して組み合わせて作成するフロー図作成部（２０１，２０２，１１１）と、
を備えたことを特徴とする流体制御装置設計装置。
【請求項１９】
機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を作成するための流体制御装置設計方法であって、
外部入力に応じて、機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークを用いたフロー図を作成する手順を有することを特徴とする流体制御装置設計方法。
【請求項２０】
機器に関する情報とそのシンボルマークとを対応付けて記憶し、指示に応答して、記憶している機器を組み合わせて構成される装置を設計するサーバに、ネットワークを介して指示を供給し、前記記憶しているシンボルマークを読み出して、連結することにより機器の関係を視覚的に表す図面を作成する、
ことを特徴とする流体制御装置設計方法。
【請求項２１】
コンピュータを、請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の設計支援システム又は設計支援装置として機能させ、または、コンピュータに、請求項１９に又は２０に記載の設計方法を実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、半導体製造装置等で使用される流体制御装置（装置本体以外にも、例えば、真空排気ライン等を含む）等をネットワークを介して設計等することを支援できる設計支援システム及び設計支援方法に関する。
背景技術
半導体ウエハに対して酸化膜の形成、ドーパントの拡散、アニールあるいはＣＶＤといった熱処理を行う装置として縦型熱処理装置が知られている。この装置は図２２に示すように装置本体ＡとユーティリティボックスＢとから構成される。装置本体Ａは、ウエハカセットＣの搬入出ステージ２１１と、カセットＣやウエハの搬送系及び縦型の熱処理炉２１２とを備えている。ユーティリティボックスＢは、入出力ユニット、例えば駆動部のコントローラ等を含む制御ユニットと、熱処理炉内を真空排気するための排気ユニット２２１と、熱処理炉２１２内に処理ガスを供給するためのガス供給機器が設けられたガス供給ユニット２２２とを備える。装置本体ＡとユーティリティボックスＢとの間にはガス供給管２２３及び排気管２２４が配管され、かつケーブル（図示せず）が配線されている。
ガス供給ユニット２２２は、熱処理炉２１２の近くに配置される必要がある。その理由は、１）ガス供給ユニット２２２が遠くに設置されていると、ガスを切り換えるときに配管内のガスを置換するのに長い時間がかかり、２）ガスの流量及び圧力を調整するときに応答が悪いからである。このため、ユーティリティボックスＢを装置本体Ａと同一のフロアでかつ近傍に設置することが望ましい。
ウエハが大口径化している等の理由により、縦型熱処理装置は、従来より大型化しており、１台の占有スペースが広くなっている。一方、縦型熱処理装置が設置されるクリーンルームは、建設コスト及びランニングコストが高く、このコストを考慮すると、熱処理装置１台を運転するためのコストが高くなるという問題がある。
このような問題を解決する手法の１つとして、ガス供給ユニットを構成するガス供給機器をユニット化（ブロック化）する手法がある。例えば、ガス供給機器、例えば減圧弁、開閉弁、流量計（マスフローコントローラ）、逆止弁、圧力計等を、図２３や図２４に示すような組立ユニット２０５にユニット化する手法である。
各ユニット２０５は、図２３に示すように、角型のガス流路エレメント２５４と、ガス流路エレメント２５４の上に搭載されるマスフローメータや開閉弁等の機器本体２５５とからなる。ガス流路エレメント２５４は、図２３に示すように、ガス流路２５１が内部に形成され、結合部２５２、２５３を備えた例えばステンレス鋼からなる角型の装置である。結合部２５２、２５３はガス流路エレメント２５４同士を結合するためのものであり、例えば互いに密合する凸部（２５２）及び凹部（２５３）として構成される。この組立ユニット２０５は、所定の流路網を形成するように組み合わされた複数のガス流路エレメント２５４から構成され、配管を用いる構成に比べてガス供給ユニットを小型化できる。
このような技術を開示する文献として、特開平１１−２５１５００号公報、特開平１０−２８１３８５号公報、特開平１０−９９６２３号公報、特開平１０−１６９８５９号公報、特開平１０−１６９８８１号公報、特開２０００−３５１４８号公報などがある。
このようなガス供給ユニットを設計する場合、設計者（又は営業担当者）は、顧客（装置の納入先）の要望（要求仕様）に基づいて、図２５に示すようなフロー図や図２６に示すような平面図を描き、これに基づいて、設計（ユニットの選択・組合わせ・配置）を行う。
このため、顧客からの要望（要求仕様）を、一旦持ち帰り、自社のＣＡＤシステムを用いて設計し、これを顧客に提案している。しかし、顧客の要求仕様に基づいて設計したガス供給ユニットが、顧客が要求する設置スペースに収まるとは限らない。また、実際に設計したガス供給ユニットの製造コストが顧客の許容額を超えることもある。逆にユニットの小型化に成功したために従来より多くのガスの種類や数を載せたいと顧客の希望が出されて、ガス供給ユニットが半導体製造装置内に占有できるスペースの最大効率まで載せるような設計変更が顧客から出される場合もある。
このような場合等には、顧客と再度打ち合わせを行って、仕様を変更する等の対応が必要になる。このため、顧客の要求仕様を受領してから、設計が完了するまでに相当の時間を要してしまう。特に顧客が遠方である場合には、顧客との打ち合わせのために、相当の負担がかかることになる。
近時のコンピュータ技術の発達に伴って、営業担当者あるいは設計者が、携帯型の設計装置を持参し、顧客と仕様を打ち合わせながら、設計を行い、顧客の仕様に合致しない場合に、再度設計を行うような手法も考えられる。しかし、この手法では、各端末の管理が煩雑である。例えば、ユニット部品の改廃、価格の変更、関連法規の変更等が発生した場合に、設計装置毎に個別に対応しなければならず、更新漏れ等が発生し易い。
同様の問題は、ガス供給ユニットの設計に限定されず、顧客の要求仕様に基づいて設計を行う様々な場面で発生する。
また、従来のフロー図は、その流体の通路は明確であるが、各機器の大きさや隣り合う機器間の間隔等については全く考慮していない。一方、従来の平面図では、各機器の大きさや隣り合う機器間の間隔等は明確であるが、各機器内の流体の通路については把握しにくいものとなっている。
上記のようにフロー図と平面図とは互いの欠点を補うものであるが、これらフロー図及び平面図を作成して、接続部材を決めたり、部品リストや見積書を作成したりするのでは、その作業にかかる手間が大きくなり、しかも、それらの作業に人的なエラーが発生するおそれも多くなる。
この発明は上記実状に鑑みてなされたもので、設計作業を容易にすることを目的とする。
また、この発明は、設計に要する時間的、金銭的コストを抑えることを目的とする。
また、この発明は、設計作業を容易化し、かつ、顧客との間で対話形式でシステムを設計する事を可能とすることを目的とする。
また、流体の通路だけでなく各機器の大きさ等についても明確にしたフロー図を作成可能とすることを目的とする。
さらに、この発明は、流体制御装置等の設計等の業務における効率を向上させることを目的とする。
発明の開示
本発明の第１の観点にかかる設計支援システムは、機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークの情報を蓄積する記憶部と、ユーザ端末からの入力を、ネットワークを介して受け付けて、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を、前記記憶部に記憶されているシンボルマークを読み出して組み合わせて作成するフロー図作成部と、を備える。
前記フロー図作成部は、例えば、ユーザ端末の表示装置にフロー図作成画面を表示し、ユーザ端末からの指示に従って、当該フロー図作成画面上で前記シンボルマークを組み合わせてフロー図を作成する。
前記フロー図作成部は、例えば、前記ユーザ端末の画像読取装置で読み取られた図面データに従って、前記シンボルマークを用いたフロー図を作成する。
前記設計支援システムは、機器を接続する接続部材についての情報を蓄積する接続部材情報記憶部と、前記シンボルマークの組み合わせに応じて前記接続部材情報記憶部から接続部材を選択する接続部材選択部と、をさらに備えても良い。
前記設計支援システムは、前記フロー図作成部により作成されたフロー図から配管組立図を作成する配管組立図作成部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、前記フロー図作成部により作成されたフロー図に係る流体制御装置について、前記ユーザ端末からの発注を受け付ける受注部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、前記ユーザ端末からの発注を受け付けた場合に、当該発注のあった流体制御装置に関して前記ネットワーク上の発注者端末に発注を行う発注部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、前記ユーザ端末からの受注を受け付けた場合に、当該発注のあった流体制御装置に関して前記ネットワークを介して入札を受け付ける入札部、を備えてもよい。
前記設計支援システムは、前記シンボルマークと他のマークとを相互に変換するための変換部を備えてもよい。
本発明の第２の観点にかかる設計支援システムは、機器に関する情報とそのシンボルマークとを対応付けて記憶する記憶部と、ユーザ端末からネットワークを介して供給される指示に応答して、前記記憶部からシンボルマークを読み出して、連結することにより機器の関係を視覚的に表す概要図を作成する概要図作成部と、を備える。
前記記憶部は、例えば、各機器について、その設計図データを記憶する。この場合、前記設計支援システムは、前記概要図作成部により作成された概要図に基づいて、前記記憶部から図形データを読み出し、設計されたシステムの設計図を作成する設計図作成部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、設計されたシステムを構成する機器のリストを生成するリスト生成部を備えてもよい。
前記記憶部は、各機器について、そのコストを記憶してもよい。この場合、前記設計支援システムは、前記概要図作成部により作成された概要図と前記記憶部に記憶されたコストに基づいて、設計されたシステムのコストを求める部を備える。
前記記憶部は、あらかじめ設計された装置の概要図を蓄積する部を備えてもよい。この場合、前記作成部は、前記蓄積部に記憶された概要図を読み出して、該概要図を編集することにより、新たな概要図を生成する部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、設計された複数のシステムの内容を対比するための一覧を表示する一覧表示部を備えてもよい。
前記設計支援システムは、設計されたシステムを構成する部品を発注する発注部を備えてもよい。
前記機器は、例えば、ガスユニットを構成するためのブロック化された機器から構成され、前記図面は機器の配置とガスの流路を示すフロー図である。
この発明の第３の観点に係る流体制御装置設計装置は、機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークの情報を蓄積する記憶部と、外部からの入力に応答して、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を、前記記憶部に記憶されているシンボルマークを読み出して組み合わせて作成するフロー図作成部と、を備える。
この発明の第４の観点に係る流体制御装置設計方法は、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を作成するための流体制御装置設計方法であって、外部入力に応じて、機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークを用いたフロー図を作成する手順を有することを特徴とする。
この発明の第５の観点に係る設計方法は、機器に関する情報とそのシンボルマークとを対応付けて記憶し、指示に応答して、記憶している機器を組み合わせて構成される装置を設計するサーバに、ネットワークを介して指示を供給し、前記記憶しているシンボルマークを読み出して、連結することにより機器の関係を視覚的に表す図面を作成する。
コンピュータを上述のシステム又は装置として機能させ、或いは、上述の方法の手順を実行させるためのコンピュータプログラムを記憶媒体に記憶して配布したり、ネットワークを介して送受信してもよい。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明のネットワークシステムの実施の形態について説明する。
なお、流体制御装置のフロー図作成手法については、参考例として公開２０００−３５９７７号公報に提案されているものがある。本実施の形態は、そのフロー図作成手法を踏まえつつ、ネットワークを利用することによりシステムの標準化、共有化を図り、流体制御装置の設計、さらにはその設計に伴う一連の業務の効率を向上させようとするものである。
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態のネットワークシステムの全体構成を示す図である。図中、符号１００はインターネットやイントラネット等のネットワークである。
符号１０１はユーザ端末であり、後述するサーバコンピュータ１０２を利用して流体制御装置のフロー図の作成、さらには流体制御装置の発注等を行うのに使用される。なお、図１にはユーザ端末１０１を１つしか示さないが、ネットワーク１００上に複数存在する。
符号１０２はデータベースを備えたサーバコンピュータであり、ユーザ端末１０１からの入力に応じて、図５に示すようにシンボルマークを用いた流体制御装置のフロー図を作成し、さらには部品リストや見積書を作成したり、流体制御装置に関する受注・発注等を行ったりする。本実施の形態においては、このサーバコンピュータ１０２により、本発明でいうデータ処理装置、流体制御装置設計装置の機能が実現される。
符号１０３は発注先端末であり、サーバコンピュータ１０２は、流体制御装置に関してこの発注先端末１０３に発注を行う。発注の内容としては、流体制御装置の組み付けの下請や、機器や接続部材の納品等が挙げられる。なお、図１には発注先端末１０３を１つしか示さないが、ネットワーク１００上に複数存在するものである。
図２には、サーバコンピュータ１０２のハードウエア構成の一例を示す。２０１はＣＰＵであり、データの送受信、結合等を行うためバス２０６を介して各種構成要素を制御する。このバス２０６を介して、各構成要素相互間のアドレス信号、制御信号、各種データ等の転送が行われる。
符号２０２はＲＯＭであり、ＣＰＵ２０１の制御手順（コンピュータプログラム）を記憶する。ＣＰＵ２０１がこの制御手順を実行することにより、データの送受信、結合等の処理を実行することが可能となる。２０３はＲＡＭであり、データの送受信、結合等のためのワークメモリ、各種構成要素を制御するための一時記憶手段として用いられる。
符号２０４はハードディスク記憶装置等の記憶装置であり、シンボルマーク、機器のデータ、接続部材のデータを蓄積するデータベース２０４ａが構築されている。２０５はインターネット等のネットワーク１００に接続するためのネットワークインターフェースである。
一般的に、流体制御装置は、複数の機器を複数の接続部材を介して接続して構成されるものである。機器としては、マスタフローコントローラ、開閉弁、逆止弁、プレッシャレギュレータ、フィルタ、マスフローメータ、圧力センサ等の単機能部材をはじめ、２つの単機能部材を１つのブロックに一体的に設けたもの（例えば、開閉弁やフィルタや圧力センサを組み合わせたもの）、単機能部材（例えば、マスフローコントローラ）の両側に接続部材を一体的に設けたものがある。また、接続部材としては、直方体状ブロックに連通用流体通路が設けられたブロック継手と称されるもの、チューブ型の配管等がある。
データベース２０４ａに蓄積されるシンボルマークとしては、機器の機能、流路、及び外形を表示するものを１つのシンボルマークとする。例えば、弁のようにＪＩＳ記号のあるものは、ＪＩＳ記号にその流体通路及び外形を合わせたものを１つのシンボルマークとする。また、マスフローコントローラのようにＪＩＳ記号のないものは、例えばＭＦＣｉのような略号にその流体通路及び外形を合わせたものを１つのシンボルマークとする。外形は、平面図上での寸法を表わすものとする。そして、その流体通路だけ或いは長さ等の寸法だけが変わるような場合でも、別の機器すなわちシンボルマークとして扱われる。各機器には適当なアイテムナンバーが付与され、そのアイテムナンバーとシンボルマークとがペアとされて、多数のペアがデータベース２０４ａに蓄積される。
また、機器のデータ及び接続部材のデータは、それぞれ外形三次元寸法（縦、横、高さの最大値及びその他の必要値）と、流体通路平面寸法（流体通路の長さ及び基準位置からの開口の位置）とを含む。これらに加えて、重量、圧力損失、流量等が参考値として適宜使用される。
図３には、ユーザ端末１０１のハードウエア構成の一例を示す。３０１はＣＰＵであり、データの送受信、結合等を行うためバス３０８を介して各種構成要素を制御する。このバス３０８を介して、各種構成要素間相互のアドレス信号、制御信号、各種データ等の転送が行われる。
符号３０２はＲＯＭであり、ＣＰＵ３０１の制御手順（コンピュータプログラム）を記憶する。ＣＰＵ３０１がこの制御手順を実行することにより、データの転送、結合等の処理を実行することが可能となる。符号３０３はＲＡＭであり、データの送受信、結合等のためのワークメモリ、各種構成要素を制御するための一時記憶手段として用いられる。
符号３０４は保存用記憶装置である。符号３０５はインターネット等のネットワーク１００に接続するためのネットワークインタフェースである。符号３０６はキーボードやマウス等の入力装置であり、電子文書等を入力するのに用いられる。符号３０７はディスプレイ等の表示装置であり、各種画面を表示するのに用いられる。
なお、発注先端末１０３のハードウェア構成については、ユーザ端末１０１の構成とほぼ同様である。
次に、図４を参照して、上述したサーバコンピュータ１０２の機能構成について説明する。同図に示すように、サーバコンピュータ１０２は、ＪＯＢ管理機能４０１、フロー図作成機能４０２、配管組立図作成機能４０３、配管製作図作成機能４０４、パーツ（部品）リスト作成機能４０５、見積書作成機能４０６、受注機能４０７、発注機能４０８、シンボルマーク変換機能４０９、マスタ管理機能４１０、運用管理機能４１１等を有する。
ＪＯＢ管理機能４０１は、ＪＯＢのステータス管理とバージョン管理とを行う。ステータス管理は、顧客アイテムナンバー、手配元、プロセス名、フロー図番、工番をＪＯＢ識別キーとして、各作業（ＪＯＢ）の進捗（ステータス）を管理するものである。作業ステータスは、“検討”、“暫定”、及び“確定”の３種類とし、ＪＯＢ作業者のみがハンド人力により修正できる。これにより、各作業の改定状況が管理され、作業確定の一貫性がチェックされる。バージョン管理は、各作業の各々の進捗状態（バージョン）をＪＯＢ単位に管理するもので、ＪＯＢ単位でのバージョン確認、新規登録、複写登録、及び削除を可能とする。
フロー図作成機能４０２は、ユーザ端末１０１の表示装置３０７にネットワーク１００を介してフロー図作成画面を表示し、ユーザ端末１００からの指示に従ってデータベース２０４ａに事前登録してある各機器のシンボルマークを画面上の所定位置に順次に貼り付けていくことにより、フロー図を作成するものである。
図５には、フロー図作成機能４０２により作成されるフロー図の一例を示す。同図において、符号５１、５２、５４、５５は開閉弁を、符号５３はマスフローコントローラ（ＭＦＣ）を、５６は逆止弁を、５７はマスフローメータ（ＭＦＭ）を、５８は圧力センサ（ＰＴ）を、５９はプレッシャレギュレータ（ＲＯ）を、６０はフィルタを、６１は手動弁（ＨＶ）を、６２は隣り合うライン間の接続用配管を示す。各記号は機器の名称又は機能を示している。
さらに、図５に示すフロー図において、破線で示す枠は、実際の機器の平面から見た大きさを表わしており、各機器間の間隔も実寸に対応して描かれている。
また、太線は、流体通路を表しており、その端部にある白丸は、流体通路開口（ポート）を表している。
例えば、図５に示すフロー図では、マスフローコントローラ５３の入口側に設置置された開閉弁５１、５２、出口側に設置された開閉弁５４、５５は、それぞれ１つのブロック６３、６４に取り付けられた一部品として扱われていることを読み取ることができる。
また、開閉弁５１、５４がマスフローコントローラ５３に通じる流体通路からは、開閉弁５２、５５に通じる流体通路が分岐し、この分岐通路は、逆止弁５６を介して或いは介さずに流体制御装置の幅方向に閉口していることを読み取ることができる。
また、マスフローコントローラ５３の入口側及び出口側に設けられたブロック継手６５、６５については、マスフローコントローラ５３に含ませてその大きさが表されていることも分かる。
このようにしたフロー図では、機器が、その機能だけでなく、その流体通路及び外形も表示するシンボルマークで表わされるので、機能、流体通路、及び大きさの全てが一目瞭然となり、上記従来例で述べたフロー図及び平面図の欠点を両方とも除去した図となっている。
図６には、フロー図作成処理のフローチャートを示す。ユーザ端末１０１からサーバコンピュータ１０２にアクセスした状態で、フロー図作成機能４０２が選択されると、具体的には図示しないが、ユーザ端末１０１の表示装置３０７には、フロー図作成画面が表示され、機器メニューが表示される（ステップＳ１）。
ユーザは、ユーザ端末１０１の入力状態３０６を用いて、機器メニューをクリックすることにより、データベース２０４ａのシンボルマークファイルから、マスフローコントローラ等の機器を順次選択することができる（ステップＳ２）。選択した機器は、例えばマウスの移動により、フロー図作成画面上の任意点か機器内の基準点を基準とする適宜な位置に配置される（ステップＳ３）。
すなわち、ユーザは、２つの開閉弁を２つの都材で構成するか、２つの開閉弁を一体化した１つの部材で構成するか、隣り合う機器を配管を溶接して接続するか、ブロック継手で接続するか等の種々の設計要素を考慮しながら、該当する機能を有する機器を選択する。機器が選択されると、その機器のシンボルマークが両面に表示されるので、これらのシンボルマークをフロー図作成画面上で順次所望の位置に貼り付けていき、フロー図を作成する。
次いで、機器とこれに隣り合う機器の平面寸法がデータベース２０４ａの機器データファイルから引き出され、これらの機器を接続する適切な接続部材がデータベース２０４ａの接続部材データファイルから自動的に選択される（ステップＳ４）。
このようにして、機器及び接続部材は、それらの平面寸法に応じて自動配置され、流体制御装置のフロー図が自動的に作成されていく（ステップＳ５）。
ステップＳ２〜ステップＳ５までの各処理は、選択終了命令（ステップＳ６）が出されるまで繰り返され、選択終了命令（ステップＳ６）が出た時点で一連のフロー図作成処理が終了する。
ここで、接続部材を選択する上記ステップＳ４では、配置済み機器の隣に次の機器が配置されたときに、両方の機器のブロック形状を識別して対応する接続部材を選択する処理が行われる。接続部材は、例えば、数字を含んだアイテムナンバーで表現され、その数字が開口間距離にほぼ相当するものとされている。両方の機器を接続可能な接続部材は通常複数種類あり、ユーザは、この中から他の条件を考慮して選択し、これにより、要求性能に合致した流体制御装置を構成することができる。接続部材が選択されると、配置済み機器側に選択された接続部材を自動作画するとともに、次の機器を接続部材の他方配置点に自動作画する。
例えば、Ｖ字状通路を有するブロック継手を使用する場合、このブロック継手により接続される２つの機器の開口間の最低距離は、機器データから求まり、この接続に使用可能なブロック継手が接続部材データから最低距離より大きければ可という条件で複数種類見出される。この複数種類のブロック継手は、画面に表示される。ユーザは、全体の長さを短くする、隣り合う流体制御器で位置合わせを行う等の流体制御装置の他の仕様を考慮して、適切なブロック継手を選択することができる。
なお、フロー図の作成においては、シンボルマークのアイテムナンバーをフロー図内のシリアル名称として管理し、マスフローコントローラ、プレッシャレギュレータ、及びフィルタの各シンボルマークの選択は、予め作成された“ガス名−流量”関係マトリックスの中からのみ使用可能とする。
図４に戻り、配管組立図作成機能４０３は、上記のフロー図をＭＤＴ機能を使用し、各シンボルマーク及び各接続部材を事前登録された三次元図に置き換えることにより実寸法の配管組立図を自動作成するものである。配管組立図の作成は、フロー図作成の作業ステータスが“暫定”か“確定”時にのみ可能とされている。
配管製作図作成機能４０４は、上記配管組立図を取り込んで、鳥瞰図、ボトムパーツ配置図、プレハブ配管図、及びタップ配管図等を自動作成するものである。鳥瞰図は、配管組立図に隠線処理を施したもので、その例を図７に示す。同図において、各符号は、図５に示すものとそれぞれ対応している。隠線処理済みの鳥瞰図の作成においては、隠線処理によりパーツの一部又は全部が消去されても、存在そのものは抹消しないこととし、また、フロー図で付与したシンボルマークのアイテムナンバーを必須表示する。
ボトムパーツ配置図は、接続部材のほか、ガスケット、ボルト、パイプ、及び溶接継手を加え、これらを平面図で表すものである。プレハブ配管図は、ボトムパーツ配置図の範囲入力された部位を三次元図として作図するもので、作図する際には、画面上のスタート位置を指示することができるものとする。タップ加工図は、接続部材固定用タップ位置のみを二次元図として作図するものとし、基板（板金）設計用にタップ位置情報を編集する。
パーツ（部品）リスト作成機能４０５は、上記フロー図や配管組立図より各々の部品リストを自動作成するものである。フロー図に基づく部品リスト作成は、フロー図の作業ステータスが“暫定”及び“確定”時のみ処理可能とする。また、部品リストのヘッダー情報はハンド入力可能とし、自動作成部分は修正不可とする。
見積書作成機能４０６は、上記フロー図や配管組立図より各々の見積書を自動作成するもので、フロー図より慨略速報見積書を作成し、配管組立図より製造作成見積書や統合見積書とを作成する。フロー図に基づく概略速報見積書の作成は、フロー図の作業ステータスが“暫定”及び“確定”の状態の時にのみ処理可能とする。なお、見積書の不足情報は流体制御装置設計装置１０２側においてハンド入力可能とし、自動作成部分は修正不可とする。
受注機能４０７は、上記フロー図に係る流体制御装置について、ユーザ端末１０１からの発注を受け付けるものである。例えば、フロー図が完成した場合に、ユーザ端末１０１の表示装置３０７に発注ボタン等を表示する。ユーザは、当該フロー図を作成した流体制御装置を発注したい場合、当該発注ボタン等を操作すればよい。この受注は、フロー図の作業ステータスが“確定”時のみ処理可能とする。
発注機能４０８は、上記受注機能４０７においてユーザ端末１０１からの発注を受け付けた場合に、部品リストや見積書に基づいて、ネットワーク１００上の発注先端末１０３に発注を行うものである。例えば、サーバコンピュータ１０２が流体制御装置メーカにより運用されているものである場合、下請け業者の発注先端末１０３に対して流体制御装置の組み付けを発注したり、各種メーカの発注先端末１０３に対して機器や接続部材の納品を発注したりすることができる。このように自動発注機能を持たせておけば、大幅な効率化を図ることができ、リードタイム、在庫、人員の大幅削減を実現することが可能となる。
なお、上記発注機能４０８の代りに、或いは、追加して、入札機能を持たせてもよい。すなわち、ユーザ端末１０１からの発注があった場合、その流体制御装置の仕様等をネットワーク１００上で公開し、流体制御装置の組み付け、機器や機械部材の納品等に関してネットワーク１００を介して各社に入札させる。
シンボルマーク変換機能４０９は、例えば、外部から機器の機能、流路、及び外形についての情報を受け付け、その情報をシンボルマークに変換してデータベース２０４ａに蓄積する。本実施の形態では、上述したようにシンボルマークにＪＩＳ記号や略号を使用しているが、機器メーカ等によっては同じ機能を有する機器でも他の記号等で表されるものが存在する。また、各国ごとの規格が存在し、同じ機能を有する機器を表わす記号も異なる。このシンボルマーク変換機能４０９では、各種記号等で表わされる情報を本システムで定めたシンボルマーク（ＪＩＳ記号や「ＭＦＣ」等の略号）に変換して、データベース２０４ａに蓄積する。これにより、システム上でのシンボルマークの統一を図ることができ、利便性を高めることができる。逆に、上記受発注等を行う段階で、システム上でのシンボルマークを他の者が使用する記号等に変換して、当該受発注等を行うようなこともできる。
なお、データベース２０４ａに蓄積するデータは、サーバコンピュータ１０２を運用する者（流体制御装置メーカ等）が登録するだけでなく、ネットワーク１００を介して登録できるようにしてもよい。例えば、機器メーカ等が、自己の端末を介して新製品等についての機能、流路、及び外形についての情報をネットワーク１００を介してサーバコンピュータ１０２に提供できるようにしておけば、データベース２０４ａに蓄積されるデータ量が増え、ユーザからみればフロー図作成のための機器の選択の幅が広がり、また、機器メーカからみれば自己の製品の使用を促すことが可能となる。
マスタ管理機能４１０では、全体のメンテナンス管理が行われ、運用管理機能４１１では、バックアップ、リストア、障害対策、セキュリティ、本番移行計画等が管理される。
以上述べたように本実施の形態によれば、ネットワーク１００上のサーバコンピュータ１０２を利用して、流体制御装置のフロー図を作成することができ、さらには、当該フロー図に係る流体制御装置について受発注等の一連の業務を行うことも可能となり、流体制御装置の設計、受発注等の各行程における効率を向上させることができる。
さらに、上記のようなインフラが提供されることにより、本システムに流体制御装置のリモートメンテナンス機能を持たせることも可能となる。すなわち、ユーザに納入される流休制御装置についての各種データは、もともとネットワーク１００上でやり取りされたものであり、それら各種データをサーバコンピュータ１０２や各発注先端末１０３上で処理して、リモートメンテナンスのためのデータとして用いることができる。
なお、この実施の形態では、ユーザ端末１０１の表示装置３０７にフロー図作成画面を表示し、ユーザ端末１００からの指示に従ってデータベース２０４ａの各機器のシンボルマークを画面上の所定位置に順次に貼り付けていくことにより、フロー図を作成するようにしたが、他のやり方としてもかまわない。
例えば、ユーザ端末１０１側にスキャナ等の画像読み取り装置を設置しておき、手書き等のフロー図を読み取らせる。サーバコンピュータ１０２では、当該手書等のフロー図の図面データをネットワーク１００を介して受信したならば、その図面データに従ってデータベース２０４ａの各機器のシンボルマークを用いて自動的にフロー図を作成する。この場合、既述したシンボルマーク変換機能を持たせておけば、手書きする者は、自分の最も使いやすい規格の記号等を使って手書きのフロー図を作成することができ、それをサーバコンピュータ１０２において上記シンボルマークに変換してフロー図を作成することができる。
なお、シンボルマークと他の記号を相互に変換する以外にも、言語（例えば、日本語と英語）、単位（例えば、メートルとインチ）等を自動的に変換する変換機能を持たせてもよい。
第１の実施の形態では、図１に１つのサーバコンピュータ１０２しか示さなかったが、複数台のサーバコンピュータにより各種処理を分散処理するようにしてもかまわない。
（第２の実施の形態）
次に、この発明の第２の実施の形態を説明する。この第２の実施の形態は、第１の実施の形態の変形例に相当し、第１の実施の形態での説明を基本的に引き継ぐものとする。
図８は、この発明の第２の実施の形態に係る設計支援システムの構成を示す図である。図示するように、このシステムは、インターネットＩＮ上に配置された設計支援サイト１１と、インターネットＩＮに、直接、或いは、社内ＬＡＮ、インターネットゲートウエイ、アクセスポイント等を介して接続されたユーザ端末（設計端末）２１と、受注サーバ３１とから構成される。
設計支援サイト１１は、設計作業を行う装置であり、図９に示すように、設計サーバ１１１と、ユーザ情報ＤＢ（データベース）１１２と、部品情報ＤＢ１１３と、ジョブ情報ＤＢ１１４と、管理用端末１１５を備える。
設計サーバ１１１は、物理的に１台のコンピュータ装置で構成される必要はなく、複数台のコンピュータから構成されてもよい。また、コンピュータは、半導体製造装置メーカの工場に設置するだけでなく、顧客近くのサービスステーションに一部分散して設置し、分散処理にしてもよい。設計サーバ１１１は、設計プログラムを実行し、ユーザ端末２１からの指示に応答して、データベース１１２〜１１４に格納されている情報を利用して設計処理を行う。
ユーザ情報ＤＢ１１２は、図１０に示すように、このサイト１１へのアクセスが認められている各ユーザについて、ＩＤ、パスワード、担当者名、担当部署名、メールアドレス、その他（連絡先（電話番号、ファクシミリ番号）等）の情報を記憶する。
ここで、「ＩＤ」は、設計サイト１１にアクセスすることが認められた者に割り当てられた識別子である。「パスワード」は、設計サイト１１をアクセスする際に要求される認証情報である。設計サイト１１は、ＩＤにより、アクセス者を識別し、ＩＤとパスワードとの対によりアクセス者を認証する。「会社」はユーザの所属する事業体の名称、例えば、会社名、研究所名、大学名等である。「担当者名」と「部署名」は、各事業体で、設計サイト１１へのアクセスを担当する人物の氏名と所属部署である。また、「連絡先」は、担当者の連絡先であり、住所、電話番号、ファクシミリ番号、ｅ−メールアドレス等の情報を含む。このことにより、半導体製造装置のメーカにより認められた者だけが、コンピュータのアクセス権を得る機密管理が可能である。
部品情報ＤＢ１１３は、ブロック型のガスユニット（流体制御装置）を構成する部品の情報を格納するためのＤＢであり、図１１に示すように、部品の名称、パーツ番号（型式）、シンボル画像、三次元モデリングデータ、単価等の情報を格納する。これらのデータは、設計が完成した際の部品発注のための基礎データとなる。
一般に、ブロック型ガスユニットは、複数の機器を複数の接続部材を介して接続して構成される。機器としては、マスフローコントローラ、開閉弁、逆止弁、プレッシャーレギュレータ、フィルタ、マスフローメータ、圧力センサ等の単機能部材を始め、２つの機能部材を１つのブロックに一体的に設けたもの（例えば、開閉弁やフィルタや圧力センサを組み合わせたもの）、単機能部材（例えば、マスフローコントローラ）の両側に接続部材を一体的に設けたものがある。また、接続部材としては、直方体状ブロックに連通用流体通路が設けられたブロック継ぎ手、チューブ型の配管等がある。その流体通路だけ或いは長さ等の寸法だけが異なるような場合でも、別の機器として扱われる。
ここで、名称とは、機器の名称である。型式は機器に固有のパーツ番号である。
シンボル画像は、その機器を表す画像である。シンボル画像としては、機器の機能、流路、及び外形を表示するものを１つのシンボルマークとする。例えば、弁のようにＪＩＳ記号のあるものは、ＪＩＳ記号にその流体通路及び外形を合わせたものを１つのシンボルマークとする。また、マスフローコントローラのようにＪＩＳ記号の無いものは、例えば、「ＭＦＣ」の様な略号にその流体通路及び外形を合わせたものを１つのシンボルマークとする。外形は、平面図上での寸法を表すものとする。各シンボル画像は、ガス流路の端部に基準点を有しており、隣接するシンボル画像の基準点が接続して、ガス流路がずれたり、分断されることがないように、シンボル画像は自動的に配置される。
三次元モデリングデータは、各機器の形状を定義するデータであり、このデータを用いて各機器の六面図、断面図、斜視図を生成可能である。
ジョブ情報ＤＢ１１４は、サイト１１により過去に作成された設計情報を記憶する。この設計情報は、図１２に示すように、ジョブ別に、ステータス情報、フロー図データ、三次元モデリングデータ、部品リスト、見積データ等を含む。ステータス情報は、そのジョブが確定した内容であるか否かを示す。フロー図は、ガスの流れと部品の配置とを関連づけて人間の理解を容易にするための図である。三次元モデリングデータは、各部品のモデリングデータから構成されるシステムの三次元設計データである。
管理用端末１１５は、データベース１１２〜１１４の内容を更新する等の管理処理を行う。
一方、図８に示すユーザ端末２１は、専用ブラウザがインストールされたパーソナルコンピュータ、ワークステーション等から構成され、通信部、表示部、入力部、制御部等を備える。これらは、例えば、ガス供給ユニットの設計者または営業担当に携帯され、ガス供給ユニットを発注する半導体メーカの担当者と打ち合わせながら、ガス供給ユニットを設計するために使用される。
一方、図８に示す受注サーバ３１は、ガス供給ユニットを構成する部品（ブロック）のメーカ等に設置され、設計端末２１からの部品（ユニット）の注文を受け付け、事業所内の担当部署に通知する。
次に、上記構成のシステムの動作を説明する。
設計支援サイト１１を用いた設計を行うためには、事前にユーザ登録を行い、ユーザＤＢ１１１に登録する。
設計者または営業担当者は、顧客と打ち合わせながら、設計支援サイト１１を用いてガス供給ユニットの設計を行う場合には、自己のユーザ端末２１から、ＩＳＰ（インターネットサービスプロバイダ）等を介して、設計支援サイト１１をアクセスする。
設計支援サイト１１は、アクセスに応答し、図１３に示すトップ画面（ログイン画面）を提供する。設計担当者は、このトップ画面に、ＩＤとパスワードとを入力し、「ログイン」ボタンをクリックする。
設計サーバ１１１は、ＩＤとパスワードとの対がユーザ情報ＤＢ１１２上の図１０に示すテーブルに登録されているか否かを判別し、登録されていなければ、その旨のエラーメッセージを返送する。
一方、ＩＤとパスワードとの対がユーザ情報ＤＢ１１２に登録されていれば、設計サーバ１１１は、図１４に示す作業選択メニューをユーザ端末２１に送信する。
ユーザ端末２１は、作業選択メニューを受信し、ブラウザに表示する。ここで、ガス供給ユニットを全く新規に設計する場合には、ジョブを登録するために「ジョブ登録」を選択（例えば、クリック）する。また、既に存在するデータを再利用する場合、例えば、設計途中のデータをそのまま利用する場合、或いは、過去に設計したデータを流用して、これを一部改変して設計を行う場合には、「ジョブリストア」を選択する。
また、過去に作成したジョブを検索する場合には、「ジョブ検索」を選択する。
ブラウザは、選択された作業を設計サーバ１１１に通知する。
設計サーバ１１１は、「ジョブ登録」の選択に応答して、新規のジョブ番号を採番し、ジョブ情報ＤＢ１１４にジョブを登録し、そのジョブについて処理を選択するために、図１５に示す処理選択画面をユーザ端末２１に送信する。
一方、設計サーバ１１１は、「ジョブリストア」の選択に応答して、ジョブを指定する画面をユーザ端末２１に通知する。設計者は、この画面上でジョブ（ジョブ番号）を指定し、設計サーバ１１１に送信する。設計サーバ１１１は、この通知に応答し、図１５に示す処理選択画面をユーザ端末に通知する。
また、設計サーバ１１１は、「検索」の選択に応答して、ジョブを検索する画面をユーザ端末２１に通知する。設計者は、この画面上で検索条件（キーワード等）を指定し、設計サーバ１１１に送信する。設計サーバ１１１は、この通知に応答し、ジョブ情報ＤＢ１１４を検索し、検索条件に合致するジョブをジョブ情報ＤＢ１１４から読み出し、そのジョブについて処理を選択するための、図１５に示す処理選択画面をユーザ端末２１に送信する。
フロー図を作成する場合、設計者は、図１５上の処理選択画面上で、「フロー図作成」を選択する。ユーザ端末２１は、ジョブ情報と選択された処理とを、設計サーバ１１１に通知する。
この通知に応答し、設計サーバ１１１は、指定されたジョブについて、ジョブ情報ＤＢ１１４内にフロー図が既に存在するか否かを判別する。存在する場合には、そのフロー図を読み出して、部品選択用のダイアログボックス、及び処理選択用のメニューと共にユーザ端末２１に送信する。ユーザ端末２１は、提供された情報を例えば図１６Ａに示すように画面に表示する。なお、指定されたジョブについて、ジョブ情報ＤＢ１１４内にフロー図が存在しない場合には、部品選択用のダイアログボックスと処理選択用のメニューとをユーザ端末２１に送信する。ユーザ端末２１は、提供された情報を図１６Ｂに示すように表示する。
設計者は、自己のユーザ端末２１の画面に表示されたテキストボックスに部品情報（部品を特定する情報）を入力し、ユーザ端末２１は、これを設計サーバ１１１に送信する。設計サーバ１１１は、通知された部品のシンボル画像を部品情報ＤＢ１１３から読み出して、そのユーザ端末２１に提供する。
ユーザ端末２１は、供給されたシンボル画像を表示し、設計者は、このシンボル画像を、クリックアンドドロップ動作により、任意の位置に移動し、設計済みのフロー図に連結する。例えば、設計者は、２つの開閉弁を２つの部材（ブロック）で構成するか、２つの開閉弁を一体化した１つの部材（ブロック）で構成するか、隣り合う機器を配管を溶接して接続するか、ブロック継手で接続するか等の種々の設計要素を考慮しながら、該当する機能を有する機器を選択する。
具体的に、例えば、図１７に示す符号５１１〜６１１と、５１２〜６１２で構成される２系統のガス流路を有するガス供給ユニットを設計する場合、図１６Ｂに示すように、設計段階では、例えば、マスフローコントローラ（ＭＳＦ）５３２を弁６３２に連結して配置することになる。
設計者は、部品情報入力用のテキストボックスに、仕様上要求されている流量や圧力に適合するマスフローコントローラ５３２を特定する情報を入力する。この情報に応答して、設計サーバ１１１は、部品情報ＤＢ１１３から、指定されたマスフローコントローラのシンボル画像を読み出し、ユーザ端末２１に送信する。
ユーザ端末２１は、このシンボル画像を受信して表示する。設計者は、このシンボル図形をクリックアンドドロップ操作により、移動し、設計済のフロー図の弁６３２に連結する位置に配置する。
この情報は、ユーザ端末２１は、マスフローコントローラ５３２の基準点（ガス流路の端点）が弁６３２の基準点に丁度連結するように、マスフローコントローラ５３２のシンボル画像の位置を微調整する。
このような動作を繰り返して、部材を示すシンボル図形を連結することにより、図１８に示すようなフロー図（図１７に対応する）が完成する。
なお、ユーザ端末２１上で、部品を選択すると、設計サーバ１１１は、そのジョブに対応付けて記憶している部品リストに選択された部品とを追加する。
設計が一旦終了すると、設計者は、ユーザ端末２１より設計の完了を設計サーバ１１１に通知し、設計サーバ１１１は、設計されたフロー図をジョブ番号と共にジョブ情報ＤＢ１１４に格納する。
フロー図の設計が終了すると、設計者は、任意の処理、例えば、「組立部作成」、「配管図作成」、「スプール図作成」等の処理を図１５の処理選択メニュー上で指定する。これらの処理の選択に応答して、設計サーバ１１１は、ジョブ番号で特定されるフロー図により特定される各部品のモデリングデータを用いて、設計されたガス供給ユニットの組立図、配管図、スプール図等を図１９、図２０に示すように作成し、ユーザ端末２１に供給する。ユーザ端末２１は、図面を受信して、表示する。この際、システム全体の外形寸法も、（縦：横：高）または（ｘ，ｙ，ｚ）等の形式で表示する。
また、設計者が、図１５の処理選択メニュー上で「パーツリスト作成」或いは「部品番号リスト」を選択すると、設計サーバ１１１は、指定されたジョブについて、フロー図の作成段階で作成しておいた部品のリストから、「パーツリスト」或いは「部品番号リスト」を生成し、ユーザ端末１２に送信する。ユーザ端末２１は、パーツリストを受信して、表示する。
また、設計者が、図１５の処理選択メニュー上で「見積書作成」を選択すると、設計サーバ１１１は、そのジョブについて、各部品の単価、各部品と隣接する部品とを接続するために必要な加工費等を求め、これらを合計して見積書と明細表を作成し、ユーザ端末１２に送信する。ユーザ端末２１は、「見積書」を受信して、表示する。
設計者は、例えば、顧客と打ち合わせながら、上述の処理を行う。ここで、設計を完了した結果、完成したシステムがが仕様のサイズに収まらない場合や、見積コストが顧客の要望に合致しない場合がある。
このような場合には、設計者は、例えば、その場で、代替案に基づく設計を行う。この際、上述の処理で作成したフロー図を利用して、その一部を改変することによりフロー図を完成させてもよい。この場合には、例えば、既存のフロー図を表示させた状態で、任意のシンボル画像を選択して移動或いは削除し、さらには、任意のシンボル画像を呼び出して、作成済の部分に連結する。
複数の案の設計が完了すると、設計者は、それらのジョブを指定し、一覧表示を指定する。すると、ユーザ端末２１は、図２１に例示するように、指定されたジョブの図面、コスト見積、部品点数、サイズ等の情報を一覧で表示する。設計担当者及び顧客担当者は、設計した複数のガス供給ユニット間で、占有スペースの大小、ガス流量、流通ガスの種類の数の大小をそれぞれの項目において比較し、顧客の環境において最適な選択を対話形式でインターネットを経由してコンピュータのプログラムをアクセスする事で最適なモデルにたどり着くまで繰り返して実行する。この一連の処理により、半導体製造装置メーカ工場に資料を送る手間を省略して設計を完成することができる。
最後に最適な設計が確定すると、ユーザ端末２１は、そのジョブの部品リストを発注情報として、部品会社の受注サーバ３１に送信する。受注サーバ３１は、受信した部品リストを担当部署に通知する。担当部署は、通知された部品リストに基づいて、部品（ユニット）の作成を開始する。従って、設計から部品の発注に至るまでの期間を短くすることができ、ひいては、部品の納期を短縮することができる。
このような構成とすれば、顧客の面前で、顧客の要望に最も合致した設計を行うことができ、顧客と自己の工場（設計部署）との間を往復するような事態を防止できる。さらに、この設計支援ツールを用いて、決定した設計に必要とする部品リストに基づいて、その機器の製造に必要な部品を部品メーカに発注するシステムとして運用することができる。
また、上述の構成では、例えば、部品のスペック・単価が変更されたような場合には、設計サーバ１１１の部品情報ＤＢ１１３の内容を管理端末１１５で更新することにより、全ユーザ端末２１での処理に反映することができる。
上記実施の形態では、この発明を半導体製造装置である縦型炉のガス供給ユニットの設計に適用した場合について説明したが、他の装置、例えば、エッチング装置、枚葉式成膜装置、塗布現像装置、洗浄装置などの装置に適用することも可能である。また、ガス供給ユニットに限定されず、真空排気ポンプシステム、プロセスチャンバー、高周波電源ユニットなどの設計システムとしても適用可能である。
なお、上記実施の形態では、設計サーバ１１１とユーザ端末２１とが共同して設計処理を行うように説明したが、設計の手法自体は任意である。例えば、ユーザ端末２１に上述の設計プログラムをインストールし、設計開始時点で、設計サーバ１１１にアクセスして、設計に必要な情報を一旦ダウンロードし、続いて、ユーザ端末２１上で全ての設計処理を行い、最後に、処理結果を設計サーバ１１１を介して、ジョブ情報ＤＢ１１４に格納するような手法を採用してもよい。
逆に、全ての設計動作を設計サーバ１１１で行い、ユーザ端末２１は設計サーバ１１１の単なるリモート入力装置及び表示装置として機能するようにしてもよい。
なお、この発明のシステムは、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、コンピュータに上述の動作を実行するためのプログラムを格納した媒体（フロッピーディスク、ＣＤ−ＲＯＭ等）から該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する設計サーバ１１１等を構成することができる。なお、上述の機能を、ＯＳが分担又はＯＳとアプリケーションの共同により実現する場合等には、ＯＳ以外の部分のみを媒体に格納してもよい。
なお、搬送波にプログラムを重畳し、通信ネットワークを介して配信することも可能である。例えば、通信ネットワークの掲示板（ＢＢＳ）に該プログラムを掲示し、これをネットワークを介して配信してもよい。そして、このプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行させることにより、上述の処理を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
図１は、この発明の第１の実施の形態にかかるネットワークシステムの全体構成を示す図である。
図２は、図１に示すサーバコンピュータのハードウエア構成の一例を示す図である。
図３は、図１に示すユーザ端末のハードウエア構成の一例を示す図である。
図４は、図１に示すサーバコンピュータ１０２の機能構成を示す図である。
図５は、フロー図の一例を示す図である。
図６は、フロー図作成処理を示すフローチャートである。
図７は、フロー図を基にして得られた流体制御装置の三次元図である。
図８は、本発明の第２の実施形態に係る設計支援システムの構成を示す図である。
図９は、図８に示す設計サイト１１の構成を示す図である。
図１０は、ユーザ情報データベース（ＤＢ）の構成例を示す図である。
図１１は、部品情報データベースの構成例を示す図である。
図１２は、ジョブ情報ＤＢの構成例を示す図である。
図１３は、ログイン画面の例を示す図である。
図１４は、作業選択メニューの一例を示す図である。
図１５は、処理選択メニューの一例を示す図である。
図１６Ａと図１６Ｂは、フロー図作成処理の一例を示す図である。
図１７は、ガス供給ユニットの構成例を示す図である。
図１８は、図１７の構成例に対応するフロー図の一例を示す図である。
図１９は、図１７及び図１８に対応するガスユニットの構成図の例を示す図である。
図２０は、図１９に示すガスユニットの斜視図の例を示す図である。
図２１は、比較表の一例を示す図である。
図２２は、従来の縦型半導体製造装置の構成例を示す図である。
図２３は、組立ユニットの一例を示す図である。
図２４は、組立ユニットの一例を示す図である。
図２５は、流体制御装置のフロー図の一例を示す図である。
図２６は、流体制御装置の平面図の一例を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【手続補正書】
【提出日】平成14年8月5日(2002.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器の機能、流路、及び外形を表示し、かつ、このシステムで定められたシンボルマークの情報を蓄積する記憶部（２０４ａ）と、
ユーザ端末（１０１）からの入力を、ネットワークを介して受け付けて、機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を、前記記憶部に記憶されているシンボルマークを読み出して組み合わせて作成するフロー図作成部（２０１，２０２）と、
同一機能の機器に関して、この設計支援システムで定めたシンボルマークと他の体系で規定された記号との間で変換を行う変換部（４０９）と、
を備えたことを特徴とする設計支援システム。
【請求項２】
前記フロー図作成部（２０１，２０２）は、ユーザ端末の表示装置にフロー図作成画面を表示し、ユーザ端末からの指示に従って、当該フロー図作成画面上で前記シンボルマークを組み合わせてフロー図を作成する、ことを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項３】
前記フロー図作成部（２０１，２０２，１１１）は、前記ユーザ端末の画像読取装置で読み取られた図面データに従って、前記シンボルマークを用いたフロー図を作成することを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項４】
機器を接続する接続部材についての情報を蓄積する接続部材情報記憶部（２０４ａ）と、
前記シンボルマークの組み合わせに応じて前記接続部材情報記憶部から接続部材を選択する接続部材選択部（２０１，２０２）と、をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項５】
前記フロー図作成部により作成されたフロー図から配管組立図を作成する配管組立図作成部（２０１，２０２）を備えたことを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項６】
前記フロー図作成部（２０１，２０２）により作成されたフロー図に係る流体制御装置について、前記ユーザ端末からの発注を受け付ける受注部（４０８）を備えたことを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項７】
前記ユーザ端末からの発注を受け付けた場合に、当該発注のあった流体制御装置に関して前記ネットワーク上の発注者端末（１０３）に発注を行う発注部（４０８）を備えたことを特徴とする請求項６に記載の設計支援システム。
【請求項８】
前記ユーザ端末からの受注を受け付けた場合に、発注のあった流体制御装置に関して前記ネットワークを介して入札を受け付ける入札部、を備えたことを特徴とする請求項７に記載の設計支援システム。
【請求項９】
前記変換部は、外部より、機器の機能、流路、及び外形についての情報を受け付け、その情報をシンボルマークに変換して前記記憶部に格納する機能と、作成したフロー図のシンボルマークを他の者が使用する記号に変換する機能と、を備える、ことを特徴とする請求項１に記載の設計支援システム。
【請求項１０】
機器に関する情報とこの設計支援システムで定められている仕様のシンボルマークとを対応付けて記憶する記憶部（１１３）と、
ユーザ端末からネットワークを介して供給される指示に応答して、前記記憶部からシンボルマークを読み出して、連結することにより機器の関係を視覚的に表す概要図を作成する概要図作成部（１１１）と、
同一機能を有する機器に関して、各種記号で表現されている情報とこの設計支援システムで定めたシンボルマークとの間で変換を行う変換部（４０９）と、
を備える設計支援システム。
【請求項１１】
前記記憶部（１１３）は、各機器について、その設計図データを記憶しており、
前記概要図作成部により作成された概要図に基づいて、前記記憶部から図形データを読み出し、設計されたシステムの設計図を作成する設計図作成部（１１１）を備えることを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１２】
システムを構成する機器のリストを生成するリスト生成部（１１１）を備える、ことを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１３】
前記記憶部（１１３）は、各機器について、そのコストを記憶しており、
前記概要図作成部により作成された概要図と前記記憶部に記憶されたコストに基づいて、設計されたシステムのコストを求めるコスト取得部（１１１）を備えることを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１４】
前記記憶部は、あらかじめ設計された装置の概要図を蓄積する部を備え、
前記作成部は、前記蓄積部に記憶された概要図を読み出して、該概要図を編集することにより、新たな概要図を生成する生成部部（１１１）を備える、ことを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１５】
設計された複数のシステムの内容を対比するための一覧を表示する一覧表示部（１１１）をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１６】
設計されたシステムを構成する部品を発注する発注部（１１１）を備えることを特徴とする請求項１１に記載の設計支援システム。
【請求項１７】
前記機器は、ガスユニットを構成するためのブロック化された機器から構成され、前記図面は機器の配置とガスの流路を示すフロー図である、ことを特徴とする請求項１１に記載の設計支援システム。
【請求項１８】
前記変換部は、外部より、機器の機能、流路、及び外形についての情報を受け付け、その情報をシンボルマークに変換して前記記憶部に格納する機能と、作成したフロー図のシンボルマークを他の者が使用する記号に変換する機能と、を備える、ことを特徴とする請求項１０に記載の設計支援システム。
【請求項１９】
機器を組み合わせて構成される流体制御装置のフロー図を作成するための流体制御装置設計方法であって、
外部入力に応じて、機器の機能、流路、及び外形を表示するシンボルマークを用いたフロー図を作成する手順と、
同一機能を有する機器に関して、各種記号で表現されている情報とフロー図の作成に使用すると定めたシンボルマークとの間で変換を行う変換手順と、
を有することを特徴とする流体制御装置設計方法。
【請求項２０】
前記変換手順は、外部より、機器の機能、流路、及び外形についての情報を受け付け、その情報をシンボルマークに変換して蓄積する手順と、作成したフロー図のシンボルマークを他の者が使用する記号に変換する手順と、
を備える、ことを特徴とする請求項１９に記載の流体制御装置設計方法。
【請求項２１】
コンピュータを、請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の設計支援システム又は設計支援装置として機能させ、または、コンピュータに、請求項１９に又は２０に記載の設計方法を実行させるためのプログラム。
【国際調査報告】
2002046974.tif 000030
2002046974.tif 000031
2002046974.tif 000032
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