(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積メモリにおいて、
−通常の２つの読み出し増幅器（ＳＡｉ）と、
−個別にアドレス可能な、少なくとも２つの通常の列（ＣＬ）になるように一緒にまとめられた通常のビット線（ＢＬ）とを有しており、前記ビット線の内、通常の各列から、各々少なくとも１つのビット線が、各々１つの第１のスイッチング素子（Ｔ１）を介して通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の各々１つと接続されており、
−前記第１のスイッチング素子（Ｔ１）は、各制御入力側を有しており、その際、前記各通常の列（ＣＬ）の内部で全ての前記第１のスイッチング素子の前記各制御入力側は、各々相互に接続されていて、共通の列選択信号（ＣＳＬｉ）を受信するようにされており、
−メモリの外側から、乃至、メモリの外側へデータを伝送するために各データ線（ＤＱｉ）を有しており、前記各データ線の内、少なくとも各１つが、前記通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の各１つと接続されており、
−２つの第１の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）と、
−個別にアドレス可能な冗長列（ＲＣＬ）となるように一緒にまとめられた第１の各冗長ビット線（ＲＢＬ１）とを有しており、前記各冗長ビット線の内、各々少なくとも１本が、各々１つの第２のスイッチング素子（Ｔ３）を介して、前記各冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）の各１つと接続されており、
−前記第２のスイッチング素子（Ｔ３）は、各制御入力側を有しており、前記各制御入力側は、相互に接続されていて、共通の冗長列選択信号（ＲＣＳＬ０）を受信するようにされており、
−前記第１の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）並びに前記冗長列（ＲＣＬ）は、前記通常の両読み出し増幅器（ＳＡｉ）及び前記通常の列（ＣＬ）の１つを代替するために設けられており、
−前記通常のビット線および冗長ビット線には各強誘電メモリセルが接続されている、
ことを特徴とする集積メモリ。
【請求項２】
集積メモリにおいて、
−通常の２つの読み出し増幅器（ＳＡｉ）と、
−個別にアドレス可能な、少なくとも２つの通常の列（ＣＬ）になるように一緒にまとめられた通常のビット線（ＢＬ）とを有しており、前記ビット線の内、通常の各列から、各々少なくとも１つのビット線が、各々１つの第１のスイッチング素子（Ｔ１）を介して通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の各々１つと接続されており、
−前記第１のスイッチング素子（Ｔ１）は、各制御入力側を有しており、その際、前記各通常の列（ＣＬ）の内部で全ての前記第１のスイッチング素子の前記各制御入力側は、各々相互に接続されていて、共通の列選択信号（ＣＳＬｉ）を受信するようにされており、
−メモリの外側から、乃至、メモリの外側へデータを伝送するために各データ線（ＤＱｉ）を有しており、前記各データ線の内、少なくとも各１つが、前記通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の各１つと接続されており、
−２つの第１の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）と、
−個別にアドレス可能な冗長列（ＲＣＬ）となるように一緒にまとめられた第１の各冗長ビット線（ＲＢＬ１）とを有しており、前記各冗長ビット線の内、各々少なくとも１本が、各々１つの第２のスイッチング素子（Ｔ３）を介して、前記各冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）の各１つと接続されており、
−前記第２のスイッチング素子（Ｔ３）は、各制御入力側を有しており、前記各制御入力側は、相互に接続されていて、共通の冗長列選択信号（ＲＣＳＬ０）を受信するようにされており、
−前記第１の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）並びに前記冗長列（ＲＣＬ）は、前記通常の両読み出し増幅器（ＳＡｉ）及び前記通常の列（ＣＬ）の１つを代替するために設けられており、
−前記通常のビット線および冗長ビット線には各強誘電メモリセルが接続されており、
−第２の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ４）が設けられており、該第２の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ４）は、通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の１つ及び当該読み出し増幅器と第１のスイッチング素子（Ｔ１）を介して接続された通常のビット線（ＢＬ）全ての代替のために、各々１つの第３のスイッチング素子（Ｔ５）を介して第２の冗長ビット線（ＲＢＬ２）と接続されており、
−前記第３のスイッチング素子（Ｔ５）は、制御入力側を有しており、該制御入力側は、別の冗長列選択信号（ＲＣＳＬ１．．４）の各々１つの受信のために設けられている
ことを特徴とする集積メモリ。
【請求項３】
第２の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ４）は、第２の冗長ビット線（ＲＢＬ２）の１本とデータ線（ＤＱｉ）の１本との間でのデータ伝送のために、プログラミング状態に依存して導電状態となるプログラミング可能な接続要素（／Ｆｉ）を介して全てのデータ線（ＤＱｉ）と接続されている請求項２記載の集積メモリ。
【請求項４】
通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）は、プログラミング状態に依存して導電状態となる、プログラミング可能な接続要素（Ｆｉ）を介して、各データ線（ＤＱｉ）と接続されている請求項１または２記載の集積メモリ。
【請求項５】
通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）と接続された通常のビット線（ＢＬ）が、他の通常のビット線と共に入り組んで配設されている請求項１〜４迄の何れか１記載の集積メモリ。
【請求項６】
集積メモリの修理方法であって、
−通常の２つの読み出し増幅器（ＳＡｉ）と、
−個別にアドレス可能な、少なくとも２つの通常の列（ＣＬ）になるように一緒にまとめられた通常のビット線（ＢＬ）とを有しており、前記ビット線の内、通常の各列から、各々少なくとも１つのビット線が、各々１つの第１のスイッチング素子（Ｔ１）を介して通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の各々１つと接続されており、
−前記第１のスイッチング素子（Ｔ１）は、各制御入力側を有しており、その際、前記各通常の列（ＣＬ）の内部で全ての前記第１のスイッチング素子の前記各制御入力側は、各々相互に接続されていて、共通の列選択信号（ＣＳＬｉ）を受信するようにされており、
−メモリの外側から、乃至、メモリの外側へデータを伝送するために各データ線（ＤＱｉ）を有しており、前記各データ線の内、少なくとも各１つが、前記通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の各１つと接続されており、
−２つの第１の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）と、
−個別にアドレス可能な冗長列（ＲＣＬ）となるように一緒にまとめられた第１の各冗長ビット線（ＲＢＬ１）とを有しており、前記各冗長ビット線の内、各々少なくとも１本が、各々１つの第２のスイッチング素子（Ｔ３）を介して、前記各冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）の各１つと接続されており、
−前記第２のスイッチング素子（Ｔ３）は、各制御入力側を有しており、前記各制御入力側は、相互に接続されていて、共通の冗長列選択信号（ＲＣＳＬ０）を受信するようにされており、
−前記第１の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）並びに前記冗長列（ＲＣＬ）は、前記通常の両読み出し増幅器（ＳＡｉ）及び前記通常の列（ＣＬ）の１つを代替するために設けられており、
−前記通常のビット線および冗長ビット線には各強誘電メモリセルが接続されている集積メモリの修理方法において、
−通常の列（ＣＬ）の１つの通常のビット線（ＢＬ）の１本に欠陥がある場合、当該ビット線を冗長列（ＲＣＬ）によって代替する
ことを特徴とする集積メモリの修理方法。
【請求項７】
集積メモリの修理方法であって、
−通常の２つの読み出し増幅器（ＳＡｉ）と、
−個別にアドレス可能な、少なくとも２つの通常の列（ＣＬ）になるように一緒にまとめられた通常のビット線（ＢＬ）とを有しており、前記ビット線の内、通常の各列から、各々少なくとも１つのビット線が、各々１つの第１のスイッチング素子（Ｔ１）を介して通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の各々１つと接続されており、
−前記第１のスイッチング素子（Ｔ１）は、各制御入力側を有しており、その際、前記各通常の列（ＣＬ）の内部で全ての前記第１のスイッチング素子の前記各制御入力側は、各々相互に接続されていて、共通の列選択信号（ＣＳＬｉ）を受信するようにされており、
−メモリの外側から、乃至、メモリの外側へデータを伝送するために各データ線（ＤＱｉ）を有しており、前記各データ線の内、少なくとも各１つが、前記通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の各１つと接続されており、
−２つの第１の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）と、
−個別にアドレス可能な冗長列（ＲＣＬ）となるように一緒にまとめられた第１の各冗長ビット線（ＲＢＬ１）とを有しており、前記各冗長ビット線の内、各々少なくとも１本が、各々１つの第２のスイッチング素子（Ｔ３）を介して、前記各冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）の各１つと接続されており、
−前記第２のスイッチング素子（Ｔ３）は、各制御入力側を有しており、前記各制御入力側は、相互に接続されていて、共通の冗長列選択信号（ＲＣＳＬ０）を受信するようにされており、
−前記第１の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ０．．３）並びに前記冗長列（ＲＣＬ）は、前記通常の両読み出し増幅器（ＳＡｉ）及び前記通常の列（ＣＬ）の１つを代替するために設けられており、
−前記通常のビット線および冗長ビット線には各強誘電メモリセルが接続されており、
−第２の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ４）が設けられており、該第２の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ４）は、通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の１つ及び当該読み出し増幅器と第１のスイッチング素子（Ｔ１）を介して接続された通常のビット線（ＢＬ）全ての代替のために、各々１つの第３のスイッチング素子（Ｔ５）を介して第２の冗長ビット線（ＲＢＬ２）と接続されており、
−前記第３のスイッチング素子（Ｔ５）は、制御入力側を有しており、該制御入力側は、別の冗長列選択信号（ＲＣＳＬ１．．４）の各々１つの受信のために設けられている集積メモリの修理方法において、
−通常の読み出し増幅器（ＳＡｉ）の１つに欠陥がある場合、当該読み出し増幅器を、該読み出し増幅器と接続された通常のビット線（ＢＬ）と共に第２の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ４）及び当該第２の冗長読み出し増幅器（ＲＳＡ４）と接続された第２の冗長ビット線（ＲＢＬ２）によって代替し、
−又は、通常の列（ＣＬ）の１つの通常のビット線（ＢＬ）の１本に欠陥がある場合、当該ビット線を冗長列（ＲＣＬ）によって代替する
ことを特徴とする集積メモリの修理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、冗長部付きの集積メモリに関する。
【０００２】
メモリの欠陥のあるメモリセルを、冗長メモリセルによって代替し、このようにしてメモリを修理することは、一般に公知である。その際、冗長メモリセルは、冗長ワード線又は冗長ビット線に沿って設けられている。米国特許第５５６８４３２号明細書には、例えば、冗長ビット線付きの集積メモリが記載されており、この冗長ビット線は、通常の各ビット線（これらの各ビット線に沿って通常のメモリセルが配設されている）の１本を代替するために設けられている。通常のビット線は、読み出し増幅器に配属されており、読み出し増幅器は、メモリセルの読み出し時に、当該メモリセルに記憶された情報を増幅して、メモリの外側に供給する。冗長ビット線は、冗長読み出し増幅器に配属されており、冗長読み出し増幅器は、冗長時、即ち、通常のビット線を冗長ビット線によって代替した後、冗長メモリセルから読み出された情報の増幅のために使用される。冗長時に、通常の読み出し増幅器と接続された、欠陥を有する通常のビット線は、冗長読み出し増幅器と接続された冗長ビット線によって代替される。
米国特許第５７６１１３８号明細書には、フレキシブル冗長ブロックアーキテクチュアを有する半導体メモリが記載されている。冗長読み出し増幅器を有する各ブロックは、各々４つの読み出し増幅器を有しており、この読み出し増幅器は、出力側が各々１つのデータ線と接続されており、入力側が共通に冗長グローバルデータ入力／データ出力線に接続されている。各々４つの、そのような冗長グローバルデータ入力／データ出力線は、１本のバスを形成する。このバスに、更に、冗長メモリセルフィールドと接続された冗長読み出し増幅器が接続されている。冗長構造は、配分されたワード線とビット線とを有するメモリセルフィールド内の読み出し増幅器の代替のために使用される。
【０００３】
本発明の課題は、通常の複数の読み出し増幅器を介して同時にデータを読み出すことができ、その際、各読み出し増幅器に複数のビット線が配属されており、欠陥が生じた場合に、冗長メモリセルによって簡単に修理することができる集積メモリを提供することにある。
【０００４】
本発明によると、この課題は、請求項１記載の集積メモリおよび請求項２記載の集積メモリにより解決される。請求項６および７は、メモリ用の有利な修理方法に関する。本発明の有利な実施例は、従属請求項から得られる。
【０００５】
集積メモリは、通常の２つの読み出し増幅器と、個別にアドレス可能な、少なくとも２つの通常の列になるように一緒にまとめられた通常のビット線とを有しており、ビット線の内、通常の各列から、各々少なくとも１つのビット線が、各々１つの第１のスイッチング素子を介して通常の読み出し増幅器の各々１つと接続されている。第１のスイッチング素子は、各制御入力側を有しており、その際、各通常の列の内部で全ての第１のスイッチング素子の各制御入力側は各々相互に接続されていて、共通の列選択信号を受信するようにされている。メモリは、更に、メモリの外側から、乃至、メモリの外側へデータを伝送するために各データ線を有しており、各データ線の内、少なくとも各１つが、通常の読み出し増幅器の各１つと接続されている。更に、集積メモリは、２つの第１の冗長読み出し増幅器と、個別にアドレス可能な冗長列となるように一緒にまとめられた第１の各冗長ビット線とを有しており、各冗長ビット線の内、各々少なくとも１本が、各々１つの第２のスイッチング素子を介して、各冗長読み出し増幅器の各１つと接続されている。第２のスイッチング素子は、各制御入力側を有しており、各制御入力側は、相互に接続されていて、共通の冗長列選択信号を受信するようにされている。第１の冗長読み出し増幅器並びに冗長列は、通常の両読み出し増幅器及び通常の列の１つを代替するために設けられている。通常のビット線および冗長ビット線には各強誘電メモリが接続されている。
【０００６】
つまり、通常の読み出し増幅器に複数の通常の列が配属されており、第１の冗長読み出し増幅器には、単に１つの、冗長ビット線付きの冗長列が配属されているにすぎない。本発明が基づく認識は、実際上、複数の通常列に欠陥が生じることは稀であるという点である。従って、通常列内に欠陥が１つしかないのに、全ての正常列が相応の冗長列によって代替されると、本発明の対象の場合よりもコストが非常に大きくなってしまう。本発明では、冗長列が１つしか設けられておらず、通常列内の欠陥を修理するのに、これで十分である。冗長時には、欠陥のある列の通常の読み出し増幅器が、冗長列の冗長読み出し増幅器によって代替されるが、通常の読み出し増幅器は、更に、欠陥のない通常の、その他の列から読み出される情報の増幅に使用される。
【０００７】
実施例によると、集積メモリは、第２の冗長読み出し増幅器を有しており、該第２の冗長読み出し増幅器は、通常の読み出し増幅器の１つ及び当該読み出し増幅器と第１のスイッチング素子を介して接続された通常のビット線全ての代替のために、第３のスイッチング素子を介して第２の冗長ビット線と接続されている。第３のスイッチング素子は、制御入力側を有しており、該制御入力側は、別の冗長列選択信号の各々１つの受信のために設けられている。
【０００８】
第２の冗長読み出し増幅器は、全て通常のビット線と接続された通常の読み出し増幅器の１つの代替のために設けられている。それにより、殊に、読み出し増幅器自体による欠陥を修理することができる。実施例の集積メモリは、第１の冗長読み出し増幅器も第２の冗長読み出し増幅器も有しているので、これは、各々検出された欠陥の種類に依存してメモリの修理のために使用することができる。
【０００９】
従って、本発明の集積メモリの修理方法では、通常の読み出し増幅器の１つに欠陥がある場合、当該読み出し増幅器を、該読み出し増幅器と接続された通常のビット線と共に第２の冗長読み出し増幅器及び当該第２の冗長読み出し増幅器と接続された第２の冗長ビット線によって代替し、通常の列の１つの通常のビット線の１本に欠陥がある場合、当該ビット線を冗長列によって代替するのである。
【００１０】
実施例によると、第２の冗長読み出し増幅器は、第２の冗長ビット線の１本とデータ線の１本との間でのデータ伝送のために、プログラミング状態に依存して導電状態となるか、又は、ならないようにプログラミング可能な接続要素を介して全てのデータ線と接続されている。
【００１１】
結合要素によって、第２の冗長読み出し増幅器に、単に単数乃至複数のデータ線を接続することができ、データ線は、冗長修理を実行する前に、第２の冗長読み出し増幅器によって代替する必要がある通常の読み出し増幅器と接続されている。相応のプログラミングによって、第２の冗長読み出し増幅器を、このデータ線と接続する接続要素だけが導電接続される。他のデータ線と接続されている、それ以外の接続要素は、プログラミングによって導電状態にされない。このようにして、第２の冗長読み出し増幅器が、冗長メモリセルから読み出した情報を増幅して、間違ったデータ線に送出するのが回避される。更に、第２の冗長読み出し増幅器が、書き込むべきデータを正確なデータ線路によってのみ入力されるようにすることができる。
【００１２】
他の実施例によると、通常の読み出し増幅器は、プログラミング状態に依存して導電状態となる、プログラミング可能な接続要素を介して、各データ線と接続されている。この接続要素によって、冗長時に第２の冗長読み出し増幅器によって代替される通常の読み出し増幅器の１つを、単数乃至複数のデータ線から電気的に切り離すことができるようになり、その際、このデータ線と接続された接続要素が非導電状態にされる。
【００１３】
本発明の実施例ニよると、通常の読み出し増幅器と接続された通常のビット線が、他の通常のビット線と共に入り組んで配設されている。こうすることによって、大きな利点が達成され、つまり、検出された欠陥の幾何学的な分布を用いて、通常の読み出し増幅器の欠陥又は通常の列内の欠陥（即ち、通常のビット線乃至通常のメモリセルの欠陥）があるか、どうか求めることができる。頻繁に欠陥が生起する場合、同時に複数の隣接ビット線に欠陥がある。本発明によると、各々同じ通常の読み出し増幅器に配属されている各ビット線が隣接せずに入り組んで設けられているようにすることによって、ビット線欠陥時に、これら各ビット線の全てに同時に欠陥が生じるのは殆どあり得ない。従って、そのような欠陥が検出されると、極めて大きな確率で、読み出し増幅器自体の欠陥である。相応して、この読み出し増幅器の修理が、第２の冗長読み出し増幅器によって行うことができる。それに対して、通常の読み出し増幅器の欠陥ではなくて、通常の列の欠陥である場合、高い確率で、通常の読み出し増幅器の複数に配属された隣接ビット線に欠陥がある。そのような欠陥は、従って、単に、通常の各読み出し増幅器の１つの欠陥とは区別され、第１の冗長読み出し増幅器及び冗長列の代替によって解消することができる。
【００１４】
以下、本発明について図示の実施例を用いて詳細に説明する。
【００１５】
その際、
図１は、本発明の集積メモリの実施例、
図２は、本発明の修理方法の実施例
である。
【００１６】
図１は、本発明の集積メモリの実施例を示す。この実施例は、強誘電メモリ（ＦＲＡＭ乃至ＦｅＲＡＭ）である。強誘電メモリは、通常のビット線ＢＬとワード線ＷＬとの交点にメモリセルＭＣを有しており、このメモリセルは、各々選択トランジスタＴ及び強誘電体のメモリコンデンサＣを有している。メモリコンデンサＣは、選択トランジスタＴの制御可能区間を介して通常のビット線ＢＬと接続されている。選択トランジスタＴのゲートは、ワード線ＷＬと接続されている。図１には、各メモリセルＭＣの１つしか図示されていないが、実際には、多数のメモリセルがビット線ＢＬ毎及びワード線ＷＬ毎に設けられている。メモリは、冗長メモリセルＲＭＣを有しており、冗長メモリセルＲＭＣは、冗長ビット線ＲＢＬ１，ＲＢＬ２及びワード線ＷＬとの各交点に設けられており、通常のメモリセルＭＣと同様に構成されている。
【００１７】
図１のメモリは、多数の通常の読み出し増幅器ＳＡｉを有しており、この内４つしか図示していない。通常の読み出し増幅器ＳＡｉは、差動読み出し増幅器であり、この差動読み出し増幅器は、差相データ信号の伝送のために使用される。通常の各ビット線の各々４つのビット線対ＢＬは、通常の列ＣＬとなるようにまとめられている。各々通常の列ＣＬからなるビット線対ＢＬは、通常の各読み出し増幅器ＳＡｉの各々１つと、第１のｎチャネルトランジスタＴ１を介して接続されている。各通常の列ＣＬの第１のトランジスタＴ１のゲートは、相互に接続されている。このゲートに、各々別個の列選択信号ＣＬＳｉが供給される。作動中、列選択信号ＣＳＬｉを介して、各々、４つの列ＣＬの内の１つの列のビット線対ＢＬだけが、４つの通常の読み出し増幅器ＳＡｉと接続されている。通常の読み出し増幅器ＳＡｉは、ｎチャネルタイプの第２のトランジスタＴ２並びに第１のプログラミング可能な接続要素Ｆｉを介して、各々１つのデータ線対ＤＱｉと接続されている。メモリアクセスの際、全ての第２のトランジスタＴ２は、そのゲートを介して、活性化信号ＡＣＴを用いて導電接続され、その結果、データ線対ＤＱｉのデータは、通常の読み出し増幅器ＳＡｉを介して通常の列ＣＬのビット線対ＢＬに伝送することができ、その列選択信号ＣＳＬｉは、高いレベルを有している。同様に、これら通常の列ＣＬの各ビット線対から、データが通常の読み出し増幅器ＳＡｉを介して４つのデータ線対ＤＱｉに伝送することができる。
【００１８】
メモリは、各々４つのデータ線対ＤＱｉと接続された、所属の通常の列ＣＬを有する各々４つの通常の読み出し増幅器ＳＡｉの別の（図示していない）グループを有している。しかし、作動中、通常の列ＣＬの１つしか作動されないので、その結果、そのメモリセルＭＣ内にデータを読み込んだり、又は、メモリセルから読み出したりすることができる。
【００１９】
図１のメモリは、更に４つの第１の冗長読み出し増幅器ＲＳＡ０．．３を有しており、冗長読み出し増幅器は、ｎチャネルタイプの第３のトランジスタＴ３を介して第１の冗長ビット線対ＲＢＬ１と接続されている。第１の冗長ビット線対ＲＢＬ１は、冗長列ＲＣＬを形成する。第１の冗長読み出し増幅器ＲＳＡ０．．３は、各々第４の、ｎチャネルタイプのトランジスタＴ４（そのゲートは、同様に活性化信号ＡＣＴに接続されている）を介して、各データ線対ＤＱｉの各々１つに接続されている。第３のトランジスタＴ３のゲートは、冗長列選択信号ＲＣＳＬ０と接続されている。
【００２０】
付加的に、図１の集積メモリは、第２の冗長読み出し増幅器ＲＳＡ４を有しており、第２の冗長読み出し増幅器は、一方では、４つの第２の冗長ビット線対ＲＢＬ２と、ｎチャネルタイプの第５のトランジスタ、一方では、４つの第２の冗長ビット線対ＲＢＬ２と、ｎチャネルタイプの第５のトランジスタＴ５を介して接続されており、他方では、ｎチャネルタイプの第６のトランジスタＴ６並びに第２のプログラミング可能な接続要素／Ｆｉを介して、全てのデータ線対ＤＱｉと接続されている。各第２の冗長ビット線対ＲＢＬ２の両第５のトランジスタＴ５のゲートは、各々１つの別の冗長列選択信号ＲＣＳＬ．．４と接続されている。第６のトランジスタＴ６のゲートは、同様に活性化信号ＡＣＴと接続されている。
【００２１】
ここで考察しているメモリでは、正常かつ冗長読み出し増幅器ＳＡｉ，ＲＳＡｉは、差動読み出し増幅器であり、差動読み出し増幅器は、一方では、ビット線対ＢＬ，ＲＢＬｉと接続されており、他方では、データ線対ＤＱｉと接続されている。しかし、本発明は、差動により作動しない読み出し増幅器を有しているメモリにも使用可能であり、このメモリは、書き込みアクセス又は読み出しアクセス時にデータを伝送するために、一方では、ビット線対の代わりに１本のビット線とだけ接続されており、他方では、データ線対の代わりに１本のデータ線と接続されている。
【００２２】
図１の冗長列ＲＣＬは、冗長時に通常の各列ＣＬの１つを代替するために使用される。通常の列ＣＬ内に欠陥が検出されると、この列に配属された列選択信号ＣＳＬｉがアドレッシング時に、この列を抑制し、その代わりに、冗長列選択信号ＲＣＳＬ０を活性化する。従って、第１の冗長ビット線対ＲＢＬ１と接続された冗長メモリセルＲＭＣが、通常のメモリセルＭＣの代わりに選択される。通常の読み出し増幅器ＳＡｉは、しかし、更に、それ以外の通常の、欠陥を有していない列ＣＬから伝送、又は、列ＣＬに伝送するのに使用される。
【００２３】
第２の冗長読み出し増幅器ＲＳＡ４は、通常の各読み出し増幅器ＳＡｉの１つの修理に使用される。第２の冗長読み出し増幅器ＲＳＡ４は、この読み出し増幅器を、この読み出し増幅器と共に、第１のトランジスタＴ１を介して、この読み出し増幅器に接続されたビット線対ＢＬに代替する。このために、各列選択信号ＣＳＬｉに対して同時に、別の冗長列選択信号ＲＣＳＬ１．．４の各々１つが活性化される。例えば、通常の読み出し増幅器ＳＡ０が、図１の左側全てに欠陥がある場合、先ず、それと接続された第１の接続要素Ｆ１が非導電状態にスイッチング乃至分離されて、それをデータ線対ＤＱ０から切り離す。更に、第２の接続要素／Ｆ２，／Ｆ３及び／Ｆ４が分離され、その結果、第２の冗長読み出し増幅器ＲＳＡ４は、更にデータ線対ＤＱ０とだけ接続されており、代替すべき通常の読み出し増幅器ＳＡ０に配属されている。図１に示されていない冗長列復号器は、別の冗長列選択信号ＲＣＳＬＩ１．．４を、通常の列選択信号ＣＳＬｉに依存して形成するようにプログラミングされている。この実施例では、通常の４つの読み出し増幅器ＳＡｉの修理のために、冗長列復号器が、別の列選択信号ＲＣＳＬ１．．４の各々が列選択信号ＣＳＬｉの１つと一致するようにプログラミングされる。
【００２４】
接続要素Ｆｉ，／Ｆｉは、この実施例ではレーザフューズであり、このレーザフューズは、メモリの製造後に初めて導電状態となる。メモリテストの実施後、接続要素の各々を、レーザビームを用いて切り離すことができ、その結果、各接続要素は非導電状態となる。しかし、各接続要素は、他のやり方で形成してもよく、例えば、制御電位が冗長プログラミングに依存してレジスタ内に記憶されるトランジスタによって形成してもよい。従って、リバーシブルプログラミング可能な接続要素である。
【００２５】
図２には、図１に示したメモリの本発明の修理方法の実施例が示されている。先ず、通常のメモリセルＭＣが検査される。これは、データ線対ＤＱｉ、通常の読み出し増幅器ＳＡｉ及び通常のビット線対ＢＬを介してデータをメモリセルＭＣ内に書き込み、続いて、このメモリセルから逆方向に読み出すことによって行われる。その際、通常の読み出し増幅器の１つの欠陥が検出されると、この読み出し増幅器が、第２の冗長読み出し増幅器ＲＳＡ４によって、上述のようにして代替される。それに対して、通常の読み出し増幅器に欠陥はないが、しかし、通常の列ＣＬ内に欠陥が検出された場合、当該の通常の列ＣＬが冗長列ＲＣＬによって代替され、その際、第１の冗長読み出し増幅器ＲＳＡ０．．３が使用される。
【００２６】
図１に示されたメモリは、従って、有利には種々の種類の誤り、即ち、一方では、通常の列の１つの内部の欠陥、他方では、通常の読み出し増幅器ＳＡｉの１つの欠陥を最適に修理するのに適している。実際には、冗長読み出し増幅器ＲＳＡｉは、各々多数の通常の読み出し増幅器ＳＡｉに配属されている。従って、極めて僅かな冗長読み出し増幅器ＲＳＡｉ及びそれと接続された冗長ビット線対ＲＢＬｉが、通常の読み出し増幅器ＳＡｉ及びそれと接続された通常のビット線ＢＬとして設けられている。
【００２７】
図１に示されたメモリでは、通常の各列ＣＬのビット線対ＢＬは、各々相互に隣接して配設されている。従って、通常のビット線対、通常の読み出し増幅器の各々は、それ以外の通常のビット線対と相互に入り組んで配設されている。こうすることによって、有利には、メモリテストの実施後、テスト結果及びその際検出された誤りパターンを用いて、欠陥が通常列ＣＬの１つの内部の欠陥か、又は、通常の読み出し増幅器ＳＡｉの１つの欠陥があるかどうか検出される。即ち、実際には、集積メモリの製造プロセスの際に生じた汚染に起因して誤りが生じることが屡々ある。その種の、例えば、塵粒子の形式での汚染により、相互に隣接して配設された複数のビット線に同時に欠陥が生じることが屡々ある。図１に示されたメモリでは、その通常のビット線ＢＬの幾何学的な配置構成に基づいて、上述の誤りが、通常の列ＣＬの１つの内部に生じているのか、通常の読み出し増幅器ＳＡｉの１つの誤りが生じているのか容易に区別することができる。後者の場合、つまり、この通常の読み出し増幅器ＳＡｉと接続された全てのビット線対ＢＬに誤りが生じる。しかし、この通常の読み出し増幅器は、本発明によると、互いに並列してでなく、それ以外の通常のビット線対と相互に入り組んで配設されているので（通常の列ＣＬのビット線対が、各々相互に隣接して配設されているので）、そのような誤りは、製造プロセスの間、典型的な汚染によって引き起こされることはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の集積メモリの実施例
【図２】  本発明の修理方法の実施例
【図１】
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【図２】
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