(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の凹部が複数形成された第１の面を有する第１の基材と、第２の凹部が複数形成された第２の面を有する光透過性の第２の基材とを備え、前記第１の面と前記第２の面とが対向するように前記第１の基材と前記第２の基材とが配置されている光学素子であって、
前記第１の凹部において第１の反射領域が形成され、且つ、前記第２の凹部において第２の反射領域が形成されており、
前記第２の基材を透過した光のうちの少なくとも一部は、前記第１の反射領域および前記第２の反射領域のうちの少なくとも一方の反射領域において反射される光学素子。
【請求項２】
前記第１の面には前記第１の凹部と平坦部とが形成されており、前記第２の面には前記第２の凹部と平坦部とが形成されており、前記第１の凹部と前記第２の凹部とは互いに対して対向しないように配置されている請求項１に記載の光学素子。
【請求項３】
前記第１の凹部と前記第２の凹部とは、実質的に同一形状を有している請求項１または２に記載の光学素子。
【請求項４】
前記第１の凹部および前記第２の凹部は三角錐形状を有し、前記第１の凹部および前記第２の凹部によってコーナーキューブが形成されている請求項１から３のいずれかに記載の光学素子。
【請求項５】
前記第２の基材を透過した光のうちの少なくとも一部は、前記第１の反射領域と前記第２の反射領域との両方において反射され、これにより、前記反射された光は入射方向と実質的に同一の方向に進む請求項４に記載の光学素子。
【請求項６】
前記第１の反射領域および第２の反射領域は、金属膜によって形成されている請求項１から５のいずれかに記載の光学素子。
【請求項７】
前記第２の反射領域は、前記第２の基材よりも屈折率が低い材料を用いて形成されている請求項１から５のいずれかに記載の光学素子。
【請求項８】
前記第１の凹部に形成された第１の反射領域上において前記第１の凹部を埋める部材を備え、前記第１の反射領域は、前記第１の凹部を埋める部材よりも屈折率が低い材料を用いて形成されている請求項７に記載の光学素子。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載の光学素子を備える反射型表示装置であって、
前記第１の基材と前記第２の基材との間に挟持される光変調層を有する反射型表示装置。
【請求項１０】
前記光変調層は、散乱型液晶から形成される請求項９に記載の反射型表示装置。
【請求項１１】
前記第１の基材の第１の凹部を埋める第１の平坦化部材と、前記第２の基材の第２の凹部を埋める第２の平坦化部材とをさらに有し、前記散乱型液晶が前記第１の平坦化部材によって平坦化された面と第２の平坦化部材によって平坦化された面との間に挟持される請求項１０に記載の反射型表示装置。
【請求項１２】
前記散乱型液晶は、前記第１の基材に形成された前記第１の凹部に充填されている請求項１０に記載の反射型表示装置。
【請求項１３】
請求項４または５に記載の光学素子と、
前記光学素子と対向するように設けられた透明基板と、
前記光学素子と前記透明基板との間に挟持され、光散乱状態または光透過状態に制御される光変調層とを備える、反射型表示装置。
【請求項１４】
互いに略直交する３つの略正方形の表面を有する立方体型コーナーキューブのアレイであって、
互いに直交する略二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凹部を有する基材と、
前記基材に設けられた、互いに直交する略二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凸部と
を備え、
前記コーナーキューブの前記３つの略正方形の表面のそれぞれは、略直角二等辺三角形の第１の面と略直角二等辺三角形の第２の面とによって構成され、
前記略直角二等辺三角形の第１の面は、前記複数の凹部における前記略二等辺三角形の３面のうちのいずれかであり、前記略直角二等辺三角形の第２の面は、前記複数の凸部における前記略二等辺三角形の３面のうちのいずれかであるコーナーキューブアレイ。
【請求項１５】
前記基材は、前記凹部と平坦部とを有し、前記凸部は前記平坦部上に固定されている請求項１４に記載のコーナーキューブアレイ。
【請求項１６】
第１基材および光透過性の第２基材を備えた光学素子の製造方法であって、
第１の基材の第１の面に第１の凹部を複数形成し、かつ、前記第１の凹部に第１の反射領域を形成する工程と、
第２の基材の第２の面に第２の凹部を複数形成し、かつ、前記第２の凹部に第２の反射領域を形成する工程と、
前記第１の反射領域と前記第２の反射領域とが重ならないように、前記第１の基材の前記第１の面と前記第２の基材の前記第２の面とを対向させる工程と
を包含する光学素子の製造方法。
【請求項１７】
実質的に互いに直交する三角形の３面から形成される三角錐形状の第１の凹部が複数形成された第１の基材を用意する工程と、
実質的に互いに直交する三角形の３面から形成される三角錐形状の第２の凹部が複数形成された第２の基材を用意する工程と、
前記複数の第１の凹部と、前記複数の第２の凹部とが、互いに略直交する３つの略正方形の表面を有する立方体型コーナーキューブのアレイを形成するように、前記第１の基材と前記第２の基材とを配置させる工程と
を包含し、
前記立方体型コーナーキューブの前記３つの略正方形の表面のそれぞれは、前記複数の第１の凹部における前記三角形の３面のうちのいずれかの面と、前記複数の第１の凹部における前記三角形の３面のうちのいずれかの面とによって構成されるコーナーキューブアレイの製造方法。
【請求項１８】
前記第１の凹部の前記直交する三角形の３面のそれぞれに反射領域を形成する工程と、
前記第２の凹部の前記直交する三角形の３面のそれぞれに反射領域を形成する工程とをさらに包含し、
前記第１の凹部に設けられた反射領域と前記第２の凹部に設けられた反射領域とのうち、一方が凹型反射領域として用いられ、他方が凸型反射領域として用いられるように、前記第１の凹部に設けられた反射領域と前記第２の凹部に設けられた反射領域とを実質的に連続するように位置させる請求項１７に記載のコーナーキューブアレイの作製方法。
【請求項１９】
前記第１の基材と前記第２の基材とを配置させる工程の前に、前記第１の基材の前記三角錐形状の第１の凹部を、前記第１の凹部の形状に対応した形状を有する三角錐形状の凸部で埋める工程と、
前記第１の基材と前記第２の基材とを配置させる工程の後に、前記三角錐形状の凸部を前記第１の基材上に固定する工程と
をさらに包含する請求項１７に記載のコーナーキューブアレイの作製方法。
【請求項２０】
コーナーキューブアレイの作製方法であって、
互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凹部を所定の面において有する基材を用意する工程と、
前記基材の所定の面上に、互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凸部を設ける工程とを包含し、
前記三角錐形状の複数の凸部を設ける工程は、前記複数の凸部を保持する保持部材を前記基材の所定の面上に配置させる工程と、前記保持部材から前記基材の所定の面上に前記複数の凸部を転写する工程とを包含するコーナーキューブアレイの作製方法。
【請求項２１】
コーナーキューブアレイの作製方法であって、
互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凹部を有する基材を用意する工程と、
前記基材の所定の面上に、互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凸部を設ける工程とを包含し、
前記三角錐形状の複数の凸部を設ける工程は、前記複数の凸部を保持する保持部材を前記基材の所定の面上に配置させる工程と、前記保持部材を溶かすことによって前記複数の凸部を基材の所定の面上に残す工程とを包含するコーナーキューブアレイの作製方法。
【請求項２２】
前記基材を用意する工程は、
母材の３方向に溝を形成する工程と、
前記溝が形成された母材の凹凸形状を転写材に転写することにより、前記転写材に複数の凹部を形成する工程と、
前記転写材に形成された前記複数の凹部を１つおきに埋めることにより、前記基材を得る工程と
を包含する請求項２０または２１に記載のコーナーキューブアレイの作製方法。
【請求項２３】
前記基材を用意する工程は、
立方晶単結晶基板の｛１１１｝面を異方性エッチングすることにより、前記基材を得る工程を包含する請求項２０または２１に記載のマイクロコーナーキューブアレイ作製方法。
【請求項２４】
前記基材を用意する工程は、
母材に対して、互いに直交する二等辺三角形の３面からなる三角錐形状の凸部を有したピンを押し付けることにより、前記基材を得る工程を包含する請求項２０または２１に記載のマイクロコーナーキューブアレイ作製方法。
【請求項２５】
請求項２０から２４のいずれかの方法を用いて作製されたマイクロコーナーキューブアレイ。
【請求項２６】
請求項２０から２４のいずれかの方法を用いて作製されたマイクロコーナーキューブアレイ金型。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、反射機能を備える光学部材及びこれを用いた反射型表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、レンズ径が極めて小さいマイクロレンズやマイクロレンズアレイが開発されており、光通信や表示装置の分野での利用が進められている。また、このようなマイクロレンズやマイクロレンズアレイとともに、マイクロミラーやマイクロプリズム等のマイクロ光学素子の開発も進められており、これらのマイクロ光学素子の実現によって、光学技術及びディスプレイ技術の分野が一段と発展・充実することが期待されている。
【０００３】
このようなマイクロ光学素子として形成された再帰性反射板を備える反射型液晶表示装置が、例えば、特開平１１−７００８号公報や特開２０００−１９４９０号公報などに記載されている。再帰性反射板を用いれば、光の入射方向と同じ方向に光を反射（すなわち再帰反射）させることができる。このため、上記反射型液晶表示装置では、使用者の目には、使用者の近傍から発せられた光の反射光が選択的に届き、外部のライトや太陽などの光源から発せられる光の反射光が届くことは防止される。これにより、外光の映り込みを抑えることができ、視認性を向上させることができる。また、この反射型液晶表示装置ではこのような再帰性反射板を用いて外光の映り込みを低減しているので、反射板の反射率を敢えて低下させるなどの方法によって反射光の強度を低下させる必要がない。これにより、明るくコントラストの高い表示を実現することが可能である。
【０００４】
反射型液晶表示装置で用いられる再帰性反射板は、例えば、コーナーキューブアレイなどのマイクロ光学素子によって形成される。コーナーキューブは立方体の一隅を形成する形状を有し、典型的には、互いに直交する３つの反射面を有し、入射された光を複数の反射面で反射することによって、入射方向にかかわらず光を元の方向に反射させることができる光学素子である。以下、図１を参照しながら、コーナーキューブアレイを用いて形成された再帰性反射板を備える従来の反射型液晶表示装置８０の構成を説明する。
【０００５】
反射型液晶表示装置８０は、コーナーキューブアレイ８３が設けられた基板８２と、観察者側に位置する透明基板８１と、これらの基板８１，８２の間に挟持された高分子散乱型液晶層８４とを備える。コーナーキューブアレイ８３上には金属反射膜８５が形成されており、黒表示時において、透明基板８１および光透過状態に制御された高分子散乱型液晶層８４を透過してきた光を、その入射方向と同じ方向に反射することができる。コーナーキューブアレイ８３の凹部は、透明平坦化部材８６によって埋められており、この平坦化部材８６の上に透明電極８７が形成されている。また、透明基板８１の液晶層側には、カラーフィルタ層８８および透明電極８９が設けられている。反射型液晶表示装置８０では、透明電極８７，８９間に印加する電圧を制御することによって、高分子散乱型液晶層８４の光透過性（または散乱状態）を制御し、これにより、画像の表示を行なう。
【０００６】
表示装置８０において用いられるコーナーキューブのサイズＬ１は、画素サイズＬ２以下であることが好ましい。このため、画素サイズＬ２が１００μｍ程度の表示装置に対して用いる場合、コーナーキューブのサイズＬ１は数十μｍ以下であることが望ましい。例えば、特開平１１−７００８号公報において、四角錐形状の凹部のアレイを形成する場合において、最小サイズで、上縁部の一辺が５μｍ程度の四角錐状凹部を形成することが記載されている。
【０００７】
従来の反射型液晶表示装置において採用される再帰性反射板の形状は、三角錐状凹部、四角錐状凹部、または球状凹部などであることが多い。上述のような数十μｍ以下というようなサイズで且つ形状精度高く作製することができる光学素子の形状には限りがあった。凹部のみまたは凸部のみからなる形状の光学素子であれば、形成することは比較的容易である。また、高解像度を実現するために画素サイズの微細化が進められている表示装置の分野においては、サイズが非常に小さく、かつ、形状精度の高いマイクロコーナーキューブを作製することが求められるが、このような微細なコーナーキューブとして複雑な形状を有するものを作製することは困難であった。
【０００８】
一方、道路標識などにおいて用いられる比較的サイズの大きい再帰性反射板としては、より複雑な形状を有するコーナーキューブを用いたものが知られている。以下、図２（ａ）〜（ｃ）を参照しながら、このようなより複雑な形状を有するコーナーキューブの構成を説明する。
【０００９】
図に示すように、コーナーキューブ９０は、実質的に互いに直交する３つの略正方形の反射面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を備えた構造を有する。コーナーキューブ９０に入射された光は、図２（ｃ）に示すように、例えば３面Ｓ２，Ｓ３，Ｓ１で反射され、入射方向と同一の方向に反射される。なお、コーナーキューブ９０において、略正方形である各反射面Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３は、立方体の６面における共通する頂点を有する３面に対応している。図２（ａ）に示すように、コーナーキューブ９０は、○で示す最頂点を有する凸部９２（×で示す中位点によって規定されるレベルよりも上側にある部分）と、●で示す最底点を有する凹部９４（×で示す中位点によって規定されるレベルよりも下側にある部分）とによって構成されている。
【００１０】
このようなコーナーキューブ９０（以下、立方体型コーナーキューブと称する）は、凸部９２と凹部９４とを備えた形状を有しているため、特開平１１−７００８号公報等で記載されている三角錐状などの凹部もしくは凸部のみから形成される光学素子に比べて、作製することがより困難である。以下、図２に示した立方体型コーナーキューブアレイの従来の製造方法を説明する。
【００１１】
（ピン結束法）
ピン結束法では、六角柱形状を有する金属のピンの先端に、互いに直交する正方形の３面を有するプリズムを設け、それらを何本も束ねてプリズム集合体を作製する。近接する３つのピンのそれぞれに設けられたプリズムの各１面ずつを用いて立方体型コーナーキューブが形成される。
【００１２】
ただし、この方法では、別々のピンに形成されたプリズムを集めてコーナーキューブアレイを形成するため、サイズの小さいコーナーキューブを作製することは実際には困難である。この方法を用いて作製できるコーナーキューブの寸法（図２（ｂ）に示すＬ３に相当する寸法）は１ｍｍ程度が限界であり、数十μｍサイズの立方体型コーナーキューブを形成することは困難である。
【００１３】
（プレート法）
プレート法では、互いに平行な二平面を持つ平板を複数枚重ねあわせ、この重ね合わせた平板の端面において、平面に対して直角な方向に等しいピッチでＶ溝を切削して頂角が約９０°の連続する屋根型の突起群を形成する。次に、各々の平板上に形成された屋根型突起群の屋根の頂部を、隣接する平板上に形成されたＶ溝の底部に一致させるように移動させることによって立方体型コーナーキューブアレイ用の金型を作製する。
【００１４】
ただし、この方法では、屋根型の突起が形成された平板を隣接する平板に対して適切な位置関係を有するように精度良く並べ換えて固定する必要がある。以上のように、１００μｍ以下のサイズを有する微細な立方体型コーナーキューブを形成することは困難であった。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、反射型液晶表示装置の再帰性反射板において用いられるコーナーキューブは、画素サイズ以下のサイズを有する必要があるため、比較的容易に作製できる三角錐状の凹部のみまたは凸部のみなどから形成されていた。しかしながら、このような三角錐状の凹部のみあるいは凸部のみから形成されるコーナーキューブ（以下、三角錐型コーナーキューブと称する）を用いる場合、上述した立方体型コーナーキューブを用いる場合に比べて、入射光を再帰反射させる効率が低くなる。以下、図３（ａ）〜（ｄ）を参照しながら、三角錐型コーナーキューブおよび立方体型コーナーキューブのそれぞれを用いた場合における光の反射について説明する。
【００１６】
図３（ａ）および（ｂ）は、三角錐型コーナーキューブ９６を示し、図３（ｃ）および（ｄ）は、立方体型コーナーキューブ９８を示す。図３（ｂ）に示すように、三角錐型コーナーキューブ９６では、コーナーキューブの中央部に入射した光Ａは図において点線で示すように再帰反射されるが、開口部を規定する三角形の頂点付近（角部）に入射した光Ｂは再帰反射されない。このため、三角錐型コーナーキューブ９６では、図３（ａ）に示すように、その角部において非再帰領域９６ａが形成される。これに対し、図３（ｄ）に示すように、立方体型コーナーキューブ９８では、角部に入射した光であっても、再帰反射される。従って、立方体型コーナーキューブ９８では、反射面における再帰反射可能領域が広く、入射される光のより多くを適切に再帰反射することが可能である。
【００１７】
このように三角錐型コーナーキューブには非再帰領域が存在するため、反射型表示装置において三角錐型コーナーキューブの再帰性反射板を用いた場合、黒表示時に液晶層を透過した光の一部は再帰反射されず、入射方向と異なる方向に反射されることがあった。このことにより、使用者から離れたところから発せられる光の反射光の一部が使用者の目に届くことになり、これによってコントラストの低下が観察されるという問題が生じる。
【００１８】
このような問題は、外光の映り込みを防止することを目的として再帰性反射板を用いている場合、特に大きな問題にはされていなかったことである。なぜなら、三角錐型コーナーキューブから形成される再帰性反射板であっても、コーナーキューブの大部分において入射光は再帰反射されるため、外光の正反射光が使用者の目に届くことを防止するという効果は十分に得られたからである。
【００１９】
反射型表示装置においてコントラストの低下を防ぐためには、立方体型コーナーキューブによって形成された再帰性反射板を用いて、より高い効率で入射光を再帰反射させることが望ましい。しかし、上述した従来の立方体型コーナーキューブの製造方法では、比較的サイズの大きい立方体型コーナーキューブを作製することは可能であるが、１００μｍ以下の微細な立方体型コーナーキューブを作製することは実際には不可能である。このことから、液晶表示装置に用いる再帰性反射板として立方体型コーナーキューブアレイを利用することは困難であった。
【００２０】
また、立方体型コーナーキューブアレイ以外の他のマイクロ光学素子を作製する場合においても、複雑な形状を有する光学素子を微小なサイズで、かつ、形状精度高く作製することは非常に困難であるという問題があった。
【００２１】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、所望の機能を実現できるとともに微細なサイズで作製することができる光学素子およびこれを用いた反射型表示装置を提供することをその目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明の光学素子は、第１の凹部が複数形成された第１の面を有する第１の基材と、第２の凹部が複数形成された第２の面を有する光透過性の第２の基材とを備え、前記第１の面と前記第２の面とが対向するように前記第１の基材と前記第２の基材とが配置されている光学部材であって、前記第１の凹部において第１の反射領域が形成され、且つ、前記第２の凹部において第２の反射領域が形成されており、前記第２の基材を透過した光のうちの少なくとも一部は、前記第１の反射領域および前記第２の反射領域のうちの少なくとも一方の反射領域において反射される。
【００２３】
好ましい実施形態において、前記第１の面には前記第１の凹部と平坦部とが形成されており、前記第２の面には前記第２の凹部と平坦部とが形成されており、前記第１の凹部と前記第２の凹部とは互いに対して対向しないように配置されている。
【００２４】
好ましい実施形態において、前記第１の凹部と前記第２の凹部とは、実質的に同一形状を有している。
【００２５】
好ましい実施形態において、前記第１の凹部および前記第２の凹部は三角錐形状を有し、前記第１の凹部および前記第２の凹部によってコーナーキューブが形成されている。
【００２６】
好ましい実施形態において、前記第２の基材を透過した光のうちの少なくとも一部は、前記第１の反射領域と前記第２の反射領域との両方において反射され、これにより、前記反射された光は入射方向と実質的に同一の方向に進む。
【００２７】
好ましい実施形態において、前記第１の反射領域および第２の反射領域は、金属膜によって形成されている。
【００２８】
好ましい実施形態において、前記第２の反射領域は、前記第２の基材よりも屈折率が低い材料を用いて形成されている。
【００２９】
好ましい実施形態において、前記第１の凹部に形成された第１の反射領域上において前記第１の凹部を埋める部材を備え、前記第１の反射領域は、前記第１の凹部を埋める部材よりも屈折率が低い材料を用いて形成されている。
【００３０】
本発明の反射型表示装置は、上記いずれかの光学素子を備える反射型表示装置であって、前記第１の基材と前記第２の基材との間に挟持される光変調層を有する。
【００３１】
好ましい実施形態において、前記光変調層は、散乱型液晶から形成される。
【００３２】
好ましい実施形態において、前記第１の基材の第１の凹部を埋める第１の平坦化部材と、前記第２の基材の第２の凹部を埋める第２の平坦化部材とをさらに有し、前記散乱型液晶が前記第１の平坦化部材によって平坦化された面と第２の平坦化部材によって平坦化された面との間に挟持される。
【００３３】
好ましい実施形態において、前記散乱型液晶は、前記第１の基材に形成された前記第１の凹部に充填されている。
【００３４】
本発明の反射型表示装置は、上記第１の凹部および第２の凹部によってコーナーキューブが形成されている光学素子と、前記光学素子と対向するように設けられた透明基板と、前記光学素子と前記透明基板との間に挟持され、光散乱状態または光透過状態に制御される光変調層とを備える。
【００３５】
本発明のコーナーキューブのアレイは、互いに略直交する３つの表面を有し、前記コーナーキューブの前記３つの表面のそれぞれは、基材に形成された凹部が有する第１の面と、前記凹部に隣接するように前記基材上に設けられた凸部が有する第２の面とを含む。
【００３６】
好ましい実施形態において、前記基材は、前記凹部と、前記凹部に隣接する平坦部とを有し、前記凸部は前記平坦部上に固定されている。
【００３７】
好ましい実施形態において、前記凹部が有する前記第１の面および前記凸部が有する前記第２の面のそれぞれは略直角二等辺三角形の平面形状を有し、前記コーナーキューブの前記３つの表面のそれぞれは略正方形である。
【００３８】
本発明の光学素子の製造方法は、第１の基材に所定のパターンで第１の凹部を複数形成し、かつ、前記第１の凹部に第１の反射領域を形成する工程と、第２の基材に、前記所定のパターンに対応するパターンで第２の凹部を複数形成し、かつ、前記第２の凹部に第２の反射領域を形成する工程と、前記第１の凹部が形成された面と前記第２の凹部が形成された面とが向き合うように前記第１の基材と前記第２の基材とを配置させる工程とを包含する。
【００３９】
本発明のコーナーキューブアレイの製造方法は、実質的に互いに直交する三角形の３面から形成される三角錐形状の第１の凹部が複数形成された第１の基材を用意する工程と、実質的に互いに直交する三角形の３面から形成される三角錐形状の第２の凹部が複数形成された第２の基材を用意する工程と、前記複数の第１の凹部が形成された面と前記複数の第２の凹部が形成された面とが向き合うように、前記第１の基材と前記第２の基材とを配置させる工程とを包含し、前記複数の第１の凹部によって規定される複数の第１の三角形の面と、前記複数の第２の凹部によって規定される複数の第２の三角形の面とによって構成される複数の立方体型コーナーキューブ形状に対応したコーナーキューブのアレイを作製することを特徴とする。
【００４０】
好ましい実施形態において、前記第１の凹部の前記直交する三角形の３面のそれぞれに反射領域を形成する工程と、前記第２の凹部の前記直交する三角形の３面のそれぞれに反射領域を形成する工程とをさらに包含し、前記第１の凹部に設けられた反射領域と前記第２の凹部に設けられた反射領域とのうち、一方が凹型反射領域として用いられ、他方が凸型反射領域として用いられるように、前記第１の凹部に設けられた反射領域と前記第２の凹部に設けられた反射領域とを実質的に連続するように位置させる。
【００４１】
好ましい実施形態において、前記第１の基材と前記第２の基材とを配置させる工程の前に、前記第１の基材の前記三角錐形状の第１の凹部を、前記第１の凹部の形状に対応した形状を有する三角錐状の凸部で埋める工程と、前記第１の基材と前記第２の基材とを配置させる工程の後に、前記三角錐状の凸部を前記第１の基材上に固定する工程とをさらに包含する。
【００４２】
本発明のコーナーキューブアレイの製造方法は、互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凹部を所定の面において有する基材を用意する工程と、前記基材の所定の面上に、互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凸部を設ける工程とを包含し、前記三角錐状の複数の凸部を設ける工程は、前記複数の凸部を保持する保持部材を前記基材の所定の面上に配置させる工程と、前記保持部材から前記基材の所定の面上に前記複数の凸部を転写する工程とを包含する。
【００４３】
本発明のコーナーキューブアレイの製造方法は、互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凹部を有する基材を用意する工程と、前記基材の所定の面上に、互いに直交する二等辺三角形の３面を有する三角錐形状の複数の凸部を設ける工程とを包含し、前記三角錐状の複数の凸部を設ける工程は、前記複数の凸部を保持する保持部材を前記基材の所定の面上に配置させる工程と、前記保持部材を溶かすことによって前記複数の凸部を基材の所定の面上に残す工程とを包含する。
【００４４】
好ましい実施形態において、前記基材を用意する工程は、母材の３方向に溝を形成する工程と、前記溝が形成された母材の凹凸形状を転写材に転写する工程と、前記転写材に形成された凹部を１つおきに埋める工程とを包含する。
【００４５】
好ましい実施形態において、前記基材を用意する工程は、立方晶単結晶基板の｛１１１｝面を異方性エッチングする工程を包含する。
【００４６】
好ましい実施形態において、前記基材を用意する工程は、母材に対して、互いに直交する２等辺３角形３面からなる３角錐状の凸部を有したピンを押し付ける工程を包含する。
【００４７】
本発明のマイクロコーナーキューブアレイまたはマイクロコーナーキューブアレイの金型は、上記いずれかの方法を用いて作製されている。
【００４８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。なお、図面を通じて同様の機能を有する部材には同一の参照符号を付している。
【００４９】
（実施形態１）
本実施形態では、微細な立方体型コーナーキューブのアレイによって構成される再帰性反射板について説明する。
【００５０】
図４（ａ）および（ｂ）は、本実施形態の再帰性反射板を作製するために用いられる金型４０を示す。この金型４０は、三角錐の凸部を有する高硬度のピンを切削加工によって作製し、このピンを金属板に対して所定のピッチで多数回型押しした後、この金属板を用いて電鋳法によって凹部と凸部とを反転させることにより形成されている。図４（ａ）および（ｂ）に示すように、金型４０の表面には、複数の微細な三角錐状凸部４２（三角錐の底面の一辺が例えば５０μｍ程度）が平坦部４４と交互に配置するように形成されている。この三角錐状凸部４２は、好ましくは、互いに直交する３面を備える形状（三角錐型コーナーキューブ）とされる。
【００５１】
図５は、図４に示した金型を用いて作製される再帰性反射板５０を示す。本実施形態の再帰性反射板５０は、図５（ａ）および（ｂ）に示す上側部分５０ａと、図５（ｃ）および（ｄ）に示す下側部分５０ｂとを、図５（ｅ）および（ｆ）に示すように貼り合わせることによって形成されている。以下、再帰性反射板５０の構成を説明する。
【００５２】
図５（ａ）および（ｂ）に示すように、上側部分５０ａは、ガラスなどから形成される透明基板１と、この透明基板１の一方の面上において設けられた透明樹脂層２とを有している。透明樹脂層２の表面には、微細な三角錐状凹部５２のアレイが形成されている。なお、三角錐状凹部５２が並んだ方向において、透明樹脂層２の表面には三角錐状凹部５２と平坦部５４とが交互に配置されている。
【００５３】
このような三角錐状凹部５２を有する透明樹脂層２は、透明基板１上に紫外線硬化性の透明樹脂材料を設け、この透明樹脂材料に対して図４に示した金型を用いて型押しを行ない、その後、紫外線を照射して透明樹脂材料を硬化させることによって形成される。透明樹脂材料としては、例えば、株式会社アーデル製の商品名Ｖ３００（屈折率１．５２）を使用することができる。硬化条件は、例えば、露光温度が５０℃で、紫外線露光量は５０ｍＷ／ｃｍ2×６０秒である。
【００５４】
次に、このようにして形成された透明樹脂層２の平坦部分５４上をマスクで覆い、三角錐状凹部５２のみに金属反射膜３を形成する。金属反射膜３は、例えば、アルミニウム膜を真空蒸着装置にて１００ｎｍの厚さで堆積させることによって形成される。金属反射膜３は、銀等の他の金属によって形成されていてもよい。なお、この反射膜の凹凸の程度は、光を鏡面反射させることができる程度に小さいことが望ましい。
【００５５】
一方、下側部分５０ｂもまた、基板５の片面に、複数の三角錐状凹部５２が配列された樹脂層４が設けられた構成を有しており、上側部分５０ａと同様の方法によって作製することができる。本実施形態では、上側部分５０ａに形成される三角錐状凹部の形状と下側部分５０ｂに形成される三角錐状凹部の形状とは実質的に同じである。ただし、下側部分５０ｂを構成する基板５および樹脂層４は、上側部分５０ａを構成する基板１および樹脂層４のように透明である必要はない。再帰性反射板５０では、再帰反射させるべき光が入射する側の部材（この例では上側部分５０ａ）が透明であればよい。
【００５６】
また、下側部分５０ｂの樹脂層４の三角錐状凹部５２にも金属反射膜３を形成するが、この金属反射膜３も上側部分５０ａに設けた金属反射膜３と同様にして形成することができる。ただし、下側部分５０ｂでは、樹脂層４の三角錐状凹部５２に金属反射膜３が設けられている限り、樹脂層４の平坦部５４には、金属反射膜３が設けられていてもいなくても何れでもよい。
【００５７】
次に、上側部分５０ａおよび下側部分５０ｂにおける反射膜３が形成された凹部５２を透明平坦化部材６によって埋め、樹脂が設けられた側の表面を平坦化する。この透明平坦化部材６は、凹部５２に塗布された紫外線硬化樹脂を紫外線照射によって硬化させることによって形成される。なお、この平坦化部材６は、例えば、上記透明樹脂層２と同じ材料から形成される。
【００５８】
こうして形成した上側部分５０ａと下側部分５０ｂとを、樹脂が設けられた側が対向するように貼り合せる（図５（ｅ）および（ｆ）参照）。このとき、上側部分５０ａの凹部５２（または平坦化部材６）と下側部分５０ｂの平坦部５４とが対向し、かつ、上側部分５０ａの平坦部５４と下側部分５０ｂの凹部５２（または平坦化部材６）とが対向するように両部分５０ａ，５０ｂを位置合わせした状態で貼り合わせる。これにより、各部分５０ａ，５０ｂにおける凹部５２は、基板面に垂直な方向において互いに重ならないように配置される。なお、貼り合せ方法としては、上側部分５０ａの表面に紫外線硬化接着剤を塗布し、ＵＶ（紫外線）プレス機を用いて接着剤に紫外線を照射しながら両部分５０ａ，５０ｂを加圧することによって貼り合せる方法を採用することができる。接着剤としては、株式会社アーデル製の商品名オプトクレーブＭＯ５を使用することができる。貼り合せ条件は、例えば、圧力が０．９Ｋｇ／ｃｍ2で、紫外線露光量は８ｍＷ／ｃｍ2×６００秒である。
【００５９】
このようにして、上側部分５０ａと下側部分５０ｂとから構成される再帰性反射板５０が形成される。再帰性反射板５０において、上側部分５０ａにおいて設けられた反射領域Ｒ１（図５（ａ）および（ｂ）参照）と、下側部分５０ｂにおいて設けられ、反射領域Ｒ１に対向しないように配置された反射領域Ｒ２（図５（ｃ）および（ｄ）参照）とによって、立方体型コーナーキューブの一つの反射領域Ｒ３（図５（ｅ）および（ｆ）参照）が形成されている。このように、本実施形態では、上側部分５０ａの凹部に設けられた反射領域を立方体型コーナーキューブの凸部における反射領域として利用し、下側部分５０ｂの凹部に設けられた反射領域を立方体型コーナーキューブの凹部における反射領域として利用しており、これによって、凹凸が組み合わせられた複雑な形状を有する立方体型コーナーキューブを実現している。
【００６０】
このようにして形成された再帰性反射板５０では、透明基板１および透明樹脂層２を透過してきた入射光を、その入射方向と同じ方向に反射させることができる。なお、入射光を金属反射膜３によって適切に再帰反射させるためには、透明樹脂層２と透明平坦化部材６との境界面において光がなるべく反射しないことが望ましい。このような境界面での反射は、透明樹脂層２および透明平坦化部材６の材料を適切に選択することによって抑制され得る。例えば、透明樹脂層２の屈折率に対する透明平坦化部材６の屈折率の大きさを所定のレベル以上に設定すれば、広い角度範囲で入射する光について境界面での全反射を防止することが可能になる。また、透明樹脂層２の屈折率と透明平坦化部材６の屈折率との差が小さいことが望ましいため、好適には、透明樹脂層２と透明平坦化部材６とは同じ材料から形成される。
【００６１】
以上説明した本実施形態の再帰性反射板５０を用いれば、三角錐型コーナーキューブを用いて形成される従来の再帰性反射板を用いた場合に比べて、より高い効率で入射光を再帰反射させることが可能である。また、再帰性反射板５０における立方体型コーナーキューブは、三角錐型コーナーキューブを作製するのと同様の形状精度で作製され得、また、サイズも２倍程度で作製され得る。従って、微細で高精度な立方体型コーナーキューブアレイを作製することが可能である。
【００６２】
（実施形態２）
本実施形態では、立方体型コーナーキューブのアレイによって構成される再帰性反射板を実施形態１と異なる方法によって作製する場合を説明する。
【００６３】
図６（ａ）および（ｂ）は、本実施形態の再帰性反射板を作製するために用いられる金型６０を示す。金型６０の表面には、複数の微細な三角錐状凸部６２（三角錐の底面の一辺が例えば５０μｍ程度）が一面に形成されている。この三角錐状凹部６２は、好ましくは、互いに直交する３面を備える形状を有している。
【００６４】
このような金型６０は、次のようにして作製することができる。まず、図７（ａ）に示すような切削工具を用いて、図７（ｂ）に示すように、金属板等の平板の表面において三方向に複数のＶ溝を形成することによって、○で示す最頂点を有する複数の三角錐状凸部を形成する。この方法によれば、底面の一辺が数十μｍ程度の微細な三角錐状凸部を作製することができる。これにより、図６（ａ）および（ｂ）に示すような金型６０を作製することができる。
【００６５】
以下、このような金型６０を用いて、立方体型コーナーキューブアレイを作製する場合を説明する。
【００６６】
まず、実施形態１と同様に、少なくとも一方が透明の一対の基板を用意し、各基板の一方の面に紫外線硬化性の透明樹脂を設け、凸型三角錘が複数形成された金型６０にて型押し後、紫外線を照射することによって樹脂を硬化させる。次に、一方の基板は、樹脂面に形成された複数の三角錐状凹部において同じ向きの三角形の底面を有する第１の部分（図６（ｂ）において斜線を引いた領域に対応する部分）にマスクを設け、第１の部分とは逆向きの三角形の底面を有する第２の部分（図６（ｂ）において斜線を引いていない領域に対応する部分）のみに金属反射膜を形成する。また、他方の基板は、それとは逆に、樹脂面の第２の部分にマスクを設け、第１の部分のみに金属反射膜を形成する。次に、実施形態１と同様に、金属反射膜が形成された凹部を透明樹脂材料で埋めることによって平坦化した後、一方の基板の樹脂層における第１の部分および第２の部分が、他方の基板の樹脂層における第１の部分および第２の部分とそれぞれ重なるようにこれらを貼り合せる。これにより、実施形態１と同様の立方体型コーナーキューブアレイを形成することができる。
【００６７】
（実施形態３）
本実施形態では、実施形態１の再帰性反射板５０のように金属反射膜３を用いて反射領域を形成するのではなく、他の方法によって反射領域を形成した再帰性反射板について説明する。
【００６８】
図８は、本実施形態の再帰性反射板６４の構成を示す。本実施形態では、各基板１，５上に設けられた樹脂層２，４のそれぞれの凹部において、反射領域を形成するために低屈折率材料膜７が設けられている。その他の構成は、実施形態１の反射板と同様である。
【００６９】
以下、再帰性反射板６４の製造工程を説明する。まず、実施形態１と同様に、金型４０（図４参照）を用いて、表面に複数の三角錐状凹部が設けられた樹脂層２，４を各基板１，５上に形成する。なお、本実施形態では、透明樹脂層２，４を可視光硬化型の樹脂材料（株式会社アーデル製の商品名オプトクレーブＨＶ１６）から形成し、可視光照射にて硬化させた。この樹脂層の屈折率ｎ1は１．６０である。
【００７０】
次に、これらの樹脂層２，４上に、これより屈折率の低い樹脂材料を塗布し、凸型三角錘の金型にて型押し後、紫外線照射にて硬化させることによって低屈折率材料膜７を形成する。低屈折率材料膜７としては、ＪＳＲ社製の商品名オプスターＪＭ５０１０を使用した。この低屈折率材料膜７の屈折率ｎ2は１．４１である。また、硬化条件を、紫外線露光３０ｍＷ／ｃｍ2×１０秒として硬化を行なった。
【００７１】
なお、低屈折率材料膜７は、他の形態で形成されていてもよい。例えば、空隙部分のサイズが光の波長よりも十分に短い多孔質の物質であるエアロゲル（例えば、シリカエアロゲル）を用いて、低屈折率材料膜７を形成してもよい。エアロゲルは、通常、透明性が極めて高く、かつ、屈折率が１．１程度と非常に低い個体である。このため、本実施形態の低屈折率材料膜７として用いるのに適切な材料である。また、低屈折率材料膜７の代わりに空気層を形成してもよい。この場合、例えば、揮発性の液体などを用いて空気層を形成すべき空隙を埋めておき、樹脂などによってこの空隙の周囲を固めれば、液体が揮発した後において樹脂に囲まれた空気の層を形成する。
【００７２】
次に、樹脂層２，４のそれぞれにおいて、低屈折率材料膜７が形成された凹部に、樹脂層２，４を形成するために用いたのと同じ樹脂材料を塗布し、光照射にて硬化させることによって透明平坦化部材６を形成する。透明平坦化部材の屈折率は、低屈折率材料膜７の屈折率よりも大きい。このようにして形成された上側部分と下側部分とを実施形態１において説明したのと同様の方法で貼り合わせることによって、立方体型コーナーキューブアレイが形成された再帰性反射板６４を作製することができる。
【００７３】
このように実施形態１で示した金属反射膜３に代えて、低屈折率材料膜７を用いることによっても、透明基板および透明樹脂層を透過した光を反射させることが可能である。低屈折率材料膜７の屈折率は、透明樹脂層２の屈折率よりも大きく、透明平坦化部材６の屈折率よりも大きい。このため、透明樹脂層２と低屈折率材料膜７との境界面および透明平坦化部材６と低屈折率材料膜７との境界面において所定の角度以上の入射角で入射した光は全反射される。従って、入射光が反射面において吸収されることがなく、光利用効率の高い全反射タイプのマイクロコーナーキューブアレイを得ることができる。
【００７４】
（実施形態４）
本実施形態では、上記実施形態１で説明した立方体型コーナーキューブアレイを有する再帰性反射板５０を用いた液晶表示装置を説明する。
【００７５】
図９は、本実施形態の反射型液晶表示装置７０を示す。反射型液晶表示装置７０は、実施形態１で示した再帰性反射板５０と、この再帰性反射板５０に対向するように設けられた透明基板２０と、これらの間に挟持される散乱型液晶層８とを有している。
【００７６】
ガラス板などから形成される透明基板２０の液晶層側表面上にはカラーフィルタ層９および透明電極１０が設けられており、再帰性反射板５０の液晶層側表面上には透明電極１０が設けられている。このように構成された反射型液晶表示装置７０では、対向して配置された透明電極１０を用いて散乱型液晶層８に所定の電圧を印加することによって、散乱型液晶層８を画素領域Ｒｐ毎に光散乱状態または光透過状態のいずれかに制御することができる。散乱型液晶層８は、例えば、高分子分散型液晶、ネマティック−コレステリック相転移型液晶、液晶ゲルなどによって形成される。
【００７７】
なお、本実施形態の反射型液晶表示装置７０は、液晶層を挟持する一方の基板として再帰性反射板５０を用いるようにすれば、従来の反射型液晶表示装置を作製する方法と同様の方法で作製され得る。
【００７８】
以下、反射型液晶表示装置７０の表示動作について説明する。
【００７９】
まず、白表示の動作について説明する。白表示では、液晶層８が散乱状態に制御されており、透明基板２０およびカラーフィルタ９を透過した外部からの光は液晶層８において散乱される。このとき、液晶層８において後方散乱された光が観察者側に戻る。また、本実施形態の表示装置７０では、液晶層８を透過した直進光および前方散乱された光の多くが再帰性反射板５０の反射膜３によって反射され、再び散乱状態の液晶層８を通って観察者側に戻る。このため、後方散乱された光のみでなく、より多くの光が観察者側に戻る。従って、入射光を効率良く利用し明度の高い表示を実現することができる。
【００８０】
次に、黒表示の動作について説明する。黒表示では、液晶層８が透過状態に制御されており、透明基板２０およびカラーフィルタ９を透過した外部からの光は液晶層８を透過する。液晶層８を透過した光は、再帰性反射板５０の反射膜３で再帰反射され、元の方向に戻る。このため、外光の正反射光が観察者の眼に届くことは防止され、観察者の眼に届く光の多くは観察者の眼の近傍から発せられた光の反射光である。また、再帰性反射板５０におけるコーナーキューブの最小単位構造のサイズは画素サイズ（例えば１００μｍ）以下と非常に小さいため、観察者の眼には、観察者の黒い瞳の像が映ることになる。このため、良好な黒表示を実現することができる。
【００８１】
また、本実施形態の反射型表示装置７０では、立方体型コーナーキューブアレイから構成した再帰性反射板５０を用いているので、三角錐型コーナーキューブアレイから構成した反射板を用いる場合に比べて、観察者の周囲から発せられた外光をより高い効率で元の方向へと再帰反射させることができる。このため、黒表示時に観察者の眼に届き得る所望でない光の量を低減することができ、これによって、高いコントラスト比を得ることができる。
【００８２】
（実施形態５）
実施形態５では、実施形態４とは別の形態の液晶表示装置を説明する。
【００８３】
図１０は、本実施形態の反射型液晶表示装置７２を示す。反射型液晶表示装置７２は、図５に示した再帰性反射板５０の上側部分５０ａと類似した構成を有する観察者側基板７２ａと、下側部分５０ｂと類似した構成を有する非観察者側基板７２ｂとの間に散乱型液晶層８が挟持された構成を有している。観察者側基板７２ａおよび非観察者側基板７２ｂのそれぞれの液晶層側表面上において、散乱型液晶層８の散乱状態（または透過状態）を制御する電圧を印加するための透明電極１０が設けられている。また、観察者側基板７２ａには、透明基板１と透明樹脂層２との間にカラーフィルター層９が設けられている。
【００８４】
以下、反射型液晶表示装置７２の製造方法を説明する。まず、観察者側基板７２ａを作製するために、ガラスなどから形成される透明基板１の一方の面に公知の方法を用いてカラーフィルター層９を形成し、その上に設けた紫外線硬化性の透明樹脂材料に対して図４に示した金型を用いて型押した後、紫外線を照射して透明樹脂材料を硬化させる。これにより、複数の三角錐状の凹部が形成された表面を有する透明樹脂層２が形成される。透明樹脂材料としては、日本科薬社製の商品名ＳＲ３５を使用した。硬化条件は、例えば、露光温度が５０℃で、紫外線露光量は５０ｍＷ／ｃｍ2×６０秒である。
【００８５】
次に、この透明樹脂層２の全面に対して真空蒸着装置を用いてアルミニウム膜を１００ｎｍの厚さで形成した後、エッチングプロセス（エッチング液：硝酸＋リン酸＋酢酸＋水の混合液）によって三角錐状凹部以外の平坦部に設けられたアルミニウム膜を除去し、三角錐状凹部のみに選択的に金属反射膜３を形成する。次に、金属反射膜３が形成された三角錐状凹部において、平坦化を目的として紫外線硬化樹脂材料を塗布し、これを紫外線照射にて硬化させることによって透明平坦化部材６を形成する。このようにして平坦化された樹脂層の表面上にＩＴＯ（インジウム錫酸化物）から形成される導電膜をスパッタ装置にて形成し、所望の形状にパターニングすることによって透明電極１０を形成する。これにより、観察者側基板７２ａが作製される。
【００８６】
一方、非観察者側基板７２ｂを作製するために、基板５上に樹脂材料を設け、凸型三角錘の金型にて型押し後、これを紫外線照射にて硬化させることによって複数の三角錐状の凹部が形成された表面を有する樹脂層４が形成される。これ以降は観察者側基板７２ａと同様にして、金属反射膜３および透明電極１０を形成することによって非観察者側基板７２ｂが作製される。
【００８７】
次に、観察者側基板７２ａと非観察者側基板７２ｂとを、樹脂が設けられた側を内側にして約１０μｍのギャップを設けて貼り合せる。このとき、各基板７２ａ，７２ｂに設けられた反射膜３によって実質的な立方体型コーナーキューブアレイが形成されるように、各基板７２ａ，７２ｂの凹部同士が対向しないようにこれらを配置させる。このようにして貼り合わせられた基板間に設けられた間隙に散乱型液晶材料を注入することによって、散乱型液晶層８が形成される。なお、上記基板の貼り合わせ工程および液晶注入工程は、従来の液晶表示装置を作製するために用いられる方法と同様の方法によって行なうことができる。このようにして、実質的に立方体型コーナーキューブアレイが設けられた反射型液晶表示装置７２を作製することができる。
【００８８】
上述のように、反射型液晶表示装置７２では、観察者側基板７２ａに設けられた反射領域Ｒ１と非観察者側基板７２ｂに設けられた反射領域Ｒ２との間には液晶層８が介在されており、これらの反射領域Ｒ１，Ｒ２は連続していない。しかし、各反射領域Ｒ１，Ｒ２の法線方向が同じ方向になるようにしておけば、外部から入射された光を適切に再帰反射させることが可能であり、反射領域Ｒ１，Ｒ２は、実質的に立方体型コーナーキューブを形成する反射面の１つとして機能し得る。
【００８９】
以下、図１１および図１２を参照しながら、上述のように構成された反射型表示装置における、コーナーキューブの最小単位構造に対応するサイズＳ１，Ｓ２と、カラーフィルタにおいてＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色を示す領域（ドット）のサイズＳ０との関係を説明する。
【００９０】
図１１に示す表示装置では、コーナーキューブアレイの最小単位構造のサイズＳ１は、各色を示すドットサイズＳ０以下（図では略同サイズ）であり、図１２の表示装置では、コーナーキューブアレイの最小単位構造のサイズＳ２は、各色を示すドットサイズＳ０よりも大きい。より具体的には、本実施形態では、各色を示すドットが１００μｍピッチとなるように作製しており、前者のコーナーキューブアレイの最小単位構造は１００μｍ、後者のコーナーキューブアレイの最小単位構造は２００μｍとなるよう作製した。
【００９１】
コーナーキューブアレイは入射光を再帰反射し、入射光方向へと反射するという特性を有しているが、その際同時に光線を中心軸１６に対して対称位置に並進移動させるという特性も有している。
【００９２】
図１１に示す表示装置では、赤色（Ｒ）のカラーフィルター層９を透過した入射光１４に対する反射光１５も同様に赤色のカラーフィルター層９を透過するが、図１２に示す表示装置では、赤色のカラーフィルター層９を透過した入射光１４に対する反射光１５が緑色のカラーフィルター層９を透過するため、異なる色のカラーフィルター層を透過した光が出射される。
【００９３】
従って、再帰性反射板を構成する光学部材の最小単位構造が各色を示すドットサイズ以下となるようにすることで、入射光と出射光とが異なる色を示すカラーフィルター層を通過することを防止することができる。これにより、混色を防ぎ、輝度および色度の低下を避けることができる。
【００９４】
（実施形態６）
実施形態６では、実施形態４および５とは別の形態の液晶表示装置を説明する。
【００９５】
図１３は、本実施形態の反射型液晶表示装置７４を示す。図示するように、反射型液晶表示装置７４は、観察者基板７４ａと非観察者側基板７４ｂとが貼り合わせられた構成を有している。観察者基板７４ａは、実施形態５において説明した観察者側基板７２ａと同様の構成を有しており、観察者側基板７２ａと同様の方法で作製することができる。
【００９６】
一方、非観察者側基板７４ｂの樹脂層４に形成された三角錐状凹部には、散乱型液晶８が充填されている。また、この三角錐状凹部において金属反射電極膜１１が形成されている。本実施形態の反射型液晶表示装置７４では、金属反射電極膜１１は、入射光を反射する機能を有するとともに、散乱型液晶８に電圧を印加する電極としての機能をも有する。金属反射電極膜１１は、実施形態５における非観察者側基板７２ｂの金属反射膜３と同様の方法によって形成することができる。
【００９７】
このような構成によれば、観察者側基板７４ａと非観察者側基板７４ｂとの間にギャップを設けることなく液晶層を配置させることができるため、より再帰性が高く、光の利用効率の向上した立方体型コーナーキューブアレイを形成することができる。これにより、明るい視認性の良い表示を実現することが可能になる。
【００９８】
（実施形態７）
実施形態７では、それぞれにおいて複数の凹部が形成された２枚の基板を貼り合わせることによって、立方体型コーナーキューブとは異なる形態の光学素子を作製する場合を説明する。
【００９９】
図１４および図１５は、所定の方向から入射された光を正反射方向とは異なる方向に選択的に反射させるための反射板を示す。このような反射板を用いた反射型液晶表示装置は、例えば、特開２０００−２２１４９７号公報において記載されている。
【０１００】
図１４（ａ）および図１５（ａ）に示す反射板７６は、図１４（ｂ）および図１５（ｂ）に示す透明な観察者側基板７６ａと、図１４（ｃ）および図１５（ｃ）に示す非観察者側基板７６ｂとが重ねられた構成を有している。
【０１０１】
観察者側基板７６ａおよび非観察者側基板７６ｂのそれぞれにおいて、互いに対して対向する面に複数の三角錐状凹部が設けられている。各基板の凹部には、反射面Ｒ４，Ｒ５と光吸収面Ｒ６，Ｒ７が設けられており、基板が貼り合わされた状態（図１４（ａ））において、各反射面Ｒ４，Ｒ５が連続するように配置されることで１つの反射領域が形成され、各光吸収面Ｒ６，Ｒ７が連続して配置されることで１つの光吸収領域が形成されている。このようにして形成された反射板７６は、主要な入射光を正反射方向ではない方向へ選択的に反射するように機能する。
【０１０２】
また、他の反射板を図１６および図１７に示す。これらの図に示される反射板も、所定の角度を有する入射光を所望の角度に選択的に反射させるために用いることができる。図１６および図１７からわかるように、反射板７８は、基板７８ａと基板７８ｂとを貼り合わせることで形成されており、基板７８ａの凹部において設けられた反射面Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３および光吸収面Ｒ２１と、基板７８ｂの凹部において設けられた反射面Ｒ１４，Ｒ１５，Ｒ１６および光吸収面Ｒ２２とを利用して複雑な凹凸形状を有する反射板が実現される。
【０１０３】
（実施形態８）
実施形態８では、複数の凹部が設けられた基板上に複数の凸部を設け、これらの凹部と凸部とによって立方体型コーナーキューブを作製する場合について説明する。
【０１０４】
まず、実施形態２（図７（ａ））で説明したような切削工具を用いて、真鍮やニッケルなどから形成される金属板（母材）の表面において、３方向にそれぞれ複数のＶ溝を形成する。この切削方向は、図１８（ａ）に示すように、ある１つの切削方向Ｄ１を基準として＋６０度方向Ｄ２および−６０度方向Ｄ３の３方向としている。また、切削バイトの刃の角度は約７０．５度とし（図１８（ｂ））、同じ方向に延びる溝のピッチが１０μｍとなるように切削する。
【０１０５】
その結果、金属板の表面には各方向に延びる溝の内面によって構成される三角錐状の凸部が複数隙間なく形成される。図２０（ａ）は、このようにして形成された三角錐状の凸部の斜視図である。上述のように切削バイトの刃の角度を調節しているので、三角錐の凸部を構成する三角形の３面は直角二等辺三角形をなし、互いに直交する。なお、各三角錐状の凸部の底面は正三角形をなす。
【０１０６】
また、図１９（ａ）に示すように、これら複数の三角錐の凸部が形成された領域１０６の外側に、アライメントマーカー用の切削溝１０４を設ける。この際、アライメントマーカー用の切削溝１０４の底が、上記複数の三角錐の凸部の底面と同じ水平位置となるように切削溝１０４を形成する。これにより、金型１０２が完成する。
【０１０７】
次に、図１９（ｂ１）に示しているように、作製した金型１０２からアクリル材（例えば、三菱レイヨン社製のアクリペット（商品名））などによって反転型１１０を作製する。この反転型１１０には、図２０（ｂ）に示すように、金型１０６の三角錐状の凸部に対応した形状を有する多数の三角錐状の凹部が形成される。すなわち、この三角錐状の凹部を形成する３つの直角二等辺三角形の面も、互いに略直交する関係を持っている。
【０１０８】
さらに、図１９（ｃ１）に示しているように、この反転型１１０の凹部は、例えば、光硬化性の樹脂材料１１２によって埋められる。本実施形態では、樹脂材料１１２として、ネガ型のフォトレジスト（東京応化社製のＯＮＮＲ−２２（商品名））を用いている。これにより、反転型１１０の凹部は平坦化される。なお、この平坦化する工程の詳細については後述する。
【０１０９】
一方、図１９（ｂ２）に示しているように、上記の金型１０２からニッケルなどの材料を用いて別の反転型１２０を作製する。この反転型１２０も、図２０（ｂ）に示すように、互いに略直交する３つの二等辺三角形の面によって構成される多数の三角錐状の凹部が形成される。
【０１１０】
さらに、図１９（ｃ２）に示しているように、この反転型１２０の凹部は、例えば、光硬化性の樹脂材料１２２で埋められる。本実施形態では、樹脂材料１２２として、ネガ型のフォトレジスト（東京応化社製のＯＮＮＲ−２２（商品名））を用いている。これにより、反転型１２０の凹部は平坦化される。なお、この平坦化する工程の詳細については以下に述べる。
【０１１１】
本実施形態では、反転型１１０および１２０の凹部を樹脂材料１１２および１２２で埋めることによって平坦化するときに、図２１に示すような装置２１０を用いている。この平坦化装置２１０では、基板２１２（ここでは反転型１１０および１２０）の表面に塗布すべき液体２１４（硬化前の光硬化性樹脂材料１１２，１２２）を液だめに溜め、毛細管現象を利用してノズル２１６の先端部から液体２１４を供給する。そして、ノズル２１６の先端部に接するように配置された基板２１２を、ノズル２１６と接した状態を保ったままで水平方向に移動させることによって、液体２１４を基板２１２の全体にわたって塗布することができる。このようにすれば、液体２１４が塗布された後の基板面を平坦化することができる。ただし、より平坦化することが望ましい場合には、反転型１１０および１２０の凹部を樹脂材料１１２および１２２で埋め、この樹脂材料１１２および１２２を硬化させた後で、基板面を研磨するようにしてもよい。
【０１１２】
次に、図１９（ｄ１）および（ｄ２）に示すように、遮光部１１４ａと透過部１１４ｂとを有するフォトマスク１１４、および、遮光部１２４ａと透過部１２４ｂとを有するフォトマスク１２４のそれぞれを用いて樹脂材料１１２および１２２をそれぞれ露光する。このフォトマスク１１４および１２４における遮光部１１４ａ，１２４ａおよび透過部１１４ｂ，１２４ｂの平面形状は、樹脂材料１１２および１２２によって埋められた三角錐状の凹部に対応する正三角形である。各フォトマスク１１４および１２４において、遮光部１１４ａ，１２４ａと透過部１１４ｂ，１２４ｂとは交互に設けられる。ただし、フォトマスク１１４とフォトマスク１２４とでは、遮光部の位置と透過部の位置とが逆になっている。
【０１１３】
本実施例では、ネガ型レジストを用いているため、透過部を通過した光によって露光された部分が硬化する。従って、図１９（ｅ１）および（ｅ２）に示すようにフォトマスクの透過部に対応する凹部に設けられた樹脂材料が選択的に硬化され、この部分のみが平坦化部材１１６，１２６として残るように現像される。図２０（ｅ１）および（ｅ２）は、このようにして所定の凹部が選択的に埋められ、平坦化された反転型１１０および１２０をそれぞれ示す。
【０１１４】
次に、図１９（ｆ１）に示しているように、アクリル材を用いて形成された反転型１１０では、平坦化部材１１６で埋められていない、残された凹部１１７に対して、離形材（例えば、ダイキン工業社製のダイフリー（商品名））を塗布した後に、光硬化性のアクリレートモノマーを充填し、これを露光して重合させることによって硬化させ、三角錐状の固体１１８を形成する。なお、この固体１１８の露出面は平坦であることが望ましいことから、図２１に示した平坦化装置２１０を用いてモノマーなどを充填したり、モノマーを硬化後にその露出面を研磨するようにしてもよい。
【０１１５】
また、もう一方のニッケルから形成される反転型１２０では、平坦化部材（ネガ型フォトレジスト）１２６上に接着剤１２８（例えば、三井化学社製のストラクトボンド（商品名））を塗布する。塗布する手法としては、ディスペンサーを使用する方法や、スクリーン印刷法を用いることができる。なお、接着剤１２８に粒径１μｍ程度のプラスティックビーズを混入させることで、接着剤１２８の厚みをより適切に制御することができる。
【０１１６】
次に、図１９（ｇ）に示すように、図５（ｆ１）に示した反転型１１０と、図５（ｆ２）に示した反転型１２０とを密着させるが、反転型１１０に保持されている固体１１８と、反転型１２０の凹部を埋める平坦化部材１２６とが対向し、これらが接着剤１２８によって互いに対して固定されるように反転型１１０および１２０を対峙させる。この際、各反転型１１０および１２０に設けられたアライメントマーカー１１５を用いることで、精度の高い貼り合わせが可能である。これにより、立方体型コーナーキューブを構成する略正方形の各面の面精度（平坦度）を良好にすることができる。
【０１１７】
次に、図１９（ｈ）に示すように、反転型１１０を剥離する。これによって、図２０（ｈ）に示すように、反転型１１０に保持されていた固体１１８が反転型１２０状に転写され、立方体型のマイクロコーナーキューブアレイが形成される。なお、このようにして表面にマイクロコーナーキューブアレイ形状を有する反転型１２０を、樹脂層などの表面にマイクロコーナーキューブアレイを作製するための型として用いることもできる。この場合、上述の反転型１２０から電鋳法によって表面がニッケルなどの材料で覆われた型を作製し、作製された型の表面の凹凸形状を他の樹脂膜などに転写することでマイクロコーナーキューブアレイを作製することができる。
【０１１８】
（実施形態９）
実施形態９では、上記実施形態８とは異なる方法によって、複数の凹部が設けられた基板上に複数の凸部を設け、これらの凹部と凸部とによって立方体型コーナーキューブを作製する場合について説明する。本実施形態では、その表面が単結晶の｛１１１｝面に平行な立方晶単結晶基板を用意し、この基板表面に対して異方性エッチングを行なうことによって得られる凹凸形状を利用して立方体型コーナーキューブを作製する。
【０１１９】
まず、図２２（ａ）に示しているように、表面が結晶の｛１１１｝面に平行なゲルマニウム単結晶基板１３０を２枚用意する。次に、図２２（ｂ１）および（ｂ２）に示すように、それぞれの基板１３０に、平面形状が正三角形のレジストマスク１３２および１３４を形成する。図２２（ｂ１’）および２２（ｂ２’は、それぞれ図２２（ｂ１）および（ｂ２）の基板１３０およびレジストマスク１３２および１３４の斜視図である。
【０１２０】
このとき、レジストマスク１３２および１３４の正三角形の１辺の長さは１１．５μｍとし、正三角形の１辺がゲルマニウム単結晶の｛１００｝面に平行になるように配置する。なお、図２２（ｂ１’）と図２２（ｂ２’）とでは、レジストマスクが設けられる場所と開口部の場所とが反対のように示されているが、基板の向き（オリエンテーションフラット）を互いに対して１８０°逆になるように図示してあり、これらの基板上に設けられたレジストマスクのパターンは実際には同様である。例えば、図２２（ｂ１’）と図２２（ｂ２’）のそれぞれにおいて、単結晶の｛１００｝面に平行な方向を矢印１３５で示しているが、この方向を基準として見た場合、各基板上のレジストマスクのパターンは同様であることがわかる。
【０１２１】
次に、これらの基板に対してエッチングを行う。このとき、エッチング液としては、ふっ酸と過酸化水素水と水（５０ｗｔ％ＨＦ：３０ｗｔ％Ｈ2Ｏ2：Ｈ2Ｏ＝１：１：４）の混合溶液を用い、エッチング温度は１度とし、エッチング時間は１５分とする。これによって、図２２（ｃ１）および図２２（ｃ２）にそれぞれ示しているような凹部が形成される。
【０１２２】
このエッチング工程において、｛１１１｝面からエッチングが進行するが、この｛１１１｝面に対するエッチング速度に対して、互いに直交する｛１００｝面に対するエッチング速度が遅いため、この｛１００｝面が露出するように異方性のエッチングが進行する。
【０１２３】
その後、図２３（ｄ１）および図２３（ｄ２）に示すように、レジストマスク１３２，１３４を、基板の表面から剥離する。レジストマスク１３２，１３４が剥離された状態を図２３（ｄ１’）および図２３（ｄ２’）に示す。図からわかるように、各基板には、互いに略直交する直角二等辺三角形の３面から形成される三角錐状の凹部１３６が複数形成される。なお、凹部１３６と凹部１３６との間には、平坦部１３８が形成されている。
【０１２４】
次に、図２３（ｅ２）に示すように、一方の基板の凹部１３６に、光硬化性のアクリレートモノマーを充填し、これを露光して重合させることによって硬化させ、三角錐状の固体１４０を形成する。なお、この固体１４０の露出面は平坦であることが望ましいことから、図２１に示した平坦化装置２１０を用いてモノマーなどを充填したり、モノマーを硬化後にその露出面を研磨するようにしてもよい。
【０１２５】
次に、図２３（ｆ）に示すように、図２３（ｄ１）に示した基板と、図２３（ｄ２）に示した基板とを密着させるが、一方の基板に保持されている固体１４０と、他方の基板の平坦部１３８とが対向し、これらが接着剤によって互いに対して固定されるように基板同士を対峙させる。
【０１２６】
次に、図２３（ｇ）に示すように、図２３（ｅ２）に示した側の基板を剥離する。これによって、固体１４０が他方の基板の平坦部上に転写され、図２３（ｇ’）に示すような立方体型のマイクロコーナーキューブアレイが形成される。
【０１２７】
なお、図２３（ｄ１）、（ｄ１’）および図２３（ｄ２）、（ｄ２’）に示すような凹部１３６と平坦部１３８とを表面部に有する基材は、他の方法によっても作製され得る。例えば、実施形態１においても説明したように、ニッケルなどの母材に、互いに直交する２等辺３角形３面からなる３角錐状の凸部を有したピンを直接押し付けることによっても得られる。このようにして得られた基材を用いた場合にも、図２３（ｅ２）、（ｆ）、（ｇ）に示したような工程を経て、マイクロコーナーキューブアレイを作製することができる。
【０１２８】
なお、このようにして表面にマイクロコーナーキューブアレイ形状を有する基板１３０を、樹脂層などの表面にマイクロコーナーキューブアレイを作製するための型として用いることもできる。この場合、上述の基板１３０から電鋳法によって表面がニッケルなどの材料で覆われた型を作製し、作製された型の表面の凹凸形状を他の樹脂膜などに転写することでマイクロコーナーキューブアレイを作製することができる。
【０１２９】
（実施形態１０）
本実施形態においても、表面が｛１１１｝面に平行な立方晶単結晶基板を用意し、この基板表面に対して異方性エッチングを行なうことで得られる凹凸形状を利用して立方体型コーナーキューブを作製する。
【０１３０】
まず、図２４（ａ）および（ａ’）に示すように、表面が結晶の｛１１１｝Ｂ面に平行なガリウム砒素単結晶基板１５０を用意する。なお、ガリウム砒素単結晶の｛１１１｝Ｂ面とは、砒素が形成する｛１１１｝面を言う。
【０１３１】
次に、図２４（ｂ）および（ｂ’）に示すように、基板１５０上に、平面形状が正三角形のレジストマスク１５２を形成する。このとき、正三角形の１辺の長さは１１．５μｍとし、正三角形の１辺がガリウム砒素単結晶の｛１００｝面に平行になるように配置する。
【０１３２】
次に、これらの基板に対してエッチングを行う。このとき、エッチング液としては、アンモニア水と過酸化水素水と水（２８ｗｔ％ＮＨ4ＯＨ：３０ｗｔ％Ｈ2Ｏ2：Ｈ2Ｏ＝８：２：５）の混合溶液を用い、エッチング温度は１７度とし、エッチング時間は２分とする。これによって、図２４（ｃ）および（ｃ’）に示すような凸部が形成される。
【０１３３】
本実施形態では、図２４（ｃ）および（ｃ’）に示すように、レジストマスク１５２で覆われる基板部分にまでエッチングが進行するとともに、マスク開口部１５４に対応する基板部分には平坦な面が形成される。これは、上述のようなエッチング条件では、ガリウム砒素単結晶の｛１１１｝Ｂ面に対するエッチング速度が、結晶の｛１００｝面に対するエッチング速度に対して十分に大きくないためである。
【０１３４】
すなわち、上述のようなエッチング条件では、結晶の｛１００｝面のエッチング速度が遅いために｛１００｝面が露出するようにエッチングが進行するとともに、基板厚さ方向（すなわち｛１１１｝Ｂ面の法線方向）へのエッチングが十分速く進行しないために、凹部の底の面が小さくなっていかない。このように、異方性のエッチングによって形成される基板表面の形状は、｛１１１｝Ｂ面に対するエッチング速度と｛１００｝面に対するエッチング速度との比を適切に選択することで調節することができる。
【０１３５】
なお、本実施形態では、図２４（ｃ）および（ｃ’）に示すように、エッチングの進行するにつれ、レジストマスク１５２と基板表面との接触部の面積が減少して行き、所望のエッチングが完了したときには、これらがほとんど接触されなくなるので、実施形態９の場合のようにレジスト剥離工程を行わずとも、図２４（ｄ）および（ｄ’）に示すような、互いに略直交する直角二等辺三角形の３面から形成される三角錐状の凸部１５６が複数形成された基板を得ることができる。
【０１３６】
次に、図２５（ｅ）に示すように、図２４（ｄ）および（ｄ’）に示した基板上に、アルミニウム膜１６０を、例えば、スパッタ装置によって約２０μｍの厚さで形成する。その後、アルミニウム膜１６０を基板１５０から剥離する。この剥離されたアルミニウム膜１６０には、基板１５０の凸部１５６に対応した形状を有する三角錐状の凹部が複数形成されている。
【０１３７】
次に、図２５（ｆ）に示すように、アルミニウム膜１６０に形成された凹部に、光硬化性のアクリレートモノマーを充填し、これを露光して重合させることによって硬化させ、三角錐状の固体１６２を形成する。
【０１３８】
次に、図２５（ｈ）に示すように、図２５（ｆ）に示したアルミニウム膜１６０と、図２５（ｇ）で示す実施形態８の基板１３０（図２３（ｄ１）参照）とを密着させるが、アルミニウム膜１６０に保持されている固体１６２と、基板１３０の平坦部１３８とが対向するように基板同士を対峙させ、これらを固定する。
【０１３９】
次に、この固定されたアルミニウム膜１６０および基板１３０をアルカリ溶液につけ、アルミニウム部１６０のみを選択的に溶解することによって、図２５（ｉ）および（ｉ’）に示すような立方体型のマイクロコーナーキューブアレイが形成される。
【０１４０】
なお、このようにして形成されたマイクロコーナーキューブアレイから電鋳法によって型を作製し、この型を用いて樹脂膜などにマイクロコーナーキューブアレイを作製することもできる。
【０１４１】
（実施例および比較例）
本発明の２枚の基板を用いて形成される立方体型コーナーキューブアレイを用いた反射型液晶表示装置（実施例）と、１枚の基板上に形成された三角錘型コーナーキューブアレイを用いた従来の反射型液晶表示装置（比較例）とにおける表示特性の違いを調べた。
【０１４２】
下記、表１は、拡散光照明下における、法線方向の反射率を測定した結果である。
【０１４３】
【表１】
0003847593.tif 000002
【０１４４】
表１からわかるように、実施例の表示装置は、比較例の表示装置に比べて、黒表示の際の反射率が低く、良好な黒表示を行なうことができた。これは、実施例の表示装置の反射板は、立方体型コーナーキューブから形成されているため、周囲からの光をより効率よく再帰反射させることができるのに対し、比較例の表示装置では、周囲からの光の一部が再帰反射されずに観察されるからである。この結果、コントラスト比において、実施例の表示装置の方が比較例の表示装置よりも良い結果を示した。
【０１４５】
【発明の効果】
本発明によれば、表示装置などにおいて適切に用いられる微細な光学素子を比較的容易に作製することが可能になる。例えば、入射光を効率よく再帰反射させることができるマイクロコーナーキューブアレイを容易に作製することができる。このように微細なマイクロコーナーキューブアレイを用いた表示装置では、明るく、コントラストが高く、色純度が高く、視認性の良い表示が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の反射型液晶表示装置の構成を示す断面図である。
【図２】立方体型コーナーキューブアレイを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は中位点よりも高い部分を示す側面図、（ｃ）は斜視図である。
【図３】  三角錐型コーナーキューブと立方体型コーナーキューブとを比較して示す図であり、（ａ）は三角錐型コーナーキューブの平面図、（ｂ）は三角錐型コーナーキューブの斜視図、（ｃ）は立方体型コーナーキューブの平面図、（ｄ）は立方体型コーナーキューブの斜視図を示す。
【図４】本発明の実施形態１による再帰性反射板を作成するために用いる金型を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図５】本発明の実施形態１による再帰性反射板の構成を示す図であり、（ａ）は上側部分の平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線断面図、（ｃ）は下側部分の平面図、（ｄ）は（ｃ）のＢ−Ｂ’線断面図、（ｅ）は、上側部分と下側部分とを重ね合わせた状態を示す平面図、（ｆ）は（ｅ）のＣ−Ｃ’線断面図である。
【図６】本発明の実施形態２による再帰性反射板を作成するために用いる金型を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図７】図６に示す金型の作製方法を説明するための図であり、（ａ）は切削工具、（ｂ）は切削工具を用いた切削方法を示す平面図である。
【図８】本発明の実施形態３による再帰性反射板の構成を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態４による反射型液晶表示装置の構成を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施形態５による反射型液晶表示装置の構成を示す断面図である。
【図１１】図１０に示す反射型液晶表示装置において、コーナーキューブアレイの最小単位構造のサイズをカラーフィルタのドットサイズ以下にした場合を示す断面図である。
【図１２】図１０に示す反射型液晶表示装置において、コーナーキューブアレイの最小単位構造のサイズをカラーフィルタのドットサイズより大きくした場合を示す断面図である。
【図１３】本発明の実施形態６による反射型液晶表示装置の構成を示す断面図である。
【図１４】本発明の実施形態７による光学素子を示す斜視図であり、（ａ）は基板を貼り合わせた状態を示し、（ｂ）は一方の基板を示し、（ｃ）は他方の基板を示す。
【図１５】図１４に示した光学素子の平面図であり、（ａ）は基板を貼り合わせた状態を示し、（ｂ）は一方の基板を示し、（ｃ）は他方の基板を示す。
【図１６】本発明の実施形態７による別の光学素子を示す斜視図であり、（ａ）は基板を貼り合わせた状態を示し、（ｂ）は一方の基板を示し、（ｃ）は他方の基板を示す。
【図１７】図１６に示した光学素子の平面図であり、（ａ）は基板を貼り合わせた状態を示し、（ｂ）は一方の基板を示し、（ｃ）は他方の基板を示す。
【図１８】本発明の実施形態８によるコーナーキューブアレイを作製するために用いられる金型の作製方法を説明するための図であり、（ａ）は溝の切削方向、（ｂ）はバイト（切削工具）の先端角度を示す。
【図１９】本発明の実施形態８によるコーナーキューブアレイの作製工程の各々を示す図である。
【図２０】本発明の実施形態８によるコーナーキューブアレイの作製工程の各々を示す図である。
【図２１】本発明の実施形態８によるコーナーキューブアレイの作製工程に用いられる液体を塗布する装置を示す断面図である。
【図２２】本発明の実施形態９によるコーナーキューブアレイの作製工程の各々を示す図である。
【図２３】本発明の実施形態９によるコーナーキューブアレイの作製工程の各々を示す図である。
【図２４】本発明の実施形態１０によるコーナーキューブアレイの作製工程の各々を示す図である。
【図２５】本発明の実施形態１０によるコーナーキューブアレイの作製工程の各々を示す図である。
【符号の説明】
１  透明基板
２  透明樹脂層
３  金属反射膜
４  樹脂層
５  基板
６  透明平坦化部材
５０  再帰性反射板
５０ａ  上側部分
５０ｂ  下側部分
５２  三角錐状凹部
５４  平坦部
【図１】
0003847593.tif 000003
【図２】
0003847593.tif 000004
【図３】
0003847593.tif 000005
【図４】
0003847593.tif 000006
【図５】
0003847593.tif 000007
【図６】
0003847593.tif 000008
【図７】
0003847593.tif 000009
【図８】
0003847593.tif 000010
【図９】
0003847593.tif 000011
【図１０】
0003847593.tif 000012
【図１１】
0003847593.tif 000013
【図１２】
0003847593.tif 000014
【図１３】
0003847593.tif 000015
【図１４】
0003847593.tif 000016
【図１５】
0003847593.tif 000017
【図１６】
0003847593.tif 000018
【図１７】
0003847593.tif 000019
【図１８】
0003847593.tif 000020
【図１９】
0003847593.tif 000021
【図２０】
0003847593.tif 000022
【図２１】
0003847593.tif 000023
【図２２】
0003847593.tif 000024
【図２３】
0003847593.tif 000025
【図２４】
0003847593.tif 000026
【図２５】
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