【手続補正書】
【提出日】平成30年1月12日(2018.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変調された測定ビーム（２６）と、
前記測定ビームを局部発振器ビーム（４４）および透過ビーム（４６）に分割するためのビーム分割器（４２）と、
前記透過ビーム（４６）を対象構造（３８）の表面（３６）の測定エリア（３４）を覆うように拡大し、かつ投射するための、および、複数の反射ビーム（５２）を受け取り、かつフォーカスするための光アセンブリ（５０）であって、前記複数の反射ビーム（５２）は、前記測定エリア（３４）内の前記対象構造（３８）の前記表面（３６）の複数の測定点（９２）からの前記透過ビームの単一の投射の戻りである光アセンブリ（５０）と、
前記複数の反射ビーム（５２）および前記局部発振器ビーム（４４）を検出ビーム（６８）に結合するためのビーム結合器（２４）と、
前記検出ビーム（６８）を処理するための検出器（４８）と、を備えるレーザー計測システムであって、前記検出器（４８）は、
マイクロレンズアレイ（７４）を形成する複数のマイクロレンズ（７２）と、光検出器アレイ（７８）を形成する複数の光検出器（７６）と、前記光検出器アレイ（７８）の前記複数の光検出器（７６）と通信する検出器エレクトロニクス（８４）と、を備え、
前記マイクロレンズアレイ（７４）の前記複数のマイクロレンズの各々は、前記光検出器アレイ（７８）の前記複数の光検出器（７６）のうちの１つと関連する前記測定エリア（３４）内の前記複数の測定点（９２）のそれぞれを表す検出ビーム（６８）の一部分（８０）を同時に投射し、前記光検出器アレイ（７８）の前記複数の光検出器（７６）の各々は、前記検出ビーム（６８）の前記一部分（８０）の各々のコヒーレント検出を実行し、
前記検出器エレクトロニクス（８４）は、前記複数の測定点（９２）について前記検出ビーム（６８）の一部分（８０）から情報データを生成し
前記検出器エレクトロニクス（８４）は、
前記光検出器アレイ（７８）の複数の光検出器（７６）からの電気信号をデジタル信号に変換する複数のアナログ―デジタル変換器（８２）、
一時的に前記デジタル信号を記憶する複数のバッファー（８６、８８）、及び、
前記デジタル信号から前記情報データのスペクトルを計算する複数の高速フーリエ変換プロセッサ（９０）、を備え、
前記レーザー計測システム（１０）はさらに、前記検出器エレクトロニクス（８４）と通信するレンジプロセッサ（８６）を備え、前記レンジプロセッサ（８６）は、
前記透過ビーム（４６）の前記単一の投射と、前記対象構造（３８）の前記表面における前記測定エリア（３４）からの前記複数の反射ビーム（５２）の反射とに基づいて、前記測定エリア内の前記複数の測定点についての寸法データを計算し、前記複数の測定点（９２）の各々について範囲値（１０２）を計算し、かつ表示用のコントローラー（４０）へ前記複数の測定点（９２）の各々に対する範囲値（１０２）を報告し、
前記複数の測定点（９２）に対する複数の範囲値（１０２）は前記対象構造（３８）の２次元表示として示される、レーザー計測システム（１０）。
【請求項２】
信号ビーム（１８）を透過するためのレーザー（１６、２０）を備える信号ビーム投射器（１２）、
ガイドビーム（２２）を透過するためのレーザー（１６、２０）を備えるガイドビーム投射器（１４）、ならびに
前記信号ビーム（１８）および前記ガイドビーム（２２）を前記測定ビーム（２６）に結合するためのビーム結合器（２４）
をさらに備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記信号ビーム投射器（１２）は、前記信号ビーム（１８）を変調するためのレーザー変調器（３０）を備える、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記光アセンブリ（５０）は、前記透過ビーム（４６）を前記測定エリア（３４）に整形するための透過ビーム（４６）光学系を備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記光アセンブリ（５０）は、前記測定エリア（３４）からの前記反射ビーム（５２）を収集するための反射ビーム（５２）光学系を備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
少なくとも１つのアナログ―デジタル変換器（８２）、少なくとも１つのバッファー（８６，８８）、及び少なくとも１つの高速フーリエ変換プロセッサ（９０）は前記光検出器アレイ（７８）の前記複数の光検出器（７６）の各々と関連付けられている、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記検出器エレクトロニクス（８４）は前記光検出器アレイ（７８）の前記複数の光検出器（７６）の各々の全てからのデジタル信号を同時に処理する、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記検出器エレクトロニクス（８４）は前記光検出器アレイ（７８）の前記複数の光検出器（７６）の各々からのデジタル信号を個別に処理する、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記検出器エレクトロニクス（８４）は前記光検出器アレイ（７８）の前記複数の光検出器（７６）の各々からのデジタル信号を連続的に処理する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記対象構造（３８）の画像（６６）を提供するための画像システムをさらに備え、前記コントローラー（４０）は、特定の時点での前記レンジプロセッサ（８６）による前記検出器エレクトロニクス（８４）からのデジタル信号を処理し、前記範囲値（１０２）を、同一時点での前記対象構造（３８）の前記画像（６６）に関連付ける、請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
さらにディスプレイ（６４）を備え、前記対象構造（３８）の２次元表示として示された範囲値（１０２）と前記画像は、前記コントローラー（４０）によって統合され、かつ前記ディスプレイ（６４）に表示される、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
変調された信号ビーム（１８）を透過するためのレーザー（１６、２０）を備える信号ビーム投射器（１２）と、
ガイドビーム（２２）を透過するためのレーザー（１６、２０）を備えるガイドビーム投射器（１４）と、
前記信号ビーム（１８）および前記ガイドビーム（２２）を変調された測定ビーム（２６）に結合するための結合器（４２）と、
前記測定ビーム（２６）を局部発振器ビーム（４４）および透過ビーム（４６）に分割するためのビーム分割器（４２）と、
前記透過ビーム（４６）を対象構造（３８）の表面（３６）の測定エリア（３４）を覆うように拡大するための透過ビーム光学系（５８）と、
複数の反射ビーム（５２）をフォーカスするための反射ビーム光学系（６０）であって、前記複数の反射ビーム（５２）は、前記測定エリア（３４）内の前記対象構造（３８）の前記表面（３６）の複数の測定点（９２）からの前記透過ビームの単一の投射の戻りである、反射ビーム光学系（６０）と、
前記局部発振器ビーム（４４）の光の量を制御するための局部発振器ビーム（４４）光学系、
前記複数の反射ビーム（５２）および前記局部発振器ビーム（４４）を検出ビーム（６８）に結合するためのビーム結合器（４２）と、
前記検出ビーム（６８）を処理するための検出器（４８）と、を備えるレーザー計測システム（１０）であって、前記検出器（４８）は、
マイクロレンズアレイ（７４）を形成する複数のマイクロレンズ（７２）と、光検出器アレイ（７８）を形成する複数の光検出器（７６）と、前記光検出器アレイ（７８）の前記複数の光検出器（７６）と通信する検出器エレクトロニクス（８４）と、を備え、
前記マイクロレンズアレイ（７４）の前記複数のマイクロレンズの各々は、前記光検出器アレイ（７８）の前記複数の光検出器（７６）のうちの１つと関連する前記測定エリア（３４）内の前記複数の測定点（９２）のそれぞれを表す検出ビーム（６８）の一部分（８０）を同時に投射し、前記光検出器アレイ（７８）の前記複数の光検出器（７６）の各々は、前記検出ビーム（６８）の前記一部分（８０）の各々のコヒーレント検出を実行し、
前記検出器エレクトロニクス（８４）は、前記複数の測定点（９２）について前記検出ビーム（６８）の一部分から情報データを生成し、
前記検出器エレクトロニクス（８４）は、
前記光検出器アレイ（７８）の複数の光検出器（７６）からの電気信号をデジタル信号に変換する複数のアナログ―デジタル変換器（８２）、
一時的に前記デジタル信号を記憶する複数のバッファー（８６、８８）、及び
前記デジタル信号から前記情報データのスペクトルを計算する複数の高速フーリエ変換プロセッサ（９０）、を備え、
前記レーザー計測システム（１０）はさらに、前記検出器エレクトロニクス（８４）と通信するレンジプロセッサ（８６）を備え、前記レンジプロセッサ（８６）は、
前記透過ビーム（４６）の前記単一の投射と、前記対象構造（３８）の前記表面における前記測定エリア（３４）からの前記複数の反射ビーム（５２）の反射とに基づいて、前記測定エリア内の前記複数の測定点についての寸法データを計算し、前記複数の測定点（９２）の各々の範囲値（１０２）を計算し、かつディスプレイ（６４）用のコントローラー（４０）へ前記複数の測定点（９２）の各々に対する範囲値（１０２）を報告し、
前記複数の測定点（９２）に対する複数の範囲値（１０２）は前記対象構造（３８）の２次元表示として示され、
前記レーザー計測システム（１０）はさらに、前記対象構造（３８）の前記表面（３６）の画像（６６）を提供するための撮像システム（６２）
を備える、レーザー計測システム（１０）。