(57)【要約】本発明は，基板の処理装置の立ち上げ作業時のチェックリストの作成を従来より迅速かつ正確に行うことを目的としている。本発明は，基板の処理装置に，処理装置の設定事項に関する設定情報を入力する設定入力部と，処理装置の所定のチェック事項に関するチェックリスト画面を表示する表示部とを備え，チェック事項には，設定事項が含まれており，設定入力部で入力された設定情報は，チェックリスト画面における対応するチェック事項の欄に自動的に表示される。
2003005423.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を行う処理装置であって，
前記処理装置を稼動させるための各種機器，部材等の諸元を設定するために，前記処理装置の設定事項に関する設定情報を入力する設定入力部と，
前記処理装置における所定のチェック事項に関するチェックリスト画面を表示する表示部とを備え，
前記チェック事項には，前記設定事項が含まれており，
前記設定入力部で入力された設定情報は，前記チェックリスト画面における当該設定情報に対応するチェック事項の欄に自動的に表示されることを特徴とする，
基板の処理装置。
【請求項２】
クレーム１の基板の処理装置において，
前記設定入力部からでは設定できないチェック事項に関するチェック情報を入力する入力部を備え，
前記入力部から入力されたチェック情報は，前記チェックリスト画面における当該チェック情報に対応するチェック事項の欄に表示される。
【請求項３】
クレーム１の基板の処理装置において，
前記チェックリスト画面は，既にチェック済みのチェック事項と未チェックのチェック事項とが識別できるように表示される。
【請求項４】
クレーム１の基板の処理装置において，
前記チェックリスト画面には，前記処理装置のチェック作業を行った作業員に関する情報が表示される。
【請求項５】
クレーム１の基板の処理装置において，
前記チェックリスト画面は，表示されたチェック事項のチェック情報が，標準チェック情報と異なっている場合に，当該チェック事項が識別できるように表示される。
【請求項６】
クレーム１の基板の処理装置において，
前記チェックリスト画面に表示されたチェック事項に関するチェック情報を，前記処理装置のベンダーにインターネットを介して送信するための通信手段を備える。
【請求項７】
クレーム１の基板の処理装置において，
他の基板の処理装置に関するチェック情報を入手するための通信手段を備える。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は基板の処理装置に関するものである。
発明の背景
例えば，半導体デバイスの製造プロセスにおけるフォトリソグラフィー工程は，ウェハ表面にレジスト膜を形成するレジスト塗布ユニット，露光後のウェハに対して現像を行う現像処理ユニット，レジスト塗布後，現像処理前後等に熱処理を行う熱処理ユニット等の複数の処理ユニットを備えた塗布現像処理装置で行われる。
この塗布現像処理装置が，ベンダーからウェハ製造メーカーに販売され，当該塗布現像処理装置が，ウェハ製造メーカー側の工場に設置される際には，ベンダー側の作業員により，塗布現像処理装置のいわゆる立ち上げ作業が行われる。この立ち上げ作業は，塗布現像処理装置内の各処理ユニット等を設定，調節し，塗布現像処理装置の稼動を開始できる状態にする作業である。
ところで，前記立ち上げ作業は，予め定められているチェック事項に従って行われ，作業員がその時設定等した各種設定値，調整値等を所定の用紙に記載する，いわゆるチェックリストの作成作業が行われる。この時作成されるいわゆるチェックリストは，作業員の設定，調整漏れを防止し，初期の設定情報等を保存しておくためのものである。
しかしながら，多数のチェック事項を有する塗布現像処理装置においては，前記チェックリストは，数十頁にも及び，これを完成させるためには，多大な時間を要していた。また，作業員のチェックリスト作成作業には，記入漏れや転記ミスを伴い，それを訂正するには，さらに時間がかかっていた。
このように，いわゆるチェックリストの作成に時間がかかると，ウェハ製造メーカー側への塗布現像処理装置の引き渡しが遅れ，ウェハ処理の開始も遅れることになる。
発明の開示
本発明は，かかる点に鑑みてなされたものであり，塗布現像処理装置等の基板の処理装置の立ち上げ作業時におけるチェックリストの作成を迅速かつ正確に行う基板の処理装置を提供することをその目的とする。
本発明は，基板の処理を行う処理装置であって，前記処理装置を稼動させるための各種機器，部材等の諸元を設定するために，前記処理装置の設定事項に関する設定情報を入力する設定入力部と，前記処理装置における所定のチェック事項に関するチェックリスト画面を表示する表示部とを備え，前記チェック事項には，前記設定事項が含まれており，前記設定入力部で入力された設定情報は，前記チェックリスト画面における当該設定情報に対応するチェック事項の欄に自動的に表示される。
本発明の基板の処理装置において，前記設定入力部からでは設定できないチェック事項に関するチェック情報を入力する入力部を備え，前記入力部から入力されたチェック情報は，前記チェックリスト画面における当該チェック情報に対応するチェック事項の欄に表示されてもよい。
本発明の基板の処理装置において，前記チェックリスト画面は，既にチェック済みのチェック事項と未チェックのチェック事項とが識別できるように表示されるようにしてもよい。
本発明の基板の処理装置において，前記チェックリスト画面には，前記処理装置の設定作業を行った作業員に関する情報が表示されるようにしてもよい。
本発明の基板の処理装置において，前記チェックリスト画面は，表示されたチェック事項のチェック情報が当該チェック事項の標準チェック情報と異なっている場合に，当該チェック事項が識別できるように表示されるようにしてもよい。
本発明の基板の処理装置は，前記チェックリスト画面に表示されたチェック事項に関するチェック情報を，前記処理装置のベンダーにインターネットを介して送信するための通信手段を備えていてもよい。
本発明の基板の処理装置は，他の基板の処理装置に関するチェック情報を入手するための通信手段を備えていてもよい。
本発明の基板の処理装置によれば，表示部に，処理装置のチェック事項に関するチェックリスト画面が表示される。処理装置の部材等の諸元を設定するために入力された設定情報は，前記チェックリスト画面の所定の欄に自動的に記入され，表示される。これにより，作業員が前記設定情報を改めて所定用紙のチェックリストに記載する必要が無くなるので，その分チェックリストが迅速に作成される。また，設定入力された設定情報は，そのままチェックリストに記入されるので，従来のような転記ミスが無くなり，チェックリストをより正確に作成できる。さらに，チェックリストが画面として表示されるので，作業員が当該画面を見ながら作業を進めることができ，作業の効率化が図られる。また，ペーパとしての保存が要求される場合には，ハードコピーするなどしてプリントアウトすればよい。なお，前記処理装置の各種機器，部材等の諸元には，例えば基板の処理を行うために処理装置内に設けられている各種ユニット，当該ユニットを構成する部材等が含まれる。また，チェック事項には，前記設定事項の他，調整事項，確認事項等が含まれる。例えば，チェック事項には，各処理の処理温度，処理湿度，処理ユニット内の風速，処理液の吐出量，吐出流量等の各種事項が含まれる。
また，本発明において，前記設定入力部からでは設定できないチェック事項に関するチェック情報を入力する入力部をさらに備え，前記入力部から入力されたチェック情報を，前記チェックリスト画面における当該チェック情報に対応するチェック事項の欄に表示させるようにした場合，表示部の画面上において，全てのチェック事項を記入することができる。なお，前記設定入力部からでは設定できないチェック事項には，例えば作業員の作業によって検査，測定され，その測定値等を記入するチェック事項等が含まれる。例えば，当該チェック事項には，各処理ユニットにおける基板のセンタ位置，処理液吐出ノズルの位置，搬送ユニットの基準位置等が含まれる。
また本発明において，前記チェックリスト画面が，既にチェック済みのチェック事項と未チェックのチェック事項とが識別できるように表示されるようにした場合には，作業員が未チェックの事項を把握し易くなり，作業の効率化が図られ，また，チェック漏れもなくなる。なお，識別表示は，未チェック事項とチェック済み事項とを色分けして表示したり，未設定事項を抽出して表示したりしてもよい。
また上述のチェックリスト画面に表示される前記設定作業を行った作業員に関する情報には，例えば作業員の氏名，社員番号，所属事業所名称等が含まれる。また，チェックリスト画面に，作業員の氏名を記載することによって，チェック済み事項の確認サインとしての機能を持たせるようにしてもよい。すなわち，前記チェックリスト画面の各チェック事項に対して作業員の確認サインを表示するようにしてもよい。
本発明の基板の処理装置において，チェックリスト画面に表示されたチェック事項のチェック情報が標準チェック情報と異なっている場合に，当該チェック事項を識別できるようにした場合，作業員は，チェック情報が標準のものと異なることを確認でき，当該チェック情報の再確認等を行うことができる。なお，標準チェック情報は，例えば同じ仕様の処理装置であって，予め定められた基準となる処理装置のチェック情報であってもよいし，既にチェックが終了し，正常に稼動している処理装置のチェック情報であってもよい。
本発明の基板の処理装置が，前記チェックリスト画面に表示されたチェック事項に関するチェック情報を，前記処理装置のベンダーにインターネットを介して送信するための通信手段をさらに備えた場合には，作業員の行った設定内容や，立ち上げ作業の進捗状況を逐次ベンダーに通知することができる。これにより，専門家であるベンダー側の管理者が，立ち上げ作業を監視し，必要な場合には，作業員に迅速に指示を与えることができる。また，作業終了後に，チェックリスト画面を送信し，ベンダー側がチェックリストとして保存することができる。
本発明の基板の処理装置が，他の基板の処理装置に関するチェック情報を入手するための通信手段をさらに備えた場合には，必要に応じて他の処理処理のチェック情報を入手し，当該チェック情報とチェックリスト画面に表示されたチェック情報とを比較し，異なる部分を他の処理装置のチェック情報と合わせたり，再確認したりすることができる。したがって，立ち上げ作業をより正確かつ慎重に行うことができる。
発明を実施するための最良の形態
以下，本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は，本実施の形態にかかる処理装置としての塗布現像処理装置１の構成の概略を示す斜視図であり，図２は，塗布現像処理装置１の平面図である。
例えば塗布現像処理装置１は，図１，図２に示すように例えば２５枚のウェハＷをカセット単位で外部から塗布現像処理装置１に対して搬入出したり，カセットＣに対してウェハＷを搬入出したりするカセットステーション２と，ウェハＷの処理が枚葉式で行われる各種処理ユニットを複数有する処理ステーション３と，この処理ステーション３に隣接して設けられている図示しない露光処理装置との間でウェハＷの受け渡しを行うインターフェイス部４とを一体に接続した構成を有している。
カセットステーション２では，図２に示すようにカセット載置台１０上の所定の位置に，複数のカセットＣがＸ方向（図２中の上下方向）に一列に載置自在になっている。また，カセットステーション２には，ウェハ搬送ユニット１１が搬送路１２に沿ってＸ方向に移動自在に設けられている。ウェハ搬送ユニット１１は，カセットＣに対してウェハＷを搬入出することができ，さらに，後述する処理ステーション３側の第３の処理ユニット群Ｇ３に属するエクステンションユニット５３に対してもアクセスし，ウェハＷを搬送することができる。また，カセットステーション２には，図１に示すように塗布現像処理装置１の後述するコントロールセクション１３が設けられている。
処理ステーション３には，図２に示すようにその中心部に主搬送ユニット２０が設けられており，この主搬送ユニット２０の周辺には各種処理ユニットが多段に配置された複数の処理ユニット群Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４が設けられている。例えば第１及び第２の処理ユニット群Ｇ１，Ｇ２は，塗布現像処理装置１の正面側に配置され，第１の処理ユニット群Ｇ１には，図３に示すようにウェハＷにレジスト液を塗布しレジスト膜を形成するレジスト塗布ユニット２１及びウェハＷを現像処理する現像処理ユニット２２が下から順に２段に設けられている。第２の処理ユニット群Ｇ２も同様に，レジスト塗布ユニット２３及び現像処理ユニット２４が下から順に設けられている。
例えば，レジスト塗布ユニット２１は，図４に示すようにケーシング２１ａ内に，ウェハＷを吸着保持し回転させるためのスピンチャック３０，スピンチャック３０に保持されたウェハＷの外方を取り囲む略筒状のカップ３１，ウェハＷの上方からレジスト液を吐出するレジスト液吐出ノズル３２，ケーシング２１ａ内に清浄な気体を供給する気体供給管３３を有する。
レジスト液吐出ノズル３２は，レジスト液供給管３４に接続されており，レジスト液供給管３４には，レジスト液の吐出流量を調節するための調節弁３５が設けられている。この調節弁３５は，吐出量制御部３６により制御されており，レジスト液吐出ノズル３２からのレジスト液の吐出量は，所定の吐出量に制御される。
気体供給管３３には，気体の供給量を調節するダンパ３７が設けられている。ダンパ３７は，気体供給制御部３８により制御されており，気体供給管３３からの供給量が制御される。これにより，カップ３１内の風速が制御され，処理時のカップ３１内を風速を所定の風速に維持することができる。また，気体供給管３３には，気体の温度，湿度を調節する温湿度調節部３９が設けられている。これにより，カップ３１内に供給される気体の湿度，温度を調節することができ，カップ３１内を所定の温度，湿度に維持することができる。なお，吐出量制御部３６，気体供給制御部３８及び温湿度調節部３９は，後述するコントロールセクション１３からの設定情報に基づいて各種制御を行う。
一方，処理ステーション３の第３の処理ユニット群Ｇ３は，図２に示すようにカセットステーション２に隣接して配置されている。第３の処理ユニット群Ｇ３には，例えば図５に示すように，ウェハＷを冷却処理するクーリングユニット５０，５１，レジスト液とウェハＷとの定着性を高めるためのアドヒージョンユニット５２，ウェハＷの受け渡しを行うためのエクステンションユニット５３，レジスト液中の溶剤を蒸発させるためのプリベーキングユニット５４及び５５が下から順に例えば６段に積み重ねられている。
第４の処理ユニット群Ｇ４は，インターフェイス部４に隣接して配置されている。第４の処理ユニット群Ｇ４には，例えばクーリングユニット６０，載置したウェハＷを自然冷却させるエクステンション・クーリングユニット６１，エクステンションユニット６２，露光後の加熱処理を行うポストエクスポージャーベーキングユニット６３及び６４，現像処理後の加熱処理を行うポストベーキングユニット６５及び６６が下から順に例えば７段に積み重ねられている。
インターフェイス部４には，図２に示すように例えばウェハ搬送ユニット７０と周辺露光ユニット７１が設けられている。ウェハ搬送ユニット７０は，第４の処理装置群Ｇ４に属するエクステンション・クーリングユニット６１，エクステンションユニット６２，周辺露光ユニット７１及び図示しない露光処理装置に対してアクセスして，各々に対してウェハＷを搬送できるように構成されている。
次に，コントロールセクション１３の構成について説明する。コントロールセクション１３は，塗布現像処理装置１で行われる処理に関する制御を行うためのセクションである。コントロールセクション１３は，例えば図６に示すように設定入力部８０，主制御部８１，記憶部８２，表示部８３及び入力部としてのマニュアル入力部８４とを有する。
設定入力部８０は，例えば塗布現像処理装置１全体や各種ユニットに関する設定情報を入力し，設定するためのものである。ここで，各種ユニットとは，上述の主搬送ユニット２０，ウェハ搬送ユニット１１，７０，レジスト塗布ユニット２１，２３，現像処理ユニット２２，２４，クーリングユニット５０，５１，６０，アドヒージョンユニット５２，エクステンションユニット５３，６２，プリベーキングユニット５４，５５，エクステンション・クーリングユニット６１，ポストエクスポージャーベーキングユニット６３，６４，ポストベーキングユニット６５，６６，周辺露光ユニット７１等である。
設定入力部８０は，例えば図１に示すようにカセットステーション２の正面側に設けられている。設定入力部８０は，例えばポインティングデバイスであるタッチスクリーンで構成され，塗布現像処理装置１を稼動させるための各種設定情報を，画面の所定部分から入力することによって，前記各種ユニット等を設定することができる。また，設定入力部８０に入力された設定情報は，後述する表示部８３のチェックリスト画面Ｔにチェック情報として出力される。すなわち，設定入力部８０は，後述するチェックリスト画面Ｔの入力装置としても機能する。
主制御部８１は，例えば設定入力部８０から入力された設定情報に基づいて，塗布現像処理装置１全体及び各種ユニット等を直接制御したり，各種ユニットの制御部等に設定情報を送信し，当該ユニット等を間接的に制御する。
記憶部８２は，例えば複数の記憶領域を有し，設定入力部８０から入力される設定情報や主制御部８１で実行される所定のプログラム等が格納される。
表示部８３は，例えばドットマトリクスタイプのカラー液晶表示セル若しくはＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）等から構成され，図７に示すように塗布現像処理装置１の立ち上げ作業時に作成される所定形式のチェックリスト画面Ｔを表示する。表示部８３は，例えば図１に示すようにカセットステーション２の正面側であって，設定入力部８０に隣接して設けられ，作業員が設定情報を入力しながら，チェックリスト画面Ｔを確認することができる。
チェックリスト画面Ｔには，例えば予めベンダー等によって定められたチェック事項が羅列されている。チェック事項は，例えば塗布現像処理装置１全体及び各種ユニットに関する設定，調整，確認事項である。また各チェック事項には，当該チェック事項の内容であるチェック情報，チェック日付／時間及び作業員のサインを記載する欄が設けられている。
チェック情報の欄の一部は，設定入力部８０及び後述のマニュアル入力部８４からの入力情報が表示されるようになっており，設定入力部８０及び後述のマニュアル入力部８４から入力された入力情報は，当該入力情報に対応したチェック事項の欄の所定部分に自動的に記入され，表示される。
チェック日付／時間の欄には，例えば塗布現像装置１に設けられた図示しない時計機能と同じ日付，時間が表示される。また，作業員のサインの欄には，例えばマニュアル入力部８４からの入力情報が表示されるようになっており，マニュアル入力部８４から作業員の氏名を記入することができる。また，作業員の氏名を入力する際には，必要に応じて，例えばパスワード，ＩＤコード等を入力させるようにしてもよい。
また，チェックリスト画面Ｔには，例えば立ち上げ作業が行われた塗布現像処理装置のシリアル番号，全作業員の氏名を表示する欄が設けられており，例えばマニュアル入力部８４を用いて入力することができる。
マニュアル入力部８４は，例えばカーソールキーや数字入力キー等を備えたキーボード等から構成され，前記設定入力部８０によって設定できる設定事項以外のチェック事項についてのチェック情報を，チェックリスト画面Ｔに入力できる。また，上述のように作業員のサイン欄に記入される作業員の氏名を入力することもできる。マニュアル入力部８４は，例えば図１に示すように表示部８３に隣接して設けられる。
次に，上述した塗布現像処理装置１の立ち上げ作業時のチェックリスト作成プロセスについて説明する。
先ず，ベンダー側の作業員は，塗布現像処理装置１の識別番号，自己の氏名をマニュアル入力部８４から入力し，表示部８３のチェックリスト画面Ｔに記入する。このとき，作業員が複数いる場合には，例えば全員の氏名を記入する。次いで，表示部８３に表示されたチェックリスト画面Ｔの項目に従って，各種設定，調整，確認を行う。例えば，図７に示すようにチェック事項に，レジスト塗布ユニット２１のカップ内温湿度設定，カップ内風速設定，レジスト液吐出量設定，レジスト液吐出ノズルの高さ調整，ウェハのセンタ位置調整等が挙がっている場合，作業員は，先ず，設定入力部８０において，図８に示すようなレジスト塗布ユニット２１に関する設定入力画面Ｓを開く。設定入力画面Ｓは，例えばレジスト塗布ユニット２１に関する各設定事項に対し，各設定情報を入力する設定情報欄と，設定を確定する確定ボタン等がある。
次いで作業員は，例えば図９に示すようにカップ内温湿度，カップ内風速，レジスト液吐出量の設定情報欄に，ベンダー側で推奨する所定の数値を入力する。そして，確定ボタンを押下すると，例えば主制御部８１から温湿度調節部３９，気体供給制御部３８及び吐出量制御部３６に，当該所定の数値等の設定情報が出力され，カップ３１内の温湿度，カップ３１内の風速，レジスト液の吐出量が設定される。
これと同時に，設定入力画面Ｓで入力された各数値は，図１０に示すように表示部８３におけるチェックリスト画面Ｔの各チェック情報の欄に表示される。このとき，立ち上げ作業の行われた日付，時間が日付／時間欄に表示される。その後，当該チェック事項に関する作業を行った作業員の氏名が，例えばマニュアル入力部８４から入力され，作業員サイン欄に記入される。
一方，作業員が，例えばレジスト塗布ユニット２１のレジスト液吐出ノズルの位置調整，スピンチャック３０上のウェハのセンタ位置調整を行う場合，先ず，作業員がノギス，治具等の測定器具を用いてレジスト液吐出ノズル３２の位置やウェハＷのセンタ位置を実測する。次いで，当該実測値が許容範囲内のものである場合には，当該実測値をマニュアル入力部８４から入力し，チェックリスト画面Ｔのチェック情報欄に記入する。一方，実測値が許容範囲でない場合には，レジスト液吐出ノズル３２の位置等を補正，修正し，再度測定して，当該実測値をマニュアル入力部８４から入力する。これにより，当該補正後の実測値がチェックリスト画面Ｔのチェック情報欄に記入される。このとき，上記設定入力部８０からの入力と同様に，日付，時間が自動的に記入される。その後，例えばマニュアル入力部８４から当該作業を行った作業員の氏名が入力され，チェックリスト画面Ｔの作業員のサイン欄に記入される。
このようにして，チェックリスト画面Ｔのチェック事項に従って，設定入力部８０からの入力と，マニュアル入力部８４からの入力を順次行っていくことによって，画面上にチェックリストが作成される。
こうして全てのチェック事項が記入されたチェックリスト画面Ｔは，例えばチェックリスト情報としてコントロールセクション１３の記憶部８２に保存される。また，必要に応じてプリンタ等の図示しない印刷装置によって出力する。
以上の実施の形態によれば，立ち上げ作業時に作成されるチェックリストを，塗布現像処理装置１の表示部８３にチェックリスト画面Ｔとして表示しておき，設定入力部８０で設定された設定値等の設定情報が，そのまま自動的にチェックリスト画面Ｔに記入されるようにしたので，チェックリストの記入ミスや記入漏れが防止できる。また，作業員が一々設定値等を書き留めておく必要がないので，チェックリストの作成が迅速に行われて，立ち上げ作業に要する時間が短縮される。
また，マニュアル入力部８４を備えたので，設定入力部８０の設定事項でないチェック事項に関しては，作業員がマニュアルで設定，調整，確認等した後，当該設定値等をマニュアル入力部８４からチェックリスト画面Ｔに記入できる。
かかる実施の形態で記載したチェックリスト画面Ｔにおいて，既にチェック済みのチェック事項とそうでないチェック事項とを識別して表示するようにしてもよい。例えば，図１１に示すようにチェック済みのチェック事項と未チェックの事項とを色分け表示する。かかる場合，未チェック事項が一見して分かるので，チェック漏れが防止される。なお，チェック事項の識別は，他の方法，例えば明度，点滅によって識別するようにしてもよい。また，未チェック事項のみを抽出して表示するようにしてもよい。
以上の実施の形態では，マニュアル入力部８４を単独で設けたが，表示部８３に入力機能を設けて，一体化させてもよい。この場合，例えば表示部８３は，ポインティングデバイスであるタッチスクリーン等で構成され，設定入力部８０から入力されないチェック事項や作業員のサインを表示部８３のチェックリスト画面Ｔに直接入力することができる。
また，前記実施の形態では，設定入力部８０と表示部８３とが別々に設けられていたが，双方の機能を有する機器を用いて設定入力とチェックリスト画面の表示を一箇所で行ってもよい。例えば，タッチスクリーンになっている設定入力部８０にチェックリスト画面Ｔを表示できるようにする。そして，このチェックリスト画面Ｔと設定入力画面Ｓとを切り替え可能にする。これにより，設定入力とチェックリストの表示を一箇所で行うことができる。なお，設定入力部８０は，タッチスクリーンであるため，前記マニュアル入力部８４で行われるマニュアル入力を行うこともできる。
さらに，以上の実施の形態で記載したチェックリスト画面Ｔに表示されたチェック情報を，インターネットを介してベンダー側に送信できるようにしてもよい。
図１２は，チェックリスト画面Ｔに表示されたチェック情報をベンダー側に送信するための通信システム１００の構成概略図である。工場１０１側には，同一仕様の複数の塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎと，それらの塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎを一括管理するＡＧＣ（Ａｄｖａｎｃｅｄ  Ｇｒｏｕｐ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）１０２が設けられている。ＡＧＣ１０２と塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎとは，ＬＡＮ１０３で接続されている。例えば塗布現像処理装置Ｍ１のコントロールセクション１０４には，図１３に示すようにＡＧＣ１０２と情報を通信するために通信手段としての通信部１０５が設けられている。また，ＡＧＣ１０２にも，図示しない通信部が設けられている。
一方，ベンダー１０６側には，ホストコンピュータ１０７が設けられている。ホストコンピュータ１０７には，図示しない通信部が設けられている。ホストコンピュータ１０７とＡＧＣ１０２とは，インターネット１０８を介して接続されており，互いに通信することができる。かかる構成により，塗布現像処理装置Ｍ１における表示部８３のチェック情報を，ＡＧＣ１０２を介してインターネット１０８を通じてベンダー１０６側のホストコンピュータ１０７に送信できる。そして，例えば塗布現像処理装置Ｍ１の立ち上げ作業時に，チェックリスト画面Ｔに表示されたチェック情報を，所定時間毎にベンダー１０６側に送信するようにする。これにより，当該チェック情報を受け取った専門家であるベンダー１０６側の管理者は，当該チェック情報に基づいて工場１０１側にいる作業員に指示等を与え，当該立ち上げ作業を指揮監督することができる。また，ベンダー１０６が，チェック情報をチェックリストとして入手し，ベンダー１０６でデータとして保存しておくことができる。さらに，工場１０１側で保存されたチェック情報を必要に応じていつでも入手することができる。
かかる実施の形態において，塗布現像処理装置Ｍ１が，既に立ち上げ作業の終了している他の塗布現像処理装置，例えば塗布現像処理装置Ｍ２のチェック情報を入手し，当該チェック情報を標準チェック情報として，チェックリスト画面Ｔのチェック情報と比較検討するようにしてよい。例えば，通信部１０５が，塗布現像処理装置Ｍ２のチェック情報をＬＡＮ１０３を介して入手し，例えば記憶部８２に格納する。そして，所定のプログラムによって塗布現像処理装置Ｍ２のチェック情報とチェックリスト画面Ｔに表示されているチェック情報とを比較し，相異する事項については，識別表示する。作業員は，当該相異する事項については，例えば再度設定，確認等を行うようにする。こうすることにより，設定，調整ミス等が抑制され，立ち上げ作業がより正確に行われる。
また，標準チェック情報として，他のチェック情報，例えば正常に既に稼動している塗布現像処理装置のチェック情報，他の工場の塗布現像処理装置のチェック情報，予めベンダーが作成した理想チェック情報等であってもよい。なお，他の工場の塗布現像処理装置のチェック情報を入手する場合，例えばインターネット１０８を介してホストコンピュータ１０７が他の工場のチェック情報を入手し，塗布現像処理装置Ｍ１に送信するようにしてもよい。
以上で記載した実施の形態は，塗布現像処理装置に関するものであったが，本発明は，他の処理装置，例えば露光装置，エッチング装置，検査装置等にも応用される。また，本発明は，ウェハの処理装置に適用されたが，ウェハ以外の基板，例えばＬＣＤ基板，フォトマスク用のマスクレチクル基板等の処理装置においても適用できる。
産業上の利用可能性
半導体デバイスの製造を行う塗布現像処理装置において，作業員などが立ち上げ作業時のチェックリストを作成する際に有用である。
【図面の簡単な説明】
図１は，実施の形態にかかる塗布現像処理装置の概略を示す斜視図である。
図２は，塗布現像処理装置の構成の概略を示す平面図である。
図３は，図２の塗布現像処理装置の正面図である。
図４は，レジスト塗布ユニットの構成の概略を示す縦断面の説明図である。
図５は，図２の塗布現像処理装置の背面図である。
図６は，コントロールセクションの構成を示すブロック図である。
図７は，チェックリスト画面の例を示す説明図である。
図８は，設定入力画面の例を示す説明図である。
図９は，数値が入力された設定入力画面の例を示す説明図である。
図１０は，チェック情報が入力されたチェックリスト画面の例を示す説明図である。
図１１は，チェック済みのチェック事項を識別表示する場合のチェックリスト画面の例を示す説明図である。
図１２は，チェック情報をベンダーに送信するための送信システムの概略構成図である。
図１３は，通信部を設けたコントロールセクションの構成を示すブロック図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2003005423.tif 000008
【図７】
2003005423.tif 000009
【図８】
2003005423.tif 000010
【図９】
2003005423.tif 000011
【図１０】
2003005423.tif 000012
【図１１】
2003005423.tif 000013
【図１２】
2003005423.tif 000014
【図１３】
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【国際調査報告】
2003005423.tif 000016
2003005423.tif 000017