(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚積み重ねられた略四角形の可撓性板状体を最上部から枚葉で取り出す取出装置において、
最上部の可撓性板状体の一部分を押えて固定する固定手段と、
前記可撓性板状体の他の部分を上方から吸着して引き上げる吸着手段と、
前記可撓性板状体の引き上げられた端面部分を擦る摺接体とを備え、
前記固定手段によって最上部の可撓性板状体の一部分を押えて固定し、前記吸着手段によって前記可撓性板状体の他の部分を吸着して上方に引き上げて反らし、この引き上げられた端面部分を前記摺接体によって擦った後に、最上部の可撓性板状体を上方に引き上げて取り出すことを特徴とする可撓性板状体の取出装置。
【請求項２】
前記固定手段は、前記可撓性板状体の一対の対角位置端部を固定し、前記吸着手段は、前記可撓性板状体の他の一対の対角位置端部を吸着することを特徴とする請求項１記載の可撓性板状体の取出装置。
【請求項３】
前記可撓性板状体の略中央部を吸着して引き上げる引上手段をさらに備え、
前記固定手段によって前記可撓性板状体の一対の対角位置端部を押えて固定し、前記吸着手段によって前記可撓性板状体の他の一対の対角位置端部を吸着して上方に引き上げて反らした後に、前記引上手段によって前記可撓性板状体の略中央部も吸着して上方に引き上げることを特徴とする請求項２記載の可撓性板状体の取出装置。
【請求項４】
前記吸着手段は、前記可撓性板状体の引上量を調整できることを特徴とする請求項１記載の可撓性板状体の取出装置。
【請求項５】
前記引上手段は、前記可撓性板状体の引上量を調整できることを特徴とする請求項３記載の可撓性板状体の取出装置。
【請求項６】
可撓性板状体の略中央部の引上量は、一対の対角位置端部の引上量より少ないことを特徴とする請求項３記載の可撓性板状体の取出装置。
【請求項７】
前記摺接体は、上下方向および／または前記可撓性板状体の端面部分に近接離反する方向に移動可能であることを特徴とする請求項１記載の可撓性板状体の取出装置。
【請求項８】
引き上げられた可撓性板状体の枚数を検出する検出手段をさらに備え、
前記検出手段による検出結果が２枚以上であるときに前記摺接体による動作を行うことを特徴とする請求項１記載の可撓性板状体の取出装置。
【請求項９】
複数枚積み重ねられた略四角形の可撓性板状体を最上部から枚葉で取り出す可撓性板状体の取出方法において、
最上部の可撓性板状体の一部分を押えて固定する工程と、
前記可撓性板状体の他の部分を吸着して上方に引き上げる工程と、
前記可撓性板状体の引き上げられた端面部分を摺接体で擦る工程とを含むことを特徴とする可撓性板状体の取出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数枚積み重ねられた太陽電池用多結晶シリコーンウエハなどの可撓性板状体を最上部から１枚ずつ吸着して取り出す可撓性板状体の取出装置および取出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
太陽電池用多結晶シリコーンウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）は、その特性上の問題で強度の幅が広く、僅かな応力や変形によって破損することがある。そこで、太陽電池の製造工程においては、複数枚積み重ねられた状態から最上部のウエハを１枚ずつ取り出す際に、取り出そうとする１枚目のウエハ端部を吸着手段で上方に引き上げて反らして変形させることによって、２枚目のウエハとの間に隙間を形成し、その隙間に周囲の空気を流入させて密着状態から剥離（分離）させて取り出す取出装置が一般に用いられている（たとえば、特開平９−１２４１７２号公報、特開平８−３３７３２８号公報、特開平６−１７９５３４号公報参照）。以下、図面を参照しながら典型的な従来の取出装置について説明する。
【０００３】
図１３は、従来の取出装置におけるウエハ取出しハンド１の概略を示す平面図であり、図１４はウエハ取出しハンド１の概略を示す正面図であり、図１５はウエハ取出しハンド１の概略を示す側面図である。
【０００４】
ウエハ２は略正方形の板状体であり、製造工程では図１４および図１５に示すように複数枚積み重ねられた状態で供給される。取出装置は、複数枚積み重ねられた略四角形のウエハ２を最上部から枚葉で取り出す装置であり、ウエハ取出しハンド１を備える。ウエハ取出しハンド１は、図示しないエアーシリンダ機構などの駆動部を有し、取出装置の制御部（図示せず）からの制御によって昇降動作を行う。
【０００５】
ウエハ取出しハンド１は、ウエハ２と略同じ大きさの略正方形の支持板１ａを備え、この支持板１ａの一対の対角位置端部にはそれぞれ吸着パッド３が１個ずつ取り付けられており、他の一対の対角位置端部にはそれぞれ固定パッド４が１個ずつ取り付けられている。さらに、支持板１ａの中央部にはベルヌイチャックユニット５が取り付けられている。
【０００６】
図１６は、取出装置によるウエハ２の取出動作を説明するための正面図である。図１６（ａ）は、ウエハ２の取出動作開始時の動作状態を示している。この状態は、ウエハ取出しハンド１全体が下降し、固定パッド４（図１３および図１４参照）がウエハ２の一対の対角位置端部に当接して下降が停止し、吸着パッド３はウエハ２に当接しているがまだ吸着していない状態である。
【０００７】
図１６（ｂ）は、吸着パッド３によってウエハ２を吸着した状態を示している。吸着パッド３の変形（収縮）によって１枚目（最上部）のウエハ２ａの他の一対の対角位置端部が上方に引き上げられ、２枚目のウエハ２ｂとの間に隙間６が発生し、外気が内部に向かって流入している。
【０００８】
図１６（ｃ）は、ウエハ取出しハンド１の中央部に備えられたベルヌイチャックユニット５によって１枚目のウエハ２ａの中央部を引き上げた状態を示している。中央部を引き上げることによって、引き上げられた対角位置端部で発生した隙間６が繋がり、ウエハ２ａの引き上げられた対角位置端部間に連続したトンネル（空洞）が形成される。このとき、図示しない固定パッド４は一対の対角位置端部を上方から押えた状態であり、その位置では１枚目のウエハ２ａと２枚目のウエハ２ｂとは密着している。
【０００９】
図１６（ｄ）は、図１６（ｃ）に示す状態（ウエハ２ａの他の一対の対角位置端部を吸着パッド３で吸着し、中央部をベルヌイチャックユニット５で引き上げた状態）から、ウエハ取出しハンド１を矢印Ｒ１方向へ、図示しないエアーシリンダ等の駆動機構によって上昇させた状態を示している。ウエハ取出しハンド１を上昇させることによって、１枚目のウエハ２ａと２枚目のウエハ２ｂとが完全に分離され、取出作業が完了する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ウエハ２を取り出す際、ウエハ２の反らし量が小さいと破損は発生し難くなるが、密着状態からの剥離（分離）が充分でなく、数枚重なったままウエハ２が取り出されてしまうことがある。一方、ウエハ２の反らし量を大きくすると、分離は確実に行えるが、変形応力の増大による破損が発生し易くなる。このように、反らし量の調整だけではウエハ２を破損させることなく１枚ずつ取り出すのは大変困難であり、最適な取出装置および取出方法が切望されている。
【００１１】
本発明の目的は、取り出そうとするウエハなどの可撓性板状体を破損させることなく、確実に１枚ずつ分離して取り出すことができる可撓性板状体の取出装置および取出方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数枚積み重ねられた略四角形の可撓性板状体を最上部から枚葉で取り出す取出装置において、
最上部の可撓性板状体の一部分を押えて固定する固定手段と、
前記可撓性板状体の他の部分を上方から吸着して引き上げる吸着手段と、
前記可撓性板状体の引き上げられた端面部分を擦る摺接体とを備え、
前記固定手段によって最上部の可撓性板状体の一部分を押えて固定し、前記吸着手段によって前記可撓性板状体の他の部分を吸着して上方に引き上げて反らし、この引き上げられた端面部分を前記摺接体によって擦った後に、最上部の可撓性板状体を上方に引き上げて取り出すことを特徴とする可撓性板状体の取出装置である。
【００１３】
本発明に従えば、固定手段と吸着手段とによって反らされた可撓性板状体の端面部分が、摺接体によって擦られる。これによって、たとえば２枚の可撓性板状体が密着した状態で吸着されていた場合、摺接体によって端面部分が擦られて２枚の可撓性板状体間に隙間が生じ、その隙間に周囲から外気が流入して、２枚目の可撓性板状体が１枚目の可撓性板状体から分離される。分離された２枚目の可撓性板状体は、下方に落下する。３枚以上の可撓性板状体が密着していた場合も、同様にして２枚目以降の可撓性板状体が分離される。したがって、密着している可撓性板状体を分離するために、可撓性板状体を過剰に反らせる必要がなくなるので、発生する応力が小さくなり、可撓性板状体の破損を防止できる。また、確実に１枚ずつ可撓性板状体を取り出すことができるので、安定した可撓性板状体の供給が可能となる。
【００１４】
また本発明は、前記固定手段は、前記可撓性板状体の一対の対角位置端部を固定し、前記吸着手段は、前記可撓性板状体の他の一対の対角位置端部を吸着することを特徴とする。
【００１５】
本発明に従えば、可撓性板状体における固定位置と吸着位置との距離が比較的長くなるので、可撓性板状体の反らし量を比較的大きくしても発生する応力は小さく、可撓性板状体の破損を防止できる。また、可撓性板状体を比較的大きく反らすことができるので、密着している可撓性板状体を分離しやすくなる。
【００１６】
さらに本発明は、前記可撓性板状体の略中央部を吸着して引き上げる引上手段をさらに備え、
前記固定手段によって前記可撓性板状体の一対の対角位置端部を押えて固定し、前記吸着手段によって前記可撓性板状体の他の一対の対角位置端部を吸着して上方に引き上げて反らした後に、前記引上手段によって前記可撓性板状体の略中央部も吸着して上方に引き上げることを特徴とする。
【００１７】
本発明に従えば、可撓性板状体は一対の対角位置端部が押えられて固定された状態で、他の一対の対角位置端部が上方に引き上げられるとともに、その中央部も引き上げられるので、引き上げられた対角位置端部間が繋がってトンネル（空洞）が形成され、外気が中央部まで流入し、確実に可撓性板状体を分離することができる。
【００１８】
また本発明は、前記吸着手段は、前記可撓性板状体の引上量を調整できることを特徴とする。
【００１９】
また本発明は、前記引上手段は、前記可撓性板状体を引上量を調整できることを特徴とする。
【００２０】
本発明に従えば、可撓性板状体の厚みや強度などの特性に応じて引上量、すなわち反らせる量を調整できる。これによって、発生する応力を考慮して可撓性板状体を最適な量だけ反らせることができるので、可撓性板状体を破損させることなく確実に分離することができる。
【００２１】
また本発明は、可撓性板状体の略中央部の引上量は、前記他の一対の対角位置端部の引上量より少ないことを特徴とする。
【００２２】
本発明に従えば、可撓性板状体の中央部の引上量は引き上げられた対角位置端部の引上量よりも少ないので、可撓性板状体に発生する応力が小さくなり、可撓性板状体の破損を防止することができる。
【００２３】
また本発明は、前記摺接体は、上下方向および／または前記可撓性板状体の端面部分に近接離反する方向に移動可能であることを特徴とする。
【００２４】
本発明に従えば、摺接体は上下方向に移動するので、可撓性板状体の端面部分を充分に擦ることができ、可撓性板状体を確実に分離することができる。また、摺接体は、可撓性板状体の端面部分に近接離反する方向に移動するので、必要時にのみ端面部分に接触させ、不要時は離反させることができ、他の動作時に摺接体が邪魔にならず、スムーズに取出作業を行うことができる。
【００２５】
また本発明は、引き上げられた可撓性板状体の枚数を検出する検出手段をさらに備え、
前記検出手段による検出結果が２枚以上であるときに前記摺接体による動作を行うことを特徴とする。
【００２６】
本発明に従えば、２枚以上の可撓性板状体が密着した状態で引き上げられたときだけ、摺接体で可撓性板状体の端面部分を擦る分離動作を行うようにしたので、無駄な動作を省くことができ、可撓性板状体を効率良く取り出すことができる。
【００２７】
さらに本発明は、複数枚積み重ねられた略四角形の可撓性板状体を最上部から枚葉で取り出す可撓性板状体の取出方法において、
最上部の可撓性板状体の一部分を押えて固定する工程と、
前記可撓性板状体の他の部分を吸着して上方に引き上げる工程と、
前記可撓性板状体の引き上げられた端面部分を摺接体で擦る工程とを含むことを特徴とする可撓性板状体の取出方法である。
【００２８】
本発明に従えば、上方に引き上げられることによって反らされた可撓性板状体の端面部分が、摺接体によって擦られる。これによって、たとえば２枚の可撓性板状体が密着した状態で吸着されていた場合、摺接体によって端面部分が擦られて２枚の可撓性板状体間に隙間が生じ、その隙間に周囲から外気が流入して、２枚目の可撓性板状体が１枚目の可撓性板状体から分離される。分離された２枚目の可撓性板状体は、下方に落下する。３枚以上の可撓性板状体が密着していた場合も、同様にして２枚目以降の可撓性板状体が分離される。したがって、密着している可撓性板状体を分離するために、可撓性板状体を過剰に反らせる必要がなくなるので、発生する応力が小さくなり、可撓性板状体の破損を防止できる。また、確実に１枚ずつ可撓性板状体を取り出すことができるので、安定した可撓性板状体の供給が可能となる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の第１実施形態である取出装置におけるウエハ取出しハンド１１の概略を示す平面図であり、図２はウエハ取出しハンド１１の概略を示す正面図であり、図３はウエハ取出しハンド１１の概略を示す側面図である。
【００３０】
可撓性板状体であるウエハ１２は略正方形の板状体であり、製造工程では図２および図３に示すように複数枚積み重ねられた状態で供給される。取出装置は、複数枚積み重ねられた略四角形のウエハ１２を最上部から枚葉で取り出す装置であり、ウエハ取出しハンド１１を備える。ウエハ取出しハンド１１は、図示しないエアーシリンダ機構などの駆動部に取り付けられており、取出装置の制御部（図示せず）からの制御によって昇降動作を行う。
【００３１】
ウエハ取出しハンド１１は、ウエハ１２と略同じ大きさの略正方形の支持板１１ａを備え、この支持板１１ａの一対の対角位置端部にはそれぞれ吸着手段である吸着パッド１３が取り付けられており、他の一対の対角位置端部にはそれぞれ固定手段である固定パッド１４が取り付けられている。固定パッド１４は、たとえばねじ構造によって高さ調節が可能な棒状体の先端に低弾性ゴムを取り付けて構成されている。さらに、支持板１１ａの中央部には引上手段であるベルヌイチャックユニット１５が取り付けられている。
【００３２】
また、吸着パッド１３の近傍には、図示しない昇降機構に取り付けられたブラシ状の摺接体１６が２個ずつ設置されている。摺接体１６は、その先端部分がウエハ１２の端面部分に接触する位置に配置されており、前記昇降機構によって上下方向に移動可能である。摺接体１６は、ナイロン製またはポリアミド系樹脂製である。
【００３３】
図４は、取出装置によるウエハ１２の取出動作を説明するための正面図である。図４（ａ）は、ウエハ取出しハンド１１の一対の対角位置端部に取り付けられた吸着パッド１３によって最上部のウエハ１２ａを吸着し、中央部に備えたベルヌイチャックユニット１５によってウエハ１２ａの中央部を引き上げたままウエハ取出しハンド１１全体が上昇している状態を示している。この状態では、取り出そうとするウエハ１２ａの下側には吸着時に分離できなかった２枚目のウエハ１２ｂが密着したままになっている。このとき、ウエハ１２ａとウエハ１２ｂとはともに下側へ凸状態で変形している。
【００３４】
図４（ｂ）は、密着したままになっているウエハ１２ａとウエハ１２ｂの各端面部分に接触しながらブラシ状の摺接体１６が下降している状態を示している。この状態では、摺接体１６の摺接によってウエハ１２ｂは上側に凸形状に変形し、ウエハ１２ａとの間には隙間１７が生じ、周囲から外気が流入して分離が始まる。
【００３５】
図４（ｃ）は、ブラシ状の摺接体１６がさらに下降した状態を示し、密着していたウエハ１２ａとウエハ１２ｂとは完全に分離され、余分なウエハ１２ｂは下方へ落下していくことになる。
【００３６】
以上のように第１実施形態によれば、反らされたウエハ１２の端面部分を摺接体１６によって擦ることによって密着しているウエハ１２ｂを分離するので、密着しているウエハ１２ｂを分離するために、ウエハ１２を過剰に反らせる必要がなくなり、また発生する応力が小さくなり、ウエハ１２の破損を防止できる。また、確実に１枚ずつウエハ１２を取り出すことができるので、安定したウエハ１２の供給が可能となる。
【００３７】
また、ウエハ１２における固定位置と吸着位置との距離が比較的長くなるので、ウエハ１２の反らし量を比較的大きくしても発生する応力は小さく、ウエハ１２の破損を防止できる。また、ウエハ１２を比較的大きく反らすことができるので、密着しているウエハ１２ｂを分離しやすくなる。
【００３８】
さらに、ウエハ１２は一対の対角位置端部が押えられて固定された状態で、他の一対の対角位置端部が上方に引き上げられるとともに、その中央部も引き上げられるので、引き上げられた対角位置端部間が繋がってトンネル（空洞）が形成され、外気が中央部まで流入し、確実にウエハ１２を分離することができる。
【００３９】
また、摺接体１６は上下方向に移動するので、ウエハ１２の端面部分を充分に擦ることができ、ウエハ１２を確実に分離することができる。
【００４０】
図５は、本発明の第２実施形態である取出装置におけるウエハ取出しハンド２１の概略を示す平面図であり、図６はウエハ取出しハンド２１の概略を示す正面図であり、図７はウエハ取出しハンド２１の概略を示す側面図である。なお、第２実施形態は、前述の第１実施形態と構成が類似しているので、同一の構成には同一の参照符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４１】
第２実施形態の特徴は、吸着パッド１３およびベルヌイチャックユニット１５におけるウエハ１２の引上量を調整可能にするとともに、摺接体１６を上下方向だけでなく、ウエハ１２の端面に近接離反する方向に移動可能に構成したことである。
【００４２】
ウエハ１２は略正方形の板状体であり、製造工程では図６および図７に示すように複数枚積み重ねられた状態で供給される。ウエハ取出しハンド２１は、ウエハ１２と略同じ大きさの略正方形の支持板２１ａを備え、この支持板２１ａの一対の対角位置端部にはそれぞれ吸着パッド１３が取り付けられており、他の一対の対角位置端部にはそれぞれ固定パッド１４が取り付けられている。ウエハ取出しハンド２１は、図示しないエアーシリンダ機構などの駆動部を有し、取出装置の制御部（図示せず）からの制御によって昇降動作を行う。
【００４３】
吸着パッド１３は、エアーシリンダなどで実現される上下動作駆動部１８に取り付けられており、図示しないストッパによって動作ストローク、すなわちウエハ１２の引上量を調整することができる。さらに、支持板２１ａの中央部にはベルヌイチャックユニット１５が取り付けられている。ベルヌイチャックユニット１５は、エアーシリンダなどで実現される上下動作駆動部１９に取り付けられており、図示しないストッパによって動作ストローク、すなわちウエハ１２の引上量を調整することができる。また、吸着パッド１３の近傍には、図示しない前後・昇降動作機構に取り付けられた摺接体１６が２個ずつ設置されている。
【００４４】
図８および図９は、取出装置によるウエハ１２の取出動作を説明するための正面図である。図８（ａ）は、一対の対角位置端部の吸着パッド１３が積み重ねられたウエハ１２に接するまでウエハ取出しハンド２１が下降し、近傍に設置された摺接体１６が前進・下降した状態を示している。摺接体１６は、その先端部分がウエハ１２の端部表面に接触している。なお、前進とはウエハ１２の端面に近接する方向への移動をいい、また後退とはウエハ１２の端面から離反する方向への移動をいう。
【００４５】
図８（ｂ）は、積み重ねられて供給されたウエハ１２に接していた吸着パッド１３が図示しない真空ポンプ等の真空発生器によって最上部のウエハ１２ａを吸着した状態を示している。この状態では、吸着パッド１３内部の空間が真空状態で圧縮変形することによってウエハ１２ａを上方へ引き上げる作用が働く。その際に、吸着パッド１３に吸着されたウエハ１２ａ以外のウエハ、すなわちウエハ１２ａの裏面に密着していたウエハは近傍に設置された摺接体１６によってその端面部分を擦られ、剥がされる。なお、吸着パッド１３は、ジャバラ形状の方が圧縮変形による上方への引上げ効果が大きく有効である。
【００４６】
図８（ｃ）は、一対の対角位置端部の吸着パッド１３がウエハ１２ａを吸着したまま上下動作駆動部１８によって上方へ引き上げられた状態を示している。ウエハサイズが約１５０ｍｍ□で厚さが２００〜４００μｍの場合、この引上げ高さは３〜７ｍｍが適当である。
【００４７】
図９（ｄ）は、略中央部に取り付けられたベルヌイチャックユニット１５の吸着作用によって、ウエハ１２ａの中央部を引き上げた状態を示している。この状態で、吸着パッド１３によって吸着して取り出そうとするウエハ１２ａは、積み重ねられて供給されたウエハ１２から完全に分離される。このとき、ベルヌイチャックユニット１５によってウエハ１２ａの中央部を引き上げる高さは、一対の対角位置端部を吸着パッド１３で引き上げる高さの１／４〜１／２のときに、ウエハ１２ａに発生する応力が最も小さくなり、ウエハ１２ａの破損を防止することができる。
【００４８】
図９（ｅ）は、略中央部に取り付けられたベルヌイチャックユニット１５でウエハ１２ａの中央部を吸着したまま上下動作駆動部１９によってウエハ１２ａの中央部を引き上げるとともに、図示しないエアーシリンダ等の昇降機構によってウエハ取出しハンド２１全体が上昇した状態を示している。ここで、ベルヌイチャックユニット１５を上昇させる動作は、最上部のウエハ１２ａを積み重ねられて供給されたウエハ１２から分離するために、ウエハ１２ａを変形させるとともに、分離が完了した段階で可能な限り曲げ応力を軽減し、この取り出したウエハ１２ａの破損を防止することを目的としている。
【００４９】
以上のような第２実施形態においても、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。さらに第２実施形態によれば、ウエハ１２の厚みや強度などの特性に応じて引上量、すなわち反らせる量を調整できる。これによって、発生する応力を考慮してウエハ１２を最適な量だけ反らせることができるので、ウエハ１２を破損させることなく確実に分離することができる。また、ウエハ１２の中央部の引上量は引き上げられた対角位置端部の引上量よりも少ないので、ウエハ１２に発生する応力が小さくなり、ウエハ１２の破損を防止することができる。
【００５０】
また、摺接体１６は上下方向に移動するだけでなく、ウエハ１２の端面部分に近接離反する方向に移動するので、必要時にのみ端面部分に近接させ、不要時は離反させることができ、他の動作時に摺接体１６が邪魔にならず、スムーズに取出作業を行うことができる。
【００５１】
図１０および図１１は、本発明の第３実施形態を説明するための正面図である。なお、第３実施形態は、前述の第２実施形態の構成と類似しているので、同一の構成には同一の参照符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５２】
第３実施形態の特徴は、吸着したウエハ１２の枚数を測定するレーザーマイクロメータ２０を設け、吸着したウエハ１２の枚数が２枚以上である場合に、摺接体１６による摺接動作を行うようにしたことである。
【００５３】
図１０に示すように、ウエハ収納箱２２に積み重ねられて供給されたウエハ１２ａをウエハ取出しハンド２１で上面から吸着して取り出した際に、ウエハ収納箱２２の上方に設けた投光側レーザーマイクロメータ２０ａおよび受光側レーザーマイクロメータ２０ｂによるウエハ厚さ計測位置で一旦停止し、厚さを計測する。吸着したウエハ１２ａが１枚であれば、摺接体１６を動作させず、ウエハ１２ａの取出し・搬送動作を継続させる。
【００５４】
ウエハ取出しハンド２１で吸着して取り出し、計測位置まで上昇した際にウエハ厚さが２枚以上であれば、図１１に示すように、摺接体１６は図示しないエアーシリンダ等の前後動作機構によって動作し、ウエハ１２が通過する際に摺接体１６に接触する位置まで前進する。ウエハ取出しハンド２１は、吸着したウエハ１２ａとその裏面にウエハ１２ｂとを密着させたままさらに上昇し、これによって端面部分が摺接体１６によって擦られてウエハ１２ｂは剥離し、落下する。
【００５５】
以上のような第３実施形態においても、前述の第１および第２実施形態と同様の効果が得られる。さらに第３実施形態によれば、２枚以上のウエハ１２が密着した状態で引き上げられたときだけ、摺接体１６でウエハ１２の端面部分を擦る分離動作を行うようにしたので、無駄な動作を省くことができ、ウエハ１２を効率良く取り出すことができる。
【００５６】
図１２は、本発明の第４実施形態を説明するための正面図である。なお、第４実施形態は前述の第２実施形態の構成と類似しているので、同一の構成には同一の参照符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５７】
第４実施形態の特徴は、ウエハ収納箱２２のウエハ取出し口の近傍に摺接体１６を取り付けて固定したことである。
【００５８】
第４実施形態では、ウエハ取出しハンド２１によって吸着し上方へ取り出される際に、ウエハ１２ａの端面は摺接体１６によって擦られる。このとき、２枚目のウエハ１２ｂのように、吸着して取り出されようとするウエハ１２ａの裏面に密着していた場合は、摺接体１６によってウエハ１２ｂの端面が擦られ、ウエハ１２ｂは分離されてウエハ収納箱２２内に落下する。
【００５９】
以上のような第４実施形態においても、前述の第２実施形態と同様の効果が得られる。さらに、第４実施形態によれば、摺接体１６を固定したことによって、構成を簡略化することができる。
【００６０】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、固定手段と吸着手段とによって反らされた可撓性板状体の端面部分が、摺接体によって擦られるので、たとえば２枚の可撓性板状体が密着した状態で吸着されていた場合、摺接体によって端面部分が擦られて２枚の可撓性板状体間に隙間が生じ、その隙間に周囲から外気が流入して、２枚目の可撓性板状体が１枚目の可撓性板状体から分離される。したがって、密着している可撓性板状体を分離するために、可撓性板状体を過剰に反らせる必要がなくなるので、発生する応力が小さくなり、可撓性板状体の破損を防止できる。また、確実に１枚ずつ可撓性板状体を取り出すことができるので、安定した可撓性板状体の供給が可能となる。
【００６１】
また本発明によれば、可撓性板状体における固定位置と吸着位置との距離が比較的長くなるので、可撓性板状体の反らし量を比較的大きくしても発生する応力は小さく、可撓性板状体の破損を防止できる。また、可撓性板状体を比較的大きく反らすことができるので、密着している可撓性板状体を分離しやすくなる。
【００６２】
また本発明によれば、可撓性板状体は一対の対角位置端部が押えられて固定された状態で、他の一対の対角位置端部が上方に引き上げられるとともに、その中央部も引き上げられるので、対角位置端部間が繋がりトンネル（空洞）が形成され、外気が中央部まで流入し、確実に可撓性板状体を分離することができる。
【００６３】
また本発明によれば、可撓性板状体の厚みや強度などの特性に応じて引上量、すなわち反らせる量を調整できる。これによって、発生する曲げ応力を考慮して可撓性板状体を最適な量だけ反らせることができるので、可撓性板状体を破損させることなく確実に分離することができる。
【００６４】
また本発明によれば、可撓性板状体の中央部の引上量は一対の対角位置端部の引上量よりも少ないので、可撓性板状体が受ける曲げ応力が小さくなり、可撓性板状体の破損を防止することができる。
【００６５】
また本発明によれば、摺接体は上下方向に移動するので、可撓性板状体の端面部分を充分に擦ることができ、可撓性板状体を確実に分離することができる。また、摺接体は可撓性板状体の端面部分に近接離反する方向に移動するので、必要時にのみ端面部分に近接させ、不要時は離反させることができ、他の動作時に摺接体が邪魔にならず、スムーズに取出作業を行うことができる。
【００６６】
また本発明によれば、２枚以上の可撓性板状体が密着した状態で引き上げられたときだけ、摺接体で可撓性板状体の端面部分を擦る分離動作を行うようにしたので、無駄な動作を省くことができ、可撓性板状体を効率良く取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態である取出装置におけるウエハ取出しハンド１１の概略を示す平面図である。
【図２】ウエハ取出しハンド１１の概略を示す正面図である。
【図３】ウエハ取出しハンド１１の概略を示す側面図である。
【図４】取出装置によるウエハ１２の取出動作を説明するための正面図である。
【図５】本発明の第２実施形態である取出装置におけるウエハ取出しハンド２１の概略を示す平面図である。
【図６】ウエハ取出しハンド２１の概略を示す正面図である。
【図７】ウエハ取出しハンド２１の概略を示す側面図である。
【図８】取出装置によるウエハ１２の取出動作を説明するための正面図である。
【図９】取出装置によるウエハ１２の取出動作を説明するための正面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態を説明するための正面図である。
【図１１】本発明の第３実施形態を説明するための正面図である。
【図１２】本発明の第４実施形態を説明するための正面図である。
【図１３】従来の取出装置におけるウエハ取出しハンド１の概略を示す平面図である。
【図１４】ウエハ取出しハンド１の概略を示す正面図である。
【図１５】ウエハ取出しハンド１の概略を示す側面図である。
【図１６】取出装置によるウエハ２の取出動作を説明するための正面図である。
【符号の説明】
１１，２１  ウエハ取出しハンド
１１ａ，２１ａ  支持板
１２，１２ａ，１２ｂ  ウエハ
１３  吸着パッド
１４  固定パッド
１５  ベルヌイチャックユニット
１６  摺接体
１７  隙間
１８，１９  上下動作駆動部
２０  レーザーマイクロメータ
２０ａ  投光側レーザーマイクロメータ
２０ｂ  受光側レーザーマイクロメータ
２２  ウエハ収納箱
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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