(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外気を所定の温度に調整する温度制御手段及び外気を所定湿度範囲に調整する湿度制御手段を備える外調機から調温調湿された外気が供給されるクリーンエアの循環経路に、内部を熱媒体が流れるジャケットを有しこのジャケットを介してクリーンエアと熱媒体との間で熱交換を行う熱交換器を有し、前記熱交換器を通過する前のクリーンエアの露点よりもジャケットの表面温度を高くする熱媒体を前記ジャケットへ供給する空気調和装置において、
前記熱交換器のジャケットの表面に純水を供給してジャケットの表面に下降流の純水の水膜を形成してクリーンエアに含まれる粒子やガス状の不純物を捕獲する純水滴下装置と、
前記純水を通すフィルタと、を有し、
前記純水滴下装置によって前記ジャケットの表面に供給された純水は、前記フィルタを通って前記純水滴下装置に補給され、再利用されることを特徴とする空気調和装置。
【請求項２】
外気を所定の温度に調整する温度制御手段及び外気を所定湿度範囲に調整する湿度制御手段を備える外調機から調温調湿された外気が供給されるクリーンエアの循環経路に、内部を熱媒体が流れるジャケットを有しこのジャケットを介してクリーンエアと熱媒体との間で熱交換を行う熱交換器を有し、前記熱交換器を通過する前のクリーンエアの露点よりもジャケットの表面温度を高くする熱媒体を前記ジャケットへ供給する空気調和装置において、
前記熱交換器のジャケットの表面に純水を供給してジャケットの表面に下降流の純水の水膜を形成してクリーンエアに含まれる粒子やガス状の不純物を捕獲する純水滴下装置と、
前記純水滴下装置によって前記ジャケットの表面に供給される純水の純度を保つ純水製造プラントと、
前記純水を通すフィルタと、を有し、
前記純水滴下装置によって前記ジャケットの表面に供給された純水は、前記フィルタを通って前記純水滴下装置に補給され、再利用されることを特徴とする空気調和装置。
【請求項３】
前記熱交換器のジャケットは、コイル状の形状を有し、フィンを有することを特徴とす
る請求項１又は２に記載の空気調和装置。
【請求項４】
前記熱交換器を通過した後のクリーンエアの露点に基づいて前記ジャケットを流れる熱媒体の温度を調整し、
前記純水滴下装置によって前記ジャケットの表面に形成される水膜による加湿作用を、熱媒体の供給によってジャケット表面に生じる除湿作用で相殺して、熱交換器を通過するクリーンエアの湿度を調整するように、熱媒体をジャケットに供給することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の空気調和装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、循環系のクリーンエアに対して温度調節と湿度調節と不純物除去を同時に行い得る空気調和装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、６４Ｍ ＤＲＡＭの量産体制に入った以降の半導体メモリーの製造工程では、クリーンルーム空気中に含まれる微量な粒子やガス（ＮＨ3 ，Ｃｌ2 ，ＳＯ2 ，ＨＦ等）などの不純物が生産に非常に大きな影響を与えることが明らかになっている。これら不純物は、外気に含まれている場合もあるし、クリーンルーム内での半導体製造プロセスにおいて発生するものもある。
【０００３】
現在、この対策のために、クリーンルームに導入される前に外気から前記不純物を除去する不純物除去装置（以下、これを外気系の不純物除去装置という）や、クリーンルーム内に設置してクリーンルームを循環する空気から前記不純物を除去する不純物除去装置（以下、これを循環空気系の不純物除去装置という）などの研究開発が行われている。
【０００４】
外気系の不純物除去装置としては、導入外気に水を噴霧して気液接触させ、外気に含まれる粒子やガス状の不純物を噴霧された水によって捕獲する所謂エアワッシャタイプのもの（例えば特開平６−１９３９１１号公報）が多用されている。
【０００５】
このエアワッシャタイプの不純物除去装置は処理空気に湿度上昇を伴うため、循環空気系の不純物除去装置には不向きである。というのは、クリーンルームを循環する空気は、温度を２３±０．５゜Ｃに、相対湿度を４５±５％程度に制御する必要があるからである。
【０００６】
一方、特開平６−１９８１２３号公報に開示されているようなケミカルフィルタは、イオン交換繊維や活性炭等の吸着部材を備え、この吸着部材で空気中の粒子やガス状の不純物を化学吸着あるいは物理吸着して除去するものであり、このケミカルフィルタは処理空気の湿度上昇を伴わないので、循環空気系の不純物除去装置に好適である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、循環空気系に好適とされる前記ケミカルフィルタは、除去容量に限りがあるので吸着部材を定期的に再生あるいは交換しなければならず、そのメンテナンスが面倒であった。また、吸着部材が大変に高価なためランニングコストが高くなるという不利点もあった。
【０００８】
さらに、ケミカルフィルタはイニシャルコストも高く、半導体製造クリーンルームの建設費高騰の一因になっていた。
【０００９】
本発明はこのような従来の技術の問題点に鑑みてなされたものであり、循環系クリーンエアから不純物を除去でき、温度調節機能と湿度調節機能を併有し、構造が簡単で、メンテナンスも容易にでき、安価な空気調和装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の空気調和装置は、外気を所定の温度に調整する温度制御手段及び外気を所定湿度範囲に調整する湿度制御手段を備える外調機から調温調湿された外気が供給されるクリーンエアの循環経路に、内部を熱媒体が流れるジャケットを有しこのジャケットを介してクリーンエアと熱媒体との間で熱交換を行う熱交換器を有し、熱交換器を通過する前のクリーンエアの露点よりもジャケットの表面温度を高くする熱媒体を前記ジャケットへ供給する空気調和装置において、熱交換器のジャケットの表面に純水を供給してジャケットの表面に下降流の純水の水膜を形成してクリーンエアに含まれる粒子やガス状の不純物を捕獲する純水滴下装置と、前記純水を通すフィルタと、を有し、前記純水滴下装置によって前記ジャケットの表面に供給された純水は、前記フィルタを通って前記純水滴下装置に補給され、再利用されることを特徴とする。この発明の空気調和装置は、好ましくは半導体製造に用いられるクリーンルームにクリーンエアを循環させる場合に用いられる。その場合、前述した循環経路にはその構成要素としてクリーンルームが含まれる。
【００１１】
この空気調和装置では、熱交換器のジャケット表面に形成された純水の水膜と熱交換器とがクリーンエアの温度調節と湿度調節を行い、また、ジャケットの表面の純水の水膜がクリーンエアに含まれる粒子やガス状の不純物を捕獲しクリーンエアから除去する。
【００１２】
前記熱交換器のジャケットは、横断面円形の直管状のコイルで構成することが可能である。更に、ジャケットはフィンを備えていてもよく、このフィンにも水膜を形成するようにしてもよい。
【００１３】
ただし、ジャケットの構成はこれに限るものではなく、ジャケットの表面に純水の水膜を形成することができ、水膜の下降流を形成することができれば、どのような形状であってもよいし、どのような姿勢に設置してもよい。また、水膜はジャケットの全表面に形成するのが好ましいが、ジャケットの一部だけに水膜を形成した場合にも本発明は成立する。
【００１４】
熱交換器の熱媒体には水を用いることもできるし、他の流体を用いることもできる。
純水滴下装置から熱交換器のジャケットへの純水の供給方法は、ジャケットの上方から滴下するのが好ましい。このようにすると、ジャケットの表面へのみ純水を供給することができ、クリーンエアの湿度上昇を極力抑えることができる。
【００１５】
本発明の空気調和装置は、純水滴下装置によってジャケットの表面に供給される純水の純度を保つ純水製造プラントを有することが好ましく、また、熱交換器のジャケットは、コイル状の形状を有し、フィンを有することが好ましい。さらに、本発明の空気調和装置は、前記熱交換器を通過した後のクリーンエアの露点に基づいて前記ジャケットを流れる熱媒体の温度を調整することが好ましく、また前記純水滴下装置によって前記ジャケットの表面に形成される水膜による加湿作用を、熱媒体の供給によってジャケット表面に生じる除湿作用で相殺して、熱交換器を通過するクリーンエアの湿度を調整するように、熱媒体をジャケットに供給することが好ましい。これらのようにすると、クリーンエアに対する調温と調湿をバランスよく効率的に行う上で好ましい。
【００１６】
本発明において、前述のように熱媒体を制御できる具体的な構成としては、前記熱交換器と、前記純水滴下装置と、循環系路内における熱交換器の下流に設けられてクリーンエアの湿度を検出する湿度検出手段と、この湿度検出手段の検出値に基づいて熱交換器に供給する熱媒体の温度を制御して熱交換器のジャケット表面に形成される水膜による加湿作用を相殺する熱媒体温度制御手段と、循環系路内における熱交換器の下流に設けられてクリーンエアの温度を検出する温度検出手段と、この温度検出手段の検出値に基づいて熱交換器に供給する熱媒体の供給量を制御してクリーンエアの温度を一定に保つようにする熱媒体供給量制御手段とを備える構成が挙げられる。前記湿度検出手段は例えば露点センサで構成することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る空気調和装置の実施の形態を図１から図６の図面に基いて説明する。
【００１８】
〔第１の実施の形態〕
初めに、図１から図５を参照して本発明の空気調和装置の第１の実施の形態を説明する。
【００１９】
図１は半導体製造棟の縦断面図であり、クリーンルーム１には上部リターンプレナムチャンバ５からファンフィルタユニット２を通してクリーンエアが供給されており、クリーンエアはクリーンルーム１から下部リターンプレナムチャンバ３を通り、リターンシャフト４を通り、再び上部リターンプレナムチャンバ５及びファンフィルタユニット２を通ってクリーンルーム１に戻るようになっている。即ち、クリーンルーム１と下部リターンプレナムチャンバ３とリターンシャフト４と上部リターンプレナムチャンバ５はクリーンエアの循環経路を構成している。
【００２０】
また、下部リターンプレナムチャンバ３には外調機６を通って外気が導入されるようになっている。外調機６は、外気から粒子やガス状の不純物を除去するフィルタと、空気を所定の温度範囲に調節する温度制御手段と、空気を所定の湿度範囲に調節する湿度制御手段（いずれも図示せず）を備えており、調温調湿され不純物を除去されたクリーンエアを下部リターンプレナムチャンバ３に補給する。
【００２１】
下部リターンプレナムチャンバ３とリターンシャフト４との間には熱交換器７が設置されており、下部リターンプレナムチャンバ３からリターンシャフト４へ流通するクリーンエアはその全量がこの熱交換器７を通過するようになっている。
【００２２】
この熱交換器７は、図３から図５に示すように、水入口ヘッダ７ａと水出口ヘッダ７ｂを複数のコイル（ジャケット）７ｃで接続し、コイル７ｃ間に多数の平板状のフィン７ｄを架設して構成されている。コイル７ｃは平面的に見ると図５に示すように蛇行している。
【００２３】
この熱交換器７においては、熱媒体としての水（以下、熱交換水と称す）が水入口ヘッダ７ａからコイル７ｃを通って水出口ヘッダ７ｂに流れ、コイル７ｃの周囲を流れるクリーンエアとコイル７ｃの内部を流れる熱交換水とがコイル７ｃ及びフィン７ｄを介して熱交換する。
【００２４】
この熱交換器７の構造は、従来からクリーンルームにおいては顕熱の除去専用に用いられている結露防止型の熱交換器（コイルの表面温度をクリーンルーム室内の露点より高くして、コイルの表面に凝縮水を生じさせないようにして用いる熱交換器）と同じである。
【００２５】
この熱交換器７には、熱交換水をコイル７ｃ内に供給する熱交換水供給装置１０が接続されている。熱交換水供給装置１０は、熱交換水を熱交換器７に圧送する熱交換水循環ポンプ１１を備えており、熱交換水循環ポンプ１１から圧送された熱交換水の一部は熱交換器７を通って熱交換水循環ポンプ１１に戻り、他は熱交換器７をバイパスして熱交換水循環ポンプ１１に戻るように構成されている。
【００２６】
詳述すると、熱交換水循環ポンプ１１から流路２１に圧送された熱交換水の一部は、熱交換器７の水入口ヘッダ７ａからコイル７ｃを流通し、水出口ヘッダ７ｂから流路２２を通り、第１制御弁１２、流路２３、常時開の手動弁１３、流路２４を通って熱交換水循環ポンプ１１の吸い込み側に戻る。
【００２７】
熱交換水循環ポンプ１１から流路２１に圧送された残りの熱交換水は、流路２１から分岐するバイパス流路２５を通り、第１制御弁１２を介して流路２３に流れ込み、熱交換器７を流通した熱交換水と合流して、常時開の手動弁１３、流路２４を通り熱交換水循環ポンプ１１の吸い込み側に戻る。
【００２８】
前記第１制御弁１２は３つのポートを備えた三方弁で構成されており、第１入口ポートが流路２２に接続され、第２入口ポートがバイパス流路２５に接続され、出口ポートが流路２３に接続されていて、弁体（図示せず）のポジションを調節することにより第１入口ポートと第２入口ポートから流入する熱交換水の流入量比を調節する制御弁である。
【００２９】
熱交換水循環ポンプ１１と手動弁１３とを結ぶ流路２４には、流路２６が接続されており、この流路２６を介して、一定温度（５〜８°Ｃ程度）に制御された補給水を流路２４に補給することができるようになっている。
【００３０】
第１制御弁１２と手動弁１３とを結ぶ流路２３には流路２７が接続されており、この流路２７を介して、前記流路２６からの補給により余剰となった熱交換水を流路２３から流出させることができるようになっている。
【００３１】
流路２７の途中には第２制御弁１４が設けられており、この第２制御弁１４は、その開度調節により流路２７を流れる熱交換水の流量を調節し、結果的に流路２６から流路２４に補給される補給水の流量を調節する制御弁である。
【００３２】
前記第１制御弁１２と第２制御弁１４は、熱交換器１０の下流のリターンシャフト４内に設置された温度センサ（温度検出手段）３０あるいは露点センサ（湿度検出手段）３２の検出値に基いて自動制御されるように構成されている。
【００３３】
詳述すると、温度センサ３０は熱交換器７で処理されたクリーンエアの温度を検出し、この検出信号が温度指示調節計３１に伝送され、検出信号に基づいて温度指示調節計３１が第１制御弁１２の弁体のポジションを決定して、第１制御弁１２の弁体ポジション調節を行う。
【００３４】
また、露点センサ３２は熱交換器７で処理されたクリーンエアの露点を検出し、この検出信号が露点指示調節計３３に伝送され、検出信号に基づいて露点指示調節計３３が第２制御弁１４の開度を決定して、第２制御弁１４の開度調節を行う。
【００３５】
熱交換器７のコイル７ｃには純水滴下装置（純水供給装置）４０によって純水が滴下されるようになっている。純水滴下装置４０は、熱交換器７の上方に設置された滴下槽４１と、熱交換器７の下方に設置された集水槽４２と、集水槽４２内の純水を滴下槽４１にポンプアップする純水ポンプ４３と、純水から塵埃等を除去するフィルタ４４とを備えている。
【００３６】
図２に示すように、滴下槽４１の底部には多数の孔４５が設けられている。孔４５の寸法、数、穿孔位置については、滴下槽４１内の純水を各孔４５を通して最上段のコイル７ｃの頂面に滴下することができ、且つ全てのコイル７ｃのほぼ全外表面に下降流の水膜を形成することができるように設定されている。
【００３７】
この純水滴下装置４０において、滴下槽４１に貯留された純水は孔４５から熱交換器７の最上段のコイル７ｃに滴下され、最上段のコイル７ｃの外表面を水膜となって下降し、さらに最上段のコイル７ｃからすぐ下段のコイル７ｃの頂面に滴下され、同様にして順次下段のコイル７ｃの外表面を伝って流れ落ち、最終的に集水槽４２に落下し、純水ポンプ４３でポンプアップされ、流路４７及びフィルタ４４を通って滴下槽４１に戻る。
【００３８】
また、純水滴下装置４０は、集水槽４２内の純水の純度を一定に保つために、純水製造プラント（図示せず）から純度の高い純水を集水槽４２に補給するための流路４８と、集水槽４２内の純水を純水製造プラントに原水として送給するための流路４９及び返送ポンプ４６を装備している。
【００３９】
尚、この実施の形態では、温度指示調節計３１と第１制御弁１２が熱媒体供給量制御手段を構成し、露点指示調節計３３と第２制御弁１４が熱媒体温度制御手段を構成している。
【００４０】
次に、この空気調和装置の作用を説明する。
前述したように、クリーンエアはクリーンルーム１→下部リターンプレナムチャンバ３→リターンシャフト４→上部リターンプレナムチャンバ５→クリーンルーム１の順に循環している。
【００４１】
今、クリーンルーム１内での半導体メモリー製造プロセスにおいて粒子やガス状の不純物が発生し、この不純物がクリーンルーム１内に拡散し、クリーンエアとともに流れる場合を想定する。
【００４２】
クリーンエアは前記循環経路の途中において熱交換器７を通過する。その際に、クリーンエアとコイル７ｃの内部を流れる熱交換水はコイル７ｃ及びフィン７ｄを介して熱交換を行い、クリーンエアは設定温度に調温される。
【００４３】
また、熱交換器７のコイル７ｃの外表面には純水の水膜が形成されているので、この水膜に接触したクリーンエアは若干加湿される。
さらに、前記純水の水膜とクリーンエアの気液接触により、クリーンエアに含まれる粒子やガス状の不純物が水膜に捕獲され、あるいは溶解し、水膜とともにコイル７ｃを流れ落ちて集水槽４２に落下する。これによって、クリーンエアから粒子やガス状の不純物が除去される。
【００４４】
集水槽４２内には前記不純物を含んだ純水が貯留されることになるが、集水槽４２内の純水の一部は流路４９及び純水返送ポンプ４６により純水製造プラントに送られて処理され、これと同時に流路４８から純度の高い純水が集水槽４２に補給されるので、集水槽４２内の純水の純度は所定の純度範囲に保たれる。
【００４５】
また、この空気調和装置では、熱交換器７のコイル７ｃ内を流れる熱交換水の温度を、熱交換器７を通過した後のクリーンエアの露点に基いて変化させるとともに、熱交換水７のコイル７ｃ内を流れる熱交換水の流量を、熱交換器７を通過した後のクリーンエアの温度に基いて変化させるようになっており、これによって熱交換器７の交換容量、コイル７ｃの表面温度、及びコイル７ｃの表面に形成される純水の水膜の温度を制御する。
【００４６】
つまり、コイル７ｃ表面に純水の水膜を形成したことによるクリーンエアに対する加湿作用を、コイル７ｃ内を流れる熱交換水の温度を変えることで相殺するように制御する。これはミクロ的に言えば、コイル７ｃの表面で除湿作用が起こり、この除湿分をコイル７ｃの表面を流れる純水からの気化で補うようにするのである。
【００４７】
この実施の形態における具体的な制御方法は次のとおりである。露点センサ３２によりクリーンエアの露点の上昇が検出された時には、第２制御弁１４の開度を大きくするように動作させて熱交換水供給装置１０に補給する熱交換水の補給量を多くして熱交換水の温度を下げ、コイル７ｃの表面温度を露点よりも下げて除湿作用を強くする。
【００４８】
これとは逆に、露点センサ３２によりクリーンエアの露点の下降が検出された時には、第２制御弁１４の開度を小さくするように動作させて熱交換水供給装置１０に補給する熱交換水の補給量を少なくすると、結果的にクリーンルーム内に設置されている各種熱源により熱交換水の温度が上昇し、コイル７ｃの表面温度が露点よりも上って加湿作用が強くなる。
【００４９】
また、温度センサ３０により検出されたクリーンエアの温度に基づいて、第１制御弁１２の弁体ポジションを自動制御し、コイル７ｃを流れる熱交換水の流量を変化させて、クリーンエアの温度を一定に保つ。
【００５０】
このようにして、クリーンエアの温度調節と湿度調節のバランスをとっているので、クリーンルーム内の温度と湿度を一定に保つことができる。また、夏季における加湿のし過ぎを防止することができる。
【００５１】
〔第２の実施の形態〕
前述の第１の実施の形態では熱交換器７のコイル７ｃの表面にだけ純水の水膜を形成するようにしたが、第２の実施の形態では、熱交換器７のフィン７ｄにも純水の水膜を形成する。
【００５２】
そのためには、純水滴下装置４０の滴下槽４１に、各フィン７ｄの上端にも純水を滴下できるように孔４５を設ける。
このようにすると、純水の水膜の表面積を大きくすることができ、クリーンエアからの不純物除去効率を上げることができる。
【００５３】
〔第３の実施の形態〕
次に、図６を参照して本発明の空気調和装置の第３の実施の形態を説明する。第３の実施の形態の空気調和装置と第１の実施の形態のものとの相違点は、（１）熱交換器が３系列ある点と、（２）３系列の熱交換器７Ａ，７Ｂ，７Ｃに熱交換水を供給する熱交換水供給装置１０の構成だけであり、その他の構成は第１の実施の形態と同じである。
【００５４】
図６に示すように、第３の実施の形態の空気調和装置における熱交換水供給装置１０では、熱交換水循環ポンプ１１から流路２１に圧送された熱交換水は各熱交換器７Ａ，７Ｂ，７Ｃの水入口ヘッダ（図示せず）に供給され、各熱交換器７Ａ，７Ｂ，７Ｃの水出口ヘッダ（図示せず）から流路２２，２４を通って熱交換水循環ポンプ１１の吸い込み側に戻るようになっており、流路２４には流路２６を介して熱交換水を補給でき、流路２２から流路２７を介して熱交換水を流路２２から流出させることができるようになっている。尚、図６において符号１９は開閉弁である。
【００５５】
流路２７には第１の実施の形態のものと同じように純水の補給水量を制御する第２制御弁１４が設けられている。
熱交換水循環ポンプ１１の駆動モータ（図示せず）はモータ回転数を可変にするインバータを装備しており、この駆動モータの回転数を温度センサ３０の検出値に基づき温度指示調節計３１を介して制御し、熱交換水の流量を自動制御している。つまり、第３の実施の形態では温度指示調節計３１と熱交換水循環ポンプ１１が熱媒体供給量制御手段を構成する。
【００５６】
第３の実施の形態の空気調和装置における作用は第１の実施の形態の場合と同じであるので説明は省略する。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の空気調和装置によれば、クリーンエアの循環経路内に熱交換器を設置し、この熱交換器のジャケット表面に純水滴下装置により純水の水膜を形成してクリーンエアに含まれる粒子やガス状の不純物を捕獲すると共に、所定の温度及び湿度に調整された外気を外調機により循環系路に導入して補給することにより、クリーンエアに対して温度調節と湿度調節と不純物除去を同時に行うことができるという顕著な効果が奏される。
【００５８】
しかも、本発明の空気調和装置は、このような機能を備えながら、構造が簡単で、メンテナンスも容易で、低コストである。
【００５９】
また、本発明の空気調和装置では、熱交換器を通過した後のクリーンエアの露点に基づいて前記ジャケットを流れる熱媒体の温度を調整することにより、クリーンエアの温度と湿度の調節をバランスよく効率的に行うことが極めて簡単な構造で行えるという優れた効果を奏する。
【００６０】
また、本発明の空気調和装置では、純水滴下装置によってジャケットの表面に形成される水膜による加湿作用を、熱媒体の供給によってジャケット表面に生じる除湿作用で相殺して、熱交換器を通過するクリーンエアの湿度を調整するように、熱媒体をジャケットに供給することにより、クリーンエアの温度と湿度の調節をバランスよく効率的に行うことが極めて簡単な構造で行えるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の空気調和装置の第１の実施の形態における概略構成図である。
【図２】  本発明の空気調和装置の第１の実施の形態における純水滴下装置の要部拡大図である。
【図３】  本発明の空気調和装置の第１の実施の形態における熱交換器の正面図である。
【図４】  本発明の空気調和装置の第１の実施の形態における熱交換器の右側面図である。
【図５】  本発明の空気調和装置の第１の実施の形態における熱交換器の平面図である。
【図６】  本発明の空気調和装置の第３の実施の形態における熱交換水供給装置の概略構成図である
【符号の説明】
１  クリーンルーム（クリーンエアの循環経路）
３  下部リターンプレナムチャンバ（クリーンエアの循環経路）
４  リターンシャフト（クリーンエアの循環経路）
５  上部リターンプレナムチャンバ（クリーンエアの循環経路）
７  熱交換器
７ｃ  コイル（ジャケット）
１２  第１制御弁（熱媒体供給量制御手段）
１４  第２制御弁（熱媒体温度制御手段）
１１  熱交換水循環ポンプ（熱媒体供給量制御手段）
３０  温度センサ（温度検出手段）
３１  温度指示調節計（熱媒体供給量制御手段）
３２  露点センサ（湿度検出手段）
３３  露点指示調節計（熱媒体温度制御手段）
４０  純水滴下装置（純水供給装置）
【図１】
0003798993.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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