(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
明暗パターンを有した光源を検査表面に写し出してカメラを介してコンピュータに画像取込みする工程と、
取り込んだ画像の濃度ヒストグラムを作成する工程と、
前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程と、
を有し、
前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程が、
前記画像の濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度域を決定する工程と、
前記所定濃度域以外の濃度のピクセルの濃度を真黒または真白に対応する濃度値として前記所定濃度域内の濃度をもつピクセルに基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像を作成する工程と、
を有する表面欠陥検査方法。
【請求項２】
前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程が、
前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出する工程を有する請求項１記載の表面欠陥検査方法。
【請求項３】
前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出する工程が、
前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像で、欠陥およびゆず肌ノイズに順に番号を付すとともに濃度を１づつ上げてラベリングを施す工程と、
欠陥およびゆず肌ノイズの濃度ヒストグラムを作成する工程と、
前記濃度ヒストグラムで所定面積以上の面積をもつものを欠陥と判定して抽出する工程と、
を有する請求項２記載の表面欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面欠陥検査方法に関し、塗装欠陥の検出に利用することができる表面欠陥検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
車の塗装中に塗装面にほこり、塗料かすなどが付着すると１〜２ｍｍ程度の径の盛り上がった、ブツと呼ばれる塗装欠陥が生じることがあり、手直しまたは再塗装される。そのために、塗装欠陥を検出することが必要となる。
従来、塗装欠陥検出は、実開昭６２−２８１５５号に開示されているように、スリットレーザ光を照射し、その途切れで欠陥を検出する方法がある。
また、特開平５−１６４６９６号に開示されているように、明暗模様の光を照射し、反射光を画像取込みして濃度ヒストグラムを作成し、その勾配から塗装面を評価する方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、実開昭６２−２８１５５号の方法では、検査面が曲面の場合レーザ光が歪んでしまい検査できないという問題がある。
また、特開平５−１６４６９６号の方法では、検査面全体としての評価であるため、欠陥自体を抽出することができず、欠陥手直し時に手直しすべき欠陥とその位置の特定が困難である。
本発明の目的は、検査面が湾曲していても検査が可能であり、かつ欠陥の特定が可能な、表面欠陥検査方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明は、つぎの通りである。
（１）  明暗パターンを有した光源を検査表面に写し出してカメラを介してコンピュータに画像取込みする工程と、
取り込んだ画像の濃度ヒストグラムを作成する工程と、
前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程と、
を有し、
前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程が、
前記画像の濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度域を決定する工程と、
前記所定濃度域以外の濃度のピクセルの濃度を真黒または真白に対応する濃度値として前記所定濃度域内の濃度をもつピクセルに基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像を作成する工程と、
を有する表面欠陥検査方法。
（２）  前記画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程が、
前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出する工程を有する（１）記載の表面欠陥検査方法。
（３）  前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出する工程が、
前記欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像で、欠陥およびゆず肌ノイズに順に番号を付すとともに濃度を１づつ上げてラベリングを施す工程と、
欠陥およびゆず肌ノイズの濃度ヒストグラムを作成する工程と、
前記濃度ヒストグラムで所定面積以上の面積をもつものを欠陥と判定して抽出する工程と、
を有する（２）記載の表面欠陥検査方法。
【０００５】
上記（１）の表面欠陥検査方法では、明暗パターンをもつ光源を検査表面に写し出してそれを画像取込みするので、明暗パターンが歪んでも検査可能であり、スリットレーザ光の場合のように検査表面の湾曲に従ってレーザ光パターンが歪み検査が不能になるという問題はない。また、明暗パターン、欠陥、ゆず肌ノイズを含む濃度ヒストグラムから欠陥（およびゆず肌ノイズ）を抽出するので、欠陥とその位置を特定することができる。
上記（１）の表面欠陥検査方法では、明暗パターン、欠陥、ゆず肌ノイズを含む濃度ヒストグラムは暗の山部と明の山部とその中央の谷部とからなっており、明暗パターンの暗パターン中の欠陥は濃度ヒストグラムの暗の山部の谷部側に含まれ、明暗パターンの明パターン中の欠陥は濃度ヒストグラムの明の山部の谷部側に含まれることが見出された。この知見に基づき、濃度ヒストグラムが作成されると、暗の山部の谷部側の所定域と明の山部の谷部側の所定域とを欠陥が含まれる所定濃度域として決定する。ついで、この所定濃度域以外の濃度のピクセル（画素）の濃度を真黒に対応する濃度値（たとえば、０）または真白に対応する濃度値（たとえば、２５５）として、所定濃度域内の濃度をもつピクセルに基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイズ（ゆず肌ノイズのうち明暗パターンの境界近傍にあるゆず肌ノイズ）のみからなる画像（明暗パターンを除去した画像）を作成することができる。これによって、欠陥（および一部のゆず肌ノイズ）を抽出することができ、欠陥とその位置を特定することができる。
上記（２）の表面欠陥検査方法では、画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程が、上記（１）に加えて、さらに、欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出する工程を有するので、欠陥が小さな欠陥であっても、ゆず肌ノイズと区別して検出でき、手直しにかけることができる。
上記（３）の表面欠陥検査方法では、欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出する方法として、ラベリング、濃度ヒストグラムの作成、濃度ヒストグラムで所定面積以上の面積をもつものを欠陥と判定する方法を提供している。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明実施例の表面欠陥検査方法を、図１〜図１１を参照して、説明する。
本発明実施例の表面欠陥検査方法を実施する表面欠陥検査装置は、図１に示すように、明暗パターンを有する光源１と、検査表面（たとえば、車の塗装面）４に写し出された光源１からの光の明暗パターンを撮像するカメラ（たとえば、ＣＣＤカメラ）２と、カメラ２に接続されたコンピュータ３とを有する。
【０００７】
光源１は、電球１ａと明暗パターン１ｂとを有する。明暗パターン１ｂは、たとえば、光を拡散する白色プラスチック板に光を通さない黒色シートを貼付したものからなる。明暗パターンは、暗部と明部が規則性をもって交互に表れるパターンであれば如何なるパターンでもよいが、たとえば図４に示すような黒色菱形と白色菱形とを半ピッチずらして並べたパターンや、黒色帯と白色帯とを交互に並べたものなどを、用いることができる。
カメラ２は、光源１からの照射光の検査表面４での反射光を受光する。カメラ２の視野は、たとえば、検査表面４で約１０ｃｍ四方である。検査物（たとえば、塗装した車）とカメラ２との何れか一方を他方に対して移動させることにより、検査物の全検査表面を検査することができる。
コンピュータ３は、カメラ２が撮像した画像を取込み、画面に表示するとともに、図２、図３に示すルーチンの演算を行うプログラムがインストールされている。
【０００８】
図２のルーチンは、画像取込みステップ１０１、電気ノイズを除去する平滑化ステップ１０２、取り込んだ画像の濃度ヒストグラムの作成ステップ１０３、欠陥を含む濃度域を選定する欠陥抽出ステップ１０４、欠陥を含む濃度域以外の濃度域の濃度値を２値化する２値化ステップ１０５を有する。ステップ１０１〜１０５は欠陥およびゆず肌ノイズ（塗装面に必然的にあるゆず肌状の凹凸で欠陥に比べて小さい）を選択的に検出するルーチンである。
【０００９】
図３のルーチンは、図２のステップ１０４、１０５をさらに詳細に示したもので、ヒストグラムの最大濃度値ＭＡＸと最小濃度値ＭＩＮを算出するステップ１０４ａ、ＭＡＸとＭＩＮの平均から中心Ｒを算出するステップ１０４ｂ、ＭＡＸとＭＩＮの差に比例させて欠陥を含む暗側、明側の濃度域の中心Ｒからの濃度距離Ｎ１、Ｎ２を算出するステップ１０４ｃ、ＭＡＸとＭＩＮの差に比例させて欠陥を含む暗側の濃度域幅Ｊ１、欠陥を含む明側の濃度域幅Ｊ２を算出するステップ１０４ｄ、Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度値以外のピクセルの濃度を真黒に対応する濃度値（０）または真白に対応する濃度値（２５５）にする２値化ステップ１０５を有する。
【００１０】
図２のルーチンは、ステップ１０１〜１０５に加えて、さらに、欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像で、欠陥およびゆず肌ノイズに順に番号を付すとともに濃度を１づつ上げてラベリングを施すステップ１０６、欠陥およびゆず肌ノイズの濃度ヒストグラムを作成するステップ１０７、濃度ヒストグラムで所定面積以上の面積をもつものを欠陥と判定して抽出するステップ１０８を、有していてもよい。ステップ１０６〜１０８は、ステップ１０１〜１０５により作成した欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から、欠陥のみを抽出するルーチンを構成する。
【００１１】
つぎに、本発明実施例の表面欠陥検査方法を説明する。
本発明実施例の表面欠陥検査方法は、明暗パターン１ｂを有した光源１を検査表面（たとえば、車の塗装面）４に写し出してカメラ２を介してコンピュータ３に画像取込みする工程と（画像取込み中を図１に示し、取り込んだ画像を図４に示す）、取り込んだ画像の濃度ヒストグラム（図５、図６の示すもの）を作成する工程と、画像の濃度ヒストグラムにより欠陥（および一部のゆず肌ノイズ）を抽出する工程と（抽出した画像を図８に示す）を、有する。
【００１２】
図２は、上記工程をさらに詳細に示している。
すなわち、画像取込みステップ１０１で検査表面４に写し出された明暗パターンをコンピュータ３に画像取込みする。コンピュータ３の画面には、図４に示すように、明暗パターン５、欠陥６、ゆず肌ノイズ７が表示される。明暗パターン５のうち暗部（黒い部分）の欠陥６は黒に近いグレーとなり、明部（白い部分）の欠陥６は白に近いグレー（灰色）となる。その理由は、検査表面の明暗パターンの黒色部は光源の明暗パターン１ｂの暗部を写しているが、そこに欠陥６があると、欠陥６は盛り上がっているため、反射角が変化して光源の明暗パターン１ｂの明部も一部写してしまい、白色の成分が混じって、グレーとなる。ただし、グレーでも、まわりがほとんど黒色のため黒に近いグレーである。反対に、検査表面の明暗パターンの白色部は光源の明暗パターン１ｂの明部を写しているが、そこに欠陥６があると、欠陥６は盛り上がっているため、反射角が変化して光源の明暗パターン１ｂの暗部も一部写してしまい、黒色の成分が混じって、グレーとなる。ただし、グレーでも、まわりがほとんど白色のため白に近いグレーである。
【００１３】
ゆず肌ノイズも同様で、明暗パターンの黒色中のノイズは黒色に近いグレーとなり、明暗パターンの白色中のノイズは白色に近いグレーとなる。ただし、ゆず肌ノイズは微小の凹凸であるため、光の反射角の変化も小さいため、明暗パターンの黒色と白色の境界に近い部分のゆず肌ノイズのみが画面に表示される。明暗パターンの黒色部の中央にあるゆず肌ノイズは、そこの反射角が少し変わっても光源の明暗パターン１ｂの黒色部を見るので、グレーにはならず、黒のままであって、画面に表示されない。明暗パターンの白色部の中央にあるゆず肌ノイズは、そこの反射角が少し変わっても光源の明暗パターン１ｂの白色部を見るので、グレーにはならず、白のままであって、画面に表示されない。
かくして、コンピュータ３に取り込まれた画像は図４のようになる。
【００１４】
ついで、ステップ１０２で画像の高周波成分をとって滑らかにし電気的ノイズを取る平滑化処理を施す。電気的ノイズの除去と同時に、小さなゆず肌ノイズが除去されるかもしれないが、ステップ１０２はゆず肌ノイズを除去することを主目的とするものではない。
【００１５】
ステップ１０３で、ステップ１０１で取り込んだ画像の濃度ヒストグラムを作成する。濃度ヒストグラムの横軸は濃度（明るさ）を示し、０〜２５５に区分されている。０は真黒に対応し、２５５は真白に対応する。濃度ヒストグラムの縦軸は、対象とする濃度の、１画面（１画面には５１２×５１２の画素数がある）中のピクセル（画素）数である。濃度ヒストグラムの全濃度の全ピクセル数の総和は５１２×５１２である。
濃度ヒストグラムにおいて、濃度が小側の山は画像中、明暗パターンの暗部に対応する部分８であり、濃度が大側の山は画像中、明暗パターンの明部に対応する部分９である。図からわかるように、明暗パターンの暗部といっても真黒ではなく、明暗パターンの明部といっても真白ではない。
【００１６】
濃度ヒストグラムにおいて、暗部の欠陥６および一部のゆず肌ノイズ７（ゆず肌ノイズのうち明暗パターンの黒中で明暗パターン５の境界近傍にあるゆず肌ノイズ）は明暗パターンの暗部に対応する部分８より濃度ヒストグラムの中央寄り側部分１０に位置し、明部の欠陥６および一部のゆず肌ノイズ７（ゆず肌ノイズのうち明暗パターンの白中で明暗パターン５の境界近傍にあるゆず肌ノイズ）は明暗パターンの明部に対応する部分９より濃度ヒストグラムの中央寄り側部分１１に位置することが、発明者によって見出された。この部分１０、１１だけの濃度のピクセルだけを抽出して画像に示せば、欠陥６と一部のゆず肌ノイズ７（ゆず肌ノイズのうち明暗パターン５の境界近傍にあるゆず肌ノイズ）だけを含む、図８に示すような画面が得られることになる。なお、埃などの異物の場合は濃度ヒストグラムに示された時に図６のＮ１〜Ｎ２の間の広い範囲に分布するので、欠陥と埃などの異物との区別が可能である。
【００１７】
濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程は、濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度域１０、１１を決定するステップ１０４と、所定濃度域１０、１１以外の濃度のピクセルの濃度を真黒に対応する濃度値「０」または真白に対応する濃度値「２５５」とし、所定濃度域１０、１１内の濃度をもつピクセルに基づいて欠陥６および一部のゆず肌ノイズ７のみからなる画像を作成するステップ１０５（２値化ステップ）と、を有する。
【００１８】
図３は、図２の欠陥が含まれる所定濃度域１０、１１を決定するステップ１０４と、２値化ステップ１０５をさらに詳細に示したものである。図３において、濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度域１０、１１を決定するに際し、ステップ１０４ａで濃度ヒストグラムの最大濃度値ＭＡＸと最小濃度値ＭＩＮを算出する。最大濃度値ＭＡＸは濃度ヒストグラムが濃度大側で横軸と交わる点の濃度値であり、最小濃度値ＭＩＮは濃度ヒストグラムが濃度小側で横軸と交わる点の濃度値である。ついで、ステップ１０４ｂでＭＡＸとＭＩＮの平均から濃度ヒストグラムの濃度値中心Ｒを算出する。ＭＡＸとＭＩＮが決定されれば濃度域１０、１１の中心Ｒからの濃度距離Ｎ１、Ｎ２、濃度域１０、１１の幅が、予め行ったテストから予想できる。したがって、ステップ１０４ｃで、ＭＡＸとＭＩＮの差に比例させて、欠陥を含む暗側、明側の濃度域１０、１１の中心Ｒからの濃度距離Ｎ１、Ｎ２を算出する。ついで、ステップ１０４ｄで、ＭＡＸとＭＩＮの差に比例させて、欠陥を含む暗側の濃度域１０の幅Ｊ１、欠陥を含む明側の濃度域１１の幅Ｊ２を算出する。ついで、ステップ１０５で、Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度値以外のピクセルの濃度を真黒に対応する濃度値「０」または真白に対応する濃度値「２５５」にして２値化を実行する。
【００１９】
Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度値以外のピクセルの濃度を濃度値「０」とすると、濃度ヒストグラムは図７に示すようになり、Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度値をそのまま、または「２５５」にし、画像に示して黒、白を反転させれば図８が得られる。
Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度値以外のピクセルの濃度を濃度値「２５５」とすると、濃度ヒストグラムは図７の濃度値「０」の山が濃度値「２５５」に移動した濃度ヒストグラムとなり、Ｊ１以上Ｎ１以下およびＮ２以上Ｊ２以下の濃度値をそのまま、または「０」にし、画像に示せば図８が得られる。
かくして、欠陥６および一部のゆず肌ノイズ（明暗パターンの暗部と明部の境界近傍のゆず肌ノイズ）だけが抽出された画像（図８）が得られる。
【００２０】
本発明実施例の表面欠陥抽出方法は、欠陥６および一部のゆず肌ノイズ７のみからなる画像（図８）から欠陥６のみを抽出する工程を含んでもよい。          欠陥６および一部のゆず肌ノイズ７のみからなる画像から欠陥６のみを抽出する工程は、図２において、ステップ１０５に続いて設けられ、欠陥６および一部のゆず肌ノイズ７のみからなる画像で、図９に示すように欠陥６およびゆず肌ノイズ７に順に番号を付すとともに濃度を１づつ上げてラベリングを施すステップ１０６と、欠陥６およびゆず肌ノイズ７のみを含む図１０の濃度ヒストグラムを作成するステップ１０７と、該濃度ヒストグラムで所定面積以上の面積をもつものを欠陥６と判定して抽出し、その他をゆず肌ノイズ７と判定し、欠陥６のみの画像を作成するステップ１０８と、を有する。
【００２１】
ステップ１０６では、図８で欠陥６（１つの欠陥の画素数がたとえば６０〜９０））およびゆず肌ノイズ７（１つのゆず肌ノイズの画素数がたとえば１０〜２０）がたとえば１００個あったとすると、たとえば左上から右下方向に順に欠陥６、ゆず肌ノイズにＮｏ．１、Ｎｏ．２、Ｎｏ．３、Ｎｏ．４、・・・・、Ｎｏ．１００の番号を付し、Ｎｏ．１の欠陥またはゆず肌ノイズに濃度値「１」を付与し、Ｎｏ．２の欠陥またはゆず肌ノイズに濃度値「２」を付与し、Ｎｏ．ｎの欠陥またはゆず肌ノイズに濃度値「ｎ」を付与し、Ｎｏ．１００番目の欠陥またはゆず肌ノイズに濃度値「１００」を付与する。ラベリング後、図９のようになる。
【００２２】
濃度値「１」はゆず肌ノイズで画素数がたとえば１０個、濃度値「２」はゆず肌ノイズで画素数がたとえば１０個、濃度値「４０」は欠陥で画素数がたとえば８０個、濃度値「５０」は欠陥で画素数がたとえば８０個、濃度値「１００」はゆず肌ノイズで画素数がたとえば１０個、といった具合である。これをステップ１０７で、横軸に濃度値をとり、縦軸に画素数をとって、図９の画像の濃度ヒストグラムを作成したものが、図１０の濃度ヒストグラムである。
【００２３】
図１０において、各濃度値の頻度で、画素数の多いもの、したがって面積の大なものが欠陥６であり、画素数の少ないもの、したがって面積の小なものがゆず肌ノイズ７である。したがって、ステップ１０８で、所定面積（たとえば、我素数「５０」）以上のものを欠陥６として判別し、それ以外のものをゆず肌ノイズ７と判定する。そして、欠陥６のみを画像で示すと図１１となる。
これによって、欠陥６を特定でき、その位置も特定できる。また、レーザ光をあてて欠陥を検出する場合に問題となっていた検査表面の湾曲も問題とならない。
【００２４】
上記のルーチンにより抽出した欠陥６を、コンピュータ３に予め入力した検査表面（車の塗装面）の図に欠陥６とその位置をマーキングし、プリントアウトして塗装の手直し工程に送り、欠陥を手直しする。車の塗装面は多層塗装であるが、各層の塗装段階で欠陥検出、手直しを行ってもよいし、あるいはトップ層の塗装を終えた段階で欠陥検出、手直しを行ってもよい。
【００２５】
【発明の効果】
請求項１の表面欠陥検査方法によれば、明暗パターンをもつ光源を検査表面に写し出してそれを画像取込みするので、明暗パターンが歪んでも検査可能であり、スリットレーザ光の場合のように検査表面の湾曲に従ってレーザ光パターンが歪み検査が不能になるという問題はない。また、明暗パターン、欠陥、ゆず肌ノイズを含む濃度ヒストグラムから欠陥（およびゆず肌ノイズ）を抽出するので、欠陥とその位置を特定することができる。
請求項１の表面欠陥検査方法によれば、画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程が、画像の濃度ヒストグラムのうち欠陥が含まれる所定濃度域を決定する工程と、所定濃度域以外の濃度のピクセルの濃度を真黒または真白に対応する濃度値として所定濃度域内の濃度をもつピクセルに基づいて欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像を作成する工程と、を有するので、欠陥（および一部のゆず肌ノイズ）を抽出することができ、欠陥とその位置を特定することができる。
請求項２の表面欠陥検査方法によれば、画像の濃度ヒストグラムにより欠陥を抽出する工程が、請求項１の工程に加えて、さらに、欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出する工程を有するので、欠陥をゆず肌ノイズと区別して検出でき、手直しにかけることができる。
請求項３の表面欠陥検査方法によれば、欠陥および一部のゆず肌ノイズのみからなる画像から欠陥のみを抽出する方法として、ラベリング、濃度ヒストグラムの作成、濃度ヒストグラムで所定面積以上の面積をもつものを欠陥と判定するので、コンピュータで、欠陥のみを抽出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明実施例の表面欠陥検査方法を実施する表面欠陥検査装置の概略側面図である。
【図２】  本発明実施例の表面欠陥検査方法を実行するルーチンのフローチャートである。
【図３】  本発明実施例の表面欠陥検査方法の欠陥抽出工程を実行するルーチンのフローチャートである。
【図４】  本発明実施例の表面欠陥検査方法で取込んだ画像である。
【図５】  本発明実施例の表面欠陥検査方法の途中の工程で作成された濃度ヒストグラムである。
【図６】  図５の濃度ヒストグラムで、欠陥を含む所定濃度域を決定する図である。
【図７】  図６の濃度ヒストグラムで、欠陥を含む所定濃度域を抽出する図である。
【図８】  図４の画像から欠陥および一部のゆず肌ノイズを抽出した画像である。
【図９】  図８の画像で、欠陥および一部のゆず肌ノイズにラベリングを施した画像である。
【図１０】  図９の画像での欠陥および一部のゆず肌ノイズの濃度ヒストグラムである。
【図１１】  図８の画像から欠陥のみを抽出した画像である。
【符号の説明】
１  光源
１ａ  電球
１ｂ  明暗パターン
２  カメラ
３  コンピュータ
４  検査表面
５  明暗パターン
６  欠陥
７  ゆず肌ノイズ
８  濃度ヒストグラムで明暗パターンの暗部に対応する部分
９  濃度ヒストグラムで明暗パターンの明部に対応する部分
１０  明暗パターンの暗部に対応する部分８より濃度ヒストグラムの中央寄り側部分
１１  明暗パターンの明部に対応する部分９より濃度ヒストグラムの中央寄り側部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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