【手続補正書】
【提出日】平成30年4月27日(2018.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体を駆動軸に傾動可能に連結する連結機構であって、
前記駆動軸と前記回転体との間に配置された上側球面軸受および下側球面軸受を備え、
前記上側球面軸受は、前記駆動軸と前記回転体との間に挟まれる第１摺接部材と第２摺接部材とを有し、
前記第１摺接部材は第１凹状接触面を有し、前記第２摺接部材は前記第１凹状接触面に接触する第２凸状接触面を有し、
前記下側球面軸受は、前記駆動軸に取り付けられた第３摺接部材と、前記回転体に取り付けられた第４摺接部材とを有し、
前記第３摺接部材は第３凹状接触面を有し、前記第４摺接部材は前記第３凹状接触面に接触する第４凸状接触面を有し、
前記第１凹状接触面および前記第２凸状接触面は、前記第３凹状接触面および前記第４凸状接触面よりも上方に位置しており、
前記第１凹状接触面、前記第２凸状接触面、前記第３凹状接触面、および前記第４凸状接触面は、同心状に配置されていることを特徴とする連結機構。
【請求項２】
前記第１凹状接触面および前記第２凸状接触面は、第１の半径を有する球面の上半分の一部からなる形状を有し、
前記第３凹状接触面および前記第４凸状接触面は、前記第１の半径よりも小さい第２の半径を有する球面の上半分の一部からなる形状を有していることを特徴とする請求項１に記載の連結機構。
【請求項３】
前記上側球面軸受および前記下側球面軸受は同一の回転中心を有しており、前記回転中心は、前記第１凹状接触面、前記第２凸状接触面、前記第３凹状接触面、および前記第４凸状接触面よりも下方に位置していることを特徴とする請求項１または２に記載の連結機構。
【請求項４】
前記第１凹状接触面、前記第２凸状接触面、前記第３凹状接触面、および前記第４凸状接触面の曲率半径を選定することにより、前記回転体の下端面から前記回転中心までの距離を変更することができることを特徴とする請求項３に記載の連結機構。
【請求項５】
前記回転中心は、前記回転体の下端面上にあることを特徴とする請求項３に記載の連結機構。
【請求項６】
前記回転中心は、該回転中心まわりに傾動する変位部の慣性中心と一致していることを特徴とする請求項３に記載の連結機構。
【請求項７】
前記回転中心は、該回転中心まわりに傾動する変位部の慣性中心と前記回転体の下端面との間に位置していることを特徴とする請求項３に記載の連結機構。
【請求項８】
前記回転中心は、前記回転体の下端面よりも下方にあることを特徴とする請求項３に記載の連結機構。
【請求項９】
前記第１摺接部材および前記第２摺接部材の一方は、他方のヤング率と同じか、またはそれよりも低いヤング率を有するか、または他方の減衰係数よりも高い減衰係数を有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の連結機構。
【請求項１０】
回転体を駆動軸に傾動可能に連結する連結機構であって、
前記駆動軸と前記回転体との間に配置された上側球面軸受および下側球面軸受を備え、
前記上側球面軸受は、第１凹状接触面と、該第１凹状接触面に接触する第２凸状接触面とを有し、
前記下側球面軸受は、第３凹状接触面と、該第３凹状接触面に接触する第４凸状接触面とを有し、
前記第１凹状接触面および前記第２凸状接触面は、前記第３凹状接触面および前記第４凸状接触面よりも上方に位置しており、
前記第１凹状接触面、前記第２凸状接触面、前記第３凹状接触面、および前記第４凸状接触面は、同心状に配置されていることを特徴とする連結機構。
【請求項１１】
回転体を駆動軸に傾動可能に連結する連結機構であって、
前記駆動軸と前記回転体との間に配置された減衰部材を備え、
前記減衰部材は、前記駆動軸の下端に取り付けられると共に前記回転体に取り付けられており、
前記減衰部材は、前記駆動軸のヤング率と同じか、またはそれよりも低いヤング率を有するか、または前記駆動軸の減衰係数よりも高い減衰係数を有することを特徴とする連結機構。
【請求項１２】
前記減衰部材は、０．１ＧＰａから２１０ＧＰａの範囲にあるヤング率か、または減衰比が０．１から０．８の範囲となる減衰係数を有することを特徴とする請求項１１に記載の連結機構。
【請求項１３】
前記減衰部材は、ゴムブッシュであることを特徴とする請求項１１または１２に記載の連結機構。
【請求項１４】
前記減衰部材は、環状の形状を有した減衰リングであることを特徴とする請求項１１乃至１３のいずれか一項に記載の連結機構。
【請求項１５】
研磨パッドを支持する研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドに押圧する研磨ヘッドと、を備え、
前記研磨ヘッドが、請求項１乃至１４のいずれか一項に記載の連結機構により駆動軸に連結されることを特徴とする基板研磨装置。
【請求項１６】
研磨パッドを支持する研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドに押圧する研磨ヘッドと、
前記研磨パッドに押圧されるドレッサーと、を備え、
前記ドレッサーが、請求項１乃至１４のいずれか一項に記載の連結機構により駆動軸に連結されることを特徴とする基板研磨装置。
【請求項１７】
前記研磨パッドの研磨面の高さを測定するパッド高さ測定器を備え、
前記パッド高さ測定器は、
前記駆動軸を回転自在に支持するドレッサーアームに固定されたパッド高さセンサと、
前記駆動軸に固定されたセンサターゲットと、を有することを特徴とする請求項１６に記載の基板研磨装置。
【請求項１８】
同一の回転中心を有する上側球面軸受と下側球面軸受とを備え、回転体を駆動軸に傾動可能に連結する連結機構の回転中心位置決定方法であって、
前記回転体を回転させながら、該回転体を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッドに摺接させたときに、前記回転中心まわりに傾動する変位部の傾動運動の運動方程式を特定し、
前記傾動運動の運動方程式に基づいて、前記回転体のばたつきおよび振動を防止するための傾動運動の安定条件式を特定し、
前記傾動運動の安定条件式に基づいて、前記回転体のばたつきおよび振動を防止するための前記回転中心の位置の範囲を算出し、
前記回転中心が前記算出された範囲内にあるように、前記回転中心の位置を決定することを特徴とする回転中心位置決定方法。
【請求項１９】
前記変位部の慣性中心が、前記算出された範囲内にあるときは、前記回転中心を、前記慣性中心に一致させることを特徴とする請求項１８に記載の回転中心位置決定方法。
【請求項２０】
同一の回転中心を有する上側球面軸受と下側球面軸受とを備え、回転体を駆動軸に傾動可能に連結する連結機構の回転中心位置決定プログラムであって、
コンピュータに、
前記回転体を回転させながら、該回転体を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッドに摺接させたときに、前記回転中心まわりに傾動する変位部の傾動運動の運動方程式に基づいて特定された傾動運動の安定条件式から、前記回転体のばたつきおよび振動を防止するための前記回転中心の位置の範囲を算出し、
前記回転中心が前記算出された範囲内にあるように、前記回転中心の位置を決定する処理を実行させることを特徴とする回転中心位置決定プログラム。
【請求項２１】
前記変位部の慣性中心が前記算出された範囲内にあるときは、前記コンピュータに、前記回転中心を前記慣性中心に一致させる処理を実行させることを特徴とする請求項２０に記載の回転中心位置決定プログラム。
【請求項２２】
同一の回転中心を有する上側球面軸受と下側球面軸受とを備えた連結機構によって、駆動軸に傾動可能に連結される回転体の最大押付荷重決定方法であって、
前記回転体を回転させながら、該回転体を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッドに摺接させたときに、前記回転中心まわりに傾動する変位部の並進運動の運動方程式および傾動運動の運動方程式を特定し、
前記並進運動の運動方程式に基づいて、前記回転体のばたつきおよび振動を防止するための並進運動の安定条件式を特定し、
前記傾動運動の運動方程式に基づいて、前記回転体のばたつきおよび振動を防止するための傾動運動の安定条件式を特定し、
前記並進運動の安定条件式に基づいて、並進運動における押付荷重の臨界値を算出し、
前記傾動運動の安定条件式に基づいて、傾動運動における押付荷重の臨界値を算出し、
前記並進運動における押付荷重の臨界値と前記傾動運動における押付荷重の臨界値を比較し、
前記並進運動における押付荷重の臨界値が前記傾動運動における押付荷重の臨界値よりも小さいか等しいときは、前記並進運動における押付荷重の臨界値を回転体の最大押付荷重に決定し、
前記並進運動における押付荷重の臨界値が前記傾動運動における押付荷重の臨界値よりも大きいときは、前記傾動運動における押付荷重の臨界値を回転体の最大押付荷重に決定することを特徴とする最大押付荷重決定方法。
【請求項２３】
同一の回転中心を有する上側球面軸受と下側球面軸受とを備えた連結機構によって、駆動軸に傾動可能に連結される回転体の最大押付荷重決定プログラムであって、
コンピュータに、
前記回転体を回転させながら、該回転体を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッドに摺接させたときに、前記回転中心まわりに傾動する変位部の並進運動の運動方程式に基づいて特定された並進運動の安定条件式から、前記回転体のばたつきおよび振動を防止することができる並進運動における押付荷重の臨界値を算出し、
前記回転体を回転させながら、該回転体を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッドに摺接させたときに、前記変位部の傾動運動の運動方程式に基づいて特定された傾動運動の安定条件式から、前記回転体のばたつきおよび振動を防止することができる傾動運動における押付荷重の臨界値を算出し、
前記並進運動における押付荷重の臨界値と前記傾動運動における押付荷重の臨界値を比較し、
前記並進運動における押付荷重の臨界値が前記傾動運動における押付荷重の臨界値よりも小さいか等しいときは、前記並進運動における押付荷重の臨界値を回転体の最大押付荷重に決定し、
前記並進運動における押付荷重の臨界値が前記傾動運動における押付荷重の臨界値よりも大きいときは、前記傾動運動における押付荷重の臨界値を回転体の最大押付荷重に決定する処理を実行させることを特徴とする最大押付荷重決定プログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第２の態様は、回転体を駆動軸に傾動可能に連結する連結機構であって、前記駆動軸と前記回転体との間に配置された上側球面軸受および下側球面軸受を備え、前記上側球面軸受は、第１凹状接触面と、該第１凹状接触面に接触する第２凸状接触面とを有し、前記下側球面軸受は、第３凹状接触面と、該第３凹状接触面に接触する第４凸状接触面とを有し、前記第１凹状接触面および前記第２凸状接触面は、前記第３凹状接触面および前記第４凸状接触面よりも上方に位置しており、前記第１凹状接触面、前記第２凸状接触面、前記第３凹状接触面、および前記第４凸状接触面は、同心状に配置されていることを特徴とする。
本発明の第３の態様は、回転体を駆動軸に傾動可能に連結する連結機構であって、前記駆動軸と前記回転体との間に配置された減衰部材を備え、前記減衰部材は、前記駆動軸の下端に取り付けられると共に前記回転体に取り付けられており、前記減衰部材は、前記駆動軸のヤング率と同じか、またはそれよりも低いヤング率を有するか、または前記駆動軸の減衰係数よりも高い減衰係数を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第４の態様は、研磨パッドを支持する研磨テーブルと、基板を前記研磨パッドに押圧する研磨ヘッドと、を備え、前記研磨ヘッドが上記連結機構により駆動軸に連結されることを特徴とする基板研磨装置である。
本発明の第５の態様は、研磨パッドを支持する研磨テーブルと、基板を前記研磨パッドに押圧する研磨ヘッドと、前記研磨パッドに押圧されるドレッサーと、を備え、前記ドレッサーが上記連結機構により駆動軸に連結されることを特徴とする基板研磨装置である。
本発明の好ましい態様は、前記研磨パッドの研磨面の高さを測定するパッド高さ測定器を備え、前記パッド高さ測定器は、前記駆動軸を回転自在に支持するドレッサーアームに固定されたパッド高さセンサと、前記駆動軸に固定されたセンサターゲット、とを有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の第６の態様は、同一の回転中心を有する上側球面軸受と下側球面軸受とを備え、回転体を駆動軸に傾動可能に連結する連結機構の回転中心位置決定方法であって、前記回転体を回転させながら、該回転体を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッドに摺接させたときに、前記回転中心まわりに傾動する変位部の傾動運動の運動方程式を特定し、前記傾動運動の運動方程式に基づいて、前記回転体のばたつきおよび振動を防止するための傾動運動の安定条件式を特定し、前記傾動運動の安定条件式に基づいて、前記回転体のばたつきおよび振動を防止するための前記回転中心の位置の範囲を算出し、前記回転中心が前記算出された範囲内にあるように、前記回転中心の位置を決定することを特徴とする回転中心位置決定方法である。
本発明の好ましい態様は、前記変位部の慣性中心が、前記算出された範囲内にあるときは、前記回転中心を、前記慣性中心に一致させることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第７の態様は、同一の回転中心を有する上側球面軸受と下側球面軸受とを備え、回転体を駆動軸に傾動可能に連結する連結機構の回転中心位置決定プログラムであって、コンピュータに、前記回転体を回転させながら、該回転体を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッドに摺接させたときに、前記回転中心まわりに傾動する変位部の傾動運動の運動方程式に基づいて特定された傾動運動の安定条件式から、前記回転体のばたつきおよび振動を防止するための前記回転中心の位置の範囲を算出し、前記回転中心が前記算出された範囲内にあるように、前記回転中心の位置を決定する処理を実行させることを特徴とする回転中心位置決定プログラムである。
本発明の好ましい態様は、前記変位部の慣性中心が前記算出された範囲内にあるときは、前記コンピュータに、前記回転中心を前記慣性中心に一致させる処理を実行させることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の第８の態様は、同一の回転中心を有する上側球面軸受と下側球面軸受とを備えた連結機構によって、駆動軸に傾動可能に連結される回転体の最大押付荷重決定方法であって、前記回転体を回転させながら、該回転体を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッドに摺接させたときに、前記回転中心まわりに傾動する変位部の並進運動の運動方程式および傾動運動の運動方程式を特定し、前記並進運動の運動方程式に基づいて、前記回転体のばたつきおよび振動を防止するための並進運動の安定条件式を特定し、前記傾動運動の運動方程式に基づいて、前記回転体のばたつきおよび振動を防止するための傾動運動の安定条件式を特定し、前記並進運動の安定条件式に基づいて、並進運動における押付荷重の臨界値を算出し、前記傾動運動の安定条件式に基づいて、傾動運動における押付荷重の臨界値を算出し、前記並進運動における押付荷重の臨界値と前記傾動運動における押付荷重の臨界値を比較し、前記並進運動における押付荷重の臨界値が前記傾動運動における押付荷重の臨界値よりも小さいか等しいときは、前記並進運動における押付荷重の臨界値を回転体の最大押付荷重に決定し、前記並進運動における押付荷重の臨界値が前記傾動運動における押付荷重の臨界値よりも大きいときは、前記傾動運動における押付荷重の臨界値を回転体の最大押付荷重に決定することを特徴とする最大押付荷重決定方法である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の第９の態様は、同一の回転中心を有する上側球面軸受と下側球面軸受とを備えた連結機構によって、駆動軸に傾動可能に連結される回転体の最大押付荷重決定プログラムであって、コンピュータに、前記回転体を回転させながら、該回転体を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッドに摺接させたときに、前記回転中心まわりに傾動する変位部の並進運動の運動方程式に基づいて特定された並進運動の安定条件式から、前記回転体のばたつきおよび振動を防止することができる並進運動における押付荷重の臨界値を算出し、前記回転体を回転させながら、該回転体を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッドに摺接させたときに、前記変位部の傾動運動の運動方程式に基づいて特定された傾動運動の安定条件式から、前記回転体のばたつきおよび振動を防止することができる傾動運動における押付荷重の臨界値を算出し、前記並進運動における押付荷重の臨界値と前記傾動運動における押付荷重の臨界値を比較し、前記並進運動における押付荷重の臨界値が前記傾動運動における押付荷重の臨界値よりも小さいか等しいときは、前記並進運動における押付荷重の臨界値を回転体の最大押付荷重に決定し、前記並進運動における押付荷重の臨界値が前記傾動運動における押付荷重の臨界値よりも大きいときは、前記傾動運動における押付荷重の臨界値を回転体の最大押付荷重に決定する処理を実行させることを特徴とする最大押付荷重決定プログラムである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の第１，第２の態様によれば、上側球面軸受および下側球面軸受は、回転体に作用するラジアル方向の力を受け止める一方で、回転体を振動させる原因となるアキシャル方向（ラジアル方向に対して垂直方向）の力を連続的に受け止めることができる。さらに、上側球面軸受および下側球面軸受は、これらラジアル方向の力とアキシャル方向の力を受け止めながら、回転体と研磨パッドとの間に発生する摩擦力に起因して回転中心回りに発生するモーメントに対して摺動力を作用させることができる。その結果、回転体にばたつきや振動が発生することを防止することができる。特に、回転中心が、回転体の下端面上か、または回転体の下端面近傍に位置する場合は、回転体と研磨パッドとの間に発生する摩擦力に起因したモーメントがほとんど発生しない。その結果、回転体にばたつきや振動が発生することをより効果的に防止することができる。さらに、回転体が持ち上げられたときに、該回転体は上側球面軸受によって支持される。その結果、回転体の重力よりも小さい荷重領域においても研磨面に対する荷重を精密に制御することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の第３の態様によれば、回転する研磨パッドの研磨面にうねりが生じた場合、減衰部材が適度に変形することによって、回転体は、研磨面のうねりに適度に追従することができる。また、回転体が減衰部材を介して駆動軸に固定されているので、該回転体の耐振動特性を向上させることができる。より具体的には、回転体が研磨面に摺接したときに発生する摩擦力に起因する回転体の振動を、減衰部材により減衰させることができる。その結果、回転体に振動やばたつきが発生するのを抑制することができる。さらに、回転体は、駆動軸に固定された減衰部材に固定されているので、回転体の重力よりも小さい荷重領域においても研磨面に対する荷重を精密に制御することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の第４，第５の態様によれば、上記回転体は、研磨ヘッドまたはドレッサーである。研磨ヘッドまたはドレッサーは、上記連結機構によって駆動軸に連結されるので、回転する研磨パッドの研磨面のうねりに対して柔軟に傾動することができる。また、研磨ヘッドまたはドレッサーにばたつきや振動が発生することを防止することができる。さらに、研磨ヘッドまたはドレッサーの重力よりも小さい荷重領域においても研磨面に対する荷重を精密に制御することができる。その結果、細やかな研磨制御またはドレッシング制御を実行することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の第６の態様および第７の態様によれば、変位部の傾動運動の運動方程式に基づいて特定された傾動運動の安定条件式から、回転体のばたつきや振動が発生しない連結機構の回転中心の位置を決定することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の第８の態様および第９の態様によれば、変位部の並進運動の運動方程式に基づいて特定された並進運動の安定条件式、および変位部の傾動運動の運動方程式に基づいて特定された傾動運動の安定条件式から、回転体のばたつきや振動が発生しない回転体の最大押付荷重を決定することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
第２摺接部材５４は、好ましくは、０．１ＧＰａから２１０ＧＰａの範囲にあるヤング率か、または減衰比が０．１から０．８の範囲となる減衰係数を有する。ここで、第２摺接部材５４の減衰比をζとし、第２摺接部材５４の減衰係数をＣとし、第２摺接部材５４の臨界減衰係数をＣｃとすると、減衰比ζは、式ζ＝Ｃ／Ｃｃから求められる。第２摺接部材５４の質量がｍであり、第２摺接部材５４のばね定数がＫのときに、臨界減衰係数Ｃｃは、２・（ｍ・Ｋ）１／２である。第２摺接部材５４の減衰比は、０．７０７が最も好ましい。減衰比が大きすぎると、ドレッサー７が研磨面１０ａのうねりに柔軟に追従できなくなる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
減衰リング７０は、好ましくは、０．１ＧＰａから２１０ＧＰａの範囲にあるヤング率か、または減衰比が０．１から０．８の範囲となる減衰係数を有する。ここで、減衰リング７０の減衰比をζとし、減衰リング７０の減衰係数をＣとし、減衰リング７０の臨界減衰係数をＣｃとすると、減衰比ζは、式ζ＝Ｃ／Ｃｃから求められる。減衰リング７０の質量がｍであり、減衰リング７０のばね定数がＫのときに、臨界減衰係数Ｃｃは、２・（ｍ・Ｋ）１／２である。減衰リング７０の減衰比は、０．７０７が最も好ましい。減衰比が大きすぎると、ドレッサー７が研磨面１０ａのうねりに柔軟に追従できなくなる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
図９乃至図１１に示されるように、後述する運動方程式において、ドレッサー７の下端面から回転中心ＣＰまでの距離ｈは、ドレッサー（回転体）７の下端面を原点とした鉛直方向に延びる座標軸Ｚ上の数値である。より具体的には、回転中心ＣＰがドレッサー７の下端面上にある場合（図９参照）に、距離ｈは０であり、回転中心ＣＰがドレッサー７の下端面から下方に位置する場合（図１０参照）に、距離ｈは正数であり、回転中心ＣＰがドレッサー７の下端面から上方に位置する場合（図１１参照）に、距離ｈは負数である。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
ドレッサー７の傾動運動の運動方程式は、以下の式（１０）で表される。
（Ｉｐ＋ｍ・Ｌ２）・θ’’＋
（Ｃ＋μ’・ＦＤ・ｈ２＋η・ＦＤ・Ｒｄ・ｈ）θ’＋（Ｋθ＋Ｋｐａｄ）・θ＝
（μ０＋μ’・Ｖ）・ＦＤ・ｈ＋η・ＦＤ・Ｒｄ・Ｖ  ・・・（１０）
ここで、（Ｉｐ＋ｍ・Ｌ２）は、研磨パッド１０のうねりによって回転中心ＣＰまわりに傾動される変位部の慣性モーメントであり、Ｌは、変位部の慣性中心（慣性質量の中心）Ｇから回転中心ＣＰまでの距離である。Ｉｐは、慣性質量中心の慣性モーメントである。θ’’は、ドレッサー７が回転角θだけ回転中心ＣＰまわりに回転するときの角加速度である。また、Ｃは、回転中心ＣＰまわりの減衰係数であり、Ｋθは、回転中心ＣＰまわりの傾き剛性であり、Ｋｐａｄは、研磨パッドの弾性特性によって発生する回転中心ＣＰまわりの傾き剛性である。
ドレッサー７の下端面から上方に位置する場合（図１１参照）に、距離ｈは負数である。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
図２１に示されるように、距離ｈが一定の場合、ドレッサー７の半径Ｒｄが大きくなるにつれて、臨界値μ’ｃｒｉが小さくなる。したがって、ドレッサー７の半径Ｒｄが大きいときに、ドレッサー７のばたつきや振動が発生しやすい。