【手続補正書】
【提出日】平成30年7月9日(2018.7.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
型を用いて基板上の被処理領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板が載置される載置部と、
前記被処理領域を加熱する加熱手段と、を有し
前記加熱手段は、前記型のパターン領域の形状と前記被処理領域の形状との差に関する情報と、前記基板と前記載置部との間にはたらく接触圧力に関する情報とに基づいて、前記型のパターン領域の形状と前記被処理領域の形状との差が低減するように前記被処理領域を加熱することを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
前記接触圧力に関する情報は、前記基板と前記載置部との間隔に基づいて得られる情報であることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記載置部は、前記載置部の基板載置面に前記基板を引き付けて保持する引き付け手段を有し、
前記接触圧力に関する情報は、前記基板と前記載置部との間隔と前記引き付け手段の引き付け力とに基づいて得られる情報であることを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記間隔の情報は、前記引き付け手段が前記基板の引き付け力を変化させることで得られる前記基板の面外方向の形状変化量であることを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記基板および前記載置部の基板載置面の少なくとも一方の面外方向の形状情報を計測する計測手段をさらに有し、
前記間隔の情報は、前記計測手段による計測結果に基づいて得られた情報であることを特徴とする請求項２または３に記載のインプリント装置。
【請求項６】
前記間隔の情報は、前記基板の面外方向の形状情報と前記載置部の面外方向の形状情報との差であることを特徴とする請求項２または３に記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記加熱手段は、前記型のパターン領域の形状と前記被処理領域の形状との差に関する情報から得られた熱量分布を、前記接触圧力に関する情報から得られた補正量で補正した熱量分布に基づいて前記被処理領域を加熱することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のインプリント装置。  
【請求項８】
前記接触圧力が第１の値である前記基板上の領域における前記熱量分布を補正するための補正量は、前記接触圧力が前記第１の値よりも高い第２の値である前記基板上の領域における前記熱量分布を補正するための補正量よりも大きいことを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
【請求項９】
型を用いて基板上の被処理領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板が載置される載置部と、
前記被処理領域を加熱する加熱手段と、を有し
前記加熱手段は、前記型のパターン領域の形状と前記被処理領域の形状との差に関する情報と、前記基板と前記載置部との間隔とに基づいて、前記型のパターン領域の形状と前記被処理領域の形状との差が低減するように前記被処理領域を加熱することを特徴とするインプリント装置。
【請求項１０】
前記型のパターン領域の形状と前記被処理領域の形状との差に関する情報は熱量分布であって、前記間隔は前記熱量分布を補正するための情報であって、
前記間隔が第１の距離である前記基板上の領域における前記熱量分布を補正するための補正量は、前記間隔が前記第１の距離よりも長い第２の距離である前記基板上の領域における前記熱量分布を補正するための補正量よりも大きいことを特徴とする請求項９に記載のインプリント装置。
【請求項１１】
複数の被処理領域に対して順次パターンを形成するインプリント装置であって、
前記熱量分布を補正するための情報は、所定の数の被処理領域において共通の情報であることを特徴とする請求項１０に記載のインプリント装置。
【請求項１２】
１つの前記被処理領域を仮想的に分割した複数の分割領域を設定する場合に、前記熱量分布を補正するための情報は、所定の数の前記分割領域において共通の情報であることを特徴とする請求項１０に記載のインプリント装置。
【請求項１３】
前記基板および前記載置部の基板載置面の少なくとも一方の面外方向の形状情報を計測する計測手段を有し、
前記間隔の情報は、前記計測手段による計測結果に基づいて得られた情報であることを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１４】
前記載置部は、前記載置部に前記基板を引き付けて保持する引き付け手段をさらに有し、
前記間隔の情報は、前記引き付け手段が前記基板の引き付け力を変化させることで得られる前記基板の面外方向の形状変化量であることを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１５】
前記間隔の情報は、前記基板の面外方向の形状情報と前記載置部の面外方向の形状情報との差であることを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１６】
型を用いて基板上の被処理領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記型のパターン領域の形状と前記基板上の被処理領域の形状との差に関する第１情報、および、前記基板と前記載置部との間にはたらく接触圧力に関する情報である第２情報を取得する工程と、
前記工程で取得した前記第１情報および前記第２情報に基づいて、前記パターン領域の形状と前記被処理領域の形状との差が低減するように前記被処理領域を加熱する工程と、
前記加熱する工程により加熱変形させた被処理領域上にパターンを形成する工程と、を有することを特徴とするインプリント方法。
【請求項１７】
前記第２情報は、前記基板の面外方向の形状情報および前記載置部の基板載置面の面外方向の形状情報の差に基づいて定まる情報であって、
前記第２情報を取得する工程において、前記基板の面外方向の形状情報および前記載置面の面外方向の形状情報の少なくとも一方をインプリント装置外で取得することを特徴とする請求項１６に記載のインプリント方法。
【請求項１８】
前記第２情報は、前記基板の面外方向の形状情報および前記載置部の基板載置面の面外方向の形状情報の差に基づいて定まる情報であって、
前記第２情報を取得する工程は、
前記基板を前記基板載置面に第１の力で引き付けた状態で前記基板の面外方向の形状情報を取得する第１の取得工程と、
前記基板を前記基板載置面に、前記第１の力より大きな第２の力で引き付けた状態で前記基板の面外方向の形状情報を取得する第２の取得工程を含むことを特徴とする請求項１６に記載のインプリント方法。
【請求項１９】
前記第２情報を、前記第１情報よりも先に取得することを特徴とする請求項１６乃至１８のいずれか１項に記載のインプリント方法。
【請求項２０】
請求項１乃至１５のいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて、前記基板上にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンの形成された基板を加工する工程と、を有することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一実施形態にかかるインプリント装置は、型を用いて基板上の被処理領域にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、前記基板が載置される載置部と、前記被処理領域を加熱する加熱手段と、を有し、前記加熱手段は、前記型のパターン領域の形状と前記被処理領域の形状との差に関する情報と、前記基板と前記載置部との間にはたらく接触圧力に関する情報とに基づいて、前記型のパターン領域の形状と前記被処理領域の形状との差が低減するように前記被処理領域を加熱することを特徴とする。