(57)【要約】本発明に係る磁気ヘッドの試験装置は、媒体４０を回転駆動しスライダー１０を媒体４０から浮上させて磁気ヘッドの特性を試験する磁気ヘッドの試験装置であり、前記媒体４０の表面に対向してスライダー１０を着脱自在に支持するホルダ２０を設け、該ホルダ２０に、実機においてスライダー１０を支持するサスペンション機能と同一の機能を有するサスペンション手段２４を設けたことを特徴とする。これにより、スライダー１０のみを交換して試験することができ、磁気ヘッドが不良と判定された際もサスペンションを廃棄する必要がなく、サスペンションの製造費用、スライダーをサスペンションに組み立てる加工費用の損失をなくすことができる。
2003012781.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体を回転駆動しスライダーを媒体から浮上させて磁気ヘッドの特性を試験する磁気ヘッドの試験装置において、
前記媒体の表面に対向してスライダーを着脱自在に支持するホルダを設け、
該ホルダに、実機においてスライダーを支持するサスペンション機能と同一の機能を有するサスペンション手段を設けたことを特徴とする磁気ヘッドの試験装置。
【請求項２】
ホルダをホルダベースに傾動自在に支持するとともに、媒体の表面に向けてホルダを常時付勢する付勢手段を設けたことを特徴とする磁気ヘッドの試験装置。
【請求項３】
ホルダの荷重中心を支持ピンにより支持してホルダベースに傾動自在にホルダを支持し、前記支持ピンに前記付勢手段を設けたことを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項４】
ホルダとホルダベースとの間にホルダの傾きを抑える弾性体を設けたことを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項５】
弾性体として、コイルスプリングを設けたことを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項６】
弾性体として、クッション材を設けたことを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項７】
弾性体として、ホルダをホルダベースに吊持する板バネを設けたことを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項８】
ホルダベースに液体を収容し、該液体にホルダを浮上させて支持したことを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項９】
半球状に形成した球状ベースの平坦面にスライダーを支持し、
軸線方向を前記球状ベースの中心に向けるとともに球状ベースに向けて付勢し、前記球状ベースの球面に滑動可能に当接する支持ピンを中心対称配置で複数個ホルダベースに設けたことを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドの試験装置。
【請求項１０】
半球状に形成した球状ベースの平坦面にスライダーを支持し、
ホルダベースに前記球状ベースを摺動自在に支持するとともに、孔方向を前記球状ベースの中心に向けるとともに球面に向けてエアを吹き出すエア孔を中心対称配置で複数個ホルダベースに設けたことを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドの試験装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は磁気ディスク装置に搭載される磁気ヘッドの特性試験装置に関し、より詳細には磁気ヘッドの浮上特性、電磁変換特性等の特性を試験する磁気ヘッドの試験装置に関する。
従来の技術
磁気ディスク装置のデータの書き込み及び読み取りに使用される磁気ヘッドは、媒体を回転した際における媒体表面からの浮上特性、媒体との間でのデータの書き込み及び読み取りに関する電磁変換特性を試験した後、実機に搭載される。従来、この磁気ヘッドを試験する場合は、図１２に示すようにサスペンション１２にスライダー１０を搭載した磁気ヘッドサスペンション組立体１８を組み立てて試験している。試験装置では、実際の磁気ディスク装置と同様に磁気ヘッドサスペンション組立体１８を試験装置にセットし、磁気ディスクに相当する媒体を回転駆動して磁気ヘッドを浮上させ、磁気ヘッドの浮上量及びデータの書き込み及び読み取り特性を検査して良否を判定する。
図１３はスライダー１０の構成を示す斜視図である。同図で１４はスライダー１０の浮上面に形成した浮上面パターン、１５はデータの書き込み／読み取り素子、１６は接合端子である。磁気ヘッドサスペンション組立体１８は、サスペンション１２のジンバル部にスライダー１０を接合し、接合端子１６とサスペンション１２に形成されている配線パターンとを電気的に接続して組み立てる。
最近の大容量の磁気ディスク装置における媒体表面からの磁気ヘッドの浮上量は数十ｎｍであり、この浮上量は媒体容量が増大するとともに小さくなっていく。このため、磁気ヘッドの浮上量の僅かな差異がデータの書き込み及び読み取り特性に大きく影響を与えるものとなってきており、磁気ヘッドを実際に浮上させてその特性を試験する方法が重要となってきた。
上述したように、従来の磁気ヘッドの試験装置では、磁気ヘッドサスペンション組立体を試験装置にセットして試験する方法によっている。したがって、磁気ヘッドの試験装置による試験の結果、不良と判定された場合には、磁気ヘッドサスペンション組立体の全体が廃棄処分されることになる。磁気ヘッドは媒体容量の増大とともにますます高性能が求められ、高度の製造技術が必要となるために製造歩留まりが低下する傾向にある。このため、スライダーの特性不良によって磁気ヘッドサスペンション組立体を廃棄することがしばしば起こり得る。
この磁気ヘッドサスペンション組立体に使用されているサスペンションは、媒体の大容量化とともに高機能化しており、付加価値の高いものとなっている。したがって、試験で不良とされた場合に磁気ヘッドサスペンション組立体の全体を廃棄してしまうことは、サスペンションの製造費、サスペンションにスライダーを搭載するための組立て費が無駄になるということであり、製造コスト上で問題となる。
また、従来のように、磁気ヘッドサスペンション組立体を試験装置にセットして試験した場合は、サスペンションのバネ圧、スライダーを支持しているジンバル部分のロール角度、ピッチ角度のばらつきといったサスペンション自体の品質のばらつき、サスペンションにスライダーを搭載した際の組み立て要因によって製品の特性が左右されるという問題もある。すなわち、磁気ヘッドの浮上特性がサスペンションのバネ圧等によってばらつきによって、所定の電磁変換特性が得られず不良と判定される場合もある。このように、磁気ヘッドサスペンション組立体を被検査体として試験した場合の不良原因が、磁気ヘッド自体の特性によるものか否か不明確になるという問題もあった。
そこで、本発明はこれらの問題点を解消すべくなされたものであり、その目的とするところは、磁気ヘッド自体の特性を的確に判定することを可能にして、より正確な試験を行えるようにすること、良品のサスペンションを廃棄するといったことによる部品製造費用、組み立て工数等の損失を防止し、磁気ディスク装置の製造コストの削減を図ることを可能にする磁気ヘッドの試験装置を提供するにある。
発明の開示
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、媒体を回転駆動しスライダーを媒体から浮上させて磁気ヘッドの特性を試験する磁気ヘッドの試験装置において、前記媒体の表面に対向してスライダーを着脱自在に支持するホルダを設け、該ホルダに、実機においてスライダーを支持するサスペンション機能と同一の機能を有するサスペンション手段を設けたことを特徴とする。
また、前記ホルダをホルダベースに傾動自在に支持するとともに、媒体の表面に向けてホルダを常時付勢する付勢手段を設けたことを特徴とする。
また、前記ホルダの荷重中心を支持ピンにより支持してホルダベースに傾動自在にホルダを支持し、前記支持ピンに前記付勢手段を設けたことを特徴とする。
また、前記ホルダとホルダベースとの間にホルダの傾きを抑える弾性体を設けたことを特徴とする。これによって、ホルダが一定以上に傾くことを防止し、ホルダの振動を抑制することができる。
また、前記弾性体としては、コイルスプリング、クッション材、ホルダをホルダベースに吊持する板バネを設けたことを特徴とする。
また、前記ホルダベースに液体を収容し、該液体にホルダを浮上させて支持したことを特徴とする。
また、半球状に形成した球状ベースの平坦面にスライダーを支持し、軸線方向を前記球状ベースの中心に向けるとともに球状ベースに向けて付勢し、前記球状ベースの球面に滑動可能に当接する支持ピンを中心対称配置で複数個ホルダベースに設けたことを特徴とする。
また、半球状に形成した球状ベースの平坦面にスライダーを支持し、ホルダベースに前記球状ベースを摺動自在に支持するとともに、孔方向を前記球状ベースの中心に向けるとともに球面に向けてエアを吹き出すエア孔を中心対称配置で複数個ホルダベースに設けたことを特徴とする。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付図面と共に詳細に説明する。
図１は磁気ヘッドの試験装置の一実施形態についてその全体構成を示す説明図である。同図で２０は被試験体であるスライダー１０を支持するホルダ、２２はホルダ２０を支持するホルダベースである。図２にこのホルダ２０の支持構造を拡大して示す。図２Ａはホルダ２０の支持構造の平面図、図２Ｂは断面図である。
ホルダ２０は円柱ブロック状に形成された部材であり、ホルダベース２２の上部に設けた平面形状が円形の収納穴２２ａ内に、ホルダ２０の外周縁と収納穴２２ａの内周縁との間に板バネ２４を掛け渡すようにして吊持されている。収納穴２２ａの内径寸法及び深さ寸法は、ホルダ２０の外径寸法及び高さ寸法よりも十分に大きく、収納穴２２ａ内にホルダ２０を配置した状態で、ホルダ２０の外周壁面及び底面と収納穴２２ａの内周壁面及び底面とは十分離間している。これらのホルダ２０と収納穴２２ａの寸法は、収納穴２２ａ内でホルダ２０が任意の方向に傾動可能となるように設定される。
図２Ｂに示すように、ホルダ２０には、その底面からホルダ２０の中心軸線方向に、遊嵌穴２０ａが設けられる。２８はホルダベース２２に支持された支持ピンであり、支持ピン２８の上部側が遊嵌穴２０ａに挿入される。支持ピン２８の上端は円錐形状に尖った形状に形成され、遊嵌穴２０ａの内底面（天井面）に支持ピン２８の尖端が当接する。支持ピン２８の上端を尖端としているのはホルダ２０を支持ピン２８によりピンポイントで支持し、ホルダ２０が任意の方向に傾動できるようにするためである。また、支持ピン２８の外周面と遊嵌穴２０ａの内周面との間隔を十分にとっているのは、遊嵌穴２０ａに挿入した支持ピン２８によってホルダ２０の傾動が妨げられないようにするためである。
支持ピン２８はホルダベース２２により軸線方向にスライド自在に支持され、スプリング３０によりホルダ２０を常時上方に持ち上げる向きに付勢されている。２９は支持ピン２８に設けたフランジ部である。フランジ部２９により支持ピン２８の突出位置が規制される。
図２Ａに示すように、板バネ２４はホルダ２０の外周縁とホルダベース２２の収納穴２２ａの内周縁との間を塞ぐ円形のリング状に形成される。板バネ２４にはホルダ２０の中心対称となる配置で円弧状のスリット孔２４ａが設けられている。板バネ２４はそれ自体、一定のバネ性を備えるものであるが、スリット孔２４ａを設けることによって所定の弾性力が得られるように調節されている。スリット孔２４ａを円弧状に設けているのは、ホルダ２０が任意の方向に傾動できるようにするためで、板バネ２４に特定の方向性をもたせないようにするためである。
以上の構成からわかるように、ホルダ２０に作用する弾性力は板バネ２４によってホルダ２０をホルダベース２２に吊持する力と、スプリング３０によってホルダベース２２からホルダ２０を押し上げる力である。すなわち、ホルダ２０は板バネ２４及び支持ピン２８を介して作用する弾性力によってホルダベース２２にフローティングされて支持される。本実施形態の試験装置では、このホルダ２０を弾性的にフローティングして支持する力を従来の磁気ヘッドサスペンション組立体で使用しているサスペンションとまったく同一のサスペンション機能が得られるように設定することを特徴とする。
従来の磁気ヘッドサスペンション組立体で使用しているサスペンションも、所定の弾性力により任意の方向にスライダー１０を傾動させるように設けられている。したがって、ホルダ２０を弾性的にフローティングして支持する機能を従来のサスペンションと同等の作用が生じるように設定することにより、被試験体であるスライダーを実際にサスペンションに搭載することなく所要の特性試験を行うことが可能となる。
図３は、ホルダ２０に被試験体のスライダー１０を脱着する様子を示す。ホルダ２０の上面にはスライダー１０をセットするセット凹部２０ｂが設けられている。スライダー１０はセット凹部２０ｂ内に挿入するようにしてホルダ２０にセットする。セット凹部２０ｂの内側面にはスライダー１０をセットした際に、スライダー１０の側面に形成された接合端子１６と電気的に接続するコンタクトが形成されている。コンタクトには被試験体の電磁変換特性を検査する検査装置と信号を授受する配線３２が接続されている。被試験体のスライダー１０は、試験操作にあわせてホルダ２０のセット凹部２０ｂにセットし、取り外せばよい。
図１において、４０はスライダー１０の浮上特性とデータの書き込み及び読み取り特性を試験する際に使用する媒体である。浮上特性を試験する際には、媒体４０として透明なガラス媒体等を使用し、電磁変換特性を試験する際には実機の媒体を使用する。４２はスピンドルである。４４はスライダー１０の浮上特性を検査する際に使用するレーザ装置である。５０はスライダー１０の電磁変換特性を検査するための検査機である。５２はアンプである。検査機５０と被試験体のスライダー１０とは配線３２を介して電気的に接続されている。
ホルダ２０及びホルダベース２２を有するホルダ２０は、支持アーム５５に支持されて媒体４０の下方に配置される。被試験体のスライダー１０はホルダ２０に支持され、ホルダ２０の最上部に位置する。これによって、被試験体のスライダー１０は媒体４０の下面に対向する配置となる。支持アーム５５は支持軸５６により水平面内で回動可能に設けられるとともに、鉛直方向の高さ位置が調節可能に設けられている。
スライダー１０の特性を試験する場合は、まず、支持アーム５５の高さを調節してホルダ２０にセットしたスライダー１０が板バネ２４とスプリング３０の付勢力によって媒体４０の表面に接する状態とする。この状態から、媒体４０を所要の回転数によって回転させ、スライダー１０の浮上特性とスライダー１０の電磁変換特性を測定する。支持アーム５５を適宜回動することにより、磁気ヘッドサスペンション組立体を回動させて試験した場合とまったく同様に、媒体上での回動位置（回動角度）におけるスライダー１０の浮上特性と電磁変換特性を測定することができる。スライダー１０の浮上特性を試験する際にはレーザ装置４４を使用し、電磁変換特性を試験する際には検査機５０を使用する。
被試験体を交換する際には、ホルダ２０から試験済みのスライダー１０を取り外し、新たにスライダー１０をセットすればよい。こうして、次々とスライダー１０を交換して試験することができる。
本実施形態の磁気ヘッドの試験装置によれば、スライダーをあらかじめサスペンションに搭載しておく必要がなく、スライダー自体を試験機に次々と交換してセットして試験することができる。したがって、従来のように不良品と判定された場合にスライダーをサスペンションに搭載して組み立てた磁気ヘッドサスペンション組立体を廃棄するという無駄をなくすことができ、部品の製造費用、組み立てに要した加工費用の無駄をなくすことができる。
また、本実施形態の磁気ヘッドの試験装置は、スライダー１０をセットするホルダ２０の支持構造が、実機で使用する磁気ヘッドサスペンション組立体でのサスペンションと同一のバネ性、たわみ度といったサスペンション機能を備えているから、実機に搭載した場合とまったく同一の条件でスライダーの特性を試験することが可能になる。これは、従来のようにサスペンションに搭載して試験した場合には、サスペンションにスライダーを搭載した際の組み立てによるばらつきが測定結果に影響を及ぼすという問題を解消し、スライダー自体の特性を正確に判定することが可能になるという利点がある。
以上のように、本実施形態の磁気ヘッドの試験装置によれば、サスペンションに磁気ヘッドを実際に搭載することなく磁気ヘッドの特性を試験することが可能となる。なお、磁気ヘッドの試験装置に従来の磁気ヘッドサスペンション組立体で使用しているサスペンションと同一の機能を有するサスペンション手段を設ける方法は上記実施形態以外にも種々の方法が可能である。以下では、サスペンション手段を設けてスライダーを支持する他の支持構造について説明する。
図４に示すスライダー１０の支持構造は、被試験体であるスライダー１０を平板状のホルダ６０に支持し、ホルダ６０をホルダベース６２に任意の方向に傾動可能に支持したものである。ホルダ６０はスライダー１０を着脱自在かつ傾動自在に保持するものであり、上記実施形態におけるホルダ２０と同様の機能を有する。ホルダ６０を傾動可能とするため、ホルダ６０の荷重中心に位置合わせしてホルダ６０の下面に支持ピン６４を固定し、支持ピン６４をホルダベース６２に固定した横ビーム６６に傾動可能に支持する。６４ａ、６４ｂは横ビーム６６を上下に挟む配置で支持ピン６４に設けたフランジである。６８は上位置のフランジ６４ｂと横ビーム６６との間に設けられ、ホルダ６０を常時上方へ付勢する弾発スプリングである。支持ピン６４は横ビーム６６に設けた挿通孔６６ａに挿通して設けられる。挿通孔６６ａの内径を支持ピン６４の外径よりも大径として支持ピン６４の取り付け位置に遊びをもたせたことと、弾発スプリング６８の弾性によって、支持ピン６４すなわちホルダ６０は横ビーム６６に対して任意の方向に傾動可能に支持される。
本実施形態においては、ホルダ６０を支持ピン６４のみによりピンポイント的に支持している。したがって、ホルダ６０に被試験体であるスライダー１０をセットして試験した際にスライダー１０に作用する荷重が一点に集中し、スライダー１０の姿勢にかかわらず媒体の表面に垂直に加重を加えることが可能になる。また、試験の際に媒体が回転することによってスライダー１０は浮上力を受けるが、スライダー１０の動作にはホルダ６０の質量が影響を与えることになる。これに対しては、ホルダ６０の質量を軽く（５０ｍｇ以下程度）設定することにより、スライダー１０の動作に及ぼす影響を十分に小さくすることができる。もちろん、弾発スプリング６８はスライダー１０をサスペンションに搭載した際と同等のサスペンション機能を有するよう弾性を設定するものである。
図５、６、７、８はホルダ６０と横ビーム６６との間に弾性体を設けて、ホルダ６０の傾きや振動を抑制する構成とした例である。図５に示す実施形態はホルダ６０と横ビーム６６との間に支持ピン６４に外挿して大径のコイルスプリング７０を設けたものである。図６に示す実施形態は、ホルダ６０と横ビーム６６との間に中心対称配置で複数のコイルスプリング７１を設けたものである。図７に示す実施形態は、ホルダ６０の下面とホルダベース６２の開口縁との間に板バネ７２を設けてホルダ６０を弾性的に支持したものである。図８に示す実施形態は、ホルダ６０と横ビーム６６との間に弾性体としてクッション材７３を配置した例である。いずれの場合も、図４に示す実施形態と同様に、横ビーム６６に弾発スプリング６８を介して支持ピン６４を傾動可能に支持し、支持ピン６４によりホルダ６０を傾動可能に支持している。
図５、６に示すように、弾性体としてコイルスプリング７０、７１を使用した場合は、コイルスプリングの特性から、ホルダ６０の傾きが小さいときはコイルスプリング７０、７１からホルダ６０に作用する力が小さく、ホルダ６０の傾きや変位が大きくなるとホルダ６０に作用する力が大きくなる。このことは、ホルダ６０の傾きが一定の傾きの範囲内にあるときは、ホルダ６０すなわちスライダー１０は一定の自由度で傾動でき、一定の傾きの範囲を超えるとコイルスプリング７０、７１の弾性による戻し力によってホルダ６０が元の位置に引き戻されて姿勢制御されることを意味する。
また、媒体を回転して試験する際に、ホルダ６０が傾いている（初期傾き）と、媒体の表面にスライダー１０が傾いて接触する。コイルスプリング７０、７１はホルダ６０、すなわちスライダー１０の初期傾きを抑えて精度のよい測定を可能にする。
図７に示すように、板バネ７２によってホルダ６０を支持する構成とした場合も、コイルスプリング７０、７１を設けた場合と同様に、ホルダ６０、すなわちスライダー１０の傾きや振動を抑制する作用を有する。なお、板バネ７２によってホルダ６０をホルダベース６２に支持する構成とした場合は、ホルダ６０を傾かせずに平行に支持する支持性がさらに良好になる。図８に示すように、クッション材７３を使用した場合も、ホルダ６０すなわちスライダー１０の傾きや振動を抑制する作用を有する。クッション材７３を用いることによって振動を吸収するダンパとしての作用も有する。
図９は、ホルダ６０の傾きを防止し振動を抑えるため、液体７４を利用した例である。ホルダベース６２の内部に横設した横ビーム６６に、弾発スプリング６８を介して支持ピン６４を支持してホルダ６０を傾動可能に支持した構成は図４に示す実施形態と同様である。本実施形態ではホルダベース６２を上部が開口する水密な容器に形成し、ホルダ６０に接する位置まで液体７４を収容する。ホルダ６０の比重よりも重い液体７４を使用し、液体７４にホルダ６０が浮くようにする。これによって、ホルダ６０の傾動の自由度を確保し、ホルダ６０が大きく傾くことを防止することができる。また、液体７４のダンパ作用によってホルダ６０の振動を防止することができる。
図１０、１１は、被試験体のスライダー１０を支持する支持構造のさらに他の実施形態を示す。図１０に示す支持構造は、スライダー１０を支持する半球状に形成された球状ベース８０を、ホルダベース７５に傾動可能に支持して構成した例である。球状ベース８０は平坦面を上側としてホルダベース７５に取り付けられる。球状ベース８０の平坦面にはホルダ６０が固定され、ホルダ６０に脱着自在にスライダー１０が装着される。なお、ホルダ６０を使用せず、球状ベース８０の平坦面にスライダー１０を脱着自在に搭載するように形成してもよい。
ホルダベース７５には球状ベース８０の半球面に対向する内面が球面７６ａに形成された凹部７６が形成されている。支持ピン６４は軸線方向を球状ベース８０の中心に向かう方向に一致させ、弾発スプリング６８により先端部が球面７６ａから突出する方向に付勢してホルダベース７５に取り付けられる。支持ピン６４を凹部７６の中心対称位置に配置することによって、支持ピン６４の弾発スプリング６８による弾性力の合力は媒体の表面に対して垂直に作用するようになる。支持ピン６４の先端は球面に形成され、球状ベース８０の球面上を滑るように形成される。これによって、ホルダ６０に支持されたスライダー１０は任意の方向に傾動可能となり、サスペンションに搭載した場合と同様のサスペンション機能を備えることができる。
図１１は、図１０に示した実施形態において、支持ピン６４にかえてホルダベース７５にエア孔７８を設け、エア孔７８からエアを吹き出すことにより、凹部７６内で自在に球状ベース８０を傾動可能としたものである。本実施形態の場合は、エア孔７８の軸線方向を球状ベース８０の中心方向に向け、複数のエア孔７８を中心対称となるように配置した。これによって、球状ベース８０は任意の方向に傾動可能になるとともに、エア圧による合力は媒体の表面に対して垂直に作用するようになる。また、エア孔７８から吹き出すエア圧を調節することによってスライダー１０を支持するサスペンション力を調節することが可能であり、製品条件に合わせて適宜エア圧を調節して試験することができる。
発明の効果
本発明に係る磁気ヘッドの試験装置によれば、上述したように、磁気ヘッドの特性を試験する際に、スライダーをあらかじめサスペンションに搭載しておく必要がない。したがって、磁気ヘッドが不良と判定された際もサスペンションを廃棄する必要がなく、サスペンションの製造費用、スライダーをサスペンションに組み立てる加工費用の損失を抑制することができる。また、サスペンションにスライダーを搭載した際の組立ばらつきによる測定結果への影響を排除することができ、磁気ヘッド自体の特性を正確に判定することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、磁気ヘッドの試験装置の全体構成を示す説明図であり、第２Ａ図及び第２Ｂ図は、ホルダの平面図及び断面図であり、第３図は、ホルダにスライダーを脱着する方法を示す説明図であり、第４図は、スライダーを傾動可能に支持するホルダの構成を示す断面図であり、第５図は、ベース板をコイルスプリングにより支持する構成を示す断面図であり、第６図は、ベース板をコイルスプリングにより支持する他の構成を示す断面図であり、第７図は、ベース板を板バネにより支持する構成を示す断面図であり、第８図は、ベース板をクッション材により支持する構成を示す断面図であり、第９図は、ベース板を液体により支持する構成を示す断面図であり、第１０図は、スライダーを球状ベースにより支持する構成を示す断面図であり、第１１図は、スライダーを球状ベースにより支持する他の構成を示す断面図であり、第１２図は、磁気ヘッドサスペンション組立体の構成例を示す斜視図であり、第１３図は、スライダーの構成を示す斜視図である。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
2003012781.tif 000017
2003012781.tif 000018