(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留するとともに液体を外部に吐出するための吐出口を有する容器と、この容器内に配置されて前記吐出口を開閉する内側弁と、前記容器内において前記吐出口に対して進退可能かつ前記内側弁の外側に同心円状に配置されて液体を吐出する略筒状の吐出用部材と、前記容器内において前記吐出用部材の外側に同心円状に配置されて前記内側弁との間の空間に液体の流入を許容又は阻止する外側弁と、前記内側弁を開閉駆動する内側弁駆動手段と、前記吐出用部材を進退駆動する吐出用部材駆動手段と、前記外側弁を開閉駆動する外側弁駆動手段とを備え、前記内側弁及び前記外側弁は、それぞれ前記吐出口の全周に設けられ弾性変形可能なパッキン部材と、このパッキン部材に当接する封止部材とを有するシール構造を備え、前記封止部材の前記パッキン部材と当接する部分にはリップ形成用凹部が連続して形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
請求項１記載の液体吐出装置において、前記内側弁の封止部材は筒状に形成され、その内部には液体を前記吐出口から外部に掃き出すための掃出手段が設けられていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項３】
請求項２記載の液体吐出装置において、前記掃出手段は気体で液体を吹き飛ばすエアイジェクタであることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項４】
請求項１から３にいずれか記載の液体吐出装置において、前記内側弁駆動手段、前記吐出用部材駆動手段及び前記外側弁駆動手段は、それぞれ直接駆動手段から構成され、これらの直線駆動手段は並列に配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の液体吐出装置において、前記直線駆動手段はエアシリンダであることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項６】
請求項１から５にいずれか記載の液体吐出装置において、前記内側弁、前記吐出用部材及び前記外側弁は、それぞれ全体が前記容器の内部に配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は集積回路のパッケージ等の形成に用いられる磨耗性液体、その他の液体を定量吐出するための液体吐出装置に関するものである。
【０００２】
【背景技術】
従来より、集積回路のパッケージ等の樹脂成型品を製造する際に、原料樹脂スラリーを型内に一定量ずつ充填することが行われているが、この充填操作のために各種液体吐出装置が利用されている。
この液体吐出装置の従来例として、吐出する液体を貯蔵する容器と、この容器の底部内面に先端開口を接触隔離されるシリンダと、このシリンダ内に軸方向進退自在に設けられるプランジャと、前記容器の底部内面にシリンダ先端開口で覆われる位置に配置されて外部に連通される吐出口と、この吐出口に連通される吐出管を開閉するピンチバルブ機構とを備えた液体吐出装置がある（特開平4-50478号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来例では、吐出口に向けてシリンダを前進させて液体を計量し、さらに、ピンチバルブ機構で吐出管を開放した状態でプランジャを前進させることにより液体を吐出口を通って吐出管から吐出させる構成であるが、プランジャ先端に位置する吐出口とピンチバルブ機構との間に所定の距離があるため、この距離分だけ液体の滞留が生じるという問題点がある。
装置の休止等で液体の滞留を長時間放置すると、液体が薬液である場合には変質し、接着剤である場合には固化するという不都合が生じる。
さらに、シリンダ及びプランジャの駆動系とピンチバルブの駆動系とが別々に構成されているため、装置がコンパクト化できないという問題点がある。
また、ピンチバルブ機構は出口側弁として機能するが、このピンチバルブ機構では、吐出口を十分に閉塞することができず、吐出する液体のキレが十分ではないという問題点がある。
【０００４】
本発明の目的は液漏れをすることなく定量吐出が可能であり液体の滞留がない液体吐出装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
そのため、本発明は、容器内に内側弁、吐出用部材及び外側弁を同心状に配置し、内側弁及び外側弁のシール構造を弾性パッキン部材と、このパッキン部材にと当接する部分にリップ形成用凹部を形成した封止部材とから構成して前記目的を達成しようとするものである。
【０００６】
具体的には本発明にかかる液体吐出装置は、液体を貯留するとともに液体を外部に吐出するための吐出口を有する容器と、この容器内に配置されて前記吐出口を開閉する内側弁と、前記容器内において前記吐出口に対して進退可能かつ前記内側弁の外側に同心円状に配置されて液体を吐出する略筒状の吐出用部材と、前記容器内において前記吐出用部材の外側に同心円状に配置されて前記内側弁との間の空間に液体の流入を許容又は阻止する外側弁と、前記内側弁を開閉駆動する内側弁駆動手段と、前記吐出用部材を進退駆動する吐出用部材駆動手段と、前記外側弁を開閉駆動する外側弁駆動手段とを備え、前記内側弁及び前記外側弁は、それぞれ前記吐出口の全周に設けられ弾性変形可能なパッキン部材と、このパッキン部材に当接する封止部材とを有するシール構造を備え、前記封止部材の前記パッキン部材と当接する部分にはリップ形成用凹部が連続して形成されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成の本発明では、例えば、容器内に液体を貯留した状態で、外側弁駆動手段で外側弁を開放操作するとともに、内側弁駆動手段で内側弁を閉塞操作し、さらに、吐出用部材駆動手段で吐出用部材を吐出口から後退させる。
すると、吐出用部材の後退に伴って、液体が内側弁と外側弁との間に吸引される。
その後、外側弁駆動手段で外側弁を閉塞操作して液体の計量を行い、内側弁駆動手段で内側弁を開放操作し、さらに、吐出用部材駆動手段で吐出用部材を吐出口に向けて前進させ、吐出口から液体を吐出させる。
【０００８】
外側弁及び内側弁が閉塞されている状態では、それぞれパッキン部材に封止部材が当接されているが、パッキン部材はテフロンなどの弾性変形可能な材質から形成され、封止部材は金属等からリップ形成用凹部が形成されているから、封止部材に形成されたリップ形成用凹部にパッキン部材が弾性変形して入り込み、リップが形成される。
リップが形成されると、パッキン部材と封止部材との間のシール面積が大きくなり、かつ、これらのリップの内外圧力差によりリップが封止部材のリップ形成用凹部に押しつけられる。これにより、吐出口への液体の流入が確実に阻止され、液漏れが防止される。
【０００９】
本発明では、吐出用部材を吐出口に向けて前進させておけば、内側弁と外側弁との間が閉塞され、この間の空間に液体が滞留することがない。
なお、封止部材にリップ形成用凹部を形成することなく、パッキン部材と封止部材との当接部分をテーパ状に形成するシール構造も考えられるが、封止部材がパッキン部材に当接離反することを繰り返すことにより、シール面の擦れが生じ、液が漏れる虞れがある。
【００１０】
ここで、本発明では、前記内側弁の封止部材は筒状に形成され、その内部には液体を吐出口から外部に掃き出すための掃出手段が設けられた構造としてもよい。
この構造では、所定時期、例えば、内側弁で吐出口を開放すると同時に掃出手段を操作して吐出口近傍の液体を掃き出す。
これにより、液体の最後の一滴までキレよく、確実に吐出させることができる。
さらに、前記掃出手段は気体で液体を吹き飛ばすエアイジェクタから構成してもよい。
この構成では、エアイジェクタにより、非接触状態で液体を吹き飛ばすことができるから、液切れを良好にすることができる。
【００１１】
また、本発明では、前記内側弁駆動手段、前記吐出用部材駆動手段及び前記外側弁駆動手段をそれぞれ直線駆動手段から構成し、これらの直線駆動手段を並列配置した構造としてもよい。
この構造では、駆動系を並列配置することにより、装置が直線駆動手段の長手方向に延びることなくコンパクトになる。
さらに、前記直線駆動手段はエアシリンダから構成してもよい。
直線駆動手段をエアシリンダから構成すると、弁の開閉操作並びに吐出用部材による液体吐出操作を瞬時に行えるだけでなく、ストッパを用いることにより、動作限界を容易に調整することができる。
【００１２】
さらにまた、前記内側弁、前記吐出用部材及び前記外側弁は、それぞれ全体が前記容器の内部に配置されて構成でもよい。
この構成では、毛細管現象に伴って弁から容器内の液体が容器外へ漏出することを防止できる。
つまり、内側弁、吐出用部材及び外側弁は同心状にあり、かつ、これらの部材の隙間が小さいため、この隙間を通って容器内の液体が毛細管現象により移動しようとする。これらの部材の吐出口とは反対側の端部が容器の外部に露出していると、容器内の液体が外部に漏出することになるが、本発明では、これらの部材が全て容器内にあるため、毛細管現象で液体が移動するとしても、容器の外部に漏出することがない。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
ここで、各実施形態中、同一構成要素は同一符号を付して説明を省略する。
図１から図９には本発明の第１実施形態が示されている。
図１は第１実施形態の液体吐出装置を備えたディスペンサの一部を破断した正面図であり、図２は、そのディスペンサの一部を破断した側面図である。
これらの図において、ディスペンサ１は、２種類の磨耗性液体を同時に定量吐出するための液体吐出装置２を２系統備えている。
ディスペンサ１は、それぞれ水平配置された３枚の基板３〜５を有し、基板４は複数の支柱６により基板３の上方に支持されるとともに、基板５は複数の支柱７により基板４の上方に支持されている。
【００１４】
基板３には一対の容器８が設置されている。容器８は、上面が開口され、底部が下方に突出した逆凸型に形成されている。
容器８の下部には、内部の液体を排出するための排出ノズル９の一端が接続されている。
容器８の底部には吐出ノズル１０が取り付けられている。この吐出ノズル１０は、上端部が容器８の内部に設けられた略円盤状に形成され、下端部が基板３の下方に突出した形状とされ、その中心部に吐出口１０Ａが上下に延びて形成されている。
【００１５】
容器８の内部には吐出口１０Ａを開閉する内側弁１１と、この内側弁１１の外側に同心円状に配置されて液体を吐出する略筒状の吐出用部材１２と、この吐出用部材１２の外側に同心円状に配置されて内側弁１１との間の空間に液体の流入を許容又は阻止する外側弁１３とがそれぞれ全体的に配置されている。
内側弁１１は、吐出口１０Ａの全周にわたって設けられたパッキン部材１４と、このパッキン部材１４に当接可能とされた円筒状の封止部材１５と、隣り合う液体吐出装置２の封止部材１５同士を連結する連結ロッド１６とを備え、パッキン部材１４と円筒状の封止部材１５とからシール構造が構成されている。
【００１６】
このパッキン部材１４は、耐薬品性が高く弾性を有するテフロン等の部材から略厚肉リング状に形成されている。
封止部材１５は耐薬品性の高いステンレス等の材質から形成され、その先端断面形状が図４に示されている。
図４において、封止部材１５は、パッキン部材１４と当接する部分の全周にわたってリップ形成用凹部１５Ａが形成されている。リップ形成用凹部１５Ａは、多重、図４では３重とされている。
【００１７】
図１及び図２において、封止部材１５の内部には液体を吐出口１０Ａから外部に掃き出すための掃出手段１７が設けられている。
この掃出手段１７は、空気、液体窒素、その他の気体で液体を吹き飛ばすエアイジェクタであり、このエアイジェクタは封止部材１５及び連結ロッド１６に形成された連通孔１７を通じて連結ロッド１６に接続されたエア供給管１８から圧縮気体が送られる構成である。
【００１８】
吐出用部材１２は、内側弁の封止部材１５の外周を覆う円筒状に形成され、かつ、パッキン部材１４及び吐出口１０Ａに対して進退可能とされている。
吐出用部材１２の基端には吐出用部材１２の軸方向と直交する一方向に延びるフランジ１９が取り付けられている。
このフランジ１９の両端部には駆動ロッド２０が吐出用部材１２の長手方向と平行にそれぞれ取り付けられ、これらの駆動ロッド２０同士は、その端部で連結ロッド２１で連結されている。
【００１９】
外側弁１３は、前記パッキン部材１４と、このパッキン部材１４に先端が当接可能とされた短寸円筒状の封止部材２２と、この封止部材２２の基端に封止部材２２の軸方向と直交する一方向に延びて取り付けられたフランジ２３と、フランジ２３の両端部に封止部材２２の長手方向と平行にそれぞれ取り付けられた駆動ロッド２４と、隣り合う液体吐出装置２の封止部材２２同士を連結する連結ロッド２５とを備えて構成されている。
封止部材２２は、内側弁１１の封止部材１５と同様の構造である。
フランジ２３とフランジ１９とは、互いに直交配置されている（図３参照）。
【００２０】
基板４には、内側弁１１を開閉駆動する内側弁駆動手段２６と、吐出用部材１２をパッキン部材１４に対して進退駆動する吐出用部材駆動手段２７と、外側弁１３を開閉駆動する外側弁駆動手段２８とがそれぞれ取り付けられている。
内側弁駆動手段２６、吐出用部材駆動手段２７及び外側弁駆動手段２８は、それぞれ直接駆動手段としてのエアシリンダから構成され、これらのエアシリンダは互いに所定間隔離して略並列に配置されている。
【００２１】
内側弁駆動手段２６は、基板４に固定されたケーシング２６Ａと、このケーシング２６Ａ内で進退可能に設けられた駆動ロッド２６Ｂとから構成されている。この駆動ロッド２６Ｂは、その下端が内側弁１１の連結ロッド１６に固定され、その上端が基板５に螺合された位置決め用ボルト２９に当接可能とされている。この位置決め用ボルト２９は、内側弁駆動手段２６に対して進退自在となるように基板５に取り付けられており、この進退量を調整することにより、駆動ロッド２６Ｂの後退量、ひいては、駆動ロッド２６Ｂと連結された内側弁１１の封止部材１５の後退量を調整できるようになっている。
【００２２】
吐出用部材駆動手段２７は、基板４に固定されたケーシング２７Ａと、このケーシング２７Ａ内に進退可能に設けられた駆動ロッド２７Ｂとから構成されている。
この駆動ロッド２７Ｂは、その下端が吐出用部材１２の連結ロッド２１に固定され、その上端が基板５を貫通している。
基板５には吐出用部材駆動手段２７の上方にマイクロメータ３０が門型の取付部材３１を介してそれぞれ取り付けられている。
このマイクロメータ３０は、連結ロッド２１と同軸上に配置され、かつ、先端が連結ロッド２１の端部と当接可能なスピンドル３０Ａを有し、このスピンドル３０Ａの進退量を調整することにより、駆動ロッド２７Ｂ並びに駆動ロッド２７Ｂと連結された吐出用部材１２の後退量を調整し、液体吐出量を調整できるようになっている。
【００２３】
内側弁駆動手段２８は、基板４に固定されたケーシング２８Ａと、このケーシング２８Ａ内で進退可能に設けられた駆動ロッド２８Ｂとから構成されている。この駆動ロッド２８Ｂは、その下端が外側弁１３の連結ロッド２５に固定され、その上端が基板５に螺合された位置決め用ボルト２９に当接可能とされている。
この位置決め用ボルト２９は、外側弁駆動手段２８に対して進退自在となるように基板５に取り付けられており、この進退量を調整することにより、駆動ロッド２８Ｂの後退量、ひいては、駆動ロッド２８Ｂと連結された外側弁１３の封止部材２２の後退量を調整できるようになっている。
掃出手段１７、内側弁駆動手段２６、吐出用部材駆動手段２７及び外側弁駆動手段２８は図示しない制御手段と接続され、この制御手段はこれらの手段１７，２６〜２８の駆動をを所定のタイムチャート（図５参照）に従って制御する。
【００２４】
次に、第１実施形態の作用について、図５から図９に基づいて説明する。
図５は掃出手段１７、内側弁駆動手段２６、吐出用部材駆動手段２７及び外側弁駆動手段２８を駆動するためのタイムチャートであり、図６から図８は液体吐出装置２の動作説明図であり、図９はシール構造の動作説明図である。なお、図６から図８において、内側弁駆動手段２６、吐出用部材駆動手段２７及び外側弁駆動手段２８の動作状態をわかりやすくするために、図２とは異なる図とされている。
【００２５】
まず、図５のタイムチャートで示される通り、スタート信号を発信すると、外側弁駆動手段２８が作動する。すると、図６（Ａ）に示される通り、外側弁１３が開放操作され、封止部材２２がパッキン部材１４から離隔される。封止部材２２は外側弁駆動手段２８の駆動ロッド２８Ｂが位置決め用ボルト２９に当接するまで移動する。この状態では、吐出用部材１２はパッキン部材１４に当接され、内側弁１１は閉塞されている。
その後、図５に示される通り、吐出用部材駆動手段２７が作動する。すると、図６（Ｂ）に示される通り、吐出用部材１２はパッキン部材１４から離反し、容器８内の液体は内側弁１１と外側弁１３との間の空間に入り込む。吐出用部材１２は吐出用部材駆動手段２７の駆動ロッド２７Ｂがマイクロメータ３０のスピンドル３０Ａに当接するまで移動する。
【００２６】
ここで、液体吐出量を多くするには、スピンドル３０Ａを連結ロッド２１から離れた位置に固定する。すると、駆動ロッド２７Ｂの後退量、ひいては、吐出用部材１２の後退量が大きくなり、その結果、吐出用部材１２で吐出できる液体の量が多くなる。これに対して、液体吐出量を少なくするには、スピンドル３０Ａを連結ロッド２１から近い位置に固定する。すると、駆動ロッド２７Ｂの後退量、ひいては、吐出用部材１２の後退量が小さくなり、その結果、吐出用部材１２で吐出できる液体の量が少なくなる。
【００２７】
さらにその後、図５に示される通り、外側弁駆動手段２８の作動が中止する。すると、図７（Ｃ）に示される通り、外側弁１３が閉塞操作され、封止部材２２がパッキン部材１４に当接する。これにより、吐出される液体が計量される。
さらに、図５に示される通り、内側弁駆動手段２６及びエアイジェクタ１７が作動する。すると、図７（Ｄ）に示される通り、内側弁１１が開放操作され、封止部材１５がパッキン部材１４から離隔され、吐出口１０Ａが開口される。また、封止部材１５の内部空間から吐出口１０Ａに向かって気体が吹き出される。
【００２８】
その後、図５に示される通り、吐出用部材駆動手段２７の作動が中止する。すると、図８（Ｅ）に示される通り、吐出用部材１２はパッキン部材１４及び吐出口１０Ａに向かって前進し、内側弁１１と外側弁１３との間の空間に入り込んだ液体が吐出口１０Ａから吐出される。この状態では、エアイジェクタ１７が作動しているから、液体は吐出口１０Ａからキレよく吐出される。
さらにその後、図５に示される通り、内側弁駆動手段２６及びエアイジェクタ１７の作動を中止する。すると、図８（Ｆ）に示される通り、内側弁１１が閉塞操作され、封止部材１５がパッキン部材１４に当接され、吐出口１０Ａが閉口される。
【００２９】
ここで、外側弁１３及び内側弁１１が開放されている状態では、図９（Ａ）に示されている通り、封止部材１５（２２）はパッキン部材１４から離隔しているが、外側弁１３及び内側弁１１が閉塞されている状態では、図９（Ｂ）に示される通り、それぞれパッキン部材１４を封止部材１５，２２が押圧する。すると、封止部材１５，２２に形成されたリップ形成用凹部１５Ａにパッキン部材１４が弾性変形して入り込み、リップが多重に形成される。これらのリップにより、弁内外の液体の流通が阻止される。
【００３０】
従って、第１実施形態によれば、▲１▼液体を貯留するとともに吐出口１０Ａを有する容器８と、この容器８内に配置されて吐出口１０Ａを開閉する内側弁１１と、吐出口１０Ａに対して進退可能とされた略筒状の吐出用部材１２と、内側弁１１との間の空間に液体の流入を許容又は阻止する外側弁１３と、内側弁１１を開閉駆動する内側弁駆動手段２６と、吐出用部材１２を進退駆動する吐出用部材駆動手段２７と、外側弁１３を開閉駆動する外側弁駆動手段２８とを備え、内側弁１１、吐出用部材１２及び内側弁１３は内側弁１１を中心にして容器８内において同心円状に配置され、このうち、内側弁１１及び外側弁１３は、それぞれ吐出口１０Ａの全周に設けられ弾性変形可能なパッキン部材１４と、このパッキン部材１４に当接する封止部材１５，２２とを有するシール構造を備え、封止部材１５，２２のパッキン部材１４と当接する部分にはリップ形成用凹部１５Ａが連続して形成されているから、外側弁１３及び内側弁１１が閉塞されている状態では、それぞれパッキン部材１４に封止部材１５，２２が押圧されているので、封止部材１５，２２に形成されたリップ形成用凹部１５Ａにパッキン部材１４が弾性変形して入り込み、リップが形成されることになり、パッキン部材１４と封止部材１５，２２との間のシール面積が大きくなって吐出口１０Ａへの液体の流入が確実に阻止され、液漏れが防止される。
しかも、吐出用部材１２を吐出口１０Ａに向けて前進させておけば、内側弁１１から外側弁１３の間が閉塞され、この間の空間に液体が滞留することがない。そのため、ディスペンサ１を運転しない時間が長期間にわたっても、液体の滞留に伴う不都合を回避することができる。
【００３１】
また、第１実施形態では、▲２▼内側弁１１の封止部材１５は筒状に形成され、その内部には液体を吐出口１０Ａから外部に掃き出すための掃出手段１７が設けらているから、液体の最後の一滴までキレよく、確実に吐出させることができる。さらに、▲３▼この掃出手段１７は気体で液体を吹き飛ばすエアイジェクタから構成したから、非接触状態で液体を吹き飛ばすことができるので、液切れを良好にすることができる。
また、第１実施形態では、▲４▼内側弁駆動手段２６、吐出用部材駆動手段２７及び外側弁駆動手段２８をそれぞれ直線駆動手段から構成し、これらの直線駆動手段を並列配置したから、装置が直線駆動手段２６〜２７の長手方向に延びることなくコンパクトになる。
【００３２】
さらに、▲５▼これらの直線駆動手段をエアシリンダから構成したから、弁１１，１３の開閉操作並びに吐出用部材１２による液体吐出操作を瞬時に行えるだけでなく、ストッパ２９，３０を用いることにより、動作限界を容易に調整することができる。
さらにまた、▲６▼内側弁１１、吐出用部材１２及び外側弁１３は、それぞれ全体が容器８の内部に配置された構成であるから、毛細管現象に伴って弁１１，１３から容器８内の液体が容器８外へ漏出することを防止できる。
【００３３】
次に、本発明の第２実施形態を図１０から図１２に基づいて説明する。
第２実施形態は１個の液体吐出装置３２に内側弁駆動手段２６、吐出用部材駆動手段２７及び外側弁駆動手段２８をそれぞれ設け、これらの手段２６〜２７を互いに隣接配置した点で第１実施形態と異なり、他の主要構成は第１実施形態と同じである。
図１０は第２実施形態の液体吐出装置３２の一部を破断した正面図、図１１はその側面図、図１２は内側弁１１、吐出用部材１２及び外側弁１３の詳細構造を示す断面図である。
【００３４】
これらの図において、容器３８の内部には前記内側弁１１、前記吐出用部材１２及び前記外側弁１３がそれぞれ一部露出して配置されている。
内側弁１１は、吐出口１０Ａの全周にわたって設けられたパッキン部材１４と、このパッキン部材１４に当接可能とされた円筒状の封止部材１５とを備えて構成されている。第２実施形態ではエアイジェクタの図示が省略されている。
吐出用部材１２は、内側弁の封止部材１５の外周を覆う円筒状に形成され、かつ、パッキン部材１４及び吐出口１０Ａに対して進退可能とされている。
吐出用部材１２の基端には前記フランジ１９が取り付けられ、このフランジ１９の両端部には前記駆動ロッド２０が取り付けられ、これらの駆動ロッド２０同士は、その端部で連結ロッド２１で連結されている。
外側弁１３は、前記パッキン部材１４と、前記封止部材２２、前記フランジ２３、前記駆動ロッド２４及び隣り合う封止部材２２同士を連結する連結ロッド２５とを備えて構成されている。
【００３５】
内側弁１１を開閉駆動する内側弁駆動手段２６、吐出用部材１２を進退駆動する吐出用部材駆動手段２７及び外側弁１３を開閉駆動する外側弁駆動手段２８は、それぞれ箱形のケーシングを備え、これらのケーシングは横一列に隙間なく並べて配置されている。
第２実施形態では、その動作方法は第１実施形態と同じである。
従って、第２実施形態では、第１実施形態の▲１▼〜▲５▼の作用効果を奏することができる他に、内側弁駆動手段２６、吐出用部材駆動手段２７及び外側弁駆動手段２８を横一列に隙間なく並べて配置したから、装置全体の構造をよりコンパクトにできる。
【００３６】
なお、本発明は前述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲であれば次に示す変形例を含むものである。
例えば、前記各実施の形態では、掃出手段１７をエアイジェクタから構成したが、本発明は、この掃出手段１７を必ずしも設けることを要しない。仮に、掃出手段１７を設ける場合であっても、イジェクタピン等、他の手段から構成してもよい。
【００３７】
さらに、掃出手段１７をエアイジェクタから構成した場合であっても、気体を吹き出すタイミングは前記実施形態のものに限定されない。例えば、吐出用部材１２で液体を吐出すると同時にエアイジェクタを作動してもよい。
また、内側弁駆動手段２６、吐出用部材駆動手段２７及び外側弁駆動手段２８をエアシリンダから構成したが、このエアシリンダに代えて、ボールねじ、ラックピニオン等を用いても良い。
さらに、液体吐出装置２を３個以上配置し、３系統以上の液体吐出を行っても良い。
【００３８】
【発明の効果】
以上の通り、本発明の液体吐出装置によれば、液漏れをすることなく定量吐出が可能であり液体の滞留がないという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置を備えたディスペンサの一部を破断した正面図である。
【図２】前記ディスペンサの一部を破断した側面図である。
【図３】図１中、III-III線に沿う矢視断面図である。
【図４】封止部材の先端形状を示す断面図である。
【図５】掃出手段、内側弁駆動手段、吐出用部材駆動手段及び外側弁駆動手段を駆動するためのタイムチャートである。
【図６】（Ａ）（Ｂ）は液体吐出装置の動作説明図である。
【図７】（Ｃ）（Ｄ）は液体吐出装置の動作説明図である。
【図８】（Ｅ）（Ｆ）は液体吐出装置の動作説明図である。
【図９】（Ａ）（Ｂ）はシール構造の動作説明図である。
【図１０】第２実施形態に係る液体吐出装置の一部を破断した正面図である。
【図１１】前記液体吐出装置の一部を破断した側面図である。
【図１２】内側弁、吐出用部材及び外側弁の詳細構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１            ディスペンサ
２，32        液体吐出装置
８，38        容器
１０Ａ        吐出口
１１          内側弁
１２          吐出用部材
１３          外側弁
１４          パッキン部材
15,22         封止部材
１５Ａ        リップ形成用凹部
１７          掃出手段
２６          内側弁駆動手段
２７          吐出用部材駆動手段
２８          外側弁駆動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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