(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数段の半導体ウエハを装填するウエハ・キャリアカセットを載置する載置台と、前記載置台に沿って往復移動し、前記載置台上に載置されたウエハ・キャリアカセット内の半導体ウエハを他のウエハ・キャリアカセット内へ押出すプッシャーを備えてなる半導体ウエハ移載装置において、前記ウエハ・キャリアカセットの外表面にバーコードを取り付けるとともに、前記プッシャーに前記バーコードを読み取るバーコードリーダを装着し、前記半導体ウエハの移載と同時にウエハ・キャリアカセットのバーコードを読み取ってなることを特徴とする半導体ウエハ移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハー・キャリアカセット内の半導体ウェハーを他のウェハー・キャリアカセットへ移載する半導体ウェハー移載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
複数段に形成されたキャリアカセットの各段に半導体ウェハーを装填して半導体ウェハー処理工程間を運搬し、半導体ウェハー処理工程において、半導体ウェハー処理工程間を運搬するキャリアカセット内の半導体ウェハーをその工程内専用のキャリアカセット内に移載し、処理後の半導体ウェハーを装填する工程内専用のキャリアカセット内の半導体ウェハーをもとの半導体ウェハー処理工程間を運搬するキャリアカセット内に移載する場合がある。
【０００３】
この場合、処理後の半導体ウェハーを処理前のその半導体ウエハーを運搬したキャリアカセットに戻すため、半導体ウェハー処理工程間を運搬するキャリアカセットや工程内専用のキャリアカセットにカセット番号等のバーコードを取り付け、半導体ウェハーの処理に際しこのバーコードを読み取るようにされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来このバーコードの読み取りは、キャリアカセット間の半導体ウェハーの移載に先立ち、ハンディタイプのバーコードリーダーで行うかあるいは読み取り専用のステージを設け、このステージにキャリアカセットをセットして行われている。そのためバーコードを読み取るための手間がかかり、また移載前後のキャリアカセットのバーコードを逆に読み取って誤動作を生じるなどの問題がある。
【０００５】
本発明は、上記の問題を解消するためになされたもので、キャリアカセットに取り付けられたバーコードの読み取り手間や読み取り誤りを低減する半導体ウェハー移載装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、複数段の半導体ウエハを装填するウエハ・キャリアカセットを載置する載置台と、前記載置台に沿って往復移動し、前記載置台上に載置されたウエハ・キャリアカセット内の半導体ウエハを他のウエハ・キャリアカセット内へ押出すプッシャーを備えてなる半導体ウエハ移載装置において、前記ウエハ・キャリアカセットの外表面にバーコードを取り付けるとともに、前記プッシャーに前記バーコードを読み取るバーコードリーダを装着し、前記半導体ウエハの移載と同時にウエハ・キャリアカセットのバーコードを読み取ってなることを特徴とすることによって達成される。
【０００７】
本発明の特徴によれば、ウェハー・キャリアカセット内の半導体ウェハーを押し出すプッシャーにバーコードリーダーが装着されるので、ハンディタイプのバーコードリーダーやバーコードを読み取るためのステージの設定が必要なく、バーコードを読み取るためのスペースや手間が低減される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は実施の形態に係る半導体ウェハー移載前の半導体ウェハー移載装置の平面図、図２は図１における半導体ウェハー移載装置の側面図、図３は図１における半導体ウェハー移載後の半導体ウェハー移載装置の平面図、図４は図３における半導体ウェハー移載装置の側面図である。
【０００９】
各図において、１はキャリアカセット載置台、２はプッシャー、３は半導体ウェハーが移載される例えば処理工程内専用のキャリアカセット、４は半導体ウェハーを移載する例えばが処理工程間を運搬するキャリアカセットである。キャリアカセット３および４は互いに半導体ウェハー６の出入口を対向させて、キャリアカセット載置台１上に載置され、各キャリアカセット３、４の上部外表面にカセット番号等を示すバーコード５が取り付けられている。
【００１０】
キャリアカセット載置台１は、中央部に長手方向に沿って貫通長孔７が形成されている。プッシャー２は一端がキャリアカセット載置台１の上面に延び、他端がキャリアカセット載置台１の下面に延びる略コ字状の支柱８を備え、支柱８のキャリアカセット載置台１の上面に延びる端部には操作ロッド１０が固着されているとともに、バーコードリーダー９が装着されている。
【００１１】
また支柱８のキャリアカセット載置台１の下面に延びる端部には、端部がキャリアカセット載置台１の貫通長孔７を通過して延びる略Ｌ字状の支持ロッド１１が固着され、支持ロッド１１のキャリアカセット載置台１の貫通長孔７を通過して延びる端部にプッシュ板１２が固着されている。そしてプッシャー２はキャリアカセット載置台１の側面に沿って往復移動自在に取り付けられている。
【００１２】
このようなキャリアカセット載置台１とプッシャー２とからなる半導体ウェハー移載装置は、図１および図２に示すように、プッシャー２をキャリアカセット載置台１の一端側に位置させ、キャリアカセット載置台１の貫通長孔７をまたいで半導体ウェハー６が装填されたキャリアカセット４をキャリアカセット載置台１に載置し、半導体ウェハー６の出入口を対向させて半導体ウェハー６が移載されるキャリアカセット３を載置する。
【００１３】
そして、プッシャー２をキャリアカセット載置台１の他端側方向へ移動し、プッシュ板１２をキャリアカセット４の背面の開口からキャリアカセット４の内部に挿入し、半導体ウェハー６を押し出す。押し出された半導体ウェハー６はキャリアカセット３内に挿入されて半導体ウェハー６の移載は終了する（この状態が図３および図４に示されている。）。
【００１４】
バーコードリーダー９はプッシャー２の移動と連動して駆動され、バーコードリーダー９が各キャリアカセット４、３の上方を通過するとき、各キャリアカセット４、３の上部外表面に取り付けられたバーコード５を読み取る。なお符号１３はバーコードリーダー９の下面側に形成されたバーコード５への照射光やバーコード５からの反射光を通過させる窓である。
【００１５】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、半導体ウエハの移載のために整列されたキャリアカセットのバーコードを読み取ることができるので、バーコードの読み取り誤まりをなくすことができる。また、半導体ウエハの移載と同時にキャリアカセットのバーコードを読み取るので、ハンディタイプのバーコードリーダやバーコードを読み取るためのステージの設定が必要でなく、バーコードを読み取るための時間や手間がかからないという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る半導体ウェハー移載前の半導体ウェハー移載装置の平面図である。
【図２】図１における半導体ウェハー移載装置の側面図である。
【図３】図１における半導体ウェハー移載後の半導体ウェハー移載装置の平面図である。
【図４】図３における半導体ウェハー移載装置の側面図である。
【符号の説明】
１    キャリアカセット載置台
２    プッシャー
３、４    キャリアカセット
５    バーコード
６    半導体ウェハー
７    貫通長孔
８    支柱
９    バーコードリーダー
１０  操作ロッド
１１  支持ロッド
１２  プッシュ板
【図１】
0003847411.tif 000002
【図２】
0003847411.tif 000003
【図３】
0003847411.tif 000004
【図４】
0003847411.tif 000005