(57)【要約】磁路を形成する強磁性体部材と、高周波電流を流して前記磁路内に磁界を発生させるコイルと、前記磁路内を通る磁束を横切って移動する低抵抗磁気遮蔽部材とを備えたことにより、製作性に優れ、堅牢で高速動作に適用可能である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁路を形成する強磁性体部材と、高周波電流を流して前記磁路内に磁界を発生させるコイルと、前記磁路内を通る磁束を横切って移動可能に設けた低抵抗磁気遮蔽部材とを備えた変位センサ。
【請求項２】
磁路を形成する２個以上の強磁性体部材と、その各強磁性体部材で形成される磁路の一部と鎖交する１つの低抵抗磁気遮蔽部材とを備えたことを特徴とする請求の範囲第１項記載の変位センサ。
【請求項３】
固定側磁路形成部材の内面にコイルを設け、この固定側磁路形成部材に対向する可動側磁路形成部材を軸線方向に移動する軸に設けたことを特徴とする請求の範囲第１項記載の変位センサ。
【請求項４】
固定側磁路形成部材と可動側磁路形成部材の何れか一方または双方の端面に低抵抗磁気遮蔽部材を取り付けたことを特徴とする請求の範囲第１項記載の変位センサ。
【請求項５】
低抵抗磁気遮蔽部材の取り付け部に抑え冶具機能部を形成したことを特徴とする請求の範囲第４項記載の変位センサ。
【請求項６】
磁路形成用鉄心と、前記磁路形成用鉄心に一部を成す可動鉄心と、通電により磁束を発生するコイルと、前記可動鉄心を端部に取り付け、電磁力およびばね力を受けて駆動する可動鉄心連結軸と、ばね力を受けて前記可動鉄心連結軸の端面に当接しているバルブ軸とを備えた電磁式バルブ駆動装置において、変位センサの固定側磁路形成部材を前記磁路形成用鉄心上に設け、この固定側磁路形成部材の中心穴を貫通させた前記可動鉄心連結軸に可動側磁路形成部材を取り付けたことを特徴とする電磁式バルブ駆動装置。
【請求項７】
磁路形成用鉄心の上面に凹部を形成し、この凹部内に変位センサの固定側磁路形成部材を組み付けたことを特徴とする請求の範囲第６項記載の電磁式バルブ駆動装置。
【請求項８】
変位センサの固定側磁路形成部材を前記磁路形成用鉄心下面に設け、この固定側磁路形成部材の中心穴を貫通させた可動鉄心連結軸に可動側磁路形成部材を取り付けたことを特徴とする請求の範囲第６項記載の電磁式バルブ駆動装置。
【請求項９】
変位センサの固定側磁路形成部材を前記磁路形成用鉄心内に設け、この固定側磁路形成部材内を移動する可動側磁路形成部材を可動鉄心連結軸に取り付けたことを特徴とする請求の範囲第６項記載の電磁式バルブ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
この発明は移動体の移動位置を計測する変位センサおよび該変位センサを適用してたとえば内燃機関用の吸気バルブまたは排気用バルブを所定位置に駆動する電磁式バルブ駆動装置に関するものである。
背景技術
第１図は従来の変位センサの一例を示す原理説明図であり、１０１は磁路を形成する磁性体（高電気抵抗磁性材）、１０２は磁路を横切るように磁性体内に形成された空間、１０３は空間内に移動可能に設けられた永久磁石、１０４は磁路内に設けられた磁束Φの変化を検出するホール素子である。
この構成により、永久磁石１０３を矢印方向に移動させることにより、磁路内の磁束分布が変化するので、この変化をホール素子１０４で検出して、永久磁石１０３の位置、つまり移動体の位置を検出するものである。
第２図は他の従来の変位センサの一例を示す原理説明図であり、１１１は磁路を形成する断面Ｅ字型磁性体、１１２は断面Ｅ字型磁性体１１１の中央磁性体片の基部に装着したコイル、１１３は中央磁性体片の先端部に移動可能に設けた非磁性の１ターンコイルである。
この構成により、コイル１１２に高周波電流を流すと、振動磁界が発生し、磁路内を通る磁束Φに基づいて１ターンコイル１１３には誘導電流が生じ、この１ターンコイル１１３よりも中央磁性体片の先端側には磁束は生じない。この１ターンコイル１１３に流れる誘導電流で磁気回路の磁場を遮断することは、磁気回路のインダクタンスが小さくなることを意味している。このようなインダクタンスの変化を観測することで、可動部である１ターンコイルの位置を検出することができる。
第３図は他の従来の変位センサの一例を示す原理説明図であり、１２１は円筒状に巻いた円筒コイル、１２２ａ，１２２ｂは円筒コイル１２１の両端部内に設けたピックアップコイル、１２３は円筒コイル１２１の軸線上を移動する低電気抵抗材料からなる可動子である。
この構成により、円筒コイル１２１に高周波電流を流し磁界を発生させた状態において、可動子１２３を移動させると、その可動子１２３の位置により変化する交流磁場分布をピックアップコイル１２２ａ，１２２ｂで検出する。
従来の変位センサは上記のように構成されているので、第１図に示した変位センサは、永久磁石を動かすために高速駆動には向かず、堅牢に構成することができない。第２図に示した変位センサは、１ターンコイルを動作させるために堅牢性に欠ける。第３図に示した変位センサは、円筒コイル内が空芯であるため、コイルに大きな電流を流さないと、大きな出力が得られない。また、変位と出力信号の線形性を出すための磁場設計が困難である等の課題があった。
この発明は上記の課題を解消するためになされたもので、堅牢で軸対象でなくてもよい変位センサを得るとともに、この変位センサを適用して内燃機関用の吸気バルブまたは排気用バルブの開閉駆動を精度よく行うことのできる電磁式バルブ駆動装置を得ることを目的とする。
発明の開示
この発明に係る変位センサは、磁路を形成する強磁性体部材と、高周波電流を流して前記磁路内に磁界を発生させるコイルと、前記磁路内を通る磁束を横切って移動可能に設けた低抵抗磁気遮蔽部材とを備えたものである。
このことによって、磁路を同心形状ではなく、たとえばＥ字型に構成可能であるから製作性がよく、堅牢性を向上することができる。
この発明に係る変位センサは、磁路を形成する２個以上の強磁性体部材と、その各強磁性体部材で形成される磁路の一部と鎖交する１つの低抵抗磁気遮蔽部材とを備えたものである。
このことによって、可動子である低抵抗磁気遮蔽部材を取り付けた後、磁路を形成する強磁性体部材を配置できるようになり、製作性に優れ、狭い空間に設置することが容易である。
この発明に係る変位センサは、固定側磁路形成部材の内面にコイルを設け、この固定側磁路形成部材に対向する可動側磁路形成部材を軸線方向に移動する軸に設けたものである。
このことによって、位置を検出すべき物に対する取り付けが容易となる。
この発明に係る変位センサは、固定側磁路形成部材と可動側磁路形成部材の何れか一方または双方の端面に低抵抗磁気遮蔽部材を取り付けたものである。
このことによって、筒状の固定側磁路形成部材と可動側磁路形成部材の端部における漏れ磁束がなくなるため、可動側磁路形成部材の変位と出力の関係が線形となり、精度が向上する。
この発明に係る変位センサは、低抵抗磁気遮蔽部材の取り付け部に抑え冶具機能部を形成したものである。
このことによって、低抵抗磁気遮蔽部材の取り付けを強固に行うことができる。
この発明に係る電磁式バルブ駆動装置は、磁路形成用鉄心と、前記磁路形成用鉄心に一部を成す可動鉄心と、通電により磁束を発生するコイルと、前記可動鉄心を端部に取り付け、電磁力およびばね力を受けて駆動する可動鉄心連結軸と、ばね力を受けて前記可動鉄心連結軸の端面に当接しているバルブ軸とを備えた電磁式バルブ駆動装置において、変位センサの固定側磁路形成部材を前記磁路形成用鉄心上に設け、この固定側磁路形成部材の中心穴を貫通させた前記可動鉄心連結軸に可動側磁路形成部材を取り付けたことを特徴とする電磁式バルブ駆動装置。
このことによって、可動鉄心連結軸の移動位置を精度よく検出できる電磁式バルブ駆動装置を得ることができる。
この発明に係る電磁式バルブ駆動装置は、磁路形成用鉄心の上面に凹部を形成し、この凹部内に変位センサの固定側磁路形成部材を組み付けたものである。
このことによって、可動鉄心連結軸の移動位置を精度よく検出できる電磁式バルブ駆動装置を小型に構成することができる。
この発明に係る電磁式バルブ駆動装置は、変位センサの固定側磁路形成部材を前記磁路形成用鉄心下面に設け、この固定側磁路形成部材の中心穴を貫通させた可動鉄心連結軸に可動側磁路形成部材を取り付けたものである。
このことによって、可動鉄心連結軸の移動位置を精度よく検出できる電磁式バルブ駆動装置を小型に構成することができる。
この発明に係る電磁式バルブ駆動装置は、変位センサの固定側磁路形成部材を前記磁路形成用鉄心内に設け、この固定側磁路形成部材内を移動する可動側磁路形成部材を可動鉄心連結軸に取り付けたものである。
このことによって、可動鉄心連結軸の移動位置を精度よく検出できる電磁式バルブ駆動装置を小型に、かつ外観体裁よく構成することができる。
発明を実施するための最良の形態
以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための最良の形態について、添付の図面に従って説明する。
実施の形態１．
第４図はこの発明の実施の形態１による変位センサの一例を示す斜視図であり、１は強磁性体で構成された磁路形成用のＥ字型固定子鉄心、２はＥ字型固定子鉄心１の中央磁性体片１ａの基部に装着したコイル、３は中央磁性体片１ａの先端部に移動可能に設けた非磁性体で構成された可動体である。
次に動作について説明する。
コイル２に高周波電流を流すと、振動磁界が発生し、磁路内を通る磁束Φに基づいて可動体３には誘導電流が生じるとともに、この可動体３よりもＥ字型固定子鉄心１の先端側には磁束は生じない。この可動体３に流れる誘導電流Ｉで磁気回路の磁場を遮断するので、この磁気回路のインダクタンスが小さくなり、このインダクタンス変化を不図示の観測手段で観測することで、可動体３の移動位置を検出することができる。
第５図はこの実施の形態１の変形例を示す斜視図であり、磁路形成用の２個のコ字型固定子鉄心１ａ，１ｂを並設し、その各コ字型固定子鉄心１ａ，１ｂにコイル２ａ、２ｂを装着し、各コ字型固定子鉄心１ａ，１ｂの対向片に跨って可動体３を被せたものである。上記コイル２ａ，２ｂは直列に接続されており、このコイル２ａ，２ｂに高周波電流を流すことにより、第４図の構成と同様に可動体３の移動位置を検出することができる。
いま、第４図に示すエアギャップ幅ｄ、可動子と固定子鉄心の対向長さｘ、固定子鉄心の対向部の長さＷ、インダクタンスＬの関係について説明すると、コイルターン数Ｎのコイル２に電流Ｉが流れることにより、エアギャップｄに作る磁界Ｈは
ＮＩ＝φＨｄ１＝ｄＨ
となる（１は磁路周長。エアギャップ幅ｄで磁界Ｈは大きくなるため、エアギャップ幅ｄ分だけ積分すればよい。）この磁気回路のインダクタンスＬを計算する。コイルに鎖交する磁束Φは
Φ＝ＩＬ＝Ｎ×ｄμＨ×ｘＷ
である。したがって、磁気回路のインダクダンスＬは
Ｌ∝Ｎ２×ｘＷ
となり、インダクタンスＬは対向長さｘに比例することが解る。
このように、可動部３と固定子１の対向面積ｘＷの変化を磁気回路のインダクタンス変化として検出するのが、交流コイルを用いた変位センサの基本である。漏れ磁束がなければ、インダクタンスは対向長さｘに比例する。
以上のように、この実施の形態１によれば、磁路を同心形状ではなく、たとえばＥ字型に構成することが可能であるから製作性がよく、堅牢性を向上することができる。
実施の形態２．
第６図はこの発明の実施の形態２による変位センサを示す縦断面図であり、１１は軸線方向に移動する軸、１２は軸１１の外側に取り付けた強磁性材の可動子、１３は可動子１２とほぼ同一長さ寸法の磁路形成用の固定子鉄心、１４は固定子鉄心１３の可動子１２に対向する面に形成された凹部１３ａ内に装着されたコイルである。
次に動作について説明する。
コイル１４に高周波電流を流すと、発生した磁束Φが第６に示すように可動子１２と固定子鉄心１３を通って流れる。この状態において、軸１１が第７図に示すように、図において上方に移動すると、可動子１２と固定子鉄心１３との位置関係がずれ、エアギャップ幅ｄで対向する可動子１２と固定子鉄心１３との対向磁路面積（奥行きＷ×高さｘ）が変化し、この変化に伴いインダクタンスが変化する。そこで、このインダクタンスの変化を検出することにより、軸１１つまり可動子１２の移動位置を検出することができる。
以上のように、この実施の形態１によれば、軸１１をアクチュエータの軸とすれば、変位センサを容易にアクチュエータに装着することができる。
実施の形態３．
第８図はこの発明の実施の形態３による変位センサを示す縦断面図であり、１５は可動子１２の両端面に設けた低抵抗金属からなる磁気遮蔽材である。なお、他の構成は前記第６図、第７図に示す実施の形態２と同一構成であるから、同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
次に動作について説明する。
コイル１４に高周波電流を流すと、発生した磁束が第８図に示すように可動子１２と固定子鉄心１３を通って流れる。この状態において、軸１１が第９図に示すように、図において上方に移動すると、可動子１２と固定子鉄心１３との位置関係がずれ、前記第６図に示す実施の形態２の構成では磁束Φの一部Φａが空間を通って可動子１２にその端面から入るが、実施の形態３の構成とすることにより、第９図に示すように空間に出る磁束Φａがなくなる。
以上のように、この実施の形態３によれば、可動子端面からの漏れ磁束Φａがなくなるため、可動子１２の移動変位に対する検出信号の線形性が向上する。
実施の形態４．
第１０図はこの発明の実施の形態４による変位センサを示す縦断面図であり、固定子鉄心１３の両端面に磁気遮蔽材１６を設けたもので、他の構成は前記第８図、第９図に示す実施の形態３と同じである。このように構成することにより、漏れ磁束をより確実に低減することができ、可動子１２の移動変位に対する検出信号の線形性をより向上することができる。
実施の形態５．
第１１図はこの発明の実施の形態５による変位センサを示す縦断面図であり、可動子１２の端面に凸部１２ａを設け、これに係合する凹部１５ａを磁気遮蔽材１５に設けたもので、他の構成は前記の各実施の形態と同一の構成である。このように構成することにより、可動子１２と磁気遮蔽材１５とは、凹凸部１２ａ，１５ａの微細な凹凸係合による抑え冶具機能によって一体化が向上し、かつ可動子１２は磁気遮蔽材１５によって強固に軸１１に固定することができる。
実施の形態６．
第１２図はこの発明の実施の形態６による電磁式バルブ駆動装置を示す縦断面図であり、第１２図において、２１は可動鉄心連結軸、２０ａ，２０ｂは中心に可動鉄心連結軸１１を貫通させた横断面コ字型の固定子鉄心であり、この固定子鉄心２０ａ，２０ｂはそれぞれコ字型開口端面を向かい合わせに間隔Ｌを設けて配置されている。２２は間隔Ｌ内に位置して可動鉄心連結軸２１に取り付けた可動子、２３ａ，２３ｂは固定子鉄心２０ａと２０ｂに巻付けたコイル、２４は固定子鉄心２０ａの中心穴内に設けた可動鉄心連結軸２１の軸受け、２５は可動鉄心連結軸２１の下端部に設けたばね受け、２６は可動鉄心連結軸２１に嵌め固定子鉄心２０ａの下面とばね受け２５で保持された第１コイルばね、２７は上端が可動鉄心連結軸２１の下端に当接するように、軸受け２８を介して装置本体２９に上下動可能に保持されたバルブ軸、３０はバルブ軸２７の上端部に設けたばね受け、３１はバルブ軸２７に嵌め、ばね受け３０と装置本体２９で保持された第２コイルばね、３２はバルブ軸２７の下端に取り付けたバルブであり、これ等によって、電磁式バルブ駆動装置が構成されている。
そして、上記電磁式バルブ駆動装置の構成要素である固定子鉄心２０ｂの上面に軸対称に変位センサの固定子鉄心１ａ，１ｂを並設し、この固定子鉄心１ａ，１ｂを貫通するように延長させた可動鉄心連結軸２１の上端部に固定子鉄心１ａ，１ｂの空間内に出入りする可動子１２を取り付けた構成である。なお、変位センサの固定子鉄心１ａ，１ｂとしては有底筒体の中心に貫通穴を有する中心筒体を一体に形成したものでもよい。
次に動作について説明する。
第１コイル２３ａ、第２コイル２３ｂに通電していないときは、第１コイルばね２６と第２コイルばね３１のばね力のバランスによって可動鉄心２２は間隅Ｌ内の所定位置に位置している。
この状態において、バルブ３２を開くために第１コイル２３ａに通電すると、固定子鉄心２０ａと可動子２２による磁路を通る磁束による磁界により発生する電磁力と第２コイルばね２６のばね力によって、可動鉄心２２が固定子鉄心２０ａ側に移動し、これにより、可動鉄心連結軸２１およびバルブ軸２７が第１コイルばね２６に抗して下方に移動してバルブ３１を開く。このとき、バルブ３１の開き量は第１コイル２３ａに対する通電量によって決まる。
次にバルブ３１を閉じるために、第１コイル２３ａに対する通電オフから第２コイル２３ｂに対する通電を行うと、固定子鉄心２０ｂと可動鉄心２２による磁路を通る磁束による磁界により発生する電磁力と第２コイルばね３１のばね力によって、可動鉄心２２が固定子鉄心２０ｂ側に移動し、これにより、可動鉄心連結軸２１およびバルブ軸２６が第１コイルばね２６に抗して上方に移動してバルブ３１を閉じる。
以上のように、この実施の形態６によれば、上記のバルブ３１の開閉動作において、変位センサの固定子鉄心１ａ，１ｂに対する可動子１２の位置が変わり、磁気回路におけるインダクタンスの変化に基づいて、可動鉄心連結軸２１の位置、つまり可動鉄心連結軸２１の移動に追従移動するバルブ軸の移動位置を検出することができる。また、この発明の変位センサは堅牢であるため、高速動作する電磁式バルブ駆動装置に容易に装着することが可能である。
実施の形態７．
第１３図はこの発明の実施の形態７による電磁式バルブ駆動装置を示す縦断面図であり、実施の形態６における固定子鉄心２０ｂの上面中央部に凹部２０ｂ−１を設け、この凹部２０ｂ−１に変位センサの固定子鉄心１ａ，１ｂを落とし込んだもので、電磁式バルブ駆動装置をコンパクトに構成することができる。
実施の形態８．
第１４図はこの発明の実施の形態８による電磁式バルブ駆動装置を示す縦断面図であり、実施の形態６における固定子鉄心２０ａの下面に、可動鉄心連結軸２１に挿通させて変位センサの固定子鉄心１ａ，１ｂを取り付け、この固定子鉄心１ａ，１ｂの外側に設けたコイルばね２６を固定子鉄心２０ａの下面と可動鉄心連結軸２１に取り付けたばね受け２５との間に装着したもので、電磁式バルブ駆動装置をコンパクトに構成することができる。なお、第６図から第１４図に示す各鉄心の縦断面図は、縦断した端面を図示したものである。
実施の形態９．
第１５図はこの発明の実施の形態９による電磁式バルブ駆動装置を示す一部を切り欠いて示す斜視図、第１６図はその正面図、第１７図はその側面図、第１８図はその縦断正面図である。
第１５図から第１８図において、４１ａ，４１ｂは中心に可動鉄心連結軸４２の貫通穴４３ａ，４３ｂを有する積層鉄心、４４ａ，４４ｂは積層鉄心４１ａ，４１ｂに巻きつけた第１、第２コイル、４５ａ，４５ｂは内面に第１、第２コイル４４ａ，４４ｂの凹部４５ａ−１，４５ｂ−１を有する外側鉄心、４６ａ，４６ｂは外側鉄心４５ａ，４５ｂの組み付け位置決めを兼ねる下上鉄心、４７ａ，４７ｂは間隔保持片４８を介して積層鉄心４１ａ，４１ｂ、外側鉄心４５ａ，４５ｂ、下上鉄心４６ａ，４６ｂを一体的に組み付ける組み付けボルトである。
４９は間隔保持片４８によって形成された積層鉄心４１ａ，４１ｂ間の間隔Ｌ内に位置し、可動鉄心連結軸４２に取り付けられた可動子、５０は下鉄心４６ａの貫通穴４６ａ−１内に設けた可動鉄心連結軸４２の軸受け、５１は可動鉄心連結軸４２の下端部に設けたばね受け、５２は可動鉄心連結軸４２に嵌め、下鉄心４６ａの下面とばね受け５１で保持された第１コイルばね、５３は上端が可動鉄心連結軸４２の下端に当接するように、軸受け５４を介して装置本体（図示せず）に上下動可能に保持されたバルブ軸、５５、５７はバルブ軸５３の上下部に設けたばね受け、５６は可動鉄心連結軸４２に嵌めばね受け５５、５７保持された第２コイルばね、５８はバルブ軸５３の下端に取付けたバルブ、５９はバルブシートであり、これ等によって、電磁式バルブ駆動装置が構成されている。
６１は上鉄心４６ｂの中央貫通穴４６ｂ−１から積層鉄心４１ｂの貫通穴４３ｂ−１内に挿入した変位センサの構成要素である細長い縦断Ｅ字型固定子鉄心であり、このＥ字型固定子鉄心６１は上鉄心４６ｂに固定されている。６２は変位センサの構成要素である縦断細長いコ字型可動鉄心であり、このコ字型可動鉄心６２は上記可動鉄心連結軸４２の上端に取り付けられ、コ字型の両片はＥ字型固定子鉄心６１のＥ字型と並設するように組み合わされている。
次に動作について説明する。
第１コイル４４ａ、第２コイル４４ｂに通電していないときは、第１コイルばね５２と第２コイルばね５６のばね力のバランスによって可動鉄心４９は間隔Ｌの所定位置に位置している。
この状態において、バルブを開くために第１コイル４４ａに通電すると、発生する電磁力と第１のコイルばね５２のばね力によって、可動鉄心４９が積層鉄心４１ａ側に吸引されて移動し、これにより、可動鉄心連結軸４２およびバルブ軸５３が第２のコイルばね５６に抗して下方に移動してバルブ５８を開く。このとき、バルブ５８の開き量は第１コイル４４ａに対する通電量によって決まる。
次にバルブ３８を閉じるために、第１コイル４４ａに対する通電オフから第２コイル４４ｂに対する通電を行うと、発生する電磁力と第１コイルばね５６のばね力によって、可動鉄心４９が積層鉄心４１ｂ側に移動し、これにより、可動鉄心連結軸４２およびバルブ軸５３が第１コイルばね５２に抗して上方に移動してバルブ５８を閉じる。
以上のように、この実施の形態９によれば、上記のバルブ５８の開閉動作において、変位センサのＥ字型固定鉄心６１に対するコ字型可動鉄心６２の位置が変わり、磁気回路におけるインダクタンスの変化に基づいて、可動鉄心連結軸２１の位置、つまり可動鉄心連結軸２１の移動に追従移動するバルブ軸の移動位置を検出することができる。
また、この発明の変位センサは堅牢であるため、高速動作する電磁式バルブ駆動装置に容易に装着することが可能であるとともに、変位センサを固定鉄心内に設けるように構成したことにより、電磁式バルブ駆動装置を外観体裁よくコンパクトに構成することができる。
産業上の利用可能性
以上のように、この発明に係る変位センサは、移動体の移動位置を高精度で検出できるとともに、この変位センサを適用した電磁式バルブ駆動装置は、バルブ駆動位置を円滑かつ正確に制御するのに適している。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の変位センサの一例を示す原理説明図である。
第２図は他の従来の変位センサの一例を示す原理説明図である。
第３図は他の従来の変位センサを示す原理説明図である。
第４図はこの発明の実施の形態１による変位センサの一例を示す斜視図である。
第５図はその変形例を示す斜視図である。
第６図はこの発明の実施の形態２による変位センサを示す縦断面図である。
第７図はこの発明の実施の形態２による変位センサにおいて可動体を移動させた縦断面図である。
第８図はこの発明の実施の形態３による変位センサを示す縦断面図である。
第９図はこの発明の実施の形態３による変位センサにおいて可動体を移動させた縦断面図である。
第１０図はこの発明の実施の形態４による変位センサを示す縦断面図である。
第１１図はこの発明の実施の形態５による変位センサを示す縦断面図である。
第１２図はこの発明の実施の形態６による電磁式バルブ駆動装置を示す縦断面図である。
第１３図はこの発明の実施の形態７による電磁式バルブ駆動装置を示す縦断面図である。
第１４図はこの発明の実施の形態８による電磁式バルブ駆動装置を示す縦断面図である。
第１５図はこの発明の実施の形態９による電磁式バルブ駆動装置を示す一部を切り欠いて示す斜視図である。
第１６図はその正面図である。
第１７図はその側面図である。
第１８図はその縦断正面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【国際調査報告】
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2003021183.tif 000022
2003021183.tif 000023
2003021183.tif 000024