(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウエハを上下方向に所定の間隔を保って収容可能な第１収容体と、前記複数のウエハを上下方向に所定の間隔を保って収容可能な第２収容体との間で、ウエハをスライド移動させて、第１収容体から第２収容体に移し換えるとともに、第２収容体から第１収容体に移し換えるウエハ移し換え装置において、
第１収容体と第２収容体との間に、ウエハを上下方向に所定の間隔を保って保持する複数の載置板を備える中間ステージが設けられ、
前記中間ステージの各載置板の傾斜が調整可能であることを特徴とするウエハ移し換え装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路、半導体レーザまたは太陽電池などの製造プロセスにおいて、半導体ウエハをある収容体から他の収容体に移し換えるためのウエハ移し換え装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウエハ移し換え装置は、半導体集積回路、半導体レーザまたは太陽電池などの製造プロセスにおいて、半導体ウエハをある収容体から他の収容体に移し換えるために用いられる。
【０００３】
図５は、従来のウエハ移し換え装置２０を示す概略図である。ウエハ移し換え装置２０は、第１収容体２１を保持する第１ステージ２５、第２収容体２２を保持する第２ステージ２６、第３収容体２３を保持する第３ステージ２７、第４収容体２４を保持する第４ステージ２８、第１収容体２１から第２収容体２２へ複数のウエハ９を移送する第１押し出しアーム２９および第４収容体２４から第３収容体２３へ各ウエハ９を移送する第２押し出しアーム３０を有する。
【０００４】
この従来技術では、第１収容体２１と第２収容体２２とを含むユニットが、図５において右方へのみ各ウエハ９を移送し、第４収容体２４と第３収容体２３とを含むユニットが、左方へのみ各ウエハ９を移送する構成となっており、２つのユニットが備えられることによって、各ウエハ９の双方向の移送を可能としている。
【０００５】
また、特開平９−３２１１２１号公報に開示される従来技術によるウエハ移し換え装置は、数枚おきにウエハを押し出して移送する機構を有する。
【０００６】
図６は、従来の他のウエハ移し換え装置３１を示す概略図である。ウエハ移し換え装置３１は、第１収容体３２と第２収容体３３とを、等レベルまたは任意レベルで対向させて保持する第１および第２ステージ３６，３７と、第１収容体３２から第２収容体３３へ各ウエハ９を移送する第１押し出しアーム３４および第２収容体３３から第１収容体３２へ各ウエハ９を移送する第２押し出しアーム３５とを有し、１つのユニットで各ウエハ９の双方向の移送が可能である。
【０００７】
さらに特開平６−７２５０８号公報に開示される従来技術によるウエハ移し換え装置は、各ウエハを乗載可能な複数の移載板を有する。このウエハ移し換え装置は、各移載板を第１収容体に向けて水平方向に移動させ、第１収容体内に入った各移載板と第１収容体との上下方向の位置を相対的に変えることによって、第１収容体内の各ウエハを各移載板に乗載し、その後各移載板を第２収容体に向かって水平方向に移動させ、第２収容体内に入った各移載板と第２収容体との相対的な上下方向の位置を変えることによって、各移載板上の各ウエハを第２収容体に移し換える。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の特開平９−３２１１２１号公報に示されるウエハ移し換え装置は、各収容体の上下方向の位置が固定されている。このため、前記ウエハ移し換え装置は、各ウエハの熱プロセスによる反りおよび返りなどの変形、各収容体の初期形状精度または各収容体の長期使用のよる変形などのばらつきにはある程度は対応できていたが、ばらつきの程度が大きい場合には、各ウエハの移し換えミスが多く発生し、またウエハが破損しやすいといった問題を有する。
【０００９】
特に、近年ソーラ発電として需要が増してきているシリコン結晶系、その中でもシリコン多結晶の太陽電池を製造する場合には、このウエハは片面ほぼ全面に金属電極が形成されており、シリコンと金属との熱膨張係数の違いなどによって各ウエハが大きく反っているので、ウエハの移し換えミスが多く発生する。
【００１０】
また、ウエハの形状は、半導体集積回路素子などに用いられる円板状のウエハ以外に、角板状のウエハも有り、角板状のウエハを移し換える場合には、各ウエハの反りおよび返りなどの変形、各収容体の初期形状精度、または各収容体の変形などのばらつきが、各ウエハの移し換えに特に大きく影響し、ウエハの移し換えミスが円板状のウエハに比べて発生しやすい。
【００１１】
図５に示すウエハ移し換え装置２０の構成では、各ユニットの各収容体２１〜２４の上下位置をそれぞれの移送方向に最適な関係とすることによって、各ウエハ９の熱プロセスによる反りおよび返りなどの変形、各収容体２１〜２４の初期形状精度または各収容体２１〜２４の変形などのばらつきによる各ウエハ９の移し換えミス発生の可能性をある程度低く抑えることができる。しかしながら、ウエハ移し換え装置２０は、１つのユニットで双方向の移し換えを行うウエハ移し換え装置と比較して装置が大型であり、かつ装置の製作コストが高いといった問題を有する。
【００１２】
また図６に示されるウエハ移し換え装置３１は、１つのユニットで各ウエハ９の双方向の移送を行うことができるが、第１収容体３２と第２収容体３３との上下方向の位置が固定されている。このため、たとえば第１収容体３２から第２収容体３３への移送に最適な位置に設定した場合には、各ウエハ９を逆に、第２収容体３３から第１収容体３２へ移送するときに、各収容体３２，３３の位置を最適な関係とすることができず、ウエハ９の移し換えミスが発生しやすい。
【００１３】
つまり、ウエハ移し換え装置３１では、各ウエハ９を双方向に移送するとき、いずれの方向の移送にも最適となる位置に、各収容体３２，３３を設置することは不可能である。このため、特に各ウエハ９の熱プロセスによる反りおよび返りなどの変形、各収容体３２，３３の初期形状精度または各収容体３２，３３の長期使用のよる変形などのばらつきによって、各ウエハ９の移し換えミスが発生しやすいという欠点がある。
【００１４】
また、特開平６−７２５０８号公報のウエハ移し換え装置は、各ウエハを水平および垂直に移動させなければならないので装置の構成および動作が複雑である。
【００１５】
本発明は、各ウエハの反りおよび返りなどの変形、各収容体の初期形状精度または各収容体の変形などに起因するウエハの移し換えミスおよびそれに伴うウエハの破損を低減することができるウエハ移し換え装置を提供することである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数のウエハを上下方向に所定の間隔を保って収容可能な第１収容体と、前記複数のウエハを上下方向に所定の間隔を保って収容可能な第２収容体との間で、ウエハをスライド移動させて、第１収容体から第２収容体に移し換えるとともに、第２収容体から第１収容体に移し換えるウエハ移し換え装置において、
第１収容体と第２収容体との間に、ウエハを上下方向に所定の間隔を保って保持する複数の載置板を備える中間ステージが設けられ、
前記中間ステージの各載置板の傾斜が調整可能であることを特徴とするウエハ移し換え装置である。
【００２０】
本発明によるウエハ移し換え装置では、２つの収容体に収容されるウエハの双方向の移し換えを可能とすることができる。また第１収容体と第２収容体との間に、中間ステージが設けられるので、ウエハ移し換え装置は一方の収容体から他方の収容体への各ウエハの移送途中に、各ウエハを上下方向に間隔を保って保持することができる。
【００２１】
また中間ステージの各載置板の傾斜が調整可能である。これによって第１収容体から第２収容体への各ウエハの移送および第２収容体から第１収容体への各ウエハの移送に対して、中間ステージの各載置板の傾斜をそれぞれ調整することで、ウエハを双方向にスムーズに移送することができる。またウエハの双方向の移し換えにおいて、各ウエハの変形、各収容体の初期形状精度または各収容体の変形などのばらつきによる各ウエハの移し換えミスが大幅に低減でき、また移し換えミスによる各ウエハの損傷を低減できる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
ウエハ移し換え装置は、半導体集積回路、半導体レーザまたは太陽電池などの製造プロセスにおいて、半導体ウエハを移し換えるために用いられる。図１は、本発明の実施の一形態であるウエハ移し換え装置１の概略図である。ウエハ移し換え装置１は、第１収容体２を保持する第１ステージ６、第２収容体３を保持する第２ステージ７、第１収容体２から第２収容体３へ複数のウエハ９を移送する第１押し出しアーム４、第２収容体３から第１収容体２へ各ウエハ９を移送する第２押し出しアーム５および第１収容体２を昇降させる上下位置調整機構８を有する。
【００３３】
第１収容体２および第２収容体３は、たとえば上下に等間隔に設けられる複数の載置板２ｃ，３ｃ上に各ウエハ９が乗載されることによって、各ウエハ９を上下方向に所定の間隔を保って収容することができる。各載置板２ｃの間隔と、各載置板３ｃの間隔とは等しく、各収容体２，３は各ウエハ９が出し入れされる第１収容体２の正面２ａと第２収容体３の正面３ａとが対向する状態で配置される。
【００３４】
第１ステージ６は第１クランプ機構６ａを有し、第２ステージ７は第２クランプ機構７ａを有する。第１収容体２は、第１クランプ機構６ａによって第１ステージ６に固定され、第２収容体３は、第２クランプ機構７ａによって第２ステージ７に固定される。各クランプ機構６ａ，７ａは、各収容体２，３が各ステージ６，７に、各収容体２，３の形状および各ステージ６，７の形状によって固定される場合は、設けられなくてもよい。
【００３５】
ウエハ移し換え装置１では、上下位置調整機構８が第１収容体２を昇降させることによって、第１収容体２から第２収容体３への各ウエハ９の移送、および第２収容体３から第１収容体２への各ウエハ９の移送に対して、各収容体２，３の相対的な上下方向の位置が最適となるように調整することができる。したがって、双方向の移送において、各ウエハ９の変形、各収容体２，３の初期形状精度または各収容体２，３の変形などのばらつきによる各ウエハ９の移し換えミスが大幅に低減でき、また移し換えミスによる各ウエハ９の損傷を低減できる。なお上下位置調整機構８は、本実施形態では第１収容体２を昇降させるが、第２収容体３を昇降させる機構、または第１および第２収容体２，３の両方を昇降させる機構であってもよい。
【００３６】
また、ウエハ移し換え装置１では、各収容体２，３の背面２ｂ，３ｂに設けられる第１および第２押し出しアーム４，５によって、各ウエハ９を押し出して移送先の各収容体２，３に移送する。なおウエハ移し換え装置１に設けられるウエハ移送機構は、第１および第２押し出しアーム４，５による押し出し機構に限定されず、たとえば各ウエハ９を移送元の各収容体２，３から引き出し移送する機構、または第１および第２ステージ６，７を全体的に傾けて重力によって各ウエハ９をスライドさせて移送する機構であってもよい。
【００３７】
上述のようにウエハ移し換え装置１は、各ウエハ９を双方向に移送することができるので、従来技術による２つのユニットで双方向の移送を行うウエハ移し換え装置に比べて、装置を小型かつ安価に構成できる。さらに各方向の移し換えを交互に行うことによって各収容体２，３の取付け、取外しの手間を低減することができ、特定のプロセスでのみ使用される特殊な収容体へ一時的に各ウエハ９を移し換える場合などに特にその安定性が有効となる。
【００３８】
さらに、各収容体２，３内のウエハ９の有無を検出するセンサを設置して、これに基づいて、各収容体２，３の上下方向の相対的な位置が最適となるように自動的に調整するような構成にしてもよい。
【００３９】
次に第１収容体２から第２収容体３へ各ウエハ９を移送する動作のフローを説明する。まず第１ステージ６に各ウエハ９を収容する第１収容体２を、また第２ステージ７にウエハ９が収容されていない第２収容体３をセットし、各収容体２，３を各クランプ機構６ａ，７ａによって固定する。
【００４０】
次に移し換え前の各収容体２，３内のウエハ９の有無を認識して、移し換え方向を確認する。確認した移し換え方向に対して各収容体２，３の上下方向の相対的な位置が最適な関係となるように、第１収容体２の上下位置を上下位置調整機構８によって調整する。第１収容体２から第２収容体３へ各ウエハ９を移送するときには、第１収容体２が第２収容体３に比べてわずかに高くなるように調整する。
【００４１】
その後、第１押し出しアーム４によって、各ウエハ９を第１収容体２から第２収容体３へ押し出して移送する。各ウエハ９移送後、各クランプ機構６ａ，７ａを解除して各収容体２，３を取出す。
【００４２】
図２は、本発明の実施の他の形態であるウエハ移し換え装置１０の概略図である。ウエハ移し換え装置１０は、第１収容体２を保持する第１ステージ６、第２収容体３を保持する第２ステージ７、第１収容体２および第２収容体３の間に設けられる中間ステージ１２、第１収容体２から第２収容体３へ複数のウエハ９を移送する第１押し出しアーム４および第２収容体３から第１収容体２へ各ウエハ９を移送する第２押し出しアーム５を有する。
【００４３】
第１収容体２および第２収容体３は、たとえば上下方向に等間隔に設けられる複数の載置板２ｃ，３ｃ上に各ウエハ９が乗載されることによって、各ウエハ９を上下方向に所定の間隔を保って収容することができる。各載置板２ｃの間隔と、各載置板３ｃの間隔とは等しく、各収容体２，３は各ウエハ９が出し入れされる第１収容体の正面２ａと第２収容体３の正面３ａとが対向する状態で配置される。
【００４４】
中間ステージ１２は、移送途中の各ウエハ９を保持する複数の載置板１１および各載置板１１の傾斜を調整するための傾斜調整機構１２ａを有する。各載置板１１の上下方向の間隔は、各載置板２ｃ，３ｃの間隔と等しい。
【００４５】
ウエハ移し換え装置１０では、第１収容体２から第２収容体３への各ウエハ９の移送および第２収容体３から第１収容体２への各ウエハ９の移送において、中間ステージ１２の各載置板１１の傾斜を調整することができるので、各収容体２，３に対して、中間ステージ１２における各ウエハ９の保持位置を調整できる。したがって、双方向の移送において、各ウエハ９の変形、各収容体２，３の初期形状精度または各収容体２，３の変形などのばらつきによる各ウエハ９の移し換えミスが大幅に低減でき、また移し換えミスによる各ウエハ９の損傷を低減できる。
【００４６】
第１ステージ６は第１クランプ機構６ａを有し、第２ステージ７は第２クランプ機構７ａを有する。第１収容体２は、第１クランプ機構６ａによって第１ステージ６に固定され、第２収容体３は、第２クランプ機構７ａによって第２ステージ７に固定される。各クランプ機構６ａ，７ａは、各収容体２，３が各ステージ６，７に、各収容体２，３の形状および各ステージ６，７の形状によって固定される場合は、設けられなくてもよい。
【００４７】
ウエハ移し換え装置１０では、各収容体２，３の背面２ｂ，３ｂに設けられる第１および第２押し出しアーム４，５によって、各ウエハ９を押し出して移送先の各収容体２，３に移送する。なおウエハ移し換え装置１０に設けられるウエハ移送機構は、第１および第２押し出しアーム４，５による押し出し機構に限定されず、たとえば各ウエハ９を移送元の各収容体２，３から引き出し移送する機構、または第１および第２ステージ６，７を全体的に傾けて重力によって各ウエハ９をスライドさせて移送する機構であってもよい。
【００４８】
さらに、各収容体２，３内のウエハ９の有無を検出するセンサを設置して、これに基づいて、各収容体２，３の上下方向の相対的な位置が最適となるように自動的に調整してもよい。
【００４９】
次に第１収容体２から第２収容体３へ各ウエハ９を移送する動作のフローを説明する。まず第１ステージ６に各ウエハ９を収容する第１収容体２を、また第２ステージ７にウエハ９が収容されていない第２収容体３をセットし、各収容体２，３を各クランプ機構６ａ，７ａによって固定する。
【００５０】
次に移し換え前の各収容体２，３内のウエハ９の有無を認識して、移し換え方向を確認する。確認した移し換え方向に対して、各収容体２，３と中間ステージ１２とが最適な関係となるように、傾斜調整機構１２ａによって中間ステージ１２の各載置板１１の傾斜を調整する。第１収容体２から第２収容体３へ各ウエハ９を移送するときには、中間ステージ１２の各載置板１１の第１収容体２側端部が、第１収容体２の、対応する各載置板２ｃに比べてわずかに低く、かつ中間ステージ１２の各載置板１１の第２収容体３側端部が第２収容体３の、対応する各載置板３ｃに比べてわずかに高くなるように傾斜角度を調整する。
【００５１】
その後、第１押し出しアーム４によって、各ウエハ９を第１収容体２から第２収容体３へ押し出して移送する。各ウエハ９移送後、各クランプ機構６ａ，７ａを解除して各収容体２，３を取出す。
【００５２】
図３は、本発明のさらに他の実施の形態であるウエハ移し換え装置４０の概略図である。ウエハ移し換え装置４０は、第１収容体２を保持する第１ステージ６、第２収容体３を保持する第２ステージ７、第１収容体２と第２収容体３との間に設けられる中間ステージ４３、第１収容体２から第２収容体３へ複数のウエハ９を移送する第１押し出しアーム４、第２収容体３から第１収容体３へ各ウエハ９を移送する第２押し出しアーム５、第１収容体２を昇降させる上下位置調整機構４１および第２収容体３を昇降させる上下位置調整機構４２を有する。
【００５３】
第１収容体２および第２収容体３は、たとえば上下方向に等間隔に設けられる複数の載置板２ｃ，３ｃ上に各ウエハ９が乗載されることによって、各ウエハ９を上下方向に所定の間隔を保って収容することができる。各載置板２ｃの間隔と、各載置板３ｃの間隔とは等しく、各収容体２，３は各ウエハ９が出し入れされる第１収容体２の正面２ａと第２収容体３の正面３ａとが対向する状態で配置される。
【００５４】
中間ステージ４３は、移送途中の各ウエハ９を保持する複数の載置板４４を有する。各載置板４４の上下方向の間隔は、各載置板２ｃ，３ｃの間隔と等しい。
【００５５】
ウエハ移し換え装置４０では、上下位置調整機構４１が第１収容体２を、また上下位置調整機構４２が第２収容体３を昇降させることによって、各収容体２，３および中間ステージ４３の相対的な上下方向の位置が調整される。このため、ウエハ移し換え装置４０では、第１収容体２から第２収容体３への各ウエハ９の移送、および第２収容体３から第１収容体２への各ウエハ９の移送において、各ウエハ９を最適な位置に保持することができ、スムーズに移送することができる。
【００５６】
したがって、双方向の移送において、各ウエハ９の変形、各収容体２，３の初期形状精度または各収容体２，３の変形などのばらつきによる各ウエハ９の移し換えミスが大幅に低減でき、また移し換えミスによる各ウエハ９の損傷を低減できる。
【００５７】
第１ステージ６は第１クランプ機構６ａを有し、第２ステージ７は第２クランプ機構７ａを有する。第１収容体２は、第１クランプ機構６ａによって第１ステージ６に固定され、第２収容体３は、第２クランプ機構７ａによって第２ステージ７に固定される。各クランプ機構６ａ，７ａは、各収容体２，３が各ステージ６，７に、各収容体２，３の形状および各ステージ６，７の形状によって固定される場合は、設けられなくてもよい。
【００５８】
ウエハ移し換え装置４０では、各収容体２，３の背面２ｂ，３ｂに設けられる第１および第２押し出しアーム４，５によって、各ウエハ９を押し出して移送先の各収容体２，３に移送する。なおウエハ移し換え装置４０に設けられるウエハ移送機構は、第１および第２押し出しアーム４，５による押し出し機構に限定されず、たとえば各ウエハ９を移送元の各収容体２，３から引き出し移送する機構、または第１および第２ステージ６，７を全体的に傾けて重力によって各ウエハ９をスライドさせて移送する機構であってもよい。
【００５９】
さらに、各収容体２，３内のウエハ９の有無を検出するセンサを設置して、これに基づいて、各収容体２，３の上下方向の相対的な位置が最適となるように自動的に調整してもよい。
【００６０】
次に第１収容体２から第２収容体３へ各ウエハ９を移送する動作のフローを説明する。まず第１ステージ６に各ウエハ９を収容する第１収容体２を、また第２ステージ７に各ウエハ９が収容されていない第２収容体３をセットし、各収容体２，３を各クランプ機構６ａ，７ａによって固定する。
【００６１】
次に移し換え前の各収容体２，３内の各ウエハ９の有無を認識して、移し換え方向を確認する。確認した移し換え方向に対して、各収容体２，３および中間ステージ４３の上下方向の相対的な位置が最適な関係となるように、第１収容体２の上下方向の位置を上下位置調整機構４１によって調整し、また第２収容体３の上下方向の位置を上下位置調整機構４２によって調整する。第１収容体２から第２収容体３へ各ウエハ９を移送するときには、第１収容体２が中間ステージ４３に比べてわずかに高く、かつ第２収容体３が中間ステージ４３に比べてわずかに低くなるように調整する。
【００６２】
その後、第１押し出しアーム４によって、各ウエハ９を第１収容体２から第２収容体３へ押し出して移送する。各ウエハ９移送後、各クランプ機構６ａ，７ａを解除して各収容体２，３を取出す。
【００６３】
図４は、本発明の実施のさらに他の形態であるウエハ移し換え装置５０の概略図である。ウエハ移し換え装置５０は、第１収容体２を保持する第１ステージ６、第２収容体３を保持する第２ステージ７、第１収容体２と第２収容体３との間に設けられる中間ステージ５１、第１収容体２から第２収容体３へ複数のウエハ９を移送する第１押し出しアーム４、第２収容体３から第１収容体２へ各ウエハ９を移送する第２押し出しアーム５、第１収容体２を昇降させる上下位置調整機構５３および中間ステージ５１を昇降させる上下位置調整機構５１ａを有する。
【００６４】
第１収容体２および第２収容体３は、たとえば上下方向に等間隔に設けられる複数の載置板２ｃ，３ｃ上に各ウエハ９が乗載されることによって、各ウエハ９を上下方向に所定の間隔を保って収容することができる。各載置板２ｃの間隔と、各載置板３ｃの間隔とは等しく、各収容体２，３は各ウエハ９が出し入れされる第１収容体の正面２ａと第２収容体３の正面３ａとが対向する状態で配置される
中間ステージ５１は、移送途中の各ウエハ９を保持する複数の載置板５２を有する。各載置板５２の上下方向の間隔は、各載置板２ｃ，３ｃの間隔と等しい。
【００６５】
ウエハ移し換え装置５０では、上下位置調整機構５３が第１収容体２を、また上下位置調整機構５１ａが中間ステージ５１を昇降させることによって、各収容体２，３および中間ステージ５１の相対的な上下方向の位置が調整される。このため、ウエハ移し換え装置５０では、第１収容体２から第２収容体３への各ウエハ９の移送、および第２収容体３から第１収容体２への各ウエハ９の移送において、各ウエハ９を最適な位置に保持することができ、スムーズに移送することができる。
【００６６】
したがって、ウエハ移し換え装置５０では、双方向の移送において、各ウエハ９の変形、各収容体２，３の初期形状精度および各収容体２，３の変形などのばらつきによる各ウエハ９の移し換えミスが大幅に低減でき、また移し換えミスによる各ウエハ９の損傷を低減できる。
【００６７】
第１ステージ６は第１クランプ機構６ａを有し、第２ステージ７は第２クランプ機構７ａを有する。第１収容体２は、第１クランプ機構６ａによって第１ステージ６に固定され、第２収容体３は、第２クランプ機構７ａによって第２ステージ７に固定される。各クランプ機構６ａ，７ａは、各収容体２，３が各ステージ６，７に、各収容体２，３の形状および各ステージ６，７の形状によって固定される場合は、設けられなくてもよい。
【００６８】
ウエハ移し換え装置５０は、各収容体２，３の背面２ｂ，３ｂに設けられる第１および第２押し出しアーム４，５によって、各ウエハ９を押し出して移送先の各収容体２，３に移送する。なおウエハ移し換え装置５０に設けられるウエハ移送機構は、第１および第２押し出しアーム４，５による押し出し機構に限定されず、たとえば各ウエハ９を移送元の各収容体２，３から引き出し移送する機構、または第１および第２ステージ６，７を全体的に傾けて重力によって各ウエハ９をスライドさせて移送する機構であってもよい。
【００６９】
さらに、各収容体２，３内のウエハ９の有無を検出するセンサを設置して、これに基づいて、各収容体２，３の上下方向の相対的な位置が最適となるように自動的に調整してもよい。
【００７０】
次に第１収容体２から第２収容体３へ各ウエハ９を移送する動作のフローを説明する。まず第１ステージ６に各ウエハ９を収容する第１収容体２を、また第２ステージ７にウエハ９が収容されていない第２収容体３をセットし、各収容体２，３を各クランプ機構６ａ，７ａによって固定する。
【００７１】
次に移し換え前の各収容体２，３内のウエハ９の有無を認識して、移し換え方向を確認する。確認した移し換え方向に対して、各収容体２，３および中間ステージ５１の上下方向の相対的な位置が最適な関係となるように、第１収容体２の上下方向の位置を上下位置調整機構５３によって調整し、また中間ステージ５１の上下方向の位置を上下位置調整機構５１ａによって調整する。第１収容体２から第２収容体３へ各ウエハ９を移送するときには、第１収容体２が中間ステージ５１に比べてわずかに高く、かつ第２収容体３が中間ステージ５１に比べてわずかに低くなるように調整する。
【００７２】
その後、第１押し出しアーム４によって、各ウエハ９を第１収容体２から第２収容体３へ押し出して移送する。各ウエハ９移送後、各クランプ機構６ａ，７ａを解除して各収容体２，３を取出す。
【００７３】
また本発明のウエハ移し換え装置に用いられるウエハは、太陽電池に用いられる片面に金属電極が形成されるシリコン多結晶の半導体ウエハ、または半導体集積回路素子などに用いられるシリコン単結晶の半導体ウエハであってもよく、また形状は円板状でもよく、角板状でもよい。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によるウエハ移し換え装置では、中間ステージが設けられるとともに、中間ステージの各載置板の傾斜が調整可能であるので、一方の収容体から他方の収容体への各ウエハの移送途中に、各ウエハを上下方向に間隔を保って、各ウエハを移送に最適な位置に保持することができ、各ウエハをスムーズに移送することができる。これによって第１収容体から第２収容体への移送および第２収容体から第１収容体への移送に対して、各ウエハの変形、各収容体の初期形状精度および各収容体の変形などのばらつきによる各ウエハの移し換えミスが大幅に低減でき、また移し換えミスによる各ウエハの損傷を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態であるウエハ移し換え装置１の概略図である。
【図２】本発明の実施の他の形態であるウエハ移し換え装置１０の概略図である。
【図３】本発明の実施のさらに他の形態であるウエハ移し換え装置４０の概略図である。
【図４】本発明の実施のさらに他の形態であるウエハ移し換え装置５０の概略図である。
【図５】従来のウエハ移し換え装置２０を示す概略図である。
【図６】従来のウエハ移し換え装置３１を示す概略図である。
【符号の説明】
１，１０，４０，５０  ウエハ移し換え装置
２  第１収容体
３  第２収容体
４  第１押し出しアーム
５  第２押し出しアーム
６  第１ステージ
７  第２ステージ
８，４１，４２，５３，５１ａ  上下位置調整機構
９  ウエハ
１１，４４，５２  載置板
１２，４３，５１  中間ステージ
１２ａ  傾斜調整機構
【図１】
0003735224.tif 000002
【図２】
0003735224.tif 000003
【図３】
0003735224.tif 000004
【図４】
0003735224.tif 000005
【図５】
0003735224.tif 000006
【図６】
0003735224.tif 000007