(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アウタチューブ内にダンパシリンダを内装し、ダンパシリンダとアウタチューブとの間をリザーバ室とし、該リザーバ室に加圧ガスを封入してなるダンパ装置のシール異常検出方法において、
加圧ガスにヘリウムを混合してダンパシリンダに封入し、
ダンパシリンダのピストンロッドシール部まわりにバキュームヘッドを封着し、
ピストンロッドを作動させた状態下で、ダンパシリンダからバキュームヘッドに漏れ出たヘリウムのリーク量をヘリウムリークテスタで測定し、該ヘリウムのリーク量の大きさによりピストンロッドシール部の異常の有無を判定することを特徴とするダンパ装置のシール異常検出方法。
【請求項２】
前記バキュームヘッド内を最初にメインポンプで真空引きし、次にダンパシリンダからバキュームヘッドに漏れたガスをサブポンプで吸引してヘリウムリークテスタに送る請求項１記載のダンパ装置のシール異常検出方法。
【請求項３】
前記バキュームヘッドとメインポンプをつなぐ配管の途中に第１と第２の２つの開閉バルブを設け、これらのバルブ間にヘリウムリークテスタを接続する配管を設け、ヘリウムリークテスタを接続する配管に第３の開閉バルブを設け、
最初に、第１と第２の開閉バルブを開、第３の開閉バルブを閉とし、メインポンプでバキュームヘッド内を真空引きし、
次に、第２の開閉バルブを閉、第３の開閉バルブを開とし、ダンパシリンダからバキュームヘッドに漏れたガスをサブポンプで吸引してヘリウムリークテスタに送り、ヘリウムのリーク量を測定し、
上記ヘリウムのリーク量の測定の途中で、第１開閉バルブを閉じてバキュームヘッドをダンパシリンダから取外し、その後、リーク量の測定終了に至る請求項２記載のダンパ装置のシール異常検出方法。
【請求項４】
アウタチューブ内にダンパシリンダを内装し、ダンパシリンダとアウタチューブとの間をリザーバ室とし、該リザーバ室に加圧ガスを封入してなるダンパ装置のシール異常検出装置において、
ダンパシリンダのピストンロッドシール部まわりに封着されるバキュームヘッドと、
バキュームヘッド内を真空引きするポンプと、
ポンプの真空引きによってダンパシリンダからバキュームヘッドに漏れたヘリウムのリーク量を検出するヘリウムリークテスタとを有してなることを特徴とするダンパ装置のシール異常検出装置。
【請求項５】
前記バキュームヘッドにリークテスタを接続する配管にオリフィスを設けてなる請求項４記載のダンパ装置のシール異常検出装置。
【請求項６】
前記バキュームヘッドに負圧計を接続してなる請求項４又は５に記載のダンパ装置のシール異常検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はダンパ装置のシール異常検出方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、自動車用油圧緩衝器等として、アウタチューブ内にダンパシリンダを内装し、ダンパシリンダとアウタチューブとの間をリザーバ室とし、該リザーバ室に加圧ガスを封入してなるダンパ装置が用いられている。
【０００３】
このダンパ装置にあっては、組立の最終段階で、ダンパシリンダのピストンロッドシール部まわりから外面への油のにじみを目視検査し、そのシール部における疵等の異常の有無を検出している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来技術では、ダンパ装置のシール異常を目視検査するものであり、シール部の疵等が微少で油漏れも微少でしかない場合、そのシール異常を精度良く検出することができない。
【０００５】
本発明の課題は、ダンパ装置のシール異常を高精度に検出することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の本発明は、アウタチューブ内にダンパシリンダを内装し、ダンパシリンダとアウタチューブとの間をリザーバ室とし、該リザーバ室に加圧ガスを封入してなるダンパ装置のシール異常検出方法において、加圧ガスにヘリウムを混合してダンパシリンダに封入し、ダンパシリンダのピストンロッドシール部まわりにバキュームヘッドを封着し、ピストンロッドを作動させた状態下で、ダンパシリンダからバキュームヘッドに漏れ出たヘリウムのリーク量をヘリウムリークテスタで測定し、該ヘリウムのリーク量の大きさによりピストンロッドシール部の異常の有無を判定するようにしたものである。
【０００７】
請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載の本発明において更に、前記バキュームヘッド内を最初にメインポンプで真空引きし、次にダンパシリンダからバキュームヘッドに漏れたガスをサブポンプで吸引してヘリウムリークテスタに送るようにしたものである。
【０００８】
請求項３に記載の本発明は、請求項２に記載の本発明において更に、前記バキュームヘッドとメインポンプをつなぐ配管の途中に第１と第２の２つの開閉バルブを設け、これらのバルブ間にヘリウムリークテスタを接続する配管を設け、ヘリウムリークテスタを接続する配管に第３の開閉バルブを設け、最初に、第１と第２の開閉バルブを開、第３の開閉バルブを閉とし、メインポンプでバキュームヘッド内を真空引きし、次に、第２の開閉バルブを閉、第３の開閉バルブを開とし、ダンパシリンダからバキュームヘッドに漏れたガスをサブポンプで吸引してヘリウムリークテスタに送り、ヘリウムのリーク量を測定し、上記ヘリウムのリーク量の測定の途中で、第１開閉バルブを閉じてバキュームヘッドをダンパシリンダから取外し、その後、リーク量の測定終了に至るようにしたものである。
【０００９】
請求項４に記載の本発明は、アウタチューブ内にダンパシリンダを内装し、ダンパシリンダとアウタチューブとの間をリザーバ室とし、該リザーバ室に加圧ガスを封入してなるダンパ装置のシール異常検出装置において、ダンパシリンダのピストンロッドシール部まわりに封着されるバキュームヘッドと、バキュームヘッド内を真空引きするポンプと、ポンプの真空引きによってダンパシリンダからバキュームヘッドに漏れたヘリウムのリーク量を検出するヘリウムリークテスタとを有してなるようにしたものである。
【００１０】
請求項５に記載の本発明は、請求項４に記載の本発明において更に、前記バキュームヘッドにリークテスタを接続する配管にオリフィスを設けてなるようにしたものである。
【００１１】
請求項６に記載の本発明は、請求項４又は５に記載の本発明において更に、前記バキュームヘッドに負圧計を接続してなるようにしたものである。
【００１２】
【作用】
請求項１、４に記載の本発明によれば下記▲１▼の作用がある。
▲１▼ヘリウムを混合したガスを封入したダンパ装置にバキュームヘッドを取付けて真空引きを行ない、ピストンロッドを作動させてシール部からのヘリウムの漏れをヘリウムリークテスタで検出し、ヘリウムのリーク量の大きさによりシール部の疵等の異常の有無を確実に判定することができる。このとき、ヘリウムリークテスタを使用することで、微小疵等の異常も高精度で検出できる。
【００１３】
請求項２に記載の本発明によれば下記▲２▼の作用がある。
▲２▼ヘリウムリークテスタは、検査前にバキュームヘッド〜リークテスタの配管内の空気を抜いておく必要がある。大容量のメインポンプにより最初にバキュームヘッドを真空引きしておくことにより、バキュームヘッド〜リークテスタの配管内の空気を迅速に抜くことができ、ヘリウムリークテスタによる検査時間を短縮できる。
【００１４】
請求項３に記載の本発明によれば下記▲３▼の作用がある。
▲３▼第１〜第３の開閉バルブの開閉制御により、(a) 大容量のメインポンプにより最初にバキュームヘッドを真空引きし、次にバキュームヘッドに漏れ出たガスをサブポンプによりリークテスタに送り込むことにより、リークテスタによる検査時間を上記▲２▼の如くに短縮できるとともに、(b) 先行するダンパ装置からリークテスタに送り込まれたヘリウムのリーク量を検出することにて先行するダンパ装置のシール異常を検出する作業と並行して、バキュームヘッドを先行するダンパ装置から取外し、該バキュームヘッドを後続の新ダンパ装置に封着する作業を行なうことができ、検査の生産性を向上できる。
【００１５】
請求項５に記載の本発明によれば下記▲４▼の作用がある。
▲４▼バキュームヘッドからリークテスタに入る配管にオリフィスを設けたから、リークテスタに入る検査ガス量を規制してＳ／Ｎ比を向上させ、ダンパ装置のシール部に異常のない良品と異常のある不良品との間で、リークテスタが検出するヘリウムのリーク量に大差をもたせることとし、シール部異常の検出精度を向上できる。
【００１６】
請求項６に記載の本発明によれば下記▲５▼の作用がある。
▲５▼バキュームヘッドに負圧計を設けた。ダンパ装置のシール部に大きな疵がある場合には、バキュームヘッドの真空引きをしても、負圧計の検出値が所定の圧力まで到達しないから、これによって直ちにダンパ装置のシール異常を確認できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１はシール異常検出装置を示す模式図、図２はシール異常検出装置を示すブロック図、図３はシール異常検出装置の第１実施形態を示す模式図、図４は第１実施形態の検出結果を示す模式図、図５はシール異常検出装置の第２実施形態を示す模式図、図６は第２実施形態の検出結果を示す模式図、図７はシール異常検出装置の第３実施形態を示す模式図、図８は第３実施形態の検出結果を示す模式図である。
【００１８】
（ダンパ装置）（図２）
ダンパ装置１０は、図２に示す如く、アウタチューブ１１内にダンパシリンダ１２を内装し、ダンパシリンダ１２に挿入されるピストンロッド１３のピストン１４によりダンパシリンダ１２内にロッド側室１５Ａとピストン側室１５Ｂとを区画し、アウタチューブ１１に挿入されるロッドガイド１６をダンパシリンダ１２の開口部に圧入するとともに、アウタチューブ１１に挿入されるキャップ１７にピストンロッド１３に摺接するオイルシール１８（シール部）を設けている。
【００１９】
また、ダンパ装置１０は、ダンパシリンダ１２とアウタチューブ１１との間をリザーバ室１９とし、このリザーバ室１９をダンパシリンダ１２のピストン側室１５Ｂに連通するとともに、このリザーバ室１９に加圧ガスを封入している。リザーバ室１９は、ダンパシリンダ１２に進入、退出するピストンロッド１３の容積変化によりダンパシリンダ１２内に生じる油量変化を補償するものである。また、リザーバ室１９に封入されるガスを加圧しているのは、ダンパ装置１０の伸長に伴うリザーバ室１９の負圧化を防止してその伸長に続く圧縮時の減衰力発生の遅れを回避することと、ダンパ装置１０の伸長時にリザーバ室１９からピストン側室１５Ｂへの油の置換流動の迅速を図るためである。
【００２０】
しかるに、ダンパ装置１０は以下の手順で組立てられる。
(1) アウタチューブ１１にダンパシリンダ１２を挿入したものに作動油を注入する。
【００２１】
(2) ダンパシリンダ１２にピストンロッド１３を挿入する。
【００２２】
(3) アウタチューブ１１の上部空間に加圧ガスを封入し、アウタチューブ１１及びダンパシリンダ１２の上端部にロッドガイド１６、キャップ１７を装着し、アウタチューブ１１の最上端部をかしめ加工する。この状態で、アウタチューブ１１とダンパシリンダ１２の上部空間、従ってリザーバ室１９とロッド側室１５Ａの上部空間に加圧ガスが封入されたものとなる。
【００２３】
(4) 上記(3) のダンパ装置１０のピストンロッド１３を複数回繰り返し往復動させる予備作動を行なう。これにより、ロッド側室１５Ａの上部空間に封入されていた加圧ガスが、ロッドガイド１６まわりに設けられているチェック弁機能付ガス通路（不図示）からリザーバ室１９に移送される。これにより、ダンパ装置１０の組立を完了する。
【００２４】
しかるに、ダンパ装置１０にあっては、ロッドガイド１６に設けたオイルシール１８に疵等の異常があると、使用時にオイル漏れを引き起こすから、このシール異常の有無を上記(3) と(4) の中間工程で検出可能としている。以下、シール異常検出装置２０について説明する。
【００２５】
（シール異常検出装置）（図１、図２）
シール異常検出装置２０は、図１に示す如く、ヘリウムが混合された加圧ガス（例えば、Ｈｅ混合率 1％）を封入されて未だ前述した予備作動前のダンパ装置１０を搬送してくるコンベヤ２１と、コンベヤ２１上のダンパ装置１０を検出作業位置に位置付けるコンベヤ位置決めユニット２２と、検出作業位置に位置付けられるダンパ装置１０を感知するワーク感知センサ２３と、検出作業位置に位置付けられたダンパ装置１０をチャックするダンパチャック２４とを有する。
【００２６】
シール異常検出装置２０は、ダンパ装置１０のアウタチューブ１１から突出しているピストンロッド１３まわりに封着されるバキュームヘッド２５を有する。バキュームヘッド２５は、アウタチューブ１１の外周部に気密に密着するチューブシール部２６と、ピストンロッド１３に気密に密着するロッドシール部２７とを備え、更に、真空配管接続口２８を備えている（図２）。バキュームヘッド２５は、ヘッド上下シリンダ２９により、ピストンロッド１３まわりに着脱される。
【００２７】
シール異常検出装置２０は、バキュームヘッド２５を上方に貫通するピストンロッド１３の上端部をチャックするロッドチャック３１を有し、サーボモータ３２とボールねじ３３によりロッドチャック３１を上下に往復動し、結果として、ピストンロッド１３を上下に伸縮作動可能としている。
【００２８】
シール異常検出装置２０は、バキュームヘッド２５の真空配管接続口２８に接続される真空吸引配管３５を有し、この配管３５にヘリウムリークテスタ３６を接続可能とされている。ヘリウムリークテスタ３６は、真空ポンプを内蔵してある。ヘリウムリークテスタ３６は、ダンパシリンダ１２からバキュームヘッド２５に漏れ出たガス中のヘリウムのリーク量を測定し、該ヘリウムのリーク量の大きさによりオイルシール１８の異常の有無を判定可能とする。図２の３７はヘリウムリークテスタ３６が測定したヘリウム濃度の経時データを示す表示部である。
【００２９】
しかるに、シール異常検出装置２０は、バキュームヘッド２５とリークテスタ３６の間の真空吸引配管３５の構成態様として、例えば、以下の第１実施形態〜第３実施形態を採用できる。
【００３０】
（第１実施形態）（図３、図４）
第１実施形態は、図３に示す如く、バキュームヘッド２５に真空吸引配管３５を介してリークテスタ３６を接続しただけのものである。この第１実施形態のシール異常検出装置２０による、シール異常検出手順は以下の通りである。
【００３１】
(1) ダンパチャック２４によりダンパ装置１０を検出作業位置でクランプする。
【００３２】
(2) ダンパ装置１０のピストンロッド１３まわりにバキュームヘッド２５を封着する。
【００３３】
(3) ヘリウムリークテスタ３６による測定を開始する。
【００３４】
(4) バキュームヘッド２５を上方に貫通しているピストンロッド１３の上端部をロッドチャック３１でチャックし、このピストンロッド１３を上下に作動させる。
【００３５】
(5) バキュームヘッド２５をヘリウムリークテスタ３６の内蔵ポンプによりリークテスタ３６に吸引し、この吸引負圧が設定圧以下に到達したら、リークテスタ３６に吸引したリークガス中のヘリウムの量を測定する。
【００３６】
図４（Ａ）、（Ｂ）は第１実施形態のリークテスタ３６が検出したヘリウム濃度の経時変化であり、図４（Ａ）は良品データ、図４（Ｂ）は不良品データである。リークテスタ３６が検出したヘリウム濃度、即ちヘリウムのリーク量が過大となることにより、検出対象ダンパ装置１０がオイルシール１８に疵等の異常のある不良品であるものと判定できる。図４（Ａ）の最大ヘリウム濃度Ｈａに対し、図４（Ｂ）の最大ヘリウム濃度Ｈｂは、Ｈａ<<Ｈｂである。
【００３７】
尚、この第１実施形態は、リークテスタ３６の総容量の内蔵ポンプだけでバキュームヘッド２５を真空引きするものであるため、リークテスタ３６による真空引き開始から検出作業終了までの検出時間が例えば30秒かかる等、後述する第２実施形態、第３実施形態におけるよりも比較的長い。
【００３８】
従って、第１実施形態によれば以下の作用がある。
ヘリウムを混合したガスを封入したダンパ装置１０にバキュームヘッド２５を取付けて真空引きを行ない、ピストンロッド１３を作動させてオイルシール１８からのヘリウムの漏れをヘリウムリークテスタ３６で検出し、ヘリウムのリーク量の大きさによりオイルシール１８の疵等の異常の有無を確実に判定することができる。このとき、ヘリウムリークテスタ３６を使用することで、微小疵等の異常も高精度で検出できる。
【００３９】
（第２実施形態）（図５、図６）
第２実施形態は、図５に示す如く、バキュームヘッド２５の真空配管接続口２８に接続される真空吸引配管３５の他端に大容量のメインポンプ４１を接続し、この真空吸引配管３５の途中に第１と第２の２つの開閉バルブ４２Ａ、４２Ｂを設け、これらのバルブ４２Ａ、４２Ｂの間にリークテスタ３６を接続する配管３５Ａを設け、この配管３５Ａに第３開閉バルブ４２Ｃを設けたものである。また、第２実施形態にあっては、バキュームヘッド２５に負圧計４３を設けてある。この第２実施形態のシール異常検出装置２０による、シール異常検出手順は以下の通りである。
【００４０】
(1) ダンパチャック２４によりダンパ装置１０を検出作業位置でクランプする。
【００４１】
(2) ダンパ装置１０のピストンロッド１３まわりにバキュームヘッド２５を封着する。
【００４２】
(3) 第１開閉バルブ４２Ａと第２開閉バルブ４２Ｂを開、第３開閉バルブ４２Ｃを閉とし、メインポンプ４１でバキュームヘッド２５内を真空引きする。真空引き開始後、この吸引負圧が設定圧以下に到達したら第２開閉バルブ４２Ｂを閉、第３開閉バルブ４２Ｃを開とし、リークテスタ３６による測定を開始する。
【００４３】
(4) バキュームヘッド２５を上方に貫通しているピストンロッド１３の上端部をロッドチャック３１でチャックし、このピストンロッド１３を上下に作動させる。
【００４４】
(5) バキュームヘッド２５をリークテスタ３６の内蔵ポンプによりリークテスタ３６に吸引し、リークテスタ３６に吸引したリークガス中のヘリウムの量を測定する。
【００４５】
(6) リークテスタ３６による上記(5) のヘリウムのリーク量の測定の途中で、第１開閉バルブ４２Ａを閉じてバキュームヘッド２５をダンパ装置１０から取外す。その後、検出作業位置では、後続の新ダンパ装置１０にバキュームヘッド２５を封着できる。
【００４６】
(7) リークテスタ３６による上記(5) のリーク量測定終了時に第３開閉バルブ４２Ｃを閉、第１開閉バルブ４２Ａと第２開閉バルブ４２Ｂを開とし、新ダンパ装置１０の検査に移る。
【００４７】
図６（Ａ）、（Ｂ）は第２実施形態のヘリウムリークテスタ３６が検出したヘリウム濃度の経時変化であり、図６（Ａ）は良品データ、図６（Ｂ）は不良品データである。リークテスタ３６が検出したヘリウム濃度、即ちヘリウムのリーク量が過大となることにより、検出対象ダンパ装置１０がオイルシール１８に疵等の異常のある不良品であるものと判定できる。
【００４８】
この第２実施形態は、バキュームヘッド２５の真空引きに大容量のメインポンプ４１を用いたから、リークテスタ３６による真空引き開始から検出作業終了までの検出時間を例えば 6.2秒程度に短縮できる。
【００４９】
但し、この第２実施形態では、メインポンプ４１による真空引き圧力が高すぎ、リークテスタ３６がバキュームヘッド２５内の残留空気に含まれるヘリウム（検査対象ダンパ装置１０のシール異常に起因するリークヘリウムでないもの）を多量に吸い込むため、良品の最大ヘリウム濃度Ｈａに対する、不良品の最大ヘリウム濃度Ｈｂの差が第１実施形態、第３実施形態に比して小さい。
【００５０】
尚、第２実施形態では、メインポンプ４１でバキュームヘッド２５内を真空引きしたときの負圧計４３の検出値が所定の圧力まで到達しないとき、直ちに、ダンパ装置１０のオイルシール１８に大きな疵、破損等のシール異常があるものと判定する。
【００５１】
従って、第２実施形態によれば以下の作用がある。
▲１▼ヘリウムを混合したガスを封入したダンパ装置１０にバキュームヘッド２５を取付けて真空引きを行ない、ピストンロッド１３を作動させてオイルシール１８からのヘリウムの漏れをヘリウムリークテスタ３６で検出し、ヘリウムのリーク量の大きさによりオイルシール１８の疵等の異常の有無を確実に判定することができる。このとき、ヘリウムリークテスタ３６を使用することで、微小疵等の異常も高精度で検出できる。
【００５２】
▲２▼ヘリウムリークテスタ３６は、検査前にバキュームヘッド２５〜リークテスタ３６の配管内の空気を抜いておく必要がある。大容量のメインポンプ４１により最初にバキュームヘッド２５を真空引きしておくことにより、バキュームヘッド２５〜リークテスタ３６の配管内の空気を迅速に抜くことができ、ヘリウムリークテスタ３６による検査時間を短縮できる。
【００５３】
▲３▼第１〜第３の開閉バルブ４２Ａ〜４２Ｃの開閉制御により、先行するダンパ装置１０からリークテスタ３６に送り込まれたヘリウムのリーク量を検出することにて先行するダンパ装置１０のシール異常を検出する作業と並行して、バキュームヘッド２５を先行するダンパ装置１０から取外し、該バキュームヘッド２５を後続の新ダンパ装置１０に封着する作業を行なうことができ、検査の生産性を向上できる。
【００５４】
▲４▼バキュームヘッド２５に負圧計４３を設けた。ダンパ装置１０のオイルシール１８に大きな疵がある場合には、バキュームヘッド２５の真空引きをしても、負圧計４３の検出値が所定の圧力まで到達しないから、これによって直ちにダンパ装置１０のシール異常を確認できる。
【００５５】
（第３実施形態）（図７、図８）
第３実施形態が第２実施形態と異なる点は、図７に示す如く、バキュームヘッド２５の真空配管接続口２８に接続される真空吸引配管３５の他端に大容量のメインポンプ４１を接続したことに加え、真空吸引配管３５の第１と第２の開閉バルブ４２Ａ、４２Ｂの間に接続されてリークテスタ３６が接続される配管３５Ａの途中にサブポンプ４４とオリフィス４５を介装したことにある。この第３実施形態のシール異常検出装置２０による、シール異常検出手順は以下の通りである。
【００５６】
(1) ダンパチャック２４によりダンパ装置１０を検出作業位置でクランプする。
【００５７】
(2) ダンパ装置１０のピストンロッド１３まわりにバキュームヘッド２５を封着する。
【００５８】
(3) 第１開閉バルブ４２Ａと第２開閉バルブ４２Ｂを開、第３開閉バルブ４２Ｃを閉とし、メインポンプ４１でバキュームヘッド２５内を真空引きする。真空引き開始後、この吸引負圧が設定圧以下に到達したら第２開閉バルブ４２Ｂを閉、第３開閉バルブ４２Ｃを開とし、リークテスタ３６による測定を開始する。
【００５９】
(4) バキュームヘッド２５を上方に貫通しているピストンロッド１３の上端部をロッドチャック３１でチャックし、このピストンロッド１３を上下に作動させる。
【００６０】
(5) バキュームヘッド２５をサブポンプ４４とリークテスタ３６の内蔵ポンプによりリークテスタ３６に吸引し、リークテスタ３６に吸引したリークガス中のヘリウムの量を測定する。
【００６１】
(6) リークテスタ３６による上記(5) のヘリウムのリーク量の測定の途中で、第１開閉バルブ４２Ａを閉じてバキュームヘッド２５をダンパ装置１０から取外す。その後、検出作業位置では、後続の新ダンパ装置１０にバキュームヘッド２５を封着できる。
【００６２】
(7) リークテスタ３６による上記(5) のリーク量測定終了時に第３開閉バルブ４２Ｃを閉、第１開閉バルブ４２Ａと第２開閉バルブ４２Ｂを開とし、新ダンパ装置１０の検査に移る。
【００６３】
図８（Ａ）、（Ｂ）は第３実施形態のリークテスタ３６が検出したヘリウム濃度の経時変化であり、図８（Ａ）は良品データ、図８（Ｂ）は不良品データである。リークテスタ３６が検出したヘリウム濃度、即ちヘリウムのリーク量が過大となることにより、検出対象ダンパ装置１０がオイルシール１８に疵等の異常のある不良品であるものと判定できる。
【００６４】
この第３実施形態は、バキュームヘッド２５の真空引きに大容量のメインポンプ４１と、更にサブポンプ４４も用いたから、リークテスタ３６による真空引き開始から検出作業終了までの検出時間を、第２実施形態におけるよりも短い、例えば 4.2秒程度に短縮できる。
【００６５】
また、第３実施形態では、バキュームヘッド２５からリークテスタ３６に入る配管３５Ａにオリフィス４５を設けたから、リークテスタ３６に入る検出ガス量を規制してＳ／Ｎ比を向上させることができる。
【００６６】
従って、第３実施形態によれば、第２実施形態における▲１▼〜▲４▼の作用に加え、以下の作用がある。
▲１▼第１〜第３の開閉バルブ４１Ａ〜４１Ｃの開閉制御により、大容量のメインポンプ４１により最初にバキュームヘッド２５を真空引きし、次にバキュームヘッド２５に漏れたガスをサブポンプ４４によりリークテスタ３６に送り込むことにより、リークテスタ３６による検出時間をより短縮できる。
【００６７】
▲２▼バキュームヘッド２５からリークテスタ３６に入る配管にオリフィス４５を設けたから、リークテスタ３６に入る検査ガス量を規制してＳ／Ｎ比を向上させ、ダンパ装置１０のオイルシール１８に異常のない良品と異常のある不良品との間で、リークテスタ３６が検出するヘリウムのリーク量に大差をもたせることとし、オイルシール１８異常の検出精度を向上できる。
【００６８】
第３実施形態のシール異常検出装置２０による具体的テスト結果について説明する。良品ダンパ装置１０のオイルシール１８に0.09mmの釣糸と0.15mmの釣糸を噛み込ませて不良品モデルを作成し、良品モデル 8本、0.09mm疵付不良品モデル 2本、0.15mm疵付不良品モデル 9本の計19本についてテストを行なった。結果、不良品12本、良品 7本と判定した（負圧計４３によるバキュームヘッド２５の初期圧不良検出 2本、リークテスタ３６によるリーク不良検出10本）。良品と不良品の判定基準の設定を変更することで、より精度の良い検出が可能になる。このテスト結果では、不良品の検出は確実に行なえているが、良品のうちの 1本も不良判定しており、判定基準を見直す必要があるが、満足できる結果である。
【００６９】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
【００７０】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ダンパ装置のシール異常を高精度に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１はシール異常検出装置を示す模式図である。
【図２】図２はシール異常検出装置を示すブロック図である。
【図３】図３はシール異常検出装置の第１実施形態を示す模式図である。
【図４】図４は第１実施形態の検出結果を示す模式図である。
【図５】図５はシール異常検出装置の第２実施形態を示す模式図である。
【図６】図６は第２実施形態の検出結果を示す模式図である。
【図７】図７はシール異常検出装置の第３実施形態を示す模式図である。
【図８】図８は第３実施形態の検出結果を示す模式図である。
【符号の説明】
１０  ダンパ装置
１１  アウタチューブ
１２  ダンパシリンダ
１３  ピストンロッド
１４  ピストン
１８  オイルシール（シール部）
１９  リザーバ室
２０  シール異常検出装置
２５  バキュームヘッド
３６  ヘリウムリークテスタ
４１  メインポンプ
４２Ａ〜４２Ｃ  開閉バルブ
４３  負圧計
４４  サブポンプ
４５  オリフィス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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