(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
監視領域に配設された配管を介して当該領域内の空気を吸引して煙の存在を感知する煙感知装置と、この煙感知装置で煙を感知して火災と判断したとき監視領域に配設された配管を介して消火剤を供給して消火作業を行う消火装置とを備えた消火システムにおいて、
前記煙感知装置の配管と消火装置の配管とを共用すると共に、該配管から煙感知装置側に延びる分岐管に、上記消火装置側の消火剤供給圧力を受けて閉塞する常開弁を備えたことを特徴とする消火システム。
【請求項２】
監視領域内の空気を取り込んで煙の存在を感知する煙感知装置と、この煙感知装置で煙を感知して火災と判断したとき監視領域に消火剤を供給して消火作業を行う消火装置とを備えた消火システムにおいて、
前記煙感知装置が、前記監視領域に配設された配管と、この配管に設けられ監視領域内の空気を吸引する吸引ノズルと、前記配管に接続され監視領域内の空気から煙の有無を感知する煙感知器とを備えてなり、
前記消火装置が、前記監視領域に配設された配管と、この配管に設けられ監視領域内の火災発生位置に消火液を噴射する噴射ノズルと、前記配管に接続され火災発生に応じて消火剤を配管に供給する消火剤供給部とを備えてなり、
前記煙感知装置の配管と消火装置の配管とを共用すると共に、該配管から煙感知装置側に延びる分岐管に、上記消火装置側の消火剤供給圧力を受けて閉塞する常開弁を備えたことを特徴とする消火システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、火災発生の有無を監視する領域、例えば半導体製造装置を構成する個々の機器、半導体製造装置が格納された工場、コンピュータ室、クリーンルーム、通常の建物の部屋等の監視領域において、煙の存在を感知して火災の発生の有無を監視し、火災発生により消火作業を行う消火システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
消火システムは前述したように、半導体製造装置を構成する個々の機器や建物の部屋等の監視領域で火災の発生の有無を監視し、火災が発生した場合にはその火災発生位置で消火作業を行うシステムである。この消火システムは具体的には、監視領域内の空気を取り込んで煙の存在を感知する煙感知装置と、この煙感知装置で煙を感知して火災と判断したとき監視領域に消火ガスを供給して消火作業を行う消火装置とを備えて構成されている。
【０００３】
この消火システムの煙感知装置は、監視領域に配設されてその内部の空気をサンプリングのために集めるエアサンプリング管と、このエアサンプリング管の先端や途中等に１または複数設けられ監視領域の空気を吸引する吸引ノズルと、監視領域外に延出されたエアサンプリング管に接続されてサンプリング用の空気中に煙が混入していないかを感知する煙感知器と、この煙感知器の検出値に応じて火災の発生の有無を判断すると共に火災と判断したときにはその旨を警報して消火装置に消火作業を指示する制御部とを備えて構成されている。監視領域内において複数の場所で空気を取り込むときには、エアサンプリング管は複数本に分岐されて監視領域に配設される。
【０００４】
消火装置は、監視領域に配設された消火ガス供給管と、この消火ガス供給管に複数設けられ監視領域内に消火ガスを噴射する噴射ノズルと、監視領域外に延出された消火ガス供給管に接続されて消火ガスを供給する消火ガス供給部と、前記煙感知装置の制御部からの消火作業を指示する信号を受けて消火ガス供給部から消火ガスを消火ガス供給管に供給する制御部とを備えて構成されている。監視領域内において複数の場所で消火ガスを噴射させるときには、消火ガス供給管は複数本に分岐されて監視領域に配設される。
【０００５】
この消火システムの煙感知装置と消火装置とは、互いに独立した装置であって、各制御部間で消火作業指示信号等のやり取りをする以外は、互いに独立して構成され、独立して作動する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前述のような消火システムでは、監視領域に消火装置の消火ガス供給管と煙感知装置のエアサンプリング管とをそれぞれ配設しなければならないため、配設作業に手間がかかると共にコストも嵩む。
【０００７】
また、監視領域の内部に配管や配線等が既に多数存在する場合、例えば半導体製造装置を構成する個々の機器等においては、前記消火ガス供給管とエアサンプリング管を新たに配設する部分が大幅に制約されてしまう。
【０００８】
さらに、監視領域の側においては、前記消火ガス供給管及びエアサンプリング管が配設されることで、その後設けられる配管等であって本来その監視領域内に必要な配管等の配設スペースが制約されてしまう。
【０００９】
本発明は以上の点に鑑みてなされたもので、限られたスペースに他の配管等の配設を制約せずに容易にかつ確実に配設できる安価な消火システムを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために第１の発明に係る消火システムは、監視領域に配設された配管を介して当該領域内の空気を吸引して煙の存在を感知する煙感知装置と、この煙感知装置で煙を感知して火災と判断したとき監視領域に配設された配管を介して消火剤を供給して消火作業を行う消火装置とを備えた消火システムにおいて、
前記煙感知装置の配管と消火装置の配管とを共用すると共に、該配管から煙感知装置側に延びる分岐管に、上記消火装置側の消火剤供給圧力を受けて閉塞する常開弁を備えたことを特徴とする。
【００１１】
第２の発明に係る消火システムは、監視領域内の空気を取り込んで煙の存在を感知する煙感知装置と、この煙感知装置で煙を感知して火災と判断したとき監視領域に消火剤を供給して消火作業を行う消火装置とを備えた消火システムにおいて、前記煙感知装置が、前記監視領域に配設された配管と、この配管に設けられ監視領域内の空気を吸引する吸引ノズルと、前記配管に接続され監視領域内の空気から煙の有無を感知する煙感知器とを備えてなり、前記消火装置が、前記監視領域に配設された配管と、この配管に設けられ監視領域内の火災発生位置に消火液を噴射する噴射ノズルと、前記配管に接続され火災発生に応じて消火剤を配管に供給する消火剤供給部とを備えてなり、前記煙感知装置の配管と消火装置の配管とを共用すると共に、該配管から煙感知装置側に延びる分岐管に、上記消火装置側の消火剤供給圧力を受けて閉塞する常開弁を備えたことを特徴とする。
【００１２】
前記第１の発明では、煙感知装置の配管と消火装置の配管とを共用しているので、１本の配管だけが監視領域に配設される。これにより、監視領域内への配管の配設が容易になると共に、既存の配管や配線等及び後に配設される監視領域に必要な配管等の配設を制限しない。さらに、常開弁は、消火作業開始によって消火装置の消火剤供給管に消火剤が供給されることで、その圧力を取り込んで電気的な制御なしに自動的に弁を閉じ、火災発生位置に消火液を噴射することができる。
【００１３】
第２の発明では、煙感知装置の配管と消火装置の配管とを共用すると共に、吸引ノズルと噴射ノズルも共用したので、配管を１本にできると共にノズルの配設数を減らすことができ、消火システムの配設の手数が減少する。さらに、常開弁は、消火作業開始によって消火装置の消火剤供給管に消火剤が供給されることで、その圧力を取り込んで電気的な制御なしに自動的に弁を閉じ、火災発生位置に消火液をノズルから噴射することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。なお、本実施形態では、消火システムが半導体製造ラインの各装置にそれぞれ配設されて各装置を個別に監視する場合を例に説明する。
【００１５】
半導体製造ラインは、図１に示すように、半導体ウエハ（図示せず）の表面にコーティングを施すコーター１や、半導体ウエハを洗浄する洗浄機２等を有して構成されている。この他にも複数の装置が配設されている。コーター１は、半導体ウエハを載置する回転テーブル３、この回転テーブル３で半導体ウエハをコーティングした後の廃液を溜める廃液タンク４、コーティング液を溜めた給液タンク５等を有して構成されている。洗浄機２は洗浄液を溜めた給液タンク６、洗浄した後の廃液を溜める廃液タンク７等を有して構成されている。これらコーター１及び洗浄機２はケース８，９によって覆われており、その内部で可燃性の液体等が使用されている。
【００１６】
消火システム１１は、監視領域であるコーター１、洗浄機２及びその他の装置内の空気を取り込んで煙の存在を感知する煙感知装置１２と、この煙感知装置１２で煙を感知して火災と判断したとき消火剤を供給して消火作業を行う消火装置１３とを備えて構成されている。
【００１７】
煙感知装置１２は、コーター１及び洗浄機２等からサンプリングエアを取り込んでくるサンプリング管１５と、このサンプリング管１５に接続され内部に取り込まれた空気から煙の存在を感知する煙感知器１６とを備えている。
【００１８】
サンプリング管１５は、途中で４本の分岐管１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄに分岐されて４つの装置（コーター１及び洗浄機２等）まで配設されている。なお、半導体製造ラインの各装置が５つ以上ある場合には、サンプリング管１５は５本以上に分岐される。各分岐管１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄはそれぞれヘッダー１７を介して配管１８に接続されている。この配管１８はコーター１及び洗浄機２等の監視領域にそれぞれ延設されている。さらにこの配管１８は、各監視領域内で複数の場所を監視するために複数本配設されている。コーター１及び洗浄機２においては、回転テーブル３、給液タンク５、給液タンク６及び廃液タンク７等に延出して５本ずつ配設されている。これら５本の配管１８はヘッダー１７に接続され、このヘッダー１７を介してサンプリング管１５に接続されている。各配管１８の先端にはその近傍の空気を吸引するノズル１９が設けられている。
【００１９】
サンプリング管１５のうち各分岐管１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄへの分岐部分には、各分岐管を開閉する開閉弁２０がそれぞれ設けられている。この各開閉弁２０は火災の監視を行う場所を適宜選択するためのものである。即ち、各分岐管１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄを選択的に開閉することにより、火災の監視を行う場所に延びた分岐管を開き、監視を行わない場所に延びた分岐管を閉じる。
【００２０】
分岐管１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄのうちヘッダー１７近傍には切換弁２１が設けられている。この切換弁２１は、常開弁であって、消火装置１３側の消火剤供給圧力を受けて閉塞するようになっている。具体的には、通常の状態では弁が開放して各分岐管１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄと配管１８とがヘッダー１７を介して連通しており、消火作業開始によって消火装置１３の消火剤供給管３１に消火剤が供給されると、その圧力を各分岐管３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄに接続されたパイロット管２２を介して取り込んで弁を閉じるようになっている。サンプリング管１５には、その内部に取り込んだ空気の流量を調整する流量調整弁２３が設けられている。
【００２１】
煙感知器１６は、サンプリング管１５に接続され監視領域から空気を吸引するファン２５と、このファン２５で吸引した空気を蓄えるチャンバ２６と、このチャンバ２６に接続されて煙の有無を感知する煙感知部２７とから構成されている。なお、チャンバ２６の排出側は戻り配管２８を介してコーター１に戻されている。
【００２２】
消火装置１３は、消火剤を供給する消火剤供給管３１と、この消火剤供給管３１に接続され火災発生に応じて消火剤を消火剤供給管３１に供給する消火剤供給部３２とを備えている。消火剤供給部３２は、消火剤を溜めた２本の消火剤ボンベ３４によって構成されている。この消火剤ボンベ３４内に充填する消火剤としては、通常二酸化炭素等の消火ガスが用いられるが、泡状の消火剤や消火液等の他の消火剤が用いられる場合もある。
【００２３】
消火剤供給管３１は、消火剤供給部３２とヘッダー１７とを接続して設けられている。これによって、煙感知装置１２のサンプリング管１５と消火装置１３の消火剤供給管３１とがそれぞれ配管１８に接続され、監視領域内において１本の配管１８を共用している。図１においては、ヘッダー１７が４つ設けられているため、消火剤供給管３１は４本に分岐され、各分岐管３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄが各ヘッダー１７に接続されている。各分岐管３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄには、それぞれの管を開閉する開閉弁３５が設けられている。この各開閉弁３５は、通常閉じており、火災が発生して消火作業を行う際に選択的に開放されるようになっている。
【００２４】
分岐管３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄのヘッダー１７近傍にはシール膜３７がそれぞれ設けられている。このシール膜３７は、各分岐管３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄを遮断する薄膜によって構成されている。通常状態においてはこのシール膜３７によって消火装置１３の消火剤供給管３１側を、煙感知装置１２のサンプリング管１５及び配管１８側から遮断している。そして、消火装置１３で消火作業を行う際に、各分岐管３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄに高圧の消火剤が供給されることで、このシール膜３７が破られて、配管１８側供給されるよになっている。このとき消火剤の圧力は、シール膜３７に作用すると共に、パイロット管２２を介して切換弁２１に伝わり、この切換弁２１を閉じるようになっている。
【００２５】
配管１８を通って監視領域に供給された消火剤を噴射させる噴射ノズルとしてはノズル１９が用いられ、煙感知装置１２側と共用している。
【００２６】
煙感知装置１２の開閉弁２０、流量調整弁２３、ファン２５及び煙感知部２７と、消火装置１３のファン２５はそれぞれ制御部（図示せず）に接続され、この制御部によって全体が制御されている。
【００２７】
［作用］
以上のように構成された消火システム１１は次のように作用する。
【００２８】
通常の監視状態では、開閉弁２０及び切換弁２１が開いており、サンプリング管１５と配管１８とが接続されている。消火剤供給管３１側はシール膜３７で遮蔽されている。煙感知装置１２のファン２５が駆動されると、ノズル１９からコーター１等の監視領域内の空気が取り込まれる。この空気は、配管１８、分岐管１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ及びサンプリング管１５を介してファン２５に吸引されてチャンバ２６に送られる。チャンバ２６に流入した空気は煙感知部２７によって煙の有無が監視される。チャンバ２６から排出された空気は、戻り配管２８を介してコーター１に戻される。
【００２９】
煙感知部２７で煙の存在を感知した場合は、制御部がその濃度等により火災発生か否かを判断する。この制御部で火災発生と判断したときには、消火装置１３に消火作業開始を指示する。
【００３０】
消火装置１３では、火災発生位置に対応した監視領域に延びている分岐管（３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄのいずれか）の開閉弁３５が開かれる。これにより、消火剤ボンベ３４内の高圧の消火剤がその分岐管に流入してヘッダー１７近傍まで達すると、その圧力でシール膜３７が押される。これと同時にパイロット管２２を介して切換弁２１にも圧力が伝わり、この切換弁２１が閉じられる。次いで、シール膜３７が消火剤の圧力に耐えられなくなって押し破られる。これにより、消火剤はヘッダー１７を通過して配管１８に供給される。このとき、消火剤は分岐管１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄにも流入しようとするが、切換弁２１が閉じられているため、配管１８側にのみ流入する。配管１８に流入した消火剤は火災発生位置の監視領域に供給されてノズル１９からその内部に噴出されて消火作業が行われる。
【００３１】
［効果］
以上のように、煙感知装置１２のサンプリング管１５と消火装置１３の消火剤供給管３１とをヘッダー１７を介して配管１８に接続したので、即ちサンプリング管１５及び消火剤供給管３１として１種類の配管１８で共用したので、各監視領域に配設される部分は１種類の配管１８のみとなる。さらに、煙感知装置１２側の吸引ノズルと消火装置１３側の噴射ノズルとを１種類のノズル１９で共用した。このため、配管１８等の配設作業が容易になる。
【００３２】
限られたスペースに配設できるため、既存の配管や配線等及び後に配設されるコーター１及び洗浄機２等に必要な配管等の配設を制限することがなくなる。
【００３３】
さらに、配管１８及びノズル１９を共用するので、部品点数が減少すると共に、配設作業の手間も減少させることができる。これにより、コスト低減を図ることができる。
【００３４】
［変形例］
煙感知装置１２側及び消火装置１３側の配管の共用は、コーター１及び洗浄機２等の監視領域内だけでも各装置１２，１３の近傍まででもよい。即ち、前記実施形態のように、監視領域の近くまで各分岐管１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ，３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄを配設して監視領域内だけを１本の配管１８で共用するようにしてもよく、各装置１２，１３の近傍で各分岐管を１本の配管１８に接続し、監視領域まで及び監視領域内を１本の配管で共用するようにしてもよい。
【００３５】
本実施形態では、消火システム１１を半導体製造ラインの各装置にそれぞれ配設した場合を例に説明したが、半導体製造装置が格納された工場、コンピュータ室、クリーンルーム、通常の建物の部屋等の他の監視領域に設置しても前記同様の作用、効果を奏することができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の消火システムによれば次のような効果を奏することができる。
【００３７】
煙感知装置及び消火装置の配管及びノズルを共用したので、監視領域の限られたスペースに他の配管等の配設を制約せずに、消火システムの配管を容易にかつ確実に配設することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る消火システムを示す概略構成図である。
【符号の説明】
１：コーター、２：洗浄機、１１：消火システム、１２：煙感知装置、１３：消火装置、１５：サンプリング管、１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ：分岐管、１８：配管、１９：ノズル、３１：消火剤供給管、３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄ：分岐管。
【図１】
0003859756.tif 000002