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(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の入出力ポートとドレンポートが形成されたスリーブの内部で電磁部により駆動されるスプールに電磁部への油道が形成された油圧制御用電磁弁の電磁部の電流と油圧変化の関係を検査する方法において、入出力ポートとドレンポートにそれぞれ配管を接続するとともにドレンポート同士を共通回路とした油圧回路を形成し、検査前に、入力ポート以外の全てのポートに接続される油圧回路を閉回路とし、電磁部への電力供給を周期的にＯＮ・ＯＦＦ制御することを特徴とした油圧制御用電磁弁検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、油圧制御用電磁弁の検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
油圧制御用電磁弁では、寸法安定とコスト低減を目的としてメッキ処理しない鋼材部品が含まれ、その部品の防錆と、電流−油圧特性の安定性とを狙い、電流−油圧特性の検査前に、電磁部の内部にも作動油が充満するように、電磁弁に接続された配管を全て閉回路として、真空ポンプにより、弁部及び電磁部内部を真空にしてから、油圧入力ポートを開として、作動油を充満していた。なお、電流−油圧特性検査そのものは公知であり、説明を省略する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来方法では、真空にするために、真空ポンプ・真空切替用電磁弁及び周辺油圧回路が必要となり、配管及び制御が繁雑になるとともにコストが上昇する問題があった。そこで、本発明は、繁雑な油圧回路の必要がなく、コストも低減することができる油圧制御用電磁弁検査方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項に示した通りである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を説明するが、それはあくまで本発明に基づいて採択された例示的な実施形態であり、本発明をその実施形態に特有な事項に基づいて限定解釈してはならず、本発明の技術的範囲は、請求項に示した事項さらにはその事項と実質的に等価である事項に基づいて定めなければならない。
【０００６】
図示の実施形態において、１は作動油が所定量貯えられた作動油タンク、２はポンプ、３はポンプ駆動用のモーター、４はリリーフ弁、５はフローコントロールバルブ、６は流量計、７は回路開閉弁、８は出力回路開閉弁、９は出力回路開閉弁、１０は回路開閉弁、１１は電力供給装置、１２は入力ポート、１３は出力ポート、１４は出力ポート、１５はドレンポート、１６はドレンポート、１７は油圧配管、１８は油圧配管、１９は油圧配管、２０はスプール、２１は油道、２２は５ポート４方弁油圧制御用電磁弁、２３は電磁弁の電磁部でスプール２０を駆動するもの、２４は油圧配管、２５はスプール２０の移動を許容するスリーブである。
【０００７】
油圧回路に関して説明を加えると、入力ポート１２に接続された油圧配管２４に回路開閉弁７を有し、電磁部２３のＯＦＦ時（図１参照）に作動油が出力される出力ポート１３に接続した油圧配管１７に出力回路開閉弁８を有し、電磁部２３のＯＮ時（図２参照）に作動油が出力される出力ポート１４に接続した油圧配管１８に出力回路開閉弁９を有し、出力ポート１３に通じ得るドレンポート１５と、出力ポート１４に通じ得るドレンポート１６には共通に回路開閉弁１０が配置されている。
【０００８】
電磁弁２２の電流−油圧特性検査前には、出力回路開閉弁８・出力回路開閉弁９・回路開閉弁１０を閉とし、回路開閉弁７を開として、油圧配管２４に作動油を通す。すると図１の状態では、出力ポート１３に接続された油圧配管１７には、ポンプ２で発生した油圧が加わる。次に、電力供給装置１１を作動してその電力で電磁部２３をＯＮにすると、スプール２０は下降して図２の状態になり、油圧配管１７内で圧力が維持されていた作動油はドレンポート１５から油圧配管１９に移動するとともに、スプール２０に形成された油道２１を通り、電磁部２３の内部に充満されていく。同様に、電磁部２３への電力供給ＯＮ時に出力ポート１４に接続された油圧配管１８にはポンプ２で発生した油圧が加わり、次に、電磁部２３への電力供給をＯＦＦにすると、油圧配管１８内で圧力が維持されていた作動油はドレンポート１６から油圧配管１９に移動し、油圧配管１９を通じてドレンポート１５と油道２１を通り、電磁部２３の内部に充満していく。これを数回繰り返すことで、電磁部２３の内部は作動油で充満される。
【０００９】
以上の実施形態は、複数の入出力ポート１２、１３、１４とドレンポート１５、１６が形成されたスリーブ２５の内部で電磁部２３により駆動されるスプール２０に電磁部２３への油道２１が形成された油圧制御用電磁弁２２の電磁部２３の電流と油圧変化の関係を検査する方法において、入出力ポート１２、１３、１４とドレンポート１５、１６にそれぞれ配管２４、１７、１８、１９を接続するとともにドレンポート１５、１６同士を共通の配管１９により共通回路とした油圧回路を形成し、検査前に、入力ポート１２以外の全てのポート１３、１４、１５、１６に接続される油圧回路を閉回路とし、電磁部２３への電力供給を周期的にＯＮ・ＯＦＦ制御することを特徴とした油圧制御用電磁弁検査方法であり、電磁部２３への電力供給を周期的にＯＮ・ＯＦＦ制御することで、容易に電磁部２３の内部に作動油を充満でき、防錆面でも優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】電磁部ＯＦＦ時の状態図
【図２】電磁部ＯＮ時の状態図
【符号の説明】
７  回路開閉弁
８  出力回路開閉弁
９  出力回路開閉弁
１０  回路開閉弁
１１  電力供給装置
１２  入力ポート
１３  出力ポート
１４  出力ポート
１５  ドレンポート
１６  ドレンポート
１７  油圧配管
１８  油圧配管
１９  油圧配管
２０  スプール
２１  油道
２２  油圧制御用電磁弁
２３  電磁部
２４  油圧配管
２５  スリーブ
【図１】
0003792119.tif 000002
【図２】
0003792119.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の裏面側に凹部と該凹部内の中心に貫通孔が設けられ、前記凹部内に前記貫通孔より大径で、熱電対温接点を溶着した金属製の保持板がその裏面を前記基板裏面と同一面となるように収容されると共に熱電対素線が前記貫通孔の表面側を覆う蓋板を通して外部に引出され、前記凹部と前記貫通孔の内部及び前記蓋板上面が耐熱性無機質セメントによって充填被覆されてなる熱電対ウエハセンサ。
【請求項２】
凹部と貫通孔及び保持板が円形でなる請求項１記載の熱電対ウエハセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、シリコンウエハ等、板状体の表面温度を測定するための熱電対ウエハセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
熱処理炉内のウエハ表面温度を熱電対で測定するウエハセンサとして、ウエハの片面に形成した凹部に熱電対の測温接点を位置させると共にこの凹部内に穿設した複数の素線貫通孔を通して素線を引出して無機質セメントで埋設固定したものが知られている（特開平１１−５１７７６、同２０００−１１１４１８）。
一般に無機質セメントは、シリコン（ウエハ）に対して接合力が弱いためセメントと温接点が凹部から脱落し易い欠点がある。
このため凹部を断面楔形にしたり、多数の貫通孔を設けて素線を折返したりすることが行われている（特開平１１−５１７７６）が、ウエハ自体の強度を低下させる他、ウエハの加工が困難である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、多数の熱電対温接点をウエハ基板の板面上に散在させて測温精度と感度を高めると共に温接点と固着セメントの脱落防止手段を基板の表裏両面に構成して丈夫な測温ウエハその他の平板状温度センサを提供するものである。
【０００４】
【課題を解決する手段】
本発明熱電対ウエハセンサは、シリコンウエハなどの基板の裏面側に凹部を形成すると共にその中心に貫通孔を形成して取付け部とし、この凹部内に前記貫通孔より大径で、熱電対温接点を溶着した金属製の保持板をその裏面が前記基板裏面と同一面となるように収容し、更に熱電対素線が前記貫通孔の表面側を覆う蓋板を通して外部に引出され、前記凹部と貫通孔の内部及び前記蓋板上面を耐熱性無機質セメントによって充填被覆して構成される。
熱電対温接点を溶着した保持板は、貫通孔より大きく形成されて基板の凹部内に収容され、貫通孔の表面側を覆う蓋板と共に取付け部内に充填されるセメントによって固着一体化されるので遥動したり脱落したりする恐れはない。
温接点保持板としては白金薄板が好適であり、蓋板はアルミナ又はシリカなどのセラミック材が好適である。熱電対素線は、セメントや蓋板によって絶縁されて外部に引き出されるが、碍子を介して外部に引出してもよい。
【０００５】
【発明の実施の形態】
図中、１はシリコンウエハ又はガラス板などの基板（厚さ約０．５ｍｍ）、２は表面、３は裏面、４は熱電対取付け部である。
５は、基板の裏面に設けた凹部（直径３．０ｍｍ、深さ０．３ｍｍ）
６はその中心に貫設した貫通孔（直径１．２ｍｍ）である。
凹部５と貫通孔６は、例えば超音波加工機によって形成される。
７は、白金等の金属薄板（厚さ０．２ｍｍ、直径２．５ｍｍ）でなる埋め込み保持板であって、その直径は凹部５の直径より小さく、貫通孔６の直径より大きい。また、金属薄板の底面は基板底面と同一面として形成される。
８は、金属薄板の中心に設けた素線掛止孔であって、例えばアルメルクロメルなどの熱電対素線Ａ，Ｂの端部を溶接（ＴＩＧ溶接）して温接点とする。この掛止孔は、温接点の溶接形成に便利であるが、掛止孔を設けず、温接点を薄板の表面側に溶着してもよい。
９は厚さ０．２〜０．３ｍｍの蓋板であってセラミック材で構成され、貫通孔６より大径で一対の素線挿通部１０が形成されている。
蓋板と素線挿通部の形状は、図の実施例に限らず、Ｃ形、Ｅ型等任意である。Ｍは、凹部５及び貫通孔６を充填し、更に蓋板９を覆う固着用耐熱セメントであって充填塗布して自然乾燥後、熱硬化させる。
【０００６】
本発明センサは、熱電対接点Ｃが基板裏面に露出している金属保持板に溶着されて凹部に収容されると共に基板表面上の蓋板と一体に形成されているから脱落のおそれがない上、基板裏面に露出している金属保持板が伝熱薄板として機能するから感度がよく、基板表面温度を忠実に測定できる。
本発明センサは、円形板体に限らず、液晶パネルなど方形板体のセンサとしても利用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板上の温接点配置平面図
【図２】温接点取付け部の断面図
【図３】蓋板の平面図
【図４】保持板平面図
【符号の説明】
１  基板
２  表面
３  裏面
４  取付け部
５  凹部
６  貫通孔
７  温接点保持板
８  掛止孔
９  蓋板
１０  素線挿通部
Ａ、Ｂ  素線
Ｃ  熱電対接点
Ｍ  無機質セメント
【図１】
0003792165.tif 000002
【図２】
0003792165.tif 000003
【図３】
0003792165.tif 000004
【図４】
0003792165.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部の左右方向の幅が上部の左右方向の幅に対して狭く形成        した本体と、この本体内に上部の幅が下部の幅に対して広い枠状のフレームを        設けてなるシートバックにおいて、 前記本体の下部左右両側面に、前倒れ装置        又はリクライニング装置からなる傾動装置を設け、この両傾動装置の外側に、        本体の一部を前記本体の下部とで傾動装置を左右に挟むように延設する傾              動装置被覆用の被覆部を設け、該被覆部は本体の発泡体製パッドと一体のサイド        パッドと、このサイドパッドを被覆する袋状の表皮とからなることを特徴とす        るシートバック構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車用シート（座席）のシートバック（背凭部）構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の自動車用シートのシートバックにはシートバックの下部左右両外側面を内方に向けて凹窪状に形成し、この凹窪状に形成した部分に、リクライニング装置、前倒れ装置を取付けたものがある。
【０００３】
従って、シートバックの下部左右外側面に設けたリクライニング装置などの外面が露出している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そのため、リクライニング装置などが露出するため、リクライニング装置などを樹脂製カバーで被覆している。しかし、シートバックの下部における左右方向の幅が上部に対して狭いため、シートバック全体の外観品質が損なわれるなどの不具合があった。
【０００５】
そこで、本発明は斯様に左右両外側面にリクライニング装置などの傾動装置を備え、このリクライニング装置などを有する部分の左右の幅が上部の幅に対して狭く形成してなるシートバックにおいて、外観品質を向上させることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するための本発明に係るシートバックは、下部の左右方向        の幅が上部の左右方向の幅に対して狭く形成した本体と、この本体内に上部の        幅が下部の幅に対して広い枠状のフレームを設けてなるシートバックにおいて、        前記本体の下部左右両側面に、前倒れ装置又はリクライニング装置からなる傾        動装置を設け、この両傾動装置の外側に、本体の一部を前記本体の下部とで傾        動装置を左右に挟むように延設する傾動装置被覆用の被覆部を設け、該被覆        部は本体の発泡体製パッドと一体のサイドパッドと、このサイドパッドを被覆        する袋状の表皮とからなることを特徴とする構成である。
【０００７】
以上の構成により、左右に設けた傾動装置は、本体と一体の被覆部によって被覆され、左右の被覆部によってシートバックの下部左右の間の幅が上部と同一となり、シートバックの外観品質を向上させることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の一形態を図面に基づいて説明する。
図１乃至図３は、本発明に係るシートバックＳＢを備えた自動車用シートのリャシートを示し、図１はシートの使用可能状態、図３はシートバックＳＢをシートクッションＳＣ上に前倒した状態を各々示す。以上のシートバックＳＢはシートクッションＳＣに傾動装置Ｒによって矢印方向である前倒方向に前倒れ又は前傾可能に連結されている。
【０００９】
シートバックＳＢは、図１に示すように、本体１下部の左右方向の幅Ｗ1が        上部の左右方向の幅Ｗ2に対して狭く形成されている。そして、この本体１内        には本体１の外周に沿うように、上部の幅が下部の幅に対して広い枠状のフレ        ーム１２が設けてある。また、その本体１の下部左右には、前倒装置又はリク        ライニング装置などの傾動装置Ｒ、Ｒが装着されている。この傾動装置Ｒ、Ｒ        は図示するが如く、本体１の下部と後述する傾動装置Ｒ、Ｒ被覆用の被覆部２、        ２とによって左右に挟まれる。
【００１０】
この各傾動装置Ｒ、Ｒの外面は、本体１と一体成形した被覆部２、２によって被覆されている。
本体１は従来のシートバックと同様にフレーム１２などの支持部材と、モールド加工した発泡体製パッド１０と、このパッド１０を被包するトリムカバー１１、１１Ａ、１１Ｂとから構成されている。
【００１１】
前記被覆部２は、本体１のパッド１０と一体にモールド成形したサイドパッド２０と、このサイドパッド２０を被覆する袋状の表皮２１とから構成されている。
【００１２】
この表皮２１は、前記本体１のトリムカバー１１、１１Ａに一体に形成され、本体１のトリムカバー１１と同様に前面部２１Ａが接着剤２１Ｂによってサイドパッド２０の前面２０Ａに接着されている。
【００１３】
図中１１は本体１のトリムカバーの身頃部、１１Ａは同まち部、１１Ｂは後まち部で、その端末にはファスナーの雄体１１Ｂ′が縫着され、本体１の背裏を構成する後身頃部１１Ｃに一体に連結されている。図中Ｒ1は傾動装置Ｒのロック解除用操作レバーを示す。
【００１４】
以上のサイドパッド２０は図４に示すように本体１のパッド１０と一体に成形され、パッド１０とサイドパッド２０の各々の着座面１０Ａ、２０Ａに接着剤を塗布する。そして、パッド１０の着座面１０Ａを本体１のトリムカバーの身頃部１１内面に、また、サイドパッド２０を被覆部２の袋状の表皮２１内に挿入し、パッド１０、サイドパッド２０を身頃部１１、表皮２１の着座部２１Ａに加圧して接着する。次に、まち部１１Ａ、後まち部１１Ｂをパッド１０に当てた後、前記後身頃部１１Ｃを取付けると、図１、図３に示すシートバックＳＢが組立てられる。
【００１５】
【発明の効果】
本発明によれば、シートバックの下部左右に有する傾動装置が本体と一体の被覆部によって被覆されるため、シートバックの外観品質が向上する。
【００１６】
しかも、この被覆部により、シートバックの上下部における左右方向の幅を同一に形成できるため、更にシートバックの外観品質を向上させることができる。
【００１７】
更に、表皮はあらかじめ袋状に縫製され、接ぎ合わせのための縫い代等が外部        に露出することがないため、更に、シートバックの外観品質を向上させることが        できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るシートバックからなる自動車用シートの斜視図である。
【図２】図１のＡ部の拡大部分切欠図である。
【図３】図１にシートバックを前倒した状態の部分切欠斜視図である。
【図４】分解部分斜視図である。
【符号の説明】
ＳＢ      シートバック
Ｒ      傾動装置
１      本体
２      被覆部
２０      サイドパッド
２１      表皮
【図１】
0003792622.tif 000002
【図２】
0003792622.tif 000003
【図３】
0003792622.tif 000004
【図４】
0003792622.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
施工前にあらかじめ拡径されたゴム絶縁筒を、電力ケーブルの導体接続部上に収縮施工する形式の接続方法に用いる拡径支持パイプにおいて、
拡径支持パイプが長て方向に分割可能であり、及びそれぞれが半円状に縦割可能であり、この分割パイプの引き抜き方向の前端の外周に凸面と凹面を設け、後端の内周に凸面と凹面を設けて各分割パイプの長手方向の引っ掛け構造を形成してあり、かつ最終の分割パイプの後端に、前記ゴム絶縁筒内面の応力集中を緩和するためのスロープ部材を取り付けていることを特徴とする拡径支持パイプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、あらかじめ成形されたゴム絶縁筒を拡径してケーブルに挿通し、ケーブル導体接続部上に装着するＣＶケーブル等のプラスチック絶縁電力ケーブルの接続部形成方法に用いる拡径支持部材の提供に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＶケーブル等の接続部において、近年、接続時間が短く、簡単に接続可能な、内部半導電層、絶縁層、外部半導電層で形成されたゴム絶縁筒を用いた接続部が、多く用いられている。この接続部の形成において、導体接続部の上に前記のゴム絶縁筒を被せる場合、施工前に電力ケーブルの外径より大きく拡径してケーブル上に被挿し後、ケーブルの導体接続を行い、この導体接続部上に当該ゴム絶縁筒を収縮施工することが行われている。
【０００３】
しかして、ゴム絶縁筒の拡径及び収縮は、ゴム絶縁筒の中に拡径パイプを装填しておき、これを引き抜くことで収縮するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような接続部形成において、接続作業スペースの縮小化のニーズが大きい。この作業の例として、特開平９−２００９２５号公報に示されるように、拡径パイプを軸方向に２分割し、引抜きに際しては、それぞれのパイプの外部端部に設けた引抜き手段により、それぞれ軸方向に個別に反対方向に引抜く方法が開示されている。この方法は接続作業スペースの縮小化のニーズに或る程度寄与するものであるが、作業能率の面からは同一方向に引き抜く方がよい。また、引き抜きの際に、拡径パイプの引き抜き終り端部にエッジが発生した場合にはゴム絶縁筒内面が損傷する恐れがある。
【０００５】
本発明の目的は、拡径パイプを用いた電力ケーブルの接続部の形成において、接続作業スペースの縮小化と作業コストの低減を図ることができるとともに、接続部の品質面での危惧のない電力ケーブルの接続方法に用いる拡径支持パイプを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明により提供するプラスチック絶縁電力ケーブルの接続部形成方法において用いる拡径支持パイプは、長て方向に分割可能であり、及びそれぞれが半円状に縦割可能であり、この分割パイプの引き抜き方向の前端の外周に凸面と凹面を設け、後端の内周に凸面と凹面を設けて各分割パイプの長手方向の引っ掛け構造を形成してあり、かつ最終の分割パイプの後端に、前記ゴム絶縁筒内面の応力集中を緩和するためのスロープ部材を取り付けていることを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図３は本発明の接続部の形成方法において、ゴム絶縁筒に拡径支持パイプを挿入する工程の説明図である。図において、拡径支持パイプ１は長て方向に３分割１ａ，１ｂ，１ｃされており、先端には尖頭部材２を具えられており、後端には押し部材３により支持されておる。押し部材３には自在キャスター（４）が具えられて移動可能となっており、拡径支持パイプ１の内部に通された油圧シリンダからの延長棒５に固定されておる。油圧シリンダ６を操作することにより、押し部材３は図の左方向へ移動し、ゴム絶縁筒１０は拡径支持パイプ１の尖頭部材２を経て、拡径支持パイプ１上に挿入されていく。この際、油圧シリンダからの延長棒５は芯出しされた状態であり、拡径支持パイプ１は水平に挿入される。なお、符号７は拡径ヘッド支持金具である。
【００１０】
図１は本発明の接続部の形成方法において、拡径支持パイプにより拡径されたゴム絶縁筒がケーブル導体接続部上に位置せしめた後、前記拡径支持パイプを引抜く工程の説明図である。なお、上述した図３と同一部位には同一符号を付してある。ゴム絶縁筒１０をケーブル導体接続部Ａ上に位置せしめた後、拡径支持パイプ１の分割された引抜き方向先端のパイプ１ａの端部に環状フランジ１２を取付け、環状フランジ１２には油圧シリンダー６の押し棒５が固定されて矢印の方向に引抜いていく。そして、分割位置が現れたとき、パイプ１ａを取り外す。同様にして、分割位置が現れたとき、パイプ１ｂを取り外す。
【００１１】
また、拡径支持パイプ１の最終分割パイプであるパイプ１ｃの後端にスロープ部材１１を取り付けられる。このスロープ部材１１は、引き抜く際に、ゴム絶縁筒１０の内面が拡径支持パイプ１のエッジで傷がつかないようにするためにゴム絶縁筒１０内面の応力集中を緩和するものである。
【００１２】
また、分割パイプ１ａ，１ｂ，１ｃは、図２に示すように、引き抜き方向の前端外周に凸面２１と凹面２２を設けられ、後端内周に凸面２３と凹面２４を設けて、長手方向の引っ掛け構造が形成されている。さらに、図の（ロ）に示すように各分割パイプは縦に半割可能となっている。
【００１３】
各分割パイプは上述のような構成であるので、引き抜きの過程で順次分割パイプを取り外すことが容易となる。
【００１４】
このようにして、拡径支持パイプ１が引抜かれたゴム絶縁筒１０は自己収縮力により収縮して、導体接続部Ａ及びケーブル絶縁体Ｂ上に密着して装着される。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、拡径支持パイプが長て方向に少なくとも２分割可能とされ、拡径支持パイプを引き抜きながら分割位置が現れたとき、順次分割パイプを取り外し可能としたので、例えば油圧シリンダーの動力を使用する場合、シリンダーのストローク長さは短くてすみ、機器を小型化できるとともに、作業スペースを縮小化できる。さらに、拡径支持パイプは何度も使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の絶縁部の形成方法において、ゴム絶縁筒から拡径支持パイプを引き抜く工程の説明図である。
【図２】本発明の接続部の形成方法において用いられる拡径支持パイプを構成する分割パイプの断面図である。
【図３】本発明の接続部の形成方法において、ゴム絶縁筒に拡径支持パイプを挿入する工程の説明図である。
【符号の説明】
１  拡径支持パイプ
２  尖頭部材
３  押し部材
４  自在キャスター
５  油圧シリンダー延長棒
６  油圧シリンダー
７  拡径ヘッド支持金具
１０  ゴム絶縁筒
１１  スロープ部材
１２  環状フランジ
【図１】
0003792563.tif 000002
【図２】
0003792563.tif 000003
【図３】
0003792563.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
HgCdTe、またはCdTe、またはCdZnTeからなる化合物半導体結晶を、Hg蒸気を含む雰囲気、または真空中で熱処理して該化合物半導体中に含まれるLiまたはNaからなる不純物元素を該化合物半導体結晶の表面に偏析させる工程と、該化合物半導体の表面層を除去する工程とを有することを特徴とする結晶製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は結晶製造方法に係り, 特に, Cd, Hg等の易蒸発性の成分元素を含む化合物半導体結晶の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記の易蒸発性の成分元素を含む化合物半導体結晶の成長の一般的な方法として，密封傾斜式の液相エピタキシャル結晶成長法を図４に示す。
【０００３】
石英反応管 1は支点 3で左右に傾斜する構造で, 石英反応管 1内の片側に設けられた基板ホルダ 2にCdTe (またはCdZnTe) 基板 4と, 支点 3の反対側に結晶成長用の合金(HgCdTe) 5を図示のようにセットする［図４（Ａ）］。
【０００４】
次いで, 石英管全体を所定の温度まで上昇させ，石英反応管を傾斜させることにより，基板に熔融合金を接触させると成長を開始する。
次いで, 石英管全体を所定の降温速度で一定時間をかけて降温させて，基板上にHgCdTe結晶を成長させる［図４（Ｂ）］。
【０００５】
次いで, 所定時間経過後に, 石英管を元通りに傾斜させることにより, 基板と熔融合金を引き離して成長を終了させる［図４（Ｃ）］。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記の方法により成長した結晶を使用してデバイスを作製すると, 結晶中の不純物 (Li, Na) の存在が原因となり，デバイス特性の一つである量子効率が低下するという問題が生じることがある。
【０００７】
本発明は易蒸発性の成分元素を含む化合物半導体結晶の高純度化を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題の解決は，
１）易蒸発性の成分元素を含む化合物半導体結晶を，該易蒸発性の成分元素を含む雰囲気中もしくは真空中で熱処理して該化合物半導体結晶中に含まれる不純物元素を該化合物半導体結晶の表面に偏析させる工程と，該化合物半導体結晶の表面層を除去する工程とを有する結晶製造方法，あるいは
２）前記易蒸発性の成分元素がHg, またはCdであり，前記化合物半導体結晶が
HgCdTe, またはCdTe, またはCdZnTeである前記１記載の結晶製造方法により達成される。
【０００９】
【作用】
本発明は，易蒸発性の成分元素を含む化合物半導体結晶を，該易蒸発性の成分元素を含む雰囲気中もしくは真空中で熱処理した場合に，熱作用により結晶中に含まれる不純物元素が結晶表面に偏析する事実をSIMS (二次イオン質量分析) の分析結果により確認してなされたものである。従って，熱処理後に結晶の表層部分を除去すれば高純度の結晶が得られる。
【００１０】
【実施例】
実施例１：
HgCdTe結晶中の不純物を除去するため，結晶をガラス管内にHgとともに入れ, 温度 200〜400 ℃で12〜48時間の熱処理をおこなう。
【００１１】
結晶の深さ方向全体に分布していたLi等の不純物が熱作用によって結晶表面に偏析する。その状態で表面層を研磨あるいはBr−メタノールを用いたエッチングにより除去すると, 不純物の少ない高純度の化合物半導体結晶が得られる。
【００１２】
以下，図１〜３は，SIMS法による分析例で, 結晶の深さ方向の不純物(Li)分布を示す。
図１(A),(B) は実施例１の説明図である。
【００１３】
図１(A) は密封傾斜式エピタキシャル法によるHgCdTe結晶の成長直後の不純物分布, 図１(B) は実施例１の処理後の不純物分布を示す。
この場合は, 結晶の表面より10μｍ程度除去すればよい。
【００１４】
実施例２：
CdTe (またはCdZnTe) 基板中の不純物を除去するため，基板をガラス管内に入れ, 真空中で温度 200〜800 ℃で 2〜10時間の熱処理をおこなう。
【００１５】
結晶の深さ方向全体に分布していたLi等の不純物が熱作用によって基板結晶表面に偏析する。その状態で表面層を研磨あるいはBr−メタノールを用いたエッチングにより除去すると, 不純物の少ない高純度の基板結晶が得られる。
【００１６】
図２(A),(B) は実施例２の説明図である。
図２(A) は基板の当初の不純物分布, 図２(B) は実施例２の処理後の不純物分布を示す。
【００１７】
この場合は, 結晶の表面より 5μｍ程度除去すればよい。
実施例３：
CdTe (またはCdZnTe) 基板中の不純物を除去するため，基板をガラス管内に入れ, HgCdTeの雰囲気中で温度 200〜800 ℃で 2〜10時間の熱処理をおこなう。
【００１８】
結晶の深さ方向全体に分布していたLi等の不純物が熱作用によって基板結晶表面に偏析する。その状態で表面層を研磨あるいはBr−メタノールを用いたエッチングにより除去すると, 不純物の少ない高純度の基板結晶が得られる。
【００１９】
図３(A),(B) は実施例３の説明図である。
図３(A) は基板の当初の不純物分布, 図３(B) は実施例３の処理後の不純物分布を示す。
【００２０】
この場合は, 結晶の表面より 2μｍ程度除去すればよい。
実施例では，赤外検出器として実用化されているHgCdTe結晶，CdTe (または
CdZnTe) 基板結晶について説明したが，その他の易蒸発性の成分元素を含む化合物半導体結晶についても，熱処理による不純物拡散機構が同等であると予想できるため本発明と同様の効果が期待できる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明によれば，HgCdTe結晶中の不純物(Li)濃度が1014cm-3オーダから
1012cm-3オーダに低減でき，高純度の化合物半導体結晶が得られる。
【００２２】
また，CdTe (またはCdZnTe) 基板中の不純物(Li)濃度が1014cm-3オーダから
1012cm-3オーダに低減でき，高純度の基板結晶が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施例１の説明図
【図２】  実施例２の説明図
【図３】  実施例３の説明図
【図４】  密封傾斜式の液相エピタキシャル結晶成長法の説明図
【符号の説明】
1 石英反応管
2 基板ホルダ
3 支点
4 CdTe (またはCdZnTe) 基板
5 結晶成長用の合金(HgCdTe)
6 HgCdTe結晶
【図１】
0003735881.tif 000002
【図２】
0003735881.tif 000003
【図３】
0003735881.tif 000004
【図４】
0003735881.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一平面にない既知の５点以上をトータルステーションで測定し、
測定時に再度前記既知の５点を前記トータルステーションで測定し、
これらの既知の５点以上の点の中から４点を一組として、複数組を取り出し、
各組を用いてトータルステーションの位置と姿勢のズレを補正するために前記各組に対応する座標変換係数を求め、
その後の測定において求めた水平角、鉛直角、斜距離を前記各組ごとの座標変換係数を用いて各計測点の位置を修正し、
各組ごとの修正した測定点の位置を平均化することを特徴とする、
トータルステーション測定方法における測定精度の向上方法。
【請求項２】
トータルステーションで測定した計測点の中に不動の点がある場合には、
この不動の点を次回の測定の既知の点に含めることを特徴とする、
請求項１記載のトータルステーション測定方法における測定精度の向上方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、トータルステーションによる測定精度の向上の方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
トータルステーションを用いて構造物の変状計測を行う場合、長期間にわたり計測器を同一場所に据え付けて測定を行うことになる。
【０００３】
【本発明が解決しようとする課題】
このような長時間連続測量を行うと、測量機を取り付けた架台などが温度その他の自然要因で微妙に傾斜・変位するなどの現象が現れる。そのため、高精度に測量しても測量結果に大きく影響を与える結果となる。
【０００４】
本発明は、上記したような従来の問題を解決するためになされたもので、トータルステーションによる測定精度の向上を得ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記のような目的を達成するために、本発明は、同一平面にない既知の５点以上をトータルステーションで測定し、測定時に再度前記既知の５点を前記トータルステーションで測定し、これらの既知の５点以上の点の中から４点を一組として、複数組を取り出し、各組を用いてトータルステーションの位置と姿勢のずれを補正するために前記各組に対応する座標変換係数を求め、その後の測定において求めた水平角、鉛直角、斜距離を前記各組ごとの座標変換係数を用いて各計測点の位置を修正し、各組ごとの修正した測定点の位置を平均化することを特徴とする、トータルステーション測定方法における測定精度の向上方法を特徴としたものである。
【０００６】
【本発明の実施の態様】
以下に、本発明のトータルステーションによる測定精度の向上の方法の実施例について説明する。
【０００７】
＜イ＞トータルステーションの変動の影響を排除する方法
例えば、トータルステーションを用いて構造物の変状測定を行う場合、測量機が自然要因で微妙に傾斜・変位し、測定結果に大きく影響を与える。これを排除するために、初期には水平に保たれていた座標系がある傾斜を持った座標系に変化する、この変化の割合をマトリックス演算を行い求める。求めた変化割合を水平状態での座標系に変換することでその影響を抑える。
【０００８】
いま図１のように、座標系が回転しているとする。ここで、式１と式２のように表すと、回転座標は、式３のようになる。なお、図１において、θ（章動の角）は、Ｚ軸とＺ’軸との成す角を示し、Ψ（歳差の角）は、ＸＹ平面とＸ’Ｙ’平面との交線ＯＡとＸ軸との成す角を示し、φ（回転の角）は、交線ＯＡとＸ’軸との成す角を示している。
【０００９】
【式１】
0003735829.tif 000002
【００１０】
【式２】
0003735829.tif 000003
【００１１】
【式３】
0003735829.tif 000004
【００１２】
変換のマトリックスは、式４となりる。
【００１３】
【式２】
0003735829.tif 000005
【００１４】
このマトリックスに平行移動成分を加えると、式５のマトリックス、即ち座標変換係数が得られる。
【００１５】
【式５】
0003735829.tif 000006
【００１６】
座標変換係数ｍは、４つの固定点座標の実測量値から計算する。よって、マトリックス座標変換は、式６により求める。
【００１７】
【式６】
0003735829.tif 000007
【００１８】
＜ロ＞既知の５点以上の点から４点の組の算出
このように、同一平面上にない既知の４点から式５の座標変換係数が求まり、トータルステーションで測定したターゲット点の位置（Ｘ’、Ｙ’、Ｚ’）が式６により求まる。
【００１９】
既知の点が５個以上の場合、４点の組合せが複数組できる点に着目し、複数組を計算機上で計算処理することで、式５の座標変換係数が複数求まり、複数回測定したと同じ結果を得ることができる。即ち、ｎ個の既知の点がある場合、組の個数は、組合せの計算からｎ！／（４！×（ｎ−４）！）となる。
【００２０】
例えば、既知の点ｎが５点の場合、４点の組合せの個数は５となる。又、既知の点ｎが６点の場合、４点の組合せの個数は１５となる。又、既知の点ｎが７点の場合、４点の組合せの個数は３５となる。
【００２１】
このように、既知の点とターゲット点を一通り一回測定するだけで、式５の座標変換係数が多数得られ、これらを平均化することで、ターゲット点の測定精度を著しく向上することができる。
【００２２】
ターゲット点が固定点の場合、次回の測定ではターゲット点を既知の点として扱えるので、既知の点を増やすことができる。
【００２３】
＜ハ＞トータルステーションによる測定。
トータルステーションの状況を特定するために、同一平面上にない５点以上の既知の点を測定して変換係数を求め、同時に１点以上のターゲット点をトータルステーションで測定する。
【００２４】
この既知の点について、式６を用いて、座標変換係数を求める。
【００２５】
既知の点が５点以上の場合、複数の座標変換係数が求まるので、平均化して最適な座標変換係数を算出する。
【００２６】
この最適な座標変換係数と式６を用いることにより、ターゲット点の位置をより精密に算出することができる。
【００２７】
ターゲット点が不動点である場合、次回の測定で既知の点に含め、更に測定精度を向上することができる。
【００２８】
【本発明の効果】
本発明は、以下のような効果を得ることができる。
＜イ＞５点以上の既知の点を測定するだけで、組合せの計算により、複数の座標変換係数が求められ、複数回測定したと同じ結果が得られ、測定精度を向上することができる。
＜ロ＞測定した未知の不動点を既知の点に含めることにより、既知の点を増やして、より精度を向上することができる。
＜ハ＞既知の点とターゲット点を一度に測定して、トータルステーションの状態の補正とターゲット点の測定が同時にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】座標変換の説明図
【図１】
0003735829.tif 000008
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着剤を裏面に塗布した熱収縮性で平板状のラベルを、貼り付けられる容器に回転を与えながら、オーバーラップさせて貼り付け、その後、容器の胴部を三点で支持し、容器に高速回転を与え、容器の側面から熱風を吹き付けることによって、遠心力によりラベルを真円状に保持しつつ、容器の形状に収縮させて密着させ貼り付けることを特徴とするラベルの貼り付け方法。
【請求項２】
粘着剤を裏面に塗布した熱収縮性で平板状のラベルの繰り出し機構と、貼り付けられる容器に回転を与える機構を備え、その容器にラベルをオーバーラップさせて貼り付けた後、その容器の胴部を三点で支持し、容器に高速回転を与える機構と、容器の側面から熱風を吹き付ける機構を設けたことを特徴とするラベルの貼り付け装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、ラベルを容器に貼り付ける方法およびその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来において、シュリンクラベル（加熱することによって収縮して容器に密着するラベル）を、各種容器に貼り付けるにあたっては、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、容器（Ｂ）にスリーブ状（筒状）のシュリンクラベル（ｓ）を上から装着して行うのであるが、この際、スリーブ状のシュリンクラベル（ｓ）は粘着剤などの接着剤を伴わず、折り畳まれて梱包されており、それを解包して使用することもあって、容器（Ｂ）に被覆されても真円状にはならない。また容器において、たとえば形状に部分的に大径部と小径部とがあるように表面形状に変化があると、それに添って充分に密着させるには、前記のようなスリーブ状に形成したシュリンクラベルを、一旦、容器に添うように、多少、大き目に収縮させ（プレ収縮の必要）、それを被覆させて後、加熱により密着を計るようにしている。しかしこのような容器は、部分的に径の大小などに変化があるものとして、それは口部分と胴部分の径が異なるとか、部分的に段付き状となっている容器が多いし、これらの変化やその段付きの度合が多い程、前記のようなシュリンクラベルを該当容器に密着させることが難かしく、それは貼り付けにあたり皺が寄ったり、歪みが生じたりすることが避けられない。したがってこのような容器の変化に添って、シュリンクラベルをその面に充分に密着させることは容易でなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、部分的に高い収縮率を有する容器であっても、それに平板状のラベルを皺や歪みなどを生ずることなく、充分に密着させて貼り付けることが容易に行えることを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
粘着剤を裏面に塗布した熱収縮性で平板状のラベルを、貼り付けられる容器に回転を与えながら、オーバーラップさせて貼り付け、その後、容器の胴部を三点で支持し、容器に高速回転を与え、容器の側面から熱風を吹き付けることによって、遠心力によりラベルを真円状に保持しつつ、容器の形状に収縮させて密着させ貼り付けることを特徴とするラベルの貼り付け方法、および粘着剤を裏面に塗布した熱収縮性で平板状のラベルの繰り出し機構と、貼り付けられる容器に回転を与える機構を備え、その容器にラベルをオーバーラップさせて貼り付けた後、その容器の胴部を三点で支持し、容器に高速回転を与える機構と、容器の側面から熱風を吹き付ける機構を設けたことを特徴とするラベルの貼り付け装置の構成とする。
【０００５】
【作用】
この発明は、容器を回転させながら、粘着剤を伴う平板状のラベルをオーバーラップして貼り付け、その後、この容器を高速回転させながら、熱風を吹き付けることによって、その容器にラベルを完全に密着させることができるので、部分的に径の大きく異なる容器でも、ラベルをその面に添って全面的に皺、歪みを生ずることなく充分に密着させることができる。
【０００６】
【実施例】
実施例について図面を参照して説明すると、図２はこの発明のラベル貼り付け装置（Ｋ）の容器送り出しホイール（Ｈ）において、裏面に粘着剤を塗布した平板状のラベル（Ｒ）が繰り出されて容器（Ｂ）に出会う点（Ｐ）に、容器（Ｂ）に廻転を与える回転ベルト（Ｖ１）を設け、容器（Ｂ）に回転を与え、ラベル（Ｒ）を容器（Ｂ）に巻き付けながら貼り付ける。（ｒ），（ｒ’）は容器（Ｂ）を後ろに支えるフリーローラーである。この間の操作を図３（ａ）〜図３（ｃ）に示す。ラベル（Ｒ）は図３（ｂ）において容器（Ｂ）にあてがわれ、容器（Ｂ）に巻き込み、図３（ｃ）に示すように、ラベル（Ｒ）の両端縁（ｅ），（ｅ’）が重なるようにして（オーバーラップ）、容器（Ｂ）に貼り付けられる。このオーバーラップ操作は、平板状のラベル（Ｒ）を貼り付けるに当たり、その両端縁（ｅ），（ｅ’）相互が開かないようにするために必要である。
【０００７】
図３（ｄ）は図３（ｃ）の上面図で、ラベル（Ｒ）がオーバーラップしている状態を示すものである。つぎに図４に示すように、容器（Ｂ）胴部に高速回転を与える高速回転ベルト（Ｖ２）を当てて、矢印方向に走らせて、容器（Ｂ）に高速回転［１００〜８００回／毎分］を与え、遠心力を利用して容器（Ｂ）に密着させながら側面から、適当な角度で配置した熱風吹き付け機構（Ｔ１），（Ｔ２）などにより、熱風を吹き付けて、ラベル（Ｒ）を熱収縮させることによって容器（Ｂ）に貼り付ける。この間の操作を図５（ａ），（ｂ）に示すと、ラベル（Ｒ）は容器（Ｂ）に貼り付けられ、加熱によって柔らかくなり、一度、その末端（ｆ）は拡がるが、遠心力によって下方には下がらず、その後は容器（Ｂ）に密着して隙間なく完全に付着することとなる。
【０００８】
【発明の効果】
この発明は、容器を回転させながら粘着剤を伴う平板状のラベルを、オーバーラップさせて貼り付け、その後、高速回転させながら熱風を吹き付けることによって、その容器にラベルを完全に密着させることができるので、部分的に径の大きく異なる容器でも、ラベルをその面に添って全面的に皺、歪みを生ずることなく充分に密着させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来のシュリンクラベルと、その貼り付け状態を説明する図。
【図２】  この発明の第一段階の機構要部と、その作動の説明図。
【図３】  この発明のラベルを、容器に巻き付ける状態を説明する図。
【図４】  この発明の第二段階の機構要部と、その作動の説明図。
【図５】  この発明のラベルを、容器に貼り付ける状態を拡大して説明する図。
【符号の説明】
（Ｋ）  ラベル貼り付け装置
（Ｈ）  容器送り出しホイール
（Ｒ）  ラベル
（Ｂ）  容器
（Ｖ１）  回転ベルト
（Ｖ２）  高速回転ベルト
（Ｔ１），（Ｔ２）  熱風吹き付け機構
【図１】
0003735877.tif 000002
【図２】
0003735877.tif 000003
【図３】
0003735877.tif 000004
【図４】
0003735877.tif 000005
【図５】
0003735877.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３）単結晶から所定のカット角で切り出した弾性表面波基板、及び疑似弾性表面波基板。
【請求項２】
ポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３）単結晶のＹ−面を０度カット面として、０度から１８０度迄の範囲のカット面を持ち、伝搬方向がＸ軸から±２０度の範囲である請求項１に記載の弾性表面波基板、もしくは疑似弾性表面波基板。
【請求項３】
前記基板上に短絡もしくは開放型の浮き電極をもつ一方向性弾性表面波電極、または、グループ形の一方向性弾性表面波電極が作製されている請求項１または２に記載の弾性表面波基板、または疑似弾性表面波基板。
【請求項４】
前記基板上に半導体薄膜が作製されている請求項１から３いずれかに記載の弾性表面波基板、または疑似弾性表面波基板。
【請求項５】
前記基板に熔融石英膜を付着させた請求項１から４いずれかに記載の弾性表面波基板、または疑似弾性表面波基板。
【請求項６】
請求項１から５いずれかに記載の弾性表面波基板、または疑似弾性表面波基板を用いた圧電性変換器、または、前記基板を用いた電子装置、または、前記基板と前記圧電性変換器を用いた電子装置。
【請求項７】
請求項１からから４いずれかに記載の弾性表面波基板、または疑似弾性表面波基板を用いた非線形機能素子、及び弾性表面波コンボルバ。
【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野】
本特許はポタジュームナイオベート単結晶及び薄膜を用いた大きな電気機械結合係数をもつ弾性表面波基板、及び擬似弾性表面波基板、及び弾性波変換器に関する。
【従来技術】
圧電性の基板表面にインターディジタル変換器を用いて弾性表面波を励振・受信するデバイスでは、大きな電気機械結合係数の基板が要求されている。また、圧電性単結晶、及び圧電性薄膜を用いた弾性波変換器では、大きな電気機械結合係数をもつ変換器が要求されている。
【発明が解決しようとする課題】
これまでは、大きな圧電定数をもつニオブ酸リチュウム単結晶が用いられているが、更に大きな圧電定数をもつ単結晶、及び薄膜が得られるならば、高性能機能素子が得られる。
【課題を解決するための手段】
本特許では、ニオブ酸リチュウム単結晶より大きな圧電定数をもつポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３）単結晶、及び薄膜を用いた弾性表面波基板、及び弾性波変換器に関するものであり、高性能の弾性表面波機能素子、及び弾性波機能素子を得ること目的としている。。
また、ポタジュームナイオベート単結晶上を伝搬する擬似弾性表面波を用いることにより、更に大きな電気機械結合係数の基板が得られることに関する特許である。
【実施例１】
ポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３）単結晶を用いた弾性表面波基板、及び擬似弾性表面波基板、及びこの単結晶を用いた圧電性弾性波変換器、及びこれらの基板、及び変換器を用いた電子装置が、実施例の１である。
【実施例２】
特許請求の範囲第１項において、ポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３）単結晶の回転ＹカットＸ伝搬弾性表面波基板において、ポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３）単結晶のＹ−面を０度カット面として、０度から１８０度迄の範囲のカット面の弾性表面波基板、及び伝搬方向がＸ軸から±２０度の範囲にある弾性表面波基板及びこの基板を用いた電子装置が実施例の２である。
【実施例３】
特許請求の範囲第１項、第２項において、これらの基板上に作製された短絡或いは開放型の浮き電極をもつ一方向性弾性表面波電極をもつ基板或いはグループ型の一方向性弾性表面波電極をもつ基板、及びこの基板を用いた電子装置が、実施例の３である。
【実施例４】
特許請求の範囲第１項、第２項、第３項において、ポタジュームナイオベート基板上に作製された半導体薄膜をもつ弾性表面波基板、及び擬似弾性表面波基板、及びこれらの基板を用いた電子装置が実施例の４である。
【実施例５】
基板上に作製されたポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３）圧電性薄膜を用いた弾性表面波基板、及び擬似弾性表面波基板、及びこの薄膜を用いた圧電性弾性波変換器、及びこれらの基板、及び変換器を用いた用いた電子装置が実施例の５である。
【実施例６】
特許請求の範囲第５項において、基板として、サファイヤ、水晶、熔融石英、シリコン半導体、ＩｎＰ，ＩｎＡｓ，ＩｎＳｂを用いた弾性表面波基板、擬似弾性表面波基板、及びポタジュームナイオベート薄膜とこれらの基板との間に薄膜をもつ弾性表面波基板、及び擬似弾性表面波基板、及びこれらの基板を用いた電子装置が実施例の６である。
【実施例７】
特許請求の薄膜第１項から第６項において、これらの基板を用いた非線形機能素子、及び弾性表面波コンボルバ、及びこれらの基板を用いた電子装置が実施例の７である。
【実施例８】
特許請求の範囲第１項から第５項において、これらの基板に熔融石英膜を付着させた弾性表面波基板、及び擬似弾性表面波基板、及びこれらの基板を用いた電子装置が実施例の８である。
ポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３単結晶の回転ＹカットＸ伝搬弾性表面波基板において、ポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３）単結晶のＹ−面を０度カット面として、６０度回転した面上Ｘ−軸伝搬の弾性表面波の基板表面を開放、及び基板表面を短絡した場合の深さ方向の振幅特性を図１及び図２に示す。図から深さ１．５波長以内に振幅が集中した弾性表面波になっていることがが判る。
ポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３）単結晶の回転ＹカットＸ伝搬弾性表面波基板において、ポタジュームナイオベート（ＫＮｂＯ３）単結晶のＹ−面を０度カット面として、０度面から１８０度面まで回転した、Ｘ−軸伝搬の弾性表面波の表面開放の場合の伝搬速度Ｖｆ、表面短絡の場合の伝搬速度Ｖｓを図３に示す。
また、図３から計算される電気機械結合係数Ｋ２（＝２（Ｖｆ−Ｖｓ）／Ｖｆ）を図４にに示す。図４から非常に大きな電気機械結合係数が得られることが判る。
【発明の効果】
非常にに大きな圧電性をもつポタジュームナイオベートを弾性表面波基板として用いることにより、効率の良い弾性表面波変換器が得られると共に、帯域の広いフィルタが得られる。また、大きな非線形をもつ基板であることから、効率の良いコンボルバが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】回転Ｙ板の６０度カット面、Ｘ−軸方向伝搬基板の表面開放の場合の弾性表面波の深さ方向の振幅分布を示す図である。
【図２】回転Ｙ板の６０度カット面、Ｘ−軸方向伝搬基板の表面短絡の場合の弾性表面波の深さ方向の振幅分布を示す図である。
【図３】回転Ｙ板、Ｘ−軸伝搬の弾性表面波の伝搬速度を示す図である。
【図４】回転Ｙ板、Ｘ−軸伝搬の弾性表面波の電気機械結合係数を示す図である。
【符号の説明】
１…波長で規格化した深さ方向、２…振幅分布、３…波長で規格化した深さ方向、４…振幅分布、５…回転Ｙ板のＹカット面から１８０度までのカット面の角度、６…伝搬速度、７…表面短絡の速度、８表面開放の速度、９…回転Ｙ板のＹカット面から１８０度まで回転した場合のカット面の角度、１０…電気機械結合係数、
【図１】
0003735759.tif 000002
【図２】
0003735759.tif 000003
【図３】
0003735759.tif 000004
【図４】
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