(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
力センサを挟んで向かい合って接続されたボディ間に作用する力を、センサボディ構造上において少なくとも２次元で測定する力センサであって、
それぞれほぼ平らな面を有し、互いに実質的に垂直な方向に配設された第一及び第二の腕を備えるとともに、前記センサボディに組み込まれたＬ型の脚と、
第一の腕の平面に平行で該第一の腕の方向に直角である第一の方向のせん断力を主に測定するように、Ｌ型の脚の第一の腕に取付けられた第一のせん断ひずみゲージと、
第二の腕の平面に平行で該第二の腕の方向に直角であり、前記第一の方向と垂直な第二の方向のせん断力を主に測定するように、Ｌ型の脚の第二の腕に取付けられた第二のせん断ひずみゲージとを備えた前記力センサ。
【請求項２】
少なくとも三つのＬ型の脚を含み、それぞれの脚が第一と第二のせん断ひずみゲージを有しており、せん断ひずみゲージが三つの相互に直交した軸に沿って構造体の上で作用する力と三つの軸についてのモーメントを示す情報をせん断ひずみゲージがまとめて与えるように少なくとも三つのＬ型の脚が配置されている請求項１に記載された力センサ。
【請求項３】
前記構造体が四つのＬ型の脚を含み、各Ｌ型の脚の第一と第二の腕が同一平面上にある請求項２に記載された力センサ。
【請求項４】
センサボディがほぼ中空かつ円筒形であり、ほぼ円筒形の表面に平行な軸を有しており、四つのＬ型の脚が互いに９０°離れた位置でセンサボディの円筒形の表面に組み込まれている請求項３に記載された力センサ。
【請求項５】
四つのＬ型の脚のそれぞれに対し、第一のせん断ひずみゲージが円筒形の表面上で横方向に作用する力に主に対応し、第二のせん断ひずみゲージが構造体の軸に平行な方向に作用する力に主に対応するように、該四つのＬ型の脚が円筒形のセンサボディの上に位置決めされている請求項４に記載された力センサ。
【請求項６】
Ｌ型の脚がセンサボディ内に組み込まれたＴ型の脚の一部を形成している請求項１に記載された力センサ。
【請求項７】
Ｔ型の脚が三つのせん断ひずみゲージを含んでいる請求項６に記載された力センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、三つの並進軸に沿った力の測定と該三軸のそれぞれについてのモーメントの測定が可能なセンサに関する。更に詳しく言えば、本発明は、三つまたは四つの脚を有し、各脚には互いに直角な方向の力を検出する二つのせん断ひずみゲージが備わっている力センサに関する。
【０００２】
多くのアプリケーションにおいて、ロボットの腕の先端で加工工具のような物体の上に作用する力を正確かつ動的に決定することが必要となる。このような力の大きさと方向は、相互に直角な軸（例えば従来行なわれているＸ，ＹおよびＺのデカルト座標）とこれらの軸のそれぞれに対するモーメントで記述され得る。そのために種々の力センサが使用されている。広く使用されている力センサの一つのタイプは、ひずみを基本にした力センサである。
【０００３】
一般にこれらのセンサは、加えられた力とモーメントによって変形するボディと、該ボディ内でひずみに感度を有する幾つかのトランスデューサを含んでいる。しばしばひずみゲージ（フォイルまたは半導体）の形態をとるトランスデューサは、ボディ上のひずみの発生が期待される位置に置かれる。通常、ひずみゲージは、ひずみの一つの形態−曲げ、せん断、または伸びひずみなど−が支配的であるような位置と方向をもって配置される。適正な位置でひずみを測定することにより、ボディに作用した力とモーメントを計算することが出来る。
【０００４】
ひずみを基本にした多くの力センサがこの分野で知られている。しかし、入手可能なセンサには種々の欠点がある。例えば、多くのセンサは（せん断または伸び検出センサでは同じ出力を発生するのに必要な変形の量と比較して）、十分な大きさの出力を発生するために相対的に大きな変形を必要とする「曲げひずみ」を測定している。
【０００５】
ここで示した曲げは、最初平面であり次に平面でないように曲げられるビームまたは腕の変形である。十分に大きな曲げひずみを発生するため、ひずみゲージが取り付けられた腕はかなり可撓性を有する必要がある。不都合なことに、これは、センサの固有周波数の低下と、周波数応答の制限と、システム全体に対する振動の惹起による信号の劣化をもたらす恐れがある。
【０００６】
更に、曲げひずみ測定に必要な比較的大きな変位により、センサは直線応答の範囲から外れ、（即ち、ボディのひずみがもはや加えられた力に直接比例しなくなり）、ひずみゲージ出力の判断が複雑になる。更に、センサの腕が薄過ぎると、相対的に大きな力が加えられた時にセンサ全体がすぐに正常機能しなくなる。
【０００７】
もう一つの問題は、同じ腕の上に複数のひずみゲージを取り付けた力センサについて生ずるものである。センサ上のひずみゲージには、種々のレベルの感度を有することがしばしば要求される。不都合なことに、一方向の力に対する感度は直交方向の力に対する感度との間でしばしばカップリングを起こす。従って、同じ腕の上に取り付けられた一方のひずみゲージの感度を、同じ腕の上に取り付けられた他方のひずみゲージの感度を増大させることなく増大させることが不可能となることがあり得る。
【０００８】
これは、感度を増加させる一つの方法、即ちより可撓性のある腕を得る為にひずみゲージを取り付けた腕の厚さを減ずる方法について考えてみれば判ることである。例えば、センサの軸に直角に作用する力を測定する為のせん断ひずみゲージと、センサの軸に沿った力を測定する為の並進ひずみゲージを有するビームを使用している米国特許第４０９４１９２号を検討されたい。曲げ力に対し並進ひずみゲージの感度を上げる為、ビームの断面領域が少なくされる。しかし、領域を少なくすることはせん断ゲージにより測定されるひずみにも影響を及ぼす。従って、センサは軸方向の力の感度が横方向の力の感度と無関係になるように設計出来ない。
【０００９】
多くのひずみゲージに関係のある他の問題は製造に関連する潜在的に大きな苦労と費用である。ある設計において、センサボディは円筒形の殻から放射上に広がるビームをまとめるように形を作ることは複雑であり困難である。更に、ある設計では、複数のひずみゲージをセンサボディの上の所定の位置に置くことが必要となる。例えば、ある力センサでは中空の円筒形のセンサボディの内側および外側の表面の両方に取り付けられたひずみゲージを有している。例えば米国特許第４６４０１３８号および第４８２３６１８号を参照されたい。ボディの内側の表面は特にひずみゲージ取り付けに際して届き難い。
【００１０】
更に、ある設計では、多くのゲージを小さな領域内に置くことが必要となる（米国特許第４９１１０２４号を参照）。センサ内にひずみゲージを正確に置くことはしばしば手作業で行なう必要があり、時間と費用がかかる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、製造が比較的容易で、曲げひずみに頼るのではなく、また、直角方向の力についての感度のカップリングを生じない、改良された力センサが望まれている。本発明は、この要望に応えようとするものである。
【００１２】
【課題を解決する為の手段】
本発明は、センサボディのほぼＬ型またはＴ型の脚の上に取り付けられたせん断ひずみゲージによって、ひずみが単独に測定される力センサを提供する。センサボディは、中空の円筒形の殻をなすことが好ましい。センサボディのそれぞれのＬ型またはＴ型の脚は、互いにほぼ直角をなす少なくとも二つの腕を有している。即ち、Ｌ型またはＴ型の脚の腕にはそれ自体によって定まる方向があり、該方向は互いにほぼ９０°をなしている。一般に、各腕の「方向」は横軸の方向、もしくは縦軸に沿っているが、腕が特に短い場合にはその限りではない。
【００１３】
ここで使用する「Ｌ型またはＴ型」という語は、脚を形成する部材即ち腕の相対的な配置を非常に一般的な意味で表わしている。これらの腕は一般には互いに直角をなしているが、正確に直角である必要はない。更に、腕はＬ型またはＴ型の腕の縦横比を大きく変えられるよう、可変なかなりの長さを有している。更に、Ｌ型またはＴ型の脚はセンサボディに対し、（３６０°に亙って）異なる方向を取ることが出来る。
【００１４】
Ｌ型またはＴ型の脚の二つの直角な腕のそれぞれは、主として取り付けられた腕の方向に直角になっている力の成分に応ずるような方向に取り付けられたせん断ひずみゲージを有している。好ましい実施形態においては、これらのセンサの脚はひずみゲージを把持し良好な感度を与える大きさの開口部（例えばポケットまたはチャネル）が与えられている。
【００１５】
更に好ましい実施形態では、センサボディ上のせん断ひずみゲージの出力は、例えばロボットの腕からセンサボディに加えられるあらゆる力／モーメントの大きさと方向を決定するデジタルプロセッサに送られる。
【００１６】
既に述べたように、曲げひずみに応ずるセンサの腕は、加えられた力に対し十分な感度を与えるようにかなり可撓性を有する必要がある。せん断ひずみゲージを使用することにより、本発明では曲げひずみの測定に関する種々の困難が避けられる。更に、ひずみゲージを開口部の床に取り付けることにより、本発明の力センサでは腕の強さを損なうことなく良好な感度を得ることが出来る。これは開口部に比べて厚く強固な、開口部周辺の腕の領域と比較し、せん断に対してより感度の高い床部にひずみゲージが取り付けられているからである。更に、開口部の深さを各ひずみゲージ用に作ることが出来るため、互いに直角な方向の力に対してひずみゲージの感度を分離出来るからである。言い換えれば、各ひずみゲージの感度はセンサの他のひずみゲージの感度に影響を与えないように無関係に調整される。
【００１７】
本発明の一つの特別な観点から言えば、本発明はセンサボディ上で少なくとも二次元で力を測定する力センサを提供する。本力センサは、次の要素をもって定めることが出来る。（１）センサボディに組み込まれ第一と第二の腕を有するＬ型の脚、該腕のそれぞれは他の腕の方向にほぼ直角な方向を有している（各腕は一般に平らな表面を有している）。（２）第一のひずみゲ−ジが第一の腕の平面に平行で、且つ第一の腕の方向に直角である第一の方向のせん断力に主に対応するようにＬ型部材の第一の腕に取り付けられた第一のせん断ひずみゲ−ジ。（３）第二のひずみゲ−ジが第二の腕の平面に平行で、且つ第二の腕の方向に直角であり、前記第一の方向と垂直な第二の方向のせん断力に主に対応するようにＬ型部材の第二の腕に取り付けられた第二のせん断ひずみゲ−ジ。このような複数のＬ型の脚は中空の円筒形の力センサボディの中に組み込まれていることが好ましい。
【００１８】
本発明においては、本ひずみゲ−ジはＬ型の脚の腕の中に与えられた開口部に取り付けられていることが好ましい。これらの開口部は一般にＵ型の断面を有したポケット、チャネル、Ｉビ−ム等である。典型的には、せん断ひずみゲ−ジは開口部内に取り付けられている。しかし、他の実施形態では、ひずみゲ−ジはＬ型の上であるが、開口部とはちょうど反対側の脚の上に取り付けられている。言い換えれば、ひずみゲ−ジは開口部の「裏側」の面に取り付けられている。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明は、三つの並進および三つの回転方向で作用する力／モーメントを検知する力センサを提供する為に、センサボディ上で特別な配置を有するせん断ひずみゲージを使用する。（他のタイプのひずみゲージと同様に、）せん断ひずみゲージはひずみ（ボディの単位長さ当たりで測定したボディの局所的な小さい変形）を測定する。応力とひずみの間の周知の関係および較正により、測定されたひずみはボディに加えられた力に変換される。ゲージにより生ずるひずみは例えばホイートストンブリッジにより測定される電気抵抗に変化を生ずる。力センサは、特定の方向に作用する力の成分に主に応答するように選択された既知のセンサボディの位置に取り付けられた複数のひずみゲージからの出力を比較し処理することにより、加えられた力／モーメントを決定することが出来る。
【００２２】
一般に、力センサは加えられた力とセンサボディ上に取り付けられた各ひずみゲージのひずみとの間の比例定数を得る為に、較正を行なう必要がある。最も広く利用されるひずみゲージは、金属箔または半導体エレメントのいずれかで構成されている。これらのいずれも本発明で使用可能であり、適当な金属箔ひずみゲージは北カロライナ州レイリーのメジャーメントグループ社により入手可能である。
【００２３】
せん断ひずみゲージの特別な設計は本発明を限定するものでなく、せん断ひずみゲージがどのように働くかという一般的な理解により本発明を理解することが出来る。図１を参照して、典型的なせん断ひずみゲージ２について説明する。ひずみゲージエレメント４と６により、それらの軸のみに沿ったひずみが測定される。ボディ内でせん断ひずみを測定する為に、二つのゲージエレメント４と６はせん断ひずみに関連した二つの基本的（軸方向）なひずみの方向に沿った軸に整列されている。即ち、これらエレメントは（矢印８および１０で示した）せん断力の方向に対して４５゜傾いている。
【００２４】
せん断力の方向に４５゜傾いた二つのゲージエレメントを組み合わせることは一般にせん断ひずみゲージとして知られている。典型的にはひずみゲージの各エレメントは、抵抗の小さな変化、即ち加えられたひずみと力を測定するホイートストンブリッジの辺の役割を果す。図１に示したせん断ひずみゲージは、「金属箔」せん断ひずみゲージに共通な単一の基材の上に二つのゲージエレメントを含んでいるが、本発明の「せん断ひずみゲージ」は、前述したように、互いに接近して整列した二つのゲージエレメントを含んでいる。例えば、二つのひずみ主軸方向に沿った軸に関して整列した二つの半導体ひずみゲージは、本発明の範囲の「せん断ひずみゲージ」を構成する。
【００２５】
図２（ａ）は本発明が力を測定する為にどのようにＬ型の脚乃至部材１４を使用しているかを表わしている。以下により詳細に説明するように、本発明の典型的な力センサは、中空の円筒形のセンサボディに組み込まれた三つまたは四つのＬ型の脚を含んでいる。一般に、Ｌ型の脚１４は支持領域２６、２８、４７を含む大きな構造体（センサボディ）の一部をなす。支持領域２８、４７は、典型的にはレファレンスボディに取り付けられた単一の構造体の一部をなす。支持領域２６は、別のボディに取り付けられた別の構造体の一部をなす。
【００２６】
脚１４は二つの体の間に働く力を検知する。Ｌ型の脚１４は次の二つの腕を含んでいる。即ち、支持体２８に接続された水平の腕２０と支持体２６に接続された垂直の腕２２である。水平の腕２０はせん断ひずみゲージ３２が取り付けられている取付領域１８を含んでいる。同様に、垂直の腕２２はせん断ひずみゲージ３０が取付けられている取付領域１６を含んでいる。ここで使用している「水平」および「垂直」は図示する為のみに使用していることに注意する必要がある。実際には、Ｌ型の部材１４は腕２０が水平として、腕２２が垂直として特徴づけられないように種々の方向に並べられるかも知れない。更に、腕２０と２２の相対的な長さおよびそれらの間の角度は図２（ａ）（および図２（ｂ））に示す実施形態とある程度異なっている。しかし、一般に腕２０は腕２２とほぼ直角である。
【００２７】
図２（ａ）および図２（ｂ）について説明する為に、次のような座標を採用する。Ｚ軸は紙面上で垂直方向を向き、Ｘ軸は紙面上で水平方向を向いている。力Ｆz が図示したように（領域２６を通して）Ｌ型の脚１４に作用すると、堅い支持体２８によりさえぎられ、局所的な反力４０と４２を生ずる。これらの力により取付領域１８にはせん断が発生ずる。これに応じて、せん断ひずみゲージ３２は比較的大きな出力信号を生ずる。Ｆz がＬ型の脚１４に対し図示と反対の方向（即ち下方）に加えられると、領域１８にはせん断が生ずるが、局所的な力４０および４２の方向は反対となり、ひずみゲージ３２からの出力信号の符号も同様に反対となる。
【００２８】
Ｚ方向の力は取付領域１６を押しあるいは延ばし、せん断ひずみゲージ３０から比較的小さな出力が生ずる。このように、Ｚ方向で脚１４に作用する力はせん断ひずみゲージ３２からは比較的大きな出力により、またひずみゲージ３０からは比較的小さな出力により特徴づけられる。
【００２９】
Ｘ方向に加えられた力Ｆx は反対の効果を示す。特に、図示のように堅い支持体２６においてＬ型の脚１４に作用する力Ｆx は、堅い支持体２８によりさえぎられて対をなす局所的な力３６と３８を生ずる。これらの力は取付領域１６にせん断を生じひずみゲージ３０に比較的大きな出力を発生する。しかし、同じ力は領域１８を押し（Ｆx が反対の方向なら領域１８を延ばす）比較的小さな出力がひずみゲージ３２から生ずる。このように、Ｘ方向でＬ型の脚１４に加えられる力はせん断ひずみゲージ３０からは比較的大きな出力が、またせん断ひずみゲージ３２からは比較的小さな出力が生ずる。
【００３０】
任意のブリッジまたはランナ４６がＬ型の脚１４と支持体４７の間に設けられ、水平方向の腕２０に加えられた曲げの力を例えばＺ方向の力により支える。従って、ブリッジ４６を使用すると感度が低下するかも知れないが、Ｌ型の脚１４とそれが取付けられている構造体の強さは強化される。本発明の他の実施形態では、ブリッジ４６は使用されていない。
【００３１】
好ましい実施形態では、取付領域１６と１８は腕２２と２０内に設けられたポケットである。Ｌ型の脚１４の主要構造部は十分な大きさの厚さを有し、過重および変形から壊れるのを防いでいる。しかし、ひずみゲージ３０および３２に加えられた応力に対する感度を良くする為に、取付領域１６と１８はひずみゲージ３０と３２が取付けられる床を有するポケットであることが好ましい。特に、腕２０と２２の厚さは領域１８と１６内ではＬ型の脚１４を連想させる程大きくない。このようにして、領域１６と１８には加えられた応力に応じて大きなひずみがもたらされる。それ故、ポケットは周囲の構造の強度を大きく損なうことなく、力センサの感度を増加させる。この場合、周囲の構造の強度とはＬ型の脚１４とそこに組み込まれた構造体の強度のことである。
【００３２】
ここで述べたポケットは、腕２０と２２に「開口部」として一般に特徴づけられる構造体を与えることに注意する必要がある。これと等価な好適な構造体にはチャネル、Ｉビーム構造体等が含まれる。この分野の機械技術者に知られている通り、このような構造体は加えられた力に応じてその床の全幅にわたりほぼ均一なせん断プロファイルを与える。従って、開口部に取付けられたせん断ひずみゲージを用いれば、他の構造体に取付けられたせん断ひずみゲージを用いた場合よりも小さな局所的変動でせん断ひずみが測定される。これにより、種々の力に対する力／モーメントの読みがより確実なものとなる。開口部の床の表側部分および裏側部分にせん断ひずみゲージを取付けることは同様に利点があることに注意する必要がある。その場合もせん断プロファイルは床のいずれの側でも均一となる。
【００３３】
図２（ｂ）は本発明の他の実施形態を表わしている。Ｔ型の脚４８は支持体７２、７４および７６に堅く取付けられている。特に、水平の横の腕７０は支持体７４と７６に取付けられ、垂直の腕５０は支持体７２に取付けられている。水平の横の腕７０は、前述したようにポケットの形を取ることが好ましい二つの取付領域５４と５６を有している。これらのポケット内にせん断ひずみゲージ６２と６４が取付けられている。これらのゲージは図２（ａ）に関連して述べたＺ方向の力に対応している。腕５０は、せん断ひずみゲージ６０が取付けられる取付領域５２（やはりポケットであることが好ましい）を有している。
【００３４】
一般に、Ｚ方向に加えられた力はひずみゲージ６２と６４から比較的大きな出力を生じさせ、ひずみゲージ６０から比較的小さな出力を生じさせる。反対に、Ｘ方向の力はひずみゲージ６０から比較的大きな出力を生じせ、ひずみゲージ６２と６４からは比較的小さな出力を生じさせる。図２（ｂ）に示す実施形態には、付加的なひずみゲージと付加的な製造段階に関連した余分な費用を必要とするという短所がある一方、（１）付加的なゲージからデータが提供され、（２）付加的な強度を力センサに与えるという利点がある。Ｔ型の脚が必要としているのは、直角の方向でひずみを検知するように配置された二つのひずみゲージだけであることに注意する必要がある。
【００３５】
図３は本発明の好ましい力センサ７８の斜視図である。力センサ７８は、ロボットの腕のように（図示していない）他のエレメントに取付けられるフランジ８０と８２を含んだほぼ円筒形の（更に中空の）ボディをなしている。以下の記載では、下側のフランジ８０はレファレンス構造体に取付けられ、上側のフランジ８２は、組み立て用の「ハンド」あるいは研削またはばり取り用の機械工具を含むロボットアームの如き力の作用源に取付けられていると仮定している。これに関しては、例えば、後述する図１２を参照されたい。
【００３６】
図２（ａ）に関連して述べたように、四つのＬ型の脚はフランジ８０と８２の間のほぼ円筒形の表面８８の上に設けられている。これらのＬ型の部材は等しく配置された四つの長い窓１１６と、等しく配置された他の四つのＬ型の窓１０８により定められている。二つのＬ型の脚９４と１００は互いにほぼ９０°離れた表面８８の上にあるのが見える。他の二つのＬ型の脚９５と９７は内側に見え、隣り合った部材と９０°離れている。図３に示す座標系で、Ｌ型の部材９４と９５はＹ軸の上にあり、Ｌ型の部材１００と９７はＸ軸の上にある。Ｌ型の脚はほぼ平面であるが、円筒形の表面８８上で、ある曲率を有している。
【００３７】
Ｌ型の脚９４にはせん断ひずみゲージ９２が取付けられている垂直なポケット８６と、せん断ひずみゲージ９０が取付けられている水平なポケット８４が含まれている。同様に、Ｌ型の脚１００にはせん断ひずみゲージ１０２が取付けられている垂直なポケット１０３と、せん断ひずみゲージ１０６が取付けられている水平なポケットが含まれている。以下に説明するように、円筒形の表面８８の回りに置かれ互いに９０°の間隔で離れている四つのＬ型の部材の配置により、Ｘ，Ｙ，Ｚの並進軸とこれらの軸の回りのモーメントの六つの軸に沿った力とモーメントを正確に測定することが出来る。
【００３８】
垂直なポケット１０３と８６に取付けられたひずみゲージ１０２と９２（および脚９５と９７の他の垂直なポケット内に取付けられた向かい合ったひずみゲージ）は、センサボディ８８を横切る方向（即ち、ＸとＹ方向）の力に対応している。このような力はＺ軸の回りのモーメントにより発生することに注意する必要がある。横方向の力とＺ軸の回りのモーメントに対するこれらひずみゲージの応答は、このような力がポケット１０３と８６（図示していないが、他の二つの向かい合った垂直のポケットにも）せん断負荷がかかることに由来している。これらの同じ横方向の力は、ポケット１０６と８６を含んだ水平のポケットに取付けられたせん断ひずみゲージに比較的小さな影響しか与えない。これはこれらのポケットが（せん断に対し）曲げと引っ張りを主に生ずるからである。
【００３９】
しかし、水平ポケット内に取付けられたひずみゲージは、センサボディ８８の軸に沿った力（即ちＺ方向の力）に応答して比較的大きな出力を生じる。Ｘ軸およびＹ軸の回りのモーメントが同じひずみゲージに生じ比較的大きな出力を発生していることに注意する必要がある。以下に述べるように、力センサ７８内の種々のひずみゲージの相対的な出力は、加えられた力の大きさと方向を明確に確定する。
【００４０】
図４は、図３中に示したラインＡ−Ａ’に沿って垂直ポケット１０３の断面を表わした図である。ポケットにはせん断ひずみゲージ１０２が取付けられている薄いポケットの床１２０が含まれている。図から判るように、Ｕ型の断面は、床１２０に平行な方向と比べて床１２０に垂直な方向について相対的に薄い。従って、（厚い壁を含めて）ポケット１０３の全体の断面は、Ｘ方向の力でみた場合、センサボディの上で９０°離れた位置にある脚の厚さに比べて「薄い」。より正確に言えば、脚１００の慣性モーメントはＸ方向の９４の慣性のモーメントに比較して小さい（図３）。従って、Ｘの力がセンサに加えられると、脚９４は脚１００より大きな力を支える。これによって、脚１００の出力は脚９４より小さくなる。更に、脚１００により支えられるＸの力は脚１００を曲げるが、せん断力にはならない。ひずみゲージは、曲げにより生ずるひずみに対しては相対的に鈍感となるように脚１００に取付けられている。
【００４１】
図５は本発明の他の実施形態を示した透視図である。この実施形態では、力センサ１４０は三つのＬ型の脚を含み、それぞれが二つのせん断ひずみゲージを含んでいる。図に示すように、Ｌ型の窓１４８及びその二つの同等物により腕１５０とその二つの同等物が定められている。図３の実施形態に関連し記載したＬ型の脚と異なり、本実施形態のＬ型の脚は平面でない腕とひずみゲージを有している。例えば、一つのＬ型の脚は垂直な腕１４６と１５０を含んでいる。腕１４６はせん断ひずみゲージが取付けられているポケット１５２を含んでいる。同等物の脚１６２と１５６はそれぞれポケット１６４と１６０を含んでいる。
【００４２】
これらの三つの脚１４６、１５６および１６２は中央の支持部材１６８に取付けられている。この配置により、ポケット１５２、１６０、１６４内のせん断ひずみゲージは主として中空の円筒形のボディ１４４を横切る方向の力に応答する。ポケット１４２、１５８と脚１６２のポケット１６４の同等物（図示していない）はセンサボディ１４４の中に与えられている。これらのポケットのそれぞれは、主として円筒形のセンサボディ１４４の軸方向に沿った力に応答するせん断ひずみゲージを含んでいる。ポケット１５２、１６０および１６４内のせん断ひずみゲージは、実際にかかる力の方向により定まる異なる角度でＸ−Ｙ面内の力に応答する。
【００４３】
更に、これらのひずみゲージはＺ軸の回りのモーメントに応答する。図示していない部分があるポケット１４２と１５８内のひずみゲージは、Ｚ方向の力に応答する。これらのひずみゲージは、実際のモーメント軸により定まる角度でＸ軸およびＹ軸の回りのモーメントに応答する。
【００４４】
図６は、図３と図４の力センサ７８を切断して示した上面図である。図７に関連したこの図は、力センサ７８が六つの軸に沿った力の間でどのように区別されるかを示す為に使用される。Ｃ型の領域１７１、１７２、１７３および１７４は力センサ７８の四つの垂直なポケットの断面である。Ｘ方向の力に応答する為に、ポケット１７１と１７３に対する支持は殆どなされておらず、主として曲げが生ずるようになている。このような曲げにより、ポケット１０３の床は伸びる。
【００４５】
ポケット１７１と１７３に取付けられたせん断ひずみゲージからは、この変形により比較的小さな出力信号が提供される。これは図２（ａ）を参照にすると理解されるように、ポケット１７１と１７３により生じた曲げの力はポケット１６により生ずるＹ方向の力に等しいと言うことである。このような力によりポケット１６内に伸びが与えられ、せん断ひずみゲージ３０からは比較的小さな出力信号が提供される。
【００４６】
Ｘ方向の力は、主としてせん断が加えられるポケット１７２と１７４により支えられる。このように、ポケット１７２と１７４内に取付けられたせん断ひずみゲージによりＸ方向の力に対応した比較的大きな出力信号が提供される。これは図２（ａ）を参照にすると理解出来るように、力Ｆx によりポケット１６にせん断が与えられるということである。このような力により、せん断ひずみゲージ３０は比較的大きな出力信号を与える。
【００４７】
前述の説明により、Ｘ方向の力はポケット１７２と１７４内のせん断ひずみゲージから比較的大きな出力を提供し、ポケット１７１と１７３内のせん断ひずみゲージから比較的小さな出力を提供する。実際には、加えられた力はしばしばＸおよびＹ成分を有する。ポケット１７１から１７４内のひずみゲージにより提供される信号の相対的な大きさにより加えられた力の実際の方向が決定される。
【００４８】
Ｙ方向の力は反対の影響を与える。この場合、ポケット１７２と１７４は取付けられたせん断ひずみゲージから比較的小さな出力を生ずる曲げを主に受ける。しかし、ポケット１７１と１７３に取付けられたせん断ひずみゲージはせん断を受け、比較的大きな出力信号を提供する。
【００４９】
Ｚ軸の回りのモーメントは、ポケット１７１から１７４のそれぞれにせん断作用を及ぼし、四つの垂直に取付けられたせん断ひずみゲージに比較的大きな出力を提供する。このように、垂直方向のひずみゲージのそれぞれからの比較的大きな出力は加えられた力／モーメントがＺ軸の回りのモーメントを含むことを示している。以下に説明するように、垂直方向を向いたひずみゲージは、Ｚ方向の力並びにＸおよびＹ軸上のモーメントに応答して比較的小さな出力を提供する。
【００５０】
ＸおよびＹ方向の力とＺ軸の回りのモーメントが比較的小さなせん断ひずみを水平のポケットに与えることに注意する必要がある。これは図２（ａ）を参照すると理解されるように、力Ｆx またはＹ方向の力は水平なポケット１８に加えられるということである。
【００５１】
図７は力センサ７８の水平のポケット内に取付けられたせん断ひずみゲージがＺ方向の力とＸおよびＹ軸の回りのモーメントにどのように応答するかを示している。図２（ａ）に関して説明したように、Ｚ方向の力によりせん断ひずみゲージ３２から比較的大きな出力信号を提供するせん断が水平のポケット１８に加えられる。同様に、（図示していない）他の水平のポケットと共に図７に示した水平のポケット２７９、２８５および２８３はせん断作用を受け、比較的大きな出力信号を発生する。このように、Ｚ方向の力は四つの水平のせん断ひずみゲージのそれぞれから発生する比較的大きな出力信号により特徴づけられる。図２（ａ）に関連して示したように、垂直ポケット１６内のひずみゲージ３０はＺ方向の力に対応して比較的小さな出力信号を提供する。同様に、垂直ポケット２８７のせん断ひずみゲージ２８９は、比較的小さな出力信号を提供する。同様のことは垂直ポケットに取付けられた他のひずみゲージについても言える。
【００５２】
Ｙ軸の回りのモーメントはひずみゲージ２８５またはひずみゲージ２８９からは殆ど出力を提供しない。これらのひずみゲージはＹ軸の近くにあり、従って比較的短いモーメントの腕を有している。このように、（図２（ａ）の矢印４４で示すように）Ｙ軸の回りのモーメントに対し、ポケット２８１と２８７は比較的小さな力を受ける。しかし、比較的大きな腕のモーメントにより、水平方向のポケット２７９と２８３は異なる方向にも拘らずＺ方向から来る比較的大きな力を受ける。再び図２（ａ）に関していえば、このような力は水平ポケット内のせん断ひずみゲージから比較的大きな出力信号を発生し、対応する垂直ポケット内のせん断ひずみゲージから比較的小さな出力信号を発生すると期待出来る。Ｙ方向の力はＸ軸上の水平のポケット内のひずみゲージから発生する比較的大きな出力信号（符号が反対）と全ての残りのひずみゲージから生ずる比較的小さな出力信号により特徴づけられる。
【００５３】
同様なことはＸ軸の回りのモーメントに対しても観測される。この場合、Ｙ軸上の水平のせん断ひずみゲージのみが比較的大きな出力信号を発生する。他の全てのひずみゲージは比較的小さな出力信号を発生する。Ｙ軸の回りのモーメントのように、比較的大きな出力信号を発生する二つの水平ひずみゲージは互いに反対の符号を有した信号を発生する。
【００５４】
図８は力センサ７８およびそれに関連した構成要素の分解図である。円盤状のプリント回路基板２０２は力センサ７８の上に取付けられたせん断ひずみゲージ用の処理用電子回路を含んでいる。プリント回路基板２０２はひずみゲージに都合良く線で接続する為円筒形のボディ８８内に合う大きさを有している。一つの好ましい実施形態では、ゲージはプリント回路基板に直接線で接続される。他の実施形態では、ゲージは（図示していない）第一の電子接続部に電線で接続され、そこを中継しプリント回路基板の上に取付けられた（図示していない）第二の電子接続部に接続される。
【００５５】
上面のカバー２００と側面のカバー２０４および２０６はセンサおよび関連の電子回路を屑および他の物質との接触から保護している。側面のカバー２０４と２０６は、上面のフランジ８２と底面のフランジ８０の間に余裕を有して合う大きさを有し、フランジ８２と８０の周辺に広がる放射状の出っ張り２０８と２１０を含んでいる。このような設計により力センサ７８がＺ方向から受ける過大負荷から保護している。好ましい実施形態では、この余裕は約０．０５ｍｍと０．５ｍｍの間である。
【００５６】
通常の動作の間側面のカバーとフランジの間の余裕により力とモーメントがＬ型の部材を通して伝えられる。しかし、センサに過大なＦz の力またはＭx あるいはＭy のモーメントが加えられる場合、側面のカバーの張出部２０８と２１０は、フランジ８２と８０を支え、センサのＬ型部材が塑性的な変形と損傷を受けることから保護する。電気ケーブル２１４はセンサの電子プリント回路基板２０２を（図示していない）ホスト制御器と電源供給回路に接続する。このケーブルはケーブルアンカー２１２により支えられた対となる部品に接続され、該アンカーは側面のカバー部分２０４と２０６と共に、センサ７８の上方のフランジ８２に固定されている。この配置は力とモーメントを測定する際エラーを生ずるケーブルの動きからセンサを保護している。
【００５７】
図９（ａ）はプリント回路基板２０２の電子回路の概要図で、八組のせん断ひずみゲージが補償電子回路に接続されている。ひずみゲージからの出力信号がホイーストンブリッジを使用して処理される。垂直せん断ひずみゲージ９２のようなひずみゲージがハーフブリッジとして二つのブリッジの固定抵抗２２０に並列に接続されている。ポテンションメータ２２２のような８個のポテンションメータは互いに並列に接続され、ブリッジの固定抵抗２２０に直列に接続されている。各せん断ひずみゲージ（例えばせん断ひずみゲージ９２）の出力は計装アンプの一つの端子に送られ、ポテンションメータ２２２の出力は計装アンプの他の端子に送られる。通常の構成では、各ホイートストンブリッジで二つのブリッジ固定抵抗（全体で１６個）を必要とするのに比べ、今回の構成では、全ての八つのブリッジにたった２個のブリッジの固定抵抗で十分であるという利点がある。
【００５８】
図９（ｂ）に示すように、計装アンプ（例えば計装アンプ２２６）の出力はマルチプレクサ２２８に送られる。計装アンプの出力はＡ／Ｄ変換器２３０により順番にデジタル化される。プロセッサ２３２はデジタル化されたゲージ出力を較正し、力センサを監視するホスト制御器と直列にデータの通信を行なう。プロセッサ２３２に加えられた作業内容により、未処理のゲージ出力または較正された力およびモーメントのいずれかがホスト制御器に送られる。温度センサ２３６の出力は、センサ出力内の温度変動による影響を補償するために、プロセッサ２３２またはホスト制御器において使用される。
【００５９】
またこれに代えて、温度センサをセンサボディに取付け、センサボディの温度を直接測定するようにすることも出来る。プロセッサ２３２は、較正、エラー検出、温度補正、更に力とモーメントを異なる座標系に変換することを含む広範囲なコマンドを実行するようにプログラムされていることが好ましい。プロセッサ２３２はデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、マイクロプロセッサ、またはマイクロコントローラのようなデジタルプロセッサであることが好ましい。
【００６０】
図９（ｃ）は、ブリッジ回路内のポテンションメータをＤ／Ａ変換器２４０のようなＤ／Ａ変換器に置き換えた他の実施形態を示している。この実施形態では、Ｄ／Ａ変換器２４０はブリッジを平衡させる為に基準電圧を与えている。Ｄ／Ａ変換器２４０の出力は計装アンプ２２６’に一つの入力を与えている。計装アンプ２２６’に対する他の入力はせん断ひずみゲージ９２’により与えられている。増幅器２２６’の出力は図９（ｂ）の実施形態に記載のように処理される。ブリッジの固定抵抗２２０’も前述のように与えられている。
【００６１】
この実施形態は、プロセッサがホスト制御器のコマンドのもとでブリッジ回路を平衡するようにプログラムされ、ポテンションメータの手動の調整が避けられ信頼性と利便性が得られる利点を有している。
【００６２】
以下に記載する実験で採用された力センサボディは、２０２４−Ｔ８１アルミニウムのモノリシックブロックから機械加工されている。上面および下面のフランジは直径が１０５ｍｍでありセンサの全体の高さ（上面のフランジの最上部と下面のフランジの最下部の距離）は３９ｍｍである。せん断ひずみゲージは北カロライナ州、レイリーのメジャーメントグループ社から入手した。これらのゲージは横の最大が１１ｍｍで最小が７ｍｍであり２．２５ｍｍの深さの垂直ポケットと２．３５ｍｍの深さの水平ポケット内に取付けられている。ポケットの床の厚さは垂直のポケットに対し０．７５ｍｍで水平のポケットに対し０．６５ｍｍである。ひずみゲージはメジャーメントグループ社のＭ−６１０エポキシ接着剤を用いてポケット内に取付けられている。導線はゲージ内に半田付けされ、線はセンサボディの内部に接続されている。
【００６３】
前述の力センサは図１０の平面図に示す構造を有する試験装置（較正クロス）２５０で試験した。該試験は較正装置２５０を力センサの上面のフランジ８２に取付けることにより行なった。既知の大きさと既知の方向の種々の力を四つの腕、２５１、２５２、２５３、２５４のそれぞれ、またはボディ部分２６０の中央に加えた。種々のひずみゲージの出力を種々の試験の力に対して測定した。
【００６４】
図１１は、力マトリックス２７０と当該ひずみゲージの出力マトリックス２８０を示している。試験装置２５０により力センサに加えられた力とモーメントは力マトリックス２７０の行として示されている。力センサの上の種々のひずみゲージの出力はひずみゲージ出力マトリックス２８０の当該行に示されている。これらのマトリックスは、較正マトリックスを求めるために使用される。前記較正マトリックスとは、未知の力に対するひずみゲージ出力マトリックスと前記較正マトリックスを乗算すると、実際に加えられた力が求められるようなマトリックスのことである。
【００６５】
例に示すように、力マトリックス２７０の第一の列はＸ方向の力の大きさに対応している。力マトリックスの第二および第三番目の列はそれぞれＹ方向およびＺ方向の力に対応している。力マトリックス２７０の第四番目、第五番目、および第六番目の列はＸ、Ｙ、およびＺ方向のモーメントにそれぞれ対応している。
【００６６】
ひずみゲージ出力マトリックス２８０の第一および第二の列は較正クロスの腕２５１に向きを合わせて配置された力センサの脚に取付けられた（それぞれ）垂直および水平方向のひずみゲージの出力電圧に対応している。同様にマトリックス２８０の第三番目および第四番目の列は腕２５２に向きを合わせて取付けられた垂直および水平方向のひずみゲージに対応している。同様にマトリックス２８０の第五、第六、第七および第八番目の列は試験装置２５０の腕２５３および２５４に隣接したセンサの脚のひずみゲージ出力に対応している。
【００６７】
図１１に示す例では、マトリックスの第一の行はＺ方向下向きに腕２５３に加えられた２０，０００グラムの質量に対応している。これにより（力マトリックス２７０の第五番目の列に示すように）２００，０００グラム重ｃｍのＹ軸に対するモーメントＭy を生じている。センサには、このモーメントのみならずＺ方向の負の力Ｆz も同時に与えられている。Ｆz は力マトリックス２７０の第一の行の第三番目の列で２０，０００グラム重として示されている。
【００６８】
力マトリックス２７０の第二の行は２０，０００グラムの質量が試験装置２５０の腕２５１に加わった時力センサが受ける力を示している。これも（行２の第三番目の列に示すように）成分Ｆz を生ずることが判る。更に、これは前の実験の場合と同じ大きさのモーメントＭy を生じている。しかし、下向きの力が腕２５３から腕２５１に動く時（右手の法則に従い）モーメントの方向が逆であるのでＭy の符号は変わっている。
【００６９】
力マトリックス２７０の第三番目の行は２０，０００グラム重が試験装置２５０のボディ２６０の中央に加えられた時Ｚの負の方向に結合のない２０，０００グラム重の力Ｆz が加えられたことを示している。前述のように、Ｚ方向の力は力センサの水平せん断ひずみゲージに比較的大きな出力を発生し、垂直せん断ひずみゲージに比較的小さな出力を発生する。出力マトリックス２８０の第三番目の行で判るように、水平方向のせん断ひずみゲージは垂直方向のひずみゲージに比較して比較的大きな出力を与えている。言い換えれば、第二、第四、第六および第八番目の列に示す出力はマトリックス２８０の第一、第三、第五および第七番目の列に示す出力より大きい。
【００７０】
マトリックス２７０および２８０の第三番目の行に示す実験値は加えられた力が結合していないので特に容易に判断される。マトリックスの他の行は結合された力が二つある実験値を示している。このように結合された力は他の結合された力に部分的にオフセットを生じ、ひずみゲージ出力マトリックスの結合を判断することがより複雑になる。しかし、（較正マトリックスに関連し）本発明に必要な８個のひずみゲージを採用することにより、出力は十分な情報を与え、加えられた力を識別出来る。当業者は力マトリックス２７０の他の行がどのように発生し出力マトリックス２８０に示す結果を生ずるか理解出来るであろう。
【００７１】
（例えば較正クロスにより）センサに既知の力とモーメントを加えることにより、更にゲージの応答を記録することにより、センサに対する較正マトリックスが決定される。実際には、較正マトリックスとひずみゲージ出力を力に変換するために必要とされる処理はデジタルプロセッサにより提供される。力とモーメントはあらゆる目的の為参照として採用した米国特許第４０９４１９２号に記載されているものと同じ方法でセンサに加えられる。
【００７２】
好ましい実施形態では、最小二乗法がセンサを較正するのに使用されている。この方法は較正中の変動による較正エラーを最小にするという意味で最良の結果を与えてくれる。この方法は四分の一、二分の一または全ブリッジの形態をとりうる八つのブリッジ出力を有するセンサに対する以下の記載により理解出来る。較正クロスは前述のようにセンサに取付けられている。
【００７３】
ひずみゲージの電圧出力をｖ１，ｖ２，・・・ｖ８で表せば、較正マトリックスＣはＣｖ＝Ｆで与えられ、Ｃ，ｖ，Ｆは次式の様になる
【００７４】
【数１】
0003792274.tif 000002
既知のＦx がセンサに加えられた時、Ｃは未知であるものの次のような表現が可能であると言うことは出来る。
【００７５】
【数２】
0003792274.tif 000003
Ｆx の複数回の測定１，・・・ｍを実行する場合、これらの測定を次の形のマトリックスで整理することが可能である。
【００７６】
【数３】
0003792274.tif 000004
Ｃ１に対する最小二乗法は、次の二乗エラー；
Ｅ2 ＝（Ｆx −Ｖｃ1 ）T （Ｆx −Ｖｃ1 ）
を最小にし、更に線形代数により、解は次の様になる。
ｃ1 ＝（ＶT Ｖ）-1ＶT Ｆx
但し、Ｖの各列は線形独立であることが仮定されている（即ち、ＶT Ｖは逆行列を持つ）。
【００７７】
既に述べたように、この方法により較正マトリックスＣの第一の行のみが見つかる。しかし、同時に全てのＣマトリックスに対する最小二乗法の解を得ることは容易である。特に複数の力とモーメントをセンサに加え、電圧出力を記録することにより次式が得られる。
【００７８】
【数４】
0003792274.tif 000005
従って、較正マトリックスの全体は次式で与えられる。
ＣT ＝（ＶT Ｖ）-1ＶT Ｆ
図１２は本発明の力センサをロボットに応用する場合について説明する図である。特に、力センサ２８４は力センサの感応端（上面）とロボット２８０の残りの部分を結合するアダプタ２８２を含むロボットの腕２９２に組み込まれている。ロボットの腕２９２は、物品をある位置から他の位置へ運搬する為のハンドリングや把持、組み立てラインでの物品の機械加工、有毒または放射性の環境内での洗浄などの多様な機能を有し得る。ロボット２８０が、最終的な応用の姿に左右される種々の形態を取り種々のエレメントを有することは勿論である。力センサの底はロボットの腕をマウントから離す為リリースユニット２８６に堅く接続されている。ロボット２８０が受ける力センサ２８４により決定される力およびモーメントの情報はロボット２８０の位置を前記力およびモーメントに応じて調整出来る（図示していない）制御器により使用される。
【００７９】
以上の説明は、本発明の理解を明確にする為に詳細に行なったものであり、各請求項に記載された範囲で、変更および修正を加え得ることは明らかである。例えば、本明細書ではほぼ円筒形のセンサボディについて説明したが、他の形も同様に採用可能である。例えば、多角形のセンサボディを使用することが出来る。更に、ここに記載した力センサはロボット以外の他の分野にも応用可能であることも理解されるであろう。例えば、ここで取り扱った力センサは、他の種々の応用と同じく、航空または他の輸送の分野にも使用可能である。
【００８０】
【発明の効果】
本発明によれば、製造が比較的容易で、曲げひずみに頼るのではなく、また、直角方向の力についての感度のカップリングを生じない、改良された力センサが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の使用に適した金属箔タイプのせん断ひずみゲージを表わした図である。
【図２】（ａ）は本発明により垂直および水平に向けたせん断ひずみゲージを含むＬ型の脚の側面図であり、（ｂ）は本発明により二つの水平に向けられたひずみゲージと一つの垂直に向けられたひずみゲージを有するＴ型の脚の側面図である。
【図３】本発明の好ましい実施形態による四つのＬ型の脚を有するほぼ円筒形の力センサの斜視図である。
【図４】本発明の力センサ内にひずみゲージを取り付ける為のポケットの断面図で、図３中Ａ−Ａ’に沿った断面が描かれている。
【図５】本発明の他の実施形態による三つの脚を有する力センサの斜視図である。
【図６】垂直方向のひずみゲージがどのように種々の力およびモーメントに対応するかを説明するために、図３と図４の力センサを切断して示した上面図である。
【図７】水平方向のひずみゲージがどのように種々の力およびモーメントに対応するかを説明する立面図である。
【図８】本発明の良好な実施形態による力センサ内に使用されている成分の分解図である。
【図９】（ａ）と（ｂ）は、本発明の良好な実施形態による力センサの電子回路の概要を説明する図である。また、（ｃ）は、本発明の他の実施形態によるブリッジ平衡電子回路の概要を説明する図である。
【図１０】本発明の力センサを較正する為に使用した試験装置の平面図である。
【図１１】本発明により構成された力センサに対し行なった較正の実験値の力マトリックスおよびそれに関連するせん断ひずみゲージの出力マトリックスを説明する図である。
【図１２】本発明の力センサを従来のロボットの腕に組み込むケースについて説明する図である。
【符号の説明】
２，３２，６０，６２，６４，１０２，１０６  せん断ひずみゲージ
４，６  ひずみゲージエレメント
８，１０  せん断力の方向
１４  Ｌ型の脚
１６，１８，５２，５４，５６  取付領域
２０，５０  水平の腕
２２，７０  垂直の腕
２６，２８，４７  支持領域
３２  せん断ひずみゲージ
４６  ブリッジ
４８  Ｔ型の脚
７２，７４，７６  支持体
７８  力センサ
８０，８２  フランジ
９４，１００  Ｌ型の脚
１０３，１４２，１５２，１５８，１６０，１６４  ポケット
１２０  床
１４０  力センサ
１４６，１５６，１６２  脚
１６８  中央の支持部材
１４４  円筒形のボディ
１７１，１７３  ポケット
２８５，２８９  ひずみゲージ
２８１，２８７  ポケット
２００  上面のカバー
２０２  プリント回路基板
２０４，２０６  側面のカバー
２０８，２１０  張出部
２１２  ケーブルアンカー
２１４  電気ケーブル
２２０  固定抵抗
２２２  ポテンションメータ
２２６  計装アンプ
２２８  マルチプレクサ
２３０  Ａ／Ｄ変換器
２３６  温度センサ
２５０  試験装置（較正機械）
２５１，２５２，２５３，２５４  腕
２７０  力マトリックス
２８０  ひずみゲージ出力マトリックス、ロボット
２８２  アダプタ
２８４  カセンサ
２８６  リリースユニット
【図１】
0003792274.tif 000006
【図２】
0003792274.tif 000007
【図３】
0003792274.tif 000008
【図４】
0003792274.tif 000009
【図５】
0003792274.tif 000010
【図６】
0003792274.tif 000011
【図７】
0003792274.tif 000012
【図８】
0003792274.tif 000013
【図９】
0003792274.tif 000014
【図１０】
0003792274.tif 000015
【図１１】
0003792274.tif 000016
【図１２】
0003792274.tif 000017