(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水質測定される水が移送される主配管に連結される試料水配管と、
該試料水配管に設置された水質センサと、
該水質センサより上流側の試料水配管に設けられた回転羽根車と、
該回転羽根車の下流側かつ該水質センサの直前に配置された少なくとも５ｃｍの長さを有する直線状配管部と
を有し、
該回転羽根車の回転力が伝達される発電装置が設けられている水質測定装置。
【請求項２】
請求項１において、該水質センサと回転羽根車との間の配管に、水流に圧力損失を生じさせて水の流れを整流化するための整流手段が設けられていることを特徴とする水質測定装置。
【請求項３】
請求項２において、該整流手段は、合成樹脂、金属、セラミックの粒状体或いはメッシュ、活性炭、イオン交換樹脂から選ばれる充填物が充填された充填部であることを特徴とする水質測定装置。
【請求項４】
請求項２において、該整流手段は、Ｕ字管又はコイル状管であることを特徴とする水質測定装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、該水質センサの上流側に温度調整手段が設けられていることを特徴とする水質測定装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項において、該発電装置で起電された電力を水質センサの駆動源とすることを特徴とする水質測定装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項において、該水質センサの上流側の配管に溶存酸素除去手段が設けられていることを特徴とする水質測定装置。
【請求項８】
請求項７において、該溶存酸素除去手段は脱酸素触媒であることを特徴とする水質測定装置。
【請求項９】
請求項７において、該溶存酸素除去手段は脱気装置であることを特徴とする水質測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は水質測定装置に係り、特に水質センサを有する水質測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
水質センサを有する水質測定装置では、通常、水質センサは配管に埋め込まれ、通水している間には取り外しができないような構成とされている。
【０００３】
このように水質センサが配管内に直付けされ、取り外しができないように設けられている理由は、下記▲１▼，▲２▼による測定誤差を防止するためである。
▲１▼  超純水の比抵抗のように、外部と触れさせると数値が変化してしまい、正確な測定を行えなくなる場合がある。
▲２▼  流量、圧力及び流れ（＝層流）が一定でないと、その感度の良さからセンサが敏感に反応し、安定した測定ができない場合がある。
【０００４】
また、水質測定装置は、一般的な機器と同様に、通常は交流１００Ｖの電源により作動する。水質センサで感知した信号は、水質測定装置で表示され、演算装置により通水開始から積算量を算出したり、また薬注装置がある場合には数値をフィードバックして薬注量の制御を行ったりする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の水質測定装置では、水質センサは水質を測定する水が流れる配管に直付けされているため、センサの交換を容易に行うことができなかった。特に、超純水装置のようにノンストップ運転する水質センサでは、交換はもちろんのこと、校正を行うことも難しかった。また、水質センサを配管に直付けするため、既存の水処理装置に新たに水質測定装置を設置する場合には、通水を停止し、配管を切断して取り付け部の付いているものに交換したり、穴を開けてセンサを挿入したりしなければならず、大がかりな工事を必要としていた。なお、サンプル配管などを利用して外部にセンサを設けることが考えられるが、この方法では、太い主管に対して細い管を取り付けることになるため、太い主管から細い配管内に流れ出る水は乱流となり易く、かつ圧力の変動を受けやすいために、センサの測定を安定に行うことができず、正確な測定結果を得ることができない。
【０００６】
また、水質測定装置は、水質センサの稼働のために電源を必要とする。このため、新設の場合には特に問題とならないが、既存の装置へ新たに水質測定装置を設置する場合や、既存の装置を改造してなる新しい系に水質測定装置を設置する場合には、電源配線を引き直したり、配電盤を増設したり、電源工事のために多大な費用が必要となる。特に、半導体工場や医薬品製造工場、食品／飲料水加工製造工場に設置されるクリーンルーム内では、こうした作業／工事自体が困難であるために、水質測定装置の設置が難しかった。
【０００７】
本発明は上記従来の問題点を解決し、水質測定される水が移送される主配管に対して容易に取り付け、取り外し可能であると共に、水質センサにより安定した水質測定を行うことができ、しかも、電源確保の難しい場所においても容易に稼動させることができ、従って、既設の水処理装置にも容易に取り付け、取り外しをすることが可能で、水質センサのメンテナンスも容易に行える水質測定装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の水質測定装置は、水質測定される水が移送される主配管に連結される試料水配管と、該試料水配管に設置された水質センサと、該水質センサより上流側の試料水配管に設けられた回転羽根車と、該回転羽根車の下流側かつ該水質センサの直前に配置された少なくとも５ｃｍの長さを有する直線状配管部とを有し、該回転羽根車の回転力が伝達される発電装置が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
前述の如く、主配管から細管を引くと、その中を流れる水は乱流となり、かつ圧力が不安定となる結果、脈動が発生して水質センサによる測定が不安定となる。本発明では、水質センサの上流側に回転羽根車を設置し、主配管からの水の流れをこの羽根車で受けることにより、この脈動の発生を抑制する。そして、この回転羽根車の下流側の水質センサの直前に長さ５ｃｍ以上の直線状配管部を設けることにより、主配管に水質センサを設置した場合と同等の安定性、精度での水質測定を行うことが可能となる。なお、直線状配管部を水質センサの直前に設けるということは、この直線状配管部に直接水質センサを連結することを意味する。直線状配管部は、特に水平方向に設置され、水質センサと接続されていることがより好ましい。
【００１０】
また、水質センサと回転羽根車との間に整流手段を設けることにより、より一層水質センサによる測定の安定性を高めることができる。この場合、整流手段は、水流に圧力損失を生じさせることができるものであれば良く、充填物が充填された充填部や、Ｕ字管又はコイル状管、その他蛇行流路部等を適用することができる。このような整流手段による圧力損失で、水の流れが整流化されて均質となる。
【００１１】
この、水質センサは、一般に温度により影響を受け測定値が変化するため、測定は一定の温度条件で行うことが好ましい。このため、水質センサの上流側には温度調整手段を設けて測定温度を一定にすることが好ましい。
【００１２】
本発明では、回転羽根車に制動力を加えることにより、水流の脈動を十分に抑制して試料水配管内の水流を安定化させることができる。このような制動力を加えるために、羽根車の軸に直結して又は歯車やベルトを介して発電装置を取り付けることができる。
【００１３】
この発電装置で起電された電力を水質センサの駆動電力源としてもよい。この発電電力を水質センサの電源として利用することにより、水質センサの駆動のために必要とされる配電工事が不要となり、工事費が抑えられるだけでなく、工事時間も短縮することができる。
【００１４】
ところで、水質センサは、水中の溶存酸素により劣化し、経時的に測定精度が低下することがある。即ち、水質センサは、通常、各種金属のもつ電気的な性質を利用して水質の変動を感知するが、センサ部の金属が溶存酸素と反応して表面に酸化皮膜が生じ、徐々に測定精度が変化する。
【００１５】
従って、本発明においては、水質センサの上流側の配管に溶存酸素除去手段を設けることが好ましい。この溶存酸素除去手段としては脱酸素触媒又は脱気装置等を用いることができる。脱酸素触媒は、触媒表面において溶存酸素と水素とを反応させて溶存酸素濃度を低減させる。なお、脱気装置は、水中の溶存酸素の変動幅が大きい場合、あるいは汚れ成分を多く含む廃水などからも溶存酸素を効率的に除去することができる。
【００１６】
本発明は、例えば、各種工場や発電所などの工業施設、学校や病院、役所、企業ビルなどの公共施設、マンションやホテルなどの居住施設、入浴施設やプールなどのアメニティー施設、デパートやレストランなどの飲食を伴う複合施設、染色工房やクリーニング店などの洗濯施設等で使用される水、これらの施設から排出される産業排水又は家庭排水などの排水の水質管理、これらの水処理又は排水処理装置における水質管理に用いることができるが、これら以外にも適用できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して本発明の水質測定装置の実施の形態を詳細に説明する。
【００１８】
図１は本発明の水質測定装置の実施の形態を示す系統図である。
【００１９】
図１は、本発明の水質測定装置を超純水製造システムのサブシステムに設けたものである。このサブシステムでは、一次純水システムからの一次純水が一次純水タンク１１に導入され、ポンプ１２により、紫外線（ＵＶ）酸化装置１３、混床式イオン交換装置１４及び限外濾過（ＵＦ）膜分離装置１５で処理されて超純水が製造される。製造された超純水は、配管１６よりユースポイント１７に送給され、ユースポイント１７で使用されなかった余剰の超純水が配管１８より一次純水タンク１１に戻されて循環処理される。
【００２０】
水質測定装置１は、サブシステムの超純水配管（以下「主配管」と称す。）１６に連結される試料水配管２と、回転羽根車３、直線状配管部４及び水質センサ５を備えている。回転羽根車３には発電装置６が設けられる。この水質測定装置１では、主配管１６から試料水配管２に流入した超純水の水流を回転羽根車３で安定化させて脈動の発生を抑え、更に直線状配管部４で水流を安定化させ、脈動のない安定な水流として水質センサ５で水質を測定する。なお、回転羽根車３に取り付けられた発電装置６は、水流による回転羽根車３の回転で発電するが、この電力は、水質センサの駆動源として利用される。水質センサ５で水質が測定された試料水は系外へ排出される。
【００２１】
羽根車の形式はいずれでもよいが、軸流式が好適である。
【００２２】
直線状配管部４を５ｃｍ以上とすることにより水流を十分に安定化させることができる。この直線状配管部４の長さは５〜３０ｃｍ程度で十分である。なお、この直線状配管部４は好ましくは水平に配置される。
【００２３】
水質センサ５としては、水の電気伝導度又は比抵抗を測定するもの、水中のイオン濃度を検知するもの、水中の全有機炭素成分を測定するもの、水中の溶存酸素濃度を測定するもの、水中の溶存水素濃度を測定するもの、水中の溶存オゾン濃度を測定するもの、水の酸化還元電位を測定するもの、水の酸性度（＝ｐＨ）を測定するものなどを用いることができるが、これに限定されない。
【００２４】
本発明の水質測定装置は、主配管１６から試料水配管２に被測定水を導入して測定を行うものであるため、長期的な安定性が実現できるが、より信頼性のある測定を行うためには、定期的に水質センサの校正を実施することが望ましい。このため、水質測定装置を可搬型とし、装置の持ち帰り校正を可能としてもよい。
【００２５】
この可搬型の水質測定装置の一例を図２に示す。図２（ａ）は、回転羽根車３及び発電装置６を内蔵する試料水導入部２１と、直線状配管部４と水質センサ５と、発電装置６からの電力が伝達されると共に水質センサ５の測定結果が入力される表示部２２Ａを有する本体部２２との４つのパーツに分割可能なものである。図２（ｂ）は、回転羽根車３、直線状配管部４及び水質センサ５と発電装置６を内蔵する試料水導入・測定部２３と、表示部２２Ａを有する本体部２２との２つのパーツに分割可能なものである。図２（ｃ）は、回転羽根車３、直線状配管部４及び水質センサ５と発電装置６と、水質センサ５の測定結果が入力される演算機２４、電源２５及び表示部２６が一体化された水質測定装置３０である。
【００２６】
本発明において、試料水配管２内の水流の乱れを抑え、水流をより一層安定化させるためには、水質センサ５と回転羽根車３との間に整流手段を設けることが好ましい。この整流手段としては、水流に圧力損失を生じさせることができるものであれば良く、充填物が充填された充填部や、Ｕ字管又はコイル状管、その他蛇行流路部等を適用することができる。
【００２７】
充填部に充填される充填材としては、測定対象とする水を汚染しないものであれば何でも良く、合成樹脂、金属、セラミックなどの粒状体やメッシュ等が例示される。充填材は、測定水質項目に影響を与えない場合には活性炭やイオン交換樹脂であってもよい。
【００２８】
水質センサ５は、一般に温度により影響を受け測定値が変化するため、測定は一定の温度条件で行うことが好ましく、このために、水質センサ５の上流側に必要に応じて温度調整手段を設けてもよい。この温度調整手段としては恒温槽又は熱媒体を循環させたジャケットを用いることができ、例えば、配管を恒温槽内に通すようにしたものなどを採用することができる。この場合、図３に示す如く、回転羽根車３と直線状配管部４との間に、内部にコイル状管（Ｖ字管、蛇行流路であっても良い。）７Ａを通した恒温槽７を設け、恒温槽７に熱媒を通すことにより、被測定水の水流を整流化すると共に、温度を一定に調整するようにしても良い。このように恒温槽７内にＵ字管７Ａ等の曲管を設けることにより、直管よりも熱交換部を長くとることができ、調温効果が高められる。なお、図３及び後述の図４，５において、図１に示す部材と同一機能を奏する部材には同一符号を付してある。
【００２９】
水質センサ５が溶存酸素により影響を受けることを防止するために、水質センサ５の上流側に溶存酸素除去手段を設けてもよい。
【００３０】
溶存酸素除去手段としては、被測定水中の溶存酸素と水素とを反応させる脱酸素触媒を用いることができる。脱酸素触媒としては、水素と酸素が反応できるものであれば何でも良いが、選択的に触媒作用を示すＰｄが好ましい。脱酸素触媒は、ゼオライトなどを担体として、触媒金属を担持して使われることが多いが、Ｐｄに関しては市販品として陰イオン交換樹脂に担持したものがあるので、これを利用しても良い。
【００３１】
なお、被測定水中の溶存酸素と反応させる水素の注入箇所には特に制限はないが、回転羽根車３の上流側で注入することにより、回転羽根車３の撹拌効果で水素をより均一に分散させることができる。
【００３２】
図４は、このような脱酸素触媒による溶存酸素除去手段を設けた水質測定装置を示し、試料水配管２に水素を注入する水素ガスボンベ８と脱酸素触媒充填塔９が設けられ、水素ガスボンベ８から水素が注入された被測定水が回転羽根車３を通過した後、脱酸素触媒充填塔９に導入され、被測定水中の溶存酸素と水素との反応で溶存酸素が除去されるように構成されている。
【００３３】
また、この溶存酸素除去手段は物理的に溶存酸素を除去する脱気装置であっても良い。この脱気装置としては特に制限はないが、脱気膜を利用した膜脱気装置がコンパクトであり、かつ、被測定水中に含まれる溶存酸素濃度を効率よく低減できることから好ましい。
【００３４】
図５は、このような脱気装置を設けた水質測定装置を示し、試料水配管２に流入した被測定水は脱気装置１０で溶存酸素が除去された後、回転羽根車３及び直線状配管部４を経て水質センサ５に送給される。
【００３５】
なお、溶存酸素除去手段としての脱気装置を設けた場合、その性能を維持するために、脱気装置への汚れの付着を防止する手段を設けてもよい。例えば、脱気装置の上流側に砂濾過装置や膜（精密濾過膜又は限外濾過膜）分離装置を設けて、被測定水の汚れ成分を除去する。
【００３６】
本発明では、水質センサ５は試料水配管内に設けられてもよく、試料水配管に連なる槽内に設けられてもよい。例えば、ｐＨ計は、流通状態で連続測定すると精度が不安定となるが、センサを被測定水が１０秒以上滞留する槽内に設置すれば、この問題は解決する。
【００３７】
一般に、水質測定装置は、集中コントロール室などにおいて遠隔監視することが多い。このため、本発明の水質測定装置では、水質センサの測定値を電気信号として外部に出力できるようにするのが好ましい。この場合、信号の処理の容易性及び精度から、伝達する距離が数ｍ〜十数ｍの時は電圧出力とし、それ以上の場合には電流出力とするのが好ましい。さらに、数百ｍを超えるような遠距離送信する場合には、無線による伝達が好ましい。
【００３８】
本発明の水質測定装置からの各水質データを、別個設置されている薬注装置にフィードバックして薬注量の制御を行うことができる。
【００３９】
また、超純水又は純水製造システム等のイオン交換樹脂を用いた脱塩装置や軟化装置では、そのイオン交換能力が低下した場合に再生剤による再生が行われる。再生の時期は、その処理水の水質で判断しても良いが、最近は入口水質を経時的にモニターし、演算装置で負荷量を計算して寿命を予測する。本発明の水質測定装置は、このようなイオン交換樹脂の寿命予測のための水質測定装置としても好適に使用される。
【００４０】
【実施例】
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
【００４１】
実施例１
図１に示すように、本発明の水質測定装置１を超純水製造システムのサブシステムの超純水配管（送水圧力０．３ＭＰａ）１６に取り付け、超純水の比抵抗の測定を行った。
【００４２】
試料水配管２としては１０ｍｍφのポリテトラフルオロエチレンチューブを用い、超純水配管１６から超純水を２００Ｌ／ｈｒで取り出し、回転羽根車３、長さ５ｃｍの水平直線状配管部４及び水質センサ（比抵抗センサ）５に通水して比抵抗を２４時間に亘って連続測定した。回転羽根車３としては、直径４５ｍｍ，羽根数１３枚で羽根には１７゜の後退角をもたせたものを用い、軸方向に右奥部から水が入り、手前に抜けるように設置した。また、比抵抗センサとしては、栗田工業（株）製比抵抗計「ＭＸ−４」を用いた。
【００４３】
このときの比抵抗の測定結果を図６に示した。
【００４４】
なお、サブシステムの超純水配管１６には同様の比抵抗センサが予め設けられており、この比抵抗センサ（既設センサ）で測定した測定値も図６に併記した。
【００４５】
比較例１
実施例１において、１０ｍｍφ、長さ１．５ｍのポリテトラフルオロエチレンチューブを用いて超純水配管１６から２００Ｌ／ｈｒで取り出した超純水を直接比抵抗センサに通水したこと以外は同様にして比抵抗の測定を行い、測定結果を図６に示した。
【００４６】
図６より、回転羽根車及び直線状配管部を有する本発明の水質測定装置であれば、主配管に設けた比抵抗センサと同等の測定結果が得られ、測定精度が高いことがわかる。これに対して、比較例１では、主配管に設けた比抵抗センサの測定結果と大きく異なり、水流の脈動でセンサの測定値が不安定となっていることが分かる。
【００４７】
なお、実施例１において、回転羽根車に連結した発電装置からは０．５ｋＷの電力が発生し、一方、実施例１で用いた比抵抗センサの定格消費電力は０．１ｋＷであり、比抵抗センサの電源として、必要電力を十分にまかなえることが確認された。
【００４８】
実施例２
図１に示す超純水製造システムのサブシステムの超純水配管（送水圧力０．３ＭＰａ）１６に図４に示す水質測定装置を取り付け、超純水の比抵抗の測定を行った。
【００４９】
試料水配管２としては１０ｍｍφのポリテトラフルオロエチレンチューブを用い、超純水配管１６から超純水を２００Ｌ／ｈｒで取り出し、水素ガスボンベ８から水素を注入した後、回転羽根車３、脱酸素触媒充填塔９、長さ５ｃｍの水平直線状配管部４及び水質センサ（比抵抗センサ）５に通水して比抵抗を１８ヶ月に亘って連続測定した。水素ガスボンベ８としては市販品を用い、レギュレータで圧力を０．３２ＭＰａに調整して注入した。また、脱酸素触媒充填塔９としては、直径７０ｍｍのポリテトラフルオロエチレン製カラムに、Ｐｄ担持樹脂（型番：ＯＣ−１０６３（バイエル社製））を２．５Ｌ充填したものを用いた。
【００５０】
回転羽根車３としては、直径４５ｍｍ，羽根数１３枚で羽根には１７゜の後退角をもたせたものを用い、軸方向に右奥部から水が入り、手前に抜けるように設置した。また、比抵抗センサとしては、栗田工業（株）製比抵抗計「ＭＸ−４」を用いた。
【００５１】
このときの比抵抗の測定結果を図７に示した。
【００５２】
実施例３
実施例２において、脱酸素触媒充填塔を設けなかったこと以外は同様にして比抵抗の測定を行い、測定結果を図７に示した。
【００５３】
図７より明らかなように、実施例２では、１８ヶ月間を通じて測定値が安定していたが、実施例３では、経時的に測定値が徐々に減少し、溶存酸素の影響でセンサの測定精度が低下していることが分かる。
【００５４】
なお、実施例２及び実施例３の被測定水の超純水の溶存酸素濃度は２０〜２８μｇ／Ｌであり、実施例２の脱酸素触媒処理後の溶存酸素濃度は３〜５μｇ／Ｌであった。
【００５５】
実施例４
図１に示す超純水製造システムのサブシステムの超純水配管（送水圧力０．３ＭＰａ）１６に図５に示す水質測定装置を取り付け、超純水の比抵抗の測定を行った。ただし、試料水配管２で取り出した超純水には、酸素ガスを吹込み溶存酸素濃度１．０〜３．３ｍｇ−Ｏ／Ｌの間で変化させた。
【００５６】
試料水配管２としては１０ｍｍφのポリテトラフルオロエチレンチューブを用い、超純水配管１６から超純水を１８０Ｌ／ｈｒで取り出し、脱気装置１０、回転羽根車３、長さ０．５ｃｍの水平直線状配管部４及び水質センサ（比抵抗センサ）５に通水して比抵抗を１８ヶ月に亘って連続測定した。脱気装置１０の脱気膜としては、大日本インキ社製「ＰＦ−００４Ｄ」を使用した。回転羽根車３としては、直径４５ｍｍ，羽根数１３枚で羽根には１７゜の後退角をもたせたものを用い、軸方向に右奥部から水が入り、手前に抜けるように設置した。また、比抵抗センサとしては、栗田工業（株）製比抵抗計「ＭＸ−４」を用いた。
【００５７】
このときの比抵抗の測定結果を図８に示した。
【００５８】
実施例５
実施例４において、図５に示す水質測定装置の代りに図４に示す水質測定装置を設け、水素ガスボンベ８より１ｍｇ−Ｈ２／Ｌとなるように水素を注入した後、回転羽根車３を経て脱酸素触媒充填塔９に通水し、その後長さ５ｃｍの水平直線状配管部４及び比抵抗センサ５に通水して１８ヶ月間比抵抗の測定を行い、結果を図８に示した。なお、用いた回転羽根車３及び比抵抗センサは実施例４のものと同様であり、脱酸素触媒充填塔９としては、直径７０ｍｍのポリテトラフルオロエチレン製カラムにＰｄ担持触媒（型番：ＯＣ−１０６３（バイエル社製））を２Ｌ充填したものを用いた。
【００５９】
図８より明らかなように、脱気装置を用いた実施例４では、１８ヶ月間を通じて測定値に変化はなかったが、実施例５では経時的に測定値が低下した。この結果から、溶存酸素濃度が変化する系では、脱気装置を用いる方が溶存酸素を安定して低減することができ、溶存酸素による水質センサの測定精度の経時低下を防止することができることがわかる。
【００６０】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の水質測定装置は、水質測定される水が移送される主配管に対して容易に水質センサの取り付け、取り外しをすることができると共に、水質センサにより安定した水質測定を行うことができる。しかも、電源確保の難しい場所においても容易に稼動させることができる。従って、本発明の水質測定装置は、既設の水処理装置にも容易に取り付け、取り外しをすることができ、水質センサのメンテナンスも容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の水質測定装置の実施の形態を示す系統図である。
【図２】本発明の水質測定装置の構成例を示す模式図である。
【図３】本発明の水質測定装置の他の実施の形態を示す系統図である。
【図４】本発明の水質測定装置の別の実施の形態を示す系統図である。
【図５】本発明の水質測定装置の異なる実施の形態を示す系統図である。
【図６】実施例１及び比較例１における比抵抗の測定結果を示すグラフである。
【図７】実施例２、３における比抵抗の測定結果を示すグラフである。
【図８】実施例４，５における比抵抗の測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１  水質測定装置
２  試料水配管
３  回転羽根車
４  直線状配管部
５  水質センサ
６  発電装置
７  恒温槽
７Ａ  コイル状管
８  水素ガスボンベ
９  脱酸素触媒充填塔
１０  脱気装置
１１  一次純水タンク
１２  ポンプ
１３  ＵＶ酸化装置
１４  混床式イオン交換装置
１５  ＵＦ膜分離装置
１７  ユースポイント
【図１】
0003838099.tif 000002
【図２】
0003838099.tif 000003
【図３】
0003838099.tif 000004
【図４】
0003838099.tif 000005
【図５】
0003838099.tif 000006
【図６】
0003838099.tif 000007
【図７】
0003838099.tif 000008
【図８】
0003838099.tif 000009