(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液相の側壁（７）を水平に貫いて、平板状部材を搬送するコンベア手段が設けられているディッピング処理装置において、
無端環状のベルト（１３）が１対のプーリ（１２ａ，１２ｂ）に巻き掛けられ、垂直面内で張り渡されて上側水平部と下側水平部とが形成されているベルトコンベアユニットの２セットが、相互に隣接して上下対称に、前記の側壁を貫通して配置されており、
下段のベルトコンベアユニットのベルトの下側水平部が位置している水平面Ｈ1と、
下段のベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部、および、上段のベルトコンベアユニットの下側水平部が位置している水平面Ｈ2と、
上段のベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部が位置している水平面Ｈ3とを想定し、
前記薬液槽の側壁に、水平面Ｈ1よりも低い下側の縁と水平面Ｈ3よりも高い上側の縁とを有する開口（７ｃ）が設けられ、この開口を通らせて前記２セットのベルトコンベアユニットが配設され、
前記の開口（７ｃ）を覆い、主としてベルトコンベアユニットの上方および下方に位置する外側カバー（１５）と、主としてベルトコンベアユニットに囲まれた部分に位置する内側カバー（１６）とが設けられており、
前記の外側カバーに、水平面Ｈ1付近に位置して上向きに凹形をなす下側切欠（１７）、および、水平面Ｈ3付近に位置して下向きに凹形をなす上側切欠（１８）が設けられるとともに、上記の下側切欠と上側切欠との間にベルトの通過を許容する垂直方向の溝孔（２４）が設けられており、
かつ、前記の内側カバーの水平面Ｈ2付近に位置せしめて、前記平板状部材の通過を許容する水平な溝孔（２２）、および、前記ベルトの挿通を許容する溝孔幅広部（２３）が形成されており、
上記内側カバーの水平面Ｈ1付近に位置せしめて、前記外側カバーの下側切欠（１７）に対応する、下向きに凹形をなす下部切欠（１９）が設けられるとともに、
上記内側カバーの水平面Ｈ3付近に位置せしめて、前記外側カバーの上側切欠（１８）に対応する、上向きに凹形をなす上部切欠（２０）が設けられていて、
上記外側カバーの下側切欠（１７）と内側カバーの下部切欠（１９）との対向によって形成される透孔状部分（２１）、および、外側カバーの上側切欠と内側カバーの上部切欠との対向によって形成される透孔状部分に前記のベルトが挿通されていることを特徴とする、平板状部材のディッピング処理装置。
【請求項２】
前記の外側カバー（１５）が、水平面Ｈ2よりも上方の部分（１５ａ）と、水平面Ｈ2よりも下方の部分（１５ｂ）とに分割されるとともに、分割された上半部の下縁の少なくとも一部分と、分割された下半部の上縁の少なくとも一部分とが水平面Ｈ2を介して対向離間していることを特徴とする、請求項１に記載した平板状部材のディッピング処理装置。
【請求項３】
前記の内側カバー（１６）が、水平面Ｈ2付近に位置する水平な溝孔（２２）を通る線によって内側上部カバー（１６ａ）と内側下部カバー（１６ｂ）とに分割されており、
上記の内側上部カバーは、上段のベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部と同下側水平部との間に挿入されるとともに前記外側カバーに取り付けられ、
前記の内側下部カバーは、下段のベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部と同下側水平部との間に挿入されるとともに前記外側カバーに取り付けられていることを特徴とする、請求項１に記載した平板状部材のディッピング処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平板状の被処理部材をコンベア手段によって水平方向に搬送しつつ該被処理部材を薬液内に浸漬して化学的処理を施すための装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば電子デバイス用の基板のように平板状の素材の表面に薬液を接触させて化学的処理を施す場合、一般にディッピング法もしくはスプレー法の何れかが用いられる。
このようにして化学的処理を施される平板状部材は電子デバイス用基板に限られず、従って、この形状，寸法、および機械的性質も多様であって、剛性の比較的大きいものも有り、フレキシブルなものも有る。さらに、厚さ寸法も種々であって０．５ミリメートル以下の薄いものも有る。このように薄手の素材にあっては、材料学的に剛性の大きい材料で作られていてもハンドリングに伴う弾性変形を無視することができない。
前記のディッピング法とスプレー法とには一長一短があって、いずれも実用価値の高い有用な方式であるが、化学反応が全面について均一に進行すること、および、化学反応を緩徐に行なわせ得ることに関してはディッピング法が賞用される。
【０００３】
図５は従来例のディッピング処理装置を示し、薬液処理槽とコンベア手段と水洗手段とを描いた断面図である。
薬液処理槽１の中には薬液２が入れられており、この薬液処理槽１の側壁を水平に貫通してコンベア手段３が設けられている。被処理物である平板状の部材は図の左方から搬入されて薬液処理槽１内を図の右方に向けて搬送されつつ薬液２と接触し、さらに薬液処理槽１から図の右方に搬出され、水洗室４で水洗される。４ａは水洗用のスプレーノズルである。５は、薬液貯溜槽６内の薬液を前記の薬液処理槽１に汲み上げて循環させる薬液ポンプである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前掲の図５に示したディッピング装置においては、コンベア手段３が薬液処理槽１の側壁を、薬液２の液面よりも下方で貫通して被処理物である平板状の部材を搬送するので、上記の側壁がコンベア手段３で貫かれている個所で薬液の漏出が発生する。この漏出流量が過大であると、大容量の薬液ポンプ５を必要とするのみでなく、漏出流の影響を受けて平板状被処理物の板面上に薬液処理状態の不均一を生じる虞れがあるので、上記の漏出流量をなるべく抑制することが望まれる。
図６は、従来例のディッピング処理装置における問題点を説明するために示したもので、（Ａ）は薬液槽の側壁に幅広の開口を設けてコンベア手段を貫通させた従来例の模式的な断面図、（Ｂ）は薬液槽の側壁に幅狭の開口を設けるとともに、コンベア手段を分割した従来例の模式的な断面図、（Ｃ）は幅狭の開口を設けるとともにコンベア手段を分割し、さらに分割個所を接続するガイドを設けた従来例の模式的な断面図である。
【０００５】
図６（Ａ）の従来例においては、上段ローラ列と下段ローラ列９とを上下対称に設けて、その間に平板状被搬送物１０を矢印ａのように挟み込んで図の右方へ搬送し、薬液槽側壁７に設けられた幅広開口７ａを通過して矢印ｂのように搬出する。この場合、上記の被搬送物という呼称は前記の被処理物という呼称とほぼ同意である。この図６（Ａ）の従来例においては幅広の開口７ａが設けられているので薬液の漏出流量が大きい。
なお、上段ローラ列８と下段ローラ列９とが上下対称に設置されている理由は、平板状被搬送物１０が漏出薬液流に乗って押し流される虞れの無いように、該平板状被搬送物１０を上下に挟みつけて保持するためである。こうした構造および機能から容易に理解できるように、本発明において「コンベア手段を構成する部材もしくはユニットが上下対称に配置される」とは、幾何学的に厳密な対称形状であることを要せず「被搬送物を上下に挟みつけて水平に搬送できる構造であれば足りる。
【０００６】
図６（Ｂ）の従来例においては、薬液の漏出流量を少なくするため、薬液槽側壁７に幅狭の開口７ｂを設けている。このため、上段ローラ列８および下段ローラ列のそれぞれを薬液槽側壁の内側と外側とに分割し、分割されたそれぞれのローラ列を、前記幅狭開口７ｂを介して対向せしめてある。
薬液槽内のローラ列から矢印ｃのように送り出された平板状被搬送物１０は、幅狭開口７ｂに挿通されて矢印ｄのように薬液槽外のローラ列に受け取られ、矢印ｂのように搬出される。この（Ｂ）図の従来例によると、前記（Ａ）図の従来例に比して薬液の漏出流量は減少するが、
（イ）平板状被搬送物１０の材質がフレキシブルであるとき、もしくは、材質は比較的剛性が大であるが板厚寸法が非常に薄いとき（例えば０．５ミリメートル未満）は、矢印ｃのように送り出された平板状被搬送物が、自重および薬液流の動圧によって撓まされ、矢印ｄのように薬液槽外のローラ列で受け取られなくなって搬送が渋滞する虞れが有り、
（ロ）平板状被搬送物１０が大きい剛性を有していて撓み量が無視できるほど小さい場合であっても、該平板状被搬送物１０の搬送方向の幅寸法Ｌが図示の寸法Ｄよりも小さいと、矢印ｃ方向に送り出された平板状被搬送物の先端が矢印ｄのように薬液槽外のローラ列に挟み込んで受け取られないうちに該平板状被搬送物の搬送方向先端部が頭を下げる形に傾いて、円滑な受け渡しが行なわれなくなる虞れが有る。
図６（Ｃ）の従来例においては、前述した（Ｂ）図における受け渡し困難のトラブルを解消するため、そり状のガイド１１を設けている。これにより、平板状被搬送物が常に水平姿勢を保ち、薬液槽内のローラ列から送り出された後、撓んだり頭を下げたりすることなく薬液槽外のローラ列によって受け取られる。
しかし乍ら、平板状被搬送物の板面の１部に、ガイド１１による擦痕を生じるという不具合が有る。
【０００７】
本発明は以上に説明した事情に鑑みて、従来技術に係る平板状部材のディッピング処理装置における不具合を解消して、
ａ．薬液槽側壁の、コンベア手段貫通部における薬液の漏出流量が小さく、
ｂ．被処理物である平板状部材がフレキシブルであったり、搬送方向の幅寸法が小さくても円滑に搬送が行なわれ、
ｃ．被処理物である平板状部材の板面に擦過痕を生じる虞れの無い、
平板状部材のディッピング処理装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために創作した本発明の基本的原理について、その実施形態に対応する図１（Ｂ）を参照して略述すると、１対のプーリ１２ａ，１２ｂに、無端環状のベルト１３を水平に張り渡してベルトコンベアユニットを構成し、上記ベルトコンベアユニットの２セットを上下対称に配設する。
１セットのベルトコンベアユニットについて見ると、その上側と下側とのそれぞれに、ベルト１３が水平に張り渡される。そして、上段のベルトコンベアユニットの下側で水平に張り渡されているベルトと、下段のベルトコンベアユニットの上側で水平に張り渡されているベルトとを隣接せしめる。この場合の隣接とは、その間に平板状部材を挟み込み得る程度の余裕が有り、かつ、挟みつけた平板状部材が滑らない程度に近接していることを意味する。
図１（Ｂ）に示したＨ1，Ｈ2，Ｈ3は、説明の便宜のために想定した架空の水平面であって、下段のベルトコンベアユニットの下側で水平に張り渡されたベルト１３が位置する水平面をＨ1と名付け、「下段のベルトコンベアユニットの上側で水平に張り渡されたベルト１３」および「上段のベルトコンベアユニットの下側で水平に張り渡されたベルト１３」が位置する水平面をＨ2と名付け、上段のベルトコンベアユニットの上側で水平に張り渡されているベルト１３が位置する面をＨ3と名付けたものである。
【０００９】
このように、コンベア手段が薬液槽側壁を貫通する部分をベルトコンベアユニットによって構成したことにより、該ベルトコンベアユニットを構成している実体的部材が薬液槽側壁７を貫通する個所は水平面Ｈ1，水平面Ｈ2，および水平面Ｈ3の３個所のみとなり、ベルトや被処理物（平板状部材）の通過を許容する余裕を残して、これら３つの水平面以外の部分を閉塞できるようになる。そこで、薬液槽側壁７に設けられた開口７ｃの開口面積のうち、主として水平面Ｈ1と水平面Ｈ3とによって挟まれた部分を覆う内側カバー１６と、上記内側カバー１６よりも上，下の外側部分を覆う外側カバー１５とを設ける。
図１（Ｂ）を参照して以上に説明した構成が本発明装置の基本的構成（請求項１に対応）である。そして請求項２および請求項３は上記請求項１の従属項であって、前記カバー類の取付作業性を良くするための構造に関するものである。
【００１０】
以上に説明した基本的原理に基づいて、請求項１の発明の構成は（図１参照）薬液相の側壁（７）を水平に貫いて、平板状部材を搬送するコンベア手段が設けられているディッピング処理装置において、
無端環状のベルト（１３）が１対のプーリ（１２ａ，１２ｂ）に巻き掛けられ、垂直面内で張り渡されて上側水平部と下側水平部とが形成されているベルトコンベアユニットの２セットが、相互に隣接して上下対称に、前記の側壁を貫通して配置されており、
下段のベルトコンベアユニットのベルトの下側水平部が位置している水平面Ｈ1と、
下段のベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部、および、上段のベルトコンベアユニットの下側水平部が位置している水平面Ｈ2と、
上段のベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部が位置している水平面Ｈ3とを想定し、
前記薬液槽の側壁に、水平面Ｈ1よりも低い下側の縁と水平面Ｈ3よりも高い上側の縁とを有する開口（７ｃ）が設けられ、この開口を通らせて前記２セットのベルトコンベアユニットが配設され、
前記の開口（７ｃ）を覆い、主としてベルトコンベアユニットの上方および下方に位置する外側カバー（１５）と、主としてベルトコンベアユニットに囲まれた部分に位置する内側カバー（１６）とが設けられており、
（図３参照）前記の外側カバーに、水平面Ｈ1付近に位置して上向きに凹形をなす下側切欠（１７）、および、水平面Ｈ3付近に位置して下向きに凹形をなす上側切欠（１８）が設けられるとともに、上記の下側切欠と上側切欠との間にベルトの通過を許容する垂直方向の溝孔（２４）が設けられており、
かつ、前記の内側カバーの水平面Ｈ2付近に位置せしめて、前記平板状部材の通過を許容する水平な溝孔（２２）、および、前記ベルトの挿通を許容する溝孔幅広部（２３）が形成されており、
上記内側カバーの水平面Ｈ1付近に位置せしめて、前記外側カバーの下側切欠（１７）に対応する、下向きに凹形をなす下部切欠（１９）が設けられるとともに、
上記内側カバーの水平面Ｈ3付近に位置せしめて、前記外側カバーの上側切欠（１８）に対応する、上向きに凹形をなす上部切欠（２０）が設けられていて、
上記外側カバーの下側切欠（１７）と内側カバーの下部切欠（１９）との対向によって形成される透孔状部分、および、外側カバーの上側切欠と内側カバーの上部切欠との対向によって形成される透孔状部分に前記のベルトが挿通されていることを特徴とする。
【００１１】
以上に説明した請求項１の発明によると、２セットのベルトコンベアユニットが相互に隣接して上下対称に、側壁を貫いて配置されていることにより、被搬送物である平板状部材が２本のベルトで上下に挟みつけられて搬送されるので、薬液流の動圧によって被搬送物が流されたり、薬液槽内の薬液の静圧によって被搬送物が槽外に押し出されたりする虞れが無く、
２セットのベルトコンベアユニットが相互に隣接して、ベルトを水平に張り渡されているので、該２セットのベルトコンベアユニットの実体部材が薬液槽の側壁を貫通する個所は水平面Ｈ1と、同Ｈ2と、同Ｈ3との３個所のみとなり、その他の区域をカバーで覆って薬液の漏出流量を抑制することができる。
上記水平面Ｈ1，同Ｈ2，同Ｈ3以外の部分を覆うべきカバー部材を、内側カバーと外側カバーとに分割することを最小限の必要条件として、組付け，取外しが可能となる。さらに、分割されたカバー部材の、水平面Ｈ1付近と、同Ｈ2付近と、同Ｈ3付近とに設けた切欠をそれぞれ対向させて透孔状部分を形成することにより、ベルトコンベアユニットのベルトを通過させ、かつ該ベルトの周辺部を閉塞して薬液の漏出を抑制することができる。
さらに、水平面Ｈ2付近に水平な溝孔が設けられているので、この水平面Ｈ2に沿って搬送される平板状部材を通過させることができる。
【００１２】
請求項２の発明の構成は前記請求項１の発明の構成に加えて、前記の外側カバー（１５）が、水平面Ｈ2よりも上方の部分（１５ａ）と、水平面Ｈ2よりも下方の部分（１５ｂ）とに分割されるとともに、分割された上半部の下縁の少なくとも一部分と、分割された下半部の上縁の少なくとも一部分とが水平面Ｈ2を介して対向離間していることを特徴とする。
以上に説明した請求項２の発明によると、外側カバー１５が上半部と下半部とに分割されているので、分割されたカバーを組み合わせて薬液槽の開口を覆うとともにベルトコンベアユニットのベルトと干渉しないように組み付けたり取り外したりする作業が容易であって、消耗品であるベルトの交換作業を迅速容易に行なうことができて好都合である。
さらに、上記の分割された上半部と下半部とが水平面Ｈ2を挟んで対向離間しているので、該水平面Ｈ2に沿って搬送される平板状部材に干渉することなく、その通過を許容し得る。
【００１３】
請求項３の発明の構成は前記請求項１の発明の構成に加えて、前記の内側カバー（１６）が、水平面Ｈ2付近に位置する水平な溝孔（２２）を通る線によって内側上部カバー（１６ａ）と内側下部カバー（１６ｂ）とに分割されており、
上記の内側上部カバーは、上段のベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部と同下側水平部との間に挿入されるとともに前記外側カバーに取り付けられ、前記の内側下部カバーは、下段のベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部と同下側水平部との間に挿入されるとともに前記外側カバーに取り付けられていることを特徴とする。
以上に説明した請求項３の発明によると、内側カバーが水平面Ｈ2を介して上，下に分割されているので、分割された内側カバーの上半部を上段ベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部と下側水平部との間へ挿入することにより、該ベルトを切断する必要無く迅速容易に組み付けたり取り外したりすることができ、消耗品である上段のベルトの着脱交換に好都合である。同様に、分割された内側カバーの下半部を下段ベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部と下側水平部との間へ挿入することにより、該ベルトを切断する必要無く迅速容易に組み付けたり取り外したりすることができ、消耗品である下段のベルトの着脱交換に好都合である。
上記内側カバーが、水平面Ｈ2付近に位置する水平な溝孔を通る線によって分割されているので、分割された上半部と下半部とを組み合わせると水平な溝孔が形成され、該水平面Ｈ2に沿って搬送される平板状部材と干渉すること無く、該平板状部材の通過を許容し得る。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る平板状部材のディッピング装置の１実施形態を示し、（Ａ）は部分的に破断して描いた模式的な平面図、（Ｂ）は要部を抽出して描いた垂直断面図である。
本図１（Ｂ）に表されているように１対のプーリ１２ａ，同１２ｂに無端環状のベルト１３が巻き掛けられ、水平に張り渡されてベルトコンベアユニットが構成されている。（Ｂ）図には、上記ベルトコンベアユニットの２セットが上下対称に、相互に隣接せしめて配置されている状態が表されている。（Ａ）図においては上記２セットのベルトコンベアユニットが重なって１セットのみ表されている。（Ｂ）図に表されているように、下段のベルトコンベアユニットの下側で水平に張り渡されているベルト１３を通る水平面Ｈ1と、上段のベルトコンベアユニットの上側で水平に張り渡されているベルト１３を通る水平面Ｈ3とを想定するとともに、上段のベルトコンベアユニットと下段のベルトコンベアユニットとの接触線を通る水平面Ｈ2とを想定する。この水平面Ｈ2には「上段のベルトコンベアユニットの下側で張り渡されているベルト１３」および「下段のベルトコンベアユニットの上側で張り渡されているベルト１３」が位置する。
【００１５】
薬液槽側壁７に開口７ｃを設ける。この開口７ｃの上縁は水平面Ｈ3よりも高く想定し、該開口７ｃの下縁は水平面Ｈ1よりも低く設定する。これにより、前記上下２段のベルトコンベアユニットおよび多数のローラ１４よりなるコンベア手段は前記開口７ｃの縁に接触することなく該開口７ｃを水平に貫通する。
上記の開口７ｃを、設計的に次のように区分して考える。すなわち「水平面Ｈ1と水平面Ｈ3との間に位置し、２セットのベルトコンベアユニットに囲まれた部分」と、「水平面Ｈ1よりも上方の部分と、水平面Ｈ3よりも下方の部分とを除いた、ベルトコンベアユニットに囲まれていない部分」とに区分して考える。
そして「ベルト１３に干渉しないように、ベルトコンベアユニットに囲まれていない部分を覆う外側カバー１５」と、「ベルト１３に干渉しないように、ベルトコンベアユニットに囲まれている部分を覆う内側カバー１６」とを設ける。ベルト１３と干渉しないようにする構成については、図３を参照して後に詳しく説明する。
【００１６】
図２は、前掲の図１（Ｂ）に垂直断面図を示した第１の実施形態に係る平板状部材のディッピング処理装置を改良した第２の実施形態における垂直断面図であって、この第２の実施形態に係る平板状部材のディッピング処理装置の平面図は前掲の図１（Ａ）と同様であるから省略してある。
この第２の実施形態が前記第１の実施形態に比して異なる点は、
外側カバーを外側上部カバー１５ａと外側下部カバー１５ｂとに分割し、
内側カバーを内側上部カバー１６ａと内側下部カバー１６ｂとに分割したことである。その分割状態について次に説明する。
図３は、上掲の図２に示した第２の実施形態における分割された外側カバーおよび分割された内側カバーとを示し、（Ａ）は分割された内側カバーの取付状態について、水平面Ｈ1，Ｈ2，Ｈ3を基準として描いた外観正面図、（Ｂ）は分割された外側カバーについて水平面Ｈ1，Ｈ2，Ｈ3を基準として描いた正面図であって、（Ａ），（Ｂ）両図の水平面Ｈ1，Ｈ2，Ｈ3を相互に一致せしめて重ね合わせると、外側カバーと内側カバーとの組み立て状態における正面図になる。
図４は、上掲の図３に示した外側カバーの切欠と内側カバーの切欠との対応を説明するために示したもので、（Ａ）は部分的に拡大して描いた分解正面図、（Ｂ）は部分的に拡大して描いた組立状態正面図である。
【００１７】
図３（Ｂ）と図２とを対比すると、両図それぞれに示した水平面Ｈ1，Ｈ2，Ｈ3が対応している。図３（Ｂ）の外側上部カバー１５ａおよび外側下部カバー１５ｂは、それぞれ図２に示すように薬液槽側壁７の開口７ｃを覆って装着される。上記の外側上部カバー１５ａには、水平面Ｈ3付近に位置せしめて下向きに凹形をなすそ上側切欠１８が設けられ、外側下部カバー１５ｂには水平面Ｈ1付近に位置せしめて下側切欠１７が設けられている。そして上記の上側切欠１８と下側切欠１７とを結ぶ形に、垂直方向の溝孔２４が設けられている。
前記の外側上部カバー１５ａおよび外側下部カバー１５ｂを、図２に示したように薬液槽側壁７に装着する際、ベルトコンベアユニットのベルト１３は前記の垂直な溝孔２４に挿入された形で、これらの外側上部カバー１５ａおよび外側下部カバー１５ｂを貫通する。
【００１８】
図３（Ａ）に示されているように、内側上部カバー１６ａと内側下部カバー１６ｂとは、水平面Ｈ2付近で上下に分割されており、分割された双方のカバーが水平面Ｈ2を介して対向する個所に水平な溝孔２２が形成されている。図２と対照して理解されるように、上記の水平な溝孔２２が位置する水平面Ｈ2は平板状被搬送物１０が通過する経路であり、該平板状被搬送物１０は上記の水平な溝孔２２を通過して矢印ｂのように搬出される。
図３（Ａ）に示されているように、前記の水平な溝孔２２に、溝孔幅広部２３が形成されている。ベルトコンベアユニットのベルト１３は、上記の溝孔幅広部２３を通る。なお、上記の水平な溝孔と幅広部との位置を、図３（Ｂ）に細線で示してある。
前記内側上部カバー１６ａの上端の水平な縁に、水平面Ｈ3付近に位置せしめ、上方に向けて凹形をなす上部切欠２０が設けられるとともに、内側下部カバー１６ｂの下端の水平な縁には水平面Ｈ1付近に位置せしめて、下方に向けて凹形をなす下部切欠１９が設けられている。これらの内側上部カバー１６ａおよび内側下部カバー１６ｂは、図２に示すように、開口７ｃの開口面のうちでベルトコンベアユニットに囲まれている区域を覆う形に装着される。これらの内側カバー（１６ａ，１６ｂ）が、水平面Ｈ2付近で、すなわち先に述べた水平な溝孔２２を通る線で上下に分割されているてので、組付け，取外しが容易であり、消耗品であるベルト１３の交換に好都合である。
なお、図３（Ａ）には、図２について説明したプーリー１２ａ，および、その駆動歯車機構Ｇを仮想線で付記してある。
図３（Ａ）に鎖線で囲んで示したＥ部と、図３（Ｂ）に鎖線で囲んで示したＦ部とを対向せしめて描くと図４（Ａ）のごとくである。同図に示した内側下部カバー１６ｂを矢印ｅのように、外側下部カバー１５ｂに対して相対的に接近させて重ね合わせると、下向きに凹なる下部切欠１９と、上向きに凹なる下側切欠１７とが対向して、透孔状部分２１が形成される。前述したベルトコンベアユニットのベルト１３が上記の透孔状部分２１に挿通された形になって、該ベルト１３に接触することなく、該ベルト付近からの薬液漏出流量を抑制する。
【００１９】
【発明の効果】
以上に本発明の実施形態を挙げてその構成・機能を明らかならしめたように、
請求項１の発明によると、２セットのベルトコンベアユニットが相互に隣接して上下対称に、側壁を貫いて配置されていることにより、被搬送物である平板状部材が２本のベルトで上下に挟みつけられて搬送されるので、薬液流の動圧によって被搬送物が流されたり、薬液槽内の薬液の静圧によって被搬送物が槽外に押し出されたりする虞れが無く、
２セットのベルトコンベアユニットが相互に隣接して、ベルトを水平に張り渡されているので、該２セットのベルトコンベアユニットの実体部材が薬液槽の側壁を貫通する個所は水平面Ｈ1と、同Ｈ2と、同Ｈ3との３個所のみとなり、その他の区域をカバーで覆って薬液の漏出流量を抑制することができる。
上記水平面Ｈ1，同Ｈ2，同Ｈ3以外の部分を覆うべきカバー部材を、内側カバーと外側カバーとに分割することを最小限の必要条件として、組付け，取外しが可能となる。さらに、分割されたカバー部材の、水平面Ｈ1付近と、同Ｈ2付近と、同Ｈ3付近とに設けた切欠をそれぞれ対向させて透孔状部分を形成することにより、ベルトコンベアユニットのベルトを通過させ、かつ該ベルトの周辺部を閉塞して薬液の漏出を抑制することができる。
さらに、水平面Ｈ2付近に水平な溝孔が設けられているので、この水平面Ｈ2に沿って搬送される平板状部材を通過させることができる。
【００２０】
請求項２の発明によると、外側カバー１５が上半部と下半部とに分割されているので、分割されたカバーを組み合わせて薬液槽の開口を覆うとともにベルトコンベアユニットのベルトと干渉しないように組み付けたり取り外したりする作業が容易であって、消耗品であるベルトの交換作業を迅速容易に行なうことができて好都合である。
さらに、上記の分割された上半部と下半部とが水平面Ｈ2を挟んで対向離間しているので、該水平面Ｈ2に沿って搬送される平板状部材に干渉することなく、その通過を許容し得る。
【００２１】
請求項３の発明によると、内側カバーが水平面Ｈ2を介して上，下に分割されているので、分割された内側カバーの上半部を上段ベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部と下側水平部との間へ挿入することにより、該ベルトを切断する必要無く迅速容易に組み付けたり取り外したりすることができ、消耗品である上段のベルトの着脱交換に好都合である。同様に、分割された内側カバーの下半部を下段ベルトコンベアユニットのベルトの上側水平部と下側水平部との間へ挿入することにより、該ベルトを切断する必要無く迅速容易に組み付けたり取り外したりすることができ、消耗品である下段のベルトの着脱交換に好都合である。上記内側カバーが、水平面Ｈ2付近に位置する水平な溝孔を通る線によって分割されているので、分割された上半部と下半部とを組み合わせると水平な溝孔が形成され、該水平面Ｈ2に沿って搬送される平板状部材と干渉すること無く、該平板状部材の通過を許容し得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る平板状部材のディッピング装置の１実施形態を示し、（Ａ）は部分的に破断して描いた模式的な平面図、（Ｂ）は要部を抽出して描いた垂直断面図である。
【図２】前掲の図１（Ｂ）に垂直断面図を示した第１の実施形態に係る平板状部材のディッピング処理装置を改良した第２の実施形態における垂直断面図であって、この第２の実施形態に係る平板状部材のディッピング処理装置の平面図は前掲の図１（Ａ）と同様であるから省略してある。
【図３】上掲の図２に示した第２の実施形態における分割された外側カバーおよび分割された内側カバーとを示し、（Ａ）は分割された内側カバーの取付状態について、水平面Ｈ1，Ｈ2，Ｈ3を基準として描いた外観正面図、（Ｂ）は分割された外側カバーについて水平面Ｈ1，Ｈ2，Ｈ3を基準として描いた正面図であって、（Ａ），（Ｂ）両図の水平面Ｈ1，Ｈ2，Ｈ3を相互に一致せしめて重ね合わせると、外側カバーと内側カバーとの組み立て状態における正面図になる。
【図４】上掲の図３に示した外側カバーの切欠と内側カバーの切欠との対応を説明するために示したもので、（Ａ）は部分的に拡大して描いた分解正面図、（Ｂ）は部分的に拡大して描いた組立状態正面図である。
【図５】従来例のディッピング処理装置を示し、薬液処理槽とコンベア手段と水洗手段とを描いた断面図である。
【図６】従来例のディッピング処理装置における問題点を説明するために示したもので、（Ａ）は薬液槽の側壁に幅広の開口を設けてコンベア手段を貫通させた従来例の模式的な断面図、（Ｂ）は薬液槽の側壁に幅狭の開口を設けるとともに、コンベア手段を分割した従来例の模式的な断面図、（Ｃ）は幅狭の開口を設けるとともにコンベア手段を分割し、さらに分割個所を接続するガイドを設けた従来例の模式的な断面図である。
【符号の説明】
１…薬液処理槽、２…薬液、３…コンベア手段、４…水洗室、４ａ…スプレーノズル、５…薬液ポンプ、６…薬液貯溜槽、７…薬液槽側壁、８…上段のローラ、９…下段のローラ、１０…平板状被搬送物（被処理物）、１１…ガイド、１２ａ，１２ｂ…プーリー、１３…無端環状のベルト、１４…ローラ、１５…外側カバー、１５ａ…外側上部カバー、１５ｂ…外側下部カバー、１６…内側カバー、１６ａ…内側上部カバー、１６ｂ…内側下部カバー、１７…下側切欠、１８…上側切欠、１９…下部切欠、２０…上部切欠、２１…透孔状部分、２２…溝孔、２３…溝孔の幅広部、２４…溝孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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