(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレーム等の搬送方向であるＸ軸方向に移動させられるＸ軸移動台と、このＸ軸移動台に設けられ前記Ｘ軸方向に直角なＹ軸方向に移動させられるＹ軸移動台と、このＹ軸移動台に上下動可能に設けられたノズルホルダと、前記Ｘ軸移動台に設けられダイピックアップ位置側よりダイボンディング位置側に上昇した傾斜部を有するＺ軸ガイドレールと、このＺ軸ガイドレールに沿って上下動し前記ノズルホルダに連結されたＺ軸移動板と、前記ノズルホルダに上下動可能でかつ該ノズルホルダと共に上下動可能にスプリングでノズルホルダに当接するように上方に付勢され、ダイを吸着保持する吸着ノズルと、この吸着ノズルを駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とするダイ及び小物部品の移送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイボンディング装置、テープボンディング装置、ダイ詰め装置等におけるダイ及び小物部品の移送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一例として、ダイの移送について説明する。図２に示すように、ダイ１が粘着されたウェーハシート２の外周には、ウェーハリング（図示せず）が固定されており、ウェーハリングはＸＹテーブル（図示せず）によってＸＹ軸方向に移動させられる。ここで、Ｘ軸方向は後記するリードフレーム又は基板等（以下、リードフレームと言う）５の搬送方向を指し、Ｙ軸方向はリードフレーム５の搬送方向に直角な方向を指す。ウェーハシート２の下方には吸着体３が配設されており、吸着体３の内部には突き上げ針４が上下動可能に設けられている。ダイ１がボンディングされるリードフレーム５は、フレームフィーダ６によってＸ軸方向に搬送される。
【０００３】
従来のダイ移送装置は、次のような構造となっている。基台５０上にはＸ軸移動台５１がＸ軸方向に摺動自在に設けられており、Ｘ軸移動台５１は基台５０に固定されたＸ軸モータ５２によってＸ軸送りねじ（図示せず）を介して駆動される。Ｘ軸移動台５１には垂直（Ｚ軸方向）に配設されたＺ軸送りねじ５３の上下端部が回転自在に支承されており、Ｚ軸送りねじ５３はＸ軸移動台５１に固定されたＺ軸モータ５４によって駆動される。Ｘ軸移動台５１には、Ｚ軸送りねじ５３と平行に配設されたＺ軸ガイド棒５５の上下端部が固定されており、Ｚ軸ガイド棒５５には、Ｙ軸方向に設置されたＺ軸移動台５６が摺動自在に設けられている。Ｚ軸送りねじ５３には、Ｚ軸移動台５６に固定されたＺ軸送りナット（図示せず）が螺合している。
【０００４】
Ｚ軸移動台５６にはＹ軸方向に配設されたＹ軸送りねじ６０の左右端部が回転自在に支承されており、Ｙ軸送りねじ６０はＺ軸移動台５６に固定されたＹ軸モータ６１によって駆動される。Ｚ軸移動台５６にはＹ軸送りねじ６０と平行に配設されたＹ軸ガイド棒６２の左右端部が固定されており、Ｙ軸ガイド棒６２には、Ｚ軸方向に設置されたＹ軸移動台６３が摺動自在に設けられている。Ｙ軸送りねじ６０には、Ｙ軸移動台６３に固定されたＹ軸送りナット６４が螺合している。
【０００５】
Ｙ軸移動台６３にはノズルホルダ７０が上下方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に設けられており、ノズルホルダ７０には吸着ノズル７１が固定されている。吸着ノズル７１は図示しないスプリングで下方に付勢され、Ｙ軸移動台６３に固定されたストッパ７２に当接しており、図示しない真空手段でダイ１を真空吸引されるようになっている。
【０００６】
次に作用について説明する。図２（ａ）に示すように、吸着ノズル７１がダイピックアップ位置７でピックアップするダイ１に近接すると、突き上げ針４が上昇してダイ１が吸着ノズル７１に当接し、吸着ノズル７１はダイ１を真空吸着保持する。次にＺ軸モータ５４及びＹ軸モータ６１が逆回転する。Ｚ軸モータ５４が逆回転すると、Ｚ軸送りねじ５３が回転してＺ軸移動台５６が上昇し、Ｙ軸移動台６３と共にノズルホルダ７０及び吸着ノズル７１が上昇する。Ｙ軸モータ６１が逆回転すると、Ｙ軸送りねじ６０が回転してＹ軸移動台６３と共にノズルホルダ７０及び吸着ノズル７１がリードフレーム５方向のＹ軸方向に移動する。これにより、図２（ｂ）に示すように、吸着ノズル７１はダイボンディング位置８の上方に移動する。その後、Ｚ軸モータ５４が正回転し、Ｙ軸移動台６３と共にノズルホルダ７０及び吸着ノズル７１が下降し、ダイ１をリードフレーム５にボンディングする。ダイボンディング後は、前記と逆の動作を行ってダイピックアップ位置７に移動する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ダイボンディング装置においては、平面的なスペースを小さくするために、ウェーハシート２とリードフレーム５は平面的な配置となっていなく、ウェーハシート２の一部分はフレームフィーダ６の下方になるように配設されている。このため、吸着ノズル７１を少なくともウェーハシート２とリードフレーム５の上下高さに余裕高さを加えた高さだけ上下（Ｚ軸）に移動させる必要がある。
【０００８】
従来技術は、Ｚ軸移動台５６、Ｙ軸モータ６１、Ｙ軸ガイド棒６２、Ｙ軸送りねじ６０、Ｙ軸移動台６３及びノズルホルダ７０等の重量物をＺ軸モータ５４で上下駆動するので、駆動出力の大きいＺ軸モータ５４を必要とすると共に、高速に上下駆動することができなかった。
【０００９】
本発明の課題は、上下駆動される重量を大幅に削減し、吸着ノズルの上下駆動のためのモータを必要としなく、これによって装置コストの大幅な低減が図れると共に、吸着ノズルを高速で上下駆動することができるダイ及び小物部品の移送装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の手段は、リードフレーム等の搬送方向であるＸ軸方向に移動させられるＸ軸移動台と、このＸ軸移動台に設けられ前記Ｘ軸方向に直角なＹ軸方向に移動させられるＹ軸移動台と、このＹ軸移動台に上下動可能に設けられたノズルホルダと、前記Ｘ軸移動台に設けられダイピックアップ位置側よりダイボンディング位置側に上昇した傾斜部を有するＺ軸ガイドレールと、このＺ軸ガイドレールに沿って上下動し前記ノズルホルダに連結されたＺ軸移動板と、前記ノズルホルダに上下動可能でかつ該ノズルホルダと共に上下動可能にスプリングでノズルホルダに当接するように上方に付勢され、ダイを吸着保持する吸着ノズルと、この吸着ノズルを駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１により説明する。なお、符号１から８は図２と同じであるので、その詳細な説明は省略する。またＸ軸方向及びＹ軸方向も図２の場合と同じように説明する。
【００１２】
ダイ移送装置の構造について説明する。基台１０上にはＸ軸移動台１１がＸ軸方向に摺動自在に設けられており、Ｘ軸移動台１１は基台１０に固定されたＸ軸モータ１２によってＸ軸送りねじ（図示せず）を介して駆動される。Ｘ軸移動台１１にはＹ軸方向にＹ軸送りねじ１３が配設され、Ｙ軸送りねじ１３の左右端部は、Ｘ軸移動台１１に回転自在に支承されており、Ｙ軸送りねじ１３はＸ軸移動台１１に固定されたＹ軸モータ１４によって駆動される。Ｘ軸移動台１１にはＹ軸送りねじ１３と平行にＹ軸ガイド棒１５が配設され、Ｙ軸ガイド棒１５の左右端部は、Ｘ軸移動台１１に固定されており、Ｙ軸ガイド棒１５にはＹ軸移動台１６が摺動自在に設けられている。Ｙ軸送りねじ１３には、Ｙ軸移動台１６に固定されたＹ軸送りナット１７が螺合している。
【００１３】
Ｘ軸移動台１１には、ダイボンディング位置８側からダイピックアップ位置７側に傾斜したＺ軸ガイドレール２０が固定されている。一方、Ｙ軸移動台１６にはノズルホルダ２１が上下摺動可能に設けられており、ノズルホルダ２１にはＺ軸移動板２２が固定されている。Ｚ軸移動板２２にはＺ軸ガイドレール２０の上下を挟持する形でローラ２３が回転自在に支承されている。ノズルホルダ２１には吸着ノズル２４が上下摺動可能に設けられており、吸着ノズル２４はノズルホルダ２１と共に上下動可能に図示しないスプリングでノズルホルダ２１に当接するように上方に付勢されており、図示しない真空手段でダイ１を真空吸引されるようになっている。従って、吸着ノズル２４はノズルホルダ２１と共に上下動可能であり、かつノズルホルダ２１に対して上下動させることができる。
【００１４】
次に作用について説明する。図１（ａ）に示すように、吸着ノズル２４がダイピックアップ位置７でピックアップするダイ１に近接すると、突き上げ針４が上昇してダイ１が吸着ノズル２４に当接し、吸着ノズル２４がダイ１を真空吸着保持する。次にＹ軸モータ１４が逆回転してＹ軸送りねじ１３が回転し、Ｙ軸移動台１６がリードフレーム５方向のＹ軸方向に移動する。これにより、ローラ２３を介してＺ軸移動板２２及びノズルホルダ２１がＺ軸ガイドレール２０に沿って上昇し、図１（ｂ）に示すように、吸着ノズル２４はダイボンディング位置８の上方に移動する。その後、吸着ノズル２４は図示しない駆動手段で下降させられ、ダイ１をリードフレーム５にボンディングする。ダイボンディング後は、前記と逆の動作を行ってダイピックアップ位置７に移動する。
【００１５】
図１と図２を比較すれば明らかなように、図１に示す本実施の形態は、図２に示すＺ軸モータ５４を必要としなく、また上下駆動される部材はローラ２３、Ｚ軸移動板２２、ノズルホルダ２１及び吸着ノズル２４で非常に軽量である。このため、装置コストが大幅に低減できると共に、吸着ノズル２４を高速で上下駆動することができる。
【００１６】
なお、上記実施の形態は、ウェーハシート２よりダイ１をピックアップする場合について説明したが、トレーに収納されたダイ１をピックアップする場合にも適用できる。またウェーハシート２よりピックアップしたダイ１をトレーに収納する場合にも適用できる。またダイ１に限定されなく、小物部品の移送にも適用できる。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は、リードフレーム等の搬送方向であるＸ軸方向に移動させられるＸ軸移動台と、このＸ軸移動台に設けられ前記Ｘ軸方向に直角なＹ軸方向に移動させられるＹ軸移動台と、このＹ軸移動台に上下動可能に設けられたノズルホルダと、前記Ｘ軸移動台に設けられダイピックアップ位置側よりダイボンディング位置側に上昇した傾斜部を有するＺ軸ガイドレールと、このＺ軸ガイドレールに沿って上下動し前記ノズルホルダに連結されたＺ軸移動板と、前記ノズルホルダに上下動可能でかつ該ノズルホルダと共に上下動可能にスプリングでノズルホルダに当接するように上方に付勢され、ダイを吸着保持する吸着ノズルと、この吸着ノズルを駆動する駆動手段とを備えた構成よりなるので、上下駆動される重量を大幅に削減し、吸着ノズルの上下駆動のためのモータを必要としなく、これによって装置コストの大幅な低減が図れると共に、吸着ノズルを高速で上下駆動することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のダイ移送装置の一実施の形態を示す正面図である。
【図２】従来のダイ移送装置を示す正面図である。
【符号の説明】
１    ダイ
２    ウェーハシート
４    突き上げ針
５    リードフレーム
６    フレームフィーダ
７    ダイピックアップ位置
８    ダイボンディング位置
１０    基台
１１    Ｘ軸移動台
１２    Ｘ軸モータ
１３    Ｙ軸送りねじ
１４    Ｙ軸モータ
１６    Ｙ軸移動台
１７    Ｙ軸送りナット
２０    Ｚ軸ガイドレール
２１    ノズルホルダ
２２    Ｚ軸移動板
２４    吸着ノズル
【図１】
0003792996.tif 000002
【図２】
0003792996.tif 000003