(57)【要約】本発明のリニアガイド装置を有するテーブル装置は、このリニアガイド装置を構成する複数の部材と、前記リニアガイド装置が取り付けられる他の部材と、当該部材の所定の組合せを互いに結合するねじとを備え、当該ねじを受容するねじ穴が前記組合せからなる部材に設けられてなり、前記ねじを前記ねじ穴に受容させることによってねじとねじ穴との間に形成される隙間に連通する気抜き孔が前記テーブル装置を構成する部材に貫穿されてなる。前記テーブル装置を真空または減圧雰囲気におくと、気抜き穴を通して、ねじとねじ穴との間に形成される隙間に残存する空気を短時間で排気することができ、真空あるいは減圧環境下で使用されるのに好適なテーブル装置を提供することができる。
2002093031.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイドレール、スライダ、当該ガイドレールが取り付けられるガイドレール側部材、及び当該スライダが取り付けられるスライダ側部材とを有するテーブル装置を構成する複数の部材間の所定の組合せを互いに結合する結合手段、及び当該結合手段を受容する受容手段が、前記組合せからなる部材に設けられてなり、
前記結合手段を前記受容手段に受容させることによって結合手段と受容手段との間に形成される隙間から前記テーブル装置の外部まで連通する通路を、前記テーブル装置を構成する部材の少なくともいずれか一の部材に形成したことを特徴とするテーブル装置。
【請求項２】
請求項１に記載のテーブル装置であって、前記通路が前記テーブル装置を構成する少なくともいずれか一の部材を貫穿する気抜き孔であることを特徴とするテーブル装置。
【請求項３】
請求項１に記載のテーブル装置であって、前記通路が前記テーブル装置を構成する部材の表面に形成された溝であることを特徴とするテーブル装置。
【請求項４】
請求項３に記載のテーブル装置であって、前記受容手段は、前記スライダと前記スライダ側部材が組合わさって互いに結合する前記受容手段であり、且つ前記スライダと前記スライダ側部材が組合わさって互いに対向するそれぞれの面に開口する複数の取付用ねじ穴であり、
前記溝は、前記スライダと前記スライダ側部材が対向するそれぞれの面の少なくといずれか一の面の上に形成されており、
前記溝は、前記取付用ねじ穴の開口から、前記対向する面が互いに接する部分の端まで連なることを特徴とするテーブル装置。
【請求項５】
請求項３に記載のテーブル装置であって、前記受容手段は、前記ガイドレールと前記ガイドレール側部材が結合する前記受容手段であり、且つ前記ガイドレールと前記ガイドレール側部材が組合わさって互いに対向するそれぞれの面に開口する複数の取付用ねじ穴であり、
前記溝は、前記ガイドレールと前記ガイドレール側部材が組合わさって互いに対向するそれぞれの面の少なくといずれか１の面の上に形成されており、
前記溝は、前記取付用ねじ穴の開口から、前記対向する面が互いに接する部分の端まで連なることを特徴とするテーブル装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載のテーブル装置であって、前記溝が、この溝が形成されている部材が有する面であって、前記溝が形成されていないいずれかの面まで連通した連通路を備えたことを特徴とするテーブル装置。
【請求項７】
ガイドレール、スライダ、当該ガイドレールが取り付けられるガイドレール側部材、及び当該スライダが取り付けられるスライダ側部材とを有するテーブル装置を構成する複数の部材間の所定の組合せを互いに結合する結合手段、及び当該結合手段を受容する受容手段が、前記組合せからなる部材に設けられてなり、
前記結合手段は取付用ねじからなり、前記受容手段は取付用ねじ穴からなり、
前記取付用ねじは、この取付用ねじの頭部と前記取付用ねじ穴との間に座金を介入させて前記取付用ねじ穴に螺入しており、
前記座金は、前記取付用ねじと前記取付用ねじ穴の間に形成される隙間から、前記テーブル装置の外部まで連通する通路を備えたことを特徴とするテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はリニアガイド装置及びリニアガイド装置を用いたテーブル装置に係わり、特に、真空あるいは減圧環境で使用されるのに適した構造を備えるリニアガイド装置及びリニアガイド装置を用いたテーブル装置に関するものである。
背景技術
従来のリニアガイド装置の斜視図を図２６に示す。リニアガイド装置は、ガイドレール５１と、スライダ６０とを備えている。スライダ６０は、スライダ本体５２と、エンドキャップ５３と、サイドシール５４とを備えている。そして、リニアガイド装置と、図示しないガイドレール側部材及び図示しないスライダ側部材とからテーブル装置が構成される。なお、図示しないガイドレール側部材とは、たとえば、ガイドレールが固着される基台であり、図示しないスライダ側部材とは、たとえば、スライダ本体に固着されるテーブルである。
ガイドレール５１は一方向に延在してなるとともに、長手方向両側壁面に転動体溝５５を有する。ガイドレール５１は、レール取付用ねじ穴５６を用い、図示しないボルトによって前記ガイドレール側部材に取り付けられている。スライダ本体５２には、前記スライダ側部材が、４つのスライダ本体取付用ねじ穴８４を用い、図示しないボルトによって取り付けられている。
スライダ本体５２は内側に凹部を有する断面略コ字状を成している。
エンドキャップ５３およびサイドシール５４が、前記スライダ本体５２の長手方向両端部に取り付けられることによって、スライダ６０が完成される。上記エンドキャップ５３およびサイドシール５４は、スライダ本体５２に片側４つの組立用ねじ穴８５を用い、図示しないボルトによって一体に取り付けられる。
従来から周知なように、スライダ６０内に形成された所定の循環経路内には転動体が装填されており、この転動体が前記循環経路内を無限循環する際に、ガイドレール５１とスライダ６０との間を転動することによって、スライダ６０はガイドレール５１上を移動する。
次に、ガイドレール５１を前記ガイドレール側部材に取り付ける際に使用される結合手段、スライダ６０を組み立てる際に使用される結合手段、および、前記スライダ側部材をスライダ本体５２に取り付ける際に使用される結合手段、例えばねじについて説明する。
図２７（ａ）は、スライダ本体取付用ねじ２１をスライダ本体５２にある受容手段、例えば取付用ねじ穴８４に螺入し、スライダ側部材７０とスライダ本体５２とを結合させた場合における、取付用ねじ２１の締め付け状態を示す要部拡大図である。組立用ねじを上記組立用ねじ穴８５に螺入させた締め付け状態や、レール取付用ねじを上記レール取付用ねじ穴５６に螺入させた締め付け状態も、ボルト周辺の状態に関しては同様な状態である。
図２７（ａ）に示すように、ねじ２１をねじ穴８４に螺入すると、ねじ穴の底部に隙間となる気体たまり２３が残存する。各ねじを締め、リニアガイド装置を用いたテーブル装置を組み立てた状態で、これを真空または減圧下の環境に置いても、気体たまり２３は「デッドスペース」となり、真空ポンプによる真空引きに伴って、たとえねじ２１が十分に締結された状態であっても、この気体たまり２３から少量の空気が徐々にねじ２１の頭部とスライダ側部材７０との接触面間を通り抜け、真空環境または減圧環境に漏れ続ける。したがって、このような漏れが生じなくなるまで、すなわち、気体たまり２３の部分の気圧が外部の気圧と等しくなるまでには相当の時間が必要になる。特に、外部の気圧の真空度が高い場合には、多くの時間を要する。かかる問題の原因となる気体たまりが、リニアガイド装置を用いたテーブル装置を構成する部材をねじとねじ穴とによって組合せて相互に結合している個所ごとに存在している。
そこで、この問題を解決するために、図２７（ｂ）に示すように、中心部において軸方向に貫通する気抜き孔２４を備えた特殊ねじ（気抜きボルト）２５を用いることにより、前記気体たまり２３に貯まった空気を直ちに取り除く方法が知られている。
しかし、特殊ねじは高コストであり、テーブル装置を構成する部材の組立、組合せに使う様々サイズのねじに気抜き孔を加工することは容易ではない。
また、図２８（ａ）に示すように、スライダ本体５２が直接取り付けられるスライダ側部材２９の上にさらに別の部材２６が取り付けられるような場合もある。このような場合、たとえ気抜き孔２４を備えた特殊ねじ２５を用いてスライダ側部材２９をスライダ本体５２に固定したとしても、特殊ねじ２５の頭部が収容される座ぐり穴部の空間２８が、別の部材２６により外部に対して密閉された状態となるため、この空間２８も気体たまりとなる。したがって、特殊ねじ２５を使用していてもねじ穴底部の気体たまり２３と空間２８がともに「デッドスペース」となり、これらから少量の空気が徐々に真空環境または減圧環境に漏れ続ける。
結局、この場合に対応するためには、図２８（ｂ）に示すように、リニアガイド装置の使用者は高価な特殊ねじ２５を使用するとともに、さらに、別の部材２６に気抜き孔２７を別途加工する必要がある。
そこで、本発明は、上記の問題点に鑑みて、気抜き孔を設けた特殊ねじを用いることなく、真空あるいは減圧環境下で使用されるのに好適なリニアガイド装置及びリニアガイド装置を用いたテーブル装置を提供することを目的とするものである。
発明の開示
この目的を達成するために、請求項１の発明は、ガイドレール、スライダ、当該ガイドレールが取り付けられるガイドレール側部材、及び当該スライダが取り付けられるスライダ側部材とを有するテーブル装置を構成する複数の部材間の所定の組合せを互いに結合する結合手段、及び当該結合手段を受容する受容手段が、前記組合せからなる部材に設けられてなり、前記結合手段を前記受容手段に受容させることによって結合手段と受容手段との間に形成される隙間から前記テーブル装置の外部まで連通する通路を、前記テーブル装置を構成する部材の少なくともいずれか一の部材に形成したテーブル装置である。
通路が、結合手段と受容手段との間に形成される気体たまりの隙間から前記テーブル装置の外部まで連通して形成してあり、気体たまりにある空気はこの通路を通してテーブル装置の外へ容易に排気される。
結合手段と、この結合手段を受け入れて結合手段との間で固着・結合構造を実現する受容手段との組合せは、公知のものを制限なく適用でき、例えば、結合手段としてねじ（ボルト）またはピンがあり、受容手段としてねじ穴（ボルト穴）、ねじ（ボルト）を挿通させる挿通穴、またはピン穴がある。受容手段は、テーブル装置を構成する部材に形成される。テーブル装置において、受容手段は、ガイドレール、スライダ、当該ガイドレールが取り付けられるガイドレール側部材、または当該スライダが取り付けられるスライダ側部材に形成される。スライダにおいて、受容手段は、スライダ本体、エンドキャップ、もしくはサイドシールのいずれかまたはこれらの全てに形成されている。
通路は、前記隙間に連通するように、テーブル装置を構成するいずれかの部材に形成される。
請求項２の発明は、請求項１に記載のテーブル装置であって、前記通路が前記テーブル装置を構成する少なくともいずれか一の部材を貫穿する気抜き孔であるテーブル装置である。
結合手段と受容手段との間の気体たまりをなす隙間にある空気は、貫穿した気抜き孔を通してテーブル装置の外へ容易に排気される。当該気抜き孔は、前記受容手段が形成されている方向に対してこれに略直交するように、前記テーブル装置を構成する部材に貫穿されてなることが好ましい。あるいは、前記気抜き孔は、前記受容手段が形成されている略軸方向に前記テーブル装置を構成する部材に貫穿されてなることが好ましい。
請求項３の発明は、請求項１に記載のテーブル装置であって、前記通路が前記テーブル装置を構成する部材の表面に形成された溝であるテーブル装置である。
結合手段と受容手段との間の気体たまりをなす隙間は、溝を通じてテーブル装置の外とつながっており、この気体たまりにある空気はテーブル装置の外へ容易に排気される。
請求項４の発明は、請求項３に記載のテーブル装置であって、前記受容手段は、前記スライダと前記スライダ側部材が組合わさって互いに結合する前記受容手段であり、且つ前記スライダと前記スライダ側部材が組合わさって互いに対向するそれぞれの面に開口する複数の取付用ねじ穴であり、前記溝は、前記スライダと前記スライダ側部材が対向するそれぞれの面の少なくといずれか一の面の上に形成されており、前記溝は、前記取付用ねじ穴の開口から、前記対向する面が互いに接する部分の端まで連なるテーブル装置である。
請求項５の発明は、請求項３に記載のテーブル装置であって、前記受容手段は、前記ガイドレールと前記ガイドレール側部材が結合する前記受容手段であり、且つ前記ガイドレールと前記ガイドレール側部材が組合わさって互いに対向するそれぞれの面に開口する複数の取付用ねじ穴であり、前記溝は、前記ガイドレールと前記ガイドレール側部材が組合わさって互いに対向するそれぞれの面の少なくといずれか１の面の上に形成されており、前記溝は、前記取付用ねじ穴の開口から、前記対向する面が互いに接する部分の端まで連なるテーブル装置である。
請求項６の発明は、請求項４または請求項５に記載のテーブル装置であって、前記溝が、この溝が形成されている部材が有する面であって、前記溝が形成されていないいずれかの面まで連通した連通路を備えたテーブル装置である。
溝の端部が塞がれていても、溝はテーブル装置の外部と連通路によってつながっている。したがって、取付用ねじ穴と取付用ねじとの間の気体たまりをなす隙間にある空気は、溝と連通路を通ってテーブル装置の外へ容易に排気される。
なお、連通路は、溝が形成されている前記テーブル装置を構成する部材の内部を貫通している通路、または溝が形成されている前記テーブル装置を構成する部材の面のうち、溝が形成されている面と隣接する面上にある溝を含むものとする。
請求項７の発明は、ガイドレール、スライダ、当該ガイドレールが取り付けられるガイドレール側部材、及び当該スライダが取り付けられるスライダ側部材とを有するテーブル装置を構成する複数の部材間の所定の組合せを互いに結合する結合手段、及び当該結合手段を受容する受容手段が、前記組合せからなる部材に設けられてなり、前記結合手段は取付用ねじからなり、前記受容手段は取付用ねじ穴からなり、前記取付用ねじは、この取付用ねじの頭部と前記取付用ねじ穴との間に座金を介入させて前記取付用ねじ穴に螺入しており、前記座金は、前記取付用ねじと前記取付用ねじ穴の間に形成される隙間から、前記テーブル装置の外部まで連通する通路を備えたテーブル装置である。
座金が取付用ねじの頭部の下に入っており、取付用ねじは取付用ねじ穴に螺入している。したがって、座金が取付用ねじ穴と取付用ねじの間の気体たまりをなす隙間の上部を塞いでおり、さらに、座金の上を取付用ねじの頭部が覆っている。そして、座金は気体たまりからテーブル装置の外部まで連通する通路を備えるので、気体たまりにある空気は、座金の通路を通ってテーブル装置の外へ容易に排気される。
発明を実施するための最良の形態
本発明の第１の実施の形態を図１ないし図４に基づいて説明する。
図１はガイドレール５１とスライダ６０を有するリニアガイド装置とリニアガイド装置に取り付けられるスライダ側部材７０とリニアガイド装置が取り付けられるガイドレール側部材である基台３７とからなるテーブル装置を示す正面図であり、一部を断面図で示し、一部を透視図で示している。図２は、図１のガイドレール５１とスライダ６０を有するリニアガイド装置をＸ方向から見た側面図である。図３は、図１のＹ部を右方から見た場合の拡大図であり、図４は、図１のＺ部を右方から見た場合の拡大図である。
図１に示すように、本実施の形態に係るテーブル装置は、ガイドレール５１とスライダ６０を有するリニアガイド装置５０とスライダ側部材７０とガイドレール側部材である基台３７とを備え、スライダ６０はスライダ本体５２とエンドキャップ５３とサイドシール５４とを主要な部品として構成されている。リニアガイド装置５０の構成の内、従来技術で説明したものと同様なものは同一の符合を付し、その説明を省略する。
スライダ本体５２は、４つのスライダ本体取付用ねじ（押えボルト）１３によってスライダ側部材７０に結合されている。スライダ本体取付用ねじ１３は、スライダ本体取付用ねじ穴１４に螺合されている。
図３は図１のＹ部、すなわち、スライダ本体取り付け用ねじ１３がねじ穴１４に螺合されている部分を図１で右方から見た図を拡大して示している。スライダ側部材７０には押えボルトとしての六角穴付ボルト（ねじ１３）を貫通させる押えボルトの直径よりわずかに大きい径のねじ挿通穴７５が設けられており、スライダ本体５２にはねじ１３と螺合するねじ穴が設けられており、これらの穴が合わさってスライダ本体取付用ねじ穴１４を形成している。また、スライダ側部材７０のねじ挿通穴７５とねじ１３との間に隙間１０が形成されて気体たまりとなっている。
スライダ本体取付用ねじ穴１４の下穴部には、気体たまり１９が形成されている。この気体たまり１９に連通する気抜き孔１５がスライダ本体取付用ねじ穴１４に対して略直交するように、スライダ本体５２に貫穿されており、気抜き孔１５の他端はスライダ本体５２の外部へ開放されている。
エンドキャップ５３、サイドシール５４、およびスライダ本体５２は、図２に示すように、片側４つの組立用ねじ１６（本実施の形態の例では十字穴付ボルト）によって一体に組み立てられている。エンドキャップ５３およびサイドシール５４に設けられたねじ挿通穴と、スライダ本体５２に設けられねじ１６と螺合するねじ穴とが合わさって組立用ねじ穴１７を形成している。
図１に示すように、組立用ねじ穴１７の下穴部からは、気抜き孔１８が、組立用ねじ穴１７の軸方向に対して略直交するようにスライダ本体５２に貫穿されている。
組立用ねじ１６および組立用ねじ穴１７の結合関係は、スライダ側部材７０に相当する部分にエンドキャップ５３およびサイドシール５４の二つがある点を除き、図３に示す前記スライダ本体取付用ねじ１３およびスライダ本体取付用ねじ穴１４の結合関係と同様である。
図１において、ガイドレール５１はレール取付用ねじ３３によって基台３７に固定されている。レール取付用ねじ３３はレール取付用ねじ穴３２に結合している。
図４は図１のＺ部、すなわち、レール取付用ねじ３３がレール取付用ねじ穴３２と結合している部分を図１で右方からみて拡大して示している。
レール取付用ねじ３３の頭部３８は、ガイドレール５１の座ぐり部３５に当接している。ガイドレール５１には押えボルトとしての六角穴付ボルト（ねじ３３）を貫通させる押えボルトの直径よりわずかに大きい径のねじ挿通穴８６が設けられており、基台３７にはねじ３３と螺合するねじ穴が設けられており、これらの穴が合わさってレール取付用ねじ穴３２を形成している。また、ガイドレール５１のねじ挿通穴８６とねじ３３との間に隙間３９が形成されて気体たまりとなっている。さらに、レール取付用ねじ穴３２の下穴部には、気体たまり４３が形成されている。
上記隙間３９に連通する気抜き孔３６がレール取付用ねじ穴３２に対して略直交するように、ガイドレール５１に貫穿されており、気抜き孔３６の他端はガイドレール５１の外部へ開放されている。
次に、上記のスライダ本体取付用ねじ１３、およびレール取付用ねじ３３を、それぞれスライダ本体取付用ねじ穴１４、およびレール取付用ねじ穴３２に螺合させ、ガイドレール５１、スライダ６０、スライダ側部材７０及び基台３７を結合させた後、これを真空引きまたは減圧して気抜きした場合について説明する。
図３において、真空引きまたは減圧環境下に置いたときに、気体たまり１９に残存した空気が気抜き孔１５を通じてスライダ本体５２の外方へ導かれる。また、スライダ本体取付用ねじ１３とスライダ本体５２の穴との螺合部分においては、雄ねじの山および雌ねじの山の螺合によって両者の間に完全に隙間がなくなるわけではなく、わずかではあるが、螺旋状の隙間が形成されて空気が残存して気体たまりとなっている。この隙間は、小さいものの、スライダ本体取付用ねじ１３の頭部とスライダ側部材７０との接触面と比べると、十分に大きい隙間である。したがって、隙間１０に残存した空気は、当該螺旋状の隙間を通じて下穴部へ導かれ、さらに気抜き孔１５を通じてスライダの外へ導かれる。このように、気抜き孔１５を通じて、スライダ本体取付用ねじ１３とねじ穴１４との間に形成される隙間（１０および１９）に残存した空気を、スライダ本体５２の外へ短時間で導くことができる。
組立用ねじ１６と組立用ねじ穴１７との間に形成される隙間に残存した空気をスライダの外へ導く場合にも、上記と同様である。
図４において、真空引きまたは減圧環境下に置いたとき、隙間３９に残存した空気が気抜き孔３６を通じてガイドレール５１の外方へ導かれる。また、図３における場合と同様に、レール取付用ねじ３３とレール取付用ねじ穴３２との螺合部分においては、螺旋状の隙間が形成されているので、気体たまり４３に残存した空気は、下穴部から当該螺旋状の隙間により隙間３９へ導かれ、さらに気抜き孔３６を通じてテーブル装置（リニアガイド装置）の外へ導かれる。このように、気抜き孔３６を通じて、レール取付用ねじ３３とねじ穴３２との間に形成される隙間（３９および４３）に残存した空気を、テーブル装置（リニアガイド装置）の外へ短時間で導くことができる。
上記においては、気抜き孔１５、１８および３６をそれぞれスライダ本体取付用ねじ穴１４、組立用ねじ穴１７、レール取付用ねじ穴３２の軸方向に対して略直交方向に貫穿した場合について説明したが、本実施の形態はこれに限定されるものではなく、ねじ穴の軸方向から斜めに貫穿してもよい。
また、上記においてはスライダがサイドシールを備える場合について説明したが、サイドシールを用いないリニアガイド装置あるいはさらに他の部材が挿入されるリニアガイド装置であってもよいことは勿論である。
本実施の形態においては、上記構成としたことにより、特殊ねじを使用する必要がなく通常のねじを使用できるので、組立におけるねじの選定における間違いを防止できる。また、リニアガイド装置を構成するガイドレール５１又はスライダ６０に気抜き穴１５、３６等を形成した場合には、リニアガイド装置の使用者が、リニアガイド装置を取り付ける相手部材に気抜き孔を別途加工する必要も無いので、コストダウンを図ることができる。
次に、本発明の第２の実施の形態を図５に基づいて説明する。
図５に示すように、本実施の形態においては、気抜き孔７１がスライダ本体取付用ねじ穴８３の下穴部から略軸方向にスライダ本体の外方へ貫穿されている点が上記第１の実施の形態とは異なっている。
本実施の形態においても、押えボルトとしての六角穴付ボルトであるスライダ本体取付用ねじ８２をスライダ本体取付用ねじ穴８３へ螺合させた後、真空引きまたは減圧環境下に置いた場合、下穴部の空気が気抜き孔７１を通じてスライダ本体５２の外へ導かれ、また、スライダ側部材７０とスライダ本体取付用ねじ８２との隙間８１に残存した空気が螺旋状の隙間および気抜き孔７１を通じてスライダ本体５２の外へ導かれる。
本実施の形態のように、スライダ本体取付用ねじ穴８３の略軸方向に気抜き孔７１を貫穿した場合であっても、スライダ本体取付用ねじ８２とねじ穴８３との間に形成される隙間に残存した空気を、スライダ本体５２の外へ短時間で導くことができる。
しかも、気抜き孔７１はスライダ本体５２のねじ穴８３やその下穴と軸心を共通にしているので、スライダ本体５２の穴加工の際の手間も少なくて済む。
第２の実施の形態の変形例として、スライダ本体取付ねじ穴および気抜き孔の構成は図５で示したと同様とし、気抜き孔がスライダ本体取付ねじ穴の下穴部から略軸方向にスライダ本体の外方へ貫穿されてなるとともに、それぞれの組立用ねじ穴を設ける位置を第１の実施の形態の図２に示した場合に対し、ややずらし、それぞれの組立用ねじ穴の下穴がスライダ本体取付用ねじ穴の下穴または気抜き孔と交差して連通するようにしてもよい。
このようにすることにより、前記第１の実施の形態および第２の実施の形態と同様の効果が得られるとともに、スライダ本体の加工工数はさらに少なくて済む。
次に、本発明の第３の実施の形態を図６に基づいて説明する。
図６に示すように、本実施の形態においては、スライダ本体取付用ねじに代えてスライダ本体取付用ピン４０を用いた点、および、スライダ側部材７０およびスライダ本体５２には、スライダ本体取付用ねじ穴に代えてピン穴４１が形成されている点が、上記第１の実施の形態とは異なっている。
本実施の形態においても、ピン４０をピン穴４１へ嵌合させた後、真空引きまたは減圧環境下に置いた場合、ピン穴４１の下穴部に残存した空気が気抜き孔７２を通じてスライダ本体の外へ導かれる。
本実施の形態のように、スライダ本体取付用ピン穴４１に気抜き孔７２を貫穿した場合であっても、ピン４０とピン穴４１との間に形成される隙間（下穴部）に残存した空気を、スライダ本体５２の外へ短時間で導くことができる。
第１ないし第３の実施の形態においては、ガイドレール取付用の受容手段が座ぐり穴である場合について説明したが、これに限定されるものではなく、ボルトの頭がスライダの摺動のじゃまにならなければガイドレール取付用の受容手段が図３に示すような穴であってもよく、また、スライダ本体取付用の受容手段および組立用の受容手段が座ぐり穴であってもよい。
さらに、第１ないし第３の実施の形態においては、ねじとして六角穴付ボルトおよび十字穴付ボルトを用いた場合について説明したが、これに限定されるものではなく、六角ねじ（六角ボルト）等の種々のボルトを適宜選択して用いることが可能である。
また、第１ないし第３の実施の形態においては、ガイドレールが取り付けられる相手部材を基台、スライダ本体が取り付けられる相手部材をスライダ側部材とした場合について説明したが、逆に、ガイドレールが取り付けられる相手部材がスライダ側部材、スライダ本体が取り付けられる相手部材が基台であってもよい。
したがって、第１ないし第３の実施の形態に係る構成を有するテーブル装置によって、エンドキャップおよびサイドシールのスライダ本体への組付、スライダ側部材のスライダ本体への取付、またはガイドレールの基台への取付において、特殊ねじを使用する必要がなく通常のねじを使用でき、さらに、スライダ側部材や基台には一切気抜き孔を設ける必要がない。その結果、組立におけるねじ等の選定における間違いを防止できるとともに、用いる特殊部品を減少させることができ、さらにスライダ側部材や基台に気抜き孔を加工する必要がないので、コストダウンを図ったリニアガイド装置またはテーブル装置を提供することができる。
また、ねじ穴の軸心と共通になるように気抜き孔を下穴部から軸方向に設けることにより、スライダ本体等の穴加工の手間がさらに軽減され、コストダウンを図ったリニアガイド装置を提供することができる。
さらに、スライダ本体取付用ねじ穴の下穴または気抜き孔と、組立用ねじ穴の下穴が連通するようにすれば、スライダ本体の加工工数をさらに減らすことができる。
次に、本発明の第４の実施の形態を図７ないし図１０に基づいて説明する。図７は、第４の実施の形態を示すもので、ガイドレールの長手方向の端面図、図８は、第４の実施の形態におけるガイドレールの底面図、図９は、第４の実施の形態における、ガイドレールを基台に固着した状態の縦断面図、図１０は、レール取付用ねじを省略した図９のＡ−Ａ線断面図である。
テーブル装置の一部をなすリニアガイド装置があり、このリニアガイド装置の一部を構成するガイドレール１０１は、その両側面１０５に図示されないスライダとの間でボールが転動するための２本の平行な転慟体溝１１１を有しており、当該ボールの転動を伴いながらガイドレール１０１に対して前記スライダが移動するようになっている。
ガイドレール１０１はレール取付用ねじ１２０によって基台１３０に固着されている。レール取付用ねじ１２０を通すために複数のねじ挿通穴１０２がガイドレール１０１の上面１０４から底面に形成された座面１０３まで貫通して形成されている。ねじ挿通穴１０２は、ガイドレール１０１の長手方向の中心軸線ＣＬｒ上に並び、各ねじ挿通穴１０２は上部の径が大きく下部の径が小さく形成されていて、これらの間に段部が形成されており、この段部が座くり部１０２ａをなしている。ねじ挿通穴１０２と基台１３０のねじ穴１３１とが合わさってレール取付用ねじ穴１５０を形成している。そして、レール取付用ねじ１２０は頭部がねじ挿通穴１０２の径の大きな部分に収まり、且つ前記座ぐり部１０２ａに着座するとともに、軸部が径の小さな部分を貫通してレール取付用ねじ穴１５０に螺合される。ここで、ガイドレール１０１のねじ挿通穴１０２とレール取付用ねじ１２０の間には隙間が形成されてここが気体たまり１０７ａとなる。前記基台１３０におけるねじ穴１３１の底部にはレール取付用ねじ１２０の先端部との間に隙間が形成されて、ここにも気体たまり１０７ｂが形成される。前記ねじ挿通穴１０２の開口部がガイドレール１０１の座面１０３上においてガイドレール１０１の長手方向の中心軸線ＣＬｒ上にそって並ぶ。
座面１０３上には断面台形の溝１０９が形成されている。この溝１０９は、幅方向の中央部でガイドレール１０１の一方の端面１０６から他方の端面１０６まで連続しており、かつ座面１０３上のねじ挿通穴１０２の開口部を連続してつないでいる。
次に、第４の実施の形態の作用を説明する。
テーブル装置が真空又は減圧雰囲気下に置かれると、テーブル装置の周辺が真空又は減圧され、ガイドレール１０１の外側の雰囲気も同様に真空又は減圧状態となる。すると、溝１０９の端部はガイドレール１０１の外側へ開口しているため、溝１０９の雰囲気も真空又は減圧状態となる。そして気体たまり１０７ａは溝１０９とつながっているため、気体たまり１０７ａの雰囲気も真空又は減圧状態となる。さらに、気体たまり１０７ｂは螺合したねじ溝の間の隙間を介して溝１０９とつながっており、しかも気体たまり１０７ｂと溝１０９との距離は短いため気体たまり１０７ｂの雰囲気も真空又は減圧状態となる。
なお、図１１及び図１２に示すように座面１０３上に２本の溝１０９を形成することも可能である。当該２本の各溝１０９の中心軸線ＣＬｇは、図１２に示すように、ねじ挿通穴１０２が座面１０３上で形成する円に接し、以って各ねじ挿通穴１０２は両溝１０９に連通する。ここで、図１３及び図１４に示すように、各溝１０９の中心軸線ＣＬｇとねじ挿通穴１０２が座面１０３上で形成する円とを交わらせて、ガイドレール１０１の中心軸線ＣＬｒに図１１及び図１２のものより近づいた位置に２本の溝１０９を形成することもできる。さらに、図１５の（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）に示すように、溝１０９の断面の形状を円弧形状、三角形状または多角形状とすることも可能である。
次に、第５の実施の形態を図１６に基づいて説明する。図１６は、第５の実施の形態を示すもので、ガイドレールの端面図である。
第５の実施の形態は、第４の実施の形態を示す図７から図１０のガイドレール１０１に連通路１１０を追加したものであって、その構成において、第４の発明の実施の形態の構成と同一の構成については、同一の符号を付しており、重複した説明を省略する。
ガイドレール１０１の端面１０６上には溝１０９と同一断面の溝からなる連通路１１０が形成されている。この連通路１１０は、座面１０３上の溝１０９の端部から上面１０４まで連続する直線状の溝であり、座面１０３と端面１０６との角部で前記溝１０９に連通している。
そこで、ガイドレール１０１の端面１０６が図示されない部材で覆われる場合にも、リニアガイド装置が真空又は減圧雰囲気下に置かれると、連通路１１０の端部はガイドレール１０１の上側へ向けて開口しているため、連通路１１０の雰囲気も真空又は減圧状態となる。すると、溝１０９の端部は連通路１１０とつながっているため、溝１０９の雰囲気も真空又は減圧状態となる。したがって、第４の実施の形態と同様に気体たまり１０７ａ、１０７ｂも真空又は減圧状態になる。
なお、図１７の（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）に示すように、端面１０６上の連通路１１０は、ガイドレール１０１の座面１０３上に形成される溝１０９の端部と一方又は両方の側面１０５又は転慟体溝１１１をつないで形成することもできる。また、溝１０９と連通する連通路１１０をガイドレールの内部を貫通させた穴により構成して上面１０４、側面１０５または転慟体溝１１１のうち少なくともいずれか一つと連結する通路とすることも可能である。この連通路を穴により構成する場合は、その穴はねじ挿通穴１０２の位置に関わりなく形成することができるため穿穴位置の選択の自由度が大になる。さらに端面１０６上の連通路１１０の断面の形状を円弧形状、三角形状または多角形状とすることも可能である。
また、第４及び第５の実施の形態は、ガイドレール１０１を基台１３０の上面に固着した形態としたが、これらの上下を逆にして基台１３０の下面にガイドレール１０１を固着した形態とすることができるのは勿論である。
したがって、第４及び第５の実施の形態に係るガイドレール１０１を備えるリニアガイド装置は、第１ないし第３の実施の形態と同様の効果が得られる。さらに、第１ないし第３の実施の形態のように、ガイドレール１０１の各ねじ挿通穴１０２、基台１３０のねじ穴１３１に個別に気抜き孔を形成する必要はないし、ガイドレール１０１の引き抜き加工時又はガイドレール１０１の座面１０３の研削加工時に座面１０３上の溝１０９を形成することも可能になるので、迅速で廉価な工程によりリニアガイド装置を製造できるという効果がある。さらに、転慟体溝の加工前に座面１０３上の溝１０９を形成する加工を行えば、溝１０９の加工がリニアガイド装置の精度に影響を与えない。
また、第５の実施の形態においては、ガイドレールの端面が他の部材で覆われてしまう場合でも、気体たまりにある空気を短時間で排除して所定の真空又は減圧された雰囲気を達成、維持できる。
次に、第６の実施の形態を図１８ないし図２１に基づいて説明する。図１８は第６の実施の形態に係るスライダ装置の正面図であり、図１９は第６の実施の形態に係るスライダ装置をガイドレールの長手方向から見た側面図であり、図２０は第６の実施の形態に係るスライダの上面図であり、図２１は第６の実施の形態に係るスライダの一部を破断してガイドレールの長手方向から見た側面図である。
図１８及び図１９に示すように、スライダ２００とガイドレール１０１からなるリニアガイド装置があり、さらに、このリニアガイド装置とスライダ側部材２５０とガイドレール側部材である基台１３０とから構成されたテーブル装置２９０がある。基台１３０及びガイドレール１０１は、第４の実施の形態に係る基台及びガイドレールと同様の構成であり、同じ符号を付して説明は省略する。また、スライダ側部材２５０は表面と裏面がともに平坦な板状をなし、表面から裏面へ貫通するねじ挿通穴２１３が形成されている。
スライダ２００はスライダ本体２０２、エンドキャップ２０４、サイドシール２０６を備える。スライダ本体２０２の上面２０８はほぼ四角形をなしてガイドレール１０１の上面１０４と同じ向きを向いており、エンドキャップ２０４の上面２１０及びサイドシール２０６の上面２１２も同様に上面１０４と同じ向きを向いており、上面２０８、２１０、２１２がスライダ２００の上面をなしている。また、スライダ２００の上面において、上面２１０と上面２１２は同一の平面上にあり、上面２０８は上面２１０より一段上方に突出した面をなしている。
また、上面２０８をなす四角形の対角線上のほぼ４隅にはそれぞれねじ穴２１４が開口しており（図２０を参照）、ねじ挿通穴２１３とねじ穴２１４が合わさってスライダ本体取付用ねじ穴２１５を形成している（図１８、図１９を参照）。そして、取付用ねじ２１６がこの取付用ねじ穴２１５に螺入して、スライダ側部材２５０をスライダ本体２０２の上面２０８に固着する構成となっている。
また、図２０示すように、２本の平行な逃げ溝２１８が上面２０８上に形成されている。各逃げ溝２１８は、ガイドレール１０１の中心軸ＣＬｒと平行であり、上面２０８の一つの縁から反対側の縁まで達しており、上面２０８を研削するときに研削抵抗を減らすためのものである。さらに、この上面２０８上に、２本の溝２２０が逃げ溝２１８とそれぞれ平行に形成されている。各溝２２０は四角形の断面形状を有し（図２１を参照）、逃げ溝２１８と同様に、上面２０８の一つの縁から反対側の縁まで達している。一方の溝２２０は、ガイドレール１０１の中心軸線ＣＬｒに対して一方の側にある２つのねじ穴２１４の開口部を上面２０８上で連結しており、他の２つのねじ穴２１４の開口部も他方の溝２２０によって連結されている。スライダ２００の他の構成は従来のスライダと同様の構成でありその説明を省略する。
そして、取付ねじ２１６が取付用ねじ穴２１５に螺入し、スライダ側部材２５０はスライダ本体２０２の上面２０８に固着している。スライダ側部材２５０の裏面が上面２０８と接触しているが、溝２２０と逃げ溝２１８の内側面はスライダ側部材２５０の裏面と接触しておらず、溝２２０と逃げ溝２１８の内側はそれぞれ空間を形成し、溝２２０と逃げ溝２１８の各端部は、上面２０８とスライダ側部材２５０の裏面が互いに接触しあう部分の縁でテーブル装置の外へ開口している（図１８、図１９を参照）。また、取付用ねじ穴２１５と取付用ねじ２１６との間に気体たまり２３２が形成されている。
次に、第６の実施の形態の作用を説明する。
本実施の形態において、溝２２０が気体たまり２３２中の空気に及ぼす作用は、第４の実施の形態における溝１０９が気体たまり１０７ａ、１０７ｂ中の空気に及ぼす作用と同様である。すなわち、リニアガイド装置を用いたテーブル装置２９０が真空又は減圧雰囲気下に置かれると、リニアガイド装置を用いたテーブル装置２９０の外部につながっている溝２２０の雰囲気も真空又は減圧状態となり、溝２２０とつながっている気体たまり２３２の雰囲気も真空又は減圧状態となる。したがって、気体たまり２３２の雰囲気は短時間で真空又は減圧状態となる。
なお、第６の実施の形態において、溝２２０の断面の形状を四角形としたが、図２２（ｉ）に示すような円弧形状、同図（ｉｉ）に示すような三角形状、同図、（ｉｉｉ）に示すような多角形状等とすることが可能である。
また、溝２２０を逃げ溝２１８と平行に形成したが、図２３（ｉ）に示すように、スライダ本体２０２の上面２０８上で、溝２２０が逃げ溝２１８と直交して、ねじ穴２１４を連結するように形成することが可能である。また、同図（ｉｉ）に示すように、上面２０８上で溝２２０を逃げ溝２１８と上面２０８の縁との間に形成することも可能である。さらに、同図（ｉｉｉ）に示すように、溝２２０が上面２０８をなす四角形の対角線とほぼ一致させて形成することも可能である。
したがって、第６の実施の形態に係るスライダ本体２０２を備えるリニアガイド装置またはテーブル装置は、第１ないし第３の実施の形態と同様の効果が得られる。さらに、スライダ本体２０２やスライダ側部材２５０に個別に気抜き用穴を形成する必要はなく、スライダ本体２０２の上面２０８の研削加工時に溝２２０を形成することも可能になるので、迅速で廉価な工程によりリニアガイド装置を製造できる。
以上の第４ないし第６の実施の形態においては溝１０９がガイドレール１０１の一方の端面から他方の端面まで連続している例を示し、また、溝２２０を２つのねじ穴２１４を通過するようにスライダ本体２０２の一方の端面（側面）から他方の端面（側面）まで連続させた例を示したが、これらの例に限定されず、それぞれのねじ挿通穴１０２またはねじ穴２１４ごとにガイドレール１０１またはスライダ本体２０２の外面に連通する溝１０９または溝２２０を一つづつ形成してもよい。
次に、第７の実施の形態を図２４及び図２５に基づいて説明する。図２４は第７の実施の形態に係るスライダの部分縦断面図であり、図２５は第７の実施の形態に係る座金の上面図である。
従来のテーブル装置と同様の構成を有するテーブル装置があり、スライダ本体３５２と板状のスライダ側部材３７０がこのテーブル装置の一部を構成している。図２４に示すように、スライダ本体３５２にはねじ穴３８４が形成され、スライダ側部材３７０にはねじ挿通穴３８７が形成されており、ねじ穴３８４とねじ挿通穴３８７が合わさって取付用ねじ穴３８８をなしている。また、ねじ挿通穴３８７には座ぐり部３８７ａが形成してある。
そして、取付用ねじ３２１が取付用ねじ穴３８８に螺入し、スライダ側部材３７０は取付用ねじ３２１によってスライダ本体３５２に固着されている。また、取付用ねじ３２１の頭部の下面３２２は、座ぐり部３８７ａの上に着座している。さらに、気体たまり３２４が取付用ねじ３２１と取付用ねじ穴３８８との間の隙間に形成されている。
また、座金３３０が、取付用ねじ３２１の頭部の下面３２２と座ぐり部３８７ａの間に入って挟まっている。図２５に示すように、座金３３０は、従来あるばね座金であって、ボルトとナットの締付面の間に介在させて使用するものと同様の構成を有する。すなわち、座金３３０はリング状をなし、リング中央に取付用ねじ３２１のねじ軸が貫通する穴が開いており、リングの周は切り込みによって切断されており、この切り込みが通路３３１を形成している。座金３３０のリング中央の穴の直径は、取付用ねじ３２１のねじ軸の直径よりも大きく、取付用ねじ３２１の頭部の直径よりも小さい。
次に、第７の実施の形態の作用を説明する。
取付用ねじ３２１が取付用ねじ穴３８８に螺入した状態で、座金３３０は取付用ねじ３２１の頭部の下面３２２とねじ挿通穴３８７の座ぐり部３８７ａとの間に挟まれて固定される。通路３３１が座金３３０の外側とリング中央の穴との間をつないでおり、座金３３０のリング中央の穴側にある通路３３１の端は、取付用ねじ３２１とねじ挿通穴３８７との間の隙間の直上に位置している。このため、気体たまり３２４は通路３３１を通してテーブル装置の外部とつながっている。
したがって、テーブル装置が真空又は減圧雰囲気下に置かれると、気体たまり３２４から空気は短時間で排気され、気体たまり３２４の雰囲気は迅速に真空又は減圧状態となる。
なお、本実施の形態では、スライダ本体３５２とスライダ側部材３７０との間の固着について説明したが、本実施の形態にかかる座金３３０を、テーブル装置を構成するいずれの部材に形成されたねじ穴及びこのねじ穴に螺入するねじについても適用可能であることは勿論である。
また本実施の形態では、座金３３０に切り込みを入れたものとしてばね座金の例を示したが、ばね座金ではなく平座金に切り込みを入れたものであってもよい。また、切り込みではなく座金の表面または裏面のうちの少なくともいずれかに内径側から外形側へ連通する溝または貫通穴を形成したものであってもよい。
産業上の利用可能性
本発明は、上記のようなリニアガイド装置におけるガイドレールであるので、以下のような効果がある。すなわち、気抜き孔を設けた特殊ねじを用いることなく、真空あるいは減圧環境下で使用されるのに好適なリニアガイド装置及びリニアガイド装置を用いたテーブル装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明の実施の形態に係るテーブル装置の正面図について、一部を断面図で示し、一部を透視図で示したものである。
図２は、図１のテーブル装置を構成するリニアガイド装置をＸ方向から見た側面図である。
図３は、図１のＹ部を右方から見た場合の拡大図である。
図４は、図１のＺ部を右方から見た場合の拡大図である。
図５は、第２の実施の形態に係る要部拡大図である。
図６は、第３の実施の形態に係る要部拡大図である。
図７は、第４の実施の形態に係るガイドレールの長手方向の端面図である。
図８は、図７の底面図である。
図９は、図７のガイドレールを基台に固着した状態の縦断面図である。
図１０は、レール取付用ねじを省略した図９のＡ−Ａ線断面図である。
図１１は、第４の実施の形態の変形例に係るガイドレールの端面図である。
図１２は、図１１の底面図である。
図１３は、第４の実施の形態の変形例に係る溝の位置を変えたガイドレールの端面図である。
図１４は、図１３の底面図である。
図１５は、溝の形状の変形例を示すガイドレールの端面図である。
図１６は、第５の実施の形態に係るガイドレールの端面図である。
図１７は、連通路の形状の変形例を示すガイドレールの端面図である。
図１８は、第６の実施の形態に係るスライダ装置の正面図である。
図１９は、第６の実施の形態に係るスライダ装置をガイドレールの長手方向から見た側面図である。
図２０は、第６の実施の形態に係るスライダの上面図である。
図２１は、第６の実施の形態に係るスライダの一部を破断してガイドレールの長手方向から見た側面図である。
図２２は、溝の断面形状の変形例に係るスライダの一部を破断してガイドレールの長手方向から見た側面図である。
図２３は、溝の配置の変形例に係るスライダの上面図である。
図２４は、第７の実施の形態に係るスライダの部分縦断面図である。
図２５は、第７の実施の形態に係る座金の上面図である。
図２６は、従来のリニアガイド装置を構成するガイドレール及びスライダの斜視図である。
図２７は、従来のテーブル装置に係り、（ａ）は要部拡大図、（ｂ）は（ａ）の改良を示す図である。
図２８は、従来のテーブル装置に係り、（ａ）は要部拡大図、（ｂ）は（ａ）の改良を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【国際調査報告】
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2002093031.tif 000032
2002093031.tif 000033
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