(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子としてのレーザーチップ、モニター用受光素子および信号読み取り用受光素子を内蔵するキャップ上に、光線回折素子としてのホログラム素子を固定する、集積型レーザユニットの製造方法において、ホログラム素子の位置決め工程では、キャップ上のホログラム素子の位置を、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持しながら、前記信号読み取り用受光素子の信号出力に基づいて調整することを特徴とする集積型レーザユニットの製造方法。
【請求項２】
キャップとして前記区画室に連通する気体流路が形成されたものを用いるとともに、ホログラム素子の位置決め工程では前記気体流路を加圧気体供給装置に連通させることを特徴とする請求項１に記載の集積型レーザユニットの製造方法。
【請求項３】
発光素子としてのレーザーチップ、モニター用受光素子および信号読み取り用受光素子を内蔵するキャップ上に、光線回折素子としてのホログラム素子を固定する、集積型レーザユニットの製造方法において、
ホログラム素子の位置決め工程では、キャップ上のホログラム素子の位置を、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持しながら、前記信号読み取り用受光素子の信号出力に基づいて調整し、
キャップ上の所定位置に位置決めされたホログラム素子を仮固定する工程では、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも低くすることを特徴とする請求項１に記載の集積型レーザユニットの製造方法。
【請求項４】
キャップとして前記区画室に連通する気体流路を備えたものを用いるとともに、ホログラム素子の仮固定工程では前記気体流路を真空発生装置に連通させることを特徴とする請求項３に記載の集積型レーザユニットの製造方法。
【請求項５】
発光素子としてのレーザーチップ、モニター用受光素子および信号読み取り用受光素子を内蔵するキャップ上に、光線回折素子としてのホログラム素子を固定する、集積型レーザユニットの製造方法において、
ホログラム素子の位置決め工程では、キャップ上のホログラム素子の位置を、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持しながら、前記信号読み取り用受光素子の信号出力に基づいて調整し、
キャップ上の所定位置に位置決めされ、かつ仮固定されたホログラム素子を本固定する工程では、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも低くすることによりホログラム素子の仮固定状態を維持し、該状態において、紫外線硬化樹脂をキャップの上面とホログラム素子の側面とに跨がって塗布する接着剤塗布段階と、この紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる接着剤硬化段階とを、この順に進めることを特徴とする請求項１に記載の集積型レーザユニットの製造方法。
【請求項６】
キャップとして前記区画室に連通する気体流路を備えたものを用いるとともに、ホログラム素子の本固定工程では前記気体流路を真空発生装置に連通させることを特徴とする請求項５に記載の集積型レーザユニットの製造方法。
【請求項７】
発光素子としてのレーザーチップ、モニター用受光素子および信号読み取り用受光素子を内蔵するキャップ上に、光線回折素子としてのホログラム素子を固定する、集積型レーザユニットの製造方法において、キャップ上のホログラム素子の位置を、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持しながら、前記信号読み取り用受光素子の信号出力に基づいて調整する位置決め工程と、前記区画室内の気圧を大気圧よりも低くしてキャップ上の所定の位置に位置決めされたホログラム素子を仮固定する仮固定工程と、該仮固定状態において紫外線硬化樹脂をキャップの上面とホログラム素子の側面とに跨がって塗布する接着剤塗布段階および、該仮固定状態において前記塗布された紫外線硬化樹脂を紫外線照射により効果させる接着剤硬化段階からなる本固定工程とを、この順で進めることを特徴とする集積型レーザユニットの製造方法。
【請求項８】
キャップとして前記区画室に連通する気体流路を備えたものを用いるとともに、ホログラム素子の位置決め工程では前記気体流路を加圧気体供給装置に連通させ、ホログラム素子の仮固定工程および本固定工程では前記気体流路を真空発生装置に連通させることを特徴とする請求項７に記載の集積型レーザユニットの製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の製造方法を実施するための集積型レーザユニットの製造装置であって、
キャップ上でホログラム素子を把持する把持手段および、前記信号読み取り用受光素子の信号出力に基づいて作動することによりキャップ上のホログラム素子の位置を調整するエアシリンダを備えたワーク位置決め手段と、加圧気体供給装置と、ワーク保持手段と、前記区画室にワーク保持手段を介して接続されているか又は接続・分離自在とされた気圧制御手段と、ワーク保持手段を所定の軌道に沿って搬送する搬送手段とを設け、
気圧制御手段には３ポート電磁弁または一対の２ポート電磁弁と、真空発生装置とを設けるとともに、３ポート電磁弁を設けた場合には、第１のポートを前記加圧気体供給装置に、第２のポートを真空発生装置に、第３のポートをワーク保持手段にそれぞれ連通させ、前記一対の２ポート電磁弁を設けた場合には、一方の電磁弁の第１のポートを前記加圧気体供給装置に、第２のポートをワーク保持手段にそれぞれ連通させるとともに、他方の電磁弁の第１のポートを真空発生装置に、第２のポートをワーク保持手段にそれぞれ連通させ、
前記搬送手段のワーク保持手段搬送方向に沿って、紫外線硬化樹脂を塗布するディスペンサを備えた接着剤塗布手段と、紫外線照射手段とをこの順に配備し、
前記加圧気体供給装置の加圧気体供給管には３本の分岐管を接続し、そのうちの１本を第１の開閉弁を介して前記気圧制御手段に、他の１本を第２の開閉弁を介してワーク位置決め手段のエアシリンダに、残りの１本を第３の開閉弁を介して接着剤塗布手段のディスペンサに、それぞれ接続し、
前記区画室に連通する大気開放弁を適所に配備したことを特徴とする集積型レーザユニットの製造装置。
【請求項１０】
ワーク保持手段に開閉弁を設け、該開閉弁の一方のポートを前記区画室に連通させるとともに、他方のポートを着脱自在の継手を介して気圧制御手段に連通させたことを特徴とする請求項９に記載の集積型レーザユニットの製造装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載された装置により集積型レーザユニットを製造する方法であって、集積型レーザユニットの構成部材をワーク保持手段で保持し、キャップ上のホログラム素子の位置を、前記区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持しながら、前記信号読み取り用受光素子の信号出力の基づいて調整し、キャップ上の所定位置に位置決めされたホログラム素子を、前記区画室内の気圧を大気圧よりも低くして仮固定し、ワーク保持手段に設けられた前記開閉弁を閉めることにより前記仮固定状態に維持し、前記継手を取り外すことによりワーク保持手段を気圧制御手段から分離し、該ワーク保持手段を搬送手段により接着剤塗布手段の配備位置に搬送して接着剤塗布工程で処理し、ついでワーク保持手段を搬送手段により接着剤硬化手段の配備位置に搬送して接着剤硬化工程で処理することを特徴とする集積型レーザユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光線回折素子（光線分割素子）としてビームスプリッタの代わりにホログラム素子を用いた光ピックアップ用の集積型レーザユニットの製造方法及び装置に関し、特にホログラム素子の位置決め・固定方法に関するものである。本発明は、微細な素子を所定位置に高精度に位置決めして固定する場合に広く、かつ有効に応用することができる。
【０００２】
【従来の技術】
従来、集積型レーザユニットの製造方法として図１〜図３に示すものが知られている。図１はこの製造方法を示す斜視図、図２はこの製造方法において、ホログラム素子が位置決めされた状態を示す断面図、図３はこの製造方法における問題点（ホログラム素子の位置ずれ）を説明する断面図である。
【０００３】
すなわち、発光素子２（レーザチップ）および受光素子３を内蔵するキャップ４上に、光線回折素子としてのホログラム素子５を固定する集積型レーザユニット１の製造方法において、キャップ４を構成する金属壁４ａ上にホログラム素子５を所定の加重で押圧し、該素子をこの状態で３方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ方向）に移動して、図２に示すように位置を精密に調整（位置決め）し、ついで接着剤として紫外線硬化樹脂６をポッティングして接着する。図２，３において符号４ｂはレーザ光出射窓である。
【０００４】
ところが、紫外線硬化樹脂６を塗布したときに、ホログラム素子５が位置ずれを起こしてしまう。また、紫外線硬化樹脂６が固化する際にも、紫外線硬化樹脂６の収縮によりホログラム素子５が位置ずれを起こしてしまう（図３の状態）。このため、ホログラム素子の位置を高精度に調整して集積型レーザユニットを組み立てることが難しいという問題があった。
【０００５】
この問題点を解決することを目的とする技術が、たとえば特公平６−５８９８９号公報（出願人：シャープ株式会社）に開示されている。この発明は、レーザチップ（発光素子）、モニター用受光素子および信号読み取り用受光素子を内蔵するキャップ上に光線分割素子としてのホログラム素子を固定する集積型レーザユニットの製造方法において、前記キャップ上に紫外線硬化樹脂をポッティングする工程と、前記紫外線硬化樹脂をポッティングした前記キャップ上にホログラム素子を載置する工程と、前記キャップ上のホログラム素子の位置を前記信号読み取り用受光素子の信号出力に基づき調整して、前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し前記ホログラム素子を仮硬化する工程と、前記仮硬化した紫外線硬化樹脂にさらに紫外線を照射して本硬化する工程とを有してなることを特徴とする集積型レーザユニットの製造方法である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許公報に開示された発明では、ホログラム素子をキャップ上に紫外線硬化樹脂で仮硬化（仮固定）する工程と、本硬化（本固定）する工程とに分けることでホログラム素子の位置ずれを抑えるようにしている。しかしながら、仮固定時にホログラム素子の位置を再調整しても、本硬化の際に紫外線硬化樹脂に収縮が生じ、ホログラム素子が位置ずれを起こしやすくなるため、これを所定の位置に、再現性良く高精度に位置決めし、固定することが難しいという不具合があった。
【０００７】
したがって本発明の第１の目的は、ホログラム素子をキャップ上の所定位置に接着固定する集積型レーザユニットの製造方法において、ホログラム素子を再現性良く高精度に位置決めし、接着剤で接着固定することができる方法を提供することである。本発明の第２の目的は、上記製造方法の実施に好適な装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、発光素子としてのレーザーチップ、モニター用受光素子および信号読み取り用受光素子を内蔵するキャップ上に、光線回折素子（光線分割素子）としてのホログラム素子を固定する、集積型レーザユニットの製造方法において、ホログラム素子の位置決め工程では、キャップ上のホログラム素子の位置を、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持しながら、前記信号読み取り用受光素子の信号出力に基づいて調整することを特徴とする集積型レーザユニットの製造方法である。
【０００９】
請求項３に係る発明は、発光素子としてのレーザーチップ、モニター用受光素子および信号読み取り用受光素子を内蔵するキャップ上に、光線回折素子（光線分割素子）としてのホログラム素子を固定する、集積型レーザユニットの製造方法において、ホログラム素子の位置決め工程では、キャップ上のホログラム素子の位置を、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持しながら、前記信号読み取り用受光素子の信号出力に基づいて調整し、キャップ上の所定位置に位置決めされたホログラム素子を仮固定する工程では、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも低くすることを特徴とする請求項１に記載の集積型レーザユニットの製造方法である。
【００１０】
請求項５に係る発明は、発光素子としてのレーザーチップ、モニター用受光素子および信号読み取り用受光素子を内蔵するキャップ上に、光線回折素子（光線分割素子）としてのホログラム素子を固定する、集積型レーザユニットの製造方法において、ホログラム素子の位置決め工程では、キャップ上のホログラム素子の位置を、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持しながら、前記信号読み取り用受光素子の信号出力に基づいて調整し、キャップ上の所定位置に位置決めされ、かつ仮固定されたホログラム素子を本固定する工程では、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも低くすることによりホログラム素子の仮固定状態を維持し、該状態において、紫外線硬化樹脂をキャップの上面とホログラム素子の側面とに跨がって塗布する接着剤塗布段階と、この紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる接着剤硬化段階とを、この順に進めることを特徴とする請求項１に記載の集積型レーザユニットの製造方法である。
【００１１】
請求項７に係る発明は、発光素子としてのレーザーチップ、モニター用受光素子および信号読み取り用受光素子を内蔵するキャップ上に、光線回折素子（光線分割素子）としてのホログラム素子を固定する、集積型レーザユニットの製造方法において、キャップ上のホログラム素子の位置を、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持しながら、前記信号読み取り用受光素子の信号出力の基づいて調整する位置決め工程と、前記区画室内の気圧を大気圧よりも低くして、キャップ上の所定位置に位置決めされたホログラム素子を仮固定する仮固定工程と、該仮固定状態において紫外線硬化樹脂をキャップの上面とホログラム素子の側面とに跨がって塗布する接着剤塗布段階および、該仮固定状態において前記塗布された紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる接着剤硬化段階からなる本固定工程とを、この順に進めることを特徴とする集積型レーザユニットの製造方法である。
【００１２】
請求項８に係る発明は、キャップとして前記区画室に連通する気体流路を備えたものを用いるとともに、ホログラム素子の位置決め工程では前記気体流路を加圧気体供給装置に連通させ、ホログラム素子の仮固定工程および本固定工程では前記気体流路を真空発生装置に連通させることを特徴とする請求項７に記載の集積型レーザユニットの製造方法である。
【００１３】
請求項９に係る発明は、請求項８に記載の製造方法を実施するための集積型レーザユニットの製造装置であって、
キャップ上でホログラム素子を把持する把持手段および、前記信号読み取り用受光素子の信号出力に基づいて作動することによりキャップ上のホログラム素子の位置を調整するエアシリンダを備えたワーク位置決め手段と、加圧気体供給装置と、ワーク保持手段と、前記区画室にワーク保持手段を介して接続されているか又は接続・分離自在とされた気圧制御手段と、ワーク保持手段を所定の軌道に沿って搬送する搬送手段とを設け、
気圧制御手段には３ポート電磁弁または一対の２ポート電磁弁と、真空発生装置とを設けるとともに、３ポート電磁弁を設けた場合には、第１のポートを前記加圧気体供給装置に、第２のポートを真空発生装置に、第３のポートをワーク保持手段にそれぞれ連通させ、前記一対の２ポート電磁弁を設けた場合には、一方の電磁弁の第１のポートを前記加圧気体供給装置に、第２のポートをワーク保持手段にそれぞれ連通させるとともに、他方の電磁弁の第１のポートを真空発生装置に、第２のポートをワーク保持手段にそれぞれ連通させ、
前記搬送手段のワーク保持手段搬送方向に沿って、紫外線硬化樹脂を塗布するディスペンサを備えた接着剤塗布手段と、紫外線照射手段（接着剤硬化手段）とをこの順に配備し、
前記加圧気体供給装置の加圧気体供給管には３本の分岐管を接続し、そのうちの１本を第１の開閉弁を介して前記気圧制御手段に、他の１本を第２の開閉弁を介してワーク位置決め手段のエアシリンダに、残りの１本を第３の開閉弁を介して接着剤塗布手段のディスペンサに、それぞれ接続し、
前記区画室に連通する大気開放弁を適所に配備したことを特徴とする集積型レーザユニットの製造装置である。
【００１４】
請求項１０に係る発明は、ワーク保持手段に開閉弁を設け、該開閉弁の一方のポートを前記区画室に連通させるとともに、他方のポートを着脱自在の継手を介して気圧制御手段に連通させたことを特徴とする請求項９に記載の集積型レーザユニットの製造装置である。
【００１５】
請求項１１に係る発明は、請求項１０に記載された装置により集積型レーザユニットを製造する方法であって、集積型レーザユニットの構成部材をワーク保持手段で保持し、キャップ上のホログラム素子の位置を、前記区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持しながら、前記信号読み取り用受光素子の信号出力の基づいて調整し、キャップ上の所定位置に位置決めされたホログラム素子を、前記区画室内の気圧を大気圧よりも低くして仮固定し、ワーク保持手段に設けられた前記開閉弁を閉めることにより前記仮固定状態に維持し、前記継手を取り外すことによりワーク保持手段を気圧制御手段から分離し、該ワーク保持手段を搬送手段により接着剤塗布手段の配備位置に搬送して接着剤塗布工程で処理し、ついでワーク保持手段を搬送手段により接着剤硬化手段の配備位置に搬送して接着剤硬化工程で処理することを特徴とする集積型レーザユニットの製造方法である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図４は、集積型レーザユニットを構成するホログラム素子を位置決めする場合に、これを所定位置に移動する方法を示す断面図である。図５は、図４の要領でホログラム素子を所定位置に移動させた後、この位置に仮固定する方法を示す断面図である。図６は、ホログラム素子をキャップ上の所定位置に接着固定するときの状態を示す断面図である。
【００１７】
本発明に係る集積型レーザユニットの製造方法では、図４に示すように、集積型レーザユニット１のキャップ４上にホログラム素子５を載置し、把持手段７（図６）によってキャップ４上のホログラム素子５の位置を、図４に示す要領で信号読み取り用受光素子３からの信号出力に基づいて精密に調整（ホログラム素子５の位置決め）する。ついで、図５に示す要領でホログラム素子５をキャップ４上の所定位置に仮固定する。さらに、この状態において紫外線硬化樹脂６をポッティングし、これを、紫外線８の照射により硬化させることでホログラム素子５を接着固定する。
【００１８】
すなわち上記位置決め工程では、図４に示すように、受光素子および発光素子（図略）を内蔵するキャップ４と、ホログラム素子５とで形成される区画室２２内の気圧を大気圧より高めることで、キャップ４上面・ホログラム素子５間の接触抵抗を、区画室２２内の気圧が大気圧である時より小さくするか、または実質的に接触抵抗をゼロとする（ホログラム素子５を、キャップ４の直上に僅かに浮上させる）。これにより、把持手段７によるホログラム素子５の位置調整を、より精確に行うことができる。
【００１９】
また、上記仮固定工程および接着固定工程では、図５に示すように、区画室２２内の気圧を大気圧より下げることで、キャップ４上面・ホログラム素子５間の接触抵抗を、区画室２２内の気圧が大気圧である時より大きくする。このようにホログラム素子５をキャップ４上面に大気圧で押圧することにより、簡便に仮固定することができる。
【００２０】
図７〜図１４は、上記図４〜図６に示す方法に基づく集積型レーザユニットの製造方法および装置を示すものであり、図７は本発明に係る製造方法の対象となる集積型レーザユニットの一例を示す断面図である。図８は図７の集積型レーザユニットを製造するためホログラム素子を位置決めするときに、これを所定位置に移動する方法を示す断面図である。図９は図８の方法でホログラム素子を所定位置に移動させた後、この位置に仮固定する方法を示す断面図である。図１０は図８、図９に示す方法によりホログラム素子を位置決め・仮固定し、ついで接着固定を行うための装置、すなわち集積型レーザユニット製造装置の全体構造を示す模式的説明図である。図１１は図１０の装置により集積型レーザユニットを製造する場合のタイムチャートである。図１２は図１０の装置を構成するワーク保持手段の構造説明図である。図１３は図１２のワーク保持手段を構成する気圧保持手段（手動弁）の構造を示す断面図である。図１４は図１３の気圧保持手段に継手を接続する前の状態を示す断面図である。
【００２１】
図７に示すように、キャップ４の金属壁４ａに気体流路２１を形成し、この気体流路を図略の加圧気体供給源に連絡する。この加圧気体供給源としては例えばブロアもしくはコンプレッサ、または加圧空気もしくは加圧窒素を充填したボンベが挙げられる。この構成によれば、ホログラム素子５の位置調整時に、区画室２２内の気圧を簡便に、大気圧よりも高めることができる。この場合、図８に示すように加圧気体を気体流路２１から区画室２２内に供給し、区画室２２内の気圧を大気圧よりも高くすることによってホログラム素子５をキャップ４上面から僅かに浮上させた状態に維持する。こうして、キャップ４上面とホログラム素子５との接触抵抗を実質的にゼロとした状態で、ホログラム素子５をキャップ４上面に沿って移動させることにより位置決めを行う。
【００２２】
また、気体流路２１を前記加圧気体供給源に連絡する配管に分岐管を接続し、この分岐管を図略の真空発生装置に連絡する。この場合、加圧気体供給源への連絡配管および、真空発生装置への連絡配管に開閉弁（電磁弁等）を設ける。この構成によれば、ホログラム素子５の仮固定時および接着固定時に区画室２２内の気圧を簡便に、大気圧状態から減圧状態に、または加圧状態から減圧状態に、それぞれ変えることができる。
【００２３】
図７に示す構成においてホログラム素子５の位置調整後に、図９に示すように、前記真空発生装置により気体流路２１を介して区画室２２内の気体を排気して減圧状態とする。これにより、ホログラム素子５がキャップ４上面に仮固定（吸着固定）される。この状態でホログラム素子５の接着固定を行う（図６）。
【００２４】
つぎに、図１０に示す装置構成について説明する。
（１）キャップ４上でホログラム素子５を把持する把持手段７および、信号読み取り用受光素子３の信号出力に基づいて作動し、把持手段７を移動させることによりキャップ４上のホログラム素子５の位置を調整するエアシリンダ（図略）を備えたワーク位置決め手段４１と、
（２）加圧気体供給源としての加圧空気供給装置（空気圧源）９と、
（３）所定構成のワーク保持手段１５と、
（４）ワーク保持手段１５を介して区画室２２に接続・分離自在とされた気圧制御手段１１と、
（５）ワーク保持手段１５を所定の軌道に沿って搬送する搬送手段１２とを設ける。
なお、ワーク位置決め手段４１は位置を固定して設ける。また、ワーク保持手段１５には区画室２２を密閉する開閉弁を設けるとともに、後記するように、このワーク保持手段１５を継手２０（図１３）を介して気圧制御手段１１に接続し、または継手２０の取外しにより気圧制御手段１１から分離できるように構成する。
【００２５】
気圧制御手段１１には一対の２ポート電磁弁３１，３３（または一つの３ポート電磁弁：図略）および、真空発生装置３２を設ける。電磁弁３１の第１のポートを加圧空気供給装置９に、第２のポートをワーク保持手段１５にそれぞれ連通させる。電磁弁３３の第１のポートを真空発生装置３２に、第２のポートをワーク保持手段１５にそれぞれ連通させる。３ポート電磁弁を設ける場合には、第１のポートを加圧空気供給装置９に、第２のポートを真空発生装置３２に、第３のポートをワーク保持手段１５にそれぞれ連通させる。
【００２６】
搬送手段１２のワーク保持手段１５搬送方向に沿って、紫外線硬化樹脂を塗布する一対のディスペンサ１３，１３を備えた接着剤塗布手段４２と、紫外線照射装置１４を備えた接着剤硬化手段４３とをこの順に配備する。加圧空気供給装置９の加圧空気供給管には３本の分岐管を接続し、そのうちの１本を電磁弁９ａを介して気圧制御手段１１に、他の１本を自動制御弁９ｂを介してワーク位置決め手段４１のエアシリンダ（図略）にそれぞれ接続する。また、残りの１本を電磁弁９ｃを介してディスペンサ１３に接続する。
【００２７】
図１２に示すように、区画室２２内の気圧を所定値に保持する（区画室２２を密閉する）ための気圧保持手段として、開閉弁１６をワーク保持手段１５に設ける。そして、この開閉弁１６の一方のポートを流路１６ａを介して区画室２２に連通させるとともに、他方のポートを流路１６ｂおよび着脱自在の継手２０を介して気圧制御手段１１に連通させる（図１３）。さらに、前記流路１６ａに大気開放弁として電磁弁３４を接続する。
【００２８】
開閉弁１６は図１３、図１４に示すとおり、レバー１８を取り付けた弁体１７とスプリング１８ａとで構成する。継手２０にはスプリング１９ａと、このスプリングの自由端に円錐状の弁体開放手段１９とを設ける。この開閉弁１６では、通常時は弁体１７が気体流路２１を遮断しており、区画室２２に加圧空気を気圧制御手段１１を介して供給するときには、図１４に示すキャップ４に継手２０をオペレータが接続し、ついでレバー１８を押し込むことで、弁体１７を開放する。また、弁体１７を閉めるときは、上記操作と逆に、レバー１８を引き出し、ついで継手２０を取り外す。
【００２９】
図１３，１４の構成では、区画室２２内の減圧操作によりホログラム素子５を仮固定し、ついで開閉弁１６を閉めることにより、この仮固定状態を維持することができる。また、開閉弁１６を閉めたまま継手２０を取り外すことにより、ワーク保持手段１５を気圧制御手段１１から分離することができ、これにより、ホログラム素子５を仮固定したワーク保持手段１５を、気圧制御手段１１から分離した状態で搬送手段１２によって搬送することができる。したがって、搬送手段１２の構成が簡単になるうえ、ワーク保持手段１５の搬送を簡便に行うことが可能になる。
【００３０】
図１０において符号１０は、キャップ４上のホログラム素子５の位置を受光素子３の信号出力に基づいて調整する調整光学系である。また、搬送手段１２としては例えば、ターンテーブルまたはターンコンベヤであって、複数のワーク保持手段１５を同時に搬送する構造のものが挙げられる。
【００３１】
なお、図１２〜図１４とは異なる構成として、キャップ４に短管（図略）を接続してこれを気体流路２１に連通させるとともに、この短管に電磁弁などの開閉弁（図略）を設け、さらにこの開閉弁の一方のポートを着脱自在の継手（図略）を介して気圧制御手段１１に連絡することもできる。この構成では、前記開閉弁を閉めることにより区画室２２を密閉することができるし、前記継手を取り外せばワーク保持手段１５を気圧制御手段１１から分離することができる。
【００３２】
つぎに、図１０の装置による集積型レーザユニットの製造工程について説明する。この製造工程は、基本的には以下の手順で行われる。すなわち、図１０に示すように、まず搬送手段１２に係るワーク搬送軌道上の所定位置でホロクラム素子５の位置決め工程、ついで仮固定工程を行った後、開閉弁１６を閉めて仮固定状態を維持する。ついで継手２０を取り外すことにより、ワーク保持手段１５を気圧制御手段１１から分離し、このワーク保持手段１５を搬送手段１２によりワーク搬送軌道上で間欠的に搬送する。そして、ワーク保持手段１５の各停止位置において、接着剤塗布工程とその後の接着剤硬化工程とを行う。この場合、これらワーク位置決め工程、仮固定工程および接着剤塗布工程、ならびに接着剤硬化工程における、区画室２２内の気圧は図１１に示したとおりである（図８，９を参照）。
【００３３】
具体的には、以下のとおりである。
（１）ワーク位置決め工程
集積型レーザユニット１の構成部材をワーク保持手段１５で保持する。加圧空気供給装置９からの空気を区画室２２に供給し（電磁弁９ａ，３１を開ける）、該区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持する。この状態で、前記信号読み取り用受光素子３の信号出力を基に自動制御弁９ｂの開度を制御し、前記エアシリンダによる把持手段７の移動によって、キャップ上のホログラム素子の位置を調整する。この位置調整は、区画室２２内が大気圧以上の一定圧力に達した後に行う。
【００３４】
（２）仮固定工程および接着剤塗布工程
区画室２２内の気圧を大気圧よりも低くして（電磁弁９ａ，３１を閉め、電磁弁３３を開けることにより、大気圧未満の一定圧力に低下させる）、キャップ４上の所定位置に位置決めされたホログラム素子５を仮固定し、ワーク保持手段１５に設けられた開閉弁１６を閉めることにより前記仮固定状態に維持する（開閉弁１６を閉めることで、区画室２２内の気圧がそれまでの値に維持される）。ついで、継手２０を取り外すことによりワーク保持手段１５を気圧制御手段１１から分離する。該ワーク保持手段１５を搬送手段１２により接着剤塗布手段４２の配備位置に搬送（ステーション間の移動）する。ここで紫外線硬化樹脂を、一対のディスペンサ１３，１３からキャップ４上面とホログラム素子５の側面とに跨がってポッティングする（図６参照）。このポッティングは、ディスペンサ１３に加圧空気による背圧をかけることで行う。
【００３５】
（３）接着剤硬化工程
搬送手段１２によりワーク保持手段１５を、接着剤硬化手段４３の配備位置に搬送し（ステーション間の移動）、ここで、前記塗布した紫外線硬化樹脂に紫外線照射装置１４から紫外線を照射してこれを硬化させる。
以上のワーク位置決め工程から接着剤硬化工程までの全工程終了後に、大気開放弁（電磁弁）３４を開放して区画室２２内を大気圧にする。
【００３６】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、以下の効果が得られる。
（１）請求項１の発明による効果
キャップとホログラム素子とで形成される区画室内の気圧を大気圧よりも高めた状態に維持してホログラム素子の位置決めを行うようにしたので、ホログラム素子の位置調整を簡便な操作により再現性良く、かつ、精確に行うことができる。
【００３７】
（２）請求項２の発明による効果
キャップとして区画室に連通する気体流路が形成されたものを用いるとともに、ホログラム素子の位置決め工程では前記気体流路を加圧気体供給装置に連通させるようにしたので、集積型レーザユニットの構造が簡単になるうえ、ホログラム素子の位置調整を簡便な操作により再現性良く、かつ精確に行うことができる。
【００３８】
（３）請求項３の発明による効果
キャップ上の所定位置に位置決めされたホログラム素子の仮固定工程を、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも低い状態に維持して行うようにしたので、ホログラム素子の仮固定を簡便な操作で行うことができる。
【００３９】
（４）請求項４の発明による効果
キャップとして区画室に連通する気体流路が形成されたものを用いるとともに、ホログラム素子の仮固定工程では前記気体流路を真空発生装置に連通させるようにしたので、集積型レーザユニットの構造が簡単になるうえ、ホログラム素子の仮固定を簡便な操作で行うことができる。
【００４０】
（５）請求項５の発明による効果
ホログラム素子をキャップ上に本固定する工程では、キャップとホログラム素子とにより形成される区画室内の気圧を大気圧よりも低くすることによりホログラム素子の仮固定状態を維持し、紫外線硬化樹脂をキャップの上面とホログラム素子の側面とに跨がって塗布する接着剤塗布段階と、この紫外線硬化樹脂を紫外線照射により硬化させる接着剤硬化段階とを、この順に進めるようにしたので、ホログラム素子の本固定を簡便な操作で行うことができるうえ、接着剤塗布段階や接着剤硬化段階におけるホログラム素子の位置ずれを的確に抑えることできる。したがって、ホログラム素子を所定位置に再現性良く、かつ、精確に接着固定することができる。
【００４１】
（６）請求項６の発明による効果
キャップとして前記区画室に連通する気体流路を備えたものを用いるとともに、ホログラム素子の本固定工程では前記気体流路を真空発生装置に連通させるようにしたので、集積型レーザユニットの構造が簡単になるうえ、ホログラム素子の仮固定を簡便な操作で行うことができる。
【００４２】
（７）請求項７の発明による効果
キャップ上のホログラム素子の位置決め工程と、仮固定工程と、本固定工程とを、所定の手順で行うようにしたので、前記それぞれの工程を簡便な操作で行うことができるうえ、接着剤塗布段階や接着剤硬化段階におけるホログラム素子の位置ずれを的確に抑えることできる。したがって、ホログラム素子を所定位置に再現性良く、かつ、精確に接着固定することができる。
【００４３】
（８）請求項８の発明による効果
キャップとして前記区画室に連通する気体流路を備えたものを用いるとともに、ホログラム素子の位置決め工程では前記気体流路を加圧気体供給装置に連通させ、ホログラム素子の仮固定工程および本固定工程では前記気体流路を真空発生装置に連通させるようにしたので、集積型レーザユニットの構造が簡単になるうえ、ホログラム素子５の仮固定を簡便な操作で行うことができる。
【００４４】
（９）請求項９の発明による効果
請求項８に記載の製造方法を実施するための集積型レーザユニットの製造装置を、所定のとおりに構成したので、集積型レーザユニットのを構造が簡単になるとともに、ホログラム素子を所定位置に簡便な操作により再現性良く、かつ、精確に接着固定することができる。
【００４５】
（１０）請求項１０の発明による効果
請求項９の製造装置においてワーク保持手段に開閉弁を設け、該開閉弁の一方のポートを前記区画室に連結するとともに、他方のポートを着脱自在の継手を介して気圧制御手段に連結したので、ホログラム素子をキャップ上の所定位置に仮固定した状態のワーク保持手段を気圧制御手段から分離し、このワーク保持手段を搬送手段で所定のステーションに搬送して接着剤塗布工程、ついで接着剤硬化工程を進めることができる。したがって、搬送手段の構成が簡単になるうえ、ワーク保持手段の搬送を簡便に行うことが可能になる。
【００４６】
（１１）請求項１１の発明による効果
集積型レーザユニットを請求項１０の装置により所定の手順で行うようにしたので、集積型レーザユニットのを構造が簡単になるとともに、ホログラム素子を所定位置に簡便な操作により再現性良く、かつ、精確に接着固定することができる。そのうえ、ホログラム素子をキャップ上の所定位置に仮固定した状態のワーク保持手段を気圧制御手段から分離し、このワーク保持手段を搬送手段で所定のステーションに搬送して接着剤塗布工程、ついで接着剤硬化工程を進めることができ、ワーク保持手段の搬送を、構成簡単な搬送手段により簡便に行うことが可能になる。
また、請求項１０，１１の発明によれば、キャップ上の所定位置にホログラム素子を仮固定した状態のワーク保持手段を集積型レーザユニットの製造工程から取り出して、適宜の処理を施すこともできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の集積型レーザユニット製造方法を示す斜視図である。
【図２】図１の製造方法において、ホログラム素子が位置決めされた状態を示す断面図である。
【図３】図１の製造方法における問題点（ホログラム素子の位置ずれ）を説明する断面図である。
【図４】キャップ上のホログラム素子の位置調整（位置決め）を、本発明の製造方法により行う要領を示す断面図である。
【図５】キャップ上に位置決めされたホログラム素子を、本発明の製造方法により仮固定する要領を示す断面図である。
【図６】ホログラム素子をキャップ上の所定位置に、本発明の製造方法により接着固定する要領を示す断面図である。
【図７】本発明に係る製造方法の対象となる集積型レーザユニットの一例を示す断面図である。
【図８】図７の集積型レーザユニットを製造するためホログラム素子を位置決めするときに、これを所定位置に移動する方法を示す断面図である。
【図９】図８の方法でホログラム素子を所定位置に移動させた後、この位置に仮固定する方法を示す断面図である。
【図１０】図８、図９に示す方法によりホログラム素子の位置決め・接着固定を行うための装置、すなわち集積型レーザユニット製造装置の全体構造を示す模式的説明図である。
【図１１】図１０の装置により集積型レーザユニットを製造する場合のタイムチャートである。
【図１２】図１０の装置を構成するワーク保持手段の構造説明図である。
【図１３】図１２のワーク保持手段を構成する気圧保持手段（手動弁）の構造を示す断面図である。
【図１４】図１３の気圧保持手段に継手を接続する前の状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１：集積型レーザユニット
２：発光素子
３：受光素子
４：キャップ
４ａ：金属壁
４ｂ：レーザ光出射窓
５：ホログラム素子
６：紫外線硬化樹脂（接着剤）
７：把持手段
８：紫外線
９：加圧空気供給装置（空気圧源）
９ａ：電磁弁
９ｂ：自動制御弁
９ｃ：電磁弁
１０：調整光学系
１１：気圧制御手段
１２：搬送手段
１３：ディスペンサ
１４：紫外線照射装置
１５：ワーク保持手段
１６：開閉弁（気圧保持手段）
１６ａ：流路
１６ｂ：流路
１７：弁体
１８：レバー
１８ａ：スプリング
１９：弁体開放手段
１９ａ：スプリング
２０：継手
２１：気体流路
２２：区画室
３１：電磁弁
３２：真空発生装置
３３：電磁弁
３４：電磁弁（大気開放弁）
４１：ワーク位置決め手段
（ホログラム素子の位置調整手段）
４２：接着剤塗布手段
４３：接着剤硬化手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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