(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井を具備する筒体からなる支持体と、
該支持体の内部に浮遊自在に収納された浮動体と、
該浮動体に設置された接続体と、
前記接続体に設置され、ＩＣを吸着する吸着パットとを有し、
前記支持体は、側面に少なくとも３つの貫通穴を有し、
前記浮動体は、前記貫通穴に遊隙を介して挿入される突起を設けてなることを特徴とするＩＣ吸着ハンド。
【請求項２】
前記支持体の側面に、前記支持体の下端から前記貫通穴の側面または上面に連通する貫通溝が形成されてなることを特徴とする請求項１記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項３】
天井を具備する筒体からなる支持体と、
該支持体の内部に浮遊自在に収納された浮動体と、
該浮動体に設置された接続体と、
該接続体に設置され、ＩＣを吸着する吸着パットとを有し、
前記支持体は、前記支持体の内側面に少なくとも３つの凹部が形成され、
前記浮動体は、前記浮動体の側面に前記凹部に遊隙を介して挿入される突起を設けてなることを特徴とするＩＣ吸着ハンド。
【請求項４】
前記支持体の内側面に前記支持体の下端から前記凹部の側面または上面に連通する溝が形成されてなることを特徴とする請求項３記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項５】
前記貫通穴または凹部が下方に頂点を具備する略Ｖ字状で、前記突起が水平方向に設けられた円柱であることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項６】
天井を具備する筒体からなる支持体と、
該支持体の内部に収納された筒体からなる浮動体と、
該浮動体に設置された接続体と、
該接続体に設置され、ＩＣを吸着する吸着パットとを有し、
前記浮動体は、前記浮動体の側面に少なくとも３つの貫通穴が形成され、
前記支持体は、前記支持体の内側面に前記貫通穴に遊隙を介して挿入される突起を設けてなることを特徴とするＩＣ吸着ハンド。
【請求項７】
前記浮動体の側面に、前記浮動体の上端から前記貫通穴の側面または下面に連通する貫通溝が形成されてなることを特徴とする請求項６記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項８】
天井を具備する筒体からなる支持体と、
該支持体の内部に浮遊自在に収納された浮動体と、
該浮動体に設置された接続体と、
該接続体に設置され、ＩＣを吸着する吸着パットとを有し、
前記浮動体は、前記浮動体の外側面に少なくとも３つの凹部が形成され、
前記支持体は、前記支持体の内側面に前記凹部に遊隙を介して挿入される突起を設けてなることを特徴とするＩＣ吸着ハンド。
【請求項９】
前記浮動体の外側面に、前記浮動体の上端から、前記凹部の下面または側面に連通する溝が形成されてなることを特徴とする請求項８記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項１０】
前記貫通穴または凹部が上方に頂点を具備する略Ｖ字状で、前記突起が水平方向に設けられた円柱であることを特徴とする請求項６乃至９の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項１１】
前記支持体の天井の下面が平面であって、前記浮動体の上端面が凸状球面であることを特徴とする請求項１乃至１０の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項１２】
前記支持体の天井の下面が凸状球面であって、前記浮動体の上端面が平面であることを特徴とする請求項１乃至１０の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項１３】
前記支持体の外面に突出して支持体フランジが形成され、前記浮動体の外面に突出して浮動体フランジが形成され、
前記支持体フランジと浮動体フランジの間に、前記支持体と浮動体とを引き離す反発力を付与する反発手段が配置されてなることを特徴とする請求項１乃至１２の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項１４】
前記反発手段が、前記支持体の筒体の一部を収納する圧縮バネであることを特徴とする請求項１３記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項１５】
前記反発手段が、前記支持体の筒体の周囲に配置された圧縮バネであることを特徴とする請求項１３記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項１６】
前記支持体の側面に雄ネジが形成され、前記支持体フランジが、該雄ネジに螺合する雌ネジを具備するフランジ付きナットであることを特徴とする請求項１３乃至１５の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項１７】
前記支持体の天井の下面または前記浮動体の上端面の一方または両方が、硬質材料により形成されてなることを特徴とする請求項１乃至１６の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項１８】
前記支持体の天井の下面または前記浮動体の上端面の一方若しくは両方に、または前記硬質材料に、表面処理がされてなることを特徴とする請求項１乃至１７の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項１９】
前記接続体に設置されてＩＣを押圧するコンタクタと、
前記接続体または前記コンタクタに設置された下方に突出するガイドピンと
を有することを特徴とする請求項１乃至１８の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項２０】
前記接続体に替えて、前記コンタクタに、ＩＣを吸着する吸着パットを設置することを特徴とする請求項１乃至１９の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項２１】
前記支持部が設置されるアタチメントと、該アタチメントを進退する進退手段と、該進退手段を直線方向に移動させる移動手段とを有することを特徴とする請求項１乃至２０の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項２２】
前記支持部が設置されるアタチメントと、該アタチメントを進退する進退手段と、該進退手段を旋回させる旋回手段とを有することを特徴とする請求項１乃至２０の何れかに記載のＩＣ吸着ハンド。
【請求項２３】
ＩＣに所定の検査を実施する検査ステージと、
ＩＣを収納したトレイが載置される検査待機ステージと、
前記検査ステージと前記検査待機ステージとの間でＩＣを吸着して搬送し、且つ該ＩＣを前記検査ステージに押圧する、請求項１乃至２２の何れかに記載のＩＣ吸着ハンドとを有することを特徴とするＩＣテストハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣ吸着ハンドおよびＩＣテストハンドラに係り、特に、ＩＣの吸着ないし押圧に際し、調心機能、偏心機構または傾動機能を具備するＩＣ吸着ハンドおよびＩＣテストハンドラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図２０は例えば特開２０００−１９３７１６号公報に開示されている従来のＩＣ吸着ハンドの構成を示す縦断面図である。図２０において、ＩＣ吸着ハンド９０００は、ＩＣ１００に直接当接して、これを吸着する吸着パット９０１０と、吸着パット９０１０が設置されたコンタクタ９０２０と、コンタクタ９０２０が一体的に設置されたドッキングブロック（接続体）９０３０と、ドッキングブロック９０３０に摺動自在に当接して、これを押し下げる浮動体９０４０と、ドッキングブロック９０３０を移動自在に、且つ下方に離脱不能に保持するアタチメント（支持体）９０５０と、浮動体９０４０を下方に押し下げる押し下げ手段９０６０を有している。
【０００３】
吸着パット９０１０には、吸気継手９０１１を介して図示しない吸気管が設置されている。
コンタクタ９０２０の下面には、ＩＣのリードフレームを検査装置の所定の端子に押圧するための端子押さえ板９０２１が立設され、また、位置合わせ用のガイドピン９０２２が設置されている。
【０００４】
ドッキングブロック９０３０には、括れ９０３１と、括れ９０３１の上部で外周側に突出する外フランジ９０３２と、平坦な上端面９０３３が形成されている。また、浮動体９０４０には、平坦な下端面９０４１が形成されている。
【０００５】
アタチメント９０５０には、押し下げ手段９０６０およびドッキングブロック９０３０の外フランジ９０３２を移動自在に収納する懐９０５１と、懐９０５１の口元に内側に突出して外フランジ９０３２に当接する内フランジ９０５２が形成されている。
押し下げ手段９０６０は、懐９０５１に設置されたエアーシリンダ９０６１と、浮動体９０４０に形成されたピストン部９０４２により構成されている。また、エアーシリンダ９０６１には、エアー継手９０６２を介して加圧エアー管９０６３が設置され、ピストン部９０４２にはピストンリング９０４３が設置されている。
【０００６】
さらに、ＩＣ吸着ハンド９０００を複数並設して、それぞれのアタチメント９０５０を一体に構成している。
したがって、アタチメント９０５０の停止位置が正規位置から偏位した場合、ガイドピン９０２２が、検査ステージにおける正規位置にあるガイドホール（図示しない）に案内され、コンタクタ９０２０およびドッキングブロック９０３０が正規位置に移動する。このとき、コンタクタ９０２０およびドッキングブロック９０３０の中心が、アタチメント９０５０の中心（懐９０５１の中心）から偏位する（以下、偏心と称す）
【０００７】
さらに、エアーシリンダ９０６１のエアー圧を調整するだけで、ＩＣの押圧力を容易に調整することが可能になる。
また、複数のＩＣ吸着ハンド９０００を並べて配置し、それぞれの加圧エアー管９０６３を相互に連結すれば、すべてのエアーシリンダ９０６１のエアー圧を同一にすることができるため、それぞれのＩＣ吸着ハンド９０００におけるＩＣの押圧力を同一にすることが可能になる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のＩＣ吸着ハンドは、ドッキングブロック９０３０の外フランジ９０３２の下面は、アタチメント９０５０の内フランジ９０５２の上面に押し付けられ、浮動体９０４０の下端面９０４１は、ドッキングブロック９０３０の上端面９０３３を押し付けているから、ドッキングブロック９０３０が移動（偏心）するためには、これら押し付け面における摩擦力よりも大きな力が必要になる。このため、
【０００９】
▲１▼該移動（偏心）を容易にするため、エアーシリンダ９０６１のエアー圧を低くした場合は、アタチメント９０５０の移動開始または停止の際の慣性により、ドッキングブロック９０３０が不用意に移動（偏心）するという問題点があった。
▲２▼一方、エアーシリンダ９０６１のエアー圧を高くした場合は、ドッキングブロック９０３０の移動（偏心）が困難になるため、ガイドピン９０２２の側面に大きな力が作用して、ガイドピン９０２２の摩耗乃至変形の原因となり、ひいては検査精度の悪化をもたらすという問題点があった。
▲３▼また、一旦生じた偏心が自動的に解消されないため、直前の検査工程における偏心状態のまま次の検査工程に入るという問題点があった。
【００１０】
▲４▼さらに、浮動体９０４０の下端面９０４１およびドッキングブロック９０３０の上端面９０３３がともに平面であるから、アタチメント９０５０が正規姿勢から傾斜して停止した場合、傾斜吸収機能がないという問題点があった。
▲５▼このため、ＩＣのリードフレームの押圧力が均一にならず、検査精度が悪化するという問題点があった。
▲６▼さらに、ガイドピン９０２２の側面に大きな力が作用して、ガイドピン９０２２またはガイドホールの摩耗乃至変形の原因となり、ひいては検査精度の悪化をもたらすという問題点があった。
【００１１】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、移動開始または停止により不用意な偏心を防止して、検査ステージに対する調心機能、偏心機能および傾動機能を具備する、ＩＣ吸着ハンドおよびＩＣテストハンドラを得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るＩＣ吸着ハンドは、以下のとおりである。
（１）天井を具備する筒体からなる支持体と、
該支持体の内部に浮遊自在に収納された浮動体と、
該浮動体に設置された接続体と、
該接続体に設置され、ＩＣを吸着する吸着パットとを有し、
前記支持体は、側面に少なくとも３つの貫通穴を有し、
前記浮動体は、前記貫通穴に遊隙を介して挿入される突起を設けてなることを特徴とするものである。
これにより、前記浮動体が前記支持体から下方に向けて離脱不能であるとともに、浮動体に上向きの力が作用した場合（たとえば、後記コンタクタがＩＣを押圧する際）、浮動体が支持体から遊離して浮上するため、浮動体はフローティング機構（偏心機能、調心機能および傾動機能）を発揮する。
【００１３】
（２）前記（１）において、前記支持体の側面に前記支持体の下端から、前記貫通穴の側面または上面に連通する貫通溝が形成されてなることを特徴とするものである。
これにより、前記浮動体の側面に設置された突起が、前記貫通溝内を移動して前記貫通穴内に到達することができるから、側面に突起が設置された状態の浮動体を、支持体の懐に設置し、また、支持体から分離することが可能になる。
【００１４】
（３）天井を具備する筒体からなる支持体と、
該支持体の内部に浮遊自在に収納された浮動体と、
該浮動体に設置された接続体と、
該接続体に設置され、ＩＣを吸着する吸着パットとを有し、
前記支持体は、前記支持体の内側面に少なくとも３つの凹部が形成され、
前記浮動体は、前記浮動体の側面に前記凹部に遊隙を介して挿入される突起が設置されてなることを特徴とするものである。
これにより、前記浮動体が前記支持体から下方に向けて離脱不能であるとともに、浮動体に上向きの力が作用した場合（たとえば、後記コンタクタがＩＣを押圧する際）、浮動体が支持体から遊離して浮上するため、浮動体はフローティング機構（偏心機能、調心機能および傾動機能）を発揮する。
【００１５】
（４）前記（３）において、前記支持体の内側面に前記支持体の下端から、前記凹部の側面または上面に連通する溝が形成されてなることを特徴とするものである。
これにより、前記浮動体の側面に設置された突起が、前記貫通溝内を移動して前記貫通穴内に到達することができるから、側面に突起が設置された状態の浮動体を、支持体の懐に設置し、また、支持体から分離することが可能になる。
【００１６】
（５）前記（１）乃至（４）の何れかにおいて、前記貫通穴または凹部が下方に頂点を具備する略Ｖ字状で、前記突起が水平方向に設けられた円柱であることを特徴とするものである。
これにより、浮動体の自重により、円柱が支持体の略Ｖ字状の側壁に倣って、略Ｖ字状の頂点（隅）に落ち込むから、自動調心機能（セルフセンタリング機能）が発揮される。
【００１７】
（６）天井を具備する筒体からなる支持体と、
該支持体の内部に収納された筒体からなる浮動体と、
該浮動体に設置された接続体と、
該接続体に設置され、ＩＣを吸着する吸着パットとを有し、
前記浮動体は、前記浮動体の側面に少なくとも３つの貫通穴が形成され、
前記支持体は、前記支持体の内側面に前記貫通穴に遊隙を介して挿入される突起を設けてなることを特徴とするものである。
これにより、前記浮動体が前記支持体から下方に向けて離脱不能であるとともに、浮動体に上向きの力が作用した場合（たとえば、後記コンタクタがＩＣを押圧する際）、浮動体が支持体から遊離して浮上するため、浮動体はフローティング機構（偏心機能、調心機能および傾動機能）を発揮する。
また、支持体の外面から突起を容易に設置することができる。
【００１８】
（７）前記（６）において、前記浮動体の側面に、前記浮動体の上端から前記貫通穴の側面または下面に連通する貫通溝が形成されてなることを特徴とするものである。
これにより、前記浮動体の側面に設置された突起が、前記貫通溝内を移動して前記貫通穴内に到達することができるから、側面に突起が設置された状態の浮動体を、支持体の懐に設置し、また、支持体から分離することが可能になる。
【００１９】
（８）天井を具備する筒体からなる支持体と、
該支持体の内部に浮遊自在に収納された浮動体と、
該浮動体に設置された接続体と、
該接続体に設置され、ＩＣを吸着する吸着パットとを有し、
前記浮動体は、前記浮動体の外側面に少なくとも３つの凹部が形成され、
前記浮動体は、前記支持体の内側面に前記凹部に遊隙を介して挿入される突起を設けてなることを特徴とするものである。
これにより、前記浮動体が前記支持体から下方に向けて離脱不能であるとともに、浮動体に上向きの力が作用した場合（たとえば、後記コンタクタがＩＣを押圧する際）、浮動体が支持体から遊離して浮上するため、浮動体はフローティング機構（偏心機能、調心機能および傾動機能）を発揮する。
また、支持体の外面から突起を容易に設置することができる。
【００２０】
（９）前記（８）において、前記浮動体の外側面に、前記浮動体の上端から、前記凹部の下面または側面に連通する溝が形成されてなることを特徴とするものである。
これにより、前記浮動体の側面に設置された突起が、前記貫通溝内を移動して前記貫通穴内に到達することができるから、側面に突起が設置された状態の浮動体を、支持体の懐に設置し、また、支持体から分離することが可能になる。
また、支持体の外面から突起を容易に設置することができる。
【００２１】
（１０）前記（６）乃至（９）の何れかにおいて、前記貫通穴または凹部が上方に頂点を具備する略Ｖ字状で、前記突起が水平方向に設けられた円柱であることを特徴とするものである。
これにより、浮動体の自重により下降した際、浮動体に設けられた貫通穴または凹部の略Ｖ字状の側壁が、支持体に設置された円柱に倣って下降し、略Ｖ字状の頂点（隅）に馬乗り状態になるから、自動調心機能（セルフセンタリング機能）が発揮される。
【００２２】
（１１）前記（１）乃至（１０）の何れかにおいて、前記支持体の天井の下面が平面であって、前記浮動体の上端面が凸状球面であることを特徴とするものである。
これにより、前記浮動体が上方に押し上げられた場合（たとえば、後記するコンタクタががＩＣを押圧する際）、前記支持体の天井の下面に前記浮動体の上端面が傾動自在に当接するから、該当接状態において、浮動体は傾動機能（いわゆる首振り機能）を発揮する。
【００２３】
（１２）前記（１）乃至（１０）の何れかにおいて、前記支持体の天井の下面が凸状球面であって、前記浮動体の上端面が平面であることを特徴とするものである。
これにより、前記浮動体が上方に押し上げられた場合（たとえば、後記するコンタクタががＩＣを押圧する際）、前記支持体の天井の下面に前記浮動体の上端面が傾動自在に当接するから、該当接状態において、浮動体は傾動機能（いわゆる首振り機能）を発揮する。
【００２４】
（１３）前記（１）乃至（１２）の何れかにおいて、前記支持体の外面に突出して支持体フランジが形成され、前記浮動体の外面に突出して浮動体フランジが形成され、
前記支持体フランジと浮動体フランジの間に、前記支持体と浮動体とを引き離す反発力を付与する反発手段が配置されてなることを特徴とするものである。
これにより、浮動体の自重に頼ることなく、浮動体の突起が支持体の貫通穴または凹部の最下部または下部のＶ字状の頂点（隅）に当接、あるいは、支持体の突起が浮動体の貫通穴または凹部の最上部または上部のＶ字状の頂点（隅）に、強制的に当接するから、調心機能が確実に発揮される。さらに、ＩＣ吸着ハンドを何れのに姿勢（水平状態、斜め傾斜状態等）にしても、調心機能が発揮されるから、ＩＣ吸着ハンドを旋回することが可能になる。
【００２５】
（１４）前記（１３）において、前記反発手段が筒体の一部を収納する圧縮バネであることを特徴とするものである。
これにより、反発手段を、安価に且つ簡素に製造することができる。
【００２６】
（１５）前記（１３）において、前記反発手段が、前記支持体の筒体の周囲に配置された圧縮バネであることを特徴とするものである。
これにより、圧縮バネの配置形態の自由度が増し、反発力の円周方向分布をより均一にすることできる。
【００２７】
（１６）前記（１３）または（１５）において、前記支持体の側面に雄ネジが形成され、前記支持体フランジが、該雄ネジに螺合する雌ネジを具備するフランジ付きナットであることを特徴とするものである。
これにより、反発手段の設置が容易になる。また、フランジ付きナットの位置調整が容易にできるから、圧縮バネの反発力の調整が容易になる。
【００２８】
（１７）前記（１）乃至（１６）の何れかにおいて、前記支持体の天井の下面または前記浮動体の上端面の一方または両方が、硬質材料により形成されてなることを特徴とするものである。
これにより、支持体と浮動体の当接部の摩擦抵抗が低下し、調心および傾動が容易になる。また、当接部の磨耗が減少し、長期間に渡り安定した使用が可能になる。また、当接部に限定して硬質材料を設置すれば、安価に製造することが可能となる。なお、硬質材料として、熱処理が施された鋼材、特殊鋼、セラミックス等何れを選定してもよい。
有することを特徴とするＩＣテストハンドラ。
【００２９】
（１８）前記（１）乃至（１７）の何れかにおいて、前記支持体の天井の下面または前記浮動体の上端面の一方若しくは両方に、または前記硬質材料に、表面処理がされてなることを特徴とするものである。
これにより、支持体と浮動体の当接部の摩擦抵抗が低下し、調心および傾動が容易になる。また、当接部の磨耗が減少し、長期間に渡り安定した使用が可能になる。
なお、前記表面処理は、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の化学的蒸着または物理的蒸着、あるいはイオン注入など何れを選定してもよい。
【００３０】
（１９）前記（１）乃至（１８）の何れかにおいて、前記接続体に設置され、ＩＣを押圧するコンタクタと、
前記接続体または前記コンタクタに設置された下方に突出するガイドピンとを有することを特徴とするものである。
これにより、ＩＣ吸着ハンドをＩＣテストハンドラに設置した場合、
検査ステージに設置されたガイドホールに前記ガイドピンが案内され、さらに、前記浮動体が、調心機能、偏心機構および傾動機構を発揮するから、当該ＩＣを確実に押圧することが可能になり、ＩＣ検査の精度・信頼性が向上する。
【００３１】
（２０）前記（１）乃至（１９）の何れかにおいて、前記接続体に替えて、前記コンタクタに、ＩＣを吸着する吸着パットを設置することを特徴とするものである。
これにより、コンタクタと吸着パットを一体的に組み立てておき、該一体的組み立て状態で、前記接続体に設置することが可能になるため、交換が容易になる。
【００３２】
（２１）前記（１）乃至（２０）の何れかにおいて、前記支持部が設置されるアタチメントと、該アタチメントを進退する進退手段と、該進退手段を直線方向に移動させる移動手段とを有することを特徴とするものである。
これにより、一方の位置と他方に位置との間で、ＩＣを吸着して運搬することができ、さらに、所定の位置にＩＣを確実に押し付けることが可能になる。たとえば、ＩＣテストハンドラにおいて、略同一平面内に配置された検査ステージと検査待機ステージとの間で、ＩＣを吸引して運搬し、検査ステージにＩＣを押し付けることが可能になる。
【００３３】
（２２）前記（１）乃至（２０）の何れかにおいて、前記支持部が設置されるアタチメントと、該アタチメントを進退する進退手段と、該進退手段を旋回させる旋回手段とを有することを特徴とするものである。
これにより、一方の位置と他方に位置との間で、ＩＣを吸着して運搬することができ、さらに、所定の位置にＩＣを確実に押し付けることが可能になる。
たとえば、ＩＣテストハンドラにおいて、鉛直面内に配置された検査ステージと水平面内に配置された検査待機ステージとの間で、ＩＣを吸引して運搬し、検査ステージにＩＣを押し付けることができる。
【００３４】
さらに、本発明に係るＩＣテストハンドラは、以下のとおりである。
（２３）  ＩＣに所定の検査を実施する検査ステージと、
ＩＣを収納したトレイが載置される検査待機ステージと、
前記検査ステージと前記検査待機ステージとの間でＩＣを吸着して搬送し、且つ該ＩＣを前記検査ステージに押圧する、請求項１乃至２２の何れかに記載のＩＣ吸着ハンドとを有することを特徴とするものである。
これにより、ＩＣ吸着ハンドが調心機能、偏心機能および傾動機能を発揮するから、検査ステージと検査待機ステージとの間で、ＩＣを確実に搬送することができ、さらに、ＩＣを前記検査ステージに確実に押圧することが可能になる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
［実施の形態１］
図１は本発明の実施の形態１に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は一部断面の側面図である。図１において、１はＩＣ吸着ハンド、２はＩＣ吸着ハンド１が設置されるアダプタ、３はアダプタ２に設置されたコンタクトアーム、４はＩＣを吸着するための空気を吸引する吸気管、５は吸気管４の接続端子である。アダプタ２にはＩＣ吸着ハンド１が４個設置され、それぞれが１個のＩＣを吸着するから、コンタクトアーム３の動きにより、同時に４個のＩＣを吸着することになる。
【００３６】
（ＩＣ吸着ハンド）
１０はＩＣに直接当接して、これを吸着する吸着パット、２０はＩＣのリードフレームを図示しない検査装置の所定の端子に押圧するための端子押さえ板２１を具備するコンタクタ、３０は吸着パット１０が設置される接続体、４０は接続体３０に設置され、後記支持体５０の懐に収納された浮動体、５０は浮動体４０を脱落不能に、且つ移動自在に支持する支持体、６０は浮動体４０を下方に押し下げる圧縮バネ、７０は圧縮バネ６０の反発力を支持体５０に伝える回転ナット、８０は接続体３０に設置され、図示しない所定のガイドホールに進入するガイドピン、９０はコンタクタ２０が接続体３０から脱落しないように保持する脱落防止板である。
【００３７】
センタリングピン４１は、浮動体４０の側面に等間隔に４本設置され、支持体５０の側面に等間隔に穿設された４カ所のセンタリングホール５１に遊間（クリアランス）を配して挿入されている。
したがって、浮動体４０は支持体５０から離脱することがない。
また、浮動体４０が上方または側方（水平方向）に押された場合、センタリングピン４１はセンタリングホール５１内を移動自在であるから、浮動体４０の軸心は支持体５０の軸心に対し、偏心および傾斜することになる（以下、偏心機能および傾動機能と称す）。
【００３８】
一方、センタリングホール５１は側面視で下方に頂点５２を有する略三角形であるため、浮動体４０が圧縮バネ６０により下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン４１が頂点５２に向かって下降するから、浮動体４０は支持体５０の軸心に寄ることになる。すなわち、自動調心機能（セルフセンタリング機能）が発揮される。なお、複数のセンタリングホール５１の頂点５２は、それぞれ同一水平面内にある。
【００３９】
さらに、浮動体４０の上端面４２は球体の一部であって、支持体５０の天井面５４は平面であるため、上端面４２と天井面５４が当接した状態においても、相互に摺動および傾斜自在であるから、該当接状態においても、偏心機能、傾動機能および調心機能が発揮される。
【００４０】
また、ＩＣのリードフレームを押圧する力は、コンタクトアーム３の下降により、アダプタ２、支持体５０の天井面５４、浮動体４０の上端面４２、接続体３０、スペーサ２３を経由して、コンタクタ２０の端子押さえ板２１に伝わることになる。
【００４１】
図２は本発明の実施の形態１に係るＩＣ吸着ハンドの構成を、それぞれの構成部材に分解して説明する一部断面の斜視図である。なお、図１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００４２】
（コンタクタ）
コンタクタ２０は略八角形（長方形の４角が三角形状に削除されている）の板状であって、樹脂等の絶縁材により形成されている。中央に図示しない吸着パットが貫通する中央穴２２が穿設されている。下面には４枚の端子押さえ板２１が、また上面には４個のスぺーサ２３が、中央穴２２を包囲するように方形に設置されている。なお、端子押さえ板２１は、検査されるＩＣのリードフレームの形態に応じて、変更されるものであって、対向する一対の場合や、複数本の棒状の場合等がある。スぺーサ２３は、板状部と別個に作成され、ノックピン２６より位置決めされ、図示しないネジにより一体化される。なお、板状部と一体に形成されるものもある。
さらに、中央穴２２の軸心に対して略対称な位置に、ガイドピン８０が貫通する貫通穴２４が穿設されている。また、熱容量の調整、重量または剛性の調整、あるいは、周囲のガス流れの調整のため、通気穴２５が設けられている。
【００４３】
（接続体）
接続体３０はコンタクタ２０と略同一の平面形状であって、中央に図示しない吸着パットが設置される吸着パット設置部３１が設けられ、吸着パット設置部３１に連通する吸気路３２が加工され、吸気路３２の終端部には、図示しない吸気管の接続端子が設置される雌ネジ３３が加工されている。
また、図示しない検査ステージのガイドホールに進入するガイドピン８０を、設置するためのガイドピン設置穴３４が設けられている。
また、熱容量の調整、重量または剛性の調整、あるいは、周囲のガス流れの調整のため、通気穴３５が設けられている。そして、浮動体４０を設置するための雄ネジが貫通する貫通穴３６が穿設されている。
【００４４】
（浮動体）
浮動体４０は、下方の口元に外周側に突出する外フランジ４３が形成された、天井付き筒体である。
浮動体４０の筒状部の側面に等間隔に４カ所、センタリングピン４１を設置するための貫通穴あるいは雌ネジ４４が設けられ、センタリングピン４１を、貫通穴あるいは雌ネジ４４に、圧入、冷やし嵌、焼き嵌、あるいはネジ接合により、放射状に設置している。なお、該設置は、浮動体４０を支持体５０の懐（円筒部の内側）に収納した後、浮動体４０の懐から外側に向けて、あるいは、支持体５０の外側から浮動体４０の軸心に向けて実施する。
外フランジ４６には、雌ネジ４５が設けられ、接続体３０の貫通穴３６を貫通した雄ネジ４７により、接続体３０と浮動体４０とが一体的に接合される。このとき、接続体３０と浮動体４０の間には位相を合わせるために、図示しないノックピンが設置されている。
なお、センタリンングピン４１の数量は４本に限定するものではなく、センタリングホール５１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
さらに、天井部は筒状部と一体に形成しても、それぞれ別個に製作した後、一体的に形成してもよい。
【００４５】
（支持体）
支持体５０は、平坦な天井を具備する筒体である。
支持体５０の側面には等間隔に４カ所、センタリングホール５１が穿設されている。センタリングホール５１は側面視で下方に頂点５２を有する略三角形であって、センタリングピン４１が遊隙を介して挿入される。浮動体４０が下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン４１が頂点５２に向かって下降するから、浮動体４０の軸心は支持体５０の軸心に寄ることになる。すなわち、自動調心機能（センタリング機能）が発揮される。
また、浮動体４０が上方に押し上げられた場合、それぞれのセンタリングピン４１が、三角形の底辺５３に当接する前に、浮動体４０の上端面４２が支持体５０の天井面５４に当接する。よって、偏心機能および傾動機能が発揮される。
【００４６】
なお、センタリングホール５１の形状は、下方にＶ字状の頂点（隅）を具備する四角形等、あるいは、円形ないし楕円形であってもよい。さらに、センタリングホール５１の数量は４カ所に限定するものではなく、センタリンングピン４１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
支持体５０の外側面上部には、雌ネジ７３が設けられ、回転ナット７０がネジ接合される。
さらに、支持体５０の上端面５５（天井５４の外面に同じ）には、アダプタ２との位置合わせのための吸着ハンド配置ピン５６が突出し、アダプタ２に設置するための雄ネジ（ボルト）が螺合する設置用雌ネジ５７が設けられている。
【００４７】
（圧縮バネ）
圧縮バネ６０は支持体５０を収納する形で配置され、両端が支持体５０に設置する回転リング７０および浮動体４０の外フランジ４６に、それぞれ拘束される。したがって、圧縮バネの反発力により、センタリングピン４１はセンタリングホール５１の下方の頂点（５２）に向けて押し付けられることになる。
そして、該反発力に打ち勝つ力で、浮動体４０が押し上げられた場合に限り、センタリングピン４１はセンタリングホール５１の下方の頂点（隅）５２から浮き上がり、やがて、浮動体４０の上端面４２が支持体５０の天井面５４に当接することになる。このとき、圧縮バネ６０は、可撓性に優れているため、偏心機能、調心機能および傾動機能を阻害することがない。
また、該反発力の大きさは、回転リング７０の設置位置により調整することが可能である。さらに、圧縮バネ（コイルスプリング）に替えて、可撓性を具備する円環体に圧縮気体を封入した気体バネを用いてもよい。また、複数個の圧縮バネを支持体５０の周囲に配置してもよい。
【００４８】
（回転リング）
回転リング７０は、圧縮バネが当接する外フランジ７１と、支持体５０に設置された雄ネジ７３に螺合する雌ネジ７２を有している。
【００４９】
（ガイドピン）
ガイドピン８０は、下端８１が略円錐台状に尖った棒状体であって、軸方向で下端から所定の位置にフランジ８２と、フランジ８２より上端側にガイドピン設置穴３４に嵌合する嵌合部８３と、嵌合部８３の上端側に雄ネジ８４が設けられている。
したがって、接続体３０のガイドピン設置穴３４に、嵌合部８３を下から上方向に嵌挿し、雄ネジ８４に上端部からナット８５を螺設することにより、ガイドピン８０は接続体３０に設置される。このとき、脱落防止板９０を、接続体３０の上面とナット８５の間に挟み込む。
【００５０】
（脱落防止板）
脱落防止板９０は略Ｌ字状に成形された板材であって、一方の面９１にはガイドピン８０の雄ネジ８４が貫通する貫通穴９２が穿設され、他方の面９３の先端は、一方の面９１側に折り曲げられた引っ係り面９４が成形されている。
したがって、接ガイドピン８０を接続体３０に設置する際、脱落防止板９０の一方の面９１を接続体３０の上面に載置し、貫通穴９２にガイドピン８０の雄ネジ８４を貫通して、ナット８５を締め込むことにより、脱落防止板９０は、ガイドピン８０と同時に接続体３０に設置される。
また、脱落防止板９０の引っ係り面９４は、コンタクタ２０の端部２７を保持するため、コンタクタ２０が接続体３０から脱落することがない。脱落防止板９０は可撓性を具備した板材により形成されているため、これを弾性的に撓ませるだけで、コンタクタ２０を容易に着脱することができる。
【００５１】
さらに、引っ係り面９４の先端部を、面９１の反対側に折り曲げて呼び面９５を設けておけば、コンタクタ２０の装着が一層容易になる。
また、脱落防止板９０の形状は前記板材に限定するものではなく、棒材を曲げたもの、あるいは棒体に引っかかり用の爪を設置したもの等いずれであってもよい。さらに、一方の面９１あるいは貫通穴９２を撤去し、ナット８５によらないで、別個の雄ネジにより設置してもよい。
【００５２】
（搬送専用のＩＣ吸着ハンド）
ＩＣ吸着ハンド１は、たとえば、ＩＣ検査装置のＩＣ検査ステージに、吸着したＩＣを押圧する必要がある場合に、有効なものである。
しかしながら、該ＩＣを押圧する必要がない場合にも採用することができる。かかる場合には、コンタクタ２０、ガイドピン８０および脱落防止板９０を撤去することができる。
【００５３】
［実施の形態２］
図３は本発明の実施の形態２に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリングホールが設置された支持体、（ｂ）はセンタリンピンが設置された浮動体である。
なお、該支持体および浮動体は、それぞれ実施の形態１（図１または図２）における支持体５０および浮動体４０と置換自在であって、かかる置き換えによりＩＣ吸着ハンド１を形成するものである。なお、該形成に係る部位については、実施の形態１（図１または図２）と同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００５４】
（浮動体）
浮動体２４０は、下方の口元に外周側に突出する外フランジ２４６が形成された、コップ状である。
浮動体２４０の筒状部の上端には、上端面２４２が平面である端板２４７が設置されている。端板２４７（コップの底に相当）は熱処理が施された合金鋼により別個に製作された後、嵌合、接着剤またはネジ等により筒状部に設置されている。なお、端板２４７の上端面２４２に、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入を実施してもよい。
【００５５】
浮動体２４０の筒状部の側面に、同一平面内で等間隔に４カ所、センタリングピン２４１を設置するための貫通穴あるいは雌ネジ２４４が設けられ、センタリングピン２４１を、貫通穴あるいは雌ネジ２４４に、圧入、冷やし嵌、焼き嵌、あるいはネジ接合により、放射状に設置している。なお、該設置は、浮動体２４０を支持体２５０の懐（筒状体の内側）に収納した後、浮動体２４０の懐から外側に向けて、あるいは、支持体２５０の外側から浮動体２４０の軸心に向けて実施する。
【００５６】
外フランジ２４６には、雌ネジ２４５が設けられ、図示しない接続体３０の貫通穴３６を貫通した図示しない雄ネジにより、接続体３０と浮動体２４０が一体的に接合される。このとき、接続体３０と浮動体２４０の間には位相を合わせるために、図示しないノックピンが設置される。
【００５７】
なお、センタリンングピン２４１の数量は４本に限定するものではなく、センタリングホール２５１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。さらに、天井部は筒状部と一体に形成しても、それぞれ別個に製作した後、一体的に形成してもよい。
【００５８】
（支持体）
支持体２５０は、コップ状であって、天井の下面（コップの底の内面側に相当）には、下方に凸の球面２５４を具備する当接用中子２５８が設置されている。当接用中子２５８は、熱処理が施された合金鋼により別個に製作された後、圧入、冷やし嵌、焼き嵌、あるいはネジ接合等により設置されている。なお、当接用中子２５８の球面２５４に、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入を実施してもよい。
【００５９】
支持体２５０の側面には等間隔に４カ所、センタリングホール２５１が穿設されている。センタリングホール２５１は側面視で円形であって、それぞれの下端面２５２は同一平面内にある。そして、センタリングピン２４１が遊隙を介して挿入されるため、浮動体２４０が下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン２４１が下端面２５２に向かって下降するから、浮動体２４０は支持体２５０の軸心に寄ることになる。すなわち、自動調心機構（センタリング機能）が発揮される。
【００６０】
また、浮動体２４０が上方に押し上げられた場合、それぞれのセンタリングピン２４１が、前記円形の上端面２５３に当接する前に、浮動体２４０の平坦な上端面２４２が支持体２５０の球面２５４に当接する。よって、偏心機能および傾動機能が発揮される。
【００６１】
なお、センタリングホール２５１の形状は、下方にＶ字状の頂点（隅）を具備する四角形等、あるいは、楕円形であってもよい。さらに、センタリングホール２５１の数量は４カ所に限定するものではなく、センタリンングピン２４１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
【００６２】
支持体２５０の外側面上部には、回転ナット７０の雌ネジ７２が螺合する雄ネジ２７２が設けられ、回転ナット７０が設置位置の調整自在に設置される。
さらに、支持体２５０の上端面２５５には、アダプタ２との位置合わせのための吸着ハンド配置ピン２５６が突出し、アダプタ２に設置するための設置用雄ネジが螺合する雌ネジ２５７が設けられている。
【００６３】
［実施の形態３］
図４は本発明の実施の形態３に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリングホールが設置された支持体、（ｂ）はセンタリンピンが設置された浮動体である。
なお、該支持体および浮動体は、それぞれ実施の形態１（図１または図２）における支持体５０および浮動体４０と置換自在であって、かかる置き換えによりＩＣ吸着ハンド１を形成するものである。なお、該形成に係る部位については、実施の形態１（図１または図２）と同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００６４】
（浮動体）
浮動体３４０は、下方の口元に外周側に突出する外フランジ３４６が形成された、中実体である。
浮動体３４０の上端は、球面３４２が形成されている。球面３４２には、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入が実施されている。なお、球面３４２の頂上部のみ、セラミックスあるいは熱処理が施された合金鋼によって形成された当接用中子を別途製作し、これを、嵌合、接着剤またはネジ等により設置してもよい。
【００６５】
浮動体３４０の側面には、同一平面内で等間隔に３カ所、センタリングピン３４１を設置するための止まり穴あるいは雌ネジ３４４が設けられ、センタリングピン３４１が、止まり穴あるいは雌ネジ３４４に、圧入、冷やし嵌、焼き嵌、あるいは接着剤、またはネジ接合により、放射状に設置されている。
なお、該設置は、浮動体３４０を支持体３５０の懐（筒状体の内側）に収納する前に実施し、センタリングピン３４１が設置された状態で、下記要領により支持体３５０の懐に収納するものである。
【００６６】
外フランジ３４６には、雌ネジ３４５が設けられ、図示しない接続体３０の貫通穴３６を貫通した図示しない雄ネジにより、接続体３０と浮動体３４０が一体的に接合される。このとき、接続体３０と浮動体３４０の間には位相を合わせるために、図示しないノックピンが設置される。
【００６７】
なお、センタリンングピン３４１の数量は３本に限定するものではなく、センタリングホール３５１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。さらに、球面３４２を具備する当接用中子を別途製作し、これを上端面に設置しもよい。
【００６８】
（支持体）
支持体３５０は、コップ状であって、天井の下面（コップの底の内面側に相当）は、平坦な天井面３５４が形成されている。なお、天井面３５４に、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入を実施してもよい。
さらに、平面を具備する当接用中子を別途製作し、これを天井の下面に設置することにより天井面３５４を形成してもよい（実施の形態２における当接用中子２５４に準じる）。
【００６９】
支持体３５０の側面には等間隔に３カ所、センタリングホール３５１が穿設されている。センタリングホール３５１は側面視で下方に頂点３５２を有する略三角形であって、それぞれの頂点３５２は同一平面内にある。そして、センタリングピン３４１が遊隙を介して挿入されるため、浮動体３４０が下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン３４１が頂点３５２に落ち込むから、浮動体３４０は支持体３５０の軸心に寄ることになる。すなわち、自動調心機構（センタリング機能）が発揮される。
【００７０】
また、浮動体３４０が上方に押し上げられた場合、それぞれのセンタリングピン３４１が、センタリングホール３５１の上辺３５３（三角形の底辺に相当）に当接する前に、浮動体３４０の球面３４２が支持体３５０の天井面３５４に当接する。よって、偏心機能および傾動機能が発揮される。
【００７１】
さらに、支持体３５０の側面には、下端部から、センタリングホール３５１の上辺３５３の隅部に至るＬ字状のセッティング溝３５９が設けられている。該セッティング溝３５９はセンタリングピン３４１が貫通して移動自在な幅を具備しているため、センタリングピン３４１をセッティング溝３５９に進入させることにより、センタリングピン３４１をセンタリングホール３５１に挿入することができる。
よって、センタリングピン３４１が設置された状態で、浮動体３４０を支持体３５０の懐（筒状体の内側）に収納すること、あるいは該懐から抜き出すことが可能になる。
【００７２】
なお、センタリングホール３５１の形状は、下方にＶ字状の頂点（隅）を具備する四角形等、あるいは、円形乃至楕円形であってもよい。さらに、センタリングホール３５１の数量は３カ所に限定するものではなく、センタリンングピン３４１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
【００７３】
支持体３５０の外側面上部には、回転ナット７０用の雌ネジ７２が螺合する雄ネジ３７２が設けられ、回転ナット７０が設置位置の調整自在に設置される。
さらに、支持体３５０の上端面３５５には、アダプタ２との位置合わせのための吸着ハンド配置ピン３５６が突出し、アダプタ２に設置するための雄ネジ（ボルト）が螺合する設置用雌ネジ３５７が設けられている。
【００７４】
［実施の形態４］
図５は本発明の実施の形態４に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）は筒状部の内周にセンタリング用凹部が設置された支持体、（ｂ）はセンタリンピンが設置された浮動体である。
なお、該支持体および浮動体は、それぞれ実施の形態１（図１または図２）における支持体５０および浮動体４０と置換自在であって、かかる置き換えによりＩＣ吸着ハンド１を形成するものである。なお、該形成に係る部位については、実施の形態１（図１または図２）と同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００７５】
（浮動体）
浮動体４４０は、下方の口元に外周側に突出する外フランジ４４６が形成された、コップ状体である。
浮動体４４０の上端には、球面４４２を具備する当接用中子４４７が、嵌合、接着剤またはネジ等により設置されている。球面４４２には、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入が実施されている。なお、当接用中子４４７のみ、熱処理が施された合金鋼により形成してもよい。
【００７６】
浮動体４４０の外側面に、同一平面内で等間隔に３カ所、止まり穴あるいは雌ネジ４４４が設けられ、ここに、センタリングピン４４１が、圧入、冷やし嵌、焼き嵌、あるいは接着剤、またはネジ接合により、放射状に設置されている。
なお、該設置は、浮動体４４０を支持体４５０の懐（筒状体の内側）に収納した後、浮動体４４０の内側から外側に向けて押し出すように実施する。
【００７７】
外フランジ４４６には、雌ネジ４４５が設けられ、図示しない接続体３０の貫通穴３６を貫通した図示しない雄ネジにより、接続体３０と浮動体４４０が一体的に接合される。このとき、接続体３０と浮動体４４０の間には位相を合わせるために、図示しないノックピンが設置される。
なお、センタリンングピン４４１の数量は３本に限定するものではなく、センタリンング用凹部４５１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
【００７８】
（支持体）
支持体４５０は、コップ状であって、天井の下面（コップの底の内面に相当）には、平坦な天井面４５４が形成されている。なお、天井４５４面に、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入を実施してもよい。
さらに、平面を具備する当接用中子を別途製作し、これを天井の下面に設置することにより天井面４５４を形成してもよい（実施の形態２における当接用中子２５４に準じる）。
【００７９】
支持体４５０の側面には等間隔に３カ所、センタリング用凹部４５１が穿設されている。センタリンング用凹部４５１は側面視で下方に頂点４５２を有する略三角形であって、それぞれの頂点４５２が同一平面内にある。
したがって、センタリングピン４４１が遊隙を介して挿入されるため、浮動体４４０が下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン４４１が頂点４５２に落ち込むから、浮動体４４０は支持体４５０の軸心に寄ることになる。すなわち、自動調心機構（センタリング機能）が発揮される。
【００８０】
また、浮動体４４０が上方に押し上げられた場合、それぞれのセンタリングピン４４１が、センタリング用凹部４５１の上辺４５３（三角形の底辺に相当）に当接する前に、浮動体４４０の球面４４２が支持体４５０の天井面４５４に当接する。よって、偏心機能および傾動機能が発揮される。
【００８１】
なお、センタリンング用凹部４５１の形状は、下方にＶ字状の頂点（隅）を具備する四角形等、あるいは、円形乃至楕円形であってもよい。さらに、センタリンング用凹部４５１の数量は３カ所に限定するものではなく、センタリンングピン４４１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
【００８２】
支持体４５０の外側面上部には、回転ナット７０用の雌ネジ７２が螺合する雄ネジ４７２が設けられ、回転ナット７０が設置位置の調整自在に設置される。
さらに、支持体４５０の上端面４５５には、アダプタ２との位置合わせのための吸着ハンド配置ピン４５６が突出し、アダプタ２に設置するための雄ネジ（ボルト）が螺合する設置用雌ネジ４５７が設けられている。
【００８３】
［実施の形態５］
図６は本発明の実施の形態５に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリン用凹部が設置された支持体、（ｂ）はセンタリンピンが設置された浮動体である。
なお、該支持体および浮動体は、それぞれ実施の形態１（図１または図２）における支持体５０および浮動体４０と置換自在であって、かかる置き換えによりＩＣ吸着ハンド１を形成するものである。なお、該形成に係る部位については、実施の形態１（図１または図２）と同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００８４】
（浮動体）
浮動体５４０は、下方の口元に外周側に突出する外フランジ５４６が形成された、コップ状体である。
浮動体５４０の上端は、平面５４２が形成されている。平面５４２には、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入が実施されている。なお、平面５４２の中央部に、別途製作した当接用中子を設置してもよい。
【００８５】
浮動体５４０の側面に、同一面内で等間隔に３カ所、センタリングピン５４１を設置するための止まり穴あるいは雌ネジ５４４が設けられ、センタリングピン５４１が、止まり穴あるいは雌ネジ５４４に、圧入、冷やし嵌、焼き嵌、あるいは接着剤、またはネジ接合により、放射状に設置されている。
【００８６】
なお、該設置は、浮動体５４０を支持体５５０の懐（筒状体の内側）に収納する前に実施し、センタリングピン５４１が設置された状態で、下記要領により支持体５５０の懐に収納するものである。したがって、浮動体５４０を外フランジ５４６付きの中実体により形成してもよい。
【００８７】
外フランジ５４６には、雌ネジ５４５が設けられ、図示しない接続体３０の貫通穴３６を貫通した図示しない雄ネジにより、接続体３０と浮動体５４０が一体的に接合される。このとき、接続体３０と浮動体５４０の間には位相を合わせるために、図示しないノックピンが設置される。
なお、センタリンングピン５４１の数量は３本に限定するものではなく、センタリングホール５５１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
【００８８】
（支持体）
支持体５５０は、コップ状であって、天井の下面（コップの底の内面に相当）には、下方に凸の球面５５４が形成されている。なお、球面５５４面に、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入を実施してもよい。
さらに、球面を具備する当接用中子を別途製作し、これを天井の下面に設置してもよい（実施の形態２における当接用中子２５４に準じる）。
【００８９】
支持体５５０の側面には等間隔に３カ所、センタリング用凹部５５１が設けられている。センタリンング用凹部５５１は側面視で下方に頂点５５２を有する略三角形であって、それぞれの頂点５５２が同一平面内にある。
したがって、センタリングピン５４１が遊隙を介して挿入されるため、浮動体５４０が下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン５４１が頂点５５２に落ち込むから、浮動体５４０は支持体５５０の軸心に寄ることになる。すなわち、自動調心機構（センタリング機能）が発揮される。
【００９０】
また、浮動体５４０が上方に押し上げられた場合、それぞれのセンタリングピン５４１が、センタリング用凹部５５１の上辺５５３（三角形の底辺に相当）に当接する前に、浮動体５４０の平面５４２が支持体５５０の球面５５４に当接する。よって、偏心機能および傾動機能が発揮される。
【００９１】
さらに、支持体５５０の内面には、下端部から、センタリング用凹部５５１の上辺５５３の隅部に至るＬ字状のセッティング溝５５９が設けられている。該セッティング溝５５９はセンタリングピン５４１が進入して移動自在な幅と、センタリング用凹部と略同一の深さ（筒体の肉厚方向深さ）を具備しているため、センタリングピン５４１をセッティング溝５５９に進入させることにより、センタリングピン５４１をセンタリング用凹部５５１に挿入することができる。
よって、センタリングピン５４１が設置された状態で、浮動体５４０を支持体５５０の懐（筒状体の内側）に収納すること、あるいは該懐から抜き出すことが可能になる。
【００９２】
なお、センタリンング用凹部５５１の形状は、下方にＶ字状の頂点（隅）を具備する四角形等、あるいは、円形乃至楕円形であってもよい。さらに、センタリンング用凹部５５１の数量は３カ所に限定するものではなく、センタリンングピン５４１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
【００９３】
支持体５５０の外側面上部には、回転ナット７０の雌ネジ７２が螺合する雄ネジ５７２が設けられ、回転ナット７０が設置位置の調整自在に設置される。
さらに、支持体５５０の上端面５５５には、アダプタ２との位置合わせのための吸着ハンド配置ピン５５６が突出し、アダプタ２に設置するため雄ネジが螺合する設置用雌ネジ５５７が設けられている。
【００９４】
［実施の形態６］
図７は本発明の実施の形態６に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリンピンが設置された支持体、（ｂ）はセンタリングホールが設置された浮動体である。
なお、該支持体および浮動体は、それぞれ実施の形態１（図１または図２）における支持体５０および浮動体４０と置換自在であって、かかる置き換えによりＩＣ吸着ハンド１を形成するものである。なお、該形成に係る部位については、実施の形態１（図１または図２）と同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００９５】
（支持体）
支持体６５０は、コップ状であって、内側面には同一平面内で等間隔に３カ所、センタリングピン６５１が、放射状に設置されている。  また、上部の端板（コップの底に相当）の内側には、下方に凸の球面６５４を具備する当接用中子６５８が設置されている。当接用中子６５８は、セラミックスまたは熱処理が施された合金鋼により別個に製作された後、圧入、接着剤あるいはネジ接合等により設置されている。なお、当接用中子６５８の球面６５４に、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入を実施してもよい。
【００９６】
支持体６５０の外側面上部には、回転ナット７０の雌ネジ７２が螺合する雄ネジ６７２が設けられ、回転ナット７０が設置位置の調整自在に設置される。
さらに、支持体６５０の上端面６５５には、アダプタ２との位置合わせのための吸着ハンド配置ピン６５６が突出し、アダプタ２に設置するため雄ネジが螺合する設置用雌ネジ６５７が設けられている。
【００９７】
（浮動体）
浮動体６４０は、下方の口元に外周側に突出する外フランジ６４６が形成された、コップ状である。浮動体６４０の筒状部の上端には、上端面６４２が平面である端板６４７が設置されている。端板６４７（コップの底に相当）は、セラミックスまたは熱処理が施された合金鋼により別個に製作された後、嵌合、接着剤またはネジ等により設置されている。なお、端板６４７の上端面６４２に、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入を実施してもよい。
【００９８】
浮動体６４０の筒状部の側面に等間隔に３カ所、筒体を貫通するセンタリングホール６４１が設けられている。センタリングホール６４１は側面視で円形であって、それぞれの上面は同一平面内に位置している。
したがって、センタリングピン２４１が遊隙を介して挿入されるため、浮動体６４０が下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン６５１が、センタリングホール６４１の上端面６４３に向かって上昇するから、浮動体６４０の軸心は支持体６５０の軸心に寄ることになる。すなわち、自動調心機構（センタリング機能）が発揮される。
【００９９】
また、浮動体６４０が上方に押し上げられた場合、それぞれのセンタリングピン６５１が、センタリングホール６４１の下端面６４２に当接する前に、浮動体６４０の平坦な上端面６４２が支持体６５０の球面６５４に当接する。よって、偏心機能および傾動機能が発揮される。
【０１００】
また、外フランジ６４６には、雌ネジ６４５が設けられ、図示しない接続体３０の貫通穴３６を貫通した図示しない雄ネジにより、接続体３０と浮動体６４０が一体的に接合される。このとき、接続体３０と浮動体６４０の間には位相を合わせるために、図示しないノックピンが設置される。
【０１０１】
なお、センタリングホール６４１の形状は、上方にＶ字状の頂点（隅）を具備する三角形乃至四角形等、あるいは、楕円形であってもよい。さらに、センタリングホール６４１の数量は３カ所に限定するものではなく、センタリンングピン６５１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
さらに、端板６４７は筒状部と一体に形成しても、それぞれ別個に製作した後、一体的に形成してもよい。
【０１０２】
［実施の形態７］
図８は本発明の実施の形態７に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリンピンが設置された支持体、（ｂ）はセンタリングホールが設置された浮動体である。
なお、該支持体および浮動体は、それぞれ実施の形態１（図１または図２）における支持体５０および浮動体４０と置換自在であって、かかる置き換えによりＩＣ吸着ハンド１を形成するものである。なお、該形成に係る部位については、実施の形態１（図１または図２）と同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【０１０３】
（支持体）
支持体７５０は、コップ状であって、内側面には等間隔に、同一面内で３カ所、センタリングピン７５１が、放射状に設置されている。
また、天井の下面（コップの底の内面に相当）には、平坦な天井面７５４を具備する当接用中子７５８が設置されている。なお、天井面７５４に、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入を実施してもよい。
支持体７５０の側面には、回転ナット７０の雌ネジ７２が螺合する雄ネジ７７２が設けられ、回転ナット７０が設置位置の調整自在に設置される。
さらに、支持体７５０の上端面７５５（コップの底の外面に相当）には、アダプタ２との位置合わせのための吸着ハンド配置ピン７５６が突出し、アダプタ２に設置するための雄ネジ（ボルト）が螺合する設置用雌ネジ７５７が設けられている。
【０１０４】
（浮動体）
浮動体７４０は、下方の口元に外周側に突出する外フランジ７４６が形成された、コップ状体である。
浮動体７４０の上端は、球面７４４が形成されている。球面７４４には、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入が実施されている。なお、球面７４４の頂上部のみ、セラミックスまたは熱処理が施された合金鋼により別個に製作し、これを、嵌合、接着剤またはネジ等により設置してもよい。
【０１０５】
浮動体７４０の側壁を貫通して、等間隔に３カ所、センタリングホール７４１が穿設されている。センタリングホール７４１は側面視で上方に頂点７４３を有する略三角形であって、それぞれの頂点７４３は同一平面内に位置している。
したがって、センタリングピン７５１が遊隙を介して挿入されるため、浮動体７４０が下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン７５１がセンタリングホール７４１の頂点７４３に落ち込む（頂点７４３が覆い被さるに同じ）から、浮動体７４０の軸心は支持体７５０の軸心に寄ることになる。すなわち、自動調心機構（センタリング機能）が発揮される。
【０１０６】
また、浮動体７４０が上方に押し上げられた場合、それぞれのセンタリングピン７５１がセンタリングホール７４１の下辺７４２（三角形の底辺に相当）に当接する前に、浮動体７４０の球面７４４が支持体７５０の天井面７５４に当接する。よって、偏心機能および傾動機能が発揮される。
【０１０７】
さらに、浮動体７４０の側壁には、上端部から、センタリングホール７４１の下辺７４２の隅部に至るＬ字状のセッティング溝７４９が設けられている。セッティング溝７４９はセンタリングピン７５１が貫通して移動自在な幅を具備しているため、センタリングピン７５１をセッティング溝７４９に進入させることにより、センタリングピン７５１をセンタリングホール７４１に挿入することができる。
よって、センタリングピン７５１が設置された状態で、浮動体７４０を支持体７５０の懐（筒状体の内側）に収納すること、あるいは該懐から抜き出すことが可能になる。
【０１０８】
なお、センタリングホール７４１の形状は、上方にＶ字状の頂点（隅）を具備する四角形等、あるいは、円形乃至楕円形であってもよい。さらに、センタリングホール７４１の数量は３カ所に限定するものではなく、センタリンングピン７５１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
【０１０９】
支持体７５０の側面上部には、回転ナット７０の雌ネジ７２に螺合する雄ネジ７７２が設けられ、回転ナット７０がネジ接合される。
さらに、支持体７５０の上端面７５５には、アダプタ２との位置合わせのための吸着ハンド配置ピン７５６が突出し、アダプタ２に設置するための設置用雌ネジ７５７が設けられている。
【０１１０】
外フランジ７４６には、雌ネジ７４５が設けられ、図示しない接続体３０の貫通穴３６を貫通した図示しない雄ネジにより、接続体３０と浮動体７４０が一体的に接合される。このとき、接続体３０と浮動体７４０の間には位相を合わせるために、図示しないノックピンが設置される。
【０１１１】
なお、センタリンングピン７５１の数量は３本に限定するものではなく、センタリングホール７４１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。さらに、球面７４２を具備する当接用中子を別途製作し、これを上端面に設置しもよい。
【０１１２】
［実施の形態８］
図９は本発明の実施の形態８に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリンピンが設置された支持体、（ｂ）はセンタリング用凹部が設置された浮動体である。
なお、該支持体および浮動体は、それぞれ実施の形態１（図１または図２）における支持体５０および浮動体４０と置換自在であって、かかる置き換えによりＩＣ吸着ハンド１を形成するものである。なお、該形成に係る部位については、実施の形態１（図１または図２）と同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【０１１３】
（支持体）
支持体８５０は、コップ状であって、内側面には、同一平面内で等間隔に３カ所、センタリングピン８５１が、放射状に設置されている。
また、天井の下面（コップの底の内面に相当）には、平坦な天井面８５４が形成されている。その天井面８５４に、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入を実施してもよい。
支持体８５０の側面には、回転ナット７０の雌ネジ７２が螺合する雄ネジ８７２が設けられ、回転ナット７０が設置位置の調整自在に設置される。
さらに、支持体８５０の天井の上面（コップの底の外面に相当）には、アダプタ２との位置合わせのための吸着ハンド配置ピン８５６が突出し、アダプタ２に設置するための雄ネジ（ボルト）が螺合する設置用雌ネジ８５７が設けられている。
【０１１４】
（浮動体）
浮動体８４０は、下方の口元に外周側に突出する外フランジ８４６が形成された、コップ状体である。
浮動体８４０の上端は、球面８４４を具備する端板８４７が設置されている。球面８４４には、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入が実施されている。該設置は、嵌合、接着剤またはネジ等何れであってもよい。
【０１１５】
浮動体８４０の外側面には所定深さで、等間隔に３カ所、センタリング用凹部８４１が形成されている。センタリンング用凹部８４１は側面視で円形であって、それぞれの上面８４３は同一平面内に位置している。
したがって、センタリングピン８５１が遊隙を介して挿入されるため、浮動体８４０が下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン８５１がセンタリング用凹部８４１の上面８４３に落ち込む（上面８４３に当接するに同じ）から、浮動体８４０の軸心は支持体８５０の軸心に寄ることになる。すなわち、自動調心機能（セルフセンタリング機能）が発揮される。
【０１１６】
また、浮動体８４０が下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン８５１がセンタリングホール８４１の上部８４３（三角形の底辺に相当）に当接する前に、浮動体８４０の球面８４４が支持体８５０の天井面８５４に当接する。よって、偏心機能および傾動機能が発揮される。
【０１１７】
さらに、浮動体８４０の側壁には、上端部から、センタリング用凹部８４１の下面８４２に至るＬ字状のセッティング溝８４９が設けられている。セッティング溝８４９はセンタリングピン８５１が進入して移動自在な幅と、センタリング用凹部８４１と略同一の深さ（筒状部の肉厚方向の深さ）を具備しているため、センタリングピン８５１をセッティング溝８４９に進入させることにより、センタリングピン８５１をセンタリング用凹部８４１に挿入することができる。
よって、センタリングピン８５１が設置された状態で、浮動体８４０を支持体８５０の懐（筒状体の内側）に収納、あるいは該懐から抜き出すことが可能になる。
【０１１８】
なお、センタリング用凹部８４１の形状は、上方にＶ字状の頂点（隅）を具備する三角形乃至四角形等、あるいは、楕円形であってもよい。さらに、センタリングホール８４１の数量は３カ所に限定するものではなく、センタリンングピン８５１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
【０１１９】
また、外フランジ８４６には、雌ネジ８４５が設けられ、図示しない接続体３０の貫通穴３６を貫通した図示しない雄ネジにより、接続体３０と浮動体８４０が一体的に接合される。このとき、接続体３０と浮動体８４０の間には位相を合わせるために、図示しないノックピンが設置される。
【０１２０】
［実施の形態９］
図１０は本発明の実施の形態９に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリンピンが設置された支持体、（ｂ）はセンタリング用凹部が設置された浮動体である。
なお、該支持体および浮動体は、それぞれ実施の形態１（図１または図２）における支持体５０および浮動体４０と置換自在であって、かかる置き換えによりＩＣ吸着ハンド１を形成するものである。なお、該形成に係る部位については、実施の形態１（図１または図２）と同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【０１２１】
（支持体）
支持体９５０は、コップ状であって、内側面には同一平面内で等間隔に３カ所、センタリングピン９５１が、放射状に設置されている。
また、天井の下面（コップの底の内面に相当）は、下方に凸の球面９５４が形成されている。その天井面９５４に、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入を実施してもよい。
支持体９５０の外側面上部には、回転ナット７０の雌ネジ７２が螺合する雄ネジ９７２が設けられ、回転ナット７０が設置位置の調整自在に設置される。
さらに、支持体９５０の天井の上面（コップの底の外面に相当）には、アダプタ２との位置合わせのための吸着ハンド配置ピン９５６が突出し、アダプタ２に設置するための雄ネジ（ボルト）が螺合する設置用雌ネジ９５７が設けられている。
【０１２２】
（浮動体）
浮動体９４０は、下方の口元に外周側に突出する外フランジ９４６が形成された、中実体である。
浮動体９４０の上端は、平面状の上端面９４４が形成されている。上端面９４４には、硬質クロムメッキ、窒化チタン等の蒸着、あるいは、窒素等のイオン注入が実施されている。また、上端面９４４の中心部の近傍のみ、セラミックスまたは硬質の合金鋼等で製作した後、これを、嵌合、接着剤またはネジ等により設置してもよい。
【０１２３】
浮動体９４０の外側面には所定深さで、等間隔に３カ所、センタリング用凹部９４１が形成されている。センタリンング用凹部９４１は側面視で上方に頂点９４３を具備する略三角形であって、それぞれの頂点９４３は同一平面内に位置している。
したがって、浮動体９４０が下方に押し下げられた場合、それぞれのセンタリングピン９５１がセンタリング凹部９４１の頂部９４３に落ち込む（当接するに同じ）から、浮動体９４０の軸心は支持体９５０の軸心に寄ることになる。すなわち、自動調心機構（センタリング機能）が発揮される。
【０１２４】
また、浮動体９４０が上方に押し上げられた場合、それぞれのセンタリングピン９５１がセンタリング凹部９４１の下辺９４２（三角形の底辺に相当）に当接する前に、浮動体９４０の上端面９４４が支持体９５０の天井面９５４に当接する。よって、偏心機能および傾動機能が発揮される。
【０１２５】
さらに、浮動体９４０の側壁には、上端部から、センタリング凹部９４１の下辺９４２に至るＬ字状のセッティング溝９４９が設けられている。セッティング溝９４９はセンタリングピン９５１が進入して移動自在な幅と、センタリング凹部の深さに略同一の深さ（筒状部の肉厚方向の深さ）を具備しているため、センタリングピン９５１をセッティング溝９４９に進入させることにより、センタリングピン９５１をセンタリング用凹部９４１に挿入することができる。
よって、センタリングピン９５１が設置された状態で、浮動体９４０を支持体９５０の懐（筒状体の内側）に収納、あるいは該懐から抜き出すことが可能になる。
【０１２６】
なお、センタリンング凹部９４１の形状は、上方にＶ字状の頂点（隅）を具備する四角形等、あるいは、円形乃至楕円形であってもよい。さらに、センタリング用凹部９４１の数量は３カ所に限定するものではなく、センタリンングピン９５１と同位相にある３カ所以上の何れの数量であってもよい。
また、外フランジ９４６には、雌ネジ９４５が設けられ、図示しない接続体３０の貫通穴３６を貫通した図示しない雄ネジにより、接続体３０と浮動体９４０が一体的に接合される。このとき、接続体３０と浮動体９４０の間には位相を合わせるために、図示しないノックピンが設置される。
【０１２７】
［実施の形態１０］
図１１は本発明の実施の形態１０に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、圧縮バネ、浮動体および回転ナットを説明する一部断面の斜視図である。
なお、該圧縮バネ、浮動体および回転ナットは、それぞれ実施の形態１（図１または図２）における圧縮バネ６０、浮動体４０および回転ナット７０と置換自在であって、かかる置き換えによりＩＣ吸着ハンド１を形成するものである。
【０１２８】
（圧縮バネ）
圧縮バネは、４本の圧縮バネ１０６０（コイルスプリング）により形成される。
（浮動体）
浮動体１０４０は、実施の形態１乃至９の何れかにおける浮動体であって、外フランジ１０４６に、円周上等間隔に４カ所のバネ受用凹部１０４７が設置されたものである。バネ受け用凹部１０４７は圧縮バネ１０６０の端部を収納することができる内径と、所定の深さを有している。
【０１２９】
（回転ナット）
回転ナットは、筒状部１０７１、雌ネジ１０７２および外フランジ１０７６を具備する回転ナット本体１０７０と、バネ受け用円板１０７４により構成される。
バネ受け用円板１０７４は、筒状部１０７１が貫通する中心貫通穴を有する円環状板材であって、円周等間隔に４カ所のバネ受用凹部１０７５が設けられている。バネ受け用凹部１０７５は、圧縮バネ１０６０の端部を収納することができる内径と、所定の深さを有している。
【０１３０】
（ＩＣ吸着ハンド）
したがって、圧縮バネは１０６０の両端を、それぞれバネ受け用凹部１０７５およびバネ受け用凹部１０４７に挿入し、圧縮バネを図示しない支持部の周囲に配置して、回転ナット本体１０７０を図示しない支持部に螺設することにより、バネ受け用円板１０７４を介して圧縮バネ１１６０に所定の反発力を付与することができる。
なお、圧縮バネ１０６０数量は４本に限定するものではなく、３以上いずれの数であってもよい。また、バネ受け用凹部１０７５およびバネ受け用凹部１０４７の数量は、圧縮バネの数量（所望の反発力の大きさ、圧縮バネの弾性特性等により決まる）に対応して変動するものである。
【０１３１】
［実施の形態１１］
図１２は本発明の実施の形態１１に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す正面図である。なお、実施の形態１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
図１２において、ＩＣ吸着ハンド１はアダプタ２に設置され、アダプタ２にはコンタクトアーム３が設置され、コンタクトアーム３は進退手段（昇降手段に同じ）１１１に設置され、進退（鉛直方向に昇降）される。さらに、進退手段１１１は横行部１１２（水平面内で一方向に移送自在）に設置され、横行部１１２は走行部１１３（水平面内で横行方向に垂直の方向に移動自在）に設置されている。
【０１３２】
したがって、たとえば、検査待機ステージ１１５に載置されたＩＣを、ＩＣ吸着ハンド１が吸着し、検査ステージ１１６に移送し、さらに、吸着したＩＣを検査ステージ１１６に押圧することが可能になる。このとき、ＩＣ吸着ハンド１が調心機能、偏心機能および傾動機能を発揮するから、ＩＣの吸着および押圧が確実になり、作業の安定および検査の精度・信頼性が向上する。
【０１３３】
なお、アダプタ２に設置されるＩＣ吸着ハンド１の数量は、１以上のいずれの数量であってもよい。また、ＩＣ吸着ハンド１を複数設置する場合、並列配置（たとえば、１行４列等）あるいはマトリックス配置等（たとえば、２行２列、３行４列等）何れの配置形態を採用してもよい。
さらに、ＩＣ吸着ハンド１の各部位については、実施の形態２乃至１０の何れかにおけるものを選択的に使用することができる。
【０１３４】
［実施の形態１２］
図１３は本発明の実施の形態１２に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す正面図である。なお、実施の形態１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
図１３において、ＩＣ吸着ハンド１はアダプタ２に設置され、アダプタ２にはコンタクトアーム３が設置され、コンタクトアーム３は進退手段１２１に設置され、進退（後記回転中心に対し近接乃至離遠）される。さらに、進退手段１２１は回転部１２２に設置され、回転部１２２は図示しない回転手段により図中Ａを中心に、紙面に平行な面内で回転する。すなわち、該回転により、ＩＣ吸着ハンド１は図中Ａを中心に、紙面に平行な面内を旋回することになる。
【０１３５】
したがって、たとえば、水平部に配置された検査待機ステージ１２３に載置されたＩＣを、ＩＣ吸着ハンド１が鉛直姿勢で吸着し、回転部１２２の９０°回転（図中、矢印にて表示）により、鉛直部に配置された検査ステージ１２４に移送し、さらに、吸着したＩＣを検査ステージ１２４に、水平方向に押圧することが可能になる。このとき、ＩＣ吸着ハンド１が調心機能、偏心機能および傾動機能を発揮するから、ＩＣの吸着および押圧が確実になり、作業の安定および検査の精度・信頼性が向上する。
【０１３６】
なお、アダプタ２に設置されるＩＣ吸着ハンド１の数量は、１以上のいずれの数量であってもよい。また、ＩＣ吸着ハンド１を複数設置する場合、並列配置（たとえば、１行４列等）あるいはマトリックス配置等（たとえば、２行２列、３行４列等）何れの配置形態を採用してもよい。
さらに、ＩＣ吸着ハンド１の各部位については、実施の形態２乃至１０の何れかにおけるものを選択的に使用することができる。
【０１３７】
［実施の形態１３］
図１４は本発明の実施の形態１３に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す正面図である。なお、実施の形態１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
図１４において、ＩＣ吸着ハンド１はアダプタ２に設置され、アダプタ２にはコンタクトアーム３が設置され、コンタクトアーム３は進退手段１３１に設置され、進退（後記旋回軸に対し近接乃至離遠）される。さらに、進退手段１３１は回転軸１３２に設置され、回転軸１３２は回転手段１３３により図中軸Ｂ−Ｂを中心に回転する。
すなわち、該回転により、ＩＣ吸着ハンド１は、軸Ｂ−Ｂに垂直な面内を旋回する（図中、矢印にて示す）。
【０１３８】
したがって、たとえば、水平部に配置された検査待機ステージ１３４に載置されたＩＣを、ＩＣ吸着ハンド１が鉛直姿勢で吸着し、回転軸１３２の１８０°回転により、鉛直部に配置された検査ステージ１３５に移送し、さらに、吸着したＩＣを検査ステージ１３５に、水平方向に押圧することが可能になる。このとき、ＩＣ吸着ハンド１が調心機能、偏心機能および傾動機能を発揮するから、ＩＣの吸着および押圧が確実になり、作業の安定および検査の精度・信頼性が向上する。
【０１３９】
なお、アダプタ２に設置されるＩＣ吸着ハンド１の数量は、１以上のいずれの数量であってもよい。また、ＩＣ吸着ハンド１を複数設置する場合、並列配置（たとえば、１行４列等）あるいはマトリックス配置等（たとえば、２行２列、３行４列等）何れの配置形態を採用してもよい。
さらに、ＩＣ吸着ハンド１の各部位については、実施の形態２乃至１０の何れかにおけるものを選択的に使用することができる。
【０１４０】
［実施の形態１４］
図１５は本発明の実施の形態１４に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す正面図である。なお、実施の形態１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
図１５において、ＩＣ吸着ハンド１ａ、１ｂは、それぞれアダプタ２ａ、２ｂに設置され、アダプタ２ａ、２ｂにはコンタクトアーム３ａ、３ｂが設置され、コンタクトアーム３ａ、３ｂはそれぞれ後退手段１４１ａ、１４１ｂに設置され、より、それぞれ直交する方向に後退している。なお、後退とは、ＩＣ吸着ハンド１ａ、１ｂが後記回転における回転軸（Ｂ−Ｂ）に近づく方向に移動することをいい、一方、前進とは回転軸（Ｂ−Ｂ）から遠ざかる方向に移動することをいう。
【０１４１】
さらに、後退手段１４１ａ、１４１ｂは、共に共通の回転板１４２に設置され、回転板１４２には回転軸１４３が設置され、そして、回転軸１４３は回転手段１４４により図中軸Ｂ−Ｂを中心に回転する。
すなわち、該回転により、ＩＣ吸着ハンド１ａ、１ｂは、軸Ｂ−Ｂに垂直な面内を旋回する（図中、矢印で示す）。
【０１４２】
したがって、たとえば、ＩＣ吸着ハンド１ａが鉛直方向を向いているとき、同時に、ＩＣ吸着ハンド１ｂは水平方向を向いている。そして、回転軸１４３が１８０°回転すると、ＩＣ吸着ハンド１ａが水平方向を向き、同時に、ＩＣ吸着ハンド１ｂが鉛直方向を向くことになる。
【０１４３】
さらに、コンタクトアーム３ａ、３ｂが鉛直方向に位置する際、これを鉛直下方に前進させる前進軸１４５ｙと、前進軸１４５ｙを駆動する前進手段１４６ｙが設置されている。また、コンタクトアーム３ａ、３ｂが水平方向に位置する際、これを水平方向（図中、左方向）に前進させる前進軸１４５ｘと、前進軸１４５ｘを駆動する前進手段１４６ｘが設置されている。
【０１４４】
このため、たとえば、水平部に配置された検査待機ステージ１４７に載置されたＩＣを吸着するには、鉛直方向にあるＩＣ吸着ハンド１ａのコンタクトアーム３ａの上端に前進軸１４５ｙを当接して、鉛直下方に前進させればよい。
そして、ＩＣを吸着した後、前進軸１４５ｙを後退すれば、ＩＣ吸着ハンド１ａは後退手段１４１ａにより鉛直上方に移動する。
そして、回転軸１４３を１８０°回転すると、ＩＣを吸着した吸着ハンド１ａは水平方向を向き、検査ステージ１４８に対峙する。そこで、前進軸１４５ｘを前進してコンタクトアーム３ａを押し出せば、吸着しているＩＣを検査ステージ１４８に押圧することができる。このとき、ＩＣ吸着ハンド１が調心機能、偏心機能および傾動機能を発揮するから、ＩＣの吸着および押圧が確実になり、作業の安定および検査の精度・信頼性が向上する。
【０１４５】
なお、アダプタ２に設置されるＩＣ吸着ハンド１の数量は、１以上のいずれの数量であってもよい。また、ＩＣ吸着ハンド１を複数設置する場合、並列配置（たとえば、１行４列等）あるいはマトリックス配置等（たとえば、２行２列、３行４列等）何れの配置形態を採用してもよい。
さらに、ＩＣ吸着ハンド１の各部位については、実施の形態２乃至１０の何れかにおけるものを選択的に使用することができる。
【０１４６】
［実施の形態１５］
図１６は本発明の実施の形態１５に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す正面図である。なお、実施の形態１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
図１６において、ＩＣ吸着ハンド１ａ、１ｂは、それぞれアダプタ２ａ、２ｂに設置され、アダプタ２ａ、２ｂにはコンタクトアーム３ａ、３ｂが設置され、コンタクトアーム３ａ、３ｂはそれぞれ後退手段１５１ａ、１５１ｂに設置され、後退している。なお、後退とは、ＩＣ吸着ハンド１ａ、１ｂが後記回転における回転軸（Ｂ−Ｂ）に近づく方向に移動すること、一方、前進とは回転軸（Ｂ−Ｂ）から遠ざかる方向に移動することをいう。
【０１４７】
さらに、後退手段１５１ａ、１５１ｂは、それぞれ別個の回転板１５２ａ、１５２ｂに設置され、回転板１５２ａ、１５２ｂは、それぞれ回転軸１５３ａ、１５３ｂに設置されている。
回転軸１５３ａは、筒状の回転軸１５３ｂの内部を貫通して、回転軸１５３ｂと同軸に配置され、それぞれ、独立して回転軸Ｂ−Ｂを中心に回転する。すなわち、回転軸１５３ａは回転伝達手段１５９ａを介して回転手段１５４ａにより回転され、回転軸１５３ｂは回転伝達手段１５９ｂを介して回転手段１５４ｂにより回転される。
すなわち、ＩＣ吸着ハンド１ａおよびＩＣ吸着ハンド１ｂは、それぞれ独立して軸Ｂ−Ｂに垂直な面内を旋回する（図中、矢印にて示す）。
【０１４８】
さらに、コンタクトアーム３ａ、３ｂが鉛直方向に位置する際、これを鉛直下方に前進させる前進軸１５５ｙと、前進軸１５５ｙを駆動する前進手段１５６ｙが設置されている。また、コンタクトアーム３ａ、３ｂが水平方向に位置する際、これを水平方向（図中、左方向）に前進させる前進軸１５５ｘと、前進軸１５５ｘを駆動する前進手段１５６ｘが設置されている。
【０１４９】
このため、たとえば、水平部に配置された検査待機ステージ１５７に載置されたＩＣを吸着するには、鉛直方向にあるＩＣ吸着ハンド１ａのコンタクトアーム３ａの上端に前進軸１５５ｙを当接して、鉛直下方に前進させればよい。
そして、ＩＣを吸着した後、前進軸１５５ｙを後退すれば、ＩＣ吸着ハンド１ａは後退手段１５１ａにより鉛直上方に移動する。
そして、回転軸１５３ａを１８０°回転すると、ＩＣを吸着した吸着ハンド１ａは水平方向を向き、鉛直面に設置された検査ステージ１５８に対峙する。そこで、前進軸１５５ｘを前進してコンタクトアーム３ａを押し出せば、ＩＣを検査ステージ１５８に押圧することができる。
【０１５０】
そして、検査ステージ１５８にＩＣ（以下、第一のＩＣと称す）を押圧している間（第一のＩＣを検査している間）に、吸着ハンド１ｂが独立して、第二のＩＣを吸着し、回転軸１５３ｂを所定の角度（たとえば、１２０°）回転して、検査ステージ１５８の近くで待機しておけば、第一のＩＣの押圧が終了（第一のＩＣの検査が終了）した後、第二のＩＣを検査ステージ１５８に押圧するまでの時間を短縮することができる。
このとき、ＩＣ吸着ハンド１ａ、１ｂが調心機能、偏心機能および傾動機能を発揮するから、ＩＣの吸着および押圧が確実になり、作業の安定および検査の精度・信頼性が向上する。
【０１５１】
なお、アダプタ２ａ、２ｂに設置されるＩＣ吸着ハンド１ａ、１ａの数量は、１以上のいずれの数量であってもよい。そして、複数設置する場合、並列配置（たとえば、１行４列等）あるいはマトリックス配置等（たとえば、２行２列、３行４列等）何れの配置形態を採用してもよい。
さらに、ＩＣ吸着ハンド１ａ、１ｂの各部位については、実施の形態２乃至１０の何れかにおけるものを選択的に使用することができる。
【０１５２】
［実施の形態１６］
図１７、図１８および図１９は、それぞれ本発明の実施の形態１６に係るＩＣテストハンドラの構成を示す、概略平面図、概略斜視図および概略透視斜視図である。なお、実施の形態１と同じ部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【０１５３】
（ＩＣテストハンドラ）
図１７、図１８および図１９において、ＩＣテストハンドラ１２００は、未検査ＩＣを供給する供給部１３００（図１７において右下位置）と、ＩＣ検査ステージ３０００に接する恒温チャンバ１６００（図１７において左下斜線にて囲む範囲、図１９において一点鎖線で囲む範囲）、と、ホットプレート２０００（図１７において左上位置）と、検査済ＩＣを複数収納する排出部１９００を有している。
【０１５４】
（供給部）
供給部１３００は、未検査ＩＣが載置された供給トレイを複数収納する供給トレイエレベータ１３１０と、空トレイを収容する空トレイエレベータ１３２０を有している。
【０１５５】
（恒温チャンバ）
恒温チャンバ１６００の内部には、実施の形態１２乃至１５の何れかにおける検査用ＩＣ吸着ハンド１６６０、および持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド１６１０が設置されている。
なお、持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド１６１０は、実施の形態１におけるＩＣ吸着ハンド１から、接続体３０、コンタクタ２０、ガイドピン８０および脱落防止板９０を撤去したものであってもよい。また、このとき、浮動体４０および支持体５０は、実施の形態２乃至９の何れかにおけるものを採用してもよい。
さらに、未検査ＩＣを恒温チャンバ１６００内に供給する供給シャトル１５００と、検査済ＩＣを恒温チャンバ１６００外に排出する排出シャトル１７００と、検査ステージ３０００が併設されている。
【０１５６】
（ホットプレート）
ホットプレート２０００は、恒温チャンバ１６００において低温試験（例えば摂氏１０度以下）を行った場合に、低温状態の検査済ＩＣを排出部１９００に搬送する前に、結露防止のために一時的に温めて常温に戻すためのものである。
【０１５７】
（排出部）
排出部１９００は、排出エレベータ１９１０、１９２０、１９３０、および排出トレイ置き場１９４０、１９５０、１９６０を有し、検査済ＩＣは当該ＩＣ検査の結果に応じて、所定の排出エレベータまたは排出トレイ置き場に収納された排出トレイに、分類して載置される。
これら排出エレベータは、最上段の排出トレイ上に検査済ＩＣを載置し、最上段の排出トレイが満杯になると、該排出トレイを下降し、そこに空トレイ収容部１３２０から搬送した空トレイを収納するものである。
すなわち、供給トレイ、空トレイおよび排出トレイは、実質同じトレイであって、載置されるＩＣの状態により便宜的に名称を変更するものである。
【０１５８】
（検査済ＩＣ排出機構）
検査済ＩＣ排出機構１８００は、検査済ＩＣを排出シャトルから排出部１９００の所定の排出エレベータまたは排出トレイ置き場まで搬送するものであって、門型のフレーム１２１０に走行自在に懸吊された排出走行部１８１０と、排出走行部１８１０に横行自在に懸吊された排出横行部１８２０と、排出横行部１８２０に設置された排出昇降部１８３０と、排出昇降部１８３０に設置された排出用ＩＣ吸着ハンド１８４０を有している。
なお、排出吸着ハンド１８４０は、実施の形態１におけるＩＣ吸着ハンド１から、接続体３０、コンタクタ２０、ガイドピン８０および脱落防止板９０を撤去したものであってもよい。また、このとき、浮動体４０および支持体５０は、実施の形態２乃至９の何れかにおけるものを採用してもよい。
【０１５９】
（未検査ＩＣ供給機構）
未検査ＩＣ供給機構は、未検査ＩＣを供給部１３００から供給シャトルまで搬送するものであって、門型のフレーム１２１０に走行自在に懸吊された供給走行部と、供給走行部に横行自在に懸吊された供給横行部と、供給横行部に設置された供給昇降部と、供給昇降部に設置された供給吸着パットを有している（以上、検査済ＩＣ排出機構１８００の構成に準じるため図示しない）。
なお、前記供給吸着パットは、実施の形態１におけるＩＣ吸着ハンド１から、接続体３０、コンタクタ２０、ガイドピン８０および脱落防止板９０を撤去したものであってもよい。また、このとき、浮動体４０および支持体５０は、実施の形態２乃至９の何れかにおけるものを採用してもよい。
【０１６０】
（ＩＣ搬送要領）
次に、ＩＣの各ステージ間の搬送要領を説明する。なお、位置Ｐ１、Ｐ２等は、各ステージの略中心位置等を示し、ＩＣが実際に載置される位置と相違する場合がある。
▲１▼未検査ＩＣは、未検査ＩＣ供給機構（図示しない）によって、供給部１３００（位置Ｐ１）から、未検査ＩＣ受け取り位置Ｐ２に停止した供給シャトル１５００上に載置される（Ｐ１→Ｐ２）。
【０１６１】
▲２▼供給シャトル１５００が、恒温チャンバ１６００内に移動し、未検査ＩＣ受け渡し位置Ｐ３に停止する（Ｐ２→Ｐ３）。そして、未検査ＩＣは持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド１６１０によって吸引され、持ち上げられる（Ｐ３→Ｌ）。
【０１６２】
▲３▼次に、供給シャトル１５００（未検査ＩＣが載置されていない）は恒温チャンバ１６００外に移動する（Ｐ３→Ｐ２）。
そして、持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド１６１０が下降して、持ち上げられている未検査ＩＣは、恒温チャンバ１６００内の未検査ＩＣ受け渡し位置Ｐ４（トレイ下降機構１６２０の最上段に同じ）に位置した、チャンバ内トレイに載置される（Ｌ→Ｐ４）。
【０１６３】
▲４▼未検査ＩＣが載置されたチャンバ内トレイは、チャンバ内トレイ下降機構１６２０、最下段チャンバ内トレイ移送機構１６３０およびチャンバ内トレイ上昇機構１６４０により略Ｕ字状に搬送される。この間、恒温チャンバ１６００内の雰囲気温度により、未検査ＩＣは所定の温度に維持される（Ｐ４→Ｐ５→Ｐ６→Ｐ７）。
【０１６４】
▲５▼トレイ上昇機構１６４０の最上段（検査待機ステージに同じ）に到達した未検査ＩＣは、位置Ｈに設置した検査用ＩＣ吸着ハンド１６６０により吸引され、さらに、検査ステイージ３０００（位置Ｔ）に移送され、押圧される（Ｐ７→Ｔ）。
【０１６５】
▲６▼ＩＣの検査と平行して、ＩＣが載置されていないチャンバ内トレイは、最上段トレイ移送機構１６５０によりトレイ下降機構１６２０の最上段に移送される（Ｐ７→Ｐ４）。
さらに、排出シャトル１７００が、恒温チャンバ１６００の中に移動して、検査済ＩＣ受け取り位置Ｐ８に停止する（Ｐ９→Ｐ８）。
【０１６６】
▲７▼所定の検査が終了した後、検査済ＩＣは、検査ステージＴから、検査用ＩＣ吸着ハンドにより、検査済ＩＣ受け取り位置Ｐ８に待機した排出シャトル１７００上に載置される（Ｔ→Ｐ８）。
そして、排出シャトル１７００は恒温チャンバ１６００外に移動し、検査済ＩＣ受け渡し位置Ｐ９に停止する（Ｐ８→Ｐ９）。
【０１６７】
▲８▼検査済ＩＣは、検査済ＩＣ排出機構１８００によって、受け渡し位置Ｐ９に位置した排出シャトル１７００上から、検査済ＩＣ排出部１９００の所定の排出トレイ（ととえば、位置Ｐ１０）に搬送される（Ｐ９→Ｐ１０）。
▲９▼なお、低温状態で検査を行っていた場合には、検査済ＩＣを検査済ＩＣ排出部１９００へ搬送する前に、一旦ホットプレート２０００上に搬送して常温に戻し、その後、排出部１９００へ搬送する（Ｐ９→Ｐ１１→Ｐ１０）。
【０１６８】
したがって、検査用ＩＣ吸着ハンド１６６０が、実施の形態１におけるＩＣ吸着ハンド１であり、その部位が、実施の形態２乃至９の何れかにおけるものを選択的に採用しているため、調心機能、偏心機能および傾動機能を具備するから、ＩＣの吸着および押圧が確実になり、作業の安定および検査の精度・信頼性が向上する。
さらに、持ち上げ用ＩＣ吸着ハンド、供給ＩＣ吸着ハンドまたは排出ＩＣ吸着ハンドが、実施の形態１におけるＩＣ吸着ハンド１において、コンタクタ２０を撤去したものである場合、かかるＩＣ吸着ハンドは、調心機能、偏心機能および傾動機能を具備するから、ＩＣの吸着が確実になり作業の安定性が向上する。
【０１６９】
【発明の効果】
以上より、
（１）本発明に係る検査用ＩＣ吸着ハンドによれば、検査用ＩＣ吸着ハンドが、調心機能、偏心機能および傾動機能を発揮するため、ＩＣ検査おけるＩＣの吸着および押圧が確実になるから、作業の安定およびＩＣ検査の精度・信頼性が向上する。
（２）さらに、本発明に係るＩＣテストハンドラによれば、設置されている検査用ＩＣ吸着ハンドが、調心機能、偏心機能および傾動機能を発揮するため、ＩＣ検査おけるＩＣの吸着および押圧が確実になるから、作業の安定およびＩＣ検査の精度・信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は一部断面の側面図である。
【図２】  発明の実施の形態１に係るＩＣ吸着ハンドの構成を、それぞれの構成部材に分解して説明する一部断面の斜視図である。
【図３】  本発明の実施の形態２に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリングホールが設置された支持体、（ｂ）はセンタリンピンが設置された浮動体である。
【図４】  図４は本発明の実施の形態３に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリングホールおよびセッティング溝が設置された支持体、（ｂ）はセンタリンピンが設置された浮動体である。
【図５】  本発明の実施の形態４に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）は筒状部の内周にセンタリング用凹部が設置された支持体、（ｂ）はセンタリンピンが設置された浮動体である。
【図６】  本発明の実施の形態５に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリン用凹部およびセッティング溝が設置された支持体、（ｂ）はセンタリンピンが設置された浮動体である。
【図７】  本発明の実施の形態６に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリンピンが設置された支持体、（ｂ）はセンタリングホールが設置された浮動体である。
【図８】  本発明の実施の形態７に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリンピンが設置された支持体、（ｂ）はセンタリングホールおよびセッティング溝が設置された浮動体である。
【図９】  本発明の実施の形態８に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリンピンが設置された支持体、（ｂ）はセンタリング凹部が設置された浮動体である。
【図１０】  本発明の実施の形態９に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、支持体および浮動体を説明する一部断面の斜視図であって、（ａ）はセンタリンピンが設置された支持体、（ｂ）はセンタリング凹部およびセッティング溝が設置された浮動体である。
【図１１】  本発明の実施の形態１０に係るＩＣ吸着ハンドの構成の内、圧縮バネ、浮動体および回転ナットを説明する一部断面の斜視図である。
【図１２】  本発明の実施の形態１１に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す正面図である。
【図１３】  本発明の実施の形態１２に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す正面図である。
【図１４】  本発明の実施の形態１３に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す正面図である。
【図１５】  本発明の実施の形態１４に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す正面図である。
【図１６】  本発明の実施の形態１５に係るＩＣ吸着ハンドの構成を示す正面図である。
【図１７】  本発明の実施の形態１６に係るＩＣテストハンドラの構成を示す概略平面図である。
【図１８】  本発明の実施の形態１６に係るＩＣテストハンドラの構成を示す概略斜視図である。
【図１９】  本発明の実施の形態１６に係るＩＣテストハンドラの構成を示す概略透視斜視図である。
【図２０】  従来のＩＣ吸着ハンドの構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
１  ＩＣ吸着ハンド    ２  アダプタ            ３  コンタクトアーム
１０  吸着パット    ２０  コンタクタ      ３０  接続体      ４０  浮動体
４１  センタリングピン    ４２  上端面        ５０  支持体
５１  センタリングホール  ５４  天井面        ６０  圧縮バネ
７０  回転ナット          ８０  ガイドピン    ９０  脱落防止板
【図１】
0003823848.tif 000002
【図２】
0003823848.tif 000003
【図３】
0003823848.tif 000004
【図４】
0003823848.tif 000005
【図５】
0003823848.tif 000006
【図６】
0003823848.tif 000007
【図７】
0003823848.tif 000008
【図８】
0003823848.tif 000009
【図９】
0003823848.tif 000010
【図１０】
0003823848.tif 000011
【図１１】
0003823848.tif 000012
【図１２】
0003823848.tif 000013
【図１３】
0003823848.tif 000014
【図１４】
0003823848.tif 000015
【図１５】
0003823848.tif 000016
【図１６】
0003823848.tif 000017
【図１７】
0003823848.tif 000018
【図１８】
0003823848.tif 000019
【図１９】
0003823848.tif 000020
【図２０】
0003823848.tif 000021