(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰ（１０）がテープ状に複数連設されたＴＣＰテープ（Ｘ）を順次間欠走行させ、走行経路の途中に設けられた測定部（４）をＴＣＰテープ（Ｘ）の表面に対して直行する方向に移動させて各ＴＣＰ（１０）中の各半導体チップ（１０ｃ）を対向するプローブカード（５）に順次接触接続させるＴＣＰ用ハンドラであって、
測定部（４）の前後にＴＣＰテープ（Ｘ）の撓み部（Ｔ1，Ｔ2）を形成すると共に、該撓み部（Ｔ1，Ｔ2）の前後におけるＴＣＰテープ（Ｘ）の走行をスプロケット（２Ｂ〜２Ｅ）によって行うことを特徴とするＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項２】
測定部（４）の前後にＴＣＰテープ（Ｘ）に対して前進／後退自在な撓み形成部材（７Ａ，７Ｂ）を設けることを特徴とする請求項１記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項３】
測定部（４）は、プローブカード（５）の対向面内におけるＴＣＰ（１０）の角度を調節する角度アライメント機構を備えることを特徴とする請求項１または２記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項４】
ＴＣＰ（１０）がテープ状に複数連設されたＴＣＰテープ（Ｘ）を順次間欠走行させ、走行経路の途中に設けられた測定部（４）をＴＣＰテープ（Ｘ）の表面に対して直行する方向に移動させて各ＴＣＰ（１０）中の各半導体チップ（１０ｃ）を対向するプローブカード（５）に順次接触接続させるＴＣＰ用ハンドラにおける前記ＴＣＰテープの走行方法であって、
測定部（４）の前後にＴＣＰテープ（Ｘ）の撓み部（Ｔ1，Ｔ2）を形成すると共に、該撓み部（Ｔ1，Ｔ2）の前後におけるＴＣＰテープ（Ｘ）の走行をスプロケット（２Ｂ〜２Ｅ）によって行うことを特徴とするＴＣＰテープの走行方法。
【請求項５】
測定部（４）の前後にＴＣＰテープ（Ｘ）に対して前進／後退自在な撓み形成部材（７Ａ，７Ｂ）を設けることにより撓み部（Ｔ1，Ｔ2）を形成することを特徴とする請求項４記載のＴＣＰテープの走行方法。
【請求項６】
測定部（４）においてプローブカード（５）の対向面内におけるＴＣＰ（１）の角度を調節することを特徴とする請求項４または５記載のＴＣＰテープの走行方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数がテープ状に連設されたＴＣＰ（tape carrier package）中の各半導体チップをプローブカードに順次接続させるＴＣＰ用ハンドラ及びＴＣＰテープの走行方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のようにＴＣＰは、ＴＡＢ（tape automated bonding）技術を用いることによりフィルム上にＩＣチップを実装したものであり、実際にプリント基板に搭載される前の搬送段階では、複数が連接されたテープ形態となっている。図３は、このようなテープ形態のＴＣＰ（以下、ＴＣＰテープという。）の正面図である。ＴＣＰテープＸは、複数連接されたＴＣＰ１０の両側に帯状の移送補助部１０Ａが設けられている。各ＴＣＰ１０には、フィルム基板１０ａの周縁に複数のテストパッド１０ｂが形成されると共にその中心にＩＣチップ１０ｃが配置され、各テストパッド１０ｂとＩＣチップ１０ｃ上の各パッドとがエッチング形成されたリード線１０ｄによって相互接続されている。また、移送補助部１０Ａは、上記フィルム基板１０ａと同様のフィルムから構成されており、ＴＣＰテープＸを長手方向に順次移送するためのスプロケット孔１０ｅが一定間隔で形成されている。
【０００３】
このようなＴＣＰテープＸは、専用のＴＣＰ用ハンドラによって長手方向に順次間欠送りされつつ、各ＴＣＰ１０のテストパッド１０ｂが半導体集積回路試験装置に接続されたプローブカードに接触接続されて所定の機能試験が行われる。例えば、特開２００１−３１１７６１号公報には、このようなＴＣＰ用ハンドラ（ＴＡＢ用オートハンドラ）に関する技術が開示されている。このＴＡＢ用オートハンドラでは、ＴＡＢテープ（ＴＣＰテープ）の走行経路の一部をプッシャで上下動させることによりＴＡＢテープ上の各ＩＣチップをプローブカードに接触接続すると共に、上記プッシャの前後に設けられた供給側テンションガイドと収容側テンションガイドによってＴＡＢテープに常に一定のテンションが掛かるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のＴＣＰ用ハンドラでは、ＴＣＰテープに供給側テンションガイド及び収容側テンションガイドによってテンションを加える構成のため、薄型のフィルム基板を採用するＴＣＰテープを安定して走行させることが困難である。このような薄型のＴＣＰテープを走行させた場合、上記テンションに起因してＴＣＰテープあるいは各ＴＣＰにストレスを与える。
【０００５】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、走行時にＴＣＰテープに加えるストレスを低減することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、ＴＣＰ用ハンドラに係わる第１の手段として、ＴＣＰがテープ状に複数連設されたＴＣＰテープを順次間欠走行させ、走行経路の途中に設けられた測定部をＴＣＰテープの表面に対して直行する方向に移動させて各ＴＣＰ中の各半導体チップを対向するプローブカードに順次接触接続させるＴＣＰ用ハンドラであって、測定部の前後にＴＣＰテープの撓み部を形成すると共に、該撓み部の前後におけるＴＣＰテープの走行をスプロケットによって行うという手段を採用する。
【０００７】
また、ＴＣＰ用ハンドラに係わる第２の手段として、上記第１の手段において、測定部前後にＴＣＰテープに対して前進／後退自在な撓み形成部材を設けるという手段を採用する。
【０００８】
ＴＣＰ用ハンドラに係わる第３の手段として、上記第１または第２の手段において、測定部は、プローブカードの対向面内におけるＴＣＰの角度を調節する角度アライメント機構を備えるという手段を採用する。
【０００９】
一方、本発明では、ＴＣＰテープの走行方法に係わる第１の手段として、ＴＣＰがテープ状に複数連設されたＴＣＰテープを順次間欠走行させ、走行経路の途中に設けられた測定部をＴＣＰテープの表面に対して直行する方向に移動させて各ＴＣＰ中の各半導体チップを対向するプローブカードに順次接触接続させるＴＣＰ用ハンドラにおける前記ＴＣＰテープの走行方法であって、測定部の前後にＴＣＰテープの撓み部を形成すると共に、該撓み部の前後におけるＴＣＰテープの走行をスプロケットによって行うという手段を採用する。
【００１０】
また、ＴＣＰテープの走行方法に係わる第２の手段として、上記第１の手段において、測定部の前後にＴＣＰテープに対して前進／後退自在な撓み形成部材を設けることにより撓み部を形成するという手段を採用する。
【００１１】
ＴＣＰテープの走行方法に係わる第３の手段として、上記第１または第２の手段において、測定部においてプローブカードの対向面内におけるＴＣＰの角度を調節するという手段を採用する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係わるＴＣＰ用ハンドラ及びＴＣＰテープの走行方法の一実施形態について説明する。なお、以下の説明では、ＴＣＰテープについては、図３を用いて既に説明しているので説明を省略する。
【００１３】
図１は、本実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの走行系を示す正面図である。この図１において、符号ＸはＴＣＰテープ、１Ａは供給リール、１Ｂは収容リール、２Ａ〜２Ｆはスプロケット、３Ａ〜３Ｆはスプロケットガイド、４は測定部、５はフローブカード、６Ａは入口側センサ、６Ｂは出口側センサ、７Ａ，７Ｂは撓み形成部材、またＴ1，Ｔ2はＴＣＰテープＸの撓み部である。なお、以下の説明では、各スプロケット２Ａ〜２Ｆのうち、スプロケット２Ｂを供給側スプロケット、スプロケット２Ｃを入口側スプロケット、スプロケット２Ｄを出口側スプロケット、スプロケット２Ｅを収容側スプロケットという。
【００１４】
供給リール１Ａには試験前のＴＣＰテープＸが巻回されており、このＴＣＰテープＸは、各スプロケット２Ａ〜２Ｆの回動によって順次引き出されて測定部４に移送され、この測定部４によって各ＴＣＰ１０の試験が行われた後に、収容リール１Ｂに順次巻き取られる。収容リール１Ｂは、測定部４による試験済みのＴＣＰテープＸを巻き取る。スプロケット２Ａ〜２Ｆは、図示しない制御装置によって同期回転するように制御され、ＴＣＰテープＸを上記供給リール１Ａから収容リール１Ｂに向けて順次間欠走行させる。
【００１５】
このような各スプロケット２Ａ〜２Ｆのうち、スプロケット２Ａは供給リール１Ａに最も近い位置に設けられ、供給側スプロケット２Ｂは、ＴＣＰテープＸの走行方向（供給リール１Ａ→収容リール１Ｂ）から見た場合に、測定部４に対する入口側に設けられている。また、スプロケット２Ｃ，２Ｄは測定部４の一部を構成するものであり、このうち入口側スプロケット２ＣはＴＣＰテープＸの入口側に、出口側スプロケット２Ｄは、ＴＣＰテープＸの出口側にそれぞれ設けられている。さらに、収容側スプロケット２Ｅは、測定部４に対する出口側に設けられ、スプロケット２Ｆは、収容リール１Ｂに最も近い位置に設けられている。
【００１６】
スプロケットガイド３Ａ〜３Ｆは、このような各スプロケット２Ａ〜２Ｆに対して設けられており、ＴＣＰテープＸを各々に対応するスプロケット２Ａ〜２Ｆに圧接するために設けられている。
【００１７】
測定部４は、上下動自在に構成されており、間欠走行するＴＣＰテープＸ上の各ＴＣＰ１０を下方に設けられたフローブカード５に順次押圧する。すなわち、この測定部４は、ＴＣＰテープＸが間欠的に停止する度に降下してフローブカード５の直上に位置するＴＣＰ１０の各テストパッド１０ｂをフローブカード５上に設けられた各測定ピンに接触接続させる。この際、ＴＣＰ１０は、上記スプロケット２Ｃ，２Ｄによって前後が支持された状態で上下動する。フローブカード５は、半導体集積回路試験装置に接続されており、テストパッド１０ｂが上記測定部４においてフローブカード５に接触接続されたＴＣＰ１０は、半導体集積回路試験装置によって動作試験される。なお、図１は、測定部４が降下した状態を示している。
【００１８】
入口側センサ６Ａは、ＴＣＰテープＸの走行経路においてスプロケット２Ａと供給側スプロケット２Ｂとの間に設けられ、試験前の各ＴＣＰ１０上の半導体チップ１０ｃの存在を検出する。この入口側センサ６Ａによって半導体チップ１０ｃの存在が検出されたＴＣＰ１０のみが測定部４によってフローブカード５に押圧される。また、出口側センサ６Ｂは、走行経路において収容側スプロケット２Ｅとスプロケット２Ｆとの間に設けられ、試験後の各ＴＣＰ１０上の半導体チップ１０ｃの存在を検出する。この図では省略されているが、この出口側センサ６Ｂと収容側スプロケット２Ｅとの間にはパンチユニットが設けられており、不良な半導体チップ１０ｃを有するＴＣＰ１０は、当該パンチユニットによってＴＣＰテープＸ上から例えば除去されるようになっている。出口側センサ６Ｂは、上記パンチユニットによって不良な半導体チップ１０ｃが正常に除去されているか否かを検出するために設けられている。
【００１９】
２つの撓み形成部材７Ａ，７Ｂのうち、一方の撓み形成部材７Ａは、ＴＣＰテープＸの走行経路において供給側スプロケット２Ｂと入口側スプロケット２Ｃとの間に設けられ、もう一方の撓み形成部材７Ｂは、同じくＴＣＰテープＸの走行経路において出口側スプロケット２Ｄと収容側スプロケット２Ｅとの間に設けられている。これら各撓み形成部材７Ａ，７Ｂは、図２に示すように、ＴＣＰテープＸに撓み部Ｔ1，Ｔ2を形成するためにＴＣＰテープＸに対して前進／後退するように設けられている。すなわち、各撓み形成部材７Ａ，７Ｂを前進させた状態でＴＣＰテープＸを架け回すことにより、ＴＣＰテープＸに撓み部Ｔ1，Ｔ2が形成される。なお、図１では、各撓み形成部材７Ａ，７ＢがＴＣＰテープＸに対して前進した状態を示している。
【００２０】
次に、このように構成されたＴＣＰ用ハンドラの動作について、詳しく説明する。
【００２１】
各ＴＣＰ１０を半導体集積回路試験装置で試験する場合、供給リール１Ａから引き出されたＴＣＰテープＸは、図１に示すようにスプロケット２Ａ→供給側スプロケット２Ｂ→入口側スプロケット２Ｃ→出口側スプロケット２Ｄ→収容側スプロケット２Ｅ→スプロケット２Ｆを経由して収容リール１Ｂに架け回される。
【００２２】
そして、この際に撓み形成部材７Ａ，７ＢをＴＣＰテープＸに対して前進させておき、上記架け回しが完了した時点で各撓み形成部材７Ａ，７Ｂを後退させることにより、図２に示すように測定部４の前後、つまり供給側スプロケット２Ｂと入口側スプロケット２Ｃとの間及び出口側スプロケット２Ｄと収容側スプロケット２Ｅとの間には、ＴＣＰテープＸの撓み部Ｔ1，Ｔ2が形成される。これら撓み部Ｔ1，Ｔ2は、スプロケット２Ａ〜２Ｆが全て同期回転してＴＣＰテープＸが走行するので、これ以降、ＴＣＰテープＸが順次間欠走行して各ＴＣＰ１０が試験される間維持される。
【００２３】
すなわち、各撓み部Ｔ1，Ｔ2におけるＴＣＰテープＸの撓み量は、測定部４が上下動してもＴＣＰテープＸが長手方向に引っ張られることがないように設定されているので、ＴＣＰテープＸ走行時に長手方向に余計なテンションを与えることなくＴＣＰテープＸを走行させることができる。
【００２４】
また、測定部４の前後に、このような撓み部Ｔ1，Ｔ2を形成することにより、測定部４の運動方向に自由度が生じる。すなわち、撓み部Ｔ1，Ｔ2を設けることにより、角度アライメント機構を測定部４側に設けることが可能となる。この角度アライメント機構は、ＴＣＰ１０（つまりＴＣＰテープＸ）のプローブカード５の対向面内における角度を調節する機構であり、各ＴＣＰ１０のテストパッド１０ｂとフローブカード５の測定ピンとの位置決めを確立するためものである。
【００２５】
すなわち、従来のＴＣＰ用ハンドラでは、角度アライメント機構がフローブカード５側に設けられていたが、本実施形態のＴＣＰ用ハンドラでは、撓み部Ｔ1，Ｔ2を設けることにより、ＴＣＰテープＸにテンションを与えることなく、測定部４側でＴＣＰ１０のフローブカード５に対する角度を調節することが可能となる。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ＴＣＰがテープ状に複数連設されたＴＣＰテープを順次間欠走行させ、走行経路の途中に設けられた測定部をＴＣＰテープの表面に対して直行する方向に移動させて各ＴＣＰ中の各半導体チップを対向するプローブカードに順次接触接続させるＴＣＰ用ハンドラであって、測定部の前後にＴＣＰテープの撓み部を形成すると共に、該撓み部の前後におけるＴＣＰテープの走行をスプロケットによって行うので、すなわち測定部の前後に従来のようなテンションガイドを用いてテンションを付加することなく、スプロケットによってＴＣＰテープを走行させるので、走行時にＴＣＰテープに加えるストレスを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの走行系を示す正面図である。
【図２】  本発明の一実施形態における撓み部Ｔ1，Ｔ2の形成を示す説明図である。
【図３】  本発明及び従来のＴＣＰテープＸの構成図である。
【符号の説明】
１Ａ……供給リール
１Ｂ……収容リール
２Ａ〜２Ｆ……スプロケット
３Ａ〜３Ｆ……スプロケットガイド
４……測定部
５……フローブカード
６Ａ……入口側センサ
６Ｂ……出口側センサ
７Ａ，７Ｂ……撓み形成部材
Ｔ1，Ｔ2……撓み部
Ｘ……ＴＣＰテープ
１０……ＴＣＰ
１０ａ……フィルム基板
１０ｂ……テストパッド
１０ｃ……ＩＣチップ
１０ｄ……リード線
１０ｅ……スプロケット孔
【図１】
0003757852.tif 000002
【図２】
0003757852.tif 000003
【図３】
0003757852.tif 000004