【手続補正書】
【提出日】平成30年3月14日(2018.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる材質の第１の光学層および第２の光学層を含む第１の多層膜構造と、
互いに異なる材質の第３の光学層および第４の光学層を含む第２の多層膜構造と、を有し、
前記第１の多層膜構造は、
屈折率ｎＨを有する平均層厚ｄＨ１の前記第１の光学層および屈折率ｎＨ１よりも低い屈折率ｎＬ１を有する平均層厚ｄＬ１の前記第２の光学層が交互に積層された幅Ｗ１の第１の単位多層膜と、
前記第１の光学層と第２の光学層とが交互に積層された幅Ｗ２の第２の単位多層膜と、を有し、
前記第１および第２の単位多層膜は、前記第１および第２の光学層の積層方向においてずれ幅Ｄだけ互いにずれて、該積層方向と直交する配列方向において互いに隣接して配列された単位構造を構成し、
前記第２の多層膜構造は、屈折率ｎＨ２を有する平均層厚ｄＨ２の前記第３の光学層および屈折率ｎＨ２よりも低い屈折率ｎＬ２を有する平均層厚ｄＬ２の前記第４の光学層が交互に積層された多層膜を有し、
φを、｜Ｄ｜が０．５（ｄＬ１＋ｄＨ１）以下の場合にはφ＝ｔａｎ−１（｜Ｄ｜／０．５（Ｗ１＋Ｗ２））、｜Ｄ｜が０．５（ｄＬ１＋ｄＨ１）よりも大きい場合にはφ＝ｔａｎ−１（（（ｄＬ１＋ｄＨ１）−｜Ｄ｜）／０．５（Ｗ１＋Ｗ２））と定義するとき、
１５（ｄｅｇ．）＜φ＜５５（ｄｅｇ．）
１．５＜ｎＨ１・ｄＨ１／ｎＬ１・ｄＬ１＜５．０
を満たすことを特徴とする光学フィルタ。
【請求項２】
前記配列方向および前記積層方向に平行な入射平面における光線入射角範囲の絶対値の最大値および最小値をそれぞれ｜θ｜ｍａｘ、｜θ｜ｍｉｎ、該配列方向に平行な偏光光が中心入射角度θ０＝（｜θ｜ｍａｘ＋｜θ｜ｍｉｎ）／２で入射する際の前記第１および第２の多層膜構造の反射中心波長をそれぞれλｒｅｆ１、λｒｅｆ２、該反射中心波長λｒｅｆ１、λｒｅｆ２をそれぞれ反射帯域における反射率５０％の短波長側の波長と長波長側の波長との中心波長、入射媒質の屈折率をｎ０、斜入射による前記第１の光学層および前記第２の光学層の実効膜厚ｄＨ１（φ，＜θ１＞）、ｄＬ１（φ，＜θ１＞）をそれぞれｄＨ１・ｃｏｓφ・ｃｏｓ（＜θ１＞−φ）、ｄＬ１・ｃｏｓφ・ｃｏｓ（＜θ１＞−φ）、前記第１の多層膜構造における平均進行角度＜θ１＞および平均屈折率ｎｅｆｆをそれぞれｓｉｎ−１（ｎ０・ｓｉｎθ０／ｎｅｆｆ）、｛２／（１／ｎＨ１２＋１／ｎＬ１２）｝１／２、斜入射による前記第３の光学層および前記第４の光学層の実効膜厚ｄＨ２（θＨ２）、ｄＬ２（θＬ２）をそれぞれｄＨ２・ｃｏｓθＨ２、ｄＬ２・ｃｏｓθＬ２、該第３の光学層および該第４の光学層における進行角度θＨ２、θＬ２をそれぞれｓｉｎ−１（ｎ０・ｓｉｎθ０／ｎＨ２）、ｓｉｎ−１（ｎ０・ｓｉｎθ０／ｎＬ２）とするとき、
０．３５＜（（ｎＨ１・ｄＨ１（φ，＜θ１＞）＋ｎＬ１・ｄＬ１（φ，＜θ１＞））／λｒｅｆ１＜０．６５
０．３５＜（（ｎＨ２・ｄＨ２（θＨ２）＋ｎＬ２・ｄＬ２（θＬ２））／λｒｅｆ２＜０．６５
を満たすことを特徴とする請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項３】
前記最小値｜θ｜ｍｉｎで表される角度で光線が入射した場合、前記第１の多層膜構造は、前記第２の多層膜構造に比べて短波長側の帯域の光線を反射し、
前記最大値｜θ｜ｍａｘで表される角度で前記光線が入射した場合、前記第１の多層膜構造は、前記第２の多層膜構造に比べて長波長側の帯域の光線を反射することを特徴とする請求項２に記載の光学フィルタ。
【請求項４】
前記配列方向に平行な前記偏光光が前記中心入射角度θ０で入射する際の前記第１および第２の多層膜構造のそれぞれの反射中心波長λｒｅｆ１、λｒｅｆ２は、
０．７５＜（λｒｅｆ１／λｒｅｆ２）＜１．２５       
を満たすことを特徴とする請求項２または３に記載の光学フィルタ。
【請求項５】
４００ｎｍから７００ｎｍまでの可視域内における前記反射帯域の反射率５０％の短波長側の波長および長波長側の波長のうち、入射角度変化によるシフト量が大きいほうの波長をλｅｄｇｅ、前記最小値｜θ｜ｍｉｎから前記最大値｜θ｜ｍａｘまでの前記光線入射角範囲で光線が入射する際に波長λｅｄｇｅの入射角度変化によるシフト量をΔλｅｄｇｅとするとき、
｜Δλｅｄｇｅ｜／ｎ０≦２０ｎｍ
（ｃｏｓ｜θ｜ｍｉｎ−ｃｏｓ｜θ｜ｍａｘ）／ｎ０＞０．３６
を満たすことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
【請求項６】
前記単位構造の幅Ｗ＝Ｗ１＋Ｗ２は、
０＜Ｗ＜λｒｅｆ２／（ｎ０（ｓｉｎ｜θ｜ｍａｘ＋１））
を満たすことを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
【請求項７】
前記第４の光学層の前記屈折率ｎＬ２は、
１．５＜ｎＬ２＜２．０ 
を満たすことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
【請求項８】
前記第１の多層膜構造の前記ずれ幅Ｄは、
０．２５（ｄＨ１＋ｄＬ１）≦｜Ｄ｜≦０．７５（ｄＨ１＋ｄＬ１）
を満たすことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
【請求項９】
前記第１の単位多層膜の前記幅Ｗ１および前記第２の単位多層膜の前記幅Ｗ２は、
Ｗ１＞Ｗ２
Ｗ１／（Ｗ１＋Ｗ２）≦０．８ 
を満たすことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
【請求項１０】
前記第１および第２の多層膜構造の少なくとも一つは、リップル低減層を含むことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
【請求項１１】
前記リップル低減層は、第５の光学層を含むことを特徴とする請求項１０に記載の光学フィルタ。
【請求項１２】
前記第１の多層膜構造の前記単位構造は、前記積層方向と直交する前記配列方向において二次元状に配列されていることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
【請求項１３】
基板を更に有し、
前記第１の多層膜構造は、前記基板の第１の主面上に形成されており、
前記第２の多層膜構造は、前記基板の前記第１の主面とは反対側の第２の主面上に形成されていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
【請求項１４】
第１の基板および第２の基板を更に有し、
前記第１の多層膜構造および前記第２の多層膜構造は、前記第１の基板と前記第２の基板との間に設けられていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の光学フィルタ。
【請求項１５】
画像表示素子と、
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の光学フィルタと、を有することを特徴とする光学装置。
【請求項１６】
撮像素子と、
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の光学フィルタと、を有することを特徴とする光学装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
１５（ｄｅｇ．）＜φ＜５５（ｄｅｇ．）  …  （１）
１．５＜ｎＨ１・ｄＨ１／ｎＬ１・ｄＬ１＜５．０  …  （２）
条件式（１）において、φは、図１（Ａ）に示される単位構造１０６内で定義される構造（多層膜構造）の傾斜角である。傾斜角φは、以下の式（３ａ）または式（３ｂ）により定義される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
１５（ｄｅｇ．）＜φＸ＜５５（ｄｅｇ．）  …  （１’）
１５（ｄｅｇ．）＜φＹ＜５５（ｄｅｇ．）  …  （１’’）
以上の構造は、ＸＺ平面内およびＹＺ平面内のそれぞれにおける入射角度依存性を低減させるために、好ましい構造である。