(57)【要約】本発明の画像データファイル管理システムは、被検体の画像を取得する撮像部と、この撮像部で撮像された画像データを画像処理して検査結果を取得する検査部と、前記検査結果に応じた圧縮率で前記画像データを圧縮させる圧縮部と、この圧縮部から出力される画像データを保存する画像サーバと、を具備している。
2002023480.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体の画像を取得する撮像部と、
この撮像部で撮像された画像データを画像処理して検査結果を取得する検査部と、
前記検査結果に応じた圧縮率で前記画像データを圧縮させる圧縮部と、
この圧縮部から出力される画像データを保存する画像サーバと、
を具備したことを特徴とする画像データファイル管理システム。
【請求項２】
前記検査部は、前記撮像部で撮像して得た前記被検体の画像データを画像処理をして欠陥データを検出し、前記被検体の良否を判定する検査結果を出力する欠陥検査装置であり、
前記圧縮部は、前記欠陥検査装置で良と判定された前記画像データに対し非可逆圧縮し、否と判定された前記画像データに対して可逆圧縮することを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項３】
前記撮像部、前記検査部、及び前記圧縮部により欠陥検査装置を構成し、この欠陥検査装置は、半導体生産ラインの各工程中のクリーンルーム内に配置され、通信回線を介して前記クリーンルーム外に配置された画像サーバに接続されることを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項４】
前記圧縮部は、マスター画像と前記被検体の検査画像との差分画像を求め、この差分画像を圧縮処理することを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項５】
前記圧縮部は、マスター画像の輝度値に対する標準偏差値を超える前記マスター画像と前記被検体の検査画像の差分のみを圧縮することを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項６】
前記画像サーバは、さらにデータベース部とバックアップ部を有し、
前記バックアップ部は、前記画像データを所定数まとめてバックアップ保存し、
前記データベース部は、前記画像データへの前記画像データの保存場所を記憶するとともに、前記画像データをバックアップ保存する前記バックアップ部の識別子を記憶することを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項７】
前記画像サーバは、テンポラリーディレクトリを定期的に監視する監視し、該テンポラリーディレクトリに保存されるファイル名に基づいて所定のディレクトリ毎にファイルを分類し、この分類毎に前記画像データに対し縮小画像を作成し、作成された縮小画像を一覧表示可能にしたことを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項８】
被検体の画像データを取得する画像取得ステップと、
前記画像取得ステップで取得された画像データに対する前記被検体の良否判定の欠陥情報を取得する情報取得ステップと、
前記画像取得ステップで取得された画像データを前記情報取得ステップで取得された否判定情報に基づき可逆圧縮処理し、良判定情報に基づき非可逆圧縮処理して、各画像データファイルを作成するファイル作成ステップと、
前記ファイル作成ステップで作成された画像データファイルを記録する画像データ記録ステップと、
を含む画像データファイル管理方法。
【請求項９】
被検体の画像を取得し、その画像データを画像処理して各種検査結果を取得する複数の検査部と、
前記各検査部で取得された各画像データ同士を前記被検体の情報に関連付けて保存する画像サーバと、
を具備したことを特徴とする画像データファイル管理システム。
【請求項１０】
前記画像サーバに保存された画像データを表示する操作端末を有し、
前記操作端末は、関連付けされている前記各検査部で取得された各画像データを選択的に表示することを特徴とする請求項９記載の画像データファイル管理システム。
【請求項１１】
前記操作端末は、表示されている画像データに関する検査情報を表示することを特徴とする請求項９記載の画像データファイル管理システム。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、検査装置等で撮像された画像データを管理する画像データファイル管理システム及び方法に関する。
背景技術
例えば、半導体ウェハなどの欠陥検査装置として、ウェハ面を撮像部により撮像し、撮像された画像に対してコンピュータにより画像処理を施して欠陥を抽出するとともに、これら画像処理された画像データを記憶部に記録する装置が実用化されている。
また、このような欠陥検査装置では、画像処理ごとに取り扱うデータ量が膨大になることから、バックアップ機能を有する画像サーバを接続し、この画像サーバ側に画像データファイルを記録させることも考えられている。
ところが、従来の考えによる画像データファイルの記録方法では、欠陥検査装置の記憶部の画像データをそのまま画像サーバ側のバックアップ部に記録させるため、サーバ側に大きな記録容量が必要となり、経済的に不利になる。また、サーバ側に記録される画像データファイルの管理については、配慮がなされないことから、バックアップデータを有効に利用することが難しいという問題がある。
本発明の目的は、画像データの管理を効率よく行うことができる画像データファイル管理システム及び方法を提供することにある。
発明の開示
本発明の画像データファイル管理システムは、被検体の画像を取得する撮像部と、この撮像部で撮像された画像データを画像処理して検査結果を取得する検査部と、前記検査結果に応じた圧縮率で前記画像データを圧縮させる圧縮部と、この圧縮部から出力される画像データを保存する画像サーバと、を具備している。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る画像データファイル管理システムの概略構成を示す図である。図１において、クライアント装置である複数（図示例では合計４台）の検査装置１（＃１〜＃４）は、半導体ウェハ生産ラインの前工程、後工程の各段階におけるマクロ検査、パターン検査、顕微鏡検査、ＳＥＭ検査などの各種検査を行う。検査装置１は、例えばウェハ面を図示しない撮像部により撮像するとともに、この撮像された画像を画像処理して欠陥部を検出する欠陥検査装置などである。これら各検査装置１（＃１〜＃４）は、クリーンルーム２内に配置されている。
また、各検査装置１（＃１〜＃４）は、通信用のＬＡＮ３に接続されている。さらにＬＡＮ３には、画像サーバ部４及び検索端末５が接続されている。画像サーバ部４は、バックアップ装置４１、データベース４２、ハードディスク４３、及びサーバ本体４４を有している。検索端末５は、クリーンルーム２の外に配置されており、画像サーバ部４の記録内容を検索する。
以上のような構成をなす画像データファイル管理システムにおいて、各検査装置１で、検査対象となるウェハ（検査用ウェハ）に対してマクロ検査、パターン検査、顕微鏡検査、ＳＥＭ検査などの欠陥検査処理が行われる。例えば、＃１はマクロ検査装置、＃２はパターン検査装置、＃３は顕微鏡検査装置、＃４はＳＥＭ検査装置である。
図２は、マクロ検査装置１（＃１）側での検査処理の手順を示すフローチャートである。まず、ステップ２０１で、検査装置１（＃１）では検査用ウェハの表面を撮像部により撮像し、そのマクロ検査画像データを取り込む。この取り込まれる画像データは、干渉画像と回折画像の各データである。
次に検査装置１（＃１）では、ステップ２０２で、これら干渉画像と回折画像の各データを用いてウェハの欠陥検出が行われ、ステップ２０３で、欠陥判定処理が行われる。そして検査装置１では、ステップ２０４で、検査用ウェハの良否、つまり合格か不合格かの検査結果が出され、この結果に応じた画像データの保存処理が行われる。同様に、他のパターン検査装置（＃２）、顕微鏡検査装置（＃３）、ＳＥＭ検査装置（＃４）においても、検査用ウェハ上の欠陥を拡大して、欠陥の良否判定や種別等の検査が行われる。この欠陥の検査結果に応じてミクロ画像データの保存処理が行われる。
このときマクロ検査装置１（＃１）では、干渉画像データ、回折画像データ、及び検査結果データの各ファイルが出力される。検査装置１（＃１）において、例えば、１時間あたり最大３８０枚の画像を処理する能力があるものとすると、１枚の画像が非圧縮で４．１ＭＢであるから１時間で１５５８ＭＢの容量になる。この処理を１日２４時間で１ヶ月（３０日）間運用すると、１１２１．７６ＧＢにもなる。このため、実際に画像データを保存するには、１ＴＢクラスの容量のハードディスクを何台も用意する必要があり、コストの面で不経済である。
そこで本第１の実施の形態では、各検査装置１（＃１〜＃４）での結果保存処理を、ＬＡＮ３を介して接続された画像サーバ部４のハードディスク４３とバックアップ装置４１を用いて行う。これにより、検査装置１におけるハードディスクの容量を最小限にし、日々の運用とバックアップ後のデータの運用を容易にしている。
図３Ａは、図２のステップ２０４での結果保存処理の手順を詳細に示すフローチャートである。まず、ステップ３０１で、マクロ検査装置１（＃１）では、検査結果データから、ウェハの良否判定として検査結果が合格か不合格かを判断する。ここで、合格と判断されると、ステップ３０２で、マクロ検査装置１（＃１）は、合格と判断されたウェハのマクロ画像データ（干渉画像と回折画像）に対して例えば圧縮率１／２０で高圧縮（非可逆圧縮と呼ぶ）する。これは、合格と判断された良品のウェハ画像データは、後に参照される機会が少なく、検査装置１の撮像部で撮像された元の画像データを完全に復元させる可逆性が要求されないためである。
また、ステップ３０１で、不合格と判断されると、ステップ３０３で、検査装置１は不合格と判断されたウェハの画像データ（干渉画像と回折画像）に対し、例えば圧縮率１／２で低圧縮あるいは非圧縮（可逆圧縮と呼ぶ）する。これは、不合格と判断された不良品のウェハの画像データは、リワークまたは廃棄処分となる重大な欠陥を詳細に分析する際に参照される機会が多く、検査装置１の撮像部で撮像された画像データを完全に復元させる可逆性が要求されるためである。そしてステップ３０４で、検査装置１（＃１）は、上記ステップ３０２，３０３で圧縮処理された各ウェハの画像データを、ＬＡＮ３を介して画像サーバ部４のハードディスク４３に保存する。
図３Ｂは、上記ステップ３０２，３０３における画像データの圧縮処理の手順を示すフローチャートである。まずステップ３０５で、背景処理が行われる。この背景処理では、マクロ検査装置１（＃１）により、図４に示すようにウェハステージを含む検査画像データ５１が作成され、この検査画像データ５１中のウェハ部５１ａと背景部（ウェハステージ）５１ｂが分離される。そして検査画像データ５１は、マクロ検査装置１（＃１）により背景部５１ｂが所定輝度値（例えば輝度値０）の背景部５１ｃに置き換えられ、検査画像データ５１’が作成される。このウェハ部５１ａと背景部５１ｂの分離方法は、マニュアルで設定してもよいし、自動的に設定してもよい。
次に、ステップ３０６で、マクロ検査装置１（＃１）は、マスター（参照）画像データ５２と検査画像データ５１’との排他的論理和の演算処理を行い、差分画像データ５３を求める。検査装置１は、画像サーバ部４のハードディスク４３に予め可逆圧縮され保存されている図５に示すような基準となるマスター画像５２を、ＬＡＮ３を介してハードディスク４３から取り出す。
マクロ検査装置１（＃１）は、図５に示すように、取り出したマスター画像データ５２から背景処理された検査画像データ５１’を差し引いて、差分画像データ５３を求める。そして検査装置１は、ステップ３０７で、差分画像データ５３を前記ステップ３０２，３０３で設定された圧縮率で圧縮し、ステップ３０８で、上記ステップ３０４に示したようにＬＡＮ３を介して画像サーバ部４のハードディスク４３に保存する。
また、画像データの他の圧縮方法としては、マスター（参照）画像を置き換えた輝度値と、このマスター画像の輝度値に対する標準偏差値とを予めハードディスク４３に保存しておき、マスター画像と検査画像との差分に前記標準偏差値の範囲を超えるものが存在すると、その差分を欠陥と判断して該差分のみを圧縮して保存する方法もある。このような圧縮保存方法によると、マスター画像と検査画像との差分は、ほとんどの輝度値が０近傍になるため、圧縮効率（ＪＰＥＧに限らず）を飛躍的に高めることができる。
なお、拡大画像（ミクロ画像）により検査を行うパターン検査装置（＃２）、顕微鏡検査装置（＃３）、ＳＥＭ検査装置（＃４）においても、合格（問題無し）と判断された欠陥に係るミクロ画像データは高圧縮され、不合格（問題有り）と判断された欠陥に係るミクロ画像データは低圧縮される。
このようにしてハードディスク４３に検査装置１からの画像データを保存する場合、送られてくるデータ量が多くなると、ハードディスク４３の容量が足りなくなるおそれがある。その対策として、例えば、常にハードディスク４３の容量を監視しておき、容量が所定量以下になった場合に検査装置１での圧縮率を変化させたり、ハードディスク４３側のファイルシステムで圧縮保存の設定を変えるなどの方法が取られる。その他には、さらに予備用として他のハードディスクを用意しておき、そちらに保存先を変更する方法が用いられる。
以上のような手法により、検査装置１での欠陥検査の結果で不合格（問題有り）と判断された画像データは、１／２程度の低圧縮処理により保存されるので、その後の欠陥の解析処理の際に検査装置１の撮像部で撮像された元の画像とほぼ同等の良質なウェハ画像として復元できる。また、合格（問題無し）と判断された画像データについては、高圧縮処理により保存されるが、通常は、ほとんどのウェハは合格するものと考えられるので、このように数量が多く、かつ完全な復元性を要求されない合格と判断された画像データに対して高圧縮処理を施すことにより、ＬＡＮ３を介して画像サーバ部４に送信される際のＬＡＮ負荷（通信速度など）を大幅に軽減できるとともに、画像サーバ４の利用率を高めることができる。
図６は、サーバ側での処理手順を示すフローチャートである。画像サーバ部４側での処理は、図６に示すフローチャートに沿い実行される。なお、上述した検査装置１での処理により合格または不合格が判定された画像データは、画像サーバ部４においてハードディスク４３の所定のディレクトリ（テンポラリーディレクトリ）にファイル保存されている。
この状態から、ステップ６０１で、サーバ本体４４はハードディスク４３のテンポラリーディレクトリを定期的に監視する。ここで、ファイルが存在しなければ、サーバ本体４４は処理を一旦終了して再び監視を繰り返す。また、ファイルが存在すれば、ステップ６０２で、サーバ本体４４はそのファイルのファイル名を基に、画像データを所定の規則に従ってディレクトリ構造に分類（移動）する。例えばファイル名として、品種ＩＤ、工程ＩＤ、ロットＩＤ等の名称が付いている場合、サーバ本体４４はその名称を解析してそれぞれの項目を情報として抽出する。
そしてサーバ本体４４は、その情報に基づきハードディスク４３のディレクトリを検索し、対応するディレクトリ階層構造（品種ＩＤ、工程ＩＤ、ロットＩＤの下）に画像データのファイルを分類（移動）する。またサーバ本体４４は、対応するディレクトリが存在しない場合、前記情報を基にディレクトリを作成して、画像データのファイルを分類（移動）する。
次に、ステップ６０３で、サーバ本体４４はディレクトリ構造の分類ごとに画像データの縮小画像を作成し、保存する。これら縮小画像は、操作者による検索端末５からの指示により検査画像をサムネール表示するのに用いられ、呼び出しを容易にするために予め作成されるものであり、対応する画像データから画素の間引き処理を行って作成される。
次に、ステップ６０４で、サーバ本体４４はディレクトリ構造に分類（移動）したデータをデータベース４２に登録する。この場合、データベース４２の画像データに対するレコードは、図７に示すように、‘レコードＮｏ．’、‘ウェハＩＤ’、‘ロットＩＤ’、‘品種ＩＤ’、‘工程ＩＤ’、‘日付’、‘時間’、‘画像の種類’、‘検査結果’、‘リワーク回数’、‘消去フラグ’、及び‘バックアップメディアＩＤ’の各フィールドを有している。このレコードでは、検査装置１での検査結果の内容に基づいて、これらフィールドに情報が追加記録される。
図７に示すレコードの‘品種ＩＤ’のフィールドは、図８Ａに示すように、‘レコードＮｏ．’、‘品種ＩＤ’、‘品種名’の各情報と関連付けされている。図７に示すレコードの‘工程ＩＤ’のフィールドは、図８Ｂに示すように、‘レコードＮｏ．’、‘工程ＩＤ’、‘工程名’の各情報と関連付けされ、さらにウェハの品種ごとの工程情報に関するレコードとして図８Ｃに示すように、‘レコードＮｏ．’、‘品種ＩＤ’、‘工程ＩＤ’の各情報と関連付けされ、ある品種のウェハがどのような工程で処理されたかを示す情報が記録されている。
また、図７に示すレコードの‘画像の種類’のフィールドは、例えばマクロ検査装置１（＃１）で取り込まれる画像が干渉画像と回折画像のどちらであるかを示す情報が入力される。図７に示すレコードの‘検査結果’のフィールドは、検査結果が合格と不合格のどちらであるかを示す情報が入力される。
図７に示すレコードの‘リワーク回数’のフィールドは、そのレコードのウェハがリワーク処理（再処理）されるたびに、その回数が更新される。図８Ｄは、ウェハのロットごとの‘リワーク回数’に関するレコードを示している。図７に示すレコードの‘リワーク回数’のフィールドは、図８Ｄに示すように、‘レコードＮｏ．’、‘ロットＩＤ’、‘工程ＩＤ’、‘リワーク回数’、‘廃棄フラグ’と関連付けされている。ここでの‘廃棄フラグ’は、画像データが廃棄になった場合のデータが記録される。
図７に示すレコードの‘消去フラグ’のフィールドは、そのレコードの画像データが画像サーバ部４のハードディスク４３及びバックアップ装置４１のバックアップメディアのどちらからも抹消されたときに、その情報が入力される。
図７に示すレコードの‘バックアップメディアＩＤ’のフィールドは、そのレコードの画像データが画像サーバ部４のハードディスク４３からバックアップ装置４１のバックアップメディアにバックアップされたときに、そのバックアップメディアに付けられたシリアル番号がＩＤとして入力される。図８Ｅは、バックアップメディアに関するレコードを示している。図７に示すレコードの‘バックアップメディアＩＤ’のフィールドは、図８Ｅに示すように、‘レコードＮｏ．’、‘バックアップメディアＩＤ’、‘バックアップ開始日’、‘バックアップ終了日’、‘リサイクル可否’と関連付けされている。つまり、ここでは、バックアップメディアを管理するレコードが定義され、‘リサイクル可否’のフィールドは、そのバックアップメディアが完全に全データを消去して再使用可能になっているか否かを示す。リサイクル可能になる条件は、図７に示すレコードで、同じバックアップメディアＩＤを持つ全ての‘消去フラグ’が、消去が完了されたことを示すときである。
そして、図６のステップ６０５で、サーバ本体４４はウェハのロットのバックアップの可否を判断する。この場合、サーバ本体４４は、データベース４２の図８Ｃと図８Ｄのデータを参照する。サーバ本体４４は、その１ロットにかかるウェハの品種について全ての工程を終了したか、または途中で廃棄が決定されたかを確認すると、ステップ６０６に進み、データベース４２の内容を変更するとともに、どのバックアップメディアにバックアップを行うかを、図７に示すレコードの‘バックアップメディアＩＤ’を記入することで決定する。そしてサーバ本体４４は、ステップ６０７で、ハードディスク４３内の該当する画像データファイルの、バックアップ装置４１のバックアップメディアへのバックアップを実施する。なお、バックアップ装置４１にバックアップされる画像データファイルには、画像データの縮小画像は含まれない。
この場合、バックアップ装置４１のバックアップメディアには、テープや半導体メモリなどが用いられ、画像データファイルとともに、ディレクトリ構造もバックアップされる。またデータベース４２は、どのメディアにどの品種のウェハのデータをバックアップしたかを管理し、バックアップされた画像データファイルを、バーコードやシリアル番号などの識別符号を付して管理する。さらに、バックアップされた画像データファイルは、サーバ本体４４によりハードディスク４３から削除されるとともに、データベース４２の画像データファイルの項目にシリアル番号などの識別子が連記される。また、データベース４２は、バックアップメディアごとに、どの画像データファイルが保存されているか管理しており、メディア内のファイルがすべて消去された場合は、そのメディアをリサイクルして再利用できるように管理する。
次に、これらハードディスク４３とバックアップ装置４１の関係を具体的に説明する。例えば、ウェハを１ヶ月に３万枚処理する半導体生産ラインでは、マクロ検査装置１（＃１）に対して１ヶ月間で必要なハードディスク４３の容量は、ウェハが全て良品であるとした場合、
３００００（枚）×４．１（ＭＢ）×２（画像数／ウェ
ハ）×１０（工程数）×０．０５（圧縮率１／２０）
＝１２３（ＧＢ）
となる。
また、１ヶ月（３０日）前に投入したウェハが、先入れ先出し的に処理されるとして、その中でも遅延が最大で１５日あるとみて、安全性を考慮したハードディスク４３の容量を見積もると、
１２３（ＧＢ）×（１＋（１５（日）／３０（日）））
＝１８４．５（ＧＢ）
となる。さらに１日あたりの容量を示すと、
１２３（ＧＢ）／３０（日）＝４．１（ＧＢ）
となり、始めの１ヶ月を経過した後、次の日から１日ごとに、４．１ＧＢのデータをバックアップ装置４１でバックアップすることになる。この場合、バックアップメディアに１巻１００ＧＢの容量のＡＩＴ（Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｉｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔ　Ｔａｐｅ）を使用すれば、１ヶ月あたり約１．２３巻（４．１（ＧＢ）×３０（日）＝１２３（ＧＢ））で足りることになる。また、バックアップデータを１年間保存することを仮定すると、約１５巻（１．２３（巻）×１２（月）＝１４．７６）あれば十分に足りる。
一方、検索端末５では、バックアップされずにハードディスク４３内に残ったディレクトリ構造の分類ごとに作成された画像データの縮小画像を使って、検査結果の一覧表示を図示しない表示部にさせるともに、データベース４２の記憶内容に基づいて、画像データファイルとバックアップメディアの対応関係、及びバックアップメディアの検索や検査状況などを前記表示部に表示させることができる。
図９は、検索端末５による検査画像の一覧表示の例を示す図である。図９に示す検索端末５の表示画面は、検査結果の画像データに対応する縮小画像１１ａを多数並べて一覧表示する検査画像表示領域１１、ロット全体の品種や工程または全行程などを表示する領域１２、及びディレクトリー表示領域１３を有している。なお、データベース４２では、定期的なメンテナンスにより、完全に必要なくなった画像データのレコードや縮小画像のデータを消去する。
なお、上述した第１の実施の形態では、複数の検査装置１にＬＡＮ３を介して画像サーバ部４を接続した例を述べたが、検査装置１と画像サーバ部４を１対１の関係で接続したシステムも適用できる。また、検査装置１内に画像サーバ部４の機能を持たせたシステムも適用できる。
図１０は、本発明の第２の実施の形態に係る画像データファイル管理システムの概略構成を示す図である。図１０において図１と同一な部分には同符号を付してある。図１０では、工場内のライン用ＬＡＮ３１にプロセスコントローラ６と画像サーバ部４のハードディスク４３が接続されている。プロセスコントローラ６は、工場内での一連のウェハ製造の工程管理を行う。また、クリーンルーム２内では、各検査装置１（＃１〜＃４、その他）と検索端末５が、画像転送用のＬＡＮ３２に接続されている。さらにＬＡＮ３２には、画像サーバ部４が接続されている。なお、検索端末５をＬＡＮ３１に接続するよう構成してもよい。
画像サーバ部４のハードディスク４３内のレシピエリア（あるいはプロセスコントローラ６）には、検査対象となる各ウェハの固有情報（検査工程、品種等）が保存されている。各検査装置１（＃１〜＃４、その他）は、それぞれウェハのマクロ検査、パターン検査、顕微鏡検査（ミクロ検査）、ＳＥＭ検査を行う。また、ＬＡＮ３２には、さらに図示しない重ね合わせ検査装置、膜厚検査装置、異物検査装置等の検査装置が接続されている。各検査装置１（＃１〜＃４、その他）は、ウェハの検査を行う際に、必要な前記ウェハの固有情報を前記レシピエリア（あるいはプロセスコントローラ６）からダウンロードし、作成したレシピに従って検査を行う。
各検査装置１（＃１〜＃４、その他）は、検査終了後、前記固有情報に検査結果を付加した検査結果ファイルを、画像転送用のＬＡＮ３２を介して画像サーバ４のハードディスク４３内のテンポラリディレクトリに送る。画像サーバ４のサーバ本体４４は、ハードディスク４３のテンポラリディレクトリを監視しており、テンポラリディレクトリに送られた前記検査結果をデコーダにより変換しデータベース４２に登録するとともに、履歴管理を行った上でハードディスク４３内のレシピエリア（あるいはプロセスコントローラ６）に保存する。
このときサーバ本体４４は、変換された前記検査結果から画像データを抽出し、画像データを所定の規則に従ってハードディスク４３（あるいはプロセスコントローラ６）内のディレクトリ構造に分類（移動）する。サーバ本体４４はディレクトリ構造の分類ごとに画像データの縮小画像を作成し、保存する。またサーバ本体４４は、ハードディスク４３内の画像データの示す欠陥の座標を基に得られる欠陥の大きさ情報と、他の検査装置１からの検査結果ファイルの検査結果から抽出された画像データの示す欠陥の座標とを比較することにより、ある検査装置１で検出された欠陥が別の検査装置１でも検出されているか否かを判断することができる。
図１１は、上記検査結果ファイルの一例を示す図である。この検査結果ファイルは、ウェハに対する固有情報１１１と各検査装置１（＃１〜＃４、その他）での検査結果１１２からなる。固有情報１１１には、各ウェハの検査工程、品種等の情報が記述される。検査結果１１２には、ウェハに生じている欠陥の画像上の位置（座標）、欠陥名、欠陥の縦横の大きさ、検査を行った検査装置１の名称、ファイルのフォーマット形式等が記述される。サーバ本体４４のデコーダは、前記フォーマット形式に沿って検査結果の情報の変換を行い、データベース４２に登録する。
図１２は、データベース４２に登録される画像データに関するレコードを示す図である。データベース４２に登録される画像データに関するレコードは、図１２に示すように、‘レコードＮｏ．’、‘ウェハＩＤ’、‘ロットＩＤ’、‘品種ＩＤ’、‘工程ＩＤ’、‘日付’、‘時間’、‘画像の種類’、‘検査結果’、‘リワーク回数’、‘消去フラグ’、‘バックアップメディアＩＤ’、‘リンク画像数’、及び複数の‘リンク画像ＩＤ’の各フィールドを有している。このレコードでは、検査装置１での検査結果の内容に基づいて、これらフィールドに情報が追加記録される。このようにデータベース４２のレコード内に、その画像データとリンクしている画像データの数と各ＩＤ（ファイル名）が記憶される。
図１３は、図１２に示したレコードとリンクする画像データに関するレコードを示す図である。データベース４２に登録されるリンク画像データに関するレコードは、図１３に示すように、‘レコードＮｏ．’、‘リンク画像ＩＤ’、‘リンク画像レコードＮｏ．’、‘画像範囲座標’、‘画像倍率’、及び‘装置ＩＤ’の各フィールドを有している。このレコードは、図１２に示したレコードにて追加される‘リンク画像ＩＤ’に対応してデータベース４２に追加記録される。
図１４は、検索端末５の表示部における第１の表示例を示す図である。サーバ本体４４は、検索端末５からの指示内容に応じて、データベース４２のレコードを検索して、必要とされる検査結果の情報（ウェハの画像データ等）と検査条件の情報（ウェハの固有情報）を、ハードディスク４３（あるいはプロセスコントローラ６）から読み出し、ＬＡＮ３２（あるいはＬＡＮ３１）を介して検索端末５へ送る。検索端末５は、受け取った情報を図１４に示すように表示部に表示する。
図１４は、マクロ検査装置１（＃１）によるマクロ検査結果の表示例を示している。検索端末５の表示部には、ウェハ画像１０１、検査条件１０２、検査結果１０３、欠陥情報１０４等の情報が表示される。ウェハ画像１０１では、ウェハの全形を示す画像上に、検出された欠陥を示す画像が表示されており、各欠陥には固有の番号（ラベル）が付されている。検査条件１０２では、ウェハの固有情報が文字表示される。検査結果１０３では、各検査装置１（＃１〜＃４、その他）による検査結果が文字表示される。
欠陥情報１０４は、‘ラベル’、‘欠陥名称’、‘確率’　、‘重心座標’、‘面積’、‘他装置での検出’、‘リンク画像’の項目からなる。‘ラベル’は、ウェハ画像１０１にて各欠陥に付される番号を示している。‘欠陥名称’は欠陥の種類を示している。‘確率’は、検出された欠陥が欠陥である確からしさを示している。‘重心座標’は、ウェハ画像上での欠陥画像の重心位置を示している。‘他装置での検出’では、該欠陥が他の検査装置１（＃２〜＃４、その他）でも検出されている場合に「１」が表示され、検出されていない場合に「０」が表示される。‘リンク画像’では、データベース４２にて該ウェハの画像データとリンクしている画像データが有る場合に「１」が表示され、無い場合に「０」が表示される。
なお、例えば‘ラベル’が「１」である欠陥情報のように、‘他装置での検出’が「１」かつ‘リンク画像’が「１」である場合、ウェハ画像１０１における欠陥画像の番号は、○で囲われる。また、例えば‘ラベル’が「２」である欠陥情報のように、‘他装置での検出’が「１」かつ‘リンク画像’が「０」である場合、ウェハ画像１０１における欠陥画像の番号は、△で囲われる。また、例えば‘ラベル’が「３」である欠陥情報のように、‘他装置での検出’が「０」かつ‘リンク画像’が「０」である場合、ウェハ画像１０１における欠陥画像の番号は、そのままで囲われない。
さらに検索端末５の表示部には、マトリックス表示、欠陥表示、ラベル表示等の選択設定１０５が表示される。選択設定１０５の‘マトリックス表示’で「有」が設定された場合、ウェハ画像１０１にショットが表示され、「無」が設定された場合、表示されない。選択設定１０５の‘欠陥表示’で「有」が設定された場合、ウェハ画像１０１上の欠陥画像が強調色で表示され、「無」が設定された場合、通常の色で表示される。選択設定１０５の‘ラベル表示’で「有」が設定された場合、ウェハ画像１０１上の欠陥画像の番号が表示され、「無」が設定された場合、表示されない。
また表示部には、重ね合せ検査及び膜厚測定等の詳細情報表示及びオーバーレイ表示を行うのための各ボタン１０６、後述する複数の工程による画像を表示するためのボタン１０７、後述する再分類処理を行うためのボタン１０８等が表示される。
図１５は、検索端末５の表示部における第２の表示例を示す図である。図１５は、検索端末５にて操作者が図示しないマウスまたはキーボードを用いて、図１４における欠陥情報１０４の‘ラベル’「１」の行を選択操作（クリック操作等）した後の表示例を示している。サーバ本体４４は、この検索端末５からの操作に応じて、データベース４２のレコードを検索して、他の検査装置１（＃２〜＃４、その他）での検査結果の情報を、ハードディスク４３（あるいはプロセスコントローラ６）から読み出し、ＬＡＮ３２（あるいはＬＡＮ３１）を介して検索端末５へ送る。検索端末５は、受け取った情報を図１５に示すように表示部に表示する。
前記表示部には、ウェハの拡大画像１２１、欠陥情報１２２、他装置での欠陥情報１２３等の情報が表示される。ウェハの拡大画像１２１では、選択された‘ラベル’「１」の欠陥画像を中心としてマクロ検査によるウェハ画像が拡大表示されている。これにより操作者は、観察を要する欠陥を拡大して見ることができる。欠陥情報１２２では、図１４における欠陥情報１０４の‘ラベル’「１」の行で示された情報が文字表示されている。
他装置での欠陥情報１２３は、‘装置ＩＤ’、‘欠陥数’、‘総面積’、‘画像数’、‘判定’、‘詳細情報表示’、‘欠陥表示ＯＮ／ＯＦＦ’の項目からなる。‘装置ＩＤ’は、他の検査装置１（＃２〜＃４、その他）の装置ＩＤを示している。‘欠陥数’は、該装置ＩＤを有する検査装置１で検出されたウェハ上の欠陥数を示している。‘総面積’は、該装置ＩＤを有する検査装置１で検出されたウェハ上の欠陥の総面積を示している。‘画像数’は、該装置ＩＤを有する検査装置１で撮像された画像数を示している。‘判定’は、該装置ＩＤを有する検査装置１によるウェハの良否（Ｇ／ＮＧ）判定の結果を示している。‘詳細情報表示’と‘欠陥表示ＯＮ／ＯＦＦ’は、それぞれ該装置ＩＤを有する検査装置１で検出された欠陥の詳細表示とオーバーレイ表示をさせるためのボタンからなる。
図１６は、検索端末５の表示部における第３の表示例を示す図である。図１６は、検索端末５にて操作者が図示しないマウスまたはキーボードを用いて、図１５における他装置での欠陥情報１２３の‘装置ＩＤ’の「ＰＡ５０１」の行における‘詳細情報表示’のボタンを操作（クリック操作等）した後の表示例を示している。「ＰＡ５０１」は、パターン検査を行うパターン検査装置１（＃２）のＩＤである。なお、図１６では、以下の説明に関する部分以外は図示を省略している。
前記表示部には、ウェハの拡大画像１３１、検査結果１０３、欠陥情報１０４等が表示される。ウェハの拡大画像１３１では、図１５の拡大画像１２１の欠陥と同一であり、検査装置１（＃２）で検出された各欠陥の画像が表示され、各欠陥には固有の番号（ラベル）が付されている。なお、例えば「１」、「５」の番号で示される欠陥のように、番号が○で囲われている欠陥画像にはリンク画像が有り、囲われていない欠陥画像にはリンク画像が無い。
検査結果１０３では、各検査装置１（＃１〜＃４、その他）による検査結果が文字表示される。欠陥情報１０４は、検査装置１（＃２）で検出された各欠陥に関する、上述したような‘ラベル’、‘欠陥名称’、‘確率’、‘重心座標’、‘面積’、‘他装置での検出’、‘リンク画像’の項目からなる。これにより操作者は、同一の欠陥について、マクロ検査で得られた画像を観察した後、パターン検査で得られた画像を観察することができる。
図１７は、検索端末５の表示部における第４の表示例を示す図である。図１７は、検索端末５にて操作者が図示しないマウスまたはキーボードを用いて、図１４におけるウェハ画像１０１上の番号「１」を選択操作（クリック操作等）した後の表示例を示している。サーバ本体４４は、検索端末５からの操作に応じて、データベース４２のレコードを検索して、顕微鏡検査を行う検査装置１（＃３）での固有情報と検査結果の情報を、ハードディスク４３（あるいはプロセスコントローラ６）から読み出し、ＬＡＮ３２（あるいはＬＡＮ３１）を介して検索端末５へ送る。検索端末５は、受け取った情報を図１７に示すように表示部に表示する。なお、図１７では、以下の説明に関する部分以外は図示を省略している。
前記表示部には、ウェハの拡大画像１４１、画像情報１４２、後述する欠陥分類変更を行うためのボタン１４３等が表示される。ウェハの拡大画像１４１では、図１４におけるウェハ画像１０１上の番号「１」で示されるマクロ検査による欠陥の画像とリンクしている顕微鏡検査による画像が表示されている。すなわち、ウェハの拡大画像１４１では、図１４のウェハ画像１０１上の欠陥と同一であり、検査装置１（＃３）で検出された欠陥の画像が表示されている。これにより操作者は、同一の欠陥について、マクロ検査で得られた画像を観察した後、顕微鏡検査で得られた画像を観察することができる。なお、マクロ検査による欠陥の画像とリンクしている顕微鏡検査による画像が無い場合は、画像１４１は表示されない。また、画像情報１４２には、リンク対象である顕微鏡検査装置１（＃３）でのウェハの固有情報が文字表示される。また、操作者がウェハの拡大画像１４１を観察し、その欠陥の種類が図１４に示す欠陥情報１０４に表示される‘欠陥名称’と異なると認識した場合、マウスまたはキーボードを用いてボタン１４３を操作（クリック操作等）し、前記‘欠陥名称’を変更することができる、この変更の情報は、後述するハードディスク４３内の欠陥分類辞書に登録される。
図１８は、検索端末５の表示部における第５の表示例を示す図である。図１８は、検索端末５にて操作者が図示しないマウスまたはキーボードを用いて、図１７におけるウェハの拡大画像１４１上の所定箇所（例えば欠陥中心部）を選択操作（クリック操作等）した後の表示例を示している。サーバ本体４４は、検索端末５からの操作に応じて、データベース４２のレコードを検索して、ＳＥＭ検査を行う検査装置１（＃４）での固有情報と検査結果の情報を、ハードディスク４３（あるいはプロセスコントローラ６）から読み出し、ＬＡＮ３２（あるいはＬＡＮ３１）を介して検索端末５へ送る。検索端末５は、受け取った情報を図１８に示すように表示部に表示する。なお、図１８では、以下の説明に関する部分以外は図示を省略している。
前記表示部には、ウェハの拡大画像１５１、画像情報１５２、後述する欠陥分類変更を行うためのボタン１４３等が表示される。ウェハの拡大画像１５１では、図１７におけるウェハの拡大画像１４１で示される顕微鏡検査による欠陥の画像とリンクしているＳＥＭ検査による画像が表示されている。すなわち、ウェハの拡大画像１５１では、図１７のウェハの拡大画像１４１の示す欠陥と同一であり、検査装置１（＃４）で検出された欠陥の画像が表示されている。これにより操作者は、同一の欠陥について、顕微鏡検査で得られた画像を観察した後、ＳＥＭ検査で得られた画像を観察することができる。なお、顕微鏡検査による欠陥の画像とリンクしているＳＥＭ検査による画像が無い場合は、画像１５１は表示されない。また、画像情報１５２には、リンク対象である検査装置１（＃４）での固有情報が文字表示される。
また、検索端末５にて操作者が図示しないマウスまたはキーボードを用いて、図１６におけるウェハの拡大画像１３１上の○で囲われている番号（「１」または「５」）を選択操作（クリック操作等）することで、検索端末５の表示部に図１８の表示を行わせることもできる。これにより操作者は、同一の欠陥について、パターン検査で得られた画像を観察した後、ＳＥＭ検査で得られた画像を観察することができる。
図１９は、上述した図１４，図１７の順に変更されるウェハの画像表示の変形例を示す図である。図１９の表示例では、検索端末５の表示部にて、マクロ検査による画像を段階的に拡大した後、顕微鏡検査による画像に切り替える。ウェハ画像２０１は、ウェハ画像１０１と同一である。操作者がマウスまたはキーボードを用いて、ウェハ画像２０１の矢印ａで示す欠陥画像を選択操作（クリック操作等）すると、その欠陥画像を中心としてマクロ検査によるウェハ画像２０２が拡大表示される。さらに、操作者がマウスまたはキーボードを用いて、ウェハ画像２０２の矢印ｂで示す拡大された欠陥画像を選択操作（クリック操作等）すると、その欠陥画像がさらに拡大表示されウェハ画像２０３となる。
次に、操作者がマウスまたはキーボードを用いて、ウェハ画像２０３の任意の部分を選択操作（クリック操作等）すると、その部分の画像とリンクしている顕微鏡画像が表示される。例えば矢印Ａの部分を選択操作した場合、その部分の画像とリンクしている顕微鏡画像２０４が表示される。また矢印Ｂの部分を選択操作した場合、その部分の画像とリンクしている顕微鏡画像が無いため、２０５に示すように何も表示されない。このように、顕微鏡画像２０４に切り替えられた後は選択操作された部分を中心に表示されるため、リンク画像が無い場合は何も表示されない。このため、ウェハ画像２０３上に、リンク画像が存在する位置を強調色等で表示することで、リンク画像のある位置を認識することができる。
なお、検索端末５の表示部には、顕微鏡画像の表示中に、マクロ検査による画像とそれにリンクしている顕微鏡画像との表示範囲の関係を示すサブ画像２０６も表示される。サブ画像２０６には、顕微鏡画像が表示される直前のウェハ画像２０３の表示範囲２０７と、リンクしている顕微鏡画像２０４の表示範囲２０８と、現在の表示範囲２０９が、それぞれ枠状に表示される。これにより操作者は、マクロ検査による画像と、リンクしている顕微鏡画像と、現在の画像の各表示範囲の関係を知ることができ、ウェハの観察をより有効に行える。
このように、マクロ検査による画像に対して選択操作することにより、選択された部分を中心としてウェハ画像が拡大表示されるとともに、所定の拡大倍率まで段階的に拡大表示される。そして、拡大画像の所定部分にリンクしている他の検査装置での画像が有る場合は、その画像を表示するよう自動的に切り替えている。例えば、前記拡大倍率が他の検査装置での画像と等倍以上になった場合に切り替えるようにする。
これにより操作者は、ウェハ画像上の欠陥を段階的に拡大して観察することができる。
図１４に示すように、検索端末５の表示部には、重ね合せ検査や膜厚測定等の詳細情報表示及びオーバーレイ表示を行うための各ボタン１０６が設けられている。重ね合せ検査や膜厚測定では、マクロ検査と同様、ウェハ全体に関する検査が行われる。これら重ね合せ検査や膜厚測定等が行われた場合、該当するボタン１０６の左側に「有り」が表示される。この状態で、操作者がマウスまたはキーボードを用いて‘詳細情報’のボタン１０６を操作（クリック操作等）すると、重ね合せ検査あるいは膜厚測定等の詳細な情報がハードディスク４３（あるいはプロセスコントローラ６）から検索端末５にダウンロードされる。検索端末５は、その詳細な情報を、前記表示部上にウインドゥで文字表示する。また、操作者が図示しないマウスまたはキーボードを用いて‘オーバーレイ’のボタン１０６を操作（クリック操作等）すると、検索端末５はダウンロードした重ね合せ検査あるいは膜厚測定等の画像データを、ウェハ画像１０１上にオーバーレイ表示する。これにより操作者は、マクロ検査により得られた欠陥画像と、重ね合せ検査や膜厚測定等で得られた欠陥画像をウェハ画像１０１上で同時に見ることができ、各欠陥の状態をより詳細に観察することができる。
また図１４に示すように、検索端末５の表示部には、ウェハ製造の複数の工程における欠陥画像をウェハ画像１０１上で重ねて表示するためのボタン１０７が設けられている。操作者がマウスまたはキーボードを用いてボタン１０７を操作（クリック操作等）すると、ウェハの品種を選択するためのウインドゥが表示される。このウインドゥ上で、操作者が画像の表示を要する複数の工程を選択操作すると、それら各工程の各検査で得られた画像データが、ハードディスク４３（あるいはプロセスコントローラ６）から検索端末５にダウンロードされる。検索端末５は、それら画像データを各工程順にウェハ画像１０１上で経時的に重ねて表示する。なお、欠陥画像の色を工程毎に変えて表示すれば、欠陥の発生した状態をより認識しやすくなる。このように、ウェハ製造の複数の工程における各検査装置での欠陥画像を工程毎に順番に重ね合わせて表示することにより、操作者は欠陥がどの工程で発生しているのかを認識することができ、欠陥発生の要因を容易に把握することができる。
また、操作者がマウスまたはキーボードを用いて、図１４に示す検査結果１０３の所望の検査装置１（＃１〜＃４、その他）の項目を選択操作（クリック操作等）することにより、その検査装置による検査結果の詳細情報及び画像を別ウィンドウに表示するか、あるいはウェハ画像１０１を該検査装置の画像に切り替えて表示することができる。
また図１５に示すように、検索端末５の表示部に表示される他装置での欠陥情報１２３では、対象となる種類の欠陥の検出を行いやすい検査装置１の情報が優先して表示される。すなわち図１５では、欠陥情報１２２に示されているように欠陥の名称は‘デフォーカス’であるため、他装置での欠陥情報１２３では、デフォーカスの欠陥の検出を行いやすい検査装置１（‘ＰＡ５０１’、‘ＬＡ５０５’）の順に、検査結果が表示されている。これにより操作者は、観察を要する欠陥を検出している検査装置での検査結果や画像を優先して見ることができる。
また、操作者がマウスまたはキーボードを用いて、図１４に示すボタン１０８を操作（クリック操作等）すると、再分類処理が行われる。サーバ本体４４は、この検索端末５からの操作に応じて、データベース４２のレコードを参照し、ハードディスク４３内の各検査装置の検査結果に示される欠陥情報を元に、検出された欠陥の分類を行う。例えば、異物検査装置によりウェハの端部に異物が検出され、膜厚検査装置により前記異物に対応する部分で筋状の膜厚異常が検出された場合、サーバ本体４４はその欠陥をコメットと分類する。また、マクロ検査装置によりウェハに異常が検出され、重ね合わせ検査装置により重ね異常が検出された場合、サーバ本体４４はその欠陥をマスクずれと分類する。また、マクロ検査装置によりウェハに異常が検出され、パターン検査装置によりパターン検査が検出された場合、サーバ本体４４はその欠陥をデフォーカスと分類する。それらの分類結果は、サーバ本体４４から検索端末５へ送られ、図１４に示す欠陥情報１０４に表示される。
サーバ本体４４は、ハードディスク４３内の各欠陥情報を分類して欠陥分類辞書に登録する機能を有しており、さらにこの欠陥分類辞書に登録された欠陥の分類情報を学習して分類を容易にする機能を有している。このような欠陥情報の分類機能と分類辞書への登録機能は、サーバ本体４４の設定により自動で実行させるか、操作者による手動操作で実行させるかを選択できる。さらに、自動で実行させる場合は、サーバ本体４４の処理速度の低下が予測されるため、サーバ本体４４とは別のコンピュータで処理を行うことが有効である。
またサーバ本体４４は、各検査装置１（＃１〜＃４、その他）での検査結果から、対象となるウェハの合否判定を行い、その判定結果を検索端末５へ送る。検索端末５では、受け取った判定結果を表示部に表示するとともに、不合格である場合には警告を表示する。
また、ハードディスク４３あるいはデータベース４２に記憶されている検査結果の情報は、定期的にバックアップ装置４１のバックアップメディアに保存される。このバックアップ処理は、サーバ本体４４が、製品が完成または出荷された旨を示す情報をプロセスコントローラ６から受けることで自動的に動作される。このバックアップ処理では、データベース４２の情報を基に、該当する製品の各工程の画像情報等が一括してバックアップされる。バックアップ装置４１では、バックアップ時にバックアップオートローダを用いて製品名のソートを行い、１巻のテープに同じ製品の各ロットの情報を保存することができる。バックアップ装置４１は、各テープが一杯になった時に警告を表示し、他のテープに保存するかテープを交換するかの判断を仰ぐ。
検査装置１（＃１）は、マクロ検査で異常が発生した場合、他の検査装置で検査が必要である旨を、欠陥座標、検査結果等の情報とともに、ＬＡＮ３２、画像サーバ４、及びＬＡＮ３１を介してプロセスコントローラ６へ通知する機能を有している。プロセスコントローラ６は、その通知を受けた場合、検査を要する検査装置へ検査を行うよう指示する。
また、ＬＡＮ３１に接続されたインターネットに検索端末５を接続することで、検査状況をＷｅｂを介してモニタリングすることもできる。これにより、ライン管理者は、工場内に限らず遠隔地でも画像サーバ部４を操作でき、検査結果を知ることができる。また、検査工程に異常が発生した場合は、プロセスコントローラ６がその旨をＷｅｂ上で表示するとともに、予め指定されているメールアドレスに配信するよう構成することで、ライン管理者は、工場内に限らず遠隔地でも異常発生を知ることができる。また、工場内のライン用ＬＡＮ３１と画像転送用のＬＡＮ３２とは別系統であるため、双方の通信ラインの負荷を軽減することができる。
以上述べたように本発明によれば、画像データの保存を効率よく行うことができるとともに、バックアップデータの能率的な管理を実現する画像データファイル管理システム及び方法を提供できる。
本発明は上記各実施の形態のみに限定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施できる。
産業上の利用可能性
本発明によれば、画像データの管理を効率よく行うことができる画像データファイル管理システム及び方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る画像データファイル管理システムの概略構成を示す図。
図２は、本発明の第１の実施の形態に係る検査装置側での検査処理の手順を示すフローチャート。
図３Ａは、本発明の第１の実施の形態に係る結果保存処理の手順を詳細に示すフローチャート。
図３Ｂは、本発明の第１の実施の形態に係る画像データの圧縮処理の手順を示すフローチャート。
図４は、本発明の第１の実施の形態に係る画像データの圧縮保存を説明するための図。
図５は、本発明の第１の実施の形態に係る画像データの圧縮保存を説明するための図。
図６は、本発明の第１の実施の形態に係るサーバ側での処理手順を示すフローチャート。
図７は、本発明の第１の実施の形態に係るデータベースに登録される画像データに関するレコードを示す図。
図８Ａ〜図８Ｅは、本発明の第１の実施の形態に係るデータベースに登録される各レコードを示す図。
図９は、本発明の第１の実施の形態に係る検査画像の一覧表示の例を示す図。
図１０は、本発明の第２の実施の形態に係る画像データファイル管理システムの概略構成を示す図。
図１１は、本発明の第２の実施の形態に係る検査結果ファイルの一例を示す図。
図１２は、本発明の第２の実施の形態に係るデータベースに登録される画像データに関するレコードを示す図。
図１３は、本発明の第２の実施の形態に係る図１２に示したレコードとリンクする画像データに関するレコードを示す図。
図１４は、本発明の第２の実施の形態に係る検索端末の表示部における第１の表示例を示す図。
図１５は、本発明の第２の実施の形態に係る検索端末の表示部における第２の表示例を示す図。
図１６は、本発明の第２の実施の形態に係る検索端末の表示部における第３の表示例を示す図。
図１７は、本発明の第２の実施の形態に係る検索端末の表示部における第４の表示例を示す図。
図１８は、本発明の第２の実施の形態に係る検索端末の表示部における第５の表示例を示す図。
図１９は、本発明の第２の実施の形態に係るウェハの画像表示の変形例を示す図。
【図１】
2002023480.tif 000003
【図２】
2002023480.tif 000004
【図３Ａ】
2002023480.tif 000005
【図３Ｂ】
2002023480.tif 000006
【図４】
2002023480.tif 000007
【図５】
2002023480.tif 000008
【図６】
2002023480.tif 000009
【図７】
2002023480.tif 000010
【図８Ａ】
2002023480.tif 000011
【図８Ｂ】
2002023480.tif 000012
【図８Ｃ】
2002023480.tif 000013
【図８Ｄ】
2002023480.tif 000014
【図８Ｅ】
2002023480.tif 000015
【図９】
2002023480.tif 000016
【図１０】
2002023480.tif 000017
【図１１】
2002023480.tif 000018
【図１２】
2002023480.tif 000019
【図１３】
2002023480.tif 000020
【図１４】
2002023480.tif 000021
【図１５】
2002023480.tif 000022
【図１６】
2002023480.tif 000023
【図１７】
2002023480.tif 000024
【図１８】
2002023480.tif 000025
【図１９】
2002023480.tif 000026
【手続補正書】
【提出日】平成14年1月17日(2002.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（補正後）被検体の画像を取得する撮像部と、
この撮像部で撮像された画像データを画像処理して検査結果を取得する検査部と、
前記検査結果に応じた圧縮率で前記画像データを圧縮させる圧縮部と、
この圧縮部から出力される画像データを保存する画像サーバと、
を具備し、
前記検査部は、前記撮像部で撮像して得た前記被検体の画像データを画像処理して欠陥データを検出し、前記被検体の良否を判定する検査結果を出力する欠陥検査装置であり、
前記圧縮部は、前記検査部で良と判定された前記画像データに対し非可逆圧縮し、否と判定された前記画像データに対して可逆圧縮することを特徴とする画像データファイル管理システム。
【請求項２】
削除
【請求項３】
（補正後）前記撮像部、前記検査部、及び前記圧縮部により前記欠陥検査装置を構成し、この欠陥検査装置は、生産ライン内に配置され、通信回線を介して前記生産ライン外に配置された画像サーバに接続されることを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項４】
（補正後）前記圧縮部は、マスター画像と前記被検体の検査画像との差分画像を圧縮処理することを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項５】
（補正後）前記圧縮部は、マスター画像の輝度値に対する標準偏差値を超える前記マスター画像と前記被検体の検査画像の差分のみを圧縮処理することを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項６】
（補正後）前記画像サーバは、さらにデータベース部とバックアップ部を有し、
前記バックアップ部は、前記画像データを所定数まとめてバックアップ保存し、
前記データベース部は、前記画像データの保存場所を記憶するとともに、前記画像データをバックアップ保存する前記バックアップ部の識別子を記憶することを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項７】
（補正後）前記画像サーバは、テンポラリーディレクトリを定期的に監視し、該テンポラリーディレクトリに保存されたファイル名に基づいて前記画像データを所定の規則に従ってディレクトリ構造に移動することを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項８】
被検体の画像データを取得する画像取得ステップと、
前記画像取得ステップで取得された画像データに対する前記被検体の良否判定の欠陥情報を取得する情報取得ステップと、
前記画像取得ステップで取得された画像データを前記情報取得ステップで取得された否判定情報に基づき可逆圧縮処理し、良判定情報に基づき非可逆圧縮処理して、各画像データファイルを作成するファイル作成ステップと、
前記ファイル作成ステップで作成された画像データファイルを記録する画像データ記録ステップと、
を含む画像データファイル管理方法。
【請求項９】
被検体の画像を取得し、その画像データを画像処理して各種検査結果を取得する複数の検査部と、
前記各検査部で取得された各画像データ同士を前記被検体の情報に関連付けて保存する画像サーバと、
を具備したことを特徴とする画像データファイル管理システム。
【請求項１０】
前記画像サーバに保存された画像データを表示する操作端末を有し、
前記操作端末は、関連付けされている前記各検査部で取得された各画像データを選択的に表示することを特徴とする請求項９記載の画像データファイル管理システム。
【請求項１１】
削除
【請求項１２】
（追加）前記画像データに対し縮小画像を作成して一覧表示することを特徴とする請求項７記載の画像データファイル管理システム。
【請求項１３】
（追加）前記各検査部は、前記被検体の欠陥を拡大して合否判定するミクロ検査装置であって、前記圧縮部は合格と判断されたミクロ画像を高圧縮し、不合格と判断されたミクロ画像を低圧縮することを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項１４】
（追加）前記画像サーバはハードディスクの保存容量を監視し、該容量が所定量以下になった場合に前記圧縮率を変更することを特徴とする請求項１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項１５】
（追加）前記各検査部は、前記画像サーバ内のレシピエリアから前記被検体の固有情報をダウンロードし、作成したレシピに従って検査を行うことを特徴とする請求項９記載の画像データファイル管理システム。
【請求項１６】
（追加）前記画像サーバは、テンポラリディレクトリを監視し、前記各検査部から送られた検査結果の履歴管理を行うことを特徴とする請求項９記載の画像データファイル管理システム。
【請求項１７】
（追加）前記画像サーバは、前記画像データの情報と他の前記検査部の検査結果とを比較し、同一座標における欠陥の有無を判断することを特徴とする請求項９記載の画像データファイル管理システム。
【請求項１８】
（追加）前記画像サーバは、前記各検査部から送られた検査結果のファイルのフォーマット形式に沿って前記検査結果の情報の変換を行い、データベースに登録することを特徴とする請求項９記載の画像データファイル管理システム。
【請求項１９】
（追加）前記データベースのリンク画像データに関するレコードに、所定の画像データとリンクしている画像データの数と各ＩＤが記憶されることを特徴とする請求項１８記載の画像データファイル管理システム。
【請求項２０】
（追加）前記検査部は、前記被検体の全面を検査するマクロ検査装置と欠陥部分を拡大して検査するミクロ検査装置であって、
前記画像サーバに保存された画像データを表示する操作端末を有し、
前記操作端末は、前記被検体の全形の画像上に、前記マクロ検査装置で検出された欠陥の画像を各欠陥固有のラベルを付して表示し、この各欠陥固有のラベルと関連するリンク画像データの有無を同一画面上に表示することを特徴とする請求項９記載の画像データファイル管理システム。
【請求項２１】
（追加）前記操作端末は、前記欠陥固有のラベルが選択されると、そのラベルの欠陥画像を拡大表示し、かつ前記データベースのリンク画像データに関するレコードを検索し、他の前記検査部での検査結果の情報を表示することを特徴とする請求項２０記載の画像データファイル管理システム。
【請求項２２】
（追加）前記操作端末は、前記他の検査部での欠陥表示が選択されると、この検査部で検出された欠陥のオーバーレイ表示を行うことを特徴とする請求項２１記載の画像データファイル管理システム。
【請求項２３】
（追加）前記操作端末は、所定の操作により指定された前記検査部による画像の所定箇所に対応する他の画像または他の前記検査部の情報を表示することを特徴とする請求項１０記載の画像データファイル管理システム。
【請求項２４】
（追加）前記操作端末は、所定の操作に従い前記マクロ検査装置により検出された欠陥のマクロ画像を段階的に拡大表示し、このマクロ欠陥の拡大表示内にリンクしている前記ミクロ検査装置の画像位置を表示し、この画像位置が選択操作されることで、前記欠陥とリンクする前記ミクロ検査装置の画像を表示することを特徴とする請求項２０記載の画像データファイル管理システム。
【請求項２５】
（追加）前記操作端末は、前記マクロ検査装置により検出された欠陥の拡大表示の表示範囲に、この表示範囲内にリンクしている前記ミクロ検査装置の画像の表示範囲と現在表示されている表示範囲の関係を表示することを特徴とする請求項２４記載の画像データファイル管理システム。
【請求項２６】
（追加）前記操作端末は、前記被検体の複数の製造工程順に各欠陥画像を前記被検体の全形の画像上に重ねて表示することを特徴とする請求項１０記載の画像データファイル管理システム。
【請求項２７】
（追加）前記操作端末は、前記各欠陥画像を工程毎に色を変えて表示することを特徴とする請求項２６記載の画像データファイル管理システム。
【請求項２８】
（追加）前記操作端末は、対象となる欠陥の種類に応じて該欠陥を検出しやすい前記検査部の情報を優先して表示することを特徴とする請求項１０記載の画像データファイル管理システム。
【請求項２９】
（追加）前記画像サーバは、前記検査結果のバックアップ処理を出荷情報を基に行うことを特徴とする請求項６記載の画像データファイル管理システム。
【請求項３０】
（追加）前記検査部は、マクロ検査で異常が発生した場合、他の前記検査部で検査が必要である旨を通知することを特徴とする請求項９記載の画像データファイル管理システム。
【国際調査報告】
2002023480.tif 000027
2002023480.tif 000028
2002023480.tif 000029
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