(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
針状の放電電極と、該放電電極に隣接して設けられた導電材料からなる接地電極と、該放電電極及び接地電極間に交流高電圧を印加して交流コロナ放電を生ぜしめる交流高圧電源とを備え、該放電電極及び接地電極間の交流コロナ放電により正負の空気イオンを大気中に生成・放出する交流式イオン生成装置において、前記接地電極は、前記針状の放電電極の先端側に該放電電極の軸心と直交する方向に延在して設けられた棒状の接地電極であり、該接地電極の外周面に管状の絶縁体を挿着して該接地電極を該絶縁体により被覆すると共に該管状の絶縁体に該接地電極を部分的に露出させる環状のスリットを形成し、前記接地電極の長手方向における前記スリットの形成位置または幅を、前記交流コロナ放電により大気中に生成・放出される正負の空気イオンの量の割合が所定割合となるように設定したことを特徴とする交流式イオン生成装置。
【請求項２】
針状の放電電極と、該放電電極に隣接して設けられた導電材料からなる接地電極と、該放電電極及び接地電極間に交流高電圧を印加して交流コロナ放電を生ぜしめる交流高圧電源とを備え、該放電電極及び接地電極間の交流コロナ放電により正負の空気イオンを大気中に生成・放出する交流式イオン生成装置において、前記接地電極は、前記針状の放電電極の先端側に該放電電極の軸心と直交する方向に延在して設けられた棒状の接地電極であり、該接地電極の外周面に管状の絶縁体を挿着して該接地電極を該絶縁体により被覆すると共に該管状の絶縁体にその長手方向に延在するスリットを形成して該スリットにより該接地電極を部分的に露出させ、前記接地電極の軸心まわり方向における前記スリットの形成位置を、前記交流コロナ放電により大気中に生成・放出される正負の空気イオンの量の割合が所定割合となるように設定したことを特徴とする交流式イオン生成装置。
【請求項３】
前記絶縁体は、前記接地電極の軸心まわりに回動自在に該接地電極に挿着され、該絶縁体の回動により、前記スリットの前記放電電極に対する位置を変更可能としたことを特徴とする請求項２記載の交流式イオン生成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、空気中で交流のコロナ放電を発生させて、正負の空気イオンを大気中に生成・放出する交流式イオン生成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
交流式イオン生成装置は、放電電極と、これに隣接して設けた導電材料からなる接地電極との間に交流高圧電源から交流高電圧を印加して、大気中に交流のコロナ放電を生ぜしめ、そのコロナ放電により、大気中に正負の空気イオンを交互に生成・放出するものであり、放電電極に正の電圧が印加される半サイクルにおいて正の空気イオンが生成されて放出され、負の電圧が印加される半サイクルにおいて負の空気イオンが生成されて放出される。
【０００３】
そして、このような交流式イオン生成装置は、大気中に生成・放出される正負の空気イオンによって、帯電物の電荷を中和することが可能であるため、一般に、帯電体の除電を行うために使用される。
【０００４】
ところで、このような除電を行う場合、要求される除電の程度や、除電を行う帯電物の性質、あるいは環境等によって、正負の空気イオンのバランス量（生成・放出される正負の空気イオンの量の相対的な割合）を的確に設定しておく必要がある。
【０００５】
すなわち、前記交流式イオン生成装置を用いて帯電体を除電する場合、一般には、正負いずれかの空気イオンの量が他方に較べて多いと、その量の多い空気イオンによって、その空気イオンの極性でもって帯電体が帯電してしまう。このため、基本的には交互に生成・放出される正負の空気イオンの量がほぼ均等となるようなバランス量に設定しておくことが必要である。但し、正負いずれかに帯電し易い帯電体の除電や、正負いずれかの帯電を生じ易い環境下での除電に際しては、帯電体の充分な除電を行うためには、正負の空気イオンのバランス量を正負いずれかにある程度偏らせるように設定しておくことが必要である。
【０００６】
また、特に、半導体製品の製造ライン等において除電を行う場合には、帯電体の僅かな帯電が製造上の支障をきたす虞れが高いため、正負の空気イオンのバラス量を除電環境等に則して確実に所望のバランス量に設定しておく必要がある。
【０００７】
一方、前記交流式イオン生成装置にあっては、一般に、正負の空気イオンのバランス量は、放電電極と接地電極との間に印加する正負の高電圧の値の影響を受けるものの、その正負の高電圧の値だけで正負の空気イオンのバランス量が定まるわけではなく、放電電極と接地電極との位置関係やそれらの形状等、種々の要因の影響を受ける。また、同じ構成の交流式イオン生成装置であっても、該装置の製造精度等に起因して正負の空気イオンのバランス量のばらつきを生じる場合もある。
【０００８】
このため、従来の交流式イオン生成装置においては、通常、放電電極と接地電極との間に印加する正負の高電圧の値をそれぞれ調整し得るように交流高圧電源を構成し、その正負の高電圧の値をそれぞれ適宜調整することで、正負の空気イオンのバランス量を所望のバランス量に設定するようにしていた。
【０００９】
しかしながら、このように放電電極と接地電極との間に印加する高電圧を調整するためには、高電圧電源の構成が複雑なものとならざるを得ず、また、コスト的にも高価なものとなるという不都合があった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる不都合を解消し、大気中に生成・放出する正負の空気イオンのバランス量を極めて簡単な構成でしかも安価に所望のバランス量に設定することができる交流式イオン生成装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本願発明者等は、種々の検討の結果、交流式イオン生成装置の導体材料からなる接地電極を塩化ビニル等の絶縁体により被覆すると共に、その絶縁体に接地電極の露出箇所を部分的に形成すると、その露出箇所の位置や大きさ等、該露出箇所の形成の仕様によって、正負の空気イオンのバランス量が変化し、該露出箇所を適切に形成することで該バランス量の所望のバランス量に設定することが可能であることを知見した。
【００１２】
そこで、本発明は前記の目的を達成するために、針状の放電電極と、該放電電極に隣接して設けられた導電材料からなる接地電極と、該放電電極及び接地電極間に交流高電圧を印加して交流コロナ放電を生ぜしめる交流高圧電源とを備え、該放電電極及び接地電極間の交流コロナ放電により正負の空気イオンを大気中に生成・放出する交流式イオン生成装置において、前記接地電極は、前記針状の放電電極の先端側に該放電電極の軸心と直交する方向に延在して設けられた棒状の接地電極であり、該接地電極の外周面に管状の絶縁体を挿着して該接地電極を該絶縁体により被覆すると共に該管状の絶縁体に該接地電極を部分的に露出させる環状のスリットを形成し、前記接地電極の長手方向における前記スリットの形成位置または幅を、前記交流コロナ放電により大気中に生成・放出される正負の空気イオンの量の割合が所定割合となるように設定したことを特徴とする。
【００１３】
あるいは、針状の放電電極と、該放電電極に隣接して設けられた導電材料からなる接地電極と、該放電電極及び接地電極間に交流高電圧を印加して交流コロナ放電を生ぜしめる交流高圧電源とを備え、該放電電極及び接地電極間の交流コロナ放電により正負の空気イオンを大気中に生成・放出する交流式イオン生成装置において、前記接地電極は、前記針状の放電電極の先端側に該放電電極の軸心と直交する方向に延在して設けられた棒状の接地電極であり、該接地電極の外周面に管状の絶縁体を挿着して該接地電極を該絶縁体により被覆すると共に該管状の絶縁体にその長手方向に延在するスリットを形成して該スリットにより該接地電極を部分的に露出させ、前記接地電極の軸心まわり方向における前記スリットの形成位置を、前記交流コロナ放電により大気中に生成・放出される正負の空気イオンの量の割合が所定割合となるように設定したことを特徴とする。
【００１４】
さらに、上記のように前記絶縁体の長手方向に延在するスリットを形成した場合には、前記絶縁体は、前記接地電極の軸心回りに回動自在に該接地電極に挿着され、該絶縁体の回動により、前記スリットの前記放電電極に対する位置を変更可能としたことを特徴とする。
【００１５】
【作用】
本発明によれば、前記接地電極を被覆して設けた前記絶縁体に、該接地電極を部分的に露出させる前記スリットを適切な位置や大きさ等でもって形成することで、正負の空気イオンの量の割合（バランス量）を所望の割合に設定することが可能となる。
【００１６】
この場合、本願発明者等の知見によれば、前記絶縁体の露出箇所を前記放電電極に対向する箇所に設けるよりも、該対向箇所から離間する箇所に設けた方が該露出箇所の形成による正負の空気イオンの量の割合の変化を生じやすく、従って、該露出箇所を放電電極に対向する箇所から離間させる箇所に設けることで、正負の空気イオンの量の割合を所望の割合に設定し易くなる。
【００１７】
さらに、前記絶縁体の長手方向に延在するスリットを形成した場合において、該絶縁体の回動により、前記スリットの前記放電電極に対する位置を変更可能としたときには、該スリットの位置を調整することで、正負の空気イオンの量の割合を種々の割合に設定することが可能となる。
【００１８】
【実施例】
本発明の一例を図１乃至図３を参照して説明する。図１は本実施例のイオン生成装置及び該装置の作動試験を行うための帯電プレートモニタ装置の説明的構成図、図２は図１のイオン生成装置の一部を破断して示した拡大図、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【００１９】
図１乃至図３を参照して、本実施例のイオン生成装置は、複数（本実施例では例えば１３個）の針状の放電電極１と、その先端側に隣接して設けられた導体材料からなる棒状の一対の接地電極２，２と、これらの複数の放電電極１及び一対の接地電極２，２間に交流高電圧を印加する交流高圧電源３とを備え、放電電極１は、これを保持する管状の絶縁材料からなる柄部４の長手方向に等間隔で一列に配列されて、該柄部４の内部から該柄部４と直交する方向に突出されている。
【００２０】
柄部４の内部には、その中心部に棒状の金属芯線５が内挿され、この金属芯線５にはさらに絶縁材料から成る絶縁チューブ６が外挿されている。金属芯線５の一端部には、ケーブル７が接続され、このケーブル７を介して金属芯線５が交流高圧電源３に接続されている。また、絶縁チューブ６には各放電電極１に対応する位置で放電電極１と同数の円筒形の導体材料からなる集電環８が外挿され、これらの集電環８の間には、該集電環８と同様に絶縁チューブ６に外挿された円筒形の絶縁材料からなるスペーサ９が介装されている。そして、各放電電極１は、その基端部が各集電環８の外周面に電気的に導通した状態で固着され、その先端部が集電環８の外側の柄部４を貫通して該柄部４の外方に突出されている。
【００２１】
この場合、絶縁チューブ６は、交流高圧電源３からケーブル７を介して金属芯線５に付与される交流高電圧に対して、各集電環８と金属芯線５との間に該絶縁チューブ６を誘電体とするコンデンサを形成するものである。これにより、各放電電極１には、交流高圧電源３からコンデンサを介して交流高電圧が付与されることとなる。尚、このようにコンデンサを形成したのは、放電電極１が誤って接地されたとき等に該コンデンサにより過大な電流が流れるのを阻止するためである。
【００２２】
一対の接地電極２，２は、放電電極１の先端側の両側に該放電電極１の配列方向に沿って延在して設けられ、それぞれその両端部が柄部４の両端部外周面に形成されたフランジ１０，１１にネジ１２を介して固定されている。そして、一方のフランジ１１側には、両接地電極２，２間に延在する金属連結板１３が両接地電極２，２と併せてネジ１２により固定され、この金属連結板１３を介して両接地電極２，２が互いに短絡されている。この金属連結板１３には、アース線１４が接続されており、該アース線１４を介して両接地電極２，２が適宜の接地部１５に接地されている。尚、該接地部１５には交流高圧電源３も接地されている。
【００２３】
各接地電極２の外周面には、フランジ１０，１１間の全長にわたって、例えば塩化ビニルからなる管状の絶縁体１６が挿着されている。この絶縁体１６には、各接地電極２を部分的に露出させた複数の環状のスリット１７（露出箇所）が各接地電極２の長手方向に等間隔で形成されている。
【００２４】
本実施例では、各スリット１７は、一列に並んでいる放電電極１の２個おきに、互いに隣合う放電電極１同士の間の中央箇所に位置するように等間隔で配列されており、各放電電極２の先端に対向する箇所から離間した位置に形成されている。また、各スリット１７の幅は互いに同一とされている。具体的には、放電電極１のピッチは例えば２５ｍｍで、スリット１７のピッチは５０ｍｍ、各スリット１７の幅は１ｍｍである。尚、管状の絶縁体１６の肉厚は０．８ｍｍ、各接地電極２の外径は６ｍｍである。
【００２５】
このような配置及び幅でもって絶縁体１６にスリット１７を形成することで、本実施例のイオン生成装置により生成・放出される正負の空気イオンの量が後述するように均等になる。
【００２６】
次に、本実施例のイオン生成装置の作動及びその作動試験について説明する。
【００２７】
本実施例のイオン生成装置において、交流高圧電源３を起動すると、従来の装置と同様に各放電電極１と接地電極２，２の間に交流高電圧が印加されてコロナ放電が生じ、そのコロナ放電により正負の空気イオンが大気中に生成されて、その一部が放電電極１の前方に放出される。そして、放電電極１の前方に図示しない帯電体を配置すれば、生成・放出される正負の空気イオンにより帯電体の除電がなされる。
【００２８】
このとき、本実施例のイオン生成装置では、各接地電極２に、前述のようにスリット１７を形成した絶縁体１６を挿着したことにより、生成・放出される正負の空気イオンの量が均等となって、基本的には、帯電体の除電を効果的に行うことができる。
【００２９】
ここで、このようなイオン生成装置に関し、本願発明者等が行った作動試験について説明する。
【００３０】
図１において、参照符号Ａを付したものは、本作動試験に使用した帯電プレートモニタ装置である。この帯電プレートモニタ装置Ａは、表面電位測定器ａや高圧電源ｂ、タイマｃ等を内蔵した本体部ｄと、この本体部ｄ上に複数の絶縁物ｅを介して取付けられた金属製プレートｆとにより構成され、高圧電源ｂにより、プレートｆを所望の電位に帯電させることができるようになっていると共に、該プレートｆの電位を表面電位測定器ａにより測定することができるようになっている。また、プレートｆを例えば＋１０００Ｖ又は−１０００Ｖに帯電させた状態から該プレートｆの電位が＋１００Ｖ又は−１００Ｖに減衰するまでの時間をタイマｃにより計測することができるようになっている。
【００３１】
このような帯電プレートモニタ装置Ａを用いて本願発明者等は次のような試験を行った。
【００３２】
すなわち、まず、帯電プレートモニタ装置Ａの金属製プレートｆを放電電極１の前方に図１に示すように配置し、この状態で本実施例のイオン生成装置を作動させて金属製プレートｆに生じる電位（以下、オフセット電圧という）を測定した（試験１）。この場合、オフセット電圧は、生成・放出される正負の空気イオンの量が均等であれば０Ｖとなり、正負いずれかに偏っていれば、量の多い側の空気イオンによって金属製プレートｆが帯電するため、正又は負の電圧となり、また、その電圧は正負の空気イオンの量の偏りが大きい程、大きくなる。
【００３３】
次に、本願発明者等は、金属製プレートｆを＋１０００Ｖに帯電させた状態で、本実施例のイオン生成装置を作動させ、この時、金属製プレートｆの電位が＋１００Ｖに減衰するまでの時間を測定した（試験２）。同様に、金属製プレートｆを−１０００Ｖに帯電させた状態から金属製プレートｆの電位が−１００Ｖに減衰するまでの時間を測定した（試験３）。
【００３４】
また、本願発明者等は、上記の各試験１乃至３との比較のために、前記接地電極２，２の全体をスリットの無い塩化ビニルの絶縁体で被覆した場合（比較例１）と、該接地電極２，２に絶縁体１６を挿着せずに、該接地電極２，２の全体を露出させた場合（比較例２）とで、前記各試験１乃至３と同じ試験を行った。
【００３５】
これらの試験１乃至３の試験結果を表１に示す。尚、いずれの試験においても、放電電極１の個数等は前述の通りであり、また、放電電極１及び接地電極２，２間に印加する交流高電圧は、±７ｋＶである。
【００３６】
【表１】
0003732547.tif 000002
【００３７】
表１に示すように、本実施例のものでは、オフセット電圧は０Ｖであり、このことは、生成・放出される正負の空気イオンの量が均等になっていることを示している。これに対して前記比較例１及び比較例２のものでは、オフセット電圧はそれぞれ負の電圧及び正の電圧となっており、このことは、正負の空気イオンのバランス量がそれぞれ負側及び正側に偏っていることを示している。このことから、本実施例のものでは、前述のように絶縁体１６に接地電極の２，２を露出させたスリット１７を形成したことで、生成・放出される正負の空気イオンの量を均等なものとすることができることが判る。
【００３８】
また、前記試験２及び試験３の減衰時間を見ると、本実施例のものでは、正負の空気イオンの量が均等になっているため、前記金属製プレートｆを正に帯電した場合（試験２）と負に帯電した場合（試験３）とで、その帯電電位の減衰時間はほぼ同等なものとなっている。これに対して、前記比較例１及び比較例２のものでは、正負の空気イオンのバランス量が負側あるいは正側に偏っているため、金属製プレートｆを正に帯電した場合（試験２）と負に帯電した場合（試験３）とで、その帯電電位の減衰時間が比較的大きく相違したものとなる。例えば比較例１のものでは、正負の空気イオンのバランス量が負側に偏っているため、金属製プレートｆを正に帯電した場合（試験２）の減衰時間は短いものとなるが、金属製プレートｆを負に帯電した場合（試験３）の減衰時間は比較的長いものとなる。
【００３９】
このことから、本実施例のイオン生成装置によれば、図示しない帯電体の除電を行う場合、該帯電体が正負いずれに帯電していても、ほぼ同等の比較的短い時間で除電を行うことができることが判る。
【００４０】
尚、本実施例では、生成・放出される正負の空気イオンの量が均等になるようにスリット１７を形成したが、スリット１７を設ける位置あるいは幅（接地電極２の露出箇所の大きさ）を適宜に設定することで、正負の空気イオンのバランス量を正側あるいは負側に偏らせる等、本実施例と異なるバランス量に設定することも可能である。この場合、ここでは、試験データを省略するが、例えばスリット１７の幅を本実施例のものより小さくしたり、大きくしたりすると、そのスリット１７の幅に応じて、換言すれば、接地電極２の露出箇所の大きさに応じて正負の空気イオンのバランス量が変化する。
【００４１】
また、本実施例では、スリット１７を放電電極１の先端に対向する箇所から離間した箇所に形成したが、本願発明者等の各種検討によれば、スリット１７を放電電極１の先端に対向する箇所に形成した場合には、該スリット１７の幅を変化させたりしても、接地電極２の全体を露出させた従来の場合と比較して正負の空気イオンのバランス量の変化を生じにくい。これは、スリット１７を放電電極１の先端に対向する箇所に形成した場合と接地電極２の全体を露出させた従来の場合とで放電電極１及び接地電極２間の放電状態の差異が生じにくいためと考えられる。従って、正負の空気イオンのバランス量を所望のバランス量に設定するためには、本実施例のように、スリット１７を放電電極１の先端に対向する箇所から離間した箇所に形成することが好ましい。
【００４２】
次に、本発明の他の例を図４及び図５を参照して説明する。図４は本実施例のイオン生成装置の説明的構成図、図５は図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【００４３】
尚、本実施例のイオン生成装置は、前述の実施例のイオン生成装置と、接地電極に挿着する絶縁体の構成のみが異なり、他の構成は同一である。従って、以下、説明に際して前述の実施例のものと同一構成のものについては、同一の参照符号を付して説明を省略する。
【００４４】
本実施例のイオン生成装置においては、前記接地電極２，２に、その全長にわたって例えば塩化ビニルからなる管状の絶縁体１８，１８が挿着され、この各絶縁体１８には、その長手方向に全長にわたって一条のスリット１９（接地電極２の露出箇所）が形成されている。各絶縁体１８は、各接地電極２に回動自在に挿着されている。この場合、絶縁体１８の肉厚は前述の実施例の絶縁体１６と同じ０．８ｍｍで、スリット１９の幅は１ｍｍである。
【００４５】
また、前記フランジ１１には、図５に示すように、絶縁体１８を回動させたときのスリット１９の回転位置を示す目盛りが付されている。
【００４６】
かかるイオン生成装置にあっては、放電電極１と接地電極２，２との間に交流高圧電源３から交流高電圧を印加して正負の空気イオンを生成・放出する際、絶縁体１８を回動させてそのスリット１９を適宜の回転位置に設定することで、正負の空気イオンのバランス量を種々のバランス量の設定することができる。
【００４７】
ここで、このことを示す本願発明者等が行った試験について説明する。
【００４８】
本願発明者等は、本実施例のイオン生成装置について、前述の帯電プレートモニタ装置Ａ（図１参照）を用い、前述の試験１乃至３と同様の試験を、絶縁体１８のスリット１９を種々の回転位置に設定して行い、オフセット電圧と、前記金属製プレートｆを正及び負に帯電させた場合のそれぞれの帯電電位の減衰時間とを測定した。尚、放電電極１及び接地電極２，２間に印加する交流高電圧は、±７ｋＶである。その試験結果を表２に示す。表２において、スリット１９の回転位置は、図５に示した目盛り値により表した。
【００４９】
【表２】
0003732547.tif 000003
【００５０】
表２を参照して明らかなように、正負の空気イオンのバランス量を示すオフセット電圧は、スリット１９の回転位置によって変化し、例えばスリット１９の回転位置を図５の目盛り値“５”の位置に設定すると、正負の空気イオンの量をほぼ均等にすることができることが判る。そして、この目盛り値“５”の位置では、正負の空気イオンの量がほぼ均等になるため、帯電プレートモニタ装置Ａの金属製プレートｆを正に帯電させた場合と負に帯電させた場合とで、帯電電位の減衰時間もほぼ均等になる。
【００５１】
また、スリット１９の回転位置を示す図５の目盛り値が“０”〜“５”の範囲では、オフセット電圧が概ね０〜−８０Ｖの負側の電圧範囲で変化するので、スリット１９の回転位置を目盛り値“０”〜“５”の範囲で適宜設定することにより、オフセット電圧が０〜−８０Ｖとなる範囲で正負の空気イオンのバランス量を負側に偏った所望のバランス量に設定することができることが判る。同様に、目盛り値が“５”〜“７”の範囲では、オフセット電圧が概ね０〜＋３６０Ｖの正側の電圧範囲で変化するので、スリット１９の回転位置を目盛り値“５”〜“７”の範囲で適宜設定することにより、オフセット電圧が０〜＋３６０Ｖとなる範囲で正負の空気イオンのバランス量を正側に偏った所望のバランス量に設定することができることが判る。
【００５２】
このように本実施例のイオン生成装置によれば、スリット１９を適宜の回転位置に設定することで、正負の空気イオンの種々のバランス量を設定することができる。
【００５３】
尚、本実施例では、スリット１９の位置を可変とすることで、正負の空気イオンの種々のバランス量を設定することができるようにしたが、例えば図１乃至図３に示したような構成のイオン生成装置において、絶縁体１６を接地電極２に摺動自在に挿着し、該絶縁体１６を摺動させることで、接地電極２が露出するスリット１７の幅を可変として、その接地電極２の露出箇所の大きさを可変とし、それによって正負の空気イオンの種々のバランス量を設定することができるようにすることも可能である。
【００５４】
また、以上説明した各実施例においては、接地電極２を被覆するための絶縁体１６，１８として塩化ビニルを使用したが、例えば４フッ化エチレン、ポリカーボネイト等、他の絶縁体を使用するようにしてもよい。
【００５５】
さらに、前記各実施例では、複数の放電電極１を備えたイオン生成装置について説明したが、単一の放電電極を備えたイオン生成装置についても本発明を適用することができることはもちろんである。
【００５６】
【発明の効果】
上記の説明から明らかなように、本発明の交流式イオン生成装置によれば、接地電極を絶縁体により被覆し、その絶縁体に接地電極の露出箇所を部分的に形成したことによって、放電電極及び接地電極間に印加する交流高電圧の電圧値を調整するための機構等、複雑で高価な構成を用いることなく、接地電極の露出箇所の位置や大きさ等を適切に設定するだけで、極めて簡単且つ安価な構成で生成・放出される正負の空気イオンの量の割合、すなわちバランス量を所望の値に設定することができる。
【００５７】
そして、絶縁体に形成する接地電極の露出箇所を、絶縁体の放電電極に対向する部位から離間した箇所に形成することによって、正負の空気イオンのバランス量を的確且つ効果的に所望のバランス量に設定することができる。
【００５８】
さらに、絶縁体に形成した露出箇所の位置又は大きさを変更可能に該絶縁体を接地電極に装着したことによって、正負の空気イオンのバランス量を種々のバランス量に設定することができ、従って、例えば本発明のイオン生成装置を用いて帯電体の除電を行う場合に、該帯電体の除電に最適なバランス量でもって効果的な除電を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一例の交流式イオン生成装置及びそのイオン生成装置の作動試験を行うための帯電プレートモニタ装置の説明的構成図。
【図２】図１のイオン生成装置の一部を破断して示した拡大図。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図。
【図４】本発明の他の例の交流式イオン生成装置の説明的構成図。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図。
【符号の説明】
１…放電電極、２…接地電極、３…交流高圧電源、１６，１８…絶縁体、１７，１９…スリット（接地電極の露出箇所）。
【図１】
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【図２】
0003732547.tif 000005
【図３】
0003732547.tif 000006
【図４】
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【図５】
0003732547.tif 000008