(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の要件を備えたことを特徴とする粒子分散液攪拌装置、
（Ａ01）下部に小径円筒壁を有し、上部に大径円筒壁を有し、前記小径円筒壁上端および前記大径円筒壁下端を接続する円錐壁を有し、粒子分散液が収容される攪拌容器、
（Ａ02）前記粒子分散液に旋回流が形成されるように前記小径円筒壁面の円周方向に前記粒子分散液を噴出する旋回流形成用ノズル、
（Ａ03）前記大径円筒壁と前記小径円筒壁の間の中間位置において鉛直下方向に前記粒子分散液を噴出する攪拌用ノズル、
（Ａ04）前記攪拌容器内の粒子分散液を循環させて前記旋回流形成用ノズルおよび前記攪拌用ノズルから噴出させる粒子分散液循環装置。
【請求項２】
次の要件を備えたことを特徴とする請求項１記載の粒子分散液攪拌装置、
（Ａ05）前記円筒壁の中心線回りに、前記旋回流形成用ノズル先端の噴出口の位置から旋回流方向に１３５度以上３１５度以下の範囲に回転した位置に攪拌用ノズル先端が配置された前記攪拌用ノズル。
【請求項３】
前記請求項１または２に記載の粒子分散液攪拌装置で攪拌された研磨材を分散させた粒子分散液をホーニング液として使用し、電子写真感光体用基材表面に前記ホーニング液を高速度で吹付けてホーニング処理することを特徴とする電子写真感光体用基材の表面処理方法。
【請求項４】
前記請求項３記載の電子写真感光体用基材の表面処理方法で処理された電子写真感光体用基材を使用した電子写真感光体。
【請求項５】
次の要件を備えたことを特徴とする電子写真感光体基材の表面処理装置、
（Ｂ1）円筒状の電子写真感光体用基材をその軸回りに回転可能に収容するとともに前記電子写真感光体用基材に表面にホーニング液を高速度で吹付けるホーニングガンを収容するホーニング処理槽、
（Ｂ2）前記円筒状の電子写真感光体用基材を回転させる基材回転支持装置、
（Ｂ3）前記電子写真感光体用基材およびホーニングガンを相対的に軸方向に移動させる相対的移動装置、
（Ｂ4）前記ホーニングガンに前記請求項１または２に記載の粒子分散液攪拌装置で攪拌された研磨材を分散させた粒子分散液をホーニング液として前記ホーニングガンに供給するホーニング液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、粒子分散液中の粒子を均一に分散させるための粒子分散液撹拌装置、前記粒子分散液撹拌装置を使用した電子写真感光体用基材の表面処理方法、表面処理装置、および前記表面処理方法により処理された電子写真感光体に関する。
前記本発明の粒子分散液撹拌装置は、研磨材が分散した粒子分散液をホーニング液として使用し、ホーニング処理により基材表面に液均一な凹凸を形成するための前記ホーニング液を撹拌する際に使用される。前記粒子分散液撹拌装置は、レーザービームをライン走査する方式の電子写真プリンター、複写機等に使用される感光体基材表面に均一な凹凸を形成する場合等に好適に使用される。
【０００２】
【従来の技術】
レーザービームをライン走査する方式の電子写真装置には、レーザー光を用いて形成する画像に干渉縞模様が現れるという特有の問題を解決しなければならない。
この種の干渉縞の発生は、感光層内で吸収されなかった透過光が、基材を含む感光層内でレーザービームの多重反射を生じて、感光層表面の入射光との間で干渉を生じることに起因するとされている。
この干渉縞の発生を防止するために、特公平５−２６１９１号公報には、基材または、感光層の表面を粗面化して光散乱性を付与することが示され、その具体的方法として特公平６−４１１０８号公報、特開平５−２１６２６１号公報等に湿式ホーニングが提案されているが、ホーニングでは液中の研磨材の分布が不均一な場合、基材表面の凹凸（粗度）分布が不均一となり、基材表面の一部に干渉縞を発生させたり、基材表面に塗布される感光層は均一な成膜性が損なわれ、塗膜欠陥を発生することがある。
図７は液中の研磨材の分散が不均一な場合にはホーニング後の基材表面の凹凸にバラツキが生じることを示す図である。図８は研磨材が均一に分散されている場合にはホーニング後の基材表面に均一な凹凸が形成されることを示す図である。
【０００３】
近年、電子写真装置においては、オゾン発生量の低減化、高圧電源の不使用によるコストの削減および帯電器の小型化等を実現するために、感光ドラムに接触帯電方式が用いられるようになった。
ところが、この方式に用いる感光ドラムでは、基材表面粗度がばらつくと、粗度が大きい箇所はその突出部に電荷が集中することによって電荷リークが発生し、その結果、プリント画像上に黒点等の欠陥が現われるという問題がある。
この基材表面の突出部は、３μｍ 程度以上の高さになると電荷リークが生じ易いことが知られている。
また、粗度が小さいところは基材表面の一部に干渉縞が生じることに起因するとされている。
【０００４】
ところで、上記した基材の粗面化処理を行なうと、電荷リークがより発生し易くなることや、画像に干渉縞模様が現れることがある。すなわち、そのホーニングによる粗面化処理により、基材表面全体が、干渉縞の発生を防止できるように平均的に粗面化されず、粗度にばらつきが生じると、電荷リークを引き起こして画像欠陥が発生したり、画像に干渉縞模様が現れるという問題がある。
したがって、レーザービームをライン走査する方式の電子写真装置用の感光体の基材の粗面化処理においては、均一に粗面化された基材の提供が重要な課題となっている。
【０００５】
従来、感光体の基材表面を粗面化する方法には、例えば、特開平２−８７１５４号公報、特開平２−１９１９６３号公報、特公平６−４１１０８号公報、特開平５−２１６２６１号公報に記載されているように、研磨材の水分散液を用いた湿式ホーニング法がある。
この方法は、短時間の加工で容易に安定して粗面化させることができること、所望の粗さを正確に得ることができることおよび塗膜欠陥の原因となる異常凹凸部が極めて少ない均一な粗さを持つ粗面が得られることなどから、生産上の観点からも、また、黒斑点や干渉縞模様に対する画質安定性の点からも、陽極酸化法あるいはバフ研磨法等の他の粗面化処理法に比べて優れているものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年、感光体に対するライフ要求値が向上するにつれて、従来のホーニング法による基材の粗面化では不十分であることが明らかになってきた。
すなわち、従来の方法には、研磨材の基材への衝突により、均一に粗面化された基材を得るにあたって、以下に示す問題点１および問題点２が存在することが判明した。
【０００７】
（問題点１）
従来よりホーニングに使用される研磨材の供給には、その液の供給濃度のばらつきに問題がある。現在、この種の研磨材として提案されている炭化珪素、窒化珪素、窒化硼素（特公平６−４１１０８号公報）あるいは、酸化アルミニウム（特開平５−２１６２６１号公報）等は、各材料の比重が水と比較して大きく、沈降速度が速いため、完全に均一混合した研磨材を供給することは難しい。
【０００８】
ところで、ホーニング処理は、個々の研磨材を基材に衝突させることによって行われる。この処理によると、同一濃度の研磨材を用いる場合には、基材の単位面積あたりに衝突する研磨材の個数はいずれも同一であるために、基材は均一な粗さを持つ粗面が得られる。
ところが一方、濃度が不均一な研磨材を用いる場合には、それらの単位面積当たりの基材に衝突する研磨材個数が衝突場所により異なることにより、基材全体として粗さが不均一な粗面が形成されることになる。
すなわち濃度が不均一な研磨材でホーニングした場合、基材表面は異常な凹凸部を形成することになる。その凹凸部の形成により粗面が不連続になった基材表面は、その上に形成される塗膜のレベリングによる塗膜追従性が損なわれ、微小な部位において塗膜の厚膜化による白班点や薄膜化による黒班点が発生したり、凸部では基材が露出することによって黒斑点や電荷リーク等の欠陥が発生したり、凹凸が必要量より不足している位置では、画像に干渉縞模様が現れたりすることになる。
【０００９】
これらを防止するには、基材に衝突する研磨材は、同一濃度とすることが好ましく、その為に均一濃度の研磨材を安定供給することは必須である。
しかしながら、従来公知の研磨材供給方法では、均一な濃度の研磨材を供給することは困難であり、特に液の循環による単純な循環方法では、タンク内の液濃度のバラツキを除去することができないために、上記の問題を解消することができない。
したがって、ホーニング法に供する研磨材については、液の均一性の改善が望まれている。
【００１０】
（問題点２）
従来の攪拌方法は一般に、タンク内部に空気噴出口を有し、空気噴出口から圧縮空気を噴出する方法や、同様にタンク底部に送液機より液を噴出させるなどの方法により、タンク底部に研磨材が沈殿するのを防ぐのが目的である。
しかしながら、従来の方法では、研磨材の沈殿を防ぐことは可能であるが、タンク内の上層、下層部では液の状態が異なり、タンク内の研磨液に研磨材を均一に分散させることは不可能であり、均一な濃度の研磨液を供給することは困難であった。
そのため、研磨液濃度の変化により、研磨材の基材単一面積当たりの衝突数が変化し、その結果として基材表面の粗さや形状を変化させ、最終的には、感光体の干渉縞の防止を低下させるという問題がある。
【００１１】
なお、前述の説明は感光体基材の研磨液に関する従来技術の問題点について説明したが、液体中に粒子を均一に分散させる必要がある場合には、前記感光体基材の研磨液に限らず、同様の問題点があった。
本発明は、従来の技術における上記のような問題点に鑑みてなされたもので、次の記載内容（Ｏ01）〜（Ｏ03）を課題とする。
（Ｏ01）液体中に粒子を均一に分散させること。
（Ｏ02）研磨材が均一に分散した研磨液を造ること。
（Ｏ03）レーザー光によって画像を形成した場合に、干渉縞模様および、黒斑点等の画質欠陥、さらには、接触帯電方式による電荷リークによる画質欠陥のない改善された電子写真感光体を提供すること。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
従来のホーニング法は、上記したとおり、いずれも使用する研磨材渡度の不均一が問題を引き起こしていることから、これを解決するために均一濃度の研磨材供給方法について鋭意検討した結果、問題を引き起こしているタンク攪拌方法に着目し、本発明を完成するに至った。
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。なお、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【００１３】
（第１発明）
前記課題を解決するために本発明の第１発明の粒子分散液攪拌装置は、次の要件を備えたことを特徴とする、
（Ａ01）前記第１発明の粒子分散液攪拌装置（Ｕ1）の前記攪拌容器（１）は、下部に小径円筒壁（２）を有し、上部に大径円筒壁（３）を有し、前記小径円筒壁（２）上端および前記大径円筒壁（３）下端を接続する円錐壁（４）を有し、粒子分散液が収容される攪拌容器（１）、
（Ａ02）前記粒子分散液に旋回流が形成されるように前記小径円筒壁（２）面の円周方向に前記粒子分散液を噴出する旋回流形成用ノズル（７）、
（Ａ03）前記大径円筒壁（３）と前記小径円筒壁（２）との間の中間位置において鉛直下方向に前記粒子分散液を噴出する攪拌用ノズル（８）、
（Ａ04）前記攪拌容器（１）内の粒子分散液を循環させて前記旋回流形成用ノズル（７）および前記攪拌用ノズル（８）から噴出させる粒子分散液循環装置（１１）。
【００１４】
前記第１発明の粒子分散液攪拌装置（Ｕ1）において、前記攪拌用ノズル（８）の攪拌用ノズル先端は、前記円筒壁（２，３）の中心線回りに、前記旋回流形成用ノズル（７）先端の噴出口の位置から旋回流方向に１３５度以上３１５度以下の範囲に回転した位置に配置することが好ましい。
【００１５】
（第１発明の作用）
前記構成を備えた本発明の第１発明の粒子分散液攪拌装置（Ｕ1）では、下部に小径円筒壁（２）を有し、上部に大径円筒壁（３）を有し、前記小径円筒壁（２）上端および前記大径円筒壁（３）下端を接続する円錐壁（４）を有する攪拌容器（１）内には粒子分散液が収容される。
粒子分散液循環装置（１１）は、前記攪拌容器（１）内の粒子分散液を循環させて前記旋回流形成用ノズル（７）および前記攪拌用ノズル（８）から噴出させる。
旋回流形成用ノズル（７）は、前記粒子分散液に旋回流が形成されるように前記小径円筒壁（２）面の円周方向に前記粒子分散液を噴出する。これにより前記攪拌容器（１）内の粒子分散液には旋回流が生成される。
攪拌用ノズル（８）は、前記大径円筒壁（３）と小径円筒壁（２）との間の中間位置において鉛直下方向に前記粒子分散液を噴出する。この攪拌用ノズル（８）の粒子分散液の噴出により前記粒子分散液の旋回流が攪拌され、粒子が均一に分散される。
【００１６】
前記第１発明の粒子分散液攪拌装置（Ｕ1）において、前記攪拌用ノズル（８）の攪拌用ノズル先端を、前記円筒壁（２，３）の中心線回りに、前記旋回流形成用ノズル（７）先端の噴出口の位置から旋回流方向に１３５度以上３１５度以下の範囲に回転した位置に配置した場合には、粒子分散液の攪拌をさらに良好に行うことができ、粒子分散液中の粒子を均一に分散させることができる。
また、前記第１発明の粒子分散液攪拌装置（Ｕ1）の前記攪拌容器（１）は、下部に小径円筒壁（２）を有し、上部に大径円筒壁（３）を有し、前記小径円筒壁（２）上端および前記大径円筒壁（３）下端を接続する円錐壁（４）を有する構成とし、前記旋回流形成用ノズル（７）を、前記小径円筒壁（２）内面に沿って前記粒子分散液を噴出するように構成し、且つ、前記攪拌用ノズル（８）を前記円錐壁（４）に向かって下向きの粒子分散液を噴出するように構成しているので、粒子分散液の攪拌をさらにいっそう、良好に行うことができる。
【００１７】
前記本発明の粒子分散液撹拌装置（Ｕ1）により撹拌される粒子分散液が研磨材を分散させた粒子分散液の場合（粒子が研磨材の場合）には前記研磨材が均一に分散された粒子分散液を得ることができる。このような粒子分散液を使用して基材にホーニング処理を行う場合、前記基材表面に均一な凹凸を形成することができる。その際使用される基材としては、アルミニウム、銅、ニッケル、鉄、亜鉛、チタン等の金属及び、それらの合金からなるドラム又はシート等が挙げられ、また、プラスチック、紙等の支持体に粗面化処理を施した支持体表面にアルミニウム、チタン等の金属及びそれらの合金を真空蒸着法によって被膜形成させたものが挙げられる。
【００１８】
前記本発明の粒子分散液撹拌装置（Ｕ1）で撹拌された粒子分散液を使用する前記基材の表面処理方法は、湿式ホーニング処理法である。
湿式ホーニング処理は、水等の液体に粉末状の研磨材を懸濁させて、高速度で基材表面に吹き付けて粗面化する方法であって、その場合、表面処理の粗さの程度は、吹きつけの圧力及び速度、使用する研磨材の量、濃度、種類、形状、大きさ、硬度、比重、及び粒度分布等の諸条件を適宜選択することにより制御することができる。
【００１９】
（第２発明）
また本発明の第２発明の電子写真感光体用基材（Ｗ）の表面処理方法は、前記第１発明の粒子分散液撹拌装置（Ｕ1）で撹拌された研磨材を分散させた粒子分散液をホーニング液として使用し、電子写真感光体用基材（Ｗ）表面に前記ホーニング液を高速度で吹付けてホーニング処理することを特徴とする。
【００２０】
（第２発明の作用）
前記構成を備えた本発明の第２発明の電子写真感光体用基材（Ｗ）の表面処理方法では、前記第１発明の粒子分散液撹拌装置（Ｕ1）で撹拌された研磨材を分散させた粒子分散液をホーニング液として使用するので、粒子分散液中の研磨材が均一に分散している。このため、電子写真感光体用基材（Ｗ）表面に前記ホーニング液を高速度で吹付けてホーニング処理した場合に、電子写真感光体用基材（Ｗ）表面に均一な凹凸を形成することができる。
【００２１】
（第３発明）
また、本発明の第３発明の電子写真感光体は、前記第２発明の電子写真感光体用基材（Ｗ）の表面処理方法で処理された電子写真感光体用基材（Ｗ）を使用したことを特徴とする。
【００２２】
（第３発明の作用）
前記構成を備えた本発明の第３発明の電子写真感光体は、前記第２発明の電子写真感光体用基材（Ｗ）の表面処理方法で処理された電子写真感光体用基材（Ｗ）を使用しているので、表面の凹凸が均一である。
【００２３】
（第４発明）
また、本発明の第４発明の電子写真感光体基材の表面処理装置は、次の要件を備えたことを特徴とする、
（Ｂ1）円筒状の電子写真感光体用基材（Ｗ）をその軸回りに回転可能に収容するとともに前記電子写真感光体用基材（Ｗ）に表面にホーニング液を高速度で吹付けるホーニングガン（２２）を収容するホーニング処理槽（１５）、
（Ｂ2）前記円筒状の電子写真感光体用基材（Ｗ）を回転させる基材回転支持装置（１７）、
（Ｂ3）前記電子写真感光体用基材（Ｗ）およびホーニングガン（２２）を相対的に軸方向に移動させる相対的移動装置、
（Ｂ4）前記ホーニングガン（２２）に前記第１発明の粒子分散液攪拌装置（Ｕ1）で攪拌された研磨材を分散させた粒子分散液をホーニング液として前記ホーニングガン（２２）に供給するホーニング液供給装置（２５）。
【００２４】
前記第４発明の相対的移動装置は、電子写真感光体基材（Ｗ）に対してホーニングガン（２２）を移動させる構成、またはホーニングガン（２２）に対して電子写真感光体用基材（Ｗ）を移動させる構成を採用することが可能である。
【００２５】
（第４発明の作用）
また、本発明の第４発明の電子写真感光体基材（Ｗ）の表面処理装置では、ホーニング処理槽（１５）内には、軸回りに回転可能な円筒状の電子写真感光体用基材（Ｗ）およびホーニングガン（２２）が収容される。ホーニング液供給装置（２５）は、前記ホーニングガン（２２）に前記第１発明の粒子分散液攪拌装置（Ｕ1）で攪拌された研磨材を分散させた粒子分散液をホーニング液として前記ホーニングガン（２２）に供給する。
ホーニングガン（２２）は、円筒状の前記電子写真感光体用基材（Ｗ）に表面にホーニング液を高速度で吹付ける。このとき、基材回転支持装置（１７）は、前記円筒状の電子写真感光体用基材（Ｗ）を回転させ、前記相対的移動装置は、前記電子写真感光体用基材（Ｗ）およびホーニングガン（２２）を相対的に軸方向に移動させる。
【００２６】
したがって、前記電子写真感光体用基材（Ｗ）の全表面にホーニング液を高速度で吹付けることができる。前記ホーニング液としては、前記第１発明の粒子分散液攪拌装置（Ｕ1）で攪拌された研磨材を均一に分散させた粒子分散液が使用されるので、前記電子写真感光体用基材（Ｗ）の全表面に均一な凹凸を形成することができる。
したがって、表面に均一な凹凸が形成された電子写真感光体を製造することが可能となる。その場合、前記表面に均一な凹凸が形成された電子写真感光体を用いて接触帯電方式により帯電を行なっても、電荷リークが発生せず、画質欠陥の生じない電子写真感光体を製造することができる。
【００２７】
上記のように粗面化された（凹凸が形成された）電子写真感光体用基材（導電性基材）（Ｗ）を使用して電子写真感光体を製造する際には、所望により下引き層が形成される。
下引き層は公知の樹脂を用いて形成されるが、膜厚０.０５μｍ〜１０μｍの範囲、特に、０.１〜２μｍの範囲に設定することが好ましい。
感光層が電荷発生層と電荷輸送層との積層構造の場合、それらのいずれかを下引き層の上に形成することができる。
前記電荷発生層は、フタロシアニン等公知の材料を用いて形成され、その膜厚０.０５μｍ〜１μｍの範囲、特に、０.１〜０.５μｍの範囲に設定することが好ましい。電荷輸送層は、ポリカーボネート等公知の材料を１５〜３０μｍの膜厚で形成することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００２９】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１の表面処理装置の説明図である。図２は前記図１の表面処理装置で使用する粒子分散液撹拌装置（Ｕ1）の説明図である。
図１において、表面処理装置Ｕは、粒子分散液撹拌装置Ｕ1とホーニング処理装置Ｕ2とを有している。
粒子分散液撹拌装置Ｕ1は研磨材により構成される粒子を分散させた粒子分散液を収容する撹拌容器１を有している。前記撹拌容器１は、容器下部の小径円筒壁２、上部の大径円筒壁３、および前記小径円筒壁２上端および前記大径円筒壁３下端を接続する円錐壁４を有している。前記小径円筒壁２下端には円形の底壁５が設けられている。
【００３０】
前記撹拌容器１の下端部には、前記小径円筒壁２内面に沿って円周方向に前記粒子分散液を噴出して粒子分散液の旋回流を形成する旋回流形成用ノズル７が設けられている。また、撹拌容器１内部には、前記円錐壁４に向かって下向きの粒子分散液を噴出して前記旋回流を撹拌する前記撹拌用ノズル８が設けられている。撹拌用ノズル８は、前記円筒壁と円筒壁の中心との間の中間位置に配置されて鉛直方向下向きに前記粒子分散液を噴出する。
図２において、本実施例１の前記旋回流形成用ノズル７は矢印Ｂ1の位置に配置されており、前記撹拌用ノズル８の先端は、前記円筒壁２，３の中心線回りに、前記旋回流形成用ノズル７先端の噴出口の位置から旋回流方向に角度θ（θ＝２２５度±９０度以内の範囲に）回転した位置に配置されている。
図１において、粒子分散液循環装置１１は、粒子分散液循環路１２およびポンプ１３を有しており、前記ポンプ１３は、前記撹拌容器１内の粒子分散液を吸い込んで、前記旋回流形成用ノズル７および前記撹拌用ノズル８に移送して、前記撹拌容器１内に噴出させる。
【００３１】
前記粒子分散液撹拌装置Ｕ1の上方に配置されたホーニング処理装置Ｕ2はホーニング処理槽１５を有している。ホーニング処理槽１５の底壁にはホーニング処理液を前記撹拌容器１に戻すための処理液排出口１５aが設けられている。前記処理液排出口１５aと前記撹拌容器１とは処理液戻し管１６により接続されている。
ホーニング処理槽１５内には電子写真感光体用基材Ｗが基材回転支持装置１７により回転可能に支持されている。基材回転支持装置１７は円錐状外側面を有する基材下端支持部材１８および基材上端支持部材１９、ベアリング２０およびモータＭ1を有している。前記基材下端支持部材１８はモータＭ1により回転され、基材上端支持部材１９はベアリング２０を介して図示しない支持部材により回転可能に支持されている。
【００３２】
前記ホーニング処理槽１５内には図示しない昇降装置により昇降される昇降ロッド２１下端に支持されたホーニングガン２２が昇降可能に支持されている。前記ホーニングガン２２を昇降させる図示しない昇降装置は、前記ホーニングガン２２を電子写真感光体用基材Ｗに対して相対的に移動させる相対的移動装置としての機能を有している。前記ホーニングガン２２には、前記撹拌容器１内の粒子分散液がポンプ２３およびホーニング液供給管２４から構成されるホーニング液供給装置２５により供給されるとともに、エア供給源２６から圧縮エアＡが供給されている。
したがって、前記基材回転支持装置１７により前記電子写真感光体用基材Ｗを回転させながら、且つ前記昇降ロッド２１を上方から下方に移動させながら、ホーニングガン２２により粒子分散液（ホーニング液）を高速度で前記電子写真感光体用基材Ｗ表面に吹き付けてホーニング処理を行うことにより、前記電子写真感光体用基材Ｗ表面に微細な凹凸を均一に形成することができる。
【００３３】
本実施例１の旋回流形成用ノズル７は図２の矢印Ｂ1の位置に配置されたノズルであり、また、本実施例１の撹拌用ノズル８は矢印Ｃ3の位置に配置されたノズルである。
図２に示された位置Ｂ2は後述の実験で使用する旋回流形成用ノズル７の配置位置を示し、また、図２に示された位置Ｃ1，Ｃ2，Ｃ4は後述の実験で使用する旋回流形成用ノズル７の配置位置を示している。前記矢印Ｃ1〜Ｃ4で示す位置は、前記円筒壁２，３の中心線回りに、前記位置Ｂ1の旋回流形成用ノズル７先端の噴出口の位置から旋回流方向に角度θ（θ＝４５度、１３５度、２２５度、および３１５度の４箇所±９０度）回転した位置を示している。
【００３４】
（実施例１の作用）
前記撹拌容器１は容量２００リットルであり、撹拌容器１内には濃度２７ｗｔ％の粒子分散液（研磨液）１６５リットルを入れた。
この粒子分散液を図１の２のポンプを介し、各ノズルに送液することにより、タンク内を攪拌させた。
また、感光体基材Ｗとして、０.７５ｍｍ厚×３０ｍｍφ×３４０ｍｍのアルミニウムパイプを用意し、この感光体基材Ｗにダイヤモンドバイトを用いた鏡面切削加工を行なって、表面をＲａ：０.０３〜０.０４μｍの平滑面に仕上げた。
【００３５】
このアルミニウムパイプを感光体基材Ｗとし、図１に示す表面処理装置Ｕによって、攪拌された撹拌容器１内の粒子分散液（研磨液）を用い、感光体基材Ｗの表面処理（表面の粗面化処理）を行った。
その表面処理においては、研磨材５５.５ｋｇを水１００リットルに懸濁させ、これを２１リットル／分の流量でホーニングガン２２に送り込んで、所定の圧縮空気圧（０.１〜０.２ＭＰａ）で吹きつけ、所望の表面粗さ（Ｒａ：０.１〜０.５μｍ）になるように感光体基材Ｗ表面に吹き付けた。ホーニングガン２２は、２０００ｍｍ／分で基材の軸方向に移動させ、感光体基材Ｗは４００ｒｐｍで回転させた。
【００３６】
次の比較例１〜６は旋回流形成用ノズル７または撹拌用ノズル８の配置位置が異なる以外は同じ条件で実験を行った。
（比較例１）
旋回流形成用ノズル７の噴出口の位置は図２のＢ1であり、撹拌用ノズル８は使用しなかった。
（比較例２）
撹拌用ノズル８の噴出口の位置は図２のＣ4であり、旋回流形成用ノズル７は使用しなかった。
（比較例３）
旋回流形成用ノズル７の噴出口の位置は図２のＢ1であり、撹拌用ノズル８の噴出口の位置は図２のＣ1であった。
（比較例４）
旋回流形成用ノズル７の噴出口の位置は図２のＢ1であり、撹拌用ノズル８の噴出口の位置は図２のＣ2であった。
（比較例５）
旋回流形成用ノズル７の噴出口の位置は図２のＢ1およびＢ2であり、撹拌用ノズル８は使用しなかった。
（比較例６）
旋回流形成用ノズル７の噴出口の位置は図２のＢ2であり、撹拌用ノズル８の噴出口の位置は図２のＣ2であった。
【００３７】
上記実施例１並びに比較例１〜６での攪拌によるタンク液表面濃度及び液表面濃度を調べた。その結果を表１に示す。
【００３８】
【表１】
0003823509.tif 000002
【００３９】
なお、下記実施例及び比較例に使用した研磨材、各塗膜に使用した市販品は、次の通りであった。研磨材…昭和タイタニウム社製の酸化アルミニウム：アルナビーズ（ＣＢ−Ａ３０Ｓ）、その粒径は２７μｍである。
【００４０】
粗面化処理を施した基材上に、ジルコニウム化合物としてトリブトキシジルコニウムアセチルアセトネート（ＺＣ５４０、松本交商社製）の５０％トルエン溶液１００部、シラン化合物としてγ−アミノプロピルトリエトキシシラン（Ａ１１００、日本ユニカー社製）１０部、ポリビニルブチラール樹脂（ＢＭ−Ｓ、積水化学社製）１０部およびｎ−ブタノール１３０部を混合し、得られた塗布液を浸漬塗布法により塗布し、１４０Ｃで１５分間加熱して、１.０μｍの下引き層を形成した。
【００４１】
次に、ポリビニルブチラール樹脂（商品名：ＢＭ−１ 、積水化学社製）の２％シクロヘキサノン溶液に、ヒドロキシガリウムフタロシアニン顔料（特開平５−２６３００７号公報に記載のもの）を顔料と樹脂の比を２：１に混合し、次いでサンドミルにより３時間分散処理を行った。
得られた分散液を、更に酢酸 ｎ−ブチルで希釈して基材表面に浸漬塗布し、０.１５μｍ厚の電荷発生層を形成した。
次に、Ｎ、Ｎ'−ジフェニル−Ｎ、Ｎ'−ビス（ｍ−トリル）ベンジジン４部及びポリカーボネートＺ樹脂６部を、モノクロルベンゼン３６部に溶解させた溶液を電荷発生層上に浸漬塗布し、１１５Ｃで４０分間乾燥して２４μｍ厚の電荷輸送層を形成し、これを感光体ドラム（電子写真感光体）とした。
【００４２】
上記で得た感光体ドラム（電子写真感光体）を、マルチファンクショナルプリンター（富士ゼロックス製  Ａｂｌｅ−３３２１、帯電ロールによる接触帯電方式）に搭載し、中間調濃度を含む画像により連続５０,０００枚まで出力試験を行なって、それぞれの出力画像を調べた。その結果を前記表１に示す。
【００４３】
実施例１の場合には、タンク内上層・下層での液濃度差もなく上層でも濃度は安定し、タンク内が均一液になるのを確認できた。また、基材表面処理後の表面粗さについても変動が小さく、基材表面全体が均一な粗度が得られ、画像５０,０００枚の出力試験後においても白点、黒点また干渉縞などの画質欠陥は見られなかった。また、アルミ基材のＳＥＭ写真を観察しても、基材は均一な粗さの面であることが確認された。
【００４４】
また、比較例１，２，４，５においては、タンク内は上層部まで十分には攪拌されず、タンク内渡度にはバラツキがある。しかし、タンク内局部の濃度は比較的安定しており、画像出力試験において画質欠陥は見られなかった。比較例３，６ではタンク内は上層部までは攪拌されず、タンク内は濃度のバラツキを持ち、均一液の供給をするべく攪拌は可能ではなかった。また、基材表面粗さは、基材内バラツキが大きく表面は不均一な凹凸になる。そのため、画像出力試験では表面粗さのバラツキにより、電化リークによる画像欠陥、また干渉縞が現れた。
【００４５】
攪拌容器１において旋回流及び下向流を用いて攪拌を行う場合、下向流を形成する噴出口を、旋回流を形成する憤出口から旋回流方向に２２５度の法線方向に設置すると最も表面粗さの安定した画質欠陥のない基材を得ることができる。また、下向流を形成する噴出口のみ、旋回流を形成する噴出口のみ、下向流を形成する噴出口を、旋回流を形成する噴出口から旋回流方向に２２５度±９０度以内の法線方向に設置する組み合わせにおいても画質欠陥のない基材を得ることができる。
【００４６】
（実施例２）
図３は本発明の実施例２の表面処理装置の説明図である。図４は前記図３の斜視図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
図３、図４において、この実施例２ではホーニング処理槽１５は２槽設けられており、２槽のホーニング処理槽１５，１５は一体に形成された容器を仕切壁３１により仕切られて構成されている。
前記ホーニング処理槽１５および基材回転支持装置１７はモータＭ2により回転する回転テーブル３２上に支持されている。
基材上端支持部材１９は昇降可能に構成されており、回転テーブル３２の回転時には一度上昇して感光体基材Ｗを離し、回転テーブル３２の回転後に下降し、前記感光体基材Ｗを押さえるように構成されている。
前記ホーニング処理槽１５内の処理液を前記撹拌容器１に戻す処理液戻し管１６は１個だけ設けられており、前記２槽の各ホーニング処理槽１５の各処理液排出口１５aは前記処理液戻し管１６と接触せずに回転するように構成されている。
【００４７】
前記ホーニングガン２２を前記ホーニング処理槽１５の上方に上昇させた状態で、前記モータＭ2を回転して回転テーブル３２を回転させることにより前記２槽の各ホーニング処理槽１５，１５のうちの一方を交互にホーニング処理位置（前記ホーニング処理槽１５の各処理液排出口１５aが前記処理液戻し管１６上端に対向する位置）に回転移動させるように構成されている。
また、この実施例２も、前記実施例１と同様に、旋回流形成用ノズル７の配置位置をＢ1（図２参照）とし、撹拌用ノズル８の配置位置はＣ3（θ＝２２５度、図２参照）に設定した。
【００４８】
（実施例２の作用）
前記ホーニングガン２２を上昇させた状態で、前記モータＭ2により回転テーブル３２を回転させて前記２槽のうちの一方のホーニング処理槽１５を前記ホーニング処理位置に移動させる。その状態で前記ホーニングガン２２を下降させてホーニング処理槽１５に移動させて、前記実施例１と同様にホーニング処理を行う。
この実施例２も、前記実施例１と同様に、撹拌容器１内の研磨材を分散させた粒子分散処理液を旋回流形成用ノズル７および撹拌用ノズル８により均一に撹拌することができるので、感光体基材Ｗ表面に均一な凹凸を形成することができる。
【００４９】
（実施例３）
図５は本発明の実施例３の表面処理装置の説明図である。図６は前記図５の斜視図である。
なお、この実施例３の説明において、前記実施例２の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例３は、下記の点で前記実施例２と相違しているが、他の点では前記実施例２と同様に構成されている。
図５、図６において、この実施例３ではホーニング処理槽１５の底壁中央部は回転底壁３３により構成されている。また、前記仕切壁３１は外側部の一対の固定仕切壁３１a，３１a（図６参照）と、中央部の回転仕切壁３１bとにより構成されている。
前記回転底壁３３は前記回転仕切壁３１bと一体的に回転するように構成されている。
【００５０】
また、前記回転テーブル３２およびモータＭ2は昇降テーブル３４により昇降可能に支持されている。また、前記モータＭ1，Ｍ1により回転される基材下端支持部材１８，１８の軸１８a，１８aは、前記回転底壁３３をスライド可能且つ回転可能に貫通している。したがって、回転テーブル３２が回転するときには前記回転底壁３３および回転仕切壁３１bが回転して、前記各モータＭ1，Ｍ1およびそれによって回転される感光体基材Ｗ，Ｗの位置が入れ代わるように構成されている。
また、この実施例３では、前記回転底壁３３の外側の底壁部分は回転しないので、前記処理液戻し管１６に前記処理液排出口１５aに一体的に連結されている。
この実施例３では前記ホーニングガン２２が昇降する代わりに、前記昇降テーブル３４の昇降により感光体基材Ｗを昇降させながら、ホーニング処理を行う。この実施例３も前記実施例２と同様に、撹拌容器１内の研磨材を分散させた粒子分散処理液を旋回流形成用ノズル７および撹拌用ノズル８により均一に撹拌することができるので、感光体基材Ｗ表面に均一な凹凸を形成することができる。
【００５１】
【発明の効果】
前述の本発明の粒子分散液撹拌装置、前記粒子分散液撹拌装置を使用した電子写真感光体用基材の表面処理方法、表面処理装置、および前記表面処理方法により処理された電子写真感光体は、下記の効果を奏することができる。
（Ｅ01）液体中に粒子を均一に分散させることができる。
（Ｅ02）研磨材が均一に分散した研磨液を造ることができる。
（Ｅ03）レーザー光によって画像を形成した場合に、干渉縞模様および、黒斑点等の画質欠陥、さらには、接触帯電方式による電荷リークによる画質欠陥のない改善された電子写真感光体を提供することができる。本発明の電子写真感光体は、レーザー光を利用する電子写真複写装置、特に、接触帯電方式を用いるレーザービームプリンタに使用することにより、良好な画像品質を安定して提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は本発明の実施例１の表面処理装置の説明図である。
【図２】  図２は前記図１の表面処理装置で使用する粒子分散液撹拌装置の説明図である。
【図３】  図３は本発明の実施例２の表面処理装置の説明図である。
【図４】  図４は前記図３の斜視図である。
【図５】  図５は本発明の実施例３の表面処理装置の説明図である。
【図６】  図６は前記図５の斜視図である。
【図７】  図７は液中の研磨材の分散が不均一な場合にはホーニング後の基材表面の凹凸にバラツキが生じることを示す図である。
【図８】  図８は研磨材が均一に分散されている場合にはホーニング後の基材表面に均一な凹凸が形成されることを示す図である。
【符号の説明】
Ｕ1…粒子分散液撹拌装置、Ｗ…電子写真感光体用基材、
１…撹拌容器、２…小径円筒壁、３…大径円筒壁、４…円錐壁、７…旋回流形成用ノズル、８…撹拌用ノズル、１１…粒子分散液循環装置、１５…ホーニング処理槽、２２…ホーニングガン、２５…ホーニング液供給装置。
【図１】
0003823509.tif 000003
【図２】
0003823509.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
0003823509.tif 000007
【図６】
0003823509.tif 000008
【図７】
0003823509.tif 000009
【図８】
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