(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれが少なくとも１つの中空体を受け持つようになっている同一の複数の処理ステーション（１２、１３）を含み、処理のうちの少なくとも１つの段階に関して、気密回転継手を備える分配手段を介して処理ステーションを圧力源に連絡させる種類の、中空体の処理のための旋回台を備える機械であって、
前記段階に関して、機械が、独立していて同等である少なくとも２つの圧力源（Ａ１、Ａ２）を含むこと、処理ステーションが、機械が含む圧力源の数と同じ数のグループ（１２、１３）に分けられること、前記分配手段（１８）は、一方が固定クラウン（２０）で他方が回転クラウン（２２）であって、向い合う接触面（２４、２６）により気密にされた状態で相互に接触する２つの同軸クラウンを含む、回転分配器（１８）からなること、回転クラウン（２２）が、それぞれ処理ステーション（１２、１３）に接続され、前記段階のために機械が含む圧力源と少なくとも同じ数の組に分配され、かつ回転クラウン（２２）の接触面（２６）内に開口する連絡オリフィス（２８、２９）を含むこと、同一組のオリフィスが全て、同一グループの処理ステーションに対応し同じ軌跡を描き、異なる２つの組のオリフィスが異なる軌跡を描くこと、固定クラウン（２０）が、圧力源（Ａ１、Ａ２）に接続され、回転クラウン（２２）の一組のオリフィス（２８、２９）の軌跡上に来るように固定クラウン（２０）の接触面（２４）内にそれぞれ開口し、その結果、対応するオリフィスが圧力源に接続された開口部に面するとき、処理ステーションが圧力源に連絡するような開口部（３４、３５）を含むこと、固定クラウンが、少なくとも１つの開口部について、オリフィス組の数と少なくとも同数の異なる組を含むこと、および２つの圧力源（Ａ１、Ａ２）がそれぞれ、固定クラウン（２０）の２つの異なる開口部の組（３４、３５）のうちの１つの開口部に接続されることを特徴とする、中空体の処理のための旋回台を備える機械。
【請求項２】
分配器（１８）は、各瞬間に多くとも１つの処理ステーション（１２、１３）が１つの圧力源と連絡するように、構成されていることを特徴とする、請求項１に記載の機械。
【請求項３】
あるグループの少なくとも１つの処理ステーション（１２）が圧力源（Ａ１）と連絡するとき、これとは別のグループの少なくとも１つの処理ステーション（１３）がそれ自体に適合する圧力源（Ａ２）と連絡するように、分配器（１８）がなっていることを特徴とする、請求項１に記載の機械。
【請求項４】
回転継手が、処理ステーションのグループを別々に圧力源に連絡するために、機械が含む圧力源と同数の管路を含むこと、および、分配手段が、回転継手の下流側に、各処理ステーションに組み合わされた個別の弁制御手段を含むことを特徴とする、請求項１に記載の機械。
【請求項５】
同一グループの全処理ステーション（１２又は１３）のオリフィス（２８又は２９）が、同一の組に属することを特徴とする、請求項１に記載の機械。
【請求項６】
２つのクラウン（２０、２２）の接触面（２４、２６）が、旋回台（１６）の回転軸（Ｘ−Ｘ）に直角な環状面であることを特徴とする、請求項１に記載の機械。
【請求項７】
同一組のオリフィス（２８、２９）が、円に沿って配設されること、および２つの組のオリフィス（２８、２９）が、異なる直径の２つの円に沿って配設されることを特徴とする、請求項６に記載の機械。
【請求項８】
同一組のオリフィス（２８、２９）が、旋回台（１６）の回転軸（Ｘ−Ｘ）を中心として角度的に等間隔に分布すること、および同数のオリフィスを含む２つの異なる組のオリフィス（２８、２９）が、角度方向において挿入されることを特徴とする、請求項７に記載の機械。
【請求項９】
独立していて同等であり、前記段階のために使用される２つの圧力源（Ａ１、Ａ２）に対応する開口部（３４、３５）が、同一の角度セクタ（α）上、ならびに、前記圧力源が対応するオリフィス組（２８、２９）が配設される円の直径にそれぞれ対応する異なる直径上に、配設されることを特徴とする、請求項７に記載の機械。
【請求項１０】
同一組の連続する２つのオリフィスが、前記組に対応する開口部が延びる角度セクタ（α）に少なくとも等しい角度セクタ（β）により、角度的に分離されることを特徴とする、請求項９に記載の機械。
【請求項１１】
処理が、処理ステーション（１２、１３）を、回転分配器（１８）を介して第２圧力レベルに到達するための第２圧力源（Ｂ１、Ｂ２）と連絡させる第２段階を含むこと、固定クラウン（２０）が、各第１開口部（３４、３５）の延長部内に、第２圧力源（Ｂ１、Ｂ２）のうちの１つにそれぞれ接続された第２開口部（３６、３７）を含むこと、および同一組のオリフィス（２８、２９）に対応する２つの開口部（３４、３６；３５、３７）が、同一オリフィスと２つの開口部との同時連絡を防ぐ角度セクタ（δ）により分離されることを特徴とする、請求項１に記載の機械。
【請求項１２】
圧力源（Ａ１、Ａ２）が、大気圧より低い圧力にあることを特徴とする、請求項１に記載の機械。
【請求項１３】
処理が、中空体に被覆を付着するために低圧低温プラズマが発生される段階を含むこと、処理が、処理ステーションの内部の圧力を下げるための少なくとも１つのポンピング段階を含むこと、およびポンピング段階を実現することが可能な、独立していて同等である圧力源が、少なくとも２つのポンプ（Ａ１、Ａ２）であることを特徴とする、請求項１に記載の機械。
【請求項１４】
それぞれが少なくとも１つの中空体を受け持つようになっている同一の複数の処理ステーション（１２、１３）を含む、中空体の処理のための旋回台を備える機械のための回転分配器であって、分配器（１８）が、一方が固定クラウン（２０）で他方が回転クラウン（２２）であって、向い合う接触面（２４、２６）により気密にされた状態で相互に接触する２つの同軸クラウンを含み、回転クラウン（２２）が、それぞれ処理ステーション（１２、１３）に接続され、かつ回転クラウン（２２）の接触面（２６）内に開口する連絡オリフィス（２８、２９）を含む種類の回転分配器であって、
固定クラウン（２０）は、それぞれ１つの圧力源に接続されるようになっており、回転クラウンのオリフィスの軌跡上に来るように固定クラウン（２０）の接触面（２４）内にそれぞれ開口する少なくとも２つの開口部を含み、その結果、対応するオリフィスが開口部に面するとき、処理ステーションが圧力源に連絡し、回転クラウンのオリフィスが、少なくとも２つの組（２８、２９）に分配されること、第１組（２８）のオリフィスが全て、１つの同心円の軌跡を描き、第２組（２９）のオリフィスが全て、直径の異なる他の同心円の軌跡を描くこと、および、固定クラウン（２０）が、少なくとも２つの開口部について、オリフィス組の数と同数の異なる組を含み、各開口部がオリフィス組のうち１つの組の軌跡上に配設されることを特徴とする、回転分配器。
【請求項１５】
２つのクラウンの接触面（２４、２６）が、回転クラウン（２２）の回転軸（Ｘ−Ｘ）に直角な環状面であることを特徴とする、請求項１４に記載の分配器。
【請求項１６】
同一組のオリフィス（２８、２９）が、円に沿って配設されること、および２つの組のオリフィスが、異なる直径の２つの円に沿って配設されることを特徴とする、請求項１５に記載の分配器。
【請求項１７】
同一組のオリフィス（２８、２９）が、回転軸（Ｘ−Ｘ）を中心として角度的に等間隔に分布すること、および同数のオリフィスを含む２つの異なる組のオリフィスが、角度方向において挿入されることを特徴とする、請求項１４に記載の分配器。
【請求項１８】
２つの圧力源（Ａ１、Ａ２）に対応する開口部（３４、３５）が、同一の角度セクタ（α）上、ならびに、前記圧力源が対応するオリフィス組（２８、２９）が配設される円の直径にそれぞれ対応する異なる直径上に、配設されることを特徴とする、請求項１６に記載の分配器。
【請求項１９】
同一組の連続する２つのオリフィス（２８、２９）が、前記オリフィス組に対応する開口部（３４、３５）が延びる角度セクタ（α）に少なくとも等しい角度セクタ（β）により、角度的に分離されることを特徴とする、請求項１６に記載の分配器。
【請求項２０】
固定クラウンが、各開口部組について、互いの延長部内に、少なくとも２つの開口部（３４、３６）を含むこと、および同一組の２つの開口部（３４、３６）が、同一オリフィスと２つの開口部との同時連絡を防ぐ角度セクタ（δ）により分離されることを特徴とする、請求項１４から１９にいずれか一項に記載の分配器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、それぞれが少なくとも１つの中空体を受け持つようになっている同一の複数の処理ステーションを含み、処理のうちの少なくとも１つの段階に関して、気密回転継手を介して処理ステーションを圧力源に通じさせる種類の、中空体の処理のための旋回台を備える機械の分野に関する。
【０００２】
いくつかの適用例においては、たとえば、当該処理ステーション内に与えられる圧力レベルの確実な達成を保証するために、各瞬間において、多くとも１つのステーションが所与の１つの圧力源に連絡することが望まれる。そのことは、特に、所望する圧力で、限られた流量の流体しか供給できない圧力源がある場合に有効である。このような状況は、たとえば、ねらいとする圧力レベルが、大気圧よりも低いときに発生する。
【０００３】
いずれにせよ、採算が合う工業的利用を目指すため、可能な限り低コストの手段を用いながら、できる限り高い処理速度を機械から得ようとする努力がなされる。
【０００４】
ステーション数を増やすことは、この問題に対する解決方法の最初の糸口である。しかしながら、この場合、特に、処理の進捗を特徴付けるパラメータの連続的変動が発生する段階という枠組においては、旋回台上の各処理ステーションは、処理のうちでも特別な進捗段階にある。
【０００５】
ポンピング段階の場合、瞬時に真空を出すことは不可能であるので、特にこのことがあてはまる。したがって各段階はある継続期間を有し、この期間中、圧力レベルは絶えず変化する。
【０００６】
ステーション数が多いと、連続する２つのステーション、すなわち相互に接近した２つのステーションが、同一段階を実行中ではあるが、この段階の中の異なる進捗段階にあることがある。その場合、２つのステーションは異なる圧力レベルにある。
【０００７】
ところでこの場合、２つのステーションを同一の圧力源に接続することは可能ではない。なぜなら、２つのステーションのうちの２番目が圧力源と連絡するとすぐ、連続する２つのステーション内の圧力はほぼ瞬間的に釣り合うようになるからである。したがって第１ステーションは、当該段階の第１部分の進捗の利点のほぼ全体を失うことになる。
【０００８】
ＵＳ−Ａ−５，５８５，０６６においては、プラスチック製容器の吹込機械が記述されている。この機械は、異なる直径の２つの同心環状溝が横方向面に作製された、固定クラウンを具備する流体の圧力の分配器を含む。２つの溝のそれぞれは、種々のレベルの圧力源、さらには場合によっては大気に接続された、ある数の区間に分割される。記述されている機械は、ただ１つの処理ステーションでのみ動作するようになっている。分配器は、各オリフィスが、溝のうちの１つに面してまた対応する溝の種々の区間に連続して面して流体を通すようになっている、２つの連絡オリフィスを具備する回転装置も含むことがわかる。記述されている分配器により、処理ステーションを、高圧空気すなわち６ｂａｒの第１空気源、低圧空気すなわち３ｂａｒの第２空気源、あるいは大気と連絡させることが可能である。
【０００９】
各瞬間において、多くとも１つのステーションが、所与の圧力源と連絡することを所望する場合には、記述されている機械は、複数のステーションの使用についての解決方法を提供しないことがわかる。
【００１０】
事実、この場合、溝の当該区間が、当該段階の継続期間に対応する角度上の広がりを有するようにすることが必要であろう。
【００１１】
ところが、この区間に接続されている圧力源と連絡しているステーションをただ１つにするためには、連続する２つのステーションに接続されている圧力取り込みオリフィスが、区間の角度上の広がりに少なくとも等しい角度だけ隔離されているようにしなければならない。したがって、旋回台上に設置することができるステーション数は必然的に制限される。
【００１２】
この問題に対し当業者が先行技術を基にして見い出すことができる唯一の解決方法は、段階の継続期間を、連続する２つのステーションが同一点の前を通過するのを分ける時間より短くするよう、圧力源の出力を大幅に増加させることであった。この解決方法は、ポンピング流量の増加に伴う負荷の損失の増加を考慮しなければならないため、なおさら、使用すべきポンプのコストの指数関数的増加をもたらすことになるだろう。
【００１３】
したがって本発明は、所与の瞬間において、多くとも１つの処理ステーションに対し１つの圧力源しか連絡しないようにすることを保証しつつ、多数のステーションを含むことができる機械を提供することを目的とする。
【００１４】
この目的のため、本発明は、前記段階に関して、機械が、独立していて同等である少なくとも２つの圧力源を含むこと、ステーションが、機械が含む圧力源の数と同じ数のグループに分けられること、および各圧力源が異なるグループに組み合わされるように分配手段がなっていることを特徴とする、上に記述した種類の機械を提供する。
【００１５】
本発明の別の特徴によれば、
各瞬間に、前記圧力源のうちの１つが多くとも１つのステーションと連絡するように分配手段がなっており、
別のグループの少なくとも１つのステーションが、組み合わされた適切な圧力源と連絡するとき、あるグループの少なくとも１つのステーションが、組み合わされた圧力源と連絡することができるように分配手段がなっており、
回転継手が、ステーションのグループに個別に供給するために、機械が含む圧量源と同数の管路を含み、分配手段が、回転継手の下流側に、各ステーションに組み合わされた個別の弁制御手段を含み、
一方が固定クラウンで他方が回転クラウンであって、向い合う接触面により気密にされた状態で相互に接触する２つの同軸クラウンを含む、回転分配器の形態で気密回転継手が作製され、回転クラウンが、それぞれステーションに接続され、前記段階のために機械が含む圧力源と少なくとも同じ数の組に分配され、かつ回転クラウンの接触面内に開口する連絡オリフィスを含み、同一組のオリフィスが全て、同一グループのステーションに対応し同じ軌跡を描き、異なる２つの組のオリフィスが異なる軌跡を描き、固定クラウンが、圧力源に接続され、回転クラウンの一組のオリフィスの軌跡上に来るように固定クラウンの接触面内にそれぞれ開口し、その結果、対応するオリフィスが圧力源に組み合わされた開口部に面する時、ステーションが圧力源に連絡するような開口部を含み、固定クラウンが、少なくとも１つの開口部について、オリフィス組の数と少なくとも同数の異なる組を含み、同一の段階に対応する２つの圧力源がそれぞれ、固定クラウンの２つの異なる開口部の組のうちの１つの開口部に接続され、
同一グループの全ステーションのオリフィスが同一の組に属し、
２つのクラウンの接触面が、旋回台の回転軸に直角な環状面であり、
同一組のオリフィスが円に沿って配設され、２つの組のオリフィスが異なる直径の２つの円に沿って配設され、
同一組のオリフィスが、旋回台の回転軸を中心として角度的に等間隔に分布し、同数のオリフィスを含む２つの異なる組のオリフィスが、角度方向において挿入され、
独立していて同等であり、前記段階のために使用される２つの圧力源に対応する開口部が、同一の角度セクタ上、ならびに、前記圧力源が対応するオリフィス組が配設される円の直径にそれぞれ対応する異なる直径上に配設され、
同一組の連続する２つのオリフィスが、前記組に対応する開口部が延びる角度セクタに少なくとも等しい角度セクタにより、角度的に分離され、
処理が、処理ステーションを、回転分配器を介して第２圧力レベルに到達するための第２圧力源と連絡させる第２段階を含み、固定クラウンが、各第１開口部の延長部内に、第２圧力源のうちの１つにそれぞれ接続された第２開口部を含み、同一組のオリフィスに組み合わされた２つの開口部が、同一オリフィスと２つの開口部との同時連絡を防ぐ角度セクタにより分離され、
圧力源が大気圧より低い圧力にあり、
前述のいくつかの特徴に従って、処理が、中空体に被覆を付着するために低圧低温プラズマが発生される段階を含み、処理ステーションの内部の圧力を下げるための少なくとも１つのポンピング段階を含み、異なるステーショングループにそれぞれ組み合わされる少なくとも２つのポンプを用いてポンピング段階が実行される。
【００１６】
本発明は、それぞれが少なくとも１つの中空体を受け持つようになっている同一の複数の処理ステーションを含む、中空体の処理のための旋回台を備える機械のための回転分配器であって、分配器が、一方が固定クラウンで他方が回転クラウンであって、向い合う接触面により気密にされた状態で相互に接触する２つの同軸クラウンを含み、回転クラウンが、それぞれステーションに接続され、かつ回転クラウンの接触面内に開口する連絡オリフィスを含み、かつ固定クラウンが、機械の圧力源に接続されるようになっており、回転クラウンのオリフィスの軌跡上に来るように固定クラウンの接触面内に開口する少なくとも１つの開口部を含み、その結果、対応するオリフィスが開口部に面する時、ステーションが圧力源に連絡する種類の回転分配器であって、回転クラウンのオリフィスが、少なくとも２つの組に分配されること、同一組のオリフィスは同じ軌跡を描くが、異なる２つの組のオリフィスは異なる軌跡を描くこと、固定クラウンが、少なくとも１つの開口部について、オリフィス組の数と同数の異なる組を含み、各開口部がオリフィス組のうち１つの組の軌跡上に配設され、独立していて同等である２つの圧力源が、異なる２つの組のうちの１つの開口部にそれぞれ接続されることを特徴とする分配器も提供する。
【００１７】
さらに、本発明による分配器の別の特徴によれば、
２つのクラウンの接触面が、回転クラウンの回転軸に直角な環状面であり、
同一組のオリフィスが円に沿って配設され、２つの組のオリフィスが異なる直径の２つの円に沿って配設され、
同一組のオリフィスが、回転軸を中心として角度的に等間隔に分布し、同数のオリフィスを含む２つの異なる組のオリフィスが、角度方向において挿入され、
２つの圧力源に対応する開口部が、同一の角度セクタ上、ならびに、前記圧力源が対応するオリフィス組が配設される円の直径にそれぞれ対応する異なる直径上に配設され、
同一組の連続する２つのオリフィスが、前記オリフィス組に対応する開口部が延びる角度セクタに少なくとも等しい角度セクタにより角度的に分離され、
固定クラウンが、各開口部組について、互いの延長部内に、少なくとも２つの開口部を含み、同一組の２つの開口部が、同一オリフィスと２つの開口部との同時連絡を防ぐ角度セクタにより分離される。
【００１８】
本発明の別の特徴および長所は、添付の図面を参照して行う以下の詳細な記述を読むことにより明らかになろう。
【００１９】
本発明による機械の実施形態を図１に概略図で示した。
【００２０】
ここで、図示する機械１０は、中空体に処理を行うためのものであり、その処理とは、低圧プラズマを用いて中空体に被覆を付着させることである。ここでいう中空体はたとえば、びん、小びんなどの容器であり、ポリエチレンテレフタレートなどのプラスチック材料で作製することができる。
【００２１】
低圧プラズマの使用は、内部の絶対圧力が好ましくは１ｍｂａｒ未満の反応キャビティ内で行われることが必要である。
【００２２】
工業的に使用するために、機械は、１時間あたり数千、さらには数万個の中空体の処理を可能にするようになっている。この目的のため、機械１０は複数の処理ステーション１２、１３を含み、例えばここでは、軸Ｘ−Ｘを中心として回転駆動される旋回台１６に２０個のステーションが搭載される。全ステーション１２、１３は同一であり、軸Ｘ−Ｘを中心とする円上に配設される。各ステーションは、旋回台１６の回転中に中空体が所定の処理を受けるよう、少なくとも１つの中空体を受け取るようになっている。場合によっては、処理ステーション１２、１３が、単一の反応キャビティまたは複数の反応キャビティ内で、複数の中空体を受け持つようにすることも可能である。
【００２３】
図示した例においては、機械は、第１ポンピング段階、第２ポンピング段階、および付着段階の三つの主要な段階で付着処理を行うようになっている。２つのポンピング段階は、プラズマの発生を可能にするのに足る真空度を当該ステーションの反応チャンバ内に確立するためのものである。
【００２４】
第１ポンピング段階は、たとえば５０ミリバール程度の絶対圧力まで降下することにより、キャビティ内に第１レベルの真空を実現するためのものである。第２ポンピング段階は、０．１ミリバール程度の絶対圧力レベルに到達するためのものである。最後に、付着段階では、この絶対圧力をおよそ０．１ミリバールに保つようになっている。
【００２５】
機械上では、処理の各段階は、当該ステーションが、軸Ｘ−Ｘを中心とする所与の角度セクタの内側を移動する間に進行する。
【００２６】
もちろん、旋回台の回転運動についての他の２つの角度セクタは、中空体のローディングおよびアンローディング段階に充てられるが、これは、機械が連続供給される中空体を受け取り、処理後、同じようにして中空体を排出するからである。したがって処理は、旋回台が１回転自転するのに必要な時間よりも短い時間で進行しなければならない。
【００２７】
したがってステーションは、処理の諸段階において、ポンプと連絡していなければならない。ところがポンプの重量および体積のため、旋回台１６へポンプを搭載することができない。したがってポンプは固定であり、回転継手１６を介して処理ステーション１２、１３に接続されるようになっている。
【００２８】
本発明によれば、機械１０は、ステーション１２、１３が２つのグループに配分され、かつ、同一のポンピング段階について機械が、独立していて同等である２つのポンプを含み、２つのグループのステーションが、２つのポンプのうち、当該段階の進行中にステーションが接続される方のポンプに応じて区別されるように、構成される。
【００２９】
もちろん、より多くのポンプ、したがってより多くのステーショングループを設けることも可能であろう。
【００３０】
この構成を有効に利用するために、機械は、同一グループの２つのステーションが、このグループに対応する圧力源に同時に連絡しないように構成される。
【００３１】
したがって、ステーションを複数のグループに分けることにより、分配手段が、ある瞬間に、異なる２つのグループの２つのステーションを、結合されたそれぞれの圧力源に連絡できるようにすることができる。
【００３２】
したがって提案した例においては、ステーション１２、１３は、任意に偶数ステーション１２および奇数ステーション１３と呼称することができる２つのグループに交互に配分され、したがって、あるグループのステーションは、他方のグループの２つのステーションの間に挿入される。
【００３３】
したがって第１ポンピング段階は、偶数ステーション１２のグループに関しては、第１ポンプＡ１により行われ、奇数ステーション１３のグループに関しては、第２ポンプＡ２により行われる。
【００３４】
同様に、第２ポンピング段階は、２つのポンプＢ１およびＢ２により行われる。
【００３５】
同一の処理段階に組み合わされる２つのポンプは、相互に独立している。また、ポンプは、ステーションが属するグループの如何に関わらず、ステーション内に同じレベルの圧力をもたらすことができるという点において、同等でもある。
【００３６】
選択した例においては、これとは反対に、付着段階は、各ステーションに接続されるようになる単一ポンプＣにより行われる。この単一ポンプＣは、絶えず複数のステーションに接続されるようになっていることに留意すべきである。
【００３７】
本発明は種々の方法で実施することができる。
【００３８】
（図示しない）第１実施形態においては、気密回転継手を、たとえばポンプＡ１およびＡ２など２つの固定流体回路を、２つのステーショングループなど、旋回台に搭載された２つの流体回路に接続することができる、二管路の単純継手とすることができる。
【００３９】
このような継手は、たとえば、それぞれが２つの連続環状溝を具備する２つの同軸クラウンを含み、あるクラウンの各溝は、あるクラウンから他方のクラウンへの流体移動の２つの環状空間を形成するよう、他方のクラウンの溝に向い合う。もちろん、２つの環状空間は、固定クラウンを介して２つのポンプＡ１およびＡ２にそれぞれ接続される。
【００４０】
この実施形態においてはさらに、分配手段が、各ステーションを回転継手の対応する環状空間に接続する管路内に配設された個別の弁を、各ステーションのレベルにおいて含むようにする。すると、これらの各弁は、対応する空間を有する当該ステーションの連絡を開くまたは閉じるよう適時制御される。弁は、電磁弁、または旋回台を中心として配設される固定カムにより駆動される機械弁とすることができる。
【００４１】
しかしながら、本発明の好ましい実施形態においては、機械１０は、特に図２から図４に示す改良された回転分配器を含む。
【００４２】
回転分配器１８は、単純な回転継手とは異なり、固定流体回路を、回転旋回台に搭載された流体回路に接続する機能を有するだけではない。回転分配器は、旋回台上の所与の処理ステーションが、旋回台の回転運動のうちのどの時点で、所与のポンプと連絡しているかを判定する機能も有する。
【００４３】
分配器１８は、固定クラウン２０および回転クラウン２２の２つの環状クラウンを含む。２つのクラウンは、旋回台１６の、好ましくは垂直である回転軸Ｘ−Ｘに対し同軸であり、軸方向に積み重ねられる。旋回台１６と共に回転する回転クラウン２２は、環状であって軸Ｘ−Ｘに対し直角な横方向接触面２４、２６により、２つのクラウンが相互に押圧されるよう、固定クラウンの上側に配設される。
【００４４】
図３および図４でわかるように、回転クラウン２２には、回転クラウンの一方から他方まで軸方向に回転クラウンを通過し、下側接触面２６および上面３０に開口するようにした一組のオリフィス２８、２９が穿孔される。
【００４５】
たとえば数量が２０個の各オリフィス２８、２９は、気密な状態で上面３０に固定された管路３２により、処理ステーションのうちの１つに接続されるようになっている。
【００４６】
本発明によれば、オリフィスは２組に分配されることが図３で理解できよう。第１のオリフィスの組２８は、大径円上に配設されるが、第２のオリフィスの組２９は、小径円上に配設される。同一組のオリフィスは、角度的に等間隔、たとえば３６°毎に分布していることに留意すべきである。また、２つのオリフィスの組は、同数のオリフィスを有し、全部の組を含めた場合、旋回台上の２つのステーションの角度上の間隔に相当する１８°毎にオリフィスが存在するよう、角度的に相互に変位している。
【００４７】
本発明によれば、同一組の全てのオリフィスは、同一グループのステーションに対応する。提案例においては、反対に、同一グループの全ステーション、すなわち同一のポンプに結合される全ステーションは、同一組のオリフィスから供給されることに留意されたい。しかしながら、同一グループのステーションが、異なる２つの組に属するオリフィス、すなわち例えば、異なる直径の円上に配設された複数組のオリフィスから供給されることが可能であることが想像できる。
【００４８】
固定クラウン２０は、その接触面２２に、円弧形状の２組の開口部を備える。第１の開口部の組３４、３６、３８は、偶数オリフィス２８と同じ大径円上に配設されるが、第２の開口部の組３５、３７、３９は、奇数オリフィス２９と同じ小径円上に配設される。
【００４９】
開口部３４、３５はそれぞれ、第１ポンピング段階に使用されるポンプＡ１およびＡ２に接続される。
【００５０】
開口部３６、３７はそれぞれ、第２ポンピング段階に使用されるポンプＢ１およびＢ２に接続される。
【００５１】
反対に、開口部３８、３９は両者とも、付着段階に使用されるポンプＣに接続される。
【００５２】
各開口部３４、３５、３６、３７、３８、３９は、固定クラウン２０の下面４２内に開口し、（図示しない）管路が接続された対応する穴４０を介して、関連するポンプに接続される。
【００５３】
したがって、分配器のこの構成では、同一組の全オリフィスは、回転クラウンの回転時、同一の円形軌跡を描くこと、および対応する組の全開口部に順次面するようになることが理解できる。その結果、あるオリフィスがある開口部と面する時には、このオリフィスに対応するステーションは、開口部に組み合わされたポンプと連絡している。有利には、接触面２４、２６は、補足手段に頼る必要なく、単なる接触により気密性を形成するように研磨される。もちろん、２つの接触面の間に、２つの面の焼付きを防止するだけでなく、高温化を制限し気密性を保証することができる潤滑剤の皮膜を設ける。
【００５４】
図２でわかるように、同じ処理段階に対応し、異なる２つの組に属する２つの開口部は、同じ角度セクタ上に配設される。
【００５５】
しかしながら、同じ処理段階に対応する２つの開口部が角度的に変位するようにすることも、反対に、旋回台上の連続する２つのステーションが、異なる直径上にあって軸Ｘ−Ｘに対し角度的に一致するオリフィスを具備するようにすることもできる。
【００５６】
第１および第２ポンピング段階に対応する開口部３４、３５、３６、３７に関しては、これら開口部は、同一組の連続する２つのオリフィス２８、２９間を隔てる角距離β未満の角度セクタα上に延びるが、これは、これら２つの段階の実施中に、２つのステーションが同時に同じポンプに接続されるのを防止するためのものである。
【００５７】
また、同一組の２つの開口部は、あるオリフィスが、たとえ部分的であっても２つの開口部と同時に面しないように、角度セクタδにより互いに分離される。
【００５８】
次に、図５から図８を参照して、本発明による分配器１８の動作を記述する。これらの図は、上で記述した第１ポンピング段階に対応する２つの開口部３４、３５の像を示すとともに、上で記述した機械の連続する４つのステーションに対応する４つのオリフィスの像を重ねた線図である。種々の線図は、開口部に対するオリフィスの連続する種々の位置、したがって分配器の２つのクラウン２０、２２の種々の相対角度位置を示す。
【００５９】
図５に示す位置においては、４つのオリフィス２８、２９のうちのどれも対応する開口部に到達する前の状態にある。
【００６０】
図６では、回転クラウンが角度的に移動した結果、オリフィスのうちの１番目、たとえば偶数ステーションに対応するオリフィス２８が、開口部３４に面する位置に到達し、したがって、４つのステーションのうちの１番目、すなわちこのオリフィスに結合されたステーションが、ポンプＡ１と連絡するようになり、第１ポンピング段階を開始したことがわかる。この時点においては、他のいずれのステーションも、この第１ポンピング段階を開始していないことに留意されたい。
【００６１】
反対に図７では、クラウン２２の回転後、前述の偶数オリフィスに続く第１奇数オリフィスも、対応する開口部３５に到達したことがわかる。その結果、その開口部に組み合わされたステーションは、ポンプＡ２と連絡するようになる。この時点では、第１の偶数オリフィスは、まだ開口部３４と面しているが、４つのステーションのうちの第３ステーションに対応する第２の偶数オリフィスは、まだ開口部３４に面した位置に到達していない。
【００６２】
最後に、第１奇数オリフィスがまだ開口部３４と面している、回転クラウン２２の後続位置を図８に示した。反対に、第１偶数オリフィスは、開口部３４によって覆われた角度セクタからはずれており、第２偶数オリフィスはまだ中に入っていない。その結果、この時点でポンプＡ２はどのステーションとも連絡していない。
【００６３】
以上、クラウンが同軸であるが軸方向に重ねられ、接触面が平坦な横方向面である、回転分配器の好ましい実施形態を記述し図示した。
【００６４】
固定クラウンの上方に可動クラウンを配設することが選択された。しかしながら、２つのクラウンを逆にすることも可能である。
【００６５】
変形実施形態においては、２つのクラウンを同心に配設し、一方のクラウンが、半径方向において他方のクラウンの内側に収納されるようにして、回転分配器を作製することも可能である。この場合、接触面は内外の円筒形面であり、グループまたはオリフィス組は、軸Ｘ−Ｘの方向に相互に変位される。
【００６６】
いずれの場合も、ここではポンプである圧力源の全ての作用を維持しつつ、圧力源が同時に２つのステーションと連絡することが決してないように注意しながら、本発明により、角度的にきわめて接近したステーション、すなわち多数のステーションを旋回台１６上に持つと同時に、各ステーションについて比較的長い処理段階を有することができる。
【００６７】
さらに、２つのクラウン２０、２２は環状であるため、機械の運転に必要な他の装置を、これらクラウンの中心に通すようにすることができる。したがって、特に、多数のステーションを含む機械が、上で記述した分配器の種類の２つの回転分配器を具備するようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明によるマルチステーション処理機械の略図である。
【図２】  本発明による機械のための分配器の固定クラウンの接触面の図である。
【図３】  分配器の回転クラウンの接触面の図である。
【図４】  分配器の軸断面図である。
【図５】  分配器の固定クラウンの開口部に対する回転クラウンのオリフィスのうちのいくつかの種々の相対位置を示す線図である。
【図６】  分配器の固定クラウンの開口部に対する回転クラウンのオリフィスのうちのいくつかの種々の相対位置を示す線図である。
【図７】  分配器の固定クラウンの開口部に対する回転クラウンのオリフィスのうちのいくつかの種々の相対位置を示す線図である。
【図８】  分配器の固定クラウンの開口部に対する回転クラウンのオリフィスのうちのいくつかの種々の相対位置を示す線図である。
【図１】
0003735256.tif 000002
【図２】
0003735256.tif 000003
【図３】
0003735256.tif 000004
【図４】
0003735256.tif 000005
【図５】
0003735256.tif 000006
【図６】
0003735256.tif 000007
【図７】
0003735256.tif 000008
【図８】
0003735256.tif 000009