(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の一面に一体的に突出成形される複数の位置決め手段と、各位置決め手段の周囲の少なくとも両側部に位置する別体の誘導部材とを含んでなる精密基板収納容器であって、
該各位置決め手段の先端面がその開口先端部側から内方側に向け徐々に狭まった凹部をなし、
上記各誘導部材の先端面がその外側から内側に向け徐々に傾斜し、上記凹部の表面とほぼ連続する誘導面となるようにしたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】
精密基板を収納する容器本体の底面に複数の突部をそれぞれ成形した精密基板収納容器であって、
該各突部を、該容器本体の底面に一体的に突出成形される薄肉の位置決め手段と、この位置決め手段の周囲の少なくとも両側部に位置する誘導部材とに分割し、
該位置決め手段の先端面に凹部を形成し、この凹部内をその開口先端部側から内底末端部側に向け徐々に狭め、
上記誘導部材の先端面をその外側から内側に向け徐々に傾斜させて誘導面とし、この誘導面を上記凹部の内面とほぼ連続させるようにしたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項３】
精密基板を収納する容器本体の底面に複数の突部をそれぞれ成形した精密基板収納容器であって、
該各突部を、該容器本体の底面に一体的に突出成形される薄肉の位置決め手段と、この位置決め手段の周囲の少なくとも両側部に位置する誘導部材とに分割し、
該位置決め手段の先端面に凹部を形成し、この凹部内をその開口先端部側から内底末端部側に向け徐々に狭め、
上記誘導部材の先端面をその外側から内側に向け徐々に傾斜させて誘導面とし、この誘導面を上記凹部の内面とほぼ連続させるようにしたことを特徴とする精密基板収納容器の位置決め構造。
【請求項４】
上記容器本体の底面に位置するボトムプレートを備え、このボトムプレートに複数の貫通孔を設けて各貫通孔の周囲には上記誘導部材を設けるようにした請求項１又は２記載の精密基板収納容器。
【請求項５】
上記各誘導部材と上記各位置決め手段とを密接させるようにした請求項４記載の精密基板収納容器。
【請求項６】
上記各誘導部材と上記各位置決め手段の対向面のいずれか一方に係合凹部を、他方には係合凸部をそれぞれ設け、これら係合凹部と係合凸部とを嵌め合わせるようにした請求項４又は５記載の精密基板収納容器。
【請求項７】
上記各位置決め手段を、上記容器本体の底面から突出して隙間を介し対向する一対の位置決めリブとし、この一対の位置決めリブの先端部を断面ほぼＶ字形に成形して上記凹部とした請求項１、２、４、５、又は６記載の精密基板収納容器。
【請求項８】
上記一対の位置決めリブ間に補強リブを架けわたして一体成形した請求項７記載の精密基板収納容器。
【請求項９】
自動機のステージに、請求項１、２、４、５、６、７、又は８記載の精密基板収納容器を位置決めして搭載する精密基板収納容器の位置決め方法であって、
上記自動機の複数の位置決めピンと上記容器本体の複数の位置決め手段とが位置ずれしていない場合には、各位置決めピンに位置決め手段の凹部を嵌め合わせて位置決めし、
該複数の位置決めピンと該複数の位置決め手段とが位置ずれしている場合には、該各位置決めピンに該誘導部材の誘導面を接触させて滑らせ、該各位置決めピンに該位置決め手段の凹部を嵌め合わせて位置決めするようにしたことを特徴とする精密基板収納容器の位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやマスクガラスなどからなる精密基板の収納、貯蔵、保管、搬送、輸送、又は各種の自動機に対する位置決め接続などに使用される精密基板収納容器及びその位置決め構造、並びに精密基板収納容器の位置決め方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体のチップサイズの大型化や生産性の向上などに鑑み、大口径の半導体ウェーハ(以下、単にウェーハと略称する)などについて国際的な合意がなされたが、この合意に伴い、半導体製造装置やそのシステムに関して鋭意研究、開発がなされている。こうした中、ウェーハなどの収納や搬送などに使用される精密基板収納容器についても、その耐久性、密閉性、低汚染性、無人化、自動化、及び洗浄の容易化などを向上させるべく、様々な研究、開発がなされている。以下、この精密基板収納容器を代表的なウェーハを例に説明する。
【０００３】
この種の精密基板収納容器は、図９に示す場合には、本体である容器本体１が正面２の開口したフロントオープンボックス構造に成形され、この容器本体１の内部両側壁には複数の整列リブ３Ａを備えた一対の整列板２１が締結具を介しそれぞれ重ねて螺着されている。この一対の整列板２１は、複数の整列リブ３Ａにより、複数枚のウェーハＷを整列支持する。また、図１０や図１１に示す場合、容器本体１の内部両側壁に複数の整列リブ３Ａが上下方向に並べてそれぞれ一体成形されている。
【０００４】
ところで、ウェーハＷには、薄く、もろいという特性があるが、これ以外にも微小な粉塵による汚染を極度に嫌うという特徴がある。このため、ウェーハＷを収納、保管、搬送、又は取り扱う工場や作業工程においては、作業者による発塵、汚染を防止してクリーンな環境を維持すべく、アンローダやウェーハ自動移載装置などの各種の自動機(図１１参照)１２を使用して無人化や自動化を図ることが望まれる。この自動機１２による取り扱いを実現し、半導体製造の生産性を高める高速アクセス(容器本体１の位置補正と移載に必要な時間が４０秒以下、特に２０秒以下)を可能とするには、自動機１２のステージ１３上に精密基板収納容器を位置決め手段を利用して搭載し、容器本体１と複数の整列リブ３Ａとを自動機１２の正規の位置にそれぞれ高精度に位置決めすることが重要となる。
【０００５】
上記位置決め手段としては、一般的に凹凸嵌合が考えられ、利用される。すなわち、容器本体１の底面に表面の凹んだ位置決め具２２などの凹部材を、自動機１２のステージ１３上には凸部材である位置決めピン１４をそれぞれ複数配設し、これら複数の凹部材と位置決めピン１４とを相互に嵌合させて自動機１２のステージ１３上に精密基板収納容器を精度良く位置決め搭載するものである。
【０００６】
容器本体１に上記凹部材を設ける具体的な方法としては、図９や図１０に示すように、位置決め板２３に複数の位置決め具２２を設け、位置決め板２３を容器本体１の底面に接着剤や締結具を介し取り付けるという方法があげられる。
また、図１１に示すように、容器本体１の底面に、位置決めピン１４の直径よりも最低限片側に１０mmずつ長い幅を有する中実の突部２４をそれぞれ一体的に複数射出成形して各突部２４の先端面を断面ほぼ逆Ｖ字形に凹み成形し、この凹み部の内底中央を位置決め用の凹部８Ａとするとともに、凹み部内の左右両側面をそれぞれ連続した誘導面１１Ａとし、この誘導面１１Ａを利用して位置決めピン１４に位置ずれした凹部８Ａを嵌合させる方法もあげられる。
【０００７】
なお、この種の精密基板収納容器に関する先行技術文献として、実開昭６３−８２７８８号、６３−１６６９４８号、又は特開平９−１０７０２５号公報などがあげられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
精密基板収納容器は、以上のような方法で容器本体１に凹部材を設けるので、以下に示す様々な問題があった。先ず、容器本体１に別部品である位置決め板２３を取り付ける場合には、位置決め板２３を接着剤や締結具を利用して取り付けるので、±０．２mm以上の組み立て誤差や取り付け誤差が生じ、正確な位置精度を維持することが実に困難となる。このため、自動機１２に対してウェーハＷを出し入れする際、ウェーハＷを破損するおそれがある。
【０００９】
また、容器本体１と突部２４とを一体射出成形する場合、誘導作用を営む誘導面１１Ａを含めて射出成形するので、突部２４が容器本体１の肉厚の約５倍と局部的に非常に肉厚となり、突部２４及びその周辺に成形収縮に伴うひけが発生して曲がりや歪みとなり、適切な寸法精度を期待することができなくなる。この問題を解消するには、突部２４を回避する形に金型のパーティングラインを加工すれば良いのであるが、そうすると、成形品の離型の困難化、金型構造の複雑化、部品点数の増加、及び生産性の低下を招くこととなる。さらに、誘導面１１Ａを一体射出成形すると、射出成形後には誘導面１１Ａの長さや角度などを一切変更することができず、この結果、仕様が同一の自動機１２に対する画一的な対応しか期待できなくなる。
【００１０】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、射出成形法などのモールド成形により製造する場合に、ひけなどの成形不良や生産性の低下などを防止することのできる精密基板収納容器を提供することを目的としている。また、正確な位置精度を保持することができ、仕様の異なる装置にも容易に対応することのできる精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の一面(収納される精密基板の平面に対して平行な面の少なくとも一面)に一体的に突出成形される複数の位置決め手段と、各位置決め手段の周囲の少なくとも両側部に位置する別体の誘導部材とを含んでなるものであって、
該各位置決め手段の先端面がその開口先端部側から内方側に向け徐々に狭まった凹部をなし、
上記各誘導部材の先端面がその外側から内側に向け徐々に傾斜し、上記凹部の表面とほぼ連続する誘導面となるようにしたことを特徴としている。
【００１２】
また、請求項２記載の発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器本体の底面に複数の突部をそれぞれ成形したものであって、
該各突部を、該容器本体の底面に一体的に突出成形される薄肉(０．５mm〜５mm、好ましくは１mm〜４mm)の位置決め手段と、この位置決め手段の周囲の少なくとも両側部に位置する誘導部材とに分割し、
該位置決め手段の先端面に凹部を形成し、この凹部内をその開口先端部側から内底末端部側に向け徐々に狭め、
上記誘導部材の先端面をその外側から内側に向け徐々に傾斜させて誘導面とし、この誘導面を上記凹部の内面とほぼ連続させるようにしたことを特徴としている。
【００１３】
また、請求項３記載の発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器本体の底面に複数の突部をそれぞれ成形したものであって、
該各突部を、該容器本体の底面に一体的に突出成形される薄肉の位置決め手段と、この位置決め手段の周囲の少なくとも両側部に位置する誘導部材とに分割し、
該位置決め手段の先端面に凹部を形成し、この凹部内をその開口先端部側から内底末端部側に向け徐々に狭め、
上記誘導部材の先端面をその外側から内側に向け徐々に傾斜させて誘導面とし、この誘導面を上記凹部の内面とほぼ連続させるようにしたことを特徴としている。
【００１４】
なお、上記容器本体の底面に位置するボトムプレートを備え、このボトムプレートに複数の貫通孔を設けて各貫通孔の周囲には上記誘導部材を設けることができる。
また、上記各誘導部材と上記各位置決め手段とを隙間を介して嵌めても良いが、密接させることもできる。
また、上記各誘導部材と上記各位置決め手段の対向面のいずれか一方に係合凹部を、他方には係合凸部をそれぞれ設け、これら係合凹部と係合凸部とを嵌め合わせることもできる。
【００１５】
また、上記各位置決め手段を、上記容器本体の底面から突出して隙間を介し対向する一対の位置決めリブとし、この一対の位置決めリブの先端部を断面ほぼＶ字形に成形して上記凹部とすることが好ましい。
また、上記一対の位置決めリブ間に補強リブを架けわたして一体成形することが望ましい。
【００１６】
さらに、請求項９記載の発明においては、上記課題を達成するため、自動機のステージに、請求項１、２、４、５、６、７、又は８記載の精密基板収納容器を位置決めして搭載する方法であって、
上記自動機の複数の位置決めピンと上記容器本体の複数の位置決め手段とが位置ずれしていない場合には、各位置決めピンに位置決め手段の凹部を嵌め合わせて位置決めし、
該複数の位置決めピンと該複数の位置決め手段とが位置ずれしている場合には、該各位置決めピンに該誘導部材の誘導面を接触させて滑らせ、該各位置決めピンに該位置決め手段の凹部を嵌め合わせて位置決めするようにしている。
【００１７】
ここで、特許請求の範囲における精密基板は、半導体などの製造分野で使用される単数複数(例えば、１３枚又は２５枚)の半導体ウェーハ(シリコンウェーハなど)を主にいい、大口径(３００mm)の半導体ウェーハを含む。但し、精密基板は、必ずしも半導体ウェーハに限定されるものではない。すなわち、精密基板には、少なくとも電気電子の分野で使用される単数複数の液晶セル、石英ガラス、又はマスク基板などが含まれる。
【００１８】
容器本体は、ポリカーボネイト、アクリルニトリル、ポリブチレンテレフタレート、若しくはポリプロピレンなどの樹脂、又はセラミックなどを用いて射出成形することができる。この容器本体には、必要に応じて透明処理や帯電防止処理などを施すことが可能である。容器本体の肉厚は容器本体の大きさ、すなわち、収納する精密基板の大きさにより適宜決められるが、例えば３００ｍｍウェーハを収納する容器本体の場合、平均肉厚は３．５mm〜５．０mmが適している。
【００１９】
位置決め手段と誘導部材とは、透明、着色無地のPEやPPなどのポリオレフィン、ABS、PS、PC、PBT、PEEK、PEIなどの熱可塑性樹脂、ポリエステル系、ポリオレフィン系、若しくはポリスチレン系の熱可塑性エラストマー、又はセラミックなどの成形材料を使用して射出成形することができる。但し、滑りが良好な熱可塑性樹脂の使用が望ましい。
【００２０】
位置決め手段は、円柱形、円筒形、楕円形の筒形、又は角筒形などに射出成形することができる。この位置決め手段の射出成形箇所や数などは、必要に応じて増減変更することが可能である。例えば、位置決め手段は、３個が好ましいが、４個や５個などにすることもできる。この場合、正多角形の頂点に位置するよう設けるのが好ましい。また、位置決め手段の凹部内は、その開口先端部側から内底末端部側に向け徐々に狭まるものであれば、傾斜面からなるものでも良いし、湾曲面、冠球面、又は双曲面などからなるものでも良い。
【００２１】
誘導部材は、各位置決め手段の周囲両側に最低限位置する形に構成すれば良いが、円筒形や楕円形の筒形、枠形、あるいはＵ字形などに射出成形、モールド成形することが望ましい。この誘導部材は、必ずしも単一の部品からなる必要はない。例えば、平面Ｕ字形などを呈した一対の分割部材を組み立てて誘導部材を構成し、この誘導部材を位置決め手段に嵌入しても良い。また、位置決め手段に誘導部材を密嵌したり、あるいは容器本体に誘導部材を粘着剤や複数の螺子などを介し着脱自在に固定することができる。また、容器本体の底面に凹部を、誘導部材には凸部をそれぞれ射出成形、あるいはモールド成形し、これら凹部と凸部とを嵌合することにより誘導部材を固定することも可能である。
【００２２】
誘導部材の誘導面は、誘導部材の外側から位置決め手段のある内側に向かって徐々に傾斜するものであれば、直線的に傾斜するものでも良いし、湾曲しながら傾斜するものでも良い。誘導面を凹部の内面とほぼ連続させる態様としては、誘導面と凹部の内面とを僅かな隙間を介しておおよそ連続させる態様、誘導面と凹部の内面とを隙間なく連続させる態様、誘導面と凹部の内面とを僅かな段差を介して実質的に連続させる態様、又はこれらを組み合わせた態様があげられる。
【００２３】
ボトムプレートは、平面ほぼＹ字形、平面ほぼＶ字形、又は平面ほぼ半小判形などに射出成形することができる。このボトムプレートの各貫通孔の周囲には誘導部材を一体射出成形したり、誘導部材を粘着剤や複数の螺子などを用いて着脱自在に取り付けることができる。また、一対の位置決めリブにおける断面ほぼＶ字形は、技術的思想に着目した実質的な意味に理解されなければならず、少なくとも断面ほぼ八字形、断面ほぼ漏斗形、又は断面ほぼ放物線の半円弧形などの類似形を含む。
【００２４】
さらに、補強リブは単数複数いずれでも良い。さらにまた、自動機は、少なくともSMIF(Standard Mechanical InterFace：局所クリーン化を実現した空間において、直接人間を介することなく、機械的に半導体製造装置に対してウェーハを供給又は回収する方法)などで使用される精密基板収納容器搭載用の装置をいい、具体的にはオープナ、半導体ウェーハ加工装置、又は自動移載装置などがあげられる。
【００２５】
請求項１、２、又は３記載の発明によれば、容器本体の一面好ましくは底面に位置決め手段を一体成形するので、容器本体の一面又は底面に位置決め手段を誤差の生じやすい接着剤や締結具を利用して取り付ける必要がない。また、容器本体の底面に最低限必要な位置決め手段のみを成形するので、位置決め手段の肉厚を容器本体の肉厚と同等か、それ以下に薄くすることができる。また、誘導部材を位置決め手段とは別体としたので、位置決めピンに応じて誘導部材に適宜加工を施し、異なる仕様の自動機に適用することが可能となる。
【００２６】
また、請求項４記載の発明によれば、容器本体の底面側にボトムプレートを取り付ければ、各位置決め手段の周囲の少なくとも両側に誘導部材が位置する。したがって、複数の位置決め手段の周囲の少なくとも両側に誘導部材を一つずつ設ける作業を一度で終了させることができる。
また、請求項５記載の発明によれば、位置決め手段と誘導部材とを隙間の生じないよう、きつく接触させるので、その摩擦抵抗により、容器本体の底面にボトムプレートをねじなどの締結具を用いることなく、簡単にセットすることができる。
また、請求項８記載の発明によれば、一体成形された補強リブは、一対の位置決めリブが接近する方向や反接近方向に撓んだり、変形するのを抑制あるいは防止し、一対の位置決めリブの剛性を向上させる。
【００２７】
さらに、請求項９記載の発明によれば、自動機のステージ上に精密基板収納容器を位置決め搭載する場合には、各位置決めピンに位置決め手段の凹部を嵌める。すると、自動機に精密基板収納容器を高精度に位置決め搭載することができ、自動機に複数の整列リブを高精度に位置決めすることが可能になる。
これとは逆に、各位置決めピンに対して位置決め手段が位置ずれしている場合、各位置決めピンに誘導部材の誘導面が接触し、この誘導面がガイド面として機能し、位置決め手段の凹部は、ずれた位置から正規の位置に滑って誘導される。この誘導により、各位置決めピンに凹部が嵌まり、自動機に精密基板収納容器を高精度に位置決め搭載することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態になんら限定されるものではない。
本実施形態における精密基板収納容器及びその位置決め構造、並びに精密基板収納容器の位置決め方法は、図１ないし図３に示すように、容器本体１の底面に複数の位置決め手段４をそれぞれ一体射出成形し、各位置決め手段４の全周囲を別体である誘導部材９で嵌合包囲するようにしている。
【００２９】
容器本体１は、機械的特性、汚染性、及び成形性などに優れた成形材料を使用して正面２の開口したフロントオープンボックス構造に射出成形され、背面がウェーハＷの形に対応して湾曲成形されている。この容器本体１の開口した正面２は着脱自在の蓋体(この点については図７参照)にシール状態に被覆される。また、容器本体１の内部両側壁には、複数の整列リブ３が所定のピッチ（例えば、１０mmピッチ）で上下方向に並べてそれぞれ一体成形されている。したがって、複数枚（例えば、２５枚）のウェーハＷは、複数の整列リブ３に上下方向にほぼ積層した状態で整列支持される。
【００３０】
複数（本実施形態では３個）の位置決め手段４は、容器本体１の底面の前部中心部（図１又は図２では、これのみ示す）、底面の後部一側部、及び底面の後部他側部にそれぞれ一体射出成形されている。各位置決め手段４は、図３に示すように、容器本体１から突出する一対の位置決めリブ５と、この一対の位置決めリブ５の間に介在して一体架設成形される厚さ約４mmの補強リブ６とを備え、底面側から見てＨ字形を呈している。
【００３１】
一対の位置決めリブ５は、幅４０mm、高さ２０mmの板形に射出成形され、４〜１０mmの隙間をおいて相互に対向している。各位置決めリブ５の肉厚ｔは、図１に示すように、成形歪みが発生しない限り、特には制限されないが、合成樹脂製の場合、通常は０．５mm〜５mm、好ましくは１mm〜４mmの範囲から適宜選択される。また、各位置決めリブ５は、図２に示すように、その先端面（底面）７が外側の最先端部７ａから対向面側、換言すれば、内面側の基部７ｂにかけて約１５°〜６０°の角度で傾斜成形されている。したがって、一対の位置決めリブ５の先端面７と補強リブ６とは、断面ほぼ逆すり鉢形又は断面ほぼ漏斗形の凹部８を区画形成する。
【００３２】
さらに、各誘導部材９は、幅が約１５mmの長方形の枠形に射出成形され、先端部が一対の位置決めリブ５の先端面７よりも下方(図１、図２の下方)に長く伸長されている。各誘導部材９の先端面（底面）１０は、図２に示すように、外周面側の最先端部１０ａから内周面側１０ｂにかけて約１５°〜６０°以下の角度で傾斜し、誘導面１１として機能する。したがって、各誘導部材９は、図２に示すように、位置決め手段４に対する嵌合時にその先端面１０が一対の位置決めリブ５の先端面７に僅かな隙間を介して連続する。
【００３３】
なお、各位置決め手段４と誘導部材９との間には隙間が形成されても、そうでなくても良い。隙間が形成される場合、隙間は、位置決めピン１４の太さの１／２以下、好ましくは１／１０以下が良い。また、誘導部材９の幅、形状、又は構造などは、自動機１２のステージ１３の位置決めピン１４の形状や構造に対応して成形される。
【００３４】
上記構成において、容器本体１を自動機１２で搬送する際、自動機１２のステージ１３上に精密基板収納容器を位置決め搭載するには、容器本体１の複数の位置決め手段４に誘導部材９を予め接着剤を介してそれぞれ装着し、その後、自動機１２の先端部が丸まった各位置決めピン１４上に一対の位置決めリブ５間の凹部８を嵌入して２点で接触させれば良い。こうすれば、自動機１２に精密基板収納容器を±０．２５mm以内の高精度に位置決めセットすることができるとともに、自動機１２に複数の整列リブ３を三次元的、かつ高精度に位置決めすることが可能となる（この点につき、図２の丸印で囲んだ要部参照）。
【００３５】
この際、各位置決めピン１４に対する一対の位置決めリブ５間の位置が左右±１０mm以内でずれても、各位置決めピン１４に接触する誘導部材９の誘導面１１がガイド面として誘導作用を発揮する。したがって、位置決め手段４の一対の位置決めリブ５は、ずれた位置から正規の位置に滑らかに無理なく滑って誘導される。よって、自動機１２に精密基板収納容器が高精度に位置決め搭載される。
【００３６】
上記構成によれば、容器本体１の底面に位置決め手段４を一体射出成形するので、位置決めリブ５を接着剤や締結具を利用して取り付ける必要性が全くない。したがって、組み立て誤差や取り付け誤差に伴う位置精度の低下をきわめて有効に抑制防止することができ、ウェーハＷの破損のおそれを確実に解消することができる。また、容器本体１の底面に必要最低限の位置決め手段４のみを射出成形するので、容器本体１の肉厚の１．５倍以上にもなる肉厚部の生じることがない。よって、ひけなどの成形不良を未然に防止することが可能になる。例えば、PCを使用して容器本体１を成形する場合、成形収縮率は(肉厚３〜５mmの場合)５／１０００〜７／１０００であるが、成形収縮率は肉厚の増加とともに大きくなる傾向にある。したがって、容器本体１の肉厚は、可能な限り均一とすることが成形不良の防止の観点から望ましい。
【００３７】
また、誘導部材９を着脱自在の別部品としたので、位置決めピン１４に応じて誘導部材９を適宜成形することができる。したがって、誘導部材９の形状、誘導面１１の長さや角度などをきわめて容易に変更することができ、異なる仕様の自動機１２に簡単に対応することができる。また、金型の構成の複雑化や成形品の離型不良などをきわめて有効に回避し、金型費用の大幅な低減を図ることができるとともに、生産効率の大幅な向上が期待できる。また、誘導部材９のみを別部品としたので、部品点数を最小限に抑制することができ、製造工程や検査工程が減少し、生産性を著しく向上させることができる。さらに、一対の位置決めリブ５間に補強リブ６を一体的に介在するので、簡易な構成で位置精度や強度を向上させることができる。
【００３８】
次に、図４及び図５は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、ポッド(Pod)と呼ばれる容器本体１Ａの底面にボトムプレート１５を着脱自在に位置させ、このボトムプレート１５を使用して自動機１２のステージ１３上に位置決めされた容器本体１Ａを固定するようにしている。
【００３９】
ボトムプレート１５は、PP、PC、PBT、PEEK、又はPEIなどの合成樹脂を用いてほぼＶ字形の板形に射出成形され、その前部両側(図４の斜め右側)と後部(図４の斜め左側)とには貫通孔がそれぞれ穿孔成形されており、各貫通孔の周縁部には枠形の誘導部材９Ａが一体的に射出成形されている。各誘導部材９Ａは、図５に示すように、その幅寸法が位置決め手段４の幅寸法よりも０．０１〜０．６mm程度狭くなるよう一体射出成形されている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４０】
本実施形態においても、上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、位置決め手段４毎に誘導部材９Ａを取り付ける作業を一度で終了させることができ、精密基板収納容器の組立作業の効率が大幅に向上するのは明らかである。さらに、各位置決め手段４に誘導部材９Ａをきつく圧接密嵌するので、これら位置決め手段４と誘導部材９Ａとの弾性保持力や摩擦抵抗により、容器本体１Ａにボトムプレート１５を簡易、かつ強固に支持させることができる。
【００４１】
次に、図６は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、第２の実施形態における位置決め手段４の左右両側部、換言すれば、一対の位置決めリブ５の外面それぞれに断面半円形の係合凸部１６を、誘導部材９Ａの左右両側部の内面(対向面)には断面半円形の係合凹部１７をそれぞれ射出成形し、これら係合凹部１７と係合凸部１６とを相互に嵌合させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００４２】
本実施形態においても、上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、係合凹部１７と係合凸部１６とを相互に嵌合させるので、容器本体１Ａにボトムプレート１５をさらに強固に支持させることができるのは明白である。
【００４３】
なお、上記実施形態においては、図１や図４の容器本体１、１Ａを示したが、なんらこれに限定されるものではない。例えば、容器本体１、１Ａを中空の円柱形に射出成形し、この容器本体１、１Ａの正面２を開口させ、容器本体１、１Ａの内部両側壁と内部背面壁とに複数の整列リブ３をそれぞれ一体成形することもできる。また、容器本体１、１Ａを内箱として透明の外箱に収納し、この外箱の開口上部を透明の蓋で被覆する二重構造とし、収納、保管、運搬、搬送、又は取り扱いなどの便宜を図るようにしても良い。この際、外箱と蓋とを円形や方形などに適宜射出成形することが可能である。
【００４４】
また、容器本体１Ａの内部両側壁に複数の整列リブを備えた別部品のカラムをそれぞれ着脱自在に装着しても良い。また、図７に示すように、第２、第３の実施形態における容器本体１Ａの底面に複数のボス１８を射出成形し、この複数のボス１８にボトムプレート１５Ａをボルトなどの締結具を介し螺着して一層強固に支持させることも可能である。この場合、第２、第３の実施形態における位置決め手段４と誘導部材９Ａとの間に隙間が生じても良い。
【００４５】
また、図８に示すように、第２、第３の実施形態におけるボトムプレート１５Ｂの背面側に上面の開口したポケット１９を一体射出成形し、このポケット１９内にウェーハＷ用の識別媒体２０を着脱自在に収容してウェーハＷの品種などの情報を管理するようにしても良い。さらに、第２、第３の実施形態におけるボトムプレート１５の各貫通孔の周縁部両側のみに誘導部材９Ａを一体的に射出成形することも可能である。さらにまた、上記第３の実施形態とは逆に、一対の位置決めリブ５の外面それぞれに断面半円形の係合凹部１７を、誘導部材９Ａの内面には断面半円形の係合凸部１６をそれぞれ射出成形することもできる。
【００４６】
【発明の効果】
以上のように請求項１、２、３又は９記載の発明によれば、射出成形やモールド成形法により製造する場合においても、ひけなどの成形不良や生産性の低下などを抑制防止することができるという効果がある。さらに、正確な位置精度を保持することができ、同種の自動機だけではなく、仕様の異なる自動機にも容易に使用することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法の実施形態における誘導部材のセット前の状態を示す縦断面説明図である。
【図２】本発明に係る精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法の実施形態における誘導部材のセット後の状態を示す縦断面説明図である。
【図３】本発明に係る精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法の実施形態を示す要部底面図である。
【図４】本発明に係る精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法の第２の実施形態を示す斜視説明図である。
【図５】図４のIV-IV線断面図である。
【図６】本発明に係る精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法の第３の実施形態を示す縦断面説明図である。
【図７】本発明に係る精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法の他の実施形態を示す縦断面側面図である。
【図８】本発明に係る精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法の他の実施形態を示す斜視説明図である。
【図９】精密基板収納容器の別部品タイプの位置決め手段を示す分解斜視説明図である。
【図１０】一体成形タイプの精密基板収納容器を示す斜視説明図である。
【図１１】精密基板収納容器の一体成形タイプの位置決め手段を示す縦断面説明図である。
【符号の説明】
１      容器本体
１Ａ    容器本体
４      位置決め手段
５      位置決めリブ
６      補強リブ
７      位置決めリブの先端面
７ａ    位置決めリブの最先端部(開口先端部側)
７ｂ    位置決めリブの基部(内底末端部側)
８      凹部
９      誘導部材
９Ａ    誘導部材
１０    誘導部材の先端面
１０ａ  誘導部材の最先端部(外側)
１０ｂ  誘導部材の内周面側(内側)
１１    誘導面
１２    自動機
１３    ステージ
１４    位置決めピン
１５    ボトムプレート
１５Ａ  ボトムプレート
１５Ｂ  ボトムプレート
１６    係合凸部
１７    係合凹部
２４    突部
Ｗ      ウェーハ(精密基板)
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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