(57)【要約】導電膜等の電気抵抗値を現状よりさらに小さくできる導電ペーストと、導電率に異方性を有する導電膜と、均一な結晶構造を有するめっき被膜を形成するめっき方法と、良好な特性を有する微細金属部品の製造方法とを提供する。導電ペーストは、微細な金属粒が多数、鎖状に繋がった形状の金属粉末を配合した。導電膜は、導電ペーストを塗布して形成した塗膜に磁場をかけて、常磁性を有する鎖状の金属粉末を一定方向に配向させた。めっき方法は、導電ペーストから形成した導電膜上に、電気めっきによってめっき被膜を成長させる。微細金属部品の製造方法は、めっき方法により、型（３）の、微細な通孔パターンの部分で露出した導電膜（１）上に、選択的にめっき被膜（４′）を成長させて、微細金属部品を製造する。
2003019579.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微細な金属粒が多数、鎖状に繋がった形状を有する金属粉末を、導電成分として含有することを特徴とする導電ペースト。
【請求項２】
鎖状の金属粉末、またはこの金属粉末を形成する個々の金属粒を、
・  常磁性を有する単体金属、
・  常磁性を有する２種以上の金属の合金、
・  常磁性を有する金属と他の金属との合金、または
・  常磁性を有する金属を含む複合体
にて形成したことを特徴とする請求項１記載の導電ペースト。
【請求項３】
鎖状の金属粉末または金属粒の、全体または一部を、常磁性を有する金属のイオンを含む、１種または２種以上の金属のイオンを含有した溶液中で、当該イオンを還元剤によって金属に還元することで、液中に析出させて形成したことを特徴とする請求項２記載の導電ペースト。
【請求項４】
還元剤が３価のチタン化合物であることを特徴とする請求項３記載の導電ペースト。
【請求項５】
金属粒の粒径が４００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の導電ペースト。
【請求項６】
金属粉末の鎖の径が１μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の導電ペースト。
【請求項７】
鎖状の金属粉末と、結着剤とを固形分として含み、かつ固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の含有割合が５〜９５重量％であることを特徴とする請求項１記載の導電ペースト。
【請求項８】
請求項２記載の導電ペーストを下地上に塗布して塗膜を形成し、この塗膜に一定方向から磁場をかけることで、当該塗膜中の鎖状の金属粉末を、上記磁場に応じた一定方向に配向させるとともに、塗膜を固化させて金属粉末の配向を固定したことを特徴とする導電膜。
【請求項９】
請求項１記載の導電ペーストを下地上に塗布して導電膜を形成する工程と、この導電膜上に、当該導電膜を電極とする電気めっきによってめっき被膜を成長させる工程とを含むことを特徴とするめっき方法。
【請求項１０】
導電膜の体積固有抵抗が１Ω・ｃｍ以下であることを特徴とする請求項９記載のめっき方法。
【請求項１１】
導電ペースト中の鎖状の金属粉末が、めっき被膜に含まれるのと同じ、少なくとも１種の金属を含有することを特徴とする請求項９記載のめっき方法。
【請求項１２】
請求項１記載の導電ペーストからなる導電膜を介して、導電性基体上に、微細金属部品の形状に対応した微細な通孔パターンを有する、絶縁材料からなる型を固定して、電鋳型を形成する工程と、
この電鋳型の通孔パターンの部分で露出した導電性基体または導電膜の表面に、これらの表面を電極とする電気めっきによって選択的にめっき被膜を成長させることで、通孔パターンの形状に対応した微細金属部品を形成する工程と、
を含むことを特徴とする微細金属部品の製造方法。
【請求項１３】
導電ペーストとして、鎖状の金属粉末と、結着剤とを固形分として含み、かつ固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の含有割合が０．０５〜２０体積％であるものを用いることを特徴とする請求項１２記載の微細金属部品の製造方法。
【請求項１４】
導電ペーストとして、鎖状の金属粉末とともに、当該鎖状の金属粉末よりも粒径の小さい球状の金属粉末を含むものを用いることを特徴とする請求項１２記載の微細金属部品の製造方法。
【請求項１５】
導電ペーストとして、鎖状の金属粉末と粒状の金属粉末と結着剤とを固形分として含み、かつ固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の含有割合が０．０５〜２０体積％、粒状の金属粉末の含有割合が０．０５〜２０体積％であるものを用いることを特徴とする請求項１４記載の微細金属部品の製造方法。
【請求項１６】
導電性基体上に、請求項１記載の導電ペーストからなる第１の導電膜と、この第１の導電膜に含まれる鎖状の金属粉末よりも粒径が小さい金属粉末を含む導電ペーストからなる第２の導電膜とをこの順に形成するとともに、両導電膜を介して、導電性基体上に、微細金属部品の形状に対応した微細な通孔パターンを有する、絶縁材料からなる型を固定して電鋳型を形成する工程と、
この電鋳型の通孔パターンの部分で露出した第２の導電膜の表面に、当該表面を電極とする電気めっきによって選択的にめっき被膜を成長させることで、通孔パターンの形状に対応した微細金属部品を形成する工程と、
を含むことを特徴とする微細金属部品の製造方法。
【請求項１７】
第２の導電膜を形成する導電ペーストとして、金属粉末と結着剤とを固形分として含み、かつ固形分の総量に対する金属粉末の含有割合が０．０５〜７０体積％であるものを用いることを特徴とする請求項１６記載の微細金属部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
この発明は、新規な導電ペーストと、この導電ペーストを用いて形成した導電膜と、上記導電ペーストを用いためっき方法と、このめっき方法を応用した微細金属部品の製造方法とに関するものである。
背景技術
従来、導電膜（プリント配線板における導体回路等）の形成材料や、あるいは電気部品同士の導電接着（導体回路への素子等の実装、導体回路同士の接続等）に用いる導電接着剤などとして、導電ペーストが広く用いられる。
導電ペーストは、粉末状の導電成分を、樹脂等の結着剤、および溶媒とともに所定の比率で配合して製造される。また、例えば液状硬化性樹脂等の液状の結着剤を用いて溶媒を省略した導電ペーストもある。
また導電成分としては、例えば平均粒径が１〜数十μｍ程度で、かつ形状が粒状、薄片状（鱗片状、フレーク状）などである金属粉末が一般的に使用される。また金属粉末を形成する金属としては、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｌなどが挙げられる。
しかし、かかる従来の金属粉末を用いて、導電膜や、あるいは導電接着剤による導電接着部分（以下「導電膜」と総称する）の電気抵抗値を現状のレベルよりさらに小さくすることは、技術的な限界があって困難である。
すなわち導電膜においては、結着剤中に分散した多数の金属粉末を通して電流が流れる。このため金属粉末を、結着剤中に高密度で充てんして、金属粉末同士が直接に接触する接触点数を増加させることが、導電膜の電気抵抗値を小さくする有効な方法であると考えられる。そしてその具体的な方法としては、金属粉末の粒径を小さくすることが挙げられる。
しかし、一般的な金属粉末の製造方法では、前述した範囲より小さいサブミクロンオーダーの金属粉末を製造するのが容易でない上、製造できたとしても、そのような微小な金属粉末は、粒径が小さくなるほど凝集しやすくなって、結着剤中に均一に分散させるのが難しくなる傾向がある。
しかも、実際の金属粉末の表面は酸化被膜等で覆われており、個々の接触点において、この酸化被膜等によって接触抵抗を生じるため、接触点数が増加すればするほど、膜全体としてみたときの接触抵抗が大きくなって、かえって導電膜の電気抵抗値が大きくなる傾向もある。
このため、金属粉末の粒径を小さくして、その充てん密度を高めることによって導電膜の電気抵抗値を小さくする方法には技術的な限界がある。
また、従来の金属粉末は前記のように粒状、薄片状などのアスペクト比の小さい形状を有するため、導電膜の導電率は、その厚み方向や面方向でいずれもほぼ等しくなる。つまり導電率の異方性の小さい導電膜を形成することはできる。
しかし逆に、例えば厚み方向のみ導電率が高く他の方向は低いといった、導電率異方性に優れた導電膜を形成できないという問題もある。
また近時、発明者は、導電ペーストを下地上に塗布して導電膜を形成した後、この導電膜上に、当該導電膜を電極とする電気めっきによってめっき被膜を成長させるめっき方法と、このめっき方法を利用して、厚みがおよそ１００μｍ以下程度で、かつサブミクロンオーダーの微細パターン部を有する金属部品（以下「微細金属部品」とする）を製造する方法とを実用化すべく検討を行った。
ところが、これらの方法に従来の導電ペーストを用いた場合には、形成されためっき被膜中の、金属の結晶粒の粒径が、当該めっき被膜の厚み方向で不連続に変化した分布を有するものとなるため、厚み方向の全体にわたって均一な結晶構造を有するめっき被膜が得られず、良好な特性を有する微細金属部品を製造できないことが判明した。
この原因についてさらに検討したところ、以下の事実が明らかとなった。
すなわち従来の導電ペーストを用いて形成した導電膜は、前記のように導電成分として、平均粒径が１μｍ以上という、微細金属部品と比較してもあまり小さくない金属粉末を含有している。
このため導電膜の表面を、微細金属部品の大きさのレベルで微視的に見ると、金属粉末が露出した導電部分と、その間の絶縁部分とが、金属粉末の大きさにあわせて不規則な斑状に分布した状態となっており、電気的に均一でない。
しかも導電膜の表面は、同様に微細金属部品の大きさのレベルで微視的に見ると、金属粉末の大きさに対応した、微細金属部品の大きさと比べてもあまり小さくない凹凸を有しており、平坦でもない。
電気めっきによるめっき被膜の結晶構造は下地の影響を受けやすく、上記のようにその表面が電気的に均一でない上、平坦でもない導電膜を下地としてめっき被膜を成長させた際には、とくに成膜初期の段階で被膜中に生成する結晶粒の粒径が、例えば平坦な金属表面にめっき被膜を成長させた際に得られる本来の粒径よりもかなり大きくなる傾向を示す。
そして膜の成長が進み、その表面が平坦な金属面に近づいた段階で、はじめて、平坦な金属表面に成長させた場合と同等の本来の粒径を有する結晶粒が生成するようになり、その後はこの粒径でめっき被膜が成長する。
このためめっき被膜は、その全体にわたって均一な結晶構造を有するものとはならず、当該めっき被膜を形成する金属の結晶粒の粒径が厚み方向で不連続に変化した分布を有するものとなる。具体的には、めっき被膜を形成する金属の結晶粒の粒径が本来の粒径よりも大きい領域と、本来の粒径である領域との２層構造に形成されてしまう。
また、このめっき方法を応用した微細金属部品の製造方法では、まず導電ペーストからなる導電膜を介して、金属板等の導電性基体上に、微細金属部品の形状に対応した微細な通孔パターンを有する、樹脂等の絶縁材料からなる型を接着、固定して電鋳型を形成する。
次にこの電鋳型の、通孔パターンの部分で露出した導電性基体または導電膜の表面に、これらの表面を電極とする電気めっきによって選択的にめっき被膜を成長させることで、通孔パターンの形状に対応した微細金属部品を形成する。
そして型と導電性基体とを除去すると、微細金属部品が得られる。
導電膜は、導電性基体の全面に導電ペーストを塗布して導電性基体上に型を接着した後、乾燥、固化させることで、導電性基体の全面に形成してもよい。この場合は電鋳型の、通孔パターンの部分で露出した導電膜上にめっき被膜が成長して微細金属部品が形成される。
また導電膜は、型の、導電性基体と接着する側の表面に導電ペーストを塗布して型を導電性基体上に接着した後、乾燥、固化させることで、型と導電性基体との接着部分のみに形成してもよい。この場合は電鋳型の、通孔パターンの部分で露出した導電性基体上にめっき被膜が成長して微細金属部品が形成される。
ただし後者の構成では、型を導電性基体上に接着する際に、導電ペーストが、通孔パターン内にはみ出すのを防止することは難しい。このため電鋳型の、通孔パターンの周縁部では、導電ペーストが通孔パターン内にはみ出して乾燥、固化して導電膜が形成された状態となり、その上にもめっき被膜が成長して微細金属部品が形成される。
したがってこのいずれの場合にも、製造された微細金属部品は、導電膜上に成長した、前記のように結晶粒の粒径が本来よりも大きい領域を含んでおり、全体として見たときに、所期の物理的、機械的あるいは電気的特性が得られないという問題を生じる。
また微細金属部品は、上述した結晶粒の粒径が大きい領域と、その他の、結晶粒の粒径が本来の大きさである領域との２層構造を有し、この２つの領域ではとくに物理的、機械的特性が相違するため、温度変化等の外的条件によって微細金属部品に歪みが生じたり、場合によっては破損したりするおそれもある。
そこで、通孔パターン内の導電膜を除去して導電性基体を露出させるために、電気めっき前の通孔パターンの内部を溶剤で洗浄（ウエットエッチング）したり、あるいはドライエッチングしたりすることが考えられる。
しかしこのいずれの処理も、樹脂の型にダメージを与えやすく、とくに通孔パターンのエッジ部が丸くなったり、あるいは通孔パターンの側壁が抉り取られたりして、通孔パターンの形状が変形しやすい。このため、微細金属部品の形状の再現性が低下するという新たな問題を生じる。
発明の開示
この発明の主たる目的は、導電膜の電気抵抗値を現状のレベルよりさらに小さくすることが可能な、新規な導電ペーストを提供することにある。
この発明の他の目的は、導電率に異方性を有するため、これまでにない用途での使用が可能な新規な導電膜を提供することにある。
この発明のさらに他の目的は、全体にわたって均一な結晶構造を有するめっき被膜を形成しうる新規なめっき方法を提供することにある。
この発明のさらに他の目的は、全体にわたって均一な結晶構造を有するため良好な特性を有する微細金属部品を、形状の再現性良く製造できる新規な製造方法を提供することにある。
この発明の導電ペーストは、微細な金属粒が多数、鎖状に繋がった形状を有する金属粉末を、導電成分として含有することを特徴とするものである。
この発明において導電成分として用いる鎖状の金属粉末は、例えば後述する還元析出法などによって、サブミクロンオーダーの微細な金属粒が多数、あらかじめ鎖状に繋がった形状に形成されるため、個々の金属粒間の接触抵抗を、これまでよりも小さくすることができる。
また、これも後述するように鎖状の金属粉末としては、多数の金属粒が繋がった周囲にさらに金属膜が析出した構造を有するものを用いることもでき、かかる金属粉末においては、金属膜によって個々の金属粒間が電気的に接続されるため、その接触抵抗をさらに小さくすることができる。
しかも鎖状の金属粉末は、粒状等の従来の金属粉末に比べて比表面積が大きいため、凝集等を生じることなしに、結着剤中に均一に分散させることもできる。
このため鎖状の金属粉末を用いると、当該金属粉末を形成する微細な金属粒によって、従来は実現不可能であった、サブミクロンオーダーの粒状の金属粉末を、接触抵抗の増加や凝集等を生じることなしに、結着樹脂中に高密度でかつ均一に分散させたものと同等の導電膜を形成することができる。
したがってこの発明の導電ペーストによれば、導電膜の電気抵抗値を、現状のレベルよりさらに飛躍的に小さくすることが可能となる。
なお鎖状の金属粉末、またはこの金属粉末を形成する個々の金属粒としては、
・  常磁性を有する単体金属、
・  常磁性を有する２種以上の金属の合金、
・  常磁性を有する金属と他の金属との合金、または
・  常磁性を有する金属を含む複合体
にて形成して磁力を付与したものを用いるのが好ましい。
かかる金属粉末としては、多数の微細な金属粒が単に磁力によって鎖状に繋がったものから、繋がった金属粒の周囲にさらに、前記のように金属膜が析出して金属粒間が強固に結合されたものまで種々の構造を有するものが含まれるが、このいずれにおいても、金属粒は基本的に磁力を保持している。
このため、例えば導電ペーストを製造する際や塗布して導電膜を形成する際の応力程度では鎖が簡単に切れたりしない上、もし切れた場合でも、応力が加わらなくなった時点で、金属粒の磁力に基づいて鎖が再結合したり、複数の鎖が互いに接触して導電ネットワークを形成したりしやすい。
したがって、導電膜の電気抵抗値をさらに小さくすることが可能である。
また、上記鎖状の金属粉末または金属粒の、磁力を有する全体または一部は、常磁性を有する金属のイオンを含む、１種または２種以上の金属のイオンを含有した溶液中で、当該イオンを還元剤によって金属に還元することで液中に析出させる、還元析出法によって形成するのが好ましい。
かかる還元析出法によって、常磁性を有する金属を含む、サブミクロンオーダーの微細な金属粒を液中に析出させると、当該金属粒は、単結晶構造か、もしくはそれに近い構造に形成されるため、単純に２極に分極し、自動的に鎖状に繋がって、鎖状の金属粉末を形成する。
よって鎖状の金属粉末の製造が容易であり、導電ペーストの生産効率の向上やコストダウンなどが可能である。
また還元析出法によって形成される金属粒は、個々の粒径が揃っており、粒度分布がシャープである。したがって金属粒が多数、繋がって形成された鎖状の金属粉末は、導電膜の表面を電気的に均一な状態とする効果に優れるため、導電ペーストは、後述するめっき方法や微細金属部品の製造方法に好適に使用できるものとなる。
還元析出法に用いる還元剤としては３価のチタン化合物が好ましい。
還元剤として、三塩化チタンなどの３価のチタン化合物を用いた場合には、鎖状の金属粉末を形成した後の溶液を、電解再生によって繰り返し、鎖状の金属粉末の製造に利用可能な状態に再生できるという利点がある。
金属粒の粒径は、前記のようにサブミクロンオーダーであればよい。しかし、特に後述するめっき方法や微細金属部品の製造方法において、その表面が、微細金属部品の大きさのレベルで微視的に見たときに電気的により均一である上、より平坦である導電膜を形成するためには、金属粒の粒径は４００ｎｍ以下であるのが好ましい。また同様の理由で、金属粉末の鎖の径は１μｍ以下であるのが好ましい。
また、固形分として鎖状の金属粉末と結着剤とを含む導電ペーストにおいて、固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の含有割合が５重量％未満では、金属粉末間の接触点数が減少して、導電膜の導電性が低下するおそれがある。
また逆に、固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の含有割合が９５重量％を超えると、相対的に結着剤の含有割合が不足するため、当該結着剤による、多数の金属粉末を結着して強固な導電膜を形成する効果が不十分になるおそれがある。
したがってこの発明の導電ペーストにおける、固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の含有割合は、５〜９５重量％であるのが好ましい。
この発明の導電膜は、前記のように磁力を付与した鎖状の金属粉末を含む導電ペーストを下地上に塗布して塗膜を形成し、この塗膜に一定方向から磁場をかけることで、当該塗膜中の鎖状の金属粉末を、上記磁場に応じた一定方向に配向させるとともに、塗膜を固化させて金属粉末の配向を固定したことを特徴とするものである。
この発明おいては、塗膜中に分散した金属粉末を、上記のように磁場をかけることによって、その磁束の方向に沿って一定方向に配向させた状態で、塗膜を固化させることによって配向を固定することができる。そして導電膜は、鎖状の金属粉末が配向した方向にのみ特異的に導電率が高く、他の方向の導電率が低い導電率異方性を示すものとなる。
このためこの発明によれば、例えばその厚み方向や、厚み方向に対して所定の角度を持った特定の方向、あるいは面内の１方向にのみ導電率が高いといった、特殊な導電膜を形成することが可能となり、これまでにない用途での、導電膜の使用が可能となる。
この発明のめっき方法は、この発明の導電ペーストを下地上に塗布して導電膜を形成する工程と、この導電膜上に、当該導電膜を電極とする電気めっきによってめっき被膜を成長させる工程とを含むことを特徴とするものである。
この発明の導電ペーストを用いて形成した導電膜は、前記のように高い導電性を有している。
のみならず、上記導電膜の表面を、例えば微細金属部品の大きさのレベルで微視的に見ると、鎖状の金属粉末を構成する、上記微細金属部品よりも十分に小さい金属粒が、多数の金属粉末の相互接触による導電ネットワークを通して電気的に一体に接続された状態で、ほぼ均一に分散した状態となっている。このため導電膜の表面は電気的に均一である。
しかも導電膜の表面は、同様に微細金属部品の大きさのレベルで微視的に見ると、上記金属粒の大きさに対応した、微細金属部品よりも十分に小さい凹凸しか有しておらず、ほぼ平坦である。
したがってこの導電膜の表面に、電気めっきによってめっき被膜を成長させた際には、成膜初期の段階から、平坦な金属表面に成長させた場合と同等の、本来の粒径を有する結晶粒が生成するため、その全体にわたって均一な結晶構造を有するめっき被膜を形成することができる。
この発明のめっき方法に使用する導電膜の体積固有抵抗は、１Ω・ｃｍ以下であるのが好ましい。
導電膜の体積固有抵抗を上記の範囲内としたときには、電気めっき時の電気抵抗を小さくして、発熱等のエネルギーロスを低減することができる。
また、この発明のめっき方法に使用する導電ペーストは、鎖状の金属粉末が、めっき被膜に含まれるのと同じ、少なくとも１種の金属を含有しているのが好ましい。
この構成によれば、導電膜の表面に露出した鎖状の金属粉末の表面から、めっき被膜を連続的に結晶成長させることができる。このため、めっき被膜の結晶粒の大きさを、本来の粒径に制御することがさらに容易になる。
この発明の微細金属部品の製造方法は、この発明の導電ペーストからなる導電膜を介して、導電性基体上に、微細金属部品の形状に対応した微細な通孔パターンを有する、絶縁材料からなる型を固定して、電鋳型を形成する工程と、
この電鋳型の通孔パターンの部分で露出した導電性基体または導電膜の表面に、これらの表面を電極とする電気めっきによって選択的にめっき被膜を成長させることで、通孔パターンの形状に対応した微細金属部品を形成する工程と、
を含むことを特徴とするものである。
前記のように、この発明の導電ペーストを用いて形成した導電膜の表面に、電気めっきによって形成しためっき被膜は、鎖状の金属粉末の特性によって、その全体にわたって、金属製の導電性基体の表面に直接に形成したものと同等の、均一な結晶構造を有する。
したがって、電鋳型の通孔パターンの部分で露出した導電膜の表面にめっき被膜を成長させた場合、ならびに電鋳型の通孔パターンの部分で露出した導電性基体の表面と、そこへはみ出した導電膜の表面にめっき被膜を成長させた場合のいずれの場合においても、結晶粒が本来の粒径を有するため所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮しうる単一の層構造を備えた、良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
またそれゆえに、樹脂製の型にダメージを与えるおそれのある、導電膜を除去して導電性基体を露出させる工程が不要となるため、微細金属部品を再現性良く、型の形状に忠実に製造することもできる。
なお上記の製造方法に用いる、固形分として鎖状の金属粉末と結着剤とを含む導電ペーストにおいて、固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の含有割合が２０体積％を超える場合には、相対的に結着剤の含有割合が減少するため、導電ペーストの接着力が低下して、互いに異種の材料からなる導電性基体と型とを強固に固定できなくなるおそれがある。
これに対し、鎖状の金属粉末の含有割合を２０体積％以下とすれば、導電ペーストの接着力を向上して、導電性基体と型とをより強固に固定することができる。しかも、かかる導電ペーストを用いて形成した導電膜は、前述した鎖状の金属粉末の特性によって、例えば粒状などの他の形状を有する金属粉末を同量、用いた場合よりも低抵抗で導電性の高い状態を維持できる。このため、前述したように良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
しかし含有割合が０．０５体積％未満では、鎖状の金属粉末を用いているにもかかわらず、金属粉末間の接触点数が著しく減少するため、導電膜の導電性が大きく低下して、良好な特性を有する微細金属部品を製造できなくなるおそれが生じる。
したがって微細金属部品の製造に用いる導電ペーストにおける、固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の含有割合は、０．０５〜２０体積％であるのが好ましい。
鎖状の金属粉末を上記の含有割合で含む導電ペーストを用いて形成した導電膜は、前述したように鎖状の金属粉末の特性によって、それだけで十分に高い導電性を有している。
しかし、上記の範囲内でもその含有割合が小さいほど、導電膜の表面を微細金属部品のレベルで微視的に見た際に、鎖状の金属粉末が露出した導電部分が、結着剤からなる絶縁部分の中に、いわゆる海島構造でもって分布した状態になる傾向がある。そして、とくに電気めっき開始時の給電点の分布密度が不足する場合を生じる。
そこでこのような場合には、導電ペーストとして、鎖状の金属粉末とともに、当該鎖状の金属粉末よりも粒径の小さい球状の金属粉末を含むものを用いるのが好ましい。
かかる構成では、導電膜の、鎖状の金属粉末による導電部分の間を粒状の金属粉末で埋めて、電気めっき開始時の給電点の分布密度を増加させることができるため、より良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
なお上記導電ペーストにおいて、固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の含有割合は、前記と同じ理由で、０．０５〜２０体積％であるのが好ましい。
また粒状の金属粉末の含有割合が０．０５体積％未満では、当該金属粉末による、導電膜の、導電部分の間を埋めて、電気めっき開始時の給電点の分布密度を増加させる効果が不十分になるおそれがある。
このため粒状の金属粉末の含有割合は、導電部分の間を埋めて、電気めっき開始時の給電点の分布密度を増加させる効果を考慮すると、大きければ大きいほど好ましい。
しかし鎖状の金属粉末と粒状の金属粉末とが混在した系であるため、粒状の金属粉末の含有割合が２０体積％を超える場合には、相対的に結着剤の含有割合が小さくなりすぎる。このため、導電ペーストの接着力が低下するとともに、導電膜自体の強度が低下して、導電性基体と型とを強固に固定できなくなるおそれがある。
したがって、固形分の総量に対する粒状の金属粉末の含有割合は、０．０５〜２０体積％であるのが好ましい。
この発明の他の微細金属部品の製造方法は、導電性基体上に、この発明の導電ペーストからなる第１の導電膜と、この第１の導電膜に含まれる鎖状の金属粉末よりも粒径が小さい金属粉末を含む導電ペーストからなる第２の導電膜とをこの順に形成するとともに、両導電膜を介して、導電性基体上に、微細金属部品の形状に対応した微細な通孔パターンを有する、絶縁材料からなる型を固定して電鋳型を形成する工程と、
この電鋳型の通孔パターンの部分で露出した第２の導電膜の表面に、当該表面を電極とする電気めっきによって選択的にめっき被膜を成長させることで、通孔パターンの形状に対応した微細金属部品を形成する工程と、
を含むことを特徴とするものである。
この発明によれば、第１の導電膜の、島状に分布した導電部分の間を第２の導電膜中の金属粉末で埋めて、前記と同様に電気めっき開始時の給電点の分布密度を増加させることができ、より良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
なお、第２の導電膜のもとになる導電ペーストにおいて、固形分の総量に対する金属粉末の含有割合が０．０５体積％未満では、当該小粒径の金属粉末による、上述した第１の導電膜の、導電部分の間を埋めて、電気めっき開始時の給電点の分布密度を増加させる効果が不十分になるおそれがある。
このため第２の導電膜のもとになる導電ペーストにおける、金属粉末の含有割合は、導電部分の間を埋めて、電気めっき開始時の給電点の分布密度を増加させる効果を考慮すると、大きければ大きいほど好ましい。またこの導電ペーストは、互いに樹脂という同種の材料からなる第１の導電膜と型とを接着できればよいため、結着剤の含有割合を、第１の導電膜の場合よりも大幅に小さくすることが可能である。
しかし金属粉末の含有割合が７０体積％を超える場合には、相対的に結着剤の含有割合が小さくなりすぎるため、導電ペーストの接着力が低下するとともに、第２の導電膜自体の強度が低下して、第１の導電膜と型とを強固に固定できなくなるおそれがある。
したがって第２の導電膜を形成する導電ペーストにおける、固形分の総量に対する金属粉末の含有割合は、０．０５〜７０体積％であるのが好ましい。
なお日本国公開特許公報ＪＰ−２００１−２００３０５−Ａ２の第００１５欄には、平均粒径が５０ｎｍ程度の、常磁性を有する合金の微粉末が、鎖状に繋がって二次粒子を形成する可能性のあることが記載されている。
しかしこの公報は、電磁波シールド材料を提供することを目的としたものであり、電磁波シールド材料は、周知のように絶縁性でなければならないので、上記のように鎖状に繋がった二次粒子を、積極的に導電性の向上に利用するという思想は、かかる公報には一切、含まれていない。
その証拠として上記の公報では、合金微粒子を、合成樹脂とともに混練して射出成型用の材料として用いて電磁波シールド材料を形成することや、上記合金微粒子を、ゾル−ゲルセラミックスなどと混合して、噴霧成型用のスラリーとして使用して、電磁波シールドに使用することが開示されている。
これらの成型方法では、ペーストに使用した場合と比べ物にならない大きな応力が加わるため、合金微粒子は、鎖状に繋がった二次粒子の形状を維持することができず、電磁波シールドに適した、個々の合金微粒子ごとにばらばらにちぎれた状態となって、電磁波シールド中に分散される。
よって上記公報の記載は、この発明を開示も示唆もするものではない。
また日本国公開特許公報ＪＰ−Ｈ０８−２７３４３１−Ａ２には、導電成分として樹枝状結晶粒子を用いた導電ペーストについて記載されている。しかしここでいう樹枝状結晶とは、そのアスペクト比が１０以下の、ソリッドな金属粉末であり、いわば本願の従来技術で述べた粒状等の金属粉末の一変形に過ぎない。
よって上記公報の記載も、この発明を開示も示唆もするものではない。
発明を実施するための最良の形態
以下に、この発明を説明する。
〈導電ペースト〉
この発明の導電ペーストは、前記のように導電成分として、微細な金属粒が多数、鎖状に繋がった形状を有する金属粉末を含有することを特徴とするものである。
（金属粉末）
鎖状の金属粉末としては、気相法、液相法等の種々の方法で製造され、直鎖状、分岐鎖状等の種々の鎖状構造を有する金属粉末が、いずれも使用可能である。
鎖状の金属粉末を形成する個々の金属粒の粒径はサブミクロンオーダー、特に４００ｎｍ以下であるのが好ましい。また鎖の径は１μｍ以下であるのが好ましい。これらの理由は先に述べたとおりである。
なお金属粒の粒径は、電気的に均一でかつ平坦な導電膜を形成することを考慮すると、上記の範囲内でも特に２００ｎｍ以下であるのがさらに好ましい。ただし粒径があまりに小さすぎると、鎖状に繋がれた金属粉末自体のサイズが小さくなりすぎて、導電成分としての機能が十分に得られないおそれがある。したがって金属粒の粒径は１０ｎｍ以上であるのが好ましい。
また鎖の径は、これも電気的に均一でかつ平坦な導電膜を形成することを考慮すると、上記の範囲内でも特に４００ｎｍ以下であるのがさらに好ましい。ただし鎖の径があまりに小さすぎると、導電ペーストを製造する際や塗布する際の応力程度で簡単に切れやすくなるおそれがある。したがって鎖の径は１０ｎｍ以上であるのが好ましい。
上記鎖状の金属粉末としては、先に述べたように、当該金属粉末、またはこの金属粉末を形成する個々の金属粒を、常磁性を有する金属単体、常磁性を有する２種以上の金属の合金、常磁性を有する金属と他の金属との合金、もしくは常磁性を有する金属を含む複合体にて形成したものが好ましい。この理由も先に述べたとおりである。
かかる、常磁性を有する金属を含む金属粉末の具体例としては、下記（ａ）〜（ｆ）のいずれか１種、もしくは２種以上の混合物などが挙げられる。
（ａ）図１Ａに一部を拡大して示すように、常磁性を有する金属単体、常磁性を有する２種以上の金属の合金、または常磁性を有する金属と他の金属との合金から形成したサブミクロンオーダーの金属粒ｍｌを、自身の磁性によって多数個、鎖状に繋がらせた金属粉末Ｍ１。
（ｂ）図１Ｂに一部を拡大して示すように、上記（ａ）の金属粉末Ｍ１の表面にさらに、常磁性を有する金属単体、常磁性を有する２種以上の金属の合金、または常磁性を有する金属と他の金属との合金からなる金属層ｍ２を析出させて、金属粒間を強固に結合した金属粉末Ｍ２。
（ｃ）図１Ｃに一部を拡大して示すように、上記（ａ）の金属粉末Ｍ１の表面にさらに、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ｒｈなどの他の金属や合金からなる金属層ｍ３を析出させて、金属粒間を強固に結合した金属粉末Ｍ３。
（ｄ）図１Ｄに一部を拡大して示すように、上記（ｂ）の金属粉末Ｍ２の表面にさらに、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ｒｈなどの他の金属や合金からなる金属層ｍ４を析出させて、金属粒間を強固に結合した金属粉末Ｍ４。
（ｅ）図１Ｅに一部を拡大して示すように、常磁性を有する金属単体、常磁性を有する２種以上の金属の合金、または常磁性を有する金属と他の金属との合金から形成した粒状の芯材ｍ５ａの表面を、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ｒｈなどの他の金属や合金からなる被覆層ｍ５ｂで被覆して複合体ｍ５を得、この複合体ｍ５を金属粒として、芯材ｍ５ａの磁性によって多数個、鎖状に繋がらせた金属粉末Ｍ５。
（ｆ）図１Ｆに一部を拡大して示すように、上記（ｅ）の金属粉末Ｍ５の表面にさらに、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ｒｈなどの他の金属や合金からなる金属層ｍ６を析出させて、金属粒間を強固に結合した金属粉末Ｍ６。
なお図では、金属層ｍ２、ｍ３、ｍ４およびｍ６や、被覆層ｍ５を単層として記載しているが、各層はいずれも、同一または異なる金属材料からなる２層以上の積層構造を有していてもよい。
また、上記のうち常磁性を有する金属単体、常磁性を有する２種以上の金属の合金、または常磁性を有する金属と他の金属との合金によって形成される金属粉末または金属粒の全体、もしくは
常磁性を有する金属を含む複合体によって形成される金属粉末または金属粒のうち、常磁性を有する金属を含む部分は、
前述したように還元析出法によって、その形成材料である常磁性を有する金属のイオンを含む溶液に還元剤を加えることで、液中に析出させて形成するのが好ましい。
還元析出法においては、まず還元剤、例えば三塩化チタンなどの３価のチタン化合物と、例えばクエン酸三ナトリウム等とを溶解させた溶液（以下「還元剤溶液」とする）に、アンモニア水等を加えてｐＨを９〜１０に調整する。これにより、３価のチタンイオンが錯化剤としてのクエン酸と結合して配位化合物を形成して、Ｔｉ（ＩＩＩ）からＴｉ（ＩＶ）に酸化する際の活性化エネルギーが低くなり、還元電位が高くなる。具体的には、Ｔｉ（ＩＩＩ）とＴｉ（ＩＶ）との電位差が１Ｖを超える。この値は、Ｎｉ（ＩＩ）からＮｉ（Ｏ）への還元電位や、Ｆｅ（ＩＩ）からＦｅ（Ｏ）への還元電位などに比べて著しく高い値である。よって各種の金属のイオンを効率よく還元して、金属粒や金属膜などを析出、形成することができる。
次に上記の還元剤溶液に、例えばＮｉ等の、常磁性を有する金属単体のイオンを含む溶液、または常磁性を有する金属を含む合金を形成する２種以上のイオンを含む溶液を加える。
そうすると、Ｔｉ（ＩＩＩ）が還元剤として機能して、自身がＴｉ（ＩＶ）に酸化する際に、金属のイオンを還元して液中に析出させる。すなわち液中に、上記金属単体または合金からなる金属粒が析出するとともに、自身の磁性によって多数が鎖状に繋がって鎖状の金属粉末を形成する。また、このあとさらに析出を続けると、上記金属粉末の表面にさらに金属層が析出して、金属粒同士を強固に結合する。
つまり前記（ａ）（ｂ）などの金属粉末Ｍ１、Ｍ２や、その元になる金属粒ｍ１、あるいは前記（ｅ）（ｆ）の金属粉末Ｍ５、Ｍ６の元になる複合体ｍ５のうち芯材ｍ５ａなどが、上記の方法によって製造される。
また上記金属粒ｍ１や芯材ｍ５ａは個々の粒径が揃っており、粒度分布がシャープである。これは、還元反応が系中で均一に進行するためである。したがってかかる金属粒ｍ１や芯材ｍ５ａから製造される金属粉末Ｍ１〜Ｍ６はいずれも、導電膜の表面を電気的に均一な状態とする効果に優れており、めっき方法や微細金属部品の製造方法に好適に使用できる。
金属粒や芯材等を析出させた後の還元剤溶液は、前記のように電解再生を行うことで、何度でも繰り返し、還元析出法による鎖状の金属粉末の製造に利用することができる。すなわち、金属粒や芯材等を析出させた後の還元剤溶液を電解槽に入れるなどして電圧を印加することで、Ｔｉ（ＩＶ）をＴｉ（ＩＩＩ）に還元してやれば、再び電解析出用の還元剤溶液として使用することができる。これは、電解析出時にチタンイオンが殆ど消費されない、つまり析出させる金属とともに析出されないためである。
金属粒や芯材等を形成する、常磁性を有する金属または合金としては、例えばＮｉ、Ｆｅ、Ｃｏおよびこれらのうち２種以上の合金等が挙げられ、特にＮｉ単体やＮｉ−Ｆｅ合金（パーマロイ）等が好適に使用される。かかる金属や合金にて形成した、特に金属粒は、鎖状に繋がる際の磁気的な相互作用が強いため、金属粒間の接触抵抗を低減する効果に優れている。
また上記の、常磁性を有する金属や合金とともに、前記（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）の複合体を形成する他の金属としてはＡｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ｒｈなどが挙げられ、特に導電率が高いことからＡｇが好適に使用される。
複合体のうち、上記他の金属で形成される部分は、例えば無電解めっき法、電解めっき法、還元析出法、真空状着法などの種々の成膜方法によって形成できる。
（結着剤）
鎖状の金属粉末とともに導電ペーストを形成する結着剤としては、導電ペースト用の結着剤として従来公知の種々の化合物がいずれも使用可能である。かかる結着剤としては、例えば熱可塑性樹脂や硬化性樹脂、液状硬化性樹脂などが挙げられる。特に好ましくはアクリル系樹脂、フッ素系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。
（導電ペースト）
導電ペーストは、鎖状の金属粉末と結着剤とを、適当な溶媒とともに所定の割合で配合して製造される。また、前記のように液状硬化性樹脂等の液状の結着剤を用いて溶媒を省略してもよい。
上記各成分の割合は特に限定されないが、固形分、すなわち鎖状の金属粉末と結着剤との総量に対する金属粉末の割合を、５〜９５重量％とするのが好ましい。この理由も前述したとおりである。
かかる導電ペーストによれば、前記のように鎖状の金属粉末の特性によって、これまでよりも高い導電性を有する導電膜等を形成することができる。
すなわち鎖状の金属粉末の割合を、上記の範囲中、通常の導電ペーストと同じ５０重量％以上とすると、体積固有抵抗が１Ω・ｃｍ以下という、これまでは得られなかったより高い導電性を有する導電膜等を形成することが可能となる。
なおこの場合に、鎖状の金属粉末の、割合のより好適な範囲は５０〜９０重量％であり、この際に形成される導電膜の体積固有抵抗はおよそ１×１０−４〜１Ω・ｃｍ程度である。
またこの発明の導電ペーストは、上記鎖状の金属粉末の特性によって、これまでよりその割合を小さくして、なおかつ従来と同程度の導電性を有する導電膜等を形成することもできる。
すなわち鎖状の金属粉末の割合を５０重量％未満としても、鎖状の金属粉末の特性によって、従来と同程度の導電性を有する導電膜等を形成でき、省資源およびコストダウンを図ることができる。
なおこの場合の、鎖状の金属粉末の、割合のより好適な範囲は３０重量％以上でかつ５０重量％未満あり、この際に形成される導電膜の体積固有抵抗は１Ω・ｃｍを超えるものの、およそ１００Ω・ｃｍ以下程度である。
〈導電膜〉
前記のように鎖状の金属粉末の配向が制御された、この発明の導電膜を形成するには、まず鎖状の金属粉末として常磁性を有する金属を含むものを用いた導電ペーストを下地上に塗布して塗膜を形成する。
次にこの塗膜に一定方向から磁場をかけることで、膜中の鎖状の金属粉末を、上記磁場に応じた所定の方向に配向させる。すなわち鎖状の金属粉末は、磁場をかけると、その磁束の方向に沿って配向する。
そしてこの状態で塗膜を乾燥、固化、もしくは硬化性樹脂を含む場合は硬化させて金属粉末を固定すると、鎖状の金属粉末が配向した方向にのみ特異的に導電率が高く、他の方向の導電率が低い導電率異方性を有する導電膜が形成される。
例えばその面内の１方向にのみ導電率が高い導電膜は、次に述べるめっき方法および微細金属部品の製造方法において、電極として好適に用いることができる。
またその他の方向にのみ導電率が高い導電膜についても、これまで考えられなかった種々の用途で利用できる可能性がある。
鎖状の金属粉末を配向させるために塗膜にかける磁場の強さは、およそ７．９Ａ／ｍ以上であるのが好ましい。磁場の強さがこの範囲未満では、鎖状の金属粉末の配向が不十分になるおそれがある。
〈めっき方法〉
この発明のめっき方法では、下地上に、鎖状の金属粉末を含む導電ペーストを塗布して導電膜を形成した後、この導電膜を電極とする電気めっきを行う。すなわち導電膜を陰極とし、めっきしようとする金属または白金などを陽極として、電気めっき浴中に浸漬して電圧をかけることで、前記のように厚み方向の全体にわたって均一な結晶構造を有するめっき被膜を形成することができる。
この際、導電膜の体積固有抵抗は１Ω・ｃｍ以下に調整するのが好ましい。この理由は先に述べたとおりである。導電膜の体積固有抵抗を上記の範囲に調整するには、導電ペーストにおける、固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の割合を大きくすれば良い。
また、導電ペースト中の鎖状の金属粉末としては、めっき被膜に含まれるのと同じ、少なくとも１種の金属を含有するものを用いるのが好ましい。この理由も先に述べたとおりである。
また、前項で述べたように鎖状の金属粉末を、導電膜の面内の１方向にのみ配向させるのも有効な方法である。この方法では、鎖状の金属粉末の割合を大きくせずに、導電膜の、同方向の体積固有抵抗を上記の範囲に調整することができる。そして、たとえば導電膜の、上記配向方向の端の部分に電源と接続するための導電端子を取り付けることにより、エネルギーロスのない良好なめっきを行うことができる。
また両法を組み合わせれば、導電膜の体積固有抵抗をさらに小さくすることも可能である。たとえば、鎖状の金属粉末の割合を前述した５０重量％以上とし、なおかつ鎖状の金属粉末を、その面内の１方向にのみ配向させると、導電膜の、同方向の体積固有抵抗を１×１０−４Ω・ｃｍ未満とすることも可能である。
なお、導電膜の体積固有抵抗の下限は特に限定されない。以上で説明した方法によって実現可能な限界値まで問題なく採用できる。
〈微細金属部品の製造方法そのＩ〉
微細金属部品の製造方法そのＩにおいては、まず図２Ｄに示すように、微細金属部品の形状に対応した微細な通孔パターン３ａを有する、絶縁材料からなる型３を形成する。
型３は、種々の方法によって形成することができるが、とくにリソグラフィーと電鋳とによって作製した母金型を用いた、射出成形あるいは反応性射出成形等によって形成するのが好ましい。またリソグラフィーとしては、レジストへの、ＳＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ  Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）光等のＸ線の照射と照射後の現像による微細パターンの形成とを行うＸ線リソグラフィーが好適に採用される。
具体的には、まずＸ線リソグラフィーと電鋳とを利用して、図２Ａに示すように、微細金属部品のもとになる母金型ＩＭ１を、導電性基板ＩＭ２上に形成したのち、射出成形あるいは反応性射出成形によって、上記母金型ＩＭ１の形状に対応した、通孔パターン３ａの元になる微細な凹部３ｂを有する型３の前駆体３′を得る（図２Ｂ、２Ｃ）。
そしてこの前駆体３′を研磨して凹部３ｂを貫通させると、図２Ｄに示すように、母金型ＩＭ１の形状に対応した通孔パターン３ａを有する型３が形成される。
この方法によれば、１つの母金型ＩＭ１を何回でも使用して、型３を大量に形成できるため、結果的に微細金属部品の製造コストをこれまでよりも大幅に引き下げることができる。
次にこの発明では、図３Ａ、３Ｂに示すように、金属板等の導電性基体２の全面に導電ペースト１′を塗布したのち、その上に型３を重ねる。そして導電ペースト１′を乾燥させ、また結着剤が硬化性樹脂である場合はこれを硬化させることで導電膜１を形成するとともに、型３を導電性基体２上に固定することで電鋳型ＥＭを作製する。
あるいはまた図４Ａ〜４Ｃに示すように、金属板等の導電性基体２の全面に導電ペースト１′を塗布したのち、その上に、前記図２Ｃで得た型３の前駆体３′を、凹部３ｂを下側にして重ねる。そして導電ペースト１′を乾燥させ、また結着剤が硬化性樹脂である場合はこれを硬化させることで導電膜１を形成するとともに、前駆体３′を導電性基体２上に固定したのち、研磨して凹部３ｂを貫通させることによっても、同様の電鋳型ＥＭを作製できる。
これらの工程によって作製した電鋳型ＥＭは、通孔パターン３ａの底の全面が、前記のように優れた特性を有する導電膜１によって覆われているため、当該導電膜１を除去することなしに、良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
また図示していないが、導電ペーストを型３の下面に塗布したのち導電性基体２上に重ね合わせた状態で乾燥させ、また結着剤が硬化性樹脂である場合はこれを硬化させることによって電鋳型ＥＭを作製してもよい。また同様に図示していないが、導電ペーストを、凹部３ｂを下側にした前駆体３′の下面に塗布したのち導電性基体２上に重ね合わせた状態で乾燥させ、また結着剤が硬化性樹脂である場合はこれを硬化させ、さらに前駆体３′を研磨して凹部３ｂを貫通させることによって電鋳型ＥＭを作製してもよい。
これらの場合、先に述べたように基本的には、通孔パターン３ａの底に導電性基体２が露出しており、そのうちとくに通孔パターン３ａの周縁部の一部に、はみ出した導電ペーストからなる導電膜が形成された状態となるが、かかる導電膜は前記のように優れた特性を有するため、やはり敢えて除去する必要がない。よってこの場合も、導電膜を除去することなしに、良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
導電膜１のもとになる導電ペースト１′としては、固形分として鎖状の金属粉末と結着剤とを含み、かつ固形分の総量に対する鎖状の金属粉末の割合を０．０５〜２０体積％に調整したものが好適に用いられる。この理由は前述したとおりである。
鎖状の金属粉末および結着剤としては、前記と同様のものが挙げられる。
導電ペースト１′の塗布厚みは、０．５〜７０μｍとするのが好ましい。
塗布厚みが０．５μｍ未満では、導電ペーストによる、型３を導電性基体２上に固定する効果が十分に得られず、電気めっき時に型のずれなどを生じやすくなって、微細金属部品の形状の再現性が低下するおそれがある。
また逆に７０μｍを超えた場合には、型３を導電性基体２上に重ねた際に、その重ねる際の応力や型３の重みなどで押し出された過剰の導電ペーストが、通孔パターン３ａ内に多量にはみ出して波うったり液滴状に盛り上がったりする結果、めっき開始面が異形となって均一な結晶構造を有するめっき被膜を形成できなくなったり、導電ペーストが盛り上がった分、めっき被膜が薄くなって、所定の厚みを有する微細金属部品を製造できなくなったりするおそれがある。
導電性基体２としては、例えばステンレス鋼、Ａｌ、Ｃｕなどの金属系または合金系の基体や、あるいはＳｉ、ガラス、セラミックス、プラスチックなどの非導電性の基体上に、スパッタリング法等によって導電層を積層形成した複合体などが挙げられる。また上記金属系や合金系の基体上に、さらに必要に応じて、スパッタリング法等によって、同種または別種の金属からなる導電層を積層形成することもできる。
型３を形成する絶縁材料としては、前記のように射出成形、反応性射出成形などが可能な樹脂が好適に使用される。かかる樹脂としては、例えばポリメチルメタクリレート、ポリプロピレン、ポリカーボネート、エポキシ樹脂などが挙げられる。
次に、この発明においては、上記のようにして作製した電鋳型ＥＭの、図５Ａに示すように通孔パターン３ａの部分で露出させた導電膜１の表面、もしくは図示していないが、通孔パターン３ａの部分で露出させた導電性基体２の表面と、そこにはみ出した導電ペーストからなる導電膜１の表面に、これらの部分を電極とする電気めっきによって選択的にめっき被膜を成長させる。
すなわち導電膜１や導電性基体２を陰極とし、めっきしようとする金属または白金などを陽極として、電気めっき浴中に浸漬して電圧をかけてめっき被膜を成長させる。そうすると、前記のようにその全体にわたって均一な結晶構造を有する、通孔パターン３ａの形状に対応した、微細金属部品のもとになるめっき被膜４′が形成される（図５Ｂ）。
次に、形成しためっき被膜４′を、型３とともに研磨もしくは研削などして所定の高さに揃えた後、型３を除去する（図５Ｃ）。
型３を除去する方法としては、めっき被膜４′に無理な応力を加えて変形させたりしないために、例えば酸素プラズマを用いたアッシングや、あるいはＸ線、紫外線の照射による分解などの、非接触で行える方法が好ましい。
そして最後に、導電膜１と導電性基体２とを除去すると微細金属部品４が完成する（図５Ｄ）。
導電膜１と導電性基体２とを除去する方法としては、導電膜１を、適当な溶媒を用いて溶解するか、またはドライエッチングなどして分解除去する方法が好ましい。これにより導電膜１を消滅させたのち、残った導電性基体２を取り去ればよい。
〈微細金属部品の製造方法そのＩＩ〉
この発明の、微細金属部品の製造方法そのＩＩにおいては、鎖状の金属粉末と、当該鎖状の金属粉末よりも粒径の小さい粒状の金属粉末とを含む導電ペーストを用いたこと以外は前記製造方法そのＩと同様にして、図５Ａに示すように、導電膜１を介して、導電性基体２上に、微細金属部品の形状に対応した微細な通孔パターン３ａを有する、絶縁材料からなる型３を固定した形状の電鋳型ＥＭを作製する。
その具体的な工程も、製造方法そのＩの場合と同様である。
つまり、
（Ａ）図３Ａ、３Ｂに示すように、導電性基体２の全面に導電ペースト１′を塗布したのち、その上に、型３を重ねて導電ペースト１′を乾燥、固化、または硬化させて導電膜１を形成するとともに、型３を導電性基体２上に固定する、
（Ｂ）図示していないが、導電ペーストを型３の下面に塗布したのち導電性基体２上に重ね合わせた状態で導電ペーストを乾燥、固化、または硬化させて、型３を導電性基体２上に固定する、
（Ｃ）図４Ａ〜４Ｃに示すように、導電性基体２の全面に導電ペースト１′を塗布し、次いでその上に、型３の前駆体３′を、凹部３ｂを下側にして重ねて導電ペーストを乾燥、固化、または硬化させて接着、固定したのち、研磨して凹部３ｂを貫通させる、
（Ｄ）図示していないが、導電ペーストを、凹部３ｂを下側にした前駆体３′の下面に塗布して導電性基体２上に重ね合わせた状態で乾燥、固化、または硬化させて接着、固定したのち、研磨して凹部３ｂを貫通させる、
のいずれかの方法により電鋳型ＥＭを作製する。
上記（Ａ）（Ｃ）の場合、電鋳型ＥＭは、通孔パターン３ａの底の全面が導電膜１によって覆われる。また（Ｂ）（Ｄ）の場合は、基本的には、通孔パターン３ａの底に導電性基体２が露出しており、そのうちとくに通孔パターン３ａの周縁部の一部に、はみ出した導電ペーストからなる導電膜が形成された状態となる。
そしてこのいずれの状態においても、導電膜１は、鎖状の金属粉末の特性による良好な導電性を有する上、そこへ加えた粒状の金属粉末の働きによって給電点の分布密度を増加できる。
このため、引き続いて図５Ｂ〜５Ｄの工程を実施することにより、良好な特性を有する微細金属部品４を製造することができる。
導電膜１のもとになる導電ペースト１′の塗布厚みは、前記と同じ理由で０．５〜７０μｍとするのが好ましい。
また導電ペースト１′としては、固形分として鎖状の金属粉末と粒状の金属粉末と結着剤とを含み、かつ固形分の総量に対して、鎖状の金属粉末を０．０５〜２０体積％、粒状の金属粉末を０．０５〜２０体積％の割合で含むものが好適に用いられる。この理由は前述したとおりである。
鎖状の金属粉末および結着剤としては、前記と同様のものを用いることができる。
また粒状の金属粉末も、前記と同様に還元析出法によって製造することができる。
還元析出法を実施した際に、前述したメカニズムによって鎖状に繋がることのない、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ｒｈ等の常磁性を有しない金属にて金属粉末を製造すれば、それは自ずから粒状を呈する。
また還元剤溶液のｐＨを７以下に設定して還元析出法を実施すると、常磁性を有する金属からなる金属粉末であっても、鎖状に結合するのを防止して、粒状に形成することができる。すなわちｐＨを７以下に設定して還元析出法を実施すると、金属の成長速度が抑制されるため、反応初期の液中に、鎖状に繋がりやすい単結晶構造の金属粉末が多量に発生するのを防止できる。このため、常磁性を有する金属からなる金属粉末であっても粒状に形成できる。
しかも、還元析出法によって形成した粒状の金属粉末は個々の粒径が揃っており、粒度分布がシャープである。これは、還元反応が系中で均一に進行するためである。したがってかかる金属粉末によれば、導電膜の導電性をさらに均一にすることができるため、より良好な特性を有する微細金属部品を製造できる。
また金属粉末がＣｕ粉末である場合、かかるＣｕ粉末は、Ｃｕ（Ｉ）アンミン錯イオンを含む溶液のｐＨを低下させることで金属Ｃｕを超微粒子状に析出させて形成するのが好ましい。
この方法は、溶液が塩基性の状態では安定なＣｕ（Ｉ）アンミン錯体が、溶液を酸性の状態にすると不安定化して、錯体中のＣｕ（Ｉ）イオン（Ｃｕ１＋）がＣｕ（ＩＩ）イオン（Ｃｕ２＋）と金属Ｃｕ（Ｃｕ）とに不均化分解反応する結果、溶液中に金属Ｃｕが析出することを利用したものである。
この方法によれば、還元析出法において還元剤として用いる、危険物であるヒドラジンやヒドラジン化合物を使用せずに、より安全にＣｕ粉末を作製できる。したがって厳重な安全管理を施した生産設備や保管設備などが不要となる。
またＣｕ（Ｉ）アンミン錯イオンを含む溶液は、例えば硫酸Ｃｕ（ＩＩ）とアンモニアと硫酸アンモニアとを含む溶液に金属Ｃｕを加えて、無酸素条件下で反応させて作製するが、次工程で金属Ｃｕを析出させてＣｕ粉末を得た後のＣｕ（ＩＩ）イオンを含む溶液は、再びＣｕ（Ｉ）アンミン錯イオンを含む溶液を作製する際の出発原料として再利用できる。つまり溶液は、ほぼ半永久的に使用できることになる。
したがってＣｕ粉末の製造コストを、これまでよりもさらに引き下げることが可能となる。
また上に述べたＣｕ（Ｉ）アンミン錯イオンを含む溶液の調製工程から、金属Ｃｕを析出させてＣｕ粉末を作製する工程までの全工程において、リン酸塩などの、Ｃｕと共析するおそれのある元素を含む成分を添加する必要がない。しかも不均化分解反応の条件を調整して、金属Ｃｕの析出速度を速くすればするほど、不純物の混入量を低減することができる。
したがって、例えばＣｕ（Ｉ）アンミン錯イオンを含む溶液の調製に、リサイクルＣｕなどの、純度の低い、そして安価な金属Ｃｕを使用しても、Ｃｕ粉末の純度を高純度に維持することが可能となる。
また上記不均化分解反応を、例えばかく拌下で行うことにより、金属Ｃｕの析出を溶液中でほぼ均一に進行させることができるため、生成したＣｕ粉末は、複数の粒子間で粒径がほぼ揃ったものとなる。
しかもかく拌下で不均化分解反応を行うと、個々の粒子の、特定の部分のみに金属Ｃｕが選択的に析出するのを防止して、粒子の成長を、全方向にわたって平均化できるため、生成したＣｕ粉末は、その形状がほぼ球形に揃ったものとなる。
よって上記Ｃｕ粉末を用いれば、導電膜の導電性をさらに均一にするとともに、その表面の平滑性をさらに向上することができるため、より良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
〈微細金属部品の製造方法そのＩＩＩ〉
この発明の、微細金属部品の製造方法そのＩＩＩにおいては、図６Ａに示すように、導電性基体２の全面に導電ペーストを塗布して第１の導電膜１を形成するとともに、その上に、当該第１の導電膜１に含まれる鎖状の金属粉末よりも粒径が小さい金属粉末を含む導電ペースト５′を塗布したのち、その上に、図６Ｂに示すように型３を重ねる。
そして導電ペースト５′を乾燥させ、また結着剤が硬化性樹脂である場合はこれを硬化させることで第２の導電膜５を形成するとともに、型３を導電性基体２上に固定して電鋳型ＥＭを作製する。
あるいはまた、図７Ａ〜７Ｃに示すように、上記導電ペースト５′を、第１の導電膜１上に塗布した後、型３の前駆体３′を、凹部３ｂを下側にして重ねて、導電ペースト５′を乾燥、固化、もしくは硬化させることで、第２の導電膜５を形成するとともに前駆体３′を接着、固定したのち、当該前駆体３′研磨して凹部３ｂを貫通させて電鋳型ＥＭを作製してもよい。
このいずれにおいても、電鋳型ＥＭは、通孔パターン３ａの底の全面が、第２の導電膜によって覆われている。
したがって、たとえ第１の導電膜１の表面において、電気めっき開始時の給電点の分布密度が不足するようなことがあっても、その隙間を、第２の導電膜中の金属粉末で埋めて、給電点の分布密度を増加できる。
このため、引き続いて図５Ａ〜５Ｄの工程を実施することにより、良好な特性を有する微細金属部品４を製造することができる。
第１の導電膜１のもとになる導電ペースト１′としては、前記製造方法そのＩで使用したのと同様のものを用いることができる。
また導電ペースト１′の塗布厚みも、前記と同じ理由で０．５〜７０μｍとするのが好ましい。
一方、第２の導電膜５のもとになる導電ペースト５′の塗布厚みは、０．５〜７０μｍとするのが好ましい。
塗布厚みが０．５μｍ未満では、導電ペースト５′による、型３を導電性基体２上に固定する効果が十分に得られず、電気めっき時に型のずれなどを生じやすくなって、微細金属部品の形状の再現性が低下するおそれがある。
また逆に７０μｍを超えた場合には、型３を導電性基体２上に重ねた際に、その重ねる際の応力や型３の重みなどで押し出された過剰の導電ペーストが、通孔パターン３ａ内に多量にはみ出して波うったり液滴状に盛り上がったりする結果、めっき開始面が異形となって均一な結晶構造を有するめっき被膜を形成できなくなったり、導電ペーストが盛り上がった分、めっき被膜が薄くなって、所定の厚みを有する微細金属部品を製造できなくなったりするおそれがある。
第２の導電膜５のもとになる導電ペースト５′としては、第１の導電膜１に含まれる鎖状のものより粒径の小さい金属粉末と、結着剤とを固形分として含み、かつ固形分の総量に対する金属粉末の割合を０．０５〜７０体積％に調整したものが好適に用いられる。この理由は前述したとおりである。
結着剤としては、前記と同様のものを用いることができる。
金属粉末の粒径は、第１の導電膜に含まれる鎖状のものより小さければ、その範囲は特に限定されないが、平均粒径が４００ｎｍ以下であるのが好ましい。平均粒径を４００ｎｍ以下とすると、嵩密度を上昇させて、金属粉末間の接触点数を増加させることができる。よって第２の導電膜の金属粉末による、給電点の分布密度を増加させる効果をさらに向上することができる。
金属粉末としては、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｌ、Ａｕ、Ｒｈなどからなり、第１の導電膜に含まれる鎖状の金属粉末よりも粒径が小さい、鎖状、粒状、薄片状等の種々の形状を有する金属粉末を用いることができる。
このうち鎖状の金属粉末は、前記と同様にして製造することができる。
また粒状の金属粉末も、前記と同様にして製造することができる。
とくに粒状の金属粉末としては、先に説明したＣｕ（Ｉ）アンミン錯イオンを含む溶液のｐＨを低下させることで金属Ｃｕを超微粒子状に析出させて形成したものを用いるのが好ましい。かかるＣｕ粉末を用いれば、第２の導電膜の導電性をさらに均一にするとともに、その表面の平滑性をさらに向上することができるため、より良好な特性を有する微細金属部品を製造することができる。
上記製造方法そのＩ〜そのＩＩＩで製造された微細金属部品は、いずれも先に述べたように結晶粒が本来の粒径を有するため所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮しうる単一の層構造を備えており、良好な特性を有するものとなる。
かかる微細金属部品としては、例えば半導体検査素子等に用いるコンタクトプローブ、加速度センサ等に用いるマイクロアクチュエータ、光スイッチ、マイクロコネクタなどを挙げることができる。
産業上の利用可能性
以上のように、この発明にかかる導電ペーストは、導電膜の電気抵抗値を現状のレベルよりさらに小さくできるため、導電膜の形成材料や導電接着剤などとして有用である。また、この発明にかかる導電膜は、特異な導電率異方性を有するため、これまでにない用途での使用が可能である。また、この発明にかかるめっき方法と、それを応用した微細金属部品の製造方法は、これまでにない良好な特性を有する微細金属部品の製造に適している。
実施例
以下に本発明を、実施例、比較例に基づいて説明する。
実施例１
〈鎖状Ｎｉ粉末の製造〉
三塩化チタンとクエン酸三ナトリウムとを純水に加えて、両成分の濃度が下記表１に示す値である還元剤溶液を調製した。
2003019579.tif 000003
次にこの還元剤溶液の液温を３５℃に維持しつつ、アンモニア水を加えてｐＨを９〜１０に調整した。
また塩化ニッケル６水和物を純水に加えて、塩化ニッケルの濃度が０．０４ｍｏｌ／Ｌである溶液を調製した。
そしてこの溶液１００ｍｌを、先の還元剤溶液１００ｍｌに加えて３５℃で１時間、かく拌した後、溶液中に析出した固形分をロ別し、水洗したのち乾燥させてＮｉ粉末を製造した。
得られたＮｉ粉末の形状を走査型電子顕微鏡写真で観察したところ、図８に示すように、微細な金属粒が鎖状に繋がれた形状を有しているのが確認された。
また上記電子顕微鏡写真から、金属粒の粒径と、Ｎｉ粉末の鎖の径を測定したところ、金属粒の粒径は約１００ｎｍ、鎖の径は約２００ｎｍであった。
〈導電ペーストの調製〉
上記で製造した鎖状Ｎｉ粉末９０重量部と、結着剤としてのポリフッ化ビニリデン樹脂１０重量部とを、溶媒としてのＮ−メチル−２−ピロリドンとともに混合して導電ペーストを調整した。
〈導電膜の形成〉
下地としてのポリイミドフィルムの片面に、上記で調製した導電ペーストを、固形分の付着量が２０ｍｇ／ｃｍ２となるように塗布した後、１００℃で４時間、乾燥することで溶媒を除去して導電膜を形成した。
導電膜の表面を金属顕微鏡で観察したところ、表面には殆ど凹凸はなく、ほぼ平坦であることが確認された。表面状態は良好と評価した。また導電膜の体積固有抵抗を測定したところ１×１０−４Ω・ｃｍであった。
〈めっき被膜の形成〉
次にこの導電膜に導電端子を取り付けて給電部とし、下記表２に示す処方のＮｉめっき浴に浸漬して、電流密度１０〜１５０ｍＡ／ｃｍ２、液温４０〜６０℃の条件で１時間の電気めっきを行った。
2003019579.tif 000004
電気めっき後、導電膜上に形成されためっき被膜の断面を金属顕微鏡で観察して、厚み方向の上下それぞれ５％の位置の、結晶粒の大きさを測定した。そして導電膜側の結晶粒の大きさφ１と被膜表面側の結晶粒の大きさφ２とから、式（１）：
Ｒφ＝φ１／φ２    （１）
により、結晶粒の大きさの比率Ｒφを求めたところ１．１であって、結晶粒の大きさに殆どばらつきはなく、めっき被膜は、厚み方向の全体にわたって均一な結晶構造を有することが確認された。
実施例２
〈鎖状パーマロイ粉末の製造〉
塩化ニッケル６水和物と塩化第２鉄とを純水に加えて、両成分の濃度が下記表２に示す値である溶液を調製した。
2003019579.tif 000005
次にこの溶液１００ｍｌを、実施例１で使用したのと同じ還元剤溶液１００ｍｌに加えて３５℃で１時間、かく拌した後、溶液中に析出した固形分をロ別し、水洗したのち乾燥させてパーマロイ〔Ｎｉ（２０％）−Ｆｅ合金〕粉末を製造した。
得られたパーマロイ粉末の形状を走査型電子顕微鏡写真で観察したところ、図９に示すように、微細な金属粒が鎖状に繋がれた形状を有しているのが確認された。
また上記電子顕微鏡写真から、金属粒の粒径と、パーマロイ粉末の鎖の径を測定したところ、金属粒の粒径は約５０ｎｍ、鎖の径は約１００ｎｍであった。
〈導電ペーストの調製〉
上記で製造した鎖状パーマロイ粉末９０重量部と、結着剤としてのポリフッ化ビニリデン樹脂１０重量部とを、溶媒としてのＮ−メチル−２−ピロリドンとともに混合して導電ペーストを調整した。
〈導電膜の形成〉
上記の導電ペーストを用いたこと以外は実施例１と同様にして、下地としてのポリイミドフィルムの片面に導電膜を形成した。
導電膜の表面を金属顕微鏡で観察したところ、表面には全く凹凸はなく、平坦であることが確認された。表面状態は極めて良好と評価した。また導電膜の体積固有抵抗を測定したところ２×１０−４Ω・ｃｍであった。
〈めっき被膜の形成〉
次に、この導電膜を用いたこと以外は実施例１と同様にしてＮｉの電気めっきを行った後、導電膜上に形成されためっき被膜の断面を金属顕微鏡で観察して、前記式（１）により、結晶粒の大きさの比率Ｒφを求めたところ０．９であって、結晶粒の大きさに殆どばらつきはなく、めっき被膜は、厚み方向の全体にわたって均一な結晶構造を有することが確認された。
実施例３
〈導電膜の形成〉
実施例１で調製したのと同じ導電ペーストを、下地としてのポリイミドフィルムの片面に、固形分の付着量が２０ｍｇ／ｃｍ２となるように塗布した後、塗膜に、その面方向に沿う、強さ７９Ａ／ｍの磁場をかけつつ１００℃で４時間、乾燥することで溶媒を除去して導電膜を形成した。
導電膜は、鎖状Ｎｉ粉末が、上記磁場の方向に沿って配向しており、面内の、上記配向方向にのみ導電率が高いものとなった。すなわち導電膜の面内の、鎖状Ｎｉ粉末が配向した方向の体積固有抵抗は５×１０−５Ω・ｃｍという低い値を示したものの、同じ面内の、配向方向と直交する方向の体積固有抵抗は３×１０−３Ω・ｃｍ、導電膜の厚み方向の体積固有抵抗は２．５×１０−３Ω・ｃｍであった。
また導電膜の表面を金属顕微鏡で観察したところ、表面には全く凹凸はなく、平坦であることが確認された。表面状態は極めて良好と評価した。
〈めっき被膜の形成〉
次にこの導電膜の、配向方向の端の部分に導電端子を取り付けて給電部としたこと以外は実施例１と同様にしてＮｉの電気めっきを行った後、導電膜上に形成されためっき被膜の断面を金属顕微鏡で観察して、前記式（１）により、結晶粒の大きさの比率Ｒφを求めたところ１．１であって、結晶粒の大きさに殆どばらつきはなく、めっき被膜は、厚み方向の全体にわたって均一な結晶構造を有することが確認された。
比較例１
〈導電ペーストの調製〉
平均粒径が１．２μｍの、球状のＮｉ粉末９０重量部と、結着剤としてのポリフッ化ビニリデン樹脂１０重量部とを、溶媒としてのＮ−メチル−２−ピロリドンとともに混合して導電ペーストを調整した。
〈導電膜の形成〉
上記の導電ペーストを用いたこと以外は実施例１と同様にして、下地としてのポリイミドフィルムの片面に導電膜を形成した。
導電膜の表面を金属顕微鏡で観察したところ、表面にはＮｉ粉末の大きさに対応した不均一な凹凸があり、平坦でないことが確認された。表面状態は不良と評価した。また導電膜の体積固有抵抗を測定したところ８×１０−４Ω・ｃｍであった。
〈めっき被膜の形成〉
次に、この導電膜を用いたこと以外は実施例１と同様にしてＮｉの電気めっきを行った後、導電膜上に形成されためっき被膜の断面を金属顕微鏡で観察して、前記式（１）により、結晶粒の大きさの比率Ｒφを求めたところ３．０であって、結晶粒の大きさに大きなばらつきがあり、めっき被膜は、金属の結晶粒が大きい領域と小さい領域の２層構造を有することが確認された。
比較例２
〈導電ペーストの調製〉
平均粒径が１．２μｍの、球状のＡｇ粉末９０重量部と、結着剤としてのポリフッ化ビニリデン樹脂１０重量部とを、溶媒としてのＮ−メチル−２−ピロリドンとともに混合して導電ペーストを調整した。
〈導電膜の形成〉
上記の導電ペーストを用いたこと以外は実施例１と同様にして、下地としてのポリイミドフィルムの片面に導電膜を形成した。
導電膜の表面を金属顕微鏡で観察したところ、表面にはＡｇ粉末の大きさに対応した不均一な凹凸があり、平坦でないことが確認された。表面状態は不良と評価した。また導電膜の体積固有抵抗を測定したところ１×１０−５Ω・ｃｍであった。
〈めっき被膜の形成〉
次に、この導電膜を用いたこと以外は実施例１と同様にしてＮｉの電気めっきを行った後、導電膜上に形成されためっき被膜の断面を金属顕微鏡で観察して、前記式（１）により、結晶粒の大きさの比率Ｒφを求めたところ２．０であって、結晶粒の大きさに大きなばらつきがあり、めっき被膜は、金属の結晶粒が大きい領域と小さい領域の２層構造を有することが確認された。
以上の結果を表４にまとめた。
2003019579.tif 000006
実施例４
〈導電ペーストの調製〉
前記実施例１で製造した鎖状Ｎｉ粉末２０重量部と、液状硬化性樹脂である熱硬化型アクリルシロップ８０重量部とを混合して導電ペーストを調製した。両者の総量に対する鎖状Ｎｉ粉末の割合は２．５体積％であった。
〈電鋳型の作製〉
Ｘ線リソグラフィーと電鋳とを利用して、図２Ａに示すように、微細金属部品のもとになる母金型１Ｍ１を、導電性基板１Ｍ２上に形成した。
次いでこの母金型１Ｍ１を用いて、反応性射出成形により、光硬化性樹脂〔長瀬産業（株）製の商品名ＸＮＲ５５０７〕を成形後に光硬化させて、上記母金型ＩＭ１の形状に対応した、通孔パターン３ａの元になる微細な凹部３ｂを有する型３の前駆体３′を得た〔図２Ｂ、２Ｃ〕。光硬化の条件は照射線量３Ｊ／ｃｍ２、圧力０．１ＭＰａとした。
次に、図４Ａに示すように、導電性基体２としてのＣｕ基板上に、先に調製した導電ペースト１′を、ブレードコータを用いて厚み５μｍとなるように塗布した後、上記の前駆体３′を、凹部３ｂを下側にして重ね合わせて、０．１ＭＰａの圧接力で圧接しながら、８０℃で２時間、加熱して導電ペースト１′中の熱硬化型アクリルシロップを硬化させることによって導電膜１を形成するとともに、前駆体３′を導電性基体２上に固定した（図４Ｂ）。
そして固定した前駆体３′を、厚み１５０μｍまで研磨して凹部３ｂを貫通させることで、母金型ＩＭ１の形状に対応した通孔パターン３ａを有する型３を備えた、図４Ｃに示す電鋳型ＥＭを作製した。
導電ペーストによる固定は強固であり、上記のように前駆体３′を研磨した際にもずれやはく離などは生じなかった。
〈微細金属部品の製造〉
上記電鋳型ＥＭの導電性基体２に導電端子を取り付けて給電部とし、下記処方のＮｉめっき浴に浸漬して、電流密度１０〜１５０ｍＡ／ｃｍ２、液温４０〜６０℃の条件で電気めっきを行った。
2003019579.tif 000007
上記電気めっきを２時間、行ったところ、図５Ｂに示すように電鋳型ＥＭの通孔パターン３ａがめっき被膜４′で埋められたので、めっき浴から取り出して十分に水洗した後、めっき被膜４′を型３とともに研磨して厚み６０μｍに揃えた。
そして酸素プラズマによってアッシングして型３を分解除去した後、ウエットエッチングによって導電膜１を溶解、除去して導電性基体２を取り去って、前記親金型ＩＭ１の形状に対応した微細金属部品４を製造した。
製造した微細金属部品４の、導電膜１側の表面の表面粗さを、３次元表面構造解析顕微鏡〔ＺＹＧＯ社製のＮｅｗＶｉｅｗ５０１０〕を用いて測定したところ、中心線平均粗さＲａが０．５μｍ未満であった。
また、製造した微細金属部品４の引っ張り強度を測定して、その測定値の、平坦なＣｕ基板上に直接に、同条件で電気めっきをして形成した同寸法の微細金属部品の引っ張り強度に対する百分率を強度比として求めたところ９０％であった。
そしてこれらのことから、実施例４で製造した微細金属部品４は、成膜初期の段階から、平坦な金属表面に成長させた場合と同等の、本来の粒径を有する結晶粒が生成しており、その全体にわたって均一な結晶構造を有するため、所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮しうる単一の層構造を備えた、良好な特性を有するものであることが確認された。
実施例５
〈導電ペーストの調製〉
前記実施例１で製造した鎖状Ｎｉ粉末２０重量部と、平均粒径５０ｎｍの球状Ａｇ粉末２０重量部と、液状硬化性樹脂である熱硬化型アクリルシロップ６０重量部とを混合して導電ペーストを調製した。３者の総量に対する鎖状Ｎｉ粉末の割合は２．５体積％、球状Ａｇ粉末の割合は２体積％であった。
〈電鋳型の作製〉
図４Ａに示すように、導電性基体２としてのＣｕ基板上に、上記で調製した導電ペースト１′を塗布した後、実施例４で形成したのと同じ前駆体３′を、凹部３ｂを下側にして重ね合わせて、０．１ＭＰａの圧接力で圧接しながら、８０℃で２時間、加熱して導電ペースト中の熱硬化型アクリルシロップを硬化させることによって導電膜１を形成するとともに、前駆体３′を導電性基体２上に固定した（図４Ｂ）。
そして固定した前駆体３′を、厚み１５０μｍまで研磨して凹部３ｂを貫通させることで、母金型ＩＭ１の形状に対応した通孔パターン３ａを有する型３を備えた、図４Ｃに示す電鋳型ＥＭを作製した。
導電ペーストによる固定は強固であり、上記のように前駆体３′を研磨した際にもずれやはく離などは生じなかった。
この後、この電鋳型ＥＭを用いて、実施例４と同様にして、同形状、同寸法の微細金属部品４を製造した。
製造した微細金属部品４の、導電膜１側の表面の表面粗さを前記と同様にして測定したところ、中心線平均粗さＲａが０．２μｍ未満であった。
また、製造した微細金属部品４の引っ張り強度を測定して、前記と同様に強度比を求めたところ９５％であった。
そしてこれらのことから、実施例５で製造した微細金属部品４は、成膜初期の段階から、平坦な金属表面に成長させた場合と同等の、本来の粒径を有する結晶粒が生成しており、その全体にわたって均一な結晶構造を有するため、所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮しうる単一の層構造を備えた、実施例４よりもさらに良好な特性を有するものであることが確認された。
実施例６
〈導電ペーストの調製〉
平均粒径５０ｎｍの球状Ａｇ粉末７５重量部と、液状硬化性樹脂である熱硬化型アクリルシロップ２５重量部とを混合して、第２の導電膜のもとになる導電ペーストを調製した。両者の総量に対する球状Ａｇ粉末の割合は２０体積％であった。
〈電鋳型の作製〉
図７Ａに示すように、導電性基体２としてのＣｕ基板上に、実施例４で調製したのと同じ、鎖状Ｎｉ粉末を含む導電ペーストを、ブレードコータを用いて厚み５μｍとなるように塗布した後、８０℃で２時間、加熱して導電ペースト中の熱硬化型アクリルシロップを硬化させることによって第１の導電膜１を形成した。
次にこの第１の導電膜１上に、上記で調製した、球状Ａｇ粉末を含む導電ペースト５′を塗布した後、実施例４で形成したのと同じ前駆体３′を、凹部３ｂを下側にして重ね合わせて、０．１ＭＰａの圧接力で圧接しながら、８０℃で２時間、加熱して導電ペースト中の熱硬化型アクリルシロップを硬化させることによって第２の導電膜５を形成するとともに、前駆体３′を導電性基体２上に固定した（図７Ｂ）。
そして固定した前駆体３′を、厚み１５０μｍまで研磨して凹部３ｂを貫通させることで、母金型ＩＭ１の形状に対応した通孔パターン３ａを有する型３を備えた、図７Ｃに示す電鋳型ＥＭを作製した。
導電ペーストによる固定は強固であり、上記のように前駆体３′を研磨した際にもずれやはく離などは生じなかった。
この後、この電鋳型ＥＭを用いて、実施例４と同様にして、同形状、同寸法の微細金属部品４を製造した。
製造した微細金属部品４の、導電膜１側の表面の表面粗さを前記と同様にして測定したところ、中心線平均粗さＲａが０．２μｍ未満であった。
また、製造した微細金属部品４の引っ張り強度を測定して、前記と同様に強度比を求めたところ９５％であった。
そしてこれらのことから、実施例６で製造した微細金属部品４は、成膜初期の段階から、平坦な金属表面に成長させた場合と同等の、本来の粒径を有する結晶粒が生成しており、その全体にわたって均一な結晶構造を有するため、所期の物理的、機械的、電気的な特性を発揮しうる単一の層構造を備えた、実施例４よりもさらに良好な特性を有するものであることが確認された。
比較例３
〈導電ペーストの調製〉
平均粒径１．２μｍの球状Ｎｉ粉末２０重量部と、液状硬化性樹脂である熱硬化型アクリルシロップ８０重量部とを混合して導電ペーストを調製した。両者の総量に対する球状Ｎｉ粉末の割合は２．５体積％であった。
〈電鋳型の作製〉
図４Ａに示すように、導電性基体２としてのＣｕ基板上に、上記で調製した導電ペースト１′を塗布した後、実施例４で形成したのと同じ前駆体３′を、凹部３ｂを下側にして重ね合わせて、０．１ＭＰａの圧接力で圧接しながら、８０℃で２時間、加熱して導電ペースト中の熱硬化型アクリルシロップを硬化させることによって導電膜１を形成するとともに、前駆体３′を導電性基体２上に固定した（図４Ｂ）。
そして固定した前駆体３′を、厚み１５０μｍまで研磨して凹部３ｂを貫通させることで、母金型ＩＭ１の形状に対応した通孔パターン３ａを有する型３を備えた、図４Ｃに示す電鋳型ＥＭを作製した。
導電ペーストによる固定は強固であり、上記のように前駆体３′を研磨した際にもずれやはく離などは生じなかった。
この後、この電鋳型ＥＭを用いて、実施例４と同様にして、同形状、同寸法の微細金属部品４を製造しようとしたが、型３の厚み（１５０μｍ）までの間に、微細金属部品４として機能しうる連続しためっき被膜は形成されなかった。
比較例４
〈導電ペーストの調製〉
平均粒径１．２μｍの球状Ｎｉ粉末７５重量部と、液状硬化性樹脂である熱硬化型アクリルシロップ２５重量部とを混合して導電ペーストを調製した。両者の総量に対する球状Ｎｉ粉末の割合は２５体積％であった。
〈電鋳型の作製〉
導電性基体２としてのＣｕ基板上に、上記で調製した導電ペーストを塗布した後、実施例４で形成したのと同じ前駆体３′を、凹部３ｂを下側にして重ね合わせて、０．１ＭＰａの圧接力で圧接しながら、８０℃で２時間、加熱して導電ペースト中の熱硬化型アクリルシロップを硬化させたが、前駆体３′を導電性基体２上に固定することはできなかった。
以上の結果を表６にまとめた。
2003019579.tif 000008
【図面の簡単な説明】
図１Ａ〜１Ｆは、それぞれこの発明の導電ペーストに導電成分として含有させる鎖状の金属粉末の一例の、一部を拡大して示す断面図である。
図２Ａ〜２Ｅは、この発明の微細金属部品の製造方法において使用する、絶縁材料からなる型を形成する工程の一例を示す断面図である。
図３Ａ、３Ｂは、上記型を用いて電鋳型を形成する工程の一例を示す断面図である。
図４Ａ〜４Ｃ、上記型を用いて電鋳型を形成する工程の他の例を示す断面図である。
図５Ａ〜５Ｄは、上記電鋳型を用いて、この発明の製造方法によって微細金属部品を製造する工程の一例を示す断面図である。
図６Ａ、６Ｂは、上記型を用いて電鋳型を形成する工程のさらに他の例を示す断面図である。
図７Ａ〜７Ｃ、上記型を用いて電鋳型を形成する工程のさらに他の例を示す断面図である。
図８は、この発明の実施例１で製造した鎖状Ｎｉ粉末の、粒子の構造を示す電子顕微鏡写真である。
図９は、この発明の実施例２で製造した鎖状パーマロイ粉末の、粒子の構造を示す電子顕微鏡写真である。
【図１Ａ】
2003019579.tif 000009
【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図１Ｅ】
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【図１Ｆ】
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【図２Ａ】
2003019579.tif 000015
【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
2003019579.tif 000021
【図４Ｂ】
2003019579.tif 000022
【図４Ｃ】
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【図５Ａ】
2003019579.tif 000024
【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
2003019579.tif 000027
【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
2003019579.tif 000029
【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
2003019579.tif 000031
【図７Ｃ】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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