(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＣＯ2の吸着量は、昇温脱離分析法において０度から５００度までの領域で現れる脱離ＣＯ2のピーク分子数が１×１０15個／ｇ以下（０を含まず）であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
青色の蛍光体へのＣＯ2の吸着量は、昇温脱離分析法において０度から５００度までの領域で現れる脱離ＣＯ2のピーク分子数が１×１０13個／ｇ以上１×１０15個／ｇ以下であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数が１×１０15個／ｇ以上５×１０15個／ｇ以下で、かつＣＯ2の吸着量は、０度から５００度までの領域で現れる脱離ＣＯ2のピーク分子数が１×１０13個／ｇ以上１×１０15個／ｇ以下であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数が、０度から５００度までの領域で現れる脱離ＣＯ2のピーク分子数の３．７倍以上４．３倍以下であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数が、０度から５００度までの領域で現れる脱離ＣＯ2のピーク分子数の３．９倍以上４．１倍以下であることを特徴とする請求項４記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＣＨ4の吸着量は、昇温脱離分析法において１００度から６００度までの領域で現れる脱離ＣＨ2のピーク分子数が３．０×１０14個／ｇ以下（０を含まず）であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
青色の蛍光体へのＣＨ4の吸着量は、昇温脱離分析法において１００度から６００度までの領域で現れる脱離ＣＨ2のピーク分子数が０．５×１０14個／ｇ以上３．０×１０14個／ｇ以下であることを特徴とする請求項６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数が１×１０15個／ｇ以上５×１０15個／ｇ以下で、かつ青色の蛍光体へのＣＨ4の吸着量は、昇温脱離分析法において１００度から６００度までの領域で現れる脱離ＣＨ2のピーク分子数が０．５×１０14個／ｇ以上３．０×１０14個／ｇ以下であることを特徴とする請求項６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数に対する１００度から６００度までの領域で現れる脱離ＣＨ2のピーク分子数の比率が０．０５以下（０を含まず）であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数が１×１０15個／ｇ以上５×１０15個／ｇ以下で、かつ青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数に対する１００度から６００度までの領域で現れる脱離ＣＨ2のピーク分子数の比率が０．０５以下（０を含まず）であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、文字または画像表示用のカラーテレビジョン受像機やディスプレイ等に使用するガス放電発光を利用したプラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰという）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
このＰＤＰでは、ガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で蛍光体を励起して発光させカラー表示を行っている。そして、基板上に隔壁によって区画された表示セルが設けられており、これに発光体層が形成されている構成を有する。
【０００３】
このＰＤＰには、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便性から、現状では、ＰＤＰの主流は、３電極構造の面放電型のもので、その構造は、一方の基板上に平行に隣接した表示電極対を有し、もう一方の基板上に表示電極と交差する方向に配列されたアドレス電極と、隔壁、蛍光体層を有するもので、比較的蛍光体層を厚くすることができ、蛍光体によるカラー表示に適している。
【０００４】
このようなＰＤＰは、液晶パネルに比べて高速の表示が可能であり、視野角が広いこと、大型化が容易であること、自発光型であるため表示品質が高いことなどの理由から、フラットパネルディスプレイの中で最近特に注目を集めており、多くの人が集まる場所での表示装置や家庭で大画面の映像を楽しむための表示装置として各種の用途に使用されている。
【０００５】
このようなＰＤＰは、一般的に次のようにして製造される。まず、背面ガラス基板上に、銀からなるアドレス電極を形成し、その上に誘電体ガラスからなる可視光反射層と、ガラス製の隔壁を所定のピッチで作製する。これらの隔壁に挟まれた各空間内に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体を含む各色蛍光体ペーストを塗布した後、蛍光体を焼成してペースト内の樹脂成分等を除去して蛍光体層を形成し、背面板とする。その後、背面板の周囲に前面板との封着部材として低融点ガラスペーストを塗布し、低融点ガラスペースト内の樹脂成分等を除去するために３５０℃程度で仮焼する。
【０００６】
その後、表示電極、誘電体ガラス層および保護層を順次形成した前面板と、前記背面板とを隔壁を介して表示電極とアドレス電極が直交するよう対向配置し、４５０℃程度で焼成し、前記封着部材である低融点ガラスによって周辺部を封着する。その後、３５０℃程度まで加熱しながらパネル内を排気し、終了後に放電ガスを所定の圧力だけ導入して完成品とする。
【０００７】
従来のＰＤＰにおいては、放電ガスに少なくともキセノン（Ｘｅ）を含む希ガスを用いている。最も一般的に用いられているのはネオン（Ｎｅ）に数％のキセノン（Ｘｅ）を混合した放電ガスであり、ガス純度は９９．９９〜９９．９９９％程度の高純度ガスである。
【０００８】
しかしながら、放電特性を向上させる目的で、希ガス以外の不純物を放電ガスに均一にしかも所定の濃度で制御よく添加することは非常に困難であった。この原因は、ＰＤＰ内の構成物質であり、放電ガスに接している保護膜としての酸化マグネシウム（ＭｇＯ）や蛍光体材料は、不活性ガス以外のガスに対して非常に吸着性が高いために、放電ガス中に制御よく不純物ガスを拡散させることは難しく、また不純物ガスを放電ガスに混合して導入するだけでは放電ガス導入部付近に多くの不純物ガスが吸着されてしまうために、パネル面内で輝度ムラが発生したり、放電特性のバラツキの原因となった。
【０００９】
また、その中でも特に青色蛍光体として一般的に用いられているＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕは、特にＨ2Ｏに対する吸着性が高く、熱劣化しやすいという課題がある（特許文献１参照）。
【００１０】
また、ＰＤＰにおいては、放電電圧が約２００Ｖと高く、回路のコスト、パネルの耐圧の面から低電圧化が必要であり、同時に安定放電、高輝度化、高効率化、長寿命化が求められている。
【００１１】
【特許文献１】
特開２００１−３５３７２号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はこのような課題に鑑みなされたもので、放電電圧の低電圧化、安定放電、高輝度化、高効率化、長寿命化などの特性向上を実現できるようにすることを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、基板の周辺部を封着する封着工程時、または封着工程前に、不活性ガス以外の不純物ガスを蛍光体層に吸着させて、パネル点灯時に前記不純物ガスを放電ガス中に放出させるもので、制御よく放電ガスに不純物を添加することが可能となり、従来のものに比べて低電圧化、高輝度化、高効率化、長寿命化などの特性向上を実現できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＣＯ2の吸着量は、昇温脱離分析法において０度から５００度までの領域で現れる脱離ＣＯ2のピーク分子数が１×１０15個／ｇ以下（０を含まず）であることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項４に記載の発明は、一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数が、０度から５００度までの領域で現れる脱離ＣＯ2のピーク分子数の３．７倍以上４．３倍以下であることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項６に記載の発明は、一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＣＨ4の吸着量は、昇温脱離分析法において１００度から６００度までの領域で現れる脱離ＣＨ2のピーク分子数が３．０×１０14個／ｇ以下（０を含まず）であることを特徴とする。
【００１７】
さらに、請求項９に記載の発明は、一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数に対する１００度から６００度までの領域で現れる脱離ＣＨ2のピーク分子数の比率が０．０５以下（０を含まず）であることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１０に記載の発明は、一対の基板を間に空間が形成されるように対向配置するとともに周辺部を封着部材により封着し、かつ前記空間で放電が発生するように基板に電極を配置するとともに放電により発光する蛍光体層を設けたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記蛍光体層として青色の蛍光体を有し、かつ青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数が１×１０15個／ｇ以上５×１０15個／ｇ以下で、かつ青色の蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量は、昇温脱離分析法において３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数に対する１００度から６００度までの領域で現れる脱離ＣＨ2のピーク分子数の比率が０．０５以下（０を含まず）であることを特徴とする。
【００２５】
以下、本発明の一実施の形態によるＰＤＰおよびその製造方法について、具体例に基づき説明する。
【００２６】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１について説明する。図１に本発明によるＰＤＰの構造を示しており、図１に示すように、ガラス基板などの透明な前面側の基板１上には、スキャン電極とサステイン電極とで対をなすストライプ状の表示電極２が複数列形成され、そしてその電極群を覆うようにガラスからなる誘電体層３が形成され、その誘電体層３上にはＭｇＯからなる保護膜４が形成されている。
【００２７】
また、前記前面側の基板１に対向配置される背面側のガラス基板などの基板５上には、スキャン電極及びサステイン電極の表示電極２と交差するように、誘電体ガラスからなる可視光反射層６で覆われた複数列のストライプ状のアドレス電極７が形成されている。このアドレス電極７間の可視光反射層６上には、アドレス電極７と平行に複数の隔壁８が配置され、この隔壁８間の側面および可視光反射層６の表面に蛍光体層９が設けられている。
【００２８】
これらの基板１と基板５とは、スキャン電極およびサステイン電極の表示電極２とアドレス電極７とがほぼ直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周辺部が封着部材により封着され、そして前記放電空間には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうちの一種または混合ガスが放電ガスとして封入されている。また、放電空間は、隔壁８によって複数の区画に仕切ることにより、表示電極２とアドレス電極７との交点が位置する複数の放電セルが設けられ、その各放電セルには、赤色、緑色、青色の蛍光体層９が一色ずつ順次配置されている。
【００２９】
そして、上記赤色、緑色、青色の蛍光体層９を放電によって発生する波長の短い真空紫外線（波長１４７ｎｍ）により励起発光させることにより、カラー表示を行っている。
【００３０】
蛍光体層９を構成する蛍光体としては、一般的に以下の材料が用いられている。
【００３１】
「青色蛍光体」：ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕ
「緑色蛍光体」：Ｚｎ2ＳｉＯ4：ＭｎまたはＢａＡｌ12Ｏ19：Ｍｎ
「赤色蛍光体」：Ｙ2Ｏ3：Ｅｕまたは（ＹxＧｄ1-x）ＢＯ3：Ｅｕ
また、各色蛍光体は、以下のようにして作製することができる。
【００３２】
青色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕ）は、まず炭酸バリウム（ＢａＣＯ3）、炭酸マグネシウム（ＭｇＣＯ3）、酸化アルミニウム（α−Ａｌ2Ｏ3）をＢａ，Ｍｇ，Ａｌの原子比で１対１対１０になるように配合する。次にこの混合物に対して所定量の酸化ユーロピウム（Ｅｕ2Ｏ3）を添加し、そして適量のフラックス（ＡｌＦ2，ＢａＣｌ2）と共にボールミルで混合し、１４００℃〜１６５０℃で所定時間、例えば、０．５時間還元雰囲気（Ｈ2，Ｎ2中）で焼成することにより得られる。
【００３３】
赤色蛍光体（Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ）は、原料として水酸化イットリウムＹ2（ＯＨ）3と硼酸（Ｈ3ＢＯ3）とをＹ，Ｂの原子比１対１になるように配合する。次に、この混合物に対して所定量の酸化ユーロピウム（Ｅｕ2Ｏ3）を添加し、適量のフラックスと共にボールミルで混合し、空気中１２００℃〜１４５０℃で所定時間、例えば１時間焼成することにより得られる。
【００３４】
緑色蛍光体（Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ）は、原料として酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化珪素（ＳｉＯ2）をＺｎ，Ｓｉの原子比２対１になるように配合する。次にこの混合物に所定量の酸化マンガン（Ｍｎ2Ｏ3）を添加し、ボールミルで混合した後、空気中で１２００℃〜１３５０℃で所定時間、例えば０．５時間焼成することにより得られる。
【００３５】
上記製法で作製された蛍光体粒子を粉砕後ふるい分けすることにより、所定の粒径分布を有する蛍光体材料が得られる。
【００３６】
図２に本実施の形態によるＰＤＰの製造工程を示しており、図２に示すように背面板側は、ガラス基板上に銀からなるアドレス電極を形成し、その上に誘電体ガラスからなる可視光反射層と、ガラス製の隔壁を所定のピッチで作製する工程１０を行う。
【００３７】
次に、これらの隔壁に挟まれた各空間内に、赤色蛍光体、緑色蛍光体、青色蛍光体を含む各色蛍光体ペーストをそれぞれ塗布した後、５００℃程度で蛍光体ペーストを焼成してペースト内の樹脂成分等を除去し、蛍光体層を形成する蛍光体形成工程１１を行う。また、蛍光体形成後は、背面板の周囲に前面板との封着部材として低融点ガラスペーストを塗布し、低融点ガラスペースト内の樹脂成分等を除去するために３５０℃程度で仮焼する低融点ガラスペースト形成工程を行う。
【００３８】
一方、前面板側は、ガラス基板上に表示電極と誘電体層を形成する電極、誘電体層の形成工程１２を行い、その後保護膜の形成工程１３を行う。
【００３９】
その後、表示電極、誘電体ガラス層および保護層を順次形成した前面板と、前記背面板を隔壁を介して表示電極とアドレス電極が直交するよう対向配置し、４５０℃程度で焼成し、低融点ガラスによって、周囲を密封する封着工程１４を行った後、３５０℃程度まで加熱しながらパネル内を排気し、終了後に放電ガスを所定の圧力だけ導入するガス封入工程１５を行う。
【００４０】
そして、ガラス基板に形成した表示電極に通常動作時の約２倍の交流電圧を印加して強い放電を発生させて安定放電が行えるようにするエージング工程１６を行うことによりパネルが完成される。
【００４１】
ここで、本実施の形態においては、封着工程時、または封着工程前に不純物ガスを蛍光体層に吸着させるもので、吸着させる不純物ガスを限定するため、図２の点線で囲むように、前面側のガラス基板は保護膜である酸化マグネシウムを真空電子ビーム蒸着法により形成した後、背面側のガラス基板は蛍光体焼成後より、不純物ガス吸着工程１７を除くすべての工程において１０-4Ｐａ以下の真空、または露点−６０度以下の乾燥Ｎ2雰囲気で、ガス封入工程１５までを行った。なお、背面側のガラス基板の蛍光体焼成工程までは大気中で行うため、不純物ガス吸着工程１７の前に、真空加熱を５００℃で行い、大気中での吸着ガスの脱ガス処理１８を行った。また、不純物ガス吸着工程１７は、この脱ガス処理１８の降温時に、Ｈ2Ｏ，ＣＯ2の少なくとも一方を含む所望の不純物ガスを導入し、室温に下がるまでこのガス雰囲気に曝すことにより行う。
【００４２】
ところで、上述したように、ＰＤＰ内の放電空間に存在するＭｇＯや蛍光体材料、特に青色蛍光体は、不活性ガス以外の不純物ガスの吸着性が高く、その不純物ガスが原因でパネル面内で輝度ムラが発生したり、放電特性のバラツキが生じる。このような課題を解決するためには、不純物ガスが吸着しないようにすればよいが、ＰＤＰの構成上、それは実際上困難なことである。
【００４３】
そこで、本発明者らは、不純物ガスの吸着量を制御することで、ＰＤＰの特性の改善および安定化が図れないかについて、各種の実験と検討を行った。その結果、積極的に不純物ガス吸着工程を設け、不純物ガスの吸着量を制御するという本発明を見出したものである。
【００４４】
図３はＰＤＰの蛍光体に対するＨ2Ｏを含む不純物ガスの吸着性について、本発明者らが行った実験の結果を示す図であり、図３に示すように不純物ガス吸着工程において、Ｈ2Ｏの分圧に対して各色の蛍光体におけるＨ2Ｏの吸着量に関係があることが分かった。すなわち、図３に示す特性から、青色蛍光体が最もＨ2Ｏの吸着量が多く、また同時に不純物ガス吸着工程時のＨ2Ｏの分圧に対して大きな変化率を示すことが分かった。このことからＰＤＰの内部空間内でのＨ2Ｏ総量の制御は、青色蛍光体のＨ2Ｏ吸着量を制御することで可能であることが分かった。
【００４５】
すなわち、封着工程前に不純物ガス吸着工程を設け、不活性ガス以外の不純物ガスを蛍光体層に吸着させることにより、不活性ガス以外の不純物ガスをパネル面内に均一に制御よく導入することが可能となる。また、この不純物ガスとしては、本発明者らの実験によれば、Ｈ2ＯとＣＯ2の少なくとも一方を含むガスを導入すればよく、その不純物ガスの効果により放電電圧の低電圧化、安定放電、高輝度化、高効率化、長寿命化を実現することができる。
【００４６】
ここで、蛍光体に不純物ガスを吸着させることにより放電特性を制御よく操作できる理由について説明すると、一般的にＰＤＰの駆動方法は、初期化放電、アドレス放電、維持放電から構成されており、駆動の原理としては、第１の初期化放電では大きな電圧を印加することにより、放電セル内をリセットする効果を有し、次に表示する画像信号を基に点灯させたいセルのみ選択的にアドレス放電を発生させ、その放電を維持放電で持続させ、この維持放電のパルス数で階調表現を行っている。その際、初期化放電とアドレス放電時には前面板に形成された表示電極と背面板に形成されたアドレス電極間において放電が発生するため、背面板のアドレス電極上に形成されている蛍光体に不純物ガスが吸着されていると初期化放電、アドレス放電によってその不純物ガスが放電ガス中に効果的に放出されると考えられる。そして、蛍光体材料は不活性ガス以外のガスに対し、吸着性に富むため、一度放電ガス中に放出した不純物ガスは、維持放電終了後に再び再吸着されると考えられ、これらのことが制御よく不純物ガスを放電ガス中に添加することにより、効果的に放電特性を操作できる要因と考えられる。
【００４７】
なお、本実施の形態においては、蛍光体焼成工程と封着工程の間で蛍光体を形成した背面板を所望の不純物ガスを含むガスに曝すことにより、蛍光体への不純物ガス吸着を行ったが、封着工程を所望の不純物ガスを含むガス雰囲気で行うか、または封着工程において前面板と背面板で形成される内部空間に所望の不純物ガスを含むガスを流すことによっても蛍光体に不純物ガスを吸着させることができ、本実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４８】
ところで、本発明者らの実験によれば、上述した本発明による効果は、不純物ガスとしてのＣＯ2の昇温脱離質量分析（ＴＤＳ）における０から５００度までに見られるピーク分子数、およびＨ2Ｏの３００度以上に見られるピーク分子数との間に相関があることを見出した。
【００４９】
次に、不純物ガス吸着工程におけるガス雰囲気とパネル完成後の不純物ガスの青色蛍光体への吸着量とについて、実験を行った結果について説明する。表１にその結果を示している。なお、表１における各項目の意味は、次の通りである。
【００５０】
「点灯電圧」：パネル全面を点灯させるのに必要な維持電圧。
【００５１】
「放電ミス」：１０００回のアドレス放電における放電不良回数。この放電不良回数が多くなると不灯発生による画質劣化の要因となる。
【００５２】
「電圧マージン」：点灯に必要な点灯電圧から維持電圧を高くしていくことにより発生する点灯不具合発生電圧までの電圧差。この値が大きいほど安定な駆動が可能となる。
【００５３】
「点灯後の電圧マージン」：２００ｋＨｚの維持電圧印加による５００時間の放電後の電圧マージン。
【００５４】
「マージン変動」：２００ｋＨｚの維持電圧印加による５００時間の放電の前後での電圧マージンの変化量を電圧（Ｖ）で示した。
【００５５】
「相対輝度」：パネルＮｏ．１の値を１００とした相対強度で表した。
【００５６】
また、表１では実際の数値を表記するとともに、その数値の評価を◎、○、△、×で表した。◎：非常によい  ○：実用上問題なし  △：実用上改善されると良いが大きな問題ではない  ×：実用上問題である。
【００５７】
【表１】
0003753128.tif 000002
【００５８】
この表１から明らかなように、真空空間で作製したＮｏ．１のパネルと乾燥Ｎ2雰囲気で作製したＮｏ．２のパネルにおいては、蛍光体へのＨ2Ｏ，ＣＯ2の吸着量が非常に少なく、初期の電圧マージンが非常に大きく、またマージンの変化もほとんどなく、長期にわたり安定な放電が実現できる。これに対し、ＣＯ2の不純物ガス吸着を行ったＮｏ．３、Ｎｏ．４のパネルにおいては、Ｎｏ．１、Ｎｏ．２のパネルに比べて、放電ミスの回数が減少した。これによりＣＯ2を吸着させることにより、放電ミスを低減できることが分かる。しかしながら、一方ではＣＯ2の１％雰囲気で作製したＮｏ．４のパネルでは、初期の電圧マージンが小さく、また輝度の低下も同時にみられることがわかった。また、ＣＯ2の吸着量の５００度までのピーク分子数が１×１０15個／ｇを境にこの輝度劣化が大きく発生することが本発明者らにより確認されている。
【００５９】
従って、蛍光体へのＣＯ2の吸着量を５００度までのピーク分子数で１×１０13個／ｇ〜１×１０15個／ｇの範囲で行うことにより、大きな輝度劣化を招くことなく放電ミスの回数を低減することができる。
【００６０】
また、Ｎ2雰囲気にＣＯ2を０．１％添加し、Ｈ2Ｏを分圧で３Ｔｏｒｒと３０Ｔｏｒｒ添加して作製したＮｏ．５とＮｏ．６のパネルにおいて、ＣＯ2を０．１％のみ添加したＮｏ．３のパネルと比べると、電圧マージンの大きな低下もなく、点灯電圧の低減と輝度向上の効果が得られる。しかしながら、Ｈ2Ｏを３０Ｔｏｒｒ添加したＮｏ．６のパネルにおいては、マージンの変化量が大きく、長期間の安定放電は困難である。マージンの変化量は、蛍光体に吸着させたピーク分子数が５×１０15個／ｇ以上になると、大きくなり電圧マージンが減少することが本発明者らにより確認されている。
【００６１】
従って、蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量を３００度以上でのピーク分子数で１×１０15個／ｇ〜５×１０16個／ｇとすることにより、パネル点灯による電圧マージンの大きな低下を招くことなく、放電電圧を低減することができる。これにより、高輝度で長期にわたり安定放電が可能で、放電電圧を下げることができる。
【００６２】
また本実施の形態において、ＣＯ2とＨ2Ｏをともに吸着させることにより、それぞれの吸着ガスの効果を有するとともに、さらにＣＯ2，Ｈ2Ｏの各々単独の不純物ガス吸着では見られなかった輝度向上が確認できた。これはＣＯ2による輝度劣化要因がＨ2Ｏにより抑えられていることを意味しており、輝度劣化を生じる蛍光体へのＣＯ2の吸着サイトに、Ｈ2Ｏが吸着するために輝度劣化が低減することが考えられる。また、同時に放電電圧の低減により、Ｘｅの紫外線放射効率も上昇していることが考えられる。また、このＨ2ＯによるＣＯ2の輝度低減抑制効果ならびに輝度向上の相乗効果は、ＣＯ2とＨ2Ｏとのピーク分子数の比に大きく関係していることが本発明者らにより確認されており、Ｈ2Ｏのピーク分子数がＣＯ2のピーク分子数に対する比率として、３．７から４．３であることが好ましく、４．０付近が最も効果的であることがわかった。
【００６３】
ここで、吸着分子数Ｘ（個／ｇ）とは、昇温脱離質量分析において排気速度をＳ（ｍ3／ｓ）、測定間隔時間をｔ（ｓ）、全検出イオン電流をＩ（Ａ）、求めたい分子のイオン電流をＪ（Ａ）、電流検出時の圧力をＰ（Ｐａ）測定試料の重さをＷ（ｇ）とした時、気体定数をＲ、温度をＴ、アボガドロ数をＮとして、
Ｘ＝｛Ｎ／（Ｒ×Ｔ）｝×Ｐ×Ｓ×ｔ×（Ｊ／Ｉ）／Ｗ＝２．４７１×１０20×Ｐ×Ｓ×ｔ×（Ｊ／Ｉ）／Ｗの式より求まる値であり、本実施の形態では排気速度０．１９（ｍ3／ｓ）、測定間隔時間１５（ｓ）により測定したデータを用いている。
【００６４】
以上のように本発明によれば、不活性ガス以外の不純物ガスをパネル面内に均一に制御よく導入することが可能であり、また不純物ガスとしてＨ2ＯとＣＯ2を導入することにより、その不純物ガスの効果により、ＰＤＰにおける放電電圧の低電圧化、安定放電、高輝度化、高効率化、長寿命化などの特性向上を実現することができる。
【００６５】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について説明する。
【００６６】
本実施の形態２においては、封着工程時、または封着工程前に少なくともＣＨ4を含む不純物ガスを蛍光体層に吸着させるもので、上記実施の形態１と同様に、吸着させる不純物ガスを限定するため、図２の点線で囲むように、前面側のガラス基板は保護膜である酸化マグネシウムを真空電子ビーム蒸着法により形成した後、背面側のガラス基板は蛍光体焼成後より、不純物ガス吸着工程１７を除くすべての工程において１０-4Ｐａ以下の真空、または露点−６０度以下の乾燥Ｎ2雰囲気で、ガス封入工程１５まで行った。なお、背面側のガラス基板の蛍光体焼成工程までは大気中で行うため、不純物ガス吸着工程１７の前に、真空加熱を６００℃で行い、大気中での吸着ガスの脱ガス処理１８を行った。また、不純物ガス吸着工程１７は、この脱ガス処理１８の降温時に、Ｈ2Ｏ、ＣＨ4を含む所望の不純物ガスを導入し、室温に下がるまでこのガス雰囲気に曝すことにより行う。
【００６７】
このような本実施の形態２は、不純物ガスとしてのＣＨ2の昇温脱離質量分析（ＴＤＳ）における０から６００度までに見られるピーク分子数、およびＨ2Ｏの３００度以上に見られるピーク分子数との間に相関があることを見出したことに基づくものであり、以下に説明するように、上記実施の形態１と同様な効果が得られる。
【００６８】
なお、昇温脱離分析において、上記不純物以外にもＣＨ系不純物が重合した、より質量数が大きいＣnＨ2n+2で表されるメタン系炭化水素やＣnＨ2nで表されるエチレン系炭化水素などの不純物も検出されるが、ＣＨ2の吸着量が放電特性と大きな相関があった。これは低級の分子が最も放電に影響しやすいためであると思われる。また、昇温脱離分析法においてＣＨ4の吸着量評価に対し、Ｏが同質量数で妨害イオンとなるため、ＣＨ4の吸着量の測定が困難であるため、ＣＨ2の吸着量をＣＨ4の吸着量の指標として用いた。
【００６９】
次に、不純物ガス吸着工程におけるガス雰囲気とパネル完成後の不純物ガスの青色蛍光体への吸着量とについて、実験を行った結果について説明する。表２にその結果を示している。なお、表２における各項目の意味は、上記表１と同様な意味であり、説明は省略する。
【００７０】
【表２】
0003753128.tif 000003
【００７１】
この表２から明らかなように、真空空間で作製したＮＯ．１のパネルと乾燥Ｎ2雰囲気で作製したＮＯ．２のパネルにおいては、蛍光体へのＨ2Ｏ、ＣＨ4の吸着量が非常に少なく、初期の電圧マージンが非常に大きく、またマージンの変化もほとんどなく、長期にわたり安定な放電が実現できる。これに対し、ＣＨ4の不純物ガス吸着を行ったＮＯ．３、ＮＯ．４のパネルにおいては、ＮＯ．１、ＮＯ．２のパネルに比べて、放電ミスの回数が減少した。しかしながら、一方ではＣＨ4の１％雰囲気で作製したＮＯ．４のパネルでは、電圧マージンの減少と輝度の低下も同時に見られる。また、ＣＨ2の吸着量の１００度〜６００度までのピーク分子数が２×１０15個／ｇを境にこの輝度劣化が大きく発生することが本発明者らにより確認されている。
【００７２】
従って、蛍光体へのＣＨ2の吸着量を１００度〜６００度までのピーク分子数で０．５×１０14個／ｇ〜３．０×１０14個／ｇの範囲で行うことにより、大きな輝度劣化を招くことなく放電ミスの回数を低減することができる。
【００７３】
また、Ｎ2雰囲気にＣＨ4を０．１％添加し、Ｈ2Ｏを分圧で３Ｔｏｒｒと３０Ｔｏｒｒ添加して作製したＮＯ．５とＮＯ．６のパネルにおいて、ＣＨ4を０．１％のみ添加したＮＯ．３のパネルと比べると、電圧マージンの大きな低下もなく、点灯電圧の低減と輝度向上の効果が得られる。しかしながら、Ｈ2Ｏを３０Ｔｏｒｒ添加したＮＯ．６のパネルについては、点灯に伴いマージンの低下が大きく、長期間の安定放電は困難である。
【００７４】
点灯による電圧マージンの低下は蛍光体へ吸着させたＨ2Ｏの３００度以上で現れるピーク分子数が５×１０15個／ｇ以上になると大きくなり、電圧マージンが減少することが本発明者らにより確認されている。従って、蛍光体へのＨ2Ｏの吸着量を３００度以上でのピーク分子数で１×１０15個／ｇ〜５×１０16個／ｇとすることにより、パネル点灯による電圧マージンの大きな低下を招くことなく放電電圧を低減することができる。これにより、高輝度で長期にわたり安定放電が可能であって、放電電圧を下げることができる。
【００７５】
また本実施の形態において、ＣＨ4とＨ2Ｏをともに吸着させることにより、それぞれの吸着ガスの効果を有するとともに、さらにＣＨ4、Ｈ2Ｏの各々単独の不純物ガス吸着では見られなかった輝度向上が確認できた。これはＣＨ4による輝度劣化要因がＨ2Ｏにより抑えられていることを意味しており、輝度劣化を生じる蛍光体へのＣＨ4の吸着サイトにＨ2Ｏが吸着することにより輝度劣化が低減するものと考えられる。また、同時に放電電圧の低減により、Ｘｅの紫外線放射効率も上昇していることが考えられる。ただし、Ｈ2ＯによるＣＨ4の輝度低減抑制効果ならびに輝度向上の相乗効果は、ＣＨ4の吸着量の指標となるＣＨ2の１００度〜６００度の間で現れるピーク分子数と、３００度以上で現れるＨ2Ｏのピーク分子数の比に大きく関係していることが本発明者らにより確認されており、図４に示すようにＨ2Ｏの３００度以上で現れるピーク分子数がＣＨ2の１００度から６００度の間で現れるピーク分子数に対する比率として、０．０５以下で特に効果があり、逆に０．０５以上では輝度が低下していく。
【００７６】
また、３００度以上で現れるＨ2Ｏのピーク分子数が５×１０15個／ｇ以上では、前記吸着量の比率が０．０５以上における輝度低下の傾きが穏やかであったが、３００度以上で現れるＨ2Ｏのピーク分子数が５×１０15個／ｇ以下の時には、前記比率の増加に伴う輝度低下の傾斜が強くなる傾向が見られる。
【００７７】
以上のことより、電圧マージンの低下を招くことなく輝度を向上させるには、３００度以上で現れるＨ2Ｏのピーク分子数が５×１０15個／ｇ以下で前記吸着量の比率が０．０５以下となることが最も望ましい。
【００７８】
なお、図４は、Ｈ2Ｏの吸着量について昇温脱離分析法より分析した結果において、３００度以上の領域で現れる脱離Ｈ2Ｏのピーク分子数に対する１００度から６００度までの領域で現れる脱離ＣＨ2のピーク分子数の比率と輝度の関係を示す図である。
【００７９】
以上のように本発明によれば、不純物ガスとしてＨ2ＯとＣＨ4を導入することにより、その不純物ガスの効果により、ＰＤＰにおける放電電圧の低電圧化、安定放電、高輝度化、高効率化、長寿命化などの特性向上を実現することができる。
【００８０】
また、以上の説明では、青色蛍光体としてＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕを用いた場合を例にして説明したが、特開２０００−２２６５７４号公報において公開されている（Ｂａ1-mＳｒm）ｉＭｇＡｌjＯn：Ｅｕkで表され、０≦ｍ≦０．２５、１．０≦ｉ≦１．８、１２．７≦ｊ≦２１．０、０．０１≦ｋ≦０．２０、２１．０≦ｎ≦３４．５からなる組成のアルミン酸塩を用いると、Ｈ2Ｏの吸着特性が赤、緑色蛍光体の特性に近づくため、不純物ガスの吸着の制御性がさらに容易になるという効果が得られる。
【００８１】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、不活性ガス以外の不純物ガスをパネル面内に均一に制御よく導入することが可能であり、その不純物ガスの効果により、ＰＤＰにおける放電電圧の低電圧化、安定放電、高輝度化、高効率化、長寿命化などの特性向上を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す斜視図
【図２】同じくプラズマディスプレイパネルの製造方法における製造工程図
【図３】不純物ガス吸着工程におけるＨ2Ｏ分圧に対する各蛍光体の吸着量を示す特性図
【図４】Ｈ2Ｏのピーク分子数に対するＣＨ2のピーク分子数の比率と輝度の関係を示す特性図
【符号の説明】
１、５  基板
２  表示電極
３  誘電体層
４  保護膜
７  アドレス電極
９  蛍光体層
【図１】
0003753128.tif 000004
【図２】
0003753128.tif 000005
【図３】
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【図４】
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