(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一連の光学信号を発生するべく白色光源を提供する段階と、
前記白色光を入射面に対してある角度で偏光する段階と、
時間的に不変の一連の偏光光学信号をサンプルで反射させる段階と、
種々の光学周波数での位相ずれした偏光光を得る段階と、
前記位相ずれした偏光光を、前記時間的に不変な偏光光学信号の目的とする全波長について周波数に対する位相ずれを表す異なる光強度の点の空間配列に同時に変換する段階と、該同時に変換する段階が、
目的とする全波長領域に渡る所定の一方向に限り、前記反射偏光光の空間的に変化する偏光ずれを誘導する段階と、
空間的に変化した偏光ずれの各反射光波長を振幅値に変換する段階と、
前記振幅値と、波長に対する偏光ずれの前記空間配列を記憶する結像分光器とを連結させることにより、全波長についての楕円偏光パラメータの同時測定を可能にする段階と、
目的とする領域内にある前記変換済み反射光の波長を前記結像分光器のスリットの第１部分を通過させる段階であって、前記スリットが、前記所定の一方向のみと平行であるとともに、目的とする前記波長領域よりも長く、第２の分離部分を有している段階と、
前記スリットの前記第２の分離部分に対し、前記反射光の一部を直接通過させてリファレンスデータを供給する段階
目的とする前記波長の各波長での各光強度点での前記サンプルの楕円偏光パラメータを測定する段階とから成る
サンプルからの反射光の楕円偏光パラメータを求める方法。
【請求項２】
一連の光学信号を発生するべく白色光源を提供する段階と、
前記白色光を入射面に対してある角度で偏光する段階と、
時間的に不変の一連の偏光光学信号をサンプルで反射させる段階と、
種々の光学周波数での位相ずれした偏光光を得る段階と、
前記位相ずれした偏光光を、前記時間的に不変な偏光光学信号の目的とする全波長について周波数に対する位相ずれを表す異なる光強度の点の空間配列に同時に変換する段階と、該同時に変換する段階が、
前記反射光に、約３度の浅いウェッジ角を有するとともに、目的とする前記波長領域をカバーするのに充分な長さを有する空間的リターデーション素子を通過させることにより、目的とする全波長領域に渡る所定の一方向に限り、前記反射偏光光の空間的に変化する偏光ずれを誘導する段階と、
空間的に変化した偏光ずれの各反射光波長を振幅値に変換する段階と、
前記振幅値と、波長に対する偏光ずれの前記空間配列を記憶する結像分光器とを連結させることにより、全波長についての楕円偏光パラメータの同時測定を可能にする段階と、
目的とする前記波長の各波長での各光強度点での前記サンプルの楕円偏光パラメータを測定する段階と
からなるサンプルからの反射光の楕円偏光パラメータを求める方法。
【請求項３】
前記反射光が得られるように直線偏光白色光を使用する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記反射した偏光光の前記偏光ずれを空間的に変化させることが、
前記反射光を、約３度の浅いウェッジ角を有するとともに、目的とする前記波長領域をカバーするのに充分な長さを有する空間的リターデーション素子を通過させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記反射光の波長を振幅値に変換する前記段階が、さらに、
前記空間的リターデーション素子からの前記光に、前記入射面に対して±４５度の角度で指向される直線偏光アナライザを通過させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記直線偏光アナライザからの前記変換光に、前記結像分光器のスリットを通過させる段階と、
前記光の振幅値から成る空間配列を保持しながら、前記スリットに対して垂直な方向に前記結像分光器の各波長ごとに前記変換反射光を分散させる段階とをさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
時間的に不変の一連の光学信号をサンプル表面で反射させて種々の光学的周波数での空間的に変化した位相ずれを含む偏光光を得るべく、前記サンプルを照射する第１の光学系と、
前記位相ずれした偏光光を、前記時間的に不変の偏光光学信号の目的とする全波長についての波長に対する前記空間的に変化した偏光ずれを表す種々の光強度の点に同時に変換する第２の光学系と、
前記反射偏光光の前記偏光ずれを直線的にリタードすることにより、目的とする全波長領域に渡る所定の一方向に偏光ずれ位置の直線空間配列を同時に形成し、前記結像分光器のスリットと平行ならびにそれに沿った複数のリターデーション点を作成する空間的リターデーション素子と、
前記空間的リターデーション素子からの前記光の直線空間配列を受信するとともに、リタードされた偏光ずれの各位置での前記反射光を振幅値に変換するアナライザとを有し、 前記結像分光器が、
前記第２光学系から前記光を受けるスリットと、
波長に対する偏光ずれを表す点の前記空間配列を作成するために、前記スリットと平行ならびにそれに沿った前記偏光ずれ位置の相関関係を維持しながら、前記スリットに対して垂直に各偏光ずれ位置の前記光振幅値を分散させる波長用分散素子と、
種々の光強度の前記点を受信して、前記波長に対する空間的に変化した偏光ずれを表す光強度の前記点の空間配列を記憶することにより、全波長についての楕円偏光パラメータの測定を可能にする結像検出器配列とを有する、サンプルからの反射光の楕円偏光パラメータを求める装置。
【請求項８】
前記アナライザから目的の前記波長領域内の前記光を受光する前記結像分光器の前記スリットの第１の部分と、
第２のアナライザと、
前記第２のアナライザを介して前記サンプル表面からの反射光を直接受光してリファレンスデータを供給する前記スリットの第２の部分とをさらに具備することを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記空間的リターデーション素子が、
約３度の浅いウェッジ角を有するクリスタルクォーツから成る第１および第２の接合された同一で均質かつ非等方性の細長いウェッジから成ることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
前記アナライザが、前記入射面に対して±４５度の角度で指向される直線偏光アナライザであることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
光の振幅値から成る前記空間配列を作成するために、前記スリットに沿った前記偏光ずれの点を同時に維持しながら、前記スリットに対して垂直な各波長ごとに前記変換された反射光を分散する前記結像分光器に回折格子をさらに具備することを特徴とする請求項７に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（技術分野）
本発明は、概して、楕円偏光計に関し、詳しくは、一方の軸において偏光を、もう一方の軸において波長をコード化することにより、目的とする全波長領域に渡り楕円偏光パラメータの完全同時測定を可能とする結像分光器を用いた新規な楕円偏光計に関するものである。
【０００２】
（背景技術：米国特許法施行規則（ＣＦＲ）３７の第１．９７条および第１．９８条に基づき開示された情報を含む）
楕円偏光解析法は、物質により反射および／または透過したときの光の偏光状態の変化を体系的に研究する方法である。楕円偏光計は、光が反射しているサンプルの何らかの特性によって生じる偏光状態の変化を計測する光学用計器である。偏光に生じた変化の特徴を充分に理解するためには、波長だけでなく、偏光の初期状態を知ることが必要である。反射または透過時の偏光状態の変化を知ることによって、調査対象となるサンプルの構造はかなり浮き彫りされてくる。例えば、半導体製造において、ウェハに薄膜を蒸着する場合、薄膜の厚さは、楕円偏光測定値から容易に求められる。薄膜の蒸着を必要とする製法は数多くあり、楕円偏光計は、薄膜の特性を解析して製法の質を測定する際に、日常的に使用されている。
【０００３】
レーザ光源などの光の単波長を用いて一定の重要な偏光角を測定する楕円偏光計は、「直接的楕円偏光計」と呼ばれることがよくある。これは、直接的楕円偏光計によって測定した場合、結果的に、ΨやΔとして周知の楕円偏光パラメータを求めることになるためである。楕円偏光パラメータとは、サンプルの波長、入射角、および表面特性の関数である。パラメータΨは、プローブ光線のｐからｓへの偏光状態の相対的強度の測度であり、パラメータΔは、ｐとｓの各偏光状態間の相対的位相ずれの測度である。異なる複数の入射角および／または異なる複数の波長に対してΨおよびΔの測定値を出すことにより、研究対象となるサンプルについて追加情報を求めることができる。一定の波長で動作するとともに角度が変化する楕円偏光計は、「角度可変楕円偏光計」（ＶＡＥ）と呼ばれている。波長が変化する（または、分光器に白色光プローブビーム源を用いる）楕円偏光計は、「分光楕円偏光計」（ＳＥ）と呼ばれている。
【０００４】
表面特性は、通常、均一でなく、サンプル上の箇所によって異なっている。楕円偏光解析法によって測定された表面の各特性をマッピングする様々な技法があり、そのうちの一つに、楕円偏光計プローブビームを小さい点に収束させてから、サンプルを水平面に移し、表面特性をマッピングできるような多くの測定値を出す方法がある。また、それぞれ表面上の小点と１対１対応になっている複数の検出器によって幅の広いビームを使用する技法もある。
【０００５】
従来技術の楕円偏光計は、一定の入射角に対する波長関数としての楕円偏光パラメータを順次に測定する。さらに、動作速度およびコスト上の理由から、このような楕円偏光計は、通常、「インシチュー（ｉｎ‐ｓｉｔｕ：原位置）」法または「インライン」法で使用されることはない。
【０００６】
楕円偏光解析法によって表面に材料を形成または除去するプロセスを監視する場合、楕円偏光計の動作がある程度制約される。当該材料に対する適度な感光性を備えているだけでなく、必要に応じて情報が取得できるように、時機を得た測定が行なわれなければならない。楕円偏光測定に関する現在の技術では、１秒当たり全分光楕円偏光パラメータを１、２回程度測定するよりも高い高速スループットには、特に適していない。分光楕円偏光パラメータを１回完全に測定するだけで数秒の時間がかかる場合がほとんどである。動作速度の制約は、大抵の場合、測定範囲を設定するために、および／または、プローブビームの光を各波長ごとに順次測定するために、機械的構成部品を多数の別々の位置を通って移動させなければならないという必要性によるものである。
【０００７】
したがって、時間的に変化し、あるいは機械的運動をする光学素子の必要性なく、全波長領域に渡って分光楕円偏光パラメータの多重同時測定を一斉に行なう楕円偏光計があれば有利である。
【０００８】
さらに、形成中のサンプル材料の特性を求めるインシチュー法、または、プロセス制御を実行するインラインで動作できるほど充分に速い測定を行なえる楕円偏光計があると有利である。
【０００９】
（発明の開示）
本発明により、目的とする全波長領域に渡って楕円偏光パラメータの完全な同時測定が可能になる。これは、結像分光器の入力開口（スリット）に沿ってプローブ光の偏光情報を分散させる新規の光学機構とともに結像分光器を用いることによって実現可能である。この分光器は、さらにスリットに対して垂直な方向に波長の入力プローブ光を分散させる回折素子を有している。その結果得られた２次元分光像データは、光の波長に関する軸と、光の偏光に関する軸とを有する結像検出器配列に収集される。画像データの解析は、技術上周知であり、調査の対象となっているサンプルの各波長ごとの楕円偏光パラメータΨおよびΔを求められるように実行することが可能である。
【００１０】
本発明の新規な特徴の一つに、空間的に変化する（一方向のみ）偏光リターダンスを導入した浅角偏光リターデーションプリズムの使用が挙げられる。この偏光リターデーションプリズムは、クリスタルクォーツで構成されている場合、好適な実施例では約３度のウェッジ角を有している。このプリズムがリターデーションプリズムであるとともに、目的とする全波長領域に渡って、ある一定の方向に限り、反射した偏光光の偏光ずれを直線的にリタードさせることから、上記の点は非常に重要である。次に、リターデーションプリズムによって生じたこのような空間的に変化する偏光は、技術上周知の直線偏光アナライザによって振幅値または強度値に変換され、前記直線偏光アナライザは、±４５度の角度で指向されるとともに、前記偏光子と同様の基準を持つグラントムソン偏光子としての周知の種類のものでもよい。この分光器は、スリットに対して垂直に各波長ごとに振幅値を分散させる。分光器の像平面において、各画素またはフォトダイオードの強度は、光の波長または周波数に対する総偏光ずれの関数に相当する。したがって、画像の解析を、直接的な方法で、結果的には楕円偏光パラメータΨおよびΔにより、調査対象となっているサンプルの各波長ごとに行なうことが可能である。さらに、画像状態が変化しているか確かめたいときは、画像を監視するだけで、解析を行なうことができる。
【００１１】
結像分光器を用いることにより、リターデーションプリズムによって生じた偏光分散は、分光像内に維持される。このため、この分光像により、一方の軸において偏光が、もう一方の軸において波長がコード化される。分光器に技術上周知のフレーム転送画像チップを用いることにより、電子技術上のフレームレートでの測定が可能になり、画像から全波長および偏光が、フレームレートで読み出される。これは、従来の楕円偏光計に比べてはるかに高速である。運動している部分が全くなく、分光／偏光情報全体が同時に平行して収集されるので、制限的要因は、その後の読出し電子技術的速度や画像処理技術にある。現在の電子技術の状態からすれば、１秒当たり数十から数百フレームのサンプリングレートという経済的な速度が可能と思われる。したがって、この楕円偏光計をインラインシステムまたはインシチューシステムに使用すれば、作成中のサンプルからリアルタイムでデータを提供することが可能になる。
【００１２】
したがって、本発明は、サンプルの照射に、サンプルの常態表面と入射光で定義される入射面に対して４５度などの角度で指向される偏光光を与えることを目的とする。
【００１３】
さらに、本発明は、浅角リターデーションプリズムを用いて、一方向にのみ空間的に変化する偏光リターダンスを導入することを目的とする。
【００１４】
またさらに、本発明は、ウェッジ角がわずか約３度のリターデーションプリズムを用いることを目的とする。
【００１５】
さらに、本発明は、リターデーションプリズムによって生じた空間的に変化する偏光を、前記偏光子と同様の基準を持つ、±４５度の角度で標準的な指向性を有する直線偏光アナライザによって振幅または強度変化率に変換することを目的とする。
【００１６】
さらに、本発明は、リターデーションプリズムと直線偏光アナライザを組み合わせた分光器を用いて、入力開口すなわちスリットに対して垂直に反射した白色光を、分光器の像平面において各画素の強度値が反射光の周波数に対する偏光ずれの関数となるように、分散させることを目的とする。
【００１７】
さらに、本発明は、リターデーションプリズムによって作成されたリタードされた偏光を受光して、周波数に対する偏光ずれを表示する点の空間配列を記憶して同時測定を行なう結像分光器を具備する楕円偏光計を提供することを目的とする。
【００１８】
さらに、本発明は、結像分光器と偏光白色光源とともに、時間的に不変な一連の光学情報によって、前記光源の目的とする全波長領域において、楕円偏光パラメータの同時測定が可能になる楕円偏光計を提供することを目的とする。
【００１９】
さらに、本発明は、薄膜や皮膜で被われた表面を含む如何なる表面からも、多くの波長の楕円偏光パラメータを同時に測定することを目的とする。
【００２０】
さらに、本発明は、光の偏光が、リターデーションプリズムによって直線的にリタードされた後、アナライザによって振幅変化率に変換される広帯域偏光子を利用することを目的とする。
【００２１】
さらに、本発明は、波長の分散が行なわれている間、入射光の振幅値が結像分光器で保持されるような結像分光器を具備する楕円偏光計を提供することを目的とする。
【００２２】
このように、本発明は、解析されるサンプルから反射する光の楕円偏光パラメータを同時に測定する方法であって、時間的に不変な一連の偏光光学信号をサンプルで反射させることにより種々の周波数での位相ずれ偏光光を取得する段階と、前記反射光を、前記時間的に不変な偏光光学信号の目的とする全波長についての周波数に対する偏光ずれを表示する種々の光強度の点の空間配列に形成する段階と、各目的の波長での各光強度点でのサンプルの楕円偏光パラメータを同時に測定する段階とから成る方法に関するものである。
【００２３】
さらに、本発明は、解析されるサンプル表面から反射する光の楕円偏光パラメータを同時に測定する装置であって、種々の周波数または波長での位相ずれ偏光光が得られるように、一連の時間的に不変な光学信号がサンプル表面から反射されるサンプル照射用の第１の光学系と、反射された時間的に不変な偏光光学信号の目的とする全波長についての周波数または波長に対する偏光ずれを表示する種々の光強度の点に反射光を変換する第２の光学系と、リタードされた偏光信号を受信するとともに周波数または波長に対する偏光ずれを表示する種々の光強度の点の空間配列を記憶して同時測定を行なう結像分光器とから成る装置に関するものである。
【００２４】
本発明の前記ならびにその他の特徴は、同類の参照番号が同類の要素を示す次の好適な実施例の詳細な説明によってさらに詳しく述べられている。
【００２５】
（発明を実施するための最良の形態）
図１に、新規楕円偏光システム１０を略構成図で示している。白色光源１２は、周知の方法により、レンズ１４でコリメートされるとともに、やはり周知の方法で、偏光子１６によって直線的に偏光される。好適な偏光角は、常態のサンプル表面と入射光によって定義される入射面に対して約４５度である。コリメートされた偏光光は、一定の周知の入射角でサンプル１８に当たり、そこから反射して、リターデーションプリズム２０に達する。次に、反射した光束には、空間的に変化する偏光リターダンスすなわち偏光ずれが同時に加えられる。このこともまた、直線リターダンスに関する空間変化として周知である。このプリズム２０は、図２に示されるように、主要な光軸が互いに垂直であり、矢印２７と２９で示される伝播光の方向に指向される２つの同種で非等方性のウェッジから構成されている。誘発された空間的に変化する位相ずれ量は、ウェッジ角と材料の複屈折によって決まる。アナライザ２２は、スリットすなわち開口３４に沿って局所化している（図４）このような偏光ずれを受けると、結像分光器２４の入力時に振幅フリンジとして現れる振幅値へと変換する。実際に、リターデーションプリズム２０によってコリメートビームに加えられる空間的に変化する位相リターデーションは、分光器２４の入力スリットすなわち開口３４を数周期に渡って横切るように行なわれる。
【００２６】
次に、分光器２４は、図４に示すように開口すなわちスリットに対して垂直な方向または次元になるように、スリット３４に沿って白色光の局所化された偏光ずれを分散させる。分光器２４の像平面において、各画素ごとの強度は、光の総偏光ずれと周波数の関数となる。したがって、次に、調査対象となるサンプルの各波長ごとに楕円偏光パラメータΨおよびΔが得られるようなミュラーマトリクス解析法による周知の方法で、画像の解析を実行することが可能である。本装置を使用することによって、光源と反射ビームは、サンプル位置での計器構成が極めてコンパクトになるように連結されたファイバ状のものであってもよい。また、レンズについて、いくつか構成が考えられる。好適な実施例では、サンプル台と同じ場所に配置された適正な固定角で保持されている小型のホルダーまたはマウントに偏光子とリターデーションプリズムを配置する。さらに、光源と分光器を、サンプル台と同じ場所に配置することも可能である。このような構成に代えて、分光器の光源が、サンプル台と連結されたファイバ状のものであってもよく、必要に応じてサンプル台付近を広くすることができる。分光器ファイバは、ファイバ束の入力および出力が、分光器の開口すなわちスリットと１対１対応でマッピングされたファイバ束で構成されていてもよい。
【００２７】
従来、楕円偏光計は、回転偏光子の使用に見られるように、信頼性の高い再現可能な機械的運動段階を必要とすることから複雑であるのに対し、図１では、動く部品を一切必要としないことが理解できる。さらに、このような従来技術による装置は、時間的に変化する信号を発生するが、本発明は、運動部品を全く使用せずに、時間的に不変な信号を発生する。
【００２８】
すでに述べた通り、本発明による新規リターデーション素子が図２に示されており、この素子は、一方向に限り空間的に変化する偏光リターダンスを導入する。ここでは、新規リターデーションプリズム２０が、約３度の極めて浅いウェッジ角θを有する２つのウェッジ２６および２８から構成されていることが理解できる。好適な実施例では、このウェッジが、クリスタルクォーツで形成されているが、必要な機能を有する限り、他の材料を使用してもよい。反射光３０がリターデーションプリズム２０によって受光されると、同時に、プリズムは、光を空間的に変化する偏光リターダンス出力３２に変換する。ウェッジ角２６および２８は、主要な光軸が互いに垂直になるように、また、矢印２７および２９で示される伝播光の方向に指向される同種の非等方性のウェッジとなっている。すでに述べた通り。誘導された空間的に変化する位相ずれ量は、ウェッジ角θと材料の複屈折によって決まる。
【００２９】
図２においてリターデーションプリズム２０からの出力として示されている偏光ずれ情報３２は、アナライザ２２に伝搬し、すでに述べた通り、アナライザ２２は、局所化された偏光の変化量を、技術上周知の通り、結像分光器の入力時に振幅周期またはフリンジとして現れる振幅変化率に変換する。
【００３０】
したがって、図３に示されるように、空間的に変化する位相ずれ、すなわち、偏光ずれ３２が、分光器スリットすなわち開口３４に加えられる。ただし、スリット３４は、アナライザからの局所化された全偏光ずれ信号３２を受信するのに必要な長さよりも長くなっている。各信号は、スリット３４の第１部分３６によって受信される。スリット３４の残りの第２分離部分３８は、０度などの第２の角度で指向される第２の偏光子４１を通過することによって、有効なサンプル反射リファレンスデータを提供する（リターデーションプリズム２６は通過しない）直接反射光から信号４０を受信する。
【００３１】
図４は、分光器を含むシステムの素子を示し、この分光器は、好適な実施例において、リターデーションプリズム２０およびアナライザ２２とともに使用された場合に、時間的に不変な偏光光学信号の（レーザによって作成された波長などの単一波長を含む）目的とする全波長についての波長に対する偏光ずれを表す種々多様な光強度の点の新規な空間配列を設けることにより、各信号に同時にアクセスして、そこから計算されたリアルタイムな楕円偏光パラメータを取得できる。したがって、図１に示されるように、サンプル１８は、破線１９で示されているようなコリメート光を通過中のフィルムなどの継続的に動いている材料シートであってもよい。図４から明らかなように、空間的に変化する直線リターダンス光信号３２が、分光器のスリット３４を通過して、回折格子やプリズムなどの分散素子４２に当たる。このような分散素子は、周知の方法で動作することにより、受光された光の周波数を、スリット３４に対して垂直な平面上で、複数の高周波数と低周波数（長い波長と短い波長）に分散させる。次に、このような波長は、例えば、わずか１２８×１０２４素子などの所望の寸法から成るグリッド上で、複数の検出素子４６を備えた結像検出器４４に集束される。検出素子は、例えば、フォトダイオードや電荷結合素子（ＣＣＤ）だけでもよい。
【００３２】
アナライザ２２は、リターデーションプリズムからの受信時に、スリット３４に沿った、または、これと平行な波の局所的位相ずれやリターデーション位置を保持し、分散素子４２が、スリットに対して垂直に光を分散させることから、分光器の像平面４４において、各画素（ＣＣＤ）やフォトダイオードの強度値が、光の周波数に対する総偏光ずれの関数として記憶される。このような信号が記憶されるので、全位置から同時に周知の方法で解析することが可能となり、多くの波長の楕円偏光パラメータを同時に極めて迅速に測定できる。
【００３３】
したがって、結像分光器を使用することにより、分光器画像において、リターデーションプリズムの局所化偏光分散が維持される。このように、分光器画像は、図４に示される通り、一方の軸で偏光をコード化し、もう一方の軸で波長をコード化する。また、分光器では、ＤＡＬＳＡ  ＩＡ‐Ｄ１などのフレーム化モードのフレーム転送を用いることにより、電子技術のフレームレートで測定が行なえる。各画像から、フレームレートで全波長および偏光が読み出される。この動作速度は、従来の楕円偏光計による方法に比べて、はるかに高速である。さらに、運動している部品が全くないうえに、空間／偏光情報全体が、結像検出器で平行して同時に収集されることから、制限的要因となるものは、電子技術上の読み出し速度とその後の画像処理電子技術上の速度である。現在の最新の電子技術では、１秒当たり数十から数百のフレームサンプリングレートという経済的な速度が可能である。
【００３４】
また、現在の設計では、動く部品を必要としないのに対し、従来の楕円偏光計は、信頼性の高い再現可能な機械的運動段階を必要とすることから、複雑化している。
【００３５】
したがって、新規のこの楕円偏光計は、結像分光器と偏光白色光とともに、一連の時間的に不変な一連の光学信号を利用して、光源の全波長についての楕円偏光パラメータの同時測定を実施できるようにする。さらに、反射光の偏光は、一方向に限り（分光器のスリットすなわち開口に沿って、またはそれと平行に）直線的にリターデーションが加えられ、振幅値に変換される。さらに、結像分光器のスリットに対して垂直な方向に波長の分散が行なわれる一方で、入射光の振幅値は保持されている。偏光白色光源は、好ましくは（ただし、単なる例示にすぎない）、約１２００ナノメートルから２００ナノメートルの範囲内で動作する。
【００３６】
クレームに記載されている対応する各構造、材料、動作、および全手段または段階ならびに機能素子の同等物には、クレームに詳しく記載されている他の記載された素子との組み合わせにより機能を実行するための如何なる構造、材料、または動作も含まれるものとする。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による主要光学部品の一般的な実施例を示す略図である。
【図２】  入射する反射光とリターデーションプリズムから発生した偏光ずれの状態を示すリターデーションプリズムの側面図である。
【図３】  第２アナライザからの反射光を受光してリファレンスデータを提供する第２部分だけでなく、第１アナライザからずれを伴う偏光信号を受信するための第１部分を有する分光器の開口またはスリットを示す図である。
【図４】  スリットに沿った種々の点での直線空間リターデーション偏光状態が、保存されている目的の全波長についての周波数または波長に対する偏光ずれを示す空間配列において、周波数を、結像検出器で検出される長い波長と短い波長に分離する格子またはプリズムなどの分散素子に当たっている状態を示す分光器の略構成図である。
【図１】
0003803550.tif 000002
【図２】
0003803550.tif 000003
【図３】
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【図４】
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