(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを収納するウエハキャリアが載置されるキャリア載置機構部と、前記ウエハの少なくとも表面を検査作業員側に露出する様に前記ウエハを保持するマクロ検査機構部と、前記ウエハを拡大して検査する顕微鏡と、前記ウエハキャリア内と前記マクロ検査機構部との間で前記ウエハを搬送する第一の搬送機構と、前記マクロ検査機構部と顕微鏡との間で前記ウエハを搬送する第二の搬送機構と、前記マクロ検査機構部によるマクロ検査時に前記検査作業員に操作される操作部とを有するウエハ検査装置において、
前記キャリア載置機構部が前記顕微鏡での前記検査作業員の検査位置からみて手前側に配置され、前記キャリア載置機構部と顕微鏡との間に前記マクロ検査機構部が配置され、前記操作部が前記検査位置からみて前記マクロ検査機構部の手前側に配置され、前記キャリア載置機構部と前記マクロ検査機構部とを結ぶ線が、前記顕微鏡の前後中心線に対して斜めになる様に前記キャリア載置機構部と前記マクロ検査機構部とが配置されており、前記操作部が前記検査位置と前記マクロ検査機構部との間に前記顕微鏡の前後中心線に対して斜め方向に配置されていることを特徴とするウエハ検査装置。
【請求項２】
ウエハを収納するウエハキャリアが載置されるキャリア載置機構部と、前記ウエハの少なくとも表面を検査作業員側に露出する様に前記ウエハを保持するマクロ検査機構部と、前記ウエハを拡大して検査する顕微鏡と、前記ウエハキャリア内と前記マクロ検査機構部との間で前記ウエハを搬送する第一の搬送機構と、前記マクロ検査機構部と前記顕微鏡との間で前記ウエハを搬送する第二の搬送機構と、前記マクロ検査機構部によるマクロ検査時に前記検査作業員に操作される操作部とを有するウエハ検査装置において、
前記キャリア載置機構部が前記顕微鏡での検査作業員の検査位置からみて手前側に配置され、前記検査位置を中心とし前記キャリア載置機構部と前記顕微鏡とを結ぶ円弧上であって当該両者の間に前記マクロ検査機構部が配置され、更に、前記操作部が前記検査位置と前記マクロ検査機構部との間に前記顕微鏡の前後中心線に対して斜め方向に配置されていることを特徴とするウエハ検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のウエハ検査装置において、前記操作部は、前記検査位置の方向に正対する様に配置されていることを特徴とするウエハ検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のウエハ検査装置において、前記キャリア載置機構部上に置かれたウエハキャリアの出口が、前記検査作業員から少なくとも横方向から観察可能になる様に、前記キャリア載置機構部が配置されていることを特徴とするウエハ検査装置。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれかに記載のウエハ検査装置において、前記キャリア載置機構部が、前記検査位置から前記検査作業員が直接前記ウエハキャリアを載置できる距離に配置されていることを特徴とするウエハ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハのマクロ検査とミクロ検査を行うウエハ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程において、ウエハの表面と裏面の傷や色のにじみ等を肉眼で目視検査するマクロ検査と、ウエハ上のパターン等を顕微鏡によって数十倍程度に拡大して目視検査するミクロ検査とが行われている。この様なマクロ検査とミクロ検査の両方を効率的に行う為のウエハ検査装置が開発され、広く普及している。
【０００３】
図６は、従来のウエハ検査装置１００の上面図である。このウエハ検査装置は、大きく分けると、図中の右側にミクロ検査を行う顕微鏡１０が設けられ、図中の左側にウエハキャリア（図示せず）を載置して上下に移動するキャリア載置機構部２０と、そのウエハキャリアから取り出したウエハの表面と裏面のマクロ検査を行うマクロ検査機構部３０とが配置されている。第一のウエハ搬送機構３４は、矢印３５の方向に移動して、キャリア内のウエハをマクロ検査機構部３０内のバッファ部３２上に搬送し、さらにバッファ部３２からキャリア内にウエハを搬送して戻す働きをする。第二のウエハ搬送機構３６は、一対設けられ、矢印３７の方向に移動してバッファ部３２上のウエハを顕微鏡１０のステージ１２上に搬送すると共に、逆の搬送を行う。１２は横方向に移動し１４は縦方向に移動可能なステージであり、検査作業員がレバー１８を右手で操作することで所望の位置に移動される。
【０００４】
４０は、ウエハの回転位置検出機構であり、バッファ部３２上のウエハを回転させて、オリエンテーションフラットの位置を検出し、顕微鏡１０のステージ上においてオリエンテーションフラットが所定の位置になる様に制御される。更に、５０は操作部であり、各種の指令設定の為のボリュームやスイッチが設けられている。そして、通常検査作業員は顕微鏡１０の手前に座ってマクロ検査とミクロ検査を行う。
【０００５】
この従来のウエハ検査装置の大きな特徴点は、顕微鏡１０の中心線ＸＸとキャリア載置機構２０、マクロ検査機構部３０、操作部５０を結ぶ中心線ＹＹとが平行に配置されている点である。このウエハ検査装置による基本的な動作を簡単に説明する。
【０００６】
まず、検査対象ウエハが収納されたキャリアをウエハ検査装置１００の後方にあるキャリア載置機構２０に設置し、検査対象ウエハが収納されているキャリア（図示せず）のスロット番号とその検査項目（マクロ検査またはミクロ検査）とを規定した指令を操作部５０から入力し、ウエハ検査装置１００に登録する。検査対象ウエハは、登録された入力指令に従い、第１搬送機構３４によってキャリアから取り出され、マクロ検査機構部３０に受け渡される。マクロ検査機構部３０のバッファ部３２上のウエハは、初期設定した傾斜角度と傾斜時間で、肉眼によるマクロ検査が行われる。初期設定傾斜角度は、予め検査作業員がマクロ検査しやすいウエハ傾斜角度を選び、ウエハ検査装置に登録しておいた角度である。初期設定傾斜角度だけでは検査しきれないような場合には、操作部５０の微動入力器の操作により傾斜角度を変更して、マクロ検査の信頼性を確保する。また、初期設定傾斜時間は、予め検査工程管理者が製造の全体工程から割り出したマクロ検査時間をウエハ検査装置に登録しておいた時間である。初期設定時間内で検査が終了した場合には検査動作を途中終了させたり、検査が終了しない場合には検査動作時間を延長させることが可能である。
【０００７】
マクロ検査が終了した後、入力されていた検査項目指令に従って次の手順に移る。次の手順として顕微鏡によるミクロ検査を指令していた場合には、マクロ検査機構３０内のバッファ部３２上のウエハを回転させて回転位置検出機構４０による位置合わせ後、第２搬送機構３６によって顕微鏡１０へと搬送される。また、マクロ検査のみの指令の場合には、マクロ検査機構上のウエハが回転位置合わせした後、第１搬送機構３４によってキャリアに収納される。
【０００８】
ウエハ検査装置の操作部５０には、入力指令がマクロ検査とミクロ検査に設定されていても、マクロ検査の結果によってミクロ検査を取り消したり、マクロ検査のみの設定でもミクロ検査を追加したりできるような入力キーを備え、検査作業の自由度を向上させている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来のウエハ検査装置１００は、次の様な問題点を有する。即ち、キャリア載置機構２０と、マクロ検査機構３０と、第１搬送機構３４とを結ぶ配置軸線ＹＹが、顕微鏡の中心線ＸＸに対して平行に配置され、キャリア載置機構部２０がウエハ検査装置１００の左後方にあるため、顕微鏡１０に対して距離２００分だけウエハ検査装置全体が検査作業員に対して前後に長くなり、ウエハ検査装置１００の図中の縦方向の占有スペースが大きくなる。
【００１０】
また、ウエハキャリアをキャリア載置機構部２０に設置する場合、検査作業員が顕微鏡１０の手前の検査位置から直接設置作業を行えないので、図中破線２２０に示す様にウエハ検査装置の後方に廻り込まなければならず、検査作業員に検査作業以外の副作業を強要し、更にウエハ検査装置の占有スペース以外にキャリア設置のための作業スペース２１０を確保しなければならないという問題点があった。
【００１１】
更に、ウエハの表面や裏面を肉眼で検査するマクロ検査では、検査作業員がウエハを視野にいれて検査しながら操作部５０のボリュームやスイッチを操作する必要があるが、操作部５０の位置がマクロ検査時の視野の外にあり、顕微鏡１０の検査位置からも遠いので、マクロ検査と操作部５０の操作とを同時に行うのが困難であった。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、上記従来の問題点を解決し、ウエハ検査装置全体の占有スペースを小さくし検査作業員の作業性を向上させたウエハ検査装置を提供することにある。
【００１３】
更に、本発明の目的は、検査作業員が顕微鏡の検査位置からウエハキャリアの設置、キャリア内のウエハ位置の確認、マクロ検査、操作部の操作、そして顕微鏡によるミクロ検査を効率的に行うことができるウエハ検査装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は、本発明によれば、ウエハを収納するウエハキャリアが載置されるキャリア載置機構部と、該ウエハの少なくとも表面を検査作業員側に露出する様に該ウエハを保持するマクロ検査機構部と、該ウエハを拡大して検査する顕微鏡と、前記キャリア内とマクロ検査機構部との間で該ウエハを搬送する第一の搬送機構と、前記マクロ検査機構部と顕微鏡との間で該ウエハを搬送する第二の搬送機構とを有するウエハ検査装置において、
前記キャリア載置機構部が該顕微鏡での検査作業員の検査位置からみて手前側に配置され、該キャリア載置機構部と顕微鏡との間に前記マクロ検査機構部が配置され、前記キャリア載置機構部とマクロ検査機構部とを結ぶ線が、前記顕微鏡の前後中心線に対して斜めになる様に当該キャリア載置機構部とマクロ検査機構部とが配置されていることを特徴とするウエハ検査装置を提供することにより達成される。
【００１５】
更に、本発明は、該マクロ検査機構部によるマクロ検査時に該検査作業員に操作される操作部を更に有し、該操作部が該顕微鏡での検査作業員の検査位置と前記マクロ検査機構部との間に配置され、更に該操作部が該検査作業員の方向に正対する様に設けられたことを特徴とする。
【００１６】
更に、上記の目的は、本発明によれば、ウエハを収納するウエハキャリアが載置されるキャリア載置機構部と、該ウエハの少なくとも表面を検査作業員側に露出する様に該ウエハを保持するマクロ検査機構部と、該ウエハを拡大して検査する顕微鏡と、前記キャリア内とマクロ検査機構部との間で該ウエハを搬送する第一の搬送機構と、前記マクロ検査機構部と顕微鏡との間で該ウエハを搬送する第二の搬送機構と、該マクロ検査時に該検査作業員に操作される操作部とを有するウエハ検査装置において、
前記キャリア載置機構部が該顕微鏡での検査作業員の検査位置からみて手前側に配置され、該検査位置を中心とし該キャリア載置機構部と顕微鏡とを結ぶ円弧上であって当該両者の間に前記マクロ検査機構部が配置され、更に、前記操作部が該検査位置とマクロ検査機構部との間に前記検査作業員に正対する様に配置されていることを特徴とするウエハ検査装置を提供することにより達成される。
【００１７】
上記した通りに配置することにより、検査作業員から近い位置にキャリア載置機構部が配置されることになり、ウエハキャリアの載置と取り出し作業が容易になる。また、キャリアからマクロ検査機構部、そして顕微鏡までの搬送状態やキャリアからのウエハの飛び出しを顕微鏡の検査位置から観察することができる。また、マクロ検査時にウエハを検査しながら操作部を操作することが容易に行うことができる。更に、顕微鏡の奥行きの長さ内に前記キャリア載置機構部とマクロ検査機構部とを納めることができ、省スペースの検査装置を実現することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面に従って説明する。しかしながら、本発明の技術的範囲がその実施の形態に限定されるものではない。
【００１９】
図１は、本実施の形態例のウエハ検査装置１００の斜視図である。また、図２は同ウエハ検査装置１００の上面図である。前述の図６の従来例のウエハ検査装置と同じ部分には同じ引用番号を付している。
【００２０】
このウエハ検査装置１００は、従来例と比較して、ウエハキャリア２１を載置るキャリア載置機構部２０とマクロ検査機構部３０との位置関係が異なる。キャリア載置機構部２０がウエハ検査装置１００の左側手前に配置され、マクロ検査機構部３０が検査作業員の検査位置を中心としキャリア載置機構部２０と顕微鏡１０とを結ぶ円弧上に配置される。従って、図２に明示される通り、顕微鏡１０の中心線ＸＸと、キャリア載置機構部２０とマクロ検査機構部３０とを結ぶ中心線ＺＺとは、平行ではなく斜めに交差する様に構成されている。この斜めの角度は、検査装置全体のスケールによって異なるが、概ね３５度程度、或いは３５度±２０度程度が好ましい。
【００２１】
更に、このウエハ検査装置１００は、マクロ検査中に検査手順を変更したりする為の操作部５０を、同様に顕微鏡１０の中心線ＸＸに対して斜めの方向に配置し、顕微鏡１０の検査位置に位置する検査作業員が、マクロ検査機構部３０内のウエハ６０を目視検査しながら、その視線、焦点位置をあまり変更することなく操作部５０内のスイッチやボリューム、更にジョイスティック５２を操作することができる様に配置されている。
【００２２】
それ以外の、第一搬送機構３４、第二搬送機構３６等は上記の変更に伴いその位置と移動方向が変更されている。尚、１７は顕微鏡１０と左側のキャリア載置機構部２０やマクロ検査機構部３０とのジョイントである。また、１６は、顕微鏡１０のステージ１２の微動用のノブであり、２２はプリアラインメント用のセンサである。また、３３は、ウエハ６０を保持して検査作業員に対してウエハの裏面を露出させるアームである。更に、６２はウエハのマクロ検査時に使用される照明手段である。
【００２３】
図３は、上記のウエハ検査装置１００に検査作業員２３０が座って検査作業をしている状態を示す。図２、３を参照にしながら、本発明にかかるウエハ検査装置における作業効率の向上について説明する。
【００２４】
上下動可能なキャリア載置機構部２０上に載置されたウエハキャリヤ２１（図１参照）内のウエハは、第一の搬送機構３４を矢印３５の如く中心線ＺＺに沿った方向に移動させることで、矢印３８の如くマクロ検査機構部３０内のバッファ部３２の上に搬送される。このバッファ部３２には図示しない真空吸着機構が設けられ、ウエハ６０の裏面を吸着することで保持する。この時、中心軸ＺＺが顕微鏡１０の中心線ＸＸと斜めになる様に配置されているので、検査作業員２３０の位置からマクロ検査機構部３０の側を向いたキャリア２１の出口を真横から観察することができる。キャリア載置機構部２０の上下動に伴う振動や、第一搬送機構３４による出し入れでウエハがキャリア２１の出口の所からはみ出てしまうことがあり、そのような状態でキャリア２１を上下させるとはみ出たウエハが破損してしまうことがある。従って、検査作業員２３０が真横から出口を観察することでその様な状況を監視することができる。
【００２５】
さて、キャリア２１内のウエハは矢印３８の方向に搬送されてマクロ検査機構部３０のバッファ部３２上に置かれる。その状態で、バッファ部３２が上昇して揺動することで、ウエハ６０の表面を斜めにした状態で３６０度回転させ、表面のマクロ検査が行われる。その場合、マクロ検査中のウエハ６０の位置は、検査作業員２３０から遠くない位置にあり、しかも、マクロ検査中に使用されるジョイスティック５２や操作部５０を同じ視野内に入れて検査と操作を行うことができる。従って、検査対象のウエハ６０や検査項目の指定、検査状態や検査結果の確認、マクロ検査機構部の初期設定や微動操作、ウエハ検査装置の使用に必要な項目の支持や表示を行う時に、検査作業員２３０は操作部５０に対して正面から対峙することができる。
【００２６】
さらに、中心軸ＸＸとＺＺとが斜めであるので、検査作業員２３０から見て、マクロ検査部３０のウエハ６０がキャリア載置機構部２０上に置かれる所定の高さをもつキャリア２１により死角になることはない。
【００２７】
バッファ部３２上に保持されたウエハ６０は、マクロ検査時に回転されるので、顕微鏡１０のステージ１２に搬送する前に、ステージ１２上で例えばオリエンテーションフラットが手前にくる様にその回転方向を検出される必要がある。その為に、発光素子と受光素子を上下に有するウエハ回転位置検査機構４０が、バッファ部３２上で回転させられるウエハのオリエンテーションフラットの位置を検出する。
【００２８】
そして、オリエンテーションフラットを手前に位置させた状態で、第二の搬送機構３６Ａ，Ｂがウエハ６０を受取り保持して、図２中の矢印３９の方向に４２の位置まで搬送する。図３に示される通り、そのウエハの搬送工程も検査作業員の視点の方向を殆ど動かすことなく観察することができる。
【００２９】
また、中心軸ＸＸとＺＺを斜めにしたことで、従来例に比較してウエハ検査装置全体の奥行きの長さを短くすることができた。また、キャリア載置機構部２０を左手前に設けたので、検査作業員２３０が顕微鏡１０の前の位置から直接にキャリア２１を載置することができ、図６に示した様な検査作業員の移動スペース２１０が不要になる。従って、ウエハ検査装置１００の占有面積が狭くなり、製造ラインにおけるスペースの効率を向上させることができる。
【００３０】
図４は、ウエハ検査装置の操作部５０の一例を示す正面図である。このウエハ検査装置の操作部５０には、入力指令がマクロ検査とミクロ検査に設定されていてもマクロ検査の結果によってミクロ検査を取り消したり、マクロ検査のみの設定でもミクロ検査を追加したりできるような入力キーを備え、検査作業の自由度を向上させている。図中、５１は表示パネル、５２はウエハのマクロ検査時に使用されるジョイスティック、５３はカーソルキー、５４はファンクションキー、５５は初期設定傾斜角度や検査時間を設定する為のマクロ検査機構部用の入力部、５７は途中終了キー、延長キー、追加キー等で、５６は検査開始キーである。
【００３１】
図５は、上記のウエハ検査装置１００の基本的な動作を示すフローチャート図である。従来例と一部重複する部分もあるがその動作を以下の通り説明する。
【００３２】
まず、検査対象のウエハが収納されたキャリア２１をウエハ検査装置の左前方にあるキャリア載置機構２０に設置し、そのキャリア２１のスロット番号とその検査項目（マクロ検査またはミクロ検査）とを規定した指令を操作部５０から入力し、ウエハ検査装置に登録する。
【００３３】
登録された入力指令に従い、キャリア載置機構部２０が所定位置に降下し、キャリア内の検査対象のウエハと第１搬送機構３４の高さが整合される（Ｓ１）。そして、第１搬送機構３４が前進してキャリア２１内のウエハを受け取り吸着し、ウエハがキャリア２１から取り出され（Ｓ２）、マクロ検査機構部３０内のバッファ部３２上に受け渡される（Ｓ３）。バッファ部３２上のウエハ６０は、初期設定した傾斜角度と傾斜時間でマクロ検査が行われる（Ｓ４）。
【００３４】
初期設定傾斜角度は、予め検査作業員がマクロ検査しやすいウエハ傾斜角度を選び、ウエハ検査装置に登録しておいた角度である。初期設定傾斜角度だけでは検査しきれないような場合には、操作部５０の微動入力器の操作により傾斜角度を変更して、マクロ検査の信頼性を確保する。また、初期設定傾斜時間は、予め検査工程管理者が製造の全体工程から割り出した表面マクロ検査時間をウエハ検査装置に登録しておいた時間である。操作部５０を操作することで、初期設定時間内で検査が終了した場合には検査動作を途中終了させたり、検査が終了しない場合には検査動作時間を延長させることが可能である。
【００３５】
マクロ検査が終了した後、入力されていた検査項目指令に従って次の手順に移る。次手順としてミクロ検査を指令していた場合には、バッファ部３２上のウエハを回転位置合わせ後（Ｓ５）、一対の第２搬送機構３６の一方によって顕微鏡１０のステージ１２へと搬送され（Ｓ６）、顕微鏡にてミクロ検査が行われる（Ｓ７）。
【００３６】
顕微鏡によるミクロ検査が終了した場合、または、マクロ検査のみの指令の場合には、バッファ部３２上のウエハを回転位置合わせ後（Ｓ８）、ウエハは第１搬送機構３４によってキャリア２１に収納される（Ｓ９，Ｓ１０）。このウエハの回転位置合わせは、例えば、検査を合格したウエハと不合格のウエハとでオリエンテーションフラットの方向を反対にするなどの操作を行う為のものである。検査対象ウエハが複数ある場合には、上記の手順を枚数分繰り返す。そして、最後にキャリア載置機構部２０が初期位置まで上昇して（Ｓ１１）、検査作業員２３０により検査済のキャリア２１が取り出される。
【００３７】
［比較例］
さて、本発明の実施の形態例に対する比較例を検討する。
【００３８】
図７は、第一の比較例であり、キャリア載置機構部２０をウエハ検査装置１００の前方に、マクロ検査機構部３０をその背後に配置する例である。この配置では、キャリアを検査作業員２３０の位置から近い装置手前の位置からキャリアの設置を行えるが、キャリアを設置した状態でウエハのキャリアからの飛び出しが検査作業員２３０から見えない。また、ウエハ検査装置の形状が検査作業員の左に突き出る形とになり、作業上の障害物となる。そのため、机６０は変形のものか２台用意する必要がある。また、キャリアの後方にマクロ検査機構部３０が配置されるので、マクロ検査時のウエハ位置が検査作業員から離れて検査分解能が落ちてしまったり、マクロ検査機構部内のウエハがキャリアの影に隠れてしまうことがある。
【００３９】
図８は、第二の比較例であり、キャリア載置機構部２０をウエハ検査装置の左方に配置し、キャリア載置機構部２０と顕微鏡１０との間にマクロ検査機構部３０を配置した例である。この配置では、検査作業員２３０にとりキャリアからのウエハの飛び出し確認がしやすく、マクロ検査時のウエハ位置が近くなり、ウエハ検査装置の形状が検査作業員の作業上の障害物となることがない。但し、キャリア載置機構部が検査作業員２３０の位置から遠くになるため、検査作業員位置（姿勢）からキャリアを直接置くことができない。また、ウエハの顕微鏡ステージへの受渡し位置の関係で、マクロ検査機構部３０は顕微鏡１０の前面よりも後ろへさがることになる。従って、それに伴いキャリア載置機構部２０も後ろへ下がり、通常の机６０に設置するとキャリア載置機構部２０とマクロ検査機構部３０の前面より前に存在する机６０の前面が作業の邪魔になる。従って、ウエハ検査装置の前面からキャリアを設置する場合には、腕を伸ばした姿勢になり、キャリアの重量を考えると繰り返し作業は重労働に匹敵する。また、キャリア載置機構部２０の近傍よりキャリアを設置する場合には、ウエハ検査装置の横にその作業スペースが必要となる。
【００４０】
また、操作部５０が検査作業員２３０に正対していないので、検査作業の自由度を向上させる為に検査最中に操作することが前提である、マクロ検査機構部傾斜角度の微動操作用の微動入力器、マクロ検査時間の途中終了や延長の操作キー、そして、検査手順を取り消したり追加する各キーや表示器などが見づらく、操作しづらいという欠点を有する。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、キャリア載置機構部と、マクロ検査機構部と、第１搬送機構の各機構を結ぶ配置軸線ＺＺが顕微鏡の中心線ＸＸに対して斜めに配置され、キャリア載置機構部がウエハ検査装置の左前方にあるため、従来のようにウエハ検査装置が前後に長くなることはなく、ほぼ正方形の形状を選択することができる。したがって、ウエハ検査装置の占有スペース（フットスペース）を効率的に分配することができる。
【００４２】
また、キャリアをキャリア載置機構部に設置する場合も、検査作業員が腕を伸ばした姿勢で作業する必要はなく、顕微鏡の手前の検査位置から設置作業を行えるので、ウエハ検査装置の占有スペース以外にキャリア設置のための作業スペースを確保する必要がない。
【００４３】
さらに、上記のように、各機構を結ぶ配置軸線ＺＺが顕微鏡の中心軸ＸＸに対して例えば３５度±２０度程度の角度で配置されているため、検査作業員が各機構の配置軸線、つまりウエハの搬送路の全般を見渡すことができ、各機構でのウエハ状態の把握、キャリアからのウエハの飛び出しの確認、そして、マクロ検査時のウエハ検査の為の視界を一つに統一することができる。
【００４４】
また、操作部５０が、顕微鏡の検査作業員位置に対して正対して、かつ、検査作業員の操作しやすい距離に配置されているため、マクロ検査の最中に操作する、マクロ検査機構部傾斜角度の微動操作用の微動入力器、マクロ検査時間の途中終了や延長の操作キー、そして、検査手順を取り消したり追加する各キーや表示器などが見やすく操作しやすい。
【００４５】
本発明の様なエルゴノミー性を有することで、キャリアの設置作業の負荷低減や検査作業最中の操作部の視認性と操作性を向上させて検査工程の高効率化を図ることができる。更に、ウエハ検査装置の占有スペースおよび作業スペースを最小にしたウエハ検査装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態例のウエハ検査装置１００の斜視図である。
【図２】本実施の形態例のウエハ検査装置１００の上面図である。
【図３】ウエハ検査装置１００に検査作業員２３０が座って検査作業をしている状態を示す上面図である。
【図４】ウエハ検査装置の操作部５０の一例を示す正面図である。
【図５】ウエハ検査装置１００の基本的な動作を示すフローチャート図である。
【図６】従来のウエハ検査装置１００の上面図である。
【図７】ウエハ検査装置の比較例（１）を示す図である。
【図８】ウエハ検査装置の比較例（２）を示す図である。
【符号の説明】
１０    顕微鏡
２０    キャリア載置機構部
２１    ウエハキャリア
３０    マクロ検査機構部
３４    第一の搬送機構
３６    第二の搬送機構
５０    操作部
２３０  検査作業員
【図１】
0003791065.tif 000002
【図２】
0003791065.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003791065.tif 000005
【図５】
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【図６】
0003791065.tif 000007
【図７】
0003791065.tif 000008
【図８】
0003791065.tif 000009