(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液を入れた処理槽内に挿入される石英管を，外側の石英管と内側の石英管との二重管構造にして，その内側の石英管内に，電熱線を挿入して成る電熱式ヒータにおいて，
この電熱式ヒータにおける両端部のうち少なくとも一端部に，大気への排気ダクトに連通する連通管を，当該連通管が前記外側の石英管と内側の石英管との間の空間に連通するように接続し，この連通管内の一部に酸又は塩基によって変色する指示物質を，当該指示物質を連通管の外側から見えるように装填し，更に，前記連通管のうち前記指示物質よりも前記排気ダクト側の部位に，前記排気ダクトへの方向にのみ開くようにした逆止弁を設けたことを特徴とする液体加熱用電熱式ヒータにおける破損検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体部品の製造等に際して、処理槽に入れた処理液を加熱するために前記処理槽内に配設するようにした液体加熱用の電熱式ヒータにおいて、その破損を検出する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体部品の製造に際して一つの重要な処理に、半導体ウエハーを、酸性又は塩基性の処理液にて洗浄処理する工程があり、また、この洗浄処理工程の一つに、純水にアンモニア及び過酸化水素を混合した処理液を処理槽内において、当該処理槽内に配設した電熱式のヒータにて加熱して、この加熱した洗浄液中に、被洗浄物である半導体ウエハーを浸漬すると言う加熱洗浄処理工程がある。
【０００３】
この加熱洗浄処理工程において、その処理槽内に配設される液体加熱用の電熱式ヒータは、石英管内に、通電によって発熱するニクロム線等の電熱線を挿入すると言う構造であるが、前記石英管は、前記処理液中における過酸化水素によって腐食して、これにピンホールがあいたり、他物の接触にて石英管が破れたりする場合があり、前記石英管にピンポールが発生したり、破れたりすると、この石英管内には、直ちに、処理槽内における処理液が侵入してニクロム線等の電熱線に接触し、この電熱線によって金属汚染され、ひいては、前記処理液中に浸漬した半導体ウエハー、及び、処理槽内の全体が電熱線にて金属汚染されることになるから、半導体ウハエーの全てを廃棄すると共に、処理槽内を十分に洗浄しなければならず、きわめて面倒なことになる。
【０００４】
そこで、従来は、前記石英管を、二重管の構造にし、その内側の石英管内にニクロム線を挿入する一方、前記内側の石英管を、外側の石英管によって保護し、外側の石英管に、腐食によるピンホールが発生したり、破れたりしても、直ちに、処理液が内側の石英管内にまで侵入しないように構成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このように、石英管を二重管の構造にした場合において、外側の石英管にピンホールが発生したり、破れたりしているか否かの状態を、処理槽の外側から知ることができないから、外側の石英管にピンホールが発生したり、破れたりしているにもかかわらず、これを知らないで、そのまま洗浄処理を継続することによって、内側の石英管に腐食によるピンホールが発生したり、破れたりすることを招来すると言う問題があった。
【０００６】
本発明は、この問題を確実に解消できるようにすることを技術的課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため本発明は，
「処理液を入れた処理槽内に挿入される石英管を，外側の石英管と内側の石英管との二重管構造にして，その内側の石英管内に，電熱線を挿入して成る電熱式ヒータにおいて，
この電熱式ヒータにおける両端部のうち少なくとも一端部に，大気への排気ダクトに連通する連通管を，当該連通管が前記外側の石英管と内側の石英管との間の空間に連通するように接続し，この連通管内の一部に酸又は塩基によって変色する指示物質を，当該指示物質を連通管の外側から見えるように装填し，更に，前記連通管のうち前記指示物質よりも前記排気ダクト側の部位に，前記排気ダクトへの方向にのみ開くようにした逆止弁を設ける。」
と言う構成にした。
【０００８】
【発明の作用・効果】
この構成において、外側の石英管に腐食によるピンホールが発生したり、破れたりすることで、その内部に処理液が入ると、この処理液は、内側の石英管に接触して、その内部における電熱線によって加熱・蒸発し、その蒸気が、連通管を通って大気中に出て行くとき、この連通管内の一部に装填した指示物質に接触して、この指示物質が、処理液に含まれている酸又は塩基の成分と反応して変色するのであり、しかも、前記蒸気は、外側の石英管内に処理液が侵入する同時に、体積が著しく膨張しながら発生し、この発生から短い時間のうち前記指示物質に接触することにより、外側の石英管内への処理液の侵入から前記指示物質が変色までの間の時間が短いから、前記指示物質の変色によって、外側の石英管にピンホールが発生したり、破れたりしているか否かの状態を処理槽の外側から、確実に、且つ、時間的遅れなく迅速に知ることができるのである。
【０００９】
従って，本発明によると，前記指示物質が変色したことに基づいて，電熱式ヒータの全体を，処理槽から引き上げることにより，処理槽内における処理液，ひいては，これに浸漬される半導体ウエハー等の被処理物及び処理槽内が，前記電熱式ヒータにおける電熱線によって金属汚染されることを未然に確実に防止できる効果を有する。
その上，本発明によると，前記指示物質が大気への排気ダクトにおける蒸気等にて変色することを逆止弁にて確実に回避できるという効果を有する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図１及び図２の図面について説明する。
この図において、符号１は、純水にアンモニア及び過酸化水素を混合した処理液を入れた上面開放型の処理槽を示し、この処理槽１の上面には、これを覆うフード２が開閉自在に設けられ、このフード２には、その内部の空気等を大気中に吸引放出するためのフアン（図示せず）付き排気ダクト３が接続されている。
【００１１】
なお、この場合、前記フード２に代えて図３に示すように処理槽１の全体を箱型密閉室２′に入れ、これに排気ダクト３′を接続した構成にしても良い。
また、符号４は、前記処理槽１内に挿入される電熱式のヒータを示し、このヒータ４は、内側の石英管４ａと、外側の石英管４ｂとの二重管にして、その内側の石英管４ａ内に、コイル状に巻いたニクロム線等の電熱線４ｃを挿入したものに構成されている。
【００１２】
そして、前記電熱式ヒータ４における両端部には、透明な石英製の連通管５を、当該連通管５が前記内側の石英管４ａと外側の石英管４ｂとの間の空間に連通するように接続して、この連通管５の先端を、前記排気ダクト３又は３′に接続する。
更に、前記連通管５の途中には、開閉自在な蓋７を備えた拡大管部６を設けて、この拡大管部６内に、リトマス試験紙等のように酸によって変色する指示物質８を装填する。
【００１３】
この構成において、前記処理槽１内における処理液を、電熱式ヒータ４への通電によっ加熱したのち、この処理液中に、半導体ウエハーを浸漬することにより、半導体ウエハーに対する洗浄処理を行うことができる。
この洗浄処理作業中において、外側の石英管４ｂに腐食によるピンホールが発生したり、破れたりしすることで、その内部に処理液が入ると、この処理液は、内側の石英管４ａに接触して、その内部における電熱線４ｃによって加熱・蒸発し、その蒸気が、連通管５を通って大気中に出て行くとき、この連通管５内の一部に装填した指示物質８に接触して、この指示物質８が、処理液に含まれている酸の成分と反応して変色するのであり、しかも、前記蒸気は、外側の石英管４ｂ内に処理液が侵入する同時に、体積が著しく膨張しながら発生し、この発生から短い時間のうち前記指示物質８に接触することにより、外側の石英管４ｂ内への処理液の侵入から前記指示物質８が変色までの間の時間が短いから、前記指示物質８の変色によって、外側の石英管４ｂにピンホールが発生したり、破れたりしているか否かの状態を処理槽１の外側から、確実に、且つ、時間的遅れなく迅速に知ることができるのである。
【００１４】
従って、前記指示物質８が変色したことに基づいて、電熱式ヒータ４の全体を、処理槽１から引き上げることで、処理槽１内における処理液、ひいては、これに浸漬される半導体ウエハー等の被処理物及び処理槽内が、前記電熱式ヒータ４における電熱線４ｃによって金属汚染されることを未然に確実に防止できるのである。
【００１５】
これに加えて，前記連通管５のうち指示物質５よりも上流側の部位に，排気ダクト３への方向にのみ開くようにした逆止弁９を設けることにより，前記指示物質８が，排気ダクト３内の蒸気によって変色することを回避できる。
また，前記指示物質８を備えた連通管５は，前記実施の形態のように，ヒータ４の両端部に設けることに代えて，一端部のみに設けても良く，更にまた，処理槽１内における処理液が塩基性である場合には，前記指示物質８は，塩基によって変色するものにすることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図１の要部拡大断面図である。
【図３】別の実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
１                          処理槽
２                          フード
３                          排気ダクト
４                          電熱式ヒータ
４ａ                        内側の石英管
４ｂ                        外側の石英管
４ｃ                        電熱線
５                          連通管
８                          指示物質
【図１】
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【図２】
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【図３】
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