(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
渦巻き型のラップが夫々設けられた固定スクロール及び可動スクロールを備えて、可動スクロールの所定半径の公転である旋回運動によって固定スクロールと可動スクロールの重なり合った両ラップ間の密閉空間をその内容積を変化させつつ移動させるスクロール型ポンプにおいて、周方向に複数個のコイルを配置しているとともにコイルによる励磁で可動スクロールに磁気力を作用させて可動スクロールをその径方向外側へと駆動するステータと、複数個のコイルの励磁を切り換えて磁性体または永久磁石で形成された可動スクロールに対する磁気力の作用位置を周方向において漸次変更していく制御手段とを備えており、上記ステータは、放射状に配設されるとともに外周側の一端が可動スクロールの外周面の外側に位置している複数の鉄心と、各鉄心に巻回されたコイルとからなることを特徴とするスクロール型ポンプ。
【請求項２】
渦巻き型のラップが夫々設けられた固定スクロール及び可動スクロールを備えて、可動スクロールの所定半径の公転である旋回運動によって固定スクロールと可動スクロールの重なり合った両ラップ間の密閉空間をその内容積を変化させつつ移動させるスクロール型ポンプにおいて、周方向に複数個のコイルを配置しているとともにコイルによる励磁で可動スクロールに磁気力を作用させて可動スクロールをその径方向外側へと駆動するステータと、複数個のコイルの励磁を切り換えて磁性体または永久磁石で形成された可動スクロールに対する磁気力の作用位置を周方向において漸次変更していく制御手段とを備えており、上記ステータは、放射状に配設されるとともに外周側の一端が可動スクロールの片面の外周端部付近に位置している複数の鉄心と、各鉄心に巻回されたコイルとからなることを特徴とするスクロール型ポンプ。
【請求項３】
渦巻き型のラップが夫々設けられた固定スクロール及び可動スクロールを備えて、可動スクロールの所定半径の公転である旋回運動によって固定スクロールと可動スクロールの重なり合った両ラップ間の密閉空間をその内容積を変化させつつ移動させるスクロール型ポンプにおいて、周方向に複数個のコイルを配置しているとともにコイルによる励磁で可動スクロールに磁気力を作用させて可動スクロールをその径方向外側へと駆動するステータと、複数個のコイルの励磁を切り換えて磁性体または永久磁石で形成された可動スクロールに対する磁気力の作用位置を周方向において漸次変更していく制御手段とを備えており、上記ステータは、可動スクロールの外側に固定スクロールの中心と同心に配されたリング状の鉄心と、周方向に間隔をおいて鉄心に巻回された複数のコイルとからなることを特徴とするスクロール型ポンプ。
【請求項４】
リング状鉄心はコイル間に内周側へと突出する磁極歯を備え、可動スクロールはその外周面における上記磁極歯と対向する位置に外周側に突出する突部を備えていることを特徴とする請求項３記載のスクロール型ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は渦巻き状のラップを備えた固定スクロールに同じく渦巻き状のラップを備えた可動スクロールを組合せて可動スクロールに自転を伴わない旋回運動を行わせることで、両スクロールの重ね合わせによって形成される密閉空間を渦巻き部の外側から中心側へ容積を漸次縮小させつつ移動させるスクロール型ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
このようなスクロール型ポンプにおいて、特開平３−９９１号公報には複数個のリニアモータを用いて可動スクロールに旋回運動を行わせるものが示されている。このものでは、可動スクロールの一面に複数個の永久磁石を配設するとともに、上記一面と対向する位置に複数のステータを配して可動スクロールをダイレクトに駆動するために、駆動源から可動スクロールに至る動力伝達機構が不要となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、固定スクロールと可動スクロールのラップで囲まれた密閉空間で圧縮される気体による抵抗力は、可動スクロールの旋回方向に作用するだけでなく、可動スクロールの径方向にも作用し、この径方向に作用する抵抗力は、可動スクロールと固定スクロールの両ラップの接触部に隙間を生じさせる。そして、この隙間から気体が洩れるために、ポンプの効率が悪化する。
【０００４】
一方、上記公報に示されたリニアモータは可動スクロールをその周方向に推進するだけで径方向については力を発生しないために、上記径方向の抵抗力に対抗することはできない。もちろん、可動スクロールの旋回運動を案内する案内機構を設けることで、上記気体洩れに対抗することができるが、案内機構におけるクリアランスの関係から、上記隙間を無くすことはできない。
【０００５】
本発明はこのような点に鑑みなされたものであって、その目的とするところは可動スクロールを旋回させることができるのはもちろん、径方向に作用する気体の抵抗力にも対抗することができてポンプ効率を高くすることができるスクロール型ポンプを提供するにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
しかして本発明は、渦巻き型のラップが夫々設けられた固定スクロール及び可動スクロールを備えて、可動スクロールの所定半径の公転である旋回運動によって固定スクロールと可動スクロールの重なり合った両ラップ間の密閉空間をその内容積を変化させつつ移動させるスクロール型ポンプにおいて、周方向に複数個のコイルを配置しているとともにコイルによる励磁で可動スクロールに磁気力を作用させて可動スクロールをその径方向外側へと駆動するステータと、複数個のコイルの励磁を切り換えて磁性体または永久磁石で形成された可動スクロールに対する磁気力の作用位置を周方向において漸次変更していく制御手段とを備えており、上記ステータは、放射状に配設されるとともに外周側の一端が可動スクロールの外周面の外側に位置している複数の鉄心と、各鉄心に巻回されたコイルとからなること、もしくは上記ステータは、放射状に配設されるとともに外周側の一端が可動スクロールの片面の外周端部付近に位置している複数の鉄心と、各鉄心に巻回されたコイルとからなること、もしくは上記ステータは、可動スクロールの外側に固定スクロールの中心と同心に配されたリング状の鉄心と、周方向に間隔をおいて鉄心に巻回された複数のコイルとからなることに特徴を有している。
【０００７】
ステータが可動スクロールに与える力が可動スクロールを径方向外側へ作用するものであるために、上記密閉空間で圧縮される流体の圧力に対抗して密閉空間の密閉度を高くすることができるものであり、そしてこのような方向に力を作用させるものであるにもかかわらず、可動スクロールに対する磁気力の作用位置を周方向において漸次変更することから可動スクロールに旋回運動を行わせることができる。この時、可動スクロールを永久磁石で形成したものでは、より強い駆動力を得ることができる。
【０００８】
上記のリング状鉄心はコイル間に内周側へと突出する磁極歯を備えたものとし、可動スクロールはその外周面における上記磁極歯と対向する位置に外周側に突出する突部を備えたものとするのが磁気特性の点で好ましい。この他、ステータは可動スクロールに対して磁気吸引力を作用させるものが好ましいが、磁気反発力を利用するものであってもよい。。
【０００９】
上記制御手段は、複数のコイルを周方向順に順次励磁するが、この時、コイルを１つずつ励磁するものでは制御を簡単に行うことができ、隣合う複数のコイルを同時に励磁するものでは磁束密度の向上によって駆動力が向上する。さらに１つのコイルの励磁と隣合う複数のコイルの励磁とを交互に行うものでは、１回転あたりの定常位置が増えるために角度分解能が向上するとともに推進力の変動を抑えることができる。
【００１０】
さらに、制御手段は、各コイルを一定時間ずつ励磁することで定速駆動とすることができるが、始動時における各コイルの励磁時間を漸次短くしていくものであることが始動時の脱調防止の点で好ましい。
【００１１】
また、制御手段は、コイルに矩形波電流を供給するものであれば、駆動回路が簡単ですむものとなり、漸増漸減の変動波形電流を供給するものであれば、推進力変動を抑制して安定した推進性能を得ることができる。
【００１２】
そして、制御手段は、複数のコイルの励磁のための電流供給をオープンループ制御で行うものとするとシステム構成を簡単にすることができて安価となるが、複数のコイルの励磁のための電流供給を可動スクロールの旋回状態検出手段からのフィードバックを受けたフィードバック制御で行うものとすれば、安定した駆動を行うことができる。このフィードバック制御を行う場合、旋回状態検出手段は各コイルに付設されて可動スクロールの接近を検出する位置センサで、制御手段は該位置センサの出力に基づいて励磁するコイルを切り換えるものとすれば、脱調のない駆動を行うことができ、旋回状態検出手段として可動スクロールの旋回速度を検出するセンサを用いて、制御手段は速度フィードバック制御を行うものとすると、高精度な旋回速度（回転数）制御を行うことができる。
【００１３】
可動スクロールの旋回運動を案内する案内手段を備えたものにおいては、ステータは永久磁石からなる可動スクロールに対して磁気吸引力と磁気反発力とを作用させるものであってもよい。推進力を高めることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下本発明を実施の形態の一例に基づいて詳述すると、このスクロール型ポンプは、図１〜図３に示すように、ハウジング１と、このハウジング１に固定される固定スクロール２と、ハウジング１に対して拘束された状態で移動自在となっている可動スクロール３、そしてハウジング１に組み付けられたステータ４とを主な構成部品としている。
【００１５】
ここで、ハウジング１は、その中央に軸受１０を介して軸１１を回転自在に受けているのであるが、この軸１１は偏心した位置に軸孔１２を備えており、この軸孔１２に可動スクロール３の一面から突出する軸３２を回転自由に遊嵌させているために、可動スクロール３はハウジング１及び固定スクロール２に対して、上記軸孔１２の偏心量を半径とする旋回が自在となっている。
【００１６】
また、可動スクロール３の一面に設けたキー溝３３にオルダムリング５が備えるキー５１がスライド自在に係合して、オルダムリング５に対して可動スクロール３が１自由度の移動が可能となっており、さらにオルダムリング５は他面に上記キー５１と直交するキー５２を備えて該キー５２がハウジング１に設けたキー溝１５にスライド自在に係合することでハウジング１に対してオルダムリング５が１自由度の移動が可能となっている。ハウジング１に対し、可動スクロール３はオルダムリング５を介して２自由度の移動が可能となっているわけであり、この結果、上記軸１１による案内を受けて可動スクロール３が旋回する時、可動スクロール３は自転を行うことがないようになっている。
【００１７】
そして、可動スクロール３はその一面に渦巻き状のラップ３０を備え、固定スクロール２は可動スクロール３のラップ３０と対向する面に同じく渦巻き状のラップ２０を備えて、両ラップ２０，３０が重なるように両者が組合されており、上記の軸１１とオルダムリング５とによって拘束された動き、つまりは自転を伴うことなく一定半径の旋回運動を所定の回転方向において可動スクロール３が行う時、固定スクロール２のラップ２０と可動スクロール３のラップ３０とによって密閉された空間が外周側から中心側へとその容積を漸次小さくしつつ移動させるために、外周側に吸い込み口３５、中心部に吐出口３６を配した該スクロール型ポンプでは、吸い込み口３５から吸い込んだ流体を吐出口３６から吐出する。
【００１８】
ここで、可動スクロール３は強磁性体もしくは永久磁石で形成して、ハウジング１に組み付けたステータ４に対応するロータとなるようにしている。図１〜図３に示したものにおけるステータ４は、鉄心４１と鉄心４１に巻回したコイル４２とからなる電磁石４０を複数個（図示例では８個であるが、この個数は限定するものではない）、ハウジング１内に放射状に配置することで形成してあり、各電磁石４０はハウジング１の内周面に位置する鉄心４１の一端がロータである可動スクロール３の外周面と対向し、鉄心４１の他端が可動スクロール３の下面に対向するために、あるコイル４２に通電して励磁すれば、図中にＭで示す磁力線が発生して、可動スクロール３はそのコイル４２を備えた鉄心４１に吸引されることになる。この時、可動スクロール３は図２において下方への移動がハウジング１によって規制されており、軸１１の軸方向と直交する面内での動きも上述のように拘束されものとなっているために、今、図３に示す位置に可動スクロール３が位置しているとともに、鉄心４１の一端が最も可動スクロール３に近接している電磁石４０1のコイル４２に通電して磁気吸引力Ｆを可動スクロール３に作用させている状態から、時計回り方向に位置する電磁石４０2を励磁させるということを順次行えば、可動スクロール３は時計回り方向の旋回運動を行うものであり、この旋回運動によって前述のようにポンプとして作動する。
【００１９】
このものにおいて、可動スクロール３はその旋回時に自転を行わないことから、旋回に伴って各電磁石４０の鉄心４１に接近する部分は常に同じ部分となっている。従って、可動スクロール３の該当部分を各電磁石４０の鉄心４１の一端の励磁時の磁極に併せた極性に着磁しておけば、上記磁気吸引力を大きくすることができるために、可動スクロール３を動かす駆動力をより大きくすることができる。
【００２０】
そして、図示例においては、上述のように偏心位置に可動スクロール３を受ける軸孔１２を備えた軸１１を設けて、可動スクロール３の旋回運動を案内するようにしているが、このものにおいては、磁力線Ｍが常に可動スクロール３の径方向に作用しており、磁気吸引力は可動スクロール３を外側へ引っ張るように働くために、軸１１がなくてもオルダムリング５によるところの平面的な位置規制のみで可動スクロール３に旋回運動を行わせることができる。また、たとえ軸１１による旋回ガイドがあったとしても、軸１１部分におけるクリアランスの関係で、固定スクロール２のラップ２０と可動スクロール３のラップ３０との接触部に隙間が生じて、両ラップ２０，３０の間の密閉空間に閉じ込められた空気はその圧力により上記隙間を通じて外部に逃げようとするが、上述のように、可動スクロール３の径方向に作用する磁気吸引力は、可動スクロール３のラップ３０と固定スクロール２のラップ２０とを確実に接触させて空気洩れを防ぐことになるために、高い効率のポンプとすることができる。
【００２１】
図４及び図５に他例を示す。ここでは放射状に配設する電磁石４０として、その鉄心４１の両端が共に可動スクロール３の下面に近接するものを用いている。なお、各鉄心４０の外周側の端面が、旋回運動する可動スクロール３の外接円の位置にくるようにしてある。この場合においても、電磁石４０を励磁すれば、可動スクロール３は磁気回路的にもっとも安定する位置へと動くために、放射状に並べた電磁石４０を順次励磁していくことで、可動スクロール３に旋回運動を行わせることができる。
【００２２】
図６及び図７にさらに他例を示す。ここではステータ４として、内周側へと突出する磁極歯４３が所定間隔で設けられるとともに固定スクロール２の中心と同心に配設されて可動スクロール３の外周側に位置しているリング状の鉄心４１と、この鉄心４１の磁極歯４３間の部分に夫々巻回した複数個のコイル４２とからなるものを用いており、また、可動スクロール３にはその外周面における上記磁極歯４３と対向する部分に突部３５を備えたものを用いている。
【００２３】
このものにおいて、あるコイル４１に通電すれば、そのコイル４１の両端に位置する２つの磁極歯４３，４３がＮ極とＳ極とになって、磁性体からなる可動スクロール３に対して磁気吸引力を作用させる。従って、通電するコイル４２を時計回り方向に順次切り換えていけば、可動スクロール３も時計回り方向の旋回運動を行うことになる。可動スクロール３は図７に示すように、外周部のみを珪素鋼鈑や電磁軟鉄のような磁性体で形成したり永久磁石で形成してもよい。つまりは、他の部分をたとえば軽量化に有利な材料で形成することができる。
【００２４】
ところで、コイル４２に通電して励磁するにあたっては、上述のように周方向に並ぶコイル４２を順に励磁していくのであるが、この時、図８(a)に示すように、１つずつ順に励磁する（励磁されているコイル４２は常に１つとする）ほか、図８(b)に示すように、隣合う複数（図示例では２つ）のコイル４２が同時に励磁されるようにしたり、図８(c)に示すように、１つだけ励磁する状態と複数を励磁する状態とを交互に切り換えつつ周方向に順次励磁していくようにしてもよい。ちなみに、図８(a)に示す励磁形態とすれば、コイル４２への通電制御が簡単となり、図８(b)に示す励磁形態とすれば、磁束密度が向上するために駆動力を大きくすることができ、図８(c)に示す励磁形態とすれば、１回転あたりの定常位置が増えるために角度分解能が向上する上に、可動スクロール３に生じる推進力の変動を減少させることができる。
【００２５】
なお、図６及び図７に示したリング状の鉄心４１を用いたものにおいて、隣合う複数のコイル４２を同時に励磁する場合、両コイル４２，４２間に位置するとともに両コイル４２，４２が共有する磁極歯４３が同磁極となるように通電する。また、可動スクロール３（の外周部）を永久磁石で形成する場合、図９に示すように、その突部３５の部分が磁極となるように着磁しておく。
【００２６】
次にコイル４２への通電制御について説明する。図１０はオープンループ制御とした場合の一例を示しており、可動スクロール３の旋回速度（回転数）についての指令をコントローラＣに送れば、コントローラＣは速度指令値から１コイルあたりの励磁時間を計算して励磁時間に相当するパルス（電流指令）を順次シーケンス的に各コイル４２に送る。システム的にもっとも簡単で低コストとなる。
【００２７】
フィードバック制御を行ってもよく、この場合、高速高精度な制御が可能となる。図１１はこの場合の一例を示しており、コントローラＣは受けた指令値から１コイルあたりの励磁量を計算して励磁量に相当するパルス列をコイル４２に送るとともに、可動スクロール３の旋回状態を検出する外部のセンサＳ１からの情報を受けて、指令値との偏差分を補正してパルス列をコイル４２に送る。
【００２８】
図１２はフィードバック制御の他例を示しており、各コイル４２に可動スクロール３が接近したことを検知する位置センサＳ２を設けている。コントローラＣは受けた指令値から１コイルあたりの励磁量を計算して励磁量に相当するパルス列をコイル４２に送るとともに、可動スクロール３が接近したことについての位置センサＳ２からの情報を受けて、励磁すべきコイル４２を切り換える。可動スクロール３の旋回位置を常に検知しながら駆動するために、脱調することがなく、高精度な旋回位置制御が可能である。
【００２９】
上記位置センサＳ２を用いてフィードバックをかける場合、位置センサＳ２の情報に基づいて回転数（旋回速度）を求めて、速度フィードバックをかけるようにしてもよい。つまり、各コイル４２に付設した位置センサＳ２1，Ｓ２2，Ｓ２3…の検知時間差Ｔ（図１３参照）から、可動スクロール３の駆動回転数ＮをＮ＝６０／ＴＸ（Ｘはコイル４２の数）を計算して、指令値通りの回転数（旋回速度）となるようにフィードバック制御するのである。
【００３０】
また、可動スクロール３を定速回転させてポンプとしての性能を安定化させる場合、図１４に示すように、各コイル４２の励磁時間ｔ１を一定とすることで、速度を一定にすることができるが、始動時においては、図１５(a)に示すように、上記時間ｔ１を長くとり、２回転目、３回転目となるにつれて、上記時間ｔ１を漸次短くして、最終的に定速回転のための時間ｔ１になるようにすることで、つまりは回転速度が徐々に高くなるようにすることで、可動スクロール３を確実に追従させることができ、脱調のない駆動を行うことができる。
【００３１】
ところで、前述の軸１１を用いて可動スクロール３の運動の案内を行っているもので且つ可動スクロール３を永久磁石で形成しているものにおいては、コイル４２を励磁させた際の磁気吸引力に加えて、磁気反発力も利用してもよい。図１６はリング状鉄心４１を用いたものにおいて、磁極歯４３に対応する突部３５を交互に異極に着磁した可動スクロール３に対し、隣接する２つのコイル４２に同方向の電流をして、磁気吸引力と磁気反発力とが同時に可動スクロール３に作用するようにしたものを示している。軸１１による拘束があるために、磁気吸引力及び磁気反発力は可動スクロール３に対して図中の矢印方向の推進力を与えることになり、推進性能が向上する。なお、磁気反発力も利用することは放射状に鉄心４１を配したものにおいても可能である。
【００３２】
さらに、鉄心４１を放射状に配置したものにおいては、磁気反発力が可動スクロール３をその径方向において外側へと移動させることになるように、鉄心４２の一端を可動スクロール３の中央部に配したものにおいては、軸１１による拘束がなくとも、磁気反発力のみで永久磁石からなる可動スクロール３を駆動することができる。
【００３３】
コイル４２に供給するパルス（電流）は、図１７(a)に示すような矩形波形のものとすれば、駆動回路を簡単に構成することができるが、コギングのない安定した駆動力を得るには、図１７(b)に示すように、漸増漸減の変動波形となるようにするのが好ましい。特にコイル４２の数が少ない場合は、このような電流波形とするのが好ましい。図１８はコイル４２が４つの場合にコイル４２に流す電流を図１７(b)に示すものにした場合を示しているが、９０°ずつ移送をずらしてコイル４２に通電することで、永久磁石からなる可動スクロール３に対して作用する磁気吸引力と磁気反発力との総和が可動スクロール３の旋回の全位置において等しくしている。
【００３４】
なお、スクロール型ポンプにおいては、可動スクロール３の回転方向を逆転させれば、真空ポンプとして動作することになるが、ここで示したものも、コイル４２の励磁順を順方向（時計回り方向）とするか逆方向（反時計回り方向）とするかにすることによって、圧縮ポンプと真空ポンプの動作を切り換えることができる。
【００３５】
【発明の効果】
以上のように本発明においては、周方向に複数個のコイルを配置しているとともにコイルによる励磁で可動スクロールに磁気力を作用させて可動スクロールをその径方向外側へと駆動するステータと、複数個のコイルの励磁を切り換えて磁性体または永久磁石で形成された可動スクロールに対する磁気力の作用位置を周方向において漸次変更していく制御手段とからなり、上記ステータが、放射状に配設されるとともに外周側の一端が可動スクロールの外周面の外側に位置している複数の鉄心と、各鉄心に巻回されたコイルとからなることから、ステータが可動スクロールに与える力が可動スクロールを径方向外側へ作用するものであるために、固定スクロールと可動スクロールのラップ間の密閉空間で圧縮される気体の圧力に対抗して密閉空間の密閉度を高くすることができるものであり、そしてこのような方向に力を作用させるものであるにもかかわらず、可動スクロールに対する磁気力の作用位置を周方向において漸次変更することから可動スクロールに旋回運動を行わせることができるものであって、高いポンプ効率を得ることができる。また、可動スクロールをロータとするダイレクト駆動であるために、コンパクトなものを得ることができる。
【００３６】
そして、可動スクロールを永久磁石で形成したものでは、より強い駆動力を得ることができるとともに、密閉空間の密閉度も高めることができるためにポンプ効率も向上する。
【００３７】
上記ステータが放射状に配設されるとともに外周側の一端が可動スクロールの片面の外周端部付近に位置している複数の鉄心と、各鉄心に巻回されたコイルとからなるものでもよく、この場合には、エアギャップが変動しないために出力特性が向上する。また、上記ステータは可動スクロールの外側に固定スクロールの中心と同心に配されたリング状の鉄心と、周方向に間隔をおいて鉄心に巻回された複数のコイルとからなるものでもよく、この場合は、軸方向の厚みが薄いものを得ることができる。また、リング状鉄心はコイル間に内周側へと突出する磁極歯を備えたものとし、可動スクロールはその外周面における上記磁極歯と対向する位置に外周側に突出する突部を備えたものとするのが磁気特性の点で良好な結果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態の一例の分解斜視図である。
【図２】  (a)は同上の固定スクロールを省いた状態の縦断面図、(b)は部分斜視図である。
【図３】  同上の水平断面図である。
【図４】  他例の分解斜視図である。
【図５】  同上の部分縦断面図である。
【図６】  さらに他例の分解斜視図である。
【図７】  同上の水平断面図である。
【図８】  (a)(b)(c)は各コイルへの駆動パルスについての説明図である。
【図９】  別の例の水平断面図である。
【図１０】  駆動回路ブロックの説明図である。
【図１１】  他の駆動回路ブロックの説明図である。
【図１２】  さらに他の駆動回路ブロックの説明図である。
【図１３】  位置センサの出力の説明図である。
【図１４】  (a)(b)は定速駆動についての説明図である。
【図１５】  (a)(b)は始動時の駆動制御についての説明図である。
【図１６】  磁気吸引力と磁気反発力とを併用する場合の説明図である。
【図１７】  (a)(b)はコイルに供給する電流波形の説明図である。
【図１８】  (a)はコイルの配置についての説明図、(b)は電流波形と推進力についての説明図である。
【符号の説明】
１  ハウジング
２  固定スクロール
３  可動スクロール
４  ステータ
４１  鉄心
４２  コイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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