(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内において、長尺フィルム状の非磁性基体を供給ロールから繰り出し、回転するドラムの表面に添わせて搬送しながら、該基体上に金属を蒸着し、金属薄膜を形成する真空蒸着装置であって、該基体が該ロールから繰り出される前に該基体の外表面に高圧プローブを近接させる除電装置を設け、該基体の除電を行うことを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項２】
上記除電装置を設ける場所は、上記基体が上記ロールから繰り出される直前であることを特徴とする請求項１に記載の真空蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空装置内の基体の除電装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
金属薄膜を成膜するために、真空蒸着装置が実用化されている。とくに、金属薄膜型磁気記録媒体（いわゆる蒸着テープ）を製造するために、斜め蒸着式の真空蒸着装置が用いられており、生産に活用されている。最近の記録密度の進歩にともない蒸着テープの需要が増大してきているが、真空中で行うというバッチ式生産のため生産性向上が急務となっている。とくに、蒸着テープの支持体として用いられるベースフィルムが、切れるという不具合が発生し、その生産性を低かさせる原因となっている。
【０００３】
このような状況のもとで、ベースフィルムの切断を防止する方法について検討が行われてきている。たとえば、特開昭６２−２０１３７号公報によれば、フィルムと冷却ドラム上の回転のずれにより発生する擦り傷を防止するために、高分子フィルムの巻き出し直後に、高圧プローブにより静電帯電させて、さらに巻き取り直前に、グロー放電処理する方法が記されている。しかし、ビデオテープの長時間の要求に伴いフィルム厚が非常にうすくなってくると、フィルムがロール状基体から離れた場所で除電することでは不十分であり、剥離帯電によるフィルム切れや穴あきが発生することが多くなったいた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような状況において、本発明の課題は、高記録密度化に伴いフィルム厚みが非常に薄くなっても、真空装置内でのフィルム剥離帯電によるフィルム切れが多発しない装置を得ることにある。
【０００５】
【発明を解決するための手段】
このような課題は、以下に示す本発明によって達成される。すなわち本発明は、真空容器内において、ロール状の基体を直接除電することを特徴とする真空装置内の基体除電装置にある。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的構成について、図１の真空蒸着装置を例に用いて詳細に説明する。
【０００７】
図１に示される斜め蒸着装置１０１では、真空槽１１０中において、排気口１０８を経て真空ポンプ（図示せず）に接続されて真空状態に保たれ、この真空槽内で長尺フィルム状の非磁性基体１０２を供給ロール１０３から繰り出し、回転する冷却ドラム１０４の表面に添わせて搬送しながら、遮蔽板（マスク）１９１を用いて蒸着角度を決定し、定置されたるつぼ１０５中の強磁性金属１５０表面に電子銃１０６からの電子ビーム１０６Ｂを照射して斜め蒸着を行なうことにより、前記非磁性基体１０２上に強磁性金属薄膜を形成する。また、金属が溶けるまでの間はシャッター１９３によって非磁性基体への金属の付着を防止する。このような金属の蒸着に際して、ガス供給装置１９４から蒸着金属にガスが幅方向に均一となるように供給される。このようにして強磁性金属薄膜が形成された非磁性基体１０２は、巻き取りロール１０７に巻き取られる。
【０００８】
本発明の除電機構は、供給ロールを傷つけることなく直接除電できるものであれば、特に指定は無いが、酸素またはアルゴンガスを使用したプラズマ発生機構をもつ除電装置からプラズマ流を吹き出させる方式や、フィルムに直接接触しアースをとる方式でもよい。直接アースを取る方法としては、導電性ブラシ等を接触させる方法や、導電性ゴムや導電性樹脂を表面に配したタッチロール等がある。
【０００９】
設置位置は基体ロールの帯電を直接除電できる位置であればよい。特に望ましくは剥離部に最も近いロール外側である。除電の機構については特に規定は無いが、なるべく非接触式の除電方法が望ましい。除電の方式としては、プラズマやグロー放電を用いる方法、高圧プローブを近接させる方法、導電性を有したタッチロールやブラシを接触させる方法などがある。
【実施例】
以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。
【００１０】
図１に示される構成の斜め蒸着装置を用いて、厚さ４．６μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムからなる非磁性基体１０２上に、強磁性金属薄膜を形成した。平均の最小入射角θｍｉｎ．を５０度、るつぼの湯面とドラム１０４の蒸着面の平均距離を約３００ｍｍ、蒸着部の幅を５００ｍｍとした。
【００１１】
（実施例、比較例）
まず、真空槽内を排気し、槽内の圧力を１０-5Ｔｏｒｒに保った。るつぼには、酸化マグネシウム製のものを用い、電子銃のパワーは１２０ｋＷとした。ガス供給ノズルは幅方向長さで６００ｍｍであり、蒸着時に酸素主成分のガスを供給した。また、蒸着時の目標膜厚は２００ｎｍとして蒸着を行った。
【００１２】
除電機構は、表１に示したように、アルゴンガスのプラズマ流を吹き出させる機能を有したものとして、これを剥離部と剥離部以外に設置したもの、高圧プローブを用いたもの、基体ロールに直接タッチロールやブラシを触れさせたものを実施例として、また第一のガイドロールの前後にグロー放電処理機構を用いたものを比較例とした。
【００１３】
それぞれ、全長５０００ｍのフィルムを使用し、１０回の蒸着を行いフィルムの剥離帯電による切断の回数を調査した。
【００１４】
【表１】
除電機構を追加した真空蒸着装置
0003827116.tif 000002
【００１５】
フィルムを繰り出しロールから繰り出す際に、ロール状態のフィルムを直接除電することにより、フィルムがロールから繰り出される際に発生する剥離帯電によるフィルム切れや穴あきを防止し、安定に強磁性金属を形成することが可能になった。
【００１６】
比較例に示すように、従来の除電機構が付与されていない装置では、フィルム切れの発生頻度が１０バッチ成膜すると８回程度発生し、非常に生産効率が劣っていた。
【００１７】
さらに、特開昭６２−２０１３７号公報のようにガイドロールの前を除電しても、擦り傷防止対策にはなっても、フィルム切れや穴あきの防止には効果が少なかった。
【００１８】
これらに対し、実施例に示したようにロール状の基体を除電する機構を設けることにより、その方式にかかわらずフィルム切れ発生回数を０回／１０バッチに抑えることが可能になった。
【００１９】
【発明の効果】
ロール状の基体を除電する機構を設けることにより、その方式にかかわらず、薄層のフィルムがロールから繰り出される際に発生する剥離帯電によるフィルム切れを防止し、安定に強磁性金属を形成することが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】蒸着装置を説明するための模式図である。
【図２】本発明の実施例及び比較例の除電機構を示す模式図である。
【符号の説明】
１０１    斜め蒸着装置（真空槽）
１０２    非磁性基体
１０３    供給ロール
１０４    冷却ドラム
１０５    るつぼ
１５０    溶湯
１０６    電子銃
１０６Ｂ  電子ビーム
１０７    巻き取りロール
１０８    排気口
１１０    真空槽
１９１    遮蔽板（マスク）
１９３    シャッター
１９４    ガス導入口
【図１】
0003827116.tif 000003
【図２】
0003827116.tif 000004