(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、前記レジストボトル全体の重量を検出できるように重量センサを設け、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、
前記レジスト配管は、レジストボトルの出口部に一体成形されたボトル側のレジスト配管と、一端部に接続カプラを備えたカプラ側のレジスト配管とを備え、
前記レジストボトルを別のレジストボトルと交換する際、ボトル側のレジスト配管は接続カプラを介してワンタッチでカプラ側のレジスト配管に対し着脱されるものであり、
前記接続カプラは、左右の押圧部を指で内側に押圧すると締め付け部が開き、該押圧を解除すると締め付け部が閉まるようになっている、
ことを特徴とするレジストコーティング装置。
【請求項２】
あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、該レジスト液出口部にレジスト配管を接続するとともに、該レジスト配管のうち前記出口部の近傍部位に静電容量センサを配置し、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、
前記レジスト配管は、レジストボトルの出口部に一体成形されたボトル側のレジスト配管と、一端部に接続カプラを備えたカプラ側のレジスト配管とを備え、
前記静電容量センサは、ボトル側のレジスト配管の近傍に配置され、
前記レジストボトルを別のレジストボトルと交換する際、ボトル側のレジスト配管は接続カプラを介してワンタッチでカプラ側のレジスト配管に対し着脱されるものであり、
前記接続カプラは、左右の押圧部を指で内側に押圧すると締め付け部が開き、該押圧を解除すると締め付け部が閉まるようになっている、
ことを特徴とするレジストコーティング装置。
【請求項３】
あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、前記レジストボトル全体の重量を検出できるように重量センサを設け、前記レジスト液出口部にレジスト配管を接続するとともに、該レジスト配管のうち前記出口部の近傍部位に静電容量センサを配置し、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、
前記レジスト配管は、レジストボトルの出口部に一体成形されたボトル側のレジスト配管と、一端部に接続カプラを備えたカプラ側のレジスト配管とを備え、
前記静電容量センサは、ボトル側のレジスト配管の近傍に配置され、
前記レジストボトルを別のレジストボトルと交換する際、ボトル側のレジスト配管は接続カプラを介してワンタッチでカプラ側のレジスト配管に対し着脱されるものであり、
前記接続カプラは、左右の押圧部を指で内側に押圧すると締め付け部が開き、該押圧を解除すると締め付け部が閉まるようになっている、
ことを特徴とするレジストコーティング装置。
【請求項４】
あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、前記レジストボトル全体の重量を検出できるように重量センサを設け、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、前記レジスト配管と一体成形された蓋をレジストボトルの出口部に押し当ててはめ込むことにより、該出口部に前記蓋をワンタッチで取り付けることが可能であることを特徴とするレジストコーティング装置。
【請求項５】
あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、該レジスト液出口部にレジスト配管を接続するとともに、該レジスト配管のうち前記出口部の近傍部位に静電容量センサを配置し、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、前記レジスト配管と一体成形された蓋をレジストボトルの出口部に押し当ててはめ込むことにより、該出口部に前記蓋をワンタッチで取り付けることが可能であることを特徴とするレジストコーティング装置。
【請求項６】
あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、前記レジストボトル全体の重量を検出できるように重量センサを設け、前記レジスト液出口部にレジスト配管を接続するとともに、該レジスト配管のうち前記出口部の近傍部位に静電容量センサを配置し、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、前記レジスト配管と一体成形された蓋をレジストボトルの出口部に押し当ててはめ込むことにより、該出口部に前記蓋をワンタッチで取り付けることが可能であることを特徴とするレジストコーティング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、あらかじめレジスト（ Resist ）液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる、袋状のパック式レジストボトル（ Resist Bottle ）を用いて、レジスト膜をウェーハ（ Wafer ）上にコーティング（ coating ）するレジストコーティング装置（ Resist Coater ）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の標準的なレジストコーティング装置を、図５を用いて説明する。
ガラスビン製のレジストボトル６０内にはレジスト液６２が充填されている。このガラスビン製のレジストボトル６０の下には、ガラスビン製のレジストボトル６０内のレジスト液６２の減少の程度を検出するための重量センサ６４が設置されている。この重量センサ６４はＣＰＵ（Central Processig Unit；中央処理装置）に接続され、ガラスビン製のレジストボトル６０内のレジスト液６２の残量が少なくなると、重量センサ６４からＣＰＵに信号が送信されるようになっている。そして、この重量センサ６４から信号を受信したＣＰＵは、ガラスビン製のレジストボトル６０の交換が必要なことをアラームによって知らせ、コーティング作業を停止させるようになっている。
【０００３】
また、ガラスビン製のレジストボトル６０の口を閉じている蓋６６を貫通して、加圧用Ｎ2 （窒素）ガスを導入するガス導入管６８が挿入されており、このＮ2 ガスによってガラスビン製のレジストボトル６０内のレジスト液６２表面に圧力を加えるようになっている。同様に、ガラスビン製のレジストボトル６０の蓋６６を貫通して、一端がガラスビン製のレジストボトル６０の底近くに達しているレジスト配管７０ａがレジスト液６２内に挿入されている。そして、このレジスト配管７０ａの他端はポンプ（Pump）７２に接続されており、このポンプ７２によってガラスビン製のレジストボトル６０内のレジスト液６２がレジスト配管７０ａを介して吸い出されるようになっている。
【０００４】
また、このポンプ７２は、レジスト配管７０ｂを介してレジスト液６２中のダストを除去するためのレジストフィルタ（Resist Filter ）７４に接続され、このレジストフィルタ７４は、レジスト配管７０ｃを介してレジスト液６２を適正な温度に調整するためのレジスト温調器７６に接続され、更に、このレジスト温調器７６は、レジスト配管７０ｄを介してレジスト液６２を吐出するためのレジストノズル（Resist Nozzle ）７８に接続されている。そして、このポンプ７２によってレジスト液６２がレジスト配管７０ｂ、レジストフィルタ７４、レジスト配管７０ｃ、レジスト温調器７６、及びレジスト配管７０ｄを介してレジストノズル７８に押し出されるようになっている。
【０００５】
また、このレジストノズル７８の下方には、ウェーハ８０を搭載し真空吸着するためのステージ８２が設置され、スピンモータ（Spin Moter）８４によって回転されるようになっている。そして、スピンモータ８４によって回転しているウェーハ８０上にレジストノズル７８からレジスト液６２が吐出され、ウェーハ８０上に均一なレジスト膜がコーティングされるようになっている。
【０００６】
また、このステージ８２の周囲には、回転しているウェーハ８０上から飛び散ったレジスト液６２を受けるためのコータカップ（Coater Cup）８６が設置されている。また、このコータカップ８６の底部には、コーティング中のコータカップ８６内の排気を行うと共に、コータカップ８６内側に飛び散ったレジスト廃液を排出するための開口部８８が設けられている。
【０００７】
そして、このようなレジストコーティング装置を用いて、ガラスビン製のレジストボトル６０内に充填されているレジスト液６２をポンプ７２により吸い出した後、レジストフィルタ７４によってダストを除去し、レジスト温調器７６によって適正な温度に調整したレジスト液６２をレジストノズル７８に押し出し、このレジストノズル７８からレジスト液６２を回転しているウェーハ８０上に吐出して、ウェーハ８０上に均一なレジスト膜をコーティングする。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のレジストコーティング装置においては、ガラスビン製のレジストボトル６０内のレジスト液６２の残量が一定量以下にまで減少すると、レジスト液６２を安定的に供給することが困難になるため、この事実を検知した重量センサ６４及びＣＰＵがガラスビン製のレジストボトル６０の交換が必要なことをアラームによって知らせ、コーティング作業を停止させることから、コーティング作業が停止した状態がガラスビン製のレジストボトル６０を使い切った状態となるものの、この使い切ったガラスビン製のレジストボトル６０内の底にはレジスト液６２が一定程度残存することになる。
【０００９】
仮に、使い切ったガラスビン製のレジストボトル６０内の底に残存するレジスト液６２を余すことなく目一杯まで使用しようとすると、レジスト液６２を安定的に供給することが困難になり、コーティング不良を引き起こしてしまう。また、重量センサ６４のセンサ調整が非常に難しくなり、この調整を失敗すると、センサ未感知によるコーティング不良を引き起こしてしまう。更に、レジスト配管７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ中に空気（Air ）が混入する恐れが生じ、その場合には空気抜き作業が必要となるため、作業が煩雑になるばかりでなく、空気が混入したレジスト液６２を無駄に捨ててしまうことにもなる。
【００１０】
従って、上記従来のレジストコーティング装置を用いる場合、使い切ったガラスビン製のレジストボトル６０内の底にレジスト液６２が一定程度残存することになるため、露光光源として例えばｇ線（波長４３６ｎｍ）やｉ線（波長４３６ｎｍ）のスペクトル光を用いるリソグラフィ（Lithography ）において使用する比較的安価なレジスト液の場合であっても、半導体生産ライン等において大量に使用する際には大きな損失となる。
また、露光光源としてエキシマレーザ（Excimer Laser ）を用いるエキシマリソグラフィにおいては、レジスト液６２として化学増幅レジスト（Chemically Amplified Resist ）を使用し、この化学増幅レジストはｇ線やｉ線を用いるリソグラフィにおいて使用するレジストと比較すると格段に高価であるため、その損失は無視できないものとなる。
【００１１】
また、上記従来のレジストコーティング装置においては、図５に示されるように、レジスト容器としてガラスビン製のレジストボトル６０が一般的であるが、このガラスビン製のレジストボトル６０はレジスト液６２中へのダストの混入の防止という観点からは問題がある。即ち、ガラスビン製のレジストボトル６０の場合、その製造後に内部を洗浄してからレジスト液６２を充填することになるが、いくら洗浄方法が確立されても限界があるため、ガラスビン製のレジストボトル６０内壁のダストがレジスト液６２中に混入する恐れがあった。特に、ガラスビン製のレジストボトル６０の口が小さい場合は、その内部の完璧な洗浄が困難なため、レジスト液６２のダスト汚染の恐れが強いが、その一方でレジスト液６２の品質維持のためにはガラスビン製のレジストボトル６０の口をなるべく小さくすることが要請される。
【００１２】
しかも、このレジスト液６２中へのダストの混入という問題は、昨今の半導体装置の微細化の進展に伴い、コーティング不良や現像不良の原因としてクローズアップされてきており、ウェーハ８０上に直接コーティングされるレジスト液６２については、微細パターンを良好に形成するという観点から、特に低ダスト化が要求されるようになってきている。
【００１３】
また、上記従来のレジストコーティング装置においては、ガラスビン製のレジストボトル６０を交換する際に、図６に示されるように、蓋６６を貫通している状態でレジスト配管７０ａをガラスビン製のレジストボトル６０内に差し込み、続いてこの蓋６６をガラスビン製のレジストボトル６０の口に螺合しているが、この時、誤ってレジスト配管７０ａをガラスビン製のレジストボトル６０側面等に接触させてしまったりして、レジスト配管７０ａに付着したダストをガラスビン製のレジストボトル６０内のレジスト液６２中に持ち込む恐れもあった。
【００１４】
また、ガラスビン製のレジストボトル６０を交換する際に、レジスト配管７０ａ中に空気が混入し易いため、空気抜き作業が必要となり、交換作業が煩雑になるばかりでなく、空気が混入したレジスト液６２を無駄に捨ててしまうことにもなる。
更に、レジスト容器としてガラスビン製のレジストボトル６０を用いる場合、ガラスビン製のレジストボトル６０はかなりの重量があるため、搬送その他の取扱いが容易でなかったり、不注意によって落とした際には割れたりする恐れがある。また、使用後の処理においても、不燃物処理を要するゴミになるという問題もある。
【００１５】
そこで本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、レジスト液へのダストの混入を防止することが可能で、取扱いや使用後の処理が容易なレジストボトルを用いたレジストコーティング装置を提供することを目的とする。また、使い切ったレジストボトル内へのレジスト液の残存を防止し、レジストボトルの交換の際のレジスト液へのダストの混入やレジスト配管中への空気の混入を防止することが可能なレジストコーティング装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、以下の本発明に係るレジストコーティング装置により達成される。即ち、請求項１に係るレジストコーティング装置は、あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、前記レジストボトル全体の重量を検出できるように重量センサを設け、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、
前記レジスト配管は、レジストボトルの出口部に一体成形されたボトル側のレジスト配管と、一端部に接続カプラを備えたカプラ側のレジスト配管とを備え、前記レジストボトルを別のレジストボトルと交換する際、ボトル側のレジスト配管は接続カプラを介してワンタッチでカプラ側のレジスト配管に対し着脱されるものであり、前記接続カプラは、左右の押圧部を指で内側に押圧すると締め付け部が開き、該押圧を解除すると締め付け部が閉まるようになっていることを特徴とする。
この請求項１に係るレジストコーティング装置ではレジストボトルとして上記構成のものを使用することにより、製造後にその内部を洗浄しなければならない従来のガラスビン製のレジストボトルと異なり、その製造過程からパック式レジストボトルをクリーンに保つことが可能になるため、この合成樹脂からなるパック式レジストボトル内に充填したレジスト液にダストが混入することが防止され、ダストの低減が図られる。
【００１７】
また、この合成樹脂からなるパック式レジストボトルは、従来のガラスビン製のレジストボトルと比べると軽量であるため、搬送その他の取扱いが容易になると共に、不注意によって落としても割れたりする恐れがなくなる。また、使用後の処理においても、焼却等によって簡単に処理することが可能になる。
さらに、レジストボトルがレジスト液の出口を下向きにして逆さに設けられている構成とすることにより、レジストボトルからレジスト液を安定的に供給しつつ、レジストボトル内のレジスト液を余すことなく全て使い切ることが可能となるだけでなく、レジストボトル全体の重量を検出できるように重量センサを設けたから、レジスト液を使い切ってレジストボトル内が空になったことを容易に確認することができる。さらに、このレジストボトルは、内部が空になると扁平状（ぺしゃんこ）になるから、その後の搬送等の処理を簡便に行うことができる。
さらに、レジストボトルを交換する際に、たとえレジスト配管中に空気が混入しても、その空気はジスト配管を通って逆さに設けられたレジストボトル内の上方に上昇していくため、空気抜き作業が不必要となり、交換作業の煩雑化が防止されるばかりでなく、空気が混入したレジスト液を無駄に捨ててしまうこともなくなる。
また、請求項１に係るレジストコーティング装置は、レジストボトルを別のレジストボトルと交換する際に、レジストボトルとレジスト配管とがワンタッチで着脱される構成とすることにより、従来のように蓋を貫通している状態でレジスト配管をレジストボトル内に差し込んだ後にこの蓋をレジストボトルの口に螺合する場合と比較すると、レジストボトルの交換作業が簡単かつ容易になると共に、誤ってレジスト配管をレジストボトルその他に接触させて付着したダストをレジスト液中に持ち込む恐れもなくなり、ダストの低減を実現することができる。
【００１８】
また、請求項２に係るレジストコーティング装置は、あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、該レジスト液出口部にレジスト配管を接続するとともに、該レジスト配管のうち前記出口部の近傍部位に静電容量センサを配置し、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、
前記レジスト配管は、レジストボトルの出口部に一体成形されたボトル側のレジスト配管と、一端部に接続カプラを備えたカプラ側のレジスト配管とを備え、前記静電容量センサは、ボトル側のレジスト配管の近傍に配置され、前記レジストボトルを別のレジストボトルと交換する際、ボトル側のレジスト配管は接続カプラを介してワンタッチでカプラ側のレジスト配管に対し着脱されるものであり、前記接続カプラは、左右の押圧部を指で内側に押圧すると締め付け部が開き、該押圧を解除すると締め付け部が閉まるようになっていることを特徴とする。
このレジストコーティング装置では、上記態様で静電容量センサを配置したため、レジスト液を使い切ってレジストボトル内が空になったことを容易に確認することができる。また、このレジストコーティング装置では、その他の構成（接続カプラによる配管同士のワンタッチ着脱構造など）が請求項１と同様であるから、同様の効果が得られる。
【００１９】
また、請求項３に係るレジストコーティング装置は、あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、前記レジストボトル全体の重量を検出できるように重量センサを設け、前記レジスト液出口部にレジスト配管を接続するとともに、該レジスト配管のうち前記出口部の近傍部位に静電容量センサを配置し、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、
前記レジスト配管は、レジストボトルの出口部に一体成形されたボトル側のレジスト配管と、一端部に接続カプラを備えたカプラ側のレジスト配管とを備え、前記静電容量センサは、ボトル側のレジスト配管の近傍に配置され、前記レジストボトルを別のレジストボトルと交換する際、ボトル側のレジスト配管は接続カプラを介してワンタッチでカプラ側のレジスト配管に対し着脱されるものであり、前記接続カプラは、左右の押圧部を指で内側に押圧すると締め付け部が開き、該押圧を解除すると締め付け部が閉まるようになっていることを特徴とする。
このレジストコーティング装置では、重量センサおよび静電容量センサを上記態様で配置したため、レジスト液を使い切ってレジストボトル内が空になったことをより容易に、かつより的確に確認することができる。また、このレジストコーティング装置では、その他の構成（接続カプラによる配管同士のワンタッチ着脱構造など）が請求項１と同様であるから、同様の効果が得られる。
【００２０】
また、請求項４に係るレジストコーティング装置は、あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、前記レジストボトル全体の重量を検出できるように重量センサを設け、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、前記レジスト配管と一体成形された蓋をレジストボトルの出口部に押し当ててはめ込むことにより、該出口部に前記蓋をワンタッチで取り付けることが可能であることを特徴とする。
さらに、請求項５に係るレジストコーティング装置は、あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、該レジスト液出口部にレジスト配管を接続するとともに、該レジスト配管のうち前記出口部の近傍部位に静電容量センサを配置し、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、前記レジスト配管と一体成形された蓋をレジストボトルの出口部に押し当ててはめ込むことにより、該出口部に前記蓋をワンタッチで取り付けることが可能であることを特徴とする。
さらに、請求項６に係るレジストコーティング装置は、あらかじめレジスト液が充填され、空になると扁平状になる軟質の合成樹脂フィルムからなる袋状のパック式レジストボトルのレジスト液出口部を下向きにし、前記レジストボトル全体の重量を検出できるように重量センサを設け、前記レジスト液出口部にレジスト配管を接続するとともに、該レジスト配管のうち前記出口部の近傍部位に静電容量センサを配置し、前記レジストボトル内のレジスト液を前記出口部からレジスト配管を経て、回転するウェーハ上に吐出するようにしたレジストコーティング装置であって、前記レジスト配管と一体成形された蓋をレジストボトルの出口部に押し当ててはめ込むことにより、該出口部に前記蓋をワンタッチで取り付けることが可能であることを特徴とする。
請求項４〜６に係るレジストコーティング装置では、レジストボトルを別のレジストボトルと交換する際に、レジスト配管と一体成形されている蓋をワンタッチでレジストボトルに取り付けることが可能であるため、請求項１〜３に係る発明の場合と同様に、レジストボトルの交換作業が簡単かつ容易になると共に、誤ってレジスト配管をレジストボトルその他に接触させて付着したダストをレジスト液中に持ち込む恐れもなくなる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
（第１の実施形態）
図１は本発明の一実施形態に係るレジストコーティング装置を示す概略図、図２（ａ）は図１のレジストコーティング装置のパック式レジストボトルを側面から見た図、図２（ｂ）は図２（ａ）のパック式レジストボトル内のレジスト液を使い切った状態を示す図、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は図１のレジストコーティング装置のパック式レジストボトルの交換を説明するための図である。
【００２２】
図１に示されるように、パック式レジストボトル１０は、その本体部１０ａ内にレジスト液１２を充填した状態で、その出口部１０ｂを下に向けて逆さに吊設されている。
そして、このパック式レジストボトル１０は、その本体部１０ａが可塑性の合成樹脂で作られ、その出口部１０ｂが硬化性の合成樹脂で作られている。そのため、このパック式レジストボトル１０内にレジスト液１２が十分に充填されている使用開始前の状態では、図２（ａ）に示されるように、パック式レジストボトル１０の本体部１０ａは内部のレジスト液１２によって膨らんでいるが、内部のレジスト液１２を使い切った使用後の状態では、図２（ｂ）に示されるように、内部が空になってパック式レジストボトル１０の本体部１０ａはぺしゃんこに潰れてしまう。また、このパック式レジストボトル１０は、その出口部１０ｂを介してレジスト配管１４ａとは予め一体型の形状として成形されている。
【００２３】
また、逆さに吊設されているパック式レジストボトル１０の上部には、パック式レジストボトル１０内のレジスト液１２の減少の程度を検出するための重量センサ１６が設置されている。また、パック式レジストボトル１０直下のレジスト配管１４ａ（ボトル側のレジスト配管）の近傍には、該配管内をレジスト液１２が流れているか或いはレジスト液１２がなくなっているかを検出するための静電容量センサ１８が設置されている。
【００２４】
そして、これら重量センサ１６及び静電容量センサ１８はそれぞれＣＰＵに接続されており、パック式レジストボトル１０内のレジスト液１２を使い切って空になり、最後のレジスト液１２が静電容量センサ１８近傍のレジスト配管１４ａを通り過ぎると、それぞれ重量センサ１６及び静電容量センサ１８からＣＰＵに信号が送信されるようになっている。
【００２５】
また、パック式レジストボトル１０と一体成形されているレジスト配管１４ａ（ボトル側のレジスト配管）は、接続カプラ２０を介してレジスト配管１４ｂ（カプラ側のレジスト配管）に接続され、このレジスト配管１４ｂの他端は、例えば隔膜型のダイヤフラムポンプや蛇腹型のベローズポンプ等の空気圧制御式のポンプ２２に接続されている。そして、このポンプ２２によってパック式レジストボトル１０内のレジスト液１２がレジスト配管１４ａ、１４ｂ（すなわち、ボトル側のレジスト配管１４ａおよびカプラ側のレジスト配管１４ｂ）を通って吸い出されるようになっている。
【００２６】
また、このポンプ２２は、レジスト配管１４ｃを介してレジスト液１２中のダストを除去するためのレジストフィルタ２４に接続され、このレジストフィルタ２４は、レジスト配管１４ｄを介してレジスト液１２を適正な温度に調整するためのレジスト温調器２６に接続され、更に、このレジスト温調器２６は、レジスト配管１４ｅを介してレジスト液１２を吐出するためのレジストノズル２８に接続されている。そして、このポンプ２２によってレジスト液１２がレジスト配管１４ｃ、レジストフィルタ２４、レジスト配管１４ｄ、レジスト温調器２６、及びレジスト配管１４ｅを介してレジストノズル２８に押し出されるようになっている。
【００２７】
また、このレジストノズル２８の下方には、ウェーハ３０を搭載し真空吸着するためのステージ３２が設置され、スピンモータ３４によって回転されるようになっている。そして、このステージ３２上に真空吸着されスピンモータ３４によって回転しているウェーハ３０上に、レジストノズル２８からレジスト液１２が吐出され、ウェーハ３０上に均一なレジスト膜がコーティングされるようになっている。
【００２８】
また、このステージ３２の周囲には、回転しているウェーハ３０上から飛び散ったレジスト液１２を受けるためのコータカップ３６が設置されている。また、このコータカップ３６の底部には、コーティング中のコータカップ３６内の排気を行うと共に、コータカップ３６内側に飛び散ったレジスト廃液を排出するための開口部３８が設けられている。
【００２９】
次に、図１のレジストコーティング装置の動作を説明する。
ポンプ２２により、出口部１０ｂを下に向けて吊設されているパック式レジストボトル１０内のレジスト液１２をレジスト配管１４ａ、１４ｂを通って吸い出すと共に、レジスト配管１４ｃ、１４ｄ、１４ｅを通ってレジストノズル２８に精密かつ再現性よく押し出す。そして、その途中で、コーティング不良や現像不良の原因となるレジスト液１２中のダストをレジストフィルタ２４により除去し、レジスト膜厚の均一性の変動要因となるレジスト液１２の温度をレジスト温調器２６により適正な温度に調整する。
【００３０】
他方、ステージ３２上にウェーハ３０を搭載し真空吸着した後、スピンモータ３４によって所定の回転数で回転する。そして、この回転しているウェーハ３０上に、レジストノズル２８からレジスト液１２を精密かつ再現性よく吐出し、ウェーハ３０上に均一なレジスト膜をコーティングする。
【００３１】
そして、このようなコーティング作業を繰り返すうちに、パック式レジストボトル１０内のレジスト液１２を使い切り、最後のレジスト液１２が静電容量センサ１８近傍のレジスト配管１４ａを通り過ぎると、パック式レジストボトル１０の本体部１０ａは図２（ｂ）に示されるようにぺしゃんこに潰れてしまうと共に、重量センサ１６及び静電容量センサ１８からの信号を受信したＣＰＵがコーティング作業を停止させ、パック式レジストボトル１０の交換が必要なことをアラームによって知らせる。従って、このアラームを受けると、内部のレジスト液１２を使い切ってぺしゃんこに潰れてしまったパック式レジストボトル１０を新しいパック式レジストボトル１０と交換する。
【００３２】
次に、このパック式レジストボトル１０の交換を、図３を用いて説明する。
図１のレジストコーティング装置の接続カプラ２０は、図３（ａ）の拡大斜視図に示されるように、左右の押圧部４０ａ、４０ｂを２本の指で内側に押すと締め付け部４２ａ、４２ｂが開き、押圧部４０ａ、４０ｂから指を離すと締め付け部４２ａ、４２ｂが締まるようになっている。即ち、ワンタッチで締め付け部４２ａ、４２ｂの開閉ができるようになっている。
【００３３】
先ず、ワンタッチで接続カプラ２０の締め付け部４２ａ、４２ｂを開き、内部のレジスト液１２を使い切ったパック式レジストボトル１０と一体成形されているレジスト配管１４ａを接続カプラ２０から取り外し、レジスト配管１４ｂと分離する。
【００３４】
続いて、図３（ｂ）に示されるように、内部にレジスト液１２が充填されている新しいパック式レジストボトル１０を逆さにした状態のまま、パック式レジストボトル１０と一体成形されているレジスト配管１４ａの端部を締め付け部４２ａ、４２ｂ内に差し込んだ後、締め付け部４２ａ、４２ｂを閉めて、接続カプラ２０に取り付ける。このとき、パック式レジストボトル１０内のレジスト液１２がレジスト配管１４ａを通って流れ落ちないように、パック式レジストボトル１０の出口部１０ｂに逆止弁（図示せず）を設けておく。こうして、パック式レジストボトル１０と一体成形されているレジスト配管１４ａ端部を接続カプラ２０を介してレジスト配管１４ｂ端部に接続し、パック式レジストボトル１０の交換を完了する。
【００３５】
なお、ここでは、内部にレジスト液１２が充填されている新しいパック式レジストボトル１０を逆さにした状態のままパック式レジストボトル１０に一体成形されているレジスト配管１４ａ端部を接続カプラ２０に取り付けているが、接続カプラ２０とポンプ２２とを接続しているレジスト配管１４ｂの長さに余裕を持たせることが可能な場合には、新しいパック式レジストボトル１０をその出口部１０ｂが上向きになるように立てた状態のまま、一体成形されているレジスト配管１４ａ端部を接続カプラ２０に取り付けてレジスト配管１４ｂ端部に接続してもよい。この場合は、新しいパック式レジストボトル１０に交換した後、このパック式レジストボトル１０を逆さにして所定の位置に吊設する。
【００３６】
このように、本実施形態に係るレジストコーティング装置によれば、レジスト液１２が充填されているパック式レジストボトル１０がその出口部１０ｂを下に向けて逆さに吊設されていることにより、レジスト液１２を安定的に供給しつつ、パック式レジストボトル１０内のレジスト液１２を余すことなく全て使い切ることが可能となる。従って、レジスト液１２の使用量を低減して、コストの低減を実現することができる。
【００３７】
なお、このコスト低減の効果は、ｇ線やｉ線のスペクトル光を用いるリソグラフィにおいて使用する比較的安価なレジスト液の場合であっても半導体生産ライン等において大量に使用する際には無視できないものであり、まして高価な化学増幅レジストを使用する場合には特に大きいものとなる。
【００３８】
また、パック式レジストボトル１０を交換する際に、レジスト配管１４ａ、１４ｂ中に空気が混入しても、交換された新しいパック式レジストボトル１０は逆さに吊設されるため、レジスト配管１４ａ、１４ｂ中に混入した空気はパック式レジストボトル１０内の上方に、即ち逆さにしたパック式レジストボトル１０内の底部の方に上昇していくことになる。従って、空気抜き作業が不必要となるため、交換作業の煩雑化を防止することができる。また、空気が混入したレジスト液１２を無駄に捨ててしまうこともなくなるため、コストの低減を実現することができる。
【００３９】
また、パック式レジストボトル１０を交換する際に、レジスト配管１４ａと一体成形されているパック式レジストボトル１０及びレジスト配管１４ａとレジスト配管１４ｂとを接続する接続カプラ２０を用いることにより、レジスト配管１４ａの接続カプラ２０からの取り外し及び接続カプラ２０への取り付けをワンタッチで行うことが可能になるため、上記図６に示されるように蓋を貫通している状態でレジスト配管をガラスビン製のレジストボトル内に差し込んでこの蓋をレジストボトルの口に螺合する従来の場合と比較すると、レジストボトルの交換作業を簡単かつ容易にすることができると共に、誤ってレジスト配管をレジストボトルその他に接触させて付着したダストをレジスト液中に持ち込むことを防止することもできる。
【００４０】
また、本実施形態に係るレジストコーティング装置に用いられるパック式レジストボトル１０が合成樹脂からなることにより、製造後にその内部を洗浄しなければならない従来のガラスビン製のレジストボトルと異なり、その製造過程からパック式レジストボトル１０をクリーンに保つことが可能になるため、この合成樹脂からなるパック式レジストボトル１０内に充填したレジスト液１２中にダストが混入することを防止することができ、コーティング不良や現像不良の原因となるダストの低減を実現することができる。
【００４１】
また、この合成樹脂からなるパック式レジストボトル１０は、従来のガラスビン製のレジストボトルと比べると軽量であるため、搬送その他の取扱い、特に上記図１に示されるように、その出口部１０ｂを下に向けて逆さに吊設する際の取扱いが容易になると共に、不注意によって落としても割れたりする恐れがなくなる。更に、使い切ったパック式レジストボトル１０の処理においても、焼却等によって簡単に処理することが可能になる。
【００４２】
また、このパック式レジストボトル１０は、その本体部１０ａが可塑性の合成樹脂で作られているため、内部のレジスト液１２が減少していくにつれて本体部１０ａが潰れていき、内部のレジスト液１２を完全に使い切った状態では、図２（ｂ）に示されるように、ぺしゃんこに潰れてしまう。従って、従来のガラスビン製のレジストボトルのように内部に加圧用Ｎ2 ガスを導入するためのガス導入管を挿入する必要もない。
【００４３】
なお、上記実施形態に係るレジストコーティング装置においては、パック式レジストボトル１０を交換する際に、レジスト配管１４ａと一体成形されているパック式レジストボトル１０及びレジスト配管１４ａとレジスト配管１４ｂとを接続する接続カプラ２０を用いて、このレジスト配管１４ａと接続カプラ２０との着脱をワンタッチで行っているが、こうした方法の代わりに、図４に示されるような方法を用いてパック式レジストボトルの交換を行ってもよい。
即ち、この場合に使用するパック式レジストボトル５０は、レジスト液を充填する本体部と口とを有し、この口に蓋５２を強く押し当ててはめ込むようになっている。また、この蓋５２には、他端をポンプ２２に接続するレジスト配管５４と一体成形されている。
【００４４】
このパック式レジストボトル５０内のレジスト液１２を使い切った場合、内部が空になったパック式レジストボトル５０の口から蓋５２を取り外して、パック式レジストボトル５０とレジスト配管５４とを分離した後、図４（ａ）に示されるように、レジスト配管５４と一体成形されている蓋５２を、内部にレジスト液１２が充填されている新しいパック式レジストボトル５０の口に強く押し当ててはめ込む。こうして、図４（ｂ）に示されるように、レジスト配管５４と一体成形されている蓋５２をパック式レジストボトル５０に取り付け、この蓋５２を介してパック式レジストボトル５０とレジスト配管５４とを接続し、パック式レジストボトル５０の交換を完了する。
【００４５】
この場合においても、レジスト配管５４と一体成形されている蓋５２をワンタッチでパック式レジストボトル５０に取り付けることが可能なため、上記実施形態の場合と同様の効果を奏することができる。
【００４６】
また、上記実施形態に係るレジストコーティング装置において逆さに吊設されているパック式レジストボトル１０は、その本体部１０ａが可塑性の合成樹脂で作られ、その出口部１０ｂが硬化性の合成樹脂で作られているが、この代わりに、本体部を含めて全体が硬化性の合成樹脂、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフロロエチレン）やＰＰ（ポリプロピレン）等で作られているパック式レジストボトルを用いてもよい。この場合においても、パック式レジストボトルが逆さに吊設されていることは上記実施形態の場合と同様であるため、レジスト液を安定的に供給しつつ、パック式レジストボトル内のレジスト液を余すことなく全て使い切ることが可能となり、レジスト液の使用量を低減して、コストの低減を実現することができる。
【００４７】
但し、上記実施形態の場合のように内部のレジスト液１２が減少していくにつれて可塑性の合成樹脂で作られている本体部が潰れていくことはないため、全体が硬化性の合成樹脂で作られているパック式レジストボトルの例えば出口部に常圧のＮ2 ガスを導入するためのガス導入管を挿入したりする必要が生じる。
【００４８】
更に、全体が硬化性の合成樹脂で作られているパック式レジストボトルの代わりに、上記図５に示した従来のガラスビン製のレジストボトルを用い、このガラスビン製のレジストボトルを逆さに吊設してもよい。この場合も、全体が硬化性の合成樹脂で作られているパック式レジストボトルが逆さに吊設されている場合と同様の効果を奏することができる。
【００４９】
但し、全体が硬化性の合成樹脂で作られているパック式レジストボトルの場合と同様に、例えば出口部に常圧のＮ2 ガスを導入するためのガス導入管を挿入したりする必要が生じるだけでなく、合成樹脂で作られているパック式レジストボトルと比べると遥に重くなるため、搬送その他の取扱い、特にその出口部を下に向けて逆さに吊設する際の取扱いが容易でなくなると共に、不注意によって落としたときに割れたりする恐れがある。
【００５０】
【発明の効果】
以上、詳細に説明した通り、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
即ち、請求項１に係るレジストコーティング装置に使用されるレジスト液を充填するレジストボトルが合成樹脂からなるパック式レジストボトルであることにより、製造後にその内部を洗浄しなければならない従来のガラスビン製のレジストボトルと異なり、その製造過程から合成樹脂からなるパック式レジストボトルをクリーンに保つことが可能になるため、この合成樹脂からなるパック式レジストボトル内に充填したレジスト液にダストが混入することを防止することができる。従って、コーティング不良や現像不良の原因となるダストの低減を実現することが可能になり、微細パターンの良好な形成に寄与することができる。また、この合成樹脂からなるパック式レジストボトルは、従来のガラスビン製のレジストボトルと比べると軽量であるため、搬送その他の取扱いが容易になると共に、不注意によって落としても割れたりする恐れがなくなる。また、使用後の処理においても、焼却等によって簡単に処理することが可能になる。
また、請求項１に係るレジストコーティング装置は、レジスト液が充填されたレジストボトルがレジスト液の出口を下向きにして逆さに設けられている構成とすることにより、レジスト液を安定的に供給しつつ、レジストボトル内のレジスト液を余すことなく全て使い切ることが可能となり、コストの低減を実現することができる。また、レジストボトル全体の重量を検出できるように重量センサを設けたから、レジスト液を使い切ってレジストボトル内が空になったことを容易に確認することができる。さらに、このレジストボトルは、内部が空になると扁平状（ぺしゃんこ）になるから、その後の搬送等の処理を簡便に行うことができる。
また、レジストボトルを交換する際に、たとえレジスト配管中に空気が混入しても、その空気はレジスト配管を通ってレジストボトル内の上方に上昇していくため、空気抜き作業が不必要となり、交換作業の煩雑化を防止することができるばかりでなく、空気が混入したレジスト液を無駄に捨ててしまうこともなくなり、コストの低減を実現することができる。
また、請求項１に係るレジストコーティング装置は、レジストボトルを別のレジストボトルと交換する際に、レジストボトルと配管とがワンタッチで着脱される構成とすることにより、従来のように蓋を貫通している状態でレジスト配管をレジストボトル内に差し込み、続いてこの蓋をレジストボトルの口に螺合する場合と比較すると、レジストボトルの交換作業を簡単かつ容易にすることができると共に、誤ってレジスト配管をレジストボトルその他に接触させて付着したダストをレジスト液中に持ち込む恐れもなくなり、ダストの低減を実現することができる。
【００５１】
また、請求項２に係るレジストコーティング装置では、上記態様で静電容量センサを配置したため、レジスト液を使い切ってレジストボトル内が空になったことを容易に確認することができる。また、このレジストコーティング装置では、その他の構成（接続カプラによる配管同士のワンタッチ着脱構造など）が請求項１と同様であるから、同様の効果が得られる。
また、請求項３に係るレジストコーティング装置では、重量センサおよび静電容量センサを上記態様で配置したため、レジスト液を使い切ってレジストボトル内が空になったことをより容易に、かつより的確に確認することができる。また、このレジストコーティング装置では、その他の構成（接続カプラによる配管同士のワンタッチ着脱構造など）が請求項１と同様であるから、同様の効果が得られる。
【００５２】
請求項４〜６に係るレジストコーティング装置では、レジストボトルを別のレジストボトルと交換する際に、レジスト配管と一体成形されている蓋をワンタッチでレジストボトルに取り付けることが可能であるため、請求項１〜３に係る発明の場合と同様に、レジストボトルの交換作業が簡単かつ容易になると共に、誤ってレジスト配管をレジストボトルその他に接触させて付着したダストをレジスト液中に持ち込む恐れもなくなり、ダストの低減を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るレジストコーティング装置を示す概略図である。
【図２】（ａ）は図１のレジストコーティング装置のパック式レジストボトルを側面から見た図、図２（ｂ）は図２（ａ）のパック式レジストボトル内のレジスト液を使い切った状態を示す図である。
【図３】図１のレジストコーティング装置のパック式レジストボトルの交換を説明するための図である。
【図４】図１のレジストコーティング装置のパック式レジストボトルの他の方法による交換を説明するための図である。
【図５】従来の標準的なレジストコーティング装置を示す概略図である。
【図６】図５のレジストコーティング装置のパック式レジストボトルの交換を説明するための図である。
【符号の説明】
１０…パック式レジストボトル、１０ａ…本体部、１０ｂ…出口部、１２…レジスト液、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、１４ｅ…レジスト配管、１６…重量センサ、１８…静電容量センサ、２０…接続カプラ、２２…ポンプ、２４…レジストフィルタ、２６…レジスト温調器、２８…レジストノズル、３０…ウェーハ、３２…ステージ、３４…スピンモータ、３６…コータカップ、３８…開口部、４０ａ、４０ｂ…押圧部、４２ａ、４２ｂ…締め付け部、５０…パック式レジストボトル、５２…蓋、５４…レジスト配管、６０…ガラスビン製のレジストボトル、６２…レジスト液、６４…重量センサ、６６…蓋、６８…ガス導入管、７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ…レジスト配管、７２…ポンプ、７４…レジストフィルタ、７６…レジスト温調器、７８…レジストノズル、８０…ウェーハ、８２…ステージ、８４…スピンモータ、８６…コータカップ、８８…開口部。
【図１】
0003826492.tif 000002
【図２】
0003826492.tif 000003
【図３】
0003826492.tif 000004
【図４】
0003826492.tif 000005
【図５】
0003826492.tif 000006
【図６】
0003826492.tif 000007