(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
隣り合うメッキ槽を有する２以上のメッキ工程により作製されるメッキ部材のメッキ方法において、メッキ槽に浸漬する浸漬時間が最短（ｓ）である工程の槽に浸漬するメッキ部材の数を１とし、これより長い浸漬時間（ｓ×ｘ）を要する工程の槽内に同時に浸漬しているメッキ部材の数を１×ｘとし、前記メッキ部材の大きさを判定し、前記メッキ部材の大きさに応じて電流値を自動的に設定することを特徴とするメッキ方法。
【請求項２】
浸漬時間ｓ内で前記メッキ部材を揺動させることを特徴とする請求項１に記載のメッキ方法。
【請求項３】
メッキ部材は一つづつ順次次工程のメッキ槽に搬送されるようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載のメッキ方法。
【請求項４】
隣り合うメッキ槽を有する２以上のメッキ工程により作製されるメッキ部材のメッキ装置において、各メッキ槽内のメッキ部材を所定距離移動させる槽内搬送機構と、前記メッキ部材を一つづつ順次次工程のメッキ槽に搬送する基板槽間搬送機構を設けるとともに、槽内に基板の大きさを判定する基板サイズ判定機構を有し、基板の大きさに応じた電流値を自動的に設定するようにしたことを特徴とするメッキ装置。
【請求項５】
基板槽間搬送機構がメッキ部材を引き上げる途中に液切り機構を設けたことを特徴とする請求項４記載のメッキ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は複数のメッキ工程を要する例えばプリント基板等のメッキ方法及びメッキ装置に関し、更に詳しくは一つの製品（若しくは半完成品）を順次一つづつ完成させる生産方式（１個流し）に用いて好適なメッキ方法及びメッキ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
はじめにプリント基板の製造工程の概要について図１４を用いて簡単に説明する。所定の大きさに加工された基材は穴明け工程を経て銅メッキが施され、表面にドライフィルムが施された後現像されてエッチングされる。次にソルダコートされて印刷され、外形加工を経て検査がおこなわれる。
【０００３】
図１５は上述の工程のうちのメッキ工程に用いられる装置を示す要部構成斜視図である。
図１５に示すメッキ装置は、チェーン１と駆動モータ２によりアーム３を上下させる機能と薬液槽（以下、単に槽という）１１の一端（背面）に設置された走行レール４上に配置された駆動モータ５及び走行車輪６によって左右に移動する基板搬送手段１００を有している。図では省略するが、基板搬送手段１００はメッキ工程（槽）が多い場合は走行レール４上に複数台設けられ、所定の範囲の工程を担当する。
【０００４】
アーム３の先端には三角状の受具１０が設けられており、基板保持機構７に設けられた同形状の突起９で受具１０をすくい上げ次工程の薬液槽１１の上に設置された基板受け１２に移動する。
アームは図示しない制御手段内にあらかじめプログラムされた制御ソフトによって運用され、基板を薬液槽１１に浸漬する時間、走行する順序どおりに動作する。
【０００５】
また、薬液槽１１には空気シリンダ１３を用いた揺動機構が設けられており、基板品質向上のために基板を特定された周期で左右に移動させるようになっている。この揺動機構もあらかじめプログラムされた制御ソフトによって運用される。
【０００６】
図１６(a)は従来の基板保持機構７の構成を示す斜視図で、三角状受具１０、基板保持枠１４、基板固定金具１５、基板受け１６により形成されている。
図１６(b)は基板の固定状態を示す図１６(a)のＡ−Ａ断面を示すもので、基板８は基板受け１６に下辺が載置された後、基板固定金具１５a，１５bの間に挟み込まれ先端部のレバー１５ｃを押すことにより固定される。また、基板８の幅が変化した場合は基板固定金具１５を基板保持枠上部１８上でスライドさせて調整する。
【０００７】
図１７は基板８が薄板状の場合に使用されるもので、薄板保持枠１９とこの薄板保持枠１９上に設けられた鍵の手１２０の隙間に基板８を差込み、基板８を保持した後、基板保持機構７（図１６）に固定する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような従来のメッキ方法及びメッキ装置においては、
▲１▼アームによって搬送される基板保持機構７が槽を一つづつ順次移動していくので一つの槽には一つの基板しか浸漬できず、浸漬時間に長短がある場合、メッキ工程は長い浸漬工程に追従し浸漬時間の速い工程のものは待ち時間が生じることとなる。
▲２▼  基板保持機構７の基板固定金具１５に基板厚み調整機構が無い（基板固定金具で挟み込むだけの固定）ため基板の厚みに制限がある。
【０００９】
▲３▼  基板受け１６に載置したうえで基板固定金具１５で挟み込む方式であり、基板の長さが異なる場合基板受け１６が機能せず、基板重量が増加すると基板が脱落する恐れがある。
▲４▼  基板が薄板状の場合、薄板保持枠１４で基板を保持するが、保持枠の重量に制限があるので剛性の確保が難しく消耗品扱いとなる。
【００１０】
▲５▼  槽メンテナンス上、作業者側空間を確保するため片持ち構造となっているが、経年変化によってフレームと停止センサの距離が変わり易く度々調整作業が発生する。
▲６▼  アーム１つに対して１つの基板保持機構を移動させる構成なので、工程処理時間に対して、搬送時間が相対的に長く、処理リードタイムが伸びる。
【００１１】
▲７▼  基板保持枠が必要なため保持枠に付着した薬液が液ダレにより基板上に染みを形成して品質の低下をもたらしたり、次工程槽に持ち込まれて次工程槽の薬液を劣化させて基板品質を低下させる。また、劣化による薬液交換頻度が高くなり廃液処理費が増加する。
【００１２】
▲８▼  基板の大きさ、板厚毎に基板保持機構を変更し、バッチ処理により作業を行っているので、一つの製品（若しくは半完成品）を順次一つづつ完成させる生産方式（１個流し）に対応できない。
等の問題があった。
【００１３】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、一つの製品（若しくは半完成品）を順次一つづつ完成させる生産方式（１個流し）に対応させ、一つの基板の処理開始から終了までのリードタイムの短縮を図ったメッキ方法及びメッキ装置を実現することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために本発明では、請求項１においては、
隣り合うメッキ槽を有する２以上のメッキ工程により作製されるメッキ部材のメッキ方法において、メッキ槽に浸漬する浸漬時間が最短（ｓ）である工程の槽に浸漬するメッキ部材の数を１とし、これより長い浸漬時間（ｓ×ｘ）を要する工程の槽内に同時に浸漬しているメッキ部材の数を１×ｘとし、前記メッキ部材の大きさを判定し、前記メッキ部材の大きさに応じて電流値を自動的に設定することを特徴とする。
【００１５】
請求項２においては、請求項１に記載のメッキ方法において、
浸漬時間ｓ内で前記メッキ部材を揺動させることを特徴とする
請求項３においては、請求項１又は２に記載のメッキ方法において、
メッキ部材は一つづつ順次次工程のメッキ槽に搬送されるようにしたことを特徴とする。
【００１６】
請求項４においては、隣り合うメッキ槽を有する２以上のメッキ工程により作製されるメッキ部材のメッキ装置において、各メッキ槽内のメッキ部材を所定距離移動させる槽内搬送機構と、前記メッキ部材を一つづつ順次次工程のメッキ槽に搬送する基板槽間搬送機構を設けるとともに、槽内に基板の大きさを判定する基板サイズ判定機構を有し、基板の大きさに応じた電流値を自動的に設定するようにしたことを特徴とする。
【００１７】
請求項５においては、請求項４に記載のメッキ方法において、
基板槽間搬送機構がメッキ部材を引き上げる途中に液切り機構を設けたことを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の実施形態の一例を示す要部構成図であり、図２は図1の要部拡大図である。尚、これらの図では隠れた部分を一部透視した状態で示している。
本発明では基板保持機構１０３を固定フレーム４２ａ，４２ｂの固定フレームを用いて両持ち機構で保持する。１０１は基板を隣り合う槽に搬送する基板槽間搬送機構（以下、単に槽間搬送機構という）である。個々の機構について以下に説明する。
【００１９】
図３は図１，図２に示す槽間搬送機構１０１の原理を示す構成斜視図である。この槽間搬送機構１０１は各槽毎に１つ設けられており、両持ちの支持部材に支持されていて、一方の（例えばＰで示す）側のチェーンスプロケット３９ｂが矢印Ｑ方向に所定の距離移動（図２のＰ'で示す位置）して、槽３７のメンテナンスが可能となるように構成されている。
【００２０】
この槽間搬送機構１０１は、チェーン３２、レバー３３０の先端に形成されたフック３３、スプライン軸３４、可変速モータ３５で構成され、等長のチェーン３２ａ、３２ｂ、レバー３３０及びフック３３は槽３７を挟んで１対配置される。可変速モータ３５からの駆動力は駆動伝達ベルト３５ａを介してチェーン３２ａに伝達され、チェーン３２ａに固定されたレバー３０３ａ及びフック３３ａは５ヶ所に配置されたチェーンスプロケット３９ａの周囲を回転し５角形の移動軌跡を描く。
【００２１】
また、可変速モータ３５の駆動力はスプライン軸３４を介して反対側のチェーン３２ｂ側にも伝達され、同様にレバー３３０ｂ及びフック３３ｂを回転させる。等長チェーン３２ａ、３２ｂにより１対のフックは同期しての回転する。
今、点Ａにて基板保持機構１０３（図２参照）を捕らえれば点Ｂまで上昇し、点Ｂから点Ｃまで右方向に移動し、点Ｄまで下降させることができる。
【００２２】
つまり、点Ａから点Ｂで基板８を槽３７ａから引き上げ、点Ｂから点Ｃで次工程槽３７ｂに基板を移動させ、点Ｃから点Ｄで基板を槽３７ｂ内に降ろすことができる。この槽間搬送機構１０１は槽の数量分配置されており、基板はラインの入り口から出口まで搬送される。また、槽の数量分配置された槽間搬送機構１０１は同期して動作するようにプログラミングされているため搬送時間を短くすることができる。
【００２３】
図４(a)〜(ｃ)は槽間搬送機構１０１のチェーン３２とチェーンスプロケット３９，レバー３３０，フック３３及び基板保持機構１０３の関係を示すもので、図４（ｂ）で示すようにチェーン３２にはレバー３３０が固定され、その先端部にフック３３の一端が固定されており、フック３３の他端はレバー３３０から直角方向に突き出している。
【００２４】
図４(a)に示すようにチェーン３２が矢印Ａ方向に進行するとレバー３３０はチェーンスプロケット３９のところで点線で示す矢印Ｂ方向に下部３角状突起１４２ｂに接触しない状態で回動し、フック３３の先端部分が上部３角状突起１４２ａをすくい上げる。図４（ｃ）はチェーンが回転しフック３３が下降状態になった場合を示しており、フックと上部３角状突起１４２ａの接触部は滑ることによって基板保持機構１０３を垂直状態に保持する。
【００２５】
図５は槽内搬送機構１０２の要部を示す斜視図である。この槽内搬送機構１０２は槽１つに対して一つ設けられており、固定フレーム４２により支持されている。この槽内搬送機構１０２は可変速モータ４５、同期軸４６、チェーンスプロケット４７ａ、チェーン４８ａ、ブラケット（三角状突起）４９で構成されており、可変速モータ４５の駆動力は同期軸４６につながった無端ベルト５０ａを介しチェーンスプロケット４７ａに伝達されチェーン４８ａを駆動する。
【００２６】
同様に槽の反対側に配置されたチェーン４８ｂにも同期軸４６を介して駆動力が伝達される。チェーン４８ａ，ｂにはブラケット４９が決められたピッチで等間隔に配置されており、ブラケット４９に基板保持機構１０３の三角状突起１４２ｂ(図４参照)が嵌まり合うことによって１サイクルタイム（工程が完了する最短の槽の浸漬時間）で１ピッチ槽の中を移動する。
【００２７】
今、この槽の薬液処理時間を４０秒とし、サイクルタイムが１０秒とすれば搬送ピッチの移動時間は１０秒であり槽に投入された基板は右方向に４ピッチ移動することにより薬液処理時間４０秒を確保できる。つまり、槽にいつも投入されている基板枚数は４枚となる（工程が完了する最短の槽の場合は槽にいつも投入されている基板枚数は１枚となる）。
【００２８】
図１，２，３に示す槽間搬送機構１０１によりＡ点に投入された基板はＢ点まで４ピッチ（４０秒）搬送され、Ｂ点で隣に配置された槽間搬送機構により次工程の槽に移送される。尚、サイクルタイム時間内で１ピッチ移動する間において可変速モータ４５の回転方向の正逆をある時間で切り替えて揺動させ、薬液を基板に均一に作用させることができる。
【００２９】
図６は槽内搬送機構１０２，槽間搬送機構１０１及びサイクルタイム（ｔ１）と槽内に配置される基板８の数の関係を示すものである。ここでは、槽３７ｂでの浸漬時間（サイクルタイムｔ１）が一番短く、槽３７ａはｔ１の２倍、槽３７ｃはｔ１の４倍の浸漬時間を要する。なお、各槽内の搬送速度は同一とし、各槽のＡ，Ｂ…Ｅ間の距離は同じとする。
【００３０】
槽間搬送機構１０１により槽３７ａのＡの位置に浸漬された基板８は槽内搬送機構１０２によりこの槽での処理時間ｔ１×２時間の間にＣ点に搬送され、槽間搬送機構１０１によりｔ２の時間で隣の槽１１ｂのＡ点に搬送される。この槽での浸漬時間はｔ１なので槽内搬送機構１０２によりｔ１をかけてＢ点まで搬送された時点で槽間搬送機構１０１により引き上げられる。尚、槽内には定められた個数が常に存在するように基板が供給されるものとする。
【００３１】
そして、基板８０は槽間搬送機構１０１によりｔ２の時間をかけて槽１１ｃのＡ点に搬送される。この槽での処理時間はｔ１×４なのでＡ点からｔ１×４の時間をかけてＥ点まで搬送され、槽間搬送機構１０１により引き上げられて次工程に送られる。
【００３２】
従って基板は長時間の処理（浸漬）が必要な槽があってもはじめの１個が所定の全行程を経て処理された後は最短処理時間が経過するごとに１個づつ流れることになる。
【００３３】
そしてここでは、処理時間に応じて槽３７ｂの整数倍の数の基板が槽３７ａ，３７ｃに浸漬されており、槽３７ｃのＥの位置から順次１個ずつ次工程に搬送される。従って前工程から搬送されて槽３７ａのＡに浸漬された基板は（ｔ１×７）＋（ｔ２×２）の時間を要するメッキ工程となる。
【００３４】
また、槽間搬送機構１０１には独立して可変速モータ３５が装備されているので基板の種類に応じて１）引き上げ、２）右移動、３）下降、４）停止の各時間を任意に変更することができる。
【００３５】
図７は本発明に使用する基板保持機構１０３の斜視図である。この基板保持機構１０３は基板支持部２０、基板支持金具２１、基板保持枠２７、薄板保持枠支持金具２８により構成される。
尚、一点鎖線で囲った薄板保持機構２２は基板の厚さが例えば１mm以下の場合に使用されるもので、１mm以上の厚さの基板の場合は取外されている。
図８(a)は図７に示す基板支持金具２１のＢ−Ｂ断面図、図８(b)は図８(a)のＺ視図である。
【００３６】
基板支持金具２１はフレーム２９、レバー２３、支持ピン２４、スプリング２５、ボールプランジャー２６、薄板保持枠支持金具２８、固定板３２、この固定板の下部に植設された固定ピン８ａにより構成され、レバー２３の一端が固定された軸２９ｃを支点として２点鎖線で示す方向に回動可能とされている。
【００３７】
基板８をこの基板支持金具２１に固定する際は基板８に加工された穴に固定ピン８ａを通した後、レバー２３を矢印Ｙ方向に回動させフレーム２９の下部に形成された孔に固定ピン８ａを通して固定するが、基板８はフレーム２９ａ，２９ｂ間に支持されたスプリング２５により押圧される。その場合、フレーム２９ｂ側は板厚の変化に追従する。
【００３８】
また、基板支持金具２１は基板保持機構１０３の基板保持枠２７上に形成された皿状の窪み２４ａ（図７参照）にボールプランジャー２６の先端ボール部が入り込むことによって基板幅方向が規制される。基板保持枠２７上に形成された皿状窪み２７ａを基板幅の種類だけ設けておくことにより、基板幅の変化に容易に追従させることができる
【００３９】
図９は例えば１mm以下の基板をメッキ処理する場合に図７に示す薄板保持機構２２を使用する場合の一部断面斜視図である。薄板保持枠３１の一端が薄板保持金具２８に形成された孔に差し込まれ、固定つまみ５１により固定される。薄板保持枠３１の下方には幅補強枠３０及び薄板保持ピン２９が設けられているが、この保持ピン２９は正面（図７のＺ視）から見た場合に、下方にα、外（広がり）方向にβの角度（例えばそれぞれ１０度程度）傾けて設けられている。
【００４０】
保持ピン２９に角度を設ける理由は、１ｍｍ以下の基板を基板保持機構１０３に固定する場合、基板の下部に形成された孔（図示省略）に挿入して上方に引っ張った状態で固定するが、その時このピン２９から抜けないようにするためである。基板長さを変更する際には薄板保持機構２２を基板保持枠支持金具２８より外し、他の保持機構（図示省略）に変更する。
【００４１】
この薄板保持機構２２は基板との接触が薄板保持ピン２９、及び薄板保持機構２２及び幅補強枠３０のみのため、薬液の付着が少なく、したがって薬液の他の槽への持ち込みによる薬液の品質悪化に伴う基板の品質低下、廃液処理の増加、及び液ダレによる基板品質の悪化を防ぐことが可能である。
【００４２】
図１０は基板８の両面に付着した薬液の液切り機構１０４を示す斜視図である。この液切り機構１０４も図１，２に示す固定フレーム４２に固定されている。空気シリンダ５７の直動動作でガイド５８により保持されたラック５９を上下させると１端を固定された回転軸の先端に付けられたピニオン６０を回転させる。
【００４３】
ピニオン６０の一端にはアーム６１が設けられ、アーム６１はピニオン軸廻りにある角度回転する。アーム６１の先端には吸水ロール６２が取り付けられており、吸水ロール６２は基板８に一定の圧力で押し付けられる。この機構は吸水ロール６２の両端に1対あり、更に基板８の裏面にも配置されるため、基板８は２本の吸水ロールによって挟まれる。
【００４４】
吸水ロール６２の機能を図１１に示す。吸水ロール６２は気孔を持つ弾性体６４を硬質の軸６５で保持されており槽間搬送機構の上昇動作によって吸水ロール６２に回転力が与えられＢ点では脱水をＡ点では吸水が連続的に行われる。この液切り機構１０４は薄板状の基板には適さない。
【００４５】
薄板の場合、基板保持機構１０３には薄板保持機構２２が付加されるので図１０に示すように薄板保持枠３１を透過型センサ６７、６８で検出して薄板、厚板の判別を行い、厚板のみ液切り動作を行う。
図１２は吸水ロール６２とアーム６１の着脱関係を示す斜視図である。吸水ロール６２の軸端にはアーム６１の厚さに見合った幅の溝６３が形成されており溝部をアーム６１の切り欠きＡに差し込むことにより行われる。槽メンテナンスに際して槽間搬送機構１０１の可動フレーム４１が移動する際吸水ロール６２は取り外される。この液切り機構１０４は基板の幅、長さ、限られた板厚の範囲で基板を選ばずに液切りすることができる。
【００４６】
図１３は基板サイズ選別機能を説明するための正面図である。ライン内の特定工程では薬液槽内の基板、液間に通電する必要があり、基板表面積の大小により電流値を変更する必要がある。そのような工程が必要な基板８が複数種類ある場合、各々の基板表面に対応した位置に反射型光センサ７０を基板面に対し垂直に配置してその反射を検出する。その信号に対応して基板種類を選別し基板種類に応じた電流値を自動的に設定することができる。
【００４７】
なお、図では省略するが反射型センサ７０は対象となる槽３７の側面に設置されており、例えばａのセンサのみに反射が検出された場合はその基板の大きさはａ' ×ｅ'であり、ａ〜ｄとｇのセンサに反射が検出された場合はその基板の大きさはｄ' ×ｆ'の大きさであると判断してその大きさに対応した電流値を出力する。
【００４８】
本発明の以上の説明は、説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの変更、変形をなし得ることは当業者に明らかである。本実施例ではメッキ部材を基板として説明したが、複数のメッキ工程を必要とし、順次１個ずつ完成させるプロセスであれば基板以外のものであってもよい。特許請求の範囲の欄の記載により定義される本発明の範囲は、その範囲内の変更、変形を包含するものとする。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、
隣り合うメッキ槽を有する２以上のメッキ工程により作製されるメッキ部材のメッキ方法において、メッキ槽に浸漬する浸漬時間が最短（ｓ）である工程の槽に浸漬するメッキ部材の数を１とし、これより長い浸漬時間（ｓ×ｘ）を要する工程の槽内に同時に浸漬しているメッキ部材の数を１×ｘとし、前記メッキ部材の大きさを判定し、前記メッキ部材の大きさに応じて電流値を自動的に設定するようにしたので、一つの製品（若しくは半完成品）を順次一つづつ完成させる生産方式（１個流し）に対応させ、一つの基板の処理開始から終了までのリードタイムの短縮を図ったメッキ方法及びメッキ装置を実現することができた。
【００５０】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のメッキ装置の実施の形態の一例を示す要部斜視図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】図１，図２に示す槽間搬送機構の原理を示す構成斜視図である。
【図４】槽間搬送機構の動作を示す図である。
【図５】槽内搬送機構の要部を示す斜視図である。
【図６】槽内搬送機構，槽間搬送機構及びサイクルタイムと槽内に配置される基板の数の関係を示す図である。
【図７】本発明に使用する基板保持機構の斜視図である。
【図８】図７に示す基板支持金具のＢ−Ｂ断面図（ａ）及び(a)図のＺ視図である。
【図９】薄板保持機構の一部断面斜視図である。
【図１０】薬液の液切り機構を示す斜視図である。
【図１１】吸水ロールの機能を示す図である。
【図１２】吸水ロールとアームの着脱関係を示す斜視図である。
【図１３】基板サイズ選別機能を説明するための正面図である。
【図１４】プリント基板の製造工程の概要を示す図である。
【００５１】
図１５は上述の工程のうちのメッキ工程に用いられる装置を示す要部構成斜視図である。
【図１５】従来のメッキ装置をと示す要部斜視図である。
【図１６】従来の基板保持機構の構成を示す斜視図である。
【図１７】従来の薄板保持装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
８        基板
２０      基板支持部
２１      基板支持金具
２２      薄板保持機構
２３      レバー
２７      基板保持枠
２７a    皿状窪み
２８      薄板保持枠支持金具
２９      薄板保持ピン
３０      幅補強枠
３１      薄板保持枠
３２，４８  チェーン
３３      フック
３４      スプライン軸
３５，４５  可変速モータ
３５ａ    駆動伝達ベルト
３７      槽
３９，４７  チェーンスプロケット
４１      可動フレーム
４２      固定フレーム
４３      シャフト
４６      同期軸
４９      ブラケット（３角状突起）
５０      無端ベルト
５１      固定つまみ
６１      アーム
６２      吸水ロール
６３      溝
６４      弾性体
６５      軸
７０      反射型センサ
１０１    槽間搬送機構
１０２    槽内搬送機構
１０３    基板保持機構
１４２ａ  上部３角状突起
１４２ｂ  下部３角状突起
３３０    レバー
【図１】
0003797409.tif 000002
【図２】
0003797409.tif 000003
【図３】
0003797409.tif 000004
【図４】
0003797409.tif 000005
【図５】
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【図６】
0003797409.tif 000007
【図７】
0003797409.tif 000008
【図８】
0003797409.tif 000009
【図９】
0003797409.tif 000010
【図１０】
0003797409.tif 000011
【図１１】
0003797409.tif 000012
【図１２】
0003797409.tif 000013
【図１３】
0003797409.tif 000014
【図１４】
0003797409.tif 000015
【図１５】
0003797409.tif 000016
【図１６】
0003797409.tif 000017
【図１７】
0003797409.tif 000018