(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板に形成された接続孔と、
前記接続孔に形成された接続端子と、
前記接続端子に接続され、前記基板上に形成された導電パターンと、
前記基板及び前記導電パターン上に形成された異方性導電膜と、
第１の面と該第１の面に対向する第２の面とを有し、該第１の面が前記異方性導電膜に接するように、フェースダウンボンディングされた半導体チップと、を含み、
前記半導体チップの側面及び該半導体チップの前記第２の面の端部を被覆するように樹脂が形成され、且つ、該半導体チップの第２の面の一部の領域には、該樹脂が形成されていない、半導体装置。
【請求項２】
請求項１において、前記基板の周辺に、樹脂流れ止め部が形成されている、半導体装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記樹脂は、ポリイミド又はエポキシである、半導体装置。
【請求項４】
基板上に導電パターンを形成する工程と、
前記基板及び前記導電パターン上に異方性導電膜を形成する工程と、
第１の面と該第１の面に対向する第２の面とを有し、該第１の面が前記異方性導電膜に接するように、半導体チップをフェースダウンボンディングする工程と、
前記半導体チップの側面及び該半導体チップの前記第２の面の端部を被覆するように樹脂を形成する工程と、を含み、
前記樹脂は、前記半導体チップの第２の面の一部の領域には、形成されていない、半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４において、前記基板の周辺に、樹脂流れ止め部が形成されている、半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項４又は５において、前記樹脂は、ポリイミド又はエポキシである、半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置及びその製造方法に係わり、特に、一方の主面に導電パターンと異方性導電膜が形成された基板に半導体チップをフェース・ダウン・ボンディングした半導体装置及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図３は、従来の半導体装置（エリアアレイパッケージ）の一例を示す断面図である。
【０００３】
この半導体装置はポリイミド基板１１を有し、このポリイミド基板１１の上面にはメッキを施した銅配線１３が形成されている。また、ポリイミド基板１１には接続孔が設けられており、この接続孔は銅配線１３に接続されている。ポリイミド基板１１の下面には半田ボール１５が取り付けられており、半田ボール１５は接続孔を介して銅配線１３に接続されている。銅配線１３及びポリイミド基板１１の上には異方性導電膜（Anisotropic Conductive Film）７が配置されている。
【０００４】
ポリイミド基板１１の上面上には半導体チップ１がフェース・ダウン・ボンディングにより実装されている。この半導体チップ１には金バンプ５が設けられており、金バンプ５は銅配線１３に電気的に接続されている。半導体チップ１の裏面のマーク印刷部４にはマークが印刷されている。
【０００５】
次に、図３に示す半導体装置の製造方法について説明する。
【０００６】
まず、金バンプ５を有する半導体ウエハを準備し、この半導体ウエハをダイシングすることにより複数の半導体チップ１を形成する。
【０００７】
この後、上面に銅配線１３と異方性導電膜７が形成されたポリイミド基板１１を準備し、このポリイミド基板１１の上面側に複数の半導体チップ１をフェース・ダウン・ボンディングする。これにより、半導体チップ１は金バンプ５を介して銅配線１３に電気的に接続される。
【０００８】
次に、半導体チップ１の裏面のマーク印刷部４にマーク（図示せず）を印刷する。この後、ポリイミド基板１１の下面側の接続孔上に半田ボール１５を取り付け、この半田ボールを接続孔を介して銅配線１３に電気的に接続する。
【０００９】
次に、ポリイミド基板１１を切断することにより、一つの半導体チップ１毎に分離する。このようにして図３に示す半導体装置を製造する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来の半導体装置では、半導体チップ１の裏面及び側面のＳｉがむき出しの状態となっているため、半導体チップ１にクラックが発生することがあり、そのクラックが半導体チップの能動面に達して半導体チップ１が不良となることがある。また、このクラックは特に半導体チップ１の裏面のエッジ部が欠けるといった形で発生することが多かった。
【００１１】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、半導体チップにクラックが生じることによるチップ不良の発生を抑制した半導体装置及びその製造方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置は、基板と、前記基板に形成された接続孔と、
前記接続孔に形成された接続端子と、前記接続端子に接続され、前記基板上に形成された導電パターンと、前記基板及び前記導電パターン上に形成された異方性導電膜と、第１の面と該第１の面に対向する第２の面とを有し、該第１の面が前記異方性導電膜に接するように、フェースダウンボンディングされた半導体チップと、を含み、前記半導体チップの側面及び該半導体チップの前記第２の面の端部を被覆するように樹脂が形成され、且つ、該半導体チップの第２の面の一部の領域には、該樹脂が形成されていない。
【００１３】
本発明の半導体装置は、前記半導体装置において、前記基板の周辺に、樹脂流れ止め部が形成されている。
【００１４】
本発明の半導体装置は、前記半導体装置において、請求項１又は２において、前記樹脂は、ポリイミド又はエポキシである。
【００１５】
本発明の半導体装置の製造方法は、基板上に導電パターンを形成する工程と、前記基板及び前記導電パターン上に異方性導電膜を形成する工程と、第１の面と該第１の面に対向する第２の面とを有し、該第１の面が前記異方性導電膜に接するように、半導体チップをフェースダウンボンディングする工程と、前記半導体チップの側面及び該半導体チップの前記第２の面の端部を被覆するように樹脂を形成する工程と、を含み、前記樹脂は、前記半導体チップの第２の面の一部の領域には、形成されていない。
【００１６】
本発明の半導体装置の製造方法は、前記半導体装置の製造方法において、前記基板の周辺に、樹脂流れ止め部が形成されている。
【００１７】
本発明の半導体装置の製造方法は、前記半導体装置の製造方法において、前記樹脂は、ポリイミド又はエポキシである。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。
【００２２】
図１は、本発明の第１の実施の形態による半導体装置を示す断面図である。
【００２３】
この半導体装置はポリイミド基板１１を有し、このポリイミド基板１１の周囲には樹脂流れ止め部１１ａが形成されている。この樹脂流れ止め部１１ａは、ポリイミド基板１１の上面上に延出し、後記半導体チップ１を囲むように形成されている。また、ポリイミド基板１１の上面には配線パターン１３が形成されている。この配線パターン１３としては、例えばメッキを施した銅配線が用いられる。また、ポリイミド基板１１には接続孔が設けられており、この接続孔は配線パターン１３に接続されている。ポリイミド基板１１の下面には接続端子１５が取り付けられており、接続端子１５としては例えば半田ボールが用いられる。接続端子１５は接続孔を介して配線パターン１３に接続されている。配線パターン１３及びポリイミド基板１１の上には異方性導電膜７が配置されている。
【００２４】
ポリイミド基板１１の上面上には半導体チップ１がフェース・ダウン・ボンディングにより実装されている。この半導体チップ１には金バンプ５が設けられており、金バンプ５は配線パターン１３に電気的に接続されている。
【００２５】
半導体チップ１の裏面のエッジ部及び側面は樹脂部１７で被覆されている。この樹脂部１７としては、例えば、ポリイミド又はエポキシが用いられる。また、半導体チップ１の裏面のマーク印刷部４にはマークが印刷されている。
【００２６】
上記第１の実施の形態によれば、半導体チップ１の裏面のエッジ部に樹脂部１７を設け、この樹脂部１７により半導体チップの裏面のエッジ部がむき出しになることがないように保護している。このため、従来の半導体装置のように半導体チップのエッジ部に欠けやクラックが発生することを抑えることができる。したがって、その欠けやクラックが半導体チップの能動面に達して半導体チップ１が不良となることを抑制できる。
【００２７】
次に、図１に示す半導体装置を製造する方法について説明する。
【００２８】
まず、金バンプ５を有する半導体ウエハを準備し、この半導体ウエハをダイシングすることにより複数の半導体チップ１を形成する。
【００２９】
この後、上面にメッキを施した銅配線１３と異方性導電膜７が形成されたポリイミド基板１１を準備する。このポリイミド基板１１の周囲には樹脂流れ止め部１１ａが形成されており、この樹脂流れ止め部１１ａは、ポリイミド基板１１の上面上に延出している。このポリイミド基板１１には、銅配線１３に接続された接続孔が形成されている。
【００３０】
次に、ポリイミド基板１１の上面側に複数の半導体チップ１をフェース・ダウン・ボンディングする。これにより、半導体チップ１は金バンプ５を介して銅配線１３に電気的に接続される。
【００３１】
この後、半導体チップ１の裏面のエッジ部及び側面に樹脂１７をポッティング（滴下）する。この際、ポリイミド基板１１の周囲に樹脂流れ止め部１１ａが形成されているため、ポッティングした樹脂１７が半導体チップ１の裏面のエッジ部から流れ落ちるのを止めることができ、その結果、該エッジ部に樹脂１７を充分に被覆することができる。
【００３２】
次に、樹脂１７を所定の温度でベークすることにより、半導体チップ１の裏面のエッジ部及び側面に樹脂部１７が形成される。
【００３３】
この後、半導体チップ１の裏面のマーク印刷部４にマーク（図示せず）を印刷する。次に、ポリイミド基板１１の下面側の接続孔上に半田ボール１５を取り付け、この半田ボールを接続孔を介して銅配線１３に電気的に接続する。
【００３４】
次に、ポリイミド基板１１を切断することにより、一つの半導体チップ１毎に分離する。このようにして図１に示す半導体装置を製造する。
【００３５】
尚、上記第１の実施の形態による半導体装置の製造方法では、ポリイミド基板１１に半導体チップ１をフェース・ダウン・ボンディングした後、半導体チップ１の裏面のエッジ部及び側面に樹脂部１７を形成し、次に、マーク印刷を行っているが、ポリイミド基板１１に半導体チップ１をフェース・ダウン・ボンディングし、マーク印刷を行った後、半導体チップ１の裏面のエッジ部及び側面に樹脂部１７を形成することも可能であり、また、ポリイミド基板１１に半導体チップ１をフェース・ダウン・ボンディングし、マーク印刷を行い、ポリイミド基板１１の下面側の接続孔上に半田ボール１５を取り付けた後、半導体チップ１の裏面のエッジ部及び側面に樹脂部１７を形成することも可能である。
【００３６】
図２は、本発明の参考例による半導体装置を示す断面図であり、図１と同一部分には同一符号を付し、異なる部分についてのみ説明する。
【００３７】
半導体チップ１の裏面全体及び側面全体は樹脂膜１８で被覆されている。この樹脂部１８としては、例えば、ポリイミド又はエポキシが用いられる。
【００３８】
上記参考例においても第１の実施の形態と同様の効果を得ることができ、しかも、半導体チップ１のエッジ部及び側面だけでなく裏面全体を樹脂膜１８で被覆しているため、半導体チップ１へのクラックの発生をより抑えることができる。
【００３９】
次に、図２に示す半導体装置を製造する方法について説明するが、図１の半導体装置の製造方法と同一部分の説明は省略する。
【００４０】
ポリイミド基板１１に半導体チップ１をフェース・ダウン・ボンディングした後、半導体チップ１の裏面全体及び側面全体に樹脂１８をポッティング（滴下）する。この際、ポリイミド基板１１の周囲に樹脂流れ止め部１１ａが形成されているため、ポッティングした樹脂１８が半導体チップ１の側面から流れ落ちるのを止めることができ、その結果、裏面全体及び側面全体に樹脂１８を充分に被覆することができる。
【００４１】
次に、樹脂１８を所定の温度でベークすることにより、半導体チップ１の裏面全体及び側面全体に樹脂部１８が形成される。
【００４２】
この後、半導体チップ１の裏面上の樹脂部のマーク印刷部４にマーク（図示せず）を印刷する。次に、半田ボール１５を取り付けた後、ポリイミド基板１１を切断する。このようにして図２に示す半導体装置を製造する。
【００４３】
尚、本発明は上記第１及び参考例の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、上記実施の形態は、種々のエリアアレイパッケージに適用することが可能である。
【００４４】
また、上記実施の形態では、ポリイミド基板１１を用いているが、他の基板を用いることも可能であり、例えばセラミック基板を用いることも可能である。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、半導体チップの裏面のエッジ部に樹脂を被覆している。したがって、半導体チップにクラックが生じることによるチップ不良の発生を抑制した半導体装置及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施の形態による半導体装置を示す断面図である。
【図２】  本発明の参考例による半導体装置を示す断面図である。
【図３】  従来の半導体装置（エリアアレイパッケージ）の一例を示す断面図である。
【図１】
0003743216.tif 000002
【図２】
0003743216.tif 000003
【図３】
0003743216.tif 000004