(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記吸排気口に対する閉成状態と離脱状態との間で上下移動自在に支持し、かつ離脱状態で保持可能な付加蓋支持機構とを備え、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボックスを用いるとともに、前記付加蓋が重力により前記吸排気口から離脱した離脱状態で前記付加蓋支持機構によって保持されていることを感知するセンサを有する真空チェンジャーを用い、
前記真空チェンジャーに前記クリーンボックスが結合された状態で、前記センサにより前記付加蓋の離脱状態を感知することで、前記クリーンボックスの気密封止不良を検出することを特徴とするクリーン搬送方法。
【請求項２】
一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記吸排気口に対する閉成状態と離脱状態との間で上下移動自在に支持し、かつ離脱状態で保持可能な付加蓋支持機構とを備え、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボックスを用いるとともに、前記付加蓋が重力により前記吸排気口から離脱した離脱状態で前記付加蓋支持機構によって保持されていることを感知するセンサを有する真空チェンジャーを用い、
側壁面に形成されたゲート口をゲート弁で気密に閉成したクリーン装置の当該ゲート口に、前記クリーンボックスを気密に連結し、前記センサで前記付加蓋の離脱状態が感知されなければ、前記真空チェンジャーで前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気して前記付加蓋の内外圧力差を無くし、前記前記付加蓋を前記吸排気口より離脱させて前記吸排気口を開き、前記吸排気口を通して前記吸着用空間を大気圧とした後、前記ゲート弁で前記横蓋を保持して前記クリーン装置内に引き込んで前記クリーンボックス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通させ、両者間で被搬送物を移送することを特徴とするクリーン搬送方法。
【請求項３】
前記横蓋を開く前において前記センサで前記付加蓋の離脱状態が感知されたときは、前記クリーンボックスの気密封止不良として前記真空チェンジャーは前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間の真空排気を行わないことを特徴とする請求項２記載のクリーン搬送方法。
【請求項４】
前記クリーンボックス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通させた状態から前記ゲート弁で前記横蓋を保持して前記開口を気密に閉成した後、前記付加蓋の前記吸排気口よりの離脱状態にて前記真空チェンジャーで前記吸排気口を通して前記吸着用空間を真空排気し、その後前記付加蓋で前記吸排気口を気密に閉成するとともに前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を大気圧とする請求項２又は３記載のクリーン搬送方法。
【請求項５】
一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記吸排気口に対する閉成状態と離脱状態との間で上下移動自在に支持し、かつ離脱状態で保持可能な付加蓋支持機構とを備え、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボックスと、
側壁面に形成されたゲート口と、該ゲート口を開閉自在で当該ゲート口に連結されたクリーンボックスの横蓋を保持可能なゲート弁とを有するクリーン装置と、
前記付加蓋が重力により前記吸排気口から離脱した離脱状態で前記付加蓋支持機構によって保持されていることを感知するセンサと、前記ゲート口に連結されたクリーンボックスの付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気する真空排気手段とを有する真空チェンジャーとを備え、
前記センサにより前記付加蓋の離脱状態を感知することで、前記クリーンボックスの気密封止不良を検出することを特徴とするクリーン搬送装置。
【請求項６】
前記センサで前記付加蓋の離脱状態が感知されなければ、前記真空チェンジャーの前記真空排気手段により前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気し、前記センサで前記付加蓋の離脱状態が感知されたときは、前記クリーンボックスの気密封止不良として前記真空排気手段は動作しないことを特徴とする請求項５記載のクリーン搬送装置。
【請求項７】
前記センサは近接センサであり、真空チェンジャーの前記クリーンボックスを載置する載置台に取り付けられている請求項５又は６記載のクリーン搬送装置。
【請求項８】
前記付加蓋支持機構は、前記付加蓋と一体化された係合部を上下移動自在に支持する固定支持部材を有し、該固定支持部材には前記係合部よりも高さの大きなガードが設けられていて前記ボックス本体に固定されている請求項５，６又は７記載のクリーン搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、電子部品関連製品、光ディスク等の製造プロセスにおいて必要な被搬送物を、汚染物質のないクリーン気体で封止した状態で移送することが可能で、とくに被搬送物を側面開口より搬出、搬入する構成のクリーンボックスを用いたクリーン搬送方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、被搬送物をクリーン気体で封止して搬送する装置としては、特開平６−８４７３８号公報に記載された技術がある。但し、これは、底面開口式のボックスを用いるものである。
【０００３】
一方、本出願人提案の特願平９−１４７２０５号では、側面開口式のクリーンボックスを開示しており、図５に示すように、横蓋５で開閉されるボックス本体１の側面開口２を囲む吸着環状溝３を形成し、これに連通した給排気口４を付加蓋６で閉じる構成とし、前記給排気口４を真空排気することで吸排気路７を介して前記吸着用環状溝３により前記横溝５を真空吸着（真空チャック）する。
【０００４】
さらに、付加蓋周辺の構造を改善するとともに付加蓋を開閉する機構を設けた図６の構成が、本出願人から提案されている。図６から判るように、クリーンボックスＣＢのボックス本体１底面側の吸排気路７に連通した吸排気口４を閉成するための付加蓋６は、下面側（背面側）に係合部４５を一体化したものであり、係合部４５は軸部４６とその下端に固着された大径部（若しくは幅広部）４７とからなっている。そして、前記吸排気口４を囲む（覆う）ように前記ボックス本体１にビス４８で固定された固定支持部材４３にて前記付加蓋６の軸部４６が上下方向に摺動自在に支持されている。そして、軸部４６の周囲にコイルばね（圧縮ばね）４９が配設されていて、付加蓋６を吸排気口４方向に押圧付勢している。
【０００５】
また、クリーンボックスＣＢのボックス本体１に対して横蓋を真空吸着させる目的で吸排気口４、吸排気路７を通して横蓋吸着用の吸着環状溝内を真空排気したり、あるいは大気圧に戻したりする真空チェンジャー６０（真空排気手段を具備する）は、昇降回転軸６２を有し、その上端にはボックス本体１側吸排気口４から付加蓋６を引下げるためのチェンジャー側昇降用係合部材としての引っ掛けアーム部材６３が固定されている。この引っ掛けアーム部材６３は付加蓋６側の軸部４６及び大径部（若しくは幅広部）４７からなる係合部４５に係合自在となっている。この引っ掛けアーム部材６３は、後述するように、真空チェンジャー６０の載置台６１上にクリーンボックス本体１を載置し、付加蓋６を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気して付加蓋６の内外圧力差を無くした状態において、前記引っ掛けアーム部材６３で付加蓋６を下降（吸排気口４から離脱）させる動作を実行するためのものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図６のクリーンボックスＣＢの構成において、クリーンボックス本体１で図５に示す横蓋５を真空吸着している場合、コイルばね４９で付加蓋６を吸排気口４に押し付けているため、横蓋の真空チャックが正常であるか、不良であるかにかかわらず付加蓋６がコイルばね４９で閉じた状態であり、真空チェンジャー６０側ではクリーンボックスの真空チャックが正常であるか否かを判断することが出来ない。とくに、横蓋がクリーンボックス本体から直ちに脱落しないように機械的な脱落防止手段を併用した場合には横蓋の真空チャックが不良となってクリーンボックス内部に大気がリークしていても外観からは全く判別できない事態となる。
【０００７】
本発明は、上記の点に鑑み、付加蓋を吸排気口方向に付勢するのをやめて、横蓋の真空チャックが不良で付加蓋が吸排気口から離脱している状態をセンサで検出することで、横蓋の真空チャック不良を確実かつ容易に検出可能としたクリーン搬送方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１のクリーン搬送方法は、一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記吸排気口に対する閉成状態と離脱状態との間で上下移動自在に支持し、かつ離脱状態で保持可能な付加蓋支持機構とを備え、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボックスを用いるとともに、前記付加蓋が重力により前記吸排気口から離脱した離脱状態で前記付加蓋支持機構によって保持されていることを感知するセンサを有する真空チェンジャーを用い、
前記真空チェンジャーに前記クリーンボックスが結合された状態で、前記センサにより前記付加蓋の離脱状態を感知することで、前記クリーンボックスの気密封止不良を検出することを特徴としている。
【００１０】
本願請求項２のクリーン搬送方法は、一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記吸排気口に対する閉成状態と離脱状態との間で上下移動自在に支持し、かつ離脱状態で保持可能な付加蓋支持機構とを備え、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボックスを用いるとともに、前記付加蓋が重力により前記吸排気口から離脱した離脱状態で前記付加蓋支持機構によって保持されていることを感知するセンサを有する真空チェンジャーを用い、
側壁面に形成されたゲート口をゲート弁で気密に閉成したクリーン装置の当該ゲート口に、前記クリーンボックスを気密に連結し、前記センサで前記付加蓋の離脱状態が感知されなければ、前記真空チェンジャーで前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気して前記付加蓋の内外圧力差を無くし、前記前記付加蓋を前記吸排気口より離脱させて前記吸排気口を開き、前記吸排気口を通して前記吸着用空間を大気圧とした後、前記ゲート弁で前記横蓋を保持して前記クリーン装置内に引き込んで前記クリーンボックス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通させ、両者間で被搬送物を移送することを特徴としている。
【００１１】
本願請求項３のクリーン搬送方法は、請求項２において、前記横蓋を開く前において前記センサで前記付加蓋の離脱状態が感知されたときは、前記クリーンボックスの気密封止不良として前記真空チェンジャーは前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間の真空排気を行わないことを特徴としている。
【００１２】
本願請求項４のクリーン搬送方法は、請求項２又は３において、前記クリーンボックス内部空間と前記クリーン装置内部とを連通させた状態から前記ゲート弁で前記横蓋を保持して前記開口を気密に閉成した後、前記付加蓋の前記吸排気口よりの離脱状態にて前記真空チェンジャーで前記吸排気口を通して前記吸着用空間を真空排気し、その後前記付加蓋で前記吸排気口を気密に閉成するとともに前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を大気圧とする構成である。
【００１３】
本願請求項５のクリーン搬送装置は、一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記吸排気口に対する閉成状態と離脱状態との間で上下移動自在に支持し、かつ離脱状態で保持可能な付加蓋支持機構とを備え、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボックスと、
側壁面に形成されたゲート口と、該ゲート口を開閉自在で当該ゲート口に連結されたクリーンボックスの横蓋を保持可能なゲート弁とを有するクリーン装置と、
前記付加蓋が重力により前記吸排気口から離脱した離脱状態で前記付加蓋支持機構によって保持されていることを感知するセンサと、前記ゲート口に連結されたクリーンボックスの付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気する真空排気手段とを有する真空チェンジャーとを備え、
前記センサにより前記付加蓋の離脱状態を感知することで、前記クリーンボックスの気密封止不良を検出することを特徴としている。
【００１４】
本願請求項６のクリーン搬送装置は、請求項５において、前記センサで前記付加蓋の離脱状態が感知されなければ、前記真空チェンジャーの前記真空排気手段により前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気し、前記センサで前記付加蓋の離脱状態が感知されたときは、前記クリーンボックスの気密封止不良として前記真空排気手段は動作しないことを特徴としている。
【００１５】
本願請求項７のクリーン搬送装置は、請求項５又は６において、前記センサが近接センサであり、真空チェンジャーの前記クリーンボックスを載置する載置台に取り付けられている構成である。
本願請求項８のクリーン搬送装置は、請求項５，６又は７において、前記付加蓋支持機構は、前記付加蓋と一体化された係合部を上下移動自在に支持する固定支持部材を有し、該固定支持部材には前記係合部よりも高さの大きなガードが設けられていて前記ボックス本体に固定されている構成である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るクリーン搬送方法及び装置の実施の形態を図面に従って説明する。
【００１７】
図１は本発明の実施の形態において、クリーンボックスを真空チェンジャー上に載置、結合した状態の要部拡大断面図で付加蓋が吸排気口を閉じている状態、図２は同じく付加蓋が吸排気口から離脱している状態である。図３はクリーンボックスの全体構成を示す正断面図、図４はクリーン搬送方法及び装置の全体構成を示す正断面図である。
【００１８】
まず、クリーンボックスＣＢの構成について説明する。クリーンボックスＣＢの全体構成を示す図３、要部構成を示す図１及び図２において、クリーンボックスＣＢは、一側面に側面開口２を有し、該側面開口２を囲む吸着用環状溝３を当該一側面に形成するとともに底面に吸着用環状溝３に吸排気路７を通して連通した吸排気口４を有するボックス本体１と、ボックス本体１への装着状態で吸着用環状溝３を気密に覆って吸着用空間Ｓを形成するとともに、吸着用空間Ｓの内外の圧力差により当該ボックス本体１に吸着されて側面開口２を気密に閉成する横蓋５と、前記吸排気口４を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋６と、該付加蓋６を前記吸排気口４に対する閉成状態と離脱状態との間で移動自在に保持する付加蓋支持機構４０とを備え、横蓋５及び付加蓋６の閉成時にクリーン状態を維持できる気密性を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない構造である。
【００１９】
図１及び図２から判るように、前記吸排気口４をボックス本体１の底面よりも引っ込んだ位置に設けるために、ボックス本体１の底部の厚肉部分に、吸排気路７に連通した円形凹部４１が形成され、該円形凹部４１を覆うように偏平な上端面付円筒部材４２がビス４８で固定され、その上端面付円筒部材４２の上端面中央に吸排気口４が形成されている。吸排気口４を閉成するための付加蓋６は、下面側（背面側）に係合部４５を一体化したものであり、係合部４５は軸部４６とその下端部に固着された一対の大径部（若しくは幅広部）４７とからなっている。そして、前記吸排気口４を囲む（覆う）ように前記ボックス本体１に前記ビス４８で固定された固定支持部材４３にて前記付加蓋６の軸部４６が上下方向に摺動自在に支持されている。つまり、付加蓋６と一体の係合部４５と固定支持部材４３とで、付加蓋６を吸排気口４に対する閉成状態（図１の状態）と離脱状態（図２の状態）との間で移動自在に保持する付加蓋支持機構を構成しており、横蓋５を外した状態又は横蓋５の真空チャック不良の場合には付加蓋６は吸排気口４から離脱して付加蓋６及びこれと一体の係合部４５の自重で付加蓋６は吸排気口４から離脱状態となる。
【００２０】
なお、クリーンボックスＣＢを載置したとき等に係合部４５に衝撃が加わらないように、固定支持部材４３にはガード用円筒部４４が一体に形成されている。また、固定支持部材４３には通気孔４３ａが設けられている。
【００２１】
図３のクリーンボックスの全体構成に示すように、前記ボックス本体１の側面開口２の周囲は側面フランジ部１ａとなっており、前記吸着用環状溝３は側面フランジ部１ａの横蓋対接面（横蓋接合面）を１周するように形成されている。吸着用環状溝３と吸排気口４とは、ボックス本体１底部の厚肉部分の内部に形成された吸排気路７及び円形凹部４１の内部を通して接続されている。
【００２２】
また、気密性確保のために、ボックス本体１の側面フランジ部１ａに当接する横蓋５の対接面には、吸着用環状溝３の内周側及び外周側をそれぞれ気密シール（気密シール）する位置に環状溝５ａが形成され、該環状溝５ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング５ｂがそれぞれ配設されている。さらに、図１の如く上端面付円筒部材４２のボックス本体１底面に対接する面に環状溝４２ａが形成され、環状溝４２ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング４２ｂが配設されている。前記吸排気口４の周縁部に当接する付加蓋６の対接面にも、気密性確保のために、環状溝６ａが形成され、該環状溝６ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング６ｂが配設されている。
【００２３】
なお、前記ボックス本体１内には、図３のように半導体ウエハー等の被搬送物１５を支えるホルダー８が取り付けられている。該ホルダー８は、例えば被搬送物１５を多数等間隔で水平状態で収納できる構造となっている。
【００２４】
図４に示すように、クリーンルーム５０にはクリーンボックスＣＢを用いて半導体ウエハー等の被搬送物１５を搬入したり、クリーンボックスＣＢへ被搬送物１５を搬出したりするために、その側壁５１にゲート口（搬出入口）５２が形成されている。このゲート口５２はゲート弁５３で開閉自在である。すなわち、ゲート弁５３はその背後のゲート弁開閉機構（図示せず）によって図４矢印Ｐのようにゲート口５２を気密に閉じた状態とゲート口５２を開いて被搬送物１５を搬出入可能な状態（クリーン装置内部に引き込んだ状態）との間で駆動されるようになっている。気密性確保のために、ゲート口５２の周縁部に当接するゲート弁５３の対接面には、環状溝５３ａが形成され、該環状溝５３ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング５３ｂが配設されている。
【００２５】
なお、ゲート弁５３には、クリーンボックスＣＢ側の横蓋５を真空吸着するための吸引用凹部５９が形成されており、さらにこの吸引用凹部５９を囲んで環状溝５９ａが形成され、該環状溝５９ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング５９ｂが配設されている。
【００２６】
また、クリーンボックスＣＢのボックス本体１に対して横蓋５を真空吸着させる目的で吸排気口４を通して吸着用環状溝３内を真空排気したり、あるいは大気圧に戻すために真空チェンジャー６０（真空排気手段を具備する）が設けられており（通常、クリーンルーム５０の外側でゲート口５２の下方位置に配置されており）、この真空チェンジャー６０はクリーンボックスＣＢを前記クリーンルーム５０のゲート口５２に連結可能な高さ位置で保持するボックス保持部材としてのカップ状載置台６１を横方向（矢印Ｒ方向）に摺動自在に有している。すなわち、カップ状載置台６１は真空チェンジャー６０の固定基台７０に対し横方向スライダ６７を介して取り付けられており、クリーンルーム５０の側壁５１に近接又は離脱することが可能となっている。
【００２７】
このカップ状載置台６１には、図１及び図２に示すように、クリーンボックスＣＢが載置されたときの付加蓋６の状態を検出するための近接センサ８０が取り付け固定されている。ここでは、横蓋５のボックス本体１に対する真空吸着、つまり真空チャックが不良で図２のように付加蓋６と一体の係合部４５の下端部が近接センサ８０に近接した場合を当該近接センサ８０で感知するようにしている。
【００２８】
前記カップ状載置台６１の内側中心部を上下方向に貫通した昇降回転軸６２の上端にはボックス本体１側吸排気口４に対して付加蓋６を強制的に下降又は上昇させるチェンジャー側昇降用係合部材としての引っ掛けアーム部材６３が固定されている。この引っ掛けアーム部材６３は、付加蓋６に一体化された軸部４６及び一対の大径部（若しくは幅広部）４７からなる係合部４５に係合自在（引っ掛けることが可能）であり、また昇降回転軸６２を回転させることで係合解除が可能である。
【００２９】
前記カップ状載置台６１のクリーンボックス載置面には、これに載置、結合されたクリーンボックスＣＢの底面を真空吸着するための吸着用環状溝６５が形成され、この吸着用環状溝６５の内側及び外側に気密性確保のための環状溝６１ａがそれぞれ形成され、該環状溝６１ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング６１ｂが配設されている。
【００３０】
なお、図４のようにクリーンボックスＣＢの側面フランジ部１ａ（側面開口２の周縁部）が当接する側壁５１の外側対接面には、気密性確保のために、ゲート口５２を囲む環状溝５１ａが形成され、該環状溝５１ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング５１ｂが配設されている。
【００３１】
次に、この実施の形態の動作説明を行う。
【００３２】
図３のように、半導体ウエハー等の被搬送物１５を窒素等のクリーン気体で封止、収納したクリーンボックスＣＢは、側面フランジ部１ａの吸着用環状溝３が横蓋５で気密に覆われることで形成された吸着用空間Ｓが真空に減圧されている状態において横蓋５及び付加蓋６が内外圧力差（吸着用環状溝３及び吸排気口４内側が真空で、クリーンボックス外側は大気圧）により側面開口２及び吸排気口４を気密に密閉しており、この状態で自由に搬送、保管が可能である。このとき、付加蓋６と一体の係合部４５と固定支持部材４３とで、付加蓋６を吸排気口４に対する閉成状態（図１の状態）と離脱状態（図２の状態）との間で移動自在に保持する付加蓋支持機構を構成しているから、横蓋５を外した状態又は横蓋５の真空チャック不良の場合に付加蓋６が吸排気口４から離脱しても付加蓋６は固定支持部材４３にて保持されているから、付加蓋６の紛失のおそれがなく、取り扱いが容易となる。また、仮に吸着用環状溝３にリークが生じた場合、付加蓋６が吸排気口４から自重で離間状態にあることから目視により作業者が横蓋５の真空チャック不良を発見することもできる。
【００３３】
クリーンボックスＣＢとクリーンルーム５０との間で、被搬送物１５の受け渡しを行う場合、図４の如く真空チェンジャー６０のカップ状載置台６１上にクリーンボックスＣＢを載置、結合する。
【００３４】
このとき、クリーンボックスＣＢ側の横蓋の真空チャックが正常であれば、付加蓋６は吸排気口４に吸着された図１の状態にあり、近接センサ８０は付加蓋６の離脱状態を検出しない。
【００３５】
一方、クリーンボックスＣＢ側の横蓋の真空チャックが不良であれば、付加蓋６は吸排気口４から離脱した図２の状態にあり、近接センサ８０は付加蓋６の離脱状態を感知する。この付加蓋６の離脱状態が感知された場合、真空チェンジャー６０はクリーンボックスＣＢ内部が汚染されている可能性有りとして、以後の動作を停止して作業者にクリーンボックスＣＢの真空チャック不良をアラーム等で報知する。
【００３６】
前記近接センサ８０が付加蓋６の離脱状態を感知しない場合、真空チェンジャー６０は、以後の動作を開始し、吸着用環状溝６５を真空吸引することでカップ状載置台６１に対してクリーンボックスＣＢ（ボックス本体１）底面を吸着保持する。このクリーンボックスＣＢの保持状態で、カップ状載置台６１を側壁５１に近接させてボックス本体１の側面フランジ部１ａをゲート口５２周縁部の側壁５１外側面に気密に圧接させる。このとき、図４のように横蓋５はゲート口５２に入り込み、ゲート口５２を密閉しているゲート弁５３に密着するとともに、ゲート弁５３側の吸引用凹部５９の真空吸引を行ってゲート弁５３側でも横蓋５を吸着保持する。
【００３７】
クリーンボックスＣＢで上面が密閉されたカップ状載置台６１の内部空間Ｕを真空排気し、付加蓋６についての内外圧力差を無くし（吸排気口４の内部と内部空間Ｕが共に真空となる）、付加蓋６及びこれと一体の係合部４５を自重で降下させるか、あるいは、昇降回転軸６２を回転させて引っ掛けアーム部材６３を付加蓋６側の係合部４５に引っ掛け、昇降回転軸６２を下降させることで、付加蓋６を強制下降させる。これにより、付加蓋６はボックス本体１底面側の吸排気口４から離脱して吸排気口４を開いた状態とする。
【００３８】
次いで、カップ状載置台６１の内部空間Ｕをクリーンな空気、窒素等のクリーン気体によりリークして内部空間Ｕ及びこれに連通状態となったクリーンボックスＣＢ側の吸排気口４及びこれに連通した吸着用環状溝３内部を大気圧に戻す。これにより、横蓋５の真空吸着は解除されるから（吸着用環状溝３及びクリーンルーム５０内が共に大気圧となる）、横蓋５はゲート弁５３のみに吸着保持された状態となるので、ゲート弁開閉機構にてゲート口５２からゲート弁５３を離脱させてから、下降させて被搬送物１５の搬出入のじゃまにならない位置とする。この結果、横蓋５はクリーンルーム５０内に引き込まれ、ゲート口５２は開放される。この状態では、クリーンボックスＣＢの内部とクリーンルーム５０とが連続した空間となるから、クリーンボックスＣＢ内のホルダー８から半導体ウエハー等の被搬送物１５をクリーンルーム５０内部の搬送用ロボット等を用いて水平に移送して取り出すことができる。
【００３９】
逆に、横蓋５がクリーンボックスＣＢ内に引き込まれた状態では、空になっているクリーンボックスＣＢのホルダー８に対してクリーンルーム５０側の搬送用ロボット等で被搬送物１５を順次水平に移送することができ、所要の枚数の被搬送物１５をクリーンボックスＣＢに収納したら、ゲート弁開閉機構にてゲート弁５３をゲート口５２の形成された側壁５１の内側周縁部に圧接して、ゲート口５２を気密に閉塞するとともにゲート弁５３で真空吸着されている横蓋５をボックス本体１の側面フランジ部１ａに圧接させる。クリーンボックスＣＢの側面開口２が横蓋５で気密に閉塞された状態において、当初付加蓋６は開いた状態に設定されているから、カップ状載置台６１の内部空間Ｕ及びこれに連通しているクリーンボックスＣＢ側の吸着用環状溝３内部（吸着用空間Ｓの内部）を吸排気口４を通して真空排気し、真空排気が完了したら昇降回転軸６２を回転させ引っ掛けアーム部材６３と付加蓋６側係合部４５（一対の大径部４７）とを係合させて付加蓋６を吸排気口４に圧接させる。その後、カップ状載置台６１の内部空間Ｕをクリーンな空気、窒素等のクリーン気体によりリークして内部空間Ｕを大気圧に戻すことにより、横蓋５及び付加蓋６は、クリーンボックスＣＢ側の吸着用環状溝３及び吸排気口４内部が真空で外部が大気圧となるため、内外の圧力差により確実に側面開口２及び吸排気口４を気密に封止する。それから、ゲート弁５３による横蓋５の吸着を解除するとともに引っ掛けアーム部材６３と付加蓋６側係合部４５（一対の大径部４７）との係合を解除することで、図３のようにクリーンボックスＣＢのみを自由に持ち運び可能な状態とすることができ、クリーンボックスＣＢを無人搬送車等で任意の位置に搬送可能である。
【００４０】
この実施の形態によれば、次の通りの効果を得ることができる。
【００４１】
(1)  クリーンボックスＣＢのボックス本体１の側面開口端面に、開口面以外の一面に配置した吸排気口４を通して真空排気可能な吸着用環状溝３を形成して、横蓋５を真空吸着する構成としており、メカニカルシールの場合よりも横蓋５の密着性を高めることができ、被搬送物取り出し用の側面開口２を横蓋５で、吸排気口４を付加蓋６でそれぞれ気密に閉成することができる。そして、真空チェンジャー６０側に近接センサ８０を設けて、クリーンボックスＣＢ側の真空チャック不良に起因して付加蓋６が吸排気口４から離脱状態にあることを検出可能としており、真空チャック不良により内部が汚染された可能性のある被搬送物１５の搬出入を未然に防止できる。このため、クリーン搬送の信頼性の向上が可能である。
【００４２】
(2)  真空チェンジャー６０のクリーンボックスを載置する載置台６１に近接センサ８０を取り付けて、付加蓋６と一体の係合部材４５の下降を感知するようにしており、機構が簡単で、動作が確実である。
【００４３】
(3)  付加蓋６及びこれを支持する機構を吸排気口４の周囲にコンパクトにまとめることができ、真空チェンジャー６０側のカップ状載置台６１の内部空間Ｕは小さくて済む。つまり、ボックス本体１底面側の付加蓋６及び落下防止手段４０をカップ状載置台６１が囲む必要があるが、付加蓋６及び落下防止手段４０の配置スペースが小さいため、カップ状載置台６１の内部空間Ｕも小さくできる。従って、クリーンボックスＣＢの横蓋５の開閉のために内部空間Ｕを真空排気、あるいは大気圧にリークする工程を迅速に実施できる。
【００４４】
(4)  吸排気口４がボックス本体１の底面よりも内側に引っ込んだ位置に設けられているため、ボックス本体１の底面側の突出量を減じることができ、あわせて付加蓋６に一体化された係合部４５よりも高さの大きなガード用円筒部４４をボックス本体１側に固定の固定支持部材４３に設けているため、クリーンボックスＣＢの運搬移送時、もしくは保管時に係合部４５に外部衝撃が加わることを防止でき、取り扱いを容易にすることが可能である。
【００４５】
(5)  クリーンボックスＣＢが側面開口式であるため、クリーンルーム５０にクリーンボックスＣＢを連結状態で被搬送物１５を水平方向に移送して被搬送物１５の受け渡しができ、各種処理装置とのインターフェースにも余分な動きが必要なくなる。
【００４６】
(6)  付加蓋６は吸排気口４から離間した状態であっても付加蓋支持機構により常に保持され、ボックス本体１から脱落することがないため、真空チェンジャー６０側に付加蓋６を受け止める機構を設ける必要がなくなり、付加蓋６の係合部４５に係合して付加蓋６を上下させる昇降用係合手段を真空チェンジャー６０側に設ければよい。このため、真空チェンジャー６０の機構の簡素化が可能である。
【００４７】
なお、クリーンボックスとして横蓋の脱落防止手段を併用したものの場合、前記横蓋をゲート弁で吸着して外す前に横蓋と脱落防止手段との係合を解除しておけば、上記実施の形態と全く同様な動作で被搬送物のクリーン搬送が可能である。
【００４８】
また、クリーンルーム５０のゲート口５２をゲート弁５３で開閉する機構は、その目的を達成するために多様な構成を適宜採用することができる。
【００４９】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るクリーン搬送方法及び装置によれば、クリーンボックスの真空チャック不良に起因する付加蓋の吸排気口からの離脱状態を真空チェンジャー側に設けたセンサで感知でき、クリーンボックス内部の被搬送物が汚染されている可能性があることを認識可能である。このため、真空チャック不良のクリーンボックスについては被搬送物の搬出入を行わないことで、クリーン搬送の信頼性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態であって、クリーンボックスを真空チェンジャー上に載置した状態で、クリーンボックス側の真空チャックが正常のときの要部拡大断面図である。
【図２】同じくクリーンボックス側の真空チャックが不良のときの要部拡大断面図である。
【図３】分離状態のクリーンボックスを示す正断面図である。
【図４】本発明の実施の形態において、クリーンボックスを真空チェンジャー上に載置し、クリーンボックスとクリーンルームとを連結する段階を示す正断面図である。
【図５】本出願人提案の従来のクリーン気体封止タイプのクリーンボックスを示す正断面図である。
【図６】本出願人提案の従来のクリーンボックスにおける付加蓋周辺の機構を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１  ボックス本体
２  側面開口
３  吸着用環状溝
４  吸排気口
５  横蓋
６  付加蓋
７  吸排気路
１５  被搬送物
６０  真空チェンジャー
４１  円形凹部
４２  上端面付円筒部材
４３  固定支持部材
４５  係合部
４６  軸部
４７  大径部（若しくは幅広部）
５０  クリーンルーム
５１  側壁
５２  ゲート口
５３  ゲート弁
６０  真空チェンジャー
６１  カップ状載置台
６２  昇降回転軸
６３  引っ掛けアーム部材
ＣＢ  クリーンボックス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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