(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ内で稼働するアームと、前記真空チャンバの外部に設けた本体と、前記真空チャンバを貫通して該本体内に突出し回動によって前記真空チャンバ内のアームを駆動する駆動軸と、前記本体内に突出した該駆動軸の先端に固着したロータと、前記本体内に固設したロータ枠と、前記ロータ枠に前記ロータを回動自在に支持する軸受と、前記本体の内部を大気側である外部と気密シールする真空ケースとを具備した真空ロボットにおいて、
前記軸受に半径方向で貫通する穴が穿設され、該穴に一致するグリス注入穴が前記ロータ枠に穿設され、該グリス注入穴に対応するグリス注入作業穴が前記真空ケースに形成され、該グリス注入作業穴を気密シールする蓋が前記真空ケースに着脱自在に設けられたことを特徴とする真空ロボット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工程などにおける真空環境で使用する真空ロボットに関し、更に詳しくは、駆動モータの軸受部の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程では、真空中でエッチング、スパッタリング等の処理をウェーハに対して行う。このような真空中でのウェーハ単体の移送には、搬送機構としての所謂真空ロボットを用いる。真空ロボットは、一般的に駆動モータを内蔵した本体を真空チャンバに固定し、駆動モータを駆動することで間接部で連結したアーム部を真空中で稼働させる構造となっている。
【０００３】
図３は従来の真空ロボットにおける駆動モータの軸受部を示す部分断面図である。真空チャンバ１に形成した取付穴３には、真空チャンバ１の内側からフランジ５を取り付けてある。フランジ５と真空チャンバ１との間にはシール手段７を設けてあり、シール手段７はフランジ５と真空チャンバ１との間を気密シールしている。真空チャンバ１内のフランジ５の内面側には、第１アーム９を回動自在に支持してある。第１アーム９の先端には間接部１１を介して更に第２アーム１３を回動自在に支持してある。
【０００４】
取付穴３から露出したフランジ５の外面側には、本体１５を取り付けてある。本体１５は、フランジ５に気密シールして固設した基台部１７と、この基台部１７に設けた駆動モータ１９と、基台部１７に連設して駆動モータ１９を密閉する真空ケース２１とからなる。本体１５内には、例えば第２アーム１３を旋回駆動するための駆動軸２３がフランジ５及び基台部１７を貫通して回動自在に突出している。駆動モータ１９は、ステータ２５と、ロータ２７と、軸受２９と、ロータ枠３１とからなる。ステータ２５は、ブラケット３３を介して基台部１７に固設してある。ブラケット３３には、ロータ枠３１を固定してある。駆動軸２３には、ステータ２５に対向させてロータ２７を固着してあり、ロータ２７は軸受２９を介してロータ枠３１に支持してある。
【０００５】
このように構成した真空ロボットにおいては、ステータ２５のコイルに駆動電源を印加すると、軸受２９に支持したロータ２７が回動し、このロータ２７の回動により、駆動軸２３を介して真空チャンバ１内の第２アーム１３が稼働するようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述の真空ロボットでは、駆動モータ１９が真空ケース２１内の真空中で駆動する。一般的に、真空中における軸受部などの摺動部の摩擦係数は、大気中よりも増加する。このため、軸受２９には、耐真空性の真空グリスを用いて摩擦熱の発生を軽減している。
しかしながら、上述した従来の真空ロボットでは、ロータ２７を支持する軸受２９がロータ枠３１により覆われているため、真空ロボットを真空チャンバ１に取り付けたままでは真空グリスを軸受２９に補給することができず、真空グリスが劣化して涸れた際には、真空ロボットを真空チャンバ１から取り外し、真空ロボットを分解して、軸受２９への真空グリスの補給、或いは新しい軸受２９への交換などのオーバーホールを行わなければならず、グリス切れの期間がオーバーホール期間となってしまう問題があった。
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、真空ロボットを取り外して分解せずにグリスを補給することのできる真空ロボットを提供し、オーバーホール期間の延長を図ることを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明に係る真空ロボットの構成は、真空チャンバ内で稼働するアームと、前記真空チャンバの外部に設けた本体と、前記真空チャンバを貫通して該本体内に突出し回動によって前記真空チャンバ内のアームを駆動する駆動軸と、前記本体内に突出した該駆動軸の先端に固着したロータと、前記本体内に固設したロータ枠と、前記ロータ枠に前記ロータを回動自在に支持する軸受と、前記本体の内部を大気側である外部と気密シールする真空ケースとを具備した真空ロボットにおいて、前記軸受に半径方向で貫通する穴が穿設され、該穴に一致するグリス注入穴が前記ロータ枠に穿設され、該グリス注入穴に対応するグリス注入作業穴が前記真空ケースに形成され、該グリス注入作業穴を気密シールする蓋が前記真空ケースに着脱自在に設けられたものである。
【０００８】
このように構成した真空ロボットでは、蓋を外すことで、ロータ枠に形成したグリス注入穴が露出し、グリス注入作業穴から注射器などを用いて真空グリスをグリス注入穴へ注入することで、真空ロボットを真空チャンバに取り付けたままで真空グリスが軸受へ補給可能になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る真空ロボットの好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は本発明に係る真空ロボットの駆動モータの軸受部を示す部分断面図、図２は図１のＡ部拡大断面図である。なお、図３に示した部材と同一の部材には同一の符号を付して説明する。
真空チャンバ１に形成した取付穴３には、真空チャンバ１の内側からフランジ５を取り付けてある。フランジ５と真空チャンバ１との間にはシール手段７を設けてあり、シール手段７はフランジ５と真空チャンバ１との間を気密シールしている。真空チャンバ１内のフランジ５の内面側には、第１アーム９を回動自在に支持してある。第１アーム９の先端には間接部１１を介して更に第２アーム１３を回動自在に支持してある。
【００１０】
取付穴３から露出したフランジ５の外面側には、本体４１を取り付けてある。本体４１は、フランジ５に気密シールして固設した基台部１７と、この基台部１７に設けた駆動モータ４３と、基台部１７に連設して駆動モータ４３を密閉する真空ケース４５とからなる。本体４１内には、例えば第２アーム１３を旋回駆動するための駆動軸２３がフランジ５及び基台部１７を貫通して回動自在に突出している。駆動モータ４３は、ステータ２５と、ロータ２７と、軸受（例えば、クロスローラベアリング）４７と、ロータ枠４９とからなる。ステータ２５は、ブラケット３３を介して基台部１７に固設してある。ブラケット３３には、ロータ枠４９を固定してある。駆動軸２３には、ステータ２５に対向させてロータ２７を固着してあり、ロータ２７は軸受４７を介してロータ枠４９に支持してある。
【００１１】
軸受４７は、内輪（内レース）４７ａと、不図示のころを介して内輪４７ａに接触する外輪（外レース）４７ｂとからなる。軸受４７は、内輪４７ａにロータ２７を固定し、外輪４７ｂをロータ枠４９に固定することで、ころによるころがり接触で、ロータ２７の荷重をロータ枠４９に支持する。
【００１２】
軸受４７の外輪４７ｂには半径方向で外輪４７ｂを貫通する穴５１を穿設してあり、穴５１は外輪４７ｂの外周と、内輪４７ａ、外輪４７ｂ間とを連通している。ロータ枠４９には半径方向でロータ枠４９を貫通するグリス注入穴５３を穿設してあり、グリス注入穴５３は外輪４７ｂの穴５１と一致するように配設してある。従って、従来、ロータ枠４９の外部に開口することのなかった内輪４７ａと外輪４７ｂとの間は、穴５１及びグリス注入穴５３を介してロータ枠４９の外部に連通して開放するようになっている。また、グリス注入穴５３に対応した真空ケース４５の部位には、グリス注入作業穴５５を形成してある。グリス注入作業穴５５には、グリス注入作業穴５５を気密シールする蓋５７を例えばボルト５９により着脱自在に螺着してある。
【００１３】
駆動モータ４３を組み立てるには、目視により穴５１とグリス注入穴５３とを合わせて軸受４７を位置決めし、その後、尖頭状の治具をグリス注入穴５３から挿入して、治具先端で軸受４７の穴５１の位置合わせを行い、ロータ枠４９をボルト６１によりブラケット３３に螺着し、組み立てを完了する。
【００１４】
このように構成した真空ロボットによれば、蓋５７を外して、グリス注入作業穴５５から注射器などを用いて真空グリスをグリス注入穴５３へ注入することで、真空ロボットを真空チャンバ１から取り外すことなく、真空チャンバ１に取り付けたままで真空グリスを軸受４７へ容易に補給することができる。この結果、定期的に真空グリスの供給を行うことで、真空グリス補給のために真空ロボットを分解して行わなければならなかったオーバーホールの期間を大幅に延長することができる。
【００１５】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明に係る真空ロボットによれば、軸受に半径方向で貫通する穴を穿設し、この穴に一致するグリス注入穴をロータ枠に穿設し、グリス注入穴に対応するグリス注入作業穴を真空ケースに形成し、グリス注入作業穴を気密シールする蓋を真空ケースに着脱自在に設けたので、蓋を外して、グリス注入作業穴から注射器などを用いて真空グリスをグリス注入穴へ注入することで、真空ロボットを真空チャンバから取り外すことなく、真空グリスを軸受へ容易に補給することができる。この結果、オーバーホールの期間を大幅に延長することができ、信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る真空ロボットの駆動モータの軸受部を示す部分断面図である。
【図２】図１のＡ部拡大断面図である。
【図３】従来の真空ロボットにおける駆動モータの軸受部を示す部分断面図である。
【符号の説明】
１  真空チャンバ
９  第１アーム
１３  第２アーム
２３  駆動軸
２７  ロータ
４１  本体
４５  真空ケース
４７  軸受
４９  ロータ枠
５１  穴
５３  グリス注入穴
５５  グリス注入作業穴
５７  蓋
【図１】
0003781071.tif 000002
【図２】
0003781071.tif 000003
【図３】
0003781071.tif 000004