(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般式（1）に示される構成単位および一般式（２）に示される構成単位を含有する共重合体であり、これら構成単位の比率が、ｍ＝２０〜６５mol％、ｎ＝３５〜８０mol％の範囲である高分子化合物を成分とすることを特徴とする感光性組成物。
【化１】
0003827266.tif 000003
【請求項２】
請求項１において、前記高分子化合物が前記一般式（１）および（２）に示される構成単位以外の構成単位を１５mol％以下含むことを特徴とする感光性組成物。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記高分子化合物の重量平均分子量が８０００〜８００００であることを特徴とする感光性組成物。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記高分子化合物に光架橋性官能基がペンダントされていることを特徴とする感光性組成物。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかにおいて、光架橋性化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかにおいて、多官能（メタ）アクリレートモノマーおよび光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性組成物。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、ネガ型感光性組成物を構成する高分子化合物およびそれを用いた感光性組成物に関し、特に水性現像液で現像可能で、良好なパターニング性を有する、新規な高分子化合物および感光性組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
水性現像液で現像可能な感光性組成物として、ダイアセトンアクリルアミド系の樹脂がさまざまな分野で開発、利用されている。中でもアクリルアミドとダイアセトンアクリルアミドの共重合体は、特開昭５０−３３７６４号公報、特開昭５２−６４８６８号公報等に示されるように、アジド系架橋剤と組み合わせ、ＣＲＴのブラックマトリックス用途等、ガラス板上にパターンを形成する用途に使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、アクリルアミドとダイアセトンアクリルアミドの共重合体は強度が弱く、重量平均分子量が数百万程度なければ十分な硬化膜物性が得られない。従って、このような高分子量ではガラス等の無機物基材に対する接着性が低く、カップリング剤等、接着促進剤の添加を行うか、他の樹脂をプレコートするなどの煩雑な処理が必要となっている。また、カップリング剤を添加した場合、経時でカップリング剤が分解するため、レジストパターンの接着性も経時で低下し、感光性組成物の保存安定性に問題がある。また、塗布に際して流動特性の調節が難しく、スクリーン印刷へ適用した場合、メッシュの通過性が悪く良好な塗布状態が得られないなどの欠点を有している。一方、流動特性調整のため、分子量を下げると感度の低下があり、良好なパターンが得られない。
【０００４】
本発明はこのような事情に鑑み、カップリング剤等の補助を必要としなくともガラスへの接着が良好で、かつ高解像度の感光性組成物を構成する高分子化合物およびそれを用いた感光性組成物を提供することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決する本発明の第１の態様は、一般式（1）に示される構成単位および一般式（２）に示される構成単位を含有する共重合体であり、これら構成単位の比率が、ｍ＝２０〜６５mol％、ｎ＝３５〜８０mol％の範囲である高分子化合物を成分とすることを特徴とする感光性組成物にある。
【０００６】
【化２】
0003827266.tif 000002
【０００７】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、前記高分子化合物が前記一般式（１）および（２）に示される構成単位以外の構成単位を１５mol％以下含むことを特徴とする感光性組成物にある。
【０００８】
本発明の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記高分子化合物の重量平均分子量が８０００〜８００００であることを特徴とする感光性組成物にある。
【００１０】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記高分子化合物に光架橋性官能基がペンダントされていることを特徴とする感光性組成物にある。
【００１１】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかの態様において、光架橋性化合物を含有することを特徴とする感光性組成物にある。
本発明の第６の態様は、第１〜５の何れかの態様において、多官能（メタ）アクリレートモノマーおよび光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性組成物にある。
【００１２】
本発明は、上述した課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、ダイアセトンアクリルアミドとメタクリルアミドの共重合体は新規であり、基材への接着性が良好で、硬化膜強度も高く、感光性組成物の成分として有用であるという知見に基づいて完成されたものである。
【００１３】
本発明の高分子化合物中に含まれるメタクリルアミドの成分比は、２０〜６５mol%が好ましく、より好ましくは３０〜５０mol%の範囲である。これは、メタクリルアミドの比率が低すぎれば必要な現像性が得られず、多すぎれば塗膜の吸湿性が高く、扱いにくくなり、硬化膜が脆くなる場合があるからである。残りの成分はダイアセトンアクリルアミドのみでもよいし、他の共重合成分を含んでも良い。
【００１４】
他の共重合成分としては、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸等の不飽和有機酸およびそれらの無水物、メチルアクリレートおよびメタクリレート（以下、（メタ）アクリレートと記述する）、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、ブチルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、グリシジルメタクリレート等の（メタ）アクリレート類、Ｎ−メチルアクリルアミド、Ｎ−エチルアクリルアミド、Ｎ−イソプロピルアクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−メチルメタクリルアミド、Ｎ−エチルメタクリルアミド、Ｎ−イソプロピルメタクリルアミド、Ｎ−メチロールメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルメタクリルアミド等のアクリルアミド類、スチレン、ヒドロキシスチレン等のスチレン類、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルイミダゾール等を挙げることが出来る。共重合成分は、本発明の高分子化合物の接着性、硬化膜物性を損なわないために１５mol%以下であることが好ましい。
【００１５】
本発明の高分子化合物は、GPCにより測定した重量平均分子量が、プルラン換算で８０００〜８００００の範囲にあることが好ましい。より好ましくは、１００００〜４００００の範囲である。これは、分子量が低すぎれば、露光感度が低くなり硬化膜強度も低下し、高すぎれば接着性の低下を起こし、パターン形成が出来なくなるからである。
【００１６】
本発明の高分子化合物を合成するには、溶剤中で重合開始剤を使用して重合を行うことが好ましい。使用する溶剤に特に制限はないが、本発明の高分子化合物が溶解する組成が望ましい。一例として、水、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール等のエチレングリコール類、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のグリコールエーテル類、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルアセテート類、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール等のプロピレングリコール類、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル等のプロピレングリコールエーテル類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールエーテルアセテート類、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、およびそれらの混合物が挙げられる。
【００１７】
溶剤の使用量は、溶液中の高分子化合物が２０〜６０wt%になるよう調整することが好ましい。より好ましくは３０〜５０wt%である。高分子化合物比が２０wt%以下では重合速度が遅く、未反応モノマーが残留する場合がある。６０wt%以上では粘度が高く取扱いが難しく、反応速度の調節も困難になるなどの問題がある。
【００１８】
重合開始剤としては、熱重合開始剤、光重合開始剤、レドックス系開始剤等、公知のものを使用できるが、取扱いの容易さ、反応速度と分子量調節のし易さから、過酸化物系、アゾ系等のラジカル重合開始剤を使用することが好ましい。
【００１９】
また、この場合、重合温度が１００℃を超えるとメタクリルアミドが加水分解を起こし、高分子化合物の現像性が低下する場合があり、重合温度は９０℃以下が好ましく、より好ましくは８０℃以下である。よって、重合開始剤の半減期温度は高すぎないことが望ましい。好ましい１０時間半減期は１００℃以下、より好ましくは８０℃以下である。
【００２０】
重合開始剤の一例として、過酸化物としては、メチルエチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサノンパーオキサイド、メチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、メチルアセトアセテートパーオキサイド、１，１−ビス（ターシャリブチルパーオキシ）３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ターシャリブチルパーオキシ）シクロヘキサン、１，１−ビス（ターシャリヘキシルパーオキシ）３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ターシャリヘキシルパーオキシ）シクロヘキサン、１，１−ビス（ターシャリブチルパーオキシ）シクロドデカン、イソブチリルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、こはく酸パーオキサイド、３，５，５−トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、過酸化ベンゾイル、オクタノイルパーオキサイド、ステアロイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジノルマルプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジ−２−メトキシブチルパーオキシジカーボネート、ビス−（４−ターシャリブチルシクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、（α，α−ビス−ネオデカノイルパーオキシ）ジイソプロピルベンゼン、パーオキシネオデカン酸クミルエステル、パーオキシネオデカン酸オクチルエステル、パーオキシネオデカン酸ヘキシルエステル、パーオキシネオデカン酸ターシャリブチルエステル、パーオキシピバリン酸ターシャリヘキシルエステル、パーオキシピバリン酸ターシャリブチルエステル、２，５−ジメチル−２，５−ビス（２−エチルヘキサノイルパーオキシ）ヘキサン、１，１，３，３−テトラメチルブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、パーオキシ−２−エチルヘキサン酸ターシャリヘキシルエステル、パーオキシ−２−エチルヘキサン酸ターシャリブチルエステル、パーオキシ−３−メチルプロピオン酸ターシャリブチルエステル、パーオキシラウリン酸ターシャリブチルエステル、ターシャリブチルパーオキシ−３，５，５−トリメチルヘキサノエート、ターシャリヘキシルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、ターシャリブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、２，５−ジメチル−２，５−ビス（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、過酢酸ターシャリブチルエステル、過安息香酸ターシャリヘキシルエステル、過安息香酸ターシャリブチルエステル等が挙げられる。これらの過酸化物に還元剤を加えてレドックス開始剤系とすることも可能である。
【００２１】
アゾ系開始剤としては、１，１−アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）、２，２'−アゾビス（２−メチル−ブチロニトリル）、２，２'−アゾビスイソブチロニトリル、２，２'−アゾビス（２，４−ジメチル−バレロニトリル）、２，２'−アゾビス（２，４−ジメチル−４−メトキシバレロニトリル）、２，２'−アゾビス（２−アミジノ−プロパン）塩酸塩、２，２'−アゾビス[２−（５−メチル−２−イミダゾリン−２−イル）プロパン]塩酸塩、２，２'−アゾビス[２−（２−イミダゾリン−２−イル）プロパン]塩酸塩、２，２'−アゾビス[２−（５−メチル−２−イミダゾリン−２−イル）プロパン]、２，２'−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−[１，１−ビス（２−ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル]プロピオンアミド｝、２，２'−アゾビス[２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド]、２，２'−アゾビス（２−メチル−プロピオンアミド）２水塩、４，４'−アゾビス（４−シアノ−吉草酸）、２，２'−アゾビス（２−ヒドロキシメチルプロピオニトリル）、２，２'−アゾビス（２−メチルプロピオン酸）ジメチルエステル、２−シアノ―２―プロピルアゾホルムアミド等が挙げられる。
【００２２】
上記の過酸化物系開始剤、アゾ系開始剤に加え、好ましい分子量範囲を達成するために、連鎖移動剤、連鎖停止剤、重合促進剤等、公知の分子量調節剤を添加することも出来る。
【００２３】
このようにして合成された本発明の高分子化合物を用いて感光性組成物を構成するには、光架橋性の官能基をペンダントするか、光架橋性化合物を混合するか、もしくはこれらの併用が必要である。
【００２４】
光架橋性官能基をペンダントする場合、官能基の種類、ペンダントの結合方法に特に制限はないが、強いてあげるなら、（メタ）アクリル酸、およびそのエステル化合物、桂皮酸、およびそのエステル化合物、スチリルピリジニウム化合物、アジド化合物、ジアゾニウム塩化合物、ナフトキノンジアジド化合物等が官能基として挙げられる。ペンダントの方法としては、特開平７−２４４３７４号公報、特開平８−３４８９８号公報等に記載されたダイアセトンアクリルアミドの末端活性メチレン基を活用する方法、特開平８−１５２７１４号公報に記載されたＮ−メチロール（メタ）アクリルアミド等の反応性官能基をメタクリルアミドのＮ原子に縮合させる方法、同じく特開平８−１５２７１４号公報に記載された２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートを共重合し、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミドを縮合させる方法、（メタ）アクリル酸やマレイン酸、フマル酸等の不飽和二重結合を持つ有機酸を共重合し、グリシジル（メタ）アクリレート等の不飽和二重結合を持ったエポキシ化合物を付加させる方法、もしくは不飽和二重結合を持ったエポキシ化合物を共重合した後、（メタ）アクリル酸等の不飽和二重結合を持つ有機酸を付加させる方法が挙げられる。いずれの方法においても、高分子化合物の良好な特性を保持するために、官能基の導入率は高分子単量体ユニットに対し１５mol%以下であることが好ましい。
【００２５】
光架橋性化合物の混合により感光性組成物を構成する場合、光架橋性化合物の種類に制限はないが、一例として、多官能（メタ）アクリルモノマー、多官能スチリルピリジニウム化合物、多官能アジド化合物、多官能ジアゾニウム塩化合物、およびそれらの混合物等が挙げられる。中でも、多官能（メタ）アクリルモノマーが種類も多く、用途によって使い分けが可能であり、かつ高感度、高解像度で好ましい。
【００２６】
多官能（メタ）アクリルモノマーの具体例としては、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロポキシトリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ポリグリセリンポリ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡポリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡデカオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物（β−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等）とのエステル化物、エチレングリコールジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、トリエチレングリコールジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、プロピレングリコールジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、ジプロピレングリコールジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、トリプロピレングリコールジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、テトラプロピレングリコールジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、ソルビトールトリグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、グリセリントリグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルの（メタ）アクリル酸付加物、ビスフェノールＦの（メタ）アクリル酸付加物、フェノールノボラックエポキシの（メタ）アクリル酸付加物、クレゾールノボラックエポキシの（メタ）アクリル酸付加物等が挙げられる。
【００２７】
多官能（メタ）アクリレートを架橋剤として使用する場合には、光重合開始剤、光増感剤を混合することが望ましい。これらの化合物は溶剤に溶解、もしくは分散した状態で混合するか、高分子化合物に対し化学的に結合させてもかまわない。適用される光重合開始剤、光増感剤に特に制限はないが、一例として、ベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、ビス−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノベンゾフェノン、ビス−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、クロロチオキサントン、イソプロポキシクロロチオキサントン等のチオキサントン類、エチルアントラキノン、ベンズアントラキノン、アミノアントラキノン、クロロアントラキノン、アントラキノン−２−スルホン酸塩、アントラキノン−２，６−ジスルホン酸塩、等のアントラキノン類、アセトフェノン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル類、２，４，６−トリハロメチルトリアジン類、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−フェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体類、ベンジルジメチルケタール、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノ−１−プロパノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル〕−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、フェナントレンキノン、９，１０−フェナンスレンキノン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等ベンゾイン類、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等、アクリジン誘導体、ビスアシルフォスフィンオキサイド、およびこれらの混合物等が挙げられる。
【００２８】
これらの開始剤に加え、促進剤等を添加することも出来る。これらの例として、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン等が挙げられる。
【００２９】
本発明の感光性組成物には、他の成分として、重合禁止剤、可塑剤、顔料、染料、消泡剤、カップリング剤等、従来公知のものを必要に応じて配合できる。
【００３０】
本発明の感光性組成物は、溶液、またはペーストとして塗布される。塗布方法は特に制限されないが、スクリーン印刷、カーテンコート、ブレードコート、スピンコート、スプレーコート、ディップコート、スリットコート等が適用される。塗布された溶液、またはペーストは、乾燥工程を経た後、所定のマスクを介し、ＵＶ、もしくは電子線で露光が行われる。露光した塗膜を湿式で現像し、パターンを形成する。
【００３１】
現像方法は、スプレー式、パドル式、浸漬式等、いずれも可能であるが、残渣の少ないスプレー式が好ましい。必要に応じて、超音波等を照射することもできる。
【００３２】
現像液は中性の水が好ましいが、弱酸性、弱アルカリ性であってもかまわない。現像性補助の目的で有機溶剤、界面活性剤、消泡剤等を添加することも可能である。
【００３３】
【実施例】
以下に、本発明の実施例を説明するが、この高分子化合物を用いて構成される感光性組成物の種類、使用目的によって異なるため、あくまで例示であり、本発明の範囲を制限するものではない。
【００３４】
（実施例１）
ダイアセトンアクリルアミド  ７５ｇ、メタクリルアミド  ２５ｇ、ＡＩＢＮ２．５ｇをプロピレングリコール  ７５ｇに溶解させた後、窒素気流下、８０℃に保持したプロピレングリコール  ７５ｇ中に１時間かけて滴下した。そのまま８０℃で４時間保持し、透明な粘凋性高分子溶液（Ａ）を得た。この高分子化合物の重量平均分子量MWをGPCにより測定した。カラムはShodex SB-805HQ（昭和電工製）を2本直列に接続、溶離液は０．１M NaCl水溶液とメタノールの混合物（体積比６０対４０）、分子量標準にはプルランを用いた。その結果、重量平均分子量MW=２４０００であった。
【００３５】
この溶液に架橋剤として、ポリエチレングリコール＃４００ジグリシジルエーテルアクリル酸付加物（共栄社化学  製品名エポキシエステル４００ＥＡ）  ４０ｇ、光重合開始剤として、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン（ＣＩＢＡ−ＧＥＩＧＹ  製品名ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９）  ２ｇ、プロピレングリコール  ４０ｇを添加し感光性組成物を得た。
【００３６】
この感光性組成物をブレードコーターで、ソーダガラス板上に塗布、８０℃のクリーンオーブンで３０分間乾燥した後、室温まで冷却、所定のパターンを備えたマスクを介し、照度５．０ｍＷ／ｃｍ2の超高圧水銀灯で５０ｍｊ／ｃｍ2の紫外線を照射した。続いてイオン交換水で３０秒間スプレー現像し、目的のパターンを得た。パターンの膜厚は５μｍ、解像度は４μｍであり、感度はウグラステップタブレットで５段であった。
【００３７】
この感光性組成物を４０℃で保存し、パターニング特性の変化を試験したが、２週間後でも物性に何ら変化は認められなかった。
【００３８】
（実施例２）
実施例１で合成した高分子溶液（Ａ）２５０ｇに、ポリエチレングリコール＃４００ジグリシジルエーテルアクリル酸付加物（共栄社化学  製品名エポキシエステル４００ＥＡ）  ４０ｇ、光重合開始剤として、アントラキノン−２，６−ジスルホン酸ジナトリウム  ５ｇ、精製水１５０ｇを添加し水系感光性組成物を得た。
【００３９】
この感光性組成物をスピンコーターで、ソーダガラス板上に塗布、８０℃のクリーンオーブンで３０分間乾燥した後、室温まで冷却、所定のパターンを備えたマスクを介し、照度５．０ｍＷ／ｃｍ2の超高圧水銀灯で１００ｍｊ／ｃｍ2の紫外線を照射した。続いてイオン交換水で３０秒間スプレー現像し、目的のパターンを得た。パターンの膜厚は２μｍ、解像度は４μｍであり、感度はウグラステップタブレットで４段であった。
【００４０】
この感光性組成物を４０℃で保存し、パターニング特性の変化を試験したが、２週間後でも物性に何ら変化は認められなかった。
【００４１】
（実施例３)
ダイアセトンアクリルアミド  ７０ｇ、メタクリルアミド  ２５ｇ、ブチルアクリレート  ５ｇ、ジメチル−２，２−アゾビス（２−メチルプロピオネート）（和光純薬  製品名  Ｖ−６０１）  １．７ｇをプロピレングリコール  ８０ｇに溶解し、窒素気流下、８０℃に保持したプロピレングリコール  ８０ｇ中に１時間かけて滴下した。そのまま８０℃で４時間保持し、透明な粘凋性高分子溶液（Ｂ）を得た。この高分子化合物の重量平均分子量MWを実施例１と同様の測定条件で測定した結果、MW=３２０００であった。
【００４２】
この溶液に架橋剤として、ポリエチレングリコール＃４００ジグリシジルエーテルメタクリル酸付加物（長瀬化成工業  製品名  ＤＭ−８３２）  ８０ｇ、光重合開始剤として、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノン（ＣＩＢＡ−ＧＥＩＧＹ  製品名ＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７）  ５ｇを添加し感光性組成物を得た。
【００４３】
この感光性組成物をブレードコートで、ソーダガラス板上に塗布、８０℃のクリーンオーブンで３０分間乾燥した後、室温まで冷却、所定のパターンを備えたマスクを介し、照度５．０ｍW／ｃｍ2の超高圧水銀灯で５０ｍｊ／ｃｍ2の紫外線を照射した。続いてイオン交換水で６０秒間スプレー現像し、目的のパターンを得た。パターンの膜厚は６μｍ、解像度は４μｍであり、感度はウグラステップタブレットで８段であった。
【００４４】
この感光性組成物を４０℃で保存し、パターニング特性の変化を試験したが、２週間後でも物性に何ら変化は認められなかった。
【００４５】
（比較例１）
水現像性の高分子化合物として、特開昭５５−７３７１４の実施例１に従い、ダイアセトンアクリルアミドとアクリルアミド共重合体の７％水溶液を合成した。この高分子化合物の重量平均分子量をＧＰＣで測定するとＭＷ＝６２０００００であった。この高分子化合物の水溶液１４３ｇに、ポリエチレングリコール＃４００ジグリシジルエーテルアクリル酸付加物（共栄社化学  製品名エポキシエステル４００ＥＡ）  ４ｇ、光重合開始剤として、アントラキノン−２，６−ジスルホン酸ジナトリウム  ０．５ｇを添加し感光性組成物を得た。実施例と同様に塗布し、パターニング性を評価したが、露光量を１０〜１０００ｍｊ／ｃｍ2まで変化させたが、ソーダガラス板上でパターンを得ることはできなかった。
【００４６】
（比較例２）
比較例１の感光性組成物１００ｇに対し、０．１ｇのシランカップリング剤（信越シリコーン  製品名ＫＢＭ−６０３）を添加し感光性組成物を得た。実施例と同様にパターニング評価を行った結果、５０ｍｊ／ｃｍ2の露光量で良好なパターニング性を示した。パターンの膜厚は２μｍ、解像度は１２μｍであり、感度はウグラステップタブレットで４段であった。
【００４７】
この感光性組成物を４０℃で保存すると、シランカップリング剤が分解し、２日目でパターンがガラス板に接着しなくなった。
【００４８】
（比較例３）
水現像性の高分子化合物として、特開昭５５−７３７１４の実施例２に従い、ダイアセトンアクリルアミドとアクリルアミド共重合体の７％水溶液を合成した。この高分子化合物の重量平均分子量をＧＰＣで測定するとＭＷ＝６９０００００であった。この高分子化合物の水溶液１４３ｇに、ポリエチレングリコール＃４００ジグリシジルエーテルアクリル酸付加物（共栄社化学  製品名エポキシエステル４００ＥＡ）  ４ｇ、光重合開始剤として、アントラキノン−２，６−ジスルホン酸ジナトリウム  ０．５ｇを添加し感光性組成物を得た。実施例と同様に塗布し、パターニング性を評価したが、露光量を１０〜１０００ｍｊ／ｃｍ2まで変化させたが、ソーダガラス板上でパターンを得ることはできなかった。
【００４９】
（比較例４）
比較例３の感光性組成物１００ｇに対し、０．１ｇのシランカップリング剤（信越シリコーン  製品名ＫＢＭ−６０３）を添加し感光性組成物を得た。実施例と同様にパターニング評価を行った結果、５０ｍｊ／ｃｍ2の露光量で良好なパターニング性を示した。パターンの膜厚は２μｍ、解像度は１２μｍであり、感度はウグラステップタブレットで４段であった。
【００５０】
この感光性組成物を４０℃で保存すると、シランカップリング剤が分解し、２日目でパターンがガラス板に接着しなくなった。
【００５１】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の高分子化合物は、ガラス板上でのフォトパターニングにおいてカップリング剤等の添加もしくは前処理を必要としない、新規な高分子化合物であり、感光性組成物材料として大変有用である。