(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
主にＴｉまたはＴｉ合金粉末から構成される成形体を焼結して焼結体を製造するに際し、
炭素材料で構成された筐体と、該筐体の開口部を密閉または気体の出入りを可及的に抑制し得るように遮蔽する炭素材料で構成された蓋体とを備え、焼結時に前記成形体と反応しない材料で構成された成形体接触部を有する載置台が内部に設置された容器を用意し、
前記成形体を前記載置台の前記成形体接触部上に設置するとともに、前記成形体の総重量の５〜４８％の重量のゲッター材を前記筐体内の前記開口部の近傍に配置した後、前記蓋体で前記開口部を遮蔽し、さらに、この容器を炭素材料で構成された内壁を有する焼結炉内に入れた状態で、前記成形体の焼結を行うことを特徴とする焼結体の製造方法。
【請求項２】
前記載置台は、炭素材料よりなる基材と、これに接合された前記成形体接触部とで構成されている請求項１に記載の焼結体の製造方法。
【請求項３】
前記ゲッター材は、前記開口部のほぼ全域を塞ぐように配置される請求項１または２に記載の焼結体の製造方法。
【請求項４】
前記筐体および前記蓋体を構成する炭素材料は、黒鉛または黒鉛を主とするものである請求項１ないし３のいずれかに記載の焼結体の製造方法。
【請求項５】
前記成形体の焼結雰囲気は、１×１０-2Torr以下の真空または不活性ガスである請求項１ないし４のいずれかに記載の焼結体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＴｉまたはＴｉ合金粉末の成形体を焼結する焼結体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＴｉまたはＴｉ合金は、軽量で強度が高く、耐食性に優れる等の長所を有する金属材料であるが、その反面、加工性が悪く利用分野や対象物に制限がある。
【０００３】
このようなＴｉまたはＴｉ合金は、一般には、鋳造、鍛造、機械加工等を経て最終製品となるが、特殊な工具による切削加工や、レーザー加工を施したりする必要が生じるので、製造が容易ではなく、製造コストも高い。特に、複雑で微細な形状への加工には、複雑な製造工程と高度な技術とを要し、製造コストも大幅に増大する。
【０００４】
このような問題を解決する方法として、ＴｉまたはＴｉ合金粉末を所定の形状に成形（圧粉成形）し、この成形体を焼結炉で焼結してＴｉまたはＴｉ合金の焼結体を製造する方法が提案されている（特開平６−３３０１０５号公報）。
【０００５】
ＴｉまたはＴｉ合金の焼結体は、焼結時に酸素、炭素が侵入すると脆化して強度が低下する。そのため、酸素、炭素の侵入を抑制すべく、成形体をチタン、モリブデン、タングステン等の金属やアルミナのようなセラミックスで構成されたケース内に入れて焼結を行っている。
【０００６】
しかしながら、このような金属やセラミックスよりなるケースは、その製造、加工が容易ではなく、また、特にチタン、モリブデン、テングステンのような金属材料は、それ自体高価であり、しかも、これらのケースは、寿命が短く、使用可能な回数が少ないため、頻繁に交換しなければならない。
【０００７】
さらに、成形体とともにケース内に収納して使用するＴｉ等よりなるゲッター材は、成形体重量の５０％以上の重量を必要とするため、高価なゲッター材の消費量が多く、また、ゲッター材の充填作業にも手間がかかり、成形体の収納スペースの減少から、生産性も低い。
【０００８】
このようなことから、ＴｉまたはＴｉ合金焼結体製品の製造は可能であっても、製造装置やその周辺装置等に多大なコストがかかり、前述した問題を根本的に解決するには至っていない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、高品質のＴｉまたはＴｉ合金焼結体を容易かつ安価に製造することができる焼結体の製造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記（１）〜（５）の本発明により達成される。
【００１１】
（１）  主にＴｉまたはＴｉ合金粉末から構成される成形体を焼結して焼結体を製造するに際し、
炭素材料で構成された筐体と、該筐体の開口部を密閉または気体の出入りを可及的に抑制し得るように遮蔽する炭素材料で構成された蓋体とを備え、焼結時に前記成形体と反応しない材料で構成された成形体接触部を有する載置台が内部に設置された容器を用意し、
前記成形体を前記載置台の前記成形体接触部上に設置するとともに、前記成形体の総重量の５〜４８％の重量のゲッター材を前記筐体内の前記開口部の近傍に配置した後、前記蓋体で前記開口部を遮蔽し、さらに、この容器を炭素材料で構成された内壁を有する焼結炉内に入れた状態で、前記成形体の焼結を行うことを特徴とする焼結体の製造方法。
【００１２】
（２）  前記載置台は、炭素材料よりなる基材と、これに接合された前記成形体接触部とで構成されている上記（１）に記載の焼結体の製造方法。
【００１３】
（３）  前記ゲッター材は、前記開口部のほぼ全域を塞ぐように配置される上記（１）または（２）に記載の焼結体の製造方法。
【００１４】
（４）  前記筐体および前記蓋体を構成する炭素材料は、黒鉛または黒鉛を主とするものである上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の焼結体の製造方法。
【００１５】
（５）  前記成形体の焼結雰囲気は、１×１０-2Torr以下の真空または不活性ガスである上記（１）ないし（４）のいずれかに記載の焼結体の製造方法。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の焼結体の製造方法を添付図面に示す好適実施例に基づいて詳細に説明する。
【００２３】
［１］成形体の製造
焼結に供される成形体は、（Ａ）金属粉末射出成形法（ＭＩＭ：Metal Injection Molding ）、（Ｂ）圧粉成形法のいずれの方法で成形されたものでもよい。以下、各方法について順次説明する。
【００２４】
（Ａ−１）  ＴｉまたはＴｉ合金よりなる金属粉末と結合材（有機バインダー）とを用意し、これらを混練機により混練し、混練物（コンパウンド）を得る。
【００２５】
Ｔｉ合金を構成するＴｉ以外の金属としては、例えば、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｐｄ、Ｃｏ、Ｚｒ、Ａｌ、Ｖ、Ｍｏ、Ｓｎ、Ａｇ、Ｎｉのうちの１種または２種以上が挙げられる。この場合、Ｔｉ以外の金属の合計含有量は、６０wt％以下であるのが好ましく、５０wt％以下であるのがより好ましい。
【００２６】
また、金属粉末中には、Ｏ、Ｃ、Ｎ、Ｈ等の元素が微量（不可避的に）含まれていてもよい。この場合、これらの各元素の含有量は、Ｏ：０．３wt％以下、Ｃ：０．５wt％以下、Ｎ：０．５wt％以下、Ｈ：１．０wt％以下であるのが好ましく、また、Ｏ、Ｃ、Ｎ、Ｈの合計含有量は、２．３wt％以下であるのが好ましい。これらの元素の含有量が多過ぎると、得られた焼結体の脆化により、強度が低下する。
【００２７】
金属粉末の平均粒径は、特に限定されないが、通常、２〜３００μm 程度が好ましく、５〜５０μm 程度がより好ましい。
【００２８】
一方、結合材としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体などのポリオレフィン、ポリメチルメタクリレート、ポリブチルメタクリレート等のアクリル系樹脂、ポリスチレン等のスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、ポリエステル、ポリエーテル、ポリビニルアルコール、またはこれらの共重合体等の各種樹脂や、各種ワックス、パラフィン、高級脂肪酸（例：ステアリン酸）、高級アルコール、高級脂肪酸エステル、高級脂肪酸アミド、フタル酸エステル、アジピン酸エステル、トリメリット酸エステル、セバシン酸エステル等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。
【００２９】
このような結合材の合計添加量は、４〜２５wt％程度が好ましく、８〜２０wt％程度がより好ましい。４wt％未満では、成形時における流動性が乏しくなり、射出成形が不能または困難となるか、あるいは成形物の組成が不均一となり、２５wt％を超えると、射出成形により得られた成形体を焼成した際の収縮率が増大し、寸法精度が低下し、また、焼結体における空孔率や含有Ｃ量が増大する傾向を示す。
【００３０】
なお、混練に際しては、前記金属粉末および結合材の他に、例えば、可塑剤、潤滑剤、酸化防止剤、脱脂促進剤、界面活性剤等の各種添加物を必要に応じ添加することができる。
【００３１】
混練条件は、用いる金属粉末の粒径、結合材の組成およびその配合量等の諸条件により異なるが、その一例を挙げれば、混練温度：常温〜１６０℃程度、混練時間：２０〜２１０分程度とすることができる。
【００３２】
（Ａ−２）  前記（Ａ−１）の工程で得られた混練物（または該混練物より造粒されたペレット）を用いて、射出成形機により射出成形し、所望の形状の成形体を製造する。この場合、成形金型の選択により、複雑で微細な形状の成形体をも容易に製造することができる。
【００３３】
射出成形の成形条件としては、用いる金属粉末の粒径、結合材の組成およびその配合量等の諸条件により異なるが、その一例を挙げれば、材料温度（金型温度）が好ましくは８０〜２００℃程度、射出圧力が好ましくは２０〜１５０kgf/cm2 程度とされる。
【００３４】
（Ａ−３）  前記（Ａ−２）の工程で得られた成形体に脱脂処理（脱バインダー処理）を施す。この脱脂処理としては、非酸化性雰囲気、例えば真空または減圧状態下（例えば１×１０-1〜１×１０-6 Torr ）または窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス中で、熱処理を行うことによりなされる。
【００３５】
この場合、熱処理条件としては、好ましくは温度５０〜７００℃程度で３〜７２時間程度、より好ましくは温度６０〜５５０℃程度で６〜３６時間程度とされる。
【００３６】
なお、この脱脂処理は、結合材や添加剤中の特定成分を所定の溶媒（液体、気体）を用いて溶出させることにより行ってもよい。
【００３７】
（Ｂ−１）  圧粉成形法の場合、前述したＴｉまたはＴｉ合金よりなる金属粉末と、成形助剤等の添加剤とを均一に混合し、この混合物を、加圧成形機の金型内に充填し、加圧成形する。これにより、所望形状の成形体を得る。
【００３８】
成形助剤としては、例えば、各種ワックス、パラフィン、高級脂肪酸（例：ステアリン酸）等が挙げられる。このような成形助剤の添加量は、例えば、０．５〜５wt％程度とされる。
【００３９】
また、加圧成形時の材料温度（金型温度）は、好ましくは常温〜８０℃程度、圧力は、好ましくは２０〜１２０kgf/cm2 程度とされる。
【００４０】
（Ｂ−２）  必要に応じ、前記と同様の脱脂処理を施す。
【００４１】
［２］成形体の焼結
以上のようにして得られた成形体を焼結炉で焼成して焼結し、金属焼結体を製造する。
【００４２】
図１は、本発明の焼結体の製造方法に用いられる焼結炉の構造を模式的に示す断面図、図２は、成形体を収納する容器の構造を示す斜視図である。
【００４３】
成形体１０は、炭素材料で構成された容器１内に収納され、さらにこの容器１を焼結炉６内に入れ、焼結炉６を作動して焼結がなされる。
【００４４】
容器１は、一端側に開口部２１を有する筐体２と、開口部２１を遮蔽する蓋体３とで構成されている。図２に示すように、蓋体３は、その四隅において螺子部材４により筐体２に対し固定され、開口部２１を遮蔽する。蓋体３が開口部２１を遮蔽した状態では、容器１は、密閉状態（または半密閉状態）あるいは筐体２の蓋体３との接合部を介しての気体の出入りが可及的に抑制された状態となる。
【００４５】
また、容器１内の開口部２１の近傍、すなわち蓋体３の裏面付近には、後述するゲッター材１１が、開口部２１のほぼ全域を塞ぐように配置されている。ゲッター材１１をこのような箇所、すなわち、容器１の内外における気体の流通が生じ易い箇所に配置することにより、後述するゲッター材１１の機能をより有効に発揮することができ、ゲッター材１１の充填量の減少にも寄与する。
【００４６】
また、容器１内には、成形体１０を載置する載置台５が設置されている。載置台５は、炭素材料よりなる板状の基材５１と、この基材５１の上側に接合された板状の成形体接触部５２とで構成されている。成形体１０は、成形体接触部５２上に載置された状態で焼結される。
【００４７】
成形体接触部５２は、焼結時に成形体１０と反応しない（または反応し難い）材料で構成されている。このような材料としては、例えば、ジルコニア、マグネシア、カルシア等の酸化物系セラミックスが挙げられる。
【００４８】
基材５１は、支持部材としての機能の他に、成形体接触部５２の強度を補強する機能を有している。
【００４９】
このような成形体接触部５２を有する載置台５を用いることにより、焼結時における成形体１０との反応を抑制し、得られた焼結体の品質や寸法精度を向上することができる。
【００５０】
容器１、すなわち筐体２および蓋体３を構成する炭素材料としては、例えば、黒鉛（天然または人造）、ガラス状炭素、グラファイト、炭素繊維や炭素粉の集合体等が挙げられるが、そのなかでも特に、高強度で不純物が少なく、安価であることから、黒鉛または黒鉛を主とするものが好ましい。また、載置台５の基材５１を構成する炭素材料についても、同様である。
【００５１】
また、特に、強度を要する螺子部材４等は、炭素繊維の集合体を用いるのが好ましい。
【００５２】
黒鉛等の炭素材料は、熱伝導率が高く、従って、このような材料で容器１を構成することにより、焼結開始時に、容器１内の成形体１０を迅速かつ均一に加熱し、焼結することができる。また、黒鉛等の炭素材料は、安価であり、しかも加工性に優れているため、容器１を容易かつ安価に製造することができる。
【００５３】
特に、複雑な形状の容器１を作製する場合に有利である。一例を挙げれば、容器１の内壁面に、例えば載置台５を支持するための溝または段差（図示せず）等を形成する場合にも、切削等によりこれらを容易に加工、形成することができる。
【００５４】
さらに、黒鉛等の炭素材料は、耐熱性に優れ、焼結時の熱により変形、変質等の劣化や破損を生じないので、１つの容器１を多数回繰り返し使用することができ、寿命が長い。従って、容器１の劣化による交換を行う必要がなく（または交換の頻度が少なく）、取扱性に優れるとともに、更なる製造コストの低減に寄与する。
【００５５】
ゲッター材１１は、焼結時に、Ｏ、Ｃ等の物質が成形体１０へ付着、侵入するのを防止するために、これらの物質を事前に吸着（トラップ）するものであり、例えば前述したようなＴｉまたはＴｉ合金、ＺｒまたはＺｒ合金等で構成されている。また、ゲッター材１１の形態は、表面積を増大するために、多孔質体（スポンジ状）、切削屑、繊維（細線）の集合体、粒状物や粉末の集合体等で構成されているのが好ましい。
【００５６】
本発明においては、ゲッター材１１を前述したような箇所に設置すること等により、ゲッター材１１の容器１への充填量を従来に比べ少なくしても、高品質の焼結体を製造することができる。すなわち、ゲッター材１１の充填量は、成形体１０の総重量の５〜４８％程度とするのが好ましく、１０〜４０％程度とするのがより好ましい。５％未満であると、ゲッター材１１の機能が十分に発揮されず、容器１の密閉度が低い場合等に、得られた焼結体が脆化するおそれがある。また、４８％を超えると、容器１内におけるゲッター材１１の占有スペースが大きくなり、その分成形体１０の収納スペースが小さくなるので、焼結体の製造効率（生産性）の低下を招く。
【００５７】
このように、ゲッター材１１の充填量が少ないということは、ゲッター材１１の消費量が少ないということであり、従って、これによるコストの低減も図れ、しかも、ゲッター材１１の充填作業の軽減により、作業性も向上する。
【００５８】
なお、容器１の密閉度が高い場合等、他の条件によっては、ゲッター材１１の充填量を成形体１０の総重量の５％未満（０を含む）としてもよいことは、言うまでもない。
【００５９】
焼結炉６は、例えばステンレス鋼のような金属製の外壁７と、外壁７の内側に接合され、炭素材料で構成された内壁８とを有しており、内壁６２の内側に、容器１を収納し得る空間６０が形成されている。また、内壁６２の内部の空間６０を介して対向する位置には、それぞれ、黒鉛ヒーターのようなヒーター９が設置されている。
【００６０】
内壁８を構成する炭素材料としては、炭素繊維（黒鉛繊維等）や炭素粉の集合体が好ましい。内壁８をこのような炭素材料で構成することにより、前述したように、優れた熱伝導性が得られ、また、劣化も生じず、内壁８を容易に製造、加工することができ、そのコストも安価となる。
【００６１】
このような焼結炉６を用いて焼結を行う場合には、まず、容器１の載置台５上に成形体１０を載置し、筐体２に蓋体３を装着して開口部２１を遮蔽し、さらにこの容器１を焼結炉６の空間６０に入れ、ヒーター９を作動して焼結炉６内を所定温度に加熱する。
【００６２】
このような焼結における焼結条件としては、好ましくは温度８００〜１４５０℃程度で２〜３０時間程度、より好ましくは温度１０００〜１３５０℃程度で２．５〜２０時間程度とされる。
【００６３】
この場合、焼結雰囲気（容器１内の雰囲気）は、非酸化性雰囲気、すなわち真空または減圧状態下（好ましくは１×１０-2 Torr 以下、より好ましくは１×１０-2〜１×１０-6 Torr ）、あるいは、窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス中、その他還元性雰囲気中であるのが好ましい。また、焼結雰囲気は、焼結の途中で入れ替えられてもよい。
【００６４】
なお、以上のような焼結は、２回以上行うこともできる。
【００６５】
以上のような各工程を経て製造された焼結体は、高品質、すなわち高強度、高硬度で、Ｏ、Ｃ等の含有量も低く、また、形状も均一で（バラツキがなく）、寸法精度も高いものである。
【００６６】
また、焼結体中の空孔率も低く、強度の向上等に寄与する。例えば、空孔率を好ましくは１０％以下、より好ましくは１〜５％程度、さらに好ましくは１〜３．５％程度とすることができる。
【００６７】
【実施例】
次に、本発明の焼結体の製造方法の具体的実施例について説明する。
【００６８】
（実施例１〜３）
表１に示す組成の金属粉末と、ステアリン酸（成形助剤）：１wt％とを均一に混合し、この混合物を加圧成形機の金型内に充填し、長さ５０mm×幅１０mm×厚さ５mmの板状に圧粉成形した。なお、成形は、常温、成形圧１００kgf/cm2 で行った。
【００６９】
【表１】
0003781138.tif 000002
【００７０】
次に、得られた成形体をゲッター材とともに黒鉛製の容器に入れ、図１に示す構成の炭素繊維よりなる内壁と黒鉛ヒータとを有する焼結炉で焼結した。
【００７１】
黒鉛製容器は、筐体と蓋体とを有し、蓋体装着時には実質的に密閉状態を維持可能なものであり、その容積は、約０．０５m3であった。また、黒鉛製容器内には、黒鉛板とジルコニアよりなる成形体接触層とを接合してなる載置台が設けられ、この載置台上に複数の成形体を載置して焼結を行った。
【００７２】
また、ゲッター材は、スポンジ状の純チタンを用い、筐体の開口部を塞ぐように配置した。ゲッター材の容器への充填量を３段階に変更し、これらをそれぞれ実施例１、２、３とした。
【００７３】
また、焼結は、１２００℃、３時間の条件で行い、焼結雰囲気は、５×１０-3Torrの真空とした。
【００７４】
得られた焼結体について、機械的強度の指標の１つである長さ方向の伸び率を測定するとともに、含有するＣ量およびＯ量と、空孔率とを分析・測定した。
【００７５】
また、成形体を収納する容器の製造容易性を調べた。この製造容易性は、容器を元材から加工し、組み立てを完了するまでの時間を測定し、その時間と、加工に要した手間とを総合的に判断して、製造が容易な順に◎、○、△、×の４段階で評価した。
【００７６】
また、容器を繰り返し使用して焼結を行い、その寿命（有効使用回数）を調べた。この有効使用回数は、容器に、変形、変質、破損、密閉度の低下等の何らかの異常が生じるまでの使用回数とした。
【００７７】
以上の各結果を下記表２に示す。
【００７８】
（比較例１〜４）
成形体を収納する容器を、それぞれ、チタン（比較例１）、モリブデン（比較例２）、アルミナ（比較例３）で構成した以外は実施例１〜３と同様にして焼結体を製造し、同様の測定を行った。
【００７９】
また、容器を用いず、成形体を直接焼結炉内に入れて焼結を行った以外は実施例１〜３と同様にして焼結体を製造し、同様の測定を行った（比較例４）。
【００８０】
これらの結果を下記表２に示す。
【００８１】
【表２】
0003781138.tif 000003
【００８２】
表２に示すように、実施例１〜３では、いずれも、ゲッター材の充填量が少ないにもかかわらず、得られた焼結体は、比較例１〜４と同等以上の品質、すなわち高伸び率（高強度）、低Ｃ量、低Ｏ量、低空孔率を達成している。
【００８３】
また、実施例１〜３の黒鉛製容器は、比較例１〜３に比べ、加工性、製造の容易性が格段に優れており、また、寿命（有効使用回数）も長く、コストを大幅に削減することができた。
【００８４】
さらに、実施例１〜３では、比較例１〜４に比べ、作業性にも優れていた。
【００８５】
（実施例４〜６）
表１に示す組成の金属粉末と、アクリル系樹脂：５wt％およびワックス：５wt％から構成される結合材と、ジブチルフタレート（可塑剤）：１wt％とを混合し、これらを混練機にて９０℃、２時間の条件で混練した。
【００８６】
次に、この混練物を用い、射出成形機にて金属粉末射出成形し、成形体（腕時計ケース）を得た。射出成形時における成形条件は、金型温度１５０℃、射出圧力５０kgf/cm2 であった。
【００８７】
なお、成形体は、外径３０mmの円盤状をなしており、その外周部等に複雑で微細な凹凸が形成されたものである。
【００８８】
次に、得られた成形体に対し、４００℃の窒素ガス雰囲気中で２時間脱脂した。
【００８９】
その後、黒鉛製容器の容積を約０．１m3とした以外は実施例１〜３と同様の条件で、成形体を焼結した。成形体の総量およびゲッター材の容器への充填量の組み合わせを変更し、これらをそれぞれ実施例４、５、６とした。
【００９０】
得られた焼結体について、機械的強度の指標の１つであるビッカース硬度（Ｈｖ）を測定するとともに、含有するＣ量およびＯ量と、空孔率とを分析・測定した。
【００９１】
また、前記と同様の方法で、容器の製造容易性および寿命（有効使用回数）を調べた。
【００９２】
以上の各結果を下記表３に示す。
【００９３】
（比較例５〜８）
成形体を収納する容器を、それぞれ、チタン（比較例５）、モリブデン（比較例６）、アルミナ（比較例７）で構成した以外は実施例４〜６と同様にして焼結体を製造し、同様の測定を行った。
【００９４】
また、容器を用いず、成形体を直接焼結炉内に入れて焼結を行った以外は実施例４〜６と同様にして焼結体を製造し、同様の測定を行った（比較例８）。
【００９５】
これらの結果を下記表３に示す。
【００９６】
【表３】
0003781138.tif 000004
【００９７】
表３に示すように、実施例４〜６では、いずれも、ゲッター材の充填量が少ないにもかかわらず、得られた焼結体は、比較例５〜８と同等以上の品質、すなわち高硬度（高強度）、低Ｃ量、低Ｏ量、低空孔率を達成している。さらに、実施例４〜６による焼結体は、複雑な形状であるにもかかわらず、その形状は均一であり、各部の寸法精度も高いものであった。
【００９８】
また、実施例４〜６の黒鉛製容器は、比較例５〜７に比べ、加工性、製造の容易性が格段に優れており、また、寿命（有効使用回数）も長く、コストを大幅に削減することができた。
【００９９】
さらに、実施例４〜６では、比較例５〜８に比べ、作業性にも優れていた。
【０１００】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の焼結体の製造方法によれば、軽量でかつ十分な機械的強度、硬度を有する高品質のＴｉまたはＴｉ合金焼結体を、容易かつ安価に製造することができる。
【０１０１】
特に、ゲッター材の充填量が少なくても、このような効果が得られるので、更なる製造コストの低減と、生産性の向上とが図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の焼結体の製造方法に用いられる焼結炉の構造を模式的に示す断面図である。
【図２】成形体を収納する容器の構造を示す斜視図である。
【符号の説明】
１            容器
２            筐体
２１          開口部
３            蓋体
４            螺子部材
５            載置台
５１          基材
５２          成形体接触部
６            焼結炉
７            外壁
８            内壁
９            ヒーター
１０          成形体
１１          ゲッター材
【図１】
0003781138.tif 000005
【図２】
0003781138.tif 000006