(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に接触させる接触部と、
前記接触部が接続された第１の巻線及び前記被測定物の伝送特性を測定する測定装置に接続される第２の巻線を備えるトランスと、
前記第２の巻線と前記測定装置との間に直列に接続された抵抗素子と、
を備えることを特徴とする伝送特性測定用プローブ。
【請求項２】
前記第１の巻線と前記第２の巻線とを容量素子で直列接続することを特徴とする請求項１に記載の伝送特性測定用プローブ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の伝送特性測定用プローブを第１のプローブとして接続し且つ前記第１のプローブの接触部を介して信号を被測定物に印加するための信号発生手段と、
前記第１のプローブと異なる請求項１又は請求項２に記載の伝送特性測定用プローブを第２のプローブとして接続し且つ前記第１のプローブと異なる被測定物の部位に前記第２のプローブを接触させ、接触部を介して得られる信号を周波数分析する分析手段と、
を備えた伝送特定測定装置。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載の伝送特性測定用プローブと、前記伝送特性測定用プローブが接続され且つ前記伝送特性測定用プローブの接触部を介して測定信号を被測定物に印加するための信号発生手段と、前記伝送特性プローブが接続され且つ前記伝送特性測定用プローブの接触部を介して被測定物から得られる戻り信号に基づいて被測定物の伝送特性を測定する測定手段と、を備えた伝送特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、伝送特性測定用プローブ及び伝送特性測定装置にかかり、特に、電磁波対策を行うために情報処理機器及び各種電気・電子機器の金属筺体や金属接合板等の高周波信号伝送特性の測定を行う伝送特性測定用プローブ及び伝送特性測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、機器より放射される電磁ノイズ対策を行うための伝送特性測定に使用されるプローブは、コモンモードノイズを観測する電流変成器や容量性結合プローブなどが使用されていた。
【０００３】
高周波測定用プローブとしては、実願平２−３００６２号公報に記載の高周波測定用プローブが提案されている。この高周波測定用プローブは、導電性を有する筒体、棒体を同心円上に配置することで分布容量を形成し、筒体、棒体の同心円上にインダクタンスコア材を配置することでインダクタンス成分を形成し、分布容量とインダクタンス成分とを回路定数として使用することによって高周波測定を行うができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、コモンモードノイズを観測する電流変成器や容量性結合プローブを使用したネットワークアナライザ又は標準信号発生器と電界強度計を用いた伝送特性測定は、従来の測定では図１０に示すように、通常基準大地面となる信号リターン（接地）構造が必要となり、容積の大きな情報処理装置や電気・電子機器の測定を行う際には、基準大地面が大きくなるばかりでなく、任意の点に簡便に信号を注入することができない。さらに、機器に組み込まれた金属構造体の信号伝送特性を測定することができない、という問題がある。
【０００５】
また、実願平２−３００６２号公報の高周波測定プローブを用いて伝送特性測定を行う場合には、図１１に示すように、基準大地面を必要とせず機器の任意の点にプローブを接触させることで電流の測定を行うことができるが、接触端子を被測定物に接触させたときプローブの持つインピーダンス周波数特性が変動する。また、このプローブは電流抽出を目的としたものであると共に、接地線路が終端構造を持たない（プローブ回路がオープン回路である）ために、プローブに接続される同軸線路の配置や人及び隣接金属にインピーダンスが左右されて変動するため、測定の再現性を確保することができず、測定精度に問題を生じる、という問題がある。
【０００６】
このため、大型基準大地面となり得るシールドルームと呼ばれる特殊な電磁環境測定場所での測定が必要であった。
【０００７】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたもので、測定場所を選ぶことなく、被測定物の伝送特性を簡便に測定することができる伝送特性測定用プローブ及び伝送特性測定装置の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１に記載の発明は、被測定物に接触させる接触部と、前記接触部が接続された第１の巻線及び前記被測定物の伝送特性を測定する測定装置に接続された第２の巻線を備えるトランスと、前記第２の巻線と前記測定装置との間に直列に接続された抵抗素子と、を備えることを特徴としている。
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、第２の巻線と測定装置との間に直列に抵抗素子を設けることによって、送端インピーダンス（伝送特性測定用プローブ側のインピーダンス）と測定装置（例えば、測定装置と伝送特性測定用プローブを接続する同軸線路）のインピーダンスとの整合を図ることが可能となり、広帯域の周波数でインピーダンスを略一定に保つことができる。すなわち、伝送特性測定用プローブと測定装置間（例えば同軸線路）のインピーダンス変動を抑制することができるので、大きな基準面を必要とせずに、被測定物の任意の点における測定が可能となる。すなわち、測定場所を選ぶことなく、被測定物の伝送特性を簡便に測定することができる。
【００１０】
なお、抵抗に容量素子を並列に接続するようにしてもよい。このようにすることによって、トランス及び抵抗素子固有のインダクタンス成分を打ち消すことができ、広帯域の周波数で更に安定したインピーダンス特性を得ることができる。
【００１１】
さらに、絶縁部材を設けると共に、該絶縁部材内にスプリングなどの付勢手段を挿入し、該付勢手段に接触部を配置するようにしてもよい。このようにすることによって、伝送特性測定用プローブを押圧して接触部を被測定物に接触させ、絶縁部材が被測定物に接触するまで押圧することによって、接触部と被測定物との押圧力が付勢手段の付勢力となり、常に一定の接触圧力となる。従って、接触部と被測定物との接触抵抗が測定毎に変化するのを防止することができ、測定の再現性を確保することができる。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記第１の巻線と前記第２の巻線とを容量素子で直列接続することを特徴としている。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、容量素子を第１の巻線及び第２の巻線の間に直列に設けることによって、定在波を抑制することができ、接触部を被測定物に接触させた時のインピーダンス変動を抑制することができる。
【００１４】
例えば、第１の巻線と第２の巻線との間に容量素子を直列に接続し、同軸線路の外皮に接続することによって、定在波を抑制することができ、接触部を被測定物に接触させた時のインピーダンス変動を抑制することができる。
【００１５】
従って、大きな基準面を必要とせずに、被測定物の任意の点における測定が可能となる。すなわち、測定場所を選ぶことなく、被測定物の伝送特性を簡便に測定することができる。
【００１６】
また、請求項１及び請求項２の抵抗及び容量素子は、可変抵抗及び可変容量素子を使用するようにしてもよい。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の伝送特性測定用プローブを第１のプローブとして接続し且つ前記第１のプローブの接触部を介して信号を被測定物に印加するための信号発生手段と、前記第１のプローブと異なる請求項１又は請求項２に記載の伝送特性測定用プローブを第２のプローブとして接続し且つ前記第１のプローブと異なる被測定物の部位に前記第２のプローブを接触させ、接触部を介して得られる信号を周波数分析する分析手段と、を備えることを特徴としている。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、信号発生手段は前記伝送特性測定用プローブを第１のプローブとして、その第１のプローブの接触部を介して被測定物に信号を印加する。また、分析手段は第１のプローブと異なる伝送特性測定用プローブを第２のプローブとして、その第２のプローブの接触部を第１のプローブとは異なる被測定物の部位に接触させる。分析手段は、第２のプローブの接触部を介して得られる信号を周波数分析することによって、被測定物のインピーダンス周波数変動や共振周波数を測定する。ここで、上記で説明したように伝送特性測定用プローブを用いれば、インピーダンス変動が少なく、広帯域の周波数で安定したインピーダンス特性が得られる。このため、プローブと、信号発生手段及び分析手段との間（例えば、同軸線路による接続）の隣接金属物や人によるインピーダンス変動が抑制され、測定の再現性を確保することができ、測定精度を向上させることができる。
【００１９】
また、第１のプローブと第２のプローブをそれぞれ被測定物の異なる部位に接触させて被測定物の周波数分析を行うことができるので、被測定物の大きさや測定場所にかかわらず、被測定物の周波数分析を容易に行うことができる。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の伝送特性測定用プローブと、前記伝送特性測定用プローブが接続され且つ前記伝送特性測定用プローブの接触部を介して測定信号を被測定物に印加するための信号発生手段と、前記伝送特性プローブが接続され且つ前記伝送特性測定用プローブの接触部を介して被測定物から得られる戻り信号に基づいて被測定物の伝送特性を測定する測定手段と、を備えることを特徴としている。
【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、前記伝送特性測定用プローブを介して信号発生手段によって発生された信号を被測定物に注入する。そして、注入した信号を被測定物を介して伝送特性測定用プローブによって抽出することによって被測定物からの戻り信号を測定手段により測定することができる。測定手段は、信号発生手段により発生された信号及び被測定物を介して抽出した戻り信号に基づいて、被測定物のインピーダンスや共振周波数などの伝送特性を測定することができる。上記で説明したように、伝送特性測定用プローブを用いれば、インピーダンス変動が少なく、広帯域の周波数で安定したインピーダンス特性が得られる。このため、伝送特性測定用プローブと信号発生手段及び測定手段との間（例えば同軸線路）の隣接金属物や人によるインピーダンス変動が抑制され、測定の再現性を確保し、測定精度を向上させることができる。
【００２２】
信号発生手段及び測定手段に接続する伝送特性測定用プローブは、同様のものを用いることができ、前記伝送特性測定用プローブを複数用意しておけば、何れを用いても構わない。
【００２３】
前記伝送特性測定用プローブは、被測定物の異なる任意の点に接触させて伝送特性を測定することできる。
【００２４】
伝送特性測定装置における各々の伝送特性測定用プローブを被測定物の異なる任意の点にそれぞれ接触させることにより、信号発生手段により発生された信号を伝送特性測定用プローブを介して被測定物に注入し、その被測定物を介し、また伝送特性測定用プローブから戻り信号を測定手段へ伝送することが可能となる。従って、被測定物の大きさや測定場所等にかかわらず、被測定物の伝送特性の測定を容易に行うことが可能となる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の一例を詳細に説明する。
【００２６】
図１には、本発明の実施の形態に係る伝送特性測定用プローブの概略図が示されている。
【００２７】
同図において伝送特性測定用プローブ１０は、ＮｉＺｎ系のフェライト、ＭｎＺｎ系フェライト燒結体やこれらを混合した燒結体がリング状（輪形、所謂中空部を有するドーナツ形状）に形成されたコア材１２に、コイル用線材が巻きつけられた２次導体（２次コイル）１６と、２次コイル１６と同一コア上の対向する位置にコイル用線材が巻きつけられた１次導体（１次コイル）１４によって、主に構成されている。
【００２８】
コア材１２の中心部には、同軸線路１８が設けられており、同軸線路１８の中心導体２０は、抵抗２２及び容量素子２４を介して１次コイル１４に接続されている。１次コイル１４は、さらに、同軸線路１８の接地線路（シールド外皮）２６に接続されている。
【００２９】
同軸線路１８は、電圧発生源、電流発生源、電流計、電界強度計や電圧計に接続され、電気的信号を伝達する。
【００３０】
また、２次コイル１６は、容量素子２８を介して同軸線路１８のシールド外皮２６に接続されていると共に、被測定物に直接接触させる接触端子３０がスプリング３２を介して接続されている。スプリング３２は、円筒上の絶縁体３４の内部に挿入されている。すなわち、接触端子を被測定物に接触させることによりスプリング３２が収縮し、被測定物と絶縁体３４が接触するように構成されている。
【００３１】
図２には、上述のように構成された伝送特性測定用プローブ１０の等価回路が示されており、続いて、上述のように構成された伝送特性測定用プローブ１０の等価回路について説明する。
【００３２】
１次コイル１４の一端は、抵抗Ｒが同軸線路１８の中心導体２０に直列に接続されている。また、抵抗２２と並列に容量素子２４が接続されている。そして、１次コイル１４の他端は、同軸線路１８の接地されたシールド外皮２６に接続されている。抵抗２２及び容量素子２４の大きさは、コア材１２及び１次コイル１４によって発生するインピーダンスと同軸線路１８のインピーダンスが略同一となるような大きさの抵抗及び容量素子が接続されている。
【００３３】
２次コイル１６は、短絡された閉ループが形成され、容量素子２８を介して同軸線路１８のシールド外皮２６に接続されていると共に、スプリング３２を介して接触端子３０に接続されている。
【００３４】
さて、上述の伝送特性測定用プローブ１０は、図３に示すように、一対の伝送特性測定用プローブ１０を、同軸線路１８を介してネットワークアナライザ３６のポート１及びポート２に接続して伝送特性測定装置１００とすることによって電気基板等を保護する金属筺体や各種情報処理機器等より出力される共振周波数などの伝送特性を測定することができる。
【００３５】
伝送特性測定装置１００のネットワークアナライザ３６は、図４に示すように、主に信号発生手段３８、測定手段４０、入力手段４８、及び、モニタ５０によって構成されており、信号発生手段３８、測定手段４０、入力手段４８、及び、モニタ５０は、それぞれ入出力バス５２を介して接続されている。
【００３６】
信号発生手段３８は、同軸線路１８及び伝送特性測定用プローブ１０の一方のプローブ（ポート１に接続された伝送特性測定用プローブ）を介して所定のパルス信号を被測定物に注入し、測定手段４０は、信号発生手段３８より出力されて同軸線路１８及びポート１に接続された伝送特性測定用プローブ１０を介して被測定物に注入された信号を他方の伝送特性測定用プローブ（ポート２に接続された伝送特性測定用プローブ）及び同軸線路１８を介して抽出する。そして、信号発生手段３８によって発生される信号と被測定物を介して抽出された信号とを比較することによって、被測定物の伝送特性を測定するものである。
【００３７】
ネットワークアナライザ３６は、信号発生手段３８によって発生される信号を調整するための情報や、ネットワークアナライザ３６の校正を指示する情報を入力手段４８に入力することによって動作させることができ、ネットワークアナライザ３６の測定結果は、モニタ５０に表示することができる。なお、測定結果を印字するようにしてもよい。
【００３８】
例えば、ネットワークアナライザ３６の信号発生手段３８は、所定周波数のパルス電流を発生し、被測定物に該パルス電流を注入する。そして、測定手段４０は、信号発生手段３８によって発生されたパルス電流と被測定物を介して抽出されたパルス電流から被測定物のインピーダンスによる損失を測定することによって被測定物のインピーダンス周波数変動や被測定物より発生される電磁ノイズの共振周波数を測定することが可能である。
【００３９】
なお、伝送特性測定用プローブ１０の上述の抵抗２２及び容量素子２４のそれぞれの値は、ネットワークアナライザに一個の伝送特性測定用プローブ１０を接続して、ＳパラメータＳ１１（入力反射係数）を用いてネットワークアナライザ３６で得られるインピーダンスより、スミスチャートに基づいて決定することが可能である。例えば、ネットワークアナライザ３６で得られるインピーダンスをインダクタンス成分とキャパシタンス成分にスミスチャート上で分解することによって、抵抗２２及び容量素子２４の値を決定することが可能である。
【００４０】
続いて、伝送特性測定用プローブ１０の作用について説明する。
【００４１】
伝送特性測定用プローブ１０は、抵抗２２及び容量素子２４によって同軸線路１８のインピーダンスとコア材１２及び１次コイル１４によって発生するインピーダンスを略同一インピーダンスとなるように接続されているので、同軸線路１８と送端となる伝送特性測定用プローブとのインピーダンス整合が図られる。そして、容量素子２４が抵抗２２に並列に接続されているので、インピーダンス周波数特性が広帯域の周波数で安定した略同一インピーダンスとなり、安定したインピーダンス周波数特性を得ることができる。
【００４２】
２次コイル１６は、被測定物に接触させることによって被測定物の伝送特性を測定するために信号を被測定物に注入及び注入された信号を抽出するものであるが、被測定物に接触させることによって、プローブ回路（伝送特性測定用プローブ１０の等価回路）のインピーダンスが変動することがある。しかし、この２次コイル１６と同軸線路１８の接地されたシールド外皮２６を容量素子２８によって接続されているので、定在波を抑制することができ、プローブ回路のインピーダンスが変動することなく広帯域の周波数でインピーダンス特性が確保される。従って、被測定物に接触させることによって、変動するインピーダンスを抑制することができる。
【００４３】
また、伝送特性測定用プローブ１０を被測定物に接触させた時に、接触端子３０はスプリング３２に接続されているため、スプリング３２の付勢力を受けることになる。そして更に被測定物に押圧することによって、絶縁体３４に被測定物が接触する。すなわち、接触端子３０はスプリング３２の付勢力に応じた所定の圧力が加えられた状態で被測定物に接触することになる。従って、絶縁体３４が接触するまで伝送特性測定用プローブ１０を被測定物に押し付けることによって、被測定物と接触端子３０との接触抵抗は、常に同一の接触抵抗となり、接触抵抗によって測定の再現性が損なわれるのを防止することができる。
【００４４】
上述のように、本実施形態に係る伝送特性測定用プローブ１０は、簡便且つ、安定した信号の注入、抽出を行うことができる。
【００４５】
続いて、上述の伝送特性測定装置１００によって情報処理機器などの機器内部に電気・電子回路が組み込まれた機器の伝送特性として周波数特性を測定する場合の作用について説明する。
【００４６】
図３に示すように、伝送特性測定用プローブ１０をネットワークアナライザ３６のポート１とポート２に接続し、被測定物の任意の点を信号注入点及び信号抽出点として、伝送特性測定用プローブ１０の接触端子３０を接触させる。
【００４７】
続いて、信号発生手段３８によって発生した所定のパルス信号をネットワークアナライザ３６のポート１より被測定物の信号注入点より注入すると、ネットワークアナライザ３６のポート２に接続され、被測定物の信号抽出点に接触された伝送特性測定用プローブ１０が接続された信号発生手段３８より出力され、信号注入点に接触された伝送特性測定用プローブ１０を介して被測定物に入力された信号が抽出され、ネットワークアナライザ３６の測定手段４０へ伝送される。
【００４８】
ネットワークアナライザ３６の測定手段４０では、信号発生手段３８によって発生された信号と測定手段４０に被測定物を介して抽出された信号とが比較され、被測定物によって損失された信号が測定される。すなわち、被測定物に注入する信号と被測定物を介して抽出した信号を分析することにより、被測定物の伝送特性を測定することができる。ここで、被測定物へ注入する信号の周波数を可変して注入することによって、被測定物のインピーダンス周波数変動や共振周波数を測定するが可能となる。
【００４９】
伝送特性測定装置１００は、上述した伝送特性測定用プローブ１０を用いているので、伝送特性測定用プローブ１０に接続された同軸線路１８の配置、近接金属や人によるインピーダンス変動が抑制されるため、測定場所を選ぶことないと共に、被測定物の任意の点を信号の注入点及び抽出点とすることができ、被測定物の伝送特性を簡便に測定することができる。
【００５０】
また、伝送特性測定装置１００は、信号発生手段３８により発生した信号を被測定物に注入するので、被測定物の動作（電気・電子機器の動作）にかかわらず、被測定物のインピーダンス周波数変動や共振周波数などの伝送特性を測定することができる。
【００５１】
【実施例】
以下、図面を参照して、本発明の伝送特性測定用プローブの実施例を詳細に説明する。
【００５２】
伝送特性測定用プローブ１０に５０Ωの同軸線路１８を接続し、抵抗２２を５１Ω、容量素子２４及び容量素子２８を３３ｐＦに設定した場合の伝送特性測定用プローブ１０を伝送特性測定装置１００に接続し、伝送特性測定用プローブ１０自体の損失測定（伝送特性測定用プローブ２個分）を行った結果（ＳパラメータＳ２１）を図５に示し、該伝送特性測定用プローブ１０のインピーダンス周波数特性を図６に示し、電圧定在波比（ＶＳＷＲ）周波数特性を図７示す（ＳパラメータＳ１１）。
【００５３】
伝送特性測定用プローブ１０自体の損失測定は、伝送特性測定装置１００に伝送特性測定用プローブ１０を接続し、信号発生手段３８に接続した伝送特性測定用プローブ１０と測定手段４０に接続した伝送特性測定用プローブ１０を接触させた状態（ショート状態）で、信号発生手段３８により発生した信号に対して測定手段４０に戻ってきた信号とを比較したものであり、図５は、信号発生手段３８に対して戻り信号の大きさを示したものである。図５より、伝送特性測定用プローブ１０の損失特性は、３０ＭＨｚで、約３３ｄＢ、１００ＭＨｚで約３０ｄＢ、５００ＭＨｚで約４５ｄＢ、１ＧＨｚで約４３ｄＢとなっており、広帯域の周波数で略フラットなプローブの損失特性を得られることがわかる。
【００５４】
また、図６より、伝送特性測定用プローブ１０のインピーダンス周波数特性は、広帯域の周波数で、同軸線路１８のインピーダンス５０Ωに近い６０〜７０Ωとなっており、送端インピーダンス（伝送特性測定用プローブ１０）と同軸線路１８とのインピーダンス整合が図られ、安定したインピーダンス周波数特性が得られることがわかる。
【００５５】
さらに、図７より、電圧定在波比周波数特性においても、広帯域の周波数で、電圧定在波比（ＶＳＷＲ）が理想値１：１に近い値の１：１〜１：１．５となっており、安定した電圧定在波比周波数特性が得られることがわかる。
【００５６】
ここで、図８に、本発明の伝送特性測定装置１００に伝送特性測定用プローブ１０を用いて、実際の電子機器等の被測定装置に周波数を可変してパルス信号（電流）を注入し、該被測定装置を介して抽出した信号の各周波数における信号（電流）損失の測定結果を示す。
【００５７】
図８に示すように、注入周波数に応じて信号損失が変化しており、各周波数において信号損失の大きい点が被測定物の共振周波数として測定することができる。
【００５８】
なお、上記では、抵抗２２、容量素子２４及び容量素子２８を固定としたが、図９に示す伝送特性測定用プローブの等価回路のように、可変抵抗４２、可変容量素子４４及び可変容量素子４６を用いるようにしてもよい。
【００５９】
図９に示すようにすることによって、例えば、伝送特性測定用プローブ１０を交換した場合等による伝送特性測定用プローブ１０のインピーダンス変動の調整を行うことが可能となる。
【００６０】
更に、図６及び図７に示すようなインピーダンス周波数特性や電圧定在波比周波数特性を広帯域の周波数帯域で安定させるだけではなく、例えば所定周波数帯域を精密測定する場合に、所定周波数帯域のみにおけるそれぞれの特性を、更に理想値に近い値に安定させることが可能となる。
【００６１】
また、本実施の形態では、伝送特性測定装置１００として、伝送特性測定用プローグ１０を２つ接続した構成としたが、伝送特性測定用プローブ１０を複数接続して、何れかを使用する構成としてもよい。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、第２の巻線と測定装置との間に直列に抵抗素子を設けることによって、送端インピーダンスと測定装置のインピーダンスとの整合を図ることができる。また、容量素子を第１の巻線及び第２の巻線の間に直列に設けることによって、定在波を抑制することができ、接触部を被測定物に接触させた時のインピーダンス変動を抑制することができる。すなわち、大きな基準面を必要とせずに、被測定物の任意の点における測定が可能となり、測定場所を選ぶことなく、被測定物の伝送特性を簡便に測定することができる伝送特性測定用プローブ及び伝送特性測定装置を提供することができる、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  （Ａ）は本発明の実施の形態に係る伝送特性測定用プローブの概略図である。（Ｂ）は（Ａ）におけるＡ−Ａ断面を示す図である。
【図２】  本発明の実施の形態に係る伝送特性測定用プローブの等価回路を示す図である。
【図３】  本発明の実施の形態に係る伝送特性測定装置を示す図である。
【図４】  本発明の実施の形態に係る伝送特性測定装置の概略構成を示すブロック図である。
【図５】  伝送特性測定用プローブの損失周波数特性を示す図である。
【図６】  伝送特性測定用プローブのインピーダンス周波数特性を示す図である。
【図７】  伝送特性測定用プローブの低在波比周波数特性を示す図である。
【図８】  伝送特性測定装置による測定結果の一例を示す図である。
【図９】  伝送特性測定用プローブの変形例の等価回路を示す図である。
【図１０】  従来の伝送特性の測定方法を示す図である。
【図１１】  従来のプローブを用いの測定を示す図である。
【符号の説明】
１０    伝送特性測定用プローブ
１２    コア材
１４    １次コイル
１６    ２次コイル
１８    同軸線路
２０    中心導体
２２    抵抗
２８    容量素子
３０    接触端子
３８    信号発生手段
４０    測定手段
１００    伝送特性測定装置
【図１】
0003743225.tif 000002
【図２】
0003743225.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0003743225.tif 000012