(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定空気を導入して流通させる流路と、該流路内に配設され被測定空気の流量測定を行うセンシング部と、を備えた流量測定装置において、
該流路内に流れを変曲させるループ状のループ状湾曲部が形成され、該ループ状湾曲部の最小曲率半径部分の内側寄りにセンシング部が配置されたことを特徴とする流量測定装置。
【請求項２】
前記流路のループ状湾曲部内における前記センシング部の上流側に、ガイドルーバーが該流路の略軸線方向に向けて或いは軸線方向に対し外側に傾斜して配設されている請求項１記載の流量測定装置。
【請求項３】
前記ガイドルーバーは、流路の入口からセンシング部の位置までの間に設けられている請求項２記載の流量測定装置。
【請求項４】
前記ガイドルーバーが、さらに前記センシング部の位置から流路の出口までの間に設けられ、該ガイドルーバーが流路の軸線に対し内側に傾斜して配設されている請求項３記載の流量測定装置。
【請求項５】
前記ガイドルーバーは前記流路の軸線に沿って複数設けられ、該複数のガイドルーバーが軸線の横方向から見て相互に重なり部分を持つように配置されている請求項２記載の流量測定装置。
【請求項６】
被測定空気を導入して流通させる流路と、該流路内に配設され被測定空気の流量測定を行うセンシング部と、を備えた流量測定装置において、
該流路内に流れを変曲させるループ状のループ状湾曲部が形成され、該ループ状湾曲部の内側寄りにセンシング部が配置され、該センシング部が配置されるループ状湾曲部が該流路の最小断面積を持った箇所に形成されたことを特徴とする流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気の流量を測定する流量測定装置に関し、例えば内燃機関の吸入空気量測定装置などに適用される流量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、内燃機関の吸入空気量等を測定する装置として、薄膜式のエアフローセンサを使用し、被測定空気を流す流路にエアフローセンサを配置した流量測定装置が使用されている。
【０００３】
内燃機関の吸気系にはエアフィルタが配設され、吸入空気中に含まれる砂などの比較的大粒のパーティクルは、このエアフィルタで除去するようにしている。しかし、吸入される空気中には、エアフィルタでは除去されない比較的小径（例えば数百μm）のパーティクルが含まれており、これらのパーティクルが流路に入った場合、このパーティクルが例えば数十ｍ/secの速度でセンシング部に衝突すると、センシング部が破壊される虞が生じる。特に、薄膜式のエアフロセンサを用いる流量測定装置では、センサのメンブレンの厚さが約１μm程度と非常に薄く形成されているため、パーティクルが衝突すると、メンブレンが破損しやすいという問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、従来、特開2000‐304585号公報において、流量測定装置を配置する空気通路内にルーバーを配設すると共にガイド部を配設し、ルーバーとガイド部の作用により、パーティクルを流量測定装置のセンシング部から離れた位置に排除して、センシング部にパーティクルの影響を与えないようした流量測定装置が提案されている。また、特表2001‐504943号公報において、略Ｓ字状に湾曲した空気流路内にセンシング部を配置し、空気流軸線方向に対し流路を傾斜して配設し、パーティクルの衝突を回避するようにした流量測定装置が提案されている。
【０００５】
しかし、前者の流量測定装置は、ルーバーによってセンシング部へのパーティクルの衝突をある程度回避することができるものの、センシング部近傍への空気の流れがルーバーによって大きく減少し、流量の測定精度が低下する問題があった。また、後者のものでは、湾曲した流路にセンシング部を設けてはいるが、単に空気流路を湾曲形状としているだけであるため、パーティクルの衝突を避けることができず、センシング部の破損や汚染物質の付着により測定精度が低下する問題があった。
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するものであり、センシング部へのパーティクルの衝突や汚染物質の付着を防止すると共に、空気流量を安定して正確に測定することができる流量測定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の流量測定装置は、被測定空気を導入して流通させる流路と、該流路内に配設され被測定空気の流量測定を行うセンシング部と、を備えた流量測定装置において、該流路内に流れを変曲させるループ状のループ状湾曲部が形成され、該ループ状湾曲部の最小曲率半径部分の内側寄りにセンシング部が配置されたことを特徴とする。
【００１３】
これによれば、パーティクルを含む被測定空気が流路内のループ状湾曲部に進入した際、そこを通過する被測定空気中のパーティクルは、遠心力により或いは慣性力により湾曲部の外側寄りを通過し、且つループ状湾曲部の最小曲率半径部分を通過する際には、最も外側寄りを通過する。したがって、その部分の内側寄りにはパーティクルを含まない清浄な空気が流れ、センシング部の破損や汚染物質の付着を防止することができる。
【００１４】
ここで、請求項２のように、流路のループ状湾曲部内におけるセンシング部の上流側に、ガイドルーバーを流路の略軸線方向に向けて或いは軸線方向に対し外側に傾斜して配設することができる。また、請求項３のように、ガイドルーバーは、流路の入口からセンシング部の位置までの間に設けることができる。
【００１５】
これによれば、パーティクルを含む被測定空気が流路に進入し、ループ状湾曲部を通過する際、パーティクルは、遠心力或いは慣性力によりガイドルーバーの間を抜け、ガイドルーバーより流路の外側を通過するから、上記と同様に、センシング部にはパーティクルを含まない清浄な空気が流れ、センシング部の破損や汚染物質の付着を防止することができる。また、ガイドルーバーは、流路の外側壁部に当たって跳ね返ったパーティクルを止め、それが内側寄りに配置されたセンシング部に向うことを防止するため、センシング部の破損や汚染物質の付着を低減することができる。
【００１６】
また、請求項４のように、上記に加えてさらにガイドルーバーをセンシング部の位置から流路の出口までの間に設け、そのガイドルーバーを流路の軸線に対し内側に傾斜して配設することができる。これによれば、内燃機関の吸気管内のように、空気の吹き返しによって逆流が発生し、空気が出口から流路に入って流路を逆流する際にも、パーティクルは流路の外側寄りを通過するから、センシング部にはパーティクルを含まない清浄な空気を流し、センシング部の破損や汚染物質の付着を防止することができる。また、上記と同様に、ガイドルーバーは、流路の外側壁部に当たって跳ね返ったパーティクルを止め、それが内側寄りに配置されたセンシング部に向うことを防止するため、センシング部の破損や汚染物質の付着を低減することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１は第１実施形態の流量測定装置の断面図を示している。この流量測定装置は、本体１内に形成した被測定空気を導入して流通させる流路３と、流路３内に配設され被測定空気の流量測定を行うセンシング部４と、を備えて構成される。流路３は略逆Ｕ字状に形成され、その一端側面（上流側）に入口１５が設けられ、その他端側面（下流側）に出口１６が設けられる。
【００１８】
また、本体１の流路３内には、入口１５の近傍に入口側湾曲部５が形成され、出口１６の近傍に出口側湾曲部７が設けられ、流路３の中央に中央湾曲部６が形成されている。入口側湾曲部５の下流側で中央湾曲部６の上流側に、センシング部４が、その入口側湾曲部５の内側寄りに、つまり入口側湾曲部５の外側壁部とは反対側の壁寄りに配置される。被測定空気は、入口１５から流路に入り、入口側湾曲部５で上方に曲げられて流れるが、この空気が曲げられる際の内側寄りで、且つ入口側湾曲部５より下流側にセンシング部４が配置される。言い換えると、センシング部４は、本体１の上流側の壁部に取り付けられると共に、入口側湾曲部５の流路３内の上流側壁部寄りに配設されている。
【００１９】
一方、本体１の上部には回路モジュール２が取り付けられ、回路モジュール２の下部の取付部にはＯリングなどのシール材１２が装着される。回路モジュール２内には、信号処理用の回路が収納され、電源線及び信号線用のコネクタ１１がその側部に設けられる。
【００２０】
本体１は、例えばガラス繊維入りＰＢＴ，ＰＰＳ等の合成樹脂により成形され、上記のようにその内部に、略逆Ｕ字状（或いは略Ｓ字状）を呈した流路３が形成されている。そして、この流路３内の入口側湾曲部５の下流側の内側寄り（上流側の壁部）に測定用のセンシング部４が配設される。センシング部４は、例えば薄膜式のエアフローセンサからなり、半導体基板１７上に、流量検出用抵抗体及び発熱抵抗体を配置したメンブレンを形成し、その近傍に吸気温検出用抵抗体を形成して構成され、抵抗体の温度-抵抗特性を利用して、空気流量を測定する。半導体基板１７は台座１４に固定され、基板上の各端子はワイヤボンディングなどを介して回路モジュール２内の回路に接続されている。
【００２１】
このように構成された流量測定装置は、図１に示すように、内燃機関などの吸気管１０に設けられた取付孔に本体１を挿入し、空気流の上流側に本体1の正面側の入口１５を向け、下流側に出口１６を向けて、装着される。この際、本体1の上部のシール部材１２が取付孔との間の隙間をシールする。
【００２２】
吸気動作によって吸気管１０内を空気が流れると、管内の空気流の一部が本体１の入口１５から流路３内に流入し、略逆Ｕ字状の流路３に沿って流れる。このとき、空気中に含まれるパーティクルは、流路３に入り入口側湾曲部５に達したとき、その進行方向をその湾曲方向に曲げられるが、この際、その遠心力または慣性力によってパーティクルは流路３の湾曲部５の外側に沿って進み、流路３を上昇する。
【００２３】
したがって、パーティクルを含まない空気流は、入口側湾曲部５からそのまま流路３の軸線に沿って上昇し、センシング部４の周囲を通過し、中央湾曲部６を通り、出口側湾曲部７を介して、出口１６から導出される。
【００２４】
このため、センシング部４が配置された箇所の流路３に流れるパーティクルは著しく減少し、センシング部４へのパーティクルの衝突を回避してセンシング部４の破損や汚染物質の付着を防止することができる。また、流路３は、センシング部４の位置する流路を含めて複数本ではなく一本の通路であって、十分な流量の空気を流すことができるから、空気の流速を、少流量時でもある程度高く維持することができ、空気流量を安定して正確に測定することができる。なお、本体１または本体１の湾曲部５は、軟質合成樹脂、発泡合成樹脂などの跳ね返り係数の小さい材料で形成することができる。
【００２５】
図２は第２実施形態の流量測定装置の断面図を示している。この実施形態では、上記第１実施形態の装置における流路３内に複数のガイドルーバー９ａ〜９ｄが配設される。上記実施形態と同じ構成の部分については、上記と同じ符号を付してその説明を省略する。
【００２６】
ガイドルーバー９ａ〜９ｄは、図３の拡大図に示すように、流路３内における入口側湾曲部５の近傍に、流路３の軸線Ｌに沿って配設される。ガイドルーバー９ａ〜９ｄは、図３のように流線型にすると、空気抵抗が少なく、良好であるが、板状のルーバーを使用することもできる。基本的には、ガイドルーバー９ａは流路３の入口１５の近傍に略軸線Ｌに沿って配置され、ガイドルーバー９ｂ、９ｃは入口側湾曲部５の近傍でその湾曲した軸線Ｌに略沿って配置され、ガイドルーバー９ｄはセンシング部４の近傍に軸線Ｌに沿って配置される。
【００２７】
ガイドルーバー９ａ〜９ｄの取付角度は、軸線Ｌの方向と略一致させて取り付けることも可能であるが、図３に示すように、ガイドルーバー９ｃのごとく、軸線Ｌに対し所定の角度αだけ湾曲部の外側に傾斜させ、或いはガイドルーバー９ｂのごとく、軸線Ｌの接線に対し所定の角度βだけ外側（湾曲部の外側）に傾斜させることが良好である。
【００２８】
すなわち図３の例では、流路３内の軸線Ｌが曲線となる湾曲部のガイドルーバー９ａ、９ｂは、軸線Ｌの接線方向に対し所定の角度だけ外側に傾斜して配置され、軸線Ｌが直線となる直線部分のガイドルーバー９ｃ、９ｄは、軸線Ｌに対し所定の角度だけ外側に傾斜して配置されている。また、ガイドルーバー９ａ〜９ｄは、図３に示すように、軸線Ｌの横方向から見た場合、重なり合う部分を持つように、各ルーバーの間隔は設定されている。
【００２９】
また、ガイドルーバー９ａ〜９ｄは、軟質合成樹脂或いは発泡合成樹脂などの跳ね返り係数の小さい材料で成形することができ、これにより、パーティクルがそこに当たった際の跳ね返りを小さくすることができる。さらに、ガイドルーバー９ａ〜９ｄは、流路３内でその角度を調整可能に取り付けることもでき、製品の出荷時にその角度を調整するようにしても良い。
【００３０】
このような構成の流量測定装置では、吸気動作によって吸気管１０内を空気が流れると、管内の空気流の一部が本体１の入口１５から流路３内に流入し、略逆Ｕ字状の流路３に沿って流れる。このとき、空気中に含まれるパーティクルは、流路３に入り入口側湾曲部５に達するが、そこにはガイドルーバー９ａ〜９ｄが流路の軸線Ｌに沿って配設され且つその角度が若干外側に傾斜して配設されるため、ガイドルーバー９ａ〜９ｄによってパーティクルを含む空気流は流路３内の湾曲部の外側寄りに効果的に流れ、その際、空気中のパーティクルはその遠心力または慣性力によって流路３の入口側湾曲部５の外側寄りに沿って進み、流路３を上昇する。
【００３１】
したがって、パーティクルを含まない空気流は、入口側湾曲部５の流路３の軸線Ｌの内側寄りに上昇し、センシング部４の周囲を通過していく。また、入口側湾曲部５の外側壁部に当たって跳ね返ったパーティクルは、ガイドルーバー９ａ〜９ｄに当たって内側に入ることを防止され、流路３の外側（湾曲部の外側）を進行することになる。
【００３２】
このため、センシング部４が配置された流路３の湾曲部の下流側の外側寄り箇所に流れるパーティクルは著しく減少し、センシング部４へのパーティクルの衝突を回避してセンシング部４の破損や汚染物質の付着を防止することができる。また、流路３は、センシング部４の位置する流路を含めて複数本ではなく一本の通路であって、十分な流量の空気を流すことができるから、空気の流速を、少流量時でもある程度高く維持することができ、空気流量を安定して正確に測定することができる。
【００３３】
図４、図５はガイドルーバーの変形例を示している。図４の（ａ）は流線型で直線状のガイドルーバー９ｅであり、流路３の軸線Ｌに対し外側への傾斜角度αだけ傾斜して配設される。これに対し、図４の（ｂ）は湾曲状に曲がった形状のガイドルーバー９ｆであり、流路３の軸線Ｌの湾曲した部分に且つその湾曲方向に曲がった形態で配置される。
【００３４】
このように曲がったガイドルーバー９ｆは、湾曲部の外側壁部で跳ね返ったパーティクルを効果的に止めることができる。また、図５の（ａ）は上記とは反対側に曲がった形状のガイドルーバー９ｇであり、流路３の軸線Ｌの湾曲した部分に且つその湾曲方向とは反対側に曲がった形態で配置される。このように曲がったガイドルーバー９ｇは、湾曲部における空気の流れを、外側壁寄りにより効果的にガイドすることができる。また、図５の（ｂ）のガイドルーバー９ｈは、その先端部外側に、異物トラップ部９ｉを設けている。これによれば、湾曲部の外側壁部で跳ね返ったパーティクルをその異物トラップ部９ｉの内側で良好に捕捉することができる。
【００３５】
図６、図７は第３実施形態の流量測定装置の正面図、断面図を示している。この流量測定装置では、上記の逆Ｕ字状の流路に代えて、ループ状湾曲部２２を有する流路２３が本体２１内に形成される。この流路２３内におけるループ状湾曲部２２の最小曲率半径部分（図７上では流路２３の最上部）の内側寄りにセンシング部４が配置される。なお、上記実施形態と同様な構造の部分については、同じ符号を付してその説明を省略する。
【００３６】
流路２３は１ターンのループ状に形成され、そこには軸線方向に沿って湾曲するループ状湾曲部２２が形成され、その一端側面（正面側）に入口３５が設けられ、その他端側面（背面側）に出口３６が設けられる。このループ状湾曲部２２を有する流路２３は、略全ての部分で湾曲して形成され、その湾曲部の最小曲率半径部分は、流路２３の図７における最上部に形成されている。また、その最小半径部分は流路２３の最小断面積を持つように形成され、流路２３はその最小曲率半径で最小断面積を持った部分から両側に徐々に断面積が広がるように、つまり両側に徐々に太くなるように形成されている。センシング部４は、その流路２３内における最小曲率半径で最小断面積を持った部分の内側寄りに配設される。
【００３７】
このような構成の流量測定装置は、吸気動作によって吸気管１０内を空気が流れると、管内の空気流の一部が本体１の入口３５から流路２３内に流入し、ループ状に湾曲した流路２３つまりループ状湾曲部２２に沿って流れる。このとき、パーティクルを含む空気は、ループ状湾曲部２２の湾曲した軸線に沿ってその湾曲方向に曲げられるが、この際、空気中のパーティクルはその遠心力または慣性力によって湾曲部の外側寄りに進み、流路２３を上昇し、流路２３の最上部近傍においても外側寄りを進行し、センシング部４の上側を通過する。このため、センシング部４の位置する流路２３内の最上部の下側寄りには、パーティクルの少ない清浄な空気が通過し、それらは流路２３を下降して、出口３６から導出される。
【００３８】
したがって、センシング部４が配置された流路２３の最上湾曲部の内側寄りに流れるパーティクルは著しく減少し、センシング部４へのパーティクルの衝突を回避してセンシング部４の破損を防止することができる。また、センシング部４の位置する流路２３の最上部分が、最小断面積を持つように最も細く形成されているから、空気流量が少ない場合でも、空気の流速をある程度高く維持することができ、空気流量を安定して正確に測定することができる。さらに、このセンシング部４の位置する最小断面積の部分は、流路２３の最小曲率半径の部分でもあるから、パーティクルの遠心力や慣性力を有効に作用させ、細い通路であっても、パーティクルをセンシング部４のない外側壁部寄りに集めて通過させ、パーティクルのセンシング部への影響を最小にすることができる。
【００３９】
図８は第４実施形態の流量測定装置の断面図を示している。この実施形態では、上記第３実施形態の装置における流路２３内に複数のガイドルーバー２９ａ〜２９ｆが配設される。上記実施形態と同じ構成の部分については、上記と同じ符号を付してその説明を省略する。
【００４０】
ガイドルーバー２９ａ〜２９ｆは、図８に示すように、流路２３内におけるループ状湾曲部２２の入口３５からセンシング部４が位置する最上部までの間に、流路２３の軸線に沿って配設される。ガイドルーバー２９ａ〜２９ｆは、上記と同様に流線型にすると、空気抵抗が少なく、良好であるが、板状のルーバーを使用することもできる。基本的には、全てのガイドルーバー２９ａ〜２９ｆは、流路２３の軸線の接線方向に対し所定の傾斜角度だけ外側に傾斜して配設される。
【００４１】
なお、ガイドルーバー２９ａ〜２９ｆは、平板状のほか、上記図３、図４の（ａ）のように、直線状の流線型にすることができ、また、図４の（ｂ）、図５の（ａ）のように、湾曲状に曲った流線型としてもよい。
【００４２】
このような構成の流量測定装置では、吸気動作によって吸気管１０内を空気が流れると、管内の空気流の一部が本体２１の入口３５から流路２３内に流入し、ループ状湾曲部２２に沿ってガイドルーバー２９ａ〜２９ｆのある流路２３を上昇する。このとき、パーティクルを含む空気は、ガイドルーバー２９ａ〜２９ｆによって流路２３内の湾曲部の外側寄りに流れ、その際、空気中のパーティクルはその遠心力または慣性力によってループ状湾曲部２２の外側寄りに沿って進み、流路２３を上昇し、最上部の内側寄りに位置するセンシング部４の外側寄り通過する。
【００４３】
したがって、パーティクルを含まない空気流は、ループ状湾曲部２２の流路２３の内側寄りを上昇し、最上部の内側寄りに位置するセンシング部４の周囲を通過していく。また、ループ状湾曲部２２の外側壁部に当たって跳ね返ったパーティクルは、ガイドルーバー２９ａ〜２９ｆに当たって内側に入ることを防止され、流路２３の外側（ループ状湾曲部２２の外側）を進行することになる。
【００４４】
このため、センシング部４が配置された流路２３のループ状湾曲部２２の最上部の内側寄りを流れるパーティクルは著しく減少し、センシング部４へのパーティクルの衝突を回避してセンシング部４の破損や汚染物質の付着を防止することができる。また、上記と同様に、流路２３は、センシング部４の位置する箇所が最小断面積を持つように形成されているから、空気の流量が少流量時でも、その流速をある程度高く維持することができ、空気流量を安定して正確に測定することができる。
【００４５】
図９は、第５実施形態の流量測定装置の断面図を示している。この実施形態では、上記第４実施形態の装置の流路２３内における最上部（センシング部４が配置される最小曲率半径部）と出口３６の間にガイドルーバー２９ｇ〜２９ｋが配設される。上記実施形態と同じ構成の部分については、同じ符号を付してその説明を省略する。
【００４６】
ガイドルーバー２９ｇ〜２９ｋは、図９に示すように、流路２３内におけるループ状湾曲部２２のセンシング部４が位置する最上部から下流側に、つまり出口３６までの間に、流路２３の軸線に沿って配設される。ガイドルーバー２９ｇ〜２９ｋは、上記と同様に流線型にすると、空気抵抗が少なく、良好であるが、板状のルーバーを使用することもできる。基本的には、ガイドルーバー２９ｇ〜２９ｋは、流路２３の軸線の接線方向に対し所定の傾斜角度だけ内側に傾斜して配設される。つまり、センシング部４の位置する最上部から下流側のガイドルーバー２９ｇ〜２９ｋは、その反対側の入口３５から最上部までに配設されたガイドルーバー２９ａ〜２９ｆとは逆側（内側）に傾斜して配設されている。なお、これらのガイドルーバー２９ｇ〜２９ｋも、上記と同様に、平板状のほか、直線状の流線型、或いは湾曲状に曲った流線型とすることができる。
【００４７】
このような構成の流量測定装置では、上記と同様に、吸気動作によって吸気管１０内を空気が流れると、管内の空気流の一部が本体２１の入口３５から流路２３内に流入し、ループ状湾曲部２２に沿ってガイドルーバー２９ａ〜２９ｆのある流路２３を上昇する。このとき、パーティクルを含む空気は、上記と同様に、ガイドルーバー２９ａ〜２９ｆによって流路２３内の湾曲部の外側寄りに流れ、その際、空気中のパーティクルはその遠心力または慣性力によってループ状湾曲部２２の外側寄りに沿って進み、流路２３を上昇し、最上部の内側寄りに位置するセンシング部４の外側寄り通過する。
【００４８】
一方、内燃機関の吸気管１０内に空気の吹き返しによって逆流が発生し、空気が装置の出口３６から流路２３に入ってループ状湾曲部２２を逆流すると、ガイドルーバー２９ｇ〜２９ｋによりパーティクルを含む空気は、流路２３の外側寄りに誘導され、センシング部４にはパーティクルを含まない清浄な空気が流れ、センシング部の破損や汚染物質の付着を防止することができる。また、上記と同様に、ガイドルーバー２９ｇ〜２９ｋは、流路２３の外側壁部に当たって跳ね返ったパーティクルを止め、それが内側寄りに配置されたセンシング部４に向うことを防止するため、センシング部４の破損や汚染物質の付着を低減することができる。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の流量測定装置によれば、パーティクルを含む被測定空気が流路に進入した際、湾曲部を通過する被測定空気中のパーティクルは、遠心力または慣性力により湾曲部の外側を通過するから、湾曲部の下流側の内側寄りにはパーティクルを含まない清浄な空気が流れ、センシング部の破損や汚染物質の付着を防止することができる。また、センシング部が位置する流路に充分な流量の空気を流すことができ、空気の流速を、少流量時でもある程度高く維持し、空気流量を安定して正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の流量測定装置の断面図である。
【図２】第２実施形態の流量測定装置の断面図である。
【図３】同流量測定装置の要部拡大断面図である。
【図４】同流量測定装置のガイドルーバーの変形例である。
【図５】同流量測定装置のガイドルーバーの変形例である。
【図６】第３実施形態の流量測定装置の正面図である。
【図７】同流量測定装置の断面図である。
【図８】第４実施形態の流量測定装置の断面図である。
【図９】同流量測定装置の変形例の断面図である。
【符号の説明】
１−本体
３−流路
４−センシング部
５−入口側湾曲部
６−中央湾曲部
９ａ〜９ｄ−ガイドルーバー
１５−入口
１６−出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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