(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークにプローブの針端子を接触させてその特性を測定するためのプローブ装置において、
ハウジングと、
このハウジングの一方の開口端側に設けられ前記ワークを支持するとともに、前記針端子を案内するワーク支持部と、
このハウジングの他方の開口端側に形成され、前記プローブの基端部を保持するプローブホルダと、
前記ワーク支持部と前記プローブホルダとの間に配置され、前記ハウジングに固定されたプローブホルダアームとを備え、
前記プローブホルダは、
ホルダ本体と、
このホルダ本体の外周部側に設けられるとともに、前記ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される外側プローブ挿入孔と、
前記ホルダ本体の中心部側に設けられるとともに、前記ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される内側プローブ挿入孔と、
前記ホルダ本体の前記他方の開口端側から形成された凹部と、
この凹部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記内側プローブ挿入孔に挿入された前記プローブを前記ホルダ本体に固定する固定部材とを備えていることを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
前記凹部は、前記内側プローブ挿入孔の少なくとも一部に切り込んで形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の特性測定等に用いられるプローブ装置に関し、特に多連部品の測定に用いるためにプローブを効率よく保持することができるものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の特性を測定する装置として、電子部品の端子にプローブの針端子を接触させて測定を行うプローブ装置が知られている。図４はこのようなプローブ装置の一例を示す縦断面図である。プローブ装置１０は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Ｈに取り付けられたハウジング１１を備えている。ハウジング１１内には、後述するプローブ２０を保持するプローブホルダ１２、絶縁プレート１３、プローブホルダ１２を図４中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に上下動させるプローブホルダアーム１４、プローブ回り止めガイド１５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部品（不図示）の底面を支持するガイドチップ１６とが配設されている。また、図４中１７はプローブホルダ１２の外周側から差し込まれ、プローブ２０を固定するセットねじを示している。
【０００３】
図４中２０はプローブを示している。プローブ２０は、スリーブ２１と、バレル２２と、プローブ針２３とを備えている。プローブ針２３の先端側には針端子２３ａが形成され、ガイドチップ１６に形成されたガイド孔１６ａにより電子部品の端子に接触するように往復動自在に案内されている。
【０００４】
このように構成されたプローブ装置１０では、プローブホルダアーム１４を介してプローブホルダ１２を上下に動かすことでプローブ針２３の針端子２３ａを電子部品の端子に接触させている。プローブホルダ１２の上下動幅とプローブ針２３が上下動できる幅との差は、バレル２２内に設けられたスプリングによって吸収するようになっている。
【０００５】
次に、プローブ装置１０の組み立て方法について説明する。絶縁プレート１３、プローブ回り止めガイド１５とともにプローブホルダ１２をプローブホルダアーム１４にねじ止めし、プローブホルダ１２に設けたプローブ挿入孔１２ａにプローブ２０をそのプローブ針２３側から差し込んで、絶縁プレート１３にスリーブ２１を当接させる。次に、セットねじ１７により、プローブホルダ１２に堅くねじ嵌合することでスリーブ２１をプローブホルダ１２に固定する。そして、ガイドチップ１６上を電子部品が支障なく通過できるように、バレル２２を回転して針端子２３ａをガイドチップ１６の上面より少し下げるとともに、プローブホルダアーム１４を上げた時電子部品の端子に針端子２３ａが接触するようにバレル２２を回転させ調整していた。
【０００６】
上述したように各プローブ２０はプローブホルダ１２の外周壁側からセットねじ１７をねじ込んで固定することから、プローブ２０とプローブホルダ１２の外周壁との間に別のプローブ２０を配置することはできない。このため、プローブ２０は１列乃至２列あるいはコの字形乃至ロの字形に配置することになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のプローブホルダを備えたプローブ装置であると次のような問題があった。すなわち、最近の電子部品の多連化に伴い、測定に必要なプローブ２０の本数が増えている。このため、上述したようにプローブ２０を配置しようとすると、プローブホルダ１２を大きくしなくてはならない。また、プローブホルダ１２が大きくなると、ガイドチップ１６に対するプローブ針２３の傾斜角度が大きくなるため、プローブ２０の動作不良、プローブ針２３が破損する等の虞があった。
【０００８】
そこで本発明は、プローブホルダを大型化することなく多くのプローブを効率よく保持することができるプローブ装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、本発明のプローブ装置は次のように構成されている。
【００１０】
（１）ワークにプローブの針端子を接触させてその特性を測定するためのプローブ装置において、ハウジングと、このハウジングの一方の開口端側に設けられ前記ワークを支持するとともに、前記針端子を案内するワーク支持部と、このハウジングの他方の開口端側に形成され、前記プローブの基端部を保持するプローブホルダと、前記ワーク支持部と前記プローブホルダとの間に配置され、前記ハウジングに固定されたプローブホルダアームとを備え、前記プローブホルダは、ホルダ本体と、このホルダ本体の外周部側に設けられるとともに、前記ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される外側プローブ挿入孔と、前記ホルダ本体の中心部側に設けられるとともに、前記ホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される内側プローブ挿入孔と、前記ホルダ本体の前記他方の開口端側から形成された凹部と、この凹部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記内側プローブ挿入孔に挿入された前記プローブを前記ホルダ本体に固定する固定部材とを備えていることを特徴とする。
【００１１】
（２）前記（１）に記載されたプローブ装置であって、前記凹部は、前記内側プローブ挿入孔の少なくとも一部に切り込んで形成されていることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施の形態に係るプローブ装置３０を示す縦断面図、図２は同プローブ装置３０の側面図、図３は同プローブ装置３０に組み込まれたプローブホルダ４０を示す底面図である。なお、これらの図において図４と同一機能部分には同一符号を付した。
【００１３】
プローブ装置３０は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Ｈに取り付けられたハウジング３１を備えている。ハウジング３１内には、図中下方からプローブホルダ４０、絶縁プレート３３、プローブホルダ４０を図１中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に上下動させるプローブホルダアーム３４、プローブ回り止めガイド３５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部品（不図示）の底面を支持するガイドチップ３６とが配設されている。また、図１中５０はプローブホルダ４０の外周側から後述するねじ孔４５にねじ込まれ、プローブ２０を固定するセットねじを示している。
【００１４】
図１中２０はプローブを示している。プローブ２０は、スリーブ（基端部）２１と、バレル２２と、プローブ針２３とを備えている。プローブ針２３の先端側には針端子２３ａが形成され、ガイドチップ３６に形成されたガイド孔３６ａにより電子部品の端子に接触するように往復動自在に案内されている。
【００１５】
プローブホルダ４０は、図３に示すように、板状の本体部４１と、この本体部４１をガイドチップ３６のガイド孔３６ａに略そ向き傾斜して貫通するそれぞれ８個ずつ設けられた外側プローブ挿入孔４２及び内側プローブ挿入孔４３とを備えている。本体部４１は、側壁４１ａ〜４１ｄを有しており、側壁４１ｃから側壁４１ａ側にかけてテーパ状の溝４４（凹部）が形成されている。
【００１６】
溝４４は内側プローブ挿入孔４３とδだけ重なって形成されている。さらに、側壁４１ｂ，４１ｄから外側プローブ挿入孔４２までねじ孔４５が形成されている。なお、溝４４にはテーパ状の溝と嵌合する断面が台形をした固定部材４６が取り付けられており、ボルト４７により、プローブホルダアーム３４、絶縁プレート３３、プローブホルダ４０と一体に締結されている。
【００１７】
次に、プローブ装置３０の組み立て方法について説明する。絶縁プレート３３、プローブ回り止めガイド３５とともにプローブホルダ４０をプローブホルダアーム３４一体にねじ止め締結する。プローブホルダ４０の外側プローブ挿入孔４２及び内側プローブ挿入孔４３にプローブ２０をそのプローブ針２３側から差し込んで、絶縁プレート３３にスリーブ２１を当接させる。次に、セットねじ５０をねじ孔４５に差し込んで外側プローブ挿入孔４２内のプローブ２０を固定する。最後に、溝４４内に断面が台形をした固定部材４６を差し込み、内側プローブ挿入孔４３内のプローブ２０をボルト４７により固定する。
【００１８】
そして、プローブホルダアーム３４を図１中矢印Ｚ方向に図示しない駆動源で上下動させることにより、ガイドチップ３６上を電子部品が支障なく通過できるように、針端子２３ａをガイドチップ３６の上面より少し下げるとともに、上げた時電子部品の端子に針端子２３ａが接触するように調整する。
【００１９】
このように構成されたプローブ装置３０では、プローブホルダ４０にプローブ２０を固定させる際に、外周部からのねじ止めの他に、内側から固定部材４６にてプローブ２０を固定することができる。このため、プローブホルダ４０に外側２列及び内側２列の合計４列にてプローブ２０を保持させることができる。したがって、プローブホルダ４０を大型にすることなく、多数のプローブ２０を保持することが可能である。このため、ガイドチップ３６に対するプローブ針２３の傾斜角度を小さくできることとなり、プローブ２０の動作不良、プローブ針２３の破損等を防止することが可能である。
【００２０】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
【００２１】
【発明の効果】
本発明によれば、プローブホルダを大型化することなく多くのプローブを効率よく保持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るプローブ装置を示す縦断面図。
【図２】同プローブ装置の側面図。
【図３】同プローブ装置に組み込まれたプローブホルダを示す底面図。
【図４】従来のプローブ装置を示す縦断面図。
【符号の説明】
２０…プローブ
３０…プローブ装置
３１…ハウジング
３６…ガイドチップ
４０…プローブホルダ
４２…外側プローブ挿入孔
４３…内側プローブ挿入孔
４４…溝
４５…ねじ孔
４６…固定部材
【図１】
0003862963.tif 000002
【図２】
0003862963.tif 000003
【図３】
0003862963.tif 000004
【図４】
0003862963.tif 000005