(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物を形成可能な組成比で混合されたＴｉあるいはＴｉ合金とＡｌあるいはＡｌ合金からなる原料の混合体を製作する工程と、上記混合体を焼結温度まで加熱する加熱工程とを経ることにより焼結させかつγ相中にα２相が島状に混在する島状組織とし、さらに上記加熱工程実施後に上記島状組織に塑性加工を行い、該塑性加工後の上記島状組織に１２５０℃以上で拡散の熱処理を実施することによりラメラ組織を形成しかつ空隙の体積率を３．５％以下にして９００℃での曲げ強度を上記島状組織よりも高めることを特徴とするＴｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる部材の製造方法。
【請求項２】
ＴｉとＡｌの組成比が８３：１７〜１０：９０at％の成分によって構成されるＴｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる原料の混合体を製作する工程と、上記混合体を焼結温度まで加熱する加熱工程とを経ることにより焼結させかつγ相中にα２相が島状に混在する島状組織とし、さらに上記加熱工程実施後に上記島状組織に塑性加工を行い、該塑性加工後の上記島状組織に１２５０℃以上で拡散の熱処理を実施することによりラメラ組織を形成しかつ空隙の体積率を３．５％以下にして９００℃での曲げ強度を上記島状組織よりも高めることを特徴とするＴｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる部材の製造方法。
【請求項３】
上記加熱工程において上記混合体を１０００℃以上に加熱した状態で加圧することを特徴とする請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
上記加熱工程においてＡｌ金属相が溶解可能な温度以上に加圧および加熱し、そののち上記加熱工程の温度よりも高い温度で拡散の熱処理を行うことを特徴とする請求項１から３のうちいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項５】
上記拡散の熱処理を行う工程を実質的に無加圧で行うことを特徴とする請求項１から４のうちいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項６】
上記加熱工程をα領域で行うことを特徴とする請求項１から５のうちいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項７】
上記拡散の熱処理をα領域で行うことを特徴とする請求項１から５のうちいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項８】
上記α領域での処理を、１２５０℃を越える温度域で行うことを特徴とする請求項６または７に記載の製造方法。
【請求項９】
熱処理温度に耐える耐熱性を有した粉粒体を圧力媒体として用いる擬似等方圧プレスによって加圧することを特徴とする請求項１または２に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる部材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物は耐熱性，耐酸化性，耐摩耗性等に優れしかも軽量であるなどの優れた性質をもつため、各種用途に使われる素材として有望視されている。この種の金属間化合物を利用する製品例としては、高温で使用される外壁材や、タ−ビン部材、ピストンやバルブシステム等のエンジン部品などが考えられている。
【０００３】
Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物を製造する方法の一例として、原料のＴｉとＡｌの混合物を例えば１３００℃前後の高温まで加熱した状態で加圧することにより、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる部材を製造することが知られている。この場合、金属間化合物形成後に、部材の歪みを除去する目的で、上記温度よりも低い温度で歪み取り熱処理を実施することも知られている。また、自己伝播高温合成法（反応合成法）と称されるＴｉ−Ａｌ系金属間化合物の製造方法も知られている。この反応合成法は、ＴｉとＡｌの混合粉末を、その反応温度以上に加熱することによって混合粉末の一部に反応を生じさせ、その時に発生する反応熱により次々と反応を伝播させることによって、溶解を経ることなく金属間化合物を得るものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
金属間化合物は、他の材料と同様に、内部に含まれる気孔あるいはポア等の空隙の体積率（空隙率）が高くなれば機械的強度が下がるであろうことは推測できる。しかしながら、これまでは、部材としてのＴｉ−Ａｌ系金属間化合物は研究途上にあり、空隙率と強度との関係についての解明が十分なされていないため、この種の金属間化合物を各種機器の部品などに用いる場合に、空隙率に関するファクタが部材の強度に与える影響を予測することができず、高強度化の信頼性に問題が残っていた。
【０００５】
また、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる部材を製造するに当って、前記従来方法において高密度の組織を得るにはきわめて高い温度と高い圧力を加えなければならず、このような高温高圧を実現するためには特殊な設備が必要であり、設備がきわめて高価なものとなる。また、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる部材は難加工材料であるため、塑性加工による形状付与が困難であると考えられてきた。例えば鍛造等の塑性加工を行うにしても、きわめて大きな荷重を加えなければならず、加工を困難なものにしている。このため従来は、結晶粒を微細（１５μｍ以下）にし、かつ１０００℃以上の高温で加工を行うなどの特殊な処理が必要であった。
【０００６】
従って本発明の目的は、高強度のＴｉ−Ａｌ系金属間化合物の部材が得られ、しかも従来に比べて製造時に高温のもとで加える加圧力が低くてすみ、比較的低コストの簡易な設備で実施することができ、しかも加工が容易な組織が得られるようなＴｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる部材の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物を形成可能な組成比で混合されたＴｉあるいはＴｉ合金とＡｌあるいはＡｌ合金からなる原料の混合体、またはＴｉとＡｌの組成比が８３：１７〜１０：９０at％の成分によって構成されるＴｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる原料の混合体を製作する工程と、上記混合体を焼結温度まで加熱する加熱工程とを経ることにより焼結させかつγ相中にα２相が島状に混在する島状組織とし、さらに上記加熱工程実施後に上記島状組織に塑性加工を行い、該塑性加工後の上記島状組織に１２５０℃以上で拡散の熱処理を実施することによりラメラ組織を形成しかつ空隙の体積率を３．５％以下にして９００℃での曲げ強度を上記島状組織よりも高めることを特徴とするＴｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる部材の製造方法である。
【０００８】
上記混合体の原料の形態は、例えば粉末、箔あるいは線材などであるが、他の形態であってもよい。この混合体を焼結温度まで加熱する加熱工程において、擬似等方圧プレス加工（ＰＨＩＰ，擬ＨＩＰ）のようにセラミックス粉末等の圧力媒体を用いる方法や、ホットプレス（ＨＰ）、等方圧プレス加工（ＨＩＰ）などによって加圧すると好結果が得られる場合がある。
【０００９】
【作用】
下記実施例などから、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物は空隙の体積率３．５％付近を境にして曲げ強度が大きく変化し、３．５％以下であれば所望の強度が得られることが判った。空隙体積率を３．５％以下とすることに加えて、最大の空隙径を５０μｍ以下とすることにより、高強度な部材を得ることができる。このような空隙率のＴｉ−Ａｌ系金属間化合物を製造する方法として、Ｔｉ，Ｔｉ合金とＡｌ，Ａｌ合金からなる原料の混合体を製作する工程と、上記混合体を焼結温度まで加熱しかつ加圧する加熱工程を経る場合に、１０００℃以上に加熱しかつ加圧することにより反応焼結させてもよい。この場合、室温から加圧したまま１０００℃まで昇温させることも含む。１０００℃以上の加熱でＴｉ−Ａｌ化合物の強度が極端に低下することにより、軟化して空隙が潰れやすくなる。この場合、ＨＩＰを用いてもよいが、擬ＨＩＰを用いると更に好ましい結果が得られることがある。すなわち擬ＨＩＰを用いることで完全に等方圧がかからず、従圧縮方向の圧力の方が高くなるので、材料に剪断力が働き、空隙が潰れやすくなる。
【００１０】
加圧力は高い方が効果が高いが、擬ＨＩＰにおける加圧力は、例えば３５０kgｆ／cm2 であり、擬ＨＩＰを用いることにより、比較的低い圧力で緻密化が可能であり、製造コスト低減の効果が大きい。
【００１１】
また、加熱工程においてＡｌ金属相が溶解可能な温度以上に加圧した状態で反応合成・焼結を行い、そののち上記加熱工程の温度よりも高い温度で拡散の熱処理を行ってもよい。この場合、加熱工程は、室温からＡｌ融点以上までの連続加圧も含む。熱処理工程では、無加圧の状態で拡散を生じさせる。このようにＡｌの溶解温度以上に加熱することによって、上記拡散の熱処理による組織の緻密化（ポア低減）の効果が格段に大きくなることが本発明者らの研究により判った。これは以下の理由によるものと推測される。
【００１２】
材料がＡｌの融点以上に加圧・加熱されることによってＡｌが融解し、液相を形成すると、この液相が加圧の効果（ポア減少）を高め、緻密な塊ができる。しかもこの塊においては、Ａｌ金属相のほとんどが化合物に変化し、もはや金属相としては存在していない。これは、液相になることにより反応が急激に進行することによって短時間のうちに化合物が合成されることなどによる。Ａｌ金属相はカーケンダール効果によってボイドを形成しやすいが、この相も上記加熱処理によって極端に減少させることができるので、緻密化の効果が大きい。
【００１３】
このように、Ａｌの液相を発生させることが緻密化にとって効果が大きいが、液相を発生させるためには、昇温速度を０．１℃／分以上とするのがよい。更に１０℃／分以上とすることによって、多量の液相が発生し、発熱が急激に起こるので、特に効果が高い場合がある、０．１℃／分未満だと、液相が発生する前に反応が進行して液相の発生が不十分となる場合がある。
【００１４】
特に、反応合成法を利用する場合は、急激な温度上昇に伴って、多量のガスが原料表面から発生することが多いので、擬ＨＩＰを用いることが効果的である。その理由は、擬ＨＩＰは圧力媒体としてセラミックス粉を用いるので、発生するガスを閉じ込めることなくセラミックス粉の隙間から外部に逃がすことができるからである。このように擬ＨＩＰを用いることにより、複雑形状品を加圧しながら、液相発生時に発生するガスを外部に逃がすことができ、容易に緻密化が達成される。また、セラミックス粉で加圧しながら真空状態にしたり、他のガス雰囲気に調整することも可能である。このような利点は、金属間化合物を原料とする場合にも同様に効果がある。
【００１５】
純粋Ａｌを使用した場合、上記加熱温度は６６０℃であるが、Ａｌに添加元素を加えることでこの温度は上下する。温度が下がる例としては、Ｂ（ボロン），Ｍｎ（マンガン），Ｓｎ（錫），Ｎｉ（ニッケル）等がある。
【００１６】
なお、Ａｌの融解温度以下で固相拡散によって化合物を合成することも可能であるが、この場合には組織の一部に少量のＡｌ金属相が残ることがあり、製品の信頼性を落とすことになるから、Ａｌの融解温度以上に加熱・加圧することが必要である。Ａｌの液相を利用すると、ポア減少の効果が高く、しかも加圧時に液相を発生させることによって加圧の効果を更に高めることができる。特に、表面までつながったポア（気孔）を簡単になくすことができ、ポアは閉じていれば熱処理工程における拡散によって容易に消滅させることができるから、熱処理工程による緻密化の効果が高まるなどの理由により、空隙体積率が３．５％以下の緻密な部品が容易に得られる。
【００１７】
この明細書中に記載されているγ相は、主としてＴｉＡｌからなる微細結晶粒の組織であり、Ａｌ3 Ｔｉ，Ｔｉ3 Ａｌが少量含まれていてもよい。α2 相は主としてＴｉ3 Ａｌからなる微細結晶粒からなる組織であり、少量のＴｉＡｌや、金属Ｔｉが含まれていてもよい。ラメラは、主としてＴｉＡｌとＴｉ3 Ａｌがおおむね交互に微細に積層した層状組織であり、実質的に均一な組織と言える。γおよびラメラはα2 に比較して耐熱強度が高いため、耐熱軽量部材として有望である。
【００１８】
Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物が主として得られる組成範囲は、Ｔｉ：Ａｌ＝    ８３：１７〜１０：９０at％の範囲であり、また、主としてラメラが形成される範囲は、Ｔｉ：Ａｌ＝６５：３５〜５０：５０at％の範囲であるが、添加される合金元素により変化する場合がある。
【００１９】
【実施例】
製造工程の一例を図１に示す。図中に実線で囲った工程は本発明を実施する上で必須の工程であり、２点鎖線で囲った工程は場合によっては省略可能な工程である。
原料混合工程１においては、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物を形成可能な組成比でＴｉあるいはＴｉ合金と、ＡｌあるいはＡｌ合金からなる原料（以下、Ｔｉ−  Ａｌ（金属）と称す）を混合する。なお、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる粉末（例えば、ＴｉＡｌ粉末とＴｉ3 Ａｌ粉末の１種の組成からなる粒径の異なる粉末や、複数の組成からなる粉末）を混合するようにしてもよい。または、Ｔｉ＋Ａｌ（金属）と、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物を混合して用いてもよい。
【００２０】
原料の形態は、粉末，箔，線材等であるが、それ以外の形態であってもよい。混合方法は種々あるが、混合とは２種以上の組成からなる原料を均一に分布させるか、あるいは１種の組成からなる異なる形態の原料を均一に分布させることをいう。箔を用いる場合は、２種の組成からなる箔を交互に積層させる。
【００２１】
一例として、ガスアトマイズ法により作製した 350メッシュ以下のＡｌ粉末と 350メッシュ以下のスポンジＴｉ粉末を、重量分率でＴｉ：Ａｌ＝65.8％：34.2％の割合で、Ａｒガス置換された乾式ボ−ルミルを用いて混合する。
【００２２】
混合圧着体の製造工程２においては、押出し機，金型プレス，ホットプレス，ＨＩＰ，ＣＩＰ等を用いて上記混合体を圧着し、例えば圧粉体を得る。必要があれば、圧着体の成形工程３において、上記圧着体を鍛造あるいは機械加工等によって所望形状に成形する。
【００２３】
例えば、混合圧着体の製造工程２において、上記原料をステンレス鋼製のパイプに詰めてロータリ・スェ−ジング加工するなどして、所望形状の圧粉成形混合体を作る。この混合体を、圧着体の成形工程３において、機械加工によって、例えば直径８mm，長さ４０mmの柱状にする。
【００２４】
上述の工程２，３を省略する場合は、下記加熱工程４において、型内に原料混合工程１で作成した混合体を充填し、ホットプレス等によって加圧加熱してもよいし、カプセル内に上記混合体を充填しＨＩＰ処理を行ってもよい。
【００２５】
加熱工程４においては、下記表１に示されるように６００℃から１３００℃の範囲で擬ＨＩＰにより３５０kgｆ／cm2 の加圧を行うとともに、それぞれの温度で一定時間保持する。加熱工程４は、ホットプレス，ＨＩＰ，擬ＨＩＰ等によって加圧・加熱を行うのがよい。表１に示された各例のうち、Ｎｏ．２，３，５，６，８，９，１１，１２，１４，１５，１７，１８，２０は、加熱工程４を実施したのちに熱処理工程６を行った。
【００２６】
加熱工程４において一定時間保持したのち、室温まで冷却した。なお、保持時間終了までは真空雰囲気とした。表１において、６００℃の温度で加熱工程４を実施した例（Ｎｏ．１，２，３）は６時間保持、９００℃〜１２００℃に加熱した例（Ｎｏ．１０〜２０）は１時間保持、１３００℃以上に加熱した例（Ｎｏ．２１）は２時間保持とした。また、７５０℃に加熱した例（Ｎｏ．４〜９）の場合は、１時間保持と６時間保持の双方を実施したが、保持時間が変っても空隙率にほとんど変化が見られなかった。
【００２７】
熱処理工程６を実施する前に、加熱処理後の成形工程５を実施すると、加工性が良い（加工しやすい）場合がある。すなわち、後述するように加熱工程４において、γ相の中にα2 相が島状に混在する組織が得られた場合に、加工が容易になることが本発明者等の研究により判明している。また、この成形工程５を実施することによって、加熱工程４で残るポアを潰したり、組織の調整（加工による調整）もできる。なお、この成形工程５と熱処理工程６は同時に行うこともできる。
【００２８】
このように、加熱工程４の終了後に所定の空隙率より多く空隙を有しているものでも、成形工程５もしくは熱処理工程６を実施することにより、所定の空隙率のものが得られる。
【００２９】
また、Ｔｉ粉末とＡｌ粉末からなる混合体を加熱工程４において加圧することなく急激な発熱を伴う自己伝播高温合成させるなどして焼結させ、成形工程５もしくは熱処理工程６を実施することにより、所定の空隙率のものが得られる。
【００３０】
更には、ＴｉＡｌ粉末，Ｔｉ3 Ａｌ粉末もしくはそれらの混成された混合体を作製し、加熱工程４を行うことにより所定の空隙率のものが得られる。この場合も、上記と同様に成形工程５あるいは熱処理工程６を実施することによって、更によい場合がある。
【００３１】
熱処理工程６においては、大気圧近傍の圧力（例えば１．５気圧）の不活性ガスを流しながら、１２００℃と１３００℃の２種類の温度まで昇温させ、２時間保持したのち、冷却した。なお、１３００℃以上の温度の場合も上記温度と同様の効果が得られた。
【００３２】
表１の各例の場合、熱処理工程６は１２００℃と１３００℃で２時間、Ａｒガスフロー中で行ったが、１３５０℃で２時間、Ａｒガスフロー中で実施しても同様の結果が得られ、また、１３５０℃で２時間、真空中の条件でも同様の結果が得られている。また、１３５０℃以上でもよい。加熱は大気中で行うよりも真空中で行った方が好ましい結果が得られた。
【００３３】
上記熱処理工程６は、実質的に材料無加圧の状態で行われることがコストを下げる意味で望ましい。この熱処理工程６の第１の目的は、前記加熱工程４で残るポアを熱処理によって拡散を利用して消滅させることにある。第２の目的は、加熱工程４で得られた組織を調整することにある。例えば、成分を均一にする拡散処理、結晶粒径を調整する熱処理、再結晶化のための熱処理、相変化を利用して組織を調整するための熱処理などである。
【００３４】
上記熱処理工程６を行うことによって、成形体が少し曲がったり、歪んだりした場合には、軽度の矯正工程７を実施する。この矯正工程７は、例えば成形体に錘を乗せる程度の加工を行うものであるから、熱処理工程６と同時に行うことができる。
【００３５】
熱処理後の成形工程８においては、鍛造あるいは機械加工等の最終的な成形加工が行われる。最終熱処理工程９においては、部品形状で析出効果処理等の最終的な熱処理が行われる。仕上げ工程１０ではショットピーニングや研磨等の仕上げ処理が実施される。
【００３６】
【表１】
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図２は、表１中の各例について、空隙体積率と曲げ強度との関係をプロットしたものである。図３は、表１中の各例について、加圧温度（加熱工程４における温度）と空隙体積率との関係をプロットしたものである。
【００３７】
なお、空隙体積率は、アルキメデス法による比重測定と、横断面を研磨し拡大して観察する方法の両方を用いた。曲げ強度の測定は、熱処理後の成形工程８によって作成された３mm×４mm×３８mmの角材を、図４に示される３点曲げ試験機（スパン：３０mm）を用いて、室温で曲げ強度（曲げ破断応力）を測定した。
【００３８】
ポアを減少させる（緻密化）という観点から言えば、加熱工程４の温度以上で熱処理工程６を行うことが望ましいが、熱処理工程６において加熱工程４の温度以下で長時間保持することによって拡散の熱処理効果が得られることもある。
【００３９】
特に、１０００℃以上で加熱工程４を行う場合には、十分に空隙（ポア）が減少するので、その後の熱処理工程６では、加熱工程４の温度以下の温度で実施しても十分な効果が得られる。必要な組織を得るための温度はポアとは別の問題である場合がある。ただし、製品の使用温度以上の温度で熱処理工程６を実施する方がよい。
【００４０】
表１および図２に示されるように、曲げ強度は空隙率３．５％付近を境にして大きく変化し、空隙率が３．５％以下の時に大きな強度が得られている。また、空隙率を０〜０．３％にするためには、加圧温度を１１００℃以上にする必要があるが、空隙率を０．４〜３．５％にすれば１１００℃未満の温度で焼結可能であるため、温度に関して実施の容易化が図れるとともに、高強度という特性も保たれる。更に、空隙率を１．３〜３．５％の範囲に限定した場合には、加圧温度を１０００℃まで下げることが可能になるため実施が更に容易となり、しかも強度的に十分なものが得られている。
【００４１】
表１中で曲げ試験を実施した全てのサンプルは、空隙が小さくかつ均一に部材中に分散していた。空隙の平均径は１５μｍ以下であり、ほとんどのものが５〜１５μｍの大きさであって、５０μｍ以上のものは観察されなかった。空隙率が０．２％〜７．２％の間で変化しているが、これは５〜１５μｍの範囲にある空隙の個数の違いと強い関係がある。
【００４２】
このように、空隙体積率を３．５％以下とすることに加えて、空隙の平均径を１５μｍ以下とすることが高強度な部材を得るために効果があった。更に、最大の空隙径を５０μｍ以下とすることにより、効果があった。
【００４３】
上記のように、空隙を微細にかつ均一に分散させることができたのは、出発原料に粉末を用いたことの効果が大きい。そして更には反応焼結を行うことによって空隙を微細かつ均一にすることが容易に実現された。
【００４４】
表１中のＮｏ．１６〜２１のように、１１００℃以上の温度で加熱処理４が実施された場合には、ほぼ真密度（１００％密度）の成形体が得られた。このように空隙の体積率を０．５％未満とすることにより、空隙の数を極端に減少させることが可能となり、強度の信頼性は格段に向上し、真密度の成形体と何ら変わらない成形体が得られる。
【００４５】
その理由は、１１００℃以上に加熱された時に成形体の強度が極端に低下することに起因する。Ｎｏ．１７，１８，２０は１１００℃以上の温度で加熱処理４が行われたのちにその温度以上の温度で熱処理工程６が行われたが、熱処理工程６を実施しなかったＮｏ．１６，１９，２１と比較して空隙率が下がることはなかった。また、１１００℃以上の温度で加圧しても、空隙率にほとんど差が生じない（相対密度が向上しない）場合もあることが判った。
【００４６】
Ｎｏ．１，４，７，１０，１３，１６，１９，２１のように、熱処理工程６を実施しなかった場合、９００℃以下で加熱工程４が行われたＮｏ．１，４，７，１０は、（ＴｉＡｌ＋Ｔｉ3 Ａｌ）以外の組織が混じったものとなっており、空隙率も大きかった。この場合、組織中に（ＴｉＡｌ＋Ｔｉ3 Ａｌ）も合成されているが、金属Ｔｉ相も多く残っているし、Ａｌ3 Ｔｉという別の化合物も残っている。加熱工程４での加圧温度が高くなると、これらのＡｌ3 Ｔｉや金属Ｔｉが拡散によって（ＴｉＡｌ＋Ｔｉ3 Ａｌ）に変化し、１０００℃以上の加圧温度ではほぼ（ＴｉＡｌ＋Ｔｉ3 Ａｌ）になっている。
【００４７】
上述したように、加圧温度が９００℃以下でかつ熱処理工程６を実施しないもの（Ｎｏ．１，４，７，１０）は、組織が不均一なため強度が低く、曲げ試験片を加工する際に欠けやクラックが発生したため、強度試験を行うことができなかった。すなわち、これらの組織では本発明の目的を果たすことができない。
【００４８】
これに対し、加圧温度が９００℃以下でも、熱処理工程６においてＡｒフロー中で１２００℃，２時間の熱処理を実施したのちの組織は、図５（写真１）に示されるように、主としてＴｉＡｌからなる結晶（γ相）と、主としてＴｉ3 Ａｌからなる結晶（α2 相）とからなる組織が得られた。この写真中に白く表れている粒子がＴｉ3 Ａｌであり、黒く見えるのがＴｉＡｌである。
【００４９】
一方、Ａｒフロー中で１３００℃，２時間の熱処理工程３を実施したのちの組織は、図６（写真２）に示されるように、主としてＴｉＡｌからなる相と、主としてＴｉ3 Ａｌからなる相が交互に積層された層状組織（ラメラ組織）が得られた。この写真中に縞模様が表れているのがラメラ組織である。この組織を得ることによって、耐熱性が向上する。
【００５０】
以上のように、図２の傾向（空隙率３．５％以下が高強度となる）は、図５の写真１に示されるようにγ相が多い組織（１２００℃・２Ｈ）においても、図６の写真２に示されるようにラメラが多い組織（１３００℃・２Ｈ）においても、同じ効果があり、組織による違いはない。組織が違っていても同じ傾向があり、特にＴｉＡｌ＋Ｔｉ3 ＡｌからなるＴｉ−Ａｌ系金属間化合物に共通の効果があり、かつその効果が大きい。
【００５１】
図５（写真１）に示されるように、γ相中にα2 相が島状に混在する組織が製造された場合、この組織の加工性がきわめてよいことが本発明者らの研究により判明した。すなわち、従来のＴｉ−Ａｌ系金属間化合物は加工性が悪く、結晶粒を微細（１５μｍ）にしかつ１０００℃以上の高温で加工を行うなどの対策が必要があったが、写真１に示される組織を得ることによって、容易に加工することができるようになり、しかも組織内の空隙を更に潰して特性向上を図れる場合もある。この組織は反応合成法によって容易に得ることができる。
【００５２】
下記表２は、加熱工程４において１１００℃から１３００℃までの温度で擬ＨＩＰを行うことによって得た組織に、８００℃〜１０００℃の温度で加工を行った場合の最大荷重を調べた結果である。加工は、図４に示されるような試験機を用いて３点で行い、所定の変形量に至るまでに生じた最大荷重を測定した。
【００５３】
【表２】
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表２に示すように、８００℃で塑性加工した場合に、Ｎｏ．３３とＮｏ．３４（比較例）は破断したが、Ｎｏ．３１とＮｏ．３２（γ相中にα2 相が島状に混在する組織）は、同一加工量において破断せずかつ比較例よりも小さな荷重で加工できた。つまり写真１の組織の加工性が優れていることが確認された。また、９００℃と１０００℃で加工した場合には、Ｎｏ．３５とＮｏ．３８（γ相中にα2 相が島状に混在する組織）と、Ｎｏ．３６，３７，３９（比較例）はいずれも加工することができたが、Ｎｏ．３５とＮｏ．３８（本実施例）の組織は、比較例に比べてはるかに小さな荷重で加工することができた。つまり加工性が高いということである。
【００５４】
なお、表２中の例Ｎｏ．３５を加熱処理後の成形工程５において塑性加工後、熱処理（熱処理工程６）を行うことによって、図６（写真２）と同じような組織（ラメラを有する組織）を得た。そしてこれを研磨加工したのち、９００℃で更に曲げ加工を加えたところ、最大荷重は５１kgｆ／cm2 に上昇し、耐熱性が向上することが確認された。
【００５５】
特に、上記実施例で示した成形加工の方法は、耐熱性は高いが加工性の悪いラメラ組織が形成される組成範囲の部材の加工性を容易にする点で優れた成形加工方法である。
【００５６】
上記金属間化合物を用いた耐熱軽量ピン（直径８．５mm，長さ７０mm）を製造する場合に、加熱工程４において真空雰囲気中で擬ＨＩＰを１１００℃（２時間保持）で行ったのち、熱処理工程６において１３００℃（２時間保持）で拡散の熱処理を行った。また、加熱工程４においてピンに生じた曲りを、熱処理工程６においてＡｒフロー中でピンに錘を乗せて矯正するなどの塑性加工を行った。このピンを、引張試験片形状に機械加工したのち、９００℃で引張試験を行ったところ、引張強度が２８kgｆ／mm2 であった。この実施例に対し、加熱工程４において１３００℃（２時間保持）で擬ＨＩＰを行ったのちに１２００℃で塑性加工を行った比較例では、引張強度が２９kgｆ／mm2 であった。なお、塑性加工の後に熱処理を行ってもよいし、他の塑性加工方法（曲げ，圧縮・引張り加工，等方的な圧縮加工，熱間鍛造，超塑性加工等）を実施してもよい。もっと大きな塑性加工を行ってもよい。
【００５７】
前述したように、加熱工程４における加圧温度を比較的低くすることができることにより、高温・高圧のもとで製造された場合と同等の強度を有しながらコストの低減が可能である。その理由は以下に述べる通りである。
【００５８】
まず、加圧温度を下げることによって、アルミナを用いた擬ＨＩＰにおいてアルミナの焼結を抑えることができ、製品の取出しが容易となる。しかも、アルミナとの反応を抑えることができるため成形体の表面性状が向上する。例えば上記実施例で述べた耐熱軽量ピンは、コスト低減を図るために機械加工せずに製品化するのが望ましいため、表面性状が良いことにより機械加工を省略できることは低コスト化を図る上で有効である。また、機械加工を実施するにしても、表面の凹凸が少ない分だけ加工量が少なくてすみ、コスト低減が可能となる。
【００５９】
また、加圧時に必要な温度を下げることができる。本来、加圧せずに温度を上げるだけで緻密な成形体を得る方が望ましいが、原料の混合体を加圧せずに昇温しても７０％密度位のものしか得られないため、加圧が必要な場合がある。この加圧時の温度は低い方がよい。その理由は、加圧・加熱設備が簡便かつ安価なものになることによる。同じ熱処理炉でも、加圧するか否かによって値段が全然違う。更に、加圧温度の上限によっても値段が全然違う。つまり耐熱性の高い材料を用いた設備は高価になるからである。また、加圧温度を下げることによって、その温度に至るまでの時間が短くなる。これらの理由により、加圧温度が低ければ製品を安価に製造できるようになる。加圧温度の上限は１２５０℃以下とすることによりその効果が大きい。
【００６０】
［他の実施例ａ］
ＴｉとＡｌの粉末を、粉末の混合比のみを変化させることにより、次表３の  Ｎｏ．４１〜Ｎｏ．４４に示される４種類の組成となるように秤量混合し、加圧することにより圧粉体を作製した。この圧粉体を、加熱工程においてアルミナ粉末を用いた擬ＨＩＰによって加圧した状態で、１３５０℃まで昇温し２時間保持したのち、室温までガス冷却することにより、４種類の試料を作製した。そして各試料について、図４の３点曲げ試験機によって強度試験を行った。
【００６１】
【表３】
0003839493.tif 000004
熱処理温度１３５０℃におけるそれぞれの組成の平衡状態図の相は、Ａｌat％が４６％のＮｏ．４１がα単相であり、Ａｌat％が５２％のＮｏ．４４がγ単相である。このため、双方とも均一な組織が得られることが予想されたが、Ｎｏ．４４においては均一な組織が得られず、Ｎｏ．４１においてのみ均一な組織が得られた。
【００６２】
Ｎｏ．４１の組織を、図７（写真３）に示す。また、Ｎｏ．４４の組織を図８（写真４）に示す。これらはいずれも反射電子線組成像である。反射電子線組成像は電子顕微鏡の一種で、重い元素は白く、軽い元素は黒く写るため組成の分布を観察しやすい。図８において、黒あるいは灰色に写っているのがγ、白い縞がラメラであり、γ相中にラメラが分散している。
【００６３】
均一な組織であるＮｏ．４１は、強度も室温から高温まで最も高いことが判った。その理由は、図８（写真４）から推測されるように、γ相中にα相が分散した混合組織の均一化が遅いことによると思われる。同一温度でこのような均一化の違いを調べることにより、γ＋αからγのものに比べ、α＋γからαへの相変化の速度が明らかに速いことが判った。このことから、均一な組織を得るためには、α単相域で拡散の熱処理を行うことが効果的であり、同時に高強度な組織を得ることも可能であることが判った。
【００６４】
［他の実施例ｂ］
次表４に示されるように、６種類のＡｌat％（４２at％〜５２at％）となるように組成を調整したＴｉとＡｌの混合圧粉体を、擬ＨＩＰによって加圧しながら１１００℃以上に昇温し、焼結の加熱工程を行った後、室温までガス冷却した。その後、アルゴン気流中で表４に示す４種類の温度で２時間保持することによって拡散の熱処理を行い、得られた組織の状態を観察した。表４の結果をＴｉＡｌ系平衡状態図にプロットしたものが図９である。空隙率はいずれも０．５％以下であった。
【００６５】
【表４】
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表４および図９から、α領域で拡散の熱処理工程を行うことにより、均一な組織（ラメラ組織）が得られ、その空隙率も小さいことが判った。そして更にその熱処理温度を１２５０℃を越える温度とすることにより、均一な組織が容易に得られることも判った。４２at％Ａｌの試料における１２５０℃の結果から、α領域でも温度が低いと均一化の熱処理の効果が低い場合があることが判ったが、この場合でも長時間熱処理温度を保持することなどにより、均一化が可能である。また、熱処理後の冷却速度が遅いと、均一なラメラ組織を得にくい場合もあるので、α領域からの冷却速度は１℃／分以上とするのが良い場合がある。
【００６６】
上記の方法は、反応合成法を用いる場合に特に効果が大きいが、ＴｉＡｌ系金属間化合物粉末などを原料に用いた場合や溶製法，鍛造法などの通常の方法において作製された部材の均一な組織の形成についても効果が大きい。
【００６７】
［他の実施例ｃ］
前記実施例ａ，ｂと同様に、ＴｉとＡｌの混合粉体を擬ＨＩＰによって加圧加熱する反応合成法を用いた方法により、４８at％Ａｌの組成でγ相を母相としてα2 相が分散する組織（図５と同様の組織）を有するφ６．２mm，長さ１０mmの円柱を作製し、更にそれを９００℃の温度で、高さ５mmとなるまで圧縮加工を行った。その後、アルゴン気流中で保持する熱処理を行い、ラメラ組織を形成させた。上記熱処理後に、更に９００℃で３mmまで圧縮変形した際の強度を表５に示す。
【００６８】
【表５】
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図１０は、上述の圧縮加工後に熱処理を実施しなかった組織（表５中のＮｏ．５１）の顕微鏡写真を示す。図１０の上下方向が圧縮方向である。図１１は、上述の圧縮加工後に１４００℃で熱処理を実施した組織（表５中のＮｏ．５３）の顕微鏡写真である。図１０と図１１はいずれも光学顕微鏡写真であり、白く見えるのがα2 （Ｔｉ3 Ａｌ）、黒く見えるのがγ（ＴｉＡｌ）である。
【００６９】
図１０の写真では、加工前に比べて結晶粒径が微細になり、大きな加工を受けたところでは結晶粒径が半分以下になっており、部材中には変形量の違いによって、結晶粒径に違いが生じて加工の履歴が大きく残されていた。このことから、加工後に均質化の熱処理を行っても加工の履歴が残ることが予想されたが、圧縮加工後に熱処理を実施した組織（例えばＮｏ．５３）では、大きな相変化が起こることなどにより、加工の履歴が残らないことが判った。加工の履歴が残ると不均一な組織になるため、微細な結晶粒が耐熱性を損なうなどの問題が生じる場合がある。
【００７０】
図１１の組織（Ｎｏ．５３）では、α単相領域で熱処理を行ったことにより、加工の履歴の残らない均質なラメラ組織が得られている。また、加工時に欠陥等が発生することなどにより、その後の拡散の熱処理を行っても空隙率が増加することも予測されたが、空隙率は増加することがなかった。
【００７１】
上記と同じ方法で作製した同一サイズ（φ６．２mm，長さ１０mmの円柱）のサンプルの変形能を調べるために、これを８００℃で０．５mm／分で３．５mmまで圧縮した際の割れの発生の有無を目視で調べる試験を実施した。その結果を表６に示す。
【００７２】
【表６】
0003839493.tif 000007
この結果から、γ＋α2 の組織の加工性が優れていることが判る。すなわち、加工性の高い組織（γ＋α2 ）で加工を行った後に、熱処理を施すことにより耐熱性を向上させることができる。これにより、耐熱軽量部材としての性能を損なうことなく加工性を向上できる製造方法が実現可能となった。
【００７３】
この明細書でいう加工性の高い組織（γ＋α2 ）は、その組織中にラメラが一部に含まれていたり、少量のＴｉやＡｌ3 Ｔｉが含まれていても差支えない。また、α2 は１２００℃以上でα（Ｔｉの固溶体）に変化するが、この場合には加工に対する変形抵抗が更に下がるためこの温度域で加工を行うと更に良い場合がある。
【００７４】
上述の加工性の良い組織（γ＋α2 ）は、反応合成法を用いる場合に１０００℃から１２５０℃の温度域で焼結の加熱工程や拡散の熱処理を行うことにより、容易に得られる。１０００℃未満ではＡｌ3 Ｔｉなどの他の金属間化合物が多く存在しやすく、１２５０℃を越える温度ではラメラが多く形成されやすく加工性を損なう場合がある。
【００７５】
なお本発明は、前記各実施例で述べたようなＴｉＡｌ，Ｔｉ3 Ａｌ，もしくは（ＴｉＡｌ＋Ｔｉ3 Ａｌ）からなる金属間化合物の高強度化を図る上で特に有効であるが、Ｔｉ−Ａｌ系の他の組成においても適用できる。また諸特性の改善を図るためにＳｉ，Ｎｂ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｖ等の添加元素や、ＴｉＢ2 ，Ｙ2 Ｏ3 ，Ｔｉ5 Ｓｉ3 ，セラミックス，金属間化合物の微細強化物を加えたものも同様の効果がある。
【００７６】
【発明の効果】
本発明によれば、空隙体積率を３．５％以下とすることに加えて、最大の空隙径を５０μｍ以下とすることにより、Ｔｉ−Ａｌ系金属間化合物からなる部材の高強度化が図れるとともに、この部材を製造する過程で加熱と加圧が必要な場合に比較的低い温度で加圧することができるため、製造設備の低コスト化が図れる。また、本発明の製造方法によれば、製造の過程で加工の容易な組織（強度が低く、割れにくい組織）が得られる。この加工性の良い状態で成形加工を効果的に行い、そののち拡散の熱処理を行うことによって強度を高める。この拡散の熱処理を行うことによって強度が高まるとともに加工性は低下する（強度が高まり、割れやすくなる）が、既に成形加工が終了しているので、加工性の低下は問題にならない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法の実施例を示す工程説明図。
【図２】空隙体積率と曲げ強度との関係を示す図。
【図３】加圧加熱時の温度と空隙体積率との関係を示す図。
【図４】曲げ試験を実施する装置の概略を示す図。
【図５】本発明の一実施例方法によって製造された金属間化合物の金属組織を１００倍に拡大して示す顕微鏡写真。
【図６】本発明の一実施例方法によって製造された金属間化合物の熱処理後の金属組織を１００倍に拡大して示す顕微鏡写真。
【図７】本発明によって得られた均一なラメラの金属組織を７５倍に拡大して示す顕微鏡写真。
【図８】ラメラとγが混合した金属組織を７５倍に拡大して示す顕微鏡写真。
【図９】Ｔｉ−Ａｌ系平衡状態図の一例を示す図。
【図１０】圧縮後のγ＋α2 の金属組織を１００倍に拡大して示す顕微鏡写真。
【図１１】圧縮後に熱処理して得たラメラの金属組織を１００倍に拡大して示す顕微鏡写真。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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