(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に放射線硬化型粘着剤層が形成されている、半導体封止樹脂板または光学部品の切断時固定用粘着シートにおいて、前記粘着剤層が、放射線硬化型粘着剤のベースポリマー１００重量部に対し、炭素数１０以上のアルキル基を有するリン酸エステル系化合物を、０．０２〜１０重量部含有している粘着剤組成物により形成されていることを特徴とする半導体封止樹脂板または光学部品の切断時固定用粘着シート。
【請求項２】
リン酸エステル系化合物を、放射線硬化型粘着剤のベースポリマー１００重量部に対し０．０２〜０．１重量部含有していることを特徴とする請求項１記載の半導体封止樹脂板または光学部品の切断時固定用粘着シート。
【請求項３】
リン酸エステル系化合物が炭素数１５〜６０の直鎖アルキル基を有することを特徴とする請求項１記載の半導体封止樹脂板または光学部品の切断時固定用粘着シート。
【請求項４】
リン酸エステル系化合物の融点が４０℃〜１１０℃であることを特徴とする請求項１記載の半導体封止樹脂板または光学部品の切断時固定用粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体封止樹脂板または光学部品の切断時に、これらに貼り付けて用いられる固定用粘着シートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣ等の所定の回路パターンが形成された半導体ウエハは、裏面研磨されて、例えば０．１〜０．４ｍｍ厚程度に可及的に薄くされた後、金属粒子を分散させながらブレードを回転させる方式などの回転刃により所定のチップサイズにダイシング処理される。近年では、当該切断チップは数十から数百のチップを一括して一つの樹脂板に封止され、その後、かかる半導体封止樹脂板は、基材上に粘着剤層を付設してなる固定用粘着シートで固定された状態で、半導体ウエハ切断と同様のフルカット手法にて、固定用粘着シート厚の一部（２０〜２５０μｍ程度）にまで達する切断が施され、半導体封止樹脂板は個片とされる。また、光学部品についても、所定サイズに切断する際には固定用粘着シートが用いられている。
【０００３】
従来、半導体封止樹脂板や光学部品を切断する際に用いる固定用粘着シートの粘着剤層には、アクリル系、合成ゴム系、天然ゴム系等のポリマーをベースポリマーとする紫外線硬化型粘着剤が用いられている。紫外線硬化型粘着剤により形成される粘着剤層は、紫外線照射によって粘着剤層が硬化、収縮し、被着体に対する粘着剤層の粘着力を低下させることができ、切断後の粘着シートの剥離が容易である。
【０００４】
しかし、これらの紫外線硬化型粘着剤の粘着力は、半導体封止樹脂板に用いる樹脂材料の多様化や、光学部品の表面の形状に従って変化するため、前記紫外線硬化型粘着剤を粘着剤層とする粘着シートを当該被着体に貼り付けて固定し、切断を行った後に粘着剤層を紫外線照射して硬化させても、粘着シートの粘着力が低下しない場合がある。たとえば、被着体として、表面のワックス含有量が少ない半導体封止樹脂板を用いた場合や、表面に蒸着等の微細な加工のある光学部品を用いた場合には、切断後に紫外線照射しても粘着シートを剥離する際の粘着力が大きく、剥離性が悪い。その結果、粘着シートを剥離する途中で、粘着シートが切断して作業性が低下したり、または粘着シートの剥離後に粘着剤が被着体上に残留して製品の歩留まりを低下させるという問題があった。
【０００５】
このような問題を解決するために、たとえば、粘着シートの粘着剤層を形成する粘着剤に添加剤として各種の界面活性剤や酸化型ワックスを配合して使用することが提案されている。たとえば、特公昭５１−２００５３号公報、特開昭６０−６７５７９号公報には、粘着シートやマスキングテープ等の粘着剤として、ポリオキシエチレン基等を有するリン酸エステル系界面活性剤を配合したものを用いることが提案されている。
【０００６】
しかし、上記添加剤を紫外線硬化型粘着剤に配合し、これを粘着剤層とする粘着シートを用いた場合には、被着体として、表面のワックス含有量が少ない半導体封止樹脂板を用いた場合や、表面に蒸着加工等の微細加工のある光学部品を用いた場合には、被着体に対する初期粘着力が低く、粘着シートを貼り付けて切断する際の固定が不十分なため、作業性が低下する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、基材上に放射線硬化型粘着剤層が形成されている、半導体封止樹脂板または光学部品の切断時固定用粘着シートであって、被着体として、表面のワックス含有量が少ない半導体封止樹脂板や、表面に蒸着等の微細な加工のある光学部品を用いた場合にも、固定用粘着シートとしての初期粘着力がよく、十分に被着体を固定した状態で切断が可能であり、しかも切断後には、紫外線照射によって粘着力が低下して良好な剥離性を示す固定用粘着シートを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決すべく、鋭意検討した結果、以下に示す固定用粘着シートにより、上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち本発明は、基材上に放射線硬化型粘着剤層が形成されている、半導体封止樹脂板または光学部品の切断時固定用粘着シートにおいて、前記粘着剤層が、放射線硬化型粘着剤のベースポリマー１００重量部に対し、炭素数１０以上のアルキル基を有するリン酸エステル系化合物を、０．０２〜１０重量部含有している粘着剤組成物により形成されていることを特徴とする半導体封止樹脂板または光学部品の切断時固定用粘着シート、に関する。
【００１０】
前記半導体封止樹脂板または光学部品の切断時固定用粘着シートにおいて、リン酸エステル系化合物を、放射線硬化型粘着剤のベースポリマー１００重量部に対し０．０２〜０．１重量部含有していることが好ましい。
【００１１】
炭素数１０以上のアルキル基を有するリン酸エステル系化合物を前記所定量の範囲で放射線硬化型粘着剤に含有させることにより、被着体である半導体封止樹脂板として、表面のワックス含有量が少ないものを用いた場合や、光学部品として、表面に蒸着等の微細な加工のあるものを用いた場合にも、固定用粘着シートとしての初期粘着力を良好に維持し、十分に被着体を固定した状態で切断することができる。また切断後には、放射線照射により粘着剤層の粘着力を低下させて、粘着シートの剥離を良好に行うことができる。そのため、本発明の固定用粘着シートによれば、被着体である半導体封止樹脂や光学部品の表面状態に拘わらず、作業性よく、また歩留まりを低下させることなく、被着体の切断、また切断後の被着体からの粘着シートの剥離を良好に行うことができる。
【００１２】
上記放射線硬化型粘着剤層において、炭素数１０以上のアルキル基を有するリン酸エステル系化合物は、放射線照射により、当該粘着剤層表面に不連続性の一種の非接着性の膜状物を形成することで、良好な剥離性を示していると思われる。また当該リン酸エステル系化合物は、炭素数１０以上のアルキル基を有するため、放射線硬化型粘着剤層の初期粘着力をそのまま良好に維持できているものと思われる。リン酸エステル系化合物のアルキル基の炭素数が１０未満では、初期粘着力が不十分である。
【００１３】
更に、リン酸エステル系化合物は炭素数１５〜６０の直鎖アルキル基を有することが好ましい。炭素数１５以上の直鎖アルキル基を有することにより、リン酸エステル系化合物の融点をより高くすることができる。また、工業的な入手の容易さ、分子量分布の広がり、耐熱性等の観点から、直鎖アルキル基の炭素数は６０以下であることが好ましい。
【００１４】
また、リン酸エステル系化合物の融点が４０℃〜１１０℃であることが好ましい。融点が４０℃以上であると、高温下保存や長時間保存に対しても安定に存在でき、これを粘着剤層に用いた固定用粘着シートを被着体に貼りつけて高温下保存や長時間保存を行っても、これらの間の粘着力の増加が抑制される。尚、融点を１１０℃以下とするのは、耐熱性の観点から上限値となるからである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の固定用粘着シートについて説明する。本発明の固定用粘着シートは、半導体封止樹脂板の切断時または光学部品の切断時に、これら被着体を固定するために用いられるものである。特に、本発明の固定用粘着シートは、被着体である半導体封止樹脂板として、表面のワックス含有量が少ないものを用いた場合に有効である。半導体封止樹脂板の、樹脂材料としては、たとえば、エポキシ樹脂等があげられ、表面のワックス含有量が少ない半導体封止樹脂板とは、樹脂材料とともにワックスを使用していないもの、またはワックスの配合量を低減したものをいう。また本発明の固定用粘着シートは、被着体である光学部品として表面に蒸着等の微細な加工のあるものを用いた場合に有効である。光学部品としては、たとえば、レーザー用フィルター、Ｃ−ＭＯＳセンサーパッケージ、ＣＣＤ、ＬＥＤ等があげられる。
【００１６】
本発明の固定用粘着シートは、基材上に放射線硬化型粘着剤層が形成されているものであり、必要に応じて当該粘着剤層上にはセパレータを有する。また、固定用粘着シートは、粘着シートを巻いてテープ状とすることもできる。
【００１７】
基材の材料は、特に制限されるものではないが、Ｘ線、紫外線、電子線等の放射線を少なくとも一部透過するものを用いる。例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、フッ素樹脂、セルロース系樹脂、及びこれらの架橋体などのポリマーがあげられる。また、前記ポリマーは単体で用いてもよく、必要に応じて数種をブレンドしてもよく、また多層構造として用いてもよい。
【００１８】
基材の厚みは、通常２０〜４００μｍ、好ましくは１００〜２５０μｍ程度である。基材は、従来より公知の製膜方法により製膜できる。例えば、湿式キャスティング法、インフレーション押出し法、Ｔダイ押出し法などが利用できる。基材フィルムは、無延伸で用いてもよく、必要に応じて一軸または二軸の延伸処理を施したものを用いてもよい。
【００１９】
粘着剤層の形成には放射線硬化型粘着剤が使用される。放射線硬化型粘着剤としては、炭素−炭素二重結合等の放射線硬化性の官能基を有し、かつ粘着性を示すものである。たとえば、放射線硬化型粘着剤としては、一般的な粘着剤に、放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合した添加型の放射線硬化性粘着剤を例示できる。
【００２０】
一般的な粘着剤としては、一般的に使用されている感圧性粘着剤を使用でき、たとえば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等の適宜な粘着剤を用いることができる。なかでも、被着体ヘの粘着性などの点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤が好ましい。
【００２１】
前記アクリル系ポリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル（例えば、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ｎ−ブチルエステル、ｔ−ブチルエステル、イソブチルエステル、ｓ−ブチルエステル、ｔ−ブチルエステル、ペンチルエステル、アミルエステル、イソアミルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、２−エチルヘキシルエステル、オクチルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、イソノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、エイコシルエステル、ラウリルエステル、ステアリルエステル、などのアルキル基の炭素数１〜３０、特に炭素数４〜１８の直鎖状又は分岐鎖状のアルキルエステルなど）及び（メタ）アクリル酸シクロアルキルエステル（例えば、シクロペンチルエステル、シクロヘキシルエステルなど）の１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマーなどがあげられる。なお、（メタ）アクリル酸エステルとはアクリル酸エステルおよび／またはメタクリル酸エステルをいい、本発明の（メタ）とは全て同様の意味である。
【００２２】
前記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性などの改質を目的として、必要に応じ、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステル又はシクロアルキルエステルと共重合可能な他のモノマー成分に対応する単位を含んでいてもよい。このようなモノマー成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸などの酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル、（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；アクリルアミド、アクリロニトリルなどがあげられる。これら共重合可能なモノマー成分は、１種又は２種以上使用できる。これら共重合可能なモノマーの使用量は、全モノマー成分の５０重量％以下が好ましい。
【００２３】
さらに、前記アクリル系ポリマーは、架橋させるため、多官能性モノマーなども、必要に応じて共重合用モノマー成分として含むことができる。このような多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレートなどがあげられる。これらの多官能性モノマーも１種又は２種以上用いることができる。多官能性モノマーの使用量は、粘着特性等の点から、全モノマー成分の３０重量％以下が好ましい。
【００２４】
前記アクリル系ポリマーは、単一モノマー又は２種以上のモノマー混合物を重合に付すことにより得られる。重合は、溶液重合、乳化重合、塊状重合、懸濁重合等の何れの方式で行うこともできる。アクリル系ポリマーは前記被着体への汚染防止等の点から、低分子量物質の含有量が小さいのが好ましい。この点から、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、好ましくは３０万以上、さらに好ましくは４０万〜３００万程度である。
【００２５】
アクリル系ポリマー等のベースポリマーに配合する放射線硬化性のモノマー成分としては、たとえば、ウレタンオリゴマー、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレートなどがあげられる。また放射線硬化性のオリゴマー成分はウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系など種々のオリゴマーがあげられ、その分子量が１００〜３００００程度の範囲のものが適当である。
【００２６】
放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分の配合量は、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、例えば５〜５００重量部程度、好ましくは７０〜１５０重量部程度である。
【００２７】
また、放射線硬化型粘着剤としては、上記説明した添加型の放射線硬化性粘着剤のほかに、ベースポリマーとして、炭素−炭素二重結合をポリマー側鎖または主鎖中もしくは主鎖末端に有するものを用いた内在型の放射線硬化性粘着剤があげられる。内在型の放射線硬化性粘着剤は、低分子成分であるオリゴマー成分等を含有する必要がなく、または多くは含まないため、経時的にオリゴマー成分等が粘着剤在中を移動することなく、安定した層構造の粘着層を形成することができるため好ましい。
【００２８】
前記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマーは、炭素−炭素二重結合を有し、かつ粘着性を有するものを特に制限なく使用できる。このようなベースポリマーとしては、アクリル系ポリマーを基本骨格とするものが好ましい。アクリル系ポリマーの基本骨格としては、前記例示したアクリル系ポリマーがあげられる。
【００２９】
前記アクリル系ポリマーへの炭素−炭素二重結合の導入法は特に制限されず、様々な方法を採用できるが、炭素−炭素二重結合はポリマー側鎖に導入するのが分子設計が容易である。たとえば、予め、アクリル系ポリマーに官能基を有するモノマーを共重合した後、この官能基と反応しうる官能基および炭素−炭素二重結合を有する化合物を、炭素−炭素二重結合の放射線硬化性を維持したまま縮合または付加反応させる方法があげられる。
【００３０】
これら官能基の組合せの例としては、カルボン酸基とエポキシ基、カルボン酸基とアジリジル基、ヒドロキシル基とイソシアネート基などがあげられる。これら官能基の組合せのなかでも反応追跡の容易さから、ヒドロキシル基とイソシアネート基との組合せが好適である。また、これら官能基の組み合わせにより、上記炭素−炭素二重結合を有するアクリル系ポリマーを生成するような組合せであれば、官能基はアクリル系ポリマーと前記化合物のいずれの側にあってもよいが、前記の好ましい組み合わせでは、アクリル系ポリマーがヒドロキシル基を有し、前記化合物がイソシアネート基を有する場合が好適である。この場合、炭素−炭素二重結合を有するイソシアネート化合物としては、たとえば、メタクリロイルイソシアネート、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、ｍ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネートなどがあげられる。また、アクリル系ポリマーとしては、前記例示のヒドロキシ基含有モノマーや２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルのエーテル系化合物などを共重合したものが用いられる。ベースポリマー中の炭素−炭素二重結合の量は、粘着剤の保存性を考慮すると、ＪＩＳＫ−００７０によるヨウ素価で３０以下、さらにはヨウ素価０．５〜２０とするのが好ましい。
【００３１】
前記内在型の放射線硬化性粘着剤は、前記炭素−炭素二重結合を有するベースポリマー（特にアクリル系ポリマー）を単独で使用することができるが、特性を悪化させない程度に前記放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合することもできる。放射線硬化性のオリゴマー成分等は、通常ベースポリマー１００重量部に対して３０重量部の範囲内であり、好ましくは０〜１０重量部の範囲である。
【００３２】
前記放射線硬化型粘着剤には、粘着剤層を紫外線等により硬化させる場合には光重合開始剤を含有させる。光重合開始剤としては、例えば、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、α−ヒドロキシ−α，α´−ジメチルアセトフェノン、２−メチル−２−ヒドロキシプロピオフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどのα−ケトール系化合物；メトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフエノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）−フェニル］−２−モルホリノプロパン−１などのアセトフェノン系化合物；べンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニソインメチルエーテルなどのベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタールなどのケタール系化合物；２−ナフタレンスルホニルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド系化合物；１−フェノン−１，１―プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシムなどの光活性オキシム系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３′−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物；チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソンなどのチオキサンソン系化合物；カンファーキノン；ハロゲン化ケトン；アシルホスフィノキシド；アシルホスフォナートなどがあげられる。
【００３３】
光重合開始剤の配合量は、粘着剤を構成するアクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、反応性を考慮すると０．１重量部以上、さらには０．５重量部以上とするのが好ましい。また、多くなると粘着剤の保存性が低下する傾向があるため、１５重量部以下、さらには５重量部以下とするのが好ましい。
【００３４】
前記放射線硬化型粘着剤には、前記炭素数１０以上のアルキル基を有するリン酸エステル系化合物が配合される。前記リン酸エステル系化合物のアルキル基は、炭素数１５以上であるのが好ましい。また、当該リン酸エステル系化合物のアルキル基は直鎖、分岐鎖のいずれであってもよいが、当該リン酸エステル系化合物の融点がより高くなる点で直鎖アルキル基であることが好ましい。なお、炭素数の実質的な上限は、工業的な入手のしやすさ、分子量分布の広がり、耐熱性（融点の上限が約１１０℃）等の観点から炭素数５０〜６０程度である。
【００３５】
このようなリン酸エステル系化合物の融点は、好ましくは４０℃以上の範囲であり、高温下保存や長時間保存に対しても安定に存在でき、これを粘着剤層に用いた固定用粘着シートを被着体に貼りつけて高温下保存や長時間保存を行っても、これらの間の粘着力の増加が抑制される。
【００３６】
このようなリン酸エステル系化合物は、たとえば、炭素数１０以上、好ましくは１５以上のアルキル基を有する高級アルコールと、リン酸の酸化合物とのエステル化合物（モノエステル、ジエステル、トリエステル）が例示される。上記カルボン酸化合物としては、例えば、ギ酸、酢酸、安息香酸等のモノカルボン酸や、シュウ酸、コハク酸、トリカルバリル酸等の多価カルボン酸等があげられる。これらの中でも、上記高級アルコールとリン酸とのモノエステル、ジエステルまたはトリエステルが好適に使用される。上記高級アルコールのエステル化合物は、高級アルコールと酸化合物とを、有機溶媒中、塩酸等の酸触媒の存在下で、加熱還流に脱水することにより製造される。
【００３７】
上記の高級アルコールとしては、例えば、ステアリルアルコール（炭素数１８）、ドコサノール−１（炭素数２２）、テトラコサノール−１（炭素数２４）、ヘキサコサノール−１（炭素数２６）、オクタコサノール−１（炭素数２８）、ノナコサノール−１（炭素数２９）、ミリシルアルコール（炭素数３０）、メリシルアルコール（炭素数３１）、ラクセリルアルコール（炭素数３２）、セロメリシルアルコール（炭素数３３）、テトラトリアコタノール−１（炭素数３４）、ヘプタトリアコタノール−１（炭素数３５）、テトラテトラコタノール−１（炭素数４４）等があげられる。
【００３８】
上記リン酸エステル系化合物は、放射線硬化型粘着剤のベースポリマー１００重量部に対し、０．０２〜１０重量部配合する。リン酸エステル系化合物の配合量は、固形分換算である。リン酸エステル系化合物の配合量が０．０２重量部未満の場合、実質的に添加による効果が期待できない。リン酸エステル系化合物の添加効果はその配合量が０．０５重量部以上であるのが好ましい。一方、リン酸エステル系化合物の配合量が１０重量部を超える場合には、紫外線照射前の初期粘着力が低く粘着剤としての役割を期待できず、また粘着剤との相溶性が悪くなり、粘着シートを剥離した後に被着体表面を汚染することがある。かかる観点より、リン酸エステル系化合物の配合量は５重量部以下、さらには２重量部以下とするのが好ましい。リン酸エステル系化合物の配合量は０．０５〜２重量部がより好ましい。
【００３９】
また、前記放射線硬化型粘着剤には、ベースポリマーであるアクリル系ポリマー等の数平均分子量を高めるため、外部架橋剤を適宜に採用して架橋密度を制御することもできる。外部架橋方法の具体的手段としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン系化合物や金属塩系化合物、金属キレート系化合物、アミノ樹脂系化合物、過酸化物などのいわゆる架橋剤を添加し反応させる方法があげられる。外部架橋剤を使用する場合、その使用量は、架橋すべきベースポリマーとのバランスにより、さらには、粘着剤としての使用用途によって適宜決定される。一般的には、上記ベースポリマー１００重量部に対して、０．１〜５重量部程度配合するのが好ましい。また必要により、放射線硬化型粘着剤には前記成分のほかに、従来公知の各種の粘着付与剤、老化防止剤などの添加剤を用いてもよい。さらには放射線硬化型粘着剤には、本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じて、界面活性剤を配合してもよい。界面活性剤としては、例えば、従来のリン酸エステル系界面活性剤、スルホコハク酸塩系界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、硫酸塩系界面活性剤等があげられる。
【００４０】
本発明の固定用粘着シートは、基材上に、前記粘着剤組成物による粘着剤層を形成する方法により作製することができる。粘着剤層の形成は、たとえば、前記粘着剤組成物は適当な溶媒（例えば、トルエン、酢酸エチル、メチルエチルケトン等）に溶解し、これを基材上に塗布、乾燥する方法、または当該粘着組成物と基材の材料とを共押出しすることにより粘着層を形成する方法により行うことができる。また、別途、粘着剤層をセパレータに形成した後、これを基材に貼り合せる方法等を採用することができる。
【００４１】
粘着剤層の乾燥後の厚みは、適宜選定してよいが、通常１〜６０μｍ程度、好ましくは５〜３０μｍである。
【００４２】
粘着剤層の粘着力は、たとえば、エポキシ封止樹脂板に貼り合せた後、当該粘着剤層を放射線照射前の粘着力（初期粘着力：２３℃、９０゜剥離、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）は、１〜４Ｎ／２０ｍｍであるのが好ましい。また、被着体を切断した後には、容易に剥離できることから放射線照射後に硬化した当該粘着剤層の粘着力（２３℃、９０゜剥離、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ）は、０．０５〜０．５Ｎ／２０ｍｍ、さらには０．０５〜０．２Ｎ／２０ｍｍであるのが好ましい。
【００４３】
なお、粘着剤層にはセパレータが、必要に応じて設けられる。セパレータの構成材料としては、紙、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート等の合成樹脂フィルム等があげられる。セパレータの表面には、接着剤層からの剥離性を高めるため、必要に応じてシリコーン処理、長鎖アルキル処理、フッ素処理等の離型処理が施されていても良い。セパレータの厚みは、通常１０〜２００μｍ、好ましくは２５〜１００μｍ程度である。
【００４４】
【実施例】
以下、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。なお、部および％はいずれも重量基準である。また、以下に、粘着力の測定方法等を示す。
【００４５】
＜粘着力の測定方法＞
粘着シートを、日東電工（株）製エポキシ樹脂ＨＣ−１００−ＸＧの梨地面仕上げ板に貼り合わせた後、２３℃、速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度９０°で剥離した時の粘着力を測定した。また貼り合わせ後、３０分間室温で放置し、日東電工（株）製ＵＭ−１１０（強度４６ｍＷ／ｃｍ２）で１０秒間紫外線照射した後、上記の条件で剥離したときの粘着力をそれぞれ測定した。
【００４６】
＜糊残りの測定方法＞
上記粘着力の測定方法と同条件で剥離後の被着体の表面の糊残りを目視で観察する。
【００４７】
＜Ｐ（リン）増加率の測定方法＞
添加剤として用いたリン酸エステル系化合物について、粘着シートを剥離した後に被着体表面に残ったＰ（リン）の元素比率をＸＰＳ（Ｘ線光電子分光分析）により測定した。被着体表面に粘着シートを貼付する前の状態に対するＰ（リン）の増加量（ａｔｏｍｉｃ％）で示す。
光電子取り出し角：９０度、
分析面積：３×１．５ｍｍ□、
Ｘ線源：ＭｇＫα、
電圧：１５ｋＶ、
分析装置：アルバックファイ社製ｍｏｄｅｌ５４００。
【００４８】
実施例１
酢酸エチル中で、メチルアクリレート（７０部）、２−エチルヘキシルアクリレート（３０部）、アクリル酸（１０部）を重合して、２５重量％濃度のアクリル酸エステル共重合体（ベースポリマー）を調製した。この溶液１００部（固形分）に対し、ウレタンアクリレート（日本合成化学（株）製，商品名ＵＶ−１７００Ｂ）１００部、イソソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業（株）製，商品名コロネートＬ）１部、光重合開始剤（チバスペシャルティケミカルズ（株）製，イルガキュア１８４）１部、アルキルリン酸エステル系界面活性剤（東邦化学工業（株）製、商品名フォスファノールＲＬ−２１０、アルキル基の炭素数１８）０．１部（５０℃に加熱したトルエンに固形分濃度が２％となるように溶解した溶液を配合）を配合し、粘着剤組成物を調製した。この粘着剤組成物の２０％トルエン溶液を、厚さ１５０μｍのポリエチレンフィルム（コロナ放電処理面）上に塗布し、乾燥して、厚さ２０μｍの粘着剤層を形成して紫外線硬化型粘着シートを作成した。
【００４９】
実施例２
実施例１において、アルキルリン酸エステル系界面活性剤を３部配合したこと以外は、実施例１と同様の方法により紫外線硬化型粘着シートを作成した。
【００５０】
実施例３
実施例１において、アルキルリン酸エステル系界面活性剤（東邦化学工業（株）製、商品名フォスファノールＲＬ−２１０、アルキル基の炭素数１８）の代わりに、アルキルリン酸エステル系界面活性剤（中京油脂（株）製、商品名セパージェントＪ−３３４、アルキル基の炭素数２６）を０．１部配合したこと以外は、実施例１と同様の方法により紫外線硬化型粘着シートを作成した。
【００５１】
比較例１
実施例１において、アルキルリン酸エステル系界面活性剤を配合しなかったこと以外は、実施例１と同様の方法により紫外線硬化型粘着シートを作成した。
【００５２】
比較例２
実施例１において、アルキルリン酸エステル系界面活性剤の配合量を１２部に増量したこと以外は、実施例１と同様の方法により紫外線硬化型粘着シートを作成した。
【００５３】
比較例３
実施例１において、アルキルリン酸エステル系界面活性剤の配合量を０．０１部に減量したこと以外は、実施例１と同様の方法により紫外線硬化型粘着シートを作成した。
【００５４】
比較例４
実施例１において、アルキルリン酸エステル系界面活性剤（東邦化学工業（株）製、商品名フォスファノールＲＬ−２１０、アルキル基の炭素数１８）の代わりに、アルキルリン酸エステル系界面活性剤（東邦化学工業（株）製、商品名フォスファノールＲＭ−４１０、アルキル基の炭素数９）を０．１部配合したこと以外は、実施例１と同様の方法により紫外線硬化型粘着シートを作成した。
【００５５】
実施例１〜３および比較例１〜４で得られたこの紫外線硬化型粘着シートを、厚さ１ｍｍのエポキシ封止樹脂板（日東電工（株）製エポキシ樹脂ＨＣ−１００−ＸＧ，ワックスのブリードは少ない）に貼り付け、初期粘着力、紫外線照射後粘着力、糊残り、Ｐ（リン）転写量を測定した。その結果を表１に示す。
【００５６】
【表１】
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表１より、実施例１〜３で得られたこの紫外線硬化型粘着シートは、初期粘着力が所望範囲にあり被着体を十分に固定保持することができ、また紫外線照射後においては粘着力が低下しており、粘着シートの剥離が容易であることが分かる。しかし、比較例１、３で得られた紫外線硬化型粘着シートは、リン酸エステル系化合物を配合していないか、または配合量が少ないものであり、紫外線硬化後の粘着力が高く、糊残りも見られる。また粘着シートの剥離の際には剥離途中で粘着シートが切断してしまった。比較例２で得られた紫外線硬化型粘着シートは、紫外線硬化後の糊残りは見られないが、リン酸エステル系化合物の配合量が多く、リン酸エステル系化合物の被着体表面への転写が検出された。比較例４で得られた紫外線硬化型粘着シートは、紫外線硬化後の粘着力が低く、糊残りも見られないが、リン酸エステル系化合物のアルキル基の炭素数が１０未満であり、初期粘着力が低い。
【００５７】
以上の説明で明らかなように、本発明の固定用粘着シート（紫外線硬化型粘着シート）は、ワックスの含有量の少ない半導体封止樹脂板や表面に蒸着加工した光学部品に貼付けた場合にも、これら被着体を十分に保持した状態で切断でき、しかも紫外線照射後剥離した場合には、粘着力が十分に低いので、被着体からの剥離の際に粘着シートが切断されることがほとんどなく作業性が良好である。また、粘着シートを剥離した後に粘着剤が被着体上に残留することがほとんどなく、剥離する際の被着体からの剥離性が良好である。従って、製品歩留まりがよい。