(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ材の第１の面側にパターン及びＩＣチップを設けてなるＣＯＦテープを搬送方向に搬送させる搬送手段と、
前記ＣＯＦテープの搬送により送られてくる該ＣＯＦテープ上の前記ＩＣチップを順次検査する検査手段と、を備えたＣＯＦ用オートハンドラであって、
前記搬送手段は、前記ＣＯＦテープを案内・支持する搬送用回転体を有し、
前記搬送用回転体は、フランジ部及び支持円筒部からなる２個の分割片からなり、前記分割片の支持円筒部が接触又は近接して、前記ＣＯＦテープの前記第１の面とは反対側の第２の面に接触して、該ＣＯＦテープが落込まないように支持する円筒状の支持面を構成する、ことを特徴とするＣＯＦ用オートハンドラ。
【請求項２】
テープ材の第１の面側にパターン及びＩＣチップを設けてなるＣＯＦテープを搬送方向に搬送させる搬送手段と、
前記ＣＯＦテープの搬送により送られて来る該ＣＯＦテープ上の前記ＩＣチップを順次検査する検査手段と、を備えたＣＯＦ用オートハンドラであって、
前記搬送手段はテープ張力保持手段を有し、
前記テープ張力保持手段は、前記ＣＯＦテープの前記第１の面に当接し回転自在な一対の押さえ回転体を、これら押さえ回転体間に、前記第１の面側に設けられたパターン及びＩＣチップの位置に対応した接触防止隙間を形成して有する、ことを特徴とするＣＯＦ用オートハンドラ。
【請求項３】
前記押さえ回転体に前記テープ材と噛合自在な歯を形成した、ことを特徴とする請求項２記載のＣＯＦ用オートハンドラ。
【請求項４】
前記搬送手段は請求項１記載の前記搬送用回転体を有する、ことを特徴とする請求項２又は３記載のＣＯＦ用オートハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＯＦ(Chip on film)テープ上のＩＣチップを検査・選別するＣＯＦ用オートハンドラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
特開平７−２３９３６６号等によりＴＡＢ用オートハンドラが周知となっている。まず、この周知のＴＡＢ用オートハンドラについて説明する。図４は従来のＴＡＢ用オートハンドラを示す模式図、図５はそのスプロケット（プーリ）及びテンショナを示す図である。
【０００３】
従来のＴＡＢ用オートハンドラ３０は、図４及び図５に示すように、ポリイミド等のフィルム３２において、その一方の面にパターン３４が形成され、他方の面に、例えば半導体チップ等のＩＣチップ３１がボンディング接合されて構成されたＴＡＢテープ３３を搬送させ、該ＴＡＢテープ３３上のＩＣチップ３１を検査・分類する装置である。なお、図５（ｂ）に示すＴＡＢテープ３３のパターン３４は説明のため誇張表示している。
【０００４】
ＴＡＢ用オートハンドラ３０は、図４に示すように、供給リール２Ａ及び収容リール２Ｂを有し、リール２Ａ・２Ｂ間にＴＡＢテープ３３を巻回している。リール２Ａ・２Ｂ間のＴＡＢテープ３３は、供給側のサブスプロケット２１ａ、収容側のサブスプロケット２１ｂ、供給側の固定プーリ２２ａ、収容側の固定プーリ２２ｂ、供給側のテンショナ２３ａ、収容側のテンショナ２３ｂ、供給側のメインスプロケット２４ａ、収容側のメインスプロケット２４ｂ等により保持されている。
【０００５】
メインスプロケット２４ａ・２４ｂ間にはプッシャ３が設けられており、該プッシャ３はメインスプロケット２４ａ・２４ｂと共に、メインスプロケット２４ａ・２４ｂ間に保持したＴＡＢテープ３３を把持して図４の矢印Ａ、Ｂ方向に押出・引戻駆動自在になっている。なお上述したテンショナ２３ａ・２３ｂは、プッシャ３の押出・引戻駆動によりＴＡＢテープ３３に弛み等が生じないようにするためのものであり、ＴＡＢテープ３３を所定の圧力で押さえることにより該ＴＡＢテープ３３の張力を保持する。
【０００６】
リール２Ａ・２Ｂ間のＴＡＢテープ３３は図４の矢印Ｔ方向に順次搬送され、プッシャ３の位置に搬送されたＴＡＢテープ３３は該プッシャ３の押出駆動により図４の矢印Ａ側に押出される。押出されたＴＡＢテープ３３上のＩＣチップ３１は図示しないプローブカード上のプローブに接触導通される。このプローブカードは図示しないＩＣテスタに接続されており、該ＩＣテスタにより上記ＩＣチップ３１の電気試験による検査が行われる。
【０００７】
前記プッシャ３の下流側には、上記ＩＣテスタによる検査結果に基づいてＴＡＢテープ３３上のＩＣチップ３１を良品、不良品に分類する図示しない分類装置等が配設されている。
【０００８】
ここで、サブスプロケット２１ａ、固定プーリ２２ａ、メインスプロケット２４ａは、図５（ａ）に示すように、装置の構造上、ＴＡＢテープ３３のうちＩＣチップ３１側の面を案内・支持するようになっており、サブスプロケット２１ａ、固定プーリ２２ａ、メインスプロケット２４ａには、上述した案内・支持をなすためのガイド面５が円筒状にそれぞれ形成されている。また、ＩＣチップ３１が接触して損傷しないように、ガイド面５の幅方向中央付近には、上記ＩＣチップ３１の実装範囲に対応した形で溝部１５が設けられている。なお、サブスプロケット２１ａ及びメインスプロケット２４ａの場合には、ガイド面５にはＴＡＢテープ３３の図示しない送り穴に噛合するための図示しない歯が設けられている。
【０００９】
一方、テンショナ２３ａは、図５（ｂ）及び（ｃ）に示すように、ＴＡＢテープ３３のパターン３４側の面を押さえるようになっており、テンショナ２３ａには、上述した押さえをなすための当接面６が形成されている。またパターン３４が接触して損傷しないように、当接面６の幅方向中央付近には、上記パターン３４の形成範囲に対応した形で溝部１６が設けられている。なお、本装置はプッシャ３を中心として線対称に配置されているので、図の右側は説明を割愛する。
【００１０】
ところで、液晶ディスプレイの駆動用ＩＣなどにはＴＡＢの代わりにＣＯＦを採用するものがあることが知られている。図６はＣＯＦテープを示す図である。ＣＯＦもフィルムにＩＣチップを実装する点ではＴＡＢと共通している。即ちＣＯＦテープ１１は、図６に示すように、フィルム１２上にリードで形成されたパターン１Ａを有し、該パターン１Ａに対してＩＣチップ１Ｂが実装されている。図６中の１Ｃはテストパッドであり、１Ｄはパターン１Ａに設けられたレジストであり、１Ｅはスプロケット等と噛合するための送り穴である。
【００１１】
このようなＣＯＦテープは従来のＴＡＢとは異なる下記▲１▼〜▲３▼のような特徴ももっている。
▲１▼フィルムの厚さが４０μｍ以下で薄い（従来のＴＡＢでは７５μｍ以上）。
▲２▼ＩＣチップの実装面とパターンの形成面が同一である（従来のＴＡＢではパターン裏面よりＩＣチップを実装することが主流）。
▲３▼折り曲げ用の窓が無く裏面での電気的な短絡がない（従来のＴＡＢでは折り曲げ窓での短絡があった。）
【００１２】
上記のようなＣＯＦからなるＣＯＦテープは、その形態がＴＡＢテープに似ている。従って、ＣＯＦテープ上のＩＣチップを検査・選別する際には、上述したようなＴＡＢ用オートハンドラと同様な装置を使えばいいと考えられていた。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし実際には、上述したＣＯＦの特徴でも示したように、ＣＯＦの場合はフィルム１２の厚さが薄く、ＴＡＢと比較して柔らかいため、テンショナ２３ａ・２３ｂによりＣＯＦテープ１１にテンションを与えると、該テンショナ２３ａ・２３ｂのガイド面６間の溝部１６（図５（ｂ））へＣＯＦテープ１１が落ち込んだり、固定プーリ２２ａ・２２ｂのガイド面５間の溝部１５（図５（ａ））へＣＯＦテープ１１が落ち込んだり、或いはスプロケット２１ａ・２１ｂ又は２４ａ・２４ｂではＣＯＦテープ１１の送り穴１Ｅが破損したりするため、安定した搬送ができない。
【００１４】
そこで本発明は上記事情に鑑み、ＣＯＦテープ上のＩＣチップを検査・選別するＣＯＦ用オートハンドラであって、ＣＯＦテープを安定して搬送することのできるＣＯＦ用オートハンドラを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明のうち請求項１は、図１に示すように、テープ材（１２）の第１の面側にパターン（１Ａ）及びＩＣチップ（１Ｂ）を設けてなるＣＯＦテープ（１１）を搬送方向に搬送させる搬送手段（２Ｃ〜２Ｋ）と、前記ＣＯＦテープ（１１）の搬送により送られてくる該ＣＯＦテープ（１１）上の前記ＩＣチップ（１Ｂ）を順次検査する検査手段（３）と、を備えたＣＯＦ用オートハンドラ（２０）であって、図２に示すように、前記搬送手段は、前記ＣＯＦテープ（１１）を案内・支持する搬送用回転体（２Ｃ〜２Ｆ・２Ｊ・２Ｋ）を有し、前記搬送用回転体（２Ｃ〜２Ｆ・２Ｊ・２Ｋ）は、前記ＣＯＦテープ（１１）の前記第１の面とは反対側の第２の面に接触して、該ＣＯＦテープ（１１）が落込まないように支持する円筒状の支持面（２５）を有する。
【００１６】
そして、前記搬送用回転体（２Ｃ〜２Ｆ・２Ｊ・２Ｋ）は、フランジ部（８０）及び支持円筒部（８１）からなる２個の分割片（７０）からなり、前記分割片（７０）の支持円筒部（８１）が接触又は近接して前記支持面（２５）を構成する、ことを特徴とする。
【００１７】
本発明のうち請求項２は、テープ材（１２）の第１の面側にパターン（１Ａ）及びＩＣチップ（１Ｂ）を設けてなるＣＯＦテープ（１１）を搬送方向に搬送させる搬送手段（２Ｃ〜２Ｋ）と、前記ＣＯＦテープ（１１）の搬送により送られて来る該ＣＯＦテープ（１１）上の前記ＩＣチップ（１Ｂ）を順次検査する検査手段（３）と、を備えたＣＯＦ用オートハンドラ（２０）であって、図３に示すように、前記搬送手段はテープ張力保持手段（２Ｇ・２Ｈ）を有し、前記テープ張力保持手段（２Ｇ・２Ｈ）は、前記ＣＯＦテープ（１１）の前記第１の面に当接し回転自在な一対の押さえ回転体（９５）を、これら押さえ回転体（９５）間に、前記第１の面側に設けられたパターン（１Ａ）及びＩＣチップ（１Ｂ）の位置に対応した接触防止隙間（９８）を形成して有する、ことを特徴とするＣＯＦ用オートハンドラ（２０）にある。
【００１８】
本発明のうち請求項３は、前記押さえ回転体（９５）に前記テープ材（１２）と噛合自在な歯（９６）を形成した、ことを特徴とする請求項２記載のＣＯＦ用オートハンドラ（２０）にある。
【００１９】
本発明のうち請求項４は、前記搬送手段は請求項１記載の前記搬送用回転体（２Ｃ〜２Ｆ・２Ｊ・２Ｋ）を有する、ことを特徴とする請求項２又は３記載のＣＯＦ用オートハンドラ（２０）にある。
【００２０】
［作用］
上記構成により、搬送用回転体（２Ｃ〜２Ｆ・２Ｊ・２Ｋ）では、ＣＯＦテープ（１１）に強い張力が与えられても、円筒状の支持面（２５）により該ＣＯＦテープ（１１）が支持される。
【００２１】
また、テープ張力保持手段（２Ｇ・２Ｈ）では、回転する押さえ回転体（９５）によりＣＯＦテープ（１１）に当接して押さえるので、該ＣＯＦテープ（１１）に加わる負荷が軽減される。
【００２２】
なお、括弧内の番号等は、図面における対応する要素を示す便宜的なものであり、従って、本記述は図面上の記載に限定拘束されるものではない。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に沿って説明する。図１は本実施形態のＣＯＦ用オートハンドラを示す模式図、図２はスプロケット（プーリ）を示す図、図３はテンショナを示す図である。本実施形態のＣＯＦ用オートハンドラ２０は、従来の技術で説明した図４に示すＴＡＢ用オートハンドラ３０と概略的には略同じ構成となっている。ＣＯＦ用オートハンドラ２０の構成要素のうち、図４に示すＴＡＢ用オートハンドラ３０の構成要素と同じ部分で同じ機能をもつものには同一の符号を付した。またＣＯＦテープ１１は図６（従来の技術）で説明したものを採用した。
【００２４】
即ちＣＯＦ用オートハンドラ２０は、図１に示すように、供給リール２Ａ及び収容リール２Ｂを有し、これらリール２Ａ、２Ｂ間にＣＯＦテープ１１を巻回して有している。これらリール２Ａ、２Ｂ間のＣＯＦテープ１１は、供給側のサブスプロケット２Ｃ、収容側のサブスプロケット２Ｄ、供給側の固定プーリ２Ｅ、収容側の固定プーリ２Ｆ、供給側のテンショナ２Ｇ、収容側のテンショナ２Ｈ、供給側のメインスプロケット２Ｊ、収容側のメインスプロケット２Ｋ等により保持されている。
【００２５】
メインスプロケット２Ｊ・２Ｋ間にはプッシャ３が設けられており、プッシャ３は上記メインスプロケット２Ｊ・２Ｋと共にこれらメインスプロケット２Ｊ・２Ｋ間に保持したＣＯＦテープ１１を把持して図１の矢印Ａ、Ｂ方向に押出・引戻駆動自在になっている。
【００２６】
前記リール２Ａ、２Ｂ間のＣＯＦテープ１１は図１の矢印Ｔ方向に順次搬送され、プッシャ３の位置に搬送されたＣＯＦテープ１１は該プッシャ３の押出駆動により図１の矢印Ａ側に押出されるようになっている。押出されたＣＯＦテープ１１上のＩＣチップ１Ｂは図示しないプローブカード上のプローブに接触導通され、このプローブカードに接続された図示しないＩＣテスタにより上記ＩＣチップ１Ｂが検査される。
【００２７】
前記プッシャ３の下流側には、上記ＩＣテスタによる検査結果に基づいてＣＯＦテープ１１上のＩＣチップ１Ｂを良品、不良品に分類する図示しない分類装置等が配設されている。
【００２８】
ＣＯＦ用オートハンドラ２０におけるＴＡＢ用オートハンドラ３０との相違点を説明する。まず、ＣＯＦ用オートハンドラ２０の各スプロケット２Ｃ・２Ｄ・２Ｊ・２Ｋ及び固定プーリ２Ｅ・２Ｆは、図２に示すように、一対の円盤状のフランジ部８０、８０を有しており、各フランジ部８０の一側には小径同心円盤状のガイド部６１がフランジ部８０、８０間で互いに対向する向きに設けられている。このフランジ部８０、８０及びガイド部６１、６１の構成までは「従来の技術」で説明したものと同様である。なお、図２ではスプロケット２Ｃを例示した。
【００２９】
更に、各ガイド部６１の一側には、該ガイド部６１と等径同心円盤状の内ガイド部６２が前記ガイド部６１、６１間で互いに対向する向きに設けられている。フランジ部８０とガイド部６１と内ガイド部６２とからなる組は分割片７０を構成している。即ち、各スプロケット２Ｃ・２Ｄ・２Ｊ・２Ｋ及び固定プーリ２Ｅ・２Ｆは一対の分割片７０により構成されている。
【００３０】
また、各分割片７０において、等径同心円盤状で中心軸方向に隣接配置されている上記ガイド部６１、内ガイド部６２は、これら２要素全体で１つの支持円筒部８１を構成している。支持円筒部８１の外周面は支持面２５となっている。支持円筒部８１、８１間は基本的に接触している。つまり、上述した「従来の技術」での各スプロケット２１ａ・２１ｂ・２４ａ・２４ｂ及び固定プーリ２２ａ・２２ｂにおける溝部１５（図５（ａ）参照）が内ガイド部６２により埋められたようになっている。
【００３１】
なお、サブスプロケット２Ｃ・２Ｄ及びメインスプロケット２Ｊ・２Ｋの場合には、ガイド部６１に、ＣＯＦテープ１１の送り穴１Ｅ（図６参照）に噛合するための図示しない歯が設けられている。
【００３２】
以上の構成により、テンショナ２Ｇ・２ＨによりＣＯＦテープ１１に張力を与えても、スプロケット２Ｃ・２Ｄ・２Ｊ・２Ｋ及び固定プーリ２Ｅ・２Ｆでは、上記支持面２５によってＣＯＦテープ１１の幅方向全長に亘って案内・支持するので、ＣＯＦテープ１１の送り穴１Ｅに過度の力がかかって該送り穴１Ｅが破損したり、或いは隙間に落込むようなことはないのでＣＯＦテープ１１の安定した搬送が可能となる。
【００３３】
なおＣＯＦテープ１１は、図２（ａ）に示すように、パターン１Ａと同一面側にＩＣチップ１Ｂが実装されており、スプロケット２Ｃ・２Ｄ・２Ｊ・２Ｋ及び固定プーリ２Ｅ・２Ｆに対する接触は、これらパターン１Ａ及びＩＣチップ１Ｂが無い面の側で行われる。従って、支持面２５に接触してパターン１ＡやＩＣチップ１Ｂが損傷することはないので都合がいい。
【００３４】
また、スプロケット２Ｃ・２Ｄ・２Ｊ・２Ｋ及び固定プーリ２Ｅ・２Ｆは、様々な幅（例えば３５ｍｍや４８ｍｍ）をもつＣＯＦテープ１１に対応できるように、分割片７０間、従って支持円筒部８１間が、図２（ｂ）の矢印Ｃ、Ｄ方向に接近・離反自在になっていてもよい。例えば支持円筒部８１間が離反した場合には、該支持円筒部８１間に図２（ｂ）の二点鎖線で示す隙間Ｗが形成されるが、それでも支持円筒部８１間は近接しており、該隙間Ｗの大きさ（例えば１３ｍｍ）はＣＯＦテープ１１に対する接触面積に比べて十分に小さいため、該ＣＯＦテープ１１が隙間Ｗに落込むことはない。
【００３５】
次に、ＣＯＦ用オートハンドラ２０におけるＴＡＢ用オートハンドラ３０との他の相違点を説明する。即ちＣＯＦ用オートハンドラ２０のテンショナ２Ｇには、図３に示すように、一対の板状に形成された本体９０を有しているが、該本体９０には「従来の技術」で示したようなガイド面６（図５（ｂ）参照）が形成されていない。その代わりに本体９０には、図３（ａ）に示すように、ＣＯＦテープ１１の幅方向両端近傍部分が当接する位置に一対の対向する回転ローラ９５を回転自在に設けている。
【００３６】
即ち、テンショナ２ＧではＣＯＦテープ１１が回転ローラ９５の外周に接触する。またこれら回転ローラ９５の外周部には歯９６が設けられており、これら歯９６がＣＯＦテープ１１の送り穴１Ｅに噛合するようになっている。ＣＯＦテープ１１のパターン１ＡやＩＣチップ１Ｂはテンショナ２Ｇの内側（図３の紙面下側）を向いているが、２つの回転ローラ９５の間には、これらパターン１ＡやＩＣチップ１Ｂの位置に対応して接触防止隙間９８が形成されているので、パターン１ＡやＩＣチップ１Ｂが何かに接触して損傷することはない。なお、テンショナ２Ｈはテンショナ２Ｇを線対称に配置されている。
【００３７】
以上の構成により、テンショナ２Ｇ・２ＨによりＣＯＦテープ１１を押して張力を与えても、ＣＯＦテープ１１は回転ローラ９５と噛合しているので、ＣＯＦテープ１１のずれ落ちを抑制する。つまりＣＯＦテープ１１が回転ローラ９５の間の接触防止隙間９８等に落込むようなことはないので、該ＣＯＦテープ１１の安定した搬送が可能となる。また回転ローラ９５が回転するためＣＯＦテープ１１に与える負荷が極力低減されている。これによってもＣＯＦテープ１１を落込ませない効果があり、しかも送り穴１Ｅにおける破損等が有効に防止される。
【００３８】
なお、テンショナ２Ｇ・２Ｈに関しても、様々な幅をもつＣＯＦテープ１１に対応できるように回転ローラ９５間が図３（ａ）の矢印Ｃ、Ｄ方向に接近・離反自在になっていてもよい。
【００３９】
上述したスプロケット２Ｃ・２Ｄ・２Ｊ・２Ｋやプーリ２Ｅ・２Ｆ、テンショナ２Ｇ・２Ｈの個数は上述した実施形態での個数に限らず任意である。
【００４０】
【発明の効果】
以上のように本発明のうち請求項１によると、搬送用回転体では、ＣＯＦテープに強い張力が与えられても、円筒状の支持面により該ＣＯＦテープが支持されるので、ＣＯＦテープの落込みが発生しない。また送り穴等に過度の力が加わることも防止されるので、該送り穴等の破損も防止される。よって本発明によると、ＣＯＦテープを安定して搬送することができる。
【００４１】
更に、２個の分割片により様々な幅をもつＣＯＦテープに対応できるので便利である。
【００４２】
また請求項２によると、テープ張力保持手段では、回転する押さえ回転体によりＣＯＦテープに当接して押さえるので、該ＣＯＦテープに加わる負荷が軽減され、ＣＯＦテープの落込みや、ＣＯＦテープの破損が防止され、ＣＯＦテープを安定して搬送することができる。
【００４３】
また請求項３によると、歯がテープ材に噛合するので、ＣＯＦテープのずれが生じず、ＣＯＦテープの落込みは確実に防止できる。
【００４４】
また請求項４によると、搬送手段全体に亘ってＣＯＦテープの落込みや破損が生じない有効なＣＯＦ用オートハンドラが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態のＣＯＦ用オートハンドラを示す模式図。
【図２】スプロケット（プーリ）を示す図。
【図３】テンショナを示す図。
【図４】従来のＴＡＢ用オートハンドラを示す模式図。
【図５】そのスプロケット（プーリ）及びテンショナを示す図。
【図６】ＣＯＦテープを示す図。
【符号の説明】
１Ａ    パターン
１Ｂ    ＩＣチップ
２Ｃ・２Ｄ    搬送用回転体（サブスプロケット）
２Ｅ・２Ｆ    搬送用回転体（固定プーリ）
２Ｇ・２Ｈ    テープ張力保持手段（テンショナ）
２Ｊ・２Ｋ    搬送用回転体（メインスプロケット）
９５    押さえ回転体（回転ローラ）
３      検査手段（プッシャ）
【図１】
0003760729.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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