(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電板より打ち抜き一方の端部にくの字状のコイルエンドを有する要素コイル（５）を設け、この２つの要素コイル（５）（５）を絶縁紙（４）を挟んで貼り合わせた帯状コイル（６）を心金（７）の両面に固定して構成した固定子（２）を設け、この固定子（２）に空隙を介して対向する永久磁石（１５）（１６）を備えた可動子（３）を有するリニアモータ（１）において、
前記心金（７）の端部に心金（７）の幅方向に複数個の孔（７ａ）を設け、これらの孔（７ａ）にピン（１８）を挿入固定するとともに、前記帯状コイル（６）のコイルエンドのくの字状の両方の傾斜面を前記ピン（１８）に当接するようにしたことを特徴とするリニアモータ。
【０００１】
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の加工テーブルを軸線方向に作動するリニアモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のリニアモータは、図４ないし図６に示すように構成している。
図において、２０はリニアモータで、このリニアモータ２０は可動子２１と固定子２２より構成している。前記可動子２１は、コ字状の支持台２３の両脚にヨーク２４、２５を取付けている。２６、２７は永久磁石で、前記ヨーク２４、２５に固定して構成し、図示しない搬送装置の可動部材に取付けている。前記固定子２２は、図６に示すように導電板を打ち抜き一方の端部にくの字状部のコイルエンドを有する要素コイル２８、２８を設け、一方の要素コイル２８の側部と他方の要素コイル２８の側部とを接続して帯状コイル２９を構成し、非磁性体からなる平板状の心金３１の両側に前記帯状コイル２９を固定している。このように心金３１に固定した帯状コイル２９の外周に絶縁樹脂３２を充填し、その絶縁樹脂３２の外周をキャン３３で覆ってベース３４に固定し、図示しない搬送装置の固定部材に取付けている。
つぎに、リニアモータの固定子の製造方法について説明をする。
まず、導電板を打ち抜き一方の端部にくの字状のコイルエンドを有する要素コイル２８、２８を形成し、前記要素コイル２８、２８を絶縁シート３０を挟さみ一方の要素コイル２８の側部と他方の要素コイル２８とを接続して帯状コイル２９を構成する。つぎに、心金３１の両面に帯状コイル２９の位置を合わせる位置決めマーク３５を印す。前記心金３１の位置決めマーク３５に帯状コイル２９のコイルエンドのくの字に傾斜した先端位置および帯状コイル２９の側面位置を位置合わせをする。心金３１に位置合わせした帯状コイル２９に粘着テープ３６を貼り付けて心金３１に帯状コイル２９を固定する。前記心金３１を裏返して心金３１の位置決めマーク３５に帯状コイル２９のコイルエンドのく字状の先端位置と帯状コイル２９の側面位置とを位置合わせをする。前記心金３１に帯状コイル２９を粘着テープ３６で貼り付けて固定する。このように帯状コイル２９を取付けた心金３１を支持具３７に取付けてキャン３３に収納し、キャン３３の内部の帯状コイル２９とキャン３３の内面との間に絶縁樹脂３２を充填した固定子２２をベース３４に取付けて構成する。
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のリニアモータは、心金３１の両面に位置決めマーク３５を印し、この位置決めマーク３５に帯状コイル２９のコイルエンドのく字状の先端位置と帯状コイル２９の側面位置とを位置合わせをする。前記心金３１に帯状コイル２９を粘着テープ３６で貼り付けて心金３１に帯状コイル２９を固定しているため、心金３１の位置決めマーク３５と帯状コイル２９のコイルエンドのくの字状の傾斜部の先端位置および帯状コイル２９の側面位置との位置合わせを目視で合わせており、作業者の熟練を要するほか、目視のため位置精度がばらつき、リニアモータの出力が低下するほか、出力にばらつきが生じていた。
そこで、本発明は、出力の低下を生じることなく、出力がばらつかないようにすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明は、導電板より打ち抜き一方の端部にくの字状のコイルエンドを有する要素コイルを設け、この２つの要素コイルを絶縁紙を挟んで貼り合わせた帯状コイルを心金の両面に固定して構成した固定子を設け、この固定子に空隙を介して対向する永久磁石を備えた可動子を有するリニアモータにおいて、前記心金の端部に心金の幅方向に複数個の孔を設け、これらの孔にピンを挿入固定するとともに、前記帯状コイルのコイルエンドのくの字状の両方の傾斜面を前記ピンに当接するようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施例に基づいて説明する。
図１は本発明の実施例を示すリニアモータの正断面図、図２は固定子コイルの正断面図である。図３は固定子の説明図である。
図において、１はリニアモータで、このリニアモータ１は固定子２と可動子３とより構成している。前記固定子２は、図３に示すように導電板を打ち抜き一方の端部にくの字状の傾斜部５ａを有するコイルエンドを備えた要素コイル５、５を絶縁紙４を挟さみ、一方の要素コイル５の側部と他方の要素コイル５の側部とを接続して帯状コイル６を構成する。非磁性体からなる平板状の心金７の両側に前記帯状コイル６を取付けて固定する。８は前記心金７に固定した帯状コイル６の両側を支持具９で支持し、帯状コイル６の外周に充填した絶縁樹脂、１０は前記心金７に取付けた帯状コイル６および帯状コイル６の外周に充填した絶縁樹脂８を囲んで取付けたキャンで、このキャン１０をベース１１に固定し、図示しない搬送装置の固定部材に取付けている。前記可動子３はコ字状の支持台１２の両側にヨーク１３、１４が取付けられ、このヨーク１３、１４の内側に前記帯状コイル６に空隙を介して永久磁石１５、１６が取付け、図示しない搬送装置の可動部材に取付けている。１７は粘着テープである。１８は前記心金７の幅方向に設けた２つの孔７ａ、７ａに挿入して固定したピンである。
つぎに、リニアモータの固定子の製作方法について説明をする。
まず、心金７の孔７ａ、７ａにピン１８、１８を挿入固定する。つぎに、導電板より打ち抜き一方の端部にくの字状のコイルエンドを有する要素コイル５を絶縁紙４を挟んで貼り合わせて構成した帯状コイル６のコイルエンドのく字状の両方の傾斜面５ａを前記ピン１８、１８に当接することにより、帯状コイル６の先端位置および側面位置が心金７上に位置決めされ、粘着テープ１７で帯状コイル６を心金７に貼付け固定する。その後に、前記心金７を裏返して心金７のピン１８、１８に帯状コイル６のコイルエンドのくの字状の両方の傾斜面５ａを当接させ、粘着テープ１７で帯状コイル６を心金７に貼付けて固定する。前記帯状コイル６を取付けた心金７を支持具９に取付け、キャン１０に収納固定してキャン１０内に絶縁樹脂８を充填し、ベース１１に固定して固定子２を構成する。したがって、心金７の一方面に取付けた帯状コイル６と他方面に取付けた帯状コイル６との取付け位置が確実に一致するので、リニアモータの出力が低下することなく、出力のばらつきを生じない。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、心金に固定したピンに帯状コイルのくの字状の両方の傾斜面を当接させるので、心金の一方面に取付けた帯状コイルと他方面に取付けた帯状コイルの取付け位置が一致し、リニアモータの出力が低下することなく、出力のばらつきを生じない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示すリニアモータの正断面図である。
【図２】本発明の実施例を示す固定子の正断面図である。
【図３】本発明の実施例を示す固定子の説明図である。
【図４】従来のリニアモータの正断面図である。
【図５】従来のリニアモータの固定子の正断面図である。
【図６】従来のリニアモータの固定子の説明図である。
【符号の説明】
１  リニアモータ、  ２  固定子、  ３  可動子、  ４  絶縁紙
５要素コイル、  ５ａ  曲折部、  ６  帯状コイル、７  心金、
８  絶縁樹脂、  ９  支持具、  １０  キャン、  １１  ベース、
１２  支持台、  １３、１４  ヨーク、  １５、１６  永久磁石、
１７  粘着テープ、  １８  ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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