(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバに結合する光導波路を有し、かつ上記光導波路を横切るように切断溝が形成された導波路基板と、上記光導波路に結合する光ファイバの端部を保持した整列部材と、上記切断溝に先端部を挿入する薄膜光学フィルタが固定される保持部を有し、かつ上記導波路基板と上記整列部材の両方に接するように配置された取付ブロックとを具備したことを特徴とする光導波路部品。
【請求項２】
光ファイバに結合する光導波路を有し、かつ上記光導波路を横切るように切断溝が形成された導波路基板と、上記切断溝に先端部を挿入する薄膜光学フィルタが固定された保持部と、上記光導波路に結合する光ファイバの端部を整列または保持したファイバ取付部が一体に形成され、かつ上記導波路基板に少なくとも１つの面が接するように配置された取付ブロックとを具備したことを特徴とする光導波路部品。
【請求項３】
光ファイバを整列させるＶ溝を取付ブロック上のファイバ取付部に形成してなる請求項２記載の光導波路部品。
【請求項４】
導波路基板に設けたＶ溝に光ファイバを整列させ、この光ファイバに取付ブロックのファイバ取付部を接するように配置してなる請求項２記載の光導波路部品。
【請求項５】
取付ブロックに設けた切り欠き部またはスリット部を、薄膜光学フィルタを固定する保持部としてなる請求項１または請求項２記載の光導波路部品。
【請求項６】
単一の取付ブロックに複数の薄膜光学フィルタと、薄膜光学フィルタを固定する複数の保持部とを設けてなる請求項１または請求項２記載の光導波路部品。
【請求項７】
薄膜光学フィルタを取付ブロックに固定する保持部の近傍に、前記薄膜光学フィルタを前記保持部に接着する際に溢れ出た接着剤を溜める凹部を設けてなる請求項１または請求項２記載の光導波路部品。
【請求項８】
取付ブロックと導波路基板または整列部材とが接する面に、複数個の凹部と凸部をそれぞれ形成し、これら凹部と凸部を互に嵌合することにより、取付ブロックと導波路基板または整列部材の位置合わせを行うようにしてなる請求項１または請求項２記載の光導波路部品。
【請求項９】
取付ブロックは、導波路基板または整列部材と略同一の熱膨張率を有する材質から形成してなる請求項１または請求項２記載の光導波路部品。
【請求項１０】
取付ブロックは、ガラスまたは樹脂を材料としたプレス成形品で構成してなる請求項１または請求項２記載の光導波路部品。
【請求項１１】
薄膜光学フィルタで反射された反射光を取付ブロック中に導き、この取付ブロックの任意の端面から上記反射光を取り出すように、薄膜光学フィルタを光導波路の光軸に対して斜めに配置してなる請求項１または請求項２記載の光導波路部品。
【請求項１２】
反射光を取り出す取付ブロックの端面に集光レンズを設けると共に、この集光レンズと上記取付ブロックとを一体に構成してなる請求項１１記載の光導波路部品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は光ファイバを使用して通信する光ファイバ通信に用いる光導波路部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光ファイバ通信網の拡大に伴い、光通信部品の集積化、低価格化を目的として、導波路基板に薄膜の光学フィルタを挿入した光分波機能を持つ光導波路部品の導入が進んできている。
【０００３】
光分波機能を持つ光導波路部品は、光導波路を横切る幅約２０〜３０μｍの切断溝に、厚み約１５μｍの薄膜光学フィルタを挿入して構成しており、例えば光導波路中を伝搬した波長１．５μｍの光は薄膜光学フィルタで反射され、波長１．３μｍの光はこれを通過して、各々別の光導波路に結合して光分波を構成するので、光導波路を横切る薄膜光学フィルタの位置精度が非常に重要となる。
【０００４】
しかし光導路波を横切る切断溝の幅は薄膜光学フィルタの厚みよりも大きく、また、この切断溝は一般にダイシングソウによって加工されるので、切断溝の奥の幅に比べて入り口の幅が広くなる傾向にある。このため、薄膜光学フィルタを光導波路の光軸に対して垂直に設けたり、切断溝内に精度良く位置調整するなどの組立て作業に多くの時間を必要とする不具合があった。
【０００５】
かかる不具合を改善したものとしては、例えば特開平９−１５９８５５号公報に記載のものが公知である。
【０００６】
上記公報のものは、図８の（ａ）及び（ｂ）に示すように、導波路基板１の上面に光導波路２を横切るように切断溝４を切り、この切断溝４内に薄膜光学フィルタ３を挿入した後、この薄膜光学フィルタ３の上端からアーム５を介して座屈荷重をかけ、この薄膜光学フィルタ３の変形によって切断溝４内での位置を調整するようにしたもので、光導波路の切断溝内に薄膜光学フィルタを精度よく調整できる上、組立て調整時間も短縮できるため、生産性がよいなどの利点を有している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記公報の光導波路部品では、薄膜光学フィルタに座屈荷重を加えて固定するので、薄膜光学フィルタの機械的強度が弱くなると共に、薄膜光学フィルタに応力が加わることで、薄膜光学フィルタの波長特性、偏光特性等の光学特性が設計値から変化する恐れがあった。
【０００８】
また光ファイバ通信に使用する光導波路部品の場合、光ファイバと光導波路との結合が不可欠であることから、上記公報のもののように、薄膜光学フィルタを精度よく位置調整して、短時間で組立てを完了しても、光ファイバとの接続に多くの時間を必要とする不具合があった。
【０００９】
この発明はかかる従来の不具合を改善するためになされたもので、薄膜光学フィルタに荷重を加えることなく、また光導波路の切断溝に薄膜光学フィルタを精度よく位置調整でき、かつ光導波路と光ファイバとの結合が容易な光分波機能を持つ光導波路部品を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明は上記目的を達成するため、取付ブロックに薄膜光学フィルタを固定し、この薄膜光学フィルタの先端を、導波路基板上の光導波路を横切る方向に設けた切断溝内に挿入した状態で、取付ブロックと導波路基板とを接して配置すると共に、光導波路の端面に結合させる光ファイバを保持した整列部材と、この取付ブロックとが接するように互いを固定することにより、光分波機能を持つ光導波路部品を構成したもので、薄膜光学フィルタに荷重を加えることなく、精度よく位置調整が行えると共に、取付ブロックが光ファイバの整列部材と接するように配置されるため、整列部材を固定する際の接着面が広くなり、これによって強固な構造の光導波路部品を提供することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、光ファイバに結合する光導波路を有し、かつ上記光導波路を横切るように切断溝が形成された導波路基板と、上記光導波路に結合する光ファイバの端部を保持した整列部材と、上記切断溝に先端部を挿入する薄膜光学フィルタが固定される保持部を有し、かつ上記導波路基板と上記整列部材の両方に接するように配置された取付ブロックとにより構成したものである。
【００１２】
上記構成により、薄膜光学フィルタを固定した取付ブロックを、導波路基板に接して配置するので、切断溝に薄膜光学フィルタを精度よく位置調整できる。また取付ブロックを光ファイバの整列部材に接するように配置するので、光導波路と光ファイバの位置調整が容易で、かつ導波路基板と整列部材との強固な固定が実現できる。
【００１３】
この発明の請求項２に記載の発明は、光ファイバに結合する光導波路を有し、かつ上記光導波路を横切るように切断溝が形成された導波路基板と、上記切断溝に先端部を挿入する薄膜光学フィルタが固定された保持部と、上記光導波路に結合する光ファイバの端部を整列または保持したファイバ取付部が一体に形成され、かつ上記導波路基板に少なくとも１つの面が接するように配置された取付ブロックとより構成したものである。
【００１４】
上記構成により、薄膜光学フィルタと光ファイバとを保持した取付ブロックを、導波路基板に接して配置するので、薄膜光学フィルタの切断溝内における位置調整と固定、および光導波路と光ファイバとの結合を同時に行うことができ、光導波路部品の組立時間を大幅に短縮することができる。
【００１５】
この発明の請求項３に記載の発明は、光ファイバを整列させるＶ溝を取付ブロック上のファイバ取付部に形成したものである。
【００１６】
上記構成により、薄膜光学フィルタと光ファイバとを保持するための、高い寸法精度を必要とする部材を１つに集中できるので、加工費および材料費の低減が図れる。
【００１７】
この発明の請求項４に記載の発明は、導波路基板に設けたＶ溝に光ファイバを整列させ、この光ファイバに取付ブロックのファイバ取付部を接するように配置したものである。
【００１８】
上記構成により、Ｖ溝は光導波路の位置に対応させて、導波路基板上に高精度に構成されるので、光ファイバと光導波路の位置調整が不要となり、生産性が高められる。
【００１９】
この発明の請求項５に記載の発明は、取付ブロックに設けた切り欠き部またはスリット部を、薄膜光学フィルタを固定する保持部としたものである。
【００２０】
上記構成により、薄膜光学フィルタの取付位置を、切り欠き部あるいはスリット部で規制できるので、光導波路に対する高い位置精度が得られる。
【００２１】
この発明の請求項６に記載の発明は、単一の取付ブロックに複数の薄膜光学フィルタと、上記薄膜光学フィルタを固定する複数の保持部とを設けたものである。
【００２２】
上記構成により、複数の薄膜光学フィルタを各々の切断溝に固定する場合、１個の取付ブロックを導波路基板に対して位置調整して配置すれば良く、組立の大幅な簡素化が実現できる。
【００２３】
この発明の請求項７に記載の発明は、薄膜光学フィルタを取付ブロックに固定する保持部の近傍に、前記薄膜光学フィルタを前記保持部に接着する際に溢れ出た接着剤を溜める凹部を設けたものである。
【００２４】
上記構成により、薄膜光学フィルタを固定する際の接着剤が、導波路基板に接する取付ブロックの端面に付着するのを防止するので、導波路基板と取付ブロックとを精度良く接して配置することができる。
【００２５】
この発明の請求項８に記載の発明は、取付ブロックと導波路基板または整列部材とが接する面に、複数個の凹部と凸部をそれぞれ形成し、これら凹部と凸部を互に嵌合することにより、取付ブロックと導波路基板または整列部材の位置合わせを行うようにしたものである。
【００２６】
上記構成により、凹部と凸部を精度よく嵌合させるだけで、微細な位置調整を行うことなく、取付ブロックと導波路基板または整列部材との位置合わせが実現できるので、組立が容易で生産性の向上が図れる。
【００２７】
この発明の請求項９に記載の発明は、取付ブロックは、導波路基板または整列部材と略同一の熱膨張率を有する材質から形成したものである。
【００２８】
上記構成により、温度変化が加わっても、膨張率が等しいので、取付ブロックと導波路基板または整列部材との相対位置にずれがなく、信頼性の高い光導波路部品が提供できる。
【００２９】
この発明の請求項１０に記載の発明は、取付ブロックは、ガラスまたは樹脂を材料としたプレス成形品で構成したものである。
【００３０】
上記構成により、ガラスまたは樹脂製の導波路基板と光学的および材料的に親和性が高く、またプレス成形による量産性に優れた取付ブロックが得られる。
【００３１】
この発明の請求項１１に記載の発明は、薄膜光学フィルタで反射された反射光を取付ブロック中に導き、この取付ブロックの任意の端面から上記反射光を取り出すように、薄膜光学フィルタを光導波路の光軸に対して斜めに配置したものである。
【００３２】
上記構成により、薄膜光学フィルタを固定する傾斜部と、反射光を取り出す部分とを同一の取付ブロック内に配置するので、簡単な構成で、光導波路中を伝搬する光を、光導波路外に容易に取り出すことができる。
【００３３】
この発明の請求項１２に記載の発明は、反射光を取り出す取付ブロックの端面に集光レンズを設け、この集光レンズと上記取付ブロックとを一体に構成したものである。
【００３４】
上記構成により、反射光を集光して例えば受光素子などに効率良く結合できると共に、集光レンズと取付ブロックとを一体に構成するので、光導波路部品の小型化が実現できる。
【００３５】
以下、この発明の実施の形態を図１ないし図７に示す図面を参照して詳述する。
【００３６】
なお図１ないし図７中、同一符号は同一部品を示すことから、各図毎の説明において重複説明は省略する。
【００３７】
図１はこの発明の第１の実施形態になる光導波路部品の構成図を示すもので、この図で１１はＳｉ基板１２の上に導波路層１３を形成した導波路基板、１４、１５、１６は導波路層１３に構成された幅約７μｍの光導波路で、Ｙ分岐構造に配置されている。１７は光導波路１４、１５、１６の交点付近を横切る方向に設けられた幅約３０μｍ、深さ１００μｍ程度の切断溝、１８、１９は光導波路１４、１５の先端２０、２１と結合された光ファイバ、２２と２３はその間に光ファイバ１８、１９を挟んで保持する整列部材である。２４は例えば波長１．５μｍの光を反射して、波長１．３μｍの光を透過させる厚みが約１５μｍの薄膜光学フィルタ、２５は薄膜光学フィルタ２４を保持部２６に固定する取付ブロックで、上記薄膜光学フィルタ２４の下端は、切断溝１７内に上方より挿入されていて、光導波路１４を伝搬して薄膜光学フィルタ２４に入射した光の内、波長１．５μｍの光を反射して光導波路１５に結合させ、波長１．３μｍの光を透過して光導波路１６に結合させている。そして取付ブロック２５は、その下面２７と端面２８が、各々、導波路基板１１の上面２９と整列部材２２の端面３０とに接した状態で固定されている。
【００３８】
上記第１の実施の形態の構成によれば、薄膜光学フィルタ２４を固定した取付ブロック２５を、導波路基板１１の上面２９に接して配置したので、切断溝１７に薄膜光学フィルタ２４を精度よく位置調整でき、光分波機能を有する優れた光導波路部品が得られる。また取付ブロック２５を光ファイバ１８、１９の整列部材２２に対しても、互いに接するように配置したので、光導波路の先端２０、２１と光ファイバ１８、１９の位置調整が容易で、さらに導波路基板１１と整列部材２２、２３とを強固に固定することもできる。
【００３９】
なお、ここでは、光導波路１６の先端部分の説明を省略したが、この先端部には他の光ファイバや受発光素子など、どのような部材を結合してもよい。さらに、Ｙ分岐構造の光導波路を用いて説明したが、多分岐構造でも、その他どのような導波路構造を用いてもよいことは言うまでもない。
【００４０】
図２はこの発明の第２の実施形態になる光導波路部品の構成図を示すもので、この図において、３１は薄膜光学フィルタ２４を固定する保持部２６と、ファイバ取付部３３とを一体に構成した取付ブロックで、ファイバ取付部３３と整列部材３２との間に光ファイバ１８、１９が整列保持されている。この取付ブロック３１の下面２７または端面３４の少なくとも一方を、導波路基板１１の上面２９または端面３５と接するように組立てて、光導波路部品を構成したものである。
【００４１】
上記第２の実施の形態の構成によれば、薄膜光学フィルタ２４と光ファイバ１８、１９とを保持した取付ブロック３１を、少なくとも１つの面を接して導波路基板１１に固定したので、切断溝１７内における薄膜光学フィルタ２４の位置調整および固定と、光導波路１４、１５と光ファイバ１８、１９との光学結合を同時に行うことができ、光導波路部品の組立時間を大幅に短縮できる効果が得られる。
【００４２】
なお、この実施形態では、取付ブロック３１の下面２７または端面３４の少なくとも一方を、導波路基板１１に接して組立てるようにしたが、取付ブロック３１と導波路基板１１とが接する箇所には特に限定されない。
【００４３】
図３はこの発明の第３の実施形態になる光導波路部品の取付けブロック３１部分の構成図を示すもので、ファイバ取付部３３上に光ファイバ１８、１９を整列させるための精密加工されたＶ溝３６を設けることにより、図２に示した光導波路部品の取付ブロック３１を構成したものである。
【００４４】
上記構成により、共に高い寸法精度を必要とする、薄膜光学フィルタ２４を保持する保持部２６と、光ファイバ１８、１９を保持するＶ溝３６とを、精密加工によって１つの部材を構成することができるので、加工費および材料費の低減が図れる。また薄膜光学フィルタ２４と光ファイバ１８、１９とを１つの取付ブロック３１に保持するので、光導波路部品の組立が簡素化できる効果が得られる。
【００４５】
図４はこの発明の第４の実施形態になる光導波路部品の構成図を示すもので、切断溝１７を設けた導波路基板１１上に、精密加工したＶ溝３７を形成し、このＶ溝３７に光ファイバ１８、１９を整列させる。そして切断溝１７に薄膜光学フィルタ２４を精度良く位置調整した後、取付ブロック３１のファイバ取付面３２と、これら光ファイバ１８、１９とが接するように導波路基板１１に固定して、光導波路部品を構成したものである。
【００４６】
上記構成により、Ｖ溝３７は、光導波路１４、１５の位置に対応させて、導波路基板１１上に高精度に形成されるので、光ファイバ１８、１９と光導波路１４、１５との位置調整が不要となり、光導波路部品の生産性がさらに高められる効果が得られる。
【００４７】
図５はこの発明の第５の実施形態になる光導波路部品の構成図を示すもので、この第５の実施形態は、図１に示した薄膜光学フィルタ２４の保持部２６として、取付ブロック２５に切り欠き部３８及びスリット部３９を設け、ここに、各々薄膜光学フィルタ２４、４０を挿入した後、各々接着剤４１、４２を用いて固定したものである。
【００４８】
上記構成により、薄膜光学フィルタ２４及び４０の取付位置のズレは、各々、切り欠き部３８及びスリット部３９の寸法精度で規制できるので、光導波路に対する高い位置精度が得られると共に、切り欠き部３８あるいはスリット部３９内に接着剤４１、４２を充填して、薄膜光学フィルタ２４、４０を強固に固定することができる。
【００４９】
またこの第５の実施の形態では、複数の薄膜光学フィルタ２４、４０と、これらを固定する複数の保持部３８、３９とを、単一の取付ブロック２５に設けているので、複数の薄膜光学フィルタ２４，４０を導波路基板１１上の各々の切断溝１７に固定する場合でも、１個の取付ブロック２５を導波路基板１１に対して位置調整して配置すればよく、組立の大幅な簡素化が実現できる効果が得られる。
【００５０】
さらに上記第５の実施の形態では、接着剤４１、４２を用いて、各々の薄膜光学フィルタ２４、４０を取付ブロック２５の保持部２６に固定した近傍に、接着の際に溢れ出た接着剤を溜め込む凹部４３、４４を設けたことから、薄膜光学フィルタ２４、４０を固定する際に生じた余分な接着剤が、導波路基板１１の表面２９に接する取付ブロック２５の下面２７に流れ込むのを防止するので、導波路基板１１と取付ブロック２５とを精度良く接して配置できる効果が得られる。
【００５１】
図６はこの発明の第６の実施の形態になる光導波路部品の構成図を示すもので、取付ブロック２５の下面２７と導波路基板１１の上面２９とが互いに接する面、または取付ブロック２５の端面２８と整列部材２２の端面３０とが互いに接する面に、複数個の凸部４５と凹部４６とを形成し、この凸部４５と凹部４６の嵌合によって、取付ブロック２５と導波路基板１１及び取付ブロック２５と整列部材２２との互いの位置合わせを行うように構成したものである。
【００５２】
上記構成により、凸部４５と凹部４６とを精度よく嵌合させるだけで、微細な位置調整を行うことなく、取付ブロック２５と導波路基板１１または整列部材２２との位置合わせが実現できるので、組立が容易で生産性の向上が図れる効果が得られる。
【００５３】
なお、取付ブロック２５を、導波路基板１１または整列部材２２、２３とほぼ同一の熱膨張率を有する材質から形成すれば、温度が変化しても、取付ブロック２５と導波路基板１１または整列部材２２、２３との相対位置にずれを生じることがないため、信頼性の高い光導波路部品が提供できる。
【００５４】
さらに、取付ブロック２５を、ガラスまたは樹脂を材料としたプレス成形で形成すれば、ガラスまたは樹脂製の導波路基板１１と光学的および材料的に親和性が高くなると共に、プレス成形による量産性に優れた光導波路部品が得られるようになる。
【００５５】
図７はこの発明の第７の実施の形態になる光導波路部品の構成図を示すもので、この第７の実施の形態では、薄膜光学フィルタ２４を光導波路１４に対して斜めに配置し、光導波路１４に入射した伝搬光４７の内、薄膜光学フィルタ２４で反射された反射光４８を、取付ブロック３１の下面２７から入射させ、取付ブロック３１の上面４９から出射するように光導波路部品を構成している。
【００５６】
上記構成により、薄膜光学フィルタ２４を固定する傾斜部５０と、反射光４８を入出射させる下面２７、及び上面４９とを同一の取付ブロック３１に形成するので、簡単な構成で、光導波路１４の伝搬光４７を導波路基板１１外に容易に取り出すことができる効果が得られる。
【００５７】
またこの発明の第７の実施の形態では、取付ブロック３１の上面４９に、出射した反射光４８を集光する集光レンズ５１を設けて、この集光レンズ５１により集光された光が受光素子５２に結合するように配置すると共に、この集光レンズ５１と取付ブロック３１とを、例えばプレス成形などで一体に形成するようにしたものである。
【００５８】
上記構成により、反射光４８を効率よく受光素子５２に結合させることができると同時に、集光レンズ５１と薄膜光学フィルタ２４を固定する取付ブロック３１と一体に形成したので、組立が容易で生産性が高く、光導波路部品の小型化が図れる効果が得られる。
【００５９】
なお、この第７の実施形態では、集光レンズ５１として、球面レンズを用いて説明したが、光を集光するレンズであれば、非球面レンズや、フレネルレンズ、屈折率分布レンズなど何を用いてもよい。また、受光素子５２に集光された光を結合するようにしたが、集光レンズ５１の先に結合する光学部材については、特に限定されるものではない。
【００６０】
【発明の効果】
この発明は以上詳述したように、薄膜光学フィルタを固定した取付ブロックを、導波路基板および光ファイバの整列部材に接して配置するようにしたことから、切断溝に薄膜光学フィルタを精度よく位置調整して取付けることができると共に、光導波路と光ファイバとの位置調整が容易で、かつ導波路基板と整列部材との強固な固定が実現できる。
【００６１】
また、取付ブロックに薄膜光学フィルタと光ファイバとを保持し、これを導波路基板に接して配置するようにしたことから、切断溝内における薄膜光学フィルタの位置調整および固定と、光導波路と光ファイバとの結合を同時に行えるため、組立時間の大幅な短縮が図れるようになる。
【００６２】
さらに光ファイバを整列させるＶ溝を、薄膜光学フィルタを固定する取付ブロック上に構成することにより、高い寸法精度を必要とする部材を１つに集約できるので、加工費および材料費の低減が図れるようになる。
【００６３】
また、光ファイバを整列させるＶ溝を、光導波路の位置に対応させて、導波路基板上に高精度に形成することにより、光ファイバと光導波路の位置調整が不要となるため、生産性の向上が図れると共に、取付ブロックに設けたスリット部及び切り欠き部に薄膜光学フィルタを固定することにより、光導波路に対する薄膜光学フィルタの高い位置精度が得られる上、スリット部及び切り欠き部内に薄膜光学フィルタを強固に固定することもできる。
【００６４】
さらに複数の薄膜光学フィルタを導波路基板上に固定する場合でも、単一の取付ブロックに複数の薄膜光学フィルタと、その保持部とを設けることにより、組立の大幅な簡素化が実現できると共に、薄膜光学フィルタを接着する際の余分な接着剤を溜める凹部を、取付ブロック上に設けることにより、取付ブロック端面に接着剤が付着するのを防止することができるので、導波路基板と取付ブロックとを精度よく接して配置することができる。
【００６５】
また、取付ブロックと導波路基板または整列部材とが接する互いの表面に、複数個の凹部と凸部を構成し、この凹部と凸部を精度よく嵌合させることにより、取付ブロックと導波路基板または整列部材との位置合わせができるので、組立が容易で、生産歩留まりの向上が図れると共に、薄膜光学フィルタを斜めに固定する傾斜部と、薄膜光学フィルタからの反射光を取り出す部分とを同一の取付ブロック内に配置することにより、光導波路中の伝搬光を、導波路基板外に容易に取り出すことができる。
【００６６】
しかも取付ブロックの表面に集光レンズを設け、反射光を受光素子などに効率良く結合させると共に、この集光レンズと取付ブロックとを一体に構成することにより、小型化が実現できる効果が得られ、従来に比較して優れた光分波機能を持つ光導波路部品を提供することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施形態になる光導波路部品の構成図
【図２】この発明の第２の実施形態になる光導波路部品の構成図
【図３】この発明の第３の実施形態になる光導波路部品の取付けブロック部分の構成図
【図４】この発明の第４の実施形態になる光導波路部品の構成図
【図５】この発明の第５の実施形態になる光導波路部品の構成図
【図６】この発明の第６の実施形態になる光導波路部品の構成図
【図７】この発明の第７の実施形態になる光導波路部品の構成図
【図８】（ａ）及び（ｂ）は従来の光導波路部品の構成を説明する断面図
【符号の説明】
１１  導波路基板
１２  Ｓｉ基板
１３  導波路層
１４，１５，１６  光導波路
１７  切断溝
１８，１９  光ファイバ
２０，２１  光導波路の先端
２２，２３，３２  整列部材
２４，４０  薄膜光学フィルタ
２５，３１  取付ブロック
２６  保持部
２７  取付けブロックの下面
２８，３４  取付ブロックの端面
２９  導波路基板の上面
３０  整列部材の端面
３３  ファイバ取付部
３５  導波路基板の端面
３６，３７  Ｖ溝
３８  切り欠き部
３９  スリット部
４１，４２…接着剤
４３，４４  凹部
４５  凸部
４６  凹部
４７  伝搬光
４８  反射光
５０  傾斜部
５１  集光レンズ
５２  受光素子
【図１】
0003804888.tif 000002
【図２】
0003804888.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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