(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に対向するように配置された第１及び第２の板材と、前記第１の板材における前記第２の板材との対向面に重ねられ前記第１の板材との間で複数個の第１の液室を形成する第１の弾性膜と、前記第１の液室内に配置され通電発熱する第１の発熱部材と、前記第１の液室内に封入された第１液室液体と、前記第２の板材における前記第１の板材との対向面に重ねられ前記第２の板材との間で複数個の第２の液室を形成する第２の弾性膜と、前記第２の液室内に配置され通電発熱する第２の発熱部材と、前記第２の液室内に封入された第２の液室液体と、前記第１の弾性膜と前記第２の弾性膜との間に充填された充填液体と、を有し、前記第１及び第２の液室は相互に整合する位置に設けられ、相互に整合する位置の前記第１及び第２の発熱部材の発熱により前記第１及び第２の液室液体が加熱されて気泡が発生し、前記第１及び第２の弾性膜が同時に膨張して相互に接触することを特徴とするディスプレイ。
【請求項２】
前記第１及び第２の板材は透明であり、前記充填液体は有色液体であることを特徴とする請求項１に記載のディスプレイ。
【請求項３】
前記第１及び第２の各液室は、その周囲が夫々前記第１及び第２の板材に密着していて前記第１及び第２の液室液体は個別的に各液室内に封入されていることを特徴とする請求項１に記載のディスプレイ。
【請求項４】
前記第１及び第２の各液室は、夫々隣接する第１及び第２の液室に連通していることを特徴とする請求項１に記載のディスプレイ。
【請求項５】
前記液室は行列状に配列されており、行方向に配列された発熱部材と、列方向に配列された発熱部材とを映像信号線及び走査線により選択的に駆動して、前記充填液体の存在及び非存在により画像を表示することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、弾性膜により複数の液室を形成し、この液室内の液室液体を発熱部材の発熱により加熱して前記液室内に気泡を発生させ、これにより前記液室を膨張させて画素表示を行うディスプレイに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ディスプレイとしては、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）、液晶ディスプレイ、及びＰＤＰ（Plasma Display Panel）等が周知であるが、これらは精細な画像を表示できるものの、極めて高価で、重くて消費電力が高く、体積も大きく、更にフレキシビリティもないため、例えば携帯端末の表示ディスプレイとしては使用できない。また、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）は軽く比較的フレキシビリティもあるが、高価である。このため、従来、簡易に画像を表示できるディスプレイが要望されている。
【０００３】
そこで、本発明者等は、アクチュエータを画像表示に利用できないかという着想をもち、この着想に基づいて従来のアクチュエータを種々検討した。
【０００４】
従来のアクチュエータとしては、例えば圧電素子を使用した圧電アクチュエータ又は静電力を利用した静電アクチュエータが知られている。また、大きな変位量が得られるアクチュエータとしてバイモルフがある。このバイモルフは熱膨張率が異なる２枚の平板を重ね合わせて一端部を固定すると、低温時と高温時とで屈曲方向が変化することを利用したものである。
【０００５】
しかしながら、これらの圧電アクチュエータ及び静電アクチュエータは発生する力も弱く、大電力を必要とするという問題点がある。また、バイモルフ型のアクチュエータは応答性が悪く、大きさが１００μｍ程度のものでも、数十ｋＨｚが限界である。
【０００６】
また、特開平５−３０６６７７号公報には、変位方向の指向性を強くして、大きな変位量を取り出すことを目的として、自走機構、紙送り機構等に利用されるアクチュエータが開示されている。このアクチュエータは、平板に薄肉となる部分を局部的に設け、この薄肉部分を柔軟部（ヒンジ部）として前記平板が変形できるようにし、前記平板の片面側にて前記ヒンジ部を覆う弾性膜を設け、この弾性膜の内部に液体を密封して液室とし、この液室内に熱発生部材を設け、この熱発生部材の発熱により液体中に泡を発生させ、この泡の圧力で液室の体積を膨張させて前記ヒンジ部を屈曲させ、前記平板を前記ヒンジ部で撓ませるように構成したものである。これにより、大きな変位を取り出すことができる。
【０００７】
しかしながら、特開平５−３０６６７７号公報に記載されたアクチュエータは、柔軟部（ヒンジ部）の屈曲により大きな変位量と、変位方向の指向性とを得ているものの、その大きさが数ｍｍ以上になり、これ以上の微細化が難しいという問題点がある。
【０００８】
このように、これらのアクチュエータは、主として大きな変位を取り出すことを目的としている。これは、これらのアクチュエータが紙送り機構（特開平５−３０６６７７号公報）等に利用することを前提としているためであり、本発明者等の着想のように、微細化が要求されるディスプレイとして上述の従来のアクチュエータを利用することは不可能であった。
【０００９】
而して、アクチュエータを使用したディスプレイとして、従来、触覚ディスプレイ（肌で触れて感じるディスプレイ）及び静電アクチュエータを使用したディスプレイ（特開平４−１９９０８４号公報）がある。また、アクチュエータではないが、機能性ゲルの変形を利用したディスプレイ（特開平９−１６００８１号公報）も提案されている。
【００１０】
このようなアクチュエータを使用するディスプレイでは、特に液晶に対して、完全反射型で高コントラスト表示、つまり、紙の白に近い表示ができる可能性があり、また、コスト面でも安い。
【００１１】
触覚ディスプレイは、触覚を利用し、ヒューマンインターフェイス又は福祉を目的に開発されたものである。この場合、画素としては、ソレノイドの他に、アクチュエータであるＰＺＴ等の圧電素子を使用したものがある。触覚ディスプレイにおいて、アクチュエータが圧電素子の場合、高周波に追従できるため、応答速度は速い。
【００１２】
また、静電アクチュエータを使用したディスプレイは、例えば特開平４−１９９０８４号公報に記載されているようなフィルム状の抵抗体を静電気的に滑らせ、画素を表示するタイプである。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、触覚ディスプレイで、アクチュエータが圧電素子である場合、板状の素子であるため、マトリクス状に配置するには、大きな空間が必要であり、微細化には不向きであるという問題点がある。
【００１４】
また、特開平４−１９９０８４号公報に記載されたディスプレイは、駆動電圧が±５００Ｖと高くなるという問題点がある。
【００１５】
上述のいずれのアクチュエータを利用したディスプレイにおいても、製造プロセスが複雑且つ高価であり、また特殊な材料（機能性ゲル）を使用することから十分なコストパフォーマンスが得られないという虞がある。
【００１６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、動作部分を小さくして微細化が可能であると共に、応答速度が早いアクチュエータを組み込んだディスプレイを提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るディスプレイは、相互に対向するように配置された第１及び第２の板材と、前記第１の板材における前記第２の板材との対向面に重ねられ前記第１の板材との間で複数個の第１の液室を形成する第１の弾性膜と、前記第１の液室内に配置され通電発熱する第１の発熱部材と、前記第１の液室内に封入された第１液室液体と、前記第２の板材における前記第１の板材との対向面に重ねられ前記第２の板材との間で複数個の第２の液室を形成する第２の弾性膜と、前記第２の液室内に配置され通電発熱する第２の発熱部材と、前記第２の液室内に封入された第２の液室液体と、前記第１の弾性膜と前記第２の弾性膜との間に充填された充填液体と、を有し、前記第１及び第２の液室は相互に整合する位置に設けられ、相互に整合する位置の前記第１及び第２の発熱部材の発熱により前記第１及び第２の液室液体が加熱されて気泡が発生し、前記第１及び第２の弾性膜が同時に膨張して相互に接触することを特徴とする。
【００１９】
これらのディスプレイにおいて、前記第１及び第２の板材は透明であり、前記充填液体は有色液体であるように構成することができる。
【００２０】
また、各液室は、その周囲が夫々前記第１の板材又は第１の板材及び第２の板材に密着していて前記液室液体は個別的に各液室内に封入されているか、又は各液室は、夫々隣接する液室に連通しているように構成することができる。
【００２１】
本発明においては、発熱部材の発熱により液室液体を加熱し、蒸発させて気泡とし、この気泡の圧力により弾性膜で形成された液室を膨張させて、相手側の液室に接触させる。このため、この液室の近傍では充填液体が存在しない。これにより、相手側の液室に接触した液室と、膨張していない液室とで、光の透過状態が相違するため、これを利用して画素表示することができる。このアクチュエータとしての液室の膨張及び伸縮の移動距離は、第１及び第２の板材の相互間隔程度以下で足りるため、アクチュエータとしての液室自体は極めて小さくすることができる。また、弾性膜と板材との間に形成される液室には液体の出し入れがないので、装置全体の小型化が容易である。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係るディスプレイについて添付の図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の参考例に係るディスプレイにて使用されるアクチュエータを示す断面図、図２はアクチュエータの製造工程を示す斜視図、図３はアクチュエータにおける液室の配列を示す斜視図、図４はこのアクチュエータを組み込んだ本参考例のディスプレイを示す断面図である。
【００２３】
本参考例のディスプレイに使用されるアクチュエータ１００は、例えばガラスからなる平板１の表面に矩形の浅い凹部４ａを格子状（図１では１個のみ図示する）に配列して複数個形成し、平板１の表面に弾性膜３を重ね合わせて凹部４ａ以外の部分で弾性膜３と平板１とを密着し、液密的に接合する。これにより、各凹部４ａに液室４が形成される。そして、この弾性膜３の接合の前に、図２（ａ）に示すように、各液室４内に通電により抵抗発熱する発熱部材２が格納され、接合前又は接合後に、各液室４内に液室液体５が封入される。各液室４内に配置された発熱部材２は外部に電気的に導出されており、外部の駆動装置により通電されて抵抗発熱するようになっている。
【００２４】
このように構成されたアクチュエータ１００は、アクチュエータの微細化を促進するため、半導体装置の製造プロセスを利用して、製造することができる。即ち、先ず、図２（ａ）に示すように、例えば、ガラスからなる平板１上に、スパッタリングにより、例えば膜厚が１μｍのＣｒ膜を成膜する。次に、Ｃｒ膜上にレジスト膜を形成し、このレジスト膜を液室４の形状にパターニングした後、レジスト膜をマスクとしてＣｒ膜をエッチングし、液室４のパターンを有するＣｒマスクを作製する。次に、ＡｒとＳＦ6との混合ガスを使用して平板１をプラズマエッチングし、例えば深さが１０乃至１００μｍの液室４の凹部４ａとなる座ぐり孔を形成する。
【００２５】
次に、発熱部材２を高抵抗ポリシリコンにより形成する。即ち、平板１上に、例えばＰをドーパントとして、発熱部材２（発熱体）となるｎ型ポリシリコン膜を化学気相成長法（ＣＶＤ）により例えば４００ｎｍの膜厚に形成する。次に、ｎ型ポリシリコン膜上にレジスト膜を形成し、レジスト膜を発熱部材２の形状にパターニングする。次に、このレジスト膜をマスクにして、ｎ型ポリシリコン膜をプラズマエッチングすることにより、発熱部材２を形成する。更に、液体５を液室４に満たした後、例えばシリコンゴム又はポリイミドからなる弾性膜３を平板１の全面に接着する。これにより、弾性膜３と発熱部材２とを有する液室４が形成される。この液室４に充填される液体５は、例えばフッ素系不活性液体であるフロリナート（商標名）等の体積抵抗が低い液体である。このような製造方法によって、アクチュエータの大きさは１００μｍ角の大きさに微細化することができ、アクチュエータの変位量が小さくなるものの、大幅にアクチュエータの応答速度を上げることが可能になる。
【００２６】
このように製造されたアクチュエータ１００は、発熱部材２から外部に配線を引き出し、電圧を印加すると、発熱部材２が発熱して液室液体５に気泡６が発生し、液室４内の体積が増えて弾性膜３が押し広げられる。液室液体５は液室４の外部に対して出し入れがなく、密閉状態であるため、アクチュエータの小型化が可能である。また、液室４に液室液体５に替えて液体よりも熱膨張率が高い熱膨張部材を封入することもできる。これにより、熱容量が大きくなるので、アクチュエータは応答性が低くなり、更に駆動に必要な電力も大きくなるが、大きな変位を得ることができる。なお、液室４に充填される液室液体としては種々のものを適用できる。また、液体よりも熱膨張率が高い熱膨張部材としては、昇華する物質、例えばＣＯ2がある。この場合、加熱によって昇華物質が気化し液室４が膨張し、逆に冷却すると昇華物質が凝縮し液室４が収縮する。このように、本発明のディスプレイは、液室４内の物質を揮発させる（気化させる）ことにより、体積膨張率が格段に増す現象を利用したデバイスである。
【００２７】
また、半導体製造工程を使用してアクチュエータ１００を製造することにより、アクチュエータを一括して平板１上に形成することができ、図３に示すように、液室４が格子状に配列されたアクチュエータ（配列体）を容易に製造することができる。
【００２８】
このようにして、透明ガラスからなる平板１上に液室４を格子状に配置した後、図４に示すように、平板１に対して、同様に透明なガラス基板からなる平板８を平行に配置し、平板８と弾性膜３との間に、充填液体７を充填する。平板１と平板８との間の間隔はアクチュエータ１００の変位量ΔＸ以下である。また、充填液体７は色素により着色されており、有色の液体である。
【００２９】
図４には、図示の便宜上、１個の液室４のみ図示されているが、前述の如く、液室４は格子状に複数個配置されている。図６は行方向に３個、列方向に３個の計９個の液室が配置されたディスプレイ１０１を示す。従って、このディスプレイ１０１は９個の画素を有する。
【００３０】
このように構成された本参考例のディスプレイ１０１においては、図５に示すように、当初、全画素において、有色液体７が存在するので、いずれの画素も着色している。しかし、図６に示すように、選択された画素について（図示例は中央の画素）、発熱部材２に通電して液室液体５を加熱すると、図４に示すように、その液室４内で気泡６が発生し、その液室４の弾性膜３が膨張して対向する平板８に接触する。そうすると、平板１と弾性膜３との間に充填されていた液体７が取り除かれるので、平板１の背面側から光が透過して、図６に示すように、この選択された画素は白くなり、選択されていない画素との間でコントラストが得られる。
【００３１】
本参考例においては、図１に示すアクチュエータ１００を使用して画像表示するので、画像を簡易に表示できると共に、アクチュエータ１００は動作部分が小さく、微細化が可能であり、応答性も速いため、十分にディスプレイとして機能することができる。
【００３２】
なお、図６に示す参考例は、画素数が９個であり、文字の表示は困難であるが、図７に示すように、この画素数を行方向が６個、列方向が６個の計３６個とすると、例えば、アルファベットであれば、“Ａ”等の文字を表示することができるようになる。
【００３３】
本参考例のディスプレイ１０１は、液晶表示装置と同様に、画素を行列方向に複数個配列し、映像信号線と走査線とを設けて画素を駆動することにより、映像を表示することも可能である。図８はこの本参考例のディスプレイの駆動装置を示す図である。ディスプレイパネル２０には行方向に延びる複数本の走査線２２と列方向に延びる複数本の信号線２１とが設けられており、各走査線２２は走査線駆動回路２５により順次駆動され、各信号線２１は信号線駆動回路２４により駆動される。パネル２０の外部には、電源、コントローラ（タイミング制御用ゲートアレイ）及びＤ／Ａコンバータ等の外部インターフェイスボード２６が設けられており、この外部インターフェイスボード２６から走査線駆動回路２５及び信号線駆動回路２４が制御されるとともに、信号線２１に所定の表示電圧が印加されるようになっている。外部インターフェイスボード２６には、パーソナルコンピュータ等の端末本体から表示信号が入力される。
【００３４】
走査線２２と信号線２１とが交差する位置には、夫々ＣＭＯＳ等のスイッチング素子２３が設けられており、このスイッチング素子２３の出力端１３には、各画素の発熱部材２が接続されている。発熱部材２は高抵抗ポリシリコンからなり、通電することにより抵抗発熱し、表示素子として機能する。スイッチング素子２３を構成するＣＭＯＳは、例えば図９に示すように接続されている。スイッチング素子２３のＰＭＯＳトランジスタ１２及びＮＭＯＳトランジスタ１１は信号線２１と接地との間に直列接続されており、走査線２２はスイッチング素子２３の入力端１０を介してＰＭＯＳトンラジスタ１２及びＮＭＯＳトランジスタ１１のゲートに接続されている。また、ＰＭＯＳトランジスタ１２とＮＭＯＳトランジスタ１１との間の接続点はスイッチング素子２３の出力端１３を介して発熱部材２に接続されている。発熱部材２の他端は接地されている。これにより、走査線２２がロウになって、ＮＭＯＳトランジスタ１１がオフし、ＰＭＯＳトランジスタ１２はオンになると、発熱部材２に信号線２１から電流が供給される（スイッチング素子２３がオン）。これにより、発熱部材２は抵抗発熱し、画像表示状態となる。一方、走査線２２がハイの場合は、ＰＭＯＳトランジスタ１２がオフし、ＮＭＯＳトランジスタ１１がオンになるので（スイッチング素子２３はオフ）、出力端１３は接地され、発熱部材２には通電されない。これらの発熱部材２、スイッチング素子２３、走査線駆動回路２５及び信号線駆動回路２４はシリコン基板上又はガラス等の透明基板上に形成されている。
【００３５】
図１０（ａ）は信号線駆動回路を示す回路図、（ｂ）は走査線駆動回路を示す回路図である。信号線駆動回路２４は、アナログサンプル・ホールド型であり、外部インターフェイスボード２６からの転送クロックとスタート信号とが入力されるシフトレジスタ２７と、シフトレジスタ２７の出力がゲートに入力され、ビデオ信号がビデオバス２９を介して入力されるトランジスタからなるアナログスイッチ２８とが設けられている。アナログスイッチ２８は信号線２１に接続されている。この信号線駆動回路２４は、ビデオバス２９に供給された電圧をアナログスイッチ２８の開閉により信号線２１へ書き込み保持する。シフトレジスタ２７は、アナログスイッチ２８の開閉を制御し、外部インターフェイスボード２６からのスタート信号と、転送クロックとを受けてアナログスイッチ２８を順次開閉させて全信号線２１にビデオ電圧を書き込む。サンプルホールド方式では隣接映像との干渉を防ぐために、信号線書き込み時間とビデオ信号とアナログスイッチ開閉タイミングとを適切に設計することが重要となる。
【００３６】
走査線駆動回路２５は、転送クロックとスタート信号とが入力されるシフトレジスタ３０と、シフトレジスタ３０の出力が入力されるレベルシフタ３１と、レベルシフタ３１の出力が入力されるバッファ３２とが設けられている。バッファ３２は走査線２２に接続されている。走査線駆動回路２５では走査線２２を１水平期間（全信号線２１にビデオ電圧を書き込む周期）毎に走査し、信号線２１に印加された電圧を画素に書き込ませる。外部インターフェイスボード２６からのスタート信号はシフトレジスタ３０により転送され、全走査線２２が順次走査される。シフトレジスタ出力はレベルシフタ３１で走査線駆動に必要な電圧にレベル変換され、走査線容量を駆動するためのバッファ３２で電力増幅される。
【００３７】
本参考例においては、外部インターフェイスボード２６からの信号により、ディスプレイ１０１の画素を駆動させて、ディスプレイ１０１に文字等を表示させることができる。また、以上のように、本参考例においては、信号線２１及び走査線２２を駆動するのに必要な主要回路を集積した構成とすることで表示部分のコンパクト化が実現できる。
【００３８】
図１１は本発明の実施形態に係るディスプレイ１０２を示す断面図である。本実施形態のディスプレイ１０２は、図１及び３に示すアクチュエータ１００を２枚用意し、その各アクチュエータ１００の液室４同士を整合させて且つ対向するように２枚のアクチュエータ１００を重ね、アクチュエータ１００の弾性膜３間に着色した有色液体７を充填することにより、製造することができる。この場合のアクチュエータ１００の平板１（弾性膜３）間の間隔は、アクチュエータ１００の変位量ΔＸの２倍以下である。
【００３９】
本実施形態においては、１対のアクチュエータ１００の対応する画素において、同時に発熱部材２に通電して発熱させ、液体５から気泡６を発生させて弾性膜３を膨張させる。そして、この選択された画素において、弾性膜３同士が接触し、これによりこの画素においてディスプレイ１０２の厚さ方向に光が透過するようになる。一方、駆動されない画素においては、着色液体７が存在するため、光は透過しない。これにより、コントラストが生じ、画像を表示できる。
【００４０】
本実施形態においては、１対のアクチュエータ１００の対向する画素が同時に駆動されて画像を表示するため、平板１間の間隔を、アクチュエータ１００の変位量ΔＸの２倍以下とすることができ、図４に示す参考例に比して平板１（弾性膜３）間の間隔を広くすることができる。このため、充填液体７の量を多くすることができるので、駆動されていない画素における光の透過量を著しく規制することができ、コントラストをあげることができる。
【００４１】
図１２は本発明の他の参考例に係るディスプレイ１０３を示す断面図である。本参考例においては、図１乃至４に示す参考例に比べて、液室４０が分離されておらず、従って、弾性膜３は液室４０の周辺部で平板１に密着して接合されていない点が異なる。即ち、弾性膜３は格子状に配列された画素群の外側の周縁部において、平板１に密着して接合されている。このため、液室４０に封入された液室液体５は隣接する液室４０間を自由に移動できる。また、発熱部材２の周囲に、例えばＳｉＯ2からなる断熱材（図示せず）が設けられている。それ以外の構成は図１乃至図４に示す参考例と同様である。
【００４２】
本参考例においては、発熱部材２の周囲に断熱材が設けられているので、発熱部材２が他から断熱されて局所的に加熱され、発熱部材２の発熱の最適化（揮発現象の空間的な制限）によって、発熱部材２の近傍にのみ気泡６が発生する状態に制御されるので、隔壁を設ける必要がない。このため、発熱部材２の駆動時には、発熱部材２の近傍の液体５が相変化して気泡６が発生する。この気泡６により、発熱部材２の上方の弾性膜３が平板８側に押し上げられるように変形し、弾性膜３の頂部が平板８に接触する。図１乃至図４に示す参考例では、隣接する液室４間には液体５が存在せず、駆動されて白くなる部分には、画素間で間隙がある。しかし、本参考例においては、液室４０が分離されずに液体５が移動可能になっているので、隣接する液室４を駆動させた場合に、各液室４を区画する部分がないので、弾性膜３は隣接する液室４０間を跨いで膨張する。従って、隣接する画素が同時に駆動された場合には、その隣接画素間に黒い部分が存在しない。
【００４３】
上述の本発明の実施形態において、画素毎にカラーフィルタを設けることもできる。また、本発明のディスプレイは、画像表示に使用する以外に、光を遮り、発熱部材２の駆動時に光を透過させるシャッターとして応用することもできる。また、液体７の色素の濃淡を調整して窓ガラスとして使用すれば、通常は曇りガラス又は遮光ガラスとし、必要なときには透過ガラスとするような用途に使用することができる。また、この窓ガラスの相乗効果としては、ガラスを２枚合わせた構成であるため、遮音効果及び断熱効果が期待できる。
【００４４】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、アクチュエータを使用して、簡易に画像を表示できると共に、このアクチュエータの動作部分が小さく、微細化が可能であると共に、応答性が速く、ディスプレイとして優れた性能を有するディスプレイを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の参考例に係るディスプレイに使用されるアクチュエータを示す断面図である。
【図２】  （ａ）乃至（ｃ）はこのアクチュエータの製造方法を工程順に示す模式図である。
【図３】  本参考例のディスプレイに使用されるアクチュエータを示す斜視図である。
【図４】  本参考例のアクチュエータを示す断面図である。
【図５】  同じく本参考例のディスプレイにおいて非駆動時を示す平面図である。
【図６】  同じく本参考例のディスプレイにおいて中央の画素が駆動された場合の平面図である。
【図７】  本参考例の変形例を示す図であり、アルファベットの“Ａ”を表示したものである。
【図８】  本参考例のディスプレイの駆動装置を示す模式図である。
【図９】  本参考例のディスプレイのスイッチング回路を示す回路図である。
【図１０】  （ａ）は信号線駆動回路を示す回路図、（ｂ）は走査線駆動回路を示す回路図である。
【図１１】  本発明の実施形態に係るディスプレイを示す断面図である。
【図１２】  本発明の他の参考例に係るディスプレイを示す断面図である。
【符号の説明】
１、８；平板
２；発熱部材
３；弾性膜
４；液室
５；液室液体
６；気泡
７；充填液体
１０；入力端
１３；出力端
２０：ディスプレイ
２１；信号線
２２；走査線
２４；信号線駆動回路
２５；走査線駆動回路
２６；外部インターフェイスボード
２７、３０；シフトレジスタ
２８；アナログスイッチ
１００：アクチュエータ
１０１〜１０３：ディスプレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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