(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷媒流入孔（１１）と冷媒流出孔（１２）を有する空調装置用のリキッドタンクの気密性能検査方法であって、
台座（４０）の所定位置にリキッドタンク（１０）を配置して該リキッドタンク（１０）に有底筒状のチャンバー（６０）を被せ、該チャンバー（６０）を台座（４０）に固定することにより、前記チャンバー（６０）と台座（４０）とでリキッドタンク（１０）を押圧挟持して密封すると共に、チャンバー（６０）又は台座（４０）の一方に設けた密閉部（４１，４２）で前記冷媒流入孔（１１）と冷媒流出孔（１２）とを密閉し、該密閉部（４１）に設けた導入孔（４１ｃ）を介してリキッドタンク（１０）内を該密閉部（４１）に連なる開閉手段（４４ａ）付きのタンク用ポート（４４）に連通させる第１行程と、
前記チャンバー（６０）又は台座（４０）の少なくとも一方に設けた開閉手段（４５ａ，６４ａ）付きのチャンバー用ポート（４５，６４）を利用してチャンバー（６０）内を検査ガスを含まない清浄ガスで置換する第２行程と、前記タンク用ポート（４４）を利用してリキッドタンク（１０）内に所定正圧の検査ガスを封入する第３行程と、該封入から所定時間経過後のチャンバー（６０）内の検査ガス濃度を前記チャンバー用ポート（４５）を利用して検出する第４行程と、前記タンク用ポート（４４）を利用してリキッドタンク（１０）内の検査ガスを回収する第５行程と、
前記チャンバー（６０）の台座（４０）への固定を解除してチャンバー（６０）を台座（４０）の上方へ持ち上げ、チャンバー（６０）と台座（４０）によるリキッドタンク（１０）の密封を解除してリキッドタンク（１０）を台座（４０）から取り出すと共に、少なくともチャンバー（６０）内及びチャンバー用ポート（４５，６４）内を前記清浄ガスで清掃する第６工程とを備えていることを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査方法。
【請求項２】
請求項１記載のリキッドタンクの気密性能検査方法であって、前記第２行程の前又は後に、前記タンク用ポート（４４）を利用してリキッドタンク（１０）内の真空引きを行い、リキッドタンク（１０）が所定時間内に所定の真空度に到達しなかった場合には、少なくとも前記第３行程から前記第５行程までを省略することを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載のリキッドタンクの気密性能検査方法であって、前記第４行程では、前記所定時間の経過途中にチャンバー（１０）内の検査ガス濃度を少なくとも１回検出し、該検出結果が所定値以上である場合には直ちにリキッドタンク（１０）内の検査ガスを回収することを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査方法。
【請求項４】
冷媒流入孔（１１）と冷媒流出孔（１２）を有する空調装置用のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、
前記リキッドタンク（１０）を載置させる台座（４０）と、該台座（４０）に対して昇降自在に配設され該台座（４０）との協働でリキッドタンク（１０）を押圧挟持して密封する有底筒状のチャンバー（６０）と、該チャンバー（６０）をリキッドタンク（１０）を密封した状態で台座（４０）に解除可能に固定する固定手段（３）と、前記チャンバー（６０）又は台座（４０）の一方に設けられチャンバー（６０）と台座（４０）によるリキッドタンク（１０）の押圧挟持によって前記冷媒流入孔（１１）と冷媒流出孔（１２）を密閉する密閉部（４１，４２）と、該密閉部（４１）に連なり該密閉部（４１）に設けた導入孔（４１ｃ）を介してリキッドタンク（１０）内に連通可能な開閉手段（４４ａ）付きのタンク用ポート（４４）と、前記台座（４０）又はチャンバー（６０）の少なくとも一方に設けられリキッドタンク（１０）を密封したチャンバー（６０）内に連通可能な開閉手段（４５ａ，６４ａ）付きのチャンバー用ポート（４５，６４）と、前記タンク用ポート（４４）に接続されてリキッドタンク（１０）内に所定正圧の検査ガスを封入する検査ガス供給装置（６）と、前記チャンバー用ポート（４５）に接続されてリキッドタンク（１０）を密封したチャンバー（６０）内の検査ガス濃度を検出する検出装置（８，９）と、前記タンク用ポート（４４）に接続されてリキッドタンク（１０）内の検査ガスを回収する回収装置（７）と、リキッドタンク（１０）を密封したチャンバー（６０）内の雰囲気置換時に前記チャンバー用ポート（４５，６４）に接続されて検査ガスを含まない清浄ガスをチャンバー（６０）内に供給すると共に、少なくともチャンバー（６０）内及びチャンバー用ポート（４５，６４）内の清掃時に少なくともチャンバー（６０）内及びチャンバー用ポート（４５，６４）内に前記清浄ガスを供給する清浄ガス供給装置（４）とを備えていることを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査装置。
【請求項５】
請求項４記載のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、前記チャンバー（１０）を前記台座（４０）に対して昇降させる昇降装置（２）を備え、前記固定手段（３）は、前記昇降装置（２）によりチャンバー（６０）を台座（４０）上に降下させた状態でチャンバー（６０）を台座（４０）に押し付けてロックし、前記昇降装置（２）によるチャンバー（６０）の上昇時にチャンバー（６０）の台座（４０）へのロックを解除する固定装置（２）であることを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査装置。
【請求項６】
請求項４又は５記載のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、前記密閉部（４１，４２）が、前記台座（４０）に立設された前記冷媒流入孔（１１）用の第１密閉ピン（４１）と前記冷媒流入孔（１２）用の第２密閉ピン（４２）であり、該第１及び第２の両密閉ピン（４１，４２）は、一方にのみ前記導入孔（４１ｃ）が設けられ、他方が、前記冷媒流入孔（１１）と冷媒流入孔（１２）の配置に応じて位置変更可能に台座（４０）に固定されていることを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査装置。
【請求項７】
請求項４〜６の何れかに記載のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、前記タンク用ポート（４４）に接続されて前記リキッドタンク（１０）内を真空引きする真空ポンプ（５）と、該真空ポンプ（５）によって真空引きされたリキッドタンク（１０）内の真空度を検出する真空計（９０）とを備えていることを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査装置。
【請求項８】
請求項７記載のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、前記真空計（９０）で検出した前記リキッドタンク（１０）内の真空度と、前記検出装置（８，９）で検出した前記チャンバー（６０）内の検査ガス濃度とに基づきリキッドタンク（１０）を前記台座（４０）から取り出して良品と不良品とに分類する払出し装置（７０）を備えていることを特徴とするリキッドタンクの気密性能検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、冷媒流入孔と冷媒流出孔を有する空調装置用のリキッドタンクの気密性能検査方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１３は、リキッドタンクの一例を示す正面図であり、図１４は、図１３に示すものの底面図である。図１３，図１４に示すように、このリキッドタンク１０は、車両用空調装置で使用されるものであって、底部に、冷媒流入孔１１及び冷媒流出孔１２が貫設され、リキッドタンク１０内までは至らない２つのネジ孔１３が形成され、リリーフバルブ１４が配設されている。
【０００３】
図１５は、リキッドタンクに気密検査用治具を取り付けた状態を示す正面図である。従来、リキッドタンク１０の気密性能を検査する際には、先ず、リキッドタンク１０のネジ孔１３を利用して、検査用治具であるカプラー２０をリキッドタンク１０に取り付ける。
【０００４】
このカプラー２０は、リキッドタンク１０のネジ孔１３に螺合するボルト２１と、このボルト２１によってリキッドタンク１０に装着される本体部２２よりなり、この本体部２２が、リキッドタンク１０の冷媒流入孔１１を密閉する第１密閉部２３と、リキッドタンク１０の冷媒流出孔１２を密閉する第２密閉部２４と、第１及び第２の両密閉部２３，２４の少なくとも一方に設けた導入孔を介してリキッドタンク１０内に連通可能な開閉弁２５付きのポート２６とを備えている。
【０００５】
カプラー２０をリキッドタンク１０に取り付けた後、窒素ガスと、検査ガスであるフロンガスとの混合ガスをカプラー２０のポート２６を利用してリキッドタンク１０内へ所定正圧で封入し、その封入したリキッドタンク１０を開閉蓋付きのチャンバー内に密封し、窒素ガス雰囲気の該チャンバー内にリキッドタンクを所定時間放置し、その所定時間経過後のチャンバー内のフロンガス濃度を検出してリキッドタンク１０の気密性能を検査している。
【０００６】
そして、チャンバー内のフロンガス濃度を検出した後、開閉蓋を開けてチャンバー内からリキッドタンク１０を取り出し、カプラー２０のポート２６を利用してリキッドタンク１０内から前記混合ガスを回収し、カプラー２０をリキッドタンク１０から取り外している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、以上説明した従来の気密性能検査では、チャンバーの開閉蓋を開けてチャンバー内からリキッドタンク１０を出し入れするため、チャンバーにはリキッドタンク１０を把持した人間の手が入るだけの内径が必要で、チャンバーの容積がリキッドタンク１０の体積と比べて必要以上に大きくなる。
【０００８】
このため、従来の気密性能検査には、チャンバーが場所を取るという問題点と、リキッドタンク１０を密封したチャンバー内の検査ガス濃度を適正に検出するために必要なチャンバー内でのリキッドタンク１０の放置時間が長くなり、検査に時間が掛かるという問題点とがある。
【０００９】
また、従来の気密性能検査には、リキッドタンク１０へのカプラー２０の着脱が必要なため、この着脱に人手が掛かってリキッドタンク１０の検査費用が嵩むと共に、リキッドタンク１０から取り外したカプラー２０を再利用するためカプラー２０をリキッドタンク１０への取付場所へ戻す必要があり、この戻すためのコンベア等の付帯設備や人手が必要でリキッドタンク１０の検査費用が嵩むという問題点もある。
【００１０】
更に、従来の気密性能検査には、空調装置の冷媒用配管をリキッドタンク１０に固定するためのネジ孔１３を利用してカプラー２０をリキッドタンク１０に取り付けるため、リキッドタンク１０へのカプラー２０の着脱時にリキッドタンク１０のネジ孔１３のネジを潰してしまう恐れもある。
【００１１】
そこで、本発明では、従来技術と比べて、チャンバーの容積を小さくすることができ、リキッドタンクの気密性能検査に掛かる検査費用を削減することもでき、気密性能検査時にリキッドタンクのネジ孔のネジを潰す恐れを解消することもできるリキッドタンクの気密性能検査方法及びその装置を提供することを課題としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための手段として、請求項１の発明では、冷媒流入孔と冷媒流出孔を有する空調装置用のリキッドタンクの気密性能検査方法であって、台座の所定位置にリキッドタンクを配置して該リキッドタンクに有底筒状のチャンバーを被せ、該チャンバーを台座に固定することにより、前記チャンバーと台座とでリキッドタンクを押圧挟持して密封すると共に、チャンバー又は台座の一方に設けた密閉部で前記冷媒流入孔と冷媒流出孔とを密閉し、該密閉部に設けた導入孔を介してリキッドタンク内を該密閉部に連なる開閉手段付きのタンク用ポートに連通させる第１行程と、前記チャンバー又は台座の少なくとも一方に設けた開閉手段付きのチャンバー用ポートを利用してチャンバー内を検査ガスを含まない清浄ガスで置換する第２行程と、前記タンク用ポートを利用してリキッドタンク内に所定正圧の検査ガスを封入する第３行程と、該封入から所定時間経過後のチャンバー内の検査ガス濃度を前記チャンバー用ポートを利用して検出する第４行程と、前記タンク用ポートを利用してリキッドタンク内の検査ガスを回収する第５行程と、前記チャンバーの台座への固定を解除してチャンバーを台座の上方へ持ち上げ、チャンバーと台座によるリキッドタンクの密封を解除してリキッドタンクを台座から取り出すと共に、少なくともチャンバー内及びチャンバー用ポート内を前記清浄ガスで清掃する第６工程とを備えている、という構成を採用している。
【００１３】
このため、請求項１の発明では、チャンバー内及びチャンバー用ポート内に残留あるいは付着する検査ガスを清浄ガスで除去して、清浄ガス雰囲気のチャンバー内に密封したリキッドタンクから検査ガスがリークした場合のチャンバー内の検査ガス濃度を検出することができる。
【００１４】
しかも、請求項１の発明では、第１行程において、台座の所定位置に配置したリキッドタンクに有底筒状のチャンバーを被せて該チャンバーを台座に固定することにより、チャンバーと台座とでリキッドタンクを密封し、第６行程において、チャンバーの台座への固定を解除してチャンバーを台座の上方へ持ち上げ、チャンバーと台座によるリキッドタンクの密封を解除してリキッドタンクを台座から取り出すので、チャンバー内からのリキッドタンクの出し入れの際に、リキッドタンクを把持した手をチャンバー内に出し入れする必要が無い。
【００１５】
また、請求項１の発明では、チャンバーと台座とでリキッドタンクを押圧挟持して、チャンバー又は台座の一方に設けた密閉部でリキッドタンクの冷媒流入孔と冷媒流出孔を密閉し、該密閉部に設けた導入孔を介してリキッドタンク内を該密閉部に連なる開閉手段付きのタンク用ポートに連通させ、該タンク用ポートを利用してリキッドタンクへの検査ガスの封入とリキッドタンクからの検査ガスの回収とを行うので、従来技術のように検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用する必要が無い。
【００１６】
請求項２の発明は、請求項１記載のリキッドタンクの気密性能検査方法であって、前記第２行程の前又は後に、前記検査用ポートを利用してリキッドタンク内の真空引きを行い、リキッドタンクが所定時間内に所定の真空度に到達しなかった場合には、少なくとも前記第３行程から前記第５行程までを省略することを特徴とするものである。
【００１７】
このため、請求項２の発明では、リキッドタンクのクラック等の欠陥の有無をリキッドタンク内に検査ガスを封入する前に検出して、リキッドタンク内からチャンバー内への検査ガスの大量の漏れを未然に防止することができる。
【００１８】
また、請求項２の発明では、クラック等の欠陥が無い真空状態のリキッドタンク内に検査ガスを封入することにより、その封入したリキッドタンク内の検査ガス濃度を封入前の検査ガス濃度と略同一にすることもできる。
【００１９】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載のリキッドタンクの気密性能検査方法であって、前記第４行程では、前記所定時間の経過途中にチャンバー内の検査ガス濃度を少なくとも１回検出し、該検出結果が所定値以上である場合には直ちにリキッドタンク内の検査ガスを回収することを特徴とするものである。
【００２０】
このため、請求項３の発明では、検査ガスのリークが大きいリキッドタンクを早めに検出して、リキッドタンク内からチャンバー内への検査ガスのリーク量の増大を抑えることができる。
【００２１】
請求項４の発明は、冷媒流入孔と冷媒流出孔を有する空調装置用のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、前記リキッドタンクを載置させる台座と、該台座に対して昇降自在に配設され該台座との協働でリキッドタンクを押圧挟持して密封する有底筒状のチャンバーと、該チャンバーをリキッドタンクを密封した状態で台座に解除可能に固定する固定手段と、前記チャンバー又は台座の一方に設けられチャンバーと台座によるリキッドタンクの押圧挟持によって前記冷媒流入孔と冷媒流出孔を密閉する密閉部と、該密閉部に連なり該密閉部に設けた導入孔を介してリキッドタンク内に連通可能な開閉手段付きのタンク用ポートと、前記台座又はチャンバーの少なくとも一方に設けられリキッドタンクを密封したチャンバー内に連通可能な開閉手段付きのチャンバー用ポートと、前記タンク用ポートに接続されてリキッドタンク内に所定正圧の検査ガスを封入する検査ガス供給装置と、前記チャンバー用ポートに接続されてリキッドタンクを密封したチャンバー内の検査ガス濃度を検出する検出装置と、前記タンク用ポートに接続されてリキッドタンク内の検査ガスを回収する回収装置と、リキッドタンクを密封したチャンバー内の雰囲気置換時に前記チャンバー用ポートに接続されて検査ガスを含まない清浄ガスをチャンバー内に供給すると共に、少なくともチャンバー内及びチャンバー用ポート内の清掃時に少なくともチャンバー内及びチャンバー用ポート内に前記清浄ガスを供給する清浄ガス供給装置とを備えていることを特徴とするものである。
【００２２】
このため、請求項４の発明では、台座にリキッドタンクを載置し、有底筒状のチャンバーを台座に向かって降下させ、チャンバーを台座に固定手段で解除可能に固定することにより、チャンバーと台座とでリキッドタンクを押圧挟持して密封すると共に、チャンバー又は台座の一方に設けた密閉部でリキッドタンクの冷媒流入孔と冷媒流出孔とを密閉し、密閉部に設けた導入孔を介してリキッドタンク内を密閉部に連なる開閉手段付きのタンク用ポートに連通させることができる。
【００２３】
そして、チャンバー又は台座の少なくとも一方に設けた開閉手段付きのチャンバー用ポートに清浄ガス供給装置を接続して、検査ガスを含まない清浄ガスをチャンバー内に供給することによりチャンバー内を清浄ガスで置換し、タンク用ポートに検査ガス供給装置を接続してリキッドタンク内に所定正圧の検査ガスを封入し、該封入から所定時間経過後のチャンバー内の検査ガス濃度を、チャンバー用ポートに検出装置を接続して検出し、タンク用ポートに回収装置を接続してリキッドタンク内の検査ガスを回収することができる。
【００２４】
更に、固定手段によるチャンバーの台座への固定を解除し、チャンバーを台座の上方へ上昇させてリキッドタンクを台座から取り出し、清浄ガス供給装置により少なくともチャンバー内及びチャンバー用ポート内を清浄ガスで清掃することができる。
【００２５】
従って、請求項４の発明では、チャンバー内及びチャンバー用ポート内に残留あるいは付着する検査ガスを清浄ガスで除去して、清浄ガス雰囲気のチャンバー内に密封したリキッドタンクから検査ガスがリークした場合のチャンバー内の検査ガス濃度を検出することができる。
【００２６】
しかも、請求項４の発明では、有底筒状のチャンバーの台座に対する昇降によってリキッドタンクのチャンバーからの出し入れをすることができるので、チャンバー内からのリキッドタンクの出し入れの際に、リキッドタンクを把持した手をチャンバー内に出し入れする必要が無い。
【００２７】
また、請求項４の発明では、チャンバーと台座とでリキッドタンクを押圧挟持して、チャンバー又は台座の一方に設けた密閉部でリキッドタンクの冷媒流入孔と冷媒流出孔を着脱自在に密閉し、密閉部に設けた導入孔を介してリキッドタンク内を密閉部に連なる開閉手段付きのタンク用ポートに連通させることができ、このタンク用ポートを利用してリキッドタンクへの検査ガスの封入とリキッドタンクからの検査ガスの回収とを行うことができるので、従来の検査装置のように検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用する必要が無い。
【００２８】
請求項５の発明は、請求項４記載のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、前記チャンバーを前記台座に対して昇降させる昇降装置を備え、前記固定手段は、前記昇降装置によりチャンバーを台座上に降下させた状態でチャンバーを台座に押し付けてロックし、前記昇降装置によるチャンバーの上昇時にチャンバーの台座へのロックを解除する固定装置であることを特徴とするものである。
【００２９】
このため、請求項５の発明では、昇降装置でチャンバーを台座に向かって降下させ、固定装置でチャンバーを台座に固定することにより、チャンバーと台座とでリキッドタンクを押圧挟持して密封すると共に、チャンバー又は台座の一方に設けた密閉部でリキッドタンクの冷媒流入孔と冷媒流出孔とを密閉して、密閉部に設けた導入孔を介してリキッドタンク内を密閉部に連なる開閉手段付きのタンク用ポートに連通させることができる。
【００３０】
また、請求項５の発明では、固定装置でチャンバーの台座への固定を解除し、昇降装置でチャンバーを台座の上方へ上昇させることにより、チャンバーと台座によるリキッドタンクの密封を解除してチャンバー内からリキッドタンクを取り出すこともできる。
【００３１】
請求項６の発明は、請求項４又は５記載のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、前記密閉部が、前記台座に立設された前記冷媒流入孔用の第１密閉ピンと前記冷媒流入孔用の第２密閉ピンであり、該第１及び第２の両密閉ピンは、一方にのみ前記導入孔が設けられ、他方が、前記冷媒流入孔と冷媒流入孔の配置に応じて位置変更可能に台座に固定されていることを特徴とするものである。
【００３２】
このため、請求項６の発明では、台座に位置変更可能に固定されている密閉ピンの台座への固定位置を変更することによって、冷媒流入孔と冷媒流入孔の配置が異なるリキッドタンクの気密性能検査に対応することができる。
【００３３】
請求項７の発明は、請求項４〜６の何れかに記載のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、前記タンク用ポートに接続されて前記リキッドタンク内を真空引きする真空ポンプと、該真空ポンプによって真空引きされたリキッドタンク内の真空度を検出する真空計とを備えていることを特徴とするものである。
【００３４】
このため、請求項７の発明では、チャンバー内にリキッドタンクを密封した後であってリキッドタンク内に検査ガスを封入する前に真空ポンプでリキッドタンク内を真空引きし、その真空引きしたリキッドタンク内の真空度を真空計で検出して、リキッドタンクが所定時間内に所定の真空度に到達するか否かを検査することにより、リキッドタンクのクラック等の欠陥の有無をリキッドタンク内に検査ガスを封入する前に検出して、リキッドタンク内からチャンバー内への検査ガスの大量の漏れを未然に防止することができる。
【００３５】
また、請求項７の発明では、真空引きの開始から所定時間内に所定の真空度に到達したリキッドタンクに対して検査ガスを封入することにより、真空状態のリキッドタンク内に検査ガスを封入して、その封入したリキッドタンク内の検査ガス濃度を封入前の検査ガス濃度と略同一にすることもできる。
【００３６】
請求項８の発明は、請求項７記載のリキッドタンクの気密性能検査装置であって、前記真空計で検出した前記リキッドタンク内の真空度と、前記検出装置で検出した前記チャンバー内の検査ガス濃度とに基づきリキッドタンクを前記台座から取り出して良品と不良品とに分類する払出し装置を備えていることを特徴とするものである。
【００３７】
このため、請求項８の発明では、リキッドタンクの台座からの取り出しと、リキッドタンクの良品と不良品との分類とを払出し装置で自動的に行うことができる。
【００３８】
【発明の効果】
請求項１の発明では、チャンバー内及びチャンバー用ポート内に残留あるいは付着する検査ガスを清浄ガスで除去して、清浄ガス雰囲気のチャンバー内に密封したリキッドタンクから検査ガスがリークした場合のチャンバー内の検査ガス濃度を検出することができるので、リキッドタンクの気密性能を正確に検査することができる。
【００３９】
しかも、請求項１の発明では、チャンバー内からのリキッドタンクの出し入れの際に、リキッドタンクを把持した手をチャンバー内に出し入れする必要が無いので、チャンバーの容積を従来のチャンバーより小さくすることができ、その結果、従来の検査方法と比べて、適正な検査に必要なチャンバー内でのリキッドタンクの放置時間を短くして検査時間を短縮することができると共に、チャンバーの占有空間を小さくすることもできる。
【００４０】
また、請求項１の発明では、従来のように検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用する必要が無いので、リキッドタンクへのカプラーの着脱に掛かる人件費を無くすことができると共に、リキッドタンクから取り外したカプラーを再利用のためにリキッドタンクへの取付場所へ戻すための人件費及びコンベア等の付帯設備を無くすこともでき、その結果、リキッドタンクの検査費用を削減することができる。
【００４１】
更に、請求項１の発明では、従来技術のように検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用する必要が無いので、リキッドタンクのネジ孔を利用してリキッドタンクにカプラーを着脱する必要も無く、従って、その着脱時に前記ネジ孔のネジを潰してしまう恐れを解消することもできる。
【００４２】
請求項２の発明では、リキッドタンクからチャンバー内への検査ガスの大漏れを未然に防止することができるので、チャンバー内及びチャンバー用ポート内の検査ガスによる大規模な汚染を未然に防止し、その大規模な汚染を除去する除去作業を無くして検査効率を向上させることができる。
【００４３】
また、請求項２の発明では、真空状態のリキッドタンク内に検査ガスを封入することにより、その封入したリキッドタンク内の検査ガス濃度を封入前の検査ガス濃度と略同一にすることができるので、リキッドタンクを密封したチャンバー内の検査ガス濃度を検出することによって、リキッドタンクからリークする検査ガスのリーク速度（単位はｇ／年）の算出精度が向上し、リキッドタンクの良否をより正確に判断することもできる。
【００４４】
請求項３の発明では、検査ガスのリークが大きいリキッドタンクを早めに検出して、リキッドタンクからチャンバー内への検査ガスのリーク量の増大を抑えることができるので、チャンバー内及びチャンバー用ポート内の洗浄を通常の洗浄工程のみで行うことができ、特別な洗浄作業を無くして検査効率を向上させることができる。
【００４５】
請求項４の発明では、チャンバー内及びチャンバー用ポート内に残留あるいは付着する検査ガスを清浄ガスで除去して、清浄ガス雰囲気のチャンバー内に密封したリキッドタンクから検査ガスがリークした場合のチャンバー内の検査ガス濃度を検出することができるので、リキッドタンクの気密性能を正確に検査することができる。
【００４６】
しかも、請求項４の発明では、チャンバー内からのリキッドタンクの出し入れの際に、リキッドタンクを把持した手をチャンバー内に出し入れする必要が無いので、チャンバーの容積を従来のチャンバーより小さくすることができ、その結果、従来の検査装置と比べて、適正な検査に必要なチャンバー内でのリキッドタンクの放置時間を短くして検査時間を短縮することができると共に、チャンバーの占有空間を小さくすることもできる。
【００４７】
また、請求項４の発明では、従来の検査装置のように検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用する必要が無いので、リキッドタンクへのカプラーの着脱に掛かる人件費を無くすことができると共に、リキッドタンクから取り外したカプラーを再利用のためにリキッドタンクへの取付場所へ戻すための人件費及びコンベア等の付帯設備を無くすこともでき、その結果、リキッドタンクの検査費用を削減することができる。
【００４８】
更に、請求項４の発明では、従来の検査装置のように検査ガスの封入及び回収用のカプラを使用する必要が無いので、リキッドタンクのネジ孔を利用してリキッドタンクにカプラーを着脱する必要も無く、従って、その着脱時に前記ネジ孔のネジを潰してしまう恐れを解消することもできる。
【００４９】
請求項５の発明では、昇降装置でチャンバーを台座に向かって降下させ、固定装置でチャンバーを台座に固定することにより、チャンバーと台座とでリキッドタンクを押圧挟持して密封すると共に、チャンバー又は台座の一方に設けた密閉部でリキッドタンクの冷媒流入孔と冷媒流出孔とを密閉して、密閉部に設けた導入孔を介してリキッドタンク内を密閉部に連なる開閉手段付きのタンク用ポートに連通させることができるので、チャンバーと台座によるリキッドタンクのセットが容易である。
【００５０】
また、請求項５の発明では、固定装置でチャンバーの台座への固定を解除し、昇降装置でチャンバーを台座の上方へ上昇させることにより、チャンバーと台座によるリキッドタンクの密封を解除してチャンバー内からリキッドタンクを取り出すことができるので、チャンバー内からのリキッドタンクの取り出しも容易である。
【００５１】
請求項６の発明では、台座に位置変更可能に固定されている密閉ピンの台座への固定位置を変更することによって、冷媒流入孔と冷媒流入孔の配置が異なるリキッドタンクの気密性能検査に対応することができるので、前記配置が異なるリキッドタンクの気密性能を検査することができる。
【００５２】
請求項７の発明では、リキッドタンクからチャンバー内への検査ガスの大漏れを未然に防止することができるので、チャンバー内及びチャンバー用ポート内の検査ガスによる大規模な汚染を未然に防止し、その大規模な汚染を除去する除去作業を無くして検査効率を向上させることができる。
【００５３】
また、請求項７の発明では、真空状態のリキッドタンク内に検査ガスを封入して、その封入したリキッドタンク内の検査ガス濃度を封入前の検査ガス濃度と略同一にすることができるので、リキッドタンクを密封したチャンバー内の検査ガス濃度を検出することによって、リキッドタンクからリークする検査ガスのリーク速度（単位はｇ／年）の算出精度が向上し、リキッドタンクの良否をより正確に判断することもできる。
【００５４】
請求項８の発明では、リキッドタンクの台座からの取り出しと、リキッドタンクの良品と不良品との分類を払出し装置で自動的に行うことができるので、前記取り出しと分類とを正確かつ確実に行うことができ、リキッドタンクの製造ライン等で大量のリキッドタンクに対して気密性能検査を行う場合には、その気密性能検査に掛かる人件費を削減して、検査費用を削減することもできる。
【００５５】
【発明の実施の形態】
図１は、請求項４〜８記載の各発明を併せて実施した実施の形態の一例を示す平面図である。なお、以下に行う説明では、リキッドタンクに関しては、従来技術の項で既に説明した図１３，図１４図示のリキッドタンク１０と同一であるので、リキッドタンク１０と同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００５６】
図１に示すように、リキッドタンク１０の気密性能検査装置１は、回転駆動装置によって所定時間毎に回転角度３０度づつ時計回りに回転駆動される円形のターンテーブル３０を備え、このターンテーブル３０の上面の外周縁部分におけるターンテーブル３０を３０度の等角度で１２分割した各部位に、リキッドタンク１０を載置させる台座４０がそれぞれ取り付けられている。
【００５７】
また、この気密性能検査装置１は、ターンテーブル３０の上面における各台座４０より中心側の部位に、ターンテーブル３０の上面から垂直に延びるレール５１を備えた摺動装置５０がレール５１を台座４０側へ向けて放射状に配設され、各摺動装置５０のレール５１に、摺動部材５２がレール５１に沿って摺動自在に取り付けられ、各摺動部材５２に、有底筒状のチャンバー６０が開口部を下に向けて取り付けられて、各チャンバー６０が台座４０に対して昇降自在に配設されている。
【００５８】
なお、図１の各符号Ｓ１〜Ｓ１２は、台座４０が間欠的に停止するターンテーブル３０の停止位置を示しており、以下、各停止位置Ｓ１〜Ｓ１２をそれぞれ第１ステージ〜第１２ステージと呼ぶこととする。
【００５９】
ターンテーブル３０の第３ステージＳ３の外側には第１ステーションＳＴ１が配設され、第４ステージＳ４の外側には第２ステーションＳＴ２が配設され、第５ステージＳ５の外側には第３ステーションＳＴ３が配設され、第６ステージＳ６の外側には第４ステーションＳＴ４が配設され、第７ステージＳ７の外側には第５ステーションＳＴ５が配設され、第１０ステージＳ１０の外側には第６ステーションＳＴ６が配設され、第１１ステージＳ１１の外側には第７ステーションＳＴ７が配設され、第１２ステージＳ１２の外側には、第８ステーションＳＴ８と、良品のリキッドタンク１０用のシューター７１及び不良品のリキッドタンク１０用のシューター７２を備えた払出し装置７０とが配設されている。
【００６０】
図２は、図１に示すもののＸ−Ｘ線断面を示す説明図である。図２に示すように、ターンテーブル３０の第３ステージＳ３の下方には、摺動部材５２と共にチャンバー６０を下降させる第１シリンダ装置Ａ１が配設され、第１２ステージＳ１２のターンテーブル３０の下方には、摺動部材５２と共にチャンバー６０を上昇させる第２シリンダ装置Ａ２が配設されている。
【００６１】
そして、ターンテーブル３０における各摺動部材５２の下方に位置する部位には、第１及び第２の両シリンダ装置Ａ１，Ａ２のロッドＡ１ａ，Ａ２ａが昇降するための昇降孔３１が貫設されている。従って、チャンバー６０を台座４０に対して昇降させる昇降装置２は、摺動装置５０，第１及び第２の両シリンダ装置Ａ１，Ａ２を備えている。
【００６２】
図３は、昇降装置を示す斜視図であり、図４は、図３に示すもののチャンバーを固定した状態を示す斜視図である。図３，図４に示すように、摺動装置５０は、レール５１を支持する支持部材５３の一方の側面の上方部位に、摺動部材５２と共にチャンバー６０を保持する保持部５４を備えている。
【００６３】
この保持部５４は、支持部材５３に固定された固定部材５４ａに、回転軸５４ｂがその軸方向をターンテーブル３０の半径方向に一致させて回転自在に保持され、この回転軸５４ｂのターンテーブル３０中心側の端部に、該端部から上方へ向かう第１アーム部材５４ｃが固定され、回転軸５４ｂのターンテーブル３０外周側の端部に、該端部から上方へ向かう第２アーム部材５４ｄが固定され、第１アーム部材５４ｃの上端部がスプリング５４ｅを介して支持部材５３に連結され、このスプリング５４ｅの弾撥力によって第１及び第２の両アーム部材５４ｃ，５４ｄがほぼ垂直に状態保持されている。
【００６４】
そして、第２アーム部材５４ｄのレール５１側の側面には、チャンバー６０を摺動部材５２にボルト固定するための矩形の取付部材６１を係止するフック部５４ｆが形成され、このフック部５４ｆは、第２アーム部材５４ｄのレール５１側の側面の下端から上方へ向かってレール５１側へ徐々に突出した傾斜面５４ｇと、水平な上端面５４ｈとを備えている。
【００６５】
図５は、第１２ステージでの昇降装置の作用を説明する説明図であって、（ａ）はシリンダ装置のロッドの上昇途中の状態を示し、（ｂ）はロッドの下降途中の状態を示している。図５に示すように、昇降装置２の第２シリンダ装置Ａ２は、そのロッドＡ２ａの先端がチャンバー６０の取付部材６１には当接するが摺動装置５０の保持部５４の第２アーム部材５４ｄには当接しない位置に配設されている。
【００６６】
このため、第１２ステージＳ１２では、昇降装置２は、第２シリンダ装置Ａ２のロッドＡ２ａが上昇し、ロッドＡ２ａの先端がチャンバー６０の取付部材６１に当接してチャンバー６０を摺動部材５２と共にレール５１に沿って上昇させ、チャンバー６０の取付部材６１が第２アーム部材５４ｄのフック部５４ｆの傾斜面５４ｇに当接して、第１及び第２の両アーム部材５４ｃ，５４ｄを回転軸５４ｂを中心に回動させ、チャンバー６０の取付部材６１が第２アーム部材５４ｄのフック部５４ｆの上端を通過した時点でスプリング５４ｅにより第１及び第２の両アーム部材５４ｃ，５４ｄが初期位置に復帰する。
【００６７】
この後、第２シリンダ装置Ａ２のロッドＡ２ａが降下し、チャンバー６０の取付部材６１が第２アーム部材５４ｄのフック部５４ｆの上端面５４ｈで支持されて、摺動装置５０の保持部５４によりチャンバー６０が台座４０上方の上昇位置で保持される。なお、第２シリンダ装置Ａ２のロッドＡ２ａは、シリンダ内に収納されて、最終的にはターンテーブル３０より下方に配置される。
【００６８】
従って、ターンテーブル３０の第１２ステージＳ１２に続く第１及び第２の両ステージＳ１，Ｓ２では、チャンバー６０は、摺動装置５０の保持部５４によって前記上昇位置で保持されたままとなる。なお、この上昇位置では、チャンバー６０の開口部は、台座４０上に載置されたリキッドタンク１０の上端より上方に位置している。
【００６９】
図６は、第３ステージでの昇降装置の作用を説明する説明図であって、（ａ）はシリンダ装置のロッドの上昇途中の状態を示し、（ｂ）はロッドの下降直後の状態を示している。図６に示すように、昇降装置２の第１シリンダ装置Ａ１は、そのロッドＡ２ａの先端が、摺動装置５０の第２アーム部材５４ｄのフック部５４ｆの傾斜面５４ｇに当接しフック部５４ｆによるチャンバー６０の取付部材６１の係止を解除して取付部材６１に当接する位置に配設されている。
【００７０】
このため、第３ステージでは、昇降装置２は、第１シリンダ装置Ａ１のロッドＡ１ａが上昇し、ロッドＡ１ａの先端が摺動装置５０の第２アーム部材５４ｄのフック部５４ｆの傾斜面５４ｇに当接して第１及び第２の両アーム部材５４ｃ，５４ｄを回転軸５４ｂを中心に回動させ、第２アーム部材５４ｄのフック部５４ｆによるチャンバー６０の取付部材６１の係止を解除した状態でロッドＡ１ａの先端面がチャンバー６０の取付部材６１に当接する。
【００７１】
この後、第１シリンダ装置Ａ１のロッドＡ１ａと共にチャンバー６０及び摺動部材５２がレール５１に沿って降下し、チャンバー６０が開口部を台座４０によって塞がれた状態で台座４０上に載置され、ロッドＡ１ａが第１シリンダ装置Ａ１のシリンダ内に収納されてターンテーブル３０より下方に配置される。
【００７２】
図７は、チャンバーを示す断面図である。図７に示すように、有底筒状のチャンバー６０は、その開口部を囲む底面に、台座４０に押し付けられてチャンバー６０内を密閉するＯリング６２が配設され、頂部の上面側に、密閉状態のチャンバー６０内の圧力が所定圧以上になるとチャンバー６０の密閉状態を開放するリリーフ弁６３と、チャンバー６０内に連通可能なチャンバー用ポート６４とが配設されている。
【００７３】
このチャンバー用ポート６４は、その先端に開閉手段としての開閉弁６４ａを備え、この開閉弁６４ａは、弁座にスプリング等の弾性体で押し付けられた弁体６４ｂの一部がチャンバー用ポート６４の先端から突出している。このため、この弁体６４ｂをニードル等で開閉弁６４ａの奥部へ押し込んで開閉弁６４ａを開けることにより、チャンバー用ポート６４を介してチャンバー６０内を外部と連通させることができる。
【００７４】
チャンバー６０の頂部の下面側には、台座４０と協働してリキッドタンク１０を押圧挟持する押圧部６５が配設され、この押圧部６５は、リキッドタンク１０の頂部と係合する係合部材６５ａと、チャンバー６０の頂部にボルト固定される固定部材６５ｂと、係合部材６５ａと固定部材６５ｂとを連結し係合部材６５ａを伸縮自在に支持する合成ゴム等の弾性部材６５ｃよりなっている。
【００７５】
また、チャンバー６０は、図３に図示されているように、その下端部の左右両側に、後述する台座４０の固定部材と係合する係合ボルト６６が高さ調整可能に配設されている。
【００７６】
図８は、台座を示す斜視図である。図８に示すように、台座４０には、リキッドタンク１０の冷媒流入孔１１を密閉する第１密閉ピン４１と、リキッドタンク１０の冷媒流出孔１２を密閉する第２密閉ピン４２と、リキッドタンク１０を支持する３本の支持ピン４３とが立設されている。
【００７７】
第１密閉ピン４１は、リキッドタンク１０の冷媒流入孔１１に挿入される先端部４１ａと、冷媒流入孔１１の内径より大径でチャンバー６０の押圧部６５と協働してリキッドタンク１０を押圧挟持する支持部４１ｂと、支持部４１ｂの下端に突設された固定用のネジ部と、軸心に沿って貫設された導入孔４１ｃとを備え、先端部４１ａと支持部４１ｂとの境界の段差面には、リキッドタンク１０を押圧挟持した際にリキッドタンク１０の冷媒流入孔１１をその開口縁で密閉するＯリング４１ｄが取り付けられている。
【００７８】
そして、第１密閉ピン４１は、ねじ部が台座４０のネジ孔に螺着されて該ネジ孔を密閉した状態で台座４０に固定されており、台座４０の前面に設けられ台座４０を介して第１密閉ピン４１に連なるタンク用ポート４４に導入孔４１ｄが連通している。
【００７９】
第２密閉ピン４２は、リキッドタンク１０の冷媒流出孔１２に挿入される先端部４２ａと、冷媒流出孔１２の内径より大径でチャンバー６０の押圧部６５と協働してリキッドタンク１０を押圧挟持する支持部４２ｂと、支持部４２ｂの下端に突設された固定用の保持部とを備え、保持部が台座４０の保持孔に着脱自在に嵌合されて台座４０に抜き差し自在に固定されており、先端部４２ａと支持部４２ｂとの境界の段差面には、リキッドタンク１０を押圧挟持した際にリキッドタンク１０の冷媒流出孔１２をその開口縁で密閉するＯリング４２ｄが取り付けられている。
【００８０】
なお、第１及び第２の両密閉ピン４１，４２は、その先端部４１ａ，４２ａが軟質の合成樹脂製の保護部材で覆われている。このため、両密閉ピン４１，４２の先端部４１ａ，４２ａでリキッドタンク１０の冷媒流入孔１１及び冷媒流出孔１２を傷つけるのを防止することができる。
【００８１】
３本の支持ピン４３は、台座４０の上面から突出しリキッドタンク１０を支持する支持部４３ａと、この支持部４３ａの下端に突設された固定用の保持部よりなり、支持部４３ａの長さが第１及び第２の両密閉ピン４１，４２の支持部４１ｂ，４２ｂの長さと略同一とされ、保持部が台座４０の保持孔に着脱自在に嵌合されて台座４０に抜き差し自在に固定されている。
【００８２】
なお、各支持ピン４３の保持部は第２密閉ピン４２の保持部と同一形状とされ、従って、台座４０の各支持ピン４３用の保持孔も第２密閉ピン４２用の保持孔と同一形状とされている。このため、各支持ピン４３と第２密閉ピン４２とは、台座４０への固定箇所が互いに交換可能とされている。
【００８３】
しかも、台座４０における第２密閉ピン４２及び各支持ピン４３の配置は、形状が略同一で冷媒流入孔１１と冷媒流出孔１２の配置が異なる各種リキッドタンク１０において冷媒流入孔１１を一致させた場合の冷媒流出孔１２の配置に対応している。
【００８４】
従って、この気密性能検査装置１では、各支持ピン４３と第２密閉ピン４２との間で台座４０への固定位置を変更することによって、形状が略同一で冷媒流入孔１１と冷媒流出孔１２の配置が異なる各種リキッドタンク１０の気密性能検査を行うことができる。
【００８５】
台座４０の前面には、第１密閉ピン４１の導入孔４１ｃを介してリキッドタンク１０内に連通可能なタンク用ポート４４と、リキッドタンク１０を密封した状態のチャンバー６０内に連通可能なチャンバー用ポート４５とが設けられており、台座４０の上面中央部には、チャンバー用ポート４５に連通する開口部４５ｃが開口している。
【００８６】
台座４０のタンク用ポート４４及びチャンバー用ポート４５は、その先端に開閉手段としての開閉弁４４ａ，４５ａを備えている。なお、この開閉弁４４ａ，４５ａは、既に説明したチャンバー６０のチャンバー用ポート６４の開閉弁６４ａと同一の構造を有しており、先端から弁体４４ｂ，４５ｂの一部が突出している。
【００８７】
台座４０の両側面には、リキッドタンク１０を密封した状態でチャンバー６０を台座４０に固定する固定部材４６が回動自在に取り付けられており、この固定部材４６は、台座４０への取付部から台座４０の前面側へ突出する第１腕部４６ａと、その第１腕部４６ａの基部から上方へ突出する第２腕部４６ｂと、その第２腕部４６ｂの先端から台座４０の後面側へ突出しチャンバー６０の係合ボルト６６と係脱自在に係合する第３腕部４６ｃとを備え、第１及び第２の両腕部４６ａ、４６ｂの先端部に、ローラー４６ｄが回転自在に取り付けられている。
【００８８】
図９は、第３ステージにおけるチャンバーの台座への固定を示す説明図である。なお、図９においては、チャンバー６０のリリーフ弁６３及びチャンバー用ポート６４は図示を省略している。
【００８９】
図９に示すように、ターンテーブル３０の第３ステージＳ３の外側に配設された第１ステーションＳＴ１には、チャンバー６０を台座４０に押し付ける押圧装置８０と、固定部材４６の第２腕部４６ｂのローラ４６ｄに当接して固定部材４６を回動させ固定部材４６の第３腕部４６ｃをチャンバー６０の係合ボルト６６に係合させる固定用のシリンダ装置Ａ３とが設けられている。
【００９０】
この押圧装置８０は、第１ステーションＳＴ１に回動自在に取り付けられたシリンダ装置８１と、このシリンダ装置８１のロッド８１ａの先端に設けられた倍力機構部８２と、この倍力機構部８２に取り付けられてチャンバー６０を押圧する長さ調整可能な押圧ボルト８３とを備えている。
【００９１】
押圧装置８０の倍力機構部８２は、シリンダ装置８１のロッド８１ａの先端と、その先端よりターンテーブル３０寄りに位置する第１ステーションＳＴ１の取付部８４との間に配設された逆く字状の第１部材８２ａと、この第１部材８２ａと押圧ボルト８３とを連結する第２部材８２ｂとを備えている。
【００９２】
第１部材８２ａは、一端が、シリンダ装置８１のロッドの先端に回動自在に取り付けられ、他端が、第１ステーションＳＴ１の取付部８４に固定ピン８４ａにより回動自在に取り付けられている。第２部材８２ｂは、一端が、取付部８４に固定ピン８３ａにより回動自在に取り付けられ、中央部位が第１部材８２ａの取付部８４寄りの部位に固定され、他端に、押圧ボルト８３が長さ調整可能に取り付けられている。
【００９３】
この押圧装置８０では、回動軌跡Ｋに沿ってシリンダ装置８１のロッド８１ａの先端が上昇すると、倍力機構部８２の第１部材８２ａが第１ステーションＳＴ１の取付部８４の固定ピン８４ａを回動中心として回動し、この第１部材８４ａの回動に伴い第２部材８２ｂが固定ピン８４ａを回動中心として回動し、この第２部材８２ｂの回動に伴い押圧ボルト８３がチャンバー６０の頂部の上面に当接してチャンバー６０を台座４０に押し付ける。
【００９４】
このとき、シリンダ装置８１により第１部材８２ａに作用する力は、てこの原理により第２部材８２ｂで増大されて押圧ボルト８３に伝達され、押圧ボルト８３を介してチャンバー６０を台座４０に押し付け、チャンバー６０の底面に配設したＯリング６２によりチャンバー６０内にリキッドタンク１０を密封すると共に、チャンバー６０の押圧部６５と台座４０の第１及び第２の両密閉ピン４１，４２並びに支持ピン４３とでリキッドタンク１０を押圧挟持し、第１及び第２の両密閉ピン４１，４２のＯリング４１ｄ，４２ｄでリキッドタンク１０の冷媒流入孔１１及び冷媒流出孔１２を密閉する。
【００９５】
この状態で、固定用のシリンダ装置Ａ３により固定部材４６が回動し、固定部材４６の第３腕部４６ｃがチャンバー６０の係合ボルト６６と係合して、チャンバー６０をリキッドタンク１０を密封した状態で台座４０に固定する。
【００９６】
この後、押圧装置８０は、シリンダ装置８１が回動しながらシリンダ装置８１のロッド８１ａがシリンダ内に収納され、倍力機構部８２の第１及び第２の両部材８２ａ，８２ｂが取付部８４の固定ピン８４ａを中心に回動して、押圧ボルト８３が二点鎖線で示す待機位置に移動する。
【００９７】
図１０は、第１２ステージにおけるチャンバーと台座との固定解除を示す説明図である。なお、図１０においては、チャンバー６０のリリーフ弁６３及びチャンバー用ポート６４は図示を省略している。
【００９８】
図１０に示すように、ターンテーブル３０の第１２ステージＳ１２の外側に配設された第８ステーションＳＴ８には、チャンバー６０を台座４０に押し付ける押圧装置８０と、固定部材４６の第１腕部４６ａのローラ４６ｄに当接して固定部材４６を回動させ固定部材４６の第３腕部４６ｃとチャンバー６０の係合ボルト６６との係合を解除する固定解除用のシリンダ装置Ａ３とが設けられている。
【００９９】
なお、第８ステーションＳＴ８の押圧装置８０は、既に説明した第１ステーションＳＴ８の押圧装置８０と同一のものであるので、その説明を省略する。
【０１００】
第１２ステージＳ１２では、第８ステーションＳＴ８の押圧装置８０によりチャンバー６０が台座４０に押し付けられた状態で、固定解除用のシリンダ装置Ａ４により固定部材４６の第３腕部４６ｃとチャンバー６０の係合ボルト６６との係合が解除されて、チャンバーの台座への固定が解除され、押圧装置８０のリンダ装置８１のロッド８１ａがシリンダ内に収納されて、押圧ボルト８３が二点鎖線で示す待機位置に移動する。
【０１０１】
従って、この気密性能検査装置１では、チャンバー６０を台座４０に解除可能に固定する固定手段である固定装置３は、第１及び第８の両ステーションＳＴ１，ＳＴ８に配設された押圧装置８０，各台座４０に配設された固定部材４６，固定用及び固定解除用の両シリンダ装置Ａ３，Ａ４並びにチャンバー６０の係合ボルト６６によって構成されている。
【０１０２】
図１１は、ターンテーブルの第１２ステージの外側に設けられたリキッドタンク用の払出し装置を示す正面図である。図１１に示すように、この払出し装置７０は、ターンテーブル３０の外に配設されリキッドタンク１０を良品と不良品に分類する良品用及び不良品用の両シューター７１，７２と、第１２ステージＳ１２の台座４０からリキッドタンク１０を取り出して両シューター７１，７２の上方まで運び該上方でリキッドタンク１０を落下させる搬出装置７３とを備えている。
【０１０３】
この搬出装置７３は、ターンテーブル３０の上方に配設されてターンテーブル３０の外からターンテーブル３０の第１２ステージＳ１２の台座４０近傍の上方まで延びるレール部材７４を備え、このレール部材７４に、シリンダ装置７５によって駆動される摺動部材７６が摺動自在に取り付けられ、この摺動部材７６に、リキッドタンク１０を把持し或いはその把持を解除する開閉自在の２本のアーム７７ａを備えた把持装置７７と、その把持装置７７を昇降自在に支持する支持装置７８とが取り付けられている。
【０１０４】
第１２ステージＳ１２において、固定装置３によりチャンバー６０の台座４０への固定が解除され、昇降装置２によりチャンバー６０が台座４０上方の上昇位置で保持された後、払出し装置７０は、シリンダ装置７５により摺動部材７６と共に支持装置７８及び把持装置７７がレール部材７４に沿って台座４０近傍位置まで摺動し、把持装置７７の２本のアーム７７ａが開いた状態で支持装置７８により把持装置７７が降下して、両アーム７７ａ間にリキッドタンク１０が配置され、両アーム７７ａが閉じ両アーム７７ａでリキッドタンク１０を把持した状態で支持装置７８により把持装置７７が上昇してリキッドタンク１０を台座４０から取り外す。
【０１０５】
この後、シリンダ装置７５により摺動部材７６と共に支持装置７８及び把持装置７７がレール部材７４に沿ってリキッドタンク１０の投下位置まで摺動し、この投下位置で把持装置７７の両アーム７７ａが開いてリキッドタンク１０を良品用又は不良品用の何れか一方のシューター７１，７２上に投下する。なお、リキッドタンク１０を良品用又は不良品用の何れのシューター７１，７２に投下するかは、リキッドタンク１０の気密性能検査の結果に基づいて図示を省略したコントローラが判断する。
【０１０６】
すなわち、このコントローラは、リキッドタンク１０の気密性能検査の結果が良好な場合には、シリンダ装置７５により摺動部材７６を良品用の停止位置まで摺動させて、リキッドタンク１０を良品用のシューター７１上に投下させ、リキッドタンク１０の気密性能検査の結果が不良な場合には、シリンダ装置７５により摺動部材７６を不良品用の停止位置まで摺動させて、リキッドタンク１０を不良品用のシューター７２上に投下させる。
【０１０７】
ここで、第１〜第８の各ステーションＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３，ＳＴ４，ＳＴ５，ＳＴ６，ＳＴ７，ＳＴ８について説明する。第１ステーションＳＴ１には、既に説明した押圧装置８０、台座４０の左右両側に配設された固定部材４６を回動させる２台の固定用のシリンダ装置Ａ３以外に、図１，図２に示すように、リキッドタンク１０を密封したチャンバー６０のチャンバー用ポート６４に対しシリンダ装置Ａ５で進退してチャンバー用ポート６４に着脱自在かつ気密に接続される第１接続ポートＰ１と、台座４０の前面に配設されたチャンバー用ポート４５に対しシリンダ装置Ａ６で進退してチャンバー用ポート４５に着脱自在かつ気密に接続される第２接続ポートＰ２が配設されている。
【０１０８】
図１に示すように、第２ステーションＳＴ２には、台座４０の前面に配設されたタンク用ポート４４に対しシリンダ装置Ａ７で進退してタンク用ポート４４に着脱自在かつ気密に接続される接続ポートＰ３が配設され、第３ステーションＳＴ３には、台座４０のタンク用ポート４４に対しシリンダ装置Ａ８で進退してタンク用ポート４４に着脱自在かつ気密に接続される接続ポートＰ４が配設されている。
【０１０９】
第４ステーションＳＴ４には、台座４０の前面に配設されたチャンバー用ポート４５に対しシリンダ装置Ａ９で進退してチャンバー用ポート４５に着脱自在かつ気密に接続される接続ポートＰ５が配設され、第５ステーションＳＴ５には、台座４０のタンク用ポート４４に対しシリンダ装置Ａ１０で進退してタンク用ポート４４に着脱自在かつ気密に接続される接続ポートＰ６が配設されている。
【０１１０】
第６ステーションＳＴ６には、台座４０のチャンバー用ポート４５に対しシリンダ装置Ａ１１で進退してチャンバー用ポート４５に着脱自在かつ気密に接続される接続ポートＰ７が配設され、第７ステーションＳＴ７には、台座４０のタンク用ポート４４に対しシリンダ装置Ａ１２で進退してタンク用ポート４４に着脱自在かつ気密に接続される接続ポートＰ８が配設されている。
【０１１１】
図１，図２に示すように、第８ステーションＳＴ８には、既に説明した押圧装置８０、台座の左右両側に配設された固定部材４６を回動させる２台の固定解除用のシリンダ装置Ａ４以外に、昇降装置２により上昇位置に保持されたチャンバー６０のチャンバー用ポート６４に対しシリンダ装置Ａ１３で進退してチャンバー用ポート６４に着脱自在かつ気密に接続される第１接続ポートＰ９と、台座４０のチャンバー用ポート４５に対しシリンダ装置Ａ１４で進退してチャンバー用ポート４５に着脱自在かつ気密に接続される第２接続ポートＰ１０が配設されている。
【０１１２】
なお、全ての接続ポートＰ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９，Ｐ１０は、その先端に、台座４０のタンク用ポート４４，台座４０のチャンバー用ポート４５又はチャンバー６０のチャンバー用ポート６４に気密に接続された状態でタンク用ポート４４又はチャンバー用ポート４５，６４の開閉弁４４ａ，４５ａ，６４ａの弁体４４ｂ，４５ｂ，６４ｂに当接して該弁体４４ｂ，４５ｂ，６４ｂを開閉弁４４ａ，４５ａ，６４ａの奥部へ押し込みタンク用ポート４４又はチャンバー用ポート４５，６４と連通するニードルを備えている。
【０１１３】
図１２は、気密検査装置の配管を示す配管図である。図１０に示すように、第１ステーションＳＴ１の第１接続ポートＰ１には、検査ガスであるフッ素ガスを含まない清浄ガスとしての窒素ガスを供給する清浄ガス供給装置４に電磁弁Ｂ１を介して接続可能な清浄ガス配管が配管されている。この電磁弁Ｂ１は、常時は接続ポートＰ１と清浄ガス供給装置４との接続を遮断しており、必要に応じて接続ポートＰ１と清浄ガス供給装置４とを接続する。なお、第１ステーションＳＴ１の第２接続ポートＰ２は、その後端が開放されている。
【０１１４】
第２ステーションＳＴ２の接続ポートＰ３には、電磁弁Ｂ２を介して真空ポンプ５に接続可能な真空配管が配管されており、この真空配管には、ピラニー真空計９０が取り付けられている。電磁弁Ｂ２は、常時は接続ポートＰ３と真空ポンプ５との接続を遮断しており、必要に応じて接続ポートＰ６と検査ガス回収装置７とを接続する。
【０１１５】
第３ステーションＳＴ３の接続ポートＰ４には、検査ガスであるフッ素ガスを窒素ガスと混合させた混合ガスを供給する検査ガス供給装置６に電磁弁Ｂ３を介して接続可能な検査ガス配管が配管されている。この電磁弁Ｂ３は、常時は接続ポートＰ４と検査ガス供給装置６との接続を遮断しており、必要に応じて接続ポートＰ４と検査ガス供給装置６とを接続する。
【０１１６】
第４ステーションＳＴ４の接続ポートＰ５には、検査ガスであるフッ素ガスの濃度を検出する第１検出装置８に電磁弁Ｂ４を介して接続可能な検査用配管が配管されている。この電磁弁Ｂ４には清浄ガス供給装置４からの清浄ガス配管も配管されており、電磁弁Ｂ４は、常時は第１検出装置８と清浄ガス供給装置４とを接続して第１検出装置８を窒素ガスで清掃し、必要に応じて接続ポートＰ５と第１検出装置８とを接続する。
【０１１７】
第５ステーションＳＴ５の接続ポートＰ６には、検査ガスと窒素ガスとの混合ガスを回収する検査ガス回収装置７に電磁弁Ｂ５を介して接続可能なガス回収配管が配管されている。この電磁弁Ｂ５は、常時は接続ポートＰ６と検査ガス回収装置７との接続を遮断しており、必要に応じて接続ポートＰ６と検査ガス回収装置７とを接続する。
【０１１８】
第６ステーションＳＴ６の接続ポートＰ７には、検査ガスであるフッ素ガスの濃度を検出する第２検出装置９に電磁弁Ｂ６を介して接続可能な検査用配管が配管されている。この電磁弁Ｂ６には清浄ガス供給装置４からの清浄ガス配管も配管されており、電磁弁Ｂ６は、常時は第２検出装置９と清浄ガス供給装置４とを接続して第２検出装置９を窒素ガスで清掃し、必要に応じて接続ポートＰ７と第２検出装置９とを接続する。なお、第２検出装置９は、第１検出装置８と比べて検出レンジが狭く、検査素ガスの濃度をより精密に検出することができる。
【０１１９】
第７ステーションＳＴ７の接続ポートＰ８には、検査ガス回収装置７に電磁弁Ｂ７を介して接続可能なガス回収配管が配管されている。この電磁弁Ｂ７は、常時は接続ポートＰ８と検査ガス回収装置７との接続を遮断しており、必要に応じて接続ポートＰ８と検査ガス回収装置７とを接続する。
【０１２０】
なお、検査ガス回収装置７と検査ガス供給装置６とは互いに配管で接続されており、検査ガス回収装置７で回収した前記混合ガスをその混合比率を調整した上で検査ガス供給装置７により再利用できるようになっている。
【０１２１】
第８ステーションＳＴ８の第１及び第２の両接続ポートＰ９，Ｐ１０には、清浄ガス供給装置４に電磁弁Ｂ８を介して接続可能な清浄ガス配管が配管されている。この電磁弁Ｂ８は、常時は両接続ポートＰ９，Ｐ１０と清浄ガス供給装置４との接続を遮断しており、必要に応じて両接続ポートＰ９，Ｐ１０と清浄ガス供給装置４とを接続する。
【０１２２】
以上説明した気密性能検査装置１を使用してリキッドタンク１０の気密性能を検査する気密性能検査方法について以下に説明する。先ず、ターンテーブル３０の第１ステージＳ１において、台座４０の第１密閉ピン４１の先端部４１ａをリキッドタンク１０の冷媒流入孔１１に挿入させ、台座４０の第２密閉ピン４２の先端部４２ａをリキッドタンク１０の冷媒流出孔１２に挿入させて、台座４０の所定位置にリキッドタンク１０をセットする。
【０１２３】
このセットがターンテーブル３０の間欠駆動時間内にうまく行われなかった場合には、ターンテーブル３０の第２ステージＳ２で対処するか、あるいは、気密性能検査装置１を緊急停止させて対処する。なお、第１及び第２の両ステージＳ１，Ｓ２では、チャンバー６０は摺動装置５０の保持部５４によって台座４０上方の上昇位置に保持されている。
【０１２４】
ターンテーブル３０の第３ステージＳ３では、ターンテーブル３０の下方に配設された第１シリンダ装置Ａ１によりチャンバー６０を前記上昇位置から台座４０上に降下させてリキッドタンク１０にチャンバー６０を被せ、第１ステーションＳＴ１の押圧装置８０でチャンバー６０を台座４０に押し付け、第１ステーションＳＴ１の固定用のシリンダ装置Ａ３で台座４０の固定部材４６を回動させてチャンバー６０を台座４０に固定する。
【０１２５】
この固定により、チャンバー６０と台座４０とでリキッドタンク１０を押圧挟持して密封し、台座４０の第１密閉ピン４１でリキッドタンク１０の冷媒流入孔１１を密閉すると共に、台座４０の第２密閉ピン４２でリキッドタンク１０の冷媒流出孔１２を密閉し、第１密閉ピン４１の導入孔４１ｃを介してリキッドタンク１０内を台座４０のタンク用ポート４４に連通させる。
【０１２６】
この後、ターンテーブル３０の第３ステージＳ３では、第１ステーションＳＴ１の第１接続ポートＰ１をチャンバー６０のチャンバー用ポート６４に接続し、第１ステーションＳＴ１の第２接続ポートＰ２を台座４０のチャンバー用ポート４５に接続して、チャンバー６０のチャンバー用ポート４５からチャンバー６０内に清浄ガス供給装置４からの窒素ガスを流入させると共に、この流入した窒素ガスを台座４０のチャンバー用ポート４５から流出させ、所定時間経過後に第１及び第２の両接続ポートＰ１，Ｐ２とチャンバー用ポート６４，４５との接続を解除して、チャンバー６０内の雰囲気を窒素ガスで置換する。
【０１２７】
ターンテーブル３０の第４ステージＳ４では、第２ステーションＳＴ２の接続ポートＰ３を台座４０のタンク用ポート４４に接続して、真空ポンプ５でリキッドタンク１０内を真空引きし、リキッドタンク１０内の真空度をピラニー真空計９０で検出する。
【０１２８】
そして、所定時間内にリキッドタンク１０が３トール以下の真空度に到達しなかった場合には、以下に説明する第５，６，７，１０及び１１の各ステージＳ５，Ｓ６，Ｓ７，Ｓ１０，Ｓ１１での検査工程を全て省略し、第１２ステージＳ１２において払出し装置７０によりリキッドタンク１０を不良品として搬出する。
【０１２９】
ターンテーブル３０の第５ステージＳ５では、第３ステーションＳＴ３の接続ポートＰ４を台座４０のタンク用ポート４４に接続して、検査ガス供給装置６から供給される検査ガスと窒素ガスとの混合ガスをリキッドタンク１０内に封入する。なお、この混合ガスの圧力はゲージ圧で約１７気圧に設定されている。
【０１３０】
ターンテーブル３０の第６ステージＳ６では、第４ステーションＳＴ４の接続ポートＰ５を台座４０のチャンバー用ポート４５に接続し、チャンバー６０内の検査ガス（フッ素ガス）濃度を第１検出装置８で検出して、リキッドタンク１０の気密性能の粗検査を行う。
【０１３１】
第１検出装置８での検出結果が所定値以上である場合には、第７ステージＳ７において第５ステーションＳＴ５の接続ポートＰ６を台座４０のタンク用ポート４４に接続し、検査ガス回収装置７によってリキッドタンク１０内の混合ガスを回収する。そして、以下に説明する第１０及び１１の両ステージＳ１０，Ｓ１１での検査工程を省略し、第１２ステージＳ１２において払出し装置７０によりリキッドタンク１０を不良品として搬出する。
【０１３２】
第１検出装置８での検出結果が所定値以下である場合には、第７ステージＳ７では何も行わず、第７ステージＳ７は、続く第８及び第９の両ステージＳ８，Ｓ９と共に、リキッドタンク１０内からチャンバー６０内への検査ガスの所定リーク時間を確保するために使用される。
【０１３３】
ターンテーブル３０の第１０ステージＳ１０では、第６ステーションＳＴ６の接続ポートＰ７を台座４０のチャンバー用ポート４５に接続し、チャンバー６０内の検査ガス（フッ素ガス）濃度を第２検出装置９で検出して、リキッドタンク１０の気密性能の本検査を行う。
【０１３４】
第２検出装置９での検出結果が所定値以上である場合には、第１２ステージＳ１２において払出し装置７０によりリキッドタンク１０を不良品として搬出し、第２検出装置９での検出結果が所定値以下である場合には、第１２ステージにおいて払出し装置７０によりリキッドタンク１０を良品として搬出する。
【０１３５】
ターンテーブル３０の第１１ステージＳ１１では、第７ステーションＳＴ７の接続ポートＰ８を台座４０のタンク用ポート４４に接続し、検査ガス回収装置７によってリキッドタンク１０内の混合ガスを回収する。
【０１３６】
ターンテーブル３０の第１２ステージＳ１２では、第８ステーションＳＴ８の押圧装置８０でチャンバー６０を台座４０に押し付け、第８ステーションＳＴ８の固定解除用のシリンダ装置Ａ４で台座４０の固定部材４６を回動させて台座４０へのチャンバー６０の固定を解除し、ターンテーブル３０の下方に配設した第２シリンダ装置Ａ２でチャンバー６０を台座４０の上方へ持ち上げて、摺動装置５０の保持部５４でチャンバー６０を保持する。
【０１３７】
この後、第１２ステージＳ１２では、第８ステーションＳＴ８の第１接続ポートＰ９をチャンバー６０のチャンバー用ポート６４に接続し、このチャンバー用ポート６４からチャンバー６０内に清浄ガス供給装置４からの窒素ガスを流入させて、チャンバー６０内及びチャンバー６０のチャンバー用ポート６４内を窒素ガスで清掃すると共に、第８ステーションＳＴ８の第２接続ポートＰ１０を台座４０のチャンバー用ポート４５に接続し、このチャンバー用ポート４５内に清浄ガス供給装置４からの窒素ガスを流入させて、台座４０のチャンバー用ポート４５内も窒素ガスで清掃する。
【０１３８】
また、第１２ステージＳ１２では、窒素ガスによるチャンバー６０内及び両チャンバー用ポート４５，６４内の清掃と平行して、払出し装置７０によるリキッドタンク１０の台座４０からの取り出し，リキッドタンク４０の良品と不良品との分類及び搬出も行う。
【０１３９】
以上説明したリキッドタンク１０の気密性能検査方法及びその装置１では、チャンバー６０内及びチャンバー用ポート４５，６４内に残留あるいは付着した検査ガスを窒素ガスで清掃して取り除き、しかも、窒素ガス雰囲気のチャンバー内に密封したリキッドタンク１０から検査ガスがリークした場合のチャンバー６０内の検査ガス濃度を、清浄ガスで洗浄した検出器で検出することができるので、リキッドタンク１０の気密性能を正確に検査することができる。
【０１４０】
また、リキッドタンク１０の気密性能検査方法及びその装置１では、リキッドタンク１０を把持した人の手をチャンバー６０内に出し入れする必要が無いので、チャンバー６０の容積を従来のチャンバーより小さくすることができ、その結果、従来技術と比べて、適正な検査に必要なチャンバー６０内でのリキッドタンク１０の放置時間を短くして検査時間を短縮することができると共に、チャンバー６０の占有空間を小さくすることもできる。
【０１４１】
また、リキッドタンク１０の気密性能検査方法及びその装置１では、検査用治具である図１５図示のカプラ２２を使用する必要がないので、リキッドタンク１０のネジ孔１３を利用してリキッドタンク１０にカプラ２２を着脱する必要も無く、従って、この着脱の際にリキッドタンク１０のネジ孔１３のネジを潰す恐れを解消することもできる。
【０１４２】
また、リキッドタンク１０の気密性能検査方法及びその装置１では、カプラ２２を使用する必要がないので、リキッドタンク１０へのカプラー２２の着脱に掛かる人件費を無くすことができると共に、リキッドタンク１０から取り外したカプラー２２をリキッドタンク１０への取付場所へ戻すための人件費及びコンベア等の付帯設備を無くすことができ、その結果、従来技術と比べてリキッドタンク１０の検査費用を削減することもできる。
【０１４３】
また、リキッドタンク１０の気密性能検査方法及びその装置１では、リキッドタンク１０内に検査ガスを封入する前にリキッドタンク１０の真空引きを行ってリキッドタンク１０の真空度を検出するので、リキッドタンク１０のクラック等の欠陥をリキッドタンク１０内への検査ガス封入前に発見して、リキッドタンク１０内からチャンバー６０内への検査ガスの大量の漏れによるチャンバー６０内及びチャンバー用ポート４５，６４内の大規模な検査ガス汚染を未然に防止し、その大規模な検査ガス汚染を除去する除去作業を無くして、検査効率を向上させることもできる。
【０１４４】
また、リキッドタンク１０の気密性能検査方法及びその装置１では、真空状態のリキッドタンク１０内に検査ガスを封入するので、リキッドタンク１０内の検査ガス濃度を検査ガス供給装置６から供給される検査ガス濃度と略同一にすることができ、従って、リキッドタンク１０を密封したチャンバー６０内の検査ガス濃度を検出することにより、リキッドタンク１０からの検査ガスのリーク速度（単位はｇ／年）の算出精度が向上し、リキッドタンク１０の良否をより正確に判断することもできる。
【０１４５】
ところで、リキッドタンク１０の気密性能検査方法及びその装置１では、リキッドタンク１０を密封したチャンバー６０内の検査ガス濃度を、第１０ステージＳ１０において第２検出装置９で検出する前に第６ステージＳ６において第１検出装置８で検出し、第６ステージＳ６での検出結果が所定値以上の場合には第７ステージＳ７においてリキッドタンク１０内の検査ガスを回収する。
【０１４６】
このため、検査ガスのリークが大きいリキッドタンク１０を早めに検出して、リキッドタンク１０内からチャンバー６０内への検査ガスのリーク量の増大を阻止することができ、従って、チャンバー６０内及びチャンバー用ポート４５，６４内の窒素ガスによる清掃を第１２ステージＳ１２での清掃のみで完了させることができ、第１２ステージＳ１２での清掃以上の清掃作業を無くして検査効率を向上させることができる。
【０１４７】
加えて、リキッドタンク１０の気密性能検査装置１では、昇降装置２でチャンバー６０を台座４０上に降下させ、固定装置３でチャンバー６０を台座４０に固定することにより、チャンバー６０と台座４０とでリキッドタンク１０を押圧挟持して密封すると共に、台座４０に設けた第１及び第２の両密閉ピン４１，４２でリキッドタンク１０の冷媒流入孔１１と冷媒流出孔１２とを密閉して、第１密閉ピン４１に設けた導入孔４１ｃを介してリキッドタンク１０内を台座４０のタンク用ポート４４に連通させることができるので、チャンバー６０と台座４０によるリキッドタンク１０のセットが容易である。
【０１４８】
また、リキッドタンク１０の気密性能検査装置１では、固定装置３でチャンバー６０の台座４０への固定を解除し、昇降装置２でチャンバー６０を台座４０の上方の上昇位置に保持することにより、チャンバー６０と台座４０によるリキッドタンク１０の密封を解除してチャンバー６０内からリキッドタンク１０を取り出すことができるので、チャンバー６０内からのリキッドタンク１０の取り出しも容易である。
【０１４９】
また、リキッドタンク１０の気密性能検査装置１では、第１２ステージＳ１２において払出し装置７０により、リキッドタンク１０の台座４０からの取り出しと、リキッドタンク１０の良品・不良品の分類とを自動的に行うことができるので、前記取り出し及び分類を正確かつ確実に行うことができ、リキッドタンク１０の製造ライン等で大量のリキッドタンク１０に対して気密性能検査を行う場合には、その気密性能検査に掛かる人件費を削減して、検査費用を削減することもできる。
【０１５０】
更に、リキッドタンク１０の気密性能検査装置１では、第２密閉ピン４２と支持ピン４３との台座４０への固定位置を交換することにより、冷媒流入孔１１と冷媒流出孔１２の配置が異なるリキッドタンク１０に対応することができるので、冷媒流入孔１１と冷媒流出孔１２の配置が異なるリキッドタンク１０の気密性能検査を行うこともできる。
【０１５１】
なお、以上説明したリキッドタンク１０の気密性能検査方法及びその装置１は、車両用空調装置で使用されるリキッドタンク１０用のものであるが、本発明に係るリキッドタンクの気密性能検査方法及びその装置は、車両用空調装置で使用されるリキッドタンク１０用のものに限定されず、一般の空調装置で使用されるリキッドタンク用のものであっても良いのは勿論のことである。
【図面の簡単な説明】
【図１】請求項４〜８記載の各発明を併せて実施した実施の形態の一例を示す平面図である。
【図２】図１に示すもののＸ−Ｘ線断面を示す説明図である。
【図３】図１に示すものの昇降装置を示す斜視図である。
【図４】図３に示すもののチャンバーを固定した状態を示す斜視図である。
【図５】図１に示すものの第１２ステージでの昇降装置の作用を示す説明図であって、（ａ）はロッドの上昇途中の状態を示し、（ｂ）はロッドの下降途中の状態を示している。
【図６】図１に示すものの第３ステージでの昇降装置の作用を示す説明図であって、（ａ）はロッドの上昇途中の状態を示し、（ｂ）はロッドの下降直後の状態を示している。
【図７】図１に示すもののチャンバーを示す断面図である。
【図８】図１に示すものの台座を示す斜視図である。
【図９】図１に示すものの第３ステージでのチャンバーの固定を示す説明図である。
【図１０】図１に示すものの第１２ステージでのチャンバーの固定解除を示す説明図である。
【図１１】図１に示すものの払出し装置を示す正面図である。
【図１２】図１に示すものの配管を示す配管図である。
【図１３】リキッドタンクを示す正面図である。
【図１４】図１３に示すものの底面図である
【図１５】図１３に示すものに検査用治具を取り付けた状態を示す正面図である
【符号の説明】
１  気密性能検査装置
２  昇降装置
３  固定装置（固定手段）
４  清浄ガス供給装置
５  真空ポンプ
６  検査ガス供給装置
７  回収装置
８  第１検出装置（検出装置）
９  第２検出装置（検出装置）
１０  リキッドタンク
１１  リキッドタンクの冷媒流入孔
１２  リキッドタンクの冷媒流出孔
４０  台座
４１  第１密閉ピン（密閉部）
４２  第２密閉ピン（密閉部）
４１ｃ  導入孔
４４ａ，４５ａ，６４ａ  開閉弁（開閉手段）
４４  タンク用ポート
４５，６４  チャンバー用ポート
６０  チャンバー
７０  払出し装置
９０  ピラニー真空計（真空計）
【図１】
0003827856.tif 000002
【図２】
0003827856.tif 000003
【図３】
0003827856.tif 000004
【図４】
0003827856.tif 000005
【図５】
0003827856.tif 000006
【図６】
0003827856.tif 000007
【図７】
0003827856.tif 000008
【図８】
0003827856.tif 000009
【図９】
0003827856.tif 000010
【図１０】
0003827856.tif 000011
【図１１】
0003827856.tif 000012
【図１２】
0003827856.tif 000013
【図１３】
0003827856.tif 000014
【図１４】
0003827856.tif 000015
【図１５】
0003827856.tif 000016