(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング処理装置の下流側に配置され、該エッチング処理装置で形成されたエッチング製品シートの支持枠からエッチング製品を分離回収する多面付けエッチング製品の分離装置であって、
前記エッチング製品シートを上面に載置するシート搭載ステーションと前記エッチング製品シートから前記エッチング製品を分離するシート分離ステーションとの間に往復動自在に配設されるシート送り込み台車と、
前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの支持枠の両側部を保持する一対のシート把持手段と、
前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの支持枠の両側部に、該支持枠の長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与して前記エッチング製品を前記両側部から分離する第１の折曲力付与手段と、
分離された前記エッチング製品を排出するエッチング製品排出手段とを具備し、
しかも、前記エッチング製品が分離された支持枠を排出する支持枠排出手段を具備することを特徴とする多面付けエッチング製品の分離装置。
【請求項２】
エッチング処理装置の下流側に配置され、該エッチング処理装置で形成され中央部に中央縦リブを有するエッチング製品シートの支持枠からエッチング製品を分離回収する多面付けエッチング製品の分離装置であって、
前記エッチング製品シートを上面に載置するシート搭載ステーションと前記エッチング製品シートから前記エッチング製品を分離するシート分離ステーションとの間に往復動自在に配設されるシート送り込み台車と、
前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの支持枠の両側部を保持する一対のシート把持手段と、
前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの支持枠の両側部に、該支持枠の長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与して前記エッチング製品を前記両側部から分離する第１の折曲力付与手段と、
前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの前記支持枠の前記中央縦リブに長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与して前記エッチング製品を前記中央縦リブから分離する第２の折曲力付与手段と、
分離された前記エッチング製品を排出するエッチング製品排出手段を具備することを特徴とする多面付けエッチング製品の分離装置。
【請求項３】
前記エッチング製品が分離された支持枠を排出する支持枠排出手段を具備することを特徴とする請求項２記載の多面付けエッチング製品の分離装置。
【請求項４】
前記エッチング製品排出手段は、前記エッチング製品を整列状態に取り出す整列取り出し手段を具備することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の多面付けエッチング製品の分離装置。
【請求項５】
前記エッチング製品排出手段は、前記エッチング製品の中から不良品を選別する不良品選別手段を具備することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の多面付けエッチング製品の分離装置。
【請求項６】
前記エッチング製品が分離された支持枠を排出する支持枠排出手段を具備し、前記エッチング製品排出手段は、前記エッチング製品を整列状態に取り出す整列取り出し手段、及び前記エッチング製品の中から不良品を選別する不良品選別手段を具備し、前記シート送り込み台車と、前記シート把持手段と、前記第１の折曲力付与手段と、前記第２の折曲力付与手段と、前記支持枠排出手段と、前記整列取り出し手段と、前記不良品選別手段を制御する制御手段を具備することを特徴とする請求項２記載の多面付けエッチング製品の分離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エッチング処理装置の下流側に配置され、エッチング処理装置で形成されたエッチング製品シートの支持枠からエッチング製品を分離回収する多面付けエッチング製品の分離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、エッチング製品の一例である半導体装置用リードフレームの製造方法は、例えば、Ｎｉ系合金、又はＣｕ系合金等の材料を用い、通常良く知られるフォト・エッチング法で形成された多数の短冊状のリードフレームを配列した多面付けエッチング製品シートからリードフレームを分離する工程を含む。
多面付けエッチング製品シート１２０の一形態として、図１９に示すように、支持枠１２１の中にリードフレーム１２２をパターン化して形成し、リードフレーム１２２と支持枠１２１とはハーフエッチングされた肉薄の連結タブ１２３によって一体化したものがある。
【０００３】
このような多面付けエッチング製品シート１２０からリードフレーム１２２を分離する作業は、人手によって支持枠１２１を折り曲げる作業を数回繰り返し、ハーフエッチングした連結タブ１２３を疲労破壊して、リードフレーム１２２を支持枠１２１から抜き取る要領で行われていた。
しかし、人手による作業では、多数ピン等の複雑なパターンのリードフレーム１２２の場合には、取り扱いに細心の注意を払いながら作業しないと、リード曲がりの変形や破損を招くほか、汚れの付着も避けられない。このように、人手による作業ではリードフレームの品質を低下させる欠点がある。
【０００４】
また、金型等を用いる場合では、多面付けエッチング製品シート１２０の形状、サイズ及び品種等によって切断刃物を交換する必要がある。このため、刃物交換によるライン停止の影響が大きくなるほか、刃物を製品仕様に応じて多数準備する必要があり、コスト面でも不利である。
【０００５】
そこで、本出願者は、先に、特開平２−１９７５８４号公報において、エッチング製品シート１２０のほぼ全体にテンションを加えると同時にシート面を波打ちさせる方向に振動を加え、その振動により支持枠１２１と製品との間の連結タブ１２３を疲労破壊させてリードフレーム１２２を支持枠１２１から分離する方法及び装置を開示した。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記したエッチング製品の分離方法及び装置は、未だ、以下の解決すべき課題を有していた。
即ち、リードフレーム１２２を分離する際、多面付けエッチング製品シート１２３の全体に振動を加えることになるため、連結タブ１２３のみならず、リードフレーム１２２も全体にわたって振動を受けることになる。ところで、近年の半導体装置の高集積化に伴う多ピン化傾向により、アウターリードやインナーリードの幅が狭くなる傾向にあるため（例えば、０．１ｍｍ以下）、多面付けエッチング製品シート１２３の全体に振動を加えると、アウターリードやインナーリードが疲労破壊によって折れるおそれがある。そこで、連結タブ１２３の幅をアウターリードやインナーリードの幅よりも狭くすることが考えられるが、この場合、連結タブ１２３が十分な強度を有しないので、エッチング工程において、液圧によってリードフレーム１２２が脱落するおそれがある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、支持枠の両側部や中央縦リブに折り曲げ力を繰り返し付与することにより、実質的に連結タブのみに直接的に折り曲げ力を加えることにより、エッチング製品におどりを生じることなく、エッチング製品を確実にかつ自動的に分離することができる多面付けエッチング製品の分離装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的に沿う請求項１記載の多面付けエッチング製品の分離装置は、エッチング処理装置の下流側に配置され、該エッチング処理装置で形成されたエッチング製品シートの支持枠からエッチング製品を分離回収する多面付けエッチング製品の分離装置であって、前記エッチング製品シートを上面に載置するシート搭載ステーションと前記エッチング製品シートから前記エッチング製品を分離するシート分離ステーションとの間に往復動自在に配設されるシート送り込み台車と、前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの支持枠の両側部を保持する一対のシート把持手段と、前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの支持枠の両側部に、該支持枠の長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与して前記エッチング製品を前記両側部から分離する第１の折曲力付与手段と、分離された前記エッチング製品を排出するエッチング製品排出手段とを具備し、前記エッチング製品が分離された支持枠を排出する支持枠排出手段を具備することを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の多面付けエッチング製品の分離装置は、エッチング処理装置の下流側に配置され、該エッチング処理装置で形成され中央部に中央縦リブを有するエッチング製品シートの支持枠からエッチング製品を分離回収する多面付けエッチング製品の分離装置であって、前記エッチング製品シートを上面に載置するシート搭載ステーションと前記エッチング製品シートから前記エッチング製品を分離するシート分離ステーションとの間に往復動自在に配設されるシート送り込み台車と、前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの支持枠の両側部を保持する一対のシート把持手段と、前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの支持枠の両側部に、該支持枠の長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与して前記エッチング製品を前記両側部から分離する第１の折曲力付与手段と、前記シート分離ステーションにおいて、前記エッチング製品シートの前記支持枠の前記中央縦リブに長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与して前記エッチング製品を前記中央縦リブから分離する第２の折曲力付与手段と、分離された前記エッチング製品を排出するエッチング製品排出手段を具備することを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の多面付けエッチング製品の分離装置は、請求項２記載の多面付けエッチング製品の分離装置において、前記エッチング製品が分離された支持枠を排出する支持枠排出手段を具備することを特徴とする。
請求項４記載の多面付けエッチング製品の分離装置は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の多面付けエッチング製品の分離装置において、前記エッチング製品排出手段は、前記エッチング製品を整列状態に取り出す整列取り出し手段を具備する。
【００１１】
請求項５記載の多面付けエッチング製品の分離装置は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の多面付けエッチング製品の分離装置において、前記エッチング製品排出手段は、前記エッチング製品の中から不良品を選別する不良品選別手段を具備する。
請求項６記載の多面付けエッチング製品の分離装置は、請求項２記載の多面付けエッチング製品の分離装置において、前記エッチング製品が分離された支持枠を排出する支持枠排出手段を具備し、前記エッチング製品排出手段は、前記エッチング製品を整列状態に取り出す整列取り出し手段、及び前記エッチング製品の中から不良品を選別する不良品選別手段を具備し、前記シート送り込み台車と、前記シート把持手段と、前記第１の折曲力付与手段と、前記第２の折曲力付与手段と、前記支持枠排出手段と、前記整列取り出し手段と、前記不良品選別手段を制御する制御手段を具備する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
まず、本発明の一実施の形態に係る多面付けエッチング製品の分離装置Ａによってエッチング製品の一例であるリードフレーム１２が分離されるエッチング製品シート１０の構成について説明すると、図３に模式的に示すように、エッチング製品シート１０は、支持枠１５の内部を中央縦リブ２１で区画して左右対称の縦長空間を形成し、その中に複数のリードフレーム１２を配設すると共にハーフエッチングされた肉薄の連結タブ２６、２７によって支持枠１５の両側部１８、１９と中央縦リブ２１に一体的に連結することによって構成されている。
【００１３】
また、図１及び図２に示すように、本実施の形態に係る多面付けエッチング製品の分離装置Ａはエッチング処理装置の下流側に配置され、実質的に、エッチング製品シート１０を上面に載置するシート搭載ステーション１１とエッチング製品シート１０からリードフレーム１２を分離するシート分離ステーション１３との間に往復動自在に配設されるシート送り込み台車１４と、シート分離ステーション１３において、エッチング製品シート１０の両側方に沿って配置されると共に、エッチング製品シート１０の支持枠１５の両側部１８、１９を保持する一対のシート把持手段１６と、シート分離ステーション１３において、エッチング製品シート１０の支持枠１５の両側部１８、１９に、支持枠１５の長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与する第１の折曲力付与手段２０と、シート分離ステーション１３において、支持枠１５の中央縦リブ２１に長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与する第２の折曲力付与手段２２と、リードフレーム１２が分離された支持枠１５を排出する支持枠排出手段２３と、リードフレーム１２を排出するエッチング製品排出手段２４とを具備する。
【００１４】
次に、図１、図２及び図４〜図１７を参照して、上記した多面付けエッチング製品の分離装置Ａの各部の構成について具体的に説明する。
図１及び図２に示すように、シート搭載ステーション１１とシート分離ステーション１３は、共通の縦長の矩形フレーム２８上に形成されており、矩形フレーム２８の上面には、長手方向の両端がそれぞれ軸受２９、３０によって回転自在に枢支されるボールねじ３１が架設されており、ボールねじ３１は走行モータ３２によって回転駆動される。
【００１５】
図１、図４及び図５に示すように、シート搭載ステーション１１とシート分離ステーション１３との間で往復動自在なシート送り込み台車１４は、その下部に矩形枠からなる台車本体３３を具備しており、台車本体３３の下面には長手方向に間隔を開けて一対の筒状ナット３４、３５が取付けられ、これらの筒状ナット３４、３５はボールねじ３１に螺合されている。上記した構成によって、走行モータ３２を駆動してボールねじ３１を正転又は逆転することによって、シート送り込み台車１４をシート搭載ステーション１１とシート分離ステーション１３との間で円滑に往復動させることができる。また、図５に示すように、台車本体３３の下面には、筒状ナット３４、３５の左右側に並行して一対のガイド筒３３ａ、３３ｂが取付けられてり、ガイド筒３３ａ、３３ｂは、矩形フレーム２８の上面に、ボールねじ３１の左右側に並行して取付けられた一対のガイド軸３１ａ、３１ｂに摺動自在に取付けられている。
【００１６】
また、図４及び図５に示すように、シート送り込み台車１４の上部には、上面にエッチング製品シート１０を載置できると共に、分離後のリードフレーム１２をシート分離ステーション１３からエッチング製品排出手段２４に移載するためのシート搬送コンベア３６が設けられている。シート搬送コンベア３６は以下の構成を有する。即ち、台車本体３３の上部には、昇降シリンダ装置３６ａ、３６ｂを介して昇降台３７が取付けられており、昇降台３７の長手方向両端には、軸受台３７ａ、３７ｂが立設されている。これらの軸受台３７ａ、３７ｂの上端に取付けた軸受には枢軸３８、３９が回転自在に枢支されている。枢軸３８、３９には、軸線方向に間隔を開けて複数の回転プーリ４０、４１が回転自在に架設されている。長手方向に対応する各対の回転プーリ４０、４１間には、それぞれ細紐状の無端ベルト４２が巻回されている。さらに、シート分離ステーション１３側の枢軸３９に動力伝達プーリ３９ａが取付けられ、この動力伝達プーリ３９ａと台車本体３３上に搭載したシート移載モータ４４の出力軸に取付けたモータ側プーリ４４ａは連動連結されている。
【００１７】
上記した構成によって、シート搭載ステーション１１において、停止状態のシート搬送コンベア３６上にエッチング製品シート１０を載置することができると共に、シート送り込み台車１４と共にエッチング製品シート１０をシート分離ステーション１３に送り込むことができる。また、後述するように、分離後のリードフレーム１２をシート分離ステーション１３からエッチング製品排出手段２４に移載することができる。
また、本実施の形態では、図５及び図６に示すように、シート送り込み台車１４において、複数の回転プーリ４０（回転プーリ４１も同じ。）の数は、エッチング製品シート１０の幅に応じて変えることができ、最小幅の場合で８個、最大幅で１４個取付けることができる。
【００１８】
次に、図２、図４、図５、図７〜図１１を参照して、シート分離ステーション１３において、エッチング製品シート１０の両側方に沿って配置されると共に、エッチング製品シート１０の支持枠１５の両側部１８、１９を保持する一対のシート把持手段１６の構成について説明する。
図５に示すように、シート分離ステーション１３において、縦長の矩形フレーム２８の上面には、長手方向中心線４６に向けて同期して接離自在にＬ字状の左、右側板４７、４８が配置されている。図２及び図４に示すように、左、右側板４７、４８の水平基部４７ａ、４８ａには左、右ラック板５０、５１が取付けられており、左、右ラック板５０、５１の内面に形成されている左、右ラックは、それぞれ、ピニオン５２に噛合している。従って、左、右ラック板５０、５１の一方を押したり、引いたりすることにより、エッチング製品シート１０の幅に応じて、左、右ラック板５０、５１を同期して移動し、左、右側板４７、４８間の幅を迅速かつ正確に調整することができる。また、その後、図示しないクランプ装置を用いて、調整後位置に左、右側板４７、４８を固定することができる。
【００１９】
図５、図７及び図８に示すように、左、右側板４７、４８の垂直部４７ｂ、４８ｂの頂部には、それぞれ、一対の折り曲げ用ローラ４７ｃ、４７ｄ、４８ｃ、４８ｄが回転自在に取付けられており、折り曲げ用ローラ４７ｃ、４７ｄ、４８ｃ、４８ｄの上面には両端部を半円形断面とした揺動クランププレート５３、５４が載置されている。そして、揺動クランププレート５３、５４の上面には、揺動クランププレート５３、５４と協働してエッチング製品シート１０の支持枠１５の両側部１８、１９を着脱自在にクランプすることができる上部クランププレート５５、５６が配置されている。
【００２０】
図７〜図９及び図１１に示すように、揺動クランププレート５３、５４と左、右側板４７、４８の垂直部４７ｂ、４８ｂの下部との間には、戻しスプリング５３ｂ、５４ｂが介設されている。また、上部クランププレート５５、５６上には、上部クランププレート５５、５６を、戻しスプリング５５ａ、５６ａの弾性力に抗して揺動クランププレート５３、５４に接近させ、エッチング製品シート１０の支持枠１５の両端部１８、１９をクランプするためのクランプ用シリンダ５３ａ、５４ａが取付けられている。
図５及び図９に示すように、揺動クランププレート５３、５４はリンク機構５８、５９によって上部クランププレート５５、５６と一体的に揺動し、クランプしているエッチング製品シート１０の支持枠１５の両側部１８、１９を介して連結タブ２６に直接折り曲げ力を繰り返し付与することができる。なお、図７において、５３ｃ、５４ｃはクランプガイドである。
【００２１】
リンク機構５８、５９は、図５、図７及び図１０に示すように、左右対称である点を除いて同一の構成を有しており、側部折曲用モータ６０と、基部が側部折曲用モータ６０の出力軸６０ａに固着された回転リンク６１と、基部が揺動クランププレート５３、５４の外側面に突設された揺動ブラケット６２と、回転リンク６１の先部と揺動ブラケット６２の先部を連結する連結リンク６３とから構成されている。
【００２２】
次に、図１、図２、図４、図７、図１２及び図１３を参照して、シート分離ステーション１３において、エッチング製品シート１０の支持枠１５の中央縦リブ２１に長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与する第２の折曲力付与手段２２の構成について説明する。
図２及び図５に示すように、シート分離ステーション１３の左側方であって、シート分離ステーション１３の両長手方向端部と対応する個所に、それぞれ軸受６５、６６が取付けられており、軸受６５、６６には枢軸６７、６８が回転自在に枢支されている。そして、枢軸６７、６８には、一対の垂直枠６９、７０と水平可動クランプ枠７１とからなる門型の中央押さえアーム７２の両端が一体的に固着されている。また、一方の枢軸６８には旋回モータ７３が連動連結されている。
そして、旋回モータ７３を駆動して中央押さえアーム７２が図２に示す位置から上方向に１８０°旋回すると、水平可動クランプ枠７１は、図５及び図７に示すように、シート分離ステーション１３の中央部に位置し、シート送り込み台車１４の一部をなす揺動クランプ枠７４と一体となって、エッチング製品シート１０の中央縦リブ２１をクランプすることができる。
【００２３】
図２、図４、図７、図９、図１１及び図１２に示すように、揺動クランプ枠７４の両端は、それぞれ、矩形フレーム２８の中央部に長手方向に間隔を開けて立設した垂直柱７６ａ、７６ｂに回転自在に枢支されている枢軸２８ａ、２８ｂに連結されている。そして、図４、図７及び図１３に示すように、一方の枢軸２８ｂには同軸的に先細のテーパを有するプラグ７５が固着されている。
一方、図７、図９及び図１２に示すように、一対の垂直枠６９、７０の先部には、それぞれ、一対の折り曲げ用ローラ６９ａ、６９ｂ、７０ａ、７０ｂが回転自在に取付けたローラボックス６９ｃ、７０ｃが連設されており、折り曲げ用ローラ６９ａ、６９ｂ、７０ａ、７０ｂの下面には両端部を半円形断面とした水平可動クランプ枠７１の両端部が揺動自在に当接されている。なお、図７〜図９及び図１１に示すように、ローラボックス６９ｃ、７０ｃには、水平可動クランプ枠７１を弾性的に折り曲げ用ローラ６９ａ、６９ｂ、７０ａ、７０ｂに当接させるための戻しスプリング６９ｄ、７０ｄが取付けられている。
【００２４】
また、図１３に示すように、矩形フレーム２８の前部には垂直フレーム７６ｃが立設されており、垂直フレーム７６ｃの頂部には、軸受７７を介して揺動軸７８が回転自在に枢支されている。そして、揺動軸７８の外周面には被駆動側リンク７９が固着されており、被駆動側リンク７９は、中間リンクを介して中央縦リブ折曲用モータ８０の出力軸８０ａに連動連結されている。また、揺動軸７８の後部には、シート送り込み台車１４がシート分離ステーション１３に移送されてきた際に嵌入固定するプラグ嵌入孔８０ｂが形成されている。
【００２５】
かかる構成によって、上記した水平可動クランプ枠７１と揺動クランプ枠７４によって、エッチング製品シート１０の中央縦リブ２１をクランプした後、中央縦リブ折曲用モータ８０を回転することによって、リンク機構を介して揺動軸７８を揺動することができる。従って、揺動軸７８と一体をなすプラグ７５及び揺動クランプ枠７４も揺動することができ、この揺動によって、エッチング製品シート１０の中央縦リブ２１のみに繰り返して折り曲げ力を付与して、疲労破壊を起こさせ、連結タブ２７を切断することができる。
【００２６】
次に、図１、図２、図１４及び図１５を参照して、リードフレーム１２が分離された支持枠１５を排出する支持枠排出手段２３の構成について説明する。
図示するように、垂直枠６９、７０間で水平可動クランプ枠７１より所定距離内側になす位置に係合爪取付プレート２３ａが架設されている。係合爪取付プレート２３ａには長さ方向に間隔を開けて係合爪回転モータ８１、８２が取付けられている。係合爪回転モータ８１、８２の出力軸８３、８４は水平可動クランプ枠７１に向けて伸延しており、出力軸８３、８４には、それぞれ、水平可動クランプ枠７１を跨いだ状態で、一対のＬ字状係合爪（全体で４個）８５〜８８が左右対称状態で固着されている。
【００２７】
上記した構成によって、係合爪回転モータ８１、８２を駆動することによってＬ字状係合爪８５〜８８は所定角度首振りさせることによって、リードフレーム１２が分離された後のエッチング製品シート１０の補強横リブ１０ａに係合させることができる。その後、旋回モータ７３を駆動して中央押さえアーム７２をエッチング製品シートクランプ位置から図２に示す位置まで１８０°旋回することによって、容易にリードフレーム１２が分離された支持枠１５をシュート等に排出することができる。
【００２８】
次に、図１、図２、図１６及び図１７を参照して、リードフレーム１２を整列状態に取り出すエッチング製品排出手段２４について説明する。
図示するように、エッチング製品排出手段２４は、本実施の形態では、後端がシート送り込み台車１４のシート搬送コンベア３６の上面と略同一レベルに位置すると共に、前端が前方に向けて下傾し、シート搬送コンベア３６から移載されてくるエッチング製品シート１０を受載する傾斜コンベア８９と、傾斜コンベア８９の前端に連設され、分離したリードフレーム１２を整列状態に複数の昇降自在な整列台９０、９１に落下する整列取り出し手段９５とから構成される。
【００２９】
上記した構成において、図６、図１６及び図１７に示すように、傾斜コンベア８９の本体フレーム８９ａは、傾斜コンベア支持架台９６上に立設した垂直柱９６ａ、９６ｂに枢軸９７、９８の頂部に支持されている。本体フレーム８９ａの両端に回転自在に取付けた枢軸９７、９８には、それぞれ、軸線方向に間隔を開けて複数の回転プーリ９９、１００が取付けられている。また、図２に示すように、長手方向に対応する各対の回転プーリ９９、１００間にそれぞれ細紐状の無端ベルト１０１が巻回されている。さらに、図１６に示すように、枢軸９８に別途取付けたプーリは移載用モータ１０４の出力軸に取付けたモータ側プーリに連動連結されている。
なお、図１及び図１６に示すように、傾斜コンベア８９の先部の上方には、通過するエッチング製品１２が良品か不良品かを検出する検出センサ８９ｂが取付けられている。
【００３０】
また、図１６及び図１７に示すように、整列取り出し手段９５は、傾斜コンベア８９の前方延長線上に傾斜コンベア８９と同一の勾配で摺動ガイド軸１０６を取付け、摺動ガイド軸１０６に長手方向に摺動自在に移動機枠１０７を取付け、移動機枠１０７に傾斜コンベア８９に向けて進退する複数のフォーク１０８を幅方向に平行間隔を開けてかつそれぞれ軸線回りに回転自在に取付けることによって構成している。
【００３１】
上記した構成において、摺動ガイド軸１０６の前端部にはフォーク進退用モータ１０９が取付けられており、フォーク進退用モータ１０９の出力軸には、第１及び第２のリンク１１０、１１１から構成されるリンク機構の一端が枢支連結されると共に、他端は移動機枠１０７に枢支連結されている。かかる構成によって、フォーク進退モータ１０９の駆動によって、移動機枠１０７及びこれと一体をなすフォーク１０８を周期的に進退することができ、傾斜コンベア８９からのリードフレーム１２を一個ずつ、間欠的に落下して整列台９０、９１上に積載することができる。
【００３２】
また、移動機枠１０７には、複数のフォーク１０８を軸線周りに回転する不良品選別手段の一例である不良エッチング製品払出し機構１１２が配設されている。即ち、不良エッチング製品払出し機構１１２は、フォーク１０８の基部と直交する方向に回転軸１１３を配設し、フォーク１０８の基部にそれぞれ設けた第１のベベルギヤ１１４を、回転軸１１３に軸線方向に間隔を開けて取付けた複数の第２のベベルギヤ１１５と噛合させ、かつ、回転軸１１３の一端に固着したプーリを移動機枠１０７の上面に取付けた不良品払出用モータ１１６の出力軸に取付けたプーリに動力伝達ベルトによって連動連結することによって構成している。
上記した構成によって、不良品払出用モータ１１６を駆動して全てのフォーク１０８を軸線回りに回転することによって、傾斜コンベア８９から移送されてきた不良品であるリードフレーム１２を横側方に払い出すことができる。
【００３３】
さらに、本実施の形態では、図１に示すように、上記したシート送り込み台車１４と、シート把持手段１６と、第１の折曲力付与手段２０と、第２の折曲力付与手段２２と、支持枠排出手段２３と、整列取り出し手段９５と、不良エッチング製品払出し機構１１２を、制御することができる制御手段の一例である制御装置１２０を具備する。
【００３４】
次に、制御装置１２０を用いて、上記した構成を有する多面付けエッチング製品の分離装置Ａを用いてエッチング製品シート１０からリードフレーム１２を分離する工程について、図１８に示すフローチャートを参照して説明する。
まず、シート搭載ステーション１１において、エッチング製品シート１０をシート搬送コンベア３６の上面に載置する（ステップＳ１）。
運転スイッチをオンして（ステップＳ２）、エッチング製品シート１０を、シート送り込み台車１４と共にシート搭載ステーション１１からシート分離ステーション１３に送り込む（ステップＳ３）。
クランプ用シリンダ５３ａ、５４ａを駆動して、エッチング製品シート１０の支持枠１５の両側部１８、１９をクランプする（ステップＳ４）。
【００３５】
中央押さえアーム７２を旋回して水平可動クランプ枠７１と揺動クランプ枠７４でエッチング製品シート１０の中央縦リブ２１をクランプする（ステップＳ５）。
中央縦リブ折曲用モータ８０を駆動して中央縦リブ２１に折曲力を所定回数（例えば、２０〜４０回）繰り返し付与して連結タブ２７に疲労破壊を起こさせ、リードフレーム１２の一端を支持枠１５から分離する（ステップＳ６）。
側部折曲用モータ６０を駆動して両側部１８、１９に折曲力を所定回数（例えば、２０〜４０回）繰り返し付与して連結タブ２６に疲労破壊を起こさせ、リードフレーム１２の他端を支持枠１５から分離する（ステップＳ７）。
【００３６】
昇降シリンダ装置３６ａ、３６ｂを駆動して、シート搬送コンベア３６を所定距離下降して、シート搬送コンベア３６の上面の高さを傾斜コンベア８９の後端の高さと一致させた後、支持枠１５からリードフレーム１２を完全に分離する（ステップＳ８）。
シート搬送コンベア３６と傾斜コンベア８９を駆動して、リードフレーム１２をシート搬送コンベア３６から傾斜コンベア８９に移載する（ステップＳ９）。
傾斜コンベア８９を、次のリードフレーム１２を検出センサ８９ｂが感知するまで駆動して整列台９０、９１まで移送する（ステップＳ１０）。
リードフレーム１２が良品の場合には、フォーク進退用モータ１０９を駆動してフォーク１０８を間欠的に引いてリードフレーム１２を整列台９０上に落下して整列状態に供給する（ステップＳ１１）。
【００３７】
リードフレーム１２が設定枚数になったら、リードフレーム１２の供給を停止した後、整列台９０を下降する（ステップＳ１２）。
整列台９０を後方に移動して、次の整列台９１を整列位置に移動した後（ステップＳ１３）、上昇する（ステップＳ１４）。
また、上記したステップＳ１０における動作と並行して、回転ソレノイド等からなる係合爪回転モータ８１、８２を駆動してＬ字状係合爪８５〜８８を支持枠１５の補強リブ１０ａに係合・把持する（ステップＳ１５）。
【００３８】
中央押さえアーム７２を旋回して図２に実線で示す原点位置まで復帰した後（ステップＳ１６）、係合爪回転モータ８１、８２を駆動して支持枠１５を図示しないシュートへ排出する（ステップＳ１７）。
さらに、上記したステップＳ１０における動作と並行して、シート搬送コンベア３６を上昇した後（ステップＳ１８）、原点位置であるシート搭載ステーション１１まで移動する（ステップＳ１９）。
一方、リードフレーム１２が不良品の場合には、ステップＳ１０からステップ２０に移行し、全てのフォーク１０８を軸線回りに回転することによって不良品を横方向に排出することができる。
その後、上記したステップＳ１〜Ｓ１９を繰り返すことによって、整列台９１上に設定枚数のリードフレーム１２を同様に整列することができる。
【００３９】
このように、本実施の形態では、支持枠１５の両側部１８、１９や中央縦リブ２１に折り曲げ力を繰り返し付与することにより、実質的に連結タブ２６、２７のみに直接的に折り曲げ力を加えることにより、これらの部分に疲労破壊を起こさせ、エッチング製品におどりを生じさせることなく、エッチング製品を確実にかつ自動的に分離することができる。
また、上記した実施の形態では、エッチング製品シート１０における支持枠１５は、その中央部に中央縦リブ２１を有する構成となっているが、エッチング製品シート１０は中央縦リブ２１がない場合もある。このような場合は、支持枠１５の中央縦リブ２１に長手方向と直交する方向に強制的に折り曲げ力を繰り返し付与する第２の折曲力付与手段２２を不要とすることができる。
【００４０】
以上、本発明を、一実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は何ら上記した実施の形態に記載の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されている事項の範囲内で考えられるその他の実施の形態や変形例も含むものである。
例えば、上記した連結タブの分離を確実に行うための制御は折り返し回数制御としたが、センサで連結タブが完全に分離したか否かを検出し、この検出値に基づいて、次の工程へ進むようにすることもできる。
【００４１】
【発明の効果】
請求項１及びこれに従属する請求項４、５記載の多面付けエッチング製品の分離装置においては、第１の折曲力付与手段を用いて支持枠の両側部に折り曲げ力を繰り返し付与することにより、実質的に、エッチング製品を支持枠に連結する連結タブのみに直接的に折り曲げ力を加えることにより、エッチング製品におどりを生じることなく、エッチング製品を確実にかつ自動的に分離することができる。
【００４２】
請求項２及びこれに従属する請求項３〜６記載の多面付けエッチング製品の分離装置においては、第１及び第２の折曲力付与手段を用いて支持枠の両側部及び中央縦リブに長手方向と直交する方向に折り曲げ力を繰り返し付与することにより、実質的に、エッチング製品を支持枠及び中央縦リブに連結する連結タブのみに直接的に折り曲げ力を加えることにより、エッチング製品におどりを生じることなく、エッチング製品を確実にかつ自動的に分離することができる。
請求項３記載の多面付けエッチング製品の分離装置においては、エッチング製品が分離された支持枠を支持枠排出手段を用いて速やかにかつ確実に排出することができる。
【００４３】
請求項４記載の多面付けエッチング製品の分離装置においては、整列取り出し手段を用いることによって、エッチング製品シートから分離されたエッチング製品を整列状態に取り出すことができる。
請求項５記載の多面付けエッチング製品の分離装置においては、不良品選別手段を具備することによって、エッチング製品の中から不良品を確実に選別して排除することができる。
請求項６記載の多面付けエッチング製品の分離装置においては、制御手段によって、シート送り込み台車と、シート把持手段と、第１の折曲力付与手段と、第２の折曲力付与手段と、支持枠排出手段と、整列取り出し手段と、不良品選別手段を制御することができ、エッチング製品の分離作業を円滑かつ確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る多面付けエッチング製品の分離装置の側面図である。
【図２】同平面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る多面付けエッチング製品の分離装置が適用されるエッチング製品シートの模式的な斜視図である。
【図４】シート分離ステーションにシート送り込み台車が送り込まれた状態を示す説明図である。
【図５】図１のＩ−Ｉ線による断面図である。
【図６】図１のII−II線による断面図である。
【図７】本発明の一実施の形態に係る多面付けエッチング製品の分離装置の要部をなす第１及び第２の折曲力付与手段の斜視図である。
【図８】本発明の一実施の形態に係る多面付けエッチング製品の分離装置の要部をなす第１の折曲力付与手段の側面図である。
【図９】図７のIII −III 線による横断面図である。
【図１０】本発明の一実施の形態に係る多面付けエッチング製品の分離装置の第１の折曲力付与手段のリンク機構の拡大正面図である。
【図１１】同第１の折曲力付与手段の要部拡大説明図である。
【図１２】同第２の折曲力付与手段の要部拡大説明図である。
【図１３】同第２の折曲力付与手段の要部拡大説明図である。
【図１４】同支持枠排出手段を構成するＬ字状係合爪と係合爪回転モータの正面図である。
【図１５】同支持枠排出手段を構成するＬ字状係合爪と係合爪回転モータの側面図である。
【図１６】同エッチング製品取出手段の側面図である。
【図１７】同エッチング製品排出手段における整列取り出し手段の要部拡大説明図である。
【図１８】本発明の一実施の形態に係る多面付けエッチング製品の分離装置によるエッチング製品の分離作業の工程を示すフローチャートである。
【図１９】従来技術の説明のために用いた一般的な多面付けエッチング製品シートの平面図である。
【符号の説明】
Ａ  多面付けエッチング製品の分離装置
１０  エッチング製品シート          １０ａ  補強横リブ
１１  シート搭載ステーション        １２  リードフレーム
１３  シート分離ステーション        １４  シート送り込み台車
１５  支持枠                        １６  シート把持手段
１８  側部                          １９  側部
２０  第１の折曲力付与手段          ２１  中央縦リブ
２２  第２の折曲力付与手段          ２３  支持枠排出手段
２４  エッチング製品排出手段        ２６  連結タブ
２７  連結タブ                      ２８  矩形フレーム
２８ａ  枢軸                        ２８ｂ  枢軸
２９  軸受                          ３０  軸受
３１  ボールねじ                    ３１ａ  ガイド軸
３１ｂ  ガイド軸                    ３２  走行モータ
３３  台車本体                      ３３ａ  ガイド筒
３３ｂ  ガイド筒                    ３４  筒状ナット
３５  筒状ナット                    ３６  シート搬送コンベア
３６ａ  昇降シリンダ装置            ３６ｂ  昇降シリンダ装置
３７  昇降台                        ３７ａ  軸受台
３７ｂ  軸受台                      ３８  枢軸
３９  枢軸                          ３９ａ  動力伝達プーリ
４０  回転プーリ                    ４１  回転プーリ
４２  無端ベルト                    ４４  シート移載モータ
４４ａ  モータ側プーリ              ４６  長手方向中心線
４７  左側板                        ４７ａ  水平基部
４７ｂ  垂直部                      ４７ｃ  折り曲げ用ローラ
４７ｄ  折り曲げ用ローラ            ４８  右側板
４８ａ  水平基部                    ４８ｂ  垂直部
４８ｃ  折り曲げ用ローラ            ４８ｄ  折り曲げ用ローラ
５０  左ラック板                    ５１  右ラック板
５２  ピニオン                      ５３  揺動クランププレート
５３ａ  クランプ用シリンダ          ５３ｂ  戻しスプリング
５３ｃ  クランプガイド              ５４  揺動クランププレート
５４ａ  クランプ用シリンダ          ５４ｂ  戻しスプリング
５４ｃ  クランプガイド              ５５  上部クランププレート
５５ａ  戻しスプリング              ５６  上部クランププレート
５６ａ  戻しスプリング              ５８  リンク機構
５９  リンク機構                    ６０  側部折曲用モータ
６０ａ  出力軸                      ６１  回転リンク
６２  揺動ブラケット                ６３  連結リンク
６５  軸受                          ６６  軸受
６７  枢軸                          ６８  枢軸
６９  垂直枠                        ６９ａ  折り曲げ用ローラ
６９ｂ  折り曲げ用ローラ            ６９ｃ  ローラボックス
６９ｄ  戻しスプリング              ７０  垂直枠
７０ａ  折り曲げ用ローラ            ７０ｂ  折り曲げ用ローラ
７０ｃ  ローラボックス              ７０ｄ  戻しスプリング
７１  水平可動クランプ枠            ７２  中央押さえアーム
７３  旋回モータ                    ７４  揺動クランプ枠
７５  プラグ                        ７６ａ  垂直柱
７６ｂ  垂直柱                      ７６ｃ  垂直フレーム
７７  軸受                          ７８  揺動軸
７９  被駆動側リンク                ８０  中央縦リブ折曲用モータ
８０ａ  出力軸                      ８０ｂ  プラグ嵌入孔
８１  係合爪回転モータ              ８２  係合爪回転モータ
８３  出力軸                        ８４  出力軸
８５  Ｌ字状係合爪                  ８６  Ｌ字状係合爪
８７  Ｌ字状係合爪                  ８８  Ｌ字状係合爪
８９  傾斜コンベア                  ８９ａ  本体フレーム
８９ｂ  検出センサ                  ９０  整列台
９１  整列台                        ９５  整列取り出し手段
９６  傾斜コンベア支持架台          ９６ａ  垂直柱
９６ｂ  垂直柱                      ９７  枢軸
９８  枢軸                          ９９  回転プーリ
１００  回転プーリ                  １０１  無端ベルト
１０４  移載用モータ                １０６  摺動ガイド軸
１０７  移動機枠                    １０８  フォーク
１０９  フォーク進退用モータ        １１０  第１のリンク
１１１  第２のリンク
１１２  不良エッチング製品払出し機構
１１３  回転軸                      １１４  第１のベベルギヤ
１１５  第２のベベルギヤ            １１６  不良品払出用モータ
１２０  制御装置
【図１】
0003794829.tif 000002
【図２】
0003794829.tif 000003
【図３】
0003794829.tif 000004
【図４】
0003794829.tif 000005
【図５】
0003794829.tif 000006
【図６】
0003794829.tif 000007
【図７】
0003794829.tif 000008
【図８】
0003794829.tif 000009
【図９】
0003794829.tif 000010
【図１０】
0003794829.tif 000011
【図１１】
0003794829.tif 000012
【図１２】
0003794829.tif 000013
【図１３】
0003794829.tif 000014
【図１４】
0003794829.tif 000015
【図１５】
0003794829.tif 000016
【図１６】
0003794829.tif 000017
【図１７】
0003794829.tif 000018
【図１８】
0003794829.tif 000019
【図１９】
0003794829.tif 000020