(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動機であるモータと被駆動機であるロータからなり回転軸が転がり軸受によって支持された回転機器の回転軸の回転に伴う軸変位信号あるいは軸受ハウジングの加速度信号の少なくともいずれか一方を振動波形として採取するデータ採取手段と、採取したデータを保持するデータ保持手段と、軸受のばね定数、軸曲り量、モータ軸とロータ軸を結合するカップリングの芯ずれ及び偏角吸収量を記載した軸受評価用データベースと、診断条件を入力する条件入力手段と、この条件入力手段から指令を受け前記データ保持手段からデータを受けて前記カップリング部に付加質量を付加した場合と付加しない場合の一回転中の振動波形の差を比較評価して付加質量を付加した場合に波形の一部が平坦になっている部分の長さの差を抽出し前記軸受評価用データベースを参照して前記平坦部分の長さの差からモータとロータの軸受芯ずれ量及び軸受荷重の少なくともいずれか一方を推定する波形評価手段と、この波形評価手段の推定の結果を出力する出力手段とを備えたことを特徴とする転がり軸受の診断装置。
【請求項２】
回転軸の回転信号を取り出す回転パルス計と、回転パルスから回転パルスまでの１周期の振動波形を複数個切出しこの複数周期分の波形の平均を求める波形平均処理手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の転がり軸受の診断装置。
【請求項３】
駆動機であるモータと被駆動機であるロータからなり回転軸が転がり軸受によって支持された回転機器の回転軸の回転に伴う軸変位信号あるいは軸受ハウジングの加速度信号の少なくともいずれか一方を振動波形として採取するデータ採取手段と、採取したデータを保持するデータ保持手段と、軸受のばね定数、軸曲り量、モータ軸とロータ軸を結合するカップリングの芯ずれ及び偏角吸収量を記載した軸受評価用データベースと、診断条件を入力する条件入力手段と、この条件入力手段から指令を受け前記データ保持手段からデータを受けて前記軸カップリング部に付加質量を付加した場合と付加しない場合の振動振幅の差を評価して軸受芯ずれ量及び軸受荷重の少なくともいずれか一方を推定する振動振幅評価手段と、この振動振幅評価手段の推定の結果を出力する出力手段とを備えたことを特徴とする転がり軸受の診断装置。
【請求項４】
転がり軸受の寿命に関するデータを格納する軸受寿命データベースと、推定された荷重とこの軸受寿命データベースから軸受の寿命を推定する軸受寿命推定手段とを備えたことを特徴とする請求項１または３記載の転がり軸受の診断装置。
【請求項５】
軸受寿命データベースは、転がり軸受の型式に応じた寿命算定式を格納し、軸受寿命推定手段は、入力された型式に該当する寿命算定式を抽出し、推定された荷重と前記寿命算定式から軸受の寿命を推定することを特徴とする請求項４記載の転がり軸受の診断装置。
【請求項６】
運転履歴データベース及び荷重履歴データベースを備え、軸受寿命推定手段は軸受荷重を入力される毎に、その値を前記荷重履歴データベースに蓄積し、その傾向管理を実施するとともに、その時点の余寿命を再推定することを特徴とする請求項４記載の転がり軸受の診断装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポンプ、ファン等の駆動機であるモータと被駆動機であるロータからなり転がり軸受を有する回転機器の軸系の組立て状況を把握し、正常か否かを判断し、また転がり軸受の寿命を推定する転がり軸受の診断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に回転機器の軸受に異常が発生すると、これらの機器の運転中に発する振動に変化が現れる場合が多く、従来より軸受の発する振動を測定し、その状態を監視する手法が用いられている。転がり軸受については、軸受の振動を測定し、その加速度値を評価したり、あるいは振動のエンベロープの周波数解析を実施することにより、軸受の傷の有無や傷の発生場所を推定する手段が確立され実用化されている。
【０００３】
一方、転がり軸受の寿命は、軸受レースの表面の疲労により規定される。このレース表面の疲労は、レース表面に加わる荷重により左右される。軸受の設計においては、この荷重の大きさを回転機器の設計仕様から算出するが、回転機器の組立て状態における軸受の芯ずれ等により軸受荷重は大きく変化するため、非常に安全側の設計が行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
軸受の芯が極端にずれて回転機器が組み立てられている場合には、軸受は急速に寿命にいたるため、組立て状態の良否を判定することは、回転機器を健全に運転するために重要である。また、軸受の芯ずれが小さい場合には、軸受の寿命は設計値よりもかなり長くなり、通常は真の寿命に対して十分余裕があるにもかかわらず軸受を交換している場合が多い。
【０００５】
しかるに、従来の診断手法は、軸受に傷が発生した場合にその徴候を検知し診断するものであり、事前に軸受組立て状態の良否を判定できるものではなく、また軸受寿命を推定するものではない。
【０００６】
そこで本発明は、転がり軸受を有する回転機器の組立時の軸受の芯ずれを検出することができ、実機組立状態での軸受寿命を推定することのできる転がり軸受の診断装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明は、駆動機であるモータと被駆動機であるロータからなり回転軸が転がり軸受によって支持された回転機器の回転軸の回転に伴う軸変位信号あるいは軸受ハウジングの加速度信号の少なくともいずれか一方を振動波形として採取するデータ採取手段と、採取したデータを保持するデータ保持手段と、軸受のばね定数、軸曲り量、モータ軸とロータ軸を結合するカップリングの芯ずれ及び偏角吸収量を記載した軸受評価用データベースと、診断条件を入力する条件入力手段と、この条件入力手段から指令を受け前記データ保持手段からデータを受けて前記カップリング部に付加質量を付加した場合と付加しない場合の一回転中の振動波形の差を比較評価して付加質量を付加した場合に波形の一部が平坦になっている部分の長さの差を抽出し前記軸受評価用データベースを参照して前記平坦部分の長さの差からモータとロータの軸受芯ずれ量及び軸受荷重の少なくともいずれか一方を推定する波形評価手段と、この波形評価手段の推定の結果を出力する出力手段とを備えた構成とする。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、回転軸の回転信号を取り出す回転パルス計と、回転パルスから回転パルスまでの１周期の振動波形を複数個切出しこの複数周期分の波形の平均を求める波形平均処理手段とを備えてなる構成とする。
【０００９】
請求項３の発明は、駆動機であるモータと被駆動機であるロータからなり回転軸が転がり軸受によって支持された回転機器の回転軸の回転に伴う軸変位信号あるいは軸受ハウジングの加速度信号の少なくともいずれか一方を振動波形として採取するデータ採取手段と、採取したデータを保持するデータ保持手段と、軸受のばね定数、軸曲り量、モータ軸とロータ軸を結合するカップリングの芯ずれ及び偏角吸収量を記載した軸受評価用データベースと、診断条件を入力する条件入力手段と、この条件入力手段から指令を受け前記データ保持手段からデータを受けて前記軸カップリング部に付加質量を付加した場合と付加しない場合の振動振幅の差を評価して軸受芯ずれ量及び軸受荷重の少なくともいずれか一方を推定する振動振幅評価手段と、この振動振幅評価手段の推定の結果を出力する出力手段とを備えた構成とする。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１または３の発明において、転がり軸受の寿命に関するデータを格納する軸受寿命データベースと、推定された荷重とこの軸受寿命データベースから軸受の寿命を推定する軸受寿命推定手段とを備えてなる構成とする。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項４の発明において、軸受寿命データベースは、転がり軸受の型式に応じた寿命算定式を格納し、軸受寿命推定手段は、入力された型式に該当する寿命算定式を抽出し、推定された荷重と前記寿命算定式から軸受の寿命を推定する構成とする。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項４の発明において、運転履歴データベース及び荷重履歴データベースを備え、軸受寿命推定手段は軸受荷重を入力される毎に、その値を前記荷重履歴データベースに蓄積し、その傾向管理を実施するとともに、その時点の余寿命を再推定する構成とする。
【００１９】
このように本発明は、回転機器の組立て直後に軸を加振し、もしくは付加質量を付加し、その振動特性から回転機器の組立状態の良否を評価し、さらにその状態における軸受にかかる荷重を推定し、軸受の寿命を推定するものである。また、軸振動波形、軸受ハウジング振動波形から軸受芯ずれの良否を判断するものである。本発明により、回転機器組立て状態の良否が判定でき、回転機器の健全性を確保することができると共に、軸受の寿命を推定することにより、交換周期が確定し、より効率的な機器の保守が可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１に本発明の第１の実施の形態の転がり軸受の診断装置のブロック図を示し、図２から図５にその動作を示す。
【００２１】
図１に示すように、モータ１の軸端にカップリング２を介して、転がり軸受３によって支持されたポンプ４が設置されているとする。このように構成した回転機器の芯ずれを検出し、また転がり軸受３にかかる荷重を評価し寿命を推定するために、カップリング２にナットのような金属塊からなる付加質量５を取付ける。また、カップリング２に近接して例えばうず電流原理による変位計６を設ける。そして、この変位計６の出力信号線をデータ採取手段７に接続し、その後にデータ保持手段８、波形評価手段９及び出力手段10を接続する。また、波形評価手段９には、軸受評価用データベース12および条件入力手段13を接続する。
【００２２】
軸受評価用データベース12は、軸受のばね定数、軸曲がり量、カップリングの芯ずれ、偏角吸収量を考慮して予め求められている。図２に示すように、軸受評価用データベース12は、付加質量の大きさをパラメータとして、付加質量有りと無しの状態での波形平坦部の長さ（回転角）の差と軸受芯ずれ量及び軸受荷重の関係を示すものである。
【００２３】
このように構成した転がり軸受の診断装置において、変位計６及びデータ採取手段７で採取された振動波形は、データ保持手段８に蓄積される。付加質量５の取付が有る場合と無い場合の振動データが蓄積されると、波形評価手段９は、付加質量５有りの場合と無しの場合の波形を比較評価し、軸受評価用データベース12を参照して、振動波形平坦部の変化量と条件入力手段13から入力された軸受の型式等の診断条件から軸受芯ずれ量と軸受荷重を求め、ＣＴＲ等の出力手段10に出力する。
【００２４】
なお、ここで軸振動計として設けられる変位計６の代りに、あるいは変位計６とともに、軸受３に取付けた加速度計11を設けて、軸受３の振動信号をデータ採取手段７に取込むようにしてもよい。
【００２５】
次に、診断の原理について説明する。
図３にポンプ（またはファンでもよい）とモータの軸受芯ずれがある場合の回転軸の振動モードの概要を示す。ポンプには、若干の残留アンバランスがあり、アンバランスの影響及び軸受芯ずれの影響から、回転軸の振動モードは図３（ａ）に示す形となる。なお、便宜上、図３（ｂ）に示すようにポンプ軸受に対してモータ軸受が芯ずれしている方向をＸ方向とし、ロータの残留アンバランスがＸ方向を向いているときの回転角を０°と定義する。また、ロータ軸とモータ軸の不連続の部分は例えばフレキシブルカップリングによる回転軸の偏角の吸収を示す。図３（ａ）中の実線が残留アンバランスが０°方向を向いたときの振動モードであり、破線が180°方向を向いたときの振動モードである。
【００２６】
この場合のポンプ軸受部及びモータ軸受部にかかるＸ方向荷重の、ロータ１回転における変化を図４に示す。センサは上記の０°方向（芯ずれ方向）に設置してあるとする。なお、本図は軸受にかかる荷重を示しているが、軸振動についても本図と同様の動きを示す。
【００２７】
ポンプ側軸受において（図４（ａ））、ポンプの残留アンバランスによる荷重は図中の破線で示される。一方、軸受が偏芯していることにより、モータ軸とのカップリングから受ける荷重は図中の一点鎖線で表される。軸受にかかる全荷重は両者の合計となり、図中の実線となる。図から判るように、軸芯が偏芯している場合には、ポンプ側軸受荷重は、180 °方向でつぶれる形となり、平坦部を生ずる。
【００２８】
モータ側では（図４（ｂ））、一般的に残留アンバランスは微小であり、モータ軸受にかかる荷重は軸受偏芯によるカップリングからの荷重のみであり、その変化はポンプ側軸受と180 °逆の形状となる。
【００２９】
この状態において、ロータとモータの軸受芯ずれにより発生する回転数の２倍の成分の振動を計測し、センサの設置方向を周方向に移動するかあるいは、任意の直交する２方向で計測することにより、２倍の成分が最も大きい方向を見出し、軸受の芯ずれ方向を推定する。
【００３０】
次に軸受芯ずれ量あるいは、軸受荷重の推定方法を説明する。
軸受の芯ずれ方向にセンサを設置した状態で、モータとロータのカップリング部に既知の質量を付加することを考える。図５にモータ側の軸受を例にとり、その影響を示す。この場合、ポンプ側軸受に過大な荷重が加わらない様に、図５（ａ）に示すように、ポンプ残留アンバランスと180 °逆の方向に付加質量を付けることとする。図５（ｂ）に示すように、付加質量による荷重は破線のように作用し、モータ軸受にかかる荷重は実線のようになり、荷重が平坦になる部分が現れる。付加質量の大きさとこの平坦部の長さ（回転角）の関係を基に、予め求められている軸受評価用データベースを参照して、軸受芯ずれ量と軸受荷重を推定する。
【００３１】
本発明の第２の実施の形態を図６に示す。ここではモータ１，軸受３等の図示を省略している。本実施の形態は、第１の実施の形態に加えて、回転パルス計14及び波形平均処理手段15を具備する。波形平均処理手段15では、図７に示すように、採取した振動波形について、回転パルスから回転パルスまでの１周期の波形を複数個切り出し、切り出した複数周期分の波形の平均処理を実施し、これを波形評価手段９に出力する。本実施の形態においては、振動波形に平均処理を施すことによって微小な外乱の影響を排除でき、推定精度を高めることができる。
【００３２】
本発明の第３の実施の形態を図８に示す。本実施の形態は、上記第１の実施の形態において、波形評価手段９の代りに、振動振幅評価手段16を具備しており、この振動振幅評価手段16は、付加質量５有り無しの場合の振動値（波高値）の差に基づいて、軸受芯ずれ量と軸受荷重を推定する。本第３の実施の形態では、軸受評価用データベース12は、図９に示すように、付加質量をパラメータとして、振動値の変化量と軸受芯ずれ量及び軸受荷重の関係を示すものである。
【００３３】
本発明の第４の実施の形態を図10に示す。本実施の形態は、フィルタ17と、信号加工手段18と、周波数分析手段19と、組立状態良否判定手段20を備える。この実施の形態では、付加質量を付加せずに診断を実施する。本実施の形態では、変位計６等の軸振動計により採取されたデータを信号加工手段18により加工して、特徴をより精度良く抽出し芯ずれの有無を判定することができる。フィルタ17は振動波から回転周波数の３倍以上の周波数の高調波を除去する。
【００３４】
信号加工手段18の作用を図11を用いて説明する。軸受が芯ずれしている場合に、波形が頭打ちとなることは前述した。信号加工手段18は、図11に示すように、採取した波形を０を基準として、正（＋）側と負（−）側に分離する。次に、正（＋）側の信号については、負側の信号を取り除いた部分に、正側の信号の符号を反転し、位相を180 度ずらした波形を合成することにより、正側のみの波形を形成する。負側についても同様の処理を施し、負側のみの波形を形成する。この作用により、同図に示すように、頭が平坦となっていない波形と頭が平坦になっている波形に分離できる。
【００３５】
周波数分析手段19は、このようにして形成された正側、負側の波形をそれぞれ周波数解析し、振動スペクトルを算出し、その中から回転に同期した振動成分及び回転数の２倍の振動成分を抽出する。
【００３６】
組立状態良否判定手段20は、回転成分及び回転数の２倍の成分各々について、それぞれ正側と負側の比較を実施し、芯ずれの有無を判定する。振動波形の頭が平坦になると、回転数の２倍の成分が大きくなり、回転成分は幾分小さくなることから、これらの差が大きいと芯ずれ量が大きいと判断する。
【００３７】
第５の実施の形態は、変位計６等の軸振動計で採取された信号の処理に関するものである。第４の実施の形態と同様であるが、軸振動計の波形は必ずしも０が中心とはならない。従って図12に示すように、信号加工手段18は、信号の平均値を算出し、平均値より大きな値（大側）と小さな値（小側）に信号を分離して、以下第４の実施の形態と同様の処理を実施する。
【００３８】
第６の実施の形態は、上記第３の実施の形態においてさらに、上記第４の実施の形態あるいは第５の実施の形態に示したフィルタ、信号加工手段、周波数分析手段を備えたものである。このようにすると、振動振幅値のみに着目するよりもさらに精度の良い推定が可能となる。
【００３９】
第７の実施の形態は、図13に示すように、上記第１の実施の形態に加えて、軸受寿命推定手段21及び軸受寿命データベース22を具備し、軸受の寿命を推定するものである。
【００４０】
軸受の寿命は通常、軸受のインナレースまたはアウタレースにおける疲労剥離の発生時期で規定される。その発生時期Ｌは、軸受にかかる荷重をＰとすると
Ｌ＝ａ（ｃ／Ｐ）n 
という関係にある。ここで、ａ，ｃ，ｎは、軸受のサイズや材質を含む型式で決まる定数である。
【００４１】
軸受寿命データベース22は、上記のａ，ｃ，ｎの値が記載してあり、軸受寿命推定手段21は、推定された荷重Ｐを元に、軸受寿命データベース22を参照して、疲労剥離の発生時期Ｌ、すなわち軸受の寿命を推定する。
【００４２】
第８の実施の形態は、上記第７の実施の形態における軸受寿命データベースの構成を改良したものである。すなわち、この実施の形態における軸受寿命データベースは、図14に示すように、軸受の型式毎に上記のａ，ｃ，ｎが記載してある。軸受寿命推定手段は、入力された型式に該当する寿命計算式をデータベースから抽出し、荷重推定値を用いて軸受寿命を推定する。
【００４３】
第９の実施の形態は、図15に示すように、上記第７または第８の実施の形態に加えて、運転履歴データベース23及び荷重履歴データベース24を具備したものである。軸受荷重を推定する度に荷重値を荷重履歴データベース24に蓄積して、機器の運転履歴、荷重履歴を蓄積し傾向管理を実施するとともに、その時点での余寿命を推定する。
【００４４】
次に、図16から図21を用いて本発明の第10の実施の形態を説明する。この実施の形態では、超音波加振手段を用いて軸受の診断を実施する。
転がり軸受３は、インナレース30とアウタレース31、これらの間に転動自在に嵌着された玉あるいはコロの転動体32、及びアウタレース31を保持する軸受ハウジング33からなる。軸受ハウジング33の外周から、超音波発振器34あるいは動電型加振機を用いて、軸受のアウタレース31を転動体32の支持間隔内で局部半径方向に共振振動させる。この周波数は数10kHz であるが、運転中あるいは停止中でも加振できる。
【００４５】
ロータとモータの軸受芯ずれが大きく、軸受の荷重が大きい場合には、図16の右半に示すように、軸受の荷重がない周方向範囲が発生し、アウタレース31と転動体32が接触しない状態となり、アウタレース31の転動体32の支持間隔内での局部半径方向に共振周波数が著しく低下する。この特性を利用して、転動体の正常な接触状態の共振周波数にて、軸受ハウジング33の外周から周方向に沿って発振器を移動して加振し、そのインピーダンスの周方向分布を計測する。
【００４６】
図17（ｂ），図18（ｂ）はそれぞれ軸受周方向方位による共振周波数の変化及び発振器インピーダンスの変化を例示したグラフであり、各図中の方位角はそれぞれ図17（ａ），図18（ａ）に示す方位角に対応する。
【００４７】
図17に示すように、アウタレース31と転動体32が接触しないアウタレース31と転動体32の支持間隔内での局部半径方向の共振周波数は著しく低く、加振周波数と一致しないので、図18に示すようにこの方位のインピーダンスは大きくなる。この方位の反対方位が、軸受芯ずれ方位と推定できる。
【００４８】
上記と同様に、発振器の加振周波数を変化させて、軸受ハウジング33の外周から周方向に沿って、アウタレース31の転動体32の支持間隔内での局部半径方向の共振周波数の周方向分布を計測すると、図17に示したところにより、その共振周波数の高い方位が、軸受荷重が大きい方位と推定できる。
【００４９】
また図19に示すように、インピーダンスの大きさの周方向での変化量と軸受荷重の大きさとの関係を表すデータベースを作成しておけば、そのデータベースを用いることにより、計測したインピーダンスの大きさから、軸受荷重を推定することができる。
【００５０】
また、図20に示すように周方向に沿った共振周波数の変化量と、軸受荷重の大きさとの関係を表すデータベースを作成しておけば、そのデータベースを用いることにより、計測した周波数差から、軸受荷重が推定できる。
【００５１】
軸受荷重をさらに精度良く推定するためには、運転中において、ロータとモータとの軸カップリングに、既知の質量の付加質量を付加し、軸受ハウジングの超音波加振手段を用いて軸受アウタレースリング半径方向を局部的に加振し、その際の超音波加振手段のインピーダンスの周方向変化量、あるいはアウタレースリングの局部的な共振周波数の周方向変化量を求める。そして、図21に示すような付加質量の大きさをパラメータとし、インピーダンスあるいは共振周波数の周方向変化量の差と軸受荷重との関係を表すデータベースを用いることによって軸受荷重を精度よく推定することができる。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、回転機器組立時の転がり軸受の偏芯を推定することができるので、定常運転に入る前に軸受のアライメントを適正に修正することができ、回転機器の信頼性を向上させることができる。また、軸受荷重を推定することができるので、転がり軸受の寿命を推定することができ、適正な時期に交換を実施できるため、保守の失敗や過剰な保守を避けることができ、信頼性をもってかつ経済的に、回転機器の保守を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の転がり軸受の診断装置の構成を示す図。
【図２】本発明の第１の実施の形態の転がり軸受の診断装置における軸受評価用データベースに蓄えられるデータを示す図。
【図３】ポンプとモータの軸受芯ずれが生じた軸の状態を示し、（ａ）は軸に平行の図、（ｂ）は軸に垂直の図。
【図４】軸受芯ずれ時の軸受荷重を示し、（ａ）はポンプ軸受荷重、（ｂ）はモータ軸受荷重の図。
【図５】付加質量取付時の状態を示し、（ａ）は軸の振動モードを示す図、（ｂ）はモータ軸受荷重を示す図。
【図６】本発明の第２の実施の形態の転がり軸受の診断装置の構成を示す図。
【図７】本発明の第２の実施の形態の転がり軸受の診断装置における波形平均処理手段の動作を説明する図。
【図８】本発明の第３の実施の形態の転がり軸受の診断装置の構成を示す図。
【図９】本発明の第３の実施の形態の転がり軸受の診断装置における軸受評価用データベースに蓄えられるデータを示す図。
【図１０】本発明の第４の実施の形態の転がり軸受の診断装置の構成を示す図。
【図１１】本発明の第４の実施の形態の転がり軸受の診断装置の動作を説明する図。
【図１２】本発明の第５の実施の形態の転がり軸受の診断装置が検出する振動波形を概念的に示す図。
【図１３】本発明の第７の実施の形態の転がり軸受の診断装置の構成を示す図。
【図１４】本発明の第８の実施の形態の転がり軸受の診断装置における軸受寿命データベースに蓄えられるデータを示す図。
【図１５】本発明の第９の実施の形態の転がり軸受の診断装置の構成を示す図。
【図１６】本発明の第10の実施の形態の転がり軸受の診断方法を説明する図。
【図１７】本発明の第10の実施の形態の転がり軸受の診断方法において軸受周方向方位による共振周波数の変化を例示する図。
【図１８】本発明の第10の実施の形態の転がり軸受の診断方法において軸受周方向方位による発振器インピーダンスの変化を例示する図。
【図１９】本発明の第10の実施の形態の転がり軸受の診断方法においてインピーダンス変化量と軸受荷重の関係を示す図。
【図２０】本発明の第10の実施の形態の転がり軸受の診断方法において共振周波数変化量と軸受荷重の関係を示す図。
【図２１】本発明の第10の実施の形態の転がり軸受の診断方法において用いるデータベースに蓄えるデータを示す図。
【符号の説明】
１…モータ、２…カップリング、３…転がり軸受、４…ポンプ、５…付加質量、６…変位計、７…データ採取手段、８…データ保持手段、９…波形評価手段、10…出力手段、11…加速度計、12…軸受評価用データベース、13…条件入力手段、14…パルス計、15…波形平均処理手段、16…振動振幅評価手段、17…フィルタ、18…信号加工手段、19…周波数分析手段、20…組立状態良否判定手段、21…軸受寿命推定手段、22…軸受寿命データベース、23…運転履歴データベース、24…荷重履歴データベース、30…インナレース、31…アウタレース、32…転動体、33…軸受ハウジング、34…超音波発振器、35…正常な接触状態での共振周波数あるいはインピーダンスの状態、36…軸受芯ずれ大により転動体が接触せず正常より共振周波数が低いあるいはインピーダンスが高い状態。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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