(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流通する流体通路及び該流体通路に連通する弁棒支持孔を有する弁本体と、前記流体通路を囲繞するように設けられた弁座と、前記弁棒支持孔内に軸方向移動自在に支持されると共に基端部が前記弁本体外部に位置して先端部が前記流体通路に臨む弁棒と、該弁棒の先端部に装着されて前記弁座に密着することで前記流体通路を閉止可能な弁体と、前記弁本体外部に位置した前記弁棒の基端部に連結されたハンドルと、該ハンドルの回転によって前記弁棒を前記弁棒支持孔内にて軸方向移動される移動機構とを具えた流体制御弁において、前記弁本体に第１表示部を有する第１インジケータと第２表示部を有する第２インジケータとを互いに相対回転自在に装着する一方、前記ハンドルにその回動位置に応じて前記第１表示部あるいは前記第２表示部のいずれか一方が表示される表示窓を設けると共に、前記ハンドルあるいは前記弁棒に前記第２インジケータを一方方向に回動させ弁閉止位置に位置決めさせる回動部を設けたことを特徴とする流体制御弁。
【請求項２】
請求項１記載の流体制御弁において、前記第１インジケータと前記第２インジケータは互いに相対回転自在で且つ前記弁本体に対して回動自在であり、前記ハンドルあるいは前記弁棒に前記第１インジケータを一方方向に回動させる第１回動部を設けると共に、前記第２インジケータを他方方向に回動させる第２回動部を設けたことを特徴とする流体制御弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体の流れを開閉制御するための流体制御弁に関し、特に、半導体製造装置などの工業用ガス供給ラインに用いられてその開閉状態を表示する表示機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造装置にあっては、シリコンウェーハの表面に形成されているフォトレジスタパターンをマスクとしてその下の薄膜を所望の形状となるように除去するエッチング処理が行われる。そして、このエッチング処理が行うためには複数種類の工業用ガスが必要であり、この半導体製造装置には工業用ガス供給ラインが設けられている。
【０００３】
図８に半導体製造装置などの工業用ガス供給ラインに用いられる従来の流体制御弁の断面を示す。
【０００４】
図８に示すように、弁本体001にはガス流体が流通する前後一対のガス流路002，003が形成されると共に、このガス流路002，003と直交するように弁棒支持孔004が形成されており、ガス流路002，003の各端部がこの弁棒支持孔004に連通している。そして、ガス流路002と弁棒支持孔004との連通部にはこのガス流路002を囲繞するようにリング状の弁座シート005が固定されている。また、弁本体001の弁棒支持孔004には筒状のボンネット006が嵌合され、このボンネット006はボンネットナット007によって弁本体001に固定されている。そして、弁本体001の弁棒支持孔004の奥部にはダイヤフラム008が装着され、このボンネット006の先端部によって外周部が保持されている。
【０００５】
ボンネット006内にはスリーブ009を介して弁棒010が挿入され、上端部がＥリング011が係止されている。そして、弁棒010の先端部には上下一対の嵌合部012，013が形成されると共にその間にＯリング014が装着され、ボンネット006の内周面に軸方向移動自在に嵌合している。また、スリーブ009の下端と嵌合部012との間にはスプリング015が介装されている。そして、この弁棒010の先端部とダイヤフラム008との間のボンネット006内にはスラストパッド016が嵌入されている。一方、スリーブ009は外周面がボンネット006の内周面とねじ部017によって螺合しており、且つ、上端部はボンネット006の外部に突出しており、ここにハンドル017が固定ピン018によって取付けられている。
【０００６】
また、ボンネット006の外周部にはインジケータ019が固定されており、このインジケータ019のフランジ部019aには「OPEN」と「SHUT」と記載された表示部020a，020bが設けられている。一方、ハンドル017の上面部にはネームプレート021が固定され、このネームプレート021には表示窓021aが形成されている。
【０００７】
従って、図８に示すように、弁棒010が上方位置にあって、ダイヤフラム008が弁座シート005から離間した位置では、ガス流路002と003は開放（流通）状態にあって、ネームプレート021の表示窓021aには「OPEN」の表示部020aが表示され、ガス流体はガス流路002から003に流れることができる。この状態から、ハンドル017を回動してスリーブ009とボンネット006とのねじ部により、スリーブ009と共に弁棒010を下方に移動させる。すると、弁棒010の先端部のスラストパッド014がダイヤフラム008を押し下げ変形させることで、このダイヤフラム008が弁座シート005に密着し、ガス流路002を閉じる。このとき、ハンドル017と共にネームプレート021が回動し、表示窓021aと「SHUT」の表示部020bが位置適合して表示され、ガス流体はガス流路002から003に流れることができなくなる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の流体制御弁にあっては、ハンドル017を回動して弁棒010を軸方向に移動することで、スラストパッド014を介してダイヤフラム008と弁座シート005とを密着、あるいは、離間してガス流路002，003の開閉操作を行っている。そして、この弁の開放位置と閉止位置とで、ハンドル017は所定角度位置で停止し、このとき、表示窓021aと表示部020a「OPEN」、あるいは、表示窓021aと表示部020b「SHUT」とが位置適合して表示されるようになっている。
【０００９】
ところで、前述したように、ガス流路002，003の閉止時には、図９に示すように、弁棒010は下端位置に移動し、この弁棒010は嵌合部012を介してスプリング015の付勢力によって下方に押され、スラストパッド014を介してダイヤフラム008が弁座シート005に常時押しつけられて密着している。このように弁閉止時には弁座シート005に常時所定の圧力が作用していることから、弁座シート005はプラスチック材であり、図９に二点鎖線で示すように、長期の使用によって変形してしまう。そのため、ダイヤフラム008と弁座シート005との密着位置が変形量Ｓだけ下方にずれることとなる。すると、ハンドル017における弁閉止の角度位置が回動方向にずれ、このハンドル017における弁閉止の角度位置では、表示窓021aと「SHUT」の表示部020bとが位置が適合せず、弁閉止位置を適切に表示することができないという問題がある。
【００１０】
また、高圧ガスを流動する管にこの流体制御弁を設けた場合、ガス圧によって弁の開閉動作力、即ち、ハンドルの回動操作力が大きなものとなり、作業者は表示窓021aの表示を頼りにハンドル操作を終了し、弁開閉操作を行っている。そのため、前述したように、弁座シート005が長期の使用によって変形し、ダイヤフラム008と弁座シート005とが密着して閉止状態となるハンドル017の角度位置がずれると、このハンドル017の表示窓021aと「SHUT」の表示部020bとが適合した位置では、完全な弁閉止位置ではないため、ハンドル操作をここで終了すると弁は閉止されず、作業者による誤操作を発生する虞がある。
【００１１】
本発明はこのような問題を解決するものであって、弁の開閉状態を適切に表示することで誤操作を防止した流体制御弁を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するための本発明の流体制御弁は、流体が流通する流体通路及び該流体通路に連通する弁棒支持孔を有する弁本体と、前記流体通路を囲繞するように設けられた弁座と、前記弁棒支持孔内に軸方向移動自在に支持されると共に基端部が前記弁本体外部に位置して先端部が前記流体通路に臨む弁棒と、該弁棒の先端部に装着されて前記弁座に密着することで前記流体通路を閉止可能な弁体と、前記弁本体外部に位置した前記弁棒の基端部に連結されたハンドルと、該ハンドルの回転によって前記弁棒を前記弁棒支持孔内にて軸方向移動される移動機構とを具えた流体制御弁において、前記弁本体に第１表示部を有する第１インジケータと第２表示部を有する第２インジケータとを互いに相対回転自在に装着する一方、前記ハンドルにその回動位置に応じて前記第１表示部あるいは前記第２表示部のいずれか一方が表示される表示窓を設けると共に、前記ハンドルあるいは前記弁棒に前記第２インジケータを一方方向に回動させ弁閉止位置に位置決めさせる回動部を設けたことを特徴とするものである。
【００１３】
従って、作業者がハンドルを回動すると、移動機構によってこのハンドルと共に弁棒が弁棒支持孔内で軸方向一方に移動し、弁棒の先端部に装着された弁体が弁座に密着することで、流体通路を閉止することとなり、このとき、ハンドルの表示窓と第２インジケータの第２表示部との位置が適合して表示され、流体通路の閉止状態が確認される。一方、この流体通路の閉止状態から作業者がハンドルを前述とは逆方向に回動すると、移動機構によってこのハンドルと共に弁棒が弁棒支持孔内で軸方向他方に移動し、弁棒の先端部に装着された弁体が弁座から離間することで、流体通路を開放することとなり、このとき、ハンドルの表示窓と第１インジケータの第１表示部との位置が適合して表示され、流体通路の開放状態が確認される。そして、弁座が長期の使用によって変形し、弁体による流体通路の閉止位置がずれ、ハンドルにおける閉止角度位置がずれると、このハンドルの閉止方向の回動に伴って回動部が第２インジケータを一方方向に回動させることとなり、この第２インジケータはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による流体通路の閉止位置では、ハンドルの表示窓と第２インジケータの第２表示部との位置は確実に適合して表示され、作業者による誤操作の発生は抑制される。
【００１４】
また、本発明の流体制御弁は、前記第１インジケータと前記第２インジケータは互いに相対回転自在で且つ前記弁本体に対して回動自在であり、前記ハンドルあるいは前記弁棒に前記第１インジケータを一方方向に回動させる第１回動部を設けると共に、前記第２インジケータを他方方向に回動させる第２回動部を設けたことを特徴とするものである。
【００１５】
従って、弁体の開放位置に弁座が設けられている場合であっても、この弁座が長期の使用によって変形し、弁体による流体通路の開放位置がずれ、ハンドルにおける開放角度位置がずれても、このハンドルの開放方向の回動に伴って第１回動部が第１インジケータを他方方向に回動させることとなり、この第１インジケータはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による流体通路の開放位置では、ハンドルの表示窓と第１インジケータの第１表示部との位置は確実に適合して表示される。
【００１６】
【本発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１７】
図１に本発明の第１実施形態に係る流体制御弁を表す断面、図２に流体制御弁の表示部分を表すハンドルの平面視、図３に第１インジケータの概略、図４に第２インジケータの概略を示す。
【００１８】
本実施形態の流体制御弁において、図１及び図２に示すように、弁本体１１にはガス流体が流通する前後一対のガス流路１２，１３が形成されると共に、このガス流路１２，１３と直交するように弁棒支持孔１４が形成されており、ガス流路１２，１３は連通路１２ａ，１３ａを介してこの弁棒支持孔１４に連通している。そして、ガス流路１２と弁棒支持孔１４との連通部にはこのガス流路１２を囲繞するようにリング状の弁座シート１５が固定されている。また、弁本体１１の弁棒支持孔１４には筒状のボンネット１６が嵌合され、このボンネット１６はボンネットナット１７によって弁本体１１に固定されている。そして、弁本体１１の弁棒支持孔１４の奥部にはダイヤフラム１８が装着され、このダイヤフラム１８はボンネット１６の先端部によって外周部が保持されている。
【００１９】
また、ボンネット１６内には弁棒１９が挿入され、基端部がボンネット１６から外方に突出している。そして、弁棒１９の先端部には上下一対の嵌合部２０，２１が形成されると共にその間にＯリング２２が装着され、ボンネット１６の内周面に軸方向移動自在に嵌合している。そして、この弁棒１９の先端部の嵌合部２１とダイヤフラム１８との間のボンネット１６内にはスラストパッド２３が嵌入されており、弁棒１９の下降によってこのスラストパッド２３を押し下げることで、スラストパッド２３の前面部がダイヤフラム１８を押圧変形して弁座シート１５に密着することができる。
【００２０】
更に、弁棒１９は外周面に雄ねじ部１９ａが形成される一方、ボンネット１６の内周面には雌ねじ部１６ａが形成され、この雄ねじ部１９ａと雌ねじ部１６ａが螺合している。そして、この弁棒１９の基端部にはハンドル２４が嵌合してナット２５によって一体回転可能に固結され、キャップ２６によって隠蔽されている。また、ハンドル２４の下面には係合突起２４ａが一体に形成されている。更に、ボンネット１６の上端外周部には第１インジケータ２７が固定ピン２８によって固定されると共に、この第１インジケータ２７の内周部には第２インジケータ２９が回転自在に嵌合している。一方、ハンドル２４の上面部にはネームプレート３０が固定され、このネームプレート３０には透明の表示窓３１が形成されている。
【００２１】
この第１インジケータ２７は、図３に詳細に示すように、円筒部２７ａの上部にフランジ部２７ｂが一体に形成されて構成されている。この円筒部２７ａの内周面は軸方向に沿って傾斜面２７ｃが形成されると共に、その下部に周方向に沿って嵌合溝２７ｄが形成され、また、取付孔２７ｅが穿設されている。そして、フランジ部２７ｂの上面には「OPEN」と記載された表示部２７ｆが設けられている。一方、第２インジケータ２９は、図４に詳細に示すように、円筒部２９ａの上部に扇形状の鍔部２９ｂが一体に形成されて構成されている。この円筒部２９ａには軸方向に沿った切欠２９ｃが４ヵ所にわたって形成されると共に、その下部外周面に周方向に沿って嵌合突起２９ｄが形成され、また、円筒部２９ａの下部には内方に突出する係止突起２９ｅが形成されている。そして、鍔部２９ｂの上面には「SHUT」と記載された表示部２９ｆが設けられている。
【００２２】
従って、第１インジケータ２７はボンネット１６の上端外周部に嵌合して固定ピン２８によって固定されている。そして、第２インジケータ２９はこの第１インジケータ２７の内周部に上方から挿入され、嵌合突起２９ｄが嵌合溝２７ｄに嵌合することで取付けられ、周方向回転自在となっている。そして、ハンドル２４、第１インジケータ２７、第２インジケータ２９を組み付け後、このハンドル２４を弁閉止方向に回動して弁棒１９を弁閉止位置に移動することで、ハンドル２４の係合突起２４ａが第２インジケータ２９の係止突起２９ｅに当接してこの第２インジケータ２９を弁閉止方向に回動し、この第２インジケータ２９の表示部２９ｆは弁閉止位置に位置決めされることとなる。なお、第１インジケータ２７の表示部２７ｆはボンネット１６への固定時に弁開放位置に位置決めされる。そのため、ハンドル２４の開放位置ではネームプレート３０の表示窓３１と第１インジケータ２７の表示部２７ｆ「OPEN」とが一致し、ハンドル２４の閉止位置ではネームプレート３０の表示窓３１と第２インジケータ２９の表示部２９ｆ「SHUT」とが一致する。
【００２３】
このように構成された本実施形態の流体制御弁にあって、弁開放状態では、弁棒１９が上方位置にあってダイヤフラム１８が弁座シート１５から離間した位置にあるので、ガス流路１２と１３は流通しており、ネームプレート３０の表示窓３１には第１インジケータ２７の表示部２７ｆ「OPEN」が表示されており、ガス流体はガス流路１２から１３に流れることができる。
【００２４】
そして、この弁開放状態から、図１に示すように、ハンドル２４と共に弁棒１９を回動し、雄ねじ部１９ａ及び雌ねじ部１６ａの螺合関係によって弁棒１９をボンネット１６に対して下方に移動させる。すると、弁棒１９は先端側のスラストパッド２３を押し下げ、このスラストパッド２３がダイヤフラム１８を押し下げ変形させることで、このダイヤフラム１８が弁座シート１５に密着し、ガス流路１２を閉じることができる。このとき、ハンドル２４と共にネームプレート３０が同方向に回動することで、ネームプレート３０の表示窓３１には第２インジケータ２９の表示部２９ｆ「SHUT」が表示されることとなり、ガス流体がガス流路１２から１３に流れることができなくなる。
【００２５】
そして、長期の使用によって弁座シート１５が変形し、スラストパッド２３によってダイヤフラム１８を弁座シート１５に密着させる位置がずれ、ハンドル２４における閉止角度位置がずれることがある。本実施形態の場合、ハンドル２４を弁閉止方向に回転して締め込んでいくと、このハンドル２４の係合突起２４ａが第２インジケータ２９の係止突起２９ｅを介してこの第２インジケータ２９を同方向に回動し、追従して位置が変更されることとなる。従って、ハンドル２４を回動してスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）を弁座シート１５が変形した位置まで移動させることで、第２インジケータ２９の表示部２９ｆはその位置が弁閉止位置に変更されることとなる。そのため、ハンドル２４の表示窓３１と第２インジケータ２９の表示部２９ｆとは、常にスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）が弁座シート１５に密着したガス流路１２，１３の閉止位置で適合して表示されることとなり、作業者による誤操作の発生は防止される。
【００２６】
図５に本発明の第２実施形態に係る流体制御弁を表す断面を示す。
【００２７】
本実施形態の流体制御弁において、図５に示すように、弁本体４１にはガス流体が流通する前後一対のガス流路４２，４３が形成されると共に、このガス流路４２，４３と直交するように弁棒支持孔４４が形成されており、ガス流路４２，４３は連通路４２ａ，４３ａを介してこの弁棒支持孔４４に連通している。そして、弁棒支持孔４４にはこのガス流路４２を囲繞するようにリング状の弁座４５が形成されている。また、弁本体４１には弁棒支持孔４４に連通するようにフランジ部材４６を介して筒状のボンネット４７が嵌合され、このボンネット４７はボンネットナット４８によって弁本体４１に固定されている。
【００２８】
また、ボンネット４７内には弁棒４９が挿入され、基端部がボンネット４７から外方に突出している。そして、弁棒４９の中間部には嵌合部５０が形成されると共にＯリング５１が装着され、ボンネット４７の内周面に軸方向移動自在に嵌合している。そして、この弁棒４９の先端部にはフランジ部材４６に軸移動自在に嵌合するディスクホルダ５２が固結され、このディスクホルダ５２の先端部にディスク５３が固定されており、弁棒４９の下降によってこのディスクホルダ５２と共にディスク５３を押し下げることで、このディスク５３の前面部が弁座４５に密着することができる。なお、フランジ部材４６とディスクホルダ５２との間にはベローズ５４が装着され、流体の外部漏れを防止している。
【００２９】
更に、弁棒４９の嵌合部５０は外周面に雄ねじ部５０ａが形成される一方、ボンネット４７の内周面には雌ねじ部４７ａが形成され、この雄ねじ部５０ａと雌ねじ部４７ａが螺合している。そして、この弁棒４９の基端部にはハンドル５５が嵌合してナット５６によって一体回転可能に固結され、キャップ５７によって隠蔽されている。また、ハンドル５５の下面には係合突起５５ａが一体に形成されている。更に、ボンネット４７の上端外周部には第１インジケータ５８が固定ピン５９によって固定されると共に、この第１インジケータ５８の内周部には第２インジケータ６０が回転自在に嵌合している。一方、ハンドル５５の上面部にはネームプレート６１が固定され、このネームプレート６１には透明の表示窓６２が形成されている。
【００３０】
この第１インジケータ５８には嵌合溝５８ｄが形成され、上面に「OPEN」と記載された表示部５８ｆが設けられる一方、第２インジケータ６０には嵌合突起６０ｄが形成されると共に係止突起６０ｅが形成され、上面に「SHUT」と記載された表示部６０ｆが設けられている。
【００３１】
従って、第１インジケータ５８はボンネット４７の上端外周部に嵌合して固定ピン５９によって固定されている。そして、第２インジケータ６０はこの第１インジケータ５８の内周部に上方から挿入され、嵌合突起６０ｄが嵌合溝５８ｄに嵌合することで取付けられ、周方向回転自在となっている。そして、ハンドル５５、第１インジケータ５８、第２インジケータ６０を組み付け後、このハンドル５５を弁閉止方向に回動して弁棒４９を弁閉止位置に移動することで、ハンドル５５の係合突起５５ａが第２インジケータ６０の係止突起６０ｅに当接してこの第２インジケータ６０を弁閉止方向に回動し、この第２インジケータ６０の表示部６０ｆは弁閉止位置に位置決めされることとなる。なお、第１インジケータ５８の表示部５８ｆはボンネット４７への固定時に弁開放位置に位置決めされる。そのため、ハンドル５５の開放位置ではネームプレート６１の表示窓６２と第１インジケータ５８の表示部５８ｆ「OPEN」とが一致し、ハンドル５５の閉止位置ではネームプレート６１の表示窓６２と第２インジケータ６０の表示部６０ｆ「SHUT」とが一致する。
【００３２】
このように構成された本実施形態の流体制御弁にあって、弁開放状態では、弁棒４９が上方位置にあってディスク５３が弁座４５から離間した位置にあるので、ガス流路４２と４３は流通しており、ネームプレート６１の表示窓６２には第１インジケータ５８の表示部５８ｆ「OPEN」が表示されており、ガス流体はガス流路４２から４３に流れることができる。
【００３３】
そして、この弁開放状態から、ハンドル５５と共に弁棒４９を回動し、雄ねじ部５０ａ及び雌ねじ部４７ａの螺合関係によって弁棒４９をボンネット４７に対して下方に移動させる。すると、弁棒４９は先端側のディスク５３が弁座４５に密着し、ガス流路４２を閉じることができる。このとき、ハンドル５５と共にネームプレート６１が同方向に回動することで、ネームプレート６１の表示窓６２には第２インジケータ６０の表示部６０ｆ「SHUT」が表示されることとなり、ガス流体がガス流路４２から４３に流れることができなくなる。
【００３４】
そして、長期の使用によってディスク５３の前面部が変形し、ディスク５３が弁座４５に密着する位置がずれ、ハンドル５５における閉止角度位置がずれることがある。本実施形態の場合、ハンドル５５を弁閉止方向に回転して締め込んでいくと、このハンドル５５の係合突起５５ａが第２インジケータ６０の係止突起６０ｅを介してこの第２インジケータ６０を同方向に回動し、追従して位置が変更されることとなる。従って、ハンドル５５を回動して変形したディスク５３が弁座４５に密着する位置まで移動させることで、第２インジケータ６０の表示部６０ｆはその位置が弁閉止位置に変更されることとなる。そのため、ハンドル５５の表示窓６２と第２インジケータ６０の表示部６０ｆとは、常にディスク５３が弁座４５に密着したガス流路４２，４３の閉止位置で適合して表示されることとなり、作業者による誤操作の発生は防止される。
【００３５】
図６に本発明の第３実施形態に係る流体制御弁を表す断面、図７に流体制御弁の表示部分の概略を示す。
【００３６】
本実施形態の流体制御弁は、開閉表示部以外は前述した第１実施形態とほぼ同様の構成となっており、なお、同様の機能を有する部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００３７】
本実施形態の流体制御弁において、図６に示すように、弁棒１９の基端部にはハンドル７１が嵌合してナット７２によって一体回転可能に固結され、キャップ７３によって隠蔽されている。また、ハンドル７１の下面には係合突起７１ａが一体に形成されている。更に、ボンネット１６の上端外周部には第１インジケータ７４が回転自在に嵌合し、この第１インジケータ７４の内周部には第２インジケータ７５が回転自在に嵌合している。一方、ハンドル７１の上面部にはネームプレート７６が固定され、このネームプレート７６には透明の表示窓７７が形成されている。
【００３８】
この第１インジケータ７４は、図７に詳細に示すように、円筒部７４ａの上部にフランジ部７４ｂが一体に形成されて構成されている。この円筒部７４ａには軸方向に沿った切欠７４ｃが４ヵ所にわたって形成されると共に、その下部が内方に折曲して嵌合部７４ｄが形成されている。そして、フランジ部７４ｂには扇形状の係止突起７４ｅが形成されると共に、上面に「OPEN」と記載された表示部７４ｆが設けられている。一方、第２インジケータ７５も、第１インジケータ７４と同様に、円筒部７５ａの上部に扇形状の鍔部７５ｂが一体に形成されて構成されている。この円筒部７５ａには軸方向に沿った切欠７５ｃが４ヵ所にわたって形成されると共に、その下部が内方に折曲して嵌合部７５ｄが形成されている。そして、フランジ部７５ｂには係止突起７５ｅが形成されると共に、上面に「SHUT」と記載された表示部７５ｆが設けられている。
【００３９】
従って、第１インジケータ７４はボンネット１６の上端外周部に嵌合部７４ｄが嵌合して周方向回転自在となっている。そして、第２インジケータ７５はこの第１インジケータ７４の内側で位置するようにボンネット１６の上端外周部に嵌合部７５ｄが嵌合して周方向回転自在となっている。そして、ハンドル７１、第１インジケータ７４、第２インジケータ７５を組み付け後、まず、このハンドル７１を弁開放方向に回動して弁棒１９を弁開放位置に移動することで、ハンドル７１の係合突起７１ａが第１インジケータ７４の係止突起７４ｅに当接してこの第１インジケータ７１を弁開放方向に回動し、この第１インジケータ７４の表示部７４ｆは弁開放位置に位置決めされることとなる。次に、このハンドル７１を弁閉止方向に回動して弁棒１９を弁閉止位置に移動することで、ハンドル７１の係合突起７１ａが第２インジケータ７５の係止突起７５ｅに当接してこの第２インジケータ７５を弁閉止方向に回動し、この第２インジケータ７５の表示部７５ｆは弁閉止位置に位置決めされることとなる。そのため、ハンドル７１の開放位置ではネームプレート７６の表示窓７７と第１インジケータ７４の表示部７４ｆ「OPEN」とが一致し、ハンドル７１の閉止位置ではネームプレート７６の表示窓７７と第２インジケータ７５の表示部７５ｆ「SHUT」とが一致する。
【００４０】
このように構成された本実施形態の流体制御弁にあって、図６に示すように、弁開放状態では、弁棒１９が上方位置にあってダイヤフラム１８が弁座シート１５から離間した位置にあるので、ガス流路１２と１３は流通しており、ネームプレート７６の表示窓７７には第１インジケータ７４の表示部７４ｆ「OPEN」が表示されており、ガス流体はガス流路１２から１３に流れることができる。
【００４１】
そして、この弁開放状態から、ハンドル７１と共に弁棒１９を回動し、雄ねじ部１９ａ及び雌ねじ部１６ａの螺合関係によって弁棒１９をボンネット１６に対して下方に移動させる。すると、弁棒１９は先端側のスラストパッド２３を押し下げ、このスラストパッド２３がダイヤフラム１８を押し下げ変形させることで、このダイヤフラム１８が弁座シート１５に密着し、ガス流路１２を閉じることができる。このとき、ハンドル７１と共にネームプレート７６が同方向に回動することで、ネームプレート７６の表示窓７７には第２インジケータ７５の表示部７５ｆ「SHUT」が表示されることとなり、ガス流体がガス流路１２から１３に流れることができなくなる。
【００４２】
そして、長期の使用によって弁座シート１５が変形し、スラストパッド２３によってダイヤフラム１８を弁座シート１５に密着させる位置がずれ、ハンドル７１における閉止角度位置がずれることがある。本実施形態の場合、ハンドル７１を弁閉止方向に回転して締め込んでいくと、このハンドル７１の係合突起７１ａが第２インジケータ７５の係止突起７５ｅを介してこの第２インジケータ７５を同方向に回動し、追従して位置が変更されることとなる。従って、ハンドル７１を回動してスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）を弁座シート１５が変形した位置まで移動させることで、第２インジケータ７５の表示部７５ｆはその位置が弁閉止位置に変更されることとなる。そのため、ハンドル７１の表示窓７７と第２インジケータ７５の表示部７５ｆとは、常にスラストパッド２３（ダイヤフラム１８）が弁座シート１５に密着したガス流路１２，１３の閉止位置で適合して表示されることとなり、作業者による誤操作の発生は防止される。
【００４３】
また、長期の使用によって弁開放位置における弁棒１９の嵌合部２０とボンネット１６との接触部が摩耗し、この弁開放位置がずれ、ハンドル７１における開放角度位置がずれることがある。本実施形態の場合、ハンドル７１を弁開放方向に回転して締め込んでいくと、このハンドル７１の係合突起７１ａが第１インジケータ７４の係止突起７４ｅを介してこの第１インジケータ７４を同方向に回動し、追従して位置が変更されることとなる。従って、ハンドル７１を回動して弁棒１９を弁開放位置まで移動させることで、第１インジケータ７４の表示部７４ｆはその位置が弁開放位置に変更されることとなる。そのため、ハンドル７１の表示窓７７と第１インジケータ７５の表示部７４ｆとは、常に弁開放位置で適合して表示されることとなり、作業者による誤操作の発生は防止される。
【００４４】
なお、上述の実施形態において、本発明の流体制御弁を各種の制御弁に適用して説明したが、この実施形態に限定されるものではない。例えば、弁の閉止位置と開放位置の両方に弁座を有するものにおいても適用することができ、この場合、「OPEN」表示部を有する第１インジケータと「SHUT」表示部を有する第２インジケータとの両方を回動自在に装着することで、前述したものと同等の作用効果を得ることができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上、実施形態において詳細に説明したように本発明の流体制御弁によれば、流体が流通する流体通路を有する弁本体にこの流体通路を囲繞するように弁座を設ける一方、弁本体の弁棒支持孔内に弁棒を軸方向移動自在に支持して先端部に弁座に密着することで流体通路を閉止可能な弁体を装着する一方、弁棒の基端部にハンドルを連結してこのハンドルの回転により移動機構を介して弁棒を移動可能とし、弁本体に第１表示部を有する第１インジケータと第２表示部を有する第２インジケータとを互いに相対回転自在に装着する一方、ハンドルにその回動位置に応じて第１表示部あるいは第２表示部のいずれか一方が表示される表示窓を設けると共にハンドルあるいは弁棒に第２インジケータを一方方向に回動させ弁閉止位置に位置決めさせる回動部を設けたので、弁座が長期の使用によって変形し、弁体による流体通路の閉止位置がずれてハンドルにおける閉止角度位置がずれても、このハンドルの閉止方向の回動に伴って回動部が第２インジケータを一方方向に回動させることとなり、この第２インジケータはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による流体通路の閉止位置ではハンドルの表示窓と第２インジケータの第２表示部との位置を確実に適合して表示することができ、作業者による誤操作の発生を防止することができる。
【００４６】
また、本発明の流体制御弁によれば、第１インジケータと第２インジケータを互いに相対回転自在で且つ弁本体に対して回動自在とし、ハンドルあるいは弁棒に第１インジケータを一方方向に回動させる第１回動部を設けると共に第２インジケータを他方方向に回動させる第２回動部を設けたので、弁体の開放位置に弁座が設けられている場合であっても、この弁座が長期の使用によって変形し、弁体による流体通路の開放位置がずれてハンドルにおける開放角度位置がずれても、このハンドルの開放方向の回動に伴って第１回動部が第１インジケータを他方方向に回動させることとなり、この第１インジケータはハンドルに追従して位置が変更され、弁体による流体通路の開放位置ではハンドルの表示窓と第１インジケータの第１表示部との位置を確実に適合して表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る流体制御弁を表す断面図である。
【図２】流体制御弁の表示部分を表すハンドルの平面図である。
【図３】第１インジケータの概略図である。
【図４】第２インジケータの概略図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る流体制御弁を表す断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る流体制御弁を表す断面図である。
【図７】流体制御弁の表示部分の概略図である。
【図８】従来の流体制御弁の断面図である。
【図９】従来の流体制御弁における弁閉止状態を表す要部断面図である。
【符号の説明】
１１，４１  弁本体
１２，１３，４２，４３  ガス流路
１４，４４  弁棒支持孔
１５  弁座シート
１６，４７  ボンネット
１６ａ，４７ａ  雌ねじ部（移動機構）
１８  ダイヤフラム（弁体）
１９，４９  弁棒
１９ａ，５０ａ  雄ねじ部（移動機構）
２３  スラストパッド
２４，５５，７１  ハンドル
２４ａ，５５ａ，７１ａ  係合突起（回動部）
２７，５８，７４  第１インジケータ
２７ｆ，５８ｆ，７４ｆ  表示部
２９，６０，７５  第２インジケータ
２９ｅ，６０ｅ，７４ｅ，７５ｅ  係止突起
２９ｆ，６０ｆ，７５ｆ  表示部
３１，６２，７７  表示窓
４５  弁座
５３  ディスク（弁体）
５４  ベローズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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