(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
孔付き凸部を有する被試験体の該凸部にキャップを装着してチャンバに被試験体を着脱可能に装着し、被試験体とチャンバとの間を封止するとともに、チャンバにヘリウムガスを導入し、被試験体内部に漏出したヘリウムガスを吸引することによりヘリウムリークテストを行う方法において、リークテスト終了後、ヘリウムリークテスト装置のガス流通路を介して被試験体内部に窒素ガスまたは乾燥空気を加えることによって、被試験体のキャップを取り外すとともに、被試験体内部を大気ベントし、さらにチャンバ内部のヘリウムを排気することを特徴とするヘリウムリークテスト方法。
【請求項２】
孔付き凸部を有する被試験体の該凸部にキャップを装着してチャンバに被試験体を着脱可能に装着し、被試験体とチャンバとの間を封止するとともに、チャンバにヘリウムガスを導入し、被試験体内部に漏出したヘリウムガスを吸引することによりリークを検出するヘリウムリークテスト装置において、被試験体内部に窒素ガスまたは乾燥空気を導入する機構を備え、リークテスト終了後、ヘリウムリークテスト装置のガス流通路を介して被試験体内部に前記窒素ガスまたは乾燥空気を加えることによって、被試験体のキャップを取り外すとともに、被試験体内部を大気ベントし、さらにチャンバ内部のヘリウムを排気することを特徴とするヘリウムリークテスト装置。
【請求項３】
前記チャンバにキャップ収集部を備えたことを特徴とする、請求項２記載のヘリウムリークテスト装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ヘリウムリークテスト方法及び装置、特に孔付き凸部を有する被試験体の該凸部にキャップを装着してヘリウムリークテストを行う方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ヘリウムリークテストを行う場合、被試験体をチャンバ内に封止した後、このチャンバ内にヘリウムガスを導入し、被試験体から漏出してくるヘリウムガスを吸引してリークを検出しているが、被試験体が孔を有する凸部を備えている場合には、この凸部にキャップを装着してテストを行っている。
【０００３】
図２に被試験体の孔を有する凸部にキャップを装着してヘリウムリークテストを行う従来の装置を示す。
被試験体１は有底筒状のもので凸部を有し、この凸部には孔が空いている。この被試験体１をテストする場合、凸部にキャップ２を装着して孔をシールした後、その開口端側を下にしてチャンバのワーク台３に載置する。そして、チャンバの蓋４を閉めると、バネ５を有する押圧体６が被試験体１をウレタンパッキン７に圧接する。さらに、クランプ９を締め付けることにより、チャンバ内が機密に封止されるとともに、被試験体１がウレタンパッキン７に密接に圧接される。
【０００４】
次に、バルブＶ１を閉にして、ヘリウムリークディテクタ１０単独または粗引きポンプ１１との並列排気（バルブ Ｖ２開）によりガス流通路８を介して被試験体１内部を真空引きする。そして、ヘリウムリークディテクタ１０により検出しているヘリウム測定値のバックグラウンド値が所定値以下に低下したら、バルブＶ１を一定時間開き、ヘリウムＨｅを被試験体１に吹き付けてヘリウムリークテストを行う。
【０００５】
リークテストの終了後、クランプ９を外し、蓋４を開けた後、窒素ガスＮ２または乾燥ガスをリークディテクタを通して流し、配管およびガス流通路８の通気を行う。そして、リークテスト装置から被試験体１を取り外した後、取り外した被試験体１のキャップ２を手動またはキャップ抜き治具により取り外して、リークテストを完了する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来、孔付き凸部を有する被試験体のヘリウムリークテストは上記のようにして行われているが、リークテスト終了後、被試験体に装着したキャップを手動またはキャップ抜き治具を使用して取り外し、その後、次の被試験体のテストを開始しており、手間がかかり、被試験体の数が多い場合には非常に時間がかかるという問題がある。また、治具を使用する場合には、被試験体の形状に応じて治具を作成する必要があり、作成にも時間がかかるという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記のような課題に鑑み創案されたもので、リークテスト終了後キャップ抜き取りの時間、手間を大幅に短縮、削減することができるヘリウムリークテスト装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明のヘリウムリークテスト装置は、上記目的を達するため、孔付き凸部を有する被試験体の該凸部にキャップを装着してチャンバに着脱可能に装着し、被試験体とチャンバとの間を封止するとともに、チャンバにヘリウムガスを導入し、被試験体内部に漏出したヘリウムガスを吸引することによりリークを検出するヘリウムリークテスト装置において、被試験体内部に窒素ガスまたは乾燥空気を導入する機構を備え、リークテスト終了後、ヘリウムリークテスト装置のガス流通路を介して被試験体内部に前記窒素ガスまたは乾燥空気を加えることによって、被試験体のキャップを取り外すとともに、被試験体内部を大気ベントし、さらにチャンバ内部のヘリウムを排気することを特徴とする。また、前記チャンバにはキャップ収集部を備えたことを特徴とする。
本発明は上記のように構成されており、リークテスト終了後、被試験体内部に窒素ガスまたは乾燥空気を加えて被試験体のキャップを圧力によって自動的に取り外すことができるので、キャップ抜き取りの手間が省け、テスト時間を短縮することができる。さらに、チャンバにキャップ収集部を備えていれば、テスト終了後キャップを拾う手間が省け、さらにテスト時間の短縮を図ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のヘリウムリークテスト装置の一実施例を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明のヘリウムリークテスト装置を示す図である。
この装置は、バネ５を有する押圧体６を備えた蓋４とワーク台３よりなるチャンバを有し、蓋４にはキャップ収集部１２とバルブＶ４及びＶ５をそれぞれ備えたガス導管が接続されている。蓋４とワーク台３は蝶番で結合され、クランプ９により締め付けることができるようになっている。また、ワーク台３にはガス流通路８が設けられているとともに、その上部にウレタンパッキン７を備えている。さらに、ガス流通路８にはバルブＶ１、Ｖ３に繋がるガス導管が接続され、バルブＶ１の後端部にはヘリウムリークディテクタ１０とバルブＶ２、粗引きポンプ１１が並列に接続されている。
【００１０】
孔が空いている凸部を有する、有底筒状の被試験体１をテストする場合には、凸部にキャップ２を装着して孔をシールした後、その開口端側を下にして被試験体１をチャンバのワーク台３に載置する。そして、チャンバの蓋４を閉めると、バネ５を有する押圧体６が被試験体１を押圧し、被試験体１はウレタンパッキン７に押圧される。さらに、クランプ９を締め付けることにより、チャンバ内が気密に封止されるとともに、被試験体１がさらにウレタンパッキン７に密接に押圧される。
【００１１】
次に、バルブＶ１を開、バルブＶ３、Ｖ４、Ｖ５を閉にして、ヘリウムリークディテクタ１０単独または粗引きポンプ１１との並列排気（バルブＶ２開）によりガス流通路８を介して被試験体１内部を真空引きする。そして、ヘリウムリークディテクタ１０により検出しているヘリウム測定値のバックグラウンド値が所定値以下に低下したら、バルブＶ４を一定時間開いてヘリウムＨｅを被試験体１に吹き付け、ヘリウムリークディテクタ１０がヘリウムの有無または漏出量を計測する。
【００１２】
ヘリウムリークテスト終了後、バルブＶ１を閉にし、バルブＶ３、Ｖ５を開にして、被試験体１の内部にガス流通路８を介して加圧された窒素ガスＮ２または乾燥空気を加える。これにより被試験体１内部の圧力が高くなり、被試験体１に装着されたキャップ２が吹き飛ばされる。吹き飛んだキャップ２はキャップ収集部１２に入り込む。このキャップを抜き取るために使用した窒素ガスはヘリウムガスとともにバルブＶ５を介して排気される。
キャップ２が飛んだ後、バルブＶ３、Ｖ５を閉にし、クランプ９を緩めて蓋４を開け、被試験体を取り外す。そして、次の被試験体にキャップを装着し、それをチャンバーにセットして、次のテストを行う。
キャップ収集部１２内のキャップ２は、キャップ収集部１２内がいっぱいになったとき、まとめて排出すればよい。
【００１３】
上記実施例では、手動で被試験体にキャップを装着した後、被試験体をチャンバーにセットし、蓋を閉め、クランプで締め付けたが、あらかじめキャップを装着した多数の被試験体を用意し、蓋の開け閉め、被試験体のセット、クランプの締め付け等を自動化することもできる。また、上記実施例ではチャンバーの蓋にキャップ収集部を設けたが、キャップ収集部を設けなくともよく、この場合には、テスト終了後被試験体とキャップを手で取り除けばよい。
【００１４】
【発明の効果】
本発明のヘリウムリークテスト装置は上記のように構成されており、リークテスト終了後、被試験体内部に窒素ガスまたは乾燥空気を加えて被試験体のキャップを自動的に取り外すことができるので、キャップ抜き取りの手間が省け、大量の被試験体を試験する場合には、試験時間を大幅に短縮することができる。さらに、チャンバにキャップ収集部を備えていれば、試験終了後キャップを集める手間が省け、一定個数の被試験体の試験が終了した後、まとめてキャップを排出することができるので、さらに試験時間の短縮を図ることができる。また、キャップを抜き取るための被試験体の形状に応じた多くの治具は不要となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のリークテスト装置を示す図である。
【図２】従来のリークテスト装置を示す図である。
【符号の説明】
１  被試験体
２  キャップ
３  ワーク台
４  蓋
５  バネ
６  押圧体
７  ウレタンパッキン
８  ガス流通路
９  クランプ
１０  ヘリウムリークディテクタ
１１  粗引きポンプ
１２  キャップ収集部
【図１】
0003797193.tif 000002
【図２】
0003797193.tif 000003