(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁紙を挟んで導電材で形成した２つの要素コイルを貼り合わせた帯状コイルを非磁性の芯金の両面に固定してなる固定子と、前記固定子に空隙を介して対向する永久磁石を具えた可動子とを有し、前記固定子はヘッダを介してキャン内に取付けられているリニアモータにおいて、
平板状の取付片本体と、この取付片本体から突出させ略直角に折り曲げた折曲片とからなる取付片を備え、前記芯金に取付片本体を固定するとともに、前記取付片の折曲片を前記ヘッダに固定したことを特徴とするリニアモータ。
【０００１】
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の加工テーブル等を軸線方向に駆動するリニアモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のリニアモータは、図５ないし図７に示すように構成されている。
図において、３６はリニアモータで、このリニアモータ３６は可動子２１と固定子２２より構成されている。前記可動子２１は、コ字状の支持台２３の両脚にヨーク２４、２５を取付けている。２６、２７は永久磁石で、前記ヨーク２４、２５に取付けて、図示しない搬送装置の可動部材に取付けて可動部材と一体に往復動できるように構成されている。前記固定子２２はつぎのように構成されている。導電板を打ち抜き、一方の端部にくの字状部のコイルエンド２８ａを有する要素コイル２８を設け、この要素コイル２８を絶縁紙３３を挟んで２枚重ね合わせて帯状コイル２９を形成し、この帯状コイル２９を非磁性材の芯金３０に取付けている。前記帯状コイル２９を取付けた芯金３０側部をガイド３１に取付け、このガイド３１と一体にキャン３２内に収納し、ガイド３１の側面とキャン３２の内壁とを接着材で接着してガイド３１に取付けた帯状コイル２９をキャン３２に固定していた。そして、前記キャン３２の両端にヘッダ３３を取付けて固定子２２を構成している。３４は帯状コイル２９の外周に充填した絶縁樹脂である。このように構成した固定子２２を図示しない搬送装置の固定部材に支持具３５を介して取付けている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のリニアモータは、キャン３２内にガイド３１と一体に帯状コイル２９を収納しており、帯状コイルの先端位置が不揃いとなり必要な推力を得ることができなかった。このため、帯状コイル２９がキャン３２内の所定の位置にくるように治具を用いて位置決めしてガイド３１とキャン３２の内壁とを接着材で接着しており、位置決め作業が煩雑となっていた。また、キャンの内壁に帯状コイル２９を支持するガイド３１を接着材で接着固定しているため、接着がはずれて帯状コイル２９が移動するという欠点があった。
そこで、本発明は、帯状コイルの先端位置を正確に位置決めでき、キャンに帯状コイルを確実に固定するようにすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明は、絶縁紙を挟んで導電材で形成した２つの要素コイルを貼り合わせた帯状コイルを非磁性の芯金の両面に固定してなる固定子と、前記固定子に空隙を介して対向する永久磁石を具えた可動子とを有し、前記固定子はヘッダを介してキャン内に取付けられているリニアモータにおいて、平板状の取付片本体と、この取付片本体から突出させ略直角に折り曲げた折曲片とからなる取付片を備え、前記芯金に取付片本体を固定するとともに、前記取付片の折曲片を前記ヘッダに固定するようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施例に基づいて説明する。
図１は本発明の実施例を示すカバーを取り外したリニアモータの正面図で、下半分を断面図としたものである。図２は本発明の実施例を示すリニアモータの固定子を示すもので、（ａ）はリニアモータの固定子の側断面図、（ｂ）は図（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図、図３はカバーを取り外したリニアモータの正面図である。
図において、１はリニアモータで、このリニアモータ１は可動子２と固定子３より構成されている。前記可動子２は、コ字状の支持台４の両脚にヨーク５、６を取付けている。７、８は永久磁石で、前記ヨーク５、６に取付け、図示しない搬送装置の可動部材に取付けて可動部材と一体に往復動できるように構成されている。前記固定子３は、導電板を打ち抜き、一方の端部にくの字状部のコイルエンド９ａを有する要素コイル９を設け、この要素コイル９を絶縁紙１０を挟んで２枚重ね合わせて帯状コイル１１を形成し、この帯状コイル１１を非磁性材の芯金１２に取付けている。前記帯状コイル１１を取付けた芯金１２をガイド１３に取付け、このガイド１３と一体に帯状コイル１１をキャン１４に収納している。１５、１６はキャン１４の端部に取付けたヘッダで、側部に冷媒の注入出口１５ａ、１６ａを設けている。１７は取付片で、平板状の薄板より取付片本体１７ａの側部を略直角に折り曲げた折曲片１７ｂを設け、この取付片本体１７ａおよび折曲片１７ｂに取付け穴を設けている。１８はヘッダの開口部を覆うカバーである。１９は薄板をＬ字状に折り曲げて構成した支持具で、一方の脚部を前記芯金１２に固定し、他方の脚部をヘッダ１６に固定している。２０は絶縁樹脂で、前記帯状コイル１１の外周に充填している。２１は前記固定子３を支持する固定部材で、この固定部材２１を図示しない搬送装置の固定部に取付けている。
このように構成したリニアモータの組立はつぎのようにして行う。
まず、芯金１２の両面の所定位置に、帯状コイル１１を取付ける。前記芯金１２に、取付片１７の取付片本体１７ａおよび支持具１９の一方の脚部を、ねじ締めにより取付ける。前記芯金１２の側面部に、ガイド１３を接着固定する。つぎに、ヘッダ１５を取付けたキャン１４に、取付片１７、支持具１９およびガイド１３を取付けた芯金１２を挿入する。前記芯金１２に取付けた取付片１７の折曲片１７ｂを、キャン１４に取付けたヘッダ１５の側面に当接させてねじ締め固定する。これにより、芯金１２の帯状コイル１１が、キャン１４内において軸方向および幅方向に位置決めされる。つぎに、支持具１９の他方脚部を芯金１２の他端とヘッダ１６とに固定して、芯金１２をヘッダ１６に固定する。この場合、帯状コイル１１を取付けた芯金１２は取付片１７によってねじ締め固定されるので帯状コイル１１は確実に固定される。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によればキャン内に帯状コイルの先端位置を正確に位置決めすることができ、キャンに帯状コイルを確実に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示すカバーを取り外したリニアモータの正面図で、下半分を断面図としたものである。
【図２】本発明の実施例を示すリニアモータの固定子を示すもので、（ａ）は固定子の側断面図、（ｂ）は図（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】本発明の実施例を示すリニアモータのカバーをと取り外したリニアモータの正面図である。
【図４】従来のリニアモータの内部構造を省略した正断面図である。
【図５】従来のリニアモータの側断面図である。
【図６】図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
１  リニアモータ、  ２  可動子、  ３  固定子、  ４  支持台、
５、６  ヨーク、  ７、８  永久磁石、  ９  要素コイル
１０  絶縁紙、  １１  帯状コイル、  １２  芯金、  １３  ガイド、
１４  キャン、  １５、１６  ヘッダ、  １５ａ、１６ａ  注入出口、
１７  取付片、  １７ａ  取付片本体、  １７ｂ  折曲片、
１８  カバー、  １９  支持具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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