(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレームを搬送するトンネル状の搬送空間を有する搬送路と、この搬送路に対して酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給手段とを有するリードフレーム搬送装置において、前記搬送路内における前記酸化防止ガスの流れを、前記リードフレームの搬送方向に沿う方向にする流れ方向規制手段を設けたことを特徴とするリードフレーム搬送装置。
【請求項２】
リードフレームを搬送するトンネル状の搬送空間を有する搬送路と、この搬送路に対して酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給手段と、前記搬送路上に設定された前記リードフレームに対する作業位置とを有するリードフレーム搬送装置において、前記搬送路における前記酸化防止ガスの流れを、前記作業位置を基準として前記作業位置から遠ざかる方向とする流れ方向規制手段を設けたことを特徴とするリードフレーム搬送装置。
【請求項３】
流れ方向規制手段は、前記酸化防止ガスの噴出方向が前記リードフレームの搬送方向に対して傾斜するごとくに形成された吹出し孔であることを特徴とする請求項１または２記載のリードフレーム搬送装置。
【請求項４】
流れ方向規制手段は、前記搬送路における前記リードフレームの搬送方向に直交する方向の断面積が、前記リードフレームの搬送方向において徐々に増大するごとくに、前記搬送路の内壁に形成された段部であることを特徴とする請求項１または２記載のリードフレーム搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、銅等の酸化しやすい材質からなるリードフレーム（全体又はリード部分を銅系材料で形成した基板を含む）を酸化防止ガス雰囲気の中で搬送するリードフレーム搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、ワイヤボンディング装置において、銅等の酸化しやすい材質のリードフレームを用いる場合、リードフレームの搬送中、並びにボンディング作業位置でのボンディング中にリードフレームが酸化することを防止するために、図４、５に示すように、リードフレーム１を、窒素ガス等の酸化防止ガスで満たした搬送装置２の搬送路３内で搬送している。そして、この搬送路３内へは、搬送レール４の側壁部４ａ（図４）、或いは底部４ｂ（図５）に形成された吹出し孔５から、常に新しい酸化防止ガスが供給される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、吹出し孔５は、リードフレーム１の搬送方向に直交して形成されているため、吹出し孔５から噴出された酸化防止ガスは、図中矢印で示すように、対向する吹き出し孔５から噴出される酸化防止ガス（図４）や対向する蓋部６（図５）に衝突して上下左右に広がり、その後、隣り合う吹き出し孔５から噴出されて左右に広がった酸化防止ガスと衝突し、搬送路３において対流現象を引き起こす。そのため、常に新しい酸化防止ガスが吹出し孔５から供給されているにもかかわらず、酸化防止ガスの供給前に搬送路３を満たしていた空気と酸化防止ガスとの交換が良好に行なえないまま、搬送路３内に空気がいつまでも滞り、リードフレーム１の酸化を十分に防止できないという問題を生じていた。
【０００４】
本発明は、リードフレームの酸化を良好に防止することができるリードフレーム搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、リードフレームを搬送するトンネル状の搬送空間を有する搬送路と、この搬送路に対して酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給手段とを有するリードフレーム搬送装置において、前記搬送路内における前記酸化防止ガスの流れを、前記リードフレームの搬送方向に沿う方向にする流れ方向規制手段を設けたことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明は、リードフレームを搬送するトンネル状の搬送空間を有する搬送路と、この搬送路に対して酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給手段と、前記搬送路上に設定された前記リードフレームに対する作業位置とを有するリードフレーム搬送装置において、前記搬送路における前記酸化防止ガスの流れを、前記作業位置を基準として前記作業位置から遠ざかる方向とする流れ方向規制手段を設けたことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態について図面を用いて説明する。図１は、本発明に係るリードフレーム搬送装置の第１の実施の形態を示す平面断面図、図２は本発明に係るリードフレーム搬送装置の第１の実施の形態を示す側面断面図である。
【０００８】
図において、リードフレーム搬送装置１０は、搬送レール１１と、搬送レール１１の上部を覆う蓋部１２と、搬送レール１１と蓋部１２にて形成されるトンネル状の搬送空間を有する搬送路１３に対して窒素ガス等の酸化防止ガスを供給する酸化防止ガス供給手段１４とを有する。
【０００９】
搬送レール１１は、不図示の送り機構にて搬送されるリードフレーム１をガイドする側壁部１１ａと底部１１ｂとを有し、底部１１ｂのボンディング位置に対応する部分には開口部１１ｃが形成され、この開口部１１ｃにはヒータブロック１５が配置される。
【００１０】
蓋部１２は、平板状に形成され、ボンディング位置に対応する部分には、ボンディングアーム１６の先端に保持されたキャピラリ１７が侵入可能な四角形状の開口部１２ａを有する。
【００１１】
酸化防止ガス供給手段１４は、窒素ガスボンベ等の酸化防止ガスの供給部１４ａ、供給配管１４ｂ、チャンバ室１４ｃ、吹出しノズル１４ｄを有する。チャンバ室１４ｃは、搬送レール１１の側壁部１１ａ内に、リードフレーム１の搬送方向（矢印Ａ方向）に沿って複数配置される。吹出しノズル１４ｄは、チャンバ室１４ｃと搬送路１３とを連通し、かつ酸化防止ガスの吹出し方向がリードフレーム１の搬送方向Ａに対して傾斜する方向を向くように形成される。すなわち、吹出しノズル１４ｄは、図１において、ボンディング位置Ｐを基準として、左側の搬送領域Ｌにおいては、リードフレーム１の反搬送方向（矢印Ｂ方向）を向き、かつ搬送方向Ａに対して傾斜して形成され、右側の搬送領域Ｒにおいては、リードフレーム１の搬送方向Ａを向き、かつ搬送方向Ａに対して傾斜して形成される。また、ボンディング位置に対応して配置された吹出しノズル１４ｄは、リードフレーム１の搬送方向に直交して形成される。
【００１２】
次に、作動について説明する。
【００１３】
ワイヤボンディング動作を実施するにあたり、ワイヤボンディング装置が起動されると、不図示のヒータがＯＮされてヒータブロック１５が加熱されるとともに、酸化防止ガス供給部１４ａの不図示の開閉弁が開かれ、供給配管１４ｂ、チャンバ室１４ｃ、吹出しノズル１４ｄを介して搬送路１３内に酸化防止ガスが供給される。ここで、搬送路１３に供給された酸化防止ガスは、右側搬送領域Ｒにおいては、リードフレーム１の搬送方向Ａへ向かって流れ、左側搬送領域Ｌにおいては、リードフレーム１の反搬送方向Ｂへ向かって流れ、それぞれ搬送路１３の端部から外に排出される。また、ボンディング位置Ｐにおいては、対向する吹出し孔１４ｄから噴出された酸化防止ガス同士が衝突して上下および左右に広がり、左右に広がった酸化防止ガスは、上述の搬送方向Ａ、或いは反搬送方向Ｂへ向かう酸化防止ガスの流れと合流して流れ、上方に広がった酸化防止ガスは、開口部１２ａから搬送路１３の外部へと噴出する。これにより、搬送路１３内は、所定時間経過後には酸化防止ガス雰囲気で満たされる。
【００１４】
所定時間が経過し、ヒータブロック１５が所定温度に加熱され、搬送路１３内が酸化防止ガス雰囲気で満たされた後、リードフレーム１が、不図示のリードフレーム供給手段により搬送装置１０に供給されて搬送路１３内をボンディング位置Ｐへと搬送される。そして、ボンディング位置Ｐにおいて、リードフレーム１は、キャピラリ１７により公知のワイヤボンディングが施される。この後、リードフレーム１は、さらに搬送路１３内を搬送されて不図示のリードフレーム収納手段へ収納される。
【００１５】
上記第１の実施の形態によれば、吹出しノズル１４ｄから噴出された酸化防止ガスは、搬送路１３内において、ボンディング位置Ｐを基準として右側搬送領域Ｒ、左側搬送領域Ｌに向かう流れを形成する。これにより、搬送路１３に供給された酸化防止ガスは、搬送路１３内で滞ることなく、搬送レール１１の両端部側からスムーズに搬送路１３の外へ排出される。従って、酸化防止ガスの供給前に、搬送路１３内を満たしていた空気と酸化防止ガスとの交換を良好に行なうことができ、よって、リードフレーム１の酸化を良好に防止することができる。
【００１６】
また、開口部１２ａから多量の酸化防止ガスが吹き上げると、キャピラリ１７から突出されたワイヤ１８と不図示の放電電極との間で成される放電が、吹き上げた酸化防止ガスの流れの影響を受けて不安定になり、ワイヤ１８の先端に所望するボールが形成できないという問題を生じ得るが、上記実施の形態によれば、この問題も防止することができる。つまり、吹出しノズル１４ｄから噴出された酸化防止ガスが、搬送路１３内において、ボンディング位置Ｐを基準として右側搬送領域Ｒ、左側搬送領域Ｌに向かう流れを形成することから、従来開口部１２ａ付近に滞っていた酸化防止ガスや開口部１２ａから噴出されていた酸化防止ガスの一部が、右側搬送領域Ｒ、或いは左側搬送領域Ｌの酸化防止ガスの流れに引き込まれ、搬送路１３の端部から外に排出されることとなる。従って、開口部１２ａから噴出される酸化防止ガスを従来に比べて減少させることができ、ワイヤ先端と不図示の放電電極との間で成される放電が、酸化防止ガスの影響で不安定になることを極力防止することができ、よって、従来に比べて安定したボールの形成状態を得ることができるのである。
【００１７】
次に、第２の実施の形態について説明する。図３は、本発明に係るリードフレーム搬送装置の第２の実施の形態を示す側面断面図である。
【００１８】
図において、図１と同一部品には同一符号を付し、説明を省略する。
【００１９】
リードフレーム搬送装置２０は、搬送レール１１と、蓋部１２と、酸化防止ガス供給手段１４とを有し、酸化防止ガス供給部１４ａから供給された酸化防止ガスは、供給配管１４ｂ、吹出しノズル１４ｄを介して搬送路１３に供給される。また、この実施の形態において、吹出しノズル１４ｄは、リードフレーム１の搬送方向Ａに対して直交して配置される。
【００２０】
蓋部１２は、天面１２ｂに段部２１、２２を有し、この段部２１、２２は、ボンディング位置Ｐから遠ざかるに従って、搬送路１３における搬送方向Ａに直交する方向の断面積が増大する階段状に形成される。
【００２１】
この実施の形態において、吹出しノズル１４ｄから噴出された酸化防止ガスは、天面１２ｂに衝突して左右方向に広がり、その後、隣り合う吹き出ノズル１４ｄから噴出されて左右に広がった酸化防止ガスと衝突して搬送路１３内に広がるが、搬送路１３は、段部２１、２２によって、ボンディング位置Ｐから遠ざかるに従って断面積、すなわち容積が増大するように形成されていることから、搬送路１３内の酸化防止ガスは、容積が大きくなる方向へと流れ出る。つまり、酸化防止ガスは、右側搬送領域Ｒにおいては、リードフレーム１の搬送方向Ａに向かって流れ、左側搬送領域Ｌにおいては、リードフレーム１の反搬送方向Ｂに向かって流れ、それぞれ搬送路１３の端部から外に排出される。また、ボンディング位置Ｐにおいては、広がった酸化防止ガスは、右側搬送領域Ｒ、或いは左側搬送領域Ｌに向かって流れるとともに、開口部１２ａから搬送路１３の外へ噴出する。
【００２２】
上記第２の実施の形態によれば、吹出しノズル１４ｄから噴出された酸化防止ガスは、搬送路１３内において、ボンディング位置Ｐを基準として右側搬送領域Ｒ、或いは左側搬送領域Ｌに向かう流れを形成する。したがって、搬送路１３内に供給された酸化防止ガスは、搬送路１３内で滞ることなく、搬送路１３の両端部側からスムーズに搬送路１３の外へ排出され、酸化防止ガスの供給前に、搬送路１３内を満たしていた空気と酸化防止ガスとの交換を良好に行なうことができ、よって、リードフレーム１の酸化を良好に防止することができる。
【００２３】
また、本実施の形態においても、第１の実施の形態と同様に、ワイヤ先端へのボール形成時の放電状態の安定化を図ることができる。
【００２４】
なお、上記実施の形態において、吹出しノズル１４をリードフレーム１の搬送方向に対して傾斜して設けた例、および蓋部１２に段部２１、２２を設けた例を用いて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、段部２１、２２の代わりに蓋部１２の天面１２ｂに、ボンディング位置Ｐから遠ざかるにしたがって高くなる傾斜部を設けてもよい。また、傾斜配置した吹出しノズル１４ｄ、および段部２１、２２を共に設けるものであってもよい。
【００２５】
また、酸化防止ガスの流れ方向をボンディング位置Ｐを基準として左右の搬送領域に向かう方向に設定した例で説明したが、酸化防止ガスの流れ方向は、リードフレーム１の搬送方向、或いは反搬送方向のいずれか一方向であってもよい。
【００２６】
また、上記実施の形態において、ワイヤボンディング装置に適用した例で説明したが、他の装置、例えば、半導体レットをリードフレーム等にボンディングする半導体ペレットボンディング装置に適用してもよい。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、リードフレームの酸化を良好に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るリードフレーム搬送装置の第１の実施の形態を示す平面断面図である。
【図２】本発明に係るリードフレーム搬送装置の第１の実施の形態を示す側面断面図である。
【図３】本発明に係るリードフレーム搬送装置の第２の実施の形態を示す側面断面図である。
【図４】従来のリードフレーム搬送装置を示す平面断面図である。
【図５】他の従来のリードフレーム搬送装置を示す側面断面図である。
【符号の説明】
１  リードフレーム
１０、２０  リードフレーム搬送装置
１１  搬送レール
１２  蓋部
１３  搬送路
１４  酸化防止ガス供給手段
１４ａ  供給部
１４ｄ  吹出しノズル（吹出し孔）
１５  ヒータブロック
２１、２２、２３  段部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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