(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の縁部の表面付着物をテープ状清掃材によって除去するガラス基板のクリーニング装置であって、前記ガラス基板を保持する保持手段と、前記テープ状清掃材を一対の押圧子によって前記縁部の上下両面に押し付けるクリーニング手段と、前記保持手段をこのクリーニング手段に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、前記クリーニング手段は、前記一対の押圧子を開閉駆動するチャック機構と、このチャック機構を所定の高さ位置に弾性的に支持するとともにチャック機構が前記所定の高さ位置から上下方向に変位した場合にこのチャック機構に前記変位を復元する復元力を与えるチャック支持手段とを有することを特徴とするガラス基板のクリーニング装置。
【請求項２】
ガラス基板の縁部の上下両面に、クリーニング装置に弾性的に支持されるチャック機構の１対の押圧子によりテープ状清掃材を押しつけ、このテープ状清掃材に対してガラス基板を相対移動させることにより前記縁部の表面付着物を除去するガラス基板のクリーニング方法であって、前記ガラス基板の相対移動においてチャック機構が所定の高さ位置から上下方向に変位した場合にこのチャック機構に前記変位を復元する復元力を与えることにより、前記チャック機構を所定の高さ位置に復帰させることを特徴とするガラス基板のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示パネルなどのガラス基板の縁部をクリーニングするガラス基板のクリーニング装置およびクリーニング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
表示パネルなどのガラス基板の製造工程では、ガラス基板の縁部に形成された端子にサブ基板が接続される。この接続の方法として異方性導電材によってガラス基板にサブ基板を接合する方法が用いられる。この接合に先立って、ガラス基板の縁部の表面に付着した異物の除去や、ガラス基板表面に電子部品を実装するために貼付されるＡＣＦ（異方性導電接着剤）の貼着性を向上させることを目的としたクリーニングが行われる。
【０００３】
このクリーニングは、縁部の上下両面に押圧子によってワイパテープを押し付けた状態で、ガラス基板を押圧子に対して相対的にスライドさせ、ワイパテープによってガラス板の上下両面に付着した付着物を拭き取ることにより行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来のガラス基板のクリーニングにおいては、基板の縁部へワイパテープを押し付ける押圧子は、上下それぞれ個別の押圧手段によってガラス基板に対して押し付けられる構造となっていたため、ガラス基板の厚みが異なる場合や、ガラス基板を保持する保持高さにずれが生じた場合などには、押圧子によって縁部を挟み込む際に上下両面から均等な荷重で挟み込むことが困難であった。このため、クリーニング時にガラス基板に曲げ荷重が作用してガラス基板の破損や位置ずれを招き、製品歩留まりの低下や後工程での実装位置ずれなどの不具合が生じるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、ガラス基板に曲げ荷重を作用させることなく、製品歩留まりを向上させ後工程での不具合を防止することができるガラス基板のクリーニング装置およびクリーニング方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のガラス基板のクリーニング装置は、ガラス基板の縁部の表面付着物をテープ状清掃材によって除去するガラス基板のクリーニング装置であって、前記ガラス基板を保持する保持手段と、前記テープ状清掃材を一対の押圧子によって前記縁部の上下両面に押し付けるクリーニング手段と、前記保持手段をこのクリーニング手段に対して相対的に移動させる移動手段とを備え、前記クリーニング手段は、前記一対の押圧子を開閉駆動するチャック機構と、このチャック機構を所定の高さ位置に弾性的に支持するとともにチャック機構が前記所定の高さ位置から上下方向に変位した場合にこのチャック機構に前記変位を復元する復元力を与えるチャック支持手段とを有する。
【０００７】
請求項２記載のガラス基板のクリーニング方法は、ガラス基板の縁部の上下両面に、クリーニング装置に弾性的に支持されるチャック機構の１対の押圧子によりテープ状清掃材を押しつけ、このテープ状清掃材に対してガラス基板を相対移動させることにより前記縁部の表面付着物を除去するガラス基板のクリーニング方法であって、前記ガラス基板の相対移動においてチャック機構が所定の高さ位置から上下方向に変位した場合にこのチャック機構に前記変位を復元する復元力を与えることにより、前記チャック機構を所定の高さ位置に復帰させるようにした。
【０００８】
本発明によれば、ガラス基板の縁部の上下両面に一対の押圧子によりテープ状清掃材を押しつけるクリーニング手段に対してガラス基板を相対移動させる際に、押圧子を開閉駆動するチャック機構を所定の高さ位置に弾性的に支持するとともにチャック機構が所定の高さ位置から上下方向に変位した場合にこのチャック機構に復元力を与えることにより、押圧子によって常に均等な荷重でガラス基板を挟み込んで、ガラス基板に曲げ荷重が作用するのを防止することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置の側面図、図２は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置のチャック機構の側面図、図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング方法の工程説明図、図４（ａ）はガラス基板の部分斜視図、図４（ｂ），（ｃ）は本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング方法の工程説明図である。
【００１０】
まず図１を参照してガラス基板のクリーニング装置の構成について説明する。図１において、基台１上には位置決め部２および端子クリーニング部３が配設されている。位置決め部２は、移動テーブル４上に基板保持部５を装着して構成されている。基板保持部５はガラス基板である表示パネル６を吸着して保持する。すなわち基板保持部５は、ガラス基板を保持する保持手段となっている。
【００１１】
移動テーブル４は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３方向への直線移動およびＺ軸廻りのθ方向の回転移動が可能となっており、基板保持部５に表示パネル６を保持させた状態で移動テーブル４を駆動することにより、表示パネル６の縁部６ａを以下に説明するクリーニング手段である端子クリーニング部３に対して位置決めするとともに、クリーニング動作において表示パネル６を端子クリーニング部３に対して相対移動させる。従って移動テーブル４は、基板保持部５を端子クリーニング部３に対して相対的に移動させる移動手段となっている。
【００１２】
端子クリーニング部３は、一対の押圧子８Ａ，８Ｂを備えている。押圧子８Ａ，８Ｂは、表示パネル６の縁部の上下両面にテープ状清掃材であるワイパテープ１０を押し付ける。ワイパテープ１０は、供給リール１１Ａ，１１Ｂから送給され、ガイドローラ１２によって押圧子８Ａ，８Ｂの押圧面に導かれる。
【００１３】
そして押圧子８Ａ，８Ｂを開閉駆動するチャック機構９を駆動することにより、ワイパテープ１０は表示パネル６の縁部６ａに押し付けられ、この状態で基板保持部５に保持された表示パネル６をＸ方向に水平移動させることにより、縁部６ａの表面付着物が除去される。これにより、表示パネル６の縁部６ａに形成された接続用の端子のクリーニングが行われる。
【００１４】
クリーニングにおいてはワイパテープ１０は所定のピッチでテープ送りされ、使用後のワイパテープ１０は回収ローラ１２Ａ，１２Ｂに順次巻き取られて回収される。チャック機構９は、後述するように板バネ部材１３によって弾性的に支持され、チャック機構９と表示パネル６との高さ方向の位置ずれを吸収できるようになっている。
【００１５】
次に図２を参照して、押圧子８Ａ，８Ｂを開閉駆動するチャック機構９について説明する。図２において、ベースプレート７に垂直方向に配設されたガイドレール２１には、スライダ２２が上下動自在に嵌合しており、スライダ２２には移動プレート２０が固着されている。従って移動プレート２０はベースプレート７に対して上下方向に移動可能に保持されており、移動プレート２０に設けられたチャック機構９は、ベースプレート７に対して上下動自在となっている。
【００１６】
チャック機構９の構成について説明する。移動プレート２０の左端部に突出して設けられた一対の押圧子８Ａ，８Ｂはそれぞれアーム２３Ａ，２３Ｂによって保持されており、一方側のアーム２３Ｂの端部はシリンダ２６のロッド２６ａと結合されている。ロッド２６ａが突没することにより、アーム２３Ｂを介して押圧子８Ｂは上下動する。
【００１７】
またアーム２３Ａ，２３Ｂはそれぞれラックギア２４Ａ，２４Ｂと結合されており、ラックギア２４Ａ，２４Ｂはピニオンギア２５と噛合している。従って、前述のシリンダ２６による押圧子８Ｂの上下動作と連動して、押圧子８Ａも上下動作を行う。すなわち一対の押圧子８Ａ，８Ｂは、単一の駆動手段であるシリンダ２６によって同期して開閉する。このときの押圧子８Ａ，８Ｂの開閉動作は、ピニオンギア２５の高さ位置に一致した中心線ＣＬに関して上下対称の動作となる。従ってチャック機構９による押圧子８Ａ，８Ｂの閉動作時には、常に一定の高さ位置（中心線ＣＬ）を中心とした閉動作を行う。なお単一の駆動手段を用いて押圧子８Ａ，８Ｂを常に一定の高さ位置を中心とした閉動作を行わせる機構としては、ベルトやカムを用いたチャック機構でもよい。
【００１８】
移動プレート２０の右端部には、上下一対の回転自在のローラ２７が配設されている。ローラ２７は、固定ブロック２９によって一端をベースプレート７に片持ち固定された板バネ部材１３の自由端を、水平方向の相対変位を拘束することなく上下から挟持している。従ってベースプレート７に対して上下動自在に保持されたチャック機構９は、板バネ部材１３によって上下方向に弾性的に保持されている。
【００１９】
このとき、チャック機構９の中心線ＣＬの高さ位置が、位置決め部２との関連で決定される所定の高さ位置（高さ原位置）と一致するよう、すなわちチャック機構９の自重による板バネ部材１３の撓み分を予め補正して、固定ブロック２９の位置が設定されている。
【００２０】
このような保持方法を採用することにより、チャック機構９に上下方向の外力が作用した場合には、チャック機構９は外力に相当する板バネ部材１３の撓み代だけ外力作用方向へ変位し、外力が取り去られた場合にはチャック機構９は板バネ部材１３の弾発力により高さ原位置に復帰する。すなわち、板バネ部材１３は、チャック機構９を所定の高さ位置に弾性的に支持するとともに、チャック機構９が所定の高さ位置から上下方向に変位した場合にこのチャック機構９に変位を復元する復元力を与える第１の支持手段（チャック支持手段）となっている。なお第１の支持手段では板バネ部材１３で復元力を発生させているが、板バネ以外にコイルバネ等の弾性部材を使用してもよい。
【００２１】
またチャック機構９の右側には、板バネ部材１３を上下から挟む位置に一対のクランプ部材２８が配設されている。クランプ部材２８は図示しない駆動手段によって開閉し、閉状態において板バネ部材１３をクランプして上下方向に固定する。このときの固定位置は、チャック機構９の中心線ＣＬが前述の高さ原位置に一致するよう設定される。
【００２２】
すなわちクランプ部材２８を閉じることにより、チャック機構９は高さ原位置で固定的に支持され、不必要なときにチャック機構９が上下方向に変位するのを防止する。従ってクランプ部材２８は、チャック機構９を所定の高さ位置で固定的に支持する第２の支持手段となっている。なお、クランプ部材２８による固定位置は、高さ原位置から幾分ずれていても差し支えない。
【００２３】
このガラス基板のクリーニング装置は上記の様に構成され、以下クリーニング動作について各図を参照して説明する。まず図１において基板保持部５上に表示パネル６が載置され、次いで移動テーブル４を駆動することにより、表示パネル６の縁部６ａを端子クリーニング部３に対して位置合わせする。すなわち、図３（ａ）に示すように、クランプ部材２８を閉状態にしてチャック機構９の高さ位置を高さ原位置に固定した状態で、かつシリンダ２６のロッド２６ａを突出させて押圧子８Ａ，８Ｂを開いた状態で、表示パネル６をＹ方向に移動させ、縁部６ａを押圧子８Ａ，８Ｂの間のクリーニング位置まで進出させる。
【００２４】
この後図３（ｂ）に示すように、クランプ部材２８による板バネ部材１３のクランプを解除する。これにより、チャック機構９は板バネ部材１３によって弾性支持されたフローティング状態となる。次いでシリンダ２６のロッド２６ａを没入させて押圧子８Ａ，８Ｂを閉じる。これにより、ワイパテープ１０が表示パネル６の縁部６ａの上下両面に押しつけられ、クリーニングが可能な状態となる。
【００２５】
次いで、移動テーブル４を駆動して表示パネル６をワイパテープ１０に対してＸ方向に水平移動させる。これにより、表示パネル６の縁部６ａの表面付着物はワイパテープ１０によって除去され、縁部に形成された端子のクリーニングが行われる。
【００２６】
このクリーニング動作において、縁部６ａの変形などによって、押圧子８Ａ，８Ｂが縁部６ａを押圧するクリーニング部位に、高さ方向の位置ずれが存在する場合がある。このような場合においても、チャック機構９は板ばね部材１３によって弾性的に支持されていることから、図３（ｃ）の上下矢印で示すようにチャック機構９は位置ずれに追従して上下方向に変位することが許容される。
【００２７】
そして高さ原位置から上下方向に変位したチャック機構９には、板バネ部材１３によってこの変位を復元する復元力が作用し、縁部６ａの高さ方向の位置ずれが存在しない部位に相対移動すると、チャック機構９は高さ原位置に復帰する。これによりクリーニング動作においては、チャック機構９は縁部６ａの高さ方向の位置にならって変位し、常に縁部６ａを中心線ＣＬの位置で挟み込む。従って表示パネル６には、押圧子８Ａ，８Ｂのいずれかがより大きな押圧力で押さえ込むことによって生じる曲げ荷重が作用しない。
【００２８】
すなわち、本実施の形態に示す構成を採用することにより、同一の表示パネル６において部分的に縁部６ａの高さが異なっているような場合にあっても、板バネ部材１３によって高さ差が吸収され、常に良好な状態で縁部６ａのクリーニングを行うことができる。これにより、クリーニング動作において表示パネル６に曲げ荷重が作用することがなく、過大な曲げ荷重による表示パネル６の破損や、基板保持部５上での表示パネル６の位置ずれが発生しない。従って、製品歩留まりを向上させるとともに、位置ずれに起因する後工程での不具合を防止することができる。
【００２９】
このような効果は、図４（ａ）に示すように、同一表示パネルにおいて辺の方向によってクリーニング対象部位の高さ位置が異なるような場合に特に顕著な効果を得る。図４（ａ）において、表示パネル６’は２枚のガラス基板を貼着した構成となっており、縁部６’ａ，６’ｂの方向によってクリーニング対象のガラス基板が異なる。このような表示パネル６’を対象とする場合には、従来は辺の方向を転換する度に、移動テーブル４によって基板保持部５の高さ位置を調整する必要があった。
【００３０】
これに対し本実施の形態では、図４（ｂ）に示すように縁部６’ａを対象とする場合においても、また図４（ｃ）に示すように縁部６’ｂを対象とする場合においても、表示パネル６の保持高さを何ら変更することなく、チャック機構９を弾性支持する板バネ部材１３がこの高さ差を吸収する。したがって、高さ差の異なる２つの縁部６’ａ，６’ｂを、押圧子８Ａ，８Ｂによって常に適正な押圧力によって挟み込み、良好なクリーニングを行うことができる。
【００３１】
クリーニングが完了したらチャック機構９を開き、クランプ部材２８を閉じてフローティング状態でチャック機構９を所定の高さ位置で固定的に支持する。
【００３２】
【発明の効果】
本発明によれば、ガラス基板の縁部の上下両面に一対の押圧子によりテープ状清掃材を押しつけ、このテープ状清掃材に対してガラス基板を相対移動させる際に、押圧子を開閉駆動するチャック機構を所定の高さ位置に弾性的に支持するとともにチャック機構が所定の高さ位置から上下方向に変位した場合にこのチャック機構に復元力を与えるようにしたので、押圧子によって常に均等な荷重でガラス基板を挟み込んで、ガラス基板に曲げ荷重が作用するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング装置のチャック機構の側面図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング方法の工程説明図
（ｂ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング方法の工程説明図
（ｃ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング方法の工程説明図
【図４】（ａ）ガラス基板の部分斜視図
（ｂ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング方法の工程説明図
（ｃ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニング方法の工程説明図
【符号の説明】
２  位置決め部
３  端子クリーニング部
４  移動テーブル
５  基板保持部
６  表示パネル
８Ａ，８Ｂ  押圧子
９  チャック機構
１０  ワイパテープ
１３  板バネ部材
２８  クランプ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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