(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
芯に貫通孔を有し一方の端部の外側にフランジと鉗子で把持するための溝を備え他方の端部の内側に雌ねじを形成したほぼ円筒の形をした本体と、芯に貫通孔を有し一方の端部の外側に前記雌ねじに嵌合する雄ねじを形成し他方の端部に軸に対して垂直な面を形成した外径が前記本体の外径以下の寸法を有するほぼ円筒の形をしたスライド保持ピースを備えて、試料スライドを前記垂直面に当てたときに該試料スライドを軸に対して垂直に規制できるようにし、かつ前記雌ねじに対する前記雄ねじの嵌合長を調整することにより前記フランジ面から前記スライド保持ピースに把持する試料スライドの距離を調整できるようにしたことを特徴とするＸ線顕微鏡試料ホルダー。
【請求項２】
前記スライド保持ピースの試料スライド側端面の外側から被せて押える導電性の穴あきキャップを備えて、前記試料スライドを端部の平坦面に押付けて把持することを特徴とする請求項１記載のＸ線顕微鏡試料ホルダー。
【請求項３】
前記保持ピースの芯の貫通孔に外側と連絡する通気孔を設けることを特徴とする請求項１または２記載のＸ線顕微鏡試料ホルダー。
【請求項４】
前記試料ホルダー本体と前記スライド保持ピースが導電性材料で形成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のＸ線顕微鏡試料ホルダー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線を照射して形成される陰影に対応して発生する電子線を観察するようにしたＸ線顕微鏡において対象とする試料を観察位置に配置するための試料ホルダーとステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、Ｘ線顕微鏡は、波長が短く透過力の強いＸ線を光源として物体の形状や内部微細構造等の情報を得ることができる測定器として重用されてきた。しかし、像を拡大するためフレネル・ゾーンプレートや斜入射ミラーなどのＸ線結像素子を用いてＸ線ビーム自体を拡大収束させる方式では、収束力が小さくＸ線拡大光学系の焦点距離が長くなるため装置が大きくなり、また像拡大率を任意に調整できないため対象物の観察位置を特定する光学顕微鏡などを併用する必要があるなどの問題があった。また、集光効率が悪いため放射光のような強力なＸ線光源を必要とする。
【０００３】
一方、点光源の近くに試料を置いて光源から発散して試料を透過したＸ線の投影像を観察する投影拡大法では、Ｘ線源の大きさに起因する半影ぼけと試料による回折ぼけを避けることができないため、分解能の実用的な限界は０．１〜０．２μｍ程度とされる。
なお、感光板に試料を密着させてＸ線を照射し、現像後の画像を光学系で拡大して観察する密着法では、Ｘ線拡大光学系を使用しないので収差が無く試料と感光板が密着しているためぼけが小さいので、原理的に容易に高分解能画像を得ることができるが、現状では感度が低いため強力なＸ線源が必要となる。また、Ｘ線像を拡大して観察するためには、真空容器から感光板を取り出し現像した上で、さらに別の光学顕微鏡などで観察するので、繁雑な作業と時間を必要とする。
【０００４】
このような従来のＸ線顕微鏡の欠点を克服するものとして、本願出願人は既に特願２００１−２３５６７８により、光電変換面に試料を密着させて背後からＸ線を照射し光電変換面から発生する電子を引き出し拡大して電子検出素子面に結像させて可視像として提示する新しい形式のＸ線顕微鏡装置を開示している。
開示されたＸ線顕微鏡は、図８の原理説明図に示すように、裏面に試料を貼着した光電変換膜にＸ線を照射して、試料を透過したＸ線を光電変換素子により電子に変換し、光電変換面とアノードの間に電界を生じさせて光電変換面表面に発生した電子を引出し加速して、電磁コイルを用いた電子イメージ拡大装置により拡大して蛍光面やＣＣＤ素子面など電子線検出素子面に投影し、可視像化するものである。このようにして、現像などの手間をかけずに、リアルタイムで高分解能のＸ線透過画像を得ることができる。
【０００５】
開示装置は、収束力の弱いＸ線光学系を利用するものと異なり、十分収束力のある電子イメージ拡大装置を使用するため装置全体が小型になり、試料を光電変換面に密着してセットするのでぼけのないＸ線透過像を得ることができる。
また、開示装置では試料を透過したＸ線を光電変換素子で電子に変換するので、Ｘ線吸収能の差を反映した濃淡画像を作成することができ、また軟Ｘ線による観察も可能である。このため、取得するＸ線像の情報量が格段に増大し、また生物の生体観察を行うこともできるようになった。
さらに、電子イメージ拡大装置は、電磁コイルの電流を調整することにより画像倍率を連続的に変更することができるので、微細な対象を観察する場合にも低い倍率で目標位置を確認してから倍率を上げて目的の画像を得るようにすれば小さな対象を的確にとらえて観察することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記開示Ｘ線顕微鏡では、試料を載置した光電変換面すなわち試料スライドは、Ｘ線照射領域と電子加速領域の境界を画するものとなり、電磁レンズで構成される電子イメージ拡大機構に対して正確に位置付ける必要がある。また電子イメージ拡大機構は電子が運動する領域であるので極めて高い真空に維持する必要があるが、試料の交換は試料室を大気に開放して行うため速やかな真空の回復と、真空度調整過程における薄い試料スライドの保護が重要である。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、試料の取替えが簡単で、かつ試料スライドを所定の位置に簡単に精密調整できるようにした、試料スライドを把持するホルダーとホルダーを固定するステージを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明のＸ線顕微鏡試料ホルダーは、芯に貫通孔を有し一方の端部の外側にフランジと鉗子で把持するための溝を備え他方の端部の内側に雌ねじを形成したほぼ円筒の形をした本体と、芯に貫通孔を有し一方の端部の外側に本体の雌ねじに嵌合する雄ねじを形成し他方の端部に軸に対して垂直な面を形成して試料スライドを軸に対して垂直に支持できるようにした外径が本体の外径以下の寸法を有するほぼ円筒の形をしたスライド保持ピースを備えて、本体の雌ねじに対する雄ねじの嵌合長を調整することによりフランジ面からスライド保持ピースに把持した試料スライドの距離を調整できるようにしたことを特徴とする。
【０００８】
本発明の試料ホルダーは、電子イメージ拡大機構の前面に設置される試料ステージの軸に設けられる案内孔に試料室側から差込んで固定される。このとき、本体の端部に設けられたフランジの内面が試料ステージの案内孔の端部に当接して位置が安定的に確定するので、保持ピースの端面に固定された試料スライドは、何度取替えても、常に同じ位置にセットすることができる。したがって、Ｘ線顕微鏡において試料ホルダーの位置と全長を正確に調整しておけば、その後は試料を交換したときにも改めて同じ調整を繰返さないでも正しい位置に試料を配置させることができる。
【０００９】
なお、試料ホルダー本体の外径部にセットリングを嵌入する溝を備えるようにしてもよい。セットリングを用いると、試料ステージの案内孔に押込むだけで試料ホルダーをしっかりと把持できるようになる。
また、保持ピースの試料スライド側端面の外側から被せて押えるキャップを備えて、試料スライドを端部の平坦面に押付けて把持するようにしてもよい。キャップは導電体で形成され試料ステージにセットされたときに電子加速用平行電界を形成するための陰極となる。キャップの中央部には、試料スライドの光電変換膜から放出される電子が通る穴が開いている。穴の縁が鋭角になっていると電界が集中して放電しやすくなるので、縁部分を面取りし表面全体が平面に近くなるような形状にすることが好ましい。
【００１０】
このようなキャップを用いると、試料ホルダを装置から取外してキャップを取り、試料スライドを入替えてキャップを付けて固定し、再び試料ホルダを装置に装着するだけで、試料を取替えることができる。これらの操作は全て保持ピースの端部を外側から扱うだけでしかも装置に装着すると特別の調整をしなくても試料が所定の位置に配置されるので、簡単である。
さらに、キャップは保持ピースの外表面に設けた雄ねじにねじ込んで固定するようにすると簡単であるが、この場合は、試料スライドとキャップ内側面の間に穴の開いた押えつけ板を挟むようにすることが好ましい。
【００１１】
特に、保持ピースの端面に溝を設けて、押えつけ板の輪郭形状をその溝の壁の形に対応した形にして、試料スライド、押えつけ板、キャップの順にセットすると、キャップをねじ込んだときに押えつけ板が回転することなく軸方向に沈むので、試料スライドは初めに置かれた位置から変化しない。
なお、試料スライドの位置を決定したときは、保持ピースの雄ねじに嵌めた押えナットを試料ホルダ本体の面に押付けることにより固定することができる。
なお、キャップや押えナットの外径は、試料ホルダー本体の外径より小さくする。保持ピースを試料ステージの案内孔に挿入する必要があるからである。
【００１２】
また、試料スライドは極めて薄く弱いため、保持ピースの芯の貫通孔に外側と連絡する通気孔を設けることが好ましい。試料スライドを挟む空間同士を通気することにより真空差を緩和して破損を防止する。なお、試料スライド自体に通気孔を設けてもよいが、試料スライドの大きさと強度に制約があるため、保持ピースに通気孔を設けることが好ましい。また、通気孔は１個に限らず複数備えてもよいことはいうまでもない。
さらに、試料ホルダー本体とスライド保持ピースは導電性材料で形成して、Ｘ線顕微鏡装置に付属する直流電源装置の負電極に接続される試料ステージと保持ピース先端部を電気的に接続するようにすることが好ましい。保持ピース先端部に負電圧を印加することにより、電子加速電界を形成するカソード電極として作動させることができる。
【００１３】
本発明の試料ステージは、中心軸に試料ホルダーを差込む案内孔を備えその周囲にフランジを形成した円盤形状をなし、フランジの外周に近い側面部分でＸ線顕微鏡装置の筐体に接触して保持させるようにすると共に、この部分を軸に垂直な滑動面に形成して、この滑動面の方向に試料ステージを移動させる微動装置を備え、微動装置の操作部を試料ステージを収納した筐体に固定し筐体の外部から操作できるようにしたことを特徴とする。
【００１４】
本発明の試料ステージは、Ｘ線顕微鏡装置試料室内の電子加速空間入口部に設置されて、試料ホルダーを取付けるために使用される。中心の案内孔に試料ホルダーを挿入したときに、試料の位置が電子イメージ拡大機構の光軸位置からずれている場合は、微動装置を操作すると滑動面に沿って試料ステージが移動するので、試料位置を光軸に対して垂直な面内で調整することができる。
筐体内が真空になっていても、外側から簡単に位置調整操作をすることが可能である。したがって、顕微鏡観察前の位置調整も容易にできる上、観察中に試料中の観察位置を変更することも簡単である。
【００１５】
この微動装置は、マイクロメータに用いるピストン型微動装置を２式用いて滑動面に平行な面内でほぼ中心軸上で軸が交わるように設置し、さらに微動装置の軸に挟まれた位置に試料ステージと筐体の間に微動装置のピストンが押す力に逆らって引張る方向に試料ステージを付勢するような弾性部材を備えるようにして構成してもよい。
マイクロメータ用微動装置は、技術的に完成度が高く、精度も信頼性も高い割に安価で容易に入手することができ、操作も簡単である。なお、位置調整精度を確保するためには、ピストンを押す方向に使用し、常に戻す方向に力を掛けておく機構が必要となる。このため、弾性部材を筐体壁と試料ステージの間に介装した簡単な構成を使用している。
【００１６】
なお、試料ステージのフランジに真空を流通させる孔を備えることが好ましい。試料室を大気に開放するとき、あるいは試料室および電子加速空間を真空に引くときに、試料スライドの前後を通気して差圧が掛らないようにすることにより破損を防止することができる。
【００１７】
また、案内孔の部分は導電性物質で形成し、少なくともフランジ部分は絶縁性物質で形成することが好ましい。さらに、案内孔の導電性部分に電線を接続する端子を設けて、負電圧を供給することができるようにする。試料スライドの光電変換面とその対向面の間には放出された電子を加速するための電界を生成しなければならない。このため、試料ホルダーには−１５ｋＶから−２０ｋＶの負の電圧を印加する必要がある。試料ホルダーは試料を差替えるたびに脱着しなければならないので、高電圧配線を繋いだり外したりすることは好ましくない。そこで、試料ステージのホルダーと接触する部分を導電性物質で形成し、ここに接続端子を設けて電圧を供給し、接触を介して試料ホルダーに高電圧を供給することが便利である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下実施例を用いて本発明を詳細に説明する。
本実施例のＸ線顕微鏡試料ホルダーと試料ステージは、光電変換面に試料を密着させて背後からＸ線を照射し、光電変換膜中に発生する電子を引き出し拡大して電子検出素子面に結像させて可視像として提示するようにしたＸ線顕微鏡装置に適用する。
図１は、本実施例のＸ線顕微鏡試料ホルダーと試料ステージの取付け状態を示す断面図である。また、図２は本実施例を利用したＸ線顕微鏡の例を示す断面図である。
Ｘ線顕微鏡は、図２に示すように、レーザ発生装置１と試料室２と対物レンズ部３と投射レンズ部４と可視化部５からなる。
【００１９】
レーザ装置１から放射されるレーザ光は試料室２の透明窓２１を透過してＸ線ターゲット２２に照射し、Ｘ線を発生する。Ｘ線ターゲット２２は円柱形状をしていて、必要に応じて新しい面にレーザ光が照射するように回転や平行移動することができるようになっている。
試料は試料スライドに載置され、試料室２に設けられる試料ホルダー２３の先端にセットされる。試料ホルダー２３は試料ステージ２４に支持されて試料の位置を調整することができるようになっている。試料ホルダー２３の中心軸にはＸ線が通る孔が設けられている。
【００２０】
対物レンズ部３には、試料ホルダー２３と対向する位置にアノード３１が設けられ、試料ホルダー２３との間に高電界を生成して試料スライドの光電変換面で発生する電子を引出し加速する。電子加速中に対物レンズの作用が及ぶように、対物レンズ用電磁コイル３２のポールピースの上極と下極がアノード３１の背面に配置され電子加速空間に対物レンズを形成する磁場分布を生成させる。
また、電子の通路となる細い孔が中心軸に沿って設けられ、途中で孔の外側にスティグマコイル３３や偏向コイル３４が配置される。
【００２１】
対物レンズ部３と投射レンズ部４を仕切る位置にセパレートバルブ３５が設けられて、運転中は電子通路を連通し、休止中は対物レンズ部３と投射レンズ部４の電子通路を遮断して、投射レンズ部４や像可視化部５の真空を維持する。セパレートバルブ３５は真空ポンプに接続されていて、系内から気体を排除して真空化する。なお、バルブが閉止中でも真空経路は上流側の対物レンズ部３、さらに試料室２まで繋がっていて、試料を交換して再度立上げるときには、試料室２本体と一緒にセパレートバルブ３５からも真空引きできるようになっている。
投射レンズ部４にはポールピースの空隙４１，４３を有する２個の電磁コイル４２，４４が設置されていて、それぞれレンズ効果を呈する。
【００２２】
可視化部５には、中心軸の延長上に設置され主に結像状態を検査するために用いられる蛍光板５１と、電子経路の途中に設けられた第１偏向コイル５２と第２偏向コイル５３により電子流を中心軸から偏向させたときに結像する位置に設けられ、マイクロチャンネルプレートを通すことによって鮮明化した電子像を観察するようにした可視化素子５４や、画像処理や画像表示のための画像信号を発生するＣＣＤカメラ５５などの電子像可視化素子が設けられる。
【００２３】
図１は、本実施例の試料ホルダー１００と試料ステージ２００がＸ線顕微鏡装置にセットされている状態を示す。
試料ホルダー１００は、中心軸に沿ってＸ線が通る貫通孔１１１を有し、試料ステージ２００の案内孔に嵌合する外径を有する筒体で、先端に固定した試料スライドにＸ線を照射するようにしたもので、試料ステージ２００の中心軸に設けられる案内孔に挿入したときに、試料スライドの光電変換面を定位置にセットする。
【００２４】
図３は試料ホルダー１００の一部分解斜視図である。
図に示すように、試料ホルダー１００は、ホルダー本体１１０とスライド保持ピース１２０からなる。
試料ホルダー本体１１０の貫通孔１１１の内側には、図中右側の先端から所定の深さまで雌ねじ１１２が切られていて、スライド保持ピース１２０の胴に切られた雄ねじ１２４に嵌合して合体するようになっている。
【００２５】
試料ホルダー本体１１０の図中左端部の外側には、２枚の鍔で挟まれた溝１１３が設けられていて、この溝１１３に鉗子を掛けて試料ホルダー１１０を把持して試料ステージ２００の案内孔に差込んだり引出したりするようになっている。筒の表面には１周する細溝１１４が設けられていて、セットリング１１５を嵌合して保持できるようになっている。セットリング１１５は試料ステージ２００の案内孔の内壁に圧接して試料ホルダー１００を固定する。
【００２６】
図４はスライド保持ピース１２０の組立て分解断面図、図５はスライド保持ピース１２０の端面図である。
スライド保持ピース１２０は、本体部１２１、押えつけ板１３１、キャップ１３３、押えナット１３７からなる。
本体部１２１は胴部と頭部を持っている。
胴部は、外側に試料ホルダー本体１１０の雌ねじ１１２に嵌合する雄ねじ１２４が切ってあって、中心軸に沿ってＸ線が通る貫通孔１２２が設けられている。
【００２７】
また頭部の端面１２３はほぼ平坦に形成され、外周には雄ねじ１２５が切られている。さらに、端面１２３には、図５に示すような、ほぼ正方形で頂点部に円形の出っ張りを有する浅溝１２６が設けられている。
さらに、頭部の先端に近いところに貫通孔１２２と外部を連絡する１個または複数の導通孔１２７が設けられている。
【００２８】
押えつけ板１３１は、本体部１２１の先端面に設けられた浅溝１２６に嵌め込められるような正方形の薄い板で、中心に電子が通る穴１３２が空けられている。この穴１３２の径は試料スライド１３０の外径より小さくなるように形成されている。
なお、浅溝１２６および押えつけ板１３１の形状は、正方形に限らず、互いに嵌合して押えつけ板１３１が回転しないようになっていればよい。
【００２９】
キャップ１３３は、前面の中心に小さな通孔１３４が設けられ、内側に本体頭部の雄ねじ１２５に適合する雌ねじ１３５が切られている。前面板の内側は平面に形成され押えつけ板１３１に当って押えるようになっており、外側は通孔１３４に向って緩いテーパ面１３６を有するロート状に形成されている。
スライド保持ピース１２０は、最大外径が試料ステージ２００の案内孔より大きくならないようにして、試料交換時などに試料ホルダー１００を簡単に引出したり挿入したりできるようにする。
試料スライド１３０は、浅溝１２６の底中央に配置される。
【００３０】
試料を入替えるときは、スライド保持ピース１２０が付いたまま試料ホルダー１００を試料室２の外に取出して作業する。
試料を貼着した試料スライド１３０をスライド保持ピース１２０本体部頭部の浅溝１２６の底面中央に載置して、押えつけ板１３１を当て、その上からキャップ１３３をかけて本体部１２４にねじ込む。すると、押えつけ板１３１はキャップ１３３に押されて試料スライド１３０を浅溝１２６の底に押付けて固定する。このとき、押えつけ板１３１は浅溝１２６の縁に案内されて軸方向にしか動かないので、試料スライド１３０は初めの姿勢のまま貫通孔１２２に押付けられて安定する。
【００３１】
押えナット１３７は、本体部１２１の胴部に押込んでおき、スライド保持ピース１２０を試料ホルダー本体１１０の先端から所定の深さまでねじ込んだところで、押えナット１３７を試料ホルダー本体１１０の方向にねじ込んでスライド保持ピース１２０を固定する。試料スライド１３０の位置を変えるときには、押えナット１３７を緩めてスライド保持ピース１２０のねじ込み長を調整すればよい。
こうして調製した試料ホルダー１００を、鉗子を使って試料ステージ２００の案内孔に挿入して固定する。
なお、セットリング１１５により固定するため、試料ホルダー１００は試料ステージ２００に対して少々の力が掛っても動かないように固定でき、しかも鉗子で簡単に引出すことができるようになる。
【００３２】
試料ステージ２００は、図１に示すように、フランジ２１０とボルト２２０と１対の微動装置２３０とバネ装置２４０からなり、電子加速空間の前面に取付けられて、試料スライド１３０をアノード３１の凹み内の所定の位置に配置させるものである。
図６はＸ線照射方向から見たフランジ２１０の平面図、図７は試料ステージ２００の組立て状態を示す一部断面図である。
【００３３】
フランジ２１０は、中心部に厚いボスがあってその周囲にそれより薄い鍔が付いた円盤状をなし、中心軸に試料ホルダー１００を差込む案内孔２１１を備え、フランジの側面部分に外周に沿って１周する所定の幅を持った滑動面２１２を備える。また、フランジ２１０には、ボルト２２０よりかなり大きな内径を有するボルト穴２１３が設けられている。
ボルト穴２１３より径の大きな鍔を有する座金２２１をはめ込み、座金２２１の鍔とボルト２２０の首の間にバネ２２２を介装した状態で、ボルト２２０を試料室２の隔壁部表面２６に立て込む。
すると、滑動面２１２が試料室２の隔壁部表面２６にバネで押付けられるようにしてフランジ２１０を支持するので、フランジ２１０は、光軸方向の位置を変化させずに、滑動面２１２の面内で比較的容易に移動することができる。
【００３４】
案内孔２１１の内周の試料ホルダー２００に接触する内壁部分２１４は導電性物質で形成され、その外側部分２１５は電気絶縁性物質で形成される。内壁導電部分２１４には、図示しない端子が設けられていて、Ｘ線顕微鏡の外部に設けられる直流電源装置の負電極と電気的に接続して試料ホルダー２００に負電圧を印加することができる。
また、フランジ２１０の鍔部分にはいくつかの貫通孔２１６が設けられている。
【００３５】
フランジ２１０の外周には、図７に示すように、試料室の外壁２５に取付けた２個の微動装置２３０とバネ装置２４０が作用するようになっている。微動装置２３０は、マイクロメータに用いるような駆動ピストン２３１を備えたピストン型微動装置であって、２個の微動装置２３０の駆動軸が中心軸に垂直な面内でほぼ中心軸上で交わるように設置されている。駆動軸の交差角を９０度とすると、２軸の方向にそれぞれ独立に移動させることができるので、位置の調整が便利である。なお、位置設定精度を確保するため、微動装置２３０は駆動ピストン２３１を押す方向にのみ使用する。
フランジ２１０の外周面の駆動ピストン２３１の先端が当るところに、頭部に堅くて摩耗しにくい平面を形成した平ピン２１７を埋込んであり、一方の微動装置を駆動することにより他方の微動装置の駆動ピストンが接触面に平行に移動するときに容易に移動できるようにしている。
【００３６】
微動装置２３０の駆動軸がなす角のほぼ中央にバネ装置２４０が設置される。バネ装置２４０は、駆動ピストン２３１と平ピン２１７の接触を確実なものとするために用いられるもので、本体を試料室の外壁２５に固定し、フランジ２１０の外周に設けたバネ挿入孔２１８に固定された固定ピン２１９にバネ２４１の先端を掛けて固定し、フランジ２１０を常に駆動ピストン２３１の方に引張っている。バネ２４１の強さはバネ装置２４０本体内に設けられた調整ネジ２４２で調整することができる。
バネ装置２４０は、微動装置２３０と中心軸を挟んで反対側に備付けてフランジ２１０を駆動ピストン２３１側に押付けるようにしてもよいことはいうまでもない。
なお、押し引き両方可能な微動装置を用いるときは、バネ装置を使用する必要がない。
【００３７】
本実施例の試料ステージ２００は、案内孔２１１に試料ホルダー１００を挿入したときに試料スライド１３０が電子イメージ拡大機構の光軸位置からずれている場合、あるいはＸ線像観測中に観察する部分を変更する場合に、外側から２個の微動装置２３０を操作して、簡単に試料位置を調整することができる。
また、試料室２を大気に開放するとき、あるいは試料室２と電子加速空間を真空にするときに、通気孔２１６のため試料スライド１３０の前後にほぼ同じ圧力が掛るようになるので薄くて弱い試料スライド１３０が差圧で破損することを防止することができる。
【００３８】
また、試料ホルダー１００には試料ステージ２００の導電材料部分２１４との接触を介して電源を供給するので、試料交換のため試料ホルダー１００をセットしさえすれば、そのまま試料ホルダー１００がカソードとなって、所定の電子加速空間を形成することができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明の試料ホルダーおよび試料ステージを用いれば、Ｘ線を照射して形成される電子像を観察するようにしたＸ線顕微鏡において試料交換が簡単で、かつ試料位置を精密に調整することができるため、Ｘ線顕微鏡の利便性が著しく向上する効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例のＸ線顕微鏡試料ホルダーと試料ステージの取付け状態を示す断面図である。
【図２】本実施例を利用したＸ線顕微鏡の例を示す断面図である。
【図３】本実施例の試料ホルダーの一部分解斜視図である。
【図４】本実施例の試料ホルダーのスライド保持ピースの組立て分解断面図である。
【図５】本実施例のスライド保持ピースの端面図である。
【図６】本実施例の試料ステージのフランジ部の平面図である。
【図７】本実施例の試料ステージの組立て状態を示す一部断面図である。
【図８】本発明を適用するＸ線顕微鏡の構成を説明する概念図である。
【符号の説明】
１・・レーザ発生装置、２・・試料室、３・・対物レンズ部、４・・投射レンズ部、５・・可視化部。
２１・・透明窓、２２・・Ｘ線ターゲット、２３・・試料ホルダー、２４・・試料ステージ、２５・・試料室外壁、２６・・試料室隔壁部表面。
３１・・アノード、３２・・対物レンズ用電磁コイル、３３・・スティグマコイル、３４・・偏向コイル、３５・・セパレートバルブ。
４１、４３・・ポールピース空隙、４２，４４・・電磁コイル。
５１・・蛍光板、５２・・第１偏向コイル、５３・・第２偏向コイル、５４・・電子像可視化素子、５５・・ＣＣＤカメラ。
１００・・試料ホルダー、２００試料ステージ。
１１０・・ホルダー本体、１１１・・貫通孔、１１２・・雌ねじ、１１３・・溝、１１４・・セットリング用細溝、１１５・・セットリング。
１２０・・スライド保持ピース、１２１・・スライド保持ピース本体部、１２２・・貫通孔、１２３・・頭部端面、１２４・・雄ねじ、１２５・・雄ねじ、１２６・・浅溝、１２７・・導通孔。
１３０・・試料スライド、１３１・・押えつけ板、１３２・・穴、１３３・・キャップ、１３４・・通孔、１３５・・雌ねじ、１３６・・テーパ面、１３７・・押えナット。
２１０・・フランジ、２１１・・案内孔、２１２・・滑動面、２１３・・ボルト穴、２１４・・内壁導電部分、２１５・・外側絶縁部分、２１６・・貫通孔、２１７・・平ピン、２１８・・バネ挿入孔、２１９・・固定ピン。
２２０・・ボルト、２２１・・座金、２２２・・バネ。
２３０・・微動装置、２３１・・駆動ピストン。
２４０・・バネ装置、２４１・・バネ、２４２・・調整ネジ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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