(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの床面上に設置される機器の設置構造であって、
前記機器の周囲に位置する前記床面には前記クリーンルーム内に送り込まれた空気を前記床面下の空間へ排出するための複数の第１の貫通穴が設けられ、
前記機器の直下に位置する前記床面には、前記第１の貫通穴の開口面積よりも大きい開口面積を有する第２の貫通穴が設けられ、
前記機器の底部から前記第２の貫通穴の周囲に位置する前記床面上に延在し、前記床面に向かって流れる空気が前記第２の貫通穴内に流れ込むのを阻止するための遮蔽部材が設けられた、クリーンルーム内における機器の設置構造。
【請求項２】
前記床面下には、前記機器に動力を供給／排出するための動力系が設置され、
前記動力系は、前記第２の貫通穴内を通して前記機器下に設置された接続手段を介して前記機器と接続される、請求項１に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
【請求項３】
前記第２の貫通穴は、人が通り抜けることができる程度の大きさを有する、請求項２に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
【請求項４】
前記遮蔽部材は、前記機器の底部から前記床面に向かってほぼ真直ぐに下方に延びる側板部と、前記側板部の下端から前記床面に沿って前記第２の貫通穴に向かって延びる底部とを備える、請求項１に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
【請求項５】
前記第２の貫通穴の周囲に位置する前記床面には、前記第２の貫通穴を取囲むように複数の前記第１の貫通穴が設けられ、
前記底部は前記第２の貫通穴の周囲の前記第１の貫通穴上に延在し、
前記側板部の下端からの前記底部の張出し長さは、前記底部の直下に位置する１つの前記第１の貫通穴を覆い得るように設定される、請求項４に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
【請求項６】
前記遮蔽部材は、前記第２の貫通穴を露出させる中空部を有する底板部と、前記機器の底部から前記底板部の表面上に達するようにほぼ真直ぐに下方に延在する側板部とを備える、請求項１に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
【請求項７】
前記底板部上には、前記底板部の外周縁が前記側板部の外周面から外方に突出するように前記側板部が載置され、
前記第２の貫通穴の周囲に位置する前記床面には、前記第２の貫通穴を取囲むように複数の前記第１の貫通穴が設けられ、
前記底板部は、前記第２の貫通穴の周囲の前記第１の貫通穴上に延在し、
前記外周縁から前記中空部に至る前記底板部の平面幅は、前記底板部の直下に位置する１つの前記第１の貫通穴を覆い得るように設定される、請求項６に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
【請求項８】
前記クリーンルームの床は、格子状の梁により構成されるベースと、前記ベース上に載置された格子状のグレーチングパネルとを備え、
前記グレーチングパネルの表面により前記床面が構成され、
前記グレーチングパネルの格子により前記第１の貫通穴が規定され、
前記機器の直下に位置する前記グレーチングパネルを選択的に除去することにより前記第２の貫通穴が形成される、請求項１に記載のクリーンルーム内における機器の設置構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、近年その必要性が顕著でしかも盛んに建設されているクリーンルーム内に設置される機器の設置構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、半導体プロセスにおいて用いられるクリーンルームは広く知られている。ここで、クリーンルームとは、空気中の塵埃，微粒子が規定されたレベル以下に管理され、圧力，温度，湿度，気流分布などの環境条件も管理されている部屋のことである。このクリーンルーム内には、加工装置，処理装置，評価・分析装置，検査装置，包装装置，ロボット，工具，運搬具，器具備品（以下、本明細書においては、単に「機器」と称する）などが設置される。
【０００３】
図８は、従来のクリーンルームの概略構成の一例を示す図である。図８を参照して、建屋本体４は、天井部５と、天井フィルタ部６と、クリーンルーム７と、床構造８と、ユーティリティ部９とを備える。また、建屋本体４に隣接して空気調和器１０が設置されている。天井フィルタ部６は、ＨＥＰＡフィルタあるいはＵＬＰＡフィルタなどからなるフィルタ１４と、フィルタ取付フレーム１５とを含む。フィルタ１４は、フィルタ取付フレーム１５間に隙間なく所要数設置され、空気中の塵埃，微粒子などを除去する機能を有する。
【０００４】
図８に示されるように、空気調和器１０から供給された空気は、矢印１１に従って天井部５の空間１３内に送り込まれる。そして、その空気は、天井フィルタ部６のフィルタ１４を通過してクリーンルーム７内に送り込まれ、クリーンルーム７および床構造８を通過してクリーンルーム下のユーティリティ部９の空間１２内に送り込まれる。その後、上記の空気は、再び空気調和器１０内に送り込まれる。
【０００５】
次に、図９および図１０を用いて、クリーンルーム７内における機器１６の従来の設置構造について説明する。図９は、クリーンルーム７内における機器１６の従来の設置構造の一例を示す斜視図である。図１０は、図９に示される機器１６の設置構造の拡大断面図である。
【０００６】
まず図９を参照して、上記の床構造８は、ベースとなる格子状の梁２０と、この梁２０上に載置される調整板２２と、この調整板２２上に載置される防止網２３と、防止網２３上に載置されるグレーチングパネル２４とで構成される。この床構造８上に、支持ボルト１８を介して機器１６が設置される。
【０００７】
図１０に示されるように、床構造８下にはユーティリティ部９が設けられ、このユーティリティ部９内には、水，空気，薬品，ガス，光，信号などの動力を供給／排出するためのメイン動力系２８ａ，２８ｂが設置される。そして、このメイン動力系２８ａ，２８ｂと機器１６とが、接続部材２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂによって接続される。接続部材２６ａ，２６ｂは、図９に示されるように、接続締結手段３０ａ，３０ｂによって接続部材２７ａ，２７ｂにそれぞれ接続される。また、接続部材２７ａ，２７ｂには、図１０に示されるように、制御手段２９ａ，２９ｂがそれぞれ取付けられる。
【０００８】
上記の接続部材２６ａ，２６ｂは、図９および図１０に示されるように、機器１６の側底部から水平方向に張出すように設けられている。このように接続部材２６ａ，２６ｂが水平方向に張出すように設けられるのは、接続部材２６ａ，２６ｂの設置作業が容易に行なえるからである。その結果、図９および図１０に示されるように、機器１６の周囲に位置するグレーチングパネル２４に、接続部材２６ａ，２６ｂに接続される接続部材２７ａ，２７ｂを受入れる貫通空間３１を形成する必要があった。
【０００９】
ここで、図１１を用いて、上記の貫通空間３１および床構造８の構造についてより詳しく説明する。図１１を参照して、梁２０上に載置される調整板２２には、所定の大きさの調整穴２１が複数個設けられている。この調整穴２１によって、クリーンルーム７を通過する空気の流量を調整する。そして、上記の貫通空間３１下に位置する調整板２２には、貫通空間３１の形状に応じた切欠が設けられる。防止網２３は、クリーンルーム７内から治具などが落下するのを防止するとともに、クリーンルーム７を通過した空気を抵抗なく通過させる隙間を有する。この防止網２３にも、貫通空間３１の形状に応じた切欠が設けられている。
【００１０】
グレーチングパネル２４は、格子状の形状を有し、機器１６を保持固定するとともにクリーンルーム７を通過した空気を抵抗なく通過させ得る機能をも有するものである。梁２０には、所定位置にねじ穴３６が設けられ、ねじなどの固定部材２５をねじ穴３６に螺着することによりグレーチングパネル２４，防止網２３および調整板２２が梁２０に固定される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の構造を有するクリーンルーム７には次に説明するような種々の問題点があった。図９および図１０に示されるように、接続部材２６ａ，２６ｂは、機器１６の側底部から水平方向に張出すようにクリーンルーム７内に設置される。そのため、接続部材２６ａ，２６ｂや接続部材２７ａ，２７ｂの取換やメンテナンスが必要な場合、クリーンルーム７内に入って作業をしなければならない。それにより、クリーンルーム７内において行なわれる工程に支障を来すばかりでなく、クリーンルーム７内の清浄度などの性能をも低下させるという問題が生じる。
【００１２】
また、上記のように接続部材２６ａ，２６ｂが機器１６から張出すように設置されることにより、機器１６の周囲に位置するグレーチングパネル２４には、接続部材２６ａ，２６ｂに接続される接続部材２７ａ，２７ｂの設置のための貫通空間３１を設ける必要があった。そのため、機器１６の周囲に位置する床面１７の有効利用に支障をきたすという問題もあった。
【００１３】
さらに、上記の貫通空間３１は、接続部材２７ａ，２７ｂの設置等のため、接続部材２７ａ，２７ｂの断面積よりもかなり大きい開口面積を有することが要求される。貫通空間３１と接続部材２７ａ，２７ｂとの隙間は周囲の床面１７と同様の状態となるように何らかの手段で塞がれる必要があるが、貫通空間３１と接続部材２７ａ，２７ｂとの隙間は複雑な形状となりがちなので、上記のようにその隙間を塞ぐことは困難である。
【００１４】
それにより、図１０において矢印１１で示されるように、上記の隙間に、貫通空間３１の周囲から空気が流れ込むという現象が生じ得る。その結果、貫通空間３１の周囲で気流に乱れが生じることとなる。それにより、空気中の塵埃や微粒子がクリーンルーム７内に拡散しやすくなるという問題も生じる。
【００１５】
また、貫通空間３１内へ空気が流れ込みやすくなることにより、それ以外の部分における床構造８を通過する空気の流量が相対的に減少することが考えられる。この場合には、塵埃や微粒子などがクリーンルーム７内に拡散しやすくなるばかりでなく、空気の流量不足の原因ともなり得る。そして、クリーンルーム７内における空気の流量不足が深刻となった場合には、その流量不足を補うためのさらなる投資が必要となる。
【００１６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものである。この発明の目的は、クリーンルーム内に設置される機器の周囲の床面を有効に利用でき、クリーンルーム内における気流の乱れや空気の流量不足をも抑制でき、さらにクリーンルームの性能を低下させることなく機器と動力系とを接続する接続部材の取換などの作業が行なえる、クリーンルーム内における機器の設置構造を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るクリーンルーム内における機器の設置構造では、機器の周囲に位置する床面にクリーンルーム内に送り込まれた空気を該床面下の空間へ排出するための複数の第１の貫通穴が設けられ、機器の直下に位置する床面には第１の貫通穴の開口面積よりも大きい開口面積を有する第２の貫通穴が設けられる。そして、機器の底部から第２の貫通穴の周囲に位置する床面上に延在するように、床面に向かって流れる空気が第２の貫通穴内に流れ込むのを阻止するための遮蔽部材が設けられる。
【００１８】
上記のように、本発明に係るクリーンルーム内における機器の設置構造では、機器の直下に第２の貫通穴が設けられる。この第２の貫通穴の開口面積は、第２の貫通穴の周囲に位置する床面に設けられる第１の貫通穴の開口面積よりも大きいものであるので、床面下に設置される動力系と機器とを接続するための接続部材を、第２の貫通穴内を通して機器の直下に設置することが可能となる。それにより、機器の周囲に、従来例のように貫通空間３１を設ける必要がなくなり、機器の周囲の床面の有効利用が図れる。また、機器の底部から第２の貫通穴の周囲に位置する床面上に延在するように遮蔽部材が設けられる。この遮蔽部材により、機器の底部直下の空間を、クリーンルーム内の空間から気密に仕切ることが可能となる。それにより、上記の接続部材の取換やメンテナンスを、クリーンルーム内の清浄度などの性能を低下させることなく遮蔽部材で取囲まれた空間内において行なうことが可能となる。また、遮蔽部材を設けることにより、機器の上方から床面に設けられた第１の貫通穴に流れ込む空気が、第２の貫通穴内に流れ込むのを効果的に阻止することが可能となる。つまり、開口面積の相対的に大きい第２の貫通穴内に空気が優先的に流れ込むのを効果的に阻止することが可能となる。その結果、クリーンルーム内における気流の乱れや流量不足を効果的に阻止することが可能となる。
【００１９】
なお、上記の第２の貫通穴は、人が通り抜けられる程度の大きさを有することが好ましい。それにより、遮蔽部材で取囲まれた空間内に人が床面下から入り込み、接続部材の取換やメンテナンスなどの作業を行なうことが可能となる。
【００２０】
また、上記の遮蔽部材は、機器の底部から床面に向かってほぼ真直ぐに下方に延びる側板部と、この側板部の下端から床面に沿って第２の貫通穴に向かって延びる底部とを備えるものであってもよい。このように、側板部が真直ぐに下方に延在することにより、側板部に沿って空気を真直ぐ下方に流すことができる。また、底部を設けることにより、底部によって第２の貫通穴の周囲に位置する第１の貫通穴を覆うことが可能となる。それにより、第２の貫通穴へのクリーンルーム内の空気の流入を効果的に阻止することが可能となる。
【００２１】
また、上記の第２の貫通穴の周囲に位置する床面には、この第２の貫通穴を取囲むように複数の第１の貫通穴が設けられ、上記の底板部は、これらの第１の貫通穴上に延在することが好ましい。そして、側板部の下端からの底部の張出し長さ（図４におけるＬ）は、底板部の直下に位置する上記の第１の貫通穴を少なくとも覆い得るように設定されることが好ましい。それにより、確実に第２の貫通穴への空気の流入を阻止することが可能となる。
【００２２】
また、上記の遮蔽部材は、第２の貫通穴を露出させる中空部を有する底板部と、機器の底部から底板部の表面上に達するようにほぼ真直ぐに下方に延在する側板部とを備えるものであってもよい。この場合にも、効果的に第２の貫通穴への空気の流入を阻止することが可能となる。
【００２３】
また、上記の底板部上には、底板部の外周縁が側板部の外側面から外方に突出するように側板部が載置され、第２の貫通穴を取囲むように設けられた複数の第１の貫通穴上に底板部が延在することが好ましい。そして、底板部の外周縁から中空部に至る底板部の平面幅は、この底板部の直下に位置する１つの第１の貫通穴を覆い得るように設定されることが好ましい。この場合も、クリーンルーム内の空気が第２の貫通穴内に流れ込むのを確実に阻止することが可能となる。
【００２４】
上記のクリーンルームの床は、格子状の梁により構成されるベースと、このベース上に載置された格子状のグレーチングパネルとを備えることが好ましい。そして、グレーチングパネルの表面により床面が構成され、グレーチングパネルの格子により第１の貫通穴が規定される。また、機器の直下に位置する上記のグレーチングパネルを選択的に除去することにより上記の第２の貫通穴が形成されることが好ましい。このように、第２の貫通穴は機器の直下に位置するグレーチングパネルを選択的に除去するだけで形成できるので、その形成は容易である。そればかりでなく、クリーンルームの床面を構成するのに必要なグレーチングパネルの数を減少させることにもなるので、コスト低減にも繋がる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図７を用いて、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の説明で用いる図１〜図７において、従来例と同一の構成要素には同一番号を付し、説明は適宜省略する。
【００２６】
（実施の形態１）
まず、図１〜図４を用いて、本発明の実施の形態１について説明する。図１は、この発明の実施の形態１における機器１６の設置構造を示す斜視図である。図２は、機器１６の設置構造の断面図である。図３は、機器１６の平面図である。図４は、図１に示される遮蔽部材１を示す部分断面斜視図である。
【００２７】
図１に示されるように、機器１６の底面と床構造８との間の空間を取囲むように遮蔽部材１が設けられている。この遮蔽部材１の材質としては、たとえば硬質のプラスチックなどを挙げることができる。
【００２８】
次に、図２を参照して、遮蔽部材１によって取囲まれる空間１９と連通するように、機器１６の直下に開放空間３５が設けられる。この開放空間３５は、機器１６の直下に位置するグレーチングパネル２４，調整板２２および防止網２３を選択的に除去することによって形成されている。
【００２９】
遮蔽部材１は、図２に示されるように、Ｌ形状断面を有し、ねじなどの固定部材により機器１６の外周面に取付けられ、機器１６の底部から床面１７に向かってほぼ真直ぐに下方に延びる側板部と、この側板部の下端から床面１７に沿って開放空間３５に向かって延びる底部１ａとを備える。このような構造を有する遮蔽部材１と開放空間３５との平面的な位置関係が図３に示されている。この図３に示されるように、開放空間３５の周囲を取囲むように底部１ａが設けられる。このような底部１ａを床面１７に密着させることにより、クリーンルーム７内の空気が開放空間３５内に流れ込むのを効果的に阻止できる。
【００３０】
ここで、図４を用いて、遮蔽部材１の構造についてより詳しく説明する。図４に示されるように、開放空間３５の周囲には、グレーチングパネル２４の格子によって規定される貫通穴３３が多数設けられる。この貫通穴３３の開口面積は開放空間３５の開口面積よりも小さくなるように設定される。底部１ａは、開放空間３５の周囲に位置する貫通穴３３上に延在する。そして、遮蔽部材１の側板部の下端からの底部１ａの張出し長さＬは、底部１ａの直下に位置する１つの貫通穴３３の開口幅Ｄ１よりも大きくなるように設定される。つまり、底部１ａがその直下に位置する１つの貫通穴３５を少なくとも覆うことができるように上記の張出し長さＬが設定される。それにより、クリーンルーム７内から開放空間３５内に空気が流入するのをほぼ確実に阻止することが可能となる。
【００３１】
ここで再び図２を参照して、機器１６とメイン動力系２８ａ，２８ｂとを接続する接続部材２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂは、機器１６の直下に設置される。それにより、機器１６の周囲に位置する床面１７に、図９に示される貫通空間３１に相当するものを設ける必要がなくなる。そのため、機器１６の周囲の床面１７を有効利用できる。
【００３２】
また、開放空間３５は、人がその内部を通過できる程度の開口面積を有することが好ましい。それにより、開放空間３５内を通って人が機器１６の直下の空間１９内に入り、接続部材２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂの取換やメンテナンスなどの作業を行なうことが可能となる。空間１９は、機器１６の底面３４と遮蔽部材１とによってクリーンルーム７内の空間から気密に仕切ることができるため、この空間１９内で上記の作業を行なったとしても、クリーンルーム７内の清浄度などの性能を低下させることはほとんどない。したがって、機器１６の底面３４にも、空間１９がクリーンルーム７内の空間から機密に仕切られるような工夫が施されることが好ましい。
【００３３】
（実施の形態２）
次に、図５〜図７を用いて、この発明の実施の形態２について説明する。図５は、この発明の実施の形態２におけるクリーンルーム７内の機器１６の設置構造を示す断面図である。図６は、図５に示される機器１６の平面図である。図７は、図５に示される遮蔽部材１を示す部分断面斜視図である。
【００３４】
まず図５を参照して、本実施の形態２における遮蔽部材１は、床面シール材（底板部）２と側板部３とで構成される。床面シール材２は、図６に示されるように、開放空間３５を露出させる中空部２ａを有する。側板部３は、図７に示されるように、機器１６の外周面に取付けられ、機器１６の底部から床面シール材２の表面上に達するようにほぼ真直ぐに下方に延在する。この側板部３は、たとえばねじなどによって機器１６の外周面に取付けられるものであってもよい。
【００３５】
床面シール材２の外周縁から中空部２ａに至る平面幅Ｗは、床面シール材２の直下に位置する１つの貫通穴３３を覆い得るように設定されることが好ましい。より具体的には、床面シール材２の平面幅Ｗが、１つの貫通穴３３の開口幅Ｄ２よりも大きくなるように設定されることが好ましい。それにより、クリーンルーム７内の空気が機器１６直下に位置する開放空間３５内に流れ込むのをほぼ確実に阻止することが可能となる。
【００３６】
なお、床面シール材２はグレーチングパネル２４の表面（床面１７）と密着して設置されることが好ましい。また、側板部３の下端は底板部２の表面と密着し、側板部３の上端部は機器１６の底部に密着固定されることが好ましい。それにより、上記の効果がより一層顕著なものとなる。
【００３７】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、機器の直下に第２の貫通穴を設けるようにしたので、機器の周囲に位置する床面に従来例における貫通空間３１に相当する貫通穴を設ける必要がなくなる。それにより、機器の周囲の床面を有効利用することが可能となる。その結果、投資効率を向上させることが可能となる。また、第２の貫通穴を取囲むように遮蔽部材を設けているので、この第２の貫通穴内にクリーンルーム内の空気が流れ込むのを効果的に阻止することが可能となる。それにより、従来例よりも気流の乱れを抑制することが可能となり、塵埃や微粒子などの拡散を効果的に抑制できる。それにより、歩留りや品質を向上させることが可能となる。
【００３９】
また、床面下に設置される動力系と機器とを接続するための接続手段を、第２の貫通穴内を通して機器の直下に設置することが可能となる。それにより、遮蔽部材によってクリーンルーム内の空間から密閉された空間内で、接続手段の取換やメンテナンスを行なうことが可能となる。そのため、このような接続手段の取換作業やメンテナンスのためにクリーンルーム内に入る頻度を著しく低減でき、クリーンルーム内の清浄度などの性能が低下するのを効果的に抑制することが可能となる。その結果、生産性を向上させることが可能となる。また、接続手段を機器の直下に設置することにより、クリーンルーム内を美観にできる。
【００４０】
さらに、人が第２の貫通穴内を通り抜けられる程度に第２の貫通穴の大きさを調整することにより、遮蔽部材によって密閉された空間内へ人が容易に入り込むことが可能となる。それにより、上記の接続手段の取換作業やメンテナンス作業を容易に行なうことが可能となる。
【００４１】
さらに、遮蔽部材が側板部および底部を備える構造、あるいは側板部と底板部とを備える構造とすることにより、クリーンルーム内の空気が第２の貫通穴内に流れ込むのをほぼ確実に阻止することが可能となる。それにより、空気流量ロスや流量不足を効果的に阻止することが可能となる。その結果、動力費や設備投資額を低減することが可能となる。
【００４２】
さらに、第２の貫通穴は、グレーチングパネルを選択的に除去することにより形成できる。それにより、機器の直下における床構造を簡素化することが可能となる。それにより、設備投資額を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１におけるクリーンルーム内の機器の設置構造を示す斜視図である。
【図２】  この発明の実施の形態１におけるクリーンルーム内の機器の設置構造を示す断面図である。
【図３】  図１に示される機器の平面図である。
【図４】  図１に示される遮蔽部材を示す部分断面斜視図である。
【図５】  この発明の実施の形態２におけるクリーンルーム内の機器の設置構造を示す断面図である。
【図６】  図５に示される機器の平面図である。
【図７】  図５に示される遮蔽部材の部分断面斜視図である。
【図８】  クリーンルームの概略構成を示す模式図である。
【図９】  従来のクリーンルーム内の機器の設置構造の一例を示す斜視図である。
【図１０】  従来のクリーンルーム内の機器の設置構造の一例を示す断面図である。
【図１１】  従来の床構造の分解斜視図である。
【符号の説明】
１  遮蔽部材、１ａ  底部、２  床面シール材（底板部）、２ａ  中空部、３側板部、４  建屋本体、５  天井部、６  天井フィルタ部、７  クリーンルーム、８  床構造、９  ユーティリティ部、１０  空気調和器、１４  フィルタ、１５  フィルタ取付フレーム、１６  機器、１７  床面、１８  支持ボルト、２０  梁、２１  調整穴、２２  調整板、２３  防止網、２４  グレーチングパネル、２５  固定部材、２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂ  接続部材、２８ａ，２８ｂ  メイン動力系、２９ａ，２９ｂ  制御手段、３０ａ，３０ｂ  接続締結手段、３１  貫通空間、３３  貫通穴、３４  底面、３５  開放空間、３６  ねじ穴。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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