(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送台（８ａ，８ｂ）を有し、伸縮動作することにより上記搬送台（８ａ，８ｂ）を、旋回方向に同一、あるいはわずかに位置をずらせた方向に出没動作させると共に、一体状に旋回可能な第１・第２のロボットリンク機構（Ｂ１，Ｂ２）を備え、上記第１・第２のロボットリンク機構（Ｂ１，Ｂ２）が、それぞれ独立して回転するようにして設けた複数のボス部材（５０ａ，５０ｂ）と、ボス部材の頂面に立設した脚柱（５６ｅ）に設けたアームを含む２対のアーム（５６ａ，５６ｄ）、（５６ｂ，５６ｃ）と、各対のアームの先端付近に連結された一対のリンク（５７ａ，５７ｄ）、（５７ｂ，５７ｃ）と、各一対のリンクの先端付近に連結された搬送台（８ａ，８ｂ）とからなり、上記脚柱（５６ｅ）が、回転方向同一方向に動作する両ロボットリンク機構（Ｂ１，Ｂ２）の出没動作方向線上、あるいは回転方向にずれた方向に動作する両ロボットリンク機構（Ｂ１，Ｂ２）の両出没動作方向線の中間であって、ボス部材（５０ｂ）の中心部に対して搬送台（８ａ，８ｂ）より離れる方向にずれた位置に立設されていることを特徴とするハンドリング用ロボット。
【請求項２】
第１・第２の各搬送台（８ａ，８ｂ）に連結される各対のリンク（５７ａ，５７ｄ）、（５７ｂ，５７ｃ）が非直線形状になっていることを特徴とする請求項１記載のハンドリング用ロボット。
【請求項３】
第１・第２の搬送台（８ａ，８ｂ）に連結する各対のリンク（５７ａ，５７ｄ）、（５７ｂ，５７ｃ）のアーム（５６ａ，５６ｄ）、（５６ｂ，５６ｃ）との連結部に近い部分が互いに近づく方向に湾曲していることを特徴とする請求項２記載のハンドリング用ロボット。
【請求項４】
第１・第２の搬送台（８ａ，８ｂ）に連結される各対のリンク（５７ａ，５７ｄ）、（５７ｂ，５７ｃ）の搬送台（８ａ，８ｂ）との連結部に近い部分が互いに遠ざかる方向に湾曲していることを特徴とする請求項２記載のハンドリング用ロボット。
【請求項５】
同心状に回転する第１・第２のボス部材（５０ａ，５０ｂ）と、第１のボス部材（５０ａ）の側面に設けられた第１・第２のアーム（５６ａ，５６ｂ）と、第２のボス部材（５０ｂ）の側面に設けられた第３のアーム（５６ｃ）と、第２のボス部材（５０ｂ）の頂面に立設した脚柱（５６ｅ）に設けられた第４のアーム（５６ｄ）と、上記各アームに連結された第１・第２・第３・第４のリンク（５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄ）と、第１・第４のリンク（５７ａ，５７ｄ）の先端に連結された第１の搬送台（８ａ）と、第２・第３のリンク（５７ｂ，５７ｃ）の先端に連結された第２の搬送台（８ｂ）とを備え、第１・第４のアーム（５６ａ，５６ｄ）、第１・第４のリンク（５７ａ，５７ｄ）及び第１の搬送台（８ａ）からなる第１のロボットリンク機構（Ｂ１）と、第２・第３のアーム（５６ｂ，５６ｃ）と第２・第３のリンク（５７ｂ，５７ｃ）及び第２の搬送台（８ｂ）からなる第２のロボットリンク機構（Ｂ２）とが、上記第１・第２のボス部材（５０ａ，５０ｂ）が互いに逆方向に回転したときに、一方の搬送台が突出動作し、他方の搬送台が没入動作するようにして、ボス部材（５０ａ，５０ｂ）の回転方向に同一、あるいはわずかに位置をずらせて設け、上記脚柱（５６ｅ）が、回転方向同一方向に動作する両ロボットリンク機構（Ｂ１，Ｂ２）の出没動作方向線上、あるいは回転方向にずれた方向に動作する両ロボットリンク機構（Ｂ１，Ｂ２）の両出没動作方向線の中間であって、ボス部材（５０ｂ）の中心部に対して搬送台（８ａ，８ｂ）より離れる方向にずれた位置に立設されていることを特徴とするハンドリング用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置や、ＬＣＤ製造装置等のように、１つのトランスファチャンバの周囲に複数のステーションとなるプロセスチャンバを配設し、各プロセスチャンバにて加工処理されるウエハ等の薄板状のワークを、トランスファチャンバを経由して、このトランスファチャンバに設けたハンドリング用ロボットにて、１つのプロセスチャンバから他のプロセスチャンバへ搬送するようにしたマルチチャンバタイプの製造装置における上記ハンドリング用ロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
マルチチャンバタイプの半導体製造装置は図１に示すようになっていて、トランスファチャンバ１の周囲に、複数のプロセスチャンバからなるプロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、外部に対してワークを受け渡しを行うワーク受け渡しステーション３，３とが配設されており、トランスファチャンバ１内は常時真空装置にて真空状態が保たれている。
【０００３】
そして上記トランスファチャンバ１は図２に示すようになっていて、これの中心部にハンドリング用ロボットＡ１が旋回可能に備えてあり、周壁で、かつ各プロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ及びワーク受け渡しステーション３，３に対向する仕切り壁５には各プロセスチャンバステーションへのワークの出入口となるゲート６が設けてある。このゲート６はトランスファチャンバ２の内側に各ゲート６に対向して設けられた図示しないゲートバルブにて開閉されるようになっている。
【０００４】
この種の半導体製造装置に用いられる従来のハンドリング用ロボットとしてはいわゆるフロッグレッグ式の双腕型といわれているハンドリング用ロボットＡ１が知られている。
【０００５】
上記従来の技術のフロッグレッグ式の双腕型のハンドリング用ロボットＡ１は図３から図５に示すようになっている。
【０００６】
回転中心に対して同長の２本のアーム７ａ，７ｂがそれぞれ回転可能に設けられている。一方同一形状の２つの搬送台８ａ，８ｂを回転中心に対して両側に位置して有しており、この各搬送台８ａ，８ｂの基部に、同長の２本のリンク９ａ，９ｂの一端が連結されている。この両リンク９ａ，９ｂの一端は搬送台８ａ，８ｂに対してフロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を介して連結されており、両リンク９ａ，９ｂは各搬送台８ａ，８ｂに対して完全に対称方向に回転するようになっている。そして各搬送台８ａ，８ｂに連結した２本のリンクのうちの一方のリンクは一方のアームに、他方のリンクは他方のアームにそれぞれ連結されている。
【０００７】
図４は上記フロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を示すもので、搬送台８ａ，８ｂに連結される２本のリンク９ａ，９ｂの先端部は図４（ａ）に示すように互いに噛合う歯車９ｃ，９ｃからなる歯車構成により結合されており、搬送台８ａ，８ｂに対するリンク９ａ，９ｂの姿勢角θＲ，θＬが常に同じになるようにしている。これにより、搬送台８ａ，８ｂは常にトランスファチャンバ１の半径方向に向けられると共に、半径方向へ動作される。上記リンク９ａ，９ｂの連結は歯車に代えて、図４（ｂ）に示すようにたすき掛けしたベルト９ｄによるものもある。
【０００８】
図５は上記アーム７ａ，７ｂをそれぞれ独立して回転するための機構を示すものである。各アーム７ａ，７ｂの基部はそれぞれリング状になっていて、この各リング状ボス１０ａ，１０ｂは回転中心に対して同軸状にしてトランスファチャンバ１に対して回転自在に支持されている。
【０００９】
一方両リング状ボス１０ａ，１０ｂの内側には円板状ボス１１ａ，１１ｂがそれぞれに対向されて同じ同心状に配置されており、この各対向するリング状ボスと円板状ボスとがマグネットカップリング１２ａ，１２ｂにて気密用の隔壁１７を介して磁気的に結合されている。
【００１０】
上記各円板状ボス１１ａ，１１ｂのそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂは同心状に配置されていて、このそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂはトランスファチャンバ１のフレーム１ａに同心状にして軸方向に位置をずらせて支持されたモータユニット１４ａ，１４ｂの出力部に連結されている。
【００１１】
上記モータユニット１４ａ，１４ｂは、例えばＡＣサーボモータを用いたモータ１５と、ハーモニックドライブ（商品名、以下同じ）を用いた減速比が大きい減速機１６が一体状に結合されていて、各減速機１６，１６の各出力部が上記各回転軸１３ａ，１３ｂの基端に連結されている。アーム７ａ，７ｂが位置されるトランスファチャンバ１内は隔壁１７にて真空状態に維持される。
【００１２】
図６の（ａ），（ｂ）は上記した従来のハンドリング用ロボットＡ１の作用を示すもので、リング状ボス１０ａ，１０ｂが互いに回転して図６（ａ）に示すように、両アーム７ａ，７ｂが回転中心に対して直径方向に対称位置にあるときには、両搬送台８ａ，８ｂが各対のリンク９ａ，９ｂの拡開作動により旋回中心側へ移動され待機状態となる。
【００１３】
この状態で両アーム７ａ，７ｂを同一方向に回転することにより、両搬送台８ａ，８ｂは半径方向の位置を維持したまま回転中心に対して旋回される。また図６（ａ）に示す状態から、両アーム７ａ，７ｂを、これらが互いに近付く方向（互いに逆方向）に回転することにより、図６（ｂ）に示すように両アーム７ａ，７ｂでなす角度が小さくなる方に位置する搬送台８ａがリンク９ａ，９ｂに押されて放射方向外側へ突出動されてトランスチャンバ１に対して放射方向外側に隣接して設けられた上記プロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，３の１つのステーションのプロセスチャンバ内に入る。
【００１４】
このとき、他方の搬送台は回転中心側へ移動されるが、各アーム７ａ，７ｂとリンク９ａ，９ｂとのなす角度の関係上、その移動量はわずかとなる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の第１のハンドリング用ロボットＡ１にあっては、搬送台が２個あることにより、この２個の搬送台を各ステーションに対して交互に、あるいは連続して用いることができ、双腕ロボットとしての作用効果が期待されていたが、現実には次のような問題がある。
【００１６】
すなわち、プロセスの順番が決まっており、各プロセスチャンバステーションで処理したウエハを各ステーションに順番に送っていく場合において、各ステーション内には処理中または処理済みのウエハがある。このとき、あるステーション内の処理済みのウエハを未処理のウエハと交換する場合、上記第１の従来の技術のハンドリング用ロボットＡ１では、図７から図１１に示すように、まず、一方の搬送台８ａに未処理のウエハＷ１を支持してからハンドリング用ロボットＡ１を旋回して空いている方の搬送台８ｂを交換しようとするステーション２ｅに対向させる（図７）。
【００１７】
ついで、この空いている方の搬送台８ｂをステーション２ｅ内へ突入させてこれの上に処理済みのウエハＷ２を受け取り（図８）、トランスファチャンバ１内へ搬送する。その後、ハンドリング用ロボットＡ１を１８０度旋回して（図９）、未処理のウエハＷ１を支持している搬送台８ａを上記ステーション２ｅに対向させてからこれをステーション２ｅ内へ突入動（図１０）して未処理のウエハＷ１をこのステーション２ｅ内へ搬入し、空になった搬送台８ａはトランスファチャンバ１内に没入動される（図１１）。
【００１８】
このように、上記従来のハンドリング用ロボットＡ１では、１つのステーションに対してウエハを交換する度に１８０度旋回しなければならず、ウエハ交換のサイクルタイムが長くなってしまうという問題があった。
【００１９】
本発明は上記のことにかんがみなされたもので、それぞれ先端に搬送台を備えた２つのロボットリンク機構を有するハンドリング用ロボットにおいて、このハンドリング用ロボットを、１つのプロセスチャンバステーションに対して、全く旋回せずに、あるいはわずかな角度にわたって旋回するだけで、ステーション内の処理済のワークと、トランファチャンバ内の未処理のワークとを交換でき、また、上記両ロボットリンク機構相互の出没動作のストロークを同一を簡単にでき、さらに各ロボットリンク機構のリンクがトランスファチャンバのゲートに干渉することなく、出没ストロークを大きくとることができるようにしたハンドリング用ロボットを提供することを目的とするものである。
【００２０】
【課題を解決するための手段及び作用効果】
上記目的を達成するために、本発明に係るハンドリング用ロボットは、搬送台を有し、伸縮動作することにより上記搬送台を、旋回方向に同一、あるいはわずかに位置をずらせた方向に出没動作させると共に、一体状に旋回可能な第１・第２のロボットリンク機構を備え、上記第１・第２のロボットリンク機構が、それぞれ独立して回転するようにして設けた複数のボス部材と、ボス部材の頂面に立設した脚柱に設けたアームを含む２対のアームと、各対のアームの先端付近に連結された一対のリンクと、各一対のリンクの先端付近に連結された搬送台とからなり、上記脚柱が、回転方向同一方向に動作する両ロボットリンク機構の出没動作方向線上、あるいは回転方向にずれた方向に動作する両ロボットリンク機構の両出没動作方向線の中間であって、ボス部材（５０ｂ）の中心部に対して搬送台（８ａ，８ｂ）より離れる方向にずれた位置に立設されている構成となっている。
【００２１】
この構成においては、対となる両ボス部材が互いに逆方向に回転することにより、一方のロボットリンク機構が突出動作し、他方のロボットリンク機構が没入動作する。そして、上記突出動作により、搬送台がトランスファチャンバよりゲートを通ってプロセスチャンバステーション内に突入され搬送台上に載置したワークをプロセスチャンバステーション内に受け渡しし、あるいはプロセスチャンバステーション内にあるワークを受け取る。また没入動作により、搬送台がプロセスチャンバステーションからトランスファチャンバ側へ没入される。また、両ロボットリンク機構は没入状態で、両ボス部材が一方へ回転することによりトランスファチャンバ内で一体状に旋回される。
【００２２】
このとき、両ロボットリンク機構は、１つのプロセスチャンバステーションに対してワークを出し入れする場合、両ロボットリンク機構の回転方向へのずれ分だけハンドリング用ロボットを旋回する必要があるが、この構成によれば、プロセスチャンバステーションに対して全く旋回せずに、あるいはわずかな角度にわたって旋回するだけで、上記ワークの出し入れ及び交換を行なうことができる。
【００２３】
すなわち、両ロボットリンク機構のそれぞれの搬送台が、旋回方向に同一、あるいはわずかにずれた方向に向けて交互に出没動作を行うことができ、これにより、一つのステーションに対してハンドリング用ロボットを、旋回せずに、あるいはわずかな旋回角だけ旋回することだけでプロセスチャンバステーション内の処理済みのウエハ等のワークと、トランスファチヤンバ内の未処理のウエハ等のワークを交換することができ、この両ワークの交換のためのサイクルタイムを大幅に短縮することができる。
【００２４】
また、２つのロボットリンク機構のそれぞれの搬送台が、旋回方向にずれている場合、この２つの搬送台が上下方向に重なり合うことがなくなり、一方の搬送台側で飛散した塵埃が他方の搬送台側に落下する等の影響を与えることがなくなり、両搬送台に搬送するウエハ等のワークを上記塵埃から守ることができる。
【００２５】
さらに、上記２つの搬送台が旋回方向にずれている場合には、この両搬送台の高さ位置を同一にでき、従って、両搬送台は同一高さにおいて出没動作し、これにより、上下動機構を必要とすることなしに、この両搬送台が出没するトランスファチャンバのゲートの上下方向の開口幅を１つの搬送台分にすることができて、ゲート部の気密性を向上することができると共に、ハンドリング用ロボットリンク全体の構成を簡素化できる。
【００２６】
また、両ロボットリンク機構の各アームのうちの１つのアームを設けるためにボス部材の頂面に立設した脚柱が、両ロボットリンク機構の出没動作方向線上、あるいは両方向線の中間に立設したことにより、両ロボットリンク機構のそれぞれの出没動作のストロークを同じにできる。
【００２７】
そして、上記脚柱はボス部材の中心部に対して搬送台より離れる方向にずれた位置に立設されていることにより、両ロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２の出没動作時に、この脚柱に搬送台が干渉することがなくなり、ロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２の出没ストロークを大きくすることができる。
【００２８】
また、第１・第２の各搬送台に連結される各対のリンクが非直線形状にしてあり、かつこの各対のリンクのアームとの連結部に近い部分が互いに近づく方向に湾曲していることにより、ロボットリンク機構を突出動作したときの各対のリンクの先端側の対向間隔が狭くなり、従ってこの部分がゲート内に没入したときのゲートに対して占めるスペースが小さくなり、このことからゲートの横方向の開口幅は搬送台上にあるワークが通るだけの寸法でよく、ゲートの横方向の開口幅をリンクに関係なく搬送台にて搬送しようとするワークの寸法に基づいて最小寸法に設定することができる。ゲートの横方向開口幅が小さいことは、トランスファチャンバ内を真空に保持するために極めて有利である。
【００２９】
さらに、上記対となるリンクの搬送台との連結部に近い部分が互いに遠ざかる方向に湾曲していることにより、この部分の間隔が局部的に広くなって、ロボットリンク機構を没入動作したときにおけるリンクが脚柱と干渉することがなくなり、ロボットリンク機構の没入方向へのストロークを大きくできる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図１２以下に基づいて説明する。なお、この説明において、上記した従来の構成と同一のものは同一の符号を付して説明を省略する。
【００３１】
ハンドリング用ロボットＡ２はトランスファチャンバ１の中心部に位置され、これの第１・第２の２個のリング状ボス５０ａ，５０ｂが同心状にして下側から順に重ね合わせた状態にし、かつ図示しない軸受を介して個々に回転自在に支持されている。
【００３２】
そして上記両リング状ボス５０ａ，５０ｂのそれぞれが対向する内側には円板状ボス５１ａ，５１ｂが軸方向に重ね合わせ状にしてトランスファチャンバ１のフレーム１ａ側に図示しない軸受を介して個々に回転自在に支持されている。
【００３３】
上記互いに対向する両リング状ボス５０ａ，５０ｂと円板状ボス５１ａ，５１ｂのそれぞれはマグネットカップリング５２ａ，５２ｂにて磁気的に連結されている。そしてトランスファチャンバ１内の真空状態を維持するために、リング状ボスと円板状ボスの間に気密用の隔壁１７が設けてある。なお、トランスファチャンバ１内とハンドリング用ロボットＡ２の内側とが同一の雰囲気でよい場合には、この隔壁１７は不要であり、従って各リング状ボスと円板状ボスは一体構成でよいことになる。
【００３４】
上記両円板状ボス５１ａ，５１ｂのそれぞれは、これらの軸心部に同心状に配置された回転軸５３ａ，５３ｂに結合されている。これらの回転軸のうち第１の回転軸５３ａは中空になっていて、第１の回転軸５３ａに第２の回転軸５３ｂが嵌挿されている。
【００３５】
そしてこの両回転軸５３ａ，５３ｂはタイミングベルト等の連結機構を介して第１・第２のモータユニット５４ａ，５４ｂの出力軸５５ａ，５５ｂに連結されている。
【００３６】
上記両モータユニット５４ａ，５４ｂはサーボモータとハーモニックドライブ等の減速機を組合わせたものが用いられ、それぞれの出力軸５５ａ，５５ｂは極めて大きな減速比でもって減速されると共に、正転、逆転が正確に制御されるようになっている。また各出力軸５５ａ，５５ｂと各回転軸５３ａ，５３ｂとを連結する連結機構の連結回転比は同一になっている。
【００３７】
上記第１のリング状ボス５０ａの側面には第１・第２のアーム５６ａ，５６ｂが、第２のリング状ボス５０ｂの側面には第３のアーム５６ｃが、またこの第２のリング状ボス５０ｂの頂面に脚柱５６ｅを介して第４のアーム５６ｄがそれぞれ放射方向に突設されており、第４のアーム５６ｄの先端部下面が回転支点となっており、他のアームは、それぞれのアームの先端部上面が回転支点となっている。
【００３８】
上記各アーム５６ａ〜５６ｄのそれぞれの回転支点の半径は同一寸法になっている。そして、上記各アーム５６ａ〜５６ｄの回転支点には実質的に同長の第１・第２・第３・第４のリンク５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄの一端が回転自在に連結されている。そして第１のアーム５６ａの先端上面側に設けられた回転支点に連結された第１のリンク５７ａの先端部が、この先端の回転支点部を外側へオーバハング状に上方へ折り曲げられてコ字状になっている。なお、上記第１のアーム５６ａの回転支点は必ずしも先端上面側でなく、回転支点部を第１のアームの先端下面側に設け、この第１のアームの先端の下面側にリンクの先端部を連通するようにしてもよい。
【００３９】
第１のリンク５７ａと上記第４のリンク５７ｄの先端部に、搬送台姿勢規制機構を介して第１の搬送台８ａが連結されており、これによって第１のロボットリンク機構Ｂ１が構成されている。このとき、上記第１のリング５７ａのコ字状の立ち上がり高さは、搬送台８ａがリング状ボスより上側に位置し、かつ後述する第２のロボットリンク機構Ｂ２の搬送台８ｂおよび一方のアーム５６ｃとリンク５７ｃがこの第１のアーム５６ａとリンク５７ａの間をくぐり抜けて移動できるようにしてある。また第２・第３のリンク５７ｂ，５７ｃの先端部に搬送台姿勢規制機構を介して第２の搬送台８ｂが連結されており、これによって第２のロボットリンク機構Ｂ２が構成されている。そしてこの両ロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２の搬送台８ａ，８ｂは旋回方向に、α（例えば６０°）だけずれていて旋回方向に重複しないようになっており、かつ上下方向に同一位置となっている。
【００４０】
上記両ロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２の搬送台８ａ，８ｂの旋回方向への位置のずれ量は、少なくとも、両搬送台８ａ，８ｂが旋回方向に重複しないようにし、好ましくは、各搬送台８ａ，８ｂ上にはワークを載置したときに、この両ワークが互いに干渉しない範囲にわたってずれることができるずれ量とする。
【００４１】
ハンドリング用ロボットＡ２は、第２のロボットリンク機構Ｂ２の第２・第３のアーム５６ｂ，５６ｃが直径方向に一直線状になったときに待機状態となるようになっている。そしてこの待機状態の両搬送台８ａ，８ｂが上記したように旋回方向に位置がずれており、この状態（図１４）がハンドリング用ロボットの待機状態となり、この状態から、各リング状ボスの互いに逆方向への回転により各搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの半径方向に出没作動され、またこの待機状態でハンドリング用ロボットが旋回されるようになっている。そして上記脚柱５６ｅの位置は、両搬送台８ａ，８ｂのずれ角αの中間２等分線Ｍ上で、かつ搬送台８ａ，８ｂより離れる方向にリング状ボスの軸心からずれた位置となっている。
【００４２】
このハンドリング用ロボットＡ２において、第１・第２のロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２の各リンク５７ａ〜５７ｄは、各ロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２の出没動作時に、トランスファチャンバ１のゲート６や第２のリング状ボス５０ｂの頂面に設けた脚柱５６ｅに干渉しないように水平方向に湾曲されている。
【００４３】
すなわち、各ロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２のそれぞれの一対のリンク５７ａ，５７ｄ及び５７ｂ，５７ｃのアームとの連結部に近い部分が、互いに近づく方向に湾曲しており搬送台との連結部に近い部分が、互いに遠ざかる方向に湾曲されている。
【００４４】
図１７から図２０は上記構成のハンドリング用ロボットＡ２の作動状態を示すもので、図１７は第１・第２のロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２がトランスファチャンバ１内で待機状態にある状態である。図１８は一方、例えば第１のロボットリンク機構Ｂ１が１つのプロセスチャンバステーション２ｅに向けて突出動作を開始し、搬送台８ａがゲート６をくぐり抜ける状態を示す。このとき、第２のロボットリンク機構Ｂ２の搬送台８ｂが第１のロボットリンク機構Ｂ１の第１のアーム５６ａとリンク５７ａの間をくぐり抜けてこれと干渉しない。
【００４５】
図１９はこの第１のロボットリンク機構Ｂ１がストロークエンドまで突出動作した状態である。このとき、この第１のロボットリンク機構Ｂ１の搬送台８ａに連結された第１・第４のリンク５７ａ，５７ｄのアームとの連結部に近い部分が互いに近づく方向に湾曲しているので、この両リンク５７ａ，５７ｄの間隔が狭くなり、従ってゲート６に対して占めるスペースが小さく、例えばウエハＷ１の直径より小さくなる。このことから、ゲート６の開口幅はウエハＷ１が通るだけの寸法でよく、ゲート６の開口幅をリンクに関係なくワークの寸法に基づいて設定できる。
【００４６】
この第１のロボットリンク機構Ｂ１がストロークエンドまで突出動作したときには、第２のロボットリンク機構Ｂ２はストロークエンドまで没入動作される。そしてこのとき、この第２のロボットリンク機構Ｂ２の搬送台８ｂに連結された第２・第３のリンク５７ｂ，５７ｃの搬送台との連結部に近い部分が互いに遠ざかる方向に湾曲しているので、この部分が局部的に広くなり、この部分により脚柱５６ｅが避けられ、第２のロボットリンク機構Ｂ１は脚柱５６ｅに干渉することなくストロークエンドまで没入動作される。
【００４７】
図２０は上記図１６の待機状態から第２のロボットリンク機構Ｂ２が他のプロセスチャンバステーション２ａに向けて突出動作を開始した状態であり、図２１はこれのストロークエンド状態である。このときは第１のロボットリンク機構Ｂ１が没入動作のストロークエンドとなる。
【００４８】
この状態では、上記図１８、図１９で示した第１のロボットリンク機構Ｂ１の場合と同様に、搬送台８ｂに連結した第２・第３のリンク５７ｂ，５７ｃの間隔はゲート６の開口幅より十分狭くなると共に、第１のロボットリンク機構Ｂ１のリンク５７ａは脚柱５６ｅと干渉しない。
【００４９】
上記した第１・第２のロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２の出没動作において、脚柱５６ｅが、待機状態において、両ロボットリンク機構Ｂ１，Ｂ２の作動方向角αの２等分線Ｍ上で、かつ搬送台８ａ，８ｂより離れる方向にリング状ボスの軸心からずれた位置にあることにより、この脚柱５６ｅは上記２等分線Ｍに対して対称に揺動される。
【００５０】
図２２から図２４は本発明の第２の実施の形態に係るハンドリング用ロボットＡ３を示すもので、これは、第１・第２のロボットリンク機構Ｂ１′，Ｂ２′がこれの旋回方向に同一位置で、かつ搬送台８ａ，８ｂが上下方向に位置がずれている構成となっている。
【００５１】
この第２の実施の形態の場合の各ロボットリンク機構Ｂ１′，Ｂ２′の構成も、上記した実施の形態のものと基本的に同一構成となっていて、２個のリング状ボス５０ａ，５０ｂが互いに正、逆方向に回転することにより第１・第２のロボットリンクＢ１′，Ｂ２′が交互に出没動作される。そしてこのとき、上記した第１の実施の形態の場合と同様に、各ロボットリンク機構Ｂ１′，Ｂ２′のリンクの湾曲形状により、突出状態において、ゲート６に対向する部分の対向間隔が狭く、また没入状態において、脚柱５６ｅを避けてこれと干渉することがない。
【００５２】
この実施の形態によれば、旋回方向の同一位置で両ロボットリンク機構Ｂ１′，Ｂ２′の搬送台８ａ，８ｂを出没動作することができることにより、ハンドリング用ロボットＡ３を全く旋回することなしに、プロセスチャンバステーション内の処理済みのウエハと、トランスファチャンバ内の未処理のウエハとの交換を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】マルチチャンバタイプの製造装置の一例である半導体製造装置の概略的な平面図である。
【図２】トランスファチャンバと従来のハンドリング用ロボットの関係を示す分解斜視図である。
【図３】従来のハンドリング用ロボットを示す斜視図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は搬送台姿勢規制機構を示す説明図である。
【図５】従来のアーム回転機構を示す断面図である。
【図６】（ａ），（ｂ）は従来のハンドリング用ロボットの作用説明図である。
【図７】従来のハンドリング用ロボットの１つのプロセスチャンバステーションに対する作用説明図である。
【図８】従来のハンドリング用ロボットの１つのプロセスチャンバステーションに対する作用説明図である。
【図９】従来のハンドリング用ロボットの１つのプロセスチャンバステーションに対する作用説明図である。
【図１０】従来のハンドリング用ロボットの１つのプロセスチャンバステーションに対する作用説明図である。
【図１１】従来のハンドリング用ロボットの１つのプロセスチャンバステーションに対する作用説明図である。
【図１２】本発明の第１の実施の形態のボス部を示す断面図である。
【図１３】本発明の第１の実施の形態を示す正面図である。
【図１４】本発明の第１の実施の形態を示す平面図である。
【図１５】本発明の第１の実施の形態の待機状態を示す斜視図である。
【図１６】本発明の第１の実施の形態の出没動作状態を示す斜視図である。
【図１７】本発明の第１の実施の形態におけるプロセスチャンバステーションに対する作用説明図である。
【図１８】本発明の第１の実施の形態におけるプロセスチャンバステーションに対する作用説明図である。
【図１９】本発明の第１の実施の形態におけるプロセスチャンバステーションに対する作用説明図である。
【図２０】本発明の第１の実施の形態におけるプロセスチャンバステーションに対する作用説明図である。
【図２１】本発明の第１の実施の形態におけるプロセスチャンバステーションに対する作用説明図である。
【図２２】本発明の第２の実施の形態の待機状態を示す斜視図である。
【図２３】本発明の第２の実施の形態の出没動作状態を示す斜視図である。
【図２４】本発明の第２の実施の形態を示す正面図である。
【符号の説明】
１…トランスファチャンバ
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ…プロセスチャンバステーション
３…ワーク受け渡しステーション
５…仕切り壁
６…ゲート
７ａ，７ｂ，５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５６ｄ…アーム
８ａ，８ｂ…搬送台
９ａ，９ｂ，５７ａ，５７ｂ，５７ｃ，５７ｄ…リンク
９ｃ…歯車
９ｄ…ベルト
１０ａ，１０ｂ，５０ａ，５０ｂ…リング状ボス（ボス部材）
１１ａ，１１ｂ，５１ａ，５１ｄ…円板状ボス
１３ａ，１３ｂ，５３ａ，５３ｄ…回転軸
１４ａ，１４ｂ，５４ａ，５４ｄ…モータユニット
５６ｅ…脚柱
Ａ１，Ａ２，Ａ３…ハンドリング用ロボット
Ｂ１，Ｂ２，Ｂ１′，Ｂ２′…ロボットリンク機構
Ｗ１，Ｗ２…ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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