(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に蓄熱層及び発熱層を形成する発熱抵抗体の製造方法であって、
前記基板を加工装置のチャンバ内においてベーキングする工程と、
ベーキングされた前記基板にスパッタリングにより組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系よりなる蓄熱層を成膜する工程と、
該蓄熱層上にスパッタリングにより組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系又はＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系よりなる発熱層を成膜する工程と、
を含んで成り、
前記ベーキング工程、前記蓄熱層成膜工程、及び前記発熱層成膜工程を、
同一の前記チャンバ内で、
ターゲットを交換することなく、
連続して成膜する
ことを特徴とする発熱抵抗体の製造方法。
【請求項２】
基板上に放熱層、蓄熱層及び発熱層を形成する発熱抵抗体の製造方法であって、
前記基板を加工装置のチャンバ内においてベーキングする工程と、
ベーキングされた前記基板にスパッタリングにより組成がＴａ5 −Ｓｉ3 又はＴａ2 −Ｓｉよりなる放熱層を成膜する工程と、
該放熱層上にスパッタリングにより組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系よりなる蓄熱層を成膜する工程と、
該蓄熱層上にスパッタリングにより組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系又はＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系よりなる発熱層を成膜する工程と、
を含んで成り、
前記ベーキング工程、前記放熱層成膜工程、前記蓄熱層成膜工程、及び前記発熱層成膜工程を、
同一の前記チャンバ内で、
ターゲットを交換することなく、
連続して成膜する
ことを特徴とする発熱抵抗体の製造方法。
【請求項３】
前記放熱層は、Ｔａ5 Ｓｉ3 又はＴａ2Ｓｉからなることを特徴とする請求項２記載の発熱抵抗体の製造方法。
【請求項４】
前記放熱層は、結晶性金属化合物であることを特徴とする請求項２記載の発熱抵抗体の製造方法。
【請求項５】
前記蓄熱層は、組成が「Ｔａ＋Ｓｉ＋Ｏ＝１００％」で、Ｏのモル％Ｍ１が「６０モル％≦Ｍ１≦７５モル％」の絶縁性の膜であることを特徴とする請求項１又は２記載の発熱抵抗体の製造方法。
【請求項６】
前記蓄熱層は、膜厚が１μｍ以上に成膜されていることを特徴とする請求項５記載の発熱抵抗体の製造方法。
【請求項７】
前記発熱層は、組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系であるとき、ＳｉとＴａのモル比Ｓｉ／Ｔａが「０．３５＜Ｓｉ／Ｔａ＜０．７５」で、Ｏのモル％Ｍ１が「２５モル％≦Ｍ１≦５５モル％」であり、組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系であるとき、ＳｉとＴａのモル比Ｓｉ／Ｔａが「０．３５＜Ｓｉ／Ｔａ＜０．８５」で、Ｏのモル％Ｍ１が「２５モル％≦Ｍ１≦４５モル％」、且つＮのモル％Ｍ２が「５モル％≦Ｍ２≦２５モル％」である、
ことを特徴とする請求項１又は２記載の発熱抵抗体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、同一チャンバ内でターゲットを交換することなく機能特性の異なる複数層の膜を連続して成膜する発熱抵抗体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、インクジェット方式のプリンタが広く用いられている。このインクジェット方式のプリンタに用いられる印字ヘッドには、インクを加熱し気泡を発生させてその圧力でインク滴を飛ばすサーマル方式や、ピエゾ抵抗素子（圧電素子）の変形によってインク滴を飛ばすピエゾ方式等の印字ヘッドがある。
【０００３】
これらは、色材たるインクをインク滴にして直接記録紙に向かって吐出し印字を行うから、粉末状の印材であるトナーを用いる電子写真方式と比較した場合、印字エネルギーが低くて済み、インクの混合によってカラー化が容易であり、印字ドットを小さくできるので高画質であり、騒音がきわめて低いので、特にパーソナル用プリンタの印字ヘッドとして広く用いられている。
【０００４】
上記のサーマル方式の印字ヘッドには、インク滴の吐出方向により二通りの構成があり、一つは発熱素子の発熱面に平行な方向へインク滴を吐出する構成のサイドシュータ型と呼ばれる形式のもの、他の一つは発熱素子の発熱面に垂直な方向にインク滴を吐出する構成のルーフシュータ型と呼ばれる形式のものである。このルーフシュータ型の印字ヘッドは、サイドシュータ型に比較して、消費電力が極めて小さく経済的であることが知られている。
【０００５】
このルーフシュータ型の印字ヘッドの製法としては、例えば６×２５．４ｍｍ以上の直径の一枚のシリコンウエハ上に例えば９０個以上に区画された１０ｍｍ×１５ｍｍ程度の大きさの多数のチップ基板の上に、ＬＳＩ形成技術と薄膜形成技術を利用して、多数の発熱抵抗体と、これらを個々に発熱駆動する駆動回路と、これにインクを供給するインク流路と、インク滴を吐出する吐出ノズルとを、一括してモノリシックに形成する方法がある。
【０００６】
図５(a) は、そのようなルーフシュータ型の印字ヘッドのインク吐出面を模式的に示す平面図であり、同図(b) は、そのＡ−Ａ′断面矢視図、同図(c) は、その内部構造を透視的に示す拡大平面図である。同図(a),(b),(c) に示す印字ヘッド１は、シリコンチップ基板２の上で、ＬＳＩ形成処理技術と薄膜形成処理技術とにより形成され、完成後に、シリコンウェハから個々に切り出されて採取される。
【０００７】
同図(a) に示すように、印字ヘッド１のインク吐出面にはイエロー、マゼンタ、シアン及びブラックの４種類のインクを吐出するための４列のノズル列３が形成されている。１列のノズル列３には、例えばこの印字ヘッド１が６００ドット／２５．４ｍｍの解像度で、多数のインク吐出ノズル４が４２．３μｍの配列ピッチで縦１列に並んで配置されている。これらの各ノズル列３には不図示のインクカートリッジ等から各ノズル列３に対応する色のインクが夫々供給される。
【０００８】
この印字ヘッド１の内部構造は、同図(b),(c) に示すように、シリコンチップ基板２上に、ＬＳＩからなる駆動回路５と薄い発熱抵抗膜６が形成され、この発熱抵抗膜６の発熱部つまり発熱抵抗体６ａとなる部分の一方の端部と駆動回路５を結ぶ個別配線電極７が形成され、更に発熱抵抗体６ａの他方の端部と給電用端子８（同図(a) 参照）とを接続する共通電極９が形成されている。そして、これらの上に隔壁１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）が積層されている。上記の発熱抵抗体６ａと個別駆動電極７は、それぞれ後から形成されるノズル列３のインク吐出ノズル４の数だけ配設される。
【０００９】
そして、この発熱抵抗体６ａの配置方向と平行に延在するインク供給溝１２と、このインク供給溝１２に連通してシリコンチップ基板２の下面に貫通するインク供給孔１３が穿設され、これらの上からオリフィス板１４が、隔壁１１上に接着されて積層されている。このオリフィス板１４の積層により、隔壁１１の厚さに対応する高さおよそ１０μｍのインク供給路１５が、発熱抵抗体６ａとインク供給溝１２間に形成される。この後、オリフィス板１４に、インクを吐出する上述のインク吐出ノズル４が形成される。
【００１０】
この印字ヘッド１は、印字時には、外部のインクカートリッジ等から発熱抵抗体６ａに、インク供給孔１３、インク供給溝１２及びインク供給路１５を介してインクが供給される。駆動回路５は、画像情報に応じて複数の発熱抵抗体６ａを選択的に通電してインクとの界面に急激に膨張し消滅する膜気泡現象を発生させ、その膨張時の圧力でインク滴をインク吐出ノズル４から用紙面に向かって吐出させる。
【００１１】
図６(a),(b),(c) は、上記印字ヘッド１の基本的なインク吐出動作を示す図である。同図には、図５(a),(b),(c) に示した構成と同一の構成部分には図５(a),(b),(c) と同一の番号を付与して全体を簡略に示している。
先ず、図６(a) に示す待機状態において外部からインク供給路１５に供給されているインク１６は、インク吐出ノズル４内に入り込み、オリフィス板１４の上面に沿ったインク吐出ノズル４の上部開口でメニスカス１６ａを形成している。
【００１２】
次に、このインク吐出ノズル４からインク１６を吐出させるには、上述したように画像情報に応じた通電により発熱抵抗体６ａを発熱させて、同図(b) に示すように、発熱低抗体６ａ上に膜気泡１７を発生させる。この膜気泡１７は最初に発生した多数の核気泡が合体して形成されたものである。
【００１３】
この膜気泡１７が断熱膨張して成長し周囲のインク１６を押し遣り、これによりインク吐出ノズル４からインク１６ｂが押し出され、更にこの押し出されたインク１６ｂが、同図(c) に示すように、インク滴１６ｃとなってインク吐出ノズル４から不図示の記録媒体に向けて吐出される。この後、上記の成長した膜気泡は周囲のインクに熱を取られて収縮して、ついには消滅する。インク滴１６ｃが飛び出した直後のインク１６は、インク吐出ノズル４の底部でメニスカス１６ａを形成しているが、このメニスカス１６ａはインク１６が外部からインク供給路１５に補充されることにより、インク吐出ノズル４内を上昇して、同図(a) の基準待機状態に復元される。
【００１４】
上記の発熱抵抗体６ａの加熱期間は０〜１μｓ、膜気泡１７の発生からインク滴の吐出までの期間は２μｓから３μｓの初め、膜気泡の収縮と消滅までの期間は３μｓの終りから６μｓまでであり、一瞬の間にインク滴吐出の１サイクルが終了する。
【００１５】
図７(a) は上記のようにシリコン基板に形成される印字ヘッドの発熱抵抗体近傍の構成を示す拡大図であり、同図(b) はアルミナ基板に形成される場合の発熱抵抗体近傍の構成を示す拡大図である。尚、同図(a),(b) は共に、図５(b) の構成の破線の丸Ｂで示す発熱抵抗体６ａ近傍の構成を拡大して示したものであり、図５(b) と同一構成部分には、図５(b) と同一の番号を付与して示している。
【００１６】
同図(a) に示す印字ヘッド１′の例では、シリコン（Ｓｉ）チップ基板２の上一面に、このシリコンチップ基板２の表面を酸化して得られるシリコン酸化膜（ＳｉＯ2 ）からなる絶縁層１９が形成され、この上に、発熱抵抗膜６が形成されている。
【００１７】
一般に、インクジェットプリンタの印字ヘッドにおいては、発熱抵抗体による発熱を印字実行後に外部に効率よく放散するための放熱性と、連続して印字を行う場合に熱エネルギー効率を向上させるため前回の印字の際の残熱を利用するための蓄熱性とが、バランス良く保たれることが必要とされる。
【００１８】
上記のシリコンチップ基板２は、表面の研磨が比較的し易すく平滑な面が得られるだけでなく、熱伝導性が比較的よい基板材料である。また、表面のシリコン酸化膜からなる絶縁層１９は、適度の蓄熱性を備えている。
上述したように１０ｍｍ×１５ｍｍ程度の大きさのシリコンチップ基板２上に作成される小型の印字ヘッド１は、主として印字ヘッドが用紙の幅方向に往復移動して印字を行うシリアル式プリンタ用の印字ヘッドとして用いられ、小型であるため全体としての発熱量が少ない。そして、上記のようにシリコンチップ基板２が持つ適宜の放熱性と、絶縁膜１９が持つ適宜の蓄熱性とがバランス良く形成されているため、この印字ヘッド１は、良好な印字を、継続して実行できる性能を備えている。
【００１９】
ところで、近年、情報機器の普及に伴って印字を高速に行うプリンタの要望が強くなり、上記のシリアル式プリンタでは印字速度が遅いという不満が高まっている。これに対処すべく、インクジェットプリンタにおいても、用紙の幅一杯の長さのノズル列を備えた印字ヘッドがプリンタ本体に固定され、用紙のみが移動して印字が行われるライン式プリンタが提案されている。
【００２０】
そのようなライン式プリンタに使用される大型長尺の印字ヘッドを作成するには、その基板にシリコンウエハを用いたのでは、より高度な技術が要求される上に、歩留りが低下するためコストが極めて高くなって製品価格が上昇するという実用面の問題を有している。そこで、大型長尺の印字ヘッド作成用として、大きさに限界のあるシリコンウエハではなく、ガラス基板を用いる方法が提案されている。ガラス基板はＬＣＤディスプレイなどの大型基板として既に採用されている素材であり、技術的には問題が無いと思われた。
【００２１】
ところが、大型長尺の印字ヘッドでは全体としての発熱量も大きくなるため、熱伝導率の低いガラス基板では放熱性と蓄熱性との良好なバランスが得られず、このため、図６(a),(b),(c) で説明した正しい発泡状態が得られないという問題が発生した。そこで、比較的大きなサイズの基板を製作でき且つ熱伝導性もガラス基板に比べると良好なセラミックス基板を用いたものが実用化の端緒についている。
【００２２】
図７(b) に示す印字ヘッド１″の例は、そのようなセラミックス基板の中で、アルミナ基板を用いて製作された印字ヘッドの発熱抵抗体近傍の構成を示す拡大図である。同図に示すアルミナ基板２１は、アルミの原料パウダを型内で焼成することによって得られる。このアルミナ基板２１は、シリコン基板以上に良い熱伝導性を備えている。
【００２３】
このアルミナ基板２１の上に、蓄熱層としてＳｉＯ2からなる絶縁層２２を形成する。このＳｉＯ2からなる絶縁層２２は酸素雰囲気中でＳｉターゲットをスパッタリングして得られる。この絶縁層２２の上に発熱抵抗膜６と個別配線電極７及び共通電極９を積層して発熱抵抗体６ａを形成し、更にその上に、図５(a),(b) に示したオリフィス板１４を積層し、インク吐出ノズル４を形成する。
【００２４】
このような構成によって、大型長尺の印字ヘッドの場合であっても放熱性と蓄熱性とのバランスが良くとれて、良好な印字を実行することができる。
【００２５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のアルミナ基板２１は、焼成による成形の段階で、数μｍ〜数十μｍ程度のサイズのピンホールや突起等の表面欠陥が発生し易く、この表面欠陥の発生は、現在の技術では避けることができない。そして、このアルミナ基板２１の表面粗度はＲａ０．１５程度と比較的粗い面を形成している。このようなピンホールや突起等が形成されている粗い表面粗度が起因となって、アルミナ基板２１を組み込んだ印字ヘッドの耐久寿命は短いことで知られている。
【００２６】
そうかといって、そのアルミナ基板の粗度の粗い表面を、研磨等の機械的な処理によって改善しようとしても、アルミナ自体が高硬度の材料であるため、この改善作業は極めて困難を伴うものであって、決して実用的ではない。
そこで、このようなアルミナ基板の欠点を補った基板として、アルミナ基板の表面に溶融ガラスをコーティングして表面粗度を改善した、いわゆるアルミナグレース基板が知られている。ところがアルミナグレース基板が有するガラスからなるグレース層は、本来は厚さが薄いほうが良いのだが、製法上その厚さを薄くするのに限界があり、４０〜５０μｍ程度より以下には薄くすることができない。薄くすることができないと、ガラス基板と同様に基板への過度の蓄熱の問題が発生する。結果として、ガラス同様に、大型長尺の印字ヘッド作成用の基板としては不向きであって採用できないということになる。
【００２７】
したがって、大型長尺の印字ヘッド用としては、現在まで上述のアルミナ基板２１を用いる以外に方法がなく、このため、大型長尺の印字ヘッドの短い耐久寿命をなかなか改善することが出来ないという問題は、解決されないまま今日に至っている。
【００２８】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、インクジェットプリンタ用の印字ヘッドを作製する場合、バランスの良い放熱性と蓄熱性を備えた放熱層と蓄熱層とを効率よく形成する発熱抵抗体の製造方法を提供することである。
【００２９】
【課題を解決するための手段】
先ず、請求項１記載の発明の発熱抵抗体の製造方法は、基板上に蓄熱層及び発熱層を形成する発熱抵抗体の製造方法であって、上記基板を加工装置のチャンバ内においてベーキングする工程と、ベーキングされた上記基板にスパッタリングにより組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系よりなる蓄熱層を成膜する工程と、該蓄熱層上にスパッタリングにより組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系又はＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系よりなる発熱層を成膜する工程と、を含んで成り、上記ベーキング工程、上記蓄熱層成膜工程、及び上記発熱層成膜工程を、同一の上記チャンバ内で、ターゲットを交換することなく、連続して成膜するように構成される。
【００３０】
次に、請求項２記載の発明の発熱抵抗体の製造方法は、基板上に放熱層、蓄熱層及び発熱層を形成する発熱抵抗体の製造方法であって、上記基板を加工装置のチャンバ内においてベーキングする工程と、ベーキングされた上記基板にスパッタリングにより組成がＴａ5 −Ｓｉ3 又はＴａ2 −Ｓｉよりなる放熱層を成膜する工程と、該放熱層上にスパッタリングにより組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系よりなる蓄熱層を成膜する工程と、該蓄熱層上にスパッタリングにより組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系又はＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系よりなる発熱層を成膜する工程と、を含んで成り、上記ベーキング工程、上記放熱層成膜工程、上記蓄熱層成膜工程、及び上記発熱層成膜工程を、同一の上記チャンバ内で、ターゲットを交換することなく、連続して成膜するように構成される。
【００３１】
上記放熱層は、例えば請求項３記載のように、Ｔａ5 Ｓｉ3 又はＴａＳｉからなり、また、例えば請求項４記載のように、結晶性金属化合物で構成される。
上記蓄熱層は、例えば請求項５記載のように、組成が「Ｔａ＋Ｓｉ＋０＝１００％」で、Ｏのモル％Ｍ１が「６０モル％≦Ｍ１≦７５モル％」の絶縁性の膜で構成され、また、例えば請求項６記載のように、膜厚が１μｍ以上に成膜されて構成される。
【００３２】
上記発熱層は、例えば請求項７記載のように、組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系であるとき、ＳｉとＴａのモル比Ｓｉ／Ｔａが「０．３５＜Ｓｉ／Ｔａ＜０．７５」で、Ｏのモル％Ｍ１が「２５モル％≦Ｍ１≦５５モル％」であり、組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系であるとき、ＳｉとＴａのモル比Ｓｉ／Ｔａが「０．３５＜Ｓｉ／Ｔａ＜０．８５」で、Ｏのモル％Ｍ１が「２５モル％≦Ｍ１≦４５モル％」、且つＮのモル％Ｍ２が「５モル％≦Ｍ２≦２５モル％」で構成される。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１は、第１の実施の形態におけるサーマル式インクジェットプリンタ用の印字ヘッドの発熱抵抗体近傍の構成を示す断面図である。同図に示す印字ヘッド２５はアルミナ基板２６上に製作される場合の例を示している。アルミナ基板２６は、ガラスに比較して熱を良く伝える熱伝導体であり、この印字ヘッド２５の放熱層を形成している。
【００３４】
この放熱層としてのアルミナ基板２６の上に、Ｔａ−Ｓｉ−Ｏ系の薄膜からなる蓄熱層２７が積層され、更にその蓄熱層２７の上に、Ｔａ−Ｓｉ−Ｏ系またはＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系の薄膜からなる発熱抵抗膜２８が形成され、条形にパターン化されて、その条形パターンが紙面垂直方向に多数並んで配置されている。この条形パターンの発熱抵抗膜２８の上に、個別配線電極２９と共通電極３１が形成され、それら個別配線電極２９と共通電極３１とに挟まれた発熱抵抗膜２８部分が発熱抵抗体２８ａを形成している。
【００３５】
個別配線電極２９の上には感光硬化性ポリイミド等の樹脂からなる隔壁３２が紙面垂直方向に延在してパターン化して配設され、更にその隔壁３２から紙面左方向に伸び出して、隣接する発熱抵抗体２８ａと発熱抵抗体２８ａとの間に隔壁３２ａ（図５の隔壁１１ｃと同様の構成）がパターン化されて配設されている。この隔壁３２、３２ａの上にオリフィス板３３が貼着して積層され、このオリフィス板３３の上記発熱抵抗体２８ａと対向する位置に、インク滴を吐出するノズルであるオリフィス３４が穿設されて形成されている。
【００３６】
各発熱抵抗体２８ａの上方には、隔壁３２と３２ａに三方を囲まれたインク加圧室３５が形成され、このインク加圧室３５に、外部からインク供給路３６を通ってインクが供給され、図６(a),(b),(c) に示した場合と同様にして、発熱抵抗体２８ａが発熱し、オリフィス３４からインク滴が吐出される。
【００３７】
ところで、上記のインク滴の吐出において、前述の図６で説明した膜気泡の収縮と消滅の間には、気泡内部の圧力が急激に低下して発熱抵抗体の上方に負圧を伴うキャビテーションが発生する。
このキャビテーションは、発熱抵抗体を設置面から引き剥がそうとする力として働き、その衝撃力は、水深１ｍｍのオープンプールでの実験によれば１０００ｔｏｎ／ｃｍ2 に達すると言われている。このような稼動環境下において、発熱抵抗体２８ａは、キャビテーションの衝撃によって、やがては破壊される。したがって、発熱抵抗体２８ａは、キャビテーションの破壊力に長期に耐え得る強力な構成でなければならない。
【００３８】
上記のＴａ−Ｓｉ−Ｏ系またはＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系の薄膜からなる発熱抵抗膜２８（つまり発熱抵抗体２８ａ）の材料構成は、種々試料を試作して実験を繰り返して、強い耐キャビテーション性を有する材料を探し求めた結果得られたものである。
【００３９】
この実験では、組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ系である場合は、ＳｉとＴａのモル比Ｓｉ／Ｔａが「０．３５＜Ｓｉ／Ｔａ＜０．７５」で、Ｏのモル％Ｍ１が「２５モル％≦Ｍ１≦５５モル％」であるとき、発熱抵抗体として適する高抵抗率を備えると共に強い耐キャビテーション性を発揮することが確認された。また、組成がＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系である場合には、ＳｉとＴａのモル比Ｓｉ／Ｔａが「０．３５＜Ｓｉ／Ｔａ＜０．８５」で、Ｏのモル％Ｍ１が「２５モル％≦Ｍ１≦４５モル％」、且つＮのモル％Ｍ２が「５モル％≦Ｍ２≦２５モル％」であるとき、上記と同様に、発熱抵抗体として適する高抵抗率を備えると共に強い耐キャビテーション性を発揮することが確認された。
【００４０】
また、蓄熱層２７は、発熱抵抗膜２８の上記のような選択可能な２つの組成の内の一方の組成Ｔａ−Ｓｉ−Ｏと同じ成分のＴａ−Ｓｉ−Ｏ系の薄膜からなり、厚さは１μｍ以上に形成され、絶縁性を備えている。この蓄熱層２７も、種々試料を試作して実験を繰り返した結果、アルミナ基板２６と発熱抵抗膜２８の両方に強い密着性があり且つ強い絶縁性を有する蓄熱層として開発されたものである。この蓄熱層２７の組成の成分は、発熱抵抗膜の場合と同一の成分を含んでいるが、それらの成分比は発熱抵抗膜の場合と大きく異なる。すなわち、組成は「Ｔａ＋Ｓｉ＋０＝１００％」であり、Ｏのモル％Ｍ１は「６０モル％≦Ｍ１≦７５モル％」となるように成膜されている。
【００４１】
上記の開発では、蓄熱層と発熱抵抗体は個々に開発されたものであったが、Ｔａ−Ｓｉ−Ｏ系、Ｔａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ系、あるいはＴａ−Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ系の膜が酸素の含有率の程度によって導電性、絶縁性、耐キャビテーション性が変化する特性のあることが実験の結果判明しているので、このことに着眼して、実際の印字ヘッドを製作するに場合において、この第１の実施の形態における発熱抵抗体の製造方法においては、これら２種類の薄膜をスパッタリング装置の同一チャンバ内で、ターゲットを交換することなく、連続して成膜する。
【００４２】
図２は、そのような絶縁性の蓄熱層と強力耐キャビテーション性の発熱抵抗膜の２種類の薄膜を、スパッタリング装置の同一チャンバ内で、ターゲットを交換することなく、連続して成膜する処理工程のフローチャートである。
先ず、同図に示すステップＳ１の基板投入工程では、アルミナ基板２６がスパッタリング装置のチャンバ内の処理台上に載置される。
【００４３】
続いて、ステップＳ２の基板ベーキング工程では、上記チャンバ内のアルミナ基板２６の表面に所定の熱と酸素が所定の時間加えられ、元来が焼結によって生成されたアルミナ基板２６の表面が更に焼成される。これにより、後工程で成膜される蓄熱層２７とアルミナ基板２６との密着性が向上する。
【００４４】
次に、ステップＳ３の蓄熱層２７としてのＴａ−Ｓｉ−Ｏ膜の成膜工程では、Ｔａ板に所定の量のＳｉを埋めこんだターゲット、例えばＴａ：Ｓｉ＝３：１であるようなターゲットを使用し、チャンバ内を１×１０-6×１３３Ｐａ以下に排気した後、ＡｒとＯ2 の混合ガスを所定量導入した雰囲気中でスパッタリングにより成膜する。
【００４５】
スパッタ条件は、例えば、基板の温度を約２０００℃、成膜速度を約２０Å／ｓｅｃ、成膜の膜厚は１μｍ以上とする。また、この成膜時における上記の混合ガス「Ａｒ＋Ｏ2 」中の酸素ガスの割合（体積％）は、２．５％〜３％である。これにより、Ｏのモル％Ｍ１が「６０モル％≦Ｍ１≦７５モル％」の絶縁性の蓄熱層２７がアルミナ基板２６上に生成される。
【００４６】
続いて、ステップＳ４の発熱抵抗膜２８としてのＴａ−Ｓｉ−Ｏ膜またはＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ膜の成膜工程では、同一チャンバ内において、再びターゲットにＴａにＳｉを埋めこんだ上記のターゲットを使用する。
そして、Ｔａ−Ｓｉ−Ｏ膜を成膜する場合は、上記同様にＡｒとＯ2 の混合ガスを導入するが、この場合は混合ガス「Ａｒ＋Ｏ2 」中の酸素ガスの割合は、２％である。これにより、ＳｉとＴａのモル比Ｓｉ／Ｔａが「０．３５＜Ｓｉ／Ｔａ＜０．７５」で、Ｏのモル％Ｍ１が「２５モル％≦Ｍ１≦５５モル％」の発熱抵抗膜２８が蓄熱層２７の上に連続して成膜される。
【００４７】
また、Ｔａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ膜を成膜する場合は、ＡｒとＯ2 とＮ による所定の割合の混合ガスを導入して、スパッタリングによって成膜する。これにより、ＳｉとＴａのモル比Ｓｉ／Ｔａが「０．３５＜Ｓｉ／Ｔａ＜０．８５」で、Ｏのモル％Ｍ１が「２５モル％≦Ｍ１≦４５モル％」、且つＮのモル％Ｍ２が「５モル％≦Ｍ２≦２５モル％」の発熱抵抗膜２８が蓄熱層２７の上に連続して成膜される。
【００４８】
そして、図１に示す蓄熱層２７と発熱抵抗膜２８の成膜工程が終了する。この後に続く工程では、図１で構成を説明した個別配線電極２９と共通電極３１用の電極膜の積層と、レジスト塗布と、マスクパターンの作成と、エッチングによる電極のパターン化、隔壁３２用の樹脂層の塗布と、ポジ又はネガ型マスクパターンの作成と、樹脂の感光硬化と、除去と、焼成とによる隔壁３２の形成、オリフィス板３３の積層とオリフィス３４の穿設からなる通常の工程を経て印字ヘッドの全製造工程を終了する。
【００４９】
上記第１の実施の形態では、ライン式プリンタ用の大型長尺の印字ヘッドのためのアルミナ基板を例にとって説明したが、発熱抵抗体の下方に積層される異なる性質の薄膜を発熱抵抗体と共に連続成膜する方法は、アルミナ基板に発熱抵抗体と蓄熱層を連続成膜するだけに限るものではない。シリコン基板の場合でも、特には図示しないが、小型印字ヘッドチップを親基板上に千鳥足状に配設して、大型基板を形成する方法があり、また、コストの上昇を許容できる場合はシリコンウエハ上に直接大型基板を形成することもできる。
【００５０】
その場合には、上述したアルミナ基板の場合と同様の高い放熱性が要求されるが、本発明の連続成膜の方法を用いれば、大型シリコン基板の場合でも、放熱性と蓄熱性のバランスのとれた印字ヘッドを効率良く製造することができる。以下、これを第２の実施の形態として説明する。
【００５１】
図３は、第２の実施の形態におけるサーマル式インクジェットプリンタ用の印字ヘッドの発熱抵抗体近傍の構成を示す断面図である。尚、同図には、図１と同一の構成部分には図１と同一の番号を付与して示している。図３に示すように、この印字ヘッド４０は、基板４１の上に放熱層４２、蓄熱層２７、及び発熱抵抗膜２８が順次積層されている。本例では、上記の基板４１がシリコン基板であり、放熱層４２がＴａ5 −Ｓｉ3 又はＴａ2 −Ｓｉよりなること以外は、これらの上に積層された他の構成は、図１の印字ヘッド２５の場合と同様である。
【００５２】
そして、本実施の形態においても、上記３種類の性質の異なる各薄膜は、スパッタリング装置の同一チャンバ内で、ターゲットを交換することなく、連続して成膜される。
図４は、放熱層４２と蓄熱層２７と発熱抵抗膜２８をスパッタリング装置の同一チャンバ内でターゲットを交換することなく連続して成膜する処理工程のフローチャートである。
【００５３】
先ず、同図に示すステップＳ１１の基板投入工程では、基板４１がスパッタリング装置のチャンバ内の処理台上に載置される。
続いて、ステップＳ１２の基板ベーキング工程では、上記チャンバ内の基板４１の表面に所定の熱処理が施される。これにより。ＳｉＯ2 からなる酸化膜が形成されて、後工程で成膜される蓄熱層２７と基板４１との密着性が向上する。
【００５４】
次に、ステップＳ１３の放熱層４２としてのＴａ5 Ｓｉ3 又はＴａ2Ｓｉからなる薄膜の成膜工程では、成膜後の組成が上記のＴａ5 Ｓｉ3 又はＴａ2ＳｉとなるようにＴａにＳｉを埋め込んだターゲットを使用し、スパッタリングによる成膜する。
【００５５】
更に、ステップＳ１４の蓄熱層２７としてのＴａ−Ｓｉ−Ｏ膜の成膜工程では、上記のターゲットを用い、成膜後の組成の成分が「Ｔａ＋Ｓｉ＋０＝１００％」でＯのモル％Ｍ１が「６０モル％≦Ｍ１≦７５モル％」になるような割合のＡｒとＯ2 の混合ガスをチャンバ内に導入し、スパッタリングによって成膜する。
【００５６】
続くステップＳ１５の発熱抵抗膜２８としてのＴａ−Ｓｉ−Ｏ膜またはＴａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ膜の成膜工程では、同一チャンバ内において、再び上記のターゲットを用い、Ｔａ−Ｓｉ−Ｏ膜を成膜する場合は、成膜後の組成の成分のＳｉとＴａのモル比Ｓｉ／Ｔａが「０．３５＜Ｓｉ／Ｔａ＜０．７５」で、Ｏのモル％Ｍ１が「２５モル％≦Ｍ１≦５５モル％」になるように、また、Ｔａ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎ膜を成膜する場合は、成膜後の組成の成分のＳｉとＴａのモル比Ｓｉ／Ｔａが「０．３５＜Ｓｉ／Ｔａ＜０．８５」で、Ｏのモル％Ｍ１が「２５モル％≦Ｍ１≦４５モル％」、且つＮのモル％Ｍ２が「５モル％≦Ｍ２≦２５モル％」になるように、それぞれＡｒとＯ2 とＮ による所定の割合の混合ガスをチャンバ内に導入して、スパッタリングによって成膜する。
【００５７】
そして、図３に示す放熱層４２と蓄熱層２７と発熱抵抗膜２８の成膜工程が終了する。この後に続く工程では、図２の場合と同様である。
尚、上記第１の実施の形態では、大型長尺用の印字ヘッドの基板としてアルミナ基板を取り上げて説明しているが、基板はこれに限ることなく、アルミナ以外のセラミックスであってもよい。
【００５８】
また、第２の実施の形態では、シリコン基板を例にとって説明しているが、放熱層を用いる基板はシリコン基板と限ることなく、どのようなタイプの基板にでも適用できることは勿論である。
【００５９】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、基板の放熱性が良い場合は蓄熱層と発熱抵抗膜、基板の放熱性がさほど良くない場合は放熱層と蓄熱層と発熱抵抗膜を、スパッタリング装置の同一チャンバ内でターゲットを交換することなく連続して成膜するので、放熱性と蓄熱性のバランスのとれた印字ヘッドを効率良く製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態におけるサーマル式インクジェットプリンタ用の印字ヘッドの発熱抵抗体近傍の構成を示す断面図である。
【図２】蓄熱層と発熱抵抗膜をスパッタリング装置の同一チャンバ内でターゲットを交換することなく連続して成膜する処理工程のフローチャートである。
【図３】第２の実施の形態におけるサーマル式インクジェットプリンタ用の印字ヘッドの発熱抵抗体近傍の構成を示す断面図である。
【図４】放熱層と蓄熱層と発熱抵抗膜をスパッタリング装置の同一チャンバ内でターゲットを交換することなく連続して成膜する処理工程のフローチャートである。
【図５】  (a) は従来のルーフシュータ型の印字ヘッドのインク吐出面を模式的に示す平面図、(b) はそのＡ−Ａ′断面矢視図、(c) はその内部構造を透視的に示す拡大平面図である。
【図６】  (a),(b),(c) はルーフシュータ型の印字ヘッドの基本的なインク吐出動作を示す図である。
【図７】  (a) は従来のシリコン基板に形成される場合の発熱抵抗体近傍の構成を示す拡大図、(b) は従来のアルミナ基板に形成される場合の発熱抵抗体近傍の構成を示す拡大図である。
【符号の説明】
１    印字ヘッド
２    シリコンチップ基板
３    ノズル列
４    インク吐出ノズル
５    駆動回路
６    発熱抵抗膜
６ａ  発熱抵抗体
７    個別配線電極
９    共通電極
１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）  隔壁
１２  インク供給溝
１３  インク供給孔
１４  オリフィス板
１５  インク供給路
１６  インク
１６ａ  メニスカス
１６ｂ  インク
１６ｃ  インク滴
１７  膜気泡
１９、２２  絶縁層
２１  アルミナ基板
２５  印字ヘッド
２６  アルミナ基板
２７  蓄熱層
２８  発熱抵抗膜
２８ａ  発熱抵抗体
２９  個別配線電極
３１  共通電極
３２、３２ａ  隔壁
３３  オリフィス板
３４  オリフィス
３５  インク加圧室
３６  インク供給路
４０  印字ヘッド
４１  基板
４２  放熱層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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