(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セメント原料としての汚泥中のリン濃度を制御するセメント原料用汚泥製造手段を有し、
リン含有フッ素排水を処理する排水処理装置であって、
上記セメント原料用汚泥製造手段が、リン含有フッ素排水を１次処理する１次処理手段,リン減量手段およびＰＨ調整手段を備え、
上記リン含有フッ素排水を１次処理する１次処理手段は、
原水が導入される沈澱部を有する反応槽と、
消石灰が添加される消石灰槽と、
高分子凝集剤が添加される高分子凝集剤槽と、
沈澱槽とを備え、
上記反応槽,消石灰槽,高分子凝集剤槽,沈澱槽の順に排水が導入され、上記沈澱槽からの返送汚泥が上記反応槽の沈澱部に導入されること特徴とする排水処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の排水処理装置において、
上記リン減量手段が、汚泥計量槽とリン溶出槽とリン分離槽から構成され、
上記汚泥計量槽,リン溶出槽,リン分離槽の順に汚泥を導入することを特徴とする排水処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の排水処理装置において、
上記リン溶出槽に、酸が添加されることを特徴とする排水処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の排水処理装置において、
上記リン溶出槽が、
撹拌機からなる撹拌手段もしくは空気曝気による撹拌手段の少なくとも一方を備えていることを特徴とする排水処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の排水処理装置において、
上記リン溶出槽に、ＰＨ計が設置されていることを特徴とする排水処理装置。
【請求項６】
請求項１に記載の排水処理装置において、
上記沈澱槽からの返送汚泥中の未反応薬品が原水によって完全に消費された汚泥が、上記反応槽の沈澱部に移動することを特徴とする排水処理装置。
【請求項７】
請求項１に記載の排水処理装置において、
リン含有フッ素排水を２次処理する２次処理手段を産業廃棄物用汚泥製造手段として備えており、
この２次処理手段は、消石灰が添加される消石灰槽と、ポリ塩化アルミニウムが添加されるポリ塩化アルミニウム槽と、高分子凝集剤が添加される高分子凝集剤槽と、沈澱槽とを有し、この消石灰槽,ポリ塩化アルミニウム槽,高分子凝集剤槽 ,沈澱槽の順に排水を導入することを特徴とする排水処理装置。
【請求項８】
請求項１に記載の排水処理装置において、
上記ＰＨ調整手段は、ＰＨ計と急速撹拌機が設置されたＰＨ調整槽またはＰＨ計と空気曝気による撹拌手段を有するＰＨ調整槽であることを特徴とする排水処理装置。
【請求項９】
請求項８に記載の排水処理装置において、
上記ＰＨ調整槽に添加されるＰＨ調整剤が消石灰であることを特徴とする排水処理装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の排水処理装置において、
上記ＰＨ調整槽に添加されるＰＨ調整剤が炭酸カルシウム鉱物であることを特徴とする排水処理装置。
【請求項１１】
請求項８に記載の排水処理装置において、
上記ＰＨ調整槽に、ＰＨ調整剤として、石灰岩を添加することを特徴とする排水処理装置。
【請求項１２】
請求項８に記載の排水処理装置において、
上記ＰＨ調整槽に、ＰＨ調整剤として、消石灰,炭酸カルシウム鉱物,石灰岩の混合物を添加することを特徴とする排水処理装置。
【請求項１３】
請求項３に記載の排水処理装置において、
上記リン溶出槽に添加される酸が硫酸であることを特徴とする排水処理装置。
【請求項１４】
請求項８に記載の排水処理装置において、
上記ＰＨ調整槽に、あらかじめ炭酸カルシウム鉱物が充填されていることを特徴とする排水処理装置。
【請求項１５】
請求項８に記載の排水処理装置において、
上記ＰＨ調整槽に、あらかじめ石灰岩が充填されていることを特徴とする排水処理装置。
【請求項１６】
請求項１４または１５に記載の排水処理装置において、
上記ＰＨ調整槽に、あらかじめ充填されている炭酸カルシウム鉱物または石灰岩が顆粒状であることを特徴とする排水処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、セメント原料化した汚泥を生成できる排水処理装置に関する。より詳しくは、汚泥中のリンを減少させてセメント原料として問題なくリサイクルするための排水処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
排水処理装置から発生する汚泥をセメント原料化することは、汚泥のリサイクルという観点から、また今日の工場から発生する産業廃棄物の削減への取り組みの方向性から、より具体的に数多く実施されるようになってきた。
【０００３】
セメント原料としては、石灰石,粘度,けい石,鉄原料,石膏等があるが、不純物として汚泥をセメント原料として所定量以下だけ混合してもセメントの品質上は何ら間題ないとのセメント製造会社からの報告がある。
【０００４】
よって、セメント製造会社では、セメント製造会社のノウハウとして所定量以下の不純物としての汚泥をセメント原料と位置付けて、リサイクル処理していた。
【０００５】
しかし、リン含有量の高い汚泥は、この汚泥中のリンがセメントの品質に影響するので、他のリン含有量の低い汚泥と混合して、汚泥中のリン含有量を所定の基準値まで低下させてリサイクルしていた。
【０００６】
したがって、他のリン含有量の低い汚泥がない場合は、リン含有量の高い汚泥は、品質上の問題からセメント原料としてリサイクルされていなかった。
【０００７】
尚、関連する従来技術として、特開平１０‐１５６４００に開示されたものがある。この処理方法は、産業排水処理などにおいて、発生する汚泥に石灰を添加して凝集・脱水するに際し、その脱水ケーキの無機成分組成がセメントクリンカーの組成に近似するように、汚泥に鉄塩,アルミニウム塩,珪酸塩などの１種または２種以上を添加し、さらに消石灰を添加して、凝集・脱水することを特徴とする汚泥のセメント化のための処理方法である。したがって、この従来技術は、セメントの品質に影響するリンを除去する処理方法ではない。
【０００８】
また、もう１つの従来技術として、特開平１１‐３５３５３に開示されたものがある。この方法は、下水汚泥を脱水・乾燥して乾燥汚泥とし、この乾燥汚泥に生石灰を混合して熟成機で反応させて、乾燥粉体とする下水汚泥からのセメント製造用原料の製造方法である。したがって、この従来技術では、セメントの品質に影響するリンを除去する処理方法ではない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
一般的に、半導体工場では、フッ酸やリン酸を多量に使用するため、フッ酸やリン酸を含む排水があり、その排水を処理するために消石灰を中和剤として使用し、排水処理した結果、排水処理装置より多量の汚泥が発生していた。
【００１０】
今日、工場から発生する産業廃棄物を最大限削減することは、企業の重要なテーマとなった。
【００１１】
その背景から、半導体工場の排水処理装置から発生する産業廃棄物の削減を、最大限実施した場合、反応効率等が向上して、過剰の薬品が添加されなくなり、排水処理設備から発生する汚泥中のフッ素やリンの濃度が廃棄限度内で高くなる傾向にあった。
【００１２】
ところで、セメント原料としては、汚泥中のフッ素濃度も一定濃度以上となると問題となるが、リン濃度が上昇した汚泥は、特にセメント強度に影響するというセメント品質上の問題があり、汚泥中のリン濃度を早急に低減することが必要となった。
【００１３】
そこで、この排水処理装置から発生する汚泥に関して、リンの含有量を減少させるために多量の薬品を添加して、汚泥中のリンの含有量を低減する方法も考えられるが、廃棄物の削減の方向からは逆行することになる。
【００１４】
このため、従来、特定の汚泥のリン濃度が高い場合には、セメント工場において、汚泥中のリン濃度が低い他の汚泥と混合撹拌して、品質上問題にならない濃度まで下げて対応していた。この場合、汚泥と汚泥の混合撹拌という工程が必要となり、リンの濃度管理も含めて汚泥の混合撹拌は、大変な作業であった。また、近い将来、産業廃棄物の削減が進行して、すべての汚泥がリン濃度の高い汚泥となると、前記品質上の観点からセメント原料としてリサイクルできなくなる可能性がある。
【００１５】
また、特に、半導体工場の排水処理装置の場合、汚泥中のリンはフッ素等の他の成分との混合物であり、セメントの品質に特に影響するリンだけを、汚泥中から除去する簡単な方法は存在しなかった。
【００１６】
そこで、この発明の目的は、排水処理によって発生する汚泥をセメント原料として再利用できる排水処理装置を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の排水処理装置は、セメント原料としての汚泥中のリン濃度を制御するセメント原料用汚泥製造手段を有し、
リン含有フッ素排水を処理する排水処理装置であって、
上記セメント原料用汚泥製造手段が、リン含有フッ素排水を１次処理する１次処理手段,リン減量手段およびＰＨ調整手段を備え、
上記リン含有フッ素排水を１次処理する１次処理手段は、
原水が導入される沈澱部を有する反応槽と、
消石灰が添加される消石灰槽と、
高分子凝集剤が添加される高分子凝集剤槽と、
沈澱槽とを備え、
上記反応槽,消石灰槽,高分子凝集剤槽,沈澱槽の順に排水が導入され、上記沈澱槽からの返送汚泥が上記反応槽の沈澱部に導入されること特徴としている。
【００１８】
この発明によれば、排水処理によって発生する汚泥中のリン濃度を制御することによって、セメント原料としてリサイクルできるような汚泥にすることができる。セメント原料としてリサイクルできるような汚泥にすべく、汚泥中のリン濃度を制御する工程(セメント原料用汚泥製造工程)を有することが、この発明の特徴である。
【００１９】
一般の排水処理方法では、多量の消石灰を使用するので、汚泥中のリン濃度が低く、セメント原料として利用できるが、消石灰の使用量を極限まで抑えて廃棄物の量を抑えている排水処理方法では、結果として汚泥中のリン濃度が、通常の汚泥と比較して２倍以上になる。例えば、一般の方法では、汚泥中のリン濃度は、通常重量換算で２.５％以下であるのに対し、廃棄物量を抑えた排水処理方法において発生する汚泥中のリン濃度は６〜８％である。このような廃棄物量を抑えた排水処理方法において、セメント原料としてリサイクルできるような汚泥にするのに本発明が有効である。
【００２０】
また、一実施形態の排水処理装置は、セメント原料としての汚泥中のリン濃度を制御するセメント原料用汚泥製造手段と、
産業廃棄物としての汚泥を製造する産業廃棄物用汚泥製造手段とを備えた。
【００２１】
この実施形態によれば、排水処理によって生成する汚泥のうち、セメント原料として適する成分は、「セメント原料用汚泥製造手段」でリン濃度を制御して、セメント原料用汚泥として排出する。一方、上記生成汚泥のうち、セメント原料として適さない成分は、「産業廃棄物用汚泥製造手段」から排出する。したがって、排水処理工程で発生する汚泥に応じて、処理経路をリサイクル汚泥系統と廃棄汚泥系統の２系統の処理系統に分けることができ、処理工程の自由度を向上させて最適化を図れる。
【００２２】
すなわち、この実施形態によれば、未反応の消石灰をリサイクルして、消石灰の使用量を抑えることによる廃棄物の削減と、汚泥のセメント原料化によるリサイクルとを両立して、省資源化に貢献できる。
【００２３】
また、上記発明によれば、リン減量手段によるリン減量工程と、ＰＨ調整手段によるＰＨ調整工程とが存在するので、排出される汚泥は、汚泥中のリン含有量が減量されると同時にＰＨ調製されて、セメント原料化される。
【００２４】
また、一実施形態の排水処理装置は、上記リン減量手段が、汚泥計量槽と、リン溶出槽と、リン分離槽から構成され、上記汚泥計量槽,リン溶出槽,リン分離槽の順に汚泥を導入する。
【００２５】
この実施形態によれば、リン減量手段が汚泥計量槽,リン溶出槽,リン分離槽から構成されているので、汚泥計量槽で汚泥量を測定して管理でき、また、リン溶出槽で汚泥中のリンを溶出させることができ、また、リン分離槽でリンと汚泥を分離できる。また、汚泥を、汚泥計量槽,リン溶出槽,リン分離槽の順に導入するので、汚泥計量槽で必要量だけ計量した汚泥をリン溶出槽に導入して、この汚泥中からリンを溶出させることができる。そして、次のリン分離槽において、リンと汚泥(フッ化カルシウム等の他の難溶成分)とを分離できる。これにより、リンが減量された汚泥が得られる。
【００２６】
上記リン溶出槽において、汚泥としてのリン酸カルシウムは酸性領域で溶解する一方、汚泥としてのフッ化カルシウムは酸性領域でも溶解しないことが反応原理になっている。つまり、リン減量の仕組みは、汚泥の大部分を占めるフッ化カルシウムが酸性領域で難溶性であるのに対して、リン酸カルシウムは酸性領域で溶解性であることに着目して構築されている。上記リン減量において、フッ化カルシウムとリン酸カルシウムのＰＨ(酸性領域)による溶解度の差がポイントになる。
【００２７】
また、他の実施形態の排水処理装置は、上記リン溶出槽に、酸が添加される。
【００２８】
この実施形態によれば、リン溶出槽に酸が添加されているので、汚泥が酸によって溶解され、難溶性の物質は溶解されず、溶解性の物質は溶解できる。半導体工場から発生する汚泥は、酸性領域で難溶性のフッ化カルシウムと酸性領域で溶解性のリン酸カルシウム等から構成されている。したがって、リン溶出槽に汚泥を導入して、酸を添加し、撹拌手段で撹拌し、かつ、ＰＨ計の測定値によって酸性領域を確認できる。そして、酸性領域で難溶性のフッ化カルシウムと、酸性領域で溶解性のリン酸カルシウムとを固液分離する。この固液分離の結果、汚泥からリンが除かれ、汚泥中のリン濃度が低下する。
【００２９】
また、一実施形態の排水処理装置は、上記リン溶出槽が、撹拌機からなる撹拌手段もしくは空気曝気による撹拌手段の少なくとも一方を備えている。
【００３０】
この実施形態によれば、リン溶出槽が備える撹拌機もしくは空気撹拌の少なくとも一方によって、汚泥を確実に溶解でき、排水処理装置を容易かつ経済的に構築できる。
【００３１】
また、他の実施形態の排水処理装置は、上記リン溶出槽にＰＨ計が設置されている。
【００３２】
この実施形態によれば、リン溶出槽に設置されたＰＨ計で、リン溶出槽における汚泥からのリン溶出量を管理できる。
【００３３】
また、この発明によれば、反応槽において、排水としての原水を、沈澱槽からの返送汚泥中の未反応の薬品によって処理できる。また、消石灰槽(第３水槽)においては、消石灰が添加されるので、排水中のフッ素をフッ化カルシウムにし、排水中のリンをリン酸カルシウムにして処理できる。
【００３４】
また、高分子凝集剤槽(第４水槽)においては、高分子凝集剤が添加されるので、消石灰槽での消石灰の添加による微細なフロックをより安定したフロックにすることができる。また、沈澱槽(第５水槽)においては、排水中の固形物としての汚泥を沈澱させて上澄液としての処理水を得ることができる。
【００３５】
また、他の実施形態の排水処理装置は、上記沈澱槽からの返送汚泥中の未反応薬品が原水によって完全に消費された汚泥が、上記反応槽の沈澱部に移動する。
【００３６】
この実施形態によれば、反応槽(第２水槽)の沈澱部に移動する汚泥が、沈澱槽からの返送汚泥中の未反応薬品が原水によって完全に消費された汚泥であるので、発生汚泥量を最低に抑えることができる。
【００３７】
また、一実施形態の排水処理装置は、リン含有フッ素排水を２次処理する２次処理手段を産業廃棄物用汚泥製造手段として備えており、この２次処理手段は、消石灰が添加される消石灰槽と、ポリ塩化アルミニウムが添加されるポリ塩化アルミニウム槽と、高分子凝集剤が添加される高分子凝集剤槽と、沈澱槽とを有し、この消石灰槽,ポリ塩化アルミニウム槽,高分子凝集剤槽 ,沈澱槽の順に排水を導入する。
【００３８】
この実施形態によれば、消石灰槽(第６水槽)において、消石灰が添加されるので、排水中のリンをリン酸カルシウムとして処理することができる。また、ポリ塩化アルミニウム槽(第７水槽)においては、ポリ塩化アルミニウムが添加されるので、排水中のフッ素が低い値であっても、高度に処理でき、すなわち、少ない微細なフッ化カルシウムをフロック状態にして処理できる。また、高分子凝集剤槽(第８水槽)においては、高分子凝集剤が添加されるので、ポリ塩化アルミニウム槽で形成されたフロックをより安定した大きなフロックにすることができる。また、沈澱槽(第９水槽)においては、排水中の固形物としての汚泥を沈澱させて上澄液としての処理水を得ることができる。
【００３９】
また、他の実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整手段が、ＰＨ計と急速撹拌機が設置されたＰＨ調整槽またはＰＨ計と空気曝気による撹拌手段を有するＰＨ調整槽である。
【００４０】
この実施形態によれば、リン減量手段において硫酸が添加され、汚泥中のリンが減量化されて酸性となった汚泥を、ＰＨ調整槽でＰＨ調整(すなわち中和)できる。
【００４１】
また、一実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整槽にＰＨ調整剤としての消石灰が添加される。
【００４２】
この実施形態によれば、カルシウムを多量に含有している消石灰がＰＨ調整剤としてＰＨ調整槽に添加されるので、汚泥をＰＨ調整できると同時に、この汚泥をセメント原料として最適な材料にすることができる。
【００４３】
セメント原料としてはカルシウムを多く含有している材料(消石灰)が適する。したがって、上記ＰＨ調整槽に添加される薬品としては、苛性ソーダ等のアルカリ剤よりもカルシウムを含む消石灰の方が適する。
【００４４】
また、他の実施形態の排水処理装置は、上記ＰＨ調整槽にＰＨ調整剤としての炭酸カルシウム鉱物が添加される。
【００４５】
この実施形態によれば、カルシウムを多量に含有している炭酸カルシウム鉱物をＰＨ調整剤としてＰＨ調整槽に添加するので、汚泥をＰＨ調整すると同時に、この汚泥をセメント原料として最適な材料にすることができる。
【００４６】
また、他の実施形態の排水処理装置は、上記ＰＨ調整槽に、ＰＨ調整剤として石灰岩を添加する。
【００４７】
この実施形態によれば、カルシウムを多量に含有している石灰岩をＰＨ調整剤としてＰＨ調整槽に添加するので、汚泥をＰＨ調整すると同時に、この汚泥をセメント原料として最適な材料にすることができる。
【００４８】
石灰岩は、化学的には炭酸カルシウムであり、最も代表的なセメント原料である。また、石灰岩は酸性の廃液を中和するＰＨ調整能力を有している。
【００４９】
また、一実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整槽に、ＰＨ調整剤として、消石灰,炭酸カルシウム鉱物,石灰岩の混合物を添加する。
【００５０】
この実施形態によれば、消石灰,炭酸カルシウム鉱物,石灰岩の割合をリン減量手段(リン分離槽)からの沈降汚泥の酸性度に応じて調節して、薬品としての経済性を高めることができる。
【００５１】
具体的には、リン減量手段(リン分離槽)からの沈降汚泥の酸性度がＰＨ１に近い(酸性度が強い)場合は、アルカリ性である消石灰の割合を高める。一方、リン分離槽からの沈降汚泥の酸性度がＰＨ７に近い場合は、中和能力が弱く単価の低い石灰岩の割合を高めることによって、排水処理システムの経済性を高めることができる。
【００５２】
また、他の実施形態の排水処理装置は、上記リン溶出槽に添加される酸が硫酸である。
【００５３】
この実施形態では、リン溶出槽に添加される酸が硫酸であるので、単価が安く経済性が高いばかりでなく、塩酸のような塩素イオンによる腐食の問題がない。また、硫酸イオンの溶解度は高いので、反応後においても硫酸による汚泥発生の心配は皆無であり、廃棄物量を削減できる。
【００５４】
また、一実施形態の排水処理装置は、上記ＰＨ調整槽に、あらかじめ炭酸カルシウム鉱物が充填されている。
【００５５】
この実施形態では、ＰＨ調整槽に、予め、炭酸カルシウム鉱物が充填されているので、炭酸カルシウム鉱物で酸性となったリン分離槽からのリンを含まない汚泥のＰＨを調整できる。同時に、通常の薬品を添加するＰＨ調整のような機械的なトラブルが無く、システムが安定している。
【００５６】
また、他の実施形態の排水処理装置は、上記ＰＨ調整槽に、あらかじめ石灰岩が充填されている。
【００５７】
この実施形態では、ＰＨ調整槽に、あらかじめ石灰石が充填されているので、酸性となったリン分離槽からのリンを含まない汚泥のＰＨを調整することができる。同時に、通常の薬品を添加するＰＨ調整のような機械的なトラブルが無くシステムが安定している。
【００５８】
また、一実施形態の排水処理装置は、上記ＰＨ調整槽に、あらかじめ充填されている炭酸カルシウム鉱物または石灰岩が顆粒状である。
【００５９】
この実施形態では、ＰＨ調整槽に、予め、顆粒状の石灰石または炭酸カルシウム鉱物が充填されているので、酸性となったリン分離槽からのリンを含まない汚泥のＰＨを顆粒状の石灰石と炭酸カルシウム鉱物で、より容易に調整できる。同時に、通常の薬品を添加するＰＨ調整のような機械的なトラブルが無く、システムが安定している。
【００６０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００６１】
〔第１の参考例〕
図１に、この発明の排水処理装置の第１の参考例を示す。この第１参考例は、リン含有フッ素排水を排水処理して、セメント原料としての汚泥と産業廃棄物としての汚泥を発生させるものである。
【００６２】
この排水処理装置では、まず、貯留槽としての第１水槽１に、リン含有フッ素排水が導入される。この第１水槽１に導入された酸排水は、第１水槽ポンプ２によって、セメント原料としての汚泥製造工程４０に導入される。この汚泥製造工程４０では、セメント原料としての汚泥が生成される。次に、上記セメント原料としての汚泥製造工程４０を通過した排水は、次の産業廃棄物としての汚泥製造工程４１に導入されて処理される。この産業廃棄物としての汚泥製造工程４１では、産業廃棄物としての汚泥が生成される。
【００６３】
この第１参考例によれば、リン含有フッ素排水を処理する過程において、前段の処理工程である１番目の汚泥製造工程４０では、リン含有フッ素排水を１次処理する過程で、リン含有量が少ないセメント原料となる汚泥が製造される。一方、後段の処理工程である２番目の汚泥製造工程４１では、リン含有フッ素排水を２次処理する過程で、リン含有量が多い産業廃棄物となる汚泥が製造される。
【００６４】
〔第２の参考例〕
次に、図２に、この発明の排水処理装置の第２の参考例を示す。
【００６５】
この第２参考例では、第１参考例と同様に、第１水槽１に、リン含有フッ素排水が導入される。
【００６６】
この第２参考例は、上記排水のリン含有フッ素排水１次処理工程４２と２次処理工程４４と、リン含有フッ素排水１次処理工程４２で発生した汚泥が導入されるリン減量工程４３と、このリン減量工程４３からリン減量汚泥が導入されるＰＨ調整工程４５とを備えている。
【００６７】
上記第１水槽１に導入されたリン含有フッ素排水は、第１水槽１に一定時間貯留された後、第１水槽ポンプ２によって、リン含有フッ素排水の１次処理工程４２に導入される。このリン含有フッ素排水の１次処理工程４２では、排水中のリンやフッ素が処理されて、リン酸カルシウムやフッ化カルシウムを主成分とした汚泥が発生する。
【００６８】
次に、上記フッ素排水の１次処理工程４２で発生した汚泥は、リン減量工程４３に導入されて汚泥中のリンが減量される。次に、このリンが減量された汚泥は、ＰＨ調整工程４５に導入されて、ＰＨ調整される。このＰＨ調整された汚泥は、セメント原料としての汚泥としてセメント会社に移送される。
【００６９】
一方、上記リン含有フッ素排水１次処理工程４２で処理された排水(被処理水)は、さらに、リン含有フッ素排水の２次処理工程４４に導入されて、排水中のフッ素やリンが処理され、処理水として排出される。
【００７０】
このリン含有フッ素排水の２次処理工程４４からは、汚泥中のリン濃度が高い産業廃棄物としての汚泥が発生し、産業廃棄物として処分される。
【００７１】
尚、上記リン減量工程４３から高濃度リン含有排水が発生するが、この高濃度リン含有排水は、排水の２次処理工程４４に導入されて処理される。
【００７２】
〔第１の実施の形態〕
次に、図３に、この発明の排水処理装置の第１の実施の形態を示す。
【００７３】
この第１実施形態では、前述の第１参考例と同様に、第１水槽１にリン含有フッ素排水が導入される。
【００７４】
第１水槽１に導入されたリン含有フッ素排水は、第１水槽１に一定時間貯留された後、第１水槽ポンプ２によって、下部流入管４を経て、第２水槽(反応槽)３の下部３−２に導入される。この第２水槽３の下部３−２には、第５水槽(第１沈澱槽)１４からの返送汚泥が返送汚泥流入管５を経て導入され、汚泥ゾーン６を形成している。この汚泥ゾーン６に隣接して沈澱部８が存在している。
【００７５】
第２水槽３は、第２水槽上部３−１と第２水槽下部３−２及び沈澱部８から構成されている。第２水槽下部３−２と沈澱部８の間には遮断壁７が設置されており、汚泥ゾーン６の最上部の汚泥が遮断壁７を越えて、沈澱部８に移動する構造になっている。
【００７６】
この沈澱部８には、沈澱部水中ポンプ９が設置されており、汚泥ゾーン６から沈澱部８に移動して沈降した汚泥は、沈殿部水中ポンブ９によって、汚泥計量槽３０に導入される。
【００７７】
この汚泥計量槽３０に導入された沈澱汚泥は、重力でもって、必要に応じた所定量がリン溶出槽３３に導入され、また別の所定量の沈澱汚泥が、ＰＨ調整槽３７に導入される。
【００７８】
上記リン溶出槽３３には、急速撹拌機３１とＰＨ計３２が設置されている。このリン溶出槽３３に導入された汚泥には、硫酸が添加される。この硫酸添加によって、汚泥中のリン酸カルシウムが溶解してリンが溶出する。一方、この硫酸による酸性条件下でも、汚泥中のフッ化カルシウムは、難溶性であるので、溶解しない。このリン溶出槽３３において、硫酸が添加されて処理された汚泥を含む溶液は、次に、重力で、リン分離槽３５に導入される。このリン分離槽３５において、溶液中のリンは、上澄液となって、第６水槽(第２消石灰反応槽)１７に導入される。
【００７９】
一方、リン分離槽３５において、難溶性の沈澱したフッ化カルシウム汚泥は、リン分離槽３５に設置されているリン分離槽かき寄せ機３４によって、リン分離槽３５の底部中心部にかき寄せられ、リン分離槽ポンプ３６によって、ＰＨ調整槽３７に導入される。このＰＨ調整槽３７に導入されたフッ化カルシウム汚泥は、ＰＨ調整槽３７に添加される消石灰によってＰＨ調整される。
【００８０】
さらに、ＰＨ調整槽３７には、汚泥計量槽３０からのリン含有汚泥も所定量だけ導入される。その理由は、セメント原料としての汚泥としては、リンを全く含まない汚泥が求められているわけではなく、セメントとしての品質を維持できるならば、ある程度はリンが含有されていても問題無いからである。この汚泥中のリン含有許容量は、重量換算で２.５％以下の値が一例として有る。
【００８１】
このＰＨ調整槽３７でＰＨ調整された汚泥を含む排水は、次に、第１０水槽(第１濃縮槽)２３に導入される。第１０水槽２３では、排水中の汚泥が沈澱して第１０水槽２３の下部で濃縮される。この第１０水槽２３での上澄液は、第２水槽３に重力で移動する(図示せず)。この第１０水槽２３で濃縮された汚泥は、第１濃縮槽ポンプ２４によって、脱水機である第１フィルタープレス２８に導入されて脱水される。この第１フィルタープレス２８におけるケーキの含水率は、フィルタープレスの機種によっても異なるが概ね６０％前後である。この汚泥はリンの含有量が少なく、セメント原料用汚泥として取り扱われる。
【００８２】
第２水槽３の沈澱部８からの上澄液は、第３水槽(第１消石灰反応槽)１０に導入される。この第３水槽１０には消石灰が添加される。排水中の未反応のフッ素やリンは、消石灰のカルシウム成分と反応して微細なフッ化カルシウムやリン酸カルシウムとなる。この微細なフッ化カルシウムやリン酸カルシウムを含む排水は、次に、第４水槽(高分子凝集剤凝集槽)１２に導入されて高分子凝集剤が添加され、微細なフッ化カルシウムやリン酸カルシウムは、より大きく安定したフロック(汚泥)となる。続いて、上記大きくて安定したフロック(汚泥)は、第５水槽(第１沈殿槽)１４に導入されて固液分離される。
【００８３】
第５水槽(第１沈殿槽)１４において沈澱した汚泥は、第１沈殿槽ポンプ１６によって、第２水槽下部３−２に返送されて、第１水槽１からのリン含有フッ素排水と接触して反応する。
【００８４】
また、第１沈澱槽１４からの上澄液とリン分離槽３５からの上澄液は、両方とも第６水槽(第２消石灰反応槽)１７に導入される。この第１沈澱槽１４からの上澄液には、多少のリンとフッ素が含まれている。また、リン分離槽３５からの上澄液には、特に高濃度のリンが含有されている。
【００８５】
そして、第６水槽(第２消石灰反応槽)１７では消石灰が添加されて、排水中のリンが微細なリン酸カルシウムとなり、フッ素は微細なフッ化カルシウムとなる。次に、排水は、ポリ塩化アルミニウムが添加される第７水槽(ポリ塩化アルミニウム凝集槽)１８に導入され、続いて、高分子凝集剤が添加される第８水槽(高分子凝集剤凝集槽)１９に導入されて、微細なリン酸カルシウムや微細なフッ化カルシウムが、より大きな安定したフロックとなる。これらのフロックは、第２沈澱槽かき寄せ機２１を有する第９水槽(第２沈澱槽)２０に導入されて、上澄液と沈澱物とに固液分離される。この上澄液は処理水として放流される。一方、第９水槽(第２沈澱槽)２０で沈澱した汚泥はリンを多量に含み、第１１水槽(第２濃縮槽)２６に導入されて濃縮される。この濃縮された汚泥は、第２濃縮槽ポンプ２７によって、第２フィルタープレス２９に導入されて脱水され、脱水ケーキとなる。この脱水ケーキの含水率は、フィルタープレスの機種によっても異なるが、概ね６０％前後である。上記第２フィルタープレス２９で脱水された脱水ケーキは、リンを高濃度に含有しているので、セメント原料としてはリサイクルできず、一般的に産業廃棄物として埋め立て処分される。
【００８６】
なお、図４(Ａ)に、リン含有フッ素排水が通常濃度の場合での、各水槽での滞留時間の一例を示し、図４(Ｂ)に、リン含有フッ素排水が低濃度の場合での各水槽での滞留時間の一例を示す。
【００８７】
〔第２の実施の形態〕
次に、図５に、この発明の排水処理装置の第２実施形態を示す。
【００８８】
この第２実施形態は、ＰＨ調整槽３７に消石灰に替えて炭酸カルシウム鉱物を添加する点だけが、前述の第１実施形態と異なる。したがって、前述の第１実施形態と同じ構成部分には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
【００８９】
この第２実施形態では、ＰＨ調整槽３７に、消石灰に替えて、炭酸カルシウム鉱物を添加する。消石灰もカルシウムを多量に含有しているが、炭酸カルシウム鉱物もカルシウムを多量に含有しており、それらに起因する汚泥がセメント原料となることは言うまでもない。また、炭酸カルシウム鉱物も、消石灰と同様に、酸性排水をＰＨ調整(中和)することができる。
【００９０】
〔第３の実施の形態〕
次に、図６に、この発明の排水処理装置の第３実施形態を示す。
【００９１】
この第３実施形態は、消石灰に替えて、石灰岩をＰＨ調整槽３７に添加する点のみが、前述の第１実施形態と異なる。したがって、この第３実施形態では、前述の第１実施形態と同じ構成部分には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
【００９２】
この第３実施の形態では、ＰＨ調整槽３７に石灰岩を添加する。消石灰はカルシウムを多量に含有しているが、石灰岩もカルシウムを多量に含有しており、それらに起因する汚泥がセメント原料となることは言うまでもない。また、石灰岩は、セメント原料としては、代表的な原料であり、一般的には、セメント原料の７０％以上が石灰岩である。
【００９３】
また、石灰岩は、消石灰と同様に、酸性排水をＰＨ調整(中和)できる。ＰＨ調整(中和)するために、石灰岩を利用するには、細かく粉砕する必要があるが、コストについては石灰岩が最も低コストである。
【００９４】
〔第４の実施の形態〕
次に、図７に、この発明の排水処理装置の第４実施形態を示す。この第４実施形態は、ＰＨ調整槽３７に、消石灰,炭酸カルシウム鉱物,石灰岩の３種類の材料を添加する点だけが、前述の第１実施形態と異なる。したがって、前述の第１実施形態と同じ構成部分には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
【００９５】
この第４実施形態では、ＰＨ調整槽３７に、消石灰,炭酸カルシウム鉱物,石灰岩の３種類の材料を添加する。
【００９６】
消石灰もカルシウムを多量に含有しているが、炭酸カルシウム鉱物や石灰岩もカルシウムを多量に含有しており、それらに起因する汚泥がセメント原料となることは言うまでもない。また、石灰岩は、セメント原料としては、代表的な原料であり、一般的には、セメント原料の７０％以上が石灰岩である。
【００９７】
この第４実施形態では、上記３種類の材料を供給できるので、必要に応じて添加する割合を変更することができ、常に、コストを意識した管理が可能となる。
【００９８】
ＰＨ調整(中和)の能力の観点から言えば、第１番目に消石灰が優れており、次に炭酸カルシウム鉱物、第３に石灰岩の順番となる。一方、コストの観点からは、石灰岩が最も優れており、次に炭酸カルシウム鉱物が優れ、第３番目に消石灰の順番になる。したがって、上記３種類の物質(消石灰,炭酸カルシウム鉱物,石灰岩)の添加割合を、目的と必要に応じて調整し、最低コストでセメント原料となる汚泥を製造できる。
【００９９】
〔第５の実施の形態〕
次に、図８に、この発明の排水処理装置の第５実施形態を示す。
【０１００】
この第５実施形態は、前述の第１実施形態と比較して、ＰＨ調整槽３７におけるＰＨの調整方式だけが異なる。したがって、前述の第１実施形態と同じ構成部分には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
【０１０１】
前述の第１実施形態では、ＰＨ調整槽３７に消石灰を添加していたのに対して、この第５実施形態では、ＰＨ調整槽３７に、あらかじめ炭酸カルシウム鉱物３８を充填しておいて、ブロワー４６から吐出する空気によって、リン分離槽ポンプ３６から導入される酸性の汚泥と炭酸カルシウム鉱物３８とを反応させてＰＨ調整する。
【０１０２】
この第５実施形態では、あらかじめ多量の中性の炭酸カルシウム鉱物３８をＰＨ調整槽３７に充填しているので、リン分離槽ポンプ３６から導入される酸性の汚泥の酸性度が変化しても、安定的にＰＨ調整できるメリットがある。炭酸カルシウム鉱物３８は、多量のカルシウムを含有しているので、ＰＨ調整後の汚泥がセメント原料となることは言うまでもない。
【０１０３】
なお、図９(Ａ)に、リン含有フッ素排水が通常濃度の場合での、各水槽での滞留時間の一例を示し、図９(Ｂ)に、リン含有フッ素排水が低濃度の場合での各水槽での滞留時間の一例を示す。
【０１０４】
〔第６の実施の形態〕
次に、図１０に、この発明の排水処理装置の第６実施形態を示す。
【０１０５】
この第６実施形態は、前述の第１実施形態と比較して、ＰＨ調整槽３７におけるＰＨ調整の方式だけが異なる。したがって、前述の第１実施彫態と同じ構成部分には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
【０１０６】
第１実施形態では、ＰＨ調整槽３７に消石灰を添加していた。これに対し、この第６実施形態では、予め、ＰＨ調整槽３７に石灰石３９を充填している。この石灰石３９を、ブロワー４６から吐出する空気によって、リン分離槽ポンプ３６から導入される酸性の汚泥と反応させて、ＰＨ調整する。
【０１０７】
この第６実施形態では、ＰＨ調整槽３７に、予め多量の中性の石灰石３９を充填しているので、リン分離槽ポンプ３６から導入される酸性の汚泥の酸性度が変化しても、安定的にＰＨ調整できるメリットがある。石灰石３９は、多量のカルシウムを含有しているので、セメント原料となることは言うまでもない。
【０１０８】
〔第１実験例〕
次に、具体的な実施例として、図３に示す第１実施形態と同じ構造の実験装置を用いた排水処理の実験例を説明する。
【０１０９】
この第１実験例では、第１水槽１の容量を１立方メートルとし、第２水槽３の容量を３立方メートルとし、第３水槽１０,第４水槽１２の容量を、それぞれ、０.３立方メートルとし、第５水槽１４の容量を１立方メートルとした。また、第６水槽１７の容量,第７水槽１８の容量,第８水槽１９の容量を、それぞれ、０.３立方メートルとし、第９水槽２０の容量を１立方メートルとした。また、第１０水槽２３の容量を０.３立方メートルとし、第１１水槽２６の容量を０.３立方メートルとした。また、リン溶出槽３３の容量を０.１立方メートルとし、リン分離槽３５の容量を０.３立方メートルとし、ＰＨ調整槽３７の容量を０.３立方メートルとした。
【０１１０】
この構成の装置で排水を処理し、第１０水槽２３から得られた汚泥を第１フィルタープレス２８にて脱水したところ、リン含有量が重量換算で２.５％で含水率５６％の脱水ケーキを得た。この脱水ケーキは、リン含有量が２.５％であるので、セメント原料として何ら問題ない脱水ケーキである。
【０１１１】
一方、第１１水槽２６から得られた汚泥を第２フィルタープレス２９にて脱水したところ、リン含有量が重量換算で１２.５％で含水率５７％の脱水ケーキを得た。この脱水ケーキはリン含有量が１２.５％であるので、セメント原料としては適さない脱水ケーキであり、産業廃棄物として埋め立て処分された。
【０１１２】
〔第２実験例〕
次に、具体的な実施例として、図６に示す第３実施形態と同じ構造の実験装置を用いた排水処理の実験例を説明する。
【０１１３】
この第２実験例では、第１水槽１の容量を１立方メートルとし、第２水槽３の容量を３立方メートルとし、第３水槽１０と第４水槽１２の容量をそれぞれ０.３立方メートルとし、第５水槽１４の容量を１立方メートルとした。また、第６水槽１７の容量,第７水槽１８の容量,第８水槽１９の容量を、それぞれ０.３立方メートルとし、第９水槽２０の容量を１立方メートルとした。また、第１０水槽２３の容量を０.３立方メートルとし、第１１水槽２６の容量を０.３立方メートルとし、リン溶出槽３３の容量を０.１立方メートルとし、リン分離槽３５の容量を０.３立方メートルとし、ＰＨ調整槽３７の容量を０.３立方メートルとして排水を処理した。
【０１１４】
第１０水槽２３から得られた汚泥を、第１フィルタープレス２８にて脱水したところ、リン含有量が重量換算で１.２％で含水率５８％の脱水ケーキを得た。この脱水ケーキは、リン含有量が１.２％であるので、セメント原料として何ら問題ない脱水ケーキである。
【０１１５】
一方、第１１水槽２６から得られた汚泥を第２フィルタープレス２９にて脱水したところ、リン含有量が重量換算で１２.３％で含水率５９％の脱水ケーキを得た。この脱水ケーキは、リン含有量が１２.３％であるので、セメント原料としては適さない脱水ケーキであり、産業廃棄物として埋め立て処分された。
【０１１６】
【発明の効果】
以上より明らかなように、この発明の排水処理装置は、汚泥中のリン濃度を制御して、汚泥をリサイクルしてセメント原料を製造できる。
【０１１７】
また、一実施形態の排水処理装置は、汚泥中のリン濃度を制御して、セメント原料としての汚泥を製造し、セメント原料に適さない汚泥成分は、産業廃棄物としての汚泥に移行させる。これにより、汚泥のセメント原料としてのリサイクルを実施できる。
【０１１８】
また、この発明の排水処理装置は、リン含有フッ素排水を処理するので、半導体工場や液晶工場のように排水量が多く、汚泥の発生量が多い工場の汚泥をセメント原料としてリサイクルできる。また、汚泥中のリンを減量でき、かつＰＨ調整できるので、セメント原料としての品質を維持できる。
【０１１９】
また、一実施形態の排水処理装置は、汚泥を計量して、汚泥中のリンをリン溶出槽でリンを溶出させ、続いてリン分離槽でリンを分離できるので、セメントの品質に影響する汚泥中のリンを減量できる。
【０１２０】
また、他の実施形態の排水処理装置は、リン溶出槽に酸を添加して汚泥となったリン酸カルシウムを溶解し、リンを汚泥中から溶液の方に移行させることができ、汚泥中のリンを減量できる。
【０１２１】
また、一実施形態の排水処理装置は、リン溶出槽の撹拌手段が撹拌機による撹拌、もしくは空気による撹拌、またはそれらの両方である。したがって、排水処理装置を容易に構築できる上に、リン溶出槽の汚泥を充分に撹拌できる。
【０１２２】
また、他の実施形態の排水処理装置は、リン溶出槽にＰＨ計が設置されているので、酸の注入過剰や酸の注入不足を招くことなく、最適なＰＨすなわち最適な酸性下で、リンを汚泥から溶出させることができる。すなわち、リン酸カルシウム汚泥からリンイオンとカルシウムイオンの状態にできる。
【０１２３】
また、この発明の排水処理装置は、リン含有フッ素排水の１次処理手段に、沈澱槽からの返送汚泥と原水が導入されるので、未反応の薬品を含む返送汚泥と原水とを反応させて未反応の薬品に起因する汚泥を皆無とすることができる。したがって、費用を払ってリサイクルすることになるセメント原料用汚泥(脱水ケーキ)の量を最小限に抑えることができる。
【０１２４】
また、他の実施形態の排水処理装置は、沈澱槽から第２水槽(反応槽)の沈澱部に移動する汚泥は、原水によって未反応薬品が完全に消費された汚泥である。したがって、未反応薬品が無くなり、資源の有効利用となり、また、ランニングコストを最低にすることができる。また、費用を払ってリサイクルすることになるセメント原料としての汚泥(脱水ケーキ)量を最小限にでき、ランニングコストを低減できる。
【０１２５】
また、一実施形態の排水処理装置は、産業廃棄物としての汚泥製造手段としてリン含有フッ素排水の２次処理手段を有していて、この２次処理手段で、排水に、消石灰,ポリ塩化アルミニウム,高分子凝集剤が添加される。したがって、リン含有フッ素排水を１次処理した後の、フッ素濃度が低い排水であっても、フッ素等を確実,高度に処理できる。すなわち、微量の排水中のフッ素を消石灰で微細なフッ化カルシウムとし、さらに、ポリ塩化アルミニウムで、微細なフロックとし、さらに高分子凝集剤で、より大きな安定的なフロックとして処理を確実に行なうことができる。
【０１２６】
また、他の実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整手段がＰＨ計と急速撹拌機が設置されたＰＨ調整槽であるので、汚泥のＰＨ調整を急速撹拌機でもって急速に撹拌しながら容易に実施できる。また、ＰＨ調整手段がＰＨ計と空気曝気によるＰＨ調整槽であるので、汚泥のＰＨ調整を容易に実施できる。
【０１２７】
また、一実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整槽に添加されるＰＨ調整剤が消石灰であるので、汚泥のＰＨ調整が容易に実施可能であり、かつ、消石灰がカルシウムを多量に含有しているので、ＰＨ調整後の汚泥はセメント原料としてリサイクルできる。
【０１２８】
また、他の実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整槽に添加されるＰＨ調整剤が炭酸カルシウム鉱物であるので、時間をかければ汚泥のＰＨ調整が実施可能であり、かつ、炭酸カルシウム鉱物がカルシウムを多量に含有しているので、ＰＨ調整後の汚泥をセメント原料としてリサイクルできる。
【０１２９】
また、一実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整槽に添加されるＰＨ調整剤が石灰岩であるので、時間をかければ汚泥のＰＨ調整が実施可能であり、かつ、石灰岩がカルシウムを多量に含有しているので、ＰＨ調整後の汚泥はセメント原料としてリサイクルできる。
【０１３０】
また、他の実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整槽に添加されるＰＨ調整剤が消石灰,炭酸カルシウム鉱物,石灰岩の混合物であるので、汚泥をＰＨ調整できる。また、上記混合物の各成分がカルシウムを多量に含有しているので、排水処理装置から発生する汚泥をセメント原料としてリサイクルできる。
【０１３１】
また、一実施形態の排水処理装置は、リン溶出槽に添加される酸が硫酸であるので、単価が安く経済性が高いばかりでなく、塩酸のような塩素イオンによる腐食の問題がない。また、硫酸イオンの溶解度は高いので、反応後においても硫酸による汚泥発生の心配は皆無であり、廃棄物量を削減できる。
【０１３２】
また、他の実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整槽に、予め、炭酸カルシウム鉱物が充填されているので、炭酸カルシウム鉱物で酸性となったリン分離槽からのリンを含まない汚泥のＰＨを調整できる。同時に、通常の薬品を添加するＰＨ調整のような機械的なトラブルが無く、システムが安定している。
【０１３３】
また、一実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整槽に、あらかじめ石灰石が充填されているので、石灰岩で酸性となったリン分離槽からのリンを含まない汚泥のＰＨを調整することができる。同時に、通常の薬品を添加するＰＨ調整のような機械的なトラブルが無くシステムが安定している。
【０１３４】
また、他の実施形態の排水処理装置は、ＰＨ調整槽に、あらかじめ顆粒状の石灰石または炭酸カルシウム鉱物が充填されているので、顆粒状の石灰石または炭酸カルシウム鉱物で、酸性となったリン分離槽からのリンを含まない汚泥のＰＨをより容易に調整することができる。同時に、通常の薬品を添加するＰＨ調整のような機械的なトラブルが無く、システムが安定している。
【０１３５】
以上のように、本発明は、排水処理装置より発生する汚泥を削減しつつ、セメント原料化を阻害する汚泥中のリンのみを容易に低減でき制御できる。すなわち、本発明の排水処理装置は、汚泥の成分であるリン酸カルシウムが酸によって溶解し、汚泥の成分であるフッ化カルシウムが酸によっても溶解しないことを発見し、それらを排水処理システムとして構築し、結果としてセメント原料としての汚泥の形成(リン含有量小)と産業廃棄物(リン含有量大)としての汚泥の形成が可能な排水処理システムとしたものです。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の排水処理装置の第１参考例を示す構成図である。
【図２】  この発明の排水処理装置の第２参考例を示す構成図である。
【図３】  この発明の排水処理装置の第１実施形態を示す構成図である。
【図４】  上記第１実施形態による排水処理タイミングチャートである。
【図５】  この発明の排水処理装置の第２実施形態を示す構成図である。
【図６】  この発明の排水処理装置の第３実施形態を示す構成図である。
【図７】  この発明の排水処理装置の第４実施形態を示す構成図である。
【図８】  この発明の排水処理装置の第５実施形態を示す構成図である。
【図９】  上記第５実施形態による排水処理タイミングチャートである。
【図１０】  この発明の排水処理装置の第６実施形態を示す構成図である。
【符号の説明】
１…第１水槽、２…第１水槽ポンプ、
３…第２水槽(沈澱部を有する反応槽)、３−１…第２水槽上部、
３−２…第２水槽下部、４…下部流入管、５…返送汚泥流入管、
６…汚泥ゾーン、７…遮断壁、８…沈澱部、９…沈澱部水中ポンプ、
１０…第３水槽(第１消石灰反応槽)、１１…急速撹拌機、
１２…第４水槽(高分子凝集剤凝集槽)、１３…緩速撹拌機、
１４…第５水槽(第１沈澱槽)、１５…第１沈澱槽かき寄せ機、
１６…第１沈澱槽ポンプ、１７…第６水槽(第２消石灰反応槽)、
１８…第７水槽(ポリ塩化アルミニウム凝集槽)、
１９…第８水槽(高分子凝集剤凝集槽)、２０…第９水槽(第２沈澱槽)、
２１…第２沈澱槽かき寄せ機、２２…第１濃縮槽かき寄せ機、
２３…第１０水槽(第１濃縮槽)、２４…第１濃縮槽ポンプ、
２５…第２濃縮槽かき寄せ機、２６…第１１水槽(第２濃縮槽)、
２７…第２濃縮槽ポンプ、２８…第１フィルタープレス、
２９…第２フィルタープレス、３０…汚泥計量槽、３１…急速撹拌機、
３２…ＰＨ計、３３…リン溶出槽、３４…リン分離槽かき寄せ機、
３５…リン分離槽、３６…リン分離槽ポンプ、３７…ＰＨ調整槽、
３８…炭酸カルシウム鉱物、３９…石灰石、
４０…セメント原料としての汚泥製造工程、
４１…産業廃棄物としての汚泥製造工程、
４２…リン含有フッ素排水１次処理工程、４３…リン減量工程、
４４…リン含有フッ素排水２次処理工程、４５…    ＰＨ調整工程、
４６…ブロワー。
【図１】
0003762592.tif 000002
【図２】
0003762592.tif 000003
【図３】
0003762592.tif 000004
【図４】
0003762592.tif 000005
【図５】
0003762592.tif 000006
【図６】
0003762592.tif 000007
【図７】
0003762592.tif 000008
【図８】
0003762592.tif 000009
【図９】
0003762592.tif 000010
【図１０】
0003762592.tif 000011