(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行方向に対して横方向に二つの走行輪を有し該走行輪が床面上を転動する搬送車に適用され、床面に筋状の軌道部を有すると共に、前記搬送車に設けられた操舵部を前記軌道部に案内して同搬送車を走行させるための床材であって、
他の床材と各々繋ぎ合わされる床本体と、該床本体に対して回転可能に支持される回転体とを備え、前記回転体には選択的に切換可能な複数の軌道部が形成され、前記搬送車の進路変更に際し、前記複数の軌道部が前記走行輪の走行経路を横切ることなく切り換えられるよう前記回転体が所定角度で回転することを特徴とする搬送車用の床材。
【請求項２】
前記回転体の上面には、前記搬送車の二つの走行輪の間隔よりも狭い範囲に前記複数の軌道部が形成される請求項１に記載の搬送車用の床材。
【請求項３】
前記床本体には円形の凹部が形成されると共に、その凹部には床本体と面一の状態で前記回転体が配設される請求項１又は請求項２に記載の搬送車用の床材。
【請求項４】
前記回転体にはその中心部から外周側へ延びる溝部が設けられると共に、前記床本体には前記溝部に係合し且つ所定半径で円運動する移動部材が設けられる請求項１〜請求項３のいずれかに記載の搬送車用の床材。
【請求項５】
前記回転体と前記床本体との間には、前記走行輪の走行経路近傍に支持部材が設けられる請求項１〜請求項４のいずれかに記載の搬送車用の床材。
【請求項６】
進路切り換えが可能な請求項１に記載の第１の床材と、進路切り換えができない第２の床材とが同一寸法にて形成され、進路切り換え点にて前記第１の床材が配設されると共に、前記第１，第２の床材を繋ぎ合わせることで形成される床。
【請求項７】
前記第１，第２の床材に設けられる軌道部は床面上に連続して接続される請求項６に記載の床。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送車の軌道を変更することができる搬送車用の床材及び床に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、物品の搬送作業の無人化や作業効率化を図るべく、予め決められた軌道に沿って搬送車を移動させ、その搬送車によって物品を搬送する搬送システムが提案されている。この種の搬送システムの一例として、床面に設けた案内溝（ガイドレール）に搬送車の操舵部をはめ入れ、その操舵部を案内溝の壁面に接触させながら搬送車を操舵させるものがある。
【０００３】
すなわち、搬送車は例えば走行方向に対して横方向に二つの走行輪を有し、該走行輪が床面上を転動する。また、前記二つの走行輪の間には、床面の案内溝（ガイドレール）に案内される案内輪が設けられ、案内輪が案内溝内を移動することで所定の軌道に沿って搬送車が走行する。こうしたガイドレール方式の搬送システムによれば、磁気誘導方式や光誘導方式等、他の搬送システムに比べて高速で搬送車を走行させることが可能となる。
【０００４】
一方近年では、自動搬送システムの採用に際し、予め決められた所定の直線経路、又は周回経路のみで搬送車を走行させるだけでなく、進路切り換えを任意に行って軌道パターンを多様化させることが思案されており、上記ガイドレール方式の搬送システムにおいても進路切り換えを任意に行うことのできる構成が要望されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガイドレール方式の搬送システムにおいて、多数の軌道パターンを設定して各パターンに応じて搬送経路を切り換える場合、仮に搬送車の走行輪が案内溝（ガイドレール）上を横切ると搬送車がショックを受けてがたつく。搬送車ががたつくと、搬送される物品が荷崩れしたり、物品が落下したりするおそれが生ずる。特に、半導体製造用のクリーンルームで使用される搬送車の場合、精密な半導体部品を搬送するため、搬送車ががたつくと半導体製造時に不具合が生じるおそれがあった。
【０００６】
本発明は前記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、進路切り換えを行いつつ、搬送車を振動なく滑らかに走行させることができる搬送車用の床材及び床を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため請求項１に記載の発明では、走行方向に対して横方向に二つの走行輪を有し該走行輪が床面上を転動する搬送車に適用され、床面に筋状の軌道部を有すると共に、前記搬送車に設けられた操舵部を前記軌道部に案内して同搬送車を走行させるための床材であって、他の床材と各々繋ぎ合わされる床本体と、該床本体に対して回転可能に支持される回転体とを備え、前記回転体には選択的に切換可能な複数の軌道部が形成され、前記搬送車の進路変更に際し、前記複数の軌道部が前記走行輪の走行経路を横切ることなく切り換えられるよう前記回転体が所定角度で回転する。
【０００８】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記回転体の上面には、前記搬送車の二つの走行輪の間隔よりも狭い範囲に前記複数の軌道部が形成される。
【０００９】
請求項３に記載の発明では、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記床本体には円形の凹部が形成されると共に、その凹部には床本体と面一の状態で前記回転体が配設される。
【００１０】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の発明において、前記回転体にはその中心部から外周側へ延びる溝部が設けられると共に、前記床本体には前記溝部に係合し且つ所定半径で円運動する移動部材が設けられる。
【００１１】
請求項５に記載の発明では、請求項１〜請求項４のいずれかに記載の発明において、前記回転体と前記床本体との間には、前記走行輪の走行経路近傍に支持部材が設けられる。
【００１２】
請求項６に記載の発明では、進路切り換えが可能な請求項１に記載の第１の床材と、進路切り換えができない第２の床材とが同一寸法にて形成され、進路切り換え点にて前記第１の床材が配設されると共に、前記第１，第２の床材を繋ぎ合わせることで床が形成される。
【００１３】
請求項７に記載の発明では、請求項６に記載の発明において、前記第１，第２の床材に設けられる軌道部は床面上に連続して接続される。
（作用）
請求項１に記載の発明によれば、搬送車の走行に際し、走行輪が床面上を転動すると共に、操舵部が軌道部に沿って移動する。進路変更時には、回転体が回転することにより複数の軌道部が走行輪の走行経路を横切ることなく切り換えられる。これにより、複数の軌道部が選択的に切り換えられる。かかる場合、走行輪が軌道部上に乗って搬送車が振動するといった不都合が回避される。つまり、進路切り換えを行いつつ、搬送車が滑らかに走行する。また併せて、進路切り換え点において、搬送車の走行速度を低下させる必要もない。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、進路変更をする、又はしないに拘わらず、搬送車の走行輪は、回転体上面の複数の軌道部を跨ぐようにして走行する。そのため、走行輪が軌道部上に乗って搬送車が振動するといった不都合が回避される。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、床本体の凹部内で回転体が回転することにより、搬送車の軌道が変更される。この場合、回転体は床本体と面一の状態で回転するため、床面上にズレ（段差）を生ずることはない。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、進路変更時において、移動部材が所定半径で円運動すると、その移動部材と係合関係にある溝部内を同移動部材が移動する。移動部材が円運動する時、同移動部材が溝部の壁面に押し付けられることで、回転体が所定方向に回転する。この場合、移動部材の円運動は所定半径で規制されるため、回転体の回転角度も前記所定半径で規制される。従って、回転体が必要以上に回転してしまうといった不具合が容易に解消される。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、搬送車の走行に際し、何れの走行輪においても同走行輪にかかる荷重は回転体下面側の支持部材により支えられる。そのため、回転体が常に滑らかに回転する。
【００１８】
請求項６に記載の発明によれば、第１及び第２の床材を繋ぎ合わせることで、床に設けられる軌道パターンの多様化が図られる。この場合、第１，第２の床材が同一寸法であるため、任意の箇所で進路切り換え点を設けることが可能となる。
【００１９】
請求項７に記載の発明によれば、搬送車が床面上を走行する際、第１及び第２の床材に設けられる軌道部に沿って滑らかに移動する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。本実施の形態では、半導体製造用のクリーンルームに敷設される床と、その床上を走行する搬送車とを備える搬送システムについて説明する。本搬送システムにおいて、クリーンルーム内の床は、床材としての多数のグレーチングを繋ぎ合わせて形成され、そのグレーチングに個々に設けられた軌道に沿って搬送車が走行する。
【００２１】
図１は搬送システムの概要を示す平面図である。図１において床１０には、軌道部としての案内溝１４により連続的に形成された軌道Ｒ１が設けられ、その軌道Ｒ１の両側は、搬送車２０の走行輪２３が転動するための軌道Ｒ２となっている。搬送車２０は、軌道Ｒ１，Ｒ２沿いに設置された各種設備（図示せず）間を移動して例えば半導体ウェハ等の物品を搬送する。
【００２２】
床１０は、直進走行のための軌道Ｒ１を形成するグレーチング（以下、直進用グレーチングという）１１と、軌道Ｒ１を切り換えるためのグレーチング（以下、進路切換用グレーチング）１２と、軌道Ｒ１を持たないグレーチング１３とからなる。グレーチング１１〜１３はそれぞれ、例えば６００ｍｍ四方の正四角形状をなす。各グレーチング１１〜１３の四隅には図示しない支柱が立設されており、これによりグレーチング１１〜１３がクリーンルームのコンクリート床面に対して所定高さ（本実施の形態では、６００ｍｍ程度）に敷き詰められる。なお、直進用グレーチング１１が第２の床材に相当し、進路切換用グレーチング１２が第１の床材に相当する。
【００２３】
図２（ａ），（ｂ）に示されるように、搬送車２０は本体２１の上方から水平に延出するアーム２２を備え、アーム２２を駆動させることにより図示しない設備との間で例えば半導体ウェハが収納されたカセットの受渡し作業を行う。搬送車２０は４つの走行輪２３を備え、走行輪２３の一つ又は二つが走行用モータによって駆動される。また、搬送車２０は本体２１の底部中央前後に２組の操舵機構２４を備え、各操舵機構２４には、操舵部としての３個の案内輪２５が縦列に配置されている。
【００２４】
この場合、軌道Ｒ１を形成する案内溝１４内を案内輪２５が移動し、これにより、操舵機構２４が軌道Ｒ１に沿うように操舵される。また、グレーチング１１，１２の軌道Ｒ２上を走行輪２３が転動する。すなわち、走行輪２３の走行経路は軌道Ｒ２である。なお以下の記載では便宜上、案内輪２５を案内するための軌道Ｒ１を「案内輪軌道」と称し、走行輪２３の軌跡を示す左右２本の軌道Ｒ２を「走行輪軌道」と称する。
【００２５】
次に、いわゆる転てつ機を構成する進路切換用グレーチング１２の構成を図３〜図７を用いて詳細に説明する。ここで、図３は進路切換用グレーチング１２を拡大して示す平面図、図４は図３のＡ−Ａ線断面図、図５は図３のＢ−Ｂ線断面図である。また、進路切換用グレーチング１２は床板３１と回転板３３とを重ねて構成されるが、図６には同グレーチング１２から回転板３３を取り除いた構成を示し、図７には回転板３３のみの構成を示す。
【００２６】
図３及び図４に示されるように、床本体としての床板３１には円形の凹部３２が形成され、その凹部３２内には、回転体としての回転板３３が支軸３４及び軸受３５により回転可能に支持されている。床板３１は他のグレーチング１１，１１３と同じ外形寸法を有する。なお本実施の形態では、床板３１及び回転板３３が何れもアルミ製で構成される。
【００２７】
回転板３３には、軌道部としての二本の案内溝３６，３７が設けられ、そのうち直進用案内溝３６は直進走行時に用いられ、カーブ用案内溝３７はカーブ走行用に用いられる。これら案内溝３６，３７は、搬送車２０の二つの走行輪２３の間隔よりも狭い範囲に設けられる。
【００２８】
詳細には、直進用案内溝３６は、床板３１の溝部３１ａ，３１ｂ間を接続し、他の直進用グレーチング１１の案内溝１４と接続されることで前記案内輪軌道Ｒ１を構成する（図示の状態）。また、カーブ用案内溝３７は、床板３１の溝部３１ａ，３１ｃ間を接続し、同じく他の直進用グレーチング１１の案内溝１４と接続されることで前記案内輪軌道Ｒ１を構成する。直進用案内溝３６とカーブ用案内溝３７との切り換えは、回転板３３を所定角度α（本実施の形態では、約２０°）だけ回転させることにより達成される。
【００２９】
床板３１には円形の穴部３８が三ヶ所に設けられ、各穴部３８には回転板３３の下面を支持するための支持部材３９が配設されている。支持部材３９は、上下二枚の支持板４０とその間に配設される調整板４１と四本の調整ネジ４２とから構成され、搬送車２０の重量など、回転板３３に上方からかかる力を受け止める役割をなす。特に、支持部材３９は、回転板３３の回転中心から均等位置に、且つ走行輪軌道Ｒ２のほぼ真下に位置するように配される。これにより、左右の走行輪２３にかかる荷重が常に何れか二つの支持部材３９にて支えられるようになっている。
【００３０】
次に、回転板３３を所望の位置に回転させるべく床板３１に設けられた駆動機構の構成について説明する。図５及び図６に示されるように、床板３１の下面にはモータ４５が取り付けられ、その出力軸４５ａには第１ギア４６が固定されている。また、床板３１には支軸４７が固定され、同支軸４７には軸受４８を介して第２ギア４９が回転自在に取り付けられている。第１，第２ギア４６，４９は、床板３１に形成された段差部４４に配設される。
【００３１】
第２ギア４９の上面には円板５０が固定され、その円板５０の外周部付近に突設されたピン５１にはブロック５２が回転自在に取り付けられている。この場合、第２ギア４９が回転すると、それに伴いピン５１及びブロック５２が一体的に回転する。但し図５では便宜上、ピン５１及びブロック５２を図６のＣ−Ｃ線断面図で示す。なお、ピン５１及びブロック５２が移動部材に相当し、これら各部材５１，５２は円板５０で規定される所定半径で円運動する。
【００３２】
また、床板３１には支軸５３が固定され、同支軸５３には軸受５４を介して第３ギア５５が回転自在に取り付けられている。前記ギア４６，４９，５５は互いに噛み合わされている。従って、前記モータ４５の駆動に伴う第１ギア４６の回転が第２ギア４９に伝達されると、同第２ギア４９の回転が第３ギア５５に伝達される。
【００３３】
第３ギア５５には、二ヶ所の切欠き部５６ａを有するドグ５６が取り付けられ、ドグ５６に対向配置された反射式のセンサ５７により前記切欠き部５６ａが検知される。本実施の形態では、センサ５７の検出結果により回転板３３の回転位置が決定される。第３ギア５５の上方にはカバー５８が取り付けられている。
【００３４】
また、図７に示されるように、回転板３３にはその裏面側に溝部６０が形成されている。溝部６０は回転板３３の半径方向に等幅で延設され、この溝部６０には、前記円板５０上のブロック５２が移動可能に収容される（図３，図５参照）。つまり、溝部６０とブロック５２とは係合関係にある。
【００３５】
一方、図３，図７に示されるように、回転板３３の外周には二つの切欠き部６１，６２が設けられ、床板３１には切欠き部６１，６２に対向するように二つの光電スイッチ６３，６４が設けられている。例えば直進用案内溝３６が使われる場合、切欠き部６１と光電スイッチ６３とが対向し、それにより直進走行状態である旨が検知される（図示の状態）。また、カーブ用案内溝３７が使われる場合、切欠き部６２と光電スイッチ６４とが対向し、それによりカーブ走行状態である旨が検知される。
【００３６】
図８は、搬送ユニットの制御系の構成を示すブロック図である。同図において、コントローラ７０は例えば周知のマイクロコンピュータにて構成され、多数の進路切換用グレーチング１２から各々、前記センサ５７や光電スイッチ６３，６４の検出値を入力する。またその他に、図１に示す搬送車２０を直進走行させるか、或いはカーブ走行させるかといった指令信号を操作機器７１から入力する。そして、コントローラ７０は、搬送車２０を直進走行させる旨の指令信号が入力され、且つ現時点での進路切換用グレーチング１２がカーブ走行の状態にあれば、該当する進路切換用グレーチング１２のモータ４５に対して駆動信号を出力する。
【００３７】
また、コントローラ７０は、搬送車２０をカーブ走行させる旨の指令信号が入力され、且つ現時点での進路切換用グレーチング１２が直進状態にあれば、該当する進路切換用グレーチング１２のモータ４５に対して駆動信号を出力する。進路切り換えに際し、搬送車２０が進路切換用グレーチング１２に到達する以前にモータ４５が駆動される。但し、進路切換用グレーチング１２が指令信号の状態に予めあれば、モータ４５は駆動されない。
【００３８】
次に、上記の如く構成される搬送ユニットの作用を説明する。
搬送車２０を直進走行させる場合、図９（ａ）の如く、床板３１側の溝部３１ａ，３１ｂと回転板３３側の直進用案内溝３６とを接続させるよう、回転板３３の回転位置を操作する。これにより、搬送車２０の案内輪２５は、溝部３１ａ→直進用案内溝３６→溝部３１ｂの経路（又はその逆）に沿って進む。つまり、この経路が案内輪軌道Ｒ１となる。この場合、搬送車２０の走行輪２３は図９（ａ）中の走行輪軌道Ｒ２上を転動する。但しこの際、カーブ用案内溝３７は走行輪軌道Ｒ２に干渉しない位置にある。図１で言えば、例えばＸ１側からＹ１側へ（又はその逆Ｙ１→Ｘ１へ）或いはＸ２側からＹ２側へ（又はその逆Ｙ２→Ｘ２へ）搬送車２０が走行することとなる。
【００３９】
また、搬送車２０をカーブ走行させる場合、図９（ａ）の状態から図９（ｂ）の状態へと移行させる。すなわち、モータ４５を駆動してブロック５２の位置を図９（ａ）の位置から図９（ｂ）の位置に移動させ、回転板３３を所定角度αだけ回転させる。これにより、床板３１側の溝部３１ａ，３１ｃと回転板３３側のカーブ用案内溝３７とが接続される。従って、搬送車２０の案内輪２５は、溝部３１ａ→カーブ用案内溝３７→溝部３１ｃの経路（又はその逆）に沿って進む。つまり、この経路が案内輪軌道Ｒ１となる。この場合、搬送車２０の走行輪２３は、図９（ｂ）中の走行輪軌道Ｒ２上を転動する。但しこの際、直進用案内溝３６は走行輪軌道Ｒ２に干渉しない位置にある。図１で言えば、例えばＸ１側からＹ２側へ（又はその逆Ｙ２→Ｘ１へ）搬送車２０が走行することとなる。
【００４０】
因みに、案内輪軌道Ｒ１を直進の状態に戻すには、モータ４５を逆転させる。すると、ブロック５２が図９（ｂ）の位置から図９（ａ）の位置に復帰し、再び床板３１側の溝部３１ａ，３１ｂと直進用案内溝３６とが接続される。
【００４１】
以上詳述したように本実施の形態によれば、以下に示す効果を得る。
（ａ）進路切換用グレーチング１２において、搬送車２０の進路変更に際し、複数の案内溝３６，３７が走行輪軌道Ｒ２を横切ることなく切り換えられるよう回転板３３を所定角度αで回転させるようにした。そのため、搬送車２０の走行輪２３が案内溝３６，３７に乗って搬送車２０が振動するといった不都合が回避される。つまり、進路切り換えを行いつつ、搬送車２０が滑らかに走行する。また併せて、進路切り換え点において、搬送車２０の走行速度を低下させる必要もない。
【００４２】
（ｂ）回転板３３の上面には、搬送車２０の二つの走行輪２３の間隔よりも狭い範囲に案内溝３６，３７が形成されるので、進路変更をする、又はしないに拘わらず、搬送車２０は左右の走行輪２３間で常に案内溝３６，３７を跨ぐようにして走行する。そのため、搬送車２０が振動するといった不都合がより確実に回避される。
【００４３】
（ｃ）床板３１に形成される円形の凹部３２に、床板３１と面一の状態で回転板３３が配設されるので、進路切換用グレーチング１２の床面上にズレを生ずることはない。
【００４４】
（ｄ）ピン５１及びブロック５２が、円板５０にて規定される所定半径で円運動しつつ回転板３３の溝部６０内を移動するため、回転板３３の回転角度が前記所定半径で規制される。すなわち、回転板３３は、その回転中心とピン５１の移動位置とがなす角度しか回転できない。従って、回転板３３が必要以上に回転してしまうといった不具合が容易に解消される。
【００４５】
（ｅ）搬送車２０の走行に際し、何れの走行輪２３においても同走行輪２３にかかる荷重は回転板３３下面側の支持部材３９により支えられる。そのため、回転板３３が常に滑らかに回転する。またこの場合、三つの支持部材３９を前記図３の通り配置することで、左右の走行輪２３にかかる荷重を支えるという役目を果たしつつ、同支持部材３９を必要最小個数（本実施の形態では３個）とすることが可能となる。
【００４６】
（ｆ）直進用グレーチング１１と進路切換用グレーチング１２とが同一寸法にて形成され、進路切り換え点にて進路切換用グレーチング１２が配設されると共に、各グレーチング１１，１２を繋ぎ合わせることで床１０が形成される。この場合、床１０に設けられる軌道パターンの多様化が図られる。また、グレーチング１１，１２が同一寸法であるため、任意の箇所で進路切り換え点を設けることが可能となり、クリーンルームの有効利用を図ることができる。
【００４７】
（ｇ）グレーチング１１，１２は、軌道部としての案内溝１４，３６，３７を一体的に形成したので、搬送車２０を走行させるための案内輪軌道Ｒ１を床１０に敷設する工事が非常に簡単になる。
【００４８】
（ｈ）半導体製造用のクリーンルームに適用される場合に、精密な半導体部品を搬送しても、搬送車２０のがたつきが防止されて不具合の発生が大幅に抑制される。
【００４９】
（ｉ）センサ５７と、二つの光電スイッチ６３，６４を使って回転板３３の回転位置が制御されるため、進路切り換えが誤って行われるといった不具合が回避され、信頼性の高い搬送システムが実現できる。
【００５０】
なお、上記実施の形態に限定されるものではなく、例えば次のような形態で実施することができる。
○進路切換用グレーチング１２の回転板３３を回転させるための駆動機構は、既述のものに限られず、回転板３３を正逆何れにも回転可能な他の機構に変更してもよい。例えば、
・床板３１に、回転板３３の溝部６０に係合し且つ同溝部６０に略直交する方向に直線運動する移動部材を設ける。移動部材としては、前述のピン５１やブロック５２等の構成でよい。かかる場合、移動部材の直線運動が回転板３３の回転運動に変換され、当該回転板３３を所望の位置まで容易に回転させることができる。移動部材の直線運動を実現には、リニアモータを使う構成やラック＆ピニオンを使う構成が適用できる。
・回転板３３の外周面にギア歯を設け、このギア歯にモータ出力軸に固定されるピニオンギアを噛み合わせる。そして、ピニオンギアの回転に伴い回転板３３を回転させる。
・モータ等の駆動機構を使わず、手動にて回転板３３を回転させて進路切換を行う構成としてもよい。
【００５１】
○搬送車の操舵部を案内するための軌道部は、溝形状に限定されない。例えば床面上に突出する突条により軌道部が形成されると共に、前記突条に合わせて搬送車の操舵部が設けられる。この場合にもやはり、床面上の突条と搬送車の走行輪とが干渉することはないので、搬送車の滑らかな走行が実現できる。
【００５２】
○カーブ走行用の二本の軌道部（案内溝）を回転体に設ける。要は、二股に分岐するための案内輪軌道を作るものであればよい。
○回転体の回転角度を図３，図９の所定角度αよりも小さくする。回転角度を小さくすることにより進路変更の角度は小さくなるが、搬送車の走行輪が回転体上の軌道部を踏むといった不具合は回避される。但しこの場合、搬送車の走行輪が床本体側の軌道部（図３の溝部３１ａ〜３１ｃ）を踏まないように設計する必要がある。
【００５３】
○床本体（床板３１）の一辺の長さと回転体（回転板３３）の外径とを略一致させる。この場合、例えば図３の溝部３１ａ，３１ｂをなくすことができ、搬送車の走行輪がこの溝部３１ａ，３１ｂを踏んで衝撃を受けるといった問題が回避される。
【００５４】
○進路切換用グレーチングの回転体に３つの案内溝（軌道部）を設ける。この場合、３つの案内溝が走行輪軌道を横切ることなく切り換えられるには、案内溝が拡がる角度、すなわち回転体の回転角度を規制することが必要になる。回転体の回転角度を例えば最大で２０°程度に規制する。
【００５５】
○進路切換用グレーチングの回転体に位置決め機構を設ける。例えば回転体が所定角度α（図３，図９参照）以上回転しないような規制部材を設けたり、所定角度αだけ回転したときに作動するストッパ部材を設けたりしてもよい。この場合、機械的に動作させることで、位置検出のためのセンサ部材を取り除くことが可能となる。
【００５６】
○回転板３３に設けた溝部６０の長さを回転板３３の中心側に延ばす。これにより、図５，６等に示す円板５０を一方向にのみ回転させるだけで回転板３３の二位置の切り換えが可能となる。
【００５７】
○進路切換用グレーチング１枚のみで所望の進路への切り換えを行う必要は必ずしも無く、２枚以上の進路切換用グレーチングを組み合わせて進路切り換えを行うようにしてもよい。
【００５８】
○回転板３３と床板３１との間に設けられる支持部材３９を４個以上設けてもよい。要は、走行輪２３の走行経路近傍に設けられ、左右の走行輪２３にかかる荷重を支えるものであればよい。
【００５９】
○グレーチング１１〜１３の材質はアルミに限定はされず、強度が得られれば他の材質を用いてもよい。例えば、鋼材やチタンなどの他の金属であってもよいし、ＡＢＳ等の樹脂であってもよい。或いは、陶器（セラミック）であってもよい。
【００６０】
○床材の形状は四角に限定されない。繋ぎ合わせにより所定形状の床を埋め尽くせられるのであればよい。例えば菱形，三角，台形，六角形などの多角形であってもよい。また、全てが同形状であることに限定されず、複数種の形状が混在していても構わない。
【００６１】
○グレーチング１１，１２において走行輪軌道Ｒ２を形成するためのレール部材を組み付けてもよい。つまり、グレーチング表面に溝部を設け、その溝部内にレール部材を嵌合により組み付ける。なお、レール部材はグレーチング１１，１２の表面から突出しない面一の状態で組み付けられる。この場合、レール部材をグレーチング１１，１２の境界を跨ぐように長さ設定すれば、当該レール部材によって各グレーチング１１，１２の繋ぎ合わせのずれが補正される。
【００６２】
○搬送車の走行輪や案内輪は前記実施の形態の個数に限定されず、他の個数であっても勿論よい。走行輪は１輪以上、案内輪も１〜２輪、或いは４輪以上であってもよい。
【００６３】
○駆動輪は、走行輪のうちの１輪或いは２輪に限定されず、３輪以上の走行輪を駆動輪としてもよい。また、走行輪の一部を駆動輪にする場合は勿論、走行輪の全てを駆動輪としてもよい。
【００６４】
○駆動を走行輪以外で行なってもよい。例えば、軌道部（案内溝）に案内される案内輪を駆動輪と兼ねてもよいし、駆動輪ではなく車両を牽引して駆動してもよい。この場合、軌道部（案内溝）内に牽引機構を設ける構造が考えられる。要は、グレーチングの設置により、走行経路に関連する装置の設置が容易に行なえれば、走行車両の走行構造がどのようなものにでも適用可能である。
【００６５】
○床材は、クリーンルーム用のグレーチングに限定されない。クリーンルーム以外の工場などで、搬送車を走行させるための床を形成するために使用される床材に適用することもできる。
【００６６】
前記各実施の形態から把握され、特許請求の範囲に記載されていない技術的思想（発明）を、その効果と共に以下に記載する。
（イ）請求項１〜請求項３に記載の発明において、前記回転体には、直進走行用の軌道部とカーブ走行用の軌道部とが設けられる床材。この場合、一つの床材で直進走行とカーブ走行との切り換えが可能となる。
【００６７】
（ロ）請求項１〜請求項３に記載の発明において、前記回転体にはその中心部から外周側へ延びる溝部が設けられると共に、前記床本体には前記溝部に係合し且つ同溝部に略直交する方向に直線運動する移動部材が設けられる床材。かかる場合、移動部材の直線運動が回転体の回転運動に変換され、当該回転体を所望の位置まで容易に回転させることができる。
【００６８】
（ハ）請求項１〜請求項５に記載の発明において、半導体製造用のクリーンルームのグレーチングとして使用される床材。この場合、精密な半導体部品を搬送しても、搬送車のがたつきが防止されて不具合の発生が抑制される。
【００６９】
（ニ）請求項１〜請求項７に記載の発明が適用される搬送システムにおいて、前記回転体を回転させるためのモータと、該モータの駆動を制御するコントローラとを備え、前記コントローラは、進路切り換えの旨の操作信号を受けた際に、前記搬送車が到達する以前にモータを駆動させて搬送車の進路を変更する。この場合、搬送車の走行速度を低下させることなく、進路切り換えを行わせることができる。
【００７０】
（ホ）上記（ニ）に記載の搬送システムにおいて、前記回転体の回転位置を検出するための検出手段を設け、前記コントローラは検出手段による検出結果に基づき前記モータを駆動させる。この場合、進路切り換えが誤って行われるといった不具合が回避され、信頼性の高い搬送システムが実現できる。なお、センサ５７及び光電スイッチ６３，６４が検出手段に相当する。
【００７１】
【発明の効果】
以上詳述したように請求項１，２に記載の発明によれば、複数の軌道部が走行輪の走行経路を横切ることなく切り換えられるので、進路切り換えを行いつつ、搬送車を振動なく滑らかに走行させることができる。
【００７２】
請求項３に記載の発明によれば、回転体は床本体と面一の状態で回転するため、床面上にズレを生ずることはなく、床面上を走行する搬送車がショックを受けることはない。
【００７３】
請求項４に記載の発明によれば、回転体の回転角度は、移動部材が円運動する所定半径で規制されるため、回転体が必要以上に回転してしまうといった不具合が容易に解消できる。
【００７４】
請求項５に記載の発明によれば、何れの走行輪においても同走行輪にかかる荷重が回転体下面側の支持部材により支えられるため、回転体が常に滑らかに回転する。
【００７５】
請求項６に記載の発明によれば、任意の箇所で進路切り換え点を設けることが可能となり、床に設けられる軌道パターンの多様化を図ることができる。
請求項７に記載の発明によれば、搬送車を滑らかに走行させるための床が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態における搬送システムの概要を示す平面図。
【図２】搬送車の構成を示す図。
【図３】進路切換用グレーチングの構成を示す平面図。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図。
【図５】図３のＢ−Ｂ線断面図。
【図６】進路切換用グレーチングから回転板を取り除いた状態を示す平面図。
【図７】回転板のみの構成を示す平面図。
【図８】搬送システムの制御系の構成を示すブロック図。
【図９】進路切換用グレーチングの動作を示す平面図。
【符号の説明】
１０…床、１１…床材（第２の床材）としての直進用グレーチング、１２…床材（第１の床材）としての進路切換用グレーチング、１４…軌道部としての案内溝、２０…搬送車、２３…走行輪、２５…操舵部としての案内輪、３１…床本体としての床板、３１ａ〜３１ｃ…軌道部としての溝部、３２…凹部、３３…回転体としての回転板、３６…軌道部としての直進用案内溝、３７…軌道部としてのカーブ用案内溝、３９…支持部材、４５…モータ、５１…移動部材としてのピン、５２…移動部材としてのブロック、５７…センサ、６０…溝部、６３，６４…光電スイッチ、７０…コントローラ、Ｒ１…案内輪軌道、Ｒ２…走行輪軌道。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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