(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光シーケンスの実行中に発生したエラーがチャンバのドアを解放して行なう作業によって解消できる、ウエハおよびレチクルのいずれかの搬送のエラーであるか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段により前記エラーが前記搬送のエラーであると判定された場合に、前記搬送と並行して行われている処理の完了を待ってから前記ドアの解錠を行なう解錠手段と、
を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記露光シーケンスの再開の操作を認識する認識手段と、前記認識手段により前記操作を認識した後、前記ドアを施錠してから前記露光シーケンスを再開させる再開手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記再開の操作は、前記ドアを閉じることであることを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
前記解錠手段により前記ドアが解錠されたことをオペレータに認知させる手段を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか記載の露光装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか記載の露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等のデバイスを製造するための露光装置およびそれを用いたデバイス製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体露光装置においては、光源として使用されるレーザの散乱光や各種マニピュレータとの接触から人体を保護するインターロック機構が設けられている。前記インターロックは、チャンバに設けられている作業用ドアが開いた際に作動するもので、前記レーザの発振および前記マニピュレータの動作を瞬時に停止させる。 したがって正常な露光シーケンスの最中にオペレータが不用意に前記作業用ドアを開けた場合、前記レーザの発振が中断されて製造物の品質に悪影響を及ぼす。また前記マニピュレータの動作が中断された場合には、露光シーケンスの再開に長時間を要することになる。前記半導体露光装置においては、このような障害を防ぐために露光シーケンスの状態に応じて、前記作業用ドアのロックの制御を行なう。
【０００３】
前記作業用ドアは、本来ウエハカセットやレチクルカセットを装置に対して出し入れするためにチャンバー上に設けられているものである。したがって露光シーケンスなどの処理が行なわれていないときにはオペレータが容易に解錠できる状態または解錠された状態にあるように、また処理が行なわれているときには施錠された状態にあるように、前記作業用ドアが制御される。
【０００４】
ところで近年、高度なオンラインあるいはインラインなどの自動化によって、半導体デバイス製造ラインの運用効率が大きく向上している。このような製造ラインにおいては、個々の装置上で発生する様々な障害の頻度および復旧に要する時間が製造ライン全体の稼働率に大きな影響を与える。このような状況において、人為的なミスや装置の故障による障害は、自動化、装置性能の向上、メンテナンス技術の向上などにより減少している。一方、製造過程で発生するウエハの変形によって発生するウエハ搬送上の障害に関しては、半導体露光装置上で十分な対策が取られていない。ウエハの変形に起因する障害の典型は、ウエハ搬送中のに発生するウエハ吸着エラーである。前記ウエハ吸着エラーが発生した場合、オペレータがチャンバの作業用ドアを解放した状態でウエハの除去作業を行なわなければならない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来例に示す半導体露光装置においては、露光シーケンスの実行中にウエハ吸着エラーなどが発生した場合であっても、チャンバの作業用ドアが施錠された状態で維持される。このとき発生したエラーを解消するためにチャンバの作業用ドアを開放した状態で作業を行なうことが必要であれば、専用のキースイッチにより強制的に作業用ドアのロックを解除しなければならない。このような方法でロックを解除した場合、ロックの制御がシーケンスコントローラの介在無しに行われるために、そのまま露光シーケンスを再開した場合、露光シーケンスの最中にオペレータが誤ってドアを開放してしまう可能性がある。また露光シーケンスの状態によっては、前記作業用ドアの解放が製造物の品質に影響を与えたり、復旧作業の所要時間を長くしたりする場合も考えられる。したがって、オペレータはこの種のエラーの対処においてチャンバの作業用ドアの解錠および解放をするために、露光シーケンスの状態を確認したり、チャンバの作業用ドアの解錠の操作を行なったりしなければならない。そのため復旧に要する時間が長くなり、結果として製造ライン全体の稼働率を低下させる。
【０００６】
本発明の目的は、露光装置においてオペレータによる作業を必要とするエラーが発生した際に、該作業に要する時間を短縮することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、本発明の露光装置は、露光シーケンスの実行中に発生したエラーがチャンバのドアを解放して行なう作業によって解消できる、ウエハおよびレチクルのいずれかの搬送のエラーであるか否かを判定する判定手段と、前記判定手段により前記エラーが前記搬送のエラーであると判定された場合に、前記搬送と並行して行われている処理の完了を待ってから前記ドアの解錠を行なう解錠手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の露光装置は、前記露光シーケンスの再開の操作を認識する認識手段と、前記認識手段により前記操作を認識した後、前記ドアを施錠してから前記露光シーケンスを再開させる再開手段とをさらに備えることができる。また、前記再開の操作は、例えば前記ドアを閉じることである。
【００１０】
また、前記解錠手段により前記ドアが解錠されたことをオペレータに認知させる手段を備えることができる。
【００１１】
【作用】
前記判定手段は、露光シーケンスの実行中に発生したエラーがチャンバのドアを解放して行なう作業によって解消できる、ウエハおよびレチクルのいずれかの搬送のエラーであるか否かを判定する。また、前記解錠手段は、前記判定手段により前記エラーが前記搬送のエラーであると判定された場合に、前記搬送と並行して行われている処理の完了を待ってから前記ドアを解錠する。これにより、オペレータが即座に復旧作業を開始することを可能にする。
次に前記認識手段は、オペレータが前記ドアを閉じる等、前記露光シーケンスの再開の操作を認識する手段である。前記再開手段は、前記操作手段によって前記操作を認識すると、即座に前記ドアを施錠してから前記露光シーケンスを再開させる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、実施例によって本発明を説明する。
実施例１
図１は本発明の第一の実施例に関わる半導体露光装置のチャンバの斜視図である。同図に示すように、装置本体を覆うことにより該装置本体の環境温度制御を行なう温調チャンバ１０１の正面には、装置に対してウエハカセットの出し入れを行なうウエハカセット交換用ドア１０２、タッチパネル付きディスプレイ１０３、操作パネル１０４およびレチクルカセット交換用ドア１０５が設けられている。ウエハカセット交換用ドア１０２およびレチクルカセット交換用ドア１０５には、必要に応じて施錠および解錠の制御が行なわれるドアロックが備わっている。
【００１３】
図２は図１の内部構造を示す図である。同図においては、半導体露光装置としてのステッパが示されている。図中の２０２はレチクル、２０３はウエハであり、光源装置２０４から出た光束が照明光学系２０５を通ってレチクル２０２を照明するとき、投影光学レンズ２０６によりレチクル２０２上のパターンをウエハ２０３上の感光層に転写することができる。レチクル２０２はレチクルステージ２０７により支持されている。ウエハ２０３はウエハチャック２９１により支持された状態で露光される。ウエハチャック２９１はウエハステージ２０９上に固定されて、該ウエハステージ２０９の可動範囲内での移動が可能である。レチクル２０２の上側には主にレチクルの位置ずれ量を検出するためのレチクル光学系２８１が配置される。ウエハステージ２０９の上方に、投影光学レンズ２０６に隣接してオフアクシス顕微鏡２８２が配置されている。
【００１４】
オフアクシス顕微鏡２８２は装置上の基準マークとウエハ２０３上のアライメントマークとの相対位置検出を行なうのが主たる役割である。また、これら本体ユニットに隣接してレチクルライブラリ２２０やレチクルロボット２２１などから構成されるレチクル搬送ユニットおよびウエハカセットエレベータ２３０やウエハ搬入出ロボット２３１などから構成されるウエハ搬送ユニットが配置される。
【００１５】
図３はウエハ搬送ユニットの斜視図である。同図においてプリアライメントユニット２３２は、水平方向の移動および回転をするプリアライメントステージとアライメント用の光源および光学センサにより、ウエハがウエハチャック２９１上に置かれるときの位置および向きを調節する。インラインステーション２３４は２つのウエハ保持部と信号入出力インターフェイスを備え、該インターフェイスを介した同期方式に基づいてコーター・デベロッパに対するウエハの受渡しを行なう。ウエハカセットエレベータ２３０は２つのカセット台をそれぞれ個別に上下駆動することによって、ウエハ搬入出ロボット２３１がウエハカセットの任意のスロットに対してウエハを搬入出することを可能にするとともに、ウエハセンサによりウエハカセット内のウエハの有無を検知する。ウエハ搬入出ロボット２３１は回転、伸縮、上下移動およびレール上の移動によってウエハカセットエレベータ２３０上のウエハカセット、プリアライメントユニット２３２、インラインステーション２３４およびウエハ回収位置に静止するウエハチャック２９１との間のウエハの移動を行なう。ウエハ供給ハンド２３３はプリアライメントユニット２３２に載置されているウエハをウエハ供給位置に静止するウエハチャック２９１へ搬送する。
【００１６】
また、シーケンスコントローラ４０２、ウエハ搬送コントローラ４０３、ウエハステージコントローラ４０４およびレチクル搬送コントローラ４０５は、リアルライムオペレーティングシステム上で複数のシーケンスの並行処理およびシーケンス間の同期が行なえるように設計されている。
【００１７】
図４は、前記半導体露光装置を制御するコントローラの構成を示す。同図においてコンソール制御ＥＷＳ４０１はタッチパネル付きディスプレイ１０３を介した各種オペレーションの制御および各種システムパラメータ、露光制御パラメータなどの管理を行なう。シーケンスコントローラ４０２は通信手段４１０を介してコンソール制御ＥＷＳ４０１とパラメータやコマンドなどの通信を行ないながら、通信手段４２０および４３０を介して各種の下位コントローラを制御することによって露光シーケンスを管理する。ウエハ搬送コントローラ４０３は、通信手段４４０を介してウエハカセットエレベータコントローラ４９１、ウエハ搬入出ロボットコントローラ４９２、プリアライメントコントローラ４９３およびウエハ供給ハンドコントローラ４９４を制御することによってウエハの搬送を管理する。また、ウエハステージコントローラ４０４およびレチクル搬送コントローラ４０５もウエハ搬送コントローラ４０３と同様に複数のコントローラを制御するが、図４においてはそれらの構成を省略している。チャンバドアロックコントローラ４８６はウエハカセット交換用ドア１０２およびレチクルカセット交換用ドア１０５の施錠または解錠の制御およびこれらのドアの開閉状態の監視を行なう。また通信手段４２０には、アライメント系ユニット、照明光学系ユニットなどを制御する多数のコントローラも接続されているが図４においては省略している。通信手段４５０は、ウエハ搬送コントローラが通信手段４１０および４３０を介してコンソール制御ＥＷＳと直接通信を行なう論理上の通信手段である。
【００１８】
図５はシーケンスコントローラ４０２が実行する露光シーケンスの概要を示すフローチャートである。シーケンスコントローラ４０２は露光シーケンス実行コマンドを受信すると、露光シーケンス実行フラグをセットして、ウエハカセット交換用ドア１０２を施錠してから露光シーケンスを開始する（ステップＳ１）。次にコンソール制御ＥＷＳ４０１からシステムパラメータおよび露光制御パラメータを読み込み（ステップＳ２）、ウエハ搬送コントローラ４０３に対してウエハ搬送の開始を要求する（ステップＳ３）。次に露光制御パラメータで指定されるレチクルをレチクルステージにロードしながら（ステップＳ４）レチクルのアライメントの準備を行ない（ステップＳ５）、ステップＳ４およびＳ５の完了を待ってレチクルのアライメントを行なう（ステップＳ６）。次にウエハをウエハチャック２９１上に供給しながら（ステップＳ７）、ウエハアライメント用計測の準備を行なう（ステップＳ８）。次に、ステップＳ７とステップＳ８の完了を待ってからウエハアライメントのためにウエハ上のアライメントマークの計測を行なう（ステップＳ９）。このあとウエハステージ２０９を露光位置に移動して（ステップＳ１０）レチクル上のパターンをウエハに転写する処理（ステップＳ１１）を、ステップＳ１２において最終ショットと判断されるまで繰り返し行なう。次に露光が終了したウエハをウエハチャック２９１から回収して（ステップＳ１３）から、露光制御パラメータのロットの終了条件が満たされているかどうかを判断する（ステップＳ１４）。
【００１９】
ステップＳ１４においてロットの終了と判断された場合には、ウエハカセット交換用ドア１０２を解錠し、露光シーケンス実行フラグをクリアしてから露光シーケンスを終了する（ステップＳ１５）。ステップＳ１４においてロットの終了でないと判断された場合には、ステップＳ７およびステップＳ８に戻って次のウエハをウエハチャック２９１上に供給しながらウエハアライメント用計測の準備をする。またステップＳ３は、ウエハ搬送系に対してステップＳ７で行なわれるウエハチャック２９１へのウエハ載置以前の搬送を可能な限り先行して行なう先行搬送シーケンスを開始させるものであり、ウエハ搬送コントローラ４０３において該シーケンスは、ステップＳ７およびＳ３と並行して行なわれる。直前の処理におけるエラーの発生を判断し（ステップＳ１６，Ｓ１８，Ｓ２０およびＳ２２）、エラーが発生していない（Ｎｏの）場合には露光シーケンスを進めるが、エラーが発生していた（Ｙｅｓの）場合には露光シーケンスを停止処理を行ない（ステップＳ１７，Ｓ１９，Ｓ２１およびＳ２３）、その後で、エラーを発生した処理から露光シーケンスをやり直す。
【００２０】
図６は、図５における停止処理の詳細を示すフローチャートである。同図にしたがうと、停止処理が開始されると（ステップＳ１００１）、露光シーケンス実行フラグをクリアしてから（ステップＳ１００２）、再開指令が送られてくるのを待つ（ステップＳ１００３）。次に、再開指令を受信すると、露光シーケンス実行フラグをセットし（ステップＳ１００４）、ウエハキャリア交換用ドアおよびレチクルカセット交換用ドアを施錠してから（ステップＳ１００５）、停止処理を終了する。
【００２１】
図７は、前記タッチパネル付きディスプレイ１０３に設けられたウエハキャリア交換用ドア（またはレチクルカセット交換用ドア）の解錠ボタンをオペレータが押すことによってシーケンスコントローラが実行する解錠処理の概要を示すフローチャートである。シーケンスコントローラによって解錠処理が開始されると（ステップＳ１１０１）、露光シーケンス実行フラグの状態を判別し（ステップＳ１１０２）、前記フラグがクリアされている場合にはウエハキャリア交換用ドア（またはレチクルカセット交換用ドア）を解錠してから解錠処理を終了する。また、ステップＳ１１０２において露光シーケンス実行フラグがセットされている場合には、解錠処理をエラー終了する。
【００２２】
本発明に関わる上記実施例によれば、露光シーケンスにおいてエラーが発生したために露光シーケンスが停止し、停止中にオペレータがウエハキャリア交換用ドア（またはレチクルカセット交換用ドア）を解錠した場合には、露光シーケンスの再開時に自動的に前記ドアを施錠するため、オペレータが再開時に施錠の操作を忘れた場合にも、確実に施錠した状態で露光シーケンスを継続することができる。
【００２３】
実施例２
図８は、本発明に関わる第１の実施例と同様の装置構成からなる第２の実施例において、ウエハ搬送コントローラ４０３がウエハ搬送中に発生したエラー検知したときに行なう処理を示すフローチャートである。同図においてステップＳ２０１は直前の処理におけるエラーの発生の有無の判断、ステップＳ２０２は発生したエラーの内容および対処に関する情報のタッチパネル付きディスプレイ１０３への表示、ステップＳ２０３は発生したエラーがオペレータによるチャンバ内の作業によって解消されるものかどうかの判断、ステップＳ２０４は並行して実行されている搬送シーケンスの停止、ステップＳ２０５はウエハカセット交換用ドア１０２の解錠の要求をシーケンスコントローラ４０２に送信してから返信される解錠の完了の通知を受信する処理、ステップＳ２０６はオペレータがチャンバ内の作業が完了してからウエハの搬送を再開させるための搬送再開パネルをタッチパネル付きディスプレイ１０３へ表示させる処理、ステップＳ２０７は前記搬送再開パネル上のボタンが押されたときに発行される搬送再開コマンドの受信待ち、ステップＳ２０８はウエハカセット交換用ドア１０２の施錠の要求をシーケンスコントローラ４０２に送信してから返信される施錠の完了の通知を受信する処理、ステップＳ２０９はオペレータによってチャンバ内で行なわれる作業に対応した処理で、エラーの内容に応じてユニットの駆動や状態の確認などを行なう処理、ステップＳ２１０はステップＳ２０４で停止した搬送シーケンスの再開、ステップＳ２９０はエラーを発生した搬送の中断を表す。
【００２４】
図８のフローチャートに従えば、ウエハ搬送コントローラ４０３は搬送中にエラーの発生を認識すると（ステップＳ２０１）、そのエラーの内容および対処方法についてタッチパネル付ディスプレイ１０３に表示する（ステップＳ２０２）。そのエラーがチャンバ内の作業で復旧可能な場合（ステップＳ２０３のＹｅｓ）には、全ての搬送を停止して（ステップＳ２０４）から、シーケンスコントローラに対してドアの解錠を要求してから解錠完了の通知を待つ（ステップＳ２０５）。次に搬送再開パネルを表示してから（ステップ２０６）、オペレータの再開操作を待って停止する（ステップＳ２０７）。オペレータによって搬送再開パネルに対する再開の操作が行なわれると、それを認知して（ステップＳ２０７）、シーケンスコントローラにドアの施錠要求をしてから施錠完了の通知を待つ（ステップＳ２０８）。次に再開の準備を行なって（ステップＳ２０９）から、Ｓ２０４において停止した搬送を再開して（ステップＳ２１０）、搬送シーケンスを継続する。
【００２５】
図９は、図８に示す前記ステップＳ２０５および２０８に対応してシーケンスコントローラ４０２が実行する処理を示すフローチャートである。図９のドアの解錠シーケンスにおいては、ウエハ搬送コントローラ４０３から前記ステップＳ２０５において送信された解錠要求を受信すると解錠シーケンスを開始する（ステップＳ３００）。次に露光シーケンスがウエハロード（アンロード）中であるかどうかを判断する（ステップＳ３０１）。ウエハロード（ウエハアンロード）中である場合には、ウエハロード（アンロード）と並行して行なわれている処理があればその完了を待ってから（ステップＳ３０２）、チャンバドアロックコントローラ４８６にウエハカセット交換用ドア１０２を解錠させてタッチパネル付きディスプレイ１０３に解錠されたことを表示する（ステップＳ３０３）。次にウエハ搬送コントローラ４０３に解錠の完了を通知して（ステップＳ３０４）、解錠シーケンスを終了する（ステツプＳ３０５）。また、ステップＳ３０１においてウエハロード（アンロード）中でないと判断された場合、ウエハ搬送コントローラ４０３から解錠の要求があったことを記録して（ステップＳ３９０）、解錠シーケンスを終了する（ステップＳ３０５）。
【００２６】
図９のドアの施錠シーケンスにおいては、ウエハ搬送コントローラ４０３からステップＳ２０５において送信された施錠要求を受信すると、施錠シーケンスを開始する（ステップＳ３５０）。続いてチャンバドアロックコントローラ４８６にウエハカセット交換用ドア１０２を施錠させてから、ウエハ搬送コントローラ４０３に施錠の完了を通知をして（ステップＳ３５２）、施錠シーケンスを終了する（ステップＳ３５３）。
【００２７】
図９に示した解錠シーケンスにおいては、露光シーケンスがウエハロード（アンロード）中でない場合には、解錠要求の記録だけが行なわれる。これに対してウエハロード（ステップＳ７）およびウエハアンロード（ステップＳ１３）の始めには、前記ステップＳ３９０における解錠要求の記録がある場合に限って前記ステップＳ３０２からＳ３０４および前記解錠要求の記録の消去を行なう処理が含まれる。つまり、前記ステップＳ３で起動された先行搬送シーケンスが行なわれているため、前記ステップＳ９からＳ１２を実行中であっても、ウエハ搬送上のエラーが発生することがある。しかしながらこのような状況で発生したエラーに対しては、即座に露光シーケンスを停止して解錠を行なうことをしない。これは、ウエハステージの移動と露光を繰り返し行なう連続露光の最中に露光シーケンスを停止することが、製造物の品質に悪影響を及ぼす可能性を考慮しているためである。
【００２８】
上記の従来例において、シーケンスコントローラがウエハチャックに対して行なうウエハの供給および回収は、ウエハ搬送コントローラに対するコマンドの送信および実行結果の受信から成る。したがってウエハ搬送コントローラが搬送を停止することにより、露光シーケンスを停止することができる。
【００２９】
また上記の実施例において、ウエハ搬送コントローラ４０３に対してレチクル搬送コントローラを、ウエハカセット交換用ドアに対してレチクルカセット交換用ドアをそれぞれ当てはめることにより、ウエハ搬送中のエラーと同様にレチクル搬送中のエラーについても対処できる。
【００３０】
本発明に関わる上記実施例によれば、エラーの管理を行なうコントローラ（ウエハ搬送コントローラ４０３）とウエハカセット交換用ドア１０２の管理を行なうコントローラ（シーケンスコントローラ４０２）が異なっている場合であっても、ウエハ搬送上で発生したエラーに伴うウエハカセット交換用ドア１０２の解錠および施錠の処理を容易に実現できる。
【００３１】
実施例３
図１０は、本発明に関わる第１の実施例と同様の装置構成からなる第３の実施例においてウエハの搬送中に発生したエラーに対するウエハ搬送コントローラ４０３の処理内容を説明するフローチャートである。同図においてステップＳ４０１は直前の処理におけるエラーの発生の有無の判断、ステップＳ４０２は発生したエラーの内容および対処に関する情報のタッチパネル付きディスプレイ１０３への表示、ステップＳ４０３は発生したエラーがオペレータによるチャンバ内の作業によって解消されるものかどうかの判断、ステップＳ４０４は並行して実行されている搬送シーケンスの停止、ステップＳ４０５はウエハカセット交換用ドア１０２の解錠の要求をシーケンスコントローラ４０２に送信してから返信される解錠の完了の通知を受信する処理、ステップＳ４０６はシーケンスコントローラ４０２から送信される再開の指令を受信する処理、Ｓ４０７はオペレータによってチャンバ内で行なわれる作業に対応した処理で、エラーの内容に応じてユニットの駆動や状態の確認などを行なう処理、ステップＳ４０８はステップＳ４０４で停止した搬送シーケンスの再開、ステップＳ４９０はエラーを発生した搬送の中断を表す。
【００３２】
図１０のフローチャートに従えば、ウエハ搬送コントローラ４０３は搬送中にエラーの発生を認識すると（ステップＳ４０１）、そのエラーの内容および対処方法についてタッチパネル付ディスプレイ１０３に表示する（ステップＳ４０２）。該エラーの内容がチャンバ内の作業で復旧可能な場合（ステップＳ４０３のＹｅｓ）には、全ての搬送を停止して（ステップＳ４０４）から、シーケンスコントローラ４０２に対してドアの解錠を要求してから解錠完了の通知を待つ（ステップＳ４０５）。次にシーケンスコントローラ４０２から送られる再開指令を待つ（Ｓ４０６）。再開指令を受信したら、再開の準備を行なって（ステップＳ４０７）、Ｓ４０４で停止した搬送を再開して（Ｓ４０８）から、搬送シーケンスを継続する。
【００３３】
図１１は、図１０に示す前記ステップＳ４０５に対応してシーケンスコントローラが実行する解錠シーケンスを示すフローチャートである。同図にしたがうと、ウエハ搬送コントローラ４０３が前記ステップＳ４０５において送信した解錠要求を受信すると解錠シーケンスを開始する（ステップＳ５００）。次に露光シーケンスがウエハロード（アンロード）中であるかどうかを判断する（ステップＳ５０１）。ウエハロード（ウエハアンロード）中である場合には、ウエハロード（アンロード）と並行して行なわれている処理があればその完了を待ってから（ステップＳ５０２）、チャンバドアロックコントローラ４８６にウエハカセット交換用ドア１０２を解錠させて、タッチパネル付きディスプレイ１０３に解錠されたことを表示する（ステップＳ５０３）。次にウエハ搬送コントローラ４０３に解錠の完了を通知して（ステップＳ５０４）から、ウエハ搬送コントローラ４０３の要求に基づいて解錠したことを記録して（ステップＳ５０５）、解錠シーケンスを終了する（ステップＳ５０６）。また、ステップＳ５０１においてウエハロード（アンロード）中でないと判断された場合、ウエハ搬送コントローラ４０３から解錠の要求があったことを記録して（ステップＳ５９０）、解錠シーケンスを終了する（ステップＳ５０５）。これに対してウエハロード（ステップＳ７）およびウエハアンロード（ステップＳ１３）の始めに、前記ステップＳ５９０における解錠要求の記録がある場合に、前記ステップＳ５０２からＳ５０５および前記解錠要求の記録の消去を行なう処理が含まれている。これは、前記実施例１と同様に１枚のウエハを露光している最中に露光シーケンスを停止することを避けるための処置である。
【００３４】
本実施例においては、オペレータによるチャンバ内の作業の完了を認識する操作を、カセット交換用ドア１０２を閉じる行為としている。そこで図１２は、オペレータがウエハカセット交換用ドア１０２を閉じてから、チャンバドアロックコントローラ４８６、シーケンスコントローラ４０２およびウエハ搬送コントローラ４０３が実行する処理および通信のフローを示す図である。同図において、ウエハ搬送コントローラが行なうステップＳ４０６およびＳ４０７は、それぞれ図８に示すステップＳ４０６およびＳ４０７と一致する。図１０にしたがうとウエハ搬送コントローラが前記ステップＳ４０６においてシーケンスコントローラ４０２から送られる再開指令を待っているとき、オペレータによってウエハカセット交換用ドア１０２が閉じられると、チャンバドアロックコントローラ４８６は、それを検知してシーケンスコントローラ４０２にドアが閉じられたことを通知する（ステップＳ６０１）。これに対して、シーケンスコントローラ４０２は、前記通知を受信すると、施錠シーケンスを開始して（ステップＳ６０２）、まずステップＳ５０５における解錠の記録が残っているかどうかを判断する（ステップＳ６０３）。前記解錠の記録がある（ステップＳ６０３の結果がＹｅｓ）場合、チャンバドアロックコントローラ４８６に対して施錠要求を送信する（ステップＳ６０４）。チャンバドアロックコントローラ４８６は、前記施錠要求を受信すると即座にウエハカセット交換用ドア１０２を施錠して、シーケンスコントローラ４０２に施錠完了通知を返信する（ステップＳ６０６）。シーケンスコントローラ４０２は、前記施錠完了通知を受信すると前記解錠の記録を消去してから（ステップＳ６０７）、ウエハ搬送コントローラ４０３に再開指令を送信して（ステップＳ６０８）、施錠シーケンスを終了する（ステップＳ６０９）。一方、前記再開指令を受信したウエハ搬送コントローラ４０３は即座に再開の準備を行なう（ステップＳ４０７）。また、前記ステップＳ６０３において前記解錠の記録がない（Ｎｏ）と判断された場合には、即座に施錠シーケンスを終了する（Ｓ６０９）。
上記実施例によれば、作業完了を装置に対して認識させるための付加的な操作が不要になる。
【００３５】
［デバイス生産方法の実施例］
次に上記説明した露光装置または露光方法を利用したデバイスの生産方法の実施例を説明する。
図１３は微小デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造のフローを示す。ステップ１（回路設計）ではデバイスのパターン設計を行なう。ステップ２（マスク製作）では設計したパターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ３（ウエハ製造）ではシリコンやガラス等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷（ステップ７）される。
【００３６】
図１４は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ１６（露光）では上記説明した露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
【００３７】
本実施例の生産方法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度のデバイスを低コストに製造することができる。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、露光装置においてオペレータによる作業を必要とするエラーが発生した場合に、該作業に要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例に係る半導体露光装置の概観を示す斜視図である。
【図２】  図１の装置の内部構造を示す図である。
【図３】  図１の装置に構成されるウエハ搬送ユニットを示す斜視図である。
【図４】  図１の装置における制御機構を示すブロック図である。
【図５】  図１の装置における露光手順を示すフローチャートである。
【図６】  図５における停止処理を示すフローチャートである。
【図７】  シーケンスコントローラが実行する解錠処理を示すフローチャートである。
【図８】  図１の装置のウエハ搬送シーケンスにおけるエラー処理手順を示すフローチャートである。
【図９】  図１の装置において搬送エラーが発生した際の解錠および施錠の手順を示すフローチャートである。
【図１０】  図１の装置の第３の実施例において、ウエハ搬送シーケンスにおけるエラー処理手順を示すフローチャートである。
【図１１】  第３の実施例において、搬送エラーが発生した際の解錠の手順を示すフローチャートである。
【図１２】  第３の実施例において、ウエハカセット交換用ドアを閉めてからの、チャンバドアロックコントローラ、シーケンスコントローラ、およびウエハ搬送コントローラの実行手順を示すフローチャートである。
【図１３】  微小デバイスの製造のフローチャートである。
【図１４】  ウエハプロセスのフローチャートである。
【符号の説明】
１０１：温調チャンバ、１０２：ウエハカセット交換用ドア、１０３：タッチパネル付きディスプレイ、１０４：操作パネル、１０５：レチクルカセット交換用ドア、２０２：レチクル、２０３：ウエハ、２０４：光源装置、２０５：照明光学系、２０６：投影光学レンズ、２０７、レチクルステージ、２０９：ウエハステージ、２２０：レチクルライブラリ、２２１：レチクルロボット、２３０：ウエハカセットエレベータ、２３１：ウエハ搬入出ロボット、２３２：プリアライメントユニット、２３３：ウエハ供給ハンド、２３４：インラインステーション、２８１：レチクル光学系、２８２：オフアクシス顕微鏡、２９１：ウエハチャック、４０１：コンソール制御ＥＷＳ、４０２：シーケンスコントローラ、４０３：ウエハ搬送コントローラ、４０４：ウエハステージコントローラ、４０５：レチクル搬送コントローラ、４０６：チャンバドアロックコントローラ、４１０：双方向の通信手段、４２０：双方向の通信手段、４３０：双方向の通信手段、４４０：双方向の通信手段、４５０：論理上の双方向の通信手段、４８６：チャンバドアロックコントローラ、４９１：ウエハカセットエレベータコントローラ、４９２：ウエハ搬入出ロボットコントローラ、４９３：プリアライメントコントローラ、４９４：ウエハ供給ハンドコントローラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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