(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置され、前記素子基板に対して前記液晶パネルの概略位置を規定するチップテーブルと、
前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備し、
前記位置規定部材は、相互に直角な２つの面を有する一対の部材によって前記対向基板の４つの側面に前記対向基板の対角線方向で対向する２つのコーナーにおいて当接する部分を有し、
前記位置規定部材は、前記対向基板の４つの側面に当接する部分が面であることを特徴とするパネル位置決め装置。
【請求項２】
前記位置規定部材は、相互に逆方向に移動する２対の位置出し面によって前記対向基板の４つの側面に当接する部分を構成することを特徴とする請求項１に記載のパネル位置決め装置。
【請求項３】
前記２対の位置出し面は、相互に逆方向に移動する１対の部材によって構成されることを特徴とする請求項２に記載のパネル位置決め装置。
【請求項４】
素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置されるチップテーブルと、
前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備し、
前記位置規定部材は、前記対向基板の４つの側面に当接する部分を有し、
前記チップテーブルは、前記素子基板に対して前記液晶パネルの概略位置を規定し、前記素子基板の厚み方向において、前記当接する部分に干渉しない位置に備えられたガイド部材を有することを特徴とするパネル位置決め装置。
【請求項５】
請求項１に記載のパネル位置決め装置と、
前記パネル位置決め装置上に載置された前記液晶パネル上の実装端子に接触することで信号を供給する導通部材と、
前記導通部材が取り付けられて、前記パネル位置決め装置の位置決め平面では前記パネル位置決め装置に対して所定の位置関係を有して固定され、他の平面には移動自在に構成されて前記導通部材を前記実装端子に接触又は非接触させる導通部材固定部と、
前記導通部材を介して前記実装端子に信号を供給した状態で前記液晶パネルに光を入射させる光供給手段とを具備したことを特徴とするパネル表示検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の素子基板が構成されたマザーガラス基板に対向基板を貼り合わせた後に分断して構成された液晶パネルのパネル位置決め装置、これを用いたパネル表示検査装置、電気光学装置用検査装置及び電気光学装置用位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ライトバルブ等の液晶装置は、ガラス基板、石英基板等の２枚の基板間に液晶を封入して構成される。液晶ライトバルブでは、一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと称す）等の能動素子をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に封止した液晶層の光学特性を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能にする。
【０００３】
ＴＦＴを配置したＴＦＴ基板と、ＴＦＴ基板に対向配置される対向基板とは、別々に製造される。両基板は、パネル組立工程において高精度に貼り合わされた後、液晶が封入される。
【０００４】
パネル組立工程においては、先ず、各基板工程において夫々製造されたＴＦＴ基板と対向基板との対向面、即ち、対向基板及びＴＦＴ基板の液晶層と接する面上に配向膜が形成され、次いでラビング処理が行われる。次に、一方の基板上の端辺に接着剤となるシール部が形成される。ＴＦＴ基板と対向基板とをシール部を用いて貼り合わせ、アライメントを施しながら圧着硬化させる。シール部の一部には注入口が設けられており、この注入口を介して液晶を封入する。
【０００５】
一般的には、貼り合わせ工程までは、生産性及び歩留まりの点から、ＴＦＴ基板は、大きいマザーガラス基板上で複数同時に形成される。マザーガラス基板上に形成された各ＴＦＴ基板上に夫々対向基板を貼り合わせる。スクライブ工程においては、マザーガラス基板を各セル毎に切れ込みを入れ、この切れ込みを利用して各セルを分断して、液晶パネルを得る。
【０００６】
ところで、完成した液晶パネルに対して、パネル表示検査が行われる。図１４はこのようなパネル表示検査に用いられる従来のパネル表示検査装置を示す正面図である。また、図１５はその斜視図である。また、図１６は図１４及び図１５中のチップテーブルを示す斜視図である。
【０００７】
台１上にはチップテーブル２が取り付けられる。チップテーブル２は、中央に窓３が形成され、窓３の周囲の二辺には数カ所に位置出しピン４が取り付けられている。窓３はチップテーブル２の上下方向に貫通して形成され、窓３の大きさは完成した液晶パネルの表示領域に対応した大きさである。
【０００８】
台１には、台１に対して水平方向に位置決めされたプローブカード固定板５が垂直方向には移動自在に取り付けられている。プローブカード固定板５には窓３に対応した窓６が形成されている。プローブカード固定板５は下面に、少なくとも窓３，６に対応する部分は開口したプローブカード７が取り付けられるようになっている。
【０００９】
このように構成された従来のパネル表示検査装置においては、チップテーブル２上に、図１７に示す液晶パネル８を載置する。この場合には、液晶パネル８のＴＦＴ基板９側をチップテーブル２上に載せ、ＴＦＴ基板９の側面を位置出しピン４に当接させることで、液晶パネル８の水平方向の位置決めを行う。次に、液晶パネル８をチップテーブル２上に真空吸着させて固定する。
【００１０】
この状態でプローブカード固定板５を下方に移動させて、プローブカード７の下面に配列された複数のプローブ１３を液晶パネル８の端辺上に配列された実装端子１１に接触させる。プローブカード固定板５のプローブ１３には図示しないパターンジェネレータから信号が供給されるようになっており、パターンジェネレータからの信号によって、液晶パネル８を駆動させる。検査者は窓３，６を介して液晶パネル８の表示を観察することで、目視による検査を行う。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、液晶パネル８の位置決めはＴＦＴ基板９側面を位置出しピン４に当接させて行っている。即ち、ＴＦＴ基板９の側面が位置出しの基準面となっている。ところが、液晶パネル８のＴＦＴ基板９の側面は、スクライブ工程において、バリ１２が生じている。このため、バリ１２によってＴＦＴ基板９の位置がずれてしまうことがあり、プローブ１３と実装端子１１との位置合わせができなくなって導通異常が生じ、正常にパネル表示検査を実施することができなくなってしまうという問題点があった。
【００１２】
また、ＴＦＴ基板９の側面を位置出しピン４に当接させる際に、バリ１２が欠けてしまい、この欠けによって表示領域周辺部の配線パターンが損傷を受け、表示不良が発生してしまうこともあるという問題点もあった。
【００１３】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、液晶パネル及びチップテーブル相互間の正確な位置決めを可能にすることができるパネル位置決め装置、これを用いたパネル表示検査装置、電気光学装置用検査装置及び電気光学装置用位置決め装置を提供することを目的とする。
【００１４】
また、本発明は、液晶パネルをチップテーブルに位置決めする際に液晶パネルが損傷を受けることを防止することができるパネル位置決め装置、これを用いたパネル表示検査装置、電気光学装置用検査装置及び電気光学装置用位置決め装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るパネル位置決め装置は、素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置されるチップテーブルと、前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備したことを特徴とする。
また、本発明に係るパネル位置決め装置は、素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置され、前記素子基板に対して前記液晶パネルの概略位置を規定するチップテーブルと、
前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備し、
前記位置規定部材は、相互に直角な２つの面を有する一対の部材によって前記対向基板の４つの側面に前記対向基板の対角線方向で対向する２つのコーナーにおいて当接する部分を有し、
前記位置規定部材は、前記対向基板の４つの側面に当接する部分が面であることを特徴とする。
また、本発明に係るパネル位置決め装置は、素子基板と対向基板とを貼り合わせて構成された液晶パネルが載置されるチップテーブルと、
前記対向基板の外形を基準として前記チップテーブルに対して前記液晶パネルを位置決めする位置規定部材とを具備し、
前記位置規定部材は、前記対向基板の４つの側面に当接する部分を有し、
前記チップテーブルは、前記素子基板に対して前記液晶パネルの概略位置を規定し、前記素子基板の厚み方向において、前記当接する部分に干渉しない位置に備えられたガイド部材を有することを特徴とする。
【００１６】
このような構成によれば、チップテーブル上に載置された液晶パネルは、位置規定部材によって位置決めされる。位置規定部材は、液晶パネルの対向基板の外形を基準として位置決めを行う。対向基板の外形精度は高く、高精度の位置決めが可能である。
【００１７】
前記位置規定部材は、前記対向基板の４つの側面に当接する部分を有しこれらの当接部分によって前記液晶パネルを移動させて位置決めを行うことを特徴とする。
【００１８】
このような構成によれば、位置規定部材は対向基板の４つの側面に当接する部分によって液晶パネルを移動させることで位置決めを行う。
【００１９】
また、前記位置規定部材は、相互に逆方向に移動する２対の位置出し面によって前記対向基板の４つの側面に当接する部分を構成することを特徴とする。
【００２０】
このような構成によれば、相互に逆方向に移動する２対の位置出し面は、夫々対向基板の４つの側面に当接する。対向基板の相対する側面同士は相互に逆方向に移動する対となった位置出し面によって移動される。即ち、液晶パネルは、２対の位置出し面の可動位置と対向基板の形状に応じた位置に位置決めされる。
【００２１】
前記２対の位置出し面は、相互に逆方向に移動する１対の部材によって構成されることを特徴とする。
【００２２】
このような構成によれば、対向基板の４つの側面は１対の部材によって当接されるので、位置規定部材の構成を簡略化できると共に、位置規定部材の駆動制御が容易である。
【００２３】
前記位置規定部材は、相互に直角な２つの面を有する一対の部材によって前記対向基板の４つの側面に前記対向基板のコーナーにおいて当接することを特徴とする。
【００２４】
このような構成によれば、１対の部材が対向基板のコーナーにおいて４つの側面に当接するので、位置規定部材の構成を簡略化できると共に、位置決め部材の駆動制御が容易である。
【００２５】
前記位置規定部材は、前記対向基板の４つの側面に当接する部分が面又は点であることを特徴とする。
【００２６】
このような構成によれば、位置規定部材の設計の自由度が増大する。
【００２７】
前記チップテーブルは、前記液晶パネルの概略位置を規定するガイド部材を有することを特徴とする。
【００２８】
このような構成によれば、液晶パネルをチップテーブル上に概略位置決めすることができるので、位置規定部材による位置決めが容易となる。
【００２９】
本発明に係るパネル表示検査装置は、前記パネル位置決め装置と、前記パネル位置決め装置上に載置された前記液晶パネル上の実装端子に接触することで信号を供給する導通部材と、前記導通部材が取り付けられて、前記パネル位置決め装置の位置決め平面では前記パネル位置決め装置に対して所定の位置関係を有して固定され、他の平面には移動自在に構成されて前記導通部材を前記実装端子に接触又は非接触させる導通部材固定部と、前記導通部材を介して前記実装端子に信号を供給した状態で前記液晶パネルに光を入射させる光供給手段とを具備したことを特徴とする。
【００３０】
このような構成によれば、パネル位置決め装置に対して導通部材固定部を移動させ、液晶パネル上の実装端子と導通部材とを接触させる。液晶パネルは位置規定部材によって正確に位置決めされている。従って、実装端子と導通部材とは確実に接触し導通する。導通部材を介して実装端子に信号を供給して液晶パネルを駆動しながら光を入射して、パネル表示検査を行う。
【００３１】
本発明に係る電気光学装置用検査装置は、一対の基板で電気光学物質を挟持した電気光学装置を検査するものであって、前記電気光学装置を載せるテーブルと、前記テーブルに載置された前記電気光学装置の一方の基板の側面に対して、基板の対角線方向から挟持するアーム部と、位置決めされた前記電気光学装置の端子に導通し、表示検査を行う検査プローブとを備えることを特徴とする。
【００３２】
このような構成によれば、電気光学装置をテーブル上に載置し、アーム部によって、電気光学装置の一方の基板の側面を、基板の対角線方向から挟持する。これにより、電気光学装置の位置決めが行われる。位置決めされた電気光学装置の端子には検査プローブが導通して表示検査が行われる。
【００３３】
また、本発明に係る電気光学装置用検査装置は、前記テーブルに設けられ、前記電気光学装置の他方の基板の側面に当接する仮位置決め部を有することを特徴とする。
【００３４】
このような構成によれば、電気光学装置をテーブルに載置する際に仮位置決め部によって大まかな位置決めが行われる。これにより、アーム部による位置決めが容易となる。
【００３５】
本発明に係る電気光学装置用位置決め装置は、一対の基板を有する電気光学装置を載置するテーブルと、前記テーブルに設けられ、前記電気光学装置の一方の基板の側面に当接する仮位置決め部と、前記テーブルに仮位置決めされた前記電気光学装置の他方の基板の側面に対して、基板の対角線方向から挟持するアーム部とを備えることを特徴とする。
【００３６】
このような構成によれば、電気光学装置をテーブル上に載置する。この場合には、仮位置決め部が電気光学装置の一方の基板の側面に当接して概略位置決めされる。次に、アーム部によって、仮位置決めされた電気光学装置の他方の基板の側面を、基板の対角線方向から挟持して、正確な位置決めが行われる。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係るパネル位置決め装置を示す平面図である。図２は図１の駆動部分を説明するための説明図であり、図２（ｂ）は平面形状を示し、図２（ａ）は図２（ｂ）の側面外形を概略示している。図３はパネル表示検査装置の全体の概略構成図であり、図４は液晶パネルとプローブピンユニットとの接続を示す説明図である。図５乃至図７は液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示す説明図である。図８はＴＦＴ基板等の素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図であり、図９は素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入する組立工程終了後の液晶装置を、図８のＨ−Ｈ'線の位置で切断して示す断面図である。図１０はパネル組立工程を示すフローチャートである。
【００３８】
本実施の形態はパネル位置決め装置をパネル表示検査装置に適用した例である。
【００３９】
先ず、図８乃至図１０を参照して、液晶パネル１８の構造について説明する。
【００４０】
液晶パネル１８は、図８及び図９に示すように、ＴＦＴ基板等の素子基板１０と対向基板２０との間に液晶５０を封入して構成される。素子基板１０上には画素を構成する画素電極等がマトリクス状に配置される。
【００４１】
ガラスや石英等の素子基板１０には、図示しないＴＦＴ素子及び画素電極等が形成されている。これらのＴＦＴ素子及び画素電極上には液晶５０との間にポリイミド系の高分子樹脂からなる図示しない配向膜が積層され、所定方向にラビング処理されている。
【００４２】
一方、対向基板２０には、ＴＦＴ素子の形成領域を含む各画素の非表示領域に対向して、例えば、マトリクス状に第１遮光膜２３が設けられている。この第１遮光膜２３によって、対向基板２０側からの入射光がＴＦＴ素子等に入射することが防止される。第１遮光膜２３上に、図示しない対向電極（共通電極）が基板２０全面に亘って形成されている。対向電極上には液晶５０との間にポリイミド系の高分子樹脂からなる配向膜が積層され、所定方向にラビング処理されている。素子基板１０と対向基板２０との間に液晶５０が封入されている。
【００４３】
対向基板２０には表示領域を区画する額縁としての第２遮光膜４２が設けられている。第２遮光膜４２は例えば第１遮光膜２３と同一又は異なる遮光性材料によって形成されている。
【００４４】
第２遮光膜４２の外側の領域に液晶を封入するシール材４１が、素子基板１０と対向基板２０間に形成されている。シール材４１は対向基板２０の輪郭形状に略一致するように配置され、素子基板１０と対向基板２０を相互に固着する。シール材４１は、素子基板１０の１辺の一部において欠落しており、貼り合わされた素子基板１０及び対向基板２０相互の間隙には、液晶５０を注入するための液晶注入口７８が形成される。液晶注入口７８より液晶が注入された後、液晶注入口７８を封止材７９で封止するようになっている。
【００４５】
素子基板１０のシール材４１の外側の領域には、データ線駆動回路６１及び実装端子６２が素子基板１０の一辺に沿って設けられており、この一辺に隣接する２辺に沿って、走査線駆動回路６３が設けられている。素子基板１０の残る一辺には、画面表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路６３間を接続するための複数の配線６４が設けられている。また、対向基板２０のコーナー部の少なくとも１箇所においては、素子基板１０と対向基板２０との間を電気的に導通させるための導通材６５が設けられている。
【００４６】
実装端子６２を介して供給された画像信号によってＴＦＴ素子が駆動される。これにより各画素電極に信号が書き込まれて、画素電極と対向電極との電位差に応じて液晶５０の分子集合の配向や秩序が変化して、光が変調され、階調表示が行われる。
【００４７】
次に、図１０を参照してパネル組み立て工程について説明する。素子基板１０は、１枚のマザーガラス基板上に複数形成される。複数の素子基板１０を有する基板（ＴＦＴ基板）と対向基板２０とは、別々に製造される。ステップＳ1 ，Ｓ6 で夫々用意されたＴＦＴ基板及び対向基板２０に対して、次のステップＳ2 ，Ｓ7 では、配向膜となるポリイミド（ＰＩ）を塗布する。次に、ステップＳ3 ，Ｓ8 において、素子基板１０表面の配向膜及び対向基板２０表面の配向膜に対して、ラビング処理を施す。
【００４８】
次に、ステップＳ4 ，Ｓ9 において、洗浄工程を行う。ステップＳ4 ，Ｓ9 の洗浄工程は、ラビング処理によって生じた塵埃を除去するためのものである。
【００４９】
洗浄工程が終了すると、ステップＳ5 において、シール材４１（図９参照）を形成する。次いで、ステップＳ10で、素子基板１０と対向基板２０とを貼り合わせ、ステップＳ11でアライメントを施しながら圧着し、シール材４１を硬化させる。次に、ステップＳ12において、シール材４１の一部に設けた切り欠きから液晶を封入し、切り欠きを塞いで液晶を封止する。
【００５０】
次に、ステップＳ13において、マザーガラス基板上の各セルを分断する。１枚のマザーガラス基板上には素子基板１０が複数形成されており、各素子基板１０上に、素子基板１０よりも面積が小さい各対向基板２０が夫々貼り合わされている。従って、対向基板２０相互間のマザーガラス基板（素子基板１０）に対してスクライブ処理が行われる。スクライブ処理によって形成された切り込みを利用して、マザーガラス基板を分断して、図８及び図９に示す素子基板１０と対向基板２０とからなる液晶パネル１８を得る。
【００５１】
従って、上述したように、素子基板１０の側面には分断時にバリが生じてしまう。一方、対向基板２０の側面は、分断工程においてスクライブ等の処理が行われておらず、高い面精度（外形精度）を有する。
【００５２】
このような液晶パネル１８に対して、図１の装置を用いて、ステップＳ14において、パネル表示検査が行われるようになっている。
【００５３】
図１に示すパネル位置決め装置７０において、チップテーブル７２は、台座７１上に取付固定されている。なお、パネル位置決め装置７０の台座７１は、パネル表示検査時には、図３の装置本体の所定位置に収納されて固定されるようになっている。
【００５４】
チップテーブル７２は上下に開口した窓７３が形成されており、台座７１の対応する位置には窓７３よりも広い開口が形成されている。窓７３は、少なくとも液晶パネル１８の表示領域よりも広く形成され、且つ、液晶パネル１８をチップテーブル７２上に載置可能なように、素子基板１０よりも狭く形成される。
【００５５】
例えば、窓７３は上下から見て四角形状に形成され、４辺の外側には夫々チップテーブル７２上に植設された位置決めピン７４が設けられている。位置決めピン７４は、液晶パネル１８の素子基板１０よりも広い間隔で配設され、液晶パネル１８を位置決めピン７４相互間に所定の余裕を持たせて、窓７３に略沿った状態で配置させることができるようになっている。即ち、分断工程で生じた素子基板１０側面のバリが位置決めピン７４に当接することなく、液晶パネル１８を位置決めピン７４相互間に配置可能である。
【００５６】
一方、台座７１上には、後述する一対のアーム７６，７７を水平面内において摺動自在に設けるためのアーム案内部材７５が、チップテーブル７２に対して所定の位置関係を有して固定されている。アーム案内部材７５は、アーム７６，７７を窓７３の対角線方向に摺動させるように設けられている。
【００５７】
一対のアーム７６，７７は、アーム案内部材７５に沿って摺動する。アーム７６，７７は、基端側に案内部材７５の案内方向に延びた側面を有し、この側面に歯８８，８９が形成されてラックを構成する。また、アーム７６，７７の歯８８，８９に夫々歯合するように、台座７１に植設された軸８０，８１を中心に回動自在な一対の歯車８２，８３が設けられてピニオンを構成する。歯車８２，８３同士も歯合することで、歯車８２，８３は相互に逆方向に回転する。これにより、アーム７６，７７は、相互に逆方向に連動して移動するようになっている。
【００５８】
アーム７６，７７は、先端の相互に向き合う端部がＬ字又は逆Ｌ字に形成され、これらの側面が位置規定部材としての位置出し面８４Ｈ，８４Ｖ（以下、代表して８４ともいう）及び８５Ｈ，８５Ｖ（以下、代表して８５ともいう）を構成するようになっている。アーム７６の位置出し面８４Ｈ，８４Ｖは相互に直交し、アーム７７の位置出し面８５Ｈ，８５Ｖも相互に直交する。位置出し面８４Ｈ，８５Ｈは相互に平行で、窓７３の一片にも平行である。同様に、位置出し面８４Ｖ，８５Ｖも相互に平行で、且つ窓７３の他の一片に平行である。
【００５９】
位置出し面８４Ｈ，８４Ｖ同士が交差する水平面上の位置と位置出し面８５Ｈ，８５Ｖ同士が交差する水平面上の位置とは、窓７３の対角線上に位置し、これらの交差部分は液晶パネルの端部の損傷を防止するために角を欠いている。なお、窓７３の対角線は、液晶パネル１８を載置した場合における対向基板２０の対角線に略一致し、位置決めピン７４によって規定される対向基板２０の角部の最大移動範囲は、アーム７６，７７を相互に近接させる方向に移動させた場合において位置出し面８４，８５に接触する範囲内になるように、位置決めピン７４及び位置出し面８４，８５の長さ等が規定されている。
【００６０】
本実施の形態においては、アーム７６，７７は、先端側が所定の厚さの平板状であって、液晶パネル１８をチップテーブル７２の窓７３部分に配置した状態で、位置出し面８４，８５が液晶パネル１８の対向基板２０側面に当接するように、水平面内を窓７３の対角線方向に移動するようになっている。即ち、アーム７６，７７の先端側の底面が移動する水平面とチップテーブル７２の表面との距離は、少なくとも素子基板１０の厚さよりも大きく、液晶パネル１８の厚さよりも小さくなるように構成される。更に、アーム７６，７７の先端側の底面が移動する水平面は、アーム７６，７７の底面が素子基板１０に接触しないように、素子基板１０の表面よりも高い位置に設定する。
【００６１】
なお、アーム７７の位置出し面８５Ｈは、液晶パネル１８を位置決めする際に、アーム７７の先端が素子基板１０上の実装端子６２上に位置しないように、その長さが短く規定されている。また、チップテーブル７２は、液晶パネル１８の位置決め後に液晶パネル１８を表面に真空吸着することができるようになっている。
【００６２】
アーム７６，７７の基端側の所定位置には夫々係止部９１，９２が設けられており、係止部９１，９２相互間にバネ等の付勢部材９３が配設されている。付勢部材９３は、アーム７６，７７を相互に近接する方向に付勢するようになっている。歯車８２，８３は図示しないモータによって回転駆動されて、アーム７６，７７を相互に離間する方向に移動させることができるようになっている。
【００６３】
図３に示す装置本体１０１は、台座７１を収納して固定するための図示しない支持部材を有している。また、装置本体１０１内には、先端にプローブピンユニット１０２が取り付けられたプローブピンユニット固定部１０３、投射レンズ１０４、反射ミラー１０５及びプロジェクタ用光学設計部１０６が配設されている。
【００６４】
プローブピンユニット１０２は、先端に液晶パネル１８の複数の実装端子６２に対応した複数のプローブピン（図示せず）が突出して配列されており、基端側はプローブピンユニット固定部１０３に取り付けられている。プローブピンユニット固定部１０３は、水平方向には台座７１に対して所定位置に固定されており、垂直方向には移動自在である。これにより、プローブピンユニット固定部１０３は、液晶パネル１８をチップテーブル７２上に載置した状態で下降して、プローブピンユニット１０２先端のプローブピンを素子基板１０上の実装端子６２に接触させることができるようになっている。
【００６５】
なお、プローブピンは図示しないパターンジェネレータに接続されており、パターンジェネレータからの信号を伝送して実装端子６２に供給することができるようになっている。
【００６６】
プロジェクタ用光学設計部１０６は、台座７１の上方に設置されており、図示しない高輝度ランプ、偏向ビームスプリッター、マルチレンズ、コンデンサレンズ及び偏光板等によって構成される。プロジェクタ用光学設計部１０６は、所定の光を発生してチップテーブル７２上の液晶パネル１８の対向基板２０側から入射させることができるようになっている。一方、台座７１の窓７３の下方には投射レンズ１０４が配設されている。投射レンズ１０４は、液晶パネル１８を通過し窓７３及び台座７１の開口を介して入射した光を出射する。投射レンズ１０４の出射光の光路上には反射ミラー１０５が配設されており、反射ミラー１０５は、入射した光を装置本体１０１の前面に設けた開口を介してスクリーン１０７に拡大投射する。なお、液晶パネル１８による光の変調を可能にするために、液晶パネル１８の入射面及び出射面近傍には、偏光板を配置するようになっている。
【００６７】
また、プローブピンユニット固定部１０３及びチップテーブル７２の少なくとも一方には、水平，垂直及び角度方向（ｘｙｚθ方向）に変位量を微調整するための位置調整機構を設けてもよい。
【００６８】
次に、このように構成された実施の形態の作用について説明する。
いま、マザーガラス基板上の各素子基板１０と対向基板２０との貼り合わせ工程、液晶５０の封入・封止工程後に、分断工程が終了して得られた液晶パネル１８に対するパネル表示検査を行うものとする。この場合には、図４に示すように、液晶パネル１８の素子基板１０上に構成された実装端子６２に、プローブピンユニット１０２先端のプローブピン１０８を当接させることによって、液晶パネル１８を駆動する。
【００６９】
先ず、図示しないモータによって歯車８２，８３を回転させ、アーム７６，７７を相互に離間する方向に移動させる。この状態で、液晶パネル１８をチップテーブル７２の窓７３上の位置決めピン７４相互間に載置する。この場合には、位置決めピン７４相互間の間隔が液晶パネル１８の素子基板１０よりも広く設定されているので、位置決めピン７４に素子基板１０側面に生じたバリを当接させることなく、液晶パネル１８を載置可能である。位置決めピン７４によって大まかな位置決めが行われ、これにより、アーム７６，７７による位置決めが可能となる。
【００７０】
次に、モータの回転力を弱めて付勢部材９３の付勢力により、アーム７６，７７を相互に近接する方向に移動させる。そうすると、先ず、アーム７６，７７先端の位置出し面８４，８５のいずれか１つ以上の面が液晶パネル１８の対向基板２０の側面に当接する。更に、アーム７６，７７を移動させることにより、位置出し面８４，８５は対向基板２０の１つ以上の側面を押圧して液晶パネル１８の位置を変位させる。こうして、液晶パネル１８は、対向基板２０の大きさ及びアーム７６，７７で規定される位置出し面８４，８５相互の位置関係に応じた固定位置で停止する。図５は液晶パネル１８が位置決めされた状態における液晶パネル１８とアーム７６，７７との関係を示している。
【００７１】
アーム７６，７７で対向基板２０の側面を押圧して位置決めを行っており、対向基板２０の側面の面精度が極めて高いことから、液晶パネル１８の位置決めを高精度に行うことができる。また、対向基板２０の側面にはバリ等は生じていないので、アーム７６，７７によって対向基板２０を押圧しても、対向基板２０が損傷を受けることはない。
【００７２】
また、図６に示すように、アーム７６，７７は、素子基板１０表面よりも上方で水平移動するようになっており、アーム７６，７７の底面が素子基板１０表面に接触することはない。これにより、位置決め時にアーム７６，７７によって素子基板１０が損傷を受けることはない。
【００７３】
実装端子６２は素子基板１０上の位置が規定されており、液晶パネル１８の位置決めによって、台座７１と実装端子６２とは水平面内で規定された位置関係に位置することになる。
【００７４】
液晶パネル１８が位置決めされたパネル位置決め装置７０を装置本体１０１に収納し、台座７１を装置本体１０１に固定する。この状態で台座７１とプローブピンユニット固定部１０３とは水平面内で規定された位置関係に配置されており、プローブピンユニット固定部１０３に取り付けられたプローブピンユニット１０２の先端のプローブピン１０８は、水平面内では、図７に示すように、液晶パネル１８上の実装端子６２に対向した位置に配置される。
【００７５】
この状態で、プローブピンユニット固定部１０３を下方に移動させ、プローブピン１０８を実装端子６２に接触させる。次に、プロジェクタ用光学設計部１０６から光を出射させながら、パターンジェネレータから信号を発生させる。パターンジェネレータからの信号はプローブピン１０８を介して実装端子６２に供給され、液晶パネル１８は駆動されてプロジェクタ用光学設計部１０６からの光を変調する。液晶パネル１８を通過した光は、チップテーブル７２の窓７３及び台座７１の開口を通過し、投射レンズ１０４によって反射ミラー１０５を介してスクリーン１０７に拡大投射される。スクリーン１０７上に映出された画像を確認することで、液晶パネル１８のパネル表示検査を行う。
【００７６】
このように、本実施の形態においては、対向基板側面の面精度が極めて高いことを利用して位置決めの基準面に用いており、位置決めを高精度に行うことを可能にしている。また、位置決めに際して素子基板を押圧する構成にはなっていないことから、分断工程で生じた素子基板のバリに力が加わることがなく、液晶パネルが損傷を受けることを防止することができる。更に、アームは素子基板に接触しない位置で対向基板側面を押圧するようになっており、素子基板の損傷を防止することができる。これにより、表示不良が発生することを防止することができる。
【００７７】
なお、上記実施の形態においては、プローブピンユニット固定部１０３とパネル位置決め装置７０とを別体に構成したが、一体的に構成してもよいことは明らかである。
【００７８】
また、パターンジェネレータからの信号を供給するためにプローブピンユニットを採用したが、プローブカードを採用してもよいことは明らかである。
【００７９】
また、パネル表示検査を投影方式で行ったが、直視によって行ってもよいことは明らかである。
【００８０】
なお、上記実施の形態においてはパネル表示検査装置に適用した例について説明したが、本発明は、フレキシブルプリント板の圧着工程及びケーシング組み付け工程等のパネルの位置決めが必要な種々の工程及び装置に適用可能である。
【００８１】
また、上記実施の形態においては、アームに位置出し面を設けて、対向基板側面を面で受ける（押圧する）ことにより位置出しを行う例について説明したが、対向基板側面を点で受ける構成にしてもよく、また、点及び面で受ける構成にしてもよい。
【００８２】
例えば、図１１のアーム１１１，１１２は、対向基板２０の側面を点で受ける構成を示している。また、図１２は対向基板２０の各側面を夫々面で受けるアーム１１５，１１６と隣接した２側面を同時に面で受けるアーム１１７の３つのアームを設けた例である。更に、図１３は対向基板２０の各側面を夫々面で受ける４つのアーム１１８を用いる例を示している。いずれの例においても、アームが対向基板２０の側面を面基準として位置決めを行っているので、正確な位置決めが可能であると共に、液晶パネルの損傷を防止することが可能である。
【００８３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、液晶パネル及びチップテーブル相互間の正確な位置決めを可能にすることができると共に、液晶パネルをチップテーブルに位置決めする際に液晶パネルが損傷を受けることを防止することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るパネル位置決め装置を示す平面図。
【図２】図１の駆動部分を説明するための説明図。
【図３】パネル表示検査装置の全体の概略構成図。
【図４】液晶パネルとプローブピンユニットとの接続を示す説明図。
【図５】液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示す説明図。
【図６】液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示す説明図。
【図７】液晶パネルのパネル位置決め装置への設置を示す説明図。
【図８】ＴＦＴ基板等の素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図。
【図９】素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入する組立工程終了後の液晶装置を、図８のＨ−Ｈ'線の位置で切断して示す断面図。
【図１０】パネル組立工程を示すフローチャート。
【図１１】アームの他の例を示す説明図。
【図１２】アームの他の例を示す説明図。
【図１３】アームの他の例を示す説明図。
【図１４】パネル表示検査等に用いられるパネル表示検査装置を示す正面図。
【図１５】図１４の斜視図。
【図１６】図１４及び図１５中のチップテーブルを示す斜視図。
【図１７】分断工程後の液晶パネルを示す斜視図。
【符号の説明】
７１…台座
７２…チップテーブル
７３…窓
７４…位置決めピン
７５…案内部材
７６，７７…アーム
８４Ｈ，８４Ｖ，８５Ｈ，８５Ｖ…位置出し面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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