(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示領域及び表示領域の周辺に位置する周辺領域を有する透明な基板と、
前記基板に所定間隙を隔てて対向配置された透明な板状部材とを備え、
前記周辺領域において、前記板状部材と前記基板とが接着剤により接着されてなり、
前記接着剤は、前記表示領域の周囲を包囲して形成され、外部から空気を導入することができるように、多数の微細孔が設けられることにより空気を通す材質からなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記板状部材は、マイクロレンズアレイ板を含むことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項３】
前記板状部材は、防塵ガラス板を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
前記板状部材は、放熱ガラス板を含むことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
前記板状部材は、デフォーカス用ガラス板を含むことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
前記接着剤は前記表示領域の大半に存在しないことを特徴とする
電気光学装置。
【請求項７】
前記接着剤は、前記周辺領域における３個所以上に離散的に配置されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の電気光学装置からなるライトバルブと、
該ライトバルブに投射光を入射する光源と、
該ライトバルブから出射した前記投射光を投射する光学系と
を備えたことを特徴とする投射型表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶装置、ＥＬ(Electro-Luminescence)装置等の電気光学装置及びその製造方法並びに投射型表示装置の技術分野に属する。
【０００２】
【背景技術】
この種の電気光学装置は一般に、例えばＴＦＴアレイ基板等の素子基板及びカバーガラス（或いは対向基板）といった一対の基板間に液晶等の電気光学物質を挟持してなる。そして、基板の外側（即ち、液晶に面する側と反対側の面）には、光の利用効率を向上させて明るい画像表示を行うためのマイクロレンズアレイ板、基板を埃や塵から守るための防塵ガラス板、当該電気光学装置の温度上昇を抑制するための放熱ガラス板、基板表面の塵や埃の影による表示画像への悪影響をデフォーカスにより低減するためのデフォーカス用ガラス板などの各種の板状部材が取り付けられる。
【０００３】
例えば特開昭６０−１６５６２１号〜１６５６２４号公報、特開平５−１９６９２６号公報等には、入射光の利用効率を向上するためのマイクロレンズが対向基板上に設けられた形式の液晶装置が開示されている。また例えば、特開平９−１１３９０６号公報には、放熱機能及びデフォーカス機能を有する透明ガラス板を液晶装置の透明基板の一方又は両方の外面に配置した液晶装置が開示されている。
【０００４】
上述のようにマイクロレンズアレイ板等の各種の板状部材が取り付けられた電気光学装置の本体は、プラスチック等の遮光性のケースに納められ、表示光を透過したり反射したりする画像表示領域の縁を規定する額縁領域がケースの窓部の縁により規定される。或いはこのようなケースの窓部よりも一回り小さい額縁状の遮光膜が、一対の基板の少なくとも一方に設けられており、額縁領域が規定されている。
【０００５】
このような各種板状部材を備えた電気光学装置の製造方法では、素子基板やカバーガラスの外側に、光硬化性接着剤や熱硬化性接着剤を用いてマイクロレンズアレイ板等の板状部材を貼り付ける。この際、接着剤は、液状のものがスピンコート等により素子基板やカバーガラスの全面に塗布され、貼り合わせ後に硬化されるのが一般的である。その後、この板状部材やその他の部材が取り付けられた基板を含む電気光学装置の本体を遮光性のケースに入れて、電気光学装置を完成させる。
【０００６】
こうして製造される電気光学装置は、例えばプロジェクタのライトバルブ用の液晶装置であれば、ケースの窓部から覗く画像表示領域を表示光（投射光）が透過し、画像信号に応じて画素毎にコントラストが変調されて画像表示が行われる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の電気光学装置の場合、プロジェクタのライトバルブ用などに使用しているうちに、額縁領域付近における画像表示領域で額縁領域に沿ってコントラスト異常が経時的に発生するという問題点がある。より具体的には、例えば黒表示の際に額縁に沿って白っぽい領域が発生して、コントラスト異常の不連続面が見えるようになってしまう。特にプロジェクタのライトバルブ用の液晶装置等のように比較的強力な光が透過する装置の場合には、このような経時劣化が顕著であり、更に本願発明の発明者による研究によれば、カラーのプロジェクタのライトバルブ用の液晶装置の場合に、Ｒ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）用の３個の液晶装置のうちＢ用の装置においてこのような経時劣化が最も顕著であることが判明している。例えば数百時間程度の使用後にこのようなコントラスト異常が現われたりするため、少なくとも数千時間の寿命が望まれるプロジェクタにおいてはこの問題は実用上極めて深刻である。
【０００８】
更に、上述の電気光学装置の場合、素子基板やカバーガラスの外側にマイクロレンズアレイ板等の板状部材を貼り付けるために用いられる光硬化性接着剤や熱硬化性接着剤などに気泡や不純物が混入すると、画質低下に繋がるという問題点もある。また、このような接着剤としては、マイクロレンズアレイのレンズ機能を発揮させるためには、マイクロレンズアレイを構成する材料と比べて十分に低屈折率の接着剤を用いる必要があり、加えて特にプロジェクタのライトバルブ用の液晶装置等のように比較的強力な光が透過する装置の場合には光により劣化しない化学特性をも有する接着剤を用いる必要がある。しかも、このような接着剤は、光透過性である必要があり且つマイクロレンズアレイとの界面で光反射を起し難い性質であることも要求される。以上のように接着剤の材質及び塗布技術についての要求は極めて厳しいため、製造コストの上昇を招くか或いは接着剤に起因したある程度の画質劣化は犠牲にせざるを得ないという問題点もある。
【０００９】
本発明は上述の問題点に鑑みなされたものであり、素子基板やカバーガラス（或いは対向基板）などの基板に、マイクロレンズアレイ板等の各種板状部材が接着されてなる電気光学装置であって、画像表示領域の額縁付近に発生する画質の経時劣化を低減し得る電気光学装置及びその製造方法並びに係る電気光学装置をライトバルブとして備えた投射型表示装置を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の電気光学装置は上記課題を解決するために、表示領域及び表示領域の周辺に位置する周辺領域を有する透明な基板と、前記基板に所定間隙を隔てて対向配置された透明な板状部材とを備え、前記周辺領域において、前記板状部材と前記基板とが接着剤により接着されてなることを特徴とする。
【００１１】
本発明の電気光学装置によれば、板状部材は、マイクロレンズアレイ板、防塵ガラス板、放熱ガラス板、デフォーカス用ガラス板等の各種機能を有する透明な板状部材であり、画像表示領域の周辺に位置する周辺領域で、光硬化性接着剤、熱硬化性接着剤等の接着剤により透明な基板（例えば、カバーガラス、対向基板、素子基板等）に接着されている。ここに「周辺領域」とは、画像表示領域の額縁を規定する額縁領域及び更にその周囲に位置する狭義の周辺領域を含む意味である。ここで、接着剤は、周辺領域に配置されているので、当該電気光学装置の使用中に画像表示領域に対して、紫外線、熱線等を含む表示光が入射される際に（特に、プロジェクタ用途のように強力な表示光が入射される際に）、表示光が接着剤に照射されて接着剤が劣化する事態を防ぐことが可能となる。従って、接着剤の劣化による画像表示領域と周辺領域との境界付近における応力集中や基板の変形は、殆ど又は全く起生じない。このため画像表示領域における高品位の画像表示が可能となる。特にこのような劣化は経時的に発生する（即ち経時劣化として起る）ので、装置寿命の延命も可能となるので有利である。更に、例えば周辺領域に配置された接着剤が劣化により変質して不透明になったり亀裂が入ったりしても、画像表示領域における表示品位を直接害することがない観点からも有利である。また製造当初から接着剤にボイドが入っていたり、接着剤が基板又は板状部材との界面で大きな光反射を起こすような材料からなっていても（特に表示光の光路から離して接着剤を設けるようにすれば）、表示品位を低下させる原因とはならない観点からも大変有利である。
【００１２】
因みに本願発明者の研究によれば、マイクロレンズアレイ板等の板状部材を光硬化性接着剤で、周辺領域のみならず画像表示領域においても基板（例えば、カバーガラス）に接着すると、特にプロジェクタのライトバルブ用途のように強力な表示光が画像表示領域を透過する場合には、この光硬化性接着剤がヒケ（薄くなる変形）などの経時変形を起こすことが判明している。ここで通常は、画像表示領域の額縁を規定する額縁領域に遮光手段を設けた完成品の形で、投射光等の表示光が照射されるため、遮光手段により遮光されておらずその分だけ紫外線等を含む光による変形が大きい画像表示領域にある光硬化性接着剤の部分と、遮光手段により遮光されておりその分だけ紫外線等を含む光による変形が小さい額縁領域にある光硬化性接着剤の部分との間で、光硬化性接着剤の変形量に差が生じてしまう。この結果、板状部材が光硬化性接着剤により接着されている基板が、これらの２つの部分の境界付近において構造的な応力集中により径時的に変形して、最終的には、この付近における画質の経時劣化（コントラスト異常の経時的な増加）につながると考察される。
【００１３】
しかるに本発明の電気光学装置では上述のように、接着剤は、周辺領域に配置されているので、光硬化性接着剤のエージングに起因した、画像表示領域と額縁領域との境界付近における応力集中や基板の変形は、殆ど又は全く起こらないで済む。従って、このような境界付近において局所的に発生する画質の経時劣化を低減し得る。
【００１４】
以上の結果、本発明の電気光学装置によれば、板状部材の持つ各種機能に応じて高品位の画像表示を長期に亘り行える。しかも、接着剤としては、概ね安定した接着特性や汚染源とならないこと程度が要求されるのみであり、接着剤の光学特性は問題とならない。従って、当該電気光学装置の製造工程において利用可能な接着剤の材質や塗布技術についての自由度は格段に広がり、製造コストの削減も可能となる。
【００１５】
本発明の電気光学装置の一態様では、前記板状部材は、マイクロレンズアレイ板を含む。
【００１６】
この態様によれば、マイクロレンズアレイ板が接着剤によりカバーガラス等の基板に接着されている。従って、マイクロレンズアレイ板が有する複数のマイクロレンズによって、表示光は各画素の開口領域に入るように集光される。ここで特に、接着剤は周辺領域に配置されているので、画像表示領域でマイクロレンズアレイ板と基板との間の所定間隙に空気、窒素等の低屈折率の気体や液体などを配置することにより、このような気体などと感光性樹脂材料等からなる各マイクロレンズとの界面における屈折率差を容易に大きくすることができる。これにより各マイクロレンズにおけるレンズ能力（集光能力）を高めることが可能となる。これらの結果、画像表示領域の額縁付近における画質の経時劣化を抑制しつつ、画素開口率が同じであっても各開口を通過する光の強度を極めて効率よく増加させることにより、電気光学装置により表示される画像をより明るく出来る。
【００１７】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記板状部材は、防塵ガラス板を含む。
【００１８】
この態様によれば、防塵ガラス板が接着剤により基板に接着されている。従って画像表示領域の額縁付近における画質の経時劣化を抑制しつつ、防塵ガラス板によって傷や埃等による画質劣化の防止を図ることができる。
【００１９】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記板状部材は、放熱ガラス板を含む。
【００２０】
この態様によれば、放熱ガラス板が、接着剤により基板に接着されている。従って画像表示領域の額縁付近における画質の経時劣化を抑制しつつ、同時に電気光学装置の温度上昇の防止を図ることができる。特に電気光学装置をプロジェクタにおけるライトバルブとして用いる場合、スクリーン上に拡大投射を行うために、電気光学装置には、例えばメタルハライドランプ等の光源からの強力な光源光が集光された状態で入射するが、当該放熱ガラスにより、温度上昇を効果的に抑制可能である。
【００２１】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記板状部材は、デフォーカス用ガラス板を含む。
【００２２】
この態様によれば、デフォーカス用ガラス板が、接着剤により基板に接着されている。従って画像表示領域の額縁付近における画質の経時劣化を抑制しつつ、同時に埃や塵による画像表示をデフォーカスにより目立た無くすることができる。特に、プロジェクタ用途のように小さな埃や塵が拡大投影される場合に、このようにデフォーカス用ガラス板を用いてデフォーカスすることは非常に有効である。
【００２３】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記接着剤は前記画像表示領域の大半に存在しない。
【００２４】
この態様によれば、画像表示領域の大半に接着剤が存在しない。ここに「大半に存在しない」とは、半分以下の面積のみに存在するという意味であり、全く存在しない場合をも含む意味である。このため、仮に当該電気光学装置の使用中に光照射等により接着剤に経時劣化が生じても、或いは製造当初から接着剤中にボイドや亀裂が生じていても、これらが画像品位に及ぼす悪影響は、画像表示領域中に占める接着剤の少なさに応じて軽微で済む。尚、画像表示領域内に接着剤が全く存在しないように構成したり、更に、その額縁を規定する額縁領域内にも接着剤が全く存在しないように構成してよいことは言うまでもない。
【００２５】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記接着剤は、前記周辺領域における３個所以上に離散的に配置されている。
【００２６】
この態様によれば、接着剤は、周辺領域で離散的に配置されているので、画像表示領域における基板と板状部材との間の空間は、接着剤により密封されることはない。従って、当該電気光学装置の使用中の温度変化により、当該画像表示領域における基板と板状部材との間の空間に密封された空気等が膨張したり収縮したりして基板や板状部材に応力を発生させたり変形させたりする事態を比較的簡易に未然防止できる。しかも、接着剤は、３個所以上に配置されているので、板状部材を基板に対して安定的に固定できる。
【００２７】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記接着剤は、平面的に見て前記画像表示領域の周囲を包囲している。
【００２８】
この態様によれば、画像表示領域の周囲を包囲する接着剤により、板状部材を基板に対して極めて安定的に固定でき、基板と板状部材との間の所定間隙を画像表示領域の全体に渡って極めて均一化することも可能となる。
【００２９】
この接着剤で包囲する態様では、前記接着剤は、相互に連通する多数の微細孔が設けられた空気を通す材質からなってもよい。
【００３０】
このように構成すれば、微細孔を通じて、画像表示領域における基板と板状部材との間の空間に装置外部から空気を導入することができる。特に、当該電気光学装置の使用中の温度変化により、当該画像表示領域における基板と板状部材との間の空間に密封された空気等が膨張したり収縮したりして基板や板状部材に応力を発生させたり変形させたりする事態を比較的簡易に未然防止できる。従って、基板や板状部材の変形を低減しつつ、板状部材を基板に対して極めて安定的に固定でき、基板と板状部材との間の所定間隙を画像表示領域の全体に渡って極めて均一化することも可能となる。
【００３１】
或いはこの接着剤で包囲する態様では、前記接着剤は、空気を通さない材質からなり、前記接着剤により包囲された空間に対して空気を通すための開口が設けられてもよい。
【００３２】
このように構成すれば、開口を通じて、画像表示領域における基板と板状部材との間の空間に装置外部から空気を導入することができる。特に、当該電気光学装置の使用中の温度変化により、当該画像表示領域における基板と板状部材との間の空間に密封された空気等が膨張したり収縮したりして基板や板状部材に応力を発生させたり変形させたりする事態を比較的簡易に未然防止できる。従って、基板や板状部材の変形を低減しつつ、板状部材を基板に対して極めて安定的に固定でき、基板と板状部材との間の所定間隙を画像表示領域の全体に渡って極めて均一化することも可能となる。
【００３３】
或いはこの接着剤で包囲する態様では、前記接着剤は、空気を通さない材質からなり、前記接着剤により包囲された空間には所定種類の気体又は液体が封入されてもよい。
【００３４】
このように構成すれば、密封空間内に外部から塵や埃が侵入することを防止し得る。この密封された空間には、窒素等の負活性ガス、化学的に安定した液体等を、従来の液晶装置における液晶封入技術を援用して封入すればよい。
【００３５】
本発明の電気光学装置の製造方法は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置（上述した各種態様も含む）を製造する電気光学装置の製造方法であって、前記基板上の前記周辺領域に硬化前の接着剤を配置する工程と、前記硬化前の接着剤が配置された基板上に前記板状部材を配置する工程と、前記硬化前の接着剤を硬化させる工程とを含む。
【００３６】
本発明の電気光学装置の製造方法によれば先ず、例えばカバーガラス、対向基板等の基板上の周辺領域に、硬化前の接着剤が配置される。この接着剤としては、シアンアクリレートの如く硬化時に汚染物質を発生するものを除けば、光学特性（屈折率等）の如何を問わずに公知の各種接着剤を使用可能である。例えばエポキシ系、アクリル系の接着剤を使用可能である。このような接着剤の配置方法としては、ディスペンサ、スクリーン印刷等の公知技術を利用できる。特に本発明では、接着剤中に気泡やボイドが入っても構わないため、なるべく低コストで基板上に接着剤を配置すればよい。次に、硬化前の接着剤が配置された基板上に、マイクロレンズアレイ板、防塵ガラス板、放熱ガラス板、デフォーカス用ガラス板等の各種機能を有する透明な板状部材が配置される。次に、これら板状部材と基板との所定間隙内に配置されている接着剤を硬化させる。例えば、光硬化性の接着剤であれば、基板及び板状部材のうち少なくとも一方を介して紫外線等の光を照射すればよく、熱硬化性接着剤であれば、熱線照射等により加熱すればよい。以上の結果、上述した本発明の電気光学装置を比較的容易に且つ安価に製造できる。
上記硬化前の接着剤を配置する工程は、上記基板と上記板状部材の間隙内に周辺領域から上記接着材を毛細管現象を利用して注入することを特徴とする。
かかる構成によれば、ディスペンサ、スクリーン印刷などの公知技術を利用しないで、低コストで接着材を配置できる。
【００３７】
本発明の投射型表示装置は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置（上述した各種態様も含む）からなるライトバルブと、該ライトバルブに投射光を入射する光源と、該ライトバルブから出射した前記投射光を投射する光学系とを備える。
【００３８】
本発明の投射型表示装置によれば、上述した本発明の電気光学装置（その各種態様も含む）をライトバルブとして備えているので、長期に亘って高品位の画像表示が可能となる。
【００３９】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００４１】
（電気光学装置の全体構成）
先ず、本発明の各実施形態における電気光学装置の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここでは、駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
【００４２】
図１は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【００４３】
図１及び図２において、液晶装置は、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０が対向配置されており、対向基板２０の下側の面には、多数のマイクロレンズが形成されており、対向基板２０はマイクロレンズアレイ板として構成されている。このようにマイクロレンズが形成された対向基板２０の下側の面には接着剤２１０により、基板の一例としてのカバーガラス２００が接着されている。そしてＴＦＴアレイ基板１０とカバーガラス２００との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０とカバーガラス２００とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【００４４】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、後述の製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材５２中には、当該液晶装置がプロジェクタ用途のように小型で拡大表示を行う液晶装置であれば、両基板間の距離（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材（スペーサ）が散布されてもよい。或いは、当該液晶装置が液晶ディスプレイや液晶テレビのように大型で等倍表示を行う液晶装置であれば、このようなギャップ材は、液晶層５０中に含まれてよい。
【００４５】
シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａを規定する遮光性の額縁５３が対向基板２０側に設けられている。
【００４６】
シール材５２が配置されたシール領域の外側の周辺領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられており、走査線駆動回路１０４が、この一辺に隣接する２辺に沿って設けられている。更にＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺には、画像表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路１０４間をつなぐための複数の配線１０５が設けられている。また、対向基板２０のコーナー部の少なくとも一個所において、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的導通をとるための上下導通材１０６が設けられている。
【００４７】
図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用ＴＦＴ３０や走査線、データ線、容量線等の配線が形成された後の画素電極上に、ポリイミド系材料からなる配向膜が形成されている。他方、カバーガラス２００上（図２において下側の面）には、対向電極の他、各画素毎に非開口領域を規定する遮光膜２３、カラーフィルタ等が形成された最上層部分に、ポリイミド系材料からなる配向膜が形成されている。これらの一対の配向膜は夫々、ポリイミド系材料を塗布し、焼成した後、液晶層５０中の液晶を所定方向に配向させると共に液晶に所定のプレチルト角を付与するように配向処理が施されている。尚、遮光膜２３は、表示画像におけるコントラストの向上、カラーフィルタを形成した場合の色材の混色防止などの機能を有する。このような遮光膜２３を対向基板２０の側ではなく、ＴＦＴアレイ基板１０上に形成してもよい。
【００４８】
また、液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
【００４９】
図２において、破線で示すように、上述の如き構成を持つ液晶装置の本体は、プラスチック等からなる遮光性のケース３００内に収容される。ケース３００の中央には、画像表示領域１０ａに対応して窓が設けられており、ケース３００の窓を規定する縁部分が額縁領域に対応して設けられている。
【００５０】
本実施形態では特に、接着剤２１０は、対向基板２０（マイクロレンズアレイ板）とカバーガラス２００との間隙内に配置されており、画像表示領域１０ａの周囲に広がる周辺領域で、対向基板２０とカバーガラス２００とを接着している。従って、当該液晶装置の使用中に画像表示領域１０ａに対して、プロジェクタ用の強力な表示光が入射される際に、表示光が接着剤２１０に照射されて接着剤２１０が劣化する事態を防ぐことが可能となる。この結果、接着剤２１０の劣化による画像表示領域１０ａと周辺領域との境界付近における応力集中や対向基板２０やカバーガラス２００の変形は、殆ど又は全く起生じない。更に、接着剤２１０が劣化により変質して不透明になったり亀裂が入ったりしても、図２から明らかなように、画像表示領域１０ａにおける表示品位を直接害することはない。これに加えて、画像表示領域１０ａにおける対向基板２０とカバーガラス２００との間の空間２２０は、空気で満たされているので、従来の如く画像表示領域の全面に塗布された接着剤によりマイクロレンズアレイ板にカバーガラスを接着する場合と比較して、各マイクロレンズにおけるレンズ能力（集光能力）は顕著に高められている。
【００５１】
更に本実施形態では、接着剤２１０は、図１の平面図上でシール剤５２とほぼ同じ領域に形成されており、画像表示領域１０ａの周囲を包囲している。従って、接着剤２１０により、対向基板２０にカバーガラス２００を極めて安定的に固定でき、両者間の空間２２０を画像表示領域１０ａの全体に渡って均一化できる。
【００５２】
本実施形態の如く接着剤２１０で画像表示領域１０ａを包囲する構成を採用する場合、接着剤２１０を、相互に連通する多数の微細孔が設けられた空気を通す材質から構成してもよい。このように構成すれば、微細孔を通じて画像表示領域１０ａにおける対向基板２０とカバーガラス２００との間の空間２２０に液晶装置外部から空気を導入することができる。特に、当該液晶装置の使用中の温度変化により、接着剤２１０で包囲された空間２２０内の空気が膨張したり収縮したりしても、対向基板２０やカバーガラス２００に応力を発生させたり変形させたりすることはなくなる。或いは、この接着剤２１０を空気を通さない材質から構成すると共に図１に示したシール材５２の液晶注入口の場合と同様に、接着剤２１０の一部を欠如させることにより、接着剤２１０により包囲された空間に対して空気を通すための開口を設けても、同様の効果が得られる。
【００５３】
但し、本実施形態の如く接着剤２１０で画像表示領域１０ａを包囲する構成を採用する場合、接着剤２１０を空気を通さない材質から構成すると共に、接着剤２１０により包囲された空間２２０には所定種類の気体又は液体を封入してもよい。このように構成すれば、密封された空間２２０内に外部から塵や埃が侵入することを防止し得る。この密封された空間２２０には、窒素等の負活性ガス、化学的に安定した液体等を、従来の液晶装置における液晶封入技術を援用して封入すればよい。特に各マイクロレンズによる集光機能を高めるべく、なるべく低屈折率の気体や液体を封入するのが好ましい。
【００５４】
尚、図１及び図２に示した実施形態では、画像表示領域１０ａには、全く接着剤２１０が存在していないが、接着剤２１０の接着能力に鑑み、画像表示領域１０ａ内にも若干の接着剤２１０が存在しても上述した本実施形態の効果は多少なりとも発揮される。いずれにせよ、画像表示領域１０ａの大半には、接着剤２１０が存在しない様に構成するとよい。
【００５５】
また、以上説明した実施形態では、接着剤２１０は、額縁５３に沿って画像表示領域１０ａを包囲するように配置されているが、接着剤２１０は、周辺領域における３個所以上に離散的に配置してもよい。このように３個所に配置すれば、対向基板２０に対してカバーガラス２００を安定的に接着固定できる。しかも、画像表示領域１０ａにおけるカバーガラス２００と対向基板２０との間の空間２２０は、接着剤２１０により密封されることはないので、当該液晶装置の使用中の温度変化により、画像表示領域１０ａにおける空間２２０に密封された空気等が膨張したり収縮したりして対向基板２０やカバーガラス２００に応力を発生させたり変形させたりする事態を比較的簡易に未然防止できる。例えば、接着剤２１０を額縁５３の４辺に沿って４個所に離散的に配置してもよい。これにより、対向基板２０をカバーガラス２００に対して、より安定的に固定でき、同時に両者間の距離を、画像表示領域１０ａの全体に渡って均一化できる。
【００５６】
（電気光学装置の製造方法）
次に図１及び図２に示した如き全体構成を有する液晶装置の製造プロセスの実施形態について図３を参照しながら説明する。
【００５７】
先ず図３の工程（１）に示すように、図示しない額縁５３、遮光膜２３や更に対向電極、配向膜等が形成される前又は後におけるカバーガラス２００に対して、マイクロレンズアレイが形成された対向基板２０が光硬化前の光硬化性の接着剤２１０ａにより接着される。ここで特に、接着剤２１０ａは、額縁５３に沿って周辺領域のみに塗布され、カバーガラス２００と対向基板２０との間には、空気で満たされた空間２２０が構築される。
【００５８】
この際、接着剤２１０ａとしては、シアノアクリレートの如く硬化時に汚染物質を発生するものを除けば、光学特性（屈折率等）の如何を問わずに公知の各種接着剤を使用可能である。例えばエポキシ系、アクリル系の接着剤を使用可能である。このような接着剤の配置方法としては、ディスペンサ、スクリーン印刷等の公知技術を利用できる。特に本実施形態では、接着剤２１０ａ中に気泡やボイドが入っても構わないため、なるべく低コストでカバーガラス２００上に接着剤２１０ａを配置すればよい。尚、対向基板２０をカバーガラス２００上に対向配置した後に、カバーガラス２００と対向基板２０との間隙内に周辺領域の脇から接着剤２１０ａを毛細管現象を利用して注入することも可能である。
【００５９】
次に図３の工程（２）に示すように、ＵＶ（Ultra-Violet：紫外線）光が対向基板２０及びカバーガラス２００のうち少なくとも一方を介して、光硬化前の光硬化性の接着剤２１０ａに照射され、硬化後の接着剤２１０となる。
【００６０】
次に図３の工程（３）に示すように、カバーガラス２００が接着された対向基板２０と、各種の素子や配線等が形成されたＴＦＴアレイ基板１０とを、シール材５２により貼り合せる。尚この例では、ＴＦＴアレイ基板１０の外側にも、偏光板や位相差板等の光学板１０’が取り付けられている。
【００６１】
次に図３の工程（４）に示すように、工程（３）により完成した液晶装置本体を、ケース３００内に収容する。
【００６２】
以上の結果、上述した本実施形態の液晶装置を比較的容易に且つ安価に製造できる。
【００６３】
尚、工程（２）において、ＵＶ光に代えてまたは加えて、接着剤２１０に対して熱を照射して、接着剤２１０に対する硬化処理を行ってもよい。更に、図３の工程（４’）に示すように、ケース３００の額縁で画像表示領域１０ａを規定するのではなく、幅広の額縁５３’をカバーガラス２００上に設けるようにしてもよい。
【００６４】
（電気光学装置の画素部）
本発明による電気光学装置の画素部について、図４から図６を参照して説明する。図４は、電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路である。図５は、データ線、走査線、画素電極、遮光膜等が形成されたＴＦＴアレイ基板の相隣接する複数の画素群並びに対向基板に形成された遮光膜及びマイクロレンズの平面図である。図６は、対向基板に形成されたマイクロレンズにより入射光が集光される様子を擬似断面にて示す模式図である。尚、図６においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてあり、更に、集光の様子を理解し易く描くために、マイクロレンズ及びＴＦＴの配置関係を、実際の配置関係とは異ならしめてある。即ち、実際には、図５に示すように、マイクロレンズは、そのレンズ中心が各画素中心に一致するように配置されており、ＴＦＴは、遮光領域の交点にほぼ対応するように配置されている。
【００６５】
図４において、本実施形態による電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素は、画素電極９aを制御するためのＴＦＴ３０がマトリクス状に複数形成されており、画像信号が供給されるデータ線６ａが当該ＴＦＴ３０のソースに電気的に接続されている。データ線６ａに書き込む画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線６ａ同士に対して、グループ毎に供給するようにしても良い。また、ＴＦＴ３０のゲートに走査線３ａが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線３ａにパルス的に走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極９ａは、ＴＦＴ３０のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるＴＦＴ３０を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定のタイミングで書き込む。画素電極９ａを介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、対向基板に形成された対向電極との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能にする。ノーマリーホワイトモードであれば、印加された電圧に応じて入射光が通過不可能とされ、ノーマリーブラックモードであれば、印加された電圧に応じて入射光が通過可能とされ、全体として電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストを持つ光が出射する。ここで、保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極９ａと対向電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量７０を付加する。
【００６６】
図５において、電気光学装置のＴＦＴアレイ基板上には、マトリクス状に複数の透明な画素電極９ａ（点線により輪郭が示されている）が設けられており、画素電極９ａの縦横の境界に各々沿ってデータ線６ａ、走査線３ａ及び容量線３ｂが設けられている。また、これらの配線の各交点にほぼ対応してＴＦＴ３０が設けられている。図中、１点鎖線で示されており上下方向に伸びる各データ線６ａは、コンタクトホール５を介してポリシリコン膜等からなる半導体層１ａのうちＴＦＴ３０のソース領域に電気的接続されている。画素電極９ａは、コンタクトホール８を介して半導体層１ａのうちＴＦＴ３０のドレイン領域に電気的接続されている。また、図中左右方向に伸びる各走査線３ａは、半導体層１ａのうちチャネル領域１ａ’（図中右下りの斜線の領域）に対向するように配置されており、走査線３ａはＴＦＴ３０のゲート電極として機能する。
【００６７】
容量線３ｂは、走査線３ａに沿ってほぼ直線状に伸びる本線部と、データ線６ａと交差する箇所からデータ線６ａに沿って図中上向きに突出した突出部とを有する。そして、半導体層１ａは、ＴＦＴ３０から容量線３ｂに沿って蓄積容量電極１ｆとして延設されており、この蓄積容量電極１ｆと容量線３ｂとが誘電体としての絶縁膜（ゲート絶縁膜）を介して対向配置されることにより、蓄積容量が形成されている。
【００６８】
図中、１点鎖線で示されており走査線３ａ及び容量線３ｂに沿って左右方向に伸びる領域には、複数の縞状部分からなる第１遮光膜１１ａが設けられている。これにより、半導体層１ａのチャネル領域１ａ’を含むＴＦＴ３０をＴＦＴアレイ基板側から夫々覆うように構成されている。このようにＴＦＴの下側にも遮光膜を設ければ、ＴＦＴアレイ基板１０の側からの裏面反射（戻り光）や複数の液晶装置をプリズム等を介して組み合わせて一つの光学系を構成する場合に、他の液晶装置からプリズム等を突き抜けて来る投射光部分等が当該液晶装置のＴＦＴに入射するのを未然に防ぐことができる。
【００６９】
図５には更に、対向基板に、各画素電極１１ａに夫々対向して形成される複数のマイクロレンズのマイクロレンズ端５００ａと、対向基板上において複数のマイクロレンズ端５００ａに夫々対向配置された網目状の遮光膜２３（図中、右上がりの斜線領域）とが示されている。
【００７０】
図６に示すように、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０（カバーガラス２００）とは対向配置され、両基板間に液晶層５０が挟持される。ＴＦＴアレイ基板１０は、例えば石英基板からなり、対向基板２０は、例えばガラス基板や石英基板からなる。
【００７１】
図６の模式図の上半分の断面図部分に示すように、電気光学装置の対向基板２０には、対向基板２０の側から入射される入射光を複数の画素電極９ａに夫々集光するマトリクス状に配置された複数のマイクロレンズ５００と、複数のマイクロレンズ５００の相互の境界に夫々対向する位置に形成された第２遮光膜２３とを備える。マイクロレンズ５００の表面には、図６では図示されていない周辺領域で接着剤２１０により貼り付けられたカバーガラス２００が空間２２０を介して対向配置されている。この上に（図中下側に）更に第２遮光膜２３及び対向電極２１が形成されている。マイクロレンズ５００は、後述のように、感光性樹脂からなり、空間２２０に満たされた空気とマイクロレンズ５００を構成する感光性樹脂材料との間における屈折率の違いにより、レンズ効率の極めて高い集光レンズとしての機能を果たす。
【００７２】
図６の模式図の下半分の断面図部分において、ＴＦＴアレイ基板１０には、画素電極９ａが設けられており、その上側には、ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜１６が設けられている。画素電極９ａは例えば、ＩＴＯ膜（インジウム・ティン・オキサイド膜）などの透明導電性薄膜からなる。また配向膜１６は例えば、ポリイミド薄膜などの有機薄膜からなる。
【００７３】
他方、図６の模式図の上半分の断面図部分に示すように、カバーガラス２００上には、その全面に渡って対向電極（共通電極）２１が設けられており、その下側には、ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜２２が設けられている。対向電極２１は例えば、ＩＴＯ膜などの透明導電性薄膜からなる。また配向膜２２は、ポリイミド薄膜などの有機薄膜からなる。
【００７４】
以上のように構成されているため、本実施形態の電気光学装置によれば、対向基板２０とカバーガラス２００との間に備えられた複数のマイクロレンズ５００により、対向基板２０側からの入射光は、複数の画素電極９ａ上に夫々集光される。従って、マイクロレンズ５００が無い場合と比較して、各画素における実効開口率が高められている。
【００７５】
そして、マイクロレンズ５００により、対向基板２０側からの入射光は画素電極９ａ上の集光領域５００ｂに夫々集光されるので（図５参照）、入射光の利用効率は高められると同時に、第２遮光膜２３の存在により、カバーガラス２００における機械的強度及び熱遮断性能は夫々、第２遮光膜２３が無かった場合と比較して顕著に高められる。
【００７６】
（マイクロレンズの製造方法）
次に、本実施形態に用いられるマイクロレンズ５００の製造方法について、図７乃至図９を参照して３つの製造方法について説明する。
【００７７】
先ず最初の製造方法について、図７を用いて説明する。図７(ａ）に示すように、基板２０上に、感光性を有するとともに、熱変形性を有するレジスト層７１１を形成する。次に、図７（ｂ）に示すように、基板２０上のうち、エッチングすべき領域をポジ像として有するマスク層６１０をレジスト層７１１に重なるように位置合わせにし、マスク層６１０を介して紫外線を照射してレジスト層７１１の露光を行う。次に、図７（ｃ）に示すように、露光後のマスク層６１０を現像して露光された部分を除去する。その結果、マイクロレンズが形成される部分にレジスト層７１１が残り、図７（ｃ）に示す状態で、加熱工程を行う。その結果、レジスト層７１１は軟化し、図７（ｄ）に示すように、レジスト層７１１の角の部分が丸められる。次に図７（ｅ）に示すように、レジスト層７１１が凸面としてマトリクス状に配列した面からドライエッチングを行い、基板２０の表面にマイクロレンズ５００が形成されることになる。次に図７（ｆ）に示すように、マイクロレンズ５００の表面に光硬化性の接着剤２１０を塗布してネオセラム等からなるカバーガラス２００を押し付けて接着する。
【００７８】
最後に図７（ｇ）に示すように、第２遮光膜２３、対向電極２１及び配向膜２２をスパッタリング、コーティング等によりこの順に成膜して、図６に示した如きマイクロレンズ５００及び第２遮光膜２３を備えた対向基板２０を完成させる。
【００７９】
次に、別のマイクロレンズの製造方法に関して図８を用いて説明する。
【００８０】
図８（ａ）に示すように、成形型となるガラス基板１の表面にマスク層６１１を形成する。次に図８（ｂ）に示すように、マスク層６１１に所定の平面配列で開口部６１１ａをフォトリソグラフィ法のパターニング処理により形成する。次に図８（ｃ）に示すように、マスク層６１１で被覆した面をフッ酸系のエッチャントに入れてウェットエッチングを行う。次に図８（ｄ）に示すように、マスク層６１１を除去し、凹部３が形成された面を再度ウェットエッチングし、次にガラス基板１の表面にフッ酸系またはシリコン系材料からなる離型剤層４を形成する。次に図８（ｅ）に示すように、離型剤層４を形成した表面に光硬化性あるいは熱硬化性の高屈折率樹脂材料５を塗布し、さらに、図９（ｆ）に示すように、基板２０を高屈折率樹脂材料５の上から押しつけ、高屈折率樹脂材料５を展開せしめる。高屈折率樹脂材料５の上に基板２０を重ねた状態で、紫外線を照射するか加熱することで高屈折率樹脂材料５を硬化せしめ、図８（ｇ）に示すように、基板６と高屈折率樹脂材料５からなる凸状のマイクロレンズ５００をガラス基板１から剥離する。次に、図８（ｈ）に示すように、凸状のマイクロレンズ５００の上に光硬化性の低屈折率樹脂材料からなる接着剤２１０を塗布する。次に、カバーガラス２００をマイクロレンズ５００上の接着剤２１０上から押し付けて硬化させる。
【００８１】
次にさらに別のマイクロレンズの製造方法について図９を用いて説明する。上述の２つのマイクロレンズの製造方法は、凸型のレンズを形成しているが、図９に示すマイクロレンズは、凹型のレンズの形成方法を示すものである。
【００８２】
先ず図９（ａ）に示すように、ネオセラム等からなる基板２０上に、マスク層６１２を形成する。次に図９（ｂ）に示すように、マスク層６１２に所定の平面配列で開口部６１２ａをフォトリソグラフィ法のパターニング処理により形成する。この時、開口部６１２ａの開口径は実際に形成しようとする凹曲面部の径よりも小さいことが望ましい。次に図９（ｃ）に示すように、マスク層６１２の開口部６１２ａから対向基板２０の表面を等方的にエッチング処理し、凹曲面部６００を形成する。このエッッチング処理は、フッ酸を主体とするエッチング液を用いた湿式エッチングで行う。次に、図９（ｄ）に示すようにマスク層６１２をエッチング処理によって除去する。
【００８３】
次に図９（ｅ）に示すように、マイクロレンズ５００の表面に熱硬化性の接着剤２１０を塗布してネオセラム等からなるカバーガラス２００ｇを押し付けて硬化させる。
【００８４】
次に図９（ｆ）に示すように、カバーガラス２００ｇを研磨して、図６に示した如き、所定の厚みを有するカバーガラス２００とする。
【００８５】
最後に図９（ｇ）に示すように、第２遮光膜２３、対向電極２１及び配向膜２２をスパッタリング、コーティング等によりこの順に成膜して、図６に示した如きマイクロレンズ５００及び第２遮光膜２３を備えた対向基板２０を完成させる。
【００８６】
上記のマイクロレンズの製造方法においては夫々、接着剤２１０は額縁５３に沿って周辺領域にのみ塗布される（画像表示領域１０ａには塗布されない）。このため、接着剤２１０の経時劣化による弊害を効率良く防止でき、安価な接着剤２１０を用いることも可能となる。これに加えてマイクロレンズ５００の前面に空間２２０を構築することにより、レンズ効率が非常に高いマイクロレンズ５００を製造できる。
【００８７】
（電気光学装置の変形形態）
次に、上述した電気光学装置の変形形態について図１０及び図１１を参照して説明する。
【００８８】
第１に、図６に示したマイクロレンズ５００については、図１０に示すように構成されてもよい。即ち、予め各レンズの凸面が形成された透明板（マイクロレンズアレイ）を対向基板２０の表面（図中、上面）に貼り付けてマイクロレンズ５００’付きの対向基板２０を構成するようにしてもよい。この場合、光硬化性の接着剤２１０’により周辺領域でカバーガラス２００’を接着することにより、空間２２０’に面するマイクロレンズアレイを構築する。更に、対向基板２０の液晶層５０に対面する側の面上に、このようなマイクロレンズアレイを貼り付けてもよい。
【００８９】
第２に、図６に示したマイクロレンズ５００に代えて、板状部材の他の例として図１１に示すように防塵ガラス２０２を光硬化性の接着剤により対向基板２０の表面（図中、上面）に接着してもよい。或いは、放熱ガラス、デフォーカス用ガラス板等を光硬化性の接着剤により対向基板２０の表面に接着してもよい。いずれの構成においても、接着剤を周辺領域にのみ塗布する（画像表示領域１０ａには塗布しない）ことにより、接着剤の経時劣化による弊害を効率良く防止でき、安価な接着剤を用いることも可能となる。
【００９０】
このように、本実施形態によれば、プロジェクタ用途のライトバルブやそのうち特にＢ（青色）用のライトバルブのように強力な投射光が透過する電気光学装置の場合に、マイクロレンズアレイ板等を接着する接着剤が当該投射光により経時劣化して悪影響を及ぼす事態を抑制可能となるので大変有利である。
【００９１】
尚、本願発明を、ＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式以外の、ＴＦＤアクティブマトリクス方式、パッシブマトリクス駆動方式などいずれの方式の液晶装置に適用しても、上述の実施形態の如く接着処理を施すことにより、同様の効果を期待できる。
【００９２】
さらに、上述の実施形態では、電気光学装置毎にマイクロレンズ５００等を有する基板２０と接着剤２１０を介してカバーガラス２００に貼り合わせる構成について説明したが、カバーガラス２００が接着された対向基板２０を複数個まとめて形成してもよい。即ち、図１２に示すように、複数の電気光学装置用のマイクロレンズを有する大型基板（マザー基板）２０’と大型カバーガラス２００’とを接着剤２１０ａで貼り合わせて押し付ける。次に、ＵＶ光が大型基板２０’及び大型カバーガラス２００’のうち少なくとも一方を介して、光硬化前の光硬化性の接着剤２１０ａに照射され、硬化後の接着剤２１０となる。その後、ダイシングライン８０に沿ってダイシングすることにより、個々の電気光学装置用にカバーガラス２００が接着された対向基板２０が得られる。その後、カバーガラス２００が接着された対向基板２０と各種の素子や配線等が形成されたＴＦＴアレイ基板１０とを、シール材５２により貼り合わせる。このような製造方法を用いることにより、工程時間及び工程数を短縮することができる。
【００９３】
以上説明した実施形態における液晶装置では、対向基板２０の外面及びＴＦＴアレイ基板１０の外面には各々、例えば、ＴＮ（Twisted Nematic）モード、ＶＡ(Vertically Aligned)モード、ＰＤＬＣ(Polymer Dispersed Liquid Crystal)モード等の動作モードや、ノーマリーホワイトモード／ノーマリーブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板などが所定の方向で配置される。また、対向基板２０上に、何層もの屈折率の相違する干渉層を堆積することで、光の干渉を利用して、ＲＧＢ色を作り出すダイクロイックフィルタを形成してもよい。このダイクロイックフィルタ付き対向基板によれば、より明るいカラー液晶装置が実現できる。
【００９４】
（電子機器）
次に、以上詳細に説明した実施形態における電気光学装置を備えた電子機器の実施の形態について図１３及び図１４を参照して説明する。
【００９５】
先ず図１３に、上述の実施形態の電気光学装置からなる液晶装置１００及びその駆動回路１００４を備えた電子機器の概略構成を示す。
【００９６】
図１３において、電子機器は、表示情報出力源１０００、表示情報処理回路１００２、駆動回路１００４、液晶装置１００、クロック発生回路１００８並びに電源回路１０１０を備えて構成されている。表示情報出力源１０００は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、光ディスク装置などのメモリ、画像信号を同調して出力する同調回路等を含み、クロック発生回路１００８からのクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号などの表示情報を表示情報処理回路１００２に出力する。表示情報処理回路１００２は、増幅・極性反転回路、相展開回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路等の周知の各種処理回路を含んで構成されており、クロック信号に基づいて入力された表示情報からデジタル信号を順次生成し、クロック信号CLKと共に駆動回路１００４に出力する。駆動回路１００４は、液晶装置１００を駆動する。電源回路１０１０は、上述の各回路に所定電源を供給する。尚、液晶装置１００を構成するＴＦＴアレイ基板の上に、駆動回路１００４を搭載してもよく、これに加えて表示情報処理回路１００２を搭載してもよい。
【００９７】
次に図１４に、このように構成された電子機器の具体例を示す。
【００９８】
図１４において、電子機器の一例たる液晶プロジェクタ（投射型表示装置）１１００は、上述した駆動回路１００４がＴＦＴアレイ基板上に搭載された液晶装置１００を含む液晶モジュールを３個用意し、夫々ＲＧＢ用のライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂとして用いたプロジェクタとして構成されている。液晶プロジェクタ１１００では、メタルハライドランプ等の白色光源のランプユニット１１０２から投射光が発せられると、３枚のミラー１１０６及び２枚のダイクロイックミラー１１０８によって、ＲＧＢの３原色に対応する光成分Ｒ、Ｇ、Ｂに分けられ、各色に対応するライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂに夫々導かれる。この際特にＢ光は、長い光路による光損失を防ぐために、入射レンズ１１２２、リレーレンズ１１２３及び出射レンズ１１２４からなるリレーレンズ系１１２１を介して導かれる。そして、ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂにより夫々変調された３原色に対応する光成分は、ダイクロイックプリズム１１１２により再度合成された後、投射レンズ１１１４を介してスクリーン１１２０にカラー画像として投射される。
【００９９】
本発明は、上述した各実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴なう電気光学装置或いはその製造方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の液晶装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【図３】実施形態における製造方法を示す工程図である。
【図４】実施形態の液晶装置の画像表示領域を構成するマトリクス状の複数の画素に設けられた各種素子、配線等の等価回路である。
【図５】実施形態の液晶装置におけるＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図である。
【図６】実施形態の液晶装置において、対向基板に設けられたマイクロレンズにより入射光を集光する様子を示す模式図である。
【図７】図６に示したマイクロレンズの製造方法を順を追って示す工程図である。
【図８】別のマイクロレンズの製造方法を順を追って示す工程図である。
【図９】さらに別のマイクロレンズの製造方法を順を追って示す工程図である。
【図１０】実施形態におけるマイクロレンズの他の一例が形成された画素部における対向基板の拡大断面図である。
【図１１】本発明の他の実施形態における防塵ガラス板が接着された画素部における対向基板の拡大断面図である。
【図１２】本実施形態の対向基板とカバーガラスとを接着する構成を示す斜視図である。
【図１３】本発明による電子機器の実施の形態の概略構成を示すブロック図である。
【図１４】電子機器の一例としての液晶プロジェクタを示す断面図である。
【符号の説明】
３ａ…走査線
３ｂ…容量線
６ａ…データ線
９ａ…画素電極
１０…ＴＦＴアレイ基板
２０…対向基板
２３…第２遮光膜
３０…画素スイッチング用ＴＦＴ
５０…液晶層
５２…シール材
１０１…データ線駆動回路
１０４…走査線駆動回路
２００…カバーガラス
２１０…接着剤
２２０…空間
３００…遮光性のケース
５００…マイクロレンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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