(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
慣性物体を加減速駆動する可変容量形の液圧モータと、該液圧モータの出力軸速度を検出する速度センサと、前記液圧モータの容量を連続的に操作する制御弁と、前記速度センサによって検出される軸速度が速度の指令値と一致するように前記制御弁に操作信号を出力する制御装置とを有する液圧アクチュエータシステムに用いられる液圧アクチュエータパッケージであって、
前記液圧モータの出力軸に前記速度センサを取り付け、その液圧モータのケーシングに前記制御弁を固設し、
前記液圧モータの液圧源としてのアキュムレータと、貯蔵液体量に応じて封入気体との隔壁を変位し得る密閉タンクとを共通の台座に一体的に組み付けた組立体を前記ケーシングに装着し、
該ケーシング及び前記台座内で、前記液圧モータの第１のポート及び第２のポートを前記アキュムレータ及び前記密閉タンクにそれぞれ連通させ、
前記第１，第２のポートにそれぞれ外部から接続可能にする第１，第２の外部接続ポートを前記台座又は前記ケーシングに設けたことを特徴とする液圧アクチュエータパッケージ。
【請求項２】
請求項１記載の液圧アクチュエータパッケージにおいて、
前記第１の外部接続ポートと前記第１のポートとの間に、その第１の外部接続ポートから第１のポートの方向に自由流れの逆止弁を内蔵していることを特徴とする液圧アクチュエータパッケージ。
【請求項３】
前記アキュムレータと前記密閉タンクとを共通の台座に一体的に組み付けた組立体を、前記液圧モータケーシングに着脱し得るように装着した請求項１又は２記載の液圧アクチュエータパッケージ。
【請求項４】
請求項２記載の液圧アクチュエータパッケージにおいて、
前記液圧モータのケーシングに、電動モータと補助ポンプを内蔵したポンプユニットを装着し、
前記第１の外部接続ポートに該ポンプユニットの吐出しポートを接続し、前記第２の外部接続ポートに該ポンプユニットの吸込みポートを接続したことを特徴とする液圧アクチュエータパッケージ。
【請求項５】
前記ポンプユニットを前記液圧モータのケーシングに着脱自在に装着した請求項４記載の液圧アクチュエータパッケージ。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液圧アクチュエータパッケージにおいて、
電磁アクチュエータによりアンロードとオンロードとを切換え可能な電磁リリーフ弁を、前記台座又は前記液圧モータのケーシングに装着し、該電磁リリーフ弁の圧力制御ポートとドレンポートとを、前記液圧モータの第１，第２のポートにそれぞれ連通させたことを特徴とする液圧アクチュエータパッケージ。
【請求項７】
前記電磁リリーフ弁が、前記制御装置からのアンロードとオンロードの切換信号が前記電磁アクチュエータに入力されることによって、前記液圧モータの第１のポートと第２のポートとを連通させるバイパス通路を開閉する弁である請求項６記載の液圧アクチュエータパッケージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、搬送装置や船舶の減揺装置等のように一定質量の負荷を繰り返し移動するのに適した液圧アクチュエータシステムに関し、特にその各構成ユニットを一体化した小形軽量な液圧アクチュエータパッケージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の液圧アクチュエータシステムとしては、例えば我々が先に提案した特開平８−２４４６８２号公報（船舶の動搖防止装置）に記載されているものがある。
【０００３】
このシステムは図６に示すように、油等の液体を動力媒体とする可変容量形の液圧モータ１０１と、この液圧モータ１０１の主軸１０２に機械的に結合された慣性物体である重錘１０３と、液圧モータ１０１及びその液圧源であるアキュムレータ１０８に逆止弁１０７を介して高圧の作動液を供給する補助ポンプ１０５と、補助ポンプ１０５及び液圧モータ１０１の作動液が還流するタンク１０９と、制御ユニット１１０からの指令によりクローズドセンタ形の制御弁１１１を介して作動する第１，第２の容量制御用ピストン１１２，１１３とからなる。
【０００４】
１１４は液圧モータ１０１の主軸１０２の回転速度に応じたパルス信号を発生する速度センサとしてのパルスエンコーダであり、そのパルス信号を制御ユニット１１０にフィードバックする。制御ユニット１１０はそのパルス信号をＦ／Ｖ変換した軸速度の検出値が速度指令値と一致するように制御弁１１１に操作信号を出力して、液圧モータ１０１の斜板の傾きを可変してその容量を制御する。
【０００５】
このような構成で、船体に設けられた加速度計等のセンサ（図示しない）で横搖れを検知すると、その検知量を減殺する方向に重錘１０３を移動させるように制御ユニット１１０に制御指令が与えられる。このとき、重錘１０３を駆動するために必要な瞬時的な大動力はアキュムレータ１０８から放出されるので、補助ポンプ１０５からの供給は小さい動力でよいことになる。
【０００６】
重錘１０３の減速時にはその運動エネルギをアキュムレータ１０８に回収できるので、制動エネルギを熱に変換して排出していた通常の液圧駆動装置に比して大幅な省エネルギ化が可能になる。このような液圧アクチュエータシステムをセカンダリコントロール・システムと称している。
【０００７】
なお、図６においては、図示の都合上重錘１０３を液圧モータ１０１の主軸１０２に機械的に結合させた状態として示しているが、実際には船体の幅方向に設けたガイドバーに摺動自在に装着されており、この重錘１０３に、液圧モータ１０１，補助ポンプ１０５，アキュムレータ１０８，タンク１０９等を搭載している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の液圧アクチュエータシステムにあっては、これを汎用に供しようとすると、液圧モータ１０１，補助ポンプ１０５，アキュムレータ１０８及びタンク１０９を個別に用意し、それぞれ重錘あるいは船体固定部に装着した後、これらを連通管路あるいは接続部材により相互に接続しなければならないため、多くの時間と労力を必要とするだけでなく、装置全体が大型になり且つ重量化するという問題点があった。
また、上記の連通管路が長くなると圧力損失が大きくなり、その損失分の動力を供給しなければならないという問題点もあった。
【０００９】
この発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、上述のような液圧アクチュエータシステムを構成するために、個々の装置を個別に用意して取付けたり配管する手間を不要にし、且つシステム全体を小型軽量化することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この発明は上記の目的を達成するため、慣性物体を加減速駆動する可変容量形の液圧モータと、この液圧モータの出力軸速度を検出する速度センサと、その液圧モータの容量を連続的に操作する制御弁と、上記速度センサによって検出される軸速度が速度の指令値と一致するように上記制御弁に操作信号を出力する制御装置とを有する液圧アクチュエータシステムに用いられる液圧アクチュエータパッケージを提供する。
【００１１】
その液圧アクチュエータパッケージは、上記液圧モータの出力軸に速度センサを取り付け、その液圧モータのケーシングに上記制御弁を固設し、液圧モータの液圧源としてのアキュムレータと、貯蔵液体量に応じて封入気体との隔壁を変位し得る密閉タンクとを共通の台座に一体的に組み付けた組立体を上記ケーシングに装着し、そのケーシング及び上記台座内で、上記液圧モータの第１のポート及び第２のポートを上記アキュムレータ及び密閉タンクにそれぞれ連通させ、その第１，第２のポートにそれぞれ外部から接続可能にする第１，第２の外部接続ポートを上記台座又はケーシングに設けたものである。
【００１２】
さらに、この液圧アクチュエータパッケージに内蔵して、上記第１の外部接続ポートと第１のポートとの間に、その第１の外部接続ポートから第１のポートの方向に自由流れの逆止弁を設けるとよい。
また、上記アキュムレータと密閉タンクとを共通の台座に一体的に組み付けた組立体を、上記液圧モータのケーシングに着脱し得るように装着するのが望ましい。
【００１３】
この液圧アクチュエータパッケージにおいて、上記液圧モータのケーシングに、電動モータと補助ポンプを内蔵したポンプユニットを装着し、上記第１の外部接続ポートに該ポンプユニットの吐出しポートを接続し、第２の外部接続ポートに該ポンプユニットの吸込みポートを接続したものも提供する。
そのポンプユニットを、上記液圧モータのケーシングに着脱自在に装着するとよい。
【００１４】
さらに、これらの液圧アクチュエータパッケージにおいて、電磁アクチュエータによりアンロードとオンロードとを切換え可能な電磁リリーフ弁を、上記台座又液圧モータケーシングに装着し、その電磁リリーフ弁の圧力制御ポートとドレンポートとを、上記液圧モータの第１，第２のポートにそれぞれ連通させるようにすることも可能である。
【００１５】
この場合、上記制御装置からのアンロードとオンロードの切換信号が上記電磁アクチュエータに入力されることによって、上記電磁リリーフ弁が、上記液圧モータの第１のポートと第２のポートとを連通させるバイパス通路を開閉するようにすることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して具体的に説明する。
図１は、この発明の一実施形態を示す液圧アクチュエータパッケージの斜視図、図２は、その液圧回路の一例を示す回路図である。
なお、図２では図示の都合上、図６と同様に加減速駆動される慣性物体を液圧モータ１の主軸２に機械的に結合させた重錘３として示しているが、実際には種々の負荷装置であり、ギア等の伝動機構を介して連結し得る。
【００１７】
この実施形態において、図２に一点鎖線で囲んで示す部分が液圧アクチュエータパッケージ２０であり、可変容量型の液圧モータ１と、その液圧源となるアキュムレータ８及び密閉タンク９と、液圧モータ１の容量を連続的に操作するクローズドセンタ型の制御弁１１等によって、この液圧アクチュエータパッケージ２０を構成している。
【００１８】
そして、この液圧アクチュエータパッケージ２０と、これに接続されるポンプユニット６と、制御弁１１を介して液圧モータ１の容量を制御する制御ユニット１０とによって、セカンダリコントロール・システムを構成する。
【００１９】
液圧モータ１は、斜板式アキシャルピストンモータ等の正負自在の可変容量形の液圧モータであり、その回転速度に応じたパルス数のパルス信号を発生する速度センサであるパルスエンコーダ１４を、その主軸２の後端部に連結させて図１に示すように液圧モータ１のケーシング２１の上面に取り付けている。
主軸２の重錘３と結合する先端部は、図１におけるケーシング２１のパルスエンコーダ１４を取り付けている上面と反対側の取付用フランジ２１ａの下面に突出している。
【００２０】
また、この液圧モータ１の斜板を駆動してその傾斜角度（容量）を制御する第１，第２の容量制御用ピストン１２，１３をケーシング２１内に設け、その斜板の傾斜角度を検出する角度センサ１９を、ケーシング２１外に突出させて設けている。
【００２１】
制御弁１１は、このケーシング２１の外側に固設されている。アキュムレータ８と、貯蔵液体量に応じて封入気体との隔壁を変位し得る密閉タンク９とは、共通の台座２２に着脱し得るように装着されて、一体的に組み付けられた組立体２３を構成しており、この組立体２３が液圧モータケーシング２１に固着される。
【００２２】
そして、液圧モータケーシング２１及び台座２２内で、図２に示すように、液圧モータ１の第１のポート１ａ及び第２のポート１ｂを、アキュムレータ８及び密閉タンク９にそれぞれ連通させ、その第１のポート１ａと第２のポート１ｂにそれぞれ外部から接続可能にする第１の外部接続ポート１５と第２の外部接続ポート１６を台座２２に設け、その内周面に雌ネジを形成している。
【００２３】
また、第１のポート１ａ及び第２のポート１ｂと第１，第２の容量制御用ピストン１２，１３と制御弁１１の各ポートとが、ケーシング２１内のパイロットラインによって接続されている。
【００２４】
さらに、その第１，第２の外部接続ポート１５，１６には、低出力の電動モータ４によって駆動される補助ポンプ５からなるポンプユニット６の吐出しポート及び吸込みポートを外部接続する。
また、第１の外部接続ポート１５と第１のポート１ａとの間に、その第１の外部接続ポート１５から第１のポート１ａの方向に自由流れの逆止弁７を設けている。
【００２５】
そして、可変容量形の液圧モータ１に設けた第１のポート１ａには、ポンプユニット６の高圧の作動液を逆止弁７を介して供給するとともに、所定圧以上の圧力を有するアキュムレータ８からの高圧の作動液を直接供給するようにし、所定の圧力以上の作動液を第２のポート１ｂから密閉タンク９に還流する。
この液圧モータ１の容量は、制御ユニット１０からの操作信号により制御弁１１を介して作動する第１，第２の容量制御用ピストン１２，１３によって制御される。
【００２６】
制御ユニット１０は、液圧アクチュエータパッケージ２０と図示しないコネクタ及び接続ケーブルを介して接続され、外部からの制御指令と、パルスエンコーダ１４からのパルス信号と、角度センサ１９からの角度検出信号とを入力し、制御弁１１に操作信号を出力する。それによって、パルスエンコーダ１４からのパルス信号をＦ／Ｖ変換して得られる軸速度の検出値が速度指令値と一致するように、制御弁１１に操作信号を出力して、液圧モータ１の斜板の傾きを可変してその容量を制御する。
【００２７】
その際、角度センサ１９からの検出信号によるトルク（加速度）に相当する角度値を参照し、軸速度が指令値に一致している例えば慣性のみの負荷の定常状態では、その傾きがなるべくゼロに近くなるように制御する。これによって制御の安定性を高めることができるが、この角度センサ１９からの検出信号がなくても液圧モータの容量制御は可能である。
【００２８】
上記のように構成されたセカンダリコントロール・システムは、ポンプユニット６の補助ポンプ５によって液圧アクチュエータパッケージ２０に圧液が供給され、アキュムレータ８に蓄圧される。液圧モータ１が作動すると、必要分のエネルギがアキュムレータ８から供給されるが、液圧モータ１の制動停止時には、重錘３の運動エネルギがアキュムレータ８に回収される。その間の重錘３を駆動するために必要な動力は、作動液の漏洩損失と駆動による摩擦損失を除けば、液圧モータ１の容量操作に要する動力だけであり、それに相当するエネルギ分は補助ポンプ５から供給される。
【００２９】
このように、このシステムは、制動エネルギを有効に再利用できるだけでなく、瞬間的に必要なエネルギはアキュムレータ８から供給されるので、電源からは、ポンプユニット６の電動モータ４に定常的に小電力を供給すればよく、省エネルギ化と同時に液圧装置の特徴である無段変速機能化が可能になる。
【００３０】
なお、この実施例では、液圧モータ１の第２のポート１ｂからの作動液を、大気に開放したタンクでなく密閉タンク９に還流させている。この密閉タンク９には、アキュムレータ８側の圧力（例えば４ＭＰａ：Mega Pascal）に比して格段に低い圧力（例えば０．１２ＭＰａ）の封入気体（Ｎ2 ガス）を予め封入してあり、この状態では蓄圧効果はほとんど示さない。
【００３１】
しかし、図２に重錘３で示す慣性物体を制動する場合には、アキュムレータ８のエネルギは大部分慣性物体の運動エネルギに変換されているので、密閉タンク９には多量の作動液が存在して内部の圧力が上昇している。このとき、液圧モータ１はポンプ作用をするので、吸い込みポートに相当する第２のポート１ｂに接続されている密閉タンク９の圧力が上昇していると、吸込みが容易になって好都合になる。
【００３２】
いま、密閉タンク９の内部圧力が０．２ＭＰａまで上昇していると仮定すると、タンクを大気圧に開放した状態に比較して吸込み圧力降下は２倍になり、吸込み条件が大幅に向上する。
【００３３】
ここで、アキュムレータ８の蓄積容量は、慣性物体の運動エネルギあるいは位置エネルギに関連するため、駆動装置に合致するように選定する必要がある。したがって、この液圧アクチュエータパッケージ２０を汎用にするには、種々の容量のアキュムレータ８を接続可能にしなければならない。また、密閉タンク９の容量はアキュムレータ８の容量に依存するため、両者を一体的に設けた組立体２３を用意し、この組立体２３をアタッチメントとして液圧モータケーシング２１に着脱可能に装着している。
【００３４】
図１に示す実施形態では、アキュムレータ８及びそれに対応する密閉タンク９を台座２２の上部に一体的に組み付けて組立体２３を構成し、台座２２を複数の取付けボルト２４により、制御弁１１を固設した液圧モータケーシング２１に固設するようにし、この台座２２の側面に逆止弁７を内蔵するように設け、その側面と台座２２の側面に第１，第２の外部接続ポート１５，１６をそれぞれ設けている。
【００３５】
この第１，第２の外部接続ポート１５，１６には、図２に示したポンプユニット６の吐出しポート及び吸込みポートに接続される配管用チュープのコネクタを、螺着あるいは周知のワンタッチ装着用のクイックカプラにより着脱可能に装着する。なお、図１では組立体２３の台座２２の側面に第１，第２の外部接続ポート１５，１６を設けたが、これらは液圧モータケーシング２１に設けることも可能である。
【００３６】
この液圧アクチュエータパッケージ２０は、補助ポンプ５の吐出しポート及び吸込みポートのみを第１，第２の外部接続ポート１５，１６に接続すればよく、液圧回路の設計や配管作業の手間を削減することができる。また、アキュムレータ８及び密閉タンク９を組立体２３として一体化したので、これらを個別に選定する必要もなくなる。
【００３７】
次に、この発明による液圧アクチュエータパッケージの他の実施形態の外観を図３に示す。
この液圧アクチュエータパッケージ３０は、アキュムレータ８及び密閉タンク９を台座３２に固設した組立体３３を制御弁１１とともに液圧モータのケーシング３１に固設している。
【００３８】
さらに、このケーシング３１に、図２に示したポンプユニット６をも一体的に固設して、その補助ポンプ５の吐出しポート及び吸込みポートと液圧モータケーシング３１に設けた第１，第２の外部接続ポートとを直接接続することにより、両者間の配管の手間を省くとともに、配管の困難な場所への設置を可能にしたものである。このケーシング３１にも取付用フランジ３１ａを有し、そこから図２に示した液圧モータ１の主軸２を突出させ、その反対側にパルスエンコーダ１４を取り付けている。
【００３９】
なお、この実施形態では図示していないが、ポンプユニット６とケーシング３１との接続部に、図２に示した逆止弁７を内蔵している。
このポンプユニット６は、すでに述べたように供給電力が小さいものでよいので、遠隔操作が必要な電動モータ４への給電線３４も細いものでよく、設置コストを大幅に削減できるとともに、電力供給設備に余裕のない場所にも設置可能になる。実験の結果、例えば液圧モータ１の瞬時出力動力が６ｋＷのとき、供給電力は１ｋＷ程度でよいことが確認されている。
【００４０】
この液圧アクチュエータパッケージ３０は、ポンプユニット６をも一体化したので、その接続の手間も不要になるとともに、ポンプユニット６の大きさも小さくて液圧アクチュエータパッケージを大幅に小形軽量化することが可能になる。
また、補助ポンプ５の小形化とアキュムレータ８の作用により、脈動の影響が殆どなく、騒音や振動を激減させることが可能になる。
【００４１】
図４は、この発明のさらに他の実施形態の図２と同様な液圧回路を示す図である。
この実施形態の液圧アクチュエータパッケージ４０は、図２に示した液圧アクチュエータパッケージ２０の構成に加えて、液圧モータ１の第１のポート１ａと第２のポート１ｂとの間に、電磁リリーフ弁１７の圧力制御ポート及びドレンポートをそれぞれ連通させたバイパス通路を設け、この電磁リリーフ弁１７のアンロードとオンロードを電磁アクチュエータ（ソレノイド）１８によって切り換え可能にしている。
【００４２】
そして、制御ユニット１０′からアンロード／オンロードの切換信号を電磁アクチュエータ１８に入力させることによって、電磁リリーフ弁１７が液圧モータ１の第１のポート１ａと第２のポート１ｂとを連通させるバイパス通路を開閉するように構成している。
【００４３】
図５は、アンロード／オンロードの切り換え可能な電磁リリーフ弁１７の一例を示す断面図であり、電磁アクチュエータ１８のコイル１８ａに電流を流していないときには、プランジャ１８ｂがポールフェース１８ｃに吸着されておらず、第１のポート１ａの圧力によって電磁リリーフ弁１７の針弁１７ｂが図で右方ら後退され、第２のポート１ｂへの連通が開放されるアンロード状態になる。
【００４４】
電磁アクチュエータ１８のコイル１８ａに電流を流すと、プランジャ１８ｂがポールフェース１８ｃに吸着される。それにより、電磁リリーフ弁１７のスプリング１７ａを介して針弁１７ｂがシート１７ｃに押し付けられ、第１のポート１ａから第２のポート１ｂへの連通が遮断され、第１のポート１ａの圧力が上昇する。
【００４５】
この圧力は、一般にプランジャ１８ｂがポールフェース１８ｃに吸着されることによって撓むスプリング１７ａの付勢力に打ち勝つまで上昇することができるが、それ以上の圧力になると、スプリング１７ａの付勢力に抗して針弁１７ｂが右行して通路が開き、それ以上の圧力の上昇を防止する。言い換えれば、第１のポート１ａの圧力は所定の圧力以上に上昇することはなく、液圧アクチュエータパッケージ４０の安全が保持される。
【００４６】
ただ、上述のような分散設置形の液圧アクチュエータパッケージにあっては、密閉タンク９にある作動液量がアキュムレータ８の容量に対応しているので、電磁リリーフ弁１７が上述のようなリリーフ動作をすることは殆どない。
【００４７】
そのため、このような場合に限れば、この電磁リリーフ弁１７に代えて第１のポート１ａと第２のポート１ｂの連通及び遮断を単に切り換えるだけの弁でも差支えないようにも考えられるが、そのような弁を用いた場合には、切り換えによりアキュムレータ８に蓄積されていた作動液が瞬時に密閉タンク９及び液圧モータ１に開放されて、装置にダメージを与える恐れがあるので好ましくない。
【００４８】
このようなアンロード／オンロード切り換え形の電磁リリーフ弁１７は、液圧モータのケーシング等に設けたねじ孔にねじ込んで容易に装着可能な「スクリューイン型」のものが安価に供給されており、それを螺着した場合の液圧アクチュエータパッケージの外観も、図１及び図３に示した前述の各実施形態と大きく異なるものではないので、その外観を示す図面は省略する。
【００４９】
なお、この電磁リリーフ弁１７は、スクリューイン型に代えてガスケット型のものでもよく、比例ソレノイドを用いて電流値に比例した圧力に制御するようにした「比例電磁リリーフ弁」を用いることも可能である。
【００５０】
【発明の効果】
以上述べたように、この発明による液圧アクチュエータパッケージは、可変容量形の液圧モータ、その制御弁、液圧源としてのアキュムレータ、密閉タンク等を液圧モータケーシングに内蔵あるいは一体的に装着して設け、それらを連通する液路および液圧モータの第１，第２のポートに外部から接続可能にする第１，第２の外部接続ポートを、液圧モータのケーシングあるいはそれと一体の台座に設けたので、各構成要素を個別に用意してそれぞれ配管する手間を省くことができ、連通管路内で生じる圧力損失を少なくして省エネルギ性を向上することもできる。
【００５１】
また、瞬時動力をパッケージ内で供給することができるので、セカンダリコントロール・システムの大幅な小型軽量化を図ることが可能になり、設置コストを削減することができる。
この液圧アクチュエータパッケージにおいて、液圧モータの第１の接続ポートと第１の外部接続ポートとの間に逆止弁を内蔵して設けることにより、逆止弁の選定や配管の手間を省くことができ、アキュムレータと密閉タンクとを一体の組立体として液圧モータのケーシングに着脱可能に装着することにより、これらを個別に選定してそれぞれ接続する必要もなくなる。
【００５２】
さらに、液圧モータのケーシングにポンプユニットを一体に設け、第１の外部接続ポートにポンプユニットの吐出しポートを、第２の外部接続ポートに、ポンプユニットの吸込みポートをそれぞれ直接接続すれば、液圧モータとポンプユニットとの配管の手間も省くことができ、配管の困難な場所への設置も可能になる。
【００５３】
このポンプユニットを液圧モータのケーシングに着脱可能にすることにより、液圧アクチュエータパッケージの汎用性を一層向上させることができる。
また、この液圧アクチュエータパッケージにおいて、アンロードとオンロードとを切換え可能な電磁リリーフ弁によって液圧モータの第１，第２のポート間にバイパス通路を形成するようにすれば、アキュムレータに蓄積された流体エネルギを安全に開放させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態を示す液圧アクチュエータパッケージの斜視図である。
【図２】同じくその液圧回路の一例を示す図である。
【図３】この発明の他の実施形態を示す液圧アクチュエータパッケージの斜視図である。
【図４】この発明のさらに他の実施形態の図２と同様な液圧回路を示す図である。
【図５】図４における電磁リリーフ弁１７の構成の一例を示す断面図である。
【図６】従来の液圧アクチュエータシステム（セカンダリコントロール・システム）の一例を示す回路図である。
【符号の説明】
１：液圧モータ    ２：主軸    ３：重錘（慣性物体）
４：電動モータ    ５：補助ポンプ
６：ポンプユニット    ７：逆止弁
８：アキュムレータ    ９：密閉タンク
１０，１０′：制御ユニット    １１：制御弁
１２，１３：容量制御用ピストン
１４：パルスエンコーダ  １５：第１の外部接続ポート
１６：第２の外部接続ポート    １７：電磁リリーフ弁
１８：電磁アクチュエータ      １９：角度センサ
２０，３０，４０：液圧アクチュエータパッケージ
２１，３１：液圧モータのケーシング
２２，３２：台座      ２３，３３：組立体
【図１】
0003853484.tif 000002
【図２】
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【図３】
0003853484.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003853484.tif 000006
【図６】
0003853484.tif 000007