(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
組成式ａＰｂＴｉＯ3 ＋ｂＰｂＺｒＯ3 ＋ｃＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｓｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｄＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｅＺｎＯ＋ｆＰｂＯで表わされると共に、ａ＝１０〜６０［ｍｏｌ％］，ｂ＝１０〜６５［ｍｏｌ％］，ｃ＝３〜２０［ｍｏｌ％］，ｄ＝０〜６５［ｍｏｌ％］（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００）とする主成分と、該主成分重量に対してｅ＝０．２〜２．５［ｗｔ％］，ｆ＝０〜８［ｗｔ％］として添加された副成分とを含むことを特徴とする圧電磁器材料。
【請求項２】
組成式ａＰｂＴｉＯ3 ＋ｂＰｂＺｒＯ3 ＋ｃＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｄＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｅＺｎＯ＋ｆＰｂＯで表わされると共に、ａ＝１０〜５５［ｍｏｌ％］，ｂ＝１０〜６０［ｍｏｌ％］，ｃ＝２〜４０［ｍｏｌ％］，ｄ＝０〜６５［ｍｏｌ％］（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００）とする主成分と、該主成分重量に対してｅ＝０．２〜２．５［ｗｔ％］，ｆ＝０〜８［ｗｔ％］として添加された副成分とを含むことを特徴とする圧電磁器材料。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明は、例えば各種超音波振動子，セラミックフィルタ，圧電発音体，圧電アクチュエーター等の圧電磁器製造物に利用される圧電磁器材料に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、圧電磁器材料としてはＰｂＴｉＯ3 やＰｂＺｒＯ3 を主成分として含む圧電セラミック（以下、ＰＺＴ系圧電セラミックと略する）が汎用的に用いられている。一般に、この種の圧電セラミックでは、その製造に要する焼結温度が二成分系では約１２６０℃であり、更に特性改善のために複合ペロブスカイト類を第三成分，第四成分として固溶させた多成分ＰＺＴ系圧電セラミックでは、焼結温度が多少低下して１２００℃近辺となっている。
【０００３】
ところで、ＰＺＴ系圧電セラミックの焼結過程において、主成分の一つであるＰｂＯの蒸発が１０００℃近辺から急激に増加することが知られている。従って、上記の温度領域では多量のＰｂＯ蒸発が起こるという問題がある。ＰｂＯが蒸発すると、焼結体の組成ずれを引き起こし、特性のばらつきや劣化を招く上、蒸発したＰｂ成分は環境汚染の原因となる。
【０００４】
そこで、ＰｂＯの蒸発を制御することはＰＺＴ系圧電セラミックの製造上、非常に重要となっており、このためには焼結温度を１０００℃以下にすることが望ましい。焼結温度の低下は省エネルギーの点でも有益である上に、例えば一体焼成で製造される積層型圧電素子の場合、焼結温度が低下できれば内部電極の構成においてパラジウムを減らし、銀の比率を増大させることが可能であり、製造コスト面で有利となると期待される。このように、圧電磁器材料の焼結温度を低下させることは製造コスト面で長所を奏する他、省エネルギーを具現化する点でも有益である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したＰＺＴ系圧電セラミックの場合、一般に焼結温度が通常１２００℃以上であるため、ＰｂＯの蒸発を回避したり、或いは製造コストを低減化させることが困難となっている。
【０００６】
本発明は、このような問題点を解決すべくなされたもので、その技術的課題は、ＰｂＯの蒸発を回避できる低温（１０００℃以下）で焼成可能であると共に、製造コストを低減化し得る圧電磁器材料を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、組成式ａＰｂＴｉＯ3 ＋ｂＰｂＺｒＯ3 ＋ｃＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｓｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｄＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｅＺｎＯ＋ｆＰｂＯで表わされると共に、ａ＝１０〜６０［ｍｏｌ％］，ｂ＝１０〜６５［ｍｏｌ％］，ｃ＝３〜２０［ｍｏｌ％］，ｄ＝０〜６５［ｍｏｌ％］（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００）とする主成分と、該主成分重量（主成分を重量で１００％としたとき）に対してｅ＝０．２〜２．５［ｗｔ％］，ｆ＝０〜８［ｗｔ％］として添加された副成分とを含む圧電磁器材料が得られる。
【０００８】
又、本発明によれば、組成式ａＰｂＴｉＯ3 ＋ｂＰｂＺｒＯ3 ＋ｃＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｄＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｅＺｎＯ＋ｆＰｂＯで表わされると共に、ａ＝１０〜５５［ｍｏｌ％］，ｂ＝１０〜６０［ｍｏｌ％］，ｃ＝２〜４０［ｍｏｌ％］，ｄ＝０〜６５［ｍｏｌ％］（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００）とする主成分と、該主成分重量に対してｅ＝０．２〜２．５［ｗｔ％］，ｆ＝０〜８［ｗｔ％］として添加された副成分とを含む圧電磁器材料が得られる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に実施例を挙げ、本発明の圧電磁器材料について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】
最初に、本発明の圧電磁器材料の概要並びにその具現に至る背景を簡単に説明する。この圧電磁器材料の一例は、組成式ａＰｂＴｉＯ3 ＋ｂＰｂＺｒＯ3 ＋ｃＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｓｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｄＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｅＺｎＯ＋ｆＰｂＯで表わされ、更に、ａ＝１０〜６０［ｍｏｌ％］，ｂ＝１０〜６５［ｍｏｌ％］，ｃ＝３〜２０［ｍｏｌ％］，ｄ＝０〜６５［ｍｏｌ％］（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００）とする主成分と、この主成分重量（主成分を重量で１００％としたとき）に対してｅ＝０．２〜２．５［ｗｔ％］，ｆ＝０〜８［ｗｔ％］として添加された副成分とを含むものである。
【００１１】
又、この圧電磁器材料の他例は、組成式ａＰｂＴｉＯ3 ＋ｂＰｂＺｒＯ3 ＋ｃＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｄＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｅＺｎＯ＋ｆＰｂＯで表わされると共に、ａ＝１０〜５５［ｍｏｌ％］，ｂ＝１０〜６０［ｍｏｌ％］，ｃ＝２〜４０［ｍｏｌ％］，ｄ＝０〜６５［ｍｏｌ％］（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００）とする主成分と、該主成分重量に対してｅ＝０．２〜２．５［ｗｔ％］，ｆ＝０〜８［ｗｔ％］として添加された副成分とを含むものである。このような組成によりＰｂＯの蒸発を回避可能な低温（１０００℃以下）で焼成可能となる。
【００１２】
一般に、ＰｂＴｉＯ3 及びＰｂＺｒＯ3 の固溶体に、ＡサイトにＰｂを有する複合ペロブスカイト類を第三成分として固溶させる場合、この比率が多いほど一般には焼結温度が低下する。これは複合ペロブスカイト類の融点が低い（１２００℃未満）ことに起因している。ところが、これらの含有率が高くなるに従って強誘電性を有する組成範囲ではキュリー温度が低下する。
【００１３】
多成分のＰＺＴ系圧電セラミックは、複合ペロブスカイト類を一種若しくは複数種としてＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 に固溶させることにより、二成分系では得られなかった誘電的，圧電的な特性改善がなされて実用に供される。又、ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐｂ（Ｍｎ1/3 Ｅ2/3 ）Ｏ3 （但し、Ｅ＝Ｓｂ，Ｎｂ）系圧電セラミックは、Ｐｂ（Ｍｎ1/3 Ｓｂ2/3 ）Ｏ3 又はＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 を固溶させることで数百〜数千の機械的品質係数と高い誘電的，圧電的な特性とが得られるが、実用的な組成範囲はＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｓｂ2/3 ）Ｏ3 の比率が２０ｍｏｌ％以下、又Ｐｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 の比率が４０ｍｏｌ％以下である。これはこの値を越えるとキュリー温度が２００℃以下となり、誘電的，圧電的な特性における温度安定性が低下するためである。
【００１４】
本発明では、ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐｂ（Ｍｎ1/3 Ｅ2/3 ）Ｏ3 （但し、Ｅ＝Ｓｂ，Ｎｂ）系に、更に第四の複合ペロブスカイト類として、強誘電性でキュリー温度が比較的高いＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 を選んで固溶させることで、キュリー温度の低下を抑え、比較的機械的品質係数が高く、しかも１０００℃以下の低温で焼結できる組成を見い出している。
【００１５】
しかしながら、ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐｂ（Ｍｎ1/3 Ｅ2/3 ）Ｏ3 −Ｐｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 （但し、Ｅ＝Ｓｂ，Ｎｂ）の組成のみでは焼結体に巨大ボイドが生じ易く、実用面で問題がある。
【００１６】
そこで、一定量のＺｎＯを添加することで、巨大ボイドの発生が著しく抑制されると共に、焼結性が改善されて実用的な誘電圧電特性を有する組成となることが判明した。又、ＺｎＯはＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 が存在しない条件下でも単独で焼結温度の低下を可能にすることが明らかとなった。更に、ＺｎＯに加えてＰｂＯを添加すると、焼結温度を一層低下させ得ることが確認された。
【００１７】
以下は、本発明の圧電磁器材料をその製造工程を含めて具体的な幾つかの実施例（比較例を含む）に基づいて説明する。
【００１８】
［実施例１］
実施例１では、最初に主成分及び副成分の原料として、ＰｂＯ，ＴｉＯ2 ，ＺｒＯ2 ，ＭｎＣＯ3 ，Ｓｂ2 Ｏ3 ，Ｎｂ2 Ｏ5 ，及びＺｎＯをそれぞれ異なる組成となるように秤量し、これらの原料粉をジルコニアボールと一緒にアクリルポット中に入れて２０時間湿式混合した。
【００１９】
次に、これらの混合粉を脱水乾燥後、アルミナこう鉢中で温度８００℃の条件下で２時間予焼を行ってから各予焼粉をアクリルポット中ジルコニアボールにて１５時間湿式粉砕した。
【００２０】
引き続き、蒸発乾燥して得られた各予焼粉砕にバインダを混合して加圧し、直径φが１５ｍｍ，厚さ３ｍｍとなるように成形した。これらの成形体を７５０〜１０５０［℃］で２時間焼成し、各焼結体を１ｍｍの厚さに加工した後、両面に銀ペーストを塗布して温度条件４５０℃で焼き付けて電極を形成することにより、それぞれ組成の異なる総計２８種の試料とした。
【００２１】
このようにして得られた各試料を１００℃，４ｋＶ／ｍｍの条件下で１５分間に及ぶ分極処理を施した後、比誘電率εr ，電気機械結合係数Ｋp ，機械的品質係数Ｑm を測定したところ、表１に示すような結果（各試料の組成を含む）となった。
【００２２】
【表１】
0003781317.tif 000002
【００２３】
因みに、表１においてＴc はキュリー温度であり、Ｔ．Ｓ．は焼結体密度ρが７．５ｇ／ｃｍ3 以上となるのに必要な最低の焼結温度である。尚、図１は表１における各試料のうちの代表的な例（試料Ｎｏ．１９，Ｎｏ．２０，Ｎｏ．２６，Ｎｏ．２７のもの）に関する焼結温度に対する焼結体密度の関係を示したものである。
【００２４】
表１からは、本発明の圧電磁器材料に関して組成範囲を決定する理由として、排除されるべき以下の第１乃至第６の不適当事項を列挙することができる。即ち、各試料のうち、εr ＜４００（試料Ｎｏ．１２，Ｎｏ．１４），Ｋp ＜２５（試料Ｎｏ．４，Ｎｏ．６，Ｎｏ．８，Ｎｏ．１２，Ｎｏ．１４），Ｑm ＜５００（試料Ｎｏ．１，Ｎｏ．８，Ｎｏ．１０），Ｔc ＜２００℃（試料Ｎｏ．４，Ｎｏ．６，Ｎｏ．８）のものに関しては実用性に乏しいため、本発明の実施例から除外される。
【００２５】
第１の不適当事項は、試料Ｎｏ．８のようにＰｂＴｉＯ3 量ａが１０ｍｏｌ％未満ではＫp ，Ｑm ，Ｔc が低い値となって好ましくないこと、更に試料Ｎｏ．１２のように６０ｍｏｌ％を越えてもεr ，Ｋp が低い値となって好ましくないことである。
【００２６】
第２の不適当事項は、試料Ｎｏ．１０のようにＰｂＺｒＯ3 量ｂが１０ｍｏｌ％未満ではＱm が低下して好ましくないこと、更に試料Ｎｏ．１４のように６５ｍｏｌ％を越えてもεr ，Ｋp が低い値となって好ましくないことである。
【００２７】
第３の不適当事項は、試料Ｎｏ．１のようにＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｓｂ2/3 ）Ｏ3 量ｃが３ｍｏｌ％未満ではＱm が低下して好ましくないこと、更に試料Ｎｏ．４のように２０ｍｏｌ％を越えてもＫp ，Ｔc が低い値となって好ましくないことである。
【００２８】
第４の不適当事項は、試料Ｎｏ．６のようにＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 量ｄが６５ｍｏｌ％を越えるとＫp ，Ｔc が低い値となって好ましくないことである。
【００２９】
第５の不適当事項は、試料Ｎｏ．１５，Ｎｏ．２２のようにＺｎＯ量ｅが主成分全重量に対して０．２ｗｔ％未満では焼結体に巨大ボイドが生じて組織が不均質となるため好ましくないこと、更に試料Ｎｏ．１８，Ｎｏ．２５のように２．５ｗｔ％を越えても組織が不均質となって好ましくないことである。
【００３０】
第６の不適当事項は、試料Ｎｏ．２１，Ｎｏ．２８のようにＰｂＯ量ｆが８ｗｔ％を越えると巨大ボイドが生じて好ましくないことである。
【００３１】
このような各不適当事項に該当する試料と特性が劣化した試料とを排除することにより、組成式ａＰｂＴｉＯ3 ＋ｂＰｂＺｒＯ3 ＋ｃＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｓｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｄＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｅＺｎＯ＋ｆＰｂＯにおいて、ａを１０〜６０［ｍｏｌ％］，ｂを１０〜６５［ｍｏｌ％］，ｃを３〜２０［ｍｏｌ％］，ｄを０〜６５［ｍｏｌ％］（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００とする）から成る主成分に関し、その主成分重量に対してｅを０．２〜２．５［ｗｔ％］，ｆを０〜８［ｗｔ％］とする副成分を添加するという組成の決定ができ、高特性で１０００℃以下の低温で焼成可能な圧電磁器材料が得られる。
【００３２】
即ち、表１に示した総計２８種の試料のうち、試料Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．５，Ｎｏ．７，Ｎｏ．９，Ｎｏ．１１，Ｎｏ．１３，Ｎｏ．１６，Ｎｏ．１７，Ｎｏ．１９，Ｎｏ．２０，Ｎｏ．２３，Ｎｏ．２４，Ｎｏ．２６，Ｎｏ．２７のものは、本発明の実施例となり、これ以外の試料Ｎｏ．１，Ｎｏ．４，Ｎｏ．６，Ｎｏ．８，Ｎｏ．１０，Ｎｏ．１２，Ｎｏ．１４，Ｎｏ．１５，Ｎｏ．１８，Ｎｏ．２１，Ｎｏ．２２，Ｎｏ．２５，Ｎｏ．２８のものは本発明外の比較例となっている。
【００３３】
尚、図１に示した各試料（試料Ｎｏ．１９，Ｎｏ．２０，Ｎｏ．２６，Ｎｏ．２７）関して、表１中の試料Ｎｏ．１９のものからはＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 が存在しない条件でもＺｎＯが単独で焼結温度の低下に効果を示すことが判り、しかも表１中の試料Ｎｏ．１９，Ｎｏ．２０，Ｎｏ．２６，Ｎｏ．２７のものからは更にＰｂＯを添加することによって焼結温度を一層低下させ得ることが判る。
【００３４】
［実施例２］
実施例２では、最初に主成分及び副成分の原料として、ＰｂＯ，ＴｉＯ2 ，ＺｒＯ2 ，ＭｎＣＯ3 ，Ｎｂ2 Ｏ5 ，及びＺｎＯをそれぞれ異なる組成となるように秤量し、これらの原料粉を用いて実施例１の場合と同じ条件でそれぞれ組成の異なる総計３０種の試料とした。
【００３５】
このようにして得られた各試料を１００℃，４ｋＶ／ｍｍの条件下で１５分間に及ぶ分極処理を施した後、比誘電率εr ，電気機械結合係数Ｋp ，機械的品質係数Ｑm を測定したところ、表２に示すような結果（各試料の組成を含む）となった。
【００３６】
【表２】
0003781317.tif 000003
【００３７】
因みに、表２においてＴc はキュリー温度であり、Ｔ．Ｓ．は焼結体密度ρが７．５ｇ／ｃｍ3 以上となるのに必要な最低の焼結温度である。尚、図２は表２における各試料のうちの代表的な例（試料Ｎｏ．１９，Ｎｏ．２０，Ｎｏ．２６，Ｎｏ．２７のもの）に関する焼結温度に対する焼結体密度の関係を示したものである。
【００３８】
ここでも、表２からは、本発明の圧電磁器材料に関して組成範囲を決定する理由として、排除されるべき以下の第１乃至第６の不適当事項を列挙することができる。即ち、各試料のうち、εr ＜４００（試料Ｎｏ．８，Ｎｏ．１２，Ｎｏ．１４），Ｋp ＜２５（試料Ｎｏ．４，Ｎｏ．６，Ｎｏ．８，Ｎｏ．１２，Ｎｏ．１４），Ｑm ＜５００（試料Ｎｏ．１，Ｎｏ．８，Ｎｏ．１０），Ｔc ＜２００℃（試料Ｎｏ．４，Ｎｏ．６，Ｎｏ．８）のものに関しては実用性に乏しいため、本発明の実施例から除外される。
【００３９】
第１の不適当事項は、試料Ｎｏ．８のようにＰｂＴｉＯ3 量ａが１０ｍｏｌ％未満ではεr ，Ｋp ，Ｑm ，Ｔc が低い値となって好ましくないこと、更に試料Ｎｏ．１２のように５５ｍｏｌ％を超過してもεr ，Ｋp が低い値となって好ましくないことである。
【００４０】
第２の不適当事項は、試料Ｎｏ．１０のようにＰｂＺｒＯ3 量ｂが１０ｍｏｌ％未満ではＱm が低下して好ましくないこと、更に試料Ｎｏ．１４のように６０ｍｏｌ％を越えてもεr ，Ｋp が低い値となって好ましくないことである。
【００４１】
第３の不適当事項は、試料Ｎｏ．１のようにＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 量ｃが２ｍｏｌ％未満ではＱm が低下して好ましくないこと、更に試料Ｎｏ．４のように４０ｍｏｌ％を越えてもＫp ，Ｔc が低い値となって好ましくないことである。
【００４２】
第４の不適当事項は、試料Ｎｏ．６のようにＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 量ｄが６５ｍｏｌ％を越えるとＫp ，Ｔc が低い値となって好ましくないことである。
【００４３】
第５の不適当事項は、試料Ｎｏ．１５，Ｎｏ．２２のようにＺｎＯ量ｅが主成分全重量に対して０．２ｗｔ％未満では焼結体に巨大ボイドが生じて組織が不均質となるため好ましくないこと、更に試料Ｎｏ．１８，Ｎｏ．２５のように２．５ｗｔ％を越えても組織が不均質となって好ましくないことである。
【００４４】
第６の不適当事項は、試料Ｎｏ．２１，Ｎｏ．２８のようにＰｂＯ量ｆが８ｗｔ％を越えると巨大ボイドが生じて好ましくないことである。
【００４５】
このような各不適当事項に該当する試料と特性が劣化した試料とを排除することにより、組成式ａＰｂＴｉＯ3 ＋ｂＰｂＺｒＯ3 ＋ｃＰｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｄＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ＋ｅＺｎＯ＋ｆＰｂＯにおいて、ａを１０〜５５［ｍｏｌ％］，ｂを１０〜６５［ｍｏｌ％］，ｃを２〜４０［ｍｏｌ％］，ｄを０〜６５［ｍｏｌ％］（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００とする）から成る主成分に関し、その主成分重量に対してｅを０．２〜２．５［ｗｔ％］，ｆを０〜８［ｗｔ％］とする副成分を添加するという組成の決定ができ、高特性で１０００℃以下の低温で焼成可能な圧電磁器材料が得られる。
【００４６】
即ち、表２に示した総計３０種の試料のうち、試料Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．５，Ｎｏ．７，Ｎｏ．９，Ｎｏ．１１，Ｎｏ．１３，Ｎｏ．１６，Ｎｏ．１７，Ｎｏ．１９，Ｎｏ．２０，Ｎｏ．２３，Ｎｏ．２４，Ｎｏ．２６，Ｎｏ．２７，Ｎｏ．２９，Ｎｏ．３０のものは、本発明の実施例となり、これ以外の試料Ｎｏ．１，Ｎｏ．４，Ｎｏ．６，Ｎｏ．８，Ｎｏ．１０，Ｎｏ．１２，Ｎｏ．１４，Ｎｏ．１５，Ｎｏ．１８，Ｎｏ．２１，Ｎｏ．２２，Ｎｏ．２５，Ｎｏ．２８のものは本発明外の比較例となっている。
【００４７】
尚、図２に示した各試料（試料Ｎｏ．１９，Ｎｏ．２０，Ｎｏ．２６，Ｎｏ．２７）関して、表２中の試料Ｎｏ．１９のものからはＰｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 が存在しない条件でもＺｎＯが単独で焼結温度の低下に効果を示すことが判り、しかも表２中の試料Ｎｏ．１９，Ｎｏ．２０，Ｎｏ．２６，Ｎｏ．２７のものからは更にＰｂＯを添加することによって焼結温度を一層低下させ得ることが判る。又、試料Ｎｏ．２９，Ｎｏ．３０のものの組成では、特性的に極めて優れた材料が得られることが判る。
【００４８】
【発明の効果】
以上に述べた通り、本発明によれば、主成分及び副成分としてのＰｂＴｉＯ3 ，ＰｂＺｒＯ3 ，Ｐｂ（Ｍｎ1/3 Ｅ2/3 ）Ｏ3 （但し、Ｅ＝Ｓｂ，Ｎｂ），Ｐｂ（Ｚｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 ，ＺｎＯ，ＰｂＯを適量範囲で用いることにより、ＰｂＯの蒸発を回避できる１０００℃以下の低温で焼成可能で、しかも比誘電率εr が４００以上，電気機械結合係数Ｋp が２５以上，機械的品質係数Ｑm が５００以上，キュリー温度Ｔc が２００℃以上の優れた特性を有する圧電体材料を省エネルギーで低コストで製造可能となるため、工業的に有益となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧電磁器材料の製造工程を説明した実施例１において作製した各試料のうちの代表的なものに関する焼結温度に対する焼結体密度の関係を示したものである。
【図２】本発明の圧電磁器材料の製造工程を説明した実施例２において作製した各試料のうちの代表的なものに関する焼結温度に対する焼結体密度の関係を示したものである。
【図１】
0003781317.tif 000004
【図２】
0003781317.tif 000005