(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給ポート、出力ポート、排気ポート、および前記出力ポートを前記供給ポートと前記排気ポートに連通させる連通路が形成された弁ブロック部と、ソレノイド収容室および基板収容室が形成されたソレノイド部とが一体に形成された弁ハウジングと、
前記弁ハウジングに組み付けられ、前記出力ポートと前記供給ポートを連通させる位置および前記出力ポートと前記排気ポートとを連通させる位置とに作動して流路を切り換える弁体と、
コイルが巻き付けられ、前記弁体を作動する可動コアが設けられたボビンを有し、前記ソレノイド収容室内に圧入されて前記弁ハウジングに固定されるソレノイド組立体と、
前記基板収容室内に組み付けられ、前記コイルに通電する給電ケーブルが接続される基板と、
前記弁ハウジングに係合する係合部が設けられ、前記ソレノイド収容室と前記基板収容室とを覆うカバーとを有し、
前記ソレノイド収容室内に突出して前記弁ハウジングに設けられたハウジング側の突起部に前記ソレノイド組立体の挿入により係合する突起部と、前記収容室の内面に接触する突起部とを前記ソレノイド組立体に設けることを特徴とする電磁弁。
【請求項２】
供給ポート、出力ポートおよび排気ポートが形成された主弁組立体と、前記それぞれのポートに連通させて前記主弁組立体に形成された弁孔に、軸方向に摺動自在に装着される主弁と、前記主弁の一端部に設けられた第１ピストンが摺動自在に装着される第１空気圧室と前記供給ポートとを導通させて前記主弁組立体に形成される給気路と、前記主弁の他端部に設けられ、前記第１ピストンよりも大径に形成された第２ピストンが摺動自在に装着される第２空気圧室と前記供給ポートとの導通を制御するパイロット弁とを有し、
当該パイロット弁は請求項１記載の電磁弁であることを特徴とする電磁弁。
【請求項３】
供給ポート、出力ポートおよび排気ポートが形成された主弁組立体と、
前記それぞれのポートに連通させて前記主弁組立体に形成された弁孔に、軸方向に摺動自在に装着された主弁と、
前記主弁の一端部に設けられた第１ピストンが摺動自在に装着され、前記主弁組立体に形成された第１空気圧室と、
前記主弁の他端部に設けられた第２ピストンが摺動自在に装着され、前記主弁組立体に形成された第２空気圧室と、
前記第１空気圧室と前記供給ポートとの導通を制御する第１パイロット弁と、
前記第２空気圧室と前記供給ポートとの導通を制御する第２パイロット弁とを有し、
前記第１のパイロット弁と前記第２のパイロット弁は、それぞれ請求項１記載の電磁弁であることを特徴とする電磁弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は流体流路の開閉や流れの方向などを変える方向制御弁を電磁石により作動するようにした電磁弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
空気圧配管に空気を流したり、流れを停止したり、流れの方向を変えるために切換弁、逆止弁などの方向制御弁が使用されており、これらの方向制御弁のうち電磁石つまりソレノイドにより弁体を作動するようにしたタイプのものは電磁弁と言われる。
【０００３】
電磁弁には、電磁石により操作される弁体により直接流れの開閉や方向を変えるタイプの直動式と、電磁石により内部のパイロット弁を駆動してその出力により主弁の弁体を作動することによって流路の方向制御などを行うタイプの間接作動式とがある。
【０００４】
切換弁には、空気の入力ポートと出力ポートの２つのポートを有する２ポート弁、供給ポートと出力ポートと排気ポートの３つのポートを有する３ポート弁、供給ポートと排気ポートと２つの出力ポートの４つのポートを有する４ポート弁、さらに、供給ポートに加えて２つずつ出力ポートと排気ポートを有する５ポート弁などがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の電磁弁は、電磁石用のコイルが設けられ可動コアを作動するソレノイド部と、可動コアにより駆動される弁体が組み込まれたバルブブロックとが別体となっている。このため、電磁弁を組み立てる際には、ソレノイド部とバルブブロックとを組み付ける作業が必要となる。
【０００６】
また、電磁弁のソレノイド部の形状は、３ポート弁および５ポート弁などの弁の種類に応じて相違しており、しかも、間接作動式と直接作動式とでは、ソレノイド部の形状が相違しており、種々の電磁弁を製造する場合には、それぞれのタイプに対応させて多種のソレノイドを用意しなければならず、製造工程における部品管理が複雑となっている。
【０００７】
本発明の目的は、電磁弁の部品点数を低減して、その製造能率を向上することにある。
【０００８】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００１０】
すなわち、本発明の電磁弁は、供給ポート、出力ポート、排気ポート、および前記出力ポートを前記供給ポートと前記排気ポートに連通させる連通路が形成された弁ブロック部と、ソレノイド収容室および基板収容室が形成されたソレノイド部とが一体に形成された弁ハウジングと、前記弁ハウジングに組み付けられ、前記出力ポートと前記供給ポートを連通させる位置および前記出力ポートと前記排気ポートとを連通させる位置とに作動して流路を切り換える弁体と、コイルが巻き付けられ、前記弁体を作動する可動コアが設けられたボビンを有し、前記ソレノイド収容室内に圧入されて前記弁ハウジングに固定されるソレノイド組立体と、前記基板収容室内に組み付けられ、前記コイルに通電する給電ケーブルが接続される基板と、前記弁ハウジングに係合する係合部が設けられ、前記ソレノイド収容室と前記基板収容室とを覆うカバーとを有し、前記ソレノイド収容室内に突出して前記弁ハウジングに設けられたハウジング側の突起部に前記ソレノイド組立体の挿入により係合する突起部と、前記収容室の内面に接触する突起部とを前記ソレノイド組立体に設けることを特徴とする。
【００１１】
この電磁弁にあっては、電磁弁のソレノイド部と弁ブロック部とが一体となった弁ハウジングにより形成されているので、部品点数が低減されてその組立が容易となる。
【００１２】
そして、前記構成の電磁弁をパイロット弁として、スプール式の主弁が設けられた主弁組立体に取り付けることにより、間接作動式の電磁弁を構成することができ、直動式の電磁弁をそのまま利用することにより、間接作動式の電磁弁を組み立てることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
図１（Ａ）は本発明の一実施の形態である電磁弁１０を示す正面図であり、図１（Ｂ）は同図（Ａ）の平面図であり、図２は図１（Ｂ）の２−２線に沿う断面図である。
【００１５】
この電磁弁１０は図１に示すように、上面および側面が全体的に長方形となっており、図２に示すように、ソレノイド部１１ａと弁ブロック部１１ｂとが一体となった弁ハウジング１１を有し、この弁ハウジング１１は樹脂により一体成形されている。ソレノイド部１１ａには、ほぼ直方体形状となったソレノイド収容室１２が形成されており、この収容室１２の中にはソレノイド組立体１３が組み込まれるようになっている。
【００１６】
ソレノイド組立体１３は円筒部１４ａの両端にフランジ部１４ｂ，１４ｃが設けられたボビン１４を有し、ボビン１４にはコイル１５が巻き付けられている。ボビン１４は図示するように断面コの字形状のフレーム本体１６ａとこれの先端部に配置される先端フレーム１６ｂとを有する磁性体製の磁気フレーム１６内に組み込まれるようになっている。
【００１７】
ボビン１４の後端部側には固定コア１７が組み込まれ、先端部には可動コア１８が軸方向に摺動自在に装着されており、可動コア１８に対して前進方向のばね力を付勢するために、ボビン１４の内部には圧縮コイルばね１９が組み込まれている。可動コア１８の先端部内にはポペットタイプの弁体２１が設けられ、この弁体２１には圧縮コイルばね２２により先端部側に向かうばね力が付勢されている。したがって、コイル１５に対して通電すると、可動コア１８がばね１９のばね力に抗して固定コア１７に向けて軸方向に後退移動することになり、通電を停止するとばね力により前進移動することになる。
【００１８】
弁ハウジング１１の弁ブロック部１１ｂには、弁ハウジング１１の図における下面側に設けられた接続面１１ｃに開口部を有するＡポートつまり出力ポート２３が可動コア１８の移動方向に対して直角方向に伸びて形成されており、この出力ポート２３に平行に伸びてＰポートつまり供給ポート２４が形成されており、この供給ポート２４は出力ポート２３よりも可動コア１８側に位置している。出力ポート２３を介して供給ポート２４の反対側にはＲポートつまり排気ポート２５が出力ポート２３に平行に伸びて形成されており、供給ポート２４と排気ポート２５はそれぞれ接続面１１ｃに開口している。
【００１９】
供給ポート２４は弁ハウジング１１に形成された連通孔２６により弁体２１の先端面に開口されており、弁体２１が開いたときに供給ポート２４と連通する連通路２７が出力ポート２３に連通して形成されている。この連通路２７は連通孔２８を介して排気ポート２５に連通されるようになっている。
【００２０】
連通孔２８は連通孔２６に対してほぼ同一の中心軸の位置となって形成されており、弁ハウジング１１に形成された弁体収容孔３１内には、連通孔２８を開閉するためのポペットタイプの弁体３２が配置されている。この弁体３２は弁保持ケース３２ａ内に組み込まれ、弁体収容孔３１内に止め付けられる密閉蓋３３と弁体３２との間に装着された圧縮コイルばね３４により弁体３２には連通孔２８を閉塞する方向のばね力が付勢されるようになっている。
【００２１】
両方の弁体２１，３２の間には、弁ハウジング１１に形成された貫通孔内に軸方向に摺動自在にロッド３５が配置されており、両方の弁体２１，３２はそのロッド３５を介して連動するようになっている。したがって、コイル１５に通電すると、可動コア１８はばね１９のばね力に抗して固定コア１７に向けて後退移動し、弁体２１が連通孔２６を開く。これにより、供給ポート２４は出力ポート２３と連通状態となる。このときには、弁体２１に連動して弁体３２が連通孔２８を閉塞することになり、排気ポート２５と出力ポート２３との連通が遮断されることになる。一方、コイル１５に対する通電が解かれると、可動コア１８はばね力により前進移動して、連通孔２６が閉じられて供給ポート２４と出力ポート２３との連通が遮断され、連通孔３２が開かれて排気ポート２５と出力ポート２３とが連通状態となる。
【００２２】
弁ハウジング１１には図２において上下方向に移動自在に手動操作ピン３６が設けられ、この手動操作ピン３６には後退する方向のばね力がコイルばね３７により付勢され、後退限位置はストッパ３８により規制されている。このばね力に抗して手動操作ピン３６を前進移動させると、その先端に設けられた傾斜面３６ａが可動コア１８に接触することになり、コイル１５に通電させることなく両方の弁体２１，３２を作動させることができる。
【００２３】
弁ハウジング１１にはソレノイド収容室１２の上側に隔壁を介して基板収容室４１が形成されており、この収容室４１は図２における上面と右面と前後面の部分が開口されている。収容室４１内には通電制御部が設けられたプリント配線基板４２が配置されるようになっており、この基板４２にはコイル１５の端子４３と給電ケーブル４４とが接続されるようになっている。
【００２４】
ソレノイド収容室１２と基板収容室４１とを閉じるために、図２に示すように断面Ｌ字形状となった樹脂製のカバー４５が着脱自在に装着されるようになっている。このカバー４５の端部には弁ハウジング１１に係合する係合部４５ａが設けられ、側面には図１（Ａ）に示すように係合孔４５ｂが形成され、この係合孔４５ｂに係合する突起が弁ハウジング１１に設けられている。給電ケーブル４４はカバー４５を貫通して基板４２に接続されている。
【００２５】
電磁弁１０は接続面１１ｃの部分で取付ブロック４６に対して、図１に示されるねじ部材４７により固定されるようになっており、この取付ブロック４６には電磁弁１０の供給ポート２４に連通する供給ポート２４ａと、排気ポート２５に連通する排気ポート２５ａと、出力ポート２３に連通する出力ポート２３ａが形成されている。
【００２６】
このような電磁弁１０を製造するには、射出成形金型を使用して図２に示すような断面形状の弁ハウジング１１を樹脂により成形する。これにより、ソレノイド組立体１３が組み込まれるソレノイド収容室１２と、プリント配線基板４２が組み込まれる基板収容室４１とが形成され、さらにそれぞれのポート２３〜２５が形成されてソレノイド部１１ａと弁ブロック部１１ｂとが一体となった弁ハウジング１１が形成される。ただし、アルミニウム合金などの軽金属によって弁ハウジング１１を形成するようにしても良い。
【００２７】
ボビン１４などが組み込まれたソレノイド組立体１３の磁気フレーム１６内への組み付けは、これをソレノイド収容室１２内に開口部側から圧入することによりなされ、これにより所定の位置に固定される。さらに、ロッド３５、弁体３２、密閉蓋３３および基板４２などがそれぞれが弁ハウジング１１に組み付けられることになる。
【００２８】
図３は弁ハウジング１１のうちソレノイド収容室１２の部分と、この中に圧入されるソレノイド組立体１３の磁気フレーム１６を示す図であり、磁気フレーム１６の先端部と後端部にはそれぞれ突起部１６ｃ，１６ｄが形成されている。一方、弁ハウジング１１には収容室１２内に突出して突起部１６ｃと係合する突起部１１ｄが形成されている。したがって、ソレノイド組立体１３を収容室１２内に挿入すると、先端部側の突起部１６ｃが弁ハウジング１１を押し広げるようにして突起部１１ｄを乗り越えて所定の位置となる。これにより、両方の突起部１１ｄ，１６ｃが係合することになるとともに、後端部側の突起部１６ｄが収容室１２の内面に接触して、ソレノイド組立体１３は強固に弁ハウジング１１に固定されることになる。
【００２９】
ソレノイド組立体１３を弁ハウジング１１内に強固に固定するために、コイル１５と磁気フレーム１６との間の隙間を含めてソレノイド収容室１２内に樹脂を注入するようにしても良く、接着剤により固定するようにしても良い。同様に、基板収容室４１内にも基板４２の組み付け後に樹脂を注入するようにしても良く、接着剤により固定するようにしても良い。このように、樹脂の注入や接着剤を使用してソレノイド組立体１３を弁ハウジング１１に固定する場合には、ソレノイド組立体１３を弁ハウジング１１のソレノイド収容室１２内に圧入しないように隙間があっても良い。
【００３０】
カバー４５を弁ハウジング１１に止め付けることにより、図２に示す構造の電磁弁１０の組立が終了する。
【００３１】
図示する電磁弁１０は３つのポートを有する３ポート電磁弁となっており、たとえば、図４に示すように単動型の空気圧シリンダ４８と空気圧源４９とを接続するための空気圧配管に取り付けると、シリンダ４８の作動を制御することができる。また、取付ブロック４６には図示する場合には１つの電磁弁１０が取り付けられるようになっているが、取付ブロック４６を大型のマニホールドブロックとして、それに複数の電磁弁１０を取り付けるようにしても良い。
【００３２】
図５（Ａ）は本発明の他の実施の形態である電磁弁５０を示す平面図であり、図５（Ｂ）は同図（Ａ）の断面図である。
【００３３】
この電磁弁５０は図１〜図４に示す電磁弁１０をパイロット弁とする間接作動式の５ポート電磁弁となっており、直方体形状の弁ブロック５１とこれの一端部に設けられた密閉ブロック５２ａと他端部に設けられたアダプタブロック５２ｂとを有し、アダプタブロック５２ｂにはパイロット弁としての電磁弁１０が取り付けられている。これらの弁ブロック５１、密閉ブロック５２ａおよびアダプタブロック５２ｂにより、主弁組立体５３が形成されており、これらの部材は樹脂により形成するようにしても良く、アルミニウム合金などの軽合金によって形成するようにしても良い。
【００３４】
弁ブロック５１には複数の弁体が設けられた主弁５４が軸方向に往復動自在に装着されており、供給ポート５５と、それの両側に位置する２つの出力ポート５６ａ，５６ｂと、両端部側に位置する２つの排気ポート５７ａ，５７ｂとが形成されている。密閉ブロック５２ａには空気圧室５８が形成され、アダプタブロック５２ｂには空気圧室５９が形成されており、主弁５４の一端部に固定されたピストン６１は空気圧室５８内に摺動自在となり、他端部に固定されたピストン６２は空気圧室５９内に摺動自在となっている。ピストン６２の外形はピストン６１の外形よりも大きく形成されている。
【００３５】
弁ブロック５１には給気路６３が形成され、この給気路６３は密閉ブロック５２ａに形成された連通路６４を介して空気圧室５８に連通され、さらにアダプタブロック５２ｂに形成された手動操作孔６５に連通されている。この手動操作孔６５を介して給気路６３に連通される供給路２４ｂは、電磁弁１０の供給ポート２４に連通され、電磁弁１０の排気ポート２５に連通する排気路２５ｂは手動操作孔６５を介して排気口６６に連通し得るようになっている。電磁弁１０の出力ポート２３はアダプタブロック５２ｂに形成された給気路２３ｂにより二点鎖線で示すように、空気圧室５９に連通されている。
【００３６】
したがって、供給ポート５５に圧縮空気が供給されている状態のもとでは、常に空気圧室５８内には圧縮空気が案内されており、主弁５４には図５（Ｂ）において右側に向かう推力が加えられている。この状態のもとで、電磁弁１０のコイル１５に通電がなされると、給気路２３ｂと供給路２４ｂとが連通状態となり、空気圧室５９にも圧縮空気が供給される。このように電磁弁１０がオンされると、ピストン６２の外径つまり空気圧室５９の内径は、ピストン６１の外径つまり空気圧室５８の内径よりも大きく設定されているので、ピストン６１により加えられる推力よりも大きな推力がピストン６２によって主弁５４に逆方向に加えられて主弁５４は図５（Ｂ）において左側に駆動されることになる。
【００３７】
電磁弁１０に通電することなく、手動操作によって主弁５４を作動し得るようにするために、手動操作孔６５内には手動操作軸６７が軸方向に摺動自在に組み込まれており、この手動操作軸６７には後退する方向のばね力が圧縮コイルばね６８により付勢され、後退限位置はストッパ６９により規制されるようになっている。さらに、手動操作軸６７にはこれを押し下げることにより排気路２５ｂと給気路２３ｂとを連通させるための弁体６７ａが設けられている。この手動操作軸６７は押し下げた状態で回転させると、押し下げられた状態にロックされるようになっている。
【００３８】
なお、図５（Ａ）に示すように、弁ブロック５１の上面にはそれぞれの出力ポート５６ａ，５６ｂに連通する出力ポート５６ａ1 ，５６ｂ1 が形成されており、それぞれの出力ポート５６ａ1 ，５６ｂ1 に連通する出力ポート５６ａ2 ，５６ｂ2 が形成された連結プレート６０を弁ブロック５１の上面にねじ止めすることにより、弁ブロック５１の上面から空気圧シリンダなどの空気圧作動機器に出力流体を供給することができるようになっている。そのような使用形態がなされるときには、下側の出力ポート５６ａ，５６ｂはシール材により閉塞されることになる。一方、下側の出力ポート５６ａ，５６ｂが使用される際には、上側の出力ポート５６ａ1 ，５６ｂ1 は弁ブロック５１の上側に取り付けられるカバーにより閉塞されることになる。そのカバーは、出力ポート５６ａ2 ，５６ｂ2 を有していない構造であって、連結プレート６０と同様なサイズの部材により形成される。
【００３９】
図６は図５に示す電磁弁５０が使用された空気圧配管の一例を示す図であり、複動型の空気圧シリンダ４８ａと空気圧源４９とを接続する空気圧配管に電磁弁５０を取り付けると、空気圧シリンダ４８ａ内の空気圧室に交互に圧縮空気を供給してこのシリンダ４８ａの作動を制御することができる。この電磁弁５０の場合には、パイロット弁としての電磁弁１０に対する通電を解くと、主弁５４は空気圧室５８に供給されている圧縮空気により常に図５（Ｂ）において右側の位置に戻されるので、図６に示すような使用がなされた場合には、空気圧シリンダ４８ａのピストンはたとえば後退位置に戻ることになる。
【００４０】
図５に示す電磁弁５０は取付ブロック４６ａに、ねじにより取り付けられるようになっており、この取付ブロック４６ａにはそれぞれのポート５５，５６ａ，５６ｂ，５７ａ，５７ｂに連通する流路が形成されている。図示する場合には、取付ブロック４６ａには１つの電磁弁５０が取り付けられるようになっているが、取付ブロック４６ａを大型のマニホールドブロックとして、それに複数の電磁弁５０を取り付けるようにしても良い。
【００４１】
図７は本発明のさらに他の実施の形態である電磁弁７０を示す図であり、この場合には、図５に示されたものと同一構造の弁ブロック５１の両側に、電磁弁１０ａ、１０ｂが取り付けられた図５に示したものと同一構造のアダプタブロック５２ｂが配置されている。この場合には一方の電磁弁１０ａが第１パイロット弁となり、他方の電磁弁１０ｂが第２パイロット弁となっている。
【００４２】
この場合には、主弁５４の両端に固定されたピストン６１，６２は相互に同一の外径寸法となり、図７における右側の電磁弁１０ａのコイル１５に通電すると、空気圧室５９ａに圧縮空気が供給されて主弁５４は左側に移動し、通電を解いても主弁５４はその位置を保持することになる。同様に、左側の電磁弁１０ｂのコイル１５に通電すると空気圧室５９ｂに圧縮空気が供給されて主弁５４は右側に移動することになり、通電を解いても主弁５４はその位置を保持することになる。なお、図７にあっては、図５（Ｂ）に示される部材と共通する部材には同一の符号が付されている。
【００４３】
このように、図１、図２に示された直動式の電磁弁をそのまま利用して、図５〜図７に示す間接作動式の電磁弁を組み立てることができ、少ない部品点数により、多種類の電磁弁を組み立てることができる。
【００４４】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４５】
たとえば、図１および図２に示す電磁弁は、ポペットタイプの弁体２１，３２を有しているが、スプールタイプの電磁弁の構成とすることもできる。また、図５〜図７に示す間接作動式電磁弁は、５ポート電磁弁であるが、間接作動式であれば、４ポート電磁弁などの他のタイプの電磁弁に対しても本発明を適用することができる。
【００４６】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００４７】
ソレノイド部と弁ブロック部とが一体に形成された弁ハウジングによって形成されるので、部品点数を低減してその組立能率を大幅に向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は本発明の一実施の形態である電磁弁を示す正面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）の平面図である。
【図２】図１（Ｂ）における２−２線に沿う拡大断面図である。
【図３】図１に示した弁ハウジングの一部とこの中に圧入されるソレノイド組立体の磁気フレームとを示す断面図である。
【図４】図１および図２に示した電磁弁を使用した空気圧配管の一例を示す空気圧回路図である。
【図５】（Ａ）は本発明の他の実施の形態である電磁弁を示す平面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）における５Ｂ−５Ｂ線に沿う断面図である。
【図６】図５に示した電磁弁を使用した空気圧配管の一例を示す空気圧回路図である。
【図７】本発明のさらに他の実施の形態である電磁弁を示す断面図である。
【符号の説明】
１０  電磁弁
１１  弁ハウジング
１１ａ  ソレノイド部
１１ｂ  弁ブロック部
１２  ソレノイド収容室
１３  ソレノイド組立体
１４  ボビン
１５  コイル
１６  磁気フレーム
１７  固定コア
１８  可動コア
１９  圧縮コイルばね
２１  弁体
２２  圧縮コイルばね
２３  出力ポート
２４  供給ポート
２５  排気ポート
２６  連通孔
２７  連通路
２８  連通孔
３１  弁体収容孔
３２  弁体
３２  連通孔
３３  密閉蓋
３４  圧縮コイルばね
３５  ロッド
３６  手動操作ピン
３７  コイルばね
３８  ストッパ
４１  基板収容室
４２  プリント配線基板
４４  給電ケーブル
４５  カバー
４６  取付ブロック
５０  電磁弁
５１  弁ブロック
５２ａ  密閉ブロック
５２ｂ  アダプタブロック
５３  主弁組立体
５４  主弁
５５  供給ポート
５６ａ，５６ｂ  出力ポート
５７ａ，５７ｂ  排気ポート
５８，５９  空気圧室
６１，６２  ピストン
６３  給気路
６４  連通路
７０  電磁弁
【図１】
0003827833.tif 000002
【図２】
0003827833.tif 000003
【図３】
0003827833.tif 000004
【図４】
0003827833.tif 000005
【図５】
0003827833.tif 000006
【図６】
0003827833.tif 000007
【図７】
0003827833.tif 000008