(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の大型ガラス板の上方で移動自在な搬送台と、前記ガラス板を載置する載せ板と、前記搬送台の下面側にガラス板の長さ方向に沿う両側縁部に対応して配置されてガラス板の長さ方向に沿う両側縁部を保持可能な把持部材と、前記搬送台の下面側に前記ガラス板の幅方向に沿う両側縁部に対応して下方に向けて凸状に湾曲した湾曲面が設けられた形状保持部材とを具備したガラス板の保持搬送装置によりガラス板を搬送するに際して、
前記把持部材により長さ方向に沿う両側縁部を保持してガラス板を上昇させガラス板の幅方向に沿う両側縁部を前記形状保持部材の湾曲面に当接させて中央部が下方に凸状に湾曲させ、
前記ガラス板を湾曲状態で前記搬送台を移動して搬送し、
前記搬送台を下降して湾曲状のガラス板の中央部の凸状部が載せ板に当接した時に、前記把持部材を下降してガラス板の載せ板への接触面が中央部から外側に広がるように載せ板に載置する
ことを特徴とするガラス板の保持搬送方法。
【請求項２】
形状保持部材に、ガラス板の幅方向に沿う両側縁部を吸着保持可能な吸着手段が設けられ、
把持部材によりガラス板が上昇され前記形状保持部材に当接された時に、前記吸着手段によりガラス板の幅方向に沿う両側縁部を吸着し、
搬送台を下降してガラス板の凸状部が載せ板に当接した時に、吸着手段によるガラス板の吸着を解除する
ことを特徴とする請求項１記載のガラス板の保持搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば大型に形成されたガラス板などの薄板を保持して所定の場所まで搬送するためのガラス板の保持搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ガラス板は肉薄に加工して、例えば液晶パネル基板やカラーフィルタ、あるいはＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）など、多様な分野で用いられている。
【０００３】
上記のような用途に用いられるガラス板は、例えば所定の大きさの矩形に加工された後、塵芥除去のために予め水洗浄された下定盤に、作業者によって載置される。その後、下定盤と上定盤の運動（回転、移動）により表面が研磨加工される。この際、ガラス板は清浄性を維持するために同時に水洗浄が行われる。
【０００４】
そして、研磨加工されたガラス板は、最終的に水洗浄された後、作業者によって持ち上げられて、次の作業を行う所定の場所まで、人的あるいは搬送機により運ばれる。この際、ガラス板は自重により撓むため、持ち上げる際や搬送の際には、損傷しないよう慎重に行う必要があるとともに機械振動や搬送時の加速度の変化にも十分に配慮しなければならない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにガラス板は、所定の大きさに形成された後は、作業者によって下定盤に移し替えられる。あるいは、ガラス板は、研磨加工後に下定盤から作業者によって取り外される。
【０００６】
ところで近年、ガラス板はますます大型化（例えば550×650×0.7mm）しているのに加え、研磨加工後のガラス板は、水濡れ状態にあり、下定盤に密着している。このような肉薄のガラス板を損傷させることなく下定盤に搬送したり、あるいは下定盤から取り外す作業は熟練者、あるいは搬送機を用いても難しくなっている。
【０００７】
そこで、本発明は、上記課題を解決し得るガラス板の保持搬送方法の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のガラス板の保持搬送方法は、矩形状の大型ガラス板の上方で移動自在な搬送台と、前記ガラス板を載置する載せ板と、前記搬送台の下面側にガラス板の長さ方向に沿う両側縁部に対応して配置されてガラス板の長さ方向に沿う両側縁部を保持可能な把持部材と、前記搬送台の下面側に前記ガラス板の幅方向に沿う両側縁部に対応して下方に向けて凸状に湾曲した湾曲面が設けられた形状保持部材とを具備したガラス板の保持搬送装置によりガラス板を搬送するに際して、
前記把持部材により長さ方向に沿う両側縁部を保持してガラス板を上昇させガラス板の幅方向に沿う両側縁部を前記形状保持部材の湾曲面に当接させて中央部が下方に凸状に湾曲させ、
前記ガラス板を湾曲状態で前記搬送台を移動して搬送し、
前記搬送台を下降して湾曲状のガラス板の中央部の凸状部が載せ板に当接した時に、前記把持部材を下降してガラス板の載せ板への接触面が中央部から外側に広がるように載せ板に載置するものである。
【０００９】
請求項１記載の発明によれば、把持部材により矩形状の大型ガラス板の長さ方向に沿う両側縁部を保持させるとともに、形状保持部材によりガラス板の幅方向に沿う両側縁部を湾曲させて搬送するので、断面性能を向上させて剛性を高め、搬送の際、振動等によるガラス板の変形がなく、かつ薄板に損傷を与えることなく搬送することができる。さらに、ガラス板を中央部から外側に広がるように載せ板との接触面積を増すため、載せ板と薄板との間に空気層ができず、水濡れ状態であっても、載せ板と薄板とを密着させることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。まず、本発明の実施の第一形態に係るガラス板（薄板）の保持搬送装置を、図１〜図１３に基づいて説明する。
【００１８】
本発明の実施の第一形態に係るガラス板の保持搬送装置は、矩形状のガラス板１の上方で水平面内を移動自在な搬送台２を有し、この搬送台２を、基部３に対しガラス板１の幅方向Ａに移動させるための第一移動装置４が、ガラス板１の長さ方向Ｂ両側に離間して設けられている。
【００１９】
図１は、一方の第一移動装置４のみを表したもので、この第一移動装置４は、前記基部３にガラス板１の幅方向Ａに沿った第一レール５を介して移動自在に取付けられたＬ字形の案内台６と、この案内台６を第一レール５に沿って移動させるための第一駆動手段７とから構成され、この第一駆動手段７は、基部３に設置した移動用モータ８と、この移動用モータ８の出力軸に取付けた駆動歯車９に噛合するラック１０とから構成されている。
【００２０】
前記搬送台２は、案内台６に設けた昇降レール１１に昇降自在に取付けられた昇降体１２を介して昇降自在に設けられ、この昇降体１２を昇降レール１１に沿って案内するための第一昇降用シリンダ装置１３が設けられている。
【００２１】
前記搬送台２に対して昇降自在に構成されるとともにガラス板１の両側の縁部を保持してガラス板１を形状保持部材（後述する）１４の湾曲面１５に沿って湾曲させるための把持部材１６が三対設けられ、各側の把持部材１６は、ガラス板１の長さ方向Ｂに所定間隔置きに配置され、これら各把持部材１６の下端部には、ガラス板１の下面から支持する爪部１７が形成され、これら各把持部材１６は、搬送台２の上面に設けられた支持部材１８の端部に昇降自在に取付けられた昇降片１９を介してから下方に向けて垂下されている。
【００２２】
前記各支持部材１８は、ガラス板１の長さ方向Ｂに沿った連結板２０で連結され、この連結板２０は、ガラス板１の幅方向Ａに沿った第二レール２１を介して搬送台２上を水平方向に移動自在に取付けられ、連結板２０を第二レール２１に沿って移動させるための水平移動用シリンダ装置２２が、搬送台２と連結板２０との間に設けられ、前記昇降片１９を支持部材１８に対して昇降させるための第二昇降用シリンダ装置２３が、支持部材１８と昇降片１９との間に取付けられている。
【００２３】
また、前記形状保持部材１４は板状に形成されるとともに搬送台２の別の両側に垂下され、前記湾曲面１５は、下方に向けて凸に形成されるとともにガラス板１が沿った際にこれが破壊しない程度の曲率に形成され、それぞれの形状保持部材１４の湾曲面１５に対しガラス板１の別の両側の上面を吸着させるための吸着手段２４が設けられている。
【００２４】
この吸着手段２４は、湾曲面１５から上方に向けて形成するとともに複数個（図では一方の形状保持部材１４に５個づつ）並べて配置した吸着用孔２５と、これら各吸着用孔２５に連通した吸着路２６と、この吸着路２６に接続した吸着ポンプ２７とを備え、吸着路２６は、各形状保持部材１４に形成した吸着用孔２５を形状保持部材１４内部で連通する埋設部２８と、形状保持部材１４の上面に突出する集合管体２９によって形成される突出部３０とからなり、前記吸着ポンプ２７は、この突出部３０に吸着管３１を介して接続され、各形状保持部材１４の下面で吸着用孔２５の外周には、凹部（エアポケット）３２が形成されている。
【００２５】
また、図４および図５〜図７に示すように、研磨加工後のガラス板１表面を水洗浄するための下定盤３３に対し搬送するための搬送ローラ装置Ｒが設けられ、図４および図８〜図１３に示すように、前記下定盤３３は、台本体３４と、この台本体３４の上面に設けられてガラス板１の大きさに応じた大きさの載せ板３５とを備え、この載せ板３５の両側には、ガラス板１の長さ方向Ｂに、把持部材１６同士の離間幅に一致する所定間隔置きに溝３６が形成され、各溝３６は、把持部材１６の爪部１７の厚みより深く、爪部１７の長さより大きく、かつ２倍程度の幅に形成されている。
【００２６】
なお、移動用モータ８、第一昇降用シリンダ装置１３、水平移動用シリンダ装置２２、第二昇降用シリンダ装置２３および吸着ポンプ２７は、図示しない制御装置の駆動によって駆動され、この制御装置は、把持部材１６を上昇させる際、一側の把持部材１６用の第二昇降用シリンダ装置２３と他側の把持部材１６用の第二昇降用シリンダ装置２３を経時的にずらして駆動させる機能を有している。
【００２７】
上記構成において、矩形に形成されたガラス板１は、搬送ローラ装置Ｒによって搬送され、図５に示すように所定の場所で停止する。ガラス板１が所定の場所で停止すると、制御装置は、移動用モータ８に駆動信号を出力し、これにより案内台６を介して搬送台２がガラス板１の幅方向Ａに沿って移動し、ガラス板１の真上に搬送台２が到着した時点で、制御装置は、移動用モータ８に停止信号を出力する。
【００２８】
次に制御装置は、第一昇降用シリンダ装置１３に駆動信号を出力し、これにより昇降体１２が下降し、図６に示すように、搬送台２および両側の把持部材１６が最下位置まで下降する。続いて制御装置は、水平移動用シリンダ装置２２に駆動信号を出力して支持部材１８をガラス板１の幅方向Ａに最大限に離間させた状態で両側の各第二昇降用シリンダ装置２３に駆動信号を出力する。これにより、図６の仮想線で示すように、各把持部材１６は、その爪部１７がガラス板１を回避してさらに下降する。
【００２９】
次に、制御装置は、水平移動用シリンダ装置２２に再び駆動信号を出力し、これにより、今度は、両側の把持部材１６同士がガラス板１の幅方向Ａに接近し、図６の実線で示すように、各把持部材１６の爪部１７が、ガラス板１の下面に位置することになる。
【００３０】
両側の把持部材１６でガラス板１の両側縁部をほぼ把持した状態になると、制御装置は、各第二昇降用シリンダ装置２３に駆動信号を出力する。そうすると、各爪部１７がガラス板１の各縁部に下面から当接し、さらに両側の把持部材１６を上昇させると、図７に示すように、ガラス板１の別の両側縁部が各形状保持部材１４の湾曲面１５に沿って湾曲し、ガラス板１全体が湾曲する。このとき、ガラス板１は把持部材１６によって把持されるとともに爪部１７で落下が防止される。また、把持部材１６によってガラス板１の中央と形状保持部材１４の中央が位置合わせされることになる。
【００３１】
そして、第一昇降用シリンダ装置１３を駆動して搬送台２を上昇させると、搬送台２とともに、同図に示すようにガラス板１が上昇して搬送ローラ装置Ｒから離間する。
【００３２】
この際、制御装置は、吸着ポンプ２７に駆動信号を出力するものであり、吸着ポンプ２７の駆動により、凹部３２が負圧になり、ガラス板１の別の両側縁部が各形状保持部材１４の湾曲面１５に確実に密着し、ガラス板１は湾曲した状態に保持される。
【００３３】
また、ガラス板１の別の両側縁部が各形状保持部材１４の湾曲面１５に沿って湾曲した時点で、制御装置は、各第二昇降用シリンダ装置２３に停止信号を出力し、再び移動用モータ８に駆動信号を出力し、これによってガラス板１をその幅方向Ａ（図７の左側）に搬送する。このとき、把持部材１６によってガラス板１の中央と形状保持部材１４の中央が位置合わせされているので、移動用モータ８の駆動によるガラス板１の移動量を設定し易い。このことは、新たなガラス板１を保持搬送する際に特に有効となる。
【００３４】
そして、搬送台２（ガラス板１）が、予め水洗浄されている研磨装置の下定盤３３の真上に到着した時点で、制御装置は、移動用モータ８に停止信号を出力し、第一昇降用シリンダ装置１３に駆動信号を出力して搬送台２とともにガラス板１を下降させる。そして、図８に示すように、ガラス板１の中央がほぼ載せ板３５の中央に当接した時点で、制御装置は、吸着ポンプ２７に停止信号を出力して吸着を解除するとともに第一昇降用シリンダ装置１３に停止信号を出力し、また、第二昇降用シリンダ装置２３に駆動信号を出力して各把持部材１６を下降させる。
【００３５】
そうすると、図９に示すように、把持部材１６の下降に伴って、ガラス板１がゆっくりと平面状に復帰するとともに、各把持部材１６の爪部１７が溝３６に上方から嵌合し、ガラス板１が載せ板３５に載置される。このとき、ガラス板１は、中央から外側に広がるように載せ板３５との接触面積を増すため、水濡れ状態にある載せ板３５とガラス板１との間に空気層ができず、密着する。
【００３６】
そして、制御装置は、水平移動用シリンダ装置２２に駆動信号を出力し、両側の把持部材１６を離間させる方向に移動させる。このとき、各溝３６の幅は爪部１７の２倍程度に形成されているので、図４の仮想線で示すように、ガラス板１の両側の縁部から離れる。このため、次に把持部材１６が上昇する際に爪部１７がガラス板１の縁部に当たることはない。
【００３７】
上記のようにして、ガラス板１を載せ板３５に載置した状態で、上定盤（図示せず）をガラス板１の上方まで移動させ、この上定盤と下定盤３３の運動で研磨加工を行う。また、表面の清浄を維持するよう水洗浄を行う。
【００３８】
次に、研磨加工を終了した後にガラス板１を持ち上げ、所定の場所まで搬送する動作を説明する。まず、図１０に示すように、搬送ローラ装置Ｒから持ち上げるのと同様にして両側の把持部材１６を下降させ、図１１に示すように、爪部１７をガラス板１の縁部の下方から当接させる。続いて制御装置は、一側の第二昇降用シリンダ装置２３にのみ駆動信号を出力し、一側の把持部材１６を上昇させる。そうすると、図１２に示すように、ガラス板１の一側が上昇して各形状保持部材１４の湾曲面１５の左部に当接する。
【００３９】
この時点で、制御装置は、今度は他側の第二昇降用シリンダ装置２３に駆動信号を出力して、他側の把持部材１６を上昇させる。この時点で、ガラス板１が載せ板３５からほぼ剥離した状態となるとともに、ガラス板１の別の両側縁部が各形状保持部材１４の湾曲面１５に当接し、吸着ポンプ２７の駆動で密着し、ガラス板１は湾曲した状態が確実に保持される。
【００４０】
そして、制御装置は、第一昇降用シリンダ装置１３に駆動信号を出力して、搬送台２を上昇させ、これによりガラス板１が上昇し、移動用モータ８に駆動信号を出力し、ガラス板１を形状保持部材１４の湾曲面１５に当接した状態でガラス板１の幅方向Ａに移動し、所定の場所まで搬送する。
【００４１】
このように、本発明の実施の第一形態によれば、ガラス板１を搬送する際に、単に把持部材１６で持ち上げるだけでなく、把持部材１６でガラス板１を形状保持部材１４の湾曲面１５に当接させ、吸着ポンプ２７を駆動してガラス板１を湾曲面１５に密着させた状態で形状を保持して搬送するので、ガラス板１の断面性能が向上して剛性が高まり、大型のガラス板１であっても、搬送途中で撓み方向に揺れることがなく、従って、ガラス板１に損傷を与えることなく、また、ガラス板１の表面を傷付けることなく、確実に搬送することができる。
【００４２】
また、ガラス板１を載せ板３５から剥離する際には、一側の把持部材１６を上昇させてガラス板１の一側の縁部を持ち上げて、その後他側の縁部を持ち上げるというように、両側の第二昇降用シリンダ装置２３を経時的にずらして駆動させる構成としたので、水濡れ状態の大型のガラス板１であっても、熟練を要することなく、容易にかつ損傷させることなく載せ板３５から剥離することができる。
【００４３】
次に、本発明の実施の第二形態を図１４〜図１６に基づいて説明する。本発明の実施の第二形態に係るガラス板の保持搬送装置は、吸着手段４０が、形状保持部材１４の湾曲面１５に複数個（図では５個）並べて設けた同一長さの保持具４１ａ〜４１ｅと、これら各保持具４１ａ〜４１ｅの杆部４２の先端に取付けられた吸盤４３と、各吸盤４３の表面から各杆部４２の内部に形成された吸着用孔４４に連通した共通の吸着路４５と、この吸着路４５に接続した吸着ポンプ４６とから構成されている。
【００４４】
本発明の実施の第二形態において、同一長さの各保持具４１ａ〜４１ｅが形状保持部材１４の湾曲面１５に取付けられているので、吸盤４３を連ねると、湾曲面１５と同一の曲率となる。搬送ローラ装置Ｒからガラス板１を持ち上げる場合、搬送台２および両側の把持部材１６を下降させてガラス板１の両側を把持し、把持部材１６を上昇させて吸着ポンプ４６を駆動し、吸盤４３でガラス板１を吸着する。このとき、前述したように、同一長さの各保持具４１ａ〜４１ｅが形状保持部材１４の湾曲面１５に取付けられているので、ガラス板１が、形状保持部材１４の湾曲面１５に沿うことになる。
【００４５】
また、載せ板３５にガラス板１を載置する際は、吸着ポンプ４６の駆動を停止し、その後、搬送台２および両側の把持部材１６を下降させることにより行う。また、研磨加工終了後の水濡れ状態にあるガラス板１を持ち上げる際は、まず一側の把持部材１６を上昇させ、続いて他側の把持部材１６を上昇させてガラス板１を湾曲面１５に沿わせ、吸着ポンプ４６を駆動して吸盤４３に吸着し、搬送台２を上昇させることにより行う。他の構成および作用効果は、上記実施の第一形態と同様である。
【００４６】
なお、上記実施の第二形態においては５個の保持具４１ａ〜４１ｅを設けたがこれに限定されるものではなく、場合によっては３個あるいは６個、あるいはこれより多く設けるようにしてもよい。
【００４７】
また、上記実施の第一形態および実施の第二形態では、形状保持部材１４の湾曲面１５の曲率を変え、実施の第三形態では吸着用シリンダ装置４１ａ〜４１ｅのストロークを調節することにより搬送時のガラス板１の撓み角を調節できる。
【００４８】
さらに、上記各実施の形態では、薄板としてガラス板１の例を示したが、これに限定されるものではなく、肉薄で大型の合成樹脂性板材あるいは金属製板材なども同様にして搬送することができる。
【００４９】
また、上記各実施の形態では、ガラス板１を搬送ローラ装置Ｒから持ち上げたり、あるいは研磨装置の下定盤３３に設置する場合を示したが、これに限定されるものではなく、薄板を持ち上げたり、台上に設置、あるいは移動させるものであれば、適用可能である。
【００５０】
さらに、上記各実施の形態では、対向する把持部材１６同士は水平移動用シリンダ装置２２によって幅方向Ａに接近離間自在としたが、幅方向Ａに接近離間自在にな構成に加え、ガラス板１（薄板）の大きさ（長さ）に応じて、同列の把持部材１６の間の距離を調節可能に構成する場合も考えられる。
【００５１】
以上の発明から明らかなように、請求項１記載の発明によれば、把持部材により矩形状の大型ガラス板の長さ方向に沿う両側縁部を保持させるとともに、形状保持部材によりガラス板の幅方向に沿う両側縁部を湾曲させて搬送するので、断面性能を向上させて剛性を高め、搬送の際、振動等によるガラス板の変形がなく、かつ薄板に損傷を与えることなく搬送することができる。さらに、ガラス板を中央部から外側に広がるように載せ板との接触面積を増すため、載せ板と薄板との間に空気層ができず、水濡れ状態であっても、載せ板と薄板とを密着させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の第一形態のガラス板の保持搬送装置の全体構成を示す側面図である。
【図２】  同じく正面図である。
【図３】  同じく形状保持部材の底面図である。
【図４】  同じく載せ板にガラス板を載置した状態の平面図である。
【図５】  同じく搬送ローラ装置でガラス板が搬送された状態の正面図である。
【図６】  同じく形状保持部材を下降させて湾曲面をガラス板に当接させた状態の正面図である。
【図７】  同じくガラス板を把持して湾曲面に沿わせた状態の正面図である。
【図８】  同じくガラス板を載せ板に当接させた状態の正面図である。
【図９】  同じくガラス板を載せ板に載置した状態の正面図である。
【図１０】  同じくガラス板を載せ板に載置して形状保持部材をガラス板の上方に位置させた状態の正面図である。
【図１１】  同じくガラス板を載せ板に載置した状態の正面図である。
【図１２】  同じく一側縁部を持ち上げた状態の正面図である。
【図１３】  同じく両側の縁部を持ち上げた状態の正面図である。
【図１４】  本発明の実施の第二形態のガラス板の保持搬送装置の全体構成を示す側面図である。
【図１５】  同じく正面図である。
【図１６】  同じく吸着手段の一部拡大正面図である。
【符号の説明】
１    ガラス板
２    搬送台
６    案内台
８    移動用モータ
１２  昇降体
１３  第一昇降用シリンダ装置
１４  形状保持部材
１５  湾曲面
１６  把持部材
１７  爪部
１８  支持部材
２２  水平移動用シリンダ装置
２３  第二昇降用シリンダ装置
２７  吸着ポンプ
３２  凹部
３３  下定盤
３５  載せ板
３６  溝
４１ａ  吸着用シリンダ装置
４３  吸盤
４６  吸着ポンプ
Ａ    ガラス板の幅方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
0003853059.tif 000013
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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