(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内側リングの外周面に沿って弾性体からなる弾性リングが配置され、
前記内側リングの内側開口部には、固形物が通過するのを阻止するフィルタが取り付けられ、
前記内側リングは、他部材の取付け部内径より小さい外径の筒状の内側部分と該内側部分より薄肉で外周面に沿って前記弾性リングが配置される外側部分からなり、
前記内側リングの前記外側部分の厚さは、前記弾性リングの径よりも小さく設定されていることを特徴とするフィルタ付きシール部材。
【請求項２】
前記フィルタは、前記内側リングの内面に着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のフィルタ付きシール部材。
【請求項３】
前記弾性リングの外側に、外側リングが配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載のフィルタ付きシール部材。
【請求項４】
吸気口に、請求項１乃至３のいずれかに記載のフィルタ付きシール部材が配置されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高速回転する回転翼及び／又はねじ溝ロータにより気体の排気を行うようにしたターボ分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ターボ分子ポンプの従来の一般的な構造を図４に示す。これは、主軸１０及びこれと一体に回転する回転筒状部１２とを有するロータＲと、主軸１０を取り囲む固定筒状部１４を有するステータＳと、回転筒状部１２を取り囲む筒状のケーシング１６とがベースＢ上に組み上げられて構成されている。このような構成のターボ分子ポンプの吸気口５０には、ゴミの侵入を防止するためのフィルタが配置されている。
【０００３】
このようなフィルタ５２は、リング状のフレーム５４にメッシュ５６が張り渡されて構成され、吸気口５０の内側に固定された支持リング５８に載せられている。吸気口５０と排気されるべき処理装置の排気口６０の間には、両者の間の気密性を維持するためのシールリング６２が設けられている。このシールリング６２は、それぞれ金属材料からなる内側リング６４と外側リング６６の間に弾性リング６８が挟み込まれて構成されている。
【０００４】
内側リング６４と外側リング６６のそれぞれ対向する面には弾性リング６８の形状に沿った断面円形の溝６４ａ，６６ａが周方向に形成されている。内側リング６４及び外側リング６６の厚さｔは弾性リングの径ｒよりも小さく設定されており、従って、弾性リング６８を挟んで吸気口５０と排気口６０をボルト等で固定すると、これらに弾性リング６８が押されて潰れて密着することにより、気密性を確保する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の技術においては、吸気口５０にフィルタ５２の支持リング５８を設けるために、その部品コストや取付コストが必要となり、かつ支持リング５８の部分にゴミ等が付着しやすいので、そのゴミによる装置側の汚染を心配したり、清掃作業を高い頻度で行うなどの策を講じる必要が生じた。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑み、排気すべき装置の間の連結部の構造を簡単にしてコスト及び作業性を改善したターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、内側リングの外周面に沿って弾性体からなる弾性リングが配置され、前記内側リングの内側開口部には、固形物が通過するのを阻止するフィルタが取り付けられ、前記内側リングは、他部材の取付け部内径より小さい外径の筒状の内側部分と該内側部分より薄肉で外周面に沿って前記弾性リングが配置される外側部分からなり、前記内側リングの前記外側部分の厚さは、前記弾性リングの径よりも小さく設定されていることを特徴とするフィルタ付きシール部材である。
【０００８】
これにより、別にフィルタを支持する構造を設ける必要がなくなり、構成及びメンテナンスが簡単になる。フィルタはリング部材に溶接等で固着しても、あるいは適当な治具で着脱自在に固定してもよい。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、前記フィルタは、前記内側リングの内面に着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のフィルタ付きシール部材である。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記弾性リングの外側に、外側リングが配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載のフィルタ付きシール部材である。
請求項４に記載の発明は、吸気口に、請求項１乃至３のいずれかに記載のフィルタ付きシール部材が配置されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１の実施の形態のターボ分子ポンプは、主軸１０及びこれと一体に回転する回転筒状部１２とを有するロータＲと、主軸１０を取り囲む固定筒状部１４を有するステータＳと、回転筒状部１２を取り囲む筒状のケーシング１６とがベースＢ上に組み上げられて構成されている。そして、ケーシング１６の吸気口５０には、フィルタ付きシール部材７０が設けられている。
【００１２】
主軸１０と固定筒状部１４の間には駆動用モータ２２が配置され、この駆動用モータ２２の上下には上部ラジアル軸受２４及び下部ラジアル軸受２６が設けられている。そして、主軸１０の下部には、主軸１０の下端のターゲットディスク２８と、ステータＳ側の上下のコイル３０からなるアキシャル軸受３２がそれぞれ配置されている。これによって、駆動用モータ２２の駆動に伴ってロータＲが５軸の能動制御を受けながら高速回転するようになっている。
【００１３】
回転筒状部１２の上部外周には回転翼３４が一体に設けられて羽根車を構成し、一方、ケーシング１６の内面には、回転翼３４と交互に配置される固定翼３８が設けられている。これによって、高速回転する回転翼３４と静止している固定翼３８との相互作用によって排気を行う翼排気部４０が形成されている。
【００１４】
更に、回転筒状部１２には、固定筒状部１４の外周に沿って下方に延出するねじ溝部４２が一体に設けられ、このねじ溝部４２の外周面にねじ溝４４が設けられている。一方、ステータＳには、このねじ溝部４２の外周を囲繞するねじ溝部スペーサ４６が配置されている。これによって、高速回転するねじ溝部４２のねじ溝４４のドラッグ作用によって排気を行うねじ溝排気部４８が翼排気部４０と排気口の間に形成されている。
【００１５】
このターボ分子ポンプの吸気口５０には、ゴミの侵入を防止し、かつ、このターボ分子ポンプが排気すべき装置との間の気密性を維持するためのフィルタ付きシール部材７０が配置されている。このフィルタ付きシール部材７０は、図２（ａ）に全体の構成を、同図（ｂ）に構成部品を示すように、それぞれ金属材料からなる内側リング７２と外側リング７４及びこれらの間に挟み込まれる弾性リング７６と、内側リング７２の内側に該内側開口部を覆うように一体に取り付けられたメッシュ状のフィルタ７８とからなっている。
【００１６】
内側リング７２は、例えば、ステンレス鋼のような適当な金属材料で形成されており、ターボ分子ポンプと排気すべき装置の間に挟まれる外側部分８０と、排気すべき装置の排気口６０及びターボ分子ポンプの吸気口５０の内径よりやや小さい外径を有する筒状の内側部分８２とから構成されている。外側リング７４は、やはりＡｌのような金属材料で形成されている。弾性リング７６は、例えば、フッ素樹脂で形成されている。フィルタ７８は、通常、金属製のメッシュで構成され、内側リング７２の内面に鑞付けや接着剤等によって固定されている。
【００１７】
内側リング７２と外側リング７４のそれぞれ対向する面には弾性リング７６の形状に沿った断面円形の溝７２ａ，７４ａが周方向に形成されている。内側リング７２及び外側リング７４の厚さｔは弾性リングの径ｒよりも小さく設定されている。また、内側リングと外側リングの間の空間の断面積は、弾性リング７６の断面積より小さく設定されている。従って、弾性リング７６を挟んで吸気口５０と装置の排気口６０をボルト等で固定すると、これらに弾性リング７６が押されて潰れ、内側リング７２と外側リング７４の間の空間より上下に突出する。これがターボ分子ポンプと排気すべき装置の面に密着することにより、これらの間の気密性を確保するようになっている。
【００１８】
以上のように構成されたフィルタ付きシール部材を有するターボ分子ポンプの作用を説明する。図２（ｂ）に示すような、外側リング７４、弾性リング７６、フィルタ付き内側リング７２の３つの部品を、同図（ａ）に示すように組み合わせる。これをターボ分子ポンプの吸気口５０と装置の排気口６０の間に、内側リング７２の内側部分８２がそれぞれに嵌合するように挟み、ターボ分子ポンプと装置とをボルト等により締結する。弾性リング７６の径ｒは、内側リング７２及び外側リング７４の厚さｔよりも大きいので、弾性リング７６が押されて潰れ、ターボ分子ポンプの吸気口５０及び装置の排気口６０の面に密着する。フィルタ７８の交換を行う時には、予め新しいフィルタ７８を固着した内側リング７２を用意して、内側リング７２ごと行えばよい。
【００１９】
このように、このターボ分子ポンプでは、フィルタ７８の交換作業が容易である。また、吸気口５０にフィルタの支持リングを設ける必要が無いので、その部品コストや取付コストが不要となり、また、この部分の構成が簡単になってメンテナンスも簡単となる。
【００２０】
図２（ｃ）は、他の実施の形態の内側リング７２Ａを示すもので、フィルタ７８が着脱自在に取り付けられているものである。すなわち、内側リング７２Ａの内周面に周方向に延びる溝８４が形成されており、ここにフィルタ７８を載せた後、弾性を有する押え部材８６を溝８４に装着してフィルタ７８を固定する。これにより、フィルタ７８の交換が容易となって、内側リング全体を交換する必要がないので、部品コストを低下させることができる。
【００２１】
なお、外側リング７４は弾性リング７６の外方向への膨張を防ぐ意味であった方が良いが、無くてもこの発明の趣旨を達成できる。また、上記実施の形態では、フィルタ付きシール部材をターボ分子ポンプの吸気口５０に取り付けたが、シールとフィルタ機能の双方が必要とされる任意の箇所で用いても良いことは言うまでもない。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、別にフィルタを支持する構造を設ける必要がなくなり、排気すべき装置の間の連結部の構造を簡単にしてコスト及び作業性を改善し、かつその結果としてコンパクトなターボ分子ポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１つの実施の形態のターボ分子ポンプを示す断面図である。
【図２】（ａ）本発明のフィルタ付きシール部材の実施の形態を示す断面図、（ｂ）その構成部品を示す図、（ｃ）他の実施の形態の構成部品を示す図である。
【図３】図２のフィルタ付きシール部材の平面図である。
【図４】従来のターボ分子ポンプを示す断面図である。
【符号の説明】
５０    吸気口
７２    内側リング
７４    外側リング
７６    弾性リング
７８    フィルタ
【図１】
0003804721.tif 000002
【図２】
0003804721.tif 000003
【図３】
0003804721.tif 000004
【図４】
0003804721.tif 000005