(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続フィルムを、基板搬送面上における基板表面側及び裏面側に各々配置されたフィルム供給ロールから引き出し、カッターにより基板長さに応じて切断した表面側フィルム及び裏側フィルムを、搬送手段により搬送され、仮付位置で停止される基板両面の先端に各々導き、該基板に対して表面側及び裏面側から近接及び離反移動可能な表面側及び裏面側それぞれの仮付け部材に吸着した状態で、各仮付け部材先端の弾性材料からなるシールバーにより該基板の先端に仮付けした後、一対のラミネーションロールにより、フィルムを基板の表面及び裏面に圧着しつつ、基板を搬送するフィルム張付方法において、
前記一対のシールバーの対向する面を、両者の間隔が、基板送り方向前方が狭く後方が広いテーパ面とすると共に、仮付け時に、前記基板の先端を、前記テーパ面の途中位置となるように該基板を停止させ、前記フィルムを基板への張付状態での先端が、該基板の先端よりはみ出し、且つ、このはみ出し部分の表面側及び裏面側フィルムの端末部が、相互に圧接され得る程度の長さに、前記カッターにより切断しておくことを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項２】
連続フィルムを、基板搬送面上における基板表面側及び裏面側に各々配置されたフィルム供給ロールから引き出し、搬送手段により一定間隔で連続的に搬送されてくる基板の表面及び裏面に沿って基板と同速で、同方向に送り込み、ラミネーションロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送し、圧着後に基板間位置でフィルムを幅方向に切断・分離するようにされたフィルム張付方法において、
前記フィルム供給ロールから巻き出された連続フィルムの先端を、仮付位置で停止される基板両面の先端に各々導き、該基板に対して表面側及び裏面側から近接及び離反移動可能な表面側及び裏面側それぞれの仮付け部材の先端に吸着し、該仮付け部材先端の弾性材料からなるシールバーにより、前記連続的に搬送されてくる基板のうちの先頭の基板の先端に仮付けしてから、連続フィルムを基板と共に、前記ラミネーションロールにより挟み込んで圧着するようにし、前記一対のシールバーの対向する面を、両者の間隔が、基板送り方向前方が狭く後方が広いテーパ面とすると共に、仮付け時に、前記基板の先端を、前記テーパ面の途中位置となるように該基板を停止させ、前記フィルムを基板への張付状態での先端が、該基板の先端よりはみ出し、且つ、このはみ出し部分の表面側及び裏面側フィルムの端末部が、相互に圧接され得る程度の長さに、前記カッターにより切断しておくことを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記シールバーによるフィルム仮付けの際に、該シールバーの、基板送り方向前側に隣接した位置で、予め前記表側及び裏側のフィルム端末部を吸着し、これらを相互に平行に保持しておくことを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項４】
請求項１、２又は３において、前記シールバーによるフィルム仮付けの際に、前記シールバーのテーパ面における前記基板の先端よりも基板送り方向前側部分により、前記表側及び裏側のフィルム端末部を挾持して、相互に押圧することを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項５】
基板搬送面上における基板表面側及び裏面側にそれぞれ配置されたフィルム供給ロールから表面側フィルム及び裏面側フィルムを各々連続的に引き出し、且つ、カッターにより基板長さに応じて切断し、切断された先端を、搬送手段により搬送され、仮付位置で停止されている基板の先端に導き、該基板に対して近接及び離反移動可能な表面側及び裏面側仮付け部材により該基板の先端に仮付けした後、ラミネーションロールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされ、前記仮付け部材は、フィルム経路に沿って表面にフィルム吸着手段を備えたメインバキュームプレートと、このメインバキュームプレートのフィルム送り方向先端に連結され、前記メインバキュームプレートの表面から連続して湾曲し、表面にフィルム吸着手段を備え、且つ、先端部に、フィルムを基板方向に押圧するシールバーを備えたフィルム仮付け部材本体と、を含んでなるフィルム張付装置において、
前記シールバーは、弾性材料からなり、前記仮付位置にある前記基板の先端の前後に延在し、且つ、前記基板搬送面に対して基板送り方向前端側が最も接近し、後端側ほど離間するテーパ状仮付面を備えたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項６】
基板搬送面上における基板表面側及び裏面側にそれぞれ配置されたフィルム供給ロールから表面側フィルム及び裏面側フィルムを各々連続的に引き出し、搬送手段により一定間隔で連続的に搬送されてくる基板の表面及び裏面に沿って基板と同速で、同方向に送り込み、ラミネーションロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送し、圧着後に、分離用カッターにより基板間位置でフィルムを幅方向に切断するようにされたフィルム張付装置において、
基板に対して接近及び離反移動可能であって、前記フィルム供給ロールから引き出され、先端が切り揃えられた連続フィルムの先端部を吸着すると共に、前記搬送手段により搬送され、仮付位置で停止されている基板の先端に導き、該基板の先端の表面及び裏面に、該連続フィルムの先端部を押付けて仮付けする表面及び裏面側仮付け部材を設け、且つ、前記搬送手段を、搬送する基板のうちの先頭の基板を、前記仮付部材による仮付位置に停止するように構成すると共に、前記仮付け部材は、フィルム経路に沿って表面にフィルム吸着手段を備えたメインバキュームプレートと、このメインバキュームプレートのフィルム送り方向先端に連結され、前記メインバキュームプレートの表面から連続して湾曲し、表面にフィルム吸着手段を備え、且つ、先端部に、フィルムを基板方向に押圧するシールバーを備えたフィルム仮付け部材本体と、を含んでなり、前記シールバーは、弾性材料からなり、前記仮付位置にある前記基板の先端の前後に延在し、且つ、前記基板搬送面に対して基板送り方向前端側が最も接近し、後端側ほど離間するテーパ状仮付面を備えたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項７】
請求項５又は６において、前記表面側及び裏面側のフィルム仮付け部材本体の先端部における前記シールバー取付け端面の、該シールバーを越えて、更に、基板送り方向に隣接した位置に、フィルム仮付け時に、前記基板先端及びシールバーを超えて延在する前記表面側フィルムと裏面側フィルムの端末部を吸着する吸着溝を設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項８】
請求項５、６又は７において、前記基板の厚さ、及び、仮付時における前記表面側と裏面側のフィルム端末部の間隔に応じて、前記基板先端の仮付位置を調節する位置決め手段を設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線板用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張付方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板の製造過程において、プリント配線板用基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポリエステルに代表される樹脂フィルム）上に感光性樹脂層が形成され、且つ、これがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルムを、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルムを剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付けられる。
【０００３】
上記のような積層体フィルムを張付けるためのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填されている連続フィルムを、搬送手段により搬送され、仮付位置に停止された基板の先端に感光性樹脂層が該基板側となるように導き、基板に対して近接及び離反移動可能な仮付け部材によって該基板の先端に仮付けした後、ラミネーションロールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされている。基板へのフィルム圧着張付けは、張付け長さが基板長にほぼ対応した長さとなるように行われており、その長さとなるように供給フィルムはフィルム仮付け部材自体又はその近傍の部材に設けられたフィルム切断手段で切断される。又、カバーフィルムは、仮付け部材の前で剥される。
【０００４】
なお、感光性樹脂層を基板表面に塗布した後にフィルムを張り付ける場合もあるが、この場合は、張り付けられるフィルムは、前記透光性支持フィルムに相当するフィルムのみであって、カバーフィルムが設けられていない。従って、カバーフィルムを剥がす作業は不要となる。
【０００５】
前記フィルム仮付け部材は、例えば特公平４−９６５６号公報に開示されるように、表面にフィルムを吸着するための複数の吸着孔（溝）が設けられたメインバキュームプレートと、このメインバキュームプレートのフィルム供給方向先端側に設けられた円弧形状又は三角形状のフィルム仮付け部材本体とから構成され、全体として、フィルムの供給及び仮付け動作が行えるように、基板に対して近接および離反移動するようにされている。
【０００６】
フィルム仮付け手段は、フィルムの供給及び仮付け動作を行う際には、その表面にフィルムを吸着した状態で基板に対して近接移動し、フィルムの供給及び仮付け動作が完了するとフィルムの吸着を解除し基板に対して離反移動する。このフィルムの吸着が解除されると、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れた状態となる。
【０００７】
仮付けした後、ラミネーションロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するのであるが、そのラミネーションロールによるフィルム圧着動作中は、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れた状態になっている。
【０００８】
前記の搬送されてくる各基板にフィルムを張付ける場合、基板毎にフィルムの供給及び仮付け動作と圧着動作という両動作を繰返し行う。
【０００９】
前記フィルム仮付け部材本体の先端にはフィルムを基板方向に押圧するシールバーが突出して設けられ、又、その背後にはシールバーを加熱するヒータが設けられていて、これによりフィルム仮付け先端を加熱して、基板の先端に仮付けできるようにされている。
【００１０】
ここで、前記フィルム仮付け部材本体先端部における、前記シールバーよりもメインバキューム側に隣接した位置にフィルム吸着孔（溝）が設けられていて、ここに吸着されたフィルムの先端が前記シールバーの下側位置に保持されるようになっている。
【００１１】
前記のようにシールバーによってフィルム仮付け先端を加熱して、基板の先端に仮付けしているが、このフィルムに積層されている粘着性の感光性樹脂層あるいは基板に塗布される粘着性感光樹脂が、仮付けの際にフィルム仮付け先端から基板上にはみ出すことがある。
【００１２】
このはみ出した粘着性の感光性樹脂は、次工程でのラミネーションロールによるフィルム圧着動作中に該ラミネーションロール表面に付着して、これが、フィルム表面を汚染するという問題点がある。
【００１３】
これに対して、例えば特開昭６０−２２１２９８号公報に開示されるように、間欠的に定速で搬送される複数の基板の表面及び裏面に、ラミネーションロールによってフィルムを連続的に張付け、張付後にカッターにより基板間位置でフィルムを切断する方法がある。
【００１４】
このようにすると、表裏のフィルムにより基板が被われているので、基板上に感光性樹脂がはみ出しても、これがラミネーションロール表面に付着することがない。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、連続張りでのフィルムの先端を仮付部材により基板に仮付けする場合、吸着されているフィルムの厚さが４０μｍ程度以上であればフィルム先端が前記シールバーの外側位置に保持されることができるが、最近のように、フィルムの厚さが８〜３５μｍと、非常に薄くなると、その剛性が不足するために、シールバーに隣接する吸着孔（溝）の位置から垂れ下がってしまい、シールバーにより基板に圧着させるべき、該フィルム先端が折れ曲ったり皺が生じてしてしまい圧着不良を生じるという問題点がある。
【００１６】
又、シールバーに隣接する吸着溝は、フィルム先端部を吸着するため、その吸引力を強くしなければならず、他方、シールバーに隣接する領域はスペースに余裕がないために、吸着溝が狭幅となるので、フィルムは、狭い範囲で強く吸引される。このためフィルムが薄い場合、吸着溝内にフィルムが引き込まれた状態で吸着されるので、そのまま基板に圧着すると吸着部分で皺ができ、エアーが噛み込まれてしまうという問題点がある。
【００１７】
これに対して、シールバーよりも基板搬送方向前側に、該シールバーに隣接して吸着溝を設けてフィルムを吸着保持することが考えられるが、フィルムが薄く、且つ、表側及び裏側において粘着物質によって基板に接着されない場合は、該吸着溝内に引き込まれた状態で仮付部材が基板から離間するとき、仮付部分からフィルムが剥離してしまうという問題点がある。
【００１８】
フィルムを基板長に応じて切断したものを基板先端からはみ出した状態で仮付する場合（非公知）も同様の問題点がある。
【００１９】
この発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであって、粘着物質がはみ出すことなく、且つ薄いフィルムの場合でも、皺やエア噛み込みを生じることなく確実に基板に圧着することができるフィルム張付方法及び装置を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本方法発明は、請求項１のように、連続フィルムを、基板搬送面上における基板表面側及び裏面側に各々配置されたフィルム供給ロールから引き出し、カッターにより基板長さに応じて切断した表面側フィルム及び裏側フィルムを、搬送手段により搬送され、仮付位置で停止される基板両面の先端に各々導き、該基板に対して表面側及び裏面側から近接及び離反移動可能な表面側及び裏面側それぞれの仮付け部材に吸着した状態で、各仮付け部材先端の弾性材料からなるシールバーにより該基板の先端に仮付けした後、一対のラミネーションロールにより、フィルムを基板の表面及び裏面に圧着しつつ、基板を搬送するフィルム張付方法において、前記一対のシールバーの対向する面を、両者の間隔が、基板送り方向前方が狭く後方が広いテーパ面とすると共に、仮付け時に、前記基板の先端を、前記テーパ面の途中位置となるように該基板を停止させ、前記フィルムを基板への張付状態での先端が、該基板の先端よりはみ出し、且つ、このはみ出し部分の表面側及び裏面側フィルムの端末部が、相互に圧接され得る程度の長さに、前記カッターにより切断しておくようにして、上記目的を達成するものである。
【００２１】
第２の方法発明は、請求項２のように連続フィルムを、基板搬送面上における基板表面側及び裏面側に各々配置されたフィルム供給ロールから引き出し、搬送手段により一定間隔で連続的に搬送されてくる基板の表面及び裏面に沿って基板と同速で、同方向に送り込み、ラミネーションロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送し、圧着後に基板間位置でフィルムを幅方向に切断・分離するようにされたフィルム張付方法において、前記フィルム供給ロールから巻き出された連続フィルムの先端を、仮付位置で停止される基板両面の先端に各々導き、該基板に対して表面側及び裏面側から近接及び離反移動可能な表面側及び裏面側それぞれの仮付け部材の先端に吸着し、該仮付け部材先端の弾性材料からなるシールバーにより、前記連続的に搬送されてくる基板のうちの先頭の基板の先端に仮付けしてから、連続フィルムを基板と共に、前記ラミネーションロールにより挟み込んで圧着するようにし、前記一対のシールバーの対向する面を、両者の間隔が、基板送り方向前方が狭く後方が広いテーパ面とすると共に、仮付け時に、前記基板の先端を、前記テーパ面の途中位置となるように該基板を停止させ、前記フィルムを基板への張付状態での先端が、該基板の先端よりはみ出し、且つ、このはみ出し部分の表面側及び裏面側フィルムの端末部が、相互に圧接され得る程度の長さに、前記カッターにより切断しておくようにして、上記目的を達成するものである。
【００２２】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記シールバーによるフィルム仮付けの際に、該シールバーの、基板送り方向前側に隣接した位置で、予め前記表側及び裏側のフィルム端末部を吸着し、これらを相互に平行に保持しておくようにしたものである。
【００２３】
請求項４の発明は、請求項１、２又は３の発明において、前記シールバーによるフィルム仮付けの際に、前記シールバーのテーパ面における前記基板の先端よりも基板送り方向前側部分により、前記表側及び裏側のフィルム端末部を挾持して、相互に押圧するようにしたものである。
【００２４】
又、本装置発明は、請求項５のように、基板搬送面上における基板表面側及び裏面側にそれぞれ配置されたフィルム供給ロールから表面側フィルム及び裏面側フィルムを各々連続的に引き出し、且つ、カッターにより基板長さに応じて切断し、切断された先端を、搬送手段により搬送され、仮付位置で停止されている基板の先端に導き、該基板に対して近接及び離反移動可能な表面側及び裏面側仮付け部材により該基板の先端に仮付けした後、ラミネーションロールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされ、前記仮付け部材は、フィルム経路に沿って表面にフィルム吸着手段を備えたメインバキュームプレートと、このメインバキュームプレートのフィルム送り方向先端に連結され、前記メインバキュームプレートの表面から連続して湾曲し、表面にフィルム吸着手段を備え、且つ、先端部に、フィルムを基板方向に押圧するシールバーを備えたフィルム仮付け部材本体と、を含んでなるフィルム張付装置において、前記シールバーは、弾性材料からなり、前記仮付位置にある前記基板の先端の前後に延在し、且つ、前記基板搬送面に対して基板送り方向前端側が最も接近し、後端側ほど離間するテーパ状仮付面を備えたことにより、上記目的を達成するものである。
【００２５】
第２の装置発明は、請求項６のように基板搬送面上における基板表面側及び裏面側にそれぞれ配置されたフィルム供給ロールから表面側フィルム及び裏面側フィルムを各々連続的に引き出し、搬送手段により一定間隔で連続的に搬送されてくる基板の表面及び裏面に沿って基板と同速で、同方向に送り込み、ラミネーションロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送し、圧着後に、分離用カッターにより基板間位置でフィルムを幅方向に切断するようにされたフィルム張付装置において、基板に対して接近及び離反移動可能であって、前記フィルム供給ロールから引き出され、先端が切り揃えられた連続フィルムの先端部を吸着すると共に、前記搬送手段により搬送され、仮付位置で停止されている基板の先端に導き、該基板の先端の表面及び裏面に、該連続フィルムの先端部を押付けて仮付けする表面及び裏面側仮付け部材を設け、且つ、前記搬送手段を、搬送する基板のうちの先頭の基板を、前記仮付部材による仮付位置に停止するように構成すると共に、前記仮付け部材は、フィルム経路に沿って表面にフィルム吸着手段を備えたメインバキュームプレートと、このメインバキュームプレートのフィルム送り方向先端に連結され、前記メインバキュームプレートの表面から連続して湾曲し、表面にフィルム吸着手段を備え、且つ、先端部に、フィルムを基板方向に押圧するシールバーを備えたフィルム仮付け部材本体と、を含んでなり、前記シールバーは、弾性材料からなり、前記仮付位置にある前記基板の先端の前後に延在し、且つ、前記基板搬送面に対して基板送り方向前端側が最も接近し、後端側ほど離間するテーパ状仮付面を備えたことにより上記目的を達成するものである。
【００２６】
請求項７の発明は、請求項５又は６の発明において、前記表面側及び裏面側のフィルム仮付け部材本体の先端部における前記シールバー取付け端面の、該シールバーを越えて、更に、基板送り方向に隣接した位置に、フィルム仮付け時に、前記基板先端及びシールバーを超えて延在する前記表面側フィルムと裏面側フィルムの端末部を吸着する吸着溝を設けたものである。
【００２７】
請求項８の発明は、請求項５、６又は７の発明において、前記基板の厚さ、及び、仮付時における前記表面側と裏面側のフィルム端末部の間隔に応じて、前記基板先端の仮付位置を調節する位置決め手段を設けたものである。
【００２８】
本発明によれば、フィルム先端部を、基板の先端部から大きくはみ出した状態で基板に張付け、且つ該はみ出し部分も基板表面側及び裏面側の端末部を重ねているので、フィルムと基板との間の粘着性の感光性樹脂等がはみ出すことがなく、又、仮付け部材により、フィルムを基板先端の角部にならって仮付けしているので、該角部近傍で基板とフィルム間に気泡が入り込んだり、フィルムが基板から剥離したりすることがない。更に、薄いフィルムの先端が垂れ下ることがない。
【００２９】
更に、本発明によれば、シールバーを越えた位置でフィルム先端部を負圧により吸着するので、該フィルム先端部をシールバーによって、皺や折りれ曲りが生じたりすることなく、基板に確実に仮付けすることができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して説明する。
【００３１】
まず本発明に係るフィルム張付装置１０の概略構成を図１を参照して説明する。
【００３２】
このフィルム張付装置１０によって切断して張付けられるフィルム１２は、図２に示されるように、透光性支持フィルム１２Ａ上に感光性樹脂層１２Ｂ及びカバーフィルム１２Ｃが積層された３層構造であり、供給ロール１４に連続的に巻回されている。
【００３３】
供給ロール１４から巻き出されたフィルム１２は、フィルム分離部材１６によりカバーフィルム１２Ｃが剥がされて、感光性樹脂層１２Ｂの接着面が露出された状態となり、テンションロール１８を経て仮付け部材２０の一部を構成するメインバキュームプレート２２に供給されるようになっている。前記剥離されたカバーフィルム１２Ｃは、巻取りロール２４により巻き取られるように構成されている。
【００３４】
前記供給ロール１４、フィルム分離部材１６、テンションロール１８、仮付け部材２０、巻取りロール２４等は、基板搬送面Ｉ−Ｉの、図１において上側及び下側に、上下対称に設けられていて（下側は図示省略）、フィルム１２が基板２６の表面（上図）及び裏面（下面）に張付けられるようにされている。なお、以下は、特に指定がない限り、上側の装置についてのみ説明し、下側の装置の説明に代えるものとする。
【００３５】
前記メインバキュームプレート２２は、図３、図４に示されるように、負圧が印加される多数の吸着溝２２Ａ及び吸引孔２２Ｂが表面に設けられ、カバーフィルム１２Ｃが剥されたフィルム１２（以下特に指定しなければフィルム１２とする）を吸着できるようにされ、且つ、図において上下方向のガイドレール２８に摺動自在に支持され、エアシリンダ、サーボモータ等の駆動装置３０によってガイドレール２８に沿って、フィルム張付位置に近接し、且つ、離反する方向、即ち基板搬送面Ｉ−Ｉに対して近接、離反することができるようにされている。
【００３６】
又、前記メインバキュームプレート２２の基板搬送面Ｉ−Ｉ側先端には、前記メインバキュームプレート２２の表面から連続して湾曲し、且つ表面にフィルム吸着溝２１Ｃが形成されたフィルム仮付け部材本体２１が連結されている。このフィルム仮付け部材本体２１のフィルム送り方向の先端部には、断面が変台形状のシールバー３２が取付けられている。
【００３７】
前記シールバー３２は、フィルム仮付部材本体２１に取付けられているブロック部材５０（後述）にアリ溝係合して支持されている。ゴム（シリコンゴムを含む）、発泡あるいは非発泡ポリウレタン樹脂等の弾性変形可能な材料により構成されている。
【００３８】
前記シールバー３２は、前述の如く、断面が変台形状であって、基板搬送面Ｉ−Ｉに対向する側に、該基板搬送面Ｉ−Ｉに対する距離が、基板搬送方向前側で最も小さく、基板搬送方向後側で最も広くなるようにしたテーパ状仮付面３１を備えている。
【００３９】
従って、図４に示されるように、上下一対のシールバー３２が同期して基板搬送面Ｉ−Ｉに接近したとき、テーパ状仮付面３１の一部は、基板送り方向に先端のある楔状の隙間を形成するようにされている。前記シールバー３２におけるテーパ状仮付面３１よりも、基板送り方向前方の全長の約１／３の範囲は、前記基板搬送面Ｉ−Ｉと平行な押圧面３１Ａとされている。
【００４０】
前記ブロック部材５０には、前記シールバー３２の基板送り方向前端に隣接した位置にフィルム先端部（端末部）を吸着し保持するための吸着溝３３を備えている。
【００４１】
前記仮付け部材２０は、前記基板搬送面Ｉ−Ｉ上の基板２６の上面に、その先端が接触する位置から、図１において実線で示される待機位置との間で移動可能とされているが、この待機位置と前記基板搬送面Ｉ−Ｉとの間には、フィルム１２の送り面に沿って、仮付け部材２０側から先端巻付用フィルム保持部材３４及びロータリーカッター３６がこの順で配置されている。
【００４２】
前記ロータリーカッター３６は、前記供給ロール１４から巻き出され、且つカバーフィルム１２Ｃが剥がされたフィルム１２の先端を切り揃えて、該先端が基板２６の先端縁と平行になるようにすると共に、フィルム１２を順次基板２６に対応した長さに切断していくようにされている。この長さは、フィルム１２の先端及び後端が基板２６の先端２６Ａ及び後端２６Ｂより５〜１５ｍｍはみ出すようにされている。
【００４３】
又、前記先端巻付用フィルム保持部材３４は、ロータリーカッター３６によるフィルム切断時に、図１において左方向に前進して、先端がフィルム通過面に到達し、切断後は後退して仮付け部材２０と干渉しない待機位置となるようにされ、又、そのフィルム通過面側の端面には、負圧が印加される吸着溝及び吸引孔（共に図示省略）が設けられていて、該端面にフィルム１２の先端を吸着することができるようにされ、ロータリーカッター３６によるフィルム切断時にフィルム１２を吸着保持すると共に切り揃えられたフィルム１２の先端部を吸着し、これを図１において右方向に引張ることによって、仮付け部材２０の仮付け部材本体２１に巻付け、且つその先端部におけるフィルム吸着溝２１Ｃ及び吸着溝３３によって、シールバー３２を含む仮付け部材本体２１にフィルム先端部を吸着させるものである。
【００４４】
前記メインバキュームプレート２２は、前記フィルム１２の経路側であって、表面に前記吸着溝２２Ａが形成された吸引板２３Ａと、該吸引板２３Ａの、フィルム経路に対して反対側に、枠状の耐熱性ゴムパッキン２３Ｂを介して止めねじ２３Ｃにより結合されたバックアップ部材２３Ｄとから構成されている。
【００４５】
前記枠状の耐熱性ゴムパッキン２３Ｂは、フィルム幅方向に複数のバキュームスペース２３Ｅを備え、各バキュームスペース２３Ｅの中心近傍に形成され、前記バックアップ部材２３Ｄを厚さ方向に貫通するバキュームポート２３Ｆを介して真空源（図示省略）に連通されている。
【００４６】
前記吸引板２３Ａにおける前記吸着溝２２Ａは、フィルム送り方向と直交する方向に延在され、且つフィルム送り方向に複数列形成され、その各々は、前記バキュームスペース２３Ｆに連通する位置において、該バキュームスペース２３Ｆ側に貫通する複数の前記吸引孔２２Ｂに連通されている。
【００４７】
前記フィルム仮付け部材本体２１は、図４に示されるように、前記メインバキュームプレート２２の表面から連続し、且つ該表面に対して傾斜する傾斜吸着面２１Ｂを備え、この傾斜吸着面２１Ｂに、前記フィルム吸着溝２１Ｃが、フィルム送り方向と直交する方向に複数列形成されている。
【００４８】
これらフィルム吸着溝２１Ｃには、その長手方向に適宜間隔で形成された複数のバキューム孔２１Ｄが連通され、これらバキューム孔２１Ｄは、フィルム仮付け部材本体２１内のバキューム路２１Ｅに連通されている。バキューム路２１Ｅは負圧管路２１Ｆを介して真空源（図示省略）に連通されている。
【００４９】
前記傾斜吸着面２１Ｂは、前記メインバキュームプレート２２表面と平行であるフィルム仮付け部材本体２１の背面に対して鋭角をなし、その先端部は、前記シールバー３２を含むブロック部材５０の、図において下端部によって形成されている。
【００５０】
前記ブロック部材５０は、フィルム幅方向に、フィルム仮付け部材本体２１の裏面に形成された前記バキューム路２１Ｅを塞ぐようにして取付けられ、且つ、ボルト５１によりフィルム仮付け部材本体２１に結合されている。
【００５１】
前記ブロック部材５０の本体の下端部には、図５（Ａ）に拡大して示されるように、下向きに開口したフィルム幅方向のアリ溝５４が形成され、該アリ溝５４内に前記シールバー３２の上部に一体的に形成された係合突部３２Ａが弾力的に嵌入されている。
【００５２】
図４及び図５（Ａ）に示されるように、前記ブロック部材５０における、前記吸着溝３３には、バキューム路３３Ａ及びバキューム路５６を介して前記バキューム路２１Ｅからの負圧が導入されるようになっている。
【００５３】
ここで、前記吸着溝３３はブロック部材５０の下側面に、フィルム幅方向に連続して形成され、又、バキューム路３３Ａ、５６はフィルム幅方向に一定間隔で形成されている。
【００５４】
前記ロータリーカッター３６は、フィルム通過面と平行で、且つフィルム１２の幅方向に配置された略直線状の固定刃３６Ａと、回転中心軸線が固定刃３６Ａと略平行に配置された部材（円柱又は円筒）の円筒状外周に切刃を螺旋状に巻付た構造回転刃３６Ｂとから構成され、固定刃３６Ａに対して、回転刃３６Ｂがフィルム通過面上で接触しつつ回転することによって、該フィルム通過面上のフィルム１２をその位置で幅方向に切断するものである。
【００５５】
ここで、前記固定刃３６Ａは、回転刃３６Ｂに対してフィルム通過面と直交する方向に進退自在とされ、供給ロール１４から巻き出され、カバーフィルム１２Ｃが剥離されたフィルム１２を切断するときのみ回転刃３６Ｂと接触する位置にまで前進し、常態では、回転刃３６Ｂから離間する退避位置となるようにされている（駆動機構図示省略）。
【００５６】
図１の符号４０は基板搬送機構における駆動用ローラ、４２は同従動用ローラ、４４は基板押え部材、４６は基板先端位置検出光センサ、４８はラミネーションロール、６０は基板位置決めストッパをそれぞれ示す。
【００５７】
ここで、ラミネーションロール４８は、その外径が軸方向両端から中央に向かうに従って徐々に大きくなる。いわゆるクラウンロールとすると、幅広のフィルムを基板２６に張付ける際に、フィルムの幅方向中央領域に皺が発生したり、張り圧力が不足したりすることがない。
【００５８】
前記基板押え部材４４は、基板押えローラ４４Ａと、これを上下動させる基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂとから構成されている。
【００５９】
前記ラミネーションロール４８、駆動用ローラ４０、基板押え部材４４及び基板先端位置検出光センサ４６の相互関係は次の如くである。
【００６０】
基板搬送面Ｉ−Ｉの近傍に設けられた前記基板先端位置検出光センサ４６により、図１において左から右方向に搬送されてくる先頭の基板２６の先端が検知され、所定時間後にフィルム仮付け位置まで同基板２６が搬送され、基板２６の先端２６Ａが前記基板位置決めストッパ６０に当接する位置までくると、駆動用ローラ４０の回転が停止される。これと同時に前記基板押え部材４４により基板２６を押えるように、基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂにより、基板押えローラ４４Ａが駆動される。
【００６１】
なお、基板位置決めストッパ６０は基板先端２６Ａと接触しない待機位置及び接触する作動位置との間で中央制御ユニット７０（後述）により駆動され、且つ、基板先端２６Ａとの接触位置は基板搬送方向調節自在とされている。
【００６２】
前記基板押えローラ４４Ａにより、基板２６の動きが確実に停止され、仮付け部材２０の先端部であるフィルム仮付け部材本体２１が基板２６に当接しても、該基板２６が動かず、フィルム１２に仮付けが確実に行われる。
【００６３】
前記基板押えローラ４４Ａによる基板２６の押えは、ラミネーションロール４８が基板２６に当接するまで行われ、ラミネーションロール４８の当接タイミングと同調して、基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂが解除作動される。
【００６４】
図の符号Ｓ１は幅寄せ開始位置センサ、Ｓ２は基板後端検出センサ、Ｓ３は基板通過検出センサをそれぞれ示す。
【００６５】
又、図１の符号７２は前記先端巻付け用フィルム保持部材３４に対して、フィルム１２の経路を間に反対側に配置され、且つ、仮付け部材本体２１における傾斜吸着面２１Ｂ方向に圧縮空気流を吹き付けるためのエアーブロー管を示す。
【００６６】
このエアーブロー管７２は、図６に示されるように、前記傾斜吸着面２１Ｂ側の先端にフィルム幅方向に連続的に長く形成されたノズル７２Ａを備えたエアーブローケース７２Ｂと、このエアーブローケース７２Ｂ内にフィルム幅方向に配置されると共に、前記ノズル７２Ａ方向に向けて空気を吹き出すための噴出孔７２Ｃが多数長手方向に間欠的に形成されたエアーパイプ７２Ｄとから構成され、エアーパイプ７２Ｄから吹き出される空気流をノズル７２Ａで整流して、前記フィルム仮付け部材本体２１の傾斜吸着面２１Ｂ方向に吹き付けるものである。
【００６７】
なお、エアーパイプ７２Ｃには、その長手方向両端から圧縮空気が供給されるようになってる。更に、この圧縮空気の供給時間即ちノズル７２Ａからの空気流吹き出し時間は、前記先端巻付け用フィルム保持部３４の図において右方向の移動開始直前、即ち吸着したフィルム先端を仮付け部材２０方向に引張り始める直前から、フィルム１２の前記先端部への巻き付け終了までの間とされている。
【００６８】
図１の符号７４は、ロータリーカッター３６の下流側に近接して配置されたフィルムガイドロール、３６はエアーブロー管をそれぞれ示す。このエアーブロー管７６はラミネーションロール４８側に設けられたフィルム後端用の吸着バー７８方向に、圧縮空気を噴出して、ロータリーカッター３６により切断されたフィルム１２の後端を吸着バー７８方向になびかせるものである。
【００６９】
図１の符号８２は、駆動用ローラ４０の間で、基板搬送面Ｉ−Ｉの下方に接近して配置された下降防止ガイド板を示す。これらのガイド板８２は、基板搬送方向後端側が下向きに傾斜した水平の板状部材であって、基板搬送面Ｉ−Ｉ上を搬送されてくる基板２６の先端が垂下がって駆動用ローラ４０間に入り込むことを防止するものである。
【００７０】
又、符号８４は、下側のラミネーションロール４８とその直前の駆動用ローラ４０との間で、基板搬送面Ｉ−Ｉの下側に接近して配置された一対のフリーローラを示す。このフリーローラ４８は、図７に拡大して示されるように、エアシリンダ８６により基板送り方向に進退されるフレーム８８に回転自在に支持され、基板先端位置検出光センサ４６が基板２６の先端を検出したとき、エアシリンダ８６により基板送り方向に移動され、基板２６の先端をラミネーションロール４８、４８間に導くようにされている。又基板２６へのフィルム張付けが終了したとき原位置に復帰される。この動作タイミング等は特公平３−２７３３４号に開示されるものと同様である。
【００７１】
又、図１の符号９０Ａ、９０Ｂは、ラミネーションロール４８を支持する上下のフレーム４８Ａ、４８Ｂに取付けられた基板巻上り防止ガイド板、及び、基板下降防止ガイド板をそれぞれ示す。基板巻上がり防止ガイド板９０Ａは、図１において左上りに傾斜して設けられた平板状部材、基板下降防止ガイド板９０Ｂは図１において左端が下向きに傾斜した水平板状部材である。これらは、フィルムが張付けられた基板２６がラミネーションロール４８の回転に追随して巻き上ったり、下降したりすることを防止するものである。
【００７２】
次に前記フィルム張付装置の制御系の信号経路を、図８を参照して説明する。
【００７３】
この制御系においては、各センサ４６、Ｓ１〜Ｓ３と共に、各シリンダ前・後端の検出センサ（図示省略）はフィルム巻径の各センサに従って、中央制御ユニット７０が各シリンダ用ソレノイド及び各モータの制御信号を出力するようになっている。又、カウンタやタイマの機能も有している。
【００７４】
この中央制御ユニット７０は、所定の手順に従って前記フィルム張付装置１０を制御するように構成されている。この中央制御ユニット７０は、例えばプログラマブルコントロールやリレーシーケンス回路により構成することができる。
【００７５】
次に上記フィルム張付装置１０の作用について説明する。
【００７６】
まず、ラミネーションロール４８は図１の実線に示される退避位置、先端巻付用フィルム保持部材３４はその先端面がフィルム通過面から離間した位置、ロータリーカッター３６の固定刃３６Ａは回転刃３６Ｂから離間した位置にそれぞれセットし、フィルム１２を供給ローラ１４から引き出し、先端からカバーフィルム１２Ｃを剥離して、巻き取りロール２４に巻き取らせつつ、フィルム１２を、仮付け部材２０及び先端巻付用フィルム保持部材３４の図において左側のフィルム通過面に沿って引き下げ、且つロータリーカッター３６の固定刃３６Ａと回転刃３６Ｂの間を通す。
【００７７】
次に、仮付け部材２０に負圧を印加してフィルム１２を吸着すると共に、先端巻付用フィルム保持部材３４もフィルム通過面位置まで前進させて、負圧を印加することによりフィルム１２を吸着する。
【００７８】
この状態で固定刃３６Ａを前進させ、回転刃３６Ｂを回転させることにより、フィルム通過面上でフィルム１２を切断して、その先端を切り揃える。ロータリーカッター３６よりも先端側の切断されたフィルム１２は廃棄する。次に、固定刃３６Ａを回転刃３６Ｂから離間させ、先端巻付用フィルム保持部材３４は、その先端面にフィルム１２の先端部を吸着したまま図１において右方向に移動させる。
【００７９】
このとき、仮付け部材本体２１の先端部におけるフィルム吸着溝２１Ｃ及び吸着溝３３には予め負圧を印加しておき、この状態で、先端巻付用フィルム保持部材３４が図において右方向に移動すると、吸着されているフィルム１２の先端部が、仮付け部材本体２１における先端部に沿って巻き付けられ、そのフィルム吸着溝、吸引孔の負圧により吸着され、先端巻付用フィルム保持部材３４から離間する。
【００８０】
フィルム１２の先端部が仮付け部材本体２１における先端部に巻き付けられる際に、前記エアーブロー管７２のノズル７２Ａから吹き出された圧縮空気流がフィルム１２の先端を傾斜吸着面２１Ｂ方向に吹き付けるので、先端巻付け用フィルム保持部材３４から離間したフィルム先端部は、垂れ下ったり、折れ曲ったりすることなく、確実に傾斜吸着面２１Ｂ、テーパ状仮付面３１及び押圧面３１Ａに沿って吸着されることになる。
【００８１】
なお、ロータリーカッター３６による切断位置はフィルム１２の先端が押圧面３１Ａの先端に到達するように予め調整されているので、吸着状態でフィルム先端がシールバー３２の下側に垂れ下がることがない。
【００８２】
上記のような、仮付部材本体２１の先端部にフィルム１２の先端部を巻き付ける工程と同時又は前後して、前記基板位置決めストッパ６０を予め調節した位置で、基板先端２６Ａと接触する作動位置に駆動しておく。
【００８３】
前記基板２６は、基板搬送機構により搬送され、該基板位置決めストッパ６０に、その先端２６Ａが当接又は当接直前で駆動用ローラ４０の回転が停止されることによって、図４、図５（Ａ）に示される仮付位置に停止される。
【００８４】
次に、仮付け部材本体２１の先端部にシールバー３２を被った状態でフィルム１２の先端部を吸着したまま、駆動装置３０により、仮付け部材２０をガイドレール２８に沿って、その先端部がフィルム１２の先端部を介して仮付け位置に停止している先頭の基板２６の先端位置上面に当接するまで降下される。又、これと同期して下側の仮付け部材２０も上昇される。
【００８５】
これにより、図５（Ｂ）に示されるようにシールバー３２が、先頭の基板２６の先端表面及び裏面にフィルム１２の先端部を仮付けし、しかる後、仮付け部材２０は、仮付け部材本体２１を含み負圧が解除され、図４、図５（Ａ）の位置まで離間し、次の仮付けまで待機される。
【００８６】
前述の如く、フィルム１２の先端は、シールバー３２の下側に垂れ下がることがないので、仮付けが、皺や重なりが生じたりすることなく、正確になされる。
【００８７】
又、基板２６の前端２６Ａの角部は、シールバー３２におけるテーパ状仮付面３１に喰い込むようにして該シールバー３２に上下から挟み込まれるので、フィルム１２の先端部は基板２６の前端２６Ａにおける上下の角部に沿って強く折り曲げられた状態で該角部に圧接される。
【００８８】
又、表面側及び裏面側フィルム１２の、基板２６先端２６Ａからはみ出した端末部１３、１３は、上下のシールバー３２における押圧面３１Ａによって、基板搬送面Ｉ−Ｉと平行に、且つ相互に重なるようにして上下方向に圧接される。
【００８９】
以上より、表面側及び裏面側フィルム１２は、基板２６先端２６Ａの両角部にならって該先端２６Ａに圧接されるので、フィルム１２を基板２６に仮付した後、仮付部材２０が仮付位置から離間するとき、フィルム吸着溝２１Ｃ等に、負圧により薄いフィルムが入り込んでいる場合でも、離間していく仮付部材２０に引張られてフィルム１２が基板２６から隔離することがない。又、フィルムが基板先端２６Ａの角部にならって基板２６に圧着されているので、角部近傍で、フィルム１２に皺が発生しない。
【００９０】
基板２６の停止、及びこの仮付け位置での停止時における前記基板押えローラ４４Ａによる拘束は前述の如くである。
【００９１】
フィルム１２を仮付けした状態の先端部２６Ａに対して、ラミネーションロール４８は図１の実線位置から二点鎖線の位置にまで駆動され、フィルム１２を基板２６に押し付けるが、端末部１３、１３は、ラミネーションロール４８に接触しない。この状態で、前記基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂが解除される。次に、ラミネーションロール４８は基板２６の搬送装置の駆動用ローラ４０と同期して、該基板２６を図１の左側から右方向に駆動するよう回転され、回転しつつフィルム１２を基板２６の上面に圧着する。
【００９２】
基板２６の後端２６Ｂがラミネーションロール４８の位置にくると、上下のラミネーションロール４８は相互に接触する方向に移動して、基板２６後端側の、表面側フィルム及び裏面側フィルムにおける端末部１３、１３を重ねて挟み込み、両者を圧接させる。
【００９３】
従って、図９に示されるように、基板２６の後端２６Ｂ側の端末部１３、１３も、上下において圧接され、基板２６後端２６Ｂを閉じこめるようになる。
【００９４】
これ以後は、間欠的に搬送されてくる基板２６に、カバーフィルム１２Ｃが剥離されたフィルム１２が、ロータリーカッター３６により上記のような定寸で切断され、順次仮付け部材２０により仮付けされてからラミネーションロール４８により圧着されていく。又、フィルム１２の表面側及び裏面側端末１３も、基板２６の先端２６Ａ及び後端２６Ｂ側で圧接される。
【００９５】
前記ロータリーカッター３６によってフィルムが切断される際、該フィルム１２は仮付け部材２０とラミネーションロール４８との間に張り渡された状態となっているが、フィルム１２の幅が広い場合は、フィルム１２は幅方向に均一に引張り力が付与されていないことが多く、この場合、引張り力が不足している部分については、ロータリーカッター３６による切断時にフィルム１２を円滑に切断できないことがある。
【００９６】
このフィルム張付装置１０においては、仮付け部材２２とラミネーションロール４８との間で前記ロータリーカッター３６に近い位置で、先端巻付け用フィルム保持部材３４の先端に、フィルム１２が吸着保持されているので、フィルム１２の引張り力不足の部分にも引張り力が均一に掛り、これによって、ロータリーカッター３６による切断が円滑になされることになる。
【００９７】
フィルムが非常に薄い場合、吸着溝３３の位置では、フィルム先端部に皺が発生することがあるが、シールバー３２よりも先端側は利用しないので皺が発生しても問題がない。
【００９８】
なお上記フィルム貼付装置１０に用いるフィルム１２は、透光性支持フィルム１２Ａに感光性樹脂層１２Ｂを積層し、これをカバーフィルム１２Ｃで被ってなるものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、基板２６の表面に予め感光性樹脂を塗布しておき、これをフィルムで被うようにして張付ける場合、あるいは感光性樹脂以外の粘着剤を基板あるいはフィルム側に塗布して、この状態で基板にフィルムを張付ける場合、更には、感光性樹脂層、粘着剤等を用いることなく、フィルムを基板に圧着する場合のいずれにも本発明は適用されるものである。
【００９９】
更に上記実施の形態の例では、フィルム１２を、基板２６の先端２６Ａ及び後端２６Ｂからはみ出すようにしてロータリーカッター３６により切断して基板２６に張付けるものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば図１０（Ａ）に示されるように、フィルム１２が基板２６の先端２６Ａからのみはみ出すようにして、後端側は基板２６の後端２６Ｂと一致するようにても良い。
【０１００】
更に、基板２６とフィルム１２の幅の関係については、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、フィルム１２を基板２６よりも狭幅としても良く、図１０（Ｃ）、（Ｄ）に示されるように、フィルム１２と基板２６を同一幅としても良く、更に、図１０（Ｅ）、（Ｆ）に示されるように、フィルム１２を基板２６Ａよりも幅広にして、基板２６の幅方向両端からもフィルム１２がはみ出すようにしても良い。
【０１０１】
更に又、上記各実施の形態の例では、フィルム１２をロータリーカッター３６によって基板２６の長さに応じて各基板毎に切断したものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、基板を搬送手段により一定間隔で連続的に搬送しつつ、該基板の表面及び裏面に沿ってフィルムを供給し、そのまま、ラミネーションロール間に通して、フィルムを途中で切断することなく基板に連続的に張り付けるいわゆる連続張りについても、その一連の基板のうち先頭基板に、仮付部材により仮付けする場合について適用されるものである。
【０１０２】
例えば、図１１の（Ａ）〜（Ｃ）に示されるように、フィルム１２の先端を先頭基板２７の先端２７Ａからはみ出して仮付けする場合についても本発明が適用されるものである。
【０１０３】
又、前記図１０の（Ｅ）、（Ｆ）及び図１１（Ｃ）に示されるように、フィルム１２が基板２６よりも幅広の場合は、基板２６から幅方向両側にはみ出した部分のフィルムを圧着すると、感光性樹脂層、粘着剤等の漏れを更に効果的に防止することができる。
【０１０４】
この場合は、図１２（Ａ）に示されるように、ラミネーションロール４９において、フィルム１２の、基板２６の幅方向両端からはみ出した部分を押圧するように拡径部４９Ａを設けて、フィルム１２を基板２６に圧着する際に同時に表側フィルム及び裏側フィルムにおける幅方向両端を圧着するようにしても良い。
【０１０５】
更に、同図１２（Ｂ）に示されるように、上記実施の形態の例におけるラミネーションロール４８によってフィルム１２を基板２６に圧着した後の工程で、基板幅方向左右一対の両端圧着ロール４９Ｂにより、フィルム１２の、基板１２の幅方向両端からはみ出した部分を上下から挟み込んで圧着するようにしても良い。
【０１０６】
又、図１２（Ｃ）に示されるように、図１２（Ｂ）における両端圧着ロール４９Ｂを、一本のシャフト４９Ｃに取付けるようにしてもよい。
【０１０７】
ここで、前記両端圧着ロール４９Ｂはゴム、樹脂等の弾性材料、シャフト４９Ｃは金属から形成するとよい。
【０１０８】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、基板先端角部近傍に気泡が生じたりすることなくフィルム圧着時に感光性樹脂等の粘着物質の漏れを防止することができると共に、フィルム端末部によって基板端面を封止し、ほこり等の付着あるいは他のフィルム付基板との接着を防止して、取り扱いを容易にすることができる。
【０１０９】
更に、フィルムが薄くても、その先端部がシールバー下側に垂れ下がったりすることなくフィルム仮付け部材体体の先端部に吸着保持することができ、従って、シールバーにより基板に確実且つ正確に、皺がよったり、折り重なったり、エアーを噛み込んだりすることなく仮付け圧着することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装置を示す略示側面図
【図２】上記フィルム張付装置により張付けられるフィルムの、カバーフィルム剥離前の状態を拡大して示す断面図
【図３】同フィルム張付装置における仮付け部材を拡大して示す斜視図
【図４】同仮付け部材を更に拡大して示す断面図
【図５】同フィルム張付装置における仮付け部材本体の先端部近傍を更に拡大して示す断面図
【図６】上記装置のエアーブロー管を拡大して示す斜視図
【図７】上記装置における基板搬送系の一部を示す略示側面図
【図８】上記装置の電気的な信号入出力の構成を示すブロック図
【図９】本発明に方法により製造されたフィルム付基板を示す拡大側面図
【図１０】本発明方法及び装置によって張付けられるフィルムと基板との関係の各種態様を示す平面図
【図１１】連続張りにおけるフィルム先端と基板との関係を示す平面図
【図１２】基板の幅方向両端からはみ出したフィルムを圧着する過程を示す略示平面図
【符号の説明】
１０…フィルム張付装置
１２…フィルム
１２Ａ…透光性支持フィルム
１２Ｂ…感光性樹脂層
１２Ｃ…カバーフィルム
１３…端末部
１４…供給ロール
１６…フィルム分離部材
１８…テンションロール
２０…仮付け部材
２１…フィルム仮付け部材本体
２１Ｂ…傾斜吸着面
２１Ｃ…フィルム吸着溝
２１Ｄ…バキューム孔
２２…メインバキュームプレート
２６…基板
２６Ａ…先端
２６Ｂ…後端
３１…テーパ状仮付面
３１Ａ…押圧面
３２…シールバー
３３…吸着溝
３６…ロータリーカッター
４８…ラミネーションロール
５０…ブロック部材
６０…基板位置決めストッパ
Ｉ−Ｉ…基板搬送面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0003781509.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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