(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査結果に基づいて欠陥部を特定して、大型基板の電極配線の断線、短絡等の欠陥を、人手にて修正するための修正台であって、基板の修正面側でない裏面全体に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板の一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂直にした状態で基板を載せて置く基板載置台と、基板の修正面側を観察するために、基板載置台上に保持されて、基板の基板面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡と、基板載置台を保持して且つ基板載置台の角度および高さを変える載置台制御部とを備えたもので、前記基板載置台は、基板の下側の一辺を水平方向に沿わせて基板を移動させる水平移動部を設けたものであり、前記水平移動部は、基板の一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロないしロール上に載せて移動させるものであることを特徴とする大型基板の欠陥修正台。
【請求項２】
請求項１において、顕微鏡をＸ、Ｙ移動させるＸ、Ｙ移動軸を基板載置台上に設けていることを特徴とする大型基板の欠陥修正台。
【請求項３】
請求項１ないし２において、基板載置台は、基板の修正面側でない裏面全体に接し、裏面全体に拡散板を介して検査光を照射するものであることを特徴とする大型基板の欠陥修正台。
【請求項４】
請求項１ないし３において、顕微鏡と一体でＸ、Ｙ移動する、腕おき台を備えていることを特徴とする大型基板の欠陥修正台。
【請求項５】
請求項１ないし４において、顕微鏡のＸ、Ｙ位置を数値表示するカウンターを備えていることを特徴とする大型基板の欠陥修正台。
【請求項６】
請求項１ないし５において、基板の顕微鏡像を観察するモニターを備えていることを特徴とする大型基板の欠陥修正台。
【請求項７】
プラズマディスプレイパネル用の基板上の電極配線の断線、短絡等の欠陥を修正するための修正台であることを特徴とする請求項１ないし６記載の大型基板の欠陥修正台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大型基板の電極パターンの断線、短絡等の欠陥を修正する修正台に関する。特に、プラズマディスプレイパネル用基板の背面板、前面板の電極パターン等の欠陥の修正台に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量であること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体とするガスを封入した構造となっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。特に情報表示をするためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。
【０００３】
ここで、ＰＤＰの構成を、図５に示すＡＣ型ＰＤＰの１例を挙げて説明しておく。
図５はＰＤＰ構成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス基板５１０）、背面板（ガラス基板５２０）とを実際より離して示してある。
図５に示すように、２枚のガラス基板５１０、５２０が互いに平行に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基板５２０上に互いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）５３０により、一定の間隔に保持されている。
前面板となるガラス基板５１０の背面側には、放電維持電極である透明電極５４０とバス電極である金属電極５５０とで構成される複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、誘電体層５６０が形成されており、更にその上に保護層（ＭｇＯ層）５７０が形成されている。
また、背面板となるガラス基板５２０の前面側には前記複合電極と直交するように障壁５３０間に位置してアドレス電極５８０が互いに平行に形成されており、更に障壁５３０の壁面とセル底面を覆うように螢光面５９０が設けられている。
障壁５３０は放電空間を区画するためのもので、区画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫外線により螢光体５９０を  発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認できるものである。
なお、ＤＣ型ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同じである。
また、図５に示すものは、ガラス基板５２０の一面に下地層５６７を設けその上に誘電体層５６５を設けた構造となっているが、下地層５６７、誘電体層５６５は必ずしも必要としない。
【０００４】
このようなプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用基板の背面板、前面板の製造工程は複雑で長い為、製造過程で不良が発生し、製造中および製造後に各種検査が行われている。中でも背面板、前面板の最終的な品質を保証するものとして電極配線断線、短絡の検査は不可欠である。
電極配線の断線、短絡の検査は、各配線について、断線が有るか否か、隣接する配線と短絡が有るか否かを、それぞれ各配線について調べるもので、基本的には、所定の２箇所間に電圧をかけて、その間での導通の有無を確認する操作を、同一配線内および隣接する２配線において行うもので、検査対象の全ての配線についてこの操作を行う。
【０００５】
電極配線の断線、短絡の検査の結果、不良箇所と判断した場合には、修正できるものについては、不良箇所を修正する修正作業が行われる。
従来より、電極配線の断線、短絡を修正する方法としては、例えば図４に示すように、基板４８０を修正面を上にして拡散光を基板裏面に照射するライトテーブル４１０上におき、且つライトテーブル４１０上に移動可能な載置台４３０の上に顕微鏡４２０を置いて、人手により顕微鏡４２０位置を操作しながら修正を行っていた。尚、図４中、点線矢印は各部の移動できる方向を示している。
しかし、ＰＤＰにおいては、ますますの大型化が進む中、大型の基板の修正においては、修正する人の姿勢に無理が多くかかり、顕微鏡４２０の手移動では効率的でない等問題が出てきた。また、場合によっては基板４８０の修正領域全体を顕微鏡４２０で観察することができないこともあった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、従来の図４に示す大型の基板の修正方法の場合には、修正する人の姿勢に無理が多くかかり、顕微鏡の手移動では効率的でないと言う問題や、ＰＤＰのますますの大型化に伴い、基板の修正領域全体を顕微鏡で観察することができないばしいもあるという問題があり、その対応が求められていた。
本発明は、これに対応するためのもので、ＰＤＰ用の基板等、大型の基板の電極配線の断線、短絡等を修正する修正台であって、基板の大型化に対応でき、且つ、効率的に、人の姿勢に無理が多くかからないような、大型基板の欠陥修正台を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の大型基板の欠陥修正台は、検査結果に基づいて欠陥部を特定して、大型基板の電極配線の断線、短絡等の欠陥を、人手にて修正するための修正台であって、基板の修正面側でない裏面全体に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板の一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂直にした状態で基板を載せて置く基板載置台と、基板の修正面側を観察するために、基板載置台上に保持されて、基板の基板面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡と、基板載置台を保持して且つ基板載置台の角度および高さを変える載置台制御部とを備えたもので、前記基板載置台は、基板の下側の一辺を水平方向に沿わせて基板を移動させる水平移動部を設けたものであり、前記水平移動部は、基板の一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロないしロール上に載せて移動させるものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、顕微鏡をＸ、Ｙ移動させるＸ、Ｙ移動軸を基板載置台上に設けていることを特徴とするものである。
そしてまた、上記のいずれかにおいて、基板載置台は、基板の修正面側でない裏面全体に接し、裏面全体に拡散板を介して検査光を照射するものであることを特徴とするものである。
また、上記のいずれかにおいて、顕微鏡と一体でＸ、Ｙ移動する、腕おき台を備えていることを特徴とする大型基板の欠陥修正台。
また、上記のいずれかにおいて、顕微鏡のＸ、Ｙ位置を数値表示するカウンターを備えていることを特徴とするものである。
また、上記のいずれかにおいて、基板の顕微鏡像を観察するモニターを備えていることを特徴とするものである。
また、上記大型基板の欠陥修正台が、プラズマディスプレイパネル用の基板上の電極配線の断線、短絡等の欠陥を修正するための修正台であることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】
本発明大型基板の欠陥修正台は、このような構成にすることにより、ＰＤＰ用の基板等、大型の基板の電極配線の断線、短絡等を修正する修正段で、基板の大型化に対応でき、且つ、効率的に、人の姿勢に無理が多くかからないような、大型基板の欠陥修正台の提供を可能としている。
具体的には、基板の修正面側でない裏面全体に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板の一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂直にした状態で基板を載せて置く基板載置台と、基板の修正面側を観察するために、基板載置台上に保持されて、基板の基板面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡と、基板載置台を保持して且つ基板載置台の角度および高さを変える載置台制御部とを備えたもので、前記基板載置台は、基板の下側の一辺を水平方向に沿わせて基板を移動させる水平移動部を設けたものであることにより、これを達成している。
即ち、基板の一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を水平面に対し斜めないし垂直に近い状態で基板を載せて置くことにより、人が修正する際、基板の観察や修正を無理のない姿勢で行えるものとしており、従来の図４に示すように略水平に基板をおいた状態に比べ、基板の大型化にも対応できるものとしている。
そして、基板載置台を保持し、且つ基板載置台の角度および高さを変える載置台制御部を備えていることにより、また、基板の下側の一辺を水平方向に沿わせて基板を移動させる水平移動部を備えていることにより、基板の、位置移動、運搬を容易に行えるものとしている。
尚、水平移動部が、基板の一辺を下側にし、該辺を水平方向に沿う複数個のコロないしロール上に載せて移動させるものであることにより、その構成を比較的簡単なものとできる。
この修正台での人の基板の扱いは、基板の位置移動、他からの搬入、他への搬出の動作において基板を引いたり、押したりする程度で済む。
更に、顕微鏡と一体でＸ、Ｙ移動する、腕おき台を備えていることにより、基板の観察や修正を無理のない姿勢で行えるものとしている。
また、顕微鏡をＸ、Ｙ移動させるＸ、Ｙ移動軸を基板載置台上に設けていることにより、全体構成を比較的簡単なものとできる。
【０００９】
更に具体的には、基板載置台は、基板の修正面側でない裏面全体に相対し、裏面全体に拡散板を介して検査光を照射するものであることにより、従来の図４に示すライトテーブルを用いた修正と同様の見易さを得ることができる。
また、顕微鏡のＸ、Ｙ位置を数値表示するカウンターを備えていることにより、基板上の欠陥位置を、検査工程にて確認された欠陥位置座標により、対応ずけてカウンター値から特定することができる。
また、基板の顕微鏡像を観察するモニターを備えていることにより、顕微鏡倍率を変えて、欠陥位置を特定し易いものとしている。
【００１０】
尚、本発明の修正台は、大型のプラズマディスプレイパネル用の基板上の電極配線の断線、短絡等の欠陥を修正するため用いられる場合には、特に有効である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の電極配線の検査装置の実施の形態の１例を図に基づいて説明する。
図１は実施の形態の１例の概略平面図で、図２は図１のＡ１−Ａ２からみた断面図で、図３は図１のＡ３−Ａ４からみたコロ部（水平移動部）周辺の拡大図である。
図１中、１００は修正台、１１０は基板載置台、１１１は基板支持部、１１２は検査光照射部、１１２Ａは蛍光灯、１１２Ｂは透明アクリル板、１１２Ｃは透明ガラス板、１１２Ｄは拡散アクリル板、１１３はＹ方向レール、１１４は配線収納部（セーブルベア）、１１５はＸ方向レール、１１６は配線収納部（セーブルベア）、１１７はＹ方向移動台、１１８はコロ（水平移動部）、１２０は顕微鏡、１３０は載置台制御部、１３１は上下移動部、１３３は角度調整部、１４０はカウンター、１５０はモニター、１７０は腕おき台、１８０は基板である。
尚、Ｘ方向とは水平方向、且つ載置台の修正する基板を置く面に沿う方向で、Ｙ方向とはＸ方向と直交して載置台の修正する基板を置く面に沿う方向、即ち修正するために載置台置かれた基板の面に略沿う方向である。ここでは修正する基板面と載置台の修正する基板を置く面（図３の１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄからなる面）とは略平行であるため、Ｘ方向とは水平方向、且つ基板面に沿う方向、Ｙ方向とは該Ｘ方向に直交して基板面に沿う方向と定義しても良い。
図１、図２に示すように、修正台１００は、ＰＤＰ用の背面基板、前面板等、大型基板の電極配線の断線、短絡等の欠陥を修正するための修正台であり、基板１８０の修正面側でない裏面全体に拡散光からなる検査光を照射し、且つ、基板の一辺を下側に水平方向に沿わせ、基板面を斜めないし垂直にした状態で基板１８０を載せて置く基板載置台１１０と、基板１８０の修正面側を観察するために、基板載置台１１０上に保持されて、基板１８０の基板面に沿う水平方向であるＸ方向と、Ｘ方向に直交して基板面に沿うＹ方向に移動可能な顕微鏡１２０と、基板面の角度および高さを変えるための、基板載置台１１０を保持し且つ基板載置台１１０の角度および高さを変える載置台制御部１３０とを備えている。
そして、基板載置部１１０は、基板の下側の一辺をその上に載せ、水平方向に沿わせて基板を移動させる複数個のコロ（水平移動部）１１８を設けている。
【００１２】
修正するための基板１８０の修正台１１０への搬入は、図２に示す載置台の修正する基板を置く面と水平面とのなす角θを略９０度に載置台制御部１３０で調整して行われる。
修正の際には、載置台制御部１３０により角θを調整して修正に適した所定の角度θ１として修正が行われる。
修正後、載置台制御部１３０により角θを略９０度に戻し、次の工程へと搬出される。
前述の通り、修正台１００での基板１８０の移動はコロ（水平移動部）１１８による。
修正に適した角度θ１は、修正する人の体格等により異なるが、通常、θ１は６０°以上、９０°未満である。
載置台制御部１３０により、角θが少なくとも６０°〜９０°の範囲で角度調整できることが好ましい。
【００１３】
修正台１００においては、顕微鏡１２０をＸ移動させるためのＸ方向レール１１５、および顕微鏡１２０と前記Ｘ方向レール１１５とを載せたＹ方向移動台１１７をＹ移動させるためのＹ方向レール１１３を基板載置台１１０上に設けている。
顕微鏡１２０は、Ｘ方向レール１１５に沿い移動でき、Ｙ方向移動台１１７は、Ｘ方向レール１１５、顕微鏡１２０をその上に載せて一体として、図１の左右に示す２個のＹ方向レール１１３に沿い移動できる。
即ち、顕微鏡１２０は、手動により、Ｘ、Ｙの両方向に移動ができる。
尚、図１、図２に示すＸ方向移動、Ｙ方向移動は手動により行われるが、勿論駆動部を設けてＸ方向移動、Ｙ方向移動を行っても良い。この場合は人が、Ｘ、Ｙポタンを押し、駆動部を動作させて移動する方式やレバーによる方式等がある。
【００１４】
基板は下側の辺をコロ１１８上に載せ、修正する面でない裏面を基板支持部１１１で支持するようにして固定される。基板支持部１１１は薄く、基板の裏面が直接、修正台１００の図３に示す１１２Ｂ、１１２Ｃ、１１２Ｄからなる基板を置く拡散用シートの面（透明アクリル板１１２Ｂ面）に直接、接しないようになっている。
載置台の修正する基板を置く面（透明アクリル板１１２Ｂ面）と水平面とのなす角θを６０°≦θ＜９０°とするため、コロ１１８へ基板１８０の重さの大部分がかかる。
そして、基板載置台１１０は、基板支持部１１１により基板１８０の裏面と若干の隙間設け、相対するようにした状態で、裏面全体に拡散板（図３の１１２Ｃ）を介して検査光を照射する。
尚、図３に示すように、基板載置台１１０の基板１８０の裏面全体と相対する側は、蛍光灯１１２Ａからなる光源からの光を拡散するために、光源側から順に、拡散アクリル板１１２Ｄ、透明ガラス板１１２Ｃ、透明アクリル板１１２Ｂを設けた構造としても良いが、特にこれに限定はされない。
尚、コロ１１８を用いて基板１８０をその上に載せ、水平方向に基板１８０を移動できるようにした図３に示す構造の水平移動部に、特に限定はされない。
【００１５】
このように、基板１８０の修正台１００への搬入、搬出や修正台１００での基板１８０の移動に際し、人の負担は殆どなく、大型の基板でも扱いは容易である。
また、修正台１００においては、顕微鏡１２０と一体でＸ、Ｙ移動する、腕おき台１７０を備えていることにより、修正を作業性の良いものとしている。
【００１６】
また、修正台１００においては、顕微鏡１２０のＸ、Ｙ位置を数値表示するカウンター１４０を備えており、検査で得られた修正位置を特定し易いものとしている。
【００１７】
更に、修正台１００においては、基板の顕微鏡像を観察するモニターを備えており、検査で得られた修正位置の特定を簡単にしている。
【００１８】
次いで、図１に示す修正台１００を用いて、基板１８０を処理する動作の１例を、図１に基づいて簡単に説明しておく。
先ず、修正台１００の角度θをほぼ９０°（９０度より若干小さい角度）の状態にし、検査工程にて、欠陥部箇所（Ｘ、Ｙ位置）が特定されている基板１８０を修正台１００のコロ１１８上に載せて、この上を水平方向に移動させて所定の位置まで基板１８０を移動させて、図１に示す基板の左右２箇所にある基板支持部１１１に基板１８０の修正面側でない裏面の一部を置き、修正台１００と基板との間に隙間を作りながら、基板１８０を、コロ１１８と該２箇所の基板支持部１１１にて固定する。
次いで、載置台制御部１３０の上下移動部１２１、角度調整部１３３を調整し、基板面を修正する人に適した、高さ、角度とする。
次いで、検査工程の結果に基づき、カウンター１４０のＸ値、Ｙ値をたよりに、Ｙ方向レール１１３、Ｘ方向レールに沿い顕微鏡１２０をＸ方向、Ｙ方向に移動させる。
これと伴行して、顕微鏡像のモニター像をモニター１５０にて観察しながら、欠陥部を特定するが、モニターを観る時の顕微鏡の倍率は、欠陥部を捜すのに適当な倍率としておく。
欠陥部をモニターで特定した後、修正し易い倍率に変え、顕微鏡をみながら修正作業を行う。
尚、ＰＤＰ用の基板の配線の断線の修正は、ペースト状の導電物質を欠陥部に塗った後に乾燥処理、必要に応じ焼成処理を施して行うものである。
また、短絡部の修正は電動ルータもしくは超音波研削工具により研削除去して行う。
全ての欠陥箇所について修正を行う。
所定の欠陥箇所を全て修正した後、修正台１００の角度θをほぼ９０°（９０度より若干小さい角度）の状態に戻し、コロ１１８上で基板１８０が移動できるようにして、基板を搬出する。
【００１９】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、ＰＤＰ用の基板等、大型の基板の電極配線の断線、短絡等を修正する修正台で、基板の大型化に対応でき、且つ、効率的に、人の姿勢に無理が多くかからないような、大型基板の欠陥修正台の提供を可能としている。
特に、ますますの大型化とセルの微細化が進み、且つ、電極配線の形状も多種となるＰＤＰ用の電極配線の断線、短絡の修正において有効で、結果、ＰＤＰ用の基板の量産に対応できるものとしている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の大型基板の欠陥修正台の実施の形態の１例を示した概略平面図
【図２】実施の形態の１例の断面図
【図３】コロ部周辺の拡大断面図
【図４】従来の修正台を示した図
【図５】ＰＤＰを説明するための斜視図
【符号の説明】
１００                    修正台
１１０                    基板載置台
１１１                    基板支持部
１１２                    検査光照射部
１１２Ａ                  蛍光灯
１１２Ｂ                  透明アクリル板
１１２Ｃ                  透明ガラス板
１１２Ｄ                  拡散アクリル板
１１３                    Ｙ方向レール
１１４                    配線収納部（ケーブルベア）
１１５                    Ｘ方向レール
１１６                    配線収納部（ケーブルベア）
１１７                    Ｙ方向移動台
１１８                    コロ（水平移動部）
１２０                    顕微鏡
１３０                    載置台制御部
１３１                    上下移動部
１３３                    角度調整部
１４０                    カウンター
１５０                    モニター
１７０                    腕おき台
１８０                    基板
４１０                    ライトテーブル
４２０                    顕微鏡
４２５                    顕微鏡支持部
４３０                    載置台
４８０                    基板
【図１】
0003853498.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003853498.tif 000006