(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の表面にフォトレジストフィルムをラミネートする方法において、被加工物の厚みと等しいかやや薄い厚みを有する補助板に孔をあけて被加工物をこの孔に収容するとともに、補助板の下面に被加工物の脱落を防ぐ受板を添着してこの状態の補助板をラミネータに通し、被加工物及び補助板の上面にフォトレジストフィルムをラミネートすることを特徴とするフォトレジストフィルムのラミネート方法。
【請求項２】
被加工物を収容する孔が補助板に複数形成されている請求項１のフォトレジストフィルムのラミネート方法。
【請求項３】
ラミネートされたフォトレジストフィルムを受板の代わりにしてラミネータに通し、被加工物及び補助板の上面にフォトレジストフィルムをラミネートする請求項１又は２のフォトレジストフィルムのラミネート方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一定の形状に加工された金属板等の被加工物に対して所定のパターンを形成する場合等に適用されるフォトレジストフィルムのラミネート方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
被加工物に所定のパターンをエッチング加工によって形成するには、まず、被加工物にフォトレジストフィルムをラミネートする必要がある。このラミネート加工は、上下二つの送りローラを有するラミネータに通して行うのが一般的であり、被加工物を二つのローラの間を通過させるときに上面又は下面にフォトレジストフィルムを重ね、このときに熱と圧力を加えて貼着している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、被加工物が特殊の形状をしていたり、小さいサイズのものでは、このラミネータに通すことができない。従って、機械的な（自動）ラミネートができず、コスト高を招いていた。本発明は、このような課題を解決するものであり、被加工物が特殊の形状をしていたり、小さいサイズのものであっても、ラミネータによるラミネートを可能にしたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
以上の課題の下、本発明は、請求項１に記載した、被加工物の表面にフォトレジストフィルムをラミネートする方法において、被加工物の厚みと等しいかやや薄い厚みを有する補助板に孔をあけて被加工物をこの孔に収容するとともに、補助板の下面に被加工物の脱落を防ぐ受板を添着してこの状態の補助板をラミネータに通し、被加工物及び補助板の上面にフォトレジストフィルムをラミネートすることを特徴とするフォトレジストフィルムのラミネート方法を提供する。
【０００５】
本発明は、補助板に孔を形成してこの孔に被加工物を収容して保持するものであるから、被加工物自体の形状やサイズにかかわらず補助板をラミネータに通すことができる。この場合において、補助板には受板が添わせてあるから、被加工物が脱落することはない。そして、補助板の厚みは、被加工物の厚みと等しいかやや薄い厚みを有するものであるから、上記のラミネート加工をすれば、フォトレジストフィルムは、少なくとも被加工物の表面にラミネートされる。
【０００６】
又、本発明は、以上の方法において、請求項２に記載の、被加工物を収容する孔が補助板に複数形成されている手段、請求項３に記載の、ラミネートされたフォトレジストフィルムを受板の代わりにしてラミネータに通し、被加工物及び補助板の上面にフォトレジストフィルムをラミネートする手段を提供する。前者によれば、ラミネート加工の能率が高まるし、後者の方法によると、被加工物の両面にフォトレジストフィルムをラミネートすることが可能である。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図２は補助板に受板を添着した場合の斜視図、図３はラミネート加工の状態を示す断面図であるが、本発明では、エッチング加工が施される被加工物１が存在しており、この一面又は両面にフォトレジストフィルム（以下、レジストフィルムという）２をラミネートするのである。本例における被加工物１は、小型モータの流体軸受部材が示されており、円盤形をした小サイズのもので、これ単独ではラミネータによるラミネート加工は不可能なものである。
【０００８】
そこで、被加工物１の厚みと等しいかやや薄い厚みを有するシート状の補助板３を用意し、この補助板３に孔４を形成し、この孔４に被加工物１を収容する。この孔４は一枚の補助板３には複数穿ち、それぞれの孔４に被加工物１を収容している。この場合、被加工物１が同一であれば、孔４も同じものを形成しておけばよいし、異なるものであれば、それに対応したものを形成することになる。いずれも多数個取りを念頭においてのものである。尚、孔４の大きさは、被加工物１はきっちりと納まるが、自由に取り出せる程度の余裕を持つものでよい。
【０００９】
次に、各孔４に被加工物１をそれぞれ収容した補助板３の下面に受板５を添着し、孔４に収容された被加工物１の脱落を防ぐ。この状態で、上下二個のローラ６、７からなるラミネータ８に通すが、このとき、上方のローラ５からはレジストフィルム２が繰り出されるようにしておく。勿論、上下のローラ６、７は、適当な温度と圧力に設定されていることから、これを通過した補助板３の上面には、レジストフィルム２がラミネートされる。このとき、補助板３の厚みは、被加工物１の厚みと等しいかやや薄く設定されているから、レジストフィルム２は、補助板３及び被加工物１の上面の全体、少なくとも被加工物１の上面にはラミネートされることになる。
【００１０】
ところで、以上の補助板３や受板５は上記の作用を果たすために、それに適合した材料や特性のものが選択される。例えば、補助板３については、剛性があって錆が発生せず、しかもエッチング液等に腐食されないステンレス材等の金属材或いは硬質樹脂材等が採用される。又、受板５については、剛性のある金属材或いは硬質樹脂材等が採用される。
【００１１】
このように、補助板３の一面にレジストフィルム２がラミネートされると、これが受板５の代わりになる。従って、残りの一面にレジストフィルム２をラミネートするときには、この面を下にして上記と同じ操作をすればよいことになる（受板５は不要）。図４は補助板３の孔４に被加工物１を収容し、その両面にレジストフィルム２をラミネートした状態の断面図であるが、補助板３と被加工物１の両面、少なくとも被加工物１の両面にはレジストフィルム２がしっかりとラミネートされている。
【００１２】
以上の操作が完了すると、後は通常のエッチング加工をすればよい。即ち、特定のパターンが形成されたフォトマスクを被せて紫外線等で露光させ、炭酸ソーダ他のアルカリ水溶液等の現像液で現像した後、塩化第二鉄、塩化第二銅等のエッチング液でエッチングする。尚、以上の操作は被加工物１を補助板３に収容したままで行うが、最終的には苛性ソーダ他のアルカリ水溶液等でレジストフィルム２は除去されるので、個々の被加工物１に分離される。図１はこのようにしてエンチングされた流体軸受部材としての被加工物１の断面図であるが、その表面（一面又は両面）に油膜形成用の溝が所定のパターンで刻設されている。
【００１３】
【発明の効果】
以上、本発明は、被加工物にレジストフィルムをラミネートする場合において、被加工物をその厚みと等しいかやや薄い厚みを有するシート状の補助板に形成した孔に収容してラミネータに通すものであるから、異形形状をしていたり、小サイズのものであっても、ラミネートできる。この場合において、補助板に孔を多数形成し、それぞれに被加工物を収容しておけば、ラミネート加工の能率が上がる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一例を示す被加工物の断面図である。
【図２】本発明の一例を示す補助板の孔に被加工物を収容した状態の斜視図である。
【図３】本発明の一例を示す被加工物にレジストフィルムをラミネートする状態の説明図である。
【図４】本発明の一例を示す被加工物にレジストフィルムをラミネートした状態の断面図である。
【符号の説明】
１    被加工物
２    フォトレジストフィルム
３    補助体
４    孔
５    受板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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