(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベッド上に回転可能に設けられた回転テーブルと、
前記回転テーブルを回転駆動するテーブル駆動装置と、
前記回転テーブルに装着されたラップ定盤と、
前記ラップ定盤との対向面方向に移動可能にコラムに剛性接続された主軸支持スライダと、
送りねじ機構と当該送りねじ機構を回転駆動する駆動手段とにより構成され、主軸支持スライダを前記ラップ定盤との対向面方向に剛固に加圧する加圧手段と、
前記主軸支持スライダに前記ラップ定盤の盤面に垂直な軸線廻りに回転可能あるいは前記ラップ定盤の盤面と平行な方向に往復動可能に設けられたワーク主軸と、
前記ワーク主軸の先端面に取り付けられ、ワークを保持する微傾斜ヘッドと、
前記ワーク主軸を回転駆動あるいは往復駆動する主軸駆動装置とを有し、
前記微傾斜ヘッドは、ワーク主軸の先端面に固定された基準板と、前記基準板の一方の側にあって全方向に微傾斜可能でワークを保持する傾斜板と、前記基準板の中央部周りの３箇所において各々前記基準板と前記傾斜板とを相互に接続し、前記基準板と前記傾斜板との回転方向のずれ移動を禁止して前記基準板に対する前記傾斜板の傾斜方向に弾性を有する３個の平行板ばね手段と、前記基準板の中央部周りの３箇所において各々前記基準板と前記傾斜板とに挟まれて前記基準板と前記傾斜板の間隙量を各々個別に増減する高剛性構造の３個の間隙量増減手段とにより構成されており、
前記間隙量増減手段は、前記基準板に移動可能に設けられた楔部材と、前記傾斜板に定位置保持されて前記楔部材と係合する鋼球とにより構成され、前記楔部材は、前記基準板に線形移動可能に設けられ、前記基準板に回転可能に設けられた送りねじ軸と螺合し、前記送りねじ軸の回転により線形移動し、前記ねじ軸は前記基準板の径方向に延在していて、各々の外側端部に歯車を取り付けられており、前記ワーク主軸の分割回転駆動によって前記ねじ軸の前記歯車を噛合位置に位置させることにより、当該歯車が前記コラム側に設けられたサーボモータの回転出力軸の駆動歯車と噛合し、前記サーボモータによって前記送りねじ軸の回転させることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記微傾斜ヘッドにラップ定盤の盤面修正用のダイヤモンドバイトが取り付けられることを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】
前記ワーク主軸に作用する軸線方向の加工圧を検出する加工圧検出手段と、前記加工圧検出手段により検出される加工圧をフィードバック補償値として前記加圧手段による主軸支持スライダの加圧量が制御目標値に保たれるように定値制御を行う定圧加圧制御手段を有していることを特徴とする請求項１または２記載の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、研磨装置に関し、特に高精度な平面ラッピングを行う研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
研磨装置として、浮遊砥粒（遊離研磨材）を使用してラッピングを行う平面ラップ盤が従来よりよく知られている。
【０００３】
この平面ラップ盤には種々の型式のものがあり、何れの型式のものも、自重、錘、あるいは空油圧による加圧方式によりラップ定盤とワーク（被工作物）との間に加工圧を与え、遊星歯車機構あるいは柔構造で結合された回転軸によってワークを回転駆動または往復駆動している。
【０００４】
平面ラップ盤においては、浮遊砥粒を介してワークの平坦面を創成するラップ定盤の盤面は理想的な平面が必要であり、このため使用による盤面の摩耗、精度劣化に対しては、従来は、平面ラップ盤とは別の工作機械により盤面を修正加工したり、平面ラップ盤上にて別の修正機構により盤面を旋削して盤面の修正（再生）することが行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の平面ラップ盤では、何れのものもワークを柔構造で保持した状態で、ワークをラップ定盤の盤面に押し付けてその盤面とワークとの間に存在する浮遊砥粒によって平面研磨を行うから、研磨面は加工前の平均的平面に倣って表面平滑度を高められるものの、その研磨仕上がり面の角度姿勢（位置精度）は修正されない。このため加工前の研磨面が研磨仕上げ指定平面に対して傾きを有していると、その研磨面の表面粗さは改善されても、研磨仕上がり面は加工前の研磨面と同等の傾きを有し、研磨仕上がりの位置精度は前工程の位置精度に依存することなる。
【０００６】
このため、従来の平面ラップ盤では、例えば磁気ヘッド用ウエハなどのラップ加工において、ウエハの中間位置に生成された複数の基準位置から精度よく平行にラップ加工することは不可能である。
【０００７】
特殊な例として、錘や空油圧による加圧を基準点に合わせて偏荷重とし、研磨面の研磨仕上げ指定平面に対する傾きを排除することも不可能ではないが、これは試行錯誤的作業になり、経験的な勘に頼っているのが現状である。
【０００８】
また従来は、ラップ定盤の盤面の摩耗、精度劣化に対する修正は、別の工作機械あるいは平面ラップ盤上に別の修正機構を取り付けて行われているため、この修正には別の工作機械あるいは平面ラップ盤上に装着する別の修正機構が必要になり、コスト高になると共に手間が掛かることになる。
【０００９】
この発明は、上述の如き問題点に着目してなされたものであり、研磨仕上がり面の角度姿勢（位置精度）を修正する機能を有して研磨面を研磨仕上げ指定平面に的確に仕上げることができ、また別の工作機械や修正機構を必要とすることなく能率よく、高精度にラップ定盤の盤面を修正することができる新しい型式の研磨装置を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、この発明の請求項１による研磨装置は、ベッド上に回転可能に設けられた回転テーブルと、前記回転テーブルを回転駆動するテーブル駆動装置と、前記回転テーブルに装着されたラップ定盤と、前記ラップ定盤との対向面方向に移動可能にコラムに剛性接続された主軸支持スライダと、送りねじ機構と当該送りねじ機構を回転駆動する駆動手段とにより構成され、主軸支持スライダを前記ラップ定盤との対向面方向に剛固に加圧する加圧手段と、前記主軸支持スライダに前記ラップ定盤の盤面に垂直な軸線廻りに回転可能あるいは前記ラップ定盤の盤面と平行な方向に往復動可能に設けられたワーク主軸と、前記ワーク主軸の先端面に取り付けられ、ワークを保持する微傾斜ヘッドと、前記ワーク主軸を回転駆動あるいは往復駆動する主軸駆動装置とを有し、前記微傾斜ヘッドは、ワーク主軸の先端面に固定された基準板と、前記基準板の一方の側にあって全方向に微傾斜可能でワークを保持する傾斜板と、前記基準板の中央部周りの３箇所において各々前記基準板と前記傾斜板とを相互に接続し、前記基準板と前記傾斜板との回転方向のずれ移動を禁止して前記基準板に対する前記傾斜板の傾斜方向に弾性を有する３個の平行板ばね手段と、前記基準板の中央部周りの３箇所において各々前記基準板と前記傾斜板とに挟まれて前記基準板と前記傾斜板の間隙量を各々個別に増減する高剛性構造の３個の間隙量増減手段とにより構成されており、前記間隙量増減手段は、前記基準板に移動可能に設けられた楔部材と、前記傾斜板に定位置保持されて前記楔部材と係合する鋼球とにより構成され、前記楔部材は、前記基準板に線形移動可能に設けられ、前記基準板に回転可能に設けられた送りねじ軸と螺合し、前記送りねじ軸の回転により線形移動し、前記ねじ軸は前記基準板の径方向に延在していて、各々の外側端部に歯車を取り付けられており、前記ワーク主軸の分割回転駆動によって前記ねじ軸の前記歯車を噛合位置に位置させることにより、当該歯車が前記コラム側に設けられたサーボモータの回転出力軸の駆動歯車と噛合し、前記サーボモータによって前記送りねじ軸の回転させることを特徴としている。
【００１１】
この研磨装置では、ワーク主軸が主軸支持スライダによってコラムより高剛性支持されて主軸支持スライダを加圧手段によりラップ定盤との対向面方向に剛固に加圧し、この状態でテーブル駆動装置によって回転テーブルと共にラップ定盤を回転駆動し、ワーク主軸にワーク取付治具などを用いてワークを取り付けて主軸駆動装置によってワーク主軸を回転あるいは往復駆動することで、ワークが剛構造で保持された状態で加圧手段によって剛固に加工圧を与えられてラッピングによる研磨が行われる。
【００１２】
このラッピングでは、ワークが剛構造で保持されて剛固に加工圧を与えるから、ワーク主軸に対するワークの取付姿勢に応じて研磨仕上がり面の角度姿勢を修正でき、基準点から指定された平面（目標位置平面）が精度よく得ることができるようになる。
【００１３】
また、この研磨装置では、ワーク取付治具の一つである微傾斜ヘッドによってワークがワーク主軸に対して任意の微傾斜姿勢で剛固に保持され、ワーク主軸に対するワークの取付姿勢を研磨仕上がり面の角度姿勢に応じて的確に設定することができる。そして、ワーク主軸と共に回転する微傾斜ヘッドにおいて、傾斜板の微傾斜調整、高さ位置調整を、サーボモータによる送りねじ軸の回転量制御により自動化するができる。
【００１４】
また上述の目的を達成するために、この発明の請求項２による研磨装置は、請求項１記載の研磨装置において、前記微傾斜ヘッドにラップ定盤のの盤面修正用のダイヤモンドバイトが取り付けられることを特徴としている。
【００１５】
この研磨装置では、微傾斜ヘッドにダイヤモンドバイトを取り付け、ワーク主軸を主軸駆動装置によって回転あるいは往復駆動し、回転テーブルと共にラップ定盤をテーブル駆動装置により回転駆動して加圧手段によって主軸支持スライダと共にワーク主軸を切り込み移動させることにより、盤面修正用工具によってラップ定盤の盤面を旋削し、盤面の修正を行うことができる。
【００１６】
また上述の目的を達成するために、この発明の請求項４による研磨装置は、請求項１〜３の何れかに記載の研磨装置において、前記ワーク主軸に作用する軸線方向の加工圧を検出する加工圧検出手段と、前記加工圧検出手段により検出される加工圧をフィードバック補償値として前記加圧手段による主軸支持スライダの加圧量が制御目標値に保たれるように定値制御を行う定圧加圧制御手段を有している。
【００１７】
この研磨装置では、加工圧検出手段によりワーク主軸に作用する軸線方向の加工圧を検出し、この加工圧検出手段により検出される加工圧をフィードバック補償値として定圧加圧制御手段により加圧手段による主軸支持スライダの加圧量が制御目標値に保たれるように定値制御を行う。これにより定圧加圧加工が高精度に行われる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下にこの発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００２２】
図１はこの発明による研磨装置の一つの実施の形態を示している。
【００１９】
研磨装置は高剛性基台としてベッド１を有し、ベッド１上に高剛性構造体によるコラム３が固定されている。
【００２０】
ベッド１上には垂直（鉛直）軸線周りに回転可能な回転テーブル５を有するラップ定盤用回転テーブル装置７が取り付けられている。ベッド１の側部にはテーブル駆動モータ９が取り付けられており、テーブル駆動モータ９はベルト式伝動機構１１によって回転テーブル５を自身の中心軸線周りに回転駆動する。
【００２１】
回転テーブル５上にはラップ定盤１３が固定装着されている。ラップ定盤１３は上面部に円環状の盤面１５を有し、この盤面１５上に浮遊砥粒を与えられる。
【００２２】
ラップ定盤用回転テーブル装置７の下底部にはラップ定盤１３に冷却液を供給されるためのラップ定盤冷却液用回転継手１７が接続されている。
【００２３】
コラム３には上下方向のリニアガイド部１９が形成されており、リニアガイド部１９に高剛性構造体による主軸支持スライダ２１が上下方向、即ちラップ定盤１３との対向面方向に移動可能に剛性接続されている。主軸支持スライダ２１には上下方向に主軸ヘッド２３が取り付けられており、主軸ヘッド２３にはラップ定盤１３の盤面１５に垂直な軸線廻り、即ち鉛直軸線周りに回転可能なワーク主軸２５とワーク主軸２５を回転駆動する主軸モータ２７とが設けられている。
【００２４】
コラム３には上下方向に延在する送りねじ軸２９が回転可能に設けられており、送りねじ軸２９には主軸支持スライダ２１に固定された送りナット３１が螺合している。送りねじ軸２９は、所要の剛性を備え、コラム３に取り付けられた切り込み加圧サーボモータ３３によって回転駆動され、主軸支持スライダ２１をラップ定盤１３との対向面方向に剛固に駆動加圧する。
【００２５】
主軸支持スライダ２１に対する主軸ヘッド２３の取付部には加工圧検出器３５が設けられている。加工圧検出器３５は、圧電素子によるロードセル等により構成され、ワーク主軸２５に作用する軸線方向の加工圧を定量的に検出し、加工圧検出信号を切り込み加圧サーボモータ３３のサーボ制御装置３７に入力する。
【００２６】
サーボ制御装置３７は、加工圧検出器３５により検出される加工圧をフィードバック補償値として加圧サーボモータ３３による主軸支持スライダ２１の加圧量が制御目標値に保たれるように定値制御を行い、定圧加圧制御手段をなす。
【００２７】
ワーク主軸２５の先端部にはワーク取付治具として微傾斜ヘッド３９が取り付けられている。
【００２８】
微傾斜ヘッド３９は、図２、図３に示されているように、ボルト４１によってワーク主軸２５の先端面に固定された円盤状の基準板４３と、基準板４３の下方部にあって基準板４３の中心部に設けられた中心軸部４５に嵌合して嵌合遊びにより全方向に微傾斜可能な傾斜板４７とを有している。傾斜板４７の最大傾斜可能角度は数１００秒〜１度程度であってよい。
【００２９】
基準板４３と傾斜板４７との間には中心軸線周りの３箇所において各々、一端をボルト４９によって基準板４３に固定され、他端をボルト５１によって傾斜板４７に固定された平行板ばね部材５３、５５、５７が設けられている。
【００３０】
平行板ばね部材５３、５５、５７は、周方向に互いに隣接するもの同士で互いに１２０度回転変位した位置にて各々基準板４３の径方向に延在しており、所定幅寸法ｔを有していることにより、傾斜板４７が基準板４３に対して相対回転変位、即ち捩れることを禁止し、中間部に上下方向の薄肉部５９を有していることにより略上下方向の曲げに対して所要のばね性を示し、互いに共働して傾斜板４７を基準板４３に対してフローティング状態でほぼ平行姿勢に保持している。
【００３１】
基準板４３の中心軸線周りの３箇所で平行板ばね部材５３、５５、５７とは各々６０度回転変位した位置には各々ブラケット６０によって傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５が各々回転可能に設けられている。傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５は各々中心軸部４５を隔てて平行板ばね部材５３、５５、５７と一直線上に径方向に延在しており、この傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の各々には楔ブロック６７、６９、７１が螺合している。
【００３２】
楔ブロック６７、６９、７１は各々傾斜板４７との対向面側に傾斜面７３を有し、傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の回転によって径方向に直線移動する。各楔ブロック６７、６９、７１の傾斜面７３には傾斜板４７の中心軸線周りの３箇所に形成された円錐形ポケット７５の各々に係合している鋼球７７、７９、８１が係合している。楔ブロック６７、６９、７１と傾斜板４７と鋼球７７、７９、８１とは各々、平行板ばね部材５３、５５、５７のばね力により互いに押し付けられ、所要の予荷重を与えられている。
【００３４】
傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の外側端部には各々歯車８３が取り付けられている。コラム３には水平方向のリニアガイド部８６を有するマウント部材８５が固定されており、リニアガイド部８６にはスライダ８７が水平方向に移動可能に設けられている。スライダ８７には傾斜調整サーボモータ８９が取り付けられており、傾斜調整サーボモータ８９の回転出力軸９１に駆動歯車９３が取り付けられている。
【００３５】
マウント部材８５には、主軸支持スライダ２１が最上昇位置に位置している状態で、駆動歯車９３が傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の一つの歯車８３と噛合する噛合位置と、これより後退して歯車８３と噛合より離間する離間位置との間にスライダ８７を往復動する流体圧シリンダ装置９５が設けられている。
【００３６】
微傾斜ヘッド３９の傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の歯車８３は各々、主軸モータ２７によってワーク主軸２５が分割回転駆動されることにより、駆動歯車９３との噛合位置に選択的に位置することができ、主軸支持スライダ２１が最上昇位置に位置している状態で、スライダ８７が流体圧シリンダ装置９５によって噛合位置に移動することにより、あるいはスライダ８７が噛合位置に位置している状態で、主軸支持スライダ２１が最上昇位置に移動することにより、駆動歯車９３が傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の何れか一つの歯車８３と噛合する。
【００３７】
微傾斜ヘッド３９の下底面部９７には真空チャック用吸引ポート９９が開口している。真空チャック用吸引ポート９９は、微傾斜ヘッド４７、基準板４３に形成された負圧通路１０１、１０３によりワーク主軸２５の負圧通路１０５と連通し、図示されていない真空ポンプより負圧を与えられ、下底面部９７にワークＷ（図１参照）を吸着保持する。
【００３８】
微傾斜ヘッド３９の側面部にはダイヤモンドバイトのような盤面修正用工具１０７をボルト１０９によって着脱可能に取り付けられる工具取付部１１１が設けられている。
【００３９】
ここで、微傾斜ヘッド３９によるワークＷの取付姿勢の調整手順について説明する。まず、主軸支持スライダ２１を最上昇位置に位置させ、主軸モータ２７によってワーク主軸２５を分割回転駆動し、傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の何れか一つの歯車８３を噛合位置に位置させる。次に流体圧シリンダ装置９５によってスライダ８７を前進移動させて噛合位置に位置させることにより、駆動歯車９３が傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の何れか一つの歯車８３に噛合する。
【００４０】
この状態で、傾斜調整サーボモータ８９を回転駆動することにより、駆動歯車９３によって噛合状態にある歯車８３、例えば傾斜調整ねじ軸６１の歯車８３を回転駆動する。これにより傾斜調整ねじ軸６１が回転し、楔ブロック６７が基準板４３の径方向へ移動する。楔ブロック６７の移動が図２にて右方であるとすると、楔ブロック６７の傾斜面７３と鋼球７７との係合関係により傾斜面７３の傾斜勾配に従って傾斜板４７が平行板ばね部材５３のばね力に抗して図２にて左下がりに微傾斜する。
【００４１】
例えば、楔ブロック６７の傾斜面７３の傾斜角が１／１００、傾斜調整ねじ軸６１のねじピッチが０．２５ｍｍ、鋼球７７の配置半径が４０ｍｍとする、傾斜調整ねじ軸６１の１回転による楔ブロック６７の移動量は０．２５ｍｍで、鋼球７７の上下方向の変位量は０．０２５ｍｍとなる。他の二つの楔ブロック６９、７１が固定されていると、この場合の傾斜角はａｒｃｔａｎ  ０．０２５／６０＝略８３秒と、極めて微少な傾斜角調整が行われることになる。
【００４２】
このことは、他の二つの楔ブロック６９、７１においても同じであり、傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の各々によって楔ブロック６７、６９、７１の配置位置が調整されることにより、傾斜板４７は全ての方向について極めて微少な傾斜角調整を行われ、この傾斜角調整により微傾斜ヘッド３９の下底面部９７は任意の傾斜方向、傾斜角による傾斜面を呈する。従って傾斜板４７の傾斜姿勢は傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の各々回転量およびその組み合わせにより正確に決まる。
【００４３】
また、傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５が全て同一量だけ回転されると、微傾斜ヘッド３９の下底面部９７は、任意の傾斜方向、傾斜角による傾斜面を呈した状態で、高さ位置を微調整される。この高さ位置は微傾斜ヘッド３９の下底面部９７を水平面にした状態でも有効である。
【００４４】
傾斜板４７の下底面９７には真空チャック用吸引ポート９９の負圧によってワークＷが吸着保持される。
【００４５】
この傾斜板４７の微傾斜姿勢および高さ位置は、中心軸線周りの３箇所にて基準板４３との間に剛体である楔ブロック６７、６９、７１と傾斜板４７と鋼球７７、７９、８１が挟まれ、これらが平行板ばね部材５３、５５、５７のばね力によって相互に押し付けられていることにより、全くがた付きを生じることなく高剛性をもって剛固に維持される。
【００４６】
従って、傾斜板４７の下底面９７に吸着保持されているワークＷは傾斜板４７の微傾斜に従った傾斜姿勢および高さ位置をもってワーク主軸２５より剛固に保持されることになる。
【００４７】
上述の３個の楔ブロック６７、６９、７１の移動のための傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の回転量は、ＮＣ装置によるＮＣプログラムの実行によって各傾斜調整ねじ軸６１、６３、６５の回転量の指令値が傾斜調整サーボモータ８９の図示されていないサーボ制御装置に与えられることにより決めることができ、この制御により傾斜板４７の傾斜調整を自動化することができる。
【００４８】
ワークＷの研磨に際しては、上述のように傾斜調整された傾斜板４７にワークＷを吸着保持させ、ラップ定盤用回転テーブル装置７の回転テーブル５をテーブル駆動モータ９によって高速回転駆動し、主軸モータ２７によってワーク主軸２５を回転させた状態で、切り込み加圧サーボモータ３３によって送りねじ２９を回転させて主軸支持スライダ２１を降下させる。
【００４９】
この主軸支持スライダ２１の降下より、ワーク主軸２５、微傾斜ヘッド２９と共に降下し、ワークＷの下底面、即ち研磨面がラップ定盤１３の盤面１５に剛固に押し付けられ、ラッピングによる研磨が行われる。
【００５０】
このラッピングでは、ワークＷが剛構造で保持されて剛固に加工圧を与えるから、微傾斜ヘッド２９によるワーク主軸２５に対するワークＷの取付姿勢（傾斜姿勢）に応じて研磨仕上がり面の角度姿勢が修正され、基準点から指定された平面が精度よく得られる。
【００５１】
このラッピングにおける加工圧は切り込み加圧サーボモータ３３による送りねじ２９の回転量によって高精度に定量的に与えることができるから、所要の加工圧をもって必要精度のラッピングが的確に、しかも効率よく行われるようになる。
【００５２】
加圧サーボモータ３３による送りねじ２９の回転量は、サーボ制御装置３７による制御量により決まる。この制御量は、サーボ制御装置３７が、加工圧検出器３５により検出される加工圧をフィードバック補償値として加圧サーボモータ３３による主軸支持スライダ２１の加圧量が制御目標値に保たれるように設定される。これによりラッピングにおける加工圧の定値制御が行われ、所定の加工圧が保たれ、定圧加圧加工が行われる。
【００５３】
ラップ定盤１３の盤面１５の修正に際しては、微傾斜ヘッド３９の側面部に、図２に仮想線により示されているように、ボルト１０９によって盤面修正用工具１０７を取り付け、ラップ定盤用回転テーブル装置５の回転テーブル３をテーブル駆動モータ９によって回転駆動し、主軸モータ２７によってワーク主軸２５を回転させた状態で、切り込み加圧サーボモータ３３によって送りねじ２９を回転させて主軸支持スライダ２１を降下させ、切り込み量を与える。
【００５４】
これにより微傾斜ヘッド３９の側面部に取り付けられて旋回している盤面修正用工具１０７により盤面１５が旋削され、盤面１５の平面度が修正される。
【００５５】
なお、盤面修正用工具１０７の旋回直径は円環状の盤面１５の横幅寸法より大きく設定されており、これはワーク主軸２５の中心軸線に対する工具取付部１１１の径方向偏倚量により決まる。また工具取付部１１１が微傾斜ヘッド３９の傾斜板４７の傾斜調整により盤面修正用工具１０７の取付姿勢を微調整することが可能であり、これ以外に工具取付部１１１は基準板４３に設けることも可能である。
【００５６】
上述の実施の形態では、ワークＷはワーク主軸２５により回転駆動されるが、主軸支持スライダ２１に往復駆動装置を設けてワークＷを往復駆動してもよく、この場合も上述の実施の形態における場合と同等の作用、効果が得られることは自明である。
【００５７】
以上に於ては、この発明を特定の実施の形態について詳細に説明したが、この発明は、これに限定されるものではなく、この発明の範囲内にて種々の実施の形態が可能であることは当業者にとって明らかであろう。
【００５８】
【発明の効果】
以上の説明から理解される如く、この発明による研磨装置では、ワークが剛構造で保持された状態で、剛固に加工圧を与えられてラッピングによる研磨が行われるから、ワーク主軸に対するワークの取付姿勢に応じて研磨仕上がり面の角度姿勢を修正でき、基準点から指定された平面が精度よく得ることができるようになる。
【００５９】
また、送りねじ機構が駆動手段により回転駆動されることにより、剛固な加工圧が高精度に定量的に与えるから、所要の加工圧をもって必要精度のラッピングが的確に、しかも効率よく行われるようになる。
【００６０】
また、ワーク取付治具の一つである微傾斜ヘッドによってワークがワーク主軸に対して任意の微傾斜姿勢で剛固に保持されるから、ワーク主軸に対するワークの取付姿勢を研磨仕上がり面の角度姿勢に応じて的確にしかも容易に設定することができる。
【００６１】
また、ワーク主軸と共に回転する微傾斜ヘッドにおいて、傾斜板の微傾斜調整、高さ位置調整を、サーボモータによる送りねじ軸の回転量制御により自動化するができる。
【００６２】
また、この発明による研磨装置では、微傾斜ヘッドに盤面修正用のダイヤモンドバイトを取り付け、ダイヤモンドバイトによってラップ定盤の盤面を旋削して盤面の修正を行うことがでるから、盤面の修正が別の工作機械や修正機構を必要とすることなく能率よく安価に、しかも機上で高精度に行われる。
【００６３】
この発明による研磨装置では、ロードセルなどによる加工圧検出手段により検出される加工圧をフィードバック補償値としてサーボ制御装置などによる定圧加圧制御手段により加圧手段による主軸支持スライダの加圧量が制御目標値に保たれるように定値制御を行うから、定圧加圧加工が高精度に行われ、高精度な研磨が行われ得るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明による研磨装置の一つの実施の形態を示す側面図である。
【図２】  この発明による研磨装置にて使用される微傾斜ヘッドの一つの実施の形態を示す縦断面図である。
【図３】  図２の矢印III −III による矢視図（平面図）である。
【符号の説明】
１  ベッド
３  コラム
５  回転テーブル
７  ラップ定盤用回転テーブル装置
９  テーブル駆動モータ
１１  ベルト式伝動機構
１３  ラップ定盤
１５  盤面
１７  ラップ定盤冷却液用回転継手
１９  リニアガイド部
２１  主軸支持スライダ
２３  主軸ヘッド
２５  ワーク主軸
２７  主軸モータ
２９  送りねじ軸
３１  送りナット
３３  切り込み加圧サーボモータ
３５  加工圧検出器
３７  サーボ制御装置
３９  微傾斜ヘッド
４１  ボルト
４３  基準板
４５  中心軸部
４７  傾斜板
４９、５１  ボルト
５３、５５、５７  平行板ばね部材
５９  薄肉部
６０  ブラケット
６１、６３、６５  傾斜調整ねじ軸
６７、６９、７１  楔ブロック
７３  傾斜面
７５  円錐形ポケット
７７、７９、８１  鋼球
８３  歯車
８５  マウント部材
８６  リニアガイド部
８７  スライダ
８９  傾斜調整サーボモータ
９１  回転出力軸
９３  駆動歯車
９５  流体圧シリンダ装置
９７  下底面部
９９  真空チャック用吸引ポート
１０１、１０３、１０５  負圧通路
１０７  盤面修正用工具
１０９  ボルト
１１１  工具取付部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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