(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体流路中に配置される抵抗体に流れる電流や該電流に応じて発生する電圧を検出して前記気体流路中を流れる気体流量に応じたアナログ信号形態の流量信号を出力する気体流量検出回路と、この気体流量検出回路から出力されるアナログ信号形態の流量信号をデジタル信号形態の電気信号に変換する流量信号アナログ・デジタル変換回路と、前記デジタル信号形態の流量信号を所望する流量信号出力特性となるように調整する調整演算回路と、前記調整演算回路から出力されるデジタル信号形態の流量信号をアナログ信号形態の流量信号に変換して出力する流量信号デジタル・アナログ変換回路を備えた気体流量測定装置において、
前記調整演算回路は、流量信号処理系における流量信号処理の温度依存誤差を低減する補正処理を実行するデジタル演算回路を備え、
前記流量信号アナログ・デジタル変換回路，調整演算回路，流量信号デジタル・アナログ変換回路を同一の半導体チップに集積回路化すると共に、前記半導体チップ上に更に該半導体チップの温度情報を得るチップ温度センサとチップ温度信号アナログ・デジタル変換回路を集積回路化して設置し、前記チップ温度センサから出力するアナログ信号形態のチップ温度信号を前記チップ温度信号アナログ・デジタル変換回路においてデジタル信号形態のチップ温度信号に変換して前記調整演算回路のデジタル演算回路に入力して前記半導体チップに集積回路化した流量信号処理系における流量信号処理の温度依存誤差を低減する補正を行うようにしたことを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項２】
請求項１において、前記チップ温度センサは、定電流回路とダイオードを備えたことを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項３】
請求項１または２の１項において、前記調整演算回路は、演算に必要な調整係数を記憶する書き込み可能な記憶装置と前記記憶装置に調整係数を外部から書き込むための書込回路を備えたことを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項４】
請求項１〜３の１項において、前記半導体チップ上に、更に、定電圧基準電源回路を集積回路化して設置したことを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項５】
請求項１〜４の１項において、前記半導体チップ上に、更に、クロック信号発生回路を集積回路化して設置したことを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項６】
請求項１〜５の１項において、前記半導体チップ上に、更に、サージ，過電圧，高周波ノイズを低減する保護回路を集積回路化して設置したことを特徴とする気体流量測定装置。
【請求項７】
請求項１〜６の１項において、前記半導体チップをハイブリッドＩＣ基板に実装して気体流量検出回路の抵抗体と共にケースに取り付け、気体流路ボディに取り付けたことを特徴とする気体流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体流量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
内燃機関の燃料供給制御には該内燃機関の吸気流量の把握が必要であり、吸気流路の空気流量を測定する気体流量測定装置が設置されている。
【０００３】
この気体流量測定装置は、吸気流路に設置した発熱抵抗体（ホットワイヤあるいは熱線などとも呼ばれる）と気体温度測定抵抗体（コールドワイヤあるいは冷線などとも呼ばれる）と２つの固定抵抗体によってブリッジ回路を構成し、前記発熱抵抗体の温度を常に一定に保ってブリッジ回路の抵抗バランスを維持するように給電制御する構成である。このように構成することにより、吸気流路内の吸気流量の増加に応じて発熱抵抗体の放熱量が増加し、この発熱抵抗体の温度を一定に保つために供給する電流が増加するので、この発熱抵抗体と直列接続関係にある固定抵抗体に現れる電圧に基づいて空気流量を測定することができる。そして、この電圧を要求される空気流量対出力信号特性となるように、所定の入出力特性をもった調整演算回路で処理することにより、この調整演算回路から空気流量と所定の関係にある流量信号として出力することができる。
【０００４】
この調整演算回路は、現在、アナログ信号処理回路が主流であるが、デジタル信号処理回路化することにより高精度な調整を実現することができる。特許第３０７３０８９号公報には、デジタル信号処理回路を使用して調整を行う調整演算回路が記載されている。調整演算回路は、アナログ信号形態の流量信号をアナログ・デジタル変換回路によってデジタル信号形態に変換した後に、デジタル演算回路による計算処理によってゼロ点，スパン調整を行い、デジタル・アナログ変換回路によってアナログ信号形態の流量信号に変換して、所望の気体流量に対するアナログ信号形態の流量信号を出力する構成である。このデジタル演算回路において調整演算を実行するために必要な調整係数は、ＰＲＯＭなどの記憶装置に保存している。また、デジタル演算回路は、非線形な演算が容易であるために、出力の調整において、ゼロ点，スパン調整のみならず、非線形調整を容易に行うことが可能である。この非線形調整により、調整精度は±２％以下となる。
【０００５】
また、デジタル信号形態での調整のために、特開平１１−１１８５５２号公報に示された調整演算回路は、アナログ・デジタル変換回路として、デルタ・シグマ変調器を含むオーバーサンプリング型アナログ・デジタル変換回路を用いることによって回路規模の小型化を実現している。
【０００６】
更に、デジタル信号形態での調整のために、特開２０００−３３８１９３号公報に示されたデジタル演算回路は、調整演算を実行するために必要な調整係数をセンサ外部との通信を行うデジタル入出力回路の端子を介してＰＲＯＭなどの記憶素子に書き込む構成である。そして、調整演算として３次の多項式を用いることを提案している。
【０００７】
ところで、気体流量測定装置の出力特性は温度が変化しても誤差が小さい、すなわち、温度依存誤差が小さいことが望ましい。この温度依存誤差は、大きく分けて、回路基板温度が一定で、気体温度が変化することにより発生する吸気温度依存誤差と、気体温度が一定で回路基板温度が変化することにより発生する基板温度依存誤差（モジュール温度依存誤差ともよぶ）の２つがある。
【０００８】
吸気温度依存誤差については、気体流量検出回路の出力電圧Ｖ１が流量をＱ、定数をＡ，ＢとしてＫｉｎｇの式
Ｖ１＝（Ａ＋Ｂ・Ｑ1/2）1/2      ……（数１）
で表わされる曲線となるが、この定数Ａ，Ｂが空気の熱伝達率や動粘性係数を含んだ定数であるために温度の関数となっており、本質的に吸気温度依存誤差を含む。
【０００９】
この吸気温度依存誤差を低減するために、例えば、特開平８−２７８１７８号公報に記載された気体流量測定装置は、温度変化による計測誤差の空気流量に対する依存性を、気体流量測定装置が有する基準電圧発生回路の温度特性に前記計測誤差を相殺するような流量依存性を持たせて補正する回路構成としている。
【００１０】
また、特許第３０７３０８９号公報では、気体流量検出回路から出力されるアナログ信号形態の流量信号をデジタル信号形態に変換し、また吸入空気温度を測定して、測定した吸入空気温度から流量信号をテーブル・ルックアップ方式で補正する方法により、吸気温度依存誤差を低減するようにしている。
【００１１】
一方、基板温度特性の調整法についても、いくつかの方法が提案されている。
例えば、特開昭６０−１００２１８号公報では、ゼロ・スパン調整回路の基準電圧回路を、ツェナーダイオード，ダイオード，オペアンプおよび抵抗器により構成し、ツェナーダイオードに流れる電流値を抵抗器のトリミングにより調整しておくことで、基準電圧の温度特性を決定しており、この基準電圧回路の温度特性を適切に設定することにより、基板温度依存誤差を略ゼロとしている。
【００１２】
また、特開平５−１５７６０２号公報では、基準電圧回路としてバンドギャップ電圧源回路を用い、更に基板温度依存誤差の低減を図っている。
【００１３】
また、特開平６−２０７８４２号公報では、チップ内の温度を略一定値に設定することにより、基板温度特性の最も良い温度で気体流量測定装置を動作させて誤差を低減することを提案している。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、高精度調整化が可能であるデジタル信号形態での調整方式では、アナログ・デジタル変換回路およびデジタル・アナログ変換回路において、基準電圧源を電圧基準として流量信号をデジタル変換およびアナログ変換するために、この基準電圧源の温度依存性によって、基板温度が変化した場合にはアナログ・デジタル変換およびにデジタル・アナログ変換の際に無視できない変換誤差が生じることになる。
【００１５】
また、特開平６−２０７８４２号公報に記載された方法ではチップの温度を正確に一定値に維持することが難しく、また、電源投入直後などでは温度が上昇するまでに時間がかかるために、この間は基板温度依存誤差を低減することができない。
【００１６】
本発明の１つの目的は、デジタル信号形態での調整方式において温度依存誤差を低減することができる気体流量測定装置を提案することにある。
【００１７】
本発明の他の目的は、デジタル信号形態での調整方式において温度依存誤差を低減することができる小型の気体流量測定装置を提案することにある。
【００１８】
本発明の更に他の目的は、デジタル信号形態での調整方式において温度依存誤差を低減することができる小型で製造が容易な気体流量測定装置を提案することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、気体流路中に配置される抵抗体に流れる電流や該電流に応じて発生する電圧を検出して前記気体流路中を流れる気体流量に応じたアナログ信号形態の流量信号を出力する気体流量検出回路と、この気体流量検出回路から出力されるアナログ信号形態の流量信号をデジタル信号形態の電気信号に変換する流量信号アナログ・デジタル変換回路と、前記デジタル信号形態の流量信号を所望する流量信号出力特性となるように調整する調整演算回路と、前記調整演算回路から出力されるデジタル信号形態の流量信号をアナログ信号形態の流量信号に変換して出力する流量信号デジタル・アナログ変換回路を備えた気体流量測定装置において、前記調整演算回路は、流量信号処理系における流量信号処理の温度依存誤差を低減する補正処理を実行するデジタル演算回路を備え、前記流量信号アナログ・デジタル変換回路，調整演算回路，流量信号デジタル・アナログ変換回路を同一の半導体チップに集積回路化すると共に、前記半導体チップ上に更に該半導体チップの温度情報を得るチップ温度センサとチップ温度信号アナログ・デジタル変換回路を集積回路化して設置し、前記チップ温度センサから出力するアナログ信号形態のチップ温度信号を前記チップ温度信号アナログ・デジタル変換回路においてデジタル信号形態のチップ温度信号に変換して前記調整演算回路のデジタル演算回路に入力して前記半導体チップに集積回路化した流量信号処理系における流量信号処理の温度依存誤差を低減する補正を行うようにしたことを特徴とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明の気体流量測定装置の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２１】
第１の実施の形態
図１は、この実施の形態における気体流量測定装置の回路構成を示すブロック図、図２は、チップ温度センサ回路の回路図、図３は、この気体流量測定装置を内燃機関の吸気流路である気体流路ボディに実装した状態を示す縦断側面図、図４は、流量信号の出力特性の一例を示す図である。
【００２２】
図１において、気体流量測定装置１０は、気体流量検出回路２０と、流量信号アナログ・デジタル変換回路３０と、調整演算回路４０と、流量信号デジタル・アナログ変換回路５０と、チップ温度センサ回路６０と、クロック信号発生回路７０と、電源回路８０を備え、バッテリー９０から給電されて気体流量測定を行う。
【００２３】
気体流量検出回路２０は、吸気流路に設置した発熱抵抗体（ホットワイヤあるいは熱線などとも呼ばれる）２１と気体温度測定抵抗体（コールドワイヤあるいは冷線などとも呼ばれる）２２と２つの固定抵抗体２３，２４によってブリッジ回路を構成し、このブリッジ回路のバランス状態を演算増幅器２５で検出して該ブリッジ回路をバランスさせるようにパワートランジスタ２６を制御して前記発熱抵抗体２１の温度を保つ給電制御を行う構成である。このようにブリッジ回路への給電制御を行うと、発熱抵抗体２１と固定抵抗体２３の直列接続端子２７には、（数１）に示したように、気体流量Ｑに対応した大きさの直流電位（アナログ信号形態の流量信号）Ｖ1が発生する。
【００２４】
流量信号アナログ・デジタル変換回路３０は、気体流量検出回路２０の端子２７からアナログ信号形態の流量信号を入力してデジタル信号形態の流量信号Ｄ1に変換して出力する。
【００２５】
調整演算回路４０は、ＣＰＵのようなデジタル演算回路４１と読み書き自在なメモリ（ＲＡＭ），読み出し専用メモリ（ＲＯＭ），書き込み可能なメモリ（ＥＰＲＯＭやＥＥＰＲＯＭ）からなる記憶装置４２と該記憶装置４２に調整係数を書き込む読み書き回路４３を備え、流量信号のデジタル信号形態で出力特性調整および温度依存誤差補正の調整演算を実行し、調整した流量信号ＤOUTをデジタル信号形態で出力する。
【００２６】
流量信号デジタル・アナログ変換回路５０は、調整演算回路４０から出力されたデジタル信号形態の流量信号ＤOUTをアナログ信号形態の流量信号ＶOUTに変換して出力する。
【００２７】
チップ温度センサ回路６０は、電源回路８０を含む信号処理回路系の温度依存誤差を補正するための温度情報を得る回路であって、チップ温度センサ６１とチップ温度信号アナログ・デジタル変換回路６２を備える。チップ温度センサ６１は、例えば、図２に示すように、定電流電源６１ａと数個のダイオード６１ｂを直列接続し、定電流電源６１ａとダイオード６１ｂの接続端子６１ｃからアナログ信号形態のチップ温度信号ＶTを得るように構成する。この構成は、温度変化に対する電圧出力がおよそ−２×ｎ（ｍＶ／℃）（ｎはダイオード６１ｂの数）の割合で変化し、直線性も良い。チップ温度信号アナログ・デジタル変換回路６２は、チップ温度センサ６１から出力されるアナログ信号形態のチップ温度信号ＶTをデジタル信号形態のチップ温度信号ＤTに変換して前記調整演算回路４０のデジタル演算回路４１に入力する。
【００２８】
クロック信号発生回路７０は、流量信号アナログ・デジタル変換回路３０，調整演算回路４０，チップ温度信号アナログ・デジタル変換回路６２を動作させるクロック信号を発生する。
【００２９】
電源回路８０は、定電圧基準電源回路８１と保護回路８２と電流制限抵抗器８３を備える。定電圧基準電源回路８１は、アナログ・デジタル変換回路３０，６２，デジタル演算回路４１，デジタル・アナログ変換回路５０を駆動し、また、アナログ・デジタル変換回路３０，６２とデジタル・アナログ変換回路５０の基準電圧となる電源電圧ＶCC（主として５Ｖ）を生成する。保護回路８２は、サージや過電圧や高周波ノイズが信号処理系内に侵入するのを抑制する。電流制限抵抗器８３は、保護回路８２に過大な電流が流れ込むのを防止する。
【００３０】
このような気体流量測定装置１０の電子回路は、測定する気体に触れさせる発熱抵抗体２１，気体温度測定抵抗体２２を除いてハイブリッドＩＣ基板１１上に実装する。しかも、気体流量検出回路２０における演算増幅器２５と流量信号アナログ・デジタル変換回路３０と調整演算回路４０と流量信号デジタル・アナログ変換回路５０とチップ温度センサ回路６０とクロック信号発生回路７０は、１つの半導体チップ１００上に半導体集積回路化技術によって集積回路として構成して実装する。なお、気体流量検出回路２０における固定抵抗体２３，２４も同一の半導体チップ１００上に集積回路化することが可能であるが、これらの固定抵抗体２３，２４は、流れる電流が大きく、また、抵抗値を精度良く形成する必要があり、更に、抵抗値の温度係数（ＴCR）を小さくする必要があることから、ここでは、ハイブリッドＩＣ基板１１上に形成した厚膜抵抗体を用いた。
【００３１】
そして、ハイブリッドＩＣ基板１１は、図３に示すように、アルミニウムなどの熱伝導性の良いベース１２上に接着して取り付け、更に、樹脂成形により構成したケース１３に取り付ける。
【００３２】
ケース１３は、内燃機関の吸気流路を形成する気体流路ボディ２００に取り付けて気体流量検出回路２０の発熱抵抗体２１と気体温度測定抵抗体２２およびベース１２を吸気流路２０１を流れる気体に曝す構成である。そのために、ケース１３は、突出した電極棒１４ａ〜１４ｄに接続して支持した前記発熱抵抗体２１と気体温度測定抵抗体２２を内包する副流路部１５と、前記ベース１２によって取り付けたハイブリッドＩＣ基板１１を収容する基板収容室部１６と、取り付け鍔１７と、接続端子部１８を備え、気体流路ボディ２００の側壁に形成した取り付け窓２０２から前記副流路部１５と基板収容室部１６を挿し込んでこれらを吸気流路２０１内に位置するように突出させて鍔１７を気体流路ボディ２００にねじ止め固定する。このように構成することにより、吸気流路２０１に流れ込んだ気体の一部が副流路１５に流れ込む。電極棒１４ａ〜１４ｄは、ハイブリッドＩＣ基板１１に接続し、このハイブリッドＩＣ基板１１は、接続端子部１８を介して外部装置からの接続ケーブル（図示省略）に接続する。
【００３３】
このように構成した気体流量測定装置１０は、気体流量検出回路２０の抵抗体２１〜２４で構成したブリッジ回路がバランスした状態となるように演算増幅器２５がパワートランジスタ２６を制御して加熱電流を制御する。発熱抵抗体２１は、加熱電流による発熱によって昇温して抵抗値が増加するが、副流路１５を流れる気体に放熱することによって降温して抵抗値が減少する。ここで、ブリッジ回路のバランス作用により、この発熱抵抗体２１の抵抗値は略一定に保たれるので、副流路１５を流れる気体の流量が増えると、発熱抵抗体２１の放熱量が増え、発熱抵抗体２１に流れる加熱電流が増える。これにより、固定抵抗体２３には吸気流路２０１に流れる気体の流量Ｑに対応した（数１）で表わされる電圧Ｖ1が発生する。
【００３４】
流量信号アナログ・デジタル変換回路３０は、発熱抵抗体２１と固定抵抗体２３の直列接続端子２７から電圧Ｖ1をアナログ信号形態の流量信号Ｖ1として入力し、デジタル信号形態の流量信号Ｄ1に変換して出力する。
【００３５】
また、チップ温度センサ回路６０は、チップ温度センサ６１によって半導体チップ１００の温度に応じたアナログ信号形態のチップ温度信号ＶTを発生し、チップ温度信号アナログ・デジタル変換回路６２によってデジタル信号形態のチップ温度信号ＤTに変換して出力する。
【００３６】
調整演算回路４０のデジタル演算回路４１は、記憶装置４２に記憶されている所定のプログラムを実行することにより、前記流量信号Ｄ1とチップ温度信号ＤTを入力し、ゼロ点，スパン調整および流量信号アナログ・デジタル変換回路３０，流量信号デジタル・アナログ変換回路５０およびチップ温度信号アナログ・デジタル変換回路６２などの信号処理系の温度依存誤差を低減する補正を下式により計算して実行し、これらの温度依存誤差を低減するように補正したデジタル信号形態の流量信号ＤOUTを出力する。
【００３７】
ＤOUT＝ｆ（Ｄ1，ＤT）      ……（数２）
なお、この演算ｆにおけるゼロ点，スパン，温度依存誤差の調整係数（定数）は、気体流量測定装置１０の出力特性調整時に外部から読み書き回路４３を介して記憶装置４２に書き込んで保存しておく。デジタル演算回路４１は、ゼロ点，スパンの１次式の演算のみならず、任意の非線形な演算が容易であるために、出力特性の調整において非線形調整を容易に行うことが可能である。この非線形調整により調整精度は±２％以内とすることができる。
【００３８】
流量信号デジタル・アナログ変換回路５０は、デジタル演算回路４１から出力されたデジタル信号形態の流量信号ＤOUTをアナログ信号形態の流量信号ＶOUTに変換して出力する。
【００３９】
図４は、このアナログ信号形態の流量信号ＶOUTの出力特性曲線の一例を示している。
【００４０】
第２の実施の形態
図５は、この実施の形態における気体流量測定装置の回路構成を示すブロック図、図６は、流量信号の出力特性の一例を示す図である。この実施の形態は、第１の実施の形態における調整済の流量信号をパルス列信号形態（周波数で流量表現）で出力する構成である。その他の構成は第１の実施の形態と同一であるので、同一の参照符号を付して重複する説明を省略する。
【００４１】
この実施の形態における流量信号パルス列出力変換回路１１０は、デジタル演算回路４１から出力されたデジタル信号形態の流量信号ＤOUTを相応した周波数のパルス列信号形態の流量信号ＰOUTに変換して出力する構成である。
【００４２】
クロック信号発生回路７０は、他の実施の形態でも同様であるが、良く知られているＣＲ発振回路や非安定マルチバーブレータを用いる。これらには抵抗素子が用いられているが、この抵抗素子の抵抗値が温度により変化することから、発振周波数も温度の影響を受けて変化する。従って、この抵抗素子には温度係数（ＴCR）の小さい抵抗体を用いる。特に、この実施の形態においては、クロック信号発生回路７０から出力するクロック信号（周波数）をパルス列出力変換回路１１０の基準周波数として利用する構成となるので、このクロック信号発生回路７０も半導体チップ１００上に実装することにより、このクロック信号発生回路７０の温度依存性による誤差をチップ温度センサ回路６０からの温度信号を利用してデジタル演算回４０で演算して誤差を低減する補正を行う構成とすることにより、温度依存誤差を小さくすることができる。
【００４３】
第３の実施の形態
図７は、この実施の形態における気体流量測定装置の回路構成を示すブロック図、図８は、定電圧基準電源回路の回路図および特性図である。この実施の形態は、第１の実施の形態における定電圧基準電源回路を半導体チップ上に半導体集積回路化技術によって集積回路として実装した構成である。その他の構成は第１の実施の形態と同一であるので、同一の参照符号を付して重複する説明を省略する。
【００４４】
アナログ・デジタル変換回路３０，６２およびデジタル・アナログ変換回路５０の変換精度は、基準電源電圧の影響を受ける。半導体回路素子を使用して構成した定電圧基準電源回路８１は、その出力電圧特性に温度依存性が存在するので、この温度依存性に因る変換誤差を低減する補正を行うために、この実施の形態における定電圧基準電源回路８１は、図７に示すように、半導体チップ１００上に半導体集積回路化して実装している。
【００４５】
定電圧基準電源回路８１は、例えば、バンドギャップ基準電源回路（バンドギャップ電圧源回路）によって実現される。この定電圧基準電源回路８１は、図８に示すように、２個のダイオード接続されたトランジスタ８１ａ，８１ｂと、演算増幅器８１ｃと、抵抗器８１ｄ〜８１ｆによって構成される。トランジスタ８１ａ，８１ｂに流れる電流は、演算増幅器８１ｃを用いることにより、抵抗器８１ｅ，８１ｆの抵抗値により定められる一定比率となる。このとき、トランジスタ８１ｂのベース・エミッタ間電圧と抵抗８１ｄの電圧降下の和と、トランジスタ８１ａのベース・エミッタ間電圧が等しくなるように演算増幅器８１ｃの出力電圧が安定する。抵抗器８１ｄの電圧降下は、トランジスタ８１ｂとトランジスタ８１ａのベース・エミッタ間電圧の差に等しく、これはサーマルボルテージＶT＝ｋＴ／ｑ（ここで、ｋ：ボルツマン定数、Ｔ：温度、ｑ：電子の電荷量）に比例した値となるので、抵抗器８１ｅ，８１ｆとトランジスタ８１ａ，８１ｂに流れる電流は１次の正の温度特性を有する。一般に、ベース・エミッタ間電圧は負の温度特性を有することから、トランジスタ８１ａ，８１ｂのベース・エミッタ間電圧と、サーマルボルテージＶTに比例する抵抗器８１ｄの電圧降下との和であるバンドギャップ基準電源回路の出力である基準電圧は、抵抗器８１ｄ〜８１ｆの抵抗値を変えることにより、１次の温度係数を設定することができる。実際には、バンドギャップ基準電源回路に含まれる各要素がわずかに非線形な温度係数を持つので、この基準電源回路の出力電圧は、常温で直線性を良くすると、高温側でわずかに非線形な特性（温度依存性）となる。
【００４６】
この温度依存性は、この定電圧基準電源回路８１の出力電圧を基準電圧源として用いているアナログ・デジタル変換回路３０，６２やデジタル・アナログ変換回路５０の変換誤差となる。この温度依存誤差は、数２による調整によって低減される。しかし、電源投入直後や吸入空気温度が変化したときなどのように温度変化が過渡的な状態では、定常状態から気体流量測定装置１０の温度分布が変わる。この温度分布の変化は、温度差が生じる温度センサ回路からの出力を利用して補正する数２では補正することができないために出力電圧に誤差が生じる。
【００４７】
しかしながら、この実施の形態においては、チップ温度センサ回路６０と定電圧基準電源回路８１との温度差が生じないように該定電圧基準電源回路８１を半導体チップ１００上に半導体集積回路化してチップ温度センサ回路６０と共に設置することにより、定電圧基準電源回路８１の温度依存性に因る誤差を低減する補正を行うことができる。
【００４８】
第４の実施の形態
図９は、この実施の形態における気体流量測定装置の回路構成を示すブロック図、図１０は、保護回路の回路図である。この実施の形態は、第３の実施の形態における保護回路を半導体チップ上に半導体集積回路化技術によって集積回路として実装した構成である。その他の構成は第３の実施の形態と同一であるので、同一の参照符号を付して重複する説明を省略する。
【００４９】
気体流量測定装置１０を小型化するためには、ハイブリッドＩＣ基板１１の小型化が必要である。ハイブリッドＩＣ基板１１を小型化するためには、気体流量測定装置１０を構成する電子回路の多くを１つの半導体チップ１００上に集積回路として実装することが望ましい。
【００５０】
この実施の形態では、保護回路８２も半導体集積回路化技術によって集積回路として半導体チップ１００上に実装した構成である。
【００５１】
この実施の形態において、サージ，過電圧，高周波ノイズから半導体チップ１００を保護する保護回路８２は、例えば、図１０に示すように、コンデンサ８２ａと、ツェナーダイオード８２ｂと、ダイオード８２ｃによって構成される。コンデンサ８２ａは、周波数成分の高いサージの立ち上がりや高周波ノイズを吸収する。ツェナーダイオード８２ｂは、プラスのサージや過電圧をショートして他の電子回路へ流れ込まないように機能する。但し、このツェナーダイオード８２ｂに無制限に電流が流れ込んで破壊することがないように、電流制限抵抗器８３で電流を制限する。また、ダイオード８２ｃは、マイナスのサージをショートし他の電子回路へ流れ込まないように機能する。
【００５２】
この実施の形態では、このような保護回路８２を半導体チップ１００上に集積回路化して実装することにより、ハイブリッドＩＣ基板１１を小型化して気体流量測定装置１０を小型化している。但し、コンデンサ８２ａについては、半導体チップ１００上に実装することができる容量が限られるので、外付けしたほうが良い場合が多い。また、ツェナーダイオードとバイポーラトランジスタやＤｃｈ−ＭＯＳを組み合わせることにより、より小型の保護回路を構成することもできる。
【００５３】
ところで、前述した各実施の形態は、ハイブリッドＩＣ基板温度依存誤差の低減を目的としているが、図３に示すように、ハイブリッドＩＣ基板１１の温度は、ほぼ、吸入気体の温度となる。従って、吸気温度依存誤差を低減するために、吸気温度特性と逆特性となるように基板温度特性を与えれば、気体流量測定装置１０の全体としての温度特性（温度依存誤差）が小さくなる。なお、この場合には、高流量動作領域では、気体流量検出装置１０のベース１２には吸気が強く当たるので、吸気温度と基板温度の差が小さく、吸気温度の変化に対する基板温度変化の追従性は良いが、低流量動作領域ではベース１２に作用する吸気量が弱まるために、吸気温度の変化に対する基板温度変化の追従性が低下し、また、ハイブリッドＩＣ基板１１上のパワートランジスタ２６などの発熱が大きく、吸気で十分に冷却されないために、吸気温度と基板温度に差が生じる可能性がある。このことから、低流量動作領域では吸気温度依存誤差と基板温度依存誤差を共にゼロに近く、高流量動作領域では吸気温度依存性と基板温度依存性が逆特性となるように設定すると良く、低流量動作領域で仮に吸気温度と基板温度に差が生じても、気体流量測定装置１０としての温度依存誤差は小さくなる。更には、空気温度測定抵抗体２２あるいは別に実装した吸気温度センサから得た吸気温度信号を、アナログ・デジタル変換してデジタル演算回路４１に取り込み、演算補正することにより、吸気温度依存誤差を低減する補正が可能である。
【００５４】
また、図３においては、ハイブリッドＩＣ基板１１が気体流路ボディ２００の主通路２０１内に位置する構成としたが、気体流路ボディ２００の外側に位置する構成としても、同様に基板温度依存誤差を低減する補正が可能である。
【００５５】
また、この気体流量測定装置１０は、ケース１３に実装して気体流路ボディ２００に取り付けて気体流量検出回路２０の発熱抵抗体２１と気体温度測定抵抗体２２を吸気流路２０１を流れる気体に曝すように該ケース１３を吸気流路２０１内に片持ち状態に突出させる形態であり、内燃機関の振動力が突出部に伝達されて振動する。ハイブリッドＩＣ基板１１が小型化すれば吸気流路２０１内への前記ケース１３の片持ち構造の突出量（長さ）を少なくすることができるので、前記振動への対策（耐震構造）を容易に実現することができる。更に、ケース１３の小型化により、吸気流路２０１内の通気抵抗の低減を図ることが可能となり、内燃機関の燃費向上に貢献する。
【００５６】
【発明の効果】
本発明は、デジタル信号形態での調整方式において、出力特性調整のための信号処理系と該信号処理系における流量信号処理の温度依存誤差を補正する温度情報を得る温度センサ回路を１つの半導体チップに集積回路化して実装し、信号処理系において温度依存誤差を低減する補正演算を含めた調整演算を行って温度依存誤差の少ない流量信号出力特性調整を行うことができる。
【００５７】
しかも、そのための回路を１つの半導体チップ上に集積回路化して実装するように構成しているので小型で製造が容易な気体流量測定装置を実現することができる。
【００５８】
また、定電圧基準電源回路や保護回路まで１つの半導体チップ上に集積回路化して実装することにより、一層小型で製造が容易な気体流量測定装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態における気体流量測定装置の回路構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示した気体流量測定装置のチップ温度センサ回路の回路図である。
【図３】第１に示した気体流量測定装置を気体流路ボディに実装した状態を示す縦断側面図である。
【図４】図１に示した気体流量測定装置の流量信号の出力特性（空気流量対出力電圧特性）の一例を示した図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態における気体流量測定装置のブロック図である。
【図６】図５に示した気体流量測定装置の流量信号の出力特性（空気流量対出力パルス周波数特性）の一例を示した図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態における気体流量測定装置のブロック図である。
【図８】図７に示した気体流量測定装置の定電圧基準電源回路の回路図および特性図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態における気体流量測定装置のブロック図である。
【図１０】図９に示した気体流量測定装置の保護回路の回路図である。
【符号の説明】
１０…気体流量測定装置、１１…ハイブリッドＩＣ基板、１２…ベース、１３…ケース、２０…気体流量検出回路、２１…発熱抵抗体、２２…気体温度測定抵抗体、３０…、流量信号アナログ・デジタル変換回路、４０…調整演算回路、４１…デジタル演算回路、４２…記憶装置、５０…流量信号デジタル・アナログ変換回路、６０…チップ温度センサ回路、６１…チップ温度センサ、６２…チップ温度信号アナログ・デジタル変換回路、７０…クロック信号発生回路、８０…電源回路８０、１００…半導体チップ、２００…吸気流路ボディ、２０１…吸気流路、２０２…取り付け窓。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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