(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
左右に間隔をおいて設けられかつ前後方向に伸びる一対の第１移動ビームと、
第１移動ビームの間に、左右に間隔をおいて設けられかつ前後方向に伸びる第２移動ビームとの対とを備え、
第１移動ビームおよび第２移動ビームのいずれか一方が前後に移動し、同他方が上下に移動して被処理物が第１移動ビームと第２移動ビームとの間で載せ替えられて前方に搬送され、当該上下に動くビームには、後端に送られてきた被処理物を引き込んで前方へ移動させ、被処理物全体が乗り移ったときに停止する搬入コンベヤと、被処理物が載せられると動き出して被処理物を前方へ送り出す搬出コンベヤと、が搬入側と搬出側にそれぞれ連結されていることを特徴とする処理装置用の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、炉などの連続熱処理装置に用いられる搬送装置に関する。特に、半導体基板、ＬＣＤパネルやプラズマディスプレーパネルなどのガラス基板などの板状被処理物の処理のためにクリーンルーム内などで用いられる炉などの処理装置用の搬送装置に関する。
【０００２】
なお、本明細書において前後左右は被処理物の移動方向を基準にいうものとする。
【０００３】
【従来の技術】
クリーンルーム内などで用いられる炉などの処理装置用の搬送装置は発塵が少ないことが要求される。このような要求を満たす搬送装置の１つとして、ウォーキングビーム式搬送装置がある。
【０００４】
ウォーキングビーム式搬送装置は、左右に間隔をおいて設けられかつ前後方向に伸びた一対のビームと、ビーム間に前後に間隔をおいて配された複数の被処理物載置部とを備え、以下のようにして被処理物を搬送する。
【０００５】
まず、被処理物載置部より低い位置にあるビームが上方向に移動して載置部上の被処理物を持ち上げる。ついで、持ち上げた被処理物が次の載置部の上方に位置するまでビームが前方に移動する。そして、ビームが下方に移動して被処理物が次の載置部に載せられる。この後、ビームは後方へと移動する。
【０００６】
上記の一連動作が繰り返されて被処理物が順次前方の載置部へと載せ替えられて搬送される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のウォーキングビーム式搬送装置においては、ビームを前後上下に、すなわち２次元に移動させるため、構成が複雑であるばかりでなく被処理物の搬送速度は上記一連の動作を行うのに必要な時間により決定されるため、搬送速度を速くするにも限界があった。
【０００８】
また、ビーム上の正しい位置に被処理物を載置する必要があるため、複雑な機構のローダ、アンローダが必要であった。
【０００９】
本発明は、上記問題を解決することを課題とし、構成が簡単でかつ搬送速度の調整が自在であるウォーキングビーム式搬送装置を提供することを目的とする。さらに、ローダ、アンローダとの間で被処理物の移載が容易な搬送装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記課題を解決するために本発明の搬送装置は、
左右に間隔をおいて設けられかつ前後方向に伸びる一対の第１移動ビームと、第１移動ビーム間に、左右に間隔をおいて設けられかつ前後方向に伸びる第２移動ビームの対とを備え、第１移動ビームおよび第２移動ビームのいずれか一方が前後に移動し、同他方が上下に移動して被処理物が第１移動ビームと第２移動ビームとの間で載せ替えられて前方に搬送されることを特徴とするものである。
【００１１】
この搬送装置によれば、２対のビームが前後および上下に別々に移動して被処理物を搬送することができるので、各対の駆動装置はビームを一次元に移動させればよく、構成が単純になり、装置の低コスト化が可能となる。また、これにより搬送速度を自在に調整することが可能になるため、搬送速度の設定範囲が広くなり、被処理物の処理方法や種類によって最適な搬送速度を設定できる。
【００１２】
上記搬送装置において、当該上下に動くビームには、後端に送られてきた被処理物を引き込んで前方へ移動させ、被処理物全体が乗り移ったときに停止する搬入コンベヤと、被処理物が載せられると動き出して被処理物を前方へ送り出す搬出コンベヤと、が搬入側と搬出側にそれぞれ連結されていてもよい。
【００１３】
このようにすれば、被処理物の前端を搬入コンベヤに載せるだけで搬入コンベヤによって被処理物が搬送装置に引き込まれ、また、搬出コンベヤによって被処理物が前方へと送り出され、前端が搬出コンベヤから突出して被処理物が取り出しやすくなる。従ってこの搬送装置は、ローダ、アンローダとの間での被処理物の移載が容易であり、汎用性に優れている。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の搬送装置の１実施形態について説明する。
【００１５】
図１には本発明の搬送装置(2)が適用された連続炉(1)が示されている。
【００１６】
ここで、搬送装置(2)は、左右に間隔をおいて設けられた一対の前後移動ビーム(4)と、前後移動ビーム(4)間に左右に間隔をおいて設けられた一対の上下移動ビーム(5)と、上下移動ビーム(5)の後端に取り付けられた被処理物搬入コンベヤ(6)と、上下移動ビーム(5)の前端に取り付けられた被処理物搬出コンベヤ(7)とを備えている。
【００１７】
前後移動ビーム(4)の間隔および上下移動ビーム(5)の間隔は被処理物(P)の幅より小さく、被処理物(P)を載せることができるようになっている。同様に、コンベヤ(6)(7)は左右のベルトにより被処理物(P)を搬送するものである。なお、前後移動ビーム(4)および上下移動ビーム(5)はそれぞれ図示しない別個の駆動装置によって駆動されるようになっている。
【００１８】
上下移動ビーム(5)は、前後移動ビーム(4)より上の上昇位置および前後移動ビーム(4)より下の下降位置の間を移動するものである。一方、前後移動ビーム(4)は後端が搬入コンベヤ(6)の側に位置する後退位置と後端が搬入コンベヤ(6)より前に位置する前進位置との間を移動するものである。なお、前後移動ビーム(4)が前進位置にあるとき、これの前端は搬出コンベヤ(7)の側に位置し、後退位置にあるとき、同前端は搬出コンベヤ(7)より後に位置する。
【００１９】
以下、搬送装置(2)の動作について説明する。
【００２０】
搬送装置(2)は、まず上下移動ビーム(5)が上昇位置にあり、前後移動ビーム(4)が後退位置にあり、コンベヤ(6)(7)がいずれも停止した初期状態をとる。
【００２１】
被処理物搬入コンベヤ(6)が動き出して搬入コンベヤ(6)の後端に送られてきた被処理物(P)がコンベヤ(6)上に引き込まれて前方へと移動される（図３ａ）。被処理物(P)全体がコンベヤ(6)上に載った状態（図３ｂ）となると搬入コンベヤ(6)は停止する。
【００２２】
ついで上下移動ビーム(5)およびコンベヤ(6)(7)が一体に下降位置まで下降し、被処理物(P)は前後移動ビーム(4)に載せ替えられる（図３ｃ）。被処理物(P)が載せられた前後移動ビーム(4)は前進して前進位置(図３ｄ)に達する。
【００２３】
前後移動ビーム(4)が前進位置に達すると下降位置にある上下移動ビーム(5)およびコンベヤ(6)(7)は即座に上昇し、上昇位置に達して被処理物(P)が前後移動ビーム(4)から上下移動ビーム(5)に載せ替えられる（図３ｅ）。この後、前後移動ビーム(4)が後退して後退位置に達し、前後移動ビーム(4)が後退位置に、上下移動ビーム(5)が上昇位置に位置し、初期状態に戻る（図３ｆ）。このようにして図３ｂから図３ｆまでの手順が所定のタクト時間ごとに繰り返されて被処理物(P)が前方へと搬送される。
【００２４】
なお、搬出コンベヤ(7)は、これに被処理物(P)が載せられるとコンベヤ(7)が動き出して被処理物(P)を前方へと送り出すようになっている。通常搬入出コンベヤ(6)(7)は同調して動作する。
【００２５】
以上のように、上下に移動するビームの対および前後に移動するビームの対が別個に設けられ、各対が別の駆動装置により駆動されるので、各駆動装置は一次元の動作を行えばよく駆動装置の構成が簡単になる。また、被処理物は搬入コンベヤ(6)によって引き込まれ、搬出コンベヤ(7)によって送り出されるので被処理物(P)の移載が容易になり、特別なローダやアンローダを必要とせず、前後の接続が容易である。
【００２６】
上記実施形態では、説明の便宜上前後移動ビーム(4)および上下移動ビーム(5)が別々に動作するように説明したが、前後移動ビーム(4)は、少なくとも被処理物(P)が前後移動ビーム(4)と上下移動ビーム(5)との間で載せ替えられるさいに前進位置あるいは後退位置で停止していればよく、上下移動ビーム(5)が上昇および下降している間に前後移動ビーム(4)を前進および後進させることもできる。このようにすればタクト時間を自在に設定することができ、連続搬送に近い程度にまでタクト時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ａは、本発明の搬送装置が適用された連続熱処理装置の縦断面図であり、ｂは同連続熱処理装置の横断面図である。
【図２】本発明の搬送装置の１実施形態の平面図である。
【図３】ａ〜ｆは、同搬送装置の動作を示す図面である。
【符号の説明】
(1)    処理装置（連続炉）
(2)   搬送装置
(4)   前後移動ビーム
(5)   上下移動ビーム
(6)   被処理物搬入コンベヤ
(7)   被処理物搬出コンベヤ
(P)   被処理物
【図１】
0003855119.tif 000002
【図２】
0003855119.tif 000003
【図３】
0003855119.tif 000004