(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレートと、異なる材料からなる第１の層及び第２の層を一体に貼り合わせたクラッド材を含むキャビティプレートとが、前記第１の層が前記アクチュエータプレートに隣接するように重ね合わされて接合されたインクジェットヘッドであって、
前記キャビティプレートを構成するクラッド材の第１の層には、前記アクチュエータプレートの動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室が形成され、
前記第１の層を挟んで前記アクチュエータプレートの反対側に位置する前記第２の層には、前記各圧力室と連通した複数の第１の連通孔が形成されており、
前記第１の層と第２の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、前記一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液によるエッチングによって、前記圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記他方の層は、前記他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液によるエッチングによって、前記圧力室と第１の連通孔との他方が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記他方の層は、樹脂材料であって、前記圧力室と第１の連通孔との他方がレーザ加工により形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記第２の層の前記第１の層とは反対側には、前記複数の第１の連通孔を介して前記複数の圧力室にインクを供給するマニホールド流路を有するマニホールドプレートが重ね合わされて接合されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記第１の連通孔は前記圧力室の一端に連通しており、前記圧力室の他端の前記第２の層には、該圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔が形成され、該第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通していることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記キャビティープレートは、前記第２の層を挟んで第１及び第３の層を貼り合わせたクラッド材から形成され、
前記第３の層には、前記第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通するインク供給孔が、前記第２の層を実質的にエッチングすることができず前記第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記第１の連通孔は、１つの前記圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記第２の層の前記第１の層とは反対側には、前記複数の第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートが重ね合わされて接合され、
前記インク供給孔が、前記第１及び第２の層の平面方向において前記圧力室の外に位置し、前記第１の連通孔が、前記第１の層とスペーサプレートとの間で前記平面方向と平行に延びていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレートと、異なる材料からなる第１の層及び第２の層を一体的に貼り合わせたクラッド材を含むキャビティープレートとを備え、前記キャビティープレートを構成するクラッド材の第１の層には、前記アクチュエータプレートの動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室を有し、前記第２の層には、前記各圧力室と連通した複数の第１の連通孔を有しており、前記第１の層が前記アクチュエータプレートに隣接するように前記アクチュエータプレートと前記キャビティープレートとを重ね合わせて接合するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記クラッド材の第１の層と第２の層との何れか一方の層を、他方の層を実質的にエッチングすることができず前記一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液によるエッチングによって前記圧力室と第１の連通孔との何れか一方を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記他方の層を、前記他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液によるエッチングによって前記圧力室と第１の連通孔との他方を形成することを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記他方の層は、樹脂材料であって、前記圧力室と第１の連通孔との他方をレーザ加工により形成することを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記キャビティープレートに前記圧力室及び第１の連通孔を形成した後、前記第２の層の前記第１の層とは反対側に、前記複数の第１の連通孔を介して前記複数の圧力室にインクを供給するマニホールド流路を有するマニホールドプレートを重ね合わせて接合することを特徴とする請求項９乃至１１の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記第２の層には、前記圧力室の一端に連通する位置に前記第１の連通孔を形成し、前記圧力室の他端に各々連通する位置に複数の第２の連通孔を形成し、
前記第２の層の前記第１の層とは反対側に、前記第２の連通孔にインクを外部に噴射するためのノズルを連通させるようにノズルプレートを重ね合わせて接合することを特徴とする請求項９乃至１２の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記キャビティープレートを、前記第２の層を挟んで第１及び第３の層を一体に貼り合わせたクラッド材から形成し、
前記第３の層部分には、前記第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通するインク供給孔を、前記第２の層を実質的にエッチングすることができず前記第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成することを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記第１の連通孔を、１つの前記圧力室に対して複数の小孔を近接配置して形成することを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記第２の層の前記複数の第１の連通孔に対応する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートを形成し、
前記インク供給孔を、前記第１及び第２の層の平面方向において前記圧力室の外に配置し、かつ前記第１の連通孔が、前記第１の層とスペーサプレートとの間で前記平面方向と平行に延びるように、前記スペーサプレートを、前記第２の層の前記第１の層とは反対側に重ね合わせて接合することを特徴とする請求項９乃至１４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッド及びその製造方法に関し、詳しくは、クラッド材から形成されたキャビティプレートを備えたインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、紙等の記録媒体に記録を行う記録装置として、例えばインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタが知られている。図１３に示すように、このインクジェットプリンタのインクジェットヘッド１５０では、図示外の駆動回路で発生した駆動電圧により伸縮する圧電材料製のアクチュエータプレート１５５と、インクが通るためのインク流路を形成するキャビティプレート１５６と、インクを噴射するノズル１５８を備えたポリイミド等の合成樹脂製のノズルプレート１５７とがそれぞれ上部、中間部及び下部に位置するように積層されて構成されている。各プレートは薄板形状を有し、キャビティプレート１５６は、金属製の第１乃至第３の層１５６ａ〜１５６ｃが上下に積層されて構成されている。その内、第１の層１５６ａには、アクチュエータプレート１５５の動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室１６５が、第３の層１５６ｃには、インクを圧力室１６５に供給するマニホールド１６９がそれぞれエッチングにより形成されており、第２の層１５６ｂには、圧力室１６５の一端とマニホールド１６９とを連通する連通孔１６７がエッチングにより形成されている。さらに、第２の層１５６ｂ及び第３の層１５６ｃには、圧力室１６５の前記一端とは反対側の他端をノズルプレート１５７に設けられたノズル１５８に連通する連通孔１６８，１７０がエッチングにより形成されている。そして、マニホールド１６９、圧力室１６５、連通孔１６７，１６８，１７０及びノズル１５８によってインク流路が形成されている。
【０００３】
しかし、キャビティプレート１５６の各層は２０〜８０μｍと非常に薄いため、インクジェットヘッド１５０の製造工程における各層の取り扱い中に折れ曲がったり反ったりして歩留まりが悪くなるという問題点があった。このような問題を解決するために、例えば、図１４に示すように、インクジェットヘッド１６０において、図１３に示すキャビティプレート１５６の第１の層１５６ａと第２の層１５６ｂとを１つの材料で一体にして、所定厚が確保された第１の層１６６ａと、図１３に示す第３の層１５６ｃに相当する第２の層１６６ｂとでキャビティプレート１６６を形成する方法も考えられる。この場合、第１の層１６６ａにハーフエッチングを施して圧力室１７５を形成し、またエッチングにより、圧力室１７５と第２の層１６６ｂに形成されたマニホールド１６９とを連通する連通孔１７７と、圧力室１７５とノズル１５８とを連通する連通孔１７８とを形成することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来技術では、第１の層１６６ａにハーフエッチングという方法で圧力室１７５を形成するので、圧力室１７５の深さ方向（図１４の上下方向）の精度を高くすることが難しく、その結果圧力室１７５の深さのばらつきが大きくなって、圧力室１７５の流動抵抗が変化してインク液滴を安定して噴射することができないという問題点があった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、深さ方向の精度が高い圧力室を有し、取り扱いのし易いキャビティプレートを備えたインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための請求項１に係る発明のインクジェットヘッドは、駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレートと、異なる材料からなる第１の層及び第２の層を一体に貼り合わせたクラッド材を含むキャビティプレートとが、前記第１の層が前記アクチュエータプレートに隣接するように重ね合わされて接合されたものであって、前記キャビティプレートを構成するクラッド材の第１の層には、前記アクチュエータプレートの動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室が形成され、前記第１の層を挟んで前記アクチュエータプレートの反対側に位置する前記第２の層には、前記各圧力室と連通した複数の第１の連通孔が形成されており、前記第１の層と第２の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、前記一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液によるエッチングによって、前記圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されていることを特徴とする。
【０００７】
この構成のインクジェットヘッドでは、異なる材料を貼り合わせたクラッド材に圧力室及びそれに連通する連通孔を形成するので、材料の剛性が増し、製造工程における取り扱い性がよい。また、第１の層と第２の層との何れか一方の層には、他方の層を実質的にエッチングすることができず、一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液でエッチングして圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されるので、従来のようにハーフエッチングと比べて深さ方向に精度よく形成することができる。
【０００８】
また、請求項２に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記他方の層は、前記他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液によるエッチングによって、前記圧力室と第１の連通孔との他方が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の作用に加えて、他方の層は、他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液でエッチングされるので、圧力室と第１の連通孔との内、第１のエッチング液によるエッチングで形成された一方でない他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００１０】
また、請求項３に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記他方の層は、樹脂材料であって、前記圧力室と第１の連通孔との他方がレーザ加工により形成されたものであることを特徴とする。
【００１１】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の作用に加えて、樹脂材料からなる他方の層がレーザ加工されることにより、圧力室と第１の連通孔との他方が形成されるので、圧力室と第１の連通孔との他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００１２】
また、請求項４に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至３の何れかに記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記第２の層の前記第１の層とは反対側には、前記複数の第１の連通孔を介して前記複数の圧力室にインクを供給するマニホールド流路を有するマニホールドプレートが重ね合わされて接合されていることを特徴とする。
【００１３】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至３の何れかに記載の発明の作用に加えて、第２の層の第１の層とは反対側には、マニホールドプレートが重ね合わされて接合されているので、複数の第１の連通孔を介して複数の圧力室にインクを供給することができる。
【００１４】
また、請求項５に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至４の何れかに記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記第１の連通孔は前記圧力室の一端に連通しており、前記圧力室の他端の前記第２の層には、該圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔が形成され、該第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通していることを特徴とすることを特徴とする。
【００１５】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至４の何れかに記載の発明の作用に加えて、第１の連通孔は圧力室の一端に連通しており、圧力室の他端の第２の層には、圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔が形成され、第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通しているので、複数の圧力室のインクがノズルから噴射される。
【００１６】
また、請求項６に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記キャビティープレートは、前記第２の層を挟んで第１及び第３の層を貼り合わせたクラッド材から形成され、前記第３の層には、前記第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通するインク供給孔が、前記第２の層を実質的にエッチングすることができず前記第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成されていることを特徴とする。
【００１７】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の作用に加えて、キャビティープレートは、第１乃至第３の層からなる３層クラッド材から形成され、第３の層には、第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通するインク供給孔が、第２の層を実質的にエッチングすることができず第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成されているので、インク供給孔の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００１８】
また、請求項７に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項６に記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記第１の連通孔は、１つの前記圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであることを特徴とする。
【００１９】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項６に記載の発明の作用に加えて、第１の連通孔は、１つの圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであるので、インクジェットヘッドの製造時にマニホールドやインク供給孔などに残留したゴミ等が圧力室からノズルまでの流路に侵入する確率を低減させ、圧力室やノズルを閉塞することを防止できる。
【００２０】
また、請求項８に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至５の何れかに記載のインクジェットヘッドの構成に加えて、前記第２の層の前記第１の層とは反対側には、前記複数の第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートが重ね合わされて接合され、前記インク供給孔が、前記第１及び第２の層の平面方向において前記圧力室の外に位置し、前記第１の連通孔が、前記第１の層とスペーサプレートとの間で前記平面方向と平行に延びていることを特徴とする。
【００２１】
この構成のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至５の何れかに記載の発明の作用に加えて、第２の層の第１の層とは反対側には、複数の第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートが重ね合わされて接合され、インク供給孔が、第１及び第２の層の平面方向において圧力室の外に位置し、第１の連通孔が、第１の層とスペーサプレートとの間で平面方向と平行に延びているので、第１の連通孔の深さが第２の層の厚さによって精度よく確保され、インク供給孔と圧力室との間の流動抵抗を一定にすることができる。
【００２２】
また、請求項９に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法は、駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレートと、異なる材料からなる第１の層及び第２の層を一体的に貼り合わせたクラッド材を含むキャビティープレートとを備え、前記キャビティープレートを構成するクラッド材の第１の層には、前記アクチュエータプレートの動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室を有し、前記第２の層には、前記各圧力室と連通した複数の第１の連通孔を有しており、前記第１の層が前記アクチュエータプレートに隣接するように前記アクチュエータプレートと前記キャビティープレートとを重ね合わせて接合するものであって、前記クラッド材の第１の層と第２の層との何れか一方の層を、他方の層を実質的にエッチングすることができず前記一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液によるエッチングによって前記圧力室と第１の連通孔との何れか一方を形成することを特徴とする。
【００２３】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、異なる材料を貼り合わせたクラッド材に圧力室及びそれに連通する連通孔を形成するので、材料の剛性が増し、製造工程における取り扱い性がよい。また、第１の層と第２の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液でエッチングして圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されるので、従来のようにハーフエッチングと比べて深さ方向に精度よく形成することができる。
【００２４】
また、請求項１０に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記他方の層を、前記他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液によるエッチングによって前記圧力室と第１の連通孔との他方を形成することを特徴とする。
【００２５】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の作用に加えて、他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液によって他方の層をエッチングするので、圧力室と第１の連通孔との内、第１のエッチング液によるエッチングで形成した一方でない他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００２６】
また、請求項１１に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記他方の層は、樹脂材料であって、前記圧力室と第１の連通孔との他方をレーザ加工により形成することを特徴とする。
【００２７】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の作用に加えて、樹脂材料からなる他方の層をレーザ加工することにより、圧力室と第１の連通孔との他方を形成するので、圧力室と第１の連通孔との他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００２８】
また、請求項１２に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１１の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記キャビティープレートに前記圧力室及び第１の連通孔を形成した後、前記第２の層の前記第１の層とは反対側に、前記複数の第１の連通孔を介して前記複数の圧力室にインクを供給するマニホールド流路を有するマニホールドプレートを重ね合わせて接合することを特徴とする。
【００２９】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１１の何れかに記載の発明の作用に加えて、第２の層の第１の層とは反対側にマニホールドプレートを重ね合わせて接合しているので、複数の第１の連通孔を介して複数の圧力室にインクを供給することができる。
【００３０】
また、請求項１３に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１２の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記第２の層には、前記圧力室の一端に連通する位置に前記第１の連通孔を形成し、前記圧力室の他端に各々連通する位置に複数の第２の連通孔を形成し、前記第２の層の前記第１の層とは反対側に、前記第２の連通孔にインクを外部に噴射するためのノズルを連通させるようにノズルプレートを重ね合わせて接合することを特徴とする。
【００３１】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１２の何れかに記載の発明の作用に加えて、第１の連通孔は圧力室の一端に連通しており、圧力室の他端の第２の層には、圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔を形成し、第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通しているので、マニホールドプレートによって複数の圧力室に供給されたインクをノズルから噴射させられる。
【００３２】
また、請求項１４に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記キャビティープレートを、前記第２の層を挟んで第１及び第３の層を一体に貼り合わせたクラッド材から形成し、前記第３の層部分には、前記第１の連通孔を介して前記第１の層の圧力室に連通するインク供給孔を、前記第２の層を実質的にエッチングすることができず前記第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成することを特徴とする。
【００３３】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の作用に加えて、キャビティープレートを、第１乃至第３の層からなる３層クラッド材から形成し、第３の層には、第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通するインク供給孔を、第２の層を実質的にエッチングすることができず第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成するので、インク供給孔の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００３４】
また、請求項１５に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項１４に記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記第１の連通孔を、１つの前記圧力室に対して複数の小孔を近接配置して形成することを特徴とする。
【００３５】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項１４に記載の発明の作用に加えて、第１の連通孔を、１つの圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置して形成するので、第１の連通孔は、１つの圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであるので、インクジェットヘッドの製造時にマニホールドやインク供給孔などに残留したゴミ等が圧力室からノズルまでの流路に侵入する確率を低減させ、圧力室やノズルを閉塞することを防止できる。
【００３６】
また、請求項１６に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法の構成に加えて、前記第２の層の前記複数の第１の連通孔に対応する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートを形成し、前記インク供給孔を、前記第１及び第２の層の平面方向において前記圧力室の外に配置し、かつ前記第１の連通孔が、前記第１の層とスペーサプレートとの間で前記平面方向と平行に延びるように、前記スペーサプレートを、前記第２の層の前記第１の層とは反対側に重ね合わせて接合することを特徴とする。
【００３７】
この構成のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１４の何れかに記載の発明の作用に加えて、第２の層の複数の第１の連通孔に対応する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートを形成し、インク供給孔を、第１及び第２の層の平面方向において圧力室の外に位置し、かつ第１の連通孔が、第１の層とスペーサプレートとの間で平面方向と平行に延びるように、スペーサプレートを第２の層の第１の層とは反対側に重ね合わせて接合するので、第１の連通孔の深さが第２の層の厚さによって精度よく確保され、インク供給孔と圧力室との間の流動抵抗を一定にすることができる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施の形態について図面に沿って説明する。ここで、図１は、インクジェットヘッド３０を、圧力室の長手方向と略平行に切断した断面図であり、図２は、インクジェットヘッド３０を、圧力室の配列方向と平行に切断した断面図である。図１及び図２に示すように、インクジェットヘッド３０では、図示外の駆動回路で発生した駆動電圧により駆動されるアクチュエータプレート５と、インクが通るためのインク流路を形成するキャビティプレート１５と、インクを噴射するノズル２１を備えたポリイミド等の合成樹脂製のノズルプレート２０とがそれぞれ上部、中間部及び下部に位置するように積層されている。そして、積層された各プレートがエポキシ系の熱硬化性の接着剤を介して接合され、さらに、アクチュエータプレート５の上面に、当該アクチュエータプレート５に図示外の駆動回路で発生した駆動電圧を印加するためにフレキシブル配線基板（図示外）等が接合されて、インクジェットヘッド３０が構成されるようになっている。
【００３９】
キャビティプレート１５は、金属材料からなる薄板の３つの層１５ａ，１５ｂ，１５ｃからなり、図１の上方から下方に向かって、第１の層１５ａ、第２の層１５ｂ、マニホールドプレート１５ｃという順に積層されて構成されている。最上部の第１の層１５ａは、アクチュエータプレート５に接しており、最下部のマニホールドプレート１５ｃは、ノズルプレート２０に接している。このキャビティプレート１５を構成する第１の層１５ａと第２の層１５ｂは、互いに異なる材料からなり、両者が貼り合わされ一体に圧延された２層のクラッド材１６となっている。第１の層１５ａ及び第２の層１５ｂの材質については後述する。
【００４０】
また、キャビティプレート１５の第１の層１５ａには、アクチュエータプレート５の動作により選択的に噴射するためのインクを収容する複数の圧力室１８が形成されている。複数の圧力室１８は、第１の層１５ａをエッチング液でエッチングすることにより形成され、その長手方向を平行に並べて平面状に配列されている。また、第２の層１５ｂには、圧力室１８の一端をノズル２１に連通させる連通孔３４と、圧力室１８の他端を後述するマニホールド流路２５に連通させる連通孔３５とが、エッチング液でエッチングされて形成されている。
【００４１】
また、マニホールドプレート１５ｃには、圧力室１８の一端をノズル２１に連通させる連通孔３６が穿設されている。さらに、マニホールドプレート１５ｃには、インクを圧力室１８に供給するマニホールド流路２５が複数の圧力室１８がなす列の下方においてその列方向に長く形成されている。マニホールド流路２５は、その一端で公知のようにインク供給源に接続され、連通孔３５を通して圧力室１８にインクを供給する。そして、上記マニホールド流路２５、連通孔３５、圧力室１８、連通孔３４，３６及びノズル２１は、インク流路を形成する。尚、マニホールドプレート１５ｃは、クラッド材１６を後述するエッチング加工した後、そのクラッド材１６に熱硬化性接着剤によって接合される。
【００４２】
圧電アクチュエータプレート５は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミックス材料からなる圧電セラミックス材料からなり、圧電・電歪効果を有する複数の圧電セラミックス層４０と、その層間に複数の内部電極４７，４８，４９，５０とを備えている。圧電アクチュエータプレート５は、全圧力室１８に渡って延びており、その各内部電極４７，４８，４９，５０は各圧力室１８に対応して位置している。内部電極４７，４８，４９，５０に挟まれる圧電セラミックス層４０の部分は、公知のように分極処理されており、この内部電極に分極方向と同方向の電圧が印加されると、その電極に挟まれた部分（活性部）が積層方向に伸張し、圧力室１８内のインクに噴射のための圧力が選択的に付与されることになる。
【００４３】
次に、図３及び図４を参照して、インクジェットヘッド３０の製造方法について説明する。尚、ここでは、キャビティプレート１５の製造方法について詳細に説明する。図３は、キャビティプレート１５を構成する第１の層１５ａと第２の層１５ｂとからなるクラッド材１６の第１の層１５ａにエッチングにより圧力室１８を形成する工程を示す断面図である。また、図４は、クラッド材１６の第２の層１５ｂにエッチングにより連通孔３４を形成する工程を示す断面図である。図３に示すように、まず、クラッド材１６の第１の層１５ａの図３における上面１５ａ１に、スピナーコート等の方法でレジスト処理を施して、圧力室１８を形成しない部分のみを覆うようにレジスト５０を形成する。その後、図３の上方から、第１の層１５ａのみをエッチング可能でかつ第２の層１５ｂを実質的にエッチングすることができないエッチング液（図示外）を、図の矢印方向にスプレー噴霧又は被エッチング面上に滴下することにより、第１の層１５ａのみをエッチングして圧力室１８を形成する。
【００４４】
次に、図４に示すように、クラッド材１６において、第２の層１５ｂの図４における下面１５ｂ１に、第１の層１５ａにレジスト処理を施したのと同様の方法で、連通孔３４を形成しない部分のみを覆うようにレジスト５１を形成する。その後、図４の下方から、第２の層１５ｂのみをエッチング可能でかつ第１の層１５ａを実質的にエッチングすることができないエッチング液（図示外）を、図の矢印方向にスプレー噴霧等することにより、第２の層１５ｂのみをエッチングして連通孔３４を形成する。尚、第２の層１５ｂには、連通孔３４と同様の方法で同時に連通孔３５を形成することができる。連通孔３４，３５が、圧力室１８と重なる位置にあって圧力室１８の幅（長手方向と直交する幅）とほぼ同じかそれよりも小さい幅（直径）であれば、第２の層１５ｂをエッチングして連通孔３４，３５を形成するとき、第１の層１５ａもエッチング可能なエッチング液を使用し、スプレー噴霧等の時間を制御して行うこともできる。
【００４５】
このとき、例えば、クラッド材１６がステンレス製又はアルミニウム製の第１の層１５ａとチタン製の第２の層１５ｂとから構成されている場合、第１の層１５ａを塩化第二鉄（ＦｅＣｌ ３ ）エッチング液でエッチングすると、第１の層１５ａのみをエッチングすることができる。それにより、第１の層１５ａに、レジスト５０の開口部の幅でかつその層１５ａの厚さに対応する深さの圧力室１８が精度よく形成される。また、第２の層１５ｂをフッ化水素酸（ＨＦ）エッチング液でエッチングすると、第２の層１５ｂのみをエッチングすることができる。それにより、第２の層１５ｂに、レジスト５１の開口部の幅でかつその層１５ｂの厚さに対応する深さの連通孔３４及び連通孔３５が精度よく形成される。
【００４６】
また、クラッド材１６がニッケル製の第１の層１５ａとチタン製の第２の層１５ｂとから構成されている場合、第１の層１５ａを塩化第二鉄（ＦｅＣｌ ３ ）＋塩酸（ＨＣｌ）エッチング液でエッチングすると、第１の層１５ａのみをエッチングでき、深さ方向に精度の高い圧力室１８が形成される。また、第２の層１５ｂをフッ化水素酸（ＨＦ）エッチング液でエッチングすると、第２の層１５ｂのみをエッチングでき、深さ方向に精度の高い連通孔３４及び連通孔３５が形成される。
【００４７】
尚、第１の層１５ａと第２の層１５ｂとは、互いにその材質が入れ替わっても、各層の材質に対応するエッチング液で片側の層のみをエッチングすることができる。また、第１の層１５ａ及び第２の層１５ｂは、上述したものの他の材料で成形されていてもよい。その場合には、各層のみを実質的にエッチング可能なエッチング液を用いれば、各層に圧力室及び連通孔をそれぞれ形成することができる。
【００４８】
以上説明したように、上記実施の形態のインクジェットヘッド３０では、キャビティプレート１５が、互いに材質が異なる第１の層１５ａと第２の層１５ｂとからなるクラッド材１６を用いて形成されており、第１の層１５ａを、当該第１の層１５ａのみをエッチング可能なエッチング液でエッチングし、第２の層１５ｂを、当該第２の層１５ｂのみをエッチング可能なエッチング液又は第１の層１５ａと第２の層１５ｂとの両方をエッチング可能なエッチング液でそれぞれエッチングすることにより、第１の層１５ａに圧力室１８を、第２の層１５ｂに連通孔３４，３５をそれぞれ深さ方向に精度が高い状態で形成することができる。また、クラッド材１６を用いることにより、キャビティプレート１５を構成する層の厚さを確保でき、インクジェットヘッド３０の製造工程でキャビティプレート１５が反ったり折れ曲がったりするのを防止できるので、製造工程での歩留まりをよくすることができる。
【００４９】
ここで、上記実施の形態において、クラッド材１６は、共に金属材料からなる第１の層１５ａと第２の層１５ｂとから形成されたものに限られず、金属材料からなる第１の層１５ａと樹脂材料からなる第２の層１５ｂとから構成されていてもよい。図５に示すように、クラッド材１６が、ステンレス等の金属材料からなる第１の層１５ａと、ポリイミド等の樹脂材料からなる第２の層１５ｂとから構成されている場合、第１の層１５ａを前述のようにエッチング液でエッチングして圧力室１８を形成した後、第２の層１５ｂの下側にレーザ透過領域５２ａを備えたマスク５２を配設して、当該マスク５２の下方からエキシマレーザ光等のレーザ光（以下、「レーザ光」という。）を矢印方向に照射することにより、前記圧力室１８と連通した連通孔を形成することができる。
【００５０】
前述のように、第１の層１５ａは、当該第１の層１５ａのみを実質的にエッチング可能なエッチング液により、その上面にレジストが形成されていない部分がエッチングされて第１の層１５ａに圧力室１８が形成される。次に、第１の層１５ａの下側に貼り合わされた第２の層１５ｂの下側にレーザ透過領域５２ａを備えたマスク５２を配設し、マスク５２の下方から矢印方向に向かってレーザ光を照射すると、当該レーザ光がマスク５２のレーザ透過領域５２ａを通過して、第２の層１５ｂに連通孔３４が形成される。尚、第２の層１５ｂには、連通孔３４を形成したのと同様の方法で連通孔３５が形成されることになる。従って、金属薄板の第１の層１５ａと樹脂薄板の第２の層１５ｂとにそれぞれ個別にエッチング処理又はレーザ光照射処理が施され、各処理が対応する層ではない層に影響を与えることがないので、圧力室１８及び連通孔３４，３５は、その深さ方向（図５の上下方向）精度が高い状態で形成される。また、キャビティプレート１５の構成部材に、所定厚さが確保されたクラッド材１６を用いていることにより、製造工程においてキャビティプレート１５の取り扱いがし易く、歩留まりをよくすることができる。
【００５１】
図６は、他の実施の形態を示すインクジェットヘッド６０の断面図であり、図７は、キャビティプレート６５の第１の層６５ａに圧力室６８を形成する工程を示す断面図であり、図８は、キャビティプレート６５の第２の層６５ｂに連通孔７７を形成する工程を示す断面図である。図６に示すように、インクジェットヘッド６０は、アクチュエータプレート５５とキャビティプレート６５とノズルプレート７０が積層されて構成されている。アクチュエータプレート５５は、前記実施の形態のアクチュエータプレート５と同様の構成であり、ノズルプレート７０は、所定厚を有する樹脂製の薄板である。
【００５２】
また、キャビティプレート６５は、上下方向に積層された複数の層からなる薄板状部材であり、この内、第１の層６５ａと第２の層６５ｂとは、貼り合わされて一体となったクラッド材６６で形成されている。また、キャビティプレート６５の第１の層６５ａ及びスペーサプレート６５ｃは１枚の金属製の薄板であり、第２の層６５ｂは１枚の樹脂製の薄板である。また、マニホールドプレート６５ｄは、上方から下方に順に積層された４枚の金属薄板６５ｄ１乃至６５ｄ４からなっている。キャビティプレート６５の最上層の第１の層６５ａは、エッチングによって形成された圧力室６８を複数列例えば２列にかつ１つの平面上に配置して備えている。また、第２の層６５ｂは、レーザ光照射によって形成された連通孔７７を有しており、スペーサプレート６５ｃは、エッチングによって形成されたインク供給孔７８を有している。
【００５３】
スペーサプレート６５ｃに形成されたインク供給孔７８は、キャビティプレート６５の各層の平面方向において圧力室６８の外に位置している。第２の層６５ｂに形成された連通孔７７は、第１の層６５ａとスペーサプレート６５ｃとの間でそれらの平面方向に、圧力室６８の延長方向に長く延びて形成され、一端が上側の圧力室６８と連通し、他端が下側のインク供給孔７８と連通している。つまり、連通孔７７は、その断面積を圧力室６８及びインク供給孔７８よりも絞った制限流路を形成し、アクチュエータプレートの動作によって圧力室６８からインク供給孔７８側にインクが逆流するのを制限している。
【００５４】
また、最下部のノズルプレート７０は、インク滴を吐出する複数のノズル７１を有する。キャビティプレート６５の第１の層６５ａとノズルプレート７０間に位置するキャビティプレート６５の第２の層６５ｂ、スペーサプレート６５ｃ及びマニホールドプレート６５ｄは、各圧力室６８の一端をノズル７１に連通するための連通孔７２をそれぞれ備えている。さらに、マニホールドプレート６５ｄの上側３枚の薄板６５ｄ１乃至６５ｄ３は、各圧力室６８の列の下に対応してその列方向にマニホールド流路７５を有する。また、各圧力室６８の他端は、第２の層６５ｂに形成された連通孔７７とスペーサプレート６５ｃに形成されたインク供給孔７８とを介してマニホールド流路７５に連通している。
【００５５】
次に、図７及び図８を参照して、キャビティプレート６５の構成部材であるクラッド材６６の第１の層６５ａに圧力室６８を、第２の層６５ｂに連通孔７７をそれぞれ形成する方法について説明する。図７及び図８に示すように、クラッド材６６の第１の層６５ａには、前記実施の形態でクラッド材１６に圧力室１８を形成したのと同様に、第１の層６５ａのみを実質的にエッチング可能なエッチング液により、その上面６５ａ１にレジスト８０が形成されていない部分がエッチングされて第１の層６５ａに圧力室６８が形成される。次に、第１の層６５ａの下側に貼り合わされた第２の層６５ｂの下側にレーザ透過領域８１ａを備えたマスク８１を配設し、マスク８１の下方から矢印方向に向かってレーザ光を照射すると、当該レーザ光がマスク８１のレーザ透過領域８１ａを通過して、第２の層６５ｂに連通孔７７が形成される。尚、第２の層６５ｂには、連通孔７７を形成したのと同様の方法で連通孔７２が形成されることになる。
【００５６】
上記場合、従来では、圧力室を形成する第１の層またはインク供給孔を形成する第３層に、連通孔７７に相当する溝をハーフエッチングにより形成していたので、深さ（図８の上下方向寸法）にばらつきが生じ、溝の断面積の精度を高くするのが難しいという問題があった。本実施の形態では、クラッド材６６において金属薄板の第１の層６５ａと樹脂薄板の第２の層６５ｂに対してエッチング加工とレーザ加工とを個別に行っているので、前記実施の形態と同様に圧力室６８をレジスト８０の開口部分の幅で、かつ第１の層６５ａの厚さに相当する深さだけ正確に形成することができ、また、連通孔７７をマスク８１の開口幅で、かつ第２の層６５ｂの厚さに相当する深さに正確に形成することができる。つまり、連通孔７７の断面積を精度よく確保し、圧力室６８とインク供給孔７８との間の流動抵抗のばらつきを少なくして噴射性能をほぼ均一にすることができる。尚、クラッド材６６、スペーサプレート６５ｃ、マニホールドプレート６５ｄを構成する薄板６５ｄ１乃至６５ｄ４、及びノズルプレート７０は、熱硬化性の接着剤により接合される。
【００５７】
さらに、上述のような金属薄板と樹脂薄板とを貼り合わせて形成したクラッド材の樹脂薄板側にさらにもう１枚の金属薄板を貼り付けて、３層となったクラッド材を用いてキャビティプレートを形成してもよい。以下、図９乃至図１２を参照して、３層となったクラッド材８６を有するキャビティプレート８５を備えたインクジェットヘッド８０及びその製造方法について説明する。ここで、図９は、インクジェットヘッド８０の断面図であり、図１０は、連通孔９７部分の拡大断面図であり、図１１は、クラッド材８６の第１の層８５ａに圧力室８８を、第３の層８５ｃにインク供給孔９８を、それぞれエッチングにより形成する工程を示す断面図である。また、図１２は、クラッド材８６の第２の層８５ｂにレーザ光を照射して連通孔９７（図１０参照）を形成する工程を示す断面図である。
【００５８】
図９に示すように、インクジェットヘッド８０は、アクチュエータプレート７５と、樹脂薄板のノズルプレート９０と、複数の薄板が積層されたキャビティプレート８５とから構成され、前述のインクジェットヘッド６０と略同一の構成となっている。キャビティプレート８５は、複数の薄板材料から構成されている。また、キャビティプレート８５を構成する複数の層の内、第１の層８５ａは１枚の金属製の薄板であり、第２の層８５ｂは樹脂製の薄板であり、第３の層８５ｃは金属製の薄板であり、マニホールドプレート８５ｄは、上方から下方に順に積層された４枚の金属製の薄板８５ｄ１乃至８５ｄ４からなっている。そして、第１の層８５ａと第２の層８５ｂと第３の層８５ｃとは貼り合わされて一体となっており、３層のクラッド材８６が形成されている。
【００５９】
３層になったクラッド材８６の第１の層８５ａは、エッチングによって形成された圧力室８８を複数列例えば２列にかつ１つの平面上に配置して備え、第３の層８５ｃは、後述するマニホールド流路９５を圧力室８８に連通するために、エッチングによって形成されたインク供給孔９８を有する。また、第２の層８５ｂは、レーザ加工によって形成された連通孔９７（図１０参照）を有する。連通孔９７は近接した複数の孔からなり、圧力室８８内に外部からゴミ等が侵入するのを防止するためのフィルタとなっている。
【００６０】
また、最下部のノズルプレート９０は、インク滴を吐出する複数のノズル９１を有する。キャビティプレート８５の第２の層８５ｂ、第３の層８５ｃ及びマニホールドプレート８５ｄは、各圧力室８８の一端をノズル９１に連通するための連通孔９２をそれぞれ備えており、さらに、マニホールドプレート８５ｄの上側３枚の薄板８５ｄ１乃至８５ｄ３は、各圧力室８８の列の下に対応してその列方向にマニホールド流路９５を有する。また、各圧力室８８の他端は、図１０に詳細に示すように、第３の層８５ｃ及び第２の層８５ｂにそれぞれ設けられたインク供給孔９８と連通孔９７とを介してマニホールド流路９５に連通している。
【００６１】
次に、図１１及び図１２を参照して、キャビティプレート８５を構成するクラッド材８６の３つの層に圧力室、連通孔及びインク供給孔をそれぞれ形成する方法について説明する。図１１に示すように、まず、クラッド材８６の第１の層８５ａの上側面と、第３の層８５ｃの下側面とにそれぞれレジスト８２及び８３を形成し、図の矢印方向にそれぞれエッチング液をスプレー噴霧等することにより、第１の層８５ａと第３の層８５ｃとをエッチングする。このとき、各薄板は、自身のみを実質的にエッチング可能なエッチング液によりエッチングされ、第１の層８５ａには圧力室８８が、第３の層８５ｃにはインク供給孔９８がそれぞれ形成される。
【００６２】
そして、図１２に示すように、第２の層８５ｂの下方にレーザ透過領域８４ａを備えたマスク８４を配設し、図１２の下方から矢印方向に向かってレーザ光を照射すると、当該レーザ光がマスク８４のレーザ透過領域８４ａを通過して、第２の層８５ｂに連通孔９７（図１０参照）が形成される。このとき、図示しないが、マスク８４のレーザ透過領域８４ａには複数の小さな貫通孔が穿設されており、当該貫通孔を通過したレーザ光によって複数の小孔からなる連通孔９７即ちフィルタ孔が形成されることになる。
【００６３】
このように、インクジェット８０では、キャビティプレート８５に３層のクラッド材８６を用いて、クラッド材８６を構成する各金属薄板を個別にエッチングすることで圧力室８８及びインク供給孔９８をそれぞれ形成し、クラッド材８６を構成する樹脂薄板にレーザ光を照射することにより、連通孔９７を形成しているので、各々の深さ方向精度を高くすることができる。従って、従来のように、フィルタ孔が形成されたフィルタを小型の別部品として接着する必要がなくなり、また接着時に生じていた位置ずれも生じることがない。
【００６４】
【発明の効果】
以上、詳述したとおり、請求項１に係る発明のインクジェットヘッドでは、異なる材料を貼り合わせたクラッド材に圧力室及びそれに連通する連通孔を形成するので、材料の剛性が増し、製造工程における取り扱い性がよい。また、第１の層と第２の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液でエッチングして圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されるので、従来のようにハーフエッチングと比べて深さ方向に精度よく形成することができる。
【００６５】
また、請求項２に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の効果に加えて、他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液で他方の層がエッチングされるので、圧力室と第１の連通孔との内、第１のエッチング液によるエッチングで形成された一方でない他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００６６】
また、請求項３に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の効果に加えて、樹脂材料からなる他方の層がレーザ加工されることにより、圧力室と第１の連通孔との他方が形成されるので、圧力室と第１の連通孔との他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００６７】
また、請求項４に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至３の何れかに記載の発明の効果に加えて、第２の層の第１の層とは反対側には、マニホールドプレートが重ね合わされて接合されているので、複数の第１の連通孔を介して複数の圧力室にインクを供給することができる。
【００６８】
また、請求項５に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至４の何れかに記載の発明の効果に加えて、第１の連通孔は圧力室の一端に連通しており、圧力室の他端の第２の層には、圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔が形成され、第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通しているので、マニホールドプレートによって複数の圧力室に供給されたインクをノズルから噴射させられる。
【００６９】
また、請求項６に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１に記載の発明の効果に加えて、キャビティープレートは、第１乃至第３の層からなる３層クラッド材から形成され、第３の層には、第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通するインク供給孔が、第２の層を実質的にエッチングすることができず第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成されているので、インク供給孔の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００７０】
また、請求項７に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項６に記載の発明の効果に加えて、第１の連通孔は、１つの圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであるので、インクジェットヘッドの製造時に侵入するゴミ等が圧力室からノズルまでの流路に存在する確率を低減させ、圧力室やノズルを閉塞することを防止できる。
【００７１】
また、請求項８に係る発明のインクジェットヘッドでは、請求項１乃至５の何れかに記載の発明の効果に加えて、第２の層の第１の層とは反対側には、複数の第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートが重ね合わされて接合され、インク供給孔が、第１及び第２の層の平面方向において圧力室の外に位置し、第１の連通孔が、第１の層とスペーサプレートとの間で平面方向と平行に延びているので、第１の連通孔の深さが第２の層の厚さによって精度よく確保され、インク供給孔と圧力室との間の流動抵抗を一定にすることができる。
【００７２】
また、請求項９に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、異なる材料を貼り合わせたクラッド材に圧力室及びそれに連通する連通孔を形成するので、材料の剛性が増し、製造工程における取り扱い性がよい。また、第１の層と第２の層との何れか一方の層は、他方の層を実質的にエッチングすることができず、一方の層をエッチング可能な第１のエッチング液でエッチングして圧力室と第１の連通孔との何れか一方が形成されるので、従来のようにハーフエッチングと比べて深さ方向に精度よく形成することができる。
【００７３】
また、請求項１０に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の効果に加えて、他方の層をエッチング可能な第２のエッチング液で他方の層をエッチングするので、圧力室と第１の連通孔との内、第１のエッチング液によるエッチングで形成した一方でない他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００７４】
また、請求項１１に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の効果に加えて、樹脂材料からなる他方の層をレーザ加工することにより、圧力室と第１の連通孔との他方を形成するので、圧力室と第１の連通孔との他方の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００７５】
また、請求項１２に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１１の何れかに記載の発明の効果に加えて、第２の層の第１の層とは反対側にマニホールドプレートを重ね合わせて接合しているので、複数の第１の連通孔を介して複数の圧力室にインクを供給することができる。
【００７６】
また、請求項１３に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１２の何れかに記載の発明の効果に加えて、第１の連通孔は圧力室の一端に連通しており、圧力室の他端の第２の層には、圧力室に各々連通する複数の第２の連通孔を形成し、第２の連通孔は、インクを外部に噴射するためのノズルに連通しているので、マニホールドプレートによって複数の圧力室に供給されたインクをノズルから噴射させられる。
【００７７】
また、請求項１４に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９に記載の発明の効果に加えて、キャビティープレートを、第１乃至第３の層からなる３層クラッド材から形成し、第３の層には、第１の連通孔を介して第１の層の圧力室に連通するインク供給孔を、第２の層を実質的にエッチングすることができず第３の層をエッチング可能なエッチング液によるエッチングによって形成するので、インク供給孔の深さ方向の精度を高くすることができる。
【００７８】
また、請求項１５に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項１４に記載の発明の効果に加えて、第１の連通孔は、１つの圧力室に対して複数の小孔を相互に近接配置したものであるので、インクジェットヘッドの製造時に侵入するゴミ等が圧力室からノズルまでの流路に存在する確率を低減させ、圧力室やノズルを閉塞することを防止できる。
【００７９】
また、請求項１６に係る発明のインクジェットヘッドの製造方法では、請求項９乃至１４の何れかに記載の発明の効果に加えて、第２の層の複数の第１の連通孔に対応する複数のインク供給孔を有するスペーサプレートを形成し、インク供給孔を、第１及び第２の層の平面方向において圧力室の外に位置し、かつ第１の連通孔が、第１の層とスペーサプレートとの間で平面方向と平行に延びるように、スペーサプレートを第２の層の第１の層とは反対側に重ね合わせて接合するので、第１の連通孔の深さが第２の層の厚さによって精度よく確保され、インク供給孔と圧力室との間の流動抵抗を一定にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、インクジェットヘッド３０を、圧力室の長手方向と略平行に切断した断面図である。
【図２】  図２は、インクジェットヘッド３０を、圧力室の配列方向に平行に切断した断面図である。
【図３】  図３は、クラッド材１６の第１の層１５ａにエッチングにより圧力室１８を形成する工程を示す断面図である。
【図４】  図４は、クラッド材１６の第２の層１５ｂにエッチングにより連通孔３４を形成する工程を示す断面図である。
【図５】  図５は、クラッド材１６の第２の層１５ｂにレーザ光を照射して連通孔３４を形成する工程を示す断面図である。
【図６】  図６は、他の実施の形態を示すインクジェットヘッド６０の断面図である。
【図７】  図７は、キャビティプレート６５の第１の層６５ａに圧力室６８を形成する工程を示す断面図である。
【図８】  図８は、キャビティプレート６５の第２の層６５ｂに連通孔７７を形成する工程を示す断面図である。
【図９】  図９は、さらに他の実施の形態を示すインクジェットヘッド８０の断面図である。
【図１０】  図１０は、連通孔９７部分の拡大断面図である。
【図１１】  図１１は、クラッド材８６の第１の層８５ａに圧力室８８を、第３の層８５ｃにインク供給孔９８を、それぞれエッチングにより形成する工程を示す断面図である。
【図１２】  図１２は、クラッド材８６の第２の層８５ｂにレーザ光を照射して連通孔９７を形成する工程を示す断面図である。
【図１３】  従来のインクジェットヘッド１５０を示す断面図である。
【図１４】  他の従来のインクジェットヘッド１６０を示す断面図である。
【符号の説明】
５    アクチュエータプレート
１５    キャビティプレート
１５ａ    第１の層
１５ｂ    第２の層
１５ｃ    マニホールドプレート
１６    クラッド材
１８    圧力室
２０    ノズルプレート
２１    ノズル
２５    マニホールド流路
３４，３５，３６    連通孔
６０    インクジェットヘッド
６５    キャビティプレート
６５ａ    第１の層
６５ｂ    第２の層
６５ｃ    スペーサプレート
６６    クラッド材
６８    圧力室
７７    連通孔
７８    インク供給孔
８０    インクジェットヘッド
８５    キャビティプレート
８５ａ    第１の層
８５ｂ    第２の層
８５ｃ    第３の層
８６    クラッド材
９７    連通孔
９８    インク供給孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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