(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流入口及び流出口を有する石英ガラス製の筒体と、上記筒体の内部に挿入されている少なくとも１本の石英ガラス製の第１の管体と、上記管体内に挿入されているハロゲンランプと、を備え、前記流体の流入口及び流出口は前記筒体の一方の端部に設けられ、石英ガラス製の第２の管体が前記筒体内の上記一方の端部から他の端部に向かって挿入固定され、上記流入口を形成し、前記ハロゲンランプは前記管体の上記流体の流入口、流出口と同じ側の管口のみに電極リードを有し、前記第１の管体の一方の管口は閉塞され、その閉塞された管口端部が前記筒体内部にあることを特徴とする半導体製造設備用流体加熱装置。
【請求項２】
流体の流入口及び流出口を有する石英ガラス製の筒体と、上記筒体の内部に挿入されている少なくとも１本の石英ガラス製の第１の管体と、上記管体内に挿入されているハロゲンランプと、を備え、前記流体の流入口及び流出口は前記筒体の一方の端部に設けられ、石英ガラス製の第２の管体が前記筒体内の上記一方の端部から他の端部に向かって挿入固定され、上記流入口を形成し、前記ハロゲンランプは前記管体の上記流体の流入口、流出口と同じ側の管口のみに電極リードを有し、前記第１の管体の一方の管口は前記筒体の長手方向に対向する端面板によって閉塞されていることを特徴とする半導体製造設備用流体加熱装置。
【請求項３】
前記第２の管体の上記筒体内の上記開口近傍の先端部が曲げられていることを特徴とする請求項１又は２記載の半導体製造設備用流体加熱装置。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造設備等における純水等の洗浄液、エッチング液、フォトレジストの剥離液等の流体を加熱するのに好適な流体加熱装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の流体加熱装置として、図６〜図７に示す流体加熱装置が知られている。
図６〜図７において、Ａは石英ガラス製の筒体であり、この筒体Ａは円筒形筒部１と、その両端面板部２，３と、一方の端面板部２の下側部位に開口した流体流入口４と、他方の端面板部３の上側部位に開口した流体流出口５とで形成し、筒体Ａの内部に両端面板部２，３を貫通する２本の石英ガラス製の管体６，６が設けられ、各管体６内にハロゲンランプ７をそれぞれ挿入配置して構成したものである。
【０００３】
上記構成の流体加熱装置によれば、筒体Ａの流入口４から流入して流出口５に向けて流れる液体流路にハロゲンランプ７を配設しているので、ハロゲンランプの輻射光により液体を連続的に加熱処理することができる。また、光源であるハロゲンランプの交換も可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記構成の流体加熱装置には、下記の問題点がある。
１）上記流体加熱装置を半導体製造設備に組み込む場合、筒体の流体流入口と流出口は、例えば、設備の処理槽にチューブ、継手等でそれぞれ接続する必要があるが、流体流入口と流出口が筒体の対向する両端側に分かれて配置されているので、流体加熱装置を設置する場合、筒体の対向位置にある流入口と流出口とでチューブ接続作業をする必要があることから、作業性が悪い。
２）また、前記接続作業を行なうために加熱装置の両端部に作業スペースを要し、省スペースという点から問題がある。
３）また、石英ガラス製管体内のハロゲンランプも、筒体の対向する両端側で電極リードの接続作業を行なわなければならないので、それなりの作業スペースを必要とする。
４）流体の流入口と流出口が筒体の対角線上の両端部位にあることから、流出口の反対部分（イ）に液溜り（液体滞留部分）が発生する傾向があり、この滞留部分では薬液の温度が上昇し、対流が発生し、リン酸等の石英ガラスに対して腐食性の流体の場合には、石英ガラスの筒体及び管体の部分的な腐食が起こる。
５）ハロゲンランプを挿入配置するための管体は両端が開いており、いずれの方向からも挿入可能であるが、その反面、ハロゲンランプの挿入位置を正確に定めにくく、また挿入後に位置ズレを生じやすい。
【０００５】
本発明の目的は、上述した従来の半導体製造設備用流体加熱装置のもつ欠点を解消し、流体流入口及び流出口へのチューブ、継手等の接続作業が容易にでき、しかも接続作業の省スペース化を可能とし、ハロゲンランプの接続作業の省スペース化を可能とし、かつ筒体の流体流路に滞留部分の発生がなく、流体の円滑な流れを確保でき、ハロゲンランプの挿入位置を正確に定めることができるコンパクトな構成の半導体製造設備用流体加熱装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明の半導体製造設備用流体加熱装置は、流体の流入口及び流出口を有する石英ガラス製の筒体と、上記筒体の内部に挿入されている少なくとも１本の石英ガラス製の第１の管体と、上記管体内に挿入されているハロゲンランプと、を備え、前記流体の流入口及び流出口は前記筒体の一方の端部に設けられ、石英ガラス製の第２の管体が前記筒体内の上記一方の端部から他の端部に向かって挿入固定され、上記流入口を形成し前記ハロゲンランプは前記管体の上記流体の流入口、流出口と同じ側の管口のみに電極リードを有し、前記第１の管体の一方の管口は閉塞され、その閉塞された管口端部が前記筒体内部にあることを要旨とする。
【０００７】
請求項２の発明は、流体の流入口及び流出口を有する石英ガラス製の筒体と、上記筒体の内部に挿入されている少なくとも１本の石英ガラス製の第１の管体と、上記管体内に挿入されているハロゲンランプと、を備え、前記流体の流入口及び流出口は前記筒体の一方の端部に設けられ、石英ガラス製の第２の管体が前記筒体内の上記一方の端部から他の端部に向かって挿入固定され、上記流入口を形成し前記ハロゲンランプは前記管体の上記流体の流入口、流出口と同じ側の管口のみに電極リードを有し、前記第１の管体の一方の管口は前記筒体の長手方向に対向する端面板によって閉塞されていることを要旨とする。

【０００８】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記第２の管体の上記開口近傍の上記筒体内の先端部が曲げられていることを要旨とする。

【００１２】
【発明の実施の形態】
図１及び図２に、本発明の好ましい実施の形態を示す。
同図の流体加熱装置は、流体の流入口４３及び流出口４４を有する石英ガラス製の筒体Ａ1、該筒体Ａ1の内部に挿入されている２本の石英ガラス製の第１の管体４６，４７、該各筒体内に挿入されているハロゲンランプ４８，４９を備えている。上記流体の流入口４３及び流出口４４は筒体Ａ1の一方の端部に設けられ、流入口４３を一端に、他端に開口５０を形成した石英ガラス製の第２の管体４５が筒体Ａ1内の上記一方の端部から他の端部４１に向かって所定位置まで延長されている。またハロゲンランプ４８，４９は筒体Ａ1の流体の流入口４３、流出口４４と同じ側の管口のみに電極リード４８ａ，４８ｂ，４９ａ，４９ｂを有している。
【００１３】
【実施例】
以下本発明の実施例を説明する。
図１，図２は本発明の流体加熱装置の一実施例である。
同図において、Ａ1は石英ガラス製の筒体、４０は筒体を形成している円筒形筒部、４１，４２は筒部の長手方向の両端を閉成している端面板部である。筒体Ａ1には端面板部４２側で、流体流入口４３、流体流出口４４がそれぞれ設けられている。そして流体流入口４３は石英ガラス製の第２の管体４５の一端に形成され、第２の管体４５が筒部４０内で所定位置まで延長されている。
【００１４】
筒部４０内のほぼ中央には石英ガラス製の第１の管体４６，４７が並設され、各管体内にハロゲンランプ４８，４９が挿入されている。４８ａ，４８ｂ，４９ａ，４９ｂはハロゲンランプの前記流体流入口、流出口側のみに設けた電極リードである。第１の管体４６，４７の一方の管口は閉塞され、端面板部４１において支持されている。なお、第２の管体４５の筒体内の先端部４５ａを図３に示すように曲げて構成してもよい。かかる構成とすれば、流入口４３からの流体の旋回流が筒体内で発生するので、液溜りを少なくすることができる。なお、管体４６の閉塞された管口端部４６ａが筒体Ａ1の端面板部４１で閉塞されていても、端面板部４１より引っ込んでいて前記筒体内部にあってもよい。
【００１５】
図４は、筒体Ａ1（図１に示したもの）を外装箱体２１に組み込んだ状態を示している。その場合に断熱材、過昇温センサー、漏液センサー等を取り付け、外装箱体内に固定する。また外装箱体の板面には、流体流入口４３、流出口４４、管体４７を夫々外部に露出させるための貫通穴を設けるが、これに対向する側の板面には、貫通穴の加工は不要である。
【００１６】
図５は外装箱体２１を半導体製造設備に組み込んだ状態を示したもので、２２はポンプ、２３はフィルター、２４は処理槽、２５，２６は接続チューブ（またはパイプ）である。
【００１７】
【発明の効果】
上述した本発明の流体加熱装置の使用によれば、下記する効果が得られる。
１）流体の流入口及び流出口が筒体の一端側に集められているので、チューブの接続作業を装置の片側で行なえばよく、作業性が良い。
２）ハロゲンランプの電極リードの接続作業も、流体の流入口・流出口へのチューブ接続側で行なうことができる。
３）筒体の一端側でのチューブ接続作業及び電極リード接続作業のためのスペースは不要となるので、省スペース化が図れる。また、図５に示すように、流体加熱装置を例えば半導体製造設備に組み込む場合、流体の流入口・流出口と反対側でのチューブ接続作業、ハロゲンランプ接続作業を行なうためのスペースを確保する必要がなく、作業スペースは片側だけでよいから、その点で前記流体加熱装置は設備への組み込みに有用である。
４）例えば、流体加熱装置を、図４に示すように、外装箱体に組み込む場合、筒体の流体の流入口・流出口の反対側には、流体流入口・流出口、ハロゲンランプの電極リード等がないので、流体の流入口及び流出口の反対側は貫通穴のない平板状の外装材で閉密することができる。
５）加えて前記流体加熱装置では、第２の管体を設けて筒体内での流体の流路面積を小さくし、流体の流速を速くする構成としているので、液溜りが従来品に比較し少なくなり、筒体や管体を形成している石英ガラスの侵食の発生が抑制される。
６）更に第１の石英ガラス製の筒体の一方の管口を閉塞しているのでハロゲンランプの挿入位置を正確に定めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の流体加熱装置の一実施例を示す断面図である。
【図２】上記実施例のＸ−Ｘ’線断面図である。
【図３】本発明の他の実施例の正面図である。
【図４】本発明の流体加熱装置を外装箱体に組み込んだ状態の斜視図である。
【図５】本発明の流体加熱装置を半導体製造設備に組み込んだ状態の平面図である。
【図６】従来の流体加熱装置の断面図である。
【図７】上記流体加熱装置の正面図である。
【符号の説明】
Ａ1  筒体
４０  円筒形筒部
４１  端面板部
４２  端面板部
４３  流体流入口
４４  流体流出口
４５  第２の管体
４６  第１の管体
４７  第１の管体
４８  ハロゲンランプ
４９  ハロゲンランプ
４８ａ  電極リード
４８ｂ  電極リード
４９ａ  電極リード
４９ｂ  電極リード
【図１】
0003786509.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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