(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内壁と外壁とを有する二重壁で構成されたサンプリング室を含むボックス本体、
前記サンプリング室内へ薬液を供給する給液口、
前記二重壁の上部を構成する外壁に形成されて前記二重壁内に外気を供給する第１給気口、
前記内壁に形成されて前記二重壁内の前記外気を前記サンプリング室内へ供給する第２給気口、
前記サンプリング室から前記外気を排出する排気口、および
前記二重壁内の前記外気の流路における前記第１給気口の下流側に前記第１給気口と近接して配置されたフィルタを備える、サンプリングボックス。
【請求項２】
前記フィルタは、ＨＥＰＡフィルタを含む、請求項１記載のサンプリングボックス。
【請求項３】
前記フィルタは、ＵＬＰＡフィルタを含む、請求項１または２記載のサンプリングボックス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は、電子部品等の製造工程で用いられる高純度液（アンモニア水，硫酸等）を試料としてサンプリングする、サンプリングボックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品等の製造工程で用いられる薬液には高純度が要求されるため、電子部品等の製造現場では、実際に使用される薬液をサンプリングして分析することにより、薬液の品質を管理している。そして、従来では、図４に示すようなサンプリングボックス１を用いて薬液をサンプリングしていた。
【０００３】
従来のサンプリングボックス１は、内部にサンプリング室２が設けられたボックス本体３を含み、ボックス本体３には、給液口４，給気口５および排気口６が形成され、給気口５には、フィルタ７が設けられていた。
【０００４】
そして、サンプリングの際には、給気口５からフィルタ７を通してサンプリング室２内に外気を取り込み、この外気を排気口６から排出しながら、給液口４からサンプリング室２内に取り込まれた薬液を採取容器８内に注入するようにしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来のサンプリングボックス１では、サンプリング室２が一重壁で構成されており、フィルタ７がサンプリング室２の内部またはその近傍に配置されていたので、サンプリング室２内で飛散したり、ミスト化した薬液がフィルタ７に付着して、フィルタ７が腐食し、その除塵性能が低下するおそれがあった。
【０００６】
そして、フィルタ７の除塵性能が低下すると、サンプリング室２内へ供給される外気の不純物濃度が高くなるため、不純物が薬液に混入するおそれが生じ、超高純度分析レベルｐｐｔを満足できなくなるという問題があった。
【０００７】
それゆえに、この発明の主たる目的は、薬液によるフィルタの腐食を防止できる、サンプリングボックスを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明は、内壁と外壁とを有する二重壁で構成されたサンプリング室を含むボックス本体、サンプリング室内へ薬液を供給する給液口、二重壁の上部を構成する外壁に形成されて二重壁内に外気を供給する第１給気口、内壁に形成されて二重壁内の外気をサンプリング室内へ供給する第２給気口、サンプリング室から外気を排出する排気口、および二重壁内の外気の流路における第１給気口の下流側に第１給気口と近接して配置されたフィルタを備える、サンプリングボックスである。
【０００９】
外気は、外壁に形成された第１給気口，二重壁の内部空間および第２給気口を経て、サンプリング室内へ供給されるので、第１給気口と近接して配置されたフィルタは、外気流路においてサンプリング室のかなり上流に位置することになる。したがって、サンプリング室内で飛散した薬液がフィルタに付着する心配はない。
【００１０】
【発明の効果】
この発明によれば、薬液によるフィルタの腐食を防止できる。したがって、薬液に本来含まれている不純物の濃度を高い精度で測定できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１〜図３を参照して、この発明の一実施例のサンプリングボックス１０は、電子部品等の製造工程で用いられる薬液（薬液１および薬液２）をサンプリングするためのものであり、サンプリング部１２および支持台１４を含む。
【００１２】
サンプリング部１２は、ポリ塩化ビニル等のような外気や薬液を汚染する心配のない材料により形成されるボックス本体１６を含み、ボックス本体１６の内部には、薬液をサンプリングするサンプリング室１８が設けられる。
【００１３】
サンプリング室１８の左右側面，背面および上面は、内壁２０ａと外壁２０ｂとを有する二重壁２０により構成され、サンプリング室１８の右側面を構成する内壁２０ａおよび外壁２０ｂには、それぞれ開閉扉２１ａおよび２１ｂが形成される。また、二重壁２０の上部を構成する上壁２０ｂには、第１給気口２２ａが形成され、サンプリング室１８の左側面および背面を構成する内壁２０ａには、第２給気口２２ｂおよび２２ｃが形成され、これにより、二重壁２０の内部には、第１給気口２２ａから第２給気口２２ｂおよび２２ｃを経てサンプリング室１８へ至る外気流路２４が形成される。
【００１４】
また、外気流路２４における第１給気口２２ａの直ぐ下流側には、フィルタ収容部２６が形成され、フィルタ収容部２６には、フィルタ２８が収容される。つまり、外気流路２４における第１給気口２２ａの下流側に第１給気口２２ａと近接してフィルタ２８が配置される。
【００１５】
フィルタ２８は、第１給気口２２ａから供給された外気中の不純物（微粒子）を除去するものであり、具体的には、ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）またはＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low Penetration Air Filter）等の高性能フィルタが用いられる。
【００１６】
なお、フィルタ２８としては、ＨＥＰＡフィルタまたはＵＬＰＡフィルタ等のいずれかが単独で用いられてもよいし、これらが併用されてもよい。また、一般的なガラス製のフィルタでは、フィルタに含有されたホウ素またはケイ素等が外気に混入するおそれがあるので、そのような心配のないフッ素樹脂製のフィルタを用いることが望ましい。
【００１７】
そして、サンプリング室１８の上面部における内壁２０ａと外壁２０ｂとの間には、２つの取り付け管２８ａおよび３０ａが設けられ、取り付け管２８ａの上端に位置する外壁２０ｂには、第１給液口２８が取り付けられ、取り付け管３０ａの上端に位置する外壁２０ｂには、第２給液口３０が取り付けられる。また、サンプリング室１８の上面部には、給水口３２および排気管３４が二重壁２０を貫通して取り付けられ、排気管３４の内部には、ダンパ３６が取り付けられる。なお、この実施例における第１給液口２８，第２給液口３０および給水口３２は、サンプリングボックス１０の外部に配管される給液管または給水管と、サンプリング室１８内に配管される導液管または導水管とを接続する継手として構成される。
【００１８】
さらに、外気流路２４の底部を構成する外壁２０ｂには、ドレン排出口３８が形成され、サンプリング室１８の底部には、ドレンパン４０が配置され、ドレンパン４０の底部には、排液口４０ａが形成される。また、サンプリング室１８の前部には、２つの操作口４２を有する透明板（ガラス板等）４４が設けられ、各操作口４２には、図示しない手袋状の部材が装着される。
【００１９】
支持台１４は、サンプリング部１２を支持するものであり、ステンレス等により形成される。支持台１４の前部には、開閉扉４６が設けられ、支持台１４の内部には、排液口４０ａに接続された排液管４０ｂおよび開閉弁４０ｃ等が収容され、開閉弁４０ｃの下方には、廃液容器４８が配置される。さらに、支持台１４の底部には、キャスター５０が取り付けられる。
【００２０】
サンプリングボックス１０を用いて薬液をサンプリングする際には、第１給液口２８および第２給液口３０に給液管（図示せず）が接続され、給水口３２に給水管（図示せず）が接続される。また、第１給気口２２ａに給気ダクト（図示せず）が接続され、排気管３４の排気口３４ａに排気ダクト（図示せず）が接続される。
【００２１】
そして、排気ダクトの排気ファン（図示せず）および給気ダクトの給気ファン（図示せず）が駆動されることにより、給気ダクト内の外気が第１給気口２２ａからサンプリングボックス１０内に取り込まれ、この外気がフィルタ２８に通されることにより、外気中の不純物が除去される。そして、除塵されたクリーンな外気が、二重壁２０内の外気流路２４を通って、第２給気口２２ｂおよび２２ｃからサンプリング室１８内に取り込まれ、排気管３４の排気口３４ａから排出される。
【００２２】
一方、開閉扉２１ａおよび２１ｂからサンプリング室１８内に採取容器５２（図３）が入れられ、第１給液口２８または第２給液口３０から延びる導液管５４（図３）から採取容器５２に薬液が注入される。
【００２３】
サンプリング時のサンプリング室１８内は、不純物の混入していないクリーンな外気で満たされているので、薬液が外気中の不純物により汚染されるといった心配はない。また、サンプリング時には、薬液が飛散するおそれがあるが、フィルタ２８は、外気流路２４においてサンプリング室１８のはるか上流に配置されているので、サンプリング室１８内で飛散した薬液がフィルタ２８に付着する心配はない。
【００２４】
薬液のサンプリングが終了すると、採取容器５２に蓋をして、これを開閉扉２１ａおよび２１ｂから取り出す。そして、給水口３２から延びる導水管（図示せず）からサンプリング室１８内に洗浄水を散水して、サンプリング室１８の内面に付着した薬液を洗い流し、この洗浄水を廃液容器４８に回収する。
【００２５】
この実施例によれば、二重壁２０内の外気流路２４によってサンプリング室１８とフィルタ２８とが大きく隔てられているので、サンプリング室１８内で飛散した薬液によりフィルタ２８が腐食する心配はない。したがって、フィルタ２８の除塵性能が低下する心配がなく、常に超高純度分析レベルｐｐｔを満足できる。つまり、薬液に本来含まれている不純物の濃度を高い精度で測定できる。
【００２６】
なお、フィルタ２８は、第１給気口２２ａの下流側にこれと近接して配置されていればよく、フィルタ２８および第１給気口２２ａの形成位置は、実施例に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１実施例の正面図である。
【図３】図１実施例の左側面図である。
【図４】従来技術を示す図解図である。
【符号の説明】
１０…  サンプリングボックス
１２…  サンプリング部
１４…  支持台
１６…  ボックス本体
１８…  サンプリング室
２０…  二重壁
２４…  外気流路
２８…  フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
0003850704.tif 000004
【図４】
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