(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板に電極を形成する工程と、
前記半導体基板上にネガタイプの感光性樹脂を塗布する工程と、
マスクを用いて前記感光性樹脂を、前記感光性樹脂内で横方向に拡散する条件で露光する工程と、
露光された前記感光性樹脂を現像する工程と、
現像によって開孔された部分にめっきを施して複数のバンプ電極を形成する工程と、
前記感光性樹脂を除去する工程と、
少なくとも電極端子上に導電粒子を含有する異方性導電膜が形成されている基板と、前記半導体装置とを圧着して、前記電極端子と前記バンプ電極とを前記異方性導電膜を介して電気的に接続する工程と、を有し、
前記複数のバンプ電極は、前記複数のバンプ電極のうち、隣り合う第１のバンプ電極と第２のバンプ電極とが短絡しないように、前記第１のバンプ電極の表面側と前記第２のバンプ電極の表面側との距離が、前記第１のバンプ電極の根元側と前記第２のバンプ電極の根元側との距離よりも小さく形成されることを特徴とする半導体装置の実装構造の製造方法。
【請求項２】
第１の基板と第２の基板との間に液晶が封入された液晶パネルを有する液晶装置であって、少なくとも前記第１の基板または前記第２の基板は請求項１に規定する半導体装置の実装構造の製造方法により製造された実装構造を有していることを特徴とする液晶装置。
【請求項３】
請求項２に規定する液晶装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置（以下、ＩＣという。）、その実装構造、この実装構造を用いた液晶装置、およびこの液晶装置を用いた電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
フェイスダウンボンディングタイプのＩＣを異方性導電膜（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  ｃｏｎｄｕｃｔｔｉｖｅ  ｆｉｌｍ／ＡＣＦ）を用いてＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）実装、あるいはＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）実装する方法は、ファインピッチへの対応が可能であるとともに、多接点を一括して電気的に接続できるので、液晶パネルに構成されている多数のストライプ状電極などの各電極端子やフレキシブル配線基板の各電極端子に対して駆動用ＩＣを実装するのに適している。
【０００３】
この異方性導電膜を用いてＩＣを実装する際には、図８（Ａ）に示すように、ガラス基板あるいはフレキシブル配線基板などといった基板のＩＣ実装領域９に異方性導電膜６を残した後、この異方性導電膜６の表面上に駆動用ＩＣ１３′を配置する。次に、図８（Ｂ）に示すように、圧着ヘッド５を用いて駆動用ＩＣ１３′を基板側に熱圧着する。その結果、異方性導電膜６の樹脂分が溶融し、流動する。従って、図８（Ｃ）に示すように、異方性導電膜６は溶融、流動、そして硬化反応後、異方性導電膜６の樹脂分が固化するので、駆動用ＩＣ１３′はＩＣ実装領域９に実装されるとともに、駆動用ＩＣ１３′のバンプ電極１３０′は、異方性導電膜６に含まれている導電粒子６０を介して基板側の電極端子１６に電気的接続する。ここで、バンプ電極１３０′と電極端子１６との間に介在する導電粒子６０の数が電気的抵抗や信頼性に大きな影響を及ぼす。
【０００４】
このような実装構造において、従来は、駆動用ＩＣ１３′のバンプ電極１３０′は１００μｍピッチ位で形成され、バンプ電極１３０′の形状は、太さが一定のストレート形状、あるいは電極端子１６と対向する表面が湾曲した形状になっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、液晶装置（液晶表示装置）では画素数の増大に伴い、バンプ電極１３０′は高密度に配置される傾向にあるため、従来のバンプ電極１３０′では対応できないという問題点がある。すなわち、駆動用ＩＣ１３′において、バンプ電極１３０′のピッチが４０μｍ位になるまで、高密度化すると、図８（Ｂ）に示すように、異方性導電膜６が溶融したときに、隣接し合うバンプ電極１３０′の間に導電粒子６０が高密度に集まり、集まった導電粒子６０によって、バンプ電極１３０′同士が短絡するという問題点がある。かといって、バンプ電極１０３′を細くすると、バンプ電極１３０′と電極端子１６との間に介在する導電粒子６０の数が減少して、電気的抵抗や信頼性が損なわれてしまう。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、バンプ電極の構造を改良することにより、バンプ電極を狭いピッチで形成した場合でも、電気的特性や信頼性を低下させることなく、バンプ電極と電極端子とを異方性導電膜を介して電気的接続することのできるＩＣ、その実装構造、液晶装置および電子機器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では、導電粒子を含む異方性導電膜を介しての圧着により基板側の電極端子に電気的接続されるフェイスダウンボンディング用の複数のバンプ電極を備える半導体装置において、前記バンプ電極は、前記基板の電極端子に対向する当該バンプ電極の表面側に比較して根元部分の方が細くなっていることを特徴とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板に電極を形成する工程と、前記半導体基板上にネガタイプの感光性樹脂を塗布する工程と、マスクを用いて前記感光性樹脂を、前記感光性樹脂内で横方向に拡散する条件で露光する工程と、露光された前記感光性樹脂を現像する工程と、現像によって開孔された部分にめっきを施して複数のバンプ電極を形成する工程と、前記感光性樹脂を除去する工程と、を有し、前記複数のバンプ電極は、前記複数のバンプ電極のうち、隣り合う第１のバンプ電極と第２のバンプ電極とが短絡しないように、前記第１のバンプ電極の表面側と前記第２のバンプ電極の表面側との距離が、前記第１のバンプ電極の根元側と前記第２のバンプ電極の根元側との距離よりも小さく形成されることを特徴とする。
また、本発明に係る半導体装置の実装構造の製造方法は、少なくとも電極端子上に導電粒子を含有する異方性導電膜が形成されている基板と、上記の半導体装置の製造方法により製造された半導体装置とを圧着して、前記電極端子と前記バンプ電極とを前記異方性導電膜を介して電気的に接続する工程と、を有することを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明では、導電粒子を含む異方性導電膜を介しての圧着により基板側の電極端子に電気的接続されるフェイスダウンボンディング用の複数のバンプ電極を備える半導体装置において、前記バンプ電極は、前記基板の電極端子に対向する当該バンプ電極の表面側に比較して根元部分の方が細くなっていることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る半導体装置の実装構造は各種の半導体装置に適用できるが、液晶装置において、基板間に液晶が封入された液晶パネルを構成する基板、および該液晶パネルに回路接続された配線基板のうちのいずれかの基板に本発明に係る半導体装置を実装すると、効果的である。すなわち、このような液晶装置を、たとえば携帯電話などの電子機器の表示装置として用いた際に、液晶装置において表示品位を向上するには、画素数を増やす必要があり、その結果、液晶パネルに構成される電極数が増大し、電極端子が高密度に配置されることになる。しかるに、本発明に係る半導体装置の実装構造を用いれば、電極端子およびバンプ電極が高密度に配置されても、バンプ電極同士が導電粒子によって短絡することがなく、かつ、バンプ電極と電極端子との間に多数の導電粒子を確保してバンプ電極と電極端子とを良好に電気的接続することができる。
また、本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板に電極を形成する工程と、前記半導体基板上に感光性樹脂を塗布する工程と、マスクを用いて前記感光性樹脂を露光する工程と、露光された前記感光性樹脂を現像する工程と、現像によって開孔された部分にめっきを施す工程と、前記感光性樹脂を除去する工程と、を有する半導体装置の製造方法であって、前記感光性樹脂を露光する工程で、照射された光が前記感光性樹脂内で横方向に拡散するように前記光を照射することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
添付図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【００１１】
（全体構成）
図１は、パッシブマトリクスタイプの液晶装置の外観を示す斜視図であり、図２は、その分解斜視図である。これらいずれの図面でも、液晶装置において画素を形成するためのストライプ電極については、その詳細な図示を省略してその一部のみを模式的に示してある。
【００１２】
図１および図２において、液晶装置１０は、たとえば透明なガラスによって形成された第１の透明基板１と、同じく透明なガラスによって形成された第２の透明基板２とを有している。これらの基板の一方にはシール剤３が印刷等によって形成され、このシール剤３を挟んで第１の透明基板１と第２の透明基板２とが接着固定されている。第１の透明基板１と第２の透明基板２との間隙（セルギャップ）のうち、シール剤３で区画形成された液晶封入領域４０内には液晶４１が封入されている。第１の透明基板１の外側表面には偏光板４ａが粘着剤などによって貼られ、第２の透明基板２の外側表面にも偏光板（図示せず。）が粘着剤などで貼られている。
【００１３】
第２の透明基板２は第１の透明基板１よりも大きいので、第２の透明基板２に第１の透明基板１を重ねた状態で、第２の透明基板２はその一部が第１の透明基板１の下端縁から張り出す。
【００１４】
この張り出し部分にはＩＣ実装領域９が形成されており、ここに半導体装置である駆動用ＩＣ１３がフェイスダウンボンディングによりＣＯＧ実装される。この部分での実装構造は詳しくは後述するが、異方性導電膜を第２の透明基板２と駆動用ＩＣ１３との間に挟んだ上で、それらを加熱圧着することによって行われる。従って、この部分では、異方性導電膜を介して第２の透明基板２のＩＣ実装領域９の電極端子に駆動用ＩＣ１３のバンプ電極が電気的接続している状態にある。
【００１５】
また、第２の透明基板２において、ＩＣ実装領域９より下端側には入力端子１２が形成されており、これらの入力端子１２にはフレキシブルプリント配線基板（図示せず。）がヒートシールなどの方法で接続される。
【００１６】
さらに、図１および図２では詳細な図示を省略してあるが、第１の透明基板１には、液晶封入領域４０の内側で横方向に延びる複数のストライプ状電極、および液晶封入領域４０の外側でストライプ状電極を各端子に配線接続するための配線パターンとからなる電極パターン（薄膜パターン）が形成されている。この電極パターンは、透明なＩＴＯ膜（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）などで形成されている。また、第２の透明基板２の内側表面にも、液晶封入領域４０の内側で縦方向に延びる複数のストライプ状電極と、液晶封入領域４０の外側でストライプ状電極をＩＣ実装領域９になどに配線接続するための配線パターンとからなる電極パターン（薄膜パターン）が形成されている。この電極パターンも、透明なＩＴＯ膜などで形成されている。
【００１７】
このように構成した第１の透明基板１と第２の透明基板２とを所定箇所で電気的な接続を図りながら、図１に示すように貼り合わせてパネル（液晶パネル）を形成すると、第１の透明基板１のストライプ状電極と第２の透明基板２のストライプ状電極とは互いに交差し、各交差部分に画素が構成される。また、第１の透明基板１と第２の透明基板２との間隙において、液晶封入領域４０には液晶４１が封入される。従って、駆動用ＩＣ１３に駆動用電力および駆動信号を送ると、駆動用ＩＣ１３は、駆動信号に基づいて希望する適宜のストライプ状電極に電圧を印加して各画素における液晶４１の配向状態を制御するので、液晶装置１０に希望の像を表示する。
【００１８】
（駆動用ＩＣ１３の実装構造）
図３（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、駆動用ＩＣ１３の第２の透明基板２との実装面を示す平面図、およびそのＸ−Ｘ′線断面図である。図４（Ａ）〜（Ｃ）は、駆動用ＩＣ１３を基板上に実装する方法を示す工程図である。
【００１９】
図１および図２に示す液晶装置１０において、ＩＣ実装領域９には多数の配線パターンの端部が集まっており、その配線パターンの先端部分が電極端子になっている。従って、液晶装置１０において表示品位を向上しようとすると、画素数を増やすことになり、その結果、液晶パネルに構成されるストライプ状電極が増大し、その分、電極端子１６（図４を参照。）が高密度に配置されることになる。
【００２０】
従って、図３（Ａ）に示すように、駆動用ＩＣ１３では、第２の透明基板２との実装面１３ａに形成されているフェイスダウンボンディング用の複数のバンプ電極１３０も、液晶装置１０において画素数を増やすほど、高密度に配置されることになる。すなわち、バンプ電極１３０は、チップの辺１３ｂに沿って狭いピッチ、たとえば、４０μｍ位のピッチで形成されることになる。バンプ電極１３０の表面形状は、概ね１５μｍ角から２０μｍ角の四角形であるので、隣接するバンプ電極１３０同士は、その表面１３１で概ね２５μｍから２０μｍといった狭い隙間を隔てているだけである。
【００２１】
ここで、駆動用ＩＣ１３のバンプ電極１３０は、図３（Ｂ）に示すように、第２の透明基板２の電極端子１６に対向する表面１３１の側よりも根元部分１３２の方が細くなっている。このため、隣接するバンプ電極１３０同士は、その表面１３１で概ね２５μｍから２０μｍといった狭い隙間を隔てているが、根元部分１３２では表面１３１の側よりも広めの隙間を隔てている状態にある。
【００２２】
このように構成した駆動用ＩＣ１３の実装工程を説明しながら、本形態に係るＩＣ実装構造を説明する。
【００２３】
本形態に係る駆動用ＩＣ１３を第２の透明基板２のＩＣ実装領域９に実装する際には、まず、図４（Ａ）に示すように、第２の透明基板２のＩＣ実装領域９に異方性導電膜６を残した後、この異方性導電膜６の表面上に、バンプ電極１３０を下向きにして駆動用ＩＣ１３を配置する。この異方性導電膜６では、プラスチック製のボールの表面に金属膜が形成された導電粒子６０が熱硬化性の樹脂中に分散した状態にある。
【００２４】
次に、図４（Ｂ）に示すように、圧着ヘッド５を用いて駆動用ＩＣ１３を基板側に熱圧着する。その結果、異方性導電膜６の樹脂分が溶融する。
【００２５】
従って、図４（Ｃ）に示すように、異方性導電膜６は溶融、流動、そして硬化反応後、異方性導電膜６の樹脂分が固化するので、駆動用ＩＣ１３はＩＣ実装領域９に実装されるとともに、駆動用ＩＣ１３のバンプ電極１３０は、異方性導電膜６に含まれている導電粒子６０を介して基板側の電極端子１６に電気的接続する。
【００２６】
このようにして駆動用ＩＣ１３を実装した際に、異方性導電膜６は樹脂分が溶融して、図３（Ａ）に矢印Ａで示すように、樹脂分や導電粒子６０が駆動用ＩＣ１３と第２の透明基板２との間で、バンプ電極１３０の間を通って駆動用ＩＣ１３の内側領域から外周側に流出しようとする。ここで、本形態では、駆動用ＩＣ１３のバンプ電極１３０は、図３（Ｂ）および図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、根元部分１３２が細くなっているので、バンプ電極１３０を高密度に形成しても、隣接するバンプ電極１３０の間で根元部分１３２同士は広い隙間を隔てている。従って、異方性導電膜６の樹脂分や導電粒子６０がバンプ電極１３０の間を通り抜けようとした際に、根元部分１３２の間の広い隙間を通り抜けていく。このため、バンプ電極１３０の間に多数の導電粒子６０が溜まってしまうということがないので、導電粒子６０はバンプ電極１３０同士を短絡させることがない。それ故、駆動用ＩＣ１３のバンプ電極１３０を高密度に形成しても、高い信頼性を得ることができる。また、バンプ電極１３０は、第２の透明基板２の電極端子１６に対向する表面１３１側が太くなっているので、第２の透明基板２の電極端子１６とバンプ電極１３０とが対向する面積が広い。このため、バンプ電極１３０と電極端子１６の間には、多数の導電粒子６０が介在することになるので、バンプ電極１３０と電極端子１６とは、良好に電気的接続する。
【００２７】
（駆動用ＩＣ１３のバンプ電極１３０の製造方法）
このような実装構造に用いる駆動用ＩＣ１３の製造工程のうち、バンプ電極１３０を形成する方法を、図５を参照して説明する。図５（Ａ）〜（Ｅ）は、バンプ電極１３０を形成する方法を示す工程断面図である。
【００２８】
まず、図５（Ａ）に示すように、駆動用ＩＣ１３を構成する半導体基板１３５の表面に電極１３６を形成した後、図５（Ｂ）に示すように、感光性のレジスト１５０を塗布する。この感光性のレジスト１５０はネガタイプである。従って、露光マスク１５１を介して感光性のレジスト１５０を露光したとき、感光性のレジスト１５０のうち、露光マスク１５１の遮光部分１５２で覆われている領域のみが、図５(Ｃ)に示すように、エッチング工程（現像工程）で除去される。
【００２９】
このようにして所定パターンのレジスト１５０を形成する際に、図５（Ｂ）に示す露光工程では、照射された光が感光性のレジスト１５０内で横方向にも拡散するので、露光部分１５５と非露光部分１５６の境界は逆テーパ形状となる。従って、図５（Ｃ）に示すように、レジスト１５０の開孔部分１５７は、側面壁が逆テーパ形状を有することになる。
【００３０】
このようにして所定パターンのレジスト１５０を形成した後に、電極１３６の表面にめっきを施す。その結果、図５（Ｄ）に示すように、電極１３６の表面側では、レジスト１５０の開孔部分１５７を埋めるようにめっき１３５が施される。
【００３１】
従って、めっきを終えた後、レジスト１５０を除去すると、図５（Ｅ）に示すように、表面１３１の側よりも根元部分１３２の方が細いバンプ電極１３０を形成することができる。
【００３２】
（電子機器への搭載例）
図７は、本発明に係る電子機器の一実施形態である携帯電話機を示している。ここに示す携帯電話機３０は、アンテナ３１、スピーカ３２、液晶装置１０、キースイッチ３３、マイクロホン３４等といった各種構成要素を、筐体としての外装ケース３６に格納することによって構成される。また、外装ケース３６の内部には、上記の各構成要素の動作を制御するための制御回路を搭載した制御回路基板３７が設けられる。液晶装置１０は図１に示した液晶装置１０によって構成される。
【００３３】
この携帯電話機３０では、キースイッチ３３及びマイクロホン３４を通して入力される信号や、アンテナ３１によって受信した受信データ等が制御回路基板３７上の制御回路へ入力される。そしてその制御回路は、入力した各種データに基づいて液晶装置１０の表示面内に数字、文字、絵柄等といった像を表示し、さらに、アンテナ３１から送信データを送信する。また、図７の実施形態では、電子機器としての携帯電話機に本発明の液晶装置を用いる場合を例示したが、本発明の液晶装置はそれ以外の電子機器、例えば携帯情報端末、電子手帳、ビデオカメラのファインダー等に適用することもできる。
【００３４】
また図６（ａ）、（ｂ）は、本形態の液晶装置１０を搭載した携帯電話（電子機器）の要部を示す断面図である。
【００３５】
本形態の液晶装置１０を搭載した電子機器の一例として、図６に示す携帯電話１００では、液晶装置１０の第１の透明基板１の側には、アクリル樹脂製あるいはポリカーボネート製の透明な導光板１９が重ねて配置され、この導光板１９と第２の透明基板２との間からフレキシブル配線基板１２０が引き出され、携帯電話１００本体の回路基板であるプリント配線基板９０に電気的及び機械的に接続されている。導光板１９の側方（又は端部）に隣接して、導光板１９の端部（光入射部）に向かって光を出射するバックライト用発光素子５０が配置される。このようなバックライト用発光素子５０としてはＬＥＤなどが用いられ、プリント配線基板９０上に実装されている。本実施例ではバックライト用発光素子５０がプリント配線基板９０上に実装されているが、導光板１９への入射が可能な位置であればフレキシブル配線基板１２０上に実装されていても良く、またプリント配線基板９０とは別のサブ基板に実装されていてもよい。ここで、液晶装置１０は導光板１９に両面テープ等により固定されるとともにフレーム１１０で抑えられている。また、導光板１９は液晶装置１０を固定するとともにプリント配線基板９０と嵌合等の方法により一体的に保持し、同時に携帯電話１００のフレーム１１０にも固定されている。また、第２の透明基板２の側にはカバーガラス１１１が被せられる。
【００３６】
（その他の実施の形態）
なお、上記の形態では、液晶パネルを構成する第２の透明基板２に対して駆動用ＩＣ１３をＣＯＧ実装する例であったが、駆動用ＩＣ１３は、液晶パネルに対して回路接続するフレキシブル配線基板に対してＣＯＦ実装される場合もある。このような場合でも、図４（Ａ）〜（Ｃ）を参照して説明した実装工程において、第２の透明基板２に代えて、フレキシブル配線基板上に駆動用ＩＣ１３を異方性導電膜６を介して実装すればよい。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、ＩＣのバンプ電極は根元部分が細くなっているので、バンプ電極を高密度に形成しても、隣接するバンプ電極の間で根元部分同士が広い隙間を隔てている。従って、ＩＣを異方性導電膜を介して基板に実装する際に異方性導電膜が溶融してバンプ電極の間から流出しようとするときに、隣接し合うバンプ電極の根元同士の間に多数の導電粒子が溜まることがないので、導電粒子はバンプ電極同士を短絡させることがない。それ故、ＩＣのバンプ電極を高密度に形成しても、高い信頼性を得ることができる。また、バンプ電極は、基板の電極端子に対向する表面側が太くなっているので、基板の電極端子とバンプ電極とが対向する面積が広い。よって、バンプ電極と電極端子の間には、多数の導電粒子が介在することになるので、バンプ電極と電極端子とは、良好に電気的接続する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明を適用した液晶装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１に示す液晶装置の分解斜視図である。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、図１に示す駆動用ＩＣに形成したバンプ電極の配置を示す平面図、およびそのＸ−Ｘ′断面図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｃ）は、図３に示す駆動用ＩＣを液晶パネルを構成する第２の透明基板上に実装する工程を示す工程断面図である。
【図５】（Ａ）〜（Ｅ）は、図３に示す駆動用ＩＣのバンプ電極を形成する方法を示す工程断面図である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、本発明を適用した液晶装置を搭載した携帯電話（電子機器）の要部を示す断面図である。
【図７】本発明を適用した液晶装置を搭載した携帯電話（電子機器）を示す説明図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は、基板に対する従来の駆動用ＩＣの実装工程を示す工程断面図である。
【符号の説明】
１    第１の透明基板
２    第２の透明基板
３    シール剤
６    異方性導電膜
９    ＩＣ実装領域
１０  液晶装置
１３  駆動用ＩＣ
１６  電極端子
１９  導光板
４０  液晶封入領域
４１  液晶
５０  バックライト用発光素子
６０  異方性導電膜の導電粒子
９０  プリント配線基板
１００  携帯電話（電子機器）
１１０  フレーム
１１１  カバーガラス
１２０  フレキシブル配線基板
１３０  バンプ電極
１３１  バンプ電極の表面
１３２  バンプ電極の根元部分
【図１】
0003826605.tif 000002
【図２】
0003826605.tif 000003
【図３】
0003826605.tif 000004
【図４】
0003826605.tif 000005
【図５】
0003826605.tif 000006
【図６】
0003826605.tif 000007
【図７】
0003826605.tif 000008
【図８】
0003826605.tif 000009