(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺の振動体の一端に連結した励振側の振動子を発振器により励振させて振動体を駆動させる振動子駆動用電源装置であって、
前記長尺の振動体の受波側の振動状態を検出する振動状態検出手段の信号をフィードバックして前記発振器を制御する制御手段を備えた振動子駆動用電源装置。
【請求項２】
前記長尺の振動体は振動による超音波の放射圧を用いて物体を浮揚させるように駆動される請求項１に記載の振動子駆動用電源装置。
【請求項３】
前記制御手段は前記長尺の振動体に進行波を発生させるように前記振動子を励振させる請求項２に記載の振動子駆動用電源装置。
【請求項４】
前記振動状態検出手段は、前記振動体の固定部において、前記振動体と反対側に設けられた検出部を備えている請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の振動子駆動用電源装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は長尺の振動体を振動させる振動子を駆動する振動子駆動用電源装置に係り、詳しくは振動体の振動による超音波の放射圧を用いて物体を浮揚させる物体浮揚装置に好適な振動子駆動用電源装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
長尺の振動体の一端に励振側（加振側）の振動子を設けるとともに、他端に受波側の振動子を設け、該振動体に進行波を発生させてその放射圧により振動体の表面上で物体を浮揚させた状態で搬送する物体浮揚搬送装置が、例えば特開平７−１３７８２４号公報、特開平９−２０２４２５号公報等に開示されている。この装置は長尺の平板状の振動体を使用し、該振動体の一端に励振側の振動子を設けるとともに、他端に受波側の振動子を設ける。そして、励振側の振動子を電源に接続して励振させ、振動体に進行波を発生させてその放射圧により振動体の表面上で物体を浮揚させた状態で搬送する。振動体に進行波を発生させるため、受波側の振動子には、振動子の振動エネルギーを電気エネルギーに変換し、抵抗で熱として消費する負荷回路が設けられている。特開平９−２０２４２５号公報には、幅広の物体を搬送するため、平行に配置された複数の振動体に進行波を発生させて、平板状の物体を搬送する構成が開示されている。
【０００３】
物体浮揚搬送装置では、励振側の振動子として圧電素子（ピエゾ素子）を使用したランジュバン形振動子が使用されている。圧電素子を使用した振動子では、共振周波数で振動子を励振させることで、振動体を必要な強さ（振幅）で振動させる。
【０００４】
前記従来の物体浮揚搬送装置では、励振側の振動子を振動系の共振周波数で励振させることは記載されているが、発振器の制御方法については特に述べられていない。
【０００５】
従来、圧電振動子を安定して駆動させるための電源の方式はいくつかあり、例えばブリッジ帰還型発振方式や振動帰還発振方式が知られている（超音波便覧）。ブリッジ帰還型発振方式では、電気歪振動子（圧電振動子）の端子電圧をＶ、端子電流をＩ、制動アドミタンスをＹｄ、動アドミタンスをＹｍとすると、動アドミタンスに流れる電流ＹｍＶが振動速度に比例するということを利用している。具体的には、電力増幅器と振動子との間にブリッジ回路を挿入して、振動速度に比例する電圧を取り出し、帰還発振させる方法がある。図５に示すように、電気歪振動子４０を一辺としたブリッジ回路を構成し、制動アドミッタンスＹｄについて平衡をとり、電気歪振動子４０の制動時にブリッジ出力電圧がゼロになるようにすれば、振動時には振動速度に比例するブリッジ出力を得ることができる。
【０００６】
また、振動帰還発振方式では、一般的に駆動させる振動子、即ち励振側の振動子の振動を帰還させる方法である。具体的には、圧電振動子の電極を分割して、電極の一部を振動速度に比例した出力が取り出せるピックアップとして使用し、その出力電圧を帰還して発振させる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ブリッジ帰還型発振方式の場合、ブリッジ部の回路定数合わせに手間がかかり、負荷が変わる度に調整する必要があるという問題があった。
【０００８】
一方、振動帰還発振方式では、ピックアップを圧電振動子に機械的に接続するため、その信頼性や取付スペースの問題がある。
また、長尺板のように振動体の励振側と受波側とが離れている場合、振動体が励振側で良好に振動されていても受波側では振動が良好に行われない場合がある。そして、前記従来の方式では、両者ともに励振側振動子の振動に相当する成分をフィードバックしているので、フィードバックが行われても振動体全体が均一に振動しない場合が生じる可能性がある。
【０００９】
また、長尺の振動体は共振周波数の固有値が多数存在するため、励振側だけを見ると、所望のモードでない状態で励振される場合がある。特に、振動体に定在波を生じさせる場合は共振点で励振させるのが良いが、進行波を発生させる場合は、共振点ではない場合が多く、その近傍でかつ受波側と所定の位相差で励振させるのが良いため、励振側だけの信号で電気的なインピーダンスを見ても、進行波に適した周波数が分からない。
【００１０】
本発明は前記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その第１の目的は長尺の振動体を励振側の振動子で励振させる際に、簡単な構成で振動体全体を効率よく安定してほぼ均一に振動させることができる振動子駆動用電源装置を提供することにある。第２の目的は、長尺の振動体に進行波を効率よく発生させるように励振側の振動子を最適周波数で駆動できる振動子駆動用電源装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記第１の目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、長尺の振動体の一端に連結した励振側の振動子を発振器により励振させて振動体を駆動させる振動子駆動用電源である。そして、前記長尺の振動体の受波側の振動状態を検出する振動状態検出手段の信号をフィードバックして前記発振器を制御する制御手段を備えた。
【００１２】
この発明では、長尺の振動体の受波側の振動状態が振動状態検出手段により検出され、その信号が発振器を制御する制御手段にフィードバックされる。従って、長尺の振動体を安定してほぼ均一に振動させることが可能になる。
【００１３】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記長尺の振動体は振動による超音波の放射圧を用いて物体を浮揚させる物体浮揚装置に装備された振動体である。この発明では、長尺の振動体は振動による超音波の放射圧で物体を浮揚させる際に、振動体が安定して振動されるため、物体を安定して浮揚させることができる。
【００１４】
第２の目的を達成するため、請求項３に記載の発明では、請求項２に記載の発明において、前記制御手段は前記長尺の振動体に進行波を発生させるように前記振動子を励振させる。この発明では、物体を浮揚させた状態で振動体上を搬送するのに必要な進行波を発生させる際、励振側と受波側との振動の位相差が最適となる状態で振動子を最適周波数で駆動することが可能になる。
【００１５】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記振動状態検出手段は、前記振動体の固定部において、前記振動体と反対側に設けられた検出部を備えている。この発明では振動状態検出手段の構成及び取付が簡単になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を物体浮揚装置としての物体浮揚搬送装置に具体化した一実施の形態を図１〜図３に従って説明する。図１は物体浮揚搬送装置の概略斜視図、図３は、物体浮揚搬送装置の模式側面図である。
【００１７】
図１に示すように、物体浮揚搬送装置１１は長尺の振動体としての振動板１２を備えている。振動板１２は矩形平板状に形成されるとともに、幅が搬送すべき物体１３より広く形成されている。振動板１２の一端側（図１の左端側）には励振側の振動子１４が、他端側には受波側の振動子１５が、それぞれホーン１６の先端において図示しないネジにより締結されている。ホーン１６は偏平なほぼ直方体状に形成され、振動板１２に対してその長手方向両端部において長手方向と直交する状態で取付けられている。
【００１８】
各ホーン１６は振動板１２が締結される面の反対側の面において各振動子１４，１５に固定されている。即ち、ホーン１６は振動子１４の一部を構成している。ホーン１６の先端面は振動子１４，１５の軸方向と直交する平面に形成され、ホーン１６及び振動子１４，１５の中心軸が鉛直方向に延びる状態で配置されている。
【００１９】
振動子１４，１５には所謂ランジュバン形振動子が使用され、一対のリング状のピエゾ素子１７ａ，１７ｂを備えている。両ピエゾ素子１７ａ，１７ｂ間にリング状の電極板１８が配置され、ピエゾ素子１７ａ，１７ｂの電極板１８と当接する側と反対側の面に当接する金属ブロック１９ａ，１９ｂを、図示しないボルトによって締め付け固定することにより振動子１４，１５が構成されている。ボルトは金属ブロック１９ａに形成された図示しないねじ穴に、金属ブロック１９ｂ側から螺合されている。両金属ブロック１９ａ，１９ｂはボルトを介して互いに導通された状態となっている。図３に示すように、金属ブロック１９ａの上端にはフランジ２０が形成され、金属ブロック１９ａはベースプレート２１に形成された孔（図示せず）に嵌合された状態で図示しないボルトによりベースプレート２１に固定されている。
【００２０】
振動板１２の励振側に締結されたホーン１６を励振させる振動子１４は発振器２２に接続されている。電極板１８は配線２３ａを介して発振器２２と接続され、発振器２２の接地端子が配線２３ｂを介して金属ブロック１９ｂに接続されている。ホーン１６、振動子１４及び発振器２２により振動板１２を励振させる励振手段が構成されている。
【００２１】
図３に示すように、振動板１２の受波側に締結された振動子１５のエネルギー変換用素子としてのピエゾ素子１７ａ，１７ｂは、抵抗Ｒ及びコイルＬからなるエネルギー変換手段としての負荷回路２４に、電極板１８及び金属ブロック１９ｂを介してそれぞれ接続されている。振動子１５にはピエゾ素子１７ａ，１７ｂに発生する電圧を検出する電圧センサ２５が装備されている。電圧センサ２５は受波側の振動子１５の振動状態を検出する振動状態検出手段を構成する。
【００２２】
発振器２２は制御手段としての制御装置２６からの制御信号により駆動される。制御装置２６はＣＰＵ（図示せず）を備え、電圧センサ２５がＡ／Ｄ変換器、インタフェース（いずれも図示せず）を介して、ＣＰＵに接続されている。制御装置２６は電圧センサ２５の検出信号に基づいて、ピエゾ素子１７ａ，１７ｂの出力電圧が所定の値以上になるように発振器２２の出力を制御する。この実施の形態では、主に周波数を制御する。
【００２３】
制御装置２６は進行波を効率良く発生させるように振動子１４を振動させる条件で発振器２２を制御する。具体的には、励振側の振動子１４に供給される電圧Ｖ１の位相と、受波側の振動子１５から出力される電圧Ｖ２の位相との差（位相差）が所定の値又は範囲において、出力電圧Ｖ２が所定以上の値となるように、発振器２２の出力周波数を制御する。
【００２４】
図２は振動子駆動用電源装置の構成を示す概略図である。電源装置２７は、発振器２２を構成する主回路２８と、制御装置２６とを備えている。主回路２８は移相制御回路（図示せず）を備え、制御装置２６からの制御信号により駆動される。制御装置２６には前記電圧センサ２５の出力が入力されるようになっている。制御装置２６はＣＰＵ（図示せず）を備え、電圧センサ２５の出力信号に基づいて、振動板１２の受波側の振動子１５の振動状態を判断する。そして、励振側と受波側の電圧の位相差が所定の関係でかつ受波側の電圧が最大あるいは予め設定された所定以上の値となるように制御する。
【００２５】
制御装置２６は、振動板１２に進行波を効率よく発生させる場合の、励振側の振動子１４に供給する電圧Ｖ１と、受波側の振動子１５から発生する電圧Ｖ２との位相差と、進行波の最適周波数との関係を示すマップ又は関係式が記憶されたメモリ（図示せず）を備えている。
【００２６】
次に前記のように構成された装置の作用を説明する。
制御装置２６からの制御信号により発振器２２が駆動されて、振動子１４が所定の共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ前後）の近傍の周波数で励振される。振動子１４が励振されるとホーン１６が縦振動され、ホーン１６を介して振動板１２が励振されて撓み振動を行う。振動板１２から放射される音波の放射圧によって、物体１３は振動板１２の表面から浮揚する。浮揚距離は数１０〜数１００μｍである。
【００２７】
振動板１２の振動は受波側の振動子１５に伝達され、振動子１５を構成するピエゾ素子１７ａ，１７ｂにより機械エネルギーである振動のエネルギーが電気エネルギーに変換される。この電気エネルギーが負荷回路２４の抵抗Ｒでジュール熱に変換されて放散される。そのため、振動板１２に生じる振動の波が励振側から受波側に向かって一方向へ進む進行波（この実施の形態では振動子１４側から振動子１５側へ進む進行波）となり、物体１３は振動板１２の励振側から受波側へ浮揚状態で搬送される。
【００２８】
制御装置２６は図示しない物体検知センサの検出信号により、物体１３が停止位置近傍に達したことを確認すると、発振器２２の出力を振動板１２に定在波を発生させる状態に変更する。そして、物体１３が浮揚状態で減速されて停止される。
【００２９】
制御装置２６は振動板１２に振動子１４側から振動子１５側へ向かう進行波が発生するように発振器２２の出力を制御する。制御装置２６は励振側の振動子１４へ入力される電圧Ｖ１と、受波側の振動子１５から出力される電圧Ｖ２との位相差が予め設定された進行波が発生し易い位相差（例えば９０°）となり、かつ受波側の振動子１５の出力電圧が所定の値以上となるように発振器２２の出力を制御する。受波側の振動子１５の出力電圧及び位相は電圧センサ２５の出力信号により検出される。
【００３０】
圧電素子を使用した振動子１４では、振動板１２に定在波を発生させる状態で効率よく振動させるには、共振周波数で振動子１４を励振させる必要がある。これに対して、振動板１２に進行波を効率良く発生させる状態で振動させるには、共振周波数ではなく、共振周波数から若干ずれた周波数で振動子１４を励振させるのが好ましい。そして、制御装置２６は基準状態で設定した進行波を効率良く発生させるための、励振側及び受波側の振動子１４，１５の電圧の位相差及び振動子１４の周波数で振動子１４を励振させるように発振器２２を制御する。物体浮揚搬送装置１１の環境が基準状態から変化すると、基準状態では適正だった発振器２２からの出力電圧の周波数及び位相が適正状態からずれる場合がある。なお、基準状態とは物体浮揚搬送装置１１を製造した段階で予測した使用環境での使用状態を意味する。
【００３１】
制御装置２６は、電圧センサ２５からの出力を入力することにより受波側の振動子１５の振動状態をつねに検出しているため、その出力電圧Ｖ２の位相及び大きさから振動状態を正確に把握できる。そして、振動子１５の振動状態が弱くなる等、振動板１２に進行波を効率よく発生させる状態からずれた場合は、発振器２２の出力電圧Ｖ１の位相及び周波数の少なくとも一方を変更する。そして、電圧センサ２５出力から、振動子１５の振動状態が進行波を効率よく発生させる状態に復帰したことを確認したらその条件で発振器２２の駆動を継続する。
【００３２】
この実施の形態では以下の効果を有する。
（１）  長尺の振動板１２の一端に連結した励振側の振動子１４を励振させて振動板１２を駆動させる際、長尺の振動板１２の受波側の振動状態を検出する振動状態検出手段（電圧センサ２５）の信号をフィードバックして発振器２２を制御する。従って、励振側の振動状態に基づいて発振器２２を制御する構成と異なり、長尺の振動板１２の受波側の振動状態に基づいて発振器２２を制御できるため、長尺の振動板１２を安定してほぼ均一に振動させることが可能になる。また、ブリッジ帰還型発振方式のようなブリッジ回路を設けた構成と異なり、回路定数の面倒な調整が不要となる。
【００３３】
（２）  長尺の振動板１２は振動による超音波の放射圧を用いて物体１３を浮揚させるのに使用される。振動板１２が前記のように安定した状態で均一に振動されるため、長尺の振動板１２の振動による超音波の放射圧で物体１３を浮揚させる際に、物体１３を安定して浮揚させることができる。
【００３４】
（３）  制御装置２６は長尺の振動板１２に進行波を発生させるように振動子１４を励振させる。このとき、受波側の振動子１５の振動状態がフィードバックされるため、制御装置２６は励振側と受波側との振動の位相差が最適となる状態で励振側の振動子１４を最適周波数で駆動することが可能になる。
【００３５】
（４）  受波側の振動子１５の振動状態を検出する振動状態検出手段としてエネルギー変換用素子（ピエゾ素子１７ａ，１７ｂ）の出力電圧Ｖ２を検出する電圧センサ２５が使用されているため、受波側の振動子１５の振動状態を簡単に検出できる。
【００３６】
（５）  制御装置２６が、電圧センサ２５の検出信号に基づいて、励振側の振動子１４に供給する電圧Ｖ１と、受波側の振動子１５のピエゾ素子１７ａ，１７ｂの出力電圧Ｖ２との位相差が所定の値となるように、かつ振動子１５の出力電圧Ｖ２が所定値以上となるように発振器２２の出力を制御する。従って、温度変化や物体１３の有無等による振動系の負荷の変動などで、受波側の振動状態が変化しても、出力電圧Ｖ２の位相及び大きさに基づいて、励振側の振動子１４に適正な位相及び周波数の電圧Ｖ１を供給するように発振器２２を制御できる。
【００３７】
（６）  環境の変化により振動板１２の振動状態が最適状態からずれた場合、発振器２２の出力電圧Ｖ１の位相及び周波数を変更することにより、適正状態に調整できるため、制御装置２６の構成が簡単になる。
【００３８】
（７）  励振側及び受波側の振動子１４，１５として、ピエゾ素子１７ａ，１７ｂ等を備えた同じ構成の振動子が使用されている。従って、受波側の振動子１５の振動状態を電気的に検出するのが容易になる。また、負荷回路２４を接続することにより、進行波を安定して発生するのが容易となる。
【００３９】
（８）  受波側の振動子１５を構成するピエゾ素子１７ａ，１７ｂにより機械エネルギーである振動のエネルギーが電気エネルギーに変換され、この電気エネルギーが負荷回路２４の抵抗Ｒでジュール熱に変換されて放散される。従って、前記振動エネルギーを負荷回路２４で消費しない構成に比較して、励振側から受波側に向かう進行波を容易に発生することができる。
【００４０】
実施の形態は前記に限定されるものではなく、例えば次のように構成してもよい。
○  長尺の振動板１２の受波側の振動状態を判断する場合、受波側の振動子１５のピエゾ素子１７ａ，１７ｂの出力電流の状態で判断してもよい。この場合も、受波側の振動子１５の振動の位相が励振側の振動子１４の振動の位相とずれているか否かと、出力電流の大きさで振動状態を判断する。そして、出力電流で判断する場合、振動状態検出手段として電流センサ又は電圧センサを設ける。
【００４１】
○  受波側の電圧あるいは電流の位相を検出せずに出力の大きさのみ検出し、その大きさが所定の値未満になった場合に、励振側の振動子１４の励振状態を変更するように発振器２２の出力周波数及び位相を変更する構成としてもよい。この場合、位相及び周波数の一方のみを変更するのが適切か、両方を変更するのが適切かは判断できない。従って、例えば、先ず周波数を変更して状態の変化の有無を判断し、次に位相を変更して状態の変化の有無を判断する。そして、周波数あるいは位相の変更により、受波側の出力が所定の大きさ以上になったら、その条件で発振器２２の駆動を継続する。
【００４２】
○  振動板１２に進行波を発生させる場合に、受波側の振動子１５を構成するピエゾ素子１７ａ，１７ｂにより振動のエネルギーから変換された電気エネルギーを負荷回路２４で消費させない構成としてもよい。この場合、進行波を効率良く発生させるには、励振側と受波側の振動子の振動の位相差を所定の値に保持するとともに、発振器２２の出力周波数も共振周波数から所定量ずれた適正な値とする必要がある。しかし、受波側の振動子１５の振動の状態を電圧センサ２５の出力で検出することにより、受波側の振動状態が適正な状態からずれた際に、発振器２２の出力を励振側と受波側との位相差が適切な値となるように容易に制御できる。
【００４３】
○  振動板１２に進行波を発生させて物体１３を浮揚状態で搬送する構成に代えて、振動板１２に定在波を発生させて物体１３を浮揚状態で保持する物体浮揚装置に適用してもよい。この場合、受波側の振動子１５には、ピエゾ素子１７ａ，１７ｂにより振動のエネルギーから変換された電気エネルギーを消費させるための負荷回路２４は不要となる。そして、振動状態検出手段はピエゾ素子１７ａ，１７ｂの出力電圧の位相を特に検出しなくても、出力電圧の大きさで判断しても差し支えない。なぜならば、定在波を効率よく発生させるには、振動板１２を共振周波数で振動させればよいからである。
【００４４】
○  制御装置２６のメモリに、振動系の基準温度における共振周波数と、振動系の環境温度の基準温度からのずれ量と、共振周波数のずれ量との関係を示すマップ又は関係式や、進行波を効率よく発生させるための励振側と受波側との適正な位相差を記憶させておく。そして、制御装置２６は温度センサの検出信号に基づいて適正な共振周波数を演算するとともに、その共振周波数に基づいて適切な出力周波数あるいは位相差となるように発振器２２の出力を制御してもよい。この場合、受波側の振動状態が進行波を効率良く発生させる状態から大きくずれるのを防止することができる。
【００４５】
○  温度補正の機能を備えていない構成の場合、運転開始時に発振器２２の出力周波数を所定の範囲で変化させ、受波側の振動状態が最も大きくなったときの周波数で、発振器２２の制御を開始してもよい。
【００４６】
○  図３に鎖線で示すように、励振側の振動子１４のピエゾ素子１７ａ，１７ｂに供給される電圧を検出する電圧センサ２９を設け、振動子１４の振動状態を検出して、その検出信号も制御装置２６に入力してもよい。この場合、発振器２２の出力から間接的に振動子１４の振動状態を判断するより正確に、励振側と受波側の位相差を求めることができる。
【００４７】
○  受波側の振動子１５にピエゾ素子１７ａ，１７ｂ等を設けずに、図４に示すように、固定部としてのホーン３０と金属ブロック１９ａでベースプレート２１に固定してもよい。この場合、振動状態検出手段としてのピックアップ３１は、ホーン３０の振動板１２に対する固定部と反対側に設けられる。この場合、振動状態検出手段の構成及び取付が簡単になる。
【００４８】
○  進行波を発生させる際、受波側の振動状態の判断を、振動の大きさと、位相のずれの両方で判断する変わりに、いずれか一方のみで判断するようにしてもよい。
【００４９】
○  進行波を発生させる物体浮揚搬送装置１１において、振動板１２の一端側及び他端側に連結された両振動子１４，１５を、発振器２２に切換接続可能に構成し、励振側と受波側とを切替可能に構成してもよい。この場合、発振器２２の連結状態を切り替えることにより、進行波の進行方向を振動板１２の一端側から他端側、あるいは他端側から一端側に変更することができる。従って、物体１３を浮揚状態で搬送する際、進行波の向きを切り替えることで、浮揚状態で移動中の物体１３に制動をかけて所定位置に停止させるのが容易になる。
【００５０】
○  搬送すべき物体１３の幅が広い場合は、振動板１２及び両振動子１４，１５のユニットを複数平行に配置し、各ユニットの振動子１４を共通の電源装置２７に並列に接続してもよい。この場合、幅の広い物体１３を複数の振動板１２で安定した浮揚状態で搬送できる。
【００５１】
○  ホーン１６，３０の形状は扁平な直方体状に限らず、円柱状や円錐台状等先端側が細くなった形状としてもよい。
○  物体１３の形状は矩形等の四角形に限らず、三角形や他の多角形あるいは円形等任意の形状としてよい。
【００５２】
○  振動板１２のホーン１６，３０への固定はネジによる締結に限らず、接着剤を使用したり、ロウ付けや溶接で固着してもよい。
○  物体浮揚搬送装置１１や物体浮揚装置の振動子１４を駆動する場合に限らず、長尺の振動体の一端に連結した励振側の振動子を発振器により励振させて振動体を駆動させる装置に適用してもよい。
【００５３】
前記実施の形態から把握される請求項記載以外の発明（技術的思想）について、以下に記載する。
（１）  請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記振動体には励振側と受波側の振動子として圧電素子を有する同じ構成の振動子が使用されている。
【００５４】
（２）  請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記制御手段は正規の運転に先だって、発振器の周波数を所定範囲で変更させて振動状態検出手段の検出信号を入力し、受波側の振動が最大となる周波数で運転を開始する。
【００５５】
（３）  請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記振動状態検出手段は、受波側の振動子の出力電圧及び位相を検出する電圧センサである。
【００５６】
（４）  請求項３に記載の発明において、前記制御手段は、励振側の振動子と受波側の振動子の振動の位相差が所定の範囲内で、受波側の振動子の振動の振幅が所定の振幅以上になるように前記発振器を制御する。
【００５７】
（５）  請求項３又は（４）に記載の発明において、前記振動体の一端側及び他端側に連結された各振動子が、前記発振器に切換接続可能に構成され、励振側と受波側とが切替可能に構成されている。
【００５８】
（６）  請求項１〜請求項４及び（１）〜（５）のいずれか一項に記載の発明の振動子駆動用電源装置を備えた物体浮揚装置。
なお、本明細書において、「振動体の受波側」とは、励振側の振動子から離れた位置で振動体に連結された固定部と対応する振動体の位置及び固定部に対して励振側の振動子より遠い側を意味する。
【００５９】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１〜請求項４に記載の発明によれば、長尺の振動体を励振側の振動子で励振させる際に、簡単な構成で振動体全体を効率よく安定してほぼ均一に振動させることができる。請求項３に記載の発明によれば、長尺の振動体に進行波を効率よく発生させるように励振側の振動子を最適周波数で駆動できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  一実施の形態の物体浮揚搬送装置の概略斜視図。
【図２】  振動子を励振させる電気的構成を示す概略構成図。
【図３】  物体浮揚搬送装置の模式側面図。
【図４】  別の実施の形態の物体浮揚装置の模式側面図。
【図５】  従来技術の電気的構成を示す概略構成図。
【符号の説明】
１２…振動体としての振動板、１３…物体、１４，１５…振動子、２２…発振器、２５…振動状態検出手段としての電圧センサ、２６…制御手段としての制御装置、３０…固定部としてのホーン、３１…振動状態検出手段としてのピックアップ。
【図１】
0003804512.tif 000002
【図２】
0003804512.tif 000003
【図３】
0003804512.tif 000004
【図４】
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【図５】
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