(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体の製造プロセスにおける工程を遠隔監視及び開発する遠隔試験装置であって、
リモートアクセスリンクを介して、ローカルワークステーションに接続された少なくとも一つのリモートワークステーションと、
リンクを介して前記ローカルワークステーションに接続されている試験システムと、
ホストネットワークを前記試験システムに接続し、接続中は、前記リモートワークステーションによる前記試験システムへのアクセスを防ぐホストスイッチとを備え、
前記リモートアクセスリンクは、前記少なくとも一つのリモートワークステーションで開発された試験プログラムを前記ローカルワークステーションへ転送するための通信パスを提供し、
前記ローカルワークステーションは、転送された前記試験プログラムに従って前記試験システムを稼働することを特徴とする遠隔試験装置。
【請求項２】
クライアントネットワークを、少なくとも一つのリモートワークステーションに接続するクライアントスイッチをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の遠隔試験装置。
【請求項３】
前記ホストスイッチが、手動スイッチである請求項１に記載の遠隔試験装置。
【請求項４】
前記ホストスイッチが、イーサネット（Ｒ）スイッチである請求項１に記載の遠隔試験装置。
【請求項５】
前記ホストスイッチが、コンピュータセキュリティソフトウェアである請求項１に記載の遠隔試験装置。
【請求項６】
前記リモートアクセスリンクが、前記ローカルワークステーションを前記リモートワークステーションに操作可能に結合している広域ネットワーク通信回線を備えることを特徴とする請求項１に記載の遠隔試験装置。
【請求項７】
前記リモートアクセスリンクが、少なくとも１台のルータをさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の遠隔試験装置。
【請求項８】
前記リンクが、前記ローカルワークステーション及び前記試験システムを含むローカルエリアネットワークであることを特徴とする請求項１に記載の遠隔試験装置。
【請求項９】
前記試験システムが、装置の様々な機能を試験するために、クライアントにより予め選択された補助機器をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の遠隔試験装置。
【請求項１０】
前記補助機器が、温度フォーシング機をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の遠隔試験装置。
【請求項１１】
前記補助機器が、ウェハ試験機をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の遠隔試験装置。
【請求項１２】
前記補助機器が、デバイスハンドラをさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の遠隔試験装置。
【請求項１３】
半導体の製造プロセスにおける工程を遠隔監視及び開発する遠隔試験装置であって、
リモートアクセスリンクを介して、ローカルワークステーションにそれぞれ接続された複数のリモートワークステーションと、
リンクを介して、前記ローカルワークステーションに接続された試験システムと、
ホストネットワークを前記試験システムに接続し、接続中は、前記複数のリモートワークステーションのいずれからも前記試験システムへアクセスできないようにするホストスイッチとを備え、
前記リモートアクセスリンクは、試験プログラムを、前記少なくとも一つのリモートワークステーションから前記ローカルワークステーションへ転送するための通信パスを提供し、
前記ローカルワークステーションは、転送された前記試験プログラムに従って前記試験システムを稼働することを特徴とする遠隔試験装置。
【請求項１４】
前記ローカルワークステーションが、前記リモートワークステーションの一つからどれか別の一つの前記リモートワークステーションへのアクセスを防ぐように適合された複数のファィアウォールを含むことを特徴とする請求項１３に記載の遠隔試験装置。
【請求項１５】
前記リモートアクセスリンクの少なくとも一つが、インターネット接続であることを特徴とする請求項１３に記載の遠隔試験装置。
【請求項１６】
前記リモートアクセスリンクの少なくとも一つが、専用ＷＡＮ技術であることを特徴とする請求項１３に記載の遠隔試験装置。
【請求項１７】
前記試験システムが、半導体装置の様々な機能を試験するために、クライアントにより予め選択された補助機器をさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載の遠隔試験装置。
【請求項１８】
前記補助機器が、温度フォーシング機をさらに備えることを特徴とする請求項１７に記載の遠隔試験装置。
【請求項１９】
前記補助機器が、ウェハ試験機をさらに備えることを特徴とする請求項１７に記載の遠隔試験装置。
【請求項２０】
前記補助機器が、デバイスハンドラをさらに備えることを特徴とする請求項１７に記載の遠隔試験装置。
【請求項２１】
半導体の製造における工程を遠隔監視及び開発する遠隔試験方法であって、
半導体の試験システムに操作可能に結合されているローカルワークステーションとリモートアクセスリンク上で結合されたリモートワークステーションから、前記ローカルワークステーションが試験プログラムを受け取り、前記ローカルワークステーションが受け取った前記試験プログラムに従って前記試験システムを遠隔操作し、
前記半導体の試験システムを前記リモートワークステーションから遠隔監視し、
前記リモートワークステーションで前記半導体の試験システムからのデータを受信し、
前記リモートワークステーションから前記半導体の試験システムへのアクセスを、ホストネットワークを前記半導体の試験システムへ接続するように動作するホストスイッチにより選択的に防ぐことを特徴とする遠隔試験方法。
【請求項２２】
前記半導体の試験システムが、集積回路の設計デバッグ及び修理の半導体プローブシステムを備えることを特徴とする請求項２１に記載の遠隔試験方法。
【請求項２３】
前記半導体の試験システムが、製造プラントにより生産された半導体の機能を監視するように適合された試験システムを備えることを特徴とする請求項２１に記載の遠隔試験方法。
【請求項２４】
半導体の製造プロセスにおける工程を遠隔監視及び開発する遠隔試験装置であって、
広域ネットワーク通信回線を介して、ローカルワークステーションに操作可能に接続された少なくとも一つのリモートワークステーションと、
ローカルエリアネットワークを介して、前記ローカルワークステーションに接続された試験システムと、
ホストスイッチ及びリンクとにより、前記試験システムに分離可能に接続されたホストネットワークとを備え、
前記広域ネットワーク通信回線は、前記少なくとも一つのリモートワークステーションから前記ローカルワークステーションへ試験プログラムを転送し、
前記試験システムは、前記ローカルワークステーションの制御のもと、転送された前記試験プログラムを実行し、
前記ホストスイッチは、接続中は、前記少なくとも一つのリモートワークステーションによる前記試験システムへのアクセスを防ぐことを特徴とする遠隔試験装置。
【請求項２５】
前記試験システムが、ネットワーク化したビデオカメラをさらに備える請求項２４に記載の遠隔試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路の設計と製造の分野全般に関する。特に、本発明は、物理試験機器から遠く離れた位置から集積回路の設計とチップを試験するシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
新たに開発された集積回路が複雑さを増していることにより、集積回路の製造技術の新しい形式が開発されている。現在、集積回路メーカは、自社の製品を作るために、複数の可能な手法のうちの一つを使用するのが通例である。まず、あるメーカは、半導体を自ら製造するために、自社の工場を建てて操業することができる。これらの工場は、半導体の鋳造工場または製造プラントとして知られている。会社によっては、このような製造プラントを稼動させるだけで、新しい半導体の開発におけるその他の工程を他社に委ねているところもある。「集積デバイスメーカ」（ＩＤＭ）として知られている大企業の多くは、新しい半導体を設計する能力と試験する能力の両方を備えている。ＩＤＭはまた、自社の製造プラントを所有している。また、会社によっては、集積回路の設計を専門として、最終的に製造を他者に委ねることもできる。伝統的に、メーカはＩＤＭであるのが通例であった。多くの製造プラント（略して「ファブズ（fabs）」）は、このようなＩＤＭによって建てられた。「ファブス」の所有者は、資金と操業費用を節約するために、プラントをコストの低い国々に建設することがあった。しかし、一般に、「ファブズ」自身がもっている半導体の設計能力は、極めて低かった。その結果、集積回路の設計だけを事業とする会社も出始めた。製造又は試験能力を有さないこれらの設計会社は、集積回路の試験と製造を一般に外注に出している。さらに規模の小さい会社の多くは、集積回路の初期設計以上の能力をもっていないことが往々にしてある。初期設計と製造の間のあらゆる中間工程は、第三者に外注に出される。これらの設計専用の会社は、「ファブレス（fabless＝ファブのない）」会社と呼ばれている。ファブレス会社は、第三者から提供される試験サービスを概して必要としている。しかし、回路設計においては開発プロセス中に数々の変更がなされるかもしれないため、ファブレス会社は、集積回路の設計からボリュームの製造へと「移される」前に実施される試験工程と、密接に関わっている必要もある。
【０００３】
新しい集積回路の概念設計と実際のボリューム製造との間には、多くの中間工程が存在する。新しい設計を製造段階に移すための最初の工程は、初期設計である。初期設計において、設計技師は、エンドユーザの仕様を用いて、完成された集積回路がエンドユーザの指定した機能を生成するものと信じる一連の論理ゲートを開発する。この段階で、設計技師は論理要素の配置だけを行い、一般にデバイスを物理的に組み立てることはない。
【０００４】
次の工程は、集積回路がユーザの指定した機能を生成することになるのか否かを判断するために、初期設計を試験することである。この段階において、試験は概して、コンピュータ上における論理ゲートの配置をシミュレートすることと、このように配置された論理ゲートの実際の機能を判断することとを伴っている。論理ゲートの配置変更は、シミュレーションコンピュータ上で行うことができ、ユーザの指定した機能を生成する際のいかなる欠陥も修正される。その後、論理設計がユーザの所望の仕様に合致するまで、試験と設計は繰り返される。この再試験と再設計のサイクルは、デバッギングとして知られている。デバッギングは、所望の機能を生成するために、擬似ゲートまたは理論的ゲートの再配置だけを一般に含んでいる。試験は、この段階で、一般に厳密ではなく、論理ゲートが適正に配置されていることの確認にのみ役立っている。
【０００５】
集積回路の開発プロセスにおける次の工程は、プロトタイプデバイスを製造することであり、これは、当該技術において「第１シリコン」と呼ばれている。その後、このプロトタイプデバイスは、設計デバッグとして知られている次の工程において、擬似デバイスよりも一般により厳密に試験される。論理ゲートの理論的系列を３次元でシリコンウェハ上に再生するのが難しいため、まずプロトタイプデバイスを作るときに通常はエラーが生じる。例えば、ある特定のゲートへの二つの信号のタイミングは、所望のデータがゲートを通過するよう期待していたタイミングではないかもしれない。従って、開発プロセスにおける次の工程は、プロトタイプデバイスをデバッグし、できれば修理することである。プロトタイプデバイスを修理するためには、必要に応じて個々のゲートを評価かつ修理し、エンドユーザの機能を生成する。プロトタイプデバイス内のゲートは、「電子ビーム」（e-beam）プローブシステム、「赤外線レーザ」（光学）プローブシステム、もしくは「集束イオンビーム」（ＦＩＢ）プローブシステム等の機器を用いて、物理的に監視及び／又は修理される。このような電子ビーム機器の一つは、モデル番号ＩＤＳ１００００daにより知られている。このような赤外線レーザープローブシステムの一つは、モデル番号ＩＤＳ２０００により知られている。このような集束イオンビームプローブシステムの一つは、モデル番号ＩＤＳＰ３Ｘにより知られている。前述の機器は全て、カリフォルニア州サンホセ市のシュルムベルガー・セミコンダクター・ソリューションズ社により販売されている。動作不能又は計画通りに機能していないゲートを修理するために、ＦＩＢ機器はプロトタイプデバイスの中に文字どおりせん孔を「焼いてあける」ことができ、例えば動作不能ゲートに導く電線を切断することになる。動作不能ゲートの切断後、ジャンパ等の新しいエレメントをＦＩＢプローブシステムにより代わりにはめ込むことができる。修理が全て済んだ後、論理エレメントがエンドユーザの所望の機能を生成するまで、プロトタイプデバイスの再試験が行われる。
【０００６】
プロセスにおける次の工程は、プロトタイプデバイスの特徴づけである。特徴づけの工程は、一般にデバイスの全規模性能試験を含んでいる。例えば性能試験は、実際の最大作動速度、入力及び出力電圧、タイミングパラメタ及び温度制限の決定を含んでいる。プロトタイプデバイスが特徴づけ試験を合格したなら、それをボリュームを製造するための製造プラントに「移す」ことができる。デバイスがいったん製造プラントに渡されたら、製造プラントにより作られた製品を試験するための試験プログラムを設計しなければならない。どの回路設計もみな異なったユーザ仕様と、異なった内部論理エレメントとを有するため、作られたデバイスのそれぞれの設計に対して、新しい試験プログラムを開発しなければならない。典型的なファブレス会社は、試験プログラムを指定することができるし、またファブレス会社は、設計デバッグ、特徴づけ、もしくはボリューム製造の最中に、試験プログラムの開発と実施を外部の会社に委ねることもできる。
【０００７】
試験プログラムの開発及び／又は集積回路の様々な段階で実試験を実施することを専門とする産業には、「テストハウス」が存在する。製造プラントには、物理的な試験は行っても試験プログラム（ソフトウェア、試験インタフェース等を含んでもよい）の開発は行わないところがあり、代わりにテストハウスやその他の主体に頼って、試験プログラムの設計をしている。試験は、あらゆる特定の回路設計についての生産サイクルの間中、実施される。この時点で、集積回路は一般に、エンドユーザに販売できる状態になっている。
【０００８】
図１は、例えばファブレス会社が、新しい集積回路を初期設計から最終生成物にまで開発するために用いる典型的な方法を示している。ファブレス会社２０では、まず、提案された集積回路における回路エレメントの論理配置を設計する（ステップＳ１）。ファブレス会社２０は、意図したように機能するか否かを判断するために、集積回路をシミュレートする（ステップＳ２）。当該シミュレーション中に必要であると判断された設計のいかなる変更も、この時点でステップＳ１における設計に含まれることになる。
【０００９】
次に、ファブレス会社２０は、集積回路のレイアウトを生成する（ステップＳ３）。レイアウトの完成は、当該技術では「テープアウト」として知られている。レイアウトは製造プラント３０に送られ、そこでプロトタイプが製造される（ステップＳ４）。
【００１０】
製造プラント３０は、その後自らプロトタイプをデバッグし（ステップＳ５Ａ）、その特徴づけを行っても良いし（ステップＳ７Ｂ）、デバッグ（ステップＳ５Ａ）と特徴づけ（ステップＳ７Ｂ）を行うためにプロトタイプをテストハウス４０に送ってもよい。設計デバッグ（ステップＳ５Ａ）中に取得した試験結果に基づいて、製造プラント３０もしくはテストハウス４０は、設計を修正変更しても良いし（ステップＳ７Ａ）、又は新しいプロトタイプを作らなければならないかもしれない。プロトタイプが意図したように機能するのを確認した後、集積回路のボリューム製造を始めることができる。
【００１１】
製造プラント３０により作られた製品の試験及び組み立ては（ステップＳ５Ｂ）、テストハウス４０が行っても良い。ステップＳ５Ｂにおける試験結果は、ボリューム製造中に発見された設計及び／又は製造上の欠陥を直すために、ファブレス会社２０と製造プラント３０に連絡される。最後に、完成品の集積回路を、エンドユーザに出荷することができる（ステップＳ６）。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
新しい集積回路を市場に送り出すのに、設計工程、修理／デバッグ工程、そして試験工程といった数々の工程を伴うため、新しい集積回路を作ることは難しく、しかも費用がかかる。また、様々な段階全体にわたって集積回路の開発を監視することも難しい作業であり、一般に試験を第三者に委託しなければならないファブレス会社の場合、特に困難である。
【００１３】
監視は、試験結果及び入手可能になった試験データを再検討すること及び分析することを伴う。例えば、ファブレス会社は、設計変更が必要であるか否かを判断するために、集積回路の性能に関する試験結果とともに、このような設計変更の効果を見ることに関心を寄せるだろう。監視することが困難であることから、設計、組み立て、又はその他の段階で防ぐことができるエラーを回避することができないかもしれない。
【００１４】
さらに、ファブレス会社は、試験データの再検討を早くするために、自ら試験プログラムを実行したいと思っても、必要な資産を有していないかもしれない。このような場合、ファブレス会社は、試験を外部に委託するか、又はテストハウスの施設を利用するかのいずれかを迫られることになるだろう。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
一つの側面において、本発明は、半導体の製造プロセスにおける工程を遠隔監視及び開発する装置に関する。本発明のこの側面による装置は、リモートアクセスリンクを介してローカルワークステーションに接続された少なくとも一つのリモートワークステーションと、リンクを介して前記ローカルワークステーションに接続された試験システムとを備えている。
【００１６】
他の側面において、本発明は、半導体の製造における工程を遠隔監視及び開発する方法に関する。本発明のこの側面による方法は、半導体の試験システムを遠隔操作し、前記半導体の試験システムを遠隔監視し、前記半導体の試験システムから遠く離れてデータを受信することを含んでいる。
【００１７】
他の側面において、本発明は、半導体の製造プロセスにおける工程を遠隔監視及び開発する装置に関し、前記装置は、リモートアクセスリンクを介してローカルワークステーションにそれぞれ接続された複数のリモートワークステーションと、リンクを介してローカルワークステーションに接続された試験システムとを備えている。
【００１８】
本発明のその他の側面と利点とは、以下の記述と添付されている請求項から明らかになるであろう。
【００１９】
【発明の実施の形態】
半導体の製造における開発の速度を上げて費用を減らすために、ファブレス会社などの企業は、新しい集積回路を作り上げる設計、デバッグ、製造の各段階において、集積回路の試験プログラムを遠く離れて監視し（例えば、彼ら自身の物理的な施設において監視し）、分析し、操作する能力を望んでいるかもしれない。
【００２０】
試験システムは一般に、その試験システムに必要な機器を制御する（つまり、所有する、あるいはリースしている）「ホスト」によって提供されている。ホストは、当該技術において「テストハウス」として知られているものであっても良いし、または試験サービスを他社に提供している集積デバイスメーカの一部であっても良い。ここでいう他社には、例えばファブレス会社も含まれている。
【００２１】
試験システムは、半導体の回路試験で用いられる（複数の）機械や関連補助機器であってもよい。例えば、このような試験機械の一つは、ＩＴＳ９０００ＫＸというモデル番号で、カリフォルニア州サンホセ市のシュルムベルガー・セミコンダクター・ソリューションズ社により販売されている。この試験機械は、高い処理能力を有し、高精度を維持することから、多数の半導体回路を迅速に試験できるという利点がある。補助機器には、例えばウェハ試験機、デバイスハンドラ、又は温度フォーシング機が含まれていても良い。さらに、試験システムは、コンピュータハードウェアと、試験機械を動かすソフトウェアとからなっている。半導体の試験において入手可能なコンピュータハードウェア、ソフトウェア、及び試験システムの形式は、当該技術で知られており、本発明の範囲を限定するものではない。
【００２２】
「クライアント」は、ホスト試験システムの使用を希望している主体である。クライアントの例は、ファブレス会社、ＩＤＭ、又は（自社の試験をすることを望まないかもしれない）製造プラントである。「ホストネットワーク」という用語は、ホストのローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、又はイントラネットを説明するのに用いられる。同様に、「クライアントネットワーク」という用語は、クライアントのローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、又はイントラネットを説明するのに用いられる。
【００２３】
本発明は、試験機械が別の物理的な施設に配置されている場合でも、クライアントが集積回路を監視し、及び／又は直接的に集積回路の試験を行うことを可能にする。試験機械は一般に、ホストの物理的な施設に配置されることなるが、これに限定される訳ではない。
【００２４】
図２は、本発明の一実施形態による具体例を提供している。図２は、前述したＩＴＳ９０００試験システム８上で使用可能な試験プログラムの開発を示したものである。
【００２５】
この例で、リモートワークステーション１は、クライアントの所に設置されている。リモートワークステーション１は、クライアントが試験中の装置（ＤＵＴ）の試験プログラムを開発できるように、必要なソフトウェアを一般に装備している。本発明のこの実施形態にかかるシステムには、クライアントにより制御されているクライアントスイッチ２が含まれていてもよい。クライアントスイッチ２は、クライアントが、リモートワークステーション１を、リンク２Ａを介してクライアントネットワーク１Ａに接続することを可能にする。クライアントスイッチ２は、リンク２Ａを介して、リモートワークステーション１をクライアントネットワーク１Ａに接続することができるし、クライアントスイッチ２は、リモートワークステーション１を第１ルータ４に接続することもできる。
【００２６】
クライアントは、場合によっては、試験プログラム又は他のコンピュータ（図示せず）の常駐データの、クライアントの物理的な施設におけるリモートワークステーション１への転送を容易にするために、リモートワークステーション１をクライアントネットワーク１Ａに接続することを希望するかもしれない。クライアントスイッチ２の性質は、本発明の範囲を限定するものではなく、また、このようなスイッチが望ましいか否かは、クライアントが決めればよい。
【００２７】
第１ルータ４は、リモートワークステーション１を、リンク３を介して第２ルータ５に接続している。第１ルータ４と、第２ルータ５と、リンク３とは、リモートワークステーション１をローカルワークステーション７に最終的に連結している「リモートアクセスリンク」を構成している。本実施形態では、第１ルータ４と第２ルータ５とはＩＳＤＮルータであり、カリフォルニア州サンホセ市のシスコ・システムズ社により、モデル番号７７６で販売されている。本実施形態では２台のルータが示されているが、ルータの数は２台より多くてもよい。第１ルータ４と第２ルータ５とを接続しているリンク３は、本実施形態では、統合ディジタル通信サービス網（ＩＳＤＮ）のダイアル呼出しリンクである。しかし、リモートアクセスリンク６は、当該技術において広域通信網（ＷＡＮ）技術として知られているものを含むその他の構成要素からできていてもよい。ＩＳＤＮと並んで、ＷＡＮ技術のその他の例には、フレームリレー、フラクショナル(fractional)Ｔ１、Ｔ１、Ｅ１、Ｔ３、非同期転送モード（ＡＴＭ＝Asynchronous Transfer Mode）が含まれる。
【００２８】
ＷＡＮ技術の別の例は、仮想私設網（ＶＰＮ＝virtual private network）である。仮想私設網は、情報を暗号化することによりセキュリティを保持しながら、インターネット等のネットワーク上で、一台のコンピュータから他のコンピュータへの情報送信を可能にしている。経済性を推進する場合には、標準モデムリンクをリンク６に使用してもよい。大容量のデータを転送するのが遅い一方で、モデムリンクは、クライアントによる試験システム８の遠隔操作を可能にするであろう。
【００２９】
本実施形態におけるリモートワークステーション１とローカルワークステーション７は、ユニックスベースのワークステーションであり、「ウルトラ５（Ultra 5）」というモデル名でカルフォルニア州パロアルト市のサン・マイクロシステムズ社により販売されている。
【００３０】
試験プログラムは、試験システム８をローカルワークステーション７から稼動するために、ある時点で、ローカルワークステーション７に転送されなければならない。本実施形態では、試験システム８は、ホストのネットワーク１０（ＬＡＮ）に接続されている。試験システム８との間で転送されなければならないデータの容量が大きいため、ローカルワークステーション７が望ましい。しかし、理論上は、リモートワークステーション１は、ローカルワークステーション７を使わずに、（リンク６等により）試験システム８に操作可能に接続されているかもしれない。
【００３１】
試験システム８は、リンク９Ａを介してホストネットワーク１０に接続されていても良い。しかし、リンク９Ａは、クライアントがローカルワークステーション７を通してホストネットワーク１０にアクセスするのを防ぐために、直接リンクではない。その代わり、ホストが操作できるホストスイッチ９Ｂを設けても良い。ホストスイッチ９Ｂは、クライアントにはホストネットワーク１０にアクセスさせないが、ホストが必要に応じて試験システム８にアクセスすることを可能にしている。ホストスイッチ９Ｂは、物理的なスイッチでもいいし、イーサネット（Ｒ）スイッチにようなコンピュータ制御スイッチであってもよい。その代わりに、ホストスイッチ９Ｂは、セキュリティソフトウェアによって操作されるコンピュータ制御スイッチであってもよく、例えばテキサス州ヒューストン市のシュルンベルガー社のＯＭＮＥＳによるシュルンベルガー・コネクティヴィティ・センター（ＳＣＣ）という商品名で市販されているようなものでもよい。
【００３２】
セキュリティソフトウェアを用いる場合、ホストネットワーク１０は仮想私設網として機能する。このような場合、複数のクライアントが、ローカルワークステーション７に情報を格納しておくことができるが、自分の情報以外のいかなる情報へのアクセスも、ファィアウォールによって妨げられることになる。使用されるスイッチの形式は、本発明の範囲を限定するものではない。試験システム８をホストネットワーク１０に接続するために、ホストが選択的にホストスイッチ９Ｂを操作する場合、クライアントの試験システム８へのアクセスは防止されている。しかし、ホストは、必要に応じて試験システム８にアクセスすることができる。ホストは、ホストスイッチ９Ｂを選択的に操作することにより、クライアントが再び試験システム８にリモートアクセスできるようにすることができる。
【００３３】
試験プログラムが、リモートアクセスリンク６を介してローカルワークステーション７に転送された後、試験プログラムはローカルワークステーション７に保存されている。リモートアクセスリンク６を経由する試験プログラムの転送は時間がかかるかもしれないので、クライアントは、例えば磁気テープやＣＤ−ＲＯＭ等の物理的な媒体を用いて試験プログラムをローカルワークステーション７に転送することを望むかもしれない。試験プログラムがいったんローカルワークステーション７に保存されたなら、クライアントは、ＤＵＴの試験を操作及び監視するために、試験システム８上においてある選択された時間を計画しても良い。予定されていた時間になったら、ホストは一般にホストスイッチ８の選択的操作によって、試験プログラム８へのアクセス権を与える。試験システム８は、その後、ローカルワークステーション７に常駐のオペレーティングシステムからリブートされうる。
【００３４】
クライアントは、その後、リモートアクセスリンク６を介して、試験システム８にリモートアクセスしてもよい。リモートワークステーション１とローカルワークステーション７とが連結されることにより、クライアントは、あたかもホストの施設に物理的に存在するかのように、ローカルワークステーション７を作動できる。
【００３５】
さらに、クライアントが希望すれば、ホストの職員が、試験システム８に連結されたホストコンピュータ８Ａを介して接続することもできる。ホストコンピュータ８Ａ又はローカルワークステーション７には、クライアントが試験プログラム８の作動中にホストの職員からリアルタイム支援を受けられるように、共同ソフトウェアがインストールされていてもよい。クライアントは、電話線といった従来の手段によって支援を要求できるし、コンピュータ生成によるものでも構わない。コンピュータ生成による支援要求は、支援が必要であるとホストに注意を促すために、ホストコンピュータ８Ａ又はローカルワークステーション７に送られてもよい。支援が要求されたなら、ホストはホストコンピュータ８Ａを介して、又はローカルワークステーション７にアクセスすることによってアクセスを行い、必要なあらゆる技術的支援を提供することができる。
【００３６】
さらに、ネットワーク化したカメラ１１を試験システム８に連結させることで、クライアントは、試験システム８が機能している様子を見守ることができる。ネットワーク化したカメラ１１は、クライアントが作動中の試験システム８を監視できるようになっている。
【００３７】
さらに、クライアントのニーズに応じて、ホストは補助機器をインストールすることができる。例えば温度フォーシング機、ウェハ試験機、及び／又はデバイスハンドラを付け加えてもよい。
【００３８】
クライアントの試験システム８へのアクセスが拒絶されている間、ホストは自分の目的のために、例えば当該クライアント以外の主体に試験サービスを提供するために試験システムを操作してもよいことに注意して欲しい。一つの例では、クライアントの試験システム８へのアクセスが拒絶されている期間、ホストは、自分の回路設計を試験しているＩＤＭであってもよい。他の例では、ホストが、試験システム８へのリモートアクセスを希望しない他のクライアントのために、回路設計を試験してもよい。
【００３９】
本発明は、集積回路第１シリコン試験プログラムの操作と監視に限定されていない。たとえば、同様のシステムを、集積回路の設計デバッグに用いてもよい。この例では、前述の実施形態の試験システム８は、前に述べたようなプローブシステムに取って代わられている。
【００４０】
他の例では、製造プラントは、組み立てられた半導体を監視及び試験するために、本発明の第１実施形態に類似したシステムを用いてもよい。
【００４１】
図３は、本発明のもう一つの実施形態を示しており、ここでは試験システムを複数のクライアントがリモートアクセス及び制御することを希望している。図３において、それぞれのクライアントは自分の独立したローカルワークステーションを有することになり、複数のリモートワークステーション３０のそれぞれが、専用アクセス回線３１を有する。図３の実施形態の例では、各専用アクセス回線は、第１の実施形態におけるリンク（図２に示す６）と実質的に同じである。各専用アクセス回線３１は、それに対応する（複数の）リモートワークステーション３０を、クライアントのローカルワークステーション３２に接続している。
【００４２】
ローカルワークステーション３２は、一般に試験システムと同じ物理的な施設内にある（第１の実施形態と同様）。個々のクライアントのデータ及び試験プログラムは、一連のファイアウォールによって一般に分離されている。ファイアウォール３３は、個々のクライアントのデータと試験プログラム用のセキュア領域を作っている。ある特定のクライアントが試験システム３４上で時間を設定したなら、その他のクライアントはみな、試験システム３４にアクセスすることができないため、その特定のクライアントに対して最大のセキュリティが保証されている。さらに、その特定のクライアントは、ホストのセキュリティシステムによって審査された後に限り、自分のローカルワークステーション３２に接続してもよい。ローカルワークステーション３２へのいかなる侵入も、ホストがさらに追跡して直ちに記録し、レッテルを付ける。ホストは、第１の実施形態において説明したように、試験システム３４をその後操作するかもしれない特定の単一のクライアントに対して、試験システム３４上で特定の時間を計画に入れる。前記の実施形態で説明したように、スイッチマトリックス３３が設けられているため、ホストネットワーク３６は試験システム３４に接続したり、切断したりできる。
【００４３】
当該技術を有する者であれば、この中で開示されている本発明の意図からはずれることのない別の実施形態が考案可能であることを理解するであろう。従って、本発明の範囲は、添付の請求項によってのみ限定されるものとする。
【００４４】
【発明の効果】
以上のように本発明にかかる半導体の遠隔試験方法及び装置によれば、一般に試験を第三者に委託しなければならないファブレス会社の場合であっても、設計から製造にわたる全工程にわたって監視することができることから、設計、組み立て、又はその他の段階で防ぐことができるエラーを回避することができ、半導体集積回路の設計から製造までの効率の向上に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来の半導体の製造工程を示す図である。
【図２】  本発明の一実施形態の概略図である。
【図３】  本発明の一実施形態の概略図である。
【符号の説明】
１、３０  リモートワークステーション
１Ａ  クライアントネットワーク
２  クライアントスイッチ
２Ａ、３、９Ａ  リンク
４  第１ルータ
５  第２ルータ
６  リモートアクセスリンク
７、３２  ローカルワークステーション
８、３４  試験システム
８Ａ  ホストコンピュータ
９Ｂ  ホストスイッチ
１０  ホストワークステーション
１１  カメラ
３１  専用アクセス回線
３３  スイッチマトリクス（ファイアウォール）
３６  ホストネットワーク
【図１】
0003862984.tif 000002
【図２】
0003862984.tif 000003
【図３】
0003862984.tif 000004