(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の載置台上に置かれた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から、薄板と合紙とを分離する装置であって、薄板と合紙が交互に重ねられた積層物を載せて上下移動ができる載置台と、載置台上に載せられたものの最も上のものが何であるかを判断するセンサ部と、該センサ部の情報に従い、最も上のものが薄板である場合に該薄板を吸着分離する薄板分離部と、最も上のものが合紙である場合に該合紙を吸着除去する合紙除去部とを備えたもので、薄板分離部は、積層物を載せる載置台の上から、その吸着部を上下移動させて、薄板を吸着して除去させるもので、合紙除去部は、合紙を吸着する吸着部と、吸着部を保持し、吸着部と一体となり、縦方向に移動可能なスライド部と、スライド部を縦方向移動可能な状態で保持する保持部と、保持部を固定しながら横方向移動させる第１の横方向移動部と、該第１の横方向移動部によるスライド部の横方向移動に伴いスライド部を吸着部と一体として縦方向に移動する案内をするガイド部と、これらを一体として横方向に移動する第２の横方向移動部とを有し、積層物を載せる載置台の横の所定の位置から、第２の横方向移動部により、第１の横方向移動部と一体的に吸着部を横方向移動させることにより、前記吸着部を載置台上まで横方向移動させ、更に第１の横方向移動部によるスライド部の横方向移動に伴い、スライド部をガイド部に沿い縦方向移動させて、吸着部を所定の高さの載置台上に載せられたものの最上段に接近させるもので、且つ、第２の横方向移動部の横方向移動により吸着部を載置台上から前記載置台の横の所定の位置に引き出すもので、前記センサ部により載置台上に載せられたものの最上段が合紙と判断された場合に、吸着部を載置台上に載せられたものの最上段に接近させ、合紙を吸着した状態で、吸着部を載置台上から引き戻して合紙を積層物から分離して除去するものであることを特徴とする薄板と合紙の分離装置。
【請求項２】
パレット上に所定量の薄板と合紙とを積層した１単位分の積層物を載せたパレット単位を、複数個重ねた状態で、薄板、合紙、パレットとを分離するものであることを特徴とする請求項１記載の薄板と合紙の分離装置。
【請求項３】
請求項２において、パレットを収納するパレット受けを合紙除去部の上側に設け、且つ、該パレット受けは、合紙除去部を付帯して載置台上まで移動可能であることを特徴とする薄板と合紙の分離装置。
【請求項４】
請求項１ないし３における、載置台上に載せられたものの最も上のものが何であるかを判断するセンサ部は、光沢度センサと磁力を利用した近接センサの組みであることを特徴とする薄板と合紙の分離装置。
【請求項５】
請求項４において、光沢度センサと磁力を利用した近接センサとをパレット受け部に設けたことを特徴とする薄板と合紙の分離装置。
【請求項６】
請求項１ないし５において、分離された合紙を一旦置く合紙けを合紙廃棄箱上に備えており、合紙除去部の吸着部が合紙を載置台上から排出し、合紙廃棄箱上に設けられた開閉式の合紙受けに一旦置いた後、合紙受けを開き、合紙廃棄箱内に合紙を投入するものであることを特徴とする  薄板と合紙の分離装置。
【請求項７】
請求項６において、合紙廃棄箱内に投入された合紙を平坦状の押圧プレートで押圧する押圧部を備えていることを特徴とする薄板と合紙の分離装置。
【請求項８】
請求項１ないし７における薄板は、リードフレーム複数個からなるリードフレームシート１個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シートであることを特徴とする薄板と合紙の分離装置。
【請求項９】
所定の載置台上に置かれた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から薄板と合紙とを分離する際に、合紙を吸着部により吸着分離させる合紙の分離方法であって、積層物の最も上のものが何であるかを光沢度センサと磁力を利用した近接センサとで判断し、該光沢度センサと磁力を利用した近接センサの組みが合紙と判断した場合にのみ、合紙を吸着部にて吸着除去することを特徴とする合紙の除去方法。
【請求項１０】
請求項９において、分離された合紙を、一旦開閉式の合紙受けにに置いた後、合紙受けを開き、合紙廃棄箱内に合紙を投入することを特徴とする合紙の除去方法。
【請求項１１】
請求項９ないし１０における薄板は、リードフレーム複数個からなるリードフレームシート１個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シートであることを特徴とする合紙の除去方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、所定の載置台上に置かれた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から、薄板と合紙とを分離する装置と合紙の分離方法に関するもので、特に、リードフレーム複数個からなるリードフレームシート（連状のリードフレームとも言う）１個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シートと合紙とを交互に積層した積層物からの金属シートと合紙とを分離する装置と、合紙の分離方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体装置は、電子機器の高性能化と軽薄短小の傾向からＬＳＩはＡＳＩＣに代表されるように、ますます高集積化、高機能化の一途をたどってきている。
多端子ＩＣ、特にゲートアレイやスタンダードセルに代表されるＡＳＩＣあるいは、マイコン、ＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）等をコストパーフォーマンス高くユーザに提供するパッケージとしてリードフレームを用いたプラスチックＱＦＰ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｐａｃｋａｇｅ）が主流となり、現在では３００ピンを超えるものまで実用化に至ってきている。
【０００３】
ＱＦＰは、図７（ｂ）に示すリードフレーム７１０を用いたもので、図７（ａ）に示すように、ダイパッド７１１上に半導体素子７２０を搭載し、銀めっき等の表面処理がなされたインナーリード７１２先端部と半導体素子７２０の端子７２１とをワイヤ７３０にて結線し、封止用樹脂７４０で封止を行い、この後、ダムバー部７１４をカットし、アウターリード７１３をガルウイング状に成形したものである。このように、ＱＦＰは、パッケージの４方向に外部回路と電気的に接続するためのアウターリード７１３を設けた構造で多端子化に対応できるものとして開発されてきた。
ここで用いられるリードフレーム７１０は、通常、４２合金（４２％ニッケル−鉄合金）あるいは銅合金などの電気伝導率が高く，且つ機械的強度が大きい金属材を素材とし、フォトエッチング法かあるいはスタンピング法により、図６（ｂ）に示すような形状に作製されていた。
通常は、図６（ｂ）に示すように、単位リードフレーム６１０（図７（ｂ）に示すようなリードフレーム）を複数個を面付けした状態のリードフレームシート６１０Ａ複数個を、図６（ａ）に示すように、不要の金属板部６０５に連結部６２０にて繋げた状態でエッチング等の外形加工を行った後、各リードフレームシート６１０Ａ毎に分離し、ワイヤボンディング等のためのメッキ処理や、半導体素子の搭載、樹脂封止を行い、後にこれを単位リードフレーム毎に分離するという方法が採られている。
尚、金属シート６００から各リードフレームシート６１０Ａ毎に分離することをリードフレームのトリミングと一般には言っている。
また、図６（ｂ）に示すように、単位リードフレーム６１０を複数個、面付けした状態を連状と言い、この１組み（リードフレームシート６１０Ａ、１個）を１連（１連のリードフレーム）とも言う。
【０００４】
そして、通常、リードフレームメーカーは、このようにして加工した連状のリードフレームを設けた金属シート６００ないしリードフレームシート６１０Ａを、合紙をその間に挾んで積層した状態としている。また、この状態で一時ストックしておくこともある。
このように積層することにより、リードフレームの製品部には汚れや傷がつかない。
【０００５】
従来、このように積層された積層物から、金属シート６００ないしリードフレームシート６１０Ａと、合紙とを分離する方法においては、図８に示すようにその分離が行われていた。金属シート８８０を積層した積層物８９０から分離する場合を図８に基づいて簡単に説明する。
図８に示す分離方法においては、上下移動する、真空チャンバー８１１を有する吸着部（ヘッド）８１０が金属シート８８０を吸着した後、上方向に移動し、更には横方向に移動し、載置台８３０の積層物８９０上になくなると、合紙８８５を吸着するための吸着部８２０が載置台８３０の横方向から積層物８９０上に移動され、その吸引口８２１にて合紙８８５を吸引し、吸着部８２０をもとの位置に戻してこれを引張り除くものである。
しかし、この方法の場合、廃棄箱８６０へ合紙８８５を確実に捨てることが難しく、且つ、必ずしも合紙８８５と金属シート８８０とが交互に積層されていない場合などに、吸着部８２０にて誤って金属シート８８０を吸引してしまうことがある。
更に、合紙については、再利用できるよう積層物から分離した後、良い状態で廃棄箱に収納できることが望まれていた。
【０００６】
また、図８に示す方法においては、通常、パレット上に所定量の薄板と合紙とを積層した１単位分の積層物を載せたパレット単位毎に、薄板と合紙の分離を行って、薄板と合紙の分離が完了してパレットに達した際に、再度パレット単位を載置台上に搭載していた。
パレット単位毎に分ける理由は、薄板の自重により、パレット上に詰める量に限度があり、また、製品の品種毎に分ける必要がある等のためであった。
しかし、これでは載置台へのパレット単位の交換の頻度が多く、作業性の面から問題となっていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このため、金属シートないしリードフレームシート（連状のリードフレームとも言う）と合紙との積層物から、金属シートないしリードフレームシートと、合紙とを分離する際に、金属シートないしリードフレームシートと、合紙との分離を間違わずに行える分離装置で、所定の廃棄箱中に合紙を確実に、良い状態で収納でき、且つ生産性の良い装置が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、金属シートなしいリードフレームシート等の薄板と合紙とが交互に積層された積層物から、薄板と合紙との分離を正確に行え、且つ生産性の良い分離装置および分離方法を提供しようとするものである。同時に、分離の際に合紙を所定の廃棄箱に確実に良い状態で収納できる分離装置を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の薄板と合紙の分離装置は、所定の載置台上に置かれた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から、薄板と合紙とを分離する装置であって、薄板と合紙が交互に重ねられた積層物を載せて上下移動ができる載置台と、載置台上に載せられたものの最も上のものが何であるかを判断するセンサ部と、該センサ部の情報に従い、最も上のものが薄板である場合に該薄板を吸着分離する薄板分離部と、最も上のものが合紙である場合に該合紙を吸着除去する合紙除去部とを備えたもので、薄板分離部は、積層物を載せる載置台の上から、その吸着部を上下移動させて、薄板を吸着して除去させるもので、合紙除去部は、合紙を吸着する吸着部と、吸着部を保持し、吸着部と一体となり、縦方向に移動可能なスライド部と、スライド部を縦方向移動可能な状態で保持する保持部と、保持部を固定しながら横方向移動させる第１の横方向移動部と、該第１の横方向移動部によるスライド部の横方向移動に伴いスライド部を吸着部と一体として縦方向に移動する案内をするガイド部と、これらを一体として横方向に移動する第２の横方向移動部とを有し、積層物を載せる載置台の横の所定の位置から、第２の横方向移動部により、第１の横方向移動部と一体的に吸着部を横方向移動させることにより、前記吸着部を載置台上まで横方向移動させ、更に第１の横方向移動部によるスライド部の横方向移動に伴い、スライド部をガイド部に沿い縦方向移動させて、吸着部を所定の高さの載置台上に載せられたものの最上段に接近させるもので、且つ、第２の横方向移動部の横方向移動により吸着部を載置台上から前記載置台の横の所定の位置に引き出すもので、前記センサ部により載置台上に載せられたものの最上段が合紙と判断された場合に、吸着部を載置台上に載せられたものの最上段に接近させ、合紙を吸着した状態で、吸着部を載置台上から引き戻して合紙を積層物から分離して除去するものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、パレット上に所定量の薄板と合紙とを積層した１単位分の積層物を載せたパレット単位を、複数個重ねた状態で、薄板、合紙、パレットとを分離するものであることを特徴とするものであり、該パレットを収納するパレット受けを合紙除去部の上側に設け、且つ、該パレット受けは、合紙除去部を付帯して載置台上まで移動可能であることを特徴とするものである。
また、上記における、載置台上に載せられたものの最も上のものが何であるかを判断するセンサ部は、光沢度センサと磁力を利用した近接センサの組みであることを特徴とするものであり、光沢度センサと磁力を利用した近接センサとをパレット受け部に設けたことを特徴とするものである。
そして、更に上記において、分離された合紙を一旦置く合紙受けを合紙廃棄箱上に備えており、合紙除去部の吸着部が合紙を載置台上から排出し、合紙廃棄箱上に設けられた開閉式の合紙受けに一旦置いた後、合紙受けを開き、合紙廃棄箱内に合紙を投入するものであることを特徴とするものであり、該合紙廃棄箱内に投入された合紙を平坦状の押圧プレートで押圧する押圧部を備えていることを特徴とするものである。
また、上記における薄板は、リードフレーム複数個からなるリードフレームシート（連状のリードフレームとも言う）１個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シートであることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の合紙の除去方法は、所定の載置台上に置かれた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から薄板と合紙とを分離する際に、合紙を吸着部により吸着分離させる合紙の分離方法であって、積層物の最も上のものが何であるかを光沢度センサと磁力を利用した近接センサとで判断し、該光沢度センサと磁力を利用した近接センサの組みが合紙と判断した場合にのみ、合紙を吸着部にて吸着除去することを特徴とするものであり、分離された合紙を、一旦開閉式の合紙受けにに置いた後、合紙受けを開き、合紙廃棄箱内に合紙を投入することを特徴とするものである。
そしてまた、上記における薄板は、リードフレーム複数個からなるリードフレームシート（連状のリードフレームとも言う）１個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シートであることを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】
本発明の薄板と合紙の分離装置は、このような構成にすることにより、薄板と合紙とが交互に積層された積層物から、薄板と合紙との分離を正確に行え、生産性の良い分離装置の提供を可能とするものである。更には、分離の際に合紙を所定の廃棄箱に確実に良い状態で収納できる分離装置の提供を可能とするものである。
結果的には、生産性や歩留りの向上、資材の節約も可能とするものである。
特に、薄板が、リードフレーム複数個からなるリードフレームシート（連状のリードフレームとも言う）１個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シートである場合には、有効である。
詳しくは、薄板と合紙が交互に重ねられた積層物を載せて上下移動ができる載置台と、載置台上に載せられたものの最も上のものが何であるかを判断するセンサ部と、該センサ部の情報に従い、最も上のものが薄板である場合に該薄板を吸着分離する薄板分離部と、最も上のものが合紙である場合に該合紙を吸着除去する合紙除去部とを備えたもので、薄板分離部は、積層物を載せる載置台の上から、その吸着部を上下移動させて、薄板を吸着して除去させるもので、合紙除去部は、合紙を吸着する吸着部と、吸着部を保持し、吸着部と一体となり、縦方向に移動可能なスライド部と、スライド部を縦方向移動可能な状態で保持する保持部と、保持部を固定しながら横方向移動させる第１の横方向移動部と、該第１の横方向移動部によるスライド部の横方向移動に伴いスライド部を吸着部と一体として縦方向に移動する案内をするガイド部と、これらを一体として横方向に移動する第２の横方向移動部とを有し、積層物を載せる載置台の横の所定の位置から、第２の横方向移動部により、第１の横方向移動部と一体的に吸着部を横方向移動させることにより、前記吸着部を載置台上まで横方向移動させ、更に第１の横方向移動部によるスライド部の横方向移動に伴い、スライド部をガイド部に沿い縦方向移動させて、吸着部を所定の高さの載置台上に載せられたものの最上段に接近させるもので、且つ、第２の横方向移動部の横方向移動により吸着部を載置台上から前記載置台の横の所定の位置に引き出すもので、前記センサ部により載置台上に載せられたものの最上段が合紙と判断された場合に、吸着部を載置台上に載せられたものの最上段に接近させ、合紙を吸着した状態で、吸着部を載置台上から引き戻して合紙を積層物から分離して除去するものであることにより、薄板と合紙との分離を正確に行えるものとしている。
【００１１】
具体的には、パレット上に所定量の薄板と合紙とを積層した１単位分の積層物を載せたパレット単位を、複数個重ねた状態で、薄板、合紙、パレットとを分離するものであり、パレットを収納するパレット受けを合紙除去部の上段に設け、且つ、該パレット受けは、合紙除去部を付帯して載置台上まで移動可能であることにより、生産性の良いものとしている。
尚、パレットの載置台上からの除去は薄板の吸着部にて行い、パレット受けに収納する。
また、薄板が磁性体である場合、積層物の最も上のものが何であるかを判断するセンサ部として、光沢度センサと磁力を利用した近接センサとの組みを用いており、確実に、薄板、合紙、パレットとの区分けをできるものとしている。
尚、薄板が磁性体でない場合はカラーセンサを用いて薄板、合紙、パレットとを判別できる。
尚、通常は、薄板と合紙とからなる積層物全体をパレットに載せたパレット単位で、複数個、載置台上に載せてから薄板と合紙との分離を行うため、薄板と合紙の他に、パレットとの区分けをする必要がある。
更に、光沢度センサと磁力を利用した近接センサとをパレット受け部に設けたことにより、全体の構造を簡単なものとしている。
また、分離された合紙を一旦置く合紙受けを合紙廃棄箱上に備えており、合紙除去部の吸着部が合紙を載置台上から排出し、合紙廃棄箱上に設けられた開閉式の合紙受けに一旦置いた後、合紙受けを開き、合紙廃棄箱内に合紙を投入するものであることにより、合紙を確実に且つ良い状態で収納できるものとしており、合紙の再利用を可能としている。
【００１２】
本発明の合紙の除去方法は、このような構成にすることにより、薄板と合紙との分離を正確に行えるものとしている。
具体的には、所定の載置台上に置かれた薄板と合紙が交互に重ねられた積層物から薄板と合紙とを分離する際に、合紙を吸着部により吸着分離させる合紙の分離方法であって、積層物の最も上のものが何であるかを光沢度センサと磁力を利用した近接センサとで判断し、該光沢度センサと近接センサとで合紙と判断した場合にのみ、合紙を吸着部にて吸着除去することにより薄板と合紙との分離を正確に行えるものとしている。
また、分離された合紙を、一旦開閉式の合紙受けに置いた後、合紙受けを開き、合紙廃棄箱内に合紙を投入することにより、確実に良い状態で合紙の収納を可能としている。
特に、薄板が、リードフレーム複数個からなるリードフレームシート（連状のリードフレームとも言う）１個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シートである場合には、有効である。
【００１３】
【実施の形態】
先ず、本発明の薄板と合紙の分離装置を図を用いて説明する。
図１（ａ）は、本発明の薄板と合紙の分離装置の実施の形態の１例概略構成図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１−Ａ２側からみた開閉式合紙受けと（合紙）廃棄箱とを示した図で、図１（ｃ）は図１（ａ）に示す積層物１７０を説明するための図で、図２はセンサ部の判定の仕方を説明する図で、図３は合紙除去部の動作を説明する図で、図４は開閉式合紙受け部の動作を説明するための図である。
図１中、１００は分離装置、１１０は薄板分離部、１１１は吸着ヘッド、１１１Ａは駆動部、１２０は合紙除去部、１２１は吸着部、１２１Ａはシリンダ、１２２は保持部、１２３スライド部、１２３Ａはレール、１２５はガイド部、１３０は載置台（テーブル）、１３１はジャッキ、１３５はパレット、１４０はセンサ部、１５０は（合紙）廃棄箱、１５３は開閉式合紙受け、１５５は押圧プレート、１６０はパレット受け、１７０は積層物、１８０は薄板、１８５は合紙、１９０は支柱である。
分離装置１００は、載置台１３０上に置かれた薄板１８０と合紙１８５とが交互に重ねられた積層物１７０から、薄板１８０と合紙１８５とを分離する装置で、パレット上に所定量の薄板と合紙とを積層した１単位分の積層物を載せたパレット単位を、複数個重ねた状態で載置台（テーブル）１３０に載せ、薄板、合紙、パレットとを分離する装置であり、分離に際しては、センサ部１４０により載置台１３０上に置かれた最も上のものが何であるかを判断する。
図１に示す装置では、パレット１３５を収納するパレット受け１６０を合紙除去部１２０の上段に設けており、パレット受け１６０は、合紙除去部１２０を付帯して載置台１３０上まで横方向移動可能であり、図１におけるＡ３の位置まで引き戻すことができ、載置台１３０の上にパレット受け１６０がない状態とできる。
パレット受け１６０の横方向移動により、シリンダ１２１Ａと一体で、吸着部１２１は、載置台１３０上まで横方向移動でき、且つ載置台１３０から引き戻すこともできる。パレット受け１６０自体が、合紙除去部１２０の横方向移動部を兼ねているものである。
尚、図１ではパレット受け１６０の移動源（駆動源）は省略してあるが、シリンダ駆動、モータ駆動等、特に限定はされない。
また、載置台（テーブル）１３０の上下移動は、駆動源（図示していない）によりジャッキ１３１を動作させて行う。
また、パレット受け１６０の移動とは別の方式により、シリンダ１２１Ａと一体で、吸着部１２１を横方向移動させても良いが、装置の構成を複雑にしてしまう。
【００１４】
薄板分離部１１０は、積層物１７０を載せる載置台１３０の上から、その吸着ヘッド１１１を上下移動させて、薄板１８０を吸着除去させるものである。
吸着ヘッド１１１の上下移動の駆動部１１１Ａにより行う。
合紙除去部１２０は、合紙１８５を吸着する吸着部１２１と、吸着部１２１を保持し、吸着部１２１と一体となり、縦方向に移動可能なスライド部１２３と、スライド部１２３を縦方向移動可能な状態で保持する保持部１２２と、保持部１２２を固定しながら横方向移動させるシリンダ１２１Ａと、シリンダ１２１Ａによる、スライド部１２３の横方向移動に伴いスライド部１２３を吸着部１２１と一体として縦方向に移動する案内をするガイド部１２５と、これらを一体として横方向移動させる前述横方向移動部（パレット受け１６０のこと）とを有している。
図１（ａ）に示す装置１００の場合、積層物１７０を載せる載置台１３０の横の所定の位置からパネル受け１６０を横方向に移動させることにより、これに固定されたシリンダ１２１Ａと一体で、吸着部１２１を横方向に移動させるもので、パネル受け１６０を横方向に移動させることにより、吸着部１２１を載置台１３０上まで横方向移動させることができる。
吸着部１２１を載置台１３０上まで横方向移動させ、パネル受け１６０と伴に停止した状態で、シリンダ１２１Ａによるスライド部１２３の横方向移動に伴い、スライド部１２３をガイド部１２５に沿い縦方向移動させて、吸着部１２１を載置台１３０上の所定の高さの積層物１７０の最上段に接近させ、更に、パネル受け１６０の横方向移動により吸着部１２１を載置台１３０上から載置台１３０の横の所定の位置に引き出すものである。
センサ部１４０により、載置台１３０上の最も上のものが合紙１８５と判断された場合に、吸着部１２１を載置台１３０上の積層物１７０の最上段に接近させ、合紙１８５を吸着した状態で、パネル受け１６０の横方向移動により吸着部１２１を載置台１３０上から引き戻して合紙１８５を積層物１７０から分離除去するものである。
【００１５】
センサ部１４０は、例えば薄板１８０が磁性体の金属シートである場合には、光沢度センサとソレノイド磁石等の磁力を利用した近接センサとの組みで、薄板、合紙、パレットの区分けが可能であり、載置台１３０上の最も上のものが何であるかを判断できる。
尚、図１に示す装置１００のように、光沢度センサと近接センサとからなるセンサ部１４０をパレット受け部１６０に設けることにより、全体の構成を簡単なものとできる。
【００１６】
以下、センサ部１４０として、光沢度センサとソレノイド磁石を用いた近接センサとの組みを用いた場合の判断について簡単に説明しておく。
光沢度センサは試料の光反射率の多少を測定するもので、反射率の高い薄板１８０を、反射率の低い合紙１８５やパレット１３５から区分けすることができる。
また、ソレノイド磁石を用いた近接センサについては、対象となる試料に対し所定の距離に接近させると、磁性体からなる薄板が最上段にある場合には、薄板１８０はソレノイド（磁石）が近接することによりその磁力にてソレノイド（磁石）と引張合う。これに対し、パレットが最上段にある場合には、合成樹脂であるパレットとソレノイド（磁石）が近接しても、引張合うことはなく、且つ、パレットが厚いためその下の薄板とソレノイド（磁石）とは引張合うことはない。
そして、合紙が最も上段にある場合には、合紙１８５は薄いため、ソレノイド（磁石）が近接するとその下の薄板がソレノイド（磁石）と引張合う。
これより、光沢度センサによる判断では光沢度の高いものを○、低いものを×とし、ソレノイド磁石を用いた近接センサによる判断においては、ソレノイドと引張合うものを○、引張合わないものを×とすると、図２（ａ）のようになる。
したがって、最上段のものが、薄板、合紙、パレットであるかは、光沢センサ、ソレノイドを用いた近接センサを用いて判断することができる。
【００１７】
また、薄板１８０が磁性体の金属シートでない場合には、載置台１３０上の最も上のものが何であるかの判断をカラーセンセを用いて行うこともできる。
例えば、合紙１８５、パレット１３５にそれぞれ感度を合わせたカラーセンサ▲１▼、カラーセンサ▲２▼を用いて合紙１８５、パレット１３５を認識し、どちらにも認識されないものを薄板と認識すれば良い。
この場合、カラーセンサ▲１▼が合紙１８５と判断したものを○、それ以外を×、カラーセンサ▲２▼がパレット１３５と判断したものを○、それ以外を×とすると、図２（ｂ）のようになり、最上段のものが、薄板、合紙、パレットであるかは、カラーセンサ▲１▼、カラーセンサ▲２▼の組みで判断することができる。
尚、この場合は、合紙が反り、折れの無い状態で検出される必要があり、センサによる認識の前に押さえ部等により押さえた状態にしておく必要がある。
【００１８】
次いで、合紙除去部１２０の動作を説明する。
図１に示す装置１００においては、吸着部１２１を横方向に移動するのは、合紙除去部１２０全体を横方向移動させるパレット受け１６０の移動と、シリンダ１２１Ａの横方向移動である。
パレット受け１６０は合紙除去部１２０を付帯して、図１（ａ）に示す位置から、その端が図１（ａ）に示すＡ３の位置まで移動できる。このパレット受け１６０の移動に伴う合紙除去部１２０の移動範囲内で合紙除去部１２０は横方向移動できる。
これにより、吸着部が合紙１８５を吸着して、載置台１３０から合紙１８５を引き戻すに際し、合紙１８５を開閉式合紙受け１５３に持って来れるようにしている。
【００１９】
吸着部１２１を縦方向に移動するのは、シリンダ１２１Ａの横方向移動に伴うガイド１２５に沿うスライド部１２３の縦方向の移動であるが、図３に基づいて簡単に説明しておく。
尚、図３は、合紙除去部１２０の要部である吸着部１２１の縦方向移動動作を説明するための図で、シリンダ１２１Ａの横方向移動における第１位置を実線で、第２の位置を２点鎖線で示したものである。
シリンダ１２１Ａの横方向移動により、載置台１３０側へ吸着部１２１等は移動されるが、所定の位置（これを第１の位置とする）に達すると、ガイド１２５に沿い吸着部１２１は縦方向にも移動しはじめる。
これは、吸着部１２１と一体となったスライド部１２３がシリンダ１２１Ａに固定された保持部１２２に設けられたレール１２３Ａに沿い縦方向に移動できるようになっており、吸着部１２１、スライド部１２３を支持する支持部１２６がガイド１２５に沿うように設けられているためである。
そして、第１の位置から更に載置台１３０側へとシリンダ１２１Ａの横方向移動がなされると、第２の位置に示すように、吸着部１２１は、シリンダ１２１Ａの横方向移動に伴い縦方向にも移動していることが分かる。
図３では、シリンダ１２１ＡのＸ０の横方向移動距離に対し、吸着部１２１はＹ０の距離だけ縦方向移動が行われることを示している。
尚、シリンダ１２１Ａ、保持部１２２は縦方向の移動はない。
【００２０】
次に、開閉式合紙受け１５３の動作を図４にもとづいて説明しておく。
吸着部１２１が合紙１８５を吸着し、シリンダ１２１Ａの横方向動作や、パレット受け１６０の横方向移動により、合紙１８５を載置台１３０から引き戻し、（図４（ａ））、更に引き戻して、図４（ａ）に示す、廃棄箱１５０の上を覆う（これを閉じた状態と言う）開閉式合紙受け１５３上に載せる。（図４（ｂ））次いで、吸着部１２１の吸着を止め、吸着部１２１から合紙１８５を離した後、開閉式合紙受け１５３を図４（ｃ）に示すように、そのセンター側を廃棄箱１５０内に倒すようにして、合紙１８５を廃棄箱１５０内に落とす。
このようにすることにより、合紙１８５を良い状態で廃棄箱の中に収納することができる。
更に、図１に示す装置１００においては、図１（ａ）に示すように廃棄箱１５０上に押圧プレート１５５を設けており、これにより、廃棄箱１５０内に収納され積み重なった合紙を押圧でき、合紙１８５を廃棄箱１５０に多数収納できるようにしている。
尚、押圧プレート１５５の幅は、廃棄箱１５０の幅に比べ小とし、押圧プレート１５５を廃棄箱１５０の中心に移動させて押圧するものであるが、これに限定はされない。
【００２１】
支柱１９０は各部を固定するためのもので、位置センサ（図示していない）等が支柱１９０に固定されている。
【００２２】
薄板１８０としては、図６に示すような、リードフレーム複数個からなるリードフレームシート１個ないし複数個を、連結部にて、不要の板部に一体連結させた金属シート等が挙げられる。
【００２３】
図１に示す装置１００における合紙除去部１２０の合紙除去動作、薄板分離部１１０の薄板分離動作を図５にしたがい簡単に説明しておく。尚、図５は説明を分かり易くするための簡略図である。
図５（ａ）は吸着部の初期位置の状態で、図１に示すように、積層物１７０を載せる載置台１３０から離れた位置に吸着部１２１を位置させている。
このとき、シリンダ１２１Ａの位置、パレット受け１６０の位置はともに初期位置にある。パレット受け１６０の端はＡ３の位置にある。
薄板分離部の吸着部が薄板を吸着して分離し、処理した状態である。
次いで、図５（ｂ）に示すように、パレット受け１６０を載置台１３０側に横移動させ、所定の位置まで（図１（ａ）に示す位置）、合紙除去部１２０全体を付帯して移動する。
第１の位置センサ（図示していない）により、載置台１３０の最も上段のものの表面位置を合紙１８５を除去するための所定の位置に合わせておく。
次いで、センサ部１４０が最も上段のものが何であるか判断し、最も上段のものが合紙１８５であると判断された場合には、シリンダ１２１Ａが載置台１３０側へ吸着部１２１を横方向移動し、この横方向移動に伴い、ガイド１２５に沿い、吸着部は縦方向にも移動し、最も上段の合紙１８５を吸着する。（図５（ｃ））
この後、合紙１８５を吸着した状態で、シリンダ１２１Ａが載置台１３０から吸着部１２１が離れる方向に横方向移動し、更にパレット受け１６０の端が図１（ａ）に示すＡ３に達するように横方向移動し（図５（ｄ））、合紙１８５を開閉式合紙受け１５３まで運ぶ。
尚、必要に応じ、載置台１３０は所定の位置まで下がる。
【００２４】
次いで、パレット受け１６０が載置台１３０側に横移動し、センサ部１４０を所定の位置（図１（ａ）に示す位置）にして、再度、載置台１３０上の最も上段のものが何であるかを判断する。（図は省略）
センサ部１４０が最も上段のものが薄板１８０であると判断した場合には、パレット受け１６０を初期位置に戻し、載置台１３０上にパレット受け１６０が無い状態にし、第２の位置センサ（図示していない）により載置台１３０上の最上段のものの表面を所定の高さ位置に合わせた後、吸着部１１１を上下移動させて最上段の薄板１８０を吸着分離する。（図５（ｅ））
この後再度、図５（ａ）以下を繰り返して、薄板と合紙の分離を行う。
【００２５】
上記繰り返しにおいて、薄板、合紙の除去が進みパレットが最上段となったときは、センサ部１４０により最上段のものは、パレットと判断されるが、この場合は、パレット受けを一旦載置台１３０上から引っ込めた状態で、吸着部１１１でパレット１３５を上に移動した後、パレット受け１６０を横方向移動により載置台１３０上で、且つ持ち上げたパレット１３５下側に位置させて、吸着を止め、パレット受け１６０にパレット１３５を置く。
そして、再度センサー部１４０により載置台１３０上の最上段のものが何であるかを判断して、その結果にもとづき上記の動作を行う。
このようにして、薄板、合紙パレットの除去が行われる。
【００２６】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、薄板と合紙とが交互に積層された積層物から、薄板と合紙との分離を正確に行える分離装置の提供を可能とするものであり、同時に、分離の際に合紙を所定の廃棄箱に確実に良い状態で収納できる分離装置の提供を可能とするものである。
そして、結果的、生産性や歩留りの向上を可能としている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の薄板と合紙との分離装置の実施の形態の１例を示した概略図
【図２】センサー部の判定方法を説明するための図
【図３】合紙除去部の縦方向移動動作を説明するための図
【図４】開閉式合紙受けの動作を説明するための図
【図５】薄板分離動作と合紙除去動作とを説明するための図
【図６】リードフレームの外形加工状態とリードフレームシートを示した図
【図７】リードフレームと半導体装置を説明するための図
【図８】従来の薄板と合紙との分離方法を説明するための図
【符号の説明】
１００                    分離装置
１１０                    薄板分離部
１１１                    吸着ヘッド
１１１Ａ                  駆動部（モータ）
１２０                    合紙除去部
１２１                    吸着部
１２１Ａ                  シリンダ
１２２                    保持部
１２３                    スライド部
１２３Ａ                レール
１２５                    ガイド部
１３０                    テーブル（載置台）
１３１                    ジャッキ
１３５                    パレット
１４０                    センサ部
１５０                    （合紙）廃棄箱
１５３                    開閉式合紙受け
１５５                    押圧プレート
１６０                    パレット受け
１７０                    積層物
１８０                    薄板
１８５                    合紙
１９０                    支柱
６００                    金属シート
６０５                    不要の金属板部
６１０                    単位リードフレーム
６１０Ａ                  リードフレームシート
６２０                    連結部
７００                    半導体装置
７１０                    リードフレーム（単位リードフレーム）
７１１                    ダイパッド
７１２                    インナーリード
７１３                    アウターリード
７１４                    ダムバー
７１５                    フレーム（枠部）
７２０                    半導体素子
７２１                    端子
７３０                    ワイヤ
７４０                    封止用樹脂
８１０                    吸着部（ヘッド）
８１１                    真空チャンバー
８２０                    吸着部
８２１                    吸引口
８３０                    載置台
８６０                    廃棄箱
８８０                    金属シート
８８５                    合紙
８９０                    積層物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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