(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定信号光の繰り返し周波数のほぼ整数分の１の周波数のサンプリングパルス光を用いて、前記被測定信号光のタイミングジッタを測定する光波形評価装置であって、
前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での振幅揺らぎを算出する半値振幅揺らぎ算出手段と、
前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での波形の傾きを算出する半値傾き算出手段と、
前記半値振幅揺らぎ算出手段が算出した半値の時点での振幅揺らぎを、前記半値傾き算出手段が算出した半値の時点での傾きで割ることによって、前記被測定信号光のタイミングジッタを算出するタイミングジッタ算出手段と
を有することを特徴とする光波形評価装置。
【請求項２】
前記半値振幅揺らぎ算出手段は、
前記被測定信号光の振幅が最大となるピーク値の時点での振幅揺らぎを算出するピーク値振幅揺らぎ算出手段と、
前記被測定信号光の振幅が最小となるボトム値の時点での振幅揺らぎを算出するボトム値振幅揺らぎ算出手段と、
前記ピーク値振幅揺らぎ算出手段が算出したピーク値の時点での振幅揺らぎから、前記ボトム値振幅揺らぎ算出手段が算出したボトム値の時点での振幅揺らぎを差し引くことによって、ピーク値の時点でのショット雑音を算出するピーク値ショット雑音算出手段と、
このピーク値ショット雑音算出手段が算出したピーク値の時点でのショット雑音を２で割ることによって、半値の時点でのショット雑音を算出する半値ショット雑音算出手段と
を有し、
算出した半値の時点での振幅揺らぎから、前記半値ショット雑音算出手段が算出した半値の時点でのショット雑音と、前記ボトム値振幅揺らぎ算出手段が算出したボトム値の時点での振幅揺らぎが示す熱雑音とを差し引いた値を、雑音を含まない半値の時点での振幅揺らぎとして前記タイミングジッタ算出手段に送ることを特徴とする請求項１に記載の光波形評価装置。
【請求項３】
前記半値振幅揺らぎ算出手段、ピーク値振幅揺らぎ算出手段およびボトム値振幅揺らぎ算出手段が振幅揺らぎを算出する際に、前記サンプリングパルス光の周波数を前記被測定信号光の繰り返し周波数の整数分の１に完全に一致させる周波数同期手段を有する
ことを特徴とする請求項２に記載の光波形評価装置。
【請求項４】
被測定信号光の繰り返し周波数のほぼ整数分の１の周波数のサンプリングパルス光を用いて、前記被測定信号光のタイミングジッタを測定する光波形評価方法であって、
前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での振幅揺らぎを算出する半値振幅揺らぎ算出ステップと、
前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での波形の傾きを算出する半値傾き算出ステップと、
前記半値振幅揺らぎ算出ステップで算出した半値の時点での振幅揺らぎを、前記半値傾き算出ステップで算出した半値の時点での傾きで割ることによって、前記被測定信号光のタイミングジッタを算出するタイミングジッタ算出ステップとを有することを特徴とする光波形評価方法。
【請求項５】
被測定信号光の繰り返し周波数のほぼ整数分の１の周波数のサンプリングパルス光を用いて、前記被測定信号光のタイミングジッタを測定するための光波形評価プログラムであって、
前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での振幅揺らぎを算出する半値振幅揺らぎ算出ステップと、
前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での波形の傾きを算出する半値傾き算出ステップと、
前記半値振幅揺らぎ算出ステップで算出した半値の時点での振幅揺らぎを、前記半値傾き算出ステップで算出した半値の時点での傾きで割ることによって、前記被測定信号光のタイミングジッタを算出するタイミングジッタ算出ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする光波形評価プログラム。
【請求項６】
被測定信号光の繰り返し周波数のほぼ整数分の１の周波数のサンプリングパルス光を用いて、前記被測定信号光のタイミングジッタを測定するための光波形評価プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での振幅揺らぎを算出する半値振幅揺らぎ算出ステップと、
前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での波形の傾きを算出する半値傾き算出ステップと、
前記半値振幅揺らぎ算出ステップで算出した半値の時点での振幅揺らぎを、前記半値傾き算出ステップで算出した半値の時点での傾きで割ることによって、前記被測定信号光のタイミングジッタを算出するタイミングジッタ算出ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする光波形評価プログラムを記録した記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超高周波の被測定信号光のタイミングジッタを測定するための光波形評価装置、光波形評価方法、光波形評価プログラムおよび光波形評価プログラムを記録した記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７は、従来のタイミングジッタの測定方法を示す図である。従来は、光波形評価装置を用いて図示したような被測定信号光の波形を取得した後に、波形の傾きが最も大きい部分に微小振幅区間Ａを設け、この微小振幅区間Ａに含まれる測定点の時間軸方向におけるばらつきの標準偏差τをタイミングジッタとしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の従来技術には、次のような問題がある。すなわち、波形が完全な方形波ではなく、波形の傾きが有限の値をもつ場合に、微小振幅区間Ａの幅を広くすると、波形の傾きに起因する誤差が大きくなる。逆に、微小振幅区間Ａの幅を狭くすると、データ数が少なくなり、標準偏差を算出する際の誤差が大きくなる。データ数を増やすために、光波形評価装置で、被測定信号光の波形を複数回掃引すると、測定に時間がかかる。また、複数回掃引したデータどうしを重ね合わせる際のずれによって誤差が発生する可能性もでてくる。
【０００４】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、短時間で正確にタイミングジッタを測定することが可能な光波形評価装置、光波形評価方法、光波形評価プログラムおよび光波形評価プログラムを記録した記録媒体を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、 被測定信号光の繰り返し周波数のほぼ整数分の１の周波数のサンプリングパルス光を用いて、前記被測定信号光のタイミングジッタを測定する光波形評価装置であって、前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での振幅揺らぎを算出する半値振幅揺らぎ算出手段と、前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での波形の傾きを算出する半値傾き算出手段と、前記半値振幅揺らぎ算出手段が算出した半値の時点での振幅揺らぎを、前記半値傾き算出手段が算出した半値の時点での傾きで割ることによって、前記被測定信号光のタイミングジッタを算出するタイミングジッタ算出手段とを有することを特徴とする光波形評価装置である。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、 前記半値振幅揺らぎ算出手段は、前記被測定信号光の振幅が最大となるピーク値の時点での振幅揺らぎを算出するピーク値振幅揺らぎ算出手段と、前記被測定信号光の振幅が最小となるボトム値の時点での振幅揺らぎを算出するボトム値振幅揺らぎ算出手段と、前記ピーク値振幅揺らぎ算出手段が算出したピーク値の時点での振幅揺らぎから、前記ボトム値振幅揺らぎ算出手段が算出したボトム値の時点での振幅揺らぎを差し引くことによって、ピーク値の時点でのショット雑音を算出するピーク値ショット雑音算出手段と、このピーク値ショット雑音算出手段が算出したピーク値の時点でのショット雑音を２で割ることによって、半値の時点でのショット雑音を算出する半値ショット雑音算出手段とを有し、算出した半値の時点での振幅揺らぎから、前記半値ショット雑音算出手段が算出した半値の時点でのショット雑音と、前記ボトム値振幅揺らぎ算出手段が算出したボトム値の時点での振幅揺らぎが示す熱雑音とを差し引いた値を、雑音を含まない半値の時点での振幅揺らぎとして前記タイミングジッタ算出手段に送ることを特徴とする請求項１に記載の光波形評価装置である。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、 前記半値振幅揺らぎ算出手段、ピーク値振幅揺らぎ算出手段およびボトム値振幅揺らぎ算出手段が振幅揺らぎを算出する際に、前記サンプリングパルス光の周波数を前記被測定信号光の繰り返し周波数の整数分の１に完全に一致させる周波数同期手段を有することを特徴とする請求項２に記載の光波形評価装置である。
【０００８】
請求項４に記載の発明は、 被測定信号光の繰り返し周波数のほぼ整数分の１の周波数のサンプリングパルス光を用いて、前記被測定信号光のタイミングジッタを測定する光波形評価方法であって、前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での振幅揺らぎを算出する半値振幅揺らぎ算出ステップと、前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での波形の傾きを算出する半値傾き算出ステップと、前記半値振幅揺らぎ算出ステップで算出した半値の時点での振幅揺らぎを、前記半値傾き算出ステップで算出した半値の時点での傾きで割ることによって、前記被測定信号光のタイミングジッタを算出するタイミングジッタ算出ステップとを有することを特徴とする光波形評価方法である。
【０００９】
請求項５に記載の発明は、 被測定信号光の繰り返し周波数のほぼ整数分の１の周波数のサンプリングパルス光を用いて、前記被測定信号光のタイミングジッタを測定するための光波形評価プログラムであって、前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での振幅揺らぎを算出する半値振幅揺らぎ算出ステップと、前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での波形の傾きを算出する半値傾き算出ステップと、前記半値振幅揺らぎ算出ステップで算出した半値の時点での振幅揺らぎを、前記半値傾き算出ステップで算出した半値の時点での傾きで割ることによって、前記被測定信号光のタイミングジッタを算出するタイミングジッタ算出ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする光波形評価プログラムである。
【００１０】
請求項６に記載の発明は、 被測定信号光の繰り返し周波数のほぼ整数分の１の周波数のサンプリングパルス光を用いて、前記被測定信号光のタイミングジッタを測定するための光波形評価プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での振幅揺らぎを算出する半値振幅揺らぎ算出ステップと、前記被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での波形の傾きを算出する半値傾き算出ステップと、前記半値振幅揺らぎ算出ステップで算出した半値の時点での振幅揺らぎを、前記半値傾き算出ステップで算出した半値の時点での傾きで割ることによって、前記被測定信号光のタイミングジッタを算出するタイミングジッタ算出ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする光波形評価プログラムを記録した記録媒体である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１ は、本発明の一実施形態における光波形評価装置の構成を示すブロック図である。被測定信号光源１ は、周期的に振幅が変化する被測定信号光を発生すると共に、発生する被測定信号光の振幅の変化に同期した繰り返し信号を出力するものとする。被測定信号光源１から出力された繰り返し信号は、周波数同期手段２ に入力される。周波数同期手段２は、入力した繰り返し信号の周波数のほぼ整数分の１の周波数のサンプリング信号を出力する。周波数同期手段２から出力されたサンプリング信号は、サンプリングパルス光源３ に入力される。サンプリングパルス光源３は、入力したサンプリング信号に同期して光の強度すなわち振幅が変化するサンプリングパルス光を発生する。
【００１２】
サンプリングパルス光源３が発生したサンプリングパルス光と、前記被測定信号光源１が発生した被測定信号光とは、合波器４ に入射される。合波器４は、入射したサンプリングパルス光と被測定信号光とを合波し、合波光を出射する。合波器４が出射した合波光は、非線形光学結晶素子５ に入射される。非線形光学結晶素子５は、非線形光学効果により、入射した合波光から和周波光を発生する。和周波光は、入射した合波光に含まれるサンプリングパルス光と被測定信号光との２つの光の強度の積に比例した強度と、２つの光の周波数の和に等しい周波数とを有する。非線形光学結晶素子５が発生した和周波光は、受光器６ に入射される。受光器６は、入射した和周波光の強度に比例するアナログ信号（電気信号）を出力する。
【００１３】
前記周波数同期手段２から出力されたサンプリング信号は、移相器７ にも入力される。移相器７は、入力したサンプリング信号を所定量だけ遅らせることによって位相を補正し、補正サンプリング信号を出力する。すなわち、移相器７は、サンプリングパルス光源３、合波器４、非線形光学結晶素子５および受光器６によって構成される系における遅れと同量の遅れを発生させる。
【００１４】
移相器７から出力された補正サンプリング信号と、前記受光器６から出力されたアナログ信号とは、Ａ／Ｄ変換器８ に入力される。Ａ／Ｄ変換器８は、入力したアナログ信号を、補正サンプリング信号に同期したタイミングでサンプリングすることによりＡ／Ｄ変換（アナログ／デジタル変換）し、デジタル信号を出力する。Ａ／Ｄ変換器８から出力されたデジタル信号は、コンピュータ９ に入力される。コンピュータ９は、入力したデジタル信号に基づいて、表示装置１０に被測定信号光の波形を表示させる。
【００１５】
図２ は、周波数同期手段２の内部構成を示すブロック図である。周波数同期手段２内には、分周器２ａと、周波数加算手段２ｂと、移相器２ｃと、定電圧源２ｅとが設けられている。前記被測定信号光源１から出力された繰り返し信号は、分周器２ａに入力される。分周器２ａは、入力した繰り返し信号を分周し、入力した繰り返し信号の周波数の整数分の１の周波数の分周繰り返し信号を出力する。分周器２ａから出力された分周繰り返し信号は、周波数加算手段２ｂに入力される。周波数加算手段２ｂは、通常、入力した分周繰り返し信号の周波数にわずかな周波数を加算した信号を移相器２ｃへ出力する。なお、この周波数加算手段２ｂは、周波数を加算する動作を停止し、入力した分周繰り返し信号をそのままの形で出力することも可能であるものとする。定電圧源２ｅはコンピュータ９からのサンプリング位置制御信号により、ある一定の電圧値の信号を移相器２ｃに出力する。移相器２ｃは定電圧源２ｅからの信号の電圧値に従って周波数加算手段２ｂから出力された信号の位相をシフトしサンプリング信号として出力する。
【００１６】
なお、周波数加算手段２ｂの代わりに周波数減算手段を設け、分周繰り返し信号の周波数からわずかな周波数を減算した信号を移相器２ｃに出力してもよい。この場合にも、周波数減算手段は、周波数を減算する動作を停止し、入力した分周繰り返し信号をそのままの形で移相器２ｃに出力することが可能であるものとする。
【００１７】
図３ は、周波数同期手段２の内部構成の別の例を示すブロック図である。この例では、周波数加算手段２ｂ、移相器２ｃおよび定電圧源２ｅの組み合わせの代わりに、移相器２ｃと、鋸波発生器２ｄとが設けられている。これ以外の構成は、図２に示した例と同様である。分周器２ａから出力された分周繰り返し信号は、移相器２ｃに入力される。移相器２ｃは、入力した分周繰り返し信号の位相をシフトさせ、サンプリング信号として出力する。鋸波発生器２ｄは、コンピュータ９からのサンプリング位置制御信号により鋸波の初期電圧をある一定の電圧に設定し、通常、鋸波を発生する。鋸波発生器２ｄが発生した鋸波は、移相器２ｃに入力される。移相器２ｃは、入力した鋸波の振幅の変化に応じて、分周繰り返し信号の位相のシフト量を変化させる。これにより、図２に示した構成から得られるサンプリング信号と同様のサンプリング信号が得られる。
【００１８】
なお、鋸波発生器２ｄは、鋸波以外に、直流波形すなわち一定の電圧を発生することも可能であるものとする。また、移相器２ｃは、鋸波発生器２ｄから直流波形すなわち一定の電圧を送られた場合には、分周繰り返し信号の位相をシフトさせる機能を停止するものとする。
【００１９】
図４ は、被測定信号光の観測波形の模式図である。この図を用いて、前述したコンピュータ９の機能を説明する。コンピュータ９は、表示装置１０に被測定信号光の波形を表示させる波形表示手段と共に、半値振幅揺らぎ算出手段と、半値傾き算出手段と、タイミングジッタ算出手段とを有する。
【００２０】
半値振幅揺らぎ算出手段は、被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σhalfを算出する。半値傾き算出手段は、被測定信号光の振幅が最大時の半分となる半値の時点での波形の傾きｄＡ／ｄｔを算出する。タイミングジッタ算出手段は、半値振幅揺らぎ算出手段が算出した半値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σhalfを、半値傾き算出手段が算出した半値の時点での傾きｄＡ／ｄｔで割ることによって、被測定信号光のタイミングジッタを算出する。すなわち、タイミングジッタ算出手段は、下記の式（１）によってタイミングジッタJitterを算出する。
【数１】
0003807285.tif 000002
【００２１】
図５ は、表示装置１０に表示される被測定信号光の観測波形の一例を示す図である。この図を用いて、より正確にタイミングジッタを算出する方法を説明する。図示した観測波形の半値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σhalfには、受光器６が発生するショット雑音や熱雑音が含まれているので、これらの雑音を差し引くことによって、より正確にタイミングジッタを算出することができる。
【００２２】
このため、前記半値振幅揺らぎ算出手段内に、ピーク値振幅揺らぎ算出手段と、ボトム値振幅揺らぎ算出手段と、ピーク値ショット雑音算出手段と、半値ショット雑音算出手段とを設ける。
【００２３】
ピーク値振幅揺らぎ算出手段は、被測定信号光の振幅が最大となるピーク値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σpeakを算出する。ピーク値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σpeakは、ピーク値の時点で受光器６が発生するショット雑音と熱雑音との合計である合成雑音の量を表している。ボトム値振幅揺らぎ算出手段は、被測定信号光の振幅が最小となるボトム値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σbottomを算出する。ボトム値の時点では受光器６に光が入射されていないので、ボトム値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σbottomは、受光器６が発生する熱雑音のみの量を表している。
【００２４】
ピーク値ショット雑音算出手段は、ピーク値振幅揺らぎ算出手段が算出したピーク値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σpeakから、ボトム値振幅揺らぎ算出手段が算出したボトム値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σbottomを差し引くことによって、ピーク値の時点でのショット雑音を算出する。ここで、受光器６が発生するショット雑音は、受光器６に入射される光の強度に比例する。そこで、半値ショット雑音算出手段は、ピーク値ショット雑音算出手段が算出したピーク値の時点でのショット雑音を２で割ることによって、半値の時点でのショット雑音を算出する。
【００２５】
そして、半値振幅揺らぎ算出手段は、算出した半値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σhalfから、半値ショット雑音算出手段が算出した半値の時点でのショット雑音と、ボトム値振幅揺らぎ算出手段が算出したボトム値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σbottomが示す熱雑音とを差し引いた値を、雑音を含まない半値の時点での振幅揺らぎの標準偏差としてタイミングジッタ算出手段に送る。すなわち、タイミングジッタ算出手段は、下記の式（２）によって雑音成分を含まないタイミングジッタJitterを算出する。
【数２】
0003807285.tif 000003
【００２６】
上記の波形表示手段、半値振幅揺らぎ算出手段、半値傾き算出手段およびタイミングジッタ算出手段は、コンピュータ９に内蔵されるハードウェアによって実現されるものであっても、ソフトウェアによって実現されるものであってもよい。「ソフトウェアによって実現される」とは、上記の各手段の機能を有する光波形評価プログラムをコンピュータ９内のメモリにロードして実行することにより、上記の各手段の機能が実現されることを意味する。
【００２７】
また、上記の各手段の機能を有する光波形評価プログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録された光波形評価プログラムをコンピュータ９に読み込ませ、実行することにより、上記の各手段の機能を実現してもよい。なお、ここで言う「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ等の可搬媒体や、コンピュータに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことである。
【００２８】
図６ は、半値振幅揺らぎ算出手段、ピーク値振幅揺らぎ算出手段およびボトム値振幅揺らぎ算出手段が、それぞれ半値、ピーク値およびボトム値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σhalf、σpeakおよびσbottomを算出する際に取得するデータの一例を示す図である。この図における横軸はサンプリング数、縦軸は被測定信号光の波形の振幅である。このデータを取得する際には、サンプリングパルス光の周波数を被測定信号光の繰り返し周波数の整数分の１に完全に一致させ、被測定信号光の波形の半値、ピーク値またはボトム値のみを常にサンプリングするようにする。
【００２９】
このため、周波数同期手段２内では、被測定信号光源１から送られる繰り返し信号の分周のみを行い、周波数をずらすことは行わない。すなわち、周波数同期手段２の内部構成が図２に示したものである場合には、周波数加算手段２ｂにおける周波数を加算する動作を停止させ、入力した分周繰り返し信号をそのままの形で出力させ、出力された分周繰り返し信号の位相をコンピュータ９からのサンプリング位置制御信号により、定電圧源２ｅと移相器２ｃにて一定量シフトした信号をサンプリング信号として出力させる。また、周波数同期手段２の内部構成が図３に示したものである場合には、コンピュータ９からのサンプリング位置制御信号により、鋸波発生器２ｄから一定電圧の直流を発生させ、移相器２ｃの位相シフト量を一定値にし、分周繰り返し信号の位相を一定量シフトした信号をサンプリング信号として出力させる。これにより、周波数同期手段２は、被測定信号光源１から送られた繰り返し信号の周波数の整数分の１に完全に一致した周波数のサンプリング信号を出力する。また、半値、ピーク値、ボトム値の時点での振幅揺らぎのデータを取得するため、被測定信号光の半値、ピーク値、ボトム値を常にサンプリングするように、コンピュータ９はサンプリング位置制御信号で周波数同期手段２を制御し、周波数同期手段２内の移相器２ｃの位相シフト量を調節している。
【００３０】
なお、上記のデータを取得する際に、サンプリング数を変えることによって、タイミングジッタの周波数成分を解析することができる。すなわち、サンプリング数を少なくする（サンプリング期間を短くする）と、タイミングジッタの高周波成分のみが抽出され、サンプリング数を多くする（サンプリング期間を長くする）と、低周波成分も含めたタイミングジッタが抽出される。
【００３１】
【発明の効果】
本発明によれば、短時間で正確にタイミングジッタを測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】   本発明の一実施形態における光波形評価装置の構成を示すブロック図である。
【図２】   周波数同期手段２の内部構成を示すブロック図である。
【図３】   周波数同期手段２の内部構成の別の例を示すブロック図である。
【図４】   被測定信号光の観測波形の模式図である。
【図５】   表示装置１０に表示される被測定信号光の観測波形の一例を示す図である。
【図６】   半値振幅揺らぎ算出手段、ピーク値振幅揺らぎ算出手段およびボトム値振幅揺らぎ算出手段が、それぞれ半値、ピーク値およびボトム値の時点での振幅揺らぎの標準偏差σhalf、σpeakおよびσbottomを算出する際に取得するデータの一例を示す図である。
【図７】   従来のタイミングジッタの測定方法を示す図である。
【符号の説明】
１   被測定信号光源                  ２   周波数同期手段
２ａ  分周器                        ２ｂ  周波数加算手段
２ｃ  移相器                        ２ｄ  鋸波発生器
２ｅ  定電圧源
３   サンプリングパルス光源          ４   合波器
５   非線形光学結晶素子              ６   受光器
７   移相器                          ８   Ａ／Ｄ変換器
９   コンピュータ（半値振幅揺らぎ算出手段、半値傾き算出手段、タイミングジッタ算出手段）
１０   表示装置
【図１】
0003807285.tif 000004
【図２】
0003807285.tif 000005
【図３】
0003807285.tif 000006
【図４】
0003807285.tif 000007
【図５】
0003807285.tif 000008
【図６】
0003807285.tif 000009
【図７】
0003807285.tif 000010