(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ろう材を収容する槽体と、
この槽体に沿って設けられろう材を上方へ噴流させて、その噴流波に搬入され搬出されるワークをろう付けする電磁誘導ポンプとを備え、
電磁誘導ポンプは、
移動磁界が生じる方向に分割された複数の鉄心を槽体の外側面に個々に密着させて配列され、誘導コイルの巻回された一次鉄心と、
この一次鉄心に対して設けられ、この一次鉄心の分割された複数の鉄心を槽体の外側面に個々に押付ける一次鉄心押付機構と、
槽体の内側にろう材圧送間隙を介して配置された二次鉄心と
を具備したことを特徴とするろう付け装置。
【請求項２】
一次鉄心押付機構は、一次鉄心の複数の鉄心を槽体の外側面に個々に押付けるバネ部材を備えた
ことを特徴とする請求項１記載のろう付け装置。
【請求項３】
二次鉄心に対し、この二次鉄心をろう材圧送間隙を最小にするスペーサに押付ける二次鉄心押付機構を備えた
ことを特徴とする請求項１記載のろう付け装置。
【請求項４】
二次鉄心押付機構は、槽体に対し着脱自在の二次鉄心に取付けたバネ部材を備えた
ことを特徴とする請求項３記載のろう付け装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電磁誘導ポンプを用いたろう付け装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７は、従来の噴流式はんだ付け装置の全体構成を示し、装置カバー11のワーク搬入口12からワーク搬出口13にわたって、はんだ付けされる部品実装基板などのワークを搬送するためのワーク搬送コンベヤ14を設ける。
【０００３】
このコンベヤ14に沿って、発泡させたフラックスをワークに塗布するフラクサ15と、ワークを予加熱するプリヒータ16と、噴流ノズルより噴流させた溶融はんだによりワークにはんだ付けを行うはんだ槽17と、はんだ付け後のワークを冷却するファン18とを、順次配列する。
【０００４】
はんだ槽17内には一次噴流ノズル21a および二次噴流ノズル21b を設ける。一次噴流ノズル21a の上端開口部には多数の噴流孔を有する噴流板22を設ける。一次噴流ノズル21a は、噴流板22の噴流孔から不規則に噴出される多数の小さな一次噴流波Ｗ1 によりチップ部品の電極部などの隅々まで溶融はんだを供給し、また、二次噴流ノズル21b は静かな二次噴流波Ｗ2 によりはんだ付け部の整形を行う。
【０００５】
図８に示されるように、はんだ槽17は、噴流ノズル21a ，21b のノズル本体21の下側開口に圧送ダクト23を嵌入し、この圧送ダクト23の端部にポンプインペラ24を設ける。このポンプインペラ24に対して吸込口25とモータ駆動機構26とを設ける。
【０００６】
そして、ポンプインペラ24の回転により吸込口25から吸込まれた溶融はんだは、圧送ダクト23を経てノズル本体21に圧送され、ノズル本体21から噴流する噴流波となって、コンベヤ14の搬送爪27により挟持されて搬送される部品実装基板などのワークＰの下面にはんだ付けを行う。噴流波の大部分は、そのまま、はんだ槽17内の溶融はんだ面28に戻り、ポンプインペラ24の吸込口25に循環する。
【０００７】
一方、特公昭５１−４２５９０号公報、特公平２−３１６２８号公報、特公平３−６０５８１号公報、実公昭６３−１７５７２号公報などには、電磁ポンプを用いたろう付け装置が示されている。この電磁ポンプには、直流式と交流式とがある。
【０００８】
直流式の電磁ポンプは、錫などの導電性ろう材の移動通路と垂直に磁界を加え、かつ移動通路および磁界の両方に対し垂直方向に直流電流を供給することにより、移動通路内の導電性ろう材に推力を発生させるものである。
【０００９】
交流式の電磁ポンプは、導電性ろう材の移動通路に沿って平面的に誘導コイルおよび鉄心を配列し、これらの誘導コイルに位相のずれた交流電流を供給することにより、導電性ろう材の移動通路内に移動磁界を生じさせ、移動通路内の導電性ろう材に電磁誘導による起電力を生じさせ、ろう材の起電力による電流が移動磁界の磁束の中で流れることにより、ろう材に推力を発生させるようにした電磁誘導ポンプである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
従来のモータ駆動機構により回転させたポンプインペラより溶融はんだを圧送して噴流させる形式の噴流式はんだ付け装置は、構造的にはんだ槽の小形化に限界があり、はんだ量を現状以下に押さえることは困難である。
【００１１】
すなわち、図８に示されるようにモータ駆動機構26からノズル本体21にわたって、ワークＰの進行方向と直交するワーク幅方向に十分な幅寸法を確保する必要があるし、また、はんだ酸化物がインペラ24の回転部に巻込まれないように、はんだ槽17を深くする必要があり、これにより全体としてはんだ槽17の容量が増加する。
【００１２】
さらに、図８に示されるようにポンプインペラ24の下側の吸込口25から吸込んだ溶融はんだを圧送ダクト23によりワーク幅方向に移送しながら上方に吐出させるので、ワーク幅方向に波高が不均一になり易い問題がある。
【００１３】
一方、従来の電磁誘導ポンプによりろう材を圧送して噴流させる形式のろう付け装置は、上記の噴流式はんだ付け装置に比べれば、ろう材量を減少させることが可能であるが、電磁誘導ポンプ特有の問題もある。
【００１４】
すなわち、電磁誘導ポンプは、移動磁界をつくるために、ろう材移動方向に長尺の鉄心および誘導コイルを必要とし、その長尺の鉄心は、ろう材を収容する槽体の外側面に密着する鉄心と、槽体の内部にろう材の移動通路を介して位置する鉄心とからなり、これらの内外の鉄心間を極力接近させることが、磁束漏れを少なくする上で好ましいが、これらの長尺の鉄心が高温ろう材の熱影響を受けて変形した場合は、槽体の外側面から鉄心が離れたり、ろう材の移動通路の断面積が拡大するおそれがある。
【００１５】
このように、槽体の外側面から鉄心が離れると消費電力が増大し、また、ろう材の移動通路の断面積が拡大した場合は、ろう材に作用する推力が低下する問題がある。
【００１６】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、電磁誘導ポンプ式のろう付け装置において、消費電力の増大を防止するとともに、ろう材に作用する推力の低下を防止することを目的とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載された発明は、ろう材を収容する槽体と、この槽体に沿って設けられろう材を上方へ噴流させて、その噴流波に搬入され搬出されるワークをろう付けする電磁誘導ポンプとを備え、電磁誘導ポンプは、移動磁界が生じる方向に分割された複数の鉄心を槽体の外側面に個々に密着させて配列され、誘導コイルの巻回された一次鉄心と、この一次鉄心に対して設けられ、この一次鉄心の分割された複数の鉄心を槽体の外側面に個々に押付ける一次鉄心押付機構と、槽体の内側にろう材圧送間隙を介して配置された二次鉄心とを具備したろう付け装置である。
【００１８】
そして、一次鉄心を分割することにより、個々の一次鉄心の熱変形量を微小なものとし、熱変形により一次鉄心が槽体の外側面から離れるおそれを防止する。これにより、槽体から一次鉄心が離れたときの電流増加、消費電力の増大を防止する。特に、一次鉄心押付機構により複数の鉄心を槽体の外側面に個々に押付けることで、槽体の外側面に対する各鉄心の密着状態を維持する。
【００１９】
請求項２に記載された発明は、請求項１記載のろう付け装置における一次鉄心押付機構が、一次鉄心の複数の鉄心を槽体の外側面に個々に押付けるバネ部材を備えたものである。
【００２０】
そして、バネ部材により一次鉄心の複数の鉄心の変形を個々に吸収し、槽体の外側面に対し一次鉄心を常に適度な力で押付け密着させる。
【００２１】
請求項３に記載された発明は、請求項１記載のろう付け装置において、二次鉄心に対し、この二次鉄心をろう材圧送間隙を最小にするスペーサに押付ける二次鉄心押付機構を備えたものである。
【００２２】
そして、二次鉄心押付機構により二次鉄心をろう材圧送間隙を最小にするスペーサに押付けることにより、ろう材圧送間隙の拡大にともなう、ろう材上昇推力の低下を防止する。
【００２３】
請求項４に記載された発明は、請求項３記載のろう付け装置における二次鉄心押付機構が、槽体に対し着脱自在の二次鉄心に取付けたバネ部材を備えたものである。
【００２４】
そして、ろう材圧送間隙に目詰りなどが生じたときは、二次鉄心をバネ部材ごと槽体から取外し、ろう材圧送間隙、二次鉄心およびバネ部材などのメンテナンスを行う。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の一形態を図１乃至図４を参照しながら説明する。
【００２６】
図１に示されるように、錫、インジウムなどの導電性のろう材32を収容する一つの槽体33を設ける。この槽体33は、底板部34と、ワーク搬入側およびワーク搬出側の下側に位置する縦板部35，36と、図示されない側板部とによりポンプ槽部37を形成するとともに、ワーク搬入側およびワーク搬出側の上側に位置する水平板部38，39と、縦板部41，42と、上縁部43，44と、図示されない側板部とにより噴流波形成槽部45を形成する。
【００２７】
この一つの槽体33におけるワーク搬入側の縦板部35に沿って、第１の電磁誘導ポンプ46を上下方向に設け、前記槽体33におけるワーク搬出側の縦板部36に沿って、第２の電磁誘導ポンプ47を上下方向に設ける。
【００２８】
第１の電磁誘導ポンプ46および第２の電磁誘導ポンプ47は、槽体33におけるワーク搬入側およびワーク搬出側の各縦板部35，36の外側面に、誘導コイル51の巻回された一次鉄心52を、縦板部35，36に密着させてそれぞれ配置し、各縦板部35，36の内側に、ろう材圧送間隙としてのろう材上昇間隙53を介して二次鉄心54をそれぞれ配置したものである。
【００２９】
ワーク搬入側およびワーク搬出側の一次鉄心52は、多数の薄いＥ形鉄板を幅方向（図１紙面に対し垂直方向）に積層して形成したＥ形鉄心52E を、両側の縦板部35，36に向って開口された多数の凹溝55を相互に向い合わせるようにして上下方向に配列し、その各凹溝55間に誘導コイル51を巻回している。
【００３０】
すなわち、一次鉄心52は、縦板部35，36に対し直角の分割面を介し分割された複数のＥ形鉄心52E を、槽体33の縦板部35，36の外側面に密着させて上下方向に配列したものである。
【００３１】
個々のＥ形鉄心52E は、一次鉄心側の電磁誘導の効率低下を防止するために、一次鉄心押付機構81により槽体33の外側面に押圧され密着されている。
【００３２】
この一次鉄心押付機構81は、槽体33の上下部に取付板82を一体に設け、これらの取付板82間にネジ83によりバネ受板84を一体に設け、このバネ受板84と個々の各Ｅ形鉄心52E との間に圧縮コイルスプリングなどのバネ部材85をそれぞれ設けたものである。
【００３３】
二次鉄心54は、多数の薄いＩ形鉄板を幅方向（図１紙面に対し垂直方向）に積層して形成したＩ形鉄心であり、その下端部に吸込口56を形成する斜面部57を設け、上端部にノズル取付台部58，59を一体に設け、取付台部59の付け根部分に上方に向って開口した吐出口61を形成している。
【００３４】
さらに、平板状に形成された二次鉄心54と各縦板部35，36との間に、スペーサ62（図２）を介在させることにより、図１に示されるような、ろう材上昇間隙53を形成する。
【００３５】
また、図１または図２に示されるように、二次鉄心側の電磁誘導の効率低下を防止するために、二次鉄心押付機構86によりスペーサ62に二次鉄心54を全長にわたって押圧して密着させている。
【００３６】
この二次鉄心押付機構86は、縦板部35，36にスペーサ62、取付板87およびバネ受板88を順次溶接付けして一体に取付け、スペーサ62とバネ受板88との間に、二次鉄心54およびこの二次鉄心54に一体的に取付けられた圧縮コイルスプリング、板バネなどのバネ部材89を上方より挿入したものである。
【００３７】
このように、前記スペーサ62およびバネ受板88は槽体33の縦板部35，36に溶接付けするが、二次鉄心54は、バネ部材89とともにスペーサ62とバネ受板88との間に上方から挿入し、そして、この二次鉄心54のノズル取付台部59を槽体33の水平板部38に係合することにより、槽体33の内部に着脱自在に取付ける。
【００３８】
すなわち、二次鉄心54は、メンテナンスなどの必要なときに上方へ引抜くことができる取付構造となっている。
【００３９】
図１において、一つの槽体33のポンプ槽部37の中央部に、第１の電磁誘導ポンプ46と第２の電磁誘導ポンプ47との中間部に位置する、ろう材32を溶融するための複数のヒータ65を上下方向に配置する。このヒータ65は幅方向（図１紙面に対し垂直方向）に長尺のシーズヒータである。
【００４０】
また、第１の電磁誘導ポンプ46および第２の電磁誘導ポンプ47の上部に、ろう材32を噴流させる第１のノズル66および第２のノズル67をそれぞれ設ける。
【００４１】
すなわち、ワーク搬入側の二次鉄心54の上端部に一体に設けられたノズル取付台部58，59に第１のノズル66を取付け、また、搬出側の二次鉄心54の上端部に一体に設けられたノズル取付台部58，59に第２のノズル67を取付ける。
【００４２】
第１のノズル66は、上端の開口71に多数の噴流孔が穿設された噴流板72を取付け、この噴流板72によって、突起状に噴流して不規則に運動する多数の一次噴流波Ｗ1 を形成する。
【００４３】
第２のノズル67は、ワークＰの搬送方向と対向する方向に折曲された方向付板73と、この方向付板73の先端からワークＰの搬送方向と対向する方向に突設された方向付フィン74と、反対側に取付けられた逆Ｕ次形断面の案内板75とにより、ワークＰの搬送方向と対向する方向の滑らかな二次噴流波Ｗ2 を形成する。
【００４４】
次に、槽体33のワーク搬入側の縦板部35に沿って上下方向に設けられた第１の電磁誘導ポンプ46は、図３に示されるように、ワークＰの進行方向に対して直交するワーク幅方向に配置した左右２組の電磁誘導ポンプ46a ，46b からなり、また、槽体33のワーク搬出側の縦板部36に沿って上下方向に設けられた第２の電磁誘導ポンプ47は、図３に示されるように、ワーク幅方向に配置した左右２組の電磁誘導ポンプ47a ，47b からなる。
【００４５】
これらの第１の電磁誘導ポンプ46および第２の電磁誘導ポンプ47は、図２に示されるように、一側の一次鉄心52a および二次鉄心54a と、他側の一次鉄心52b および二次鉄心54b とを個別に形成するが、一側の一次鉄心52a から他側の一次鉄心52b にわたって共通の誘導コイル51を用いる。
【００４６】
この共通の誘導コイル51により、ワーク搬入側における一側の電磁誘導ポンプ46a と他側の電磁誘導ポンプ46b とを、また、ワーク搬出側における一側の電磁誘導ポンプ47a と他側の電磁誘導ポンプ47b とをそれぞれ連動する。
【００４７】
さらに、ろう材上昇間隙53は、図２または図４に示されるように、ワーク幅方向に配置した左右２組のろう材上昇間隙53a ，53b からなり、また、吐出口61は、図３または図４に示されるように、ワーク幅方向に配置した左右２組の吐出口61a ，61b からなる。
【００４８】
この吐出口61a ，61b の開口縁は、４辺部ともに上方に向かって拡大するように形成されているから、溶融ろう材が断面積の小さなろう材上昇間隙53a ，53b から断面積の大きなノズル66または67に移行する際に、４方へ円滑にかつ均等に拡大することができる。
【００４９】
一方、図３または図４に示されるように、ワーク搬入側の第１のノズル66は、ワーク搬入側の左右２組の吐出口61a ，61b を囲むように一つ設ける。同様に、第２のノズル67は、ワーク搬出側の左右２組の吐出口61a ，61b を囲むように一つ設ける。
【００５０】
そして、これらのノズル66または67の深さは、溶融ろう材の圧力を均等化する機能を持っており、ノズル66または67から噴流する噴流波の波高を、ワーク幅方向の全体にわたって均一にすることができる。
【００５１】
このようにして、ワーク幅方向に配置した左右２組の電磁誘導ポンプ46a ，46b または電磁誘導ポンプ47a ，47b により、ワーク幅方向に十分な波幅でかつ均一な波高の噴流波を確保する。
【００５２】
次に、この図１乃至図４に示された実施形態の作用を説明する。
【００５３】
第１および第２の電磁誘導ポンプ46，47は、ろう材上昇間隙53に沿って上下方向に配列した誘導コイル51に３相交流などの位相のずれた交流電流を供給することにより、ろう材上昇間隙53内に移動磁界を生じさせ、ろう材上昇間隙53内の導電性ろう材32に電磁誘導による起電力を生じさせ、ろう材32の起電力による電流が移動磁界の磁束の中で流れることにより、ろう材32に上方への推力を作用させ、ろう材を上昇移動させる。
【００５４】
これにより、共通のヒータ65により溶融したろう材32は、各々の電磁誘導ポンプ46，47によりそれぞれの吸込口56から吸込まれ、槽体33のワーク搬入側および搬出側の縦板部35，36に沿ってろう材上昇間隙53を上昇し、それぞれの吐出口61から吐出し、第１のノズル66および第２のノズル67より一次噴流波Ｗ1 および二次噴流波Ｗ2 として噴流し、各噴流波に搬入され搬出されたワークＰの基板面実装部品を基板面にろう付けした後、噴流波形成槽部45に落下し、ポンプ槽部37に循環する。
【００５５】
ろう材上昇間隙53は、上方へ直線的に形成されており曲っていないため、また、ワークＰの進行方向に対して直交するワーク幅方向の左右部に２組の電磁誘導ポンプ46a ，46b または47a ，47b のろう材上昇間隙53a ，53b を併設して、左右の吐出口61a ，61b を共通のノズル66または67で囲む構造としたので、ワーク幅方向に十分な広がりのある、またノズルの全幅にわたって波高分布の均一な一次噴流波Ｗ1 または二次噴流波Ｗ2 が得られる。このため、一つの吐出口61a だけでは対応できなかった幅寸法の大きなワークＰにも容易に対応できる。
【００５６】
突起状の不規則に運動する一次噴流波Ｗ1 は、高密度実装基板の微小部品間隙にも確実に侵入して、全てのろう付け部にて良好な濡れ性を確保し、また、円弧状に成形された滑らかな二次噴流波Ｗ2 は、過剰なろう付けを整形して、所謂ブリッジやつららなどのろう付け不良を防止する。
【００５７】
第１のノズル66および第２のノズル67は、二次鉄心54とともに槽体33から取外して、ノズル66，67自体のメンテナンスや、電磁誘導ポンプ46，47のろう材上昇間隙53の清掃などを行うことができる。
【００５８】
すなわち、第１のノズル66または第２のノズル67とともに二次鉄心54を上方へ引抜くことにより、二次鉄心54の吸込口56から吐出口61に至るろう材上昇間隙53を分解できるから、特に吸込口56に目詰りしていた酸化物などを簡単に除去でき、メンテナンスを容易に行える。
【００５９】
底板部34の近傍に位置する吸込口56は、酸化物などが浮遊するろう材32の表面より十分な深さにあるため、吸込口56への酸化物などの巻込みが生じにくい利点を有しているが、仮に、この吸込口56に酸化物などが詰まった場合でも、上記分解により酸化物などを簡単に除去することができる。
【００６０】
さらに、誘導コイル51に供給する３相交流電流の位相を逆転させることにより、ろう材上昇間隙53内のろう材32を下方へ逆転駆動することができるので、下部の吸込口56に詰った酸化物などを逆噴射するろう材の逆洗作用によって極めて容易に除去することもできる。
【００６１】
次に、図５は、本発明に係るろう付け装置の他の実施形態を示し、図１に示された実施形態と異なる他の一次鉄心押付機構81a および二次鉄心押付機構86a を備えている。なお、図１に示された実施形態と同様の部分には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００６２】
一次鉄心押付機構81a は、槽体33の縦板部35，36の上下部に取付板82を一体に設け、これらの取付板82間にネジ83によりネジ螺合板84a を一体に設け、このネジ螺合板84a に螺入したネジ85a の先端により各Ｅ形鉄心52E の背面を個々に押圧し、各Ｅ形鉄心52E の脚部先端を槽体33の縦板部35，36に密着させるようにしたものである。
【００６３】
二次鉄心押付機構86a は、二次鉄心54にヘ字形に形成された板バネからなるバネ部材89a の上端部をネジ止めし、この二次鉄心54およびバネ部材89a をスペーサ62（図２）とバネ受板88との間に挿入したものである。このヘ字形のバネ部材89a は、二次鉄心54をメンテナンス時に上方へ引抜いたり下方へ挿入する場合に接触相手部材に対し摺動しやすい形状である。
【００６４】
次に、図６は、ワーク搬入側に位置する一側の電磁誘導ポンプ46a と他側の電磁誘導ポンプ46b とを、またはワーク搬出側に位置する一側の電磁誘導ポンプ47a と他側の電磁誘導ポンプ47b とを、それぞれ個別の一次鉄心52a ，52b 、二次鉄心54a ，54b および誘導コイル51a ，51b により形成した実施形態を示す。なお、図２に示された実施形態と同様の部分には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００６５】
そして、ワーク幅寸法が小さく、図４にて固定設置されたコンベヤレール14a に対し幅方向移動可能に設けられたコンベヤレール14b を近付けるように移動調整したときは、片側の誘導コイル51b に対する通電を停止して、片側の電磁誘導ポンプ46b ，47b を休止するとよい。
【００６６】
なお、ろう材上昇間隙53は、図示された各実施形態では鉛直に形成されているが、水平に設定された場合も本発明に含まれるものである。
【００６７】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、一次鉄心として、分割された複数の鉄心を槽体の外側面に個々に密着させて配列したから、個々の一次鉄心の熱変形量を微小なものとして、熱変形などにより一次鉄心が槽体の外側面から離れるおそれを防止できる。これにより、槽体から一次鉄心が離れたときの電磁誘導の効率低下を防止できるとともに、電流増加、消費電力の増大などを防止できる。特に、一次鉄心押付機構により複数の鉄心を槽体の外側面に個々に押付けることで、槽体の外側面に対する各鉄心の密着状態を確実に維持できる。
【００６８】
請求項２記載の発明によれば、一次鉄心押付機構が、一次鉄心の複数の鉄心を槽体に個々に押付けるバネ部材を含むので、これらのバネ部材により一次鉄心の複数の鉄心を槽体の外側面に常に適度な力で個々に押付け、密着させることができる。
【００６９】
請求項３記載の発明によれば、二次鉄心押付機構により二次鉄心をろう材圧送間隙を最小にするスペーサに押付けることにより、二次鉄心の熱変形などによるろう材圧送間隙の拡大を防止でき、その拡大に伴う電磁誘導の効率低下によるろう材移動推力の低下などを防止できる。
【００７０】
請求項４記載の発明によれば、二次鉄心押付機構が、槽体に対し着脱自在の二次鉄心に取付けたバネ部材を備えたので、ろう材圧送間隙に目詰りなどが生じたときは、二次鉄心をバネ部材ごと槽体から取外し、ろう材圧送間隙、二次鉄心およびバネ部材の清掃、保守点検などのメンテナンスを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るろう付け装置の一実施形態を示す断面図である。
【図２】  図１のII−II線断面図である。
【図３】  図１のろう付け装置のノズル部分のみを断面にした平面図である。
【図４】  図３のIV−IV線断面図である。
【図５】  本発明に係るろう付け装置の他の実施形態を示す断面図である。
【図６】  本発明に係る電磁誘導ポンプの別の実施形態を示す断面図である。
【図７】  従来の噴流式はんだ付け装置を示す概略図である。
【図８】  同上はんだ付け装置におけるはんだ槽の断面図である。
【符号の説明】
32    ろう材
33    槽体
46，47    電磁誘導ポンプ
51    誘導コイル
52    一次鉄心
52E   分割された複数の鉄心
53    ろう材圧送間隙としてのろう材上昇間隙
54    二次鉄心
81    一次鉄心押付機構
85    バネ部材
86    二次鉄心押付機構
89    バネ部材
Ｗ1 ，Ｗ2     噴流波
Ｐ    ワーク
【図１】
0003791969.tif 000002
【図２】
0003791969.tif 000003
【図３】
0003791969.tif 000004
【図４】
0003791969.tif 000005
【図５】
0003791969.tif 000006
【図６】
0003791969.tif 000007
【図７】
0003791969.tif 000008
【図８】
0003791969.tif 000009