(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
投写型表示装置に用いられる投写レンズの特性を検査するために光が照射される投写レンズ検査シートであって、
色収差を検出する色収差検査部とフレアを検出するフレア検査部とが同一面内に形成され、
前記色収差検査部は、それぞれ異なる色の着色部が複数並んで配置されたことを特徴とする投写レンズ検査シート。
【請求項２】
請求項１に記載の投写レンズ検査シートにおいて、
前記着色部は、直線上に複数並んで線状検査部を形成することを特徴とする投写レンズ検査シート。
【請求項３】
請求項２に記載の投写レンズ検査シートにおいて、
前記線状検査部は、隣り合う着色部の幅寸法が異なることを特徴とする投写レンズ検査シート。
【請求項４】
請求項３に記載の投写レンズ検査シートにおいて、
前記着色部の幅寸法の差の値に対応する色収差量が前記線状検査部に隣接して表示されていることを特徴とする投写レンズ検査シート。
【請求項５】
請求項２から４のいずれかに記載の投写レンズ検査シートにおいて、
前記線状検査部は複数列配置されるとともに、これらの複数列配置された線状検査部はそれぞれ隣り合う線状部の幅寸法の相対比が相違することを特徴とする投写レンズ検査シート。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の投写レンズ検査シートにおいて、
前記フレア検査部は、照射される光の中心位置より画像領域内で最も遠い位置に配置される局所パターンを備え、
この局所パターンは、複数の矩形状ドットを略Ｌ字形に配列して形成されていることを特徴とする投写レンズ検査シート。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の投写レンズ検査シートであって、
前記投写レンズによってスクリーンに照射される画像光を目視して検査するための目視用検査部と、前記画像光を特性値の算出に基づいて自動的に検査するための自動機用検査部と、
を備えたことを特徴とする投写レンズ検査シート。
【請求項８】
請求項７に記載の投写レンズ検査シートにおいて、
前記自動機用検査部は、前記投写レンズの画像の解像度を検出する解像度検査部と、フレアを検出するフレア検査部と、
を備えたことを特徴とする投写レンズ検査シート。
【請求項９】
請求項８に記載の投写レンズ検査シートにおいて、
前記自動機用検査部は、前記スクリーンに照射される画像のフォーカス状態からアライメント調整をするための位置決め用アライメントマークを有することを特徴とする投写レンズ検査シート。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれかに記載の投写レンズ検査シートと、この投写レンズ検査シートに光を照射する光源と、前記投写レンズを保持する保持部と、
を備えたことを特徴とする投写レンズ検査装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の投写レンズ検査装置において、
前記投写レンズ検査シートの画像を表示するスクリーンと、このスクリーン上に表示される前記投写レンズ検査シートの画像光の特性値の算出に基づいて自動的に投写レンズを検査する自動検査部と、
を備えたことを特徴とする投写レンズ検査装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の投写レンズ検査装置において、
前記自動検査部は、前記投写レンズ検査シートの画像を撮像する撮像部と、
前記投写レンズ検査シートの画像のフォーカス状態を自動調整するフォーカス状態調整部と、
前記投写レンズ検査シートの画像の明暗の変化に基づいて前記投写レンズの特性値を算出する特性値算出部と、
を備えたことを特徴とする投写レンズ検査装置。
【請求項１３】
投写型表示装置に用いられる投写レンズの特性を検査する方法であって、
それぞれ異なる色からなる着色部が複数並んで配置された色収差検査部を有する投写レンズ検査シートと投写レンズとに光源から光を照射する工程と、
前記投写レンズによって画像光をスクリーン上に照射し、前記スクリーン上に前記投写レンズ検査シートの画像を表示する工程と、
前記投写レンズ検査シートから前記スクリーンに照射された複数の着色部における画像の線の幅寸法の相対変化に基づいて色収差を検査する工程と、
を備えることを特徴とする投写レンズ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、投写レンズの特性を検査するための投写レンズ検査シート、投写レンズ検査装置および投写レンズ検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、複数の色光を画像情報に応じて各色光ごとに変調する複数の液晶パネルと、各液晶パネルで変調された色光を合成するクロスダイクロイックプリズムと、このプリズムで合成された光束を拡大投写して投写画像を形成する投写レンズとを備えた投写型表示装置（プロジェクタ）が利用されている。
【０００３】
このプロジェクタに用いられる投写レンズは、その製造工程等のばらつきにより、画像解像度、フレアおよび色収差の特性にもばらつきが生じることがある。投写レンズの特性のばらつきは、プロジェクタによって表示される画像の品質に影響するため、レンズメーカのレンズ出荷前及び、プロジェクタ組立投入前には、投写レンズの画像解像度、フレアおよび色収差の特性が検査されている。
【０００４】
投写レンズの特性の良否は、検査対象となる投写レンズと検査シートとを並んで配置し、これらに光源から光を照射し、投写レンズからスクリーンに照射された画像光に基づいて判断されている。
【０００５】
従来例として、画像解像度およびフレアを検査するにあたり、１枚の検査シートに画像の解像度用パターンとフレア確認用パターンとを形成し、これらのパターンからスクリーンに照射された画像光を目視するものがある。さらには、自動機を用いて解像度とフレアとを検査するものがある（特願平11-173671号；従来例１）。
【０００６】
この従来例１では、色収差を検査する際には、フレア確認用パターンを用い、このパターンに緑色の色光を透過し、その後、赤色や青色の色光を透過し、これらの色の相違に基づくスクリーン上の画像の変化から色収差の有無を目視で確認する。
また、他の従来例として、フレア確認用パターン若しくはMTF確認パターンに白色光を透過し、パターン周辺の色付き（色収差が有ると赤・青の色がにじむ）量を目視認識し、色収差の有無を確認するものがある（従来例２）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来例１では、投写レンズの特性の良否を判断するにあたり、従来使用されている検査シートのパターンは画像解像度用とフレア確認用しかなく、色収差の確認はフレア確認用パターンを代用して行われる。そのため、フレア検査を行う場合には色収差検査を行うことができず、検査効率が良くない。
【０００８】
しかも、色収差の確認のため、まず、緑色の色光を用い、スクリーン上に照射された画像を目視し、その後、他の色（赤色、緑色）の色光を用い、スクリーン上に照射された画像を目視するため、異なる色のフィルタを交換して人が目視検査することで、検査精度が人によってばらつくことがあり、検査精度が向上しないという不都合がある。
【０００９】
また、目視用のみの検査シートでは、人による検査精度のばらつきがある。
【００１０】
特願平11-173671号で示される自動機用のみの検査シートでは、検出用の設備が大がかりとなり、簡易な検査が行えない。
【００１１】
パターン周辺部の色付き量の目視認識を行う従来例２では、色付き量を正確に数値化出来ないため、測定者による測定誤差が大きく検査精度が悪い。
【００１２】
本発明の第１の目的は、投写レンズのフレアと色収差とをほぼ同時に検査することで検査効率を向上させることができるとともに色収差を正確に検査することができる投写レンズ検査シート、投写レンズ検査装置および投写レンズ検査方法を提供することにある。
【００１３】
本発明の第２の目的は、精度の高い検査と簡易な検査とを行える投写レンズ検査シートおよび投写レンズ検査装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記第１の目的を達成するため、本発明の投写レンズ検査シートは、投写型表示装置に用いられる投写レンズの特性を検査するために光が照射される投写レンズ検査シートであって、色収差を検出する色収差検査部とフレアを検出するフレア検査部とが同一面内に形成され、前記色収差検査部は、それぞれ異なる色の着色部が複数並んで配置されたことを特徴とする。
【００１５】
この構成の発明では、フレア検査部の他に色収差検査部が独自に設けられているため、フレアと色収差とをほぼ同時に検査することで、検査効率を向上させることができる。
【００１６】
その上、異なる色の着色部を並べて色収差検査部が形成されているため、これらの着色部に透過される画像光がスクリーンに表示された際に、色収差があると異なる色の画像光の幅寸法が相対的に変化するので、この相対変化に基づいて色収差を簡易に検査することができる。
【００１７】
ここで、前記着色部は、直線上に複数並んで線状検査部を形成する構成が好ましい。
【００１８】
この構成では、線状検査部が直線状に形成されることで、色収差に伴うスクリーン上の着色部の幅寸法の相対変化が明確に認識することができるため、検査精度が向上する。
【００１９】
さらに、前記線状検査部は、隣り合う着色部の幅寸法が異なる構成が好ましい。
【００２０】
この構成では、線状検査部がスクリーン上に照射される際に、投写レンズの色収差によってスクリーン上の隣り合う着色部の幅寸法が見かけ上同一になると色収差があると認識することができるので、検査精度が向上する。
【００２１】
さらにまた、前記着色部の幅寸法の差に対応する色収差量が前記線状検査部に隣接して表示されている構成が好ましい。
【００２２】
この構成では、色収差の数値が線状検査部の近くに表示されるため、色収差量という客観的な数値を簡単に把握することができる。
【００２３】
また、前記線状検査部は複数列配置されるとともに、これらの複数列配置された線状検査部は、それぞれ隣り合う線状部の幅寸法の相対比が相違する構成が好ましい。
【００２４】
この構成では、複数列の線状検査部がスクリーン上に照射される際に、投写レンズの色収差によってスクリーン上のいずれかの線状検査部における隣り合う着色部の幅寸法が見かけ上同一になると認識することで色収差があることを確認することができるから、検査精度がより向上する。
【００２５】
さらに、前記フレア検査部は、照射される光の中心位置より画像領域内で最も遠い位置に配置される局所パターンを備え、この局所パターンは、複数の矩形状ドットを略Ｌ字形に配列して形成されている構成が好ましい。
【００２６】
この構成では、光の中心位置より最も遠い位置はフレアが最も検出しやすい位置であるため、この位置に局所パターンを配置することで、フレアの検出を確実に行うことができる。しかも、局所パターンは複数の矩形状ドットを配列して形成しているため、フレアが生じる場合には複数のドットが連続した線状にスクリーン上で表示されることで、フレアの有無の確認が容易となる。その上、複数のドットは略Ｌ字形に配列しているため、スクリーン上における互いに直交する２方向のフレアの有無の確認が容易となる。
【００２７】
前記第２の目的を達成するため、前記投写レンズ検査シートは、前記投写レンズによってスクリーンに照射される画像光を目視して検査するための目視用検査部と前記画像光を特性値の算出に基づいて自動的に検査するための自動機用検査部とを備えたことを特徴とする。
【００２８】
この構成の発明では、目視用検査部を使用することで簡易な検査を行うことができ、自動機用検査部を使用することで人によるばらつきがない高い精度の検査を行うことができる。
【００２９】
ここで、前記自動機用検査部は、前記投写レンズの画像の解像度を検出する解像度検査部とフレアを検出するフレア検査部とを有する構成が好ましい。
【００３０】
この構成では、画像解像度とフレアとの検査を同時に行えるので、検査作業の効率化が図れる。
【００３１】
さらに、前記自動機用検査部は、前記スクリーンに照射される画像のフォーカス状態からアライメント調整をするための位置決め用アライメントマークを有する構成が好ましい。
【００３２】
この構成では、位置決め用アライメントマークによって投写レンズ検査シート自体の位置決めを行うことができるから、検査の正確性を期することができる。また、本発明の投写レンズ検査装置は、前述の構成の投写レンズ検査シートと、この投写レンズ検査シートに光を照射する光源と、前記投写レンズを保持する保持部とを備えたことを特徴とする。
【００３３】
この構成の発明では、前記目的を達成することができる検査装置を提供することができる。
【００３４】
ここで、投写レンズ検査装置は前述の構成に加えて、前記投写レンズ検査シートの画像を表示するスクリーンと、このスクリーン上に表示される前記投写レンズ検査シートの画像光の特性値の算出に基づいて自動的に投写レンズを検査する自動検査部と、を備えた構成が好ましい。
【００３５】
この構成では、スクリーンに表示される画像光の特性値に基づいて自動的に投写レンズを検査することができるので、検査を正確に行うことができる。
【００３６】
さらに、前記自動検査部は、前記検査シートの画像を撮像する撮像部と、前記投写レンズ検査シートの画像のフォーカス状態及び、アライメント位置を自動調整するフォーカス・アライメント状態調整部と、前記検査シートの画像の明暗の変化に基づいて前記投写レンズの特性値を算出する特性値算出部と、を備えた構成が好ましい。
【００３７】
この構成では、スクリーン上に表示された画像のフォーカス・アライメント状態を調整した後に、調整後の投写レンズ検査シートの画像の明暗の変化に基づいて特性値を算出することができるので、投写レンズの特性を正確に検査することができる。
【００３８】
また、本発明の投写レンズ検査方法は、投写型表示装置に用いられる投写レンズを検査する方法であって、それぞれ異なる色からなる着色部が複数並んで配置された色収差検査部を有する投写レンズ検査シートと投写レンズとに光源から光を照射する工程と、前記投写レンズによって画像光をスクリーン上に照射し、前記スクリーン上に前記投写レンズ検査シートの画像を表示する工程と、前記投写レンズ検査シートから前記スクリーンに照射された複数の線状部における画像の線の幅寸法の相対変化に基づいて色収差を検査する工程と、を備えることを特徴とする。
【００３９】
この構成の発明では、投写レンズのフレアと色収差とを同時に検査することで検査効率を向上させることができるとともに色収差を正確に検査することができる投写レンズ検査方法を提供することができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の一形態を図面に基づいて説明する。
（１）投写レンズが組み込まれるプロジェクタの構造
図１には、投写レンズが組み込まれる投写型表示装置であるプロジェクタ１００の構造が示されている。このプロジェクタ１００は、インテグレータ照明光学系１１０、色分離光学系１２０、リレー光学系１３０、電気光学装置１４０、色合成光学系となるクロスダイクロイックプリズム１５０、および投写光学系となる投写レンズ１６０を備えている。
【００４１】
前記インテグレータ照明光学系１１０は、光源ランプ１１１Ａおよびリフレクタ１１１Ｂを含む光源装置１１１と、第１レンズアレイ１１３と、第２レンズアレイ１１５と、反射ミラー１１７と、重畳レンズ１１９とを備えている。光源ランプ１１１Ａから射出された光束は、リフレクタ１１１Ｂによって射出方向が揃えられ、第１レンズアレイ１１３によって複数の部分光束に分割され、折り返しミラーによって射出方向を９０°折り曲げられた後、第２レンズアレイ１１５の近傍で結像する。第２レンズアレイ１１５から射出された各部分光束は、その中心軸（主光線）が後段の重畳レンズ１１９の入射面に垂直となるように入射し、さらに重畳レンズ１１９から射出された複数の部分光束は、電気光学装置１４０を構成する３枚の液晶パネル１４１Ｒ、１４１Ｇ、１４１Ｂ上で重畳する。
【００４２】
前記色分離光学系１２０は、２枚のダイクロイックミラー１２１、１２２と、反射ミラー１２３とを備え、これらのミラー１２１、１２２、１２３によりインテグレータ照明光学系１１０から射出された複数の部分光束を赤、緑、青の３色の色光に分離する機能を有している。
前記リレー光学系１３０は、入射側レンズ１３１、リレーレンズ１３３、および反射ミラー１３５、１３７を備え、この色分離光学系１２０で分離された色光、例えば、青色光Ｂを液晶パネル１４１Ｂまで導く機能を有している。
【００４３】
前記電気光学装置１４０は、３枚の液晶パネル１４１Ｒ、１４１Ｇ、１４１Ｂを備え、これらは、例えば、ポリシリコンＴＦＴをスイッチング素子として用いたものであり、色分離光学系１２０で分離された各色光は、これら３枚の液晶パネル１４１Ｒ、１４１Ｇ、１４１Ｂによって、画像情報に応じて変調されて光学像を形成する。
前記色合成光学系となるクロスダイクロイックプリズム１５０は、前記３枚の液晶パネル１４１Ｒ、１４１Ｇ、１４１Ｂから射出された各色光ごとに変調された画像を合成してカラー画像を形成するものである。クロスダイクロイックプリズム１５０で合成されたカラー画像は、投写レンズ１６０から射出され、スクリーン上に拡大投写される。
【００４４】
（２）投写レンズ検査装置
図２は、本発明の一実施形態にかかる投写レンズ検査装置を示す説明図である。この装置は、図１のプロジェクタ１００に用いられる投写レンズ１６０を検査するための装置である。
【００４５】
本実施形態にかかる投写レンズ検査装置は、検査対象である投写レンズ１６０が搭載される投写部４００と、ミラー５１０と、スクリーン５００と、検査部６００とを備えている。この装置において、検査対象である投写レンズ１６０は、取り外し可能であり、他の投写レンズに容易に交換することができる。
【００４６】
投写部４００から射出された画像光（画像を表す光）は、ミラー５１０において反射され、スクリーン５００を照射する。スクリーン５００は、画像光が投写される投写面５００ａの裏面５００ｂ側から画像を観察可能な透過型スクリーンである。検査部６００は、スクリーン５００上に表示された画像を用いて、投写レンズ１６０の検査を行う。
【００４７】
なお、以下の説明では、図２に示すように、検査装置は、スクリーン５００の表示面５００ｂと平行な面をＸＹ平面とするＸＹＺ直交座標系で表される。また、投写レンズ１６０は、図示しない保持部によって、ＸＺ平面に対し所定の角度だけ傾けて配置されている。このため、以下の説明では、投写部４００を、ＸＹＺ直交座標系をＸ軸を中心として上記の所定の角度だけ回転させたＳＴＵ直交座標系で表す。なお、投写レンズ１６０の中心軸ｎ１はＳＵ平面に対し平行となっている。
【００４８】
図３は、図２の投写部４００を＋Ｔ方向から見たときの様子を示す説明図である。図３に示すように、投写部４００は、投写レンズ１６０の他に、光源装置４１０と、第１および第２のミラー４３０，４４２と、投写レンズ検査シート４５０と、検査シート保持部４４０と、検査シート保持部４４０の配置を調整するための６軸調整部４６０と、ダミープリズム４７０とを備えている。
なお、検査シート保持部４４０は、第２のミラー４４２に触れないように検査シート４５０を保持している。図２では、図３に示す光源装置４１０と第１のミラー４３０とは、６軸調整部４６０と検査シート保持部４４０とダミープリズム４７０と投写レンズ１６０よりも、＋Ｓ方向（紙面奥手方向）に存在するため、便宜上、図示を省略している。
【００４９】
なお、図３に示すように、投写部４００は、図１のプロジェクタ１００において投写レンズが使用される場合とほぼ同様な光が投写レンズ１６０に入射されるように構成されている。すなわち、光源装置４１０は図１の光源装置１１１に対応し、投写レンズ検査シート４５０は図１の液晶パネル１４１Ｒ、１４１Ｇ、１４１Ｂに対応し、ダミープリズム４７０は図１のクロスダイクロイックプリズム１５０に対応している。このような投写部４００を備える検査装置を用いれば、投写型表示装置において投写レンズを使用する場合と同じような環境で、投写レンズを検査することができると考えられる。
【００５０】
図３の光源装置４１０は、光源ランプ４１２と放物面リフレクタ４１４とを備えている。放物面リフレクタ４１４は、その凹面が回転放物面形状となっている。光源ランプ４１２は、回転放物面形状の凹面の焦点位置近傍に配置されている。この構成により、光源ランプ４１２から射出され、放物面リフレクタ４１４で反射された光は、略平行な光線束となって光源装置４１０から射出される。なお、光源ランプ４１２としては、メタルハライドランプや高圧水銀ランプなどが用いられる。また、放物面リフレクタ４１４としては、例えば、ガラスセラミックスで形成された回転放物体の凹面上に、誘電体多層膜や金属膜などの反射膜が形成されているものが利用される。
【００５１】
第１および第２のミラー４３０，４４２は、光源装置４１０から射出され、色光フィルタ４２０を通過した色光を投写レンズ１６０に導くための導光手段としての機能を有している。第１および第２のミラーとしては、すべての色光を反射するような誘電体多層膜が形成されたミラーや金属ミラーなどを用いることができる。
【００５２】
投写レンズ検査シート４５０は、図４に示される通り、ガラスなどの透光性であって所定厚み寸法（例えば、1.1ｍ）の基材の正面に画像領域（テストパターン）ＴＰが形成されたものである。
【００５３】
図５は、投写レンズ検査シート４５０を示す平面図である。
【００５４】
図５に示す投写レンズ検査シート４５０は、基材の縦横が所定寸法（例えば、14.6mm×18mmとされ、その内部には縦横が所定寸法（例えば、10.8mm×14.4mm）の矩形状の画像領域（テストパターン）ＴＰが形成されている。
【００５５】
投写レンズ検査シート４５０は、画像領域内の四隅近傍にそれぞれ配置された４カ所の第１のチャートパターン１０Ａと、画像領域内で互いに略等間隔に配置された２０カ所の第２のチャートパターン１０Ｂと、一部の第２のチャートパターン１０Ｂに近接配置された１２カ所の第３のチャートパターン１０Ｃと、画像領域の矩形状輪郭に沿って配置された１６カ所の第４のチャートパターン１０Ｄと、画像領域内の左半分において互いに等間隔に配置された１２カ所の第５のチャートパターン１０Ｅと、画像領域内の右半分において互いに等間隔に配置された１２カ所の第６のチャートパターン１０Ｆと、画像領域の左下に配置された１カ所の第７のチャートパターン１０Ｇと、画像領域の右下に配置された１カ所の第８のチャートパターン１０Ｈと、光が照射される中心である画像領域下縁中央に配置された１カ所の第９のチャートパターン１０Ｊと、画像領域の矩形状輪郭に沿って配置された１０カ所の第１０のチャートパターン１０Ｋと、矩形状輪郭に沿って配置された１５本の見切り線１０Ｌとを備えて構成されている。
【００５６】
第１のチャートパターン１０Ａは、スクリーン５００に照射される画像のフォーカス状態からアライメント調整をするための位置決め用アライメントマークである。第１のチャートパターン１０Ａの構成が図６に示されている。
【００５７】
図６（Ａ）に示される通り、第１のチャートパターン１０Ａは、１辺が所定寸法（例えば、551μｍ）の正方形に形成されており、この正方形部分は光が通過しない遮光領域１０Ａ２であって、図中ハッチで示されている。この遮光領域１０Ａ２の内側には複数の正方形の透光領域１０Ａ１が格子状に整列配置されている。透光領域１０Ａ１は、図６（Ｂ）に示される通り、１辺が寸法Ａ１（例えば、９μｍ）であり、隣り合う透光領域１０Ａ１の寸法はＢ２（例えば、１９μｍ）であり、遮光領域１０Ａ２の端縁から最も外側の透光領域１０Ａ１までの寸法がＢ２（例えば、５μｍ）である。
【００５８】
図５において、第２のチャートパターン１０Ｂは、投写レンズ１６０の画像解像度を検査する解像度検査部２０である。
【００５９】
図７において、第２のチャートパターン１０Ｂは、縦横が所定寸法（例えば、795μｍ×1074μｍ）の矩形状に形成され、その内部に投写レンズ１６０によってスクリーン５００に照射される画像光を目視して検査するための目視用検査部３０と画像光を特性値の算出に基づいて自動的に検査するための自動機用検査部４０とを兼ねる領域ＷＡと、自動機用検査部４０である領域ＷＢを備え、これらの領域ＷＡ，ＷＢのそれぞれに複数のパターンが含まれている。
【００６０】
領域ＷＡ内のパターンは、遮光領域によって特定の形状が形成されたパターンであり、領域ＷＢ内のパターンは、透光領域によって特定の形状が形成されたパターンである。図中、領域ＷＡには、「２０」，「２５」などの数字が形成された文字パターンＰＴＢａ〜ＰＴＢｆと、１２種類の平行線パターンＰＴＡａ〜ＰＴＡｌとが含まれている。各平行線パターンＰＴＡａ〜ＰＴＡｌは、短冊形の透光領域と遮光領域とが周期的に配列されたものであり、各パターンの大きさ、あるいは、向きは相互に異なっている。領域ＷＡに表示された数字「２０」，「２５」などの文字パターンＰＴＢａ〜ＰＴＢｆは、その近傍に配置された平行線パターンＰＴＡａ〜ＰＴＡｌにおける解像度の指標を表示するものである。
【００６１】
領域ＷＢには、縦横が所定寸法（例えば、330μｍ×340μｍ）の矩形状に形成され、その内部に略円形の透光領域である４種類の小孔パターンＰＨａ〜ＰＨｄが含まれている。小孔パターンＰＨａ〜ＰＨｄは直径寸法がそれぞれ異なるものであり、例えば、小孔パターンＰＨａは直径が２６μｍであり、小孔パターンＰＨｂは直径が１９μｍであり、小孔パターンＰＨｃは直径が１０μｍであり、小孔パターンＰＨｄは直径が５μｍである。
【００６２】
図８において、第３のチャートパターン１０Ｃは、投写レンズ１６０のフレアおよび色収差を検査するために設けられたものである。
【００６３】
第３のチャートパターン１０Ｃは、縦横が所定寸法（例えば、966μｍ×590μｍ）の矩形状遮蔽部分（ハッチで示す）に透光部分の文字パターンPS,PT,PU,PV,PW,PX,PY,PZおよびドットパターンPD1,PD2が形成された目視用検査部３０である。
【００６４】
文字パターンPS,PT,PU,PV,PW,PX,PY,PZは、縦L1と横L2が所定寸法（例えば、L1が93μｍ、L2が121μｍ）であって縦に並んで配置された４個の小さい文字パターンPS,PT,PU,PVと、縦M1と横M2が所定寸法（例えば、M1が120μｍ、M2が156μｍ）であって縦に並んで配置された４個の大きい文字パターンPW,PX,PY,PZとから構成される。
【００６５】
小さい文字パターンPS,PT,PU,PVは、その相互の間隔L3が所定寸法（例えば、L3が123μｍ）であり、１辺が所定寸法（例えば、９μｍ）の正方形ドットP1を並べてアルファベットの「ｄｅ」の文字がそれぞれ形成される。各ドットP1の相互間隔は所定寸法（例えば、５μｍ）とされる。最も上に配置された文字パターンPSは、そのドットP1が透明であり、その下に配置された文字パターンPTは、ドットP1に赤色フィルタが設けられた赤色着色部とされ、その下に配置された文字パターンPUは、ドットP1に緑色フィルタが設けられた緑色着色部とされ、最も下に配置された文字パターンPVは、ドットP1に青色フィルタが設けられた青色着色部とされる。
【００６６】
大きな文字パターンPW,PX,PY,PZは、その相互の間隔M3が所定寸法（例えば、M3が96μｍ）であり、１辺が所定寸法（例えば、12μｍ）の正方形ドットP2を並べてアルファベットの「ｄｅ」の文字がそれぞれ形成される。各ロッドP2の相互間隔は所定寸法（例えば、６μｍ）とされる。最も上に配置された文字パターンPWは、そのドットP2が透明であり、その下に配置された文字パターンPXは、ドットP2に赤色フィルタが設けられた赤色着色部とされ、その下に配置された文字パターンPYは、ドットP2に緑色フィルタが設けられた緑色着色部とされ、最も下に配置された文字パターンPZは、ドットP2に青色フィルタが設けられた青色着色部とされる。
ここで、文字パターンPS,PWおよび文字パターンPT,PU,PV,PX,PY,PZは、ドットP1,P2を通過する光がスクリーン上で連続して目視される場合にはフレアが生じていると認識できるため、フレア検査部４０を構成する。文字パターンPT,PU,PV,PX,PY,PZは、それぞれ異なる色の着色部が複数並んで配置された色収差検査部５０を構成する。第３のチャートパターン１０Ｃはフレア検査部４０と色収差検査部５０とが同一面内に形成されている。
【００６７】
ドットパターンPD1,PD2は、矩形状輪郭の左半分に沿って配置された大きなドットパターンPD1と、矩形状輪郭の右半分に沿って配置された小さなドットパターンPD2とから構成される。これらのドットパターンPD1,PD2は、それぞれ透光部分である大小のドットP3,P4が２列並んで配置されることで構成される。
【００６８】
図９および図１０に示される通り、大きなドットパターンPD1を構成するドットP3は、１辺が所定寸法（例えば、12μｍ）の正方形であり、隣り合うドットP3の間の寸法N1は所定寸法（例えば、６μｍ）とされている。小さなドットパターンPD2を構成するドットP4は、１辺が所定寸法（例えば、９μｍ）の正方形であり、隣り合うドットP4の間の寸法N2は所定寸法（例えば、５μｍ）とされている。さらに、中心部分で大小のドットパターンPD1,PD2が接続されることになるが、この接続部分に相当するドットP3とドットP4との間の寸法N3が所定寸法（例えば、８μｍ）とされる。ドットパターンPD1,PD2は、ドットP3,P4を通過する光がスクリーン上で連続して目視される場合にはフレアが生じていると認識できるため、フレア検査部４０を構成する。
【００６９】
図１１において、第４のチャートパターン１０Ｄは、投写レンズ１６０の色収差を検査するための色収差検査部５０であって、その検査を目視で行う目視用検査部３０である。
【００７０】
第４のチャートパターン１０Ｄは、縦横が所定寸法（例えば、630μｍ×660μｍ）の矩形状遮蔽部分（ハッチで示す）に透光部分の色収差検査部６０〜６５および数字部６０Ａ〜６５Ａが上下に並んで形成されている。色収差検査部６０〜６５は、それぞれ線状検査部であって、その相互間隔が所定寸法（例えば、８０μｍ）である。
【００７１】
最上位に配置された色収差検査部６０は、赤色フィルタが設けられて形成された赤色着色部６０Ｒ、緑色フィルタが設けられて形成された緑色着色部６０Ｇおよび青色フィルタが設けられて形成された青色着色部６０Ｂが左から右に一直線上に並んで形成されている。
【００７２】
赤色着色部６０Ｒは、縦横が所定寸法（例えば、14μｍ×150μｍ）の細長い矩形状に形成されており、緑色着色部６０Ｇおよび青色着色部６０Ｂは、それぞれ赤色着色部６０Ｒと同じ形状に形成されている。そのため、図１２（Ａ）に示される通り、赤色着色部６０Ｒと緑色着色部６０Ｇとの継ぎ目は段差がなく、図１２（Ｇ）に示される通り、緑色着色部６０Ｇと青色着色部６０Ｂとの継ぎ目は段差がない。色収差がない状態では、色収差検査部６０を透過してスクリーン５００に照射された画像光は、色収差検査部６０の形状と同様に段差がない直線上に表示される。そのため、色収差検査部６０の左端に近接して表示される数字部６０Ａは「０」が表示される。
【００７３】
上から２番目に配置された色収差検査部６１は、赤色フィルタが設けられて形成された赤色着色部６１Ｒ、緑色フィルタが設けられて形成された緑色着色部６１Ｇおよび青色フィルタが設けられて形成された青色着色部６１Ｂが左から右に一直線上に並んで形成されている。緑色着色部６１Ｇは緑色着色部６０Ｇと同じ形状であるが、赤色着色部６１Ｒおよび青色着色部６１Ｂは、赤色着色部６０Ｒと青色着色部６０Ｂより縦寸法（幅寸法）が長い。そのため、図１２（Ｂ）に示される通り、赤色着色部６１Ｒは緑色着色部６１Ｇに比べて外縁から幅D1（例えば、２μｍ）だけ外側に形成されており、図１２（Ｈ）に示される通り、青色着色部６１Ｂは緑色着色部６１Ｇに比べて外縁から幅D1（例えば、２μｍ）だけ外側に形成されている。
【００７４】
極めて少ない色収差が生じた状態では、色収差検査部６１を透過してスクリーン５００に照射された画像光は、色収差検査部６１の形状とは異なり色の境目がぼけて段差がない直線上に表示される。そのため、色収差検査部６１の左端に近接配置される数字部６１Ａは前記幅寸法の差D1に対応した色収差量の「２」が表示される。
【００７５】
上から３番目に配置された色収差検査部６２は、赤色フィルタが設けられて形成された赤色着色部６２Ｒ、緑色フィルタが設けられて形成された緑色着色部６２Ｇおよび青色フィルタが設けられて形成された青色着色部６２Ｂが左から右に一直線上に並んで形成されている。緑色着色部６２Ｇは緑色着色部６０Ｇと同じ形状であるが、赤色着色部６２Ｒおよび青色着色部６２Ｂは、赤色着色部６０Ｒと青色着色部６０Ｂより縦寸法（幅寸法）が長い。そのため、図１２（Ｃ）に示される通り、赤色着色部６２Ｒは緑色着色部６２Ｇに比べて外縁から幅D2（D2＞D1；例えば、D2は４μｍ）だけ外側に形成されており、図１２（Ｊ）に示される通り、青色着色部６２Ｂは緑色着色部６２Ｇに比べて外縁から幅D2（例えば、４μｍ）だけ外側に形成されている。
【００７６】
少ない色収差が生じた状態では、色収差検査部６２を透過してスクリーン５００に照射された画像光は、色収差検査部６２の形状とは異なり色の境目がぼけて段差がない直線上に表示される。そのため、色収差検査部６２の左端に近接配置される数字部６２Ａは前記幅寸法の差D2に対応した色収差量の「４」が表示される。
【００７７】
上から４番目に配置された色収差検査部６３は、赤色フィルタが設けられて形成された赤色着色部６３Ｒ、緑色フィルタが設けられて形成された緑色着色部６３Ｇおよび青色フィルタが設けられて形成された青色着色部６３Ｂが左から右に一直線上に並んで形成されている。緑色着色部６３Ｇは緑色着色部６０Ｇと同じ形状であるが、赤色着色部６３Ｒおよび青色着色部６３Ｂは、赤色着色部６０Ｒと青色着色部６０Ｂより縦寸法（幅寸法）が長い。そのため、図１２（Ｄ）に示される通り、赤色着色部６３Ｒは緑色着色部６３Ｇに比べて外縁から幅D3（D3＞D2；例えば、D3は６μｍ）だけ外側に形成されており、図１２（Ｋ）に示される通り、青色着色部６３Ｂは緑色着色部６３Ｇに比べて外縁から幅D3（例えば、６μｍ）だけ外側に形成されている。
【００７８】
やや少ない色収差が生じた状態では、色収差検査部６３を透過してスクリーン５００に照射された画像光は、色収差検査部６３の形状とは異なり色の境目がぼけて段差がない直線上に表示される。そのため、色収差検査部６３の左端に近接配置される数字部６３Ａは前記幅寸法の差D3に対応した色収差量の「６」が表示される。
【００７９】
上から５番目に配置された色収差検査部６４は、赤色フィルタが設けられて形成された赤色着色部６４Ｒ、緑色フィルタが設けられて形成された緑色着色部６４Ｇおよび青色フィルタが設けられて形成された青色着色部６４Ｂが左から右に一直線上に並んで形成されている。緑色着色部６４Ｇは緑色着色部６０Ｇと同じ形状であるが、赤色着色部６４Ｒおよび青色着色部６４Ｂは、赤色着色部６０Ｒと青色着色部６０Ｂより縦寸法（幅寸法）が長い。そのため、図１２（Ｅ）に示される通り、赤色着色部６４Ｒは緑色着色部６４Ｇに比べて外縁から幅D4（D4＞D3；例えば、D4は８μｍ）だけ外側に形成されており、図１２（Ｌ）に示される通り、青色着色部６４Ｂは緑色着色部６４Ｇに比べて外縁から幅D4（例えば、８μｍ）だけ外側に形成されている。
【００８０】
やや多い色収差が生じた状態では、色収差検査部６４を透過してスクリーン５００に照射された画像光は、色収差検査部６４の形状とは異なり色の境目がぼけて段差がない直線上に表示される。そのため、色収差検査部６４の左端に近接配置される数字部６４Ａは前記幅寸法の差D4に対応した色収差量の「８」が表示される。
【００８１】
最も下に配置された色収差検査部６５は、赤色フィルタが設けられて形成された赤色着色部６５Ｒ、緑色フィルタが設けられて形成された緑色着色部６５Ｇおよび青色フィルタが設けられて形成された青色着色部６５Ｂが左から右に一直線上に並んで形成されている。
【００８２】
緑色着色部６５Ｇは緑色着色部６０Ｇと同じ形状であるが、赤色着色部６５Ｒおよび青色着色部６５Ｂは、赤色着色部６０Ｒと青色着色部６０Ｂより縦寸法（幅寸法）が長い。そのため、図１２（Ｆ）に示される通り、赤色着色部６５Ｒは緑色着色部６５Ｇに比べて外縁から幅D5（D5＞D4；例えば、D5は10μｍ）だけ外側に形成されており、図１２（Ｍ）に示される通り、青色着色部６５Ｂは緑色着色部６５Ｇに比べて外縁から幅D5（例えば、10μｍ）だけ外側に形成されている。
【００８３】
多い色収差が生じた状態では、色収差検査部６５を透過してスクリーン５００に照射された画像光は、色収差検査部６５の形状とは異なり色の境目がぼけて段差がない直線上に表示される。そのため、色収差検査部６５の左端に近接配置される数字部６５Ａは前記幅寸法の差D5に対応した色収差量の「１０」が表示される。
【００８４】
つまり、複数列配置された色収差検査部６０〜６５は、それぞれ隣り合う赤色着色部６０Ｒ〜６５Ｒ（青色着色部６０Ｂ〜６５Ｂ）と緑色着色部６０Ｇ〜６５Ｇの幅寸法の相対比が相違する。  図５において、複数ある第５のチャートパターン１０Ｅのうち第９のチャートパターン１０Ｊから画像領域内で最も遠い位置に配置されるものは局所パターンであり、同様に、複数ある第６のチャートパターン１０Ｆのうち第９のチャートパターン１０Ｊから画像領域内で最も遠い位置に配置されるものは局所パターンである。これらの局所パターンは第９のチャートパターン１０Ｊを含んで縦に延びる中心線に対して、左右対称とされる。図１４において、第５のチャートパターン１０Ｅは、投写レンズ１６０のフレアを検査するためのフレア検査部４０であって、その検査を目視で行う目視用検査部３０である。
【００８５】
第５のチャートパターン１０Ｅは、遮蔽部分（ハッチで示す）に透光部分のドットP5を１２個配列して形成されたＬ字部分P51と、遮蔽部分の両側に表示された「３０」の数字部分N1とからなる。各ドットP5は一辺が所定寸法（例えば、５μｍ）の正方形であり、隣り合うドットP5の角部分が互いに接続されている。局所パターンを構成する第５のチャートパターン１０Ｅでは、Ｌ字部分P51は、その中心点と第９のチャートパターン１０Ｊとを結ぶ線分X1を中心として左右対称とされる。また、数字部分N1には見切り線１０Ｌの端部が近接して形成される。
【００８６】
図１５において、第６のチャートパターン１０Ｆは、投写レンズ１６０のフレアを検査するためのフレア検査部４０であって、その検査を目視で行う目視用検査部３０である。
【００８７】
第６のチャートパターン１０Ｆは、遮蔽部分（ハッチで示す）に透光部分のドットP5を１２個配列して形成されたＬ字部分P51と、遮蔽部分の両側に表示された「３０」の数字部分N1とからなる。局所パターンを構成する第６のチャートパターン１０Ｆでは、Ｌ字部分P51は、その中心点と第９のチャートパターン１０Ｊとを結ぶ線分X2を中心として左右対称とされる。また、数字部分N1には見切り線１０Ｌの端部が近接して形成される。
【００８８】
図１６において、第７のチャートパターン１０Ｇは、投写レンズ１６０のフレアを検査するためのフレア検査部４０であって、その検査を目視で行う目視用検査部３０である。
【００８９】
第７のチャートパターン１０Ｇは、遮蔽部分（ハッチで示す）に透光部分のドットP5を１２個配列して形成されたＬ字部分P51と、遮蔽部分の両側に表示された「３０」の数字部分N1とからなる。第７のチャートパターン１０ＧのＬ字部分P51は、第６のチャートパターン１０ＦのＬ字部分P51とは対称形状である。図１７において、第８のチャートパターン１０Ｈは、投写レンズ１６０のフレアを検査するためのフレア検査部４０であって、その検査を目視で行う目視用検査部３０である。
【００９０】
図１８において、第９のチャートパターン１０Ｊは、一辺が所定寸法（例えば、200μｍ）の正方形とされた遮蔽部分から形成され、この中心点は照射される光の中心位置である。
【００９１】
図１９において、第１０のチャートパターン１０Ｋは第３のチャートパターン１０Ｃと基本的な構成が同じである。
【００９２】
つまり、第１０のチャートパターン１０Ｋは、投写レンズ１６０のフレアおよび色収差を検査するために設けられたものである。
【００９３】
第１０のチャートパターン１０Ｋは、縦横が所定寸法（例えば、600μｍ×1016μｍ）の矩形状遮蔽部分（ハッチで示す）に透光部分の文字パターンPS,PT,PU,PV,PW,PX,PY,PZおよびドットパターンPD1,PD2が形成された目視用検査部３０である。
【００９４】
図３において、検査シート保持部４４０は、６軸調整部４６０に固定されており、６軸調整部４６０を制御することによって、検査シート保持部４４０の配置が調整される。６軸調整部４６０は、図中、Ｓ方向，Ｔ方向，Ｕ方向の平行移動、および、Ｓ軸，Ｔ軸，Ｕ軸を中心とする回転の可能な６つの可動ステージが組み合わされたものである。この６軸調整部４６０を制御することにより、検査シート保持部４４０に保持された検査シート４５０の空間的な配置を調整することができる。換言すれば、６軸調整部４６０の制御によって、テストパターンＴＰの空間的な配置が調整される。
【００９５】
ダミープリズム４７０は、前述したように、図１のプロジェクタ１００のクロスダイクロイックプリズム１５０を模擬するために設けられている。図１に示すクロスダイクロイックプリズム１５０では、３つの液晶ライトバルブ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂから射出された光を合成するために「Ｘ」字状の薄膜が内部に設けられている。しかし、本検査装置においてはこの薄膜は不要なため、クロスダイクロイックプリズム１５０と同じ立方体形状のガラス体に反射防止コーティングを施したものが、ダミープリズム４７０として用いられている。
【００９６】
検査対象である投写レンズ１６０は順次取り替えて検査装置に実装される。
【００９７】
以上の投写部４００の構成により、光源装置４１０（図３）から射出された光は、第１および第２のミラー４３０，４４２で反射される。第２のミラー４４２で反射された光は、検査シート４５０を通過することによって、画像領域ＴＰの画像を表す画像光となって射出される。この画像光は、ダミープリズム４７０を通過した後、投写レンズ１６０によって投写される。
【００９８】
ところで、図２に示すように、本実施例の投写部４００では、投写レンズ１６０の中心軸ｎ１と、検査シート４５０の中心を通る法線ｎ２とが、所定の距離だけずれている。これは、投写型表示装置における「あおり投写」の状態を模擬するためである。投写レンズ１６０は、このようなあおり投写状態において、歪みのない画像を投写表示するように設計されている。なお、投写レンズ１６０の中心軸ｎ１と検査シート４５０の中心を通る法線ｎ２とが一致しないような投写は、通常、「あおり投写」と呼ばれている。
【００９９】
図２の検査部６００は、処理部６１０と、スクリーン５００の四隅の近傍に配置された４つの調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄと、１つの測定用撮像部６４０とを備えている。処理部６１０は、調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄおよび測定用撮像部６４０と電気的に接続されているとともに、投写部４００の６軸調整部４６０とも電気的に接続されている。処理部６１０は、調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄによって得られる画像データを解析し、その解析結果に基づいて、６軸調整部４６０を制御する。なお、上述したように、６軸調整部４６０を制御することによって、画像領域ＴＰの空間的な配置が調整され、これによって画像のフォーカス状態（後述する）が調整されることとなる。また、処理部６１０は、測定用撮像部６４０によって得られる画像データを処理して、投写レンズの特性値を算出する機能を有している。
【０１００】
この説明からも分かるように、本実施例の処理部６１０が本発明における特性値算出部に相当する。また、調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄと測定用撮像部６４０とは本発明における撮像部に相当し、処理部６１０と６軸調整部４６０とがフォーカス状態調整部に相当する。さらに、これらの特性値算出部、撮像部およびフォーカス状態調整部から自動検査部が構成される。
【０１０１】
図２０は、スクリーン５００を＋Ｚ方向から見たときの調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄおよび測定用撮像部６４０の配置を示す説明図である。図示するように、４つの調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄは、スクリーン５００の四隅にそれぞれが設けられており、図示しない移動機構によってＸＹ平面内で移動可能である。また、測定用撮像部６４０は、スクリーン５００の中央付近に設けられており、図示しない移動機構によってＸＹ平面内で移動可能である。ただし、測定用撮像部６４０は、図２に示すように、各調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄから＋Ｚ方向にずらして配置されているので、各調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄと干渉しないように移動させることができる。調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄおよび測定用撮像部６４０は、スクリーン５００上に表示された画像領域ＴＰの画像を撮像し、撮像した画像データを処理部６１０（図２）に伝送する。
【０１０２】
処理部６１０は、調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄおよび測定用撮像部６４０から伝送された画像データを処理して、以下に説明するような手法で投写レンズ１６０の特性値を求める。
【０１０３】
（３）投写レンズ検査方法
図２１は、投写レンズの検査を行う際の一連の処理手順を示すフローチャートである。ステップＳ１０１では、スクリーン５００上に表示された画像のフォーカス状態の調整と、表示された画像の位置合わせを行う。ステップＳ１０１の処理では、４つの第１のチャートパターン１０Ａ（図６参照）が利用される。
【０１０４】
図２２は、スクリーン５００上に表示された第１のチャートパターン１０Ａの画像１０Ａa〜１０Ａｄを示す説明図である。
【０１０５】
画像１０Ａa〜１０Ａｄをスクリーン５００上に最初に表示した際には、フォーカス状態が悪く画像がぼけている場合がある。このため、ステップＳ１０１（図２１）では、まず、画像１０Ａa〜１０Ａｄのフォーカス状態を調整する。なお、本実施形態において、「フォーカス状態が良い」とは、合焦点状態となっていることを意味し、「フォーカス状態が悪い」とは、合焦点状態となっていないことを意味する。
【０１０６】
フォーカス状態の調整においては、まず、図２０の４つの調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄを用いて４つの画像１０Ａa〜１０Ａｄをそれぞれ探す。画像１０Ａa〜１０Ａｄの探索は、処理部６１０にパターン情報を予め入力しておき、第１のチャートパターン１０Ａの情報とほぼ一致するような画像領域をパターンマッチングによって自動的に探すことによって行われる。あるいは、ユーザが調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄによって撮像された画像を確認しながら行うようにしてもよい。
【０１０７】
４つの画像１０Ａa〜１０Ａｄが見つかると、撮像された４つの正方局所パターン画像のフォーカス状態の良否を調べる。フォーカス状態の良否は、撮像された画像データを用いて判断される。例えば、撮像された画像データを用いて、白黒画像の白色領域（明領域）と黒色領域（暗領域）の境界におけるエッジ強度を調べ、エッジ強度の大小によってフォーカス状態の良否を判断することができる。すなわち、エッジ強度のようなフォーカス状態の良否を示す特定の指標値を用いることによって、合焦点状態か否かを判断できる。
【０１０８】
画像１０Ａa〜１０Ａｄについての合焦点指標値が得られると、４つの合焦点指標値に基づいて６軸調整部４６０を制御し、検査シート４５０（画像領域ＴＰ）の空間的な配置を調整する。この後、再度、各画像１０Ａa〜１０Ａｄについての合焦点指標値を求める。このようにして、６軸調整部４６０の調整と、４つの合焦点指標値の算出とを繰り返しながら、４つの正方局所パターン画像１０Ａａ〜１０Ａｄについての合焦点指標値がほぼ等しくなり、かつ、最も大きくなるような配置を、画像のフォーカス状態が良好となる投写レンズ検査シート４５０の配置として決定する。
【０１０９】
また、図２２に示すように、画像をスクリーン５００上に最初に表示した際には、画像１０Ａa〜１０Ａｄの中心ＩＴＰｃが、スクリーン５００の中心５００ｃとずれている場合がある。本実施形態において、画像の中心ＩＴＰｃとは、４つの画像１０Ａa〜１０Ａｄの位置を頂点とする四角形領域の２つの対角線の交点を意味している。ステップＳ１０１（図２１）においては、画像のフォーカス状態が調整された後に、画像の位置合わせを行う。
具体的には、図２２に示す画像の中心ＩＴＰｃが、スクリーン５００の中心５００ｃと一致するように、６軸調整部４６０を制御し、検査シート４５０の配置を調整する。また、本実施形態においては、スクリーン５００上に表示された２つの画像１０Ａa，１０Ａｂの位置が、Ｘ方向にほぼ平行となるように、検査シート４５０の配置が調整される。こうすれば、投写レンズ検査シート４５０が、検査シート保持部４４０の所定の位置にうまく取り付けられていない場合にも、実質的に所定の位置に取り付けられたように補正をすることができる。なお、画像の位置合わせが行われた際には、再度、４つの正方局所パターン画像１０Ａa〜１０Ａｄのフォーカス状態が確認される。
【０１１０】
ステップＳ１０１（図２１）において画像のフォーカス状態の調整および位置合わせが終了すると、ステップＳ１０２からＳ１０４において、投写レンズの特性を検査する。
【０１１１】
ステップＳ１０２（図２１）では、投写レンズの特性値として、画像の解像度を測定する。ステップＳ１０２の処理では、図５の投写レンズ検査シート４５０に含まれる第２のチャートパターン１０Ｂ（図７）が利用される。ただし、画像の解像度の測定においては、第２のチャートパターン１０Ｂに含まれる平行線パターンＰＴＡａ〜ＰＴＡｌ及び文字パターンＰＴＢａ〜ＰＴＢｆが利用される。
【０１１２】
図２３は、スクリーン５００上に表示された画像に含まれる平行線パターンの画像とその平行線パターン画像の明暗の変化を示す説明図である。なお、図２３のＸ方向は、図２２に示すスクリーン５００上に表示された画像のＸ方向と同じである。
【０１１３】
図２３（Ａ−１）は、図７の領域ＷＡに含まれる平行線パターンＰＴＡｄに従って表示された平行線パターン画像ＩＰＴＡｄを示している。図中、ハッチを付した領域は、平行線パターンＰＴＡｄの遮光領域によって光が遮られた暗領域を示しており、他の領域は明領域を示している。なお、図２３（Ａ−１）では、図示の便宜上、明領域と暗領域との境界がはっきりと区分して描かれているが、実際には、明領域から暗領域へと次第に変化している。図２３（Ａ−２）は、図２３（Ａ−１）の画像データから得られるＸ方向の光の強度変化を示しており、図２３（Ａ−１）の暗領域が強度の比較的小さい部分に対応し、明領域が強度の比較的大きい部分に対応している。
【０１１４】
図２３（Ａ−２）に示すような光の強度変化が得られると、画像の解像度を評価するための値であるＭＴＦ値（％）を、次の式（１）によって算出する。
【０１１５】
［数１］
ＭＴＦ＝［（ＬＭmax−ＬＭmin）／（ＬＭmax＋ＬＭmin）］×１００
…（１）
ここで、図２３（Ａ−２）に示すように、ＬＭmax は、周期的に光の強度が変化する領域における光の強度の最大値であり、ＬＭmin は、周期的に光の強度が変化する領域における光の強度の最小値である。
【０１１６】
なお、図２３（Ａ−２）に示すような光の強度変化に基づくＭＴＦ値は、図２３（Ａ−１）から分かるように、画像の明領域中に暗領域が表示される場合の画像の解像度を評価するために求められる。図２３（Ａ−２）では、このような２種類の明暗の変化に基づいてＭＴＦ値を求める場合を示しているが、画像の解像度を評価するためには、少なくとも一方の種類のＭＴＦ値を求めればよい。
【０１１７】
通常、平行線パターンのピッチが小さいほど、図２３（Ａ−２）に示すような光の強度の変化量（ＬＭmax −ＬＭmin ）が小さくなり、その結果、ＭＴＦ値が小さくなる傾向がある。光の強度の変化量が小さい場合には、スクリーン上に表示される平行線パターンの画像の明領域と暗領域とを明確に区別できなくなる。したがって、式（１）によって求められるＭＴＦ値が所定の値よりも大きくなる場合には、その平行線パターンの画像がうまく表示されていると判断することができ、一方、ＭＴＦ値が所定の値より小さな場合には、その平行線パターンの画像がうまく表示されていないと判断することができる。
【０１１８】
このように、図７の投写レンズ検査シート４５０に含まれる複数の平行線パターンによって表される平行線パターンの画像を用いて、ＭＴＦ値を順次求めてゆけば、検査対象である投写レンズ１６０によってうまく表示することのできる画像の解像度を知ることができる。例えば、図７の比較的大きなピッチの平行線パターンＰＴＡａについてのＭＴＦ値が所定の値より大きく、比較的小さなピッチの平行線パターンＰＴＡｄについてのＭＴＦ値が所定の値よりも小さくなるような場合には、平行線パターンＰＴＡａのピッチに相当する解像度まで、うまく画像を表示できると判断することができる。
【０１１９】
図７に示すように、本実施形態の投写レンズ検査シート４５０では、領域ＷＡに、パターンの向きが異なる平行線パターンが設けられている。したがって、向きの異なる平行線パターン（例えば、ＰＴＡｂ）を用いることによって、スクリーン上におけるＸ方向の画像の解像度だけでなく、Ｙ方向の画像の解像度も測定することが可能である。
【０１２０】
なお、本実施形態では、第２のチャートパターン１０Ｂに含まれる少なくとも２種類のピッチの異なる平行線パターンについてのＭＴＦ値を求めることとしている。このように求められた各ＭＴＦ値を総合的に評価することによって、検査対象である投写レンズ１６０について画像の解像度が決定される。
【０１２１】
また、本実施形態において検査対象としている投写レンズ１６０は、その内部のレンズ系の配置（すなわち、レンズ間の距離）を変更することにより、投写される画像の大きさをワイド（大）、ミドル（中）、テレ（小）の３段階に変更することができる。このため、本実施形態においては、投写レンズ１６０のこのような複数の表示倍率のそれぞれに関して、画像の解像度を測定することとしている。こうすれば、投写レンズ１６０の画像の解像度に関する特性を、使用状態に応じて調べることができる。
【０１２２】
以上のように、ステップＳ１０２では、式（１）を用いてＭＴＦ値を求めているが、画像の解像度を評価するための値としては、他の式を用いてもよい。例えば、式（１）に外部からの光などに起因する外乱ノイズを補正するための補正式を追加したものを用いてもよい。一般には、画像の周期的な明暗の変化に基づいて画像の解像度に関する値が決定されていればよい。
【０１２３】
さらに、ステップ１０２では、前述の自動的な画像解像度の検査に加えて、目視による解像度の検査を行う。
【０１２４】
つまり、スクリーン５００に表示された第２のチャートパターン１０Ｂの領域ＷＡに形成された平行線パターンＰＴＡａ，ＰＴＡｂなどの画像を目視し、画像のにじみがあるいか否かを通常の手法に従ってチェックする。
【０１２５】
ステップＳ１０３（図２１）では、投写レンズの特性値として、画像のフレア（広がり量）を求める。画像のフレアは、投写レンズ１６０の内部において画像光の一部が反射されることに起因して発生する。すなわち、投写レンズ内部のレンズ表面等において画像光の一部が複数回反射されて射出されると、その画像光の一部は、本来照射すべき領域と異なる領域を照射する場合がある。このとき、スクリーン上に表示される画像は、画像光の一部が反射されない場合に表示される画像よりも大きくなる。ステップＳ１０３では、このような画像のフレアを測定する。
【０１２６】
ステップＳ１０３の処理では、ステップＳ１０２の処理と同じく、図５の投写レンズ検査シート４５０に含まれる第２のチャートパターン１０Ｂ（図７）が利用される。ただし、ステップＳ１０３では、図７に示す第２のチャートパターン１０Ｂのうち、領域ＷＢに含まれる４種類の小孔パターンＰＨａ〜ＰＨｄのみが利用される。
【０１２７】
図２４は、スクリーン上に表示されたテストパターン画像に含まれる小孔パターンの画像の一例を示す説明図である。なお、図２４では、図２０のスクリーン５００の左上付近に表示される小孔パターンＰＨａ（図７）の画像ＩＰＨａが示されている。なお、小孔パターン画像ＨＡ２の形状は、図２４に示すような卵形に限られず、投写レンズによって種々の形状となり得る。
【０１２８】
図中、略円形の領域ＨＡ１は、画像光の一部が投写レンズ内部で反射されないと仮定した場合に、小孔パターンＰＨａによって照射されるべき明領域を示している。領域ＨＡ１を含む卵形の領域ＨＡ２は、画像光の一部が投写レンズ内部で実際に反射される場合に、小孔パターンＰＨａによって照射される明領域を示している。また、領域ＨＡ２の外側の領域ＢＡは、光が照射されていない暗領域を示しており、明領域ＨＡ２は暗領域ＢＡ内で孤立している。この説明から分かるように、本実施形態の各小孔パターンＰＨａ〜ＰＨｄ（図７）が本発明における第２の局所パターンに相当する。なお、第２の局所パターンとしては、図７に示すような、略円形の小孔パターンに限られず、他の形状のパターンを用いてもよい。各領域における光の強度分布は、領域ＨＡ１内で比較的大きく、領域ＨＡ１を除く領域ＨＡ２で比較的小さくなっている。また、図２４では、図示の便宜上、各領域ＨＡ１，ＨＡ２，ＢＡの境界がはっきりと区分して描かれているが、実際には、それぞれ領域の境界において光の強度は次第に変化している。
【０１２９】
本実施形態において、画像のフレアＥ（％）は次の式（２）で与えられる。
【０１３０】
［数２］
Ｅ＝（Ｓ<SUB>HA2 </SUB>／Ｓ<SUB>HA1 </SUB>）×１００     …（２）
ここで、Ｓ<SUB>HA1 </SUB>は領域ＨＡ１の面積であり、Ｓ<SUB>HA2 </SUB>は領域ＨＡ１を含む領域ＨＡ２の面積である。面積Ｓ<SUB>HA1 </SUB>は、図７の小孔パターンＰＨａの小孔の面積と、画像の拡大率とを用いて決定することができる。なお、画像の拡大率は、例えば、図５の投写レンズ検査シート４５０に含まれる上方に配置された２個の第１のチャートパターン１０Ａ間の距離と、図２２の画像１０Ａａ，１０Ａｄ間の距離とを用いて計算することができる。また、面積Ｓ<SUB>HA2 </SUB>は、図２４に示すように撮像された画像データを、所定の閾値で２値化することによって求めることができる。
【０１３１】
上記のように、本実施形態では、領域ＨＡ１の面積と領域ＨＡ２の面積とを用いて画像のフレアＥを決定しているが、他の方法を用いてもよい。例えば、領域ＨＡ１の面積と、領域ＨＡ１を除いた領域ＨＡ２の面積とを用いて画像のフレアを決定するようにしてもよい。あるいは、領域ＨＡ１の外周上の２点間の距離の最大値（すなわち、領域ＨＡ１の直径）と、領域ＨＡ２の外周上の２点間の距離の最大値とを用いて決定してもよい。一般には、画像内に孤立した明領域を用いて画像のフレアに関連する値が決定されていればよい。
【０１３２】
なお、本実施形態では、２０個ある第２のチャートパターン１０Ｂのそれぞれにおいて、小孔パターンを用いて画像のフレアを測定することとしている。しかし、画像のフレアＥは、投写レンズの中心軸から離れるに連れて、換言すれば、スクリーン上に表示される画像の周辺に向かうに連れて大きくなる傾向がある。したがって、スクリーン上に表示されるテストパターン画像の周辺に位置する小孔パターン画像のみを用いて、画像のフレアを評価するようにしてもよい。
【０１３３】
なお、目視によるフレアの検査を、専用投影治具を使用して行う。
【０１３４】
その後、ステップＳ１０４に示される通り、色収差の検査を行う。
【０１３５】
そのため、投写レンズ検査シート４５０および投写レンズ１６０に光源装置４１０から光を照射し、投写レンズ１６０によって画像光をスクリーン５００上に照射し、スクリーン５００上に、投写レンズ検査シート４５０の画像を表示する。
【０１３６】
スクリーン５００に表示された第３のチャートパターン１０Ｃ、第４のチャートパターン１０Ｄおよび第１０のチャートパターン１０Ｋの画像を目視し、この画像から色収差を検査する。
【０１３７】
例えば、第３のチャートパターン１０Ｃおよび第１０のチャートパターン１０Ｋの画像を目視し、並んで配置された色違いの文字パターンPT,PU,PV,PX,PY,PZにおける画像の線の幅寸法の相対変化をチェックする。色収差がある場合には、所定の色の文字パターンPT,PU,PV,PX,PY,PZが大きく見えるため、これをチェックすることで色収差を検査する。
【０１３８】
また、第４のチャートパターン１０Ｄの画像を目視し、６本の色収差検査部６０〜６５のうち赤色着色部６０Ｒ〜６５Ｒおよび青色着色部６０Ｂ〜６５Ｂの画像と緑色着色部６０Ｇ〜６５Ｇの画像との幅寸法が見かけ上同じに見えるものをチェックし、そのチェックした色収差検査部６０〜６５に対応する数字部６０Ａ〜６５Ａを読みとる。
【０１３９】
以上のステップＳ１０２からＳ１０４において求められた投写レンズに起因する画像の解像度に関する特性値、画像のフレア、および色収差に関連する特性値を用いれば、投写レンズの良否を容易に判断することができる。なお、本実施形態では、ステップＳ１０２からＳ１０４において、順次、投写レンズの特性値を測定しているが、測定の順序は不問である。
【０１４０】
（４）実施形態の効果
したがって、本実施形態によれば、プロジェクタ１００に用いられる投写レンズ１６０の特性を検査するために光が照射される投写レンズ検査シート４５０を、色収差を検出する色収差検査部５０，６０〜６５とフレアを検出するフレア検査部４０とが同一面内に形成された構成としたから、フレアと色収差とを同時に検査することで、検査効率を向上させることができる。
しかも、色収差検査部５０，６０〜６５は、それぞれ異なる色の着色部６０Ｒ〜６５Ｒ，６０Ｇ〜６５Ｇ，６０Ｂ〜６５Ｂが複数並んで配置された構成としたので、これらの着色部６０Ｒ〜６５Ｒ，６０Ｇ〜６５Ｇ，６０Ｂ〜６５Ｂに透過される画像光がスクリーン５００に表示された際に、色収差があると、異なる色の画像光の幅寸法が相対的に変化するので、この相対変化に基づいて色収差を簡易に検査することができる
また、異なる色の着色部６０Ｒ〜６５Ｒ，６０Ｇ〜６５Ｇ，６０Ｂ〜６５Ｂが直線上に並んで形成された色収差検査部６０〜６５を線状検査部としたので、色収差に伴うスクリーン上の着色部の幅寸法の相対変化が明確に認識することができるため、検査精度が向上する。
【０１４１】
さらに、線状検査部である色収差検査部６０〜６５は、隣り合う着色部６０Ｒ〜６５Ｒ，６０Ｇ〜６５Ｇ，６０Ｂ〜６５Ｂの幅寸法が異なる構成としたので、投写レンズ検査シート４５０上で線状検査部がスクリーン５００上に投写される際に、投写レンズ１６０の色収差によってスクリーン５００上の隣り合う着色部６０Ｒ〜６５Ｒ，６０Ｇ〜６５Ｇ，６０Ｂ〜６５Ｂの幅寸法が同一になると色収差があることを確認することができるので、検査精度が向上する。
【０１４２】
さらにまた、着色部６０Ｒ〜６５Ｒ，６０Ｇ〜６５Ｇ，６０Ｂ〜６５Ｂの幅寸法の差に対応する色収差量を表す数字部６０Ａから６５Ａが色収差検査部６０〜６５に隣接して表示されているので、色収差量を数量化することで簡単かつ正確に把握できる。
【０１４３】
また、色収差検査部６０〜６５が６列配置され、これらの色収差検査部６０〜６５は、それぞれ隣り合う着色部６０Ｒ〜６５Ｒ，６０Ｇ〜６５Ｇ，６０Ｂ〜６５Ｂの幅寸法の相対比が相違する。そのため、６列の色収差検査部６０〜６５がスクリーン５００上に照射される際に、投写レンズ１６０の色収差によってスクリーン５００上のいずれかの色収差検査部６０〜６５における隣り合う着色部の幅寸法が同一になることで色収差があることを確認することができるので、検査精度がより向上する。
【０１４４】
また、着色部として赤色着色部６０Ｒ〜６５Ｒ、緑色着色部６０Ｇ〜６５Ｇおよび青色着色部６０Ｂ〜６５Ｂの３原色から構成したので、色収差の検査を確実に行うことができる。
【０１４５】
さらに、フレア検査部４０は、照射される光の中心位置より画像領域内で最も遠い位置に配置される局所パターンである第５のチャートパターン１０Ｅおよび第６のチャートパターン１０Ｆを備えているので、フレアが最も検出しやすい位置に局所パターンを配置することで、フレアの検出を確実に行うことができる。しかも、第５のチャートパターン１０Ｅおよび第６のチャートパターン１０Ｆは、複数の矩形状ドットP5を配列して形成されるため、フレアが生じる場合には複数のドットが連続した線状にスクリーン５００上で表示されることで、フレアの有無の確認が容易となる。
その上、複数のドットP5は略Ｌ字形に配列しているため、スクリーン５００上における互いに直交する２方向のフレアの有無の確認が容易となる。
【０１４６】
また、本実施形態では、投写レンズ検査シート４５０は、投写レンズ１６０によってスクリーン５００に投写される画像光を目視して検査するための目視用検査部３０と画像光を特性値の算出に基づいて自動的に検査するための自動機用検査部４０とを備えたから、目視用検査部３０で簡易な検査を行うことができるとともに、自動機用検査部４０でばらつきがない高い精度の検査を行うことができる。
さらに、自動機用検査部４０は、投写レンズ１６０の画像の解像度を検出する解像度検査部２０とフレアを検出するフレア検査部４０とを有するので、CCDカメラ移動をあまりしなくて検査出来るので効率的である。
【０１４７】
さらに、投写レンズ検査シート４５０は、スクリーン５００に投写される画像のフォーカス状態からアライメント調整をするための位置決め用アライメントマーク（第１のチャートパターン１０Ａ）を有するから、位置決め用アライメントマークによって投写レンズ検査シート４５０自体の位置決めを行うことができるから、検査の正確性を期することができる。
【０１４８】
また、本実施形態の投写レンズ検査装置は、前記構成の投写レンズ検査シート４５０と、この投写レンズ検査シート４５０に光を照射する光源装置４１０と、投写レンズ１６０を保持する図示しない保持部とを備えたから、検査効率を向上させることができるとともに色収差を正確に検査することができる投写レンズ検査装置を提供することができる。
【０１４９】
投写レンズ検査装置は前述の構成に加えて、投写レンズ検査シート４５０の画像を表示するスクリーン５００と、このスクリーン５００上に表示される投写レンズ検査シート４５０の画像光の特性値の算出に基づいて自動的に投写レンズ１６０を検査する自動検査部と、を備えたから、スクリーンに表示される画像光の特性値に基づいて自動的に投写レンズ１６０を検査することができるので、検査を正確に行うことができる。
【０１５０】
さらに、自動検査部は、投写レンズ検査シート４５０の画像を撮像する撮像部と、投写レンズ検査シート４５０の画像のフォーカス状態を自動調整するフォーカス状態調整部と、投写レンズ検査シート４５０の画像の明暗の変化に基づいて投写レンズ１６０の特性値を算出する特性値算出部と、を備えて構成されたから、スクリーン５００上に表示された画像のフォーカス状態を調整した後に、調整後の投写レンズ検査シート４５０の画像の明暗の変化に基づいて特性値を算出することで、投写レンズ１６０の特性を正確に検査することができる。
【０１５１】
また、本実施形態の投写レンズ検査方法は、それぞれ異なる色からなる着色部が複数並んで配置された色収差検査部６０〜６５を有する投写レンズ検査シート４５０と投写レンズ１６０とに光源装置４１０から光を照射する工程と、投写レンズ１６０によって画像光をスクリーン５００上に投写し、スクリーン５００上に投写レンズ検査シート４５０の画像を表示する工程と、投写レンズ検査シート４５０からスクリーン５００に投写された複数の着色部における画像の線の幅寸法の相対変化に基づいて色収差を検査する工程と、を備えたから、今まで、光源の色を変えて同じ動作を繰り返すことで行っていた色収差の検査を光源の色を変えることなく一度の検査で正確に行うことができる。
【０１５２】
（５）実施形態の変形
なお、本発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
【０１５３】
例えば、本発明の投写レンズ検査装置を図２５及び図２６に示される目視専用検査の構造のものとしてもよい。
つまり、図２５および図２６において、投写レンズ検査装置は、検査対象である投写レンズ１６０が搭載される投写部８００と、前記スクリーン５００（図２参照）とを備えている。
投写部８００は、ベース８０１の上に、投写部本体８０２と、この投写部本体８０２に電力を供給する電源部８０３とが設けられた構造である。
投写部本体８０２は、ケーシング８０４の内部に、光源装置４１０と、投光直線治具部８０５と、投写レンズ検査シート４５０と、検査シート保持部８４０と、ダミープリズム４７０と、投写レンズ保持部８０６とが略一直線上に配置されたものである。投写部本体８０２は、前記実施形態とは異なり、検査シート保持部８４０はケーシング８０４に固定されている。
ケーシング８０４の側面には、光源装置４１０と、投光直線治具部８０５と、検査シート保持部４４０とに対応する位置に冷却ファン８０７がそれぞれ設けられており、ケーシング８０４の内部に熱がこもることが防止される。
投光直線治具部８０５は、光源装置４１０から照射された光を投写レンズ検査シート４５０に当てる際に、平行光とするものである。
ケーシング８０４のうち投写レンズ１６０が配置される部分の上部は取っ手８０４Ａを有する蓋とされ、この蓋をとることで、投写レンズ１６０を投写レンズ保持部８０６に着脱することができる。
したがって、図２５および図２６で示される投写レンズ検査装置は、検査シート保持部８４０がケーシング８０４に固定されているので、検査シート保持部８４０を駆動するための装置が不要となり、装置自体の構造を簡易なものとすることができる。
また、前記実施形態では、投写部４００に光源装置４１０が備えられているが、光源装置４１０を用いなくてもよい。例えば、高輝度ブラウン管を用いれば、光源装置を省略することができる。また、高輝度ブラウン管を用いる場合には、上記の液晶ライトバルブを用いる場合と同様に、供給する画像信号に応じて、容易にテストパターンの内容を変更することが可能である。
さらに、前記実施形態では、スクリーン５００が投写面の裏側に画像を表示する透過型スクリーンである場合について説明したが、スクリーンとしては、投写面側に画像を表示するようなものを用いてもよい。ただし、この場合には、調整用撮像部や測定用撮像部などによって、スクリーン上におけるテストパターン画像の表示が妨げられないように注意する必要がある。前記実施形態のように、透過型スクリーン５００を用いて、調整用撮像部６２０ａ〜６２０ｄや測定用撮像部６４０などを投写面の裏側に配置すれば、容易にテストパターン画像を撮像することができる。
また、着色部を赤、緑および青の３色から構成したが、これらの色のいずれか２色から着色部を構成してもよい。
さらに、複数の着色部を曲線上に並べて色収差検査部を構成するものでもよい。
【０１５４】
【発明の効果】
本発明では、投写レンズの特性を検査するために光が照射される投写レンズ検査シートを、色収差を検出する色収差検査部とフレアを検出するフレア検査部とが同一面内に形成され、色収差検査部は、それぞれ異なる色の着色部が複数並んで配置されたので、フレアと色収差とをほぼ同時に検査することで、検査効率を向上させることができる。その上、異なる色の着色部を並べて色収差検査部が形成されているため、これらの着色部に透過される画像光がスクリーンに表示された際に、異なる色の画像光の幅寸法の相対変化に基づいて色収差を簡易に検査することができる。
また、本発明では、投写レンズ検査シートは、投写レンズによってスクリーンに投写される画像光を目視して検査するための目視用検査部と画像光を特性値の算出に基づいて自動的に検査するための自動機用検査部とを備えたから、目視用検査部で簡易な検査を行うことができるとともに、自動機用検査部でばらつきがない高い精度の検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】投写型表示装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】本発明を適用した投写レンズ検査装置の一実施形態を示す説明図である。
【図３】図２の投写部を＋Ｔ方向から見たときの様子を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施形態にかかる投写レンズ検査シートの側面図である。
【図５】本発明の一実施形態にかかる投写レンズ検査シートの正面図である。
【図６】投写レンズ検査シートに含まれる第１のチャートパターンを拡大して示す正面図である。
【図７】投写レンズ検査シートに含まれる第２のチャートパターンを拡大して示す正面図である。
【図８】投写レンズ検査シートに含まれる第３のチャートパターンを拡大して示す正面図である。
【図９】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、図８のＡ，Ｂ，Ｃで示す部分を拡大した正面図である。
【図１０】（Ｄ）（Ｅ）（Ｆ）は、図８のＤ，Ｅ，Ｆで示す部分を拡大した正面図である。
【図１１】投写レンズ検査シートに含まれる第４のチャートパターンを拡大して示す正面図である。
【図１２】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｇ）（Ｈ）（Ｊ）は、図１１のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｇ，Ｈ，Ｊで示す部分を拡大した正面図である。
【図１３】（Ｄ）（Ｅ）（Ｆ）（Ｋ）（Ｌ）（Ｍ）は、図１１のＤ，Ｅ，Ｆ，Ｋ，Ｌ，Ｍで示す部分を拡大した正面図である。
【図１４】投写レンズ検査シートに含まれる第５のチャートパターンを拡大して示す正面図である。
【図１５】投写レンズ検査シートに含まれる第６のチャートパターンを拡大して示す正面図である。
【図１６】投写レンズ検査シートに含まれる第７のチャートパターンを拡大して示す正面図である。
【図１７】投写レンズ検査シートに含まれる第８のチャートパターンを拡大して示す正面図である。
【図１８】投写レンズ検査シートに含まれる第９のチャートパターンを拡大して示す正面図である。
【図１９】投写レンズ検査シートに含まれる第１０のチャートパターンを拡大して示す正面図である。
【図２０】スクリーンを＋Ｚ方向から見たときの調整用撮像部および測定用撮像部の配置を示す説明図である。
【図２１】投写レンズの検査を行う際の一連の処理手順を示すフローチャートである。
【図２２】スクリーン上に表示された投写レンズ検査シートの画像を示す説明図である。
【図２３】スクリーン上に表示された画像に含まれる平行線パターンの画像とその平行線パターン画像の明暗の変化を示す説明図である。
【図２４】スクリーン上に表示された図７の小孔パターンの画像の一例を示す説明図である。
【図２５】本発明の投写レンズ検査装置の変形例の平面図である。
【図２６】変形例の側面図である。
【符号の説明】
１０Ａ  第１のチャートパターン（位置決め用アライメントマーク）
１０Ｂ  第２のチャートパターン
１０Ｃ  第３のチャートパターン
１０Ｄ  第４のチャートパターン
１０Ｅ  第５のチャートパターン（局所パターン）
１０Ｆ  第６のチャートパターン（局所パターン）
１０Ｇ  第７のチャートパターン
１０Ｈ  第８のチャートパターン
１０Ｊ  第９のチャートパターン
１０Ｋ  第１０のチャートパターン
２０    解像度検査部
３０    目視用検査部
４０    自動機用検査部
５０，６０〜６５    色収差検査部
１００   投写型表示装置（プロジェクタ）
１６０   投写レンズ
４００，８００   投写部
４１０   光源装置
４４０   検査シート保持部
４５０   投写レンズ検査シート
４７０   ダミープリズム
５００   スクリーン
６００   検査部
６１０   処理部（特性値算出部）
６２０ａ〜６２０ｄ  調整用撮像部
６４０   測定用撮像部
４６０   ６軸調整部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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