(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向にワークを搬送する第１の搬送手段と、該第１の搬送手段から前記ワークを受け取って第２の方向に同ワークを搬送する第２の搬送手段とを少なくとも用いたアライメント処理方法であって、
前記第２の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
前記第１の搬送手段により第１の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行する手順と、
前記リフトピンを支持姿勢に切り替えワーク受取位置まで上昇させて前記第１の搬送手段からワークを受け取る手順と、
前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第２の方向のアライメントを実施する手順と、
前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークを第２の搬送手段のハンドに受け渡す手順
とを含んでいることを特徴とするアライメント処理方法。
【請求項２】
第２の搬送手段が直動型ロボットとされてなることを特徴とする請求項１記載のアライメント処理方法。
【請求項３】
第１の方向にワークを搬送する第１の搬送手段と、該第１の搬送手段から前記ワークを受け取って第２の方向に同ワークを搬送する第２の搬送手段とを少なくとも備えてなるアライメント処理装置であって、
前記第２の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
前記第１の搬送手段は、第１の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行するものとされ、
前記第２の搬送手段は、前記リフトピンを支持姿勢に切り替えて前記リフト部によりワーク受取位置まで上昇させて前記第１の搬送手段からワークを受け取らせ、前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第２の方向のアライメントを実施し、前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークをそのハンドに受け渡すものとされてなる
ことを特徴とするアライメント処理装置。
【請求項４】
第２の搬送手段が、直動型ロボットとされてなることを特徴とする請求項３記載のアライメント処理装置。
【請求項５】
第１の方向にワークを搬送する第１の搬送手段と、該第１の搬送手段から前記ワークを受け取って第２の方向に同ワークを搬送する第２の搬送手段とを少なくとも備えてなるアライメント処理装置にアライメント処理をさせるコンピュータプログラムであって、
前記第２の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
ワーク受取時におけるワークの位置および姿勢に関する誤差を算出するステップと、
前記第１の搬送手段に第１の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行させるステップと、
前記リフトピンを支持姿勢に切り替えワーク受取位置まで上昇させて前記第１の搬送手段からワークを受け取らせるステップと、
前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第２の方向のアライメントを実施させるステップと、
前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークを第２の搬送手段のハンドに受け渡すステップ
とを含んでなることを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項６】
請求項５記載のコンピュータプログラムが格納されてなることを特徴とするコンピュータに読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アライメント処理方法およびアライメント処理装置に関する。さらに詳しくは、ロボットなどの搬送装置により搬送作業を行う際のアライメントを効率的に実施するためのアライメント処理方法およびアライメント処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、液晶基板などの液晶製品の製造施設や半導体ウェハなどの半導体製品の製造施設ではワークを搬送するための搬送装置として、ロボットが広く用いられている。これは、半導体製品の製造施設であるクリーンルームではロボットによる作業が必須であることに加え、ロボットを搬送装置として用いることによって高い位置精度を達成することを意図していることによる。
【０００３】
ところが、搬送装置自体の精度が要求精度を達成していても、搬送元のワーク載置位置でワークに位置誤差があれば、その位置誤差が搬送誤差に上乗せされて、結果として所望精度でワークを搬送することができないという問題がある。
【０００４】
そこで、従来より、搬送元のワーク載置位置での位置誤差を修正するためのアライメントが実施される。このようなアライメントの実施方法として、例えば搬送装置としてのロボットでワークを把持する際にハンドでワークを周囲から押圧するように把持して、機械的にワークの位置ずれを修正する機械的アライメントと、位置センサなどを用いて非接触式にワークの位置ずれを検出し、その検出結果に応じて搬送装置側の位置・動作を修正するようにしてワークの位置誤差を補正する非接触式アライメントとが行われている。
【０００５】
機械的アライメントは、液晶パネル等の製品が近年大型化・大重量化してきたこともあって、ワークを押圧して位置修正を行うために大動力が必要となり、位置修正の際にワークの損傷を招くことがあるなど、不利な点も多くなってきている。そのため、大型・大重量のワークを取り扱う際には特に非接触式アライメントによることが多くなってきている。
【０００６】
また、ワークが大型化・大重量化してきている事情から、ロボットには剛性を高くできしかも動作速度の速い直動型ロボットが用いられるようになってきている。ただし、直動型ロボットを用いた場合、その動作自由度（以下、単に自由度ということもある）が小さいことから、単一のロボットで完全なアライメントを実現するのは困難である。
【０００７】
ところで、ワークの搬送作業において、ワークの各載置位置間に障害物が介在するなど、１台の搬送装置でワークを搬送することが非効率的である場合には、複数の搬送装置がリレー式にワークを搬送することが行われる（例えば、特開平９−１０７０１３号公報参照）。しかしながら、複数の搬送装置が協働してワークの搬送作業を行う場合にアライメントを実施しようとすると、１台の搬送装置がアライメントを実施している間、他の搬送装置が待機状態になることがあり、作業効率の向上が阻害されるという問題がある。
【０００８】
なお、直動型ロボットの自由度を増加させる観点から、直動型ロボットに走行軸を付加することも考えられるが、前述したように、ワークの各載置位置間に障害物が介在する場合には、ロボットをワークの各載置位置間を走行させることができない。そのため、直動型ロボットに走行軸を付加するということは、直動型ロボットの有する自由度が小さく、単一のロボットで完全なアライメントがなし得ないという本質的な欠点を解消することにはならない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、ロボットなどの搬送装置、とりわけ自由度が小さい直動型ロボットを用いて搬送作業を行う際のアライメントを合理的に処理して、作業効率を向上させることができるアライメント処理方法およびアライメント処理装置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のアライメント処理方法は、第１の方向にワークを搬送する第１の搬送手段と、該第１の搬送手段から前記ワークを受け取って第２の方向に同ワークを搬送する第２の搬送手段とを少なくとも用いたアライメント処理方法であって、
前記第２の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
前記第１の搬送手段により第１の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行する手順と、
前記リフトピンを支持姿勢に切り替えワーク受取位置まで上昇させて前記第１の搬送手段からワークを受け取る手順と、
前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第２の方向のアライメントを実施する手順と、
前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークを第２の搬送手段のハンドに受け渡す手順
とを含んでいることを特徴とする。
【００１６】
本発明のアライメント処理方法においては、第２の搬送手段が直動型ロボットとされてもよい。
【００１８】
本発明のアライメント処理装置は、第１の方向にワークを搬送する第１の搬送手段と、該第１の搬送手段から前記ワークを受け取って第２の方向に同ワークを搬送する第２の搬送手段とを少なくとも備えてなるアライメント処理装置であって、
前記第２の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
前記第１の搬送手段は、第１の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行するものとされ、
前記第２の搬送手段は、前記リフトピンを支持姿勢に切り替えて前記リフト部によりワーク受取位置まで上昇させて前記第１の搬送手段からワークを受け取らせ、前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第２の方向のアライメントを実施し、前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークをそのハンドに受け渡すものとされてなる
ことを特徴とする。
【００２３】
本発明のコンピュータプログラムは、第１の方向にワークを搬送する第１の搬送手段と、該第１の搬送手段から前記ワークを受け取って第２の方向に同ワークを搬送する第２の搬送手段とを少なくとも備えてなるアライメント処理装置にアライメント処理をさせるコンピュータプログラムであって、
前記第２の搬送手段は、待機姿勢と支持姿勢とに姿勢が切替可能とされたリフトピンを昇降自在に支持するリフト部を有し、
ワーク受取時におけるワークの位置および姿勢に関する誤差を算出するステップと、
前記第１の搬送手段に第１の方向のアライメントおよび水平面内の回転方向のアライメントを実行させるステップと、
前記リフトピンを支持姿勢に切り替えワーク受取位置まで上昇させて前記第１の搬送手段からワークを受け取らせるステップと、
前記リフトピンをアライメント実施位置まで降下させて第２の方向のアライメントを実施させるステップと、
前記リフトピンをワーク載置位置まで降下させてワークを第２の搬送手段のハンドに受け渡すステップ
とを含んでなることを特徴とする。
【００２８】
しかして、本発明のコンピュータプログラムは、コンピュータに読み取り可能な記録媒体に格納される。
【００２９】
ここで、第２の搬送手段は、例えば直動型ロボットとされる。
【００３０】
【作用】
本発明は前記の如く構成されているので、アライメント処理のために他の搬送手段に作業待ちの状態を生ずることはない。そのため、複数の搬送装置が協働してアライメント処理が必要な搬送作業を行う際の作業効率を向上させることが可能となる。
【００３１】
また、本発明によれば、自由度の小さい直動型ロボットに走行軸を付加することなくアライメントがなし得る。そのため、搬送装置の構成が簡素化される。その上、動作速度の速い直動型ロボットによりアライメントがなし得るので、サイクルタイムの短縮も図られる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【００３３】
実施形態１
図１に本発明の実施形態１に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの一例を示す。
【００３４】
搬送システムＡは、例えば、シリコンウェハや液晶基板などの板状ワーク（以下、単にワークという）Ｗを搬送する各搬送装置および各搬送装置を制御する制御装置から構成されるシステムとされ、搬送元および搬送先の２つのワーク載置位置間に障害物が介在するなどして、１台の搬送装置でワークＷを搬送することが困難または非効率的である場合や本来的に複数の搬送装置が用いられている場合において、複数の搬送装置が協働してワークＷを搬送するシステムとされる。また、搬送システムＡは、複数台の搬送装置が協働してワークＷの搬送作業を実施する際に、作業効率を向上させるために各搬送装置がアライメント処理を合理的に分担して実施するよう制御されるシステムとされ、それによりワークＷが目標位置に搬送されるまでにアライメントが完了する。
【００３５】
搬送システムＡは、具体的には、搬送装置としての第１および第２のロボット１０、２０と、各ロボット１０、２０の動作を統括的に制御する上位制御装置３０とを主要構成要素として備えてなるものとされる。また、各ロボット１０、２０は、上位制御装置３０の指令にしたがって、各部を制御するためのコントローラ（不図示である）を内蔵するものとされる。
【００３６】
上位制御装置３０には、ワークＷの位置誤差を検出する位置誤差検出部３１および姿勢誤差を検出する姿勢誤差検出部３２が設けられる。ここで、ワークＷの姿勢誤差とは、例えばワークＷの水平面内における回転位置誤差をいうものとする。
【００３７】
第１ロボット１０は、搬送元のワーク載置台（以下、搬送元テーブルという）Ｔ1に載置されたワークＷを把持して、第２ロボット２０上方の所定位置まで搬送する。一方、第２ロボット２０は、第１ロボット１０から受け取ったワークＷを、第１ロボット１０のワーク搬送方向と直交する方向に置かれたワーク載置台（以下、搬送先テーブルという）Ｔ2まで搬送し、載置する。
【００３８】
以下、水平面内で第１ロボット１０の中心から第２ロボット２０の中心に向かう方向（第１の方向）をＰ方向と定義し、第２ロボット２０の中心から搬送先テーブルＴ2に向かう方向（第２の方向）をＱ方向と定義して説明する。
【００３９】
第１ロボット１０は、具体的には、基台１１と、基台１１に設けられる、水平前後軸、水平回転軸および鉛直上下軸の３自由度を有するアーム１２と、アーム１２先端部に装着される、ワークＷを把持するためのハンド１３とから構成される。
【００４０】
第１ロボット１０のハンド１３は、図２に示すように、２本の指状部１４Ａ、１４Ｂを有し、各指状部１４Ａ、１４Ｂに載置するようにしてワークＷを把持するものとされる。また、第１ロボット１０のハンド１３には、ワークＷの位置誤差および姿勢誤差を検出するための２つの位置センサ１５Ａ、１５Ｂが設けられるものとされる。各位置センサ１５Ａ、１５Ｂは、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device；電荷結合素子）撮像装置から構成され、相対するワークＷ端面の画像情報をコントローラを介して位置誤差検出部３１および姿勢誤差検出部３２に出力する。なお、位置センサは前記に限定されるものではなく、各種の位置センサとすることができ、例えば光ファイバセンサ（反射型センサ）と第１ロボット１０のエンコーダとを組み合わせて構成することもできる。
【００４１】
図３に、第２ロボット２０の詳細を示す。第２ロボット２０は直動型ロボットとされ、図１および図３に示すように、基台４０と、この基台４０上部に装着される２組の直動アーム５０、６０と、各アーム５０、６０のそれぞれに装着される上側および下側の各ハンド７０、８０と、第１ロボット１０からワークＷを受け取る際にワークＷを持ち上げるようにして支持するリフト部９０とを備えてなるものとされる。
【００４２】
第２ロボット２０の各ハンド７０、８０は、それぞれ２本の指状部７１Ａ、７１Ｂ、および８１Ａ、８１Ｂに載置するようにしてワークＷを把持するものとされ、また、上側のハンド７０には、ワークＷの位置誤差を検出するための、ＣＣＤ撮像装置からなる位置センサ７２が設けられるものとされる。位置センサ７２の出力信号はコントローラを介して位置誤差検出部３１に入力される。なお、位置センサは前記に限定されるものではなく、光ファイバセンサと第２ロボット２０のエンコーダとを組み合わせて構成することもできる。
【００４３】
第２ロボット２０の各アーム５０、６０は、鉛直上下軸（Ｚ軸）、水平回転軸（θ軸）および水平前後軸（Ｘ軸）の３軸で構成されている。
【００４４】
鉛直上下軸および水平回転軸は、水平面内で回転自在かつ鉛直方向に進退自在に基台４０に設けられる軸４１から構成される。
【００４５】
水平前後軸は、軸４１の上部に装着される、各アーム５０、６０共通の基部４２と、この基部４２の両側方に設けられる第１直動部４３、４４と、この各第１直動部４３、４４の側方に設けられ各ハンド７０、８０を支持する、第２直動部としてのハンド支持部材４５、４６とから構成される。
【００４６】
基部４２は、各第１直動部４３、４４を水平方向に進退自在に支持するフレーム部材（不図示である）を、長方形状のパーティクル飛散防止用カバー４２ａ内部に収納して形成される。
【００４７】
第１直動部４３，４４は、各ハンド支持部材４５、４６を水平方向に進退自在に支持するフレーム部材（不図示である）を、長角筒形状のパーティクル飛散防止用カバー４３ａ，４４ａ内部に収納して形成される。
【００４８】
ハンド支持部材４５、４６は、コの字形のフレーム部材とされ、各ハンド７０，８０が基部４２上方で互いに重なり合うよう片持ち支持するものとされる。
【００４９】
リフト部９０は、第２ロボット２０が第１ロボット１０からワークＷを受け取る際に、第１ロボット１０によるワークＷの把持を解除し、ワークＷを一時的に保持する複数のリフトピン９１と、各リフトピン９１を支持するリフトピン支持部９２と、各リフトピン９１を鉛直上下方向に駆動するリフトピン鉛直駆動部（昇降手段）９３とから構成される。すなわち、リフト部９０はワーク受け渡し装置（手段）とされる。
【００５０】
各リフトピン９１は、水平に寝かされた状態（待機姿勢）から鉛直に立てられた状態（支持姿勢）でワークＷを下方から支持する棒状部材とされ、また、少なくとも１つのリフトピン９１には、ワークＷが上方に存在することを確認するためのワーク検知センサ９１ａが設けられる。そして、各リフトピン９１のワーク当接部には、図示はされていないが、ワークＷがずれないようワークを吸着保持する吸着パッドなどの吸着保持手段が設けられる。
【００５１】
なお、実施形態１では、リフトピン９１は８本または１０本設けられるものとされるが、これに限られるものではなく、少なくとも３本のリフトピン９１があればワークＷを支持することが可能である。
【００５２】
リフトピン支持部９２は、同一の回転角度位置に各リフトピン９１がそれぞれ取り付けられる２本のシャフト９４Ａ，９４Ｂと、各シャフト９４Ａ，９４Ｂを支持するとともに、各シャフト９４Ａ，９４Ｂを回転して各リフトピン９１を旋回させ、各リフトピン９１の姿勢を、垂直に立てられた支持姿勢と、水平に寝かされた待機姿勢との間で切り替えるものとされる。
【００５３】
ここで、図３（ａ）では、各リフトピン９１が待機姿勢にある状態が示され、同図（ｂ）では、各リフトピン９１が支持姿勢にある状態が示され、また、同図（ｃ）では、実線により各リフトピン９１が待機姿勢にある状態が示され、破線により支持姿勢にある状態が示されている。
【００５４】
図４に示すように、リフトピン鉛直駆動部９３は、各リフトピン９１を、第１ロボット１０からワークＷを受け取るときのワーク支持位置Ｌ1、アライメントを実施するときのアライメント実施位置Ｌ2、各リフトピン９１を旋回させるときのリフトピン旋回位置Ｌ3およびハンド７０にワークＷを載置するときのワーク載置位置Ｌ4の各位置に移動させるように、リフトピン支持部９２を鉛直上下方向に駆動するものとされる。このため、第２ロボット２０のアライメントにより第１ロボット１０の動作が制約されることはない。
【００５５】
リフトピン鉛直駆動部９３は、具体的には、エアシリンダなどからなる主駆動機構（主昇降手段）９３ａおよび従駆動機構（従昇降手段）９３ｂの２段階の駆動機構とされる。この実施形態においては、図４に示すように、主駆動機構９３ａを構成するエアシリンダは、リフト部９０のケーシング９０ａ内に配設され、また、従駆動機構９３ｂを構成するエアシリンダは、主駆動機構９３ａを構成するエアシリンダのケーシング９０ａ上面が貫通して突出させられているピストンロッドの先端に配設される。
【００５６】
しかして、かかる構成とされているリフトピン鉛直駆動部９３により、最上位のワーク受取位置Ｌ1に各リフトピン９１先端を移動するときには主駆動機構９３ａおよび従駆動機構９３ｂの両方を最大限まで伸張し、アライメント実施位置Ｌ2に各リフトピン９１先端を移動するときには主駆動機構９３ａのみを最大限まで伸張し、ワーク載置位置Ｌ4に各リフトピン９１先端を移動するときには従駆動機構９３ｂのみを最大限まで伸張し、姿勢切替位置Ｌ3に各リフトピン９１先端を移動するときには両駆動機構９３ａ，９３ｂをともに伸張しないものとする、というようにして各リフトピン９１先端を各位置Ｌ1，Ｌ2，Ｌ4，Ｌ3の間で移動する。
【００５７】
以下、上位制御装置３０が、各ロボット１０，２０の協調動作によってワークＷを搬送するよう制御する手順を具体的に説明する。なお、かかる構成の上位装置３０は、具体的には、ＣＰＵを中心として、後述する処理に対応させた制御プログラム等が格納されたＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力インターフェース等を組み合わせることにより実現される。
【００５８】
手順１：第１ロボット１０のハンド１３を搬送元テーブルＴ1に移動させ、ワークＷを把持直前の状態とする。すなわち、検出状態とする。
【００５９】
手順２：位置誤差検出部３１および姿勢誤差検出部３２が、各位置センサ１５Ａ、１５Ｂの出力信号に基づいてワークＷの位置誤差および姿勢誤差を検出する。このとき、位置誤差検出部３１は、Ｐ方向の位置誤差成分を検出し、姿勢誤差検出部３２は、水平面内におけるワークＷの回転位置誤差を検出する。
【００６０】
手順３：第２ロボット２０が第１ロボット１０からワークＷを受け取れる状態にあるか否かを確認する。すなわち、第２ロボット２０の各アーム５０、６０および各ハンド７０，８０の位置および姿勢を確認するとともに、各ハンド７０，８０にワークＷが載置されていないかを確認する。
【００６１】
ここで、第２ロボット２０がワークＷを受け取れる状態になければ、受け取れる状態となるまでこの確認処理を繰り返し実施し、受け取れる状態であれば次の手順４に進む。
【００６２】
手順４：リフトピン９１先端をワーク支持位置Ｌ1まで上昇させる。
【００６３】
手順５：第１ロボット１０に対して第２ロボット２０上方の所定位置までワークＷを搬送して、ワークＷを各リフトピン９１の上に載置するよう指示する。この搬送の際に、第１ロボット１０は、手順２で位置誤差検出部３１によって検出されたＰ方向の位置誤差成分を除去するようにハンド１３の移動距離を調整する。これによって、Ｐ方向のアライメントが実施される。
【００６４】
また、姿勢誤差検出部３２によって検出された水平面内の回転位置誤差を除去するように水平回転軸を回転させつつワークＷを搬送する。これによって、水平面内の回転方向のアライメントが実施される。
【００６５】
手順６：リフトピン９１先端上にワークＷがあることをワーク検知センサ９１ａの出力信号に基づき確認した後、吸着パッドによりワークＷを吸着する。
【００６６】
手順７：アライメント実施位置Ｌ2まで各リフトピン９１先端を降下させ、ここでＱ方向のアライメントを実施する。
【００６７】
すなわち、位置誤差検出部３１が、位置センサ７２の出力信号に基づいてＱ方向の位置誤差成分を検出し、検出された位置誤差を除去するように、第２ロボット２０に対してハンド７０をＱ方向に移動させるよう指示する。
【００６８】
手順８：各リフトピン９１先端をリフトピン旋回位置Ｌ3まで降下させつつ、ワーク載置位置Ｌ4の直前でワークＷの吸着を解除し、ワークＷをハンド７０上に載置する。
【００６９】
手順９：リフトピン旋回位置Ｌ3で各リフトピン９１を待機位置まで旋回させたワークＷを搬送先テーブルＴ2まで搬送する。
【００７０】
このように、この実施形態１の搬送システムＡにおいては、位置誤差検出部３１および姿勢誤差検出部３２が、位置センサ１５Ａ、１５Ｂ、７２の各出力信号に基づいてワークＷの位置誤差および姿勢誤差を検出し、この検出された位置誤差および姿勢誤差を各ロボット１０，２０が合理的に分担して補正することにより、アライメントが実施されるので、アライメント実施中の各ロボットの待機時間を最小限に抑えることが可能となる。これによって、複数の搬送装置が協働して搬送作業を行う際の作業効率をさらに向上させることが可能となる。
【００７１】
実施形態２
図５に本発明の実施形態２に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの一例を示す。なお、図５において、実線の矢符はワークＷの流れ方向を示し、点線の矢符は各コントローラ間の通信を示す。
【００７２】
搬送システムＡ１は、実施形態１の搬送システムＡを改変してなるものであって、第１ロボット１０Ａおよび第２ロボット２０Ａの各コントローラ１１、２１に位置および姿勢の誤差を検出する位置・姿勢検出部１１ａ、２１ａを設けるとともに、第１ロボット１０Ａおよび第２ロボット２０Ａの同期を各コントローラ１１，２１間の通信により行うようにしてなるものとされる。また、図示はされていないが、第２ロボット２０ＡのハンドにはワークＷの姿勢誤差も検出できるように、位置検出センサが一対所定間隔で設けられている。
【００７３】
なお、その余の構成は実施形態１と同様とされているので、その構成の詳細な説明は省略する。
【００７４】
このように、この実施形態２によれば、各ロボット１０Ａ、２０Ａのコントローラ１１、２１に位置・姿勢検出部１１ａ、２１ａを設けているので、上位制御装置を省略できシステムの構成が簡素化される。また、第２ロボット２０ＡにおいてもワークＷの姿勢誤差が修正できるようにされているので、何等かの原因により第１ロボット１０ＡによりワークＷの姿勢誤差が修正できなかった場合にも対処できる。
【００７５】
実施形態３
図６に本発明の実施形態３に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの一例を示す。なお、図６において、実線の矢符はワークＷの流れ方向を示し、点線の矢符は各コントローラ間および第２ロボットのコントローラとリフト部間の通信を示す。
【００７６】
搬送システムＡ２は、実施形態２の搬送システムＡ１を改変してなるものであって、第１ロボット１０Ｂおよび第２ロボット２０Ｂの間に、実施形態１のリフト部９０と同様の構成とされたリフト部９０Ａが設けられたワーク受渡しテーブルＴ3を備え、ワークＷの受渡しをこのワーク受渡しテーブルＴ3を介してなすようにされてなるものである。また、このワーク受渡しテーブルＴ3のリフト部９０Ａは第２ロボット２０Ｂのコントローラ２１により制御されるものとされる。
【００７７】
なお、その余の構成は実施形態２と同様とされているので、その構成の詳細な説明は省略する。
【００７８】
このように、この実施形態３によれば、ワークＷの受渡しをワーク受渡しテーブルＴ3を介してなすようにされているので、第１ロボット１０Ｂおよび第２ロボット２０Ｂの同期を取る必要がなくなる。そのため、各ロボット１０Ｂ、２０Ｂの動作自由度を増大させることができる。
【００７９】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、各実施形態においては、２台のロボットが協働してワークを搬送する場合を説明したが、これに限らず、３台以上の搬送装置が協働してワークを搬送する場合にも、各搬送装置が位置誤差を合理的に分担して補正するよう制御することが可能である。
【００８０】
また、実施形態１では、Ｑ方向の位置誤差成分を第２ロボット２０がワークＷを受け取る際にハンド７０を移動させて補正するものとしたが、搬送先テーブルＴ2までワークＷを搬送するときの搬送距離を調整することにより、当該成分の補正を行うものとすることも可能である。
【００８１】
さらに、各実施形態では各ロボットの動作方向は直交させられているが、直交に限定されるものではなく、任意の角とすることができる。
【００８２】
さらにまた、実施形態３においては、上位制御装置を設けて第１ロボット、第２ロボットおよびワーク受渡し装置を制御するようにしてもよい。
【００８３】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、アライメント処理のために他の搬送手段に作業待ちの状態を生ずることはないので、複数の搬送手段が協働してアライメント処理が必要な搬送作業を行う際の作業効率を向上させることができるという優れた効果が得られる。
【００８４】
また、本発明の好ましい形態によれば、自由度の小さい直動型ロボットに走行軸を付加することなくアライメントがなし得るという優れた効果が得られる。そのため、搬送手段の構成が簡素化されるという優れた効果も得られる。その上、動作速度の速い直動型ロボットによりアライメントがなし得るので、サイクルタイムの短縮も図られるという優れた効果も得られる。。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの概略構成を示す模式図である。
【図２】同搬送システムで用いられる第１ロボットのハンドの拡大模式図である。
【図３】同第２ロボットの詳細を示す模式図である。
【図４】同第２ロボットの動作を説明するための模式図である。
【図５】本発明の実施形態２に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの概略構成を示すブロック図である。
【図６】本発明の実施形態３に係るアライメント処理方法が適用される搬送システムの概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
Ａ、Ａ１、Ａ２        搬送システム
Ｗ                    ワーク
Ｔ3                   ワーク受渡しテーブル
１０、１０Ａ、１０Ｂ    第１ロボット
２０、２０Ａ、２０Ｂ    第２ロボット
３０                    上位制御装置
３１                    位置誤差検出部
３２                    姿勢誤差検出部
１５Ａ、１５Ｂ、７２    位置センサ
１３、７０、８０        ハンド
９０                    リフト部（ワーク受け渡し装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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