(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少量液体の供給方法において、当該少量液体が被ゲル化液とゲル化液とを予め混合したゲル化原液であって、当該ゲル化原液の後方に気体層を挟んだ状態で、細管に充填し、さらに当該気体層の後方より、後押し用液体を送ることにより、当該ゲル化原液を供給することを特徴とする少量液体の供給方法。
【請求項２】
少量液体の供給方法において、当該少量液体が被ゲル化液およびゲル化液であって、それぞれ別個に、液の後方に気体層を挟んだ状態で、細管に充填し、さらに当該気体層の後方より、後押し用液体を送ることにより、混合部に導入し、当該混合部において、均一に被ゲル化液とゲル化液とを混合してゲル化原液として供給することを特徴とする少量液体の供給方法。
【請求項３】
前記被ゲル化液が、ウラン、トリウム、超ウラン元素の群から選ばれた少なくとも１種の核燃料物質を含むものであることを特徴とする請求項１または２に記載の少量液体の供給方法。
【請求項４】
前記被ゲル化液が、希土類金属を含むものであることを特徴とする請求項ｌまたは２に記載の少量液体の供給方法。
【請求項５】
前記ゲル化液が、ヘキサメチレンテトラミン（ＨＭＴＡ）を含むものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の少量液体の供給方法。
【請求項６】
前記細管が、撥水性で透明の材質で構成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の少量液体の供給方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、少量液体の供給方法であって、例えば被ゲル化液およびゲル化液を一定速度で液滴形成用ノズルヘ供給する方法に関し、特に微小球状セラミックス粒子の前駆体であるゲル粒子の製造方法の一つである内部ゲル化法等において用いられるのに最適な、少量の被ゲル化液およびゲル化液、あるいはこれらを予め混合したゲル化原液を、組成変化等のおそれなく、安定して液滴形成用ノズルヘ供給する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、数ｍｌあるいはそれ以下の極少量の液体を脈流なく一定速度で供給する方法としては、前もって内部に液体を吸い上げた注射器のピストンを、機械的に一定速度で押すタイプのものが知られている。
【０００３】
しかしながら、注射器を用いて極少量の液体を供給する場合、注射器や供給系管内に残留する液体の割合が大きいという問題があった。特に、ゲル化原液が残留した場合には、供給系内でのゲル化による系の閉塞をもたらす点で望ましくなかった。さらには、粘度の高い液体を送る場合には、高圧を必要とするため注射器破損の危険もあるなどの使用上の問題もあった。
【０００４】
一方、発明者は、既に、微小球状セラミックス粒子を調製するための前駆体であるゲル粒子を内部ゲル化法により製造するのに適した、被ゲル化液とゲル化液とをゲル化直前に混合するゲル化原液の調製・供給方法を提案している（特願平７−３５６）。ここで、かかる方法は、被ゲル化液およびゲル化液を別々の容器に室温で蓄え、そこから別個に混合部にそれぞれの液を室温のまま供給し、極短時間に均一に混合してゲル化原液としたものを、ゲル化が始まる前に滴下ノズルに供給しようとするもので、滴下前ゲル化を防止するために従来適用されていた冷却を不要としたものである。
【０００５】
しかしながら、内部ゲル化法を適用する場合において、高価で、少量しか使用できない被ゲル化物（例えば、天然存在比０．１４％の安定同位体１８８Ｙｂを２５％まで濃縮したもの）を高収率でゲル粒子に転換するためには、ポンプ等の供給系における残留量を少なくして、可能な限り全量をゲル化させる必要が生じていた。
【０００６】
また、特に被ゲル化液（またはゲル化原液）が数ｍｌの少量の場合、ポンプの使用は供給系への残留割合が大きくなるため、高収率でゲル粒子に転換することは不可能に近い問題であった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、かかる従来の問題に鑑みなされたものであり、例えば微小球状セラミックス粒子を調製するためのゲル粒子製造方法における、ゲル化原液の供給等の少量液体の供給が必要になる系において、供給系管内に可及的に残渣を少なくして、安定して、脈流も少なく、しかも２液混合の場合でも―定組成の混合液の供給が可能となり、さらには、少量液体供給のための特別な定量ポンプを必要とせず、通常一般の高圧液体クロマトグラフィ用の無脈流高圧ポンプであっても使用可能な、少量液体の供給方法を提供することを目的としたものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段とその作用】
本発明は、少量液体の供給方法において、当該少量液体が被ゲル化液とゲル化液とを予め混合したゲル化原液であって、当該ゲル化原液の後方に気体層を挟んだ状態で、細管に充填し、さらに当該気体層の後方より、後押し用液体を送ることにより、当該ゲル化原液を供給することを特徴とする少量液体の供給方法である。
【０００９】
また、本発明の別な態様として、少量液体の供給方法において、当該少量液体が被ゲル化液およびゲル化液であって、それぞれ別個に、液の後方に気体層を挟んだ状態で、細管に充填し、さらに当該気体層の後方から、後押し用液体を送ることにより、液滴形成用ノズルの後方に配置された混合部に導入し、当該混合部において、被ゲル化液とゲル化液とを均一に混合したゲル化原液を供給することを特徴とする少量液体の供給方法である。以下、本発明を構成要件等に分けて説明する。
【００１０】
（被ゲル化液）
本発明において、被ゲル化液とは、目的とするセラミックス粒子を構成する金属を含む液体と定義される。従って、セラミックス構成金属を含む限り、被ゲル化液の液体としての組成や粘度等の特性も特に限定されず、後述のゲル化液との混合後の反応によリゲル化されるものであれば広範囲に使用可能である。
【００１１】
また、具体的な、被ゲル化液に含まれる金属としては、例えばウラン、トリウム、超ウラン元素の群から選ばれた少なくとも１種の核燃料物質が該当する。その被ゲル化液のさらなる具体例としては、既に各所でウラン含有セラミックス燃料粒子製造の原液として使用されている酸不足型硝酸ウラニル溶液がある。
【００１２】
また、核燃料物質を含まないセラミックス粒子の製造のための被ゲル化液の例としては、希土類の１種であるイッテルビウムを含む硝酸イッテルビウム溶液が挙げられる。なお、セラミックス構成金属等の濃度については、例えばウラン濃度では、１〜３ｍｏｌ／ｌの範囲が好適である。
【００１３】
（ゲル化液）
本発明において、ゲル化液は、前述の被ゲル化液をゲル化可能な液状物と定義される。従って、ゲル化液はゲル化反応に必要なゲル化剤を含むものである。
【００１４】
ここで、具体的なゲル化剤として一般の内部ゲル化法で使用されているものは、ヘキサメチレンテトラミン（ＨＭＴＡ）である。かかる化合物は、特に高温では、容易にアンモニアとホルムアルデヒドに分解するが、分解生成したアンモニアが被ゲル化液中の金属イオンと素早く反応して、ペースト状の水酸化物（金属イオンがウラニルイオンの場合の反応生成物の真の組成は、水酸化ウラニルをベースにし、アンモニアが係わる複雑なもので、条件によリアンモニア含有量が幅広く変化する）を形成する。被ゲル化液と混合後のゲル化原液における金属濃度が高い場合には、かかる反応で生成する固体（すなわち低濃度ならば水と分離して沈殿すべき成分）は、元のゲル化原液の体積の中で水と分離することなく、全体をゲル状に転換する。
【００１５】
さらに、ゲル化液中には、尿素を含ませるのが望ましい。かかる化合物は、内部ゲル化法では、元来は、金属イオン例えばウラニルイオンと錯体を形成し室温付近の低温での速すぎるゲル化を防ぐ目的で、ゲル化原液中に加えられたものであるが、本発明の被ゲル化液とゲル化液とをゲル化直前に混合する場合においても、ゲル化液の側に尿素を含ませると同様の効果があるためである。
【００１６】
（ゲル化原液）
本発明において、ゲル化原液とは、被ゲル化液とゲル化液とを混合したものである。
【００１７】
（気体層）
本発明において、気体層を用いるのは、供給する目的液である被ゲル化液、ゲル化液、ゲル化原液等と後押し用液体とを隔離して、これら目的液の組成、濃度を変化させずに、少量であっても脈流も少なく、安定して供給可能とするためである。なんとならば、気体層をかかる目的液と後押し用液体との間に設けることにより、これらが混合するおそれがなく、また、パスカルの原理により、後押し用液体に加えられた圧力を均一にこれら目的液に伝えるためである。
【００１８】
また、この気体層の存在は、精巧に作られた無脈流高圧ポンプといえども若干存在する脈動を吸収し、流量をさらに平滑化する効果も生みだす利点がある。
【００１９】
ここで、具体的な気体層を形成する気体としては、ゲル化原液等を変質させたり、若干の加圧で液化しないガスならば、何れのガスでも適している。例えば、ゲル化原液等の目的液が酸化を嫌う場合には、窒素、水素、アルゴン、ヘリウム、メタン、エタン等が該当し、また、酸化状態を保ちたい場合には、酸素、空気等が該当する。
【００２０】
特に、空気は、特別な場合を除いては、ゲル化原液等の目的液を扱う周辺に存在するので、最適である。
【００２１】
次に、本発明の気体層の大きさについて説明する。前述のように、気体層はゲル化原液等の目的液と後押し用液体との間に設けられ、これら２液が混合することなく完全に分離した状態で送られる機能を有すれば、特に大きさとして限定されるものではないが、大きさを細管中の気体層の長さとして表せば、供給中の圧力下で３〜２０ｍｍが好適である。これ以下では、細管の向きが鉛直方向である場合等に重力の作用等により目的液と後押し用液体が接触し混合するおそれが生じる。一方、気体層体積が大きすぎると、供給系抵抗に基づく供給開始直後の圧力変化（増大）、気体層体積変化（減少）、目的液の供給速度変化（増大）の後、供給速度が一定になるまでの時間が長くなる。こうなると、被ゲル化液とゲル化液とを別々のポンプで間接的に供給し混合部で混合してゲル化原液として供給する場合には、混合液の組成、供給速度が一定になるまでにより長い時間がかかるので不適当である。
【００２２】
従って、かかるバランスがさらに良好な観点から、気体層の大きさとしては、供給中の圧力下での細管中の長さとして５〜１０ｍｍが最適である。
【００２３】
（後押し用液体）
本発明は、ゲル化原液等の目的液を気体層を介して、後押し用液体により供給する特徴を有している。すなわち、本発明において、後押し用液体を用いるのは、供給のためにポンプから後押し用液体に加えられる圧力を気体層に伝え、さらに目的液に伝えることにより、目的液が少量であっても、特別な定量ポンプを必要とせず、通常一般の高圧液体クロマトグラフィ用の無脈流高圧ポンプ等を使用し、安定して、一定速度で供給することを可能ならしめるためである。
【００２４】
ここで、後押し用液体を特定する必要があるが、具体的には、供給抵抗を考慮すると、水、アルコール、四塩化炭素等の低粘度のものが好適で、純溶媒でも溶液でも使用可能である。目的液と後押し用液体との万一の混合を避けるのを第一とするならば、例えば目的液が水溶液の場合には、それと混合しにくい四塩化炭素等を用いることも好適である。しかしながら、供給系の洗浄等の使用勝手からすると、目的液の溶媒が最適である。
【００２５】
従って、ゲル化原液等の目的液が水溶液の場合には、水が最適である。
【００２６】
（細管）
本発明において、細管を用いることが必須要件である。数ｍｌ程度の極少量のゲル化原液等の目的液の後方に気体層を配置し、その後から後押し用液体をポンプで一定速度で送ることにより、間接的に目的液を一定速度で供給する時に、前述のように、必要最小限の気体層をして、前後の液の隔離の目的を確実に果たさしめるためには、これらを収める容器である管の内径が小さいこと、すなわち細管の使用が不可欠である。
【００２７】
ここで、細管の材質としては、目的液と後押し用液体とを少量の気体層で隔離するためには、これらの液のいずれにも濡れにくく、かつ、加圧により内容積の変化しにくいものが好適である。また、気体層と液層の境界を外部から目視できるのが操作上便利であるため、透明な材質であることも重要な要件である。
【００２８】
特に、目的液が水溶液の場合には、撥水性のものが好適で、四フッ化エチレン／パーフロロアルキルビニルエーテル共重合樹脂（ＰＦＡ）、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂等が好適であるが、透明性の高い前者のＰＦＡが最適である。
【００２９】
次に、細管の内径について説明する。本発明において、細管の内径は、ゲル化原液等の目的液を気体層を介して後押し用液体により、容易に移動可能であれば特に限定されるものではないが、具体的に、０．２５〜３ｍｍのものが好適である。細管の内径が０．２５ｍｍ未満となると、液の挿入が困難となったり、供給抵抗が増すため高いポンプ圧力を必要とするなど不利である。一方、内径が３ｍｍを超えると、気体層が目的液と後押し用液体との隔離の目的を果たすのが困難となってくるほか、少量液体を負荷した時の長さが短くなりすぎるためである。従って、かかるバランスがより良好な観点から、０．５〜２ｍｍの範囲の内径が最適である。
【００３０】
次に、細管の被ゲル化液、ゲル化液およびゲル化原液との関係について説明すると、予め被ゲル化液とゲル化液を混合してゲル化原液を調製しておき、ゲル化原液を細管を用いて供給する構成としてもよく、また、被ゲル化液とゲル化液をそれぞれの細管を用いて混合部に供給し、そのままゲル化原液として供給する構成とすることも可能である。具体的には、かかる構成について、供給装置の説明および実施例により後述する。
【００３１】
（供給装置等）
以上の内容を総合して実際に供給するために、図１のような供給装置を使用した。すなわち、図１には、被ゲル化液とゲル化液の２種の目的液を、左方工程と右方工程により、供給・混合し、ゲル化原液として液滴形成用ノズル１１より滴下する供給装置を示している。
【００３２】
図１に示す２個の同質の六方バルブ７、７′の各接続部１〜６、１′〜６′と外部配管の関係は、ゲル化準備工程（目的液負荷チューブ８、８′の内部に被ゲル化液等の目的液を充填、負荷する工程）の後のゲル化工程での供給中の状態（左方工程流路順：９→１→２→８→５→６→１０→１１、右方工程も同様）を示している。
【００３３】
すなわち、ゲル化準備工程終了後には、図中左方の工程の目的液負荷チューブ８内に、被ゲル化液が気体層とともに存在することになり、同様に、図中右方の工程の目的液負荷チューブ８′内に、ゲル化液が気体層とともに存在することになる。
【００３４】
次に、後押し用液体がポンプ９、９′から供給されると、気体層を介して、被ゲル化液とゲル化液の目的液はそれぞれ上述の流路順に供給されることになる。但し、ポンプ９、９′は、同―のポンプを、分岐して用いることも可能である。
【００３５】
それから次に、混合部１０において、供給された被ゲル化液とゲル化液が混合され、一定組成のゲル化原液となり、ポンプ９、９′の送圧力により、液滴形成用ノズル１１より、ノズル条件等で決まる一定量の液滴として滴下されることになる。
【００３６】
なお、混合部１０は、混合後滴下までの間にゲル化が始まるのを防止する点でも、また、少量液体を扱う点でも、内容積を最小とすることが必須で、特別に混合装置を配置することは望ましくなく、２液の合流後に内径の極細い管内を高速で通過させるだけで均一混合させる方法、すなわち本発明者が既に提案している方法（特願平７−３５６）が最適である。
【００３７】
一方、ポンプ９、９′から供給され、気体層を介して間接的にゲル化原液等の目的液を供給している後押し用液体は、目的液通過後の細管内に、目的液が付着・残留していたとしても、それらを溶解または分散させながら、上述の流路順に沿って供給されることになる。こうして被ゲル化液中の被ゲル化物質を溶解または分散により洗浄してきた後押し用液体は、ゲル化原液滴下後に、引続いて、液滴形成用ノズル１１から排出される。この洗浄液は、ゲル化された粒子を回収する容器に同様に回収してもよいし、あるいは、ゲル化原液滴下後に別の容器に回収してもよいことになる。被ゲル化液とゲル化液とをそれぞれ洗浄してきた後押し用液体の混合によっても、目的のゲル粒子と類似した組成の固体沈殿が生成するがゲル粒子とは形態が異なるので、同一容器に回収しても、後で容易に分離することができる。しかし、被ゲル化物質が貴重な場合には、回収・再生して再利用することが望まれるので、別の容器に回収するのが好適である。
【００３８】
このようにして、目的液負荷チューブ内、混合部、ノズル等の洗浄と洗浄液回収が、ゲル化工程と連続して行えることは、図１の装置の利点である。
【００３９】
さらに、細管である目的液負荷チューブ８、８′内に目的液を負荷するゲル化準備工程の場合には、六方バルブ７、７′内の流路を図と反対（左方工程では接続部６と１、２と３、４と５間が接続されており、右方工程も同様）の状態にしておき、注射器や吸引ポンプ等の吸引具１３、１３′で吸引することにより目的液タンク１２、１２′から左方工程では１２→４→５→８→２→３→１３（右方工程も同様）の方向に目的液である被ゲル化液（右方工程ではゲル化液）を吸い上げることになる。
【００４０】
なお、吸引の際に、目的液負荷チューブ８、８′を完全に充填しなければ、結果として、前述のゲル化準備工程終了後の目的液の後方に、気体層として、負荷前に存在した気体（大気中の操作では空気）が存在する状態になる。従って、この場合、目的液量や気体層の大きさを予め考慮して、適当な長さの目的液負荷チューブ８、８′を選択して用いることが重要である。
【００４１】
また、被ゲル化液とゲル化液を予め混合したゲル化原液を使用する場合には、図１の供給系の片方のみを用い、接続部６と液滴形成用ノズル１１を直結して使用すればよいことになる。
【００４２】
その他、本発明の少量液体の供給方法を用いて、セラミックス粒子を作成する場合には、
（１）供給先に、図１に示すように、製造しようとするセラミックス粒子の直径に応じて決まる外径（例えば０．７ｍｍ）の液滴形成用ノズルを設けておく。
【００４３】
（２）ノズル外径、ゲル化原液の密度、表面張力、供給速度で基本的に決定される大きさの液滴を形成し、自然に落下させる。
【００４４】
（３）高速誘電加熱装置、高温シリコンオイルカラム等の加熱装量を用いて、ゲル化原液滴を加熱・ゲル化させゲル粒子を作成する。
【００４５】
（４）このゲル粒子を希アンモニア水で洗浄し、乾燥・熱処理してセラミックス粒子とする、等の工程を採ることが好適である。
【００４６】
ここで、高速誘電加熱装置とは、ゲル化原液の液滴を誘電加熱してゲル化させる装置であって、マイクロ波を適用した空洞共振器の中でゲル化に必要な温度上昇を、落下中のゲル化原液の液滴に与えてゲル化させる装置である。
【００４７】
【実施例】
本発明を実施例に基づいて、より具体的に説明する。ただし、本発明は実施例によって限定されるものではない。
【００４８】
【実施例１】
被ゲル化液として酸不足型硝酸ウラニル溶液（Ｕ濃度＝２．５ｍｏｌ／ｌ、ＮＯ３−／Ｕモル比＝１．５５）２ｍｌ、ゲル化液としてＨＭＴＡと尿素の混合溶液（各濃度２．７５ｍｏｌ／ｌ）３ｍｌを、図１に示すような２組の、細管としての、目的液負荷チューブ８、８′（材質：ＰＦＡテフロン、内径：２ｍｍ）にそれぞれ充填、負荷した。この際、気体層として、負荷前に目的液負荷チューブ内に存在した空気を、各チューブの接続部２および２′の側に５０ｍｍ（供給中には約１／１０の５ｍｍに圧縮）残すようにした。
【００４９】
次に、この空気層を気体層として用い、後押し用液体としては、水を用い、高圧液体クロマトグラフィ用の無脈流高圧ポンプ９および９′を使用して、それぞれの液を１．２ｍｌ／ｍｉｎ、１．８ｍｌ／ｍｉｎの速度で別々に供給した。それから、混合部１０で均一に混合した後、ゲル化原液として液滴形成用ノズル１１に供給し、そのまま液滴形成用ノズル１１から滴下した。
【００５０】
この滴下したゲル化原液の滴は、高速誘電加熱装置（図示せず）を用いて加熱・ゲル化した。このゲル粒子を洗浄・乾燥・熱処理してセラミックス粒子（ＵＯ２）とした。
【００５１】
その結果、最初に目的液負荷チューブ８に負荷した被ゲル化液中の被ゲル化物質であるウランは、９５％以上の収率で粒子として回収された。
【００５２】
【実施例２】
酸不足型硝酸ウラニル溶液（Ｕ濃度＝１．３６ｍｏｌ／ｌ、ＮＯ３−／Ｕモル比＝１．５５）２ｍｌとＨＭＴＡと尿素の混合溶液（各濃度３．０ｍｏｌ／ｌ）２ｍｌとを、予め２℃の温度条件で冷却・混合して、ゲル化原液を作成し、図１の片方の目的液負荷チューブ８に充填、負荷した。その際、気体層として、実施例１と同様にして、５０ｍｍの空気層を残した。
【００５３】
次に、その側の六方バルブ７の接続部６と液滴形成用ノズル１１を直結した状態で、３ｍｌ／ｍｉｎの速度で滴下し、実施例１と同様にして、高速誘電加熱装置（図示せず）を用いて加熱・ゲル化した。このゲル粒子を洗浄・乾燥・熱処理してセラミックス粒子（ＵＯ２）とした。
【００５４】
その結果、最初に目的液負荷チューブ８に負荷したゲル化原液中の被ゲル化物質であるウランは、９８％以上の收率で粒子として回収された。
【００５５】
【実施例３】
被ゲル化液として、硝酸イッテルビウム溶液（Ｙｂ濃度＝４．０ｍｏｌ／ｌ）１ｍｌ、ゲル化液としてＨＭＴＡと尿素の混合溶液（各濃度３．０ｍｏｌ／ｌ）３ｍｌを、実施例１と同様にして、図１に示すような２組の供給系の目的液負荷チューブ８および８′に充填、負荷した。この際、気体層として、実施例１と同様の空気層を残した。
【００５６】
次に、それぞれの液を０．７５ｍｌ／ｍｉｎ、２．２５ｍｌ／ｍｉｎの速度で別々に供給し、混合部１０で混合した後、そのまま液滴形成用ノズル１１から滴下した。このゲル化原液の滴を、周知の高温シリコンオイルカラム（図示せず）を用いて加熱・ゲル化した後、洗浄・乾燥・熱処理してセラミックス粒子（Ｙｂ２Ｏ３）とした。
【００５７】
その結果、最初に目的液負荷チューブ８に負荷した被ゲル化液中の被ゲル化物質であるイッテルビウムは、９３％以上の收率で粒子として回収された。
【００５８】
【発明の効果】
第１に、例えば微小球状セラミックス粒子を調製するためのゲル粒子製造方法における、ゲル化原液の供給等の少量液体の供給が必要になる系において、供給系管内に可及的に残渣を少なくして、安定して、脈流も少なく、しかも一定組成で液の供給が可能となった。
【００５９】
従って、高価な高濃縮同位体（例えば、１６８Ｙｂ）、あるいは、超ウラン元素ＴＲＵのように取扱量の制限される物質の極少量であっても、ゲル粒子を経由して、セラミックス微小球に効率的に転換可能となり、原子炉用燃料粒子試験試料等として最適な、均一粒径、均一組成の微小球粒子が極少量規模で得られるようになった。また、供給系に僅かに残る貴重な被ゲル化物質を、ゲル化工程に連続して、労せず回収し再利用することが可能となった。
【００６０】
第２に、少量の目的液を送るための特別な定量ポンプを必要とせず、通常一般の高圧液体クロマトグラフィ用の無脈流高圧ポンプであっても使用可能となり、これら一般的なポンプで後押し用液体を供給し、気体層を挟んで目的液を間接的に供給することにより、複雑な構造のポンプの洗浄を不要とした。また、目的液に接する部分は、バルブ内部を含めて構造の簡単なチューブ状であるため、系の洗浄を容易にし、供給系保守の簡便化も達成された。
【００６１】
第３に、この目的液負荷チューブとして長いものを用いれば、供給系保守の簡単な方法で、相当量の被ゲル化液（又はゲル化原液）のゲル化をも可能となり、少量から相当量まで使用範囲が飛躍的に拡大した。
【図面の簡単な説明】
【図１】被ゲル化液とゲル化液との双方に供給系を配置する場合において、供給中における六方バルブの各チュープ接続部と他の部分との関係を示した図である。
【符号の説明】
１〜６：チューブ接続部
１′〜６′：チューブ接続部
７、７′：六方バルブ
８、８′：目的液負荷チューブ
９、９′：ポンプ
１０：混合部
１１：液滴滴下用又は液滴形成用ノズル
１２、１２′：目的液タンク
１３、１３′：吸引具
【図１】
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