(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面２層の構成を有する検査用光ディスクであって、
光入射面と第１信号面とを有する第１基板の前記第１信号面上に、第１反射膜、接着層、第２反射膜を順次積層し、かつ前記第２反射膜上に第２信号面が当接するように前記第２信号面を有する第２基板を積層してなり、
前記第２反射膜の膜厚を一定とし、前記第１反射膜の膜厚を内周部分で厚くかつ外周部分で薄くディスク半径方向に順次変化させ形成することによって、前記第１基板の前記光入射面側から照射されるレーザ光が前記第１反射膜及び前記第２反射膜により反射する各光反射率を、前記第１反射膜に於いては前記内周部分で大きく、順次前記外周部分で小さく、同時に、前記第２反射膜に於いては前記内周部分で小さく、順次前記外周部分で大きくなるようにディスク半径方向に順次変化させるか、または、前記第１反射膜の膜厚を前記内周部分で薄く、更に前記外周部分で厚くディスク半径方向に順次変化させ形成することによって、各光反射率を、前記第１反射膜に於いては前記内周部分で小さく、順次前記外周部分で大きく、同時に、前記第２反射膜に於いては前記内周部分で大きく、順次前記外周部分で小さくなるようにディスク半径方向に順次変化させたことを特徴とする検査用光ディスク。
【請求項２】
片面２層の構成を有する検査用光ディスクであって、
光入射面と第１信号面とを有する第１基板の前記第１信号面上に、第１反射膜、接着層、第２反射膜を順次積層し、かつ前記第２反射膜上に第２信号面が当接するように前記第２信号面を有する第２基板を積層してなり、
前記第２反射膜の膜厚を一定とし、前記第１反射膜の膜厚をディスク円周方向に段階的に分割し、順次変化させることによって、前記第１基板の前記光入射面側から照射されるレーザ光が前記第１反射膜及び前記第２反射膜により反射する各光反射率を、前記第１反射膜の膜厚が大きく光反射率が大きい部分で、前記第２反射膜の光反射率が小さく、また前記第１反射膜の膜厚が小さく光反射率が小さい部分で、前記第２反射膜の反射率が大きくなるようにディスク円周方向に順次変化させたことを特徴とする検査用光ディスク。
【請求項３】
片面２層の構成を有する検査用光ディスクであって、
光入射面と第１信号面とを有する第１基板の前記第１信号面上に、第１反射膜、接着層、第２反射膜を順次積層し、かつ前記第２反射膜上に第２信号面が当接するように前記第２信号面を有する第２基板を積層してなり、
前記第１反射膜をディスク円周方向の中心角度割に分割し、段階的に順次変化させると同時に、前記第２反射膜の膜厚をディスク半径方向に同心円状に段階的に順次変化させるか、前記第１反射膜の膜厚をディスク半径方向に同心円状に段階的に順次変化させると同時に前記第２反射膜をディスク円周方向の中心角度割に分割し、段階的に順次変化させることによって、前記第１基板の前記光入射面側から照射されるレーザ光が前記第１反射膜及び前記第２反射膜により反射する各反射光の各光反射率を、ディスク半径方向及びディスク円周方向に順次変化させたことを特徴とする検査用光ディスク。
【請求項４】
請求項1乃至請求項３のいずれか１に記載の検査用光ディスクであって、
前記第１基板の前記光入射面側から照射されるレーザ光がディスク内周側にあるリードイン領域により反射する反射光の光反射率は、前記第１反射膜及び前記第２反射膜により反射する各反射光の各光反射率の中間値であることを特徴とする検査用光ディスク。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ピックアップ、光ディスクドライブ、光ディスク記録再生機の製造工程及び開発設計で、検査、調整、評価などに使用する光反射率測定のための検査用光ディスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光反射率を測定するために用いられる従来の検査用光ディスクは一枚の光ディスクで一様の光反射率を規定するものであり、光反射率の規格値幅を実現する為にはこうした検査用光ディスクを複数枚使用することが必要であった。
また、この状態を改善する例としては、光反射膜を半径方向に同心円状に膜厚を変化させることで、光反射率を段階的に変化させた光反射膜を、単層有する光反射率ディスクを用いるものが有った。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述した従来の技術において、光ディスクピックアップ、ドライブ、記録再生機の製造工程及び開発設計で使用する光反射率ディスクは、規格値幅を実現する為に複数枚の光反射率ディスクを用意し、これらを交換しながら性能評価を行っていた為に、評価に時間が掛かると同時に、複数のディスクを使用する為に、溝形状、ピット形状、偏心面振れ、ジッター等のディスク間のバラツキの為に、調整精度、評価精度が悪化する問題点を有していた。
【０００４】
更にこの問題点を改善する方法としては、特開平６−３６３５１号公報に記載されてあるように、光透過面表面に光遮蔽物を半径方向に同心円状に塗布する方法、あるいは特開平６−３６３５１、特開平１−２０４２３８の各号公報に記載されてあるように、様に光反射膜の厚みを半径方向に同心円状に変化させて、半径方向に同心円状に光反射率が変化する光ディスクを用いた方法がある。しかしいずれの方法も光反射膜を一層有する構造の光ディスクを対象にしたものであり、デュアルレーヤー（片面２層）のデジタル多用途ディスク（ＤＶＤ）ディスクに対応したものではなく、そのためデュアルレーヤーの光ディスクを対象とした光プックアップ、記録再生システムの検査、調整用に使用することは不可能であった。
【０００５】
本発明の目的は、デュアルレーヤーのＤＶＤディスクなどの様に、１枚のディスクで複数の光反射膜を有する光ディスクに対応し、各光反射膜の光反射率を必要な光反射率に構成することによって、上記問題点を払拭し、効率的に且つ高精度に光ディスクピックアップ、ドライブ、記録再生機器の調整、評価などが出来る光反射率の測定に用いる検査用ディスクを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明は、次の（１）〜（４）の構成を有する検査用光ディスクを提供する。
（１）  片面２層の構成を有する検査用光ディスクであって、
光入射面と第１信号面とを有する第１基板の前記第１信号面上に、第１反射膜、接着層、第２反射膜を順次積層し、かつ前記第２反射膜上に第２信号面が当接するように前記第２信号面を有する第２基板を積層してなり、
前記第２反射膜の膜厚を一定とし、前記第１反射膜の膜厚を内周部分で厚くかつ外周部分で薄くディスク半径方向に順次変化させ形成することによって、前記第１基板の前記光入射面側から照射されるレーザ光が前記第１反射膜及び前記第２反射膜により反射する各光反射率を、前記第１反射膜に於いては前記内周部分で大きく、順次前記外周部分で小さく、同時に、前記第２反射膜に於いては前記内周部分で小さく、順次前記外周部分で大きくなるようにディスク半径方向に順次変化させるか、または、前記第１反射膜の膜厚を前記内周部分で薄く、更に前記外周部分で厚くディスク半径方向に順次変化させ形成することによって、各光反射率を、前記第１反射膜に於いては前記内周部分で小さく、順次前記外周部分で大きく、同時に、前記第２反射膜に於いては前記内周部分で大きく、順次前記外周部分で小さくなるようにディスク半径方向に順次変化させたことを特徴とする検査用光ディスク。
（２）  片面２層の構成を有する検査用光ディスクであって、
光入射面と第１信号面とを有する第１基板の前記第１信号面上に、第１反射膜、接着層、第２反射膜を順次積層し、かつ前記第２反射膜上に第２信号面が当接するように前記第２信号面を有する第２基板を積層してなり、
前記第２反射膜の膜厚を一定とし、前記第１反射膜の膜厚をディスク円周方向に段階的に分割し、順次変化させることによって、前記第１基板の前記光入射面側から照射されるレーザ光が前記第１反射膜及び前記第２反射膜により反射する各光反射率を、前記第１反射膜の膜厚が大きく光反射率が大きい部分で、前記第２反射膜の光反射率が小さく、また前記第１反射膜の膜厚が小さく光反射率が小さい部分で、前記第２反射膜の反射率が大きくなるようにディスク円周方向に順次変化させたことを特徴とする検査用光ディスク。
（３）  片面２層の構成を有する検査用光ディスクであって、
光入射面と第１信号面とを有する第１基板の前記第１信号面上に、第１反射膜、接着層、第２反射膜を順次積層し、かつ前記第２反射膜上に第２信号面が当接するように前記第２信号面を有する第２基板を積層してなり、
前記第１反射膜をディスク円周方向の中心角度割に分割し、段階的に順次変化させると同時に、前記第２反射膜の膜厚をディスク半径方向に同心円状に段階的に順次変化させるか、前記第１反射膜の膜厚をディスク半径方向に同心円状に段階的に順次変化させると同時に前記第２反射膜をディスク円周方向の中心角度割に分割し、段階的に順次変化させることによって、前記第１基板の前記光入射面側から照射されるレーザ光が前記第１反射膜及び前記第２反射膜により反射する各反射光の各光反射率を、ディスク半径方向及びディスク円周方向に順次変化させたことを特徴とする検査用光ディスク。
（４）  請求項1乃至請求項３のいずれか１に記載の検査用光ディスクであって、
前記第１基板の前記光入射面側から照射されるレーザ光がディスク内周側にあるリードイン領域により反射する反射光の光反射率は、前記第１反射膜及び前記第２反射膜により反射する各反射光の各光反射率の中間値であることを特徴とする検査用光ディスク。
【０００７】
【作用】
一枚の光ディスクの内側から外側に向かうディスク半径方向、またディスク円周方向に光反射率を精度よく変化させる事が可能となり、光ピックアップの位置を変化させる操作だけでデュアルレーヤー対応の光ピックアップの感度確認、トラッキングサーボ系のゲイン調整、信号増幅系のゲイン、オフセット調整等に必要な光反射率が得られる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の検査用光ディスクにつき、発明の骨子を説明した後に、具体的な実施例について、図面を用いて説明する。
図１〜図７中、１はＬ１基板（第２基板）、１ｂは信号面（第２信号面）、２は接着層、３はＬ０基板（第１基板）、３ａは光入射面、３ｂは信号面（第１信号面）、４はＬ１層光反射膜（第２反射膜）、５はＬ０層光反射膜（第１反射膜）、６は光ピックアップレンズ（対物レンズ）、７はＬ１層焦点光ビーム、８はＬ０層焦点光ビーム、ｃはディスク中心、Ａ〜Ｄは光反射率ディスク（検査用光ディスク）。
【０００９】
光反射率を測定するための検査用光ディスクの作製は、まずピットを有する透明な成形基板（Ｌ０基板３の信号面３ｂ）上に、後述の方法で光反射膜（Ｌ０層光反射膜５）を形成し、さらに必要により紫外線硬化樹脂などの保護膜（図示せず）を有するディスク単板を作製する。同様に、ピットを有する透明な成形基板（Ｌ１基板１の信号面１ｂ）上に、後述の方法で光反射膜（Ｌ１層光反射膜４）を形成し、さらに必要により紫外線硬化樹脂などの保護膜（図示せず）を有するディスク単板を作製する。
【００１０】
次に、二枚のこのディスク単板をそれぞれの光反射膜（Ｌ０層光反射膜５、Ｌ１層光反射膜４）側を内側にして、スピンコート法などにより接着剤やあるいは貼り合わせシートなどにより貼り合わせ、光反射率ディスクＡ〜Ｄを作製する。ここで基板１，３材料としては、透明なプラスチック系材料が用いられるが、光学特性の面からポリカーボネートが好ましい。また光反射膜４，５の材料は、アルミニウム、マグネシウム、金、銀等が用いられる。光反射膜４，５の材料は貼り合わせる単板で同じでも、また違っても良い。
【００１１】
同心円状に半径方向に変化する光反射膜４，５は次のように形成する。ディスクの内周から外周方向に向かって光反射膜４，５の膜厚を減少させる場合は、まず、インナーマスク及びアウターマスクのみで透明基板１，３のデジタル情報の記録されたピット面（信号面１ｂ，３ｂ）上に、金などをスパッタリングする。次に順次アウターマスクの内径を小さくしながらスパッタリングを繰り返せば、外周部分の光反射膜４，５の膜厚は小さく、内周部分の光反射膜４，５の膜厚は大きくなる。またディスクの内周から外周に方向に向かって光反射膜４，５の膜厚を増加させる場合は、スパッタリング時に、アウターマスク径を変えずにインナーマスク外形を順次大きくすれば、前例とは逆に内周部分の光反射膜４，５の膜厚は小さく、外周部分の光反射膜４，５の膜厚は大きくなる。
【００１２】
さらに、光反射膜４，５を中心角度割に円周方向に膜厚変化させるには、光反射膜４，５をスパッタリングによって形成する時にアウターマスク、またはインナーマスクに扇状のマスク部を設け、例えば、図５の様に９０°毎に光反射率を４分割する場合は、当初、ディスク中央のクランプ部を覆うインナーマスクと周辺部を覆うアウターマスクでデジタルデータの記録されるピット面上（図５に示す２１，２２，２３，２４）全体をスパッタリングする。次にアウターマスクまたはインナーマスクにピット面を覆う（図５に示す２５）、マスクＡＡでディスクのピット面図５に示す２１の中心角度で９０°部分を覆いスパッタリングし、順次マスク面積を広げ（図５に示す２６）、マスクＢＢでピット面（図５に示す２１，２２の中心角度で１８０°部分を覆い、更に、図５に示す２７、マスクＣでの２７０°部分を覆い順次マスキングする面積を広げる形でマスクを交換して合計４回スパッタすればピット面の光反射膜厚を、図５に示す２１→２２→２３→２４の４段階に膜厚が大きくなるようにＬ０光反射膜５を生成することが出来る。
【００１３】
尚、ピット面を覆うマスク形態はインナーマスク、アウターマスクまたはそれとは別にピット面を覆う形でも良い。更に光反射膜設定は形状を問わずマスクの形状を変えスパイラル、斑点状としてもよく、また、マスク位置とスパッタリング面位置を離して光反射膜厚を各々徐々に変化する様に設定しても良い。
【００１４】
図１、図２に本発明の第１実施例の光反射率ディスクの断面図を示す。光ディスクの構造としてはシングルサイデッドデュアルレーヤーの例である。
まず、図１においてであるが、Ｌ１層光反射膜４は一定厚の光反射膜であり、Ｌ０光反射膜５は同心円状に半径方向に光反射膜厚を複数に変化させて形成させる。（図１の例では内周から外周方向に向かって、光反射膜５の膜厚を減少させる。）従って、Ｌ０層光反射膜５の光反射率は、半径方向に同心円状に変化すると同時に、光ピックアップレンズ６を通ったＬ１層焦点光ビーム７がＬ１層光反射膜４を照射する場合、Ｌ０層を透過する際に、Ｌ０基板３及びＬ０層光反射膜５で減衰した光ビームがＬ１層４に到達する。
【００１５】
よって、Ｌ０層光反射膜５の膜厚が大きい時にＬ１層４の光ビームの減衰量は大きくなり、実効的なＬ１層光反射率は小さくなる。逆にＬ０層光反射膜厚が小さい時にはＬ１層４の光ビームの減衰量は小さく、実効的なＬ１層光反射率は大きくなる。即ち、本発明は、Ｌ０層光反射膜厚を同心円状に半径方向に複数に変化させて、Ｌ０層光反射膜厚の形成をコントロールする事によって、Ｌ０、Ｌ１層各々に必要な光反射率を得るものである。
また、Ｌ０．Ｌ１層の光反射膜の構成を逆にすれば、Ｌ０層光反射膜の光反射率は一定で、Ｌ１層光反射率のみ半径方向に変化する形となる。
【００１６】
次に、図２においては、Ｌ１層光反射膜４の膜厚をＬ０層光反射膜５と同様に同心円状に半径方向に光反射膜厚を複数に変化させれば、Ｌ０基板３及びＬ０層光反射膜５を通過した光ビームはＬ１層光反射膜４で反射される時、Ｌ１層光反射膜厚に比例して光反射率が変化するために、Ｌ０、Ｌ１層光反射膜厚を各々コントロールし形成することで、同じ半径位置でＬ０層とＬ１層各々に必要な光反射率を得る事が出来る。
【００１７】
図１、図２の本発明の第２実施例では、光反射膜厚の変化はＬ０、Ｌ１層で各４段階となっているが、目的に応じて必要な光反射率変化構成とするために段階構成数を増減させても良く、その場合は、インナーマスクの外形の種類またはアウターマスクの内径の種類を段階数に応じて増減すれば良い。光反射膜を形成する場合、マスクとスパッタリング面の距離を大きく設定すればＬ０層、Ｌ１層の光反射率を段階的でなく、半径方向に徐々に変化させる事が可能である。
【００１８】
図３は本発明の第３実施例の光反射率ディスクの正面図、図４にその断面図を示す。
Ｌ１層光反射膜厚一定で、Ｌ０層光反射膜５を中心角度割で円周方向に４ブロックに分割し、図３に示す１１、１２、１３、１４各々の膜厚を変化させたものを示す。ピックアップレンズ６を通ったＬ０層焦点光ビーム８がＬ０層光反射膜５ａ、５ｂを照射する時、光ディスクの回転位置によってＬ０層光反射膜５の膜厚が円周上で角度割に4段階に変化するため、Ｌ０層光反射率は4段階に変化する。
【００１９】
同時に図４で、ピックアップレンズ６を通ったＬ１層焦点光ビーム７がＬ１層光反射膜４を照射する場合、Ｌ０層を透過する際に、光ディスクの回転位置に応じてＬ０基板３及びＬ０層光反射膜５ａ、５ｂで減衰した光ビームがＬ１層光反射膜４に到達する。 この時、Ｌ０層光反射膜５は光ディスクの回転位置によって膜厚が４段階に変化するために、Ｌ０層光反射膜の膜厚形成をコントロールすることで、ディスクの回転位置に対応したＬ０、Ｌ１層各々に必要な光反射率を得ることができる。また、Ｌ０．Ｌ１層光反射膜の構成を逆にすれば、Ｌ０層光反射膜の光反射率は一定で、Ｌ１層光反射率のみ変化する形となる。
【００２０】
図３、図４では円周方向に4段階の反射膜構成を示しているが、目的に応じて必要な反射率変化構成とするために、段階構成を増減させても良い。
【００２１】
さらに、光反射膜を一層有する構造で、かつ光反射膜の膜厚形成を図３の様に中心角度割に円周方向に行えば、光反射率は円周方向に回転角度に応じて変化し、シングルレーヤーのＤＶＤディスク、ＣＤ等の光反射率ディスクに対応する。
【００２２】
図３、図４では、Ｌ１層光反射膜厚が一定の例を示しているが、Ｌ０層と同様にＬ１層光反射膜層を中心角度割に円周方向に変化させれば、同じ中心角度でのＬ０、Ｌ１層各々に必要な光反射率を得る事が出来る。
【００２３】
図６に本発明の第４実施例の光反射率ディスクの正面図を、図７にその断面図を示す。Ｌ０層光反射膜を中心角度割に円周方向に図５の様に図６に示す２１，２２，２３，２４の4ブロックに膜厚を変化させて形成し、更に、Ｌ１層光反射膜を図６に示す２５．２６．２７．２８の様に半径方向に同心円状に膜厚を変化させて形成する。
【００２４】
ピックアップレンズ６を通ったＬ１層焦点光ビーム７がＬ０層を透過する際に、Ｌ０基板３及び中心角度割に円周方向に膜厚が変化するＬ０光反射膜５で減衰した光ビームが、半径方向に同心円状に膜厚が変化形成されたＬ１層光反射膜４に到達する。この時、Ｌ１層焦点光ビーム７はＬ０層を透過する時にディスクの回転角度によって、Ｌ０層光反射膜５ａ、５ｂの膜厚に逆比例した光ビームとなってＬ１層光反射膜４に照射され、更に、Ｌ１層光反射膜図６に示す２５．２６．２７．２８によって膜厚に比例した反射光となって光ピックアップで検出される。
即ち、Ｌ０層光反射率は光ディスクの回転角度に対応して変化し、また、Ｌ１層光反射率はディスクの回転角度と半径方向で変化する形にすることが出来る。
【００２５】
光反射膜の構成をＬ０層光反射膜は膜厚変化を半径方向に同心円状とし、Ｌ１光反射膜は中心角度割に円周方向とすればＬ０層光反射率は光ディスクの半径方向に対応して変化し、また、Ｌ１層光反射率はディスクの回転角度と半径方向で変化する形にすることが出来る。
【００２６】
次に、本発明の第５実施例について説明する。
光ディスクドライブ、記録再生機器では光ディスクのリードイン部分で光ピックアップのサーボシステムゲインを最適値にプリセットする機能を有するものがある。この場合、リードイン部分の光反射率が光反射率規格値越えていると光ピックアップのサーボシステムが安定に動作しなくなる場合がある。
【００２７】
この場合は光反射率ディスクのリードイン部分が特定の光反射率（例えば光反射率規格の中心）になるよう反射膜厚を設定したうえで、本発明のＬ０、Ｌ１層光反射膜をディスク上に形成すれば良い。光ピックアップサーボシステムがリードイン部分で所定のサーボゲインとなるようプリセット動作させれば、システムが安定に動作し、光反射率の変化に対する光ピックアップの感度確認、トラッキングサーボ系の安定性確認、信号増幅系のゲイン、オフセット確認、調整等を行うことが出来る。
【００２８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、１枚の検査用光ディスクで精度良く、且つ短時間に効率良く光ピックアップに関わる感度確認、トラッキングサーボ系の安定性確認、信号増幅系のゲイン、オフセット調整等感度確認、調整等をすることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施例になる検査用光ディスクの積層構造を説明するための縦断面図
【図２】  本発明の第２実施例になる検査用光ディスクの積層構造を説明するための縦断面図
【図３】  本発明の第３実施例になる検査用光ディスクを説明するための平面図
【図４】  本発明の第３実施例になる検査用光ディスクの積層構造を説明するための縦断面図
【図５】  本発明の第３実施例になる検査用光ディスクの反射膜の形成を説明するための工程図
【図６】  本発明の第４実施例になる検査用光ディスクを説明するための平面図
【図７】  本発明の第４実施例になる検査用光ディスクの積層構造を説明するための縦断面図
【符号の説明】
１  Ｌ１基板（第２基板）
１ｂ  信号面（第２信号面）
２  接着層
３  Ｌ０基板
３ａ  光入射面
３ｂ  信号面（第１信号面）
４  Ｌ１層光反射膜（第２反射膜）
５  Ｌ０層光反射膜（第２反射膜）
６  光ピックアップレンズ（対物レンズ）
７  Ｌ１層焦点光ビーム
８  Ｌ０層焦点光ビーム
Ａ〜Ｄ  光反射率ディスク（検査用光ディスク）
ｃ  ディスク中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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