(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピストン部を長さ方向での略中間位置に軸着してなるプローブピンを先端に一側開口部を有するシリンダ部の空間部内に前記一側開口部からその先端部を突出させて収容し、ピストン部により仕切られる上側空間部内の空気圧と、下側空間部内の引張スプリング力とのバランスのもとでプローブピンを進退自在に制御してなる電気計測用プローブにおいて、
シリンダ部は、上側空間部と連通する給気口と、下側空間部と連通する排気口とを設けて形成し、前記プローブピンは、上側に設けた通気口と先端接触部に設けた小径口とを中空部を介して相互に連通させて形成するとともに、シリンダ部には、プローブピンを前記ピストン部の下底面にその上端が係止するように引張コイルスプリングを介装させ、かつ、前記上側空間部内に常に通気口が位置する配置関係のもとで収容したことを特徴とする電気計測用プローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気圧と引張スプリング力とのバランスのもとで進退制御されるプローブピンを備えた電気計測用プローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えばインサーキットテスタによる高速検査を実現するために複数本のプローブを個別昇降を自在に制御して扇形に配列させてなる同時多点接触プローブなどにおいては、ピストン部を長さ方向での略中間部に軸着してなるプローブピンを先端に開口部を有するシリンダ部に収容し、シリンダ部内で作用する空気圧と引張スプリング力とのバランスのもとで前記開口部からプローブピンの先端接触部が進退するのを自在に制御できるようにした構造を備えるものもある。
【０００３】
図２は、この種の電気計測用プローブの従来例を示すものであり、上側に給気口２ａを、下側に排気口２ｂをそれぞれ設けてなるシリンダ部２には、長さ方向での略中間位置にピストン部６を軸着してなるプローブピン５を該ピストン部６とその下側との間に引張コイルスプリング７を介装させて収容し、下端に位置する開口部２ｃを介してその先端接触部５ａが進退できるようになって電気計測用プローブ１が形成されている。なお、図中の符号８はシリンダ部２の頂端部に嵌着される導電性蓋材を、９はリード線をそれぞれ示す。
【０００４】
このため、従来例においては、給気口２ａからシリンダ部２の上側空間部３内に空気を供給すると、該上側空間部３内の圧力が高まり、ピストン部６を下方に押し下げる押圧力が発生し、排気口２ｂから下側空間部４内の空気を逃がしながら引張コイルスプリング７の引張力に抗してプローブピン５を測定基板Ｐの側へと押し下げ、その先端接触部５ａを被測定部位に接触させ、電気的な計測を行うことができることになる。
【０００５】
また、計測を終えた後は、給気口２ａからの空気の供給を停止することにより、引張コイルスプリング７の引張力の復元作用によりピストン部６が押し上げられるので、プローブピン５の先端接触部５ａを被測定部位から容易に引き離すことができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記電気計測用プローブ１においては、給気口２ａから空気が過供給された場合、上側空間部３内の圧力が高まり過ぎてピストン部６を下方に急速に押し下げてしまい、結果的にプローブピン５の先端接触部５ａを測定基板Ｐの被測定部位に強く当接させて打痕を残したり、先端接触部５ａ自体を損傷させてしまう不都合があった。
【０００７】
本発明は従来技術にみられた上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、進退制御されるプローブピンを測定基板の被測定部位に柔らかく接触させることができる電気計測用プローブを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成しようとするものであり、その構成上の特徴は、ピストン部を長さ方向での略中間位置に軸着してなるプローブピンを先端に一側開口部を有するシリンダ部の空間部内に前記一側開口部からその先端部を突出させて収容し、ピストン部により仕切られる上側空間部内の空気圧と、下側空間部内の引張スプリング力とのバランスのもとでプローブピンを進退自在に制御してなる電気計測用プローブにおいて、シリンダ部は、上側空間部と連通する給気口と、下側空間部と連通する排気口とを設けて形成し、前記プローブピンは、上側に設けた通気口と先端接触部に設けた小径口とを中空部を介して相互に連通させて形成するとともに、シリンダ部には、プローブピンを前記ピストン部の下底面にその上端が係止するように引張コイルスプリングを介装させ、かつ、前記上側空間部内に常に通気口が位置する配置関係のもとで収容したことにある。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の好ましい実施の形態を示す説明図であり、電気計測用プローブ１１の全体は、上側に給気口１２ａを、下側に排気口１２ｂをそれぞれ設けてなるシリンダ部１２と、長さ方向での略中間位置にピストン部１９を軸着してなるプローブピン１５とを少なくとも備えて構成されている。
【００１０】
このうち、シリンダ部１２は、その内部にピストン部１７が摺接し得る程度の適宜内径の空間部１３を有するほか、プローブピン１５が摺接して進退し得る程度の適宜口径の一側開口部１２ｃをその先端に備えて形成されている。
【００１１】
また、シリンダ部１２の空間部１３は、収容されるピストン部１７を介して上側空間部１３ａと下側空間部１３ｂとに仕切られ、給気口１２ａは上側空間部１３ａと、排気口１２ｂは下側空間部１３ｂとそれぞれ連通する配置関係となっている。
【００１２】
一方、比較的硬質な導電性金属材からなるプローブピン１５は、その内部に中空部１６を備え、該中空部１６を介することにより上側に設けられた通気口１５ａと先端部１７の側に位置する先端接触部１７ａに設けた小径口１５ｂとが相互に連通している。この場合、プローブピン１５における通気口１５ａは、シリンダ部１２の空間部１３にプローブピン１５を収容した際、常に上側空間部１３ａ内に位置する配置関係のもとで形成されている。
【００１３】
また、プローブピン１５は、ピストン部１９と先端部１７を含む下側との間に引張コイルスプリング２０が介装されており、該引張コイルスプリング２０の上端２０ａはピストン部１９の下底面１９ａに、下端２０ｂはシリンダ部１２において空間部１３を画成している内底面１４にそれぞれ係止させ、かつ先端部１７を開口部１２ｃから突出させた状態のもとでシリンダ部１２内に収容されている。
【００１４】
さらに、プローブピン１５の基端部１８は、シリンダ部１２の基端に位置する他側開口部１２ｄに施蓋される導電性蓋材２１の下端部に設けられた縦穴部２１ａ内に摺動自在に導入配置されている。なお、図中の符号２２は、導電性蓋材２１に接続されたリード線を示す。
【００１５】
本発明はこのようにして構成されているので、測定基板Ｐの被測定部位上へと電気計測用プローブ１１を位置決めして定置させた後、シリンダ部１２の空間部１３においてピストン部１９を介して仕切られている上側空間部１３ａ内に給気口１２ａに連結させた図示しない給気管を介することにより空気を圧送することができる。
【００１６】
この場合における圧送される空気の量により得られる空気圧と、ピストン部１９において圧力を受ける面積と、先端接触部１７ａに設けた小径口１５ｂの口径とついては、小径口１５ｂから空気が噴出され、かつピストン部１９を引張コイルスプリング２０の引張力に抗して押し下げることができるに足る十分な空気圧を維持できる相互関係のもとで適宜設定されるものとする。
【００１７】
かくして、シリンダ部１２の上側空間部１３ａ内は、圧送される空気によりその圧力が次第に上昇し、やがて引張コイルスプリング２０の引張力に抗してピストン部１９をプローブピン１５共々下方へと押し下げることができる空気圧に到達し、プローブピン１５の先端部１７をシリンダ部１２の一側開口部１２ｃから伸長させ、測定基板Ｐの被測定部にその先端接触部１７ａを接触させるに至ることになる。
【００１８】
一方、プローブピン１５は、中空部１６と連通する通気口１５ａが上側空間部１３ａ内に位置する配置関係のもとでシリンダ部１２に収容されているので、中空部１６を介して先端接触部１７ａに設けられている小径口１５ｂへと到達するバイパス流路Ｒも同時に形成されることになる。
【００１９】
このため、プローブピン１５は、その先端部１７をシリンダ部１２の一側開口部１２ｃから伸長させられるなかで、バイパス流路Ｒの終端である小径口１５ｂから測定基板Ｐの被測定部位に向けて空気を噴出させることができ、この逆噴射された空気から得られる反作用により伸長方向での押圧力に対しブレーキをかけることができることになる。
【００２０】
したがって、プローブピン１５は、その速度を緩めながら先端部１７が伸張される結果、測定基板Ｐの被測定部に対し先端接触部１７ａを緩やかに当接させて接触させることができるので、測定基板Ｐの被測定部位に打痕を残したり、先端接触部１７ａ自体を損傷させることをなくすことができる。
【００２１】
しかも、このようにして先端接触部１７ａを緩やかに当接させた後は、小径口１５ｂが塞がれた状態となって空気の噴出が急激に減少する一方で、ピストン部１９に対する押圧力をそれだけ増加させることができるので、電気計測に支障を来さない程度の十分な接触圧を得ることができる。
【００２２】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、電気計測用プローブを定置させた後、シリンダ部の上側空間部内に空気を圧送することにより、プローブピンの先端部を伸張させて測定基板の被測定部位にその先端接触部を接触させ、所定の電気計測をおこなうことができる。
【００２３】
しかも、このとき、プローブピンには、中空部から先端接触部の小径口へと到達するバイパス流路も同時に形成される結果、小径口から測定基板の被測定部位に向けて空気を噴出させて伸長方向での押圧力に対しブレーキをかけることができる。
【００２４】
このため、プローブピンは、被測定部位に対し先端接触部を緩やかに当接させて接触させることができることになり、被測定部位に打痕を残したり、先端接触部自体を損傷させてしまうといった好ましくない現象の発生を効果的に抑止することができるほか、電気計測に支障を来さない程度の接触圧を同時に得ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好ましい実施の形態を示す説明図。
【図２】従来例を示す説明図。
【符号の説明】
１１  電気計測用プローブ
１２  シリンダ部
１２ａ  給気口
１２ｂ  排気口
１２ｃ  一側開口部
１２ｄ  他側開口部
１３  空間部
１３ａ  上側空間部
１３ｂ  下側空間部
１４  内底面
１５  プローブピン
１５ａ  通気口
１５ｂ  小径口
１６  中空部
１７  先端部
１７ａ  先端接触部
１８  基端部
１９  ピストン部
２０  引張コイルスプリング
２０ａ  上端
２０ｂ  下端
２１  導電性蓋材
２１ａ  縦穴部
２２  リード線
Ｒ  バイパス流路
【図１】
0003743690.tif 000002
【図２】
0003743690.tif 000003