(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケースに収納する構造に於いて、前記ペリクルの保護フィルムを所定の接着力で直接前記トレイに仮着して構成したことを特徴としたペリクルの収納構造。
【請求項２】
前記ペリクルの保護フィルムを前記トレイに仮着するに当たって、該保護フィルムと枠体との接着力よりも弱いペリクルの自重を支えることが出来る程度の接着力で仮着して構成したことを特徴とした請求項１のペリクルの収納構造。
【請求項３】
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケースに収納する方法に於いて、前記ペリクルの枠体の下縁面に粘着された保護フィルムとトレイとの間に所定の接着力を有する接着材あるいは粘着材を介在させた後、該保護フィルムを前記トレイに所定の接着力で接着してペリクルをトレイに仮着することを特徴とするペリクルの収納方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＳＩ等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの収納構造及びその収納方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体回路パターン等の製造に於いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている（例えば特公昭５４ー２８７１８号公報）。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。
【０００３】
前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをトレイとフタとからなるケースに収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
【０００４】
従来、前述の構造を有するペリクルのケースの収納は、図３乃至図４に示すように行われていた。即ち、図に於いて、ペリクル膜５２は展張（ピンと張った）状態で枠体５１の一方の上縁面に接着され、枠体５１の他の面（下縁面）には適当な厚さの粘着材５３が設けられ、さらに粘着材５３の下面には保護フィルム５４が貼り付けられてペリクルを構成している。このペリクルは、トレイ５５の平坦な面である設置面５５ａの上に保護フィルム５４が接するように置かれる。
【０００５】
トレイ５５の設置面５５ａ上に載置されたペリクルは、トレイ５５に設けられた突起状のポスト５５ｂによって、左右の動きが拘束され、そしてフタ５６を上方からかぶせ、クリップ５７によってフタ５６とトレイ５５との４隅を固定することによってケースに収納されていた。この結果、前記ペリクルはフタ５６の斜面５６ａと、ポスト５５ｂと、設置面５５ａとに囲まれて拘束され、ケースに収納された状態となっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、前述のようにペリクルはケースのフタ５６の斜面５６ａ、ポスト５５ｂ及び設置面５５ａで拘束された収納状態で輸送されるが、輸送時には何らかの振動、衝撃を受けることは避けることが出来なかった。従来のペルクルのケース内での拘束状態において、ペリクルとケースのフタ５６の斜面５６ａとの間に大きな隙間があると、輸送時の振動、衝撃によってペリクルがケースのフタ５６にぶつかり、この部分が強い擦れのために摩耗して発塵することがあった。このような場合には、ペリクルを異物のない状態で使用者に届けるという最も重要な機能を失うことになる問題があった。
【０００７】
一方で、ペリクルとケースとの間の隙間をなくした場合には、すなわち前記斜面５６ａが前記枠体５１（或いは前記ペリクル膜５２の端部）と予め接触している場合にも、相互の接触圧力によって斜面５６ａの内面或いは前記ペリクル膜５２の端部が摩耗し、異物を発生することが経験上知られている。
【０００８】
そこで、かかるペリクルの収納構造に於いて最も好ましいとされているやり方は、前記ペリクルと前記ケースのフタ５６の斜面５６ａとの間にごく僅かな隙間をとるというものである。具体的には前記ペリクルをトレイ５５の上に置き、フタ５６をかぶせ、クリップ５７でフタ５６とトレイ５５を相互に固定したとき、斜面５６ａと枠体１の上端との間に０．１乃至０．３ｍｍ程度の隙間を設ける構造である。
【０００９】
発明者の実験によって、このような隙間の確保で、ある程度の振動、衝撃に耐えることが確かめられている。しかし、この場合にも大きな衝撃を受けた時には、発塵する問題があった。更に梱包の方法（例えば衝撃効果の高い軟らかい発泡材等を大量に使用するなど）によってケースやペリクルに加わる衝撃を和らげる手段が必要であり、或いは振動や衝撃の少ない輸送手段を必要としたり、前述のフタ５６とペリクルとの適度の隙間を確保するために、トレイ５５やフタ５６の成形を高い精度で行う必要があるなど、コスト面で非常に好ましくない問題があった。しかし、これ等の多くの手段も原理的に、全く発塵しないことを保証することは極めて難しいという問題があった。
【００１０】
本発明は前述の多くの問題点に鑑み開発された全く新しい技術であって、特にペリクルをケース内に収納するに当たって、ペリクルをケースのトレイの設置面上に所定の接着力で仮着することによって、ペリクルをケース内に拘束するようにし、これによって輸送時の振動や衝撃に充分耐えることが出来るようにした全く新しい技術を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、前述の多くの問題点に鑑み、長年の研究と種々の実験を行うことによって、ペリクルを、これを収納するケースのトレイに固定することによって、前述の問題が解消されることを発見した。しかし、ケース内に収納されたペリクルが使用者側に届いた後では、使用者がペリクルをケース内から容易に取り出すことが出来なくてはならないので、ペリクルをトレイに固定するに当たっては、この点を充分考慮しなければならいことに思い至った。
【００１２】
即ち、ペリクルをトレイに固定するに当たっては、使用者がこのトレイからペリクルを容易に取り出すことが出来る所定の接着力で接着或いは粘着して一時的に仮着しておくことを発明した。
【００１３】
前述のように、ペリクルをトレイと所定の接着力で仮着するとは、例えば、輸送中の振動や衝撃が加わった時に、ペリクルとトレイとが接着状態を保つぎりぎりの強さとするのが合理的である。発明者の実験で、適度の緩衝材を詰めた梱包では、通常の陸上輸送時にケースには、５Ｇ乃至１０Ｇ程度の加速度が加わるというデータがある。従ってペリクルの重さの１０倍程度の接着力が現実的な効果を得る上では適当であると考えられる。
【００１４】
しかし、原理的にいえば、いかなる小さい接着力であっても衝撃に対しては抵抗力となり、前記ペリクルと前記フタとの擦れの強さを緩和する効果がある。従って本発明における前記接着力の下限を設定する必要はないが、本発明の効果をより明瞭ならしめるため、および本発明に実施を明らかに判別出来るようにするために接着力或いは粘着力の下限を次のように設定する。
【００１５】
即ち、この接着力あるいは粘着力については定義しにくい面もあるが、本発明においては、接着部に対して一定の荷重を加えて１秒以上完全剥離しないとき、この接着力はこの一定荷重以上あると定義する。この定義に基づく、前記接着力の下限は、前記ペリクルの自重程度とすることが出来る。
【００１６】
一方で、前記接着力の上限は、ペリクルをケースから取り出す方法によって、条件が様々に変化するので、これを決定することは困難である。すなわち、例えば単にトレイを自重に任せた状態で平坦な面上に置き、その上に載っているペリクルを取り出すとすれば、ペリクルとトレイとの接着力はトレイの自重以下である必要がある。さもないとペリクルを取り出すために持ち上げた時、トレイも持ち上がってしまうからである。
【００１７】
しかし、近年は使用者が自動貼付機を使用してトレイからペリクルを取り出す方法が増えている。この場合には、トレイを吸着パッドで固定するために、更に強い接着力であっても、トレイからペリクルを脱離させることが可能である。かかるごとく、ペリクルとトレイとの接着力の上限は、ペリクルを取り出すときのトレイの固定方法によって選択の余地があり、その状況によって適宜選ぶべきである。勿論、必要最小限の接着力が実用上好ましいことは、言を待たない。
【００１８】
本発明に係るペリクルの収納構造は、前述の如く従来の多くの問題を解決すべく発明されたものであって、その発明全体の構成をまとめると、先ず、第１発明の要旨は、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイのフタとよりなるケースに収納する構造に於いて、前記ペリクルの保護フィルムを所定の接着力で直接前記トレイに仮着して構成したことを特徴としたペリクルの収納構造である。
【００１９】
本発明のペリクルの収納構造は、前述のように、ペリクルをトレイとフタとよりなるケースに収納するに当たって、ペリクルの保護フィルムを所定の接着力で前記トレイに仮着したので、ペリクルをこの所定の接着力を介してトレイに直接に拘束することが出来、これによってペリクルを輸送する際に、振動や衝撃によってペリクルがケースに強くぶつかることを防ぎ、塵が発生することを防止することが出来る。
【００２０】
本発明に係るペリクルの収納構造の第２発明の要旨は、前記ペリクルの保護フィルムを前記トレイに仮着するに当たっては、該保護フィルムと枠体との接着力よりも弱いペリクルの自重を支えることが出来る程度の接着力で仮着して構成したことを特徴とした第１発明のペリクルの収納構造である。
【００２１】
第２発明に於いては、前述のように、ペリクルの最下面に位置する保護フィルムをトレイに仮着させるに当たって、保護フィルムと枠体との接着力よりも弱いペリクルの自重を支えることが出来る程度の接着力でトレイに仮着したので、トレイに仮着されているペリクルを極めて弱い力でトレイから簡単に剥離して取り出すことが出来る。
【００２２】
本発明に係るペリクルの収納方法も前述のペリクルの収納構造と同様に、従来の多くの問題点を根本的に改善した技術であって、その発明の要旨は、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケースに収納する方法に於いて、前記ペリクルの枠体の下縁面に粘着された保護フィルムの下面或いはトレイの設置面に所定の接着力を有する接着材あるいは粘着材を塗着した後、該保護フィルムを前記トレイに所定の接着力で接着してペリクルをトレイに仮着することを特徴とするペリクルの収納方法である。
【００２３】
前述の本発明の収納方法に於いては、ペリクルの枠体の下縁面に粘着された保護フィルムの下面に、所定の接着力を有する接着材あるいは粘着材を塗着して該保護フィルムをトレイに仮着するので、ペリクルをケース内のトレイの所定位置に正確かつ極めて容易に仮着させ、これによってペリクルをトレイを介して安定した状態で拘束することが出来る。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係るペリクルの収納構造及びその収納方法の一実施例について具体的に説明すると、図１は本発明に係るペリクルの収納構造を示す縦断面説明図、図２は図１の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図である。
【００２５】
図１及び図２に於いて、ペリクルは既に詳述したように、枠体１と、該枠体１の上縁面に接着されたペリクル膜２と、該枠体１の下縁面に塗着された粘着材３と、該粘着材３を保護するために粘着材３に粘着された保護フィルム４から構成されている。前記実施例に於いては、枠体１の下縁面に粘着材３を塗着して形成したが、予め層状に形成された粘着材３は単に枠体１の下縁面に積層して貼着するのみで良い（しかし、本明細書に於いては、このような場合も含めて単に「塗着する」と総称する）。
【００２６】
前述のように構成されたペリクルを、トレイ５とフタ６とよりなるケースに収納するに当たって、どのようにすれば効果的であるか、また、ペリクルをトレイ５に具体的にどこで接着すべきか等について全体的に、検討すると次の通りである。
【００２７】
即ち、先ずペリクルとトレイ５との接触する可能性がある部分は、前記枠体１とこの枠体１を周りから支持している複数個のポスト５ｂとの間、あるいは前記保護フィルム４と前記ポスト５ｂとの間、または前記保護フィルム４と前記ペリクルの設置面５ａとの間が考えられる。
【００２８】
勿論このほかにも、前記トレイ５に、前記ペリクルに接触する構造を積極的に設けることも可能であるし、例えば粘着テープ等によって前記トレイ５と前記枠体１とを結び合うことなども可能であるが、通常ペリクルのトレイ５への収納、輸送、取り出しは、図１のように、前記トレイ５を下にしてその上に前記ペリクルが置かれているという構造上、最も安定的にペリクルをトレイ５上に固定できるのは、前記保護フィルム４と前記設置面５ａとの間を粘着材（或いは接着剤）８により接着する構造である。図中、７はトレイ５及びフタ６のコーナー部を固定するクリップである。
【００２９】
この場合、前記ペリクルを前記トレイ５から取り出すとき、従来通り前記保護フィルム４が前記粘着剤３に固着したまま取り出せるように、前記保護フィルム４とトレイ５との間の接着力は、前記保護フィルム４と前記粘着材３との間の接着力よりも弱くすべきである。
【００３０】
このように、保護フィルム４と設置面５ａとの間に粘着材８を設ける方法による場合、粘着材３と保護フィルム４との間の粘着力と、保護フィルム４と粘着材８との間の粘着力と、粘着材８と設置面５ａとの間の粘着力とのバランスを調整するために、粘着材３、保護フィルム４、粘着材８及び設置面５ａの材料を選択するのが有効的である。この粘着材８を保護フィルム４とトレイ５との間に介在させるに当たっては、粘着材８を予め保護フィルム４或いはトレイ５のいずれに塗着することも可能である。
【００３１】
本発明に於いては、これ等の材料を特に限定するものではないが、一般的に、粘着材３は、レティクルやマスク材料への接着性や剥離性の観点から、ゴム系、アクリル系あるいはシリコン系などの粘着材を選択する。また、設置面５ａすなわちトレイ５の材質は、成形性や帯電防止性などの観点から、例えば制電性を付与したアクリル樹脂や、ＡＢＳ樹脂などのプラスチックを使用するのが一般的である。
【００３２】
そこで上記粘着力のバランスを調整するためには、保護フィルム４の材質と粘着材８の材料の選択によることが好ましい。保護フィルム４としてはポリエチレンやポリエステル等のフィルムが使用できる。これらの材料は単独で用いても良いが、フィルムの片面あるいは両面にシリコーンなどの皮膜を形成して粘着力を制御することもできる。
【００３３】
特に、シリコーン処理ポリエステルフィルムは、シリコーンの種類により表裏で粘着力を変えることも可能であり、設計の自由度が得られる。また粘着材８は粘着力や発塵性の観点から、ゴム系、アクリル系あるいはシリコン系などの粘着材を適宜選択する。
【００３４】
前述の本願発明のペリクルの収納構造及びその収納方法の具体的実施例を詳細に説明すると、次の通りである。
【００３５】
【実施例１】
図１および図２において、枠体１、ペリクル膜２、粘着材３、保護フィルム４からなるペリクルを、設置面５ａの前記保護フィルム４に対応する箇所にアクリルラテックス系の粘着材８を塗布し、前記保護フィルム４を前記設置面５ａに仮着することによって、ペリクルをトレイ５に粘着固定し、ペリクルをトレイ５に拘束してケースに収納した。
【００３６】
この時前記ペリクルの上端と、フタ６の斜面６ａとの間には、約０．３ｍｍの隙間が確保されていた。かかる収納状態のケースを１０セット段積みにし、一般にエアキャップと呼ばれている緩衝材を周囲に配置した上で、段ボール箱に収納するという梱包状態で、落下テストを実施した。高さ１ｍからの落下テストを１０回実施した結果、前記ペリクルと前記フタ６との擦れおよび擦れに基づく発塵は全く認められなかった。
【００３７】
この実施例に於いては、前記アクリルラテックス系の粘着材８は、前記保護フィルム４の全周に亘って接着（粘着）するような塗布ではなく、８ヶ所のスポット的な塗布を行った。この時の接着力は、先の定義で表現すれば、前記ペリクルの重量の８倍以上で、１５倍以下であった。そして前記トレイ５を下面からエアの吸着パッドで吸着固定した状態で、前記ペリクルを手でトレイ５から容易に取り外すことが出来た。
【００３８】
【比較例１】
前述の実施例１に対して、この比較例１では、前記アクリルラテックス系粘着材８を保護フィルム４とトレイ５との間に介在させないで、従来の収納方法と同じく、保護フィルム５をトレイ５に直接載置した状態のままの構成にしておき、前述の実施例１と全く同一の梱包状態で落下テストを実施した。その結果１０枚のペリクル全てに擦れが観察され、更にその内の半数では発塵が認められた。なお、この落下テストに於ける衝撃値は、外箱である前記段ボール箱では最大衝撃値５０Ｇが測定され、前記ペリクルを収納したケースでは最大１０Ｇが測定された。（富士フィルム（株）製ショックセンサー使用）。
【００３９】
【発明の効果】
本発明に係るペリクル収納構造及びその収納方法は、前述のような構成と作用とを有するので、次のような多大な効果を有している。
【００４０】
本発明では、ペリクルをトレイとフタよりなるケースに収納するに当たって、ペリクルの保護フィルムと所定の接着力で該トレイに仮着して構成したので、ペリクルを輸送する際に振動や衝撃によってペリクルがケースに強く接触することを防止することが出来る。
【００４１】
従って、ペリクルがケースに強くぶつかって擦れが発生してペリクル自体を損傷させたり、或いはペリクルとケースとの強い擦れによる小さな塵が発生し、この塵がペリクルに付着したりすることを防止出来る。
【００４２】
本発明では、ペリクルの保護フィルムを所定の接着力でトレイに接着させたので、該トレイよりペリクルを簡単に取り出すことが出来る。特にペリクルをトレイに仮着させるに当たって、保護フィルムと枠体との接着力よりも弱いペリクルの自重を支えることが出来る程度の接着力でトレイに仮着した場合には、ペリクルをトレイから弱い力で容易に取り出すことが出来る。
【００４３】
本発明は前述のように全体の構成が極めて簡単であるので、何ら特別の手段を用いることなく、容易に実施することが出来、従って安価に効率良く実施することが出来、しかもペリクルをその本来の機能を損なうことなく、使用者に安全かつ安価に提供することが出来る等の多大な効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るペリクルの収納構造を示す縦断面説明図である。
【図２】図１の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図である。
【図３】従来例のペリクルの収納例を示す縦断面説明図である。
【図４】図３の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図である。
【図５】図３のペリクルの収納状態を示す要部の平面説明図である。
【符号の説明】
１        枠体                      ２      ペリクル膜
３        粘着材                    ４      保護フィルム
５        トレイ                    5a      設置面
5b        ポスト                    ６      フタ
6a        斜面                      ７      クリップ
８        粘着材
51        枠体                      52      ペリクル膜
53        粘着材                    54      保護フィルム
55        トレイ                    56      フタ
57        クリップ
【図１】
0003797753.tif 000002
【図２】
0003797753.tif 000003
【図３】
0003797753.tif 000004
【図４】
0003797753.tif 000005
【図５】
0003797753.tif 000006