(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小孔及び／又は表面の複雑な微細構造を有する被処理材に無電解めっきを施すための処理液を充填した複数の処理槽と、
上記複数の処理槽が収納される密閉可能な密閉チャンバーと、
この密閉チャンバー内を減圧状態にする減圧手段と、
上記被処理材を運搬する運搬手段とを備える液相表面処理装置が用いられ、
上記被処理材を脱脂処理液中に浸漬し、上記減圧手段によって上記密閉チャンバー内を減圧状態にして上記被処理材に脱脂処理を施し、
上記脱脂処理された被処理材を純水中に浸漬し、上記減圧手段によって上記密閉チャンバー内を減圧状態にして上記被処理材に第１の純水洗浄処理を施し、
上記第１の純水洗浄処理された被処理材を酸性溶液中に浸漬し、上記減圧手段によって上記密閉チャンバー内を減圧状態にして上記被処理材に酸洗浄処理を施し、
上記酸洗浄処理された被処理材をアルカリ溶液中に浸漬し、上記減圧手段によって上記密閉チャンバー内を減圧状態にして上記被処理材に中和処理を施し、
上記中和処理された被処理材をめっき液中に浸漬し、上記減圧手段によって上記密閉チャンバー内を減圧状態にして上記被処理材にめっき処理を施し、
上記めっき処理された被処理材を純水中に浸漬し、上記減圧手段によって上記密閉チャンバー内を減圧状態にして上記被処理材に第２の純水洗浄処理を施す
ことを特徴とする無電解めっき方法。
【請求項２】
上記密閉チャンバー内の減圧状態を保持したまま、上記運搬手段によって上記被処理材に上記脱脂処理、上記第１の純水洗浄処理、上記酸洗浄処理、上記中和処理、上記めっき処理、及び上記第２の純水洗浄処理を順次施すことを特徴とする請求項１に記載の無電解めっき方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、処理液に被処理材を浸漬させることで、被処理材に無電解めっきを施す無電解めっき方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液相による表面処理方法には、例えば、金属部品等の被処理材の表面に金属膜等を電気化学的に成膜形成するめっき方法、被処理材の表面に不動態化膜を成膜させる不動態化処理、被処理材に化成膜を成膜させる化成処理、或いは被処理材に液相状態で研磨を施す化学研磨処理等がある。
【０００３】
例えば、めっき方法は、セラミックやガラス、樹脂等の部品や金属製品等の被めっき材の耐食性、耐熱性や電磁気特性或いは装飾性等を高めるために、被めっき材の表面に金属めっき膜を成膜形成する方法である。めっき方法には、電解めっき方法と無電解めっき方法とがある。
【０００４】
無電解めっき方法は、無電解めっき液中で起こる酸化還元反応により生成する金属を被めっき材の表面に析出させる。無電解めっき液は、被めっき材の表面に析出させる金属の塩とその金属の塩を酸化させる還元剤とを含有する溶液である。無電解めっき方法では、無電解めっき液中に含有される金属の塩の種類によって、ニッケル、銅、金或いは銀等の金属めっき膜を被めっき材の表面に成膜形成するめっき処理を施すことができる。無電解めっき方法は、このようにめっき液中で起こる酸化還元反応により被めっき材の表面に金属めっき膜を成膜形成することから、比較的簡昜な装置によって行われる。
【０００５】
無電解めっき方法は、被めっき材とめっき液とが接触した被めっき材の表面に金属めっき膜が成膜形成されるため、被めっき材の表面にめっき液がよく行き渡るようにしてめっき欠けの発生を防止することが図られる。めっき液を行き渡らせる方法としては、例えば、めっき槽に攪拌羽根等を備える攪拌機構や超音波を発する超音波機構を備えめっき液を攪拌させる方法がある。無電解めっき方法は、金属以外にも樹脂やセラミック、ガラス等の様々な材質の表面に金属めっき膜を成膜形成することが可能であるといった特徴をもつ。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した無電解めっき方法では、被めっき材に微小孔いわゆる直径が数ミクロン単位の貫通孔や有底穴、或いは表面に複雑な微細構造を有する場合にめっき液に被めっき材を浸漬させると、微小孔や微細構造内の空気等の気体がめっき液によって閉じ込められてしまうことがある。そして、無電解めっき方法では、上述したようにめっき液を攪拌機構等で攪拌をしても、被めっき材の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡とめっき液との境界で作用する表面エネルギーによって、微小孔や微細構造内から気泡を除去することが困難であった。したがって、この無電解めっき方法では、微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡によって被めっき材の微小孔や微細構造の内面とめっき液とを接触させることが困難となり、微小孔や微細構造の内面にめっき欠けが発生してしまうことがあった。なお、上述した無電解めっき方法に限らず、他の液相による表面処理方法でも同様に皮膜欠けが発生してしまうことがある。
【０００７】
そこで、本発明は、被処理材に形成された微小孔や表面の複雑な微細構造の内面に皮膜欠けが発生すること防止し、均一な膜厚の被膜を被処理材に施すことを可能とする無電解めっき方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成する本発明にかかる無電解めっき方法は、微小孔及び／又は表面の複雑な微細構造を有する被処理材に無電解めっきを施すための処理液を充填した複数の処理槽と、複数の処理槽が収納される密閉可能な密閉チャンバーと、この密閉チャンバー内を減圧状態にする減圧手段と、被処理材を運搬する運搬手段とを備える液相表面処理装置が用いられ、被処理材を脱脂処理液中に浸漬し、減圧手段によって上記密閉チャンバー内を減圧状態にして被処理材に脱脂処理を施し、脱脂処理された被処理材を純水中に浸漬し、減圧手段によって密閉チャンバー内を減圧状態にして被処理材に第１の純水洗浄処理を施し、第１の純水洗浄処理された被処理材を酸性溶液中に浸漬し、減圧手段によって密閉チャンバー内を減圧状態にして被処理材に酸洗浄処理を施し、酸洗浄処理された被処理材をアルカリ溶液中に浸漬し、減圧手段によって密閉チャンバー内を減圧状態にして被処理材に中和処理を施し、中和処理された被処理材をめっき液中に浸漬し、減圧手段によって密閉チャンバー内を減圧状態にして被処理材にめっき処理を施し、めっき処理された被処理材を純水中に浸漬し、減圧手段によって密閉チャンバー内を減圧状態にして被処理材に第２の純水洗浄処理を施すことを特徴とする。
【０００９】
この無電解めっき方法によれば、処理槽が収納される密閉チャンバー内を減圧機構によって減圧状態にすることで、処理液に浸漬させた被処理材の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡の体積が大きくなることから、気泡の浮力が増して微小孔や微細構造の内面から気泡が除去され、被処理材の微小孔や微細構造の内面全面に処理液が接触するように処理液を行き渡らせることができる。したがって、無電解めっき方法によれば、脱脂処理、第１の純水洗浄処理、酸洗浄処理、中和処理、めっき処理、及び第２の純水洗浄処理の際、被処理材の微小孔や微細構造内の内面に皮膜欠けが発生することを防止し、均一な膜厚の被膜が成膜形成される。
【００１０】
また、本発明にかかる液相による無電解めっき方法は、密閉チャンバー内の減圧状態を保持したまま、運搬手段によって被処理材に脱脂処理、第１の純水洗浄処理、酸洗浄処理、中和処理、めっき処理、及び第２の純水洗浄処理を順次施すことを特徴とする。
【００１１】
この無電解めっき方法によれば、密閉チャンバー内の減圧状態を保持したまま、運搬手段によって被処理材に脱脂処理、第１の純水洗浄処理、酸洗浄処理、中和処理、めっき処理、及び第２の純水洗浄処理を順次施すことで、工程毎に減圧状態にして常圧状態に戻す作業を必要とせずに無電解めっきを施すことができる。したがって、製造工程が簡略され、製造コストの削減が図られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。実施の形態として示す液相による表面処理方法は、図１に示すように被処理材である被めっき材２に対してニッケルめっき膜３を無電解ニッケルめっき方法により成膜形成させる方法をである。被めっき材２は、微小孔いわゆる数ミクロン単位の貫通孔や有底孔、アンダーカット部又は表面が複雑な微細構造等を有する金属や樹脂、セラミック、ガラス等の部材からなる。
【００１３】
無電解めっき装置１は、めっき機構４と乾燥機構５とから構成されている。めっき機構４は、密閉チャンバー６と減圧ポンプ７と開閉弁８とから構成されている。密閉チャンバー６内には、被めっき材２にめっき処理を施すために複数の槽が設けられている。密閉チャンバー６には、具体的に脱脂槽９と、第１の純水洗浄槽１０と、酸洗浄槽１１と、中和槽１２と、めっき槽１３と、第２の純水洗浄槽１４とが備えられている。なお、密閉チャンバー６は、各工程ごとに設けて各処理を行うことも可能である。
【００１４】
脱脂槽９には、被めっき材２の表面に付着している油分を除去することが可能な脱脂液１５が充填されている。脱脂槽９は、被めっき材２を脱脂液１５に浸漬させることで、被めっき材２の表面に付着する油分を除去する。
【００１５】
第１の純水洗浄槽１０には、被めっき材２の表面に残留する脱脂液１５を洗浄する純水１６が充填されている。第１の純水洗浄槽１０では、被めっき材２を純水１６に浸漬させることで、被めっき材２の表面に付着した脱脂液１５を除去する。
【００１６】
酸洗浄槽１１には、被めっき材２の表面に付着している酸化皮膜等の化学反応により吸着している汚れの除去を可能とする酸性溶液１７が充填されている。酸洗浄槽１１では、被めっき材２を酸性溶液１７に浸漬させることで、被めっき材２の表面に付着している酸化皮膜等を除去する。
【００１７】
中和槽１２には、被めっき材２の表面に残留する酸性溶液１７を中和するためのアルカリ溶液１８が充填されている。中和槽１２では、被めっき材２をアルカリ溶液１８に浸漬させることで、被めっき材２の表面に付いている酸性溶液１７を中和する。
【００１８】
めっき槽１３には、ニッケルを析出して被めっき材２の表面にニッケルめっき膜３を成膜形成することが可能な無電解ニッケルめっき液１９が充填されている。無電解ニッケルめっき液１９には、塩化ニッケル等の金属の塩と次亜リン酸ナトリウム等の還元剤とを含む混合溶液を用いる。めっき槽１３は、被めっき材２を無電解ニッケルめっき液１９に浸漬させることで、被めっき材２の表面にニッケルめっき膜３を成膜成形する。
【００１９】
第２の純水洗浄槽１４には、被めっき材２の表面に残留する無電解ニッケルめっき液１９を洗浄するために、第１の純水洗浄槽１０に充填されている純水１６と同様の純水１６が充填されている。第２の純水洗浄槽１４は、ニッケルめっき膜３を成膜形成した被めっき材２を純水１６に浸漬させることで、被めっき材２の表面に残留する無電解ニッケルめっき液１９を除去する。
【００２０】
上述した各槽には、それぞれ充填された溶液の濃度を均一に保ち、また溶液や純水１６が被めっき材２の表面に十分接触するようにするため、溶液や純水１６を攪拌させるための攪拌羽根２０ａを有する攪拌機構２０や超音波による振動によって攪拌させる超音波機構２１が備えられている。また、めっき槽１３には、めっき槽１３内に充填された無電解ニッケルめっき液１９の液温を９０〜１００℃の範囲に保つための加熱機構２２が備えられている。
【００２１】
密閉チャンバー６は、減圧ポンプ７を駆動し、開閉弁を調節することにより内部の気体を排気させることで減圧状態とされる。
【００２２】
開閉弁８は、減圧ポンプ７と密閉チャンバー６との間で接続管２３ａ、２３ｂによって接続されている。開閉弁８は、密閉チャンバー６と作動している減圧ポンプ７とを接続管２３ａ、２３ｂを介して連通するように開放操作することで、密閉チャンバー６内を減圧状態にする。また、開閉弁８は、密閉チャンバー６が所定の減圧状態に達した際に密閉チャンバー６と減圧ポンプ７とを遮断するように閉口操作することで、密閉チャンバー６内の圧力を一定の減圧状態に保持する。開閉弁８は、密閉チャンバー６と外部とを接続管２３ａを介して連通するように開放操作することで、密閉チャンバー６内の圧力を常圧状態にする。
【００２３】
乾燥機構５は、密閉チャンバー６の外部に設けられており、例えば清浄エアーブローや加熱乾燥炉等を用いることで、めっき処理が施された被めっき材２の表面に残留する水分を除去する。
【００２４】
上述した構成の無電解めっき装置１では、図２に示すように、被めっき材２にめっき処理を施す際に密閉チャンバー６内の圧力を減圧状態にすることで、被めっき材２の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡２４の除去を行う。
【００２５】
具体的に、無電解めっき装置１は、図２（Ａ）に示すように、減圧前の密閉チャンバー６内において、被めっき材２を無電解ニッケルめっき液１９に浸漬させると、被めっき材２の微小孔や微細構造内に気泡２４が閉じ込められてしまう。次に、無電解めっき装置１では、図２（Ｂ）に示すように、密閉チャンバー６内を減圧することによって、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａに閉じ込められた気泡２４の体積が増加する。次に、無電解めっき装置１では、図２（Ｃ）に示すように、被めっき材２の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡２４の体積が増加することによって浮力が増し、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａから気泡が離脱する。次に、無電解めっき装置１では、図２（Ｄ）に示すように、被めっき材２の微小孔や微細構造内から気泡２４が除去される。したがって、無電解めっき装置１では、めっき槽１３において被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａ全面に無電解ニッケルめっき液１９が接触するように無電解ニッケルめっき液１９を行き渡らせることができる。
【００２６】
同様に、無電解めっき装置１では、被めっき材２にめっき処理を施す前の被めっき材２に脱脂、洗浄を行う際にも密閉チャンバー６内の圧力を減圧状態にする。  無電解めっき装置１では、例えば被めっき材２の表面を脱脂槽９で脱脂する場合、図３（Ａ）に示すように、減圧前の密閉チャンバー６内において、脱脂液１５に浸漬させた被めっき材２の微小孔や微細構造内の気体が脱脂液１５によって閉じ込められてしまう。次に、無電解めっき装置１では、図３（Ｂ）に示すように、密閉チャンバー６を減圧することによって、被めっき材２の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡２４の体積が増加する。そして、無電解めっき装置１では、図３（Ｃ）に示すように、被めっき材２の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡２４の体積が増加することによって浮力が増し、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａから離脱するとともに油脂２５も除去される。次に、無電解めっき装置１では、図３（Ｄ）に示すように、被めっき材２の微小孔や微細構造内から気泡２４が離脱する。これにより、無電解めっき装置１では、脱脂槽９において、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａ全面を適切に洗浄することが可能であり、微小孔や微細構造の内面２ａに付着している油脂２５も除去される。
【００２７】
次に、上述した無電解めっき装置１を用いた無電解ニッケルめっき方法について説明する。上述した無電解めっき装置１を用いた無電解ニッケルめっき方法は、図４に示すように、脱脂工程Ｓ１と、第２の純水洗浄工程Ｓ２と、酸洗浄工程Ｓ３と、中和工程Ｓ４と、めっき処理工程Ｓ５と、第２の純水洗浄工程Ｓ６と、乾燥工程Ｓ７とを有する。
【００２８】
先ず、被めっき材２には、脱脂工程Ｓ１が施される。脱脂工程Ｓ１では、被めっき材２に脱脂を施す際は、脱脂槽９に充填されている脱脂液１５に被めっき材２を浸漬させる。脱脂液１５には、アセトンやメタノール等の有機溶媒、洗剤等の脱脂液を用いる。次に、脱脂工程Ｓ１では、被めっき材２が浸漬されている脱脂液１５に超音波機構２１による周波数２０ＫＨｚ乃至５０ＫＨｚの超音波と攪拌機構２０による回転数５回／分の攪拌を加えながら、密閉チャンバー６と減圧ポンプ７とを接続管２３ａ、２３ｂを介して連通するように開閉弁８を開放操作して密閉チャンバー６内の圧力を大気圧に対して１Ｐａ以下の減圧状態にする。このとき、脱脂工程Ｓ１では、密閉チャンバー６内を減圧することで被めっき材２の微小孔や微細構造物内に閉じ込められた気泡２４が除去される。
【００２９】
次に、脱脂工程Ｓ１では、密閉チャンバー６と外部とを接続管２３ａを介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内の圧力を常圧状態に戻す。次に、被めっき材２は、脱脂液１５から取り出される。このようにして、脱脂工程Ｓ１では、被めっき材２に付着している油脂２５を除去する。
【００３０】
次に、被めっき材２には、第１の純水洗浄工程Ｓ２を施す。第１の純水洗浄工程Ｓ２では、被めっき材２に純水洗浄を行う際に、第１の純水洗浄槽１０に充填されている純水１６に被めっき材２を浸漬させる。次に、第１の純水洗浄工程Ｓ２は、被めっき材２を浸漬させている純水１６に超音波機構２１による周波数２０乃至５０ＫＨｚの超音波と攪拌機構２０による回転数６０回／分の攪拌を加えながら、密閉チャンバー６と減圧ポンプ７とを接続管２３ａ、２３ｂを介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内の圧力を大気圧に対して１Ｐａ以下の減圧状態にする。このとき、第１の純水洗浄工程Ｓ２では、被めっき材２の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡２４が除去されるとともに、微小孔や微細構造の内面２ａ付着する前脱脂工程Ｓ１で用いた脱脂液１５が押し出される。
【００３１】
次に、第１の純水洗浄工程Ｓ２では、密閉チャンバー６と外部とを接続管２３ａを介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内の圧力を常圧状態に戻す。次に、被めっき材２は、純水１６から取り出される。このようにして、第２の純水洗浄工程Ｓ２では、被めっき材２に付着する脱脂液１５を除去する。
【００３２】
次に、被めっき材２には、酸洗浄工程Ｓ３を施す。酸洗浄工程Ｓ３では、被めっき材２に酸洗浄を行う際に、酸洗浄槽１１に充填されている酸性溶液１７に被めっき材２を浸漬させる。酸性溶液１７には、塩酸１０％と硫酸１０％の混合溶液を用いる。次に、酸洗浄工程Ｓ３では、被めっき材２を浸漬させている酸性溶液１７に超音波機構２１による周波数２０〜４０ＫＨｚの超音波と攪拌機構２０による６０回／分の攪拌とを加えながら、密閉チャンバー６と減圧ポンプ７とを接続管２３を介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内の圧力を大気圧に対して１Ｐａ以下の減圧状態にする。このとき、酸洗浄工程Ｓ３では、被めっき材２の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡２４が除去されるとともに、前第１の純水洗浄工程Ｓ２で用いた純水１６が押し出される。
【００３３】
次に、酸洗浄工程Ｓ３では、密閉チャンバー６と外気とを接続管２３ａを介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内を常圧状態に戻す。次に、被めっき材２は、酸性溶液１７から取り出される。このようにして、酸洗浄工程Ｓ３では、被めっき材２に付着している酸化被膜を除去する。
【００３４】
次に、被めっき材２には、中和工程Ｓ４を施す。中和工程Ｓ４では、被めっき材２に中和を行う際に、中和槽１２に充填されているアルカリ溶液１８に被めっき材２を浸漬させる。アルカリ溶液１８は、５乃至１０％のアルカリ溶液１８を用いる。次に、中和工程Ｓ４では、常温下で、超音波機構２１による周波数２０乃至１００ＫＨｚの超音波と攪拌機構２０による回転数６０回／分の攪拌を加えながら、密閉チャンバー６と減圧ポンプ７とを接続管２３を介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内の圧力を大気圧に対して１Ｐａ以下の減圧状態にする。このとき、中和工程Ｓ４では、被めっき材２の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡２４が除去されるとともに、前酸洗浄工程Ｓ３で用いた酸性溶液１７が押し出される。
【００３５】
次に、中和工程Ｓ４では、密閉チャンバー６と外部とを接続管２３ａを介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内の圧力を常圧状態に戻す。次に、被めっき材２は、アルカリ溶液１８から取り出される。このようにして、中和工程Ｓ４では、被めっき材２に付着している酸性溶液１７を中和する。
【００３６】
次に、被めっき材２には、めっき処理工程Ｓ５を施す。めっき処理工程Ｓ５では、被めっき材２にめっき処理を行う際に、無電解ニッケルめっき液１９に被めっき材２を浸漬させる。無電解ニッケルめっき液１９には、塩化ニッケル等のニッケル塩を含む水溶液と次亜リン酸ナトリウム等の還元剤とを混合した混合溶液等、一般的な無電解ニッケルめっき液１９を用いる。次に、めっき処理工程Ｓ５では、加熱機構２２によって無電解ニッケルめっき液１９を９０〜１００℃に保ちながら、攪拌機構２０による回転数３０回／分の攪拌を加える。次に、めっき処理工程Ｓ５では、密閉チャンバー６と減圧ポンプ７とを接続管２３ａ、２３ｂを介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内の圧力を大気圧に対して１Ｐａ以下の減圧状態にする。このとき、めっき処理工程Ｓ５では、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａに付着していた気泡２４が除去されるとともに、前中和工程Ｓ４で用いたアルカリ溶液１８が押し出される。
【００３７】
次に、めっき処理工程Ｓ５では、密閉チャンバー６と外部とを接続管２３ａを介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内を常圧状態に戻す。次に、被めっき材２は、無電解ニッケルめっき液１９から取り出される。
【００３８】
このようにして、めっき処理工程Ｓ５では、図５に示すように、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａにめっき欠けが発生することを防止し、均一な膜厚のニッケルめっき膜３が成膜形成される。
【００３９】
次に、被めっき材２には、第２の純水洗浄工程Ｓ６を施す。第２の純水洗浄工程Ｓ６では、被めっき材２に純水洗浄を行う際に、純水１６に被めっき材２を浸漬させる。次に、第２の純水洗浄工程Ｓ６では、常温中で超音波機構２１による周波数２０乃至１００ＫＨｚの超音波と攪拌機構２０による回転数６０回／分の攪拌を加えながら、密閉チャンバー６と減圧ポンプ７とを接続管２３ａ、２３ｂを介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内の圧力を大気圧に対して１Ｐａ以下の減圧状態にする。このとき、第２の純水洗浄工程Ｓ６では、被めっき材２の微小孔や微細構造内に閉じ込められていた気泡２４が除去されるとともに、前めっき処理工程Ｓ５で用いた無電解ニッケルめっき液１９が押し出される。
【００４０】
次に、第２の純水洗浄工程Ｓ６では、密閉チャンバー６と外気とを接続管２３ａを介して連通するように開閉弁８を開放操作して、密閉チャンバー６内の圧力を常圧状態に戻す。次に、被めっき材２は、純水１６から取り出される。このようにして、第２の純水洗浄工程Ｓ６では、ニッケルめっき膜３が施された被めっき材２を純水洗浄することができる。
【００４１】
次に、被めっき材２には、乾燥工程Ｓ７を施す。乾燥工程Ｓ７を被めっき材２に施す際は、乾燥機構５に設けられた清浄エアーブローによってドライエアを被めっき材２に吹き付ける。乾燥工程Ｓ７では、常温、常圧中で、被めっき材２に付着している水分を除去する。次に、被めっき材２は、乾燥機構５から取り出される。以上のようにして、無電解めっき装置１では、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａにめっき欠けが発生することを防止し、均一な膜厚のニッケルめっき膜３を成膜成形することができる。
【００４２】
上述した、無電解ニッケルめっき方法では、密閉チャンバー６内を減圧ポンプ７によって減圧状態してめっき処理工程Ｓ５を行うことにより、無電解ニッケルめっき液１９に浸漬させた被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａから気泡２４が除去され、被めっき材２の微小孔や微細構造内にまで無電解ニッケルめっき液１９を行き渡らせることができる。したがって、無電解ニッケルめっき方法では、被めっき材の微小孔や微細構造の内面２ａにめっき欠けが発生することを防止し、均一な膜厚のニッケルめっき膜３を成膜形成することができる。
【００４３】
また、無電解ニッケルめっき方法は、めっき処理工程Ｓ５を行う前に脱脂工程Ｓ１から中和工程Ｓ４を密閉チャンバー６内を減圧ポンプ７によって減圧状態にして行うことにより、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａから気泡が除去され、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａ全面に洗浄液や純水を行き渡らせることができる。これにより、無電解ニッケルめっき方法は、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａ全面を洗浄する。
【００４４】
したがって、無電解ニッケルめっき方法によれば、被めっき材２の微小孔や微細構造の内面２ａ全面を洗浄することが可能であり、微小孔や微細構造の内面２ａに付着している不要物が除去されることから、微小孔や微細構造の内面２ａとその内面２ａに成膜形成されたニッケルめっき膜との結合が強固にされる。
【００４５】
なお、上述した実施の形態において、被めっき材２にめっき処理を施すために無電解ニッケルめっき液１９を用いたが、このことに限定されることなく、無電解銅めっき液、無電解金めっき液、無電解銀めっき液及び無電解コバルトめっき液等を用いてもよい。
【００４６】
また、無電解ニッケルめっき方法は、各槽間を連結させて被めっき材２を移動させる自動運搬機構を利用して、各工程を被めっき材２に施すことにより、各工程毎の減圧状態にして常圧状態に戻す作業を行わず、大気圧に対して１Ｐａ以下の減圧状態を保持したままで各工程を行える。これにより、無電解ニッケルめっき方法は、製造工程が簡略化され、製造コストの削減が図られる。
【００４７】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように本発明によれば、被処理材に被膜を成膜形成する際に、減圧手段によって処理槽が収納されている密閉チャンバー内を減圧状態にすることにより、被処理材の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡を除去できる。したがって、本発明によれば、脱脂処理、第１の純水洗浄処理、酸洗浄処理、中和処理、めっき処理、及び第２の純水洗浄処理の際、被処理材の微小孔や微細構造内の内面に皮膜欠けが発生することを防止し、均一な膜厚の被膜を得ることができる。
【００４８】
また、本発明によれば、被処理材を処理槽に供給する前工程とする洗浄工程においても、減圧手段によって洗浄槽が収納された密閉チャンバー内を減圧状態にすることにより、被処理材の微小孔や微細構造内に閉じ込められた気泡や微小孔や微細構造の内面に付着した汚れ等を除去できる。したがって、本発明では、被処理材の微小孔や微細構造の内面全面に洗浄液が接触するように洗浄液を行き渡らせることで、微小孔や微細構造の内面とその内面に成膜形成された金属めっき膜との結合が強固にされる。また、密閉チャンバー内の減圧状態を保持したまま、運搬手段によって被処理材に脱脂処理、第１の純水洗浄処理、酸洗浄処理、中和処理、めっき処理、及び第２の純水洗浄処理を順次施すことで、工程毎に減圧状態にして常圧状態に戻す作業を必要とせずに無電解めっきを施すことができる。したがって、製造工程が簡略され、製造コストを削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明にかかる無電解ニッケルめっき方法に用いる無電解めっき装置の模式図である。
【図２】めっき工程における被めっき材のや微細構造の断面図であり、同図（Ａ）は、チャンバー内の圧力が常圧状態における被めっき材の微小孔や微細構造内の断面図であり、同図（Ｂ）は、被めっき材の微小孔や微細構造の気泡の体積が増加した断面図であり、同図（Ｃ）は、気泡が離脱した被めっき材の微小孔や微細構造の断面図であり、同図（Ｄ）は、無電解ニッケルめっき液が入り込んだ被めっき材の微小孔や微細構造の断面図である。
【図３】脱脂浄工程における被めっき材の微小孔や微細構造の断面図であり、同図（Ａ）は、密閉チャンバー内の圧力が常圧状態における微小孔や微細構造内の断面図であり、同図（Ｂ）は、減圧による微細孔内の気泡の断面図であり、同図（Ｃ）は、気泡が離脱した被めっき材の微小孔や微細構造の断面図であり、同図（Ｄ）は、脱脂液が入り込んだ被めっき材の微小孔や微細構造の断面図である。
【図４】本発明にかかる無電解ニッケルめっき方法のフローチャートである。
【図５】ニッケルめっき膜が成膜された被めっき材の微小孔や微細構造の断面図である。
【符号の説明】
１  無電解ニッケルめっき装置、２  被めっき材、３  ニッケルめっき膜、４めっき機構、５  乾燥機構、６  密閉チャンバー、７  減圧ポンプ、８  開閉弁、９  脱脂槽、１０  第１の純水洗浄槽、１１  酸洗浄槽、１２  中和槽、１３  めっき槽、１４  第２の純水洗浄槽、１５  脱脂液、１６  純水、１７  酸性溶液、１８  アルカリ溶液、１９  無電解ニッケルめっき液、２０  攪拌機構、２１  超音波機構、２２  加熱機構、２３  接続管、２４  気泡、２５  油脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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