(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料室と画像検出部にそれぞれ真空排気管を接続すると共に、該試料室と画像検出部を連絡する電子イメージ拡大装置部分の電子走行通路における対物レンズの下流位置に前記電子走行通路を遮断したり開放する弁体を備えた第１のセパレートバルブを設け、該第１のセパレートバルブが前記弁体の上流に真空通路を開口していて、該開口に前記試料室に接続される真空排気管が接続されていることを特徴とするＸ線顕微鏡の真空システム。
【請求項２】
前記電子走行通路の入口に位置する電子加速領域に面して設けられる試料スライドを取付ける試料ホルダーの前記電子加速領域に露出する外部と試料スライドの上流側近傍位置の間を結ぶ通気孔を設けたことを特徴とする請求項１記載の真空システム。
【請求項３】
前記試料ホルダーを支持する試料ステージの前記電子走行通路の入口に位置する電子加速領域と前記試料室の間を仕切るフランジ部分に通気孔を設けたことを特徴とする請求項１記載の真空システム。
【請求項４】
前記試料室の前記電子イメージ拡大装置と対向する位置に電子銃装置を備え、該電子銃の放出電子案内管の中間に該放出電子案内管を遮断したり開放する弁体を備えた第２のセパレートバルブを設け、該第２のセパレートバルブが前記弁体の上流に真空通路を開口していることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の真空システム。
【請求項５】
前記第１のセパレートバルブは前記弁体を駆動する駆動装置を備え、該駆動装置が前記弁体を電子走行通路もしくは電子案内管の軸に垂直な方向に駆動し軸位置に近づくにつれて徐々に該弁体を弁座に押付けることにより該電子走行通路もしくは電子案内管を遮断するものであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の真空システム。
【請求項６】
前記第２のセパレートバルブは前記弁体を駆動する駆動装置を備え、該駆動装置が前記弁体を電子走行通路もしくは電子案内管の軸に垂直な方向に駆動し軸位置に近づくにつれて徐々に該弁体を弁座に押付けることにより該電子走行通路もしくは電子案内管を遮断するものであることを特徴とする請求項４または５に記載の真空システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線を照射して形成される陰影に対応して発生する電子像を観察するようにした新規のＸ線顕微鏡における真空システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、Ｘ線顕微鏡は、波長が短く透過力の強いＸ線を光源として物体の形状や内部微細構造等の情報を得ることができる測定器として重用されてきた。しかし、Ｘ線拡大光学系の焦点距離が長くなるため装置が大きくなり、また像拡大率を任意に調整できないなどの問題があった。
また、点光源の近くに試料を置いてＸ線の投影像を観察するＸ線顕微鏡では、Ｘ線源の大きさに起因する半影ぼけと試料による回折ぼけを避けることができないため、分解能に限界がある。
【０００３】
従来のＸ線顕微鏡の欠点を克服するため、本願出願人は既に特願２００１−２３５６７８により、光電変換面に試料を密着させて背後からＸ線を照射し光電変換面から発生する電子を引き出し拡大して電子検出素子面に結像させて可視像として提示する新しい形式のＸ線顕微鏡装置を開示している。
開示されたＸ線顕微鏡では、図８の原理説明図に示すように、光電変換面に近接して試料を配置してＸ線を照射し、試料を透過したＸ線を電子に変換し、高い電場を発生して電子を引出し加速して、対物レンズ磁場と投射レンズ磁場を備えた電子イメージ拡大装置により拡大して電子線検出素子面に投影し、可視像化するものである。このようにして、リアルタイムで高感度・高分解能のＸ線透過像を得ることができる。
【０００４】
開示装置は、十分収束力のある電子イメージ拡大装置を使用するため装置全体が小型になり、試料を光電変換面に密着してセットするのでぼけのないＸ線透過像を得ることができる。
また、開示装置では試料を透過したＸ線を光電変換素子で電子に変換するので、Ｘ線吸収能の差を反映した濃淡画像を作成することができ、また軟Ｘ線による観察も可能である。このため、取得するＸ線像の情報量が格段に増大し、また生物の生体観察を行うこともできるようになった。
さらに、電子イメージ拡大装置は、電磁コイルの電流を調整することにより画像倍率を連続的に変更することができるので、微細な対象を観察する場合にも低い倍率で目標位置を確認してから倍率を上げて目的の画像を得るようにすれば小さな対象を的確にとらえて観察することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記開示Ｘ線顕微鏡では、試料室の端の電子イメージ拡大装置の前面に試料を載置する試料スライドを設置する。試料スライドの電子放出面から下流は電子が走行する領域であるため、装置内を極めて高いたとえば１０−７Torr程度の真空に維持する必要がある。なお、試料スライド上流のＸ線の走行する領域は１０−４Torr程度の真空であればよい。
しかし、試料スライドは、コロジオンなどの薄い基板に金薄膜やヨウ化セシウム薄膜などの光電変換面を積層したもので極めて弱いため、試料スライドを挟んで圧力差が大きいと簡単に破損してしまう。したがって、試料スライドを保護するためにＸ線顕微鏡装置全体を同じ真空度に保持する必要がある。
【０００６】
しかも、電子走行領域は電磁レンズの作用を強化するため極めて細い導管で形成される上、観察する試料は試料室を大気に開放して交換するため、ターボ分子ポンプなど高真空装置を使用し長時間掛けて真空化する必要がある。
このように、試料交換の度に装置内を大気圧から高真空まで引く手間と時間は、装置利用の利便性に対する重大な阻害要因になっている。
さらに、試料スライドを挟んだ圧力差を精密に管理しながら真空引きするには、極めて高度な熟練が要求される。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、試料交換やメンテナンス時に速やかに高真空を回復することができ、かつ、真空度調整過程において薄い試料スライドの保護ができるような、Ｘ線顕微鏡装置の真空システムを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、Ｘ線を照射して形成される陰影に対応して発生する電子像を観察するようにした新規のＸ線顕微鏡に使用する本発明の真空システムは、試料室と画像検出部にそれぞれ別個に真空排気管を接続すると共に、試料室と画像検出部を連絡する電子イメージ拡大装置部分の電子走行通路における対物レンズの下流位置に前記電子走行通路を遮断したり開放する弁体を備えたセパレートバルブを設けることを特徴とする。セパレートバルブは、弁体の上流に真空通路を開口していて、この開口に試料室に接続される真空排気管が接続されている。
【０００８】
本発明の真空システムを用いて、一旦高真空にした装置内部をセパレートバルブのところで遮断すれば、試料室を開放して試料を交換する間も下流側の投射レンズ部分と画像検出部の真空を維持することができ、この部分について再度真空化する必要がない。
また、新しい試料を電子加速空間に面するようにセットした後、試料室を閉じて真空装置を働かせて試料室を真空にすると、同時に試料スライドの下流側における電子が存在する空間がセパレートバルブの弁体の上流から同じ真空装置に引かれて真空化する。
電子加速空間とセパレートバルブを繋ぐ電子走行通路はたとえば直径４ｍｍなどと極めて細いが、従前より距離が短くなっているので比較的容易に真空化することができる。
【０００９】
なお、セパレートバルブは、弁体駆動装置が弁体を電子走行軸に対し垂直方向に駆動し、弁体が軸位置に近づくと、その後徐々に弁体を弁座に押付けて通路を遮断するように構成したものであってもよい。
このような構成では、弁体を単に往復動させるだけで作動するので、弁体駆動装置の構造が単純になり、装置価格や運転保守のコストを抑えることができる。
【００１０】
また、電子走行通路の入口に電子加速領域に面して試料スライドを取付けるが、この試料スライドを支持する試料ホルダーに通気孔を設けることが好ましい。通気孔は、試料ホルダーの電子加速領域に露出する外部と試料スライドの上流側近傍位置の間を結ぶように設ける。
試料スライドは極めて薄く弱いため、試料室と電子加速空間の間に真空差があったり、特に試料室と電子加速空間を真空に引くときに試料スライドの前面と後面の間に差圧が生じたりすると簡単に破損する。しかし、両者の間に通気孔を設けて大きな圧力差が印加しないようにすることにより、試料スライドの破損を免れることができる。
【００１１】
さらに、試料ホルダーを支持する試料ステージは電子加速空間と試料室の間を仕切るフランジを有するが、このフランジ部分に両者を通気する通気孔を設けることが好ましい。
電子加速空間は電子が走行するため高真空にする必要があるが、セパレートバルブを経由して真空配管に接続しただけでは、セパレートバルブとの間に極めて細い配管が存在するため効果的に真空化することが難しい。
しかし、試料室との間に通気孔を設けると試料室側から真空に引く経路が加わるので、電子加速空間を効果的に真空化することができる。なお、試料ステージのフランジ部分には十分大きなスペースがあり、また肉厚も小さいので、十分大きな径で短い通気孔をうがつことでき、真空加速度は格段に大きくなる。
【００１２】
また、試料室の電子イメージ拡大装置と対向する位置に電子銃装置を備えて、電子イメージ拡大装置のアライメントを電子銃から放出される電子ビームで行うようにした場合は、電子銃の放出電子案内管の中間に電子通路を遮断したり開放する弁体を備えた第２のセパレートバルブを設けることが好ましい。
この第２のセパレートバルブは、先に説明したセパレートバルブと同じ構造を有するもので、弁体は下流側に密着して管路を遮断し、弁体の上流に真空排気管を接続するようにする。
第２のセパレートバルブを使用することにより、試料室を開放するときにも電子銃内の真空を維持することができ、次の立上げにおける真空準備の時間を節約することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下実施例を用いて本発明を詳細に説明する。
本実施例の真空システムは、光電変換膜を表面に形成した試料スライドの裏面に近接して試料をセットし、背後からＸ線を照射したときに光電変換膜中に発生する電子を引き出し拡大して、画像検出部の電子検出素子面に結像させて可視像として提示するようにしたＸ線顕微鏡装置に適用する。
図１は、本実施例の真空システムの系統図、図２は本実施例に使用するセパレートバルブの構造を説明する概念図、図３はセパレートバルブの弁体部の分解斜視図、図４は電子加速領域部分の拡大断面図、図５は電子銃を取付けたＸ線顕微鏡に適用した場合の真空システム系統図である。
【００１４】
Ｘ線顕微鏡は、図１に示すように、レーザ発生装置１と試料室２と対物レンズ部３と投射レンズ部４と画像検出部５からなる。
レーザ装置１から放射されるレーザ光は試料室２の透明窓２１を透過してＸ線ターゲット２２に照射しＸ線を発生する。Ｘ線ターゲット２２は円柱または円板形状をしていて、必要に応じて回転や平行移動して新しい面にレーザ光を照射させるようになっている。フィルタ２３は発生したＸ線の波長を選択して試料に照射するために使用される。
試料は試料スライドに載置され、試料室２に設けられる試料ホルダー２４の先端にセットされる。Ｘ線は試料ホルダー２４の中心軸に設けた孔を通って試料に照射される。試料ホルダー２４は試料ステージ２５に支持されて試料の位置を調整することができるようになっている。
【００１５】
対物レンズ部３には、試料ホルダー２４の先端と対向する位置にアノード３１が設けられ、試料ホルダー２４との間に高電界を生成して試料スライドの光電変換面で発生する電子を引出し加速する電子加速空間３２が形成されている。
対物レンズ用コイル３３のポールピースの上極と下極をアノード３１の背面に配置し、電子加速空間３２に対物レンズを形成して、電子加速中に対物レンズの作用が及ぶようになっている。
また、電子の通路となるチューブが中心軸に沿って設けられている。
電子通路は、対物レンズ３と投射レンズ４の領域を貫いて、画像検出部５まで達しているが、チューブは薄壁を持ったたとえば孔径１０ｍｍ程度の細管で形成され、レンズの作用を損わないようにしている。なお、チューブの内側には電子が当ったときにＸ線が発生するのを防ぐためアルミニウムなどの低原子番号材料からなる筒を挿入するため、チューブの実効内径はさらに狭隘化してたとえば直径４ｍｍ程度になる。
【００１６】
電子通路の対物レンズ部３と投射レンズ部４を仕切る位置にセパレートバルブ３５が設けられ、電子通路用チューブは対物レンズ部３のチューブ３４と投射レンズ部４のチューブ４５に分割されている。
セパレートバルブ３５は、運転中は弁体を電子通路から退かせて導通させ、休止中は投射レンズ部４のチューブ４５の入口を塞いで電子通路を遮断して画像検出部５の真空が低下しないように維持する。
投射レンズ部４にはポールピースの空隙４１，４３を有する２個のコイル４２，４４が設置されていて、それぞれレンズ効果を呈する。
【００１７】
画像検出部５には、Ｘ線を照射して得た光電変換面上の電子像を可視化するための可視化装置５１が設けられている。また、電子通路の途中に第１偏向コイル５２と第２偏向コイル５３が設けられていて、目的に応じて電子流の方向を選択して必要な画像検出素子を切替えることができる。
試料室２は、ターボ分子ポンプ６１とロータリーポンプ６２を直列に接続した高真空生成装置に真空配管６３で接続されている。この真空配管６３は同時にセパレートバルブ３５に接続されている。
また、画像検出部５は同様にターボ分子ポンプ６４とロータリーポンプ６５を直列に接続した別の真空生成装置に真空配管６６で接続されている。
【００１８】
セパレートバルブ３５は、図２および図３に示すように、筐体１０１に弁体１０２を組込んだ装置で、筐体１０１には上流と下流の電子通路に開口する穴１０３，１０４と真空配管に接続する排気口１０５が付いている。また、駆動機１０６が設けられ、弁軸１０７を介して弁体１０２を中心軸に向って往復動させる。
装置の運転中は、弁体１０２は図中点線で示すように中心軸位置から後退して上流と下流の開口を連続させるので、対物レンズ部３から入射する電子は自由に下流の投射レンズ部４に進入することができる。また、装置が休止しているときは、弁体１０２が中心軸位置に押出されて投射レンズ側の開口１０３を塞いで、画像検出部５と投射レンズ部４の真空が低下することを防ぐ。
弁体１０２は、弁軸１０７の先端に設けた枠体１０８に嵌め込まれる突起１０９を有し、突起１０９の側部に設けたピン１１０が枠体１０８の側帯に斜めに設けられた長穴１１１に嵌合するようになっている。
【００１９】
弁体１０２が弁軸１０７により中心軸方向に押出されて、ストッパー１１２に当ると、その後はピン１１０が長穴１１１に案内されて中心軸に沿って開口１０３の方向に移動し、投射レンズ部４に繋がる開口１０３を塞ぐことができる。弁体１０２が開口１０３の弁座１１３に当接する部分にはＯリング１１４が設けられていて、高い気密を維持することができる。
このように、セパレートバルブ３５は、簡単な機構を用いて駆動機１０６で弁軸１０７を往復動させるだけで、電子通路を開閉すると共に、閉鎖時には下流側開口を気密に封鎖することができる。
【００２０】
また、図４に示すように、本実施例の真空システムでは、Ｘ線顕微鏡の電子加速空間領域に真空を流通させる通気孔を設けて、試料の差替え時などに電子加速空間を迅速に真空化して立上げに要する時間を短縮すると共に、試料スライドを挟んで大きな圧力差が生ずるのを防いでスライドの保護をする。
電子加速空間３２は、試料室２の筐体の仕切壁１２１、試料ステージ２５、試料ホルダ２４、アノード３１により囲まれた空間である。
試料ホルダ２４は中心軸に沿ってＸ線が通過する孔１２２が設けられていて、先端に試料スライド１２３を固定することができるようになっている。
試料スライド１２３は、Ｘ線を透過するコロジオン膜などの薄い基板の上に導電性のある金と光電変換性能のよいヨウ化セシウムなどからなる２重薄膜層を蒸着して形成したもので、Ｘ線透過薄膜の上に観察する試料を載せて、試料を載せた面がＸ線が入射する側に来るようにセットする。
【００２１】
仕切壁１２１とコイル３３を取囲むヨーク１２４の間にアノード３１のフランジ部分が挟持されている。アノード３１は壺形の凹みを有し、試料ホルダ２４の間に適当な距離をとって両者間に高電圧を掛けて電子を加速する電界を発生させる。アノード３１の底面の中心には電子通路となるチューブ３４が繋がっている。チューブ３４の入口にはアパーチャホルダ１２５が挿嵌されている。
コイル３３のヨーク１２４には電子加速空間３２を取囲む環状のスリットが形成され、その上極ポールピース１２６と下極ポールピース１２７の間に磁束が漏れだして、電子加速空間３２に電子に対する対物レンズ効果を呈する磁場を形成する。
【００２２】
試料ホルダー２４の先端に把持される試料スライド１２３の上流に通気孔１２８が１個以上の適当数設けられていて、試料スライド１２３の上下で圧力差が減少するようになっている。
また、試料ステージ２５のフランジ部分には、電子加速空間３２と試料室２の間を連絡する通気孔１２９が１個以上の適当数設けられていて、電子加速空間３２の気体を試料室２から吸引できるようになっている。
【００２３】
本実施例の真空システムによれば、装置内を高真空に維持して電子像を観測した後、試料を交換しようとするときは、セパレートバルブ３５を閉じて画像検出部５側の真空を維持したまま、試料室２を大気開放する。すると、電子加速空間３２内の真空も通気孔１２９を通って大気に戻るので、試料スライド１２３の前後もほぼ同時に増圧して差圧が過大になることがない。
試料スライド１２３の上流側は細管１２２に繋がっているためこれだけでは圧力の増加速度が制約されるが、これとは別に電子加速空間３２に直接繋がる通気孔１２８があるため、増圧過程を通して試料スライドの両面にほぼ等圧が掛るようになり、試料スライド１２３の破損を回避することができる。
なお、画像検出部５に繋がる真空ポンプ６４，６５は、随時運転して画像検出部５内の真空を維持するようにする。
【００２４】
また、新しい試料について測定をしようとするときには、取出した試料ホルダー２４の試料を取替え試料ステージ２５にセットし試料室２を密閉してから、真空生成装置６１，６２を稼動させて真空引きする。
このとき、試料室２と同時にセパレートバルブ３５を通じて真空引きするので、たとえば４ｍｍ程度の内径しかないチューブ３４の中も比較的迅速に試料室２と同じ真空にすることができる。また電子加速空間３２はチューブ３４の他に通気孔１２８，１２９を介して気体が吸引されるので、能率よく真空化することができる。
しかも、試料スライド１２３の両面に掛る圧力は通気孔１２８のため真空吸引過程中でも殆ど差が生じないので、試料スライド１２３が破損することがない。
試料室２側の真空度が画像検出部５側の真空度とほぼ一致するところまで到達したら、セパレートバルブ３５を開放して測定を開始することができる。
【００２５】
本実施例の真空システムでは、運転再開に際してＸ線顕微鏡系内を全て真空化するのではなく、大きな部分の真空を保持しながら最小限の領域のみを真空化するだけですむので、装置の運転ができるようになるまでの準備時間を大きく節減することができ、効率的な運転が可能になる。
なお、上記に、セパレートバルブの構造の１例を説明したが、管路を開閉すると共に閉止中に一方側と真空通路を維持するような構造であれば利用できるので、たとえば、弁体を斜行させて弁座を塞ぐようにする構造など、例示したもの以外にも各種あることはいうまでもない。
また、試料室と電子加速空間との通気孔は、試料スライドに限らず、仕切壁中に設けるなどしてもよい。
【００２６】
図５は、装置の調整のために、試料室の他端に電子銃を取付けたときの真空システムを示すブロック図である。
Ｘ線顕微鏡は、電子加速空間における電界と、対物レンズ３と投射レンズ４からなる電子イメージ拡大機構における試料の位置と画像検出素子の位置関係を含めたアライメントを確認し倍率や分解能などの性能検査をしてから使用できる状態になる。
特に、電子イメージ拡大機構のアライメントや性能検査をより容易に行うため電子銃からの電子ビームを光軸に沿って走行させて利用する方法がある。
【００２７】
この方法を利用するときは、試料室２の試料ホルダーと対向する反対側の端部に光軸を合わせて電子銃７を設置しておき、必要なときに電子ビームを光軸に流して調整する。
なお、電子銃７からの電子ビームを直接的に電子イメージ拡大機構３，４に投射してアライメントを取ることもできるが、試料ホルダー２４内にＸ線変換膜をセットし、この膜で電子線をＸ線に変換して、生成したＸ線を試料スライドの光電変換膜に照射し発生する電子を使うことにより、より実態に近い条件でアライメントをとったり性能を検査する方法も用いることができる。この場合も、試料ホルダー２４までの電子ビームの軌道は変らない。
【００２８】
電子銃７から放出された電子ビームは、コンデンサレンズ７１で収束性を向上させ、軸偏向コイル７２で走行方向の調整をして、保護管中を走行して試料ホルダー２４にセットされたＸ線変換面に照射する。
保護管の先端は試料ホルダー２４の中心軸に設けられた孔に挿入して固定できる挿入管７３、根元は入れ子構造の入れ子管７４になっていて、挿入管７３と入れ子管７４を螺旋バネでバネ管７５で繋いでいる。
【００２９】
目的の試料を測定するとき、また試料を交換するときなど、電子銃を使用しないときには保護管が邪魔になるので、不要なときには保護管を入れ子に折畳んで収納する。
これら保護管は導体で形成され、高電圧導入ポート８１と試料ホルダー２４を接続する高圧電線８２に対する電界シールドを形成して、内部を走行する電子ビームを保護している。
なお、電子流を一旦Ｘ線に変換して調整に使用する場合は、挿入管７３の先端にＸ線変換膜をセットして試料ホルダー２４に挿入し固定すればよい。
【００３０】
電子銃７と試料室２の間には、対物レンズ３と投射レンズ４の間に設置された第１のセパレートバルブ３５と同じ形式の第２のセパレートバルブ７６が設置される。ただし、弁座はコンデンサレンズ７１側の開口に設けられる。
第２セパレートバルブ７６の真空排気口７７は、ターボ分子ポンプ６７とロータリーポンプ６８を直列に接続した高真空生成装置に真空配管６９で接続され、電子銃７の真空を維持する。なお、電子銃７に対して独立の高真空生成装置６７，６８，６９を用いる代りに、画像検出部５に用いる高真空生成装置６４，６５，６６を共通して利用することもできる。
【００３１】
図５に示した真空システムによれば、電子銃７を使わないときは、第２のセパレートバルブ７６を閉じて電子銃７の真空を維持し常に電子銃７が動作できる状態にしておくため、毎回真空引きする方法と比較すると立上がりまでの時間を大幅に節約でき、装置の利用効率が向上する。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明の真空システムを用いれば、極めて薄くて極めて弱い試料スライドを破損することなく、短時間でＸ線顕微鏡装置を操業に必要な真空度に到達させることができるので、装置の利用効率が向上し、Ｘ線顕微鏡の利便性が著しく向上する効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例のＸ線顕微鏡用真空システムの系統図である。
【図２】本実施例に使用するセパレートバルブの構造を説明する概念図である。
【図３】本実施例に使用するセパレートバルブの弁体部の分解斜視図である。
【図４】本実施例における電子加速領域部分の拡大断面図である。
【図５】本実施例において電子銃を取付けたＸ線顕微鏡に適用した場合の真空システム系統図である。
【図６】本発明を適用するＸ線顕微鏡の構成を説明する概念図である。
【符号の説明】
１・・レーザ発生装置、２・・試料室、３・・対物レンズ部、４・・投射レンズ部、５・・画像検出部、７・・電子銃。
２１・・透明窓、２２・・Ｘ線ターゲット、２３・・フィルター、２４・・試料ホルダー、２５・・試料ステージ
３１・・アノード、３２・・電子加速空間、３３・・対物レンズ用コイル、３４・・電子通路用チューブ、３５・・セパレートバルブ。
４１、４３・・ポールピース空隙、４２，４４・・コイル、４５・・電子通路用チューブ。
５１・・可視化装置、５２・・第１偏向コイル、５３・・第２偏向コイル。
６１，６４，６７・・ターボ分子ポンプ、６２，６５，６８・・ロータリーポンプ、６３，６６，６９・・真空配管。
７１・・コンデンサレンズ、７２・・軸偏向コイル、７３・・挿入管、７４・・入れ子管、７５・・バネ管、７６・・第２セパレートバルブ、７７・・真空排気口。
８１・・高電圧導入ポート、８２・・高圧電線。
１０１・・セパレートバルブ筐体、１０２・・弁体、１０３，１０４・・開口、１０５・・真空排気口、１０６・・駆動機、１０７・・弁軸、１０８・・枠体、１０９・・突起、１１０・・ピン、１１１・・長孔、１１２・・ストッパー、１１３・・弁座、１１４・・Ｏリング。
１２１・・試料室筐体仕切壁、１２２・・孔、１２３・・試料スライド、１２４・・ヨーク、１２５・・アパーチャホルダ、１２６・・上極ポールピース、１２７・・下極ポールピース、１２８・・通気孔、１２９・・通気孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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