(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機金属化学気相成長法によって、III族窒化物半導体（ＩｎxＧａ(1-x-y)ＡｌyＮ（0≦x≦1, 0≦y≦1））を平坦なサファイア基板面上に順次積層して得られる窒化物半導体素子の製造方法であって、
前記サファイア基板上に低温バッファ層を第１の温度の下でかつ第１の圧力の下で形成する工程と、
ドーパント成分を含まない第１の混合ガスを供給して前記低温バッファ層の上に、表面に空隙を有する第１の窒化ガリウム層を前記第１の温度よりも高い第２の温度の下でかつ前記第１の圧力よりも高い第２の圧力の下で形成する第１の成膜工程と、
ドーパント成分を含む第２の混合ガスを供給して前記第１の窒化ガリウム層の表面にある空隙を埋めて平坦化しつつ前記第１の窒化ガリウム層の上に第２の窒化ガリウム層を前記第２の圧力よりも低い第３の圧力の下で形成する第２の成膜工程と、を含み、
前記第２の窒化ガリウム層はＭｇ，Ｂｅ，ＣａおよびＺｎのうち少なくとも１つをドーパントとして含む、ことを特徴とする窒化物半導体素子の製造方法。
【請求項２】
前記第１の窒化ガリウム層の表面にある空隙は六角錘状の孔であることを特徴とする請求項１記載の窒化物半導体素子の製造方法。
【請求項３】
前記六角錘状の孔は（１−１０１）面を有することを特徴とする請求項２記載の窒化物半導体素子の製造方法。
【請求項４】
前記第２の窒化ガリウム層の上にドーパント成分を含まない混合ガスを供給して第３の窒化ガリウム層を形成する第３の成膜工程を更に含むことを特徴とする請求項１記載の窒化物半導体素子の製造方法。
【請求項５】
前記第２の窒化ガリウムの膜厚は、前記第１窒化ガリウム層の表面にある空隙を埋めつつ形成される前記第２の窒化ガリウムの表面を平坦にするのに十分な厚みであることを特徴とする請求項１記載の窒化物半導体素子の製造方法。
【請求項６】
前記第１の窒化ガリウム層の膜厚は、０．２μｍから４μｍまでの設定膜厚であることを特徴とする請求項１記載の窒化物半導体素子の製造方法。
【請求項７】
III族窒化物半導体（ＩｎxＧａ(1-x-y)ＡｌyＮ（0≦x≦1, 0≦y≦1））を平坦なサファイア基板面上に順次積層して得られる窒化物半導体素子であって、
前記サファイア基板上に第１の温度の下でかつ第１の圧力の下で形成された低温バッファ層と、
ドーパント成分を含まずに前記低温バッファ層上に前記第１の温度よりも高い第２の温度の下でかつ前記第１の圧力よりも高い第２の圧力の下で形成された、表面に空隙を有する第１の所定膜厚の第１の窒化ガリウム層と、
前記第１の窒化ガリウム層上に形成されておりかつＭｇ，Ｂｅ，ＣａおよびＺｎのうち少なくとも１つをドーパントとして含む第２の所定膜厚の第２の窒化ガリウム層と、を含み、
前記第２の窒化ガリウム層は前記第１の窒化ガリウム層の表面に形成された前記空隙を埋めて平坦化しつつ前記第２の圧力よりも低い第３の圧力の下で形成されていることを特徴とする窒化物半導体素子。
【請求項８】
前記第１の窒化ガリウム層の表面に形成された空隙は六角錘状の孔であることを特徴とする請求項７記載の窒化物半導体素子。
【請求項９】
前記六角錘状の孔は（１−１０１）面を有することを特徴とする請求項８記載の窒化物半導体素子。
【請求項１０】
ドーパント成分を含まずに前記第２の窒化ガリウム層上に形成される第３の窒化ガリウム層を更に含むことを特徴とする請求項７記載の窒化物半導体素子。
【請求項１１】
前記第２の窒化ガリウムの膜厚は、前記第１窒化ガリウム層の表面にある空隙を埋めつつ形成される前記第２の窒化ガリウムの表面を平坦にするのに十分な厚みであることを特徴とする請求項７記載の窒化物半導体素子。
【請求項１２】
前記第１の窒化ガリウム層の所定膜厚は、０．２μｍから４μｍまでの設定膜厚であることを特徴とする請求項７記載の窒化物半導体素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、III族窒化物半導体素子（以下、素子とも記述する）の製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
窒化ガリウム系化合物半導体は、近年短波長光半導体素子用、特に短波長半導体レーザ用の材料として精力的に研究開発が行われている。半導体レーザなどの素子の製造は、基板結晶の上に半導体の単結晶膜を積層することによって行われる。レーザなどの発光素子の特性は、単結晶膜中の結晶欠陥の密度により大きく左右される。こうした観点から、基板に用いる材料としては、その上にエピタキシャル成長させる半導体結晶と同一の結晶構造、格子定数、熱膨張係数などの物性定数を有する材料が望ましく、エピタキシャル膜と同一の、例えば窒化ガリウム(以下、ＧａＮと称す)の単結晶が理想である。しかしながら、ＧａＮの大きな結晶を作製することは極めて困難であり、いわゆるウェハとして使用できるような大きさのＧａＮ単結晶インゴットは、過去に作製された例がない。そこで、基板としては、サファイア基板が用いられている。
【０００３】
ＧａＮ単結晶膜を作製するにあたり、最も一般的に用いられているのは、有機金属気相成長法（以下、ＭＯＣＶＤと略す）であり、原料としては、一般的に、III族原料としてトリメチルガリウム（以下、ＴＭＧと略す）、Ｖ族原料としてはアンモニア（以下、ＮＨ3と称す）が用いられている。
この方法により、ＧａＮ半導体を成膜する場合、結晶成長温度はおよそ９００〜１１００℃となる。こうした高温下では、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）等の半導体結晶は不安定で、基板として使用できない。このため、諸物性は、ＧａＮとは異なるものの、主として前述のような高温下でも安定であるとの理由により、単結晶サファイアが基板として用いられている。
【０００４】
しかし、サファイアの格子定数は１４％程度ＧａＮとは異なっているために、サファイア基板に直接ＧａＮを成長させたのでは、発光素子としての使用に耐え得るような高品質の単結晶膜は得られない。そこで、ＧａＮ単結晶膜の結晶欠陥を抑制するために、サファイア基板上に低温（４００〜６００℃）で窒化アルミニウム（ＡｌＮ）またはＧａＮからなる低温バッファ層を一旦形成し、その後温度を上げて、ＧａＮのエピタキシャル成長を行う方法が開発された。こうした２段階成長によって、比較的平滑な単結晶膜が安定して得られるようになった。
【０００５】
しかし、上記方法にて作製したＧａＮの膜には、１×１０8〜１×１０10（１/cm2）というＧａＡｓに比べると１万から１０万倍という極めて高密度の欠陥が存在することが確認されている。この欠陥は、いわゆる貫通転位と呼ばれるもので、結晶膜中を上下に貫通する線状の結晶欠陥であり、こうした転位はキャリアの非発光性再結合中心として働くため、転位密度が高くなるほど半導体結晶の発光効率は低下する。
【０００６】
一般に、ＧａＮは、ＧａＡｓ等の従来の光半導体と比較して、転位により発光効率が低下しにくい特性を有しているが、上述のように高密度の転位が存在すると発光効率は低下する。
この貫通転位の密度は、エピタキシャル成長時の条件で変化するが、特に成長圧力に依存し、文献Jpn. J. Appl. Phys. Vol.37 (1998) pp.4460-4466に記載されるように、成長圧力は高い方が貫通転位が減少することが分かっている。それゆえ、サファイア基板上のエピタキシャル成長は、常圧(７６０torr)付近で行うことが多い。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
サファイア基板上にＧａＮまたはＡｌＮの低温バッファ層を形成し、この上に高温(１０００℃程度)でＧａＮ結晶を成長させた場合、成長の初期は、結晶核が三次元的に島状に成長し、続いて島の合体が生じて二次元的成長に移行することが知られている。従って、ＧａＮのエピタキシャル膜においては、「ピット」と呼ばれる六角錘状の孔が生じることがある。ピットが存在すると、その上及び近傍には良好なデバイスを形成することは困難である。すなわち、エピタキシャルウェハにおいてピット密度が高いと、デバイスの製造歩留まりの低下につながる。
【０００８】
このピット密度も成長圧力に強く依存し、成長圧力が高いとピット密度が増加することが分かっている。従って、上述のように、貫通密度とピット密度との関係は相反するので、転位密度を下げるために成長圧力を高くすると、ピット密度が増加してしまい、同様にデバイスの製造歩留まりの低下につながることが問題である。
【０００９】
本発明の目的は、上記問題点に鑑みて、ＧａＮ層における転位密度を少なくしながらもピットの生成を抑制する窒化物半導体素子及びその製造方法を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の窒化物半導体素子の製造方法は、有機金属化学気相成長法によって、III族窒化物半導体（ＩｎxＧａ(1-x-y)ＡｌyＮ（0≦x≦1, 0≦y≦1））を平坦なサファイア基板面上に順次積層して得られる窒化物半導体素子の製造方法であって、前記サファイア基板上に低温バッファ層を第１の温度の下でかつ第１の圧力の下で形成する工程と、ドーパント成分を含まない第１の混合ガスを供給して前記低温バッファ層の上に、表面に空隙を有する第１の窒化ガリウム層を前記第１の温度よりも高い第２の温度の下でかつ前記第１の圧力よりも高い第２の圧力の下で形成する第１の成膜工程と、ドーパント成分を含む第２の混合ガスを供給して前記第１の窒化ガリウム層の表面にある空隙を埋めて平坦化しつつ前記第１の窒化ガリウム層の上に第２の窒化ガリウム層を前記第２の圧力よりも低い第３の圧力の下で形成する第２の成膜工程と、を含み、前記第２の窒化ガリウム層はＭｇ，Ｂｅ，ＣａおよびＺｎのうち少なくとも１つをドーパントとして含む、ことを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の窒化物半導体素子は、III族窒化物半導体（ＩｎxＧａ(1-x-y)ＡｌyＮ（0≦x≦1, 0≦y≦1））を平坦なサファイア基板面上に順次積層して得られる窒化物半導体素子であって、前記サファイア基板上に第１の温度の下でかつ第１の圧力の下で形成された低温バッファ層と、ドーパント成分を含まずに前記低温バッファ層上に前記第１の温度よりも高い第２の温度の下でかつ前記第１の圧力よりも高い第２の圧力の下で形成された、表面に空隙を有する第１の所定膜厚の第１の窒化ガリウム層と、前記第１の窒化ガリウム層上に形成されておりかつＭｇ，Ｂｅ，ＣａおよびＺｎのうち少なくとも１つをドーパントとして含む第２の所定膜厚の第２の窒化ガリウム層と、を含み、前記第２の窒化ガリウム層は前記第１の窒化ガリウム層の表面に形成された空隙を埋めて平坦化しつつ前記第２の圧力よりも低い第３の圧力の下で形成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について、好ましい実施例に基づき図面を参照しながら説明する。
図１に示すように、本発明の窒化物半導体素子は、サファイアからなる基板１の上に窒化物半導体単結晶膜を積層させた多層構造体からなる。サファイア基板１上には、ＡｌＮやＧａＮ等からなる低温バッファ層２が、サファイア基板１に形成されている。低温バッファ層２の上には、島状構造を採るドーパントを含まないＧａＮ結晶層、すなわちノンドープＧａＮ結晶層３が第１のＧａＮ層として形成されている。第１のＧａＮ層の上にドーパントを含む第２のＧａＮ層４が形成される。第２のＧａＮ層４は、第１のＧａＮ層３の島状構造の空隙を埋めて第１のＧａＮ層３の表面を平坦にしつつ積層されている。そして、第２のＧａＮ層４の上に再びノンドープＧａＮ結晶膜５が第３のＧａＮ層として形成される。さらにその上には、結晶層６が形成される。本実施例においては、かかる結晶層６は、Ｓｉドープのｎ型ＧａＮである。さらにｎ型クラッド層７、活性層８、ｐ型クラッド９、ｐ型コンタクト層１０がこの上に順次配され、ｐ型コンタクト層１０及び第４の結晶層６上にそれぞれｐ型電極１１及びｎ型電極１２を配して半導体発光素子が作製される。
【００１３】
以下、本発明による窒化物半導体素子の製造方法を、図２及び図３を参照して説明する。
サファイア基板１を成膜用ＭＯＣＶＤ成長炉に装填し、１０５０℃の温度において３００torrの圧力の水素気流中で１０分間保持し、サファイア基板１の表面の熱クリーニングを行う。この後、サファイア基板１の温度が４００℃になるまで降温せしめ、窒素原料であるＮＨ3と、Ａｌ原料であるＴＭＡ(トリメチルアルミニウム)を成長炉に導入し、ＡｌＮからなる低温バッファ層２を５０ｎｍの厚さに積層させる(ステップＳ１)。
【００１４】
続いてＴＭＡの供給を止めて、ＮＨ3のみを流したまま、成長圧力を３００torrから６００torrに変更する。さらにバッファ層２が成膜されたサファイア基板１の温度を再び１０５０℃に昇温し、ＴＭＧ(トリメチルガリウム)を第１の混合ガスとして導入してノンドープＧａＮ層３の積層を開始する(ステップＳ２)。最初に、ＧａＮ結晶の核が低温バッファ層２上に生成され、核は自身を中心にして３次元的な成長を開始して島状構造を採りながら成長を継続する。
【００１５】
ノンドープＧａＮ層３を設定膜厚０．５μｍ程度成長させたところで、ＴＭＧの供給を停止し、圧力を再度３００torrに変更する。尚、設定膜厚とは、膜が一様な膜厚で成長すると仮定した場合の膜厚のことである。
次に、ＭｇをドーパントとするためにＥｔ-Ｃｐ２Ｍｇ(エチル-ビスシクロペンタジエニルマグネシウム)を導入してＴＭＧ及びＮＨ3とともに第２の混合ガスとして供給して、第２のＧａＮ層としてのＧａＮ：Ｍｇ層４の積層を開始する(ステップＳ３)。この時、Ｅｔ-Ｃｐ２Ｍｇの流量は、Ｍｇの原子濃度が１×１０18〜５×１０20(1/cc)となるように設定する。この時のＭｇの濃度は、ＧａＮ：Ｍｇ層が２次元的成長を促進するように選択される。ＧａＮ：Ｍｇ層４は、設定膜厚として０．５μｍ成長させる。
【００１６】
尚、ＧａＮ：Ｍｇ層４の膜厚は、本実施例においては０．５μｍとしたが、これに限らず、ノンドープＧａＮ層３の表面に形成されたピットを埋めるとともに、積層されるＧａＮ：Ｍｇ層４のそのものの表面が平坦になる膜厚であれば良い。
次に、Ｅｔ-Ｃｐ２Ｍｇの供給のみを停止し、ノンドープＧａＮ層５の成長を１〜１０分程度行う(ステップＳ４)。その後、Ｍｅ-ＳｉＨ3(メチルシラン)を導入し、ＧａＮ：Ｓｉ層６を２μｍ成長させる(ステップＳ５)。この時のＭｅ-ＳｉＨ3の流量は、Ｓｉの原子濃度が１×１０17(1/cc)となるように設定する。
【００１７】
ＧａＮ：Ｓｉ層６の成長が完了したところで、ＴＭＧ，Ｍｅ-ＳｉＨ3の供給を停止して降温を開始し、基板温度が４００℃以下になったところでＮＨ3の供給も停止し、基板温度が室温になったところで反応炉より取り出す。尚、これを後述する比較のための試料(1)とする。
更に、ｎ型クラッド層７、活性層８、ｐ型クラッド９、ｐ型コンタクト層１０をＧａＮ：Ｓｉ層６の上に順次積層し、ｐ型コンタクト層１０及び第４の結晶層６上にそれぞれｐ型電極１１及びｎ型電極１２を形成して(ステップＳ６)半導体素子が作製される。
【００１８】
尚、比較対象用として、第１のＧａＮ層３の成長後、圧力は６００torrのままＧａＮ：Ｓｉ層６を２μｍ成長させた試料(2)を作製した。また、第１のＧａＮ層３及びＧａＮ：Ｓｉ層６をすべて圧力３００torrで成長させた試料(3)も作製した。試料(2)、(3)とも、試料(1)と比較すると第２のＧａＮ層４及びノンドープＧａＮ層５が無いだけで、膜厚、ドーピングレベルなどの条件は同じである。
【００１９】
こうして得られた各試料の表面のピット密度、ホール移動度、ＥＰＤ、すなわち転位密度の評価を行った。その結果を表１に示す。
【００２０】
【表１】
0003786544.tif 000002
【００２１】
表１から、ホール移動度は、ＥＰＤと相関があり、ホール移動度が高くなるとＥＰＤは低下することが分かる。また、試料(1)及び試料(2)のＥＰＤが、試料(3)よりも低いことが分かる。ピット密度は、試料(1)及び試料(3)が低く、試料(2)は高い。更に、試料(1)の断面を走査顕微鏡(ＳＥＭ)で観察して、第１のＧａＮ層３に存在するピットが、第２のＧａＮ層４により埋められてピットの上方では膜が平坦化されていることを確認した。このようにして、転位密度を抑制しつつ初期のＧａＮ膜に生じたピットがＧａＮ層を厚み方向に貫通することを抑制することができる。
【００２２】
また、第１のＧａＮ層３の膜厚としては、ノンドープＧａＮ層の成長形態が、初期の３次元的成長形態から２次元的成長形態に移行し始めるまでの膜厚が、第２のＧａＮ層の２次元的成長に対して適切である。従って、第１のＧａＮ層３の膜厚としては、結晶核の合体が始まる０．２μｍを下限とし、島状構造の間隙を埋めるのに必要な、すなわち平坦化に要する時間が短いほうが好ましいという観点から、４μｍを上限とする。また、第１のＧａＮ層３の膜厚が増加すると、表面に形成されるピットの深さもより深いものが形成される場合があるので、その上に積層されるＧａＮ：Ｍｇ層４も、かかるピットを埋めるために膜厚が増大する傾向がある。
【００２３】
また、ノンドープＧａＮ層５は、次に積層させるＧａＮ：Ｓｉ層６へのＭｇの混入を防ぐために、ＧａＮ：Ｍｇ層４とＧａＮ：Ｓｉ層６との間に形成するものである。この理由を次に説明する。すなわち、Ｍｇは、Ｅｔ-Ｃｐ２Ｍｇの供給を停止しても、しばらくの間反応炉や配管内に残留すること(この現象は、Ｍｇのメモリ効果と呼ばれる)がある。従って、ＧａＮ：Ｍｇ層４の次にＧａＮ：Ｓｉ層６を成長させると、Ｅｔ-Ｃｐ２Ｍｇの供給を止めてＧａＮ：Ｓｉ層６の成長に移行するまでの時間に残留したＭｇが表面に堆積するので、ＧａＮ：Ｓｉ層６の成長を開始した際に再び３次元的成長を起こし、逆にピットを増加させてしまうことがあるからである。しかしながら、Ｍｇのメモリ効果は常に発現するものではなく、ＭＯＣＶＤ炉やＧａＮ：Ｓｉ層６の成長条件によっては、Ｅｔ-Ｃｐ２Ｍｇの供給停止直後においてメモリ効果が発現しないことがある。故に、かかる場合はノンドープＧａＮ層５の積層を省略することができる。
【００２４】
さらに、ＧａＮ：Ｓｉ層６のＳｉの原子濃度は、本実施例の１×１０17(1/cc)に限らず、サファイア基板上の３族窒化物半導体素子として一般的なＮ+層のレベル(Ｓｉ濃度；１×１０18〜１×１０19(1/ｃｍ3))に設定することもできる。一般に、ＧａＮ系結晶においては、成長初期段階で特に(1-101)面及びその近傍の高次数の面が優性になって三次元成長が進行する。三次元的に島状成長した各島が衝突し合体し始めると、高次数の面が(1-101)面ともう１つの安定面である(0001)面とに淘汰されていく。この(0001)面の成長速度は、遅いことが知られているが、これは(0001)面に到達したＧａ原子が表面をマイグレーションして、(1-101)面で取り込まれるために生じる結果と考えることができる。このようにして、(1-101)面がより速く成長し、(0001)面が残るために、膜は次第に平坦化されていく。成長圧力が低いときのように、原料の拡散が速く、核が均一に成長し、一様な島が高密度に生成される場合は、上述の二次元的成長移行機構が速やかに働き平坦化が達成される。但し、貫通転位等の結晶欠陥は、異なる初期核から生成した成長面が衝突する際に生じるので、島密度が高く合体が速い成長モードは転位密度が高くなる傾向がある。
【００２５】
一方、成長圧力が高い場合は、初期核間で選択的成長により競合が起こり、大きな島が比較的低密度に生成されるため、転位密度は低くなる。しかしながら、島同士の合体が遅いため、大きく且つ深い(1-101)面で構成されるピットが生じやすい。故に、ピット内部では、拡散による原料の供給そのものが希薄になるため、ピットは消えず、膜の成長が進行するに従い粗大化する傾向がある。
【００２６】
ところが、三次元的成長が二次元的成長に移行する際に、Ｍｇが存在すると、(0001)面においてＧａ原子のマイグレーションはさらに助成されて、(1-101)面及びその近傍面の成長速度の比がさらに大きくなり、三次元的成長から二次元的成長への移行が促進される。
従って、Ｍｇは、Ｇａ原子位置でＧａと置換されるアクセプタ性の不純物と考えられるので、Ｍｇと同様にＧａ原子位置において置換可能なアクセプタ性の不純物であるII族元素である、Ｂｅ，Ｃａ，Ｚｎを、Ｍｇに代えて不純物、すなわちドーパントとしてＧａＮ層を成長させても良い。
【００２７】
また、第２のＧａＮ層の成長時の圧力を、第１のＧａＮ層の成長圧力よりも下げることが平坦化に有効であることも実験にて確認されている。
このように、ノンドープの第１のＧａＮ層を低温バッファ層の上に積層して貫通転位の発生を抑制し、次に、ドーパントを混入させて第２のＧａＮ膜を積層することにより、第２のＧａＮ層は、その成長過程において第１のＧａＮ層の表面の空隙を埋めながら成長することができる。従って、第１のＧａＮ層と第２のＧａＮ層とからなるＧａＮ層において、生成されるピットの数を低減せしめるとともに、膜の表面が平坦化され、更に内部に生じる貫通転位を減らすことができる。故に、上記ＧａＮ膜からなるIII族窒化物半導体素子の特性を向上せしめることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による窒化物半導体素子を示す断面図である。
【図２】図１に示す窒化物半導体素子の一部拡大断面図である。
【図３】本発明による窒化物半導体素子の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１    基板
３    第１のＧａＮ層
４    第２のＧａＮ層
【図１】
0003786544.tif 000003
【図２】
0003786544.tif 000004
【図３】
0003786544.tif 000005