(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個配置されて生産装置を含む装置にそれぞれ連結された排気ダクトと、
前記各排気ダクトが集合する集合排気ダクトと、
前記集合排気ダクトに設けられた排気ファンとを備えた設備の排気装置において、
前記排気ダクトに設置された流量調整弁と、
前記排気ダクトに装着され、風速を検出する検出部を耐薬品性のコーティング材で被覆した感熱式流速センサからなる風速センサと、
前記風速センサにより検出された風速と前記排気ダクトの断面積の積をとって排気の風量を算出する風量算出手段と、
前記風量が設定風量より多くならないようにフィードバック制御により前記流量調整弁を絞る制御手段と
を備え、
前記制御手段には、
前記風量算出手段により算出された各排気ダクトの排気の風量を総和して前記集合排気ダクトでの排気の総合風量を算出する総合風量算出手段と、
前記排気ファンに設けられ、前記排気ファンの送風出力を変更する風量変更手段と、
前記各排気ダクトの設定風量を総和した前記排気ファンの設定送風出力と前記総合風量とを比較し、前記総合風量と前記排気ファンの設定送風出力とが一致しない場合には、前記流量調整弁を絞める方向に調整する命令を出して、前記流量調整弁を絞めた後、再び前記総合風量と前記排気ファンの設定送風出力とを比較して、前記排気ファンの送風出力を前記風量変更手段に与える風量制御手段と
ことを特徴とする設備の排気装置。
【請求項２】
請求項１記載の設備の排気装置において、
前記風量算出手段には、前記風量を監視して風量の異常を報せる風量管理手段が接続されている
ことを特徴とする設備の排気装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アルカリ，酸，有機物等の薬品成分を含んだ排気の風量を制御するための設備の排気装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、クリーンルーム内に設置された例えば半導体製造，液晶製造用の生産装置或いは試験装置等から薬品成分を含んだ局所排気が行なわれ、この薬品成分を含んだ排気は集められ、水或いは薬品で処理された後、外部に配送される。
かかる薬品成分を含んだ排気を処理する設備の排気装置として例えば図１２，図１３に示すものが知られている。
【０００３】
図において、クリーンルーム１０１は室１０１Ａを有している。室１０１Ａの天井側にフィルタ１０２が設けられ、フィルタ１０２の上方に天井空間１０３が形成されている。
また、室１０１Ａの床１０４に多数の空気流通孔１０５が設けられ、床１０４の下方に床下空間１０６が形成されている。清浄な空気ががフィルタ１０２から床１０４に向けて垂直ダウンフローによって循環供給できるようになっている。
【０００４】
床１０４上には複数個（例えば４箇）の生産装置１０７，１０８，１０９，１１０が配置されている。生産装置１０７，１０８，１０９，１１０は、その運転の際、排気を出す排気口１０７Ａ，１０８Ａ，１０９Ａ，１１０Ａを有している。
ここで、排気は、生産装置１０７，１０８，１０９，１１０から出されるもので、清浄空気の他に、生産装置１０７，１０８，１０９，１１０による製造の過程で使用するアルカリ，酸，有機物等の薬品成分を含んでいる。
【０００５】
天井空間１０３の空気入口１０３Ａと床下空間１０６の空気出口１０６Ａとは空気ダクト１１１を介して連結され、空気ダクト１１１の途中に循環用の空調機１１２が装着されている。
空気ダクト１１１の前記空気出口１０６Ａと前記空調機１１２の間の部分に、空気導入ダクト１１３が連結され、空気導入ダクト１１３には、外気を処理する外気処理空調機１１４が装着されている。
【０００６】
そして、生産装置１０７，１０８，１０９，１１０の各排気口１０７Ａ，１０８Ａ，１０９Ａ，１１０Ａには、排気ダクト１０７Ｂ，１０８Ｂ，１０９Ｂ，１１０Ｂがそれぞれ連結されている。
排気ダクト１０７Ｂ，１０８Ｂ，１０９Ｂ，１１０Ｂは集合排気ダクト１１５に集合し、集合排気ダクト１１５の途中には排気ファン１１６が装着されている。排気ファン１１６にはベルト１１６Ａを介してモータ１１７が連結されている。
【０００７】
集合排気ダクト１１５の先端１１５Ａは、水または排気処理用の薬品が入っているタンク１１８に挿入されている。タンク１１８には、該タンク１１８で浄化処理された排気を出すダクト１１９が連結されている。
ここで、各排気ダクト１０７Ｂ，１０８Ｂ，１０９Ｂ，１１０Ｂにダンパー１２０がそれぞれ固定して設置されている。ダンパー１２０の取付角度は、各生産装置１０７，１０８，１０９，１１０からの排気の風量に合致されるように調整して固定される。
【０００８】
そして、各生産装置１０７，１０８，１０９，１１０からの排気は、排気ファン１１６の吸引力により、各排気ダクト１０７Ｂ，１０８Ｂ，１０９Ｂ，１１０Ｂにそれぞれ排出される。さらに、排気は、集合排気ダクト１１５に集められ、集合排気ダクト１１５を通り、タンク１１８で浄化処理された後、ダクト１１９を通って外部に出される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の設備の排気装置にあっては、次の問題があった。
各生産装置１０７，１０８，１０９，１１０から、局所排気が各排気ダクト１０７Ｂ，１０８Ｂ，１０９Ｂ，１１０Ｂに行なわれるが、排気の風量については管理されない傾向があった。
【００１０】
この場合、各生産装置１０７，１０８，１０９，１１０から所定の排気ダクト１０７Ｂ，１０８Ｂ，１０９Ｂ，１１０Ｂに流れる所定の排気の風量は、他の排気ダクト１０７Ｂ，１０８Ｂ，１０９Ｂ，１１０Ｂに流れる排気の風量の変動の影響を受けて増加する。例えば、ある生産装置１０７からの排気ダクト１０７Ｂへの排気の風量が変動して少なくなると、他の生産装置１０８，１０９，１１０から排気ダクト１０８Ｂ，１０９Ｂ，１１０Ｂへ出される排気の風量が増加する。
【００１１】
この結果、各生産装置１０７，１０８，１０９，１１０に流入するクリーンルーム１０１内の空気量が増加し、クリーンルーム１０１内の気流に変動を来し、塵埃を巻き上げる等の清浄度の低下を引き起こし、さらには、その塵埃が生産品に付着して不良品を発生させる等の問題があった。
このように、生産環境（クリーンルーム１０１）の安定性，信頼性が不充分であった。
【００１２】
また、必要な排気量以上に排気ファン１１６で排気することになり、外気量も含めてエネルギーの無駄を招くことになる。
そこで、排気の風量を測定して、各生産装置１０７，１０８，１０９，１１０から出される排気の風量を制御することが考えられる。しかし、各ダンパー１２１は固定されているので、排気の風量を制御することが困難であった。
【００１３】
また、ピトー管を用いて排気の風速を計測して排気の風量を計算し、この風量に応じて排気の風量を制御することが考えられる。しかし、ピトー管では、各排気ダクト１０８Ｂ，１０９Ｂ，１１０Ｂ中の排気が微風速なので、入力情報としての風速を検出できず、従って、排気の風量を調整するこができない。また、ピトー管は圧力式なので、制御するためには圧力を電気に変える装置が必要になり、ピトー管の排気ダクト１０８Ｂ，１０９Ｂ，１１０Ｂ中への取付けが面倒であった。
【００１４】
このように、排気の微風速を計測する風速センサが存在しないため、排気の風量を制御することが困難であった。
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、薬品成分を含んだ排気の風量を検出し、適切な量に制御して生産環境の安定性，信頼性を増し、さらに、省エネルギーを図ることができる設備の排気装置を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、複数個配置されて生産装置を含む装置にそれぞれ連結された排気ダクトと、前記各排気ダクトが集合する集合排気ダクトと、前記集合排気ダクトに設けられた排気ファンとを備えた設備の排気装置において、前記排気ダクトに設置された流量調整弁と、前記排気ダクトに装着され、風速を検出する検出部を耐薬品性のコーティング材で被覆した感熱式流速センサからなる風速センサと、前記風速センサにより検出された風速と前記排気ダクトの断面積の積をとって排気の風量を算出する風量算出手段と、前記風量が設定風量より多くならないようにフィードバック制御により前記流量調整弁を絞る制御手段とを備え、前記制御手段には、前記風量算出手段により算出された各排気ダクトの排気の風量を総和して前記集合排気ダクトでの排気の総合風量を算出する総合風量算出手段と、前記排気ファンに設けられ、前記排気ファンの送風出力を変更する風量変更手段と、前記各排気ダクトの設定風量を総和した前記排気ファンの設定送風出力と前記総合風量とを比較し、前記総合風量と前記排気ファンの設定送風出力とが一致しない場合には、前記流量調整弁を絞める方向に調整する命令を出して、前記流量調整弁を絞めた後、再び前記総合風量と前記排気ファンの設定送風出力とを比較して、前記排気ファンの送風出力を前記風量変更手段に与える風量制御手段とことを特徴とする。
【００１６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の設備の排気装置において、前記風量算出手段には、前記風量を監視して風量の異常を報せる風量管理手段が接続されていることを特徴とする。
【００１９】
（作用）
請求項１記載の発明においては、風速センサは、流速を検出する検出部を耐薬品性のコーティング材で被覆した感熱式流速センサからなるので、検出部に薬品成分を含んだ排気が触れることはない。
【００２０】
また、請求項１記載の発明においては、複数の装置から各排気ダクトにそれぞれ排出される排気の風量は、当初流量調整弁により設定風量に調整されるが、時間とともに変動する。
かかる状態において、所定の装置から排気ダクトに流れる排気の風量は、以下のように制御される。
【００２１】
先ず、排気ダクトにおいて、風速センサにより検出された風速と排気ダクトの断面積をかけて排気の風量が算出される。
前記風量と設定風量とが比較される。前記風量が設定風量より多い場合、フィードバック制御により、流量調整弁が絞られ、前記風量は少なくなるように制御され、設定風量に戻る。従って、設定風量と前記風量とが一致し、前記風量は設定風量より増加することなく設定風量に維持される。
【００２２】
さらに、請求項１記載の発明においては、複数の装置から各排気ダクトにそれぞれ排出される排気の風量は、当初流量調整弁により設定風量に調整されるが、時間とともに変動する。これに伴い、集合排気ダクトでの総合風量（各排気ダクトからの風量を総合したもの）が変動する。
かかる状態において、集合排気ダクトに流れる排気の風量に基づいて、排気ファンの送風出力が以下のように制御される。
【００２３】
総合風量算出手段により、風量算出手段により算出された各排気ダクトの排気の風量を総和して集合排気ダクトでの排気の総合風量が算出される。
風量制御手段により、集合排気ダクトの総合風量と排気ファンの設定送風出力とが比較される。ここで、排気ファンの設定送風出力は各排気ダクトの設定風量を総和したものであるる。
【００２４】
ここで、請求項１記載の発明の制御手段により、所定の排気ダクトに流れる所定の排気の風量は、設定風量より小さくなることはあっても、設定風量より多くならないように制御される。従って、総合風量≦排気ファンの設定送風出力（複数の排気ダクトの各設定風量の総合値）の関係にある。
総合風量と排気ファンの設定送風出力とが一致しない場合に、排気ファンの設定送風出力より小さくなるように変更された排気ファンの送風出力の情報（例えば、総合風量に排気ファンの送風出力がマッチングされる）は、風量制御手段から風量変更手段に出力される。風量変更手段により排気ファンの送風出力が排気ファンの設定送風出力より小さくされる。
【００２５】
請求項２記載の発明においては、各排気ダクトにおいて、例えば、風量管理手段は、前記風量が設定範囲を超えると警報を発して異常を報せたり、検出された風量を表示して異常を報せる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、図面により本発明の実施の形態について説明する。
【００２７】
図１ないし図１１により、請求項１および請求項２記載の発明の設備の排気装置の実施の形態について、クリーンルーム内に半導体製造，液晶製造用の生産装置を設置した場合に適用して説明する。
図１，図２において、クリーンルーム１は室１Ａを有している。室１Ａの天井側にフィルタ２が設けられ、フィルタ２の上方に天井空間３が形成されている。
【００２８】
また、室１Ａの床４に多数の空気流通孔５が設けられ、床４の下方に床下空間６が形成されている。
床４上には複数個（本発明の実施の形態では４個）の生産装置７，８，９，１０が配置されている。生産装置７，８，９，１０は、その運転の際、排気を出す排気口７Ａ，８Ａ，９Ａ，１０Ａを有している。
【００２９】
ここで、排気は、生産装置７，８，９，１０からのもので、清浄空気の他に、生産装置７，８，９，１０による製造の過程で使用するアルカリ，酸，有機物等の薬品成分を含んでいる。
天井空間３の空気入口３Ａと床下空間６の空気出口６Ａとは空気ダクト１１を介して連結され、空気ダクト１１の途中に循環用の空調機１２が装着されている。
【００３０】
空気ダクト１１の前記空気出口６Ａと空調機１２の間の部分に、空気導入ダクト１３が連結され、空気導入ダクト１３には、外気を処理する外気処理空調機１４が装着されている。
そして、複数の生産装置７，８，９，１０の各排気口７Ａ，８Ａ，９Ａ，１０Ａには、排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂがそれぞれ連結されている。
【００３１】
排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂは集合して集合排気ダクト１５に連結され、集合排気ダクト１５の途中には排気ファン１６が装着されている。
排気ファン１６にベルト１６Ａを介してモータ１７が連結され、モータ１７にはインバータ１８からなる風量変更手段が接続されている。
【００３２】
集合排気ダクト１５の先端１５Ａは、水または排気処理用の薬品が入っているタンク１９に挿入されている。タンク１９には、該タンク１９で浄化処理された排気を出すダクト２０が連結されている。
次に、各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにおける排気の風量調整手段について、排気ダクト７Ｂを例に挙げて説明する。各排気ダクト７Ｂ以外の排気ダクト８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにおける排気の風量調整手段は排気ダクト７Ｂの排気の風量調整手段と同様なので説明を省略する。
【００３３】
図３において、排気ダクト７Ｂに流量調整弁２１が設置されている。流量調整弁２１は、排気ダクト７Ｂに回転自在に設けられたダンパーからなる。ダンパーの回転角度を変化させることにより排気ダクト７Ｂの断面積が変化し、ダンパーを通過する排気の風量が増減される。
排気ダクト７Ｂに風速センサ２２，温度センサ２３が設けられている。
【００３４】
風速センサ２２自体の構造及び取付け構造は、図４ないし図６に示される。
風速センサ２２は、感熱式流速センサからなる。この感熱式流速センサは例えばポリカーボネート（またはガラス）からなる基材２２Ａの中に単結晶ゲルマニウムの小片からなる検出部２２Ｂを埋め込み、さらに、基材２２Ａの外周をシリコンまたはテフロン（登録商標）等の耐薬品性のコーティング材２２Ｃで被覆したものである。検出部２２Ｂにリード線２２Ｄが接続されている。
【００３５】
ここで、基材２２Ａは、検出部２２Ｂを被覆する機能があるが、さらに、シリコンまたはテフロン等の耐薬品性のコーティング材２２Ｃで基材２２Ａを被覆することにより、耐薬品性の性質が確保される。
なお、感熱式流速センサとして、単結晶ゲルマニウムの小片に代えてＰｔ線等を用いた熱線式流速センサを用いることもできる（例えば昭晃社発行「センサ工学の基礎」Ｐ７７，Ｐ７８（平成１０年４月１０日初版）を適用）。
【００３６】
風速センサ２２，温度センサ２３は、センサ取付具２４を介して排気ダクト７Ｂに取り付けられている。すなわち、センサ取付具２４は、排気ダクト７Ｂに固着されたカラー２５と、カラー２５の端部に被設されたキャップ２６と、カラー２５内に排気ダクト７Ｂの中心部に向けて挿設された支持バー２７とを有している。支持バー２７は中空管からなり、前記カラー２５にニップル型継手本体２８，カバーナット２９を介して着脱自在に設けられている。支持バー２７の先端２７Ａに前記風速センサ２２，前記温度センサ２３が直列状態に並んで取り付けられ、支持バー２７の中に風速センサ２２用のリード線２２Ｄ及び温度センサ２３用のリード線（図示せず）が挿通されている。
【００３７】
次に、排気ダクト７Ｂにおける排気の風量の制御系について図９により説明する。なお、排気ダクト８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにおける排気の風量の制御系は、排気ダクト７Ｂにおける排気の風量の制御系と同様であり、説明を省略する。
図において、風速センサ２２，温度センサ２３は第１の制御装置３０の入力側に接続されている。
【００３８】
第１の制御装置３０は、演算部３１と、記憶部３２とからなる。
演算部３１は、風量算出手段３３と、風量補正手段３４と、風量調整手段３５とを有する。
記憶部３２には、排気ダクト７Ｂの断面積と、設定風量と、風量管理限界値Ｌが格納されている。
【００３９】
風量算出手段３３は、風速センサ２２により検出された風速と前記排気ダクト７Ｂの断面積の積を求めることにより排気の風量を算出する。
風量補正手段３４は、温度により排気の風量を補正する。
風量調整手段３５は、前記風量が設定風量より多い場合、フィードバック制御により、前記風量が設定風量に一致するように流量調整弁２１を絞る命令を出力する。
【００４０】
第１の制御装置３０の出力側にモータ３０Ａ，風量表示装置３０Ｂ，風量警報装置３０Ｃが接続され、モータ３０Ａに流量調整弁２１が接続されている。
モータ３０Ａは、流量調整弁２１の取付角度を調整して流量調整弁２１を絞る。
風量表示装置３０Ｂは、各排気ダクト７Ｂの排気の風量の変化の傾向を表示する（図７に示す）。
【００４１】
風量警報装置３０Ｃは、例えば風量が図７の風量管理限界値Ｌを超えると、警報を発する。風量表示装置３０Ｂと風量警報装置３０Ｃとで風量管理手段３０Ｄが構成されている。
次に、集合排気ダクト１５における制御系について説明する。
図１に示すように、各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにおける第１の制御装置３０は通信ケーブル４２，４２，４２，４２を介して第２の制御装置３８に接続されている。
【００４２】
図１０は、各排気ダクト７Ｂにおける第１の制御装置３０と第２の制御装置３８の接続した状態を示す。なお、各排気ダクト８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにおける第１の制御装置３０と第２の制御装置３８の接続した状態は、各排気ダクト７Ｂにおける第１の制御装置３０と第２の制御装置３８の接続した状態と同様であり、説明を省略する。
【００４３】
図において、第２の制御装置３８は、演算部３９と、記憶部４０とからなる。
演算部３９は、総合風量算出手段４１と、風量比較手段４３と、回転数調整手段４４とを有する。
記憶部４０には、排気ファン１６の設定送風出力Ｍ（風量）と、総合風量とインバータ回転数の関連を示すテーブル（図８に示す）が格納されている。ここで、排気ファン１６の設定送風出力Ｍは、排気ファン１６の初期に設定されたものであり、排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂの各設定風量を総和したものである。
【００４４】
総合風量算出手段４１は通信ケーブル４２を介して風量補正手段３４に接続されている。
総合風量算出手段４１は、各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにおける風量算出手段３３により算出して温度補正された各排気の風量を総和して集合排気ダクト１５での排気の総合風量を算出する。
【００４５】
風量比較手段４３は、排気ファン１６の設定送風出力Ｍと総合風量とを比較し、排気ファン１６の設定送風出力Ｍが総合風量より大きい場合、その情報を回転数調整手段４４に出力する。
回転数調整手段４４は、図８のテーブルにより、総合風量からインバータ回転数を決定する。
【００４６】
第２の制御装置３８の出力側（すなわち回転数調整手段４４）にインバータ１８が接続されている。
次に、本実施の形態の作用について説明する。
クリーンルーム１において、清浄な空気が室１Ａを循環する。すなわち、清浄な空気がフィルタ２から床４に向けて垂直ダウンフローによって供給され、床下空間６内に導かれる。床下空間６内の空気は空調機１２に導かれ、空調された空気は天井空間３に供給され、フィルタ２を介して室１Ａに戻る。
【００４７】
空気が室１Ａ内に吹き出されることにより室１Ａの空調及び浄化が行なわれる。清浄な空気が生産装置７，８，９，１０での作業領域に微風速で送られ、塵埃等がワークに付着しないようになっている。なお、外気処理空調機１４により新しい清浄な空気が補われる。
排気は、各生産装置７，８，９，１０から各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにそれぞれ出される。さらに、排気は、排気ファン１６により、各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂから集合排気ダクト１５に吸引され、タンク１９で浄化処理された後、ダクト２０を通って外部に出される。
【００４８】
排気の風量は、各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂから排気ファン１６への流れの途中で、以下のように調整される。
各生産装置７，８，９，１０から各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにそれぞれ出される排気の風量は、当初各流量調整弁２１，２１，２１，２１により設定風量に調整されるが、時間とともに変動する。例えば、１つの生産装置７から排気ダクト７Ｂに流れる排気の風量が変動して少なくなると、排気ファン１６がその少なくなった排気の分だけ他の生産装置８，９，１０の排気ダクト８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂから吸引するので、他の生産装置８，９，１０から排気ダクト８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂに流れる排気の風量が増加しようとする。従って、クリーンルーム１内から生産装置７以外の他の生産装置８，９，１０へ吸い込まれる流量が多くなろうとする。
【００４９】
かかる状態において、各生産装置７，８，９，１０系の各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂに流れる排気の風量は、各第１の制御装置３０，３０，３０，３０により図１０のフローチャートに示すようにそれぞれ調整される。
以下、各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにおける排気の風量の制御について説明する。
【００５０】
先ず、ステップＳ１において、風速センサ２２により排気の風速が検出される。
ステップＳ２において、温度センサ２３により排気の温度が検出される。
ステップＳ３において、風量算出手段３３により、検出された風速と各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂの断面積をかけて風量が算出される。
ステップＳ４において、風量補正手段３４により、検出された排気の温度における風量が基準の温度における風量に補正される。
【００５１】
ステップＳ５において、設定風量（例えば生産装置７の排気ダクト７Ｂは３００ｍ3／ｈ）と風量とが比較される。
風量が設定風量より多い場合、ステップＳ６に進む。
【００５２】
ステップＳ６において、流量調整弁２１を絞める方向に調整する命令がモータ３０Ａに出力される。
ステップＳ７において、風量調整手段３５により、風量が設定風量と一致するか否かが判断される。
ステップＳ６，ステップＳ７のルーチンを繰り返し、風量が設定風量に一致するに至る。
【００５３】
このようにして、制御手段のフィードバック制御により、流量調整弁２１が絞られ、多くなろうとした排気の風量は少なくなり、設定風量（３００ｍ3／ｈ）に戻る。従って、検出された風量が設定風量とが一致し、設定風量が維持される（図７に図示）。
また、各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにおいて、風量表示装置３０Ｂ，風量警報装置３０Ｃにより排気の風量の状態が監視される。
【００５４】
排気の風量をチェックすることにより、生産装置７，８，９，１０の状態がチェックされる。例えば、風量表示装置３０Ｂに各風量の経時変化の傾向が表示される（図７に示す）。風量が風量管理限界値Ｌを超えると、風量警報装置３０Ｃにより警報を発したり、生産装置７，８，９，１０の状態をチェックしたり、或いは後追いができる。
【００５５】
次に、排気ファン１６の風量制御について説明する。
各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにおける排気の風量の制御は図１０のフローチャートにより制御されるが、この制御を行なった状態で、集合排気ダクト１５における排気の総合風量は変動する。排気の総合風量が変動して排気ファン１６の設定送風出力Ｍより小さくなった場合、排気ファン１６のエネルギーの無駄が生じ、排気ファン１６の設定送風出力Ｍの調整をする必要が生じる。
【００５６】
かかる排気ファン１６の風量制御は、図１１のフローチャートに従って行なわれる。
図において、先ず、ステップＳ１１において、各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂの排気の風量の情報が各第１の制御装置３０，３０，３０，３０から第２の制御装置３８に送られる。
【００５７】
ステップＳ１２において、総合風量算出手段４１により、各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂの排気の風量を総和して集合排気ダクト１５での排気の総合風量が算出される。
ステップＳ１３において、風量比較手段４３により、総合風量と排気ファン１６の設定送風出力Ｍとが比較される。
【００５８】
ここで、各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂの風量制御により、所定の排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂに流れる所定の排気の風量は、設定風量より小さくなることはあっても、設定風量より多くならないように制御される。従って、総合風量≦排気ファン１６の初期に設定された設定送風出力Ｍ（排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂの各設定風量の総合値）の関係にある。
【００５９】
排気ファン１６の設定送風出力Ｍが総合風量より大きい場合、ステップＳ１４に進む。
ステップＳ１４において、例えば、図８のテーブル上でインバータ１８のインバータ回転数が読み取られる。
ステップＳ１５において、このインバータ回転数になるようにインバータ１８の回転数が出力される。インバータ１８がそのインバータ回転数に制御されることにより、排気ファン１６の送風出力（変数）が総合風量にマッチングされ（排気ファン１６の送風出力が排気ファン１６の設定送風出力Ｍより小さくなる）、排気ファン１６のエネルギーの無駄が防止される。
【００６０】
例えば、生産装置７系の排気ダクト７Ｂの設定風量が５００ｍ3／ｈ，生産装置８系の排気ダクト８Ｂの設定風量が３００ｍ3／ｈ，生産装置９系の排気ダクト９Ｂの設定風量が７００ｍ3／ｈ，生産装置１０系の排気ダクト１０Ｂの設定風量が９００ｍ3／ｈで、排気ダクト７Ｂの風量が５０ｍ3／ｈに変動した場合、排気ダクト８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂの風量は増加することなく、３００ｍ3／ｈ，７００ｍ3／ｈ，９００ｍ3／ｈに維持され、集合排気ダクト１５における排気の総合風量は、５０ｍ3／ｈ＋３００ｍ3／ｈ＋７００ｍ3／ｈ＋９００ｍ3／ｈ＝１９５０ｍ3／ｈとなる。排気ファン１６の設定送風出力Ｍが例えば２４００ｍ3／ｈ（５００ｍ3／ｈ＋３００ｍ3／ｈ＋７００ｍ3／ｈ＋９００ｍ3／ｈ＝２４００ｍ3／ｈ）の場合、２４００ｍ3／ｈの設定送風出力Ｍは総合風量（１９５０ｍ3／ｈ）と同じ値に変更される。
【００６１】
要するに、風量制御手段により、集合排気ダクト１５での総合風量と、排気ファン１６の設定送風能力Ｍとが比較され、一致しない場合に、図８のテーブルによりインバータ１８のインバータ回転数が制御され、排気ファン１６の送風出力（変数）が、総合風量にマッチングされる（排気ファン１６の設定送風出力Ｍより小さくされる）。
【００６２】
以上の如き構成によれば、次の効果を奏する。
第１に、風速センサ２２の装着により、次の効果を奏する。
▲１▼、風速センサ２２の検出部２２Ｂは耐薬品性のコーティング材で被覆されているので、排気に触れることがない。従って、風速センサ２２の検出部２２Ｂは腐食せず、耐久性に優れ、薬品成分を含んだ排気の中でも使用可能である。
【００６３】
▲２▼、風速センサ２２は、感熱式流速センサであるので、ピトー管とは違って微風速を測定できる。
▲３▼、従来のピトー管と違って各排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂへの装着が容易である。すなわち、風速センサ２２は感熱式流速センサであるので、電気抵抗の変化を電気的に処理すれば良く、ピトー管の如く圧力式で装着する場合に比して圧力電気変換装置が必要でなく、装着が簡単である。
【００６４】
第２に、所定の生産装置７，８，９，１０においてその排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂに流れる排気の風量が増加した場合、所定の生産装置７，８，９，１０に係わる排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂの流量調整弁２１，２１，２１，２１を絞ることにより増加した排気の風量を減らして設定風量に維持することができる。すなわち、フィードバック制御により排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂの排気の風量を設定風量に保持できる。
【００６５】
従って、所定の排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂに流れる所定の排気の風量は、他の排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂに流れる風量の変動の影響を受けずに増加することがない。
この結果、クリーンルーム１から所定の生産装置７，８，９，１０への供給される空気が多くなることがなく、それだけクリーンルーム１へ供給する空気を消費せず、エネルギーの無駄を省くことができる。
【００６６】
また、クリーンルーム１内の気流の変動を少なくし、塵埃を巻き上げる等の清浄度の低下を防止し、さらには、その塵埃が生産品に付着することによる不良品の発生を防止することができる。このようにして生産環境（クリーンルーム１）の安定性，信頼性を確保することができる。
第３に、風量制御手段により、排気ファン１６の送風出力（変数）を総合風量にマッチングさせる（排気ファン１６の回転数を集合排気ダクト１５での総合風量に対応する回転数に一致させる）ことができ、排気ファン１６の省エネルギーを図ることができる。
【００６７】
第４に、風量管理手段により、所定の排気ダクト７Ｂ，８Ｂ，９Ｂ，１０Ｂにおける風量が所定の値より多くなった場合に警報を発したり、風量の経時変化の傾向を管理したりすることにより、生産装置７，８，９，１０の風量管理に供することができる。
なお、本発明の実施の形態においては、設備としてクリーンルーム内に半導体製造，液晶製造用の生産装置を設置した場合を例に挙げて説明したが、半導体製造，液晶製造用の生産装置に限定されることはない。また、クリーンルームの適用に限定されることはない。例えば薬品を扱う設備に適用したり、或いは、生産装置以外の例として試験装置に適用することもできる。
【００６８】
また、本発明の実施の形態においては、生産装置の数が４個の場合について説明したが、生産装置の数はかかる数以外の複数の場合に適用できる。
さらに、本発明の実施の形態においては、流量調整弁としてダンパーを例に挙げて説明したが、これに限定さけることなく、例えば、排気ダクトの断面積を変化させる機構ならば良く、例えば、排気ダクトに、その軸線に直角に取り付けられて排気ダクトの断面積を変える可変式シャッターが挙げられる。
【００６９】
そして、本発明の実施の形態においては、排気ファン１６の送風出力（変数）を変更する風量変更手段としてインバータ１８を挙げ、これによりモータ１７の回転数を変える例が挙げられているが、これに限定されることはない。
加えて、本発明の実施の形態においては、集合排気ダクトでの総合風量と排気ファンの設定送風出力Ｍとが不一致の場合に、排気ファン１６の回転数を集合排気ダクト１５での総合風量に対応する回転数に一致させることにより、排気ファン１６の送風出力を変更し、省エネルギーを図っているが、かかる場合に限定されることなく、排気ファンの送風出力を排気ファンの設定送風出力Ｍより小さくすれば足りる。
【００７０】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、次の効果を奏する。
第１に、風速センサは、流速を検出する検出部を耐薬品性のコーティング材で被覆した感熱式流速センサからなるので、薬品成分を含んだ排気が風速センサの検出部に触れることを防止できる。従って、風速センサは腐食せず、耐久性に優れ、薬品成分を含んだ排気の中でも使用可能である。
【００７１】
第２に、風速センサは、流速を検出する検出部を耐薬品性のコーティング材で被覆した感熱式流速センサからなるので、排気の風速が微風速であっても、従来のピトー管と違って測定できる。
第３に、従来のピトー管と違って排気ダクトへの装着が容易である。
第４に、所定の排気ダクトに流れる所定の排気の風量は、他の排気ダクトに流れる風量の変動の影響を受けず、設定風量より増加することがない。従って、クリーンルームから所定の装置への供給される空気が多くなることがなく、それだけクリーンルームへ供給する外気量を増加させることなく、エネルギーの無駄を省くことができる。
【００７２】
第５に、クリーンルーム内の気流の変動を少なくし、塵埃を巻き上げる等の清浄度の低下を防止し、さらには、その塵埃が生産品に付着することによる不良品の発生を防止することができる。このようにして生産環境（クリーンルーム）の安定性，信頼性を確保することができる。
第６に、風量制御手段により排気ファンの送風出力を小さくして例えば総合風量にマッチングさせることができるので、排気ファンの省エネルギーを図ることができる。
【００７３】
請求項２記載の発明によれば、風量管理手段の異常の報せにより、装置の風量管理に供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係わる設備の排気装置を示す構成図である。
【図２】同設備の排気装置の全体を示す構成図である。
【図３】図１の各排気ダクトにおける制御系の説明図である。
【図４】排気ダクト内に装着された感熱式流速センサの取付状態を示す斜視図である。
【図５】排気ダクト内に装着された感熱式流速センサの取付状態を示す断面図である。
【図６】同感熱式流速センサを示す断面図である。
【図７】排気ダクトにおける風量管理を示す説明図である。
【図８】図１の集合排気ダクトにおける第２の制御装置の記憶部に格納されているテーブルの説明図である。
【図９】排気ダクトの第１の制御装置及び集合排気ダクトの第２の制御装置を示すブロック図である。
【図１０】第１の制御装置によるフローチャート図である。
【図１１】第２の制御装置によるフローチャート図である。
【図１２】従来における設備の排気装置の全体を示す構成図である。
【図１３】従来における設備の排気装置を示す構成図である。
【符号の説明】
１  クリーンルーム
７  生産装置
７Ｂ  排気ダクト
８  生産装置
８Ｂ  排気ダクト
９  生産装置
９Ｂ  排気ダクト
１０  生産装置
１０Ｂ  排気ダクト
１５  集合排気ダクト
１６  排気ファン
１８  インバータ（風量変更手段）
２１  流量調整弁
２２  風速センサ
２２Ｂ  検出部
２２Ｃ  コーティング材
３０  第１の制御装置
３０Ｃ  風量警報装置
３０Ｄ  風量管理手段
３３  風量算出手段
３４  風量補正手段
３５  風量調整手段
３８  第２の制御装置
４１  総合風量算出手段
４３  風量比較手段
４４  回転数調整手段
【図１】
0003762662.tif 000002
【図２】
0003762662.tif 000003
【図３】
0003762662.tif 000004
【図４】
0003762662.tif 000005
【図５】
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【図６】
0003762662.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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