(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマイクロミラーの各々を独立に制御し得る可動ミラー装置において、
基板、
前記基板に設けられたバイアス電極、
前記バイアス電極上に立設された所定数の第１のポストにより支持されて前記バイアス電極と同じ電圧を帯びるリジッド部と、前記マイクロミラーを支持するための第２のポストを支持して前記マイクロミラーに自身と同じ電圧を帯びさせる中央部と、前記リジッド部と前記中央部との間に連結されて両者に同じ電圧を帯びさせ、前記マイクロミラーが複数の回転軸を中心として傾斜する時にその傾斜方向に応じてねじれ、又はたわむように弾性変形する、少なくとも一つのスプリングヒンジと、を備えた支持板、及び、
前記マイクロミラーに対向するように前記基板上に配置され、前記バイアス電極の電圧とは異なる電圧が印加される四つのアドレス電極、
を含むことを特徴とする可動ミラー装置。
【請求項２】
前記アドレス電極は、前記マイクロミラーの各コーナーに対向するように配置されたことを特徴とする請求項１に記載の可動ミラー装置。
【請求項３】
前記スプリングヒンジは、前記複数の回転軸の各々に対して同じ復元力を有するような構造となっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の可動ミラー装置。
【請求項４】
前記スプリングヒンジは、前記中央部を中心として前記マイクロミラーの対角線方向または辺方向に対して平行に少なくとも一つ配されることを特徴とする請求項３に記載の可動ミラー装置。
【請求項５】
前記スプリングヒンジは、前記中央部の各辺から延設されることを特徴とする請求項４に記載の可動ミラー装置。
【請求項６】
前記支持板は、前記マイクロミラーの回動時に前記マイクロミラーが所定角度以上傾かないようにするストッパーを備えることを特徴とする請求項４に記載の可動ミラー装置。
【請求項７】
前記アドレス電極は、前記マイクロミラーの各辺に対向するように配置されることを特徴とする請求項１に記載の可動ミラー装置。
【請求項８】
前記スプリングヒンジは、前記中央部を中心として前記マイクロミラーの対角線方向または辺方向に対して平行に少なくとも一つ配されることを特徴とする請求項７に記載の可動ミラー装置。
【請求項９】
前記スプリングヒンジは、前記中央部の各辺から延設されることを特徴とする請求項８に記載の可動ミラー装置。
【請求項１０】
前記リジッド部は、その外形が閉鎖型に形成されることを特徴とする請求項１、４、又は８に記載の可動ミラー装置。
【請求項１１】
前記リジッド部は、多角形の形状を有することを特徴とする請求項１０に記載の可動ミラー装置。
【請求項１２】
前記リジッド部は、前記マイクロミラーの回動時に前記マイクロミラーが所定角度以上傾かないようにするストッパーを備えることを特徴とする請求項１１に記載の可動ミラー装置。
【請求項１３】
光を照射する光源、
光源からの光を波長領域に応じて分岐させて相異なる角度に反射及び／又は透過させる光分岐ユニット、
前記光分岐ユニットを通った入射光を選択的に反射する可動ミラー装置、及び、
前記可動ミラー装置から入射する光を透過させ、スクリーンに向けて拡散させる投射レンズユニット、
を含むプロジェクタであり、
前記可動ミラー装置は、
基板、
各々独立に複数の回転軸を中心として傾斜し、前記光分岐ユニットを通った入射光を反射する複数のマイクロミラー、
前記基板に設けられたバイアス電極、
前記バイアス電極上に立設された所定数の第１のポストにより支持されて前記バイアス電極と同じ電圧を帯びるリジッド部と、前記マイクロミラーを支持するための第２のポストを支持して前記マイクロミラーに自身と同じ電圧を帯びさせる中央部と、前記リジッド部と前記中央部との間に連結されて両者に同じ電圧を帯びさせ、前記マイクロミラーが複数の回転軸を中心として傾斜する時にその傾斜方向に応じてねじれ、又はたわむように弾性変形する、少なくとも一つのスプリングヒンジと、を備えた支持板、及び、
前記マイクロミラーに対向するように前記基板上に配置され、前記バイアス電極の電圧とは異なる電圧が印加される四つのアドレス電極、
を含むことを特徴とするプロジェクタ。
【請求項１４】
前記アドレス電極は、前記マイクロミラーの各コーナーに対向するように配置されることを特徴とする請求項１３に記載のプロジェクタ。
【請求項１５】
前記スプリングヒンジは、前記中央部を中心として前記マイクロミラーの対角線方向または辺方向に対して平行に少なくとも一つ配されることを特徴とする請求項１３又は１４に記載のプロジェクタ。
【請求項１６】
前記スプリングヒンジは、前記中央部の各辺から延設されることを特徴とする請求項１５に記載のプロジェクタ。
【請求項１７】
前記リジッド部は、前記マイクロミラーの回動時に前記マイクロミラーが所定角度以上傾かないようにするストッパーを備えることを特徴とする請求項１５に記載のプロジェクタ。
【請求項１８】
前記アドレス電極は、前記マイクロミラーの各辺に対向するように配置されることを特徴とする請求項１３に記載のプロジェクタ。
【請求項１９】
前記スプリングヒンジは、前記中央部を中心として前記マイクロミラーの対角線方向または辺方向に対して平行に少なくとも一つ配されることを特徴とする請求項１３又は１８に記載のプロジェクタ。
【請求項２０】
前記スプリングヒンジは、前記中央部の各辺から延設されることを特徴とする請求項１９に記載のプロジェクタ。
【請求項２１】
前記リジッド部は、前記マイクロミラーの回動時に前記マイクロミラーが所定角度以上傾かないようにするストッパーを備えることを特徴とする請求項１９に記載のプロジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はマイクロミラーを駆動して入射光の反射経路が変えられる可動ミラー装置及びこれを採用したプロジェクタに係り、特に、マイクロミラーが複数の回転軸を中心として傾斜可能となっていてカラーホイール無しでもカラー画像の具現が可能な可動ミラー装置及びこれを採用したプロジェクタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、可動ミラー装置は、静電引力により駆動可能に設けられた複数のマイクロミラーを含み、各マイクロミラーの傾斜角度または傾斜方向に応じて反射角を異ならしめて入射する光の反射経路を変える。この種の可動ミラー装置は、プロジェクションテレビの画像表示装置、スキャナー、複写機及びファクシミリなどの光走査装置に適用される。特に、画像表示装置に採用時に、マイクロミラーは画素数だけ２次元的に配列され、各々のマイクロミラーを各画素に対する映像信号に基づき独立的に駆動させて入射光の反射角度を決めることにより画像が生成される。
【０００３】
図１を参照すれば、従来の可動ミラー装置１１５は、基板１００と、この基板１００上に対向配置される一対のアドレス電極１０１及びバイアス電極１０２と、ポスト１０５により支持されたマイクロミラー１０６と、前記マイクロミラー１０６及びポスト１０５の間に連結されてマイクロミラー１０６の傾斜時にトーションを受けるトーションヒンジ１１０とを含んでなる。前記バイアス電極１０２に電圧を印加する時、前記ポスト１０５及びトーションヒンジ１１０を介して前記マイクロミラー１０６に電圧が印加される。また、前記一対のアドレス電極１０１のうち何れか一方の電極に電圧を印加すれば、そのアドレス電極１０１及び前記マイクロミラー１０６の間にかかった電位差により発生した静電引力によりマイクロミラー１０６が前記トーションヒンジ１１０を中心として回動する。そして、前記アドレス電極１０１及び前記マイクロミラー１０６の間にかかった電位差がなくなれば、前記トーションヒンジ１１０の復元力により前記マイクロミラー１０６が水平状態に復元される。ここで、前記マイクロミラー１０６が前記トーションヒンジ１１０を基準として何れか一方に傾斜した場合には、所定カラーに対してオン、他の方向に傾斜した場合にはオフとして作用する。
【０００４】
図２には、前述の如き従来の可動ミラー装置を採用したプロジェクタが示されている。光源１２０から出射されたビームが第１の集光レンズ１２２により集光されてカラーホイール１２５に入射する。可動ミラー装置によりカラー画像を具現するために、前記カラーホイール１２５を高速回転させてレッド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）及びブルー（Ｂ）を順次に可動ミラー装置１１５に照明する。すなわち、前記カラーホイール１２５を通ったビームは第２の集光レンズ１２７を通って画素数だけのマイクロミラー１０６が配列された可動ミラー装置１１５に入射する。各画素に対する映像信号に基づく可動ミラー装置のオン−オフ駆動により各々のマイクロミラー１０６が傾斜すれば、各画素に対応するカラーのビームが適当な角度に反射されて投射レンズ系１３３に向かい、この投射レンズ系１３３により拡大されたビームがスクリーン１３５に結像される。
【０００５】
この場合、カラーホイール１２５を高速回転させるために騷音が発生し、機械的な運動により安定性に欠けるという不利があるばかりではなく、機械的な限界のために一定以上の速度が得難いためにカラーブレーキアップ現象を引き起こすおそれがある。また、前記カラーホイール１２５の境界部分において光損失が起きるが、これを低減するためにはごく狭いビーム径に光をフォーカシングしなければならない。しかしながら、ビーム径を縮めるには一定の限界があるため、光損失は回避できない。さらに、カラーホイールそのもののコストが極めて高価であるため、コスト高の一要因となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、マイクロミラーを複数の回転軸を中心として傾斜可能にしてカラーホイール無しにもカラー画像の具現が可能な可動ミラー装置及びこれを採用したプロジェクタを提供するところにある。
【００１０】
本発明に係る可動ミラー装置は、複数のマイクロミラーの各々を独立に制御し得る可動ミラー装置であり、
基板、
前記基板に設けられたバイアス電極、
前記バイアス電極上に立設された所定数の第１のポストにより支持されて前記バイアス電極と同じ電圧を帯びるリジッド部と、前記マイクロミラーを支持するための第２のポストを支持して前記マイクロミラーに自身と同じ電圧を帯びさせる中央部と、前記リジッド部と前記中央部との間に連結されて両者に同じ電圧を帯びさせ、前記マイクロミラーが複数の回転軸を中心として傾斜する時にその傾斜方向に応じてねじれ、又はたわむように弾性変形する、少なくとも一つのスプリングヒンジと、を備えた支持板、及び、
前記マイクロミラーに対向するように前記基板上に配置され、前記バイアス電極の電圧とは異なる電圧が印加される四つのアドレス電極、
を含むことを特徴とする。
【００１１】
前記アドレス電極は好ましくは、前記マイクロミラーの各コーナーまたは各辺に対向するように配置される。
また、前記スプリングヒンジは好ましくは、前記複数の回転軸の各々に対して同じ復元力を有するような構造となっている。更に好ましくは、前記スプリングヒンジは、前記中央部を中心としてマイクロミラーの対角線方向または辺方向に対して平行に少なくとも一つ配置される。その上、前記スプリングヒンジは好ましくは、前記中央部の各辺から延設される。
前記リジッド部は好ましくは、その外形が閉鎖型に形成される。更に好ましくは、前記リジッド部は、多角形の形状を有する。
前記支持板、特に好ましくは、前記リジッド部は、前記マイクロミラーの回動時に前記マイクロミラーが所定角度以上傾かないようにするストッパーを備える。
【００１２】
本発明に係るプロジェクタは、
光を照射する光源、
光源からの光を波長領域に応じて分岐させて相異なる角度に反射及び／又は透過させる光分岐ユニット、
前記光分岐ユニットを通った入射光を選択的に反射する可動ミラー装置、及び、
前記可動ミラー装置から入射する光を透過させ、スクリーンに向けて拡散させる投射レンズユニット、
を含む。
【００１３】
本発明に係るプロジェクタでは特に、前記可動ミラー装置は、
基板、
各々独立に複数の回転軸を中心として傾斜し、前記光分岐ユニットを通った入射光を反射する複数のマイクロミラー、
前記基板に設けられたバイアス電極、
前記バイアス電極上に立設された所定数の第１のポストにより支持されて前記バイアス電極と同じ電圧を帯びるリジッド部と、前記マイクロミラーを支持するための第２のポストを支持して前記マイクロミラーに自身と同じ電圧を帯びさせる中央部と、前記リジッド部と前記中央部との間に連結されて両者に同じ電圧を帯びさせ、前記マイクロミラーが複数の回転軸を中心として傾斜する時にその傾斜方向に応じてねじれ、又はたわむように弾性変形する、少なくとも一つのスプリングヒンジと、を備えた支持板、及び、
前記マイクロミラーに対向するように前記基板上に配置され、前記バイアス電極の電圧とは異なる電圧が印加される四つのアドレス電極、
を含むことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面に基づき、本発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。図３及び図４を参照すれば、本発明に係る可動ミラー装置は、基板１と、複数の回転軸を基準として傾斜可能であるマイクロミラー１０と、複数のアドレス電極２０及びこのアドレス電極２０との相互作用による静電引力により前記マイクロミラー１０を回動せしめるバイアス電極２５と、前記マイクロミラー１０及び前記バイアス電極２５の間に挟まれた支持板３０とを含む。
【００１５】
前記支持板３０は、前記バイアス電極２５上に設けられた所定数の第１のポスト２７により支持され、前記マイクロミラー１０を支持するための第２のポスト３３が支持される中央部３５と、前記マイクロミラー１０が傾斜時に弾性変形される少なくとも一つ以上のスプリングヒンジ３７とを備えてなる。
これらに加えて、前記スプリングヒンジ３７の弾性力を安定的に保障するために、前記スプリングヒンジ３７の周りにリジッド部３９をさらに備えても良い。従って、前記支持板３０は、前記第２のポスト３３が支持される中央部３５と、所定数の第１のポスト２７により支持されるリジッド部３９と、前記中央部３５及びリジッド部３９の間に少なくとも一つ以上連結されたスプリングヒンジ３７とを備える構成とすることができる。前記リジッド部３９は、前記中央部３５を中心として閉鎖型に形成される。前記リジッド部３９の外形は、前記アドレス電極２０とマイクロミラー１０との対向面を考慮して決められ、例えば、多角形または円形の外形を有する。
【００１６】
また、前記支持板３０には、前記マイクロミラー１０の傾斜時に所定角度θ以上傾斜することを防止するために、ストッパー３８が備えられる。前記ストッパー３８は、前記マイクロミラー１０が傾斜した時に前記マイクロミラー１０の下面に当接可能に位置する。
一方、前記バイアス電極２５に電圧が加えられると、前記第１のポスト２７、前記スプリングヒンジ３７、第２のポスト３３を介して前記マイクロミラー１０まで同じ電圧を帯び、これとは異なる電圧を有するアドレス電極２０との静電引力により前記マイクロミラー１０が所定方向に傾斜する。前記アドレス電極２０は複数配置されるが、例えば前記マイクロミラー１０が水平状態を維持する時、第１，第２，第３及び第４のアドレス電極２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄをマイクロミラー１０の各コーナーに対向配置できる。
【００１７】
また、前記スプリングヒンジ３７は、図５及び図６に示されたように、前記中央部３５を中心として前記マイクロミラー１０に対して対角線方向に少なくとも一つ以上備えられる。
前記の如き構成された可動ミラー装置の作用について説明すれば、下記の通りである。
【００１８】
前記基板１にはＳＲＡＭが内蔵されており、ＳＲＡＭから画像信号に基づき前記第１ないし第４のアドレス電極２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄのうち選択的に電圧が印加される。例えば、前記第１及び第２のアドレス電極２０ａ，２０ｂに所定の電圧を印加し、前記バイアス電極２５に前記第１及び第２のアドレス電極２０ａ，２０ｂに印加された電圧とは異なる電圧を印加すれば、その電圧差によって前記マイクロミラー１０及び前記第１のアドレス電極２０ａの間に静電引力が発生する。従って、図４に示されたように、前記マイクロミラー１０が前記第１及び第２のアドレス電極２０ａ側に傾斜する。この時、前記スプリングヒンジ３７が弾性変形されつつ前記マイクロミラー１０が所定方向に傾斜する。静電引力の大きさ及び前記スプリングヒンジ３７の特性によって前記マイクロミラー１０の傾き方向が決められ、前記ストッパー３８により所定角度θを維持しつつ支持される。一方、第１及び第２のアドレス電極２０ａ，２０ｂ及びバイアス電極２５に同じ電圧が加えられれば、等電位をなすためにそれらの間に発生した静電引力が解除され、スプリングヒンジ３７の復元力によりマイクロミラー１０が水平状態に復元される。これと同様に、第１ないし第４のアドレス電極２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄのうち選択的に電圧が加えられれば、マイクロミラー１０は四方への傾き運動ができる。この時、マイクロミラー１０がいかなる方向に傾いても、スプリングヒンジ３７の復元力、すなわち、トーション及びテンションが同じ条件下で作用するようにスプリングヒンジ３７を配することが望ましい。
【００１９】
前述した例では、前記スプリングヒンジ３７が前記マイクロミラー１０の対角線方向に一つ備えられているが、図６に示すように、前記マイクロミラー１０の対角線方向に第１及び第２のスプリングヒンジ４０ａ，４０ｂが備える構造としても良い。
あるいは、図７に示すように、前記マイクロミラー１０の辺方向に対して平行に第３及び第４のスプリングヒンジ４１ａ，４１ｂを配置できる。
【００２０】
さらに他の実施形態として、図８に示すように、前記第２のポスト３３が支持される中心部３５の各辺から延びた第５，第６，第７及び第８のスプリングヒンジ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄを備える構造とすることができる。
前記スプリングヒンジの色々な配置に対する実施形態は、前記マイクロミラー１０の複数の回動軸に対していずれも同じ条件の配置を満足している。
【００２１】
以上、前記アドレス電極２０が前記マイクロミラー１０の各コーナーに対向配置された場合を説明したが、図９に示すように、アドレス電極を前記マイクロミラー１０の辺方向に対して対向配置しても良い。この場合、第５，第６，第７及び第８のアドレス電極５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄがマイクロミラー１０の各辺方向に配置されており、前述した支持板３０を同様に適用できる。
【００２２】
このようにアドレス電極５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄがマイクロミラー１０の辺方向に配された場合には、マイクロミラー１０の辺方向に平行である第３及び第４の回転軸Ｘ'，Ｙ'を中心としてマイクロミラー１０が回動する。
前述の如く、本発明に係る可動ミラー装置は、多軸駆動、特に、２軸駆動が可能であり、マイクロミラー１０が四方に傾斜可能である。このように構成されたマイクロミラー１０が複数配列されて各々独立的に傾斜するように調節されることにより画像が形成される。
【００２３】
次は、図面に基づき、前記可動ミラー装置を採用したプロジェクタについて詳細に説明する。
図１０を参照すれば、本発明に係る可動ミラー装置を採用したプロジェクタは、光を照射する光源５０と、この光源５０からのビームを波長領域に応じて分離させて相異なる角度に透過及び／または反射させる光分岐ユニット６０と、前記光分岐ユニット６０から各々分離されたＲ，Ｇ，Ｂの３色光を集束及び／または発散させることにより入射光の進路をガイドする可動ミラー装置５５と、前記可動ミラー装置５５からの光がスクリーン７０に向かうように拡大透過させる投射レンズユニット６５とを含む。
【００２４】
前記可動ミラー装置５５は、複数のマイクロミラー１０が２次元的に配列されて各々の画像信号に基づき独立的に駆動されることによって光の進路を変える。本発明に係る可動ミラー装置は前述の通りであり、ここでは簡単に一つのマイクロミラー１０の駆動状態のみを表わして説明する。従来のように、マイクロミラー１０６の回転軸が一つである時には可動ミラー装置により各カラーごとにオン−オフの２状態が選択された。ところが、本発明のように、回転軸が多数、特に、２つである時には、前記マイクロミラー１０が左右上下の四方に傾斜可能であるので、カラーホイール（図２の１２５）無しでカラー画像が具現できる。
【００２５】
前記光分岐ユニット６０は、前記光源５０からの光を波長領域に応じてＲ，Ｇ，Ｂの３色に分離させるものであって、第１の２色ミラー６１、第２の２色ミラー６３及び一対の第１及び第２の全反射ミラー６２，６４を備える。例えば、前記第１の２色ミラー６１はレッド反射用の２色ミラーであって、レッド波長領域の光は前記第１の全反射ミラー６２側に反射させる一方、残りのグリーン及びブルー波長領域の光は透過させる。そして、前記第２の２色ミラー６３は、例えば、グリーン波長領域の光を反射させて残りの光は透過させるグリーン反射用の２色ミラーである。前記第１の２色ミラー６１を透過したグリーン光Ｇ及びブルー光Ｂは前記第２の２色ミラー６３に入射した後、グリーン光Ｇは前記第２の全反射ミラー６４側に反射され、ブルー光Ｂはそのまま透過される。
【００２６】
従って、前記レッド光Ｒは前記第１の全反射ミラー６２により、前記グリーン光Ｇは前記第２の全反射ミラー６４により、そして前記ブルー光Ｂは前記第２の２色ミラー６３により相異なる角度に可動ミラー装置５５側に入射する。これにより、Ｒ，Ｇ，Ｂの各々の相異なる入射角及び各々の入射角に対応する前記マイクロミラー１０の傾斜角に応じてＲ，Ｇ，Ｂが選択的に前記投射レンズユニット６５に入射してカラー画像を具現する。
【００２７】
図１１は、可動ミラー装置５５の未作動時の準備状態を示すものであって、可動ミラー装置の一構成要素であるマイクロミラー１０一つのみを代表的に表わし、マイクロミラーの動作によるカラー画像具現について説明する。ここで、Ｒ，Ｇ，Ｂで表わされたものは各々、前記第２の２色ミラー６３、第１，第２の全反射ミラー６２，６４から出射される光の出射点を図式的に示すものである。そして、ＢＡＬＣＫにて示すものは、ブラック画像の形成のためのマイクロミラー１０の傾斜を定めるための参考用である。この時、所定の基準軸Ｉに対して前記マイクロミラー１０が傾いていない状態では、Ｒ，Ｇ，Ｂのいずれの光も前記投射レンズユニット６５に入射することができない。
【００２８】
一方、図１２のように、前記マイクロミラー１０がＹ軸を中心として図中の矢印の反対方向に回動して傾斜する場合、レッドＲのみ投射レンズユニット６５側に入り、残りの色の光は前記投射レンズユニット６５の外側に発散されてレッドカラーが具現される。また、前記マイクロミラー１０がＹ軸を中心として図中の矢印方向に傾斜する場合、ブルーＢのみ前記投射レンズユニット６５に入り、残りのレッドやグリーンは投射レンズユニット６５の外側に発散されてブルーカラーが具現される。
【００２９】
また、図１３のように、前記マイクロミラー１０がＸ軸を中心として図中の矢印方向に傾けば、Ｒ，Ｇ，Ｂだけではなく、余計な表面反射光も前記投射レンズユニット６５に入射でき、ブラック画像が具現される。そして、反対方向に傾けばグリーンカラーＧとなる。
前述の如く、本発明に係る可動ミラー装置において、前記アドレス電極２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄのうち選択的に電圧を印加することにより前記マイクロミラー１０を少なくとも２本の回転軸を中心として四方に傾斜させることができ、その傾いた方向に応じてＲ，Ｇ，Ｂカラーを選択的に具現できる。
【００３０】
【発明の効果】
前述の如く、本発明に係る可動ミラー装置及びこれを採用したプロジェクタは、１パネル方式でありつつカラーホイールが不要であるため、カラーホイールの高速回転による騷音と振動震動及び機械的運動による不安定性が除去されるだけではなく、相対的に高価であるカラーホイールの製作コストを節減させることにより生産コストが節減される。また、カラーホイールの境界部分において発生する光損失が低減でき、電力の消耗が低減できるので、携帯型装置の構成が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の可動ミラー装置の概略的な斜視図である。
【図２】従来の可動ミラー装置を採用したプロジェクタの概略的な配置図である。
【図３】本発明の一実施の形態による可動ミラー装置の分解斜視図である。
【図４】図３のIV−IV線断面図である。
【図５】本発明の一実施の形態による可動ミラー装置の平面図である。
【図６】本発明の他の実施の形態による可動ミラー装置のスプリングヒンジの配置図である。
【図７】本発明の他の実施の形態による可動ミラー装置のスプリングヒンジの配置図である。
【図８】本発明の他の実施の形態による可動ミラー装置のスプリングヒンジの配置図である。
【図９】本発明に係る可動ミラー装置を採用したプロジェクタの概略的な構成図である。
【図１０】本発明に係る可動ミラー装置を採用したプロジェクタの作動を説明するための図面である。
【図１１】本発明に係る可動ミラー装置を採用したプロジェクタの作動を説明するための図面である。
【図１２】本発明に係る可動ミラー装置を採用したプロジェクタの作動を説明するための図面である。
【図１３】本発明に係る可動ミラー装置を採用したプロジェクタの作動を説明するための図面である。
【符号の説明】
１        基板
１０       マイクロミラー
２０       アドレス電極
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ    第１ないし第４アドレス電極  ２５
バイアス電極
２７       第１のポスト
３０       支持板
３３       第２のポスト
３５       中央部
３７       スプリングヒンジ
３８       ストッパー
３９       リジッド部
【図１】
0003781710.tif 000002
【図２】
0003781710.tif 000003
【図３】
0003781710.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003781710.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0003781710.tif 000011
【図１１】
0003781710.tif 000012
【図１２】
0003781710.tif 000013
【図１３】
0003781710.tif 000014