(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線発生器からのＸ線をそのＸ線照射領域内でかつ前記Ｘ線発生器から離れた設置面に設置されたスリットを介してライン状に形成し、被検査物に照射して被検査物を検査するＸ線検査装置において、前記Ｘ線発生器から発生するＸ線を前記スリットの近傍までライン状に絞り込んで案内する案内筒と、この案内筒と前記スリットとの間の周囲を包囲する防護壁を設け、前記スリットはその設置面に対してスリットの方向、位置を変位可能に配設されるとともに、変位を調整するための調整機構を備えていることを特徴とするＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検査物にＸ線を照射し、その透過像から被検査物を検査するＸ線検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
このＸ線検査装置には種々の形式のものがあるが、その一つに発生するＸ線をスリットにてライン状に形成し、このライン状Ｘ線を被検査物に照射するとともに、被検査物を透過したライン状Ｘ線をラインセンサ（検出器）にて受けるようにして検査する方式がある。この場合はライン状Ｘ線を照射しつつ被検査物を移動させていくことで二次元透過像を得ることができ、しかも被検査物を移動させながら検査でき検査作業の効率を向上できる利点がある。
図７は、このような従来のＸ線検査装置の構成を示しているが、１がＸ線発生器でありフード３の内方にて支持台２上に載置されている。５は支持台２の設置板で、検査装置の機枠１４の上方部に配設されている。また、機枠１４の上方には被検査物１７を左方より右方へ移送するベルトコンベア機構が設けられていて、７はそのエンドレスベルトであり、両プーリ８Ｉ、８Ｄ間に張架されている。６Ｉ、６Ｄは鉛入りゴム製ののれんで、Ｘ線が外方に漏洩するのを防止するとともに被検査物１７の装置内への搬入、搬出を可能にしている。９は電動機で、その出力軸に取り付けられたプーリ１０とプーリ８Ｄとの間に張架されたベルト１１にて、電動機９の回転出力がエンドレスベルト７に伝動されるようになっている。したがって、左方の入口から搬入された被検査物１７はベルトコンベア機構により左方から右方へ移送される。１３は電気制御機器で、装置の機枠１４における下方の台に載架されている。１５は機台である。
【０００３】
つぎにＸ線検査機構について説明すると、上記したとおりＸ線発生器１からのＸ線は、支持台２上の支持板２Ｐに穿設した照射孔ＰＨから下方に発射される。このＸ線は、その照射領域でかつ設置板５上に設置されたスリットＳを通過しライン状に形成される。すなわち、スリットＳは細長い角孔を有する遮蔽板である。ライン状に形成されたＸ線は、設置板５に穿設されたライン状孔５Ｈを介して下方に照射される。そして、ライン状のＸ線は被検査物１７を照射するが、この被検査物１７を透過し被検査物１７の情報を含んだライン状のＸ線は、ラインセンサ１２にて検出される。被検査物１７は移送されつつＸ線が透過されるので、ラインセンサ１２からの出力が順次出力され、それらのデータに基づいて電気制御機器１３に設けられた画像形成機器等により被検査物１７のＸ線透過像が得られる。そして、その画像が検査装置の上段に設置した表示器４にて表示される。
【０００４】
なお、図７において１６はフード３に設けられた開閉扉で、Ｘ線照射時は閉塞されてＸ線が外部に漏洩されないような構造となっている。この開閉扉はスリットＳの位置調整時やフード３内のメンテナンスの際に開成され、作業者（検査者）がこの部位から手を挿入して作業が行われるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
スリットによってライン状のＸ線を形成し、照射する形式のＸ線検査装置においては、このスリットの設置位置を調整することが重要な事項である。すなわち、長時間の使用においてはスリットが変位したり機器のゆるみ、偏位等が生じる。この場合、ラインセンサの設置位置（方向）とスリットの方向を合致しなければ充分な検査が実現しないが、そのためにスリットの設置角度等を調整する。この、スリットの調整はつぎのような順序で行われる。
【０００６】
（１）Ｘ線の照射中にラインセンサから得た画像から、スリットの軸芯方向のずれ方（位置と角度）を確認する。
（２）Ｘ線の照射を一時停止する。
（３）フードの開閉扉を開ける。
（４）スリットの位置と角度（軸芯の方向）の調整を行う。
（５）フードの開閉扉を閉塞する。
（６）再びＸ線を照射する。
（７）スリットの方向のずれを照射像から再度確認する。
（８）上記（２）から（７）までの作業をスリットの軸とラインセンサの軸が合うまで繰り返して行う。
【０００７】
以上の手順で作業を行うことになるが、スリットはＸ線の照射経路の途中に配設されており、作業者のＸ線被曝を防止するために、何回もＸ線の照射、停止を繰り返し行わなければならないことになる。その度に開閉扉の開閉頻度が増えることになり、Ｘ線の被曝の可能性が生じやすく危険である。
本発明はこのような問題点を解決するＸ線検査装置を提供せんとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明が提供するＸ線検査装置は、上記課題を解決するために、Ｘ線発生器から発生するＸ線をスリットの近傍までライン状に絞り込んで案内する案内筒と、この案内筒と前記スリットとの間の周囲を包囲する防護壁を設けたものである。したがって、照射されるＸ線は案内筒と防護壁によって遮蔽され被曝の危険がなくなる。さらに本発明は、スリットを設置面に対して移動可能に設けるとともにスリットの方向、位置を調整する調整具を設けたものである。したがって、Ｘ線の照射中でも開閉扉を開いてスリットの位置を調整できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明が提供するＸ線検査装置を図面に示す一実施例について説明する。
図１は本発明の特徴を示すＸ線検査装置の構成を示す図で、その構成の特徴はＸ線発生器１からのＸ線の照射孔である支持板２Ｐに穿設された照射孔ＰＨに、Ｘ線をライン状にして絞り込みながらスリットＳに案内する案内筒Ｔを吊設した点にある。
【００１０】
この案内筒Ｔの構成は、図２、図３に詳細に示されている。図２は案内筒Ｔの縦断面を示す拡大図であり、図３は案内筒Ｔのみを取り外して斜視的に示す図である。なお、図２は具体的なＸ線検査装置の断面図で、構成を概略的に示す図１とは支持台２や設置板５などが細部の点で異なっている。図２に示すとおり、案内筒Ｔは鉛板ＴＣで内張りされた２重筒で、外方はステンレス材ＴＳで形成されている。
【００１１】
この２枚の金属板は、Ｘ線の透過を阻止しかつ強度を保持させるためで、固定ねじ１８にて接合されている。この固定ねじ１８は、また案内筒Ｔの細長方向両端の端板１９も合わせて接合している。１９Ｆは上端曲折部で、照射孔ＰＨの内側を形成している。また、図２においてＴＦは案内筒Ｔの上端における曲折部で、支持台２に対する案内筒Ｔの吊設を容易かつ確実にするためのものである。ＴＨはこの吊設のための固定ねじ２０を貫設する孔である。
【００１２】
この案内筒Ｔの下端はスリットＳに近接しており、ライン状のＸ線はスリットＳに近接した上部まで案内され照射される。これに対して設置板５にはスリットＳの側方でスリットＳと案内筒Ｔの間の周囲を包囲する防護壁Ｗが設置されている。この防護壁Ｗの高さは案内筒Ｔの下端より所定の距離だけ高く設定されている。したがって、案内筒Ｔの下端孔からＸ線が照射された場合、その反射Ｘ線は防護壁Ｗで遮られて外方へ放射されることはない。
したがって、開閉扉１６を開いたままでＸ線を照射してもＸ線がフード３内に放射されることはなく、そのため開閉扉１６から手を挿入しても被曝の危険はない。
【００１３】
さらに本発明は、スリットＳがその方向、位置が変位可能で、調整自在とされている。その構成は図４、図５に示されている。すなわち、図４はスリットＳを上方より見た平面図で、スリットＳは２個の分割体Ｓ１、Ｓ２を互いに接合し合うことにより構成される。すなわち、この両分割体Ｓ１、Ｓ２は接合され、その接合部に小さい間隙ＳＫが形成されていて、この間隙ＳＫによりライン状のＸ線が形成される。
【００１４】
ところで、この２個の分割体Ｓ１、Ｓ２はその設置台２１に対して変位可能である。２１ＨはＸ線の照射孔を示している。さらに、スリットＳの外周には防護壁Ｗが設置されているが、この防護壁Ｗには図５に示すとおり右方の防護壁Ｗの下方には支点ピン２２が螺合されている。他方、左方の防護壁Ｗには２個の可動ピン２３、２４が一定の間隔を有し、支点ピン２２から同距離を有して配設され螺合している。これら支点ピン２２と可動ピン２３、２４の螺合を調節することによってスリットＳ、厳密には間隙ＳＫの位置を左右変位でき、その方向（角度）を調整できる。しかもこれらの操作がＸ線の照射中にできる。
【００１５】
図６は支点ピン２２を拡大して示す断面図である。図に示すようにねじ筒体ＮＴの先端には凹部ＮＰを有し、この凹部ＮＰにコイルバネＳＰを介して設けられたボールＢＬがスリットの分割体Ｓ１、Ｓ２に係合する。可動ピン２３、２４にはコイルバネは介在されていないが、このような構成によりスリットの分割体Ｓ１、Ｓ２と支点ピン２２、可動ピン２３、２４との係合が円滑に行われスリットの調整が微細にして精度よく行われる。
【００１６】
本発明が提供するＸ線検査装置の特徴は、以上詳述したとおりであるが、上記ならびに図示例に限定されるものではなく、種々の変形実施例を包含する。
まず、第１の特徴である案内筒については、上記のように端板との接合体により構成することに限定されず、細長の孔を有する中空体の単体でもよく、しかも２重形でなくたとえば鉛製の中空単体とすることもできる。案内筒はその下端がスリットに近接する形とすることが条件であるが、その下端を若干末広がりにしてスリットを覆うようにすることもできる。ただし、その場合でも防護壁Ｗは一定の高さを有する周囲壁として設けることが望まれる。
【００１７】
防護壁Ｗについても図示例のような形状に限定されるものではなく、矩形の環状枠を直接設置板５に取り付けるようにしたものでもよい。なお、この防護壁Ｗには実際にはスリットＳの調整を行うための手段を取り付ける必要があるが、そのためにこの調整手段や調整方式によって防護壁Ｗの形状もこれらの構成により変わり得るものである。すなわち、たとえばスリットＳを回転機構によって調整する方式の場合、回転機構を結合させた防護壁とする必要があり、中央部に円形部（膨張部）が形成される。
【００１８】
ところで、このスリットＳの調整手段として図示例は支点ピン２２と可動ピン２３、２４を防護壁Ｗに螺合貫設する方式であるが、螺合方式でなくカム方式を採用し、カムの回転量でスリットＳの分割体Ｓ１、Ｓ２を係合変位させるようにすることもできる。あるいは上述したとおり、回転機構と左右変位機構との組み合わせにより行うようにすることもできる。さらにスリットは分割体でなく単体とすることもできる。
【００１９】
なお、Ｘ線検査装置としての全体の構成や各部の形状等についても図示例は一例で、設計的に種々の変形例を挙げることができる。たとえば、被検査物１７の移送機構としてコンベア機構もベルト方式に限らず、チェーン方式も考えられるし、押し出しできる往復動形のアクチュエータ方式とすることもできる。
本発明は、これらすべての変形実施例を包含する。
【００２０】
【発明の効果】
本発明が提供するＸ線検査装置は以上詳述したとおりであるから、Ｘ線を照射中にラインセンサからの出力による表示機にて画像を見ながらスリットの調整が可能になり、調整作業時間を短縮することができる。すなわち、スリットの調整時にＸ線の照射をオン、オフする作業やフードの扉の開閉作業が省略されるからである。したがって、組立、調整費の削減ができる。さらにＸ線照射経路の縮小により、防護壁の削減、防護構造の簡略化、インターロック機構などの削減などによって製品の大幅なコストダウンが図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるＸ線検査装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の要部を拡大して示す図である。
【図３】本発明の要部である案内筒の形状を示す斜視図である。
【図４】本発明の要部であるスリットと防護壁の形状を示す図である。
【図５】本発明におけるスリットと防護壁を断面して示す図である。
【図６】本発明におけるスリットの調整具である支点ピンを一部断面して示す拡大図である。
【図７】従来におけるＸ線検査装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
１…Ｘ線発生器
２…支持台
３…フード
４…表示器
５…設置板
６Ｉ、６Ｄ…のれん
７…エンドレスベルト
８Ｉ、８Ｄ…プーリ
９…電動機
１２…ラインセンサ
Ｓ…スリット
Ｓ１、Ｓ２…分割体
２２…支点ピン
２３、２４…可動ピン
Ｔ…案内筒
Ｗ…防護壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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