(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック原料粉末の主成分となる基本組成物粉末と、該基本組成物粉末の電気特性を改質するための金属元素を含有し、有機溶剤に可溶な第１の有機金属化合物と、前記基本組成物粉末の焼結性を高めるための金属元素を含有し、有機溶剤に可溶な第２の有機金属化合物とを、有機溶剤と共に混合粉砕してスラリー化し、該スラリーから前記有機溶剤を除去して、表面に前記第１および第２の有機金属化合物が付着した基本組成物粉末を得た後、該基本組成物粉末を前記第１の有機金属化合物の分解温度より高温で、かつ、前記第２の有機金属化合物の分解温度より低温で熱処理することを特徴とする、セラミック原料粉末の製造方法。
【請求項２】
前記スラリー中に界面活性剤を添加することを特徴とする、請求項１に記載のセラミック原料粉末の製造方法。
【請求項３】
前記第１の有機金属化合物は、金属アルコキシド、金属アセチルアセトナートおよび金属石鹸のうちの少なくとも１種類であることを特徴とする、請求項１または２に記載のセラミック原料粉末の製造方法。
【請求項４】
前記第２の有機金属化合物は、シリカゾルと金属酢酸塩と多価アルコールを反応させて得られた複合金属アルコキシドであることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載のセラミック原料粉末の製造方法。
【請求項５】
前記基本組成物粉末は、ＢａxＴｉＯ2+x（ただし、１．００≦ｘ≦１．０３）粉末であることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載のセラミック原料粉末の製造方法。
【請求項６】
前記基本組成物粉末の結晶のｃ／ａ軸比は、１．００３≦（ｃ／ａ軸比）≦１．０１０の範囲内にあることを特徴とする、請求項５に記載のセラミック原料粉末の製造方法。
【請求項７】
前記基本組成物粉末の平均粒子径は、５０ｎｍ以上、２００ｎｍ以下の範囲内にあり、かつ、最大粒子径が３００ｎｍ以下であることを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載のセラミック原料粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック原料粉末の製造方法、およびセラミック原料粉末、ならびにこの原料粉末を用いて得られる誘電体セラミックおよび積層セラミック電子部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、積層セラミックコンデンサの小型化および低コスト化が進み、誘電体セラミック層の厚みは３μｍ近くまで薄層化が進んでいる。また、内部導体すなわち内部電極用の材料としても、Ｃｕ、Ｎｉなどの卑金属が使用されるようになっている。さらに、最近は、薄層化がさらに進み、誘電体セラミック層の厚みが１μｍ程度のものも開発されてきている。
【０００３】
このような積層セラミックコンデンサの誘電体材料として、チタン酸バリウムなどの基本組成物粉末に対して種々の金属元素を添加して、その電気特性の改質や焼結性の向上を図ることが行なわれている。そして、これらの金属元素の添加方法としては、以下のような方法が知られている。
（１）セラミック誘電体の基本組成物粉末に、添加金属元素の炭酸塩もしくは酸化物またはそれらの混合物を添加し、混合した後仮焼する方法。
（２）セラミック誘電体の基本組成物粉末のスラリー中に、添加金属元素を含む水溶液を添加し、これに沈殿剤を加えて沈殿させ、その後ろ過乾燥した後仮焼する方法。
（３）セラミック誘電体の基本組成物粉末に、バインダおよび添加金属元素化合物の溶液を添加してスラリー化し、ドクターブレード法などを用いてグリーンシートを形成し、その後焼成する方法（特開平５−８９７２４号公報、特開平５−１４４３１９号公報）。
（４）セラミック誘電体の基本組成物粉末を、有機溶剤および界面活性剤と共に混合粉砕してスラリー化し、このスラリーに添加金属元素を含む複合アルコキシド溶液を添加混合した後、有機溶媒を除去して表面が添加金属元素を含む複合アルコキシドで被覆されたセラミック基本組成物粉末を得た後、仮焼する方法（特開平１０−１３９５５３号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記（１）の方法の場合、粉末同士の混合であるため、基本組成物粉末に対して添加金属元素の炭酸塩または酸化物をミクロ的に均一分散させることは困難である。したがって、セラミック基本組成物粉末中で添加金属元素が偏析し、基本組成物粉末の個々の粒子によって添加効果に差が生じて、セラミック電子部品の特性ばらつきが大きくなるというだけでなく、目的とする特性を得ることが困難になるという問題点を有している。
【０００５】
また、上記（２）の方法の場合、（１）の方法に比べて分散性は向上するがその分散性は十分とは言えず、しかも複数の金属イオンを１種類の沈殿剤で共沈させることは困難である。例えば、Ｓｒ+2、Ｃａ+2およびＭｇ+2は炭酸イオンと反応させて複合炭酸塩として沈殿させることが可能であるが、Ｔｉ+4などについては炭酸イオンで炭酸塩として沈殿させることは不可能である。
【０００６】
また、沈殿剤として、金属イオンを含まないためにより好ましいアンモニウム塩を用いる場合は、Ｚｎ+2、Ｍｎ+2、Ｎｉ+2、Ｃｏ+2などはアンミン錯体を形成して可溶性の塩となるため、沈殿を生成させることが不可能となる。
【０００７】
また、上記（３）の方法の場合、スラリー形成時に共存する陰イオンまたは陽イオンの種類によっては、有機バインダとの相互作用によってバインダがゲル化し、添加剤を均一に分散付着させることが不可能な場合がある。
【０００８】
さらに、上記（４）の方法の場合、基本組成物粉末表面を添加金属元素を含む複合アルコキシドで被覆した後、仮焼し、その後バインダ溶液を添加してスラリーとするため、バインダのゲル化反応を抑えることができる。しかしながら、仮焼時に、電気特性を改質するために添加した金属元素の化合物と、焼結性を高めるために添加したガラス形成用の金属元素の化合物が、ともに分解してしまう。したがって、電気特性の改質成分がガラス成分と優先的に反応するので、十分な特性改質効果が得られなかったり、ガラスの軟化温度が変化して焼結助剤として十分機能できないなどの問題点が生じる。この問題点に関しては、上記（１）〜（３）の方法においても同様である。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、上記の問題点を解決し、セラミック基本組成物の個々の粉末表面に、電気特性を改質するための金属元素化合物（電気特性改質剤と称す）と、焼結性を高めるための金属元素化合物（焼結助剤と称す）が、それぞれ電気特性改質剤および焼結助剤としての機能を損なうことなく形成された、セラミック原料粉末とその製造方法を提供することにある。また、このセラミック原料粉末を用いて作製された誘電体セラミックおよび積層セラミック電子部品を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のセラミック原料粉末の製造方法は、セラミック原料粉末の主成分となる基本組成物粉末と、該基本組成物粉末の電気特性を改質するための金属元素を含有し、有機溶剤に可溶な第１の有機金属化合物と、前記基本組成物粉末の焼結性を高めるための金属元素を含有し、有機溶剤に可溶な第２の有機金属化合物とを、有機溶剤と共に混合粉砕してスラリー化し、該スラリーから前記有機溶剤を除去して、表面に前記第１および第２の有機金属化合物が付着した基本組成物粉末を得た後、該基本組成物粉末を前記第１の有機金属化合物の分解温度より高温で、かつ、前記第２の有機金属化合物の分解温度より低温で熱処理することを特徴とする。
【００１１】
そして、前記スラリー中に界面活性剤を添加することを特徴とする。
【００１２】
また、前記第１の有機金属化合物は、金属アルコキシド、金属アセチルアセトナートおよび金属石鹸のうちの少なくとも１種類であることを特徴とする。
【００１３】
さらに、前記第２の有機金属化合物は、シリカゾルと金属酢酸塩と多価アルコールを反応させて得られた複合金属アルコキシドであることを特徴とする。
【００１５】
そして、前記基本組成物粉末は、ＢａxＴｉＯ2+x（ただし、１．００≦ｘ≦１．０３）粉末であることを特徴とする。
【００１６】
また、前記基本組成物粉末の結晶のｃ／ａ軸比は、１．００３≦（ｃ／ａ軸比）≦１．０１０の範囲内にあることを特徴とする。
【００１７】
また、前記基本組成物粉末の平均粒子径は、５０ｎｍ以上、２００ｎｍ以下の範囲内にあり、かつ、最大粒子径が３００ｎｍ以下であることを特徴とする。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明のセラミック原料粉末の製造方法は、セラミック原料粉末の主成分となる基本組成物粉末と、この基本組成物粉末の電気特性を改質するための金属元素を含有する、有機溶剤に可溶な第１の有機金属化合物と、前記基本組成物粉末の焼結性を高めるための金属元素を含有する、有機溶剤に可溶な第２の有機金属化合物とを、有機溶剤と共に混合粉砕してスラリー化する工程と、このスラリーから前記有機溶剤を除去して、表面に前記第１および第２の有機金属化合物が付着した基本組成物粉末を得る工程と、この基本組成物粉末を前記第１の有機金属化合物の分解温度より高温で、かつ、前記第２の有機金属化合物の分解温度より低温で熱処理する工程とを備えた製造方法である。
【００２４】
そして、電気特性を改質するための金属元素としては、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｍｇ、Ｂａ、Ｃａ、Ｙなどや、Ｃｅ、Ｎｄ、Ｅｒ、Ｄｙに代表される希土類元素などが挙げられる。焼結性を高めるための金属元素としてはＬｉ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｔｉなどが挙げられる。
【００２５】
このような、本発明のセラミック原料粉末の製造方法によれば、まず、セラミック基本組成物粉末と第１および第２の有機金属化合物を混合粉砕することによって、基本組成物粉末が微細に解砕され、分散されたスラリーが得られる。このとき、界面活性剤と共に混合粉砕した場合は、その粒子表面に界面活性剤が吸着して分散性がよくなる。
【００２６】
そして、このスラリーから有機溶剤を除去することで、第１および第２の有機金属化合物を、基本組成物粉末個々の表面に均一に付着させることが可能になる。
【００２７】
その後、得られた粉末を、第１の有機金属化合物の分解温度より高温で、かつ、第２の有機金属化合物の分解温度より低温で熱処理すると、基本組成物粉末個々の表面で、第１の有機金属化合物、すなわち電気特性を改質するための金属元素の化合物は分解して、基本組成物粉末の表面に非常に微細な粒子として分散して析出する。また、分解した第１の有機金属化合物の一部は、基本組成物粉末の表面層中に拡散する。一方、第２の有機金属化合物、すなわち焼結性を高めるための金属元素の化合物は、分解されることなく、そのまま有機金属化合物の状態でセラミック原料粉末の表面に均一に付着している。
【００２８】
このようにして得られたセラミックス原料粉末を用いて誘電体磁器を製造すると、焼結過程において、第１の有機金属化合物の分解物は、基本組成物粉末に均一に熱拡散し、誘電体磁器の特性が改質される。また、このとき、所望の焼結温度に適した温度で、第２の有機金属化合物は分解してガラスを形成し、セラミックの焼結が促進される。
【００２９】
また、使用する界面活性剤としては、特に限定されるものではなく、公知のものを、単独あるいは組合わせて適宜用いることができる。代表的な界面活性剤としては、例えば、カルボン酸塩、スルホン酸塩、硫酸エステル塩、燐酸エステル塩、脂肪族アミン塩およびそのアンモニウム塩、芳香族４級アンモニウム塩、複素環４級アンモニウム塩などのイオン性界面活性剤が挙げられる。また、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、単一鎖長ポリオキシエチレン２級アルコールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレングリコール脂肪酸エステル、ポリプロピレングリコール脂肪酸エステル、脂肪酸アルカノールアミド、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどの非イオン性界面活性剤、さらにカルボキシベタイン、スルホベタイン、アミノカルボン酸塩、イミダゾリン誘導体などの両性界面活性剤などが挙げられる。
【００３０】
また、第１の有機金属化合物としては、金属アルコキシド、金属アセチルアセトナートおよび金属石鹸のうちの少なくとも１種類を用いることが好ましい。そして、有機金属アルコキシドとしては、個々の金属元素のアルコキシドを個別に添加してもよく、複合アルコキシドとして添加してもよい。また、金属石鹸としては、オクチル酸塩やナフテン酸塩などの公知のものを適宜使用できる。
【００３１】
また、第２の有機金属化合物としては、シリカゾルと金属酢酸塩と多価アルコールを反応させて得られた複合金属アルコキシドが好ましい。このような、複合金属アルコキシドは、単一金属元素のアルコキシドに比べて大気中の水分に対して安定性を増し、加水分解による不溶性化合物の生成が抑えられる。このため、取扱いが容易となる。
【００３２】
また、複合アルコキシドを合成する出発原料として、ＳｉＯ2ゾルを用いることにより、組成ずれを防ぐことができる。即ち、テトラエチルシリケートのように沸点が低く揮発性の高い化合物を出発原料として用いた場合に生じる、Ｓｉ成分の揮散蒸発による仕込時と出来上がりにおける組成ずれを防止できる。
【００３３】
また、第２の有機金属化合物としては、例えばＬｉ2Ｏ−ＢａＯ−ＳｉＯ2系など、１０００℃以下で液相となるガラスを形成し得る、種類および量の金属元素を含有するものが好ましい。
【００３５】
そして、基本組成物粉末としては、例えば一般式ＡＢＯ3（ただし、ＡはＢａ、Ｃａ、Ｓｒなどの２価の金属から選ばれる少なくとも１種、ＢはＴｉ、Ｚｒなどの４価の金属から選ばれる少なくとも１種）で表されるものを用いることができる。代表的なものとしては、ＢａxＴｉＯ2+xで表さされる正方晶ペロブスカイト構造を有する複合酸化物があり、特に非還元性の正方晶ペロブスカイト構造を有する酸化物を得るためには、ｘが１．００〜１．０３の範囲にあるものが好ましい。そして、基本組成物粉末の結晶のｃ／ａ軸比は、より大きな強誘電性すなわち高誘電率を得るためには、１．００３〜１．０１０の範囲にあることが好ましい。
【００３６】
また、得られたセラミック原料粉末を、誘電体セラミック層厚みが１μｍ以下の積層セラミックコンデンサ用の誘電体材料として用いる場合には、セラミック原料粉末の粒子径は、平均粒子径が５０ｎｍ〜２００ｎｍの範囲にあり、かつ、最大粒子径が３００ｎｍ以下でであることが好ましい。平均粒子径が５０ｎｍより小さい場合は、添加成分との反応性が良すぎるため、焼結した誘電体磁器の粒子径が大きくなりすぎ、誘電率の温度特性が大きくなり好ましくない。逆に、平均粒径が２００ｎｍより大きい場合は、添加成分との反応性が悪くなり、特性を改質することができにくくなり好ましくない。最大粒子径が３００ｎｍより大きな粒子が含まれると、誘電体セラミックとしたときの信頼性が低下するため好ましくない。
【００３８】
さらに、本発明のセラミック原料粉末の製造方法を用いて得られた積層セラミック電子部品は、複数の積層された誘電体セラミック層と、この誘電体セラミック層間の特定の界面に沿って延びかつこの誘電体セラミック層を介して互いに対向するものの間に静電容量を形成するように配置される、複数の内部電極とを備える、積層セラミック電子部品において、前記誘電体セラミック層が本発明のセラミック原料粉末の製造方法を用いて得られたセラミック原料粉末を焼成して得られたものである。そして、積層セラミック電子部品の内部電極としてはニッケル、またはニッケル合金などの卑金属を主成分とするものが好ましい。
【００３９】
図１は、上述の積層セラミック電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサを図解的に示す断面図である。積層セラミックコンデンサ１は、積層された複数の誘電体セラミック層２と、誘電体セラミック層２間の特定の界面に沿って延びる複数の内部電極３とをもって構成される、積層体４を備えている。内部電極３は、誘電体セラミック層２を介して互いに対向するものの間に静電容量を形成するように配置されている。
【００４０】
積層体４の両端部には、端子電極となる外部電極５が形成されている。外部電極５は、特定の内部電極３と電気的に接続され、一方の外部電極５に電気的に接続される内部電極３と他方の外部電極５に電気的に接続される内部電極３とは、積層方法に関して交互に配置されている。
【００４１】
このような積層セラミックコンデンサ１において、誘電体セラミック層２が本発明の誘電体セラミックで構成される。
【００４２】
また、内部電極３の材質としては、ニッケルまたはニッケル合金を主成分とするものが、コスト面より好ましい。さらに、外部電極５は、たとえば、Ｂ2Ｏ3−Ｌｉ2Ｏ−ＳｉＯ2−ＢａＯ系ガラスフリットを含有するＡｇペーストを塗布し、これを還元性雰囲気中において焼き付けることによって形成することができる。
【００４３】
【実施例】
以下、本発明の実施例を示す。
【００４４】
（焼結性を高めるための金属元素を含有する、有機溶剤に可溶な第２の有機金属化合物の合成）
まず、出発原料として、酢酸リチウム、酢酸バリウム、酢酸カルシウム、酢酸ストロンチウムを準備した。次に、上記各出発原料を各金属原子のモル比が表１になるように秤量分取し、あらかじめ有機溶剤としてＴＨＰ（トリヒドロキシプロパン）を入れておいたビーカーに加え、２００℃で加熱溶解し、反応させた。反応終了後、溶液の温度を室温まで冷却し、シリカゾルおよびチタンイソプロポキシドを各金属原子のモル比が表１になるように加え、更に２００℃で加熱反応させることにより、第２の有機金属化合物の溶液を作製した。
【００４５】
得られた第２の有機金属化合物の熱分解温度を調べるためにＴＧ−ＤＴＡによる熱分析を行なった。その結果、図２に見られるように、作製した第２の有機金属化合物の分解温度は約４６５℃であった。
【００４６】
【表１】
0003804474.tif 000002
【００４７】
（セラミック原料粉末の作製）
まず、セラミック原料粉末の主成分となる基本組成物粉末としてＢａＴｉＯ3組成物を加水分解法で作製した。得られた粉末は、平均粒子径が１９ｎｍであり、これを種々の熱処理条件で熱処理することによって、表２に示すように、種々の粒子径および結晶のｃ／ａ軸比を有するＢａＴｉＯ3粉末を得た。これら熱処理によって生成した粉末の凝集は、熱処理後において、解砕した。
【００４８】
なお、粒子径は、得られた粒子を走査電子顕微鏡観察によって測定した。また、結晶のｃ／ａ軸比は、Ｘ線回折を行ない、その結果をリートベルト解析してＸ線プロファイルのフィッテングを行なって格子定数を求めた。
【００４９】
【表２】
0003804474.tif 000003
【００５０】
次に、得られたＢａＴｉＯ3粉末５０ｇに対して、ＢａＴｉＯ3粉末の電気特性を改質するための金属元素を含有する、有機溶剤に可溶な第１の有機金属化合物としての、Ｍｇ、Ｍｎ、ＤｙおよびＢａのオクチル酸金属石鹸を、ＢａＴｉＯ3１００モルに対して、それぞれ１．０、０．５、２．０、１．０モルの割合で加えた。また、先に得た第２の有機金属化合物を、ＢａＴｉＯ3に対して酸化物換算で２ｗｔ％加えた。これら混合物、有機溶剤としてのトルエン４０ｍｌ、および混合メディアとしての直径２ｍｍφの部分安定化ジルコニアビーズ３００ｇを５００ｃｃのポリエチレン製ポットに入れ、８時間混合粉砕を行なった。
【００５１】
次に、このスラリーをロータリーエバポレータに移し、７０℃に保持したウォーターバスにセットし、２５〜３０ｍｍＨｇの減圧下で有機溶剤を蒸留除去して、表面に第１および第２の有機金属化合物が付着したＢａＴｉＯ3（基本組成物）粉末を得た。
【００５２】
その後、得られたＢａＴｉＯ3粉末を電気炉で２００〜５００℃で熱処理してセラミック原料粉末を得た。
【００５３】
この工程中で使用した第１の有機金属化合物としてのオクチル酸金属石鹸の熱分解温度を調べるために、ＴＧ−ＤＴＡによる熱分析を行なった。その結果、図３に見られるように、使用したオクチル酸金属石鹸の混合溶液の分解温度は約２５０℃であった。
【００５４】
（積層セラミックコンデンサの作製と評価）
次に、得られたセラミック原料粉末に、ポリビニルブチラール系バインダ（セラミック原料粉末に対して７．５ｗｔ％）、可塑剤（セラミック原料粉末に対して２．５ｗｔ％）およびトルエン（セラミック原料粉末に対して２倍容量）を加え、混合メディアとしての直径２ｍｍφの部分安定化ジルコニアビーズ３００ｇを５００ｃｃのポリエチレン製ポットに入れ、１６時間混合分散を行ないセラミックスラリーを作製した。このセラミックスラリーを用いてドクターブレード法によりシート成形し、厚み０．８μｍの矩形のグリーンシートを得た。次に、このセラミックグリーンシート上に、ニッケルを主成分とする導電性ペーストを印刷し、内部電極を構成するための導電性ペースト膜を形成した。
【００５５】
次いで、セラミックグリーンシートを、上述の導電性ペースト膜の引き出されている側が互い違いとなるように複数枚積層し、積層体を得た。この積層体を、Ｎ2雰囲気中にて３５０℃の温度に加熱し、バインダーを燃焼させた後、酸素分圧１０-9〜１０-12ＭＰａのＨ2−Ｎ2−Ｈ2Ｏガスからなる還元性雰囲気中において９３０〜９９０℃で２時間焼成した。
【００５６】
焼成後の積層体の両端面に、Ｂ2Ｏ3−Ｌｉ2Ｏ−ＳｉＯ2−ＢａＯ系のガラスフリットを含有する銀ペーストを塗布し、Ｎ2雰囲気中において６００℃の温度で焼き付け、内部電極と電気的に接続された外部電極を形成した。
【００５７】
このようにして得られた積層セラミックコンデンサの外形寸法は、幅が５．０ｍｍ、長さが５．７ｍｍ、厚さが２．４ｍｍであり、内部電極間に介在する誘電体セラミックスの厚みは０．５μｍであった。また、有効誘電体セラミック層の総数は５であり、１層当たりの対向電極面積は１６．３×１０-6ｍ2であった。
【００５８】
次に、得られた各１００個の試料について電気的特性を測定した。この時、ショート不良など特性を評価できなかったサンプルの個数を数え、不良率を計算して求めた。
【００５９】
静電容量（Ｃ）および誘電損失（ｔａｎδ）は自動ブリッジ式測定器を用い、ＪＩＳ  C５１０１−１０に基づいて測定し、得られた静電容量から誘電率（ε）を算出した。
【００６０】
また、絶縁抵抗（Ｒ）を測定するために、絶縁抵抗計を用い、５Ｖの直流電圧を２分間印加して２５℃での絶縁抵抗（Ｒ）を求め、比抵抗を算出した。
【００６１】
また、温度変化に対する静電容量の変化率について、２０℃での静電容量を基準とした−２５℃〜＋８５℃の範囲での変化率（ΔＣ／Ｃ２０）と、２５℃での静電容量を基準とした−５５℃〜＋１２５℃の範囲での変化率（ΔＣ／Ｃ２５）とを求めた。
【００６２】
さらに、絶縁破壊電圧として、昇圧速度１００Ｖ／秒でＤＣ電圧を印加し、破壊に至る電圧を求めた。
【００６３】
また、高温負荷試験として、温度１５０℃にて直流電圧を５Ｖ印加して、その絶縁抵抗（R）の経時変化を測定し、絶縁抵抗値が１０5Ω以下になったときを故障とし、平均寿命時間を求めた。
【００６４】
これらの結果を表３および表４に示す。表３、４において、試料番号に＊印を付したものは本発明の範囲外のものであり、それ以外は本発明の範囲内のものである。
【００６５】
【表３】
0003804474.tif 000004
【００６６】
【表４】
0003804474.tif 000005
【００６７】
試料番号５のように、基本組成物粉末の電気特性を改質するための金属元素を含有する、有機溶剤に可溶な第１の有機金属化合物の分解温度（２５０℃）より低温の２００℃で熱処理した場合は、誘電体磁器組成物の焼成時に、有機金属化合物の有機成分の分解に伴い発生するガスにより、誘電体磁器に構造欠陥が発生し、この欠陥に内部電極の金属粒子が入り込んで素子のショート不良が多発する。
【００６８】
また、試料番号７のように、基本組成物粉末の焼結性を高めるための金属元素を含有する、有機溶剤に可溶な第２の有機金属化合物の分解温度（４６５℃）より高い５００℃で熱処理した場合は、第１の有機金属化合物が、低温焼結を目的として添加された第２の有機金属化合物の分解物と共にガラス相を形成するため、基本組成粉末と十分に固溶できず、容量温度変化率が大きくなり、平均寿命時間が短くなる。
【００６９】
これに対して、試料番号１〜４、６、８〜１０の本発明の範囲内の場合は、不良の発生率も低く、容量温度変化率や平均寿命時間などの電気特性に優れた積層セラミックコンデンサが得られる。
【００７０】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明のセラミック原料粉末の製造方法によれば、セラミック基本組成物の個々の粉末表面に、電気特性を改質するための金属元素化合物（電気特性改質剤）と、焼結性を高めるための金属元素化合物（焼結助剤）が、それぞれ電気特性改質剤および焼結助剤としての機能を損なうことなく形成された、セラミック原料粉末を得ることができる。
【００７１】
また、このセラミック原料粉末を用いることにより、誘電体セラミック層が１μｍ以下の薄層の場合においても、積層セラミック電子部品の1種である積層コンデンサを問題なく製造することができる。よって小型で大容量の積層セラミックコンデンサを高い信頼性を持って製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態による積層セラミックコンデンサを示す断面図である。
【図２】この発明の一実施形態による有機複合アルコキシドの熱分解温度を示すＴＧ−ＤＴＡ分析チャートである。
【図３】この発明の一実施形態によるオクチル酸金属石鹸混合溶液の熱分解温度を示すＴＧ−ＤＴＡ分析チャートである。
【符号の説明】
１    積層セラミックコンデンサ
２    誘電体セラミック層
３    内部電極
４    積層体
５    外部電極
【図１】
0003804474.tif 000006
【図２】
0003804474.tif 000007
【図３】
0003804474.tif 000008