(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源に対応して設けられる受光素子を有し、当該受光素子からの出力に基づいて位置に対応した受光レベルを検出する受光手段と、
この受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下となる位置を検出する第１の検出手段と、
前記受光手段の受光レベルが最小レベルとなる位置を検出する第２の検出手段と、
第１の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断し、前記第１の検出手段による検出位置が存在しない場合は前記第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断する判断手段とを備えたことを特徴とするエッジ検出センサ。
【請求項２】
光源に対応して設けられる受光素子を有し、当該受光素子からの出力に基づいて位置に対応した受光レベルを検出する受光手段と、
この受光手段の受光レベルが所定のしきい値以上となる位置を検出する第１の検出手段と、
前記受光手段の受光レベルが最大レベルとなる位置を検出する第２の検出手段と、
第１の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断し、前記第１の検出手段による検出位置が存在しない場合は前記第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断する判断手段とを備えたことを特徴とするエッジ検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、受光レベルに基づいて被検出物体のエッジ位置を検出するエッジ検出センサに関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
この種のエッジ検出センサは、光源から照射された光を被検出物体を介して受光手段により受光し、受光レベルの変化を検出することにより被検出物体のエッジ位置を検出するようになっており、これらの代表的な検出方法にしきい値検出法がある。このしきい値検出法は、ある所定のしきい値を定め、受光レベルが当該しきい値を超えたことを判定して、その位置を被検出物体のエッジ位置として検出する方法である。
【０００３】
図１１（ａ）〜（ｃ）は、例えば透過型のエッジ検出センサにおいて、しきい値検出法に基づいて検出する位置とその対応した受光レベルの一例を概略的に示している。
図１１（ａ）は、不透明な被検出物体１のエッジを検出する場合を示している。この場合、エッジ検出センサは、受光手段により検出された受光レベルが所定のしきい値α以下となる受光レベルが存在することを判定することにより被検出物体１のエッジ位置を検出することができる。
【０００４】
図１１（ｂ）は、透明な被検出物体２のエッジを検出する場合を示している。この場合、受光手段により検出された受光レベルはしきい値αを上回っているものの、エッジ検出センサは、被検出物体２のエッジの部分で屈折状態が変化することを利用し、所定のしきい値以下となる受光レベルの存在を判定することにより被検出物体のエッジ位置を検出することができる。
【０００５】
図１１（ｃ）は、例えば図１１（ｂ）に示す被検出物体２のエッジの形状と異なる鋭角形状のエッジを有する透明な被検出物体３のエッジを検出する場合を示している。この場合、図１１（ｂ）に示す被検出物体２のエッジに対応した受光レベルに対して全体的に受光レベルが上昇することがあり、しきい値α以下となるレベルまで達していないので、被検出物体３のエッジが存在しているにもかかわらず、不検出とされてしまう虞がある。これは、被検出物体３のエッジの屈折状態などの光学的特性の違いが被検出物体毎に生じるために起こることが判明している。
【０００６】
そこで、このような不具合を解消するためにピーク検出法が考えられている。ピーク検出法は、受光レベルの最小レベルを求め、その最小レベルに対応する部分を被検出物体３のエッジ位置として検出する方法である。図１２は、図１１（ｃ）の不具合を解消するようにピーク検出法に基づいてエッジ検出する際の原理を示している。この方法によれば、受光手段が受光レベルの最小レベルを検出することにより、透明な被検出物体３のエッジ位置を検出することができる。
【０００７】
しかしながら、ピーク検出法においては、不透明な被検出物体１のエッジを検出する場合に、受光レベルの最小レベルがピークを持たないため、被検出物体１のエッジを検出することができないと考えられる。
【０００８】
尚、上述の例は、エッジを検出する際に受光レベルが下降する場合の例を示したが、例えば反射型のエッジ検出センサ等のように、受光レベルが上昇する場合にエッジを検出するエッジ検出センサにも同様の問題点が考えられる。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、被検出物体が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体のエッジ近辺における屈折状態等の光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしてもエッジの誤検出を極力防ぐことができるエッジ検出センサを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載のエッジ検出センサは、光源に対応して設けられる受光素子を有し、当該受光素子からの出力に基づいて位置に対応した受光レベルを検出する受光手段と、
この受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下となる位置を検出する第１の検出手段と、
前記受光手段の受光レベルが最小レベルとなる位置を検出する第２の検出手段と、
第１の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断し、前記第１の検出手段による検出位置が存在しない場合は前記第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断する判断手段とを備えたことに特徴を有している。
【００１１】
この発明は、被検出物体のエッジ位置を検出する際に受光レベルが低下することを利用する場合に適している。すなわち、このような手段によれば、第１の検出手段は、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下となる位置を検出し、判断手段は、第１の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断する。
【００１２】
したがって、例えば不透明な被検出物体のエッジを検出する場合には、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下となる位置が必ず存在するため、被検出物体のエッジの位置検出が可能となり、第１の検出手段により検出された位置がエッジの位置として判断されることになる。
【００１３】
ところで、例えば透明な被検出物体のエッジ位置を検出する場合には、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下とならないことがあり、このような場合には第１の検出手段による検出位置が存在しないことから、判断手段は、第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置と判断するようになる。このとき、第２の検出手段は、受光手段の受光レベルが最小レベルとなる位置を被検出物体のエッジ位置として判断するので、被検出物体のエッジ位置を検出することができる。
【００１４】
これにより、被検出物体が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体のエッジ近辺における光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしても、自動的に検出方法を変更することにより被検出物体のエッジ位置の誤検出を極力防ぐことができる。
【００１５】
請求項２記載のエッジ検出センサは、光源に対応して設けられる受光素子を有し、当該受光素子からの出力に基づいて位置に対応した受光レベルを検出する受光手段と、
この受光手段の受光レベルが所定のしきい値以上となる位置を検出する第１の検出手段と、
前記受光手段の受光レベルが最大レベルとなる位置を検出する第２の検出手段と、
第１の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断し、前記第１の検出手段による検出位置が存在しない場合は前記第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断する判断手段とを備えたことに特徴を有する。
【００１６】
この発明は、被検出物体を検出する際に受光レベルが上昇することを利用する場合に適している。すなわち、このような手段によれば、第１の検出手段は、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以上となる位置を検出し、判断手段は、第１の検出手段による検出位置をエッジ位置として判断する。
【００１７】
したがって、例えば不透明な被検出物体のエッジを検出する場合には、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以上となる位置が必ず存在するため、被検出物体のエッジの位置検出が可能となり、第１の検出手段により検出された位置がエッジの位置として出力されることになる。
【００１８】
また、例えば透明な被検出物体のエッジ位置を検出する場合には、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以上とならないことがあり、このような場合には第１の検出手段による検出位置が存在しないことから判断手段は、第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置と判断するようになる。このとき、第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断するので、被検出物体のエッジの位置を検出することができる。
【００１９】
これにより、被検出物体が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体のエッジ近辺における光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしても自動的に検出方法を変更することにより被検出物体のエッジ位置の誤検出を極力防ぐことができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下本発明を、透明なガラスウェハ（被検出物体に相当）の端部（以下、エッジと称する）の検出に用いられる透過型の一次元エッジ検出センサに適用した第１の実施形態について図１ないし図６を参照しながら説明する。
【００２１】
図２は、全体構成を概略的に示している。
図２において、光源１１は、図示しないＬＥＤを有して構成されており、接続された制御回路１２からの制御信号により所定のタイミングで検出領域Ａに向けて光を照射するようになっている。
【００２２】
制御回路１２は、図示しないＣＰＵ，ＲＡＭ，ＲＯＭ等から構成されており、ＲＯＭに記憶されたプログラムに従って制御回路１２と接続される受光手段１３の動作を制御するようになっている。
【００２３】
図３は、制御回路１２の電気的構成を示している。
図３において、制御回路１２中に示される第１の検出手段１２ａ，第２の検出手段１２ｂおよび判断手段１２ｃから構成されており、これらは、ＲＯＭに記憶されたプログラムによって達成される機能ブロックである。また、ＲＡＭにはワークエリアが設けられており、後述する受光レベルを記憶するための領域が確保されている。尚、このＲＡＭのアドレスは、検出領域の位置に対応して設定されている。
【００２４】
受光手段１３は、例えばＣＣＤイメージセンサと称されるものにより構成されている。これは、一軸上に等間隔で配設された複数のＣＣＤ（Charge Coupled Device）素子（本発明における受光素子に相当）を有する例えばＣＣＤセンサユニットを有し、光源１１と対向配置されて構成されており、光源１１から照射された光を検出領域Ａを経て所定のタイミングで受光し、それぞれのＣＣＤ素子からの出力により受光レベルを検出し制御回路１２に出力するようになっている。光源１１と受光手段１３との間には、透明なガラスウェハからなる被検出物体１４が搬送されて位置するようになっている。
【００２５】
上述した構成の作用を図１，図４ないし図６をも参照して説明する。図１は、一次元エッジ検出センサが行うエッジ検出の流れをフローチャートにより示している。
図１におけるエッジ検出判断ルーチンにおいて、制御回路１２における第１の検出手段１２ａは、後述するしきい値検出ルーチンにより被検出物体１４のエッジ位置を検出する（ステップＳ１）。
【００２６】
＜しきい値検出ルーチンによる位置検出について＞
以下、第１の検出手段が行うしきい値検出ルーチンによる位置の検出について図４を参照して説明する。
光源１１から光が照射されると、受光手段１３はＣＣＤ素子により光を受光し（ステップＴ１）、ＣＣＤ素子からの出力に基づいて位置に対応した受光レベルを２５６（＝２の８乗）段階で検出し、制御回路１２に出力する。
【００２７】
制御回路１２は、ＣＣＤ素子から出力された受光レベルをＤ（１）〜Ｄ（ｋ）（ｋはＣＣＤ素子数，受光レベル数を示す）として記憶する（ステップＴ２）。制御回路２は、あらかじめ設定された所定のしきい値αを読込み（ステップＴ３）、このしきい値α以下となる受光レベルＤ（１）〜Ｄ（ｋ）が存在するか否かを以下のステップＴ４〜Ｔ１３のルーチンにより判定する。
【００２８】
制御回路２は、変数ｎに１を代入し（ステップＴ４）、受光レベルＤ（ｎ）を読込み（ステップＴ５）、Ｄ（ｎ）がしきい値α以下となっていれば（ステップＴ６：Ｙｅｓ）、Ｄ（ｎ）が記憶されたＲＡＭのアドレスを順次記憶する（ステップＴ７）。Ｄ（ｎ）がしきい値α以下となっていなければ（ステップＴ６：Ｎｏ）、ステップＴ８に移行する。
【００２９】
ステップＴ８において、制御回路１２は、変数ｎが受光レベル数ｋに一致していなければ（ステップＴ８：Ｎｏ）、変数ｎをインクリメントし（ステップＴ９）、ステップＴ５〜Ｔ９を繰り返す。受光レベルＤ（ｎ）が読み込まれしきい値α以下となるか否かが受光レベル数ｋ回判定されると、ステップＴ８において、制御回路２は、変数ｎが受光レベル数ｋに一致したと判定し、ステップＴ１０に移行する。
【００３０】
この場合、制御回路１２は、ステップＴ７において記憶されるＲＡＭのアドレスが、一つでも記憶されているか否かを判定し（ステップＴ１０）、当該アドレスが記憶されていれば、記憶されたアドレスを全て検出し（ステップＴ１１）、このアドレスから対応する検出位置を導き出すことで、被検出物体１４のエッジ位置を検出する（ステップＴ１２）。尚、ステップＴ１０において、ＲＡＭのアドレスが記憶されていないとき、言いかえれば、受光レベルＤ（１），…，Ｄ（ｋ）のうちの何れの値もしきい値α以下となっていないとき、制御回路２は位置検出を不可と判定する（ステップＴ１３）。このように、しきい値検出ルーチンにより位置が検出される場合は位置を検出し、検出されない場合には位置検出を不可と判定する。
【００３１】
そして、制御回路１２の判断手段１２ｃは、上述のようにしてエッジ検出ルーチンを実行した結果、図１に示すように位置が検出されれば（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、しきい値検出ルーチンにより検出された位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力する（ステップＳ３）。
【００３２】
上述のようなしきい値検出ルーチンを実行することにより被検出物体１４が透明であっても、被検出物体１４のエッジ位置を検出することができる。
【００３３】
しかしながら、図６に示すような鋭角形状のエッジを有する透明な被検出物体１４を上述したしきい値検出法で検出する場合、受光手段１３の受光レベルがしきい値以下とならない場合があり、このような場合には、被検出物体１４のエッジ位置を検出することができない。
【００３４】
そこで、制御回路１２の第２の検出手段１２ｂは、図１に示すように、ステップＳ２において位置が検出されない場合には（ステップＳ２：Ｎｏ）、ピーク検出ルーチンにより位置を検出する（ステップＳ４）。
【００３５】
＜ピーク検出ルーチンによる位置検出について＞
以下、第２の検出手段１２ｂが行うピーク検出ルーチンによる位置検出の流れを図５のフローチャートを参照しながら説明する。
第２の検出手段１２ｂは、ＲＡＭに記憶された受光レベルＤ（１）〜Ｄ（ｋ）を読込む（ステップＵ１）。第２の検出手段１２ｂは、変数ｎを１に設定し、最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎと比較する（ステップＵ２）。この最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎは、このピーク検出ルーチンによる位置検出のスタート時には受光レベルＤ（１）〜Ｄ（ｋ）が取り得る最大値にあらかじめ設定されている。
【００３６】
第２の検出手段１２ｂは、受光レベルＤ（ｎ）と最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎとを比較し（ステップＵ２）、受光レベルＤ（ｎ）が最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎを下回っている場合には、受光レベルＤ（ｎ）を最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎとして代入して記憶し、その受光レベルＤ（ｎ）が記憶されているＲＡＭのアドレスも記憶する（ステップＵ３）。ステップＵ２において、受光レベルＤ（ｎ）が最小レベルＤ（ｎ）ｍｉｎを下回っていなければ、ステップＵ３の処理を行わずステップＵ４へ移行する。
【００３７】
第２の検出手段１２ｂは、変数ｎが受光レベル数ｋに一致しているか否かを判定し（ステップＵ４）、一致していなければ、変数ｎをインクリメントして（ステップＵ５）、ステップＵ２〜Ｕ５を繰り返す。ステップＵ４において、第２の検出手段１２ｂは、変数ｎが受光レベル数ｋに一致している場合には、ステップＵ３において記憶されたＲＡＭのアドレスを全て検出し（ステップＵ６）、このアドレスから対応する検出領域Ａの位置を導き出すことで、位置を検出する（ステップＵ７）。
【００３８】
そして、制御回路１２の判断手段１２ｃは、図１に示すように、上述のようにしてピーク検出ルーチンによる検出位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力する（ステップＳ５）。
【００３９】
このような第１の実施形態によれば、制御回路１２は、まずしきい値検出ルーチンによる検出位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力し、しきい値検出ルーチンにより位置を検出することができない場合には、受光レベルのうち最小レベルとなる位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力するため、被検出物体１４が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体１４のエッジ近辺における光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしても被検出物体１４のエッジ位置の誤検出を極力防ぐことができる。
【００４０】
また、しきい値検出ルーチンをピーク検出ルーチンよりも優先して実行するようにしたので、被検出物体１４のエッジの検出精度を極力高くすることができる。
【００４１】
（第２の実施形態）
図７および図８は、本発明の第２の実施形態を示すもので、第１の実施形態と異なるところは、単一のレーザ光源を有して光源が構成されており、受光手段が単一の受光素子を有して構成されており、被検出物体１４が図示しない駆動装置により光源と受光手段との間に搬送されて位置するように構成された走査型エッジ検出センサに適用したところにある。第１の実施形態と同一部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
図７は、全体構成を概略的に示している。
光源１５は、図示しない単一のレーザ光源を有して構成されており、接続された制御回路１２からの制御信号により所定のタイミングで走査ミラー１６に光を照射するようになっている。
【００４３】
走査ミラー１６は、制御回路１２に駆動回路１７を介して接続されており、制御回路１２からの制御信号により、照射されたレーザ光を反射により所定の領域に走査するようになっている。尚、走査ミラー１６は、ポリゴンミラー等により構成されていても良い。
【００４４】
投光レンズ１８は、走査されたレーザ光を検出領域に対して略平行となるようにし（図６中の光が導かれる方向を示す矢印Ｘ方向参照）、受光レンズ１９は、この導かれた光を受光手段２０に導くように構成されている。
【００４５】
受光手段２０は、例えばフォトダイオードによる受光素子を有して構成されており、受光レンズ１９より導かれる光を受光し検出領域Ａに対応した受光レベルを検出し、接続された制御回路１２に出力するようになっている。
【００４６】
図示しない駆動装置は、位置検出を行うためのロータリーエンコーダを有して構成されており、光の照射方向に略垂直（図７の矢印Ｙ方向参照）となるように被検出物体１４を移動可能に構成されている。
【００４７】
その他の構成については第１の実施形態と同一のため、その説明を省略する。上述構成の作用を説明する。尚、第１の実施形態と異なるところは、図８に示すしきい値検出ルーチンによる位置の検出である。
【００４８】
走査型エッジ検出センサにおいて、制御回路１２は、変数ｎを１に設定し（ステップＶ１）、走査ミラー１６を初期位置に駆動制御し、光源１５による光の照射を開始する（ステップＶ２）。受光手段２０は、受光素子により受光し（ステップＶ３）、受光レベルＤ（ｎ）を検出領域Ａの位置と対応付けられたＲＡＭ領域内の所定のアドレスに記憶する（ステップＶ４）。
【００４９】
ここで、制御回路１２は、変数ｎが受光レベル数ｋに一致しているか否かを判定し（ステップＶ５）、一致しなければ、ｎをインクリメントして（ステップＶ６）、走査ミラー１６を所定ステップだけ駆動制御する（ステップＶ７）。この場合、走査ミラー１６は走査される所定ステップ毎に駆動制御されることになる。そして、ステップＶ３〜Ｖ７を繰り返し、ステップＶ５において、変数ｎが受光レベル数ｋに一致するとき、すなわち、受光手段２０が受光レベル数ｋ回だけ位置に対応した受光レベルを検出し制御回路１２が当該受光レベルをＤ（１）〜Ｄ（ｋ）として記憶したとき、ステップＶ８に移行する。
【００５０】
制御回路１２は、所定のしきい値αを読込み（ステップＶ８）、しきい値αがＤ（１），…，Ｄ（ｋ）のそれぞれの値以上であるか否か、言いかえれば、それぞれの受光レベルＤ（１），…，Ｄ（ｋ）がしきい値α以下となるか否かを判定する（ステップＶ９）。制御回路２は、受光レベルＤ（１），…，Ｄ（ｋ）のうち何れかの値がしきい値α以下になると判定する場合（ステップＶ９：Ｙｅｓ）、受光レベルＤ（１），…，Ｄ（ｋ）のうちしきい値α以下となる受光レベルが記憶されているアドレスを検出する（ステップＶ１０）。そして、この検出されたアドレスに基づいて被検出物体１４のエッジ位置を検出する（ステップＶ１１）。このとき、アドレスから対応する検出領域Ａの位置を導き出すことで、エッジ位置を検出することができる。
【００５１】
ステップＶ９において、受光レベルＤ（１），…，Ｄ（ｋ）の値のうちの何れもがしきい値α以下とならないと判定した場合は（ステップＶ９：Ｎｏ）、位置検出を不可として（ステップＶ１２）、しきい値検出ルーチンによる位置検出を終了する。このように位置検出が不可と判定された場合には、ピーク検出ルーチンによる位置検出を行う。ピーク検出ルーチンについては第１の実施形態と略同一のため、その説明を省略する。
【００５２】
このような第２の実施形態によれば、第１の実施形態の作用効果と略同一の作用効果を得ることができる。
【００５３】
（第３の実施形態）
図９は、本発明の第３の実施形態を示すもので、第１もしくは第２の実施形態と異なるところは、単一の投光素子を有して光源が構成されており、受光手段が単一の受光素子を有して構成されており、これら光源および受光手段の搭載される投受光装置が、被検出物体に対して相対的に動作するように構成した単光軸エッジ検出センサに適用したところにある。第１もしくは第２の実施形態と同一部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００５４】
投受光装置２１には、光源１５および受光手段２０が搭載されており、投受光装置２１は図８の矢印Ｙ方向に移動可能に構成されている。この場合、光源１５はレーザ光源であり、その光芒は極めて細いものにされている。
【００５５】
第２の実施形態と同様に、光源１５は制御回路１２からの制御信号に基づいて照射し、その光源１５から照射された光を受光手段２０により受光する。この場合、投受光装置２１を図示しない駆動装置により所定ステップだけ図９における矢印Ｙ方向に動作させ、同様にしきい値検出ルーチンによる位置の検出を行い、このしきい値検出ルーチンによる位置を検出することができる場合には、しきい値検出ルーチンによる検出位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力し、しきい値検出ルーチンにより位置を検出することができない場合には、ピーク検出ルーチンによる検出位置を被検出物体１４のエッジ位置として判断して出力する。これにより、第１の実施形態における作用効果と略同様の作用効果を得ることができる。
【００５６】
（第４の実施形態）
図１０は、本発明の第４の実施形態を示すもので、第３の実施形態と異なるところは、被検出物体１４が光源１５と受光手段２０とが搭載される投受光装置２１に対して矢印Ｙ方向に動作するように構成した単光軸エッジ検出センサに適用したところにある。
【００５７】
このような第４の実施形態においても、被検出物体１４および投受光装置２１が相対的に動作するようになっているため、第３の実施形態と略同様の作用効果が得られる。
【００５８】
（他の実施形態）
上述実施形態においては、光源として、ＬＥＤによる光源もしくはレーザ光源を用いて構成したが、これに限定されるものではなく、蛍光灯光源，ハロゲンランプ，ファイバ光源等の光源を用いても良い。
【００５９】
上述実施形態においては、第１の検出手段２ａ，第２の検出手段２ｂ，判断手段２ｃを制御回路２のＲＯＭに記憶されるソフトウェアにより構成したが、これに限定されるものではなく、ハードウェア等により構成してもよい。
【００６０】
上述実施形態においては、一次元エッジ検出センサ，走査型のエッジ検出センサ，単光軸エッジ検出センサに適用して示したが、これに限定されるものではなく、二次元エッジ検出センサ等に適用しても良い。
【００６１】
反射型のエッジ検出センサにも透過型のエッジ検出センサにも適用することができる。
【００６２】
上述実施形態においては、被検出物体１４を検出する際に受光レベルが低下することを利用する場合に適用して示したが、これに限定されるものではなく、被検出物体を検出する際に受光レベルが上昇することを利用する場合にも適用することができる。この場合、受光レベルが所定のしきい値以上になることにより位置を検出することができる場合には、しきい値検出ルーチンによる検出位置を被検出物体のエッジ位置として出力し、しきい値検出ルーチンにより位置を検出することができない場合には、受光レベルが最大レベルとなる位置を被検出物体のエッジ位置として出力するように構成されることになるため、被検出物体が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体のエッジ近辺における光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしてもエッジの誤検出を極力防ぐことができる。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、受光手段の受光レベルが所定のしきい値以下となる位置を検出する第１の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断し、第１の検出手段により位置を検出することができない場合には、受光手段の受光レベルが最小レベルとなる位置を検出する第２の検出手段による検出位置を被検出物体のエッジ位置として判断するため、被検出物体が透明であっても不透明であってもエッジ位置を検出することができると共に、被検出物体のエッジ近辺における光学的特性の違いにより受光レベルに変化が生じたとしてもエッジの誤検出を極力防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す一次元エッジ検出センサの動作を示すフローチャート（その１）
【図２】光源と受光手段と被検出物体の配置関係等を示す図
【図３】電気的構成を示すブロック図
【図４】一次元エッジ検出センサの動作を示すフローチャート（その２）
【図５】一次元エッジ検出センサの動作を示すフローチャート（その３）
【図６】エッジの位置とその対応する受光レベルとを示す図
【図７】本発明の第２の実施形態を示す図２相当図
【図８】図４相当図
【図９】本発明の第３の実施形態を示す図２相当図
【図１０】本発明の第４の実施形態を示す図２相当図
【図１１】（ａ）〜（ｃ）従来例を示す図６相当図
【図１２】従来例を示す図６相当図
【符号の説明】
１１は光源、１２は制御回路、１２ａは第１の検出手段、１２ｂは第２の検出手段、１２ｃは判断手段、１３は受光手段、１４は被検出物体、１５は光源、１６はポリゴンミラー、１８は投光レンズ、１９は受光レンズ、２０は受光手段、２１は投受光装置、Ａは検出領域である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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