(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が載っている第１テーブル，その側方に位置して前記基板を表裏反転して載せる第２テーブル，及びこの両テーブルの間に配設した機台を備え，前記機台に，前記第１テーブルに向かって自在に前後動する第１往復台と，前記第２テーブルに向かって自在に前後動する第２往復台とを設けて，この両往復台を，その各々におけるテーブルから同時に後退動し，且つ，その各々におけるテーブルに向かって同時に前進動するように構成し，前記両往復台の各々に，真空吸着式のコレット片を備えたコレットヘッドを，そのコレット片が下向きの姿勢と横向きの姿勢とに自在に回転できるように設け，この両コレットヘッドの各々を前記機台に前記両往復台の移動方向に延びるように設けたカム溝に対して摺動自在に係合することにより，このカム溝にて，前記両往復台がその各々におけるテーブルから後退動するとき第１往復台のコレット片と第２往復台のコレット片とが下向きの姿勢から互いに向かい合わせの横向きの姿勢に変化し，当該両往復台がその各々におけるテーブルに向かって前進動するとき第１往復台のコレット片と第２往復台のコレット片とが前記向かい合わせの横向きの姿勢から下向きの姿勢に変化するように構成し，更に，前記第１往復台におけるコレット片が下向きの姿勢になったとき前記第１テーブルの上面における基板を吸着し，前記第２往復台におけるコレット片が下向きの姿勢になったときこれに吸着されている基板を前記第２テーブルの上面に載せる一方，前記第１往復台のコレット片と前記第２往復台のコレット片とが互いに向かい合わせの横向きの姿勢になったとき前記第１往復台のコレット片に吸着されている基板を，その吸着を解除して前記第２往復台のコレット片にて吸着するように構成したことを特徴とする電子部品用基板の表裏反転装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，液晶表示素子におけるガラス製の透明基板とか，或いは，サーマルプリントヘッドにおけるセラミック製のヘッド基板とか，若しく，ハイブリッド集積回路におけるガラスエポキシ樹脂製の回路基板等のような電子部品用基板において，この基板を裏返したり，或いは表返したりするための表裏反転装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に，前記例示した各種の電子部品は，その基板における表面及び裏面の両方に対して各種の加工を施すと言う工程を経て製造されるが，前記基板を，その表面に対して加工等を行うための第１テーブルからその裏面に対して加工等を行うための第２テーブルに移行するに際しては，この基板を裏返すか，或いは，表返すように表裏反転することが必要である。
【０００３】
従来，前記したように，基板を，第１テーブルから第２テーブルに，表裏反転しながら移送するに際しては，前記第１テーブルと，第２テーブルとの間に，基板の一端部が嵌まる溝を備えた回転体と，その左右両側の各々に左右一対のベルトコンベアとを設けて，第１テーブル上における基板を，往復動式の第１コレットにて一方のベルトコンベアに載せると，この基板を一方のベルトコンベアにて前記回転体に対して，当該基板における一端部が回転体における溝に嵌まるように送り込み，次いで，回転体の回転により基板を反転すると，この基板を，他方のベルトコンベアにて回転体から取り出したのち，往復動式の第２コレットにて，他方のベルトコンベアから第２テーブル上に載せるように構成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし，この従来における反転装置は，一つの回転体と，この回転体に対して基板を出し入れするための二つのベルトコンベアとを必要とすることに加えて，二つの往復動式のコレットを必要とするので，構造が著しく複雑であるから，装置が大型化するばかりか，可成り高価であり，しかも，作動が複雑であるから，一枚の基板を反転移送することに要する時間が長く，換言すると，反転移送の速度が遅くて作業能率が低いばかりか，故障が多発すると言う問題があった。
【０００５】
本発明は，これらの問題を一挙に解消した反転装置を提供することを技術的課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため本発明は，
「基板が載っている第１テーブル，その側方に位置して前記基板を表裏反転して載せる第２テーブル，及びこの両テーブルの間に配設した機台を備え，前記機台に，前記第１テーブルに向かって自在に前後動する第１往復台と，前記第２テーブルに向かって自在に前後動する第２往復台とを設けて，この両往復台を，その各々におけるテーブルから同時に後退動し，且つ，その各々におけるテーブルに向かって同時に前進動するように構成し，前記両往復台の各々に，真空吸着式のコレット片を備えたコレットヘッドを，そのコレット片が下向きの姿勢と横向きの姿勢とに自在に回転できるように設け，この両コレットヘッドの各々を前記機台に前記両往復台の移動方向に延びるように設けたカム溝に対して摺動自在に係合することにより，このカム溝にて，前記両往復台がその各々におけるテーブルから後退動するとき第１往復台のコレット片と第２往復台のコレット片とが下向きの姿勢から互いに向かい合わせの横向きの姿勢に変化し，当該両往復台がその各々におけるテーブルに向かって前進動するとき第１往復台のコレット片と第２往復台のコレット片とが前記向かい合わせの横向きの姿勢から下向きの姿勢に変化するように構成し，更に，前記第１往復台におけるコレット片が下向きの姿勢になったとき前記第１テーブルの上面における基板を吸着し，前記第２往復台におけるコレット片が下向きの姿勢になったときこれに吸着されている基板を前記第２テーブルの上面に載せる一方，前記第１往復台のコレット片と前記第２往復台のコレット片とが互いに向かい合わせの横向きの姿勢になったとき前記第１往復台のコレット片に吸着されている基板を，その吸着を解除して前記第２往復台のコレット片にて吸着する。」
と言う構成にした。
【０００７】
【発明の作用・効果】
この構成において，両往復台が，その各々におけるテーブルに向かって前進動した部位に位置するとき，第１往復台におけるコレットヘッドは，これに設けた真空吸着式のコレット片が第１テーブルに対して下向きの姿勢になっているから，この姿勢で，前記第１テーブルの上面における基板を，第１往復台におけるコレットヘッドのコレット片による真空吸着にてピックアップする。
【０００８】
次いで，前記第１往復台が，第１テーブルから後退動すると同時に，第２往復台も，第２テーブルから後退動する。このとき，前記第１往復台におけるコレットヘッドが，これに設けたコレット片がこれに基板を真空吸着した状態で下向きの姿勢から前記第２往復台に向かうように横向きの姿勢に変化するように回転する一方，これと同時に，前記第２往復台におけるコレットヘッドが，これに設けたコレット片が下向きの姿勢から前記第１往復台に向かうように横向きの姿勢に変化するように回転する。
【０００９】
これにより，第１往復台のコレットヘッドにおけるコレット片と第２往復台のコレットヘッドにおけるコレット片とが互いに向かい合わせの姿勢になって，その間に基板を挟んだ状態になるから，この状態で，第１往復台におけるコレット片による基板の真空吸着を解除すると同時に，第２往復台におけるコレット片にて基板を真空吸着することにより，前記基板を，第１往復台におけるコレット片から第２往復台におけるコレット片に持ち替える。
【００１０】
次いで，前記第１往復台が，第１テーブルに向かって前進動すると同時に，第２往復台も，第２テーブルに向かって前進動する。このとき，前記第１往復台におけるコレットヘッドが，基板を離した状態で前記横向きの姿勢から下向きの姿勢に変化して，第１テーブルの上面における次の基板を真空吸着してピックアップする一方，これと同時に，前記第２往復台におけるコレットヘッドが，これに設けたコレット片がこれに基板を真空吸着した状態で前記横向きの姿勢から下向きの姿勢に変化するから，前記基板を，表裏反転したのち第２テーブルの上面に載せるのであり，以下，前記動作を繰り返すことにより，前記第１テーブルにおける基板を，表裏反転したのち第２テーブルの上面に移行することを連続して行うのである。
【００１１】
つまり，本発明によると，第１テーブルにおける基板を，表裏反転しながら第２テーブルに移送することを，二つの往復台の前後動によって行うことができることにより，その作動が，前記従来のものより遙かに簡単であるから，一枚の基板の反転移送することに要する時間が，前記従来のものよりも短くなって作業能率を大幅に向上できるのであり，しかも，その構造及び作動が，前記従来のものより遙かに簡単であるから，故障の発生することを確実に低減できると共に，装置の大幅な小型化を達成できる効果を有する。
【００１２】
しかも，前記従来のように，基板における一端部を，回転体における溝に嵌めて反転すると言う方法では，基板がガラス製又はセラミック製等の割れ易い材料製であるとか，極く薄いものである場合に，基板に欠け又は割れが多発するのであったが，本発明は，前記したように，基板を真空吸着式のコレットで表裏両面から挟み付けるようにして持ち替えて反転するものであるから，基板がガラス製又はセラミック製等の割れ易い材料製であるとか，極く薄いものであっても，この基板に欠け又は割れが発生することを大幅に低減できる効果をも有する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の実施の形態を，図１〜図５の図面について説明する。
この図において，符号１は，上面に載せた基板Ａを円周方向に間欠的に移送する第１テーブルを，符号２は，同じく上面に載せた基板Ａを円周方向に間欠的に移送する第２テーブルを各々示す。
【００１４】
前記両テーブル１，２の間の部位には，前記第１テーブル１に向かって自在に前後動する第１往復台３と，前記第２テーブル２に向かって自在に前後動する第２往復台４とが，配設されている。
これら両往復台３，４は，その各々が図示しない機台に固着したガイドレール５，６にて往復動自在に支持され，且つ，図示しない往復動機構により，その各々におけるテーブル１，２から同時に後退動し，且つ，その各々におけるテーブル１，２に向かって同時に前進動するように構成されている。
【００１５】
前記往復台３，４の上端には，その往復動の方向に対して直角で且つ水平方向に延びるピン軸７，８が回転自在に軸支され，この両ピン軸７，８の一端部には，コレットヘッド９，１０が固着され，この両コレットヘッド９，１０の下面側には，前記両テーブル１，２の上面と平行に延びるブラケット板１１，１２が，前記両コレットヘッド９，１０に内蔵するシリンダ又はソレノイド（図示せず）等にてテーブル１，２に向かって昇降動するように取付けられ，更に，この両ブラケット板１１，１２には，前記両テーブル１，２の上面よりも上部に位置して，この両テーブル１，２の上面における基板Ａを真空吸着するようにしたコレット片１３，１４が下向きに突出するように設けられている。
【００１６】
一方，前記両往復台３，４におけるピン軸７，８の他端部には，クランクアーム１５，１６を固着し，この両クランクアーム１５，１６の先端におけるクランクピン１７，１８を，図示しない機台に固着のカム板１９に，前記両往復台３，４の移動方向に延びるように設けた穿設した湾曲状のカム溝２０，２１に対して摺動自在に係合することにより，両往復台３，４がその各々におけるテーブル１，２から後退動するとき，当該往復台３，４におけるコレットヘッド９，１０が回転して，これらに取付けたコレット片１３，１４が下向きに姿勢から互いに向かい合う横向きの姿勢になり，当該両往復台３，４がその各々におけるテーブル１，２に向かって前進動するとき，当該往復台３，４におけるコレットヘッド９，１０が回転して，これらに取付けたコレット片１３，１４が前記互いに向かい合う横向きに姿勢かち下向きの姿勢に変化するように構成する。
【００１７】
この構成において，両往復台３，４が，図１及び図２に示すように，その各々におけるテーブル１，２に向かって前進動した部位に位置するとき，第１往復台３におけるコレットヘッド９は，これに設けた真空吸着式のコレット片１３が第１テーブル１に対して下向きの姿勢になっているから，この姿勢で，図３に示すように，前記第１テーブル１の上面における基板Ａを，第１往復台３におけるコレットヘッド９のコレット片１３による真空吸着にてピックアップする。
【００１８】
次いで，前記第１往復台３が，第１テーブル１から後退動すると同時に，第２往復台４も，第２テーブル２から後退動する。このとき，前記第１往復台３におけるコレットヘッド９が，これに設けたコレット片１３がこれに基板Ａを真空吸着した状態で，図４に示すように，前記下向きの姿勢から前記第２往復台４に向かう横向きの姿勢に変化するように矢印Ｂ１の方向に回転する一方，これと同時に，前記第２往復台４におけるコレットヘッド１０も，これに設けたコレット片１４が前記下向きの姿勢から前記第１往復台３に向かう横向きの姿勢に変化するように矢印Ｂ２の方向に回転する。
【００１９】
これにより，第１往復台３のコレットヘッド９におけるコレット片１３と第２往復台４のコレットヘッド１０におけるコレット片１４とが，図５に示すように，互いに向かい合わせになって，その間に基板Ａを挟んだ状態になるから，この状態で，第１往復台３におけるコレット片１３による基板Ａの真空吸着を解除すると同時に，第２往復台４におけるコレット片１４にて基板Ａを真空吸着することにより，前記基板Ａを，第１往復台３におけるコレット片１３から第２往復台４におけるコレット片１４に持ち替える。
【００２０】
次いで，前記第１往復台３が，第１テーブル１に向かって前進動すると同時に，第２往復台４も，第２テーブル２に向かって前進動する。このとき，前記第１往復台３におけるコレットヘッド９が，図６に示すように，これに設けたコレット片１３が基板Ａを離した状態で前記横向きの姿勢から下向きの姿勢に変化するように矢印Ｃ１の方向に回転する。これと同時に，前記第２往復台４におけるコレットヘッド１０が，これに設けたコレット片がこれに基板Ａを真空吸着した状態で前記横向きの姿勢から下向きの姿勢に変化するように矢印Ｃ２の方向に回転する。
【００２１】
そして，両往復台３，４が，所定の前進位置に復帰したとき，その各々におけるコレット片１３，１４が両テーブル１，２に対して下向きの姿勢になるから，この状態で，第２往復台４におけるコレット片１４は，第１往復台３におけるコレット片１３から受け継いだ基板Ａを表裏反転したのち第２テーブル２の上面に載せる一方，第１往復台３におけるコレット片１３は，第１テーブル１の上面における次の基板Ａをピックアップするのであり，以下，前記動作を繰り返すことにより，前記第１テーブル１における基板を，表裏反転したのち第２テーブル２の上面に移行することを連続して行うのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態を示す正面図である。
【図２】  図１の平面図である。
【図３】  第１の作用状態を示す図である。
【図４】  第２の作用状態を示す図である。
【図５】  第３の作用状態を示す図である。
【図６】  第４の作用状態を示す図である。
【符号の説明】
Ａ                    基板
１                    第１テーブル
２                    第２テーブル
３                    第１往復台
４                    第２往復台
５，６                ガイドレール
７，８                ピン軸
９，１０              コレットヘッド
１３，１４            コレット片
１５，１６            クランクアーム
１７，１８            クランクピン
１９                  カム板
２０，２１            カム溝
【図１】
0003789635.tif 000002
【図２】
0003789635.tif 000003
【図３】
0003789635.tif 000004
【図４】
0003789635.tif 000005
【図５】
0003789635.tif 000006
【図６】
0003789635.tif 000007