(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光路と、該第１の光路と並設された第２の光路とを有して、これら第１の光路と第２の光路を近接させた（Ｎ＋１）個（Ｎは１以上の整数）の光結合部を光路長手方向に互いに間隔を介して形成した光合分波回路をＭ個（Ｍは２以上の整数）有し、前記各光合分波回路内の隣り合う光結合部に挟まれた第１の光路と第２の光路の長さを互いに異なる長さに形成し、光入力側に１つ以上の前記光合分波回路を設けて第１段の光合分波回路とし、該第１段の光合分波回路の光出力側に１つ以上の光合分波回路を設けて第２段の光合分波回路を形成するといった如く、１つの段の光合分波回路を１つ以上の光合分波回路により形成して光入力側から光出力側にかけて複数段の光合分波回路を設けて接続し、前記Ｍ個の光合分波回路のうち最も合分波周波数間隔の狭い光合分波回路を含む１個以上Ｍ個未満の光合分波回路はＮ≧２とした光フーリエフィルタ回路とし、残りの光合分波回路はＮ＝１としたマッハツェンダ光干渉計回路とし、前記複数段の光合分波回路のうち、少なくとも１つの段の光合分波回路がすべてマッハツェンダ光干渉計回路のみから構成されていることを特徴とする光波長合分波器。
【請求項２】
光合分波回路を３個以上有し、光入出力の少なくとも一方側の段には複数の光合分波回路を並設し、光入出力の他方側に向かうにつれて各段の光合分波回路の並設数を順次減少していき、光入出力の他方側には１つ以上の光合分波回路を設けて各段の光合分波回路をツリー状に多段接続したことを特徴とする請求項１記載の光波長合分波器。
【請求項３】
第１段の複数の光合分波回路が合波した光を第２段の光合分波回路でさらに合波するといった如く、前段の光合分波回路の光出力を後段の光合分波回路でさらに合波する機能を有し、最も合分波周波数間隔の狭い光合分波回路を最終段の光合分波回路とし、少なくとも最終段の光合分波回路は光フーリエフィルタ回路としたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の光波長合分波器。
【請求項４】
第１段の光合分波回路が分波した光を第２段の対の光合分波回路でさらに分波するといった如く、前段の光合分波回路の光出力を後段の光合分波回路でさらに分波する機能を有し、最も合分波周波数間隔の狭い光合分波回路を第１段の光合分波回路とし、少なくとも前記第１段の光合分波回路は光フーリエフィルタ回路としたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の光波長合分波器。
【請求項５】
前記最終段の光合分波回路のみを光フーリエフィルタ回路としたことを特徴とする請求項３記載の光波長合分波器。
【請求項６】
前記第１段の光合分波回路のみを光フーリエフィルタ回路としたことを特徴とする請求項４記載の光波長合分波器。
【請求項７】
光フーリエフィルタ回路はＮ＝２またはＮ＝３としたことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一つに記載の光波長合分波器。
【請求項８】
第１の光路と第２の光路は、使用波長帯域内でシングルモード条件を満たす光導波路としたことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一つに記載の光波長合分波器。
【請求項９】
第１の光路と第２の光路は、使用波長帯域内でシングルモード条件を満たす光ファイバとしたことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一つに記載の光波長合分波器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信システム等に用いられる光波長合分波器に関するものである。
【０００２】
【背景技術】
近年のインターネットトラヒックの急増を背景に、通信ネットワーク容量の拡大が急務となっており、それに伴い、波長分割多重（Wavelength Division Multiplexing  (WDM)）伝送技術の検討が盛んに行なわれている。波長分割多重伝送技術は、１本の光ファイバに異なる波長の光信号を複数多重して伝送するため、伝送容量を波長多重分だけ拡大できる。
【０００３】
柔軟性および運用性の高い波長多重システムを実現するためには、様々な光デバイスが必要とされており、中でも、光波長合分波器は波長多重システムの構築に必須となる光デバイスの１つである。光波長合分波器は、例えば互いに異なる複数の波長の光を合波する光合波機能や、互いに異なる複数の波長を持った光からそれぞれの波長の光を分波する光分波機能を有している。
【０００４】
ところで、最近では、波長多重システムの実用化検討が、基幹系などの長距離伝送から都市間や都市内等のメトロ用中長距離伝送にシフトしてきたため、伝送容量だけでなく、システム自体の構築コストおよび伝送コストも重要課題になってきた。したがって、低損失で、かつ、透過帯域が広い光波長合分波器が熱望されるようになった。
【０００５】
波長多重伝送に適用される光波長合分波器が低損失であれば、伝送距離が拡大できるため、伝送品質を劣化させることなく中継器（光増幅器）の数やグレード（増幅率）を下げることができるので、大きなコスト効果が期待できる。また、波長多重伝送に適用される光波長合分波器の透過帯域が広ければ、信号光源の発信波長を制御しているコントローラが不要になる可能性もあり、同様にコスト効果が期待できる。
【０００６】
光波長合分波器の形態は様々に検討されており、代表的なものとしてアレイ導波路回折格子、マッハツェンダ光干渉計回路が知られている。アレイ導波路回折格子は、効率良く多波長化できる大きなメリットがある反面、原理的に損失が大きく、また、透過帯域を平坦化するには数ｄＢ程度の損失をさらに犠牲にしなければならない。
【０００７】
一方、例えば図１２に示すようなマッハツェンダ光干渉計回路５は低損失が期待できる回路であり、図１３に示すように、マッハツェンダ光干渉計回路５を複数接続して光波長合分波器を構成することが提案された。
【０００８】
なお、本明細書において、マッハツェンダ光干渉計回路５は、図１２に示したように、第１の光路１と、該第１の光路１と並設された第２の光路２とを有し、これら第１の光路１と第２の光路２を近接させた（Ｎ＋１）個（Ｎ＝１）の光結合部３（つまり２個の光結合部３）を光路長手方向に互いに間隔を介して形成した光合分波回路７のことである。光結合部３の結合率は、例えばηにより表される。
【０００９】
マッハツェンダ光干渉計回路５の光結合部３に挟まれた第１の光路と第２の光路の長さは互いに異なる長さと成し、位相部としての遅延回路４を形成している。マッハツェンダ光干渉計回路５を形成する第１と第２の光路１，２は、光導波路により形成してもよいし、光ファイバにより形成してもよい。
【００１０】
図１３に示す光波長合分波器は、光入出力の一方１１側（光入力部８側）に１つのマッハツェンダ光干渉計回路５を設け、このマッハツェンダ光干渉計回路５の出力側に、２つのマッハツェンダ光干渉計回路５を並設し、これら並設マッハツェンダ光干渉計回路５と光入力部８側に設けたマッハツェンダ光干渉計回路５をツリー状に多段（ここでは２段）に接続して形成されている。
【００１１】
図１３には、この光波長合分波器の光分波機能が示されており、光波長合分波器の入力部８から波長λ１、λ２、λ３、λ４の波長多重光を導入し、各光出力部９からそれぞれの波長の光を出力している。
【００１２】
しかしながら、同図に示すような光波長合分波器は、低損失を実現できる反面、その透過帯域が十分に確保できないといった問題が生じていた。
【００１３】
そこで、マッハツェンダ光干渉計回路５の特徴である低損失を維持したまま、透過帯域を拡大する手法として、電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会C-3-14には光フーリエフィルタ回路６をツリー状に接続した構成の光波長合分波器が提案された。
【００１４】
図１４には、光フーリエフィルタ６をツリー状に接続した光波長合分波器の構成例が示されており、同図に示す構成は、図１３に示した光波長合分波器におけるマッハツェンダ光干渉計回路５を全て光フーリエフィルタ回路６とした光波長合分波器である。
【００１５】
なお、本明細書において、光フーリエフィルタ回路６は、図１５に示すように、第１の光路１と、該第１の光路１と並設された第２の光路２とを有し、これら第１の光路１と第２の光路２を近接させた（Ｎ＋１）個（Ｎは２以上の整数）の光結合部３を光路長手方向に互いに間隔を介して形成した光合分波回路７である。図１４に示す光波長合分波器に適用されている光フーリエフィルタ回路６はＮ＝２とした回路である。
【００１６】
光フーリエフィルタ回路６は、光結合部３に挟まれたＮ個の位相部としての遅延回路４を有し、この遅延回路４は第１の光路１と第２の光路２の長さを互いに異なる長さとしている。光フーリエフィルタ回路６を形成する第１と第２の光路１，２は、光導波路により形成してもよいし、光ファイバにより形成してもよい。
【００１７】
光フーリエフィルタ回路６は、透過特性と遮断特性の両方を広帯域化した方形波スペクトルを比較的容易に実現できる手法として非常に注目されており、例えば特開平８―２３４０５０号公報、C.Huang at el., NFOEC'99,Proc., pp.311-316(1999)や、H.Arai at el., NFOEC'99,Proc., pp.444-451(1999)等に光フーリエフィルタ回路６について検討した結果が述べられている。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１４に示したような、光フーリエフィルタ回路６のみを多段に接続した光波長合分波器は、低損失と広帯域化を同時に実現できて光学特性の面では魅力的であるが、この光波長合分波器は、図１３に示したような、マッハツェンダ光干渉計回路５を多段に接続した光波長合分波器に比べて回路サイズが大幅に大きくなってしまうといった問題があった。
【００１９】
特に、光導波路型の回路を形成する場合、光波長合分波器のサイズは１ウェハあたりの光波長合分波器チップの個数を決定する重要な要件であり、チップの価格に反映されるので、低コストを実現するためには、できるだけチップサイズを小さくすることが好ましい。
【００２０】
また、光フーリエフィルタ回路６の遅延回路４の遅延量（第１の光路１の長さ−第２の光路２の長さ）には規則性があり、一般に、最小遅延量の絶対値をΔＬとしたとき、その他の遅延量の絶対値はΔＬ・２ｍ（ｍは整数）程度とされる。
【００２１】
例えば光フーリエフィルタ回路６における遅延回路４の個数Ｎを２個とした場合、遅延回路４（４ａ）の遅延量の絶対値がΔＬ、遅延回路４（４ｂ）の遅延量の絶対値がΔＬ・２１＝２・ΔＬとなり、合計３・ΔＬとなる。つまり、この光フーリエフィルタ回路６の長さは、１個の遅延回路４を有するマッハツェンダ光干渉計回路５の遅延量の絶対値であるΔＬに比べて非常に長くなる。
【００２２】
また、このように遅延量の絶対値が大きいと、実現できるスペクトルの周波数間隔（波長間隔）が小さくなり、製造ばらつきに起因する波長変動が回路の通過スペクトルに与える影響が大きくなる。そのため、光フーリエフィルタ回路６のみを多段に接続した光波長合分波器は、製造トレランスが低くなってしまい、波長安定性を良好にすることが難しいといった問題もあった。
【００２３】
本発明は上記従来の課題を解決するために成されたものであり、その目的は、低損失、広帯域化および、良好な波長安定性を実現でき、かつ、小型で安価の光波長合分波器を提供することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。すなわち、第１の発明は、第１の光路と、該第１の光路と並設された第２の光路とを有して、これら第１の光路と第２の光路を近接させた（Ｎ＋１）個（Ｎは１以上の整数）の光結合部を光路長手方向に互いに間隔を介して形成した光合分波回路をＭ個（Ｍは２以上の整数）有し、前記各光合分波回路内の隣り合う光結合部に挟まれた第１の光路と第２の光路の長さを互いに異なる長さに形成し、光入力側に１つ以上の前記光合分波回路を設けて第１段の光合分波回路とし、該第１段の光合分波回路の光出力側に１つ以上の光合分波回路を設けて第２段の光合分波回路を形成するといった如く、１つの段の光合分波回路を１つ以上の光合分波回路により形成して光入力側から光出力側にかけて複数段の光合分波回路を設けて接続し、前記Ｍ個の光合分波回路のうち最も合分波周波数間隔の狭い光合分波回路を含む１個以上Ｍ個未満の光合分波回路はＮ≧２とした光フーリエフィルタ回路とし、残りの光合分波回路はＮ＝１としたマッハツェンダ光干渉計回路とし、前記複数段の光合分波回路のうち、少なくとも１つの段の光合分波回路がすべてマッハツェンダ光干渉計回路のみから構成されている構成としたことをもって課題を解決する手段としている。
【００２５】
また、第２の発明は、上記第１の発明の構成に加え、前記光合分波回路を３個以上有し、光入出力の少なくとも一方側の段には複数の光合分波回路を並設し、光入出力の他方側に向かうにつれて各段の光合分波回路の並設数を順次減少していき、光入出力の他方側には１つ以上の光合分波回路を設けて各段の光合分波回路をツリー状に多段接続した構成をもって課題を解決する手段としている。
【００２６】
さらに、第３の発明は、上記第１または第２の発明の構成に加え、第１段の複数の光合分波回路が合波した光を第２段の光合分波回路でさらに合波するといった如く、前段の光合分波回路の光出力を後段の光合分波回路でさらに合波する機能を有し、最も合分波周波数間隔の狭い光合分波回路を最終段の光合分波回路とし、少なくとも最終段の光合分波回路は光フーリエフィルタ回路とした構成をもって課題を解決する手段としている。
【００２７】
さらに、第４の発明は、上記第１または第２の発明の構成に加え、前記第１段の光合分波回路が分波した光を第２段の対の光合分波回路でさらに分波するといった如く、前段の光合分波回路の光出力を後段の光合分波回路でさらに分波する機能を有し、最も合分波周波数間隔の狭い光合分波回路を第１段の光合分波回路とし、少なくとも前記第１段の光合分波回路は光フーリエフィルタ回路とした構成をもって課題を解決する手段としている。さらに、第５の発明は、上記第３の発明の構成を備え、前記最終段の光合分波回路のみを光フーリエフィルタ回路とした構成をもって課題を解決する手段としている。さらに、第６の発明は、上記第４の発明の構成を備え、前記第１段の光合分波回路のみを光フーリエフィルタ回路とした構成をもって課題を解決する手段としている。
【００２８】
さらに、第７の発明は、上記第１乃至第６のいずれか一つの発明の構成に加え、前記光フーリエフィルタ回路はＮ＝２またはＮ＝３とした構成をもって課題を解決する手段としている。
【００２９】
さらに、第８の発明は、上記第１乃至第７のいずれか一つの発明の構成に加え、前記第１の光路と第２の光路は、使用波長帯域内でシングルモード条件を満たす光導波路とした構成をもって課題を解決する手段としている。
【００３０】
さらに、第９の発明は、上記第１乃至第７のいずれか一つの発明の構成に加え、前記第１の光路と第２の光路は、使用波長帯域内でシングルモード条件を満たす光ファイバとした構成をもって課題を解決する手段としている。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明において、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略または簡略化する。図１には、本発明に係る光波長合分波器の第１実施形態例の要部構成図が平面図により示されている。
【００３２】
同図に示すように、本実施形態例の光波長合分波器は、Ｍ個（Ｍは２以上の整数であり、ここでは３個）の光合分波回路７をツリー状に多段（ここでは２段）接続して形成されている。それぞれの光合分波回路７は、第１の光路１と、該第１の光路と並設された第２の光路２とを有して、これら第１の光路１と第２の光路２を近接させた（Ｎ＋１）個（Ｎは１以上の整数）の光結合部３を光路長手方向に互いに間隔を介して形成されている。
【００３３】
第１の光路１と第２の光路２は、使用波長帯域内である波長１．５５μｍ帯（Ｃ−ｂａｎｄ）でシングルモード条件を満たす光導波路であり、上記導波路構成は、シリコン基板２０上に形成されている。
【００３４】
本実施形態例の光波長合分波器は、光入力側（光入力部８側）に１つ以上の光合分波回路７を設けて第１段の光合分波回路７とし、該第１段の光合分波回路７の光出力側に１つ以上の光合分波回路７を設けて第２段の光合分波回路７を形成するといった如く、１つの段の光合分波回路７を１つ以上の光合分波回路７により形成して光入力側から光出力側（光出力部９側）にかけて複数段の光合分波回路７を設けて接続して形成されている。
【００３５】
また、この光波長合分波器は、光入出力の少なくとも一方１１側（ここでは光入力部８側）には複数の光合分波回路７を並設して１つの段の光合分波回路７を形成し、光入出力の他方１２側（ここでは光出力部９側）に向かうにつれて各段の光合分波回路７の並設数を順次減少していき、光入出力の他方１２側には１つ以上（ここでは１つ）の光合分波回路７を設けて各段の光合分波回路７をツリー状に多段接続して形成されている。
【００３６】
本実施形態例は、前記Ｍ個の光合分波回路７のうち１個以上Ｍ個未満（ここでは１個）の光合分波回路７をＮ≧２とした光フーリエフィルタ回路６とし、残りの光合分波回路はＮ＝１としたマッハツェンダ光干渉計回路５としたことを特徴としている。
【００３７】
また、本実施形態例は、２つ以上（ここでは２つ）の光合分波回路７を並設して第１段の光合分波回路７を形成し、該第１段の対の光合分波回路７が合波した光を第２段の光合分波回路７でさらに合波するといった如く、前段の対の光合分波回路７の光出力を後段の光合分波回路７でさらに合波する機能を有している。そして、最終段の光合分波回路７を光フーリエフィルタ回路６としている。この光フーリエフィルタ回路６はＮ＝２の回路である。
【００３８】
光フーリエフィルタ回路６およびマッハツェンダ光干渉計回路５に設けられている光結合部３は、第１の光路１を形成する光導波路と第２の光路２を形成する光導波路を近接させて成る方向性結合部である。
【００３９】
本実施形態例は、基板上に火炎加水分解堆積法を用いて石英系ガラス膜を形成して成り、その光導波路構成は、フォトリソグラフィ工程を用いて作製されている。光導波路の断面は８．０μｍ×８．０μｍの正方形状を有しており、光導波路（コア）部分の屈折率は、この光導波路部分にドープするＴｉＯ２のドープ量を調整することにより、周りの石英系ガラス（クラッド）と比較して０．４％高く形成されている。
【００４０】
この光波長合分波器の回路は、周波数間隔４００ＧＨｚの４波（λ１＝１．５４８５１μｍ、λ４＝１．５５１７２μｍ、λ２＝１．５５４９４μｍ、λ３＝１．５５８１７μｍ）を合波する４００ＧＨｚ−４ｃｈの実現を目的にした回路である。本実施形態例の光波長合分波器は、各光入力部８から入力された波長λ１、λ２、λ３、λ４の光を合波して、合波光を光出力部９から出力する。
【００４１】
第１段の光合分波回路７はマッハツェンダ光干渉計回路５（５ａ，５ｂ）であり、これらのマッハツェンダ光干渉計回路５（５ａ，５ｂ）は、いずれも、各光結合部の結合率ηが、使用波長帯である１．５５μｍ帯の中心波長である波長１．５５μｍに対し、それぞれ、５０％になるように、図２に示す、光導波路間のギャップＧと結合部長を調整して形成されている。
【００４２】
また、マッハツェンダ光干渉計回路５（５ａ）の遅延回路４の遅延量の絶対値ΔＬは１２９．３μｍ、マッハツェンダ光干渉計回路５（５ｂ）の遅延回路４の遅延量の絶対値ΔＬは１２９．６μｍであり、マッハツェンダ光干渉計回路（５ａ，５ｂ）はそれぞれ、８００ＧＨｚ間隔の２波長を合波する機能を有している。
【００４３】
前記光フーリエフィルタ回路６の光結合部（３ａ，３ｂ，３ｃ）の結合率は、使用波長帯である１．５５μｍ帯の中心波長である波長１．５５μｍに対し、以下に示す値である。すなわち、図３に示す光結合部３ａの結合率η１＝５０％、光結合部３ｂの結合率η２＝７１％、光結合部３ｃの結合率η３＝９％である。これらの値が得られるように、それぞれの光結合部３ａ，３ｂ，３ｃにおいて、図２に示す光導波路間のギャップＧおよび結合部長が調整されている。
【００４４】
さらに、光フーリエフィルタ回路６の遅延回路４（４ａ，４ｂ）の遅延量の絶対値ΔＬ１、ΔＬ２は、それぞれ、２５８．６μｍ、５１５．６μｍであり、ΔＬ２をΔＬ１の約２倍とすることで、光フーリエフィルタ回路６の特徴である透過帯域の広帯域化を達成できるようにした。
【００４５】
本実施形態例は以上のように構成されており、その通過スペクトルは図４に示すようになった。同図に示すように、本実施形態例の光波長合分波器は、４００ＧＨｚ間隔のグリッド波長に対して十分な広帯域化が実現でき、０．５ｄＢ帯域幅は表１に示すように１．９ｎｍだった。また、この光波長合分波器の回路サイズ（光路長手方向の長さ）は、７５ｍｍであった。
【００４６】
【表１】
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【００４７】
なお、本実施形態例の有効性を明確にするために、図５に示すように、比較例１として、３個のマッハツェンダ光干渉計回路５を２段に接続して成る４００ＧＨｚ−４ｃｈの光波長合分波器を形成し、この光波長合分波器の通過スペクトルを測定したところ、図６に示すようになった。
【００４８】
また、比較例２として、図７に示すように、Ｎ＝２の光フーリエフィルタ回路６を３個設けて、これらの光フーリエフィルタ回路６を２段に接続して成る４００ＧＨｚ−４ｃｈの光波長合分波器を形成し、この光波長合分波器の通過スペクトルを測定したところ、図８に示すようになった。
【００４９】
また、比較例１、２の光波長合分波器の回路サイズ、０．５ｄＢ帯域幅は、それぞれ、表１に示すような値となった。なお、第１実施形態例および比較例１、２の回路において、曲線部は、曲線部での放射損失が発生しないように、曲率半径１８ｍｍの円弧で形成した。
【００５０】
表１および図４、図６、図８から明らかなように、比較例１は、回路サイズが第１実施形態例よりも２５ｍｍほど小さいものの、比較例１は、スペクトルから導き出される透過帯域が狭く、０．５ｄＢ帯域幅が１．２ｎｍで広帯域化の要求を満足できない。
【００５１】
また、比較例２は、第１実施形態例とほぼ同様に透過帯域が広く、０．５ｄＢ帯域幅が２．０ｎｍと広帯域の要求を満足するものの、比較例２は、回路サイズが第１実施形態例よりも２１ｍｍほど大きくなる。
【００５２】
それに対し、第１実施形態例は、透過帯域が広く、０．５ｄＢ帯域幅が１．９ｎｍで比較例１の１．６倍もあり、比較例２の０．５ｄＢ帯域幅の値２．０ｎｍと遜色なく、かつ、比較例２に比べて回路サイズが約２１ｍｍも小さくなっている。
【００５３】
このように、本第１実施形態例は、光波長合分波器に求められている低損失と広帯域化を同時に実現でき、かつ、小型で安価な光波長合分波器とすることができた。
【００５４】
図９には、本発明に係る光波長合分波器の第２実施形態例が示されている。なお、本第２実施形態例の説明において、第１実施形態例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略または簡略化する。
【００５５】
本第２実施形態例は上記第１実施形態例とほぼ同様に構成されており、本第２実施形態例が上記第１実施形態例と異なる特徴的なことは、最終段に設けた光フーリエフィルタ回路６を、Ｎ＝３の回路としたことである。つまり、第２実施形態例では、光フーリエフィルタ回路６は４個の光結合部３（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）を有し、３個の遅延回路４（４ａ，４ｂ，４ｃ）を有している。
【００５６】
第２実施形態例の光波長合分波器の回路は、周波数間隔８００ＧＨｚの４波（λ１＝１．５３９７７μｍ、λ４＝１．５４６１２μｍ、λ２＝１．５５２５２μｍ、λ３＝１．５５８９８μｍ）を合波する８００ＧＨｚ−４ｃｈの実現を目的にした回路である。第２実施形態例の光波長合分波器は、各光入力部８から入力された波長λ１、λ２、λ３、λ４の光を合波して、合波光を光出力部９から出力する。
【００５７】
第１段の光合分波回路７はマッハツェンダ光干渉計回路５（５ａ，５ｂ）であり、これらのマッハツェンダ光干渉計回路５（５ａ，５ｂ）は、いずれも、各光結合部３ａ，３ｂの結合率が、使用波長帯である１．５５μｍ帯の中心波長である波長１．５５μｍに対し、それぞれ、５０％になるように、図２に示した、光導波路間のギャップＧと結合部長を調整して形成されている。
【００５８】
マッハツェンダ光干渉計回路５（５ａ）の遅延回路４の遅延量の絶対値ΔＬは６４．３μｍ、マッハツェンダ光干渉計回路５（５ｂ）の遅延回路４の遅延量の絶対値ΔＬは６４．６μｍであり、マッハツェンダ光干渉計回路（５ａ，５ｂ）はそれぞれ、１６００ＧＨｚ間隔の２波長を合波する機能を有している。
【００５９】
また、前記光フーリエフィルタ回路６の光結合部（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）の結合率は、使用波長帯である１．５５μｍ帯の中心波長である波長１．５５μｍに対し、以下に示す値である。すなわち、光結合部３ａの結合率η１＝５０％、光結合部３ｂの結合率η２＝５０％、光結合部３ｃの結合率η３＝２％、光結合部３ｄの結合率η４＝２％である。これらの値が得られるように、それぞれの光結合部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄにおいて、図２に示す光導波路間のギャップＧおよび結合部長が調整されている。
【００６０】
光フーリエフィルタ回路６の遅延回路４（４ａ，４ｂ）の遅延量の絶対値ΔＬ１、ΔＬ２、ΔＬ３は、それぞれ、１２９．１μｍ、２５８．２μｍ、５１４．８μｍであり、ΔＬ２をΔＬ１の約２倍、ΔＬ２をΔＬ３の約４倍とすることで、光フーリエフィルタ回路６の特徴である透過帯域の広帯域化を達成できるようにした。
【００６１】
本第２実施形態例は以上のように構成されており、その通過スペクトルが図１０の○に示すようになり、８００ＧＨｚ間隔のグリッド波長に対して十分な広帯域化が実現できている。
【００６２】
また、比較例として、全ての光合分波回路７をマッハツェンダ光干渉計回路５により形成した回路の特性が同図の特性線ａに示されており、第２実施形態例の特性をこの比較例の特性と比べると、第２実施形態例は、比較例と最小損失が殆ど一致しているにもかかわらず、０．５ｄＢ通過帯域を比較例の１．５倍程度に拡大できている。
【００６３】
このように、第２実施形態例も、上記第１実施形態例と同様に、近年の光波長合分波器に求められている低損失と広帯域化を同時に実現でき、かつ、小型で安価な光波長合分波器とすることができた。
【００６４】
なお、本発明は上記実施形態例に限定されることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば上記各実施形態例では、Ｍ（Ｍ＝３）個の光合分波回路７を有する光波長合分波器のうち、最終段の光合分波回路７のみを光フーリエフィルタ回路６としたが、光フーリエフィルタ回路６は１個以上Ｍ個未満とすればよく、例えば、Ｍ＝３の場合は、２個の光合分波回路７を光フーリエフィルタ回路６としてもよい。
【００６５】
ただし、上記各実施形態例から明らかなように、光合波器として機能する光波長合分波器の最終段に設ける１つの光合分波回路７のみを光フーリエフィルタ回路６とすることにより、全ての光合分波回路７をマッハツェンダ光干渉計回路５で形成した光波長合分波器に比べ、低損失、広帯域化の特性を十分発揮できる。また、光フーリエフィルタ回路６の個数が少ない方が回路サイズを小型化でき、波長安定性も良好にできるので、光合波器として機能する光波長合分波器の最終段に光フーリエフィルタ回路を設けることが好ましい。
【００６６】
また、上記第１実施形態例は、光フーリエフィルタ回路６における遅延回路４の数（Ｎ）を２個とし、第２実施形態例は、光フーリエフィルタ回路６における遅延回路４の数を３個としたが、本発明の光波長合分波器に設ける光フーリエフィルタ回路６の遅延回路の個数は、Ｎ≧４としてもよい。
【００６７】
ただし、光フーリエフィルタ回路６の遅延回路４の個数であるＮを４以上とすると、回路長が長くなり、製造コストに与える影響が無視できなくなってくるので、Ｎ＝２またはＮ＝３が好ましい。
【００６８】
さらに、上記各実施形態例は、複数波長の光を合波する例について述べたが、合波器と分波器とは使用方法の違いだけであり、図１、図９の回路を用い、各実施形態例で述べた光出力部９から波長多重光を入力すれば、その波長多重光を分波でき、かつ、上記各実施形態例と同様の効果を奏することができる。
【００６９】
このように、光波長合分波器を光分波用として適用する場合、光入力側を第１段として少なくとも第２段以降の光合分波回路７は２つ以上の光合分波回路７を並設して形成し、第１段の光合分波器７が分波した光を第２段の対の光合分波器７でさらに分波するといった如く、前段の光合分波器７の光出力を後段の対の光合分波器７でさらに分波する構成とすると４波以上の光を分波できる。そして、少なくとも前記第１段の光合分波回路７は光フーリエフィルタ回路６とすると上記各実施形態例と同様の効果を奏することができる。
【００７０】
さらに、上記各実施形態例は３個の光合分波回路７を有する構成としたが、本発明の光波長合分波器を形成する光合分波回路７の数は特に限定されるものではなく２個以上の適宜の数に設定されるものである。
【００７１】
なお、図１１には、１個のマッハツェンダ光干渉計回路５と１個の光フーリエフィルタ回路６を有し、合計２個の光合分波回路７を設けて形成される光波長合分波器の例が示されている。このように、２個の光合分波回路７を有する光波長合分波器は、３波の光合分波を行なう光波長合分波器として機能する。
【００７２】
さらに、上記第１実施形態例は、４００ＧＨｚ−４ｃｈの光波長合分波器とし、上記第２実施形態例は、８００ＧＨｚ−４ｃｈの光波長合分波器としたが、光波長合分波器の周波数間隔やチャンネル数（波長数）は特に限定されるものではなく、適宜設定されるものである。
【００７３】
さらに、上記各実施形態例は、第１、第２の光路１，２を光導波路とし、これらの光導波路を、火炎加水分解堆積法とフォトリソグラフィ工程を用いて形成される石英系光導波路により形成したが、光導波路の作製方法や光導波路の種類は特に限定されるものでなく適宜設定されるものであり、本発明は、従来、または様々に提案されている作製方法や光導波路種類を適用して構成することができる。
【００７４】
さらに、上記各実施形態例では、光結合部３は方向性結合部としたが、光結合部をマルチモード光干渉導波路等により形成してもよい。
【００７５】
さらに、上記各実施形態例は、第１、第２の光路１，２を光導波路としたが、第１、第２の光路１，２を使用波長帯域内でシングルモード条件を満たす光ファイバとし、光結合部３は光カプラにより形成してもよい。この場合も、その長さや有効屈折率等は光路を光導波路により形成した場合と同様のパラメータを適用することができる。
【００７６】
さらに、上記各実施形態例では、使用波長帯域を波長１．５５μｍ帯としたが、使用波長帯域は波長１．５５μｍ帯に限定されることはなく適宜設定されるものであり、例えば波長１．６μｍ帯に本発明を適用することもできる。
【００７７】
【発明の効果】
本発明によれば、小型で作製が容易なマッハツェンダ光干渉計回路と、低損失と広帯域化を同時に実現できる光フーリエフィルタ回路を組み合わせて多段構成の光波長合分波器を形成することにより、低損失と広帯域化を同時に実現でき、かつ、小型で波長安定性が良好な安価な光波長合分波器を実現できる。
【００７８】
また、本発明において、光合波機能を有する光波長合分波器の最終段の最も合分波周波数間隔の狭い光合分波回路を光フーリエフィルタ回路としたり、光分波機能を有する光波長合分波器の第１段の最も合分波周波数間隔の狭い光合分波回路を光フーリエフィルタ回路とすることにより、低損失と広帯域化を効率的に実現でき、かつ、小型で波長安定性が良好な光波長合分波器を容易に実現できる。
【００７９】
さらに、本発明において、光フーリエフィルタ回路はＮ＝２またはＮ＝３とした構成によれば、小型で波長安定性が良好な光フーリエフィルタ回路を設けることにより、小型で波長安定性が良好な光波長合分波器を容易に実現できる。
【００８０】
さらに、本発明において、光路を使用波長帯域内でシングルモード条件を満たす光導波路やシングルモード光ファイバにより形成することにより、容易に作製でき、的確に機能する光波長合分波器を形成することができる。
【００８１】
特に、本発明において、光路を光導波路とすると、光波長合分波器をより一層形成しやすい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光波長合分波器の第１実施形態例を平面図により示す要部構成図である。
【図２】光波長合分波器を構成する光合分波回路における光結合部の構成を示す平面説明図である。
【図３】上記第１実施形態例に適用されている光フーリエフィルタ回路の構成を示す平面説明図である。
【図４】上記第１実施形態例の通過スペクトル例を示すグラフである。
【図５】上記第１実施形態例に対する比較例１の構成を示す平面説明図である。
【図６】上記比較例１の通過スペクトル例を示すグラフである。
【図７】上記第１実施形態例に対する比較例２の構成を示す平面説明図である。
【図８】上記比較例２の通過スペクトル例を示すグラフである。
【図９】本発明に係る光波長合分波器の第２実施形態例を平面図により示す要部構成図である。
【図１０】上記第２実施形態例の通過スペクトルをその比較例の通過スペクトルと共に示すグラフである。
【図１１】本発明に係る光波長合分波器の他の実施形態例を平面図により示す説明図である。
【図１２】マッハツェンダ光干渉計回路の平面構成を示す説明図である。
【図１３】マッハツェンダ光干渉計回路をツリー状に複数接続して形成した光波長合分波器の例を示す平面説明図である。
【図１４】光フーリエフィルタ回路をツリー状に複数接続して形成した光波長合分波器の例を示す平面説明図である。
【図１５】光フーリエフィルタ回路の構成例を示す平面説明図である。
【符号の説明】
１  第１の光路
２  第２の光路
３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ  光結合部
４，４ａ，４ｂ，４ｃ  遅延回路
５  マッハツェンダ光干渉計回路
６  光フーリエフィルタ回路
７  光合分波回路
８  光入力部
９  光出力部
１１  一方
１２  他方
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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