(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料番号を付した半導体ウエハを供給部から検査部に搬送して検査するウエハ検査装置において、
上記半導体ウエハが検査部に至る前に上記試料番号を識別するウエハ識別手段と、
この識別情報に基づいて、所望の上記半導体ウエハを選んで上記検査部に搬送する選別手段と、
を備えたことを特徴とするウエハ検査装置。
【請求項２】
供給部内に半導体ウエハを収納する収納部を有し、予め保持する上記半導体ウエハの収納位置情報に基づいて上記収納部内の所定の位置の半導体ウエハの試料番号を識別した後、当該半導体ウエハが所望のものであれば検査部に搬送し、所望のものでなければ上記所定の位置と近接する位置の半導体ウエハから順次試料番号を識別し、所望の半導体ウエハを選んで上記検査部に搬送することを特徴とする請求項１記載のウエハ検査装置。
【請求項３】
供給部内の全ての半導体ウエハの試料番号を識別した後、所望の上記半導体ウエハを検査部に搬送することを特徴とする請求項１記載のウエハ検査装置。
【請求項４】
供給部内に半導体ウエハを収納する収納部を有し、前記ウエハ識別手段は、ウエハ突き出し手段により、収納部内の半導体ウエハを、一枚ずつその試料番号印字部を上記収納部の開口部から突出させて試料番号を識別することを特徴とする請求項１記載のウエハ検査装置。
【請求項５】
供給部内に半導体ウエハを収納する収納部を有し、上記半導体ウエハの試料番号を識別するウエハ識別手段を可動式の画像読み取り装置で構成し、上記半導体ウエハが上記収納部内に収納された状態で上記半導体ウエハの試料番号を識別することを特徴とする請求項１記載のウエハ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体装置の製造における半導体ウエハの欠陥検査に用いる検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図５は、従来のウエハ検査装置の構造を、ウエハ異物検査装置について示す模式図である。図において、１は被検査物である半導体ウエハ（以下、ウエハと称する）、２はウエハ１が収納されるウエハカセット、３はウエハカセット２が置かれるカセットステーション、４はウエハ１の搬送機構であるウエハハンドリングロボット、５はウエハ１の向きを合わせるプリアライナー、６はその上にウエハ１を載置して異物検査を行う検査ステージ、７は異物検査を行うための光学系部、８は検査ステージ６を動かすためのステージ駆動機構部、９は装置各部の動作の制御、測定結果の演算等を行うコントロール部である。
【０００３】
次に、動作について説明する。
カセットステーション３に置かれたウエハカセット２からウエハハンドリングロボット４によって、所定のスロットのウエハ１が搬出される。搬出されたウエハ１は、プリアライナー５によってノッチあるいはオリフラの位置が検出されて一定の向きに揃えられ、再びウエハハンドリングロボット４によって検査ステージ６に運ばれる。検査ステージ６の上に載置されたウエハ１は、光学系部７によって異物検査が施され、その後、検査が終了したウエハ１はウエハハンドリングロボット４により元のウエハカセット２に戻される。
【０００４】
ところで、ウエハ１はウエハカセット２内に通常２５枚収納されるが、ウエハ１の異物検査はウエハ１一枚当たりの検査に時間がかかるため、何枚かを選んで検査を行う。また、異物検査は、前工程の各プロセス毎に行われる異物検査等の欠陥検査や測定の履歴データに基づいて行い、異物検査に用いられる個々のウエハ１を追跡した履歴データを得ることにより、有効な検査が行える。
このため、ウエハカセットのスロット位置を指定することにより、所望のウエハ１を選び異物検査を行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来のウエハ異物検査装置は以上のように構成されているため、ウエハカセット２内でウエハ１の位置が何かの原因で変わってしまい、スロット位置の指定と所望のウエハ１との対応が取れなくなると、所望のウエハ１を自動で選び出すことが困難であった。
ウエハ１には、個々のウエハ１を識別するためにウエハ番号が印字されており、上記のようにスロット位置の指定と所望のウエハ１との対応が取れない場合には、前もって作業者がウエハ番号を目視により確認し、ウエハカセット２内の指定のスロットに所望のウエハ１の移し替えを行った後、ウエハ異物検査装置による検査を行っていた。このため、工程が複雑になり所要時間が増大するだけでなく、ウエハ番号の確認作業やウエハ１の移し替え作業の際、ウエハ１が異物付着等により汚染される恐れがあるという問題点があった。
【０００６】
また、特開平２−２０９８４９号公報に記載の従来の別例によるウエハ検査装置では、ウエハカセット２から検査ステージ６までウエハ１を搬送する範囲内にウエハ番号の自動読み取り機構を設け、ウエハ番号を読み取った後、そのウエハ１を検査することにより、ウエハ番号と検査結果とを対応させることができる。しかしながら、このようなウエハ検査装置でも、ウエハカセット２内の所望のウエハ１のみを選び出して検査することは困難であった。
【０００７】
この発明は、上記のような問題点を解消するために成されたものであって、ウエハの汚染等の問題がなく、所望のウエハのみを容易に選び出して欠陥検査が行えるウエハ検査装置を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項１に係わるウエハ検査装置は、試料番号を付した半導体ウエハを供給部から検査部に搬送して検査する装置であって、上記半導体ウエハが検査部に至る前に上記試料番号を識別する手段と、この識別情報に基づいて、所望の上記半導体ウエハを選んで上記検査部に搬送する選別手段とを備えたものである。
【００１０】
この発明の請求項２に係わるウエハ検査装置は、供給部内に半導体ウエハを収納する収納部を有し、予め保持する上記半導体ウエハの収納位置情報に基づいて上記収納部内の所定の位置の半導体ウエハの試料番号を識別した後、当該半導体ウエハが所望のものであれば検査部に搬送し、所望のものでなければ上記所定の位置と近接する位置の半導体ウエハから順次試料番号を識別し、所望の半導体ウエハを選んで上記検査部に搬送するものである。
【００１１】
この発明の請求項３に係わるウエハ検査装置は、供給部内の全ての半導体ウエハの試料番号を識別した後、所望の上記半導体ウエハを検査部に搬送するものである。
【００１４】
この発明の請求項４に係わるウエハ検査装置は、供給部内に半導体ウエハを収納する収納部を有し、前記ウエハ識別手段は、ウエハ突き出し手段により、収納部内の半導体ウエハを、一枚ずつその試料番号印字部を上記収納部の開口部から突出させて試料番号を識別するものである。
【００１５】
この発明の請求項５に係わるウエハ検査装置は、供給部内に半導体ウエハを収納する収納部を有し、上記半導体ウエハの試料番号を識別する手段を可動式の画像読取り装置で構成し、上記半導体ウエハが上記収納部内に収納された状態で上記半導体ウエハの試料番号を識別するものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１を図について説明する。図１は、この発明の実施の形態１によるウエハ検査装置の構造を、ウエハ異物検査装置について示す模式図である。図において、１０は被検査物である半導体ウエハ（以下、ウエハと称する）で、ウエハ１０面内のパターンが形成されていない周辺部に試料番号としてのウエハ番号１１（図示せず）が印字されたもの、１２はウエハ１０を供給する供給部であり、ウエハ１０が収納される収納部としてのウエハカセット１３、およびウエハカセット１３が置かれるカセットステーション１４で構成される。１５はウエハ１０の搬送機構であるウエハハンドリングロボット、１６はウエハ１０の向きを合わせるプリアライナー、１７はウエハ異物検査を行う検査部であり、その上にウエハ１０を載置して異物検査を行う検査ステージ１８、異物検査を行うための光学系部１９、および検査ステージ１８を動かすためのステージ駆動機構部２０で構成される。２１はウエハ１０のウエハ番号１１の識別部であり、プリアライナー１６の上部に設けられ、ウエハ番号１１を画像として読み取る画像読み取り機構としてのＣＣＤカメラ２２、およびＣＣＤカメラ２２で読み取った画像からウエハ番号１１の認識を行う認識部２３で構成される。２４は認識されたウエハ番号１１に基づいたウエハ１０の選別等、装置各部の動作の制御、測定結果の演算等を行うコントロール部である。
【００１７】
次に、上記のように構成されたウエハ異物検査装置における動作について、図２に基づいて以下に説明する。なおここでは、ウエハカセット１３内の指定された一枚のウエハ１０を選別して異物検査を行うものであり、ウエハカセット１３内の収納位置情報を予め有している。
まず、ウエハ１０の搬送回数Ｘの初期値（Ｘ＝１）を設定する（ステップＳ１）。
次いで、予め有した収納位置情報によりウエハカセット１３内のスロット位置（ｎ番目）を指定し、カセットステーション１４に置かれたウエハカセット１３からウエハハンドリングロボット１５により指定スロットのウエハ１０を搬出する（ステップＳ２）。
次いで、搬出したウエハ１０をプリアライナー１６に搬送し（ステップＳ３）、ノッチまたはオリフラの位置を検出した後（ステップＳ４）、ウエハ番号１１がプリアライナー１６上のＣＣＤカメラ２２での読み取り位置に来るように、ウエハ１０を回転させる（ステップＳ５）。
【００１８】
次いで、ＣＣＤカメラ２２によりウエハ番号１１の画像を読み取り、その画像を認識部２３によりウエハ番号１１として認識することによってウエハ番号１１の識別を行い（ステップＳ６）、認識されたウエハ番号１１が、予め指定された所望のウエハ１０のウエハ番号１１と一致するか、どうか判定する（ステップＳ７）。
ステップＳ７による判定でウエハ番号１１が一致する場合、プリアライナー１６によりウエハ１０を回転させて、異物検査のための所定の向きに揃えた後（ステップＳ８）、再びウエハハンドリングロボット１５によりウエハ１０を検査ステージ１８に搬送する（ステップＳ９）。検査ステージ１８はステージ駆動機構部２０で動かされ、検査ステージ１８上に載置されたウエハ１０に光学系部１９により異物の検出等の異物検査を実施する（ステップＳ１０）。
次いで、異物検査の終了したウエハ１０をウエハハンドリングロボット１５により搬送して、ウエハカセット１３内の元の位置に戻し（ステップＳ１１）、検査を終了する（ステップＳ１２）。
【００１９】
ステップＳ７による判定でウエハ番号１１が一致しない場合、そのウエハ１０をウエハハンドリングロボット１５により搬送して、ウエハカセット１３内の元の位置に戻す（ステップＳ１３）。
次いで、ウエハ１０の搬送回数Ｘに１を加えてＸ＝Ｘ＋１にした後（ステップＳ１４）、搬送回数Ｘが偶数か奇数か判定する（ステップＳ１５）。
ステップＳ１５による判定で搬送回数Ｘが偶数の場合、初回の搬送時（Ｘ＝１）に指定したウエハカセット１３内のスロット位置を示すｎにＸ／２を加えた数（ｎ＋Ｘ／２）が、ウエハカセット１３内のウエハ１０の最大枚数以下か、どうか判定し（ステップＳ１６）、最大枚数以下であれば、ウエハカセット１３内のスロット位置に（ｎ＋Ｘ／２）番目を指定し、ウエハカセット１３からウエハハンドリングロボット１５により指定スロットのウエハ１０を搬出し（ステップＳ１７）、ステップＳ３に戻る。
【００２０】
ステップＳ１６による判定で、（ｎ＋Ｘ／２）が最大枚数を越える場合、（ｎ＋０．５−Ｘ／２）が１以上か、どうか再度判定し（ステップＳ１８）、１以上であれば、ステップＳ１４に戻る。
ステップＳ１８による判定で、（ｎ＋０．５−Ｘ／２）が１未満であれば指定したウエハ１０が存在しないため、検査を中止してエラーを表示させる（ステップＳ１９）。
ステップＳ１５による判定で搬送回数Ｘが奇数の場合、（ｎ＋０．５−Ｘ／２）が１以上か、どうか判定し（ステップＳ２０）、１以上であれば、ウエハカセット１３内のスロット位置に（ｎ＋０．５−Ｘ／２）番目を指定し、ウエハカセット１３からウエハハンドリングロボット１５により指定スロットのウエハ１０を搬出し（ステップＳ２１）、ステップＳ３に戻る。
【００２１】
ステップＳ２０による判定で、（ｎ＋０．５−Ｘ／２）が１未満の場合、（ｎ＋Ｘ／２）がウエハカセット１３内のウエハ１０の最大枚数以下か、どうか再度判定し（ステップＳ２２）、最大枚数以下であれば、ステップＳ１４に戻る。
ステップＳ２２による判定で、（ｎ＋Ｘ／２）が最大枚数を越えれば、指定したウエハ１０が存在しないためステップＳ１９に戻る。
この様にして、ウエハカセット１３内の指定された一枚のウエハ１０を選別して異物検査を行う。
【００２２】
この実施の形態では、予め有した収納位置情報によりウエハカセット１３内のスロット位置（ｎ番目）を指定し、ｎ番目のウエハ１０のウエハ番号１１を識別して所望のものであれば異物検査を実施し、所望のもので無ければ、ｎ＋１番目、ｎ−１番目、ｎ＋２番目、ｎ−２番目、…という様に、ｎ番目のウエハ１０の近接位置のウエハ１０から順次ウエハ番号１１の識別を、所望のウエハ１０が見つかるまで行い、所望のウエハ１０が見つかった時点で、そのウエハ１０の異物検査を実施する。
このため、予め有する収納位置情報が正しい場合は、短時間で異物検査が実施でき、ウエハカセット１３内でウエハ１０の位置が何かの原因で変わってしまい異物検査のための指定ウエハ１０とウエハカセット１３内の収納位置情報との対応が取れない場合でも、指定ウエハ１０である可能性の高い近接位置のウエハ１０から順次ウエハ番号１１の識別を行うため、指定された所望のウエハ１０を短時間で自動で選び出して異物検査をすることができる。この様に、特定のウエハ１０のみを効果的に短時間で選別し、確実に異物検査を行うことができる。
【００２３】
なお、複数のウエハ１０を指定して異物検査を行う場合、従来と同様にスロット位置の指定によりウエハ番号１１の識別および異物検査を行い、ウエハ番号１１が指定されたものと異なるウエハ１０が存在する時のみ、そのウエハ１０について一枚づつ上記実施の形態と同様に異物検査のやり直しを行うことができる。
【００２４】
実施の形態２．
次に、図１で示したウエハ異物検査装置における動作の別例を、図３に基づいて以下に説明する。なおここでは、ウエハカセット１３内の指定された複数枚のウエハ１０を選別して異物検査を行うものである。
まず、ウエハ１０の搬送回数Ｘの初期値（Ｘ＝１）を設定する（ステップＳ１）。
次いで、カセットステーション１４に置かれたウエハカセット１３からウエハハンドリングロボット１５によりウエハカセット１３内のＸ番目のスロットのウエハ１０を搬出する（ステップＳ２）。
次いで、搬出したウエハ１０をプリアライナー１６に搬送し（ステップＳ３）、ノッチまたはオリフラの位置を検出した後（ステップＳ４）、ウエハ番号１１がプリアライナー１６上のＣＣＤカメラ２２での読み取り位置に来るように、ウエハ１０を回転させ（ステップＳ５）、ＣＣＤカメラ２２によりウエハ番号１１の画像を読み込み、その画像を認識部２３によりウエハ番号１１として認識することによってウエハ番号１１の識別を行う（ステップＳ６）。
【００２５】
次いで、そのウエハ１０をウエハハンドリングロボット１５により搬送して、ウエハカセット１３内の元の位置に戻し（ステップＳ７）、ウエハ１０の搬送回数Ｘに１を加えてＸ＝Ｘ＋１にした後（ステップＳ８）、搬送回数Ｘがウエハカセット１３内のウエハ１０の最大枚数以下か、どうか判定し（ステップＳ９）、最大枚数以下であれば、ステップＳ２に戻る。
ステップＳ９による判定で、Ｘが最大枚数を越える場合、ステップＳ６で認識されたウエハ番号１１の情報から、指定されたウエハ１０で未検査のものをウエハカセット１３から選び出してウエハハンドリングロボット１５により搬出し（ステップＳ１０）、搬出したウエハ１０をプリアライナー１６に搬送し（ステップＳ１１）、ノッチまたはオリフラの位置を検出した後（ステップＳ１２）、プリアライナー１６によりウエハ１０を回転させて、異物検査のための所定の向きに揃えた後（ステップＳ１３）、再びウエハハンドリングロボット１５によりウエハ１０を検査ステージ１８に搬送する（ステップＳ１４）。
【００２６】
検査ステージ１８はステージ駆動機構部２０で動かされ、検査ステージ１８上に載置されたウエハ１０に光学系部１９により異物の検出等の異物検査を実施する（ステップＳ１５）。
次いで、異物検査の終了したウエハ１０をウエハハンドリングロボット１５により搬送して、ウエハカセット１３内の元の位置に戻し（ステップＳ１６）、指定された複数枚のウエハ１０に全て異物検査を行ったか、どうか判定し（ステップＳ１７）、全て異物検査を行った場合は検査を終了する（ステップＳ１８）。
ステップＳ１７による判定で、指定された複数枚のウエハ１０の内、未検査のものがある場合、ステップＳ１０に戻り検査を続行する。
この様にして、ウエハカセット１３内の指定された複数枚のウエハ１０を選別して異物検査を行う。
【００２７】
この実施の形態では、ウエハカセット１３内の全てのウエハ１０のウエハ番号１１を識別した後、認識されたウエハ番号１１の情報に基づいて、指定されたウエハ１０のみを選び出して異物検査を行うものである。
このため、上記実施の形態１と同様に、ウエハカセット１３内でウエハ１０の位置が何かの原因で変わった場合でも、指定された所望のウエハ１０を自動で選び出して異物検査をすることができる。特に、指定されたウエハ１０の枚数が比較的多い場合、効果的に短時間で確実に検査することができる。
【００２８】
実施の形態３．
次に、上記実施の形態１と上記実施の形態２とを組み合わせた実施の形態３について、以下に示す。
上記実施の形態２と同様に、ウエハカセット１３内の最初のスロット位置のウエハ１０から順次搬出して、ウエハ番号１１を識別し、その後上記実施の形態１と同様に、ウエハ番号１１を識別したウエハ１０が指定された所望のウエハ１０であれば続いて異物検査を実施し、所望のウエハ１０でなければウエハカセット１３内の元の位置に戻す。
この場合も、上記実施の形態２と同様の効果を奏することが出来る。
【００２９】
実施の形態４．
上記実施の形態１〜３では、ウエハ１０をウエハハンドリングロボット１５によりウエハカセット１３から搬出し、プリアライナー１６により所定の向きに揃えた後にＣＣＤカメラ２２によりウエハ番号１１の画像読み込みをおこなっていた。すなわち、ウエハカセット１３から検査ステージ１８までウエハ１０を搬送する範囲内でウエハ番号１１の識別を行っていたが、ウエハカセット１３内のウエハ１０を搬出すること無く、ウエハ番号１１の識別を行う形態について以下に示す。
図４（ａ）〜図４（ｃ）は、この発明の実施の形態４によるウエハ異物検査装置を部分的に示した断面図である。
【００３０】
まず、ウエハカセット１３内の全てのウエハ１０を、そのウエハ番号１１の印字部を同時にウエハカセット１３から突出させてウエハ番号１１の識別を行うものを、図４（ａ）に示す。
図４（ａ）に示すように、カセットステーション１４上に置かれるウエハカセット１３を、その開口部１３ａを上にして内部のウエハ１０が開口部１３ａに対して垂直になるようにして置き、ウエハ突き出し機構２５によって、全てのウエハ１０を傾斜を有して開口部１３ａから一部突出させる。この時ウエハ１０は、カセットステーション１４に設けられたローラーおよびストッパー（ともに図示せず）で、予めウエハ番号印字部が最上部に来るように向きを揃えられ、全てのウエハ１０のウエハ番号印字部が、ＣＣＤカメラ２２で読み取れるように傾斜を有して開口部１３ａから突出される。
またウエハカセット１３を９０度倒す機能を持つウエハステージ２６を設け、全てのウエハ１０のウエハ番号１１を識別した後、ウエハ１０が水平になるようにウエハカセット１３を倒し、指定された所望のウエハ１０のみを順次搬出して異物検査を行う。
【００３１】
この様に構成されたウエハ異物検査装置では、ウエハカセット１３内のウエハ１０を搬出すること無く、ウエハ番号１１の識別を行うことができるため、ウエハ番号１１の識別に要する時間を格段と短縮することができ、指定された所望のウエハ１０を短時間で自動で選び出して異物検査を行うことができる。
【００３２】
なお、ウエハカセット１３の開口部１３ａを横にして、ウエハ１０が水平な状態で、ウエハ１０をウエハカセット１３から突出させて、ウエハ番号１１の識別を行うこともでき、その場合、ＣＣＤカメラ２２はウエハカセット１３の上に下向きに設置すればよい。
【００３３】
次に、ウエハ突き出し機構２５によって、ウエハ１０を一枚ずつそのウエハ番号１１の印字部をウエハカセット１３の開口部１３ａから突出させて、ウエハ番号１１の識別を行うものを、図４（ｂ）に示す。
この場合も、ウエハ１０はカセットステーション１４に設けられたローラーおよびストッパー（ともに図示せず）で、予めウエハ番号印字部が最上部に来るように向きを揃えられる。
ウエハ１０は一枚ずつウエハカセット１３の開口部１３ａから突出されるが、その際、上記実施の形態１と同様に、予め有した収納位置情報によりウエハカセット１３内のスロット位置を指定し、そのウエハ１０のウエハ番号１１を識別して、所望のものであればウエハカセット１３から搬出して異物検査を実施し、所望のもので無ければ近接位置のウエハ１０から順次ウエハ番号１１の識別を行ってもよい。また、ウエハカセット１３内の最初のスロット位置のウエハ１０から順次突出させてウエハ番号１１を識別させても、さらに、ウエハ１０を順次突出させて全てのウエハ１０のウエハ番号１１の識別を行った後、指定された所望のウエハ１０のみを順次搬出して異物検査を行ってもよい。
【００３４】
この場合も、ウエハカセット１３内のウエハ１０を搬出すること無く、ウエハ番号１１の識別を行うことができるため、ウエハ番号１１の識別に要する時間を格段と短縮することができ、指定された所望のウエハ１０を短時間で自動で選び出して異物検査をすることができる。
【００３５】
次に、カメラ支持部材２７によってＣＣＤカメラ２２を可動式にして、ウエハ１０がウエハカセット１３内に確実に収納された状態で、ウエハ番号１１の識別を行うものを、図４（ｃ）に示す。
この場合、それぞれのウエハ１０のウエハ番号１１を読み取れる位置にＣＣＤカメラ２２を動かして、ウエハ番号１１の識別を行うため、ウエハ番号１１の識別に要する時間を格段と短縮することができ、指定された所望のウエハ１０を短時間で自動で選び出して異物検査を行うことができる。
【００３６】
なお、上記実施の形態１〜４において、ウエハ番号１１の識別に用いたＣＣＤカメラ２２は、読み取り性能を向上させるために、カメラに照明を設けたものでもよく、また、ＣＣＤカメラ２２に限るものではなく、別の方式の画像読み取り機構でもよい。さらに、ＣＣＤカメラ２２の設置場所についても、上記実施の形態に限るものではない。
【００３７】
また、上記実施の形態１〜４ではウエハ異物検査装置について説明したが、異物検査に限らず、特定のウエハ１０を選び出して検査を行う他のウエハ検査装置についても適用でき、同様の効果が得られる。
【００３８】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、ウエハ検査装置に、半導体ウエハが検査部に至る前に、その試料番号を識別する手段と、この識別情報に基づいて、所望の上記半導体ウエハを選んで上記検査部に搬送する選別手段とを備えたため、特定の半導体ウエハのみを容易に選び出して確実に検査をすることができる。
【００４０】
またこの発明によれば、予め保持する上記半導体ウエハの収納位置情報に基づいて、半導体ウエハを収納する収納部内の所定の位置の半導体ウエハの試料番号を識別し、所望のものであれば検査部に搬送し、所望のものでなければ近接する位置の半導体ウエハから順次試料番号を識別し、所望の半導体ウエハを選んで上記検査部に搬送するため、特定の半導体ウエハのみを効果的に短時間で選び出して、確実に異物検査することができる。
【００４１】
またこの発明によれば、供給部内の全ての半導体ウエハの試料番号を識別した後、所望の半導体ウエハを検査部に搬送するため、特定の半導体ウエハのみを容易に選び出して確実に検査をすることができ、特に所望の半導体ウエハの枚数が比較的多い場合、効果的に短時間で検査することができる。
【００４４】
またこの発明によれば、収納部内の半導体ウエハを、一枚ずつその試料番号印字部を上記収納部の開口部から突出させ、試料番号を識別するため、試料番号の識別に要する時間を格段と短縮することができ、特定の半導体ウエハのみを短時間で容易に選び出して確実に検査をすることができる。
【００４５】
またこの発明によれば、半導体ウエハの試料番号を識別する手段を可動式の画像読み取り装置で構成し、半導体ウエハが収納部内に収納された状態で試料番号を識別するめ、試料番号の識別に要する時間を格段と短縮することができ、特定の半導体ウエハのみを短時間で容易に選び出して確実に検査をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１によるウエハ異物検査装置の構造を示す模式図である。
【図２】  この発明の実施の形態１によるウエハ異物検査装置の動作を説明する図である。
【図３】  この発明の実施の形態２によるウエハ異物検査装置の動作を説明する図である。
【図４】  この発明の実施の形態３によるウエハ異物検査装置の部分断面図である。
【図５】  従来のウエハ異物検査装置の構造を示す模式図である。
【符号の説明】
１０  半導体ウエハ、１１  試料番号としてのウエハ番号、１２  供給部、
１３  収納部としてのウエハカセット、１３ａ  開口部、１７  検査部、
２１  識別部、２２  画像読み取り機構としてのＣＣＤカメラ、
２５  ウエハ突き出し機構。
【図１】
0003819993.tif 000002
【図２】
0003819993.tif 000003
【図３】
0003819993.tif 000004
【図４】
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【図５】
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