(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧の印加により振動する一対の振動側振動片と、
この振動側振動片の振動に応じて振動する一対の検出側振動片と、を有する振動子において、
前記一対の検出側振動片のそれぞれに設けられた複数の電極部の間に干渉防止部が形成され、前記一対の振動側振動片に溝部を配置し、この溝部に電極部を設けたことを特徴とする振動子。
【請求項２】
前記干渉防止部が溝部であることを特徴とする請求項１に記載の振動子。
【請求項３】
水晶から成り、
電気軸をＸ軸、機械軸をＹ軸及び光軸をＺ軸とした直交座標系を有し、
前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸により形成される面に関して、基部が形成されると共に、この基部から前記Ｙ軸に沿って、一方の方向に向かって形成された電圧の印加により振動する振動側振動片と、
前記基部から前記Ｙ軸に沿って、他方の方向に向かって形成された前記振動側振動片の振動に応じて振動する一対の検出側振動片と、を有する振動子において、
前記振動側振動片の前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸により形成される面である表面及び背面に関して電極部を備えた溝部が形成され、
前記検出側振動片の前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸により形成される面である両側面に関して電極部を挟んで溝部が形成されていることを特徴とする振動子。
【請求項４】
前記振動側振動片と前記検出側振動片を、前記Ｘ軸と前記Ｚ軸により形成される面で断面を形成した場合に、各振動側振動片の縦と横の長さが略同一で、この縦と横の長さと各検出側振動片の縦と横の長さが略同一に成ることを特徴とする請求項３に記載の振動子。
【請求項５】
電圧の印加により振動する一対の振動側振動片と、
この振動側振動片の振動に応じて振動する一対の検出側振動片と、を有する角速度検出装置において、
前記一対の検出側振動片のそれぞれに設けられた複数の電極部の間に干渉防止部が形成され、前記一対の振動側振動片に溝部を配置し、この溝部に電極部を設けたことを特徴とする角速度検出装置。
【請求項６】
前記干渉防止部が溝部であることを特徴とする請求項５に記載の角速度検出装置。
【請求項７】
水晶から成り、
電気軸をＸ軸、機械軸をＹ軸及び光軸をＺ軸とした直交座標系を有し、
前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸により形成される面に関して、基部が形成されると共に、この基部から前記Ｙ軸に沿って、一方の方向に向かって形成された電圧の印加により振動する振動側振動片と、
前記基部から前記Ｙ軸に沿って、他方の方向に向かって形成された前記振動側振動片の振動に応じて振動する一対の検出側振動片と、を有する角速度検出装置において、
前記振動側振動片の前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸により形成される面である表面及び背面に関して電極部を備えた溝部が形成され、
前記検出側振動片の前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸により形成される面である両側面に関して電極部を挟んで溝部が形成されていることを特徴とする角速度検出装置。
【請求項８】
前記振動側振動片と前記検出側振動片を、前記Ｘ軸と前記Ｚ軸により形成される面で断面を形成した場合に、各振動側振動片の縦と横の長さが略同一で、この縦と横の長さと各検出側振動片の縦と横の長さが略同一に成ることを特徴とする請求項７に記載の振動子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば圧電材料からなる振動子と、この振動子を有する振動ジャイロ等の角速度検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の角速度検出装置である振動ジャイロに用いられる振動子は、図５に示すように構成されていた。この他にも、例えばアメリカ合衆国特許第５３９６１４４号等にも略同様の振動ジャイロが記載されている。
【０００３】
すなわち、図５の振動子１０は、水晶により成っており、その外観は、全体が平面から見てＨ型を成しており、基部１１から一方向に振動側振動片１２、１２’が２つ設けられている。また、この振動側振動片１２、１２’の反対側には、基部１１から検出側振動片１３、１３’が２つ設けられている。
【０００４】
このような振動片１０の２つの前記振動側振動片１２、１２’には、電極１２ａ及び電極１２ｂが、それぞれ形成されており、これら電極１２ａ、１２ｂに、図示しない他の装置から電圧が印加されると図において電気軸であるＸ軸方向に電界が発生し、この電界方向に振動片１２，１２’が振動するようになっている。
【０００５】
この状態で図においてＹ軸方向の回りに回転角速度ωが作用するとコリオリの力Ｆにより、前記２つの検出側振動片１３、１３’は、図においてＺ軸方向及び−Ｚ軸方向に沿ってウオーク振動することになる。
【０００６】
ところで、この検出側振動片１３、１３’には、図に示すように電極１３ａ、１３ｂが、その側面に配置されている。すなわち、図６に示すように、電極１３ａ、１３ｂ，１３ｃ，１３ｄは、検出側振動片１３、１３’の図において左右の両側面にそれぞれ２つずつ電極が形成されている。
【０００７】
この電極１３ａ、１３ｂ，１３ｃ，１３ｄは、図示しない電気信号検出部に接続されている。そして、上述のように検出側振動片１３、１３’がコリオリ力Ｆにより、図５におけるＺ軸方向及び−Ｚ軸方向にウオーク振動すると、この振動片が水晶により形成されているため、検出側振動片１３、１３’には、圧縮又は引張変形に応じた交流電圧の電気信号が発生する。そして、この電気信号を前記電極１３ａ等を介して、前記電気信号検出部に入力するようになっている。
【０００８】
このようにして、電気信号検出部に入力される電気信号は、前記検出側振動片１３、１３’のＺ軸方向及び−Ｚ軸方向のウオーク振動の大きさに比例して大きくなる特性を有するが、このような特性を有する電気信号を図示しない検出バランス調整回路等で位相を揃える等することで、Ｙ軸回りの回転角速度ωの方向と大きさを表すリニアな電気信号として、図示しない電子制御装置に入力される。したがって、このような振動ジャイロを用いれば、この振動ジャイロを搭載している車両等の旋回方向や、その単位時間当たりの大きさを検出することができることになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、以上のように振動ジャイロは、振動子１０の検出側振動片１３、１３’の振動により発生する電気信号を電極１３ａ等により感知し、検出することによりジャイロとしての機能を果たすものであるから、正確にこの電気信号を電極１３ａ等から検知することが必要となる。
【００１０】
このとき、検出側振動片１３、１３’に生じる電界は、図６に示す矢印方向（電気軸方向Ｘ軸方向）である。そして、検出側振動片１３、１３’の電極１３ａと電極１３ｂとは、近接して配置されているため、電気的結合が大きくなり、漏れ電圧が発生しやすくなってしまう。
【００１１】
これでは、検出側振動片１３、１３’の電極１３ａ等から検出される電気信号の出力が落ち、正確な電気信号を検出側振動片１３から取り出すことが困難となり、ひいては、振動ジャイロの感度が低下するという問題があった。
【００１２】
この問題を解決するには、振動子自体を大型化する必要があり、これでは、現在要求されている振動ジャイロの小型化の要請に応えることができなくなってしまう。
【００１３】
そこで、本発明は、小型で、感度良く電気信号を検出できる振動子及び角速度検出装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記目的は、請求項１の発明によれば、電圧の印加により振動する一対の振動側振動片と、この振動側振動片の振動に応じて振動する一対の検出側振動片と、を有する振動子において、前記一対の検出側振動片のそれぞれに設けられた複数の電極部の間に干渉防止部が配置されている振動子により達成される。
【００１５】
前記構成によれば、前記一対の検出側振動片のそれぞれに設けられた複数の電極部の間に干渉防止部が配置されているため、これらの電極部間の電気的結合が小さくなり、漏れ電圧の発生を抑えることができる。
【００２０】
前記目的は、請求項３の発明によれば、水晶から成り、電気軸をＸ軸、機械軸をＹ軸及び光軸をＺ軸とした直交座標系を有し、前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸により形成される面に関して、基部が形成されると共に、この基部から前記Ｙ軸に沿って、一方の方向に向かって形成された電圧の印加により振動する振動側振動片と、  前記基部から前記Ｙ軸に沿って、他方の方向に向かって形成された前記振動側振動片の振動に応じて振動する一対の検出側振動片と、を有する振動子において、前記振動側振動片の前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸により形成される面である表面及び背面に関して電極部を備えた溝部が形成され、前記検出側振動片の前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸により形成される面である両側面に関して電極部を挟んで溝部が形成されている振動子により、達成される。
【００２１】
前記構成によれば、前記振動側振動片の前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸により形成される面である表面及び背面に関して電極部を備えた溝部が形成されているため、前記振動側振動片内に生じる電界が、この振動側振動片内に広く分布し、振動損失が小さく、ＣＩ値が小さい、効率の良い振動をする振動側振動片となる。
【００２２】
また、前記検出側振動片の前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸により形成される面である両側面に関して電極部を挟んで溝部が形成されているので、これらの電極部間の電気的結合が小さくなり、漏れ電圧の発生を抑えることができる。
【００２５】
前記目的は、請求項５の発明によれば、電圧の印加により振動する一対の振動側振動片と、
この振動側振動片の振動に応じて振動する一対の検出側振動片と、を有する角速度検出装置において、前記一対の検出側振動片のそれぞれに設けられた複数の電極部の間に干渉防止部が形成され、前記一対の振動側振動片に溝部を配置し、この溝部に電極部を設けたことを特徴とする角速度検出装置により、達成される。
【００２６】
前記構成によれば、前記一対の検出側振動片のそれぞれに設けられた複数の電極部の間に干渉防止部が配置されているため、これらの電極部間の電気的結合が小さくなり、漏れ電圧の発生を抑えることができる角速度検出装置となる。
【００３１】
前記目的は、請求項７の発明によれば、水晶から成り、電気軸をＸ軸、機械軸をＹ軸及び光軸をＺ軸とした直交座標系を有し、前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸により形成される面に関して、基部が形成されると共に、この基部から前記Ｙ軸に沿って、一方の方向に向かって形成された電圧の印加により振動する振動側振動片と、前記基部から前記Ｙ軸に沿って、他方の方向に向かって形成された前記振動側振動片の振動に応じて振動する一対の検出側振動片と、を有する角速度検出装置において、前記振動側振動片の前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸により形成される面である表面及び背面に関して電極部を備えた溝部が形成され、前記検出側振動片の前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸により形成される面である両側面に関して電極部を挟んで溝部が形成されていることを特徴とする角速度検出装置により、達成される。
【００３２】
前記構成によれば、前記振動側振動片の前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸により形成される面である表面及び背面に関して電極部を備えた溝部が形成されているため、前記振動側振動片内に生じる電界が、この振動側振動片内に広く分布し、振動損失が小さく、ＣＩ値が小さい、効率の良い振動をする振動側振動片となる。
【００３３】
また、前記検出側振動片の前記Ｙ軸及び前記Ｚ軸により形成される面である両側面に関して電極部を挟んで溝部が形成されているので、これらの電極部間の電気的結合が小さくなり、漏れ電圧の発生を抑えることができる角速度検出装置となる。さらに、水晶を用いることで温度特性が良くなり、精度も良くなる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態を図面に基づき説明する。
【００３７】
図１は、本発明の角速度検出装置の実施の形態に係る振動ジャイロ１００を示す図である。図１に示すように、振動ジャイロ１００は、振動子１１０と、これを駆動させるための励振回路１２０、振動子１１０の振動による電気信号を検出する検出バランス調整回路、増幅回路１４０、同期検波回路１５０、積分回路１６０、そして増幅出力回路１７０を有している。
【００３８】
この振動子１１０は、例えば図２に示すように構成されている。図２は、振動子１１０を示す概略斜視図である。図２に示す振動子１１０は、例えば水晶の単結晶により形成されているが、この水晶の単結晶から振動子１１０を切り出す際に、図２のＸ軸が電気軸、Ｙ軸が機械軸そしてｚ軸が光軸と成るように切り出されることになる。さらに、この水晶の単結晶から切り出す際、前記Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸からなる直交座標系においてＸ軸回りに、Ｘ軸とＹ軸からなるＸＹ平面を反時計方向に約１度乃至５度傾けた、所謂水晶Ｚ板として形成されることになる。このように振動子１１０を水晶Ｚ板に構成することにより、より高精度の振動子１１０となる。
【００３９】
この振動子１１０は、図２に示すように、基部１１１を中心に図において左側には２本の振動側振動部である振動側振動片１１２、１１２’が設けられている。また、前記基部１１１の右側には２本の検出側振動部である検出側振動片１１３、１１３’が設けられている。
【００４０】
そして、この振動側振動片１１２、１１２’には、図において、その表面及び背面に溝１１２ａがそれぞれ設けられており、この溝部１１２ａには、図において斜線で示す駆動電極１１４ａが配置されている。
【００４１】
また、この振動側振動片１１２、１１２’の両側面の斜線部分には、もう一方の駆動電極１１４ｂがそれぞれ配置されている。この状態を示したのが図３である。図３は、振動側振動片１１２のＡ−Ａ’断面図である。
【００４２】
図３に示すように駆動電極１１４ａは、振動側振動片１１２の図において上面及び下面に形成されている溝１１２ａに沿って、振動側振動片１１２の内部まで深く配置されているため、駆動電極１１４ａに図１の励振回路１２０から駆動電圧が印加されると、電界が振動側振動片１１２の両側面に配置されているもう一方の駆動電極１１４ｂに向かって発生することになる。このとき、駆動電極１１４ａは、振動側振動片１１２の溝１１２ａによって、その振動側振動片１１２の内部に深く配置されているため、電界は振動側振動片１１２に広く分布する。この電界の状態を示したのが、図３の矢印である。
【００４３】
電界が、このように振動側振動片１１２、１１２’に広く分布するため、振動側振動片１１２、１１２’は振動損失が少なく、ＣＩ値（クリスタルインピーダンス又は等価直列抵抗Ｒｒ）が小さい状態で振動することになる。
【００４４】
なお、このときの振動側振動片１１２の振動方向は分極方向である図３のＸ軸方向となる。また、振動側振動片１１２’には、前記振動側振動片１１２と逆方向に電界が印加されるため、この振動側振動片１１２とは反対方向（図３の−Ｘ軸方向）に振動し、振動側振動片１１２と振動側振動片１１２’は音叉振動をすることになる。
【００４５】
一方、この振動側振動片１１２の基部１１１に関して反対側には、検出側振動片１１３、１１３’が２つ設けられている。この検出側振動片１１３、１１３’の図３における両側面には、溝１１３ａがそれぞれ設けられている。そして、この溝１１３ａを挟んで両側（図において上下）には検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’が配置されている。
【００４６】
この状態を示したのが、図４である。図４は、図３のＢ−Ｂ’断面図であり、検出側振動片１１３、１１３’の図において両側には溝１１３ａが設けられ、この溝１１３ａを挟むように検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’が配置されている。このため、図において上下に配置されている検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’相互間は、電気的結合が小さくなり、漏れ電圧が小さくなる。
【００４７】
また、この検出側振動片１１３、１１３’には、図４の矢印で示すように電気軸であるＸ軸方向に電界が生じ、この電界により生じた電圧を検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’で検知するようになっている。
【００４８】
また、検出側振動片１１３が図４において上方（＋Ｚ方向）に振動しているとき、検出側振動片１１３’は下方（−Ｚ方向）へ振動する。検出側振動片１１３が上方へ振動すると上面は縮み、下面は伸びる。すると検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’間には図４の矢印のように電界が発生する。また、検出側振動片１１３’には、検出電極１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’の間に図４の矢印で示すように電界が発生する。
【００４９】
したがって、検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’相互間の電気的結合が小さく、漏れ電圧が小さくなることで、より正確に電気信号を検出することができる。
【００５０】
以上のように構成されている振動子１１０の前記振動側振動片１１２、１１２’の図３に示す断面の縦と横の長さは、略同一に形成されていると共に、この縦と横の長さと略同一に図４に示す検出側振動片１１３、１１３’も形成されている。このため、これらの振動側振動片１１２、１１２’と検出側振動片１１３、１１３’の図２におけるＸ軸方向又はＺ軸方向の振動による共振周波数も略同一にすることができ、効率的に検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’から電圧を検出できるようになっている。
【００５１】
そして、このような検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’は、図１に示す検出バランス調整回路１３０に差動接続されノイズ成分を除去するようになっている。この検出バランス調整回路１３０は、増幅回路１４０等を経て増幅出力回路１７０まで電気信号が伝わるようになっている。
【００５２】
本実施の形態に係る振動ジャイロ１００は、以上のように構成されるが、以下にその動作等について説明する。
【００５３】
先ず、本実施の形態に係る振動ジャイロ１００を例えば車両等に設置する。そして、この振動ジャイロ１００を動作させるには、図１に示す励振回路１２０から信号が振動子１１０に送られ、電圧が振動子１１０の振動側振動片１１２、１１２’の駆動電極１１４ａに印加される。すなわち、この振動側振動片１１２、１１２’のＸ軸方向の共振周波数と一致する周波数の交流電圧を常時、印可することになる。
【００５４】
このように振動側振動片１１２、１１２’の駆動電極１１４ａともう一方の駆動電極１１４ｂに交流電圧が印加されると、図３に示すように電界がもう一方の駆動電極１１４ｂ方向に向かい、且つ電気軸であるＸ軸方向に沿って発生し、２つの振動側振動片１１２、１１２’は、Ｘ軸方向に音叉振動を始めることになる。すなわち、振動側振動片１１２に交流電圧が印加されると、この振動側振動片１１２とは逆の−Ｘ軸方向（図３参照）に振動を始め、振動側振動片１１２、１１２’  は音叉振動となる。
【００５５】
このとき、上述のように、振動側振動片１１２、１１２’には、溝１１２ａが設けられており、この溝１１２ａには、駆動電極１１４ａともう一方の駆動電極１１４ｂが設けられているため、駆動電極１１４ａともう一方の駆動電極１１４ｂに電圧が印加されると、図３に示すように振動側振動片１１２、１１２’に広く電界が分布し、振動損失やＣＩ値が小さく、効率的に振動し、同駆動電圧での振動側振動片１１２、１１２’の振動が増すことになる。
【００５６】
このように、２つの振動側振動子１１２、１１２’がＸ軸方向に振動すると、この振動は基部１１１を経て、２つの検出側振動子１１３、１１３’に伝播する。そして、この２つの検出側振動子１１３、１１３’をＸ軸方向に、振動側振動子１１２、１１２’と同符号の向きに振動させることになる。
【００５７】
このとき、上述のように振動側振動片１１２、１１２’と検出側振動片１１３、１１３’は、同じ共振周波数を有するため、振動側振動片１１２、１１２’がＸ軸方向に一定の振幅で振動を継続すると、検出側振動片１１３、１１３’も同様にＸ軸方向に振動（共振）を継続することになる。
【００５８】
このように振動側振動片１１２、１１２’の振動が検出側振動片１１３、１１３’に伝播して、これら振動側振動片１１２、１１２’と検出側振動片１１３、１１３’が共に、Ｘ軸に沿って継続して振動している状態にあるときに、振動ジャイロ１００に図１のＸ−Ｚ平面に直交するＹ軸の回りに回転角速度ωが作用すると、２つの検出側振動片１１３、１１３’は、式Ｆ＝２ｍＶ・ωで表されるコリオリの力Ｆを受けてＺ軸に沿って振動する。
【００５９】
ここで、ｍは、検出側振動片１１３、１１３’の振動部分の質量、Ｖは、振動部分の速度である。この振動部分の速度Ｖは、式Ｖ＝Ａω・ｃｏｓωｔで表され、回転角速度が一定のときは、検出側振動片１１３、１１３’のＸ軸方向の振動の振幅Ａに比例することになる。したがって、コリオリの力Ｆは、検出側振動片１１３、１１３’のＸ軸方向の振幅Ａを大きくすることにより大きくすることができる。
【００６０】
本実施の形態に係る振動ジャイロ１００の振動子１１０の振動側振動片１１２、１１２’は、上述のように溝１１２ａを設け駆動電極１１４ａともう一方の駆動電極１１４ｂを配置しているため、振動損失やＣＩ値が少なく、電気機械結合係数を大きくすることができるため、効率的な振動が可能になり、Ｘ軸方向により大きな振幅を生じさせることが可能となっている。
【００６１】
また、この振動側振動片１１２、１１２’の共振周波数と検出側振動片１１３、１１３’の共振周波数は、略同一であるため、この振動側振動片１１２、１１２’のＸ軸方向の大きな振幅を無駄なく検出側振動片１１３、１１３’に伝播させることができる。そして、コリオリの力Ｆをより大きくすることができる。
【００６２】
上述のように、Ｘ軸方向に振動している振動子１１０が、コリオリの力Ｆを受けてＺ軸に沿って振動すると、検出側振動片１１３、１１３’は、振動側振動片１１２、１１２’から伝播したＸ軸方向の振動と、Ｚ軸方向の振動とにより、全体として楕円運動を起こす。
【００６３】
このとき、この楕円運動のＺ軸方向成分の振動により発生する検出側振動片１１３、１１３’の圧縮・引張変形に応じた交流電圧の電気信号が生じ、この電気信号を２つの検出側振動片１１３、１１３’に設けられた検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’から検知することになる。
【００６４】
本実施の形態に係る振動ジャイロ１００では、検出側振動片１１３、１１３’の検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’の間に、図４に示すように溝１１３ａが設けられているため、検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’間の電気的結合が小さくなり、漏れ電圧が出なくなる。したがって、より感度良く、前記検出側振動片１１３、１１３’の電気信号を検出することができることになる。
【００６５】
このように検出された検出電極１１４ｃと検出電極１１４ｃ’との間及び検出電極１１４ｃ’’と検出電極１１４ｃ’’’との間の電気信号は、図１に示す検出バランス回路１３０に入力される。そして、振動側振動片１１３、１１３’は検出時には逆位相でＺ方向に振動するため電気信号の位相が揃えられ、ノイズ成分となる加速度成分をキャンセルする。そして、増幅回路１４０に入力され、電気信号の出力レベルが増幅される。その後、同期検波回路１５０に入力され、励振回路１２０の参照信号と同期して交流電圧である電気信号を検波して正電圧とする。さらに、積分回路１６０に入力され、正電圧化された電気信号を整流電圧の電気信号とする。
【００６６】
その後、整流電圧の電気信号は、増幅出力回路１７０により増幅されて出力される。
【００６７】
したがって、前記コリオリの力Ｆによる検出側振動片１１３、１１３’のＺ軸に沿った振動の振動状態を反映した電気信号が検出バランス調整回路１３０等を経て、Ｙ軸回りの回転角速度ωの方向と大きさを表すリニアな電気信号として、図示しない電子制御装置等に入力されることになる。このため、振動ジャイロ１００を車両等に搭載すれば、車両の旋回方向とその単位時間当たりにの大きさを検出することができる。
【００６８】
このように本実施の形態に係る振動ジャイロ１００によれば、コリオリの力Ｆをより大きくすることができ、且つ検出側振動子１１３、１１３’の検出電極１１４ｃ、１１４ｃ’，１１４ｃ’’，１１４ｃ’’’から感度良く、電気信号を検出することができるため、小型で感度が良い振動ジャイロを提供することができることになる。
【００６９】
なお、本発明は、前記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
【００７０】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、小型で、感度良く電気信号を検出できる振動子及びこの振動子を備える角速度検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る振動ジャイロの概要をしめす概略図である。
【図２】図１の振動子を示す概略斜視図である。
【図３】図２のＡ−Ａ’断面を示した概略断面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ’断面を示した概略断面図である。
【図５】従来の振動子を示す概略斜視図である。
【図６】図５の検出側振動子の断面を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１００・・・振動ジャイロ
１１０・・・振動子
１１１・・・基部
１１２、１１２’・・・振動側振動片
１１２ａ、１１３ａ・・・溝
１１３、１１３’・・・検出側振動片
１１４ａ・・・駆動電極
１１４ｂ・・・もう一方の駆動電極
１１４ｃ、１１４ｃ’、１１４ｃ’’、１１４ｃ’’’・・・検出電極
１２０・・・励振回路
１３０・・・検出バランス回路
１４０・・・増幅回路
１５０・・・同期検波回路
１６０・・・積分回路
１７０・・・増幅出力回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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