(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｒ（但しＲはＹを含む希土類金属のうち、少なくとも１種）、Ｔ（Ｔは、ＦｅまたはＦｅおよびＣｏ）、及びＢを主成分とする希土類磁石合金の溶湯を、単ロール法または双ロール法により急冷凝固させ、得られた合金薄片を非酸化性の酸水溶液にて浸漬処理し、水洗後に真空中で乾燥し、さらに０．１０ｋｇ／ｃｍ2以上の水素圧力で水素化粉砕する希土類磁石用合金粉末の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、酸水溶液に用いる酸は、塩酸（酸濃度１．００ｍａｓｓ％〜１０．００ｍａｓｓ％）またはフッ化水素酸（酸濃度０．５０ｍａｓｓ％〜５．００ｍａｓｓ％）、あるいは塩酸とフッ化水素酸の混酸（酸濃度０．５０ｍａｓｓ％〜１０．００ｍａｓｓ％）である希土類磁石用合金粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、Ｒ−Ｔ−Ｂ系希土類磁石用合金粉末の製造方法の改良に係り、Ｒ−Ｔ−Ｂ系磁石合金溶湯をロール急冷法により急冷凝固させて得た合金薄片を、非酸化性の酸水溶液にて浸漬処理することにより、後工程の水素化粉砕工程の短縮と微粉砕性の安定向上を図った希土類磁石用合金粉末の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、永久磁石は、一般の各種電化製品から大型高性能コンピュータ、自動車、パーソナルコンピュータ等の各種部品に幅広く利用されてきている。すなわち、永久磁石は現存するエレクトロニクス製品の欠くことのできない重要な部品材料の１つとなっている。
【０００３】
一方、近年のめざましい電子・電気技術の進歩によりエレクトロニクス製品のさらなる高性能化・小型化が求められてきている。こうした要求に答えるべく優れた磁気特性を有するＲ−Ｔ−Ｂ系希土類永久磁石が開発され（特開昭５７−１４５０７２号公報）、その生産量は年毎に大きくなってきている。
【０００４】
このＲ−Ｔ−Ｂ系希土類永久磁石は、一般に焼結法、ボンド法により製造されている。焼結方法は、例えば、Ｒ（ＲはＹを含む希土類金属のうち、少なくとも１種）、Ｔ（Ｔは、ＦｅまたはＦｅおよびＣｏ）、及びＢを主成分とする原料メタルを溶解、鋳造し、合金インゴットを得た後、さらに該合金に水素を常温にて吸収させて自然崩壊を行わせる水素化粉砕粉を施し、その後機械的粉砕にて数μｍになるよう微粉砕し、磁場中にてプレス成形後、加工および防錆処理を行い、永久磁石とする工程からなる。
【０００５】
これらの方法の中で、水素化粉砕法は、この発明で原料合金として用いるような難粉砕性の希土類合金を非常に効率良く粗粉化できる方法として、特公平４−２４４０１号公報および特開平３−４００８２号に開示されている。
【０００６】
水素化粉砕法は、密閉した容器内に予め粗砕したＲ−Ｔ−Ｂ系合金を挿入し、常温にて水素圧力２００ｔｏｒｒ〜５０ｋｇ／ｃｍ2となるように水素を供給後、水素吸収させ、微細クラックを発生させることにより、自然粉砕を行わせるものであり、後工程である機械粉砕性を効率化させることを特徴としている（特公平４−２４４０１号公報）。
【０００７】
また、この方法の水素圧力範囲については、Ｒ−Ｔ−Ｂ系合金が十分に水素吸収し水素粉砕効率を向上させることを考慮した場合、２ｋｇ／ｃｍ2〜１０ｋｇ／ｃｍ2が特に好ましいとされている（特開平３−４００８２号）。さらにトータルの水素吸収時間については特に限定していないが、一般に０．５〜１時間となっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の水素化粉砕法において、ロール急冷法により作製したＲ−Ｔ−Ｂ系永久磁石合金原料を水素化粉砕する場合、製造ロットにより活性化時間を含めた水素吸収、粉砕時間、及び水素粉砕性に大きなバラつきが生じることが問題になっている。
【０００９】
この原因は、Ｒ−Ｔ−Ｂ系合金が酸素と非常に親和力の強いＲ2Ｆｅ14Ｂ主相およびＲ−ｒｉｃｈな粒界相で主に形成されているため、Ａｒ中で溶解・凝固させてもロール急冷材表面に酸化膜が生成し、これが水素分子の合金素地への吸着を阻害するものと考えられる。また、ロール急冷法による合金材料は一般の鋳型溶製材と異なり、鋳片厚みが一般に０．０５ｍｍ〜３ｍｍと薄いため、粗粉砕を行っても新鮮面の面積増加は期待できない。
【００１０】
この発明は、上述のＲ−Ｔ−Ｂ系希土類磁石用合金粉末の製造法の問題を解消することを目的とし、ロール急冷法により作製したＲ−Ｔ−Ｂ系磁石合金薄片を水素化粉砕する際の水素吸収時間を短縮でき、また自然粉砕時間短縮及び水素粉砕性の安定向上を図ることが可能な希土類磁石用合金粉末の製造方法の提供を目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
発明者らは、ロール急冷法により作製したＲ−Ｔ−Ｂ系磁石合金薄片の水素吸収効率の大幅な向上を目的に種々検討し、ロール急冷法により作製したＲ−Ｔ−Ｂ系磁石合金薄片の表面の酸化膜除去が重要であることに着目し、さらに検討を加えた結果、当該合金薄片の表面を非酸化性である酸水溶液にて酸洗し、その後水洗、乾燥を行って磁石合金素地を十分に露出させた後、水素化粉砕を行えば、従来方法より水素吸収時間を短縮できかつ水素化粉砕性のバラつきを低減できること、すなわち、水素化粉砕工程の高効率化及び製造ロットによらない粉砕性の安定化が可能となることを知見し、この発明を完成した。
【００１２】
この発明を完成させたポイントは、種々の酸水溶液で本系合金表面を酸洗した結果、酸洗時の酸化膜生成の防止のため用いる酸は非酸化性に限定されること、また短時間で酸洗効果の高い酸であることが必須であり、塩酸およびフッ化水素酸が好適であることを知見したことである。なおこれらの混酸水溶液も単一の酸を有する水溶液と同等の酸洗効果を有することも知見できた。
【００１３】
すなわち、この発明は、
Ｒ（但しＲはＹを含む希土類金属のうち、少なくとも１種）、Ｔ（Ｔは、ＦｅまたはＦｅおよびＣｏ）、及びＢを主成分とする希土類磁石合金の溶湯を、単ロール法または双ロール法により急冷凝固させ、得られた合金薄片を非酸化性の酸水溶液にて浸漬処理し、水洗後に真空中で乾燥し、さらに０．１０ｋｇ／ｃｍ2以上の水素圧力で水素化粉砕する希土類磁石用合金粉末の製造方法である。
【００１４】
さらにこれらの酸水溶液の適正濃度を決定するために、種々の酸濃度となるように調整してＲ−Ｔ−Ｂ系合金の醗洗を行った結果、塩酸水溶液ではｍａｓｓ％で１．００％〜１０．００％、フッ化水素酸水溶液では０．５０％〜５．００％、これらの混酸水溶液では０．５０％〜１０．００％の酸濃度でＲ−Ｔ−Ｂ系合金表面の酸洗を行うことが、酸化膜除去に好適であることを知見した。
【００１５】
【発明の実施の形態】
この発明は、Ｒ−Ｔ−Ｂ系永久磁石合金の溶湯よりロール急冷法にて作製した急冷凝固合金を原料とする合金粉末の製造工程の一部である水素化粉砕工程において、Ｒ−Ｔ−Ｂ系合金薄片を酸水溶液にて浸漬処理後、水洗、乾燥し、表面改質を行った後に水素化粉砕を行うことを特徴とし、従来方法に比べて水素吸収までの活性時間の短縮化および微粉砕性バラつきの低減化が可能となり、Ｒ−Ｔ−Ｂ系永久磁石用合金微粉末の製造の効率化を達成したものである。以下にこの発明による希土類永久磁石用合金粉末の製造方法を詳述する。
【００１６】
Ｒ−Ｔ−Ｂ系永久磁石用合金原料は、例えば電解鉄、フエロボロン合金、希土類金属を高周波溶解し、さらに合金溶湯を単ロール法もしくは双ロール法で急冷凝固させることにより作製できる。これらのロール急冷合金は、高い残留磁束密度と高い保磁力を得るために、Ｒ１２原子％〜２０原子％、Ｂ４原子％〜２４原子％、Ｆｅ６０原子％〜８４原子％とするのが好ましい。
【００１７】
Ｒは、Ｒ−Ｔ−Ｂ系磁石粉末における必須元素であり、１２原子％未満では結晶構造がα−Ｆｅと同一構造の立方晶組織となるため、高保磁力が得られず、２０原子％を越えるとＲリッチな非磁性相が多くなり、高残留磁束密度が得られない。よってＲは、１２原子％〜２０原子％の範囲が望ましい。
【００１８】
Ｂについては、Ｒ−Ｔ−Ｂ系磁石粉末における必須元素であって、４原子％未満では菱面体構造が主相となり、高保磁力が得られず、２４原子％を越えるとＢリッチな非磁性相が多くなり、高残留磁束密度が得られないため優れた永久磁石が得られない。よってＢは４原子％〜２４原子％の範囲が好ましい。
【００１９】
Ｆｅは、Ｒ−Ｔ−Ｂ系磁石粉末において必須元素であり、６０原子％未満では残留磁束密度が低下し、８４原子％を越えると保磁力が大幅に低下する。よってＦｅは、６０原子％〜８４原子％の含有が好ましい。
【００２０】
また、Ｆｅの一部をＣｏで置換することは、永久磁石の磁気特性を損なうことなく温度特性を改善できるが、Ｃｏ置換量がＦｅの２０％を越えると逆に磁気特性が劣化するため好ましくない。Ｃｏ置換量がＦｅとＣｏの合計量で５原子％〜１５原子％の場合は、残留磁束密度は置換しない場合に比べ増大するため好ましいと言える。
【００２１】
Ｒ−Ｔ−Ｂ系磁石用合金薄片の製造方法例を説明すると、まず、所定組成を持つＲ−Ｔ−Ｂ系合金を適当な原料粉末の混合物を溶解して溶製する。この溶解は例えば、アルゴン雰囲気などの無酸化雰囲気中で行う。得られた合金の溶湯を、単ロール法（１方向凝固）または双ロール法（２方向凝固）により、薄板または薄片（鱗片）状に急冷凝固すると、結晶粒径３〜３０μｍの均質な組織を有する急冷凝固合金材が得られる。
【００２２】
また、これら組成からなるロール急冷合金は、粉砕粉の粒度分布をシャープにし磁気特性を向上させるために鋳片厚み０．０５〜３ｍｍ、Ｒリッチ相が５μｍ以下に微細分散したような金属組織を有するものが望ましい。さらに微粉砕性を向上させるためには、溶製時に晶出する延性の大きなα−Ｆｅを均質化処理により低減することが好ましい。
【００２３】
上記の工程を経た後、これらのロール急冷合金は、水素化粉砕に供される。ところが、Ｒ−Ｔ−Ｂ系合金は酸化しやすい希土類金属および希土類金属と鉄の化合物を多く含むため、鋳型溶製時または溶体化処理時または粗粉砕時に雰囲気中の徴量の酸素と結合し表面酸化膜を形成する。また該合金の溶湯を、単ロール法もしくは双ロール法により急冷凝固する場合も、凝固中の自由面が雰囲気中の微量酸素を吸着し、さらには溶製後の冷却過程において酸化膜形成が進行する。
【００２４】
これらの酸化膜の膜厚は、該合金溶湯の凝固条件、溶体化処理条件、粗粉砕条件等に大きく左右されるため一概には言えないが、一般に数ｎｍ〜数十ｎｍである。また、酸化膜の緻密度も上記の各条件および溶製材表面性状等により大きく左右される。
【００２５】
そこでこの発明では、これらの酸化膜を酸水溶液にて浸漬処理後、水洗、乾燥させ酸化膜を除去して該合金表面を活性化した後、水素化粉砕を行うことを特徴とする。酸洗を行った合金表面は、粒界相（希土類金属ＲまたはＲの酸化物）素地および主相（Ｒ2Ｆｅ14Ｂ）素地が露出されるため、酸洗しない場合に比べ水素分子が合金素地に吸着する確率が顕著に大きくなり、活性化時間すなわち水素吸収開始時間が短縮される。さらに、吸着後の粒界および粒内への水素原子拡散量が増加する。
【００２６】
次に、酸洗により表面改質を行ったロール急冷合金薄片を、例えば吸排気可能な密閉した容器内に収容し、水素圧力を０．１ｋｇ／ｃｍ2以上として水素吸収を行わせる。この場合、水素分圧が０．１ｋｇ／ｃｍ2以上となるような不活性ガス、例えばＨｅ、Ｎ2、Ａｒ等との混合ガスを用いても良い。さらに好ましくは、混合ガスの全圧を大気圧以上にし、かつ撹拌装置を備えた密閉容器を用いて水素吸収を行えば、該合金の水素吸収による容器内負圧化防止の点とガスの分離防止の点で好ましいと言える。
【００２７】
水素化粉砕における水素圧力は、０．１ｋｇ／ｃｍ2未満では酸洗後の該合金表面に吸着する水素分子数が減少するため十分な粉砕性が得られず、効率的な操業を妨げる。また、水素圧力の上限値は高ければ高いほど水素吸収速度の増加という点で優れているが、装置のコストと量産性を考慮した場合、水素圧力の上限値は１０ｋｇ／ｃｍ2が好ましいと言える。
【００２８】
この発明における酸洗方法について以下に詳述する。酸水溶液に用いる酸については市販の試薬特級または１級またはそれと同程度の濃度の非酸化性の酸の原液とする。また、酸水溶液に用いる溶媒は、蒸留水、イオン交換水が良く、さらに好ましくはこれらをＡｒで数十分間バブリングし酸素固溶量を十分低減させると良い。
【００２９】
これらの酸原液を含有量（ｍａｓｓ％）として、塩酸で１％〜１０％、フッ化水素酸で０．５％〜５％、塩酸とフッ化水素酸の混酸で０．５％〜１０％となるように調整を行う。酸濃度が下限未満になると十分に酸化膜を除去できず、また酸濃度が上限を越えると、該合金表面以外に合金そのもの、特にＮｄを溶解してしまう恐れがある。
【００３０】
酸処理条件は特に限定しないが、膜除去時間および合金成分の過溶解等を考慮して１０〜５０℃が望ましい。酸処理時間は酸化膜性状に依存するが、ほぼ３０分以内で十分である。
【００３１】
このように酸洗処理を行った後、水洗を行う。水洗は蒸留水またはイオン交換水を用いるのが望ましく、さらには用いる蒸留水またはイオン交換水をＡｒで数十分間バブリングし酸素固溶量を十分低減させるとよりいっそう好ましい。その後、酸処理の完了材を前記蒸留水またはイオン交換水の水流中で約５分間程度洗浄し、真空中で迅速に乾燥させる。
【００３２】
乾燥温度は特に限定しないが、取り出し時の急激な酸化を防ぐために５０℃以下で行えば、該合金の表面酸素吸着量が低減するため、微粉砕後の酸素量を低減させ、優れた磁気特性を得ることができるため一層好ましいと言える。
【００３３】
【実施例】
実施例１
純度９９．９％の電解鉄、Ｂ２０％のフエロボロン合金、純度９９．７％以上のＮｄを高周波溶解し、その後単ロール法にて真空中、ロール回転数１００ｒｐｍにて急冷凝固し、１５Ｎｄ８Ｂ７７Ｆｅ（原子％）なる組成の板厚約０．５ｍｍの鋳片状のロール急冷材（Ａ）１ｋｇを得た。
【００３４】
さらに同組成の原料合金の溶湯を用いて双ロール法にて真空中、ロール回転数１００ｒｐｍにて急冷凝固し、１５Ｎｄ８Ｂ７７Ｆｅ（原子％）なる組成の板厚約０．５ｍｍの鋳片状のロール急冷材（Ｂ）１ｋｇを得た。
【００３５】
これらの試料の一部をサンプリングして光学顕微鏡にて金属組織観察を行ったところ、ロール急冷材（Ａ）、（Ｂ）共にＮｄリッチ相が５μｍ以下に微細分散していた。
【００３６】
上記のロール急冷材を３０ｍｍ角以下にＡｒ雰囲気中で破砕して被酸洗試料とした。酸洗は、市販の試薬特級３５％塩酸を用いて酸濃度が蒸留水に対して５．００ｍａｓｓ％となるよう調整した。この塩酸水溶液を用いて水溶液温度３０℃一定、処理時間１０分間とし、ロール急冷材（Ａ）、（Ｂ）それぞれ１ｋｇずつ浸漬処理を行い、その後Ａｒで１０分間バブリングした蒸留水を用いて、５分間の流水洗浄した。
【００３７】
その後真空中３０℃で迅速に乾燥させ酸洗試料を得た。これらの酸洗試料をサンプリングし、ＥＳＣＡにて表面分析を行ったところ、全ての酸洗試料において粒界相にＮｄ酸化物（Ｎｄ2Ｏ3）を示す結合エネルギーのピークが若干観測されたが、それ以外には酸化物を示すピークは見られなかった。
【００３８】
さらにこれらの酸洗試料を各々１ｋｇ、吸排気可能な密閉容器に収容後、容器内を一度真空にし、水素圧力を絶対圧として０．０８ｋｇ／ｃｍ2、０．３０ｋｇ／ｃｍ2、２．００ｋｇ／ｃｍ2、５．００ｋｇ／ｃｍ2一定となるよう封入し、室温にて水素吸収を行わせた。ここで酸洗試料が水素吸収を開始し、系内圧力が減少し始めるまでの時間を活性化時間として測定を行ったところ、表１に示す結果を得た。
【００３９】
続いてこれらの水素化粉を容器から取りだした後、真空中５００℃、１時間の脱水素処理を行った。得られた各粉末をギャップ幅０．３０ｍｍとしてディスクミルで粗砕した後、純度９９．９％Ａｒを用いてジェットミル粉砕を行い微粉砕粉を得た。得られた微粉砕粉のメジアン径を表１に示す。
【００４０】
さらに得られた微粉砕粉を用いて、磁界１０ｋＯｅにて配向させながら１．５０ｔｏｎ／ｃｍ2にて加圧成形を行い、３０個の圧粉体を得た。その後、真空中１０４５℃、４時間で焼結を行い、焼結後はＡｒ急冷を行って焼結体とした。これらの焼結体を６００℃、１時間の熱処理を施した後、着磁し永久磁石とした。これらの永久磁石の固有保磁力ｉＨｃをＢ−Ｈトレーサで測定し、３０個について平均値を求めた結果、表１に示す結果を得た。
【００４１】
【表１】
0003863643.tif 000002
【００４２】
比較例１
比較例として、この発明の実施例１と同一のロール急冷材（Ａ）、（Ｂ）を用いて、酸洗を経ないで実施例１と同様にして水素化を行った。該試料が水素吸収を開始し、系内圧力が減少し始めるまでの時間を活性化時間とし測定を行ったところ、表２に示す結果を得た。
【００４３】
続いてこれらを本発明方法と同様にしてジェットミル粉砕した場合の各微粉砕粉のメジアン径を表２に示す。また本発明例と同様の方法でプレス成形、焼結、熱処理、着磁を行い永久磁石３０個を得た後、これらの固有保磁力ｉＨｃをＢ−Ｈトレーサで測定し、３０個について平均値を計算した結果、表２に示す結果を得た。
【００４４】
【表２】
0003863643.tif 000003
【００４５】
すなわち、表２より明らかなごとく、Ｒ−Ｔ−Ｂ系急冷合金の表面を酸水溶液にて酸洗、表面改質してから水素吸収を行わせることを特徴とするこの発明方法を採用することにより、合金表面の活性度を大きく向上させることが可能となり、従来方法より活性化時間の短縮、および微粉砕時の粒度バラツキが小さくなることが分かる。また、この発明方法による微粉末をプレス成形し焼結して得た焼結永久磁石は、従来方法による焼結永久磁石より優れた磁気特性を有することが分かる。
【００４６】
比較例２
比較例として、実施例１と同一の試料を用い、実施例１と同一の酸洗方法により酸洗を行った。得られた酸洗試料１ｋｇを吸排気可能な密閉容器に収容後、容器内を一度真空にし、水素圧力を絶対圧として０．０５ｋｇ／ｃｍ2一定となるよう封入し、室温にて水素吸収を行わせた。ここで酸洗試料が水素吸収を開始し、系内圧力が減少し始めるまでの時間を活性化時間として測定を行ったところ、表３に示す結果となり、表面改質を行っても水素吸収が極めて困難になることが分かった。
【００４７】
続いてこれらを実施例１と同様にしてジェットミル粉砕した場合の各微粉砕粉のメジアン径を表３に示す。また、実施例１と同様の方法でプレス成形、焼結、熱処理、着磁を行い永久磁石３０個を得た後、これらの固有保磁力ｉＨｃをＢ−Ｈトレーサで測定し、３０個について平気値を計算した結果、表３に示す結果を得た。
【００４８】
【表３】
0003863643.tif 000004
【００４９】
すなわち、表３より明らかなごとく、Ｒ−Ｔ−Ｂ系合金薄片を酸水溶液で酸洗・表面改質した後、水素圧力を０．１０ｋｇ／ｃｍ2以上として水素化粉砕することにより、合金薄片表面の活性度が大きく向上することで、従来方法より活性化時間、すなわち水素吸収開始時間の短縮が可能となり、かつ合金表面から水素が均等に吸収されることで水素化粉砕性が向上し、微粉砕時の粒度バラツキが小さくなることが分かる。また、この発明方法による微粉末をプレス成形し焼結して得た焼結永久磁石は、従来の焼結永久磁石より優れた磁気特性を有することが分かる。
【００５０】
実施例２
実施例１と同一の試料を用い、実施例１で用いた塩酸に加えて試薬特級の４６％フッ化水素酸を用いて、さらに塩酸とフッ化水素酸がそれぞれ５０．００ｍａｓｓ％となる混酸の３種類の酸原液（塩酸、フッ化水素酸、塩酸とフッ化水素酸の混酸）を蒸留水に対して各４種類の酸濃度となるように調整した。
【００５１】
酸濃度は、塩酸水溶液では０．８０、０．６０、１．３０、５．００、１３．００ｍａｓｓ％とし、フッ化水素酸水溶液では０．３０、０．６０、３．００、７．００ｍａｓｓ％とし、塩酸とフッ化水素酸水溶液では０．３０、１．００、５．００、１２．００ｍａｓｓ％とした。これらの酸水溶液を用いて実施例１に記した酸洗方法と同機にして酸洗・洗浄・乾燥を行い各１ｋｇずつの酸洗試料を得た。
【００５２】
これらの酸洗試料をサンプリングし、ＥＳＣＡにて表面分析を行ったところ、全ての酸洗試料において粒界相にＮｄ酸化物（Ｎｄ2Ｏ3）を示す結合エネルギーのピークがわずかに観察されたが、それ以外に酸化物生成を示すピークは見られなかった。
【００５３】
これらの酸洗試料各１０ｇを乳鉢にて２００メッシュ以下に粉砕しＩＣＰ分析にて含有Ｎｄ量を測定したところ、表４に示す結果を得た。さらにこれらの酸洗試料各１ｋｇを水素圧力を絶対圧として１．００ｋｇ／ｃｍ2一定となるように封入し、室温にて水素吸収を行わせた。実施例１と同様に活性化時間を測定したところ表４〜表６に示す結果となった。
【００５４】
表４の結果から、塩酸、フッ化水素酸、塩酸とフッ化水素酸の混酸の各々の水溶液酸濃度がそれぞれ０．８０ｍａｓｓ％、０．３０ｍａｓｓ％、０．３０ｍａｓｓ％未満になると水素吸収のための活性化時間が顕著に増大し、酸洗効果が小さくなることが分かった。また塩酸、フッ化水素酸、塩酸とフッ化水素酸の各々の水溶液酸濃度がそれぞれ１３．００ｍａｓｓ％、７．００ｍａｓｓ％、１２．００ｍａｓｓ％を越えると酸洗により試料のＮｄ含有量が大きく減少することが分かった。
【００５５】
続いてこれらを実施例１と同様にしてジェットミル粉砕した場合の各微粉砕粉のメジアン径を表４に示す。またこの発明方法と同様の方法でプレス成形、焼結、熱処理、着磁を行い永久磁石３０個を得た後、これらの固有保磁力ｉＨｃをＢ−Ｈトレーサで測定し、３０個について平均値を計算した結果、表４〜表６に示す結果を得た。
【００５６】
【表４】
0003863643.tif 000005
【００５７】
【表５】
0003863643.tif 000006
【００５８】
【表６】
0003863643.tif 000007
【００５９】
表４〜表６の結果から塩酸、フッ化水素酸、塩酸とフッ化水素酸の混酸の各々の水溶液酸濃度がそれぞれ０．８０ｍａｓｓ％、０．３０ｍａｓｓ％、０．３０ｍａｓｓ％未満となると、微粉砕粉のメジアン径は増大すなわち低微粉砕性化し、焼結体磁気特性は大きく劣化する。
【００６０】
また塩酸、フッ化水素酸、塩酸とフッ化水素酸の混酸の各々の水溶液酸濃度がそれぞれ１３．００ｍａｓｓ％、７．００ｍａｓｓ％、１２．００ｍａｓｓ％を越えると微粉砕粉のメジアン径は減少するものの、有効Ｎｄ量が減少し協結体の固有保磁力ｉＨｃが急激に低下することが分かる。
【００６１】
【発明の効果】
実施例から明らかなように、Ｒ−Ｔ−Ｂ系希土類急冷凝固合金を酸水溶液で酸洗し表面改貿した後に、水素化粉砕を行うことを特徴とする、この発明によるＲ−Ｔ−Ｂ系希土類永久磁石用合金粉末の製造方法は、従来方法に比べて、活性化時間の短縮化、すなわち高水素吸収性を有し、さらに合金表面から水素が均等に吸収されるために水素化粉砕性が向上し、従来方法に比べ水素化粉砕工程の短縮化、微粉砕工程の粉砕バラツキ低減化を可能とするものである。