(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
毛管状隙間を備えた左右方向に延びたノズルから、前後方向に走行する一枚の板状の基材の下面に塗工液を塗工する塗工装置において、
前後方向に走行すると共に、前記基材を吸い付ける吸着面を有したサクションテーブルと、
前記サクションテーブルの下方であって、かつ、前記基材に平行になるように前記ノズルの後方に乾燥板を設け、
前記塗工後の基材を前記乾燥板の上方に一定の隙間を開けて前記サクションテーブルによって移動させ、前記基材の塗工面に接する気流を安定させる
ことを特徴とする塗工装置。
【請求項２】
前記乾燥板に空気の吹き出し孔を複数設け、
前記複数の吹き出し孔から前記基材に向かって空気を吹き出す
ことを特徴とする請求項１記載の塗工装置。
【請求項３】
前記乾燥板に空気の吸い込み孔を複数設け、
前記複数の吸い込み孔から空気を吸い込む
ことを特徴とする請求項１記載の塗工装置。
【請求項４】
前記基材と前記乾燥板との間に向かって空気を吹き出す吹き出し手段を設けた
ことを特徴とする請求項１記載の塗工装置。
【請求項５】
請求項１から４記載の塗工装置を、空気が層流でダウンフローしている作業室に配した
ことを特徴とする塗工システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基材に塗工液を塗工する塗工装置及びそれを使用した塗工システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近、液晶表示装置等が広く普及するようになり、この液晶表示装置のガラス板に保護膜等に使用される塗工液を塗工する必要が出てきた。
【０００３】
このようなガラス基板等の基材に塗工液を塗工する方法として、毛細管現象を利用した塗工装置が提案されている（特開平８−２２４５２８号、特開平６−３４３９０８号）。
【０００４】
この塗工装置は、塗工液によって満たされた液層の内部に毛管状隙間を備えたノズルを沈めておき、塗工する際にはこのノズルを上昇させて基材の下面近傍に位置させ、毛管状隙間から塗工液を接液して、基材の下面に塗工液を塗工するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような塗工装置を用いて基材に薄く塗工液を塗工した後、塗工液の乾燥は塗工直後に始まる。特に塗工液が溶剤系では乾燥速度が比較的速い。ところが、この乾燥は大型の基材においては均一に起こるものでなく、塗工面での部分的な乾燥時間の差によって、塗工厚さに斑が発生するという問題点があった。すなわち、基材に塗工液を塗った後、上からその塗工膜を見るとモワレ縞が発生することがあった。
【０００６】
そこで本発明は上記問題点に鑑み、塗工装置によって塗工液を塗工した後、塗工厚さに斑が発生しないように乾燥を行うことができる塗工装置及びそれを使用した塗工システムを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、毛管状隙間を備えた左右方向に延びたノズルから、前後方向に走行する一枚の板状の基材の下面に塗工液を塗工する塗工装置において、前後方向に走行すると共に、前記基材を吸い付ける吸着面を有したサクションテーブルと、前記サクションテーブルの下方であって、かつ、前記基材に平行になるように前記ノズルの後方に乾燥板を設け、前記塗工後の基材を前記乾燥板の上方に一定の隙間を開けて前記サクションテーブルによって移動させ、前記基材の塗工面に接する気流を安定させることを特徴とする塗工装置である。
【０００８】
請求項２の発明は、前記乾燥板に空気の吹き出し孔を複数設け、前記複数の吹き出し孔から前記基材に向かって空気を吹き出すことを特徴とする請求項１記載の塗工装置である。
【０００９】
請求項３の発明は、前記乾燥板に空気の吸い込み孔を複数設け、前記複数の吸い込み孔から空気を吸い込むことを特徴とする請求項１記載の塗工装置である。
【００１０】
請求項４の発明は、前記基材と前記乾燥板との間に向かって空気を吹き出す吹き出し手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の塗工装置である。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１から４記載の塗工装置を、空気が層流でダウンフローしている作業室に配したことを特徴とする塗工システムである。
【００１２】
本発明であると、基材の下面にノズルによって塗工液を塗工した後、サクションテーブルは乾燥板の上方に位置する。すると、この乾燥板によって基材に流れる空気が均等化され、乱気流の影響を防止することができるので、基材の下面に塗工された塗工液が均等に乾燥し、塗工厚さに斑が発生することがない。したがって、従来のようなモワレ縞が発生することなく鏡面のような塗工面を形成することができる。
【００１３】
また、この塗工装置を空気が層流でダウンフローしている作業室に配すると、より空気の気流が安定化し、塗工部分を均一に乾燥させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
第１の実施例
以下、本発明の第１の実施例を示す塗工装置１０について図１〜図１０に基づいて説明する。
【００１５】
この塗工装置１０は、液晶表示装置等のガラス基板に薄くウェット状の塗工液を塗工する装置である。
【００１６】
図１は塗工装置１０の左側面図であり、図２は正面図である。
【００１７】
１．塗工装置１０の全体の構造
図１及び図２が示すように、塗工装置１０は、水平な床面等に設置されるベースフレーム１２の上に、リニアウェイ１４、１４を介して前後方向に移動可能な移動フレーム１６、１６が載置されている。
【００１８】
左右一対の移動フレーム１６，１６の間にはサクションテーブル（以下、単にテーブルという）２４が回動自在に回転軸２６によって支持されている。なお、移動フレーム１６，１６は、左右を溶接構造により一体化されている。
【００１９】
このテーブル２４の吸着面２７にガラス板よりなる基材２８を吸着させ、基材２８を基材位置ＡからＤに移動させ、基材位置ＢからＣに移動するときに基材２８へ塗工を行うものである。このテーブル２４の構成についてはあとから詳しく説明する。
【００２０】
ベースフレーム１２の内部には塗工液を塗工するための装置本体３０が設けられている。
【００２１】
また、ベースフレーム１２の後部、すなわち装置本体３０より後方の位置には、金属板より形成された乾燥板１３０が水平に取り付けられている。この乾燥板１３０の両側部は下方に折曲され、この乾燥板１３０を上下動及び前後方向に移動させる一対の移動部１３２に固定されている。すなわち、移動部１３２によって乾燥板１３０を水平な姿勢のまま上下動又は前後方向に移動させることができる。なお、この乾燥板１３０の大きさは、サクションテーブルの外形よりもやや大きく形成されている。なお、同じ大きさ、または、小さくしてもよい。
【００２２】
さらに、ベースフレーム１２の内部には、図１１及び図１２に示すように、空気を吸い込むための吸込み空間１３４が設けられている。この吸込み空間１３４は、ベースフレーム１２の底面、両側面、前後面によって囲まれ、さらに上面には空気を吸い込むための吸込み孔１３６を複数開口させた吸込み面１３８によって形成されている。なお、この吸込み面１３８の位置は乾燥板１３０よりも下方に配されている。また、吸込み空間１３４からは排気ダクト１４４が設けられ、この先には不図示の排気ファンが設けられ、吸込み空間１３４の空気を常に作業室１４０外部に排気している。
【００２３】
上記構成の塗工装置１０は、図１１及び図１２に示すように作業室１４０に配されている。この作業室１４０は、天井面から底面に向かって層流の空気がダウンフローしており、天井面には塵やゴミを取るための高性能フィルター１４２が設けられている。また、作業室１４０の底面に設けられた吸込み孔１４６からは常に空気が吸い出されている。
【００２４】
この作業室１４０に塗工装置１０を配することにより、他の部分から塵や埃が入ることなく基材２８に塗工液を塗工することができ、また、塗工装置１０の全体に対して気流の流れを均等化させることができる。
【００２５】
２．装置本体３０の構造
以下、装置本体３０について説明する。
【００２６】
図３が、装置本体３０の斜視図であり、図４が正面図であり、図５が図４におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【００２７】
装置本体３０は、ベースフレーム１２の左右方向に配されたベースプレート３２を基礎に構成されている。
【００２８】
ベースプレート３２の上面には、左右一対の移動コッタ３４，３６が設けられている。
【００２９】
このうち、右側に位置する移動コッタ３６は、ベースプレート３２の上面に左右方向に配されたリニアウェイ３８に沿って移動可能である。また、移動コッタ３６の上面は斜面４０になっており、左側が右側よりも低くなっている。そして、この斜面４０の上にもリニアウェイ４２が設けられている。
【００３０】
移動コッタ３４も同様にベースプレート３２に対してリニアウェイ４４で左右方向に移動可能となっており、また、斜面４６の上にはリニアウェイ４８が設けられている。
【００３１】
左右一対の移動コッタ３４，３６には連結シャフト５０が設けられ、この連結シャフト５０の右端部にはサーボモータ５２が配されている。連結シャフト５０の移動コッタ３４，３６の位置には雄ネジ部が設けられ、移動コッタ３４，３６内部には雌ネジ部が設けられている。このサーボモータ５２を回転させることによって連結シャフト５０が回転し、移動コッタ３４，３６がリニアウエイ３８，４４に沿って左右方向に移動するものである。
【００３２】
一対の移動コッタ３４，３６の上方には支持プレート５４が設けられている。この支持プレート５４は、左右方向に沿って延びている支持板５６と、この支持板５６の下端より前後方向に延びた基板５８とよりなる。
【００３３】
この基板５８の下面には左右一対の支持脚６０，６２が設けられている。支持脚６０，６２の下面は斜面となっており、前記した移動コッタ３４，３６の斜面の上に形成されたリニアウェイ４２，４８に沿って移動可能となっている。
【００３４】
また、ベースプレート３２から支持プレート５４の基板５８の中央部に上下移動用のガイドシャフト６４が突出している。支持プレート５４はこのガイドシャフト６４に沿って上下動可能であり、かつ、左右方向の移動が規制されている。
【００３５】
支持プレート５４の上端部には塗工液を溜めるための液槽６６が設けられている。この液槽６６についてはあとから説明する。
【００３６】
支持プレート５４の支持板５６には左右一対のリニアウェイ６８を介して左右移動プレート７０が設けられている。このリニアウェイ６８は左右方向に移動可能となっている。左右移動プレート７０はエアシリンダ７１によって左右方向に移動可能となっている。
【００３７】
左右移動プレート７０の前面にはリニアウェイ７２を介して上下移動プレート７４が設けられている。このリニアウェイ７２は斜め方向に移動可能となっている。さらに、上下移動プレート７４は支持プレート５４の基板５８から突出した左右一対のガイドシャフト７６に沿って上下方向移動可能となっており、かつ、左右方向の移動が規制されている。
【００３８】
上下移動プレート７４の左端部近傍及び右端部近傍からノズル支持シャフト７８が突出し、この左右一対のノズル支持シャフト７８，８０にはノズル８２が支持されている。このノズル８２についてはあとから説明する。
【００３９】
３．液槽６６とノズル８２の構造
次に、図６から図８に基づいて液槽６６とノズル８２の構造について説明する。
【００４０】
支持プレート５４の支持板５６の上部に支持された液槽６６は、左右方向に延びており、図６に示すように、側面形状は台形となっている。そして、液槽６６の上端部中央部（斜面の頂上部）には、左右方向に伸びるスリット８４が形成されている。このスリット８４は、液槽６６の外方に設けられた蓋８６によって閉塞可能となっている。
【００４１】
液槽６６の内部にはノズル８２が内蔵されている。このノズル８２は、左右方向に伸びる毛管状隙間８８を介して前後一対の前ノズル部材９０と後ノズル部材９２とより構成されている。これら前ノズル部材９０と後ノズル部材９２は前後対称であり、上方ほどくちばしのように尖った断面形状となっており、その間に毛管状隙間８８が設けられている。この毛管状隙間８８の上端部は左右方向に沿って開口し、下面も左右方向に沿って開口している。
【００４２】
ノズル８２の左端部及び右端部には前記した左右一対のノズル支持シャフト７８，８０が固定されている。そして、左右一対のノズル支持シャフト７８，８０は液槽６６の底面に開口した左右一対の孔９４，９６を摺動するものである。この孔９４，９６から塗工液が漏れ出さないようにするために、ノズル８２の底面から液槽６６の底面にかけて蛇腹状の閉塞部材９８，１００が設けられている。これにより、支持シャフト７８，８０が上下動しても蛇腹状の閉塞部材９８，１００が上下方向に延び縮みして、孔９４，９６から塗工液が漏れ出さないようになっている（図６及び図７参照）。
【００４３】
図８に示すように、塗工液を溜めたタンク１０２から塗工液がポンプ１０４によってくみ出され、フィルタ１０６を通じて液槽６６の左側面に開口した塗工液の供給口１０８に供給される。また、液槽６６の底面には循環口１１０が開口しており、この循環口１１０からタンク１０２に塗工液が循環する。なお、フィルタ１０６は、塗工液を循環させるため、異物があった場合に取り除くものである。
【００４４】
さらに、液槽６６の左側面の上部には、孔１１１が開口し、そこからＬ字状の高さ調整管１１２が突出している。この高さ調整管１１２の上端は開口し、かつ、その調整管１１２の外部側面には塗工液の高さを検知する検知センサ１１４が設けられている。すなわち、液槽６６に塗工液が満たされた場合に、それと同じ高さまでこの高さ調整管１１２に塗工液が満たされる。そして、この満たされた量に応じて検知センサ１１４が塗工液を検知し、その高さを検知するものである。そして、検知した高さのデータは、マイコンよりなる制御部１１５に送られ、制御部１１５は、その高さのデータに応じて、ポンプ１０４のモータ１０５を駆動させて、設定され高さになるまで塗工液を供給する。
【００４５】
４．テーブル２４の移動構造
次に、テーブル２４をノズル８２の位置まで移動させる構造について説明する。
【００４６】
図１及び図２が示すように、この移動フレーム１６、１６は、ベースフレーム１２の左側面に設けられたネジ棒１８をモータ２０によって回動させることで、前後方向にリニアウエイ１４、１４に沿って移動可能となっている。
【００４７】
すなわち、一対の移動フレーム１６，１６のうち左側にある移動フレーム１６からネジ棒１８と螺合する雌ネジ部を有する移動部２２が突出し、このネジ棒１８が回動することによって移動部２２がネジ棒１８に沿って移動して、左右一対の移動フレーム１６，１６が前後方向に移動するものである。
【００４８】
５．テーブル２４の吸着構造
次に、基材２８をテーブル２４に吸着させる構造について説明する。
【００４９】
左右一対の移動フレーム１６，１６の間に設けられたテーブル２４は、回転軸２６に沿ってほぼ１８０゜回動可能となっている。そして、このテーブル２４の吸着面２７には複数の吸着孔１１６が開口している。この吸着孔１１６はテーブル２４の前面にわたって開口しているものであるが、その内部構造は図９及び図１０のようになっている。すなわち、テーブル２４の内部には、複数の区画に分割された吸着空間１１８が設けられている。
【００５０】
具体的には、第１区画は、図１０におけるテーブル２４の上部の中央部に設けられた４つの吸着空間１１８から構成され、各吸着空間１１８は細い空気経路１２０によって連結されている。そして、これら４つの吸着空間１１８の各部分に４つの吸着孔１１６が開口している。この第１区画の４つの吸着空間１１８には図９に示すように、空気を吸い込むための吸引パイプ１２２が連結され、この吸引パイプ１２２は手動バルブ１２４を経て回転軸２６内部に挿通されている。そして、この挿通された吸引パイプ１２２は、移動フレーム１６の左側から取り出され、真空ポンプ１２６に連結されている。
【００５１】
また、テーブル２４の第２区画は、前記した第１区画をコの字状に囲んだ状態であり、６個の吸着空間１１８から構成され、この吸着空間１１８も空気経路１２０によって連結されている。
【００５２】
以下、同様にして第３区画、第４区画が構成されている。
【００５３】
ここで、テーブル２４が基材２８を吸着する場合について説明する。
【００５４】
テーブル２４の中央部に基材２８を載置する。この場合に、基材２８の大きさに合わせて、第１区画から第ｎ区画までを手動バルブ１２４を開けて真空ポンプ１２６によって吸着孔１１６から基材２８を吸着する。すなわち、中央部にある第１区画は必ず吸引状態にし、後の区画は、基材２８の大きさに合わせて吸引状態にする。また、吸引に必要でない区画は手動バルブ１２４を閉めて吸引が行われないようにする。
【００５５】
そして、移動フレーム１６内部には、テーブル２４の回転軸２６を回転するためのモータ１２８と減速機が内蔵されている。
【００５６】
なお、第１区画を矩形状に開口せず４つの吸着空間１１８を設けて各吸着空間１１８を空気経路１２０によって連結したのは、テーブル２４の強度を考慮したためである。
【００５７】
６．塗工工程
上記構成の塗工装置１０を用いて基材２８に塗工液を塗工する場合について説明する。
【００５８】
（第１工程）
図１において、基材位置Ａのところにテーブル２４を位置させる。この場合に、吸着面２７は上方を向いている。そして、塗工したい面を上方にして基材２８を吸着面２７に載置する。そして、真空ポンプ１２６を作動させて、吸着孔１１６から基材２８を吸引してテーブル２４に基材２８を固定する。
【００５９】
（第２工程）
テーブル２４をほぼ１８０゜回転させ、図１に示す基材位置Ｂのように吸着面２７、すなわち基材２８を下方に位置させる。
【００６０】
移動フレーム１６内部には回転軸２６を回転するためのモータ１２８と減速機が内蔵されている。
【００６１】
（第３工程）
反転したテーブル２４を、モータ２０によって移動させて、移動フレーム１６，１６によって塗工開始位置まで移動させる。
【００６２】
（第４工程）
液槽６６の中には所定の高さまで塗工液を満たしておく。この場合に塗工液の現在の高さは、高さ調整管１１２の外部側面に設けられた検知センサ１１４によって調整し、塗工液の高さを所定の高さまで上げる場合には制御部１１５はポンプ１０４を動作させて塗工液を供給する。
【００６３】
また、ノズル８２は、塗工液で満たされた液槽６６の内部に沈んだ状態としておく。そして、このようにノズル８２が塗工液に沈んだ状態で液槽６６のスリット８４の蓋８６を開けて、液槽６６を基材２８の下方まで上昇させる。この上昇させる方法は、図４に示すように、サーボモータ５２を回転させて左右一対の移動コッタ３４，３６を移動させる。すると、左右方向に移動が規制された支持プレート５４が、移動コッタ３４，３６の斜面４０，４６に設けられたリニアウェイ４２，４８に沿って上方のみ移動する。支持プレート５４が上方に移動すると液槽６６とノズル８２が同時に上方に移動する。
【００６４】
液槽６６が基材２８の下方まで上昇させると、その上昇を一旦停止させる。
【００６５】
（第５工程）
上記のように上昇した液槽６６からノズル８２のみを突出させる。
【００６６】
このために、左右移動プレート７０をエアシリンダ７１によって移動させる。この場合に上下移動プレート７４は左右方向に移動が規制されているため、左右移動プレート７０が左右方向に移動すると、リニアウェイ７２が斜めに設けられているため上下移動プレート７４は上方のみ移動する。上下移動プレート７４が上方に移動するとノズル支持シャフト７８，８０も同時に上方に移動してノズル８２が上昇する。ノズル８２が液槽６６の塗工液から上昇する際に、毛管状隙間８８の間には塗工液が満たされているため、この毛管状隙間８８には塗工液が先端まで満たされた状態で上昇する。そして、その上昇を停止させる。
【００６７】
（第６工程）
上記のようにノズル８２が突出した状態で液槽６６を再び上昇させ、基材２８の下面に接液する。すなわち、ノズル８２の毛管状隙間８８に満たされた塗工液を基材２８の下面に接触させるものである。
【００６８】
この上昇の際には液槽６６の上昇速度及び上昇距離はかなり微妙な調整を要求されるが、前記したようにサーボモータ５２を回転させると移動コッタ３４，３６の斜面に沿って支持プレート５４が上下動するため、この微妙な調整を容易に行うことが可能となる。また、左右方向に水平な状態で液槽６６を持ち上げることが可能となるため、基材２８の塗工厚が左右方向に変化することがない。
【００６９】
（第７工程）
上記のように接液した状態でノズル８２と共に液槽６６を塗工高さの位置まで接液した状態で下降させる。すなわち、ノズル８２の先端の位置と基材２８との間の距離が塗工厚さとなるわけである。そして、この微妙な調整も上記したようにサーボモータ５２を用いて容易に行うことができる。
【００７０】
（第８工程）
上記のようにノズル８２を塗工高さの位置まで下降させた後、基材２８をテーブル２４によって一定速度で塗工終了位置まで移動させる。すると。塗工液はノズル８２によって左右方向に塗工された状態で、前後方向に基材２８を移動させることによって平面状態に塗工を行うことができる。すなわち、基材２８上に平面に塗工液を所定の塗工厚さで塗工することが可能となる。なお、この搬送する場合に、基材２８の前後方向の姿勢、及び、左右方向の姿勢は、どちらも水平に維持する。
【００７１】
（第９工程）
基材２８を塗工終了位置で一旦停止させ、ノズル８２及び液槽６６をそれぞれ塗工高さの位置から下降させ、基材２８から離す。
【００７２】
（第１０工程）
ノズル８２が基材２８の下面から離れた後、図１に示すようにテーブル２４を後方に移動させ、基板位置Ｃまで移動させる。
【００７３】
この状態において基材２８の塗工液の乾燥は既に始まっている。
【００７４】
この場合に、第１には、基材２８の下方には一定の隙間を空けて乾燥板１３０が存在している。この乾燥板１３０は基材２８に対して平行であり、この乾燥板１３０によって周囲からの乱気流の影響を防止することができ、基材２８の塗工面へ接する気流は安定する。
【００７５】
また、第２に、塗工装置１０が作業室１４０に配され層流の空気がダウンフローし、この空気が吸い込み面１３８の吸込み孔１３６から吸込み空間１３４に吸い込まれることにより、より確実に空気の乱気流が防止される。
【００７６】
そして、これらの２つの構成により、基材２８の下面においては、層流が流れ、ウェット状での塗工面の液流れを防止でき、塗工面に対する乾燥速度を均一化させることができる。したがって、より均一な乾燥状態を作り塗工厚さの均一化を図ることができる。
【００７７】
よって、基材２８の塗工面は従来のようなモワレ縞が発生せず鏡面のような状態となる。
【００７８】
（第１１工程）
基板位置Ｃまで移動したテーブル２４を再び１８０゜回転させ、基板位置Ｄの状態に反転させる。これによって、基板２８がテーブル２４の上面に位置する。
【００７９】
（第１２工程）
吸着面２７の吸引力を解除し、基材２８をテーブル２４から取り外す。これによって、一連の塗工動作が終了する。
【００８０】
以上のように本実施例の塗工装置１０であると、上記のような塗工工程を行うことにより、ガラス基板よりなる基材２８に所定の塗工厚さで、かつ、平面で一度に塗工を行うことができる。また、塗工装置１０をダウンフローしている作業室１４０に配し、乾燥板１３０を設け、ベースフレーム１２内部の吸込み空間１３４に空気を吸い込むことにより、乾燥板１３０と基材２８との隙間の気流の流れを安定化させることができ、塗工面を均一な乾燥状態に置くことができる。
【００８１】
第２の実施例
図１３は第２の実施例の塗工装置１０であって、第１の実施例と異なる点は、乾燥板１３０の中央部に空気の吹出し孔１４８を開口し、送風ファン１５０から空気を送り出して吹出し孔１４８から基材２８の下面に向かって吹き出すものである。そして、この場合にテーブル２４の周囲にカバー１５２を付けている。
【００８２】
この塗工装置１０であると、乾燥板１３０の中央部の吹出し孔１４８から空気を吹き出すことによって確実に基材２８の塗工面を乾燥させることができる。
【００８３】
第３の実施例
図１４は塗工装置１０の第３の実施例であって、本実施例では乾燥板１３０の全面に渡って吸い込み孔１５４を開口し、排気ファン１５６によって強制的に減圧しながら、基材２８の塗工面を乾燥させるものである。
【００８４】
この場合にテーブル２４の周囲にシール調整板１５８を設け、基材２８と乾燥板１３０との隙間の圧力を調整する。
【００８５】
第４の実施例
図１５は第４の実施例であり、第２の実施例と異なる点は乾燥板１３０の部分に高性能フィルター１６０を設けたものである。
【００８６】
なお、この場合に送風ファン１５０の送風部にクーラー又はヒーターなどの温度調整装置１６１を設けて、送る空気の温度を調整させることもできる。
【００８７】
第５の実施例
図１６は第５の実施例であり、本実施例では基材２８と乾燥板１３０との間の隙間に対して、一側面から送風ファン１６２によって空気を流し、他側面から空気を排気ファン１６４によって吸い込むものである。
【００８８】
この塗工装置１０であっても空気が強制的に一方向に流れるため乾燥を均一かつ確実に行うことができる。
【００８９】
変更例
上記各実施例ではノズル８２を液槽６６の中に漬けて突出させる構造のものを用いたが、液槽６６を用いない構造であってもよい。
【００９０】
すなわち、ノズル８２の環状隙間８８に直接塗工液を供給し、毛細管現象で基材２８の下面に塗工液を塗工するものであってもよい。
【００９１】
【発明の効果】
以上により本発明であると、基材の下面に塗工された塗工液を均一に乾燥させることができ、塗工面が鏡面のような状態となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す塗工装置の左側面図である。
【図２】同じく正面図である。
【図３】装置本体の斜視図である。
【図４】装置本体の正面図である。
【図５】図４におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図６】液槽及びノズルの縦断面図であり、塗工前の状態である。
【図７】同じく塗工中の状態である。
【図８】液槽とノズルとタンクとポンプとフィルタの関係を示す縦断面図である。
【図９】テーブルの縦断面図である。
【図１０】テーブルの一部欠載横断面図である。
【図１１】塗工装置を作業室に配した状態の側面から見た縦断面図である。
【図１２】同じく正面から見た縦断面図である。
【図１３】第２の実施例塗工装置要部拡大図である。
【図１４】第３の実施例塗工装置の要部拡大図である。
【図１５】第４の実施例の塗工装置の要部拡大縦断面図である。
【図１６】第５の実施例の塗工装置の要部拡大縦断面図である。
【符号の説明】
１０  塗工装置
２４  テーブル
２８  基材
３０  塗工システム
３４  移動コッタ
３６  移動コッタ
５２  サーボモータ
５４  支持プレート
６０  支持脚
６２  支持脚
６６  液槽
７０  左右移動プレート
７１  エアシリンダ
７４  上下移動プレート
７８  ノズル支持シャフト
８０  ノズル支持シャフト
８２  ノズル
８４  スリット
８８  毛管状隙間
１３０  乾燥板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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