(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ストライプ状に延びた陽極上に、有機発光層と陰極とを順次積層して形成される有機ＥＬ素子であって、前記陽極と直交する方向に延びるストライプ状に形成された複数の絶縁膜上にそれぞれ積層して設けられた隔壁によって前記陰極が複数に分断される有機ＥＬ素子において、
前記陽極を挟んで前記絶縁膜と反対側に、前記絶縁膜に沿ってストライプ状に形成された一対の光反射膜を備えると共に、
前記絶縁膜は、ネガ型のフォトレジスト材料からなり、
前記絶縁膜は、前記絶縁膜形成のための照射光の一部が前記光反射膜により反射することにより、前記一対の光反射膜の上方の対応する位置に順テーパ状の斜面を有することを特徴とする有機ＥＬ素子。
【請求項２】
前記順テーパ状の斜面の幅は、前記光反射膜の幅とほぼ一致する請求項１に記載の有機ＥＬ素子。
【請求項３】
前記光反射膜は、金属製である請求項１または２に記載の有機ＥＬ素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ディスプレイパネル等に用いられる有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
有機ＥＬ素子は、良好な視認性と耐衝撃性を有する等の理由からディスプレイパネルとして用いられる。図２に示されるように、有機ＥＬ素子は、ブラックマトリクス１を含むカラーフィルタ２上に、透明なオーバーコート層３が形成されている。このオーバーコート層３上に、紙面左右方向にストライプ状に延びた透明なＩＴＯ膜からなる陽極４が形成されている。また、陽極４上には、陽極４に直交する方向、すなわち、紙面に対して垂直方向を長手方向として、絶縁膜５及び隔壁６がストライプ状に積層して形成されている。さらに、陽極４、絶縁膜５及び隔壁６上には、有機化合物からなる有機発光層７及びアルミニウム（Ａｌ）からなる陰極８が蒸着され順次積層されている。
【０００３】
ここで、絶縁膜５は、陽極４を流れる電流が隔壁６の下方においても均一な電流効果を得られるようにするために設けられるものである。また、隔壁６は、逆テーパ形状の斜面６ａを備え、この逆テーパ斜面６ａと斜面６ａの上部の鋭角な上縁部６ｂとにより、蒸着により陰極８を形成する金属膜が分断されて、電気的に絶縁され、ストライプ状にパターニングされた複数の電極としての陰極８を形成することができる。
陰極８を分断する役割を果たす隔壁６は、ネガ型のフォトレジスト材料からなり、特に、陰極８の分割を容易にする逆テーパ形状を作りやすい専用のフォトレジスト材料が用いられている。この専用フォトレジスト材料としては、例えば、ＥＬＸ−１６８Ｃ（日本ゼオン社製）が用いられる。
このように、隔壁６によって陰極８が分断されてストライプ状に形成されると、陽極４と陰極８とが交差する部分、すなわち、絶縁膜５が介在することなく、陽極４と陰極８とに挟まれた有機発光層７の部分がマトリクス状の多数の発光部として形成される。従って、特定の陽極４と陰極８とを選択して電圧を印加することにより対応する発光部を発光させることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、隔壁６が形成される絶縁膜５の上面である隔壁積層面５ａは凸面形状に形成されやすく、平坦に形成するのは困難である。隔壁積層面５ａが平坦でない絶縁膜５上に、隔壁６を形成すると、逆テーパ斜面６ａの形状が製造上のばらつきが出て、形状が一定した隔壁６を安定的に得ることができず、有機ＥＬ素子の一部に、陰極８を分割できない部分が発生するという問題がある。
この発明は、このような課題を解決するためになされたもので、一定の逆テーパ形状の隔壁を安定的に形成でき、陰極がストライプ状に確実に分断された有機ＥＬ素子を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項１に係る有機ＥＬ素子は、ストライプ状に延びた陽極上に、有機発光層と陰極とを順次積層して形成される有機ＥＬ素子であって、陽極と直交する方向に延びるストライプ状に形成された複数の絶縁膜上にそれぞれ積層して設けられた隔壁によって陰極が複数に分断される有機ＥＬ素子において、陽極を挟んで絶縁膜と反対側に、絶縁膜に沿ってストライプ状に形成された一対の光反射膜を備えると共に、絶縁膜は、ネガ型のフォトレジスト材料からなり、絶縁膜は、絶縁膜形成のための照射光の一部が光反射膜により反射することにより、一対の光反射膜の上方の対応する位置に順テーパ状の斜面を有することを特徴とするものである。
また、請求項２に係る有機ＥＬ素子は、順テーパ状の斜面の幅は、光反射膜の幅とほぼ一致する。
また、請求項３に係る有機ＥＬ素子は、請求項１または２に係る有機ＥＬ素子において、光反射膜が金属製である。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１に示されるように、この発明の実施の形態に係る有機ＥＬ素子は、ブラックマトリクス１を含むカラーフィルタ２上に、一対の帯状の光反射膜１０が紙面に対して垂直方向を長手方向として、平行に複数形成されている。光反射膜１０は、ａなる幅寸法を有する金属製であり、例えばアルミニウム（Ａｌ）から形成されている。この光反射膜１０が上面に配置されたカラーフィルタ２上には、光反射膜１０を覆って、透明なオーバーコート層３が積層され、さらに、オーバーコート層３上には、光反射膜１０と直交する方向に、すなわち、紙面左右方向に、ストライプ状に延びた透明なＩＴＯ膜からなる陽極４が形成されている。
【０００７】
陽極４上には、斜面１５ｂが順テーパ形状で略台形形状の断面を有する絶縁膜１５が光反射膜１０に沿ってストライプ状に形成されている。絶縁膜１５の上面は平坦に形成され、隔壁１６が積層される隔壁積層面１５ａを構成している。
隔壁１６は、絶縁膜１５と比較して逆方向に向いた略台形形状の断面を有し、長手方向に延びる逆テーパ形状の斜面１６ａを備えている。また、隔壁１６の底面１６ｃの幅は、隔壁積層面１５ａの幅よりも狭く、平坦な隔壁積層面１５ａの両縁部は、隔壁１６の底面１６ｃの外側に露出している。また、絶縁膜１５１５及び隔壁１６は、共に、隔壁用のネガ型のフォトレジスト材料からなり、例えば、ＥＬＸ−１６８Ｃ（日本ゼオン社製）である。
ここで、光反射膜１０の長手方向の隔壁側側縁部１０ａと隔壁１６の長手方向の上縁部１６ｂとの位置関係は、水平方向においてほぼ一致する。また、絶縁膜１５の順テーパの斜面１５ｂの幅は、光反射膜１０の幅ａにほぼ一致し、光反射膜１０の上方の対応する位置に形成されている。
【０００８】
さらに、陽極４、絶縁膜１５及び隔壁１６上には、有機発光層７と陰極８とが蒸着により順次積層されている。ここで、隔壁１６上の有機発光層７及び陰極８は、陽極４上の有機発光層７及び陰極８と分断され、電気的に絶縁された状態で形成されている。
【０００９】
次に、この発明の実施の形態に係る有機ＥＬ素子の絶縁膜１５及び隔壁１６の製造工程を作用と共に説明する。
陽極４上に絶縁膜１５を形成するために全面に塗布された隔壁用のネガ型のフォトレジスト材料にフォトマスクを介して上方から露光すると、フォトマスクを通った上方からの光がフォトレジスト材料に照射される。さらに、この照射光が透明な陽極４及び透明なオーバーコート層３を通って光反射膜１０に反射してフォトレジスト材料に下方からも照射される。フォトレジスト材料のうち、光が照射された部分は、レジスト除去処理用の現像液に対して不溶になり、光が照射されなかった未露光部分は、現像液に溶解して除去される。これにより、順テーパの斜面１５ｂを有し、隔壁積層面１５ａが平坦な略台形状の絶縁膜１５が形成される。
次に、絶縁膜１５上に、絶縁膜１５の形成に用いた隔壁用のフォトレジスト材料と同一のフォトレジスト材料を塗布し、フォトマスクを介して上方から露光した後、現像液により処理すると、逆テーパ形状の隔壁１６が形成される。
この際、隔壁１６が絶縁膜１５の平坦な面上に形成されるので、隔壁１６の逆テーパの斜面１６ａの形状に製造ばらつきが少なく、一定の形状の隔壁１６を安定的に形成できる。
このように、隔壁１６は形状が一定しているので、逆テーパ斜面１６ａと斜面１６ａの上部の鋭角な上縁部１６ｂとにより、蒸着により陰極を形成する金属膜が容易に分断される。すなわち、隔壁１６を挟んで、陰極８が分断され電気的に絶縁されるので、ストライプ状にパターニングされた複数の電極としての陰極８を容易に形成することができる。
【００１０】
なお、上述した実施の形態においては、光反射膜１０の材料として、アルミニウムを用いたが、光を反射する材料であればこれに限定されるものではなく、銀（Ａｇ）、インジウム（Ｉｎ）、マグネシウム（Ｍｇ）、チタン（Ｔｉ）、アルミニウム合金等を用いてもよい。
【００１１】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、陽極を挟んで絶縁膜と反対側に、絶縁膜に沿ってストライプ状に形成された一対の光反射膜を備え、ネガ型のフォトレジスト材料からなる絶縁膜を用い、この絶縁膜を形成するための照射光の一部が一対の光反射膜により反射することにより、この一対の光反射膜の上方の対応する位置に、順テーパ状の斜面を有する絶縁膜を形成することができる。
請求項２に記載の発明によれば、光反射膜の幅に応じて、順テーパ状の斜面の幅を形成できる。
請求項３に記載の発明によれば、光反射膜が金属製なので、反射率が高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態に係る有機ＥＬ素子の構造を示す図である。
【図２】  従来の有機ＥＬ素子の構造を示す図である。
【符号の説明】
４…陽極、７…有機発光層、８…陰極、１０…光反射膜、１０ａ…隔壁側側縁部、１５…絶縁膜、１５ａ…隔壁積層面、１５ｂ…斜面、１６…隔壁、１６ｂ…上縁部。
【図１】
0003858707.tif 000002
【図２】
0003858707.tif 000003