(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子をモールド成形して半導体装置を製造する方法であって、
前記半導体素子が搭載されたリードフレームの一部を一対の成形金型で挟持することにより、前記成形金型によって形成されるキャビティ内に前記半導体素子を配置する配置ステップと、
前記キャビティ内に第１の可動ピンおよび第２の可動ピンを挿入して、前記第１の可動ピンの先端部および前記第２の可動ピンの先端部を、それぞれ、前記リードフレームの前記半導体素子が搭載された第１の表面および前記リードフレームの第１の表面に対向する第２の表面に接触させる挿入ステップと、
前記キャビティ内に樹脂を注入する注入ステップと、
前記樹脂を硬化させる硬化ステップと、
前記樹脂が完全に硬化する前に、前記第１の可動ピンおよび前記第２の可動ピンを、それぞれ、前記挿入ステップにおける挿入経路と同じ経路で、前記キャビティ内から引き抜く引き抜きステップと
から成り、
前記挿入ステップにおいて、前記第１の可動ピンを挿入する方向と前記リードフレームの第１の表面との間の角度が、９０度であり、前記第２の可動ピンを挿入する方向と前記リードフレームの第２の表面との間の角度が、０度であることを特徴とする半導体装置製造方法。
【請求項２】
半導体素子をモールド成形して半導体装置を製造する方法であって、
前記半導体素子が搭載されたリードフレームの一部を一対の成形金型で挟持することにより、前記成形金型によって形成されるキャビティ内に前記半導体素子を配置する配置ステップと、
前記キャビティ内に第１の可動ピンおよび第２の可動ピンを挿入して、前記第１の可動ピンの先端部および前記第２の可動ピンの先端部を、それぞれ、前記リードフレームの前記半導体素子が搭載された第１の表面および前記リードフレームの第１の表面に対向する第２の表面に接触させる挿入ステップと、
前記キャビティ内に樹脂を注入する注入ステップと、
前記樹脂を硬化させる硬化ステップと、
前記樹脂が完全に硬化する前に、前記第１の可動ピンおよび前記第２の可動ピンを、それぞれ、前記挿入ステップにおける挿入経路と同じ経路で、前記キャビティ内から引き抜く引き抜きステップと
から成り、
前記挿入ステップにおいて、前記第２の可動ピンを挿入する方向と前記リードフレームの第２の表面との間の角度が、０度であり、
前記挿入ステップにおいて、前記第１の可動ピンを、前記キャビティ内に、前記リードフレームの第１の表面に平行に挿入し、前記第１の可動ピンの先端部を、前記リードフレームの第１の表面に接触させることを特徴とする半導体装置製造方法。
【請求項３】
半導体素子をモールド成形して半導体装置を製造する方法であって、
前記半導体素子が搭載されたリードフレームの一部を一対の成形金型で挟持することにより、前記成形金型によって形成されるキャビティ内に前記半導体素子を配置する配置ステップと、
前記キャビティ内に第１の可動ピンおよび第２の可動ピンを挿入して、前記第１の可動ピンの先端部および前記第２の可動ピンの先端部を、それぞれ、前記リードフレームの前記半導体素子が搭載された第１の表面および前記リードフレームの第１の表面に対向する第２の表面に接触させる挿入ステップと、
前記キャビティ内に樹脂を注入する注入ステップと、
前記樹脂を硬化させる硬化ステップと、
前記樹脂が完全に硬化する前に、前記第１の可動ピンおよび前記第２の可動ピンを、前記キャビティ内から引き抜く引き抜きステップと
から成り、
前記挿入ステップにおいて、前記第１の可動ピンを、前記キャビティ内に、前記リードフレームの第１の表面と接触しないように前記第１の表面に平行に挿入し、その後、その第１の可動ピンを、前記リードフレーム側に前記リードフレームの第１の表面に垂直に移動させて、前記可動ピンの先端部を、前記第１の表面に接触させ、
前記挿入ステップにおいて、前記第２の可動ピンを、前記キャビティ内に、前記第２の可動ピンの挿入方向と前記リードフレームの第２の表面との間の角度が０度であるように挿入し、
前記引き抜きステップにおいて、前記第１の可動ピンを、前記挿入ステップにおいて前記リードフレームの第１の表面に接触させた位置から、前記第１の表面に平行に引き抜き、
前記引き抜きステップにおいて、前記第２の可動ピンを、前記挿入ステップにおける挿入経路と同じ経路で、前記キャビティ内から引き抜くことを特徴とする半導体装置製造方法。
【請求項４】
半導体素子をモールド成形して半導体装置を製造する方法であって、
前記半導体素子が搭載されたリードフレームの一部を一対の成形金型で挟持することにより、前記成形金型によって形成されるキャビティ内に前記半導体素子を配置する配置ステップと、
前記キャビティ内に第１の可動ピンおよび第２の可動ピンを挿入して、前記第１の可動ピンの先端部および前記第２の可動ピンの先端部を、それぞれ、前記リードフレームの前記半導体素子が搭載された第１の表面および前記リードフレームの第１の表面に対向する第２の表面に接触させる挿入ステップと、
前記キャビティ内に樹脂を注入する注入ステップと、
前記樹脂を硬化させる硬化ステップと、
前記樹脂が完全に硬化する前に、前記第１の可動ピンおよび前記第２の可動ピンを、それぞれ、前記挿入ステップにおける挿入経路と同じ経路で、前記キャビティ内から引き抜く引き抜きステップと
から成り、
前記第２の可動ピンの先端部がＬ字型であり、
前記挿入ステップにおいて、前記第２の可動ピンを、前記リードフレームの第１の表面側から、前記リードフレームと交差しないように、前記リードフレームの第２の表面に垂直に挿入し、その後、その第２の可動ピンを、前記リードフレーム側に前記第２の表面に平行に移動させて、前記Ｌ字型の先端部を前記第２の表面に接触させることを特徴とする半導体装置製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電力半導体装置の製造方法に関し、特に、電力半導体素子の樹脂封止時におけるリードフレームの固定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電力半導体素子を樹脂封止（樹脂モールド成形）する方法として、トランスファーモールド法が既知である。この方法では、まず、一対の成形金型（以下、「金型」という。）によって形成されたキャビティ内に電力半導体素子を配置する。ここで、電力半導体素子をキャビティ内に保持するために、電力半導体素子が搭載されたリードフレームの一部を、上部金型と下部金型とで挟持する。また、キャビティ内への樹脂注入時にリードフレームが動かないように、そのキャビティ内のリードフレームの端部を、キャビティ内に挿入される可動ピンで固定する。次に、電力半導体素子が配置されたキャビティ内に樹脂を注入する。そして、キャビティ内に樹脂を充填させた後、可動ピンをキャビティ内から引き抜きながら、樹脂を一定時間硬化させる。最後に、上部金型および下部金型を開いて、樹脂封止型電力半導体装置を得る。以上のような方法を用いて電力半導体素子を樹脂封止する技術は、例えば、特開平７−７４１９５号公開公報や特開平８−１９２４４６号公開公報に開示されている。
【０００３】
以下に、従来の樹脂モールド成形時における可動ピンの動作について説明する。図５は、電力半導体素子とその電力半導体素子を駆動する制御回路とを含む電力半導体装置のモールド成形時における可動ピンの動作を示す図である。可動ピンの動作が分かり易いように、図５においては、キャビティの外形、電力半導体素子、リードフレームおよび可動ピンのみを示し、金型や可動ピンを駆動させる機構等を省略する。まず、図５の（１）は、樹脂注入前のキャビティ内部の状態を示す断面図である。図５の（１）において、キャビティ１０８内には、電力半導体素子１０２が搭載された主端子フレーム１０４、および、制御回路（図示されない）が搭載された制御端子フレーム１０６が配置される。主端子フレーム１０４は、電力半導体素子１０２が搭載された平坦部（ダイパッド１０３）と、そのダイパッド１０３の一方の端部に接続されるリード部を備える。そのリード部の一部を金型で挟持することによって、ダイパッド１０３をキャビティ１０８内に保持する。また、ダイパッド１０３の位置を固定するために、キャビティ１０８内に可動ピン１１０および可動ピン１１２を挿入する。可動ピン１１０および可動ピン１１２は、ダイパッド１０３におけるリード部に接続されない他方の端部を固定する。可動ピン１１０は、上部金型（図示されない）の上方からキャビティ１０８内へ、ダイパッド１０３の表面（電力半導体素子１０２が搭載された面）に垂直に挿入される。可動ピン１１２は、下部金型（図示されない）の下方からキャビティ１０８内へ、ダイパッド１０３の裏面に垂直に挿入される。可動ピン１１０の先端および可動ピン１１２の先端は、それぞれ、対向するように、ダイパッド１０３の表面およびダイパッド１０３の裏面に当接する。その後、キャビティ１０８内に樹脂を注入して充填させた後、樹脂の硬化を始める。
【０００４】
図５の（２）は、樹脂硬化開始後、樹脂硬化が完了する前のキャビティ１０８内の断面図である。樹脂硬化開始後、可動ピン１１０および可動ピン１１２は、それぞれ、挿入された経路をたどって、キャビティ１０８内から抜き取られる。樹脂が完全に硬化する前なので、可動ピン１１０および可動ピン１１２が抜き取られた後の隙間に樹脂が流れ込む。これにより、主端子フレーム１０４および制御端子フレーム１０６を、樹脂で完全に覆うことができる。可動ピン１１０および可動ピン１１２が抜き取られた後、樹脂は完全に硬化される。最後に、金型を取り外すと、モールド成形された電力半導体装置が得られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、モールド成形された電力半導体装置のモールド樹脂表面には、可動ピン１１０および可動ピン１１２の痕跡（凹部）が残る。特に、可動ピン１１２の痕跡は、主端子フレーム１０４におけるダイパッド１０３の下部（図５の（３）において点線で示される。）に存在する。これにより、ダイパッド１０３の下部のモールド樹脂が薄くなり、モールド部分の絶縁耐圧が低下するという問題があった。また、可動ピンの痕跡の周囲には樹脂バリが発生し、モールド樹脂表面が平坦でなくなる。特に、可動ピン１１２の痕跡の周囲に発生する樹脂バリによって、ダイパッド１０３の下部のモールド樹脂表面が粗くなる。これは、電力半導体素子１０２の放熱のために、ダイパッド１０３の下部のモールド樹脂表面とヒートシンクとを接合しようとするとき、モールド樹脂とヒートシンクとの間の密着性を低下させ、放熱の効率を悪くするという問題があった。
【０００６】
上述の特開平７−７４１９５号公開公報は、先端が細くなった可動ピンでリードフレームを固定したり、可動ピンとリードフレームとの間に微小の隙間を設けたりして樹脂を硬化させ、リードフレームが樹脂で完全に覆われるように樹脂封止を行う技術を開示している。しかし、樹脂硬化後、可動ピンが引き抜かれた後に樹脂表面に残る痕跡については言及していない。また、特開平８−１９２４４６号公開公報も、可動ピンを精度良く位置決めしてリードフレームを固定する技術を開示しているが、可動ピンが引き抜かれた後に樹脂表面に残る痕跡については言及していない。
【０００７】
本発明の目的は、絶縁耐圧の高いモールド部分を備えた電力半導体装置の製造方法を提供することである。また、本発明の別の目的は、ヒートシンクとの接続を阻害しない平坦なモールド樹脂表面を有する電力半導体装置の製造方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る第１の半導体装置製造方法は、半導体素子をモールド成形して半導体装置を製造する方法である。この方法は、前記の半導体素子が搭載されたリードフレームの一部を一対の成形金型で挟持することにより、前記の成形金型によって形成されるキャビティ内に前記の半導体素子を配置する配置ステップと、前記のキャビティ内に第１の可動ピンおよび第２の可動ピンを挿入して、前記の第１の可動ピンの先端部および前記の第２の可動ピンの先端部を、それぞれ、前記のリードフレームの前記の半導体素子が搭載された第１の表面および前記のリードフレームの第１の表面に対向する第２の表面に接触させる挿入ステップと、前記のキャビティ内に樹脂を注入する注入ステップと、前記の樹脂を硬化させる硬化ステップと、前記の樹脂が完全に硬化する前に、前記の第１の可動ピンおよび前記の第２の可動ピンを、それぞれ、前記の挿入ステップにおける挿入経路と同じ経路で、前記のキャビティ内から引き抜く引き抜きステップとから成る。また、前記の挿入ステップにおいて、前記の第２の可動ピンを挿入する方向と前記のリードフレームの第２の表面との間の角度が、０度以上９０度未満である。
【０００９】
好ましくは、前記の挿入ステップにおいて、前記の第２の可動ピンを、前記のキャビティ内に、前記のリードフレームの第２の表面に平行に挿入し、前記の第２の可動ピンの先端部を、前記のリードフレームの第２の表面に接触させる。
【００１０】
好ましくは、前記の挿入ステップにおいて、前記の第１の可動ピンを、前記のキャビティ内に、前記のリードフレームの第１の表面に平行に挿入し、前記の第１の可動ピンの先端部を、前記のリードフレームの第１の表面に接触させる。
【００１１】
本発明に係る第２の半導体装置製造方法は、半導体素子をモールド成形して半導体装置を製造する方法である。この方法は、前記の半導体素子が搭載されたリードフレームの一部を一対の成形金型で挟持することにより、前記の成形金型によって形成されるキャビティ内に前記の半導体素子を配置する配置ステップと、前記のキャビティ内に第１の可動ピンおよび第２の可動ピンを挿入して、前記の第１の可動ピンの先端部および前記の第２の可動ピンの先端部を、それぞれ、前記のリードフレームの前記の半導体素子が搭載された第１の表面および前記のリードフレームの第１の表面に対向する第２の表面に接触させる挿入ステップと、前記のキャビティ内に樹脂を注入する注入ステップと、前記の樹脂を硬化させる硬化ステップと、前記の樹脂が完全に硬化する前に、前記の第１の可動ピンおよび前記の第２の可動ピンを、前記のキャビティ内から引き抜く引き抜きステップとから成る。また、前記の挿入ステップにおいて、前記の第１の可動ピンを、前記のキャビティ内に、前記のリードフレームの第１の表面と接触しないように前記の第１の表面に平行に挿入し、その後、その第１の可動ピンを、前記のリードフレーム側に前記のリードフレームの第１の表面に垂直に移動させて、前記の可動ピンの先端部を、前記の第１の表面に接触させ、前記の挿入ステップにおいて、前記の第２の可動ピンを、前記のキャビティ内に、前記の第２の可動ピンの挿入方向と前記のリードフレームの第２の表面との間の角度が０度以上９０度未満であるように挿入し、前記の引き抜きステップにおいて、前記の第１の可動ピンを、前記の挿入ステップにおいて前記のリードフレームの第１の表面に接触させた位置から、前記の第１の表面に平行に引き抜き、前記の引き抜きステップにおいて、前記の第２の可動ピンを、前記の挿入ステップにおける挿入経路と同じ経路で、前記のキャビティ内から引き抜く。
【００１２】
本発明に係る第３の半導体装置製造方法は、半導体素子をモールド成形して半導体装置を製造する方法である。この方法は、前記の半導体素子が搭載されたリードフレームの一部を一対の成形金型で挟持することにより、前記の成形金型によって形成されるキャビティ内に前記の半導体素子を配置する配置ステップと、前記のキャビティ内に第１の可動ピンおよび第２の可動ピンを挿入して、前記の第１の可動ピンの先端部および前記の第２の可動ピンの先端部を、それぞれ、前記のリードフレームの前記の半導体素子が搭載された第１の表面および前記のリードフレームの第１の表面に対向する第２の表面に接触させる挿入ステップと、前記のキャビティ内に樹脂を注入する注入ステップと、前記の樹脂を硬化させる硬化ステップと、前記の樹脂が完全に硬化する前に、前記の第１の可動ピンおよび前記の第２の可動ピンを、それぞれ、前記の挿入ステップにおける挿入経路と同じ経路で、前記のキャビティ内から引き抜く引き抜きステップとから成る。また、前記の第２の可動ピンの先端部がＬ字型であり、前記の挿入ステップにおいて、前記の第２の可動ピンを、前記のリードフレームの第１の表面側から、前記のリードフレームと交差しないように、前記のリードフレームの第２の表面に垂直に挿入し、その後、その第２の可動ピンを、前記のリードフレーム側に前記の第２の表面に平行に移動させて、前記のＬ字型の先端部を前記の第２の表面に接触させる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
以下の実施の形態による電力半導体装置の製造方法は、半導体素子を搭載したダイパッドを成型金型によって形成されるキャビティ内に配置して樹脂モールド成型を行う方法であって、ダイパッドを固定する可動ピンをキャビティ内に挿入する、および、キャビティ内から引き抜く工程を含んでいる。以下の実施の形態による製造方法は、製造された電力半導体装置のモールド樹脂表面において、可動ピンの痕跡（凹部）がダイパッドの下部に残らないように、可動ピンが挿入され、引き抜かれる例を示す。可動ピンの痕跡は、ダイパッドの下部以外であれば、モールド樹脂表面に存在しても、電力半導体装置の絶縁耐圧および熱伝導性に影響を与えることはないので、可動ピンの挿入および引き抜き位置は、以下の実施の形態に説明される位置に限られず、ダイパッドの下部以外の任意の位置であってよい。
【００１４】
なお、以下の実施の形態においては、樹脂封止されるリードフレームにおいてリードフレームとモールド樹脂表面との間の距離が最も短い部分（最短距離部分）を、電力半導体素子が搭載されるダイパッドとしたが、上述の最短距離部分を、リードフレームにおける他の部分とする場合には、その他の部分を覆うモールド樹脂の表面に可動ピンの痕跡が残らないように可動ピンを動作させるべきである。
【００１５】
実施の形態１．
本実施の形態による電力半導体装置の製造方法において、電力半導体素子のモールド成形は、トランスファーモールド法によって行われる。本実施の形態による製造方法においては、電力半導体素子、および、その電力半導体素子を駆動する制御回路を、一体的にモールド成形する。図１は、本実施の形態による電力半導体装置の製造方法を説明する図であり、一対の金型（成型金型）によって形成されるキャビティ内の断面図が示される。図１においては、簡単化のために、キャビティの外形、電力半導体素子、リードフレームおよび可動ピンのみを示し、金型や可動ピンを駆動させる機構等を省略する。図１を参照すると、本実施の形態による製造方法においては、電力半導体素子２が搭載された主端子フレーム４の一部、および、制御回路（図示されない）が搭載された制御端子フレーム６の一部を、それぞれ、一対の金型（図示されない）によって挟持し、キャビティ８内に電力半導体素子２と制御回路を配置する。特に、主端子フレーム４に注目すると、主端子フレーム４は、電力半導体素子２が搭載される平坦部（ダイパッド３）と、そのダイパッド３の一方の端部に接続されるリード部を備える。そのリード部の一部を金型で挟持することによって、電力半導体素子２が搭載されたダイパッド３をキャビティ８内に保持する。
【００１６】
さらに、キャビティ８内に樹脂を注入するときに、高い注入圧によって上述のダイパッド３が変形したり、その位置がずれないように、キャビティ８内に、ダイパッド３を固定する可動ピン１０および可動ピン１２を挿入する。以下に、この可動ピンの動作について説明する。
【００１７】
図１の（１）は、樹脂注入前のキャビティ内部の状態を示す断面図である。主端子フレーム４のダイパッド３において、リード部が接続された端部に対向する端部は、２つの可動ピン１０および可動ピン１２によって固定される。図１の（１）において、可動ピン１０は、上部金型（図示されない）を貫通して、キャビティ８の上方からキャビティ８内に挿入される。このとき、可動ピン１０は、主端子フレーム４におけるダイパッド３の電力半導体素子２が搭載された面（以下、「第１の表面」という。）に垂直に挿入される。可動ピン１０の先端部は、ダイパッド３の端部を押さえるように、その第１の表面に当接する。可動ピン１２は、下部金型（図示されない）の側壁を貫通して、キャビティの側壁側からキャビティ８内に挿入される。このとき、可動ピン１２は、主端子フレーム４におけるダイパッド３の裏面（以下、「第２の表面」という。）に平行に挿入される（可動ピン１２の挿入方向とダイパッド３の第２の表面との間の角度は０度である）。可動ピン１２の先端部は、第２の表面に接触し、その第２の表面においてダイパッド３の端部を支持する。
【００１８】
キャビティ８内に樹脂が充填された後、その樹脂の硬化を始める。図１の（２）は、樹脂硬化開始後、樹脂硬化が完了する前のキャビティ内の状態を示す断面図である。樹脂硬化開始後、可動ピン１０および可動ピン１２は、それぞれ、挿入された経路をたどって抜き取られる。樹脂が完全に硬化する前なので、可動ピン１０や可動ピン１２が抜き取られた後の隙間に樹脂が流れ込む。これにより、主端子フレーム４および制御端子フレーム６を、樹脂で完全に覆うことができる。可動ピン１０および可動ピン１２が抜き取られた後、樹脂は、完全に硬化される。樹脂の硬化が完了した後、金型を取り外すと、樹脂モールド成形された電力半導体装置が得られる。
【００１９】
本実施の形態による製造方法を用いれば、成形後のモールド樹脂表面における可動ピン１２の痕跡（凹部）は、成形されたモールド部分の側面に残る。よって、可動ピン１２の痕跡（凹部）が、ダイパッド３の下部のモールド樹脂表面に残らない。従って、電力半導体素子２が搭載されたダイパッド３の下部においてモールド樹脂が薄くなることはなく、モールド部分の絶縁耐圧が維持される。また、可動ピン１２の痕跡（凹部）が、ダイパッド３の下部のモールド樹脂表面に残らないので、ダイパッド３の下部においてモールド樹脂表面が平坦であり、ダイパッド３の下部におけるモールド樹脂表面とヒートシンクとの良好な接続が実現できる。
【００２０】
なお、可動ピン１０が、上部金型（図示されない）の側壁からキャビティ８内に、ダイパッド３の第１の表面に平行に挿入されてもよい。その場合、第１の表面に平行に挿入された可動ピン１０の先端部は、第１の表面に接触して、ダイパッド３の端部を固定する。
【００２１】
なお、図２に示されるように、可動ピン１０が、上部金型（図示されない）の側壁からキャビティ内に、ダイパッド３の第１の表面に平行に挿入されてもよい。その場合、可動ピン１０は、第１の表面に平行に挿入された後（図２の（１））、可動ピン１０の先端部がその第１の表面を押さえるように、ダイパッド３側にその第１の表面に垂直に移動させられる（図２の（２））。このように、可動ピン１０と可動ピン１２とでダイパッド３を挟むことにより、ダイパッド３が固定される。電力半導体装置の製造方法におけるその他の工程は、上述の工程と同様である。可動ピン１０および可動ピン１２をキャビティ８内から引き抜く場合は、可動ピン１０および可動ピン１２を、それぞれ、ダイパッド３を固定した位置から、第１の表面および第２の表面に平行に移動させる（図２の（３））。
【００２２】
以上のように、可動ピン１０を、上部金型（図示されない）の側壁からキャビティ８内に、ダイパッド３の第１の表面に平行に挿入できれば、可動ピン１０と可動ピン１２を、共にキャビティ８内に挿入する、および、共にキャビティ８内から引き抜くことが可能となり、可動ピン１０および可動ピン１２を駆動させる機構を単純化できる。
【００２３】
以上のように、可動ピン１０が、上部金型（図示されない）の側壁からキャビティ８内に、ダイパッド３の第１の表面に平行に挿入されても、本実施の形態による効果と同様の効果が得られる。
【００２４】
なお、本実施の形態による製造方法において、可動ピン１０のキャビティ８内への挿入方向は、上述した方向に限られない。可動ピン１０は、ダイパッド３の下部のモールド樹脂表面に痕跡が残らない限り、他の任意の方向でキャビティ８内に挿入されてよい。
【００２５】
実施の形態２．
図３は、本発明による実施の形態２の電力半導体装置の製造方法を説明する図である。本実施の形態による製造方法が、実施の形態１による製造方法と異なる点は、ダイパッド３の第２の表面においてダイパッド３を支持する可動ピン１２が、下部金型（図示されない）の下方からキャビティ８内に、その第２の表面と約４５度の角度をなして挿入され（図３の（１））、その挿入された経路と同じ経路で、キャビティ８内から引き抜かれる（図３の（２））点である。
【００２６】
本実施の形態による製造方法を用いれば、電力半導体装置の成形後のモールド樹脂表面において、主端子フレーム４におけるダイパッド３の真下に可動ピン１２の痕跡（凹部）が残らない。従って、ダイパッド３の真下のモールド樹脂が薄くなってモールド部分の絶縁耐圧が低下したり、ダイパッド３の真下のモールド樹脂表面に樹脂バリが発生してモールド樹脂とヒートシンクとの接続が阻害されるといった問題を解決できる。
【００２７】
なお、本実施の形態による製造方法において、可動ピン１２のキャビティ８内への挿入方向とダイパッド３の第２の表面との間の角度は約４５度としたが、０度より大きく９０度より小さい角度であれば、ダイパッド３の真下に可動ピン１２の痕跡（凹部）が残ることはなく、本実施の形態による効果と同様の効果が得られる。
【００２８】
なお、本実施の形態による製造方法において、可動ピン１０のキャビティ８内への挿入方向は、ダイパッド３の上方からダイパッド３の第１の表面に垂直な方向に限られない。可動ピン１０は、ダイパッド３の下部のモールド樹脂表面に痕跡が残らない限り、他の任意の方向でキャビティ８内に挿入されてよい。例えば、図２に示されるように、可動ピン１０が、上部金型（図示されない）の側壁からキャビティ内に、ダイパッド３の第１の表面に平行に挿入され、その後、可動ピン１０の先端部がその第１の表面を押さえるように、ダイパッド３側にその第１の表面に垂直に移動させられてもよい。
【００２９】
実施の形態３．
図４は、本発明による実施の形態３の電力半導体装置の製造方法を説明する図である。本実施の形態による製造方法が、実施の形態１による製造方法と異なる点は、ダイパッド３の第２の表面においてダイパッド３を支持する可動ピン１２が、上部金型（図示されない）の上方からキャビティ８内に、ダイパッド３の第２の表面に垂直に挿入される点である。可動ピン１０および可動ピン１２は、それぞれ、ダイパッド３の第１の表面およびダイパッド３の第２の表面に垂直に挿入される。可動ピン１０の先端は、ダイパッド３の第１の表面の端部に当接する。可動ピン１２の先端は、ダイパッド３の第２の表面に達する深さまで、主端子フレーム４と交差しないように、樹脂中を移動する（図４の（１））。
【００３０】
ここで、可動ピン１２の先端は、Ｌ字型に曲げられている。その可動ピン１２の先端の曲げられた部分は、ダイパッド３の第２の表面に平行であり、可動ピン１２をそのダイパッド３の第２の表面に平行にダイパッド３側に移動させることにより、その曲げられた部分がそのダイパッド３の第２の表面に接触する。その可動ピン１２の曲げられた部分は、ダイパッド３の第２の表面においてダイパッド３の端部を支持する（図４の（２））。樹脂がキャビティ８内に充填された後、可動ピン１２は、最初にダイパッド３の第２の表面に垂直に挿入された位置まで、ダイパッド３の第２の表面に平行に移動させられる。その後、可動ピン１０および可動ピン１２は、挿入された経路をたどって、ダイパッド３の第１の表面およびダイパッド３の第２の表面に垂直に、キャビティ８内から抜き取られる（図４の（３））。
【００３１】
本実施の形態による製造方法を用いれば、電力半導体装置の成形後のモールド樹脂表面において、ダイパッド３の下部に可動ピン１２の痕跡（凹部）が残らない。従って、ダイパッド３の下部のモールド樹脂が薄くなってモールド部分の絶縁耐圧が低下したり、ダイパッド３の下部に樹脂バリが発生してモールド樹脂とヒートシンクとの接続が阻害されるといった問題を解決できる。
【００３２】
なお、本実施の形態による製造方法において、可動ピン１０のキャビティ８内への挿入方向は、ダイパッド３の上方からダイパッド３の第１の表面に垂直な方向に限られない。可動ピン１０は、ダイパッド３の下部のモールド樹脂表面に痕跡が残らない限り、他の任意の方向でキャビティ８内に挿入されてよい。
【００３３】
なお、実施の形態１から実施の形態３に述べられた電力半導体装置の製造方法において、可動ピン１０および可動ピン１２のキャビティ８内への挿入方向は、上述した方向に限られない。可動ピン１０および可動ピン１２は、ダイパッド３の下部のモールド樹脂表面に痕跡が残らない限り、他の任意の方向でキャビティ８内に挿入されてよい。
【００３４】
【発明の効果】
本発明による電力半導体装置の製造方法によれば、電力半導体装置のモールド樹脂表面において、リードフレームのダイパッドの下部に可動ピンの痕跡が残らない。よって、そのダイパッドの下部のモールド樹脂において、絶縁耐圧が低下することを防止できる。
【００３５】
本発明による電力半導体装置の製造方法によれば、電力半導体装置のモールド樹脂表面において、リードフレームのダイパッドの下部に可動ピンの痕跡が残らない。これにより、モールド樹脂表面に樹脂バリが発生しないので、ダイパッドの下部のモールド樹脂とヒートシンクとの接続を容易に達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１による電力半導体装置の製造方法を説明する図。
【図２】  本発明の実施の形態１による別の電力半導体装置の製造方法を説明する図。
【図３】  本発明の実施の形態２による電力半導体装置の製造方法を説明する図。
【図４】  本発明の実施の形態３による電力半導体装置の製造方法を説明する図。
【図５】  従来の電力半導体装置の製造方法を説明する図。
【符号の説明】
２  電力半導体素子、  ３  ダイパッド、  ４  主端子フレーム、  ６  制御端子フレーム、  ８  キャビティ、  １０、１２  可動ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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