(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形枠状に形成された基板ホルダの開口部に矩形状のガラス基板の周縁部を吸着して水平に保持する基板保持装置において、
前記基板ホルダの前記開口部内に基板載置面より低い位置に所定の間隔で複数架設され、板厚に対して充分に長い幅寸法を有し、剛性の高い金属からなる桟状の保持体と、
前記各保持体上にそれぞれ複数配置され、ネジ孔を有する軸受け部と、
前記各軸受け部の前記ネジ孔に螺合するネジが元部に形成され、先端部で前記ガラス基板を保持する保持軸と、
前記軸受け部の前記ネジ孔に前記保持軸を螺合させることにより上下移動させて前記保持軸の高さを調整し、前記ガラス基板を水平に支持させるための高さ調整機構と、
を具備したことを特徴とする基板保持装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板保持装置において、
前記保持軸は、円柱状に形成され、前記先端部に前記ガラス基板を支持する回転自在なボールを有し、かつ下部に前記ネジが形成され、前記軸受け部と共に前記ガラス基板を支える支持ピンを構成するか、又は前記軸受け部側の元部にネジを有する筒形状に形成され、前記先端部に前記ガラス基板の裏面を吸着保持する吸着部材を有し、かつ前記吸着部材に連通する吸引通路が軸方向に形成され、前記軸受け部と共に基板吸引部材を構成し、
前記支持ピンと前記基板吸引部材との少なくとも一方が前記保持体に取り付けられた、
ことを特徴とする基板保持装置。
【請求項３】
請求項１記載の基板保持装置において、
前記保持体は、帯状に形成された剛性の高い金属からなる２枚の保持板が板面を向かい合わせて配置され、
前記軸受け部の下部には平面部が形成され、
前記軸受け部に形成された前記平面部が前記２枚の保持板間に取り付け、取り外し可能に設けられる、
ことを特徴とする基板保持装置。
【請求項４】
請求項３記載の基板保持装置において、
前記２枚の保持板の間の空間部を通って透過照明光が前記基板ホルダの前記開口部に保持された前記ガラス基板の裏面側から照射されるように前記空間部に前記透過照明光を散乱又は拡散する光学部材を設けた、
ことを特徴とする基板保持装置。
【請求項５】
請求項４記載の基板保持装置において、
前記光学部材は、光透過性の樹脂を円柱に形成したレンズを長手方向に２分割したレンズからなることを特徴とする基板保持装置。
【請求項６】
請求項１記載の基板保持装置において、
前記桟状の前記保持体の表面に振動吸収塗料をコーティング、又は前記保持体の空間部に防振材を挟み、前記保持体の振動を抑制することを特徴とする基板保持装置。
【請求項７】
請求項１記載の基板保持装置において、
前記基板ホルダの前記開口部内に所定の間隔で複数架設された桟状の前記保持体は、板厚や質量を変えて当該各保持体同士が共振しないように前記各保持体の共振周波数を異ならせたことを特徴とする基板保持装置。
【請求項８】
請求項１記載の基板保持装置において、
前記基板ホルダの前記開口部内に所定の間隔で複数架設された桟状の前記保持体は、当該保持体の空間部に配される防振材の厚みや量を変えて当該各保持体同士が共振しないように前記各保持体の共振周波数を異ならせたことを特徴とする基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の大型のガラス基板を保持する基板保持装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
特開２０００−７１４６公報には、例えば液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板（プラスチック基板も含む半導体デバイス基板）を保持するガラス基板保持具が記載されている。このガラス基板保持具は、ガラス基板を吸着保持する保持枠と、この保持枠の透過照明用開口を閉塞する透明部材と、この透明部材の上面に複数立設されてガラス基板を支持する支持ピンとからなるガラス基板保持具が記載されている。
【０００３】
このガラス基板保持具では、薄いガラス基板を複数の支持ピンに載せ、そのガラス基板の周縁のみを保持枠に吸着保持しているため、クリーンルームのダウンフローやグレーチング床等からの振動によりガラス基板の中央部分が撓んだり振動してしまう。
【０００４】
又、ガラス基板の大型化に伴い図１０に示す基板保持装置が提案された。基板ホルダ１は、枠状に形成されている。この基板ホルダ１の開口部には、角柱の複数の保持台２が架設されている。これら保持台２の上面には、所定間隔で複数の支持ピン３がそれぞれ一列に配置されて固定されている。
【０００５】
基板ホルダ１の枠部周縁には、ガラス基板４を吸着保持するための複数の吸引部材（吸着パッド）５が設けられている。これら吸引部材５は、図示しない吸引チューブに接続され、吸引ポンプの吸引動作を受けて吸引作用を行なう。又、基板ホルダ１の枠部周縁には、複数の基準ピン６及び複数の押付けピン７が設けられている。
【０００６】
ガラス基板４の表面検査を行なうときは、ガラス基板４が基板ホルダ１上に載置され、複数の押付けピン７により複数の基準ピン６に押し付けられて、基準位置にセッティングされる。この後、ガラス基板４は、複数の吸引部材５により基板ホルダ１上に吸着固定される。
【０００７】
しかしながら、薄いガラス基板４を押付けピン７により基準ピン６に押し付けたとこに、ガラス基板４の中央部に浮きが生じることがある。又、マクロ検査のために基板ホルダ１を揺動させることによりガラス基板４の中央部が上下方向に煽られて大きく振動したり、クリーンルームのダウンフロー等によってガラス基板４の中央部に振動が生じることがある。
【０００８】
このように、ガラス基板４の中央部が上下方向に煽られて大きく振動すると、欠陥が揺れ動いてしまい観察し難くなる。又、顕微鏡を用いてガラス基板４を観察する場合、ガラス基板４が浮き上がっていると顕微鏡の観察位置を振動せた際に対物レンズとガラス基板４の表面との間隔が変化し、焦点ずれが生じる。又、顕微鏡で観察する場合、ガラス基板４に振動が生じると、振動が治まるまでオートフォーカスができなくなる問題が生じる。
【０００９】
又、上下方向の振動を受けると、ガラス基板４の裏面が支持ピン３に当たり傷が付くおそれがある。さらにダウンフローの風圧の変化により、ガラス基板４の中央部が上下方向に大きく振れたり、ガラス基板４が薄くなると、ガラス基板４自体の自動ダウンフローの風圧により支持ピン３との間で微少な撓みが生じ、ガラス基板４が波打つことがある。このため、ガラス基板４の水平度を維持することができなくなり、顕微鏡等によるミクロ観察の際に焦点位置がずれてしまう。
本発明は、基板中央部分の浮きや振動を防止できる基板保持装置を提供することを目的とする。
【００１０】
本発明は、基板ホルダ枠に架設された保持台による透過照明光の光量の減少による影響を抑え、良好な透過検鏡を実現でき、かつ支持ピンの高さ調整が簡単な基板保持装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【発明の開示】
本発明の主要な観点によれば、矩形枠状に形成された基板ホルダの開口部に矩形状のガラス基板の周縁部を吸着して水平に保持する基板保持装置において、基板ホルダの開口部内に基板載置面より低い位置に所定の間隔で複数架設され、板厚に対して充分に長い幅寸法を有し、剛性の高い金属からなる桟状の保持体と、各保持体上にそれぞれ複数配置され、ネジ孔を有する軸受け部と、各軸受け部のネジ孔に螺合するネジが元部に形成され、先端部でガラス基板を保持する保持軸と、軸受け部のネジ孔に保持軸を螺合させることにより上下移動させて保持軸の高さを調整し、ガラス基板を水平に支持させるための高さ調整機構とを具備した基板保持装置が提供される。
【００１２】
【発明を実施するための最良の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１０と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００１３】
図１は基板保持装置の構成図である。この基板保持装置は、フラットパネルディスプレイのガラス基板４の表面を検査する表面検査装置に適用される。基板ホルダ１の開口部内には、複数の保持台１０が架設されている。これら保持台１０は、桟状に形成され、基板ホルダ１の開口部内の互いに対向する２辺間に所定の間隔で並設されている。これら保持台１０は、互いの板面が向かい合って配置された帯状の２枚の保持板１０ａ、１０ｂとから構成される。これら保持板１０ａ、１０ｂの間には、透過照明光が通過するための空間部１１が形成されている。保持板１０ａ、１０ｂは、板厚に対して充分に長い幅寸法を有し、剛性の高い金属からなる。又、保持板１０ａ、１０ｂは、振動を抑える目的でその板面に防振材（高減衰材料）をコーティングしたり、保持板１０ａ、１０ｂを粒界腐食ステンレス等の制振金属で作製する。防振材としては、高分子のゴム、樹脂や、振動吸収塗料、ゲル状物質を用いるとよい。振動吸収塗料としては、ウレタン、アクリル、シリコン系樹脂塗料がある。又、ゲル状物質としては、オルガノゲル、ポリマー系ゲル、シリコン系ゲル、フッ素イオン交換樹脂などがある。又、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に透明な防振材を挟んでもよい。又、各保持台１０が振動しないように保持板１０ａ、１０ｂの板厚を変えたり、防振材の厚みや量を変えるなど各保持台１０の共振周波数を異ならせ、保持台１０同士間の共振をなくすことが好ましい。
【００１４】
基板ホルダ１の開口部内における所定位置、例えば中央部分に対応する各保持台１０には、複数の基板吸引部材２０が設けられている。又、各保持台１０には、複数の支持ピン３０が設けられている。
【００１５】
図２Ａ及び図２Ｂは保持台１０に対する基板吸引部材２０及び支持ピン３０の取り付けを示す構成図であって、図２Ａは上方から見た構成図、図２Ｂは側面図である。これら基板吸引部材２０及び支持ピン３０は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に所定間隔に挟持されている。各基板吸引部材２０には、吸引チューブ２１が接続されている。この吸引チューブ２１は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に配置されている。この吸引チューブ２１は、例えば光透過性の材料により形成されている。２枚の保持板１０ａ、１０ｂの底面は、光透過性の部材により形成されているのが好ましい。
【００１６】
図３Ａ及び図３Ｂは保持台１０に対して支持ピン３０のみを取り付けた構成図であって、図３Ａは上方から見た構成図、図３Ｂは側面図である。２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間には、複数の支持ピン３０が所定間隔毎に挟持されている。
【００１７】
図４は基板吸引部材２０の断面構成図である。基板吸引部材２０には、基板保持軸２２が設けられている。この基板保持軸２２には、吸引通路２３が軸方向に形成されている。基板保持軸２２の先端部には、弾性材により形成された吸着部材２４が抜けでないように取り付けられている。この吸着部材２４には、吸引通路２３と連通するための吸引孔２５が形成されている。吸着部材２４は、抜け防止リング２６によって基板保持軸２２の先端部に保持されている。又、基板吸引部材２０の下部には、取り付け端部２７によって吸引チューブ２１が取り付けられている。この吸引チューブ２１は、基板吸引部材２０に取り付けられることにより吸引通路２３に連通する。なお、吸引チューブ２１は、基板ホルダ１の外部に設けられた吸引ポンプＰに接続されている。
【００１８】
図５は支持ピン３０の断面構成図である。支持ピン３０には、円柱状の保持軸３１が設けられている。この保持軸３１の先端部には、凹部３２が形成され、この凹部３２内にボール３３が回転可能に設けられている。保持軸３１の元側には、固定ネジ３４のネジ締めを受けるための当付け溝３５と、固定ネジ３６が当接しないようにするための逃げ溝３７とが形成されている。さらに、逃げ溝３７の下方の保持軸３１にはネジ３１ａが形成され、保持軸３１は保持軸受け３８の下部に形成されたネジ孔３８ａに螺合し、上下方向（矢印イ方向）に移動可能に設けられている。
【００１９】
従って、支持ピン３０の高さ調整は、保持軸受け３８の底部開口からドライバを用いて保持軸３１を回転させながら矢印イ方向に移動させて、高さ位置を調整した後、固定ネジ３４を締めて保持軸３１を保持軸受け３８に固定することにより行われる。
【００２０】
保持軸受け３８の下部には、２枚の保持板１０ａ、１０ｂを受けるための各平面部３９、４０が両側に形成されている。又、保持軸受け３８には、各固定ネジ３４、３６を通すための各ネジ穴４１、４２が形成されている。
【００２１】
このような構造の支持ピン３０であれば、固定ネジ３６を緩めることにより、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に対して取り付け、取り外しが可能で、かつ保持軸３１を回転させるだけで支持ピン３０の高さを調整できる。
【００２２】
次に、基板ホルダ１に設けられる複数の基板吸引部材２０及び複数の支持ピン３０の高さ調整について図６を参照して説明する。
【００２３】
基準平面４４が形成された基準ブロック４３が用意される。この基準平面４４は、歪みや凹凸の無い平面である。この基準平面４４上の両端には、それぞれ各基準台４５が設けられている。これら基準台４５は、複数の基板吸引部材２０及び複数の支持ピン３０の各高さを調整するための基準高さＨに形成されている。これら基準台４５は、基板ホルダ１のサイズに適合した間隔に配置され、この基準台４５、４５間に保持台１０を逆さまに載置する。
【００２４】
又、基板吸引部材２０及び支持ピン３０の高さ調整は、基板ホルダ１を基準平面４４上に載置してもよい。
【００２５】
基板吸引部材２０の高さ調整は、図４に示す基板保持軸２２の先端部の吸着部材２４が弾性材により形成されているので、この吸着部材３４が基準平面４４に当接されると、基準平面４４の高さに従って伸縮する。この状態に、基板吸引部材２０は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂに対して固定ネジ等により固定される。
【００２６】
一方、支持ピン３０の高さ調整は、図５に示す保持軸受け３８を底部開口よりドライバを差し込み、保持軸３１の先端部のボール３３が基準平面４４に当接するまで回転させる。この保持軸３１の高さを調整した後、固定ネジ３４を締め付け、保持軸３１を保持軸受け３８に固定する。
【００２７】
この結果、全ての基板吸引部材２０及び支持ピン３０の高さ位置が基準平面４４に揃い、これら基板吸引部材２０及び支持ピン３０の高さ調整が終了する。
【００２８】
なお、複数の支持ピン３０のみの高さ調整は、上記同様に、各支持ピン３０の各保持軸３１がそれぞれ上下移動させることにより行われる。
【００２９】
次に、上記の如く構成された装置の作用について説明する。
【００３０】
ガラス基板４の表面検査を行なうとき、ガラス基板４は、各押付けピン７により各基準ピン６に押し付けられて基準位置にセッティングされた後、先ず、ガラス基板４の中央部分が基板吸引部材２０により吸着固定される。続いて、各吸引パッド５によりガラス基板４の周縁が基板ホルダ１上に吸着固定される。
【００３１】
吸引ポンプＰが吸引動作すると、複数の基板吸引部材２０は、それぞれ吸着動作を行い、ガラス基板４をその中央部において吸着保持する。これと共に、ガラス基板４は、複数の支持ピン３０により支持される。
【００３２】
この結果、ガラス基板４は、周縁部と中央部とにおいて吸着保持されるので、水平度が常に維持される。従って、マクロ検査時に基板ホルダ１を揺動したとしても、又ダウンフロー等の影響を受けたとしても、ガラス基板４の中央部に浮きは生じない。
【００３３】
表面検査は、ガラス基板４に対して透過照明又は落射照明を用いた検鏡方式によって行われる。透過照明の検鏡方式では、透過照明光は、ガラス基板４の下方から照射される。保持台１０の架設位置では、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間の空間部１３を通って透過照明光がガラス基板４に照射される。これと共に各保持板１０ａ、１０ｂの回りから透過照明光が回り込み、この回り込んだ透過照明光がガラス基板４に照射される。又、吸引チューブ２１が設けられている位置でも、透過照明光は、光透過性の吸引チューブ２１により拡散されてガラス基板４に照射される。
【００３４】
従って、透過照明検鏡方式であっても、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量が保持台１０の架設位置でも光量の減少を少なく抑えることができ、ガラス基板４の表面検査を良好に行なえる。
【００３５】
このように上記一実施の形態においては、ガラス基板４を基板ホルダ１上に載置したときのガラス基板４の中央部に対応するところに複数の基板吸引部材２０を取り付けたので、ガラス基板４は、基板ホルダ１周辺部の各吸引部材５により周辺部が固定吸着されると共に、中央部が固定吸着される。この結果、ガラス基板４を高い水平度で確実に保持できる。これにより、ガラス基板４のマクロ検査に誤検査が生じることなく、正確にガラス基板４の表面検査を行なうことができる。顕微鏡等による高倍率でのミクロ観察時でも、対物レンズとガラス基板４表面との距離が一定に保たれて焦点ずれが生ぜず、ガラス基板４の全面において合焦点の画像で検査ができる。
【００３６】
複数の基板吸引部材２０を２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に挟み、複数の支持ピン３０も２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に挟み込む構成としたので、透過照明光は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間の空間部１３を通ってガラス基板４に照射され、かつこれら保持板１０ａ、１０ｂの回りから回り込んだ透過照明光がガラス基板４に照射される。さらに、透過照明光は、光透過性の吸引チューブ２１により拡散されてガラス基板４に照射される。これにより、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量の減少を最小限に抑えることができ、良好な透過検鏡を実現することができる。
【００３７】
各保持板１０ａ、１０ｂは、加工が容易であり、製造時間を短縮でき、コストダウンが図れる。
【００３８】
複数の基板吸引部材２０は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に対して取り付け、取り外しが可能なので、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの直線上における所望の位置に取り付け、取り外しできる。これら基板吸引部材２０は、配置間隔をガラス基板４のサイズや重量に応じて任意に調整できる。
【００３９】
複数の基板吸引部材２０及び複数の支持ピン３０は、基準ブロック４３及び各基準台４５を用いて全ての高さを同一に調整できる。この場合、基板吸引部材２０は、吸着部材２４が基準平面４４に倣うことにより高さ調整し、支持ピン３０は、保持軸３１を上下移動させることにより高さ調整できる。従って、ガラス基板４を高い水平度で確実に保持できる。
【００４０】
保持板１０ａ、１０ｂを防振材でコーティング、若しくは制振金属で作製し、又保持板１０ａ、１０ｂの隙間に防振材を挟むことで、保持台１０の振動を低減できる。従って、支持ピン３０上に載置されるガラス基板４の振動を抑えることができる。
【００４１】
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１乃至図６と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。この第２の実施の形態の上記第１の実施の形態と相違するところは、図７に示すように２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に、光散乱又は拡散用の光学部品としての光学レンズ５０を設けたことである。
【００４２】
この光学レンズ５０は、かまぼこレンズ状に形成され、かつ各係止部５０ａが形成されている。これにより光学レンズ５０は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂに対して係止され、各保持板１０ａ、１０ｂに対して取り付け、取り外し自在で、かつ各保持板１０ａ、１０ｂの間から落下しない。なお、光学レンズ５０は、かまぼこレンズ状に限らず、拡散板を設けたり、プリズム、フルネルレンズなどを設けても良い。
【００４３】
２枚の保持板１０ａ、１０ｂの下部には、互い内側を向いて各切欠き部５１ａ、５１ｂが形成されている。各切欠き部５１ａ、５１ｂは、下方からの透過照明光の一部をそれぞれ各保持板１０ａ、１０ｂの間に反射させ、光学レンズ５０により拡散される透過照明光の光量を増加させる作用を持つ。
【００４４】
次に、光学レンズ５０の製造方法の一例を説明する。先ず、図８Ａに示すような光透過性の樹脂（例えばプラスチック）により形成した円柱部材（ロット）５２を図８Ｂに示すようにその長手方向に２分割して、２つのレンズ部材５２ａ、５２ｂを作成する。
【００４５】
次に、各レンズ部材５２ａ、５２ｂの両側をそれぞれカットし、２本のかまぼこレンズ状の光学レンズ５０を製造する。
【００４６】
なお、レンズ部材５２ａ、５２ｂの両側をそれぞれカットせずに、レンズ部材５２ａ、５２ｂのままで２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に挿入できれば、これらレンズ部材５２ａ、５２ｂを光学レンズ５０として用いても良い。
【００４７】
次に、上記の如く構成された装置の作用について説明する。
【００４８】
透過照明の検鏡方式でガラス基板４の表面検査を行うとき、ガラス基板４の下方から照射される透過照明光は、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に設けられた光学レンズ４０により拡散されてガラス基板４に照射される。これと共に２枚の保持板１０ａ、１０ｂの各切欠き部５１ａ、５１ｂに当たった透過照明光は、これら切欠き部５１ａ、５１ｂで２枚の保持板１０ａ、１０ｂ間に向けて反射し、光学レンズ４０を通って拡散されてガラス基板４に照射される。
【００４９】
従って、透過照明の検鏡方式であっても、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量が保持台１０の架設位置でも、その光量の減少を少なく抑えることができ、透過照明の検鏡方式でのガラス基板４の表面検査が可能になる。そのうえ透過照明光の一部が各切欠き部５１ａ、５１ｂで反射して２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に入射するので、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量を上記第１の実施の形態よりも増加できる。
【００５０】
このように上記第２の実施の形態においては、２枚の保持板１０ａ、１０ｂの間に、光散乱又は拡散用の光学部品としての光学レンズ５０を設けたので、この光学レンズ５０により透過照明光を拡散してガラス基板４に照射することができ、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量の減少を少なく抑え、透過照明の検鏡方式でのガラス基板４の表面検査の範囲を拡大できる。
【００５１】
さらに、各切欠き部５１ａ、５１ｂを形成することにより、ガラス基板４に照射される透過照明光の光量を上記第１の実施の形態よりも増加できる。
【００５２】
なお、本発明は、上記第１及び第２の実施の形態に限定されるものでなく、種々に変形することが可能である。
【００５３】
例えば、上記第１及び第２の実施の形態では、液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイのガラス基板４の表面を検査する表面検査装置に適用されるものについて説明したが、これに限らず、フラットパネルディスプレイのガラス基板４の製造ラインに配備されるステッパーなどの各種製造の基板ホルダにも適用できる。
【００５４】
又、基板吸引部材２０は、基板ホルダ１の開口部内の任意の位置に設けることができ、各保持台の全てに設けてもよい。さらに基板吸引部材２０は、基板ボルダ１の支持ピン３０の全てを基板吸引部材２０に代えてもよい。
【００５５】
又、透過照明が可能なので、基板ホルダ１の下面開口部を透明な保持体（例えばガラス板）で閉鎖し、この透明な保持体上に基板吸引部材２０を配置してもよい。
【００５６】
又、基板吸引部材２０は、図９に示すように基板吸引部材本体６０に対して基板保持軸６１を螺合して設け、この基板保持軸６１ｂを回転させながら上下移動させることにより高さ調整可能にしてもよい。基板吸引部材本体６０ａの内面にはネジ溝６２が形成され、かつ基板保持軸６１の先端部にはネジ山６３が形成されている。基板吸引部材本体６０と基板保持軸６１との間には、吸引漏れ防止用のＯリング６４が設けられている。吸引通路２３は、基板吸引部材本体６０の空間部６５を介して吸引チューブ２１に連通している。
【００５７】
基板吸引部材２０の高さ調整は、基板保持軸６１が回転させながら上下移動され、この基板保持軸６１の先端部の吸着部材２４が基準平面４４に当接される。この後、固定ネジ６６が締め付けられ、基板保持軸６１が固定される。
【００５８】
【産業上の利用可能性】
本発明は、例えば液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板などの半導体ガラス基板の表面欠陥検査に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の第１の実施の形態を示す基板保持装置の構成図。
【図２Ａ】図２Ａは保持台に対する基板吸引部材及び支持ピンの取付上面図。
【図２Ｂ】図２Ｂは保持台に対する基板吸引部材及び支持ピンの取付側面図。
【図３Ａ】図３Ａは保持台に対する支持ピンの取付上面図。
【図３Ｂ】図３Ｂは保持台に対する支持ピンの取付側面図。
【図４】図４は基板吸引部材の断面構成図。
【図５】図５は支持ピンの断面構成図。
【図６】図６は複数の基板吸引部材及び支持ピンの高さ調整方法を説明するための図。
【図７】図７は本発明の第２の実施の形態を示す光学レンズの構成図。
【図８Ａ】図８Ａは光学レンズの製造方法の一例を示す図。
【図８Ｂ】図８Ｂは光学レンズの製造方法の一例を示す図。
【図８Ｃ】図８Ｃは光学レンズの製造方法の一例を示す図。
【図９】図９は基板吸引部材の変形例を示す構成図。
【図１０】図１０は従来の基板保持装置の概略構成図。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
0003752501.tif 000008
【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
0003752501.tif 000011
【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
0003752501.tif 000013
【図９】
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【図１０】
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