(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流れる水路（１）と、該水路（１）の底面、中央またはごみや泥を避けるために底面、中央より側面方向に寄ったところに設置された超音波の送信子と受信子とからなるセンサ（２）と、送信子に高周波を供給する駆動回路（３）と、受信信号の増幅部（４）と、受信信号と送信信号を検波する検波回路（５）と、受信信号と送信信号の差信号としての偏移周波数信号を取り出すフィルタ部（６）と、偏移周波数信号をスペクトル変換するスペクトル変換部としてのＦＦＴ部（７）と、ＦＦＴ部（７）で得たスペクトルから流速換算する演算部（８）と、必要に応じて設けられる測定結果の表示部（９）とを具備し、
ＦＦＴ部（７）でフーリエ変換した結果を単純加算平均したスペクトルのパワー値をｆｆｔ（Ｎ）とする周波数ｆｎのある点Ｎの前後に幅ＭｎをもってＮ−ＭｎからＮ＋Ｍｎの間で周波数のパワーの平均値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ）を取り、その点Ｎの元来のパワー値ｆｆｔ（Ｎ）に置き換え、
Ｎを零と最大値Ｎｍａｘとの間で同様にして平均値に置き換えて移動平均すると共に、こうして移動平均したスペクトルのピーク山に基づいて流速換算する超音波流速・流量計において、
ピーク山の検出のための比較を周波数の最大値Ｎｍａｘより始め、第１のピーク山Ｎｐ1 を検出した後、パワー値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ）がピーク山Ｎｐ1 のパワー値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｐ1 ）に対する比率で一定値以下になったところで比較を中止し、第１のピーク山Ｎｐ1 の周波数を流速に換算することを特徴とする超音波ドップラー流速・流量計。
【請求項２】
前記一定値を１／４〜３／４の間に定めたことを特徴とする請求項１記載の超音波ドップラー流速・流量計。
【請求項３】
液体が流れる水路（１）と、該水路（１）の底面、中央またはごみや泥を避けるために底面、中央より側面方向に寄ったところに設置された超音波の送信子と受信子とからなるセンサ（２）と、送信子に高周波を供給する駆動回路（３）と、受信信号の増幅部（４）と、受信信号と送信信号を検波する検波回路（５）と、受信信号と送信信号の差信号としての偏移周波数信号を取り出すフィルタ部（６）と、偏移周波数信号をスペクトル変換するスペクトル変換部としてのＦＦＴ部（７）と、ＦＦＴ部（７）で得たスペクトルから流速換算する演算部（８）と、必要に応じて設けられる測定結果の表示部（９）とを具備し、
ＦＦＴ部（７）でフーリエ変換した結果を単純加算平均したスペクトルのパワー値をｆｆｔ（Ｎ）とする周波数ｆｎのある点Ｎの前後に幅ＭｎをもってＮ−ＭｎからＮ＋Ｍｎの間で周波数のパワーの平均値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ）を取り、その点Ｎの元来のパワー値ｆｆｔ（Ｎ）に置き換える。
Ｎを零と最大値Ｎｍａｘとの間で同様にして平均値に置き換えて移動平均すると共に、こうして移動平均したスペクトルの分布曲線を微分または差分し、曲線が上に凸の変曲点のうち、Ｎが最大のＮｐ1 を流速スペクトルのピーク山と判断して、該ピーク山の周波数を流速に換算することを特徴とする超音波ドップラー流速・流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は超音波ドップラー効果を利用して流体の流速や流量を計測する流速・流量計に係わり、特に開水路に好適な超音波流速・流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
超音波ドップラー方式の流体速度測定方法およびその装置として、特公平７−３３５０号の従来技術が公知である。以下これを第１の従来技術と言う。
【０００３】
このものは、信号発生器において発生された特定周波数の電気信号を発信用トランスデューサ（発信子）を介して流路内を流れる流体に発信し、流体中の物体から発射される反射波を受信用トランスデューサ（受信子）で受信し、発信用トランスデューサから発信信号の周波数と受信用トランスデューサで受信された受信信号の周波数との差信号（シフト信号）に基づいて前記流体の速度を測定するドップラーシフトを利用した流体速度測定法において、発信用トランスデューサおよび受信用トランスデューサを互いに近接した状態で流路の底部に設けると共に、前記差信号を、一定の周波数幅をもった所定の周波数帯でスキャンすることにより各周波数帯の強度を求めた後、加重平均法を適用することにより前記流体の平均流速を求めると共に、前記特定周波数の電気信号を９０°移相して得られる９０°移相信号の周波数と前記受信信号の周波数との差信号を前記差信号と比較することにより前記流体の流れる方向を検出するようにしている。
【０００４】
また、この第１の従来技術では、上記流体速度測定装置を水位センサと組み合わせることにより、流体の流量を測定できることを示唆している。
この第１の従来技術では、流量を求めるには水位センサを必要とし、構造が複雑になる。そこで本願出願人は、水位センサを要しない超音波ドップラー流量計を特願平８−３９２４３号で提案した。以下これを第２の従来技術と言う。
【０００５】
この第２の従来技術の超音波ドップラー流量計は、開水路の底面中央部に流体の流れ方向に対して一定の仰角θで超音波信号を送信する送信素子と、該送信素子に隣接してほぼ同じ方向に向けて配設され、流体中の固体粒子又は気泡等からの超音波の反射信号を受信して電気信号に変換する受信素子と、送信素子に連続して高周波信号を供給する送信回路部と、前記送信素子の送信信号の周波数と受信素子の受信信号の周波数の差の周波数をとるヘテロダイン検波部と、該ヘテロダイン検波部で得た差信号をデジタル信号に変換するＡＤコンバーターと、その信号を周波数スペクトルに変換する高速フーリエ変換部（ＦＦＴ部）と、該高速フーリエ変換部で得た周波数スペクトルのピーク山の周波数を求めるピーク山検出部と、該ピーク山検出部で求めたピーク山の周波数に基づいて流量を演算する流量演算部とを有する受信演算部とを備えたものである。
【０００６】
そして、この第２の従来技術では、受信信号をヘテロダイン検波する際、混合する信号を送信信号より一定だけ高い周波数又は低い周波数でヘテロダイン検波を行い、高速フーリエ変換部で得た周波数スペクトルのピーク山を検出することによって、受信信号の周波数が送信信号の周波数より大きいか小さいかにより流体の流れの方向を判別するようにしている。
【０００７】
送信信号の周波数をｆ0 、仰角をθ、流体の流速をＶ、流体中の音速をＣとすると、ドップラーシフトΔｆは、
｜Δｆ｜＝（Ｖ／Ｃ）・２ｆ0 ｃｏｓθ      ・・・（１）
であらわされ、流速Ｖに比例する。
【０００８】
周波数スペクトルのピーク山の周波数をピーク山検出部で求め、このピーク山の周波数を数式（１）を変形した下記数式（２）のΔｆに代入して流速Ｖを求める。
【０００９】
Ｖ＝Ｃ・Δｆ／（２ｆ0 ｃｏｓθ）          ・・・（２）
こうして求めた流速Ｖが、いわゆるマニングの式で求めた流路の平均流速Ｖに良く対応していることから、開水路の断面形状寸法、水面勾配、壁面の粗度係数などが既知であれば、平均流速に関するマニングの式から水位が一つに定まり、流量を求められる。こうして流量を求める演算は、流量演算部で行っている。
【００１０】
マニング（Ｍａｎｎｉｎｇ）の式は、開水路に対する平均流速を求める式として、中小河川や水路に対し、かなり良く一致するものとしてよく使用されている次の数式（３）として周知である（日刊工業新聞社、昭和５４年発行、流量計測ハンドブック、４０７頁）。
【００１１】
Ｖ＝（１／ｎ）Ｒ2/3 ／Ｉ 1/2              ・・・（３）
Ｖ：平均流速（ｍ／ｓ）。
Ｒ：径深（ｍ）、水流断面積Ａ／潤辺長Ｐで定義される。ただし潤辺長は、水流に接している水路壁の長さを言う。
【００１２】
Ｉ：水面勾配。
ｎ：マニングの粗度係数。
なお、第２の従来技術では、周波数スペクトルのピーク山の検出は、周波数スペクトルの低周波域から最大周波数までの各点数におけるパワー値を１つずつ比較して、単に最大パワー値をもつ点の周波数をピーク山の周波数として求めていた。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
出願人は、第２の従来技術を提案した後、更に研究を進めた結果、次のような問題点を見出した。
【００１４】
流れによるドップラー偏移周波数Δｆは、流路による流れの分布の乱れとか、泡やごみからの反射が離散的であることなどから、ＦＦＴで得られた結果を単純に加算平均するだけでは、突発的なパワー値を持つ周波数が発生して、図４に示すように周波数スペクトルの分布がなめらかな曲線ではない。そのためにドップラー変移周波数のピーク山を判定しにくく、流速や流量を測定するのに誤動作を生じるという問題点があった。
【００１５】
また、下水排水路のように多量のごみや泥が含まれている場合は、送信子、受信子などの超音波振動子の前面にごみや泥が堆積したり、高濃度のものが超音波振動子の近くをゆっくり移動するため、近くからの反射波は強く、遠くからの受信波は強度が相当に低下して受信される。従って、図５に点線で示すように、本来の全体の流体からの反射波によるピーク山ｆD が、同図に実線で示すように、流速の低い信号Ｐ（ｆ0 ）より小さな値ｆD ′になり、ピーク山検出が低い方になってしまい、本来のピーク山ｆD を正しく検出できなくて、流速や流量測定に誤動作を生じることがあるという問題点があった。
【００１６】
このことは、超音波振動子の前面に付着堆積したごみを除去すると直ちに誤動作がなくなって正常な動作に回復するという現象が確認されていることからも明らかである。
【００１７】
また、前記第２の従来技術において、開水路又は非満管路では、ドップラー偏移（ドップラーシフト）のパワースペクトルのピーク周波数（ピーク山の周波数）は、実測データでは最大流速の周波数より２０〜２５％低い値、即ちほぼ平均流速に対応する値になっているが、水位が非常に低くなった場合には、流れによって生じる表面波によるドップラーシフトが発生し、これは、本来の平均流速を示すピーク山ｆD よりも低速側に発生し、その周波数ｆｗは零から平均流速のピーク山ｆD の間で不定であり、パワーのピーク値も平均流速のピーク山ｆD のピーク値（ピークパワー値）を越えることがある。
【００１８】
その為、表面波のパワースペクトルのピーク山ｆｗを平均流速のピーク山ｆD として検出してしまうという誤動作をおこすことがあるという問題点もあった（図６参照）。
【００１９】
従来は、受信信号の周波数の偏移（シフト）をＦＦＴ変換して得られたスペクトルを低周波域から高周波域に向けて単純に検索し、最大パワー値をもつ周波数をもって流速に換算するものであったため、上述のように正確な流速を計測できないと言う問題点が発生していた。
【００２０】
そこで、本発明はかかる問題点を解消できる超音波ドップラー流速・流量計を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項１の発明は、
液体が流れる水路（１）と、該水路（１）の底面、中央またはごみや泥を避けるために底面、中央より側面方向に寄ったところに設置された超音波の送信子と受信子とからなるセンサ（２）と、送信子に高周波を供給する駆動回路（３）と、受信信号の増幅部（４）と、受信信号と送信信号を検波する検波回路（５）と、受信信号と送信信号の差信号としての偏移周波数信号を取り出すフィルタ部（６）と、偏移周波数信号をスペクトル変換するスペクトル変換部としてのＦＦＴ部（７）と、ＦＦＴ部（７）で得たスペクトルから流速換算する演算部（８）と、必要に応じて設けられる測定結果の表示部（９）とを具備し、
ＦＦＴ部（７）でフーリエ変換した結果を単純加算平均したスペクトルのパワー値をｆｆｔ（Ｎ）とする周波数ｆｎのある点Ｎの前後に幅ＭｎをもってＮ−ＭｎからＮ＋Ｍｎの間で周波数のパワーの平均値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ）を取り、その点Ｎの元来のパワー値ｆｆｔ（Ｎ）に置き換え、
【００２２】
Ｎを零と最大値Ｎｍａｘとの間で同様にして平均値に置き換えて移動平均すると共に、こうして移動平均したスペクトルのピーク山に基づいて流速換算する超音波流速・流量計において、
ピーク山の検出のための比較を周波数の最大値Ｎｍａｘより始め、第１のピーク山Ｎｐ1 を検出した後、パワー値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ）がピーク山Ｎｐ1 のパワー値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｐ1 ）に対する比率で一定値以下になったところで比較を中止し、第１のピーク山Ｎｐ1 の周波数を流速に換算することを特徴とする超音波ドップラー流速・流量計である。
【００２３】
この発明では、Ｎの零から最大値Ｎｍａｘまでのパワー値を平均値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ）に置き換えること（移動平均）により、変移周波数の分布を滑らかにして突発的なパワー値をもつ周波数を除去し、スペクトルのピークを容易に検出できるようにしている（図１（ｂ）参照）。
【００２５】
第２の従来技術では、スペクトルのパワーピーク値の検出はＮ＝０の低周波域より始めてＮｍａｘまで各点のパワー値を１つずつ比較し、単に最大パワー値をもつ点Ｎｐを探していたが、ごみ、泥、表面波によるスペクトルを誤って検出してしまっていた。
【００２６】
水路内では流水より早く動くものが無いため、この請求項１の発明では、ピークの検出動作をＮｍａｘから始めて周波数が小さくなる方向に行い、第１のピークＮｐ1 を検出したあと、パワー値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ）とＭｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｐ1 ）の比率が一定値以下になったところで比較を中止し、このときのピーク山Ｎｐ1 を流速によるスペクトルのピーク山と判断してそのときの周波数ｆNP1 を流速に換算する（図１（ｃ）参照）。
【００２７】
こうすることで、表面波スペクトルのピークＮｐ2 、ごみや泥によるスペクトルのピークＮｐ3 等を誤って検出しないようにした。
なお、ピーク検出動作としての比較の中止を判定するための比率Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ）／Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｐ1 ）は測定場所の条件に応じて値を変えても良い。
【００２８】
請求項２の発明は、請求項１の超音波ドップラー流速・流量計において、
前記一定値を１／４〜３／４の間に定めたことを特徴とするものである。
そして、請求項３の発明は、
液体が流れる水路（１）と、該水路（１）の底面、中央またはごみや泥を避けるために底面、中央より側面方向に寄ったところに設置された超音波の送信子と受信子とからなるセンサ（２）と、送信子に高周波を供給する駆動回路（３）と、受信信号の増幅部（４）と、受信信号と送信信号を検波する検波回路（５）と、受信信号と送信信号の差信号としての偏移周波数信号を取り出すフィルタ部（６）と、偏移周波数信号をスペクトル変換するスペクトル変換部としてのＦＦＴ部（７）と、ＦＦＴ部（７）で得たスペクトルから流速換算する演算部（８）と、必要に応じて設けられる測定結果の表示部（９）とを具備し、
ＦＦＴ部（７）でフーリエ変換した結果を単純加算平均したスペクトルのパワー値をｆｆｔ（Ｎ）とする周波数ｆｎのある点Ｎの前後に幅ＭｎをもってＮ−ＭｎからＮ＋Ｍｎの間で周波数のパワーの平均値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ）を取り、その点Ｎの元来のパワー値ｆｆｔ（Ｎ）に置き換える。
【００２９】
Ｎを零と最大値Ｎｍａｘとの間で同様にして平均値に置き換えて移動平均すると共に、こうして移動平均したスペクトルの分布曲線を微分または差分し、曲線が上に凸の変曲点のうち、Ｎが最大のＮｐ1 を流速スペクトルのピーク山と判断して、該ピーク山の周波数を流速に換算することを特徴とする超音波ドップラー流速・流量計である。
【００３０】
差分をＮｍａｘとＮｍａｘ−１より始めて、次々にＮ＝１とＮ＝０まで行うと図１（ｂ）の実線の曲線から図２に示す微分曲線が得られる。すなわち、差分をＮｍａｘより行い、始めてプラスから零をクロスする点Ｎｐ1 を流速によるスペクトルのピーク山と判断してこのときの変移周波数ΔｆNP1 を流速に換算する。
【００３１】
こうすることで、表面波によるピーク山Ｎｐ2 とか、ごみ、泥によるＮｐ3 を誤って流速によるピーク山と認識することを避けるようにした。
請求項１〜３の本願発明では、受信信号（ドップラー信号）の偏移周波数の周波数スペクトルから検出したピーク山の周波数を数式（２）のΔｆに代入して、第２の従来技術の場合と同様に流速Ｖを求める。つまり流速Ｖに換算する。
【００３２】
こうして求めた流速Ｖは平均流速に相当するので、これとマニングの式などの平均流速公式から水位が定まり、流量を求める。
なお、上記の説明は送信周波数と同じかまたは低い周波数でヘテロダイン検波を行った場合であり、高い周波数で行った場合は流速が大きくなれば偏移周波数は低くなり、ピーク周波数検出は低周波側から高周波側に向けて行うこととなり逆になる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
次に本発明の好ましい実施の形態を図面の実施例に基づいて説明する。
〔実施例１〕
図１（ａ）（ｂ）（ｃ）と図３に示す実施例１で、水路１を流れる液体中へセンサ２の超音波送信子から仰角θで超音波信号を送信する。センサ２には前記送信子に隣接してほぼ同じ方向を向けた受信子が配設され、液体中のごみや気泡などからの超音波の返射信号を受信して電気信号に変換する。駆動回路３は送信子に高周波を供給する。
【００３４】
受信子の電気信号（受信信号）は増幅部４で増幅され、混合部１１へ供給されて、前記駆動回路３からの送信信号と混合された後、検波回路５で検波され、更にフィルタ部６で受信信号と送信信号の差信号としての偏移周波数（ドップラーシフト周波数）信号を取り出す。
【００３５】
ＦＦＴ部（高速フーリエ変換部）７は前記偏移周波数信号を高速フーリエ変換してスペクトル変換する。この実施例ではフーリエ変換の結果出力されるデータのポイント数は１０２４であり、周波数範囲を５ｋＨｚとすると、周波数の分解能は４．８８Ｈｚとなる。
【００３６】
１）．スペクトルの移動平均
ＦＦＴ部７で得たスペクトルのデータはＭＰＵからなるＣＰＵを備えた演算部８で流速換算されて、表示部９に測定結果が表示される。
【００３７】
１回のＦＦＴのスペクトル値は１／２５されて演算部９の第１レジスタ（図３参照、以後第２，第３レジスタについても図３参照）に０から順にＮｍａｘまで格納され、同様に次のＦＦＴ結果を１／２５にして第１レジスタに加算し、これを２５回まで行うと２５回の単純加算平均となる。
【００３８】
更に、第１レジスタのＮｘ点の前後にそれぞれ２０ポイントの幅Ｍｎの間で平均を取り、第２レジスタのＮｘ点に格納する。Ｎ＝０からＮ＝Ｎｍａｘまで順に同じ様な方法で平均（移動平均）をして行く。但し、Ｎ−Ｍｎ＜０の場合は０〜Ｎ＋Ｍｎの間で、Ｎ＋Ｍｎ＞Ｎｍａｘの場合はＮ−Ｍｎ〜Ｎｍａｘの間で平均（移動平均）を行う（図１（ｂ）参照）。
【００３９】
なお、上記具体的にあげられた値、ＦＦＴのデータ数、その加算平均回数、移動平均の個数の組み合わせは、実際の測定場所の条件に応じて決められるものである。
【００４０】
２）．ピーク検出
次に演算部９で行うスペクトルのピーク検出（ピーク山の検出）は、ごみ、泥、表面波によるスペクトルピークが流速に基づく流速スペクトルピークよりも低周波域に発生するため、高周波域から行う。
【００４１】
そのピーク検出方法は、図３の第２レジスタのＮｍａｘとＮｍａｘ−１の比較から始め、その大きい方のＮ0 とＭｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ0 ）を第３レジスタに格納し、順にＮ＝０に向かって第３レジスタのＭｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎ0 ）とＭｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｘ）を比較し、パワー値の大きい方を第３レジスタに書き替えて行く。
【００４２】
このようにして得られた最初の大きなパワー値Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｐ1 ）がそれ以後のＮｘとの比較を行う中でＭｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｘ）が例えば２倍されてもＭｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｐ1 ）よりも小さくなったとき、即ち、
Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｘ）＜（１／２）Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｐ1 ）
となったとき、Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｐ1 ）をスペクトルの最高周波数側にある極大値と見做し、点Ｎｐ1 における偏移周波数ΔｆNP1 を流速スペクトルのピーク周波数とする（図１（ｃ）参照）。
【００４３】
そして、ΔｆNP1 を流速に換算し、流量を演算する。
なお、上記ピーク検出を中止するときの比率
Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｘ）／Ｍｅａｎ・ｆｆｔ（Ｎｐ1 ）
の値は、実際の測定場所の条件に応じて１／４〜３／４の間で変化させる。
【００４４】
〔実施例２〕
差分をＮｍａｘとＮｍａｘ−１から始めて、次々にＮ＝１とＮ＝０まで行うと図１（ｂ）の実線の曲線から図２に示す微分曲線が得られる。
【００４５】
そこで、差分をＮｍａｘから行い、始めてプラスから零をクロスする点Ｎｐ1を流速スペクトルのピークと見做して、このときの偏変移周波数ΔｆNP1 を流速スペクトルのピーク周波数とする。
【００４６】
そしてΔｆNP1 を流速に換算し、流量を演算する。
こうすることで、表面波によるピーク山Ｎｐ2 とか、ごみ、泥によるＮｐ3 を誤って流速によるピーク山と認識することを避ける。
【００４７】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成されているので、ＦＦＴによって得られたスペクトルを移動平均して滑らかな周波数分布曲線にすることで、水路の流速分布の乱れや泡によって生じる突発的なパワー値をもつ周波数のデータを除去して、正確な平均流速を求めることができる。
【００４８】
また、ＦＦＴ結果を単純に加算平均する場合に比較して、移動平均を行うことで短時間に周波数分布曲線を滑らかにでき、計測時間を減らすことができる。
更に、水路の表面波によるスペクトルピークを検出しないようにして、表面波による誤動作を防止し、平均流速を正確に求められ、計測精度が向上する。そのうえ、センサの前面に下水路では避けて通ることのできないごみや泥が堆積しても、短期間のうちに計測が中断する虞れがなく、長期間安定に測定ができ、その面からも流速・流量計の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例で、（ａ）はブロック図、（ｂ）はＦＦＴデータのパワー値を示す図、（ｃ）は流速スペクトルのピークを検出する方法を説明するための周波数分布曲線である。
【図２】図１（ｃ）の周波数分布曲線を差分した微分曲線である。
【図３】図１の演算部８に含まれるレジスタを示す図である。
【図４】従来技術のＦＦＴ結果のパワー値を示す図である。
【図５】超音波振動子の前面に付着したごみや泥による周波数分布曲線の変化を説明する線図である。
【図６】流れによって生じる表面波によるパワースペクトルのピーク山を説明する線図である。
【符号の説明】
１    水路
２    センサ
３    駆動回路
４    増幅部
５    検波回路
６    フィルタ部
７    ＦＦＴ部
８    演算部
９    表示部
【図１】
0003752340.tif 000002
【図２】
0003752340.tif 000003
【図３】
0003752340.tif 000004
【図４】
0003752340.tif 000005
【図５】
0003752340.tif 000006
【図６】
0003752340.tif 000007