(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力側に供給される負圧により閉弁側に向けて付勢される弁体と、該弁体を前記付勢力に抗して開弁側に向けて付勢する付勢手段とを有し、前記入力側に供給される負圧による閉弁側への付勢力と前記付勢手段による開弁側への付勢力とが釣り合うことにより開度が保持される調圧弁を備え、負圧源から供給される負圧を前記調圧弁を介して出力する負圧制御弁において、
前記負圧源と前記調圧弁との間に、該調圧弁から前記負圧源への流れのみを許容する連通遮断手段を備え、前記負圧源の負圧が所定の負圧から減少した際に前記調圧弁の入力側に供給される負圧の減少を防止することにより前記弁体の開弁側への移動を禁止して前記調圧弁の出力側から出力される負圧の増大を防止することを特徴とする負圧制御弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、負圧制御弁に係わり、特に、負圧源の負圧の減少に起因する出力負圧の増大を抑制するのに好適な負圧制御弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば実公昭６３−４７３３０号に開示される如く、負圧源から供給される負圧を調圧弁を介して出力する負圧制御弁が知られている。上記従来の負圧制御弁は、負圧源に接続された負圧入力ポートと、ダイヤフラムにより区画されたダイヤフラム室及び大気開放室とを備えている。ダイヤフラムには調圧弁の弁体が担持されている。調圧弁は、ダイヤフラムが大気開放室側に変形するとダイヤフラム室を負圧入力ポートに連通させる第１の状態を取り、ダイヤフラムがダイヤフラム室側に変形するとダイヤフラム室を負圧入力ポートに連通させる第２の状態を取るように構成されている。
【０００３】
負圧入力ポートはダイヤフラム室内に前記調圧弁に向けて開口しており、この開口部が調圧弁の弁座として機能する。負圧入力ポートに負圧が入力されると、ダイヤフラム室に負圧が導入され、ダイヤフラムがダイヤフラム室に向けて変形する。即ち、負圧入力ポートの負圧により、調圧弁は上記第２の状態に向けて付勢される。更に、上記従来の負圧制御弁は、ダイヤフラムを大気開放室側に向けて付勢するソレノイドを備えている。即ち、ソレノイドの発する付勢力により調圧弁は上記第１の状態に向けて付勢される。従って、負圧入力ポートに負圧が供給された状態でソレノイドの発する付勢力を制御することにより、ダイヤフラムに作用するダイヤフラム室の負圧と、ソレノイドによる付勢力とを平衡させることで、ダイヤフラム室の負圧を所望の負圧に制御することができる。このダイヤフラム室の負圧が制御された負圧として外部に出力される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、車両には、負圧を駆動源とする負圧装置として、過給装置のウェストゲート弁、ブレーキペダルに連結されたバキュームブースター、ディーゼルエンジンのＥＧＲ弁、あるいは、スロットル弁駆動用アクチュエータ等が設けられる。これら負圧装置の複数が同時に作動すると、負圧の消費量が負圧源であるバキュームポンプの容量に対して過大になって、負圧制御弁に供給される負圧が減少することがある。
【０００５】
上述の如く、上記従来の負圧制御弁においては、ダイヤフラム室への開口部が調圧弁の弁座として機能する。従って、調圧弁の弁体は負圧入力ポートの負圧により閉じ側に向けて付勢されている。このため、負圧入力ポートの負圧が減少すると、調圧弁の平衡状態がくずれて、弁体が開弁方向に移動する。このため、負圧入力ポートとダイヤフラム室との連通の度合いが増大し、ダイヤフラム室の負圧が増大することになる。このように、上記従来の負圧制御弁においては、負圧源の負圧が減少すると、却って過大な負圧が出力されてしまうことがあった。
【０００６】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであり、負圧源の負圧の減少に起因して、出力される負圧が増大するのを防止し得る負圧制御弁を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は、入力側に供給される負圧により閉弁側に向けて付勢される弁体と、該弁体を前記付勢力に抗して開弁側に向けて付勢する付勢手段とを有し、前記入力側に供給される負圧による閉弁側への付勢力と前記付勢手段による開弁側への付勢力とが釣り合うことにより開度が保持される調圧弁を備え、負圧源から供給される負圧を前記調圧弁を介して出力する負圧制御弁において、
前記負圧源と前記調圧弁との間に、該調圧弁から前記負圧源への流れのみを許容する連通遮断手段を備え、前記負圧源の負圧が所定の負圧から減少した際に前記調圧弁の入力側に供給される負圧の減少を防止することにより前記弁体の開弁側への移動を禁止して前記調圧弁の出力側から出力される負圧の増大を防止する負圧制御弁により達成される。
【０００８】
本発明において、調圧弁の入力側の負圧による閉弁側への付勢力と、付勢手段による開弁側への付勢力とが釣り合うことにより、調圧弁の開度が保持される。従って、調圧弁の入力側の負圧が減少すると、弁体は開弁側に移動し、負圧制御弁の出力する負圧は増加する。本発明によれば、負圧源の負圧が所定の負圧より小さくなった場合、連通遮断手段により負圧源から調圧弁への流れは禁止されるので、負圧源と調圧弁との間の連通が遮断される。従って、負圧源の負圧が所定の負圧以下となっても、調圧弁に供給される負圧が所定の負圧を下回ることはない。これにより、負圧源の負圧が減少した場合に、負圧制御弁の出力する負圧が増加することが防止される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１に本発明の負圧制御弁１０をディーゼルエンジン１２のＥＧＲ弁１４に適用した場合のシステム構成図を示す。図１に示す如く、負圧制御弁１０はカバー１６、ハウジング１８、及びヨーク２０を備えている。ハウジング１８は円筒状の部材であり、その一端部（図１中上端部）に内径が他部位に比して小さく形成された小径部１８ａを備えている。カバー１６は、一端（図１中上端）部が閉じた円筒状の部材であり、その内周がハウジング１８の小径部１８ａと一致するように、ハウジング１８に対して固定されている。ヨーク２０は略円筒状の部材であり、その一端（図１中上端）において、環状のマグネティックプレート２２を介してハウジング１８の図１中下端に、ハウジング１８と同軸となるように連結されている。
【００１０】
カバー１６とハウジング１８との間には円盤状のダイヤフラム２４が配設されている。ダイヤフラム２４とカバー１６の内面との間にはダイヤフラム室２６が形成されている。また、ダイヤフラム２４とハウジング１８の内面との間には大気開放室２８が形成されている。ハウジング１８には、大気開放室２８とハウジング１８の外部とを連通する開口３０が設けられている。
【００１１】
カバー１６の外側には負圧入力ポート３２及び負圧出力ポート３４が設けられている。また、カバー１６の内側には、ダイヤフラム室２６内に突起する負圧導入管３６が設けられている。負圧導入管３６は先端部で小径となるような段差を有する円柱状に形成されている。負圧導入管３６には、負圧入力ポート３２とダイヤフラム室２６とを連通する負圧通路３８が設けられている。
【００１２】
ダイヤフラム２４はその中央部に弁保持体４０を担持している。弁保持体４０は、ダイヤフラム２４の両面方向を貫通する通路４０ａを備えている。通路４０ａはダイヤフラム室２６側で小径となるような段差を有する円筒状に形成されている。通路４０ａの大径部には可動弁体４２が配設されている。弁保持体４０の大径部の図１中下側底面と可動弁体４２との間にはバネ４４が配設されている。可動弁体４２はバネ４４により、通路４０ａの段差面に向けて付勢されている。この通路４０ａの段差面は可動弁体４２に対する弁座４０ｂとして機能する。弁保持体４０の通路４０ａの小径部には、カバー１６の負圧導入管３６の小径部が侵入している。また、弁保持体４０には、大気開放室２８と通路４０ａの大径部とを連通する開口４０ｃが設けられている。弁保持体４０と、カバー１６の内側底面の、負圧導入管３６の周囲との間にはバネ４６が配設されている。バネ４６は、弁保持体４０を図１中下向きに付勢している。
【００１３】
弁保持体４０には、大気開放室２８側に向けてヨーク２０の中心軸に沿って延在するムービングロッド４８が連結されている。ムービングロッド４８の外周部の、マグネティックプレート２２よりヨーク２０側の部位には、僅かな隙間を隔ててステータスコア５０が配設されている。ステータスコア５０の外周部には、励磁コイル５２が配設されている。
【００１４】
ムービングロッド４８の外周面の、マグネティックプレート２２の内周部に対応する部位には、ムービングコア５４がムービングロッド４８と一体に設けられている。ステータスコア５０の図１中上方の面、及び、ムービングコア５４の図１中下方の面はそれぞれ円錐面状に形成されており、これらの円錐面の間にはギャップ５６が形成されている。励磁コイル５２に励磁電流が供給されると、励磁コイル５２が発生する磁束はマグネティックプレート２２、ムービングコア５４、ギャップ５６、及びステータスコア５０を介して循環する。かかる磁束の大きさは、励磁コイル５２に供給される励磁電流の大きさに比例する。従って、前記励磁電流の大きさに応じた図１中下方に向かう磁気吸引力が、ギャップ５６を介してムービングコア５４に作用する。かかる磁気吸引力により弁保持体４０は大気開放室２８に向けて付勢される。
【００１５】
励磁コイル５２には制御装置５８が接続されている。制御装置５８には、ディーゼルエンジン１２の負荷状態を検出する負荷センサ６０が接続されている。制御装置５８は、負荷センサ６０が検出するデイーゼルエンジン１２の負荷状態に基づいて励磁コイル５２に付与する励磁電流のデューティ比を制御することにより、弁保持体４０に作用する付勢力を制御する。
【００１６】
負圧入力ポート３２には、通路６１を介してバキュームポンプ６２が接続されている。バキュームポンプ６２は、ディーゼルエンジン１２の出力軸を駆動源として駆動されることにより負圧を発生する。通路６０には負圧入力ポート３２からバキュームポンプ６２へ向かう方向の流れのみを許容する逆止弁６４が配設されている。
【００１７】
また、バキュームポンプ６２には、負圧制御弁１０の他、過給装置のウェストゲートバルブ６６、バキュームブースタ６８、及び、スロットルバルブ７０をそれぞれ駆動するための負圧を供給する負圧制御弁７２、７４、７６が接続されている。
【００１８】
負圧出力ポート３４には、通路７８を介してＥＧＲ弁１４が接続されている。ＥＧＲ弁１４はダイヤフラム８０で区画されたダイヤフラム室８２と弁室８４とを備えている。ＥＧＲ弁１４は弁室８４と連通する第１ポート８６及び第２ポート８８を備えている。ダイヤフラム８０の弁室８４側には弁体９０が連結されている。弁体９０は、第１ポート８６の開閉を行うことにより、第１ポート８６と第２ポート８８との連通・遮断を行うように構成されている。即ち、ＥＧＲ弁１４のダイヤフラム室８２に負圧が供給されると、弁体９０はダイヤフラム８０と共に図１中上方に移動される。この際、弁体９０が第１ポート８６を開くことにより第１ポート８６と第２ポート８８とを連通させる。一方、ダイヤフラム室８２の負圧が減少すると、弁体９０はダイヤフラム８０と共に図１中下方に移動して、第１ポート８６を閉じることにより、第１ポート８６と第２ポート８８との連通を遮断する。
【００１９】
ＥＧＲ弁１４の第１ポート８６には通路９２を介してディーゼルエンジン１２の排気管９４が連通されている。また、ＥＧＲ弁１４の第２ポート８８には通路９６を介してディーゼルエンジン１２の吸気管９８が連通されている。排気管９４及び吸気管９８はそれぞれ、排気バルブ１００及び吸気バルブ１０２を介してディーゼルエンジン１２の燃焼室１０４と連通している。
【００２０】
上記したシステムの構成によれば、バキュームポンプ６２が作動しない状態では、ダイヤフラム室２６は常圧に保たれ、弁保持体４０は図１に示す如く位置している。図２に、図１の状態における弁保持体４０及び負圧導入管３６の先端部の拡大図を示す。図２に示す如く、この状態では、可動弁体４２はバネ４４により弁座４０ｂに向けて押圧され、通路４０ａは遮断されている。このため、ダイヤフラム室２６と大気開放室２８とは遮断されている。一方、可動弁体４２と負圧導入管３６の先端面との間には隙間が存在しており、かかる隙間を介して、ダイヤフラム室２６は負圧入力ポート３２と連通されている。
【００２１】
バキュームポンプ６２が作動すると、逆止弁６４のバキュームポンプ６２側の圧力が低くなり、逆止弁６４は開弁状態となる。このため、ダイヤフラム室２６にはバキュームポンプ６２から逆止弁６４を介して負圧が供給される。かかる負圧により、ダイヤフラム２４にはダイヤフラム室２６に向かう撓み変形が生じ、弁保持体４０はダイヤフラム２４のかかる変形と共に、ダイヤフラム室２６に向けて移動される。かかる移動が進行すると、負圧導入管３６の先端面が可動弁体４２の図１中上側の底面に当接し、可動弁体４２をバネ４４による付勢力に抗して大気開放室２８側へ向けて押圧するようになる。図３に、可動弁体４２が大気解放室２８側へ向けて押圧された状態を示す。図３に示す如く、可動弁体４２が負圧導入管３６の先端面に当接することで、ダイヤフラム室２６と負圧入力ポート３２とが遮断されると共に、可動弁体４２と弁座４０ｂとの間に隙間が生ずることで、かかる隙間を介してダイヤフラム室２６は大気開放室２８と連通されている。
【００２２】
かかる状態で、励磁コイル５２に励磁電流が供給されると、上述の如く、弁保持体４０は励磁電流のデューティ比に応じた力で大気開放室２８に向けて付勢される。従って、デューティ比を増大させていくと、可動弁体４２が負圧導入管３６の先端面から離れることで、ダイヤフラム室２６が負圧入力ポート３２に連通され、ダイヤフラム室２６に負圧が供給されるようになる。この場合、弁保持体４０は、ダイヤフラム室２６の負圧、及び、負圧導入管３６の負圧通路３８内の負圧と、励磁電流による磁気吸引力及びバネ４６による付勢力とが平衡した位置に保持される。図４にかかる平衡状態を示す。図４に示す如く、上記の如き平衡状態においては、ダイヤフラム室２６が負圧入力ポート３２と大気開放室２８とに適当なバランスで連通されることにより、ダイヤフラム室２６内の負圧が上述の如き平衡が保たれた状態で維持される。
【００２３】
即ち、負圧導入管３６の負圧通路３８の負圧、即ち、負圧入力ポート３２に入力される負圧をＰIN、ダイヤフラム室２６の負圧をＰD 、負圧導入管３６の負圧通路３８の断面積をＳV 、ダイヤフラム２４及び弁保持体４０の負圧ＰD が作用する領域の面積をＳD 、磁気吸引力をＦm 、バネ４６による付勢力をＦs とすると、
Ｆm ＝ＰD ・ＳD ＋ＰIN・ＳV −Ｆs           ・・・（１）
が成立する。負圧出力ポート３４に出力される負圧ＰOUT はダイヤフラム室２６の負圧ＰD に一致する。従って、励磁コイル５２により発生すべき磁気吸引力を負圧出力ポート３４に出力すべき負圧より（１）式を用いて決定し、かかる磁気吸引力に応じて励磁電流のデューティ比ＤVRV を制御することにより、所望の負圧を負圧出力ポート３４に出力することができる。なお、負圧導入管３６の負圧通路３８の断面積ＳV は、負圧ＰD が作用する領域の面積ＳD に比して十分小さいので、（１）式に示す平衡状態においては、（１）式右辺のＰIN・ＳV の項を無視することができる。即ち、
Ｆm ＝ＰD ・ＳD −Ｆs                       ・・・（２）
が成立するとみなすことができる。従って、定常状態においては、（２）式に基づいて励磁電流のデューティ比を制御することで所望の負圧を出力することができる。
【００２４】
図５に、励磁コイル５２に供給する励磁電流のデューティ比ＤVRV と負圧出力ポート３４に出力される負圧ＰOUT との関係を示す。図５に示す如く、デューティ比ＤVRV の増加に応じて、負圧ＰOUT は直線的に増加する。
上述の如く負圧出力ポート３４から出力される負圧は、ＥＧＲ弁１４のダイヤフラム室８２に供給される。ダイヤフラム室８２に負圧が供給されると、弁体９０がダイヤフラム室８２側へ向けて移動し、第１ポート８６と第２ポート８８とが連通される。これにより、ディーゼルエンジン１２の排気管９４と吸気管９８とが連通され、排気ガスが排気管９４から吸気管９８に環流されることで再燃焼される。制御装置５８は、ディーゼルエンジン１２の負荷が小さいほど励磁コイル５２への励磁電流のデューティ比を増加させる。従って、本実施例においては、ディーゼルエンジン１２の負荷が小さい場合に、排気ガスの再燃焼が行われることで、ＥＧＲ制御が有効に行われる。
【００２５】
ところで、上述の如く、バキュームポンプ６２には、ＥＧＲ弁１４に負圧を供給する負圧制御弁１０の他、過給装置のウェストゲートバルブ６６、バキュームブースタ６８、及び、スロットルバルブ７０をそれぞれ駆動する負圧アクチュエータに負圧を供給する負圧制御弁７２、７４、及び７６が接続されている。このため、負圧制御弁１０と共に、他の一つ又は複数の負圧制御弁が同時に駆動された場合には、負圧の消費量がバキュームポンプ６２の容量に対して過大となり、バキュームポンプ６２の発生する負圧ＰＶＡＣが一時的に急激に減少することがある。
【００２６】
バキュームポンプ６２の負圧を負圧制御弁１０の負圧入力ポート３２に直接導入することとすると、バキュームポンプ６２の負圧ＰVAC の急減に伴って、負圧導入管３６の負圧通路３８の負圧も急減する。このため、可動弁体４２に作用する力の平衡が一時的に図４中下向きにくずれて、可動弁体４２は大気開放室２８側、即ち、負圧入力ポート３２とダイヤフラム室２６とを連通させる側へ移動する。この結果、ダイヤフラム室２６と負圧入力ポート３２との連通の度合いが増大し、負圧出力ポート３４に出力される負圧が一時的に増大することになる。
【００２７】
これに対して、本実施例のシステムにおいては、通路６１に、負圧入力ポート３２からバキュームポンプ６２へ向かう方向の流れのみを許容する逆止弁６４が配設されている。従って、バキュームポンプ６２の負圧ＰＶＡＣが正規の負圧Ｐｎから一時的にＰａに減少した場合には、逆止弁６４は閉状態となり、負圧入力ポート３２の負圧はＰｎに維持されることとなる。これにより、上述の如き負圧入力ポート３２の負圧の減少に起因する出力負圧の増大が防止されている。
【００２８】
なお、一般に、負圧を駆動源とするアクチュエータにおいて負圧が消費されるのは、例えば弁の開閉時等の比較的短時間であり、長時間連続して負圧が消費されることは少ない。従って、上述の如く、複数のアクチュエータが同時に作動することに起因するバキュームポンプ６２の負圧ＰVAC の減少は、一時的なものであることが多い。このため、通常は、短期間のうちにバキュームポンプ６２の負圧ＰVAC は正規の負圧Ｐn に復帰し、逆止弁６４が再び開弁して負圧Ｐn が負圧入力ポート３２に供給されるようになる。
【００２９】
図６に、上述の如き、バキュームポンプ６２の負圧ＰVAC の一時的な急減が生じた場合の、ＰVAC 及び負圧出力ポート３４に出力される負圧ＰOUT の時間変化を示す。なお、逆止弁６４を設けない場合のＰOUT の変化を破線で示している。図６に示す如く、逆止弁６４を設けない場合には、ＰVAC の減少に応じてＰOUT が増大しているのに対して、逆止弁６４を備える本実施例のシステムによれば、Ｐout は一定値に維持されている。これにより、ＥＧＲ弁１４に供給される負圧を常に安定に制御することが可能とされ、バキュームポンプ６２の発生する負圧が減少した場合にも、ＥＧＲ制御を適切に実施することが可能とされている。
【００３０】
このように、本実施例のシステムによれば、バキュームポンプ６２の発生する負圧が急減した場合にも、一定の負圧を出力することができ、これにより、安定した負圧制御を実現することができる。
ところで、バキュームポンプ６２の失陥や、バキュームポンプ６２に接続された通路に漏洩等が生じた場合にも、バキュームポンプ６２の発する負圧は減少する。かかる場合、負圧が減少された状態は、上述の如き負圧消費量の増加に伴う負圧減少の場合と異なり長期間持続されるため、負圧入力ポート３２がバキュームポンプ６２と遮断された状態が長時間維持される。このため、ＥＧＲ弁１４で負圧が消費されるのにつれて、負圧入力ポート３２内の負圧ＰINは徐々に低下することになる。
【００３１】
しかしながら、かかる負圧ＰINの低下は緩やかなものであるため、ＰINの減少に起因する可動弁体４２の開弁側への移動は、ダイヤフラム室２６の負圧の増大により、ダイヤフラム２４及び弁保持体４０がダイヤフラム室２６側に変位することで補償される。即ち、負圧ＰINの変化が緩やかである場合には、（１）又は（２）式で示す平衡状態が維持されながら弁保持体４０が変位することで、ダイヤフラム室２６の負圧、従って、負圧出力ポート３４に出力される負圧ＰOUT は一定に保持されるのである。
【００３２】
負圧入力ポート３２の負圧ＰINが、バキュームポンプ６２の発生負圧減少後の負圧Ｐa に達するまで減少すると、逆止弁６４が開弁して、再び、負圧入力ポート３２にバキュームポンプ６２から負圧が供給されるようになる。これ以後、負圧入力ポート３２に供給される負圧ＰOUT はＰa に維持される。従って、負圧Ｐa が負圧出力ポート３４から出力すべき負圧Ｐr より大きい限り、負圧出力ポート３４に負圧Ｐr を出力することができる。このように、本実施例のシステムによれば、バキュームポンプ６２の負圧が長期間にわたって減少した場合にも、負圧出力ポート３４に所望の負圧を出力することができる。
【００３３】
なお、上記実施例においては、本発明が、励磁コイル５２の発生する磁気吸引力と、ダイヤフラム２４に作用する出力負圧との釣り合いにより、出力負圧を連続的に制御することが可能な負圧制御弁１０に適用されるものとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、入力側の負圧により弁体が閉じ側に付勢され、この弁体を開弁側に付勢することにより入力側の負圧を出力側に伝達する形式の任意の負圧制御弁に適用することができる。即ち、入力側の負圧により弁が閉弁側に付勢される負圧制御弁においては、入力側の負圧が減少した場合に弁が開弁側に移動することにより、出力側の負圧が増大することになるのに対して、上記実施例と同様に、入力側とバキュームポンプとの間に逆止弁を配設することにより、負圧制御弁に入力される負圧の減少を防止することができ、これにより、上述の如き出力負圧の増大を防止することができるのである。
【００３４】
また、上記実施例においては、逆止弁６４を通路６０に配設することとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、逆止弁６４を負圧制御弁１０と一体に、負圧入力ポート３２あるいは負圧通路３８に設けることとしてもよい。
なお、上記実施例においては、弁保持体４０及び可動弁体４２が上記した弁体に、励磁コイル５２が上記した付勢手段に、バキュームポンプ６２が上記した負圧源に、逆止弁６４が上記した連通遮断手段に、それぞれ相当している。
【００３５】
【発明の効果】
上述の如く、本発明によれば、負圧源の負圧の減少に起因して、負圧制御弁から出力される負圧が増加するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であるシステムのシステム構成図である。
【図２】図１の弁保持体及び負圧導入管の先端部の拡大図である。
【図３】図１においてダイヤフラム室に負圧が導入された状態を示す図である。
【図４】図１においてダイヤフラム室の負圧と磁気吸引力とが平衡した状態を示す図である。
【図５】本実施例の負圧制御弁の励磁コイルに供給する励磁電流のデューティ比と負圧出力ポートに出力される負圧との関係を示す図である。
【図６】バキュームポンプの発生する負圧が一時的に減少した場合の出力負圧の変化を示す図である。
【符号の説明】
１０  負圧制御弁
２６  ダイヤフラム室
２８  大気開放室
３２  負圧入力ポート
３４  負圧出力ポート
４０  弁保持体
４２  可動弁体
５２  励磁コイル
５８  制御装置
６２  バキュームポンプ
【図１】
0003749313.tif 000002
【図２】
0003749313.tif 000003
【図３】
0003749313.tif 000004
【図４】
0003749313.tif 000005
【図５】
0003749313.tif 000006
【図６】
0003749313.tif 000007