(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方に開口する内側空間を有する箱状の容器本体と、前記内側空間内に第１の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第１の仕切り板と、前記内側空間内に前記第１の方向と直角の第２の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第２の仕切り板とを含み、前記第１および第２の仕切り板は共同して前記内側空間を複数の収納空間に区画すべく組み合わされており、各第１の仕切り板および各第２の仕切り板はそれぞれ第２の仕切り板および第１の仕切り板の長手方向へ移動可能である、集積回路チップ用トレー。
【請求項２】
前記容器本体は、さらに、前記内側空間の側と前記内側空間の開放端の側とに開口する１以上の切欠部を四角形の隣り合う２つの辺に対応する部位に有する、請求項１に記載のトレー。
【請求項３】
さらに、９０度の角度でＬ字状に組み合わされた一対の基準板を含み、前記第１および第２の仕切り板はそれぞれ一方および他方の基準板に結合されている、請求項１または２に記載のトレー。
【請求項４】
前記第１および第２の仕切り板のそれぞれは、楔状の断面形状を有しており、また小さい厚さ寸法の側を下側としている、請求項１，２または３に記載のトレー。
【請求項５】
前記容器本体は、それぞれが隣り合う第１の仕切り板および隣り合う第２の仕切り板を接近させたときの前記収納空間に連通する複数の貫通穴を底部に有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載のトレー。
【請求項６】
さらに、前記内側空間の底に配置された網状部材と、該網状部材の上に配置されたシート状部材であって粘着剤を上面に有するシート状部材とを含み、前記容器本体は前記内側空間に連通する１以上の貫通穴を底部に有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載のトレー。
【請求項７】
前記容器本体は、該容器本体が同種の他の容器本体に重ねられたとき、前記他の容器本体の内側空間に嵌合される凸部を底部に有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載のトレー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路チップを収容するトレーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近時、完成した集積回路チップ（ＩＣチップ）の売買のような取り引きに起因する受渡しが多く行われている。そのような受渡しに供されるＩＣチップの電気的特性試験は、提供者または販売者の側で行われるのみならず、また使用者または購入者の側においても行われる。電気的特性試験は、一般に、ＩＣチップをプローバ（特に、そのチャックトップ）にセットし、プローブカード、プローブボード等の検査ヘッドに対するＩＣチップのプリアライメントをし、次いでファインアライメントをした後に、行われる。
【０００３】
この種の集積回路チップの運搬に用いるトレーの１つとして、箱状の容器本体の直方体状の内部空間すなわち内側空間を格子状に組み合わされた複数の仕切り板により複数の収納空間に区画し、各収納空間にＩＣチップを収納するものがある。
【０００４】
ＩＣチップの大きさは、一般に、高精度に維持されているが、ＩＣチップと各収納空間との間に遊びを設けないと、収納空間に対するＩＣチップの出し入れが面倒になる。このことから、ＩＣチップ用トレーにおいては、収納空間の面積をＩＣチップより大きくせざるを得ない。しかし、そのようにすると、収納空間内におけるＩＣチップの位置がＩＣチップ毎に異なってしまう。
【０００５】
このため、従来のトレーでは、電気的特性試験をするときに、運搬用トレーとプローバとの間でＩＣチップの移し換えをしなければならない。また、たとえ、ＩＣチップの移し換えをしたとしても、ＩＣチップが正しい位置に配置されるとは限らないから、上記したようにプリアライメントをし、次いでファインアライメントをした後に、電気的特性試験をしなければならない。
【０００６】
ＩＣチップの移し換えを省略すべく、ＩＣチップを収納しているトレーをプローバのチャックトップに設置すると、トレーに対するＩＣチップの位置が一定でないから、たとえトレーをチャックトップに正しく装着しても、ＩＣチップが検査用ヘッドに対し許容値以上にずれていることが多く、したがって上記したようにプリアライメントをし、次いでファインアライメントをした後に、電気的特性試験をしなければならない。
【０００７】
【解決しようとする課題】
本発明の目的は、ＩＣチップの移し換えをなくし、ＩＣチップを正しい位置に容易に位置決めることができるようにすることにある。
【０００８】
【解決手段、作用、効果】
本発明の集積回路チップ用トレーは、上方に開口する内側空間を有する箱状の容器本体と、内側空間内に第１の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第１の仕切り板と、内側空間内に第１の方向と直角の第２の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第２の仕切り板とを含む。第１および第２の仕切り板は、共同して内側空間を複数の収納空間に区画するように組み合わされている。各第１の仕切り板および各第２の仕切り板は、それぞれ、第２の仕切り板および第１の仕切り板の長手方向へ移動可能である。
【０００９】
集積回路チップは、トレーの収納空間に収納される。集積回路チップをトレーの各収納空間に収納した状態で、第１の仕切り板同士および第２の仕切り板同士が接近するように、第１および第２の仕切り板をそれぞれ第２および第１の仕切り板の長手方向へ移動させると、各集積回路チップは、第１および第２の仕切り板により第１および第２の仕切り板の長手方向へ移動されて、隣り合う第１の仕切り板および隣り合う第２の仕切り板に挟まれる。
【００１０】
これにより、各集積回路チップがトレーに対して位置決められる。このため、集積回路チップを収納しているトレーをプローバに正しく装着した状態で、第１および第２の仕切り板をそれぞれ第２および第１の仕切り板の長手方向へ移動させるだけで、各集積回路チップをトレーおよびプローバに対して位置決めることができる。
【００１１】
本発明によれば、第１および第２の仕切り板をそれぞれ第２および第１の仕切り板の長手方向へ移動可能に容器本体内に配置したから、集積回路チップの移し換えをすることなく、集積回路チップを正しい位置に容易に位置決めることができる。
【００１２】
容器本体は、さらに、内側空間の側と前記内側空間の開放端の側とに開口する１以上の切欠部を四角形の隣り合う２つの辺に対応する部位に有することができる。このようにすれば、工具の一部を切欠部に差し込み、その状態で工具を所定の方向へ移動させることにより、第１および第２の仕切り板を移動させることができるから、第１および第２の仕切り板の移動が容易になる。
【００１３】
さらに、９０度の角度でＬ字状に組み合わされた一対の基準板を含み、第１および第２の仕切り板をそれぞれ一方および他方の基準板に移動可能に結合させることができる。このようにすれば、第１および第２の仕切り板を基準板の側へ移動させることにより、集積回路チップがトレーおよびプローバに対して位置決められるから、容器本体の内面が高精度に仕上げられていなくても、集積回路チップは高精度で位置決められる。
【００１４】
第１および第２の仕切り板のそれぞれを楔状の断面形状とし、また小さい厚さ寸法の側を下側とすることができる。このようにすれば、集積回路チップにバリが存在していても、トレーおよびプローバに対する集積回路チップの位置決めをすることができる。
【００１５】
容器本体は、それぞれが隣り合う第１の仕切り板および隣り合う第２の仕切り板を接近させたときに形成される収納空間に連通する複数の貫通穴を底部に有することができる。このようにすれば、試験時、集積回路チップを真空吸着により、トレーおよびプローバに対し移動不能に維持することができる。
【００１６】
さらに、内側空間の底に配置された網状部材と、該網状部材の上に配置されたシート状部材であって粘着剤を上面に有するシート状部材とを含み、容器本体はその内部内側空間に連通する１以上の貫通穴を底部に有することができる。このようにすれば、集積回路チップがシート状部材に粘着されるから、運搬時に各集積回路チップがトレーに対して移動しない。しかし、内側空間の底とシート状部材との間の空気を前記貫通穴から吸引すると、シート状部材が編目の部分で湾曲し、集積回路チップとシートとの粘着面積が少なくなる。したがって、その状態で、仕切り板を移動させることができるから、集積回路チップをトレーおよびプローバに対して容易に位置決めることができる。
【００１７】
容器本体は、該容器本体が同種の他の容器本体に重ねられたとき、他の容器本体の内側空間に嵌合される凸部を底部に有することができる。このようにすれば、重ねられた複数のトレーが水平方向へ相対的に移動しないから、トレーの運搬が容易になる。
【００１８】
好ましい実施例においては、第１および第２の仕切り板は、その長手方向に伸びる凹所において互いに係合する。また、容器本体の内部内側空間は、直方体の形状を有する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１〜図６を参照するに、トレー１０は、四角形の形状を有する複数のＩＣチップすなわち集積回路チップ１２の収納に用いられる。
【００２０】
トレー１０は、上方に開口する直方体状の内部空間すなわち内側空間を有する箱状の容器本体１４と、該容器本体の内側空間内に第１の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第１の仕切り板１６と、容器本体１４の内部内側空間内に第１の方向と直角の第２の方向へ間隔をおいて配置された細長い複数の第２の仕切り板１８と、９０度の角度でＬ字状に組み合わされた一対の基準板２０，２２とを含む。
【００２１】
容器本体１４の内部空間は、四角形の平面形状を有する。容器本体１４の内部空間の底面は、平坦面である。容器本体１４は、容器本体１４の上方と内側空間とに開口しかつ内側空間の底に達する一対の切欠部すなわち溝２４を四角形の隣り合う２つの辺に対応する部位のそれぞれに有する。
【００２２】
図４に示すように、各第１の仕切り板１６および各第２の仕切り板１８は、それぞれ、突出部２６および２８を一端に有しており、また長手方向に一定の間隔Ｌ1 およびＬ2 をおいて形成された複数の凹所３０および３２を有する。第１の仕切り板１６の各凹所３０は長方形の穴であり、第２の仕切り板１８の各凹所３２は下方に開口するコ字状すなわち長方形の切欠部である。凹所３０および３２の長さ寸法は、それぞれ、突出部２６および２８の側の凹所ほど小さい。
【００２３】
凹所３０および３２は、それぞれ、第２および第１の仕切り板１８および１６の部位のうち、凹所３２および３０に対応する部位を移動可能に受け入れている。これにより、第１および第２の仕切り板１６，１８は、相対的移動可能に格子状に組み合わされている。
【００２４】
各第１の仕切り板１６は、図４において破線３４より上の部材１６ａを製作するとともに、凹所３０に対応する箇所に下方に開口する長方形の切欠部を有する下の部材１６ｂを製作し、下の部材１６ｂと第２の仕切り板１８とを上記のように格子状に組み合わせた後、上の部材１６ａを下の部材１６ｂの上に固定することにより、形成することができる。しかし、各凹所３０を上方へ開口する長方形の切欠部としてもよい。
【００２５】
基準板２０，２２は、両者が９０度の角度を維持するように相対的変位不能に結合されている。基準板２０および２２も、それぞれ、第１および第２の仕切り板１６の凹所３０および３２に対応する凹所３６および３８（図３、図５および図６参照）を有する。凹所３６および３８の長さ寸法も、Ｌ字形の角部の側の凹所ほど小さい。
【００２６】
基準板２０および２２は、それぞれ、第１および第２の仕切り板１６および１８の突出部２６および２８を凹所３６および３８に移動可能に受け入れている。第１および第２の仕切り板１６および１８、ならびに、基準板２０および２２は、格子状に組み合わされて、基準板２０および２２が溝２４と反対の側となるように容器本体１４の内側空間内に配置され、それにより容器本体１４の内側空間を複数の収納空間に共同して区画する。
【００２７】
第１および第２の仕切り板１６および１８は、それぞれ、容器本体１４の内側空間内に第２および第１の仕切り板１８および１６の長手方向へ移動可能に配置されている。これに対し、基準板２０，２２は、容器本体１４の内側空間内に移動不能に維持されている
【００２８】
溝２４に最も近い位置にある第２の仕切り板１８は、突出部２８からこれと反対の側の端部までの厚さ寸法を上下方向における突出部２８の幅寸法に対応する範囲にわたって他の部位の厚さ寸法の２分の１に減じられている。これにより、その仕切り板１８は、基準板２２から最遠の位置に移動されたとき、容器本体１４の内壁面に当接する。しかし、そのような構造にしなくてもよいし、またその第２の仕切り板１８の厚さ寸法をその全長さ範囲および全幅範囲にわたって他の第２の仕切り板１８の厚さ寸法より小さくしてもよい。
【００２９】
容器本体１４は、該容器本体が同種の他の容器本体に重ねられたとき、他の容器本体の内側空間に嵌合される凸部４０を底部に有する。凸部４０の平面形状およびその大きさは、容器本体１４の内側空間のそれらと同じである。凸部４０には、凹部４２が形成されている。凹部４２は、下方に開口する長方形の座ぐりである。
【００３０】
容器本体１４は、さらに、容器本体１４の内側空間と凹部４２とに連通する吸引用の複数の穴４４を底部に有する。各穴４４は、第１および第２の仕切り板１６および１８がそれらにより形成される収納空間に集積回路チップ１２を収納した状態で基準板２０および２２の側へ移動されたときの収納空間を凹部４２に連通させる貫通穴である。
【００３１】
トレー１０において、集積回路チップ１２は、図１、図５（Ａ）および図６（Ａ）に示すように、仕切り板１６，１８を溝２４の側へ移動させた状態で、仕切り板１６，１８により形成される各収納空間に収納される。
【００３２】
上記の状態で、溝２４に最も近い仕切り板１６および１８をそれぞれ基準板２０および２２の側へ移動させると、両仕切り板１６，１８が集積回路チップ１２を介して隣の仕切り板１６，１８を押すから、他の仕切り板１６，１８および各集積回路チップ１２も基準板２０，２２の側へ移動される。
【００３３】
これにより、図２、図５（Ｂ）および図６（Ｂ）に示すように、各集積回路チップ１２は、基準板２０，２２とこれの隣の仕切り板１６，１８または隣り合う仕切り板１６，１８に挟まれ、トレー１０に対して位置決められる。
【００３４】
このため、トレー１０は、集積回路チップ１２を図１、図５（Ａ）および図６（Ａ）に示すように各収納空間に収納した状態で、プローバに装着され、次いで仕切り板１６および１８をそれぞれ基準板２０および２２の側へ移動される。これにより、各集積回路チップは、トレーおよびプローバに対して位置決めされる。その後、各集積回路チップの試験が行われる。
【００３５】
トレー１０を用いるプローバは、図７に示すように、真空式のチャックトップ５０と、仕切り板１６，１８を基準板２０，２２の側へ移動させる一対の移動機構５２（図７は、一方の移動機構のみを示している。）と、試験のための複数のプローブを有する検査用ヘッド５４とを備える。
【００３６】
チャックトップ５０は、トレー１０の凸部４０を嵌合させる凹部５６と、トレー１０を真空吸着する１以上の吸引穴５８と、集積回路チップ１２をトレー１０に真空吸着するための１以上の吸引穴６０とを有する。吸引穴５８は凹部５６の外側上面に開口し、吸引穴６０は凹部５６に開口する。吸引穴５８，６０は、電磁弁を介してサクションポンプに連通されている。
【００３７】
各移動機構５２は、ソレノイド機構、シリンダ機構等のプランジャ機構であり、駆動回路により駆動される。移動機構５２の可動子の先端は、チャックトップ５０に装着されたトレー１０の溝２４に挿入される工具６２とされている。
【００３８】
検査用ヘッド５４は、プローブカード、プローブボード等と称されている公知のヘッドであり、通電回路、信号処理回路等に電気的に接続されている。
【００３９】
トレー１０は、その凸部４０が凹部５６に嵌合されることにより、チャックトップ５０に正しく装着され、また凹部５６の外側上面の空気が吸引穴５８により吸引されることにより、チャックトップ５０に吸着されて、チャックトップ５０に移動不能に維持される。
【００４０】
上記の状態で、先ず各移動機構５２の工具６２がトレー１０の溝２４に差し込まれ、次いで各移動機構５２の可動子が突出される。これにより、工具６２が溝２４に最も近い仕切り板１６，１８を押すから、各仕切り板および各集積回路チップは基準板の側へ移動され、各集積回路チップはプローバによる試験のための正しい位置へ移動される。その結果、仕切り板を容易に移動させることができ、集積回路チップを正しい位置へ容易に移動させることができる。
【００４１】
次いで、凹部５６内の空気が吸引穴６０を介して吸引されることにより、各集積回路チップ１２がトレー１０に真空吸着され、その状態で各集積回路チップ１２の試験が検査用ヘッド５４を用いて行われる。各集積回路チップ１２がトレー１０に真空吸着された状態においては、各集積回路チップ１２がトレー１０に対して移動不能に維持されるから、各移動機構５２の作動を中止してもよい。
【００４２】
上記のように、トレー１０によれば、集積回路の移し換えをすることなく、集積回路チップを正しい位置に容易に位置決めることができる。また、上側の容器本体の凸部を下側の容器本体の内側空間に嵌合させた状態に同種の複数のトレーを重ねて運搬することができ、そのとき重ねられた複数のトレーが水平方向へ相対的に移動せず、トレーの運搬が容易になる。さらに、溝２４に最も近い仕切り板と溝側の容器本体内壁との間に詰め物をすることにより、各集積回路チップを隣り合う仕切り板で移動不能に把持することができ、トレーの運搬がより容易になる。
【００４３】
図８（Ａ）および（Ｂ）に示すトレー７０は、前記した実施例における凹部４２と貫通穴４４とを設ける代わりに、糸のように細いで線材で大きい編目に編成された目の粗い網状部材７２を容器本体１４の内側空間の底に配置し、粘着剤を上面に有するシート状部材７４を網状部材７２の上に配置し、容器本体１４の内側空間と底部の下方とを連通させる吸引用の貫通穴７６を底部に形成している。仕切り板１６，１８と基準板２０，２２（実際には、２０は図面に現れないため、図示しない）とは、シート状部材７４の上に移動可能に配置される。
【００４４】
トレー７０は、先ず、図８（Ａ）に示すように、各集積回路チップ１２を収納空間に収納した状態で、運搬され、プローバのチャックトップに装着される。この際、各集積回路チップ１２がシート状部材７４に粘着されているから、各集積回路チップ１２および各仕切り板１６，１８がトレー７０内で移動するおそれがなく、トレーの運搬および着脱が容易である。
【００４５】
次いで、各容器本体１４内の空気が吸引穴７６を介して吸引される。これにより、シート状部材７４の多くの部位が網状部材７２の編目内に引き込まれるようにシート状部材が変形されるから、各集積回路チップ１２の大部分がシート状部材７４から離され、各集積回路チップおよび各仕切り板が収納空間内で移動可能になる。
【００４６】
次いで、上記のように各集積回路チップおよび各仕切り板を移動可能に維持した状態で、図８（Ｂ）に示すように、各仕切り板および各集積回路チップが基準板の側へ移動される。これにより、各仕切り板および各集積回路チップを容易に移動させることができ、それによりトレーおよびプローバに対する集積回路チップ１２の位置決めをすることができる。
【００４７】
その後、上記の状態で、各集積回路チップ１２についての試験が行われる。なお、図８（Ｂ）では、シート状部材７４をこれが網状部材７２の編目内に引き込まれた状態に示していない。
【００４８】
上記の実施例は、いずれも、基準板２０，２２がトレー１０に対する各集積回路チップ１２の基準位置として作用するから、容器本体の内面が高精度に仕上げられていなくても、各集積回路チップは正しく位置決められる。しかし、、容器本体の対応する２つ内面を高精度に仕上げることにより、図９および図１０（Ａ），（Ｂ）に示す実施例のように基準板を設けなくてもよい。
【００４９】
また、図１１に示すように、集積回路チップ１２は、一般に、切断によるバリ８０を有することから、各仕切り板１６，１８および各基準板（図示せず）を楔状の断面形状とし、また小さい厚さ寸法の側を下側とすることが好ましい。このようにすれば、集積回路チップ１２にバリ８０が存在していても、トレーおよびプローバに対する集積回路チップの位置決めが正確に行われる。なお、基準板を設けない場合は、図９に示すように、容器本体１４の対応する２つの内壁面の下端縁に切欠部８２を形成すればよい。
【００５０】
さらに、仕切り板および基準板により区画された各収納空間が正方形の平面形状を有するものとして示しているが、各収納空間の平面形状は、凹所３０，３２の長さ寸法、凹所３０，３２の配置ピッチ等を変更することにより、適宜な長方形とすることができる。しかし、各収納空間の平面形状およびその大きさは、収納すべき集積回路チップの平面形状およびその大きさにより決定される。
【００５１】
図１２は、複数のトレー１０を上下方向に重ねた状態を示す。各トレーの容器本体１４は、上側の容器本体の凸部４０の底を受ける複数の受け部材９０を内側空間内に有する。各受け部材９０は、細長い板の形状をしており、また容器本体に固定されている。各トレー１０は、上側の容器本体の凸部４０を下側の容器本体の内側空間に分離可能に上側から嵌合させた状態に重ねられる。これにより、重ねられた複数のトレーが水平方向へ相対的に移動しないから、トレーの運搬が容易になる。
【００５２】
受け部９０は、上側の容器本体の凸部４０の底を受ける機能のみならず、補強部材としても機能する。図１２では、図５および図６における凹部４４および貫通穴４４を省略しているが、これら凹部４４および貫通穴４４は、設けてもよいし、設けなくてもよい。また、受け部材９０は、必ずしも必要ではない。
【００５３】
本発明は、上記実施例に限定されない。たとえば、凹所３０，３２，３６，３８は、切欠部、開口および長穴のいずれであってもよい。また、容器本体１４、仕切り板１６，１８、基準板２６，２８および受け部９０は、金属および合成樹脂のいずれにより形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のトレーの一実施例を示す平面図である。
【図２】図１に示すトレーにおいて、各仕切り板および各集積回路チップを基準板の側へ移動させた状態を示す平面図である。
【図３】図１および図２に示すトレーにおける仕切り板および基準板を格子状に組み合わせた状態の一実施例を示す斜視図である。
【図４】図１および図２に示すトレーで用いる仕切り板の一実施例を示す正面図であって、（Ａ）は第１の仕切り板を示す図であり、（Ｂ）は第２の仕切り板を示す図である。
【図５】図１および図２に示すトレーの縦断面図であって、（Ａ）は図１の５Ａ−５Ａ線に沿って得た断面図であり、（Ｂ）は図２の５Ｂ−５Ｂ線に沿って得た断面図である。
【図６】図１および図２に示すトレーの縦断面図であって、（Ａ）は図１の６Ａ−６Ａ線に沿って得た断面図であり、（Ｂ）は図２の６Ｂ−６Ｂ線に沿って得た断面図である。
【図７】図１および図２に示すトレーをテスタのチャックトップに装着した状態を示す断面図であって、（Ａ）は仕切り板を移動させる前の状態を示す図であり、（Ｂ）は仕切り板を移動させた後の状態を示す図であり、（Ｃ）は試験開始時の状態を示す図である。
【図８】本発明のトレーの他の実施例を示す縦断面図であって、（Ａ）は仕切り板を移動させる前の状態を示す図であり、（Ｂ）は仕切り板を移動させた後の状態を示す図である。
【図９】本発明のトレーで用いる仕切り板の組み合わせ状態の他の実施例を示す斜視図である。
【図１０】仕切り板を図９に示す状態に組み合わせたトレーの縦断面図であって、（Ａ）は仕切り板を移動させる前の状態を示す図であり、（Ｂ）は仕切り板を移動させた後の状態を示す図である。
【図１１】仕切り板の断面形状の他の実施例を示す図である。
【図１２】複数のトレーを重ねた状態の一実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
１０，７０  トレー
１２  集積回路チップ
１４  容器本体
１６，１８  仕切り板
２０，２２  基準板
２４  溝
２６，２８  仕切り板の突出部
３０，３２  仕切り板の凹所
３６，３８  基準板の凹所
４０  容器本体の凸部
４４，７６  容器本体の貫通穴
７２  網状部材
７４  シート状部材
【図１】
0003825504.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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