(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気空隙を形成した複数の永久磁石と、前記永久磁石の表面に設けたカバーと、前記カバーに沿って磁気空隙内を移動する電機子コイルとを備えた可動コイル型リニアモータであって、
前記カバーは強磁性部分と非磁性部分とが共存する素材を用いて形成され、
前記非磁性部分が短絡磁束を抑制する位置に設けられるとともに溶融凝固組織と加熱冷却組織とで構成され、
前記素材は磁性ステンレス鋼又は高マンガン鋼であり、
前記溶融凝固組織における析出炭化物粒子の総占有面積が前記加熱冷却組織における析出炭化物粒子の総占有面積より減少していることを特徴とする可動コイル型リニアモータ。
【請求項２】
前記非磁性部分が３０体積％以上の溶融凝固組織を有することを特徴とする請求項１に記載の可動コイル型リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固設した界磁用永久磁石に設けたカバーの長手方向に沿って移動自在にされた電機子コイル（例えば、多相コイル等。）を備えた可動コイル型のリニアモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、固設された界磁用永久磁石と、この永久磁石が形成した磁気空隙内に移動自在に設置された電機子コイルとを有し、この電機子コイルに駆動電流を供給することにより推力を発生させて上記永久磁石の長手方向に沿って移動させるように構成した可動コイル型のリニアモータが知られている。
【０００３】
図５は、従来の可動コイル型リニアモータを示す要部断面図である。
図５の従来の可動コイル型リニアモータ１００にはベース１上にセンターヨーク２とサイドヨーク３，３とが立設され、一対のセンターヨーク２とサイドヨーク３とが相対向する側面には一対の永久磁石４，４が配設されて磁気空隙１５を形成している。一対の永久磁石４，４は各々紙面と垂直方向にこの可動コイル型リニアモータ１００の可動子１６のストロークに対応する長さ分が配置してあり、一対の永久磁石４，４およびサイドヨーク３とセンターヨーク２とを固定子の１組として合計２組の固定子を形成している。また、可動子１６を構成したキャリッジ７の下部にはコイルフレーム１８，１８が付設してある。また、コイルフレーム１８が磁気空隙１５において一対の永久磁石４，４と対向する両側面には基板（図示省略）を介して偏平状の３相コイル６，６（例えば特公平８−１３１８４号公報に記載のもの。）が配置されて、図示省略の磁極検出手段および／または位置検出手段を用いて上記各３相コイルに流れる駆動電流を所望の推力パターンに応じて切り換えることにより可動子１６が所定の推力を得て磁気空隙１５内を紙面垂直方向に移動可能にされている。
【０００４】
図６は上記図５の固定子のＢ−Ｂ方向矢視断面図の従来例を示している。
図６の固定子６３は、直方体形状の複数の永久磁石４ｃを隣接する磁極が異なるとともに磁気空隙１５ａを介して対向する磁極が異なるようにしてセンターヨーク２およびサイドヨーク３上に配設してある。
この固定子６３において、例えば永久磁石４ｃにおける紙面に垂直方向の幅（ｗ’）を５０ｍｍ、長さ（ｌ’）を３０ｍｍ，厚さ（ｔｍ１）を１０ｍｍとした場合の磁気空隙１５ａにおける可動子１６のストローク方向の磁束密度分布を測定したところ、図１０の（ｃ）に示す結果を得た。図１０の縦軸は磁束密度（Ｇ）、横軸は可動子１６のストロークに対応した位置（ｍｍ）である。可動コイル型リニアモータとしてトルクリップルを抑えて推力のリニアリティを良好に維持するための理想的な磁気空隙の磁束密度分布は例えば図１０の正弦波曲線（ｂ）で示される。しかし、上記図１０の（ｃ）はこの理想的な図１０の（ｂ）から大きくずれており、上記固定子６３の構成ではトルクリップルが大きくなり推力のリニアリティが劣化する問題がある。
上記図１０の（ｃ）が理想的な図１０の（ｂ）から大きくずれる一因は、永久磁石４ｃから発した磁力線のうち３相扁平コイル６，６に到達せずに隣接する永久磁石４ｃ，４ｃ間で短絡してしまう無効磁束（ｆ５）が多いことである。
【０００５】
トルクリップルの問題を解決するために、略台形状に形成した永久磁石を配設した可動コイル型リニアモータ（例えば、特開平３−２２２６７０号公報。）が知られている。
また、この方式をさらに発展させた構成として図７の固定子を有した可動コイル型リニアモータがある。
【０００６】
図７は上記図５の固定子のＢ−Ｂ方向矢視断面図の他の従来例を示している。図７の固定子６４では、永久磁石４ｄにおける磁気空隙１５ｂ側の両縁部に面取部９，９を形成して断面略台形状とするとともに複数個をその断面長手方向に沿って隣接する磁極が異なるようにし、磁気空隙１５ｂを介して異なる磁極が対向するように配置してある。また、永久磁石４ｄ，４ｄ間には永久磁石４ｄの面取部９および直立部１９と係合するようにして配置した固定治具８（非磁性体製）がビス１０（非磁性体製）で締結してある。
この固定子６４において、例えば永久磁石４ｄにおける紙面に垂直方向の幅（ｗ２）を５０ｍｍ、長さ（ｌ２）を３０ｍｍ，面取部９の厚さ（ｔ１）を３．５ｍｍ，直立部１９の厚さ（ｔ２）を６．５ｍｍ，磁気空隙１５ｂに沿う部分の長さ（ｌ３）を６ｍｍとした場合に、磁気空隙１５ｂにおける可動子１６のストローク方向の磁束密度分布が理想的な図１０の（ｂ）に近似した図１０の（ａ）になることが知られている。
【０００７】
しかし、上記図７の構成では複雑形状の永久磁石を用いるため永久磁石のコストが高価であるとともに固定治具８やビス１０等の非磁性部材がさらに必要であり、可動コイル型リニアモータの固定子構造が複雑化して部品点数が増えるため安価な可動コイル型リニアモータを提供できないという問題がある。
【０００８】
さらに、上記図６、図７の固定子を備えた可動コイル型リニアモータでは永久磁石が直接磁気空隙に接して設けられているため、例えば定期点検や故障時の部品交換または高速走行などの際に衝撃が加わって永久磁石を破損してしまうことがある。このような永久磁石の破損防止を兼ねて、下記の図８や図９のように永久磁石が磁気空隙と接する側にカバーを設ける方式が提案されている。
【０００９】
図８の固定子６５は磁気空隙１５ｃ側に非磁性カバー３０を設けた以外は上記図６と同様の構成である。
また、図９の固定子６６は磁気空隙１５ｄ側に非磁性カバー３５を設けた以外は上記図７と同様の構成である。
【００１０】
しかし、上記図６乃至図９の従来の可動コイル型リニアモータにおいて磁気空隙の厚みを一定として比較すると、図６に比べて図８の方が非磁性カバー３０の厚み（ｔ３０）分だけ磁気空隙１５ｃを介して対向する永久磁石４ａ，４ａの間隔（Ｌｇ３ｍ）が大きくなるので結果的に磁気空隙１５ｃの磁束密度分布のレベルが低下して可動コイル型リニアモータの推力が小さくなるという問題がある。ここで、図６の磁気空隙１５ａの厚みは（Ｌｇ１）であり、図８の磁気空隙１５ｃの厚みは（Ｌｇ３）、磁気空隙１５ｃの実質的厚みは（Ｌｇ３ｍ）である。
非磁性カバーの設置により磁気空隙の磁界強度が低下して可動コイル型リニアモータの推力を低下させる問題は図７に対する図９でも同様に存在する。ここで、図７の磁気空隙１５ｂの厚みは（Ｌｇ２）、図９の磁気空隙１５ｄの厚みは（Ｌｇ４）、磁気空隙１５ｄの実質的厚みは（Ｌｇ４ｍ：対向する永久磁石４ｂ，４ｂの間隔）である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の課題は、カバー付設型であってトルクリップルを非常に小さく抑えられて推力のリニアリティを良好にできるとともに大推力の得られる可動コイル型リニアモータを提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成した本発明の可動コイル型リニアモータは、磁気空隙を形成した複数の永久磁石と、前記永久磁石の表面に設けたカバーと、前記カバーに沿って磁気空隙内を移動する電機子コイルとを備えた可動コイル型リニアモータであって、
前記カバーは強磁性部分と非磁性部分とが共存する素材を用いて形成され、
前記非磁性部分が短絡磁束を抑制する位置に設けられるとともに溶融凝固組織と加熱冷却組織とで構成され、
前記素材は磁性ステンレス鋼又は高マンガン鋼であり、
前記溶融凝固組織における析出炭化物粒子の総占有面積が前記加熱冷却組織における析出炭化物粒子の総占有面積より減少していることを特徴とする。
本発明により、ひとつながりの部材で強磁性部分と非磁性部分とが共存するカバーを形成できるとともにその非磁性部分を短絡磁束を抑制する位置に配置したので、短絡磁束を抑えながら磁気空隙の実質的厚みを小さく維持できる結果良好な推力のリニアリティおよび大推力を有した可動コイル型リニアモータを提供できる。また、カバーを設けたことで衝撃が加わっても永久磁石が破損しにくく、耐久性に優れた可動コイル型リニアモータを提供できる。
【００１４】
また、上記カバーの非磁性部分が３０体積％以上の溶融凝固組織を有した場合では、本発明の可動コイル型リニアモータが−６０℃までの極低温度雰囲気にさらされても上記カバーの非磁性部分が安定に存在するので−６０℃までの極低温度域における良好な推力のリニアリティおよび大推力を保持することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を詳説する。
【００１７】
図４は本発明の可動コイル型リニアモータの一態様を示す要部断面図であり、上記図５と同一の構成部分には同一の参照符号を付してある。
図４の本発明の可動コイル型リニアモータ５０において、一対の永久磁石４，４の相対向する側面上に強磁性部分と非磁性部分とが共存したカバー１１を設けてある。
【００１８】
図１は、上記図４の固定子のＡ−Ａ方向矢視断面図に係る参考例を示し、上記図８と同一の構成部分には同一の符号を付している。
図１の固定子６０において、カバー１１の非磁性部は加熱冷却部１１ｂｈで構成されており、隣接した直方体形状の永久磁石４ａ，４ａの境界直上に配置されて模式的に図示した短絡磁束（ｆ２）を抑え、磁気空隙５の形成に寄与する有効磁束（ｆ１）を増加させている。この有効磁束（ｆ１）が可動子１６の走行とともに上記３相扁平コイル近傍に設けた磁気検出手段（図示省略）により検出されて、その３相扁平コイルに通電する駆動電流の通電タイミングを調整するようになっている。また、永久磁石４ａの長さ（ｌ）よりもカバー１１の強磁性部１１ａの長さ（ｍ）を小さくしてあるので有効磁束（ｆ１）を大にするとともに短絡磁束（ｆ２）を小さくすることが可能である。
カバー１１は、強磁性部分と非磁性部分とが共存可能な合金素材；例えば、フェライト系やマルテンサイト系の磁性ステンレス鋼、高マンガン鋼等の１種または２種以上を用いて後述の局部加熱冷却手段（参考例に対応）または局部加熱溶融凝固手段（後述の実施例に対応）を用い、さらに必要に応じて適宜の機械加工を経て製作することができる。このカバー１１はひとつながりの部品で形成することが可能であり、必要に応じてカバー１１を強磁性部分１１ａと非磁性部分１１ｂｈとが共存する単位で複数に分割してもよい。このカバー１１を配設したことによって磁気空隙５の実質的厚みは磁気空隙５を介して対向する一対の永久磁石４ａ，４ａの間隔（Ｌｇｍ）ではなくなり、一対の強磁性部１１ａ，１１ａの間隔（Ｌｇ）となる。すなわち、永久磁石４ａのＮ極を発した磁力線は、順次、カバー１１の強磁性部１１ａ，磁気空隙５，強磁性部１１ａ，永久磁石４ａのＳ極に戻る閉ループ（有効磁束ｆ１）を形成するので、磁気回路上は永久磁石４ａの厚みが（ｔｍ）から（ｔ＝ｔｍ＋ｔｃ）に増加したことと略等価である。よって、カバー１１を配置しても磁気空隙５の磁界強度があたかも厚み（ｔ）を有した一対の永久磁石４ａ，４ａを対向配置させた場合と略同等となり磁気空隙５の磁束密度分布のレベルを大に保持して可動子１６に大推力を付与することができる。同時に、上記非磁性部１１ｂｈで磁気空隙５における磁束密度分布の非正弦波成分の一因である短絡磁束ｆ２を抑制するので可動子１６に良好な推力のリニアリティを付与することができる。
【００１９】
（参考例１）
上記カバー１１の形成素材として、重量％で０．６％Ｃ−１３％Ｃｒ−残Ｆｅおよび不可避不純物からなる組成のフェライト系ステンレス鋼素材を用いて、この素材全体を優れた強磁性特性とするために適宜の磁気焼鈍を行い、図１１のＢ−Ｈ曲線に示す通り２０℃において最大飽和磁束密度Ｂｓ＝１．４Ｔ、保磁力Ｈｃ＝１０Ｏｅという優れた強磁性特性を有した素材を得た。
次に、この素材を上記カバー１１の略寸法に機械加工した後、上記非磁性部１１ｂｈに対応する部分にＣＯ２レーザを照射することでその非磁性化すべき部分をこの素材のオーステナイト変態温度以上であって融点未満の温度（例えば、１２００℃。）に加熱後冷却し、フェライト組織を有した上記強磁性部１１ａとオーステナイト組織を有した上記非磁性部１１ｂｈとを形成した。その後、必要に応じて仕上げ加工を行って上記カバー１１の最終寸法に仕上げた。
この非磁性部１１ｂｈの２０℃におけるＢ−Ｈカーブを測定したところ図１２のＢ−Ｈ特性を得た。図１２より、この非磁性部１１ｂｈの２０℃での比透磁率μｓは約１．１でありμｓ≦２という非磁性特性が確保できていた。このμｓ＝１．１という値はほぼ空気と同等の非常に優れた非磁性特性である。また、このカバー１１の強磁性部１１ａは上記図１１の強磁性特性を有していた。
次に、上記非磁性部１１ｂｈの極低温度域における安定性を評価した結果について説明する。まず、上記カバー１１をドライアイスを加えることによって−１０℃〜−６０℃に調整した液体メタノール冷媒中に浸し、その非磁性部１１ｂｈのオーステナイト相がフェライト相に変態する温度を調べた。冷媒に浸した時間は３０分であり、その後室温２０℃に戻し、Ｘ線回折で結晶構造を同定した結果を表１に示した。
【００２０】
【表１】
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Ａ：オーステナイト相、Ｆ：フェライト相
表１から、この参考例１の非磁性部１１ｂｈは−４０℃までフェライト相に変態することなく安定に存在することがわかった。したがって、この参考例１のカバー１１を装着した参考例の可動コイル型リニアモータは−４０℃までの用途に使用可能である。
また、上記図１の固定子６０において、永久磁石４ａにおける紙面に垂直方向の幅（ｗ）を５０ｍｍ、長さ（ｌ）を３０ｍｍ，厚さ（ｔｍ）を９ｍｍの直方体ブロック（日立金属（株）製のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系異方性焼結磁石：ＨＳ３７ＢＨ）とし、カバー１１の厚み（ｔｃ）を１ｍｍとした場合の磁気空隙５における可動子１６のストローク方向の磁束密度分布を測定したところ、理想的な正弦波曲線（図１０の（ｂ））に非常に近い図１０の曲線（ｄ）が得られ、良好な推力のリニアリティを有していることがわかった。
【００２１】
図２は本発明に係る上記図４の固定子のＡ−Ａ方向矢視断面図の一態様を示し、上記図１と同一の構成部分には同一の符号を付している。
図２のカバー１１’は、強磁性部１１ａと、溶融凝固部１１ｂｍと加熱冷却部１１ｂｈとを有した非磁性部１１ｂとからなっている。この溶融凝固部１１ｂｍが永久磁石４ａ，４ａの境界直上に配置されて漏れ磁束（ｆ２’）を抑えるようになっている。
（実施例１）
上記カバー１１’の形成素材として上記参考例１と同一の素材を用いて同一の磁気焼鈍を行った後、上記カバー１１’の略寸法形状に機械加工し、上記非磁性部１１ｂに対応する部分をＣＯ２レーザを用いて上記素材の融点直上１０℃の温度に加熱して局部的に溶融後冷却凝固させて、非磁性部１１ｂに該当する部分をフェライト組織から非磁性のオーステナイト組織に変態させた。その後、必要に応じて仕上げ加工を行い、上記カバー１１’の寸法形状に仕上げた。この非磁性部１１ｂの組織は溶融凝固組織１１ｂｍが７０体積％と加熱冷却部１１ｂｈが３０体積％とからなっている。
この実施例１の強磁性部１１ａおよび非磁性部１１ｂの２０℃におけるＢ−Ｈカーブを測定したところ、強磁性部１１ａは上記図１１と同様の強磁性特性であり、非磁性部１１ｂは上記図１２と同様の非磁性特性になっていた。
次に、この実施例１の非磁性部１１ｂの極低温度域での安定性を上記参考例１と同様にして評価したところ上記表１の結果を得た。
表１から、実施例１の局部的な溶融凝固部１１ｂｍは−６０℃でもフェライト相に変態することなく安定に存在していた。したがって、このカバー１１’を装着した本発明の可動コイル型リニアモータは−６０℃までの大推力と推力のリニアリティとを有している。
【００２２】
上記実施例１では上記非磁性部１１ｂにおける溶融凝固部１１ｂｍの存在比率が７０体積％の場合を記載したが、この溶融凝固部１１ｂｍの存在比率が３０体積％以上であれば本発明の可動コイル型リニアモータとして−６０℃までの極低温度域において実用に供し得る推力および推力のリニアリティとを備えることが容易である。
【００２３】
上記溶融凝固部１１ｂｍの−６０℃までの良好な存在安定性は、本発明者のミクロ解析により次のように推論付けされている。
上記非磁性部１１ｂｍおよび１１ｂｈの断面のミクロ組織を電子顕微鏡により観察した結果を図１３の組織写真に示した。
図１３（ａ）に示す実施例１の溶融凝固部１１ｂｍでは析出している炭化物の数が少ないが、図１３（ｂ）に示す参考例１の加熱冷却部１１ｂｈでは析出した炭化物粒子の数が非常に多い。図１３（ｂ）対比で図１３（ａ）の析出炭化物粒子の総占有面積は約１／４０に減少していることがわかった。このことから、上記の局部加熱冷却処理によって局部をオーステナイト変態温度以上に加熱するだけでは析出した炭化物が母相に再固溶できないが、上記の局部加熱溶融凝固処理を行うと析出していた炭化物が母相に再固溶し、その再固溶により母相部分の含有する有効炭素量が増加したことで上記溶融凝固部１１ｂｍ（オーステナイト相）の存在安定性がより高められて−６０℃まで安定に存在できたものと考えられる。
【００２４】
図３は参考例の可動コイル型リニアモータに装着する固定子の他の態様を示す要部断面図である。図３で上記図１と同一の構成部分には同一の符号を付している。
図３の固定子６２では、磁気空隙５’’を介して片側は上記図１と同様にセンターヨーク２上に永久磁石４ａが貼着されてその永久磁石４ａの磁気空隙５’’対向側にカバー１１を設けてある。また、磁気空隙５’’を介してカバー１１と対向する側には強磁性のサイドヨーク３（例えば、ＳＳ４００製等。）が配置してある。この固定子６２の構成によれば、上記図１、図２に比べて磁気空隙５’’における磁束密度分布のレベルがやや低下する傾向を示すが正弦波に非常に近い磁束密度分布を実現できるとともに高価な永久磁石の使用量を少なくしたので、推力のリニアリティが良好で安価な可動コイル型リニアモータを提供することができる。
【００２５】
次に、上記リニアモータ５０に参考例１のカバー１１を配置した場合（参考例２）および実施例１のカバー１１’を配置した場合（実施例２）について、２０℃でリニアモータの駆動開始から５分後に測定した推力の最大値およびトルクリップル、ならびに下記の条件で評価した衝撃テストの結果を表２に併記した
表２では、比較例１として上記図６の固定子６３を上記リニアモータ１００に配置した場合、比較例２として上記図７の固定子６４を上記リニアモータ１００に配置した場合、比較例３として上記図８の固定子６５を上記リニアモータ５０に配置した場合、比較例４として上記図９の固定子６６を上記リニアモータ５０に配置した場合で、各々上記参考例２，実施例２と同様にして評価した推力の最大値、トルクリップルおよび衝撃テストの結果を併記した。ここで、上記評価に際し、各固定子に日立金属（株）製のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系異方性焼結磁石（ＨＳ３７ＢＨ）を配設してある。また、表２の推力の最大値は参考例２の値を１００％として相対表示している。また、トルクリップルが小とは推力のリニアリティが良好な状態、トルクリップルが大とは推力のリニアリティが不良の状態をいう。また、衝撃テストは上記の各固定子を１ｍの高さからＳＵＳ３０４ステンレス鋼板上に落下させて配設してある永久磁石の割れ、欠けの有無を調べたものである。
【００２６】
【表２】
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【００２７】
表２より、各比較例のものに比べて、参考例２，実施例２のものは大推力であるとともにトルクリップルが小さく抑えられ、耐衝撃性にも優れていることがわかった。
【００２８】
図１４は参考例の可動コイル型リニアモータにおける固定子のさらに他の態様を示す要部断面図であり、図１と同一の構成部分には同一の符号を付している。図１４の固定子６７において、カバー２１は各磁極部直上に貼着した複数個の強磁性部材２１ａ（例えば、ＳＳ４１製。）と各磁極境界直上に貼着した複数個の非磁性部材２１ｂ（例えば、ＳＵＳ３０４製。）とからなる。この構成によれば汎用の強磁性素材および非磁性素材を用いてカバー２１を形成することができるメリットを有している。また、上記図１と同様に磁気空隙５ｅの実質的厚みを（Ｌｇ５）とできるので有効磁束（ｆ３）を大にし大推力とするとともに短絡磁束（ｆ４）を小に抑えて推力のリニアリティを良好にすることができている。
【００２９】
上記態様では電機子コイルとして特殊構造の３相扁平コイルを用いた場合を記載したが、他の汎用の３相コイルや２相コイル等を適宜使用することができる。また、上記態様では直方体形状の永久磁石を複数個連結して界磁用永久磁石を構成したが、これに代えて１個の長尺直方体形状の永久磁石を用いて適宜の着磁手段により上記態様と同様に多磁極を形成し磁気空隙を形成してもよい。
また、本発明に用いる永久磁石の形状は直方体に限定されず、磁気空隙を形成可能な他の形状（例えば台形状、リング形、扇形等。）のものを用いることができる。
また、上記態様では２つの磁気空隙を有する可動コイル型リニアモータを記載したが、磁気空隙を１つまたは３つ以上としてもよい。
また、上記態様では局部加熱冷却手段、局部加熱溶融凝固手段としてレーザ加熱を用いたが、これに代えて他の局部加熱手段（例えば、プラズマ加熱、高周波加熱、高温加熱体の接触加熱等。）を適宜適用できることは勿論である。
【００３０】
【発明の効果】
本発明は下記の優れた効果を奏し得る。
（１）カバー付設型の可動コイル型リニアモータであって従来のカバー無しの可動コイル型リニアモータと同一の磁気空隙の厚みとした場合に、従来のカバー無しの可動コイル型リニアモータと同等の大推力を得ることが容易である。
（２）大推力とともに、良好な推力のリニアリティを得ることができる。
（３）耐衝撃性に優れた可動コイル型リニアモータを提供できる。
（４）正弦波に非常に近い磁束密度分布を得る場合に、カバーおよび永久磁石を単純形状化できるとともに固定子の部品点数を削減できるので安価な可動コイル型リニアモータを提供できる。
（５）カバーの非磁性部分の極低温度域での存在安定性が大幅に向上し、極低温度域での可動コイル型リニアモータの用途拡大に大きく貢献するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  参考例のリニアモータにおける固定子の態様を示す要部断面図である。
【図２】  本発明のリニアモータにおける固定子の一態様を示す要部断面図である。
【図３】  参考例の可動コイル型リニアモータにおける固定子の他の態様を示す要部断面図である。
【図４】  本発明の可動コイル型リニアモータの一態様を示す要部断面図である。
【図５】  従来の可動コイル型リニアモータを示す要部断面図である。
【図６】  従来の可動コイル型リニアモータの固定子を示す要部断面図である。
【図７】  従来の可動コイル型リニアモータの固定子を示す要部断面図である。
【図８】  従来の可動コイル型リニアモータの固定子を示す要部断面図である。
【図９】  従来の可動コイル型リニアモータの固定子を示す要部断面図である。
【図１０】  磁気空隙におけるストローク方向の磁束密度分布を示す図である。
【図１１】  カバーの強磁性部のＢ−Ｈカーブを示す図である。
【図１２】  カバーの非磁性部のＢーＨカーブを示す図である。
【図１３】  本発明の加熱変成部に関わり、溶融凝固部（ａ）および加熱冷却部（ｂ）における顕微鏡写真である。
【図１４】  参考例の可動コイル型リニアモータにおける固定子のさらに他の態様を示す要部断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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