(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を搬送するための搬送装置であって、
少なくとも１つの物品を作業ステーション間で運ぶための、基部を有する搬送キャリヤと、
前記搬送キャリヤを支持するための支持レールと、この支持レールと平行で、且つ前記支持レールから間隔を隔てた、前記搬送キャリヤを案内するための駆動レールと、を有し、この駆動レールが前記搬送キャリヤを前記支持レールに沿って推進させるための駆動装置を含む、コンベヤー装置と、
前記搬送キャリヤに固定され、前記搬送キャリヤを前記支持レールで移動可能に支持するため前記支持レールに乗るように形成された、少なくとも１つのシューと、
前記搬送キャリヤを前記コンベヤー装置に沿って差し向けるためのディレクター組立体と、
を有し、前記ディレクター組立体は、前記搬送キャリヤの前記基部に係合するようになったディレクター駆動レール部分とディレクター遊びレール部分を含み、前記ディレクター駆動レール部分は、駆動ホイールを含み、前記搬送キャリヤを第１位置と第２位置との間で回転させるために上流の主コンベヤーと下流の主コンベヤーとの間で回転可能であることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記ディレクター組立体が、
搬送キャリヤに係合させるための駆動装置を含む、前記搬送キャリヤを案内し且つ回転させるための、移動可能なディレクター駆動レールと、
前記ディレクター駆動レールとほぼ平行で、且つ前記ディレクター駆動レールから間隔を隔てた、前記搬送キャリヤを支持するための固定ディレクター遊びレールと、
をさらに有する請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記移動可能なディレクター駆動レールが、前記移動可能なディレクター駆動レールを回転させるように形成されているローター組立体に取り付けられている、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記ローター組立体が、
全周にレースを有する固定基部と、
前記固定基部に取り付けられた、複数のアーム部材を有するローターと、
１つが各前記複数のアーム部材の各一端に取り付けられた複数のカム従属部と、
前記ローターに連結されたモーターと、を更に有し、前記モータが前記ローターを前記レースのまわりに回転させることができ、それによって前記移動可能なディレクター駆動レールを回転させることができる、
請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記ディレクター組立体が、
コンベヤーの駆動レール及び支持レールより下で、且つ前記コンベヤー装置の前記駆動レールと前記支持レールとの間に位置決めされ、前記搬送キャリヤを支持するために持上げられるように形成されている、一対の間隔を隔てたディレクターレールと、
前記搬送キャリヤに係合するように持上がり、前記搬送キャリヤを選択された位置まで回転させるように回転するローターを有するローター組立体と、
をさらに有する、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記ローター組立体が、
複数のアーム部材を有するローターと、
１つが各前記複数のアーム部材の各一端に位置決めされた複数の保持子と、
前記ローターを持上げるための昇降機構と、
前記ローターを選択された位置まで回転させるための回転機構と、
をさらに有する、請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記一対の間隔を隔てたディレクターレールに取り付られ、複数のねじ孔を形成した、平板を含むディレクターレールを昇降させるためのディレクターレール駆動装置と、
１つが平板の各孔部の中に位置決めされた複数の親ねじと、
前駆複数の親ねじのそれぞれを作動させて前記平板を昇降させ、それにより前記一対の間隔を隔てたディレクターレールを移動させるための、前記複数の親ねじそれぞれに連結されたタイミングプーリー装置及び連続ベルトを有するモータと、
を有する請求項５に記載の搬送装置。
【請求項８】
物品を搬送する方法であって、
少なくとも１つの物品を保持し、基部と、基部に固定された少なくとも１つのシューと、を有する搬送キャリヤを準備する段階と、
シューを前記支持レールに着座させるように、搬送キャリヤの基部をコンベヤー装置の駆動レール及び支持レールに位置決めする段階と、
支持レールとほぼ平行であり、且つ支持レールから間隔を隔てた駆動レールに搬送キャリヤの基部を位置決めする段階と、
駆動レールの駆動装置を作動して、搬送キャリヤを駆動レール及び支持レールに沿って、前記搬送キャリヤを前記コンベヤー装置に沿って差し向けるためのディレクター組立体まで推進させる段階と、を有し、前記ディレクター組立体は、駆動ホイールを含むディレクター駆動レール部分と、ディレクター遊びレール部分と、を含み、前記方法は、更に、
搬送キャリヤを前記ディレクター組立体のディレクター駆動レール部分とディレクター遊びレール部分から上昇させる段階と、
搬送キャリヤを前記ディレクター組立体のディレクター駆動レール部分とディレクター遊びレール部分に降ろす前に搬送キャリヤを選択位置まで回転させる段階と、
を有することを特徴とする方法。
【請求項９】
搬送キャリヤは、コーナー、カーブ、交差部、転轍器平行ストックゾーン、待機ゾーン、又はそれらのいくつかの組み合わせのいずれか１つに沿って向け直される、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記ディレクター組立体が、前記搬送キャリヤを、コーナー、カーブ、交差部、転轍器、平行ストックゾーン、待機ゾーン、又はそれらのいくつかの組み合わせのいずれか１つに沿って差し向ける、請求項１に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（本発明の詳細な説明）
本発明は、一般に、物品をステーション間で搬送する装置、特に、精密物品又は貴重物品の移動を安全に導くためのディレクターを有する搬送装置に関する。
【０００２】
（本発明の背景）
種々の分野では、精密物品又は貴重物品は、作業ステーション間等で、物品を損傷又は破壊することなく安全に搬送されなければならない。慎重な取扱いを要する物品が、限定されないが、薬剤、医療装置、平面ディスプレイ、例えばディスクドライブ装置、モデム等のコンピューターハードウェア、半導体ウェーハ、及びリソグラフィー焦点板を含む。
【０００３】
一般に、集積回路は、複数の層を半導体ウェーハのような基板に形成することによって製造される。様々な処理機械が個々の層を形成するのに使用され、ウェーハは典型的には、集積回路が完成される前にいくつかの異なる機械に配送される。ウェーハにフィルムを付着させるための装置に加えて、半導体ウェーハは、適当な装置によって、種々の段階で、洗浄され、調整され、又は測定される。技術の進歩とともに、集積回路は益々複雑になり、典型的には入り組んだ配線の多層を有する。集積回路の寸法は、減じ、単一のウェーハについてデバイスの数が非常に増している。集積回路の複雑さが増し、寸法が減少した結果、ウェーハが種々の処理段階を進むにつれて、半導体ウェーハの価値は実質的に増す。半導体ウェーハの標準直径は、数年後には２００ｍｍから３００ｍｍ以上にまで増すであろうし、さらに、単一のウェーハに形成される集積回路の数が増し、その結果、各ウェーハの価値が増す。損傷したウェーハがかなりの金銭的損失となり得るので、特に後処理段階中半導体ウェーハを取り扱うときにはかなりの注意をしなければならない。ウェーハに付着した層の純度を保つため、半導体ウェーハは、粒子汚染の実質的にないクリーンルーム環境に保持されなければならない。クリーンルーム環境の要求は、半導体ウェーハの取扱いの際、追加強制をする。
【０００４】
汚染に対する追加の保護について、半導体ウェーハを製造設備全体にわたって移動させるとき、半導体ウェーハは、典型的には、ポッドのような密閉された搬送容器内に保持され、処理機械の外側の環境への露出を最小にする。製造設備は、通常、各々いくつかの処理機械を含む複数のベイにまとめられる。ポッド内のウェーハが１つ又は２つ以上の機械で処理された後、ポッドは、ベイを出て、次の処理ベイに搬送される。かくして、製造設備には本質的に２つのタイプの搬送ループ、すなわち、ポッドをベイ間で移動させるベイ間ループ、及びポッドを単一のベイの処理機械間で移動させるベイ内ループがある。また、これら２つのタイプの搬送ループを合体させて、（２つの間のストッカーの受け渡しを除去する）適当な制御及び移送機構を備えた１つの一体をなす装置にすることが可能である。いずれの場合においても、容器を具合良く、安全に、且つ効率的に扱い且つ搬送するように使用される搬送装置が望ましい。また、処理ベイでの機械の利用を最大にする搬送装置が望ましい。
【０００５】
ポッドを製造設備のベイ間ループに沿ってベイからベイへ搬送するのに、種々の搬送装置が採用されてきた。製造設備のベイ間ループ内の交通量のため、ベイ間搬送が、代表的には天井搬送装置によって成し遂げられる。ポッドは、ポッドを受け、そしてポッドをベイ内ループに自動的に運ぶ、しばしば「ストッカー」と呼ばれる、ロボット保管ハウスに運ばれる。或る装置では、ベイ間搬送装置は、装置間の直接移送用のベイ内搬送装置に連結される。しかしながら、互換性のある天井搬送装置がベイ内ループに使用されるときにのみ直接移送を行うことができる。
【０００６】
ベイ内で、搬送ポッドは機械から機械へ運ばれ、そして、ウェーハが処理機械によってポッドから荷降ろしされる位置へ配送されなければならない。機械入口にはしばしば、ウェーハを保護環境内で搬送ポッドから自動的に取り出すことのできるロードポートが設けられている。ポッドをロードポートへ移送することは、ポッドをベイ間コンベヤーとベイとの間で移動させるよりも、ポッドについて高い正確さと制御を必要とする。搬送ポッドをベイ内の異なる処理機械間で移動させるのに、種々の方法が採用される。例えば、多くの装置が、搬送ポッドをカートを使用してポートからポートへ移送するのに人的作業者に頼っている。作業者は手作業でポッドをポートへ持上げる。変形例として、作業者は手動ロボットリンク又は他の昇降装置を作動し、ポッドをポートへ移動させ、処理が完了した後、搬送ポッドをカートへ戻す。次いで、作業者はカートを次ぎの機械へ移動させて、処理を繰り返す。ポッドを機械から機械へ搬送するのに人的作業者に頼るのは、時間の浪費であり、効率が悪い。しばしば、作業者は手で新しいウェーハのポッドをロードポートに位置決めすることができず、機械は、機械が作動している時間と処理工場の全効率とを低下させる待機モードにあるであろう。さらに、ポッドを落下させたり、ポッドを強い衝撃にさらすと、ウェーハが損傷し、数百万ドルの損害にまで至るので、昇降装置を確実に、ロードポートと正しく整列させるように気を付けなければならない。搬送ポッドを機械間で自動的に移動させる装置が望ましい。
【０００７】
ベイ内搬送の他の装置が、ポッドを機械間で運び、ポッドをロードポートへ移動させる自動案内運搬手段（ＡＧＶｓ）に頼る。自動案内運搬手段を使用することによって、ベイの作業者の必要性が減少し、ポッドをベイの中で移動させる速度を増す。しかしながら、ベイの寸法は、単一ベイ内で作動する自動案内運搬手段の数を制限し、機械を、自動案内運搬手段が、処理したウェーハのポッドを取り出し、新しいウェーハのポッドを移送ベイに置くのを待つ待機モードにする。機械を待機状態にさせずに、ポッドを迅速に配送し、ポッドを処理機械から取り出すように使用される自動装置が望ましい。
【０００８】
また、天井モノレール装置が、ポッドをベイ内ループに沿って搬送するのに使用される。ホイスト又はこれに似た装置が、ポッドを処理機械のロードポートに下げるのに使用される。ポッドをモノレールから機械へうまく搬送するために、ポッドの振れを最小にするように制御された方法で、ポッドをロードポートと正確に整列させ、且つポートへ下げなければならない。処理後、ポッドを持ち上げて、次の機械へ搬送する。ポッドの反復昇降は興味深い。ロードポートへ直接、効率的な移送のために、ポッドを位置決めする自動コンベヤー装置が望ましい。
【０００９】
材料を搬送するための搬送装置がよく知られている。標準の搬送装置の例は、物品が複数の回転ローラー又はホイールを横切って搬送される、コンベヤーベルト装置及びローラー装置を有する。これらの装置は、有用な搬送手段をたいていの状況においてもたらすが、ポッドをクリーンルーム環境内で搬送するには適当でない。さらに、これらの装置は、ポッド内でのウェーハの移動を防止するのに必要とされるポッドの加速及び減速を正確に制御できない。
【００１０】
クリーンルームの使用に合った他のタイプの搬送装置が、１対の間隔を隔てたレールを含み、各レールは、物品を支持し、物品をレールに沿って推進するための駆動装置を有する。２つの駆動装置間の競合により、物品を、それがレールに沿って移動するときに、震動させる。この搬送装置の修正例が、一方のレールに駆動装置を有し、他方のレールに案内ホイールを有し、物品をレールに沿って自由に移動させる。駆動装置、搬送ポッドの案内ホイール及び装置がきちんと水平な整列状態になければ、案内ホイールは、物品をわずかに傾かせ、その結果、各案内ホイールはわずかな衝撃を物品に与える。これらの悪影響は、ほとんどの物品にとってわずかな不都合であるが、振動は、搬送ポッドによって運ばれる、精密な、高価な半導体ウェーハに悪影響を及ぼす。半導体ウェーハを安全に且つ保護して搬送するための搬送装置が望ましい。
【００１１】
前述の問題は、搬送キャリヤがコンベヤー装置のカーブ及び又は交差部に向け直されるときに、さらに複雑になる。スペースがしばしば貴重であり、かくして、搬送装置が、床スペースをよりよく利用するためにターン等を含むことが望ましい。搬送装置が直線部分のみを有するのは実用的でない。さらに、搬送キャリヤを種々の方法で製造設備内の異なる場所へ差し向けるように、搬送装置が交差部を備えるのが望ましい。さらに、転轍器、平行なストック及び待機ゾーンを使用してもよい。このようなカーブ及び交差部が、搬送装置に不連続部を導入し、かくして、精密物品の慎重な移動と関連した付随問題のすべてを付加する。従って、半導体ウェーハの移動を、例えば、コーナー、カーブ、及び交差部に、安全に且つ保護して搬送及び向け直すための搬送装置が望ましい。
【００１２】
（本発明の概要）
要するに、本発明は、ディレクターを有するコンベヤー装置を含む、物品を搬送するための搬送装置、及び物品の移動をコンベヤーに沿って搬送及び向け直す方法を提供する。搬送装置は、１つ又は２つ以上の物品を運ぶための物品搬送キャリヤ（搬送キャリヤとも呼ばれる）を有する。搬送キャリヤは、限定されないが、物品を収容する搬送ポッドのような容器を運んでも良いし、或いは搬送キャリヤは物品を直接運んでも良い。コンベヤー装置はまた、搬送キャリヤを支持するための駆動レール及び支持レールを有する。駆動レールは、搬送キャリヤを作業ステーション間で推進するための駆動装置を有する。ホイール、溝、又は固定支持体のような少なくとも１つのシューが搬送キャリヤによって担持される。シューは、搬送キャリヤを支持レールで移動可能に支持するための支持レールに乗るように形成される。
【００１３】
搬送キャリヤを差し向けるためのディレクター組立体が、コンベヤー装置に沿って位置決めされる。一般に、必ずではないが、ディレクター組立体はコンベヤーの不連続部に位置決めされる。用語「不連続部」は、コンベヤーの経路のいかなる中断部又は変化部に言及するようにここで広く使用される。コンベヤーの中断部又は変化部、及びこのような不連続部は、限定されないが、コーナー、カーブ、三方または四方交差部のような交差部、転轍器、平行なストック及び待機ゾーン、ベイ間とベイ内との接続部、コンベヤーと作業ステーション又は他の位置との接続部を含む。本発明の一実施形態では、ディレクターは、一方がディレクター駆動レールであり、他方がディレクター遊びレールである、２つの間隔を隔てたディレクターレールを有する。前記レールの一方は、前記搬送キャリヤを支持し、且つ回転させるための可動式のレールである。一実施形態では、ディレクター駆動レールは移動可能であり、搬送キャリヤに係合するための駆動装置を有する。ディレクター遊びレールは固定され、搬送キャリヤを支持するための前記ディレクター駆動レールと平行で、且つ前記ディレクター駆動レールから間隔を隔てている。ローター組立体が可動式のレールを回転させる。
【００１４】
本発明の他の実施形態では、ディレクター組立体は、コンベヤーの駆動レール及び支持レールより下で、且つコンベヤーの駆動レールと支持レールとの間に位置決めされた１対の間隔を隔てたディレクターレールを有する。間隔を隔てたディレクターレールは、搬送キャリヤを支持するために持上げられるように形成される。ローターを有するローター組立体が、搬送キャリヤに係合するように上昇し、搬送キャリヤを選択された位置まで回転させるように回転する。
【００１５】
本発明の方法は、少なくとも１つの物品を運び、且つ基部及び少なくとも１つのシューを有する搬送キャリヤを準備する段階、搬送キャリヤの基部が駆動レールで支持され、搬送キャリヤによって担持されたシューがコンベヤー装置の支持レールで支持された状態で搬送キャリヤを位置決めする段階、駆動レールによって担持された駆動装置を作動し、搬送キャリヤを駆動レール及び支持レールに沿って推進させる段階、搬送キャリヤの移動をコンベヤー装置に沿って向け直す段階、を含む。
【００１６】
本発明のさらなる目的及び特徴は、図面とともに、以下の詳細な説明及び添付の請求の範囲から、もっと容易に明らかになる。
【００１７】
（本発明の詳細な説明）
今、本発明の詳細な説明を、添付図面を参照した記述する。今、同じ構成部品が種々の図全体を通して同じ参照番号で示されている図面に目を向けると、図１に着目する。
【００１８】
図１は、各処理機械１６を有するベイ１８のありうる例を示す。半導体処理の分野では、製造設備は、典型的には、各々いくつかの処理機械又は作業ステーション１６を有する複数のベイの中にまとめられている。処理機械は、限定されないが、フィルムをウェーハに付着させるための装置、種々の段階としてウェーハを洗浄し及び又は調整し及び又は測定するための装置等を含む。ベイは、一般的に物品１２をコンベヤー１４と作業ステーション１６との間で移送するための移送組立体１０を含む。作業ステーション１６への入口は、しばしばロードポート２２を有し、そこで物品は搬送キャリヤから自動的に取り出される。図示した本発明の実施形態で説明される適用では、移送組立体１０は、１つ又は２つ以上の半導体ウェーハＷを収容するポッド又は他の容器を含む搬送キャリヤをコンベヤーと作業ステーションとの間で移動させるのに使用される。しかしながら、移送組立体１０は、半導体処理の使用に限定されないことを理解すべきである。移送組立体は、他のタイプの材料、特に、薬剤、医療装置、平面ディスプレイ、ハードディスクドライブ、他の種類のコンピュータ部品及び装置、リソグラフィー焦点板等の取扱いにおいて十分な注意を要する特に細かな材料を移送するのに使用される。本発明の移送組立体及びディレクターは、半導体ウェーハ又は他の生産品を容れる容器、荷運び台、又は、別の搬送キャリヤを要せずコンベヤーで直接搬送される物品を含むが限定されない、いかなるタイプの物品についても使用されることを理解すべきである。
【００１９】
コンベヤー１４は、物品１２を作業ステーション１６から作業ステーション１６へ移動させる。図１の例示的な実施形態では、コンベヤー１４はベイ１８のまわりの連続経路に配置される。駆動レール１２及び遊びレール１４は、ポッド８をループ１８の一方から他方へ移送するのに使用される１つ又は２つ以上の十字部分１９を有するベイ内ループ１８に配置され、ポッドが全ループを移動しなくてもよいので、キャリヤ８の移動に、より大きな自由度をもたらす。この配置は、繰り返しの処理機械を有する製造設備において有用である。しかしながら、各キャリヤを各処理機械に連続して供給しなければならないベイについては、簡単な連続ループが、ベイ内ループ１８の中間部を点検及び保守の通行に障害がないものにするので、好ましい。コンベヤー１４の他の経路形態は、１つ又は２つ以上の交差部、すなわちＴ字型部分２１を含む。このような形態は、主ループの通行の流れを中断せずにキャリヤを主コンベヤループから一時的に取り外すための保持領域として、ベイ１８の他の領域への近道として、他のベイへの経路として、使用される。さらに、他の経路形態は、転轍器、平行なストック及び待機ゾーンの利用を含む。コンベヤー１４の形態は、特別な製造設備の設計及び又は制限によってかなりの種類を必要とする。ベイ内コンベヤー２０はキャリヤをベイ間で搬送し、同時にストッカー２４はキャリヤをベイ間コンベヤー２９とコンベヤー１４との間で移送する。
【００２０】
ベイ内ループ及びベイ間ループの一部分を図２に示す。用語ベイ内ループ及びベイ間ループは、搬送ループを説明するのに産業界で使用されているが、これらの２つのタイプの搬送ループを合体させて適当な制御及び移送機構を備えた１つの一体をなす装置にすることが可能である。いずれの場合にも、以下に、より詳細に説明するように、コンベヤー装置１０は、複数の搬送ポッド１２又は他の搬送キャリヤを同時に搬送するのに特に適している。８つのキャリヤ８を図２に例示のために示す。しかしながら、コンベヤー装置１４によって運ばれる搬送キャリヤ８の数を劇的に増しても良いことを理解すべきである。図２に示す例では、駆動レール１２及び遊びレール１４は、１つ又は２つ以上の交差十字部２１、及び１つ又は２つ以上のＴ字型交差部２３を含むベイ内ループ１８に配置され、そこでポッドが交差部に差し向けられ或いは鋭いコーナー又は急カーブに差し向けられる。コンベヤーのこのような不連続部を通過させるために、発明は本発明のディレクターを採用する。
【００２１】
本発明のコンベヤー組立体及びディレクターは、特許出願第０９／１０３４７９号に示すタイプのコンベヤー装置に使用するのに特に適しており、その特許出願の全開示をここに援用する。図３ａ及び図３ｂに示すように、コンベヤー装置の部分が、一般的には、搬送キャリヤ１２をコンベヤー経路に沿って移動させるときに搬送キャリヤ１２を支持するための１対の間隔を隔てたレール３２及び３４を有する。レール３２は、搬送キャリヤ１２をレール３２及び３４に沿って推進し且つ選択的に案内する駆動レールとして機能する。キャリヤ１２を移動させるための推進力は、駆動レール３２によって与えられる。動力が在来の手段によって駆動レール３２に与えられる。変形例として、動力がパワーバス（図３ａに図示）によって駆動レール３２に与えられる。レール３４は遊び又は支持レールである。遊びレール３４は、搬送キャリヤをコンベヤー経路にそって移動させるときにキャリヤが水平な向きに保持されるように搬送キャリヤを支持する。また、コンベヤー装置１４は、物品を移動させるための搬送キャリヤを有する。本実施形態では、搬送キャリヤは物品を収容する。変形実施形態では、搬送キャリヤは、物品を収容する容器又はポッドのような他の装置、又は空の容器をも運ぶ。
【００２２】
駆動レール３２は、キャリヤ１２をレール３２及び３４に沿って推進させるための、全体的に３６で表される、駆動装置を有する。図示した本発明の実施形態では、駆動装置３６は駆動レール３４の上面から突出した複数のホイール３８を有する。駆動ホイール３８は搬送キャリヤの下側に摩擦係合して、キャリヤを駆動レール３２に沿って推進させる。また、駆動装置３６は、ホイールに連結されたモータ及びベルト等のような、ホイールを駆動するための手段を有する。好ましくは、モータは独立して作動し、複数の独立に制御される駆動ゾーンを提供し、各ゾーンの駆動速度及び方向（前進又は後退）が独立に制御される。隣接した作動ゾーンのホイール３８は、移送時に隣接したゾーンのホイールによって搬送キャリヤに負された速度をゾーン間の移送時に同期させるように、加速されたり、減速されたりする。キャリヤがコンベヤーに沿って推進されるとき、キャリヤの真下の作動ゾーン及びキャリヤに隣接した１つ又は２つ以上のゾーンのみが、いつでも作動運動状態にある。このことによって、装置の電力消費が低減し、装置３６の運転寿命が延びる。他のキャリヤの下及びこれに隣接した駆動ゾーンは、静止モード（ときには不作動モードと呼ばれる）に保持され、複数のキャリヤを作業ステーション１６の１つの前のようなコンベヤーの領域内にためさせる。駆動装置３６の作動は、制御装置で制御される。好ましい実施形態では、制御装置は、コンベヤーに沿うポッドの進行を監視する１つ又は２つ以上のセンサーを有する。
【００２３】
図４ａ及び図４ｂに示すように、駆動ホイール３８は、搬送キャリヤ１２と協働して、キャリヤをコンベヤー経路に沿って推進し、選択的にこれを案内する。駆動ホイール３８は、キャリヤの下側に形成された溝４０、又は他の適当な装置に係合する。溝４０は、キャリヤが駆動ホイール３８に着座する水平軸線を定める。駆動ホイール３８と溝４０との間の係合は、キャリヤの横移動、すなわち左右の移動並びにキャリヤの垂直移動を制御する。溝４０と駆動ホイール３８の組み合わせが好ましいが、キャリヤがレール３２及び３４に沿って移動するときに、搬送キャリヤ、駆動レール３２又は遊びレール３４がキャリヤを案内するための案内手段を有する場合には、溝４０を完全に除去しても良いことを理解すべきである。
【００２４】
遊びレール３４は、駆動レール３２に平行で、且つ駆動レール３２から間隔を隔てている。１つ又は２つ以上のコネクター４４が、駆動レール３２及び遊びレール３４に取り付けられ、レールの間に所定の間隔を維持し、且つコンベヤーの取付けを容易にする。駆動レール３２及びコネクター４４は、適当な取付フレームに取り付けられても良いし、或いは頭上フレーム（図示せず）によって天井から吊るされても良いし、或いは処理工具作業ステーションによって直接的に或いは間接的に支持されても良い。キャリヤは遊びレール３４の上面に沿って乗り、遊びレール３４は搬送キャリヤと協働して搬送ポッドの片側を支持する。例示の実施形態では、キャリヤにより平滑な乗りをも与えるためにパッド又はクッション材料４６がレール３４の上面に沿って設けられるが、所望ならばパッド４６を省き、キャリヤがレール３４の上面に直接乗っても良い。変形例として、パッド、クッション、又は弾性材料を駆動ホイールの外周に組み込んでも良い。搬送キャリヤによって支えられる少なくとも１つのシュー４８（この場合搬送キャリヤ）が、遊びレール３４の上面に沿って乗る。好ましくは、シュー４８は図３ａ及び図４ａに示すように、ホイールによって与えられる。図３ｂ及び図４ｂに示す変形実施形態では、シュー４８は固定支持体４９によって与えられる。本実施形態では、遊びレール３４は、固定支持体４９を支持するための複数のローラー４１を有する。ローラー４１は、固定支持体４９を搬送キャリヤの下側で支持し、キャリヤが遊びレール３４に沿って移動するときにキャリヤを支持する。好ましくは、固定支持体４９は、減摩プラスチック面を有する。シュー４８の２つの実施形態を説明したが、シュー４８は、空気軸受又は磁気浮上軸受を含むが、これに限定されない、他の形態をとっても良いことを理解すべきである。さらに、他の実施形態では、遊びレール３４は、搬送キャリヤを案内並びに支持する。案内を行うために、シュー４８又は遊びレール３４は案内装置を有する。案内装置が遊びレールの中に組み込まれている一例は、Ｖ−レールの使用である。変形例として、シュー４８は案内装置を有する。例えば、シュー４８を、溝を形成した固定支持体によって与えてもよいし、或いは遊びレール３４に設けられたローラーに係合するキャリヤの面に溝を形成してもよい。シューの特定な実施形態を説明する一方で、シュー４８は、支持機能、又は支持及び案内機能を搬送キャリヤにもたらす多くの他の形態をとっても良いことを理解すべきである。キャリヤがコンベヤー１４に沿って推進されるとき、シュー４８は遊びレール３４に沿って乗り、キャリヤのがたつき、上下動、又は振動を最小にする方法でキャリヤを支持し、ポッドを平滑な制御方法で移動させる。
【００２５】
好ましい実施形態において、移送組立体１０は、特許出願第０９／１０３４７９号のコンベヤー装置について使用されているが、移送組立体１０を他のタイプのコンベヤーについて採用しても良いことを理解すべきである。
【００２６】
図５乃至図９は、本発明の一実施形態によるコンベヤーディレクター組立体を有するコンベヤー装置１０の部分を示す。特定な利点のうち、コンベヤー装置１４は、物品又は、１つ又は２つ以上の物品を収容する物品搬送キャリヤを、例えばコンベヤー経路の不連続部に差し向けるための、安全で効率的な搬送機構を提供する。特に、図５乃至図９に示すように、コンベヤー経路は、不連続部のような向き直り経路を有する。上述のように、不連続部を、交差部、カーブ、コーナー等のような、コンベヤー経路における変化部又は中断部と、ここでは広く定義する。図１及び図２に示すように、交差部は、四方十字型交差部、または三方「Ｔ字型」交差部を含むことがある。コーナー及びカーブの不連続部は、角度が広く変化する。図示の実施形態では、鋭い直角のコーナーが示されているが、半径又はたまりコーナーのような他の角度のコーナー及びカーブを使用してもよい。さらに不連続部は、転轍器、平行なストック又は待機ゾーン、及びベイと作業ステーションとの間の接続部を含む。
【００２７】
本発明の一実施形態によれば、コンベヤー経路に沿う、且つ直角コーナー５０を通る搬送キャリヤの進行を、図５乃至図９を参照して示す。図５では、主コンベヤーと呼ばれるコンベヤーに沿って移動する搬送キャリヤ１２が、上述の駆動レール３２及び遊びレール３４によって支持されそして推進される。搬送キャリヤをコーナーに差し向けるために、コーナーにおいて主コンベヤーの経路に配置されたディレクター組立体５２にキャリヤが位置決めされる。すなわち、ディレクターは、コンベヤー経路及び搬送キャリヤの向け直しが望まれる位置にある。この場合の不連続部又はコーナーの上流の主コンベヤー部分は上流コンベヤー３７と呼ばれ、一方、不連続部の下流の主コンベヤー部分は下流コンベヤー３９と呼ばれる。もちろん、これらの称呼は、搬送キャリヤの移動方向に応じて逆転する。
【００２８】
ディレクター組立体５２は、コンベヤーのフレームのようなフレームに取り付けられ、そして一般に、ディレクター駆動レール部分５４、ディレクター遊びレール部分５６、及びローター組立体５８を有する。この例では、ディレクター遊びレール部分５６は固定され、キャリアを新たな移動方向に主コンベヤーに沿って推進するようにカーブする。ディレクター遊びレール部分５６のカーブは、一般にターンの円周に形成される。ディレクター駆動レール部分５４は、図７に示すように移動でき、そして旋回又は回転して、搬送キャリヤーを向け直す。本実施形態では、コンベヤーの駆動側は、ターンの内側にあり、かくして内側ディレクターと呼ばれる。ディレクター駆動レール部分は、ディレクター駆動レール部分の上面から突出した複数の駆動ホイール５７を有する。駆動ホイール５７は、形態及び機能が主コンベヤーの駆動レール３２のホイール３８と実質的に同じである。ホイール５７は搬送ポッドの下側に摩擦係合して、ポッドをレール５６に沿って推進する。ディレクター駆動レール部分の駆動ホイール５７は主コンベヤーの駆動装置３６と実質的に同じ駆動装置によって駆動される。
【００２９】
図８に示すように、ディレクター駆動レール５４は回転し、ついには、下流の主コンベヤー３９の駆動レールに当接する。この時点で、搬送キャリヤの向け直しが完了し、搬送キャリヤは図９に示すように主コンベヤー３９の下流側に沿って推進される。ディレクター駆動レール部分５４は図１０により詳細に示したローター組立体５８によって回転させる。ローター組立体５８は基部６０を含み、レース６１が基部の周囲に形成される。ローター６２が、基部６０に取り付けられる。ローターは３つのアーム部材６３を有し、これらのアーム部材は各アーム部材６３の端部にカム従動子６４を有する。図示の実施形態では、３つのアーム部材６３が使用され、且つ３６０度の円周のまわりに等間隔をなしている。しかしながら、異なる数及び方向を使用してもよい。モータ６５がロータを駆動する。ローターが回転すると、カム従動子がレース６１に沿って回転し、レース６１によって拘束される。ディレクター駆動レール部分５４は、ロータが回転すると回転するローター６２に取り付けられる。
【００３０】
本実施形態では、ディレクター駆動レール部分５４は全９０度回転する。搬送キャリヤがコンベヤーの上流位置にあるとき、ディレクター駆動レール部分５４は、レール５４の一端が主コンベヤーの上流駆動レール３２に当接するように位置決めされる。このことにより、ディレクター組立体は搬送キャリヤを受け入れることができる。搬送キャリヤがディレクター駆動レール部分５４へ移動した後、レール５４が回転し、レール５４の他端が主コンベヤーの下流駆動レール３２に当接する。かくして、ディレクター駆動レール部分５４は、一度に主コンベヤーの片側のみに接合する。
【００３１】
ローター組立体５８は駆動装置によって駆動される。駆動装置（図示せず）は、以下に説明するローター組立体７８用の駆動装置と実質的に同じであり、一般にモータ６５、タイミングプーリー、連続ベルト、及びラジアル軸受を有する。ラジアル軸受及びベルトは基部６０に対して固定される。モータはタイミングプーリー及び連続ベルトによってローターに連結されている。モータ及びベルトは固定中心線を中心に回る。
【００３２】
図示されていないが、ローター組立体５８及びモータ６５は、ディレクター組立体の作動及び操作を制御する制御装置に連結されている。好ましくは、制御装置は、操作を同期させるためにコンベヤー１４の制御装置に連結されている。制御装置は、ローターの回転角度をも制御する。制御装置は、特許出願第  号（代理人管理番号第  号）に完全に記載されており、その特許出願の全開示をここに援用する。
【００３３】
本発明のディレクターの他の実施形態を図１１乃至図１７に図示する。本実施形態では、コンベヤーの駆動側は、回転の外側に向かって位置決めされ、かくしてディレクターを「外側ディレクター」と呼ぶ。コンベヤーに沿う、そしてコンベヤー経路の不連続部を通る搬送キャリヤの進行。不連続部は、図１１乃至図１５に示すように９０度の直角ターンである。図１１に示すように、搬送キャリヤは、主コンベヤー、すなわちディレクター組立体７０の上流に沿って移動し、駆動部３２及び遊びレール３４によって支持される。搬送ポッドは、コーナーを曲がるために、ディレクター組立体７０の上へ移動する。キャリヤは、ディレクター駆動レール部分７２に含まれる駆動ホイールによってディレクター組立体７０の上へ推進される。ディレクター組立体の１つ又は２つ以上のセンサー（図示せず）が、いつキャリヤがディレクターに位置決めされるかを検出し、上述したものと同様な制御装置が駆動ホイール停止操作を合図し、ポッドは図１２に示すように停止部に来る。
【００３４】
搬送キャリヤを回転させるために、ディレクター７０は図１３及び図１４に図示するように、ポッドを外方に旋回又は回転させる。すなわち、不動レールを中心に回動ターンがある。例示の実施形態では、搬送キャリヤを９０度だけ回転させる。しかしながら、搬送キャリヤを任意所望な角度だけ回転させても良い。いったん搬送キャリヤが向け直されると、ディレクターレール部分７２の駆動ホイールは、再びポッドの下側に係合し、図１５に示すように、ポッドを下流コンベヤーに沿って推進させる。
【００３５】
外側ディレクター組立体７０は、コンベヤーのフレームに取り付けられ、全体的に、ディレクター駆動レール部分７２と、ディレクター遊びレール部分７４と、ローター組立体７６と、を有する。ディレクター遊びレール部分７４は固定され、そして一般に、丸み部分を有するＬ形に形成される。このことにより、キャリヤの下側のシューを、回転中、接触状態のままにすることができ、且つディレクター遊びレールによって完全に支持することができる。ディレクター駆動レール部分７２は移動でき、図１４に示すように旋回又は回転して、搬送キャリヤを向け直す。搬送キャリヤが上流コンベヤーからディレクターの上へ移動するとき、ディレクター駆動レール部分７２の一方の側が上流コンベヤーの駆動レールの隣りに位置決めされる。ディレクター駆動レール部分７２が回転して、キャリヤを回転させると、レールは、他方が下流コンベヤーの駆動レールの隣りに位置決めされて静止する。ディレクター駆動レール部分７２はローター組立体７８によって回転される。図１６及び図１７に示すように、ディレクター駆動レール７２はローター組立体７８に固定して取り付ける。ローター組立体７８は、固定基部８０を含み、この固定基部８０は、基部８０の内周に沿って形成されたレース８１を有する。基部はコンベヤーのフレームに固定される。ローター８２が基部の上に取り付けられる。本実施形態では、ロータは３つの外方に突出したアーム部材８３を有する。例示の実施形態では、アーム部材は１２０度の角度に間隔を隔てられているが、いかなる角度をも使用することができる。カム従動子８４が３つのアーム部材８３の各端部に取り付けられている。ローターが回転すると、カム従動子はレース８１に沿って移動する。カム従動子により、ディレクター駆動レール部分７２が回転するピボット点を、ディレクター駆動レール部分７２が回転するにつれて変化させる。本実施形態では、ディレクター駆動レール部分７２は、全９０度回転する。
【００３６】
ローター組立体７８は、図１７に一部切除した図で、駆動装置によって回転される。駆動装置は、モータ８６と、タイミングプーリー８７と、連続ベルト８８と、ラジアル軸受８９とを有する。ラジアル軸受８９及びベルト８８は基部８０に対して固定されている。モータはタイミングプーリー８７及び連続ベルト８８によってローターに連結されている。ローターを回転させるため、タイミングプーリー８７を回し、タイミングプーリー８７は、連続ベルト８８をラジアル軸受８９を中心に回転させる。ローターが回転すると、ローターアームの端部のカム従動子はレース８１のまわりを回転し、それにより、ピボット点を、ローターが回転するにつれて変化させる。ディレクター駆動レール部分７２はローターに固定され、ローターといっしょに回転する。図示されていないが、ローター組立体及びモータ８６は、ディレクター組立体の作動及び操作を制御する制御装置に連結されている。好ましくは、制御装置は、操作を同期させるためにコンベヤー１４の制御装置に連結される。制御装置は、ローターの回転角度をも制御し、そして、特許出願第  号（代理人管理番号第  号）にもっと完全に記載されており、その特許出願の全開示をここに援用する。
【００３７】
本発明のディレクターの更に他の実施形態を図１８乃至図２９を参照して示す。本実施形態では、ディレクターは、コンベヤー経路の交差部に配置され、そして「交差部ディレクター」と呼ばれる。四方交差部が示されているが、交差部を三方交差部で構成することもできる。本交差部ディレクターの実施形態では、主コンベヤーラインは主コンベヤー９０と定義され、一方、交差部コンベヤーラインは「スパー（ｓｐｕｒ）」コンベヤー９２と呼ばれる。同様に、上で定義したように、主コンベヤーとスパーコンベヤーの両方は、不連続部及びキャリヤの移動方向に関して定義される上流部分及び下流部分を有する。
【００３８】
コンベヤー経路に沿い、且つ交差部への搬送キャリヤの進行を図１８乃至図２１に示す。搬送キャリヤは、前に説明したように、駆動レール３２及び遊びレール３４によって支持され、主コンベヤー９０に沿って移動する。キャリヤが交差部に近づくと、キャリヤは交差部に真っ直ぐ差し向けられても良いし、或いはスパーコンベヤーに沿って右又は左に差し向けられても良い（右及び左の意味は主コンベヤー及び主コンベヤー上のキャリヤの移動方向に関してである）。図示した実施形態では、キャリヤはスパーライン９２に沿って左へ差し向けられる。特に、キャリヤは停止し、ディレクター組立体１００の上に位置決めされる。ディレクター組立体は、以下で詳細に説明するように、主コンベヤーラインの下に、且つ主コンベヤーラインの間隔を隔てたレール３２とレール３４との間に位置決めされる。次いで、ディレクター組立体１００は、図２０に示すように、キャリヤを９０度だけ回転させ、次いで、ディレクターの駆動ホイールは、キャリヤの下側に係合し、図２１に示すように、キャリヤをスパーコンベヤーの駆動ホイール上へ推進させる。駆動ホイールの方向が逆転すると、キャリヤは反対方向に（すなわち、右に）スパーコンベヤーに沿って移動する。図１８に示すように、スパーコンベヤー９２の遊びレール３４は、主コンベヤー９０の駆動レール３２及び遊びレール３４に当接する１つ又は２つ以上のローラー３５ａ及び３５ｂを有する。ローラー３５ａ及び３５ｂは、キャリヤがスパーコンベヤー９２の上へ推進されるとき、キャリヤが主コンベヤー９０とスパーコンベヤー９２との間の間隙を横切るのを助けるのに使用される。
【００３９】
交差部ディレクター組立体１００を図２２に更に図示する。ディレクター組立体１００は、駆動レール３２と遊びレール３４との間でコンベヤーより下に位置決めされているので、搬送キャリヤは、所望ならば、交差部を向きを変えずに真っ直ぐ通っても良い。ディレクター組立体１００は、間隔を隔てたディレクター駆動レール部分１０２及びディレクター遊びレール部分１０４と、レール駆動装置１０６と、ローター１１０を有するローター組立体１０８を含む。一般に、レール１０２及び１０４はレール駆動装置によって持ち上げられたり引込められたりする。ローター組立体１０８は、ローター１１０を持ち上げ、引込ませ、且つ回転させるように働く昇降機構及び回転機構を有する。ポッドを向け直そうとするとき、ローター１１０はポッドに係合し、ポッドを持ち上げ、ポッドを新たな方向に回転させる。次に、ディレクター駆動レール１０２及びディレクター遊びレール１０４は、それらが主コンベヤーのレール３２及び３４と実質的に面一になるように伸長される。好ましくは、レール１０２及び１０４は一斉に伸長される。一旦、ポッドが所望の向き直し位置に回転されると、ローター組立体はポッドを伸長したディレクターレール１０２及び１０４の上へ降ろす。今やポッドはディレクターレールによって支持される。ディレクター駆動レール１０２は作動され、ポッドの下側に係合するように作用し、ポッドをスパーコンベヤーに沿って新たな方向に推進させる。
【００４０】
ディレクター組立体１００のより詳細な図を図２２乃至図２９に示す。図２２及び図２３は、ディレクター組立体１００を引っ込んだ位置で示す。ディレクター駆動レール１０２及びディレクター遊びレール１０４と、ローター１１０の両方が引っ込められている。ディレクターレール１０２及び１０４はレールより下に位置するフレームボディ１１２によって支えられている。ディレクター駆動レール１０２及びディレクター遊びレール１０４はレール駆動装置によって一斉に伸長される。レール駆動装置は、平板１１４と、複数の親ねじ１１５と、モータ装置１１６と、を有する。ディレクター駆動レール１０２及びディレクター遊びレール１０４は平板１１４に取り付けられる。平板１１４は、親ねじと螺合する複数のねじ孔１１７を有する。モータ１２０が連続ベルト１１８及びタイミングプーリー１２０ａ，１２０ｂ及び１２０ｃ（図２４）を介して親ねじ１１５を駆動して、プレート１１４をねじ孔１１７を介して伸長させたり引っ込めたりして、それによって駆動レール１０２及び遊びレール１０４を昇降させる。遊びプーリーが、ベルトを張力状態に保つために採用される。図示した実施形態では、３つの親ねじ１１５が示されているが、任意適当な数を使用しても良いことを理解すべきである。また、１つの昇降機構を示しているが、ディレクターレールを昇降させるのに他のタイプの昇降機構を採用しても良いことを当業者は理解すべきである。
【００４１】
ポッドを回転させるために、ローター組立体１０８が図２５乃至図２９に示すように採用される。ローター組立体１０８は、ローター１１０を収容するハウジング１０９と昇降回転機構とを有する。ハウジングはコンベヤーのフレームに固定して取り付けられる。原理的には、ローター組立体は、搬送キャリヤを持上げて所望の向き直し位置に回転させるように作動する。ローター組立体は全３６０度回転し、かくして、ポッドをいかなる所望の角度にも向け直すことができる。図２５に示すように、ローター１１０は軸１１３によって伸長される。ローターは任意適当な距離伸長し、例示の実施形態では、ローターは約５．０８ｃｍ（２インチ）持ち上げられる。図２６は、ローター１１０を図２５のローター位置に対して回転した位置で示す。一般に、ローター１１０は複数のアーム部材１２０を有する。３つのアーム部材を示しているが、異なる数のアーム部材を使用してもよい。各アーム部材の端部に、アーム部材１２０の上面より上方に突出した保持体１２２がある。運動ピンとも呼ばれる保持体１２２は、搬送キャリヤの下側の溝又は溝穴に係合し、搬送キャリヤが持ち上げられ且つ回転されるときに、搬送キャリヤをローターに位置決めし、且つ搬送キャリヤを固定するように作用する。
【００４２】
一旦、搬送キャリヤが持上げられて所望の位置に回転されると、ディレクター駆動レール１０２及びディレクター遊びレール１０４が持上げられ、次いでローター１１０は引っ込められ、搬送キャリヤをディレクター駆動レール１０２及びディレクター遊びレール１０４の上へ降ろす。このディレクター組立体１００の状態を図２７に図示するが、この図は、ローターを引っ込んだ位置で、ディレクター駆動レール１０２及びディレクター遊びレール１０４を又上昇位置で示す。ディレクター駆動レール１０２及びディレクター遊びレール１０４は、向き直された搬送キャリヤを支持する。次いで、搬送キャリヤにディレクター駆動レール１０２の駆動ホイールが係合し、搬送キャリヤはコンベヤー上を推進される。搬送キャリヤがコンベヤーの上へ移動した後、ディレクター駆動レール１０２及びディレクター遊びレール１０４は、主コンベヤーより下に位置決めされるように下げられる。
【００４３】
ディレクター組立体の操作は、レール駆動装置及びローター昇降回転機構に連結された制御装置（図示せず）によって制御される。制御装置は、搬送キャリヤの位置を種々の場所で検出する複数のセンサー（図示せず）を有する。向け直そうとする搬送キャリヤがディレクター組立体の上に位置決めされると、制御装置は、昇降機構を作動する信号を送って、ローター１１０を伸長させ、そして搬送ポッドに係合させる。一旦ポッドが完全に伸長されると、制御装置は、回転機構を作動し、回転機構に命じてローターを選択した位置まで回転させる。一旦、ローターが適切な位置まで回転すると、制御装置はレール駆動装置を作動し、ディレクター駆動レール及びディレクター遊びレールをそれらの伸長位置まで上昇させる。次に、制御装置は、昇降機構を再び作動し、この場合には、ローターを下げる。このことは、搬送キャリヤをディレクター駆動レール及びディレクター遊びレールの上へ下げ、今や、搬送キャリヤは向け直されたコンベヤー経路に沿って移動する。一旦、搬送キャリヤがディレクター駆動レール及びディレクター遊びレールから遠ざかると、制御装置はレール駆動装置を作動し、駆動レール１０２及び遊びレール１０４を下降位置へ引っ込める。
【００４４】
ローター組立体１０８を図２８ａ乃至図２８ｂ、及び図２９ａ乃至図２９ｂを参照して、さらに詳細に示す。ローター組立体は、昇降機構及び回転機構を有する。昇降機構は、一般に、モータ１３０と、クランク組立体１３２と、スプライン軸１１３とからなる。クランク組立体１３２は、伸長位置でのローター１１０の高さを制御する。ローター１１０は、スプライン軸１１３に取り付けられる。クランク組立体１３２はクランク軸１３４を有し、このクランク軸１３４は、ソケットを形成した連接棒１３５に連結される。スプライン軸１３４は、スプライン軸１３４の端部に形成されたボールを有し、かくして、スプライン軸１３４はボール及びソケットによってクランク軸に連結される。ローター１１０を昇降させるために、モータ１３０、好ましくは、ステッパーモータが、クランク軸をモータ１３０の中心軸線１３６を中心に回転させる。下降位置では、図２９ａに示すように、クランク軸は中心軸線より下に位置決めされ、上昇位置では、図２９ｂに示すようにクランク軸は中心軸線より上に位置決めされる。
【００４５】
搬送キャリヤを回転させるために、ローター組立体は回転機構を採用する。ローター機構は、スプライン（好ましくは昇降機構に使用されるのと同じスプライン軸１１３）を有する軸及びモータ組立体を含む。モータ組立体は全体的に、タイミングプーリー１４２及び連続ベルト１４３を含むモータ１４２を有する。ベルト１４３は、軸受１４６のローターに取り付けられた他のプーリー１４４に連結される。モータは軸受１４６のローターを所望位置まで回転させる。軸受は、スプライン軸１１３及びリニア軸受（図示せず）を経てローター１１０に回転を与える。さらに、ラジアル軸受（図示せず）がスプライン軸１１３の頂部に組み込まれ、それにより、スプラインを回転させる。ＮＢ回転ボールスプラインのような、多くの商業的に入手できるスプライン軸が適当である。説明したように、ローター組立体１０８は昇降及び回転の両方をローター１１０に与える。
【００４６】
本発明の特定の実施形態の以上の説明は、図解及び説明のためになされた。それらは網羅的ではなく、又発明を、開示した形態に限定しようとするものではなく、明らかに多くの修正例及び変更例が上記の教えに照らせば可能である。実施形態は、本発明の原理及びその実際の適用を最もよく説明するために選択されて、説明され、それにより、当業者が本発明、及び意図される特定な使用に合う種々の修正を有する種々の実施形態を最もよく使用できる。本発明の範囲は、ここに添付した請求の範囲及び均等物によって定められるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ベイ間ループを有するコンベヤー装置の一例の概略図である。
【図２】  コンベヤーの交差部及びコーナーを図示したベイ間ループの一部分の概略図である。
【図３ａ】  搬送キャリヤを本発明の一実施形態によるコンベヤーに置いたコンベヤー装置の部分斜視図である。
【図３ｂ】  搬送キャリヤを本発明の変形実施形態によるコンベヤーに置いた備えたコンベヤー装置の部分斜視図である。
【図４ａ】  図３ａの線４ａ−４ａにおける断面図である。
【図４ｂ】  図３ｂの線４ｂ−４ｂにおける断面図である。
【図５】  本発明の一実施形態による、コーナー又はカーブを有し、内部ディレクターを含む、コンベヤーの部分斜視図である。
【図６】  内部ディレクター上に位置決めされた搬送キャリヤを示すコンベヤーの部分斜視図である。
【図７】  ディレクターによって回転された搬送キャリヤを示すコンベヤーの部分斜視図である。
【図８】  ９０度の位置に回転された搬送キャリヤを示すコンベヤーの部分斜視図である。
【図９】  内部ディレクターによってカーブに差し向けられた搬送キャリヤを示すコンベヤーの部分斜視図である。
【図１０】  本発明による内側ディレクターの上面図である。
【図１１】  本発明の一実施形態による、コーナー又はカーブを有し、外側ディレクターを含むコンベヤーの部分斜視図である。
【図１２】  外側ディレクター上に位置決めされた搬送キャリヤを示すコンベヤーの部分斜視図である。
【図１３】  ディレクターによって回転された搬送キャリヤを示すコンベヤーの部分斜視図である。
【図１４】  ９０度の位置に回転された搬送キャリヤを示すコンベヤーの部分斜視図である。
【図１５】  外側ディレクターによってコーナー又はカーブに差し向けられた搬送キャリヤを示すコンベヤーの部分斜視図である。
【図１６】  本発明による外側ディレクター部分の上面図である。
【図１７】  本発明の一実施形態によるローター組立体を示す外側ディレクターの、部分切除の上面図である。
【図１８】  本発明の他の実施形態による、交差部を有し、交差部ディレクターを含む、コンベヤーの部分斜視図である。
【図１９】  交差部ディレクターに位置決めされた搬送キャリヤーを示すコンベヤーの部分斜視図である。
【図２０】  交差部ディレクターによって回転された搬送キャリヤーを示すコンベヤーの部分斜視図である。
【図２１】  本発明の一実施形態による、交差部ディレクターによって交差部を介して差し向けられた搬送キャリヤーを示すコンベヤーの部分拡大斜視図である。
【図２２】  本発明による交差部ディレクターの上面図である。
【図２３】  図２２の交差部ディレクターの部分切除の上面図である。
【図２４】  図２３のディレクターのレール駆動組立体の一部分を示す外側ディレクターの下面図である。
【図２５】  本発明による伸長位置における交差部ディレクターの上面図である。
【図２６】  本発明による伸長及び回転位置における交差部ディレクターの上面図である。
【図２７】  本発明による引っ込み及び回転位置における交差部ディレクターの上面図である。
【図２８ａ】  引っ込み位置で示す交差部ディレクターのローターの切除した斜視図である。
【図２８ｂ】  伸長位置で示す交差部ディレクターのローターの切除した斜視図である。
【図２９ａ】  本発明の一実施形態による交差部ディレクターの昇降回転機構の切除した斜視図である。
【図２９ｂ】  本発明の一実施形態による交差部ディレクターの昇降回転機構の切除した斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８ａ】
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【図２８ｂ】
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【図２９ａ】
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【図２９ｂ】
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