(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
台と、前記台に力を加える複数のアクチュエータと、前記台の振動を検出する複数の振動検出手段と、前記複数の振動検出手段の出力信号から所定周波数より低周波の成分をそれぞれ抽出する複数のローパスフィルタと、前記複数の振動検出手段の出力信号から所定周波数より高周波の成分をそれぞれ抽出する複数のハイパスフィルタと、前記複数のローパスフィルタの出力信号に基づき各運動モードの振動信号を抽出する抽出手段と、前記抽出手段の出力信号をそれぞれ補償する複数の第１の補償演算手段と、前記複数の第１の補償演算手段によって得られた補償信号に基づいて前記複数のアクチュエータに対する駆動指令信号をそれぞれ出力する分配手段と、前記複数のハイパスフィルタの出力信号をそれぞれ補償する複数の第２の補償演算手段と、前記分配手段の出力信号と前記第２の補償演算手段の出力信号とに基づいて前記複数のアクチュエータをそれぞれ駆動する複数の駆動手段とを備えたことを特徴とする能動除振装置。
【請求項２】
前記複数のローパスフィルタおよび前記複数のハイパスフィルタのカットオフ周波数が、前記台のすべての剛体運動モードの固有振動数より高いことを特徴とする請求項１に記載の能動除振装置。
【請求項３】
前記複数のアクチュエータは、空気圧制御式アクチュエータおよび電磁駆動リニアモータの少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の能動除振装置。
【請求項４】
前記複数のアクチュエータが空気圧制御式アクチュエータを含み、かつ前記空気圧制御式アクチュエータが前記台の防振支持機構を兼ねることを特徴とする請求項１または２に記載の能動除振装置。
【請求項５】
前記複数の振動検出手段は加速度センサを含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の能動除振装置。
【請求項６】
台の振動を検出する複数の振動検出手段の出力に基づいて前記台の各運動モードの振動を抽出し、前記各運動モードの振動に基づいて複数のアクチュエータを駆動することにより前記台に力を加える能動除振装置であって、
前記複数の振動検出手段の出力のうち所定周波数より低周波の成分に基づいて、前記各運動モードの振動を抽出する抽出手段と、
前記抽出手段により抽出された振動と、前記複数の振動検出手段の出力のうち所定周波数より高周波の成分とに基づいて、前記複数のアクチュエータをそれぞれ駆動する複数の駆動手段と
を備えたことを特徴とする能動除振装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動検出手段と空気ばねやリニアモータなどのアクチュエ−タとを有し、半導体露光装置等の精密機器の支持機構として使用される能動除振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子顕微鏡、半導体露光装置等の精密機器の高精度化に伴い、それらを搭載する精密除振装置の高性能化が求められている。特に半導体露光装置においては、適切かつ迅速な露光を行なうために、床などの装置設置基礎からの振動をはじめとする外部からの振動を極力除去した除振台が必要である。これは露光に悪影響を及ぼす振動が、露光用ステージに発生しないようにしなければならないからである。
【０００３】
また、ステップ・アンド・リピートという間欠動作を特徴とする半導体露光装置では、露光用ＸＹステージの繰り返しステップ動作が除振台の振動を励起する。ＸＹステージの駆動反力およびＸＹステージの荷重移動が除振台の振動を励起してしまうのである。したがって除振台には、床などの装置設置基礎からの振動をはじめとする外部振動に対する除振性能と、除振台に搭載された機器の動作によって発生する振動に対する制振性能とをバランスよく実現することが求められる。
【０００４】
ステップ・アンド・リピートにかわる方式として、スキャン露光方式を採用した半導体露光装置もあるが、この装置においても、装置設置基礎からの振動等、外部から伝達する振動を極力除去するとともに、露光用ステージのスキャン動作により励起される除振台の振動を瞬時に制振する必要がある。特にスキャン露光装置では、露光用ステージがスキャン動作をしている状態で露光を行なうため、外部振動に対する除振性能および除振台に搭載された機器の動作によって発生する振動に対する制振性能、それぞれへの要求は厳しく、一段と高性能な除振装置が不可欠なものとなっている。
【０００５】
このような要求に対して、近年では、除振台の振動をセンサで検出し、その出力信号を補償して除振台に制御力を加えるアクチュエータにフィードバックすることにより能動的に除振台の振動制御を行なう、能動除振装置が実用化されている。能動除振装置は、ばね、ダンパなどで構成された受動的な除振装置では困難であった、除振性能と制振性能のバランスのとれた実現を可能にする。
【０００６】
ところで、従来の能動除振装置は、除振台上に配置された振動センサと、それと最も近くに配置されたアクチュエータの組ごとに、独立に制御ループを構成して振動や位置・姿勢制御を行なうものが一般的であった。つまり除振台の各部に独立な制御ループを構成する方式がとられてきた。図８は従来の能動除振装置の構成を示す。ＸＹステージなどの精密機器を搭載する除振台１は除振マウント２によって支持されている。通常、除振マウントは複数台を用いて除振台１を支持する。例えば除振台１が四辺形の形状であれば、除振マウントは除振台１の四隅にそれぞれ配置する。図８ではそのうちの１台の除振マウント２のみを図示している。
【０００７】
除振マウント２の主要な構成要素は以下のとおりである。除振マウント２は図８では不図示の機械ばねや空気ばねなどによって除振台１を浮上支持し、除振台１を設置床の振動から絶縁している。除振台１に締結ボルト３１で締結されており除振台１とともに浮上するのが浮上部３２、設置床上に置かれるのがベース部３３である。除振台１の鉛直方向加速度を計測するための鉛直方向加速度センサ３４および除振台１の水平方向加速度を計測するための水平方向加速度センサ３は浮上部３２に固定されている。そして、除振台１へ鉛直方向に駆動力を作用させる鉛直方向アクチュエ−タ２１、除振台１へ水平方向に駆動力を作用させる水平方向アクチュエ−タ２２はベース部３３と浮上部３２との間に取付けられている。これらの構成要素のほかにも、実際の除振マウント２は、粘性部材など不図示の機構を含むものである。しかし、図８は能動除振装置の構成の概念図であり、能動的に振動制御を行なうための代表的な構成要素のみを図示している。複数台の除振マウントで除振台１を支持する場合であっても、それぞれの除振マウントは、図８に示した除振マウント２と同一な構成である。
【０００８】
次に、除振マウント２によって除振台１の振動を能動的に抑制するための制御系構成について説明する。能動除振装置の制御系構成としては様々なものが提案されている。最も代表的な構成は、除振台１に生じる振動の加速度を測定し、加速度の積分である速度に比例した力を除振台１に作用させることによって、除振台１にダンピングを付与するものである。図８はこのような制御系構成を示している。鉛直方向加速度センサ３４の計測信号を符号反転器３５で符号反転し、それに加速度補償器３６を作用させた補償値を電力増幅器１０へ入力する。電力増幅器１０は入力信号に応じて鉛直方向アクチュエ−タ２１を駆動し、除振台１へ鉛直方向駆動力を作用させる。このように鉛直方向加速度を負帰還することによって、除振台１に鉛直方向ダンピングを付与している。なお、鉛直方向アクチュエ−タ２１がボイスコイルモータの場合、加速度信号を速度信号へ変換するため加速度補償器３６は積分動作となり、また、鉛直方向アクチュエ−タ２１が空気ばねの場合、アクチュエ−タ自身に積分特性があるので加速度補償器３６は比例動作となる。水平方向についても全く同様である。水平方向加速度センサ３の計測信号を符号反転器３５で符号反転し、それに加速度補償器３６を作用させた補償値を電力増幅器１０へ入力する。電力増幅器１０は入力信号に応じて水平方向アクチュエ−タ２２を駆動し、除振台１へ水平方向駆動力を作用させる。このように水平方向加速度を負帰還することによって、除振台１に水平方向ダンピングを付与している。なお、水平方向アクチュエ−タ２２がボイスコイルモータの場合、加速度信号を速度信号へ変換するため加速度補償器３６は積分動作となり、また、水平方向アクチュエ−タ２２が空気ばねの場合、アクチュエ−タ自身に積分特性があるので加速度補償器３６は比例動作となる。複数台の除振マウントで除振台１を支持する場合であっても、それぞれの除振マウントの制御系構成は、図８に示した除振マウント２の場合と同様な構成である。
【０００９】
しかし、この方式で制御された能動除振装置は、除振台各部に構成された制御ループ中のパラメータと除振台の並進、回転などの各運動モードの挙動が一対一には対応しない。そのために、制御系の安定性や制御性能に留意して制御パラメータの設計および調整を見通しよく行なうことが容易ではなかった。この方式では、除振台各部に独立に構成された制御系が相互に干渉するために、制御パラメータを調整して除振装置の運動特性を任意調整し、振動制御性能を向上させることが困難であったのである。
【００１０】
このような問題に対しては、例えば特願平４−２９９０８６（特開平６−１８１１５８参照）［除振台の制御装置］や特開平７−８３２７６［鉛直方向空気ばね式除振台の制御装置］のように、除振台の並進、回転などの各運動モードごとに振動制御を行なう除振装置およびその制御方法が提案され、その有効性が確認されている。これらの装置および方法で採用された制御系は、前述した図８の制御系構成が除振マウント２が支持している部位の、言い換えれば除振台１の局所的部位の振動に着目しているのに対して、運動モード別制御は除振台１の大局的な剛体振動に着目するものである。以下に運動モード別制御の概略を説明する。
【００１１】
除振台を運動モードごとに制御する能動除振装置の構成例を図９に示す。この除振装置は、加速度センサ等の振動センサ３ａ，３ｂ，３ｃの出力から除振台１の並進、回転などの各運動モードの情報を運動モード抽出回路６で抽出し、補償演算手段７で各運動モードごとに補償演算を行なう。そして、得られた各運動モードごとの補償信号を、推力分配回路８を用いて能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに備えられた除振台１に制御力を加えるアクチュエータに分配する。能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに備えられたアクチュエータは、推力分配回路８の出力信号にもとづき、駆動回路１０ａ，１０ｂ．１０ｃ．１０ｄにより駆動される。
【００１２】
このような能動除振装置では、従来、除振台各部の個々の制御ループごとに試行錯誤に大きく依存して行なわれていた制御パラメータの設計および調整を、除振台の運動モード、つまり、除振台全体の運動特性に着目して行なうことができる。そのために、除振装置の制御パラメータの調整、設計を容易かつ合理的に行なうことができる。
【００１３】
図１０には、運動モード別制御の別の構成例を示す。直方体形状に略記した除振台１の四隅を４台の除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが支持している。除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの構成はそれぞれで同一であり、要素番号に記号ａ，ｂ，ｃ，ｄを付記することにより４台を区別している。除振マウント２ａは鉛直方向加速度センサ３４ａ、水平方向加速度センサ３ａ、鉛直方向アクチュエ−タ２１ａ、水平方向アクチュエ−タ２２ａから構成されている。ＸＹＺ直交座標系は除振台１の重心Ｇを原点として、各軸を直方体形状の除振台１の辺と平行に、またＺ軸を鉛直方向に一致させて除振台１に固定されている。すると、除振台１の運動は、Ｘ軸方向並進運動ｘ、Ｙ軸方向並進運動ｙ、Ｚ軸方向並進運動ｚ、Ｘ軸まわり回転運動θｘ、Ｙ軸まわり回転運動θｙ、Ｚ軸まわり回転運動θｚの６自由度運動として記述することができる。６自由度の運動モードごとに加速度の負帰還を行ない除振台１へダンピングを付与するのが図１０の運動モード別制御である。
【００１４】
運動モード抽出装置６は鉛直方向加速度センサ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄと水平方向加速度センサ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの計測信号から運動モードごとの加速度、すなわちＸ軸方向並進加速度Ａｘ、Ｙ軸方向並進加速度Ａｙ、Ｚ軸方向並進加速度Ａｚ、Ｘ軸まわり角加速度Ａθｘ、Ｙ軸まわり角加速度Ａθｙ、Ｚ軸まわり角加速度Ａθｚを演算し出力する装置である。そして、これら運動モードごとの加速度を符号反転器３５で符号反転し、さらに加速度補償器３６を作用させ、運動モードごとの補償値を生成する。運動モード分配装置８はこれら補償値を入力として、鉛直方向アクチュエ−タ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエ−タ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそれぞれへの駆動指令を生成し、電力増幅器１０に入力する。運動モード分配装置８の動作は、加速度補償器３６によって生成した運動モードごとの除振台１への駆動力を、鉛直方向アクチュエ−タ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエ−タ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそれぞれが発生する駆動力の合力として除振台１へ作用させるように、鉛直方向アクチュエ−タ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエ−タ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそれぞれへの駆動指令を生成することである。電力増幅器１０は入力信号に応じて鉛直方向アクチュエ−タ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエ−タ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを駆動し、除振台１へ駆動力を作用させる。このように、運動モード別制御では運動モードごとに加速度を負帰還して除振台１へダンピングを付与し、除振台１に生じる振動を抑制している。なお、鉛直方向アクチュエ−タ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエ−タ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄがボイスコイルモータの場合、加速度信号を速度信号へ変換するため加速度補償器３６は積分動作となり、また、空気ばねの場合、アクチュエ−タ自身に積分特性があるので加速度補償器３６は比例動作となる。
【００１５】
ここで、除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの配置について述べておくと、まず鉛直方向については、鉛直方向加速度センサ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄと鉛直方向アクチュエ−タ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの方向はＺ軸方向に一致している。水平方向については、除振マウント２ａ，２ｃの水平方向加速度センサ３ａ，３ｃと水平方向アクチュエ−タ２２ａ，２２ｃの方向はＸ軸と一致し、除振マウント２ｂ，２ｄの水平方向加速度センサ３ｂ，３ｄと水平方向アクチュエ−タ２２ｂ，２２ｄの方向はＹ軸と一致するように除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを配置している。これは、除振台１の６自由度運動モードの全てが鉛直方向加速度センサ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ、水平方向加速度センサ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄによって可観測とするため、また鉛直方向アクチュエ−タ２１ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ、水平方向アクチュエ−タ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄによって可制御とするためであることはいうまでもない。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで除振台を運動モードごとに制御する方法では、除振台の各運動モードの挙動が十分な精度で捉えられ、各運動モードの駆動指令信号に対応して各アクチュエータに正しく推力が分配されなければならない。しかしながら、実際の能動除振装置では、除振装置を除振台や被除振構造物に取付ける際の空間的、機構的制約などから、振動センサ、アクチュエータの取り付け部の剛性や除振台への除振マウントの締結剛性を十分に確保できない場合があり、除振台周辺各部で様々な局所的振動が発生することがある。
【００１７】
除振台を運動モードごとに制御する方法は通常、除振台の剛体運動モード、あるいは、剛体運動モードと、比較的低周波数領域に固有振動数を有するいくつかの変形運動モードに着目して制御を行なう。しかし、振動センサ、アクチュエータ周辺や除振台自体に比較的高い周波数領域に固有振動数を有する局所的な変形運動モードの振動が存在すると、それらの振動の影響で除振台の各運動モードの振動信号を正しく抽出できなかったり、各運動モードの補償信号に対応して推力を正しく分配できないなどの状況が発生する。このような状況で、低周波数領域に固有振動数を有する剛体運動モードを主たる対象として制御を行なうと、卓越した高周波数の局所的振動が制御性能に悪影響を及ぼし、最悪の場合、スピルオーバ不安定を起こして除振台に非常に大きな振動をひきおこす危険がある。
【００１８】
様々な局所的振動の運動モードの信号を抽出したり、より多くの運動モードの補償信号に対応して推力を正しく分配することができるだけの台数の振動センサ、アクチュエータを用いれば、適切な補償演算処理を施して制御を行なうことにより、上記のような危険を回避することができる。しかし、産業機器ではコストダウンの観点から、あまり多くの振動センサ、アクチュエータを用いることは現実的ではない。
【００１９】
本発明は、このような課題を解決するためのもので、除振台を運動モードごとに制御する能動除振装置において、除振台各部で様々な局所的振動が発生する場合でも、安定かつ良好な振動制御動作を実現する装置を提供することを第１の課題とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために本発明に係る第１の能動除振装置は、台と、前記台に力を加える複数のアクチュエータと、前記台の振動を検出する複数の振動検出手段と、前記複数の振動検出手段の出力信号から所定周波数より低周波の成分をそれぞれ抽出する複数のローパスフィルタと、前記複数の振動検出手段の出力信号から所定周波数より高周波の成分をそれぞれ抽出する複数のハイパスフィルタと、前記複数のローパスフィルタの出力信号に基づき各運動モードの振動信号を抽出する抽出手段と、前記抽出手段の出力信号をそれぞれ補償する複数の第１の補償演算手段と、前記複数の第１の補償演算手段によって得られた補償信号に基づいて前記複数のアクチュエータに対する駆動指令信号をそれぞれ出力する分配手段と、前記複数のハイパスフィルタの出力信号をそれぞれ補償する複数の第２の補償演算手段と、前記分配手段の出力信号と前記第２の補償演算手段の出力信号とに基づいて前記複数のアクチュエータをそれぞれ駆動する複数の駆動手段とを備えたことを特徴とする。
【００２６】
前記複数のローパスフィルタおよび前記複数のハイパスフィルタのカットオフ周波数は、前記台のすべての剛体運動モードの固有振動数より高いことが望ましい。また、前記複数のアクチュエータは、ボイスコイルモータなどの電磁駆動リニアモータ、または、空気圧制御式アクチュエータ、または、それらの双方を併用したものを用いることができる。特に前記複数のアクチュエータが空気圧制御式アクチュエータを含む場合は、その空気圧制御式アクチュエータで防振支持機構を兼ねることができる。すなわち空気圧制御式アクチュエータ以外の防振支持機構を省略することができる。さらに、前記振動検出手段としては加速度センサを用いることができる。
【００２７】
また、本発明に係る第２の能動除振装置は、台の振動を検出する複数の振動検出手段の出力に基づいて前記台の各運動モードの振動を抽出し、前記各運動モードの振動に基づいて複数のアクチュエータを駆動することにより前記台に力を加える能動除振装置であって、前記複数の振動検出手段の出力のうち所定周波数より低周波の成分に基づいて、前記各運動モードの振動を抽出する抽出手段と、前記抽出手段により抽出された振動と、前記複数の振動検出手段の出力のうち所定周波数より高周波の成分とに基づいて、前記複数のアクチュエータをそれぞれ駆動する複数の駆動手段とを備えたことを特徴とする。
【００２８】
【作用】
本発明の能動除振装置は、台の振動を複数の振動検出手段で検出し、前記複数の振動検出手段の出力信号のうち所定周波数より低周波の成分に基づき前記台の並進、回転などの各運動モードの振動を抽出し、抽出された振動と前記複数の振動検出手段の出力のうち所定周波数より高周波の成分とに基づいて、前記複数のアクチュエータをそれぞれ駆動する。これにより、台を運動モードごとに制御する除振装置において、台各部で様々な局所的振動が発生する場合でも、安定かつ良好な動作を実現できる。
【００３０】
また、高次共振に起因するスピルオーバ現象を回避できるため、制御系の安定性が飛躍的に向上する。
また、この場合、除振装置に高剛性を要求しない。浮上部の肉厚を剛性確保のために厚くする必要はないので、除振装置の軽量化が可能となる。また、除振装置を前記台へ締結する部位の締結剛性を高める必要はないから、除振装置の設置作業およびメンテナンス作業も簡略化される。
【００３１】
さらに、この場合、加速度センサの計測信号を入力とした演算によって生成している前記台の運動モードごとの加速度は精度のよいものとなり、運動モード別制御が好適に行なわれる。浮上部など除振装置中の機構に固有振動が存在しても、運動モード別制御が崩れるような不都合は生じない。
【００３２】
【実施例】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
実施例１
図１は、本発明の第１の実施例に係る能動除振装置の構成を示す。なお、本実施例では、水平方向に作用する除振装置を例にとって説明するが、鉛直方向に作用する能動除振装置に対して、以下に詳述する手段を適用してもよい。また、本実施例では、水平面内３自由度の運動、つまり、水平並進２自由度と鉛直軸まわり回転１自由度の制御を行なう装置を説明するが、これに残りの３自由度の剛体運動モード、つまり、鉛直並進１自由度、水平軸まわり回転２自由度の制御を行なう装置を組合わせてもよい。
【００３３】
同図の能動除振装置は、半導体露光装置などの精密機器を搭載する除振台１と、それを防振支持する支持手段と除振台１に能動的な制御力を加えるアクチュエータとを備えた能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ、除振台の振動を検出する振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ、振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃの出力信号のうち予め定められた周波数より低い周波数成分を通過させるローパスフィルタ４、振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの出力信号のうち予め定められた周波数より高い周波数成分を通過させるハイパスフィルタ５、ローパスフィルタ４の出力として得られる振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃの出力信号のうち予め定められた周波数より低い周波数成分の信号から除振台１の並進、回転などの各運動モードの振動信号を抽出する運動モード抽出回路６、運動モード抽出回路６で抽出した除振台１の各運動モードの振動信号に適切な補償演算処理を施す第１の補償演算手段７、補償演算手段７の出力として得られた各運動モードの推力指令信号、モーメント指令信号を能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに対応させて分配演算処理する推力分配回路８、ハイパスフィルタ５の出力として得られる振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの出力信号のうち予め定められた周波数より高い周波数成分の信号に適切な補償演算処理を施す第２の補償演算手段９、推力分配回路８と補償演算手段９の出力信号を加算した信号に基づいて能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに組み込まれたアクチュエータの駆動を行なう駆動回路１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄなどにより構成される。
【００３４】
ローパスフィルタ４およびハイパスフィルタ５のカットオフ周波数は、除振台１のすべての剛体運動モードの固有振動数より高いものであることが望ましい。
【００３５】
能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは、除振台１を防振支持するばね、ダンパ要素、除振台１に能動的な制御力を加えるアクチュエータ等を備えたものである。
【００３６】
図２は、能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの構成例を示したものである。同図中に符号２を付けて示す装置が能動除振マウントである。
【００３７】
能動除振マウント２（２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ）は、除振台１に鉛直方向の制御力を加える鉛直アクチュエータ２１、除振台１に水平方向の制御力を加える水平アクチュエータ２２、除振台１を鉛直方向に防振支持する鉛直支持手段２３、除振台１を水平方向に防振支持する水平支持手段２４などを備える。
【００３８】
鉛直アクチュエータ２１、水平アクチュエータ２２には、ボイスコイルモータなどの電磁駆動のリニアモータ、空気ばねの内部圧力をそれへの空気の給排気を調整するバルブによって制御する空気圧制御式アクチュエータ、あるいはそれらを併用したものなどを用いることができる。鉛直アクチュエータ２１、水平アクチュエータ２２として、前記のような空気ばねを使用した空気圧制御式アクチュエータを用いる場合は、これを鉛直支持手段２３、水平支持手段２４と兼ねることができる。
【００３９】
振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄには、加速度センサを用いることができる。振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは、それぞれ能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに近接して配置するあるいは、内蔵することが望ましい。
【００４０】
次に、図１の除振装置の動作を説明する。すなわち、能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄにより防振支持された除振台１の振動を、加速度センサなどの振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄで検出する。そして、ローパスフィルタ４で振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃの出力信号のうち予め定められた周波数より低い周波数成分を、ハイパスフィルタ５で振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの出力信号のうち予め定められた周波数より高い周波数成分をそれぞれ抽出する。
【００４１】
そして、運動モード抽出回路６において、ローパスフィルタ４の出力として得られる、振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃの出力信号のうち予め定められた周波数より低い周波数成分の信号から、除振台１の並進、回転などの各運動モードの振動信号を抽出し、第１の補償演算手段７において運動モード抽出回路６で抽出した除振台１の各運動モードの振動信号に適切な補償演算処理を施す。補償演算手段７の出力として得られた各運動モードの推力指令信号、モーメント指令信号は、推力分配回路８で能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに対応した信号として分配演算処理される。
【００４２】
一方、ハイパスフィルタ５の出力として得られる振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの出力信号のうち予め定められた周波数より高い周波数成分の信号には、第２の補償演算手段９において適切に補償演算処理を施す。
【００４３】
そして、能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに対応した信号として分配演算処理された推力分配回路８の出力と補償演算手段９の出力信号を加算した信号に基づき、駆動回路１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄを用いて能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに組み込まれたアクチュエータの駆動を行なう。
【００４４】
なお、本実施例においては、ローパスフィルタ４は振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃの出力信号に対して処理を行ない、振動検出手段３ｄの出力信号には処理を行なわない。これは、前述のとおり本実施例における除振装置は除振台１の水平面内３自由度の運動を制御するものであり、これら３自由度の運動モードの信号、すなわち水平並進２自由度、鉛直軸まわり回転１自由度の信号は、最低３台の振動検出手段の出力信号から抽出できるためである。もちろん、ローパスフィルタ４で振動検出手段３ｄの出力信号も処理し、運動モード抽出回路６は、振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの出力信号のうち予め定められた周波数より低い周波数成分の信号から除振台１の各運動モードの信号を抽出するものであってもよい。
【００４５】
また、振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの出力信号に対して直流成分除去フィルタ、ローパスフィルタ、バンドパスフィルタなどの信号処理手段を用いて補償演算の前処理を施す方法は、この種の装置を制御する際に一般的に用いられる。図１ではこのようなフィルタを省略したが、振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの出力信号をこのようなフィルタで処理し、その信号を本実施例のローパスフィルタ４およびハイパスフィルタ５で処理する構成とした装置も、本発明に含まれることはいうまでもない。
【００４６】
次に、運動モード抽出回路６、推力分配回路８における演算処理について説明する。
運動モード抽出回路６で行なう運動モード抽出の演算式、および推力分配回路８の演算式は、振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ、能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの幾何的な配置関係などに基づいて決定される。
【００４７】
例えば、振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃが図３のように配置されていたとする。このとき振動検出手段の振動検出方向が同図の振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃに付した矢印の向きであるとすると、それらの検出する振動信号α1 ，α2 ，α3 は、除振台１の直交する水平２方向Ｘ，Ｙの並進振動成分αx ，αy と、水平面に直行する鉛直軸まわりθz の回転振動成分αθとにより式（１）のように表される。ここで、座標系の原点Ｏと振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃとの位置関係は図３に示したとおりであるとする。
【００４８】
【数１】
0003825869.tif 000002
したがって、各運動モードの振動成分の信号は式（１）の逆行列演算、
【００４９】
【数２】
0003825869.tif 000003
により、式（３）のように導出できる。
【００５０】
【数３】
0003825869.tif 000004
【００５１】
なお、ここでは、振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃの出力信号から、除振台１の水平面内の並進、回転の各運動モードの振動信号を抽出する演算式を示したが、同様の考え方で、鉛直並進、水平軸まわり回転の各運動モードの振動信号を抽出する演算式や、剛体６自由度の運動モードの振動信号を抽出する演算式を導出することができる。
【００５２】
また、特開平７−８３２７６「鉛直方向空気ばね式除振台の制御装置」では、４台のセンサ出力から、前述したような剛体運動モードの振動成分に加えて、装置本体の非剛体振動成分をも導出する方法が開示されているが、本実施例における装置でも同様の演算を行なってもよい。また、ここでは、座標系の原点Ｏと各振動検出手段の検出軸との距離は図３に示すように１であるとしたが、勿論それ以外の場合でも、同様に導出できる。
【００５３】
また、推力分配回路８の演算式は、能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに組み込まれたアクチュエータの幾何的な配置関係によって決定される。
【００５４】
例えば、能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが図４のように配置されていたとする。このとき、能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄそれぞれに組み込まれた、除振台１に制御力を加えるアクチュエータ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの作用方向が同図中のアクチュエータの矢印の向きであるとすると、それぞれのアクチュエータの発生推力Ｆa ，Ｆb ，Ｆc ，Ｆd と、それらの合力が除振台１の重心Ｇに作用する、直交する水平２方向Ｘ，Ｙの推力Ｆx ，Ｆy と、鉛直軸まわりθz のモーメントＭz との関係は式（４）のようになる。
【００５５】
【数４】
0003825869.tif 000005
したがって、この逆演算式、
【００５６】
【数５】
0003825869.tif 000006
によれば、水平２方向Ｘ，Ｙの推力Ｆx ，Ｆy と、鉛直軸まわりθz のモーメントＭz の指令信号を、アクチュエータ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ、すなわち能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄに組み込まれた各アクチュエータに分配することができる。なお、ここでは、除振台１の重心Ｇと各アクチュエータ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの作用軸との距離は図４のように１であるとしたが、勿論それ以外の場合でも、同様にして演算式を導出できる。
【００５７】
次に、第１の補償演算手段７、第２の補償演算手段９における演算処理について説明する。
第１の補償演算手段７においては、運動モード抽出回路６で抽出した除振台１の各運動モードの振動信号ごとに補償演算を行なう。補償演算としては、ＰＩ補償（比例・積分補償）、ゲイン補償、積分補償、またはそれらを適宜組み合わせたものなどを適用する。なお、能動除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの配置や除振台１の重心位置などによっては、各運動モード相互の連成が起こりうるが、そのような場合は、それら連成振動を考慮し、図５に示すような各運動モード相互に干渉項を有する補償演算を行なうことができる。図５は一例として、並進Ｘのモードと回転θz のモードが連成するとし、これを考慮した補償演算手段を示したものである。
【００５８】
第１の補償演算手段はこのように除振台１の運動モードごとに補償演算を行なうことにより、除振台１の剛体運動モードなどの比較的低周波数領域に固有振動数を有する運動モードの振動特性の任意調整を実現する。
【００５９】
第２の補償演算手段９においては、振動検出手段３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが配置された除振台１各部の振動に着目して補償演算を行なう。補償演算としては、ＰＩ補償（比例・積分補償）、ゲイン補償、積分補償、またはそれらを適宜組み合わせたものなどを適用する。
【００６０】
第２の補償演算手段は、第１の補償演算手段では捉えられない、除振台１周辺各部の比較的高周波数領域に固有振動数を有する局所的な振動モードに作用する。これにより高周波数の卓越した局所的振動を抑制し、良好な振動制御性能を実現する。
【００６１】
除振台を運動モードごとに制御する除振装置において、装置剛性の不足などから除振台各部で様々な卓越した局所的振動が発生すると、制御性能に悪影響を及ぼし、最悪の場合、スピルオーバ不安定を起こして除振台に非常に大きな振動をひきおこす。
【００６２】
本実施例は、以上のような装置および制御方法を適用することにより、除振台を運動モードごとに制御する除振装置において、除振台各部で様々な局所的振動が発生する場合でも、安定かつ良好な動作を実現する。
【００６３】
なお、本実施例では、主に水平方向に作用する除振装置を例にとって説明したが、同様の手段を鉛直方向に作用する能動除振装置に対して適用してもよい。また、本実施例では、水平面内３自由度の運動、つまり、水平並進２自由度と鉛直軸まわり回転１自由度の制御を行なう装置を説明したが、これに残りの３自由度の剛体運動モード、つまり、鉛直並進１自由度、水平軸まわり回転２自由度の制御を行なう装置を組合わせてもよい。
【００６４】
また、本実施例のように水平面内３自由度の運動の制御だけでなく、並進、回転各３自由度をあわせた６自由度の運動モードを本実施例で開示した装置と同様に制御する装置および方法も本発明に含まれることは言うまでもない。
【００６５】
実施例２
次に本発明による除振装置の第２の実施例について説明する。
図６は本発明の第２の実施例に係る除振装置を示す。ＸＹステージなどの精密機器を搭載する除振台１は除振マウント２によって支持されている。除振マウントは複数台を用いて除振台１を支持するのが通常であり、例えば除振台１が四辺形の形状であれば、除振マウントは除振台１の４隅にそれぞれ配置する。図６ではそのうちの１台の除振マウント２のみを図示している。
【００６６】
除振マウント２の主要な構成要素は以下のようである。除振マウント２は不図示の機械ばねや空気ばねなどによって除振台１を浮上支持し、除振台１を設置床の振動から絶縁している。除振台１に締結ボルト３１で締結されており、除振台１とともに浮上するのが浮上部３２、設置床上に置かれるのがベース部３３である。除振台１の鉛直方向加速度を計測するための鉛直方向加速度センサ３４、除振台１の水平方向加速度を計測するための水平方向加速度センサ３は除振台１に固定されている。そして、除振台１へ鉛直方向に駆動力を作用させる鉛直方向アクチュエータ２１、除振台１へ水平方向に駆動力を作用させる水平方向アクチュエータ２２はベース部３３と浮上部３２との間に取付けられている。これらの構成要素のほかにも、実際の除振マウント２は、粘性部材など不図示の機構を含むものであるが、図６は能動除振装置の構成の概念図であり、能動的に振動制御を行なうための代表的な構成要素のみを図示している。複数台の除振装置で除振台１を支持する場合であっても、それぞれの除振装置は、図６に示した除振マウント２と同一な構成である。
【００６７】
本実施例による除振マウント２の特徴は、除振台１の鉛直方向加速度を計測するための鉛直方向加速度センサ３４、除振台１の水平方向加速度を計測するための水平方向加速度センサ３を、支持対象である除振台１に固定していることである。この固定場所は、除振台１において、除振マウント２により支持されている支持部位のできるだけ近くであることが好ましい。
【００６８】
次に、除振マウント２によって除振台１の振動を能動的に抑制するための制御系構成について説明する。図６は除振台１に生じる振動の速度を測定し、速度に比例した力を除振台１に作用させることによって、除振台１にダンピングを付与するような制御系構成を示している。鉛直方向加速度センサ３４の計測信号を符号反転器３５で符号反転し、それに加速度補償器３６を作用させた補償値を電力増幅器１０へ入力する。電力増幅器１０は入力信号に応じて鉛直方向アクチュエータ２１を駆動し、除振台１へ鉛直方向駆動力を作用させる。このように鉛直方向加速度を負帰還することによって、除振台１に鉛直方向ダンピングを付与している。なお、鉛直方向アクチュエータ２１がボイスコイルモータの場合、加速度信号を速度信号へ変換するため加速度補償器３６は積分動作となり、また、鉛直方向アクチュエータ２１が空気ばねの場合、アクチュエータ自身に積分特性があるので加速度補償器３６は比例動作となる。水平方向についても全く同様である。水平方向加速度センサ３の計測信号を符号反転器３５で符号反転し、それに加速度補償器３６を作用させた補償値を電力増幅器１０へ入力する。電力増幅器１０は入力信号に応じて水平方向アクチュエータ２２を駆動し、除振台１へ水平方向駆動力を作用させる。このように水平方向加速度を負帰還することによって、除振台１に水平方向ダンピングを付与している。なお、水平方向アクチュエータ２２がボイスコイルモータの場合、加速度信号を速度信号へ変換するため加速度補償器３６は積分動作となり、また、水平方向アクチュエータ２２が空気ばねの場合、アクチュエータ自身に積分特性があるので加速度補償器３６は比例動作となる。複数台の除振装置で除振台１を支持する場合であっても、それぞれの除振装置の制御系構成は、図６に示した除振マウント２の場合と同様な構成である。
【００６９】
本実施例による除振マウント２では、鉛直方向加速度センサ３４、水平方向加速度センサ３は支持対象である除振台１に固定されている。よって、【発明が解決しようとする課題】において述べたような浮上部３２の固有振動に起因する成分は、鉛直方向加速度センサ３４、水平方向加速度センサ３の計測信号中に含まれないのである。なぜなら、浮上部３２は除振台１と比べて質量が桁違いに小さいのが一般的であるため、浮上部３２に固有振動が生じても、質量が桁違いに大きい除振台１に振動が伝わるほどの振動エネルギがないからである。このように、鉛直方向加速度センサ３４、水平方向加速度センサ３を除振台１に固定することによって支持対象である除振台１に生じている振動のみを精度よく計測することができるのである。
【００７０】
本実施例によれば、加速度の負帰還ループ中から浮上部３２の共振に代表される構造物の高次共振を排除することができる。よって、制御帯域を十分に上げることができ、能動除振装置の性能が十分に発揮されて、除振台１の振動抑制を良好に行なうことが可能となる。また、高次共振に起因するスピルオーバ現象を回避できるため、制御系の安定性が飛躍的に向上する。
【００７１】
さらに、本実施例によれば、本質的に除振マウント２に高剛性を要求しない。浮上部３２の肉厚を剛性確保のために厚くする必要はないので、除振マウント２の軽量化が可能となる。また、除振マウント２を除振台１へ締結する部位の締結剛性を高める必要はないから、除振マウント２の設置作業およびメンテナンス作業も簡略化される。このように、本実施例の能動除振装置は、装置の軽量化、メンテナンス性といった面での効果も大きい。
【００７２】
実施例３
次に本発明による除振装置の第３の実施例について説明する。
図７は本発明による除振装置の第２の実施例を示す図面である。制御系構成を運動モード別制御としたものである。４台の除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは直方体形状に略記した除振台１の四隅を支持している。除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの構成はそれぞれで同一であり、要素番号に記号ａ，ｂ，ｃ，ｄを付記することにより４台を区別している。除振マウント２ａは鉛直方向加速度センサ３４ａ、水平方向加速度センサ３ａ、鉛直方向アクチュエータ２１ａ、水平方向アクチュエータ２２ａから構成されている。ＸＹＺ直交座標系は除振台１の重心Ｇを原点として、各軸を直方体形状の除振台１の辺と平行に、またＺ軸を鉛直方向に一致させて除振台１に固定されている。除振台１の運動は、Ｘ軸方向並進運動ｘ、Ｙ軸方向並進運動ｙ、Ｚ軸方向並進運動ｚ、Ｘ軸まわり回転運動θｘ、Ｙ軸まわり回転運動θｙ、Ｚ軸まわり回転運動θｚの６自由度運動として記述することができる。図７の運動モード別制御は、６自由度の運動モードごとに加速度の負帰還を行ない除振台１へダンピングを付与する構成である。
【００７３】
運動モード抽出装置６は鉛直方向加速度センサ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄと水平方向加速度センサ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの計測信号から運動モードごとの加速度、すなわちＸ軸方向並進加速度Ａx 、Ｙ軸方向並進加速度Ａy 、Ｚ軸方向並進加速度Ａz 、Ｘ軸まわり角加速度Ａθx 、Ｙ軸まわり角加速度Ａθy 、Ｚ軸まわり角加速度Ａθz を演算し出力する。そして、これら運動モードごとの加速度を符号反転器３５で符号反転し、さらに加速度補償器３６を作用させ、運動モードごとの補償値を生成する。運動モード分配装置８はこれら補償値を入力として、鉛直方向アクチュエータ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエータ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそれぞれへの駆動指令を生成し、電力増幅器１０に入力する。運動モード分配装置８の動作は、加速度補償器３６によって生成した運動モードごとの除振台１への駆動力を、鉛直方向アクチュエータ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエータ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそれぞれが発生する駆動力の合力として除振台１へ作用させるように、鉛直方向アクチュエータ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエータ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄそれぞれへの駆動指令を生成することである。電力増幅器１０は入力信号に応じて鉛直方向アクチュエータ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエータ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを駆動し、除振台１へ駆動力を作用させる。このように、運動モードごとに加速度を負帰還して除振台１へダンピングを付与し、除振台１に生じる振動を抑制している。なお、鉛直方向アクチュエータ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエータ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄがボイスコイルモータの場合、加速度信号を速度信号へ変換するため加速度補償器３６は積分動作となり、また、空気ばねの場合、アクチュエータ自身に積分特性があるので加速度補償器３６は比例動作となる。
【００７４】
除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは次のように配置している。鉛直方向については、鉛直方向加速度センサ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄと鉛直方向アクチュエータ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの方向はＺ軸方向に一致している。水平方向については、除振マウント２ａ，２ｃの水平方向加速度センサ３ａ，３ｃと水平方向アクチュエータ２２ａ，２２ｃの方向はＸ軸と一致し、除振マウント２ｂ，２ｄの水平方向加速度センサ３ｂ，３ｄと水平方向アクチュエータ２２ｂ，２２ｄの方向はＹ軸と一致するように除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを配置している。この配置は、除振台１の６自由度運動モードの全てが、鉛直方向加速度センサ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ、水平方向加速度センサ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄによって可観測であるための、また鉛直方向アクチュエータ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ、水平方向アクチュエータ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄによって可制御であるための配置である。勿論、この可観測性、可制御性を満たすものであれば、図７に示した以外の除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの配置であってもよい。
【００７５】
本実施例による除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄでは、鉛直方向加速度センサ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ、水平方向加速度センサ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは支持対象である除振台１に固定されている。よって、これまでに述べてきたような浮上部３２の固有振動に起因する成分は、それぞれの加速度センサの計測信号中に含まれない。支持対象である除振台１に生じている振動のみを精度よく計測することができる。すなわち、それぞれの加速度センサの計測信号を入力とした演算によって生成している除振台１の６自由度運動モードごとの加速度Ａx ，Ａy ，Ａz ，Ａθx ，Ａθy ，Ａθz は精度のよいものとなり、運動モード別制御が好適に行なわれる。浮上部３２に固有振動が存在することにより、運動モード別制御が崩れるような不都合は生じないのである。
このように、本実施例によれば、運動モード別制御を好適に実施できるという効果がある。
【００７６】
なお、上述の第２および第３の実施例では除振マウント２が鉛直方向加速度センサ３４、水平方向加速度センサ３、鉛直方向アクチュエータ２１、水平方向アクチュエータ２２を有する場合、また、直方体形状である除振台１の四隅を４台の除振マウント２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄで支持する場合を開示しているが、本発明はこのような実施形態に限定されるものではない。加速度センサを支持対象である除振台に固定することを特徴とする除振装置であるという本発明第２局面の本質は、加速度センサとアクチュエータの方向、除振台の形状やそれを支持する除振装置の台数と配置などを問わずに、実施できるのである。
【００７８】
【発明の効果】
台を運動モードごとに制御する除振装置において、台各部で様々な局所的振動が発生する場合でも、安定かつ良好な動作を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施例に係る能動除振装置の構成図である。
【図２】  図１の装置における能動除振マウントの一例を表わす図である。
【図３】  図１の装置における除振台振動を検出するセンサの配置を表わす図である。
【図４】  図１の装置における能動除振マウントとそれに組み込まれたアクチュエータの配置を表す図である。
【図５】  運動モード相互に干渉項を持たせた補償器の一例を表す図である。
【図６】  本発明の第２の実施例に係る除振装置の構成を示す図である。
【図７】  本発明の第３の実施例に係る除振装置の構成を示す図である。
【図８】  第１の従来例に係る除振装置を示す図である。
【図９】  除振台を各運動モードごとに振動制御する従来の除振装置の構成例を表わす図面である。
【図１０】  従来の除振装置による運動モード別制御の構成を示した図である。
【符号の説明】
１：除振台、２，２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ：能動除振マウント、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ：振動検出手段（水平方向加速度センサ）、４：ローパスフィルタ、５：ハイパスフィルタ、６：運動モード抽出回路（運動モード抽出装置）、７：第１の補償演算手段、８：推力分配回路（運動モード分配装置）、９：第２の補償演算手段、１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ：駆動回路、２１，２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ：除振台１に鉛直方向の制御力を加えるアクチュエータ（鉛直方向アクチュエータ）、２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ：除振台１に水平方向の制御力を加えるアクチュエータ（水平方向アクチュエータ）、２３：除振台１を鉛直方向に防振支持する鉛直支持手段、２４：除振台１を水平方向に防振支持する水平支持手段、３１：締結ボルト、３２：浮上部、３３：ベース部、３４，３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ：鉛直方向加速度センサ、３５：符号反転器、３６：加速度補償器。
【図１】
0003825869.tif 000007
【図２】
0003825869.tif 000008
【図３】
0003825869.tif 000009
【図４】
0003825869.tif 000010
【図５】
0003825869.tif 000011
【図６】
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【図７】
0003825869.tif 000013
【図８】
0003825869.tif 000014
【図９】
0003825869.tif 000015
【図１０】
0003825869.tif 000016