(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される枚葉の基板にフィルムを貼り合わせるときに、フィルムを所定の位置で切断して貼り合わせを連続的に行うオ−トカットラミネ−タ−で基板上にフィルムをラミネ−トする際に、フィルム切断後のフィルム後端を吸引保持する部材と該フィルムとの間にメッシュを介在させ、前記メッシュがフィルム切断後のフィルム後端を吸引保持する部材の上部に固定されていることを特徴とするラミネ−ト方法。
【請求項２】
前記メッシュがナイロンメッシュであることを特徴とする請求項１に記載のラミネ−ト方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスプレイ用ガラス基板やプリント配線用銅張積層基板等の基板に、ドライフィルム等の樹脂製フィルムを貼り合せるのに使用されるラミネ−タ−の技術分野に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、搬送される枚葉の基板にフィルムを貼り合わせるオ−トカット方式のラミネ−タ−（以後、「オ−トカットラミネ−タ−」と記す）においては、フィルムの先端が基板に貼り合わされているときに、基板の上部にてフィルムを所定の位置で切断して貼り合わせを連続的に行っているが、このときフィルムを切断することにより、支えをなくしたフィルムの後端は基板上に落下してしまうという現象があった。フィルムが基板上に落下すると、落下した位置で基板上にフィルムが貼り付けられてしまうため、ラミネ−トロ−ルで圧着される際にシワが寄ったり、空気が入ってしまったりして、基板が不良品になってしまうという問題があった。
【０００３】
そのため、ラミネ−ト速度と同速度でフィルムの流れる面に沿って走行する吸着板を設ける等の方法で、フィルム後端が落下しないように保持するという方法が一般的に用いられている。ラミネ−トロ−ルのごく近傍にフィルム後端が到達する時点では、ラミネ−トロ−ルに隣接して設けられた、フィルム切断後のフィルム後端を吸引保持する部材（以後、「真空シュ−」とも記す）にフィルム後端が受け渡され、フィルムの基板上への落下をできるだけ防ぐようにしてラミネ−トをしている。この真空シュ−の構造は、フィルムにシワが寄らないように表面を研磨した金属で作られ、フィルムと接触する側に、フィルムを吸引して保持するための複数の穴もしくは溝が開けられており、真空シュ−の両端から真空ポンプ等にホ−ス等でつないで吸引しているのが一般的である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、フィルムの材質、ラミネ−ト速度、フィルムのテンション等の条件によっては、真空シュ−と接触し擦れる際の傷がフィルム上に付いてしまうことがある。この傷が、例えばフィルムが感光性のドライフィルムレジストであった場合には、フィルム上の傷のある部分は光学的に不均一となり、露光時に傷が原因でマスクとは異なるパタ−ンがレジスト上に露光され、現像後のレジストパタ−ンに欠陥が生じてしまい、僅か１個のレジストパタ−ン欠陥で、基板全体が不良品となってしまうことがある。
【０００５】
そのため、傷の発生原因であるフィルムと真空シュ−との摩擦を低減するために、真空シュ−のフィルムと接触する側に、ポリテトラフルオルエチレン樹脂等をコ−ティングしてラミネ−トを行う方法があるが、この方法ではフィルムとの摩擦により次第にポリテトラフルオルエチレン樹脂が剥がれてくるため、一定の周期で真空シュ−を交換する必要が生じる。しかし、真空シュ−は価格が高く、また、交換作業も簡単ではないため、生産工場のラミネ−タ−に対しては負荷が大きくなるという問題があった。また、実案登録第３０８２６６８号に示されるように、基板に貼り付けられる感光性フィルムのベ−スフィルムが、ラミネ−タ−によって傷が付けられにくいようにするために、フィルムの案内部材の少なくともフィルムと接触する表面をクロムメッキ等の金属メッキで鏡面仕上をしたラミネ−タ−が開示されている。しかし、クロムメッキ等のメッキ作業は環境対策を十分に考慮した専用設備と熟練した技能が必要であり、しかも鏡面仕上の金属メッキにおいてもフィルムの傷は解消しきれないという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明はこのような問題点を解消するためになされたものである。その目的は、生産性に優れた方法で、基板へのラミネ−ト時にベ−スフィルム表面に傷が付くのを防ぐことにより、欠陥のないレジストパタ−ンを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明に係わるラミネ−ト方法は、搬送される枚葉の基板にフィルムを貼り合わせるときに、フィルムを所定の位置で切断して貼り合わせを連続的に行うオ−トカットラミネ−タ−で基板上にフィルムをラミネ−トする際に、フィルム切断後のフィルム後端を吸引保持する部材と該フィルムとの間にメッシュを介在させ、前記メッシュがフィルム切断後のフィルム後端を吸引保持する部材の上部に固定されていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２の発明に係るラミネ−ト方法は、前記メッシュがナイロンメッシュであることを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は本発明の方法を用いたラミネ−タ−の全体を示す概略構成図であり、図２は本発明の方法を示す図１の真空シュ−付近の拡大説明図である。図１において、Ａは基板ＧにフィルムＦを貼り合せるラミネ−ト部、Ｂはラミネ−ト部Ａに基板Ｇを搬入するコンベアであり、通常は予熱炉（図示はしていない）でラミネ−ト温度にまで温められた基板Ｇがラミネ−ト部Ａに搬入され、フィルムＦがラミネ−トされてラミネ−ト部Ａから搬出される。
【００１１】
ラミネ−ト部Ａにおいて、貼り合わせ用のフィルムＦは供給ロ−ル１から繰り出され、ガイドロ−ル２に至るまでに保護フィルムｆが巻き取られて除去される。そして、保護フィルムｆが除去されたフィルムＦは、ダンサ−ロ−ル３を経て、ガイドロ−ル４からラミネ−トロ−ル部へと送られ、コンベアＢで搬送される基板Ｇに対して、第１ロ−ル５ａ、５ｂと第２ロ−ル６ａ、６ｂによりフィルムＦの貼り合わせが行われる。この貼り合わせが行われている間に、フィルムＦはオ−トカッタ−７により所定の長さに切断される。このオ−トカッタ−７はフィルムＦと共に下方に移動しつつ、カッタ−刃７ａが横方向に移動することによりフィルムＦを直角方向に切断する。この時、保持部材８がフィルムを保持しながらオ−トカッタ−７と共に下方に移動する。次いで、図２に示すように、切断されたフィルムＦは、その切断されたフィルム後端付近がメッシュ１０を介して真空シュ−９により吸引保持され、フィルムＦの後端付近は基板Ｇに沿って貼り合わされる。そして、貼り合わせを終えた基板Ｇは払い出しコンベアにより搬出される。
【００１２】
本発明で用いるメッシュ１０としては、フィルムＦと接触してもフィルム表面に傷を付けない柔軟性に富んだ材料が適し、メッシュ材料としては、合成繊維によるメッシュとして、ナイロンメッシュ、ポリエステルメッシュ、ポリプロピレンメッシュ等が用いられ、天然繊維としてはシルクメッシュが用いられるが、入手の容易性、柔軟性、コスト等の点で、ナイロンメッシュがより好ましい材料である。メッシュ１０の線数としては、真空シュ−９の吸引力を著しく低下させることがなく、フィルムＦに傷が付かないような範囲ならば特に限定されないが、例えば、５０〜４００メッシュ／インチ程度が用いられる。本発明の方法では、真空シュ−９の吸引部の穴径、真空吸引度合いに応じて、適切なメッシュ１０の線数を選択することが可能である。
【００１３】
本発明で用いるメッシュ１０の大きさとしては、フィルムＦの流れ方向と直角の横幅は、フィルムＦが真空シュ−９と直接に接触しないように、使用するフィルムＦの横幅よりも少し長い幅とし、フィルムＦの流れ方向であるメッシュ１０の縦幅は、ラミネ−トする第１ロ−ル５ａに巻き込まれない長さであり、ラミネ−ト時に真空シュ−９の先端部よりメッシュ１０が、長すぎるとフィルムＦにシワが生じ、短すぎるとフィルムに傷が付く。したがって、メッシュ１０は真空シュ−の先端部に対し、±１５ｍｍ程度の長さとするのが好ましく、真空シュ−９の大きさに応じて決めればよい。
【００１４】
メッシュ１０の真空シュ−９への固定は、メッシュ１０の上部のみで固定する。例えば、フィルムＦの流れ方向と直角方向のメッシュ１０の上端部に、表裏から一定幅の粘着テ−プを貼り、さらに、金属板、プラスチック板等の固定用板で粘着テ−プを表裏から挟み、固定用板および粘着テ−プに複数の一貫するネジ穴を開けて、真空シュ−９の上面部の端にネジで固定し、メッシュ固定部１１とする。本発明で、メッシュ上端部のみならず、フィルムＦの流れ方向の左右のメッシュ端部、あるいはメッシュ下端部にまで粘着テ−プを貼ると、かえってメッシュ１０にシワが生じて好ましくない。真空シュ−９およびメッシュ１０において、フィルムＦと直接に接触するのはメッシュ１０のみであるが、メッシュ１０は上部のみの固定であっても、自重とフィルムＦの流れによって、ムラなく円滑にフィルムＦに接触し、真空シュ−９および真空シュ−９に設けられた吸引穴とフィルムＦを直接に接触させずに、フィルムＦを吸引保持する機能を果たしている。その結果、フィルムＦには傷が付かずに基板Ｇへの貼り合わせが可能となる。メッシュと接する真空シュ−上面の角部が尖っていると、メッシュの一定箇所に過度の力が加わってメッシュが切れ易くなるので、真空シュ−の少なくともメッシュと接する側の角部は丸くしておくのが好ましい。
【００１５】
【実施例】
本発明をプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）用背面板の製造に適用した例について述べる。ＰＤＰ背面板用のガラス基板として、大きさ１４００ｍｍ×１０００ｍｍ、厚さ２．８ｍｍの高歪点ガラス（旭硝子（株）製「ＰＤ２００」）を用い、２面付けにて、ガラス基板上に電極層を形成し、その上に誘電体層を形成した後、さらにペ−スト状のリブ（障壁ともいう）形成材料をダイコ−ト法により塗布した。次に、塗布したリブ形成材料を温風乾燥して膜厚１７０μｍの乾燥膜を得た。
【００１６】
次いで、本発明のラミネ−ト方法を用いたオ−トカットラミネ−タ−により、乾燥したリブ形成材料上に感光性ドライフィルムレジスト（日本合成化学工業（株）製「ＮＣＰ２２５」）を貼り合せた。メッシュとしては、大きさ１１１０ｍｍ×１７０ｍｍのナイロンメッシュ（２００メッシュ／インチ）の長手方向の上端部を、大きさ１１１０ｍｍ×５０ｍｍ幅の粘着テ−プで表裏から押さえた後、テ−プの上から、１１１０ｍｍ×５０ｍｍ、厚さ１ｍｍのステンレス金属板で表裏から押さえ、金属板及びテ−プにネジ穴を開けて、真空シュ−の上面部の端にネジで固定した。真空シュ−のメッシュと接する上面の角部は、曲率半径２５ｍｍの丸みを持たせた。メッシュの長さは、使用時にちょうど真空シュ−の先端にとどく長さに設定した。ナイロンメッシュはフィルムの流れにより、ムラなく円滑にフィルムに接触し、フィルムは真空シュ−および真空シュ−に設けられた吸引穴と直接に接触せず、しかもフィルムを吸引する機能は維持されているので、フィルムには傷が付かず、シワが寄ることもなく、次々と搬送されてくる各基板へ、良好な状態でフィルムを貼り合わせることができた。
【００１７】
次に、線幅８０μｍ、ピッチ２２０μｍのラインパタ−ンを有するフォトマスクを用いて、感光性ドライフィルムを紫外線露光し、現像し、線幅８０μｍ、ピッチ２２０μｍのレジストパタ−ンを形成した。続いて、研削材料として溶融アルミナ＃１０００を用いてサンドブラスト加工を行い、レジストパタ−ンから露出している不要部を切削除去した後、レジストパタ−ンを剥離した。次いで、焼成炉によりピ−ク温度５５０℃にて焼成し、表面平滑性が高く形状の良好なリブを形成した。
【００１８】
次に、後工程として、ＰＤＰ用として使用される通常の紫外線励起型の蛍光体をスクリ−ン印刷し、焼成して、それぞれのリブ間に、赤色、緑色、青色の蛍光体層を形成し、ＰＤＰ用背面板を得た。
【００１９】
【発明の効果】
本発明によるラミネ−ト方法は、ラミネ−ト時にベ−スフィルム表面に傷が付いたり、シワが寄るのを防ぐことにより、ラミネ−トに起因する欠陥のない製品が得られ、作業性が良くてコストも安い方法であり、ラミネ−トの生産性を高めることが可能である。また、メッシュを介在させたことにより、フィルム表面に付着していた塵埃をメッシュに転移させて、ラミネ−ト直前に取り除き、フィルム面上の塵埃によるパタ−ン欠陥をなくすという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の方法を用いたラミネ−タ−の全体を示す概略構成図
【図２】  本発明の方法を示す図１の拡大説明図
【符号の説明】
Ａ  ラミネ−ト部
Ｂ  コンベア
Ｆ  フィルム
ｆ  保護フィルム
Ｇ  基板
１  供給ロ−ル
２  ガイドロ−ル
３  ダンサ−ロ−ル
４  ガイドロ−ル
５ａ、５ｂ  第１ロ−ル
６ａ、６ｂ  第２ロ−ル
７  オ−トカッタ−
８  保持部材
９  真空シュ−
１０  メッシュ
１１  メッシュ固定部
【図１】
0003828044.tif 000002
【図２】
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