(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の供給部から電子部品を取り出し搭載ヘッドによって基板位置決め部に載置された基板に実装する電子部品の実装方法であって、前記基板上での電子部品の配置と整合する座標位置に認識マークが形成されたテンプレートを前記基板位置決め部の基板に載置する位置と同一の位置に載置し前記認識マークを基板認識手段によって認識する工程と、この認識結果に基づいて前記電子部品の基板上での搭載位置を示す搭載位置データを前記基板位置決め部を基板認識手段および搭載ヘッドに対して相対的に移動させる移動手段の駆動軸座標系の座標値として求め記憶させる工程と、前記搭載位置データに基づいて前記基板位置決め部に載置された基板を前記搭載ヘッドに対して相対的に移動させて、基板の実装点を搭載ヘッドによる部品搭載位置に位置合わせする工程とを含むことを特徴とする電子部品実装方法。
【請求項２】
前記電子部品を基板に搭載する際に、前記搭載ヘッドに保持された電子部品を部品認識手段によって認識し、認識によって検出された位置ずれを補正することを特徴とする請求項１記載の電子部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を高位置精度で基板に実装する電子部品実装方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品実装装置においては、トレイなどに電子部品を収納した電子部品の供給部から電子部品をピックアップして実装対象の基板上に移送・搭載することが行われる。電子部品の搭載に際しては、所定位置に正しく位置合わせして搭載するために、電子部品や基板を光学的に認識する方法が広く用いられる。この方法は、基板に設けられた認識マークをカメラで撮像して位置を検出し、検出された位置に基づいて電子部品を基板に対して位置合わせするものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで近年電子部品の実装に求められる位置精度は高度化しており、電子部品の種類によっては、単に個々の電子部品を基板の実装点に所定精度で位置合わせすることのみならず、同一基板に実装された複数部品間の相対位置を高精度に保つことが求められるようになってきている。各電子部品の実装位置毎に認識マークを設ける従来の方法で、このような複数部品間の相対位置を含めた高い実装位置精度を実現しようとすれば、認識マーク自体を高精度化する必要がある。
【０００４】
しかしながら、一般に基板に形成される認識マークの位置精度は低く、各基板の実装点毎に設けられる多数の認識マークを、マークの相対位置を含めて高精度で安定して加工することは困難である。このため、電子部品の位置合わせを認識マークによって行う従来の電子部品実装方法では、複数部品間の相対位置を高精度で確保した実装を行うことが困難であるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、複数部品間の相対位置を高精度で確保することができる電子部品実装方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の電子部品実装方法は、電子部品の供給部から電子部品を取り出し搭載ヘッドによって基板位置決め部に載置された基板に実装する電子部品の実装方法であって、前記基板上での電子部品の配置と整合する座標位置に認識マークが形成されたテンプレートを前記基板位置決め部の基板に載置する位置と同一の位置に載置し前記認識マークを基板認識手段によって認識する工程と、この認識結果に基づいて前記電子部品の基板上での搭載位置を示す搭載位置データを前記基板位置決め部を基板認識手段および搭載ヘッドに対して相対的に移動させる移動手段の駆動軸座標系の座標値として求め記憶させる工程と、前記搭載位置データに基づいて前記基板位置決め部に載置された基板を前記搭載ヘッドに対して相対的に移動させて、基板の実装点を搭載ヘッドによる部品搭載位置に位置合わせする工程とを含む。
【０００７】
請求項２記載の電子部品実装方法は、請求項１記載の電子部品実装方法であって、前記電子部品を基板に搭載する際に、前記搭載ヘッドに保持された電子部品を部品認識手段によって認識し、認識によって検出された位置ずれを補正する。
【０００８】
上記構成の本発明によれば、基板上での電子部品の配置と整合する座標位置に認識マークが形成されたテンプレートを基板位置決め部に載置し認識マークを基板認識手段によって認識して得られた位置検出結果から電子部品の搭載位置データを求めて記憶させておき、電子部品の実装に際しては基板位置決め部に載置された基板を搭載位置データに基づいて搭載ヘッドに対して相対的に移動させて基板の実装点を搭載ヘッドによる部品搭載位置に位置合わせすることにより、複数部品間の相対位置を高精度で確保することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の側面図、図２は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図、図３は本発明の一実施の形態の電子部品実装対象の基板の斜視図、図４は本発明の一実施の形態の電子部品実装位置ティーチング用のテンプレートの平面図、図５は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図、図６は本発明の一実施の形態の電子部品実装方法のフロー図、図７は本発明の一実施の形態の実装位置ティーチング処理のフロー図、図８は本発明の一実施の形態の電子部品実装方法の説明図である。
【００１０】
まず、図１および図２を参照して、電子部品実装装置の全体構造を説明する。電子部品１は、バンプ２を上向きにしてトレイ３に収納されている。トレイ３は保持テーブル４上に載せられており、保持テーブル４は第１の可動テーブル５上に載せられている。以上の要素は電子部品の供給部６を構成している。第１の可動テーブル５が駆動することにより、トレイ３内の電子部品１はピックアップ位置Ｐへ移動する。トレイ３の上方には、電子部品１を認識するためのカメラから成る第１の認識ユニット７が設けられている。
【００１１】
図２において、１０は第１のターンテーブルであり、放射状に延出する３本のアーム１１を有している。各アーム１１の内部には水平な回転軸１６（図１）が設けられており、その先端部には第１のピックアップヘッド１２が装着されている。第１のピックアップヘッド１２は、電子部品１を真空吸着するノズル１３を有している。
【００１２】
図１において、各回転軸１６の基端部には各々かさ歯車１４が設けられている。１５ａは垂直な固定軸１５の下端部に回転不能に結合された固定かさ歯車である。各々のかさ歯車１４は固定かさ歯車１５ａに１：１のギヤ比で歯合している。アーム１１の上部にはアーム１１と一体のプーリ１７が固定軸１５にベアリングを介して固定軸１５を中心に回転自在に設けられている。１８はモータであり、その回転軸にはプーリ１９が装着されている。プーリ１７とプーリ１９にはタイミングベルト２０が調帯されている。２１は、適所に設けられたベアリングである。
【００１３】
したがってモータ１８が駆動すると、アーム１１は固定軸１５を中心に矢印Ａ方向（図２）に水平回転する。アーム１１が回転すると、回転軸１６に装着されているかさ歯車１４も固定かさ歯車１５ａに歯合しながら回転し、回転軸１６はその軸心を中心に回転する（矢印Ｂ）。したがって、アーム１１が固定軸１５を中心に１８０°回転するとトレイ３の電子部品１を真空吸着したノズル１３は回転軸１６を中心に１８０°回転し、これにより電子部品１は上下反転されてバンプ２を下向きにした姿勢になるとともに、以下に説明する第２のターンテーブルへの受け渡し位置に到達する。
【００１４】
第１のターンテーブル１０の側方には、第２のターンテーブル３０が設けられている。第２のターンテーブル３０のセンターの垂直な回転軸３１からは、多数本のアームが放射状に延出している。回転軸３１は、モータ３４に駆動されて回転し、これによりこれらのアームは水平回転する。アーム３２の先端部には、電子部品１を保持するための部品保持部３２ａが形成されている。
【００１５】
図１において、第１のターンテーブル１０と第２のターンテーブル３０の境界部の上方には、第２のピックアップヘッド４０が設けられている。第２のピックアップヘッド４０はノズル４１を有している。第２のピックアップヘッド４０はブロック４２の前面に設けられた垂直なガイドレール４３に上下動自在に装着されており、モータ４４が駆動してブロック４２に内蔵された上下動機構（図示せず）が作動するとガイドレール４３に沿って上下動する。
【００１６】
また第２のピックアップヘッド４０には、ノズル４１をその軸心を中心に回転させるモータ４５が備えられており、ノズル４１をその軸心を中心に回転させることにより、ノズル４１の下端部に真空吸着された電子部品１を水平回転させ、電子部品１の回転方向の向きを補正する。ブロック４２は移動テーブル４６に保持されており、モータ４７が駆動すると、ブロック４２や第２のピックアップヘッド４０はＹ方向に水平移動する。
【００１７】
図１において、第２のターンテーブル３０の回転軸３１の下部にはブロック５０が装着されている。ブロック５０の下面にはガイドレール５１が設けられている。ガイドレール５１には、スライダ５４を介して第２の認識ユニット５２が装着されている。ブロック５０に内蔵された駆動部（図示せず）が駆動すると、第２の認識ユニット５２および鏡筒５３はガイドレール５１に沿ってＹ方向へ水平移動する。第２の認識ユニット５２は部品認識用のカメラ５２ａ（部品認識手段）と基板認識用のカメラ５２ｂ（基板認識手段）を内蔵しており（図８参照）、鏡筒５３の同一進出動作において上下両方向を撮像することが可能となっている。
【００１８】
図１において、第１のターンテーブル１０と反対側の第２のターンテーブル３０の下方には、２つの直動テーブルをＸ方向およびＹ方向に組み合わせた第２の可動テーブル６０が配設されている。第２の可動テーブル６０上には基板６１が載置される。第２の可動テーブル６０を駆動することにより、載置された基板６１はＸ方向やＹ方向へ水平移動し、基板６１の位置調整が行われる。すなわち第２の可動テーブル６０は基板位置決め部となっている。また第２の可動テーブル６０を駆動する２つのモータ（図示せず）にはエンコーダが備えられており、これらのエンコーダからのパルス信号により、第２の可動テーブル６０の駆動軸座標系での座標値が特定できるようになっている。後述する実装位置ティーチングは、これらの座標値に基づいて行われる。
【００１９】
図１において、第２の可動テーブル６０の上方には、第３のピックアップヘッド（搭載ヘッド）６９が設けられている。第３のピックアップヘッド６９から下方へ突出するノズル部７０にはヒータ７１が装着されており、またノズル部７０の下端部には吸着子７２が着脱自在に装着されている。吸着子７２の下面には吸着孔が形成されており、この吸着孔は図示しない真空吸引手段と連通している。真空吸引手段を駆動することにより、電子部品１は吸着子７２の下面に真空吸着により保持される。
【００２０】
図１において、第３のピックアップヘッド６９の側面にはスライダ７５が装着されている。スライダ７５はブロック７７の前面に設けられた垂直なガイドレール７６に嵌合している。ブロック７７に備えられた上下動手段（図示せず）が駆動すると、第３のピックアップヘッド６９はガイドレール７６に沿って上下動する。
【００２１】
第２の可動テーブル６０上に基板６１が載置され、吸着子７２の下面に電子部品１が保持された状態で、第２の認識ユニット５２の鏡筒５３を電子部品１側へ前進させると、鏡筒５３の先端部は電子部品１の直下に位置する。この状態で部品認識用のカメラ５２ａで上方を撮像することにより、電子部品１の位置認識が行われる。この位置認識は、バンプ２などの電子部品１の特徴部を撮像することにより行う。
【００２２】
また同様に鏡筒５３を進出させた状態で、基板認識用のカメラ５２ｂで下方を撮像することにより、第２の認識ユニット５２は基板６１に形成された認識マークを撮像する。これにより、基板６１の位置認識や、基板６１上における電子部品の搭載位置の検出を行う。また、基板６１の代わりに後述するテンプレート６２を第２の可動テーブル６０上に載置し、テンプレート６２上に形成された認識マークを認識することにより、電子部品実装位置のティーチングが行えるようになっている。
【００２３】
次に図３を参照して、本実施の形態に示す電子部品実装対象の基板について説明する。図３に示すように、基板６１には複数（本実施の形態では５個）の電子部品１が実装される。ここで、それぞれの電子部品１の基板６１上における実装点Ｐ１〜Ｐ５に対する実装精度は、個々の電子部品について定められた所定精度範囲内にあることが求められるのみならず、各電子部品相互間の相対位置（図３において矢印で示す各距離）をも所定精度範囲内に収めなければならない。
【００２４】
このため、本実施の形態においては、図４に示すような実装位置ティーチング用のテンプレート６２を用いて、各電子部品を基板６１に実装する際の搭載位置をティーチングにより指示するようにしている。以下、実装位置ティーチングに用いられるテンプレート６２について説明する。図４において、テンプレート６２は各基板種類毎に準備される基準治具であり、熱や荷重による変形の少ない材質で基板６１と同サイズに製作されている。テンプレート６２には、基板６１上での電子部品１の配置と整合する座標位置に、認識マークｍｎａ，ｍｎｂ（ｎ＝１〜５）が形成されている。
【００２５】
ここで認識マークｍｎａ，ｍｎｂは、１つの電子部品に対応して形成された２つの認識マークｍｎａ，ｍｎｂの中点（実装対応点）Ｐ１’〜Ｐ５’が、それぞれ図３に示す基板６１上での実装点Ｐ１〜Ｐ５に一致し、かつ２つの認識マークｍｎａ，ｍｎｂを結ぶ直線方向が当該電子部品の対角方向と一致するように配置されており、認識マークｍｎａ，ｍｎｂの位置を検出することにより、各電子部品の正しい実装点が求められるようになっている。認識マークｍｎａ，ｍｎｂのテンプレート６２上での位置精度は、電子部品１の実装後の基板６１に求められる位置精度、すなわち個々の電子部品の位置精度と併せて、各電子部品相互間の相対位置精度が所定の許容範囲内に収まるような精度に設定されている。
【００２６】
次に、図５を参照して制御系の構成について説明する。図５において、制御部７５はＣＰＵであり電子部品実装装置全体の動作制御のための各種演算・処理を行う。プログラム記憶部７６は、各種演算・処理のためのプログラムを記憶する。データ記憶部７７は、電子部品１の基板６１上における位置を示す実装データや、後述する実装位置ティーチングによって教示された搭載位置データ、すなわち基板を第３のピックアップヘッド６９に対して相対的に移動させる第２の可動テーブル６０の駆動軸座標系の座標値で示された搭載位置データを記憶する。
【００２７】
機構駆動部７８は、第１の可動テーブル５、第１のターンテーブル１０、第２のターンテーブル３０、第２の可動テーブル６０などの機構部を駆動する。第１の画像認識部７９ａは、第１の認識ユニット７の撮像データを画像認識することにより、保持テーブル４上での電子部品１の位置を認識する。第２の画像認識部７９ｂは、第２の画像認識ユニット５２の部品認識用のカメラ５２ａ、基板認識用のカメラ５２ｂの撮像結果を画像処理することにより、基板６１やテンプレート６２に形成された認識マークの位置を検出するとともに、第３のピックアップヘッド６９に保持された状態の電子部品１の位置を検出する。ティーチング処理部８０は、テンプレート６２の認識マークの位置検出結果に基づいて、電子部品１を基板６１に搭載する際の搭載位置データを算出する処理を行う。算出された搭載位置データは、データ記憶部７７に記憶される。
【００２８】
この電子部品実装装置は上記のような構成より成り、次に全体の動作を図６、図７のフローに沿って各図を参照しながら説明する。図６において、まず電子部品実装動作に先立って、実装対象の基板に応じて製作されたテンプレート６２を用いた実装位置ティーチング処理が行われる（ＳＴ１）。これにより、基板６１に実装される各電子部品１の搭載位置データが求められ、この後、実装動作が開始される。図１において、まず第２の可動テーブル６０上には実装対象の基板６１が載置される（ＳＴ２）。このとき、基板６１は図示しない位置決め手段により上記ティーチング処理時におけるテンプレート６２の載置位置と同一位置に載置される。
【００２９】
次に第１の認識ユニット７でトレイ３内の実装対象の電子部品１の位置認識を行い（ＳＴ３）、この認識結果にしたがって、第１の可動テーブル５を駆動して電子部品１を第１のピックアップヘッド１２によるピックアップ位置Ｐに移動させる（ＳＴ３）。次に第１のターンテーブル１０が回転することにより、第１のピックアップヘッド１２を電子部品１の上方へ移動させ（ＳＴ４）、そこでノズル１３が上下動作を行うことにより、ノズル１３の下端部に電子部品１を真空吸着してピックアップする（ＳＴ５）。この場合、上述のように第１の可動テーブル５を駆動して電子部品１の位置を調整したので、ノズル１３は電子部品１のセンターを正しく真空吸着する。なおノズル１３の上下動手段は第１のピックアップヘッド１２に内蔵されている。
【００３０】
次にモータ１８が駆動することにより第１のターンテーブル１０は矢印Ａ方向（図２）へピッチ回転し、ピックアップした電子部品１を第２のピックアップヘッド４０の下方へ搬送するが、このとき回転軸１６はかさ歯車１４と固定かさ歯車１５ａの作用によりその軸心を中心に矢印Ｂ方向へ回転し、ノズル１３を上向きにして電子部品１を上下反転させ、バンプ２を下向きにする。
【００３１】
次に図１において、第２のピックアップヘッド４０のノズル４１は上下動作を行い、ノズル１３の上端部の電子部品１をピックアップする（ＳＴ６）。次に、第２のピックアップヘッド４０が電子部品１をピックアップしたならば、第１の認識ユニット７の認識結果にしたがって、モータ４５を駆動してノズル４１を回転させることにより、電子部品１の回転方向のずれ量の位置補正を行う。また第２のターンテーブル３０が回転し、アーム３２の先端部が第２のピックアップヘッド４０の直下へ移動してくる。そこで第２のピックアップヘッド４０は上下動作を行い、電子部品１をアーム３２上の部品保持部３２ａに受け渡す（ＳＴ７）。受け渡された電子部品１は、真空吸着されて保持される。
【００３２】
次に第２のターンテーブル３０は１８０°水平回転し、電子部品１を第３のピックアップヘッド６９の直下まで搬送する。図１において鎖線で示すアーム３２はこのときの状態を示している。次に第３のピックアップヘッド６９は上下動作を行い、この電子部品１を吸着子７２の下面に真空吸着してピックアップする（ＳＴ８）。
【００３３】
次にアーム３２は第３のピックアップヘッド６９の直下から退去し、第２の認識ユニット５２が吸着子７２に真空吸着された電子部品１側へ前進して鏡筒５３の先端部が電子部品１の直下へ移動する。そして部品認識用のカメラ５２ａによって電子部品１の位置認識を行う（ＳＴ９）。この位置認識は、バンプ２などの電子部品１の特徴部を観察することにより行う。これにより電子部品１の位置ずれ量が検出される。
【００３４】
次にこの位置ずれ量および（ＳＴ１）によって取得された搭載位置データに基づいて、第２の可動テーブル６０を駆動して基板６１をＸ方向やＹ方向へ水平移動させ、電子部品１の実装点Ｐ１を吸着子７２に真空吸着された電子部品１の直下へ移動させる（ＳＴ１０）。すなわち、基板６１の実装点を第３のピックアップヘッド６９による部品搭載位置に位置合わせし、さらに吸着子７２に保持された電子部品１の位置ずれ量分だけ基板６１を移動させて位置補正を行う。
【００３５】
次に第１のピックアップヘッド６９を下降させて電子部品１のバンプ２を基板６１の電極上に着地させ、その状態でヒータ７１の伝熱によりバンプ２を加熱しながら電極に押し付けて電極にボンディングする（ＳＴ１１）。次いで第３のピックアップヘッド６９は上昇し、当該電子部品の実装動作を終了する。そして全ての電子部品の実装が完了したか否かを判断し（ＳＴ１２）、未実装部品があれば（ＳＴ３）に戻り、次の電子部品について同様の実装動作を反復する。この後全ての電子部品の実装完了を確認して、当該基板への実装動作を終了する。
【００３６】
ここで、図７のフローおよび図８を参照して、（ＳＴ１）の実装位置ティーチング処理について説明する。まず実装対象の基板６１に対応したテンプレート６２を第２の可動テーブル６０上に載置する（ＳＴ２１）。このとき、テンプレート６２の載置位置は図示しない位置決め手段により基板６１を第２の可動テーブル６０に載置する際の位置と同一に保たれる。次に図８（ａ）に示すように鏡筒５３を撮像位置に進出させる（ＳＴ２２）。この状態では、部品認識用のカメラ５２ａの光軸ａが、第３のピックアップヘッド６９による部品搭載位置、すなわち吸着子７２の中心位置に一致するよう、さらにカメラ５２ａの光軸ａと基板認識用のカメラ５２ｂとの光軸ｂが一致するように各部の位置調整がなされている。
【００３７】
次に第２の可動テーブル６０を駆動して、図８（ａ）に示すように対象実装点に対応する認識マークを基板認識用のカメラ５２ｂの撮像視野Ｃ内に移動させる。図８（ａ）では、基板６１の実装点Ｐ１に対応した認識マークｍａ１，ｍｂ１が撮像対象となる。次いで認識マークを撮像して位置を検出し、実装点の位置を求める（ＳＴ２４）。すなわち、認識マークｍａ１，ｍｂ１の位置を検出してこれらの中点Ｐ１’を実装対応点として求める。そして第２の可動テーブル６０を駆動してテンプレート６２を移動させることにより、カメラ５２ｂの光学座標系の原点位置を求められた実装対応点に合わせる（ＳＴ２５）。
【００３８】
そして、この状態で第２の可動テーブル６０の駆動軸座標系の座標値を読み取り（ＳＴ２６）、読み取った座標値を搭載位置データとしてデータ記憶部７７に記憶させる（ＳＴ２７）。すなわち、図８（ａ）に示す状態（第３のピックアップヘッド６９による部品搭載位置に、第２の可動テーブル６０の所定位置に載置されたテンプレート６２の認識マークｍａ１，ｍｂ１の中点（実装対応点）Ｐ１’が位置合わせされた状態）における第２の可動テーブル６０の駆動軸座標系の座標値が搭載位置データとして記憶される。
【００３９】
したがって、電子部品実装動作においては、基板６１を第２の可動テーブル６０上に上記ティーチング時のテンプレート６２と置き換えた状態で、第２の可動テーブル６０を上記座標値にしたがって駆動することにより、図８（ｂ）に示すように第３のピックアップヘッド６９の吸着子７２に保持された電子部品１の直下に、基板６１の実装点Ｐ１が位置する。すなわち、上記処理によって求められた座標値は、基板６１における電子部品１の搭載位置を示す搭載位置データとなっている。
【００４０】
この後、基板６１の全ての実装点についてティーチング処理が完了したか否かを判断し（ＳＴ２８）、未処理の実装点がある場合には（ＳＴ２３）に戻り、当該実装点に対して同様の処理が行われる。そして全ての実装点について処理完了を確認して、当該基板に対するティーチング処理を終了する。
【００４１】
上記説明したように、本実施の形態に示す電子部品実装方法は、電子部品の供給部から電子部品１を取り出し搭載ヘッドとしての第３のピックアップヘッド６９によって基板位置決め部としての第２の可動テーブル６０に載置された基板６１に実装する電子部品の実装方法において、基板６１上での電子部品１の配置と整合する座標位置に認識マークが形成されたテンプレート６２を第２の可動テーブル６０上に載置して認識マークを基板認識用のカメラ５２ｂによって認識することにより、各電子部品を実装する際の搭載位置をティーチングによって求めるものである。
【００４２】
すなわち、認識によって検出された認識マークの位置から基板６１における実装点に対応する実装対応点をテンプレート６２上で求め、この実装対応点が第３のピックアップヘッド６９による部品搭載位置に位置合わせされた状態における第２の可動テーブル６０の駆動軸座標系の座標値を搭載位置データとして記憶させるものである。そして実装動作においては、この搭載位置データに基づいて第２の可動テーブル６０を駆動することにより、基板６１上の実装点は第３のピックアップヘッド６９による部品搭載位置に正しく位置合わせされる。
【００４３】
この電子部品実装においては、基板６１の実装位置精度は実装位置ティーチング処理に用いるテンプレート６２での認識マークの位置精度によって規定され、従来の方法で必要とされた各実装点毎に認識マークを設ける必要がない。したがって従来の方法において認識マークの位置誤差に起因して生じていた実装位置精度のばらつきを排除することが可能となる。すなわち、同一基板に実装される複数部品間の相対位置を高精度に保つ必要がある場合に、ティーチング用に高位置精度で認識マークが形成されたテンプレートを１枚のみ製作することにより、所望の実装位置精度を多数の基板について確保することができる。
【００４４】
なお上記実施の形態においては、電子部品の実装形態としてバンプが形成されたフリップチップを基板の電極にボンディングする例を示しているが、本発明はこれに限定されず、他の種類の電子部品を接着材などによって基板に接着もしくは粘着させる場合であっても本発明を適用することができる。
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、基板上での電子部品の配置と整合する座標位置に認識マークが形成されたテンプレートを基板位置決め部に載置し認識マークを基板認識手段によって認識して得られた位置検出結果から電子部品の搭載位置データを求めて記憶させておき、電子部品の実装に際しては基板位置決め部に載置された基板を搭載位置データに基づいて搭載ヘッドに対して相対的に移動させて基板の実装点を搭載ヘッドによる部品搭載位置に位置合わせするようにしたので、基板の各実装点毎に認識マークを設ける必要がなく、複数部品間の相対位置を高精度で確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図
【図３】本発明の一実施の形態の電子部品実装対象の基板の斜視図
【図４】本発明の一実施の形態の電子部品実装位置ティーチング用のテンプレートの平面図
【図５】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図
【図６】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法のフロー図
【図７】本発明の一実施の形態の実装位置ティーチング処理のフロー図
【図８】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法の説明図
【符号の説明】
１  電子部品
１０  第１のターンテーブル
１２  第１のピックアップヘッド
３０  第２のターンテーブル
４０  第２のピックアップヘッド
５２  第２の認識ユニット
５２ａ，５２ｂ  カメラ
６０  第２の可動テーブル
６１  基板
６２  テンプレート
６９  第３のピックアップヘッド
ｍｎａ，ｍｎｂ  認識マーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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