(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースとなる探針の先端部を鈍化させて球面形状に成形加工し、該先端部にナノチューブを固定化することを特徴とする、ナノチューブ探針の製造方法。
【請求項２】
ナノチューブ探針が走査型プローブ顕微鏡用の探針であることを特徴とする、請求項１に記載のナノチューブ探針の製造方法。
【請求項３】
ベースとなる探針先端部の成形加工手段が、イオン照射であることを特徴とする、請求項１又は２に記載のナノチューブ探針の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ナノチューブを用いた探針に関するものであり、ナノチューブを固定するベース探針の形状とその形状を実現するための方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ナノチューブはユニークな特徴から、様々な方面で利用されつつある。利用法の一つとして、走査型プローブ顕微鏡用の探針（特開2000-346786、特開2001-198900）が挙げられる。これは市販の走査型プローブ顕微鏡用探針にナノチューブを取り付け、試料表面の様々な物理量（例えば表面形状、表面電位など）を高い位置分解能で観察することや耐久性の向上などを狙った利用方法である。ナノチューブの先端の半径を1nm程度に加工可能なことや高アスペクトの形状に加工可能なことから高分解能化が実現可能であり、また耐衝撃性や耐久性に優れていることから走査型プローブ顕微鏡用の探針として広く使用されつつある。
【０００３】
ナノチューブ探針は上記の様に優れている探針ではあるが、問題点は存在する。例えば、ナノチューブとベース探針との固定は、電子線照射で生じる炭素をバインダーとして取り付ける方法が一般的であるが、この部分に強い衝撃が加わるとナノチューブがベース探針より剥離してしまい、ナノチューブ探針の役割を果たせなくなってしまう。しかし、ナノチューブの剥離が起こったかどうかの見極めは非常に困難であり、交換するタイミングが明確ではない。
【０００４】
なぜなら、ベースとなる市販の探針は、先端が先鋭化されており、ナノチューブが剥離しても試料によっては表面形状などの物理量が観測可能であり、その事実が使用者にはわからない。つまり、剥離してもそれなりの分解能で観察できてしまうため、見極めが困難だからである。ナノチューブが剥離していないかを判断するためには、分解能を測定するための標準試料を観察するか、電子顕微鏡で探針を観察してナノチューブ探針先端のナノチューブの存在を確認する方法しかないのが現状であり、これらの方法では、標準試料や電子顕微鏡装置が必要であり、かつ非常な労力と時間を要することになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、上記従来のナノチューブ探針の問題点を解消することにあり、具体的にはナノチューブのベース探針からの剥離を察知し、ナノチューブ探針の交換時期を容易に把握しうるナノチューブ探針を提供することにある。
【０００６】
そこで、本発明者等は鋭意研究の結果、走査型プローブ顕微鏡用の探針の先端を鈍化させ、その先端にナノチューブを固定することにより、上記課題を解決しうることを見いだし、本発明を完成するに至ったものである。すなわち本発明は以下の（１）〜（３）に関する。
（１）ベースとなる探針の先端部を鈍化させて球面形状に成形加工し、該先端部にナノチューブを固定化することを特徴とする、ナノチューブ探針の製造方法。
（２）ナノチューブ探針が走査型プローブ顕微鏡用の探針であることを特徴とする、請求項１に記載のナノチューブ探針の製造方法。
（３）ベースとなる探針先端部の成形加工手段が、イオン照射であることを特徴とする、請求項１又は２に記載のナノチューブ探針の製造方法。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明は、ベースとなる探針の先端を鈍化させ、その先端にナノチューブを固定した走査型プローブ顕微鏡用のナノチューブ探針を提供するものである。  本発明で使用するナノチューブは、カーボンやボロンナイトライド製などのものが使用できる。また近年では金属原子を内包したナノチューブやナノチューブ先端に金属原子や金属微粒子を担持したナノチューブなどが存在するが、本発明においては、このような様々なナノチューブの使用が可能であり、ナノチューブ材料に制限されるものではない。
【０００８】
すなわち、一般にナノチューブをその先端に固定した探針、いわゆるナノチューブ探針は、ナノチューブの持つ耐久性が高いこと、直径が1nm程度と非常に細く、試料表面の物理量を高い位置分解能で観察可能なこと、アスペクト比が高いといった特性を生かした探針（特開2000-346786号、特開2001-198900号）であるが、本発明は、ナノチューブが固定される探針の形状を変更するのみであって、ナノチューブ探針における上記したナノチューブ自体が有する特性には全く影響を与えるものではないから、探針に固定するナノチューブの種類は特に限定されない。
【０００９】
ナノチューブ探針は、図１に示すように、走査型プローブ顕微鏡のカンチレバー１に取り付けられた錐状体のベース探針２にナノチューブ３を固定したもの、もしくは図２に示すように金属針ベース探針４の先端にナノチューブ３が固定されたものである。図３は従来のナノチューブ探針の先端拡大図であり、ベース探針３の先端は先鋭化されており、ナノチューブ３とベース探針５とは一般的には堆積カーボンからなるバインダー６により固定されている。ナノチューブとベース探針の接着は、例えば、電子顕微鏡観察下に、ナノチューブ先端部分とベース探針とを接触させ、該接触部に炭化水素ガスを供給して電子線を照射し、この電子線のエネルギーによって非晶質のカーボンとして堆積させ接着させている。
【００１０】
一方、図４は本発明に係わるナノチューブ探針の一例を示し、このベース探針部分の拡大図である。本発明に係わるナノチューブ探針では、前述したように、ナノチューブを固定するこれら錐状体や金属針（ベース探針）の先端形状に特徴を有する。ベース探針の先端を鈍化させ、この先端にナノチューブを固定する。この例においては、ベース探針７の先端部を球面形状にし、ナノチューブ３を堆積カーボン６により接着固定化している。接着固定化方法は、上記従来手段による。
【００１１】
ベース探針の先端をどの程度鈍らせるかは、試料にもよるが、例えば、金属表面を観察対象とする場合、ベース探針７の先端は曲率半径でいうと5nm以上、もしくは取り付けるナノチューブの直径の3倍程度以上が望ましい。先端を鈍らせる方法としては、特に制限はないが、イオン照射による成形加工法が好ましく、例えば、イオンボンバードメント法、リアクティブイオンエッチング法といった原子をイオン化して探針先端に当て、先端を鈍らせる方法があり、安価で簡便な方法である。また、ベース探針の先端形状は曲率半径をもった半球状でなくともよく、種々の球面形状に成形しうる。さらに、ベース探針先端形状は特に球面状でなくともよく、平面上の先端形状であっても何ら問題ない。図５は、ナノチューブ探針の他の例を示し、このベース探針部分の拡大図であるが、このナノチューブ探針においては、ベース探針８の先端部を、集束イオンビーム法等により平面形状に加工した後、ナノチューブ３をカーボン６により、接着固定化したものである。 さらに、図６に示すように、ベース探針５の先端正面側からではなく、先端側斜め下方位置から、一定の方向でイオン照射９することにより、探針軸線（図中、点線で示す。）に対する垂直面１１に対し、傾けて設けられた平面１２を形成することも有効である。これにより、さらにナノチューブがベース探針に安定的に取り付けられる。すなわち、例えば、前記したように、先端形状を球面状にすると、ベース探針先端の球面部分にバインダ−を付着できないため、ベース探針の最先端でナノチューブを固定できず、その分ナノチューブを長くしなければならず、ナノチューブ探針の保持性や剛性が低くなるきらいがある。これに対して、図６のようにベース探針の先端形状を成形した場合には、ベース探針１０の先端まで、バインダー６でナノチューブ３を固定できるためより安定的なナノチューブ探針が提供できる。
【００１２】
さらに、本発明での先端形状はこれらに限ったものではなく、例えば、多面構造を持った先端でも問題はない。
すなわち、本発明においては、ナノチューブがベース探針から剥離した場合、ベース探針の先端が鈍化しているため、その影響は、位置分解能の極端な低下や観察不可能となって表れる。例えば、試料表面形状の観察時、ナノチューブがベース探針から剥離した場合には、観察像の不鮮明化や観察不可となってわかるため、ナノチューブ探針の剥離が明らかとなる。このような現象が観察された場合、新たなるナノチューブ探針に交換すればよく、この交換時期が明白となる。
【００１３】
したがって、本発明のこのような原理からみれば、特にベース探針の先端形状は、特定の形状のみに限定されず、ナノチューブが剥離したことを、観察像への影響により識別可能とするような、非先鋭化形状であればよい。
【００１４】
さらに、本発明においては、、ベース探針の先端を非先鋭化したことにより、別の効果も得られる。すなわち、例えば、ナノチューブ探針と試料表面との強い接触があり、ナノチューブ探針が機械的衝撃を受けたとき、ナノチューブ自体は破壊されず、ベース探針の先鋭化された先端部において破壊が生じ、ナノチューブ探針の機能に支障を来すことがあるが、本発明によれば、ベース探針先端部を非先鋭化してあるので、このようなベース探針の先端部破壊を防止することができる。
【００１５】
【実施例】
（実施例１）
ベース探針として、市販のシリコン製で、走査型原子間力顕微鏡用の探針（オリンパス光学社製）を用いた。ナノチューブを取り付ける前に、リアクティブイオンエッチング装置用いてアルゴンイオンによるイオンエッチングをし、先端を鈍化した。その後、電子顕微鏡で、探針とナノチューブを観察しながら、このベース探針にナノチューブを固定し、ナノチューブ探針を作製した。
図７は、このナノチューブ探針の先端の電子顕微鏡写真である。ナノチューブの長さは180nm、直径は15nm、ベース探針先端の曲率半径は60nmであることがわかる。
【００１６】
このナノチューブ探針で金蒸着膜を観察した。その結果を図８に示す。金蒸着膜の表面形状が鮮明に観察されており、ナノチューブ探針が正常であることがわかる。この観察後、試料の他の部分に移動し、強く試料とナノチューブ探針を接触させ、ナノチューブをベース探針から剥離させた。その探針を用いて、図８と同じ場所の表面形状を観察した。結果を図９に示す。これによれば、観察像が明らかに不鮮明となっており、これは、ナノチューブが剥離したことに起因する。
【００１７】
これをさらに確認するために、図９の観察像を得た後、使用した探針の先端を電子顕微鏡で観察した。その結果を図１０に示す。明らかにベース探針の先端にナノチューブは存在しておらず、上記図９の観察結果はナノチューブの剥離を示すことが確認できた。また、ベース探針の先端の曲率半径は60nm程度であることから、試料と強く接触し機械的衝撃を受けたのにもかかわらず、ベース探針が破壊されていないことがわかる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように、本発明は、先端を鈍化させたベース探針の先端にナノチューブを取り付けたナノチューブ探針を提供するものである。これによりナノチューブが剥離した場合、試料表面の観察像の極端な位置分解能の低下をもたらすため、ナノチューブの剥離が明白となり、ナノチューブ探針の交換時期が明白となる。さらに、ベース探針の先端を鈍化させることにより、機械的衝撃に強く壊れにくいという効果も合わせて奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】カンチレバーの先端の錐状体にナノチューブを固定したナノチューブ探針の概略図である。
【図２】金属針の先端にナノチューブを固定したナノチューブ探針の概略図である。
【図３】従来のナノチューブ探針の拡大図である。
【図４】本発明における、先端を球面形状に成形したベース探針にナノチューブを固定したナノチューブ探針の拡大図である。
【図５】本発明における、ベース探針の先端を平面形状に成形したナノチューブ探針の拡大図である。
【図６】本発明における、ベース探針の先端を傾けた平面形状に成形したナノチューブ探針の拡大図、及びその作成手段を示す図である。
【図７】本発明における、ナノチューブ探針の使用前の電子顕微鏡写真である。
【図８】図７で観察されたナノチューブ探針を走査型原子間力顕微鏡に取り付け、金蒸着膜の表面形状を観察した写真である。
【図９】本発明のナノチューブ探針からナノチューブを剥離した後、図８と同じ場所を観察した写真である。
【図１０】図９の観測に使用した探針の電子顕微鏡写真である。
【符号の説明】
１、カンチレバー  ２、錐状体  ３、ナノチューブ  ４、金属針
５、ベース探針（カンチレバー先端の錐状体や金属針先端を示す）
６、バインダー  ７、先端を鈍らせたベース探針  ８、先端を平らにしたベース探針、９イオン照射方向、１０、先端を斜め平面形状にした探針、１１、ベース探針の軸線に対する垂直面、１２、該垂直面に対して傾けて設けられた平面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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