(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が接触可能な検出面及び取付部を有するハウジングと、
前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なるように前記ハウジング内で支持される投光光学系及び受光光学系と、
前記取付部が取り付けられると共に受液容器に固定可能なベースとを備え、
前記取付部及び前記ベースは、
取付開始位置から取付終了位置まで前記取付部が摺動可能なガイド構造を備え、
前記検出面が前記受液面から離隔可能であると共に前記ベースと前記取付部との分離を防止する分離防止手段と
を備えたことを特徴とする液体検知用光学ユニット。
【請求項２】
液体が接触可能な検出面及び取付部を有するハウジングと、
前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なると共に受液面からの反射光を受光するよう前記ハウジング内で支持される投光光学系及び受光光学系と、
前記取付部が摺動可能に取り付けられると共に受液容器に固定可能なベースとを備え、
前記取付部及び前記ベースは、
取付開始位置から取付終了位置まで前記取付部が摺動可能なガイド構造、
及び取付開始位置で前記取付部の摺動を規制すると共に、前記検出面が前記受液面から離隔する方向に前記取付部が揺動可能な揺動構造と
を備えたことを特徴とする液体検知用光学ユニット。
【請求項３】
液体が接触可能な検出面及び取付部を有するハウジングと、
前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なると共に受液面からの反射光を受光するよう前記ハウジング内で支持され、前記ハウジング外へ延出する光ファイバを含む投光光学系及び受光光学系と、
前記取付部が摺動可能に取り付けられると共に受液容器に固定可能なベースとを備え、
前記取付部及び前記ベースは、
取付開始位置から取付終了位置まで前記取付部が摺動可能なガイド構造、
及び取付開始位置で前記取付部の摺動を規制すると共に、前記検出面が前記受液面から離隔する方向に前記取付部が揺動可能な揺動構造とを備え、
揺動軸は、前記ハウジング外へ延出する光ファイバの延出方向と略並行である
ことを特徴とする液体検知用光学ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体検知用光学ユニットに関し、例えば半導体製造設備内で漏液を検知するために受液容器に取り付けて好適な液体検知用光学ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体製造設備においては、水、塩酸、引火性の強い液体、腐食性の液体等種々の処理液が使用されており、これらの液体の通路としての配管が多数設けられている。これらの配管は、途中に弁装置が介装されたり、配管同士が継手により接続されている。配管と弁装置との接続部や配管同士の接続部（継目）の下方位置にはステンレス鋼等の耐食性の受液容器が配置されており、接続部から万一液体が漏れた場合に漏液を受容するようにしている。
【０００３】
そして、受液容器には前記接続部の略真下に漏液を検出するためのセンサが配設されており、速やかに漏液を検知するようにしている。この漏液検知センサは、引火性の強い液体の漏液に対する防爆や腐食性液体による電線の腐食等に対処するために検出部に電気部品を持たない光ファイバ式の液体検知用光学センサが使用されている。
【０００４】
図１５は、受液容器に取り付けた従来の液体検知用光学ユニットの斜視図、図１６は、図１５の矢線XVI-XVIに沿う断面図、図１７は、図１６の矢線XVII-XVIIに沿う断面図を示す。図１５に示すように液体検知用光学ユニット（以下、単に「光学ユニット」という）６０は、ハウジング６１と取付部６２とが透光性及び耐薬品性を有する例えば、フッ素樹脂部材で一体に形成されており、取付部６２が耐食性を有する例えば、ステンレスの受液容器９０の上面９０ａに固着された取付ボルト９１に装着され、固定ナット９２により着脱可能に固定されている。
【０００５】
図１６及び図１７に示すようにハウジング６１内には光ファイバ６４、レンズ６５及び投光用プリズム６６から成る投光光学系６７と、光ファイバ６８、レンズ６９及び受光用プリズム７０から成る受光光学系７１とが収納されており、ハウジング６１の下面６１ｃは平面とされて受液容器９０の上面９０ａ（以下「受液面９０ａ」という）との間に僅かな間隙を存して並行に離隔対向している。
【０００６】
発光素子（図示せず）から光ファイバ６４に導入された光は、レンズ６５を通して投光用プリズム６６に入射され、当該投光用プリズム６６により下方に反射され、一部が点線ａで示すようにハウジング６１の検出面６１ａ、６１ｂで反射されて受光用プリズム７０に至り、レンズ６９から光ファイバ６８を通して受光素子（図示せず）に至り検出されるようになっている。
【０００７】
図１７に示すように光学ユニット６０が受液容器９０にセットされた状態において、漏液がなく、検出面６１ａに液体が付着（接触）していないときには、投光用プリズム６６から出た光は、一部が点線ａで示すようにハウジング６１の検出面６１ａ、６１ｂで反射されて受光用プリズム７０に至り（以下「反射光ａ」という）、一部が１点鎖線ｂで示すように受液面９０ａで反射されて受光用プリズム７０に至り（以下「反射光ｂ」という）、レンズ６９から光ファイバ６８を通して前記受光素子に検出される。また、漏液があり、検出面６１ａに液体Ｑが付着しているときには、投光用プリズム６６から出た光は、実線ｃで示すように検出面６１ｂを透過して液体Ｑに至り、反射光ｂのみが検出される。尚、図１７において、光の経路を分かりやすくするためにハウジング６１のハッチングを省いてある。ハウジング６１を受液容器９０から取り外した場合（非セット状態）には、反射光ａのみが前記受光素子に受光される。
【０００８】
反射光ａ、ｂの光量をＬａ、Ｌｂとすると、前記受光素子の受光量は、光学ユニット６０がセット状態で漏液が無いときには（Ｌａ＋Ｌｂ）、漏液があるときにはＬｂとなり、非セット状態のときにはＬａとなる。前記受光素子は、受光量に応じた信号を出力し、図１８に示すように前記受光素子の受光量を判別するための閾値Ｌｈを、（Ｌａ、Ｌｂ）＜Ｌｈ＜（Ｌａ＋Ｌｂ）に設定することで、光学ユニット６０がセット状態で前記受光素子の受光量が閾値Ｌｈよりも低いとき（Ｌｂ＜Ｌｈ）に漏液があったことを検知することができる。
【０００９】
光学ユニット６０は、受液面９０ａからの反射光ｂをセット状態で受光し、非セット状態で受光しないようにし、受液面９０ａからの反射光ｂと検出面６１ａ、６１ｂからの反射光ａとが略等しくなるような光学設計として、検出面６１ｂ、６１ｃを受液面９０ａから離隔することにより、擬似的に液体検知状態を作り出して動作チェックを行っている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、光学ユニット６０は、漏液検出後に再度動作可能とするためにハウジング６２の漏液が付着している検出面６１ａ、６１ｂの漏液拭き取り作業や、或いは動作チェックを行う際に、検出面６１ａ、６１ｂを受液面９０ａから離隔させる必要がある。
【００１１】
しかしながら、上記従来の光学ユニット６０は、取付部６２が受液容器９０に直接ネジ止め固定されているために取り外し、再び取り付ける作業が面倒である。特に、半導体製造設備は、多数の配管が入り組んで配列されており、光学ユニット６０が狭くて見にくく、更に暗い場所に設置されている場合には、取り外し、取り付け作業を手探りで行わなければならず、手間が掛かり、作業性が悪いという問題がある。
【００１２】
そこで、図１９に示すように光学ユニット８０を、ハウジング８１と取付部８２とを一体に形成し、取付部８２をスライド機構により矢印方向に摺動させて着脱可能に支持するベース８３とにより構成し、ベース８３を受液容器９０にネジ止め固定し、道具を使用することなくハウジング８１を簡単に取り外すことができるようにした構造のものが提案されている。
【００１３】
しかしながら、この構造の光学ユニット８０は、取付部８２とベース８３とが完全に分離可能な２つの部品により構成されているために、一方の部品、特にベース８３を紛失しやすいという問題がある。
また、上述したように狭い箇所ではベース８３への取り付け、取り外しを手探りで行わなければならない場合があるが、取付部８２の取付開始位置及び取付開始方向が分かり難く、外すことは簡単であるが、組み付けることが難しくなる。即ち、狭い場所等では、漏液の拭き取り作業や動作チェック等に伴う取付作業が面倒であるという問題がある。
【００１４】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、狭い場所等での漏液の拭き取り作業や動作チェックに伴う取付作業を容易に行うことができ、且つ部品の紛失を防止するようにした液体検知用光学ユニットを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１の液体検知用光学ユニットは、液体が接触可能な検出面及び取付部を有するハウジングと、前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なるように前記ハウジング内で支持される投光光学系及び受光光学系と、前記取付部が取り付けられると共に受液容器に固定可能なベースとを備え、前記取付部及び前記ベースは、取付開始位置から取付終了位置まで前記取付部が摺動可能なガイド構造を備え、前記検出面が前記受液面から離隔可能であると共に前記ベースと前記取付部との分離を防止する分離防止手段とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
請求項２の液体検知用光学ユニットは、液体が接触可能な検出面及び取付部を有するハウジングと、前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なると共に受液面からの反射光を受光するよう前記ハウジング内で支持される投光光学系及び受光光学系と、前記取付部が摺動可能に取り付けられると共に受液容器に固定可能なベースとを備え、前記取付部及び前記ベースは、取付開始位置から取付終了位置まで前記取付部が摺動可能なガイド構造、及び取付開始位置で前記取付部の摺動を規制すると共に、前記検出面が前記受液面から離隔する方向に前記取付部が揺動可能な揺動構造とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
請求項３の液体検知用光学ユニットは、液体が接触可能な検出面及び取付部を有するハウジングと、前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なると共に受液面からの反射光を受光するよう前記ハウジング内で支持され、前記ハウジング外へ延出する光ファイバを含む投光光学系及び受光光学系と、前記取付部が摺動可能に取り付けられると共に受液容器に固定可能なベースとを備え、前記取付部及び前記ベースは、取付開始位置から取付終了位置まで前記取付部が摺動可能なガイド構造、及び取付開始位置で前記取付部の摺動を規制すると共に、前記検出面が前記受液面から離隔する方向に前記取付部が揺動可能な揺動構造とを備え、揺動軸は、前記ハウジング外へ延出する光ファイバの延出方向と略並行であることを特徴とする。
【００１８】
液体検知用光学ユニットは、取付部がベースの取付終了位置において漏液検出可能とされ、ケースと受液面とが僅かな間隙を存して対向している。漏液がない場合には、投光光学系から投光された光の一部が検出面、受液面で夫々反射されて受光光学系に至り、受光量が多くなる。漏液があり、検出面と受液面との間に液体が存在する場合には、投光光学系から投光された光の一部が検出面で反射されて受光光学系に至り、一部が検出面を通り抜けて液体に拡散され、受光量が減少する。液体検知用光学ユニットは、受光量の違いにより、漏液の有無を検出する。
【００１９】
漏液を検出した後検出面に付着している漏液を拭き取る作業や動作チェックを行う場合には、取付部がガイド構造により取付終了位置から取付開始位置まで引き出され、分離防止手段によりベースから分離することなく検出面が受液面から離隔される。このように、検出面が受液面から離隔可能であると共にベースと取付部との分離を防止することで、ハウジングやベース等の部品の紛失を防止することができる（請求項１）。
【００２０】
また、揺動構造は、ベースの取付開始位置で取付部の摺動を規制すると共に、検出面が受液面から離隔する方向に取付部を揺動可能とすることで、取付開始位置及び取付開始方向が、ハウジングを揺動させるだけで簡単に分かり、狭い場所でも漏液の拭き取り作業や動作チェック作業に伴う取付を容易に行うことが可能となる（請求項２）。
【００２１】
更に、液体検知用光学ユニットが狭い場所等に設置されている場合でも光ファイバを折り曲げることなく漏液の拭き取り作業や動作チェック作業に伴う取付け取り外し作業を行えるので、各作業時に光ファイバに負担を与えないようにすることが可能となる（請求項３）。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る液体検知用光学ユニットの第１実施形態を示す組立斜視図、図２は、図１に示す液体検知用光学ユニットを組み付けた状態の矢線II-IIに沿う断面図、図３は、図２の矢線III-IIIに沿う断面図である。
【００２３】
図１に示すように液体検知用光学ユニット（以下、単に「光学ユニット」という）１は、ハウジング２と、このハウジング２を支持するベース６からなり、ハウジング２は、ケース３、カバー４、及びケース３に一体に設けられた一対の取付部５、５からなる。ケース３には投光光学系７、受光光学系８が収納されている。投光光学系７、受光光学系８は、光ファイバユニット１０、レンズ１３、１４、及びプリズム１５、１６からなる。そして、ケース３は、透光性及び耐薬品性を有する例えば、フッ素樹脂部材により形成されている。
【００２４】
ケース３は、図３に示すように両側面の両側面３ａ、３ｂの略下半分３ａ'、３ｂ'が下面３ｃに対して例えば、４５°の角度をなす傾斜面とされ、端面視五角形の角筒状をなしている。両側面３ａ、３ｂの下半分３ａ'、３ｂ'は、液体（漏液）検出面（以下「検出面３ａ'、３ｂ'」という）とされ（図３）、内部に収納空間３ｅが設けられている。
【００２５】
光ファイバユニット１０は、投光用光ファイバ１１と受光用光ファイバ１２からなり、口金１７、１７を介してホルダ１８に挿入固定される。ホルダ１８内にはレンズ１３、１４が光ファイバ１１、１２の先端部に配置されており、これらのレンズ１３、１４の後方に夫々プリズム１５、１６が配置されている。そして、投光用光ファイバ１１、レンズ１３、プリズム１５により投光光学系７が構成され、受光用光ファイバ１２、レンズ１４、プリズム１６により受光光学系８が構成されている。これらの投光光学系７、受光光学系８は、ケース３の収納空間３ｅに長手方向に沿って並行に配置されている。
【００２６】
カバー４は、収納空間３ｅの開口部に装着されてケース３の一端を密閉し、光ファイバーユニット１０は、保護チューブ１９を介してケース３の他端から延出され、端末が検出器（図示せず）に接続される。前記検出器において投光用光ファイバ１１の端面が発光素子の発光面に、受光用光ファイバ１２の端面が受光素子の受光面（何れも図示せず）に接続される。
【００２７】
図２、図３に示すように投光用光ファイバ１１からレンズ１３を通して図中水平に射出された光は、一部がプリズム１５により４５°真下に反射されて検出面３ａ'に至り、当該検出面３ａ'で４５°真横に反射されて検出面３ｂ'に至り、当該検出面３ｂ'で４５°真上に反射されてプリズム１６に至り、当該プリズム１６により４５°水平に反射されてレンズ１４を通して受光用光ファイバ１２に入射される。このようにして、投光光学系７から射出された光が、検出面３ａ'、３ｂ'で反射されて受光光学系８に入射される。そして、検出面３ａ'、３ｂ'のプリズム１５、１６の各反射面の下方に位置する範囲が、液体の検出面対応領域Ａ、この検出面対応領域Ａの両側が検出面非対応領域Ｂとされる（図２）。
【００２８】
図１及び図４乃至図６に示すようにケース３の上面３ｄは、端面視中央部が上方に凸の曲面をなし、平面視両端が絞られて幅狭とされ、両側縁部３ｄ'、３ｄ"が夫々両端から両側面３ａ、３ｂの検出面対応領域Ａ（図２、図６）の位置に向かって下方に傾斜する傾斜面とされている。これにより、ケース３の上面３ｄに滴下した液体を両側面３ａ、３ｂの検出面対応領域Ａに導くようにしている。
【００２９】
図１に示すようにケース３の側面３ｂ両端近傍に一対の取付部５、５が側方に延出して形成されており、各取付部５には基端から先端近傍まで長孔５ａが設けられている。取付部５の先端５ｂは、半円形状をなし、内側面には、長孔５ａの先端から当該取付部５の先端５ｂまで切欠５ｃが設けられている。この切欠５ｃは、図７に示すように板厚の略半分程度の深さをなし、その幅が長孔５ａと同じ幅とされ、側面及び上下面が長孔５ａ側から先端５ｂに向かって拡開するテーパ面とされている。
【００３０】
ベース６は、取付部５、５間に摺動可能に装着されてハウジング２を支持するもので、両側面前端に揺動軸６ａ、６ａが突設されている。揺動軸６ａは、長孔５ａ内を摺動可能とされ、高さが切欠５ｃの長孔５ａ側の深さよりも僅かに高く、前側先端が面取りされている。これにより、左右の取付部５、５をベース６に組み付ける際に、各取付部５ａの先端５ｂを僅かに外側に拡げることで揺動軸６ａの長孔５ａへの挿入が容易とされ、且つ組付後において揺動軸６ａが長孔５ａの端面に係止されて当該長孔５ａからの逸脱が防止される。
【００３１】
ベース６の両側面には、揺動軸６ａと間隔を存して凸条部６ｂ、６ｂが前後方向に設けられている。凸条部６ｂは、長孔５ａ内を摺動可能とされ、側面からの突出高さが切欠５ｃの長孔５ａ側の深さとされている。これにより、凸条部６ｂが、長孔５ａに挿入可能となる。そして、長孔５ａと凸条部６ｂとにより、図８に示す取付部５のベース６における取付開始位置から図９に示す取付終了位置まで取付部５を摺動可能なガイド構造が構成されている。
【００３２】
揺動軸６ａと凸条部６ｂの前端面との間隔は、長孔５ａの周縁部の幅とされていることで、図８に示すように取付部５がベース６の取付開始位置にあり、長孔５ａの前端に揺動軸６ａが係止されて、取付部５が揺動（回動）するときに、揺動軸６ａと凸条部６ｂの先端面との間に長孔５ａの半円形状をなす先端５ｂが入り込むことが可能となり、当該取付部５の摺動が可能となる。また、凸条部６ｂの上面後端近傍には係止部６ｃが突設されている。この係止部６ｃは、取付部５のベース６への取付終了位置において長孔５ａの先端に係止可能とされている。
【００３３】
ベース６のケース５の一側面と当接する前端には、検出面対応領域Ａの位置に液体導通部（切欠）６ｄが設けられており、上面３ｄに落下した液体（漏液）を側縁部３ｄ"から当該液体導通部６ｄを通して側面３ｂの下方に導通するようになっている。また、ベース６の前端面には、液体導通部６ｄと並んで係止用の孔６ｅが設けられている。一方、ケース３の側面３ｃには、孔６ｄと対応して係止部３ｆが突設されており、図９に示すように取付部５がベース６の取付終了位置にあるときに係止部３ｆが孔６ｄに嵌合して、ベース６に取付部５を係止するようになっている。更に、係止部６ｃが長孔５ａの先端面に節度をもって係止され、当該長孔５ａの基端面に当接している揺動軸６ａと協働して取付部５を係止する。これにより、ハウジング２がベース６の取付終了位置に確実に係止保持される。
【００３４】
図８に示すように揺動軸６ａと長孔５ａとにより、取付開始位置で取付部５の摺動を規制する即ち、ベース６から取付部５が逸脱することを阻止すると共に、ケース３の検出面３ａ'、３ｂ'が受液面から離隔する方向に取付部５を揺動可能とする揺動構造が構成されている。また、揺動軸６ａ、係止部６ｃ、長孔５ａとにより、ケース３の検出面３ａ'、３ｂ'を受液面９０ａから離隔可能とすると共に、ベース６と取付部５（ハウジング２）との分離を防止する分離防止手段が構成されている。
【００３５】
ベース６の下面６ｆは、取付部５の取付終了位置（図９）において、図２及び図３に示すようにケース３の下面３ｃよりも僅かに下方に位置しており、ベース６を受液容器９０に固定した状態において、ケース３の下面３ｃと受液面９０ａとが僅かな間隙を存して離隔対向するようになっている。これにより、ケース３の側面３ｂ側に流れ落ちた液体を側面３ａ側の検出面対応領域Ａに導くことができる。
【００３６】
ベース６の略中央に上下に取付孔６ｇが穿設されており、当該取付孔６ｇには補強用の金属製のカラー６ｈが嵌挿されている。このカラー６ｈは、ベース６を受液容器９０に固定する際に締め付け力によるベース６の破損を防止する。このベース６は、図１に示すように受液容器９０の受液面（上面）９０ａの所定位置に固着された取付ボルト９１に装着され、固定ナット９２により固定される。このようにして、光学ユニット１が受液容器９０の受液面９０ａに配設される。
【００３７】
以下、光学ユニット１の検出面の漏液拭き取り作業及び動作チェック作業について説明する。
図１０は、光学ユニット１を動作チェックする際における操作手順を示す説明図である。尚、図１０において光学ユニット１を取り付ける受液容器及び固定ナットを省略して、光学ユニット１のみを描いてある。
【００３８】
図１０（ａ）は、光学ユニット１のセット状態を示し、取付部５がベース６の取付終了位置（図９）にあり、漏液検出可能とされている。光学ユニット１は、このセット状態において、図１１に示すようにケース３が水平に支持され、下面３ｃと受液面９０ａとが僅かな間隙を存して対向している。
図１１に示すように光学ユニット１は、セット状態において漏液がなく、検出面３ａ'に液体が付着していないときには、発光素子から投光用光ファイバ１１、レンズ１３を経て投光用プリズム１５に投光され、当該プリズム１５で反射された光は、反射光ａ、反射光ｂとして受光用プリズム１６に至り、レンズ１４から光ファイバ１２を通して受光素子に検出される。また、漏液があり、検出面３ａ'に液体Ｑが付着しているときには、反射光ｂのみが前記受光素子に受光される。尚、図１１において光の経路を分かりやすくするためにケース３のハッチングを省いてある。
【００３９】
反射光ａ、ｂの光量を夫々Ｌａ、Ｌｂとすると、前記受光素子の受光量は、光学ユニット１がセット状態で漏液が無いときに（Ｌａ＋Ｌｂ）となり、漏液があるときにＬｂとなる。前記受光素子は、受光量に応じた信号を出力し、検出装置は、光学ユニット１がセット状態で前記受光素子の受光量が閾値Ｌｈよりも低いとき（Ｌｂ＜Ｌｈ）に漏液があったことを検知する（図１８）。
【００４０】
さて、上述したように漏液を検出した後検出面３ａ'、３ｂ'に付着している漏液を拭き取る作業や光学ユニット１の動作チェックを行う場合には、作業者が図１０（ａ）に示すセット状態においてケース３を掴んで矢印Ａ方向に水平に引き出す。ケース３は、取付部５がベース６の取付開始位置（図８）まで引き出されると、取付部５の長孔５ａの先端面がベース６の揺動軸６ａに係止され同図（ｂ）に示すように当該取付開始位置に係止される。次いで、作業者がケース３を矢印Ｂで示す上方（検出面３ａ'、３ｂ'が、受液面９０ａから離隔する方向）に回動させる。同図（ｃ）、（ｄ）に示すように取付部５は、セット状態の水平位置から上方に回動されて９０°を僅かに超えた位置において先端５ｂが受液面９０ａに当接し、上面がベース６の凸条部６ｂの先端上隅部に当接係止される。これにより、作業者が手を離しても、取付部５が回動位置に保持される。即ち、ケース３の検出面３ａ'、３ｂ'が、受液面９０ａから離隔した状態（非セット状態）に保持される。これにより、作業者は、検出面３ａ'、３ｂ'に付着している漏液を容易に拭き取ることができる。
【００４１】
光学ユニット１は、非セット状態において、図１１に示すように投光用プリズム１５から出た光の反射光ａのみが受光用プリズム１６に至り、前記受光素子に受光される。光学ユニット１は、受液面９０ａからの反射光ｂをセット状態で受光し、非セット状態で受光しないようにし、受液面９０ａからの反射光ｂと検出面３ａ'、３ｂ'からの反射光ａとが略等しくなるような光学設計とされており、非セット状態で擬似的に液体検知状態を作り出して動作チェックを行う。
【００４２】
尚、図１８に示すように非セット状態の光量Ｌａがセット状態の光量Ｌｂよりも僅かに大きく（Ｌａ＞Ｌｂ）なるように設計することが好ましい。その理由は、動作チェックにおいて異常なし（Ｌａ＜Ｌｈ）であれば、（Ｌｂ＜Ｌｈ）であることが確実となり、漏液を確実に検出することができる。しかしながら、非セット状態の光量Ｌａをセット状態の光量Ｌｂよりも小さく（Ｌａ＜Ｌｂ）設定した場合には動作チェックにおいて異常なし（Ｌａ＜Ｌｈ）であっても、（Ｌｂ＞Ｌｈ）となることもあり、その場合漏液があっても検出されないことになる。
【００４３】
作業者は、上記作業を終了した後図１０（ｃ）に示す状態から同図（ｂ）に示す位置まで取付部５を矢印Ｂ'で示す下方に回動させ、矢印Ａ'方向に取付終了位置まで水平に摺動させて同図（ａ）に示すセット状態に戻す。
このようにハウジング２のケース３の検出面３ａ'、３ｂ'が受液面９０ａから離隔可能であると共にベース６と取付部５との分離を防止する分離防止手段を備えたことで、ハウジング２やベース６特に、ベース６の紛失を防止することができる。
【００４４】
また、ベース６の取付開始位置でハウジング２の取付部５の摺動を規制すると共に、検出面３ａ'、３ｂ'が受液面９０ａから離隔する方向に取付部５が揺動可能な揺動構造を備えたことで、取付開始位置及び取付開始方向が、揺動させるだけで簡単に分かるので狭い場所でも漏液の拭き取り作業や動作チェックに伴う取付作業を容易に行うことができる。
【００４５】
更に、光ファイバユニット１０がケース３の端面から延出されていることで、液体検知用光学ユニット１が狭い場所等に設置されている場合でも光ファイバユニット１０を折り曲げることなく漏液の拭き取り作業や動作チェックに伴う取付け取り外し作業を容易に行うことができ、前記各作業時に光ファイバユニット１０に負担を与えないようにすることが可能となる。
【００４６】
（第２の実施形態）
図１２は、本発明に係る光学ユニットの第２実施形態を示す斜視図である。光学ユニット２０は、ハウジング２１と、このハウジング２１を支持するベース２６からなり、ハウジング２１は、ケース２３に一体に設けられた取付部２５からなる。ケース２３には前述した第１の実施形態と同様に投光光学系、受光光学系（共に図示せず）が収納されており、ケース２３の一端面から光ファイバユニット１０が延出されている。
【００４７】
ケース２３の一端に取付部２５、２５が一体に設けられており、各取付部２５に長手方向に沿って長孔２５ａが設けられ、内側面の上部に先端から基端方向に長手方向に沿ってガイド用の切欠２５ｂが設けられている。
ベース２６は、両側面前端に取付部２５の長孔２５ａに嵌挿されて摺動可能な揺動軸２６ａが突設されており、両側面上部に切欠２５ｂと係合する凸条部２６ｂが設けられている。また、両側面後端近傍に係止用の突起２６ｃが設けられている。ベース２６の上面略中央に取付用のボルト孔２６ｇが設けられ、補強用のカラー２６ｈが嵌挿されている。取付部２５の切欠２５ｂとベース２６の凸条部２６ｂとにより、図示の取付部２５のベース２６における取付開始位置から矢印Ｃ方向へ摺動させた取付終了位置まで取付部２５を摺動可能なガイド機構が構成されている。
【００４８】
また、揺動軸２６ａと長孔２５ａとにより、取付開始位置で取付部２５の摺動を規制する即ち、ベース２６から取付部２５が逸脱することを阻止すると共に、ケース２３の検出面２３ａ'、２３ｂ'が受液面から離隔する方向に取付部２５を揺動可能とする揺動機構が構成されている。また、揺動軸２６ａ、係止部２６ｄ、長孔２３ａとにより、ケース２３の検出面２３ａ'、２３ｂ'を受液面から離隔可能とすると共に、取付部２５とベース２６との分離を防止する分離防止手段が構成されている。
【００４９】
取付部２５は、図示に示す状態においてベース２６の取付開始位置とされ、当該位置において上方に回動可能とされ、垂直位置を僅かに超えた回動位置（非セット状態）に係止保持される。そして、ケース２３は、光ファイバユニット１０の延出方向と直交する方向に回動される。これにより、検出面２３ａ'、２３ｂ'が受液面から離隔し、これらの検出面２３ａ'、２３ｂ'に付着した漏液の拭き取り作業や動作チェックを行う。作業者は、上記拭き取り作業や動作チェック作業を終了した後、取付部２５を下方に回動させ、矢印Ｃ'方向に取付終了位置まで摺動させてセット状態に戻す。
【００５０】
（第３の実施形態）
図１３は、本発明に係る光学ユニットの第３実施形態を示す斜視図である。光学ユニット３０は、ハウジング３１と、このハウジング３１を支持するベース３６からなり、ハウジング３１は、ケース３３に一体に設けられた取付部３５からなる。ケース３３には前述した第１の実施形態と同様に投光光学系、受光光学系（共に図示せず）が収納されており、ケース３３の一端面から光ファイバユニット１０が延出されている。
【００５１】
ケース３３の一側面に取付部３５が一体に設けられており、取付部３５の両側面先端に揺動軸３５ａが設けられている。一方、ベース３６は、前端に取付部３５を摺動可能に嵌挿する凹部３６ａが設けられており、当該凹部３６ａの両側部３６ｂ、３６ｂに揺動軸３５ａが摺動可能な長孔３６ｃが設けられている。また、ベース３６には、取付用のボルト孔３６ｇが設けられ、補強用のカラー３６ｈが嵌挿されている。
【００５２】
取付部３５の両側面と、これらの側面と摺接するベース３６の凹部３６ａの内面、及び取付部３５の揺動軸３５ａとベース３６の長孔３６ｂとにより、図示の取付部３５のベース３６における取付開始位置から矢印Ｄ方向へ摺動させた取付終了位置まで、取付部３５を摺動可能なガイド機構が構成されている。
また、揺動軸３５ａと長孔３６ｂとにより、取付開始位置でケース３３の検出面３３ａ'、３３ｂ'が受液面から離隔する方向に取付部３５を揺動（回動）可能とする揺動機構が構成されている。また、揺動軸３５ａ、長孔３６ｂにより、ケース３３の検出面３３ａ'、３３ｂ'を受液面から離隔可能とすると共に、取付部３５とベース３６との分離を防止する分離防止手段が構成されている。
【００５３】
取付部３５は、図示に示す状態においてベース３６の取付開始位置とされ、当該位置において上方に回動可能とされ、垂直位置を僅かに超えた回動位置（非セット状態）に係止保持される。そして、ケース３３は、光ファイバユニット１０の延出方向と直交する方向に回動される。これにより、検出面３３ａ'、３３ｂ'が受液面（図１１参照）から離隔し、これらの検出面３３ａ'、３３ｂ'に付着した漏液の拭き取り作業や動作チェックを行う。作業者は、上記作業を終了した後、取付部３５を下方に回動させ、矢印Ｄ'方向に取付終了位置まで摺動させてセット状態に戻す。
【００５４】
（第４の実施形態）
図１４は、本発明に係る光学ユニットの第４実施形態を示す斜視図である。光学ユニット４０は、ハウジング４１と、このハウジング４１を支持するベース４６からなり、ハウジング４１は、ケース４３に一体に設けられた取付部４５からなる。ケース４３には前述した第１の実施形態と同様に投光光学系、受光光学系（共に図示せず）が収納されており、ケース４３の一端面から光ファイバユニット１０が延出されている。ケース４３の一端に取付部４５、４５が一体に設けられており、取付部４５、４５の対向する内側面に長手方向に沿ってガイド溝（アリ溝）４５ａが設けられている。
【００５５】
ベース４６は、両側面に長手方向（前後方向）に沿ってケース４３の溝４５ａが摺動可能に嵌合する凸条部（アリ）４６ａが設けられている。ケース４５の取付部４５は、ガイド溝４５ａがベース４６の凸条部４６ａに嵌挿されて摺動可能とされている。そして、ケース４３とベース４６とが可撓性を有するバンド４７により連設されている。これにより、ケース４３とベース４６とが分離不能とされている。ベース４６の上面略中央に取付用のボルト孔４６ｇが設けられ、補強用のカラー４６ｈが嵌挿されている。
【００５６】
取付部４５のガイド溝４５ａとベース４６の凸条部４６ａとにより、図示の取付部２５のベース２６における取付開始位置から矢印Ｅ'方向へ摺動させた取付終了位置まで取付部２５を摺動可能なガイド機構が構成されている。
取付部４５は、図示に示す状態においてベース４６の取付開始位置とされ、当該位置から矢印Ｅ方向に引き抜き可能とされる。これにより、ケース４３をベース４６から取り外して検出面（図示せず）に付着した漏液の拭き取り作業や動作チェックを行う。これらの作業が終了した後、ベース４６にケース４３を取り付ける。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１の発明によれば、ハウジングの検出面が受液面から離隔可能であると共にベースと取付部との分離を防止する分離防止手段を備えたことで、ハウジングやベース等の部品特に、ベースの紛失を防止することができる。
【００５８】
請求項２の発明によれば、ベースの取付開始位置でハウジングの取付部の摺動を規制すると共に、検出面が受液面から離隔する方向に取付部が揺動可能な揺動構造を備えたことで、取付開始位置及び取付開始方向が、揺動させるだけで簡単に分かるので狭い場所でも漏液の拭き取り作業や動作チェックに伴う取付作業を容易に行うことができる。
【００５９】
請求項３の発明によれば、液体検知用光学ユニットが狭い場所等に設置されている場合でも光ファイバを折り曲げることなく漏液の拭き取り作業や動作チェックに伴う取付け取り外し作業を容易に行えるので、前記作業時に光ファイバに負担を与えないようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液体検知用光学ユニットの第１の実施形態の組立斜視図である。
【図２】図１に示す液体検知用光学ユニットを組み立てた状態における矢線II-IIに沿う断面図である。
【図３】図２に示す液体検知用光学ユニットの矢線III-IIIに沿う断面図である。
【図４】図１に示す液体検知用光学ユニットを組み立てた状態の平面図である。
【図５】図４に示す液体検知用光学ユニットの正面図である。
【図６】図４に示す液体検知用光学ユニットの背面図である。
【図７】図４に示す液体検知用光学ユニットのハウジングの取付部とベースとの関係を示す要部説明図である。
【図８】図７に示す取付部がベースの取付開始位置に移動したときの説明図である。
【図９】図７に示す取付部がベースの取付終了位置に移動したときの説明図である。
【図１０】図４に示す液体検知用光学ユニットの検出面の漏液拭き取り作業及び動作チェック作業時における取り扱い説明図である。
【図１１】図４に示す液体検知用光学ユニットのセット状態における漏液検出の説明図である。
【図１２】本発明に係る液体検知用光学ユニットの第２の実施形態の斜視図である。
【図１３】本発明に係る液体検知用光学ユニットの第３の実施形態の斜視図である。
【図１４】本発明に係る液体検知用光学ユニットの第４の実施形態の斜視図である。
【図１５】従来の液体検知用光学ユニットの一例を示す斜視図である。
【図１６】図１５に示す液体検知用光学ユニットの矢線XVI-XVIに沿う断面図である。
【図１７】図１６に示す液体検知用光学ユニットの矢線XVII-XVIIに沿う断面図である。
【図１８】図１７における液体検知用光学ユニットのセット状態における漏液検出時、非検出時、及び非セット状態における受光量の変化を示すグラフである。
【図１９】従来の液体検知用光学ユニットの他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１、２０、３０、４０  液体検知用光学ユニット（光学ユニット）
２、２２、３２、４２  ハウジング
３、２３、３３、４３  ケース
３ａ'、３ｂ'  ２３ａ'、２３ｂ'、３３ａ'、３３ｂ'  検出面
４  カバー
５、２５、３５、４５  取付部
５ａ、２５ａ、３６ｃ  長孔
６、２６、３６、４６  ベース
６ａ、２６ａ、３５ａ  揺動軸
６ｂ、２６ｂ、４６ａ  凸条部
６ｃ  切欠
７  投光光学系
８  受光光学系
１０  光ファイバユニット
１１  投光用光ファイバ
１２  受光用光ファイバ
１７  取付部材
１８  ホルダ
１９  保護チューブ
９０  受液容器
９０ａ  受液容器上面（受液面）
９１  取付ボルト
９２  固定ナット
【図１】
0003818367.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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