(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インペラの吐出側とスクロールとの間を連通するディフューザ部の対向するディフューザ通路壁の少なくとも一方から出し入れ可能な案内羽根を設けた遠心圧縮機であって、
前記一方のディフューザ通路壁に形成した円環状の孔内に出し入れ可能なディフューザプレートを設けるともともに、このディフューザプレートに前記案内羽根の基端側面を設ける一方、この案内羽根の先端側面に突出時に他方のディフューザ通路壁の一部を構成するとともに、没入時に前記円環状の孔を塞いで前記一方のディフューザ通路壁を構成する円環状のクラウンプレートを設け、前記案内羽根の突出時と没入時とのディフューザ部の通路幅を変えたことを特徴とする遠心圧縮機。
【請求項２】
前記案内羽根を、低回転低流量側でディフューザ部に突出させ、高回転大流量側で没入させるよう構成するとともに、突出時のディフューザ部の通路幅を没入時よりも狭くしたことを特徴とする請求項１記載の遠心圧縮機。
【請求項３】
前記ディフューザ部の通路幅を、ディフューザプレートとクラウンプレートとの間隔およびクラウンプレートの形状で変えるよう構成したことを特徴とする請求項１または２記載の遠心圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は遠心圧縮機に関し、車両用過給機の圧縮機などとして可動式ディフューザによる空気漏れを防止して効率向上を図るとともに、低流量側での作動領域を広げ、高流量側での効率向上を図ることができるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】
遠心圧縮機では、インペラとスクロールとの間にディフューザ部を設け、インペラから吐出される流体の運動エネルギを圧力エネルギに変換することが行われており、さらなる効率向上のためディフューザ部の流体の流れを制御する案内羽根を設けることが行われている。
【０００３】
一方、車両用過給機として用いられる遠心圧縮機では、低回転域から高回転域まで広い領域での性能向上を図る必要があり、案内羽根の角度を可変とするものや案内羽根を出し入れするようにしたものがあるが、比較的小型の遠心圧縮機としては、比較的構造が簡単な後者が種々提案されている。
【０００４】
例えば静止羽根の内周側に弦長が大なる羽根と小なる羽根とで構成される羽根装置を配置し、圧縮機の運転流量に応じて大なる羽根または小なる羽根をディフューザ通路内に突出させるようにしたものや、ディフューザ部に突出・引き込み可能に設けられた案内羽根、案内羽根をディフューザ部に突出または引き込ませるアクチュエータ、およびエンジンの作動状態に応答してアクチュエータを作動させるコントローラを備え、高速高流量のときに案内羽根をディフューザ部に突出させ、低速低流量のときにディフューザ部から引き込ませるように制御するものなどがある。
【０００５】
そして、具体的な構造としては、例えば特開２０００−２０５１８６号公報の遠心圧縮機を図５に示すように、この遠心圧縮機１は、対向するディフューザ通路壁２，３のうち一方のディフューザ通路壁２から出没自在な可動羽根４を設け、この可動羽根４を流れの流量に応じてディフューザ通路壁２内に格納された位置から他方のディフューザ通路壁３に当接する位置まで移動機構５を介して制御するようにしており、可動羽根４を完全格納すれば羽根なしディフューザ、可動羽根４を最大突出させれば羽根付きディフューザとすることができ、可動羽根４を軸方向にのみ移動させることで移動機構５を簡単としている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これまでの案内羽根をディフューザ部に出し入れする遠心圧縮機では、ディフューザ通路壁に案内羽根の断面形状に対応する孔を形成し、この孔を介して案内羽根を出し入れするようにしており、孔と案内羽根との間に摺動に必要な隙間が生じ、この隙間からの空気の漏れによって遠心圧縮機の効率が著しく低下するという問題がある。
【０００７】
また、このような案内羽根の断面形状に対応する孔を案内羽根の枚数だけ形成しなければならず、加工が大変であるという問題もある。
【０００８】
さらに、一般に遠心圧縮機自体の性能向上を図るためには、高流量側ではディフューザ部の通路幅を広げる必要がある一方、低流量側では作動領域を広げるため逆にディフューザ部の通路幅を狭くしなければならないという相反する問題があり、これらを両立できる遠心圧縮機の開発が望まれている。
【０００９】
この発明は、上記従来技術の有する課題と要望に鑑みてなされたもので、案内羽根の出し入れにともなう空気漏れを防止することができ、圧縮機の効率向上を図ることができるとともに、低流量側での作動領域を広げ、高流量側での効率向上を図ることができる遠心圧縮機を提供しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記従来技術が有する課題を解決するため、この発明の請求項１記載の遠心圧縮機は、インペラの吐出側とスクロールとの間を連通するディフューザ部の対向するディフューザ通路壁の少なくとも一方から出し入れ可能な案内羽根を設けた遠心圧縮機であって、前記一方のディフューザ通路壁に形成した円環状の孔内に出し入れ可能なディフューザプレートを設けるともともに、このディフューザプレートに前記案内羽根の基端側面を設ける一方、この案内羽根の先端側面に突出時に他方のディフューザ通路壁の一部を構成するとともに、没入時に前記円環状の孔を塞いで前記一方のディフューザ通路壁を構成する円環状のクラウンプレートを設け、前記案内羽根の突出時と没入時とのディフューザ部の通路幅を変えたことを特徴とするものである。
【００１１】
この遠心圧縮機によれば、ディフューザ通路壁の少なくとも一方から出し入れ可能な案内羽根を設けた遠心圧縮機で、前記一方のディフューザ通路壁に形成した円環状の孔内に出し入れ可能なディフューザプレートを設けるともともに、このディフューザプレートに前記案内羽根の基端側面を設ける一方、この案内羽根の先端側面に突出時に他方のディフューザ通路壁の一部を構成するとともに、没入時に前記円環状の孔を塞いで前記一方のディフューザ通路壁を構成する円環状のクラウンプレートを設け、前記案内羽根の突出時と没入時とのディフューザ部の通路幅を変えるようにしており、案内羽根を円環状のディフューザプレートと円環状のクラウンプレートの間に設けてディフューザ通路壁に形成した円環状の孔内でディフューザプレートを動かすことで案内羽根を出し入れし、シール面の形状を単純な円環状にするとともに、ディフューザプレートとクラウンプレートで円環状の隙間を塞いで空気漏れを防止できるようにし、しかも案内羽根の突出時と没入時とのディフューザ部の通路幅を変えて低流量側では作動領域を広げ、高流量側では効率向上を図ることを単独で行ったり、同時に行って両立できるようにしている。
【００１２】
また、この発明の請求項２記載の遠心圧縮機は、請求項１記載の構成に加え、前記案内羽根を、低回転低流量側でディフューザ部に突出させ、高回転大流量側で没入させるよう構成するとともに、突出時のディフューザ部の通路幅を没入時よりも狭くしたことを特徴とするものである。
【００１３】
この遠心圧縮機によれば、前記案内羽根を、低回転低流量側でディフューザ部に突出させ、高回転大流量側で没入させるよう構成するとともに、突出時のディフューザ部の通路幅を没入時よりも狭く構成しており、低回転低流量側でも高回転大流量側でも効率良く運転でき、しかも低流量側では作動領域を広げ、高流量側では効率向上を図ることを両立できるようになる。
【００１４】
さらに、この発明の請求項３記載の遠心圧縮機は、請求項１または２記載の構成に加え、前記ディフューザ部の通路幅を、ディフューザプレートとクラウンプレートとの間隔およびクラウンプレートの形状で変えるよう構成したことを特徴とするものである。
【００１５】
この遠心圧縮機によれば、前記ディフューザ部の通路幅を、ディフューザプレートとクラウンプレートとの間隔およびクラウンプレートの形状で変えるよう構成しており、案内羽根を出し入れする場合でも簡単にディフューザ部の通路幅を変えることができるようになる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。
図１および図２はこの発明の遠心圧縮機の一実施の形態にかかり、図１はディフューザ部の部分拡大断面図で、（ａ）は案内羽根を突出させた状態を、（ｂ）は案内羽根を没入させた状態をそれぞれ示す、図２はクラウンプレートおよび案内羽根部分の一部分を切り欠いた正面図および上半分の案内羽根を突出させた状態とし下半分の案内羽根を没入させた状態とした縦断面図である。
【００１７】
この遠心圧縮機は、例えば車両用過給機に適用され、エンジンの吸気を加圧供給する。
【００１８】
この遠心圧縮機１０では、ハウジング１１内に回転可能にインペラ１２が支持され、図示しないタービンで駆動されるタービン軸に取り付けられて回転駆動されるようになっている。そして、ハウジング１１内のインペラ１２の外側を覆ってスクロール１３が設けられ、インペラ１２の吐出側と、スクロール１３との間にディフューザ部１４が形成される。このディフューザ部１４は相対向する一対のディフューザ通路壁１５，１６で幅が定められて環状に構成され、一方のハブ側のディフューザ通路壁１５がスクロール１３の端部を塞ぐ外周カバープレート１７および内周カバープレート１８の壁面で構成され、他方のディフューザ通路壁１６がハウジング１１の壁面で構成されている。なお、ハウジング１１とスクロール１３を一体としても良い。
【００１９】
この遠心圧縮機１０では、ハブ側のディフューザ通路壁１５からディフューザ部１４に出し入れ可能な案内羽根１９が設けられる。
【００２０】
この案内羽根１９は、一方のディフューザ通路壁１５を構成する外周カバープレート１７の内周面と内周カバープレート１８の外周面との間に形成される円環状の孔２０を介して出し入れ可能とされた円環状のディフューザプレート２１に設けられ、例えば円周等間隔に複数枚、例えば１３〜１７枚の案内羽根１９がディフューザプレート２１と一体に形成されて各案内羽根１９の基端側面が取り付けられた状態とされたり、別体に形成した案内羽根１９とディフューザプレート２１とが各案内羽根１９の基端側面を介してディフューザプレート２１に取り付けられている。
【００２１】
そして、このディフューザプレート２１の外周には、段差部２１ａが形成され、円環状の孔２０外周内側には、段差部２０ａが形成され、案内羽根１９をディフューザ部１４に突出させたときに互いを当接させて突出位置を規制するとともに、空気の漏れを防止する。
【００２２】
なお、このディフューザプレート２１の外周の段差部２１ａに代え、内周に段差部を形成しれ、円環状の孔２０内周内側に形成した段差部とで、案内羽根１９をディフューザ部１４に突出させたときに互いを当接させて突出位置を規制するとともに、空気の漏れを防止するようにしても良い。
【００２３】
このようなディフューザプレート２１に取り付けた案内羽根１９をディフューザ部１４から引き込んだ没入状態とすると、環状の孔２０部分に各案内羽根１９の間に対応した空間が形成されることになることから、各案内羽根１９の先端側面に円環状のクラウンプレート２２が一体もしくは別体に設けてある。
【００２４】
このクラウンプレート２２は、案内羽根１９が出し入れされる円環状の孔２０をディフューザ部１４側から塞ぐことができる大きさ（内外径）とされるとともに、断面形状がディフューザ部１４の入口側が尖り、出口側に行くにしたがって厚くなる傾斜断面に形成されており、クラウンプレート２２の案内羽根１９側の側面はインペラ１２の中心軸と垂直な平面とされ、案内羽根１９と反対の側面が傾斜面としてある。
【００２５】
このクラウンプレート２２の断面形状に対応して一方のディフューザ通路壁１５となる内周カバープレート１８にクラウンプレート２２の尖った部分の側面が入る凹部１８ａが形成されて案内羽根１９を引き込んで没入状態としたときにディフューザ部１４の一方のディフューザ通路壁１５を形成するウラウンプレート２２と内周カバープレート１８とが滑らかに連続するようにしてある。
【００２６】
また、クラウンプレート２２の断面形状に対応して案内羽根１９を突き出して突出状態としたときに当接するハウジング１１がクラウンプレート２２と逆の傾斜断面に形成してあり、ハウジング１１にもクラウンプレート２２の尖った部分の側面が入る凹部１１ａが形成してある。
【００２７】
これにより、案内羽根１９をディフューザ部１４から引き込んだ状態では、クラウンプレート２２によって円環状の孔２０が塞がれ、空気の漏れを防止することができ、遠心圧縮機１０の効率向上となる。
【００２８】
そして、この遠心圧縮機１０では、案内羽根１９をディフューザ部１４に突出させた状態と案内羽根１９をディフューザ部１４から引き込んだ状態とでディフューザ部１４の通路幅Ｂを変えるようにしてあり、例えば、図１（ａ）に示すように、案内羽根１９をディフューザ部１４に突出させた状態の通路幅Ｂをｂ1 と狭くし、図１（ｂ）に示すように、案内羽根１９をディフューザ部１４から引き込んだ状態の通路幅Ｂをｂ2 と広くするようにしている。
【００２９】
このため、図１（ａ）に示すように、案内羽根１９をディフューザ部１４に突出させた状態では、ディフューザ部１４の通路幅Ｂ＝ｂ1 は、案内羽根１９の幅自体で定まり、一方がクラウンプレート２２の案内羽根１９の基端側面（内側面）で、他方がディフューザプレート２１の案内羽根１９の先端側面で定まることから、クラウンプレート２２をハウジング１１に当接させたときにディフューザプレート２１の案内羽根１９の先端側面が内外周カバープレート１７，１８よりもディフューザ部１４内に突き出すように形成することで通路幅Ｂをｂ1 と狭くし、ハブ側を突き出すことで絞っている。
【００３０】
また、図１（ｂ）に示すように、案内羽根１９をディフューザ部１４から引き込んだ状態では、ディフューザ部１４の通路幅Ｂ＝ｂ2 は、一方がクラウンプレート２２の案内羽根１９と反対側の外側面となり、他方がハウジング１１のディフューザ部１４の側面となって定まることから、クラウンプレート２２を内外周カバープレート１７，１８に当接させたときにクラウンプレート２２の外側面とハウジング１１の内側面との幅が通路幅Ｂ＝ｂ2 と広くなるように、クラウンプレート２２の形状の一つである厚さを設定してある。
【００３１】
したがって、案内羽根１９をディフューザ部１４に突出させた状態では、クラウンプレート２２の案内羽根１９側の内側面がハウジング１１の側面とともに他方のディフューザ通路壁１６を構成し、案内羽根１９をディフューザ部１４から引き込んだ状態では、クラウンプレート２２の案内羽根１９と反対側の外側面が内外周カバープレート１７，１８とともに一方のディフューザ通路壁１５を構成することになる。
【００３２】
なお、このようなディフューザ部１４の通路幅Ｂを変える構造としては、図３（ａ），（ｂ）に示すように、通路幅Ｂをｂ1 と狭くする場合に、ハブ側のディフューザプレート２１を突き出すようにするのに代え、クラウンプレート２２をディフューザ部１４内に突き出すようにし、シュラウド側で絞るようにしても良い。
【００３３】
このような案内羽根１９を出し入れするための駆動機構として、例えば図示例の流体圧駆動機構３０が設けられる。この流体圧駆動機構３０では、円環状の孔２０の後方に円環状の空間で構成される流体室３１が設けられてシールプレート３２で密閉されるようになっており、この流体室３１を仕切るようにダイヤフラム３３が取り付けられて２つに気密室を形成するようになっている。このダイヤフラム３３にはリテーナ３４を介してスプリング３５が介装され、ダイヤフラム３３をディフューザ部１４に突き出すように付勢することで、ディフューザプレート２１と常時当接するようになっている。
【００３４】
また、この流体圧駆動機構３０では、流体室３１のダイヤフラム３３の後方に形成される気密室に図示しない圧力流体供給装置として負圧源が接続され、制御弁を介して負圧を供給・排出することでダイヤフラム３３を往復駆動して案内羽根１９を出し入れできるようになっている。
【００３５】
このような流体圧駆動機構３０によれば、案内羽根１９を出し入れするための円環状の孔２０がダイヤフラム３３によって完全に気密状態にでき、ディフューザプレート２１の段差部２１ａやクラウンプレート２２によって円環状の孔２０を塞ぐことと合わせてディフューザ部１４からの空気の漏れを完全に防止することができる。
【００３６】
また、ダイヤフラム３３によってディフューザプレート２１の背面を円周上均等に力を加えることができ、案内羽根１９を円滑に出し入れすることができるとともに、円周複数箇所に流体圧シリンダを設けて構成する場合に比べ、シールプレート３２からの突出量を小さくすることができ、コンパクト化を図ることができる。
【００３７】
なお、流体圧駆動機構３０に限らず、案内羽根を出し入れできる他の流体圧シリンダなどによる流体圧駆動機構やリンクやカムなど機械的に駆動する機構を設けるようにしても良い。
【００３８】
このように構成した遠心圧縮機１０では、低回転低流量時に、流体圧駆動機構３０のダイヤフラム３３をスプリング３５によって前方に付勢してディフューザ部１４に案内羽根１９が位置するように突出させる。
【００３９】
すると、インペラ１２から吐出されてディフューザ部１４に入る空気が、図１（ａ）に示すように、ディフューザプレート２１および内外周カバー１７，１８によって形成される一方のディフューザ通路壁１５と、クラウンプレート２２によって形成される他方のディフューザ通路壁１６との通路幅Ｂがｂ1 と狭くしてあるディフューザ部１４の案内羽根１９に沿って流れ、図４中に実線で示すように、ディフューザ部の通路幅を変えずに一定とした場合を示す図４中の破線に比べ、サージ線が低流量側に移動することになり、遠心圧縮機１０の低回転低流量側の使用可能範囲を広げることができる。
【００４０】
また、この案内羽根１９を突出させてディフューザ部１４に位置させた状態では、円環状の孔２０内にディフューザプレート２１が嵌まった状態となるとともに、ディフューザプレート２１の段差部２１ａが孔２０の段差部２０ａと接することで空気の漏れが防止され、さらに流体室３１のダイヤフラム３３で気密状態となるので、完全に空気の漏れが防止される。
【００４１】
そして、クラウンプレート２２をハウジング１１に当接させた状態では、クラウンプレート２２のディフューザ部１４の入口側が尖らせてあり、しかもハウジング１１の凹部１１ａに入り込むようにしてあるので、インペラ１２から吐出される空気を円滑に流すことができる。
【００４２】
一方、この遠心圧縮機１０では、高回転高流量時に、流体圧駆動機構３０のダイヤフラム３３をスプリング３５に抗して負圧によって後方に引き戻してディフューザ部１４から案内羽根１９を引き込んだ没入状態にする。
【００４３】
すると、インペラ１２から吐出されてディフューザ部１４に入る空気が、図１（ｂ）に示すように、クラウンプレート２２および内外周カバー１７，１８によって形成される一方のディフューザ通路壁１５と、ハウジング１１によって形成される他方のディフューザ通路壁１６との通路幅Ｂがｂ2 と広くしてある案内羽根１９のないディフューザ部１４を流れ、図４中に一点鎖線で示すように、ディフューザ部の通路幅を変えずに一定とした場合を示す図４中の破線に比べ、同一流量で高い圧力比を得ることができ、高回転高流量側の遠心圧縮機１０の効率向上を図ることができる。
【００４４】
また、この案内羽根１９を没入させてディフューザ部１４から引き込んだ状態では、円環状の孔２０がクラウンプレート２２で塞がれた状態となるので空気の漏れが防止され、さらに流体室３１のダイヤフラム３３で気密状態となるので、完全に空気の漏れが防止される。
【００４５】
さらに、このクラウンプレート２２で円環状の孔２０を塞いだ状態では、クラウンプレート２２のディフューザ部１４の入口側が尖らせてあり、しかも内周カバープレート１８の凹部１８ａに入り込むようにしてあるので、インペラ１２から吐出される空気を円滑に流すことができる。
【００４６】
したがって、このような遠心圧縮機１０では、図４に示す性能曲線において、案内羽根１９をディフューザ部１４に突出させて通路幅Ｂをｂ1 と狭くした状態の低回転域の実線の状態と、没入させて通路幅Ｂをｂ2 と広くした状態の高回転域の一点鎖線の状態とで、同一の回転数における同一の流量に対して同一の圧力比となる交点を境に案内羽根１９を出し入れするようにすれば、ディフューザ部１４の通路幅を一定にした破線の状態に比べ、低回転域の使用可能な範囲を広げ、しかも低回転域から高回転域まで広範囲に常に効率の良い状態で運転することができる。
【００４７】
また、この遠心圧縮機１０では、案内羽根１９を出し入れする孔を案内羽根１９の断面形状に対応するものをその枚数だけ形成すること無く、円環状としているので、加工が容易であり、しかも隙間の精度を高くすることが簡単にできるとともに、空気の漏れに対するシールも簡単にすることができる。
【００４８】
なお、上記実施の形態では、案内羽根をハブ側のディフューザ通路壁に設けるようにしたが、スペース的な制約などがなければシュラウド側のディフューザ通路壁に設けるようにしても良い。
【００４９】
また、上記実施の形態では、車両用過給機に適用するの遠心圧縮機を例に説明したが、他の広回転域で運転する場合の遠心圧縮機にも同様に適用することができる。
【００５０】
【発明の効果】
以上、一実施の形態とともに具体的に説明したようにこの発明の請求項１記載の遠心圧縮機によれば、ディフューザ通路壁の少なくとも一方から出し入れ可能な案内羽根を設けた遠心圧縮機で、前記一方のディフューザ通路壁に形成した円環状の孔内に出し入れ可能なディフューザプレートを設けるともともに、このディフューザプレートに前記案内羽根の基端側面を設ける一方、この案内羽根の先端側面に突出時に他方のディフューザ通路壁の一部を構成するとともに、没入時に前記円環状の孔を塞いで前記一方のディフューザ通路壁を構成する円環状のクラウンプレートを設け、前記案内羽根の突出時と没入時とのディフューザ部の通路幅を変えるようにしたので、案内羽根を円環状のディフューザプレートと円環状のクラウンプレートの間に設けてディフューザ通路壁に形成した円環状の孔内でディフューザプレートを動かすことで案内羽根を出し入れし、シール面の形状を単純な円環状にするとともに、ディフューザプレートとクラウンプレートで円環状の隙間を塞いで空気漏れを防止することができ、しかも案内羽根の突出時と没入時とのディフューザ部の通路幅を変えることで、低流量側では作動領域を広げ、高流量側では効率向上を図ることを単独で行ったり、同時に行って両立させることができる。
【００５１】
これにより、案内羽根の出し入れに必要な孔の加工が容易となり、空気漏れを防止して遠心圧縮機の効率向上を図ることもできる。
【００５２】
また、この発明の請求項２記載の遠心圧縮機によれば、前記案内羽根を、低回転低流量側でディフューザ部に突出させ、高回転大流量側で没入させるよう構成するとともに、突出時のディフューザ部の通路幅を没入時よりも狭く構成したので、低回転低流量側でも高回転大流量側でも効率良く運転でき、しかも低流量側では作動領域を広げることができ、高流量側では効率向上を図ることができ、相反する要求を両立することができる。
【００５３】
さらに、この発明の請求項３記載の遠心圧縮機によれば、前記ディフューザ部の通路幅を、ディフューザプレートとクラウンプレートとの間隔およびクラウンプレートの形状で変えるよう構成したので、案内羽根を出し入れする場合でも簡単な構造でディフューザ部の通路幅を変えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の遠心圧縮機の一実施の形態にかかるディフューザ部の部分拡大断面図で、（ａ）は案内羽根を突出させた状態を、（ｂ）は案内羽根を没入させた状態をそれぞれ示している。
【図２】この発明の遠心圧縮機の一実施の形態にかかるクラウンプレートおよび案内羽根部分の一部分を切り欠いた正面図および上半分の案内羽根を突出させた状態とし下半分の案内羽根を没入させた状態とした縦断面図である。
【図３】この発明の遠心圧縮機の他の一実施の形態にかかるディフューザ部の部分拡大断面図で、（ａ）は案内羽根を突出させた状態を、（ｂ）は案内羽根を没入させた状態をそれぞれ示している。
【図４】この発明の遠心圧縮機の一実施の形態にかかる案内羽根を突出させた状態と案内羽根を没入させた状態との性能特性図である。
【図５】従来の遠心圧縮機にかかるディフューザ部の部分拡大断面図である。
【符号の説明】
１０  遠心圧縮機
１１  ハウジング
１１ａ  凹部
１２  インペラ
１３  スクロール
１４  ディフューザ部
１５  ディフューザ通路壁
１６  ディフューザ通路壁
１７  外周カバープレート
１８  内周カバープレート
１９  案内羽根
２０  円環状の孔
２０ａ  段差部
２１  ディフューザプレート
２１ａ  段差部
２２  クラウンプレート
３０  流体圧駆動機構
３１  流体室
３２  シールプレート
３３  ダイヤフラム
３４  リテーナ
３５  スプリング
Ｂ  ディフューザ部の通路幅
ｂ1   狭くした通路幅
ｂ2   広くした通路幅
【図１】
0003818202.tif 000002
【図２】
0003818202.tif 000003
【図３】
0003818202.tif 000004
【図４】
0003818202.tif 000005
【図５】
0003818202.tif 000006