(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送される基板の表面に貼られたフィルムに粘着して剥離させる粘着剥離手段と、該粘着剥離手段により剥がれたフィルムを把持して基板から剥離排出するフィルム排出手段を有するフィルム剥離装置において、
該粘着剥離手段は基板上のフィルムを粘着剥離する粘着テープと該粘着テープをセットする粘着テープセット部及び巻取るための粘着テープ巻取り部と搬送されてきた基板に貼られたフィルムの端部に該粘着テープを押し付けてフィルムを粘着し巻き上げる粘着テープ押し付けローラを有し、
該フィルム排出手段は、１対のキャッチローラと1対の駆動ローラとキャッチローラ及び駆動ローラの間にそれぞれ巻掛けてあって回転することでフィルムを挟み込んで搬送する1対の搬送ベルトを有し、
該粘着テープ及び該1対の搬送ベルトはそれぞれ該基板搬送手段による基板の搬送速度と同速度での移動するものであり、
さらに、該フィルム排出手段は、該一方のキャッチローラが他方のキャッチローラに向う方向に移動して該粘着テープにより巻き上げられてきたフィルムを受け取って該1対の搬送ベルトの間に把持し基板からフィルムを剥離しながら搬送するものであることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
請求項１に記載のフィルム剥離装置において、該粘着剥離手段は、該フィルム排出手段が該粘着テープにより巻き上げられてきたフィルムを受け取って該1対の搬送ベルトの間に把持し基板からフィルムを剥離しながら搬送すると該粘着テープ押し付けローラを該基板から離し待機位置に戻す駆動手段と、該粘着テープ押し付けローラが該待機位置に戻ると該粘着テープ巻取り部の駆動を停止させる手段を備えていることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
請求項１に記載のフィルム剥離装置において、該フィルム排出手段における該一方のキャッチローラと駆動ローラの間に巻掛けてある搬送ベルトは、該一方のキャッチローラが他方のキャッチローラに向う方向に移動しもしくは他方のキャッチローラから戻る方向に移動するときに該搬送ベルトに生じる弛みを吸収するテンションローラを備えていることを特徴とするフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント回路基板（以下、基板と記す）における製造行程での回路配線形成のために、基板に設けたホトレジスト膜上の透光性樹脂フィルム（以下、フィルムと記す）を露光後に剥離することなどに使用される、フィルム剥離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のフィルム剥離装置は、特開昭６２−１８０８７１号公報に記載されているように、基板が搬送路上を搬送されて任意の位置まで来ると基板を停止させ、基板の表面に貼られたホトレジスト膜上のフィルムの端縁部を針状の部材で押圧してフィルム端縁を基板から剥離していた。次ぎに、剥離したフィルム端縁にエアノズルからコンプレッサより供給される圧搾空気を吹き付け、エアナイフ効果によりフィルム剥離部分を基板から捲りあげ、捲りあげられたフィルム剥離部分を剥離したフィルムを搬送する一対のフィルム搬送ベルト間に把持させてから基板を搬送方向に移動させ、同時に一対のフィルム搬送ベルトも駆動してフィルムを剥離し搬送していた。
【０００３】
また、特開平６−２７８９３６号公報に記載されてように、粘着テープを貼り付けてフィルム端縁を剥離させ、剥離箇所をチャックで把持して基板からフィルムを全面的に剥離させ、垂れ下がった終端剥離部分を別のチャックに把持させ直して回収ボックスに廃棄するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記前者のフィルム剥離装置では、基板の表面に貼られたフィルムの端縁部を基板から剥離する際に、針状の部材で押圧するため基板に傷が付いてしまうおそれがあった。また、フィルム剥離工程で搬送路上を搬送中の基板を一旦停止させていた。そのため、フィルム剥離装置に投入される後続の基板を先行する基板の搬送停止時間に合わせて充分な間隔を持って投入しなければならず、単位時間当りの処理枚数が低下する問題があった。
【０００５】
また、後者のフィルム剥離装置では、剥離箇所を把持するチャックが基板の表面から離れる方向に移動してすべての剥離をしてから、別のチャックに垂れ下がった終端剥離部分を把持させており、その終端剥離部分がカールしたりして把持しづらい恐れがあって確実な受け渡しのためには装置を停止させる必要があり、処理枚数が低下する問題があった。
【０００６】
本発明の目的は、基板の搬送を止めることなく、しかも、投入された基板表面に貼られたフィルムを基板に傷をつけないで剥離することができ、小型で処理能力を向上させたフィルム剥離装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明フィルム剥離装置は、基板を搬送する基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送される基板の表面に貼られたフィルムに粘着して剥離させる粘着剥離手段と、該粘着剥離手段により剥がれたフィルムを把持して基板から剥離排出するフィルム排出手段を有するフィルム剥離装置において、該粘着剥離手段は基板上のフィルムを粘着剥離する粘着テープと該粘着テープをセットする粘着テープセット部及び巻取るための粘着テープ巻取り部と搬送されてきた基板に貼られたフィルムの端部に該粘着テープを押し付けてフィルムを粘着し巻き上げる粘着テープ押し付けローラを有し、該フィルム排出手段は、１対のキャッチローラと1対の駆動ローラとキャッチローラ及び駆動ローラの間にそれぞれ巻掛けてあって回転することでフィルムを挟み込んで搬送する1対の搬送ベルトを有し、該粘着テープ及び該1対の搬送ベルトはそれぞれ該基板搬送手段による基板の搬送速度と同速度での移動するものであり、さらに、該フィルム排出手段は、該一方のキャッチローラが他方のキャッチローラに向う方向に移動して該粘着テープにより巻き上げられてきたフィルムを受け取って該1対の搬送ベルトの間に把持し基板からフィルムを剥離しながら搬送するものであることを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、粘着剥離手段とフィルム排出手段を連動させることができ、基板表面に貼られたフィルムを基板に傷をつけないで剥離するだけでなく継続して搬出も合わせて行なうから、基板を停止させる必要が無く、処理能力は低下しない。また、剥離したフィルム排出のための大きな移動空間は不要であり、小型なフィルム剥離装置を提供することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図４により説明する。
図１は、フィルム剥離装置の概略構造を示す正面図、図２は、図１の実施形態における粘着剥離手段の構造を示す平面図である。図３は、図１の実施形態における粘着剥離手段の構造を示す部分詳細図、図４は、図１の実施形態におけるフィルム排出手段の構造を示す部分詳細図である。
【００１１】
尚、以下の実施形態の説明においては、後述する基板２より上側に位置するものについて引用符号末尾に添字Ａ、また、基板２より下側のものには添字Ｂを付加し総称する場合は添字を除くものとする。
例えば、基板２より上側に位置する粘着テープを３１Ａ、下側に位置する粘着テープを３１Ｂ、粘着テープを総称して呼ぶ場合は３１と記す。
【００１２】
さて、図１に示すようにフィルム剥離装置１００は、駆動用ローラ１、粘着剥離手段３０、フィルム排出手段４０、ダクト５、回収容器６、ガイド７、制御装置８等から構成され、駆動用ロ−ラ１はプリント回路基板の素材となる基板２を搬送するため水平に複数個並べられ基板２の搬送路を形成し、基板２を図１に矢印Ａで示すようにフィルム剥離装置１００の左側（投入口）から右側（出口）に向かって搬送する。
【００１３】
フィルム剥離装置１００の底部出口側には制御装置８がある。制御装置８は、フィルム剥離装置１００のシーケンス制御やフィルム剥離装置１００の基板投入口側や基板出口側におかれる装置との連動制御を行う。制御装置８は、ＣＰＵ、メモリ、外部記憶装置、入出力制御装置、入出力装置及びメモリに記録されたプログラムなどを含むコンピュータにより構成され、入力装置を介して与えられた制御条件やデータ、センサの検出値等に基づき、装置のシーケンス制御やフィルム剥離のために、駆動用ローラ１、粘着剥離手段３０、フィルム排出手段４０におけるロ−ラ等の駆動手段を制御する指令を生成し、出力する。センサには光学式センサが含まれ、駆動手段には、エア−シリンダやモ−タが含まれる。
【００１４】
基板２の上面および下面には、図３に示すように、ホトレジスト膜２ａが接着されており、さらにホトレジスト膜２ａにはフィルム２ｂが積層し貼られている。ホトレジスト膜２ａは熱処理により基板２の表面に接着され、フィルム２ｂはホトレジスト膜２ａ自体の持つ粘着性でホトレジスト膜２ａに貼られている。前記のフィルム２ｂは露光処理が施された基板２が洗浄処理工程に入るまでその表面に接着されたホトレジスト膜２ａを保護するものである。また、基板２はフィルム剥離装置１００に投入される前の工程にてホトレジスト膜２ａに対して既に露光処理が施されている。
【００１５】
複数の駆動用ロ−ラ１よりなる搬送路の途中には、粘着剥離手段３０が搬送されていく基板２の搬送面を挟んで、図１、図２に示すように、基板２の幅方向端部近くに２列対向して上下の分を含めて都合合計４個所に設けてある。
【００１６】
粘着剥離手段３０は、図３に示すように、ホトレジスト膜２ａに積層されて貼られているフィルム２ｂを粘着剥離するための粘着テ−プ３１、粘着テ−プ３１をセットする粘着テ−プセット部３２、粘着テ−プ３１を巻取るための粘着テ−プ巻取り部３３、搬送されてきた基板２の上面および下面に貼られたフィルム端部に粘着テ−プ３１を押し付けてフィルム２ｂを粘着し巻き上げる粘着テ−プ押し付けロ−ラ３４、矢印Ｂ方向に粘着テ−プ押し付けロ−ラ３４が移動したときに生じる粘着テ−プ３１の弛みを吸収するテンションロ−ラ３５等の構成要素を持つ。
【００１７】
粘着テ−プ押し付けロ−ラ３４は矢印Ｂ方向に移動可能な構造となっており、また粘着テープ３１は粘着テ−プセット部３２から粘着テ−プ巻取り部３３へ粘着テ−プ巻取り部３３により基板２の搬送速度と同速度で移動し巻取られ、粘着剥離手段（粘着テープ３１）の基板接触面が基板２の搬送先端（の移動）に合わせて移動するようになっている。
【００１８】
粘着テ−プ押し付けロ−ラ３４の矢印Ｂ方向への移動動作には図示していないエア−シリンダ等を使用し、また粘着テ−プ巻取り部３３の巻取り動作には図示していないモ−タ等を使用する。
【００１９】
粘着テ−プセット部３２と粘着テ−プ巻取り部３３は、粘着テ−プ３１の巻取り動作を行なっていないときは図示していない電磁クラッチ等により固定される。
【００２０】
粘着剥離手段３０の両サイド（基板２の搬送方向と直交する幅方向での粘着剥離手段３０の両側）には、図１および図２に示すように、フィルム排出手段４０が各粘着剥離手段３０を中心とし挟むように上下の分を含めて都合合計８個所に設けてある。
【００２１】
フィルム排出手段４０は、図４に示すように、粘着テ−プ押し付けロ−ラ３４により巻き上げられてきたフィルム２ｂを受け取るキャッチロ−ラ４１ａ、４１ｂ、キャッチロ−ラ４１ａ、４１ｂに受け取られたフィルム２ｂを挟み込み搬送する搬送ベルト４２ａ、４２ｂ、ベルト４２ａ、４２ｂを駆動する搬送部駆動用ロ−ラ４３ａ、４３ｂ、及び、矢印Ｃ方向にキャッチロ−ラ４１ａが移動したときに生じる搬送ベルト４２ａの弛みを吸収するテンションロ−ラ４４等の構成要素を持つ。
【００２２】
キャッチロ−ラ４１ａは、矢印Ｃ方向に移動可能な構造となっており、また搬送ベルト４２ａ、４２ｂは搬送部駆動用ロ−ラ４３ａ、４３ｂにより基板２の搬送速度と同速度で駆動される。
【００２３】
キャッチロ−ラ４１ａの矢印Ｃ方向への移動動作には、図示していないエア−シリンダ等を使用し、また搬送部駆動用ロ−ラ４３ａ、４３ｂの駆動には図示していないモ−タ等を使用する。
【００２４】
図１に示すように、フィルム排出手段４０Ａのフィルム剥離装置１００の出口側にはダクト５が設けてあり、図示は省略するが、ダクト５はフィルム剥離装置１００の出口側底部に設けている回収容器６に接続されている。ダクト５はフィルム排出手段４０Ａより搬送されてくるフィルム２ｂを収容し、図示していない送風手段によりダクト５内に搬送されてくるフィルム２ｂを回収容器６に送りこむ。また、フィルム排出手段４０Ｂより搬送されてくるフィルム２ｂはフィルム排出手段４０Ｂのフィルム剥離装置１００の出口側に設けているガイド７により案内され回収容器６に送りこまれる。
【００２５】
上記のように構成された装置の動作を以下説明する。
図５〜図９は、粘着剥離手段３０およびフィルム排出手段４０の動作を示すため基板２より上側のみを示した粘着剥離手段３０Ａとフィルム排出手段４０Ａの部分拡大図である。
【００２６】
基板２は、フィルム剥離装置１００の投入口から駆動用ロ−ラ１によりフィルム剥離装置１００の出口に向かって搬送されていく。
【００２７】
基板２が駆動用ローラ１よりなる搬送路上を搬送され所定の位置に到達すると、図示していない第１の光学式センサにより検知され、図５に示すように、粘着剥離手段３０Ａは前記第１の光学式センサの検知信号により粘着テ−プ押し付けロ−ラ３４Ａを矢印Ｄに示す方向に移動させ、基板２上のフィルム２ｂ手前の基板２に粘着テ−プ３１Ａを押し付ける。また、粘着テ−プ３１Ａと基板２の接触と同時に粘着テープ巻取り部３３Ａは粘着テープ３１Ａを基板２の搬送速度と同速度で巻取る。
【００２８】
粘着テ−プ押し付けロ−ラ３４Ａにより粘着テープ３１Ａを押し付けたまま更に基板２が搬送されて行くと、図６に示すように、粘着テ−プ３１Ａがフィルム２ｂを粘着し、矢印Ｅで示すようにホトレジスト膜２ａからフィルム２ｂを剥離させる。
【００２９】
基板２とホトレジスト膜２ａの接着力はホトレジスト膜２ａとフィルム２ｂとの接着力に比べて充分に大きく、フィルム２の剥離によりホトレジスト膜２ａが基板２から剥離することはない。また、基板２とホトレジスト膜２ａの接着力は粘着テープ３１Ａの粘着力に比べて充分に大きく、例えばフィルム２ｂの位置ずれによりホトレジスト膜２ａが露出し、粘着テープ３１Ａが直接ホトレジスト膜２ａに触れたとしても剥がれることはない。
【００３０】
粘着テ−プ３１Ａに付着したフィルム２ｂは、図７に示すように、基板２の上方に向かって移動する。上方に向かったフィルム２ｂが所定の高さに達すると、図示していない第２の光学式センサで検知される。前記第２の光学式センサの検知信号により、キャッチロ−ラ４１ａＡが矢印Ｆの方向に移動して粘着テ−プ３１Ａに付着した透光性樹脂フィルム２ｂをキャッチロ−ラ４１ａＡ、４１ｂＡ間に挟み込む。このとき搬送ベルト４２ａＡ、４２ｂＡは搬送部駆動用ロ−ラ４３ａＡ、４３ｂＡにより基板２の搬送速度と同速度で駆動されている。
【００３１】
キャッチロ−ラ４１ａＡ、４１ｂＡ間に挟み込まれたフィルム２ｂは、搬送ベルト４２ａＡ、４２ｂＡにより矢印Ｇ方向に移動を開始する。
【００３２】
図８に示すように、搬送ベルト４２ａＡ、４２ｂＡにて保持されたフィルム２ｂが矢印Ｇ方向に搬送され始めると、粘着テ−プ押し付けロ−ラ３４Ａは矢印Ｈのように移動し基板２より離れ粘着テープ３１Ａの押し付け動作を解除し、フィルム２ｂの剥離動作開始前の待機位置に戻る。
【００３３】
粘着テ−プ押し付けロ−ラ３４Ａが基板２より離れ待機位置に戻ると同時に、粘着テープ巻取り部３３Ａの駆動は停止する。
【００３４】
粘着テープ巻取り部３３Ａの駆動停止と同時に粘着テ−プ押し付けロ−ラ３４Ａの回転駆動も停止し、粘着テ−プセット部３２Ａと粘着テ−プ巻取り部３３Ａを電磁クラッチにて固定して、粘着テ−プ３１Ａが搬送ベルト４２ａＡ、４２ｂＡ内に巻き込まれないように保持して、次の基板２が搬送されてくるまで待機する。
【００３５】
粘着テ−プ３１Ａから剥ぎ取られたフィルム２ｂは搬送ベルト４２ａＡ、４２ｂＡにより、ホトレジスト膜２ａと剥離されながら搬送され、最終的に回収容器６に収容される。
【００３６】
次に、フィルム２ｂが基板から完全に剥離され一定距離だけ搬送されると前述した第２の光学式センサの検知信号が停止する。第２の光学式センサの検知信号が停止することにより搬送部駆動用ロ−ラ４３ａＡ、４３ｂＡは搬送ベルト４２ａＡ、４２ｂＡ間を搬送されていくフィルム２ｂが搬出され無くなるまでの一定時間運転した後に停止する。
【００３７】
図９に示すように、搬送部駆動用ローラ４３ａＡ、４３ｂＡの停止と同時にキャッチローラ４１ａＡを矢印Ｊのように移動し、次の基板２が搬送されてくるまで待機する。
【００３８】
フィルム２ｂ剥離後の基板２は、駆動用ロ−ラ１でフィルム剥離装置１００の後段に設けた洗浄処理工程を行なう装置に搬送される。
【００３９】
以上、基板２に対して上側のフィルム２ｂについて剥離し搬送する動作を説明してきたが下側についても同様であり、以下その説明は省略する。
【００４０】
以上説明したように、本実施形態では、粘着にて基板上に貼られたフィルム２ｂを剥離するので基板に傷をつけるおそれがなく、また粘着部分は基板と同速度で移動するのでフィルム２ｂの剥離開始時に一旦基板を停止させる必要がないため処理枚数の増加が図れる。
【００４１】
粘着テープ３１の巻取りはフィルム２ｂの剥離開始時の短時間のみであり、フィルム２ｂの剥離後はフィルム搬送手段４０により巻取りを行なうため粘着テープ３１の使用量を抑えることができる。また、粘着剥離手段３０はフィルム２ｂの剥離開始時以外は粘着テープ３１の巻取り停止しているので、剥離したフィルム２ｂが粘着テープ３１に粘着されたまま移動して粘着剥離手段３０の中にフィルム２ｂが巻き込まれることを防止している。
【００４２】
従来のようにフィルム剥離機構部分に圧搾空気を吹き付けるエアーノズルや、エアーノズルに圧搾空気を送るコンプレッサ等の圧搾空気発生源が不要となり、装置のコンパクト化や省エネルギ化が図れる。
【００４３】
フィルム排出手段４０Ａは基板２の搬送方向に対し斜めに配置しており、装置の高さは低く小型化している。また、粘着剥離手段３０Ａの両サイドに配設されており、剥離したフィルム先端部を確実に受け取って剥離を継続していくことができる。
【００４４】
粘着剥離手段３０Ａとフィルム排出手段４０Ａは連動できるから、基板２を停止させる必要が無く、処理枚数は低下しない。
【００４５】
次に、本発明の他の実施形態を図１０および図１１により説明する。
図１０にその概略構成図を示す。本図において図１〜図４に示す実施形態と同符号は同一部材を示し、その説明を省略する。
【００４６】
図１〜図４に示す実施形態との違いは、粘着テ−プ３１を使用した粘着剥離手段３０の代わりに粘着ロ−ラ５０を使用したことである。
【００４７】
図１１に粘着ロ−ラ５０の回転軸を中心とした断面図を示す。
粘着ロ−ラ５０は、貫通穴を有したパイプ５１、パイプ５１の外周に設けた連続気泡を有するスポンジ等よりなる多孔質体５２等の構成要素を持つ。パイプ５１の内部には流体性の粘着剤が注入され、粘着剤が多孔質体５２の表面に滲み出た状態で使用される。
【００４８】
図１２、図１３は、図１０および図１１に示した粘着ロ−ラ５０を使用したフィルム２ｂの剥離装置について説明するため基板２より上側のみを示した部分詳細図である。
【００４９】
図１２に示すように、矢印Ａの示す方向に搬送されてきた基板２に粘着ロ−ラ５０Ａを矢印Ｋ方向に移動させ、粘着ロ−ラ５０の表面を基板２の搬送速度と同速度で回転させながら基板２に押し付ける。
【００５０】
更に基板２が搬入されて行くと、粘着ロ−ラ５０の表面にフィルム２ｂが粘着され、粘着ロ−ラ５０は図１２において反時計方向に回転し、粘着剥離手段（粘着ロ−ラ５０）の基板接触面が基板２の搬送先端に合わせて移動し、フィルム２ｂは矢印Ｌで示すようにホトレジスト膜２ａから剥離される。
【００５１】
図１３に示すように、粘着ロ−ラ５０の表面にフィルム２ｂを粘着した粘着ロ−ラ５０はフィルム２ｂを保持したまま矢印Ｍの方向に移動し基板２より離れる。粘着ロ−ラ５０が基板２より離れるとフィルム排出手段４０が前記実施形態と同様な動作を行い、フィルム２ｂを剥離し剥離したフィルム２ｂを搬送する。搬送されたフィルム２ｂは回収容器６に収容される。
【００５２】
以上説明したように、本実施形態では前記実施形態と同等な効果を得られるだけでなく消耗部品である粘着テ−プが不要であり、また、粘着テ−プのセット部、巻取り部も不要であるため装置のコンパクト化が図れる。また部品点数が少なくなり構造も単純化されるので信頼性が向上する。
【００５３】
また、図１０および図１１により説明した実施形態は、粘着剤を粘着ロ−ラ５０内部から滲みださせる構造としたが粘着性を保持できる構造であれば良い。例えば、粘着ロ−ラは粘着テープをロール状に巻きつけたものであっても良い。この場合は粘着力を保持するため一定期間経過後に表面の粘着テープを剥ぎ取り新たな粘着テープ面を出すことになる。
【００５４】
本発明は以上の実施形態に限らず、次のように実施しても良い。
（１）粘着テ−プ押し付けロ−ラ又は粘着ローラをフィルムの端部に押し付けても剥離しづらい場合には、粘着テ−プ押し付けロ−ラ又は粘着ローラをフィルムの端部において基板の搬送方向に往復移動させる駆動手段を設けて、基板の搬送先端（の移動）に合わせて往復移動させ、フィルムの端部をしごくことにより剥離を促すと良い。
【００５５】
（２）図４、図１３のフィルム搬送手段ではキャッチロ−ラに受け取られたフィルムを搬送ベルトで挟み込み基板の搬送方向に搬送しているが、その搬送方向は基板の搬送方向とは反対の方向にしても良い。
（３）図１、図１０のダクト５、回収容器６に代えて、フィルムの巻取ローラを設けて、搬送ベルトで挟み込み搬送された剥離したフィルムをローラ巻き取っても良い。
（４）基板は、ガラス、セラミック、半導体の基板でも良い。
（５）基板の上面あるいは下面の片側に貼られたフィルムを剥離させるものでも良い。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば基板の搬送を止めることなく投入された基板表面に貼られたフィルムを基板に傷をつけないで剥離することができ、小型でかつ、処理能力を向上させたフィルム剥離装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフィルム剥離装置の、一実施形態の概略構造を示す正面図である。
【図２】図１の実施形態における、フィルム剥離装置の概略構造を示す平面図である。
【図３】図１の実施形態における、粘着剥離手段の構造を示す詳細図である。
【図４】図１の実施例における、フィルム排出手段の構造を示す詳細図である。
【図５】図１の実施形態における、粘着剥離手段とフィルム排出手段との動作を示した詳細図である。
【図６】図１の実施形態における、粘着剥離手段とフィルム排出手段との動作を示した詳細図である。
【図７】図１の実施形態における、粘着剥離手段とフィルム排出手段との動作を示した詳細図である。
【図８】図１の実施形態における、粘着剥離手段とフィルム排出手段との動作を示した詳細図である。
【図９】図１の実施形態における、粘着剥離手段とフィルム排出手段との動作を示した詳細図である。
【図１０】本発明フィルム剥離装置の、他の実施形態における概略構造を示す正面図である。
【図１１】図１０の実施形態における、粘着ロ−ラの構造を示す断面図である。
【図１２】図１０の実施形態における粘着ロ−ラとフィルム排出手段との動作を示した詳細図である。
【図１３】図１０の実施形態における、粘着ロ−ラとフィルム排出手段との動作を示した詳細図である。
【符号の説明】
１…駆動用ロ−ラ
２…基板
２ａ…ホトレジスト膜
２ｂ…フィルム
６…回収容器
８…制御装置
３０Ａ、３０Ｂ…粘着剥離手段
３１Ａ、３１Ｂ…粘着テ−プ
３２Ａ、３２Ｂ…粘着テ−プセット部
３３Ａ、、３３Ｂ…粘着テ−プ巻取り部
３４Ａ、、３４Ｂ…粘着テ−プ押し付けロ−ラ
４０Ａ、４０Ｂ…フィルム排出手段
４１ａＡ、４１ｂＡ、４１ａＢ、４１ｂＢ…キャッチロ−ラ
４２ａＡ、４２ｂＡ、４２ａＢ、４２ｂＢ…搬送ベルト
４３ａＡ、４３ｂＡ、４３ａＢ、４３ｂＢ…搬送部駆動用ロ−ラ
５０Ａ、５０Ｂ…粘着ロ−ラ
５１…パイプ
５２…多孔質体
１００…フィルム剥離装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0003773719.tif 000014