(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性をもつ流体が流れる管内に設置され、前記流体に対して下流側に向けてカルマン渦を発生させる渦発生体と、
前記渦発生体の流体通過方向下流側における前記管の外周に設置され、発生した磁界が前記管内を横切る磁界発生装置と、
前記磁界発生装置で発生する磁界と垂直に交差する位置に設置され、前記流体が磁界内を通過するときの磁界変化による誘導起電力を検出する一対の電極と、
前記電極と電気的に接続され、前記電極に発生した誘導起電力から前記管内を流れる前記流体の流量を算出する演算部とを備え、
前記演算部は、流量に比例して変化する直流成分の誘導起電力から第１の流量値を、カルマン渦によりパルス状に発生する交流成分の周波数から第２の流量値をそれぞれ求め、第１の流量値が交流成分検知の範囲外のときには第１の流量値を測定流量値とし、第１の流量値が交流成分検知の範囲内のときには第２の流量値を測定流量値とすることを特徴とする流量測定装置。
【請求項２】
前記演算部は、第１の流量値が交流成分検知の範囲内のときには、第２の流量値から算出された補正値より第１の流量値を測定流量値とすることを特徴とする請求項１記載の流量測定装置。
【請求項３】
前記演算部は、前記補正値が所定の値を上回る場合には機器異常と判断することを特徴とする請求項１または２記載の流量測定装置。
【請求項４】
前記渦発生体は、前記磁界発生装置の磁界方向と垂直に設置されていることを特徴とする請求項１、２または３記載の流量測定装置。
【請求項５】
前記磁界発生装置は永久磁石からなることを特徴とする請求項１、２、３または４記載の流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、管内を流れる気体や液体（流体）の流量を測定する流量測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
管内を流れる気体や液体の流量を測定する流量測定装置は、流れる流体によるカルマン渦の発生を検知し、このカルマン渦から流量を算出するカルマン渦流量測定装置と呼ばれる特開昭６０−４０９１４号公報に記載されているようなものが一般的である。このカルマン渦流量測定装置では、発生するカルマン渦を検知する手段として、超音波や振動等が利用されている。
【０００３】
しかしながら、超音波や振動等の変化を検知するために用いられる検知装置は複雑且つ高コスト、もしくは大型なものとなるといった課題を有している。
【０００４】
そこで、この課題を解決するために、カルマン渦発生を検知する手段として、特開平５−１７２５９８号公報に代表されるような磁界を用いることが提案されている。
【０００５】
ここで、このような流量測定装置について説明する。図７は従来の流量測定装置の構成を示す断面図、図８は従来の流量測定装置を図７と異なる方向から示す断面図である。
【０００６】
流体が通過する管１内には、カルマン渦を発生させる渦発生体６が設置されている。また、渦発生体６より流体通過方向下流側における管１内には、電極４が設置されている。そして、渦発生体６は電極４に対する対極電極としての機能も兼ねている。
【０００７】
管１の外周における所定位置には、管１を挟むようにしてＳ極とＮ極とが相互に対向配置された磁石からなる磁界発生装置３が設けられている。この磁界発生装置３は、磁界発生装置３の磁界方向が渦発生体６と電極４に対して垂直になるようにして設置されている。
【０００８】
渦発生体６および電極４には、流体の流量を算出する演算部５が電気的に接続されている。
【０００９】
このような流量測定装置によれば、カルマン渦に伴って渦発生体６と電極４との間を横切る流体の流速変化による磁界変化で誘導起電力が発生するので、この誘導起電力の変化による周波数のカウントを演算部５により行えば流量の算出ができることになる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来の流量測定装置では、カルマン渦発生に伴う誘導起電力検知を行うために、流体の流れの乱れや渦の発生状態による乱れのためにノイズが多く発生して正確な流量検知が困難となる。
【００１１】
ここで、ノイズ対策を行うための回路を導入することも考えられるが、これでは装置構造が複雑になって高コストになる。
【００１２】
さらに、測定に最適な流量から流量が変化すると、流量に対するカルマン渦発生の精度が低下したり、流量増大に伴いノイズが増加するので、周波数の検知精度が低くなって測定範囲が狭くなる。
【００１３】
そして、磁界発生装置に直流磁石を用いて検知を行う場合、磁石の経時変化による性能低下や電極に発生する分極による誘導起電力の低下でレベルが変化し、正確な流量検知が困難になる。
【００１４】
そこで、本発明は、高い測定精度を有する流量測定装置を提供することを目的とする。
【００１５】
また、本発明は、低コストで高精度な流量測定装置を提供することを目的とする。
【００１６】
さらに、本発明は、広い測定範囲を有する流量測定装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明の流量測定装置は、導電性をもつ流体が流れる管内に設置され、流体に対して下流側に向けてカルマン渦を発生させる渦発生体と、渦発生体の流体通過方向下流側における管の外周に設置され、発生した磁界が管内を横切る磁界発生装置と、磁界発生装置で発生する磁界と垂直に交差する位置に設置され、流体が磁界内を通過するときの磁界変化による誘導起電力を検出する一対の電極と、電極と電気的に接続され、電極に発生した誘導起電力から管内を流れる流体の流量を算出する演算部とを備え、演算部は、流量に比例して変化する直流成分の誘導起電力から第１の流量値を、カルマン渦によりパルス状に発生する交流成分の周波数から第２の流量値をそれぞれ求め、第１の流量値が交流成分検知の範囲外のときには第１の流量値を測定流量値とし、第１の流量値が交流成分検知の範囲内のときには第２の流量値を測定流量値とする構成としたものである。
【００１８】
これにより、高い精度で流量測定をすることが可能になる。また、ノイズ対策のための回路が不要になるので、低コストで高精度の流量測定をすることが可能になる。さらに、カルマン渦の発生流量値の範囲を超えた流量検知が可能になるので、広範囲にわたって流量測定をすることが可能になる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、導電性をもつ流体が流れる管内に設置され、流体に対して下流側に向けてカルマン渦を発生させる渦発生体と、渦発生体の流体通過方向下流側における管の外周に設置され、発生した磁界が管内を横切る磁界発生装置と、磁界発生装置で発生する磁界と垂直に交差する位置に設置され、流体が磁界内を通過するときの磁界変化による誘導起電力を検出する一対の電極と、電極と電気的に接続され、電極に発生した誘導起電力から管内を流れる流体の流量を算出する演算部とを備え、演算部は、流量に比例して変化する直流成分の誘導起電力から第１の流量値を、カルマン渦によりパルス状に発生する交流成分の周波数から第２の流量値をそれぞれ求め、第１の流量値が交流成分検知の範囲外のときには第１の流量値を測定流量値とし、第１の流量値が交流成分検知の範囲内のときには第２の流量値を測定流量値とする流量測定装置であり、高い精度で流量測定をすることが可能になるという作用を有する。また、ノイズ対策のための回路が不要になるので、低コストで高精度の流量測定をすることが可能になるという作用を有する。さらに、カルマン渦の発生流量値の範囲を超えた流量検知が可能になるので、広範囲にわたって流量測定をすることが可能になるという作用を有する。
【００２０】
本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１記載の発明において、演算部は、第１の流量値が交流成分検知の範囲内のときには、第２の流量値から算出された補正値より第１の流量値を測定流量値とする流量測定装置であり、交流成分から流体の流量を算出し、誘導起電力の直流成分を経時的に変化させる磁束密度の変化や電極抵抗の変化に対する補正を行うことができるので、より高い精度で流量測定をすることが可能になるという作用を有する。
【００２１】
本発明の請求項３に記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、演算部は、補正値が所定の値を上回る場合には機器異常と判断する流量測定装置であり、装置の信頼性を向上させることが可能になるという作用を有する。
【００２２】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項１、２または３記載の発明において、渦発生体は、磁界発生装置の磁界方向と垂直に設置されている流量測定装置であり、渦発生体から発生するカルマン渦列が磁界の方向を占めながら下流側へと進行するようになるので、流体の流速に対するカルマン渦の進行速度の変化をパルス状の交流成分の周波数の変化として正確に検知することが可能になるという作用を有する。
【００２３】
本発明の請求項５に記載の発明は、請求項１、２、３または４記載の発明において、磁界発生装置は永久磁石からなる流量測定装置であり、励磁用の電力発生部が不要になるので、装置の小型化、省電力化および低コスト化を図ることが可能になるという作用を有する。
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について、図１から図６を用いて説明する。なお、これらの図面において同一の部材には同一の符号を付しており、また、重複した説明は省略されている。
【００２５】
図１は本発明の一実施の形態である流量測定装置の構成を示す断面図、図２は本発明の一実施の形態である流量測定装置の構成を図１と異なる方向から示す断面図、図３は流量と誘導起電力との関係を示すグラフ、図４はカルマン渦発生に伴いパルス状に変化する誘導起電力を示すグラフ、図５は図１および図２の流量測定装置の演算部において行われる信号処理を示す説明図、図６は図１および図２の流量測定装置の演算部における流量算出処理の流れを示すフローチャートである。
【００２６】
図１および図２に示すように、たとえばφ１０ｍｍの内径を有し、導電性をもつ液体もしくは気体（本明細書において、これらをまとめて「流体」という。）が流れる管１の内部には、流体中に位置してこの流体にカルマン渦列を発生させる渦発生体２が設置されている。この渦発生体２は、たとえば幅２．２ｍｍ、高さ３ｍｍの二等辺三角柱の形状とされている。但し、渦発生体は、カルマン渦列を発生させることができれば、どのような形状でもよい。
【００２７】
渦発生体２の流体通過方向下流側には一対の電極４が対向配置されている。また、管１の外周には、管１を挟むようにしてＳ極とＮ極とが相互に対向配置された磁石からなる磁界発生装置３が設けられている。そして、電極４は、磁界発生装置３で発生した磁界に対して垂直に交差する位置に配置されている。これにより、渦発生体２により生成された流体のカルマン渦が磁界を横切るときの磁界の変化により、電極４には誘導起電力が発生する。なお、渦発生体２は磁界発生装置３の磁界方向に対して垂直に設置されている。
【００２８】
電極４の両極には、このようにして得られた誘導起電力の大きさから管１内を流れる流体の流量を算出する演算部５が電気的に接続されている。
【００２９】
次に、このような構成を有する流量測定装置の動作について説明する。
管１内を流れる流体は、磁界発生装置３で発生している磁界内を通過する。このとき、図３に示すように、ファラデーの法則に従い、電極４間には流量に比例した誘導起電力が発生する。
【００３０】
したがって、この誘導起電力を検知すれば、管１内を流れる流体の流量が算出できることになる。
【００３１】
また、管１内に流れる流体には、渦発生体２により周期的にカルマン渦が発生する。この渦発生の周期は、ストローハルの研究により知られているように、流速に対して比例関係が成立する。また、発生したカルマン渦列の回転速度は流体の速度と異なるため、カルマン渦列が磁界発生装置３を通過することにより、図４に示すように、速度の変化が誘導起電力の変化としてパルス状に現われる。
【００３２】
したがって、この流量に比例してパルス状に変化する周波数をカウントすれば、管１内を流れる流体の流量が算出できることになる。
【００３３】
このように、管１内を流れる流体の流量は、流量に比例して変化する直流成分の誘導起電力とパルス状に発生する交流成分の周波数から算出することが可能である。
【００３４】
なお、本実施の形態の流量測定装置の場合、流量検知範囲を１Ｌ／ｍｉｎ〜７Ｌ／ｍｉｎに設定するために、磁界発生装置３には、配管中心の磁束密度を高めるために、希土類の永久磁石を用い、管径の１／２の幅を持つ磁石としている（５ｍｍ×５ｍｍ×３ｍｍ、磁束密度１（Ｔ））。また、電極４間には１００ｍＶ程度の誘導起電力を得る設定としている。
【００３５】
しかしながら、得られる誘導起電力の大きさは設置状態によるノイズの大きさや回路構成により設定する必要があるので、それに伴い磁界発生装置３に使用する磁石の磁束密度を適宜設定するのがよい。
【００３６】
次に、得られる誘導起電力の信号処理について図５および図６を用いて説明する。
【００３７】
図５に示すように、得られる誘導起電力は、流量に対して比例する直流成分とカルマン渦発生に伴うパルス状の交流成分とに分けて処理される。そして、誘導起電力の直流成分は平滑化およびＡ／Ｄ変換された後、所定の算出式に従って流量値として算出される。本実施の形態の場合、直流成分から得られる電圧値Ｅ（ｍＶ）から、流量Ｑ（Ｌ／ｍｉｎ）の比例関係は、ファラデーの法則により、配管内の磁束密度をＢ、平均速度をｖ、管径をＤとおくと、
Ｅ＝Ｂ×ｖ×Ｄ
として求められるから、流量Ｑを求める式に変換すると、
Ｑ＝Ｅ×（（Ｄ／２）2×π）／（Ｂ×Ｄ）
となり、本条件の管径Ｄ＝１０（ｍｍ）、磁束密度Ｂ＝１（Ｔ）を代入し、さらに、流量Ｑ（Ｌ／ｍｉｎ）＝速度ｖ（ｍ／ｓ）×管断面積Ａ（ｍ2）であるから、求める流量値（第１の流量値）Ｑ１は、
Ｑ１＝Ｅ×（（１０×１０-3／２）2×π）
／１／１０×１０-3×６０／１０-3
＝４７０×Ｅ
として求めることができる。
【００３８】
さらに、本発明では、経時的に変化する磁束密度Ｂの減磁等の変化を補正するために交流成分の流量算出値Ｑ２との比較により、流量値を補正する補正値Ｃを乗算し、以下の式によって求めるようにしている。
【００３９】
Ｑ１＝４７０×Ｅ×Ｃ
この補正値Ｃは、当初、Ｃ＝１を与えて、以下に述べるように繰り返し測定することで、測定条件ごとに収斂した値を得ることができる。
【００４０】
また、誘導起電力の交流成分は、増幅部を経てコンパレータにて周波数ｆをカウント後、カウント回数にて平均し、所定の算出式に従って流量値として算出される。
【００４１】
本実施の形態の場合では、カルマン渦発生の周波数と流速の比例関係は、一般に周波数ｆ（Ｈｚ）と流速ｖ（ｍ／ｓ）と、渦発生体の径ｄ（ｍ）、比例定数をＳｔ（ストローハル数）とおくと、
ｆ＝Ｓｔ×ｖ／ｄ
として求められる。
【００４２】
ここで、レイノルズ数Ｒｅは、
Ｒｅ＝ｖ・ｄ／ν
（νは水の動粘性係数、ｖは速度、ｄは渦発生体の径）
である。
【００４３】
そして、本実施の形態では水の流量を測定しているので、動粘性係数νは、
ν＝１．００４×１０-6ｍ2／ｓ（２０℃，１ａｔｍ）
であり、渦発生体の径ｄ＝２．２ｍｍ、流量Ｑ＝１〜７（Ｌ／ｍｉｎ）としている。
【００４４】
そして、流量Ｑ（Ｌ／ｍｉｎ）＝速度ｖ（ｍ／ｓ）×管断面積Ａ（ｍ2）の関係からレイノルズ数Ｒｅを求めると、
Ｒｅ＝ｖ・ｄ／ν＝２．３×１０2〜３．４×１０3
となる。
【００４５】
ところで、このレイノルズ数の範囲では、上記ストローハル数はＳｔ＝０．２として与えることができる。
【００４６】
Ｓｔ＝０．２
したがって、流量Ｑを求める式に変換すると、
Ｑ＝ｆ×（（Ｄ／２）2×π）×ｄ／Ｓｔ
となり、本条件を代入すると、流量値（第２の流量値）Ｑ２（Ｌ／ｍｉｎ）は、
Ｑ２＝０．０５×ｆ
の式にて求めることができる。
【００４７】
なお、上記の実施の形態では、Ｑ＝１〜７（Ｌ／ｍｉｎ）、ν＝１．００４×１０-6ｍ2／ｓの水を用いて説明したが、Ｒｅ＝１０2〜１０5の範囲でストローハル数Ｓｔ＝０．２であるから、上記の計算式を共通に使用でき、水相当の液体であれば概ねＱ＝５００（Ｌ／ｍｉｎ）程度の測定が可能である。
【００４８】
また、上記レイノルズ数の範囲外においても、流量Ｑ、動粘性係数νに応じてストローハル数Ｓｔを選定すれば、さらに広範囲の測定を可能とすることができる。
【００４９】
ところで、上記のような構成の流量測定装置において、図６のフローチャートに示すように、得られた流量値Ｑ１、Ｑ２は交流成分検知の上限設定値と下限設定値との関係において処理される。
【００５０】
ここで、図９に示す渦発生の周波数と流量との関係に表されているように、渦発生の周波数と流量との関係は、測定する流量範囲において、大流量部と小流量部において線形性が低下する。
【００５１】
これは、図１０の起電力信号のＳ／Ｎと流量の関係に示すように、得られる起電力信号のＳ／Ｎが測定する流量範囲の大流量部と小流量部において低下しているからである。
【００５２】
この大流量部におけるＳ／Ｎの低下は、流量の増加により流体内に乱流が発生し、渦発生を妨げると同時にノイズ成分を増大させ、Ｓ／Ｎレベルを低下させる。
【００５３】
また、小流量部におけるＳ／Ｎの低下は、流量低下による渦速度の低下により、信号レベルが低下することからＳ／Ｎレベルも低下するものである。
【００５４】
したがって、本実施の形態では、流量の検知精度の確保できる回路上必要な誘導起電力のＳ／Ｎ値レベルを１０ｄＢと設定し、小流量部の下限値を２Ｌ／ｍｉｎとし、大流量部の上限値を７Ｌ／ｍｉｎと設定している。
【００５５】
しかしながら、設定した流量値は、回路条件等の変化により入力、処理される信号レベルは大きく変わるため、適宜設定することが望ましい。
【００５６】
図６に示すように、先ず、２つの流量値Ｑ１、Ｑ２が算出され（ステップＳ１）、流量値Ｑ１が交流成分検知の下限設定値以上かどうかが判断される（ステップＳ２）。
【００５７】
そして、流量値Ｑ１が下限設定値を下回る場合には直ちに流量値Ｑ１が選択され（ステップＳ３）、その値が測定流量値とされる。また、流量値Ｑ１が下限設定値以上の場合には、流量値Ｑ１が交流成分検知の上限設定値以下かどうかが判断される（ステップＳ４）。
【００５８】
そして、流量値Ｑ１が上限設定値を上回る場合には流量値Ｑ１が選択され（ステップＳ３）、その値が測定流量値とされる。また、流量値Ｑ１が上限設定値以下の場合には、つまり、流量値Ｑ１が予め設定された流量範囲内の場合には、流量値Ｑ２が選択され（ステップＳ５）、その値が測定流量値とされる。
【００５９】
ここで、流量値Ｑ１が予め設定された流量範囲内の場合には流量値Ｑ２を測定流量値とすることもできるが、さらに進んで、本実施の形態では、流量値Ｑ２が選択されたならば、直流成分の誘導起電力Ｅから補正値Ｃが算出される（ステップＳ６）。ここで、補正値Ｃは以下の式にて算出される。
【００６０】
Ｃ＝Ｑ２／（０．１×Ｅ）
そして、求められた補正値Ｃが、電極抵抗の増加や磁界強度の低下による誘導起電力の低下を検知するために予め設定された値（ここでは、０．５）以下かどうかが判断される（ステップＳ７）。
【００６１】
そして、補正値Ｃが０．５を上回る場合には機器異常（たとえば、経時的劣化による電極４の異常や磁界発生装置３の磁力低下異常など）として検知され（ステップＳ８）、補正値Ｃが０．５以下の場合には当該補正値Ｃが記憶されて（ステップＳ９）、流量値Ｑ１が選択される（ステップＳ３）。
【００６２】
なお、本実施の形態では、用いた回路の起電力信号の検知レベルから、初期条件の１／２低下の値の０．５以上の値で機器異常としているが、検知回路のＳ／Ｎ比や増幅等の理由により、この値は適宜設定される。
【００６３】
このように、本実施の形態の流量測定装置によれば、流量に比例して変化する直流成分の誘導起電力から流量値Ｑ１を、カルマン渦によりパルス状に発生する交流成分の周波数から流量値Ｑ２をそれぞれ求め、流量値Ｑ１が交流成分検知の範囲外のときにはその流量値Ｑ１を測定流量値とし、範囲内のときには流量値Ｑ２から算出された補正値Ｃより流量値Ｑ１を測定流量値としているので、高い精度で流量測定をすることが可能になる。
【００６４】
また、ノイズ対策のための回路が不要になるので、低コストで高精度の流量測定をすることが可能になる。
【００６５】
さらに、カルマン渦の発生流量値の範囲を超えた流量検知が可能になるので、広範囲にわたって流量測定をすることが可能になる。
【００６６】
流量値Ｑ１が交流成分検知の範囲内のときには、流量値Ｑ２から算出された補正値Ｃより流量値Ｑ１を測定流量値とするようにすれば、交流成分から流体の流量を算出し、誘導起電力の直流成分を経時的に変化させる磁束密度の変化や電極抵抗の変化に対する補正を行うことができ、より高い精度で流量測定をすることが可能になる。
【００６７】
流量値Ｑ２と直流成分の誘導起電力Ｅから求められる補正値Ｃが所定の値を上回る場合には機器異常としているので、装置の信頼性を向上させることが可能になる。
【００６８】
渦発生体２が磁界発生装置３の磁界方向と垂直に設置されているので、渦発生体２から発生するカルマン渦列が磁界の方向を占めながら下流側へと進行するようになるので、流体の流速に対するカルマン渦の進行速度の変化をパルス状の交流成分の周波数の変化として正確に検知することが可能になる。
【００６９】
そして、磁界発生装置３に永久磁石が用いられているので、物体を励磁するための電力発生部が不要になり、装置の小型化、省電力化および低コスト化を図ることが可能になる。
【００７０】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、導電性をもつ流体の流量を流量と比例する誘導起電力の直流成分とカルマン渦発生に伴いパルス状に発生する誘導起電力の交流成分の両方から算出しているので、高い精度で流量測定をすることが可能になるという有効な効果が得られる。
【００７１】
また、本発明によれば、ノイズ対策のための回路が不要になるので、低コストで高精度の流量測定をすることが可能になるという有効な効果が得られる。
【００７２】
さらに、本発明によれば、カルマン渦の発生流量値の範囲を超えた流量検知が可能になるので、広範囲にわたって流量測定をすることが可能になるという有効な効果が得られる。
【００７３】
第１の流量値が交流成分検知の範囲内のときには、第２の流量値から算出された補正値より第１の流量値を測定流量値とすれば、交流成分から流体の流量を算出し、誘導起電力の直流成分を経時的に変化させる磁束密度の変化や電極抵抗の変化に対する補正を行うことができるので、より高い精度で流量測定をすることが可能になるという有効な効果が得られる。
【００７４】
補正値が所定の値を上回る場合には機器異常と判断すれば、装置の信頼性を向上させることが可能になるという有効な効果が得られる。
【００７５】
渦発生体を磁界発生装置の磁界方向と垂直に設置すれば、渦発生体から発生するカルマン渦列が磁界の方向を占めながら下流側へと進行するようになるので、流体の流速に対するカルマン渦の進行速度の変化をパルス状の交流成分の周波数の変化として正確に検知することが可能になるという有効な効果が得られる。
【００７６】
磁界発生装置を永久磁石により構成すれば、励磁用の電力発生部が不要になるので、装置の小型化、省電力化および低コスト化を図ることが可能になるという有効な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である流量測定装置の構成を示す断面図
【図２】本発明の一実施の形態である流量測定装置の構成を図１と異なる方向から示す断面図
【図３】流量と誘導起電力との関係を示すグラフ
【図４】カルマン渦発生に伴いパルス状に変化する誘導起電力を示すグラフ
【図５】図１および図２の流量測定装置の演算部において行われる信号処理を示す説明図
【図６】図１および図２の流量測定装置の演算部における流量算出処理の流れを示すフローチャート
【図７】従来の流量測定装置の構成を示す断面図
【図８】従来の流量測定装置を図７と異なる方向から示す断面図
【図９】渦発生周波数と流量との関係を示すグラフ
【図１０】起電力信号のＳ／Ｎと流量との関係を示すグラフ
【符号の説明】
１  管
２  渦発生体
３  磁界発生装置
４  電極
５  演算部
【図１】
0003736139.tif 000002
【図２】
0003736139.tif 000003
【図３】
0003736139.tif 000004
【図４】
0003736139.tif 000005
【図５】
0003736139.tif 000006
【図６】
0003736139.tif 000007
【図７】
0003736139.tif 000008
【図８】
0003736139.tif 000009
【図９】
0003736139.tif 000010
【図１０】
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