(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームを反射させると共に任意の角度に偏向させるガルバノミラーと、このガルバノミラーが固定されるシャフトと、このシャフトを回動させる回動手段と、所定間隔で放射状に設けられた複数の第１放射状パターンを有すると共に上記シャフトに固定される回動板と、所定間隔で放射状に設けられた複数の第２放射状パターンを有する固定板と、第１放射状パターンに光を照射する発光部と、第１及び第２放射状パターンを透過した光または、第１放射状パターンから反射すると共に第２放射状パターンを透過した光を受光する受光部とを備え、前記回動板は、マウントに固定されるとともに、面倒れ周波数がガルバノスキャナの位置決め周波数の１．０５〜１．６倍であることを特徴とするガルバノスキャナ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザ光等の光ビームを反射させるガルバノミラーの回動角度を測定しながらガルバノミラーを任意角度に回動させるガルバノスキャナに関するものである。特に、この発明のガルバノスキャナは、レーザ加工機用等のガルバノスキャナとして使用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ光等の光ビームを反射させるとともに任意の角度に偏向させるガルバノミラーは、ガルバノスキャナによって必要な角度に回動される。このガルバノスキャナは、ガルバノミラーを必要な角度に回動させるために、ガルバノミラーの角度を測定する角度センサを備えている。かかる角度センサとしては、従来、静電容量式の位置センサが用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、静電容量式の位置センサは、湿度変化に伴うドリフトがあるために、気温の変化やガルバノミラーが受ける光ビームの熱による温度上昇に伴って測定誤差が生じ、特に、ガルバノミラーの高速動作に時においては測定精度の点で問題があった。
そこで、この発明においては、湿度変化等の影響を受けることなくガルバノミラーの高速動作時においても高精度の角度測定を可能とするガルバノスキャナを提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
この発明の構成によるガルバノスキャナは、光ビームを反射させると共に任意の角度に偏向させるガルバノミラーと、このガルバノミラーが固定されるシャフトと、このシャフトを回動させる回動手段と、所定間隔で放射状に設けられた複数の第１放射状パターンを有すると共に上記シャフトに固定される回動板と、所定間隔で放射状に設けられた複数の第２放射状パターンを有する固定板と、第１放射状パターンに光を照射する発光部と、第１及び第２放射状パターンを透過した光または、第１放射状パターンから反射すると共に第２放射状パターンを透過した光を受光する受光部とを備え、前記回動板は、マウントに固定されるとともに、面倒れ周波数がガルバノスキャナの位置決め周波数の１．０５〜１．６倍である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下。図面に基づいて、この発明の実施の形態について説明する。なお、図中の同一または相当する部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
実施の形態１．
この発明の実施の形態１について、図１〜図３を参照して説明する。
図１は、この発明の実施の形態１によるガルバノスキャナの内部構成を示す斜視図である。
図１に示されるように、このガルバノスキャナ１においては、光ビームLを反射して偏向させるガルバノミラー２を、ミラーマウント３を介してシャフト４に固定している。このシャフト４は、２つの軸受け５によって図示しないガルバノスキャナ１の筐体に回動自在に支持されており、これら２つの軸受け５の間において可動コイル６がシャフト４に固定されている。さらに可動コイル６を挟んで、極性の異なる1対の永久磁石７が配置されている。即ち、可動コイル６は永久磁石７の磁界中に設置されており、可動コイル６と永久磁石７とによりシャフト４の回動手段が構成されている。可動コイル６はシャフト４をまたぐように矩形状に巻回され構成されているがコイルは省略している。
【０００６】
そして、ミラーマウント３と片方の軸受け５との間において、所定間隔で放射状に設けられた多数の第１放射状パターンを有する回動板１０がマウント１０Ｍによりシャフト４に固定されている。この回動板１０を正面からみた構成を図２に示す。回動板１０はマウント１０Ｍによりシヤフト４に固定されている。回動板１０をガルバノミラー２の近傍に配置すると、回動板１０をシャフト４の反対側端部近傍に固定した場合に比べて、シャフト４のねじれによる測定誤差が生ずる恐れがないという利点がある。したがって、シャフト４に固定されている回動板１０は、ガルバノミラー２の近傍に配置するのが望ましい。実施の形態１においては、ミラーマウント３とシャフト４の片方の軸受け５までを略２０ｍｍ以下とすると、シャフト４のねじれによる測定誤差が生ずる恐れが少ないという実験結果を得た。
【０００７】
この回動板１０は、質量が小さく、小形の工業用プラスチックからなり、板面上には第１放射状パターンとして、円弧に沿って多数のスリット１２が放射状に設けられたもので、図２に示すようにスリット１２は光を透過する細隙で構成されている。シャフト４と一体に、即ち、ガルバノミラー２と一体に回動する。このとき、重心位置はシャフト４の軸心にある。回動板１０の手前側には、多数のスリット１２に対向する位置にＬＥＤ（発光ダイオード）１３が固定されて発光部を構成しており、ＬＥＤ１３には電力を供給してＬＥＤ１３を発光させるＬＥＤドライバ１４が接続されている。このＬＥＤ１３から発せられた光の一部は、回動板１０のスリット１２を通過して、背面側に設けられた固定板１５に入射し、この固定板１５のスリットをも通過した光がＰＤ（フォトダイオード）１６によって受光される。固定板１５は回動板の第１放射状パターンと対向する位置に固定配置されており、第１放射状パターンと同一の第２放射状パターン１７が形成されている。ＰＤ１６によって受光された光は電流に変換されてアンプ１８で増幅され、カウンタ１９によってカウントされて角度の値に変換される。
【０００８】
一方、角度指令発生手段２０から出力された角度指令のデータはサーボアンプ２１に入力され、カウンタ１９から入力されたガルバノミラー２の角度のデータと比較されて、目的の角度にガルバノミラー２を回動させるように制御される。即ち、目的の角度にガルバノミラー２を回動させるのに必要な電力がサーボアンプ２１からリード線２２を介して可動コイル６に入力される。この電力によって、可動コイル６から磁力が発生し、この磁力によって1対の永久磁石７との間で反発力または吸引力が生じ、可動コイル６と一体にシャフト４が回動してガルバノミラー２を目的の角度に回動させる。このようにして、ガルバノスキャナ１によってガルバノミラー２が目的の角度に制御される。
ここで、回動板１０、ＬＥＤ１３、ＬＥＤドライバ１４、固定板１５、ＰＤ１６によって光学式ロータリエンコーダ２３が構成されている。光学式ロータリエンコーダによる角度測定の原理は、回動板１０が回動すると固定スリット板１４を通過してＰＤ１６に達する光量は周期的に変化するので、この光量の周期的変化がアンプ１８で増幅されて、カウンタ１９で回動角度としてカウントされるものである。
なお、回動板１０は、図３に示すストッパの作用により所定角度だけ回動するように構成されている。図３において、２４はシャフトの端部に設置された一対のピンである。２５はピン２４が当接して回動板１０の回動を所定角度で止める一対の突起であり、ピン２４の軸方向に対して左右対称に、駆動コイル６、永久磁石７等のカバー(図示せず)の壁面２６に設けられている。ピン２５が回動板１０とともにピン２５に当接するまで回動すると回動板１０の放射状パターン１２の端部付近にＬＥＤ１３が対向するように、ピン２５に対し突起２４が配置されている。
【０００９】
光学式ロータリエンコーダ２３は、ガルバノミラー２と一体に回動板１０が回動すると、固定板１５を通過してＰＤに到達する光量が周期的に変化するのでこの光量の周期的変化をアンプ１８で増幅して、カウンタ１９により回動角度としてカウントしており、回動板１０と固定板１５のスリットのピッチを同じとして細かくすると非常に高精度の角度測定が可能となる。また、湿度変化等によるドリフト現象等もなく、高速動作時においても安定して角度測定を行うことができる。このようにして、湿度変化等の影響を受けることなくガルバノミラー２の高速動作時においても高精度の角度測定を可能とするガルバノスキャナ１となる。
いわゆる回転円板スリットを備えた通常の光学式ロータリエンコーダを用いると、ガルバノスキャナは、回動部分のイナーシャ（慣性モーメント）が大きくなる。具体的な数値例を挙げれば、シャフト４と可動コイル６のロータ部分が８ｇ・ｃｍ2、ガルバノミラー２が小型のもので３ｇ・ｃｍ2、大型のもので１２ｇ・ｃｍ2、ミラーマウント３が１〜１.５ｇ・ｃｍ2、そして、回転円板スリットが６ｇ・ｃｍ2であり、合計で１８〜２７.５ｇ・ｃｍ2に達する。このように回動部分のイナーシャが大きくなるため、高速動作には向かないものとなり、例えばレーザ加工機において１０００回／秒というようなガルバノミラー２の高速位置決めができないという問題点があった。そこで、実施の形態１では回動板１０も軽量なエンジニアリングプラスチックからなり、第１放射状パターンは図２に示すように約４５度の回動角度範囲を有している。
【００１０】
実施の形態１にかかるガルバノスキャナ１は、レーザ加工機等に用いられるものであって、ガルバノミラー２の回動角度範囲は±８度即ち１６度であるが、図２に示すような約４５度の角度範囲を有する回転板１０用いたこと、すなわち、、実施の形態１では、ガルバノミラー面の法線方向を０度とした場合、スリットの長手方向が±４５度以内になるように、シャフトに取り付けているのは、以下のような理由からである。
即ち、第１に機械的強度を確保するため、第２にガルバノスキャナ１のトルクが最大となる駆動系の中心と回動板１０のストローク中心を一致させるのが困難なので取り付け誤差を吸収するため、第３に回動板１０は従来の回転円板スリットを切断して作成していることから両端は機械的歪があるので使用しないように余裕をとっているため、第４に将来的にガルバノミラー２の回動角度範囲を広げる可能性があるためである。
それでも、回動板１０の回動する角度範囲は、回動板１０の約８分の１になっている。これによって、回動部分のイナーシャは、回転円板スリットが６ｇ・ｃｍ2であったのに比べて１ｇ・ｃｍ2となり、小型のガルバノミラー２（イナーシャ３ｇ・ｃｍ2）を用いた場合、シャフト４と可動コイル６のロータ部分の８ｇ・ｃｍ2、ミラーマウント３の１ｇ・ｃｍ2を加えて、回動部分のイナーシャは１３ｇ・ｃｍ2まで減少する。
その結果、従来の回転円板スリットに大型ガルバノミラー２を用いた場合（回動部部のイナーシャ２７.５ｇ・ｃｍ2）の最大位置決め速度が約４００回／秒であったのが、実施の形態１のガルバノスキャナ３１においては、約１０００回／秒の最大位置決め速度が達成された。また、ガルバノミラー２として大型ガルバノミラー２を用いた場合（回動部分のイナーシャ２２.５ｇ・ｃｍ2）においても、最大位置決め速度として約７００回／秒の値が得られており、回動板１０を用いた効果が顕著に表れている。
このように、回動部分を軽量としイナーシャを小さくすると、ガルバノスキャナ１の高速動作が可能になるのは、回動部分の固有振動数が高くなるため、サーボアンプ２１によるサーボ制御のゲインを上げることができるようになるためである。
【００１１】
実施の形態２．
次に、この発明の実施の形態２について、図４を参照して説明する。
図４は、この発明の実施の形態２にかかるガルバノスキャナの内部構成を示す斜視図である。なお、図１と同一の部分については同一の符号を付して説明を省略する。
実施の形態２にかかるガルバノスキャナ１が実施の形態１のガルバノスキャナ１と異なるのは、回動板１０がガルバノミラー２と反対側に配置されていることであり、図４に示すように上記反対側においてシャフト４の端部近傍にマウント１０Ｍにより固定されている点が相違する。光学式ロータリエンコーダ２３はガルバノミラー２と反対側のシャフト４の端部近傍に設けられる。
実施の形態１のように回動板１０をガルバノミラー２の近傍においてシャフト４に固定すると、図１に示されるようにガルバノミラー２の近傍に光学式ロータリエンコーダ２３の構成部品が集まって、ガルバノスキャナ１のこの部分が嵩高くなる。このとき、レーザ加工機のように２つのガルバノミラーを近接させて用いる場合には、一方のガルバノミラーと他方のガルバノスキャナが干渉してしまう事態も生じ得る。また、ガルバノミラー２の近傍に光学式ロータリエンコーダ２３を構成すると、ガルバノミラーの２の受ける光ビームＬの熱の影響を受け易くなる。
【００１２】
そこで、実施の形態２に示されるように、回動板１０をガルバノミラー２と反対側のシャフト４の端部近傍に固定することによって、光学式ロータリエンコーダ２３をガルバノミラー２から離して構成することができ、他のガルバノミラーが干渉したり、光ビームＬの熱の影響を受けたりすることなく、より安定して高精度に角度測定を行うことができる。
実施の形態２においては、シャフト４の片方の軸受け５とシャフト４の端部までを略１０mm以下とすると、シャフト４のねじれによる測定誤差が生ずる恐れが少ないという実験結果を得た。また、シャフト４の両端の荷重により、シャフト４の長さ方向の重心位置が可動コイル６の中心付近にあり、変化しにくいという効果が得られる。
【００１３】
ガルバノスキャナは、回動板の第１放射状パターン１２の回動する角度範囲を上記軽量な回動板の機械的強度が保てる範囲内でできるだけ上記ガルバノミラーの回動角度範囲に近づけるように小さくしいる。
回動板１０の第１放射状パターンの回動する角度範囲をガルバノミラーの回動角度範囲ぎりぎりの角度範囲とすると、シャフトへの取り付け時の誤差等によって、第１放射状パターンがガルバノミラーの回動角度範囲からずれてしまう恐れがある。こうなると発光ダイオードの光が回動板に当たらない範囲が生じ、その範囲では角度測定ができなくなってしまう。そこで、回動板の取り付け誤差を考慮しても、回動板をガルバノミラーの回動角度範囲に加えて左右５度程度ずつの余裕を持たせた角度範囲のものとすれば、角度測定ができなくなるという不具合は防止できる。しかし、上述したレーザ加工機におけるガルバノミラーのように、回動角度範囲が約１６度のものでは左右に５度程度ずつの余裕を持たせても僅か約２６度となり、高速回動時の機械的強度に不安が残る。
そこで、回動板の角度範囲を機械的強度が保てる範囲内でできるだけガルバノミラーの回動角度範囲に近づけることとすれば、機械的強度についても心配がなくしかも必要最小限の大きさとすることができる。このようにして、湿度変化等の影響を受けることなく高精度の角度測定を可能とするととともに、高速回動時の角度測定が確実にできる範囲で回動部分のイナーシャを低減することによってガルバノミラーの高速動作を可能とするガルバノスキャナとなる。
【００１４】
実施の形態３．
実施の形態３のガルバノスキャナ１に用いられる軽量な回動板１０の形状の変形例について、図５参照して説明する。
図５の(ａ)に示される回動板１０は、図１、図２に示された実施の形態１、２のガルバノスキャナ２３に用いられる回動板１０と同一形状のものである。
この回動板１０には、扇形の円弧に沿って多数のスリット１２が設けられており、第１放射パターンが形成されている。３０は、シャフトへ取り付けるためのシャフト孔である。
これらのスリット１２が設けられている角度範囲は僅か約４５度であり、従来のいわゆる回転円板スリットの約８分の１である。したがって、シャフト４が貫通するシャフト孔３０の周辺部分の重量を加えても、上述したように回動板の６ｇ・ｃｍ2に対して１ｇ・ｃｍ2という６分の１のイナーシャ低減を実現している。
回動板をガルバノミラーの回動角度範囲に加えて左右に余裕を持たせた角度範囲のものとするとともに、その形状をシャフトへの取り付け部分を含めて略扇形とすることによって、必要最小限の大きさにすることができ、回動板のイナーシャを最小とすることができる。このようにして、湿度変化等の影響を受けることなく高精度の角度測定を可能とするとともに、回動部分のイナーシャを最小とすることによってガルバノミラーの高速動作を可能とするガルバノスキャナとなる。
【００１５】
図５の（ｂ）に示す回動板３１は、（ａ）の変形例である。この変形例においても、多数のスリット１２が設けられている角度範囲は約４５度であり、回動板９の形状は略扇形であるが、シャフト４が貫通するシャフト孔３０の周辺部分の形状が直線状であり、(ａ)のような切り欠き状になっていないので、強度的により優れている。ただし、それとは裏腹に重量は少々重くなっている。
【００１６】
図５の（ｃ）の回動板３２は、シャフト４が貫通するシャフト孔３０の周辺部分の形状が長円形状であって、機械的強度がより大きくなっているので、多数のスリット１２が設けられている角度範囲は約３５度と小さくなっている。このように、回動板の他の変形例においては、その角度範囲を回動板の機械的強度が保てる範囲内で、できるだけガルバノミラー２の回動角度範囲（１６度）に近づけるように小さくしている。
【００１７】
図５の(ｄ)の回動板３３はシャフト４が貫通するシャフト孔３０の周辺部分の形状がより大きくなるように膨らんだ円形状であって、機械的な強度を向上させている。
【００１８】
実施の形態４．
次に、この発明の実施の形態４について、図６を参照して説明する。
図６は、この発明の実施の形態４にかかるガルバノスキャナに用いられる回動板３４の構成を示す正面図である。
実施の形態４の回動板３４も軽量なエンジニアリングプラスチックからなり、回動板３４を平行な２本の直線で切断した形状をしており、シャフト４が貫通するシャフト孔３０を中心として軸対称の形状となっている。向かい合った２つの円弧に沿ってそれぞれ多数のスリット１２が設けられて第１放射状パターンを形成している。これらのスリット１２が設けられている角度範囲はそれぞれ約４５度である。なお、光学式エンコーダとしては図示上方のスリット１２のみが使用され、図示下方のスリット１２は実際には角度測定には関与しない。
【００１９】
図５に示される実施の形態４にかかる回動板のように、LED８の光の当たる側のみを残した回動板では、シャフト４に固定したときに回動部分の重量のバランスがくずれることとなる。このような片側のみの回動板がシャフト４に取り付けられていると、バランスのくずれからガルバノミラー２の回動時に面倒れ共振現象を起こす恐れがある。
面倒れ共振現象とは、ガルバノミラーが高速で回動を繰り返す際に共振周波数に近づいたときに、共振を起こしてガルバノミラーの反射面が前後に反るように振動する現象をいう。この面倒れ共振現象が起こると、光ビームがガルバノミラーの偏向方向とは垂直な方向にぶれることになり、偏向ずれが生ずる。
そこで、実施の形態４における回動板３４のように、LED８の光の当たる側と軸対称になるように反対側にも回転部分スリットを残すことによって、バランスを保つことができ、ガルバノミラー２の回動時に面倒れ共振現象を起こす恐れがなくなる。このようにして、実施の形態４の回動板３４を用いることによって、シャフト４回りの重量バランスを保って面倒れ共振現象を確実に防止しつつ、回動部分のイナーシャを低減することによってガルバノミラー２の高速動作を可能とするガルバノスキャナとなる。
【００２０】
実施の形態５．
図７の（ａ）は実施の形態５を説明するため、図３のガルバノミラー、シャフト、回動板の構成部分を示す斜視図である。Ｐはミラーの法線を示す。Ｑは図７の（ａ）のように回動板１０の長径方向の中心線を示す。ＭはＰと平行な方向、ＲはＭおよびシャフト４の軸方向と９０度の角度をなす方向を示す。Ａはミラー２の面倒れ振動共振現象の振動（以下、面倒れ振動と略す）の方向示す。Ｂは回動板１０の面倒れ振動の方向を示す。
【００２１】
図７の（ｂ）は（ａ）の側面図である。図７の（ａ）（ｂ）では回動板１０のシャフト４への取り付け角がＰとＱがほぼ平行になるように取り付けられている場合を示している。
【００２２】
図８の（ａ）は回動板１０の取り付け角度がＱとＲとが平行になるように取り付けられた以外は、図７（ａ）と同じである。図８の（ｂ）は図８の（ａ）の側面図である。なお、図７、図８で記載されている回動板１０は、図５の（ｃ）の形状と同一のものを一部変形して構成している。
【００２３】
図７の（ａ）においては、ミラー２が回転すると、ミラーの取り付け誤差等により芯ずれが起こり、ミラー２は軸受け５を起点にミラー面の法線Ｐ方向に振動する面倒れ振動を発生する。面倒れ現象が発生するとミラーの先端部はＡ方向に振動する。図７の（ｂ）では、ミラーはＡ方向に上下に振動していることを示す。図７（ｂ）において、ミラー２がＡの方向に振動すると、シャフト４が両端のベアリング５を基点に上下にたわみ、その影響が回動板１０に伝わり、回動板１０はＢ方向に面倒れ振動を起こす。このような角度で回動板１０を取り付けると、回動板１０のイナーシャがミラーの面倒れ振動を抑えるように有効に働くので、ミラー２の面倒れ振動は小さいものとなる。
【００２４】
一方、図８の（ａ）のように回動板１０をＱとＲとが垂直になるようにシャフト４に取り付けられた場合、図７と同様、ミラー２が回動すると、ミラー２は面倒れ現象を発生し、同様に回動板１０はＢ方向に面倒れ振動を起こすが、この場合、回動板１０の長径方向の中心線Ｑは、ほとんど振動しないので、回動板１０のイナーシャはミラーの面倒れ振動を抑えるように働かず、ミラー２の面倒れ振動の振幅は大きいものとなる。従って、回動板１０の取り付け角度は、図７のように、ミラー面の法線Ｐと回動板１０の長径方向の中心線Ｑが平行となるようにシャフト４に固定すれば、ミラー面倒れが少なくなるので、良好な高精度な光ビーム位置制御が可能となる。
ミラーの面倒れ抑制に効果がある面倒れ振動抑制有効角度は、法線Ｐと中心線Ｑが平行となる回動板１０の取り付け角を０度とした場合、取り付け角が±４５度以内であれば、ミラー２の面倒れ振動を抑える効果がある実験結果を得た。
【００２５】
実施の形態６．
図９から図１２は実施の形態６を説明するための構成図である。図９から図１２は、図３における回動板１０の取り付け部分の拡大図である。図９の（ａ）、図１０の（ａ）、図１１の（ａ）、図１２の（ａ）は取り付け部分を横方向からみた図、図９の（ｂ）、図１０の（ｂ）、図１１の（ｂ）、図１２の（ｂ）は図９の（ａ）の右側面図である。図１０、図１１、図１２は、図９の回動板の取り付け剛性を高くするように改善した構造を説明する図である。
なお、図９の回動板１０は、図５における（ｃ）の形状のものを一部変形した構成のもので説明している。外形が３つの直線部分からなっており、図５の（ｃ）の構造よりも製造しやすいというメリットがある。
【００２６】
図９の（ａ）のｄ１は回動板１０の厚み、ｌ１はマウント１０Ｍの長さを示す。図９でシャフト４がある周波数で回動運動を行った場合、回動板１０はＢ方向に面倒れ振動を発生することがある。この面倒れ振動の周波数を面倒れ周波数と呼ぶが、回動板１０の厚みｄ１が小さいあるいはマウント１０Ｍから先端部分までの距離が長い場合、面倒れ周波数は低くなり、ガルバノスキャナが高速に駆動できなくなる。
今、ガルバノスキャナを１秒間に１０００点の位置決めを行わせる場合、１秒間に１０００回、回動、停止の動作の繰り返しが行われる。この制御は、いわゆるｐｏｉｎｔ  ｔｏ  ｐｏｉｎｔ制御（ＰＴＰ制御）と呼ばれるものである。この場合、ガルバノスキャナの位置決め周波数は１０００Ｈｚといい、シャフト４も１０００Ｈｚで力が伝えられ、回動板１０にも１０００Ｈｚで回動力が加わる。もし、回動板１０の面倒れ周波数が１０００Ｈｚの場合、面倒れ振動の振幅が増大し、図示しないＬＥＤ１３からの光が第１放射パターン１２を正常に通過するとこができず、結果的に図示しない光学式ロータリエンコーダ２３はシャフトの回転角を計測できなくなるという問題が生じる。そこで、面倒れ周波数をガルバノミラーの回動周波数より高くするための改善方法を以下に説明する。
【００２７】
図１０は図９のマウント１０Ｍの大きさを変えて、マウント１０Ｍの長さをｌ１からｌ２のように長くして回動板１０の面倒れ周波数を高く改善した例である。マウント１０Ｍの長さにほぼ反比例の関係で回動板の面倒れ周波数をガルバノミラーの回動周波数より高くすることができる。
【００２８】
図１１は図９の回動板１０の厚さｄ１を大きくし、回動板１０の面倒れ周波数を高く改善した例である。回動板の厚さｄ１をｄ２と厚くすることで、回動板１０の面倒れ周波数をガルバノミラーの回動周波数より高くすることができる。回動板１０の面倒れ周波数は厚みにほぼ比例して高くすることができる。
【００２９】
図１２は図９の回動板１０の形状を幅広くすることで、回動板１０の面倒れ周波数を高く改善した例である。図１２の（ｂ）のように回動板１０の形状を幅広くすることで、回動板１０の面倒れ周波数は高くすることができる。
上記改善を行えば回動板１０の面倒れ周波数をガルバノミラーの回動周波数よりも高くすることができ、ガルバノスキャナの位置決めを高速に行うことができる。なお、回動板１０の面倒れ周波数を高くすればするほど、回動方向のイナーシャが増加する。従って、回動板１０の面倒れ周波数はガルバノスキャナの位置決め周波数の１．０５倍〜１．６倍程度にすることが望ましい。ガルバノスキャナはもっとも大きなミラーを用いる場合、位置決め周波数が４００Ｈｚとなる可能性がある。この場合、回動板１０の面倒れ周波数は少なくとも、４２０Ｈｚ以上となるように、回動板１０の厚み、形状およびマウント１０Ｍの形状を調整する。
【００３０】
上記の各実施の形態においては、第１放射状パターン１２、第２放射状パターン１７はスリットで構成された場合を説明したが、光を透過する回動板１０に印刷されたパターンあるいは溝であっても構わない。
また、第１放射状パターン１２、第２放射状パターン１７は、光を透過する透過型光ロータリエンコーダの場合を説明したが、光を反射する回動板１０を用いた場合は、第１の放射状パターンは回動板１０に印刷されたパターンあるいは溝を用い、ＬＥＤ１３から発せられた光の一部が、回動板１０の第１放射状パターン１２で反射し、固定板１５に入射するように構成される反射型光ロータリエンコーダであっても同様な効果があり、本発明の範囲に含まれる。
また、ロータリエンコーダはインクリメンタル型であっても絶対値型であつても同様な効果があり、本発明の範囲に含まれる。
また、シャフト４は可動コイルを用いた可動コイル型ガルバノスキャナの場合を説明したが、シャフト４に永久磁石を固定し、この永久磁石の磁力と吸引あるいは反発力が発生するように、前記永久磁石の周りに矩形状に巻回された固定コイルをもち、固定コイルに電流を流すことでシャフト４を回転させる可動マグネット型ガルバノスキャナであっても構わない。
また、シャフト４に鉄心を固定し、この鉄心を駆動するように配置された固定電磁石をもった可動鉄心型ガルバノスキャナもあつても同様な効果があり、本発明の範囲に含まれる。
また、上記の各実施の形態においては、ガルバノスキャナをレーザ加工機に用いる場合について説明したが、本発明のガルバノスキャナはその他にもレーザ光またはレーザ光以外の光ビームを偏向するあらゆる装置用いることができる。
また、上記各実施の形態においては、軽量な回動板の素材をエンジニアリングプラスチックとした例について説明したが、回動板の素材はその他の合成樹脂やシリコン、アルミニウム、ベリリウムを始めとする金属等、一定の機械的強度と加工性がある素材であれば、どのようなものを用いても良い。
ガルバノスキャナにおけるその他の部分の構成、形状、材料、大きさ、数量、接続関係等についても、上記各実施の形態に限定されるものではない。
【００３１】
【発明の効果】
この発明の構成によれば、光ビームを反射させると共に任意の角度に偏向させるガルバノミラーと、このガルバノミラーが固定されるシャフトと、このシャフトを回動させる回動手段と、所定間隔で放射状に設けられた複数の第１放射状パターンを有すると共に上記シャフトに固定される回動板と、所定間隔で放射状に設けられた複数の第２放射状パターンを有する固定板と、第１放射状パターンに光を照射する発光部と、第１及び第２放射状パターンを透過した光または、第１放射状パターンから反射すると共に第２放射状パターンを透過した光を受光する受光部とを備え、前記回動板は、マウントに固定されるとともに、面倒れ周波数がガルバノスキャナの位置決め周波数の１．０５〜１．６倍であるようにしたことにより、回動板の面倒れ周波数をガルバノミラーの回動周波数よりも高くすることができ、ガルバノスキャナの位置決めを高速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１によるガルバノスキャナの内部構成を示す斜視図である。
【図２】  この発明の実施の形態１における回動板の構造を説明する正面図である。
【図３】  この発明の実施の形態１によるストッパの構成を示す正面図である。
【図４】  この発明の実施の形態２によるガルバノスキャナの内部構成を示す斜視図である。
【図５】  この発明の実施の形態３による回動板を示す構成図である。
【図６】  この発明の実施の形態４による回動板を示す構成図である。
【図７】  この発明の実施の形態５を説明する構成図である。
【図８】  この発明の実施の形態５を説明する構成図である。
【図９】  この発明の実施の形態６による回動板及びマウントを示す構成図である。
【図１０】  この発明の実施の形態６による回動板及びマウントを示す構成図である。
【図１１】  この発明の実施の形態６による回動板及びマウントを示す構成図である。
【図１２】  この発明の実施の形態６による回動板及びマウントを示す構成図である。
【符号の説明】
２  ガルバノミラー、  ４  シャフト、  ６  駆動コイル、７  永久磁石、１０  回動板、１２  第１放射状パターン、１３  発光部、  １５、固定板、
１６  受光部、１７  第２放射状パターン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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