(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ＭＭ´）Ｏ3で表される複合ペロブスカイト酸化物と、ＡＯｘで表される金属酸化物との混合焼結体（ＭＭ´）Ｏ3・ＡＯｘからなるサーミスタ素子であって、
上記複合プロベスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3において、ＭがＹであり、Ｍ´がＣｒ及びＭｎであるとともに、
上記金属酸化物ＡＯｘが、ＭｇＯ、Ｓｃ2Ｏ3、ＺｒＯ2、Ｌｕ2Ｏ3およびＨｆＯ2から選ばれる一種ないしそれ以上の金属酸化物であり、２４００℃以上の融点を有し、サーミスタ素子形状におけるＡＯｘ単体の抵抗値（１０００℃）が１０００Ω以上の金属酸化物であるサーミスタ素子。
【請求項２】
上記混合焼結体における上記複合プロベスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3のモル分率をａ、上記金属酸化物ＡＯｘのモル分率をｂとした時に、ａとｂが０．０５≦ａ＜１．０、０、０．０５＜ｂ≦０．９５、ａ＋ｂ＝１の関係を満足する請求項１記載のサーミスタ素子。
【請求項３】
焼結助剤としてＣａＯ、ＣａＣＯ3、ＳｉＯ2およびＣａＳｉＯ3のうちの少なくとも一種を含有する請求項１又は２のいずれか記載のサーミスタ素子。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか記載のサーミスタ素子からなる温度センサ。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか記載のサーミスタ素子を製造する方法において、上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3と上記金属酸化物ＡＯｘとを混合して粉砕し、粉砕後の混合物の平均粒径を、混合前の上記金属酸化物ＡＯｘの平均粒径以下とした後、所定形状に成形、焼成することを特徴とするサーミスタ素子の製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項４のいずれか記載のサーミスタ素子を製造する方法において、上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3におけるＭの原料とＭ´の原料とを混合して粉砕し、粉砕後の混合物の平均粒径を、混合前の上記Ｍの原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下とした後、仮焼成することにより上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3とし、これを上記金属酸化物ＡＯｘと混合した後、所定形状に成形、焼成することを特徴とするサーミスタ素子の製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし請求項４のいずれか記載のサーミスタ素子を製造する方法において、上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3におけるＭの原料とＭ´の原料とを混合して粉砕し、粉砕後の混合物の平均粒径を、混合前の上記Ｍの原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下とした後、仮焼成することにより上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3とし、得られた上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3と上記金属酸化物ＡＯｘとを混合して粉砕し、粉砕後の混合物の平均粒径を、混合前の上記金属酸化物ＡＯｘの平均粒径以下とした後、所定形状に成形、焼成することを特徴とするサーミスタ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、サーミスタ素子、特に室温から約１０００℃程度の高温域までの広い温度領域にわたって温度検知可能であり、温度センサとして好適なワイドレンジ型サーミスタ素子とその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、サーミスタ素子を用いた温度センサが広く用いられている。サーミスタ素子は、温度によって抵抗値が変化する特徴を有しており、その特性は、一般に、抵抗値と抵抗温度係数（抵抗値の温度依存性）によって示される。温度センサとして用いられる場合、サーミスタ素子の抵抗値は、温度センサを構成する温度検出回路の抵抗値範囲に対応していることが必要であり、通常、使用温度範囲において、１００Ω〜１００ｋΩの範囲にあることが望ましい。また、サーミスタ素子に熱履歴を与えた場合に、初期抵抗値に対する熱履歴後の抵抗値変化が小さく、安定した特性を示すことが要求される。
【０００３】
サーミスタ素子の抵抗値特性は、素子を構成する材料によって異なり、使用目的に応じた抵抗値特性を示す種々の材料が開発されている。例えば、自動車用排ガス温度、ガス給湯器のガス火炎温度、加熱炉の温度等、１０００℃程度の高温域を検知するサーミスタ素子には、例えば、特開平７−２０１５２８号公報に記載されるような、ペロブスカイト系材料が主に用いられている。ペロブスカイト系材料は、一般に（ＭＭ´）Ｏ3 で表されるペロブスカイト構造の複合酸化物よりなり、上記公報には、Ｙ、Ｓｒ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｔｉ等の酸化物を所定の組成割合で混合し、焼成して完全固溶体としたサーミスタ素子用の磁器組成物が、高温域で使用されて安定した特性を示すことが記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、室温から１０００℃以上の高温域までの広い温度領域にわたって温度検知可能な、いわゆるワイドレンジ型サーミスタ素子の開発が望まれている。しかしながら、上記公報に記載される従来のサーミスタ素子は、４００〜１３００℃程度の中温から高温域の測定には適しているものの、室温から４００℃程度の低中温域において抵抗値が増大するために、絶縁との判別ができず、温度検出ができないという問題があった。一方、複合ペロブスカイト酸化物の組成や置換割合を変更することにより、抵抗値特性を調整することも可能であるが、、低中温域を検出可能とするために低抵抗値としたサーミスタ素子は、高温域における抵抗値が低くなりすぎて、所望の抵抗値範囲（１００Ω〜１００ｋΩ）を満足させることができない、あるいは、熱履歴等による抵抗値の変化が１０〜３０％程度と大きく安定性に欠ける、といった問題が生じることが判明した。
【０００５】
このように、室温から１０００℃程度の高温域までの広い温度範囲にわたって温度が検知でき、しかも、熱履歴等による抵抗値変化の小さいサーミスタ素子の開発が要求されている。さらに、１０００℃程度の高温に常時晒されるような条件下での使用に耐えるには、１４００〜１５００℃程度まで温度が上昇しても抵抗値変化がない、高い耐熱性を有することが望ましい。また、サーミスタ素子と同時焼成されるリード線材料へのダメージを小さくするには、焼成温度は低い方がよく、例えば１６００℃より低い温度で焼成可能な易焼結性のサーミスタ素子が望まれている。
【０００６】
そこで、本発明は、室温〜１０００℃の温度範囲において抵抗値が１００Ω〜１００ｋΩの範囲にあり、かつ、熱履歴等に対して抵抗値変化が小さく安定した特性を示す、低抵抗値特性と抵抗値安定性の両方を兼ね備えたワイドレンジ型サーミスタ素子を得ることを第１の目的とする。また、これに加えて、１４００〜１５００℃程度の高温でも抵抗値変化がなく高い耐熱性を示し、あるいは１６００℃より低い温度で焼成可能で易焼結性に優れるサーミスタ素子を得ることを第２の目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１のサーミスタ素子は、（ＭＭ´）Ｏ3 で表される複合ペロブ  スカイト酸化物と、ＡＯx で表される金属酸化物との混合焼結体（ＭＭ´）Ｏ3 ・ＡＯx からなり、
上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 において、Ｍが周期律表第２Ａ族およびＬａを除く第３Ａ族の元素から選択される１種ないしそれ以上の元素であり、Ｍ´が周期律表第３Ｂ族、第４Ａ族、第５Ａ族、第６Ａ族、第７Ａ族および第８族の元素から選択される１種ないしそれ以上の元素であるとともに、
上記金属酸化物ＡＯx が、ＭｇＯ、Ｓｃ2 Ｏ3 、ＺｒＯ2 、Ｌｕ2 Ｏ3 およびＨｆＯ2 から選ばれる一種ないしそれ以上の金属酸化物であり、２４００℃以上の融点を有し、サーミスタ素子形状におけるＡＯｘ単体の抵抗値（１０００℃）が１０００Ω以上である、高抵抗値の耐熱性金属酸化物であることを特徴とする。
【０００８】
従来の完全固溶体からなるペロブスカイト型構造のサーミスタ素子は、室温〜１０００℃の温度範囲における抵抗値特性と、熱履歴による安定性の２つの特性を両立させることができない。そこで、本発明では、完全固溶体ではなく、室温〜１０００℃の温度範囲において比較的低い抵抗値特性を有する上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 と、高抵抗値かつ高耐熱性の上記金属酸化物ＡＯx との混合焼結体を用いることで、両者の特性をそれぞれ有する新規なサーミスタ素子を実現した。
【０００９】
すなわち、上記金属酸化物ＡＯx は高抵抗値であるので、上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 の高温域における抵抗値を高くすることができる。特に２４００℃と融点が高く耐熱性に優れるので、サーミスタ素子の高温安定性を高めることができる。よって、室温〜１０００℃の温度範囲における抵抗値が１００Ω〜１００ｋΩの範囲にあり、しかも、熱履歴等による抵抗値の変化を小さい、安定性に優れるワイドレンジ型サーミスタ素子を得ることができ、温度センサ等に好適に使用されて、広い温度範囲で高い性能を発揮することができる。
【００１２】
請求項２のように、上記混合焼結体における上記複合プロベスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3のモル分率をａ、上記金属酸化物ＡＯｘのモル分率をｂとした時に、ａとｂが０．０５≦ａ＜１．０、０、０．０５＜ｂ≦０．９５、ａ＋ｂ＝１の関係を満足するものとする。好ましくは、上記複合プロベスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3と上記金属酸化物ＡＯｘのモル分率ａ、ｂが上記関係にあると、より確実に上記効果を達成することができる。
【００１７】
請求項３のように、上記混合焼結体に、焼結助剤としてＣａＯ、ＣａＣＯ3、ＳｉＯ2およびＣａＳｉＯ3のうちの少なくとも一種を添加することもできる。これら焼結助剤は、上記混合焼結体の焼結密度を高め、素子特性を向上させる。
【００１８】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれか記載のサーミスタ素子からなる温度センサを提供するものである。上記各請求項の構成を有するサーミスタ素子は、広い温度範囲にわたって温度が検知でき、安定した特性を有するので、高性能でしかも耐久性に優れる温度センサを実現することができる。
【００１９】
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれか記載のサーミスタ素子を製造する方法であり、上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3と上記金属酸化物ＡＯｘとを混合して粉砕し、粉砕後の混合物の平均粒径を、混合前の上記金属酸化物ＡＯｘの平均粒径以下とした後、所定形状に成形、焼成することを特徴とする。
【００２０】
本発明のサーミスタ素子を用いた温度センサについて、その検出温度精度を調べたところ、室温〜１０００℃の温度域で±２０〜３０℃の範囲でばらつきを生じることがわかった。そこで、サーミスタ素子の製造工程における各条件について調べた結果、上記温度精度のばらつきが、仮焼成により得られる上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 （または（ＭＭ´）Ｏ3 ・ＡＯx ）の平均粒径が、これと混合される上記金属酸化物ＡＯx の平均粒径より大きいために、両者が均一に混合せずに混合焼結体の組成がばらつき、その結果として、サーミスタ素子の抵抗値がばらつくことに起因することが判明した。そして、上記請求項１０の製造方法により、両者を混合、粉砕して微粒化し、その平均粒径を、混合前の上記金属酸化物ＡＯx の平均粒径以下とすることで、この組成変動を低減し、抵抗値のばらつきを低減できることを見出した。よって、この方法によれば、より温度精度のばらつきの少ないワイドレンジ型サーミスタ素子を実現できる。
【００２１】
請求項６の方法では、上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3におけるＭの原料とＭ´の原料とを混合して粉砕し、粉砕後の混合物の平均粒径を、混合前の上記Ｍの原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下とした後、仮焼成することにより上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3とし、これを上記金属酸化物ＡＯｘと混合した後、所定形状に成形、焼成する。
【００２２】
上記温度精度のばらつきに影響する他の要因に、上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 （または（ＭＭ´）Ｏ3 ・ＡＯx ）の仮焼成体自体のばらつきがあることがわかった。そこで、これを低減する他の方法として、上記仮焼成体を調製する工程において、Ｍの原料とＭ´の原料とを混合、粉砕して微粒化し、その平均粒径を、所定値以下とすることで、サーミスタ素子の抵抗値のばらつきを低減できることを見出した。よって、この方法によっても、より温度精度のばらつきの少ないワイドレンジ型サーミスタ素子を実現できる。
【００２３】
請求項７の方法では、上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3におけるＭの原料とＭ´の原料とを混合して粉砕し、粉砕後の混合物の平均粒径を、混合前の上記Ｍの原料の平均粒径以下でかつ０．５μｍ以下とした後、仮焼成することにより上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3とし、得られた上記複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3と上記金属酸化物ＡＯｘとを混合して粉砕し、粉砕後の混合物の平均粒径を、混合前の上記金属酸化物ＡＯｘの平均粒径以下とした後、所定形状に成形、焼成する。
【００２４】
この方法は、上記請求項５、６の方法を組み合わせたものであり、両方法の効果を組み合わせることで、さらに温度精度のばらつきを低減したワイドレンジ型サーミスタ素子を実現できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。本発明のサーミスタ素子は、（ＭＭ´）Ｏ3 で表される複合ペロブスカイト酸化物と、ＡＯx で表される金属酸化物とを混合して、焼成した混合焼結体からなり、下記一般式（１）で示される。
ａ（ＭＭ´）Ｏ3 ・ｂＡＯx ・・・（１）
式中、ａは（ＭＭ´）Ｏ3 のモル分率を、ｂはＡＯx のモル分率を示す。
本発明のサーミスタ素子を構成する（ＭＭ´）Ｏ3 は、ペロブスカイト構造を有する複合酸化物で、Ｍは周期律表第２Ａ族およびＬａを除く第３Ａ族の元素から選択される１種ないしそれ以上の元素を、Ｍ´は周期律表第３Ｂ族、第４Ａ族、第５Ａ族、第６Ａ族、第７Ａ族および第８族の元素から選択される１種ないしそれ以上の元素を示す。ここで、Ｌａは吸湿性が高く、大気中の水分と反応して不安定な水酸化物を形成し、サーミスタ素子を破壊する等の問題があるため、Ｍとして用いない。
【００２６】
具体的には、Ｍとなる第２Ａ族の元素としては、例えば、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａが、第３Ａ族の元素としては、例えば、Ｙ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｙｂ、Ｓｃが挙げられる。また、Ｍ´となる第３Ｂ族の元素としては、例えば、Ａｌ、Ｇａが、第４Ａ族の元素としては、例えば、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆが、第５Ａ族の元素としては、例えば、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａが、第６Ａ族の元素としては、例えば、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗが、第７Ａ族の元素としては、例えば、Ｍｎ、Ｔｃ、Ｒｅが、第８族の元素としては、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔが好適に使用される。
【００２７】
ＭとＭ´の組み合わせは、所望の抵抗値特性が得られるように、任意に組み合わせることができ、これらＭ、Ｍ´を適正に選択した複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 は、低抵抗値および低抵抗温度係数（例えば１０００〜４０００（Ｋ））を示す。このような複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 としては、例えば、Ｙ（Ｃｒ，Ｍｎ）Ｏ3 等が好適に使用される。なお、ＭまたはＭ´として複数の元素を選択した場合、各元素のモル比は、所望の抵抗値特性に応じて、適宜設定することができる。
【００２８】
ただし、複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 を単独でサーミスタ材料として用いた場合、抵抗値の安定性が不十分であり、また、高温域の抵抗値が低くなる傾向にあるため、本発明では、サーミスタ素子の抵抗値を安定化し、かつ所望の範囲とする材料として、金属酸化物ＡＯx を混合使用する。従って、金属酸化物ＡＯx に必要な特性としては、▲１▼高温域において高い抵抗値を有すること、かつ▲２▼耐熱性に優れ、高温において安定であること、が挙げられる。具体的には、▲１▼については、センサとして使用される通常のサーミスタ素子の寸法形状で、ＡＯx 単体（複合ペロブスカイト酸化物を含まない）の１０００℃での抵抗値が１０００Ω以上であること、▲２▼については、融点が１３００℃以上であり、センサの常用最高温度である１０００℃よりも十分高いこと、を満たしていればよい。
【００２９】
上記▲１▼、▲２▼の特性を満足するために、金属酸化物ＡＯx における金属Ａとして、Ｂ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｓｒ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｓｎ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｈｆ、Ｔａから選択される１種ないしそれ以上の元素が好適に用いられる。具体的には、金属酸化物ＡＯx として、ＭｇＯ、ＳｉＯ2 、Ｓｃ2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 、Ｃｒ2 Ｏ3 、ＭｎＯ、Ｍｎ2 Ｏ3 、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 、ＮｉＯ、ＺｎＯ、Ｇａ2 Ｏ3 、ＺｒＯ2 、Ｎｂ2 Ｏ5 、ＳｎＯ2 、ＣｅＯ2 、Ｐｒ2 Ｏ3 、Ｎｄ2 Ｏ3 、Ｓｍ2 Ｏ3 、Ｅｕ2 Ｏ3 、Ｇｄ2 Ｏ3 、Ｔｂ2 Ｏ3 、Ｄｙ2 Ｏ3 、Ｈｏ2 Ｏ3 、Ｅｒ2 Ｏ3 、Ｔｍ2 Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 、Ｌｕ2 Ｏ3 、ＨｆＯ2 、Ｔａ2 Ｏ5 から選ばれる一種ないしそれ以上の金属酸化物を用いることができる。
【００３０】
あるいは、金属酸化物ＡＯx として、Ｍｇ、Ｙ、ＡｌおよびＳｉから選ばれる一種または二種以上を含む複合金属酸化物を用いることもできる。この具体例としては、ＭｇＡｌ2 Ｏ4 、Ｙ2 ＳｉＯ5 、３Ａｌ2 Ｏ3 ・２ＳｉＯ2 、ＹＡｌＯ3 、Ｙ3 Ａｌ5 Ｏ12、２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 、ＣａＳｉＯ3 およびＭｇＣｒＯ4 等が挙げられ、これらのうちの一種ないしそれ以上の複合金属酸化物を用いることによっても、上記▲１▼、▲２▼の特性を満足させることができる。
【００３１】
これら金属酸化物ＡＯx は、その融点で以下の２つのグループに分類することができる。グループ１は、融点が２０００℃以上の金属酸化物ＡＯx のグループであり、上述した効果（所望の抵抗値特性と抵抗値安定性）に加えて、サーミスタ素子の耐熱性を大きく向上させる効果がある。このグループ１に属する金属酸化物ＡＯx としては、ＭｇＯ、Ｓｃ2 Ｏ3 、ＺｒＯ2 、Ｌｕ2 Ｏ3 、ＨｆＯ2 、Ｃｒ2 Ｏ3 、Ｐｒ2 Ｏ3 、Ｎｄ2 Ｏ3 、Ｓｍ2 Ｏ3 、Ｅｕ2 Ｏ3 、Ｇｄ2 Ｏ3 、Ｔｂ2 Ｏ3 、Ｄｙ2 Ｏ3 、Ｈｏ2 Ｏ3 、Ｅｒ2 Ｏ3 、Ｔｍ2 Ｏ3 、Ｙｂ2 Ｏ3 、ＣｅＯ2 、ＭｇＣｒＯ4 が挙げられ、これら金属酸化物を混合したサーミスタ素子は、１４００〜１５００℃程度まで温度上昇させても抵抗値がほとんど変化することがない。これらの中でも、特に、ＭｇＯ、Ｓｃ2 Ｏ3 、ＺｒＯ2 、Ｌｕ2 Ｏ3 、ＨｆＯ2 は、融点が２４００℃以上と高く、サーミスタ素子の耐熱性を向上させる効果が高いので、１０００℃付近の高温に常時晒されるような環境下で使用される場合に有効である。
【００３２】
グループ２は、融点が２０００℃より低い金属酸化物ＡＯx のグループであり、上述した効果（所望の抵抗値特性と抵抗値安定性）に加えて、サーミスタ素子の易焼結性を大きく向上させる効果がある。このグループ２に属する金属酸化物ＡＯx としては、ＳｉＯ2 、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、Ｍｎ2 Ｏ3 、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 、ＮｉＯ、ＺｎＯ、Ｇａ2 Ｏ3 、Ｎｂ2 Ｏ5 、ＳｎＯ2 、Ｔａ2 Ｏ5 、２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 、ＭｇＡｌ2 Ｏ4 、ＣａＳｉＯ3 、Ｙ2 ＳｉＯ5 、３Ａｌ2 Ｏ3 ・２ＳｉＯ2 、ＹＡｌＯ3 、Ｙ3 Ａｌ5 Ｏ12が挙げられる。これら金属酸化物をを混合使用すると、１６００℃より低い温度で焼成が可能になるので、焼成によるリード線材料のダメージを小さくできる利点がある。また、焼成温度の低下による製作コストの低減が可能である。
【００３３】
上記（１）に示される混合焼結体において、ａは複合酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 のモル分率を、ｂは金属酸化物ＡＯx のモル分率を示している。本発明では、これらａとｂが、０．０５≦ａ＜１．０、０．０５＜ｂ≦０．９５、ａ＋ｂ＝１の関係を満足することが望ましく、この範囲で、ａとｂを適宜選択することにより、所望の低抵抗値と低抵抗温度係数を実現することができる。このように、広い範囲でａ、ｂを変えることができるので、これら抵抗値特性を広い範囲で種々制御することができる。
【００３４】
また、この混合焼結体は、焼結助剤としてＣａＯ、ＣａＣＯ3 、ＳｉＯ2 、ＣａＳｉＯ3 のうちの少なくとも一種を含有することもできる。これら焼結助剤は、複合酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 と金属酸化物ＡＯx の混合物の焼成温度において液相を形成し、焼結を促進する効果がある。これにより、得られる混合焼結体の焼結密度が向上し、サーミスタ素子の抵抗値を安定化するとともに、焼成温度の変動に対して抵抗値のばらつきが低減できる。これら焼結助剤の添加量は、その種類に応じて適宜調製される。
【００３５】
図１、２に、上記混合焼結体よりなるサーミスタ素子１およびこれを用いた温度センサＳの一例を示す。図１のように、サーミスタ素子１は、平行な２本のリード線１１、１２の各端部が素子部１３に埋設された形状を有し、上記混合焼結体を、例えば外径１．６０ｍｍの円柱形に成形して素子部１３となしている。このサーミスタ素子１を、図２に示す一般的な温度センサアッシーに組み込んで温度センサＳとする。図２（ａ）に示すように、温度センサＳは、筒状の耐熱性金属ケース２を有し、サーミスタ素子１は、その左半部内に配置されている。金属ケース２の右半部には、外部より延びる金属パイプ３の一端が位置している。金属パイプ３は、図２（ｂ）に示すように、内部にリード線３１、３２を保持しており、これらリード線３１、３２は、金属パイプ３の内部を通って金属ケース２内に至り、サーミスタ素子１のリード線１１、１２にそれぞれ接続される（図２（ａ））。リード線１１、１２は、例えば、線径０．３ｍｍ、長さ１０．５ｍｍとし、材質はＰｔ１００（純白金）とする。なお、図２（ｂ）に示すように、金属パイプ３の内部には、マグネシア粉体３３が充填されており、金属パイプ３内のリード線３１、３２の絶縁を確保している。
【００３６】
ここで、リード線１１、１２の線径、長さ等は、温度センサの形状、寸法および温度センサの使用環境条件に応じて、任意に選択できる。また、リード線１１、１２の材質もＰｔ１００（純白金）以外に、サーミスタ素子１の焼成温度に耐え得る融点を持ち、リード線としての導電性が得られる他の材質、例えば、Ｐｔ８０Ｉｒ２０（白金８０％イリジウム２０％）等の高融点金属を用いてもよい。さらに、リード線抜けを防止する目的で、その断面形状を、円形以外の、例えば矩形、半円等の形状としたり、リード線１１、１２表面にローレット加工等で凹凸を付与することも可能である。
【００３７】
次に、上記サーミスタ素子１を製造する方法について述べる。以下に、基本的な製造方法（１）とその一部を変更した製造方法（２）、（３）を示すが、いずれの方法においても、その製造工程は大きく、仮焼成により（ＭＭ´）Ｏ3 または（ＭＭ´）Ｏ3 ・ＡＯx の仮焼成体を得る第１の調製工程と、得られた仮焼成体とＡＯx を調合して所定形状の混合焼結体とし、サーミスタ素子を得る第２の調製工程に分かれる。
【００３８】
基本的な製造方法（１）において、第１の調製工程では、まず、ＭおよびＭ´の原料となるこれら元素の酸化物（ＭＯx 、Ｍ´Ｏx ）等の粉末を準備し、これらを所望の組成となるように調合する（調合（１）工程）。次いで、この調合物に水等を加え、ボールミル等で混合した後（混合工程）、熱風乾燥し、ライカイ機等を用いて粗粉砕して混合粉体を得る。この混合粉体を仮焼成して、仮焼成体（ＭＭ´）Ｏ3 とする（仮焼成工程）。仮焼成温度は、通常、１０００〜１５００℃程度とする。なお、組成の均一性を図るために、混合工程でバインダーを添加し、スプレードライヤーにより造粒、乾燥した混合粉体を用いて仮焼成を行ってもよく、仮焼成を２回以上実施することもできる。また、ＭおよびＭ´の原料としては酸化物以外の化合物を用いることもできる。
【００３９】
そして、第２の調製工程では、得られた仮焼成体とＡＯx を、所望の抵抗値と抵抗温度係数となるようなモル分率ａ、ｂで調合し（調合（２）工程）、水、バインダー等を加えて混合、粉砕する（混合・粉砕工程）。これをスプレードライヤー等を用いて造粒、乾燥し（造粒・乾燥工程）、Ｐｔ等よりなるリード線を組み込んだ所定形状に金型成形した後（成形工程）、焼成することにより（焼成工程）、混合焼結体（ＭＭ´）Ｏ3 ・ＡＯx からなるサーミスタ素子が得られる。焼成温度は、通常、１２００〜１７００℃程度とし、サーミスタ特性が最も安定するような温度を適宜選択する。
【００４０】
成形工程では、予めリード線をインサートした金型を用いて成形を行っても、成形後に、リード線を付与するための穴を開け、リード線を装填して焼成してもよい。また、焼成後にリード線を接合形成することもできる。あるいは、サーミスタ素子の原料に、バインダー、樹脂材料等を混合添加して、押出成形に適当な粘度、硬さに調整し、押出成形して、リード線を付与するための穴が形成されたサーミスタ素子の成形体を得、リード線を装填して焼成することで、リード線が形成されたサーミスタ素子を得ることができる。
【００４１】
このようにして得られるサーミスタ素子は、ペロブスカイト系化合物である（ＭＭ´）Ｏ3 と金属酸化物ＡＯx とが粒界を介して均一混合された混合焼結体となっている。このサーミスタ素子は、室温（例えば２７℃）から１０００℃程度の高温域において、温度センサに必要な１００Ωから１００ｋΩの低抵抗値を示し、また、抵抗温度係数βが、２０００から４０００（Ｋ）の範囲に調整可能であるので、温度変動に伴う抵抗値のばらつきを小さくできる。さらに、室温から１０００℃程度の熱履歴における抵抗変化率ΔＲは、数％程度のレベルを安定して実現することができる。よって、室温から１０００℃の広い温度範囲で温度を検知可能で、熱履歴による抵抗値変化が小さく、安定した特性を有するワイドレンジ型サーミスタ素子となる。  さらに、グループ１の金属酸化物ＡＯx を選択した場合には、１４００〜１５００℃程度の高温にも耐え得る高い耐熱性が得られ、グループ１の金属酸化物ＡＯx を選択した場合には、易焼結性が向上し１６００℃より低い温度で焼成が可能になる。
【００４２】
なお、混合焼結体（ＭＭ´）Ｏ3 ・ＡＯx において、Ｍとなる成分元素にＡが含まれる場合には、第１の調製工程中、ＭおよびＭ´の原料粉末を調合する工程で、予めＭの酸化物としてのＡＯx を過剰に加えて混合、仮焼成し、仮焼成体（ＭＭ´）Ｏ3 ・ＡＯx を得るようにしてもよい。この場合には、次いで、第２の調製工程で、所望のモル比（ａ：ｂ）の混合焼結体となるように、仮焼成体に適宜ＡＯx 等を混合し、造粒、成形した後、焼成して、混合焼結体とする。
【００４３】
製造方法（２）は、上記基本的な製造方法（１）の工程を一部変更したものである。すなわち、この製造方法（２）では、上記第２の調製工程中、仮焼成体とＡＯx 等を混合、粉砕する工程において、粉砕後における混合物の平均粒径が、混合前のＡＯx の平均粒径以下となるようにする。得られる混合物を微粒化するための、具体的手段としては、媒体攪拌ミル等を使用することができる。粉砕媒体としては、例えばＺｒＯ2 製ボール（φ０．５ｍｍ程度）が用いられる。その後、同様にして、造粒・乾燥、成形、焼成の各工程を経てサーミスタ素子とする。
【００４４】
上記製造方法（１）に基づいて作製した多数の温度センサの抵抗値−温度データから、その温度精度を評価したところ、温度精度のばらつき幅（±Ａ℃）が、±２０〜３０℃にばらついていることがわかった。一方、サーミスタ材料をＳＥＭ、ＥＰＭＡ等により観察したところ、第１の調製工程にて得られる仮焼成体の平均粒径（例えば（ＭＭ´）Ｏ3 の場合、２〜５μｍ）が、これと混合されるＡＯx の平均粒径（例えばＤｙ2 Ｏ3 の場合、１．０μｍ以下）よりも大きく、このために両者が均一に混合せず、混合焼結体の組成分布がばらつくことがわかった。
【００４５】
そこで、製造方法（２）のように、混合、粉砕工程において、仮焼成体とＡＯx 等の混合物を微粒化する。これにより、各成分の均一混合が図られて、混合焼結体の組成変動を低減することができ、その結果、サーミスタ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。この方法により、温度精度のばらつき幅（±Ａ℃）は、±１０℃以下に低減でき、従って、上記製造方法（１）の効果に加えて、より良好なセンサ温度精度を示す（センサ毎の温度精度のばらつきの少ない）、信頼性の高いワイドレンジ型サーミスタ素子が得られる。
【００４６】
さらに、製造方法（３）のように、上記第１の調製工程中、調合したＭ´の酸化物およびＭの酸化物等の原料粉末を混合する工程において、Ｍ´の原料をＭの原料とともに混合、粉砕して、混合粉砕物の平均粒径が、混合前のＭの原料の平均粒径以下で、かつ０．５μｍ以下となるようにすることもできる。得られる混合物を微粒化するための、具体的手段としては、上記製造方法（２）で用いた媒体攪拌ミル等を使用することができる。その後、同様にして、仮焼成を行い、第２の調製工程を経てサーミスタ素子とする。
【００４７】
この方法では、ＭおよびＭ´の混合物を微粒化することにより、各成分の均一混合が図られて、仮焼結体の組成のばらつきを低減するとともに、原料の未反応物が仮焼結体内に残留するのを抑制して、サーミスタ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。従って、この方法によれば、上記製造方法（１）の効果に加えて、より良好なセンサ温度精度を示す（センサ毎の温度精度のばらつきの少ない）、信頼性の高いワイドレンジ型サーミスタ素子を実現できる。
【００４８】
なお、上記製造方法（３）において、第２の調製工程中、調合したＭ´の酸化物における混合、粉砕工程は、製造方法（１）のように、通常のボールミル等による粉砕でもよいが、製造方法（２）と同様の、媒体攪拌ミル等を用いて微粒化する方法を採用してもよい。これによって、本方法による上記効果に加えて、第２の調製工程の混合、粉砕工程の後工程（成形、焼成工程）において、仮焼成体とＡＯx 等との均一混合が図られるという、上記製造方法（２）の効果が付与され、より高いレベルでサーミスタ素子の抵抗値のばらつきを低減できる。
【００４９】
また、上記製造方法（２）、（３）により得られるサーミスタ素子を用いた温度センサは、温度精度が±１０℃以下に抑制されるので、高度な温度精度を要求されるマップ制御装置、例えば自動車の排気ガス用酸素センサの温度モニタ等に好適に用いられる。
【００５０】
【実施例】
（実施例１）
図３に示す製造工程に基づき、複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 におけるＭをＹ、Ｍ´をＣｒおよびＭｎとし、金属酸化物ＡＯx をＤｙ2 Ｏ3 とした、混合焼結体ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＤｙ2 Ｏ3 よりなるサーミスタ素子を試作した。この時、表１に示すように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＤｙ2 Ｏ3 のモル比（ａ：ｂ，ａ、ｂはモル分率）を３６：６４とした（実施例１）。また、同様にしてモル比（ａ：ｂ）を９５：５、９５：５に変更したサーミスタ素子を製作し、それぞれ実施例１Ａ、１Ｂとした。なお、この製造工程は、上述した製造方法（１）に対応し、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の仮焼成物を得る第１の調製工程と、得られた仮焼成物とＤｙ2 Ｏ3 とからサーミスタ素子を得る第２の調製工程とに分かれている。
【００５１】
第１の調製工程では、まず、出発原料として、いずれも純度９９．９％以上のＹ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 およびＭｎ2 Ｏ3 の粉末を用意し、Ｙ：Ｃｒ：Ｍｎのモル比が２：１：１となるように、それぞれ秤量して、全量を５００ｇとした（調合（１）工程）。なお、Ｙ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 およびＭｎ2 Ｏ3 の平均粒径は、それぞれ１．０μｍ、２．０〜４．０μｍ、７．０〜１５．０μｍであった。次いで、この秤量物を混合するためのボールミルとして、Ａｌ2 Ｏ3 またはＺｒＯ2 製の玉石（φ１５：２．５ｋｇ、φ２０：２．５ｋｇ）を入れた樹脂製ポット（容量５リットル）を用い、この中に秤量物の全量と、純水１５００ｍｌを加えた後、回転数６０ｒｐｍで６〜１２時間混合した（混合工程）。混合処理後の混合スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は１．７μｍであった（表２参照）。
【００５２】
得られたＹ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 およびＭｎ2 Ｏ3 を含む混合スラリーを磁器製の蒸発皿に移し、熱風乾燥機にて１５０℃で１２時間以上乾燥した。続いて、ライカイ機で粗粉砕し、＃３０メッシュの篩いを通して、Ｙ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 およびＭｎ2 Ｏ3 の混合粉体を得た。この混合粉体を、９９．３％Ａｌ2 Ｏ3 製のルツボに入れ、大気中、高温炉にて１１００〜１３００℃で１〜２時間仮焼成した（仮焼成工程）。これにより、塊状のＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の仮焼成体が得られ、これをさらにライカイ機で粗粉砕した後、＃３０メッシュの篩いを通して粉体とした。
【００５３】
次に、第２の調製工程において、上記第１の調製工程で得られたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の粉体と、市販のＤｙ2 Ｏ3 の粉体（純度９９．９％以上、平均粒径１．０μｍを、モル比が表１に示す所定比となるように、それぞれ秤量して、全量を５００ｇとした。この時、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 、Ｄｙ2 Ｏ3 のモル分率をそれぞれａ、ｂ（ａ＋ｂ＝１）とすれば、モル比＝ａ：ｂであり、例えばモル比が３６：６４の実施例１では、ａ＝０．３６、ｂ＝０．６４となる。また、焼結助剤として、焼成時に１５００〜１６５０℃の範囲で液相となるＳｉＯ2 とＣａＣＯ3 を用い、上記Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＤｙ2 Ｏ3 の全量（５００ｇ）に対して、ＳｉＯ2 を３重量％、ＣａＣＯ3 を４．５重量％添加した（調合（２）工程）。
【００５４】
次いで、これらＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 、Ｄｙ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 およびＣａＣＯ3 を、上記第１の調製工程の混合工程で使用したのと同様のボールミルに入れ、純水１５００ｍｌと、バインダーとしてポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を加えた後、回転数６０ｒｐｍで４時間以上混合、粉砕した（混合・粉砕工程）。なお、バインダーとしてのポリビニルアルコール（ＰＶＡ）は、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＤｙ2 Ｏ3 の混合粉体１００ｇ当たり１ｇ添加した。得られた混合粉砕スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は２．５μｍであった（表２参照）。
【００５５】
この混合粉砕スラリーを、スプレードライヤーで造粒、乾燥し、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＤｙ2 Ｏ3 を含む混合粉体を得た（造粒・乾燥工程）。この混合粉体をサーミスタ原料とし、上記図１に示したのと同様の形状のサーミスタ素子１を作製した。リード線１１、１２は、外径０．３ｍｍ、長さ１０．５ｍｍの純白金（Ｐｔ１００）製のものとし、これをインサートした外径１．７４ｍｍの金型を用いて、圧力約１０００ｋｇｆ／ｃｍ2 で成形することにより、リード線が埋設された外径１．７５ｍｍの成形体を得た（成形工程）。
【００５６】
サーミスタ素子１の素子部１３となるこの成形体を、次に、Ａｌ2 Ｏ3 製波型セッタに並べ、大気中、１６００℃で１時間焼成した。このようにして、混合焼結体ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＤｙ2 Ｏ3 よりなる外径１．６０ｍｍのサーミスタ素子１を得た（焼成工程）。このようにして得られた、調合モル比（ａ：ｂ）の異なる実施例１、１Ａ、１Ｂのサーミスタ素子１を、それぞれ、上記図２に示す一般的な温度センサアッシーに組み込んで温度センサＳとした。
【００５７】
次に、実施例１、１Ａ、１Ｂのサーミスタ素子を組み込んだ温度センサを、高温炉に入れ、室温（２７℃）から１０００℃における抵抗値の温度特性を評価した。結果を表１に併記する。
ここで、抵抗温度係数βは、下記式（２）
β（Ｋ）＝ｌｎ（Ｒ／Ｒ0 ）／（１／Ｋ−１／Ｋ0 ）・・・（２）
で表される。式中、ｌｎは自然対数、ＲおよびＲ0 はそれぞれ大気中で室温（３００Ｋ）および１０００℃（１２７３Ｋ）におけるサーミスタ素子の抵抗値を示す。
また、抵抗変化率ΔＲは、各温度センサを、大気中１１００℃で１００時間放置の高温耐久試験に供した時の、温度センサの抵抗値変化を示すものであり、下記式（３）で表される。
ΔＲ（％）＝（Ｒ´t ／Ｒt ）×１００−１００・・・（３）
式中、Ｒt は所定温度ｔ（例えば５００℃）における初期抵抗値、Ｒ´t は１００時間放置後の所定温度ｔにおける抵抗値を示す。
【００５８】
表１の結果に示されるように、室温〜１０００℃の温度範囲において、抵抗値が１１０Ω〜１００ｋΩの範囲にあり、抵抗温度係数βが２２００〜２４８０Ｋと望ましい範囲内にある。また、抵抗変化率ΔＲも数％程度のレベルを安定して実現できることが確認できた。よって、室温〜１０００℃の広い温度範囲にわたって温度を検知可能で、室温〜１０００℃の熱履歴における抵抗変化率ΔＲが小さく安定した特性を有するサーミスタ素子を得ることができる。
【００５９】
また、実施例１のサーミスタ素子を組み込んだ温度センサについて、温度精度を評価した結果を表２に併記した。評価方法は、以下のようにした。同様の方法で作製した多数（例えば１００台）の温度センサの抵抗値−温度データから、所定温度（例えば５００℃）の抵抗値の標準偏差σ（シグマ）を算出し、標準偏差σの６倍を抵抗値のばらつき幅（両側）とし、この抵抗値ばらつき幅を温度換算した値を半分にした値Ａとして、温度精度±Ａ℃と表記する。表２にはこのＡ値を記載しており、その結果、センサ毎の温度精度を示す±Ａ℃は、±２３℃であり、ばらつきの範囲は十分実用的な値であることがわかった。
【００６０】
【表１】
0003776691.tif 000002
【００６１】
【表２】
0003776691.tif 000003
【００６２】
（実施例２）
図４に示す製造工程に基づき、上記実施例１と同じ組成の混合焼結体ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＤｙ2 Ｏ3 よりなるサーミスタ素子を、異なる方法で試作した。この時、表１に示すように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＤｙ2 Ｏ3 のモル比（ａ：ｂ）を３６：６４とした（実施例２）。また、同様に、モル比（ａ：ｂ）を９５：５、９５：５としたサーミスタ素子を作製し、それぞれ実施例２Ａ、２Ｂとした。なお、この製造工程は、上述した製造方法（２）に対応し、第２の調製工程における混合・粉砕工程をボールミルでなく媒体攪拌ミルで行う点で実施例１の方法と異なっている。
【００６３】
第１の調製工程では、上記実施例１と同様に原料となるＹ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 およびＭｎ2 Ｏ3 の秤量（調合（１）工程）、ボールミルによる混合（混合工程）を行って混合スラリーを得た。この混合スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は１．７μｍであり（表２参照）、混合前のＤｙ2 Ｏ3 の平均粒径（１．０μｍ）よりも大きい。
【００６４】
このＹ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 およびＭｎ2 Ｏ3 を含む混合スラリーを磁器製の蒸発皿に移し、熱風乾燥機にて１００〜１５０℃で１２〜１７時間乾燥した。続いて、ライカイ機で粗粉砕し、＃３０メッシュの篩いを通して、Ｙ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 およびＭｎ2 Ｏ3 の混合粉体を得た。この混合粉体を、９９．３％Ａｌ2 Ｏ3 製のルツボに入れ、大気中で高温炉にて１１００℃で２時間仮焼成した（仮焼成工程）。これにより、塊状のＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の仮焼成体が得られ、これをさらにライカイ機で粗粉砕した後、＃３０メッシュの篩いを通して粉体とした。
【００６５】
次に、第２の調製工程において、上記第１の調製工程で得られたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の粉体（平均粒径２〜５μｍ）と、市販のＤｙ2 Ｏ3 の粉体（純度９９．９％以上、平均粒径１．０μｍを、モル比（ａ：ｂ）が所定比となるように、それぞれ秤量して、全量を２０００ｇとした。また、焼結助剤として、焼成時に１５００〜１６５０℃の範囲で液相となるＳｉＯ2 とＣａＣＯ3 を用い、上記Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＤｙ2 Ｏ3 の全量（２０００ｇ）に対して、ＳｉＯ2 を３重量％の６０ｇ、ＣａＣＯ3 を４．５重量％の９０ｇを添加した（調合（２）工程）。
【００６６】
次いで、これらＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 、Ｄｙ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 およびＣａＣＯ3 の微粒化を、媒体攪拌ミルとしてパールミル装置（アシザワ（株）製  ＲＶ１Ｖ、有効容積：１．０リットル  実容量：０．５リットル）を使用して行った。この工程では、粉砕媒体としてＺｒＯ2 製ボール（直径０．５ｍｍ）３．０ｋｇを使用して攪拌槽体積の８０％を充填し、粉砕原料２１５０ｇに対して分散媒としての蒸留水４．５リットルと、バインダー、離型剤および分散剤を添加して、１０時間の混合・粉砕を行った。操作条件は、周速１２ｍ／ｓｅｃ、回転数転３１１０ｒｐｍとし、バインダーとしてポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を、粉砕原料１００ｇ当たり１ｇ添加した。得られた混合粉砕スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は０．４μｍであった（表２参照）。
【００６７】
この混合粉砕スラリーを、スプレードライヤーで乾燥室入口温度２００℃、出口温度１２０℃の条件で造粒、乾燥した（造粒・乾燥工程）。得られた造粒粉は平均粒径３０μｍの球状であり、この造粒粉をサーミスタ原料として、実施例１と同様にサーミスタ素子の成形を行った（成形工程）。得られたサーミスタ素子の成形体を、Ａｌ2 Ｏ3 製の波型セッタに配し、大気中、１６００℃で１時間焼成してサーミスタ素子を得た（焼成工程）。このようにして得た実施例２、２Ａ、２Ｂのサーミスタ素子を、さらに、上記実施例１と同様の方法で、温度センサに組み込み、各温度センサの抵抗値の温度特性を評価して結果を表１に併記した。また、実施例２のサーミスタ素子について、温度精度を評価した結果を表２に併記した。
【００６８】
表１のように、実施例２、２Ａ、２Ｂのサーミスタ素子は、抵抗値の温度特性において、実施例１、１Ａ、１Ｂとそれぞれ同様の値を示し、低抵抗値、低抵抗温度係数の同様の効果を有する。このように、異なる製法であっても、調合モル比毎に同様の抵抗値温度特性が得られることがわかる。また、温度精度については、表２に明らかなように、実施例１では±２３℃であった温度精度が、実施例２では、±１０℃に低減しており、本実施例の方法により、ばらつきを小さくできることがわかる。
【００６９】
（実施例３）
図５に示す製造工程に基づき、上記実施例１と同じ組成の混合焼結体ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＤｙ2 Ｏ3 よりなるサーミスタ素子を、異なる方法で試作した。この時、表１に示すように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＤｙ2 Ｏ3 のモル比（ａ：ｂ）を３６：６４とした。また、同様に、モル比（ａ：ｂ）を９５：５、９５：５としたサーミスタ素子を作製し、それぞれ実施例３Ａ、３Ｂとした。なお、この製造工程は、上述した製造方法（２）と製造方法（３）を組み合わせたもので、第１の調製工程における混合工程と、第２の調製工程における混合・粉砕工程において、ともに媒体攪拌ミルを用いる。
【００７０】
第１の調製工程では、上記実施例１と同様に原料となるＹ2 Ｏ3 、Ｃｒ2 Ｏ3 およびＭｎ2 Ｏ3 を秤量して、全量２０００ｇを混合原料とした（調合（１）工程）。次いで、この混合原料を、媒体攪拌ミルを用いて微粒化した。媒体攪拌ミルには、上記実施例２で用いたのと同様のパールミル装置を用い、混合原料２０３６ｇに対して分散媒として蒸留水４．５リットルと、バインダー、離型剤および分散剤を添加して、１０時間の混合・粉砕を行った（混合工程）。操作条件は、周速１２ｍ／ｓｅｃ、回転数転３１１０ｒｐｍとし、バインダーとしてポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を、混合原料２０３６ｇ当たり２０ｇ添加した。この混合・粉砕処理した原料スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は０．３μｍであった（表２参照）。これは、混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径（１．０μｍ）よりも小さく、かつ０．５μｍより小さい。
【００７１】
得られた原料スラリーを、スプレードライヤーで乾燥室入口温度２００℃、出口温度１２０℃の条件で乾燥した。得られた原料粉は平均粒径３０μｍの球状であり、この原料粉を９９．３％Ａｌ2 Ｏ3 製のルツボに入れ、大気中で高温炉にて１１００〜１３００℃で１〜２時間仮焼成した（仮焼成工程）。仮焼成で塊状の固形となったＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を、ライカイ機で粗粉砕し、＃３０メッシュの篩いを通して粉体とした。
【００７２】
次いで、第２の調製工程で、得られたＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 を含む粉体とＤｙ2 Ｏ3 の粉体（平均粒径１．０μｍ）を所定比となるように秤量して、全量を２０００ｇとした。また、焼結助剤として、ＳｉＯ2 を３重量％の６０ｇ、ＣａＣＯ3 を４．５重量％の９０ｇを添加した（調合（２）工程）。これを、媒体攪拌ミルとしてのパールミル装置を用いて微粒化した（混合・粉砕工程）。この工程における混合、粉砕条件は、上記第１の調製工程の混合工程と同じである。得られた混合粉砕スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は０．３μｍであった（表２参照）。これは、混合前のＤｙ2 Ｏ3 の平均粒径（１．０μｍ）よりも小さい。
【００７３】
この混合粉砕スラリーを、上記実施例１と同様の方法で、スプレードライヤーで造粒、乾燥し（造粒・乾燥工程）、成形した後（成形工程）、焼成してサーミスタ素子とした（焼成工程）。このようにして得た実施例３、３Ａ、３Ｂのサーミスタ素子を、さらに、同様にして温度センサに組み込み、各温度センサの抵抗値の温度特性を評価して結果を表１に併記した。また、実施例３のサーミスタ素子について、温度精度を評価した結果を表２に併記した。
【００７４】
表１のように、実施例３、３Ａ、３Ｂのサーミスタ素子は、抵抗値の温度特性において、実施例１、１Ａ、１Ｂとそれぞれ同様の値を示した。このように、本実施例の方法によっても、抵抗値の温度特性に関して上記各実施例と同様の効果が得られ、抵抗値の温度特性が調合モル比に依存することがわかる。また、温度精度について、表２に明らかなように、実施例２では±１０℃であった温度精度が、実施例３では、±５℃とさらに低減しており、本実施例の方法により、ばらつきをより小さくできることがわかる。
【００７５】
（実施例４）
図６に示す製造工程に基づき、上記実施例１と同じ組成の混合焼結体ａＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 ・ｂＤｙ2 Ｏ3 よりなるサーミスタ素子を、異なる方法で試作した。この時、表１に示すように、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とＤｙ2 Ｏ3 のモル比（ａ：ｂ）を３６：６４とした（実施例４）。また、同様にモル比（ａ：ｂ）を９５：５、９５：５としたサーミスタ素子を作製し、それぞれ実施例４Ａ、４Ｂとした。なお、この製造工程は、上述した製造方法（３）に対応するもので、第１の調製工程における混合工程において媒体攪拌ミルを用いる。つまり、第２の調製工程における混合・粉砕工程で媒体攪拌ミルに代わりにボールミルを用いる点で、上記実施例３と異なっている。
【００７６】
第１の調製工程は、上記実施例３と同様であり、原料の秤量（調合（１）工程）、媒体攪拌ミルによる混合・粉砕を行った後（混合工程）、仮焼成した（仮焼成工程）。なお、本実施例においても、混合・粉砕処理した原料スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は０．３μｍであり（表２参照）、混合前のＹ2 Ｏ3 の平均粒径（１．０μｍ）よりも小さく、かつ０．５μｍより小さいことが確認された。
【００７７】
第２の調製工程では、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の粉体とＤｙ2 Ｏ3 の粉体（平均粒径１．０μｍ）を所定比となるように秤量して、全量を２０００ｇとしし（調合（２）工程）、次いで、この秤量物をボールミル装置を用いて混合、粉砕した。ボールミル装置としては、Ａｌ2 Ｏ3 製の玉石（φ１５：１０ｋｇ、φ２０：１０ｋｇ）を入れた樹脂製ポット（容量２０リットル）を用い、この中に秤量物の全量と、純水６０００ｍｌを加えた後、回転数６０ｒｐｍで６時間混合、粉砕した（混合・粉砕工程）。得られた混合粉砕スラリーをレーザ式粒度計で評価した結果、平均粒径は１．６μｍであった（表２参照）。これは、混合前のＤｙ2 Ｏ3 の平均粒径（１．０μｍ）よりも大きい。
【００７８】
この混合粉砕スラリーを、上記実施例１と同様にスプレードライヤーで造粒、乾燥し（造粒・乾燥工程）、成形した後（成形工程）、焼成してサーミスタ素子とした（焼成工程）。このようにして得た実施例４、４Ａ、４Ｂのサーミスタ素子を、同様にして温度センサに組み込み、各温度センサの抵抗値の温度特性を評価して結果を表１に併記した。また、実施例４のサーミスタ素子について、温度精度を評価した結果を表２に併記した。
【００７９】
表１のように、実施例４、４Ａ、４Ｂのサーミスタ素子は、抵抗値の温度特性において、実施例１、１Ａ、１Ｂとそれぞれ同様の値を示した。このように、本実施例の方法によっても、抵抗値の温度特性に関して上記各実施例と同様の効果が得られ、抵抗値の温度特性が調合モル比に依存することがわかる。また、温度精度は、表２のように、実施例３では±９℃と良好な値が得られ、第１の調製工程で微粒化を行うことによっても、実施例１の±２３℃に対しばらつきを小さくできることがわかる。
【００８０】
（比較例１）
比較のために、抵抗値を安定化するＤｙ2 Ｏ3 を用いずに、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の単独組成としたサーミスタ素子を試作した。Ｄｙ2 Ｏ3 を添加しない以外は、実施例１と同様の方法で、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 よりなるサーミスタ素子を作製し、温度センサとして評価した。評価方法は実施例１と同様とし、結果を表３に示す。表３から明らかなように、Ｄｙ2 Ｏ3 を用いない場合には、１０００℃の高温域での抵抗値（４０Ω）が低すぎるため温度を検出できない。また、高温耐久試験（抵抗変化率）の結果からも、抵抗変化率ΔＲが、±２０％を越え、安定化した抵抗値の温度特性を持つサーミスタ素子を得ることができない。
【００８１】
（比較例２）
比較のために、抵抗値を安定化するＤｙ2 Ｏ3 を用いず、ＹＴｉＯ3 の単独組成としたサーミスタ素子を試作した。出発原料として、Ｙ2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 を用い、Ｄｙ2 Ｏ3 を添加しない以外は、実施例１と同様の方法で、ＹＴｉＯ3 よりなるサーミスタ素子を作製し、温度センサとして評価した。評価方法は実施例１と同様とし、結果を表３に示した。表３から明らかなように、Ｄｙ2 Ｏ3 を用いない場合には、室温（２７℃）の低温域での抵抗値が著しく高く、１０００ＫΩより大となるため、温度を検出できなかった。また、高温耐久試験（抵抗変化率）の結果からも、抵抗変化率ΔＲが、±２０％を越え、安定化した抵抗値の温度特性を持つサーミスタ素子を得ることができない。
【００８２】
【表３】
0003776691.tif 000004
【００８３】
（実施例５〜８）
図７に示す製造工程に基づき、複合ペロブスカイト酸化物Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 と、表２に示す種々の金属酸化物ＡＯx からなるサーミスタ素子を試作した。ＡＯx としては、Ｐｒ2 Ｏ3 （実施例５）、Ｓｍ2 Ｏ3 （実施例６）、Ｎｄ2 Ｏ3 （実施例７）、ＭｇＯ（実施例８）をそれぞれ用いた。本実施例の製造工程は、基本的に上記実施例３と同様であり、第１の調製工程における混合工程と、第２の調製工程における混合・粉砕工程において、ともに媒体攪拌ミルを用いて材料の微粒化処理を行う。
【００８４】
第１の調製工程では、上記実施例３と同様の方法で、Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 の粉体を得た。第２の調製工程は、調合（２）工程において、Ｄｙ2 Ｏ3 に代えて上記各種金属酸化物ＡＯx を用いた以外は、上記実施例３と同様とした。ここで、これら金属酸化物とＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 のモル比は、それぞれ表４〜７に示すようにし、上記実施例３と同様の方法でサーミスタ素子を作製した（実施例５〜８）。なお、原料として使用したＰｒ2 Ｏ3 、Ｓｍ2 Ｏ3 、Ｎｄ2 Ｏ3 、ＭｇＯはいずれも純度９９．９％以上であり、平均粒径はＰｒ2 Ｏ3 が１．０μｍ、Ｓｍ2 Ｏ3 が１．０μｍ、Ｎｄ2 Ｏ3 が１．０μｍ、ＭｇＯが２μｍであった。
【００８５】
また、同様の方法で、実施例５〜８の各金属酸化物とＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 のモル比を、それぞれ表４〜７に示すように変更した、種々のサーミスタ素子を作製した（実施例５Ａ〜８Ａ、５Ｂ〜８Ｂ）。このようにして得られたサーミスタ素子を、温度センサに組み込んで、その抵抗値温度特性をそれぞれ評価した。評価方法は実施例１と同様とし、結果を表４〜７に示した。表４〜７から明らかなように、上記各実施例のサーミスタ素子は、抵抗値温度特性に関して、実施例３とほぼ同様の効果を有している。
【００８６】
また、実施例５〜８の各サーミスタ素子の温度精度を評価した結果を表２に示した。なお、表２の温度精度欄において括弧内に示した数値は、第１の調製工程および第２の調製工程における混合にいずれもボールミルを用いる、上記実施例１と同様の方法でサーミスタ素子を作製した場合の温度精度である。両者を比較して明らかなように、本実施例の方法では、温度精度のばらつき（±Ａ℃）が、いずれも±５℃と良好な値を示しており、実施例１の方法で作製した場合（±２３℃〜２５℃）に比べて、ばらつきが小さくなっていることがわかる。また、表２には、第１の調製工程の混合工程後の平均粒径、第２の調製工程の混合・粉砕工程後の平均粒径を併せて示した。
【００８７】
【表４】
0003776691.tif 000005
【００８８】
【表５】
0003776691.tif 000006
【００８９】
【表６】
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【００９０】
【表７】
0003776691.tif 000008
【００９１】
（実施例９）
表２のように、金属酸化物ＡＯxとして、複合金属酸化物である３Ａｌ2 Ｏ3 ・２ＳｉＯ2 （ムライト）を用い、上記実施例５と同様の方法で、サーミスタ素子を試作した。表８に示すように、複合ペロブスカイト酸化物Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とのモル比（ａ：ｂ）を３９：１となるようにし、図７に示す工程中、第２の調製工程の調合（２）工程で、Ｐｒ2 Ｏ3 に代えて３Ａｌ2 Ｏ3 ・２ＳｉＯ2 を用いた以外は、上記実施例５と同様にしてサーミスタ素子を作製した。（実施例９）。また、同様の方法で、モル比（ａ：ｂ）を９５：５、９５：５としたサーミスタ素子を作製し、それぞれ実施例９Ａ、９Ｂとした。なお、使用した３Ａｌ2 Ｏ3 ・２ＳｉＯ2 は、９９．９％以上の純度を有し、平均粒径は２μｍであった。
【００９２】
得られたサーミスタ素子を、温度センサに組み込んで、その抵抗値温度特性をそれぞれ評価した。評価方法は実施例１と同様とし、結果を表８に示した。表８に明らかなように、本実施例のサーミスタ素子は、抵抗値温度特性に関して、実施例３とほぼ同様の効果を有している。また、実施例９のサーミスタ素子の温度精度を評価した結果を表２に示した。本実施例によれば、温度精度が±５℃と良好な値を示しており、ばらつきが小さいことがわかる。
【００９３】
【表８】
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【００９４】
（実施例１０〜１３）
実施例５と同様の方法で、複合酸化物Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 と、表９〜１２に示す種々の金属酸化物ＡＯx からなるサーミスタ素子を試作した。ＡＯx としては、複合酸化物であるＹＡｌＯ3 （実施例１０）、Ｙ3 Ａｌ5 Ｏ12（実施例１１）、ＭｇＡｌ2 Ｏ3 （実施例１２）、Ｙ2 ＳｉＯ5 （実施例１３）をそれぞれ用いた。複合ペロブスカイト酸化物Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 とのモル比（ａ：ｂ）を表９〜１２に示すようにし、図７に示す工程中、第２の調製工程の調合（２）工程で、Ｐｒ2 Ｏ3 に代えて上記各種複合酸化物を用いた以外は、上記実施例５と同様にしてサーミスタ素子を作製した。（実施例１０〜１３）。また、同様の方法で、モル比（ａ：ｂ）を表９〜１２に示すように変更したサーミスタ素子を作製し、それぞれ実施例１０Ａ〜１３Ａ、１０Ｂ〜１３Ｂとした。なお、使用した原料は、いずれも９９．９％以上の純度を有し、平均粒径は１〜３μｍであった。
【００９５】
得られたサーミスタ素子を、温度センサに組み込んで、その抵抗値温度特性をそれぞれ評価した。評価方法は実施例１と同様とし、結果を表９〜１２に示した。表９〜１２に明らかなように、本実施例のサーミスタ素子は、抵抗値温度特性に関して、実施例３とほぼ同様の効果を有している。また、実施例１０〜１３のサーミスタ素子の温度精度を評価したところ、いずれの実施例も温度精度が±５℃と良好な値を示した。
【００９６】
【表９】
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【００９７】
【表１０】
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【００９８】
【表１１】
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【００９９】
【表１２】
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【０１００】
（実施例１４〜４１）
図７に示す製造工程に基づき、実施例５〜８と同様にして、複合ペロブスカイト酸化物Ｙ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 と、表１３、１４に示す種々の金属酸化物ＡＯx からなるサーミスタ素子を試作した。本実施例の製造工程は、第２の調製工程の調合（２）工程において、表１３、１４に示す各種金属酸化物ＡＯx を用い、これら金属酸化物とＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 のモル比を、それぞれ表１５〜４２に示すようにした以外は、上記実施例５〜８と同様としてサーミスタ素子を作製した（実施例１４〜４１）。なお、原料として使用した金属酸化物ＡＯx はいずれも純度９９．９％以上であり、平均粒径は、ＭｇＣｒ2 Ｏ4 、２ＭｇＯ・ＳｉＯ2、ＣａＳｉＯ3 は２μｍで、その他はいずれも１．０μｍであった。
【０１０１】
【表１３】
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【０１０２】
【表１４】
0003776691.tif 000015
【０１０３】
また、同様の方法で、実施例１４〜４１の各金属酸化物とＹ（Ｃｒ0.5 Ｍｎ0.5 ）Ｏ3 のモル比を、それぞれ表１５〜４２に示すように変更した、種々のサーミスタ素子を作製した（実施例１４Ａ〜４１Ａ、１４Ｂ〜４１Ｂ）。このようにして得られたサーミスタ素子を、温度センサに組み込んで、その抵抗値温度特性をそれぞれ評価した。評価方法は実施例１と同様とし、結果を表１５〜４２に示した。表１５〜４２から明らかなように、実施例１４〜４１のサーミスタ素子は、抵抗値温度特性に関して、上記各実施例同様の効果を有している。
【０１０４】
【表１５】
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【０１０５】
【表１６】
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【０１０６】
【表１７】
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【０１０７】
【表１８】
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【０１０８】
【表１９】
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【０１０９】
【表２０】
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【０１１０】
【表２１】
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【０１１１】
【表２２】
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【０１１２】
【表２３】
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【０１１３】
【表２４】
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【０１１４】
【表２５】
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【０１１５】
【表２６】
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【０１１６】
【表２７】
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【０１１７】
【表２８】
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【０１１８】
【表２９】
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【０１１９】
【表３０】
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【０１２０】
【表３１】
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【０１２１】
【表３２】
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【０１２２】
【表３３】
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【０１２３】
【表３４】
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【０１２４】
【表３５】
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【０１２５】
【表３６】
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【０１２６】
【表３７】
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【０１２７】
【表３８】
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【０１２８】
【表３９】
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【０１２９】
【表４０】
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【０１３０】
【表４１】
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【０１３１】
【表４２】
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【０１３２】
また、実施例１４〜４１の各サーミスタ素子の温度精度を評価した結果を表１３、１４に示した。なお、表１３、１４の温度精度欄において括弧内に示した数値は、第１の調製工程および第２の調製工程における混合にいずれもボールミルを用いる、上記実施例１と同様の方法でサーミスタ素子を作製した場合の温度精度である。両者を比較して明らかなように、本実施例の方法では、温度精度のばらつき（±Ａ℃）が、いずれも±５℃と良好な値を示しており、実施例１の方法で作製した場合（±２３℃〜２５℃）に比べて、ばらつきが小さくなっていることがわかる。また、表２には、第１の調製工程の混合工程後の平均粒径、第２の調製工程の混合・粉砕工程後の平均粒径を併せて示した。
【０１３３】
以上のように、本発明によれば、低抵抗値および低抵抗温度係数を示す複合ペロブスカイト酸化物（ＭＭ´）Ｏ3 と、高温域の抵抗値が高く、耐熱性に優れる金属酸化物ＡＯx とを適宜混合、焼成することにより、サーミスタ素子の抵抗値および抵抗温度係数を所望の範囲に制御し、かつその特性を安定化することができる。よって、室温から１０００℃の広い温度域にわたって温度を検知可能で、室温から１０００℃の熱履歴等による抵抗値の変化がない、安定した特性を有するサーミスタ素子を実現でき、温度センサの信頼性、耐久性を大きく向上させることができる。
【０１３４】
また、本発明のサーミスタ素子の製造方法によれば、混合工程においてサーミスタ原料を微粒化し、その平均粒径を所定の範囲に制御することで、組成の均一混合を図り、室温から１０００℃での温度精度のばらつき（±Ａ℃）を１０℃以下にすることができるので、温度センサの高精度化が可能である。
【０１３５】
ここで、上記実施例１〜４１で使用した種々の金属酸化物ＡＯx を、２０００℃以上の融点を有するグループ１と、融点が２０００℃より低いグループ２とに分類し、上記実施例１〜４１におけるサーミスタ素子の焼成温度と、耐熱性の評価結果を表４３〜４５に示した。表４３は、グループ１の中でも融点が２４００℃以上とより高いグループ、表４４は、融点が２０００℃以上２４００℃未満のグループである。また、表４５は、融点が２０００℃より低いグループ２のものである。焼成温度は、上記実施例１〜４１の各サーミスタ組成において最も安定した抵抗値特性が得られる温度を示した。また、サーミスタ素子の耐熱性の評価方法は以下の通りで、各組成のサーミスタ素子を高温炉に入れ、評価温度（１２００℃、１４００℃、１５００℃）で１００時間保持した時の、素子の抵抗値変化率を測定し、下記の判定基準に従って評価した。
抵抗値変化率（％）＝（（耐久後抵抗値／耐久前（初期）抵抗値）−１）×１００
判定基準○：抵抗値変化率５％未満
△：抵抗値変化率５％〜１０％
×：抵抗値変化率１０％以上
【０１３６】
【表４３】
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【０１３７】
【表４４】
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【０１３８】
【表４５】
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【０１３９】
表４３、４４に明らかなように、融点が２０００℃以上と高いグループ１の金属酸化物ＡＯx を用いたサーミスタ素子は、いずれも１５００℃まで抵抗値変化率が５％未満と高く、優れた耐熱性を示す。これら金属酸化物ＡＯx は融点が高い程、耐熱性を高める効果が高いことが予測されるが、融点が２４００℃以上の表４３のグループは焼成温度が１６５０℃とやや高く、エネルギーコストの面では、焼成温度が１６００℃ないし１６５０℃と低めである表４４のグループの方が有利である。また、表４５に明らかなように、融点が２０００℃より低いグループ２の金属酸化物ＡＯx を用いたサーミスタ素子は、１４００℃、１５００℃における抵抗値変化率はグループ１より劣るが、１２００℃での抵抗値変化率はいずれも５％未満で実用上十分な耐熱性を有し、しかも１２００〜１５００℃という比較的低温での焼成が可能で、優れた易焼結性を示す。従って、本発明によりサーミスタ素子を作製する際には、リード線への影響や製作コスト、使用環境等を鑑みて必要な特性が得られるように、金属酸化物ＡＯx を選択すればよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したサーミスタ素子の全体概略図である。
【図２】（ａ）は本発明のサーミスタ素子を組み込んだ温度センサの全体概略図、（ｂ）はその断面図である。
【図３】本発明の製造方法（１）に基づく、実施例１のサーミスタ素子の製造工程図である。
【図４】本発明の製造方法（２）に基づく、実施例２のサーミスタ素子の製造工程図である。
【図５】本発明の製造方法（２）および（３）を組み合わせた、実施例３のサーミスタ素子の製造工程図である。
【図６】本発明の製造方法（３）に基づく、実施例４のサーミスタ素子の製造工程図である。
【図７】本発明の製造方法（３）に基づく、実施例５のサーミスタ素子の製造工程図である。
【符号の説明】
１  サーミスタ素子
１１、１２  リード線
１３  素子部
２  金属ケース
３  金属パイプ
３１、３２  リード線
Ｓ  温度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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