(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁性のボビンと，該ボビンの軸穴の開口端部に挿通固定したリード線と，上記ボビンの外周に巻回されていると共に，その両端を上記リード線に接続してなる金属ワイヤーとよりなり，
かつ上記ボビンの外周及びその開口端部と上記金属ワイヤーとを被覆するように設けた保護ガラス層とよりなる熱式流量センサを製造する方法において，
上記保護ガラス層の被覆に当っては，上記開口端部にリード線を固定し，上記金属ワイヤーを上記ボビンの外周に巻回すると共に，その両端を上記リード線に接続固定し，
上記ボビンの外周及びその開口端部に粉末状のガラスとバインダーとよりなる粘性ガラス材を被覆し，
これらを加熱炉内に入れて，上記粘性ガラス材の軟化点以上の温度にて加熱すると共に，上記加熱炉内の雰囲気圧力を変動させることを特徴とする熱式流量センサの製造方法。
【請求項２】
請求項１において，上記雰囲気圧力の変動は，加熱炉内を加圧の後，減圧する操作により行うことを特徴とする熱式流量センサの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２において，上記雰囲気圧力の変動は，複数回行うことを特徴とする熱式流量センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，例えば自動車エンジンの吸入空気量の測定等に用いられる熱式流量センサの製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
流量を測定するセンサの一つとして，後述の図１３（ｃ）に示すごとき，熱式流量センサ９が知られている。
上記熱式流量センサ９は，電気絶縁性のボビン１０と，該ボビン１０の軸穴１９の開口端部１９１，１９２に挿通固定したリード線１１と，上記ボビン１０の外周１００に巻回され，コイル１２を形成すると共に，その両端を上記リード線１１に接続してなる金属ワイヤー１２０とよりなる。
また，上記ボビン１０の外周１００及びその開口端部１９１，１９２と上記金属ワイヤー１２０とを被覆するように設けた保護ガラス層１３を有する。
【０００３】
なお，上記保護ガラス層１３は，後述するごとく，空気流れ中に上記熱式流量センサ９を設置した際，該金属ワイヤー１２０が汚れ，その放熱特性が変動することを防止するために設けてある。
【０００４】
上記熱式流量センサ９による空気流量の測定は以下に示すごとく行なわれている。
まず，測定対象となる空気流量Ｇの空気流れ中に上記熱式流量センサ９を設置する。ついで，上記金属ワイヤー１２０よりなるコイル１２に電流Ｉを流し，これを発熱させ，所定の温度ＴＨとなす。
【０００５】
上記金属ワイヤー１２０は上記空気流れに曝されることにより放熱し，その温度がＴＨより低下する。この温度の低下に伴い，金属ワイヤー１２０の抵抗値が変化する。
そこで，上記金属ワイヤー１２０の温度ＴＨが常に一定の値となるよう，上記電流Ｉの値を変化させる。
そして，上記電流Ｉと空気流量Ｇとの間には，Ｉが〔α＋β（Ｇ）1/2 〕1/2 に対し比例する関係のあることが知られている。従って，上記電流Ｉの値より空気流量Ｇを求めることができる。
なお，同式においてα及びβは定数である。
【０００６】
ところで，上記熱式流量センサ９は，以下に示すごとく製造することができる。
まず，図１２（ａ）に示すごとく，アルミナよりなり，軸穴１９を有するボビン１０を準備する。
次に，図１２（ｂ）に示すごとく，上記軸穴１９に対し，その開口端部１９１，１９２より接合ガラス材ペースト１８１を注入する。
なお，上記接合ガラス材ペースト１８１は，ガラス粉末，アルミナ粉末，バインダーとよりなる。
【０００７】
次に，図１２（ｃ）に示すごとく，上記接合ガラス材ペースト１８１を貫通して，上記開口端部１９１，１９２より上記軸穴１９の内部に向けて，２本のリード線１１を挿入する。
その後，上記ボビン１０を加熱炉に投入し，接合ガラスペースト１８１を軟化溶融，固化させて，図１２（ｄ）に示すごとく，接合ガラス層１８となす。これによりリード線１１がボビン１０に対し固定される。
【０００８】
次に，図１３（ａ）に示すごとく，上記ボビン１０の外周１００に金属ワイヤー１２０を巻回し，コイル１２となす。また，上記金属ワイヤー１２０の両端１２１，１２２は，それぞれ上記リード線１１の端部１１１，１１２に対し溶接により接合固定する。
次に，図１３（ｂ）に示すごとく，上記ボビン１０の外周１００，上記リード線１１（ただし端部１１１，１１２の先端を除く。），上記コイル１２の全体に粘性ガラス材１３０をディップ法により設ける。
なお，上記粘性ガラス材１３０は，ガラス粉末とバインダーとよりなる。
【０００９】
次に，上記ボビン１０を加熱し，上記粘性ガラス材１３０を軟化溶融，固化させて，図１３（ｃ）に示すごとく，保護ガラス層１３となす。
これにより，熱式流量センサ９を得る。
【００１０】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記製造方法においては，以下に示す問題が生じる。
上記ボビン１０の軸穴１９内には空気が存在し，該空気は上記加熱の際にその体積が増大し，開口端部１９１，１９２より軟化溶融状態にある粘性ガラス材１３０の内部へと侵入する。このため，図１４（ａ）に示すごとく，上記保護ガラス層１３の肩部１３１，１３２に気泡１３９が形成されてしまうことがある。
なお，上記肩部１３１，１３２とは，粘性ガラス材１３０，保護ガラス層１３において，上記開口端部１９１，１９２と対面した部分を示している。
【００１１】
そして，図１４（ａ）に示すごとく，上記気泡１３９により，上記肩部１３１，１３２において，保護ガラス層１３の厚みが薄くなった脆弱部１３８が形成されてしまうことがある。
上記脆弱部１３８が破損した場合には，図１４（ｂ）に示すごとく，上記肩部１３１，１３２に穴部１３７が形成され，そのため上記肩部１３１，１３２の表面積が大きくなる。
【００１２】
そして，上記肩部１３１，１３２に対して，空気流れは図１４（ａ）に示すごとき付着流れＦ１を形成しつつ流れている。
よって，肩部１３１，１３２の表面積が変化することにより，付着流れＦ１と肩部１３１，１３２との接触面積が変化し，これに伴い熱式流量センサ９の流量特性も変化する。
【００１３】
このため，図１６に示すごとく，上記気泡１３９の径が大きくなると共に，熱式流量センサ９の流量特性変化も大きくなる。
そして，上記流量特性変化が２％を越えた場合には，該熱式空気流量センサ９を自動車エンジンの吸入空気量の測定等に使用した際に，該エンジンにおける空燃比が悪化する（理論空燃比からのずれが大となる）おそれがある。従って，理想的な熱式流量センサにおいては，肩部１３１，１３２の気泡径は０．１５ｍｍ以下でなくてなならない。
【００１４】
なお，図１６にかかる線図は，肩部気泡径に対する流量特性変化を示すものであり，流量特性変化の平均を黒丸印で，そのバラツキ範囲を矢印で表している。また，自動車エンジンに用いる場合の流量特性変化の規格線と，それに対応する肩部気泡量の規格線が記入されている。
この図１６にかかる線図は肩部気泡径が０．０５，０．１０，０．１５，０．２０ｍｍのものを複数個選択してそれぞれの流量特性を測定し，各々の平均とバラツキを求めることにより得られたものである。
【００１５】
上述の問題を解決するため，従来，上記製造方法において粘性ガラス材１３０の軟化溶融を加圧雰囲気で行うことが提案されている。
この場合には，後述の図８（比較試料Ｃ１）に示すごとく，肩部１３１，１３２の気泡内の空気を速やかに軸穴１９に押し戻し，気泡径を小さくすることができる。もしくは，発生した気泡を速やかに消滅させることができる。
【００１６】
しかしながら，軟化溶融状態にある粘性ガラス材１３０は粘度が低く，小さな力で移動可能であることから，気泡内の空気と共に粘性ガラス材１３０までが軸穴１９内に押し込まれてしまう。この場合には，図１５（ｂ）に示すごとく，肩部１３１，１３２におけるガラス量が非常に少なくなってしまう。
【００１７】
この場合には，上記肩部１３１，１３２における空気流れが，図１５（ａ）に示す通常の付着流れＦ１とは異なって，図１５（ｂ）に示す剥離流Ｆ２となる。そして，上記剥離流Ｆ２による放熱特性は通常の付着流れＦ１とは異なる。そのため，図１７に示すごとく，肩部１３１，１３２におけるガラス量が少なくなるほど，熱式流量センサ９の静特性バラツキの値が大きくなってしまう。
【００１８】
そして，上記静特性バラツキの値が＋２〜−２％を越えた場合には，エンジンの空燃比が悪化するおそれがある。
従って，理想的な熱式流量センサの肩部のガラス量は，２．０ｍｍ×１０-3ｍｍ3 以上でなくてなならない。
なお，図１７にかかる線図における静特性バラツキ３σの値は光学顕微鏡を用いたガラス量の寸法測定から計算により求めた値である。
【００１９】
本発明は，かかる問題点に鑑み，保護ガラス層における肩部の気泡が小さく，肩部のガラス量が充分に存在する，熱式流量センサの製造方法を提供しようとするものである。
【００２０】
【課題の解決手段】
請求項１の発明は，電気絶縁性のボビンと，該ボビンの軸穴の開口端部に挿通固定したリード線と，上記ボビンの外周に巻回されていると共に，その両端を上記リード線に接続してなる金属ワイヤーとよりなり，
かつ上記ボビンの外周及びその開口端部と上記金属ワイヤーを被覆するように設けた保護ガラス層とよりなる熱式流量センサを製造する方法において，
上記保護ガラス層の被覆に当っては，上記開口端部にリード線を固定し，上記金属ワイヤーを上記ボビンの外周に巻回すると共に，その両端を上記リード線に接続固定し，
上記ボビンの外周及びその開口端部に粉末状のガラスとバインダーとよりなる粘性ガラス材を被覆し，
これらを加熱炉内に入れて，上記粘性ガラス材の軟化点以上の温度にて加熱すると共に，上記加熱炉内の雰囲気圧力を変動させることを特徴とする熱式流量センサの製造方法にある。
【００２１】
本発明の作用につき，以下に説明する。
本発明の製造方法においては，粘性ガラス材を加熱炉を用いて加熱・軟化溶融する際には，上記加熱炉内の雰囲気圧力を変動させる。
このため，上記圧力の変動において，特に圧力を増大させた場合には，発生した気泡の内部の空気を速やかに破裂させることができる。
よって，肩部に気泡のない，または気泡が小さい熱式流量センサを得ることができる。
【００２２】
また，上記圧力の変動において，特に圧力を低減させた場合には，軟化溶融状態にある粘性ガラス材が軸穴に押し込まれることを防止できる。
このため，充分なガラス量を有する肩部を形成することができる。
【００２３】
以上のように，本発明によれば，保護ガラス層における肩部の気泡が小さく，肩部のガラス量が充分に存在する，熱式流量センサの製造方法を提供することができる。
【００２４】
そして，このような熱式流量センサは，前述した図１６，図１７に示すごとく，流量特性変化が小さく，かつ静特性バラツキ３σが小さいことから，例えば自動車エンジンの吸入空気量の測定等に使用した場合には，該エンジンに対する空燃比の制御性能を高めることができる。
【００２５】
次に，請求項２の発明によれば，上記雰囲気圧力の変動は，加熱炉内を加圧の後，減圧する操作により行うことが好ましい。
これにより，加圧により気泡を破裂させ，減圧により軸穴に押し込まれる粘性ガラス材の量を少なくすることができる。このため，肩部にかかる保護ガラス層を上記軸穴の開口端部に対して盛り上がった状態となすことができる。
【００２６】
次に請求項３の発明によれば，上記雰囲気圧力の変動は，複数回行うことが好ましい。
これにより，肩部における保護ガラス層に形成される気泡をより小さくすることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
実施形態例１
本発明の実施形態例にかかる熱式流量センサ及びその製造方法につき，図１〜図７を用いて説明する。なお，本発明にかかる熱式流量センサは空気流量を測定する流量センサである。
【００２８】
図１に示すごとく，本例の熱式流量センサ１は，電気絶縁性のボビン１０と，該ボビン１０の軸穴１９の開口端部１９１，１９２に挿通固定したリード線１１と，上記ボビン１０の外周１００に巻回されていると共に，その両端を上記リード線１１に接続してなる金属ワイヤー１２０とよりなる。
【００２９】
そして，上記ボビン１０の外周１００及びその開口端部１９１，１９２と上記金属ワイヤー１２を被覆するように設けた保護ガラス層１３とを有する。
なお，上記保護ガラス層１３において，開口端部１９１，１９２を被覆した部分が肩部１３１，１３２である。
【００３０】
そして，前述した図１２，図１３に示すごとく，上記熱式流量センサ１を製造する際，上記保護ガラス層１３の被覆に当っては，まず，上記開口端部１９１，１９２にリード線１１を固定する。次いで，上記金属ワイヤー１２０を上記ボビン１０の外周１００に巻回すると共に，その両端を上記リード線１１に接続固定する。
【００３１】
次いで，図２に示すごとく，上記ボビン１０の外周１００及びその開口端部１９１，１９２に粉末状のガラスとバインダーとよりなる粘性ガラス材１３０を被覆する。
次いで，図３，図４に示すごとく，これらを加熱炉２内に入れて，上記粘性ガラス材１３０の軟化点以上の温度にて加熱すると共に，上記加熱炉２内の雰囲気圧力を変動させる。
そして，上記圧力変動は，図６，図７に示すごとく，加熱炉２の温度を昇温し，加熱炉２内の温度が粘性ガラス材１３０の軟化点以上の温度にて，加圧と減圧とを特定時間，特定サイクルにて繰り返す。
以上により，粘性ガラス材１３０を保護ガラス層１３となす。
【００３２】
上記製造方法につき，詳細に説明する。
まず，前述の従来技術に示すごとく，上記開口端部１９１，１９２へリード線１１を固定，次いで，上記金属ワイヤー１２０を上記ボビン１０の外周１００に巻回しコイル１２となすと共に，その両端１２１，１２２を上記リード線１１に接続固定する（図１２参照）。
次いで，図２（ａ）に示すごとく，上記ボビン１０の外周１００及びその開口端部１９１，１９２に粉末状のガラスとバインダーとよりなる粘性ガラス材１３０を被覆する。
【００３３】
次に，図２（ｂ），図４，図５に示すごとく，上記ボビン１０を加熱炉２に投入し，上記粘性ガラス材１３０の軟化点以上の温度に加熱する。
ここに上記加熱炉２は，図４に示すごとく，炉本体２０と加熱すべきボビン１０を配置するための載置台２０１，炉本体２０を加熱するためのヒータ２１，炉本体２０の圧力を変動させるためのエアガスクーラー２４，復圧弁２２，減圧弁２６，そして炉本体２０の圧力と温度を測定するための圧力計２５及び熱電対と２３よりなる。
【００３４】
また，図５に示すごとく，上記載置台２０１には，ボビン１０を固定する固定台２０２が設けてなり，該固定台２０２を覆うように上記載置台２０１にはカバー２０３が設けてある。
【００３５】
次に，上記加熱炉２における加熱の詳細につき説明する。
まず，図６に示すごとく，室温（ＲＴ）より粘性ガラス材１３０の軟化点以上の温度である８５０℃まで，昇温速度１０℃／分にて加熱する。また，この間，上記加熱炉２における減圧弁２６及びエアガスクーラー２４を作動させ，図７に示すごとく，炉本体２０の雰囲気圧力を０．８ａｔｍに保持する。
これにより，図２（ｂ）に示すごとく，上記粘性ガラス材１３０は徐々に軟化溶融状態となる。その後，図２（ｃ）に示すごとく，軸穴１９の空気が膨張し，軟化溶融状態となった粘性ガラス材１３０に気泡１３９を形成する。
【００３６】
次に，上記炉本体２０の温度が８５０℃に達したところで，加熱を中止，図６に示すごとく，その後は炉本体２０の温度を１時間，８５０℃に保持する。
これと同時に，炉本体２０の雰囲気圧力の変動を行う。
図７に示すごとく，上記圧力変動は１サイクル７２秒のサイクルを１時間が経過するまで繰り返す。即ち，まず，上記復圧弁２２を作動させ，圧力を０．８ａｔｍより０．９ａｔｍへ増大させる。続いて，上記減圧弁２６及びエアクーラー２４を作動させ，雰囲気圧力を０．８ａｔｍに戻す。
圧力変動における加圧により，図３（ａ）に示すごとく，粘性ガラス材１３０は押圧され，気泡１３９は破裂させられる。
【００３７】
その後，図６，図７に示すごとく，炉本体２０の圧力を０．８ａｔｍに戻し，その後８５０℃から室温まで炉本体２０の加熱を止め，炉内にて自然冷却した。これにより，軟化溶融状態にある粘性ガラス材１３０は固化し，保護ガラス層１３となる。
以上により本例にかかる熱式流量センサ１を得た。
【００３８】
次に，本例における作用効果につき説明する。
本例の製造方法においては，粘性ガラス材１３０を加熱炉２を用いて加熱・軟化溶融する際には，上記加熱炉２内の雰囲気圧力の加圧・減圧を複数回行う。
このため，上記圧力の変動において，特に圧力を増大させた場合には，気泡１３９を破裂させることができる。また，特に圧力を低減させた場合には，図３（ｂ）に示すごとく，軟化溶融状態にある粘性ガラス材１３０が軸穴１９に押し込まれるのを防ぐことができる。このため，充分なガラス量を有する肩部１３１，１３２を形成することができる。
よって，肩部１３１，１３２に気泡がなく，ガラス量が充分に存在する，熱式流量センサ１を得ることができる。
【００３９】
実施形態例２
本例は，図８〜図１１に示すごとく，本発明にかかる製造方法による熱式流量センサと従来品とを比較説明するものである。
まず，本発明にかかる製造方法による熱式流量センサ，即ち試料１は，図８（ａ），（ｂ）に示すごとく，実施形態例１に示した製造方法にて作成したものである。
【００４０】
次に，従来の製造方法により製造した従来品，比較試料Ｃ１について説明する。
まず，実施形態例１と同様に，上記開口端部へリード線を固定，次いで，上記金属ワイヤーを上記ボビンの外周に巻回しコイルとなす。そして，その両端を上記リード線に接続固定する（図１２参照）。
次いで，前述の図２（ａ）に示すごとく，上記ボビンの外周及びその開口端部に粉末状のガラスとバインダーとよりなる粘性ガラス材を被覆する。
次に，前述の図２（ｂ），図４，図５に示すごとく，上記ボビンを加熱炉に投入し，上記粘性ガラス材の軟化点以上の温度に加熱する。
【００４１】
上記加熱に当り，図８（ａ）に示すごとく，加熱炉における炉本体の温度条件は実施形態例１と同様の条件とした。また，雰囲気圧力は，図８（ｂ）に示すごとく，８５０℃まで昇温されている段階では０．８ａｔｍ，８５０℃に達した後は１ａｔｍに復圧，その後は加熱が終了するまでこの圧力を維持した。
その他は実施形態例１と同様である。
【００４２】
また，次に，従来の製造方法による比較試料Ｃ２について説明する。
まず，実施形態例１と同様に，上記開口端部へリード線を固定，次いで，上記金属ワイヤーを上記ボビンの外周に巻回しコイルとなす。そして，その両端を上記リード線に接続固定する（図１２参照）。
次いで，前述の図２（ａ）に示すごとく，上記ボビンの外周及びその開口端部に粉末状のガラスとバインダーとよりなる粘性ガラス材を被覆する。
次に，前述の図２（ｂ），図４，図５に示すごとく，上記ボビンを加熱炉に投入し，上記粘性ガラス材の軟化点以上の温度に加熱する。
【００４３】
上記加熱にあたり，加熱炉における炉本体の温度条件は実施形態例１と同様の条件とした。また，雰囲気圧力は，加熱開始より加熱終了まで一貫して大気圧に保持した。
その他は実施形態例１と同様である。
【００４４】
以上により得られた試料１，比較試料Ｃ１，Ｃ２について説明する。
図９（ａ），（ｂ）は，上記製造方法により得られた１００個の試料１について，光学顕微鏡により肩部の気泡径及び肩部のガラス量を測定し，プロットした分布図である。同様に，図１０（ａ），（ｂ）は比較試料Ｃ１，図１１（ａ），（ｂ）は比較試料Ｃ２について測定した結果である。
【００４５】
図９によれば，すべての試料１の気泡径は０．１５ｍｍ以下であり，かつガラス量が２×１０-3ｍｍ3 以上であることが分かった。
これは，図８（ｃ），（ｄ）に示すごとく，一番最初の加圧により形成された気泡が消滅し，またこの加圧により減少した肩部のガラス量は，上記加圧に続く減圧により増加するためである。
【００４６】
これと比較して，図１０より，比較試料Ｃ１は，気泡径に関してはすべて０．１５ｍｍ以下となるものの，一部のもののガラス量が２×１０-3ｍｍ3 よりも少ないことが分かった。
これは，図８（ｃ），（ｄ）に示すごとく，比較試料Ｃ１においては，加圧により気泡が消滅すると共に粘性ガラス材の一部が軸穴に押し込まれ，肩部のガラス量が減少し，この減少した状態のまま加熱が終了してしまうためである。
【００４７】
また比較試料Ｃ２については，図１１より，肩部のガラス量については，全てのものが２×１０-3ｍｍ3 以上である。しかしながら，気泡径が０．１５ｍｍより大きいものが数多く存在することが分かった。
【００４８】
従って，前述の図１６，図１７に示されるごとく，上記試料１にかかる熱式流量センサの流量特性変化は２％以下であり，また静特性バラツキ３σは−２〜＋２％の範囲内にあることが分かった。
以上により，本発明にかかる熱式流量センサは，特に自動車エンジンの吸入空気量の測定等に使用した場合には，該エンジンに対する空燃比の制御性という点で優れていることが分かった。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態例１にかかる，熱式流量センサの断面説明図。
【図２】実施形態例１にかかる，（ａ）〜（ｃ）熱式流量センサにおける保護ガラス層の形成説明図。
【図３】実施形態例１にかかる，（ａ）加圧された状態での粘性ガラス材の説明図，（ｂ）減圧された状態での粘性ガラス材の説明図。
【図４】実施形態例１にかかる，加熱炉の構造を示す説明図。
【図５】実施形態例１にかかる，加熱炉の要部説明図。
【図６】実施形態例１にかかる，加熱炉内における温度と時間との関係を示す線図。
【図７】実施形態例１にかかる，加熱炉内における雰囲気圧力と時間との関係を示す線図。
【図８】実施形態例２にかかる，試料１及び比較試料１を製造するに当り，加熱炉内における（ａ）温度と時間との関係を示す線図，（ｂ）雰囲気圧力と時間との関係を示す線図，（ｃ）肩部のガラス量と時間との関係を示す線図，（ｄ）肩部における気泡径と時間との関係を示す線図。
【図９】実施形態例２にかかる，試料１，１００個における，（ａ）肩部の気泡径の分布図，（ｂ）肩部のガラス量の分布図。
【図１０】実施形態例２にかかる，比較試料Ｃ１，１００個における，（ａ）肩部の気泡径の分布図，（ｂ）肩部のガラス量の分布図。
【図１１】実施形態例２にかかる，比較試料Ｃ２，１００個における，（ａ）肩部の気泡径の分布図，（ｂ）肩部のガラス量の分布図。
【図１２】従来例にかかる，熱式流量センサの製造工程を示す説明図。
【図１３】従来例にかかる，図１２に続く，熱式流量センサの製造工程を示す説明図。
【図１４】従来例にかかる，（ａ）肩部における付着流れＦ１の説明図，（ｂ）穴部の形成された肩部における付着流れＦ１の説明図。
【図１５】従来例にかかる，（ａ）肩部における付着流れＦ１の説明図，（ｂ）肩部における剥離流Ｆ２の説明図。
【図１６】従来例にかかる，熱式流量センサにおける肩部の気泡径と流量特性変化との関係を示す線図。
【図１７】従来例にかかる，熱式流量センサにおける肩部のガラス量と静特性バラツキ３σとの関係を示す線図。
【符号の説明】
１．．．熱式流量センサ，
１０．．．ボビン，
１００．．．外周，
１１．．．リード線，
１２０．．．金属ワイヤ，
１３．．．保護ガラス層，
１３０．．．粘性ガラス材，
１３１，１３２．．．肩部，
１９．．．軸穴，
１９１，１９２．．．開口端部，
２．．．加熱炉，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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