(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持する保持部を有するウェーハの保持機構において、
前記保持部と前記ウェーハとの間に挟持されかつ前記ウェーハが保持されていないときに搬送可能な汚染防止フィルムと、該汚染防止フィルムを搬送する搬送機構部とを備え、  前記保持部は、前記ウェーハの周端部の両面を把持する一対のウェーハ押さえ部材を有し、
前記搬送機構部は、前記保持部を経由した前記汚染防止フィルムを巻き取っていくフィルム巻取ローラーと前記汚染防止フィルムが巻き取られるのに伴って巻回していた汚染防止フィルムが引き出されかつ汚染防止フィルムを前記保持部に供給される新規フィルム送りローラーとを有するとともに、
前記一対のウェーハ押さえ部材との間に位置した汚染防止フィルムの一部に圧接して該汚染防止フィルムに張力を付与する張力付与ローラーを備えていることを特徴とするウェーハの保持機構。
【請求項２】
請求項１に記載のウェーハの保持機構において、
前記汚染防止フィルムがポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレンなどのフィルム材であることを特徴とするウェーハの保持機構。
【請求項３】
請求項１または２に記載のウェーハの保持機構によって複数のウェーハを一枚づつ保持してウェーハキャリアに順次移す際におけるウェーハの保持方法において、
前記ウェーハを汚染防止フィルムを介して保持し前記ウェーハキャリアに移した後次のウェーハを保持する前に前記汚染防止フィルムを搬送して汚染防止フィルムの新規な部分を引き出してその新規な部分を介して前記次のウェーハを保持することを特徴とするウェーハの保持方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェーハの保持機構及びウェーハの保持方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程におけるウェーハの保持機構として、ウェーハの片面を真空吸着する真空チャック方式のものとウェーハの外縁部等を保持する方式のものが一般的である。
【０００３】
例えば、前者の例としては、ウェーハを収納したウェーハカセットからウェーハを取り出して別の空のウェーハカセットに移し換える際、ウェーハの裏面をウェーハチャックで吸着してウェーハを保持し、ウェーハカセットから取り出すものが知られている。また、後者の例である特開平０６−２５２２４０号では、２個の固定ホルダーと１個の可動ホルダーとでウェーハの外縁部を把持するものが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来のウェーハの保持機構においては、ウェーハの保持部分の汚れや異物の付着等によりウェーハの汚れやキズが発生しやすいという問題があった。
【０００５】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、ウェーハの保持部分に発生する汚れや異物の付着等が低減されるウェーハの保持機構およびウェーハの保持方法を提供する事を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明は、以下の構成を採用した。
本発明のウェーハの保持機構は、ウェーハを保持する保持部を有するウェーハの保持機構において、
前記保持部と前記ウェーハとの間に挟持されかつ前記ウェーハが保持されていないときに搬送可能な汚染防止フィルムと、該汚染防止フィルムを搬送する搬送機構部とを備え、  前記保持部は、前記ウェーハの周端部の両面を把持する一対のウェーハ押さえ部材を有し、
前記搬送機構部は、前記保持部を経由した前記汚染防止フィルムを巻き取っていくフィルム巻取ローラーと前記汚染防止フィルムが巻き取られるのに伴って巻回していた汚染防止フィルムが引き出されかつ汚染防止フィルムを前記保持部に供給される新規フィルム送りローラーとを有するとともに、
前記一対のウェーハ押さえ部材との間に位置した汚染防止フィルムの一部に圧接して該汚染防止フィルムに張力を付与する張力付与ローラーを備えていることを特徴とする。
【０００７】
本発明のウェーハの保持機構は、ウェーハを保持する保持部を有するウェーハの保持機構において、前記保持部と前記ウェーハとの間に挟持されかつ前記ウェーハが保持されていないときに搬送可能な汚染防止フィルムと、該汚染防止フィルムを搬送する搬送機構部とを備えたことができる。
本発明のウェーハの保持機構は、上記のウェーハの保持機構において、前記汚染防止フィルムがポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレンなどのフィルム材であることを特徴とする。
【０００８】
本発明のウェーハの保持機構は、上記のウェーハの保持機構において、前記保持部は、前記ウェーハの周端部の両面を把持する一対のウェーハ押さえ部材を有し、前記搬送機構部は、前記保持部を経由した前記汚染防止フィルムを巻き取っていくフィルム巻取ローラーと前記汚染防止フィルムが巻き取られるのに伴って巻回していた汚染防止フィルムが引き出されかつ該汚染防止フィルムを前記保持部に供給するフィルム送りローラーとを有するとともに、前記一対のウェーハ押さえ部材との間に位置した汚染防止フィルムの一部に圧接して該汚染防止フィルムに張力を付与する張力付与ローラーを備えていることを特徴とする。
【０００９】
本発明のウェーハの保持方法は、上記のウェーハの保持機構によって複数のウェーハを一枚づつ保持してウェーハキャリアに順次移す際におけるウェーハの保持方法において、 前記ウェーハを汚染防止フィルムを介して保持し前記ウェーハキャリアに移した後次のウェーハを保持する前に前記汚染防止フィルムを搬送して汚染防止フィルムの新規な部分を引き出してその新規な部分を介して前記次のウェーハを保持することを特徴とする。
【００１０】
このウェーハの保持機構およびウェーハの保持方法においては、ウェーハはいつも汚染防止フィルムの新規な部分を介して把持されるので、ウェーハ表面の汚染やキズの発生が低減される。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るウェーハの保持機構およびウェーハの保持方法の好適な実施形態を図１および図２を参照して説明する。
【００１２】
ウェーハの保持機構１は、ウェーハ２を保持する保持部３と、その保持部３と前記ウェーハ２との間に挟持されかつ前記ウェーハ２が保持されていないときに搬送可能な汚染防止フィルム４と、その汚染防止フィルム４を搬送する搬送機構部５とを備えている。
【００１３】
保持部３は、ウェーハ２の周端部２ａの両面を把持し、汚染防止フィルム４のガイドローラーの役割も担う一対のウェーハ押さえ部材３ａ，３ｂと、そのウェーハ押さえ部材３ａ，３ｂより上方に配置してウェーハを把持する際の衝撃を和らげるための補助押さえ部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄと、そのウェーハ押さえ部材３ａ，３ｂを先端に有するハンドラーアーム１１ａ、１１ｂと、該ハンドラーアームの開閉を行うアーム駆動機構１２とを有している。このアーム駆動機構１２は例えばソレノイドや空気シリンダーである。
搬送機構部５は、保持部３を経由した汚染防止フィルム４を図示しない回転駆動により回転して巻き取っていくフィルム巻取ローラー５ａと、汚染防止フィルム４が巻き取られるのに伴って巻回していた汚染防止フィルム４が引き出されかつ該汚染防止フィルム４を前記保持部３に供給する新規フィルム送りローラー５ｂとを有する。
また、一対のウェーハ押さえ部材３ａおよび３ｂの間に位置した汚染防止フィルム４の一部に圧接して該汚染防止フィルムに張力を付与する張力付与ローラー６を備えている。
【００１４】
次に、上記のウェーハの保持機構の作用および効果について説明する。
まず、図２（ａ）に示したように、ウェーハの保持機構１を、ハンドラーアーム１１ａ、１１ｂが開いた状態で、図示しない移動機構により下方に移動してウェーハキャリーに収納されたウェーハの所定の位置に接近させる。このとき、汚染防止フィルムは新規な部分が引き出された状態である。
【００１５】
次に、図２（ｂ）に示したように、アーム駆動機構を作動してハンドラーアーム１１ａ、１１ｂを閉じ、ウェーハ押さえ部材３ａ，３ｂが汚染防止フィルムの新規な部分を介してウェーハを把持する。この場合、ウェーハ押さえ部材３ａ，３ｂは直接ウェーハ面に接触するのでなく、クリスタルラバー（ニチアス製）、バイトン（デュポン製）、あるいはベルクリン（カネボウ製）の汚染防止フィルムを介するので、ウェーハの保持部分に汚れや異物の付着等が発生しにくくそのためウェーハ表面は汚れやキズを受けることが低減される。汚染防止フィルムは、ポリプロピレン、ポリエチレン、あるいはポリスチレン製のものでもよい。
また、張力付与ローラー６が汚染防止フィルム４に圧接して張力を付与しているので汚染防止フィルム４は弛まない。従って、汚染防止フィルム４は、ウェーハ押さえ部材３ａ，３ｂおよび補助押さえ部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ近傍を除いてはウェーハに接触しない。よって、汚染やキズが発生しやすい箇所が低減されている。
さらに、ハンドラーアーム１１ａ、１１ｂの間に設けられたバネ１３，１３およびウェーハを押さえる際にウェーハに対して弾性力が作用する補助押さえ部材１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄにより、ウェーハを把持する際の衝撃が緩和される。
【００１６】
そして、図示しない移動機構によりウェーハの保持機構をウェーハキャリアの所定位置まで移動し、アーム駆動機構によりハンドラーアーム１１ａ、１１ｂを開いて把持していたウェーハをウェーハキャリアに収納する。
次いで、図２（ｃ）に示したように、図示しない回転駆動によりフィルム巻取ローラー５ａを回転して使用した汚染防止フィルム４を巻き取っていくと、それに伴って新規フィルム送りローラー５ｂに巻回していた汚染防止フィルムの新規な部分が引き出されて保持部３に供給される。そして、次のウェーハは、汚染防止フィルムの新規な部分を介してウェーハ押さえ部材３ａ，３ｂにより把持される。
【００１７】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明に係るウェーハの保持機構およびウェーハの保持方法によれば、ウェーハの保持部分に発生する汚れや異物の付着等によるウェーハ表面の汚れやキズの発生が低減されるという効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るウェーハの保持機構の実施形態を示す概略斜視図である。
【図２】  図１で示したウェーハの保持機構の動作を示す概略工程図である。（ａ）ウェーハの保持機構がウェーハに接近する段階を示す図である。（ｂ）ウェーハの保持機構がウェーハを把持する段階を示す図である。（ｃ）汚染防止フィルムの新規な部分が引き出される段階を示す図である。
【符号の説明】
１  ウェーハの保持機構
２  ウェーハ
２ａ  周端部
３  保持部
３ａ，３ｂ  ウェーハ押さえ部材
４  汚染防止フィルム
５  搬送機構部
５ａ  フィルム巻取ローラー
５ｂ  新規フィルム送りローラー
１１ａ，１１ｂ  ハンドラーアーム
１２  アーム駆動機構
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ  補助押さえ部材
【図１】
0003800882.tif 000002
【図２】
0003800882.tif 000003