(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージまたは鏡筒を上下動させて焦準駆動を行う焦準機構を備えた顕微鏡において、
前記焦準機構の直線移動方向に対して平行で、かつ焦準機構の駆動部と固定部との間に着脱自在にコイルばねを配設してなることを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】
前記コイルばねを伸縮可能な保持部材により一体化させたバネユニットで構成したことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
【請求項３】
コイルばねを、前記焦準機構の外部から着脱可能に配設してなることを特徴とする請求項１または２記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記コイルバネによるばね力を前記焦準機構の外部から調整するばね力調整手段を有することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、焦準機構の内部に、ステージまたは鏡筒の重量バランスをとるためのバランスバネを備えた顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近の半導体素子の製造においては、１枚のウェハからチップＩＣ等を生産するために、大型ウェハを用いて生産性の向上を図っている。また、今後もウェハのより大型化が進行することは確実であり、それに伴った顕微鏡ステージの大型化も必須である。さらに、ステージを上下させるための焦準機構も、その重量に耐え得るものが必要となってくる。
【０００３】
従来、このような用途に使用可能な顕微鏡として、特開平３−２４５１１３号公報の技術が開示されている。この顕微鏡を図２５により説明する。
図において、下面に滑動防止、振動吸収用のゴム脚２０１を複数個付設したベース２０２上に他の鏡基構成部材と光学的装置とを載置している。ベース２０２上には側面視Ｌ字状のアーム２０３を設け、アーム２０３の頭部には中間鏡筒２０５を介して双眼検鏡部２０６を設けるとともに、光源からの光を観察に適した状態にして標本に送るためのランプハウス２０７を設けている。さらにアーム２０３のステージ側には、対物レンズ２０８を取りつけたレボルバー２０９を設けている。
【０００４】
一方、ベース２０２には焦準装置２０４を設けるとともに、この焦準装置２０４により標本２１１をを載置するステージ１２０を対物レンズ２０８との距離を調整するために上下動させるようにしている。なお、アーム２０３に取りつけられた対物レンズ２０８の光軸位置ｍからアーム起立部内側面２０３ａ迄の長さＬ1 を、ふところ長さといい、ベース２０２上面からレボルバー２０９下面の対物レンズ２０８取りつけ位置までの長さＬ2 を、対物レンズ胴付高さという。この顕微鏡では、アーム２０３と焦準装置２０４とはベース２０２に対して着脱自在に構成してあり、アーム２０２についてはふところ長さＬ1 の異なるもの、およびまたは対物レンズ胴付高さＬ2 の異なるものを使用したい場合、または特殊大型対物レンズや光学測定器を使用したい場合等に別のアームに取り替え使用できるようにしてある。
【０００５】
また、標本の大きさ、重量に合わせたステージ２１０を使用したい場合は別の焦準装置２０４を使用できるようにしてある。なお、焦準装置２０４の取り替え使用の必要性は、耐荷重と剛性の異なるものを使用したいという要望によるものであり、例えば標本２１１を載置したステージ２１０の重量が直接的に焦準装置２０４の上下駆動ギヤにかからないように、ステージ２１０を押し上げる調整スプリング（バランスバネ）の力量を変えたものを使用したいような場合である。これは標本２１１とステージ２１０の重量からバランスバネの力量を差し引いた値が、通常１〜４ｋｇであることが望ましいとされているからである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の構成によれば、それぞれバランスバネの力量を変えた焦準装置を用意し、ステージの大きさおよび重量に合わせ、最適のものを選択使用することになっているが、実際には、ユーザ先での焦準装置の交換は、作業が大がかりとなり、しかも交換により以前の焦準装置は無駄となる。また、取り付け面とステージ面の互換性の保障も行わなければならないため、焦準装置および顕微鏡ベースのコストや、その場での検査作業のコストが付加され、顕微鏡自体が高価となるという問題があった。
【０００７】
一方、最近、ユーザの使用目的に応じて写真装置やビデオカメラなどのさまざまなユニットを組み合わせるシステム実体顕微鏡が用いられるようになっているが、このようなシステム実体顕微鏡においても、例えば検鏡のみのシンプルの軽い構成のシステムに合わせてバランスバネの力量を設定すると、上述のように写真装置やビデオカメラなどが組み合わせられ、システムが重くなると、バランスバネの力が不足し、焦準装置にかかる負荷を十分に軽減できなくなり、逆に、システムの組み合わせが重くなった時に合わせてバランスバネの力を設定すると、シンプルな組み合わせのシステムの場合に、バランスバネの力が強すぎて焦準装置が浮き上がってしまい、かえって不安定な状態になってピント合わせが難しくなるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、大型ステージ、特殊ステージ、治具等の積載による重量増減に応じてバランスバネの交換を容易に行うことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、ステージまたは鏡筒を上下動させて焦準駆動を行う焦準機構を備えた顕微鏡において、
前記焦準機構の直線移動方向に対して平行で、かつ焦準機構の駆動部と固定部との間に着脱自在にコイルばねを配設している。
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載において、前記コイルばねを伸縮可能な保持部材により一体化させたバネユニットで構成している。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載において、コイルばねを、前記焦準機構の外部から着脱可能に配設している。
【００１１】
請求項４記載の発明は、請求項１記載において、前記コイルバネによるばね力を前記焦準機構の外部から調整するばね力調整手段を有している。
この結果、本発明によれば、コイルバネを焦準機構の駆動部と固定部との間に着脱自在に構設したことにより、焦準機構からのコイルバネの取り出し、および焦準機構への装着が容易となる。
【００１２】
また、コイルバネを伸縮可能な保持部材により一体化させたバネユニットで構成したことにより、コイルバネの交換がさらに容易になり、狭い空間での着脱が可能となる。
【００１３】
コイルバネを保持部材により保持したことにより、コイルバネの座屈を防ぎ、伸縮運動が円滑となる。
コイルバネを焦準機構の外部から着脱可能にすることで、焦準機構を分解することなく、コイルバネを容易に交換できる。
ばね力調整手段を設けることにより、コイルバネの力量を最適状態に簡単に調整できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
（第１の実施の形態）
図１〜図２は発明の第１の実施の形態を示し、図１はステージ上下動型の顕微鏡の側面部分断面図、図２はバネユニットの縦断面図である。
【００１５】
図１において、顕微鏡本体１には、案内５を介して焦準台３が上下動自在に装着されており、この駆動部としての焦準台３の上面には、ステージ２が着脱自在に取着されている。焦準台３には、顕微鏡本体１に対して上下動自在に駆動されるためのラック６が取着され、顕微鏡本体１側には、ラック６と噛合する位置にピニオン７が配設されている。ピニオン７には、顕微鏡本体１の外側の位置にハンドル８が取着されている。焦準台３とステージ２とは、六角穴付ボルトで互いに締着されるか、または、蟻によって側面から容易に着脱できる構造となっている。さらに、焦準台３には、上下に伸縮自在なバネユニット４が、ステージ２を取り外すことにより着脱できるように配設され、その下端は顕微鏡本体１に立設された焦準機構の固定部としてのボス１２に当接し、ステージ２を上方に弾発力にて付勢している。なお、顕微鏡本体１、ステージ２、焦準台３、バネユニット４、案内５、ラック６、ピニオン７およびハンドル８により焦準機構を構成している。
【００１６】
図２（ａ）に示すように、バネユニット４は、筒状上枠９と筒状下枠１０との間に圧縮コイルバネ１１を装備長Ｌ3 となるように挟持している。上枠９の内径面にはメネジ９ａを、下枠１０の外径面にはオネジ１０ａを螺刻しておき、内部に圧縮コイルバネ１１を挿入してからメネジ９ａとオネジ１０ａとを互いに螺合させて、ねじ込んで螺合を外すことにより、圧縮コイルバネ１１の適正な装備力量と装備長Ｌ3 を確保するように構成されている。また、バネユニット４の装備長Ｌ３は、ステージ２を外した状態で上方より焦準台３の貫通孔３ａ内で装填できるように顕微鏡本体１のふところ高さＨ（図１参照）より小さく設定されている。なお、バネユニット４は、図２（ｂ）（ｃ）に示すように、伸縮量Ｌ4 を確保している。
【００１７】
次に、このように構成したステージ上下動型の顕微鏡の作用を説明する。
この場合、ハンドル８を回転させることにより、同軸上にあるピニオン７が回転し、ピニオン７と噛合しているラック６を介して案内５に沿って、焦準台３が上下動し、焦準駆動を行うことができる。このとき、ラック６およびピニオン７に加わるステ−ジ２および焦準台３の荷重を、圧縮コイルバネ１１の弾発力で軽減している。ステージ２の交換により、重量が変わった場合には、これに適合する力量の圧縮コイルバネ１１を装填したバネユニット４に交換する必要があるが、バネユニット４の装備長Ｌは、顕微鏡本体１のふところ高さＨより小さいため、ステージ２を取り外した状態のまま、従前のバネユニット４を焦準台３から垂直に引き上げ、新しいバネユニットを真上から焦準台３の貫通孔３ａ内に挿入することができる。
【００１８】
従って、このような第１の実施の形態によれば、バネユニット４の装備長Ｌを顕微鏡のふところ高さＨよりも短く保っているので、ステージ２を取り外すのみにて、異なった力量のバネユニットの交換が、焦準装置を取り外したり、顕微鏡本体１を逆さにしなくても作業することができる。これにより、交換作業が短時間に行え、メンテナンス性に優れ、作業スペースも少なくて済む。また、焦準装置を取り外すことがないので、焦準装置の互換性や取り付け後のチェックが不要で、コスト的にも有利である。このバネユニット４は、ステージ２の動作重心位置もしくはその近傍に配置させることが望ましい。
（第２の実施の形態）
図３は、発明の第２の実施の形態を示し、ステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図である。この第２の実施の形態は、第１の実施の形態と基本構成が同一のため、異なる部分のみ説明し、同一部分には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００１９】
図３において、顕微鏡本体１に立設されたボス１３の上面には、バネユニット４の下枠１０と嵌合する受け穴１３ａを穿設している。また、焦準台３のバネユニット４を装備する貫通孔３ａの下部には、ボス１３と干渉しないように逃げ３ｂを設けている。その他の構成は第１の実施の形態と同一である。
【００２０】
次に、このように構成したステージ上下動型の顕微鏡の作用について説明する。この場合、バネユニット４の上枠９は貫通穴３ａに嵌合し軸心が固定され、かつ下枠１０も受け穴１３ａに嵌合し軸心が固定されるため、カウンターバネ１１による下枠１０のずれがなくなり、バネユニット４は確実な伸縮運動をすることができる。
【００２１】
従って、このような第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態の効果を損なうことなく、さらに精度のよい焦準機構にすることができる。
（第３の実施の形態）
図４は、発明の第３の実施の形態を示し、各種のバネユニットの半断面図である。この第３の実施の形態は、第１および第２の実施の形態と基本構成が同一であり、バネユニットのみが異なるため、その部分のみ説明し、他の部分の図と説明を省略する。
【００２２】
この場合、第３の実施の形態におけるバネユニットは、ユニットを構成する枠を圧縮コイルバネの内径内に配置したものである。図４（ａ）に示すバネユニット２１は、圧縮コイルバネ１１に上枠２４と下枠２５とが挿通され、上枠２４の上端部２４ａと、下枠２５の下端部２５ａとは、圧縮コイルバネ１１の外径より大きい外径に形成され、圧縮コイルバネ１１の両端を支持するようになっている。上枠２４と下枠２５との連結は、圧縮コイルバネ１１に上枠２４および下枠２５を挿通後、上枠２４の内径面に螺刻されたメネジ２４ｂと、下枠２５の外径面に螺刻されたオネジ２５ｂとを螺合させ、さらにねじ込んで螺合を外すことにより行う。バネユニット２１の装備力量および装備長は、メネジ２４ｂとオネジ２５ｂとがねじ込んで螺合が外れた位置により決められる。
【００２３】
図４（ｂ）に示すバネユニット２２は、圧縮コイルバネ１１に上枠２６と下枠２７とが挿通され、上枠２６の上端部２６ａと、下枠２７の下端部２７ａとは、圧縮コイルバネ１１の外径より大きい外径に形成され、圧縮コイルバネ１１の両端を支持するようになっている。上枠２６の軸２６ｂは、下枠２７の貫通孔２７ｂと嵌合し、上枠２６の下端に螺合するナット２８によって、バネユニット２２の装備力量および装備長が規制されている。
【００２４】
図４（ｃ）に示すバネユニット２３は、圧縮コイルバネ１１に上枠２９と下枠３０とが挿通され、上枠２９の上端部２９ａと、下枠３０の下端部３０ａとは、圧縮コイルバネ１１の外径より大きい外径に形成され、圧縮コイルバネ１１の両端を支持するようになっている。上枠２９の軸２９ｂは、下枠３０の貫通孔３０ｂと嵌合し、軸２９ｂに打ち込んだピン３１と下枠３０に形成されたガイド溝３０ｃの上端とにより、バネユニット２３の装備力量および装備長が規制されている。
【００２５】
バネユニット２１、２２および２３は、上述した第１の実施の形態の図１におけるバネユニット４に替えて、装着することが可能である。また、バネユニット２１、２２および２３は、上述した第２の実施の形態の図３におけるバネユニット４に替えて、装着することが可能である。ただし、バネユニット２２の場合は、顕微鏡本体１のボス１３の中心に、ナット２８の外径より大きい逃げ穴を穿設する必要がある。
【００２６】
従って、このような第３の実施の形態によれば、第１または第２の実施の形態の効果に加え、枠部材を圧縮コイルバネの内径内に挿通する構成にしたことにより、径方向にコンパクトとなり、設計の自由度を増すことができる。
（第４の実施の形態）
図５〜図６は、発明の第４の実施の形態を示し、図５は鏡筒上下動型の顕微鏡の側面部分断面図、図６は中間鏡筒を装着した鏡筒上下動型の顕微鏡の側面部分断面図である。
【００２７】
図５において、架台４０には支持部を介して固定台４１が取着されており、固定台４１には案内４２を介して焦準台４３が上下動自在に装着されている。駆動分としての焦準台４３の光軸上には、下部に対物レンズ４４、上部に鏡筒４５が装着されている。また、焦準台４３には、ラック４６が取着され、固定台４１には、ラック４６と噛合するピニオン４７が配設されている。ピニオン４７は、図示を省略したハンドルに連結され、このハンドルを回転することにより、ピニオン４７がラック４６を上下動させ、焦準駆動を行うことができる。固定台４１と焦準台４３との間には、発明の実施の形態１で用いたバネユニット４が固定台４１の後方より着脱可能に装着されている。固定台４１の裏面４１ａには、フタ４８が取着されており、バネユニット４を着脱するときには、このフタ４８を取り外して行う。なお、バネユニット４に替えて、上述した第３の実施の形態で示したバネユニット２１、２２、２３を用いてもよい。ただし、バネユニット２２を用いる場合は、固定台４１または焦準台４３にナット２８の外径より大きな逃げ穴を穿設する必要がある。
【００２８】
次に、このように構成した鏡筒上下動型の顕微鏡の作用について説明する。この場合、図示を省略したハンドルを回転させると、ピニオン４７が回転し、ラック４６を介して案内４２に沿って焦準台４３が上下に移動し、焦準駆動を行う。バネユニット４は、ラック４６およびピニオン４７に加わる焦準台４３、対物レンズ４４および鏡筒４５の荷重ばね力により軽減している。図６に示すように、焦準台４３と鏡筒４５との間に中間鏡筒４９を装着する場合や、鏡筒４５の光軸上に写真ユニット（図示省略）を装着する場合には、ラック４６およびピニオン４７にかかる荷重を軽減するために、フタ４８を取り外して、従前のバネユニット４を取り出し、中間鏡筒４９や写真ユニット（図示省略）により増加した荷重に適合した力量のバネユニット４に交換する。荷重が軽減した場合でも同様である。また、バネユニット２１、２２、２３を用いる場合も同様である。
【００２９】
従って、このような第４の実施の形態によれば、上述した第１乃至第３の実施の形態の効果に加え、ステージ上下型の顕微鏡に限らず、中間鏡筒など多くのシステムユニットを交換するようにシステム設計された鏡筒上下動型の顕微鏡に適用することにより、バネユニット交換による焦準駆動の精度を保障することができる。従って、システム性およびメンテナンス性に優れた顕微鏡にすることができる。
（第５の実施の形態）
図７〜図８は、発明の第５の実施の形態を示し、図７はステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図、図８はバネユニットの断面図である。この第５の実施の形態は、第１の実施の形態と基本構成が同一のため、異なる部分のみ説明し、同一部分には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００３０】
この場合、第５の実施の形態は、上述した第１乃至第４の実施の形態にて説明した圧縮コイルバネに替えて、引張りコイルバネを用いてバネユニットを構成したものである。図７において、顕微鏡本体１のベース部５の上部には、焦準機構の固定部としての突起部５１ａが形成され、フック５２が固着されている。また焦準機構部の駆動部としての焦準台５３の下部にも、突起部５３ａが形成され、フック５２の直下の位置にフック５４が固着されている。このフック５２、５４の間に、バネユニット５５が張架されている。顕微鏡本体１のベース部５側面には、引張りバネユニット５５を交換するための開口部（図示省略）が形成されており、この開口部は着脱自在なフタ（図示省略）で隠蔽されている。
【００３１】
図８（ａ）に示すように、バネユニット５５は、上枠５６と下枠５７との間にバランスバネたる引張りコイルバネ５８を内蔵し、このコイルバネ５８の上端５８ａにはフック５８ｂ、下端５８ｃにはフック５８ｄを形成している。上枠５６、下枠５７は円筒状に形成され、下枠５７の内径に引張りコイルバネ５８を挿入して、下端５８ｃを固着してから、下枠５７に上枠５６を嵌合させ、上枠５７に引張りバネ５８の上端面５８ａを固着する。なお、上枠５６、下枠５７の有底面中央に挿通孔５６ａ、５７ａを設け、引張りコイルバネ５８のフック５８ａ、５８ｄが挿通できるようになっている。下枠５７の外径面には、オネジが螺刻され、上枠５６の内径より大きい外径のナット５９を螺合させることにより、引張りコイルバネ５８が装備力量を保持して装備長Ｌ5 より収縮しないように規制している。また、バネユニット５５の装備長Ｌ5 は、ベース部５１のフック５２と焦準台５３のフック５４との間の最短距離（ステージ２が最も上昇した位置）Ｈ1 （図７参照）より若干短く設定されている。なお、バネユニット５５は、図８（ｂ）（ｃ）に示すように、伸縮量Ｌ61を確保して、バネユニット５５をフック５２、５４に装着した場合、ステージ２の下降ができるようになっている。
【００３２】
次に、このように構成したステージ上下動型の顕微鏡の作用について説明する。この場合、ハンドル８を回転させることにより、同軸上にあるピニオン７が回転し、ピニオン７と噛合しているラック６を介して案内５に沿って、ステージ２および焦準台５３が上下動し、焦準駆動を行うことができる。このとき、ラック６およびピニオン７に加わるステ−ジ２および焦準台５３の荷重を、バネユニット５５内の引張りコイルバネ５８のばね力で軽減している。ステージ２の交換により、重量が変わった場合には、これに適合する力量の引張りバネユニット５５に交換する必要があるが、ベース部５１の側面に形成された開口部（図示省略）のフタ（図示省略）を取り外し、新しい荷重に適合した力量のバネユニット５５を取り付ける。
【００３３】
従って、このような第５の実施の形態によれば、上述した第１の実施の形態と同様の効果に加え、バランスバネとして引張りコイルバネ５８を用いたため、バネの座屈を心配することなく、長いバネにして、装備力量と最大力量との差を減少させることができる。また、ステージ２を取り外さずに着脱できるため、ステージ上面に治具を乗せる場合には、作業が簡単でメンテナンス性に優れる。
【００３４】
なお、この第５の実施の形態では、バネユニット５５は、引張りコイルバネ５８の端と上枠および下枠とを固着しているが、フック５８ｂ、５８ｄが挿通孔５６ａ、５７ａより抜けないか、または抜けても支障が無い場合は固着せずともよい。
（第６の実施の形態）
図９は、発明の第６の実施の形態を示し、ステージとバネユニットとを一体化した縦断面図である。
【００３５】
この第６の実施の形態は、第１乃至第３の実施の形態の変形例に該当する。図９において、ステージ上下動型の顕微鏡のステージ２Ａの下面とバネユニット４Ａの上枠９の上面とは固着されている。すなわち、ステージ２Ａの重量に適合した力量のバネユニット４Ａを予め選んでユニットにしている。バネユニット４Ａの構造は、第１の実施の形態で説明したバネユニット４と同一のものである。これにより、ステージ２Ａの交換と同時に、焦準機構の重量バランスを適正なものにする。その他の構成および作用は、第１乃至第３の実施の形態と同様である。
【００３６】
従って、このような第６の実施の形態によれば、上述した第１乃至第３の実施の形態の効果に加え、ステージの重量に適合した力量のバネユニットを予め選んでユニットにしておくことにより、適合しないバネユニットを間違えて装着することを回避することができる。また、ステージ下面のどこにでも、バネユニットを固着できるので、スペース的に焦準機構内部にバネユニットを装備できない場合でも、外部に取り出すことができ、作業性および拡張性に優れている。
（第７の実施の形態）
図１０〜図１１は、発明の第７の実施の形態を示し、図１０はステージ上下動型の顕微鏡の焦準装置の側面部分断面図、図１１はバランスバネとガイド軸とバネ受けとの寸法関係を示す説明図である。この第７の実施の形態は、第１の実施の形態と基本構成が同一であり、焦準機構の一部の異なる部分のみ説明し、同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００３７】
図１０において、顕微鏡本体１には、案内５を介して焦準台６３が上下動自在に装着されており、焦準台６３の上面には、ステージ２が着脱自在に取着されているとともに、メネジ６３ａおよび貫通孔６３ｂが穿設され、筒状のバネ受け６４が螺合している。さらに、顕微鏡本体１のベース部６１を構成する底面６１ａには、メネジ６１ｂが穿設され、ガイド軸６２が下方より着脱自在に螺合している。ガイド軸６２には、バランスバネとして上下に伸縮自在な圧縮コイルバネ６５が装着され、ステージ２およびバネ受け６４を取り外すか、またはガイド軸６２を取り外すことにより着脱できるようになっている。圧縮コイルバネ６５は、ガイド軸６２の段差部６２ａと、バネ受け６４の底面６４ａとによって挟持され、ステージ２および焦準台６３を上方に圧縮コイルバネ６５のばね力にて付勢し、ラック６およびピニオン７にかかる荷重を軽減している。なお、顕微鏡本体１のベース６１、ガイド軸６２、ステージ２、焦準台６３、バネ受け６４、圧縮コイルバネ６５、案内５、ラック６、ピニオン７およびハンドル８により焦準機構を構成している。また、圧縮コイルバネ６５、ガイド軸６２、バネ受け６４によりバネットユニットを構成している。
【００３８】
図１１は圧縮コイルバネ６５とガイド軸６２とバネ受け６４との寸法関係を表示している。図１１において、Ｄsiは圧縮コイルバネ６５の内径、Ｄa はガイド軸６２の外径、Ｄc はバネ受け６４の内径、Ｄsoは圧縮コイルバネ６５の外径を表示し、これらの間にはつぎのような寸法関係が成立している。
【００３９】
（Ｄsi−Ｄa ）＜（Ｄc −Ｄso）
次に、このように構成したステージ上下動型の顕微鏡の作用について説明する。ピニオン６とラック７とによって、焦準台６３が焦準駆動されるのに伴って圧縮コイルバネ６５が伸縮運動する際、図１０に示すように、ガイド軸６２が圧縮コイルバネ６５の内側に存在する範囲では、ガイド軸６２の外径Ｄa 、圧縮コイルバネ６５の内径Ｄsi、外径Ｄso、バネ受け６４の内径Ｄc に上記の寸法関係が成立しているため、圧縮コイルバネ６５はバネ受け６４の内壁６４ｂに接触することなく、常にガイド軸６２に沿って伸縮する。ステージ２が焦準行程の上部にあるときには圧縮コイルバネ６５が伸びており、圧縮コイルバネ６５の上部ではガイド軸６２に規制されない部分が存在するが、できる限りガイド軸６２を長くしておくことにより、圧縮コイルバネ６５の座屈をなくすことができるので、バネ受け６４の内壁６４ｂでの摩擦抵抗を最小限に抑制できる。
【００４０】
従って、このような第７の実施の形態によれば、ステージ２およびバネ受６４けまたはガイド軸６１を取り外すことにより、圧縮コイルバネ６５の交換を容易に行うことができるとともに、ガイド軸６２によって圧縮コイルバネ６５を案内するので、ラック７およびピニオン６に加わる荷重を軽減するという圧縮コイルバネ本来の機能を有効に作用させ、高精度な顕微鏡の焦準機構とすることができる。
【００４１】
なお、この第７の実施の形態では、圧縮コイルバネ６５を案内するガイド軸６２の長さは、圧縮コイルバネ６５が座屈しない程度の所定の長さを保持しているが、焦準行程が短くて済む顕微鏡にあっては、圧縮コイルバネ６５も短くて済み、座屈の心配が無いので、ガイド軸の長さを短縮したり、廃止してもよい。また、ガイド軸の外径も寸法関係を示した上記の式（Ｄsi−Ｄa ）＜（Ｄc −Ｄso）に制約されず、圧縮コイルバネ６５の位置が決まる範囲に設定してもよい。以後の発明の実施の形態においても同様である。
（第８の実施の形態）
図１２は、発明の第８の実施の形態を示し、ステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図である。この第８の実施の形態は、バランスバネとガイド軸とバネ受けとをユニット化したことに特徴があるが、第１の実施の形態と基本構成が同一であり、焦準機構の一部の異なる部分のみ説明し、同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００４２】
図１２において、顕微鏡本体１には、案内５を介して焦準台７３が上下動自在に装着されており、焦準台７３の上面には、ステージ２が着脱自在に取着されているとともに、メネジ７３ａおよび貫通孔７３ｂが穿設され、筒状のバネ受け７４が螺合している。バネ受け７４の下部筒部７４ａには、長溝７４ｂが穿設され、ピン７６が嵌合している。また、下部筒部７４ａには、筒状の外枠７５が摺動自在に嵌装され、外枠７５の上部には、ピン７６が固着されてバネ受け７４と外枠７５とが連結されている。外枠７５の内部中心には、ガイド軸７２が立設され、ガイド軸７２には、バランスバネとして圧縮コイルバネ６５が装着されている。ガイド軸７２、圧縮コイルバネ６５およびバネ受け７４の寸法関係は、第７の実施の形態と同一である。圧縮コイルバネ６５、ガイド軸７２、外枠７５、ピン７６、およびバネ受け７４によってバネユニットを構成している。また、顕微鏡本体１のベース部底面には凹部７１ａが形成され、外枠７５の下部が嵌合している。
【００４３】
次に、このように構成したステージ上下動型の顕微鏡の作用について説明する。上記バネユニットを装着するには、ステージ２を取り外し、焦準台７３の上側よりねじ込むと、外枠７５の下部が顕微鏡本体１側の凹部７１ａに嵌合し、焦準台７３を所定の装備力量で上方に付勢し、ラック６およびピニオン７にかかる荷重を軽減する。その他の作用は第７の実施の形態と同様である。
【００４４】
従って、このような第８の実施の形態によれば、第７の実施の形態の効果に加え、圧縮コイルバネをユニット化したので、非常に組み立て性がよく、圧縮コイルバネの交換が極めて容易となる。また、重量の異なるステージ２に交換する場合に、力量の異なるバネユニットを予め用意しておけば、最適のバネユニットに交換することができる。
【００４５】
（第９の実施の形態）
図１３は、発明の第９の実施の形態を示し、ステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図である。この第９の実施の形態は、バネ受けの内部にスペーサを挿入したことに特徴があるが、第７の実施の形態と基本構成が同一のため異なる部分のみ説明し、同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００４６】
図１３において、バネ受け６４の底部６４ａと圧縮コイルバネ６５の上端との間に、樹脂製のスペーサ８１を挿入している。その他の構成は、第７の実施の形態と同様である。
【００４７】
次に、このように構成したステージ上下動型の顕微鏡の作用について説明する。圧縮コイルバネ６５を組み付ける際、まずガイド軸６２を顕微鏡本体のベース部６１のメネジ６１ｂにねじ込み、つぎに圧縮コイルバネ６５を焦準台６３の貫通孔６３ｂより落とし込む。最後にバネ受け６４の底部６４ａにスペーサ８１を挿入してから、バネ受け６４を焦準台６３のメネジ６３ａにねじ込んで固定する。このとき、圧縮コイルバネ６５は使用状態にまで圧縮されていて、バネ受け６４の奥底部６４ａには圧縮コイルバネ６５の弾発力が作用している。もし、樹脂製のスペーサ８１が無ければ、この弾発力による摩擦のために、バネ受け６４のねじ込みによって圧縮コイルバネ６５が捩じれてしまい、意図する力量が確保できなかったり、焦準台６３の上下動に伴う圧縮コイルバネ６５の伸縮時に、ガイド軸６２との間に摺動抵抗が増えたりするため、焦準精度が安定しない場合がある。しかしながら、この第９の実施の形態では、バネ受け６４の底部６４ａと圧縮コイルバネ６５の上端との間に、樹脂製のスペーサ８１を挿入したことによって、圧縮コイルバネ６５に捩れが生じることなく、圧縮コイルバネ６５が滑らかにガイド軸６２に沿って伸縮する。その他の作用は、上述した第７の実施の形態と同様である。
【００４８】
従って、このような第９の実施の形態によれば、第７の実施の形態の効果に加え、圧縮コイルバネに捩れが生じることなく、圧縮コイルバネが滑らかにガイド軸に沿って伸縮するので、高精度な焦準駆動が保障される。
（第１０の実施の形態）
図１４は、発明の第１０の実施の形態を示し、ステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図である。この第１０の実施の形態は、第９の実施の形態のバネ受けの機能を、焦準台のドリル穴に替えた点に特徴があるが、第７の実施の形態と基本構成が同一のため異なる部分のみ説明し、同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００４９】
図１４において、焦準台８２には、下方よりドリル穴８３が穿設され、その奥底部８３ａには、樹脂製のスペーサ８１が装着されている。その他の構成は、第９の実施の形態と同一である。
【００５０】
次に、このように構成したステージ上下動型の顕微鏡の作用について説明する。この場合、第１０の実施の形態では、第９の実施の形態のバネ受けに替えて、焦準台８２にドリル穴８３を穿設したので、奥底部８３ａは平らにはならず、円錐状の斜面となる。もし、樹脂製のスペーサ８１がなければ、奥底部８３ａの斜面により圧縮コイルバネ６５の上端面の安定が悪く斜めに傾くために、圧縮コイルバネ６５の伸縮時に摩擦抵抗が増えてしまう。従って、樹脂製のスペーサ８１は、圧縮コイルバネ６５の上端面の安定を良くし摩擦抵抗を減少させる。この結果、第１０の実施の形態においても、第９の実施の形態と同様に圧縮コイルバネ６５が滑らかにガイド軸６２に沿って伸縮するので、高精度な焦準駆動が保障される。
【００５１】
また、圧縮コイルバネ６５を交換するには、ベース部６１のメネジ６１ｂに螺合しているガイド軸６２を取り外し、圧縮コイルバネ６５を取り出し、ステージの重量に適合する圧縮コイルバネを焦準台８２のドリル穴８３に挿入して、ガイド軸６２を再びメネジ６１ｂにねじ込む。これにより、第１０の実施の形態においても、第７の実施の形態と同様に、圧縮コイルバネの交換を容易に行うことができる。
【００５２】
従って、このような第１０の実施の形態によれば、第９の実施の形態の効果に加え、焦準機構の構造が簡単になり、部品点数の削減によるコストダウンを図ることができる。
（第１１の実施の形態）
図１５は、発明の第１１の実施の形態の概略構成を示す斜視図である。
【００５３】
図において、８５は架台で、この架台８５には、支柱部８６を直立して設け、この支柱部８６に焦準機構の固定部としての焦準本体部８７を上下動可能に設け、固定クランプ８８を締め込むことで、支柱部８６に沿った所定高さを設定できるようにしている。
【００５４】
焦準本体部８７には、コロガイド８９を介して焦準移動部９０を上下方向に移動自在に設けている。この焦準移動部９０は、焦準本体部８７に設けた焦準ハンドル９１の軸の図示しないピニオンと焦準移動部９０側の図示しないラックの働きにより上下方向の移動が可能になっている。また、焦準移動部９０は、雄アリを有し、この雄アリをズーム本体９２の雌アリに嵌合することで、一体に結合している。
【００５５】
ズーム本体９２は、ズーム光学系を内蔵するもので、鏡筒９３を丸アリにより取り付けるとともに、対物レンズ９４をねじ込みにより取り付けたもので、焦準移動部９０の焦準本体部８７に対する上下方向の移動により、対物レンズ９４と架台８５上の標本との距離を調整しピント合わせを行うようにしている。
【００５６】
固定部側の焦準本体部８７と駆動部側の焦準移動部９０との間に、焦準本体部８７に対して焦準移動部９０を押し上げるようなバネユニット９５を設けている。この場合、バネユニット９５は、第１１の実施の形態に用いられたバネユニット４と同様に圧縮コイルバネ９５１と、この圧縮コイルバネ９５１を縮めても座屈しないように、また、使用者が指などを挟まれないようにするため圧縮コイルバネ９５１を収容する伸縮可能に嵌合させた一対の筒状カバー９５２、９５３からなっている。
【００５７】
そして、このように構成したバネユニット９５は、一方の筒状カバー９５２の端部に一体に設けられた支持部９５４をビス９６１により焦準駆動部９０に、他方の筒状カバー９５３の端部に一体に設けられた支持部９５５をビス９６２により焦準本体部８７に固定することにより、焦準機構の駆動部と固定部との間に着脱可能に設けられる。
【００５８】
従って、このような第１１の実施の形態によれば、バネユニット９５は、ビス９６１、９６２により容易に着脱できるので、システムの組み合わせに応じて、強さの異なる最適なバネユニット９５を選択し、容易に交換することができる。また、最適なバネユニット９５を選択して使用できるので、焦準移動部９０側の図示しないラックを介して焦準ハンドル９１の軸の図示しないピニオンにかかる負荷を軽減し、焦準ハンドル９１のハンドル操作を軽くすることができる。
（第１２の実施の形態）
図１６、図１７は、発明の第１２の実施の形態の概略構成を示す図で、図１５と同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００５９】
この場合、焦準本体部８７と焦準移動部９０に、それぞれバネユニット９５を支持する支持部８７１、９０１を設け、これら支持部８７１、９０１の相対向する面に、図１７に示すような円錐状の溝部８７１ａ、（９０１ａ）を形成している。また、バネユニット９５は、筒状カバー９５２、９５３の端部を球面状に形成している。
【００６０】
そして、このようなバネユニット９５を焦準本体部８７と焦準移動部９０の支持部８７１、９０１の間に位置させるとともに、図１７に示すように筒状カバー９５２の球面状端部を円錐状の溝部８７１ａ、（９０１ａ）に落とし込むことで、焦準機構の駆動部と固定部との間にバネユニット９５を装着する。この場合、圧縮コイルバネ９５１により焦準本体部８７に対し焦準移動部９０を押し上げるようにしてバネユニット９５を装着する。
【００６１】
従って、このような第１２の実施の形態によれば、バネユニット９５の筒状カバー９５２、９５３の球面状端部を支持部８７１、９０１の円錐状の溝部８７１ａ、（９０１ａ）に対し着脱するのみで、工具を用いずにバネユニット９５の交換を行うことができる。
（第１３の実施の形態）
図１８、図１９は、発明の第１３の実施の形態の概略構成を示す図で、図１５と同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００６２】
この場合、焦準本体部８７と焦準移動部９０に、それぞれバネユニット９７を支持する突起状の支持部８７２、９０２を設けている。この場合、バネユニット９７は、第５の実施の形態に用いられたバネユニットと同様に引っ張りコイルバネ９７１と、使用者が指などを挟まれないようにするため引っ張りコイルバネ９７１を収容する伸縮可能に嵌合させた一対の筒状カバー９７２、９７３を有し、さらに、バネユニット９７の両端に引っ張りコイルバネ９７１のフック９７４、９７４が突出している。
【００６３】
そして、このようなバネユニット９７を焦準本体部８７と焦準移動部９０の突起状の支持部８７２、９０２の間に位置させるとともに、図１９に示すようにフック９７４を支持部８７２（９０２）に引っ掛けることで、焦準機構の駆動部と固定部との間にバネユニット９７を装着する。この場合、焦準本体部８７に対し焦準移動部９０を引き上げるようにしてバネユニット９７を装着する。
【００６４】
従って、このような第１３の実施の形態によれば、バネユニット９７のフック９７４、９７４を支持部８７２（９０２）に対して着脱するのみで、工具を用いずにバネユニット９５の交換を行うことができる。
（第１４の実施の形態）
図２０（ａ）（ｂ）は、発明の第１４の実施の形態の概略構成を示す図で、図１５と同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００６５】
この場合、焦準ハンドル９１の軸のピニオン１０１と焦準移動部９０側のラック１０２が図示されている。
また、焦点機構の固定部としての焦準本体部８７と駆動部としての焦準移動部９０との連結部分には、バネユニットを取り付けるための支持部８７ａ、９０ａが形成され、同軸線上に沿って穴部１０３と１０４を形成している。このうちの穴部１０３に、穴部１０４中に達する軸１０５をねじ込み固定し、この軸１０５にガイドにされるとともに、穴部１０４中に沿って圧縮コイルバネ１０６を挿入している。そして、焦準移動部９０の穴部１０４の開口端より押圧部材１０７を介して調整つまみ１０８をねじ込むことで、押圧部材１０７により圧縮コイルバネ１０６の圧縮量を調整し、焦準本体部８７に対する焦準移動部９０の押し上げ力が最適になるようにしている。
【００６６】
従って、このような第１４の実施の形態によれば、調整つまみ１０８をねじ込んだり緩めたりして、押圧部材１０７を穴部１０４に沿って上下動させ、圧縮コイルバネ１０６の圧縮量を変化させることで、焦準本体部８７に対する焦準移動部９０の押し上げ強さを最適状態に調整できるので、焦準移動部９０のラック１０２を介して焦準ハンドル９１の軸のピニオン１０１にかかる負荷を軽減し、焦準ハンドル９１のハンドル操作を軽くすることができる。また、押圧部材１０７の直径を調整つまみ１０８のねじ径より大きくすれば、使用者が誤って調整つまみ１０８を回し過ぎても、圧縮コイルバネ１０６が穴部１０４より飛び出すようなことも回避できる。また、軸１０５を緩めて支持部８７ａから取り外すことで、下方から圧縮コイルバネ１０６を交換することができる。
（第１５の実施の形態）
図２１（ａ）（ｂ）は、発明の第１５の実施の形態の概略構成を示す図で、図２０と同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００６７】
この場合、焦準本体部８７と焦準移動部９０の連結部分には、バネユニットを取り付けるための支持部８７ａ、９０ａが形成され、同軸線上に沿って穴部１１０と１１１を形成している。このうちの穴部１１１は、穴部１１０に対向する側のみを開口している。そして、この穴部１１１中に沿って圧縮コイルバネ１０６を挿入するとともに、穴部１１０の開口端より押圧部材１１２を有する軸１１３を圧縮コイルバネ１０６の中空部に沿って挿入し、この軸１１３により押圧部材１１２を介して圧縮コイルバネ１０６の圧縮量を調整することで、焦準本体部８７に対する焦準移動部９０の押し上げ力が最適になるようにしている。なお、１１４は、使用者が誤って軸１１３を緩め過ぎないようにするためのストッパである。
【００６８】
従って、このような第１５の実施の形態によれば、軸１１３をねじ込んだり緩めたりすることで、圧縮コイルバネ１０６の圧縮量を変化させ、焦準本体部８７に対する焦準移動部９０の押し上げ強さを最適状態に調整できるので、上述した第１４の実施の形態と同様な効果を期待できる。また、軸１１３が調整つまみを兼ねるため、部品点数を少なくできるとともに、調整つまみのための開口部を形成する必要もないので、より安価にできる。また、第１４の実施の形態と同様に、軸１１３を支持部８７ａから取り外すことで、下方から圧縮コイルバネ１０６を交換することができる。、
（第１６の実施の形態）
図２２（ａ）（ｂ）は、発明の第１６の実施の形態の概略構成を示す図で、図２０と同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００６９】
この場合、焦準機構の固定部となる焦準本体部８７と駆動部となる焦準駆動部９０の連結部には、バネユニットを取り付けるための支持部８７ｂ、９０ｂが形成され、支持部８７ｂに穴１１５を形成し、この穴１１５に調整つまみ１０８をねじ込んでいる。この調整つまみ１０８には、フック１１６を設けている。一方、焦準移動部９０の支持部９０ｂに形成されたフック１１７と調節つまみ１０８の先端に設けられたフック１１６との間に引っ張りコイルバネ１１８を張架し、調整つまみ１０８の調整により焦準本体部８７に対する焦準移動部９０を引き上げ力が最適になるようにしている。
【００７０】
従って、このような第１６の実施の形態によれば、調整つまみ１０８をねじ込んだり緩めたりして、フック１１６を上下動させ、引っ張りコイルバネ１１８の引っ張り力を最適状態に調整できるので、上述した第１４の実施の形態と同様な効果を期待できる。この場合、フック１１６を調整つまみ１０８に対して回転自在としておけば、調整つまみ１０８の回転により引っ張りコイルバネ１１８が捩じれないようにできる。
（第１７の実施の形態）
図２３（ａ）（ｂ）は、発明の第１７の実施の形態の概略構成を示す図で、図２０と同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００７１】
この場合、焦準機構の固定部としての焦準本体部８７の下部に受台１１９を形成し、この受台１１９上に第１１の実施の形態に用いられたバネユニット同様にに圧縮コイルバネ１２０を収容した一対の筒体１２１からなるバネユニットを載置している。この筒体１２１は、圧縮コイルバネ１２０の圧縮状態に応じて伸縮可能になっている。そして、一方の筒体１２１の上端に保持部材１２２を連結し、この保持部材１２２を焦準移動部９０に固定ビス１２３により固定するようにしている。この場合、保持部材１２２を固定するねじ穴１２４は、上下方向に複数箇所設けられ、これらねじ穴１２４を選択することで、圧縮コイルバネ１２０の圧縮量を調整し、焦準本体部８７に対する焦準移動部９０の押し上げ力が最適になるようにしている。
【００７２】
従って、このような第１７の実施の形態によれば、保持部材１２２の固定ビス１２３による固定位置を複数箇所設けられたねじ穴１２４を選択して決定することで圧縮コイルバネ１２０による焦準移動部９０の押し上げ強さを最適状態に調整できるので、上述した第１４の実施の形態と同様な効果を期待できる。また、このような筒体１２１に収容した圧縮コイルバネ１２０を焦準本体部８７の一部のガイド部を切欠いた谷間部分に配置することにより、焦準本体部８７内部に十分なスペースがない場合でも実現可能となり、また、ばね部分の大きさ、形状の自由度も高くできる。
（第１８の実施の形態）
図２４（ａ）（ｂ）は、発明の第１８の実施の形態の概略構成を示す図で、図２０と同一の部材には同一の符号を付し説明を省略する。
【００７３】
この場合、焦準本体部８７のと上部に受台１２５を形成し、この受台１２５にフック１２６を設けている。このフック１２６に第５の実施の形態に用いられたバネユニットと同様に引っ張りコイルバネ１２７を収容した一対の筒体１２８からなるバネユニットを吊り下げている。この筒体１２８は、引っ張りコイルバネ１２７の引っ張り状態に応じて伸縮可能になっている。そして、このバネユニット下端のフックを支持ビス１２９に係止している。この支持ビス１２９は、焦準移動部９０の上下方向に複数箇所設けられるねじ穴１３０に選択的に捩じ込まれるもので、これらねじ穴１３０を選択することで、引っ張りコイルバネ１２７の引っ張り量を調整し、焦準本体部８７に対する焦準移動部９０の押し上げ力が最適になるようにしている。
【００７４】
従って、このような第１８の実施の形態によれば、支持ビス１２９のねじ穴１３０への位置を選択して決定することで、引っ張りコイルバネ１２７による焦準移動部９０の引っ張り強さを最適状態に調整できるので、上述した第１７の実施の形態と同様な効果を期待できる。
【００７５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、コイルバネを焦準機構の駆動部と固定部との間に着脱自在に構設したことにより、焦準機構からのコイルバネの取り出し、および焦準機構への装着が容易となる。
【００７６】
コイルバネを伸縮可能な保持部材により一体化させたバネユニットで構成したことにより、コイルバネの交換がさらに容易になり、狭い空間での着脱が可能となる。
【００７７】
コイルバネを保持部材により保持したことにより、コイルバネの座屈を防ぎ、伸縮運動が円滑となる。
コイルバネを焦準機構の外部から着脱可能にすることで、焦準機構を分解することなく、コイルバネを容易に交換できる。
ばね力調整手段を設けることにより、コイルバネの力量を最適状態に簡単に調整できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】発明の第１の実施の形態のステージ上下動型の顕微鏡の側面部分断面図。
【図２】第１の実施の形態のバネユニットの縦断面図。
【図３】発明の第２の実施の形態のステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図。
【図４】発明の第３の実施の形態の各種のバネユニットの半断面図。
【図５】発明の第４の実施の形態の鏡筒上下動型の顕微鏡の側面部分断面図。
【図６】第４の実施の形態の中間鏡筒を装着した鏡筒上下動型の顕微鏡の側面部分断面図。
【図７】発明の第５の実施の形態のステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図。
【図８】第５の実施の形態の引張りバネユニットの断面図。
【図９】発明の第６の実施の形態のステージとバネユニットとを一体化した縦断面図。
【図１０】発明の第７の実施の形態のステージ上下動型の顕微鏡の焦準装置の側面部分断面図。
【図１１】第７の実施の形態の圧縮コイルバネとガイド軸とバネ受けとの寸法関係を示す説明図。
【図１２】発明の第８の実施の形態のステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図。
【図１３】発明の第９の実施の形態のステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図。
【図１４】発明の第１０の実施の形態のステージ上下動型の顕微鏡の焦準機構の側面部分断面図。
【図１５】本発明の第１１の実施の形態の概略構成を示す斜視図。
【図１６】本発明の第１２の実施の形態の概略構成を示す斜視図。
【図１７】第１２の実施の形態の要部を拡大して示す図。
【図１８】本発明の第１３の実施の形態の概略構成を示す斜視図。
【図１９】第１３の実施の形態の要部を拡大して示す図。
【図２０】本発明の第１４の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２１】本発明の第１５の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２２】本発明の第１６の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２３】本発明の第１７の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２４】本発明の第１８の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２５】従来技術の顕微鏡を示す側面図。
【符号の説明】
１…顕微鏡本体、
２…ステージ、
３…焦準台、
４…バネユニット、
５…案内、
６…ラック、
７…ピニオン、
８…ハンドル、
８５…架台、
８６…支柱部、
８７…焦準本体部、
８８…固定クランプ、
８９…コロガイド、
９０…焦準移動部、
９１…焦準ハンドル、
９２…ズーム本体、
９３…鏡筒、
９４…対物レンズ、
９５…バネユニット、
９５１…圧縮コイルバネ、
９５２…筒状カバー、
９６１、９６２…ビス、
８７１、９０１、８７２、９０２…支持部、
９７…バネユニット、
１０１…ピニオン、
１０２…ラック、
１０３、１０４…穴部、
１０５…軸、
１０６…圧縮コイルバネ、
１０７…押圧部材、
１０８…調整つまみ、
１１０、１１１…穴部、
１１２…押圧部材、
１１３…軸、
１１４…ストッパ、
１１５…穴、
１１６…フック、
１１７…突起、
１１８…引っ張りコイルバネ、
１１９…受台、
１２０…圧縮コイルバネ、
１２１…筒体、
１２２…保持部材、
１２３…固定ビス、
１２４…ねじ穴、
１２５…受台、
１２６…フック、
１２７…引っ張りコイルバネ、
１２８…筒体、
１２９…支持ビス、
１３０…ねじ穴。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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