(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって前記一方の端面に前記複数の光ファイバの端部が行列状に配置されると共に前記一方の端面から前記複数の光ファイバの端部が突出しており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、前記複数の光ファイバにそれぞれ対応し且つ各々角部を有する複数の位置決め孔が各々の角部の向きを同じにして行列状に形成されると共に該複数の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された位置決め板とを用意するステップと、
前記一方の端面側に前記位置決め板を配置して前記複数の光ファイバの端部を前記複数の位置決め孔にそれぞれ挿通するステップと、
前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の位置決め孔の角部に位置決めするステップと、
前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の位置決め孔の角部に位置決めした状態で前記位置決め板を前記一方の端面に接着するステップと
を含む光ファイバ位置決め方法。
【請求項２】
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって、前記一方の端面に前記複数の光ファイバの端部が行列状に配置されると共に前記一方の端面から前記複数の光ファイバの端部が突出しており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、
前記複数の光ファイバにそれぞれ対応し且つ各々角部を有する複数の位置決め孔が各々の角部の向きを同じにして行列状に形成されると共に該複数の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された位置決め板であって、前記一方の端面側にて前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の位置決め孔に挿通した状態で前記一方の端面に接着されたものと、
前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の位置決め孔の角部に位置決めした状態で前記複数の光ファイバを前記位置決め板に固定する固定手段と
を備えた２次元光ファイバアレイ。
【請求項３】
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって前記一方の端面に前記複数の光ファイバの端部が行列状に配置されると共に前記一方の端面から前記複数の光ファイバの端部が突出しており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、前記複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で行列状に形成された第１の位置決め板と、前記複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第２の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で行列状に形成された第２の位置決め板とを用意するステップと、
前記第１の位置決め板を前記一方の端面側に配置して前記複数の光ファイバの端部を前記複数の第１の位置決め孔にそれぞれ挿通するステップと、
前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板を介して前記一方の端面側に配置して前記複数の光ファイバの端部を前記複数の第２の位置決め孔にそれぞれ挿通するステップと、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に該光ファイバを挿通した第１及び第２の位置決め孔で該光ファイバの端部を挟むことにより前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めするステップと、
前記複数の光ファイバの端部を前記複数の第１の位置決め孔にそれぞれ挿通した状態又は前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めした状態で前記第１の位置決め板を前記一方の端面に接着するステップと、
前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めした状態で前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板に接着するステップと
を含む光ファイバ位置決め方法。
【請求項４】
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって、前記一方の端面に前記複数の光ファイバの端部が行列状に配置されると共に前記一方の端面から前記複数の光ファイバの端部が突出しており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、
前記複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で行列状に形成された第１の位置決め板であって、前記一方の端面側にて前記複数の光ファイバの端部がそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔に挿通されたものと、
前記複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第２の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で行列状に形成された第２の位置決め板であって、前記第１の位置決め板を介して前記一方の端面に配置された状態で前記複数の光ファイバの端部がそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔に挿通されたものとを備え、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に該光ファイバを挿通した第１及び第２の位置決め孔で該光ファイバの端部を挟むことにより前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めした状態で前記第１の位置決め板を前記一方の端面に、前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板にそれぞれ接着した２次元光ファイバアレイ。
【請求項５】
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって前記一方の端面にて前記複数の光ファイバの端部が複数行及び複数列からなる行列をなし且つ前記一方の端面から突出するように配置されており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、前記複数行（又は前記複数列）にそれぞれ対応した複数の細長い第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された第１の位置決め板であって各第１の位置決め孔毎に対応する行（又は列）の複数の光ファイバをそれぞれ位置決めするための複数の第１の係止部が該第１の位置決め孔の長手方向に沿う一方側に並設されたものと、前記複数行（又は前記複数列）にそれぞれ対応した複数の細長い第２の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された第２の位置決め板であって各第２の位置決め孔毎に対応する行（又は列）の複数の光ファイバを位置決めするための複数の第２の係止部が該第２の位置決め孔の長手方向に沿う他方側に並設されたものとを用意するステップと、
前記第１の位置決め板を前記一方の端面側に配置して各第１の位置決め孔に対して対応する行（又は列）の複数の光ファイバの端部を挿通するステップと、
前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板を介して前記一方の端面側に配置して各第２の位置決め孔に対して対応する行（又は列）の複数の光ファイバの端部を挿通するステップと、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に対応する第１及び第２の係止部で該光ファイバの端部を挟んで位置決めするステップと、
各第１の位置決め孔に対して対応する行（又は列）の複数の光ファイバの端部を挿通した状態又は各光ファイバ毎に対応する第１及び第２の係止部で該光ファイバの端部を挟んで位置決めした状態で前記第１の位置決め板を前記一方の端面に接着するステップと、
各光ファイバ毎に対応する第１及び第２の係止部で該光ファイバの端部を挟んで位置決めした状態で前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板に接着するステップと
を含む光ファイバ位置決め方法。
【請求項６】
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって、前記一方の端面にて前記複数の光ファイバの端部が複数行及び複数列からなる行列をなし且つ前記一方の端面から突出するように配置されており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、
前記複数行（又は複数列）にそれぞれ対応した複数の細長い第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された第１の位置決め板であって、各第１の位置決め孔毎に対応する行（又は列）の複数の光ファイバをそれぞれ位置決めするための複数の第１の係止部が該第１の位置決め孔の長手方向に沿う一方側に並設され、前記一方の端面側にて各第１の位置決め孔に対して対応する行（又は列）の複数の光ファイバの端部が挿通されたものと、
前記複数行（又は前記複数列）にそれぞれ対応した複数の細長い第２の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された第２の位置決め板であって、各第２の位置決め孔毎に対応する行（又は列）の複数の光ファイバをそれぞれ位置決めするための複数の第２の係止部が該第２の位置決め孔の長手方向に沿う他方側に並設され、前記第１の位置決め板を介して前記一方の端面側に配置された状態で各第２の位置決め孔に対して対応する行（又は列）の複数の光ファイバの端部が挿通されたものとを備え、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に対応する第１及び第２の係止部で該光ファイバの端部を挟んで位置決めした状態で前記第１の位置決め板を前記一方の端面に、前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板にそれぞれ接着した２次元光ファイバアレイ。
【請求項７】
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって前記一方の端面にて前記複数の光ファイバの端部が複数行及び複数列からなる行列をなし且つ前記一方の端面から突出するように配置されており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、前記複数行にそれぞれ対応する複数の第１の位置決め板であっていずれも対応する行の複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成されたものと、前記複数列にそれぞれ対応する複数の第２の位置決め板であっていずれも対応する列の複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第２の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成されたものとを用意するステップと、
前記複数の第１の位置決め板を前記一方の端面側に配置して各第１の位置決め板毎に対応する行の複数の光ファイバの端部を前記複数の第１の位置決め孔にそれぞれ挿通するステップと、
前記複数の第２の位置決め板を前記複数の第１の位置決め板を介して前記一方の端面側に配置して各第２の位置決め板毎に対応する列の複数の光ファイバの端部を前記複数の第２の位置決め孔にそれぞれ挿通するステップと、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に該光ファイバを挿通した第１及び第２の位置決め孔で該光ファイバの端部を挟むことにより各第１の位置決め板毎に前記複数の第１の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に各第２の位置決め板毎に前記複数の第２の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めするステップと、
各第１の位置決め板毎に前記複数の第１の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に各第２の位置決め板毎に前記複数の第２の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めした状態で前記複数の第１の位置決め板を前記一方の端面に、前記複数の第２の位置決め板を前記複数の第１の位置決め板にそれぞれ接着するステップと
を含む光ファイバ位置決め方法。
【請求項８】
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって、前記一方の端面にて前記複数の光ファイバの端部が複数行及び複数列からなる行列をなし且つ前記一方の端面から突出するように配置されており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、
前記複数行にそれぞれ対応する複数の第１の位置決め板であって、いずれも対応する行の複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成されると共に前記一方の端面側にて対応する行の複数の光ファイバの端部がそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔に挿通されたものと、
前記複数列にそれぞれ対応する複数の第２の位置決め板であって、いずれも対応する列の複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第２位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成されており、前記複数の第２の位置決め板が前記複数の第１の位置決め板を介して前記一方の端面に配置された状態で各第２の位置決め板には対応する列の複数の光ファイバの端部がそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔に挿通されたものとを備え、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に該光ファイバを挿通した第１及び第２の位置決め孔で該光ファイバの端部を挟むことにより各第１の位置決め板毎に前記複数の第１の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に各第２の位置決め板毎に前記複数の第２の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めした状態で前記複数の第１の位置決め板を前記一方の端面に、前記複数の第２の位置決め板を前記複数の第１の位置決め板にそれぞれ接着した２次元光ファイバアレイ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光ファイバを用いた光伝送路形成技術に関し、特に複数の光ファイバの端部を２次元的に位置決めする光ファイバ位置決め方法と複数の光ファイバの端部を行列状に配置した２次元光ファイバアレイとに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の２次元光ファイバアレイとしては，図２３，２４に示すもの、図２５に示すもの、図２６に示すもの等が知られている（図２３，２４に示すものについては特開平１０−２６８１４５号公報の従来技術を、図２５に示すものについては特開平５−２２４０９３号公報を、図２６に示すものについては特開平１０−２６８１４５号公報をそれぞれ参照）。
【０００３】
図２３は、複数の光ファイバブロックを積層して光ファイバアレイを構成する方法を示すものである。光ファイバブロック１ａは、例えばシリコン基板からなるもので、これにはシリコンの結晶方位によるエッチングレートの違いを利用して長手方向に直交する断面がＶ字状の溝Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…を並列的に形成する。溝Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…には光ファイバ２ａ，２ｂ，２ｃ…を装填する。ブロック１ａと同様にして溝に光ファイバを装填した光ファイバブロック１ｂ，１ｃ…を用意する。そして、図２３，２４に示すようにブロック１ａ，１ｂ，１ｃ…を積層し、接着して光ファイバアレイを構成する。この光ファイバアレイは、アレイ本体の端面にて光ファイバ２ａ，２ｂ，２ｃ…の端部が行列状に（２次元的）に配置されている。
【０００４】
図２３，２４に示した光ファイバアレイでは、溝Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…をホトリソグラフィ及び選択エッチング処理により形成するので、例えば溝Ｖ１，Ｖ２間の間隔に相当する横方向の溝ピッチ（光ファイバ間隔）を精度良く決定することができる。
【０００５】
なお、光ファイバブロックとしては、石英基板の表面に機械的な切削加工によりＶ字状の溝を形成したものが提案されている。このような光ファイバブロックでは、上記したエッチング加工に係るファイバブロックに比べて横方向ピッチの精度が良好でない。
【０００６】
図２５に示す２次元光ファイバアレイでは、基板３の一方側に縦スペーサ４ａ，４ｂ，４ｃ…を配置すると共に基板３の他方側にも同様にして複数の縦スペーサを配置し、隣り合う縦スペーサ間に光ファイバ５ａ，５ｂ，５ｃ…を配置する。光ファイバ５ａ，５ｂ，５ｃ…と直交するようにその上に横スペーサ６ａ，６ｂを基板３の一方側，他方側にそれぞれ対応して配置する。同様にして光ファイバ及び横スペーサを必要段数だけ積み重ねる。この後、縦スペーサについては左右から、横スペーサについては上から適当な力で押圧して図２５に示すように光ファイバの端部を行列状の配置とし、この状態で縦横のスペーサ間の空間に接着剤を充填して縦横のスペーサを固定する。なお、縦横のスペーサとしては、光ファイバ等が用いられる。
【０００７】
図２６に示す２次元光ファイバアレイでは、セラミクス板７ａにレーザ加工等の精密加工により孔Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３…を行列状に形成すると共に、同様にして孔を形成したセラミクス板７ｂ，７ｃ…を用意する。Ｈ１等の複数の孔にガイド線を通すことによりセラミクス板７ａ，７ｂ，７ｃ…を孔位置を合わせて積層し、固定する。孔からガイド線を抜き取った後、孔Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３…に光ファイバ８ａ，８ｂ，８ｃ…を挿通し、固定する。セラミクス板積層体の端面を研磨して光ファイバ８ａ，８ｂ，８ｃ…の端部を揃える。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
図２３，２４に示した従来技術によると、複数の光ファイバブロックを積層するので、ブロック（基板）の厚さのばらつきが累積され（接着層を用いるときはその厚さのばらつきも累積され）、縦方向の溝ピッチ（光ファイバ間隔）の精度が低下するという問題点がある。
【０００９】
これに対し、図２５又は２６に示した従来技術は、２次元的に高精度な光ファイバ配置が可能なものである。しかしながら、図２５に示した光ファイバアレイでは、多数の縦横のスペーサを扱うため、組立作業が煩雑になるのを免れない。また、図２６の光ファイバアレイでは、精密加工を用いるにしても多数のセラミクス板間で多数の孔の位置を合わせるのは容易でなく、しかもセラミクス板積層体の多数の孔に光ファイバをそれぞれ挿通するのは容易でない。従って、図２５，２６の光ファイバアレイには、製作に困難を伴うという問題点がある。
【００１０】
この発明の目的は、複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度且つ簡単になしうる新規な光ファイバ位置決め方法を提供することにある。
【００１１】
この発明の他の目的は、アレイ端面にて高精度で２次元的に位置決めされた光ファイバを有すると共に容易に製作可能である新規な２次元光ファイバアレイを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る第１の光ファイバ位置決め方法は、
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって前記一方の端面に前記複数の光ファイバの端部が行列状に配置されると共に前記一方の端面から前記複数の光ファイバの端部が突出しており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、前記複数の光ファイバにそれぞれ対応し且つ各々角部を有する複数の位置決め孔が各々の角部の向きを同じにして行列状に形成されると共に該複数の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された位置決め板とを用意するステップと、
前記一方の端面側に前記位置決め板を配置して前記複数の光ファイバの端部を前記複数の位置決め孔にそれぞれ挿通するステップと、
前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の位置決め孔の角部に位置決めするステップと、
前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の位置決め孔の角部に位置決めした状態で前記位置決め板を前記一方の端面に接着するステップと
を含むものである。
【００１３】
第１の光ファイバ位置決め方法によれば、アレイ本体では複数の光ファイバを保持すると共に、位置決め板では複数の位置決め孔を用いて複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを行なうようにしたので、アレイ本体では光ファイバについて粗い位置出しを行ない、位置決め板では複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度で行なうことができる。すなわち、位置決め板には、薄膜プロセス等により複数の位置決め孔を高い位置精度で行列状に形成可能であるから、このような位置決め板を用いることにより複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度で行なうことができる。
【００１４】
一方、アレイ本体での位置出しの精度が低くてよいので、アレイ本体を簡単且つ低コストで製作可能である。また、複数の光ファイバの端部を複数の位置決め孔にそれぞれ挿通し、該複数の位置決め孔内の実質的に同一の位置（例えば所定の角部等）に位置決めするようにしたので、位置決め孔サイズに余裕を持たせることで光ファイバの挿通が容易になり、種々の位置に位置決めするのに比べて位置決めが容易になる。
【００１５】
この発明に係る第１の２次元光ファイバアレイは、
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって、前記一方の端面に前記複数の光ファイバの端部が行列状に配置されると共に前記一方の端面から前記複数の光ファイバの端部が突出しており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、
前記複数の光ファイバにそれぞれ対応し且つ各々角部を有する複数の位置決め孔が各々の角部の向きを同じにして行列状に形成されると共に該複数の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された位置決め板であって、前記一方の端面側にて前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の位置決め孔に挿通した状態で前記一方の端面に接着されたものと、
前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の位置決め孔の角部に位置決めした状態で前記複数の光ファイバを前記位置決め板に固定する固定手段と
を備えたものである。
【００１６】
このような構成において、固定手段としては、紫外線硬化接着剤等の接着剤を用いることができ、必要に応じて押さえ部材等の補助部材を用いてもよい。第１の２次元光ファイバアレイは、第１の光ファイバ位置決め方法を用いて製作するに好適なもので、位置決め板を用いて複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度且つ簡単に行なえるので、高い位置決め精度を有すると共に簡単に製作可能である。
【００１７】
この発明に係る第２の光ファイバ位置決め方法は、
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって前記一方の端面に前記複数の光ファイバの端部が行列状に配置されると共に前記一方の端面から前記複数の光ファイバの端部が突出しており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、前記複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で行列状に形成された第１の位置決め板と、前記複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第２の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で行列状に形成された第２の位置決め板とを用意するステップと、
前記第１の位置決め板を前記一方の端面側に配置して前記複数の光ファイバの端部を前記複数の第１の位置決め孔にそれぞれ挿通するステップと、
前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板を介して前記一方の端面側に配置して前記複数の光ファイバの端部を前記複数の第２の位置決め孔にそれぞれ挿通するステップと、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に該光ファイバを挿通した第１及び第２の位置決め孔で該光ファイバの端部を挟むことにより前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めするステップと、
前記複数の光ファイバの端部を前記複数の第１の位置決め孔にそれぞれ挿通した状態又は前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めした状態で前記第１の位置決め板を前記一方の端面に接着するステップと、
前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めした状態で前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板に接着するステップと
を含むものである。
【００１８】
第２の光ファイバ位置決め方法によれば、第１の光ファイバ位置決め方法について前述したと同様に第１及び第２の位置決め板を用いて複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度且つ簡単に行なうことができる。
【００１９】
その上、各光ファイバ毎に該光ファイバを挿通した第１及び第２の位置決め孔で該光ファイバの端部を挟むことにより複数の光ファイバの端部を複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に複数の光ファイバの端部を複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めするようにしたので、例えば第１の位置決め板の複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に複数の光ファイバの端部を第２の位置決め板により一括的に位置決めすることができる。従って、位置決めが一層容易となる。
【００２０】
この発明に係る第２の２次元光ファイバアレイは、
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって、前記一方の端面に前記複数の光ファイバの端部が行列状に配置されると共に前記一方の端面から前記複数の光ファイバの端部が突出しており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、
前記複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で行列状に形成された第１の位置決め板であって、前記一方の端面側にて前記複数の光ファイバの端部がそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔に挿通されたものと、
前記複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第２の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で行列状に形成された第２の位置決め板であって、前記第１の位置決め板を介して前記一方の端面に配置された状態で前記複数の光ファイバの端部がそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔に挿通されたものとを備え、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に該光ファイバを挿通した第１及び第２の位置決め孔で該光ファイバの端部を挟むことにより前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に前記複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めした状態で前記第１の位置決め板を前記一方の端面に、前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板にそれぞれ接着したものである。
【００２１】
第２の２次元光ファイバアレイは、第２の光ファイバ位置決め方法を用いて製作するに好適なもので、第１及び第２の位置決め板を用いて複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度且つ簡単に行なえるので、高い位置決め精度を有すると共に簡単に製作可能である。
【００２２】
この発明に係る第３の光ファイバ位置決め方法は、
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって前記一方の端面にて前記複数の光ファイバの端部が複数行及び複数列からなる行列をなし且つ前記一方の端面から突出するように配置されており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、前記複数行（又は前記複数列）にそれぞれ対応した複数の細長い第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された第１の位置決め板であって各第１の位置決め孔毎に対応する行（又は列）の複数の光ファイバをそれぞれ位置決めするための複数の第１の係止部が該第１の位置決め孔の長手方向に沿う一方側に並設されたものと、前記複数行（又は前記複数列）にそれぞれ対応した複数の細長い第２の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された第２の位置決め板であって各第２の位置決め孔毎に対応する行（又は列）の複数の光ファイバを位置決めするための複数の第２の係止部が該第２の位置決め孔の長手方向に沿う他方側に並設されたものとを用意するステップと、
前記第１の位置決め板を前記一方の端面側に配置して各第１の位置決め孔に対して対応する行（又は列）の複数の光ファイバの端部を挿通するステップと、
前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板を介して前記一方の端面側に配置して各第２の位置決め孔に対して対応する行（又は列）の複数の光ファイバの端部を挿通するステップと、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に対応する第１及び第２の係止部で該光ファイバの端部を挟んで位置決めするステップと、
各第１の位置決め孔に対して対応する行（又は列）の複数の光ファイバの端部を挿通した状態又は各光ファイバ毎に対応する第１及び第２の係止部で該光ファイバの端部を挟んで位置決めした状態で前記第１の位置決め板を前記一方の端面に接着するステップと、
各光ファイバ毎に対応する第１及び第２の係止部で該光ファイバの端部を挟んで位置決めした状態で前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板に接着するステップと
を含むものである。
【００２３】
第３の光ファイバ位置決め方法によれば、第１の光ファイバ位置決め方法について前述したと同様に第１及び第２の位置決め板を用いて複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度且つ簡単に行なうことができる。
【００２４】
その上、各光ファイバ毎に対応する第１及び第２の係止部で該光ファイバの端部を挟んで一括的に位置決めすることができる。従って、位置決めが一層容易となる。
【００２５】
この発明に係る第３の２次元光ファイバアレイは、
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって、前記一方の端面にて前記複数の光ファイバの端部が複数行及び複数列からなる行列をなし且つ前記一方の端面から突出するように配置されており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、
前記複数行（又は複数列）にそれぞれ対応した複数の細長い第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された第１の位置決め板であって、各第１の位置決め孔毎に対応する行（又は列）の複数の光ファイバをそれぞれ位置決めするための複数の第１の係止部が該第１の位置決め孔の長手方向に沿う一方側に並設され、前記一方の端面側にて各第１の位置決め孔に対して対応する行（又は列）の複数の光ファイバの端部が挿通されたものと、
前記複数行（又は前記複数列）にそれぞれ対応した複数の細長い第２の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成された第２の位置決め板であって、各第２の位置決め孔毎に対応する行（又は列）の複数の光ファイバをそれぞれ位置決めするための複数の第２の係止部が該第２の位置決め孔の長手方向に沿う他方側に並設され、前記第１の位置決め板を介して前記一方の端面側に配置された状態で各第２の位置決め孔に対して対応する行（又は列）の複数の光ファイバの端部が挿通されたものとを備え、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に対応する第１及び第２の係止部で該光ファイバの端部を挟んで位置決めした状態で前記第１の位置決め板を前記一方の端面に、前記第２の位置決め板を前記第１の位置決め板にそれぞれ接着したものである。
【００２６】
第３の２次元光ファイバアレイは、第３の光ファイバ位置決め方法を用いて製作するに好適なもので、第１及び第２の位置決め板を用いて複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度且つ簡単に行なえるので、高い位置決め精度を有すると共に簡単に製作可能である。
【００２７】
この発明に係る第４の光ファイバ位置決め方法は、
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって前記一方の端面にて前記複数の光ファイバの端部が複数行及び複数列からなる行列をなし且つ前記一方の端面から突出するように配置されており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、前記複数行にそれぞれ対応する複数の第１の位置決め板であっていずれも対応する行の複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成されたものと、前記複数列にそれぞれ対応する複数の第２の位置決め板であっていずれも対応する列の複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第２の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成されたものとを用意するステップと、
前記複数の第１の位置決め板を前記一方の端面側に配置して各第１の位置決め板毎に対応する行の複数の光ファイバの端部を前記複数の第１の位置決め孔にそれぞれ挿通するステップと、
前記複数の第２の位置決め板を前記複数の第１の位置決め板を介して前記一方の端面側に配置して各第２の位置決め板毎に対応する列の複数の光ファイバの端部を前記複数の第２の位置決め孔にそれぞれ挿通するステップと、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に該光ファイバを挿通した第１及び第２の位置決め孔で該光ファイバの端部を挟むことにより各第１の位置決め板毎に前記複数の第１の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に各第２の位置決め板毎に前記複数の第２の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めするステップと、
各第１の位置決め板毎に前記複数の第１の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に各第２の位置決め板毎に前記複数の第２の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めした状態で前記複数の第１の位置決め板を前記一方の端面に、前記複数の第２の位置決め板を前記複数の第１の位置決め板にそれぞれ接着するステップと
を含むものである。
【００２８】
第４の光ファイバ位置決め方法によれば、第１の光ファイバ位置決め方法に関して前述したと同様に複数の第１の位置決め板及び複数の第２の位置決め板を用いて複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度且つ簡単に行なうことができる。
【００２９】
その上、各光ファイバ毎に該光ファイバを挿通した第１及び第２の位置決め孔で該光ファイバの端部を挟むことにより各第１の位置決め板毎に複数の第１の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部を該複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に各第２の位置決め板毎に複数の第２の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部を該複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めするようにしたので、行又は列単位で複数の光ファイバの端部の位置決めを行なうことができ、組立ての自由度が向上する。
【００３０】
この発明に係る第４の２次元光ファイバアレイは、
各々長手方向に直交する断面がＶ字状である複数の光ファイバ保持溝が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた保持基板からなるか又は複数の光ファイバ保持孔が一方の端面から他方の端面まで連続して延長するように設けられた多芯フェルールからなると共に前記複数の光ファイバ保持溝又は前記複数の光ファイバ保持孔により複数の光ファイバを行列状に揃えて保持するアレイ本体であって、前記一方の端面にて前記複数の光ファイバの端部が複数行及び複数列からなる行列をなし且つ前記一方の端面から突出するように配置されており、前記一方の端面にて各光ファイバの突出部が各光ファイバの位置決めの際に前記一方の端面に平行な方向に動けるように各光ファイバ保持溝の深さ又は各光ファイバ保持孔の直径が各光ファイバの直径より大きく設定されたものと、
前記複数行にそれぞれ対応する複数の第１の位置決め板であって、いずれも対応する行の複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第１の位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成されると共に前記一方の端面側にて対応する行の複数の光ファイバの端部がそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔に挿通されたものと、
前記複数列にそれぞれ対応する複数の第２の位置決め板であって、いずれも対応する列の複数の光ファイバにそれぞれ対応する複数の第２位置決め孔が前記アレイ本体における光ファイバの位置決め精度より高い位置精度で形成されており、前記複数の第２の位置決め板が前記複数の第１の位置決め板を介して前記一方の端面に配置された状態で各第２の位置決め板には対応する列の複数の光ファイバの端部がそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔に挿通されたものとを備え、
前記一方の端面側にて各光ファイバ毎に該光ファイバを挿通した第１及び第２の位置決め孔で該光ファイバの端部を挟むことにより各第１の位置決め板毎に前記複数の第１の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第１の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めすると共に各第２の位置決め板毎に前記複数の第２の位置決め孔に挿通した複数の光ファイバの端部をそれぞれ前記複数の第２の位置決め孔内の実質的に同一の位置に位置決めした状態で前記複数の第１の位置決め板を前記一方の端面に、前記複数の第２の位置決め板を前記複数の第１の位置決め板にそれぞれ接着したものである。
【００３１】
第４の２次元光ファイバアレイは、第４の光ファイバ位置決め方法を用いて製作するに好適なもので、複数の第１の位置決め板及び複数の第２の位置決め板を用いて複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度且つ簡単に行なえるので、高い位置決め精度を有すると共に簡単に製作可能である。
【００３２】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の一実施形態に係る２次元光ファイバアレイを分解した状態で示すものである。
【００３３】
保持基板１０ａは、例えば石英基板からなるもので、その一方の主面には、長手方向に直交する断面がＶ字状の溝Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…が並列的に形成される。各溝は、光ファイバを保持するためのもので、保持基板１０ａの一端から他端に延長すると共に光ファイバの直径より大きな深さとなるように形成される。保持基板１０ａとしては、光ファイバ等を固着する処理で紫外線硬化接着剤を使用可能とするため、紫外線透過性が良好なものを使用する。
【００３４】
この発明では、アレイ本体での光ファイバの位置決めに高精度が要求されないので、図９に例示するように切削具１８を用いて機械加工により溝Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…を形成することができる。従って、製造プロセスが簡単となり、コスト低減が可能となる。保持基板１０ａと同様にして保持基板１０ｂ，１０ｃ…が用意される。
【００３５】
保持基板１０ａにおいて、溝Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３…には、光ファイバ１２ａ１，１２ａ２，１２ａ３…が配置される。各光ファイバは、その端部が保持基板１０ａの端面からＬ＝数１００μｍ程度突出するように対応する溝内に配置され、組立て前には保持基板１０に固定されておらず、突出部が上下左右に動けるようになっている。保持基板１０ａと同様にして保持基板１０ｂの溝にも光ファイバ１２ｂ１，１２ｂ２，１２ｂ３…が配置され、同様にして保持基板１０ｃ等の溝にも光ファイバが配置される。
【００３６】
上記のように光ファイバを保持する保持基板１０ａ，１０ｂ，１０ｃ…を積み重ねることによりアレイ本体が構成される。最上段の保持基板から光ファイバが脱落するのを防ぐため、最上段の保持基板に重ねて押さえ板が配置される。保持基板１０ａ，１０ｂ，１０ｃ…及び押さえ板は、重ね合わせた状態で紫外線硬化接着剤により固着される。この結果、図２４に示したのと同様に端面に光ファイバ端部が行列状（２次元的）に配置された形のアレイ本体が得られる。このアレイ本体は、一例として８×８＝６４本の光ファイバを有するものとすることができる。なお、各光ファイバは、上記のような保持基板の積み重ねの前に可動突出部とは反対側の端部で固定しておいてもよい。このようにすると、積み重ね作業時に光ファイバが脱落せず、作業がしやすい。
【００３７】
一方、上記したアレイ本体とは別に位置決め板１４，１６が用意される。これらの位置決め板は、アレイ本体の端面において複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度で行なうためのもので、図１０〜１５を参照して後述するようにホトリソグラフィ及びエッチング処理等を用いて高い位置精度で位置決め孔が形成される。
【００３８】
位置決め板１４は、紫外線透過性が良好で耐食性がある材料（例えばＡｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２、ＳｉＯ２等のオキサイド材）からなるもので、アレイ本体が上記のように８×８本の光ファイバを含む例では３×３ｍｍ程度のサイズを有する。位置決め板１４には、光ファイバ配置の複数行及び複数列にそれぞれ対応して複数の位置決め孔Ｐ１１，Ｐ１２…、Ｐ２１，Ｐ２２…が行列状に形成される。各位置決め孔は、１２ａ１等の光ファイバの直径より大きなサイズを有するもので、一例として図２に示すように菱形とし、孔Ｐ１１，Ｐ１２の間隔に相当する行方向（横方向）の孔ピッチＰｘ１及び孔Ｐ１１，Ｐ２１の間隔に相当する列方向（縦方向）の孔ピッチＰｙ１は、いずれも２５０μｍとすることができる。図１０〜１５の製法によれば、孔ピッチの誤差を±１μｍ以内に抑えることができるから、行方向及び列方向の孔ピッチＰｘ１及びＰｙ１は、いずれも２５０±１μｍとなり、アレイ本体の光ファイバについて高精度の２次元的位置決めが可能となる。
【００３９】
位置決め板１６にも、位置決め板１４と同様にして位置決め孔Ｑ１１，Ｑ１２…、Ｑ２１，Ｑ２２…が形成される。この場合、孔Ｑ１１，Ｑ１２…、Ｑ２１，Ｑ２２…は、位置決め板１４における対応する孔Ｐ１１，Ｐ１２…、Ｐ２１，Ｐ２２…とは向きが逆になるように形成される。図２に示すように孔Ｑ１１，Ｑ１２の間隔に相当する行方向の孔ピッチＰｘ２及び孔Ｑ１１，Ｑ２１の間隔に相当する列方向の孔ピッチＰｙ２は、それぞれ位置決め板１４における孔ピッチＰｘ１及びＰｙ１と等しく設定される。
【００４０】
図１の２次元光ファイバアレイを組み立てる際には、まず位置決め板１４をアレイ本体の端面側に配置して位置決め孔Ｐ１１，Ｐ１２…、Ｐ２１，Ｐ２２…にそれぞれ光ファイバ１２ａ１，１２ａ２…、１２ｂ１，１２ｂ２…の端部を挿通する。そして、このような挿通状態において位置決め板１４をアレイ本体の端面に紫外線硬化接着剤により固着する。
【００４１】
次に、位置決め板１６を位置決め板１４を介してアレイ本体の端面側に配置して位置決め孔Ｑ１１，Ｑ１２…、Ｑ２１，Ｑ２２…にそれぞれ光ファイバ１２ａ１，１２ａ２…、１２ｂ１，１２ｂ２…の端部を挿通する。そして、図２に示すように各光ファイバ毎にその端部を該光ファイバを挿通した位置決め孔（例えば光ファイバ１２ａ１については孔Ｐ１１、Ｑ１１）で挟むように位置決め板１４，１６の相対位置を調整する（例えば板１４，１６を上方，下方のように互いに逆方向にスライドする）ことにより光ファイバ１２ａ１，１２ａ２…、１２ｂ１，１２ｂ２…の端部をそれぞれ孔Ｐ１１，Ｐ１２…、Ｐ２１，Ｐ２２…内の実質的に同一の位置（例えば菱形孔の下向き角部）に位置決めすると共に光ファイバ１２ａ１，１２ａ２…、１２ｂ１，１２ｂ２…の端部をそれぞれ孔Ｑ１１，Ｑ１２…、Ｑ２１，Ｑ２２…内の実質的に同一の位置（例えば菱形孔の上向き角部）に位置決めする。このような位置決めは、すべての光ファイバについて一括的に行なうことができ、位置決め作業が簡単且つ迅速となる。
【００４２】
次に、上記のような位置決め状態において、位置決め板１６を位置決め板１４に紫外線硬化接着剤により固着すると共に各光ファイバを位置決め板１４，１６に紫外線硬化接着剤により固着する。この後、位置決め板１６において光ファイバ端部が突出した主面に研磨処理を施すことにより各光ファイバの端面が位置決め板１６の主面と共通の平面をなすようにする。
【００４３】
図１，２に示した２次元光ファイバアレイは、上記したように簡単に組立て可能であり、しかも光ファイバアレイの２次元配置について高い位置決め精度が得られる。
【００４４】
上記した例では，アレイ本体に対して位置決め板１４，１６を別々に装着したが、同時に装着するようにしてもよい。すなわち、位置決め板１４，１６をアレイ本体の端面側に配置して各位置決め孔に光ファイバ端部を挿通した後、位置決め板１４，１６の相対位置を調整して光ファイバ端部の２次元的位置決めを行なう。そして、このような位置決め状態において、位置決め板１４のアレイ本体への固着と、位置決め板１６の位置決め板１４への固着と、各光ファイバの位置決め板１４，１６への固着とを紫外線硬化接着剤により同時的に行なう。
【００４５】
上記した例では、各光ファイバの端部を孔Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ２１，Ｐ２２…については菱形孔の下向き角部に位置決めすると共に孔Ｑ１１，Ｑ１２，Ｑ２１，Ｑ２２…については菱形孔の上向き角部に位置決めするようにしたが、Ｐ１１，Ｑ１１等の挟み合う位置決め孔について互いに対向する角部であれば他の角部に位置決めするようにしてもよい。例えば、各光ファイバ端部を孔Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ２１，Ｐ２２…については上向き角部に位置決めすると共に孔Ｑ１１，Ｑ１２，Ｑ２１，Ｑ２２…については下向き角部に位置決めするようにしてもよい。
【００４６】
図３，４は、図１，２の２次元光ファイバアレイに関して位置決めの変形例を示すもので、図１，２と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。図３，４の例では、位置決め孔Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ２１，Ｐ２２…、Ｑ１１，Ｑ１２，Ｑ２１，Ｑ２２…の形状をいずれも正方形とした点に特徴がある。
【００４７】
図３の例において、各光ファイバの端部は、孔Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ２１，Ｐ２２…については正方形の下向き角部に位置決めされると共に孔Ｑ１１，Ｑ１２，Ｑ２１，Ｑ２２…については正方形の上向き角部に位置決めされる。また、図４の例において、各光ファイバ端部は、孔Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ２１，Ｐ２２…については正方形の左向き角部に位置決めされると共に孔Ｑ１１，Ｑ１２，Ｑ２１，Ｑ２２…については右向き角部に位置決めされる。なお、図３，４の例においても、Ｐ１１，Ｑ１１等の挟み合う位置決め孔について互いに対向する角部であれば他の角部に位置決めしてもよい。
【００４８】
図３，４の例では、各位置決め孔を正方形状としたので、菱形孔に比べて位置決め孔の占有面積が低減され、位置決め板１４，１６が機械的強度不足となるのを防止することができる。アレイ本体の光ファイバ数は、現状の位置決め孔ピッチのままで将来は１０００×１０００本程度まで増大すると予想される。このような光ファイバ数の増大に伴って位置決め孔数が増大すると、位置決め板の機械的強度が低下しやすい。位置決め孔を正方形状にすると、このような機械的強度の低下を抑制することができる。
【００４９】
図５は、位置決め板の変形例を示すものである。この例の特徴は、位置決め板１４において横方向に細長い位置決め孔Ｐａ，Ｐｂ…を縦方向に並べて設けると共に、位置決め板１６において横方向に細長い位置決め孔Ｑａ，Ｑｂ…を孔Ｐａ，Ｐｂ…にそれぞれ対応して縦方向に並べて設けたことである。孔Ｐａは、前述の位置決め孔Ｐ１１，Ｐ１２…を上向き角部を残したまま横方向に連続させた形状を有し、孔Ｐｂも、前述の位置決め孔Ｐ２１，Ｐ２２…をＰａの場合と同様に連続させた形状を有する。孔Ｑａは、前述の位置決め孔Ｑ１１，Ｑ１２…を下向き角部を残したまま横方向に連続させた形状を有し、孔Ｑｂも、前述の位置決め孔Ｑ２１，Ｑ２２…をＱａの場合と同様に連続させた形状を有する。
【００５０】
図５に示した位置決め板１４，１６の使用法は、図１，２に関して前述したものと同様である。図５の位置決め板１４，１６によれば、位置決め板１４，１６をそれぞれ下方、上方にシフトさせることによりＰａ，Ｐｂ等の孔における上向き角部とＱａ，Ｑｂ等の孔における下向き角部とを対応させて光ファイバ端部を挟むことにより高精度の２次元的位置決めを行なうことができる。また、Ｐａ，Ｑａ等の孔毎に隣り合う角部を微小ピッチで配置できるので、光ファイバ配置の高密度化に対応可能である。
【００５１】
図５の位置決め板１４、１６に関する上記説明では、位置決め板１４、１６をそれぞれ下方，上方にシフトさせることでＰａ，Ｐｂ等の孔における上向き角部とＱａ，Ｑｂ等の孔における下向き角部とで光ファイバ端部を挟むようにしたが、位置決め板１４，１６をそれぞれ右方，左方にシフトさせることでＰａ，Ｐｂ等の孔における左向き角部とＱａ，Ｑｂ等の孔における右向き角部とで光ファイバ端部を挟んだり、位置決め板１４，１６をそれぞれ左方，右方にシフトさせることでＰａ，Ｐｂ等の孔の右向き角部とＱａ，Ｑｂ等の孔における左向き角部とで光ファイバ端部を挟んだりしてもよい。
【００５２】
また、位置決め板１４には、Ｑａ，Ｑｂ…と同様の孔を設けると共に、位置決め板１６には、孔Ｐａ，Ｐｂ…と同様の孔を設けるようにしてもよい。このようにすると、位置決め板１４，１６をそれぞれ上方、下方にシフトさせることで位置決め板１４の孔の下向き角部と位置決め板１６の孔の上向き角部とで光ファイバ端部を挟むことができる。
【００５３】
図６は、この発明の他の実施形態に係る２次元光ファイバアレイを分解した状態で示すもので、図１と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５４】
図６の実施形態の特徴は、アレイ本体の光ファイバ配置の複数行にそれぞれ対応して複数の位置決め板１４ａ，１４ｂ，１４ｃ…を用意すると共にアレイ本体の光ファイバ配置の複数列にそれぞれ対応して複数の位置決め板１６ａ，１６ｂ（図７参照）…を用意したことである。
【００５５】
位置決め板１４ａには、対応する行の複数の光ファイバにそれぞれ対応して位置決め孔Ｐ１１，Ｐ１２…が形成され、位置決め板１４ｂにも、同様にして位置決め孔Ｐ２１，Ｐ２２…が形成され、他の行対応の位置決め板１４ｃ…についても同様である。位置決め板１６ａには、対応する列の複数の光ファイバにそれぞれ対応して位置決め孔Ｑ１１，Ｑ２１…が形成され、位置決め板１６ｂにも、同様にして位置決め孔Ｑ１２，Ｑ２２…が形成され、他の列対応の位置決め板についても同様である。各位置決め板は、図１０〜１５について後述する方法により用意することができる。各位置決め孔は、１２ａ１等の光ファイバの直径より大きなサイズを有するもので、一例として円形とすることができる。また、行方向の孔ピッチＰｘ及び列方向の孔ピッチＰｙは、それぞれ前述の孔ピッチＰｘ１及びＰｙ１と同様に設定することができる。
【００５６】
図６の２次元光ファイバアレイを組立てる際には、まず位置決め板１４ａをアレイ本体の基板１０ａの端面側に配置して位置決め孔Ｐ１１，Ｐ１２…にそれぞれ光ファイバ１２ａ１，１２ａ２…の端部を挿通し、位置決め板１４ａを図７に示すように位置決め孔Ｐ１１，Ｐ１２…の上部で光ファイバ１２ａ１，１２ａ２…の端部とそれぞれ係合した状態にする。同様にして位置決め板１４ｂを位置決め孔Ｐ２１，Ｐ２２…の上部で光ファイバ１２ｂ１，１２ｂ２…の端部とそれぞれ係合した状態にし、他の行対応の位置決め板１４ｃ等についても同様とする。
【００５７】
次に、位置決め板１６ａを位置決め板１４ａ，１４ｂ，１４ｃ…の手前に配置して位置決め孔Ｑ１１，Ｑ２１…にそれぞれ光ファイバ１２ａ１，１２ｂ１…の端部を挿通する。同様にして位置決め板１６ｂの位置決め孔孔Ｑ１２，Ｑ２２…にそれぞれ光ファイバ１２ａ２，１２ｂ２…の端部を挿通し、他の列対応の位置決め板についても同様とする。そして、図７に示すように各光ファイバ毎にその端部を該光ファイバを挿通した位置決め孔（例えば光ファイバ１２ａ１については孔Ｐ１１，Ｑ１１）で挟むように位置決め板１４ａ，１４ｂ…と位置決め板１６ａ，１６ｂ…の相対位置を調整することにより各行対応の位置決め板毎に光ファイバの端部を位置決め孔内の実質的に同一の位置（例えば位置決め板１４ａについては光ファイバ１２ａ１，１２ａ２…の端部を孔Ｐ１１，Ｐ１２…の上部）に位置決めすると共に各列対応の位置決め板毎に光ファイバの端部を位置決め孔内の実質的に同一の位置（例えば位置決め板１６ａについては光ファイバ１２ａ１，１２ｂ１…の端部を孔Ｑ１１，Ｑ２１…の下部）に位置決めする。このような位置決め状態を一時的に固定するため、仮止めを行なってもよい。
【００５８】
次に、上記のような位置決め状態において、位置決め板１４ａ，１４ｂ，１４ｃ…をアレイ本体の基板１０ａ，１０ｂ，１０ｃ…に紫外線硬化接着剤によりそれぞれ固着すると共に位置決め板１４ａ，１４ｂ，１４ｃ…に位置決め板１６ａ，１６ｂ…を紫外線接着剤により固着し、各光ファイバを挿通に係る位置決め板（例えば光ファイバ１２ａ１については位置決め板１４ａ，１６ａ）に紫外線接着剤により固着する。この後、位置決め板１６ａ，１６ｂ…において光ファイバ端部が突出した主面に研磨処理を施すことにより各位置決め板毎に光ファイバ端部の突出部のない平坦な主面とする。
【００５９】
図６，７に示した２次元光ファイバアレイは、上記したように簡単に組立て可能であり、しかも光ファイバの２次元配置について高い位置決め精度が得られる。
【００６０】
図８は、図６，７の２次元光ファイバアレイに関して位置決めの変形例を示すもので、図６，７と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００６１】
図８の例において、光ファイバ１２ａ１，１２ｂ１…の端部は、孔Ｐ１１，Ｐ１２…については円形孔の左部に位置決めされると共に孔Ｑ１１，Ｑ１２…については円形孔の右部に位置決めされる。また、光ファイバ１２ｂ１，１２ｂ２…の端部は、孔Ｐ２１，Ｐ２２…については円形孔の左部に位置決めされると共に孔Ｑ２１，Ｑ２２…については円形孔の右部に位置決めされる。なお、図７，８の例においても、Ｐ１１，Ｑ１１等の挟み合う位置決め孔について互いに対向する部分であれば他の部分に位置決めしてもよい。
【００６２】
図７，８の例では、各位置決め孔を円形状としたので、正方形孔に比べて位置決め孔の占有面積が低減され、各位置決め板が機械的強度不足となるのを防止することができる。
【００６３】
次に、図１０〜１５を参照して位置決め板の製法を説明する。図１０の工程では、例えばガラスからなる基板２０の一方の主面にＣｒ層２２を介してＣｕ層２４を形成する。Ｃｒ層２２及びＣｕ層２４は、いずれもスパッタ法等により形成することができる。Ｃｒ層２２は、Ｃｕ層２４がガラスとの密着性が良好でないので、密着性を向上させるための密着層として形成されるものである。
【００６４】
図１１の工程では、周知のホトリソグラフィ処理によりＣｕ層２４の上にレジスト層を形成してパターニングすることにより位置決め孔に対応したレジスト層２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…をＣｕ層２４の上に残存させる。
【００６５】
図１２の工程では、Ｃｕ層２４の上にレジスト層２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…を覆ってオキサイド（酸化物）層２８をスパッタ法等により形成する。オキサイド層２８は、最終的に位置決め板となるもので、層２８の材料としては、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２、ＳｉＯ２等の材料（吸湿性や熱膨張性が低いもの）を用いるのが望ましい。
【００６６】
図１３の工程では、基板２０においてオキサイド層２８を形成した面に研磨処理を施すことによリオキサイド層２８及びレジスト層２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…を薄くして残存させる。オキサイド層２８の残存厚さ（位置決め板の厚さ）は、５０〜１００μｍとすることができる。
【００６７】
図１４の工程では、薬液処理によりレジスト層２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…を除去する。この結果、オキサイド層２８は、レジスト層２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…にそれぞれ対応した位置決め孔２８ａ，２８ｂ，２８ｃ…を有するものとなる。
【００６８】
図１５の工程では、Ｃｕ層２４及びＣｒ層２２を順次にウエットエッチング処理により除去してオキサイド層２８を基板２０から剥離する。剥離されたオキサイド層２８は、図６，７に示した位置決め板１４ａ又は１６ａ等として使用することができる。
【００６９】
図１６〜２１は、金属製位置決め板の製法を示すものである。図１６の工程では、前述した図１０の工程と同様にして一方の主面にＣｒ層２２を介してＣｕ層２４を形成したガラス等の基板２０を用意する。そして、Ｃｕ層２４の上にＮｉ−Ｆｅ合金（パーマロイ）層２５をスパッタ法等により形成する。Ｎｉ−Ｆｅ合金層２５は、メッキ下地層として用いられるものである。
【００７０】
図１７の工程では、前述した図１１の工程と同様にして所望数の位置決め孔にそれぞれ対応したレジスト層２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…をＮｉ−Ｆｅ合金層２５の上に形成する。
【００７１】
図１８の工程では、レジスト層２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…をマスクとする選択メッキ処理によりＮｉ−Ｆｅ合金層２７をＮｉ−Ｆｅ合金層２５の上に形成する。Ｎｉ−Ｆｅ合金層２７は、最終的にＮｉ−Ｆｅ合金層２５と共に位置決め板を構成するもので、Ｎｉ−Ｆｅ合金層２５より厚く、所望の位置決め板の厚さに対応する厚さで形成する。
【００７２】
図１９の工程では、薬液処理によりレジスト層２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…を除去する。この結果、Ｎｉ−Ｆｅ合金層２７は、レジスト層２６ａ，２６ｂ，２６ｃ…にそれぞれ対応した位置決め孔２７ａ，２７ｂ，２７ｃ…を有するものとなる。
【００７３】
図２０の工程では、Ｎｉ−Ｆｅ合金層２５，２７にエッチング処理を施すことにより位置決め孔２７ａ，２７ｂ，２７ｃ…の底部でＮｉ−Ｆｅ合金層２５を除去してＣｕ層２４を露呈させる。
【００７４】
図２１の工程では、ウエットエッチング処理によりＣｕ層２４を除去することによりＮｉ−Ｆｅ合金層２５，２７からなる位置決め板を基板２０から分離する。この位置決め板は、図６，７に示した位置決め板１４ａ又は１６ａ等として使用することができる。
【００７５】
図１６〜２１に関して上記した位置決め板は、金属からなり、展性を有するため、位置決め孔で光ファイバを挟んで位置決め作業を行なう際に折れない利点がある。
【００７６】
上記したのは、１行分又は１列分の位置決め板の製法であるが、上記したと同様にして位置決め孔を行列状に形成することにより、図１，２に示した位置決め板１４又は１６を形成することができる。
【００７８】
図２２は、この発明で使用可能な他のアレイ本体を示すもので、このアレイ本体は、多芯フェルール３０に行列状（２次元的）に設けた孔Ｈ１１，Ｈ１２…、Ｈ２１，Ｈ２２…にそれぞれ光ファイバ３２ａ，３２ｂ…を挿通したものである。多芯フェルール３０は、例えばジルコニア等からなるもので、孔公差を緩めて作製される。一例として、Ｈ１１等の孔のＡ部の直径は１４０μｍ、Ｈ１１−Ｈ１２方向の孔ピッチｘは２５０μｍ、Ｈ１１−Ｈ２１方向の孔ピッチは３００μｍとすることができる。また、Ｈ１１等の孔のＢ部は、Ａ部に連続し且つ外方に向けて直径が徐々に大きくなる形状（漏斗状）に形成する。
【００７９】
光ファイバ端部を位置決めする際には、多芯フェルール３０を図２２に示すようにＨ１１等の孔のＢ部が下になるように配置し、Ｈ１１等の各孔毎に３２ａ等の各光ファイバを下から上に向けて挿通する。このような挿通状態にいて、各孔毎にＢ部の孔内に紫外線硬化接着剤により光ファイバを固定し、Ａ部から先は各光ファイバが自由に動ける状態にしておく。接着処理時に紫外線は下方から照射するので、多芯フェルール３０としては、シリコンオキサイド等の紫外線透過性の材料に限らず、金属等の紫外線不透過性の材料を用いることもできる。
【００８０】
光ファイバ３２ａ，３２ｂ…の端部を位置決めする際には、多芯フェルール３０の上方端面側に図１，２に示したような位置決め板１４，１６を配置すると共に、図１，２に関して前述したと同様に各光ファイバ毎にその端部を位置決め板１４，１６の対応する孔に挿通してそれらの孔で挟むことにより２次元的に高精度の位置決めを行なう。そして、このような位置決め状態において、紫外線接着剤を用いて位置決め板１４，１６の多芯フェルール３０への固定と各光ファイバの位置決め板１４，１６の対応する孔への固定とを行なう。図２２に関して上記した位置決め方法は、図１に関して前述した位置決め方法に比べて位置決め作業をしやすい利点がある。
【００８１】
この発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、種々の改変形態で実施可能なものである。例えば、次のような変更が可能である。
【００８２】
（１）図１に示した実施形態では、位置決め板１６の代りに、図６，７に示した１４ａ又は１６ａ等の位置決め板を用いて光ファイバ端部の位置決めや固定を行なってもよい。また、１４ａ，１６ａ等のバー状部材に位置決め孔を設けず、バー状部材の側部を押し当てて位置決めや固定を行なってもよい。
【００８３】
（２）位置決め孔の形状は、上記したものに限らず、楕円形、半円形、三角形、多角形等であってもよい。また、図１の実施形態において、図６，７に示したような円形の位置決め孔を用いてもよく、あるいは図６の実施形態において、図１、２に示したような菱形の位置決め孔又は図３，４に示したような正方形の位置決め孔を用いてもよい。
【００８４】
（３）図５に示した位置決め板１４，１６において、Ｐａ又はＱａ等の位置決め孔の長手方向に沿って並設した位置決め用係止部としては、上記したような角部に限らず、半円状部、半楕円状部、凹状部等であってもよい。
【００８５】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、複数の光ファイバを保持するアレイ本体とは別の位置決め板を用いたので、複数の光ファイバの端部の２次元的位置決めを高精度で行なえると共に製造容易な２次元光ファイバアレイを実現可能となる効果が得られる。
【００８６】
また、アレイ本体では、光ファイバの位置決めに高精度が要求されないので、アレイ本体を簡単且つ低コストで製作可能となる効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の一実施形態に係る２次元光ファイバアレイの構成要素を示す斜視図である。
【図２】  図１の光ファイバアレイにおける光ファイバ端部の位置決め状態を示す端面図である。
【図３】  位置決めの変形例を示す端面図である。
【図４】  位置決めの他の変形例を示す端面図である。
【図５】  位置決め板の変形例を示す斜視図である。
【図６】  この発明の他の実施形態に係る２次元光ファイバアレイの構成要素を示す斜視図である。
【図７】  図６の光ファイバアレイにおける光ファイバ端部の位置決め状態を示す端面図である。
【図８】  位置決めの変形例を示す端面図である。
【図９】  保持基板の製法におけるＶ字状溝形成工程を示す斜視図である。
【図１０】  位置決め板の製法におけるＣｕ／Ｃｒ層形成工程を示す断面図である。
【図１１】  図１０の工程に続くレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図１２】  図１１の工程に続くオキサイド層形成工程を示す断面図である。
【図１３】  図１２の工程に続く研磨工程を示す断面図である。
【図１４】  図１３の工程に続くレジスト除去工程を示す断面図である。
【図１５】  図１４の工程に続くオキサイド層剥離工程を示す斜視図である。
【図１６】  金属製位置決め板の製法におけるＮｉ−Ｆｅ合金スパッタ工程を示す断面図である。
【図１７】  図１６の工程に続くレジスト層形成工程を示す断面図である。
【図１８】  図１７の工程に続くＮｉ−Ｆｅ合金メッキ工程を示す断面図である。
【図１９】  図１８の工程に続くレジスト除去工程を示す断面図である。
【図２０】  図１９の工程に続くＮｉ−Ｆｅ合金エッチング工程を示す断面図である。
【図２１】  図２０の工程に続くＣｕエッチング工程を示す断面図である。
【図２２】  アレイ本体の変形例を示す一部断面斜視図である。
【図２３】  従来の光ファイバ積層方法を示す斜視図である。
【図２４】  図２３の方法で形成された２次元光ファイバアレイを示す端面図である。
【図２５】  従来の２次元光ファイバアレイの他の例を示す斜視図である。
【図２６】  従来の２次元光ファイバアレイの更に他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０ａ〜１０ｃ：保持基板、１２ａ１〜１２ａ３，１２ｂ１〜１２ｂ３：光ファイバ、１４，１４ａ，１４ｂ，１６，１６ａ，１６ｂ：位置決め板、１８：切削具、２０：基板、２２：Ｃｒ層、２４：Ｃｕ層、２５，２７：Ｎｉ−Ｆｅ合金層、２６ａ〜２６ｃ：レジスト層、２８：オキサイド層、Ｖ１〜Ｖ３：保持溝、Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ２１，Ｐ２２，Ｑ１１，Ｑ１２，Ｑ２２：位置決め孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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