(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともスクライブライン上に配置しようとするセルを特定するデータ、セルサイズ、前記配置しようとするセルと隣り合うセルと重なり合わない他セル禁止領域サイズ、およびセル配置ルールを含むセルデータと、スクライブラインの配置を示すスクライブラインネットデータとに基づいて、スクライブライン上における、配置しようとするセルを配置可能な空き領域を検索し、当該検索された空き領域内に前記セルを配置し、当該配置結果に応じたセル配置データを生成する半導体製造用レチクルの製造方法であって、
前記セル配置ルールは、セルを配置するスクライブライン上の位置を検索するときの、検索を開始するスクライブライン、スクライブラインの検索順序および検索方向のうち、少なくとも１つを指示するとともに、
前記スクライブラインの交点をノードとし、各ノードから、上下左右の４方向に隣接して位置するノードに対してリンクを形成するネット構造を表現し、および既にセルを配置した位置にノードを生成することにより、前記リンクに基づいて、前記ノードを辿ることで、セルデータの参照を行いスクライブライン上におけるセルを配置可能な位置を検索する半導体用製造用レチクルの製造方法。
【請求項２】
少なくともスクライブライン上に配置しようとするセルを特定するデータ、前記配置しようとするセルと隣り合うセルと重なり合わない他セル禁止領域サイズ、セルサイズおよびセルを配置するスクライブライン上の位置を検索するときの、検索を開始するスクライブライン、スクライブラインの検索順序および検索方向のうち、少なくとも１つを指示しているセル配置ルールを含むセルデータとスクライブラインの配置を示すスクライブラインネットデータを入力する入力する手段と
前記スクライブラインの交点をノードとし、各ノードから、上下左右の４方向に隣接して位置するノードに対してリンクを形成するネット構造と、既にセルを配置した位置に生成するノードとを生成することにより、前記リンクに基づいて、前記ノードを辿ることで、セルデータを参照することによりスクライブライン上におけるセルを配置可能な位置を検索する手段と、
前記入力されたセルデータとスクライブラインネットデータに基づいて、スクライブライン上における、配置しようとするセルを配置可能な空き領域を検索し、当該検索された空き領域内に前記セルを配置するセル配置手段と、
当該配置結果に応じたセル配置データを生成するセル配置データ生成手段とを有する半導体製造用レチクルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造用レチクルの製造方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ステッパやフォトリピータなどでは、フォトマスクであるレチクルが用いられる。
このレチクル上には、図１６に示すように、チップパターン１００の他に、ステッパでパターンを露光するために必要なレチクル合わせマーク１０２や、スクライブライン上に位置するマーク１０１が形成されている。ここで、レチクル上に形成される、チップパターン１００以外のレチクル合わせマーク１０２やスクライブライン上のマーク１０１などはフレームと呼ばれている。
なお、スクライブライン上に位置するマーク１０１には、測定用のテストパターン、トランジスタ測定用のマーク、ウェーハ合わせマークおよび線幅測定用マークなどがある。
【０００３】
レチクル合わせマーク１０２の位置は、レチクル内で決まっている。一方、スクライブラインの位置はチップサイズとチップの配置に応じて変化するため、スクライブライン上のマーク（以下、スクライブライン上のマークを、単にマークとも記す）１０１の位置も変化する。また、スクライブライン上のマーク１０１には、種々のパターンやサイズがある。
【０００４】
スクライブライン上のマーク１０１は、マークの種類に応じた配置ルールに従ってレチクル上に配置される。このとき、マーク１０１を配置する順番は、予め決められた配置優先順位に従う。
マーク１０１の配置ルールとしては、例えば、スクライブライン領域の最外周に配置したり、スクライブライン領域の内側に配置したり、スクライブライン領域の中央付近に配置するものがある。
【０００５】
スクライブライン上に配置するマーク１０１は、一列に並べられた複数のセルで構成され、単数のマーク１０１に、幅約１００μｍの１０個程度のセルが含まれている。マーク１０１に含まれるセルの個数とセルのサイズは、マークの種類に応じて異なる。スクライブライン上には、これら全てのセルが、相互に重なり合わないように、所定の配置ルールに従って配置される。
優先順位が高く、スクライブライン上に先に配置するセルについては、スクライブライン上に空き領域が多いため、他のセルと重ならない領域を簡単に見つけられる。
従来では、上述した処理をレイアウトエディタなどのＣＡＤ装置を利用して、手作業で行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、優先順位が低く、後の方に配置されるセルは、スクライブライン上にセルサイズ分の空き領域を、ＣＡＤ装置を利用して手作業で見つけることは容易ではない。すなわち、先に配置しているセル相互間に存在する空き領域と、配置しようとするセルサイズとを比較しながらスクライブラインを検索する必要がある。
【０００７】
特に、水平方向に並べるセルと垂直方向に並べるセルとが集まるスクライブラインの交点付近では、検索方向に加えて、検索方向の垂直方向に対しても、セルが重ならずに配置できるかどうかを判断しなければならず、手間がかかる。
【０００８】
ところで、複数個のセルをまとめて、あたかも１つのセルのようにして配置することによって、配置位置を求める作業を軽減することができる。しかし、複数個のセルをまとめるとセルのサイズが大きくなるため、スクライブラインの交点で垂直方向に置いたセルと水平方向に置いたセルとが重なってしまう可能性が高くなり、まとめてセルを配置できなければ、まとめたセルを分割しなければならない。
例えば、上述したようなセルの分割および配置を、レイアウトエディタなどのＣＡＤ装置を利用して手作業で行うと、スクライブライン上に配置するセルの個数が約３００個ある場合には、全てのセルの配置位置を決定するのに約２時間もの時間がかかってしまう。
【０００９】
本発明は、上述した従来技術に鑑みてなされ、半導体製造用レチクルの製造過程において、スクライブライン上にマークを配置する工程で費やされる時間を短縮することができると共に、作業者の負担を軽減できる半導体製造用レチクルの製造方法およびその装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述した従来技術の問題点を解決し、上述した目的を達成するために、本発明の製造方法は、少なくともスクライブライン上に配置しようとするセルを特定するデータ、セルサイズ、前記配置しようとするセルと隣り合うセルと重なり合わない他セル禁止領域サイズ、およびセル配置ルールを含むセルデータと、スクライブラインの配置を示すスクライブラインネットデータとに基づいて、スクライブライン上における、配置しようとするセルを配置可能な空き領域を検索し、当該検索された空き領域内に前記セルを配置し、当該配置結果に応じたセル配置データを生成する半導体製造用レチクルの製造方法であって、
セル配置ルールは、セルを配置するスクライブライン上の位置を検索するときの、検索を開始するスクライブライン、スクライブラインの検索順序および検索方向のうち、少なくとも１つを指示するとともに、
スクライブラインの交点をノードとし、各ノードから、上下左右の４方向に隣接して位置するノードに対してリンクを形成するネット構造を表現し、および既にセルを配置した位置にノードを生成することにより、前記リンクに基づいて、前記ノードを辿ることで、セルデータの参照を行いスクライブライン上におけるセルを配置可能な位置を検索する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態に係わる半導体製造用レチクルの製造方法およびその装置について説明する。
図１は、この半導体製造用レチクルの製造方法に用いられるセル配置システム１の入出力データを説明するための図である。
図１に示すように、セル配置システム１は、例えば、スクライブライン上のマーク毎のセルデータ２およびスクライブラインネットデータ３を入力し、スクライブライン上のセル配置を示すセル配置データ４を出力する。
【００１３】
セルデータ２
セルデータ２は、スクライブライン上のマーク単位で生成され、当該マークに含まれるセルのセル名、ダミーセル名、セルサイズ、他セル禁止領域サイズおよびセル配置ルールを含んでいる。
ここで、セル名は、スクライブライン上に配置するセルの名前である。ダミーセル名は、セル名に１対１に対応した名前である。ここで、ダミーセルは、マスクをリピートして露光するときに、２重露光が行われることを防止するためにレチクル上に形成される。このダミーセルは、最外周のスクライブラインにセルを配置したときに、反対側のスクライブライン上の対応する位置に配置される。なお、ダミーセルを必要としないセルでは、ダミーセル名は省略される。
セルサイズは、セルの領域（矩形）のサイズであり、例えば、セルの原点を基準にして、当該領域の左下端と右上端の座標値を示して規定される。
【００１４】
他セル禁止領域サイズは、他のセルの配置領域と重なり合うことを禁止する領域（矩形）のサイズである。他セル禁止領域サイズは、例えば、セルサイズと同様に、セルの原点を基準にして、当該領域の左下端と右上端の座標値を示して規定される。他セル禁止領域を指定しない場合には、他セル禁止領域はセルサイズと一致する。
【００１５】
セル配置ルールは、スクライブライン上にセルを配置する際に、スクライブライン上の配置可能領域を検索するルールであり、スクライブラインの方向、検索開始スクライブライン、１本のスクライブライン上での検索方向の３つを指定する。
【００１６】
図２は、セルデータ２に応じてレチクル上に配置されたセルの一例を説明するための図である。
図２に示すように、セルデータ２によって規定されるセル１０＿１は、マーク１０に含まれ、例えば、セル名「ｃｅｌｌ０１」が付されている。また、セル１０＿１のセルサイズは例えば「（−５０，−３５）−（５０，３５））」であり、他セル禁止領域のサイズは例えば「（−５２，−３５）−（５２，３５））」である。また、セル１０＿１に対応するダミーセル１２＿１は、ダミーマーク１２に含まれ、ダミーセル名「ｃｅｌｌ０１ｄ」が付されている。
また、セル配置ルールは、スクライブラインの方向が水平で、検索開始スクライブラインが下外側で、１本のスクライブライン上での検索方向が右であることを指示している。
【００１７】
スクライブラインネットデータ３
スクライブラインネットデータ３は、チップ間のスクライブラインの位置を用いて記述されている。例えば、スクライブラインネットデータ３は、チップの原点（左下端）を基準にした領域の左下端および右上端の座標によってチップサイズを示すと共に、基準チップの位置を示す座標および配列によってレチクル上でのチップの配置位置を示している。
ここで、チップサイズは、例えば、左下端が座標（０，０）で、右上端が座標（３０００，４０００）である場合に、「（０，０，３０００，４０００）」で示される。また、チップ位置は、例えば、基準チップの位置が「（−７５００，−６０００）」で、配列が「５×３」である場合に、例えば「（−７５００，−６０００），５×３」で示される。
【００１８】
セル配置システム１内におけるスクライブラインのネット構造
図３は、セル配置システム１内におけるスクライブラインのネット構造を説明するための図である。
図３および図４に示すように、スクライブラインの交点をノード２０とし、各ノード２０から、図中上下左右の４方向に隣接して位置するノード２０に対してリンク２２を形成することで、ネット構造を表現する。
また、図５に示すように、セルを配置した位置にはノード２４を生成する。
さらに、図５に示すように、セルを配置したことによって生成したノード２４と共に、配置したセルセイズ内に存在する交点のノード２０から、対応するセルデータ２を参照できるようになっている。
【００１９】
セルサイズと他セル禁止領域
図６は、他セル禁止領域を説明するための図である。
隣り合うセルは、一方のセルのセルサイズが他方の他セル禁止領域外に位置するように配置される。。すなわち、セル相互間の間隔は、セルサイズと他セル禁止領域によって決まる。例えば、図６に示すように、セルサイズ２５のセルは、他のセルの他セル禁止領域２６の外側に配置される。
【００２０】
以下、セル配置システム１の構成について説明する。
図７は、セル配置システム１の構成図である。
図７に示すように、セル配置システム１は、例えば、入力部４０、スクライブラインデータ変換部４１、スクライブネット検索部４２、メモリ４３および出力部４４を有する。
入力部４０は、セルデータ２およびスクライブラインネットデータ３を入力する。
【００２１】
スクライブラインデータ変換部４１は、スクライブラインネットデータ３を、例えば、図３に示すスクライブネット構造を示すスクライブネット構造データに変換し、当該データをメモリ４３に記憶する。
【００２２】
メモリ４３は、入力部４０から入力されたセルデータ２およびスクライブラインネットデータ３を記憶する。また、メモリ４３は、スクライブラインデータ変換部４１にて生成されたスクライブネット構造データ、および、スクライブネット検索部４２においてレチクル上に配置されたセルについてのセル配置データ４を記憶する。
出力部４４は、メモリ４３に記憶されたセル配置データ４を出力する。
【００２３】
スクライブネット検索部４２は、メモリ４３に記憶されたセルデータ２に含まれるセル配置ルールに基づいて、例えば、図３に示すスクライブネットを検索し、セルを配置する。
スクライブネット検索部４２は、以下のようにして検索および配置処理を行う。
すなわち、セル配置ルールが示す検索開始スクライブラインから順にスクライブラインを検索する。
また、各スクライブライン内では、セル配置ルールが示す検索方向に向かってノードを辿って検索を行う。
さらに、スクライブライン上のノードを検索方向に辿りながら、配置するセルのセルサイズと空き領域とを比較し、セルを配置可能な空き領域が存在する場合には、当該位置にセルを配置し、スクライブネット上の当該配置位置にノードを作成する。また、セルデータ２に、配置したセルの座標を追加する。
【００２４】
スクライブラインの検索順
図８に示すスクライブラインの例を用いて、スクライブネット内のスクライブラインの検索順を説明する。
スクライブネット検索部４２は、図８に示す外側のスクライブラインＶ１，Ｖ６，Ｈ１，Ｈ４を検索の開始とした場合には、当該外側のスクライブライン上のみを検索する。
また、スクライブネット検索部４２は、内側のスクライブラインＶ２，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｈ２，Ｈ３を検索の開始とした場合には、外側から１本内側のスクライブライン（例えばＶ２）から、内側方向に順にスクライブラインを検索していく。そして、反対側の外側のスクライブラインの１本内側（例えばＶ５）まで検索したら、最後に、検索を開始したスクライブラインの外側のスクライブライン（例えば、Ｖ１）を検索する。
【００２５】
また、スクライブネット検索部４２は、中央のスクライブライン（水平，垂直）を検索開始とした時には、中心に近いスクライブラインから順にスクライブラインを検索していく。中心までの距離が同じスクライブラインがある場合には、例えば、左側や下側を優先するようにする。
【００２６】
図９は、スクライブラインの方向と、検索開始スクライブラインと、図８の場合の検索順との関係を示す図である。
図９に示すように、例えば、垂直方向のスクライブラインについて、左内側（Ｖ２）から検索を開始した場合には、Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５，Ｖ１の順で検索が行われる。
【００２７】
スクライブライン上の検索方向
スクライブネット検索部４２における検索対象として選択したスクライブライン上での検索方向を、図１０を参照して説明する。
検索方向が、図１０に示すように、下向き５２，上向き５４，左向き５１，右向き５０の場合には、選択したスクライブラインの端から端まで、セルを配置できる位置を検索する。端まで検索して、セルを配置できる位置がない場合には、次のスクライブラインを選択して、同様の検索を行う。
検索方向が中央５３の場合には、選択したスクライブラインの中央から、両方の端に向かって２方向にセルを配置できる位置を検索する。そして、２方向の内、両方にセルの配置位置が見つかった時には、中央５３に近い方をセルの配置位置とする。２方向の内、１方にだけセルを配置できた場合には、その位置を配置位置とする。２方向ともセルの配置位置が見つからない場合には、次のスクライブラインを選択して、同様の検索を行う。
【００２８】
スクライブライン上のセルの重なり検査
スクライブネット検索部４２は、配置しようとするセルが、既に配置されているセルと重なり合わないようにするために、スクライブラインの検索過程において、以下に示すように、スクライブライン上の空き領域に、配置しようとするセルが配置可能であるか否かを検査する。
【００２９】
すなわち、スクライブネット検索部４２は、先ず、セルの片側が別のセルと重ならないようにして、セルを配置する位置を仮に決める。
次に、スクライブネット検索部４２は、検索方向と同じ順方向のスクライブラインに対して、仮に配置したセルのセルサイズ内にあるノード、および、セルサイズ外で隣にあるノードごとに、当該ノードのセルデータ２を参照して、仮に配置したセルと、既に配置してあるセルとの間で、セルサイズと他セル禁止領域とが重なり合うか否かを検査する。
次に、スクライブネット検索部４２は、検索方向に対して垂直に位置するスクライブラインに対して、配置したセルのセルサイズ内のノード、および、セルサイズ外で隣にあり垂直方向にリンクするノードのそれぞれについてのセルデータ２を参照して、仮に配置したセルと、既に配置してあるセルとの間で、セルサイズと他セル禁止領域とが重なり合うか否かを検査する。
【００３０】
配置しようとするセル（セルサイズ）と空き領域とを検査して、配置しようとするセルが他のセルと重なり合うと判断された場合に、スクライブライン上の次のセル配置位置を検索する過程を、図１１（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）の３つの例を用いて説明する。
なお、図１１（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）において、検索方向は図中右方向である。
先ず、図１１（Ａ）に示す例では、セル６０，６２が既に配置されているセルを示し、セル６１が配置しようとするセルを示している。
この場合には、先ず、図１１（Ａ）左側のように、セル６０の右側にセル６１を仮に配置し、セル６１のセルサイズと、セル６０とセル６２との間の空き領域とを比較して、当該空き領域にセル６１を配置したときにセル６１とセル６０，６２とが重なり合うか否かを検査する。この場合には、セル６１とセル６０，６２とが重なり合うため、次に、図１１（Ａ）右側のように、セル６２の右側にセル６１を仮に配置し、同様に、重なり合うか否かを検査する。この場合には、セル６１とセル６２とは重なり合わないため、当該位置にセル６１を配置する。
【００３１】
また、図１１（Ｂ）に示す例では、セル６３，６４が既に配置されているセルを示し、セル６５が右方向に検索を行いながら配置しようとするセルを示している。
この場合には、先ず、図１１（Ｂ）左側のように、セル６３の右側にセル６５を仮に配置し、セル６３とセル６４との間の空き領域と、セル６５のセルサイズとを比較し、当該空き領域にセル６５を配置したときに、セル６５とセル６３，６４とが重なり合うか否かを検査する。この場合には、セル６５がセル６４と重なり合うため、次に、図１１（Ｂ）右側に示すように、セル６４の右側の空き領域にセル６５を配置し、重なり合うか否かを検査する。この場合には、重なり合わないため、当該位置にセル６５を配置する。
【００３２】
さらに、図１１（Ｃ）に示す例では、セル６６，６７，６８が既に配置されているセルを示し、セル６９が右方向に検索を行いながら配置しようとするセルを示している。
この場合には、先ず、図１１（Ｃ）左側のように、セル６８の右側にセル６９を仮に配置し、セル６７とセル６８との間の空き領域と、セル６９のセルサイズとを比較し、当該空き領域にセル６９を配置したときに、セル６９とセル６６，６７とが重なり合うか否かを検査する。この場合には、セル６７がセル６９と重なり合うため、次に、図１１（Ｃ）右側に示すように、セル６７の右側の空き領域にセル６９を配置し、重なり合うか否かを検査する。この場合には、重なり合わないため、当該位置にセル６９を配置する。
【００３３】
次に、スクライブライン上で水平方向に、配置しようとするセルのセルサイズと空き領域とを検査しながら、右方向に、５回検索を行い、ノードをたどる例を図１２に示す。
図１２において、セル７５，７６，７７，７８，７９は、既にスクライブラインに配置されているセルであり、セル８０は、水平方向のスクライブライン８１に配置しようとしているセルである。
この場合には、先ず、図１２中左側から、スクライブライン８１の位置Ａにセル８０を仮に配置する。この場合には、セル８０の右端がセル７５と重なり合うと判断される。次に、スクライブライン８１の位置Ｂにセル８０を仮に配置する。この場合でも、セル８０の右端がセル７６と重なり合うと判断される。次に、スクライブライン８１の位置Ｃにセル８０を仮に配置する。この場合でも、セル８０の上端がセル７７と重なり合うと判断される。次に、スクライブライン８１の位置Ｄにセル８０を仮に配置する。この場合でも、セル８０の右端がセル７８と重なり合うと判断される。そして、スクライブライン８１の位置Ｅにセル８０を仮に配置する。この場合には、セル８０と重なり合うセルは無いと判断され、セル８０が位置Ｅに最終的に配置される。
【００３４】
最外周のスクライブラインへのセル配置
スクライブネット検索部４２は、最外周のスクライブラインに、以下に示すアルゴリズムによって、セルを配置する。
すなわち、スクライブネット検索部４２は、最外周のスクライブラインにセルを配置するときに、セルを配置するスクライブラインに対して反対側に位置するスクライブラインに、配置するセルと同じセルサイズのダミーセルを配置可能であるかも検査する。
そして、スクライブネット検索部４２は、それぞれのスクライブラインにおいて、セルおよびダミーセルが配置可能である場合には、当該位置セルおよびダミーセルを配置する。一方、当該位置において、セルおよびダミーセルのうち、一方あるいは双方が配置できない場合には、次の空き領域を見つけるために検索方向に検索を続ける。
【００３５】
スクライブネット検索部４２は、上述したアルゴリズムでは、セルをスクライブライン上に配置する。そして、最終的に全てのセルを配置したときのセル配置データ４を図７に示す出力部４４から出力する。
なお、セル配置データ４には、セル名および当該セルを配置した位置（座標）、ダミーセルを配置した場合には、ダミーセル名および当該ダミーセルを配置した位置が含まれる。
また、スクライブネット検索部４２は、セル配置ルールによるスクライブネットの範囲をすべて検索しても、セルを配置できる領域を見つけられない場合には、配置できなかったセル名を含むメッセージを出力する。
【００３６】
以下、図１および図７に示すセル配置システム１における処理を図１３に示すフローチャートを参照して説明する。
ここでは、セルデータ２に、図１４に示すように、マークＡ〜Ｋについてのセル名、ダミーセル名、セルサイズ、他セル禁止領域およびセル配置ルールが含まれている。ここで、セル配置の優先順位は、マークＡからＫに向かって小さくなるように指定されている。
なお、セルデータ２内に、全てのマークＡ〜Ｋのセルデータを含めるのではなく、個々のマーク毎にセルデータを作成するようにしてもよい。
一方、スクライブラインネットデータ３は、図３に示すようなネット構造のスクライブラインを示している。具体的には、スクライブラインネットデータ３は、例えば、チップサイズ（０，０，３０００，４０００）およびチップ位置（（−７５００，−６０００），５×３）を示している。
【００３７】
先ず、セル配置システム１は、セルデータ２を入力し（Ｓ１）、このセルデータ２をメモリ４３に記憶する。
次に、セル配置システム１は、スクライブラインネットデータ３を入力し（Ｓ２）、このスクライブラインネットデータ３をメモリ４３に記憶する。
【００３８】
次に、スクライブラインデータ変換部４１において、メモリ４３に記憶されたスクライブラインネットデータ３を図３に示すスクライブネット構造を示すスクライブネット構造データに変換し、これをメモリ４３に記憶する。
【００３９】
次に、スクライブネット検索部４２は、メモリ４３に記憶されたセルデータ２およびスクライブネット構造データを用いて、スクライブラインの検索順、スクライブライン上の検索方向およびセルの重なり合い検査のアルゴリズムに従って、スクライブライン上にセルを配置し、当該セル配置に関するデータをセル配置データに追加する（Ｓ４）。そして、マークＡ〜Ｋの全てのセルの配置が終了したときのセル配置データ４を図７に示す出力部４４を介して出力する（Ｓ５）。
このとき、セル配置データ４は、図１５に示すように、スクライブライン上に、マークＡ〜Ｋを配置することを示している。
【００４０】
上述したセル配置システム１では、セルデータ２をライブラリとしてメモリ４３に記憶しておけば、様々なチップサイズのスクライブラインに対しても、スクライブライン上にセルの配置位置を自動的にに決めることができる。例えば、セル配置位置計算プログラムを用いてコンピュータで計算すれば、全てのセルの配置位置を数秒間で求めることができる。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態の半導体製造用レチクルの製造方法およびその装置によれば、半導体製造用レチクルの製造過程において、スクライブライン上にマークを配置するために費やされる時間を短縮することができる。
また、セルの配置処理を、セル配置システム１において自動的に行うことができ、作業者の負担を軽減できる。
【００４２】
本発明は上述した実施形態には限定されない。
例えば、検索を開始するスクライブライン、スクライブラインの検索順序および検索方向は、上述した例には限定されず任意である。
また、最外周のスクライブラインにセルを配置するときに、ダミーセルを配置しないようにしてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の半導体製造用レチクルの製造方法およびその装置によれば、半導体製造用レチクルの製造過程において、スクライブライン上にセル（マーク）を配置するために費やされる時間を短縮することができると共に、作業者の負担を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の半導体製造用レチクルの製造方法に用いられるセル配置システムの入出力データを説明するための図である。
【図２】図２は、セルデータに応じてレチクル上に配置されたセルの一例を説明するための図である。
【図３】図３は、セル配置システム内におけるスクライブラインのネット構造を説明するための図である。
【図４】スクライブラインのネット構造におけるノード相互間のリンクを説明するための図である。
【図５】図５は、セルを配置した位置に生成されるノードを説明するための図である。
【図６】図６は、セルサイズと他セル禁止領域との関係を説明するための図である。
【図７】図７は、セル配置システムの構成図である。
【図８】図８は、スクライブネット内のスクライブラインの検索順を説明するための図である。
【図９】図９は、スクライブラインの方向と、検索開始スクライブラインと、図８の場合の検索順との関係を示す図である。
【図１０】図１０は、スクライブネット検索部における検索対象として選択したスクライブライン上での検索方向を説明するための図である。
【図１１】図１１は、スクライブネット検索部におけるセル配置位置の検索手順を説明するための図である。
【図１２】図１２は、スクライブネット検索部におけるセル配置位置の検索手順を説明するための図である。
【図１３】図１３は、セル配置システムにおける処理のフローチャートである。
【図１４】図１４は、セルデータの一例である。
【図１５】図１５は、図１４に示すセルデータに応じてマークを配置したときの配置パターンを示す図である。
【図１６】図１６は、レチクル上に形成されるチップパターン、レチクル合わせマーク、スクライブライン上に位置するマークを説明するための図である。
【符号の説明】
１…セル配置システム、２…セルデータ、３…スクライブラインネットデータ、４…セル配置データ、１０…マーク、１０＿１〜１０＿ｎ…セル、１２…ダミマーク、１２＿１〜１２＿ｎ…ダミーセル、２０，２２…ノード、４０…入力部、４１…スクライブラインデータ変換部、４２…スクライブネット検索部、４３…メモリ、４４…出力部
【図１】
0003736034.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
0003736034.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
0003736034.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
0003736034.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0003736034.tif 000013
【図１３】
0003736034.tif 000014
【図１４】
0003736034.tif 000015
【図１５】
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【図１６】
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