(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測対象の電解質液の流路中に複数の電極部材が所定間隔をあけて配置され、前記電極部材間の電気抵抗に基いて前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極において、
前記複数の電極部材のうち少なくとも一つの電極部材は、円管状に形成された互いに外径の異なる大径部材と小径部材とを有し、かつこれらの大径部材と小径部材とが互いに同軸的に連結し、
前記小径部材の外周面に第１のねじ山が形成され、
前記大径部材の内周面に前記第１のねじ山が螺合する第２のねじ山が形成され、
前記第１のねじ山と前記第２のねじ山とが螺合すると、前記大径部材と小径部材のいずれか一方に形成されているとともに、他方に圧入する圧入部を備えていることを特徴とする抵抗率計の電極。
【請求項２】
前記大径部材と前記小径部材とは、互いに連結すると互いに相対する面をそれぞれ備えており、
前記圧入部は、前記大径部材の面と前記小径部材の面とのうち一方から他方に向かって突出した突起であり、前記第１のねじ山と前記第２のねじ山とが螺合すると、該突起が他方にくい込むことを特徴とする請求項１記載の抵抗率計の電極。
【請求項３】
前記圧入部は、前記小径部材に設けられかつ第１のねじ山より大径部材寄りに設けられ、かつ外径が前記大径部材の内径より大きく形成されていることを特徴とする請求項１記載の抵抗率計の電極。
【請求項４】
前記圧入部は、前記大径部材に設けられかつ第２のねじ山より小径部材寄りに設けられ、かつ内径が前記小径部材の外径より小さく形成されていることを特徴とする請求項１記載の抵抗率計の電極。
【請求項５】
計測対象の電解質液の流路中に複数の電極部材が所定間隔をあけて配置され、前記電極部材間の電気抵抗に基いて前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極において、
前記複数の電極部材のうち少なくとも一つの電極部材は、円管状に形成された互いに外径の異なる大径部材と小径部材とを有し、かつこれらの大径部材と小径部材とが互いに同軸的に連結し、
前記大径部材の内側に前記小径部材の一端部が挿入されて、前記大径部材と小径部材とが連結するとともに、
前記大径部材の内周面と小径部材の外周面とのうち一方に凹部が形成され、他方に凸部が形成されており、
前記大径部材の内側に前記小径部材の一端部が挿入されると、前記凹部内に前記凸部が係合することを特徴とする抵抗率計の電極。
【請求項６】
前記電極部材として円管状の内電極と円管状の外電極とを備え、前記外電極の内側に前記内電極が挿入されて、これらの内外電極が互いに同軸的に配されているとともに、
前記内電極が前記大径部材と前記小径部材とを有していることを特徴とする請求項１ないし請求項５のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極。
【請求項７】
前記電極部材として円管状の内電極と円管状の外電極とを備え、前記外電極の内側に前記内電極が挿入されて、これらの内外電極が互いに同軸的に配されているとともに、
前記外電極が前記大径部材と前記小径部材とを有していることを特徴とする請求項１ないし請求項５のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極。
【請求項８】
前記電極部材として円管状の内電極と円管状の外電極とを備え、前記外電極の内側に前記内電極が挿入されて、これらの内外電極が互いに同軸的に配されているとともに、
前記内電極と外電極との双方が前記大径部材と前記小径部材とを有していることを特徴とする請求項１ないし請求項５のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などに用いられる抵抗率計の電極に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などにおいて、超純水の純度や電解質液の濃度を測定するために、前記超純水や電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計が用いられる。
【０００３】
例えば、半導体の製造工程では、被洗浄物としての半導体ウェーハを洗浄槽内に挿入してアンモニアなどの洗浄液で洗浄する（洗浄工程）。そして、前記アンモニアを排出するとともに超純水（不純物を意図的に極めて少なくした水：超高純度水ともいう）を洗浄槽内に入れて、前記半導体ウェーハを濯いでいる（リンス工程）。前記リンス工程において、アンモニアと入れ替えられた超純水の純度を測定する際には、例えば、図１２に示す電極１０１を備えた抵抗率計が用いられる。
【０００４】
図１２に例示された抵抗率計の電極１０１は、内電極１０２と、外電極１０３と、前記内電極１０２及び外電極１０３を支持する支持部１０４と、を備えている。内電極１０２は、導電性の金属からなる。内電極１０２は、一端部（以下先端部と呼ぶ）１０２ｂが塞がれた円管状に形成されている。内電極１０２は、大径部１０５と、小径部１０６と、を一体に備えている。小径部１０６の外径は、大径部１０５の外径より小さい。大径部１０５と小径部１０６とは、互いに同軸的でかつ互いに直列に配されている。
【０００５】
外電極１０３は、導電性の金属からなる。外電極１０３は、円管状に形成されている。外電極１０３の内径は、内電極１０２の外径より大きい。外電極１０３内に内電極１０２が挿入されて、これらの内外電極１０２，１０３は、互いに同軸的に配されている。支持部１０４は、内電極１０２の小径部１０６の基端部１０２ａと、外電極１０３の基端部１０３ａとを支持している。
【０００６】
前述した構成によって、抵抗率計の電極１０１は、前記内電極１０２及び外電極１０３それぞれの少なくとも先端部１０２ｂ，１０３ｂを、計測対象の電解質液の流路中に配置し、これらの電極１０２，１０３間の電気抵抗を測定することより前記電解質液の抵抗率を測定する。そして、測定した抵抗率に基いて、超純水などの電解質液の純度を求める。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前述した抵抗率計の電極１０１の電極部材としての内電極１０２は、導電性の金属からなり、かつ互いに外径の異なる大径部１０５と小径部１０６とを一体に備えている。このため、前記内電極１０２は、例えば、前記金属からなる円柱状の部材に切削加工などを施して製造されてきた。このため、前記部材の無駄になる部分が非常に多い（材料歩留まりが非常に悪化する）。
【０００８】
又、前記大径部１０５と小径部１０６とに亘って穴１０７をあける必要があって、非常に製造しずらかった。このため、製造にかかる所要工数が増加する傾向であった。したがって、抵抗率計の電極１０１のコストが高騰する傾向であった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、コストの高騰を抑制できる抵抗率計の電極を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の抵抗率計の電極は、計測対象の電解質液の流路中に複数の電極部材が所定間隔をあけて配置され、前記電極部材間の電気抵抗に基いて前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極において、前記複数の電極部材のうち少なくとも一つの電極部材は、円管状に形成された互いに外径の異なる大径部材と小径部材とを有し、かつこれらの大径部材と小径部材とが互いに同軸的に連結し、前記小径部材の外周面に第１のねじ山が形成され、前記大径部材の内周面に前記第１のねじ山が螺合する第２のねじ山が形成され、前記第１のねじ山と前記第２のねじ山とが螺合すると、前記大径部材と小径部材のいずれか一方に形成されているとともに、他方に圧入する圧入部を備えていることを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１記載の抵抗率計の電極において、前記大径部材と前記小径部材とは、互いに連結すると互いに相対する面をそれぞれ備えており、前記圧入部は、前記大径部材の面と前記小径部材の面とのうち一方から他方に向かって突出した突起であり、前記第１のねじ山と前記第２のねじ山とが螺合すると、該突起が他方にくい込むことを特徴としている。
【００１３】
請求項３に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１記載の抵抗率計の電極において、前記圧入部は、前記小径部材に設けられかつ第１のねじ山より大径部材寄りに設けられ、かつ外径が前記大径部材の内径より大きく形成されていることを特徴としている。
【００１４】
請求項４に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１記載の抵抗率計の電極において、前記圧入部は、前記大径部材に設けられかつ第２のねじ山より小径部材寄りに設けられ、かつ内径が前記小径部材の外径より小さく形成されていることを特徴としている。
【００１５】
請求項５に記載の本発明の抵抗率計の電極は、計測対象の電解質液の流路中に複数の電極部材が所定間隔をあけて配置され、前記電極部材間の電気抵抗に基いて前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極において、前記複数の電極部材のうち少なくとも一つの電極部材は、円管状に形成された互いに外径の異なる大径部材と小径部材とを有し、かつこれらの大径部材と小径部材とが互いに同軸的に連結し、前記大径部材の内側に前記小径部材の一端部が挿入されて、前記大径部材と小径部材とが連結するとともに、前記大径部材の内周面と小径部材の外周面とのうち一方に凹部が形成され、他方に凸部が形成されており、前記大径部材の内側に前記小径部材の一端部が挿入されると、前記凹部内に前記凸部が係合することを特徴としている。
【００１６】
請求項６に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１ないし請求項５のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極において、前記電極部材として円管状の内電極と円管状の外電極とを備え、前記外電極の内側に前記内電極が挿入されて、これらの内外電極が互いに同軸的に配されているとともに、前記内電極が前記大径部材と前記小径部材とを有していることを特徴としている。
【００１７】
請求項７に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１ないし請求項５のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極において、前記電極部材として円管状の内電極と円管状の外電極とを備え、前記外電極の内側に前記内電極が挿入されて、これらの内外電極が互いに同軸的に配されているとともに、前記外電極が前記大径部材と前記小径部材とを有していることを特徴としている。
【００１８】
請求項８に記載の本発明の抵抗率計の電極は、請求項１ないし請求項５のうちいずれか一項に記載の抵抗率計の電極において、前記電極部材として円管状の内電極と円管状の外電極とを備え、前記外電極の内側に前記内電極が挿入されて、これらの内外電極が互いに同軸的に配されているとともに、前記内電極と外電極との双方が前記大径部材と前記小径部材とを有していることを特徴としている。
【００１９】
請求項１に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、少なくとも一つの電極部材が、大径部材と小径部材とを備えている。これらの大径部材と小径部材とが連結している。このため、大径部材と小径部材とを別々に製造して、これらを連結して、前記電極部材を製造できる。
【００２０】
第１のねじ山と第２のねじ山とを螺合させると、大径部材と小径部材のいずれか一方の圧入部が他方に圧入する。このため、大径部材と小径部材とに接着剤を塗布して、これらの部材を互いに固定する際にも、大径部材の母材と小径部材の母材とが確実に接触する。
【００２１】
請求項２に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、圧入部が他方に食い込むので、大径部材と小径部材とに接着剤を塗布して、これらの部材を互いに固定する際にも、大径部材の母材と小径部材の母材とが確実に接触する。
【００２２】
請求項３に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、第１のねじ山より大径部材寄りの圧入部の外径が大径部材の内径より大きい。このため、大径部材と小径部材とに接着剤を塗布することなく、これらの部材を互いに固定できる。
【００２３】
請求項４に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、第２のねじ山より小径部材寄りに配された圧入部の内径が小径部材の外径より小さい。このため、大径部材と小径部材とに接着剤を塗布することなく、これらの部材を互いに固定できる。
【００２４】
請求項５に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、大径部材の内周面と小径部材の外周面のうち一方から凹の凹部に、他方から凸部が係合する。このため、大径部材と小径部材とに接着剤を塗布することなく、これらの部材を互いに固定できる。
【００２５】
請求項６に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、内電極が大径部材と小径部材とを備えている。このため、大径部材と小径部材とを別々に製造して、これらを連結して、前記内電極を製造できる。
【００２６】
請求項７に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、外電極が大径部材と小径部材とを備えている。このため、大径部材と小径部材とを別々に製造して、これらを連結して、前記外電極を製造できる。
【００２７】
請求項８に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、内外電極が大径部材と小径部材とを備えている。このため、大径部材と小径部材とを別々に製造して、これらを連結して、前記内外電極それぞれを製造できる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態にかかる抵抗率計の電極１を、図１ないし図７を参照して説明する。図１などに示す抵抗率計の電極１は、半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における超純水などの水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び電解質液としての各種の薬液の濃度管理などに用いられる。
【００２９】
電極１は、例えば、半導体ウェーハなどの被洗浄物などを洗浄する半導体の製造工程におけるリンス工程において、洗浄液としての超純水（特許請求の範囲等に記載した電解質液に相当する）の純度を測定するために用いられる。前記電極１を用いる抵抗率計は、計測対象物としての前述した超純水などの電解質液の純度を測定するために、前記電解質液の抵抗率を測定する装置である。
【００３０】
前記電極１は、前記超純水などの流路中に配されかつ図１に示すように前記流路を構成するＴ字管継手６０に取り付けられる。Ｔ字管継手６０は、図１に示すように、前記流路を構成する管部６１ａ，６１ｂ，６１ｃを備えている。
【００３１】
一つの管部６１ａには、半導体ウェーハを収容しかつ前記洗浄工程及びリンス工程などを行う洗浄槽などが連結している。他の一つの管部６１ｂには、前述した洗浄工程及びリンス工程などに用いられた処理液などを排出する排出管が連結している。他の一つの管部６１ｃに、電極１が取り付けられる。前記管部６１ｃの外周面には、ねじ山としてのテーパねじ６２等が形成されている。
【００３２】
抵抗率計の電極１は、図１に示すように、電極部材としての内電極２と、電極部材としての外電極３と、シール部材８と、前記内電極２及び外電極３を支持する支持部４と、温度検出部５と、前記内電極２と電気的に接続した電線としての内電極リード線６と、前記外電極３と電気的に接続した電線としての外電極リード線７と、取付手段としての袋ナット７１と、付勢手段としてのコイルばね７２と、シール突起３３と、を備えている。
【００３３】
内電極２は、導電性を有する金属などから構成されている。内電極２は、一端部（以下先端部と呼ぶ）２ｇが塞がれた円管状に形成されている。内電極２は、図２及び図３などに示すように、外径が比較的小さい小径部材２ａと、外径が比較的大きい大径部材２ｂと、を備えている。これらの小径部材２ａと大径部材２ｂとは、互いに同軸的でかつ直列に連結している。
【００３４】
大径部材２ｂは、例えば、チタン（Titanium）などの高強度でかつ耐食性の金属からなる。大径部材２ｂは、先端部２ｇが塞がれた円管状に形成されており、外径が全長に亘って略一定に形成されている。小径部材２ａは、例えば、ステンレス鋼などの金属からなる。小径部材２ａは、円管状に形成されている。小径部材２ａは、外径が全長に亘って略一定に形成されている。小径部材２ａは、外表面から凹に形成された凹溝２ｈを備えている。凹溝２ｈは、小径部材２ａの周方向に沿って形成されている。
【００３５】
大径部材２ｂと小径部材２ａとは、図３に示すように、第１のねじ山４１と第２のねじ山４２と圧入部としての突起４３（図４に示す）によって、互いに直列に連結される。第１のねじ山４１は、小径部材２ａの一端部（以下先端部と呼ぶ）４４の外周面に形成されている。このため、小径部材２ａは、所謂雄ねじとなっている。
【００３６】
第２のねじ山４２は、大径部材２ｂの他端部（以下基端部と呼ぶ）４５の内周面に形成されている。このため、大径部材２ｂは、所謂雌ねじとなっている。第２のねじ山４２には、第１のねじ山４１がねじ込まれる。即ち、第１のねじ山４１と第２のねじ山４２とは、互いに螺合する。
【００３７】
小径部材２ａと大径部材２ｂとは、第１のねじ山４１と第２のねじ山４２とが互いに螺合すると、互いに相対するとともに互いに重なる面４６，４７を備えている。これらの面４６，４７は、円環状でかつ小径部材２ａと大径部材２ｂの軸芯即ち内電極２の軸芯に対し直交する方向に沿って平坦である。
【００３８】
突起４３は、小径部材２ａの面４６と大径部材２ｂの面４７とのうち一方から他方に向かって突出している。図示例では、突起４３は、図４に示すように、小径部材２ａの面４６から大径部材２ｂの面４７に向かって凸に形成されている。突起４３は、円環状である。突起４３の断面形状は、先が尖った山形に形成されている。
【００３９】
内電極２は、第１のねじ山４１と第２のねじ山４２とが互いに螺合して、小径部材２ａと大径部材２ｂとが直列に連結されて得られる。これらの第１のねじ山４１と第２のねじ山４２とが螺合する際には、これらのねじ山４１，４２に接着剤が塗布される。さらに、ねじ山４１，４２が互いに螺合すると、尖っているため、図４に示すように、突起４３が大径部材２ｂの母材にくい込む。
【００４０】
前述した構成の内電極２を組み立てる際には、まず、第１のねじ山４１と第２のねじ山４２に接着剤を塗布する。図５（ａ）に示すように、第１のねじ山４１を第２のねじ山４２に徐々にねじ込んで、大径部材２ｂ内に小径部材２ａの先端部４４から徐々に挿入する。
【００４１】
すると、図５（ｂ）に示すように、突起４３が、大径部材２ｂの面４７に接触する。さらに、第１のねじ山４１を第２のねじ山４２にねじ込むと、図５（ｃ）に示すように、突起４３が大径部材２ｂの母材に徐々にくい込む。そして、図４に示すように、面４６，４７が互いに相対するとともに重なって、小径部材２ａと大径部材２ｂとが固定されて、前述した構成の内電極２を得る。
【００４２】
内電極２は、前記大径部材２ｂが抵抗率計の電極１の先端側に位置しかつ小径部材２ａが基端側に位置した状態で配される。前記内電極２の小径部材２ａと大径部材２ｂの内側は、温度検出部挿入孔２ｄをなしている。
【００４３】
前記温度検出部挿入孔２ｄは、前記小径部材２ａ及び大径部材２ｂそれぞれと互いに同軸的に配されている。温度検出部挿入孔２ｄは、内電極２の基端部２ｆ側の端面２ｃと前記内電極２の先端部２ｇとに亘って形成されている。なお、温度検出部挿入孔２ｄは、勿論、基端部２ｆ側の端面２ｃには開口しているが、内電極２の先端部２ｇ側の端面２ｅには開口していない。
【００４４】
外電極３は、導電性を有する金属などから構成されている。外電極３は、円管状に形成されている。外電極３は、図２及び図３などに示すように、内外径が比較的小さい小径部材３ｄと、内外径が比較的大きい大径部材３ｅと、を備えている。
【００４５】
大径部材３ｅは、全長に亘って内外径が略一定に形成されている。大径部材３ｅの内径は、内電極２の大径部材２ｂの外径より大きい。大径部材３ｅは、基端部５５に前述した電解質液を通す通し孔４８を複数設けている。通し孔４８は、大径部材３ｅを貫通している。また、大径部材３ｅの内径が、前記基端部５５から先端部３ｃに向かうにしたがって段階的に大きくなる段差４９が形成されている。段差４９は、通し孔４８の先端部３ｃ寄りに設けられている。
【００４６】
小径部材３ｄは、図２及び図３に示すように、円管状の円管部５０ａと、円環状の円環部５０ｂと、を一体に備えている。円管部５０ａは、全長に亘って内外径が略一定に形成されている。円管部５０ａの内径は、内電極２の小径部材２ａの外径より大きい。
【００４７】
円環部５０ｂは、円管部５０ａの一端部（以下先端部と呼ぶ）に連なっている。円環部５０ｂは、円管部５０ａと同軸的である。このため、円環部５０ｂは、円管部５０ａの全周に亘って、円管部５０ａの先端部から該円管部５０ａの外周方向に突出している。円環部５０ｂの外径は、大径部材３ｅの内径と略等しい。また、円環部５０ｂには、外周面から更に外周方向に突出したフランジ部５０ｃが一体に形成されている。又、円環部５０ｂは、本明細書に記した小径部材３ｄの一端部をなしている。
【００４８】
これらの小径部材３ｄと大径部材３ｅとは、図３に示すように、第１のねじ山５１と第２のねじ山５２と圧入部としての突起５３（図６に示す）によって、互いに同軸的でかつ直列に連結している。なお、第１のねじ山５１と第２のねじ山５２とが後述するように螺合すると、前記小径部材３ｄと大径部材３ｅとを互いに連ねる円環部５０ｂは、後述するように内外電極２，３が互いに同軸に配された際に内電極２の段差部２ｉと平行になる。
【００４９】
第１のねじ山５１は、小径部材３ｄの円環部５０ｂの外周面に形成されている。このため、小径部材３ｄは、所謂雄ねじとなっている。第２のねじ山５２は、大径部材３ｅの基端部５５の内周面に形成されている。このため、大径部材３ｅは、所謂雌ねじとなっている。第２のねじ山５２には、第１のねじ山５１がねじ込まれる。即ち、第１のねじ山５１と第２のねじ山５２とは、互いに螺合する。
【００５０】
小径部材３ｄと大径部材３ｅとは、第１のねじ山５１と第２のねじ山５２とが互いに螺合すると、互いに相対するとともに互いに重なる面５６，５７を備えている。これらの面５６，５７は、円環状でかつ小径部材２ａと大径部材２ｂの軸芯即ち内電極２の軸芯に対し直交する方向に沿って平坦である。
【００５１】
小径部材３ｄの面５６は、フランジ部５０ｃの表面である。大径部材３ｅの面５７は、該大径部材３ｅの基端部５５側の端面である。突起５３は、小径部材３ｄの面５６と大径部材３ｅの面５７とのうち一方から他方に向かって突出している。図示例では、突起５３は、図６に示すように、大径部材３ｅの面５７から小径部材３ｄの面５６に向かって凸に形成されている。突起５３は、円環状である。突起５３の断面形状は、先が尖った山形に形成されている。
【００５２】
外電極３は、第１のねじ山５１と第２のねじ山５２とが互いに螺合して、小径部材３ｄと大径部材３ｅとが直列に連結されて得られる。これらの第１のねじ山５１と第２のねじ山５２とが螺合する際には、これらのねじ山５１，５２に接着剤が塗布される。さらに、ねじ山５１，５２が互いに螺合すると、尖っているため、図６に示すように、突起５３が小径部材３ｄの母材にくい込む。
【００５３】
前述した構成の外電極３を組み立てる際には、まず、大径部材３ｅを構成する内外径一定の円管状の部材の周壁に通し孔４８をあける。その後、内周面に切削加工などを施して、前記段差４９を形成する。その後、第２のねじ山５２を大径部材３ｅの内周面に形成するとともに、小径部材３ｄの円環部５０ｂの外周面に第１のねじ山５１を形成する。
【００５４】
第１のねじ山５１と第２のねじ山５２に接着剤を塗布する。図７（ａ）に示すように、第１のねじ山５１を第２のねじ山５２に徐々にねじ込んで、大径部材３ｅ内に小径部材３ｄを徐々に挿入する。
【００５５】
すると、図７（ｂ）に示すように、突起５３が、小径部材３ｄの面５６に接触する。さらに、第１のねじ山５１を第２のねじ山５２にねじ込むと、図７（ｃ）に示すように、突起５３が小径部材３ｄの母材に徐々にくい込む。そして、図６に示すように、面５６，５７が互いに相対するとともに重なって、小径部材３ｄと大径部材３ｅとが固定されて、前述した構成の外電極３を得る。
【００５６】
内電極２と外電極３とは、図３に示すように、小径部材２ａが小径部材３ｄ内に配され大径部材２ｂが大径部材３ｅ内に配された格好で配される。即ち、内電極２と外電極３とは、外電極３の内側に内電極２が挿入されて、互いに同軸的に配されている。内電極２は、前記大径部材２ｂの端面２ｅが、前記外電極３の先端部３ｃ側に位置する端面３ａより若干外電極３の奥側に位置した状態で配されている。
【００５７】
シール部材８は、プラストマ性を有する即ちエラストマ性を有さない合成樹脂からなる。即ち、シール部材８は、殆ど弾性変形しない。シール部材８は、可塑性の大きい高分子物質からなる。本実施形態では、シール部材８は、前述した電解質液に対する溶出する物質が少ない非溶出性のフッ素樹脂などからなる。即ち、シール部材８は、非溶出性である。
【００５８】
シール部材８は、図１ないし図３に示すように、円板部８ａと筒部８ｂとを一体に備えている。円板部８ａは、平面形状が円形でかつ厚みが略一定の円板状に形成されている、円板部８ａの両表面は、平坦に形成されている。円板部８ａは、外径が外電極３の大径部材３ｅの内径と略等しく形成されている。
【００５９】
円板部８ａは、中央に孔８ｃを設けている。孔８ｃは、円板部８ａを貫通している。孔８ｃは、平面形状が円形に形成されている。孔８ｃは、内径が内電極２の小径部材２ａの外径と略等しく形成されている。
【００６０】
筒部８ｂは、孔８ｃの縁に連なっている。筒部８ｂは円筒状に形成されている。筒部８ｂは、円板部８ａに対し立設している。筒部８ｂは、内径が内電極２の小径部材２ａの外径と略等しく形成されている。筒部８ｂは、外径が外電極３の小径部材３ｄの円管部５０ａの内径と略等しく形成されている。筒部８ｂは、小径部材２ａの外周と小径部材３ｄの内周との双方に嵌合して、電極２，３間の間隔を所定間隔ｔに保つ。
【００６１】
前述した構成のシール部材８は、支持部４が電極２，３それぞれの基端部２ｆ，３ｂを支持する際に、図１及び図２に示すように、円板部８ａが段差部２ｉと円環部５０ｂとの間に配され筒部８ｂが小径部材２ａ，３ｄ相互間に配される。
【００６２】
このとき、シール部材８は殆ど弾性変形しなくかつ円板部８ａの両表面が平坦に形成されているので、前記両表面が段差部２ｉと円環部５０ｂとの双方に隙間無く接するとともに、筒部８ｂが小径部材２ａ，３ｄ双方に隙間無く接する。シール部材８は、内外電極２，３間を液密に保ち、内外電極２，３間から後述する空間１６内に電解質液が侵入することを防止する。
【００６３】
前記支持部４は、内電極２の小径部材２ａ寄りの端部２ｆ（基端部と呼ぶ）と、外電極３の前記小径部材３ｄ寄りの端部３ｂ（基端部と呼ぶ）と、の双方を支持している。支持部４は、支持部本体としての外電極ホルダ１１と、基端キャップ１２などを備えている。
【００６４】
外電極ホルダ１１は、絶縁性を有しかつ前述した電解質液に対する溶出する物質が少ない即ち非溶出性の合成樹脂からなる。外電極ホルダ１１を構成する合成樹脂として、ポリフェニレンスルフィド（Polyphenylenesulfide：以下ＰＰＳと呼ぶ）、ポリエーテルエーテルケトン（Polyetheretherketone：以下ＰＥＥＫと呼ぶ）、ポリテトラフルオロエチレン（Polytetrafluoroethylene：以下ＰＴＦＥと呼ぶ）などのフッ素樹脂を用いることができる。
【００６５】
外電極ホルダ１１は、円板部１１ｃと筒部１１ｄとを備えた有底筒状に形成されている。円板部１１ｃは、平面形状が円形に形成されている。円板部１１ｃは、表面が略平坦に形成されている。円板部１１ｃの外径は、前記管部６１ｃの端面６１ｄの外径と略等しく形成されている。
【００６６】
円板部１１ｃの中央には孔１１ｅが設けられている。孔１１ｅは円板部１１ｃを貫通している。孔１１ｅは、平面形状が円形に形成されている。孔１１ｅの内径は、円板部１１ｃの一方の面から他方の面に向かうにしたがって略等しく形成されている。孔１１ｅは、内径が外電極３の小径部材３ｄの円管部５０ａの外径と略等しく形成されている。
【００６７】
筒部１１ｄは、それぞれ円筒状に形成されかつ互いに内径が等しく形成されているとともに同軸的に直列に配された小径部１１ａと大径部１１ｂとを備えている。小径部１１ａより大径部１１ｂの方が外径が大きく形成されている。大径部１１ｂは、小径部１１ａより円板部１１ｃ寄りに配されている。大径部１１ｂは、円板部１１ｃの外縁に連なっている。筒部１１ｄは、円板部１１ｃに対し立設している。
【００６８】
外電極ホルダ１１は、孔１１ｅ内に外電極３の小径部材３ｄを挿入した状態で配される。なお、このとき、小径部材３ｄの円管部５０ａの外径が長手方向に沿って略一定でかつ孔１１ｅの内径が略一定であり、かつ外電極ホルダ１１が前述した合成樹脂からなるので、孔１１ｅの内面と小径部材３ｄの外表面とが互いに隙間無く密接する。
【００６９】
このため、外電極ホルダ１１即ち支持部４と外電極３との間が液密に保たれ、前記空間１６内に外電極ホルダ１１と外電極３との間から前記電解質液が侵入することが防止される。また、凹溝２ｈが円板部１１ｃより基端部２ｆ側に位置しているとともに、空間１６内に配されている。
【００７０】
基端キャップ１２は、円板部１２ａと筒部１２ｂとを有する有底筒状に形成されている。円板部１２ａは、円板状に形成されている。筒部１２ｂは、筒状に形成されかつ円板部１２ａの周縁に連なっている。
【００７１】
基端キャップ１２は、周知のポリアミド樹脂（ナイロン）などの合成樹脂から形成されている。基端キャップ１２は、前記筒部１２ｂが前記外電極ホルダ１１の小径部１１ａの外周に嵌合して配されている。基端キャップ１２は、前記筒部１２ｂが前記小径部１１ａに、周知のエポキシ系接着剤によって接着されて固定されている。
【００７２】
基端キャップ１２は、前記円板部１２ａを貫通する丸孔１２ｃを備えている。丸孔１２ｃは、その平面形状が略円形に形成されている。丸孔１２ｃは、前記円板部１２ａと同軸に配されている。丸孔１２ｃは、その内側に、温度検出部５の後述する電線束２６が通る。
【００７３】
また、支持部４は、外電極ホルダ１１の円板部１１ｃと、筒部１１ｄと、基端キャップ１２の円板部１２ａ等で囲まれた空間１６を、その内部に形成している。
【００７４】
支持部４は、さらに、前記空間１６内に配された絶縁ワッシャ２０と、止め輪１９と、円板部２１と円管部２２とが一体に形成された導電ホルダー２７と、第２付勢手段としてのコイルばね９などを備えている。
【００７５】
絶縁ワッシャ２０は、絶縁性を有する合成樹脂からなりかつ円環状に形成されている。絶縁ワッシャ２０は、内径が小径部材２ａの外径と略等しく形成され、かつ、外径が導電ホルダー２７の内径と略等しいか若干小さく形成されている。絶縁ワッシャ２０は、小径部材２ａの外周に嵌合している。絶縁ワッシャ２０は小径部材３ｄの端と、凹溝２ｈと、の間に配されている。
【００７６】
止め輪１９は、ステンレス鋼などの導電性を有する周知の鋼などからなりかつ円環状に形成されている。止め輪１９は、その内側に内電極２の小径部材２ａが通った状態で、外電極ホルダ１１の筒部１１ｄ内に収容されている。
【００７７】
止め輪１９は、その内縁が、小径部材２ａの凹溝２ｈに嵌合している。止め輪１９は、絶縁ワッシャ２０の端面２ｃ寄りの表面に密接している。止め輪１９は、内縁が凹溝２ｈに嵌合することによって絶縁ワッシャ２０が小径部材２ａの基端部２ｆから抜け出ることを防止している。
【００７８】
導電ホルダー２７の円板部２１は、導電性を有する金属などからなり円板状に形成されている。導電ホルダー２７の円板部２１は、内径が外電極３の小径部材３ｄの外径と略等しく形成されている。導電ホルダー２７の円板部２１は、外径が筒部１１ｄの内径と略等しく形成されている。導電ホルダー２７の円板部２１は、小径部材３ｄの外周に嵌合しかつ外電極ホルダ１１の内周に嵌合した状態で、円板部１１ｃに重ねられている。
【００７９】
導電ホルダー２７の円管部２２は、導電性を有する金属などからなり円管状に形成されている。導電ホルダー２７の円管部２２は、内径が小径部材３ｄの外径より十分に大きく形成されている。導電ホルダー２７の円管部２２は、外径が筒部１１ｄの内径と略等しく形成されている。導電ホルダー２７の円管部２２は、端部が導電ホルダー２７の円板部２１に一体形成され筒部１１ｄ内に挿入されている。
【００８０】
コイルばね９は、比較的ばね定数が小さくされている。コイルばね９は、ステンレス鋼などの周知の鋼などから構成されている。コイルばね９は、導電ホルダー２７の円管部２２内でかつ絶縁ワッシャ２０と導電ホルダー２７の円板部２１との間に設けられている。コイルばね９は、その内側に内外電極２，３の小径部材２ａ，３ｄが通った状態で配されている。
【００８１】
コイルばね９は、互いに離れる方向に、絶縁ワッシャ２０と導電ホルダー２７の円板部２１とを互いに付勢している。コイルばね９が、絶縁ワッシャ２０と導電ホルダー２７の円板部２１とが互いに離れる方向に付勢し、かつ、絶縁ワッシャ２０が止め輪１９によって基端部２ｆから抜け出ることを防止されているため、内電極２の基端部２ｆが支持部４内に収容するように付勢される。
【００８２】
円板部１１ｃと円環部５０ｂと円板部８ａと段差部２ｉとが相互に近づくように、内外電極２，３とシール部材８と外電極ホルダ１１とが付勢される。このように、コイルばね９は、内電極２の基端部２ｆと支持部４との間の間隔が狭くなる方向に、内電極２と支持部４とを付勢している。
【００８３】
また、前記コイルばね９によって互いの間隔が狭くなるように、内電極２と支持部４との双方が付勢されているため、シール部材８の両表面が段差部２ｉと円環部５０ｂとの双方に確実に隙間無く密接する。即ち、シール部材８は、内外電極２，３に隙間無く密接する。そして、シール部材８は、内外電極２，３相互間を液密に保って、空間１６内に前述した超純水が侵入することを防止する。
【００８４】
さらに、前記コイルばね９によって互いの間隔が狭くなるように、内電極２と支持部４との双方が付勢されているため、円板部１１ｃと円環部５０ｂとが確実に隙間無く密接する。そして、円板部１１ｃと円環部５０ｂとの相互間が液密に保たれて、空間１６内に前述した超純水が侵入することが防止される。
【００８５】
また、前記空間１６には、前記温度検出部挿入孔２ｄが開口している。さらに、空間１６は、その内側に、導電リング２３と、導電線２４と、前記導電ホルダー２７の円管部２２の内周面に嵌合するなどして取り付けられるリング１７などを収容している。
【００８６】
導電リング２３は、導電性を有する金属などからなりかつ円管状に形成されている。導電リング２３は、内径が小径部材３ｄの外径と略等しく形成されている。導電リング２３は、外径が円管部２２の内径より十分に小さく形成されている。導電リング２３は、小径部材３ｄの基端部３ｂ寄りの端部の外周に嵌合している。
【００８７】
導電線２４は、一端が導電リング２３に半田などを用いたろう付けによって固定され、他端が導電ホルダー２７の円板部２１とコイルばね９との間に挟み込まれて（又は線を直接又は別部品のワッシャーに半田などを用いたろう付けするなどして）固定されている。導電線２４は、導電リング２３と、導電ホルダー２７とを互いに電気的に接続する。
【００８８】
リング１７は、図示例では、円環状のリング本体１７ａと、このリング本体１７ａの外縁から外周方向に向かって突出した爪１７ｂと、を備えている。爪１７ｂは複数設けられている。爪１７ｂは、リング本体１７ａの周方向に沿って略等間隔に配されている。
【００８９】
リング１７は、爪１７ｂが、導電ホルダー２７の円管部２２の内周面に嵌合して、導電ホルダー２７の円管部２２に固定される。リング１７は、ステンレス鋼などの周知の鋼などから構成されている。さらに、リング１７は、爪１７ｂが導電ホルダー２７の円管部２２の内周面に設けられた溝などに嵌合しても良い。
【００９０】
前記温度検出部５は、図示しない温度センサ素子と、円管ばね部材２５などを備えている。温度検出部５は、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に配されている。温度センサ素子は、温度検出部挿入孔２ｄ内でかつ内電極２の先端部２ｇに配されている。温度センサ素子は、温度を測定する感温部を備えている。
【００９１】
温度センサ素子は、感温部がディスク形、ペレット形あるいはそれに類似した面部を有する形状のサーミスタ及び薄膜式白金温度センサにより構成されている。温度センサ素子は、感温部の面部が、前記温度検出部挿入孔２ｄ内において、前記電解質液の流路に対し略平行となるように配置されている。温度センサ素子には図示しない電線が取り付けられている。
【００９２】
前記電線は、前記内電極２の先端部２ｇから内電極２の基端部２ｆに向かって延びて、温度検出部挿入孔２ｄ内に配されている。これらの電線は、それぞれ、図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【００９３】
これら図示しない電線の長手方向に沿った中央部から他端部に至る部分と、内電極リード線６と、外電極リード線７と、は互いに束ねられて電線束２６を構成している。電線束２６は、温度検出部５が温度検出部挿入孔２ｄ内に収容された際に、内電極２及び外電極３の基端部２ｆ，３ｂ側に位置する基端キャップ１２の丸孔１２ｃを通って外部に導かれる。
【００９４】
円管ばね部材２５は、導電性を有する周知の鋼などから構成されている。円管ばね部材２５は、円管状に形成されている。円管ばね部材２５は、一部が、長手方向に沿って切りかかれている。円管ばね部材２５は、その長手方向に対し交差する断面の断面形状がＣ状に形成されている。円管ばね部材２５は、その外径が伸縮自在となる弾性を有している。円管ばね部材２５は、初期状態において、内電極２の小径部材２ａの内径より大きな外径となっている。
【００９５】
円管ばね部材２５は、前記電線束２６の温度センサ素子寄りに配されている。円管ばね部材２５は、前述した図示しない前記電線を互いに束ねている。円管ばね部材２５は、その弾性復元力に抗して、小径部材２ａ内に挿入される。円管ばね部材２５は、小径部材２ａ内に挿入されると、弾性復元力を生じて、小径部材２ａの内周面と密接する。
【００９６】
内電極リード線６は、空間１６内に収容されかつ一端部が円管ばね部材２５と電気的に接続している。内電極リード線６は、円管ばね部材２５と電気的に接続することによって、内電極２と電気的に接続する。内電極リード線６は、前述した図示しない電線などとともに電線束２６として基端キャップ１２まで導かれ、丸孔１２ｃ内を通って外部に導かれる。内電極リード線６は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【００９７】
外電極リード線７は、空間１６内に収容されかつ一端部がリング１７に電気的に接続している。外電極リード線７は、リング１７に電気的に接続することによって、導電ホルダー２７の円管部２２及び円板部２１、導電リング２３及び外電極３と電気的に接続する。外電極リード線７は、前述した図示しない電線などとともに電線束２６として基端キャップ１２まで導かれ、前記丸孔１２ｃ内を通って外部に導かれる。外電極リード線７は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【００９８】
また、前記基端キャップ１２内には、シリコーンゴムなどの弾性体からなるＯリング３０が設けられている。Ｏリング３０は、円環状に形成されている。Ｏリング３０は、その初期状態において、内径が電線束２６の外径より小さくかつ外径が外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内径より大きく形成されている。
【００９９】
Ｏリング３０は、内側に電線束２６を通しかつ外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内側即ち基端キャップ１２の筒部１２ｂの内側に配される。Ｏリング３０は、基端キャップ１２内に設けられると、電線束２６と、外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内周面と、の間を液密に保つ。
【０１００】
Ｏリング３０は、例えは、電解質液の温度が比較的低くて、基端キャップ１２の丸孔１２ｃの近傍などに凝縮した結露水が付着する場合にも、空間１６内にこの結露水が侵入することを防止する。
【０１０１】
また、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に温度検出部５が設けられ、かつ前記空間１６内にリング１７及び止め輪１９などが収容された状態で、空間１６内には、非弾性層３１と弾性層３２とが充填されて積層されている。
【０１０２】
非弾性層３１は、小径部１１ａ内でかつ電線束２６の外周に充填されている。非弾性層３１は、内外電極２，３の長手方向に沿ってＯリング３０とリング１７との間に配されている。非弾性層３１は、弾性を有さないエポキシ樹脂などの非弾性体からなる合成樹脂から形成されている。
【０１０３】
弾性層３２は、電極２，３の長手方向に沿って、非弾性層３１とリング１７との間に充填されている。弾性層３２は、スポンジゴムなどの弾性体からなる合成樹脂から形成されている。これらの非弾性層３１と弾性層３２は、丸孔１２ｃの近傍などに付着した結露水が空間１６内に侵入することを防止する。
【０１０４】
袋ナット７１は、前述したＰＰＳ、ＰＥＥＫ、ＰＴＦＥなどのフッ素樹脂などの合成樹脂からなり、平面形状が円形の円板部７３と円筒状の筒部７４とを一体に備えている。円板部７３は、その外径が外電極ホルダ１１及び管部６１ｃの外径より大きく形成されている。
【０１０５】
円板部７３は、その中央に貫通孔７５が設けられている。貫通孔７５は、その内径が外電極ホルダ１１の小径部１１ａの外径と略等しく形成されている。筒部７４は、円板部７３の外縁に連なっている。筒部７４の内周面には、平行ねじ７６が形成されている。
【０１０６】
袋ナット７１は、貫通孔７５内に小径部１１ａ即ち支持部４を通した状態で、平行ねじ７６がテーパねじ６２にねじ込まれて管部６１ｃに取り付けられる。なお、このとき、筒部７４の円板部７３より離れた縁部が、管部６１ｃの軸線方向に沿ってテーパねじ６２の中央付近に位置する。また、袋ナット７１は、外電極ホルダ１１即ち支持部４と管部６１ｃとの双方の外周を包囲する。 袋ナット７１は、管部６１ｃに取り付けられることによって、外電極ホルダ１１即ち支持部４を管部６１ｃの端面６１ｄに向かって押しつける。
【０１０７】
コイルばね７２は、比較的ばね定数が小さい。コイルばね７２は、ステンレス鋼などの周知の鋼などから構成され、断面形状が矩形状に形成されている。袋ナット７１の平行ねじ７６が管部６１ｃのテーパねじ６２にねじ込まれた際に、コイルばね７２は、その内側に小径部１１ａを通しかつ小径部１１ａと大径部１１ｂとを連ねる段差面１１ｆと円板部７３との間に配される。
【０１０８】
コイルばね７２は、外電極ホルダ１１即ち支持部４を管部６１ｃの端面６１ｄに向かって付勢する。コイルばね７２は、シール突起３３を管部６１ｃの端面６１ｄに密接させる。
【０１０９】
シール突起３３は、外電極ホルダ１１の管部６１ｃの端面６１ｄに相対する円板部１１ｃの表面１１ｇから突出している。なお、前記表面１１ｇは、Ｔ字継手６０の管部６１ｃと近接する端面をなしている。シール突起３３は、管部６１ｃの端面６１ｄに向かって突出している。シール突起３３は、孔１１ｅ及び円板部１１ｃと同軸的な円環状に延在している。
【０１１０】
シール突起３３は、円板部１１ｃの周方向に沿って配されている。シール突起３３は、外電極ホルダ１１と同じＰＰＳ、ＰＥＥＫ、ＰＴＦＥなどのフッ素樹脂などの合成樹脂からなる。図示例では、シール突起３３は、外電極ホルダ１１と一体に形成されかつ断面形状が前記円板部１１ｃから離れるのにしたがって徐々に細くなるＵ字状に形成されている。
【０１１１】
前述した構成によれば、抵抗率計の電極１は、内外電極２，３が前記管部６１ｃの開口部を通して挿入され、テーパねじ６２に平行ねじ７６がねじ込まれて、前記管部６１ｃ即ちＴ字管継手６０に取り付けられる。前記内電極２及び外電極３それぞれの少なくとも先端部２ｇ，３ｃは、前記Ｔ字管継手６０内を流れる電解質液としての超純水の流路中に配される。
【０１１２】
そして、電極１を用いた抵抗率計は、前記リード線６，７などを介して演算装置などに伝えられる電極２，３間の電気抵抗を測定することにより前記電解質液の抵抗率を測定する。
【０１１３】
このとき、前記温度センサ素子の感温部から、前記電線などを介して前記電解質液の温度に応じた情報が、前記演算装置に伝えられる。そして、この演算装置などが電解質液の温度の補償を行い、この電解質液のあらかじめ決められた一定温度における抵抗率を算出する。そして、前記演算装置などが抵抗率に基いて電解質液の純度を算出する。
【０１１４】
本実施形態の抵抗率計の電極１によれば、内電極２と外電極３が、大径部材２ｂ，３ｅと小径部材２ａ，３ｄとを備えている。大径部材２ｂ，３ｅと小径部材２ａ，３ｄとが連結している。このため、大径部材２ｂ，３ｅと小径部材２ａ，３ｄとを別々に製造して、これらを連結して、前記内電極２と外電極３とを製造できる。
【０１１５】
また、大径部材２ｂ，３ｅと小径部材２ａ，３ｄとを別々に製造できるので、特に、大径部材２ｂに形成する穴の深さを浅くできる。更に、内電極２の小径部材２ａと外電極３の大径部材３ｅを円管状の部材から形成できる。大径部材３ｅに通し孔４８をあけた後、該大径部材３ｅの内面に切削加工を施す。このため、通し孔４８の縁に生じるバリを確実に除去でき、かつ該バリを除去するためにかかる所要工数を抑制できる。
【０１１６】
したがって、大径部材２ｂ，３ｅと小径部材２ａ，３ｄとを別々に製造できるので、内外電極２，３の材料歩留まりの悪化と、加工にかかる所用時間を抑制できる。したがって、内外電極２，３のコストの高騰を抑制して、抵抗率計の電極１のコストの高騰を抑制できる。内電極２の小径部材２ａがステンレス鋼からなる。このため、材料費を抑制できる。したがって、コストの高騰をより確実に抑制できる。
【０１１７】
また、第１のねじ山４１，５１と第２のねじ山４２，５２とを螺合させると、大径部材２ｂ，３ｅと小径部材２ａ，３ｄのいずれか一方の突起４３，５３が他方に圧入される。該突起４３，５３が他方の母材にくい込む。このため、第１のねじ山４１，５１と第２のねじ山４２，５２とに接着剤を塗布して、大径部材２ｂ，３ｅと小径部材２ａ，３ｄを互いに固定する際にも、前記大径部材２ｂ，３ｅの母材と小径部材２ａ，３ｄの母材とが確実に接触する。したがって、大径部材２ｂ，３ｅと小径部材２ａ，３ｄとが確実に電気的に接続する。したがって、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１１８】
前述した実施形態では、内電極２の小径部材２ａに突起４３を設け、外電極３の大径部材３ｅに突起５３を設けている。しかしながら本発明では、内電極２の大径部材２ｂに突起４３を設け、外電極３の小径部材３ｄに突起５３を設けても良い。また、内電極２と外電極３との双方とも、小径部材２ａ，３ｄと大径部材２ｂ，３ｅを連結して構成している。しかしながら本発明では、内外電極２，３のうち少なくとも一方を、小径部材２ａ，３ｄと大径部材２ｂ，３ｅを連結して構成すれば良い。
【０１１９】
前記内電極２の大径部材２ｂと小径部材２ａとを、図８に示すように、第１のねじ山４１と第２のねじ山４２と圧入部としての小径部材２ａの先端部４４とを用いて連結しても良い。第１のねじ山４１は、小径部材２ａの外周面に形成されている。第１のねじ山４１は、小径部材２ａの中央部に設けられている。
【０１２０】
第２のねじ山４２は、大径部材２ｂの内周面に形成されている。第１のねじ山４１と第２のねじ山４２とは互いに螺合する。先端部４４は、勿論小径部材２ａに設けられ、第１のねじ山４１より大径部材２ｂ寄りに配されている。先端部４４の外径Ｄ１は、大径部材２ｂの内径ｄ１より若干大きい。先端部４４の外径Ｄ１と大径部材２ｂの内径ｄ１との差は、０．０１ｍｍ以上でかつ０．０５ｍｍ以下の範囲であるのが望ましい。
【０１２１】
この場合、大径部材２ｂと小径部材２ａとを連結する際に、第１のねじ山４１と第２のねじ山４２とを螺合させる。すると、前記先端部４４の外径Ｄ１が大径部材２ｂの内径ｄ１より若干大きいので、該先端部４４が大径部材２ｂ内に圧入される。そして、内電極２が組み立てられる。
【０１２２】
前述した実施形態と同様に、大径部材２ｂと小径部材２ａとを別々に製造できるので、内電極２の材料歩留まりの悪化と、加工にかかる所用時間を抑制できる。したがって、内電極２のコストの高騰を抑制して、抵抗率計の電極１のコストの高騰を抑制できる。また、先端部４４の外径Ｄ１が大径部材２ｂの内径ｄ１より若干大きい。このため、第１のねじ山４１と第２のねじ山４２とに接着剤を塗布することなく、大径部材２ｂと小径部材２ａとを固定できる。したがって、接着剤を用いる必要がないので、大径部材２ｂと小径部材２ａとを確実に電気的に接続でき、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１２３】
また、内電極２の大径部材２ｂと小径部材２ａとを、図９に示すように、凸部５８ａと、該凸部５８ａが係合する凹部５９ａとを用いて連結しても良い。凸部５８ａは、小径部材２ａの先端部４４の外周面から凸に形成されている。凹部５９ａは、大径部材２ｂの内周面から凹に形成されている。
【０１２４】
また、この場合、小径部材２ａの先端部４４の外径Ｄ１は、大径部材２ｂの内径ｄ１より若干大きいのが望ましい。小径部材２ａの先端部４４の外径Ｄ１と大径部材２ｂの内径ｄ１との差は、０．０１ｍｍ以上でかつ０．０３ｍｍ以下の範囲であるのが望ましい。また、前記凸部５８ａの外周面からの突出量と、凹部５９ａの内周面からの深さは、前記寸法の半分の０．００５ｍｍ〜０．０１５ｍｍ程度であるのが望ましい。
【０１２５】
この場合、大径部材２ｂと小径部材２ａとを連結する際に、大径部材２ｂの内側に小径部材２ａの先端部４４を挿入する。すると、前記先端部４４の外径Ｄ１が大径部材２ｂの内径ｄ１より若干大きいので、該先端部４４が大径部材２ｂ内に圧入される。そして、凸部５８ａが凹部５９ａに係合して、内電極２が組み立てられる。
【０１２６】
前述した実施形態と同様に、大径部材２ｂと小径部材２ａとを別々に製造できるので、内電極２の材料歩留まりの悪化と、加工にかかる所用時間を抑制できる。したがって、内電極２のコストの高騰を抑制して、抵抗率計の電極１のコストの高騰を抑制できる。また、先端部４４の外径Ｄ１が大径部材２ｂの内径ｄ１より若干大きくかつ凸部５８ａと凹部５９ａとが互いに係合する。このため、接着剤を塗布することなく、大径部材２ｂと小径部材２ａとを固定できる。したがって、接着剤を用いる必要がないので、大径部材２ｂと小径部材２ａとを確実に電気的に接続でき、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１２７】
また、図９に示すように、凸部５８ａと凹部５９ａとを用いて大径部材２ｂと小径部材２ａとを固定する場合には、凸部５８ａを大径部材２ｂの内周面から凸に形成し、凹部５９ａを小径部材２ａの外周面から凹に形成しても良い。
【０１２８】
前記外電極３の大径部材３ｅと小径部材３ｄとを、図１０に示すように、第１のねじ山５１と第２のねじ山５２と圧入部としての大径部材３ｅの基端部５５とを用いて連結しても良い。第１のねじ山５１は、小径部材３ｄの円環部５０ｂの外周面に形成されている。
【０１２９】
第２のねじ山５２は、大径部材３ｅの内周面に形成されている。第１のねじ山５１と第２のねじ山５２とは互いに螺合する。基端部５５は、勿論大径部材３ｅに設けられ、第２のねじ山５２より小径部材３ｄ寄りに配されている。基端部５５の内径Ｄ２は、小径部材３ｄの円環部５０ｂの外径ｄ２より若干小さい。基端部５５の内径Ｄ２と小径部材３ｄの円環部５０ｂの外径ｄ２との差は、０．０１ｍｍ以上でかつ０．０５ｍｍ以下の範囲であるのが望ましい。なお、小径部材３ｄの円環部５０ｂの外径ｄ２は、小径部材３ｄの外径ｄ２である。
【０１３０】
この場合、大径部材３ｅと小径部材３ｄとを連結する際に、第１のねじ山５１と第２のねじ山５２とを螺合させる。すると、前記基端部５５の内径Ｄ２が小径部材３ｄの円環部５０ｂの外径ｄ２より若干小さいので、該基端部５５内に小径部材３ｄが圧入される。そして、外電極３が組み立てられる。
【０１３１】
前述した実施形態と同様に、大径部材２ｂと小径部材２ａとを別々に製造できるので、外電極３の材料歩留まりの悪化と、加工にかかる所用時間を抑制できる。したがって、外電極３のコストの高騰を抑制して、抵抗率計の電極１のコストの高騰を抑制できる。また、基端部５５の内径Ｄ２が小径部材３ｄの円環部５０ｂの外径ｄ２より若干小さい。このため、第１のねじ山５１と第２のねじ山５２とに接着剤を塗布することなく、大径部材３ｅと小径部材３ｄとを固定できる。したがって、接着剤を用いる必要がないので、大径部材３ｅと小径部材３ｄとを確実に電気的に接続でき、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１３２】
また、外電極３の大径部材３ｅと小径部材３ｄとを、図１１に示すように、凸部５８ｂと、該凸部５８ｂが係合する凹部５９ｂとを用いて連結しても良い。凸部５８ｂは、大径部材３ｅの基端部５５の内周面から凸に形成されている。凹部５９ｂは、小径部材３ｄの円環部５０ｂの外周面から凹に形成されている。
【０１３３】
また、この場合、大径部材３ｅの基端部５５の内径Ｄ２は、小径部材３ｄの円環部５０ｂの外径ｄ２より若干小さいのが望ましい。大径部材３ｅの基端部５５の内径Ｄ２と小径部材３ｄの円環部５０ｂの外径ｄ２との差は、０．０１ｍｍ以上でかつ０．０３ｍｍ以下の範囲であるのが望ましい。また、前記凸部５８ｂの内周面からの突出量と、凹部５９ｂの外周面からの深さは、前記寸法の半分の０．００５ｍｍ〜０．０１５ｍｍ程度であるのが望ましい。
【０１３４】
この場合、大径部材３ｅと小径部材３ｄとを連結する際に、大径部材３ｅの基端部５５の内側に小径部材３ｄの円環部５０ｂを挿入する。すると、前記基端部５５の内径Ｄ２が小径部材３ｄの円環部５０ｂの外径ｄ２より若干小さいので、該基端部５５内に小径部材３ｄが圧入される。そして、凸部５８ｂが凹部５９ｂに係合して、外電極３が組み立てられる。
【０１３５】
前述した実施形態と同様に、大径部材３ｅと小径部材３ｄとを別々に製造できるので、外電極３の材料歩留まりの悪化と、加工にかかる所用時間を抑制できる。したがって、外電極３のコストの高騰を抑制して、抵抗率計の電極１のコストの高騰を抑制できる。また、基端部５５の内径Ｄ２が小径部材３ｄの円環部５０ｂの外径ｄ２より若干小さくかつ凸部５８ｂと凹部５９ｂとが互いに係合する。このため、接着剤を塗布することなく、大径部材３ｅと小径部材３ｄとを固定できる。したがって、接着剤を用いる必要がないので、大径部材３ｅと小径部材３ｄとを確実に電気的に接続でき、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１３６】
また、図１１に示すように、凸部５８ｂと凹部５９ｂとを用いて、大径部材３ｅと小径部材３ｄとを固定する場合には、凸部５８ｂを小径部材３ｄの円環部５０ｂの外周面から凸に形成し、凹部５９ｂを大径部材３ｅの基端部５５の内周面から凹に形成しても良い。
【０１３７】
さらに、前述した実施形態では、リンス工程における洗浄液としての超純水の純度を測定するために用いられる場合を示しているが、本発明の電極１は超純水を製造する純水製造装置にも用いることができる。この場合、例えば、前記管部６１ａは超純水の原料となる純水（前述した超純水ほどではないが意図的に不純物を少なくした水：高純度水とも呼ぶ）の供給源と連結している。管部６１ｂは、純水製造装置に連結している。
【０１３８】
電極１は、純水製造装置に用いられた場合でも、前記管継手６０内に金属や樹脂からなる塵（パーティクル）が侵入することなく取り付けることができる。このため、純水製造装置のイオン交換樹脂やフィルターが劣化することを抑制でき、速やかに目的の純水を得ることができる。したがって、前記純水の純度を正確に測定できかつ超純水の製造にかかるコストの高騰を抑制できる。
【０１３９】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１に記載の本発明によれば、少なくとも一つの電極部材が、大径部材と小径部材とを備えている。これらが連結している。このため、大径部材と小径部材とを別々に製造して、これらを連結して、前記電極部材を製造できる。大径部材と小径部材とを別々に製造できるので、電極部材の材料歩留まりの悪化を抑制できる。したがって、電極部材のコストの高騰を抑制して、抵抗率計の電極のコストの高騰を抑制できる。
【０１４０】
第１のねじ山と第２のねじ山とを螺合させると、大径部材と小径部材のいずれか一方の圧入部が他方に圧入される。このため、大径部材と小径部材とに接着剤を塗布して、これらの部材を互いに固定する際にも、大径部材の母材と小径部材の母材とが確実に接触する。したがって、大径部材と小径部材とが確実に電気的に接続する。したがって、電極部材の材料歩留まりの悪化を抑制して、コストの高騰を抑制できることにくわえ、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１４１】
請求項２に記載の本発明によれば、圧入部が他方に食い込むので、大径部材と小径部材とに接着剤を塗布して、これらの部材を互いに固定する際にも、大径部材の母材と小径部材の母材とが確実に接触する。したがって、大径部材と小径部材とが確実に電気的に接続する。したがって、電極部材の材料歩留まりの悪化を抑制して、コストの高騰を抑制できることにくわえ、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１４２】
請求項３に記載の本発明によれば、第１のねじ山より大径部材寄りに配された圧入部の外径が大径部材の内径より大きい。このため、大径部材と小径部材とに接着剤を塗布することなく、これらの部材を互いに固定できる。したがって、大径部材と小径部材とが確実に電気的に接続する。したがって、電極部材の材料歩留まりの悪化を抑制して、コストの高騰を抑制できることにくわえ、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１４３】
請求項４に記載の本発明によれば、第２のねじ山より小径部材寄りに配された圧入部の内径が小径部材の外径より小さい。このため、大径部材と小径部材とに接着剤を塗布することなく、これらの部材を互いに固定できる。したがって、大径部材と小径部材とが確実に電気的に接続する。したがって、電極部材の材料歩留まりの悪化を抑制して、コストの高騰を抑制できることにくわえ、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１４４】
請求項５に記載の本発明によれば、大径部材の内周面と小径部材の外周面のうち一方から凹の凹部に、他方から凸の凸部が係合する。このため、大径部材と小径部材とに接着剤を塗布することなく、これらの部材を互いに固定できる。したがって、大径部材と小径部材とが確実に電気的に接続する。したがって、電極部材の材料歩留まりの悪化を抑制して、コストの高騰を抑制できることにくわえ、電解質液の抵抗率を確実に測定できる。
【０１４５】
請求項６に記載の本発明によれば、内電極が大径部材と小径部材とを備えている。このため、大径部材と小径部材とを別々に製造して、これらを連結して、前記内電極を製造できる。大径部材と小径部材とを別々に製造できるので、内電極の材料歩留まりの悪化を抑制できる。したがって、内電極のコストの高騰を抑制して、抵抗率計の電極のコストの高騰を抑制できる。
【０１４６】
請求項７に記載の本発明によれば、外電極が大径部材と小径部材とを備えている。このため、大径部材と小径部材とを別々に製造して、これらを連結して、前記外電極を製造できる。大径部材と小径部材とを別々に製造できるので、外電極の材料歩留まりの悪化を抑制できる。したがって、外電極のコストの高騰を抑制して、抵抗率計の電極のコストの高騰を抑制できる。
【０１４７】
請求項８に記載の本発明によれば、内外電極が大径部材と小径部材とを備えている。このため、大径部材と小径部材とを別々に製造して、これらを連結して、前記内外電極それぞれを製造できる。大径部材と小径部材とを別々に製造できるので、内外電極の材料歩留まりの悪化を抑制できる。したがって、内外電極のコストの高騰を抑制して、抵抗率計の電極のコストの高騰を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる抵抗率計の電極の全体構成を示す断面図である。
【図２】図１に示された電極の要部を拡大して示す断面図である。
【図３】図１に示された電極の内外電極の断面図である。
【図４】図３に示された内電極の大径部材と小径部材との連結箇所を拡大して示す断面図である。
【図５】図４に示された内電極の大径部材と小径部材とを連結する工程を示す断面図である。
【図６】図３に示された外電極の大径部材と小径部材との連結箇所を拡大して示す断面図である。
【図７】図６に示された外電極の大径部材と小径部材とを連結する工程を示す断面図である。
【図８】図４に示された内電極の大径部材と小径部材との連結箇所の変形例を拡大して示す断面図である。
【図９】図４に示された内電極の大径部材と小径部材との連結箇所の他の変形例を拡大して示す断面図である。
【図１０】図６に示された外電極の大径部材と小径部材との連結箇所の変形例を拡大して示す断面図である。
【図１１】図６に示された外電極の大径部材と小径部材との連結箇所の他の変形例を拡大して示す断面図である。
【図１２】従来の抵抗率計の電極の全体構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１  抵抗率計の電極
２  内電極（電極部材）
２ａ  小径部材
２ｂ  大径部材
３  外電極（電極部材）
３ｄ  小径部材
３ｅ  大径部材
４１  第１のねじ山
４２  第２のねじ山
４３  突起（圧入部）
４４  小径部材の先端部（圧入部、一端部）
４６，４７  面
５０ｂ  円環部（一端部）
５１  第１のねじ山
５２  第２のねじ山
５３  突起（圧入部）
５５  大径部材の基端部（圧入部）
５６，５７  面
５８ａ，５８ｂ  凸部
５９ａ，５９ｂ  凹部
Ｄ１  先端部の外径
Ｄ２  基端部の内径
ｄ１  大径部材の内径
ｄ２  小径部材の円環部の外径（小径部材の外径）
ｔ  所定間隔
【図１】
0003820130.tif 000002
【図２】
0003820130.tif 000003
【図３】
0003820130.tif 000004
【図４】
0003820130.tif 000005
【図５】
0003820130.tif 000006
【図６】
0003820130.tif 000007
【図７】
0003820130.tif 000008
【図８】
0003820130.tif 000009
【図９】
0003820130.tif 000010
【図１０】
0003820130.tif 000011
【図１１】
0003820130.tif 000012
【図１２】
0003820130.tif 000013