(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
定尺棒状の蒸着素材本体の片端部に、蒸着装置へ前記蒸着素材本体を供給する際にチャック部によって掴むための掴み部を接合し、該掴み部の断面を前記蒸着素材本体の断面よりも小さく設定したことを特徴とする蒸着用素材。
【請求項２】
前記掴み部を蒸着素材本体と同材料で構成したことを特徴とする請求項１記載の蒸着用素材。
【請求項３】
前記掴み部を蒸着素材本体の片端部にアーク溶接又は抵抗溶接により接合したことを特徴とする請求項１または２記載の蒸着用素材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばコバルト系金属薄膜型磁気テープ等を製造する際に使用される棒状の蒸着用素材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コバルト系金属薄膜型磁気テープは、従来の塗布型磁気テープをはるかに上回る高性能を示す磁気記録媒体として実用化されている。このコバルト系金属薄膜型磁気テープを製造するには、真空容器内で高融点のコバルト系蒸着材料を電子ビームで蒸発させて、蒸発粒子をテープ基材上に薄膜として定着させる真空蒸着法が一般には利用されている。
【０００３】
図４を用いて、特開平７−１１８８３７号公報等において知られている一般的な真空蒸着法を説明する。図４の（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
図４において、１は蒸発源、２は電子銃、３は棒状の蒸着用素材で、コバルトまたはコバルトニッケル合金よりなる。４は冷却ドラム、５はマスク、６はテープ基材、７は巻き出し軸、８は巻き取り軸である。
【０００４】
蒸発源１は電子銃２により加熱されて蒸発し、巻き出し軸７から巻き出された基材６に冷却ドラム４上で蒸着される。蒸発源１の蒸着材料の減少に応じて、棒状の蒸着用素材３が押し出されて供給され、電子銃２により溶解されて、蒸発源１に落下し補充される。
【０００５】
このように棒状の蒸着用素材３を蒸発源１に向けて供給するには、図３に示すように、棒状の蒸着用素材３の片端部をチャック部２０によって掴み、先端の溶融量に合わせて蒸着用素材３を送り出している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来では定尺棒状の蒸着用素材３の片端部を直接チャック部２０で掴んで供給しているので、電子銃２による加熱などにより、蒸着用素材３の片端部を全長Ｌの１０％程度残さないと、チャック部２０が熱で溶融してしまうおそれがあった。このため、チャック部２０で掴む分の長さをＬ１とした場合、実際には（Ｌ−Ｌ１）分の長さしか素材を使用できず、材料の使用効率が悪かった。特にコバルト等の蒸着用素材は高価であるため、１０％残すことは、即コストに大きく影響していた。
【０００７】
本発明は、上記事情を考慮し、定尺寸法分を無駄なく使い切ることができて、素材の使用効率の向上を図ることができ、それによりコスト低減に寄与する蒸着用素材を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明の蒸着用素材は、定尺棒状の蒸着素材本体の片端部に、蒸着装置へ前記蒸着素材本体を供給する際にチャック部によって掴むための掴み部を接合し、該掴み部の断面を前記蒸着素材本体の断面よりも小さく設定したことを特徴とする。
【０００９】
この蒸着用素材は片端部に掴み部を接合したので、この掴み部をチャック部で掴むことにより、蒸着装置の必要個所に蒸着用素材を供給することができる。従って、定尺寸法分の蒸着素材本体は、すべて無駄なく１００％使い切ることができ、素材の使用効率の向上が図れる。また、定尺寸法以外に掴み部を別に設けている上、掴み部の断面を蒸着素材本体の断面よりも小さくしているので、溶融可能な範囲を目視で容易に確認することができ、チャック部を溶融させてしまうようなトラブルの懸念もない。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１において、前記掴み部を蒸着素材本体と同材料で構成したことを特徴とする。
【００１１】
この蒸着用素材は、掴み部を蒸着素材本体と同一材料で構成したので、後のリサイクルに有利となる。また、掴み部の一部が溶融しても蒸発源の組成を変える心配がなく、安心して定尺寸法の蒸着素材本体を使い切ることができる。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１または２において、前記掴み部を蒸着素材本体の片端部にアーク溶接又は抵抗溶接により接合したことを特徴とする。
【００１３】
この蒸着用素材は、掴み部を蒸着素材本体に溶接で接合しているので、安価に製造することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は実施形態の蒸着用素材１０の斜視図、図２はその蒸着用素材１０をチャック部２０で掴んだ状態を示す側面図である。
【００１５】
この蒸着用素材１０は、定尺寸法に形成された丸棒状の蒸着素材本体１３（例えば５０ｍｍφ×２０００ｍｍ）の片端面の中心に、蒸着素材本体１３の径よりも細径の丸棒状の掴み部１４（例えば１０ｍｍφ×４００ｍｍ）をＴＩＧ（タングステンイナートガス）溶接したものである。ここでは、蒸着素材本体１３及び掴み部１４は純コバルト製であり、溶接棒も純コバルト製を使用している。
【００１６】
この蒸着用素材１０は片端面に掴み部１４を接合してあるので、図２に示すように、この掴み部１４をチャック部２０で掴むことにより、蒸着装置の必要個所に蒸着素材本体１３を供給することができる。従って、定尺寸法Ｌ分の蒸着素材本体１３は、すべて無駄なく１００％使い切ることができる。
【００１７】
また、定尺寸法Ｌの蒸着素材本体１３の外に掴み部１４を設けている上、掴み部１４の断面を蒸着素材本体１３の断面よりも小さくしているので、溶融可能な範囲（蒸着素材本体１３）を目視で容易に確認することができ、チャック部２０を誤って溶融させてしまうようなトラブルの懸念もなくなる。
【００１８】
また、掴み部１４から溶接棒に至るまで蒸着素材本体１３と同じ純コバルト製に統一しているので、後のリサイクル等にも有利となる、
【００１９】
なお、強度的に満足できるものであれば、異なる材料で掴み部１４を構成しても勿論よい。
【００２０】
また、上記実施形態では、掴み部１４と蒸着素材本体１３の接合をＴＩＧ溶接で行っているが、アークスタット溶接、フラッシュバック溶接等の抵抗溶接法、又その他の接合手段、例えばねじ込みや嵌め合いにより接合することもできる。
【００２１】
また、掴み部１４の形状は、丸棒状に限らず、チャッキング方式により角棒状や板状に設定しても勿論よい。
【００２２】
また、蒸着素材本体１３の材料も、磁気テープ等の真空蒸着法において普通に使用されている材料であれば、すべて使用することができる。但し、前述したように、蒸着素材本体１３と掴み部１４の材料を同じくすれば、後のリサイクル等に有利であるので、そうするのが好ましい。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明の蒸着用素材は、片端部に掴み部を備えているので、この掴み部をチャック部で掴むことにより、蒸着装置の必要個所に通常とまったく同様に供給することができる。従って、定尺寸法分の蒸着素材本体は、すべて無駄なく１００％使い切ることができ、素材の使用効率の向上が図れる。また、定尺寸法以外に掴み部を別に設けている上、掴み部の断面を蒸着素材本体の断面よりも小さくしたから、溶融可能な範囲を目視で簡単に確認することができて、チャック部を誤って溶融させてしまうようなおそれもない。
【００２４】
また、請求項２の発明の蒸着用素材は、掴み部を蒸着素材本体と同一材料にしたので、後のリサイクル等に有利となる。
【００２５】
また、請求項３の発明の蒸着用素材は、掴み部を蒸着素材本体に溶接により接合しているので、製造コストを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の蒸着用素材の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態の蒸着用素材の使用方法の説明図である。
【図３】従来の蒸着用素材の使用方法の説明図である。
【図４】一般的な真空蒸着法の説明図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
１０  蒸着用素材
１３  蒸着素材本体
１４  掴み部
１５  接合部
２０  チャック部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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