(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の拡散抵抗の下に被測定ガスが導入される被測定ガス室と，
該被測定ガス室に曝されるように酸素イオン導電性を有する固体電解質体の表面に配置したポンプ電極と，上記被測定ガス室に曝されないように上記固体電解質体の表面に配置したポンプ電極とを備え，上記一対のポンプ電極の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
上記被測定ガス室に曝されるように酸素イオン導電性を有する固体電解質体の表面に配置した被測定ガス側電極と，基準ガスに曝されるように上記固体電解質体の表面に配置した基準ガス側電極とを備え，かつ当該被測定ガス側電極が上記被測定ガス中に含まれる炭化水素に対する酸化活性を有する酸素モニタセルと，
上記被測定ガス室に曝されるように酸素イオン導電性を有する固体電解質体の表面に配置した被測定ガス側電極と，基準ガスに曝されるように上記固体電解質体の表面に配置した基準ガス側電極とを備え，かつ当該被測定ガス側電極が，上記炭化水素に対する酸化活性が上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極よりも低い性質を有するセンサセルとを有し，
上記酸素モニタセルに電圧を印加したときに流れる酸素イオン電流と，上記センサセルに電圧を印加したときに流れる酸素イオン電流との関係に基づいて，上記炭化水素のガス濃度を検出するよう構成されていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２】
請求項１において，上記ガスセンサ素子は，上記センサセルに流れる酸素イオン電流と上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流との差に基づいて，被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出するよう構成されていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項３】
請求項１又は２において，上記酸素ポンプセルは，上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流が所望の値となるように当該酸素ポンプセルに印加する電圧を制御し，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整するよう構成されていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項４】
請求項１において，上記酸素モニタセルにおける上記被測定ガス側電極は，上記センサセルにおける上記被測定ガス側電極に比べて，炭化水素に対する酸化活性が高いことを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項５】
請求項１において，上記酸素モニタセルにおける上記被測定ガス側電極は，上記センサセルにおける上記被測定ガス側電極に比べて，メタン以外の炭化水素に対する酸化活性が高いことを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項６】
請求項１において，上記酸素モニタセルにおける上記被測定ガス側電極は，炭化水素を酸化することを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項７】
請求項６において，上記酸素モニタセルにおける上記被測定ガス側電極上で炭化水素と酸化反応後の残留酸素量が一定となるように上記酸素ポンプセルが制御され，
かつ上記酸素モニタセルにおける上記被測定ガス側電極は，上記センサセルにおける上記被測定ガス側電極に比べて，炭化水素に対する酸化活性が高く，
上記センサセル及び上記酸素モニタセルをそれぞれ流れる酸素イオン電流の差より被測定ガス中の炭化水素濃度を測定するよう構成することを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項８】
請求項１において，上記センサセルにおける被測定ガス側電極は，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極に比べて，メタンを含む炭化水素に対する酸化活性が低い性質を有していることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項９】
請求項１において，上記センサセルにおける被測定ガス側電極は，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極に比べて，メタン以外の炭化水素に対する酸化活性が低い性質を有していることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１０】
請求項４，５，８，９のいずれか一項において，上記酸素モニタセル及び上記センサセルにおける被測定ガス側電極の炭化水素に対する活性の高低は，上記被測定ガス側電極の酸素吸着に対する強弱を制御することにより実現することを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１１】
請求項１〜９のいずれか一項において，上記センサセルにおける被測定ガス側電極及び上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極は，Ｐｔ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ａｕのうち少なくとも１種又は２種以上を金属主成分とし，かつ，Ｔｉ，Ｔａ，Ｎｂ，Ａｌ，Ｗ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｚｒのうち少なくとも１種又は２種以上の成分を含むことを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１２】
請求項１１において，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス電極はＰｔ９９〜８０ｗｔ％とＡｕを１〜２０ｗｔ％とからなる電極材料を含み，上記センサセルにおける被測定ガス側電極はＰｔ及び／またはＰｄの９９〜８０ｗｔ％とＴｉＯ2を１〜２０ｗｔ％とからなる電極材料を含み，メタン以外の炭化水素を検出可能となるよう構成したことを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１３】
被測定ガスが導入される被測定ガス室と，一方のポンプ電極を上記被測定ガス室に曝されるように配置した酸素ポンプセルと，炭化水素に対する酸化活性を有する被測定ガス側電極を上記被測定ガス室に曝されるように配置した酸素モニタセルと，炭化水素に対する酸化活性が上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極よりも低い性質を有する被測定ガス側電極を上記被測定ガス室に曝されるように配置したセンサセルとを用いて，
上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出するに当たっては，
所定の拡散抵抗の下において上記被測定ガスを上記被測定ガス室に導入し，
上記酸素モニタセル及び上記センサセルに電圧を印加すると共に上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流に基づいて上記被測定ガス室における酸素濃度を検出し，
該酸素濃度に基づいて上記酸素ポンプセルへ印加する電圧を制御することにより，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整した後，
上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流と，上記センサセルに流れる酸素イオン電流との関係に基づいて，被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出することを特徴とするガス濃度の検出方法。
【請求項１４】
請求項１３において，上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度の検出は，上記センサセルに流れる酸素イオン電流と上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流との差に基づいて行うことを特徴とするガス濃度の検出方法。
【請求項１５】
請求項１３又は１４において，上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度の検出に当たり，上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流が所望の値となるように上記酸素ポンプセルに印加する電圧を制御し，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整することを特徴とするガス濃度の検出方法。
【請求項１６】
所定の拡散抵抗の下に被測定ガスが導入される被測定ガス室と，
該被測定ガス室に曝されるように酸素イオン導電性を有する固体電解質体の表面に配置したポンプ電極と，上記被測定ガス室に曝されないように上記固体電解質体の表面に配置したポンプ電極とを備え，かつ上記被測定ガス室に曝されるポンプ電極が上記被測定ガス中に含まれる炭化水素に対する酸化活性を有し，
上記一対のポンプ電極の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
上記被測定ガス室に曝されるように酸素イオン導電性を有する固体電解質体の表面に配置した被測定ガス側電極と，基準ガスに曝されるように上記固体電解質体の表面に配置した基準ガス側電極とを備え，かつ当該被測定ガス側電極が，上記炭化水素に対する酸化活性が上記酸素ポンプセルにおける被測定ガス室と対面するポンプ電極よりも低い性質を有するセンサセルとを有し，
上記酸素ポンプセルに電圧を印加したときに流れる酸素イオン電流と，上記センサセルに電圧を印加したときに流れる酸素イオン電流との関係に基づいて，上記炭化水素のガス濃度を検出するよう構成されていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１７】
請求項１６において，上記ガスセンサ素子は，上記酸素ポンプセルへの印加電圧と上記酸素ポンプセルに流れる酸素イオン電流との関係から，被測定ガス室内の酸素濃度を一定値に制御し，上記センサセルに流れる酸素イオン電流に基づいて，被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出するよう構成されていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１８】
請求項１６において，上記酸素ポンプセルにおける上記被測定ガス室と対面したポンプ電極は，上記センサセルにおける上記被測定ガス側電極に比べて，炭化水素に対する酸化活性が高いことを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１９】
請求項１６において，上記酸素ポンプセルにおける上記被測定ガス室と対面したポンプ電極は，上記センサセルにおける上記被測定ガス側電極に比べて，メタン以外の炭化水素に対する酸化活性が高いことを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２０】
被測定ガスが導入される被測定ガス室と，一方のポンプ電極を上記被測定ガス室に曝されるように配置した酸素ポンプセルと，炭化水素に対する酸化活性が上記酸素ポンプセルにおける被測定ガス室に曝されるポンプ電極よりも低い性質を有する被測定ガス側電極を上記被測定ガス室に曝されるように配置したセンサセルとを用いて，
上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出するに当たっては，
所定の拡散抵抗の下において上記被測定ガスを上記被測定ガス室に導入し，
上記酸素ポンプセル及び上記センサセルに電圧を印加すると共に
上記酸素ポンプセルに流れる酸素イオン電流と，上記センサセルに流れる酸素イオン電流との関係に基づいて，被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出することを特徴とするガス濃度の検出方法。
【請求項２１】
請求項２０において，上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度の検出は，上記酸素ポンプセルへの印加電圧と上記酸素ポンプセルに流れる酸素イオン電流との関係から，被測定ガス室内の酸素濃度を一定値に制御し，上記センサセルに流れる酸素イオン電流に基づいて行うことを特徴とするガス濃度の検出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は、被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度の検出を行うガスセンサ素子及びガス濃度の検出方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
例えば，自動車等においては，エンジンから排出される排気ガスが触媒等によって浄化されているかを監視するために，この排気ガス中の炭化水素濃度の検出を行っている。
図８に示すごとく，上記ガスセンサに内装される炭化水素ガスセンサ素子９０として，一対の電極９３１，９３２を固体電解質体９６を挟むように対向配置すると共に被測定ガス側電極９３１が炭化水素に対する酸化活性を有する酸素モニタセル９３と，一対の電極９４１，９４２を固体電解質体９６を挟むように対向配置すると共に被測定ガス側電極９４１が炭化水素に対する酸化活性が低い性質を有するセンサセル９４とを用いて炭化水素濃度の検出を行うものがある（特開平１０−１８５８６８号公報参照）。
【０００３】
上記炭化水素ガスセンサ素子９０においては，上記酸素モニタセル９３における被測定ガス側電極９３１と上記センサセル９４における被測定ガス側電極９４１とを，被測定ガス室９７における被測定ガスに曝されるように配置する。また，上記酸素モニタセル９３及びセンサセル９４において，他方の電極９３２，９４２は，基準ガス室９８における基準ガスに曝されるように配置する。
また，上記炭化水素ガスセンサ素子９０においては，上記被測定ガスにおける酸素濃度を調整するために一対の電極９２１，９２２を備えた酸素ポンプセル９２が設けてある。
【０００４】
炭化水素濃度の検出を行うに当っては，上記排気ガスを被測定ガスとして被測定ガス室９７に導入する。
上記被測定ガスが，上記酸素モニタセル９３における被測定ガス側電極９３１に接触した際には，この被測定ガス側電極９３１は炭化水素に対する酸化活性を有しているため，被測定ガス中の炭化水素は被測定ガス中の酸素と反応する。
【０００５】
そして，上記被測定ガス側電極９３１と他方の電極９３２との間の酸素濃度の違いによりこれらの一対の電極９３１，９３２の間に発生する起電力を，電圧検出手段９３３を用いて測定することにより，上記反応が行われた後の被測定ガス中の酸素濃度を検出する。
また，この被測定ガス中の酸素濃度は，上記酸素モニタセル９３により検出された酸素濃度が一定となるように酸素ポンプセル９２に印加する電圧を制御して調整する。
【０００６】
一方，上記センサセル９４における被測定ガス側電極９４１は炭化水素に対する酸化活性が低い性質を有しているため，このセンサセル９４１に接触する被測定ガス中の炭化水素は被測定ガス中の酸素とほとんど反応をしない。そして，このセンサセル９４における一対の電極９４１，９４２の間に電圧を印加して，このセンサセル９４に流れる酸素イオン電流を電流検出手段９４３を用いて測定することにより，上記反応がほとんど行われていない被測定ガス中の酸素濃度を検出する。そして，この酸素濃度による酸素の量が炭化水素の量に対応しているとして，被測定ガス中の炭化水素濃度を算出することができる。
【０００７】
【解決しようとする課題】
ところで，上記酸素モニタセル９３においては，一対の電極９３１，９３２の間に発生する起電力を測定することにより，酸素濃度を検出しており，これに対し，上記センサセル９４においては，一対の電極９４１，９４２の間に流れる酸素イオン電流を測定することにより，酸素濃度を検出している。
【０００８】
即ち，上記従来の炭化水素ガスセンサ素子９０においては，上記炭化水素濃度を求める際に用いる状態量が異なっている。そのため，炭化水素濃度の測定環境下に変動が生じたときには，この変動により受ける影響により検出する炭化水素濃度に誤差が生じてしまう。上記炭化水素濃度の測定環境下の変動には，例えば，被測定ガスにおける可燃性ガス成分の変化，被測定ガスにおける酸素濃度の変化等が考えられる。
【０００９】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，ガス濃度の測定環境下の変動によってガス濃度の検出誤差をほとんど生じることがないガスセンサ素子及びガス濃度の検出方法を提供しようとするものである。
【００１０】
【課題の解決手段】
第１の発明は，所定の拡散抵抗の下に被測定ガスが導入される被測定ガス室と，
該被測定ガス室に曝されるように酸素イオン導電性を有する固体電解質体の表面に配置したポンプ電極と，上記被測定ガス室に曝されないように上記固体電解質体の表面に配置したポンプ電極とを備え，上記一対のポンプ電極の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
上記被測定ガス室に曝されるように酸素イオン導電性を有する固体電解質体の表面に配置した被測定ガス側電極と，基準ガスに曝されるように上記固体電解質体の表面に配置した基準ガス側電極とを備え，かつ当該被測定ガス側電極が上記被測定ガス中に含まれる炭化水素に対する酸化活性を有する酸素モニタセルと，
上記被測定ガス室に曝されるように酸素イオン導電性を有する固体電解質体の表面に配置した被測定ガス側電極と，基準ガスに曝されるように上記固体電解質体の表面に配置した基準ガス側電極とを備え，かつ当該被測定ガス側電極が，上記炭化水素に対する酸化活性が上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極よりも低い性質を有するセンサセルとを有し，
上記酸素モニタセルに電圧を印加したときに流れる酸素イオン電流と，上記センサセルに電圧を印加したときに流れる酸素イオン電流との関係に基づいて，上記炭化水素のガス濃度を検出するよう構成されていることを特徴とするガスセンサ素子にある（請求項１）。
【００１１】
第１の発明におけるガスセンサ素子は，被測定ガス中に含まれる炭化水素に対する酸化活性が異なる被測定ガス側電極をそれぞれ有する酸素モニタセルとセンサセルとを用いる。そして，酸素モニタセルとセンサセルとに電圧を印加し，これらのセルに流れる酸素イオン電流を検出して，これらの酸素イオン電流の間の関係により上記炭化水素のガス濃度を算出する。
【００１２】
即ち，まず，上記ガスセンサ素子においては，所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを被測定ガス室に導入する。
次いで，上記酸素ポンプセルにおける一対のポンプ電極の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室に導入された被測定ガス中の酸素濃度を調整する。こうして，まずは，上記被測定ガス中の酸素濃度を，被測定ガスに含まれる炭化水素のガス濃度を検出するのに適した濃度に調整する。
また，この酸素ポンプセルにより調整する被測定ガス中の酸素濃度は，上記酸素モニタセルによって監視することができ，酸素ポンプセルは，酸素モニタセルによって検出される酸素濃度を制御するようにして，被測定ガス中の酸素濃度を調整することができる。
【００１３】
また，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極と基準ガス側電極とによる一対の電極の間と，上記センサセルにおける被測定ガス側電極と基準ガス側電極とによる一対の電極との間には，それぞれ電圧を印加する。
上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極は，上記のごとく，被測定ガス中に含まれる炭化水素に対して酸化活性を有している。そのため，上記酸素モニタセルの一対の電極の間に電圧を印加したときには，この酸素モニタセルの被測定ガス側電極において，被測定ガス中に含まれる炭化水素が被測定ガス中に含まれる酸素と反応する。そして，この酸素モニタセルにおいては，上記炭化水素と反応が行われた後の酸素の濃度に対応する酸素イオン電流が検出される。
【００１４】
一方，上記センサセルにおける被測定ガス側電極は，上記のごとく，被測定ガス中に含まれる炭化水素に対する酸化活性が，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極よりも低い性質を有している。そのため，上記センサセルの一対の電極の間に電圧を印加したときに，このセンサセルにおける被測定ガス側電極において，被測定ガス中に含まれる炭化水素が被測定ガス中に含まれる酸素と反応する量は，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極に比べて少なくなる。そのため，このセンサセルにおいては，上記酸素モニタセルに比べて酸素濃度が高くなり，これに対応した酸素イオン電流が検出される。
【００１５】
そして，上記酸素モニタセルにおける酸素イオン電流と，上記センサセルにおける酸素イオン電流との関係により，上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出することができる。
また，第１の発明においては，上記のごとく，上記酸素モニタセルとセンサセルとは，ともに上記酸素イオン電流という同じ状態量に基づいて，上記炭化水素のガス濃度を検出している。
【００１６】
そのため，上記ガスセンサ素子において，ガス濃度の測定環境下に変動が生じたときにおいても，上記酸素モニタセルとセンサセルとは，この変動に対して同等の影響を受ける。そのため，例えば，被測定ガス中に含まれる可燃性ガスの成分が変化したとき又は酸素濃度が変化したときでも，酸素モニタセルとセンサセルとにおいて検出するそれぞれの酸素イオン電流の間に検知対象ガス以外に起因するズレを生じることがほとんどない。
それ故，第１の発明によれば，ガス濃度の測定環境下の変動によって，ガス濃度の検出誤差をほとんど生じることがないガスセンサ素子を実現することができる。
【００１７】
第２の発明は，被測定ガスが導入される被測定ガス室と，一方のポンプ電極を上記被測定ガス室に曝されるように配置した酸素ポンプセルと，炭化水素に対する酸化活性を有する被測定ガス側電極を上記被測定ガス室に曝されるように配置した酸素モニタセルと，炭化水素に対する酸化活性が上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極よりも低い性質を有する被測定ガス側電極を上記被測定ガス室に曝されるように配置したセンサセルとを用いて，
上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出するに当たっては，
所定の拡散抵抗の下において上記被測定ガスを上記被測定ガス室に導入し，
上記酸素モニタセル及び上記センサセルに電圧を印加すると共に上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流に基づいて上記被測定ガス室における酸素濃度を検出し，
該酸素濃度に基づいて上記酸素ポンプセルへ印加する電圧を制御することにより，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整した後，
上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流と，上記センサセルに流れる酸素イオン電流との関係に基づいて，被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出することを特徴とするガス濃度の検出方法にある（請求項１３）。
【００１８】
第２の発明のガス濃度の検出方法によれば，上記第１の発明におけるガスセンサ素子の優れた特性を生かして，上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出することができる。それ故，第２の発明のガス濃度の検出方法によれば，ガス濃度の測定環境下の変動によって，ガス濃度の検出誤差をほとんど生じることなくガス濃度の検出を行うことができる。
【００１９】
また，第３の発明は，所定の拡散抵抗の下に被測定ガスが導入される被測定ガス室と，
該被測定ガス室に曝されるように酸素イオン導電性を有する固体電解質体の表面に配置したポンプ電極と，上記被測定ガス室に曝されないように上記固体電解質体の表面に配置したポンプ電極とを備え，かつ上記被測定ガス室に曝されるポンプ電極が上記被測定ガス中に含まれる炭化水素に対する酸化活性を有し，
上記一対のポンプ電極の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整する酸素ポンプセルと，
上記被測定ガス室に曝されるように酸素イオン導電性を有する固体電解質体の表面に配置した被測定ガス側電極と，基準ガスに曝されるように上記固体電解質体の表面に配置した基準ガス側電極とを備え，かつ当該被測定ガス側電極が，上記炭化水素に対する酸化活性が上記酸素ポンプセルにおける被測定ガス室と対面するポンプ電極よりも低い性質を有するセンサセルとを有し，
上記酸素ポンプセルに電圧を印加したときに流れる酸素イオン電流と，上記センサセルに電圧を印加したときに流れる酸素イオン電流との関係に基づいて，上記炭化水素のガス濃度を検出するよう構成されていることを特徴とするガスセンサ素子にある（請求項１６）。
【００２０】
第３の発明におけるガスセンサ素子は，酸素ポンプセルとセンサセルとを備え，酸素ポンプセルにおける被測定ガス室に曝されるポンプ電極と，センサセルにおける被測定ガス側電極とは，被測定ガス中に含まれる炭化水素に対する酸化活性が異なる。
そして，酸素ポンプセルとセンサセルとに電圧を印加し，これらのセルに流れる酸素イオン電流を検出して，これらの酸素イオン電流の間の関係により上記炭化水素のガス濃度を算出する。
【００２１】
即ち，まず，上記ガスセンサ素子においては，所定の拡散抵抗の下に被測定ガスを被測定ガス室に導入する。
次いで，上記酸素ポンプセルにおける一対のポンプ電極の間に電圧を印加することにより，上記被測定ガス室に導入された被測定ガス中の酸素濃度を調整すると共に被測定ガス中の酸素濃度を監視する。
こうして，まずは，上記被測定ガス中の酸素濃度を，被測定ガスに含まれる炭化水素のガス濃度を検出するのに適した濃度に調整する。
【００２２】
また，上記酸素ポンプセルにおける被測定ガス室に曝されるポンプ電極と被測定ガス室に曝されないポンプ電極との間と，上記センサセルにおける被測定ガス側電極と基準ガス側電極との間に，それぞれ電圧を印加する。
上記酸素ポンプセルにおける被測定ガス室と対面するポンプ電極は，被測定ガス中に含まれる炭化水素に対して酸化活性を有し，上記酸素ポンプセルの一対のポンプ電極間に電圧を印加すると，被測定ガス室に曝されるポンプ電極において，上記炭化水素が被測定ガス中に含まれる酸素と反応する。そして，この酸素ポンプセルにおいては，上記炭化水素と反応が行われた後の酸素の濃度に対応する酸素イオン電流が検出される。
【００２３】
一方，上記センサセルにおける被測定ガス側電極は，上記のごとく，被測定ガス中に含まれる炭化水素に対する酸化活性が，上記酸素ポンプセルにおける被測定ガス側電極よりも低い性質を有している。そのため，上記センサセルの一対の電極の間に電圧を印加したときに，このセンサセルにおける被測定ガス側電極において，被測定ガス中に含まれる炭化水素が被測定ガス中に含まれる酸素と反応する量は，上記酸素ポンプセルにおける被測定ガス側電極に比べて少なくなる。そのため，このセンサセルにおいては，上記酸素ポンプセルに比べて酸素濃度が高くなり，これに対応した酸素イオン電流が検出される。
【００２４】
そして，上記酸素ポンプセルにおける酸素イオン電流と，上記センサセルにおける酸素イオン電流との関係により，上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出することができる。
また，第３の発明にかかる上記酸素ポンプセル及びセンサセルは，ともに上記酸素イオン電流という同じ状態量に基づいて，上記炭化水素のガス濃度を検出している。
【００２５】
そのため，上記ガスセンサ素子において，ガス濃度の測定環境下に変動が生じたときにおいても，上記酸素ポンプセルとセンサセルとは，この変動に対して同等の影響を受ける。そのため，例えば，被測定ガス中に含まれる可燃性ガスの成分が変化したとき又は酸素濃度が変化したときでも，酸素ポンプセルとセンサセルとにおいて検出するそれぞれの酸素イオン電流の間に検知対象ガス以外に起因するズレを生じることがほとんどない。
それ故，第３の発明によれば，ガス濃度の測定環境下の変動によって，ガス濃度の検出誤差をほとんど生じることがないガスセンサ素子を実現することができる。
【００２６】
また，第４の発明は，被測定ガスが導入される被測定ガス室と，一方のポンプ電極を上記被測定ガス室に曝されるように配置した酸素ポンプセルと，炭化水素に対する酸化活性が上記酸素ポンプセルにおける被測定ガス室に曝されるポンプ電極よりも低い性質を有する被測定ガス側電極を上記被測定ガス室に曝されるように配置したセンサセルとを用いて，
上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出するに当たっては，
所定の拡散抵抗の下において上記被測定ガスを上記被測定ガス室に導入し，
上記酸素ポンプセル及び上記センサセルに電圧を印加すると共に
上記酸素ポンプセルに流れる酸素イオン電流と，上記センサセルに流れる酸素イオン電流との関係に基づいて，被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出することを特徴とするガス濃度の検出方法にある（請求項２０）。
【００２７】
第４の発明のガス濃度の検出方法によれば，上記第３の発明におけるガスセンサ素子の優れた特性を生かして，上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出することができる。それ故，第４の発明のガス濃度の検出方法によれば，ガス濃度の測定環境下の変動によって，ガス濃度の検出誤差をほとんど生じることなくガス濃度の検出を行うことができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
第１の発明において，上記ガスセンサ素子は，上記センサセルに流れる酸素イオン電流と上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流との差に基づいて，被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度を検出するよう構成することができる（請求項２）。
この場合，上記酸素イオン電流の間の差が，上記炭化水素（以下，特定ガスともいう）のガス濃度に対応しているとして，容易に上記特定ガスのガス濃度を検出することができる。
【００２９】
また，第１の発明において，上記酸素ポンプセルは，上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流が所望の値となるように当該酸素ポンプセルに印加する電圧を制御し，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整するよう構成することが好ましい（請求項３）。
この場合，上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流が所望の値となるように上記酸素ポンプセルに印加する電圧をフィードバック制御することができる。そのため，上記被測定ガス室における酸素濃度を容易に調整することができる。
【００３０】
また，第１の発明において，上記被測定ガス中に含まれる特定ガスは，炭化水素である。
この場合，上記ガスセンサ素子は，上記被測定ガス中における炭化水素の濃度を検出する炭化水素ガスセンサ素子として使用することができる。
また，上記酸素モニタセルにおける上記被測定ガス側電極は，炭化水素を酸化するよう構成する（請求項６）。また，上記酸素モニタセルにおける上記被測定ガス側電極は，上記センサセルにおける上記被測定ガス側電極に比べて，炭化水素に対する酸化活性が高いものとする（請求項４）。
【００３１】
また，第１の発明において，上記酸素モニタセルにおける上記被測定ガス側電極は，上記センサセルにおける上記被測定ガス側電極に比べて，メタン以外の炭化水素に対する酸化活性が高いことが好ましい（請求項５）。
この場合，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極においては，上記センサセルにおける被測定ガス側電極に比べて，被測定ガス中におけるメタン以外の炭化水素が被測定ガス中における酸素と多く反応する。
そのため，上記ガスセンサ素子は，被測定ガス中のメタン以外の炭化水素を選択的に検出することができる。
【００３２】
また，第１の発明において，上記酸素モニタセルにおける上記被測定ガス側電極上で炭化水素と酸化反応後の残留酸素量が一定となるように上記酸素ポンプセルが制御され，
かつ上記酸素モニタセルにおける上記被測定ガス側電極は，上記センサセルにおける上記被測定ガス側電極に比べて，炭化水素に対する酸化活性が高く，
上記センサセル及び上記酸素モニタセルをそれぞれ流れる酸素イオン電流の差より被測定ガス中の炭化水素濃度を測定するよう構成することが好ましい（請求項７）。
これにより，炭化水素濃度に起因する電極上の酸素濃度差を精度よく検出することができるため，炭化水素の検出精度を高くすることができる。
【００３３】
また，第１の発明において，上記センサセルにおける被測定ガス側電極は，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極に比べて，メタンを含む炭化水素に対する酸化活性が低い性質を有していることができる（請求項８）。
この場合，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極においては，上記センサセルにおける被測定ガス側電極に比べて，被測定ガス中におけるメタンを含む炭化水素が被測定ガス中における酸素と多く反応する。そのため，上記ガスセンサ素子において，被測定ガス中のメタンを含む炭化水素のガス濃度を検出することができる。
【００３４】
また，第１の発明において，上記センサセルにおける被測定ガス側電極は，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極に比べて，メタン以外の炭化水素に対する酸化活性が低い性質を有していることができる（請求項９）。
この場合，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極においては，上記センサセルにおける被測定ガス側電極に比べて，被測定ガス中におけるメタン以外の炭化水素が被測定ガス中における酸素と多く反応する。
そのため，上記ガスセンサ素子は，被測定ガス中のメタン以外の炭化水素を選択的に検出することができる。
【００３５】
また，第１の発明において，上記酸素モニタセル及び上記センサセルにおける被測定ガス側電極の炭化水素に対する活性の高低は，上記被測定ガス側電極の酸素吸着に対する強弱を制御することにより実現することが好ましい（請求項１０）。
これにより，容易に被測定ガス側電極の活性を制御することができる。
被測定ガス側電極の酸素吸着を弱くするためには，Ｐｔ，Ｐｄ，Ｒｈなどの貴金属元素にＡｕ，Ａｇ，Ｃｕなどの金属元素を添加した電極材料より被測定ガス側電極を構成する。また，被測定ガス側電極の酸素吸着を強くするためには，Ｐｔ，Ｐｄ，Ｒｈなどの貴金属元素にＴｉ，Ｔａ，Ｎｂなどの酸化物になりやすい金属元素を添加した電極材料より被測定ガス側電極を構成する。すなわち，酸素との吸着熱が貴金属元素よりも大（約８０ｋｃａｌ／ｍｏｌ以上）である金属元素を添加することが好ましい。
【００３６】
また，第１の発明において，上記センサセルにおける被測定ガス側電極及び上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極は，Ｐｔ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ａｕのうち少なくとも１種又は２種以上を金属主成分とし，かつ，Ｔｉ，Ｔａ，Ｎｂ，Ａｌ，Ｗ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｚｒのうち少なくとも１種又は２種以上の成分を含むことが好ましい（請求項１１）。
【００３７】
この場合，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極は，Ｐｔ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ａｕのうち少なくとも１種又は２種以上を金属主成分として，上記炭化水素に対する酸化活性を有することができる。
また，上記センサセルにおける被測定ガス側電極は，Ｐｔ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ａｕのうち少なくとも１種又は２種以上を金属主成分とし，Ｔｉ，Ｔａ，Ｎｂ，Ａｌ，Ｗ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｚｒのうち少なくとも１種又は２種以上の成分を含むことにより，上記炭化水素に対する酸化活性が上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極に比べて低い性質を有することができる。
【００３８】
また，第１の発明において，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス電極はＰｔ９９〜８０ｗｔ％とＡｕを１〜２０ｗｔ％とからなる電極材料を含み，上記センサセルにおける被測定ガス側電極はＰｔ及び／またはＰｄの９９〜８０ｗｔ％とＴｉＯ2を１〜２０ｗｔ％とからなる電極材料を含み，メタン以外の炭化水素を検出可能となるよう構成したことが好ましい（請求項１２）。
これにより，メタン以外の炭化水素を選択的に検出することができる。
【００３９】
酸素モニタセルの被測定ガス側電極が含む電極材料において，Ａｕが１ｗｔ％未満である場合は，メタンに対する酸化活性が高くなるおそれがあり，２０ｗｔ％を越えた場合は，融点が低下し，ジルコニア固体電解質体との同時焼成が困難となるおそれがある。
また，センサセルの被測定ガス側電極が含む電極材料において，ＴｉＯ2が１ｗｔ％未満である場合は，炭化水素に対する酸化活性が高くなるおそれがあり，２０ｗｔ％を越えた場合は，電極の電気抵抗が増加するおそれがある。
【００４０】
更に，酸素モニタセルの被測定ガス側電極が含む電極材料において，より好ましくはＡｕを５ｗｔ％以上添加する。また，センサセルの被測定ガス側電極が含む電極材料において，より好ましくはＴｉＯ2を１０ｗｔ％以上添加する。
【００４１】
また，上記第２の発明においても，上記被測定ガス中に含まれる特定ガスのガス濃度の検出は，上記センサセルに流れる酸素イオン電流と上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流との差に基づいて行うことができる（請求項１４）。
この場合，上記酸素イオン電流の間の差が，上記炭化水素のガス濃度に対応しているとして，容易に上記特定ガスのガス濃度を検出することができる。
【００４２】
また，第２の発明において，上記被測定ガス中に含まれる炭化水素のガス濃度の検出に当たり，上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流が所望の値となるように上記酸素ポンプセルに印加する電圧を制御し，上記被測定ガス室における酸素濃度を調整することが好ましい（請求項１５）。
この場合，上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流が所望の値となるように上記酸素ポンプセルに印加する電圧をフィードバック制御することができる。そのため，上記被測定ガス室における酸素濃度を容易に調整することができる。
【００４３】
また，第２の発明において，上記被測定ガス中に含まれる特定ガスは，炭化水素である。
この場合，上記ガス濃度の検出方法は，上記被測定ガス中における炭化水素の濃度を検出することができる。
また，この場合，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極は，炭化水素に対する酸化活性を有するものとする。また，この場合，上記センサセルにおける被測定ガス側電極は，炭化水素に対する酸化活性が上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極よりも低い性質を有するものとする。
【００４４】
また，上記第１の発明及び第２の発明において，上記酸素ポンプセルに印加する電圧を上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流が一定値となるように制御すれば，上記センサセルに流れる酸素イオン電流と上記酸素モニタセルに流れる酸素イオン電流との差は，上記センサセルに流れる酸素イオン電流に依存することになる。つまり，上記酸素モニタセルによって検出される酸素濃度を一定の濃度に保てば，上記センサセルに流れる酸素イオン電流を検出することにより上記特定ガスのガス濃度を検出することができる。
【００４５】
また，第３の発明において，上記ガスセンサ素子は，上記酸素ポンプセルへの印加電圧と上記酸素ポンプセルに流れる酸素イオン電流との関係から，被測定ガス室内の酸素濃度を一定値に制御し，上記センサセルに流れる酸素イオン電流に基づいて，被測定ガス中に含まれる特定ガスのガス濃度を検出するよう構成することができる（請求項１７）。
この場合，上記センサセルに流れる酸素イオン電流が，上記特定ガスのガス濃度に対応しているとして，容易に上記特定ガスのガス濃度を検出することができる。
【００４６】
また，第３の発明において，上記被測定ガス中に含まれる特定ガスは，炭化水素である。
この場合，上記ガスセンサ素子は，上記被測定ガス中における炭化水素の濃度を検出する炭化水素ガスセンサ素子として使用することができる。
また，上記酸素ポンプセルにおける上記被測定ガス室と対面したポンプ電極は，上記センサセルにおける上記被測定ガス側電極に比べて，炭化水素に対する酸化活性が高いものとする（請求項１８）。
【００４７】
また，第３の発明において，上記酸素ポンプセルにおける上記被測定ガス室と対面したポンプ電極は，上記センサセルにおける上記被測定ガス側電極に比べて，メタン以外の炭化水素に対する酸化活性が高いことが好ましい（請求項１９）。
この場合，上記酸素モニタセルにおける被測定ガス側電極においては，上記センサセルにおける被測定ガス側電極に比べて，被測定ガス中におけるメタン以外の炭化水素が被測定ガス中における酸素と多く反応する。
そのため，上記ガスセンサ素子は，被測定ガス中のメタン以外の炭化水素を選択的に検出することができる。
【００４８】
また，第４の発明において，上記被測定ガス中に含まれる特定ガスのガス濃度の検出は，上記酸素ポンプセルへの印加電圧と上記酸素ポンプセルに流れる酸素イオン電流との関係から，被測定ガス室内の酸素濃度を一定値に制御し，上記センサセルに流れる酸素イオン電流に基づいて行うことが好ましい（請求項２１）。
この場合，上記センサセルに流れる酸素イオン電流が，上記特定ガスのガス濃度に対応しているとして，容易に上記特定ガスのガス濃度を検出することができる。
【００４９】
また，第４の発明において，上記被測定ガス中に含まれる特定ガスは，炭化水素である。
この場合，上記ガス濃度の検出方法は，上記被測定ガス中における炭化水素の濃度を検出することができる。
【００５０】
第１，第３の発明にかかるガスセンサ素子は，自動車のエンジンの排気系に設置する炭化水素ガスセンサ素子として使用することができる。更に，エンジンの空燃比制御，触媒制御又は劣化検知等を行うために使用することができる。
また，第２，第４の発明にかかるガス濃度の検出方法は，自動車のエンジンの排気系における炭化水素の濃度検出に使用することができる。更に，エンジンの空燃比制御，触媒制御又は劣化検知等に使用することができる。
【００５１】
【実施例】
（実施例１）
本例におけるガス濃度の検出方法においては，自動車のエンジンの排気ガスを被測定ガスとし，該被測定ガス中に含まれる炭化水素濃度を検出する。
また，本例のガスセンサ素子１は，検出した炭化水素濃度をエンジンの燃焼制御を最適に行うために使用するものである。
【００５２】
図１に示すごとく，本例におけるガスセンサ素子１には，被測定ガスが導入される被測定ガス室７が形成されている。
また，ガスセンサ素子１は，一方のポンプ電極２１を上記被測定ガス室７に曝されるように配置した酸素ポンプセル２と，被測定ガス側電極３１を上記被測定ガス室７に曝されるように配置した酸素モニタセル３と，被測定ガス側電極４１を上記被測定ガス室７に曝されるように配置したセンサセル４とを有している。
【００５３】
また，上記酸素モニタセル３における被測定ガス側電極３１は，炭化水素に対する酸化活性を有している。また，上記センサセル４における被測定ガス側電極４１は，炭化水素に対する酸化活性が上記酸素モニタセル３における被測定ガス側電極３１よりも低い性質を有している。
また，本例における酸素モニタセル３とセンサセル４とは，一対の電極の間に限界電流特性を示す値の電圧を印加し，電極近傍の酸素濃度の違いによりそこに流れる酸素イオン電流が変化することを利用する限界電流式のセルである。
【００５４】
上記被測定ガス中に含まれる特定ガスのガス濃度を検出するに当たっては，所定の拡散抵抗の下において上記被測定ガスを上記被測定ガス室７に導入する。
そして，上記酸素モニタセル３に電圧を印加すると共に上記酸素モニタセル３に流れる酸素イオン電流を検出する。また，上記センサセル４にも電圧を印加すると共に上記センサセル４に流れる酸素イオン電流を検出する。
また，本例では，上記酸素モニタセル３によって検出を行った酸素イオン電流に基づいて上記酸素ポンプセル２へ印加する電圧を制御することにより，上記被測定ガス室７における酸素濃度を調整する。
【００５５】
そして，本例におけるガス濃度の検出方法は，上記酸素モニタセル３に流れる酸素イオン電流と，上記センサセル４に流れる酸素イオン電流との関係に基づいて，被測定ガス中に含まれる特定ガスのガス濃度を検出する。
【００５６】
以下に，これを詳説する。
本例において検出を行う被測定ガス中に含まれる特定ガスは，炭化水素とする。また，本例においては，上記被測定ガス中に含まれる炭化水素濃度の検出に当たり，上記酸素モニタセル３に流れる酸素イオン電流が所望の一定値となるように上記酸素ポンプセル２に印加する電圧をフィードバック制御して，上記被測定ガス室７における酸素濃度を調整する。
【００５７】
図２に本例におけるガスセンサ素子１を分解した状態の斜視図を示す。
同図に示すごとく，ガスセンサ素子１は，酸素ポンプセル２を構成するためのシート状の固体電解質体５と，酸素モニタセル３及びセンサセル４を構成するためのシート状の固体電解質体６と，被測定ガス室７を形成するためのシート状のスペーサ８と，基準ガス室１００を形成するためのシート状のスペーサ９と，これらを加熱するセラミックヒータ１０とを，順次積層して構成されている。
【００５８】
また，酸素ポンプセル２を構成する固体電解質体５と，酸素モニタセル３及びセンサセル４を構成する固体電解質体６は，それぞれジルコニアやセリア等の酸素イオン導電性を有する電解質よりなる。
また，上記各スペーサ８，９はアルミナ等の絶縁材料よりなる。
【００５９】
被測定ガス室７は，被測定ガス存在空間１１０より被測定ガスが導入される空間であり，被測定ガス存在空間１１０に対して上流側に位置する第１被測定ガス室７１と，下流側に位置する第２被測定ガス室７２とに分割して形成してある。そして，第１被測定ガス室７１と第２被測定ガス室７２との間は，第１被測定ガス室７１から第２被測定ガス室７２に流れる被測定ガスを律速する絞り部７３が設けてある。
上記第１被測定ガス室７１，第２被測定ガス室７２及び絞り部７３は，それぞれ固体電解質体５と固体電解質体６との間に位置するスペーサ８の抜き穴８１，８２，８３により形成されている。
【００６０】
上記被測定ガス存在空間１１０から被測定ガス室７１には，ピンホール１１を介して被測定ガスを導入するようになっており，また，固体電解質体５における被測定ガス存在空間１１０側の表面には，上記ピンホール１１の開口部を覆うようにして多孔質保護層１２が設けてある。
本例においては，ピンホール１１と多孔質保護層１２とにより，被測定ガスの流動速度を律速し，被測定ガスを所定の拡散抵抗の下に被測定ガス室７に導入するようになっている。
【００６１】
上記ピンホール１１の大きさは，これを通過して第１被測定ガス室７１及び第２被測定ガス室７２に導入される被測定ガスの拡散速度が所定の速度となるように，適宜設定される。また，上記多孔質保護層１２は，酸素ポンプセル２における一対の電極２１，２２，酸素モニタセル３における被測定ガス側電極３１及びセンサセル４における被測定ガス側電極４１の被毒や，ピンホール１１に目詰まり等が発生することを防止する。この多孔質保護層１２は，多孔質アルミナ等より形成してある。
なお，上記被測定ガスを所定の拡散抵抗の下に被測定ガス室７に導入するための別の方法として，上記ピンホール１１を形成する位置に，上記多孔質アルミナ等よりなる多孔質体を設けてもよい。
【００６２】
基準ガス室１００には，上記炭化水素濃度の検出を行う際の基準となる基準ガスとして，略一定の酸素濃度をもつ大気が導入される。また，基準ガス室１００は，通路部１０１を介して基準ガスを導入する基準ガス空間１２０に連通されている。
また，基準ガス室１００は，固体電解質体６に対してスペーサ８が対向する側とは反対側に位置するスペーサ９において，このスペーサ９に設けた抜き穴９１により形成されており，通路部１０１は，スペーサ９に設けた溝９２により形成されている。
【００６３】
上記酸素ポンプセル２は，固体電解質体５と，この固体電解質体５を挟むように対向配置されたポンプ電極２１及びポンプ電極２２の一対の電極とにより構成される。
また，一方のポンプ電極２１は，固体電解質体５においてスペーサ８と対向する側の表面に，上記第１被測定ガス室７１に接して設けられている。また，他方のポンプ電極２２は，固体電解質体５において被測定ガス存在空間１１０と対向する側の表面に，上記多孔質保護層１２を介して被測定ガス存在空間１１０と接して設けられている。
【００６４】
上記酸素モニタセル３は，固体電解質体６と，この固体電解質体６を挟むように対向配置された被測定ガス側電極３１及び基準ガス側電極３２の一対の電極とにより構成される。
また，被測定ガス側電極３１は，固体電解質体６においてスペーサ８と対向する側の表面に，上記第２被測定ガス室７２に接して設けられている。また，基準ガス側電極３２は，固体電解質体６においてスペーサ９と対向する側の表面に，上記基準ガス室１００と接して設けられている。
【００６５】
上記センサセル４は，固体電解質体６と，この固体電解質体６を挟むように対向配置された被測定ガス側電極４１及び基準ガス側電極４２の一対の電極とにより構成される。
また，被測定ガス側電極４１は，固体電解質体６においてスペーサ８と対向する側の表面に，上記第２被測定ガス室７２に接して設けられている。また，基準ガス側電極４２は，固体電解質体６においてスペーサ９と対向する側の表面に，上記基準ガス室１００と接して設けられている。
【００６６】
本例においては，酸素ポンプセル２のポンプ電極２１とセンサセル４の被測定ガス側電極４１は，Ｐｔ及びＡｕを金属主成分とし，これにＴｉを添加した多孔質サーメット電極としている。この際，Ａｕ及びＴｉの含有量はそれぞれ１〜２０重量％程度とすることが好ましい。
上記酸素ポンプセル２のポンプ電極２１及びセンサセル４の被測定ガス側電極４１は，上記成分で構成することにより，炭化水素に対する酸化活性がほとんどない電極とすることができる。
【００６７】
本例においては，酸素モニタセル３の被測定ガス側電極３１は，Ｐｔ及びＡｕを金属主成分として含有する多孔質サーメット電極としている。この際，Ａｕの含有量は１〜２０重量％程度とすることが好ましい。
上記酸素モニタセル３の被測定ガス側電極３１は，上記成分で構成することにより，センサセル４の被測定ガス側電極４１に比較して，炭化水素に対する酸化活性が高く，特にメタン以外の炭化水素に対する酸化活性が高い電極とすることができる。
【００６８】
また，上記酸素ポンプセル２における被測定ガス存在空間１１０側のポンプ電極２２，酸素モニタセル３の基準ガス側電極３２及びセンサセル４の基準ガス側電極４２には，Ｐｔを含有する多孔質サーメット電極を用いる。
また，図２に示すごとく，上記各電極２１，２２，３１，３２，４１，４２には，それぞれこれらの各電極から電気信号を取出すためのリード部２３，２４，３３，３４，４３，４４が一体的に形成されている。
また，固体電解質体５又は固体電解質体６と上記リード部２３，２４，３３，３４，４３，４４との間には，アルミナ等の絶縁層（図示略）を形成しておくことが好ましい。
【００６９】
上記セラミックヒータ１０は，アルミナ製のヒータシート１３の表面に通電発熱するヒータ電極１４をパターニング形成し，このヒータ電極１４を形成した表面に絶縁性を有するアルミナ層１５を重ね合わせて構成する。
また，このセラミックヒータ１０は，上記スペーサ９に対して，このスペーサ９において固体電解質体６に対向しない側の表面に対向して配置されている。
上記ヒータ電極１４には，Ｐｔとアルミナ等のセラミックスとのサーメットが用いられている。また，セラミックヒータ１０は，ヒータ電極１４を外部からの給電により発熱させ，上記酸素ポンプセル２，酸素モニタセル３及びセンサセル４をガス濃度の検出に適した活性化温度まで加熱するものである。
【００７０】
また，上記酸素ポンプセル２における一対の電極２１，２２，上記酸素モニタセル３の一対の電極３１，３２，上記センサセル４の一対の電極４１，４２，及びヒータ電極１４における一対の端部１４１，１４２は，それぞれ上記各リード部２３，２４，３３，３４，４３，４４及びスルーホール１３０を介して，ガスセンサ素子１の両側面に設けられたセンサ端子１４０に接続されている。
そして，このセンサ端子１４０にはコネクタを介して圧着やろう付け等によりリード線が接続され，外部回路と，上記各セル２，３，４又はセラミックヒータ１０との間で電気信号を入出力させることが可能となっている（図示略）。
【００７１】
固体電解質体５，６，スペーサ８，９，ヒータシート１３及びアルミナ層１５は，ドクターブレード法や押し出し成形法等により，シート形状に成形することができる。
また，上記の各電極２１，２２，３１，３２，４１，４２，各リード部２３，２４，３３，３４，４３，４４，及びセンサ端子１４０は，スクリーン印刷等により形成することができる。
また，上記固体電解質体５，６，スペーサ８，９，多孔質保護層１２，ヒータシート１３及びアルミナ層１５は，積層して焼成することにより一体化することができる。
【００７２】
また，図１に示すごとく，上記酸素ポンプセル２には，該酸素ポンプセル２に電圧を印加するための電源２５を有する酸素ポンプセル回路２４０が設けられている。同図において，電源２５は，被測定ガス存在空間１１０側のポンプ電極２２がプラス極として記載してあるが，実際には被測定ガス室７における酸素濃度を調整する際に，プラス極とマイナス極とが入れ替わることもある。
【００７３】
また，上記酸素モニタセル３には，該酸素モニタセル３に電圧を印加するための電源３５と酸素モニタセル３に流れる酸素イオン電流を検出するための電流検出手段３６とを有する酸素モニタセル回路３４０が設けてある。また，上記センサセル４にも，同様にして，センサセル４に電圧を印加するための電源４５とセンサセル４に流れる酸素イオン電流を検出するための電流検出手段４６とを有するセンサセル回路４４０が設けてある。
【００７４】
また，図示は省略するが，上記各セル２，３，４における電源２５，３５，４５，各電流検出手段３６，４６は，外部回路に接続されており，この外部回路における演算手段によって，各制御及び演算が行われる。
また，上記電流検出手段３６によって検出した電流値は，制御信号線２５０を介して上記外部回路に送信され，この外部回路における演算手段は制御信号線２５０を介して上記電源２５の電圧を制御するようになっている。
【００７５】
次に，上記ガスセンサ素子１のガス濃度の検出方法について詳説する。
本例の炭化水素濃度の検出方法により，炭化水素濃度の検出を行うに当っては，ガスセンサ素子１において，エンジンの排気ガスである被測定ガスが，多孔質保護層１２及びピンホール１１を通過して第１被測定ガス室７１に導入される。
【００７６】
そして，上記酸素ポンプセル２における一対のポンプ電極２１，２２の間に電圧を印加して，上記被測定ガス室７１と上記被測定ガス存在空間１１０との間で酸素を入出させるポンピング作用により，第１被測定ガス室７１に導入された被測定ガス中に含まれる酸素濃度を調整する。
【００７７】
上記ポンピング作用による酸素濃度の調整は，具体的には以下のようにして行われる。
即ち，一対のポンプ電極２１，２２に，被測定ガス存在空間１１０側のポンプ電極２２がプラス極となるように電圧を印加すると，上記第１被測定ガス室７１側のポンプ電極２１上で被測定ガス中の酸素が還元されて酸素イオンとなる。そして，この酸素イオンが上記ポンプ電極２１から上記ポンプ電極２２に向けて流れることにより，上記第１被測定ガス室７１における酸素が排出され，第１被測定ガス室７１における酸素濃度が低下する。
【００７８】
逆に，第１被測定ガス室７１側のポンプ電極２１がプラス極となるように電圧を印加すると，被測定ガス存在空間１１０側のポンプ電極２２上で被測定ガス中の酸素や水蒸気が還元されて酸素イオンとなる。そして，この酸素イオンが上記ポンプ電極２２から上記ポンプ電極２１に向けて流れることにより，上記第１被測定ガス室７１に酸素が取り込まれ，第１被測定ガス室７１における酸素濃度が上昇する。
このような，ポンピング作用を利用して，上記酸素ポンプセル２は，上記被測定ガス中の酸素濃度を，被測定ガスに含まれる炭化水素濃度を検出するのに適した濃度に調整する。
【００７９】
また，上記酸素モニタセル３における被測定ガス側電極３１と基準ガス側電極３２とによる一対の電極の間と，上記センサセル４における被測定ガス側電極４１と基準ガス側電極４２とによる一対の電極との間には，それらのセル３，４が限界電流特性を示す値の電圧を印加する。
例えば，上記酸素モニタセル３及びセンサセル４に印加する電圧の値としては，限界電流特性を示す値として０．４０Ｖとすることができる。
【００８０】
上記酸素モニタセル３において，例えば，図１に示すごとく，上記基準ガス室１００に接する基準ガス側電極３２がプラス極となるように電圧を印加すると，上記第２被測定ガス室７２に接する被測定ガス側電極３１上で被測定ガス中の酸素が還元されて酸素イオンとなり，この酸素イオンが上記被測定ガス室側電極３１から上記基準ガス側電極３２に向けて流れる。
【００８１】
そして，上記酸素モニタセル３に流れる酸素イオン電流が一定の値になるように，上記酸素ポンプセル２に印加する電圧をフィードバック制御することにより，容易に上記被測定ガス中に含まれる酸素濃度を調整することができる。例えば，酸素モニタセル３に流れる酸素イオン電流が０．５μＡとなるように，上記酸素ポンプセル２に印加する電圧を変化させることができる。
【００８２】
上記酸素モニタセル３における被測定ガス側電極３１は，上記のごとく，被測定ガス中に含まれる炭化水素に対して酸化活性が高い性質を有している。そのため，この酸素モニタセル３の被測定ガス側電極３１においては，被測定ガス中に含まれる炭化水素が被測定ガス中に含まれる酸素と反応する。
そのため，この酸素モニタセル３においては，炭化水素と反応が行われた後の酸素の濃度に対応する酸素イオン電流が検出される。
【００８３】
また，上記センサセル４においても，例えば，図１に示すごとく，上記基準ガス室１００に接する基準ガス側電極４２がプラス極となるように電圧を印加すると，上記第２被測定ガス室７２に接する被測定ガス側電極４１上で被測定ガス中の酸素が還元されて酸素イオンとなり，この酸素イオンが酸素イオン電流として上記基準ガス側電極４２に向けて流れる。
【００８４】
上記センサセル４における被測定ガス側電極４１は，上記のごとく，被測定ガス中に含まれる炭化水素に対する酸化活性がほとんどない性質を有している。そのため，このセンサセル４における被測定ガス側電極４１において，被測定ガス中に含まれる炭化水素が被測定ガス中に含まれる酸素と反応する量は，上記酸素モニタセル３における被測定ガス側電極３１に比べて少なくなる。
そのため，このセンサセル４においては，上記酸素モニタセル３に比べて酸素濃度が高くなり，これに対応した酸素イオン電流が検出される。
【００８５】
そして，上記のごとく，第２被測定ガス室７２における酸素濃度は，上記酸素モニタセル３における酸素イオン電流が一定の値になるよう制御されている。即ち，第２被測定ガス室７２における酸素濃度は，上記酸素モニタセル３において，上記炭化水素と反応が行われた後の酸素濃度が一定になるよう制御されている。
そのため，センサセル４における酸素イオン電流は炭化水素濃度に依存し，このセンサセル４における酸素イオン電流を検出することにより炭化水素濃度を検出することができる。
【００８６】
本例においては，上記のごとく，上記酸素モニタセル３とセンサセル４とは，ともに上記酸素イオン電流という同じ状態量に基づいて，上記炭化水素濃度を検出している。そのため，上記ガスセンサ素子１において，炭化水素濃度の測定環境下に変動が生じたときにおいても，上記酸素モニタセル３とセンサセル４とは，この変動に対して同等の影響を受ける。
【００８７】
そのため，例えば，被測定ガス中に含まれる可燃性ガスの成分が変化したとき又は酸素濃度が変化したときでも，酸素モニタセル３とセンサセル４とにおいて検出するそれぞれの酸素イオン電流の間に検知対象ガス以外に起因するズレを生じることがほとんどない。
それ故，本例の炭化水素濃度の検出方法によれば，炭化水素濃度の測定環境下の変動によって，炭化水素濃度の検出誤差をほとんど生じることがないガスセンサ素子１を実現することができる。
【００８８】
本例においては，上記ガスセンサ素子１の性能を確認するための性能試験として，センサ特性における可燃性ガス依存性の確認試験を行った。
この可燃性ガス依存性の確認試験においては，上記炭化水素として，可燃性ガスであるメタン（ＣＨ4），プロピレン（Ｃ3Ｈ6），エチレン（Ｃ2Ｈ4）を適用したとき，これらの炭化水素濃度（ｐｐｍ）に対して，センサセル４に流れる酸素イオン電流をセンサセル電流（μＡ）として測定した。
【００８９】
本例においては，上記被測定ガス中の酸素濃度は一定（０．００１％）とし，この被測定ガスは上記炭化水素及び酸素以外の残部を窒素とした。
また，本例においては，上記確認試験を行うために炭化水素濃度を調整した試験用炭化水素ガスを準備した。この試験用炭化水素ガスは，窒素に対するそれぞれメタン（ＣＨ4），プロピレン（Ｃ3Ｈ6）又はエチレン（Ｃ2Ｈ4）の濃度を０〜５００ｐｐｍの濃度に変化させた。
【００９０】
そして，上記ガスセンサ素子１の被測定ガス室７に上記試験用炭化水素ガスを導入し，このときセンサセル４に流れる酸素イオン電流をセンサセル電流（μＡ）として測定した。
また，本例におけるガスセンサ素子１を発明品とし，比較のために従来のガスセンサ素子（酸素モニタセルは起電力により酸素濃度を検出する場合）を比較品として，上記炭化水素濃度とセンサセル電流との関係を求めた。
【００９１】
上記測定を行った発明品の結果を図３（ａ）に，比較品の結果を図３（ｂ）に示す。図３（ａ），（ｂ）は，横軸にメタン，プロピレン又はエチレンの濃度（ｐｐｍ）をとり，縦軸にセンサセル電流（μＡ）をとったものである。
【００９２】
同図に示すごとく，比較品においては，炭化水素濃度が０（ｐｐｍ）のときの上記センサセル電流（オフセット）が，検出する炭化水素の種類によって変化してしまうことがわかる。
これに対し，発明品においては，検出する炭化水素の種類が変化しても，上記オフセットがあまり変化していないことがわかる。
以上の結果より，上記発明品においては，ガスセンサ素子１によって検出を行う炭化水素が異なった場合でも，上記センサセル電流にあまりオフセットの変動を生じることなく，高精度で炭化水素濃度を検出できることがわかる。
【００９３】
次に，本例においては，センサ特性における酸素濃度依存性の確認試験を行った。この酸素濃度依存性の確認試験においては，炭化水素としてはエチレン（Ｃ2Ｈ4）を用いた。
そして，上記被測定ガス中の酸素濃度を変化させ，この被測定ガス中のエチレン濃度（ｐｐｍ）に対して，センサセル４に流れる酸素イオン電流をセンサセル電流（μＡ）として測定した。また，被測定ガス中の酸素濃度は，０．００１％，１０％，２０％の３段階に変化させた。
【００９４】
また，本例におけるガスセンサ素子１を発明品とし，比較のために従来のガスセンサ素子（酸素モニタセルは起電力により酸素濃度を検出する場合）を比較品として，上記エチレン濃度とセンサセル電流との関係を求めた。
上記測定を行った発明品の結果を図４（ａ）に，比較品の結果を図４（ｂ）に示す。図４（ａ），（ｂ）は，横軸にエチレン濃度（ｐｐｍ）をとり，縦軸にセンサセル電流（μＡ）をとって，被測定ガス中の酸素濃度（％）をパラメータとして変化させたときのそれらの関係を示すグラフである。
【００９５】
同図に示すごとく，比較品においては，酸素濃度が変化すると，エチレン濃度に対するセンサセル電流も変化してしまう（センサセル電流のオフセットが変動してしまう）ことがわかる。
これに対し，発明品においては，酸素濃度が変化してもエチレン濃度に対するセンサセル電流があまり変化していない（センサセル電流のオフセットがあまり変動していない）ことがわかる。
以上の結果より，上記発明品においては，被測定ガス中の酸素濃度の影響をあまり受けることなく，高精度でメタン以外の炭化水素であるエチレンの濃度を検出できることがわかる。
【００９６】
（実施例２）
本例は，上記酸素モニタセル３における被測定ガス側電極３１にメタンを含む炭化水素に対して酸化活性を有する電極を用い，上記センサセル４における被測定ガス側電極４１は，メタンを含む炭化水素に対する酸化活性が上記酸素モニタセル３における被測定ガス側電極３１に比べて低い電極を用いる例である。
本例においては，上記酸素モニタセル３における被測定ガス側電極３１は，Ｐｔを含有する多孔質サーメット電極とした。この被測定ガス側電極３１は，上記成分で構成することにより，メタンを含む炭化水素に対する酸化活性が高い電極とすることができる。
その他は上記実施例１と同様である。
【００９７】
そして，本例においては，上記ガスセンサ素子１の性能を確認するための性能試験として，センサ特性における可燃性ガス依存性の確認試験を行った。
この可燃性ガス依存性の確認試験においては，上記炭化水素は，可燃性ガスであるメタン（ＣＨ4），プロピレン（Ｃ3Ｈ6），エチレン（Ｃ2Ｈ4）としたとき，これらの炭化水素濃度（ｐｐｍ）に対して，センサセル４に流れる酸素イオン電流をセンサセル電流（μＡ）として測定した。
【００９８】
また，本例においては，上記被測定ガス中の酸素濃度は一定（０．００１％）とし，この被測定ガスは上記炭化水素及び酸素以外の残部を窒素とした。
また，本例におけるガスセンサ素子１を発明品として，上記炭化水素濃度とセンサセル電流との関係を求めた。
上記測定を行った発明品の結果を図５に示す。同図は，横軸にメタン，プロピレン又はエチレンの濃度（ｐｐｍ）をとり，縦軸にセンサセル電流（μＡ）をとったものである。
【００９９】
同図に示すごとく，本例の発明品においては，上記実施例１と比較してメタンに対する感度が大きい。また，上記実施例１と同様に，検出する炭化水素の種類が変化しても，センサセル電流のオフセットがあまり変化していないことがわかる。
以上の結果より，本例の発明品においても，ガスセンサ素子１によって検出を行う炭化水素が異なった場合でも，上記センサセル電流のオフセットの変動をあまり生じることなく，高精度で炭化水素濃度を検出できることがわかる。
その他，本例のガスセンサ素子１によっても，上記実施例１と同様の作用効果を得ることができる。
【０１００】
（実施例３）
図６に示すごとく，本例は，上記酸素ポンプセル２における一方のポンプ電極２２を，上記被測定ガス存在空間１１０に接するように配置するのではなく，基準ガスに接するように配置した例である。
本例においては，上記酸素ポンプセル２は，一方のポンプ電極２１が第１被測定ガス室７１に接するように配置し，他方のポンプ電極２２が上記スペーサ９に形成した基準ガス室１００に接するように配置している。
【０１０１】
また，本例においては，上記固体電解質体５が上記被測定ガス存在空間１１０に接する側に新たなスペーサ８０を設け，このスペーサ８０と固体電解質体５との間に基準ガスを導入する基準ガス室１０２を設けている。そして，上記酸素モニタセル３における基準ガス側電極３２及び上記センサセル４における基準ガス側電極４２は，上記基準ガス室１０２に接するように配置している。
また，本例においては，上記酸素ポンプセル２を上記固体電解質体６に配置し，上記酸素モニタセル３及びセンサセル４を固体電解質体５に配置している。
その他は上記実施例１と同様である。
【０１０２】
本例においては，上記酸素ポンプセル２は，上記被測定ガス室７と上記基準ガス室１００との間で，酸素を入出させて，被測定ガス室７における酸素濃度を調整することができる。そのため，上記被測定ガス存在空間１１０より供給される被測定ガス中において，酸素や水等の酸素源がない場合でも，上記基準ガス室１００に導入される基準ガスに存在する酸素を利用して，上記被測定ガス室７における酸素濃度の調整を行うことができる。
その他，本例のガスセンサ素子１によっても，上記実施例１と同様の作用効果を得ることができる。
【０１０３】
なお，本例の酸素モニタセル３とセンサセル４とは，上記第２被測定ガス室７２において，上記被測定ガスの流れに対して左右に，即ち並列に配置した。これに対し，両セルを第１被測定ガス室７１に設置してもよい。
また，図７に示すごとく，酸素モニタセル３とセンサセル４とは，上記第２被測定ガス室７２において，上記被測定ガスの流れに対して前後に，即ち直列に配置してもよい。
さらに，酸素モニタセル３とセンサセル４とは，上記第１被測定ガス室において，上記被測定ガスの流れに対して前後に，すなわち直列に配置してもよいし，酸素モニタセル３とセンサセル４とをそれぞれ第１被測定ガス室と第２被測定ガス室に設置してもよい。
【０１０４】
（実施例４）
図９に示すごとく，本例は，酸素ポンプセル２における一方のポンプ電極２２，酸素モニタセル３における基準ガス側電極３２，センサセル４における基準ガス側電極４２（ただし，基準ガス側電極３２，４２は一体構成した共通電極である）は，基準ガス室１００，１０２に接するように配置してある。
そして，酸素モニタセル３は，第１被測定ガス室７１に設置し，センサセル４は第２被測定ガス室７２に設置している。
【０１０５】
また，酸素ポンプセル２のポンプ電極２１は，Ｐｔ９８ｗｔ％とＡｕ２ｗｔ％とよりなる材料を用い，酸素モニタセル３の被測定ガス側電極３１は，Ｐｔ９５ｗｔ％とＡｕ５ｗｔ％とよりなる材料を用い，センサセル４の被測定ガス側電極４１は，Ｐｔ９０ｗｔ％とＴｉＯ2１０ｗｔ％とよりなる材料を用いた。
なお，それぞれの電極には，ガス透過性を確保するため，ＺｒＯ2１０ｗｔ％を添加した。
【０１０６】
図９にかかるガスセンサ素子１におけるセンサセル電流と，被測定ガス中の各炭化水素（ＣＨ4，Ｃ2Ｈ6，Ｃ3Ｈ6，Ｃ2Ｈ4，Ｃ4Ｈ10）濃度との関係について，測定し，図１０に記載した。
図１０より，上述したような組成にかかる電極を用いることで，メタン（ＣＨ4）以外の炭化水素に対する選択性が高い炭化水素センサが得られたことが分かった。
【０１０７】
（実施例５）
図１１に示すごとく，本例は酸素ポンプセル２とセンサセル４とを備えたガスセンサ素子１で，酸素ポンプセル２の一方のポンプ電極２２を基準ガス室１００と対面させ，実施例１〜３にかかる素子で用いた酸素モニタセル３と同様の役割を上記酸素ポンプセル２に兼用させた構成である。なお，本例では，スペーサ８にスペーサ８００を積層し，このスペーサ８００にピンホール１１を設けた。
【０１０８】
本例において，同一の固体電解質体６に酸素ポンプセル２とセンサセル４とを設置している。
本例にかかるガスセンサ素子１によれば，簡単な構造で，実施例１〜３と同様の作用効果を得ることができる。
ただし，実施例１〜３と異なる点は，大気基準のような酸素の存在する空間に酸素ポンプセル２の一方のポンプ電極２２が曝される必要がある。
【０１０９】
（実施例６）
図１２に示すごとく，本例は実施例５と同様に酸素ポンプセル２とセンサセル４とを備えたガスセンサ素子１であるが，酸素ポンプセル２とセンサセル４とを異なる固体電解質体６，５に設置した例である。
その他は実施例５と同様で，同様の作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図２】実施例１における，ガスセンサ素子を分解した状態を示す斜視図。
【図３】実施例１における，各炭化水素の濃度とセンサセル電流との関係を示すグラフで，（ａ）発明品のグラフ，（ｂ）比較品のグラフ。
【図４】実施例１における，酸素濃度を変化させたときのエチレン濃度とセンサセル電流との関係を示すグラフで，（ａ）発明品のグラフ，（ｂ）比較品のグラフ。
【図５】実施例２における，各炭化水素の濃度とセンサセル電流との関係を示す発明品のグラフ。
【図６】実施例３における，ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図７】実施例３における，他のガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図８】従来例における，ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図９】実施例４における，ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図１０】実施例４にかかる，各炭化水素の濃度とセンサセル電流との関係を示すグラフ。
【図１１】実施例５にかかる，ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【図１２】実施例６にかかる，ガスセンサ素子の構成を示す断面説明図。
【符号の説明】
１．．．ガスセンサ素子，
１０．．．セラミックヒータ，
１００．．．基準ガス室，
２．．．酸素ポンプセル，
２１，２２．．．ポンプ電極，
３．．．酸素モニタセル，
３１．．．被測定ガス側電極，
３２．．．基準ガス側電極，
４．．．センサセル，
４１．．．被測定ガス側電極，
４２．．．基準ガス側電極，
５，６．．．固体電解質体，
７．．．被測定ガス室，
８，９．．．スペーサ，
【図１】
0003776386.tif 000002
【図２】
0003776386.tif 000003
【図３】
0003776386.tif 000004
【図４】
0003776386.tif 000005
【図５】
0003776386.tif 000006
【図６】
0003776386.tif 000007
【図７】
0003776386.tif 000008
【図８】
0003776386.tif 000009
【図９】
0003776386.tif 000010
【図１０】
0003776386.tif 000011
【図１１】
0003776386.tif 000012
【図１２】
0003776386.tif 000013