(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フラットパネルディスプレイを支持した後方方形支持枠体の前面側に検査用プローブブロックを支持した前方方形支持枠体を配置し、上記後方方形支持枠体に支持されたフラットパネルディスプレイの辺縁部に配置された電極パッドに上記前方方形支持枠体に支持された検査用プローブブロックの検査プローブを加圧接触せしめるようにしたフラットパネルディスプレイの検査装置において、上記後方方形支持枠体が右縦枠板に対して単独で縦移動し且つ左縦枠板の縦移動と一緒に縦移動する上横枠板と、左縦枠板に対し単独で縦移動し且つ右縦枠板の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板と、上横枠板に対して単独で横移動し且つ下横枠板の横移動と一緒に横移動する左縦枠板と、下横枠板に対して単独で横移動し且つ上横枠板の横移動と一緒に横移動する右縦枠板とから組み立てられ、上記上下横枠板と左右縦枠板の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板と左右縦枠板で画成される窓を拡大又は縮小する構成とし、更に上記上下横枠板と左右縦枠板の表面にその略全長に亘りサクション装置に接続される多数の吸引孔を設け、上記拡大又は縮小された窓に面する上下横枠板と左右縦枠板の表面に上記吸引孔によりフラットパネルディスプレイの周縁部を吸着支持する構成としたことを特徴とするフラットパネルディスプレイの検査装置。
【請求項２】
フラットパネルディスプレイを支持した後方方形支持枠体の前面側に検査用プローブブロックを支持した前方方形支持枠体を配置し、上記後方方形支持枠体に支持されたフラットパネルディスプレイの辺縁部に配置された電極パッドに上記前方方形支持枠体に支持された検査用プローブブロックの検査プローブを加圧接触せしめるようにしたフラットパネルディスプレイの検査装置において、上記後方方形支持枠体が左縦枠板に対して単独で縦移動し且つ右縦枠板の縦移動と一緒に縦移動する上横枠板と、右縦枠板に対し単独で縦移動し且つ左縦枠板の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板と、下横枠板に対して単独で横移動し且つ上横枠板の横移動と一緒に横移動する左縦枠板と、上横枠板に対して単独で横移動し且つ下横枠板の横移動と一緒に横移動する右縦枠板とから組み立てられ、上記上下横枠板と左右縦枠板の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板と左右縦枠板で画成される窓を拡大又は縮小する構成とし、更に上記上下横枠板と左右縦枠板の表面にその略全長に亘りサクション装置に接続される多数の吸引孔を設け、上記拡大又は縮小された窓に面する上下横枠板と左右縦枠板の表面に上記吸引孔によりフラットパネルディスプレイの周縁部を吸着支持する構成としたことを特徴とするフラットパネルディスプレイの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶パネルに代表されるフラットパネルディスプレイの検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記検査装置は図６Ａ，Ｂに示すように、液晶パネルに代表されるフラットパネルディスプレイ７を支持した後方方形枠体１の前面側に検査用プローブブロック８を支持した前方方形枠体１を配置し、後方方形枠体１を前方方形枠体１に進退可に設け、同前進によってフラットパネルディスプレイ７の辺縁部に配置された電極パッド１０に検査用プローブブロック８の検査プローブ９を加圧接触せしめ、又後方方形枠体１の後退時にフラットパネルディスプレイ７の交換を行うようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
然るに従来は大きさの異なるフラットパネルディスプレイ毎に専用の後方枠体を用意して、フラットパネルディスプレイを支持せしめるようにしている。
【０００４】
従って従来は大きさの異なるフラットパネルディスプレイ毎にこれに適合する前後枠体を持った検査装置を設備せねばならないか、又は前後枠体のみをフラットパネルディスプレイの大きさに応じ交換できるように互換性を持たせた構造にせねばならず、多大な設備負担と高重量の枠体を交換する作業負担と検査作業の効率悪化を招来していた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記問題を適切に解決し、１台の検査装置において大きさの異なるフラットパネルディスプレイに適切に対応し得るフラットパネルディスプレイの支持枠体を有する検査装置を提供するものである。
【０００６】
本発明はフラットパネルディスプレイの支持枠体を形成する上下横枠板と左右縦枠板とが各枠板一端の枠板に対して単独で夫々縦移動又は横移動でき、且つ一緒に横移動又は縦移動できるように組み立てて、各枠板で形成する窓の拡大又は縮小を図る構成にすると共に、該拡大又は縮小された窓に面する上下横枠板部と左右縦枠板部とに上記フラットパネルディスプレイを支持する構成とする。
【０００７】
本発明は更に上記フラットパネルディスプレイの支持枠体は、上記各枠板の表面にその略全長に亘りサクション装置に接続される多数の吸引孔を設け、上記拡大又は縮小された窓に面する各枠板の表面に上記吸引孔によりフラットパネルディスプレイの周縁部を吸着支持する構成とした。
【０００８】
上記上下横枠板と左右縦枠板の縦移動と横移動とによって、各種大きさのフラットパネルディスプレイに対応した大きさの支持枠体を容易に形成でき、これにより１台の検査装置を大きさの異なる各種フラットパネルディスプレイに適合させることができ、極めて経済的であって、検査作業の効率を向上する検査装置を提供できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下本発明の各実施形態例を図１乃至図７に基づいて説明する。
【００１０】
＜第１実施形態例＞（図１Ａ，Ｂ及び図６，図７参照）
【００１１】
１は検査対象である液晶パネルに代表されるフラットパネルディスプレイ７を支持する方形支持枠体である。
【００１２】
上記方形支持枠体１は右縦枠板５に対して単独で縦移動し且つ左縦枠板４の縦移動と一緒に縦移動する上横枠板２と、左縦枠板４に対し単独で縦移動し且つ右縦枠板５の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板３と、上横枠板２に対して単独で横移動し且つ下横枠板３の横移動と一緒に横移動する左縦枠板４と、下横枠板３に対して単独で横移動し且つ上横枠板２の横移動と一緒に横移動する右縦枠板５とから組み立てられている。
【００１３】
上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５で画成される窓６を拡大又は縮小し、該拡大又は縮小された窓６に面する上下横枠板２，３部と左右縦枠板４，５部とに上記フラットパネルディスプレイ７を支持する。
【００１４】
上記上横枠板２と右縦枠板５間は上横枠板２の単独縦移動を案内し且つ上横枠板２と右縦枠板５とを追随して横移動せしめるように連結する。
【００１５】
以下同様に、上記左縦枠板４と上横枠板２間は左縦枠板４の単独横移動を案内し且つ左縦枠板４と上横枠板２とを追随して縦移動せしめるように連結し、上記下横枠板３と左縦枠板４間は下横枠板３の単独縦移動を案内し且つ下横枠板３と左縦枠板４とを追随して横移動せしめるように連結し、上記右縦枠板５と下横枠板３間は右縦枠板５の単独横移動を案内し且つ右縦枠板５と下横枠板３とを追随して縦移動せしめるように連結する。
【００１６】
上記連結機構は例えば図７に示される。図示のように、上横枠板２の一端を右縦枠板５の内面に当接し、以下同様に左縦枠板４の一端を上横枠板２の内面に当接し、下横枠板３の一端を左縦枠板４の内面に当接し、右縦枠板５の一端を下横枠板３の内面に当接する。そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【００１７】
上記連結機構の具体例として、上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５の夫々の内面に沿い該内面で開口するガイド溝１１を形成し、他方この内面に当接する上記各枠板２，３，４，５の端部に上記各ガイド溝１１にキー結合する突起１２を形成し、該各突起１２を各ガイド溝１１に滑合する（キー結合する）。
【００１８】
これによって上横枠板２は右縦枠板５に対し単独で縦移動し、且つ右縦枠板５と一緒に横移動可能である。
【００１９】
同様に左縦枠板４は上横枠板２に対し単独で横移動し、且つ上横枠板２と一緒に縦移動可能であり、下横枠板３は左縦枠板４に対し単独で縦移動し、且つ左縦枠板４と一緒に横移動可能であり、右縦枠板５は下横枠板３に対し単独で横移動し、且つ下横枠板３と一緒に縦移動可能である。よって上記窓６を拡大又は縮小する。
【００２０】
上記各枠板２，３，４，５の表面にはその略全長に亘りサクション装置に接続される多数の吸引孔１３を設け、上記拡大又は縮小された窓６に面する上下横枠板２，３部表面と左右縦枠板４，５部表面に上記吸引孔１３によりフラットパネルディスプレイ７の周縁部を吸着支持する。
【００２１】
次に図２Ａ，Ｂ及び図５乃至図７に基づき、上記前方方形枠体たる検査用プローブブロック８を支持する方形支持枠体１について説明する。
【００２２】
上記方形支持枠体１は右縦枠板５に対して単独で縦移動し且つ左縦枠板４の縦移動と一緒に縦移動する上横枠板２と、左縦枠板４に対し単独で縦移動し且つ右縦枠板５の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板３と、上横枠板２に対して単独で横移動し且つ下横枠板３の横移動と一緒に横移動する左縦枠板４と、下横枠板３に対して単独で横移動し且つ上横枠板２の横移動と一緒に横移動する右縦枠板５とから組み立てられている。
【００２３】
上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５で画成される窓６を拡大又は縮小し、該拡大又は縮小された窓６に面する上下横枠板２，３部と左右縦枠板４，５部とにフラットパネルディスプレイ７の周縁部に配された多数の電極パッド１０に加圧接触するプローブブロック８を支持する。
【００２４】
図６に示すように、各プローブブロック８は多数のプローブ９を有し、各プローブ９の先端を各電極パッド１０の表面に加圧接触する。
【００２５】
上記上横枠板２と右縦枠板５間は上横枠板２の単独縦移動を案内し且つ上横枠板２と右縦枠板５とを追随して横移動せしめるように連結する。
【００２６】
以下同様に、上記左縦枠板４と上横枠板２間は左縦枠板４の単独横移動を案内し且つ左縦枠板４と上横枠板２とを追随して縦移動せしめるように連結し、上記下横枠板３と左縦枠板４間は下横枠板３の単独縦移動を案内し且つ下横枠板３と左縦枠板４とを追随して横移動せしめるように連結し、上記右縦枠板５と下横枠板３間は右縦枠板５の単独横移動を案内し且つ右縦枠板５と下横枠板３とを追随して縦移動せしめるように連結する。
【００２７】
上記連結機構は例えば図７に示される。図示のように、上横枠板２の一端を右縦枠板５の内面に当接し、以下同様に左縦枠板４の一端を上横枠板２の内面に当接し、下横枠板３の一端を左縦枠板４の内面に当接し、右縦枠板５の一端を下横枠板３の内面に当接する。そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【００２８】
上記連結機構の具体例として、上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５の夫々の内面に沿い該内面で開口するガイド溝１１を形成し、他方この内面に当接する上記各枠板２，３，４，５の端部に上記各ガイド溝１１にキー結合する突起１２を形成し、該各突起１２を各ガイド溝１１に滑合する（キー結合する）。
【００２９】
これによって上横枠板２は右縦枠板５に対し単独で縦移動し、且つ右縦枠板５と一緒に横移動可能である。
【００３０】
同様に左縦枠板４は上横枠板２に対し単独で横移動し、且つ上横枠板２と一緒に縦移動可能であり、下横枠板３は左縦枠板４に対し単独で縦移動し、且つ左縦枠板４と一緒に横移動可能であり、右縦枠板５は下横枠板３に対し単独で横移動し、且つ下横枠板３と一緒に縦移動可能である。よって上記窓６を拡大又は縮小する。
【００３１】
上記各枠板２，３，４，５は互いに等長にし、該等長の各枠板２，３，４，５の表面にはその両端に位置決めピン又は位置決め孔１４を夫々各枠板毎に互いに等間隔で立設する。
【００３２】
他方図５に示すように、プローブブロック８のホルダーとして、等長の長さを有する複数のベース１５を形成し、各ベース１５に上記拡大窓６の辺又は縮小窓６の辺と対応する位置に複数のプローブブロック８を着脱可に取り付けたプローブユニット１６Ａ，Ｂ，Ｃを準備する。
【００３３】
これらのプローブユニット１６Ａ，Ｂ，Ｃを上記拡大窓６又は縮小窓６に応じて選択し、上記各枠板２，３，４，５の位置決めピン又は位置決め孔１４に挿入し、一体に且つ着脱可に取り付ける。よってプローブブロック８はホルダーたるベース１５を介して各枠板２，３，４，５に取り付け支持される。
【００３４】
図６Ａ，Ｂに示すように、上記フラットパネルディスプレイ７の支持枠体１及び検査用プローブブロックの支持枠体１は、何れも方形枠体によって構成されており、液晶パネルに代表されるフラットパネルディスプレイ７を支持した後方方形枠体１の前面側に検査用プローブブロック８を支持した前方方形枠体１を配置し、後方方形枠体１を前方方形枠体１に進退可に設け、同前進によってフラットパネルディスプレイ７の辺縁部に配置された電極パッド１０に検査用プローブブロック８の検査プローブ９を加圧接触せしめ、又後方方形枠体１の後退時にフラットパネルディスプレイ７の交換を行うようにしている。
【００３５】
又は前方方形枠体１の窓６を拡大して、前方方形枠体１の前方から該拡大窓６を通して後方方形枠体１上へのフラットパネルディスプレイ７の交換を行う。この場合は後方方形枠体１を進退可に設けなくても良い。
【００３６】
＜第２実施形態例＞（図３Ａ，Ｂ及び図６，図７参照）
【００３７】
１は検査対象である液晶パネルに代表されるフラットパネルディスプレイ７を支持する方形支持枠体である。
【００３８】
上記方形支持枠体１が左縦枠板４に対して単独で縦移動し且つ右縦枠板５の縦移動と一緒に縦移動する上横枠板２と、右縦枠板５に対し単独で縦移動し且つ左縦枠板４の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板３と、下横枠板３に対して単独で横移動し且つ上横枠板２の横移動と一緒に横移動する左縦枠板４と、上横枠板２に対して単独で横移動し且つ下横枠板３の横移動と一緒に横移動する右縦枠板５とから組み立てられている。
【００３９】
上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５で画成される窓６を拡大又は縮小し、該拡大又は縮小された窓６に面する上下横枠板２，３部と左右縦枠板４，５部とに上記フラットパネルディスプレイ７を支持する。
【００４０】
上記上横枠板２と左縦枠板４間は上横枠板２の単独縦移動を案内し且つ上横枠板２と左縦枠板４とを追随して横移動せしめるように連結する。
【００４１】
以下同様に、上記右縦枠板５と上横枠板２間は右縦枠板５の単独横移動を案内し且つ右縦枠板５と上横枠板２とを追随して縦移動せしめるように連結し、上記下横枠板３と右縦枠板５間は下横枠板３の単独縦移動を案内し且つ下横枠板３と右縦枠板５とを追随して横移動せしめるように連結し、上記左縦枠板４と下横枠板３間は左縦枠板４の単独横移動を案内し且つ左縦枠板４と下横枠板３とを追随して縦移動せしめるように連結する。
【００４２】
上記連結機構は例えば図７に示される。図示のように、上横枠板２の一端を右縦枠板５の内面に当接し、以下同様に左縦枠板４の一端を上横枠板２の内面に当接し、下横枠板３の一端を左縦枠板４の内面に当接し、右縦枠板５の一端を下横枠板３の内面に当接する。そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【００４３】
上記連結機構の具体例として、上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５の夫々の内面に沿い該内面で開口するガイド溝１１を形成し、他方この内面に当接する上記各枠板２，３，４，５の端部に上記各ガイド溝１１にキー結合する突起１２を形成し、該各突起１２を各ガイド溝１１に滑合する（キー結合する）。
【００４４】
これによって上横枠板２は右縦枠板５に対し単独で縦移動し、且つ右縦枠板５と一緒に横移動可能である。
【００４５】
同様に左縦枠板４は上横枠板２に対し単独で横移動し、且つ上横枠板２と一緒に縦移動可能であり、下横枠板３は左縦枠板４に対し単独で縦移動し、且つ左縦枠板４と一緒に横移動可能であり、右縦枠板５は下横枠板３に対し単独で横移動し、且つ下横枠板３と一緒に縦移動可能である。よって上記窓６を拡大又は縮小する。
【００４６】
上記各枠板２，３，４，５の表面にはその略全長に亘りサクション装置に接続される多数の吸引孔１３を設け、上記拡大又は縮小された窓６に面する上下横枠板２，３部表面と左右縦枠板４，５部表面に上記吸引孔１３によりフラットパネルディスプレイ７の周縁部を吸着支持する。
【００４７】
次に図４Ａ，Ｂ及び図５乃至図７に基づき、検査用プローブブロック８を支持する方形支持枠体の他の構造例について説明する。
【００４８】
上記方形支持枠体１が左縦枠板４に対して単独で縦移動し且つ右縦枠板５の縦移動と一緒に縦移動する上横枠板２と、右縦枠板５に対し単独で縦移動し且つ左縦枠板４の縦移動と一緒に縦移動する下横枠板３と、下横枠板３に対して単独で横移動し且つ上横枠板２の横移動と一緒に横移動する左縦枠板４と、上横枠板２に対して単独で横移動し且つ下横枠板３の横移動と一緒に横移動する右縦枠板５とから組み立てられている。
【００４９】
上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５の上記縦移動と横移動とにより上記上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５で画成される窓６を拡大又は縮小し、該拡大又は縮小された窓６に面する上下横枠板２，３部と左右縦枠板４，５部とにフラットパネルディスプレイ７の周縁部に配された多数の電極パッド１０に加圧接触するプローブブロック８を支持する。
【００５０】
図６に示すように、各プローブブロック８は多数のプローブ９を有し、各プローブ９の先端を各電極パッド１０の表面に加圧接触する。
【００５１】
上記上横枠板２と左縦枠板４間は上横枠板２の単独縦移動を案内し且つ上横枠板２と左縦枠板４とを追随して横移動せしめるように連結する。
【００５２】
以下同様に、上記右縦枠板５と上横枠板２間は右縦枠板５の単独横移動を案内し且つ右縦枠板５と上横枠板２とを追随して縦移動せしめるように連結し、上記下横枠板３と右縦枠板５間は下横枠板３の単独縦移動を案内し且つ下横枠板３と右縦枠板５とを追随して横移動せしめるように連結し、上記左縦枠板４と下横枠板３間は左縦枠板４の単独横移動を案内し且つ左縦枠板４と下横枠板３とを追随して縦移動せしめるように連結する。
【００５３】
上記連結機構は例えば図７に示される。図示のように、上横枠板２の一端を右縦枠板５の内面に当接し、以下同様に左縦枠板４の一端を上横枠板２の内面に当接し、下横枠板３の一端を左縦枠板４の内面に当接し、右縦枠板５の一端を下横枠板３の内面に当接する。そして各当接部において上記連結機構を形成する。
【００５４】
上記連結機構の具体例として、上下横枠板２，３と左右縦枠板４，５の夫々の内面に沿い該内面で開口するガイド溝１１を形成し、他方この内面に当接する上記各枠板２，３，４，５の端部に上記各ガイド溝１１にキー結合する突起１２を形成し、該各突起１２を各ガイド溝１１に滑合する（キー結合する）。
【００５５】
これによって上横枠板２は右縦枠板５に対し単独で縦移動し、且つ右縦枠板５と一緒に横移動可能である。
【００５６】
同様に左縦枠板４は上横枠板２に対し単独で横移動し、且つ上横枠板２と一緒に縦移動可能であり、下横枠板３は左縦枠板４に対し単独で縦移動し、且つ左縦枠板４と一緒に横移動可能であり、右縦枠板５は下横枠板３に対し単独で横移動し、且つ下横枠板３と一緒に縦移動可能である。よって上記窓６を拡大又は縮小する。
【００５７】
上記各枠板２，３，４，５は互いに等長にし、該等長の各枠板２，３，４，５の表面にはその両端に位置決めピン又は位置決め孔１４を夫々各枠板毎に互いに等間隔で立設する。
【００５８】
他方図５に示すように、プローブブロック８のホルダーとして、等長の長さを有する複数のベース１５を形成し、各ベース１５に上記拡大窓６の辺又は縮小窓６の辺と対応する位置に複数のプローブブロック８を着脱可に取り付けたプローブユニット１６Ａ，Ｂ，Ｃを準備する。
【００５９】
これらのプローブユニット１６Ａ，Ｂ，Ｃを上記拡大窓６又は縮小窓６に応じて選択し、上記各枠板２，３，４，５の位置決めピン又は位置決め孔１４に挿入し、一体に且つ着脱可に取り付ける。よってプローブブロック８はホルダーたるベース１５を介して各枠板２，３，４，５に取り付け支持される。
【００６０】
図６Ａ，Ｂに示すように、上記フラットパネルディスプレイ７の支持枠体１及び検査用プローブブロックの支持枠体１は、何れも方形枠体によって構成されており、液晶パネルに代表されるフラットパネルディスプレイ７を支持した後方方形枠体１の前面側に検査用プローブブロック８を支持した前方方形枠体１を配置し、後方方形枠体１を前方方形枠体１に進退可に設け、同前進によってフラットパネルディスプレイ７の辺縁部に配置された電極パッド１０に検査用プローブブロック８の検査プローブ９を加圧接触せしめ、又後方方形枠体１の後退時にフラットパネルディスプレイ７の交換を行うようにしている。
【００６１】
又は前方方形枠体１の窓６を拡大して、前方方形枠体１の前方から該拡大窓６を通して後方方形枠体１上へのフラットパネルディスプレイ７の交換を行う。この場合は後方方形枠体１を進退可に設けなくても良い。
【００６２】
即ち上記第１、第２実施形態例においては、検査用プローブブロック８を支持する枠板２，３，４，５から成る方形支持枠体１の背面側に、フラットパネルディスプレイ７を支持する枠板２，３，４，５から成る方形支持枠体１を配し、フラットパネルディスプレイ７を支持する背面側の方形支持枠体１の窓６の背後に照光手段を設け、該照光手段により窓６を通してフラットパネルディスプレイ７を照光し、これにより前面の方形支持枠体１の窓６を通して電極パッド１０とプローブ９の接触状態を照光観察しつつ検査を実行する。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、上記上下横枠板と左右縦枠板の縦移動と横移動とによって、各種大きさのフラットパネルディスプレイに対応した大きさの支持枠体を容易に形成でき、これにより１台の検査装置を大きさの異なる各種フラットパネルディスプレイに適合させることができ、極めて経済的であって、検査作業の効率を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ａ，Ｂはフラットパネルディスプレイの支持枠体の拡大と縮小状態を示す正面図。
【図２】Ａ，Ｂはプローブブロックの支持枠体の拡大と縮小状態を示す正面図。
【図３】Ａ，Ｂはフラットパネルディスプレイの支持枠体の他例を拡大と縮小状態を以って示す正面図。
【図４】Ａ，Ｂはプローブブロックの支持枠体の他例を拡大と縮小状態を以って示す正面図。
【図５】プローブユニットの各例を示す平面図。
【図６】プローブブロックを支持する方形枠体とフラットパネルディスプレイを支持する方形枠体とによって形成される検査装置を接触前（Ａ図）と接触後（Ｂ図）を以って示す断面図。
【図７】各枠板相互の連結機構を示す拡大断面図。
【符号の説明】
１      支持枠体
２      上横枠板
３      下横枠板
４      左縦枠板
５      右縦枠板
６      窓
７      フラットパネルディスプレイ
８      プローブブロック
９      プローブ
１０    電極パッド
１１    ガイド溝
１２    突起
１３    吸引孔
１４    位置決めピン又は位置決め孔
１５    ベース
１６Ａ  プローブユニット
１６Ｂ  プローブユニット
１６Ｃ  プローブユニット
【図１】
0003816031.tif 000002
【図２】
0003816031.tif 000003
【図３】
0003816031.tif 000004
【図４】
0003816031.tif 000005
【図５】
0003816031.tif 000006
【図６】
0003816031.tif 000007
【図７】
0003816031.tif 000008