(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プーリ部を備えた回転軸と、
前記回転軸に対し該回転軸と共に回転するように取り付けられた円盤状の砥石車と、
前記回転軸の両端を、ラジアル軸受を介して回転自在に保持するとともに、該回転軸に取り付けられた砥石車を、一部が外部に突出した状態で、その両側面から挟むように保持するアームであって、前記砥石車の両側面と対向する各面にそれぞれ形成された凹部を備えるアームと、
加圧された流体を前記凹部に供給する流体供給手段と、
前記回転軸のプーリ部に巻きかけられる伝動ベルトと、
前記伝動ベルトが巻きかけられるプーリを備え、前記伝動ベルトを介して前記回転軸に回転動力を付与する駆動モータと、
被加工物を研削位置に保持する被加工物保持手段と、
前記アームと被加工物とを相互に接近／離反する方向に相対移動させる送り手段とを備えて構成され、
前記砥石車の取り付けられた回転軸は、その軸線方向には非拘束の状態で、且つ該軸線方向に移動可能に前記ラジアル軸受に支持されてなり、
前記流体供給手段から前記アームの凹部に供給されて、前記砥石車の両側面にそれぞれ作用する流体の力が異なる場合には、該力が均等となるように、前記砥石車及び回転軸が前記軸線方向に移動するように構成されて成ることを特徴とする研削装置。
【請求項２】
プーリ部を備えた回転軸と、
前記回転軸に対し該回転軸と共に回転するように取り付けられた円盤状の砥石車と、
前記回転軸の両端を、ラジアル軸受を介して回転自在に保持するとともに、該回転軸に取り付けられた砥石車を、一部が外部に突出した状態で、その両側面から挟むように保持するアームであって、前記砥石車の両側面と対向する各面にそれぞれ形成された凹部を備えるアームと、
加圧された流体を前記凹部に供給する流体供給手段と、
前記回転軸のプーリ部に巻きかけられる伝動ベルトと、
前記伝動ベルトが巻きかけられるプーリを備え、前記伝動ベルトを介して前記回転軸に回転動力を付与する駆動モータと、
被加工物を研削位置に保持する被加工物保持手段と、
前記アームと被加工物とを相互に接近／離反する方向に相対移動させる送り手段とを備えて構成され、
前記砥石車は、前記回転軸の軸線方向には非拘束の状態で、且つ前記回転軸に対しその軸線方向に移動可能に該回転軸に取り付けられてなり、
前記流体供給手段から前記アームの凹部に供給されて、前記砥石車の両側面にそれぞれ作用する流体の力が異なる場合には、該力が均等となるように、前記砥石車が前記軸線方向に移動するように構成されて成ることを特徴とする研削装置。
【請求項３】
前記流体が研削液である請求項１又は２記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被加工物と砥石車とを相対移動させて、前記被加工物の被研削部に前記砥石車を接触させることにより、該被研削部を研削加工する研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、図９に示すようなリング状のワークＷの内周面に、その中心軸線に沿って形成された溝Ｗｂを研削加工するための研削装置として、例えば、特開平１０−１０９２６０号公報に開示された研削装置が知られている。この研削装置を図８及び図９に示す。尚、図８は当該研削装置の概略構成を示した側面図であり、図９は、その矢視Ｇ−Ｇ方向の断面図である。
【０００３】
同図８及び図９に示すように、研削装置１００は、上下方向（矢示方向）や前後方向（紙面と直交する方向）に移動自在に設けられた研削ヘッド本体１０１と、この研削ヘッド本体１０１に所定間隔を隔てて配設された２つの軸受１０２と、各軸受１０２によって回転自在に支持される回転軸１０３が一体的に形成された砥石車１０４と、図示しない駆動モータと、この駆動モータの出力軸に設けられたプーリ１０５と、前記砥石車１０４の外周面及びプーリ１０５に巻きかけられた伝動ベルト１０６などを備える。
【０００４】
前記研削ヘッド本体１０１は、第１研削ヘッド１０１ａ及び第２研削ヘッド１０１ｂからなり、この第１研削ヘッド１０１ａ及び第２研削ヘッド１０１ｂには、前記砥石車１０４の両側面と対向する各面に静圧ポケット１０７ａ，１０７ｂがそれぞれ形成されている。尚、前記静圧ポケット１０７ａ，１０７ｂには、加圧された流体が適宜流体供給手段（図示せず）から供給される。
【０００５】
前記回転軸１０３は中空部１０３ａを備え、前記各軸受１０２の内輪１０２ａと砥石車１０４との間には、それぞれカラー１０８が外嵌されている。そして、中空部１０３ａ内にはボルト１０９が挿通され、その先端部に螺合されるナット１１０との協働作用によって、前記内輪１０２ａ，カラー１０８及び砥石車１０４部が相互に密接するように締め付けられている。
【０００６】
他方、前記各軸受１０２の外輪１０２ｂは、前記第１研削ヘッド１０１ａ及び第２研削ヘッド１０１ｂにそれぞれ設けられたベアリングストッパ１１１，１１１及び研削ヘッドキャップ１１２ａ，１１２ｂによって挟持され、固定される。
【０００７】
斯くして、前記ボルト１０９，ナット１１０，カラー１０８及び砥石車１０４部、並びにベアリングストッパ１１１，１１１及び研削ヘッドキャップ１１２ａ，１１２ｂによって、各軸受１０２，１０２にそれぞれ予圧が付与される。
【０００８】
以上のように構成された研削装置１００によれば、まず、前記ワークＷ及び前記研削ヘッド本体１０１を適宜位置決めした後、駆動モータ（図示せず）の回転動力を前記プーリ１０５及び伝動ベルト１０６を介し前記砥石車１０４に伝達して砥石車１０４を回転させるとともに、研削ヘッド本体１０１を下方向に移動させることにより、ワークＷに形成された溝Ｗｂ内に砥石車１０４が進入して、当該溝Ｗｂの内面が砥石車１０４によって研削加工される。
【０００９】
尚、このとき、前記流体供給手段（図示せず）から加圧流体が前記静圧ポケット１０７ａ，１０７ｂのそれぞれに供給され、砥石車１０４が、供給された加圧流体によってその両側から均等な力で支持される。これにより、軸線方向における砥石車１０４の振れが抑制される。また、上記のように、各軸受１０２には予圧が付与されており、かかる与圧によって軸受１０２のガタツキが防止され、これによっても、軸線方向における砥石車１０４の振れが抑制される。
【００１０】
このように、従来の研削装置１００では、砥石車１０４の外周に伝動ベルト１０６を掛け回してこれを回転させるとともに、砥石車１０４の両側面に流体圧を作用させ、且つ軸受１０２に与圧を作用させた状態で、研削加工が実施される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、加工対象たる溝Ｗｂの幅は一様であるとは限らず、その幅が極めて狭いものもあり、この場合には、その溝幅に合わせて砥石車１０４の幅を狭くする必要がある。
【００１２】
ところが、上記従来の研削装置１００では、砥石車１０４の外周に伝動ベルト１０６を巻き掛けて当該砥石車１０４を回転させるように構成されているので、砥石車１０４の幅を狭くするには、これに応じて伝動ベルト１０６の幅も狭くする必要があり、このために、伝動ベルト１０６の強度が低下し、その寿命も短くなるという問題があった。
【００１３】
また、軸受１０２に与圧を作用させているので、軸線方向における砥石車１０４の位置が、前記ボルト１０９，ナット１１０，カラー１０８及び軸受１０２、並びにベアリングストッパ１１１，１１１及び研削ヘッドキャップ１１２ａ，１１２ｂによって固定された状態となっている。このため、前記静圧ポケット１０７ａ，１０７ｂ部で砥石車１０４の両側面に作用する力のバランスが均等でない場合には、砥石車１０４がその軸線方向に移動することができず、軸線方向のどちらかに変形した状態となり、溝Ｗｂを高精度に加工することができない。また、この場合には、不均一な作用力によって、余分な負荷が軸受１０２に作用するため、その寿命が短くなるという問題もある。
【００１４】
本発明は、以上の実情に鑑みなされたものであって、幅の狭い溝であっても、これを安定して高精度に研削加工することができる研削装置の提供を目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段及びその効果】
上記目的を達成するための本発明は、プーリ部を備えた回転軸と、前記回転軸に対し該回転軸と共に回転するように取り付けられた円盤状の砥石車と、前記回転軸の両端を、ラジアル軸受を介して回転自在に保持するとともに、該回転軸に取り付けられた砥石車を、一部が外部に突出した状態で、その両側面から挟むように保持するアームであって、前記砥石車の両側面と対向する各面にそれぞれ形成された凹部を備えるアームと、加圧された流体を前記凹部に供給する流体供給手段と、前記回転軸のプーリ部に巻きかけられる伝動ベルトと、前記伝動ベルトが巻きかけられるプーリを備え、前記伝動ベルトを介して前記回転軸に回転動力を付与する駆動モータと、被加工物を研削位置に保持する被加工物保持手段と、前記アームと被加工物とを相互に接近／離反する方向に相対移動させる送り手段とを備えた研削装置に係る。
【００１６】
この研削装置によれば、まず、駆動モータから伝動ベルトを介して回転軸に回転動力が伝達され、当該回転軸及び砥石車がその軸中心に回転せしめられるとともに、流体供給手段から前記凹部に加圧流体が供給されて、砥石車の両側面に流体圧が作用し、かかる流体圧によって当該砥石車がその軸方向に支持される。
【００１７】
次に、送り手段によってアームと被加工物とが相互に接近する方向に相対移動せしめられ、被加工物が穴の内周面にその軸方向に沿った溝を備え、且つ研削加工部位が当該溝である場合には、この溝内に砥石車が進入して、当該溝の内面が砥石車によって研削加工される。
【００１８】
斯くして、上記構成の研削装置によれば、回転軸のプーリ部に巻きかけられる伝動ベルトを介して、当該回転軸に回転動力が伝達されるように構成されているので、砥石車の幅の広狭に拘わらず、一定の強度を備えた伝動ベルトを使用することができ、安定して前記回転軸に回転動力を伝達させることができる。
【００１９】
したがって、幅の狭い溝を加工する場合に、砥石車の外周に伝動ベルトを巻き掛けて当該砥石車を回転させるように構成された従来の研削装置に比べて、安定した研削加工を行うことができる。
【００２０】
そして、本発明において、前記砥石車の取り付けられた回転軸は、その軸線方向には非拘束の状態で、且つ該軸線方向に移動可能に前記ラジアル軸受に支持され、前記流体供給手段から前記アームの凹部に供給されて、前記砥石車の両側面にそれぞれ作用する流体の力が異なる場合には、該力が均等となるように、前記砥石車及び回転軸が前記軸線方向に移動するように構成される。
【００２１】
砥石車の軸線方向における位置が固定されている場合、前記凹部で砥石車の両側面に作用する力が均等でない場合には、砥石車がその軸線方向に移動することができず、軸線方向のどちらかに変形した状態となり、溝を高精度に加工することができない。また、この場合には、不均一な作用力によって、余分な負荷が軸受に作用するため、その寿命が短くなるという問題もある。
【００２２】
上記のように、回転軸をその軸線方向に移動可能に構成すれば、砥石車の取り付けられた回転軸が、砥石車に作用する作用力に応じて適宜その軸線方向に移動し、かかる移動によって砥石車の両側面に作用する力が均等となるため、当該砥石車が変形するといった事態が生じることはない。したがって、加工対象たる溝を高精度に研削加工することができる。また、軸受に過大な負荷が作用するのを防止することもできる。
【００２３】
砥石車を前記軸線方向に移動可能とする構成は、上記のものに限られず、前記砥石車を、前記回転軸の軸線方向には非拘束の状態で、且つ前記回転軸に対しその軸線方向に移動可能に該回転軸に取り付けても良い。このようにしても、砥石車に作用する作用力に応じて、当該砥石車が適宜その軸線方向に移動し、かかる移動によって砥石車の両側面に作用する力が均等となるため、回転軸をその軸線方向に移動可能に構成した上記の場合と同様に、砥石車が変形することはなく、加工対象たる溝を高精度に研削加工することができる。
【００２４】
尚、前記流体は、これが研削液であるのが好ましい。このようにすれば、前記凹部に供給された研削液が同凹部から漏出し、漏出した研削液が砥石車の両側面をつたって研削加工部に導かれ、当該研削加工に寄与せしめられる。また、凹部に供給された研削液を、他の研削液供給部から供給された研削液とともに回収することができるので、その取り扱いが容易となる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施形態について添付図面に基づき説明する。図１は、本実施形態に係る研削装置を示した斜視図であり、図２は、図１における矢視Ａ−Ａ方向の部分断面図である。また、図３は、図２における矢視Ｂ−Ｂ方向の断面図であり、図４は、図３における矢視Ｃ−Ｃ方向の断面図である。
【００２６】
図１乃至図４に示すように、本例の研削装置１は、ベッド（図示せず）と、このベッド（図示せず）上に配設され、矢示Ｄ方向（上下方向）及び矢示Ｅ方向（前後方向）に移動自在となった移動台２と、この移動台２に固設されたアーム１０と、このアーム１０に回転自在に支持され、両側面の外周縁近傍に砥粒１１ａが固着された円盤状の砥石車１１と、この砥石車１１に回転動力を伝達して砥石車１１を回転させる回転駆動手段３０と、前記ベッド（図示せず）上に配設され、ワークＷを研削位置に保持する保持手段４０と、前記移動台２を上記矢示Ｄ方向及びＥ方向に移動させる送り手段（図示せず）などを備えて構成される。
【００２７】
尚、本例では、前記ワークＷはリング状に形成され、その中心部に上下に貫通した貫通穴Ｗａと、この貫通穴Ｗａの内周面にその中心軸線に沿って形成された溝Ｗｂとを備えており、当該溝Ｗｂが研削加工対象となっている。また、貫通穴Ｗａの回りには、同じく上下に貫通した貫通穴Ｗｄ，Ｗｅが穿孔され、更に、溝Ｗｂ部には逃がし穴Ｗｃが穿孔されている。
【００２８】
前記アーム１０は、前記砥石車１１をその両側面から挟むように保持する第１アーム１０ａ及び第２アーム１０ｂからなり、当該砥石車１１を保持するための適宜保持空間１０ｃを備えている。砥石車１１は、プーリ部１４を備えた回転軸１３の、当該プーリ部１４の端面にボルト１９によって固着されており、回転軸１３は、その両端部が、第１アーム１０ａ及び第２アーム１０ｂに所定間隔を隔てて配設されたラジアル軸受１２，１２によって回転自在に支持されている。斯くして、砥石車１１はその一部が外部に突出した状態で前記第１アーム１０ａ及び第２アーム１０ｂに保持される。また、前記ラジアル軸受１２はカバー１５ａ，１５ｂによって覆われている。
【００２９】
尚、前記ラジアル軸受１２と回転軸１３の各端面との間、ラジアル軸受１２とカバー１５ａ，１５ｂとの間、及び前記回転軸１３の両端部とカバー１５ａ，１５ｂとの間には、それぞれ適宜隙間Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６が形成されており、かかる隙間Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６及びラジアル軸受１２に許容されたクリアランスによって回転軸１３がその軸線方向に移動可能となっている。
【００３０】
また、前記第１アーム１０ａ及び第２アーム１０ｂは、その前記保持空間１０ｃを形成する内面であって、前記砥石車１１の両側面と対向する各面に、適宜深さの静圧ポケット１６ａ，１６ｂが複数個形成され、また、この静圧ポケット１６ａ，１６ｂに連通する供給孔１８ａ，１８ｂ、及びこの供給孔１８ａ，１８ｂに連通する供給孔１７ａ，１７ｂがそれぞれ穿孔されている。そして、適宜流体供給手段（図示せず）から加圧された研削液が前記供給孔１７ａ，１７ｂに供給され、供給された研削液が前記供給孔１８ａ，１８ｂを介してそれぞれ前記静圧ポケット１６ａ，１６ｂに供給されるようになっている。
【００３１】
前記回転駆動手段３０は、前記移動台２に固設された駆動モータ３１と、この駆動モータ３１の出力軸３１ａに設けられたプーリ３２と、このプーリ３２及び前記プーリ部１４に巻きかけられた伝動ベルト３３などから構成される。斯して、前記駆動モータ３１の回転動力が、前記出力軸３１ａ，プーリ３２，伝動ベルト３３及びプーリ部１４を介して前記回転軸１３に伝達され、これにより、前記砥石車１１が回転せしめられる。
【００３２】
前記保持手段４０は、門形のフレーム４１と、このフレーム４１の上辺に固設された基準プレート４２と、この基準プレート４２の下方位置に配設され、ブラケット４３を介して前記フレーム４１に固設された仮置プレート４４と、この仮置プレート４４の下方に配設され、前記仮置プレート４４上に載置されたワークＷを上方に移動させて前記基準プレート４２の下面に押し付け固定するクランプ機構４５などから構成される。
【００３３】
前記基準プレート４２は、その下面が前記砥石車１１に対する基準面となっており、その中心部に前記アーム１０が通過可能な貫通穴４２ａが形成されている。また、前記砥石車１１に対応する部分には、これが通過可能な長穴状の逃がし穴４２ｂが形成されている。また、ワークＷが前記下面に当接する際に、貫通穴Ｗｄ，Ｗｅにそれぞれ嵌挿される位置決めピン４２ｃ，４２ｄが、前記下面から下方に突出するように固設されている。
【００３４】
前記クランプ機構４５は、昇降シリンダ４６と、この昇降シリンダ４６のピストンロッド先端部に固設されたクランプ部材４７からなり、このクランプ部材４７は前記昇降シリンダ４６の作動によって矢示Ｆ方向（上下方向）に昇降する。前記クランプ部材４７は、前記アーム１０を挿入可能な穴４７ａを中心部に備えた円筒状の部材からなり、前記砥石車１１に対応する部分には、内周面から外周面に貫通する割溝４７ｂが形成され、この割溝４７ｂ内に前記砥石車１１を挿通させることができるようになっている。
【００３５】
前記仮置プレート４４は、その上面がワークＷの載置される載置面となっており、ワークＷが載置された際に、貫通穴Ｗｄ，Ｗｅにそれぞれ嵌挿される位置決めピン４４ｂ，４４ｃが、前記上面から上方に突出するように固設されている。また、中心部には前記クランプ部材４７を挿入可能な貫通穴４４ａが形成されている。
【００３６】
以上のように構成された本例の研削装置１によれば、以下に説明するようにして、ワークＷの溝Ｗｂが研削加工される。尚、移動台２は上限位置にあり、クランプ部材４７は下限位置にあるものとする。
【００３７】
まず、図２に示すように、ワークＷを、その貫通穴Ｗｄ，Ｗｅに対して位置決めピン４４ｂ，４４ｃがそれぞれ嵌挿されるように、仮置プレート４４上に載置する。これにより、貫通穴Ｗｄと位置決めピン４２ｃとが、また、貫通穴Ｗｅと位置決めピン４２ｄとが、それぞれ上下方向に重なり合った状態となる。
【００３８】
次に、クランプ機構４５の昇降シリンダ４６を駆動してクランプ部材４７を上方に移動させる。これにより、クランプ部材４７が仮置プレート４４の貫通穴４４ａに挿入され、その上面が仮置プレート４４上に載置されたワークＷに当接して、これを上方に押し上げる。そして、まず、前記位置決めピン４２ｃ，４２ｄが貫通穴Ｗｄ，Ｗｅにそれぞれ嵌挿され、ワークＷの溝Ｗｂが砥石車１１に対して位置決めされる。この状態を図５に示している。
【００３９】
この後、ワークＷの更なる上昇移動によって、ワークＷの上面が基準プレート４２の下面に当接し、ワークＷが基準プレート４２とクランプ部材４７との間で挟持，固定される。尚、ワークＷがこのようにして固定された状態を図６に示す。
【００４０】
そして、駆動モータ３１を駆動すると、その回転動力が出力軸３１ａ，プーリ３２，伝動ベルト３３及びプーリ部１４を介して回転軸１３に伝達され、これにより、砥石車１１が回転せしめられる。また、このとき、加圧された研削液が、前記流体供給手段（図示せず）から供給孔１７ａ，１７ｂ及び供給孔１８ａ，１８ｂを介して各静圧ポケット１６ａ，１６ｂに供給され、供給された研削液の作用力によって、砥石車１１がその両側から支持される。これにより、砥石車１１がその軸線方向に振れるのが防止される。
【００４１】
ところで、各静圧ポケット１６ａ，１６ｂに供給される加圧研削液により砥石車１１の両側面に作用する作用力は、当該両側面でこれを均一なものとするのはなかなか困難であり、通常不均一になものとなっている。
【００４２】
本例では、上記のように、回転軸１３がその軸線方向に移動可能に構成されているので、砥石車１１の両側面に作用する力が不均一であっても、当該作用力が均一となるように、回転軸１３及び砥石車１１が前記軸線方向に移動する。即ち、砥石車１１が静圧ポケット１６ａ，１６ｂに近づくほど、当該静圧ポケット１６ａ，１６ｂ内の研削液圧が高くなる一方、静圧ポケット１６ａ，１６ｂから離れるほど、当該静圧ポケット１６ａ，１６ｂ内の研削液圧が低くなるので、砥石車１１が前記軸線方向に移動することで、その両側面に作用する力が均一なものとなるのである。
【００４３】
次いで、図７に示すように、適宜送り手段（図示せず）によって移動台２を矢示Ｄ方向（上下方向）に移動させて、砥石車１１をワークＷの溝Ｗｂに接触させることにより、同部が研削加工される。そして、研削加工が終了すると、移動台２及びクランプ部材４７を原位置に復帰させる。
【００４４】
斯して、この研削装置１によれば、回転軸１３のプーリ部１４に巻きかけられた伝動ベルト３３を介して、当該回転軸１３に回転動力が伝達されるように構成されているので、砥石車１１の幅の広狭に拘わらず、一定の強度を備えた伝動ベルト３３を使用することができ、安定して前記回転軸１３に回転動力を伝達させることができる。したがって、幅の狭い溝Ｗｂを加工する場合でも、従来の研削装置に比べて、安定した研削加工を行うことができる。
【００４５】
また、上記のように、研削液によって砥石車１１の両側面に作用する力が不均一になっている場合に、砥石車１１の軸線方向における位置が固定されていると、砥石車１１が軸線方向に移動することができず、その軸線方向のどちらかに変形した状態となり、前記溝Ｗｂを高精度に加工することができないが、本例では、回転軸１３及び砥石車１１がその軸線方向に移動可能に構成されているので、上記のような変形を生じることがなく、加工対象たる溝Ｗｂを高精度に研削加工することができる。また、ラジアル軸受１２に過大な負荷が作用するのを防止することもできる。
【００４６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の採り得る具体的な態様は、何らこれに限定されるものではない。例えば、被加工物であるワークＷの形状、及び被研削部である溝Ｗｂの形状は、何ら上述した例に限定されるものではない。
【００４７】
また、上述の例では、駆動モータ３１の回転動力を、プーリ部１４，３２及び伝動ベルト３３を介して回転軸１３に伝達するように構成したが、これに限られるものではなく、駆動モータ３１の回転動力を、適宜設けられた歯車や摩擦車などによって、回転軸１３に伝達するように構成することもできる。
【００４８】
また、砥石車１１をボルト１９によって回転軸１３に固着したが、このように固着せず、砥石車１１を回転軸１３に対しキーやピンによって係合せしめ、回転方向には砥石車１１と回転軸１３とを連結する一方、軸方向には砥石車１１が回転軸１３に対して移動可能となるように構成しても良い。
【００４９】
このようにすれば、砥石車１１の両側面に作用する作用力が不均一である場合に、その作用力に応じて、当該砥石車１１が適宜その軸線方向に移動し、かかる移動によって砥石車１１の両側面に作用する力が均等となるため、上例と同様に、砥石車１１が変形することはなく、加工対象たる溝Ｗｂを高精度に研削加工することができる。
【００５０】
また、ラジアル軸受１２は、上例の転がり軸受に限られるものではなく、これがすべり軸受であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】        本発明の一実施形態に係る研削装置を示した斜視図である。
【図２】        図１における矢視Ａ−Ａ方向の部分断面図である。
【図３】        図２における矢視Ｂ−Ｂ方向の断面図である。
【図４】        図３における矢視Ｃ−Ｃ方向の断面図である。
【図５】        本実施形態に係る研削装置の動作を説明するための説明図である。
【図６】        本実施形態に係る研削装置の動作を説明するための説明図である。
【図７】        本実施形態に係る研削装置の動作を説明するための説明図である。
【図８】        従来例に係る研削装置の一部を示した正面図である。
【図９】        図８における矢示Ｇ−Ｇ方向の断面図である。
【符号の説明】
１      研削装置
２      移動台
１０    アーム
１１    砥石車
１２    ラジアル軸受
１３    回転軸
１４    プーリ部
１６ａ，１６ｂ  静圧ポケット
１７ａ，１７ｂ  供給孔
１８ａ，１８ｂ  供給孔
３０    回転駆動手段
３１    駆動モータ
３２    プーリ
３３    伝動ベルト
４０    保持手段
４１    フレーム
４２    基準プレート
４４    仮置プレート
４５    クランプ機構
【図１】
0003843041.tif 000002
【図２】
0003843041.tif 000003
【図３】
0003843041.tif 000004
【図４】
0003843041.tif 000005
【図５】
0003843041.tif 000006
【図６】
0003843041.tif 000007
【図７】
0003843041.tif 000008
【図８】
0003843041.tif 000009
【図９】
0003843041.tif 000010