(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状に連なって運行するローラチェーン２の隣接するローラ８，８を連結するリンクプレート９，９´の下方に断面がＬ字形をなした固定部１２を吊設し、両側の固定部１２に跨って方形状の取付板１３を吊下固定し、該取付板１３には、上下に直列状に整列せしめられたスリット２０，２１，２２からなるスリット列を、搬送方向に見て前方から後方にかけてほぼ等間隔で複数設け、中央部分に巻状部２３を有し、両端が略ハの字状に延長されて上脚２７、下脚２８となっており、上脚２７の上端部はハの字の外側に曲げられて上係止部２４、下脚２８の下端部はハの字の外側に曲げられて下係止部２５となったねじりコイルバネ状の保持部材１９を、前記上脚２７の上端寄り部分をスリット２０に、下脚２８の下端寄り部分をスリット２２に、それぞれ挿入すると共に、巻状部２３の一部をスリット２１に挿入することにより、それ自体の弾性によって取付板１３に取付け、該保持部材１９の弾性によって生じる下脚２８下端の押圧力により板状をなした被加工物の上辺を取付板１３の下部側面に圧接して吊支する様にしたシート状被加工物搬送装置において、取付板１３の下辺で、前記スリット２０，２１，２２からなるスリット列のほぼ下方に位置する箇所に、下端が１つおきに上方に位置した矩形状切欠部２６，２６´を互い違いに設け、取付板１３への被加工物の圧接箇所を１つおきに上下に変位させたことを特徴とするシート状被加工物搬送装置。
【請求項２】
矩形状切欠部２６，２６´間に、テーパ状の切り込み６３を形成したことを特徴とする請求項１記載のシート状被加工物搬送装置。
【請求項３】
被加工物を搬送する対象が連続メッキ槽であることを特徴とする請求項１記載のシート状被加工物搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この本発明はシート状被加工物搬送装置、詳しくは大型のシート状被加工物をより安定した状態で搬送することが出来るシート状被加工物搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
偏平な板状をした被加工物、例えばシートガラス、鍍金前の金属板、セラミックス基板などを、積重ねた状態より一枚ずつ取出して搬送装置で吊下し、順次自動的に加工装置（例えば連続メッキ槽、洗浄液槽等）の液槽に浸漬させるなどしつつ移動させ、一定時間の経過後、加工装置から取出し、連続的に一枚ずつ集積位置に搬送するシート状被加工物搬送装置は、幾つか開示されている。
【０００３】
例えば、特公平１−４２６３２号公報には、半導体素子をフレーム上に合成樹脂で封止したリードフレームを収納治具より１枚ずつ分離して取り出し、連続的に移動するコンベアの爪により直接クランプしてメッキ処理し、終了したものを再び収納治具に収納する装置が開示されている。
【０００４】
又、特開平２−２７７８００号公報及び米国特許第４７７５０４６号明細書には、連続した板状のベルト上に、薄板材料を締付けるための弾力的締結手段の一端を固定し、他端にある自由締付手段が帯状ベルトとの間で板材を懸吊挾持できるようにした構造の帯状材料処理装置が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前記の各種搬送装置においては、移動コンベアの爪に装着するものの場合には、コンベア速度とコンベアの運動方向に停止した状態にある被加工物を誤りなく確実にコンベアの爪に装着する手段についての開示がされていない。
又、被加工物把握部分に処理用薬液が残留し、加工面に過度の侵蝕やかげりを与えることがある。
【０００６】
又、板製の帯状ベルトを主体とした手段においては、ベルトの寿命が比較的短く、且つその交換保守の費用が高価である欠点があった。
【０００７】
そこで、本出願人は特開平８−１２０４０号としてローラチェーンを用い、シート状被加工物を連続的かつ確実に懸吊して搬送できる装置を提案した。
【０００８】
このシート状被加工物搬送装置は、環状に連なって運行するローラチェーンの隣接するローラを連結するリンクプレートに断面がＬ字形をなす固定部を設け、両側の固定部に跨って取付板を固定し、取付板の複数個所に夫々垂直方向に３個のスリットを設けてコイルスプリング状の保持部材の巻状部を中央のスリットに、上下の係止部と挾持部を夫々上下のスリットから突出させて取付板の反対側に位置させ、又取付板の下端に各保持部材の挾持部の下端が挿入できる挾持用スリットを設け、各挾持用スリット間に浸漬液面よりやや高い位置まで矩形状に切欠いて加工液の滞溜を防止する切欠部を設け、取付板と挾持部とで被加工物を確実に吊下保持できるようにしたものである。
【０００９】
この装置は、取付板に取付けた複数個のコイルスプリング状の保持部材の下端の挾持部と取付板との間でシート状被加工物を弾性的に保持するものであり、シート状被加工物を確実に保持し得るすぐれた特徴を有している。
しかしながら、シート状被加工物と取付板及び保持部材との接触点が横一列となる為、シート状被加工物の上下方向の幅（長さ）が短い場合には何ら問題ないが、長くなるにつれ、最下点での振れが大きくなってしまい、安定した吊下搬送に支障が生じるといった欠点があった。又、シート状被加工物が十分に厚く、撓りや反りを起こしにくいものなら格別問題はないが、厚みが薄く、バキュームパッドで直立状態に吸い上げたとき、撓りや反りをおこす被加工物の場合、取付板に被加工物の上辺を挿入しようとするとき、部分的に保持できない箇所が生じることがあった。
【００１０】
この発明は、本出願人が既に提案した上記特開平８−１２０４０号の欠点を除去したものであり、より大型の被加工物でも振れが生じることなく安定した姿勢で確実に搬送することができると共に、厚みが薄く撓りや反りが生じやすい被加工物でも確実に保持できるシート状被加工物搬送装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、環状に連なって運行するローラチェーン２の隣接するローラ８，８を連結するリンクプレート９，９´の下方に断面がＬ字形をなした固定部１２を吊設し、両側の固定部１２に跨って方形状の取付板１３を吊下固定し、該取付板１３には、上下に直列状に整列せしめられたスリット２０，２１，２２からなるスリット列を、搬送方向に見て前方から後方にかけてほぼ等間隔で複数設け、中央部分に巻状部２３を有し、両端が略ハの字状に延長されて上脚２７、下脚２８となっており、上脚２７の上端部はハの字の外側に曲げられて上係止部２４、下脚２８の下端部はハの字の外側に曲げられて下係止部２５となったねじりコイルバネ状の保持部材１９を、前記上脚２７の上端寄り部分をスリット２０に、下脚２８の下端寄り部分をスリット２２に、それぞれ挿入すると共に、巻状部２３の一部をスリット２１に挿入することにより、それ自体の弾性によって取付板１３に取付け、該保持部材１９の弾性によって生じる下脚２８下端の押圧力により板状をなした被加工物の上辺を取付板１３の下部側面に圧接して吊支する様にしたシート状被加工物搬送装置において、取付板１３の下辺で、前記スリット２０，２１，２２からなるスリット列のほぼ下方に位置する箇所に、下端が１つおきに上方に位置した矩形状切欠部２６，２６´を互い違いに設け、取付板１３への被加工物の圧接箇所を一つおきに上下に変位させることにより上記課題を解決せんとするものである。又その際、矩形状切欠部２６，２６´間に、テーパ状の切り込み６３を形成しても良い。
【００１２】
【実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基いて詳細に説明する。
被加工物１を搬送するローラチェーン２を駆動するスプロケットホイル３，３が基台４の両側に設置されている。
即ち、両スプロケットホイル３，３は図１に示すように基台４の両側壁５，５´の上部に対向して固定した２枚の支持盤６，６´間で回転自在に支持され、一方のスプロケットホイル３（図２において左側）が駆動源７によって駆動されるようになっている。
【００１３】
又、ローラチェーン２は隣り合うローラ８，８（図５，６参照）がリンクプレート９，９´で挾持され、リンクピン１０で連結されてなるものである。そして、他方の隣り合うローラ８，８はリンクプレート９，９´にリンクプレート１１，１１´を重ねるようにして連結されている。この際、下側に位置するリンクプレート１１´には、その連結部を除いて、その下方にはＬ字形を形成するように突出して固定部１２が形成されている。
【００１４】
更に、前記固定部１２の隣接する端部に跨って、方形状の取付板１３の上部両端がボルト１４，１４で固定されている。
【００１５】
取付板１３には図４，５に示すように、上下に直列状に整列せしめられたスリット２０，２１，２２からなるスリット列が、搬送方向に見て前方から後方にかけてほぼ等間隔で複数設けられている。
【００１６】
保持部材１９は、ねじりコイルバネ状をなし、その中央部分は巻状部２３、その両側は略ハの字状に延設されて上脚２７及び下脚２８となっており、上脚２７の上端部はハの字の外側に曲げられ上係止部２４，下脚２８の下端部はハの字の外側に曲げられ下係止部２５となっている。
【００１７】
そして、この保持部材１９は、その上脚２７の上端寄りの部分即ち上係止部２４をスリット２０に、下脚２８の下端寄りの部分即ち下係止部２５をスリット２２にそれぞれ挿入すると共に、巻状部２３の一部をスリット２１に挿入することにより、それ自体の弾発力によって取付板１３に弾性的に取付けられている。
【００１８】
なお、厳密に言えば、取付板１３の中央のスリット２１は保持部材１９の巻状部２３の巻状に合う様にわずかに傾斜させられており、その上下のスリット２０，２２は同一軸線上ではなく、上係止部２４，下係止部２５のそれぞれの軸線と一致するように若干ずれた位置に設けられている。
【００１９】
又、取付板１３の下辺で、前記スリット２０，２１，２２からなるスリット列のほぼ下方に位置する箇所には、下端が１つおきに上方に位置した矩形状切欠部２６，２６´が互い違いに設けられていると共に、これら矩形状切欠部２６，２６´間にはテーパ状の切り込み６３が形成されており、取付板１３の下辺はあたかも鋸歯状の外観を呈している。つまり、矩形状切欠部２６，２６´の下端間には、図５に示す様に段差Ａが設けられている。
【００２０】
又、前記基台４の両側壁５，５´に跨って天板２８（図１，２参照）が固定されており、進行方向に平行な２本の移動溝２９，２９´が設けられている。
この移動溝２９，２９´の中央で天板２８の下面にガイド３０が両側壁に跨がるように固定されている。そして、両移動溝２９，２９´内を移動する支持板３１，３１´は上部を天板２８上において両側端が２個の連結板３２，３２´で連結され、前記ガイド３０に嵌合する２個の台形をした案内具３３，３３´で天板２８の下方を連結している。
【００２１】
両支持板３１，３１´の下端両側には夫々外側にコ字形をしたシリンダ取付部材３４，３４，３４´，３４´が対向して設けられ、夫々の内側に取付板クランプシリンダ３５，３５，３５´，３５´が取付けられている。そして、各取付板クランプシリンダ３５，３５´…のピストンにはリング状の挾持パッド３６（図３参照）が取付けられ、移動する取付板１３の両側を挾持し、取付板１３の移動に伴って両支持板３１，３１´は図１において矢印方向へ移動するようになっている。
【００２２】
又、前記一方の側壁５´には取付片３７を介してローダ戻しシリンダ３８が固定されており、該ローダ戻しシリンダ３８のロッド３９の先端には連結板３２´を固定し、このローダ戻しシリンダ３８の伸縮運動によって両支持板３１，３１´を元位置に戻すようになっている。
【００２３】
又、一方の支持板３１´の裏面中央上部には支持片４０を介してクランプバネ開閉用シリンダ４１（図３参照）か取付けられており、そのロッド４２で昇降棒４３の中央を支持する様になっている。この昇降棒４３の両端には夫々ベルクランク４４，４４の一端が固定され、両ベルクランク４４，４４の中央を連結した軸４５の両端は夫々支持板３１´に固定した軸受４６，４６で軸支されている。そして、一枚の取付板１３に装着した各保持部材１９，１９…の巻状部２３の下側に位置した下係止部２５を押圧して下係止部２５の下端を開放する一本の押圧部材４７が前記両ベルクランク４４，４４の自由端に取付けられている。
尚、両ベルクランク４４，４４等は支持板３１に設けられた作動穴４８から支持板３１側に突出するようになっている。
【００２４】
又、他方の支持板３１の中央下端を切欠いて作動穴部４９が形成され、支持板３１の両下端に軸受５０，５０を固定して作動軸５１を回転自在に軸支し、作動軸５１の一部（背面側）にヘッド昇降用シリンダ５２が固定されている。
このヘッド昇降用シリンダ５２には水平なバキュウムヘッド取付板５３が取付けられており、バキュウムヘッド取付板５３に複数個のバキュウムヘッド５４，５４…を取付け、被加工物１を吸着するようになっている。
【００２５】
前記作動軸５１は一端を一方の軸受５０から突出させ、支持板３１の一端に取付片５５を介して取付けた正反転用シリンダ５６のロッド５７にアーム５８を介して取付けられ、ロッド５７の昇降に伴ってアーム５８を介して作動軸５１を回転させ、バキュウムヘッド取付板５３を水平方向と垂直方向とに変位させるようになっている。
一方、図中５９，５９は被加工物１を搬送するための案内部材、６０は搬送部材で、６１はローラチェーン２の支持ガイド、６２は押圧部材４７が保持部材１９の下端の挾持部２５を押圧する時に、取付板１３が曲げ力を受ける時の受板で、挾持パッド３６と連動して取付板１３を挾持するようになっている。
【００２６】
なお、上記構成は、取付板１３及び保持部材１９に関する部分を除いて、先に提案した特開平８−１２０４０号に係る装置と基本的に同じである。本発明の主要部はあくまで取付板１３及び保持部材１９に関する部分であり、他の部分については、同形式の公知の他の搬送手段を用いても良いことは当然である。
【００２７】
この実施の形態は前記のように構成したもので、昇降用シリンダ５２を駆動してバキュウムヘッド取付板５３を下降させ、案内部材５９，５９（図３参照）により案内されてきた被加工物１を、多数のバキュウムヘッド５４，５４…で吸着保持する。その後、正反転用シリンダ５６を駆動して作動軸５１を回転させてバキュームヘッド取付板５３を垂直方向に反転させ、取付板１３の下側に被加工物１を垂直状態で待機させる。
【００２８】
次に、取付板１３が矢印方向（図１参照）に移送されて両支持板３１，３１´の所望位置に移動してきた際に、各取付板クランプシリンダ３５，３５´…を駆動して両側から挾持パッド３６，３６…で取付板１３を挾持する。
この取付板１３の挾持により両支持板３１，３１´がガイド３０の案内で取付板１３と共に移動する。
この移動中にクランプバネ開閉用シリンダ４１を駆動して昇降棒４３を下降させ、ベルクランク４４，４４を介して押圧部材４７を突出させる。この押圧部材４７の突出により各保持部材１９，１９…の巻状部２３の下側を押圧し、下端の下係止部２５を取付板１３から離して開放状態にする。
その後、直ちに昇降用シリンダ５２を入側に作動させて被加工物１を上昇させ、取付板１３と下係止部２５との間に被加工物１の上辺を挿入する。
【００２９】
次に、クランプバネ開閉用シリンダ４１を反対方向に駆動して保持部材１９，１９…から押圧部材４７を離脱させ、保持部材１９，１９…の弾性によって生じる下脚２８下端の押圧力により被加工物１の上辺を取付板１３の下部側面に圧接して吊支する。
【００３０】
次に、バキュウムヘッド５４，５４…の吸着を開放し、取付板クランプシリンダ５５，５５´…を逆方向に作動させて取付板１３を開放する。
その後、ローダ戻しシリンダ３８を駆動して両支持板３１，３１´を元に戻し、正反転用シリンダ５６を逆方向に駆動してバキュウムヘッド取付板５３を水平方向に戻す。
取付板１３は被加工物１を吊支したまま、ローラチェーン２の移動に伴い所定場所に搬送され、連続メッキ槽などで各種の薬液処理が行われる。
【００３１】
なお、取付板１３の下辺で、スリット２０，２１，２２からなるスリット列のほぼ下方に位置する箇所には、下端が１つおきに上方に変位した矩形状切欠部２６，２６´が互い違いに設けられているので、この取付板１３に吊支される被加工物１の、取付板１３によって押圧される圧接箇所は、横一列ではなく１つおきに上下に変位する為、振れに対する抵抗力が強まり、振れの少ない安定した姿勢での搬送が行われる。又、厚みが薄く、バキュームパッドで直立状態に吸い上げた際に撓りや反りが生じやすい被加工物でも、上下に変位した圧接箇所で取付板１３に押し付けて、平面で保持するので、より確実な吊支が行える。
【００３２】
又、矩形状切欠部２６，２６´の間にはテーパ状の切り込みが形成されており、被加工物１を連続メッキ槽などに浸漬した後に引き上げた際、処理用の薬液の流下がスムーズに行われ、被加工物１への処理用薬液の残留がおこりにくい。更に、保持部材１９とは点接触となる為、被加工物１の表裏のメッキ厚の平均性が十分に確保できる。
【００３３】
【発明の効果】
この発明に係るシート状被加工物搬送装置は上記の通りの構成を有するものであり、取付板の下辺の形状に工夫をこらして、取付板に圧接する被加工物の押圧箇所を上下２段としているので、上下方向に幅の大きい被加工物でも振れを生じさせることはなく、安定的な姿勢で吊支して搬送することができる効果を有する。又、取付板下辺の矩形状切欠部の間にテーパ状切り込みを形成したものにおいては、被加工物を連続メッキ槽などに浸漬した後、これから引き上げた際、残留薬液の流下がスムーズに行われ、被加工物表面への薬液の残留付着によるトラブルを防ぐことができる効果も有する。
【００３４】
この様に、従来の搬送装置においてはスムーズな搬送がむずかしかった比較的大型の配線基板の加工等に特に有効であり、極めて高い実用的価値を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明に係るシート状被加工物搬送装置の一実施例の正面図。
【図２】  その平面図。
【図３】  その拡大縦断面図。
【図４】  取付板とチェーンローラとの位置関係を示した拡大縦断面図。
【図５】  本発明の要部である取付一部分の拡大正面図。
【符号の説明】
１    被加工物
２    ローラチェーン
３    スプロケットホイル
４    基台
５    側壁
５´  側壁
６    支持盤
６´  支持盤
７    駆動源
８    ローラ
９    リンクプレート
９´  リンクプレート
１０    リンクピン
１１    リンクプレート
１１´  リンクプレート
１２    固定部
１３    取付板
１４    ボルト
１９    保持部材
２０    スリット
２１    スリット
２２    スリット
２３    巻状部
２４    上係止部
２５    下係止部
２６    矩形状切欠部
２６´  矩形状切欠部
２７    上脚
２８    下脚
２９    移動溝
２９´  移動溝
３０    ガイド
３１    支持板
３１´  支持板
３２    連結板
３２´  連結板
３３    案内具
３３´  案内具
３４    シリンダ取付部材
３４´  シリンダ取付部材
３５    取付板クランプシリンダ
３５´  取付板クランプシリンダ
３６    挾持パッド
３７    取付片
３８    ローダ戻しシリンダ
３９    ロッド
４０    支持片
４１    クランプバネ開閉用シリンダ
４２    ロッド
４３    昇降棒
４４    ベルクランク
４５    軸
４６    軸受
４７    押圧部材
４８    作動穴
４９    作動穴部
５０    軸受
５１    作動軸
５２    ヘッド昇降用シリンダ
５３    バキュウムヘット取付板
５４    バキュウムヘッド
５５    取付片
５６    正反転用シリンダ
５７    ロッド
５８    アーム
５９    案内部材
６０    搬送部材
６１    支持ガイド
６２    受板
６３    切り込み
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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