(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
特定の異常状態をそれぞれが別個に検出する複数の異常検出回路と、前記複数の異常検出回路のうちの少なくとも１つが前記特定の異常状態を検出した場合にリレーを遮断するための第１信号を出力する第１信号出力回路と、前記第１信号が出力された後にリリース信号が入力された場合において、前記第１信号が出力された際に前記複数の異常検出回路のすべてが前記特定の異常状態を検出していたときのみ、前記リレーをオンするための信号を出力する第２信号出力回路とを具備することを特徴とするインターロック処理回路。
【請求項２】
前記第１信号は、装置の全体もしくは部分の電源を遮断するかまたは前記全体もしくは部分の動作を停止させるための信号であり、前記第２信号は、前記遮断または前記停止の後に、前記電源を投入するかまたは前記動作を開始させるための信号であり、前記リリース信号は、前記遮断または前記停止の後における前記投入または前記開始のためにリリーススイッチから入力される信号であることを特徴とする請求項１に記載のインターロック処理回路。
【請求項３】
前記異常検出回路は半導体部品を含むことを特徴とする請求項１または２に記載のインターロック処理回路。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のインターロック処理回路を有することを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインターロック処理回路に関するものであり、特に、信頼性確保のために多重化された部分を含むインターロック処理回路において、多重化部分の信頼性を確保する機能を有するインターロック処理回路に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図２は従来のインターロック処理回路の機能を説明するための図である。同図において、１はロボットのハンド部、２および３はロボットアーム、４はＸ方向に移動可能なロボット搭載部、５はロボットアーム２および３を伸縮および回転させ、かつロボット搭載部４をＸ方向に駆動する３個のモータ、６はロボット移動レール、７および９は装置前面カバー、８および１０は装置前面カバー７および９の開閉を検出するドアスイッチ、１１はロボットのコントローラ、１２はロボット内モータ５をドライブするドライバ、１３はドライバ１２とモータ５の接続を遮断するためのリレー、１４は所定の場合にリレー１３をオフ状態とする従来のインターロック処理回路である。１５はドアスイッチ８および１０の出力を入力とするＯＲ回路、そして１６はＯＲ回路１５の出力をラッチするラッチ回路であり、これらによりインターロック処理回路１４が構成されている。１７はラッチ回路１６のラッチをリセットするためのリリーススイッチである。
【０００３】
この構成において、装置前面カバー７もしくは９が開けられると、この状態がドアスイッチ８もしくは１０により検出される。これに基づき、インターロック処理回路１４は、内部のラッチ回路１６をリセットしてリレー１３をオフ状態にすることにより、ロボット内のすべてのモータ５の駆動を停止させて、安全を確保するようにしている。
【０００４】
この従来例においては、確かに安全性は確保されるが、開けた装置前面カバー７または９の近くにロボットが存在しない場合でも、また、人が装置内部にアクセスしていない場合でも、インターロック処理回路１４により装置全体が停止してしまうため、メンテナンス性等を考えた場合、あまり最適なものではない。
【０００５】
そこで、近年の産業用各種装置においては、各種条件判断に基づきインターロック機能を実行させるようになってきている。例えば、上記例の場合について考えると、各装置前面カバー７および９毎にドアスイッチを設けるだけでなく、各装置前面カバー７および９毎に近くにロボットが存在するか否かを検出するためのロボット接近センサを設け、かつ、各装置前面カバー７および９毎にその開口部に光シートビームによる挿入物検出機能を設ける。そして、装置全面カバー７または９が開けられて、かつ、ロボットがその装置前面カバー７または９の開口部の近くに存在していて、かつ、その開口部に何か挿入物があった場合のみロボットの駆動を停止するようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、近年、色々な産業用装置において、安全性について今まで以上に厳密な要求がなされるようになってきている。特にインターロック処理回路については、次のような要求が出始めている。すなわち、▲１▼インターロック回路はリレー、スイッチ等の高信頼性の電気機械的部品を用いて構成すること、▲２▼ＩＣ、トランジスタ等の半導体部品を使用する場合には２重化を行うこと、そして、▲３▼ソフトウエアを使用しないこと、である。
【０００７】
先に述べた各種検出機能、条件判断等を、上記▲１▼に従って電気機械的部品のみで達成することは、実際には困難であるため、必然的に上記▲２▼に従って半導体部品を２重化して用いることになる。
【０００８】
そこで問題になるのが、２重化したインターロック処理回路の信頼性確保である。インターロック動作が正常であっても、２重化した処理回路の両方ともが正常動作をしていることの保証にはならないからである。
【０００９】
本発明の目的は、この従来技術の問題点に鑑み、インターロック処理回路において、多重化部分の信頼性を確保することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため本発明のインターロック処理回路は、特定の異常状態をそれぞれが別個に検出する複数の異常検出回路と、前記複数の異常検出回路のうちの少なくとも１つが前記特定の異常状態を検出した場合にリレーを遮断するための第１信号を出力する第１信号出力回路と、前記第１信号が出力された後にリリース信号が入力された場合において、前記第１信号が出力された際に前記複数の異常検出回路のすべてが前記特定の異常状態を検出していたときのみ、前記リレーをオンするための信号を出力する第２信号出力回路とを具備することを特徴とする。
【００１１】
これによれば、リレーをオンするのは、異常検出回路のすべてが特定の異常状態を検出していた場合に限られる。したがって、リレーがオンされる場合は、異常検出回路のすべてが正常に動作していることが保証されていることになる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施形態において、前記第１信号は、装置の全体もしくは部分の電源を遮断するかまたは前記全体もしくは部分の動作を停止させるための信号であり、前記第２信号は、前記遮断または前記停止の後に、前記電源を投入するかまたは前記動作を開始させるための信号であり、前記リリース信号は、前記遮断または前記停止の後における前記投入または前記開始のためにリリーススイッチから入力される信号である。この場合、第２信号出力回路は、インターロック機能による電源遮断後、または、装置の全体もしくは部分の動作停止後、リリース信号が入力された場合は、前記第１信号が出力された際に前記複数の異常検出回路のすべてが特定の異常を検出していた場合のみ、電源投入、もしくは動作再開を許容することになる。
【００１４】
前記異常検出回路は半導体部品を含む。
【００１５】
本発明は、例えば半導体素子や液晶表示素子を製造するためのフォトリソグラフィー工程で用いられる露光装置に好適に適用される。
【００１６】
【実施例】
図１は本発明の一実施例に係るインターロック処理回路を示す。この処理回路は、図２のインターロック処理回路１４に対応するものである。図１において、２１および３１は装置前面カバー７（図２）の開閉を検出するドアスイッチ、ａ１およびｂ１は装置前面カバー７の開口部近くにロボットが存在するかどうかを検出するロボット接近センサ２個からの信号ライン（ロボット接近センサは図示せず）、ａ２およびｂ２は装置前面カバー７の開口部に挿入物があるかを検出する挿入物センサ２個からの信号ライン（挿入物センサは図示せず）、２２および３２はこれらドアスイッチおよび信号ラインからの信号に基づいてそれぞれ別個独立にインターロック状態判別（異常状態検出）を行うインターロック論理回路、２３および３３はそれぞれインターロック論理回路２２および３２がインターロック状態が発生したと判別したことを記憶するラッチ、２４および３４はインターロックリリーススイッチ１７からの入力信号を有効にするか否かの条件をラッチ２３および３３の出力に基づいて付加するためのＡＮＤ回路、４０はＡＮＤ回路２４および３４の出力を入力とするＯＲ回路、４２はインターロック論理回路２２および３２の出力を入力とするＯＲ回路、４１はＯＲ回路４０および４２の出力に基づいてモータ５（図２）へのドライブラインを遮断するためのリレー１３への指令状態を保持するラッチ、４３はラッチ２３および３３の端子Ｑからの出力信号ｅおよびｇが一致してないことを検出するイクスクルーシブＯＲ回路、４４はイクスクルーシブＯＲ回路４３に接続されたブザーである。このインターロック処理回路では、破線４５より左側が半導体部品で構成され、右側が電気機械的部品で構成されている。また、半導体部品の部分は前述の理由により、２重化されている。
【００１７】
この構成において、装置前面カバー７が解放状態になると、ドアスイッチ２１および３１によりこの状態がインターロック論理回路２２および３２にそれぞれ通知される。この状態において、ロボットが装置前面カバー７の開口部の近くにある場合には、信号ラインａ１およびｂ１は「Ｈレベル」になり、かつ、挿入物センサ２個により、開口部に挿入物があること検出した場合には、信号ラインａ２およびｂ２は「Ｈレベル」になる。これら３つの条件がそれぞれインターロック論理回路２２および３２において満たされた場合には、インターロック論理回路２２および３２は異常状態が発生したものと認識し、各々の出力ラインｃおよびｄに「Ｈレベル」信号を出力する。
【００１８】
この状態になると、ＯＲ回路４２はその出カラインｆに「Ｈレベル」信号を出力し、ラッチ回路４１をリセットする。これにより、ラッチ回路４１からリレー１３を遮断する信号（ロック信号）が出力され、モータ５へのドライブラインが遮断される。つまり、インターロック状態となる。ここで、インターロック論理回路２２および３２より前段は２重化されているため、もし、インターロック論理回路２２および３２より前段のどちらかの系統で故障が発生した場合でもインターロック機能は確実に働くようになっている。このことは見方を変えると、２重化した回路の片方が故障していても、わからないことを意味している。
【００１９】
そこでこの問題を解決するため、本発明に従い、上記２重化したインターロック論理回路２２および３２の状態をラッチ２３および３３に記憶し、インターロックリリーススイッチ１７からインターロックリリース要求があった場合でも、２重化したインターロック論理回路２２および３２の状態が一致していない場合には、２重化している回路に故障が発生したものとして、インターロックリリースを許可しないようにしている。つまり、かかる場合、ＡＮＤ回路２４および３４ならびにＯＲ回路４０はラッチ回路４１をセットしない。
【００２０】
一方、インターロックリリーススイッチ１７からインターロックリリース要求があった場合に、インターロック論理回路２２および３２の状態が一致しているときは、ＡＮＤ回路２４および３４ならびにＯＲ回路４０はラッチ回路４１をセットする。これによりラッチ回路４１から解除信号が出力され、リレー１３がオンとなり、インターロック状態は解除される。
【００２１】
また、インターロック状態が発生した時、２重化したインターロック論理回路２２および３２の状態をラッチ２３および３３に記憶した後、これらの状態の比較をイクスクルーシブＯＲ回路４３により行い、２重化したインターロック論理回路２２と３２の状態が一致していない場合には、２重化している回路に故障が発生したものとして、ブザー４４により警報を出すようにしている。
【００２２】
なお、本発明は上述実施例に限定されることなく種々変形して実施することができる。たとえば、上述実施例では、２重化された部分以外は電気機械的部品で構成するようにしているが、この代わりに、２重化された部分以外をも半導体部品を用いて構成し、これをも２重化することにより、インターロック処理回路全体を構成してもよい。
【００２３】
また、上述実施例においては、ドアスイッチ等は２重化された各回路ごとに独立に持たせていたが、このドアスイッチが電気機械的部品の場合はドアスイッチを１つとし、このスイッチからの出力を電気機械的部品により２系統に分割して２重化回路のそれぞれで用いるように構成してもよい。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、多重化された異常検出回路の信頼性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例に係るインターロック処理回路を示す回路図である。
【図２】  従来のインターロック処理回路の機能を説明するための模式図である。
【符号の説明】
１：ロボットのハンド部、２，３：ロボットアーム、４：ロボット搭載部、５：モータ、６：ロボット移動レール、７，９：装置前面カバー、８，ｌ０：ドアスイッチ、１１：コントローラ、１２：ドライバ、１３：リレー、１４：従来のインターロック処理回路、１５：ＯＲ回路、１６：ラッチ回路、１７：リリーススイッチ、２１，３１：ドアスイッチ、２２，３２：インターロック論理回路、２３，３３：ラッチ、２４，３４：ＡＮＤ回路、４０，４２：ＯＲ回路、４１：ラッチ、４３：イクスクルーシブＯＲ回路、４４：ブザー。
【図１】
0003825919.tif 000002
【図２】
0003825919.tif 000003