(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成され、トリミング可能な抵抗パターンと、この抵抗パターンをトリミングするための位置基準となるアライメントマークと、前記抵抗パターンのトリミング可能な部分の近傍余白にレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークを有することを特徴とする抵抗体。
【請求項２】
請求項１に記載の抵抗体において、抵抗パターンは少なくとも格子状のパターンを有し、この格子状パターンの余白部にレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークが設けられていることを特徴とする抵抗体。
【請求項３】
請求項１または２に記載の抵抗体において、位置基準となるアライメントマークは、抵抗パターンのトリミング終了後に除去されるダイサー代に設けられていることを特徴とする抵抗体。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の抵抗体において、位置基準となるアライメントマーク及びレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークは、抵抗パターンと同じ材料で形成されていることを特徴とする抵抗体。
【請求項５】
基板上に形成され、トリミングされているまたはトリミング可能な抵抗パターンと、この抵抗パターンのトリミングされた部分またはトリミング可能な部分の近傍余白に配置されレーザー通過を確認できる確認マークを兼ねるアライメントマークを有することを特徴とする抵抗器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、膜状抵抗のトリミングを行うためのアライメントマークを有する抵抗体及び抵抗器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、チップ型抵抗器などの薄膜抵抗を用いた抵抗体は、セラミックスなどよりなる基板の表面に、多数のチップ領域を設け、各チップ領域毎にニッケルクロム（ＮｉＣｒ）などよりなる薄膜抵抗パターンを形成し、レーザーでトリミングして、各薄膜抵抗パターンの抵抗値を目的の抵抗値に一致させるように加工している。
【０００３】
図４の従来の全体構成図に示されるように、例えばアルミナからなる直径４〜６インチのウエハ４１上に１００００個程度の薄膜抵抗を用いた抵抗体４２を形成する。そして、抵抗体４２の集合体である抵抗体群４３と一定の距離ｄを置いて、例えば１辺が１mm四方の寸法とされるアライメントマーク４４，４５を形成する。
【０００４】
このアライメントマーク４４，４５をレーザートリミング装置の認識カメラで認識させ、アライメントマーク４４，４５を位置基準として、抵抗体群４３の個々の抵抗体４２の抵抗パターンをトリミング加工し、目的の抵抗値を得る。
【０００５】
抵抗体４２の抵抗パターンの例を図５に示す。この図５の例では、抵抗パターンは横方向の細線４２ａと縦方向の細線４２ｂとが格子状に組み合わされている。そして、図示しない両端電極間の抵抗値を調整するために、所定の位置で縦方向に抵抗値を測定しつつ適当量だけトリミングし、次いで横方向にトリミングして目的とする抵抗値に正確に一致させた抵抗値を有する抵抗体４２を得ようとするものである。
【０００６】
このようなトリミングにおけるアライメントマーク４４，４５は抵抗体群４３または個々の抵抗体４２と高い位置精度を保って形成することはできるものの、一定の面積（例えば前述の１mm四方の寸法）を有するアライメントマーク４４，４５の中心位置の認識が困難であり、またトリミング用レーザー光の移動制御を数ｎｍ以内の誤差で行うことは、ＣＣＤカメラによる認識装置とガルバノメーターにつけたＸＹミラーやＸＹテーブルしかレーザー光の移動手段として持たない通常のトリマーでは非常に困難であった。
【０００７】
また、個々の抵抗体４２のトリミングにおいて、図５のように所定の位置で縦方向に適当量だけトリミングする場合を例に取ると、横方向の細線４２ａの中間である図中イが正しい停止位置であるが、アルミナなどで形成されたウエハー４１にレーザー光を走らせても、アルミナは白色であり視認ができず、またレーザー光の痕跡も残らないため、正しい停止位置である図中イまでトリミングしたのかどうかを確認することができない。
【０００８】
また、図５中のロ点のように本来トリミングしてはならない細線の一部をトリミングするオーバーランをした場合には、測定抵抗値としてはそれほど影響しないためトリミング作業において見逃され、抵抗器を使用中に一部をトリミングされた細線部分が使用中の発熱などによりパターン切れを起こしやすくなり、信頼性を補償できなくなる。このようなトリミングのオーバーランを確認することも非常に困難である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来の薄膜抵抗を用いた抵抗体は、トリミング用レーザー光の移動制御を高精度に行うことは困難であったし、また実際に行われたトリミング結果を確認することができなかった。
【００１０】
そこで、本発明は、ＣＣＤカメラによる認識装置とガルバノメーターにつけたＸＹミラーやＸＹテーブルをレーザー光の移動手段とする通常のトリマーを用いて、トリミング用レーザー光の移動制御を高精度に行うことができ、かつ実際に行われたトリミング結果を確認することができる抵抗体及び抵抗器を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の抵抗体は、基板上に形成され、トリミング可能な抵抗パターンと、この抵抗パターンをトリミングするための位置基準となるアライメントマークと、前記抵抗パターンのトリミング可能な部分の近傍余白にレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークを有することを特徴とする。
【００１３】
請求項２の抵抗体は、請求項１記載の抵抗体において、抵抗パターンは少なくとも格子状のパターンを有し、この格子状パターンの余白部にレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークが設けられていることを特徴とする。
【００１４】
請求項３の抵抗体は、請求項１または２に記載の抵抗体において、位置基準となるアライメントマークは、抵抗パターンのトリミング終了後に除去されるダイサー代に設けられていることを特徴とする。
【００１５】
請求項４の抵抗体は、請求項１乃至３のいずれかに記載の抵抗体において、位置基準となるアライメントマーク及びレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークは、抵抗パターンと同じ材料で形成されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項５の抵抗器は、基板上に形成され、トリミングされているまたはトリミング可能な抵抗パターンと、この抵抗パターンのトリミングされた部分またはトリミング可能な部分の近傍余白に配置されレーザー通過を確認できる確認マークを兼ねるアライメントマークを有することを特徴とする。
【００１７】
このように、トリミング可能な抵抗パターンを有する抵抗体にそれぞれトリミングするための位置基準となるアライメントマークを設けることで、ＣＣＤカメラによる認識装置とガルバノメーターにつけたＸＹミラーやＸＹテーブルをレーザー光の移動手段とする通常のトリマーを用いて、トリミング用レーザー光の移動制御を高精度に行い、トリミングを正確に行うことができる。
【００１８】
また、位置基準となるアライメントマークとともに、抵抗パターンのトリミング可能な部分の近傍余白に、電気特性上影響のないレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークを設けることで、抵抗パターンの近傍余白のレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークを確認しつつトリミングを位置を制御することができるから、トリミングを正確に行うことができる。そして、この実際に行われたトリミングの結果を、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークのレーザー光の痕跡により、確認することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して説明する。
【００２０】
図１は、本発明の基本的な第１の実施の形態にかかる抵抗体１１の抵抗パターンなどの構成を示す図である。この抵抗体１１は、従来例におけると同様に、例えばアルミナからなる直径４〜６インチのウエハ上に、薄膜抵抗を用いて多数個（１００００個程度）が形成される。
【００２１】
抵抗体１１の抵抗パターンは、図１のように、レーザー光によりトリミング可能な材料で形成され、横方向の細線１２ａと縦方向の細線１２ｂとが格子状に組み合わされ、左右の両端に設けられている電極間の抵抗を構成する。個々の抵抗体１１にはそれぞれ抵抗パターンをトリミングするための位置基準となるアライメントマーク１３が設けられ、アライメントマーク１３が通常レーザー光の発振ポイントとなる。
【００２２】
また、横方向の細線１２ａと縦方向の細線１２ｂで形成される格子状の余白部に、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク１４が設けられる。
【００２３】
これら位置基準となるアライメントマーク１３、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク１４は、レーザー光が照射された場合にその痕跡を留めるような材料で形成される。具体的には、アライメントマーク１３、１４は抵抗パターンの材料と同一の材料で形成される。
【００２４】
さて、この抵抗体１１の格子状の抵抗パターンでは、横方向の細線１２ａの１本切断当たりの抵抗値変化が大きく、縦方向の細線１２ｂの１本切断当たりの抵抗値変化が小さいことから、両端電極間の抵抗値を調整するために、トリミングが次のように行われる。
【００２５】
まず、多数個の抵抗体の内のトリミングする特定の抵抗体１１を決定し、その抵抗体１１の位置基準となるアライメントマーク１３をレーザートリミング装置の認識カメラで認識させる。そして、レーザ光を発振させ、目的とする抵抗値になるように、この図１の例では、最初に所定の位置で縦方向に順次横方向の細線１２ａをトリミングして行く。そして、抵抗値が所定の値になったときに方向を変えて右方向にトリミングを行い、縦方向の細線１２ｂを順次トリミングしていき、目的の抵抗値となったところでトリミングを終了させる。
【００２６】
この場合に、縦方向のトリミングにおいては、横方向の細線１２ａ、レーザー通過確認マーク兼アライメントマーク１４、横方向の細線１２ａ、レーザー通過確認マーク兼アライメントマーク１４の順序でトリミングされて行くが、縦方向のトリミングの最終となるべき横方向の細線１２ａがトリミングされたときに、その次に位置するレーザー通過確認マーク兼アライメントマーク１４を認識し、その途中までトリミングする。
【００２７】
その後、方向を転じて横方向のトリミングとなるが、目的とする抵抗値になったことを測定値により確認し、最終的に縦方向の細線１２ｂをトリミングした後に、その次に位置するレーザー通過確認マーク兼アライメントマーク１４を認識し、その途中までトリミングして終了する。
【００２８】
ここで、横方向の細線１２ａと縦方向の細線１２ｂとで形成される格子、及びこの格子の中、すなわち近傍余白部に形成されるレーザー通過確認マーク兼アライメントマーク１４の寸法は、トリミングに用いられるレーザー光の幅寸法によって規制される。
【００２９】
格子の内寸法はレーザー光の幅よりも大きくなければ正確なトリミングができないこと、レーザー光が中心位置を通過していることを確認するためにはレーザー通過確認マーク兼アライメントマーク１４の幅はレーザー光の幅よりも大きい法が好ましいこと、などから、レーザー幅を１０μｍとすると、例えば、
格子の内寸法15μｍ＞アライメントマーク１４の幅≧レーザー光の幅10μｍ、のような関係に定められる。いずれにしても、所定の幅を持つレーザー光で、格子を所定の位置でトリミングでき、そのレーザー光の移動軌跡が把握できるような寸法関係に定められることになる。
【００３０】
このように、トリミング可能な抵抗パターンを有する抵抗体１１にそれぞれトリミングするための位置基準となるアライメントマーク１３を設けることで、ＣＣＤカメラによる認識装置とガルバノメーターにつけたＸＹミラーやＸＹテーブルをレーザー光の移動手段とする通常のトリマーを用いて、トリミング用レーザー光の移動制御を高精度に行い、トリミングを正確に行うことができる。
【００３１】
また、位置基準となるアライメントマーク１３とともに、抵抗パターンのトリミング可能な部分１２ａ、１２ｂの近傍余白に、電気特性上影響のないレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク１４を抵抗パターンと同じ材料で設けることで、トリミングの進行中にトリミング位置を確認しつつトリミング位置を制御することができるから、トリミングを正確に行うことができる。
【００３２】
そして、この実際に行われたトリミングの結果を、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク１４のレーザー光の痕跡により、確認することができるから、図中イ或いはロのように、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク１４の中央位置で正しくトリミングが終了していることが確認できる。
【００３３】
また、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク１４にレーザー光の痕跡がない場合とか、全部に痕跡がある場合とかの場合には、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク１４の中央位置で正しくトリミングが終了していないことが確認できる。なお、この場合には、オペレータなどが、所望状態からのズレ量を確認した上で、レーザートリミング装置を再調整し、次のトリミング作業がが行われることになる。
【００３４】
図２は、本発明の第２の実施の形態にかかる抵抗体２１の抵抗パターンを含めて全体構成を示す図である。この抵抗体２１も、従来例におけると同様に、例えばアルミナからなる直径４〜６インチのウエハ上に、薄膜抵抗を用いて多数個（１００００個程度）が形成される。
【００３５】
抵抗体２１の抵抗パターンは、基板上に、左側の電極下の平面部分２７−１，第１のジグザグ状回路部Ｌ２、第２のジグザグ状回路部Ｌ３、格子状回路部Ｌ１、第３のジグザグ状回路部Ｌ４、および右側の電極下の平面部分２７−２から形成されている。電極下の部分２７−１，２７−２には、電極２８−１，２８−２及びバンプ２９−１〜２９−４が形成され、チップ状部品とされる。
【００３６】
この抵抗体２１には、第１の実施形態と同様に、抵抗パターンをトリミングするための位置基準となるアライメントマーク２３が設けられ、またトリミングされる、横方向の細線２２ａと縦方向の細線２２ｂで形成される格子状の余白部などに、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク２４が設けられる。
【００３７】
また、ジグザグ状回路部Ｌ２、Ｌ３、及びＬ４は、それぞれジグザグ状部分Ｌ２−１，Ｌ３−１及びＬ４−１と、この各ジグザグ状部分を短絡するように設けられ、トリミングにより開放される短絡開放調整部分Ｌ２−２，Ｌ３−２，及びＬ４−２とから構成されている。
【００３８】
これら位置基準となるアライメントマーク２３、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク２４は、図１の実施形態におけると同様である。
【００３９】
この抵抗体２１は、全体として任意の抵抗値に調整できるように、各ジグザグ状回路部Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４毎に、さらに格子状回路部Ｌ１の縦方向、横方向毎に抵抗値の調整ステップが、異なって定められている。
【００４０】
例えば、ジグザグ状回路部Ｌ４は短絡開放調整部分Ｌ４−２の１本切断当たりの抵抗値変化が２０％、ジグザグ状回路部Ｌ３は短絡開放調整部分Ｌ３−２の１本切断当たりの抵抗値変化が１５％、ジグザグ状回路部Ｌ２は短絡開放調整部分Ｌ２−２の１本切断当たりの抵抗値変化が１０％のように、また格子状回路部Ｌ１は横方向の細線２２ａの１本切断当たりの抵抗値が０．５％、縦方向の細線２２ｂの１本切断当たりの抵抗値変化が０．２％などというように、抵抗値の調整ステップが異なって定められている。
【００４１】
また、位置基準となるアライメントマーク２３の位置から発振させてトリミングしていくのでなく、格子状回路部Ｌ１の特定の位置の細線２２ａ、２２ｂをトリミングすることで、さらに細かく抵抗値を調整することができるようになる。
【００４２】
この図２の実施形態では、トリミングについて３通りの例を示している。まず、格子状回路部Ｌ１においては、トリミング軌跡Ｔ１で示すように、位置基準となるアライメントマーク２３を発振ポイントとして縦方向に、横方向の細線２２ａ、レーザー通過確認マーク兼アライメントマーク２４を所定数トリミングし、次に横方向に、縦方向の細線２２ｂ、レーザー通過確認マーク兼アライメントマーク２４を所定数トリミングし、次に縦方向に、レーザー通過確認マーク兼アライメントマーク２４、横方向の細線２２ａを所定数トリミングして、他のアライメントマーク２３に戻る、全体としてＵ字状のトリミングを行っている。このトリミングでは、格子状回路部Ｌ１を発振ポイントとなるアライメントマーク２３からスタートして、格子状回路をトリミングし、他のアライメントマーク２３までのトリミングが正確に行える。またトリミングの確認が、レーザー通過確認マーク兼アライメントマーク２４、抵抗パターンにおけるレーザー光の軌跡として、認識できる。
【００４３】
次に、同じく格子状回路部Ｌ１において、トリミング軌跡Ｔ２で示すように、位置基準となるアライメントマーク２３を基点として、レーザー光を発振させずに所定量移動し、予め定めたレーザー通過確認マーク兼アライメントマーク２４を認識した時点でレーザの発振を開始する。  そして、縦方向に、横方向の細線２２ａ、レーザー通過確認マーク兼アライメントマーク２４を所定数トリミングし、最後となるレーザー通過確認マーク兼アライメントマーク２４の中央部で停止する、全体としてＩ字状のトリミングを行っている。このトリミングでは、格子状回路部Ｌ１を位置基準となるアライメントマーク２３からスタートして、レーザー光の発振は格子回路部の途中から行わせることで、発振ポイントであるアライメントマーク２３からでなく、任意の格子の途中からでも切り始めることができる。したがって、抵抗値を精度良く、自由な抵抗値調整を行うことができる。
【００４４】
次に、ジグザク状回路部Ｌ３において、トリミング軌跡Ｔ３で示すように、短絡開放調整部分Ｌ３−２をトリミングすることでその抵抗値を調整する。位置基準となるアライメントマーク２３を発振ポイントとして横方向に、短絡開放調整部分Ｌ３−２の細線、レーザー通過確認マーク兼アライメントマーク２４を順次トリミングし、他のアライメントマーク２３に至る。この短絡開放調整部分Ｌ３−２のトリミングでジグザク状回路部Ｌ３の抵抗値は調整される。勿論、短絡開放調整部分Ｌ３−２の全部でなく、その一部分だけトリミングすることも、可能である。また、そのトリミングの調整、確認などは図１の実施形態におけると同様に行うことができる。他のジグザグ状回路部Ｌ２，Ｌ４においても同様にトリミングを行うことができる。
【００４５】
図３は、本発明の第３の実施の形態にかかる抵抗体３１の抵抗パターンを含めて全体構成を示す図である。この抵抗体３１も、従来例におけると同様に、例えばアルミナからなる直径４〜６インチのウエハ上に、薄膜抵抗を用いて多数個（１００００個程度）が形成される。
【００４６】
抵抗体３１の抵抗パターンは、基板上に、左側の電極下の平面部分３７−１，第１のジグザグ状回路部Ｌ２、格子状回路部Ｌ１、第２のジグザグ状回路部Ｌ３、および右側の電極下の平面部分３７−２から形成されている。電極下の部分３７−１，３７−２には、電極３８−１，３８−２などが形成され、チップ状部品とされる。
【００４７】
この抵抗体３１には、第１の実施形態と同様に、抵抗パターンをトリミングするための位置基準となるアライメントマーク３３が設けられ、またトリミングされる、横方向の細線３２ａと縦方向の細線３２ｂで形成される格子状の余白部などに、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク３４が設けられる。
【００４８】
また、ジグザグ状回路部Ｌ２、及びＬ３は、それぞれジグザグ状部分と、この各ジグザグ状部分を短絡するように設けられ、トリミングにより開放される短絡開放調整部分とから構成されている。
【００４９】
この抵抗体３１においても、全体として任意の抵抗値に調整できるように、各ジグザグ状回路部Ｌ２，Ｌ３毎に、さらに格子状回路部Ｌ１の縦方向、横方向毎に抵抗値の調整ステップが、異なって定められている。
【００５０】
ジグザグ状回路部Ｌ２は上側にのみ短絡開放調整部分を有しており、ジグザグ状回路部Ｌ３は上側及び下側の双方に短絡開放調整部分を有している。この構成により、例えば、ジグザグ状回路部Ｌ２は短絡開放調整部分の１本切断当たりの抵抗値変化が２０％、ジグザグ状回路部Ｌ３は短絡開放調整部分の１本切断当たりの抵抗値変化が１０％のように、また格子状回路部Ｌ１は横方向の細線３２ａの１本切断当たりの抵抗値が１％、縦方向の細線３２ｂの１本切断当たりの抵抗値変化が０．２％などというように、抵抗値の調整ステップが異なって定められている。
【００５１】
また、位置基準となるアライメントマーク３３の位置から発振させてトリミングしていくのでなく、格子状回路部Ｌ１の特定の位置の横方向の細線３２ａをトリミングすることで、横方向の細線３２ａの１本切断当たりの抵抗値が０．０１％と言うように、さらに細かく抵抗値を調整することができるようになる。
【００５２】
これら位置基準となるアライメントマーク３３、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク３４の材料とか寸法などは、図１、図２の実施形態におけると同様である。しかし、この実施の形態では、位置基準となるアライメントマーク３３は、ダイサー代に設けられている。図３でダイサー代は図中に破線で縦、及び横に示している外側の部分である。
【００５３】
この図３の第３の実施形態においても、トリミングについて手法は図１に示した第１の実施の形態、及び図２に示した第２の実施の形態において、示したのと同様に行うことができる。ただ、簡単のためにその説明は省略する。
【００５４】
第３の実施形態では、抵抗体３１のトリミングが終了した後にダイサー代が切り落とされるが、その際にダイサー代部分に設けられている位置基準となるアライメントマーク３３も必然的に同時に削られることになる。
【００５５】
しかし、ダイサー代が切り落とされる時点では、抵抗体としての抵抗値の調整、すなわちトリミング作業は終了しているので、位置基準となるアライメントマーク３３が無くとも何ら支障はない。
【００５６】
むしろ、完成された抵抗器として不要な部分を削除することで、抵抗器のチップサイズを小さくすることができ、例えば第３の実施形態における抵抗器のチップサイズは０．６mm×０．３mmの小さい寸法にすることができる。
【００５７】
以上に説明した本願発明の各実施の形態において、抵抗パターンをトリミングして所定の抵抗値に調整された各抵抗体は、各抵抗体毎に切断分離され、チップ抵抗器とされる。
【００５８】
したがって、本願発明の抵抗器は、基板上に形成されており、抵抗パターンはトリミングされている部分とトリミング可能であるがトリミングされていない部分を有し、この抵抗パターンのトリミングされた部分またはトリミング可能であるがトリミングされていないな部分の近傍余白に配置されレーザー通過を確認できる確認マークを兼ねるアライメントマークを有している。
【００５９】
この抵抗器におけるレーザー通過を確認できる確認マークを兼ねるアライメントマークは、抵抗パターンと同一材料などで形成されるが、抵抗パターンとは電気的に絶縁されており、抵抗器としての特性に格別寄与するものではないが、不都合を生じるものでもない。このレーザー通過を確認できる確認マークを兼ねるアライメントマークの存在が、抵抗器としての特徴を呈することになる。
【００６０】
【発明の効果】
本発明では、トリミング可能な抵抗パターンを有する抵抗体にそれぞれトリミングするための位置基準となるアライメントマークを設けることで、ＣＣＤカメラによる認識装置とガルバノメーターにつけたＸＹミラーやＸＹテーブルをレーザー光の移動手段とする通常のトリマーを用いて、トリミング用レーザー光の移動制御を高精度に行い、トリミングを正確に行うことができる。
【００６１】
また、位置基準となるアライメントマークとともに、抵抗パターンのトリミング可能な部分の近傍余白に、電気特性上影響のないレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークを設けることで、抵抗パターンの近傍余白のレーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークを確認しつつトリミングを位置を制御することができるから、トリミングを正確に行うことができる。そして、この実際に行われたトリミングの結果を、レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマークのレーザー光の痕跡により、確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の態様に係る抵抗体の構成を示す図。
【図２】本発明の第２の実施の態様に係る抵抗体の構成を示す図。
【図３】本発明の第３の実施の態様に係る抵抗体の構成を示す図。
【図４】従来の全体構成を示す図。
【図５】従来の抵抗体の構成を示す図。
【符号の説明】
１１、２１，３１  抵抗体
１２ａ、２２ａ、３２ａ  格子状回路部の横方向細線
１２ｂ、２２ｂ、３２ｂ  格子状回路部の縦方向細線
１３、２３，３３  位置基準となるアライメントマーク
１４、２４，３４  レーザー通過確認マークを兼ねるアライメントマーク
【図１】
0003848040.tif 000002
【図２】
0003848040.tif 000003
【図３】
0003848040.tif 000004
【図４】
0003848040.tif 000005
【図５】
0003848040.tif 000006