(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体と、前記振動体に接触する接触体とを有し、前記振動体に励起される駆動振動により、前記振動体と前記接触体とを相対移動させる振動波モータにおいて、
前記接触体は、接触体本体と、前記接触体本体に嵌合固定されるバネ体とを有し、前記バネ体は、軸方向にバネ性を有して径方向に延びる第１のバネ部と、前記第１のバネ部から軸方向に延びて径方向にバネ性を有し、前記振動体と接触する第２のバネ部と、前記接触体本体に嵌合するように前記第１のバネ部より軸方向に延び径方向にバネ性を有する第３のバネ部と、前記第３のバネ部より径方向に延びて前記接触体本体の軸方向位置規制部に当接する当接部により構成されており、
前記第２のバネ部の厚みが前記第１のバネ部の厚みよりも薄く、かつ、前記第３のバネ部の厚みが前記第１のバネ部の厚みと同厚または薄いことを特徴とする振動波モータ。
【請求項２】
請求項１において、前記振動体は前記接触体との接触部に耐摩耗材を有することを特徴とする振動波モータ。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記振動体は円環状に形成され、前記接触体は円環形状に形成されていることを特徴とする振動波モータ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一つにおいて、前記振動体は、電気−機械エネルギー変換素子に位相の異なる複数の交番信号を印加することにより、複数の屈曲モードの振動を形成し、これらの屈曲モードの振動の合成で駆動振動を励起することを特徴とする振動波モータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動波モータに係り、振動波モータを構成する接触体の接触バネ部の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
振動波モータは、振動エネルギーの発生体としての円環型、円板型或は棒状の振動体と、この振動体に加圧接触する接触体とを基本的な構成として有し、例えば前記振動体を構成する圧電素子に交番信号を印加して、前記振動体に位相の異なる２つの曲げ振動を発生させ、その合成により前記振動体に進行波を形成させる。そして、この進行波により振動体に加圧接触する接触体と、該振動体とが摩擦駆動し、両者が相対移動するようになっている。このような振動波モータ、例えば円環型あるいは棒状タイプのものは例えばレンズ鏡筒内に設けられ、フォーカスレンズ等を駆動するのに用いられる。
【０００３】
図１０は棒状タイプの従来の振動波モータの縦断面図を示し、振動体１は金属等からなる弾性体９および１０と、弾性体９および１０の間に挟圧保持された圧電素子群１１とで構成されている。弾性体９はモータの骨格部材となるボルト状の支持棒５の大径のネジ部５ａに螺着され、弾性体１０は支持棒５の大径の頭部５ｂに押されることにより、弾性体９との間に圧電素子群１１を挟圧保持している。
【０００４】
２は弾性体９の先端面に対向して配置された接触体としてのロータであり、ロータ２は弾性体９と対向する一端部側にロータ接触バネ部２ａが形成されている。すなわち、弾性体９に形成される振動波によりロータ２は軸方向に対する変位を受けることになり、その際、弾性体９に対するロータ２の接触部が硬いとロータ２が大きく跳ねて出力を取り出すことができず、一方該接触部が柔らか過ぎると弾性体９の駆動振動に対して追従できない。そこで、ロータ２が弾性体９に対して適度な弾性を有して接触し、駆動振動に対する良好な追従性を得るために、接触バネ部２ａを設けている。
【０００５】
接触バネ部２ａの拡大図を図１１に示す。
【０００６】
接触バネ部２ａは、図１１の拡大図に示すように、ロータ２の本体の外周部から軸方向に延び、主に径方向にたわみ得る薄肉に形成されたバネ基部２ｂと、バネ基部２ｂの先端部から径方向内側に延びて内向きフランジ形状に形成されていて、軸方向にたわみ得る薄肉に形成されたフランジ部２ｃと、フランジ部２ｃの先端部に形成され、軸方向に突出する接触突起部２ｄとにより構成され、接触突起部２ｄが弾性体９の端面にリング状に凸設された凸部９ｂに接触するようになっている。
【０００７】
ロータ２には、出力ギヤ４が嵌着固定されており、ギヤ４はベアリング３の外輪に嵌着されている。ベアリング３の内輪は、モータ取付用のフランジ６に嵌着固定され、フランジ６は支持棒５の先端部近傍の軸部５ｃに嵌着固定されている。ロータ２の内周部には、バネ受け７が嵌着固定され、バネ受け７の振動子側先端と出力ギヤ４の端部との間にはロータ２の接触バネ部２ａを振動体１の弾性体９の先端面に圧接させるための加圧バネ８が配置されている。
【０００８】
図１２は振動体１を構成する圧電素子群１１の配置と分極パターン等を示し、圧電素子群１１は、９０度の位置的位相差を有するＡ相圧電素子１１ａおよび１１ｂとＢ相圧電素子１１ｃおよび１１ｄと、振動検出用のＳ相圧電素子１１ｅとにより構成されている。各圧電素子１１ａ〜１１ｅは中心線を境に左右反転して分極されており、各圧電素子１１ａ〜１１ｅの間には不図示の電極板が挿入されている。
【０００９】
この構成の振動波モータは、Ａ相圧電素子だけに交番信号としての交流電圧を印加すると、圧電素子の厚み方向の伸縮により、振動体１には図１０において紙面に水平な方向の１次曲げ振動が励起される。また、Ｂ相圧電素子に交番信号としての交流電圧を印加すると、紙面に垂直な方向のへ振動する。Ａ相圧電素子によって励起される水平方向の振動と、Ｂ相圧電素子によって励起される垂直方向振動を時間的に９０度の位相差を有して加えると、振動体１には長手軸方向に対して右又は左回りの円運動が発生する。弾性体９は変位拡大のための周溝９ａを有するため、弾性体９の先端には、図１０の矢印で示すような首振運動が生ずる。そしてこの振動は、振動体１の上面である接触面から見ると、１波の進行波に相当する。
【００１０】
この振動子に上記したロータ２を加圧接触させると、ロータ２は波頭付近の１か所のみで弾性体９と接触し、逆方向に回転する。出力はロータ２とベアリング３の外輪に嵌着されたギヤ４により取り出される。
【００１１】
また、棒状タイプの振動波モータでは、支持棒５の先端に取り付けられたフランジ６も一体の系として、振動子の固有モードをフランジ６の振動振幅が非常に小さくなるように設定している。さらに、ロータ２の本体（本環）部分は慣性質量が十分大きく、振動体１の加振によって振動が励起されないように設定されている。
【００１２】
また、ロータ２の接触バネ部２ａは、固有振動数が振動体１の駆動周波数よりも十分に高く、振動に追従できるようになっている。
【００１３】
なお、振動体１の弾性体９は、表面にＮｉ−Ｐメッキ、あるいはＮｉ−Ｐ−ＳｉＣメッキを施したり、焼き入れしたステンレス綱で形成したりして、耐摩耗性の向上を図り、一方ロータ２もアルミにアルマイト処理を施したものを用いて耐摩耗性の向上を図るようにしている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上記の振動波モータにおいて、ロータ２の接触バネ部２ａの固有振動数は、振動体１の駆動振動によって共振しないように、振動体１の駆動周波数よりも十分高い値に設定されている。
【００１５】
一方、図１１に示すように、ロータ２と弾性体９との接触部は、弾性体９の凸部９ｂの平坦な上面に、ロータ２の接触突起部２ｄが当接しており、凸部９ｂの上面の幅は接触突起部２ｄの先端部の幅よりも小さくなっている。これは、ロータ２をアルマイトで表面処理する場合、接触突起部２ｄのエッジに対するアルマイトの付きが良くないことから、接触突起部２ｄの先端部の幅を広くし、接触突起部２ｄのエッジが弾性体９の凸部９ｂに当接しないようにしている。
【００１６】
このため、接触突起部２ｄが大きくなり、接触バネ部２ａの固有振動数がやや低くなることがあった。
【００１７】
そこで、これを改善するために、図１１に示すように、接触突起部２ｄは、内周面２ｄ−１をテーパ形状とし、接触突起部２ｄの重量を減じて接触バネ部２ａの固有振動数を高めるようにしていた。
【００１８】
しかしながら、ロータ２を図１１に示すような形状に形成することは、加工の複雑化を招き、コストアップの要因ともなるものであった。
【００１９】
本出願に係る発明の目的は、良好な追従性を保持しつつ接触体の接触バネ部の固有振動数を簡単かつ確実に高めることができ、低コスト化を図ることができる振動波モータを提供しようとするものである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本出願に係る発明の第１の構成は、振動体と、前記振動体に接触する接触体とを有し、前記振動体に励起される駆動振動により、前記振動体と前記接触体とを相対移動させる振動波モータにおいて、前記接触体は、接触体本体と、前記接触体本体に嵌合固定されるバネ体とを有し、前記バネ体は、軸方向にバネ性を有して径方向に延びる第１のバネ部と、前記第１のバネ部から軸方向に延びて径方向にバネ性を有し、前記振動体と接触する第２のバネ部と、前記接触体本体に嵌合するように前記第１のバネ部より軸方向に延び径方向にバネ性を有する第３のバネ部と、前記第３のバネ部より径方向に延びて前記接触体本体の軸方向位置規制部に当接する当接部により構成されており、前記第２のバネ部の厚みを前記第１のバネ部の厚みより薄くし、かつ前記第３のバネ部の厚みを前記第１のバネ部の厚みと同厚または薄くしたものである。
【００２５】
上記した前記振動体は、円環状に形成され、前記接触体は円環形状に形成されたものとすることができる。
【００２６】
上記した前記振動体は、前記接触体との接触部に耐摩耗材を設けたものとすることができる。
【００２７】
上記した前記振動体は、電気−機械エネルギー変換素子に位相の異なる複数の交番信号を印加することにより、複数の屈曲モードの振動を形成し、これらの屈曲モードの振動の合成で駆動振動を励起する形式とするものである。
【００２８】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
図１および図２は本発明の第１の実施の形態を示す。
【００２９】
本実施の形態において、振動体１の構成は、図１０に示す従来例と基本的には同構成で、同じ部材には同じ符号を付しその説明は省略するが、図１０に示す従来例の振動体と異なる点は、弾性体９とロータとの接触面にアルミにアルマイト処理したリング９ｃを設けて耐摩耗性の向上を図るようにしている。この場合、接触する相手側のロータに対しては、例えばＮｉ−Ｐメッキ、或はＮｉ−Ｐ−ＳｉＣメッキを施したり、ステンレス鋼（場合によっては熱処理したもの）で形成することができる。
【００３０】
一方、ロータ２１は、図２に示すように、環状のロータ本体（以下本環と称す）２２と、リングバネ２３との２部材により構成され、リングバネ２３と本環２２とを接着あるいは溶接等で接合している。
【００３１】
本環２２には、径方向にバネ性を有し、軸方向に延びる基部２２ｂが外周部に一体に形成されている。また、リングバネ２３は、基部２２ｂの外径と同径の軸方向にバネ性を有する円環状のバネ部（以下フランジ部）２３ｃと、このフランジ部２３ｃの内周部から一体的に形成されて軸方向に延びる接触突起部２３ｄとにより形成されている。そして、リングバネ２３のフランジ部２３ｃが本環２２の基部２２ｂの先端に接着あるいは溶接等で接合され、このリングバネ２３と基部２２ｂとにより接触バネ部２１ａを構成し、接触突起部２３ｄが振動体１の弾性体９に設けたリング９ｃに当接するようにしている。
【００３２】
ここで、リングバネ２３に着目すると、フランジ部２３ｃの板厚をｔ、接触突起部２３ｄの板厚をＷとすると、ｔ＞Ｗの関係に設定している。
【００３３】
そして、リングバネ２３のフランジ部２３ｃの板厚ｔと、接触突起部２３ｄの板厚Ｗとを、ｔ＞Ｗの関係に設定することで、すなわち接触突起部２３ｄのマスを小さくでき、しかも板厚ｔのフランジ部２３ｃの静剛性を変えずに、従来のようにテーパー面を設けることなく接触バネ部２１ａの固有振動数をモータの駆動周波数よりも十分高くすることができた。
【００３４】
その際、本実施の形態の接触突起部２３ｄの板厚は小さいが従来のようにアルマイト処理を不用とし、弾性体９側のアルマイト処理されたリング９ｃに加圧接触するため、十分な耐摩耗性が得られることになる。
【００３５】
一方、リングバネ２３は本環２２に対して別部品であるため、このような板厚Ｗ，ｔの異なる部分をプレス成形により成形することができる。また、本環２２も焼結やダイカスト等で成形することができ、大幅なコストダウンを図ることができる。
【００３６】
このプレス成形法を図７に基づいて以下に説明する。
【００３７】
図７において、接触バネ２３の最終製品となる前の加工品２３’は、例えば板厚がｔのものが使用され、プレス型Ｄの所定位置に載置される。この加工品２３’は接触突起部２３ｄとなる部分がプレス型Ｄの型穴に臨み、ポンチＰを▲１▼の状態から▲２▼の状態に押し込むことによって、接触突起部２３ｄに相当する部分２３ｄ’が絞り込み成形される。ここで、普通の絞り込み成形においては、フランジ部２３ｃに相当する部分２３ｃ’の板厚ｔと、接触突起部２３ｄに相当する部分２３ｄ’との板厚Ｗとは、ｔ＝Ｗとなるが、本実施の形態では、ポンチＰの直径Ａを大きくし、Ｗ＜ｔとなるようにしごき絞り成形を行っている。なお、このしごき絞り成形は、一回で完了させず、複数回に分けて少しづつしごけば、板材の割れを防止することができる。
【００３８】
（第２の実施の形態）
図３は第２の実施の形態を示す。
【００３９】
本実施の形態は、図１に示す第１の実施の形態における振動体１等の全体的な構成が略同様で、第１の実施の形態と異なるロータの接触バネ部の構造を図３に示す。
【００４０】
本実施の形態におけるロータ２４は、第１の実施の形態のロータ２１と同様に、本環２５と、リングバネ２６との２部材により構成され、リングバネ２６と本環２５とを接着あるいは溶接等で接合している。
【００４１】
本環２５には、軸方向に延びる基部２５ｂが外周部に一体に形成されている。この基部２５ｂは、延出距離ｄ２が非常に短く（０．２ｍ程度）、このため第１の実施の形態のように径方向におけるバネ性は殆どなく、略剛性を有するものとみなすことができる。
【００４２】
また、リングバネ２６は、基部２５ｂの外径と同径の軸方向にバネ性を有する円環状のバネ部（以下フランジ部）２６ｃと、このフランジ部２６ｃの内周部から一体的に形成されて軸方向に延びる接触突起部２６ｄとにより形成されている。そして、リングバネ２６のフランジ部２６ｃが本環２５の基部２５ｂの先端に接着あるいは溶接等で接合され、このリングバネ２６と基部２５ｂとにより接触バネ部２４ａを構成し、接触突起部２６ｄが振動体１の弾性体９に設けたリング９ｃに当接するようにしている。
【００４３】
ここで、リングバネ２６に着目すると、フランジ部２６ｃの板厚をｔ、接触突起部２６ｄの板厚をＷとすると、ｔ＞Ｗの関係に設定している。
【００４４】
そして、リングバネ２６のフランジ部２６ｃの板厚ｔと、接触突起部２６ｄの板厚Ｗとを、ｔ＞Ｗの関係に設定することで、すなわち接触突起部２６ｄのマスを小さくでき、しかも板厚ｔのフランジ部２６ｃの静剛性を変えずに、従来のようにテーパー面を設けることなく接触バネ部２４ａの固有振動数をモータの駆動周波数よりも十分高くすることができた。
【００４５】
その際、本実施の形態の接触突起部２６ｄの板厚は小さいが従来のようにアルマイト処理を不用とし、弾性体９側のアルマイト処理されたリング９ｃに加圧接触するため、十分な耐摩耗性が得られることになる。
【００４６】
本実施の形態では特に、基部２５ｂは第１の実施の形態とは異なり略剛性を有しているため、接触バネ部２４ａの径方向の剛性が高くなるが、接触突起部２６ｄの幅（板厚Ｗ）が小さい（Ｗ＜ｔ）ので、接触突起部２６ｄに径方向における十分なバネ性を持たせることができる。なお、本実施の形態では、接触突起部２６ｄの板厚Ｗを０．０５ｍｍ程度、フランジ部２６ｃの板厚ｔを０．０８ｍｍ〜０．１ｍｍ、接触径を直径９ｍｍ程度としている。
【００４７】
本実施の形態では、ロータにおけるバネ性は、リングバネ２６のみで設定することができるので、ロータの製造が容易となった。
【００４８】
（第３の実施の形態）
図４は第３の実施の形態を示す。
【００４９】
本実施の形態は、図１に示す第１の実施の形態における振動体１等の全体的な構成が略同様で、第１の実施の形態と異なるロータの接触バネ部の構造を図４に示す。
【００５０】
本実施の形態におけるロータ２７は、ロータ本環２８と、接触バネ部を備えたリング状バネ体２９との２部材により構成され、リング状バネ体２９の基部２９ｂの内周部に本環２８を嵌合方式により接合するようにしている。
【００５１】
本実施の形態において、リング状バネ体２９は、径方向にバネ性を有し、軸方向に延びる筒状の基部２９ｂと、基部２９ｂに連接され軸方向にバネ性を有する円環状のフランジ部２９ｃと、このフランジ部２９ｃの内周部から一体的に形成されて軸方向に延びる接触突起部２９ｄとにより形成されている。
【００５２】
ここで、リング状バネ体２９に着目すると、フランジ部２９ｃの板厚をｔ、接触突起部２９ｄの板厚をＷとすると、ｔ＞Ｗの関係に設定している。
【００５３】
そして、リング状バネ体２９のフランジ部２９ｃの板厚ｔと、接触突起部２９ｄの板厚Ｗとを、ｔ＞Ｗの関係に設定することで、すなわち接触突起部２９ｄのマスを小さくでき、しかも板厚ｔのフランジ部２９ｃの静剛性を変えずに、従来のようにテーパー面を設けることなく接触バネ部２７ａの固有振動数をモータの駆動周波数よりも十分高くすることができた。
【００５４】
その際、本実施の形態の接触突起部２９ｄの板厚は小さいが従来のようにアルマイト処理を不用とし、弾性体９側のアルマイト処理されたリング９ｃに加圧接触するため、十分な耐摩耗性が得られることになる。
【００５５】
一方、リング状バネ体２９は本環２８に対して別部品であるため、このような板厚Ｗ，ｔの異なる部分を上記の実施の形態と同様にプレス成形により成形することができる。また、本環２８も焼結やダイカスト等で成形することができ、大幅なコストダウンを図ることができる。
【００５６】
本実施の形態では、リング状バネ体２９のフランジ部２９ｃが本環２８の外周部に嵌合して接合されているため、接合強度が増す。また、リング状バネ体２９は、基部２９ｂ，フランジ部２９ｃおよび接触突起部２９ｄを含んだ接触バネ部の要素を備えているため、ロータのバネ性に対する設計の自由度も増す。
【００５７】
（第４の実施の形態）
図５は第４の実施の形態を示す。
【００５８】
本実施の形態は図４に示す第３の実施の形態の改良であり、図４のリング状バネ体２９の成形の容易性を図るようにしたものである。
【００５９】
図４に示すリング状バネ体２９の基部２９ｂの厚さをＷ１とし、Ｗ１＞ｔとすると、基部２９ｂの板厚Ｗ１から中間の板厚となるフランジ部２９ｃの板厚ｔにつぶす工程が必要となり、プレス作業がしずらい。
【００６０】
そこで、本実施の形態では、本環３１に対して嵌合方式で接合されるリング状バネ体３２の基部３２ｂの板厚Ｗ１と、フランジ部３２ｃの板厚ｔと、接触突起部３２ｄの板厚Ｗとが、Ｗ＜ｔ≧Ｗ１  のような関係となるようにした。すなわち、軸方向に延びる基部３２ｂおよび接触突起部３２ｄの板厚は、前述のようなしごき絞りで調節し易いが、径方向に延びるフランジ部３２ｃの板厚の調節は上記のしごき絞りを行うプレス機で行うのが難しい。そのため板厚ｔの板材を用意し、この板厚ｔを基準として薄くあるいは同じ厚さにすることは容易であることから、上記のような関係としている。
【００６１】
また、プレス成形等の点から、リング状バネ体３２は、図６に示すように、受け部３２ｅを設けることが実用的である。
【００６２】
この図６に示すリング状バネ体３２の成形方法を図８に基づいて説明する。
【００６３】
図８において、リング状バネ体３２の最終製品となる前の加工品３２’は、板厚がｔのものが使用され、プレス型Ｄ１の所定位置に載置される。この加工品３２’は接触突起部３２ｄとなる部分３２’がプレス型の移動型Ｄ２に臨み、ポンチＰを不図示の上部位置から▲１▼の状態に押し込むことによって、接触突起部３２ｄに相当する部分３２ｄ’が絞り込み成形される。さらに、ポンチＰを▲１▼の状態から▲２▼の状態へ押し込むことによって、基部３２ｂの相当する部分３２ｂ’が絞り込み成形される。その際、ポンチＰの先端部の小径部Ｐ１の外径と上記の移動型Ｄ２の内径を所定の寸法に設定することで、Ｗ＜ｔの関係を満足したプレス成形ができ、またポンチＰの外径Ａとプレス型Ｄ１の内径を所定の寸法に設定することで、ｔ≧Ｗ１の関係を満足したプレス成形が可能となる。
【００６４】
また、この一連のプレス成形後に、板材３２’を受け部３２ｅに相当する部分３２ｅ’を残して切断すると、基部３２ｂの長さを一定とする最終加工成形品が得られ、本環３１にリング状バネ体３２を嵌合する際、受け部３２ｅを本環３１の段部に当接するまで押し込むだけで、本環３１に対してリング状バネ体３２を高精度に位置決めして接合することができる。
【００６５】
なお、板厚Ｗ＝０．０４ｍｍ〜０．０８ｍｍ、板厚ｔ＝０．０８ｍｍ〜０．１ｍｍ、板厚Ｗ１＝０．０７ｍｍ〜０．０９ｍｍとし、また接触直径を９ｍｍ程度とした。
【００６６】
勿論、本実施の形態の場合でも、上記した第１の実施の形態と同様に、しごき絞り成形は、一回で完了させず、複数回に分けて少しづつしごくことが板材の割れを防止することにつながる。
【００６７】
（第５の実施の形態）
図９は第５の実施の形態を示す。
【００６８】
上記した第１〜第４の実施の形態における振動波モータは棒状タイプのものとしたが、本実施の形態は円環型の振動波モータとするものである。
【００６９】
図９の（ａ）、（ｂ）において、４２は振動変位を拡大するための径方向に延びるスリットを円周方向に多数形成したリング状弾性体４０の下面に圧電素子４１を接合したリング状振動体である。４３はリング状のロータで、リング状のロータ本体４４の基部４４ａに、接触バネ部４５が接着剤等で接合されている。
【００７０】
接触バネ部４５は、軸方向にバネ性を有し、径方向に延びる板厚ｔのフランジ部４５ｃと、径方向にバネ性を有し、軸方向に延び、フランジ部の内周端部に連接された板厚Ｗの接触突起部４５ｄとにより形成されている。本実施の形態の場合も上記の各実施の形態と同様に、ｔ＞Ｗの関係に設定され、基部４４ａ，フランジ部４５ｃおよび接触突起部４５ｄで構成される接触バネ部における固有振動を、振動体４２の駆動周波数よりも十分高い値にしている。
【００７１】
なお、接触バネ部４５は、アルミにアルマイト処理を施してもよいが、焼き入れしたステンレス鋼を用いれば、耐久性を向上させることができる。
【００７２】
【発明の効果】
請求項１に係る発明によれば、接触体本体と、バネ体の２部材で接触体を構成することで、接触体に複雑な形状が要求されるバネ構造を形成する必要がなくなり、振動体に励起される駆動振動の周波数よりも十分高い固有振動数にバネ体を設定することができ、簡単な構造で歩留の良い接触体を製造することができ、駆動効率の良い振動波モータを廉価に提供することができる。
【００７５】
また、請求項１に係る発明によれば、当接部が接触体本体の軸方向位置規制部に当接するまで嵌合させることにより、接触体本体に対するバネ体の位置決めが行え、接触体本体とバネ体との組付け作業性が良好となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す振動波モータの縦断面図
【図２】図１のロータの一部拡大断面図
【図３】第２の実施の形態における振動波モータのロータの一部拡大断面図
【図４】第３の実施の形態における振動波モータのロータの一部拡大断面図
【図５】第４の実施の形態における振動波モータのロータの一部拡大断面図
【図６】図５のロータの変形例を示す一部拡大断面図
【図７】第１の実施の形態の接触バネの成形法を示す図
【図８】図６のロータのリング状バネ体の成形方法を示す図
【図９】第５の実施の形態を示し、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は接触バネ部の拡大断面図
【図１０】従来の棒状タイプの振動波モータの縦断面図
【図１１】図１０の接触バネ部の拡大断面図
【図１２】図１０の圧電素子群の分解斜視図
【符号の説明】
１  振動体
２、２１  ロータ
３  ベアリング
４  出力ギヤ
５  支持棒
６  フランジ
７  バネ受け
８    加圧バネ
９，１０  弾性体
９ｃ  リング
１１  圧電素子群
２１ａ  接触バネ部
２２、２５、２８、３１  ロータ本体（本環）
２２ｂ、２５ｂ、２９ｂ、３２ｂ  基部
２３、２６  リングバネ
２３ｃ、２６ｃ、２９ｃ、３２ｃ  フランジ部
２３ｄ、２６ｄ、２９ｄ、３２ｄ  接触突起部
２９、３２  リング状バネ体
３２ｅ  受け部
【図１】
0003825886.tif 000002
【図２】
0003825886.tif 000003
【図３】
0003825886.tif 000004
【図４】
0003825886.tif 000005
【図５】
0003825886.tif 000006
【図６】
0003825886.tif 000007
【図７】
0003825886.tif 000008
【図８】
0003825886.tif 000009
【図９】
0003825886.tif 000010
【図１０】
0003825886.tif 000011
【図１１】
0003825886.tif 000012
【図１２】
0003825886.tif 000013