(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する情報記録媒体から流体軸受力を受けて浮上力を得る主スライダと、
前記情報記録媒体と接触可能な接触端を有し、前記情報記録媒体面に垂直方向に変位可能となるように前記主スライダに弾性支持される副スライダと、
前記副スライダに設けられ前記情報記録媒体に対する情報の記録再生を行う記録再生ヘッドと、
前記主スライダに固定され、前記副スライダとの間にギャップを形成してなるプレートと、
前記プレートに設けられ、前記副スライダと対向するように前記ギャップ内に配置される電極と、を有することを特徴とする記録再生ヘッドスライダ。
【請求項２】
前記電極と前記副スライダとの間の静電容量を測定し前記ギャップの寸法を知ることを特徴とする請求項１記載の記録再生ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記情報記録媒体に対して前記副スライダを押し付ける力を変化させるために前記電極に与える電圧を制御することを特徴とする請求項１記載の記録再生ヘッドスライダ。
【請求項４】
前記ギャップの寸法を変化させるために前記電極に与える電圧を制御することを特徴とする請求項１記載の記録再生ヘッドスライダ。
【請求項５】
情報記録媒体と、
前記情報記録媒体の回転時に前記情報記録媒体から流体軸受力を受けて浮上力を得る主スライダと、
前記情報記録媒体と接触可能な接触端を有し、前記情報記録媒体面に垂直方向に変位可能となるように前記主スライダに弾性支持される副スライダと、
前記副スライダに設けられ前記情報記録媒体に対する情報の記録再生を行う記録再生ヘッドと、
前記主スライダに固定され、前記副スライダとの間にギャップを形成してなるプレートと、
前記プレートに設けられ、前記副スライダと対向するように前記ギャップ内に配置される電極と、を有することを特徴とする記録再生装置。
【請求項６】
前記電極と前記副スライダとの間の静電容量を測定し前記ギャップの寸法を知ることを特徴とする請求項５記載の記録再生装置。
【請求項７】
前記情報記録媒体に対する前記副スライダを押し付ける力を変化させるために前記電極に与える電圧を制御することを特徴とする請求項５記載の記録再生装置。
【請求項８】
前記ギャップの寸法を変化させるために前記電極に与える電圧を制御することを特徴とする請求項５記載の記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、磁気ディスクなどの情報記録媒体上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド、およびこれら情報記録媒体や記録再生ヘッドを搭載した記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、記録再生装置の分野においては、記録密度の向上に関する技術開発が盛んに行われている。例えば記録再生装置の一種である磁気ディスク装置にあっては、記録密度の向上に伴い、情報記録媒体である磁気ディスクと記録再生ヘッドである磁気ヘッドとのスペーシング（浮上隙間）がより一層狭くなる傾向にある。そして将来は、磁気ディスクと磁気ヘッドとが接触した状態で記録再生を行う可能性が高くなるものと考えられる。磁気ディスクと磁気ヘッドとが接触した状態での記録再生を考えた場合、その最大の技術課題は両者の摩耗を低減することである。そのためには、磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触状態を低荷重かつ安定に保つことが必要となる。
【０００３】
磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触状態を安定に保つ方法の一例として、例えば特開昭62-20125号公報や特開平5-74090 号公報に開示されている方法が知られている。以下、図21乃至図23を参照しながらこの方法について説明する。
【０００４】
図21において符号24は磁気ディスクであり、矢印Ｘの方向に回転駆動される。この磁気ディスク24の回転により流体軸受作用により、磁気ディスク24上に微小隙間を介して磁気ヘッドスライダ100 が浮上している。磁気ヘッドスライダ100 には図22の背面図に示すように、磁気ディスク24との対向面に２本の同一形状のスライダ22a,22b を有している。なお図22では、流体軸受作用により発生する流体軸受力はｆh で示されている。
【０００５】
スライダ22a の後端部すなわち空気流出端には、磁気ディスク24に対する情報の記録再生のための電気信号を磁気信号に変換する記録再生ヘッド20が配置され、その下方には磁気ディスク24に磁束を供給する接触端21が延出されている。記録再生時には接触端21と磁気ディスク24とは接触可能であり、スライダ22a は接触力ｆc を受ける。なお、スライダ22b の後端部にも同様に接触力ｆc が作用しているため、２本のスライダ22a,22b には全く同じ流体軸受力および接触力が作用し、磁気ヘッドスライダ100 の左右のバランスが保たれている。
【０００６】
一方、スライダ22a,22b が受ける流体軸受力ｆh および接触力ｆc と反対方向の力を発生させて磁気ヘッドスライダ100 の前後のバランスを取るために、磁気ヘッドスライダ100 の上部中心位置には、図示しないサスペンションから押付け力Ｆが加えられる。押付け力Ｆはピボット23を介して与えられるが、このピボット23は図21の方向から見て接触端21からｌp だけ離れた位置に形成されている。
【０００７】
ここで、流体軸受作用によって磁気ディスク24とスライダ22（22a,22b ）との間で発生する圧力は符号25で示す分布圧力のようになっている。同図からもわかるように、スライダ22の先端部側に大きな圧力のピークが、また後端部側に小さなピークが、それぞれ発生する。そして、この分布圧力25の圧力中心26（すなわち単一の流体軸受力ｆh の位置）は接触端21からｌh だけ離れた位置となる。
【０００８】
なお、図22からも明らかなとおり、磁気ヘッドスライダ100 は左右対称の形状となっているため、この分布圧力25は図21のように２次元的に表現することができ、紙面方向に向かって一様となっている。
【０００９】
このように、磁気ヘッドスライダ100 の浮上状態においては、流体軸受力ｆh ，接触力ｆc ，押付け力Ｆがバランスを保つことになる。そして、これら３つの力およびモーメントの釣合条件は以下のとおりとなる。
【００１０】
【数１】
0003748911.tif 000002
以上のような構成によれば、流体力Ｆの圧力中心26の位置が変化しない限りにおいては、磁気ディスク24の振動やうねりなどの外乱要因に対しても磁気ヘッドスライダ100 が十分に追従することができる。そのため接触端21と磁気ディスク24との位置関係が安定に保たれ、接触端21から磁気ディスク24に対して供給される磁束の変動も最小限に抑えられる。
【００１１】
しかしながら、記録再生のために磁気ヘッドスライダ100 が磁気ディスク24上をその半径方向に移動すると、両者の相対速度の変化により圧力中心26の位置ｌh も移動してしまう。そのため、磁気ヘッドスライダ100 が磁気ディスク24半径方向のどの位置にあるかによって接触力ｆc が変動してしまい、結果として装置としての安定性に欠けるという欠点がある。
【００１２】
さらに、ピボット23の位置におけるサスペンションの等価質量と磁気ヘッドスライダ100 の質量分布とで決定される重心は、図23に示すように、ピボット23の位置と磁気ヘッドスライダ100 単体の重心Ｇとの間にくる。ここでは磁気ヘッドスライダ100 の重心Ｇと接触端21との距離をｌg とする。磁気ディスク24の振動や、装置に加わる衝撃などによる慣性力に起因する接触力の変動を考慮した場合、外部からの振動に伴う慣性力ｆg は重心位置Ｇに作用する。作用する慣性力ｆg は、接触力の変動分Δｆc 及び流体力の変動分Δｆh の２つの力と釣合うことになるので、その作用位置の関係より以下の式が成立する。
【００１３】
【数２】
0003748911.tif 000003
前述の特開昭62-20125号公報および特開平5-74090 号公報に開示されている技術においては、いずれの場合も（ｌh −ｌg ）/ ｌh が0.2 以上となっており、これは外部からの振動に伴う慣性力ｆg の20％以上が接触力の変動分Δｆc として作用してしまうことを意味する。このような変動Δｆc は、磁気ディスク24と磁気ヘッドスライダ100 との摩耗を防ぐために接触力を低く設定する際に大きな妨げとなってしまう。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように従来技術にあっては、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上をその半径方向に移動したり、あるいは磁気ディスクの振動や装置に加わる衝撃などによる慣性力の変化があった場合に、磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触力が変動してしまう。そしてそのために装置としての安定性に欠けるという欠点があった。
【００１５】
そこで、本発明ではこれらの問題点を解決し、情報記録媒体（磁気ディスク）と記録再生ヘッド（磁気ヘッド）との接触力を制御可能とし、両者の接触状態を安定に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明においては、回転する情報記録媒体から流体軸受力を受けて浮上力を得る主スライダと、前記情報記録媒体と接触可能な接触端を有し、前記情報記録媒体面に垂直方向に変位可能となるように前記主スライダに弾性支持される副スライダと、前記副スライダに設けられ前記情報記録媒体に対する情報の記録再生を行う記録再生ヘッドと、前記主スライダに固定され、前記副スライダとの間にギャップを形成してなるプレートと、前記プレートに設けられ、前記副スライダと対向するように前記ギャップ内に配置される電極とを有する記録再生ヘッドスライダとした。
【００１７】
また、情報記録媒体と、前記情報記録媒体の回転時に前記情報記録媒体から流体軸受力を受けて浮上力を得る主スライダと、前記情報記録媒体と接触可能な接触端を有し、前記情報記録媒体面に垂直方向に変位可能となるように前記主スライダに弾性支持される副スライダと、前記副スライダに設けられ前記情報記録媒体に対する情報の記録再生を行う記録再生ヘッドと、前記主スライダに固定され、前記副スライダとの間にギャップを形成してなるプレートと、前記プレートに設けられ、前記副スライダと対向するように前記ギャップ内に配置される電極とを有する記録再生装置とした。
【００１８】
なお、電極と副スライダとの間の静電容量を測定しギャップの寸法を知るように構成されている。また、情報記録媒体に対する副スライダを押し付ける力を変化させるために電極に与える電圧を制御するように構成されており、これによって情報記録媒体に対する副スライダの押し付ける力やギャップの寸法を変化させて接触状態や浮上状態を制御することができるように構成されている。
【００１９】
【作用】
上記の如く構成した本発明によれば、副スライダとプレートとの間に形成されたギャップの寸法を、そのギャップ内に配置された電極の静電容量を測定することにより知ることができる。また、検出されたギャップの寸法に応じて電極に与える電圧を制御し、記録再生ヘッドと情報記録媒体( 例えば磁気ディスク) との接触力やギャップの寸法を変化させることができる。
【００２０】
したがって、ギャップの寸法に応じて電極の電圧制御を行うことにより、情報記録媒体と記録再生ヘッドとの接触力を小さく抑え、両者の接触状態を安定に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置が実現する。
【００２１】
【実施例】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。なお、以下の実施例では記録再生ヘッドスライダとして磁気ヘッドスライダを、また記録再生装置として磁気ディスク装置を、それぞれ例にとって説明する。
【００２２】
図１乃至図３は本発明の第１実施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，斜視図である。
まず、本発明が適用される磁気ディスク装置の概略について図20を参照して説明する。
【００２３】
情報を記録再生するための磁気ディスク（記録媒体）101 は硬質の円板からなり、スピンドルモータ102 に装着されて一定速度で回転駆動される。磁気ディスク101 に対して微小な隙間を介して浮上する磁気ヘッドスライダ1 は、記録再生を行う磁気ヘッド（図示せず）を搭載している。なお、磁気ヘッドスライダ1 は金属薄板からなるサスペンション104 の先端に取り付けられている。
【００２４】
サスペンション104 は、金属もしくは樹脂などで成形されたアーム105 の一端に接続されている。アーム105 の他端にはコイルボビン（図示せず）が形成されており、このコイルボビンには平面状に巻装された駆動コイルが固定されている。そしてこの駆動コイルを上下方向から挟み込むよう、永久磁石およびヨークからなる磁気回路106 が配置され、駆動コイルとともにボイスコイルモータを構成している。磁気回路106 からの磁束と駆動コイルへの通電によってローレンツ力が発生し、回転軸107 を中心にアーム105 を回動駆動する。
【００２５】
そして、磁気ディスク101 上での磁気ヘッドの位置決めは、磁気ディスク101 に書き込まれたサーボ情報を磁気ヘッドにより読み出し、この情報をボイスコイルモータにフィードバックする位置決めサーボ系により行われる。位置決めサーボ系によって駆動コイルへの供給電流を調節し、磁気ヘッドの位置を制御することにより情報の記録再生を行う。
【００２６】
これらの各構成部品は、位置決めサーボ制御に必要な半導体素子などの電気部品とともに筺体108 内に収納されている。また上部からは金属薄板からなるカバー109 により覆われて、装置全体は気密に密閉された構造となっている。
【００２７】
このように構成された磁気ディスク装置は、筺体108 の外部に突出した端子群110 を介してコンピュータ本体と電気的に接続することが可能となっている。
そして本実施例においては、上記磁気ヘッドスライダ1 は図１乃至図３に示すように構成されている。
【００２８】
ここで磁気ヘッドスライダ1 は、テーパフラット型の２本のそり状の棒により略Ｕ字型をなした主スライダ2 と、この主スライダ2 の空間部分中央に配置され空気流出端に延びる、主スライダ2 と比較し十分に薄く可撓性を有する連結ビーム6 と、この連結ビーム6 の端部に位置する副スライダ3 とで構成されている。
【００２９】
主スライダ2 は左右に合計２本のスライダ2a,2b を備えており、それぞれのスライダ2a,2b の面積は等しく形成されている。
連結ビーム6 は縦方向（磁気ディスク101 の厚み方向，面方向）に対してはねじりモーメントによる曲げ変形を発生しやすく、その一方で横方向（磁気ディスク101 の径方向）に対しては曲げ変形を発生しにくくするため、横方向の長さを上下方向の長さに対して十分に大きく設定してある。
【００３０】
副スライダ3 は図１乃至図３に示されるように、断面略Ｔ字型をなしており、その重心は連結ビーム6 の延長線上にくるように構成されている。副スライダ3 のスライダ面後端部付近には記録再生ヘッド4 および接触端5 が配置されている。また副スライダ3 は主スライダ2 と比較して長さおよび幅がそれぞれ半分以下に設定されており、したがって副スライダ3 の面積は主スライダ2 の面積と比較して1/4 以下の面積に形成されている。また、連結ビーム6 の延長線上に副スライダ3 の重心がくるように構成されている。
【００３１】
なお、主スライダ2 ，副スライダ3 ，連結ビーム6 はシリコンウエハーを異方性エッチングする方法などにより一体的に製作されている。また、記録再生ヘッド4 は副スライダ3 に対して蒸着やエッチングなどの方法により形成されている。
【００３２】
さらに、このような磁気ヘッドスライダ1 の上部に対しては、図２および図３に示されるように、拡散接合などの手段により補強プレート7 が取り付けられている。
補強プレート7 は例えばガラスなどの材料で構成され、主スライダ2 を構成する第１の主スライダ2aと第２の主スライダ2bとが常に同一平面を形成するように（互いにねじれることのないように）用いられており、その形状は磁気ヘッドスライダ1 の上面をちょうど覆うような矩形状の平板である。
【００３３】
また、図２に示すように、補強プレート7 と副スライダ3 の間には、磁気ディスク101 と平行なエアギャップ8 が形成される。このエアギャップ8 内に位置するように、補強プレート7 のエアギャップ8 側に電極9 が設けられている。
【００３４】
また、磁気ヘッドスライダ1 の上面部には、主スライダ2 の空気流入端から連結ビーム6 ，副スライダ3 を経て記録再生ヘッド4 に至るまで、アルミ蒸着またはエッチングなどの方法によって配線パターン（図示せず）が形成されている。
【００３５】
一方、これに対向するサスペンション104 側には図示しない配線パターンが対応して形成されており、両者はちょうど主スライダ2 の空気流入端の部分に接点を有し、この接点の部分で半田や金によって接合が図られている。なお、配線パターンはサスペンション104 の根元を通じて装置本体へ導かれている。図４には、磁気ヘッドスライダ1 とサスペンション104 との取り付け方法を示す。磁気ヘッドスライダ1 はサスペンション104 の先端部に接着などの手段により固定されている。なお、両者の間には上述の補強プレート7 が介在している。
【００３６】
また、サスペンション104 には同図に示すような細いスリット10が設けられている。このスリット10は、磁気ヘッドスライダ1 の取付け面11を包囲するように形成されており、取付け面11に固定された磁気ヘッドスライダ1 をＸ軸回りおよびＹ軸回りに回転させることができるようになっている。
【００３７】
また、エアギャップ8 内に対向配置された電極9 により、補強プレート7 と副スライダ3 との間隔、すなわちエアギャップ8 の厚みを測定することができる。
具体的には、電極9 に電圧を印加して電極9 に電荷を帯電させると、補強プレート7 と副スライダ3 との間に反発力が生じる。これにより副スライダ3 が取り付けられている連結ビーム6 が弾性変形し、副スライダ3 が磁気ディスク101 に押し付けられ近接する。そしてエアギャップ8 の厚みが大きくなると、電極9 と副スライダ3 とで形成される静電容量Ｃが減少する。
【００３８】
この静電容量Ｃの変化は図５に示される。電極9 に対する印加電圧を大きくして発生電荷を多くすれば、副スライダ3 を磁気ディスク101 に押し付ける力が大きくなり、エアギャップ8 が広がることにより静電容量が小さくなる。しかし、副スライダ3 が磁気ディスク101 に接触すると、それ以上電荷を増やして押し付け力を大きくしてもエアギャップ8 は広がらないため、静電容量は変化しなくなる。この、静電容量の変化しなくなる点を検出すれば、副スライダ3 と磁気ディスク101 との接触状態、すなわち接触端5 と磁気ディスク101 との接触状態をモニターすることができる。
【００３９】
さらに、その接触状態を基準状態として一定の量だけ電荷を増やせば、接触端5 と磁気ディスク101 との間に所定の接触力を与えることができる。そして接触力を極めて精度良く制御することができる。
【００４０】
また、基準状態から一定の量だけ電荷を減らせば、接触端5 と磁気ディスク101 との間に所定の間隔、すなわち所定のギャップを発生させることができる。このような接触力やギャップも極めて精度良く制御することが可能である。
【００４１】
さらに、発生電荷を制御することにより基準状態を保持し、接触端5 と磁気ディスク101 との接触力を限りなく０に近づけることもできる。
このように、本発明によれば、装置に対して外部からの振動などが加わったような場合に、副スライダ3 が磁気ディスク101 に対して衝突してしまうような危険性を回避することが可能であるばかりか、接触端5 と磁気ディスク101 との接触状態や浮上状態を自由かつ高精度に制御することができるといった実用上多大な効果が得られる。
【００４２】
なお、以上の説明は、副スライダ3 下面が主スライダ2 下面と同じかまたは高い位置に配置された場合についてものである。逆に、副スライダ3 下面が主スライダ2 下面より低い位置に配置された場合については以下のとおりとなる。
【００４３】
このような場合においては、主スライダ2 が磁気ディスク101 上を一定量で浮上していても、副スライダ3 は磁気ディスク101 にわずかに押し付けられた状態で接触している可能性がある。ここで電極9 と副スライダ3 との間に電圧を印加し、電極9 とこの電極9 に対向する部位がそれぞれ異極となるように（一方を＋極，他方を−極となるように）帯電させれば、電極9 と副スライダ3 との間に吸引力が生じる。これにより副スライダ3 には磁気ディスク101 から引き離される力が作用する。しかし、連結ビーム6 が副スライダ3 に付与している押し付け力（バネ力）が吸引力と逆向きの力を発生させるため、この力に打ち勝つだけの大きな吸引力が発生するまでは接触状態が維持される。
【００４４】
そして、さらに電圧を増加させてバネ力に打ち勝つだけの大きな吸引力を発生させると、連結ビーム6 が弾性変形して副スライダ3 が磁気ディスク101 から離間する。すると、エアギャップ8 の間隔が相対的に狭くなり、電極9 と副スライダ3 とで形成される静電容量Ｃが増加する。この様子を図６に示す。
【００４５】
先の説明と同様に、図６における変曲点（点線で示す）を基準状態とし、一定の量だけ電荷を減らせば、接触端5 と磁気ディスク101 との間に所定の接触力を与えることができる。また、基準状態から一定の量だけ電荷を増加させれば、接触端5 と磁気ディスク101 とに所定の間隔、すなわち所定のギャップを発生させることができる。さらに、基準状態を保持して接触力を限りなく０に近づけることもできる。
【００４６】
特にこの例の場合には、電極に対向する異極に帯電させる構成であるため、帯電させ易いといった特徴がある。
このように本発明によれば、接触端と磁気ディスクとの接触状態およびそのわずかに浮上した状態を自由にかつ極めて精度良く制御することができるといった実用上多大な効果が得られる。
【００４７】
なお、図４，図５のような電荷と静電容量との関係は、あらかじめ図示しない制御装置に記憶されており、目的の接触力あるいはギャップ長に応じて、発生させる電荷を決定できるように構成されている。
【００４８】
以上のように本発明によれば、副スライダとプレートとの間に形成されたギャップの寸法を、そのギャップ内に配置された電極の静電容量を測定することにより知ることができる。また、検出されたギャップの寸法に応じて電極に与える電圧を制御し、記録再生ヘッドと情報記録媒体との接触力やギャップの寸法を変化させることができる。
【００４９】
したがって、ギャップの寸法に応じて電極の電圧制御を行うことにより、情報記録媒体と記録再生ヘッドとの接触力を小さく抑え、両者の接触状態を安定に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置が実現する。
【００５２】
続いて図７乃至図９を参照して本発明の第２実施例を説明する。図７乃至図９は本発明の第２実施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，斜視図である。なお、以下の実施例においては、第１の実施例と同一構成要素には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【００５３】
本実施例と第１の実施例との違いは、連結ビーム6 の形状にある。すなわち、第１の実施例の連結ビーム6 は磁気ディスク101 の移動方向（空気流出方向）と平行な方向に延設されているのに対し、第２の実施例では連結ビーム6 は磁気ディスク101 の移動方向（空気流出方向）と直交する方向に延設されている。
【００５４】
すなわち、副スライダ3 はその先端部3aが空気流入端であるＹ方向に向かって延長して形成され、その端部付近から両側の主スライダ2a,2b のあるＸ方向に向かって２本の連結ビーム6a,6b が架設されている。
【００５５】
このような構造の本実施例によれば、上述した第１の実施例と同様な効果を奏する上に、さらに次のような効果も得られる。つまり、連結ビーム6a,6b がＸ方向の２か所で支持されているため、副スライダ3 のＹ軸回りの回転変形が起こりにくくなる。そのため、接触端5 と磁気ディスク101 との良好なヘッドタッチが得られるといった効果がある。
【００５６】
続いて図10乃至図13を参照して本発明の第３の実施例を説明する。図10乃至図13は本発明の第３実施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，断面図，斜視図である。なお、図11は空気流入方向と直交する面による断面図であり、図12は空気流入方向の面による断面図である。
【００５７】
本実施例と第２の実施例との違いは、連結ビーム6 を挟んで副スライダ3 と反対側にカウンタウエイト12が設けられており、副スライダ3 とカウンタウエイト12とを合計した質量における重心位置が、連結ビーム6 で連結されている部分とほぼ一致する構成になっていることである。
【００５８】
また、補強プレート7 とカウンタウエイト12との間には、磁気ディスク101 と平行な第２のエアギャップ8bが形成されている。この第２のエアギャップ8b内に位置するように、補強プレート7 のエアギャップ8 側に第２の電極9bが設けられている。
【００５９】
このような構造の本実施例によれば、上述した第２の実施例と同様な効果が得られる上に、さらに次のような効果が得られる。つまり、副スライダ3 とカウンタウエイト12とを合計した質量の重心位置が、連結ビーム6 により連結されている部分とほぼ一致しているために、装置に対して外乱が作用しても接触端5 と磁気ディスク101 との接触力の変動がほとんど発生しない構成となる。
【００６０】
さらに、カウンタウエイト12には第２のエアギャップ8bが設けられ、そのギャップ長を第１のエアギャップ8(8a) と同様に静電力により制御することにより、第１のエアギャップ8(8a) と協調して接触端5 と磁気ディスク101 との接触力を制御することができるようになる。
【００６１】
そして、エアギャップを形成する一方の部位が異極となり吸引力が作用し、エアギャップを形成する他方の部位が同極となり反発力が作用するため、一方のエアギャップ長が大きくなって電荷の増加に対する力の増加が少なくなっても、他方のギャップ長が狭くなり電荷の増加に対する力の増加が大きくなるため、副スライダ3 とカウンタウエイト12の平衡をとることができ、その特性が線形に近い状態となる。したがって、印加電圧と発生する接触力との関係の非線形性が少なくなり、制御が容易となる。特に吸引力だけを扱うという点でも制御を容易に行うことができる。
【００６２】
続いて図14乃至図16を参照して本発明の第４の実施例を説明する。図14乃至図16は本発明の第４実施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，斜視図である。
【００６３】
第１の実施例では、主スライダ2 ，副スライダ3 ，連結ビーム6 がシリコーンなどの半導体により一体的に形成されていたのに対し、本実施例では副スライダ3 と連結ビーム6 と中継部材13がシリコーンなどの半導体により一体的に形成されている。そして、主スライダ2 は中継部材13とは別部材で構成し、主スライダ2 と中継部材13とは拡散接合などの手段により接合されている。
【００６４】
ここで、主スライダ2 を構成する２本のスライダ2a,2b は、その空気流出端が互いに近接する方向に突出しており、その端部付近は副スライダ3 のＴ字上面の下部と対向する関係となっている。この対向部分にエアギャップ14a,14b が形成されている。
【００６５】
そして、このエアギャップ14a,14b の間には、スライダ2a,2b の側にそれぞれ電極15a,15b が固定されている。
このような構成の本実施例によれば、第１の実施例と同様な効果が得られる他に、主スライダ2 を記録再生ヘッド4 や接触端5 とは異なる製造プロセスで製作できるため、それぞれの最適な製造方法を採用して記録再生ヘッドスライダの特性向上を図ることができる。
【００６６】
続いて図17乃至図19を参照して本発明の第５の実施例を説明する。図17乃至図19は本発明の第５実施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，斜視図である。
【００６７】
本実施例と第４の実施例との違いは、中継部材13の上面に補強プレート15を設けた点にある。この補強プレート15と副スライダ3 との間には、磁気ディスク101 と平行な第３のエアギャップ16が形成される。この第３のエアギャップ16内に位置するように、補強プレート15の第３のエアギャップ16側に電極17が設けられている。
【００６８】
このような構造の本実施例によれば、第３の実施例で説明した２つのエアギャップ8a,8b の関係と同様に、第１のエアギャップ8 と第３のエアギャップ16とが協調して押し付け力を発生させ、接触端5 と磁気ディスク101 との接触力を制御することができるようになる。
【００６９】
そして、印加電圧と発生する接触力との関係の非線形性が少なくなり、制御が容易となる。
以上、本発明について説明したが、本発明はこれら実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で種々の変形が可能である。
【００７０】
例えば、本発明はいわゆるロータリアクチュエータにより位置決め駆動される磁気ディスク装置に限らず、リニアアクチュエータ等を有する他の磁気ディスク装置においても同様の効果が期待できる。
【００７１】
また、上述の各実施例では、記録再生ヘッドスライダの一例として磁気ヘッドスライダを、また記録再生装置の一例として磁気ディスク装置について説明した。しかしながら本発明はこの実施形態に限ることなく、例えば光情報記録再生装置等の他の記録再生装置にも応用が可能である。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、副スライダとプレートとの間に形成されたギャップの寸法を、そのギャップ内に配置された電極の静電容量を測定することにより知ることができる。また、検出されたギャップの寸法に応じて電極に与える電圧を制御し、記録再生ヘッドと情報記録媒体との接触力やギャップの寸法を変化させることができる。
【００７３】
したがって、ギャップの寸法に応じて電極の電圧制御を行うことにより、情報記録媒体と記録再生ヘッドとの接触力を小さく抑え、両者の接触状態を安定に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置が実現する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に係る記録再生ヘッドスライダの背面図。
【図２】本発明の第１実施例に係る記録再生ヘッドスライダの断面図。
【図３】本発明の第１実施例に係る記録再生ヘッドスライダの斜視図。
【図４】記録再生ヘッドスライダとサスペンションとの取り付け方法を示す図。
【図５】電極に与える印加電圧に対する静電容量の変化を示す図。
【図６】電極に与える印加電圧に対する静電容量の変化を示す図。
【図７】本発明の第２実施例に係る記録再生ヘッドスライダの背面図。
【図８】本発明の第２実施例に係る記録再生ヘッドスライダの断面図。
【図９】本発明の第２実施例に係る記録再生ヘッドスライダの斜視図。
【図１０】本発明の第３実施例に係る記録再生ヘッドスライダの背面図。
【図１１】本発明の第３実施例に係る記録再生ヘッドスライダの断面図。
【図１２】本発明の第３実施例に係る記録再生ヘッドスライダの断面図。
【図１３】本発明の第３実施例に係る記録再生ヘッドスライダの斜視図。
【図１４】本発明の第４実施例に係る記録再生ヘッドスライダの背面図。
【図１５】本発明の第４実施例に係る記録再生ヘッドスライダの断面図。
【図１６】本発明の第４実施例に係る記録再生ヘッドスライダの斜視図。
【図１７】本発明の第５実施例に係る記録再生ヘッドスライダの背面図。
【図１８】本発明の第５実施例に係る記録再生ヘッドスライダの断面図。
【図１９】本発明の第５実施例に係る記録再生ヘッドスライダの斜視図。
【図２０】本発明が適用される一例である磁気ディスク装置の概略構成を示す斜視図。
【図２１】従来技術に係る記録再生ヘッドスライダの断面図であり、力およびモーメントの釣合いを説明する図。
【図２２】従来技術に係る記録再生ヘッドスライダの背面図。
【図２３】従来技術に係る記録再生ヘッドスライダの断面図であり、慣性力，接触力，流体力の釣合いを説明する図。
【符号の説明】
１  磁気ヘッドスライダ（記録再生ヘッドスライダ）
2,2a,2b   主スライダ
３  副スライダ
４  記録再生ヘッド（記録再生部）
５  接触端
６  連結ビーム
7,15  補強プレート
8,8a,8b,14a,14b,16  エアギャップ
9,9a,9b,17  電極
12  カウンタウエイト
13  中継部材
101    磁気ディスク
104    サスペンション
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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