(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端にノズルを有するノズル部材および該ノズルの内部にあって先端が前記ノズルに対向する電極棒を備えるプラズマトーチの、前記ノズル部材と電極棒の間に、逆極性の直流電圧もしくは交流電圧を印加することを特徴とする、プラズマトーチのクリーニング方法。
【請求項２】
少なくとも前記電圧を印加している間少なくとも一時的に、前記ノズル部材のノズルから高速のガスを噴射する、請求項１記載のプラズマトーチのクリーニング方法。
【請求項３】
少なくとも前記電圧を印加している間、前記ノズル部材をシールドガスでシールドする、請求項１又は請求項２記載のプラズマトーチのクリーニング方法。
【請求項４】
先端にノズルを有するノズル部材および該ノズル部材の内部にあって先端が前記ノズルに対向する電極棒を備えるプラズマトーチ；
前記ノズル部材の内部にプラズマガスを供給する手段；
前記電極棒と加工対象材との間に、メインアークを発生するための電圧を印加するためのメインアークスイッチ；
加工指示手段；
前記ノズル部材と電極棒の間に、パイロットアークを発生するための正極性の電圧と、ノズル部材クリーニング用の逆極性の電圧もしくは交流電圧を、選択的に印加するためのパイロットアークスイッチ；および、
前記加工指示手段が加工指示を発生するとパイロットアークスイッチにてノズル部材と電極棒の間に正極性の電圧を印加し、それから設定時間後にメインアークスイッチにて電極棒と加工対象材との間にメインアークを発生するための電圧を印加し、加工指示手段が加工非指示になるとメインアークおよびパイロットアークを遮断し、それから設定時間後にパイロットアークスイッチにてノズル部材と電極棒の間にノズル部材クリーニング用の逆極性の電圧もしくは交流電圧を印加する制御手段；
を備えるプラズマ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶接，切断，加熱等の加工を行うプラズマ加工装置に関し、特に、プラズマトーチのノズル部材のクリーニングならびに該クリーニングに適した装置構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマトーチによる加工例えば鋼材の溶接においては、トーチ内部のタングステン電極棒を陰極として使用している。このタングステン棒の先端温度がアーク発生により非常に上昇しタングステン金属が蒸発飛散しノズル内面に付着し堆積する。また、加工材の表面ならびに内部の物質（メッキ材，鋼材）が溶融した時に蒸発飛散し、主にノズル部材の外表面に付着堆積する。この付着量が多くなると、アークの指向点が偏位したり動揺したりするなど、また、ノズル穴径が小さくなりすぎるとシリーズアークが発生するなど、不安定になって、溶接不良をもたらす。そこで従来は１〜３時間おきに、プラズマトーチの使用を停止して、工具で溶着金属を掻き落すなどにより、トーチのノズルまわりを掃除している。このような掃除は手作業であるので、トーチが冷えてから行なわなければならず、付着金属が凝固しているので除去しにくく、また、ノズル等を傷付けないように行なわなければならないので、かなりわずらわしい作業である。
【０００３】
そこで本出願人は、加工の終了時に、パイロットアークを維持するためにノズル部材へのプラズマガス供給と電極棒への通電を継続し、加工終了時の加工対象材に対してプラズマトーチが非作用となる時間後に、パイロットアークがガス流により弧状に曲がって伸びる流量に、ノズル部材へのプラズマガス供給量を高くして、高温，高速のガス流によりノズルおよび電極棒の付着物を吹き飛ばす、プラズマトーチのクリーニング方法を提示した(特許第２６８５９５２号)。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、電極棒の付着物除去ならびにノズル穴の内側の内壁面の付着物除去には効果があったが、ノズル穴面およびノズル穴の外側の外表面のクリーニング効果は低く、プラズマガスを多量に消費する割には、ノズル穴面およびノズル穴の外側の外表面のクリーニング効果が低かった。
【０００５】
本発明は、ノズル穴面およびノズル穴の外側の外表面のクリーニング効果を高くすることを第１の目的とし、それに加えて電極棒の付着物ならびにノズル穴の内側の内壁面の付着物を効果的に除去することを第２の目的とし、クリーニングによるノズル穴の外側の外表面の消耗は抑制することを第３の目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
（１）先端にノズル(3)を有するノズル部材(2)および該ノズル(3)の内部にあって先端が前記ノズル(3)に対向する電極棒(4)を備えるプラズマトーチ(1)の、前記ノズル部材(2)と電極棒(4)の間に、逆極性の直流電圧もしくは交流電圧を印加することを特徴とする、プラズマトーチのクリーニング方法。なお、理解を容易にするためにカッコ内には、図面に示し後述する実施例の対応要素の記号を、参考までに付記した。以下も同様である。
【０００７】
これによれば、ノズル部材(2)と電極棒(4)の間に、逆極性の直流電圧もしくは交流電圧を印加することにより、ノズル部材(2)が陰極となるアーク放電がノズル部材(2)と電極棒(4)の間に発生する。ノズル穴面およびノズル穴の外側の外表面の付着物はほとんどが酸化物であるので、該アーク放電のアークが、付着物を陰極点とするものとなり、陰極点となった付着物から電子が放出される。陰極点は局所的に高温となり、これによって付着物が高温になって溶解し飛散して行く。陰極点は突起物や酸化物表面にできやすい性質のため、ノズル部材(2)の該表面のきれいな部分よりも酸化物（付着物）を求めてアークが移動するため、自動的に広範囲に付着物が除去され、除去効果が大きい。
【０００８】
【発明の実施の形態】
（２）少なくとも前記電圧を印加している間少なくとも一時的に、前記ノズル部材(2)のノズル(3)から高速のガスを噴射する。これによれば、アーク長が長くなって、アークがノズル内面からノズル外表面にわたって広範囲に酸化物（付着物）を求めて移動するので、ノズル外表面の広範囲なクリーニングが実現する。
【０００９】
（３）少なくとも前記電圧を印加している間、前記ノズル部材(2)をシールドガスでシールドする。これによれば、ノズル部材(2)がシールドガスで覆われるので、ノズル部材(2)の外表面を酸化物（付着物）を求めて移動するアークによる２次酸化がシールドガスによって防がれ、クリーニングアークによるノズルの消耗を防止できる。
【００１０】
（４）先端にノズル(3)を有するノズル部材(2)および該ノズル部材の内部にあって先端が前記ノズルに対向する電極棒(4)を備えるプラズマトーチ(1)；
前記ノズル部材(2)の内部にプラズマガスを供給する手段(Sp,36,12,15)；
前記電極棒(4)と加工対象材(9)との間に、メインアークを発生するための電圧を印加するためのメインアークスイッチ(11)；
加工指示手段(Sa,21,22)；
前記ノズル部材(2)と電極棒(4)の間に、パイロットアークを発生するための正極性の電圧と、ノズル部材クリーニング用の逆極性の電圧もしくは交流電圧を、選択的に印加するためのパイロットアークスイッチ(6〜8)；および、
前記加工指示手段(Sa)が加工指示を発生するとパイロットアークスイッチ(6〜8)にてノズル部材(2)と電極棒(4)の間に正極性の電圧を印加し、それから設定時間(t1+t2)後にメインアークスイッチ(11)にて電極棒(4)と加工対象材(9)との間にメインアークを発生するための電圧を印加し、加工指示手段(Sa)が加工非指示になるとメインアークおよびパイロットアークを遮断し、それから設定時間(t5+t6)後にパイロットアークスイッチ(6〜8)にてノズル部材(2)と電極棒(4)の間にノズル部材クリーニング用の逆極性の電圧もしくは交流電圧を印加する制御手段(20)；
を備えるプラズマ加工装置。
【００１１】
これによれば、プラズマトーチ(1)による本来の加工処理を終える為に加工指示手段(Sa)が加工非指示になると、制御手段(20)が、メインアークおよびパイロットアークを遮断し、それから設定時間(t5+t6)後にパイロットアークスイッチ(6〜8)にてノズル部材(2)と電極棒(4)の間にノズル部材クリーニング用の逆極性の電圧もしくは交流電圧を印加する。したがって、加工処理の終了に伴って上記（１）に記述した付着物除去が自動的に行われ、プラズマトーチ(1)を常にきれいに維持する効果が高い。
【００１２】
（５）プラズマ加工装置は更に、前記ノズル部材(2)の内部へのプラズマガスの供給量を増量するための弁手段(13,17)を備え、前記制御手段(20)は、ノズル部材(2)と電極棒(4)の間にノズル部材クリーニング用の電圧を印加している間に、該弁手段(13,17)にて少なくとも一時的に、プラズマガスの供給量を増量する。これによれば、アーク長が長くなって、アークがノズル内面からノズル外表面にわたって広範囲に酸化物（付着物）を求めて移動するので、ノズル外表面の広範囲なクリーニングが実現する。
【００１３】
（６）プラズマ加工装置は更に、前記ノズル部材(2)をシールドするシールドガスをプラズマトーチに供給するための弁手段(14,16)を備え、前記制御手段(20)は、少なくともメインアークを発生している間ならびに前記ノズル部材クリーニング用の電圧によるパイロットアークを発生している間、該弁手段(14,16)にてシールドガスを供給する。これによれば、ノズル部材(2)がシールドガスで覆われるので、ノズル部材(2)の外表面を酸化物（付着物）を求めて移動するアークによる２次酸化がシールドガスによって防がれ、クリーニングアークによるノズルの消耗を防止できる。
【００１４】
（７）プラズマ加工装置は更に、制御モード指示手段(Sm)を備え、前記制御手段(20)は、前記加工指示手段(Sa)が加工指示を発生するとパイロットアークスイッチ(6〜8)にてノズル部材(2)と電極棒(4)の間に正極性の電圧を印加し、それから設定時間(t1+t2)後にメインアークスイッチ(11)にて電極棒(4)と加工対象材(9)との間にメインアークを発生するための電圧を印加し、加工指示手段(Sa)が加工非指示になるとメインアークおよびパイロットアークを遮断し、前記制御モード指示手段(Sm)がクリーニングモードを指示しているときにはそれから設定時間(t5+t6)後にパイロットアークスイッチ(6〜8)にてノズル部材(2)と電極棒(4)の間にノズル部材クリーニング用の逆極性の電圧もしくは交流電圧を印加する。
【００１５】
これによれば、制御モード指示手段(Sm)がクリーニングモードを指示していることを条件に制御手段(20)が、上記（１）に記述した付着物除去すなわちクリーニングを行なう。したがって、制御モード指示手段(Sm)を用いて、付着物除去を行うか否を選択設定できる。例えば３回の加工処理毎にあるいは延べ３０分の加工処理の経過後の加工処理終了毎に、１回のクリーニング（付着物除去）を行うなど、加工処理の作業効率を高くしてしかも必要なタイミングで効果的にクリーニング（付着物除去）を行うことが可能となる。
【００１６】
本発明の他の目的および特徴は、図面を参照した以下の実施例の説明より明らかになろう。
【００１７】
【実施例】
第１図に、本発明を一態様で実施する装置構成を示す。プラズマトーチ１のノズル部材２には、流量調節弁１２および電磁開閉弁１５を通して、プラズマガスであるパイロットガスが供給されて、ノズル部材２の先端のノズル３より噴射される。ノズル部材２の外側の空間に、流量調節弁１４および電磁開閉弁１６を通して、シールドガスが供給されて、ノズル部材２の先端の外側のリング状のノズルより噴射される。
【００１８】
アークを起動するときには、パイロットアーク通電スイッチ６が閉じられ、これによりパイロット電源５の電圧がノズル部材２と電極棒４の間に印加されて、両者間にパイロットアークを発生する。この状態でメインアークスイッチ１１が閉じられると、これによりメイン電源１０の電圧が加工対象材９と電極棒４の間に印加されて、両者間にメインアークを発生する。このメインアークにより電離されたプラズマがノズル３から加工対象材９に噴射する。なお、第１図は移行型のプラズマトーチを示している。非移行型の場合には、電源１０が省略され、パイロット電源５がメイン電源とされる。
【００１９】
クリーニング（付着物除去）の時にパイロットガスをパルス的すなわち一時的に増量する為に、パイロットガス供給ライン上の流量調節弁１２および電磁開閉弁１５に並列に、増量供給用の流量調節弁１３および電磁開閉弁１７が接続されている。
【００２０】
また、クリーニング（付着物除去）の時にノズル部材２と電極棒４の間に加えるパイロットアーク電圧を溶接加工時とは逆極性にするためのパイロットアーク極性切換えスイッチ７，８が、パイロット電源５からトーチ１への給電ラインに介挿されている。極性切換えスイッチ７，８はリレースイッチであり、それらの電気コイルが非通電のときには、図１に示すように、黒丸で示す常閉接点に接片が閉じており、パイロット電源５の正極がノズル部材２に、負極が電極棒４に接続される。これが、溶接施工時の正極性電圧の印加態様である。極性切換えスイッチ７，８の電気コイルに通電があると、それらの接片が図１に白丸で示す常開接点に切り替わり接触して、パイロット電源５の正極が電極棒４に、負極がノズル部材２に接続される。これが、クリーニング時の逆極性電圧の印加態様である。
【００２１】
図１に示すスイッチ６，７，８，１１はリレードライバ３２，３３，３４によって切り替え駆動またはオン（閉）駆動され、電磁開閉弁１６，１５，１７はソレノイドドライバ３５，３６，３７によって開（開弁）駆動される。
【００２２】
制御回路２０には、パイロットガス供給指示スイッチＳｐ，アーク指示スイッチＳａ、ならびに、モード指示スイッチＳｍが接続されている。これらのスイッチはそれぞれ閉(オン)の時低レベルＬを出力し、それぞれのＬがパイロットガス供給指示，アーク発生指示およびクリーニングモード指示、を意味する。
【００２３】
図２に、図１に示す各要素の動作タイミングを示す。次に、各要素の動作を説明する。図１に加えて図２も参照されたい。作業者がパイロットガス供給指示スイッチＳｐを閉じると、ソレノイドドライバ３６が電磁開閉弁１５に通電し、これにより電磁開閉弁１５が弁開となって、パイロットガスがノズル部材２の内空間に供給され、そしてノズル３から噴出する。
【００２４】
作業者がアーク指示スイッチＳａを閉じると、その電源（＋Ｖｃ）側の接点の電位が、高レベルＨ（＋Ｖｃ）から低レベルＬ（機器アース）に切換り、この立下りに応答してパルス発生器２１が１パルスを発生し、このパルスがオアゲートを通してラッチ（フリップフロップ）２７のセット入力端Ｓに加わって、ラッチ２７がセット状態になって、そのＱ出力が、低レベルＬから高レベルＨに切換る。このＨに応答してリレードライバ３２がパイロットアーク通電スイッチ６（リレー）の電気コイルに通電し、これによりスイッチ６がオン（閉：導通）になる。これによりノズル部材２／電極棒４間に、パイロット電源５の電圧が加わり、ノズル部材２を正極、電極棒４を負極とする正極性のパイロットアークが発生する。
【００２５】
一方、パルス発生器２１が発生したパルスによって第１のプログラムタイマ２３がトリガされて計時を開始し、設定時間ｔ１の計時をした時点に、１パルスを、オアゲートを介してラッチ３０のセット端子Ｓに印加するとともに、再度計時を開始する。ラッチ３０はそのＱ出力をＬからＨに反転する。この出力Ｈによってソレノイドドライバ３５が付勢されて電磁開閉弁１６に通電し、電磁開閉弁１６が弁開となりノズル部材２の外側の空間にシールドガスが供給される。
【００２６】
その後、第１のプログラムタイマ２３が、設定時間ｔ２の計時をした時点に、１パルスを、ラッチ２９のセット端子Ｓに印加する。ラッチ２９はそのＱ出力をＬからＨに反転する。この出力Ｈによってリレードライバ３４が付勢されてメインアークスイッチ１１に通電し、メインアークスイッチ１１がオンとなり加工対象材９／電極棒４間に、メインアーク電源１０の電圧が加わってメインアークが発生する。これが溶接作業状態である。
【００２７】
溶接作業を終えるために作業者が、アーク指示スイッチＳａを開くと、その電源（＋Ｖｃ）側の接点の電位が、ＬからＨに切換り、この立上りに応答してパルス発生器２２が１パルスを発生し、このパルスがラッチ２９のリセット端子Ｒに加わって、ラッチ２９がリセット状態になって、そのＱ出力が、ＨからＬに切換りこれによりリレードライバ３４が消勢され、スイッチ１１がオフ（開：遮断）になってメインアークが消える。なお、図示しない溶接始端，終端処理回路がスイッチ１１に組付けられており、この回路の電流制御機能により実際には、メインアーク電流は図２に示すように、漸増，漸減の変化を示す。
【００２８】
一方、パルス発生器２２が発生したパルスによって第２のプログラムタイマ２４がトリガされて計時を開始し、設定時間ｔ３の計時をした時点に、１パルスを、オアゲートを介してラッチ３０のリセット端子Ｒに印加するとともに、再度計時を開始する。ラッチ３０はそのＱ出力をＨからＬに反転する。この出力Ｌによってソレノイドドライバ３５が消勢されて電磁開閉弁１６の通電が止まり、電磁開閉弁１６が弁閉となりノズル部材２の外側の空間へのシールドガスの供給が停止する。
【００２９】
その後、第２のプログラムタイマ２４が、設定時間ｔ４の計時をした時点に、１パルスを、ラッチ２７のリセット端子Ｒとアンドゲート３８に印加する。ラッチ２７はそのＱ出力をＨからＬに反転する。この出力Ｌによってリレードライバ３２が消勢されてパイロットアークスイッチ６の通電を遮断し、パイロットアークスイッチ６がオフとなり、パイロットアークが停止する。これが溶接終了後の、プラズマトーチ１への通電を停止した状態である。
【００３０】
ここで、モード指示スイッチＳｍがオフ（開：クリーニングの非指示）でＨレベルであると、アンドゲート３８がゲートオンであるので、第２のプログラムタイマ２４が設定時間ｔ４の計時をした時点に発生したパルスがアンドゲート３８およびオアゲートを通して第２のプログラムタイマ２４のクリア端子ＣＬＲに与えられ、第２のプログラムタイマ２４がそこで計時動作を停止して待機状態になる。この場合は、クリーニング動作は行われない。以上の経過を図２の「通常モード」と表示した区間に示す。
【００３１】
ところが、モード指示スイッチＳｍがオン（閉：クリーニングモードの指定）でＬレベルであると、アンドゲート３８がゲートオフであるので、第２のプログラムタイマ２４が設定時間ｔ４の計時をして発生したパルスはアンドゲート３８で遮断されるので、第２のプログラムタイマ２４はクリアされず、再度計時を開始する。そして設定時間ｔ５の計時をした時点に、１パルスを発生してラッチ２８のセット端子Ｓに与えると共に、オアゲートを通してラッチ３０のセット端子Ｓに与え、そして再度計時を開始する。ラッチ２８のＱ出力がＬからＨに反転して、リレースイッチ７，８のリレーコイルに電流が流れてそれらの接片が常閉接点（黒丸）から常開接点（白丸）に切換り接触する。一方、ラッチ３０のＱ出力がＬからＨに反転して、ソレノイドドライバ３５が付勢されて電磁開閉弁１６が開き、プラズマトーチ１にシールドガスが供給される。
【００３２】
第２のプログラムタイマ２４は、設定時間ｔ６の計時をした時点に１パルスを発生して再度オアゲートを通してラッチ２７をセットすると共に、再度計時を開始する。ラッチ２７がセットされてそのＱ出力が、低レベルＬから高レベルＨに切換り、このＨに応答してリレードライバ３２がパイロットアーク通電スイッチ６の電気コイルに通電し、これによりスイッチ６がオンになる。これによりノズル部材２／電極棒４間に、パイロット電源５の電圧が再度加わる。
【００３３】
この場合には、スイッチ７，８が切換っているので、ノズル部材２を負極、電極棒４を正極とする逆極性のパイロットアークが発生する。このパイロットアークが付着物（酸化物）を求めてノズル部材２の内面およびノズル３の穴面を動き回り、付着物を溶融飛散させる。パイロットガスがこの飛散物をノズル３の外部に放出する。
【００３４】
第２のプログラムタイマ２４は、設定時間ｔ７の計時をした時点に１パルスを発生してオアゲートを通してラッチ３１のセット端子Ｓに与えると共に再度計時を開始する。ラッチ３１のＱ出力がＬからＨになってソレノイドドライバ３７が付勢されて電磁開閉弁１７を開き、これによりノズル部材２に多量のパイロットガスが供給される。設定時間ｔ８の計時をした時点に第２のプログラムタイマ２４が１パルスを発生してラッチ３１をリセットしかつ再度計時を開始する。このリセットにより電磁開閉弁１７が閉じてパイロットガス流量が低下する。その後設定時間ｔ９の計時をした時点に第２のプログラムタイマ２４が１パルスを発生してオアゲートを通してラッチ３１のセット端子Ｓに与えると共に再度計時を開始する。ラッチ３１のＱ出力がＬからＨになってソレノイドドライバ３７が付勢されて電磁開閉弁１７を開き、これによりノズル部材２に再度、多量のパイロットガスが供給される。設定時間ｔ１０の計時をした時点に第２のプログラムタイマ２４が１パルスを発生してラッチ３１をリセットしかつ再度計時を開始する。このリセットにより電磁開閉弁１７が閉じてパイロットガス流量が低下する。
【００３５】
この２度の間欠的すなわちパルス的なパイロットガスの増量によって、パイロットアークによって溶融した付着物が強力に排出されると共に、パイロットアークがノズル３の外にも伸びてノズル部材２の、加工対象物９に対向する端面（外表面）の付着物も溶融飛散させる。この時、プラズマトーチ１のノズル部材２の外側にはシールドガスが供給されておりこのシールドガスが、ノズル部材２の外表面を酸化物を求めて移動する逆極性パイロットアークによるノズル部材２の２次酸化を防止する。
【００３６】
第２のプログラムタイマ２４は、更に設定時間ｔ１１の計時をした時点に１パルスを発生してオアゲートを通してラッチ２７のリセット端子Ｒに与えると共に再度計時を開始する。ラッチ２７がリセットされてリレードライバ３２が消勢されてスイッチ６をオフに戻すことにより、逆極性パイロットアークが消滅する。
【００３７】
その後設定時間ｔ１２の計時をした時点に第２のプログラムタイマ２４が１パルスを発生してオアゲートを通してラッチ３０のリセット端子Ｒと、ラッチ２８のリセット端子Ｒに与える。これにより、ラッチ３０がリセットされてソレノイドドライバ３５が消勢され電磁開閉弁１６が閉じると共に、ラッチ２８がリセットされてリレードライバ３２が消勢されて切換スイッチ７，８が、それらの接片が常閉接点に接触する図１に示す状態に戻る。作業者がパイロットガス供給指示スイッチＳｐを開に戻すと、ソレノイドドライバ３６が消勢されて電磁開閉弁１５への通電が遮断されて電磁開閉弁１５が閉じ、これによりノズル部材２内へのパイロットガスの供給が止まる。
【００３８】
モード指示スイッチＳｍが閉（Ｌ：クリーニング指示）である時には以上のように、プラズマ加工を終えてプラズマアークを消した後に、自動的に、シールドガスを供給しつつ逆極性のパイロットアークを発生しかつパルス的にパイロットガス流量を増量するクリーニング処理が行われる。以上のクリーニング処理の過程を図２の「クリーニングモード」と表示した区間に示す。
【００３９】
なお、上述の実施例では、切換スイッチ７，８でノズル部材２と電極棒４に加えるパイロットアーク電源５の極性を切換えるようにしているが、切換スイッチ７，８でノズル部材２と電極棒４を、直流電源５から交流電源に切換えるようにしても良い。交流電源を用いる場合には、ノズル部材２と電極棒４が交互に陰極になってそれらの付着物が溶融飛散するので、上述の実施例と同様なクリーニング効果を期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明を一態様で実施するプラズマ加工装置の構成の概要を示すブロック図である。
【図２】  図１に示す装置の各要素の動作タイミングを示すタイムチャートである。
【符号の説明】
１：プラズマトーチ        ２：ノズル部材
３：ノズル                ４：電極棒
５：パイロット電源        ６，７，８，１１：スイッチ
９：加工対象物            １０：メイン電源
１２〜１４：調整弁        １５〜１７：電磁開閉弁
２１，２２：パルス発生器  ２７〜３１：ラッチ
３８：アンドゲート        Ｓｐ：パイロットガス供給指示スイッチ
Ｓａ：アーク指示スイッチ  Ｓｍ：モード指示スイッチ
【図１】
0003749061.tif 000002
【図２】
0003749061.tif 000003