(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１出力ロッドを往復直線移動可能に挿通される第１貫通孔と、第２出力ロッドを往復直線移動可能に挿通される第２貫通孔とを形成された本体と、
前記第１出力ロッドの外周に固定された円筒形状の第１出力ロッド側永久磁石と、
前記第２出力ロッドの外周に固定された円筒形状の第２出力ロッド側永久磁石と、
前記第１出力ロッドと同軸上に配置され、前記第１出力ロッド側永久磁石に対応して前記第１貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第１本体側永久磁石と、
前記第２出力ロッドと同軸上に配置され、前記第２出力ロッド側永久磁石に対応して前記第２貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第２本体側永久磁石と、
前記第１出力ロッドと前記第２出力ロッドに両端が固定された連結紐と、
前記連結紐が巻かれると共に、駆動手段に連結されたプーリとを有し、
前記第１出力ロッド側永久磁石の外周面と、前記第１本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁される一方、
前記第２出力ロッド側永久磁石の外周面と、前記第２本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁されており、
前記第１出力ロッド側永久磁石が、前記第１出力ロッドが前記本体から外部に突出する方向と反対方向に前記第１本体側永久磁石から突出するときには、前記第１出力ロッドが前記本体から外部に突出する方向の力を付与され、前記第２出力ロッド側永久磁石が、前記第２出力ロッドが前記本体から外部に突出する方向と反対方向に前記第２本体側永久磁石から突出するときには、前記第２出力ロッドが前記本体から外部に突出する方向の力を付与されることを特徴とする移載装置。
【請求項２】
請求項１に記載する移載装置において、
前記第１出力ロッド側永久磁石と前記第１本体側永久磁石とが同じ長さを有し、
前記第２出力ロッド側永久磁石と前記第２本体側永久磁石とが同じ長さを有しており、
前記第１出力ロッドが前記本体から外部に突出する量と、前記第２出力ロッドが前記本体から外部に突出する量とが同じ量であるときに、前記第１出力ロッド側永久磁石と前記第１本体側永久磁石とが対面して重なる量と、前記第１出力ロッド側永久磁石と前記第１本体側永久磁石とが対面して重なる量とが同量であることを特徴とする移載装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載する移載装置において、
前記第１出力ロッド及び前記第２出力ロッドが中空形状であって、
前記第１出力ロッドの先端に取り付けられた第１吸着パッドと、
前記第１出力ロッドの後端に接続するように前記本体に固設され、前記第１出力ロッドの中空部を介して前記第１吸着パッドに連通する第１真空パイプと、
前記第２出力ロッドの先端に取り付けられた第２吸着パッドと、
前記第２出力ロッドの後端に接続するように前記本体に固設され、前記第２出力ロッドの中空部を介して前記第２吸着パッドに連通する第２真空パイプとを有することを特徴とする移載装置。
【請求項４】
出力ロッドを往復直線移動可能に装填される第１貫通孔と、カウンタロッドを往復直線移動可能に装填される第２貫通孔とを形成された本体と、
前記出力ロッドの外周に固定された円筒形状の出力ロッド側永久磁石と、
前記カウンタロッドの外周に固定された円筒形状のカウンタロッド側永久磁石と、
前記出力ロッドと同軸上に配置され、前記出力ロッド側永久磁石に対応して前記第１貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第１本体側永久磁石と、
前記カウンタロッドと同軸上に配置され、前記カウンタロッド側永久磁石に対応して前記第２貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第２本体側永久磁石と、
前記出力ロッドに一端が固定され、前記カウンタロッドに他端が固定された連結紐と、
前記連結紐が巻かれると共に、駆動手段に連結されたプーリとを有し、
前記出力ロッド側永久磁石の外周面と、前記第１本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁される一方、
前記カウンタロッド側永久磁石の外周面と、前記第２本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁されており、
前記カウンタロッド側永久磁石が前記第２本体側永久磁石から突出しているときに前記カウンタロッドに付与する第１の力が、前記出力ロッド側永久磁石が前記第１本体側永久磁石から突出したときに前記出力ロッドに付与する第２の力より大きく、前記第１の力と前記第２の力との差が、前記駆駆動手段の静止トルクを上回ることを特徴とする移載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば吸着パッドを備え、所定位置に配置された対象物に対する吸着パッドの押し当てて使用する移載装置に関し、特に全体をコンパクトにした移載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品などの小物は、例えば、図１０に示すような部品搬送装置２００で所定位置まで搬送される。部品搬送装置２００は、レール２０１に沿って移動するレール２０２に移載装置１００を摺動可能に取り付け、トレイ２０３のポケット２０４ａ〜２０４ｅに収納された部品を移載装置１００で取り出すようになっている。そのため、移載装置１００は、Ｘ方向及びＹ方向に移動されてトレイ２０３に位置合わせされたときに、吸着パッドをＺ方向に突出させて部品を吸着保持するよう構成されている。
【０００３】
図１１及び図１２は、従来の移載装置１００を示した図である。移載装置１００は、シリンダによって軸方向のストロークを得るようにしたものであり、所定のストロークでバッファの荷重吸収によって衝撃を緩和させ、所定の力で吸着パッドを被搬送物に押し付けるようにしたものである。
【０００４】
図示する移載装置１００は、本体であるボディ１０１の左側面を取付面としたものであり、ピストンロッド１０２を下方に突設したシリンダが内蔵されている。即ち、ボディ１０１に形成された不図示のエアポートから供給されるエアによってシリンダ内のピストン
が加圧され、そのピストンと一体のピストンロッド１０２が、図１１と図１２とで示すストロークを出力する。また、ボディ１０１には、取付面とは逆の右側面にガイドが形成され、ピストンロッドに固定されたＬ字形のスライダ１０３が、そのガイドに沿ってピストンロッド１０２と平行に摺動するように構成されている。
【０００５】
一方、そのスライダ１０３には、シリンダの出力方向とは垂直な横方向にホルダ１０４が突設され、そこには衝撃緩和のためのバッファ１０５が取り付けられている。ここに用いられているバッファ１０５としては、例えば金属コイルバネを利用した図１３に示すような吸着パッドバッファが利用される。
この吸着パッドバッファ１０５Ａは、円筒形状の固定軸１５１に、ヘッド１５２の形成された可動軸１５３が、そのヘッド１５２とストッパ１５４によって抜け落ちないように挿入されている。固定軸１５１に対して軸方向に移動可能な可動軸１５３は、固定軸１５１端面のフランジ部１５５とヘッド１５２との間のコイルバネ１５６によって一方に付勢されている。
【０００６】
ヘッド１５２には吸着パッド１６０が装着され、被搬送物と当接する吸着部を吸引によって負圧にするための吸引流路１５７が形成されている。また、この吸着パッドバッファ１０５Ａをホルダ１０４へ取り付けるため、固定軸１５１の外周面には雄ねじ１５８が切られ、２個のナット１５９，１５９が設けられている。
こうした移載装置１００は、図１１及び図１２に示すように、シリンダの駆動によってピストンロッド１０２が伸び、スライダ１０３の移動によってバッファ１０５が対象物に押し当てられる。バッファ１０５は、その可動軸が対象物に押し当てられる際に反力を吸収して衝撃を緩和する。図１３に示す吸着パッドバッファ１０５Ａの場合には、吸着パッド１６０が被搬送物に押し当てられるとコイルバネ１５６が押し縮められ、その弾性力によって当接時の衝撃が吸収される。
【０００７】
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、こうした従来の移載装置には次のような問題点があった。
（１）従来の移載装置１００では、直線運動する空気圧シリンダなどの出力機器自身の動作精度を確保する為にスライドガイドを必要とし、更にバッファ１０５自身が直線に動作するためのスライドガイドを重複して設ける必要があった。また、空気圧シリンダの動作部分であるスライダ１０３にバッファ１０５を取り付けるためのブラケットなど多くの部材が必要となり装置自体を小型化することが困難であるとともに費用もかかった。
【０００９】
（２）例えば吸着パッドバッファ１０５Ａは、可動軸１５３のストロークが小さく、またコイルバネ１５６の伸縮量によって受ける荷重の大きさが異なってしまう。そのため、吸着パッドバッファ１０５Ａによって吸着パッド１６０を被搬送物に所定の力で押し当てようとした場合、ピストンロッド１０２のストローク調整や移載装置１００の取り付け精度の正確性が要求され、取り扱いが不便であったり、取り付け位置が制限される問題があった。
【００１０】
（３）また、移載装置１００は、吸着パッドで吸着した部品等を１個づつ移載するため、多数の移載を行うのに時間がかかる問題があった。一般に、図１０に示すように、Ｚ方向は移動距離が短いが、Ｘ方向とＹ方向で移動距離が長い場合に、時間が多くかかる問題が顕著となる。この対策として、吸着パッドを２連で駆動することも考えられるが、図１１に示すような移載装置の場合、各々の吸着パッド１６０について、Ｚ方向の直進ガイド１０３、直進駆動装置等を備えなければならないため、装置全体が大型化し、重量が重くなる問題があった。
【００１１】
（４）また、電源が切れたときに、ヘッド１５２の位置が一定の位置に定まらないと、人手又は手動による調整作業において、ボディ１０１に内蔵されるシリンダの停止位置によっては、ヘッド１５２等が干渉する恐れがあった。それを避けるために、電源を切ったときに、常に一定の位置にするためのバネ等を備えると、装置全体が大型化し、重量が重くなる問題があった。
（５）誤って手を挟んでしまったような場合に、従来のバッファ１０５による緩衝作用では危険を回避することができず、安全装置が別途必要になり、更に装置全体の大型化やそのための費用がかかった。
【００１２】
【００１３】
そこで、本発明は、かかる課題を解決すべく、装置全体をコンパクトにできる移載装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明の移載装置は、次のような構成を有している。
（１）第１出力ロッドを往復直線移動可能に挿通される第１貫通孔と、第２出力ロッドを往復直線移動可能に挿通される第２貫通孔とを形成された本体と、第１出力ロッドの外周に固定された円筒形状の第１出力ロッド側永久磁石と、第２出力ロッドの外周に固定された円筒形状の第２出力ロッド側永久磁石と、第１出力ロッドと同軸上に配置され、第１出力ロッド側永久磁石に対応して第１貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第１本体側永久磁石と、第２出力ロッドと同軸上に配置され、第２出力ロッド側永久磁石に対応して第２貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第２本体側永久磁石と、第１出力ロッドと第２出力ロッドに両端が固定された連結紐と、連結紐が巻かれると共に、駆動手段に連結されたプーリとを有し、第１出力ロッド側永久磁石の外周面と、第１本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁される一方、第２出力ロッド側永久磁石の外周面と、第２本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁されており、第１出力ロッド側永久磁石が、第１出力ロッドが本体から外部に突出する方向と反対方向に第１本体側永久磁石から突出するときには、第１出力ロッドが本体から外部に突出する方向の力を付与され、第２出力ロッド側永久磁石が、第２出力ロッドが本体から外部に突出する方向と反対方向に第２本体側永久磁石から突出するときには、第２出力ロッドが本体から外部に突出する方向の力を付与される。
【００１５】
よって、駆動手段がプーリの回転方向を変えて、連結紐の送り出し方向を変えるだけで、連結紐を送り出された一方の出力ロッドが、出力ロッド側永久磁石と本体側永久磁石の磁力に従って出力され、他方の出力ロッドが、連結紐に引っ張られて出力ロッド側永久磁石と本体側永久磁石の磁力に抗して本体に引き込まれるので、１個の駆動手段の駆動力のみで一対の出力ロッドの移動を制御することができ、装置全体をコンパクトにすることができる。
【００１６】
（２）（１）に記載する移載装置は、第１出力ロッド側永久磁石と第１本体側永久磁石とが同じ長さを有し、第２出力ロッド側永久磁石と第２本体側永久磁石とが同じ長さを有しており、第１出力ロッドが本体から外部に突出する量と、第２出力ロッドが本体から外部に突出する量とが同じ量であるときに、第１出力ロッド側永久磁石と第１本体側永久磁石とが対面して重なる量と、第１出力ロッド側永久磁石と第１本体側永久磁石とが対面して重なる量とが同量であることが望ましい。
よって、一対の出力ロッドは、ストロークにかかわらず出力ロッド側永久磁石と本体側永久磁石から同じ強さの磁力をそれぞれ受けて連結紐を介してバランスするため、電源が落ちた場合などの非常時には、一対の出力ロッドをその時点の位置関係で保持し続け、出力ロッド同士の干渉などを防止することが可能である。これは、両出力ロッドの出力差分がモータ軸にトルクとしてかかっており、モータの停止トルク以内であれば、その位置を保持できる事に起因する。
【００１７】
（３）また、（１）または（２）に記載する移載装置は、第１出力ロッド及び第２出力ロッドが中空形状であって、第１出力ロッドの先端に取り付けられた第１吸着パッドと、第１出力ロッドの後端に接続するように本体に固設され、第１出力ロッドの中空部を介して第１吸着パッドに連通する第１真空パイプと、第２出力ロッドの先端に取り付けられた第２吸着パッドと、第２出力ロッドの後端に接続するように本体に固設され、第２出力ロッドの中空部を介して第２吸着パッドに連通する第２真空パイプとを有する。
よって、本発明によれば、真空パイプ及び出力ロッドが吸着パッドに連通する真空流路を形成し、出力ロッドの動作位置にかかわらず、真空回路が維持される。よって、出力ロッドに別途真空配管、チューブなどを形成する必要がなく、装置全体をさらにコンパクトにすることができる。
【００１８】
（４）出力ロッドを往復直線移動可能に装填される第１貫通孔と、カウンタロッドを往復直線移動可能に装填される第２貫通孔とを形成された本体と、出力ロッドの外周に固定された円筒形状の出力ロッド側永久磁石と、カウンタロッドの外周に固定された円筒形状のカウンタロッド側永久磁石と、出力ロッドと同軸上に配置され、出力ロッド側永久磁石に対応して第１貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第１本体側永久磁石と、カウンタロッドと同軸上に配置され、カウンタロッド側永久磁石に対応して第２貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第２本体側永久磁石と、出力ロッドに一端が固定され、カウンタロッドに他端が固定された連結紐と、連結紐が巻かれると共に、駆動手段に連結されたプーリとを有し、出力ロッド側永久磁石の外周面と、第１本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁される一方、カウンタロッド側永久磁石の外周面と、第２本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁されており、カウンタロッド側永久磁石が第２本体側永久磁石から突出しているときにカウンタロッドに付与する第１の力が、出力ロッド側永久磁石が第１本体側永久磁石から突出したときに出力ロッドに付与する第２の力より大きい。この場合、出力ロッドを引き込む力と出力ロッドを突出させようとする磁力の差は、駆動モータの静止トルク（無励磁状態）より多い事が必要である。
【００１９】
よって、カウンタロッドは、ロッド側永久磁石と本体側永久磁石により出力ロッドのロッド側永久磁石と本体側磁石より大きい磁力を受けているため、例えば、電源が落ちた場合などの非常時には、カウンタロッドが、カウンタロッドのロッド側永久磁石と本体側永久磁石の磁力に従って本体から突出する方向に移動し、出力ロッドを出力ロッドのロッド側永久磁石と本体側永久磁石の磁力及びモータの静止トルクに抗して本体に自動的に引き込むので、出力ロッドが他の部材と干渉することを防止できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
次に、本発明に係る移載装置の一実施形態について図面を参照して説明する。、図１、図２、図３は、第１実施形態の移載装置を示す断面図であり、それぞれ異なる動作状態を示している。図４は、ワイヤ２５の取付構造を示す概念図である。
本実施の形態の移載装置１も、従来の移載装置１００と同様、図１０の部品搬送装置２００に取り付けられるものである。この移載装置１は、一対の出力ロッド３１Ａ，３１Ｂと駆動手段４を一体にしたものであり、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂが交互に突出して部品
を吸着保持するように構成されている。
【００２１】
この移載装置１のボディ２は、所定の肉厚をもったブロック体であり、長手方向に出力ロッド３１Ａを嵌装するための貫通孔１１と、出力ロッド３１Ｂを嵌装するための貫通孔１２とが平行に形成されている。
【００２２】
ボディ２の一端裏側には、駆動手段４のステッピングモータ２２が固定され、そのモータ軸２３にプーリ２４が連結されている。プーリ２４の外周面には、環状の溝が形成され、その溝にワイヤ２５を取り付けることにより、プーリ２４の回転に従ってワイヤ２５を所定方向に送り出すようになっている。この場合に、ワイヤ２５が空回りすることを防止するために、ワイヤ５５は、図４に示すように、プーリ２４の外周面に穿設された取付孔１５に挿入されて輪を作り、取付孔１５と連通するピン孔１４に対してピン１３をワイヤ２５の輪に挿通するように嵌め込むことにより、ワイヤ２５をプーリ２４に固定している。このように固定されたワイヤ２５は、図１〜図３に示すように、両端がプーリ２４の溝の接線方向から貫通孔１１，１２に送り出されている。ワイヤ２５は、その端部にワイヤエンド２６Ａ，２６Ｂがカシメられており、それが出力ロッド３１Ａ，３１Ｂの後端に固定されたワイヤ取付部材３２Ａ，３２Ｂに外れないように固定されている。
【００２３】
出力ロッド３１Ａ，３１Ｂは、磁気バネを利用した同一構造を有しているので、ここでは、出力ロッド３１Ａの構成を中心に説明する。中空形状の出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）が、ボディ２に形成された貫通孔１１（１２）内に摺動可能に挿通されている。出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）は、出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）の図面上方の縮径した部分に挿入され、出力ロッド３１Ａの段差とワイヤ取付部材３２Ａ（３２Ｂ）との間に挟まれて保持されている。貫通孔１１（１２）の一端開口部には、出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）を直線往復運動させるためのボールスプライン３５Ａ（３５Ｂ）がはめ込まれ、そのボールスプライン３５Ａ（３５Ｂ）に突き当てるように円筒形状の本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）が固定されている。
【００２４】
出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）は、出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）の変位に反発させるために設けられたものであり、コイルスプリングのようにバネ機能を発揮するものである。出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）は、ともに軸方向の長さが同じ寸法で形成され、図３に示すように軸方向にずれた場合には、図１に示すように両者が重なる方向（図面下方）に磁力による吸引力が働くようになっている。
【００２５】
出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）は、図５（ａ）及びその断面を示す図５（ｂ）に示すように、円周方向に４分割されて軸方向に沿ってＮ極とＳ極とが各９０度の幅で帯状に形成されたＮ極帯３３ＡＮ，３４ＡＮ（３３ＢＮ，３４ＢＮ）とＳ極帯３３ＡＳ，３４ＡＳ（３３ＢＳ，３４ＢＳ）とから構成されている。そのため出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）は、ともに異なる磁極同士が交互に対面するようになっている。こうして出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）の磁極は、円周方向に分割されているため、回り止めとしても機能する。この分割数は、４分割でなくとも２分割、或いはそれ以上であってもよい。そして、出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）を非接触とするため、出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）は、図１に示すように、本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）の片側においてボールスプライン３５Ａ（３５Ｂ）に案内されるようになっている。これは、ボールスプライン３５Ａ（３５Ｂ）に限らず、適切な他のガイドでもよい。
【００２６】
出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）は、先端に固定された吸着パッド取付部材３８Ａ（３８Ｂ
）に吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）を取り付けられ、その吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）が部品を吸着保持するよう構成されている。ボディ２には、エアを吸引又は供給する真空供給ポート１６Ａ（１６Ｂ）が穿設され、その真空供給ポート１６Ａ（１６Ｂ）に連通するよう真空パイプ３６Ａ（３６Ｂ）が貫通孔１１（１２）に内設されている。真空パイプ３６Ａ（３６Ｂ）は、ワイヤ取付部材３２Ａ（３２Ｂ）に気密性を確保した状態で内挿され、出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）と一体となって真空供給ポート１６Ａ（１６Ｂ）と吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）とを連通させる真空流路を形成させている。
【００２７】
ところで、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂとの関係は、図１に示すように、出力ロッド３１Ｂがボディ２内に引っ込んだ場合に、出力ロッド３１Ａがボディ２から突出する出力が得られる一方、図３に示すように、出力ロッド３１Ａがボディ２内に引っ込んだ場合に、出力ロッド３１Ｂがボディ２から突出する出力が得られるようになっている。そのため、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂは、出力ロッド側永久磁石３３Ａ，３３Ｂが本体側永久磁石３４Ａ，３４Ｂと重なるまでボディ２から突出する方向（図中下方）に移動するよう構成されている。
【００２８】
続いて、本実施形態の移載装置１の作用について説明する。移載装置１は、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂが出力ロッド側永久磁石３３Ａ，３３Ｂと本体側永久磁石３４Ａ，３４Ｂの磁力による吸引力によって突き出される際の動きを出力として利用し、１個のステッピングモータ２２の回転方向を変えることにより、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂを交互に出力する。
移載装置１は、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂが非出力状態のときには、図２に示すように、出力ロッド３１Ａの出力ロッド側永久磁石３３Ａと本体側永久磁石３４Ａ、及び、出力ロッド３１Ｂの出力ロッド側永久磁石３３Ｂと本体側永久磁石３４Ｂが、それぞれ同じ量ずつ重なり合っており、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂが、同じ量ずつボディ２から突出している（以下、この出力ロッド３１Ａ，３１Ｂの位置を「原点位置」という。）。
【００２９】
そこで、ステッピングモータ２２がプーリ２４を所定方向（図中反時計方向）に所定量回転させると、ワイヤ２５が出力ロッド３１Ａ側に送り出され、出力ロッド３１Ａは、出力ロッド側永久磁石３３Ａと本体側永久磁石３４Ａの吸引力に従って、ワイヤ２５の送出量に応じてボディ２から突出する方向に移動する。そして、図２に示す状態から出力ロッド３１Ａが突き出されると、先端の吸着パッド４１Ａが対象物に当接し、真空供給ポート１６Ａがエアを吸引することにより、真空パイプ３６Ａ、出力ロッド３１Ａを介して吸着パッド４１Ａと図示しない対象物との当接部分が負圧になって対象物を吸着保持できる。
【００３０】
このとき、出力ロッド３１Ｂは、出力ロッド３１Ａの移動量と同じ量だけボディ２内に引き込まれる。出力ロッド３１Ｂは、ワイヤ２５が出力ロッド３１Ａ側に送り出されると、それに応じて出力ロッド側永久磁石３３Ｂと本体側永久磁石３４Ｂの吸引力に抗して引き上げられる。そして、出力ロッド３１Ａの移動が停止した時点で、ワイヤ２５の張力と本体側永久磁石３４Ｂが出力ロッド側永久磁石３３Ｂを引き戻そうとする力とがバランスするため、出力ロッド３１Ｂはボディ２内に引き込まれた状態で停止する。
【００３１】
そして、ステッピングモータ２２がプーリ２４を所定方向と反対方向（図中時計方向）に所定量回転させ、ワイヤ２５を出力ロッド３１Ｂ側に送り出すと、出力ロッド３１Ａが出力ロッド側永久磁石３３Ａと本体側永久磁石３４Ａの磁力に抗してボディ２内に引き込まれる方向（図中上方向）に引っ張られて移動する。それと同時に、出力ロッド３１Ｂは、出力ロッド側永久磁石３３Ｂと本体側永久磁石３４Ｂの磁力による吸引力に従ってボディ２から突出する方向（図中下方）に移動する。こうして、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂは、図２に示す原点位置に復帰する。
【００３２】
それから、ステッピングモータ２２がプーリ２４を所定方向と反対方向（図中時計方向）に所定量回転させると、ワイヤ２５が出力ロッド３１Ｂ側に送り出され、出力ロッド３１Ｂは、出力ロッド側永久磁石３３Ｂが本体側永久磁石３４Ｂの吸引力に従って、ワイヤ２５の送出量に応じてボディ２から突出する方向に移動する。そして、図２に示す状態から出力ロッド３１Ｂが突き出されると、先端の吸着パッド４１Ｂが対象物に当接し、真空供給ポート１６Ｂがエアを吸引することにより、真空パイプ３６Ｂ、出力ロッド３１Ｂを介して吸着パッド４１Ｂと図示しない対象物との当接部分が負圧になって対象物を吸着保持できる。
【００３３】
このとき、出力ロッド３１Ａは、出力ロッド３１Ｂの移動量と同じ量だけボディ２内に引き込まれる。出力ロッド３１Ａは、ワイヤ２５が出力ロッド３１Ｂ側に送り出されると、それに応じて出力ロッド側永久磁石３３Ａと本体側永久磁石３４Ａの磁力に抗して引き上げられる。そして、出力ロッド３１Ｂの移動が停止した時点で、ワイヤ２５の張力と本体側永久磁石３４Ａが出力ロッド側永久磁石３３Ａを引き戻そうとする力とがバランスするため、出力ロッド３１Ａはボディ２内に引き込まれた状態で停止する。
【００３４】
そして、ステッピングモータ２２がプーリ２４を所定方向（図中反時計方向）に所定量回転させ、ワイヤ２５を出力ロッド３１Ａ側に送り出すと、出力ロッド３１Ｂが、出力ロッド側永久磁石３３Ｂと本体側永久磁石３４Ｂの磁力に抗してボディ２内に引き込まれる方向（図中上方向）に引っ張られて移動する。それと同時に、出力ロッド３１Ａが、出力ロッド側永久磁石３３Ａと本体側永久磁石３４Ａの磁力による吸引力に従ってボディ２から突出する方向（図中下方）に移動する。こうして、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂは、図２に示す原点位置に復帰する。
【００３５】
そこで、例えば、出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）のストロークの途中に配置した不図示の対象物を吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）吸着保持させる場合を考える。この移載装置１では、吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）を対象物に押し当てる力が、出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）を図１の状態に引き戻そうとする出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）の吸引力のみとなる。すなわち、出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）が図１に示すように重なり合う手前で吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）を対象物に当てれば、磁気バネを構成する出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）は、コイルスプリング等と同様にいわゆるバネ力を発揮するので、吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）を対象物に押し付ける力を得ることができる。また、それと同時に出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）は、吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）が任意のストローク位置で対象物に当たっても一定の力を出力する（出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）の磁力は軸方向のズレ量にかかわらず一定の吸引力を得る）のでバッファ（緩衝器）としても機能する。
【００３６】
ここで図６は、出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）のストローク−推力静特性について行った測定結果をグラフにしたものであり、図１（図３）に示すような出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）が揃った状態をストロークゼロとして見ている。その結果磁気バネは、軸方向にずれた出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）に作用する吸引力（推力）が、図６に示すように所定のストローク間でほぼ同じ値を示すようになった。つまり、出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）による推力は、図示するように移動初期の僅かなストローク範囲では急上昇するものの、その後は広いストローク範囲でほぼ一定となった。そして、それは出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）における軸方向のズレ量を大きくする引っ張り時も、逆に戻る時の対象物を押し付ける時もほぼ同じ値であった。そこで
、本実施形態の移載装置１では、こうした磁気バネの磁力による吸引力を出力として利用するとともに、広いストローク範囲でほぼ一定の力を発揮させる特性を活かしてバッファとしても機能させている。
【００３７】
ところで、こうしたストローク−推力静特性を示すのは、推力（軸方向の力）を発生させる出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）が軸方向にずれた際、図７（ａ）の矢印で示すように端部３３ＡＴ（３３ＢＴ），３４ＡＴ（３４ＢＴ）において斜めに発生する磁力線の軸方向分力によって一定の推力を生じさせていると考えられるからである。つまりこれは、出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）がずれている場合には、その端部３３ＡＴ（３３ＢＴ），３４ＡＴ（３４ＢＴ）に図のような斜めの磁力線がほぼ一定方向（ほぼ一定の傾き）に生じ、その間の重なり部分には、軸方向の力に影響しない垂直方向のみの磁力線が生じていると考えられる。そのため、出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）には、重なり幅に関係なく端部に発生する斜めの磁力線の軸方向分力のみによって軸方向の力が作用すると考えられる。
【００３８】
これにより、磁気バネのバッファ３Ａ，３Ｂを利用した移載装置１では、対象物を吸着保持するとき常に吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）を部品などの対象物に対して一定の力で押さえ付けるようにすることができる。すなわち、推力一定のストローク範囲が広いため、吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）を部品などの対象物に押さえ付けるストローク位置にばらつきが生じても、押し付け不足や、逆に押し付け過ぎをなくし、常に適切な押圧力で吸着パッド４１Ａ（４１Ｂ）を部品などの対象物に押さえ付けることができる。
【００３９】
また、出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）は、Ｎ極帯３３ＡＮ，３４ＡＮ（３３ＢＮ，３４ＢＮ）及びＳ極帯３３ＡＳ，３４ＡＳ（３３ＢＳ，３４ＢＳ）でそれぞれ円周方向に４分割し（図５（ｂ）参照）、これによって出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）を回り止めとして機能させている。移載装置１は、部品などの対象物への当接時などに出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）が回転方向に力を受けることがある。このとき出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）は、例えば対面関係にあるＮ極帯３３ＡＮ（３３ＢＮ）とＳ極帯３４ＡＳ（３４ＢＳ）との間に、図７（ｂ）の矢印で示すように磁力線が生じている。Ｎ極帯３３ＡＮ（３３ＢＮ）及びＳ極帯３４ＡＳ（３４ＢＳ）の間には放射状に磁力線が生じ、回転方向にずれた場合には円周方向の端部において傾いた磁力線が生じる。従って、その傾いた磁力線が回転方向とは逆に出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）を引き戻す吸引力を作用させ、出力ロッド３１の回転を防止させる回り止めとして機能することになる。
【００４０】
そして、移載装置１は、図１０の部品搬送装置２００に取り付けられた場合、次のように動作する。部品搬送装置２００が、図２に示すような非出力状態の移載装置１をトレイ２０３上に移動させ、出力ロッド３１Ａとトレイ２０３のポケット２０４ａとを位置合わせすると、移載装置１は、図１に示すように、出力ロッド３１Ａを突出させて吸着パッド４１Ａを部品に当接させ、真空供給ポート１６Ａからエアを吸引して部品を吸着保持する。そして、出力ロッド３１Ａを図１の状態から図２の原点位置に復帰させ、部品をトレイ２０３のポケット２０４ａから取り出す。
【００４１】
それから、部品搬送装置２００が、移載装置１をＸ方向に移動させ、出力ロッド３１Ｂとトレイ２０３のポケット２０４ｂとを位置合わせすると、移載装置１が、図３に示すように、出力ロッド３１Ｂを突出させて吸着パッド４１Ｂを部品に当接させ、真空供給ポート１６Ｂからエアを吸引して部品を吸着保持する。そして、出力ロッド３１Ｂを図３の状態から図２に示す原点位置に復帰させ、部品をトレイ２０３のポケット２０４ｂから取り
出す。
【００４２】
部品搬送装置１は、こうして２個の部品を取り出した移載装置１をＸ方向及びＹ方向に移動させ、出力ロッド３１Ａと部品を載置する治具とを位置合わせする。移載装置１は、図１に示すように、出力ロッド３１を突出させ、真空供給ポート１６Ａにエアを供給して部品を治具上に載置し、図２に示す原点位置に復帰する。
【００４３】
それから、部品搬送装置２００が、移載装置１をＸ方向及びＹ方向に移動させ、出力ロッド３１Ｂと治具を位置合わせすると、移載装置１は、図３に示すように、出力ロッド３１を突出させ、真空供給ポート１６Ｂにエアを供給して部品を治具上に載置し、図２に示す原点位置に復帰する。そして、部品搬送装置２００は、移載装置１をＸ方向及びＹ方向に移動させて、次工程に移行する。
【００４４】
以上、本実施形態の移載装置１では、ステッピングモータ２２の回転方向を変えて、プーリ２４がワイヤ２５を送り出す方向を変えるだけで、ワイヤ２５を送り出された側の出力ロッド３１Ａ（３１Ｂ）が出力ロッド側永久磁石３３Ａ（３３Ｂ）と本体側永久磁石３４Ａ（３４Ｂ）の磁力に従って出力され、他方の出力ロッド３１Ｂ（３１Ａ）が出力ロッド側永久磁石３３Ｂ（３３Ａ）と本体側永久磁石３４Ｂ（３４Ａ）の磁力に抗してボディ２内に引き込まれるので、ステッピングモータ２２、プーリ２４、ワイヤ２５のみで２本の出力ロッド３１Ａ，３１Ｂの移動を制御することができ、構造を簡単にして、装置全体を小型軽量化することができる。
【００４５】
また、本実施形態の移載装置１は、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂをボディ２に対称配置してワイヤ２５で連結したことにより、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂが、ストロークにかかわらず出力ロッド側永久磁石３３Ａ、３３Ｂと本体側永久磁石３４Ａ，３４Ｂから同じ強さの磁力をそれぞれ受けてワイヤ２５を介してバランスするため、電源が落ちた場合などの非常時には、出力ロッド３１Ａ、３１Ｂをその時点の位置関係で保持し続け、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂの干渉などを防止することが可能である。これは、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂの出力差分がモータ軸２３にトルクとしてかかっており、モータ２２の停止トルク以内であれば、その位置を保持できる事に起因する。
【００４６】
さらに、本実施形態の移載装置１は、真空パイプ３６Ａ，３６Ｂと出力ロッド３１Ａ，３１Ｂとで真空流路を形成し、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂの動作位置にかかわらず真空回路を維持することにより、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂの先端部に装着される吸着パッド４１Ａ，４１Ｂの吸引力を確保している。よって、出力ロッド３１Ａ，３１Ｂにチューブ配管するなど、真空流路を別途形成する必要がなく、装置全体をさらにコンパクトにすることができる。
【００４７】
そして、こうした移載装置１を取り付けられた部品搬送装置２００では、移載装置１が小型軽量であるため、移載装置１の位置決めが容易になり、高速動作することができる。また、部品搬送装置２００では、移載装置１で２個の部品を移載できるので、従来のように部品を１個ずつ移載する場合と比較して、移載装置１のＸ方向及びＹ方向の移動量を半分程度にすることができ、対応能力を向上させることができる。
【００４８】
（第２実施形態）
次に、本発明に係る移載装置の第２実施形態について説明する。図８及び図９は、第２実施形態の移載装置を示した平面の断面図であり、それぞれ異なる状態を示す。この移載装置５１は、図１０の部品搬送装置２００に取り付けられるものであり、前記第１実施形態と同様に磁気バネを使用するが、磁気バネに磁力差を設けている点で第１実施形態と相違している。
【００４９】
移載装置５１は、ボディ６０に出力ロッド７１、カウンタロッド６６などを一体化したものである。ボディ６０は、肉厚のブロック体をなし、貫通孔６１，６２，６３が平行に形成されている。ボディ６０の一端裏側にはステッピングモータ５２が固定され、そのモータ軸５３にプーリ５４が取り付けられている。そして、プーリ５４の外周面には環状の溝が形成され、その溝にワイヤ５５を取り付けることにより、プーリ５４の回転に従ってワイヤ５５を所定方向に送り出すようになっている。この場合に、ワイヤ５５が空回りすることを防止するために、ワイヤ５５は、プーリ５４の外周面に穿設された取付孔５７に挿入されて輪を作り、取付孔５７と連通する図示しないピン孔に対してピン５６をワイヤ５５の輪に挿通するように嵌め込むことにより、ワイヤ５５をプーリ５４に固定している。このように固定されたワイヤ５５は、一端が貫通孔６２を通り、吸着ブロック７８に固定される一方、他端が貫通孔６３内を移動するカウンタロッド６６に固定されている。
【００５０】
カウンタロッド６６は、貫通孔６３に摺動可能に装填され、図面上方の縮径した部分に円筒状のカウンタロッド側永久磁石６７が嵌め合わされている。貫通孔６３には、両端をブシュ６９，６９で挟まれた円筒形状の本体側永久磁石６８が固定され、そこを貫通したカウンタロッド６６が摺動可能に嵌挿されている。カウンタロッド側永久磁石６７と本体側永久磁石６８は、第１実施形態と同様にバッファを構成する磁気バネであり（図５参照）、ともに軸方向の長さが同じ寸法で形成され、図８に示するように軸方向にずれた場合には、両者が重なる方向（図面下方）に磁力による吸引力が働くようになっている。
【００５１】
一方、出力ロッド７１は、吸着ブロック７８を介してワイヤ５５と一体的に動作するようになっている。その出力ロッド７１は、ボディ６０に形成された貫通孔６１内に摺動可能に装填されており、図面上方の縮径した部分に円筒状の出力ロッド側永久磁石７２がはめ合わされている。貫通孔６１には、開口部にボールスプライン７５がはめ込まれるとともに、円筒形状の本体側永久磁石７３が固定され、それらを貫通した出力ロッド７１が摺動可能に嵌挿されている。出力ロッド側永久磁石７２と本体側永久磁石７３は、第１実施形態と同様にバッファを構成する磁気バネであり（図３参照）、ともに軸方向の長さが同じ寸法で形成され、図示すように軸方向にずれた場合には、両者が重なる方向（図面下方）に磁力による吸引力が働くようになっている。
【００５２】
出力ロッド７１は、先端に固設された吸着ブロック７８に吸着パッド８０が装着され、吸着パッド８０が部品を吸着保持するよう構成されている。出力ロッド７１の後端部（図中上端部）には、貫通孔６１に内設された真空パイプ７６が摺動ブロック７７を介して気密性を確保した状態で内挿されている。真空パイプ７６は、貫通孔６１の開口部にはめ込まれた流路ブロック５８を介してボディ６０の真空供給ポート５９と連通し、出力ロッド７１の先端に固設された吸着ブロック７８に吸着パッド８０を装着したときに、その吸着パッド８０が出力ロッド７１、真空パイプ７６、流路ブロック５８を介して真空供給ポート５９と連通するようになっている。そして、吸着ブロック７８には、遮光部材８１が突設されている。遮光部材８１は、図９に示すように、出力ロッド７１が吸着ブロック７８とボディ６０とを当接させるまでボディ６０内に引き込まれたとき（以下、この出力ロッド７１の位置を「原点位置」という。）に、ボディ６０に設けられた原点センサ８２に内蔵される発光部と受光部との間を通過するように配設されている。原点センサ８２は、ステッピングモータ５２の動作を制御する図示しない制御装置に接続されている。
【００５３】
ここで、カウンタロッド６６と出力ロッド７１とは以下の関係を有する。カウンタロッド６６は、電源が入っていないときに、ボディ６０から突出する方向に移動して出力ロッド７１を引き込むようになっている。つまり、カウンタロッド側永久磁石６７と本体側永久磁石６８には、出力ロッド側永久磁石７２と本体側永久磁石７３より磁力が大きいものが使用され、カウンタロッド６６は、出力ロッド７１より大きい推力に設定され、その差
は、モータ５２の静止トルクを上回る値である。
【００５４】
そこで、本実施形態の移載装置１によれば、図９に示す非出力状態のときに、ステッピングモータ５２に所定量の回転が所定方向（図中反時計方向）に与えられると、プーリ５４がワイヤ５５をカウンタロッド６６側に送り出し、出力ロッド７１が、出力ロッド側永久磁石７２と本体側永久磁石７３の吸引力に従ってボディ６０から突出する方向（図中下方）に移動して、その先端の吸着パッド８０を部品に当接させる。このとき、貫通孔６２から引き出されたワイヤ５５はワイヤ保護筒６４により保護されている。そして、真空供給ポート５９からエアを吸引すると、流路ブロック５８、真空パイプ７６、出力ロッド７１を介して吸着パッド８０と不図示の部品との当接部分が負圧になって吸着保持できる。一方、カウンタロッド６６は、ワイヤ５５に引っ張られ、カウンタロッド側永久磁石６７と本体側永久磁石６８の吸引力に抗してボディ６０に引き込む方向（図中上方）に引き上げられる。
【００５５】
それから、ステッピングモータ５２に所定量の回転が所定方向と反対方向（図中時計方向）に与えられると、プーリ５４がワイヤ５５をカウンタロッド６６側に送り出し、カウンタロッド６６が、カウンタロッド側永久磁石６７と本体側永久磁石６８の吸引力に従ってボディ６０から突出する方向（図中下方）に移動する。それに伴って、吸着ブロック７８がワイヤ５５に引っ張られてボディ６０内に引き込む方向（図中上方）に引き上げられ、その推力が出力ロッド７１に伝達されるため、出力ロッド７１は、出力ロッド側永久磁石７２と本体側永久磁石７３の吸引力に抗してボディ６０に押し込まれる。原点センサ８２は、運転開始時にのみ位置を検出するものであり、通常動作に関係ないモータ５２は支持されたパルスによって動作する。
【００５６】
ここで、例えば、停電などにより移載装置５１の電源が落ちた場合には、プーリ５４がモータ５２の静止トルクのみの保持になる。カウンタロッド６６側の磁気バネは、出力ロッド７１側の磁気バネより磁力が大きいため、カウンタロッド６６は、カウンタロッド側永久磁石６７と本体側永久磁石６８の吸引力に従ってボディ６０から突出する方向（図中下方）に移動する。それと同時に、吸着ブロック７８を介して出力ロッド７１に伝達される。そのため、出力ロッド７１は、出力ロッド側永久磁石７２と本体側永久磁石７３の吸引力に抗してボディ６０内に引き込まれる。
【００５７】
従って、本実施形態の移載装置５１によれば、例えば、電源が落ちた場合などの非常時には、カウンタロッド６６が、カウンタロッド側永久磁石６７と本体側永久磁石６８の磁力に従ってボディ６０から突出する方向に移動し、出力ロッド７１を出力ロッド側永久磁石７２と本体側永久磁石７３の磁力に抗してボディ６０内に自動的に引き込むので、出力ロッドが他の部材と干渉することを防止できる。
【００５８】
なお、本発明は、前記実施形態のものに限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００５９】
【発明の効果】
本発明は、第１出力ロッドを往復直線移動可能に挿通される第１貫通孔と、第２出力ロッドを往復直線移動可能に挿通される第２貫通孔とを形成された本体と、第１出力ロッドの外周に固定された円筒形状の第１出力ロッド側永久磁石と、第２出力ロッドの外周に固定された円筒形状の第２出力ロッド側永久磁石と、第１出力ロッドと同軸上に配置され、第１出力ロッド側永久磁石に対応して第１貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第１本体側永久磁石と、第２出力ロッドと同軸上に配置され、第２出力ロッド側永久磁石に対応して第２貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第２本体側永久磁石と、第１出力ロッドと第２出力ロッドに両端が固定された連結紐と、連結紐が巻かれると共に、駆動手段に連結さ
れたプーリとを有し、第１出力ロッド側永久磁石の外周面と、第１本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁される一方、第２出力ロッド側永久磁石の外周面と、第２本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁されており、第１出力ロッド側永久磁石が、第１出力ロッドが本体から外部に突出する方向と反対方向に第１本体側永久磁石から突出するときには、第１出力ロッドが本体から外部に突出する方向の力を付与され、第２出力ロッド側永久磁石が、第２出力ロッドが本体から外部に突出する方向と反対方向に第２本体側永久磁石から突出するときには、第２出力ロッドが本体から外部に突出する方向の力を付与されるので、１つの駆動手段で一対の出力ロッドの移動を制御することができ、装置全体をコンパクトにすることができる。
【００６０】
また、本発明の移載装置は、出力ロッドを往復直線移動可能に装填される第１貫通孔と、カウンタロッドを往復直線移動可能に装填される第２貫通孔とを形成された本体と、出力ロッドの外周に固定された円筒形状の出力ロッド側永久磁石と、カウンタロッドの外周に固定された円筒形状のカウンタロッド側永久磁石と、出力ロッドと同軸上に配置され、出力ロッド側永久磁石に対応して第１貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第１本体側永久磁石と、カウンタロッドと同軸上に配置され、カウンタロッド側永久磁石に対応して第２貫通孔の内壁に固定された円筒形状の第２本体側永久磁石と、出力ロッドに一端が固定され、カウンタロッドに他端が固定された連結紐と、連結紐が巻かれると共に、駆動手段に連結されたプーリとを有し、出力ロッド側永久磁石の外周面と、第１本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁される一方、カウンタロッド側永久磁石の外周面と、第２本体側永久磁石の内周面との互いに対面する部分が異なる磁極で着磁されており、カウンタロッド側永久磁石が第２本体側永久磁石から突出しているときにカウンタロッドに付与する第１の力が、出力ロッド側永久磁石が第１本体側永久磁石から突出したときに出力ロッドに付与する第２の力より大きく、第１の力と第２の力との差が、駆動手段の静止トルクを上回るので、電源が落ちた場合などの非常時に、出力ロッドが他の部材と干渉することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る第１実施形態の移載装置を示す出力ロッド出力時の断面図である。
【図２】  本発明に係る第１実施形態の移載装置を示す非出力時の断面図である。
【図３】  本発明に係る第１実施形態の移載装置を示す出力ロッド出力時の断面図である。
【図４】  ワイヤの固取付構造を示す概念図である。
【図５】  移載装置の永久磁石部分を示す図である。
【図６】  磁気バネを構成する永久磁石のストローク−推力静特性について行った測定結果をグラフにした図である。
【図７】  磁気バネを構成する永久磁石によって発生する推力の原理を概念的に図示したものである。
【図８】  本発明に係る第２実施形態の移載装置を示す出力時の断面図である。
【図９】  本発明に係る第２実施形態の移載装置を示す非出力時の断面図である。
【図１０】  部品搬送装置の概略構成図である。
【図１１】  従来の移載装置を示した非出力時の図である。
【図１２】  従来の移載装置を示した出力時の図である。
【図１３】  従来の移載装置を構成する吸着パッドバッファを示した図である。
【符号の説明】
１    移載装置
２，６０  ボディ
２２，５２  ステッピングモータ
２４，５４  プーリ
２５，５５  ワイヤ
３１Ａ，３１Ｂ，７１  出力ロッド
３３Ａ，３３Ｂ，７２  出力ロッド側永久磁石
３４Ａ，３４Ｂ，７３  本体側永久磁石
３６Ａ，３６Ｂ  真空パイプ
４１Ａ，４１Ｂ，８０  吸着パッド
６６  カウンタロッド
６７  カウンタロッド側永久磁石
６８  本体側永久磁石
【図１】
0003863487.tif 000002
【図２】
0003863487.tif 000003
【図３】
0003863487.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003863487.tif 000008
【図８】
0003863487.tif 000009
【図９】
0003863487.tif 000010
【図１０】
0003863487.tif 000011
【図１１】
0003863487.tif 000012
【図１２】
0003863487.tif 000013
【図１３】
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