(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
床面を全面均一吸込としたトンネル式クリーンルームと、
このトンネル式クリーンルームを垂れ壁により区画して形成された高い清浄度を必要とする高速流域と低速流域と、
前記高速流域と前記低速流域との境であり作業員が位置する境界域と、
前記高速流域に設けられたファンフィルタユニットと、
前記低速流域側に設げられ、断面略１／４楕円弧形状を為し、前記境界域で下向きに均一方向を持つ流れになるように、前記境界域への吹出口からは前記境界域が前記高速流域から前記低速流域の速度まで漸減した速度で吹き出すと共に、前記低速流域への吹出口からは前記低速流域が０．０５から０．２m/secの室内平均降下風速となるように吹き出す、全面がフィルタで形成されたフィルタダクトと、
前記高速流域に設置された生産装置と、
前記ファンフィルタユニット及び前記断面略１／４楕円弧形状のフィルタダクトを介してトンネル式クリーンルームに清浄空気を送る空調機と、
気液相変化する冷媒が流通されるコイルと、
このコイル内の冷媒を冷却又は加熱する熱交換器ユニットと、
前記コイルで冷房する際に、前記熱交換器ユニットから前記コイルヘ流れる冷媒循環配管に設置された循環ポンプ及び流量調整弁とを有し、
前記コイルが、前記生産装置の位置する前記ファンフィルタユニットに配置され、
前記熱交換器ユニットが、トンネル式クリーンルームの外部に設置されているトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法において、
前記低速流域への吹出口の曲率及び作業員が位置する前記高速流域と前記低速流域との境界域への吹出口の曲率を、前記高速流域と前記低速流域との風速比に応じて縦楕円弧形状から円弧形状を経て横楕円弧形状まで断面形状を変化させて前記フィルタダクトを形成する
ことを特徴とするトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法。
【請求項２】
前記高速流域に設けられたファンフィルタユニットが、前記垂れ壁の下端の高さと略等しい高さに位置することを特徴とする請求項１記載のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法。
【請求項３】
前記高速流域に設けられたファンフィルタユニットは、
筒状のユニット本体の下端開口部にフィルタを配置するとともに、前記ユニット本体の上面の中心に形成される吸気用開口部に軸流型のファンを配置し、前記ファンの下方に該ファンの下方に向けて窪む正方形状した遮音板を配置し、前記ユニット本体の内周の上部に内方に向けて突出し前記ファンの回転により発生する旋回流の旋回を抑制する複数の整流板を配置して成る
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法。
【請求項４】
前記冷媒は、冷房時に前記循環ポンプにより前記コイルに強制的に供給され、その後前記コイルで蒸発し、その蒸発圧力と凝縮圧力の差圧によって前記熱交換器ユニットに戻され、
前記冷媒循環配管に設置された流量調整弁は、前記生産装置に配置される温度検出器からの信号に基づいて制御装置により弁開度が制御される
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法。
【請求項５】
前記低速流域に設けた断面円弧状のフィルタダクトは、作業流域と隣り合うエリア部分の吹出速度が前記高速流域から離れるに従って低速になっていることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体工場、精密機械工場、薬品製造工場等の無塵室或いは無菌室に適用されるトンネル式クリーンルームの空調システムのフィルタダクト形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体工場に於ては、超ＬＳＩの高集積化・超微細化に伴なう製造技術の高度化への対応として超清浄度空間の必要性が増大し、クラス１〜１００の清浄度を有するクリーンルームが要求されている。
この要求に応えるものとしては、垂直層流方式のクリーンルームとトンネル方式クリーンルームとがある。
【０００３】
処で、垂直層流方式のクリーンルームは、天井の全面に高性能フィルタを施設すると共に、温湿度を室全体として制御する必要があり、室内の各生産装置毎の温度制御の不均衡を起こす虞があった。
これに対し、トンネル式クリーンルームは、そのエリア分けにより作業部毎に高精度に制御することができる可能性があるという利点を有する。
【０００４】
このトンネル式クリンルームとしては、例えば、特開昭６１−２８２７４２号公報がある。
これを図１０により説明する。
図に於て、１はトンネル式クリーンルームである。このトンネル式クリーンルーム１には垂れ壁２により高い清浄度を必要とする高速流域Ａと境界域Ｃと低速流域Ｂとが区画されている。
【０００５】
高速流域Ａには、高性能フィルタ３が施設されている。この高性能フィルタ３は、トンネル状室内の天井側に設けた給気チャンバ４に取り付けてある。
高性能フィルタ３の下方には、クリンルーム１の床５上に配置された生産機械６が位置している。
低速流域Ｂ側の垂れ壁２と天井７との間には、吹出口８が設けられている。この吹出口８は、２つの高性能フィルタ９，１０と、両高性能フィルタ９，１０に清浄空気を送る給気チャンバ１１と、給気チャンバ１１内に位置し垂れ壁２よりの高性能フィルタ９の上部に設けたダンパ１２とで構成されている。
【０００６】
境界域Ｃは、高性能フィルタ９からの吹出によって形成される。
このトンネル式のトンネル式クリーンルーム１によれば、高性能フィルタ３を介して高速流域Ａの全域に亘って清浄空気をほぼ鉛直下向きに０．３〜０．４m/sec程度の速度で層流状に吹き出し、低速流域Ｂでは、清浄空気を高性能フィルタ１０を介して拡散的に０．０５〜０．２m/sec程度の室内平均降下風速になるように吹き出している。
【０００７】
そして、境界域Ｃに於ては、ダンパ１２を操作して清浄空気をほぼ鉛直下向きに０．３〜０．４m/sec程度の速度で吹き出している。
この境界域Ｃに於ける高速流域Ａの気流流れと同じ気流流れを高性能フィルタ９とダンパ１２によって形成するため、境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防止することができる。
【０００８】
図１１は、同じく特開昭６１−２８２７４２号公報に記載されてあるトンネル式クリーンルームである。
この場合には、高性能フィルタ１３を天井側に施設し、１つの吹出口１４に境界域用１４ａと低速流域用１４ｂとを設けたものである。
このトンネル式クリーンルームに於ても、図１０と同様に境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防止することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
処が、図１０に示すトンネル式クリーンルームでは、ダンパ１２によって境界域Ｃの風速を調整するものであるため、ダンパ１２の調整に手間取る。
又、高性能フィルタ９，１０が直線で形成され、高性能フィルタ９と高性能フィルタ１０の為す角度がかなり大きな角度を持つため、高性能フィルタ９と高性能フィルタ１０の夫々から吹き出す気流により新たな境界層ができる。これにより、境界層Ｃは波高性能フィルタ９の幅の分だけ位置がずれたに過ぎないことになる可能性が大きい。
【００１０】
又、図１１に示すトンネル式クリーンルームでは、高性能フィルタ１３から吹出口１４内に動圧が掛かるため、清浄空気は横向きの低速流域用１４ｂよりも下向きの境界域用１４ａから出やすくなり、高速流域Ａの流速よりも速くなる可能性がある。その場合には、境界域Ｃ側に位置する作業員からの発塵の巻き込みを防止することができない。
【００１１】
一方、従来のトンネル式クリーンルーム空調システムとしては、図１２に示すものが知られている。
このシステムでは、高速流域Ａの給気チャンバ４と低速流域Ｂの給気チャンバ１１と床下空間１５とがダクト１６により空調機（図示せず）に連絡され、床下空間１５内の空気を、空調機の冷温水コイル及びファンに導いた後、空調された空気を高速流域Ａの給気チャンバ４と低速流域Ｂの給気チャンバ１１に供給し、フィルタ３及び吹出口９，１０からトンネル式クリーンルーム１内に吹き出させることによりトンネル式クリーンルーム１内の空気の空調及び浄化が行われている。
【００１２】
然し乍ら、このような従来のトンネル式クリーンルーム空調システムでは、一台の空調機によりトンネル式クリーンルーム１内の空調を行っているため、トンネル式クリーンルーム１内に部分的に発生する熱負荷に有効に対応することが困難であるという問題があった。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、境界領域に位置する作業員からの発塵を高速流域に巻き込むことを防止すると共に、トンネル式クリーンルーム内に部分的に発生する熱負荷に有効に対応することができるトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、床面を全面均一吸込としたトンネル式クリーンルームと、このトンネル式クリーンルームを垂れ壁により区画して形成された高い清浄度を必要とする高速流域と低速流域と、前記高速流域と前記低速流域との境であり作業員が位置する境界域と、前記高速流域に設けられたファンフィルタユニットと、前記低速流域側に設げられ、断面略１／４楕円弧形状を為し、前記境界域で下向きに均一方向を持つ流れになるように、前記境界域への吹出口からは前記境界域が前記高速流域から前記低速流域の速度まで漸減した速度で吹き出すと共に、前記低速流域への吹出口からは前記低速流域が０．０５から０．２m/secの室内平均降下風速となるように吹き出す、全面がフィルタで形成されたフィルタダクトと、前記高速流域に設置された生産装置と、前記ファンフィルタユニット及び前記断面略１／４楕円弧形状のフィルタダクトを介してトンネル式クリーンルームに清浄空気を送る空調機と、気液相変化する冷媒が流通されるコイルと、このコイル内の冷媒を冷却又は加熱する熱交換器ユニットと、前記コイルで冷房する際に、前記熱交換器ユニットから前記コイルヘ流れる冷媒循環配管に設置された循環ポンプ及び流量調整弁とを有し、前記コイルが、前記生産装置の位置する前記ファンフィルタユニットに配置され、前記熱交換器ユニットが、トンネル式クリーンルームの外部に設置されているトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法において、前記低速流域への吹出口の曲率及び作業員が位置する前記高速流域と前記低速流域との境界域への吹出口の曲率を、前記高速流域と前記低速流域との風速比に応じて縦楕円弧形状から円弧形状を経て横楕円弧形状まで断面形状を変化させて前記フィルタダクトを形成するものである。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１記載のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法において、前記高速流域に設けられたファンフィルタユニットが、前記垂れ壁の下端の高さと略等しい高さに位置するものである。
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２記載のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法において、前記高速流域に設けられたファンフィルタユニットは、筒状のユニット本体の下端開口部にフィルタを配置するとともに、前記ユニット本体の上面の中心に形成される吸気用開口部に軸流型のファンを配置し、前記ファンの下方に該ファンの下方に向けて窪む正方形状した遮音板を配置し、前記ユニット本体の内周の上部に内方に向けて突出し前記ファンの回転により発生する旋回流の旋回を抑制する複数の整流板を配置して成るものである。
【００１５】
請求項４の発明は、請求項１乃至請求項３の何れかに記載のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法において、前記冷媒は、冷房時に前記循環ポンプにより前記コイルに強制的に供給され、その後前記コイルで蒸発し、その蒸発圧力と凝縮圧力の差圧によって前記熱交換器ユニットに戻され、前記冷媒循環配管に設置された流量調整弁は、前記生産装置に配置される温度検出器からの信号に基づいて制御装置により弁開度が制御されるものである。
請求項５の発明は、請求項１乃至請求項４の何れかに記載のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法において、前記低速流域に設けた断面円弧状のフィルタダクトは、作業流域と隣り合うエリア部分の吹出速度が前記高速流域から離れるに従って低速になっているものである。
【００１６】
（作用）
請求項１乃至請求項５の発明に於ては、熱交換器ユニットで冷却された気液相変化する冷媒が、ファンフィルタユニットの上面に配置されるコイルに循環され、このコイルで冷却された空気が、ファンフィルタユニットにより高性能フィルタからトンネル式クリーンルームの高速流域内に流入される。
【００１７】
又、請求項１乃至請求項５の発明に於ては、高速流域では従来と同様に生産機械に向かって流れる高速層流を形成する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１乃至図３は、請求項１乃至５に係るトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法の一実施の形態を示す。
図に於て、２１はトンネル方式のクリーンルームである。このトンネル式のクリーンルーム２１には垂れ壁２２により高い清浄度を必要とする高速流域ａと境界域ｃと低速流域ｂとが区画されている。
【００２０】
トンネル式のクリーンルーム２１は、天井２３側にトンネル式のクリーンルーム２１内に清浄空気を吹き出す高性能フィルタユニット２４が取り付けられ、床２５には全面に穿孔されたパンチングメタルが施設されている。そして、天井空間２６と床下空間２７とは、空調機２８を介して連絡している。床上には生産機械２９が配置されている。
【００２１】
高速流域ａには、ファンフィルタユニット３０が配置されている。このファンフィルタユニット３０は図４及び図５に示すように、横断面正方形形状で筒状のユニット本体３１の下端開口部３３には、ＵＬＰＡフィルタ，ＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタ３５が配置されている。
ユニット本体３１の上面３７の中心には、吸気用開口部３９が形成され、この吸気用開口部３９に軸流型ファン４１が配置されている。
【００２２】
この軸流型ファン４１は、吸気用開口部３９に嵌挿されるべルマウス４３を有している。
べルマウス４３の中央には、ボス部４５が配置され、ボス部４５の外周に羽根４７が固定されている。
ボス部４５には、モータ４９が連結され、モータ４９は、ブラケット５１を介してべルマウス４３に固定されている。
【００２３】
そして、ボス部４５には、吸い込み方向に向けて突出する先端先細り状の気流案内カバー５３が装着されている。  ユニット本体３１の内周の上部には、内方に向けて突出し軸流型ファン４１の回転により発生する旋回流の旋回を抑制する複数の整流板５５が固定されている。
この整流板５５には、グラスウールから成る吸音材５７が装着されている。
【００２４】
ユニット本体３１の軸流型ファン４１の下方には、遮音板５９が配置されている。
この遮音板５９は、正方形状をしており、その中心が軸流型ファン４１の下方に位置されている。
遮音板５９には、グラスウールから成る吸音材６１が装着されており、遮音板５９は、ブラケット６３によりユニット本体３１の内面に固定されている。
【００２５】
遮音板５９の中心部には、下方に向けて窪む正方形状の凹部６５が形成されている。
そして、凹部６５の内周面が、底面側に向けて傾斜する傾斜面６７とされている。
ユニット本体３１の遮音板５９の下方には、矩形環状の外側遮音板６９が配置されている。
【００２６】
この外側遮音板６９は、その内周部が遮音板５９に重なるように配置されている。
そして、外側遮音板６９には、グラスウールから成る吸音材７１が装着されている。
図１に於て、８０は断面円弧状のフィルタダクトを表す。このフィルタダクト８０は、ＵＬＰＡフィルタ，ＨＥＰＡフィルタ等の高性能フィルタを高速流域ａと低速流域ｂの風速比Ｖａ／Ｖｂや、フィルタダクトの取付ピッチ距離ｘに応じて断面略１／４縦楕円弧形状〜断面略１／４円弧形状〜断面略１／４横楕円形状に変化させて形成したものである。
【００２７】
このＶａ／Ｖｂが大きくなるほど、低速流域ｂよりも境界域ｃに多風量を与えなければならず、フィルタダクトの取付ピッチ距離ｘが大きくなるほど、低速流域ｂに多風量を与えなければならない。
そこで、吹出口８１の曲率を（１／ρ）81、吹出口８２の曲率を（１／ρ）82とすると、次のような関数となる。
Ｖａ／Ｖｂ×α ・１／ｘ  ∝ β×（１／ρ）81／（１／ρ）82
ここで、α，βは係数である。
この関数から明らかなように、Ｖａ／Ｖｂが大きくなるほど、（１／ρ）81／（１／ρ）82の値を大きくする必要があり、そのようにすることにより、境界域ｃに多風量を与えることができる。そして、フィルタダクトの取付ピッチ距離ｘが大きくなるほど（１／ρ）81／（１／ρ）82の値を小さくする必要があり、そうすることにより低速流域ｂに多風量を与えることができる。
【００２８】
フィルタダクト８０は低速流域ｂ側への吹出口８１と境界域ｃへの吹口８２とで構成されている。吹出口８１には、パンチングの抵抗体を取り付けるか、或いは高性能フィルタの折り密度や折り高さを変化させることができる。吹出口８２より吹出口８１のフィルタの曲率を大きくすることによって、吹出口８２を吹出口８１より濾材面積を増加させることもできる。このように濾材面積を増加させることにより、フィルタダクト８０は低速流域ｂ側への吹出口８１よりも境界域ｃへの吹出口８２からの風量を増加させたものとされる。
【００２９】
図１に於て、コイル９０と熱交換器ユニット９２とから成る、本出願人が先に完成させた、冷媒循環マルチシステム（ＲＣＭ）が装置されている。
この冷媒循環マルチシステムは、冷房時に蒸発器、暖房時に凝縮器として働くコイル９０を上方に、冷房時に凝縮器、暖房時に蒸発器として働く熱交換器９３と循環ポンプ９４を組み込んだ熱交換器ユニット９２を下方に配置して、これ等を循環配管９５，９６で結び、気液相変化する冷媒を封入して構成されている。
【００３０】
そして、このシステムでは、冷房時には、図６に示したように、冷媒液が循環ポンプ３９を用いて強制的にコイル９０に供給され、コイル９０で蒸発した冷媒がガスとなり、蒸発圧力と凝縮圧力の差圧により熱交換ユニット９２の熱交換器９３に戻され、冷水と熱交換され凝縮される。
又、本実施の形態では、生産装置２９の位置するファンフィルタユニット３０の上面には、図１に示した冷媒循環マルチシステムの気液相変化する冷媒が流通されるコイル９０が配置されている。このコイル９０で冷却された空気は、ファンフィルタユニット３０の軸流型ファン４１からトンネル式クリーンルーム２１内に流入させるようになっている。
【００３１】
又、トンネル式クリーンルーム２１の外部には、図１に示した冷媒循環マルチシステムの熱交換器ユニット９２、即ち、気液相変化する冷媒を冷却する熱交換器ユニット９３が配置されている。
循環配管９６には、流量調整弁９１が配置されており、この流量調整弁９１は、生産装置２９に配置される温度検出器９８からの信号を入力する制御装置９９により弁の開度を制御される。
【００３２】
尚、本実施の形態では、生産装置２９から発生する熱負荷を取り除くために冷媒循環マルチシステムを用いるものであるから、暖房サイクルでの使用はない。
次に、本実施の形態の作用を説明する。
空調機２８を駆動して清浄空気をファンフィルタユニット３０，高性能フィルタユニット２４及びフィルタダクト８０へ供給することによって、トンネル式のクリーンルーム２１へ清浄空気を供給する。
【００３３】
その際、ファンフィルタユニット３０では、軸流型ファン４１により吸気用開口部３９から吸引された空気が、旋回流とされた後、この旋回流が、外周部に於て整流板５５に衝突し抑制され、下方に向かう流れになり、遮音板５９と外側遮音板６９との間を通過した後高性能フィルタ３５に達し、高性能フィルタ３５で浄化された後、高速流域ａ内に０．３〜０．４m/sec程度の高速で吹き出される。
【００３４】
一方、高性能フィルタユニット２４からは、０．０５〜０．２m/sec程度の室内平均降下風速になるような低速で清浄空気が吹き出される。
そして、フィルタダクト８０では、吹出口が全面フィルタで形成されているので、動圧の影響を受けずに、各部フィルタの圧力損失の違いにより、境界域ｃへの吹出口８２からは高速流域ａの速度〜低速流域ｂの速度まで漸減した速さの清浄空気を吹き出すと共に、低速流域ｂ側への吹出口８１からは０．０５〜０．２m/sec程度の室内平均降下風速になるような低速で清浄空気を吹き出すことができる。
【００３５】
そのため、高速流域ａと境界域ｃとの間では、下向きの安定した気流が形成され、上昇気流が発生しない。
即ち、境界域ｃでの作業者からの発塵を高速流域ａ内に巻き込むことがない。
而も、従来のように、ダンパを操作するという煩雑な操作を必要としないためトンネル式のクリーンルームの管理が容易である。
【００３６】
加えて、境界域ｃにフィルタダクト８０を設置するだけで済むため、構造が簡単である。
又、上述したファンフィルタユニット３０では、軸流型ファン４１の使用により軸流型ファン４１の外方に向けて旋回流が発生するが、この旋回流が、外周部に於てユニット本体３１の内周の上部に配置される複数の整流板５５に衝突し抑制され、下方に向かう流れになり、高性能フィルタ３５を介して室内に吹き出されるため、高性能フィルタ３５からの吐出風速分布を均一にすることができる。
【００３７】
又、整流用多孔板等によって、気流の方向を変える必要がなくなるため、吐出抵抗が増大することを防止できる。
更に、軸流型ファン４１と高性能フィルタ３５との間に配置される遮音板５９により、軸流型ファン４１から発生する騒音を確実に遮音することができる。
又、上述したファンフィルタユニット３０では、ユニット本体３１を横断面正方形形状にし、その中心に軸流型ファン４１及び正方形状の遮音板５９の中心を配置したので、高性能フィルタ３５の四方から同一条件で空気が吐出されることになり、高性能フィルタ３５からの吐出風速分布をより均一にすることができる。
【００３８】
更に、遮音板５９の中心部に下方に向けて窪む正方形状の凹部６５を形成し、凹部６５の内周面を底面側に向けて傾斜したので、凹部６５の底面に衝突した空気が、傾斜面６７に案内されて外側に向けて円滑に流れ気流が乱されることがなくなり、高性能フィルタ３５からの吐出風速分布をより均一にすることができる。
【００３９】
又、上述したファンフィルタユニット３０では、ユニット本体３１の遮音板５９の下方に、外側遮音板６９の内周が重なるように配置したので、軸流型ファン４１から発生する騒音が直接高性能フィルタ３５に達することが防止され、消音効果を向上することができる。
更に、軸流型ファン４１のボス部４５に気流案内カバー５３を配置したので、空気の流れが円滑になり、軸流型ファン４１の騒音を低減し、又、軸流型ファン４１の効率を向上することができる。
【００４０】
尚、ファンフィルタユニットは、図示するものに限らず、ファンと高性能フィルタとが組み合わされたものであれば如何なるものでも良い。
又、上述したトンネル式クリーンルーム空調システムでは、床空間２７内の空気を、循環ダクト１０１により天井空間２６に導びき、天井空間２６からファンフィルタユニット３０に導びいた後、軸流型ファン４１により高性能フィルタ３５から高速流域ａ内に供給すると共に、生産装置２９が配置されている箇所に於ては、冷媒循環マルチシステムの気液相変化する冷媒が流通されるコイル９０が配置されており、コイル３３により冷却された空気を、ファンフィルタユニット３０により高性能フィルタ３５から高速流域ａ内に供給する。
【００４１】
而して、上述したトンネル式クリーンルーム空調システムでは、トンネル式クリーンルーム２１の高速流域ａに配置されるファンフィルタユニット３０の上面に、気液相変化する冷媒が流通されるコイル９０で冷却された空気をファンフィルタユニット３０からトンネル式クリーンルーム２１内に流入させるようにしたので、コイル９０の配置位置を選択することによりトンネル式クリーンルーム２１内に部分的に発生する熱負荷に有効に対応することができる。
【００４２】
即ち、ファンフィルタユニット３０にコイル９０を設置するだけで良いので、非常にコンパクトであり、生産装置２９が配置される熱負荷が大きい位置の上方のファンフィルタユニット３０に配置することにより、トンネル式クリーンルーム２１内に部分的に発生する熱負荷を有効に解消することができる。
【００４３】
又、上述したトンネル式クリーンルーム空調システムでは、ファンフィルタユニット３０にコイル９０を配置し、各コイル９０を、制御装置９９により温度制御するようにしたので、トンネル式クリーンルーム２１内に部分的に発生する熱負荷に有効に対応することができる。
例えば、図６に示すように、配管９６に設けた流量調整弁９１の開度は、生産装置２９に取り付けた温度検知器９８からの信号に基づいて制御装置９９が比例制御することにより調整される。
【００４４】
更に、上述したトンネル式クリーンルーム空調システムでは、コイル９０には、気液相変化する冷媒のみが循環されるため、水配管が無くなり、漏水の虞を解消することができる。
図７は、図１に示すトンネル式のトンネル式クリーンルームのフィルタダクト形成方法の変形例を示す。
本実施の形態では、高性能フィルタユニット２４及びフィルタダクト８０にもファン１１０，１１１を設けたものである。
【００４５】
本実施の形態も上記実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
図８は、図１に示すトンネル式のトンネル式クリーンルームのフィルタダクト形成方法の変形例を示す。
ファンフィルタユニット３０が、垂れ壁の下端の高さと略等しい位置まで下降されている。
本実施の形態も上記実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００４６】
図９は、図８の変形例を示す。
本実施の形態では、高性能フィルタユニット２４及びフィルタダクト８０にもファン１１０，１１１を設けたものである。
本実施の形態も上記実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項１乃至５のトンネル式のトンネル式クリーンルームのフィルタダクト形成方法では、従来のトンネル式のトンネル式クリーンルームのように境界域にダンパを設けて低速流域との流速を調整するという複雑な操作が不要となる。
【００４６】
又、ダンパによる切替装置を必要としないので、装置が簡単となる。
更に、ファンフィルタユニットが、生産装置に近い位置に設けられるので、塵埃減衰時間が短くなり、即ち、生産装置に発生する渦領域に於ける塵埃濃度大の領域が小さくなり、浄化能力が大きくなる。
又、生産装置から発生する熱負荷に有効に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  請求項１乃至５に係るトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法の一実施の形態を示す説明図である。
【図２】  図１のトンネル式のトンネル式クリーンルーム空調システムの一部を取り去った斜視図ある。
【図３】  図１のトンネル式のトンネル式クリーンルーム空調システムの清浄空気の流れを示す説明図である。
【図４】図１のトンネル式クリーンルーム用ファンフィルタユニットを示す斜視図である。
【図５】  図１のトンネル式クリーンルーム用ファンフィルタユニットを示す断面図である。
【図６】冷媒循環システムの冷房時の状態を示す配管系統図である。
【図７】  図１のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法の別の実施の形態を示す説明図である。
【図８】  図１のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法の別の実施の形態を示す説明図である。
【図９】  図１のトンネル式クリーンルーム空調システムのフィルタダクト形成方法の別の実施の形態を示す説明図である。
【図１０】  従来のトンネル式のクリーンルームを示す説明図である。
【図１１】  従来のトンネル式のクリーンルームを示す説明図である。
【図１２】  従来のトンネル式のクリーンルームを示す説明図である。
【符号の説明】
２１ トンネル方式のトンネル式クリーンルーム
２２ 垂れ壁
２３ 天井
２４ 高性能フィルタユニット
２５ 床
２６ 天井空間
２７ 床下空間
２８ 空調機
２９ 生産機械
３０ ファンフィルタユニット
３１ ユニット本体
３５ 高性能フィルタ
４１ 軸流型ファン
８０ 断面円弧状のフィルタダクト
８１，８２ 吹出口
９０ コイル
９１ 流量調整弁
９２ 熱交換器ユニット
９３ 熱交換器
９４ 循環ポンプ
９５，９６ 循環配管
９８ 温度検出器
９９ 制御装置
ａ 高速流域
ｂ 低速流域
ｃ 境界域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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