(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータの各ポートに第１速度制御弁および第２速度制御弁がそれぞれ並列に接続され、前記アクチュエータから排出される排気圧を制御する圧力制御弁であって、
円筒状に形成された弁ボデイと、
前記弁ボデイの側部に一体的に連結される電磁弁用ボデイと、
前記弁ボデイの両端部に形成された開口部をそれぞれ閉塞する一組のキャップ部材と、
前記弁ボデイの内部に対称に配置され、前記アクチュエータから排出される圧力流体の圧力を、予め設定された所定圧以上に保持する最低圧力保持機能を有する第１リリーフ弁及び第２リリーフ弁と、
前記電磁弁用ボデイの内部に配置され、圧力流体を供給する流路を切り換える切換用電磁弁と、
を備え、
前記第１リリーフ弁および前記第２リリーフ弁は、同一構成からなり、それぞれ、貫通孔が設けられ前記弁ボデイの内部に形成された室に沿って摺動する変位部材と、一端部にテーパ部が設けられ他端部に前記変位部材に当接して前記貫通孔を閉塞するピン部材が設けられたバルブガイドと、前記変位部材に係着され前記バルブガイドを一方向に向かって押圧する第１ばね部材と、前記テーパ部に係着され前記バルブガイドを前記一方向と反対側の他方向に向かって押圧する第２ばね部材とを有し、
前記弁ボデイには、前記切換用電磁弁と前記第１速度制御弁および第２速度制御弁とをそれぞれ連通させる一組の第１通路と、圧力流体供給源から供給された圧力流体を前記切換用電磁弁に導出する第２通路と、前記切換用電磁弁の切換作用下に該切換用電磁弁から前記室に対して圧力流体を導入する第３通路と、前記第１リリーフ弁と前記第２リリーフ弁とを連通させる連通路とが設けられ、
前記第１リリーフ弁および前記第２リリーフ弁は、前記第２通路および前記連通路を介して圧力流体供給源に連通するように設けられることを特徴とする圧力制御弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、シリンダ等のアクチュエータの変位速度を制御することが可能な圧力制御弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、特に電子・電気産業等において、小物品等を搬送するために空気圧アクチュエータ、例えば、シリンダが広範に用いられている。前記シリンダにおいて、シリンダチューブのシリンダ室に沿って直線状に往復運動するピストンの変位速度を制御する場合、前記シリンダ室内に圧力流体を供給する供給側通路を流通する圧力流体の流量を制御するメータイン回路１（図１８参照）と、前記シリンダ室内から圧力流体が排出される排出側通路を流通する圧力流体の流量を制御するメータアウト回路２（図１９参照）とが一般的に知られている。
【０００３】
なお、図１１および図１２中、参照数字３は、チェック弁４および可変絞り弁５から構成される速度制御弁を示し、参照数字６は切換用電磁弁を示している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、小物品等の搬送等のために、例えば、シリンダ等の空気圧アクチュエータを低速で駆動させた場合、前記速度制御弁が組み込まれたメータイン回路では、変位状態と停止状態とが間欠的に繰り返され、この結果、時間と変位量の特性曲線が階段状となる、いわゆるスティックスリップ現象が発生するという不具合がある。
【０００５】
一方、前記速度制御弁が組み込まれたメータアウト回路では、シリンダの駆動を長時間停止した後の再始動時にピストンが固着して該ピストンがシリンダ室に沿って急速に変位する、いわゆる飛び出し現象が発生するという不具合がある。
【０００６】
本発明は、前記の不具合を考慮してなされたものであり、スティックスリップ現象や飛び出し現象の発生を阻止し、アクチュエータの変位速度を低速で安定して制御することが可能な圧力制御弁を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、アクチュエータの各ポートに第１速度制御弁および第２速度制御弁がそれぞれ並列に接続され、前記アクチュエータから排出される排気圧を制御する圧力制御弁であって、
円筒状に形成された弁ボデイと、
前記弁ボデイの側部に一体的に連結される電磁弁用ボデイと、
前記弁ボデイの両端部に形成された開口部をそれぞれ閉塞する一組のキャップ部材と、
前記弁ボデイの内部に対称に配置され、前記アクチュエータから排出される圧力流体の圧力を、予め設定された所定圧以上に保持する最低圧力保持機能を有する第１リリーフ弁及び第２リリーフ弁と、
前記電磁弁用ボデイの内部に配置され、圧力流体を供給する流路を切り換える切換用電磁弁と、
を備え、
前記第１リリーフ弁および前記第２リリーフ弁は、同一構成からなり、それぞれ、貫通孔が設けられ前記弁ボデイの内部に形成された室に沿って摺動する変位部材と、一端部にテーパ部が設けられ他端部に前記変位部材に当接して前記貫通孔を閉塞するピン部材が設けられたバルブガイドと、前記変位部材に係着され前記バルブガイドを一方向に向かって押圧する第１ばね部材と、前記テーパ部に係着され前記バルブガイドを前記一方向と反対側の他方向に向かって押圧する第２ばね部材とを有し、
前記弁ボデイには、前記切換用電磁弁と前記第１速度制御弁および第２速度制御弁とをそれぞれ連通させる一組の第１通路と、圧力流体供給源から供給された圧力流体を前記切換用電磁弁に導出する第２通路と、前記切換用電磁弁の切換作用下に該切換用電磁弁から前記室に対して圧力流体を導入する第３通路と、前記第１リリーフ弁と前記第２リリーフ弁とを連通させる連通路とが設けられ、
前記第１リリーフ弁および前記第２リリーフ弁は、前記第２通路および前記連通路を介して圧力流体供給源に連通するように設けられることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、アクチュエータから排出される圧力流体の圧力を予め設定された所定圧力以上に保持しているため、飛び出し現象やスティックスリップ現象の発生が防止される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明に係る圧力制御弁について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１０】
本発明の第１の参考例に係る圧力制御弁が組み込まれたアクチュエータ制御回路１０を図１に示す。
【００１１】
このアクチュエータ制御回路１０は、メータイン制御方式を採用し、小物品等のワークＷを搬送する空気圧シリンダ（以下、単にシリンダという）１２と、前記シリンダ１２の供給通路１４側に設けられる第１速度制御弁１６と、前記シリンダ１２の排気通路１８側に設けられる第２速度制御弁２０と、圧力流体供給源２２からの圧力流体（圧縮空気）を第１速度制御弁１６と第２速度制御弁２０とに切り換えて供給する切換用電磁弁（切換手段）２４とを含む。
【００１２】
なお、前記第１速度制御弁１６および第２速度制御弁２０は、それぞれ同一の構成要素からなり、チェック弁４と可変絞り弁５とを備える。
【００１３】
さらにアクチュエータ制御回路１０は、第１速度制御弁１６と切換用電磁弁２４との間の供給通路１４に介装された第１圧力制御弁２６と、第２速度制御弁２０と切換用電磁弁２４との間の排気通路１８に介装された第２圧力制御弁２８とを有する。この場合、前記第１速度制御弁１６と第１圧力制御弁２６とは直列に接続され、同様に、第２速度制御弁２０と第２圧力制御弁２８とは直列に接続されている。なお、前記第１圧力制御弁２６および第２圧力制御弁２８は、最低圧力保持手段として機能するものである。
【００１４】
前記第１圧力制御弁２６および第２圧力制御弁２８は、それぞれ同一の構成要素からなり、チェック弁３０と、リリーフ弁３２とを備える。前記第１圧力制御弁２６は、シリンダ室３４ａへ圧力流体を供給する際にフリーフローとなり、前記第２圧力制御弁２８は、シリンダ室３４ｂから圧力流体を排気する際に排気圧が設定圧以下に低下しないように保持する機能を有する。
【００１５】
ここで、第１圧力制御弁２６（第２圧力制御弁２８）の構成について以下詳細に説明する。
【００１６】
第１圧力制御弁２６は、図２に示されるように、略円筒状に形成され、一端部に図示しないチューブを介して切換用電磁弁２４に接続される第１ポート１００と、他端部に第１速度制御弁１６を介してシリンダ１２に接続される第２ポート１０２とが設けられた弁ボデイ１０４を含む。前記第１ポート１００および第２ポート１０２には、図示しないチューブを接続するための管継手機構１０６が設けられる。
【００１７】
前記弁ボデイ１０４の略中央部には、該弁ボデイ１０４の軸線と略直交する方向に延在し一端部に環状凹部を介してチェック弁１０８が装着された第１円筒部材１１０が設けられ、前記第１円筒部材１１０の一端部に形成された孔部には貫通孔１１２を有する第２円筒部材１１４が連結される。
【００１８】
前記チェック弁１０８は、第１ポート１００から供給された圧縮空気の押圧作用によって舌片１１６が内側に撓曲することにより、第１ポート１００から供給された圧縮空気をフリーフローの状態で第２ポート１０２に向かって流通させるとともに、第２ポート１０２から供給された圧縮空気の押圧作用によって舌片１１６が弁ボデイ１０４の内壁面に接触し第２ポート１０２から第１ポート１００への圧縮空気の流通を阻止する機能を営む。換言すると、第１ポート１００から第２ポート１０２への方向には圧縮空気が自由流れとなるが、前記とは反対に第２ポート１０２から第１ポート１００への方向には前記チェック弁１０８のチェック作用下にその流通が阻止される。
【００１９】
前記第２円筒部材１１４の貫通孔１１２内には、弁ボデイ１０４の軸線と略直交する方向に変位するピストン１１８が摺動自在に設けられ、前記ピストン１１８は、ばね部材１２０の弾発力によって着座部１２２に着座することにより第１ポート１００と第２ポート１０２との連通を遮断する。この場合、チェック弁１０８が装着された第１円筒部材１１０の一端部には、その内壁面によって第２ポート１０２に連通する室１２４が形成され、前記室１２４はピストン１１８が着座部１２２に着座することにより、第１ポート１００との連通が遮断された状態にある。
【００２０】
すなわち、前記ピストン１１８は、ばね部材１２０の弾発力によって、常時、着座部１２２に着座するように下方側に向かって付勢された状態にあり、第２ポート１０２から室１２４に供給された圧縮空気の圧力がばね部材１２０の弾発力に打ち勝つことによりピストン１１８が着座部１２２から離間し、前記ばね部材１２０の弾発力と前記圧縮空気の圧力とが平衡することにより、所定の設定圧力に保持される。なお、前記ピストン１１８には、環状溝を介してシールリング１２６が装着されるとともに、一端部に着座部１２２に着座した際の衝撃を緩和する弾性部材１２８が装着されている。
【００２１】
第２円筒部材１１４には、ロックナット１３０によって係止された調整ねじ１３２が設けられ、前記調整ねじ１３２のねじ込み量を増減させることにより、ピストン１１８を下方側に向かって押圧するばね部材１２０の弾発力を調整することができる。従って、調整ねじ１３２のねじ込み量を増減させてばね部材１２０の弾発力を調整することにより、シリンダ１２からの排気圧を所定の最低圧力に設定することができる。
【００２２】
シリンダ１２のピストン３６の変位速度は、第１速度制御弁１６および第２速度制御弁２０によって調整される。図１８に示すメータイン回路と比較して、前記第１圧力制御弁２６および第２圧力制御弁２８を設けることにより、排気圧の下限値を高く設定することができる。
【００２３】
第１の参考例に係る圧力制御弁が組み込まれたアクチュエータ制御回路１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００２４】
図示しないコントローラから入力される切換信号に基づいて切換用電磁弁２４がオン状態となり、圧力流体供給源２２から導出された圧縮空気は、供給通路１４に連通する第１圧力制御弁２６および第１速度制御弁１６を経由して一方のシリンダ室３４ａに導入される。
【００２５】
この場合、第１圧力制御弁２６はフリーフローの状態にあり、前記第１圧力制御弁２６を通過した圧縮空気は第１速度制御弁１６によって所定の流量に絞られた後、一方のシリンダ室３４ａに導入される。第１圧力制御弁２６では、第１ポート１００から供給された圧縮空気の押圧作用によって舌片１１６が内側に撓曲することにより、第１ポート１００から供給された圧縮空気をフリーフローの状態で第２ポート１０２に向かって流通させる機能を営む。
【００２６】
従って、一方のシリンダ室３４ａに導入された圧縮空気の押圧作用下にピストン３６が矢印Ａ方向に沿って変位し、ワークＷが搬送される。その際、他方のシリンダ室３４ｂに残存する圧縮空気は、排気通路１８に連通する第２速度制御弁２０および第２圧力制御弁２８を経由して大気中に排気される。この場合、第２速度制御弁２０はフリーフローの状態にあり、前記第２速度制御弁２０を通過した圧縮空気は第２圧力制御弁２８によって予め設定された圧力値よりも低下しないように保持される。
【００２７】
すなわち、フリーフローの状態にある第２速度制御弁２０を通過した圧縮空気は第２圧力制御弁２８の第２ポート１０２に導入され、前記第２ポート１０２に導入された圧縮空気はチェック弁１０８のチェック作用下にその流通が阻止されるとともに、該第２ポート１０２に連通する室１２４に供給される。この場合、第２ポート１０２から室１２４に供給された圧縮空気の圧力（排気圧）がばね部材１２０の弾発力に打ち勝つことによりピストン１１８が着座部１２２から離間し、前記ばね部材１２０の弾発力と前記圧縮空気の圧力とが平衡することにより、シリンダ１２の排気圧が所定の設定圧力に保持される。換言すると、第２圧力制御弁２８は、排気される圧縮空気の圧力を予め設定された圧力に保持する機能を営む。従って、第２圧力制御弁２８により、排気圧の下限値を高く設定することができる。
【００２８】
このようにして、スティックスリップ現象や飛び出し現象の発生を阻止して、シリンダ１２のピストン３６を低速で安定して変位させることができる。
【００２９】
また、第１の参考例に係る圧力制御弁では、簡素な構成とすることにより小型化を図り製造コストを低減することができる。
【００３０】
次に、始動時に発生するピストン３６の固着による飛び出し現象について、メータアウト回路２による制御方式よりもメータイン回路１による制御方式のほうが有効であることを以下に数式を用いて説明する。
【００３１】
ここでは、図３に示す空気圧シリンダ４０の速度制御回路４１に基づいて考察する。
【００３２】
なお、参照数字４２ａおよび４２ｂは絞り、参照数字４３はピストンをそれぞれ示し、また、図中および数式中に示される記号は、以下の通りである。
【００３３】
Ａ：ピストンの受圧面積
Ｆ：静止摩擦力とクーロン摩擦力を含む外力
Ｆｓ：最大固着力
Ｍ：可動部質量
Ｐ：一方のシリンダ室３４ａの圧力
Ｒ：気体定数
Ｔ：空気の温度（絶対）
ｖ：速度
Ｖｃ：シリンダ４０の容積
ｘ：変位量
ｂ：粘性摩擦係数
ｋｐ：速度制御弁の圧力−流量係数
κ：空気の比熱比
ζ：減衰係数
ωn ：固有周波数
添字：Ｈはヘッド側、Ｒはロッド側、ａは大気圧状態をそれぞれ示す。
【００３４】
先ず、始動時に発生する固着による飛び出し現象について考える。ピストン４３が飛び出す直線には、次の（１）式で示す力平衡方程式が成立する。
【００３５】
【数１】
0003863676.tif 000002
【００３６】
ここで、０は飛び出し直前の初期状態を表す。ピストン４３が最大固着力Ｆｓに打ち勝って飛び出し、再び平衡状態に到達する。ここで、クーロン摩擦力と動摩擦力を無視すると、前記（１）式は次の（２）式のようになる。
【００３７】
【数２】
0003863676.tif 000003
【００３８】
飛び出し過程では、時間が短いので、シリンダ室３４ａ、３４ｂ内の空気の流入と流出を無視し、さらに一方のシリンダ室３４ａと他方のシリンダ室３４ｂ内の状態変位を等温的とすれば、気体状態方程式により次の（３）式が得られる。
【００３９】
【数３】
0003863676.tif 000004
【００４０】
ここで、符号ｘj は、ピストン４３が飛び出してから再び平衡状態となるまでに移動したピストン４３の変位量（飛び出し距離）を示す。
【００４１】
非対称性を無視し、すなわちＰａ（ＡH −ＡR ）＝０とすれば、上記した（１）式〜（３）式より、飛び出し距離ｘj は次式のように表される。
【００４２】
【数４】
0003863676.tif 000005
【００４３】
（４）式より、最大固着力Ｆｓが小さいほど、排気側の初期圧力Ｐroが高いほど、ヘッド側とロッド側の初期容積が小さいほど、飛び出し距離を小さくすることができる。この場合、図１９に示すメータアウト回路２では、給気側がフリーフローとなるので、ＶH0≒∞、ＶR0≒Ｖｃとなる。これに対して、図１８に示すメータイン回路１では、給気側が絞られて、排気側がフリーフローとなるので、ＶH0≒０、ＶRO≒∞となる。よって飛び出し現象を防止する観点からは、メータイン回路１の方が望ましい。
【００４４】
次に、スティックスリップ現象の発生を防止するための方法について考察する。
【００４５】
通常、ピストン４３の変位途中では可変絞り弁の開度が固定されているため、ピストン４３の変位速度の変動は、主に摩擦力等の負荷外力の変化に起因するものと考えられる。ここでは、回路の速度と外力の間の伝達関数を導出し、ピストン４３の変位速度に及ぼす外力変化の影響を調べる。
【００４６】
水平状態に取り付けられたシリンダ４０に対して、ピストン４３の運動方程式は次の（５）式で与えられる。
【００４７】
【数５】
0003863676.tif 000006
【００４８】
シリンダ室３４ａ、３４ｂ内の空気温度は供給空気温度に等しく、またシリンダ室３４ａ、３４ｂ内の状態変化は断熱的であると仮定し、さらに非対称性を無視すれば、ピストン４３の変位速度ｖと外力Ｆの間の伝達関数は次の（６）式のように表される。
【００４９】
【数６】
0003863676.tif 000007
【００５０】
ここで、ｓはLaplace 変数である。
【００５１】
【数７】
0003863676.tif 000008
【００５２】
（６）式は、外力の変化とこれにより生ずるピストン４３の変位速度の変化の伝達関数関係を表している。この（６）式より、外力に起因するピストンの変位速度の変化を小さくするためには、固有振動数ωn が高いほど望ましい。また、（７）式より、規格寸法が一定のシリンダ４０に対して固有振動数ωn を高くするためには、排気側である他方のシリンダ室３４ｂ内の圧力を高く維持することが必要となる。
【００５３】
以上の解析結果により、飛び出し現象を阻止するためにはメータイン制御が好ましく、排気側の初期圧力を高くすることが望まれる。また、スティックスリップ現象の発生を防止するためには、シリンダ室３４ａ、３４ｂ内の圧力を高く維持することが有効であることがわかった。
【００５４】
本発明の第１の参考例に係る圧力制御弁が組み込まれたアクチュエータ制御回路１０は、このような考察に基づいて構成された回路であり、第１圧力制御弁および第２圧力制御弁が組み込まれたアクチュエータ制御回路１０を用いることにより、始動時におけるピストン３６の固着による飛び出し現象やスティックスリップ現象が発生することを阻止することができる。
【００５５】
次に、アクチュエータ制御回路１０による応答特性曲線を図４に示す。この場合、供給圧（ゲージ圧）を０．５Ｍｐａ、圧力制御弁２６、２８の設定圧（ゲージ圧）を０．３Ｍｐａ、制御速度を６５ｍｍ／ｓにそれぞれ設定して実験を行った。
【００５６】
図４から諒解されるように、ヘッド側のシリンダ室３４ａの圧力ＰH およびロッド側のシリンダ室３４ｂの圧力ＰR がそれぞれ設定圧以上に保持されながら略均一的な変位速度で駆動されていることがわかる。
【００５７】
次に、アクチュエータ制御回路１０と、比較例に係るメータイン回路１（図１８参照）およびメータアウト回路２（図１９参照）とを用いて実験を行った。
【００５８】
図５乃至図７は、空気圧シリンダ１２のピストン３６の変位速度を約１．７ｍｍ／ｓで連続駆動したときの応答特性曲線をそれぞれ示す。図５より、比較例に係るメータアウト回路２では、ピストン３６の始動時に変位量ｘが急速に上昇する、いわゆる飛び出し現象が発生している。また、図６より、メータイン回路１では、ピストン３６の変位途中に停止状態と変位状態とを間欠的に繰り返して階段状となるスティックスリップ現象が発生している。
【００５９】
これに対して、図７に示されるように、アクチュエータ制御回路１０では、前記飛び出し現象やスティックスリップ現象が発生せず、低速で安定してピストン３６を変位させることができた。
【００６０】
図８および図９は、速度１．３ｍｍ／ｓで作動している図示しないアクチュエータを、それぞれ２時間、１６時間放置した後に再始動させた場合の最初のサイクル応答曲線を示している。図８および図９より、比較例に係るメータアウト回路２およびメータイン回路１では、放置後の応答に大きな飛び出し現象が発生しているのに対し、アクチュエータ制御回路１０では、そのような飛び出し現象が発生しないことがわかる。
【００６１】
以上の実験結果から、第１の参考例に係る圧力制御弁が組み込まれたアクチュエータ制御回路１０によれば、従来、回路に発生していた飛び出し現象やスティックスリップ現象を改善するために有効であることがわかった。
【００６２】
次に、本発明の第２の参考例に係る圧力制御弁が組み込まれたアクチュエータ制御回路５０を図１０に示す。なお、以下に示す実施の形態において、図１に示すアクチュエータ制御回路１０と同一の構成要素には同一の参照数字を付し、その詳細な説明を省略する。
【００６３】
この第２の参考例に係る圧力制御弁は、シリンダ１２と切換用電磁弁２４との間の供給通路１４側に第１速度制御弁５２と第１圧力制御弁５４とが並列に且つ一体的に設けられた圧力制御弁Ａと、排気通路１８側に第２速度制御弁５６と第２圧力制御弁５８とが並列に且つ一体的に設けられた圧力制御弁Ｂとを有する。なお、圧力制御弁Ａと圧力制御弁Ｂは、同一の構成要素から構成される。
【００６４】
この場合、第１速度制御弁５２および第２速度制御弁５６を構成するチェック弁４および可変絞り弁５は、それぞれ直列に接続して構成され、また、第１圧力制御弁５４および第２圧力制御弁５８を構成するチェック弁３０およびリリーフ弁３２は、それぞれ直列に接続して構成されている。
【００６５】
ここで、第２の参考例に係る圧力制御弁の構成について以下詳細に説明する。なお、図２に示す圧力制御弁と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００６６】
圧力制御弁Ａ（圧力制御弁Ｂ）は、図１１に示されるように、内部に可変絞り弁５およびチェック弁（第１チェック弁）４が配設された円筒状の第１弁ボデイ２００と、前記第１弁ボデイ２００の軸線を回転中心として所定方向に回動自在に設けられ、内部にチェック弁３０とリリーフ弁３２が配設された第２弁ボデイ２０２と、前記第２弁ボデイ２０２の突起部２０４の軸線を回転中心として所定方向に回動自在に設けられた第３弁ボデイ２０６とを含む。
【００６７】
第３弁ボデイ２０６の一端部には、図示しないチューブを介して切換用電磁弁２４に接続される第１ポート１００が設けられ、前記第１ポート１００には前記チューブを係止する管継手機構１０６が配設される。なお、前記第３弁ボデイ２０６の内部には、第２弁ボデイ２０２の突起部２０４に設けられた通路２０８に連通する通路２１０が形成されている。
【００６８】
第１弁ボデイ２００の一端部にはシリンダ１２のシリンダ室（３４ａ、３４ｂ）に連通する第２ポート１０２が形成され、前記第２ポート１０２は該第１弁ボデイ２００の内部に嵌挿された筒状部材２１２の貫通孔２１４に連通するように設けられている。前記筒状部材２１２の略中央部にはチェック弁４が装着され、このチェック弁４は、第１ポート１００から第２ポート１０２側への圧縮空気の流通を阻止するとともに、第２ポート１０２から第１ポート１００側への圧縮空気をフリーフローとする機能を営む。前記筒状部材２１２には第２ポート１０２から導入された圧縮空気をチェック弁４側に流通させる孔部２１６が形成され、第１弁ボデイ２００には前記チェック弁４を通過した圧縮空気を第２弁ボデイ２０２側に向かって流通させる孔部２１８が形成されている。
【００６９】
第１弁ボデイ２００の上部側には、第１ポート１００から供給された圧縮空気の流量を絞る可変絞り弁５が設けられる。この可変絞り弁５は、第２弁ボデイ２０２の突起部２０４の通路２０８に連通する通路２２０に臨む絞り用ねじ２２２と、前記絞り用ねじ２２２を所定の位置に固定するロックナット２２４とを有する。前記絞り用ねじ２２２の一端部には、通路２２０と貫通孔２１４とが連通する孔部２２６に挿入される挿入部２２８が設けられ、前記孔部２２６と挿入部２２８との間に形成されるクリアランスによって圧縮空気の流量が所定量に絞られる。また、前記絞り用ねじ２２２の他端部には、摘み部２３０が設けられる。従って、前記摘み部２３０を把持して絞り用ねじ２２２を所定方向に回動させてそのねじ込み量を調整することにより、前記クリアランス量を調整することができる。
【００７０】
第２弁ボデイ２０２には、第１円筒部材２３２の外周面に装着されたチェック弁（第２チェック弁）３０と、ばね部材２３４の弾発力によって着座部２３６に着座するピストン２３８が配設された第２円筒部材２４０を有するリリーフ弁３２とが設けられる。第２の参考例に係る圧力制御弁は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００７１】
切換用電磁弁２４を介して圧力流体供給源２２から供給された圧縮空気は、圧力制御弁Ａの第１ポート１００に導入される。この圧縮空気は、通路２１０および通路２０８を介してチェック弁３０を通過した後、可変絞り弁５によって所定の流量に絞られ第２ポート１０２からシリンダ１２の一方のシリンダ室３４ａに供給される。前記一方のシリンダ室３４ａに供給された圧縮空気の作用下にピストン３６が矢印Ａ方向に変位する。
【００７２】
他方のシリンダ室３４ｂから排気された圧縮空気は圧力制御弁Ｂの第２ポート１０２に導入され、チェック弁４を内方に撓ませて該チェック弁４を通過した圧縮空気は第１弁ボデイ２００の孔部２１８を介してリリーフ弁３２に導入される。リリーフ弁３２では、チェック弁３０のチェック作用下にその流通が遮断されるとともに、孔部２１８に連通する室１２４に供給される。この場合、孔部２１８を通じて室１２４に供給された圧縮空気の圧力（排気圧）がばね部材２３４の弾発力に打ち勝つことによりピストン２３８が着座部２３６から離間し、前記ばね部材２３４の弾発力と前記圧縮空気の圧力とが平衡することにより、シリンダ１２の排気圧が所定の設定圧力に保持される。換言すると、圧力制御弁Ｂは、排気される圧縮空気の圧力を予め設定された圧力に保持する機能を営む。従って、圧力制御弁Ｂにより、排気圧の下限値を高く設定することができる。
【００７３】
第２の参考例に係る圧力制御弁では、チェック弁４、可変絞り弁５、チェック弁３０およびリリーフ弁３２を一体的に構成することにより、装置全体を小型化し設置スペースを削減することができる。
【００７４】
なお、その他の作用効果は、第１の参考例と同一であるため、その詳細な説明を省略する。
【００７５】
次に、本発明の実施の形態に係る圧力制御弁が組み込まれたアクチュエータ制御回路６０を図１２に示す。
【００７６】
このアクチュエータ制御回路６０は、シリンダ１２と切換用電磁弁２４との間に第１速度制御弁１６および第２速度制御弁２０をそれぞれ並列に接続するとともに、さらに切換用電磁弁２４に連通する通路６２に対して第１リリーフ弁３２ａおよび第２リリーフ弁３２ｂをそれぞれ並列に接続して構成している。この結果、圧縮空気が供給される一方のシリンダ室３４ａ内の圧力を予め一定値に保持することにより、圧縮空気が一方のシリンダ室３４ａ内に充填される時間を短縮し、応答時間の遅れを防止することができる利点がある。
【００７７】
ここで、前記第１リリーフ弁３２ａおよび第２リリーフ弁３２ｂと切換用電磁弁２４とを一体的に組み込んだ本発明の実施の形態に係る圧力制御弁３００を図１３に示す。
【００７８】
この圧力制御弁３００は、略円筒状に形成された弁ボデイ３０２と、前記弁ボデイ３０２の側部に一体的に連結される電磁弁用ボデイ３０４と、前記弁ボデイ３０２の両端部に形成された開口部をそれぞれ閉塞する一組のキャップ部材３０６とを有する。
【００７９】
弁ボデイ３０２の内部には第１リリーフ弁３２ａおよび第２リリーフ弁３２ｂがそれぞれ対称に配設される。従って、第１リリーフ弁３２ａの構成についてのみ説明し、第２リリーフ弁３２ｂの対応する構成要素には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。なお、前記第１リリーフ弁３２ａおよび第２リリーフ弁３２ｂは、弁ボデイ３０２の略中央部に形成された連通路３０８によって連通するように設けられ、さらに、前記連通路３０８は、圧縮流体供給源２２に連通するように設けられている。
【００８０】
弁ボデイ３０２には、速度制御弁２０と切換用電磁弁２４とが連通する第１通路３１０と、圧縮流体供給源２２から供給された圧力流体を内部に形成された室３１２を経由して切換用電磁弁２４に導出する第２通路３１４と、切換用電磁弁２４の内部に設けられたスプール３１６の切換作用下に切換弁用電磁弁２４から弁ボデイ３０２内の室３１２に圧縮空気を導入する第３通路３１８とを有する。
【００８１】
第１リリーフ弁３２ａは、一端部にテーパ部３２０が設けられ他端部に室３２２に沿って摺動する変位部材３２４に当接するピン部３２６が設けられたバルブガイド３２８と、前記変位部材３２４に係着されバルブガイド３２８を矢印Ｄ方向に向かって押圧する第１ばね部材３３０と、前記テーパ部３２０に係着されバルブガイド３２８を矢印Ｃ方向に向かって押圧する第２ばね部材３３２とを有する。前記第１ばね部材３３０は、調整ねじ３３４に螺合する受部材３３６によってその弾発力が調整自在に設けられている。従って、第１ばね部材３３０と第２ばね部材３３２との調圧作用下にバルブガイド３２８が略水平方向に沿って変位するように設けられている。
【００８２】
なお、前記調整ねじ３３４には該調整ねじ３３４を回動中心として所定方向に回動するナット部材３３８が固着され、前記ナット部材３３８を回動させることにより調整ねじ３３４が一体的に回動しねじ込み量を増減させることができる。
【００８３】
バルブガイド３２８のテーパ部３２０は着座部に着座するとともに、ピン部３２６は変位部材３２４に形成された貫通孔３４０を閉塞するように設けられている。従って、第３通路３１８から導入された圧縮空気の圧力が第１ばね部材３３０の弾発力に打ち勝つことにより、バルブガイド３２８のピン部３２６が変位部材３２４から離間し、変位部材３２４の貫通孔３４０から導出された圧縮空気は、排気ポート３４２から外部に排気される。
【００８４】
このようにしてシリンダ１２から排気された圧縮空気の排気圧を所望の最低設定圧力に保持することができる。
【００８５】
なお、その他の作用効果は、上述した第１および第２の参考例と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
【００８６】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００８７】
すなわち、アクチュエータに供給される圧力流体の流量をメータイン制御方式により制御し、アクチュエータから排出される圧力流体の圧力を予め設定された所定圧力以上に保持することにより、スティックスリップ現象や飛び出し現象の発生を阻止し、アクチュエータの変位速度を、例えば、低速からなる所定の速度で安定して制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の参考例に係る圧力制御弁が組み込まれたアクチュエータ制御回路の回路構成図である。
【図２】本発明の第１の参考例に係る圧力制御弁の縦断面構成図である。
【図３】メータイン制御方式およびメータアウト制御方式の説明に供される回路構成図である。
【図４】前記アクチュエータ制御回路の圧力およびピストンと時間との関係を示す特性曲線図である。
【図５】従来技術に係るメータアウト回路の圧力と時間との関係を示す特性曲線図である。
【図６】従来技術に係るメータイン回路の圧力と時間との関係を示す特性曲線図である。
【図７】前記アクチュエータ制御回路の圧力と時間との関係を示す特性曲線図である。
【図８】アクチュエータを２時間放置した後に再始動させた場合の最初のサイクル応答曲線を示す図である。
【図９】アクチュエータを１６時間放置した後に再始動させた場合の最初のサイクル応答曲線を示す図である。
【図１０】本発明の第２の参考例に係る圧力制御弁が組み込まれたアクチュエータ制御回路の回路構成図である。
【図１１】本発明の第２の参考例に係る圧力制御弁の縦断面構成図である。
【図１２】本発明の実施の形態に係る圧力制御弁が組み込まれたアクチュエータ制御回路の回路構成図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係る圧力制御弁の縦断面構成図である。
【図１４】図１３に示す圧力制御弁の部分断面構成図である。
【図１５】図１４のＸＶ−ＸＶ線に沿った縦断面図である。
【図１６】図１４のＸＶＩ−ＸＶＩ線に沿った縦断面図である。
【図１７】図１４のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図１８】従来技術に係るアクチュエータの制御方法を示すメータイン回路の回路構成図である。
【図１９】従来技術に係るアクチュエータの制御方法を示すメータアウト回路の回路構成図である。
【符号の説明】
１０、５０、６０…アクチュエータ制御回路
１２…空気圧シリンダ            １４…供給通路
１６、２０、５２、５６…速度制御弁
２４…切換用電磁弁              ２６、２８、５４、５８…圧力制御弁
３０…チェック弁                ３２、３２ａ、３２ｂ…リリーフ弁
３４ａ、３４ｂ…シリンダ室      ３６、４３、１１８…ピストン
１００、１０２…ポート
１０４、２００、２０２、２０６、３０２…弁ボデイ
１０８…チェック弁
１１０、１１４、２３２、２４０…円筒部材
１２０、３３０、３３２…ばね部材
１３２…調整ねじ              ３２４…変位部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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