(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上の少なくとも片面に金属蒸着層を有し、かつ該金属蒸着層上に厚さ１オングストローム以上１０００オングストローム未満の有機化合物層を有し、かつ、該有機化合物層が、架橋した有機高分子層であることを特徴とする金属蒸着フィルム。
【請求項２】
前記有機化合物層の厚さが、５オングストローム以上５００オングストローム以下であることを特徴とする請求項１記載の金属蒸着フィルム。
【請求項３】
前記有機化合物層の厚さが、１０オングストローム以上１００オングストローム以下であることを特徴とする請求項記載１記載の金属蒸着フィルム。
【請求項４】
前記架橋した有機高分子層を構成する有機高分子が、架橋したシリコーン樹脂であることを特徴とする請求項１、２または３記載の金属蒸着フィルム。
【請求項５】
前記架橋したシリコーン樹脂が、二官能シロキサン結合と三官能シロキサン結合または／および四官能シロキサン結合とを有するものであることを特徴とする請求項４記載の金属蒸着フィルム。
【請求項６】
前記架橋した有機高分子層が、ジメチルポリシロキサン、あるいはメチルフェニルシリコーンオイルの架橋物よりなることを特徴とする請求項１、２または３記載の金属蒸着フィルム。
【請求項７】
前記架橋した有機化合物層の表面の表面張力が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５または６記載の金属蒸着フィルム。
【請求項８】
前記基材が有機高分子フィルムからなることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６または７記載の金属蒸着フィルム。
【請求項９】
前記有機高分子フィルムの片面に金属層を有し，かつ、該金属層を有する反対面の表面張力が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であることを特徴とする請求項８記載の金属蒸着フィルム。
【請求項１０】
前記金属蒸着層の金属が、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｎ、Ａｕ、Ａｇ、Ｆｅから選ばれた一種以上の金属、あるいは該一種以上の金属の合金からなることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８または９記載の金属蒸着フィルム。
【請求項１１】
前記金属蒸着層がＡｌ、またはＡｌとＺｎの合金からなることを特徴とする請求項１０記載の金属蒸着フィルム。
【請求項１２】
前記金属蒸着層がＡｌとＺｎの合金からなり、かつ該金属蒸着層表層のＡｌ濃度をＣ１、前記基材との界面のＡｌ濃度をＣ３ 、該金属蒸着層表層と該基材との界面の該金属蒸着層の中間位置のＡｌ濃度をＣ２、とした場合、該金属蒸着層中でＡｌの濃度が厚さ方向に実質的に連続的に変化し、かつ、Ｃ１＞Ｃ２ 、Ｃ３ ＞Ｃ２ の関係が成立するものであることを特徴とする請求項１１記載の金属蒸着フィルム。
【請求項１３】
前記基材表面の少なくとも片側にシリコーンオイルによって形成された金属蒸着層のない部分（マージン部）を有することを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１または１２記載の金属蒸着フィルム。
【請求項１４】
真空蒸着機内において、基材上に金属を蒸着し、次いで該金属蒸着層上に所定の厚さの有機化合物または有機高分子を蒸着した後、該有機化合物または有機高分子層をグロー放電にさらすことを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項１５】
該グロー放電を維持するガスが酸素原子を有するガスまたは酸素原子を有するガスを含む混合ガスであることを特徴とする請求項１４記載の金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項１６】
該基材として、少なくとも金属蒸着層を設ける反対の面をコロナ放電処理に供した有機高分子フィルムを用いることを特徴とする請求項１４または１５記載の金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項１７】
該グロー放電処理が、真空蒸着機内で行なわれ、該有機高分子フィルムの少なくとも片面に対して処理されるものであることを特徴とする請求項１４または１５記載の金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項１８】
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２または１３記載の金属蒸着フィルムが、積層または巻回されてなることを特徴とするコンデンサ。
【請求項１９】
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２または１３記載の金属蒸着フィルムが、積層または巻回されてなり、かつ、含浸剤として、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂またはシリコーン樹脂が用いられてなることを特徴とするコンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンデンサ用あるいは包装用に適した金属蒸着フィルム、特にコンデンサ用として最適な金属蒸着フィルムと該金属蒸着フィルムの製造方法、さらには、該フィルムを用いてなるコンデンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
金属蒸着フィルムを用いたコンデンサは自己回復性（セルフヒーリング性）を有することから、特に有機高分子フィルムを誘電体とするフィルムコンデンサの約８割を占めている。しかし、これらの金属蒸着フィルムは１００〜５００オングストロームの極薄層の金属蒸着層よりなるため、全層が十分な結晶状態になっていず、湿度の高い空気によって容易に酸化物になり、絶縁体化し、容量の低下、ｔａｎδの上昇に伴う熱爆走による絶縁破壊を起こす危険性を含んでいる。特にＺｎ、Ｓｎなどの金属を蒸着した金属蒸着フィルムではこの傾向が強い。
【０００３】
また、半導体の高温耐湿性能の向上に伴って電気回路素子を高温高湿下においても使用するようになり、金属蒸着フィルム、特にＡｌを蒸着した金属蒸着フィルムを用いたコンデンサに対しても従来の４０℃×８５％ＲＨから６０℃×９５％ＲＨ、または８５℃×８５％ＲＨの耐湿性能を要求されるようになってきた。近年、これらの欠点の改良あるいは新たな要求に対し、いくつかの改善提案がなされている。
【０００４】
まず、Ｚｎ蒸着金属フィルムの改善としては、特開昭５７−２０６０１３号公報にＺｎ蒸着層上にＡｌ蒸着層を設け、耐湿性能を改善する提案がなされているが、Ｚｎ蒸着層のみに比べて改善されるものの、未だ十分とは言い難い。また、特公平５−６３０９２号公報、特開昭６０−２２４２１１号公報にはＺｎ、あるいはＡｌ蒸着金属の上に無機Ｓｉ、あるいは無機酸化物のＳｉＯ2 を蒸着し、耐湿性能を改善することが提案されている。該方法によって作られた金属蒸着フィルムの耐湿性能は明らかに向上することが認められるが、耐湿性能にばらつきが生じる欠点があり、更にＳｉ、あるいはＳｉＯ2 の蒸着速度が極めて遅いため、ＺｎやＡｌとの蒸着速度に差がありすぎ、生産上の困難が伴う。なお、耐湿性能のばらつきもＺｎやＡｌの蒸着速度に追随させたとき、ＳｉあるいはＳｉＯ2 の蒸発量が極く微量のため、均一層を形成できないことに起因するものと思われる。
【０００５】
また、現在、現実に採用されている方法として、特開昭５９−２２７１１５号公報、特公昭６３−１５７３７号公報（米国特許第４７８５３７４号明細書）、特開平３−１４３６２９号公報に金属蒸着層上に真空蒸着機内でシリコーンオイル等を蒸着する方法が提案されている。
【０００６】
かかる方法によって、確かに耐湿性能は向上するものの、近年の厳しい要求には性能が不十分であるとともに、さらに扁平型コンデンサにするためのプレス成形性あるいは積層コンデンサにおいて、金属蒸着フィルムの層間密着が悪いという不都合がある。近年、素子成形速度が速くなるにつれ、かかる不都合が重要な問題としてクローズアップされてきた。
【０００７】
一方、Ａｌ蒸着金属フィルムに対しては特開平２−２１８７１６号公報、特開平４−２４５４１４号公報、特開平５−２７５２７６号公報、特開平６−１４０２８１号公報の如く、基材上に有機高分子の薄層を設け、その上にＡｌを蒸着する方法が提案されているが、該方法の耐湿性能の改善効果は目標レベルに対し不十分であり、かつ界面分極によるものと思われるｔａｎδ上昇が生じる欠点があり、未だ要求に答うる製品が開発されていない。
【０００８】
さらにＤ．ＳＨＡＷらは、分子量３００〜３０００のフッ素系二官能性アクリレート（ｆｕｌｏｒｉｎａｔｅｄ  ｄｉａｃｒｙｌａｔｅ）をＺｎ蒸着層の上に４０００オングストローム厚さで蒸着し、次いで電子線で架橋することによってＺｎの耐湿性能を向上させているが（１６ｔｈ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ ａｎｄ Ｒｅｓｉｓｔｏｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ，１９９６）、この方法ではプレス性が悪く、さらに電子線によると思われる帯電が起きること、および金属蒸着フィルム間の滑り性が悪くなり、コンデンサの素子巻き特性が悪化する欠点がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、プレス成形性、あるいは積層性を損うことなく、耐湿性能を改善することを課題として成し遂げられたものである。また本発明の付随効果として、従来から冬になるとＡｌ蒸着フィルムのＩＲ（絶縁抵抗）が低下していた問題点も改良できることを見出したものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述した本発明の目的を達成する本発明の金属蒸着フィルムは、基材上の少なくとも片面に金属蒸着層を有し、かつ該金属蒸着層上に厚さ１オングストローム以上１０００オングストローム未満の有機化合物層を有し、かつ、該有機化合物層が、架橋した有機高分子層であることを特徴とするものである。また、かかる金属蒸着フィルムの製造方法は、真空蒸着機内において、基材上に金属を蒸着し、次いで該金属蒸着層上に所定の厚さの有機化合物または有機高分子を蒸着した後、該有機化合物または有機高分子層をグロー放電にさらすことを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の金属蒸着フィルムと該金属蒸着フィルムの製造方法、さらに該フィルムを用いてなるコンデンサについて、さらに詳しく説明をする。
【００１２】
本発明の一実施態様例である金属蒸着フィルムの概略図を図１に示す。
【００１３】
なお、本発明は本実施態様例に限定されるものではない。
【００１４】
図１において、１は本発明の金属蒸着フィルムであり、２は基材、３は金属蒸着層、４は有機化合物層、５は金属蒸着層が形成されていないか、あるいは金属酸化物等から形成された絶縁層でコンデンサにしたときの金属蒸着層と対極との絶縁を保持するための絶縁部（「耳幅」または「マージン」と呼称されるが、以下、マージンと呼ぶ）である。なお、６はマージンを形成するためのマージンオイルである。
【００１５】
なお、図１では金属蒸着層３、有機化合物層４、マージン５は基材２の片側しか設けられていないが、基材２の両側に設けてもよい。また、マージン５は金属蒸着フィルム１の幅方向の金属蒸着層３の片側の端に設けられているが、特公平１−３０２８５号公報のごとく、シリーズコンデンサでは両側、あるいは中央、特公平４−２２５５０８号公報（ＵＳＰ５１３６４６２号明細書）のごとく保安機構付コンデンサでは種々のパターンをしたマージン５を金属蒸着層３中に設けることができる。
【００１６】
有機化合物層の厚さは、１オングストローム以上１０００オングストローム未満がよい。１０００オングストローム以上になると界面分極が発生し、ｔａｎδが上昇する。より好ましくは５オングストローム以上５００オングストローム以下、より好ましくは１０オングストローム以上１００オングストローム以下である。１０オングストローム以上になると十分な耐湿効果が認められ、かつ１００オングストローム以下であれば、プレス性も極めて良好である。
【００１７】
有機化合物層は金属蒸着フィルムの断面を電子顕微鏡で観察するか、Ａｒイオンにてイオンエッチングしながらオージェ電子分光法（ＡＥＳ）にて、例えば炭素原子などの有機化合物を形成する原子量を測定し、有機化合物表面から金属蒸着層に至るエッチング時間から有機化合物の既知のエッチング速度を用いて有機化合物層の厚さを算出することによって、定量できる。
【００１８】
有機化合物層を構成する物質は、有機の化合物であればよく、特に限定されないが、架橋した有機高分子層であることがより好ましい。そのような架橋した有機高分子層を用いれば、コンデンサを形成する際のプレス加工などによる変形、熱処理に伴う収縮などの変形にて架橋膜に亀裂等を生じさせることなく変形し、耐湿性能の悪化を招くことが少ないのである。本発明者らの知見によれば、中でも架橋したシリコーン樹脂が好ましく、特に、下記式１の二官能シロキサン結合、式２の三官能シロキサン結合、
【化１】
0003769842.tif 000002
【化２】
0003769842.tif 000003
または／および下記式３の四官能シロキサン結合
【化３】
0003769842.tif 000004
を有するシリコーン樹脂が耐湿性能に特に優れ、プレス性も良好である。この原因は、三官能シロキサン結合、および四官能シロキサン結合が耐湿性能、プレス性を向上させ、プレス加工、熱処理などに伴う変形応力に二官能シロキサン結合部分が対応しているものと考えられる。
【００１９】
中でも、本発明者らの知見によれば、ジメチルポリシロキサン、あるいはメチルフェニルシリコーンオイルよりなり、かつ上記のごとく二、三、四官能のシロキサン結合を有する架橋したシリコーン樹脂であることがより好ましい。
【００２０】
さらに、本発明者らの知見によれば、有機化合物層表面の表面張力が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であることがプレス性に有効で、中でも二、三、四官能のシロキサン結合を有するシリコーン樹脂で、かつ該表面の表面張力が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上の架橋シリコーン樹脂層であることが、耐湿性能、プレス性の点から最も好ましい。
【００２１】
基材２を構成する物質は特に限定されないが、紙、有機高分子フィルムなどを好ましく用いることができる。特に有機高分子フィルムが可撓性、電気絶縁性に優れより好ましい。
【００２２】
本発明でいう有機高分子フィルムとは天然、半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型したもので、中でも合成高分子樹脂からなる有機高分子フィルムが耐熱性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点からより好ましい。
【００２３】
好ましい高分子樹脂としては、ポリオレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂およびポリアリレン樹脂などを用いることができる。特にポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネート、ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより好ましい。中でもポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、およびポリエチレンナフタレートが交流耐電圧（ＡＣ耐電圧）が高いことから好ましい。
【００２４】
また、ＤＣ用途ではポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、およびポリフェニレンサルファイドが特に好ましい。
【００２５】
さらに有機高分子フィルムの表面の表面張力を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上に上げることは、蒸着金属の付着性あるいは含浸剤の含浸性を上げることができることができるのでより好ましい。
【００２６】
金属蒸着層３の金属は、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｆｅあるいはこれらの合金等で導電性を有するものであれば特に限定されることなく使用することができるが、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｎなどが耐コロナ劣化性が少なく好ましい。中でもＡｌ−Ｚｎの合金が耐湿性能、耐コロナ劣化性および自己回復特性の点でより好ましく、中でも蒸着合金膜中のＡｌ含有量比｛（Ａｌ含有量×１００）／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量）｝が、金属蒸着層表面Ｃ1  、金属蒸着層中央Ｃ2  、高分子フィルム海面でＣ3  とすると、図２のごとくＣ2  ＜Ｃ1  、かつＣ2  ＜Ｃ3  と連続的に変化する金属蒸着層が好ましい。さらに金属蒸着層全体のＡｌの含有量比が０．５〜１５ｗｔ％、より好ましくは８〜１２ｗｔ％となるＡｌ−Ｚｎの合金からなる金属蒸着層が特に好ましい。中でもＡｌの含有量比Ｃ2  ＜Ｃ1  ≦Ｃ3  となる分布をするＡｌ−Ｚｎの合金が自己回復性の劣化が少なくより好ましい。
【００２７】
本発明の金属蒸着フィルムを製造する方法は特に限定されないが、真空蒸着機内で基材に金属を蒸着後、次いで、該蒸着金属層上に有機化合物を蒸着し、さらに該有機化合物表面をグロー放電処理することによって著しく耐湿性能を向上させることができ、さらにプレス性を改善することができる。
【００２８】
例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルムにＡｌを蒸着膜抵抗２Ω／□の厚さに蒸着後、特公昭６３−１５７３７号公報の方法にてシリコーンオイル（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製 ＳＨ７０２）を蒸着した場合、耐湿性能が向上するが、さらにシリコーンオイル蒸着後、酸素ガスを用いたグロー放電処理を行うと、１３０℃×９０％ＲＨ中（オートクレーブ中）に放置してさえも蒸着膜の消失もなく、蒸着膜抵抗の増加も５０％以内におさまるほど、著しく耐湿性が向上することは驚くべき知見である。
【００２９】
従来においては、一般に、シリコーンオイルを蒸着していないＡｌ蒸着フィルム、あるいはシリコーン蒸着したのみのＡｌ蒸着フィルムでは、１３０℃×９０％ＲＨの雰囲気に放置すると１時間以内に蒸着膜が消失（蒸着膜が透明になる）してしまっていたのに対して、上述の如く蒸着膜の消失もないことは驚くべきことである。
【００３０】
さらにシリコーンオイルを蒸着したのみの蒸着フィルムではプレス性が悪化し、Ａｌ蒸着のみの金属蒸着フィルムに比べ、より高温で長時間プレスする必要があるが、シリコーンオイル蒸着後グロー放電処理した金属蒸着フィルムの表面をＸ線光電子分光法（ＸＰＳ、あるいはＥＳＣＡと一般的に呼称される）にて表面を分析するとシリコーンオイル固有の二官能シロキサン結合に加え、三および四官能シロキサン結合成分が生成しており、該シリコーンオイルが架橋していることがわかった（なお、一部のシロキサン結合はＡｌ蒸着膜と化学反応しているものと考えられる。）。このことが耐湿性能を著しく改善していると考えられる。さらにシリコーンオイル蒸着後、グロー放電処理した金属蒸着フィルムの表面張力は３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上になっており、このことがプレス性を著しく改善していると考えられる。
【００３１】
金属蒸着層上に蒸着する有機化合物の厚さは１０００オングストローム未満が好ましく、１０００オングストロームを超えると金属蒸着フィルムのｔａｎδが上昇し、また有機化合物の下層の架橋が起こらず、さらにプレス性の改善効果も少ない。
【００３２】
本発明でいうグロー放電（低温プラズマ）とは真空中で電磁場の印加によって開始、持続する放電で、真空中で放電開始または／および放電持続ガスに直流電圧、低、中、高周波電圧、マイクロ波を印加することによって形成できる。また磁場を併用印加することによって、放電をより低い電圧でより安定化できる。
【００３３】
本発明で用いられるガスの種類は限定されないが、酸素原子を含むガスがより好ましい。例えばＯ2 、ＣＯ、ＣＯ2 、あるいはこれらと他のガスとの混合ガスなどを好ましく用いることができる。
【００３４】
コンデンサ用の金属蒸着フィルムでは通常マージンを形成する。マージンの形成方法にはテープを用いるテープマージン法とオイルを蒸発させて作るオイルマージン法があり、オイルマージン法で作った金属蒸着フィルムの方が耐電圧が高くなるが、プレス性が低下する欠点がある。しかるに、本発明方法のように金属蒸着層上に有機化合物を蒸着後、グロー放電処理した金属蒸着フィルムはオイルマージン法でマージンを形成してもプレス性を低下させない特徴がある。また、本発明方法においてマージンを形成するオイル（マージンオイル）としてはシリコーンオイルを用いることが特に好ましい。中でも、重量平均分子量ＭＷが３００≦ＭＷ≦８００のジメチルポリシロキサンオイル、あるいはメチルフェニルシリコーンオイルが好ましく、特に数平均分子量ＭＮとの比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１のメチルフェニルシリコーンオイルが好ましい。また、このシリコーンオイルは金属蒸着層上に蒸着する有機化合物としても好ましく使用できるものである。
【００３５】
基材の金属蒸着層を設けた反対面をコロナ放電処理、あるいはグロー放電処理し、該表面の表面張力を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上にするとプレス性がさらに向上し、またコンデンサを含浸する際の含浸剤の含浸性が良くなり好ましい。
【００３６】
本発明の金属蒸着フィルムを積層または巻回、あるいはさらにプレスし、場合によっては含浸し、外装することによって良好なコンデンサを作ることができる。なお、本発明の金属蒸着フィルムを用いるコンデンサの含浸剤としては特に限定されないが、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、またはシリコーン樹脂等を好ましく使用することができる。
【００３７】
なお、本発明の金属蒸着フィルムの用途はコンデンサに限定されるものではない。
【００３８】
【物性値の測定および評価方法】
（１）Ａｌ−Ｚｎ合金の組成分析
金属蒸着フィルムサンプル９ｃｍ2 を希硝酸で溶解した後、２０ｍｌに定溶し、この定溶液をＩＣＰ発光分光分析法にてＡｌおよびＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分光分析装置はセイコー電子工業（株）製ＳＰＳ１２００ＶＲ型を用いた。
【００３９】
（２）ＡｌおよびＺｎの組成分布
ＪＥＯＬ製ＪＡＭＰ−１０Ｓ型のオージェ電子分光分析装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングしながらＡｌおよびＺｎの定量分析を行った。
【００４０】
Ａｒイオンエッチング条件
加速電圧：３ｋＶ
試料電流：１×１０-6  Ａ
エッチング速度：ＳｉＯ2  換算で１９０オングストローム／ｍｉｎ
測定条件
加速電圧：３ｋＶ
スリットＮｏ．：５
試料電流：８×１０-8  Ａ
試料傾斜角度：７２度
ビーム径：１０μｍ
なお、フィルム界面とは蒸着膜中央よりフィルム界面にかけＡｌ含有量が多くなり、最大になった後減少していく、最大点の位置をフィルム界面とし、
最大点の含有量比をＣ3とする。
【００４１】
（３）蒸着膜上の有機化合物の有無
ＸＰＳ（ＥＳＣＡ）にて蒸着膜表面を観察することによって、有機化合物の存在を確認できる。
【００４２】
装置：ＳＳＩ社製ＳＳＸ−１００−２０６
励起Ｘ線：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｚｅｄ  Ａｌ Ｋα１．２線（１４８ ６．６ｅｖ）
光電子脱出角度（θ）：３５度
エネルギー補正：Ｃ1S メインピークの結合エネルギー値を２８４．６ｅｖ に合わせた。
【００４３】
なお、ＸＰＳは感度が良いため汚染による有機物を検出することがあるが、蒸着表面上に形成された架橋有機化合物からの信号が著しく高く、汚染の有機物とは区別できる。
【００４４】
（４）シリコーンオイルの分子量分布測定
ゲル浸透クロマトグラフＧＰＣ−２４４（ＷＡＴＥＲＳ）、検出器：示差屈折率検出器Ｒ−４０１（ＷＡＴＥＲＳ）を用い測定し、分子量校正はポリスチレンで行った。
【００４５】
なお、メチルフェニルシリコーンオイルの場合はカラムはＴＳＫ−ｇｅｌ−Ｇ３０００ＨＸＬ（１）、Ｇ２５００ＨＸＬ（１）（東ソー（株））を用いた。
（５）耐湿性能
タバイ（株）製ＰＲＥＳＳＵＲＥ ＣＯＯＫＥＲ ＴＰＣ−２１１（以下、圧力釜と称する。）に金属蒸着フィルムを入れ、１３０℃×９０％ＲＨで１時間、または３時間高温高圧水蒸気中に放置し、放置前後の蒸着膜の抵抗変化、あるいは蒸着膜の消失具合を目視にて判断した。
【００４６】
（６）表面張力
ＪＩＳ Ｋ ６７６８−１９７１ポリエチレンおよびポリプロピレンフィルムのぬれ試験方法に準じた。
【００４７】
（７）プレス性評価
２枚の金属蒸着フィルムを重ねて巻回し、プレス成形した素子にテンシロンにて荷重をかけ、巻芯が開いた（成型が崩れた）時の荷重を読みとった。荷重が大きいほど、プレス性は良い。
【００４８】
【実施例】
実施例１、比較例１、比較例２
厚さ５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムにＡｌを蒸着し、マージン５の幅＝２ｍｍ、金属蒸着層の抵抗値２Ω／□のコンデンサ用蒸着フィルムを作成した。
【００４９】
実施例１では真空蒸着機内においてＡｌ蒸着後、次いでフェニル・メチル・ジメチル・ポリシロキサンオイル（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製ＳＨ７０２）を加熱し、Ａｌの上に蒸着し、さらにその表面を１次側電圧２８０Ｖ、電流１．１Ａ、２次側周波数１５ｋＨｚ、出力０．３２ｋＷの条件でＯ2ガスを用いてグロー放電を行った後巻き取った。比較例１ではＡｌを蒸着後、同様にシリコーンオイル（フェニル・メチル・ジメチル・ポリシロキサンオイル）を蒸着した。比較例２では従来の方法であるＡｌ蒸着のみとした。
【００５０】
これらの金属蒸着フィルムを３０ｍｍ幅にスリットした後、１３０℃、９０％ＲＨの圧力釜に３時間入れ耐湿性能の評価を行った。その結果を表１に示す。
【００５１】
表１のごとく実施例１の本発明の金属蒸着フィルムは、他が膜抵抗が測定できないまで蒸着金属が消失（透明化）したにもかかわらず、約１４％の抵抗値上昇にとどまっており良好な耐湿性能を示した。
【００５２】
次にこれらの蒸着フィルム２枚を重ねて巻回、１２５℃、３０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で５分間プレスし１．６μＦのコンデンサ素子を作成した。このコンデンサ素子のプレス性を評価した。
【００５３】
プレス性評価の結果を表１に示す。表１のごとく本発明の金属蒸着フィルムは従来の蒸着フィルム（比較例２）同様の良好なプレス性を示していることがわかる。
【００５４】
【表１】
0003769842.tif 000005
実施例２、比較例３、比較例４
厚さ４μｍのポリフェニレンスルファイドフィルムにＡｌを蒸着し、図１の金属蒸着フィルムを作成した。なおマージン幅（スリット後）＝０．４ｍｍ、金属蒸着層の抵抗値２Ω／□とした。
【００５５】
実施例２では真空蒸着機内においてＡｌ蒸着後、次いでＭＷ＝５２０、ＭＷ／ＭＮ＝１．０のフェニル・メチル・ジメチル・ポリシロキサンオイル（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製 ＳＨ７０２）を加熱し、Ａｌ蒸着膜の上に約７０オングストローム厚さで蒸着し、さらに１３．５６ＭＨｚ、５００Ｗの条件でＡｒとＯ2の混合ガス（４０：６０ｖ％）を用いてグロー放電を行った後巻き取った。この金属蒸着フィルムの表面をＸＰＳで観察したところ、２官能シロキサン結合以外に３官能シロキサン結合、４官能シロキサン結合が多量に観測された。また表面張力は５６ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であった。
【００５６】
比較として、Ａｌ蒸着後、同様にフェニル・メチル・ジメチル・ポリシロキサンオイルを蒸着した金属蒸着フィルム（比較例３）と、従来のＡｌ蒸着のみの金属蒸着フィルム（比較例４）を実施例２と同一条件で作成した。
【００５７】
これらの金属蒸着フィルムを４ｍｍ幅にスリットし、各々２枚を重ね積層し、０．０１μＦのコンデンサを作成した。なお、含浸剤としてはエポキシ樹脂を用いた。
【００５８】
各々のコンデンサを８５℃、８５％ＲＨの高温、湿度雰囲気下に置き、１００ＶＤＣの電圧をかけ１０００時間後の容量変化（△Ｃ＝｛（Ｃ1000−Ｃ0）／Ｃ0｝×１００（％））を調べた。この結果を表２に示した。表２のごとく、実施例２にかかる本発明の金属蒸着フィルムを用いたコンデンサは最も容量変化が少なく、良好な耐湿性能を示すことがわかる。
【００５９】
【表２】
0003769842.tif 000006
実施例３、比較例５、比較例６
厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムにＡｌを蒸着し、すぐにＺｎを蒸着して、Ａｌの平均含有量＝８ｗｔ％、Ｃ1＝１６ｗｔ％、Ｃ2＝０．５ｗｔ％、Ｃ3＝２５ｗｔ％のＡｌ−Ｚｎ合金蒸着フィルムを作成した。なお、幅２ｍｍのマージン（スリット後）をシリコーンオイルにて形成した。金属蒸着層はヘビーエッジタイプで各々の膜抵抗値はヘビーエッジ部３Ω／□、高膜抵抗部９Ω／□とした。
【００６０】
実施例３では真空蒸着機内においてＡｌ蒸着後、次いでジメチルポリシロキサンオイル（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製 ＳＨ２００  １０ｃｓｔ）を蒸発器内の圧力が一定になるように加熱し、Ａｌ−Ｚｎ蒸着膜の上に約１０オングストローム厚さで蒸着し、次いでＡｒとＯ2の混合ガスを用いてマイクロ波にてグロー放電を開始、持続させマイクロ波プラズマにて処理した。
【００６１】
比較例５、６は各々Ａｌ−Ｚｎ蒸着後、同様にジメチルポリシロキサンオイルを蒸着した金属蒸着フィルム（比較例５）とＡｌ−Ｚｎ蒸着のみの金属蒸着フィルム（比較例６）である。これらの金属蒸着フィルムを１４ｍｍ幅にスリットした。さらに、各々スリット後の金属蒸着フィルムを１３０℃、９０％ＲＨの高温高水蒸気圧中に３時間放置し、放置後の蒸着膜抵抗を測定した結果を表３に示す。また各々の金属蒸着フィルムを巻回し、１２０℃で２５ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力をかけ５分間プレスし、コンデンサ素子を作成した。各々のコンデンサ素子のプレス性を測定した結果を表３に示す。
【００６２】
表３のごとく、実施例３の本発明の金属蒸着フィルムは極めて優れた耐湿性能を有し、かつ比較例６と同じ良好なプレス性を有していた。
【００６３】
【表３】
0003769842.tif 000007
実施例４、比較例７、比較例８
厚さ６μｍのポリプロピレンフィルムの両面を真空蒸着機中でＣＯ2ガスを用いたグロー放電によって表面処理した後、次いで核付金属としてＣｕを蒸着、引き続きＺｎを蒸着し、金属蒸着フィルムを作成した。なお、マージン幅（スリット後）３ｍｍ、金属蒸着層はヘビーエッジタイプで各々の膜抵抗値はヘビーエッジ部２Ω／□、高膜抵抗部８Ω／□とした。
【００６４】
実施例４では真空蒸着機内においてＺｎ蒸着後ジメチルポリシロキサンオイル（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製 ＳＨ２００  １０ｃｓｔ）を蒸発器内の圧力を制御しながら加熱し、Ｚｎ蒸着膜の上に約５０オングストローム厚さで蒸着し、さらに１１０ｋＨｚ、４００Ｗの条件でＡｒとＯ2の混合ガスを用いてグロー放電処理した。
【００６５】
該金属蒸着フィルムの金属蒸着層側表面の表面張力は５６ｄｙｎｅ／ｃｍ以上、反対のフィルム表面の表面張力は４２ｄｙｎｅ／ｃｍであった。
【００６６】
これらの金属蒸着フィルムを５０ｍｍ幅にスリットした後、１３０℃、９０％ＲＨの圧力釜に３時間入れ耐湿性能の評価を行った。その結果を表４に示す。
【００６７】
また、これらの金属蒸着フィルム同士を巻回して、９５℃で２５ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で５分間プレスし、５μＦのコンデンサ素子を作成した。これらのプレス特性を表４に示す。
【００６８】
これらのコンデンサ素子にメタリコン、熱処理、リード付け、エポキシ樹脂を真空含浸後、ウレタン樹脂をポッティングしてコンデンサを作成した。これらのコンデンサの絶縁破壊電圧、コロナ開始電圧を測定したところ、実施例４の本発明のコンデンサは比較例に比べていずれも２割高かった。
【００６９】
また表４のごとく、実施例４の本発明の金属蒸着フィルムは耐湿性能に優れ、さらにプレス性は従来のＺｎ蒸着品と同等のものであった。
【００７０】
【表４】
0003769842.tif 000008
【００７１】
【発明の効果】
本発明は、金属蒸着フィルムの基材上の少なくとも片面に金属蒸着層を有し、かつ該蒸着層上に厚さ１オングストローム以上１０００オングストローム以下の有機化合物層を有し、該有機化合物層を、架橋した有機高分子層とすることによって、プレス成形性、あるいは積層性を損うことなく、耐湿性を改善するものである。また本発明の付随効果として、Ａｌ蒸着フィルムが季節によりＩＲ（絶縁抵抗）が低下する問題点も改善するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の金属蒸着層上に架橋した有機化合物を有する金属蒸着フィルムの一例を示した概略断面図である。
【図２】本発明の蒸着フィルムのＡｌとＺｎの蒸着膜のＡｌとＺｎの組成量分布の一例を示した概略図である。
【符号の説明】
１：金属蒸着フィルム
２：高分子フィルム
３：金属蒸着層
４：有機化合物層
５：マージン部
６：マージンオイル
【図１】
0003769842.tif 000009
【図２】
0003769842.tif 000010