(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティプレートと、駆動電極への電圧の印加により前記各圧力室ごとに圧電シートを駆動させる圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチェータを、前記キャビティプレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように接合してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記キャビティプレートは、前記ノズルを形成したノズルプレートと、前記圧力室を両面に開口して形成したベースプレートと、前記ノズルプレートと前記ベースプレートとの間に位置し前記圧力室に供給するインクを収容する共通インク室を有するマニホールドプレートと、前記ベースプレートと前記マニホールドプレートとの間に位置し前記圧力室の両端を前記共通インク室及び前記ノズルにそれぞれ接続する貫通孔を形成したスペーサプレートとが積層され、前記圧力室を前記圧電アクチュエータ側に開口するとともにその圧力室を前記圧電アクチュエータとは反対側の一端において貫通孔を介して前記ノズルと接続するように構成され、
前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室を共通に覆う大きさの圧電シートを積層し、その圧電シート間に前記駆動電極としての、前記圧力室毎に対応する個別電極と、複数の前記圧力室に共通のコモン電極とを介挿して構成され、
前記ベースプレートの前記スペーサプレートと反対側であって前記圧力室を開口した側の面と、前記圧電アクチュエータの前記圧力室と対面する側の面との間に介挿されて前記キャビティプレートと前記圧電アクチュエータとを接着固定する、インク非浸透性材料で構成された接着剤層を、前記全ての圧力室を覆うように、前記圧電アクチュエータの圧力室側の面に沿って延在させたことを特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項２】
前記圧電アクチュエータは、複数の前記圧電シートのうち前記ベースプレートと隣接する圧電シートを除いて、前記圧電シートを厚さ方向に穿設したスルーホールに充填された導電材料を介して前記駆動電極を、圧電アクチュエータの前記ベースプレートとは反対側の表面の電極に接続してなることを特徴とする請求項１に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項３】
前記圧電アクチュエータの側面にその厚さ方向に側面電極を形成し、前記接着剤層は、前記側面電極の厚さ方向の端縁部とキャビティプレートの表面との間に介挿されるように延設されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項４】
複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティプレートと、駆動電極への電圧の印加により前記各圧力室ごとに圧電シートを駆動させる圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチェータを、前記キャビティプレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように接合してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記キャビティプレートは、前記ノズルを形成したノズルプレートと、前記圧力室を両面に開口して形成したベースプレートと、前記ノズルプレートと前記ベースプレートとの間に位置し前記圧力室に供給するインクを収容する共通インク室を有するマニホールドプレートと、前記ベースプレートと前記マニホールドプレートとの間に位置し前記圧力室の両端を前記共通インク室及び前記ノズルにそれぞれ接続する貫通孔を形成したスペーサプレートとを積層して形成し、
前記圧力室は、前記キャビティプレートに、前記圧電アクチュエータ側に開口して形成するとともに前記圧電アクチュエータとは反対側の一端において貫通孔を介して前記ノズルと接続して形成し、
前記圧電アクチュエータの圧電シートは、前記複数の圧力室を共通に覆う大きさに形成し、
前記圧電アクチュエータは、前記圧電シートをその圧電シート間に前記駆動電極としての、前記圧力室毎に対応する個別電極と、複数の前記圧力室に共通のコモン電極とを介挿して積層して形成し、
前記圧電アクチュエータの前記圧力室と対面する側の面に予めインク非浸透性材料で構成された接着剤層を形成し、該接着剤層を介して前記圧電アクチュエータの前記面と前記キャビティプレートの前記圧力室を開口した側の面とを接着固定したことを特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電式のインクジェットプリンタヘッドの構成及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
先行技術のオンディマンド型の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいては、特開昭６２−１１１７５８号公報に記載されているように、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティプレートの背面に、ダイヤフラムプレートを接着剤を介して接合し、該ダイヤフラムプレートの片面には、前記圧力室箇所に対応させて駆動用の圧電素子等を固着したインクジェットプリンタヘッドが開示されている。
【０００３】
このダイヤフラムプレートは、圧電素子の変形を効率よく圧力室に伝えなければならないから、厚さ２５μｍもしくはそれ以下の薄い金属板である。
【０００４】
しかしこの構成では、ダイヤフラムプレートと圧電素子であるピエゾセラミック部材とを一体的に振動させるために、ダイヤフラムプレート上に圧電素子を接着形成することが困難であるという問題があった。さらに、ダイヤフラムプレートは厚さ２５μｍ以下と非常に剛性が小さいため、圧電素子の変形により圧力室内の圧力が変化したとき、ダイヤフラムプレート自体が圧電素子とは異なる振動を起こしてしまう。この振動の影響を回避するため、圧電素子の駆動周期を長くしなければならない。つまり、高い周波数での吐出動作ができないという問題があった。これらの問題を解消するため、本出願人が先に出願した特開平４−３４１８５１号公報では、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティプレートと、前記各圧力室ごとに形成された平面状の個別電極及び隣接する複数の圧力室に共通するコモン電極により圧電シート（セラミック材料からなるグリーンシート）を挟んで積層したプレート型の圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチュエータを、前記キャビティプレートに、当該圧電アクチュエータにおける各個別電極が各圧力室に対応するように積層したものを提案した。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記後者の構成では、圧力室と対面するように圧電シートを被せ、前記圧力室でないキャビティプレートの表面と圧電シートとを接着してあることと、セラミック材料からなる圧電シートは、水分を吸収し易いことから、長期間の使用中に、圧力室に導入されたインクのため、前記個別電極とコモン電極との間に絶縁破壊が起こるという問題があった。この問題を解決するため、前記ダイヤフラムプレートとして、合成樹脂製のシートを圧電素子とキャビティプレートとの間に介挿することも考えられたが、合成樹脂製のダイヤフラムプレートでは金属板に比してさらに剛性が低いため、高い周波数での駆動が一層困難になるという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような問題を解消したインクジェットプリンタヘッドを提供することを技術的課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため、請求項１に記載の発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドは、複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティプレートと、駆動電極への電圧の印加により前記各圧力室ごとに圧電シートを駆動させる圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチェータを、前記キャビティプレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように接合してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記キャビティプレートは、前記ノズルを形成したノズルプレートと、前記圧力室を両面に開口して形成したベースプレートと、前記ノズルプレートと前記ベースプレートとの間に位置し前記圧力室に供給するインクを収容する共通インク室を有するマニホールドプレートと、前記ベースプレートと前記マニホールドプレートとの間に位置し前記圧力室の両端を前記共通インク室及び前記ノズルにそれぞれ接続する貫通孔を形成したスペーサプレートとが積層され、前記圧力室を前記圧電アクチュエータ側に開口するとともにその圧力室を前記圧電アクチュエータとは反対側の一端において貫通孔を介して前記ノズルと接続するように構成され、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室を共通に覆う大きさの圧電シートを積層し、その圧電シート間に前記駆動電極としての、前記圧力室毎に対応する個別電極と、複数の前記圧力室に共通のコモン電極とを介挿して構成され、前記ベースプレートの前記スペーサプレートと反対側であって前記圧力室を開口した側の面と、前記圧電アクチュエータの前記圧力室と対面する側の面との間に介挿されて前記キャビティプレートと前記圧電アクチュエータとを接着固定する、インク非浸透性材料で構成された接着剤層を、前記全ての圧力室を覆うように、前記圧電アクチュエータの圧力室側の面に沿って延在させたものである。
【０００８】
そして、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは、複数の前記圧電シートのうち前記ベースプレートと隣接する圧電シートを除いて、前記圧電シートを厚さ方向に穿設したスルーホールに充填された導電材料を介して前記駆動電極を、圧電アクチュエータの前記ベースプレートとは反対側の表面の電極に接続してなるものである。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータの側面にその厚さ方向に側面電極を形成し、前記接着剤層は、前記側面電極の厚さ方向の端縁部とキャビティプレートの表面との間に介挿されるように延設されているものである。
【００１０】
請求項４に記載の発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法は、複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティプレートと、駆動電極への電圧の印加により前記各圧力室ごとに圧電シートを駆動させる圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチェータを、前記キャビティプレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように接合してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記キャビティプレートは、前記ノズルを形成したノズルプレートと、前記圧力室を両面に開口して形成したベースプレートと、前記ノズルプレートと前記ベースプレートとの間に位置し前記圧力室に供給するインクを収容する共通インク室を有するマニホールドプレートと、前記ベースプレートと前記マニホールドプレートとの間に位置し前記圧力室の両端を前記共通インク室及び前記ノズルにそれぞれ接続する貫通孔を形成したスペーサプレートとを積層して形成し、前記圧力室は、前記キャビティプレートに、前記圧電アクチュエータ側に開口して形成するとともに前記圧電アクチュエータとは反対側の一端において貫通孔を介して前記ノズルと接続して形成し、前記圧電アクチュエータの圧電シートは、前記複数の圧力室を共通に覆う大きさに形成し、前記圧電アクチュエータは、前記圧電シートをその圧電シート間に前記駆動電極としての、前記圧力室毎に対応する個別電極と、複数の前記圧力室に共通のコモン電極とを介挿して積層して形成し、前記圧電アクチュエータの前記圧力室と対面する側の面に予めインク非浸透性材料で構成された接着剤層を形成し、該接着剤層を介して前記圧電アクチュエータの前記面と前記キャビティプレートの前記圧力室を開口した側の面とを接着固定したことを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図１〜図８は、本発明の第１の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。これらの図において、金属板製のキャビティプレート１０に対して接合されるプレート型の圧電アクチュエータ２０の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル４０が接着剤にて重ね接合されているものであり、最下層のキャビティプレート１０の下面側に開口されたノズルから下向きにインクが吐出するものとする。
【００１２】
前記キャビティプレート１０は、図３及び図４に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート１１、二枚のマニホールドプレート１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の五枚の薄い金属板を積層した構造である。前記ノズルプレート１１には、微小径のインク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１における第１の方向（長辺方向）に沿って２列の千鳥配列状に設けられている。即ち、ノズルプレート１１の前記第１の方向と平行な２つの基準線１１ａ、１１ｂに沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列にて多数個のノズル１５が穿設されている。前記二枚のマニホールドプレート１２には、インク通路（請求項の共通インク室に相当）１２ａ、１２ｂが、前記ノズル１５の列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、ノズルプレート１１に対面する下側マニホールドプレート１２におけるインク通路１２ｂは、当該マニホールドプレート１２の上側にのみ開放するように凹み形成されている（図４参照）。このインク通路１２ａ、１２ｂは、上側のマニホールドプレート１２に対する前記スペーサプレート１３の積層により密閉される構造になっている。また、前記ベースプレート１４には、その長辺（前記第１の方向）に沿う中心線に対して直交する第２の方向（短辺方向）に延びる細幅の圧力室１６の多数個が穿設されている。そして、前記中心線を挟んで左右両側にて平行状の長手基準線１４ａ、１４ｂを設定すると、前記中心線より左側の圧力室１６の先端１６ａは前記左側の長手基準線１４ａ上に位置し、逆に前記長手中心線より右側の圧力室１６の先端１６ａは前記右側の長手基準線１４ｂ上に位置し、且つこの左右の圧力室１６の先端１６ａが交互に配置されているので、左右両側の圧力室１６は一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる。
【００１３】
この各圧力室１６の先端１６ａは、前記ノズルプレート１１における前記千鳥状配列のノズル１５に、前記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１２に同じく千鳥状配列にて穿設されている微小径の貫通孔１７を介して連通している。一方、前記各圧力室１６の他端１６ｂは、前記スペーサプレート１３における左右両側部位に穿設された貫通孔１８を介して、前記両マニホールドプレート１２におけるインク通路１２ａ、１２ｂに連通している。なお、前記他端１６ｂは、図４に示すように、ベースプレート１４の下面側にのみ開口するように凹み形成されているものである。また、最上層のベースプレート１４の一端部に穿設された供給孔１９ａの上面には、その上方のインクタンクから供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ２９が張設されている。
【００１４】
これにより、前記ベースプレート１４及びスペーサプレート１３の一端部に穿設の供給孔１９ａ，１９ｂから前記インク通路１２ａ、１２ｂ内に流入したインクは、このインク通路１２ａから前記各貫通孔１８を通って前記各圧力室１６内に分配されたのち、この各圧力室１６内から前記貫通孔１７を通って、当該圧力室１６に対応するノズル１５に至るという構成になっている。
【００１５】
一方、前記圧電アクチュエータ２０は、図５及び図６に示すように、９枚の圧電シート２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２２，２３を積層した構造で、前記各圧電シートのうち最下段の圧電シート２２とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆの上面（広幅面）には、前記キャビティプレート１０における各圧力室１６の箇所ごとに細幅の個別電極２４が、第１の方向（長辺方向）に沿って列状に形成され、各個別電極２４は前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。下から偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの上面（広幅面）には、複数個の圧力室１６に対して共通のコモン電極２５が形成されている。
【００１６】
実施形態においては、前記各個別電極２４の幅寸法は対応する圧力室１６における平面視での広幅部より少し狭く設定されている。
【００１７】
他方、圧力室１６は前記のベースプレート１４の短辺の中央部側で、前記第１の方向（長辺）に沿って２列状に配列されているので、前記コモン電極２５は、その２列の圧力室１６、１６を一体的に覆うように、偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの短辺方向の中央において長辺に沿って延びる平面視略矩形状に形成されると共に、該偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの対の短辺の端縁部近傍では当該端縁部のほぼ全長にわたって延びる引き出し部２５ａ，２５ａが一体的に形成されている。
【００１８】
そして、前記偶数段目の圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの対の長辺の端縁部近傍の表面であって、前記コモン電極２５が形成されていない箇所には、前記各個別電極２４と同じ上下位置（対応する位置）に、当該個別電極２４と略同じ幅寸法で長さの短いダミー個別電極２６を形成する。この場合、図５及び図６に示すように、各ダミー個別電極２６の端部は前記コモン電極２５の第１の方向（長辺に沿う方向）の側縁に対して適宜の隙間寸法（Ａ１）の切れ目３５があるように隔てる。しかも、ダミー個別電極２６の層の１つおきの長さをＬ２とＬ３（＜Ｌ２）のように長短に設定して、ダミー個別電極２６の端部とコモン電極２５の側縁とのパターンの切れ目３５の位置を圧電シートの積層の１枚おきに当該圧電シートの第２の方向（短辺方向）にずらせても良い。
【００１９】
実施形態では、下から２番目の層（圧電シート２１ａ）及び６番目の層（圧電シート２１ｅ）でのダミー個別電極２６の長さＬ２を、４番目の層（圧電シート２１ｃ）及び８番目の層（圧電シート２１ｇ）でのダミー個別電極２６の長さＬ３より隙間寸法Ａ１だけ長くなるように設定する。
【００２０】
このように構成することにより、圧電アクチュエータ２０全体としての第２の方向（幅方向）でのダミー個別電極２６の端部とコモン電極２５の側縁とのパターンの切れ目３５の幅が２×Ａ１と大きくなると共に、当該切れ目３５箇所における圧電アクチュエータ２０全体としての厚さ方向の電極層の密度の第２の方向での偏りが少なくなるから、後工程で焼成した後の圧電アクチュエータ２０の幅方向（第２の方向）の反り（前記切れ目３５の箇所で上向き凸となる反り）変形量も小さく、その反りも急な角度で折れ曲がったものではなく、大きな半径で穏やかに湾曲したものにできる。その結果、後述するように、接着剤層としての接着剤シート４１により圧電アクチュエータ２０をキャビティプレート１０に接着固定した場合にも、その接着面での隙間（空間）が発生せず、インクジェットとしての製品となった状態でのインク漏れという不良を防止できるという効果を奏する。また、前記接着工程において、圧電アクチュエータ２０とキャビティプレート１０との広幅面（接着面）が平坦になるように、両者を押しつける接着圧力も低荷重にできるという効果を奏する。
【００２１】
他方、最下段の圧電シート２２とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆの上面（広幅面）のうち、前記引き出し部２５ａ，２５ａに対応する位置（同じ上下位置、圧電シートの対の短辺の端縁部近傍）には、ダミーコモン電極２７を形成するのである。
【００２２】
前記最上段のトップシート２３の上面には、その長辺の端縁部に沿って、前記各個別電極２４の各々に対する表面電極３０と、前記コモン電極２５に対する表面電極３１とが、設けられている。
【００２３】
さらに、前記最下段の圧電シート２２を除いて、他の全ての圧電シート２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇとトップシート２３とには、前記各表面電極３０と、それに対応する位置（同じ上下位置）の個別電極２４並びにダミー個別電極２６とが互いに連通するように、スルーホール３２を穿設する。同様に、前記少なくとも１つの表面電極３１（実施形態では、トップシート２３の４隅の位置の表面電極３１）と、それに対応する位置（同じ上下位置）のコモン電極２５乃至はその引き出し部２５ａが互いに連通するように、スルーホール３３を穿設し、スルーホール３２、３３内に充填された導電性材料を介して、各層の個別電極２４同士及びそれと対応する位置の表面電極３０とが電気的に接続されているように構成し、同じく、各層のコモン電極２５同士及びそれと対応する位置の表面電極３１とが電気的に接続されているように構成するものである。
【００２４】
前記した構成の圧電アクチュエータ２０は、以下に述べるような方法で製造される。即ち、前記一つの圧電アクチュエータ２０における圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆ、２２の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第１素材シート（セラミックグリーンシート）の表面のうち各圧電シートの箇所に、複数個の個別電極２４と、捨てパターンの電極としてのダミーコモン電極２７を設ける位置に対応して予めスルーホール３２を穿設する。同様に、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第２素材シート（セラミックグリーンシート）の表面のうち各圧電シートの箇所に、複数個のコモン電極２５と、捨てパターンの電極としてのダミー個別電極２６を設ける位置に対応して予めスルーホール３３を穿設する。さらに、前記と同様に、トップシート２３の複数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第３素材シート（セラミックグリーンシート）の表面のうちトップシート２３の箇所に、複数個の表面電極３０、３１を設ける位置に対してスルーホール３２、３３を穿設する。
【００２５】
そして、各圧電シート２１ｂ，２１ｄ，２１ｆ、２２の表面に個別電極２４及びダミーコモン電極２７を、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ，２１ｇの表面にコモン電極２５及びダミー個別電極２６を、トップシート２３の表面に表面電極３０、３１の箇所を、それぞれ、導電ペーストのスクリーン印刷にて形成すると、前記各スルーホール３２、３３は、第１、第２素材シートの上下広幅面に貫通しているので、各スルーホール３２、３３内にも前記導電ペーストが浸入し、該各スルーホール３２、３３を介して各電極部分でシートの上下面で導電通可能となる。次いで、各グリーンシートを乾燥した後、積層し、次いで積層方向にプレスすることで一体化して、一枚の積層体に形成し、その後焼成する。
【００２６】
これにより、上下に積層された複数枚の圧電シート２１とトップシートとは上下同じ位置の前記個別電極２４及びダミー個別電極２６が表面電極３０の箇所と電気的に接続されるし、同じく上下複数枚のコモン電極２５及びダミーコモン電極２７が表面電極３１の箇所と電気的に接続されることになる（図６参照）。
【００２７】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２０における下面（圧力室１６と対面する広幅面）全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート４１を予め貼着し、次いで、前記キャビティプレート１０に対して、当該圧電アクチュエータ２０における各個別電極２４が前記キャビティプレート１０における各圧力室１６の各々に対応するように接着・固定される（図７、図８参照）。また、この圧電アクチュエータ２０における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極３０、３１に電気的に接合される。
【００２８】
なお、前記接着剤シート４１等の接着剤層の材料としては、少なくともインク非浸透性であり、且つ電気絶縁性を備えたものであって、ナイロン系やダイマー酸ベースのポリアミド樹脂を主成分とするポリアミド系ホットメルト形接着剤、ポリエステル系ホットメルト形接着剤のフィルム状のものを使用しても良いが、ポリオレフィン系ホットメルト形接着剤を前記圧電アクチュエータ２０の前記広幅面に塗布してから、キャビティプレート１０に接着・固定するようにしても良い。接着層の厚さは約１μｍ程度である。
【００２９】
この構成において、前記圧電アクチュエータ２０における各個別電極２４のうち任意の個別電極２４と、コモン電極２５との間に電圧を印加することにより、圧電シート２１のうち前記電圧を印加した個別電極２４の部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各個別電極２４に対応する圧力室１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる（図８参照）。
【００３０】
上述のように、圧電アクチュエータ２０とキャビティプレート１０との間に、全ての圧力室１６を覆うように、前記接着剤層を介在させることにより、この接着剤層がインクを浸透させない被膜の役割を果たすと共に、圧電アクチュエータ２０とキャビティプレート１０とを強固に固定する作用も同時にできる。そして、接着剤であるので、その層の厚さを従来のダイヤフラムプレートに比して極めて薄く形成でき、且つ低コストにてインクジェットプリンタヘッドを製造することができるという効果を奏する。また、複数の圧力室１６にわたって延びる圧電シート２１、２２を積層して圧電アクチュエータ２０を構成しているから、圧電アクチュエータ２０全体の剛性が高くなり、従来のダイヤフラムプレートのような振動を起こすことがなく、高い周波数での駆動を可能にすることができる。そして、圧電アクチュエータ２０の広幅面の全体に接着剤層を形成しているから、駆動時の圧電アクチュエータ２０と接着剤層とが一体的に伸縮し、高い周波数での駆動時のインク吐出性能が悪化するというおそれもないのである。
【００３１】
なお、前記ホットメルト形接着剤を使用すれば、固化までの作業時間を大幅に短縮できるという効果も奏する。
【００３２】
なお、実施形態では、圧電シート１枚の厚さが３０μｍであり、個別電極２４、コモン電極２５及び表面電極３０、３１の形成（電極層の厚さは略５μｍ）時における導電材料の塗布にて当該導電材料は各スルーホール３２，３３内に浸入（充填）し得る。圧電シートの１枚の厚さが厚い場合には、前記電極（導電）材料の塗布後に塗布面の裏側からの空気の吸引にてスルーホール内への導電材料の浸入（充填）を確実にすることができる。
【００３３】
図９〜図１１に示す実施形態は、前記スルーホールにかえて、圧電アクチュエータ２０の積層体の側面（表面電極３０，３１が形成される広幅面と直交する側面）に、側面電極３５、３６を形成し、表面電極３０は前記側面電極３５を介して前記個別電極２４同士、ダミー個別電極２６同士を電気的接続させる一方、表面電極３１は別の箇所の側面電極３６を介して前記コモン電極２５同士、ダミーコモン電極２７同士を電気的接続させるよう構成したものであり、前記側面電極３５、３６の厚さ方向の端縁部がキャビティプレート１０の表面に直接接触しないように、前記接着剤シート４１を圧電アクチュエータ２０の下面に延在させるようにして接着してから、キャビティプレート１０の表面に接着・固定するようにしても良い。このようにすれば、キャビティプレート１０が金属材料等の電気導体であっても、インク非浸透性且つ電気絶縁性材料からなる接着剤シート４１にて側面電極３５、３６の厚さ方向の端縁部が遮られることになり、電気的に短絡しない構成が至極簡単に達成できるという効果を奏する。
【００３４】
本発明は、コモン電極２５を有する最下層の圧電シートがキャビティシート１０におけるベースシート１４と対面するように、個別電極２４の層とコモン電極２５との層との積層順序を変えたものにも適用できることはいうまでもない。
【００３５】
【発明の作用・効果】
以上に説明したように、請求項１に記載の発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドは、複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティプレートと、駆動電極への電圧の印加により前記各圧力室ごとに圧電シートを駆動させる圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチェータを、前記キャビティプレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように接合してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記キャビティプレートは、前記ノズルを形成したノズルプレートと、前記圧力室を両面に開口して形成したベースプレートと、前記ノズルプレートと前記ベースプレートとの間に位置し前記圧力室に供給するインクを収容する共通インク室を有するマニホールドプレートと、前記ベースプレートと前記マニホールドプレートとの間に位置し前記圧力室の両端を前記共通インク室及び前記ノズルにそれぞれ接続する貫通孔を形成したスペーサプレートとが積層され、前記圧力室を前記圧電アクチュエータ側に開口するとともにその圧力室を前記圧電アクチュエータとは反対側の一端において貫通孔を介して前記ノズルと接続するように構成され、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室を共通に覆う大きさの圧電シートを積層し、その圧電シート間に前記駆動電極としての、前記圧力室毎に対応する個別電極と、複数の前記圧力室に共通のコモン電極とを介挿して構成され、前記ベースプレートの前記スペーサプレートと反対側であって前記圧力室を開口した側の面と、前記圧電アクチュエータの前記圧力室と対面する側の面との間に介挿されて前記キャビティプレートと前記圧電アクチュエータとを接着固定する、インク非浸透性材料で構成された接着剤層を、前記全ての圧力室を覆うように、前記圧電アクチュエータの圧力室側の面に沿って延在させたものであるから、この接着剤層がインクを浸透させない被膜の役割を果たすと共に、圧電アクチュエータとキャビティプレートとを強固に固定することができる。そして、接着剤であるので、その層の厚さを従来のダイヤフラムプレートに比して極めて薄く形成でき、且つ低コストにてインクジェットプリンタヘッドを製造することができるという効果を奏する。また、圧電アクチュエータの広幅面の全体に接着剤層を形成しているから、駆動時の圧電アクチュエータと接着剤層とが一体的に伸縮し、高い周波数での駆動時のインク吐出性能が悪化するというおそれもないのである。
また、前記接着剤層は、インク非浸透性材料で構成されているものであるから、この接着剤層が圧力室を確実に覆うことができ圧電シート中に前記圧力室中のインクが浸透せず、駆動電極が絶縁破壊されることがなく長期の使用に耐えることができる被膜の役割を果たすと共に、圧電アクチュエータとキャビティプレートとを強固に固定する作用も同時にできるという効果を奏する。
【００３６】
加えて、請求項１に記載の発明によると、従来のキャビティプレートと圧電素子との間に設けられていたダイヤフラムプレートに比して、接着剤層はその厚さを極めて薄く形成でき、且つ低コストにてインクジェットプリンタヘッドを製造することができるという効果を奏する。また、複数の圧力室にわたって延びる圧電シートを積層して圧電アクチュエータを構成しているから、圧電アクチュエータ全体の剛性が高くなり、従来のダイヤフラムプレートのような振動を起こすことがなく、高い周波数での駆動を可能にすることができる。そして、圧電アクチュエータの広幅面の全体に接着剤層を形成しているから、駆動時の圧電アクチュエータと接着剤層とが一体的に伸縮し、高い周波数での駆動時のインク吐出性能が悪化するというおそれもない。
【００３７】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータの側面にその厚さ方向に側面電極を形成し、前記接着剤層は、前記側面電極の厚さ方向の端縁部とキャビティプレートの表面との間に介挿されるように延設した場合には、キャビティプレートが導電性材料であっても、接着剤層によって側面電極の端縁部とキャビティプレートとの接触を遮断することができ、簡単な構成により、電気絶縁性を確保できるという効果を奏する。
【００３８】
請求項４に記載の発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法は、複数個のノズル及びこの各ノズル毎の圧力室を第１の方向に列状に備えたキャビティプレートと、駆動電極への電圧の印加により前記各圧力室ごとに圧電シートを駆動させる圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチェータを、前記キャビティプレートに、当該圧電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応するように接合してなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記キャビティプレートは、前記ノズルを形成したノズルプレートと、前記圧力室を両面に開口して形成したベースプレートと、前記ノズルプレートと前記ベースプレートとの間に位置し前記圧力室に供給するインクを収容する共通インク室を有するマニホールドプレートと、前記ベースプレートと前記マニホールドプレートとの間に位置し前記圧力室の両端を前記共通インク室及び前記ノズルにそれぞれ接続する貫通孔を形成したスペーサプレートとを積層して形成し、前記圧力室は、前記キャビティプレートに、前記圧電アクチュエータ側に開口して形成するとともに前記圧電アクチュエータとは反対側の一端において貫通孔を介して前記ノズルと接続して形成し、前記圧電アクチュエータの圧電シートは、前記複数の圧力室を共通に覆う大きさに形成し、前記圧電アクチュエータは、前記圧電シートをその圧電シート間に前記駆動電極としての、前記圧力室毎に対応する個別電極と、複数の前記圧力室に共通のコモン電極とを介挿して積層して形成し、前記圧電アクチュエータの前記圧力室と対面する側の面に予めインク非浸透性材料で構成された接着剤層を形成し、該接着剤層を介して前記圧電アクチュエータの前記面と前記キャビティプレートの前記圧力室を開口した側の面とを接着固定したことを特徴とするものである。
【００３９】
従って、極めて簡単でコストを低減した方法により、圧電アクチュエータとキャビティプレートとを固定することができると共に、圧電アクチュエータの広幅面の全体に接着剤層を形成しているから、駆動時の圧電アクチュエータと接着剤層とが一体的に伸縮し、高い周波数での駆動時のインク吐出性能が悪化しないという効果も奏することができるのである。また、前記接着剤層は、インク非浸透性材料で構成されているものであるから、この接着剤層が圧力室を確実に覆うことができ圧電シート中に前記圧力室中のインクが浸透せず、駆動電極が絶縁破壊されることがなく長期の使用に耐えることができる被膜の役割を果たすと共に、圧電アクチュエータとキャビティプレートとを強固に固定する作用も同時にできるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】  キャビティプレートと圧電アクチュエータとの一端部を示す拡大斜視図である。
【図３】  キャビティプレートの分解斜視図である。
【図４】  キャビティプレートの部分的拡大斜視図である。
【図５】  圧電アクチュエータの分解斜視図である。
【図６】  スルーホール部で切断した圧電アクチュエータの部分拡大側断面図である。
【図７】  図１のVII −VII 線矢視拡大断面図である。
【図８】  フレキシブルフラットケーブルとキャビティプレートと圧電アクチュエータとを接着・固定した状態の拡大断面図である。
【図９】  第２実施形態におけるキャビティプレートと圧電アクチュエータとの一端部を示す拡大斜視図である。
【図１０】  図９におけるＸ−Ｘ線矢視拡大断面図である。
【図１１】  接着剤・固定状態の拡大断面図である。
【符号の説明】
１０          キャビティプレート
１１          ノズルプレート
１２          マニホールドプレート
１３          スペーサプレート
１４          ベースプレート
１５          ノズル
１６          圧力室
２０          圧電アクチュエータ
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２２    圧電シート
２３          トップシート
２４          個別電極
２５          コモン電極
２６          ダミー個別電極
２７          ダミーコモン電極
３０，３１    表面電極
３２，３３    スルーホール
３５、３６        側面電極
４０          フレキシブルフラットケーブル
４１          接着剤層としての接着剤シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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