(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リング状の摺動部を有するアルミニウム部材における上記摺動部の表面硬化方法であって，
高密度エネルギービームを照射することによって，上記摺動部の表層のみを融点以上に加熱して溶融部となし，次いで該溶融部を急冷凝固させて，表面硬化層を形成するに当たり，
上記高密度エネルギービームは，上記アルミニウム部材に対して相対的に円状又は楕円状に複数回周回移動させながら照射し，
かつ，第２周回目以降の高密度エネルギービームの照射は，第１周回目の照射により形成された，溶融状態でつながったリング状の上記溶融部が凝固する前に行い，
上記高密度エネルギービームによる上記加熱の時間は，０．５ｍｓｅｃ以下とし，
上記溶融部の深さを，２０μｍ以上，１００μｍ以下とすることを特徴とするアルミニウム部材の表面硬化方法。
【請求項２】
請求項１において，上記高密度エネルギービームは，その相対的な移動方向と９０度をなす方向に所定距離だけ揺動させながら照射することを特徴とするアルミニウム部材の表面硬化方法。
【請求項３】
請求項１又は２において，上記高密度エネルギービームはレーザビームであり，かつ，上記アルミニウム部材には，上記高密度エネルギービーム照射の前に，予めレーザビーム吸収性を向上させるための表面処理を施すことを特徴とするアルミニウム部材の表面硬化方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において，上記アルミニウム部材は，自動変速機用であることを特徴とするアルミニウム部材の表面硬化方法。
【請求項５】
リング状の摺動部を備えた、自動変速機用のアルミニウム部材であって，
上記摺動部には表面硬化層が形成されており、該表面硬化層は，高密度エネルギービームの照射によって上記摺動部の表層のみを融点以上に加熱して溶融部となし，次いで該溶融部を急冷凝固させて，２０μｍ以上，１００μｍ以下の深さで形成してあり，
上記高密度エネルギービームは，上記アルミニウム部材に対して相対的に円状又は楕円状に複数回周回移動させながら照射し，
かつ，第２周回目以降の高密度エネルギービームの照射は，第１周回目の照射により形成された，溶融状態でつながったリング状の上記溶融部が凝固する前に行い，
上記高密度エネルギービームによる上記加熱の時間は，０．５ｍｓｅｃ以下であることを特徴とする自動変速機用のアルミニウム部材。
【請求項６】
請求項５において，上記高密度エネルギービームは，その相対的な移動方向と９０度をなす方向に所定距離だけ揺動させながら照射することを特徴とする自動変速機用のアルミニウム部材。
【請求項７】
請求項５又は６において，上記高密度エネルギービームはレーザビームであり，かつ，上記アルミニウム部材には，上記高密度エネルギービーム照射の前に，予めレーザビーム吸収性を向上させるための表面処理を施すことを特徴とする自動変速機用のアルミニウム部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，表面に硬化層を形成してアルミニウム部材の表面を硬化する方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
近年，例えば自動車用部材においては，その軽量化の要求に対応すべく，重量面で有利なアルミニウム合金を素材に用いたアルミニウム部材が適用されてきている。そして，例えば摺動部分を有する部材にアルミニウム部材を適用する場合には，その摺動部分の耐摩耗性を向上させることが必要であり，従来より種々の対策が講じられている。
【０００３】
部材の耐摩耗性を向上させるには，その表面特性を改質することが重要である。従来のアルミニウム部材の表面改質方法としては，陽極酸化処理，めっき，コーティング，熱処理などの方法がある。このうち，熱処理による方法は，他の方法に比べて比較的簡便であるため種々の方法が提案されている。
例えば，特公平７−３７６６０号公報には，鋳造品の機械的性質を改善する熱処理方法が提案されており，その一部を，表面改質に利用することができる。
【０００４】
即ち，上記公報に示された方法においては，まず，高密度エネルギーを照射することにより，所望部分を溶融・再凝固させて鋳造組織の微細化を図り，次いで，Ｔ６処理（溶体化，焼入れ，時効処理）等の熱処理を行い，上記微細化部分の熱処理効果を向上させる方法である。
【０００５】
この従来の方法のうち，上記高密度エネルギー照射による溶融・再凝固処理は，単に組織を微細化させるだけでなく，その微細化による硬度の向上や，材質によってはいわゆる焼入れ効果による硬化をも得ることができる。
そのため，部材全体の熱処理（Ｔ６処理等）を省略して，上記高密度エネルギーの照射による溶融・再凝固処理だけを行い，部分的に表面硬化処理を行うことができる。
【０００６】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来のアルミニウム部材の表面硬化方法においては，次の問題がある。
即ち，上記従来の高密度エネルギーの照射により組織を微細化する方法においては，その表面が波打って凹凸が生じてしまったり，周囲のガスを巻き込んでブローホールを生じてしまう。部材表面に凹凸が生じた場合には，摺動面としてそのまま使用することが困難である。また，ブローホールが生じた場合には，その熱処理部分の強度が低下してしまい，十分な表面硬化が得られないだけでなく，ブローホールが表面に露出すると，表面精度が非常に悪くなってしまう。
【０００７】
上記ブローホールの防止のためには，アルミニウム部材を予熱しておき，溶融後の冷却スピードを低下させ，巻き込んだガスを十分に放出した後に凝固するよう工夫することが必要である。また，上記凹凸を改善するためには，その後に切削加工等の仕上げ工程を追加することが必要である。
これらのブローホールや凹凸に対する対策は，処理時間の増加，工程の増加，さらには上記予熱による熱歪みの発生や硬度向上効果の低下等の品質面における不具合を招いてしまう。
【０００８】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，表面の凹凸やブローホールの発生を抑制することができ，かつ，高い効率で処理することができるアルミニウム部材の表面硬化方法を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題の解決手段】
請求項１の発明は，リング状の摺動部を有するアルミニウム部材における上記摺動部の表面硬化方法であって，
高密度エネルギービームを照射することによって，上記摺動部の表層のみを融点以上に加熱して溶融部となし，次いで該溶融部を急冷凝固させて，表面硬化層を形成するに当たり，
上記高密度エネルギービームは，上記アルミニウム部材に対して相対的に円状又は楕円状に複数回周回移動させながら照射し，
かつ，第２周回目以降の高密度エネルギービームの照射は，第１周回目の照射により形成された，溶融状態でつながったリング状の上記溶融部が凝固する前に行い，
上記高密度エネルギービームによる上記加熱の時間は，０．５ｍｓｅｃ以下とし，
上記溶融部の深さを，２０μｍ以上，１００μｍ以下とすることを特徴とするアルミニウム部材の表面硬化方法にある。
【００１０】
本発明において最も注目すべきことは，アルミニウム部材の表層のみ，具体的には表面から１００μｍ以下の極表層のみを積極的に溶融部となし，これを急冷凝固させて表面硬化層となすことである。そして，その加熱源としては上記高密度エネルギービームを用いることである。
【００１１】
上記溶融部の深さが１００μｍを超える場合には，表層のみを溶融させる効果が薄れ，表面の凹凸の発生やブローホールの発生のおそれがある。一方，溶融部の深さは２０μｍ以上である。２０μｍ未満の場合には得られる表面硬化層の厚みが薄いため硬度向上効果が薄れるという問題がある。
【００１２】
また，上記高密度エネルギービームとしては，例えばレーザービーム，電子ビーム等の高密度エネルギーがある。本発明では，これらを総称して高密度エネルギービームという。
また，本発明において対象とするアルミニウム部材としては，例えば，ＡＤＣ１２，ＡＣ８Ｂ，Ａ４０３２，ＡＤＣ６，ＡＣ７Ａ，Ａ２０２４等のアルミニウム合金よりなる部材がある。
【００１３】
次に，本発明の作用につき説明する。
本発明においては，高密度エネルギービームの照射によってアルミニウム部材を加熱する。そのため，アルミニウム部材の表層は，非常に急速に加熱され，極めて短時間に上記溶融部を形成することができる。即ち，高密度エネルギービームによる加熱は，その投入エネルギーが非常に大きいため，アルミニウム部材の内部に熱伝導する速度よりも速い速度で極表層のみを加熱，溶融させることができる。
【００１４】
そして，本発明においては，上記溶融部を深さ１００μｍの範囲の極表層に限定して形成する。そのため，溶融部形成時には，従来のように溶融金属の流動に伴って周囲のガスを巻き込むということがなく，また，表面が波打つこともない。したがって，ブローホールや表面の凹凸の発生を防止することができる。そして，極表層のみが溶融状態にあるため，溶融前よりも平坦になるというレベリング効果を得ることもできる。
【００１５】
次に，上記溶融部は，高密度エネルギービームとアルミニウム部材との相対的な移動等によって溶融部への高密度エネルギービームの照射を止めることにより，急速に自己放冷される。即ち，上記のごとく溶融部は極表層のみであり，その周囲の部材内部は十分に低温状態に維持されている。それ故，高温状態の溶融部は，その周囲への熱伝導によって急速に冷却される。
【００１６】
そして，上記溶融部は，上記の急速な冷却によって，非常に微細な組織状態で表面硬化層として凝固する。また，アルミニウム部材の素材の種類によっては上記急冷によって表面硬化層が過飽和固溶体状態となるため，析出硬化による硬度向上効果も付与される。
このように硬化された表面硬化層の形成により，アルミニウム部材の表面は，耐摩耗性にも優れた表面に改質される。
【００１７】
また，本発明においては，上記高密度エネルギービームの照射によって，短時間のうちに１００μｍ以下の深さの極表面のみを溶融部となし，次いで極短時間のうちに上記表面硬化層を形成する。そのため，熱処理時間を非常に短くすることができ，高い効率で処理することができる。
また，上記のごとく，ブローホールや表面の凹凸の発生を防止することができ，しかも，処理部分以外への熱伝導が少ないため熱歪みの発生も防止することができ，アルミニウム部材を高品質に維持することができる。
【００１８】
したがって，本発明によれば，表面の凹凸やブローホールの発生を抑制することができ，かつ，高い効率で処理することができるアルミニウム部材の表面硬化方法を提供することができる。
【００１９】
次に，上記高密度エネルギービームの照射時間は，０．５ｍｓｅｃ以下（５／１００００秒以下）である。これにより，上記溶融部の深さを容易に１００μｍ以下に制御することができる。それ故，上記のごとく，ブローホールや表面の凹凸を防止することができ，高い品質を維持しつつ表面硬化を図ることができる。また，照射時間の短縮は熱処理時間に直接的に影響し，さらなる処理の高効率化を図ることもできる。
【００２０】
また，上記高密度エネルギービームは，上記アルミニウム部材に対して相対的に円状又は楕円状に複数回周回移動させながら照射し，かつ，第２周回目以降の高密度エネルギービームの照射は，第１周目の照射により形成された，溶融状態でつながったリング状の上記溶融部が凝固する前に行うことが好ましい。
【００２１】
即ち，高密度エネルギービームとアルミニウム部材との相対的な周回移動を非常に高速とすることにより，円状又は楕円状の照射部分全体を溶融部分となす。これにより，アルミニウム部材に対してはあたかも円状又は楕円状の熱源を投入した状態となり，高密度エネルギービーム照射開始点と終了点の境界をなくすことができる。それ故，溶融部が冷却されて形成される表面硬化層も境界部の凹凸がないきれいな仕上がりにすることができると共に，凝固後の再溶融・再凝固による硬度低下もない。
【００２２】
また，上記高密度エネルギービームは，その相対的な移動方向と９０度をなす方向に所定距離だけ揺動させながら照射することもできる。これにより，高密度エネルギービームの径よりも広い所定幅を有する表面硬化層を容易に形成することがでる。即ち，線状ではなく，面状の表面硬化層を容易に得ることができる。
【００２３】
また，上記高密度エネルギービームはレーザビームであり，かつ，上記アルミニウム部材には，上記高密度エネルギービーム照射の前に，予めレーザビーム吸収性を向上させるための表面処理を施すことが好ましい。これにより，表面の反射率の高いアルミニウム部材においても，方向性に優れたレーザービームを有効に利用することができる。また，上記表面処理としては，ショットブラスト処理，ヤスリがけ，ブラシがけ，サンドペーパがけ，カーボン被膜の形成等がある。
【００２４】
【発明の実施の形態】
参考例１
本発明の参考例にかかるアルミニウム部材の表面硬化方法につき，図１を用いて説明する。
本例のアルミニウム部材の表面硬化方法は，図１（Ａ）に示すごとく，高密度エネルギービーム１の照射によってアルミニウム部材２の表層のみを融点以上に加熱して溶融部２１となし，次いで溶融部２１を急冷凝固させて表面硬化層２２を形成する方法である。そして，溶融部２１の深さＤは１００μｍ以下としたものである。
【００２５】
即ち，本例は，図１（Ａ）（Ｂ）に示すごとく，ＡＤＣ１２の材質よりなるアルミニウム部材２の所望部分２０を表面硬化させるものである。
上記高密度エネルギービーム１としては，出力２００ＷのＹＡＧレーザーを用いた。また，アルミニウム部材２の加熱時間の調整は，高密度エネルギービーム１に対してアルミニウム部材２を図１矢印方向へ移動させることにより行った。具体的には，高密度エネルギービーム１の相対的な移動速度（加工速度）を１５ｍ／分に設定した。
【００２６】
そして，上記条件により処理されるアルミニウム部材２は，図１に示すごとく，高密度エネルギービーム１の照射によって，所望部分２０において溶融部２１が急速に形成される。このとき，高密度エネルギービーム１の出力と加工速度を上記値に設定していることにより，溶融部２１の深さＤは，１００μｍ以下に止まる。
【００２７】
次いで，アルミニウム部材１０の移動によって高密度エネルギービーム１の照射から開放された溶融部２１は，急速に自己放冷して凝固し，表面硬化層２２となる。
この表面硬化層２２は，上記溶融部２１が急冷によって微細化されると共に過飽和固溶体となって形成される。そのため，表面硬化層２２は，微細化による硬化と析出硬化とによって母材よりも高硬度の層となる。
【００２８】
そして，アルミニウム部材２は，この表面硬化層２２の形成によって，耐摩耗性が格段に向上する。
また，上記のごとく，溶融部２１の深さＤを１００μｍ以下とすることにより，これよりも深い溶融部を形成した場合のように周囲のガスを巻き込んでブローホールを形成したり，表面を波立たせて凹凸を発生させることもない。したがって，生産効率を低下するような切削等の仕上げ加工を追加する必要もない。
【００２９】
参考例２
本例は，参考例１において形成された表面硬化層２２の硬度向上効果を定量的に評価した例である。
評価は，図２に示すごとく，上記アルミニウム部材２における表面硬化層２２形成部分における，表面からの距離に対する断面硬度の推移を測定した。また，比較のため，表面硬化層２２を形成していない部分についても同様に断面硬度の測定を行った。
【００３０】
測定結果を図２に示す。同図は，横軸に表面から深さ方向の距離（ｍｍ）を，縦軸に硬度（Ｈｖ）をとった。
同図より知られるごとく，表面硬化層２２を形成した部分の硬度分布Ｅ２は，比較部分の硬度分布Ｃ２に比べて，極表層部分において急激な硬度向上が見られる。この結果から，参考例１の表面硬化方法により得られた表面硬化層２２は，耐摩耗性の向上に寄与し得る優れた高硬度層となることがわかる。
【００３１】
参考例３
本例は，図３〜図５に示すごとく，参考例１のアルミニウム部材の表面硬化方法を，自動車の自動変速機３００における，摺動部を有するアルミニウム部材３に適用した具体例である。
本例のアルミニウム部材３は，図３，図４に示すごとく，シールリング６を介してドラム７を装着するセンターサポートである。
【００３２】
このセンターサポート３は，図５に示すごとく，上記３つのシールリング６を遊嵌させるための３つのシール溝３１を有している。また，これらシール溝３１の間には，作動油８を供給するための２つの油溝３４を設けてある。また，センターサポート３は固定部材であり，一方，ドラム７は，ケース７９（図３，図４）に回転自在に支持された回転部材である。
【００３３】
また，センターサポート３は，回転するドラム７に対して作動油８を油溝３４から供給する。このとき，シールリング６は，作動油８の圧力によってそれぞれ押圧される。そして，２つの油溝３４から供給される作動油８の圧力が同等の場合には，図５に示すごとく，３つのシールリング６はそれぞれドラム内壁７１に当接し，さらに両端の２つのシールリング６はそれぞれのシール溝３１の側壁３１１，３１４に当接する。また，２つの油溝３４から供給される作動油８の圧力に差がある場合には，中央のシールリング６もシール溝３１の側壁３１２又は３１３に当接する。
【００３４】
この作動油供給状態においては，シールリング６はドラム７との当接によりドラム７に追従して回動する。一方，センターサポート３は上記のごとく固定している。そのため，センターサポート３のシール溝３１の４箇所の側壁３１１〜３１４は，シールリング６と摺動する面となる。
本例は，このセンターサポート３におけるシール溝３１の４箇所の側壁３１１〜３１４の表面硬度を向上させるものである。
【００３５】
また，本例においては，側壁３１１〜３１４の表面硬化処理を行う前に，シール溝３１の側壁全体に対してショットブラスト処理を施した。
そして，側壁３１１〜３１４の表面硬化処理を行うに当たっては，図６，図８に示すごとく，センターサポート３をその軸を中心として回転可能にセットして，レーザービーム装置から発射するレーザービーム１を照射することにより行う。
【００３６】
まず，センターサポート３の先端側のシール溝３１の側壁３１１を表面硬化させる場合には，図６に示すごとく，レーザービーム１を反射するための反射ミラー５９を用いて行う。処理条件は，センターサポート３の回転数を１００回転／分とすることにより加工速度を１５ｍ／分とした。また，レーザービーム１の出力は２００Ｗとした。また，レーザービーム１の照射時間は，センターサポート３の１回転分の時間となることを目標に調整した。
【００３７】
そして，上記条件による熱処理を，レーザービーム１の照射位置を側壁３１１における径方向において若干ずらして合計３回行った。
これにより，図７に示すごとく，深さ１００μｍ以下，幅約０．３ｍｍの表面硬化層２２が３箇所形成された。なお，レーザービーム１の照射から表面硬化層２２が形成されるまでの作用は参考例１と同様である。
また，中央のシール溝３１における側壁３１２を表面硬化させる場合についてはこの側壁３１１の場合と同様に行った。
【００３８】
次に，センターサポート３の後端側のシール溝３１の側壁３１４を表面硬化させる場合には，図８に示すごとく，反射ミラーを用いることなく直接レーザービーム１を照射して行った。その他の条件は上記側壁３１１の処理の場合と同様とした。これにより，図９に示すごとく，側壁３１４においても，上記と同様の３本の表面硬化層２２からなる表面硬化部分が形成された。
【００３９】
また，中央のシール溝３１における側壁３１３を表面硬化させる場合についてはこの側壁３１４の場合と同様に行った。
なお，本例においては，レーザービーム１の照射をセンターサポート３の１回転分だけ照射することを目的に行ったが，その照射開始点と照射終了点は若干重なった。そのため表面硬化層２２の表面には微妙な跡が残ったが，実用上の問題はない。
【００４０】
以上の一連の表面硬化処理によって形成された各表面硬化層２２は，高硬度化するだけでなく，その表面が非常に平坦となり，かつブローホール等の品質不良も発生していなかった。そのため，本例におけるセンターサポート３は，切削加工等の仕上げ処理を行うことなくそのまま上記側壁３１１〜３１４を摺動面とすることができる。
【００４１】
即ち，本例においては，耐摩耗性に優れた摺動面を有し，かつ形状等の品質に優れたアルミニウム部材３を，短時間で得ることができる。
また，本例におけるセンターサポート３は，上記のごとく耐摩耗性が向上するため，従来なら鋼部材しか適用できなかった高出力タイプの自動変速機にも適用できるようになった。
その他は参考例１，２と同様の効果が得られた。
【００４２】
参考例４
本例は，参考例３において，レーザービーム１とセンターサポート３との相対速度（加工速度）を大きくしたものである。具体的には，センターサポート３の回転数を３５０回転／分として加工速度を６５ｍ／分とした。これにより，レーザービーム１のビーム径が約０．５ｍｍであるため，レーザービーム照射部分の加熱時間は約０．５ｍｓｅｃとなった。また，レーザービーム１の出力は，加工速度の増大に対応して８００Ｗに上げた。
【００４３】
上記条件により，参考例２と同様に表面硬化層２２を形成した結果，各表面硬化層２２の深さは１００μｍ以下におさまり，また，その表面状態は参考例３と同等以上に平滑な面となった。
本例においてはこの表面状態を定量的に評価するため，表面粗さの測定を行った。測定結果の一例を図１０に示す。
【００４４】
図１０は，横軸に測定距離を５０倍でとり，縦軸に粗さを１００倍でとったものである。同図より知られるごとく，表面硬化層２２形成部分Ｅ４は，他の部分と比べて凹凸がなくなり，非常に平滑な面になっていることがわかる。
その他は参考例１〜３と同様の効果が得られる。
【００４５】
実施形態例１
本例は，参考例３において，レーザービーム１とセンターサポート３との相対速度（加工速度）をさらに大きくしたものである。そして，レーザービーム１は，センターサポート３に対して円状に複数回周回移動させながら照射し，かつ，第２周回目以降の高密度エネルギービームの照射は，第１周回目の照射により形成された溶融部２１が凝固する前に行った。
【００４６】
具体的には，まずセンターサポート３の回転数を３０００回転／分として加工速度を４７０ｍ／分とした。これにより，センターサポート３の１回転，即ちレーザービーム１の相対的な１周回転の時間は約２０ｍｓｅｃとなる。また，レーザービーム１の出力は，加工速度の増大に対応して，１．８ＫＷに上げた。
そして，このような条件の下，レーザービーム１を照射しながらセンターサポート３を２５回転させた。
【００４７】
上記条件による処理においては，レーザービーム１の相対的な周回移動が上記のごとく非常に高速であるため，第１周回目において形成された溶融部が凝固する前に２周回目以降のレーザービーム１の照射が行われる。そのため，溶融部２１の先端と後端とが溶融状態でつながってリング状の溶融部が形成され，次いでリング状に表面硬化層が形成される。
【００４８】
その結果，得られた表面硬化層２２は，参考例３，４の場合と異なり，レーザービーム１の照射開始点と照射終了点の位置が全く分からないほどに滑らかに仕上がった。
したがって，本例によれば，円状に表面硬化層を形成する場合において，継ぎ目のない極めて滑らかな面に仕上げることができ，摺動面としての適性をさらに向上させることができる。
その他は，参考例１〜４と同様の効果が得られる。
【００４９】
実施形態例２
本例は，図１１に示すごとく，実施形態例１において，レーザービーム１を，その相対的な移動方向Ａと９０度をなす方向に所定距離だけ揺動させながら照射した例である。具体的には，図１１に示すごとく，センターサポート３の側壁３１４を処理する場合を例にとって説明すると，レーザービーム１をセンターサポート３の回転の半径方向に２ｍｍ幅Ｓだけ８０Ｈｚの周波数で揺動させる。また，加工速度，レーザービーム１の出力等の他の条件は実施形態例１と同様にした。そして，このような条件の下，レーザービーム１を照射しながらセンターサポート３を５０回転させた。
【００５０】
上記条件の下での処理により，図１１，図１２に示すごとく，センターサポート３には，幅約２ｍｍ，深さ１００μｍ以下のリング状の溶融部２１が形成され，次いで同様のサイズのリング状の表面硬化層２２が形成された。また，この表面硬化層２２の表面は，実施形態例１と同様にレーザービーム１の照射開始点及び照射終了点が分からないほどに滑らかとなっていた。
【００５１】
そして，本例によれば１度の処理によって広い幅の表面硬化層を得ることができ，処理工程の削減を図ることができる。
その他は，参考例１〜４及び実施形態例１と同様の効果が得られる。
【００５２】
【発明の効果】
上述のごとく，本発明によれば，表面の凹凸やブローホールの発生を抑制することができ，かつ，高い効率で処理することができるアルミニウム部材の表面硬化方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  参考例１における，表面硬化層の形成過程を示す説明図。
【図２】  参考例２における，表面硬化層の硬度の測定結果を示す説明図。
【図３】  参考例３における，自動変速機の全体構成を示す説明図。
【図４】  参考例３における，自動変速機の要部を拡大した説明図。
【図５】  参考例３における，センターサポートにおける摺動面を示す説明図。
【図６】  参考例３における，センターサポートへのレーザービームの照射状態を示す説明図。
【図７】  参考例３における，形成された表面硬化層を断面からみた説明図。
【図８】  参考例３における，センターサポートへのレーザービームの照射状態を示す説明図。
【図９】  参考例３における，形成された表面硬化層を断面からみた説明図。
【図１０】  参考例４における，表面硬化層の表面粗さ測定結果を示す説明図。
【図１１】  実施形態例１における，レーザービームの照射状態を示す説明図。
【図１２】  実施形態例１における，形成された表面硬化層を断面からみた説明図。
【符号の説明】
１．．．高密度エネルギービーム（レーザービーム），
２．．．アルミニウム部材，
３．．．センターサポート（アルミニウム部材），
３１．．．シール溝，
３１１〜３１４．．．側壁，
３４．．．油溝，
６．．．シールリング，
７．．．ドラム，
７１．．．ドラム内壁，
８．．．作動油，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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