(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を通過させることにより該流体の温度を調節する伝熱室の一部を形成する凹部と、互いに平行に延在し、流体の導入流路及び導出流路としてそれぞれ用いられる第１の孔及び第２の孔と、前記凹部と前記第１の孔とを連通する複数の流入口と、前記凹部と前記第２の孔との間を連通する複数の流出口とが設けられたブロック材と、
前記ブロック材の前記凹部を覆うことにより前記伝熱室を形成する伝熱板と、
前記ブロック材と前記伝熱板とを接触部分が密着するように保持する保持手段であって、前記ブロック材の熱膨張又は熱収縮に追従して弾性体が伸縮することにより前記ブロック材の塑性変形を防ぐように前記ブロック材と前記伝熱板とを前記弾性体を用いて押さえつける前記保持手段と、
前記伝熱板を介して、前記伝熱室を通過する流体との間で熱交換を行う温度調節手段と、
を具備する流体温度調節装置。
【請求項２】
前記保持手段が、コイルバネを含む、請求項１記載の流体温度調節装置。
【請求項３】
前記複数の流入口の各々が、前記凹部の少なくとも底面において前記凹部と前記第１の孔との間を連通しており、前記複数の流出口の各々が、前記凹部の少なくとも底面において前記凹部と前記第２の孔との間を連通している、請求項１又は２記載の流体温度調節装置。
【請求項４】
前記複数の流入口が、前記導入流路に沿って複数の領域の各々に少なくとも１つ配置されており、前記導入流路の上流側から下流側に行くほど、各領域に配置された前記少なくとも１つの流入口の総面積が小さくなる、請求項１〜３のいずれか１項記載の流体温度調節装置。
【請求項５】
前記複数の流出口が、前記導出流路に沿って配置されており、前記導出流路の最も下流側に配置された流出口の開口面積が最も小さい、請求項１〜４のいずれか１項記載の流体温度調節装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体温度調節装置に関し、特には、半導体製造装置等の処理液として使用される腐食性流体の温度を精密調節するのに適した流体温度調節装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
エッチングや洗浄、レジスト剥離等の半導体ウェハの処理作業には、一般的に、腐食性が高く、高純度の薬液が使用される。このような薬液の反応速度は、温度依存性が高い。薬液の反応を正確に制御するためには、薬液の温度を、例えば、１５〜８５℃の範囲で、高精度に制御する必要がある。このような温度制御には、様々な温度調節装置が使用されている。
【０００３】
図８は、従来の流体温度調節装置の構造を模式的に示す平面図である。
この流体温度調節装置１００は、フッ素系樹脂等の耐食性材料からなるブロック内に形成された伝熱室１０１を有している。伝熱室１０１内を通過する流体には、熱電素子モジュール等の温度制御装置から熱が伝えられる。伝熱室１０１の内部は、３枚の流路形成プレート１０３により、深さ方向に４つの区画１０５に分割されている。流路形成プレート１０３の一端には、開口１０７が形成されている。この開口１０７は、３枚の流路形成プレート１０３の端に交互に配置されている。このような構成により、各分割区画１０５は、開口１０７を介して相互に連通して、伝熱室内を蛇行する流路を形成する。
【０００４】
伝熱室１０１内の最上部及び最下部の２つの区画１０５には、これらの区画１０５に連通するパイプが接続されている。パイプの一方は、流体導入パイプ１０９で、他方は流体導出パイプ１１１である。パイプは、流路形成プレート１０３の開口１０７から遠い位置で各区画に接続されている。流体導入パイプ１０９から伝熱室１０１内に入った流体は、伝熱室内を蛇行する間に、温度制御装置から放熱又は吸熱を受け、温度調節される。そして温度調節された流体が、流体導出パイプ１１１から次工程に供給される。なお、図８に示す流体温度調節装置の詳細については、特許文献１に開示されている。
【０００５】
図９は、従来の他の流体温度調節装置の構造を模式的に示す図であり、図９の（ａ）は側面図、図９の（ｂ）は図９の（ａ）のIV−IVにおける断面図である。この流体温度調節装置１２０は、図９の（ａ）に示すような伝熱室１２１を有している。伝熱室１２１の上面と下面には、伝熱板１２３が取り付けられている。伝熱板１２３には、熱電素子モジュール等の温度制御装置が接続されており、該温度制御装置の制御により、伝熱室１２１に対して放熱又は吸熱を行う。また、伝熱室１２１は、該伝熱室の上区画１２５及び下区画１２７を有し、両区画を連通する孔１２９ａ及び１２９ｂが形成されている。図９の（ｂ）に示すように、上区画１２５及び下区画１２７は、それぞれ仕切り壁１３１によって２つに分割されている。孔１２９ａ及び１２９ｂの側面には、流体導入パイプ１３３及び流体導出パイプ１３５がそれぞれ接続されている。
【０００６】
流体導入パイプ１３３から孔１２９ａに入った流体は、同区画で上下に分かれて上区画１２５と下区画１２７に分岐し、各区画内で仕切り壁１３１に沿ってＵターンするように流れ、この間に熱電素子モジュール等により温度調節される。そして、孔１２９ｂにおいて合流し、流体流出パイプ１３５から次工程に流出する。
【０００７】
このような流体温度調節装置においては、流体の温度を精密に制御するために、流体が流路を流れる間に均一に熱電素子に接する必要がある。従って、伝熱室内で流体の渦が発生したり、流速が遅くなって淀みが発生する等、流体の流れが不規則になる部分ができるだけ少なくなるように流路を形成する必要がある。また、装置の使用後に薬液を抜くときには、次に使用される薬液の汚染を防ぐために、装置内に薬液が残留しないように完全に空にしておく必要がある。さらに、伝熱室の深さをかなり浅くする方が、流体が有効な伝熱を受けるようになって好ましい。
【０００８】
しかし、図８に示す従来例においては、伝熱室１０１内の容量が大きく、伝熱室１０１の深さが深いため、流体全体への伝熱性能が均一でなくなるおそれがある。また、流路形成プレート１０３は、伝熱室１０１の側面に形成した溝に嵌め込んで取り付けられている。このため、溝とプレート１０３との間に隙間ができ、この隙間に薬液が入り込み、ここで薬液から固体が晶出してしまうことがある。また、流路は上述のように蛇行した形状であり、薬液を抜くときに、各区画１０５の隅の部分に薬液が残りやすい。
【０００９】
また、図９に示す従来例においては、上区画１２５及び下区画１２７からなる流路において、仕切り壁１３１寄りと外側では流体の流速が異なり、また、各流路の隅の部分で流体が淀むことがある。
従って、隅となる部分や極度に狭くなっている部分が形成されないように、流路を形成する必要がある。また、流路がある深さを持っていると、温度調節部材の効果が流体の中央部付近まで達しない場合があり、均一な温度調節ができなくなる。このため、流体の層をできるだけ薄くして温度調節部材に接する有効な流体の量を多くし、かつ、渦や淀みの発生しない流路を備えた流体温度調節装置が必要となる。さらには、薬液を完全に抜くことができればより好ましい。
【００１０】
一方、従来の流体温度調節装置には、次のような別の問題も存在している。一般に、伝熱室は、ブロック形状の材料（伝熱ブロック）から伝熱室となる凹部を削り出し、該凹部を高熱伝導性プレートによって覆うことによって形成される。該プレートには、温度調節を行う熱電素子モジュールが接触しており、該プレートを介して、伝熱室内の流体と熱電素子モジュールとの間における熱交換が行われる。伝熱ブロックと高熱伝導性プレートとの接触部分は、Ｏリング等のシール部材によって密着させられ、これにより、両者によって形成された伝熱室から流体が漏れ出すのを防いでいる。
【００１１】
ここで、伝熱ブロックは、フッ素系樹脂等の耐食性に優れた材料によって作製される。一般に、このような材料は、線膨張係数が大きい（例えば、鉄の約１０倍）と共に、塑性変形し易い。そのため、伝熱ブロックの加熱と冷却を繰り返すと、圧接方向の寸法減少が生じ、伝熱ブロックと高熱伝導性プレートとの間のシール部分における接触面圧が低下して隙間が生じ、伝導室内の流体が漏れ出すという問題があった。
【００１２】
このような問題を解決するため、特許文献１には、伝熱ブロックと熱交換基板とを、ボルト及び皿バネを用いて固定することが開示されている（特許文献１、図５参照）。即ち、皿バネの枚数や重ねる向きを適宜選択することにより、皿バネ全体の押圧力を高めたり、皿バネの伸縮を増大して塑性変形による寸法減少分を多く吸収している。
しかしながら、近年、流体温度調節装置に求められる制御可能な温度調節範囲はますます大きくなっている。そのため、伝熱ブロックの塑性変形量も多くなるので、その変形量を上記のような機構では吸収しきれなかったり、或いは、そのような変形を繰り返すことによって装置自体の耐久性に影響を及ぼすこともある。
【００１３】
【特許文献１】
特開平１１−６７７１７号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上記の問題点に鑑み、本発明は、冷却加熱に伴う温度サイクルの繰り返し環境においても、伝熱室における高いシール性が維持され、温度の精密なコントロールが可能な流体温度調節装置を提供することを第１の目的とする。また、本発明は、伝熱室から薬液を廃棄するときに薬液が残留しにくい流体温度調節装置を提供することを第２の目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段及び作用効果】
上記課題を解決するため、本発明の流体温度調節装置は、流体を通過させることにより該流体の温度を調節する伝熱室の一部を形成する凹部と、互いに平行に延在し、流体の導入流路及び導出流路としてそれぞれ用いられる第１の孔及び第２の孔と、上記凹部と第１の孔との間を連通する複数の流入口と、上記凹部と第２の孔との間を連通する複数の流出口とが設けられたブロック材と、ブロック材の該凹部を覆うことにより伝熱室を形成する伝熱板と、ブロック材と伝熱板とを接触部分が密着するように保持する保持手段であって、該ブロック材の熱膨張又は熱収縮に追従して弾性体が伸縮することによりブロック材の塑性変形を防ぐようにブロック材と伝熱板とを弾性体を用いて押さえつける上記保持手段と、伝熱板を介して、伝熱室を通過する流体との間で熱交換を行う温度調節手段とを具備する。
【００１６】
本発明に係る流体温度調節装置によれば、弾性体を含む保持手段を用いてブロック材と伝熱板とを押さえつけることによりこれらを保持するので、ブロック材において熱変形が生じても、弾性体によって熱変形量が吸収され、該ブロック材に塑性変形を生じさせることを防ぎつつブロック材と伝熱板との間のシール性を維持することができる。
【００１７】
ここで、上記保持手段は、コイルバネを含んでも良い。コイルバネの弾性力を用いることにより、ブロック材と伝熱板とを確実に締結しつつ、上記ブロック材における熱膨張や熱収縮を素早く吸収することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。なお、同一の構成要素には同一の参照番号を付して、説明を省略する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る流体温度調節装置の構造を示す断面図である。この流体温度調節装置は、伝熱ブロック１と、伝熱ブロック１の両側に配置されている２枚の伝熱板２と、伝熱ブロック１と伝熱板２とを押さえつけることにより接触部分が密着するように両者を保持する保持部６０と、２枚の伝熱板２にそれぞれ接触するように配置されている温度調節部５０とを含んでいる。
【００１９】
伝熱ブロック１と伝熱板２との間には、伝熱室１０が形成されている。伝熱室１０は、流体を加熱又は吸熱しながら通過させることにより流体の温度調整を行う領域である。伝熱ブロック１は、耐食性を有する材料のブロックから、伝熱室１０となる領域（凹部）、流体の流入口７及び流出口９を削り出すことにより作製される。耐食性を有する材料としては、例えば、テフロン（登録商標）等のフッ素系樹脂が用いられる。なお、伝熱ブロック１の形状及び流体の流路については、後で詳しく説明する。
【００２０】
伝熱板２は、伝熱ブロック１に形成された凹部を覆うように配置されている。伝熱板２は、アルミニウム等の熱伝導性の高い材料によって形成される。また、伝熱板２の内、流体に接触する面には、例えば、０．５ｍｍ厚のアモルファスカーボンフィルム２ａが接着されている。アモルファスカーボンは、熱伝導性及び耐食性を有しており、伝熱板２が流体によって腐食されるのを防ぐ。
【００２１】
伝熱ブロック１に形成された凹部の周囲には、溝２３が形成されており、そこには、Ｏリング等のシール部材２４が嵌め込まれている。このような伝熱ブロック１と伝熱板２とを保持部６０によって押さえつけることにより、伝熱ブロック１及び伝熱板２によって形成される伝熱室１０の液密性が保持される。
【００２２】
保持部６０は、伝熱ブロック１とその両側に配置された伝熱板２とを、それらの接触部分が密着するように保持している。保持部６０は、２つのフレーム６１ａ及び６１ｂと、ボルト６２と、ナット６３と、コイルバネ６４と、バネ押さえ（カラー）６５とを含んでいる。２つのフレーム６１ａ及び６１ｂは、伝熱ブロック１及びその両側に配置された伝熱板２を挟み込む。ボルト６２は、これらのフレーム６１ａ及び６１ｂを、ナット６３及びコイルバネ６４と共に締結する。コイルバネ６４は、ボルト６２に組み合わされて弾性体として作用する。
【００２３】
ここで、２つのフレーム６１ａ及び６１ｂを締結する際に、コイルバネ６４を用いているのは、次のような理由による。
本実施形態に係る流体温度調節装置において、伝熱室１０はテフロン（登録商標）等のフッ素系樹脂のブロックによって作製される。このようなフッ素系樹脂は一般的に線膨張係数が高い（例えば、鉄の約１０倍）。従って、例えば、流体の調節温度を常温（２０℃）から高温（１００℃）に変更すると、伝熱ブロック１は大きく熱変形する。そのときに、伝熱ブロック１と伝熱板２とがしっかりと固定されていると、伝熱ブロック１は塑性変形してしまう。その後で伝熱ブロック１が冷却されても、塑性変形した形状は元に戻らず、伝熱ブロック１と伝熱板２との間に隙間が生じてしまう。
【００２４】
そのため、本実施形態においては、伝熱ブロック１と伝熱板２とをしっかりとは固定しないで、両者をコイルバネ６４の弾性力を用いて保持している。これにより、伝熱ブロック１が熱変形すると、伝熱板２はその変形に追従して移動することが可能になる。即ち、伝熱ブロック１が熱膨張すると、コイルバネ６４が圧縮され、その膨張量がバネに吸収される。従って、伝熱ブロック１に無理な熱応力をかけることがなくなるので、伝熱ブロック１の塑性変形を防止できる。また、伝熱ブロック１が冷却されて収縮したときには、その収縮量に応じてコイルバネ６４が伸張するので、伝熱ブロック１と伝熱板２とのシール部分を密着させたまま保持することができる。このように、弾性力を用いて伝熱ブロック１と伝熱板２とを保持することにより、両者の間の液密性を維持しつつ、伝熱ブロック１が応力により塑性変形して寸法が減少するのを防いでいる。
【００２５】
ここで、コイルバネ６４の材料や形状等については、本実施形態に係る温度調節装置において制御可能な温度範囲や、伝熱ブロック１の熱膨張率等を考慮し、伝熱ブロック１の変形範囲に渡って、伝熱ブロック１と伝熱板２との間の押さえつけ力がほとんど変動しないように選択することが望ましい。これにより、伝熱ブロック１と伝熱板２との間のシール部分の密着性を保ちつつ、伝熱ブロック１に無理な熱応力をかけることなく、伝熱ブロック１の変形量を吸収することができる。特に、初期においては、常温で、コイルバネ６４をある程度圧縮させた状態で、フレーム６１ａとフレーム６１ｂとを締結することが望ましい。
【００２６】
また、本実施形態においては、伝熱ブロック１の熱変形を敏感に吸収するために、弾性体として、比較的バネ定数の小さいコイルバネ６４を用いている。しかしながら、伝熱ブロック１の熱変形を吸収できる弾性を有するものであれば、コイルバネに限らず用いることができる。例えば、皿バネや板バネ等を用いても良い。
【００２７】
２枚の伝熱板２の外側には、温度調節部５０がそれぞれ設けられている。温度調節部５０は、伝熱板２を介して伝熱室１０内部の流体の温度調節を行う装置である。温度調節部５０としては、一般的なヒータや、複数の熱電素子を用いた熱電モジュール等、温度制御が可能な加熱装置又は冷却装置が用いられる。本実施形態において、温度調節部５０は、各々の両端に電極５２が形成された複数の熱電素子５１と、熱交換板５３とを含んでいる。電極５２が形成された複数の熱電素子５１は、絶縁層５５を介して、伝熱板２及び熱交換板５３に接続しており、これらによって挟み込まれるように保持されている。熱交換板５３は、熱電素子５１を冷却したり加熱したりするためのものであり、例えば、水循環式のものが用いられる。複数の熱電素子５１に電流を印加すると、それらの熱電効果により、熱が吸収又は放出される。このような熱電モジュールの詳細については、日本国特許公開平３−２２５９７３号公報及び平１０−１７８２１８号公報を参照されたい。
【００２８】
次に、伝熱ブロック１の構造について、図２及び図３を参照しながら、詳しく説明する。図２は、図１に示す伝熱ブロック１の平面図であり、図３は、図２に示す伝熱ブロック１のIII−IIIにおける断面図である。
図２に示すように、凹部５は、フッ素系樹脂等の耐食性材料で作製された直方体状の伝熱ブロック１の表面を掘り込むことにより形成される。伝熱ブロック１の寸法は、一例として、縦１５１ｍｍ、横１８１ｍｍ、厚さ３１ｍｍである。この伝熱ブロック１の上面及び下面の同じ位置に、同じ大きさの凹部５が形成されている。凹部５の平面形状は、伝熱ブロック１の長手方向に延びる長方形である。凹部５の対向する側面５ａと５ｂは平行で、側面５ｃと５ｄも平行であり、底面は平坦である。凹部５の寸法は、一例として、縦１０６ｍｍ、横１４１ｍｍ、深さ４ｍｍである。
【００２９】
伝熱ブロック１の側部には、同ブロック１の長手方向に平行に延びる２つの孔７及び９が開けられている。図３に示すように、これらの孔７及び９の中心線は、伝熱ブロック１の厚さ方向の中心に位置する。また、孔７の外周と孔９の外周との間の距離は、凹部５の側面５ａ及び５ｂの長さよりも短くなっている。孔７及び９は、伝熱ブロック１の一方の外面から凹部５の側面５ａに達する長さを有する。一例として、孔７及び９の径は１５．８ｍｍ、長さは１６０ｍｍである。ここで、一方の孔７（図の右側）を導入流路、他方の孔９（図の左側）を導出流路とする。導入流路７には、流体源から延びるパイプ１１が接続され、導出流路９には、次のセクションに延びるパイプ１３が接続されている。以下においては、伝熱ブロック１において、パイプ１１及び１３が接続されている側を手前、その反対側を奥とする。
【００３０】
伝熱ブロック１には、凹部５の右側の側面５ｄに沿って、厚さ方向に貫通する複数の流入口１５ａ〜１５ｅが開けられている。また、凹部５の左側の側面５ｃに沿って、厚さ方向に貫通する複数の流出口１７ａ〜１７ｃが開けられている。流入口１５ａ〜１５ｅは、導入流路７と伝熱ブロック１の上面及び下面の凹部５とに通じるとともに、流出口１７ａ〜１７ｃは、導出流路９と凹部５とに通じている。従って、導入流路７は、流入口１５ａ〜１５ｅを介して上面及び下面の凹部５に連通し、導出流路９は、流出口１７ａ〜１７ｃを介して凹部５に連通する。その結果、導入流路７から、流入口１５ａ〜１５ｅ、凹部５、流出口１７ａ〜１７ｃを介して、導出流路９へ達する流路が形成される。
【００３１】
流入口１５ａ〜１５ｅは、凹部５の側面５ｄに沿って３つの領域に合計５個形成され、手前側に対をなす２個（１５ａ、１５ｂ）、中央付近に対をなす２個（１５ｃ、１５ｄ）、奥側に１個（１５ｅ）が配置されている。手前側の流入口１５ａと奥側の流入口１５ｅは、凹部５の隅に位置する。ここで、流入口が形成される３つの領域の面積は、手前側から奥側に行くに従って小さくなっている。
【００３２】
また、流出口１７ａ〜１７ｃは、凹部５の側面５ｃに沿って３つの領域に合計３個形成され、手前側に１個（１７ａ）、奥側に１個（１７ｂ）、中央付近に１個（１７ｃ）が配置されている。手前側の流出口１７ａと奥側の流出口１７ｃは、凹部５の隅に位置する。ここで、流出口１７ａ〜１７ｃが形成される３つの領域の面積は、中央、奥側、手前側の順の大きさとなっている。
【００３３】
次に、この伝熱ブロック１における流体の流動状態について、図１〜図３を参照しながら説明する。実際に使用される際には、図１に示すように、伝熱ブロック１の上下面にアモルファスカーボンフィルム２ａが接着された伝熱板２が配置され、各凹部５と伝熱板２との間には空間（図１及び図２に示す伝熱室１０）が形成される。この空間が、温度制御される流体の流路となる。上凹部５に形成される空間を上流路１９、下凹部５に形成される空間を下流路２１とする。
【００３４】
パイプ１１を通って供給される流体が、伝熱ブロック１の導入流路７に導入されると、流体は、導入流路７内を長手方向に流れるとともに、流入口１５ａ〜１５ｅを通って上下方向に分岐する。分岐した流体は、流入口１５ａ〜１５ｅを通って伝熱ブロック１の上面及び下面に達し、上流路１９及び下流路２１内に流れ出す。上流路１９及び下流路２１の各々では、複数の流入口１５ａ〜１５ｅから流れ出した流体が合流し、一つの流れとなる。これらの流路内において、温度調節装置５０（図１）による放熱又は吸熱が伝熱板２を介して流体に伝えられ、流体の温度が調節される。そして、温度調節された流体は、各流路１９、２１を流出口１７ａ〜１７ｃ方向に流れ、流出口１７ａ〜１７ｃに入り、導出流路９で合流する。その後、導出流路９内を手前方向に流れ、パイプ１３を通って次のセクションに導かれる。
【００３５】
このように、伝熱ブロック１の上面及び下面の凹部５とそれぞれの伝熱板２との間に形成された上流路１９及び下流路２１においては、液体が凹部５の側面５ｄから対向する側面５ｃへ向かうように流れる。これらの側面５ｃ、５ｄは平行であるため、流体の流速や単位面積当りの流量は、ほぼ均一となる。また流路の深さは４ｍｍと浅く、流路内の流体の深さ方向の容量が小さいので、流路内において、液体が伝熱板２と接触する部分の面積が大きくなる。そのため、流体の容量に対して、実質的に伝熱に寄与する流体の割合が大きくなり、流路内の深さ方向にも伝熱され易くなるので、伝熱性能が向上する。
【００３６】
さらに、流入口や流出口は、凹部５の隅にも設けられているので、流路中に湾曲した部分や、角となる部分が存在せず、流体が淀んだり渦を巻くことがなく、スムーズに流体を流すことができる。また、流路を形成するための仕切り壁などを設ける必要がなく、ブロックの掘り込みや孔開け加工のみで装置を作製できるため、装置の作製に要する手間やコストを低減できる。
【００３７】
また、上述のように、複数の流入口及び流出口の開口面積が異なるように設定したことにより、流路内で、よりスムーズで一定流速の流動が実現できる。流入口においては、手前から奥に行くほど開口面積を小さくしている。これは、導入流路７から導入された流体は、導入流路７の長手方向への流れの慣性を有しているため、奥側の流入口に流入し易く、手前側ほど流入し難くなるためである。そこで、手前側の流入口１５ａ、１５ｂの開口面積を大きくして、多くの流体を流入させ、奥側の流入口１５ｅでは同面積を小さくしている。これにより、各流入口に流れ込む流量をほぼ均一にしている。
【００３８】
図２に示すように、手前側の流入口１５ａと１５ｂが対をなし、中央の流入口１５ｃと１５ｄが対をなすように、２つの流入口が近接する位置に配置されている。流体が１つの流入口から伝熱室１０に流れ出すと、流入口から放射状に広がってしまうので、伝熱室１０の流入側の側面５ｄから流出側の側面５ｃに向かう均一な並行流が形成されないおそれがある。そこで、対をなす２つの流入口を配置することにより、これらの流入口から流れ出した流体がぶつかって干渉し合い、まっすぐに流れるようにしている。このようにして、各流入口から流れ出した流体は、流路をほぼ平行に均一な速度で流れる。
【００３９】
流出口においては、奥の流出口１７ｃと比較して、手前の流出口１７ａの開口面積を小さくしている。導出流路９においては、下流側である手前ほど内部を流れる流量が増加し、流体の密度も高くなる。このため、手前の流出口１７ａの開口面積を小さくして、手前の流出口１７ａから導出流路９に流れ込む流量を減少させ、導出流路９内での流体の流れをスムーズにしている。
【００４０】
伝熱室１０における流体の流れをシミュレーションで解析したところ、流れはほぼ平行で流速が一定であり、流入口と流出口での流体の圧力の差が少ないことが示された。また、導入流路から導入される流体の流量を変化させても、ほぼ均一な流れを形成することが示された。
【００４１】
伝熱室１０から液体を抜くときに、流路や貫通孔に入り込んでいる流体は下降し、導入流路７又は導出流路９から排出される。流路は、上下方向と左右方向のみであるため、流体の排出作業により、流体をあまり溜めることなくほぼ完全に抜くことができる。これにより、残留薬液による汚染や晶出等を防ぐことができる。
【００４２】
ここで、伝熱ブロック１の材料として用いられるフッ素系樹脂は、長方形の板状で供給されることが多い。しかしながら、本実施形態によれば、凹部形成のためのブロック表面の掘り込み加工、導入流路及び導出流路形成のための孔開け加工、流入口、流出口及び連通孔形成のための孔開け加工という簡単な加工によって伝熱ブロックを作製できるので、板状で供給される材料を用いても、容易に加工することができる。従って、製造コストを低減することが可能になる。
【００４３】
次に、本発明の第２の実施形態に係る流体温度調節装置について、図４を参照しながら説明する。本実施形態に係る流体温度調節装置は、図１に示す流体温度調節装置の伝熱ブロック１の形状を変更したものである。その他の構成については、本発明の第１の実施形態に係る流体温度調節装置と同様である。
【００４４】
図４は、本実施形態に係る流体温度調節装置に含まれる伝熱ブロック３の構造を示す平面図である。凹部３５が削り出された伝熱ブロック３と伝熱板とによって形成される伝熱室３０は、図２に示す伝熱室１０とほぼ同様の構造を有するが、凹部の形状及び流入口及び流出口の位置と大きさが異なる。なお、図２の伝熱室と同じ構造・作用を有する部品には同じ符号を記し、説明を省略する。
【００４５】
本実施形態においては、導入流路７側の流入口４５ａ〜４５ｄが４ヶ所に形成され、いずれの孔も対をなしていない。そして、手前側から奥側に行くほど開口面積を小さくしている。また、導出流路９側の流出口４７ａ〜４７ｄも４ヶ所に形成され、奥側から手前側に来るほど開口面積を小さくしている。
伝熱ブロックの構造をこのように変形しても、図２に示す伝熱室と同様の効果を得ることができる。
【００４６】
次に、本発明の第３の実施形態に係る流体温度調節装置について、図５を参照しながら説明する。本実施形態に係る流体温度調節装置は、伝熱ブロックと伝熱板とのシール部分の構造に特徴を有するものである。その他の構成については、本発明の第１又は第２の実施形態に係る流体温度調節装置と同様である。
【００４７】
図５に示すように、伝熱室１０は、伝熱ブロック７１及び伝熱板２によって形成されている。伝熱ブロック７１の内、伝熱板２と接触する領域には、該伝熱ブロック７１を削り出すことにより、環状の凸部７２が形成されている。即ち、凸部７２は、図２に示すシール部材を嵌め込むための溝２３の替わりに、伝熱室１０の周囲を囲むように形成されている。凸部７２の断面形状としては、図５に示すような台形に限られることなく、その他にも、三角形や円弧形等様々な形状を用いることができる。
【００４８】
先にも述べたように、伝熱ブロック７１の材料としては、テフロン（登録商標）ブロック等のフッ素系樹脂が用いられる。このような材料は所定の弾性を有しているので、保持部６０によって伝熱ブロック７１と伝熱板２とを押さえることにより、凸部７２が伝熱板２に密着し、伝熱室１０の液密性が保持される。また、伝熱ブロック７１が熱膨張した場合に、凸部７２を僅かに塑性変形させるように、保持部６０のコイルバネ６４を調整しても良い。これにより、凸部７２の伝熱板２との接触部分における密着性をより高めることができる。
【００４９】
本実施形態によれば、伝熱ブロックと一体化された凸部によって伝熱室をシールするので、シール部分の機械的強度及び耐薬品性を強化し、シール性を高めることができる。また、液体が残留しやすい溝が形成されないので、薬液が残留し難く、残留薬液による汚染や晶出等を防ぐことができる。
【００５０】
図６は、本実施形態に係る流体温度調節装置の変形例を示している。この変形例において、伝熱ブロック７３には、伝熱室１０をシールするための凸部７４の外側に、凸部７５がさらに設けられている。これにより、凸部７４と凸部７５との間には、環状の流路７６が形成される。また、凸部７５の一部には、流入口及び流出口が形成されており、流路７６には、Ｎ2等の不活性ガスがパージガスとして流される。
【００５１】
ここで、温度調節装置を使用している際には、伝熱室１０において温度調整される薬液から気体が発生し、凸部７４のシール部分から漏れ出してくることがある。そのため、パージガスを流入口から流路７６に導入し、流路７６を通過させて流出口から導出することにより、漏れ出した気体を回収することができる。
【００５２】
次に、本発明の第４の実施形態に係る流体温度調節装置について、図７を参照しながら説明する。本実施形態に係る流体温度調節装置は、図１又は図５に示す流体温度調節装置における保持部の構造を変更したものである。即ち、本願に係る流体温度調節装置における保持部の構造は、弾性力を用いて伝熱ブロックと伝熱板とを保持する構造であれば良く、図１又は図５に示す形態に限られるものではない。
【００５３】
図７の（ａ）に示す流体温度調節装置は、伝熱ブロック７１及びその両側に配置された伝熱板２を両側から挟み込むフレーム８１と、これらのフレーム８１を締結するコイルバネ８２とを含む保持部８０を有している。保持部８０をこのような構造にすることにより、伝熱ブロック７１の熱変形に対する自由度を増すことができる。
【００５４】
また、図７の（ｂ）に示す流体温度調節装置は、伝熱板とそれを保持するフレームとが一体化された伝熱板９１ａ及び９１ｂを有している。このように、伝熱板をフレームと一体化させることにより、構造を簡単にして製造コストを下げることができる。また、図の上下に配置された２つの伝熱板９１ａ及び９１ｂの間において、ボルト６２等を介して熱が伝導するので、伝熱ブロック７１の両側に形成された２つの伝熱室１０において、効率よく流体の温度を制御することができる。
【００５５】
さらに、図７の（ｃ）に示すように、伝熱ブロック９２と伝熱板２とを保持する際に、流体の流路を除く位置であれば、伝熱ブロック９２を貫通するようにボルト６２を配置しても構わない。ボルトが伝熱ブロック９２を貫くようにすることにより、伝熱ブロック９２を安定して保持することができる。また、伝熱室１０のシール部分である凸部９３の近傍にボルト６２を配置することにより、凸部９３にかかる力をコイルバネの弾性力によって精密に制御することができる。
【００５６】
以上の実施形態において、伝熱ブロックと伝熱板とを保持する保持部の位置は、図の両側に限られない。例えば、図１に示す流体温度調節装置において、保持部６０を図の右側又は左側のいずれか一方のみに配置することにより、伝熱ブロック及び伝熱板を保持しても良い。これにより、流体温度調節装置の構成を簡単にすることができる。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、冷却加熱に伴う温度サイクルの繰り返し環境においても、伝熱室における高いシール性を維持することができるので、流体温度調節装置を制御温度範囲が大きい環境下で長期間安定して使用することができる。また、本発明によれば、流体を、均一な速度で伝熱室を通過させることができるので、流体の精密な温度制御が可能になる。さらに、伝熱室から薬液を廃棄するときに薬液の残留を防止することができるので、伝熱室の汚染を防ぐことができる。本発明によれば、流体温度調節装置の構造がシンプルであるため、製法が容易であり、製造コストを低減することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る流体温度調節装置の構造を示す断面図である。
【図２】図１に示す流体温度調節装置の伝熱室の構造を示す平面図である。
【図３】図２の伝熱室の正面断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る流体温度調節装置に含まれる伝熱ブロックの構造を示す平面図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る流体温度調節装置の構造を示す断面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る流体温度調節装置の変形例を示す断面図である。
【図７】本発明の第４の実施形態に係る流体温度調節装置の構造を示す断面図である。
【図８】従来の流体温度調節装置の構造を模式的に示す平面図である。
【図９】従来の他の流体温度調節装置の構造を模式的に示す図であり、図９の（ａ）は側面図、図９の（ｂ）は図９の（ａ）のIV−IVにおける断面図である。
【符号の説明】
１、３、７１、７３、９２…伝熱ブロック、２、９１ａ、９１ｂ、１２３…伝熱板、２ａ…アモルファスカーボンフィルム、５、３５…凹部、５ａ〜５ｄ…側面、７…導入流路、９…導出流路、１０、３０、１０１、１２１…伝熱室、１１、１３…パイプ、１５ａ〜１５ｅ、４５ａ〜４５ｄ…流入口、１７ａ〜１７ｂ、４７ａ〜４７ｄ…流出口、１９…上流路、２１…下流路、２３…溝、２４…シール部材（Ｏリング）、５０…温度調節部、５１…熱電素子、５２…電極、５３…熱交換板、５５…絶縁層、６０、８０、９０…保持部、６１ａ、６１ｂ、８１…フレーム、６２…ボルト、６３…ナット、６４、８２…コイルバネ、６５…バネ押さえ（カラー）、７２、７４、７５、９３…凸部、７６…流路、１００…流体温度調節装置、１０３…流路形成プレート、１０５…区画、１０７…開口、１０９…流体導入パイプ、１１１…流体導出パイプ、１２５…上区画、１２７…下区画、１２９ａ、１２９ｂ…孔、１３１…仕切り壁、１３３…流体導入パイプ、１３５…流体導出パイプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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