(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の個別電極が形成されてなる圧電体と、
表面に形成された溝により凹凸構造を有する基板からなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記圧電体の表面に前記基板の凸部と同程度の巾を有する溝部が形成され、前記溝部の凹部先端に有機高分子材料が充填されており、
前記溝部に前記基板の凸部がはめ込まれる形で深く挿入されることにより、前記溝部と前記凸部の側面間に浸入した前記有機高分子材料を介して前記凸部が前記溝部に固定され、前記基板の凹部と前記圧電体が協働してインク室を形成するとともに、前記溝部の凹部先端に前記有機高分子材料の層が形成され、
前記溝部に固定された前記凸部と前記溝部の凹部先端に形成された前記有機高分子材料の層とによって当該溝部の凹部先端への応力を緩和することを特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項２】
前記有機高分子材料が熱可塑性樹脂であることを特徴とする請求項１記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項３】
前記圧電体が鉛系複合ペロブスカイ構造を有するセラミックスであることを特徴とする請求項１又は２記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項４】
前記圧電体の前記個別電極が複数の電極を積層してなる層構造を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項５】
前記個別電極が銀及びパラジウム、若しくは白金を含有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項６】
複数の個別電極が形成されてなる圧電体と、表面に形成された溝により凹凸構造を有する基板からなる圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記圧電体の表面に前記基板の凸部と同程度の巾を有する溝部を形成し、前記溝部の凹部先端に有機高分子材料を充填した後に、
前記溝部に前記基板の凸部をはめ込む形で深く挿入することによって、前記溝部と前記凸部の側面間に前記有機高分子材料を浸入させて、前記有機高分子材料を介して前記溝部に前記凸部を固定しつつ、前記基板の凹部と前記圧電体によりインク室が形成されるように前記基板と前記圧電体を接合するとともに、
前記溝部の凹部先端に前記有機高分子材料の層を形成し、
前記溝部に固定された前記凸部と前記溝部の凹部先端に形成された前記有機高分子材料の層とによって当該溝部の凹部先端への応力を緩和する構造の圧電式インクジェットプリンタヘッドを製造することを特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記有機高分子材料が熱可塑性樹脂であり、前記溝部に前記基板の凸部を挿入するに当たり、前記熱可塑性樹脂を加熱して軟化させることを特徴とする請求項６記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項８】
セラミックスグリーンシートと、前記セラミックスグリーンシート上に形成された電極からなる基板を複数積層することにより形成された積層体を焼成することにより前記圧電体を製造することを特徴とする請求項６又は７記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項９】
セラミックスグリーンシートと、前記セラミックスグリーンシート上に形成された電極からなる基板を複数積層することにより形成された積層体を焼成することにより前記圧電体を製造した後、前記圧電体に溝を形成することを特徴とする請求項６又は７記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電体を利用した圧電式インクジェットプリンタヘッド及び圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法及び圧電式インクジェットプリンタヘッド用圧電体の製造方法に関する。
【０００２】
インクジェットプリンタは、用いるヘッドの構造を単純にできるため、プリンタを低コストにできるという利点を有している。よって、低価格のカラープリンタに用いられ、主にパソコン用の分野で広く用いられている。
【０００３】
【従来の技術】
インクジェットプリンタは液体のインクをドットに対応するヘッドのノズル孔から吹き出し、紙に付着させることにより印字を行うプリンタである。インクの吹き出し方法には、圧電体を使う方法と、インクをヒーターで加熱気化し、気泡を発生させてインクを押し出す方法の２通りがあり、それぞれの方法に対応したプリントヘッドが必要となる。熱を使う方法においては、ヒーターを備えたヘッドが用いられ、ヘッド内に設けられたインク室内でこのヒーターによってインクを通電加熱し、気泡を発生させ、気泡発生によって生じる圧力でインクを吐き出させる。この方法においては、インクの特性によってヘッドの特性が決まってしまい、印字速度及び印字品質に限界があり、今後求められるプリンタの高速化、高画質化に対応することが困難であるという問題を有している。
【０００４】
圧電体を使う方法においては圧電式インクジェットプリンタヘッドが用いられる。
図６と図７に従来の圧電式インクジェットプリンタヘッドの構造の概略を示す。従来の圧電式インクジェットプリンタヘッドは、層構造を有する複数の電極１５を有する圧電体１６と、表面に凹凸構造１８を形成された基板１９が、基板表面の凹凸構造１８と圧電体１６とが対向するように、かつ、ドライフィルム２０を介して接合された構造を有し、この凹凸構造１８の凹部がインクの流路及び貯蔵室となるインク室１７を形成する。
【０００５】
このヘッドは、電極１５に通電することで圧電体１６の電極１５近傍部位が変位し、ドライフィルム２０と対向して接合された基板１９の凹凸構造１８における凹構造により形成されたインク室１７のドライフィルム２０による壁を押し、インク室１７に満たされたインクに押し圧を加え、インク室１７の先端に設けられたノズル２７の孔２８からインクを吹き出させる。
【０００６】
このように、圧電式インクジェットプリンタヘッドはその構造が比較的に単純であるため、低コストで製造でき、また、そのインク吹き出し機構より、必要な部分にのみインクを吹き出すことが可能となり、ランニング・コストも安くできる。その結果、低価格のカラープリンタを実現できることとなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このように、圧電体を用いた圧電式インクジェットプリンタヘッドは、低価格のカラープリンタを実現できる点で優れているが、その構造の単純さゆえに、いくつかの課題を有している。その課題は圧電体の構造に由来し、圧電体おいて、複数の圧電素子が一体になっている構造を有していることに由来する。つまり、複数の圧電素子の一部に通電して一部の素子のみを変位させようとした場合、通電されず変位しない素子の影響により、効率よく十分な変位を得ることが困難であるという課題を有している。
【０００８】
また、隣合うインク室の壁を形成する基板表面の凹凸構造の凸部分に、ドライフィルムを介して、通電された圧電素子部分の変位が伝わり、結果的に隣接するインク室に変位を与え、高精彩な印字ができないという問題を有している。
更に、高精彩の印字を可能とするため、インク室は小さくする必要があり、従って、インク室を形成する基板表面の凹凸構造と、対応する圧電素子は非常に微細なものとなる。よって、基板と圧電体を接合して、圧電式インクジェットプリンタヘッドを製造する際、基板と圧電体とのアライメントを迅速に正確に行うことは困難となり、生産性の低下をもたらすという課題を有している。
【０００９】
また、圧電素子の変位を十分なものとするため、内部電極を複数積層する事が望ましいが、前記したように、圧電素子は微細であり、その製造が困難であるという課題を有している。
これらの課題に対して、図８に示すように、圧電体２１の内部電極２２の側面部にスリット状の溝２３を形成し、通電に対して、圧電体２１中の圧電素子２４がそれぞれ独立して変位できるようにされた、圧電式インクジェットプリンタヘッドが提案されている。確かに、提案の圧電式インクジェットプリンタヘッドは、圧電体２１中で未通電の圧電素子と通電する圧電素子が隣接する場合、未通電の圧電素子の影響は排除でき、通電する圧電素子においては、効率よく十分な変位が確保される。そして、変位が、隣合うインク室の壁を形成する基板表面の凹凸構造の凸部分に、通電された圧電素子部分の変位が伝わるという課題も解決された。しかし、図８に示すように、圧電体２１の内部電極２２の側面部に形成されたスリット状の溝２３の先端部分には、応力が集中し、長時間の使用によって、クラック２５が発生するという、問題を有している。また、製造の際の基板２６と圧電体２１とのアライメントの困難性、及び複数層積層された内部電極を有する圧電体製造に関する困難性も、従来の圧電式インクジェットプリンタヘッド同様に改善されることなく有している。
【００１０】
そこで、本発明は従来の圧電式インクジェットプリンタヘッドが有する上記の課題を解決した新規で有用な圧電式インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の他の目的は、圧電体の表面に形成された溝構造によって、スリット状の溝を有している従来の圧電式インクジェットプリンタヘッドと同様に、圧電体中の各圧電素子の変位の独立性を確保しながら、スリット先端部に、応力集中によるクラックの発生しない、そして、製造の際の基板と圧電体とのアライメントの困難性を改善することが可能な構造を有する圧電式インクジェットプリンタヘッドを提供することである。
【００１１】
更に、複数層積層された内部電極を有する圧電式インクジェットプリンタヘッドに用いる圧電体の簡便な製造方法を提供することを具体的な目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１によれば、複数の個別電極が形成されてなる圧電体と、表面に形成された溝により凹凸構造を有する基板からなる圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電体の表面に前記基板の凸部と同程度の巾を有する溝部が形成され、前記溝部の凹部先端に有機高分子材料が充填されており、前記溝部に前記基板の凸部がはめ込まれる形で深く挿入されることにより、前記溝部と前記凸部の側面間に浸入した前記有機高分子材料を介して前記凸部が前記溝部に固定され、前記基板の凹部と前記圧電体が協働してインク室を形成するとともに、前記溝部の凹部先端に前記有機高分子材料の層が形成され、前記溝部に固定された前記凸部と前記溝部の凹部先端に形成された前記有機高分子材料の層とによって当該溝部の凹部先端への応力を緩和することを特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッドが提供される。
【００１３】
請求項２によれば、前記有機高分子材料が熱可塑性樹脂であることを特徴とする請求項１記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドが提供される。
【００１４】
請求項３によれば、前記圧電体が鉛系複合ペロブスカイ構造を有するセラミックスであることを特徴とする請求項１又は２記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドが提供される。請求項４によれば、前記圧電体の前記個別電極が複数の電極を積層してなる層構造を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドが提供される。
【００１５】
請求項５によれば、前記個別電極が銀及びパラジウム、若しくは白金を含有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドが提供される。請求項６によれば、複数の個別電極が形成されてなる圧電体と、表面に形成された溝により凹凸構造を有する基板からなる圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記圧電体の表面に前記基板の凸部と同程度の巾を有する溝部を形成し、前記溝部の凹部先端に有機高分子材料を充填した後に、前記溝部に前記基板の凸部をはめ込む形で深く挿入することによって、前記溝部と前記凸部の側面間に前記有機高分子材料を浸入させて、前記有機高分子材料を介して前記溝部に前記凸部を固定しつつ、前記基板の凹部と前記圧電体によりインク室が形成されるように前記基板と前記圧電体を接合するとともに、前記溝部の凹部先端に前記有機高分子材料の層を形成し、前記溝部に固定された前記凸部と前記溝部の凹部先端に形成された前記有機高分子材料の層とによって当該溝部の凹部先端への応力を緩和する構造の圧電式インクジェットプリンタヘッドを製造することを特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法が提供される。
【００１６】
請求項７によれば、前記有機高分子材料が熱可塑性樹脂であり、前記溝部に前記基板の凸部を挿入するに当たり、前記熱可塑性樹脂を加熱して軟化させることを特徴とする請求項６記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法が提供される。
【００１７】
請求項８によれば、セラミックスグリーンシートと、前記セラミックスグリーンシート上に形成された電極からなる基板を複数積層することにより形成された積層体を焼成することにより前記圧電体を製造することを特徴とする請求項６又は７記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法が提供される。
【００１８】
請求項９によれば、セラミックスグリーンシートと、前記セラミックスグリーンシート上に形成された電極からなる基板を複数積層することにより形成された積層体を焼成することにより前記圧電体を製造した後、前記圧電体に溝を形成することを特徴とする請求項６又は７記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法が提供される。
【００１９】
請求項１又は６によれば、圧電体表面に形成された溝部が、従来のインクジェットプリンタ用ピエゾヘッドのスリット状の溝の作用をし、通電に対して、圧電体中の圧電素子がそれぞれ独立して変位できるようにされ、圧電体中で未通電の圧電素子と通電する圧電素子が隣接する場合、未通電の圧電素子の影響は排除でき、通電する圧電素子においては、効率よく十分な変位が確保される。更に、その溝部が、その表面に凹凸構造が形成された基板と接合されるさいの位置合わせを行うためのガイドとなり、基板の凸部をその凹部にはめ込む形で、基板と圧電体との位置合わせがなされ、そのアライメントを迅速にかつ正確に行うことができ、圧電式インクジェットプリンタヘッドの生産性の向上が可能となる。
【００２０】
また、従来圧電式インクジェットピエゾヘッドにおいて存在した、圧電体の内部電極の側面部に形成されたスリット状の溝の先端部分に応力が集中し、長時間の使用によって、クラック等が発生するという、問題については、本発明の圧電体がその表面に従来圧電式インクジェットプリンタヘッドと同様の溝部を有する事から、同様の課題として存するわけであるが、基板表面の凹凸構造の凸部が、圧電体の溝部に挿入されることによって、溝部の先端に応力が集中する事を防止し、若しくは集中した応力を緩和することによって解決される。
【００２１】
すなわち、請求項１又は６によれば、圧電体の溝部の凹部先端に有機高分子材料を充填しておくことにより、その応力集中に対する防止効果、及び緩和効果は高いものとなり、更に、圧電体と基板の固定が十分なものとなる。請求項２又は７によれば、この有機高分子材料については、熱可塑性樹脂を用いる。そして、圧電体の溝部に熱可塑性樹脂を充填後、基板表面の凸部を挿入するかたちで接合し、次に、加熱して、樹脂を一旦軟化させ、基板の凸部の圧電体溝部への挿入を十分なものとする。その後、硬化させることによって、圧電体凹部先端のコーティングをし、凹部先端の保護をするとともに、樹脂自身による凹部先端の応力集中の防止と緩和する。更に、熱可塑性樹脂によって圧電体溝部に固定された基板表面の凸部によって圧電体凹部先端の応力集中の防止と緩和がなされ、長時間の使用によって、クラック等が発生するという、従来の圧電式インクジェットプリンタヘッドの課題が解決される。
【００２２】
請求項３によれば、圧電体に用いる圧電材料として鉛系複合ペロブスカイ構造を有するセラミックスを使用することにより、圧電素子の通電に対する変位を、効率よくかつ十分なものとしている。請求項４によれば、圧電体中の内部電極が複数の電極を積層してなる層構造を有していることにより、圧電素子の通電に対する変位を、効率よくかつ十分なものとしている。
【００２３】
請求項５によれば、内部電極として、銀及びパラジウム、若しくは白金を含有したものをもちいることにより、導電性等電極として必要な特性を十分に満たすとともに、電極を形成する際にペースト状の電極材料を用いることができる。ペースト状の電極材料を使用すれば、その形成及びパターニングを、スクリーン印刷等により簡便にかつ迅速に行うことができ、その電極を用いた圧電素子の生産性の向上が達成できる。
【００２４】
請求項８又は９によれば、所望の組成のセラミックスグリーンシート上に所定の電極をペースト状の電極材料を用い、スクリーン印刷等で形成する。そして、その電極面に新たなセラミックスグリーンシートを積層し、その新たなセラミックスグリーンシート上に所定の電極をペースト状の電極材料を用い、スクリーン印刷等で形成する。こうした積層工程を数回繰り返し、電極とセラミックスグリーンシートの一体化した積層体を形成する。この一体化した積層体を焼成し、所望の圧電体を製造する、というように、通電に対する変位等の性能の良い圧電式インクジェットプリンタヘッドに用いる圧電体を簡便に製造することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図にもとずいて説明する。
図１は本発明による圧電式インクジェットプリンタヘッドの外観を示す図である。
【００２６】
図１を参照するに、本発明による圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいては、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ組成のセラミックスである圧電体１の一方の表面に図８に示し従来形成された溝２３に比べ幅広の溝部２が形成されている。そして、溝部２が形成されることにより相対的に形成される凸部３の内部に複数の積層された銀−パラジウムからなる個別電極４（以下、単に電極という）、その凸部３の各々が独立した圧電素子５を形成している。そして、石英ガラスからなる基板６もその一方の表面に凹凸構造７が形成されており、基板６の凸部８が、圧電体１の溝部２に挿入されるかたちで接合されている。このとき、圧電体１の凸部３の先端面と基板６の凹部９の底面は離間しており、圧電素子５を一つの壁とする空間が形成されている。この空間が、圧電式インクジェットプリンタヘッドにおけるインク室１０となり、インクの流路及び貯蔵庫となる。そして、圧電素子５を形成している電極４に通電がなされると、圧電素子が変位し、従って、前記インク室１０の圧電素子５で形成されたひとつの壁がインク室１０を狭くするように変形し、インク室１０に貯められたインクをインク室１０の外に押し出すことになる。
【００２７】
また、圧電体１の溝部２には、基板６の凸部８とともに、熱可塑性樹脂１１（図中、梨地で示す）が、充填されており、圧電体１の溝部２の先端をコートし、保護するとともに基板６の凸部８ひいては基板６を圧電体１に固定している。
本発明によれば、圧電体表面に形成された溝部２が、図８に示す従来の圧電式インクジェットプリンタヘッドのスリット状の溝２３の作用をし、通電に対して、圧電体１中の圧電素子５がそれぞれ独立して変位できるようにされ、圧電体１中で未通電の圧電素子と通電する圧電素子が隣接する場合、未通電の圧電素子の影響は排除でき、通電する圧電素子においては、効率よく十分な変位が確保される。そして、隣合うインク室の壁を形成する基板表面の凹凸構造７の凸部８に、通電された圧電素子部分の変位が伝わることもなく、高精彩な印字を可能とする。また、基板表面の凹凸構造７の凸部８が、圧電体の溝部２に挿入されることによって、溝部２の先端に応力が集中する事を防止し、若しくは集中した応力を緩和することが可能となる。さらに、圧電体の溝部２に熱可塑性樹脂１１を充填しておくことにより、その応力集中に対する防止効果、及び緩和効果は高いものとなる。
【００２８】
次に図２から図５を用いて本発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法を説明する。
まず、図２に示す基板６を準備する。基板６は石英ガラスを用い、一方の表面にダイシングソーによって溝を掘ることによって、凹凸構造７の凹部９を形成して製造する。
【００２９】
次に図３に示す圧電体１２を準備する。圧電体１２はＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ組成のセラミックスからなり、その内部に積層された銀−パラジウムからなる電極４を有する。そして、図４に示すように、この圧電体１２の一方の面にダイシングソーを用いて、図２の石英ガラスの基板６の凸部と同程度の巾を有する溝部２を形成する。これにより表面に独立した圧電素子５が形成された圧電体１が得られる。次に、図５に示すように圧電体１の溝部２に、熱可塑性樹脂１４を充填する。そして、圧電体１を加熱し、熱可塑性樹脂１４を軟化させた後、基板６と圧電体１とを、基板６の凸部８が、圧電体１の溝部２に挿入されるかたちで接合し、図１に示す本発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドを製造する。なお、図５に示した熱可塑性樹脂の代わりに、硬化性の樹脂を用いる場合は、樹脂が硬化する前に圧電体１と基板６を接合し、接合後、加熱または露光などの手段によって、樹脂を硬化させる。
【００３０】
本発明によれば、図４の圧電体１の溝部２が、図２に示す表面に凹凸構造７が形成された基板６と接合されるさいの位置合わせを行うためのガイドとなり、基板６の凸部８をその溝部２にはめ込む形で、基板と圧電体との位置合わせがなされ、そのアライメントを迅速にかつ正確に行うことを可能とする。
【００３１】
次に、本発明の圧電式インクジェットプリンタヘッド用圧電体の製造方法を説明する。まず、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ組成のセラミックグリーンシート上に銀−パラジウムペーストをスクリーン印刷法で印刷して電極を形成する。この電極を形成したグリーンシートを１００°Ｃ、１０ＭPaの条件下で積層し、電極とセラミックスグリーンシートが一体化した積層体を形成する。この積層体を大気中１１００°Ｃで４時間焼成する。そして、この積層体を研磨する。こうして、図３に示す、銀−パラジウムを含有する多層の電極４を有した圧電体１２を製造する。最後に、図４に示すように、この圧電体１２の一方の面にダイシングソーを用いて、図２の石英ガラスの基板６の凸部と同程度の巾を有する溝部２を形成し、圧電体１を得る。
【００３２】
【発明の効果】
請求項１又は６によれば、圧電体表面に形成された溝部が、従来のインクジェットプリンタ用ピエゾヘッドのスリット状の溝の作用をし、通電に対して、圧電体中の圧電素子がそれぞれ独立して変位できるようにされ、圧電体中で未通電の圧電素子と通電する圧電素子が隣接する場合、未通電の圧電素子の影響は排除でき、通電する圧電素子においては、効率よく十分な変位が確保できる。更に、その溝部が、その表面に凹凸構造が形成された基板と接合されるさいの位置合わせを行うためのガイドとなり、基板の凸部をその凹部にはめ込む形で、基板と圧電体との位置合わせがなされ、そのアライメントを迅速にかつ正確に行うことができるという、効果を有する。
【００３３】
また、従来圧電式インクジェットピエゾヘッドにおいて存在した、圧電体の内部電極の側面部に形成されたスリット状の溝の先端部分に応力が集中し、長時間の使用によって、クラック等が発生するという、問題については、本発明の圧電体がその表面に従来圧電式インクジェットプリンタヘッドと同様の溝部を有する事から、同様の課題として存するわけであるが、基板表面の凹凸構造の凸部が、圧電体の溝部に挿入されることによって、溝部の先端に応力が集中する事を防止し、若しくは集中した応力を緩和することが可能となる。
【００３４】
また、請求項１又は６によれば、圧電体の溝部の凹部先端に有機高分子材料を充填しておくことにより、その応力集中に対する防止効果、及び緩和効果は高いものとなり、更に、圧電体と基板の固定が十分なものとすることが可能となる。請求項２又は７によれば、この有機高分子材料については、熱可塑性樹脂を用いる。圧電体の溝部に熱可塑性樹脂を充填後、基板表面の凸部を挿入するかたちで接合し、次に、加熱して、樹脂を一旦軟化させ、基板の凸部の圧電体溝部への挿入を十分なものとする。その後、硬化させることによって、圧電体凹部先端のコーティングをし、凹部先端の保護をするとともに、樹脂自身による凹部先端の応力集中の防止と緩和することが可能となる。更に、熱可塑性樹脂によって圧電体溝部に固定された基板表面の凸部によって圧電体凹部先端の応力集中の防止と緩和がなされ、長時間の使用によって、クラック等が発生するという、従来の圧電式インクジェットプリンタヘッドの課題が解決することが可能となる。
【００３５】
請求項３によれば、圧電体に用いる圧電材料として鉛系複合ペロブスカイ構造を有するセラミックスを使用することにより、圧電素子の通電に対する変位を、効率よくかつ十分なものとすることが可能となる。請求項４によれば、圧電体中の内部電極が複数の電極を積層してなる層構造を有していることにより、圧電素子の通電に対する変位を、効率よくかつ十分なものとすることが可能となる。
【００３６】
請求項５によれば、内部電極として、銀及びパラジウム、若しくは白金を含有したものをもちいることにより、導電性等電極として必要な特性を十分に満たすとともに、電極を形成する際にペースト状の電極材料を用いることが可能となる。ペースト状の電極材料を使用すれば、その形成及びパターニングを、スクリーン印刷等により簡便にかつ迅速に行うことができ、その電極を用いた圧電素子の生産性の向上が可能となる。
【００３７】
請求項８又は９によれば、所望の組成のセラミックスグリーンシート上に所定の電極をペースト状の電極材料を用い、スクリーン印刷等で形成する。そして、その電極面に新たなセラミックスグリーンシートを積層し、その新たなセラミックスグリーンシート上に所定の電極をペースト状の電極材料を用い、スクリーン印刷等で形成する。こうした積層工程を数回繰り返し、電極とセラミックスグリーンシートの一体化した積層体を形成する。この一体化した積層体を焼成し、表面に溝を形成し所望の圧電体を製造する、というように、通電に対する変位等の性能の良い圧電式インクジェットプリンタヘッドに用いる圧電体を簡便に製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による圧電式インクジェットプリンタヘッドの外観を示す図である。
【図２】本発明による圧電式インクジェットプリンタヘッドの部品となる基板を示す図である。
【図３】本発明による圧電式インクジェットプリンタヘッドの部品となる圧電体の表面に溝を加工する前の圧電体を示す図である。
【図４】本発明による圧電式インクジェットプリンタヘッドの部品となる圧電体を示す図である。
【図５】図４に示した圧電体の溝部に熱可塑性樹脂を充填した状態を示す図である。
【図６】従来の圧電式インクジェットプリンタヘッドの外観を示す図である。
【図７】従来の圧電式インクジェットプリンタヘッドの斜視図とその内部構造を示す図である。
【図８】スリット状の溝を有する圧電式インクジェットプリンタヘッドの外観を示す図である。
【符号の説明】
１  圧電体
２  溝部
３  凸部
４  電極
５  圧電素子
６  基板
７  凹凸構造
８  凸部
９  凹部
１０  インク室
１１  熱可塑性樹脂
１２  圧電体
１３  圧電素子
１４  熱可塑性樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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