(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体と対向する面に設けられ回転する前記記録媒体が接近する側の気体流入端近傍と離れてゆく側の気体流出端近傍とに分けられて配置された第１及び第２のパッドと、前記第２のパッドに設けられ前記記録媒体上に情報を記録再生するためのヘッド素子とを備え、
前記第１のパッドの頂上面である第１のベアリング面と前記第１のベアリング面の気体流入端側に前記記録媒体と対向するように前記第１のベアリング面に対して窪む方向の段差によって構成された第１のステップ面と、
前記第２のパッドの頂上面である第２のベアリング面と前記第２のベアリング面の気体流入端側に前記記録媒体と対向するように前記第２のベアリング面に対して窪む方向の段差によって構成された第２のステップ面とを有するスライダにおいて、
前記第２のベアリング面と前記第２のステップ面との前記段差が第１のベアリング面と前記第１のステップ面との前記段差よりも小さいことを特徴とするスライダ。
【請求項２】
請求項１に記載のスライダにおいて、前記第２のベアリング面と前記第２のステップ面との前記段差は、前記第１のベアリング面と前記第１のステップ面との前記段差の１／２倍以下、１／２００倍以上であることを特徴とするスライダ。
【請求項３】
請求項１に記載のスライダにおいて、前記第２のパッドの前記第２のベアリング面が複数の突出部の頂上面から成ることを特徴とするスライダ。
【請求項４】
請求項１に記載のスライダにおいて、前記第２のパッドの前記第２のベアリング面に複数の窪みを設けたことを特徴とするスライダ。
【請求項５】
スピンドルに回転可能に取り付けられた記録媒体と、この記録媒体上に情報を記録再生するためのヘッド素子を備えたスライダと、前記記録媒体の表面に対して前記スライダを移動させるアクセス手段とを備え、前記記録媒体の表面上に潤滑剤層が形成された記録装置において、
前記スライダは、記録媒体と対向する面に設けられ回転する前記記録媒体が接近する側の気体流入端近傍と離れてゆく側の気体流出端近傍とに分けられて配置された第１及び第２のパッドと、前記第２のパッドに設けられ前記記録媒体上に情報を記録再生するためのヘッド素子とを備え、
前記第１のパッドの頂上面である第１のベアリング面と前記第１のベアリング面の気体流入端側に前記記録媒体と対向するように前記第１のベアリング面に対して窪む方向の段差によって構成された第１のステップ面と、
前記第２のパッドの頂上面である第２のベアリング面と前記第２のベアリング面の気体流入端側に前記記録媒体と対向するように前記第２のベアリング面に対して窪む方向の段差によって構成された第２のステップ面とを有し、
前記第２のベアリング面と前記第２のステップ面との前記段差が第１のベアリング面と前記第１のステップ面との前記段差よりも小さいことを特徴とする記録装置。
【請求項６】
請求項５に記載の記録装置において、前記第２のパッドは前記気体流出端近傍に設けられたことを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録媒体上を走行するスライダに設けたヘッド素子によって記録媒体に情報を記録再生する記録装置に係り、特に、搭載したヘッド素子と記録媒体との隙間間隔を低減し得るスライダと、このスライダを搭載した記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のスライダは、特開平１１−８６４８３号公報の図１０に開示されているように、空気流入端近傍および空気流出端近傍の空気ベアリング表面上に、段差を備えたパッドを形成し、空気流入端近傍に形成したパッドの段差が、空気流出端近傍に形成したパッドの段差より高い、という構成になっている。この従来の技術の目的は、パッドによる磁気ディスクの潤滑剤の掻き集めを最小限に押さえ、スライダと磁気ディスク表面との間の摩擦力の増加および付着力の増加を防止することである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、最近、記録装置への要求の第一は記録密度の増加である。記録密度を増加させるためには、ビットと呼ばれる記録媒体上の記録再生の最小単位領域の面積を小さくする必要がある。そのため、スライダに搭載され記録再生を行うヘッド素子と記録媒体表面との隙間間隔を低減することが必要である。１００Ｇｂ／ｉｎ2の記録密度を実現するためには、ヘッド素子ときり媒体表面の隙間間隔を５ｎｍ以下に低減する必要がある。このため、ヘッド素子を記録媒体表面に接触させ、かつヘッド素子と記録媒体表面とが離れないスライダの実現が必須である。
【０００４】
しかし上記の従来のスライダでは、ヘッド素子が空気ベアリング表面上に備えられ、パッドの頂部に備えられていないので、ヘッド素子と記録媒体との隙間間隔を、概略パッドの高さ以下に低減できない。従って、ヘッド素子を記録媒体表面に接触させることができないという課題がある。
【０００５】
また、上記の従来のスライダでは、パッドの段差によって構成されるステップ面が記録媒体の表面と同じ方向に向いており、記録媒体表面に対向していないので、段差が低い空気流出端近傍のパッドにおいても、潤滑剤のメニスカス吸引力によってパッドを記録媒体表面側に引っ張ることができない。従って、パッド頂部が記録媒体表面上で跳躍し、ヘッド素子が記録媒体表面から離れるのを防止することができないという課題がある
また、段差が高い空気流入端近傍のパッドにおいても、気体ステップ軸受の作用によって、パッドを非接触に浮上させることができない。従って、ヘッド素子を搭載しないパッドのパッド頂部に作用する大摩擦力や、パッド頂部の摩耗損傷を防止することができないという課題がある。
【０００６】
本発明は、上記の課題のうち少なくとも一つを解決するためになされたものであり、スライダに搭載したヘッド素子を記録媒体と概略接触させ、その接触を安定に維持すること。さらに、スライダ及び記録媒体表面の大摩擦力、及び摩耗損傷を防止できるスライダとそれを搭載した記録装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、スライダの媒体対向面に、頂上面であるベアリング面と、ベアリング面に対して窪む方向の段差によって構成された記録媒体に対向するステップ面を有する第１および第２のパッド（突出部）を設け、第２のパッドにヘッド素子を備え、第２のパッドのベアリング面とステップ面との段差の高さが第１のパッドのベアリング面とステップ面との段差の高さより小さい構成とすることにより達成される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施例を図１ないし図５を用いて説明する。図１は本発明を適用した記録装置である磁気ディスク装置の斜視図である。
【０００９】
信号を記録する記録媒体である磁気ディスク１が、スピンドルモータ３の軸に固定されて矢印４ａの回転方向に回転する。この回転する磁気ディスク１の面上を、サスペンション５に取付けられ、情報の記録再生を行うヘッド素子を具備したスライダ２が、ボイスコイルモータによって駆動されるキャリッジ６で磁気ディスク１の概略半径方向に移動する。ここで、サスペンション５、キャリッジ、及びボイスコイルモータを総称してアクセス手段と称する。本発明は、特にスライダ２に関するものである。本発明のスライダを磁気ディスク装置に適用することにより、ヘッド素子と磁気ディスク表面との隙間間隔を概略ゼロにまで低減でき、しかもスライダおよび磁気ディスクの摩耗損傷を防止して磁気ディスク装置全体の耐久性向上を図ることが可能になる。
【００１０】
ちなみに、磁気ディスク１の回転方向４ａは、逆向きの回転方向４ｂでも良い。回転方向を矢印４ｂにすることにより、スライダ２に作用する風乱を低減することができる。
【００１１】
図２は、スライダ２とサスペンション５の組み立て体の斜視図である。サスペンション５は、サスペンション５に設けられたマウント９の部分でキャリッジ６に固定される。サスペンション５には、スライダ２に押付荷重を加えるためのばね部１０、磁気ディスク１側面に突出したピボット突起７が設けられている。このピボット突起７をスライダ１の背面に押し当てることにより、サスペンション５による押付荷重をスライダ２に付与する。そしてスライダ２は、スライダ２がピボット突起７との接触点の周りに概ね自由にピッチングおよびローリーング運動ができ、かつ磁気ディスク１の面内方向には概ね固定されるように、磁気ディスク１の表面に概ね平行な平面の薄板からなる弾性部材で形成されたジンバル８を介して、サスペンション５に固定されている。
【００１２】
ここで、スライダ２には、矢印４ａの回転方向に運動する場合に、磁気ディスク１の表面が接近する側に気体流入端１１、離れてゆく側に気体流出端１２が備えられている。
【００１３】
これら気体流入端１１、気体流出端１２の配置は、磁気ディスク１表面とスライダ２との相対運動の方向で決まり、サスペンション５に対するスライダ２の取り付け方向には無関係である。そのため、以下のスライダ２の単体あるいはそれと磁気ディスク１表面近傍を示す図では、サスペンション５に対する回転方向４ａ、４ｂの違いは区別せず、スライダ２に対する磁気ディスク１表面の相対的な運動方向を単に回転方向４とし表記する。
【００１４】
図３はスライダ２の、磁気ディスク１との対向面を示す平面図であり、図４は走行中のスライダ２と磁気ディスク１の側面図である。
【００１５】
気体流入端１１と気体流出端１２との距離であるスライダ全長は１．２５ｍｍ、スライダ全長に直行するスライダ幅は１．０ｍｍである。また、スライダ２の厚さは０．４ｍｍ程度であるが、図４ではスライダ全長方向と比較して厚さ方向の寸法を拡大誇張して表示している。スライダ２の気体流入端１１近傍に第１のパッド１５が設けられ、気体流出端１２近傍に第２のパッド１６が設けられている。第１のパッド１５の頂部には、二つの浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂが設けられている。浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂのそれぞれの気体流入端１１側には、浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂに対して窪む方向の段差１８ａ、１８ｂによって構成された、磁気ディスク１に対向する浮上ステップ面１９ａ、１９ｂが形成されている。本実施例の場合、段差１８ａ、１８ｂの高さ２３(図４)は、例えば１００〜２００ｎｍ程度である。
【００１６】
また、第２のパッド１６には、ヘッド素子１３が備えられている。また、第２のパッドの頂部には、コンタクトベアリング面２０が設けられている。本実施例の場合、ヘッド素子１３は、コンタクトベアリング面２０に備えられている。コンタクトベアリング面２０の周囲には、コンタクトベアリング面２０に対して窪む方向の段差２１によって形成された、磁気ディスク１に対向するメニスカスステップ面２２が形成されている。この第２のパッド１６の段差２１の高さ２４(図４)は、第１のパッドの段差１８ａ、１８ｂの高さ２３より小さい値に形成してある。この高さの差は１〜５０ｎｍ程度(望ましくは１〜２５ｎｍ程度)である。すなわち、第２のパッド１６の段差２１の高さ２４は、第１のパッド１５の段差１８ａ、１８ｂの高さ２３の１／２倍以下、１／２００倍以上としている。なお、本実施例では第１パッドの浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂと第２パッドのコンタクトベアリング面２０のブリード面１４からの高さは略同じ高さにしてある。
【００１７】
本実施例では、第１のパッド１５の気体流出端１２側には、浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂから窪んだブリード面１４が形成されている。この浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂに対するブリード面１４の窪みの深さは、例えば１μｍ程度である。このとき、気体流入端１１近傍にスライダ２の横幅全体に渡って設けられた第１のパッド１５はクロスレールとして作用する。このため、スライダ２がディスク面上を走行している時は、クロスレールである第１のパッド１５の気体流出端１２側に存在するブリード面１４には負圧が生じる。
【００１８】
図４に示すように、スライダ２は、第１のパッド１５の浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂが空気膜を介して磁気ディスク１の面上に浮上させ、第２のパッド１６のコンタクトベアリング面２０を磁気ディスク１に概略接触させながら走行する。スライダ２と磁気ディスク１とが接触するときの両者の摩耗や損傷を防止するために、磁気ディスク１の表面には潤滑剤２５が塗布されている。本実施例では、潤滑剤２５は、例えばパーフルオロポリエーテル潤滑剤であり、潤滑剤２５の膜厚２６は例えば１〜５ｎｍ程度である。従って、第２のパッド１６の段差２１の高さ２４は、潤滑剤２５の厚さ２６の概略１倍以上、１０倍以下、望ましい高さ２４は潤滑剤２５の膜厚２６の概略１倍以上、５倍以下となっている。
【００１９】
図５は、図４の部分拡大図であり、ヘッド素子１３を備える第２のパッド１６および磁気ディスク１の表面付近を示している。コンタクトベアリング面２０の面積とメニスカスステップ面２２の面積の合計は、概略０．０００１ｍｍ2以上、０．０３ｍｍ2以下程度となっている。
【００２０】
次に本発明の第１の実施例の作用を説明する。
【００２１】
図４に示すように、スライダ２は、第１のパッド１５の浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂを空気膜を介して磁気ディスク１の面上に浮上させ、第２のパッド１６のコンタクトベアリング面２０を磁気ディスク１に概略接触させながら走行する。本実施例によれば、ヘッド素子１３は、第２のパッド１６のコンタクトベアリング面２０に搭載されているので、ヘッド素子１３と磁気ディスク１との隙間間隔を第２のパッド１６の高さ以下に低減できる。さらに、ヘッド素子１３と磁気ディスク１との隙間間隔を概略ゼロにまで低減することができる。
【００２２】
また、本実施例によれば、第２のパッド１６の段差２１の高さ２４が第１のパッド１５の段差１８ａ、１８ｂの高さ２３より小さいので、第２のパッド１６の段差２１の高さ２４を、前述の通り、磁気ディスク１の表面上の潤滑剤２５の厚さ２６の概略１倍以上、10倍以下に設定することができる。
【００２３】
このとき、段差２１によって構成されるメニスカスステップ面２２は、磁気ディスク１に対向しているのでメニスカスステップ面２２と磁気ディスク１の間に潤滑剤２５のメニスカスが形成される。このメニスカスの吸引力によって、メニスカスステップ面２２及びコンタクトベアリング面２０が、磁気ディスク１表面側に引っ張られる。このメニスカス吸引力により第２のパッド１６の頂上面であるコンタクトベアリング面２０は、跳躍することなく磁気ディスク１表面と安定に接触する。従って、第２のパッド１６のコンタクトベアリング面２０に備えられたヘッド素子１３が、磁気ディスク１の表面から離れるのを防止することができる。
【００２４】
ここで、第２のパッド１６の段差２１の高さ２４の範囲について、段差２１の高さ２４が潤滑剤２５の膜厚２６より小さいと、メニスカスステップ面２２が潤滑剤２５の層内に埋没してしまい、吸引力が発生しない。また逆に段差２１の高さ２４が潤滑剤２５の膜厚２６の概略１０倍より大きいと、潤滑剤２５がメニスカスステップ面２２まで到達できず、メニスカスが形成されないので、吸引力が発生しない。望ましくは、前述の通り、段差２１の高さ２４は潤滑剤２５の厚さ２６の1〜5倍程度が好ましい。
【００２５】
また本実施例によれば、第１のパッド１５の段差１８ａ、１８ｂの高さ２３が第２のパッド１６の段差２１の高さ２４より大きいので、第１のパッド１５の段差１８ａ、１８ｂの高さ２３を、前述の通り、１００〜２００ｎｍ程度に設定することができる。このとき、段差１８ａ、１８ｂによって構成される浮上ステップ面１９ａ、１９ｂは、磁気ディスク１に対向しているので、浮上ステップ面１９ａ、１９ｂおよび浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂの組み合わせからなる面は気体ステップ軸受として作用する。例えば、スライダ２に対する磁気ディスク１の表面の相対速度が数ｍ／ｓ以上の場合、数ｇｆオーダの浮上力を発生する。この浮上力により第１のパッド１５は、磁気ディスク１表面上に非接触に浮上する。これにより、第１のパッド１５に作用する大摩擦力や第１のパッド１５の頂部の摩耗損傷を防止することができる。
【００２６】
大摩擦力を防止することにより、サスペンション５及びキャリッジ６によるヘッド素子１３の半径方向位置決め精度の向上、スピンドル３の消費電力及び発熱の低減、という利点が生じる。また、摩擦損傷を防止することは、磁気ディスク装置の信頼性の大幅な向上につながる。ヘッド素子１３と磁気ディスク１との隙間の低減のために、磁気ディスク１との接触がやむを得ない第２のパッド１６を除いて、それ以外のヘッド素子１３を搭載しない第１のパッド１５については、本実施例のように、磁気ディスク１との接触を避ける構成が最良の選択である。
【００２７】
ここで、潤滑剤２５のメニスカス吸引力を利用してヘッド素子１３を磁気ディスク１側に引き付ける方法として、例えば、従来のスライダにおいて、パッドの高さを低くすることによって記録媒体と空気ベアリング表面との間に直接メニスカスを形成させるという手段もあり得る。しかし、この場合には、空気ベアリング表面上でメニスカスを形成させる領域の面積を制御することができない。このため、メニスカス領域の面積に概略比例するメニスカス吸引力を、調節することができない。従って、過大な吸引力によるパッド頂部の摩耗や、過小な吸引力による跳躍の発生を防止することができない。
【００２８】
これに対して本実施例では、メニスカスが形成される領域がメニスカスステップ面２２と、メニスカスステップ面２２に隣接するコンタクトベアリング面２０に限定される。このため、第２のパッドのメニスカスステップ面２２の面積とコンタクトベアリング面２０の面積の合計と、第２のパッド１６の段差２１の高さ２４を調整することにより、メニスカス吸引力を規定することができる。従って、過大な吸引力によるパッド頂部の摩耗や、過小な吸引力による跳躍の発生を防止することができる。
【００２９】
ここで、メニスカスステップ面２２の面積とコンタクトベアリング面２０の面積の合計をＡ、潤滑剤２５の表面エネルギをγ、段差２１の高さ２４をｈとすると、第２のパッド１６表面および磁気ディスク１の表面に対する潤滑剤２５の接触角は概略ゼロと仮定できる。そこで、第２のパッド１６を磁気ディスク１側に引っ張るメニスカス力Ｆｍは、概略下記式で表される。
【００３０】
Ｆｍ＝（２Ａγ）／ｈ                        （１）
ここで式(1)より、第２のパッド１６のメニスカスステップ面２２の面積とコンタクトベアリング面２０の面積の合計Ａの、現実的な上限値および下限値を検討してみる。潤滑剤２５は、前出のパーフルオロポリエーテル潤滑剤の場合、表面エネルギγは０．０２５Ｎ／ｍである。まず上限値について、Ｆｍは現状のスライダ荷重０．０３Ｎ(約３ｇｆ)程度を超える必要はないので、ｈの上限値５０ｎｍより、Ａの上限は０．０３ｍｍ2となる。次に下限値については、必要最小限のＦｍを０．００５Ｎ(約０．５ｇｆ)とし、ｈを下限値１ｎｍとすると、Ａは０．０００１ｍｍ2となる。すなわち、メニスカスステップ面２２の面積とコンタクトベアリング面２０の面積の合計は０．０００１ｍｍ2から０．０３ｍｍ2の程度である。
【００３１】
また、パッド先端の摩耗損傷を防止するためには、接触面の潤滑剤を枯渇させないことが必須である。しかし、従来のスライダでは、パッドの細い根元部分と太い先端部分の間に段差を設けているので、パッドが潤滑剤を掻き集めてパッド先端部に保持することができない。従って、記録媒体と連続接触するパッド頂部の潤滑剤の枯渇を防止できず、パッド頂部および記録媒体表面の摩耗を防止するということができないという課題がある。
【００３２】
これに対して本実施例によれば、第２のパッド１６のメニスカスステップ面２２と磁気ディスク１表面との間にメニスカスを形成することにより、第２のパッド１６の先端部に潤滑剤２５を保持できる。従って、磁気ディスク１と概略連続接触するコンタクトベアリング面２０に供給される潤滑剤２５が枯渇したり、枯渇によって第２のパッド１６のコンタクトベアリング面２０や磁気ディスク１が摩耗することを防止することができる。
【００３３】
なお、前述のように本発明は、２段ステップスライダのヘッド素子を設けたパッドの１段目のブリード面からの高さを、ヘッド素子を設けないパッドの１段目の高さより高くして、ヘッド素子側の段差を小さくしたものである。この他に、１段目のブリード面からの高さを同じとし、２段目の高さをヘッド素子を設けた側だけ低くしても同様の効果が得られる。また、２段ステップスライダに限らず浮上用パッドに対してヘッド素子を設けたパッドのブリード面からの高さを低くしてもよい。
【００３４】
次に、本発明の第２の実施例を図６を用いて説明する。図６は、本発明の第２の実施例のスライダ２の、ヘッド素子１３を備える第２のパッド１６及び磁気ディスク１の表面付近を示す部分拡大図である。図に示すように、第２のパッド１６のコンタクトベアリング面が、複数の突出部の頂上面２７からなっている。
【００３５】
本実施例によれば、磁気ディスク１と接触する突出部の頂上面２７の極近傍に窪みがあるので、接触摺動によって突出部の頂上面２７の潤滑剤２５が減少しても、直ちに極近傍の窪みに存在する潤滑剤２５によって修復される。従って、突出部の頂上面２７の潤滑剤２５が枯渇して突出部の頂上面２７や磁気ディスク１が摩耗することを防止することができる。
【００３６】
次に、本発明の第３の実施例を図７を用いて説明する。図７は、本発明の第３の実施例のスライダ２の、ヘッド素子１３を備える第２のパッド１６および磁気ディスク１の表面付近を示す部分拡大図である。図に示すように、第２のパッド１６のコンタクトベアリング面２０に、複数の窪み２８が設けられている。
【００３７】
本実施例によれば、第２の実施例と同様に、コンタクトベアリング面２０の磁気ディスク１との接触部の極近傍に窪みがあるので、コンタクトベアリング面２０の潤滑剤２５が枯渇してコンタクトベアリング面２０や磁気ディスク１が摩耗することを防止することができる。
【００３８】
次に、本発明の第４の実施例を図８を用いて説明する。図８は、本発明の第４の実施例のスライダ２の、磁気ディスク１との対向面を示す平面図である。図に示すように、ブリード面１４は気体流入端１１から気体流出端１２に渡り概ね平面で構成されており、クロスレールに相当するものが無い構成となっている。
【００３９】
本実施例によれば、クロスレールがないので、ブリード面１４には概ね負圧は発生しない。これより、キャリッジ６の動作によってスライダ２の半径位置が変化し、スライダ２に対する磁気ディスク１の相対運動の速度が変化しても、第２のパッド１６に作用する気体動圧による力が変化することを防止することができる。従って、第２のパッド１６と磁気ディスク１との接触力を概略一定に維持することができる。
【００４０】
次に、本発明の第５の実施例を図９を用いて説明する。図９は、本発明の第５の実施例のスライダ２の、ヘッド素子１３を備える第２のパッド１６および磁気ディスク１の表面付近を示す部分拡大図である。図に示すように、ヘッド素子が、カンチレバー２９、カンチレバーの先端に備えられたプローブチップ３０、及びカンチレバーを磁気ディスク１の表面に概略垂直な方向に動かすと同時にその動きをモニターリングするセンサー・アクチュエータ３１とから構成している。この構成はＡＦＭ(Atomic force microscopy)のカンチレバー部の構成とほぼ同様である。また記録媒体であるディスク１の表面はプラスチックである。
【００４１】
記録媒体１にデータを記録する場合には、プローブチップ３０を記録媒体１の表面に押し当て、記録媒体上に窪みを形成する。この際、プローブチップ３０を加熱すれば、窪みの形成はより容易である。記録媒体１に記録されたデータを読み出す場合には、プローブチップ３０を記録媒体表面に接触させてスライダ２の走行方向に沿って動かす。このときのプローブチップ３０の記録媒体１の表面に垂直な方向の動きを、センサー・アクチュエータ３１によってモニターすることにより記録媒体１上の窪みを読み取る。
【００４２】
本実施例によれば、原子像の観察が可能なＡＦＭと同等の空間分解能を実現できるので、現時点の記録密度の概略３０倍である３００Ｇｂ／ｉｎ2程度の高記録密度を達成することができる。
【００４３】
このＡＦＭ型ヘッド素子の他、極微小電極をヘッド素子とし、表面がNitride-oxide-siliconからなる記録媒体に電荷を記録再生する方式、ＳＴＭ(Scanning tunneling maicroscopy)のプローブをヘッド素子とし、記録媒体上に原子レベルの構造変化を記録再生する方式などがあり得る。
【００４４】
次に、本発明の第６の実施例を図１０および図１１を用いて説明する。図１０はスライダ２の、磁気ディスク１との対向面を示す平面図であり、図１１は走行中のスライダ２と磁気ディスク１の側面図である。図に示すように、ヘッド素子１３を搭載する第２のパッド１６が、気体流入端１１近傍に設けられている。
【００４５】
本実施例によれば、第２のパッド１６に作用する摩擦力によってスライダ２には気体流入端１１が磁気ディスク１に近づく向きのモーメントが作用するので、ヘッド素子１３が磁気ディスク１の表面から離れることをより確実に防止することができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ヘッド素子が設けられた第２のパッドのステップ面と記録媒体との間に潤滑剤のメニスカスが形成され、このメニスカスの吸引力によって第２のパッドのベアリング面は跳躍することなく記録媒体表面と安定に接触する。これにより、スライダに搭載したヘッド素子を記録媒体と概略接触させ、その接触を安定に維持し、さらにスライダおよび記録媒体表面の大摩擦力および摩耗損傷を防止できるスライダおよびそれを搭載した記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の磁気ディスク装置の斜視図。
【図２】本発明の第１の実施例のスライダとサスペンションの組み立て体の斜視図。
【図３】本発明の第１の実施例のスライダの、磁気ディスクとの対向面を示す平面図。
【図４】本発明の第１の実施例の走行中のスライダと磁気ディスクの側面図。
【図５】本発明の第１の実施例のスライダの、ヘッド素子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近を示す部分拡大図。
【図６】本発明の第２の実施例のスライダの、ヘッド素子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近を示す部分拡大図。
【図７】本発明の第３の実施例のスライダの、ヘッド素子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近を示す部分拡大図。
【図８】本発明の第４の実施例のスライダの、磁気ディスクとの対向面を示す平面図。
【図９】本発明の第５の実施例のスライダの、ヘッド素子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近を示す部分拡大図。
【図１０】本発明の第６の実施例のスライダの、磁気ディスクとの対向面を示す平面図。
【図１１】本発明の第６の実施例の走行中のスライダと磁気ディスクの側面図。
【符号の説明】
１…磁気ディスク（記録媒体）、２…スライダ、３…スピンドル、４…回転方向、５…サスペンション、６…キャリッジ、７…ピボット突起、８…ジンバル、９…マウント、１０…ばね部、１１…気体流入端、１２…気体流出端、１３…ヘッド素子、１４…ブリード面、１５…第１のパッド、１６…第２のパッド、１７…浮上ベアリング面、１８…段差、１９…浮上ステップ面、２０…コンタクトベアリング面、２１…段差、２２…メニスカスステップ面、２３…高さ、２４…高さ、２５…潤滑剤、２６…厚さ、２７…突出部の頂上面、２８…窪み、２９…カンチレバー、３０…プローブチップ、３１…センサー・アクチュエータ。
【図１】
0003769441.tif 000002
【図２】
0003769441.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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