(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行台車の上にカーゴ室を搭載すると共に、前記カーゴ室に対してワークを出し入れするための出入口窓がカーゴ室の側面に形成されているクリーンルーム用無人搬送車において、
吸込口がカーゴ室の面のうち進行方向の前側の面に位置し、吹出口がカーゴ室の側面のうち前記出入口窓の前側辺よりも前側に位置し、走行時に吸込口から取り込まれた空気を吹出口から吹き出し、吹き出した空気によりエアカーテンを形成して前記出入口窓を塞ぐエアカーテン用ダクトと、
前記ダクト内に配置された高効率粒子除去フィルタと、を備えていることを特徴とするクリーンルーム用無人搬送車。
【請求項２】
前記エアカーテン用ダクト内のうち、前記吹出口に近い部分には、整流板が配置されていることを特徴とするクリーンルーム用無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルーム用無人搬送車に関し、クリーンルーム内にてワークを搬送する際に、カーゴ室内に塵埃等が進入するのを防止するように工夫したものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造や、平面型表示装置（ＦＰＤ）の製造を行うクリーンルーム内においては、クリーンルーム用無人搬送車により、ワークを搬送している。ここにおいてワークとは、ウェハーカセット（半導体を収納する容器）やオープンカセット（ＦＰＤ用の基板を収納する容器）等である。
【０００３】
ここで、従来のクリーンルーム用無人搬送車を、側面図である図３を参照しつつ説明する。同図に示すように、クリーンルーム用無人搬送車１は、走行台車２の上にカーゴ室３を搭載して構成されている。走行台車２は、図３において、矢印Ａ方向に進行（前進走行）するものである。カーゴ室３内には、ワークを支えるワーク架台４や、カーゴ室３の内と外との間でワークを搬送するフォーク移載機５が備えられている。
【０００４】
カーゴ室３の左右の側面（進行方向に向いた場合に左右に位置する面）には、カーゴ室３に対してワークを出し入れする出入口窓６が形成されている。この出入口窓６には、上下に動くことにより出入口窓６を開閉するシャッター７が具備されている。シャッター７の素材としては、発塵性の少ない金属や非金属等が採用されている。シャッター７は巻取型やシリンダー型であり、モータを駆動源として開閉動作（上下移動動作）をする。
【０００５】
カーゴ室３の正面（進行方向の前側の面）には、フィルタ８を配置している。このフィルタ８としては、ヘパフィルタ（HEPA Filter: high efficiency particulate air filte) 等の高効率粒子除去フィルタを採用している。
【０００６】
ワークを搬送しているときには、シャッター７を下ろして出入口窓６を閉状態として、カーゴ室３内の雰囲気を汚染することを防止している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のクリーンルーム用無人搬送車１のシャッター７は、気密性を確保するものであるため、シャッター７と出入口窓６との間で、摺動部を持たざるを得ない。このようにシャッター７に摺動部があるため、シャッター７の上下動時に、摺動部から発塵する可能性がある。
【０００８】
本発明は、上記従来技術に鑑み、発塵の恐れなく、走行時にカーゴ室内に塵埃等が入り込むことを防止できるクリーンルーム用無人搬送車を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の構成は、走行台車の上にカーゴ室を搭載すると共に、前記カーゴ室に対してワークを出し入れするための出入口窓がカーゴ室の側面に形成されているクリーンルーム用無人搬送車において、
吸込口がカーゴ室の面のうち進行方向の前側の面に位置し、吹出口がカーゴ室の側面のうち前記出入口窓の前側辺よりも前側に位置し、走行時に吸込口から取り込まれた空気を吹出口から吹き出し、吹き出した空気によりエアカーテンを形成して前記出入口窓を塞ぐエアカーテン用ダクトと、
前記ダクト内に配置された高効率粒子除去フィルタと、を備えていることを特徴とする。
【００１０】
また本発明の構成は、前記エアカーテン用ダクト内のうち、前記吹出口に近い部分には、整流板が配置されていることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
【００１２】
図１は本発明の実施の形態にかかるクリーンルーム用無人搬送車１００を示す平面断面図であり、図２はクリーンルーム用無人搬送車１００を示す背面図である。
【００１３】
両図に示すように、クリーンルーム用無人搬送車１００は、走行台車１０２の上にカーゴ室１０３を搭載して構成されている。走行台車１０２は、図１において、矢印Ａ方向に進行（前進走行）するものである。カーゴ室１０３内には、ワークを支えるワーク架台（図示省略）や、カーゴ室１０３の内と外との間でワークを搬送するフォーク移載機（図示省略）が備えられている。
【００１４】
カーゴ室１０３の左右の側面（進行方向に向いた場合に左右に位置する面）には、カーゴ室１０３に対してワークを出し入れする出入口窓１０６が形成されている。この出入口窓１０６には、シャッター等は無く開口している。
【００１５】
カーゴ室３の正面（進行方向の前側の面）の中央位置には、カーゴ室用のフィルタ１０８を配置している。このフィルタ１０８としては、ヘパフィルタ（HEPA Filter: high efficiency particulate air filte) 等の高効率粒子除去フィルタを採用している。
【００１６】
更に、カーゴ室１０３の前側部分には、左右に別れてエアカーテン用ダクト１１０，１１１が配置されている。エアカーテン用ダクト１１０，１１１の吸入口１１０ａ，１１１ａは、カーゴ室１０３の正面に位置しており、ちょうど、フィルタ１０８を間にして、エアカーテン用ダクト１１０，１１１の吸入口１１０ａ１１１ａが配置されている。
【００１７】
エアカーテン用ダクト１１０，１１１の内部には、フィルタ１１３，１１４を配置している。このフィルタ１１３，１１４としては、ヘパフィルタ（HEPA Filter: high efficiency particulate air filte) 等の高効率粒子除去フィルタを採用している。
【００１８】
右側のエアカーテン用ダクト１１０の吹出口１１０ｂは、カーゴ室１０３の右側面において、右側の出入口窓１０６の前側辺よりも前側に位置しており、右側の出入口窓１０６の前側辺から後側辺に向かって空気を送るように開口している。また、カーゴ室１０３の右側面のうち、右側の出入口窓１０６の後側辺を形成する部分１０３ａは、カーゴ室内に向かって折れ曲がっている。
【００１９】
同様に、左側のエアカーテン用ダクト１１１の吹出口１１１ｂは、カーゴ室１０３の左側面において、左側の出入口窓１０６の前側辺よりも前側に位置しており、左側の出入口窓１０６の前側辺から後側辺に向かって空気を送るように、開口している。また、カーゴ室１０３の左側面のうち、左側の出入口窓１０６の後側辺を形成する部分１０３ｂは、カーゴ室内に向かって折れ曲がっている。
【００２０】
また、エアカーテン用ダクト１１０，１１１内のうち、吹出口１１０ｂ，１１１ｂに近い部分には、整流板１１０ｃ，１１１ｃが配置されている。
【００２１】
なお、図１においてＷは、ウェハーカセット（半導体を収納する容器）やオープンカセット（ＦＰＤ用の基板を収納する容器）等のワークである。
【００２２】
クリーンルーム用無人搬送車１００が、矢印Ａ方向に進行（前進走行）すると、空気がエアカーテン用ダクト１１０，１１１の吸込口１１０ａ，１１１ａから取り込まれ、この空気はフィルタ１１３，１１４を通過して清浄化され、清浄化された空気がエアカーテン用ダクト１１０，１１１の吹出口１１０ｂ，１１１ｂから吹き出される。吹き出された空気は整流板１１０ｃ，１１１ｃにより整流され層流状態となって、カーゴ室１０３の左右側面の外側面に沿って、後方に吹き出される。このため、吹き出された空気により、エアカーテンＡＣが形成され、左右の出入り口窓１０６は、エアカーテンＡＣにより塞がれることとなる。
【００２３】
この結果、クリーンルーム用無人搬送車１００がクリーンルーム内を走行しているときには、左右の出入り口窓１０６はエアカーテンＡＣにより塞がれ、ワークＷの搬送途中において、カーゴ室１０３内に塵埃等が侵入することを防止でき、搬送途中におけるカーゴ室１０３内の汚染防止を図ることができる。かくして、搬送時において、カーゴ室１０３内の雰囲気を常に清浄に保つことができる。
【００２４】
また出入り口窓１０６を塞ぐ手段として、シャッタ等の摺動する機械的遮蔽手段を採用していないので、摺動に起因する発塵はなく、周囲環境を汚染することもない。
【００２５】
【発明の効果】
以上実施の形態と共に具体的に説明したように本発明では、エアカーテン用ダクトにより走行時にエアカーテンを形成し、このエアカーテンにより出入口窓を塞ぐようにしたので、走行時にカーゴ室に塵埃が侵入するのを防止することができると共に、発塵を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかるクリーンルーム用無人搬送車を示す平面断面図。
【図２】本発明の実施の形態にかかるクリーンルーム用無人搬送車を示す背面図。
【図３】従来のクリーンルーム用無人搬送車を示す側面図。
【符号の説明】
１００  クリーンルーム用無人搬送車
１０２  走行台車
１０３  カーゴ室
１０６  出入口窓
１０８  フィルタ
１１０，１１１  エアカーテン用ダクト
１１０ａ，１１１ａ  吸込口
１１０ｂ，１１１ｂ  吹出口
１１０ｃ，１１１ｃ  整流板
１１３，１１４  フィルタ
ＡＣ  エアカーテン
【図１】
0003861534.tif 000002
【図２】
0003861534.tif 000003
【図３】
0003861534.tif 000004