(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が接触可能な検出面を下方に、液体が落下可能な受液面を上方に有するハウジングと、
前記ハウジングの側方に突出する固定部と、
前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なるように前記ハウジング内で支持される投光光学系・受光光学系とを備え、
前記受液面から検出面に液体を導通させる液体導通部を前記ハウジングと固定部との間に設けたことを特徴とする液体検知用光学ユニット。
【請求項２】
液体が接触可能な検出面を下方に、液体が落下可能な受液面を上方に有するハウジングと、
前記ハウジングの側方に突出する固定部と、
前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なるように前記ハウジング内で支持される投光光学系・受光光学系とを備え、
前記受液面は、検出面非対応領域から検出面対応領域に向かって下がるガイド面を備えたことを特徴とする液体検知用光学ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体検知用光学ユニットに関し、特に半導体製造設備内で漏液を検知するために受液容器に取り付けて好適な液体検知用光学ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体製造設備においては、水、塩酸、引火性の強い液体、腐食性の液体等種々の処理液が使用されており、これらの液体の通路としての配管が多数設けられている。これらの配管は、途中に弁装置が介装されたり、配管同士が継手により接続されている。配管と弁装置との接続部や配管同士の接続部（継目）の下方位置にはステンレス鋼等の耐食性の受液容器が配置されており、接続部から万一液体が漏れた場合に漏液を受容するようにしている。
【０００３】
そして、受液容器には前記接続部の略真下に漏液を検出するためのセンサが配設されており、速やかに漏液を検知するようにしている。この漏液検知センサは、引火性の強い液体の漏液に対する防爆や腐食性液体による電線の腐食等に対処するために検出部に電気部品を持たない光ファイバ式の液体検知用光学ユニットが使用されている。
【０００４】
図１４は、受液容器に取り付けた従来の液体検知用光学ユニットの斜視図、図１５は、図１４の矢線XV―XVに沿う断面図、図１６は、図１５の矢線XVI―XVIに沿う断面図を示す。図１４に示すように液体検知用光学ユニット（以下、単に「光学ユニット」という）６０は、例えば、多角筒状のハウジング６１と、このハウジング６１の側面６１ｇの両端から側方に突出する一対の取付部６２、６２とが透光性及び耐薬品性を有する例えば、フッ素樹脂部材で一体に形成されており、取付部６２、６２がベース６３に着脱可能に装着支持されている。ベース６３は、耐食性を有する例えば、ステンレスの受液容器９０の上面９０ａに固着された取付ボルト９１に装着され固定ナット９２により着脱可能に固定されている。
【０００５】
図１５及び図１６に示すようにハウジング６１内には光ファイバ６４、レンズ６５及び投光用プリズム６６から成る投光光学系６７と、光ファイバ６８、レンズ６９及び受光用プリズム７０から成る受光光学系７１とが収納されており、ハウジング６１の下面６１ｅは平面とされて受液容器９０の上面９０ａ（以下「受液面９０ａ」という）との間に僅かな間隙を存して並行に離隔対向している。
【０００６】
発光素子（図示せず）から投光用光ファイバ６４に導入された光は、レンズ６５を通して投光用プリズム６６に入射し、当該投光用プリズム６６により下方に反射されて一部が点線ａで示すようにハウジング６１の検出面６１ｄ、６１ｆで反射されて受光用プリズム７０に至り（以下「反射光ａ」という）、一部が１点鎖線ｂで示すように受液面９０ａで反射され、下面６１ｅに入射して受光用プリズム７０に至り（以下「反射光ｂ」という）、レンズ６９から受光用光ファイバ６８を通して受光素子（図示せず）で検出されるようになっている。図１５、図１７に示すようにハウジング６１の検出面６１ｄ、６１ｆにおいて液体（漏液）を検出可能な領域（以下「検出面対応領域」という）Ａは、プリズム６６、７０の各反射面の下方の僅かな領域であり、この検出面対応領域Ａの両側の大部分の領域Ｂは、液体を検知できない領域（以下「検出面非対応領域Ｂ」という）である。
【０００７】
図１６に示すように光学ユニット６０が受光容器９０にセットされた状態において漏液がなく、検出面６１ｄに液体が付着（接触）していないときには、投光用プリズム６６から出た光は、反射光ａ、反射光ｂとして受光用プリズム７０に至り、前記受光素子に検出される。また、漏液があり、検出面６１ｄに液体（漏液）Ｑが付着している場合には、投光用プリズム６６から出た光は、一部が実線ｃで示すように検出面６１ｄを通り抜けて液体Ｑに至り、反射光ｂのみが前記受光素子に受光される。尚、図１６において、光の経路を分かりやすくするためにハウジング６１のハッチングを省いてある。
【０００８】
反射光ａ、ｂの光量をＬａ、Ｌｂとすると、前記受光素子の受光量は、光学ユニット６０がセット状態で漏液が無いときに（Ｌａ＋Ｌｂ）となり、漏液があるときにＬｂとなり、非セット状態のときにＬａとなる。前記受光素子は、受光量に応じた信号を出力し、図１８に示すように前記受光素子の受光量を判別するための閾値Ｌｈを、（Ｌａ、Ｌｂ）＜Ｌｈ＜（Ｌａ＋Ｌｂ）に設定することで、光学ユニット６０がセット状態で前記受光素子の受光量が閾値Ｌｈよりも低いとき（Ｌｂ＜Ｌｈ）に漏液があったことを検知することができる。
【０００９】
光学ユニット６０の検出面６１ｄ、６１ｅに付着した漏液の拭き取り作業や動作チェックを行うべく受液容器９０から取り外した場合（非セット状態）には、反射光ａのみが前記受光素子に受光される。光学ユニット６０は、受液面９０ａからの反射光ｂをセット状態で受光し、非セット状態で受光しないようにし、受液面９０ａからの反射光ｂと検出面６１ｄ、６１ｆからの反射光ａとが略等しくなるような光学設計として、検出面６１ｄ、６１ｆを受液面９０ａから離隔することにより、擬似的に液体検出状態を作り出して動作チェックを行っている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の光学ユニットにおいて、図１４に示すようにハウジング６１の上面６１ａの検出面対応領域Ａ（図１５）のベース６３と反対側に落下する漏液１は、当該ハウジング６１の表面６１ｂ、６１ｃを伝わって下方に流れて検出面６１ｄに到達する（図１６）。よって、光学ユニット６０は、少ない液量の漏液でも検知することが可能である。
【００１１】
一方、ハウジング６１のベース６３側に落下する漏液２は、ハウジング６１のベース６１側の表面６１ｈ、６１ｇを伝わって下方に流れるが、ベース６３や取付部６２上に滞留する。従って、ある程度の漏液量がないとこれらのベース６３又は取付部６２から流れ落ちて検出面対応領域Ａに到達せず、漏液検知までに時間を要する。
【００１２】
更に、図１４、図１７に示すようにハウジング６１の検出面非対応領域Ｂの受液面に落下する漏液３は、ハウジング６１の表面６１ｂ、６１ｃ、又は６１ｈ、６１ｇを伝わって下方に流れるが、前述と同様にある程度の液量がないと検出面６１ｄ、６１ｆの検出面対応領域Ａに到達せず、漏液検知までに時間を要する。このように、従来構造の光学ユニットにおいては、漏液が落下する場所によっては検知するまでの液量を多く必要とし、漏液に対して迅速に対処し得ない場合があるという問題があった。
【００１３】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、液体検知用光学ユニットにおいて検知に至るまでの液量を少なくすることのできる液体検知用光学ユニットを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１の液体検知用光学ユニットは、液体が接触可能な検出面を下方に、液体が落下可能な受液面を上方に有するハウジングと、前記ハウジングの側方に突出する固定部と、前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なるように前記ハウジング内で支持される投光光学系・受光光学系とを備え、前記受液面から検出面に液体を導通させる液体導通部を前記ハウジングと固定部との間に設けたことを特徴とする。
【００１５】
請求項２の液体検知用光学ユニットは、液体が接触可能な検出面を下方に、液体が落下可能な受液面を上方に有するハウジングと、前記ハウジングの側方に突出する固定部と、前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なるように前記ハウジング内で支持される投光光学系・受光光学系とを備え、前記受液面は、検出面非対応領域から検出面対応領域に向かって下がるガイド面を備えたことを特徴とする。
【００１６】
液体検知用光学ユニットは、検出面に液体が接触していないときには、投光光学系から投光された光が検出面で反射されて受光光学系に至り、検出面に液体が付着しているときには、受光量が減少する。液体検知用光学ユニットは、受光量の違いにより、液体の有無を検知する。
ハウジングの受液面に落下して固定部と反対側に流れ落ちた液体は、そのまま検出面に至り、固定部側に流れ落ちた液体は、液導通部を通して検出面に至る。これにより、ハウジングの受液面に落下した液体は、ハウジングの固定部に遮られることなく検出面に到達するので、検知に至るまでの液量が少なくて済み、迅速に検知可能となる（請求項１）。
【００１７】
ハウジングの受液面の検出面非対応領域に落下した液体は、ガイド面に沿って流れ、検出面対応領域に導かれて検出面に到達する。これにより、検知に至るまでの液量が少なくなり、迅速に検知可能となる（請求項２）。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る液体検知用光学ユニットの第１実施形態を示す組立斜視図、図２は、図１に示す液体検知用光学ユニットを組み立てた状態の矢線II-IIに沿う断面図、図３は、図２の矢線III-IIIに沿う断面図である。
【００１９】
図１に示すように液体検知用光学ユニット（以下、単に「光学ユニット」という）１は、ハウジング２と、このハウジング２を支持するベース６からなり、ハウジング２は、ケース３、カバー４、及びケース３に一体に設けられた一対の取付部５、５からなる。そして、取付部５、５とベース６とにより固定部が構成されてハウジング２を受液容器９０の上面９０ａに固定する。ケース３には投光光学系７、受光光学系８が収納されている。投光光学系７、受光光学系８は、光ファイバユニット１０、レンズ１３、１４、及びプリズム１５、１６からなる。そして、ケース３は、透光性及び耐薬品性を有する例えば、フッ素樹脂部材により形成されている。
【００２０】
ケース３は、図３に示すように両側面３ａ、３ｂの略下半分３ａ'、３ｂ'が夫々下面３ｃに対して例えば、４５°の角度をなす傾斜面とされ、端面視五角形の角筒状をなしている。両側面３ａ、３ｂの下半分３ａ'、３ｂ'は、液体（漏液）の検出面（以下「検出面３ａ'、３ｂ'」という）とされ（図３）、内部に収納空間３ｅが設けられている。
【００２１】
光ファイバユニット１０は、投光用光ファイバ１１と受光用光ファイバ１２からなり、口金１７、１７を介してホルダ１８に挿入固定される。ホルダ１８内にはレンズ１３、１４が光ファイバ１１、１２の先端面に当接して配置され、これらのレンズ１３、１４の後方に夫々プリズム１５、１６が配置される。そして、投光用光ファイバ１１、レンズ１３、プリズム１５により投光光学系７が構成され、受光用光ファイバ１２、レンズ１４、プリズム１６により受光光学系８が構成されている。これらの投光光学系７、受光光学系８は、ケース３の収納空間３ｅ内に長手方向に沿って並行に配置されている。
【００２２】
カバー４は、収納空間３ｅの開口部に装着されてケース３の一端を密閉し、光ファイバーユニット１０は、保護チューブ１９を介してケース３の他端から延出され、端末が検出装置（図示せず）に接続される。前記検出装置において投光用光ファイバ１１の端末が発光素子の発光面に、受光用光ファイバ１２の端末が受光素子の受光面（何れも図示せず）に接続される。
【００２３】
図２、図３に示すように投光用光ファイバ１１からレンズ１３を通して図中水平に射出された光は、プリズム１５により４５°真下に反射されて検出面３ａ'に至り、当該検出面３ａ'で４５°真横に反射されて検出面３ｂ'に至り、当該検出面３ｂ'で４５°真上に反射されてプリズム１６に至り、当該プリズム１６により４５°水平に反射されレンズ１４を通して受光用光ファイバ１２に入射される。このようにして投光光学系７から射出された光が検出面３ａ'、３ｂ'で反射されて受光光学系８に入射される。そして、検出面３ａ'、３ｂ'のプリズム１５、１６の反射面に対向する僅かな範囲が液体の検出面対応領域Ａ、この検出面対応領域Ａの両側の領域が検出面非対応領域Ｂとされる（図２、図４）。
【００２４】
図１及び図３乃至図７に示すようにケース３の上面３ｄは、上方に凸の曲面をなすように両側部が下降し、検出面対応領域Ａの略中央に対応する位置において最大径をなして両側面３ａ、３ｂの略中央に連設され（図３、図６、図７）、当該位置から両側の各検出面非対応領域Ｂの端部に向かって曲面の径が小さくなって幅狭とされ、両側部３ｄ'、３ｄ"が夫々両端部に向かって斜め上方に向かう傾斜面とされている（図５、図６、図７）。即ち、両側縁部３ｄ'、３ｄ"が夫々両端から検出面対応領域Ａに向かって下方に傾斜する略扁平なＶ形をなす傾斜面とされている（図４、図６、図７）。そして、ケース上面３ｄ全体が落下（滴下）する液体（漏液）の受液面とされ、両側縁部３ｄ'、３ｄ"が上面３ｄの検出面非対応領域Ｂに落下した液体を検出面対応領域Ａに導くガイド面とされている。ケース３の下面３ｃには検出面対応領域Ａの両側に幅方向（検出面３ａ'と３ｂ'との間を横切る方向）にスリット３ｃ'、３ｃ'が設けられている（図２、図４）。これらのスリット３ｃ'により、検出面３ｂ'に付着した液体を検出面３ａ'に導くことができるようになっている。
【００２５】
図１に示すようにケース３の側面３ｂの両端近傍に一対の取付部５、５が側方に延出して形成されており、各取付部５には基端から先端近傍まで長孔５ａが設けられている。取付部５の内側面には長孔５ａの先端から取付部先端５ｂまで切欠５ｃが設けられている。
ベース６は、両側面前端に揺動軸６ａ、６ａが突設されており、これらの揺動軸６ａ、６ａと間隔を存して凸条部６ｂ、６ｂが前後方向に設けられている。揺動軸６ａは、取付部５の切欠５ｃから長孔５ａ内に嵌め込まれて当該長孔５ａ内を摺動可能とされ、凸条部６ｂは、取付部５の長孔５ａ内を摺動可能とされている。これにより、取付部５がベース６に摺動可能とされている。
【００２６】
図１及び図５に示すようにベース６のケース３の側面３ｂと当接する前端面には、検出面対応領域Ａの位置に液体導通部（切欠）６ｄが設けられており、上面（受液面）３ｄの縁部３ｄ"の下端から側面３ｂ流れ落ちる液体を当該ベース６の下方に導通させるようになっている。また、ベース６の前端面には液体導通部６ｄと並んでハウジング係止用の孔６ｅが設けられている。一方、ケース３の側面３ｂには孔６ｅと対応して係止部３ｆが突設されており、孔６ｅに嵌合してベース６にハウジング２を確実に係止するようになっている。更に、凸条部６ｂに突設された係止部６ｃが長孔５ａの先端に節度をもって係止され、当該長孔５ａの基端に当接している揺動軸６ａと協働して取付部５を係止する。これにより、ハウジング２がベース６の取付位置に確実に係止保持される。
【００２７】
図１に示すようにベース６の略中央に取付孔６ｇが穿設され、補強用の金属製のカラー６ｈが嵌挿されている。このベース６は、受液容器９０の受液面９０ａの所定位置に固着された取付ボルト９１に装着され、固定ナット９２により固定される。このようにして、光学ユニット１が受液容器９０の受液面９０ａに配設される。
【００２８】
以下、光学ユニット１の漏液検知動作について説明する。
図８は、光学ユニット１を受液面９０ａにセットした状態を示し、漏液検出可能とされている。図９において漏液がなく、検出面３ａ'に液体が付着していないときには、発光素子から投光用光ファイバ１１、レンズ１３を経て投光用プリズム１５で反射された光は、反射光ａ、反射光ｂとして受光用プリズム１６に至り、レンズ１４から光ファイバ１２を通して受光素子に受光される。従って、前記受光素子の受光量は、（Ｌａ＋Ｌｂ）となる。
【００２９】
図８に示すようにケース３の上面（受液面）３ｄの検出面対応領域Ａに落下して取付部５及びベース６と反対側に流れた漏液１は、図９に示すように側面３ａを伝わって検出面３ａ'に流れ落ちて検出面３ａ'に付着し、検出面非対応領域Ｂの縁部３ｄ'に流落した漏液２は、当該縁部３ｄ'の傾斜面（ガイド面）に沿って流れ、その下端から側面３ａを伝わって検出面対応領域Ａの検出面３ａ'に付着する。この結果、投光用プリズム１５から検出面３ａ'に入射した光は、実線ｃで示すように検出面３ａ'を通り抜けて液体（漏液）Ｑに至り、反射光ｂのみが前記受光素子に受光される。従って、前記受光素子の受光量がＬｂ（＜Ｌｈ）となる。
【００３０】
また、図８に示すようにケース３の上面３ｄの検出面対応領域Ａに落下して取付部５、ベース６側の側面３ｂに流れた漏液３は、ベース６の液体導通部６ｄを通って検出面３ｂ'に付着し、検出面非対応領域Ｂの縁部３ｄ"に落下した漏液４は、当該縁部３ｄ"の傾斜面（ガイド面）に沿って流れ、その下端から側面３ｂを伝わって流れ、液体導通部６ｄを通って検出面対応領域Ａの検出面３ｂ'に付着する。そして、検出面３ｂ'に付着した漏液３、４がケース３の下面３ｃに設けられた各スリット３ｃ'（図２）を通して検出面３ａ'側に移動して（回り込んで）当該検出面３ａ'に付着したときには、上述したように反射光ｂのみが前記受光素子に受光される。
【００３１】
また、検出面３ｂ'に付着した漏液３、４が検出面３ａ'側に回り込むことなく検出面３ｂ'に付着しているときには、図１０に示すように投光用プリズム１５から出た光は、検出面３ａ'で反射され、実線ｃで示すように検出面３ｂ'を通り抜けて液体（漏液）Ｑに至り、反射光ｂのみが前記受光素子に受光される。尚、図９、１０において光の経路を分かりやすくするためにケース３のハッチングを省いてある。
【００３２】
このように、ケース３の上面（受液面）３ｄに落下した液体は、ハウジング２の取付部５やベース６に遮られることなく検出面３ａ'、３ｂ'に到達するので、検知に至るまでの液量が少なくて済む。また、検出面非対応領域Ｂに落下した液体は、ガイド面としての縁部３ｄ'、３ｄ"を伝わって検出面対応領域Ａに移動し、検出面３ａ'、３ｂ'に到達するので、検知に至るまでの液量を少なくすることができる。
【００３３】
上述したように漏液検出後、検出面３ａ'、３ｂ'に付着している漏液を拭き取る作業や定期点検等で光学ユニット１の動作チェックを行う場合には、作業者が図８に示すセット状態においてケース３を掴んで矢印Ａ方向に水平に引き出し、矢印Ｂで示す上方（検出面３ａ'、３ｂ'が、受液面９０ａから離隔する方向）に回動させる。取付部５は、セット状態から上方に回動されて９０°を僅かに超えた位置に係止保持される。これにより、作業者は、検出面３ａ'、３ｂ'に付着している漏液の拭き取り作業や、動作チェックを容易に行うことができる。
【００３４】
光学ユニット１は、非セット状態において、図９に示すように投光用プリズム１５から出た光の一部が点線で示すように検出面３ａ'、３ｂ'で反射されて受光用プリズム１６に至り、前記受光素子に受光される。光学ユニット１は、受液面９０ａからの反射光ｂをセット状態で受光し、非セット状態で受光しないようにし、受液面からの反射光ｂと検出面３ａ'、３ｂ'からの反射光ａとが略等しくなるような光学設計とされており、非セット状態で擬似的に液体検出状体を作り出して動作チェックを行う。作業者は、上記作業を終了した後光学ユニット１を図８に示すセット位置に戻す。
【００３５】
（第２の実施形態）
図１１は、本発明に係る光学ユニットの第２実施形態を示す斜視図である。光学ユニット２０は、ハウジング２１と固定部２２とが一体に形成されており、ハウジング２１内には、第１の実施形態における光学ユニット１と同様に投光用光学系、受光用光学系が収納されており（図１）、検出面２１ａ'、２１ｂ'の略中央が検出面対応領域Ａ、その両側の領域が検出面非対応領域Ｂとされている（図１３）。
【００３６】
ハウジング２２の受液面としての上面２１ｄは、第１実施形態における上面に比して急峻な屋根形の形状をなして両側面２１ａ、２１ｂ側に傾斜しており、ガイド面としての両縁部２１ｄ'、２１ｄ"も上面２０ｄと同様に両端近傍から急峻な傾斜面をなして略両側面２１ａ、２１ｂの中央の検出面対応領域Ａに向かって下方に傾斜して形成されている。そして、固定部２２ハウジング２１の側面２１ｂとの付根には、縁部２１ｄ"の最下部位置即ち、検出面対応領域Ａと対応する位置に液体導通部（切欠）２２ａが設けられている。
【００３７】
漏液１がハウジング２１の上面（受液面）２１ｄに落下して側面２１ａ側に流れ落ちた場合、漏液１は、図１２に示すように検出面対応領域Ａの検出面２１ａ'に付着する。この結果、第１実施形態の場合と同様に受液面９０ａで反射された反射光のみが検知される。
また、漏液２が上面（受液面）２１ｄに落下して側面２１ｂ側に流れた場合、或いは漏液３が縁部３ｄ"に落下して側面２１ｂ側に流れた場合（図１３）、漏液２、３は、固定部２２の液体導通部２２ａを通って検出面２２ｂ'に至り、ハウジング２１の下面２１ｃの検出面対応領域Ａの両側に設けられた図示しないスリット（図７参照）を通して検出面２１ａ'側に移動して（回り込んで）当該検出面２１ａ'に付着したときには受液面９０ａで反射された反射光のみが検知される。また、検出面２２ｂ'に付着した漏液２、３が検出面２１ａ'側に回り込むことなく当該検出面２１ｂ'に付着しているときには、受液面９０ａで反射された反射光のみが検知され、前記受光素子の受光量が低下する。尚、図１２において、光の経路を分かりやすくするためにケース３のハッチングを省いてある。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１の発明によれば、液体が接触可能な検出面を下方に、液体が落下可能な受液面を上方に有するハウジングと、前記ハウジングの側方に突出する固定部と、前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なるように前記ハウジング内で支持される投光光学系・受光光学系とを備え、前記受液面から検出面に液体を導通させる液体導通部を前記ハウジングと固定部との間に設けたことで、受液面に落下した液体は、ハウジングの固定部に遮られることなく検出面に到達するので、検知に至るまでの液量が少なくて済むという効果がある。
【００３９】
請求項２の発明によれば、液体が接触可能な検出面を下方に、液体が落下可能な受液面を上方に有するハウジングと、前記ハウジングの側方に突出する固定部と、前記検出面に液体が接触しているときと接触していないときとで受光量が異なるように前記ハウジング内で支持される投光光学系・受光光学系とを備え、前記受液面は、検出面非対応領域から検出面対応領域に向かって下がるガイド面を備えたことで、検出面非対応領域に落下した液体は、ガイド面を伝わって検出面対応領域に移動し、検出面に到達するので、検知に至るまでの液量を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液体検知用光学ユニットの第１の実施形態の組立斜視図である。
【図２】図１に示す液体検知用光学ユニットを組み立てた状態における矢線II-IIに沿う断面図である。
【図３】図２に示す液体検知用光学ユニットの矢線III-IIIに沿う断面図である。
【図４】図３に示す液体検知用光学ユニットの液体の検出面対応領域及び非対応領域の説明図である。
【図５】図１に示す液体検知用光学ユニットを組み立てた状態の平面図である。
【図６】図５に示す液体検知用光学ユニットの正面図である。
【図７】図５に示す液体検知用光学ユニットの背面図である。
【図８】図１に示す液体検知用光学ユニットの使用状態を示す斜視図である。
【図９】図８に示す液体検知用光学ユニットの漏液検出の説明図である。
【図１０】図８に示す液体検知用光学ユニットの漏液検出の説明図である。
【図１１】本発明に係る液体検知用光学ユニットの第２実施形態の斜視図である。
【図１２】図１１に示す液体検知用光学ユニットの矢線XII-XIIに沿う断面図である。
【図１３】図１２に示す液体検知用光学ユニットの液体の検出面対応領域及び非対応領域の説明図である。
【図１４】従来の液体検知用光学ユニットの一例を示す斜視図である。
【図１５】図１４に示す液体検知用光学ユニットの矢線XV-XVに沿う断面図である。
【図１６】図１５に示す液体検知用光学ユニットの矢線XVI-XVIに沿う断面図である。
【図１７】図１５に示す液体検知用光学ユニットの液体の検出面対応領域及び非対応領域の説明図である。
【図１８】図１７における液体検知用光学ユニットのセット状態における漏液検出時、非検出時、及び非セット状態における受光量を示すグラフである。
【符号の説明】
１、２０  液体検知用光学ユニット（光学ユニット）
２、２１  ハウジング
３  ケース
３ａ'、３ｂ'  検出面
３ｄ、２１ｄ  上面（受液面）
３ｄ'、３ｄ"  縁部（ガイド面）
４  カバー
５、２２  取付部
６  ベース
６ｃ  液体導通部
７  投光光学系
８  受光光学系
１０  光ファイバユニット
１１  投光用光ファイバ
１２  受光用光ファイバ
１３、１４  レンズ
１５、１６  プリズム
１８  ホルダ
９０  受液容器
９０ａ  受液容器上面（受液面）
９１  取付ボルト
９２  固定ナット
【図１】
0003818366.tif 000002
【図２】
0003818366.tif 000003
【図３】
0003818366.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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