(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
数値制御装置により位置制御される微少旋回装置の旋回テーブル上においてワークの左右二つのアライメントマークの座標位置を計測し、当該計測値に基づいて前記旋回テーブルを旋回にさせることによりワークのアライメントを行うアライメント装置において、
アライメントマークを撮像するアライメントマーク撮像手段と、
前記アライメントマーク撮像手段の撮像データより前記アライメントマークの座標位置を計測する座標位置計測手段と、
前記座標位置計測手段による左右二つのアライメントマークの各々の座標位置計測値と前記数値制御装置の位置制御用の機械座標位置とを記憶する記憶手段と、
マンマシンインタフェース部のキー押下によりそのときの前記機械座標値を左側あるいは右側のアライメントマークの機械座標値の初期値として前記記憶手段に書き込む機械座標初期値設定手段と、
前記記憶手段に記憶された左側のアライメントマークの座標位置計測値と右側のアライメントマークの座標位置計測値とからワークの旋回補正角を計算する旋回補正角演算手段と、
前記旋回補正角演算手段により計算された旋回補正角が許容値以内であるか否かを判定するアライメント完了判定手段と、
前記アライメント完了判定手段によって前記旋回補正角が許容値外であると判定された場合のみ前記旋回補正角演算手段により計算された旋回補正角だけ前記微少旋回装置の旋回テーブルを旋回駆動させる軸指令を前記数値制御装置に出力する旋回角制御手段と、
前記旋回テーブルの補正角旋回によるアライメントマークの機械座標位置の変化量を演算し、前記記憶手段に書き込まれているアライメントマークの機械座標値を更新する機械座標値更新手段と、
前記記憶手段に書き込まれているアライメントマークの機械座標値に基づいて前記旋回テーブルと前記アライメントマーク撮像手段とを左右方向に相対変位させ、左側のアライメントマークと右側のアライメントマークの座標位置が前記座標位置計測手段によって交互に複数回計測される制御を行う自動スパン移動制御手段と、
を有していることを特徴とする微少旋回装置によるアライメント装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、微少旋回装置によるアライメント装置に関し、特にシリコンウエハの切断機などで使用される微少旋回装置によるアライメント装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
シリコンウエハの切断機で使用される微少旋回装置は、シリコンウエハ（ワーク）のアライメントのために、３〜５度程度、高精度に旋回可能な旋回テーブルを有している。
【０００３】
従来、この旋回テーブルの旋回駆動は、旋回テーブルの旋回中心軸とＡＣサーボモータ等の回転アクチュエータの駆動軸とを直結して旋回中心軸を回転アクチュエータにより直結駆動するか、旋回テーブルの旋回中心軸と回転アクチュエータの駆動軸とを減速歯車機構をもって駆動連結し、旋回中心軸を回転アクチュエータにより減速駆動するか、ゴム製のタイミングベルトにより旋回テーブルの旋回中心軸と回転アクチュエータの駆動軸とを駆動連結し、タイミングベルトのプリー比によって旋回中心軸を回転アクチュエータにより減速駆動するかにより行われている。
【０００４】
シリコンウエハ切断機におけるシリコンウエハのアライメントは、シリコンウエハに付けられた左右二つのアライメントマークを結ぶ直線とシリコンウエハ切断機の座標軸（Ｘ軸）との平行度を出す操作であり、このアライメントでは、微少旋回装置の旋回テーブル上においてシリコンウエハに付けられた左右二つのアライメントマークをＣＣＤカメラなどにより撮像してその撮像データより座標位置を計測し、当該計測値に基づいて誤差角度（左右二つのアライメントマークを結ぶ直線とシリコンウエハ切断機の座標軸（Ｘ軸）との非平行度を示す角度）を計算し、誤差角度分だけ旋回テーブルを旋回させてシリコンウエハの平行出しを行う。
【０００５】
平行出しアライメントではマークスパン値を入力する必要があり、従来、このマークスパン値を求めるために、作業者は、先ず左側のアライメントマークを見て機械座標値を読み取り記録し、次に右側のアライメントマークを見て各アライメントマークの機械座標値を読み取り記録し、記録された左側のアライメントマークの機械座標値と右側のアライメントマークの機械座標値を引き算して差を求める作業を行い、その結果をマークスパン値としてシリコンウエハ切断機のＮＣ装置などの制御装置に入力している。
【０００６】
アライメント動作では、先ず、その初期位置決め位置にて左側のアライメントマークの座標位置をＣＣＤカメラなどによる座標位置検出・計測手段によって計測し、この計測完了後にマークスパン値だけ旋回テーブルをＸ軸スライドテーブルによって右側へＸ軸移動させ、右側のアライメントマークの座標位置を座標位置検出・計測手段によって計測し、左右のアライメントマークの計測結果から誤差角度を計算し、誤差角度分だけ旋回テーブルを旋回させ、１回目の旋回補正を完了する。
【０００７】
この１回目の補正が完了すれば、マークスパン値だけ旋回テーブルをＸ軸スライドテーブルによって左側へＸ軸移動させ、左側のアライメントマークの座標位置を座標位置検出・計測手段によって計測し、この後に再びマークスパン値だけ旋回テーブルをＸ軸スライドテーブルによって右側へＸ軸移動させ、右側のアライメントマークの座標位置を座標位置検出・計測手段によって計測し、左右のアライメントマークの計測結果から誤差角度を計算し、誤差角度が許容値内であるか否かを判別し、誤差角度が許容値外であれば、再びその誤差角度分だけ旋回テーブルを旋回させ、２回目の旋回補正を実行する。
【０００８】
以降、誤差角度が許容値外であれば、予め設定された回数内で上述のような計測と旋回補正とを繰り返し行う。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
回転アクチュエータによる旋回テーブルの直結駆動では、伝動系における誤差成分が存在しないが、回転アクチュエータの分解能がそのまま旋回テーブルの旋回分解能になり、その旋回分解能の設定に限界がある。
【００１０】
減速歯車機構やタイミングベルトによって旋回テーブルを減速駆動するものでは、減速比の設定によって旋回分解能を上げることができるが、減速歯車機構のバックラッシュやタイミングベルトの伸びなどにより旋回精度の安定さに問題があり、これらの場合には、旋回軸にロータリエンコーダなどを取り付け、旋回テーブル駆動をフィードバック補正する必要が生じる。
【００１１】
また、従来の平行出しアライメントでは、準備作業として、左側のアライメントマークと右側のをアライメントマークを見て各アライメントマークの機械座標値を記録して引き算を行うことによりマークスパン値を算出し、マークスパン値をシリコンウエハ切断機のＮＣ装置などの制御装置に入力すると云う面倒な作業を行うことを余儀なくされている。またアライメントマークの計測と旋回補正の回数分、マークスパンのストロークをもってＸ軸スライドテーブルを往復移動させる必要があり、これらのことから、多大な時間を要している。換言すれば、一回の補正動作毎にＸ軸スライドテーブルを往復移動させる必要があり、これがアライメント動作の所要時間を長くしている。
【００１２】
この発明は、上述の如き問題点に着目してなされたものであり、オペレータ負担を軽減してアライメントを効率よく短時間に的確に行うことができる微少旋回装置によるアライメント装置を提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、請求項１によるアライメント装置は、数値制御装置により位置制御される微少旋回装置の旋回テーブル上においてワークの左右二つのアライメントマークの座標位置を計測し、当該計測値に基づいて前記旋回テーブルを旋回にさせることによりワークのアライメントを行うアライメント装置において、アライメントマークを撮像するアライメントマーク撮像手段と、前記アライメントマーク撮像手段の撮像データより前記アライメントマークの座標位置を計測する座標位置計測手段と、前記座標位置計測手段による左右二つのアライメントマークの各々の座標位置計測値と前記数値制御装置の位置制御用の機械座標位置とを記憶する記憶手段と、マンマシンインタフェース部のキー押下によりそのときの前記機械座標値を左側あるいは右側のアライメントマークの機械座標値の初期値として前記記憶手段に書き込む機械座標初期値設定手段と、前記記憶手段に記憶された左側のアライメントマークの座標位置計測値と右側のアライメントマークの座標位置計測値とからワークの旋回補正角を計算する旋回補正角演算手段と、前記旋回補正角演算手段により計算された旋回補正角が許容値以内であるか否かを判定するアライメント完了判定手段と、前記アライメント完了判定手段によって前記旋回補正角が許容値外であると判定されたときのみ前記旋回補正角演算手段により計算された旋回補正角だけ前記微少旋回装置の旋回テーブルを旋回駆動させる軸指令を前記数値制御装置に出力する旋回角制御手段と、前記旋回テーブルの補正角旋回によるアライメントマークの機械座標位置の変化量を演算し、前記記憶手段に書き込まれているアライメントマークの機械座標値を更新する機械座標値更新手段と、前記記憶手段に書き込まれているアライメントマークの機械座標値に基づいて前記旋回テーブルと前記アライメントマーク撮像手段とを左右方向に相対変位させ、左側のアライメントマークと右側のアライメントマークの座標位置が前記座標位置計測手段によって交互に複数回計測される制御を行う自動スパン移動制御手段とを有している
【００１４】
この発明によるアライメント装置では、座標位置検出・計測手段によって左側のアライメントマークを検出すれば、アライメントマーク撮像手段によって左側のアライメントマークが撮像され、アライメントマーク撮像手段の撮像データより左側のアライメントマークの座標位置が座標位置計測手段によって計測されると、マンマシンインタフェース部のキー押下により機械座標初期値設定手段が、そのときの機械座標値を左側のアライメントマークの機械座標値の初期値として記憶手段に書き込み、また左側のアライメントマークの座標位置計測値が記憶手段に書き込まれる。同様に、アライメントマーク撮像手段によって右側のアライメントマークが撮像され、アライメントマーク撮像手段の撮像データより右側のアライメントマークの座標位置が座標位置計測手段によって計測されると、マンマシンインタフェース部のキー押下により機械座標初期値設定手段が、そのときの機械座標値を右側のアライメントマークの機械座標値の初期値として記憶手段に書き込み、また右側のアライメントマークの座標位置計測値が記憶手段に書き込まれる。
【００１５】
左右のアライメントマークの座標位置計測値が各々記憶手段に書き込まれると、旋回補正角演算手段が左側のアライメントマークの座標位置計測値と右側のアライメントマークの座標位置計測値とからワークの旋回補正角を計算し、アライメント完了判定手段によって旋回補正角が許容値以内であるか否かの判定が行われる。
旋回補正角が許容値外であれば、旋回角制御手段がその旋回補正角だけ微少旋回装置の旋回テーブルを旋回駆動させる軸指令を、微少旋回装置の位置制御を行う数値制御装置に出力する。これにより、旋回テーブルが旋回補正角だけ旋回駆動される。そして、機械座標値更新手段が旋回テーブルの補正角旋回によるアライメントマークの機械座標位置の変化量を演算し、記憶手段に書き込まれているアライメントマークの機械座標値を更新する。
【００１６】
自動スパン移動制御手段は記憶手段に書き込まれている左右のアライメントマークの機械座標値に基づいて旋回テーブルとアライメントマーク撮像手段とを左右方向に相対変位させる制御を行う。この相対変位は、最初のアライメントマーク検出が右側であれば、左側のアライメントマークが検出される方向に行われる。この相対変位が完了すれば、座標位置検出・計測手段が左側あるいは右側のアライメントマークを検出し、アライメントマークの座標位置を計測する。この座標位置計測値も記憶手段に書き込まれ、次回の旋回補正角演算に使用される。
【００１７】
これより以降、自動スパン移動制御手段が記憶手段に書き込まれているアライメントマークの機械座標値に基づいて旋回テーブルとアライメントマーク撮像手段とを左右方向に相対変位させ、左側と右側のアライメントマークの座標位置が座標位置計測手段によって交互に複数回計測される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下にこの発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００１９】
図１はこの発明による微少旋回装置の駆動装置が適用されるシリコンウエハ切断装置を示している。シリコンウエハ切断装置は、ベット１と、機械本体コラム３と、ベット１上に設けられた直線ガイド部５に案内されてＸ軸方向に往復駆動されるＸ軸スライドテーブル７と、Ｘ軸スライドテーブル７に搭載された微少旋回装置９と、機械本体コラム３に上下方向に移動可能に設けられた砥石主軸頭１１と、砥石主軸頭１１の主軸１３に取り付けられたシリコンウエハ切断用の砥石車１５と、砥石主軸頭１１に取り付けられたアライメントマーク撮像用のＣＣＤカメラ１７および対物レンズ系１９と、機械本体コラム３に設けられたＮＣ操作パネル２１およびモニタ装置２３とを有している。
【００２０】
図２、図３はこの発明による駆動装置が組み込まれた微少旋回装置９の実施の形態を示している。微少旋回装置９は、固定ベース部材２５と、軸受部材２７によって固定ベース部材２５より回転可能に支持された旋回中心軸２９と、旋回中心軸２９に取り付けられて旋回中心軸２９の中心軸線（垂直軸線）廻りに旋回可能な旋回テーブル３１とを有し、旋回テーブル３１上に吸引チャック（図示省略）などによってワークであるシリコンウエハＷ（図１参照）を吸着保持する。
【００２１】
Ｘ軸スライドテーブル７の下底面にはガイド部３３が形成されており、ガイド部３３に動力ユニット３５の駆動軸支持体３７が吊り下げ式に係合している。
【００２２】
駆動軸支持体３７は、軸受部材３９によって駆動軸４１を回転可能に支持しており、下端部にＡＣサーボモータ４３を取り付けられている。ＡＣサーボモータ４３の出力軸４５と駆動軸４１とはカップリング５６によって直結されている。
【００２３】
駆動軸４１の上端部と旋回中心軸２９の大径部４５にはステンレス薄板等による回転力伝送用の金属ベルト４７が掛け渡されており、金属ベルト４７はボルト４９、５１によって旋回中心軸２９と駆動軸４１に固定されている。
【００２４】
旋回テーブル３１の旋回可能角はボルト４９あるいは５１による金属ベルト４７の旋回中心軸２９あるいは駆動軸４１に対する固定点が金属ベルト４７のスパン接点に位置するまであり、この旋回可能角は３〜５度程度に設定される。
【００２５】
駆動軸支持体３７は、ガイド部３３に案内されてテンション調整スクリュ５３により旋回中心軸２９と駆動軸４１との軸間方向に変位され、金属ベルト４７に所定のテンションを付与する位置で固定ボルト５５によってＸ軸スライドテーブル７の下底面部に固定される。
【００２６】
なお、図示例では、金属ベルト４７は無端ベルトをなしているが、これは図３で見て上側（反時計廻り駆動側）と下側（時計廻り駆動側）とで分離していてもよく、また大径部４５などは金属ベルト４７を掛け回される扇形をなしていてもよい。
【００２７】
上述の構成によれば、ＡＣサーボモータ４３によって駆動軸４１が回転駆動されると、金属ベルト４７によってその回転が旋回中心軸２９に伝えら、旋回テーブル３１が旋回する。
【００２８】
金属ベルト４７は金属製であるから、動力伝達過程で伸びを生じることがなく、また金属ベルト４７は旋回中心軸２９と駆動軸４１とに固定されているから、旋回中心軸２９や駆動軸４１に対して滑りを生じることがない。これによりベルトの伸びや滑りによる誤差成分を含むことなく駆動軸４１の回転が旋回テーブル３１の旋回中心軸２９に伝えられ、フィードバック補正を行うことなく旋回テーブル３１が高度な旋回精度をもって旋回駆動されることになる。
【００２９】
金属ベルト４７が固定されている旋回中心軸２９の大径部４５の直径と駆動軸４１の直径との比により減速比が比較的大きい値に任意に設定され、これにより所要の分解能が得られる。
【００３０】
図４は図１に示されているシリコンウエハ切断装置に適用されるこの発明によるアライメント装置の実施の形態を示している。
【００３１】
アライメント装置は、座標位置計測手段１０３と、記憶手段１０５と、機械座標初期値設定手段１０７と、旋回補正角演算手段１０９と、アライメント完了判定手段１１１と、旋回角制御手段１１３と、機械座標値更新手段１１５と、自動スパン移動制御手段１１７とを含むアライメント実行装置１０１を有している。
【００３２】
アライメント実行装置１０１には、マンマシンインタフェース部１１９と、ＣＲＴなどによるタッチパネル付きのモニタ装置２３とが接続されている。
【００３３】
座標位置計測手段１０３は、ＣＣＤカメラ１７による撮像データよりアライメントマークＬ、Ｒを検出し、アライメントマークＬ、Ｒを座標位置を計測する。
この座標位置計測値は画面座標値（Ｘｄｌ，Ｙｄｌ）あるいは（Ｘｄｒ，Ｙｄｒ）として記憶手段１０５に書き込まれる。
【００３４】
なお、シリコンウエハＷには、図１に例示されているように、平行出しアライメントのために、左右二つのアライメントマークＬ、Ｒが予め付けられている。
これにより以降においては、左側のアライメントマークＬを左側マークＬ、右側のアライメントマークＲを右側マークＲと略称することがある。
【００３５】
記憶手段１０５は、左側マークＬと右側マークＲの各々の座標位置計測値（画面座標位置）および機械座標位置と、現在位置から左側マークＬまでの距離ＳＬおよび現在位置から右側マークＲまでの距離と、アライメント実行回数カウント値と、左側アライメントマーク計測実施フラグ値と、右側アライメントマーク計測実施フラグ値とを記憶する。図５はこの記憶手段１０５における各データの割り当て例を示している。
【００３６】
機械座標初期値設定手段１０７は、マンマシンインタフェース部１１９のキー押下により、そのときの機械座標値をシリコンウエハ切断機のＮＣ装置１２３より取り込み、それを左側マークＬあるいは右側マークＲの機械座標値の初期値として記憶手段１０５に書き込む。この初期値設定のキーは、モニタ装置２３に［Ｌ−計測］、［Ｒ−計測］に画面表示されるソフトキーにより与えられ、［Ｌ−計測］がタッチされると、左側マークＬの機械座標値（Ｘｍｌ，Ｙｍｌ）と画面座標値（Ｘｄｌ，Ｙｄｌ）が記憶手段１０５に書き込れ、［Ｒ−計測］がタッチされると、右側マークＲの機械座標値（Ｘｍｒ，Ｘｍｒ）と画面座標値（Ｘｄ（Ｘｄｒ，Ｙｄｒ）が記憶手段１０５に書き込れる。
【００３７】
旋回角制御手段１０９は、記憶装置１０５に書き込まれている左側のアライメントマークＬの座標位置計測値と右側のアライメントマークＲの座標位置計測値とから、換言すれば、左側マークＬの画面座標値（Ｘｄｌ，Ｙｄｌ）と右側マークＲの画面座標値（Ｘｄｒ，Ｙｄｒ）とからシリコンウエハの旋回補正角を計算する。
【００３８】
アライメント完了判定手段１１１は、旋回補正角演算手段１０９により計算された旋回補正角が許容値以内であるか否かを判定し、その判定結果を旋回角制御手段１１３に渡す。
【００３９】
旋回角制御手段１１３は、アライメント完了判定手段１１３により旋回補正角が許容値外であると判定されたときのみ旋回補正角演算手段１０９により計算された旋回補正角だけ微少旋回装置９（図１参照）の旋回テーブル３１（図１参照）を旋回駆動させるべく、ＮＣ装置１２３へＡ軸指令を出力する。
【００４０】
なお、ＮＣ装置１２３は、旋回テーブル３１を旋回駆動する旋回駆動部（Ａ軸駆動部）１２５と、Ｘ軸スライドテーブル７（図１参照）をＸ軸方向へ往復駆動するＸ軸駆動部１２７について数値制御を行う。
【００４１】
機械座標値更新手段１１５は、旋回テーブル３１の補正角旋回による左側マークＬ、右側マークＲの機械座標位置の変化量を演算し、記憶手段１０５に書き込まれている左側マークＬの機械座標値（Ｘｍｌ，Ｙｍｌ）と右側マークＲの機械座標値（Ｘｍｒ，Ｘｍｒ）を更新する。
【００４２】
自動スパン移動制御手段１１７は、記憶手段１０５に書き込まれている左側マークＬの機械座標値（Ｘｍｌ，Ｙｍｌ）と右側マークＲの機械座標値（Ｘｍｒ，Ｘｍｒ）に基づいてＸ軸スライドテーブル７と共に旋回テーブル３１を左右方向に相対変位させ、左側マークＬの座標位置と右側マークＲの座標位置が座標位置計測手段１０３によって交互に複数回計測されるべくＸ軸指令をＮＣ装置１２３へ出力する。
【００４３】
つぎに図６に示されているフローチャートを参照してアライメント装置の動作を説明する。
【００４４】
まず、アライメントの初期画面として、固定画面の描画とキーメニュの画面表示を行い（ステップＳ１０）、キー受付の状態になる（ステップＳ２０）。
【００４５】
ＣＣＤカメラ１７によって左側マークＬが見えれば、［Ｌ−計測］のソフトキーをタッチする。これにより、この時の左側マークＬの機械座標値（Ｘｍｌ，Ｙｍｌ）が機械座標初期値設定手段１０７によって初期値として記憶手段１０５に書き込まれる。また座標位置計測手段１０３が、この時のＣＣＤカメラ１７による撮像データから左側マークＬの画面座標値（Ｘｄｌ，Ｙｄｌ）を計測し、この画面座標値（Ｘｄｌ，Ｙｄｌ）を記憶手段１０５に書き込み、左側アライメントマーク計測実施フラグ値Ｆｌをオンする（ステップＳ３０、Ｓ４０）。
【００４６】
つぎに、マニュアル操作でＸ軸スライドテーブル７を移動させ、ＣＣＤカメラ１７によって右側マークＲを見つける。右側マークＲが見えれば、［Ｒ−計測］ソフトキーをタッチする。これにより、この時の右側マークＲの機械座標値（Ｘｍｒ，Ｙｍｒ）が機械座標初期値設定手段１０７によって初期値として記憶手段１０５に書き込まれる。また座標位置計測手段１０３が、この時のＣＣＤカメラ１７による撮像データから右側マークＲの画面座標値（Ｘｄｌ，Ｙｄｌ）を計測し、この画面座標値（Ｘｄｒ，Ｙｄｒ）を記憶手段１０５に書き込み、右側アライメントマーク計測実施フラグ値Ｆｒをオンする（ステップＳ５０、Ｓ６０）。
【００４７】
マーク汚れなどにより、使用マークを別の左側マークＬ、右側マークＲに変更したい場合には、［Ｌ−計測］、［Ｒ−計測］のソフトキーをタッチすることで、上述の初期設定をやり直すことができる。
【００４８】
画面表示されている［アライメント］のソフトキーがタッチされると、アライメント動作が開始される（ステップＳ７０肯定）。
【００４９】
まず、現在位置から左側マークＬまでの距離ＳＬと、現在位置から右側マークＲまでの距離ＳＲとを各々記憶装置１０５の格納されている機械座標値に基づいて演算し、演算結果、即ち距離ＳＬとＳＲをデータ記憶装置１０５に書き込む（ステップＳ８０）。
【００５０】
つぎに現在位置が左側マークＬと右側マークＲのいずれに近いかを、ＳＬ＞ＳＲの判定により行う（ステップＳ９０）。
【００５１】
ＳＬ＞ＳＲであれば（ステップＳ９０肯定）、即ち現在位置が左側マークＬの側であれば、右側アライメントマーク計測実施フラグ値Ｆｒがオンであるか否かを判別する（ステップＳ１００）。右側アライメントマーク計測実施フラグ値Ｆｒがオンでなければ、自動スパン移動制御手段１１７が右側マークＲの機械座標値（Ｘｍｒ，Ｙｍｒ）に基づいて右側マークＲの位置へのＸ軸指令をＮＣ装置１２３へ出力する（ステップＳ１１０）。これによりＸ軸テーブル７が右側マークＲの機械座標値（Ｘｍｒ，Ｙｍｒ）に対応する位置へ移動する。
【００５２】
この移動が完了すると、座標位置計測手段１０３によってこの時のＣＣＤカメラ１７による撮像データから右側マークＲの画面座標値（Ｘｄｒ，Ｙｄｒ）を計測し、この画面座標値（Ｘｄｒ，Ｙｄｒ）を記憶手段１０５に書き込み、右側アライメントマーク計測実施フラグ値Ｆｒをオンする（ステップＳ１２０）。
【００５３】
これに対し、ＳＬ＞ＳＲでない場合には（ステップＳ９０否定）、即ち現在位置が右側マークＲの側であれば、左側アライメントマーク計測実施フラグ値Ｆｌがオンであるか否かを判別する（ステップＳ１３０）。左側アライメントマーク計測実施フラグ値Ｆｌがオンでなければ、自動スパン移動制御手段１１７が左側マークＲの機械座標値（Ｘｍｌ，Ｙｍｌ）に基づいて左側マークＬの位置へのＸ軸指令をＮＣ装置１２３へ出力する（ステップＳ１４０）。これによりＸ軸テーブル７が左側マークＬの機械座標値（Ｘｍｌ，Ｙｍｌ）に対応する位置へ移動する。
【００５４】
この移動が完了すると、座標位置計測手段１０３によってこの時のＣＣＤカメラ１７による撮像データから左側マークＲの画面座標値（Ｘｄｌ，Ｙｄｌ）を計測し、この画面座標値（Ｘｄｌ，Ｙｄｌ）を記憶手段１０５に書き込み、左側アライメントマーク計測実施フラグ値Ｆｌをオンする（ステップＳ１５０）。
【００５５】
左側マークＬの画面座標値と右側マークＲの画面座標値とが揃うと、旋回補正角演算手段１０９によって両マークの画面座標値（Ｘｄｌ，Ｙｄｌ）と（Ｘｄｒ，Ｙｄｒ）とから旋回補正角を演算する（ステップＳ１６０）。
【００５６】
つぎに、アライメント完了判定手段１１１によって旋回補正角が許容値以内であるか否かを判別する（ステップＳ１７０）。旋回補正角が許容値以内であれば、アライメント完了の画面表示を行い（ステップＳ１８０）、アライメント動作を終了する。
【００５７】
これに対し、旋回補正角が許容値以内でなければ、旋回角制御手段１１３によって旋回補正角による旋回指令をＮＣ装置１２３へ出力し、アライメント実行回数カウント値Ｃａｌを一つインクリメントする（ステップＳ１９０）。これにより旋回テーブル３１が旋回補正角だけ旋回し、アライメントが行われる。
【００５８】
機械座標値更新手段１１５によって旋回テーブル３１の補正角旋回による左側マークＬ、右側マークＲの機械座標位置の変化量を演算し、記憶手段１０５に書き込まれている左側マークＬの機械座標値（Ｘｍｌ，Ｙｍｌ）と右側マークＲの機械座標値（Ｘｍｒ，Ｘｍｒ）を各々更新し、左側アライメントマーク計測実施フラグ値Ｆｌと右側アライメントマーク計測実施フラグ値Ｆｒを各々オフする（ステップＳ２００）。
【００５９】
つぎにアライメント実行回数カウント値Ｃａｌが規定回数以上であるか否かを判別する（ステップＳ２１０）。アライメント実行回数が規定回数以上であれば、これ以上、アライメントを繰り返しても、所要のアライメント精度が得られないとしてエラー表示を行い（ステップＳ２２０）、アライメント動作を終了する。
【００６０】
これに対し、アライメント実行回数が規定回数以内であれば、ステップＳ８０に戻り、ステップＳ８０〜ステップＳ２００が繰り返えされる。
【００６１】
これにより、旋回補正角が許容値以内でなければ、アライメント実行回数が規定回数以内において、左側マークＬと右側マークＲの座標位置が交互に計測され、旋回補正角の演算が行われる。この動作により左側マークＬと右側マークＲとの間の１往復で、２回のアライメントを実行できる。
【００６２】
以上に於ては、この発明を特定の実施の形態について詳細に説明したが、この発明は、これに限定されるものではなく、この発明の範囲内にて種々の実施の形態が可能であることは当業者にとって明らかであろう。
【００６３】
【発明の効果】
以上の説明から理解される如く、請求項１によるアライメント装置においては、左側のアライメントマークと右側のアライメントマークマークの座標位置が交互に計測され、旋回補正角の演算が行われるから、アライメントが効率よく短時間に的確に行われるようになる。また、旋回補正角が許容値以内であるか否かの判定が行われ、旋回補正角が許容値外である場合にのみ、再度、左右ののアライメントマークの座標位置計測、旋回補正角演算が行われ、再度、アライメントが行われるから、オペレータ負担を軽減してアライメントが効率よく短時間に的確に行われるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明による微少旋回装置の駆動装置が適用されるシリコンウエハ切断装置を示す斜視図である。
【図２】  この発明による駆動装置が組み込まれた微少旋回装置の実施の形態を示す断面図である。
【図３】  この発明による駆動装置が組み込まれた微少旋回装置の実施の形態を示す底面図である。
【図４】  図４はシリコンウエハ切断装置に適用されるこの発明によるアライメント装置の実施の形態を示すブロック線図である。
【図５】  記憶手段における各データの割り当て例を示すメモリマップ図である。
【図６】  この発明によるアライメント装置の動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
１  ベット
３  機械本体コラム
７  Ｘ軸スライドテーブル
９  微少旋回装置
１１  砥石主軸頭
１５  砥石車
１７  ＣＣＤカメラ
２５  固定ベース部材
２９  旋回中心軸
３１  旋回テーブル
３７  駆動軸支持体
４１  駆動軸
４３  ＡＣサーボモータ
４９、５１  ボルト
１０３  座標位置計測手段
１０５  記憶手段
１０７  機械座標初期値設定手段
１０９  旋回補正角演算手段
１１１  アライメント完了判定手段
１１３  旋回角制御手段
１１５  機械座標値更新手段
１１７  自動スパン移動制御手段
１２３  ＮＣ装置
１２５  旋回駆動部
１２７  Ｘ軸駆動部
【図１】
0003828202.tif 000002
【図２】
0003828202.tif 000003
【図３】
0003828202.tif 000004
【図４】
0003828202.tif 000005
【図５】
0003828202.tif 000006
【図６】
0003828202.tif 000007