(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧中で有毒ガスまたは腐食性ガス等を放出する半導体素子の製造工程等の処理工程に用いられるメカニカルポンプにおいて、
ロータと、前記ロータを収納したケーシングによって形成された気体の吸入ポート及び吐出ポートと、前記吐出ポートあるいは前記吐出ポートに連結される吐出管に設けられた不活性ガスを供給するための供給口とを備え、
不活性ガスを前記供給口から供給することによって、吐出ポートあるいは前記吐出ポートに連結される吐出管からポンプ内部に外部の空気が侵入するのを防止するように構成したこと特徴とするメカニカルポンプ。
【請求項２】
減圧中で有毒ガスまたは腐食性ガス等を放出する半導体素子の製造工程等の処理工程に用いられるメカニカルポンプにおいて、
ロータと、前記ロータを収納したケーシングによって形成された気体の吸入ポート及び吐出ポートと、前記吸入ポート側に設けられた不活性ガスを供給するための第１の供給口と、前記吐出ポートあるいは前記吐出ポートに連結される吐出管に設けられた不活性ガスを供給するための第２の供給口とを備え、
不活性ガスを第１の供給口から吸入ポートを介してポンプ内部に供給すると共に、不活性ガスを前記第２の供給口から供給することによって、ポンプ内部に外部の空気が侵入するのを防止するように構成したこと特徴とするメカニカルポンプ。
【請求項３】
前記第１の供給口から供給される不活性ガスのガス量よりも、多くの不活性ガスを第２の供給口から供給するように構成したことを特徴とする請求項２に記載されたメカニカルポンプ。
【請求項４】
減圧中で有毒ガスまたは腐食性ガス等を放出する半導体素子の製造工程等の処理工程に用いられるメカニカルポンプにおいて、
ロータと、前記ロータを収納したケーシングに形成された気体の吸入ポート及び吐出ポートと、前記ケーシングの一部に前記ロータに対してオイルを注入するためのオイル注入口を形成してなるメカニカルポンプ本体と、前記メカニカルポンプ本体の吐出ポートに接続され、吐出気体と共に吐出されるオイルを吐出気体より分離するオイルトラップと、前記オイルトラップに接続され、分離された吐出気体を外部に放出する吐出管と、前記吐出管に形成された不活性ガス供給する供給口とを備え、
不活性ガスを前記供給口から供給することによって、オイルトラップ及びポンプ内部等に外部の空気が侵入するのを防止するように構成したことを特徴とするメカニカルポンプ。
【請求項５】
減圧中で有毒ガスまたは腐食性ガス等を放出する半導体素子の製造工程等の処理工程に用いられるメカニカルポンプにおいて、前記ガスに接触する部材の表面をＦｅＦ2 、ＣｒＦ3 の表面処理がなされていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載されたメカニカルポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、メカニカルポンプの吸入側及び吐出側に不活性ガスを供給し、この不活性ガスによってポンプ構成部材の腐食を防止すると共に、反応物質の生成を防止するメカニカルポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
メカニカルポンプの中で、例えばスクリューポンプは、一般的に複数の螺旋状の陸部と溝部を有し、互いにかみ合いながら実質的に平行な二軸の回りを回転する一対のスクリューロータが具備され、前記両ロータを収納するケーシングに吸入ポートと吐出ポートとが形成されている。
【０００３】
そして、スクリューポンプのようなメカニカルポンプは、例えば半導体素子を製造する際に、減圧中で有毒ガスまたは腐食性ガス等を放出する処理工程（プラズマエッチング、減圧気相成長）などに真空ポンプとして利用されており、これらのガスがポンプ内などで反応してポンプの構成部材等を腐食させたり、あるいは冷却用のオイルをポンプ内に導入するオイル循環型ポンプにあってはオイルが劣化したり、または反応生成物がポンプ内などに蓄積してやがてポンプなどの正常な動作を阻害させるといった技術的課題を有していた。
【０００４】
即ち、ポンプの停止等によって、外部から水分を含んだ空気がポンプ内に侵入すると、例えば塩化チタンは湿気と一緒に腐食作用を生ぜしめる塩酸及び固形の酸化チタンを形成する。また固形の残渣を形成する別の例はSiH4と酸素との反応によって、SiO2を形成する。またSiH2Cl2 が存在していると、水と反応し、これによって、塩酸及び固形の酸化珪素が発生する。
【０００５】
この課題を解決するために、例えば特開昭６０−２０９６７８号公報に開示されたポンプが提案されている。
即ち、図３に示す例は、入口２及び出口３とが形成された真空ポンプ１の出口３には遮断装置４が接続されており、この遮断装置４には入口５及び出口６が形成されている。前記遮断装置４内には、入口５と接続された浸漬管８が突入している。流入するガスは遮断液体７を通過し、出口６を通って遮断装置を離れる。遮断装置７によって湿気もしくは酸素が遮断装置４の出口から入口５に逆流することはない。
尚、この遮断装置４には環境保護のため反応性のガスを捕収する装置１０が接続されている。この装置内には水若しくは捕収しようとするガスと結合する物質の水溶液が収納されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記したような従来のメカニカルポンプにおいては、遮断液体を備える遮断装置を設ける必要があった。
このような遮断装置にあっては、腐食性ガスにより遮断液体の劣化は避けられず、またポンプの非常停止時には圧力差から遮断液体がポンプ吐出口側に逆流するという技術的課題があった。
【０００７】
また、前述のメカニカルポンプでは、動作初期には水分を含んだ空気が存在しており、チャンバ−から流入するガスと反応するという技術的課題があった。
更に、チャンバ−の真空度が増すにつれてポンプ側からチャンバ−側へ逆拡散が生ずる。その結果、所定の真空度が得られないばかりでなく、チャンバ−側の化学処理に対して悪影響が生ずるという技術的課題を有していた。
【０００８】
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、所定の真空度が得られ、しかもポンプ構成部材の腐食を防止すると共に反応物質の生成を防止することによって耐久性を向上させ、またポンプ側からチャンバ−側へ逆拡散を防止することができるメカニカルポンプを提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために成された本発明に係るメカニカルポンプは、減圧中で有毒ガスまたは腐食性ガス等を放出する半導体素子の製造工程等の処理工程に用いられるメカニカルポンプにおいて、ロータと、前記ロータを収納したケーシングによって形成された気体の吸入ポート及び吐出ポートと、前記吐出ポートあるいは前記吐出ポートに連結される吐出管に設けられた不活性ガスを供給するための供給口とを備え、不活性ガスを前記供給口から供給することによって、吐出ポートあるいは前記吐出ポートに連結される吐出管からポンプ内部に外部の空気が侵入するのを防止するように構成したこと特徴としている。
【００１１】
前記目的を達成するために成された本発明に係るメカニカルポンプは、減圧中で有毒ガスまたは腐食性ガス等を放出する半導体素子の製造工程等の処理工程に用いられるメカニカルポンプにおいて、ロータと、前記ロータを収納したケーシングによって形成された気体の吸入ポート及び吐出ポートと、前記吸入ポート側に設けられた不活性ガスを供給するための第１の供給口と、前記吐出ポートあるいは前記吐出ポートに連結される吐出管に設けられた不活性ガスを供給するための第２の供給口とを備え、不活性ガスを第１の供給口から吸入ポートを介してポンプ内部に供給すると共に、不活性ガスを前記第２の供給口から供給することによって、ポンプ内部に外部の空気が侵入するのを防止するように構成したこと特徴としている。
好ましくは、前記第１の供給口から供給される不活性ガスのガス量よりも、多くの不活性ガスを第２の供給口から供給するように構成するのが良い。
【００１２】
前記目的を達成するために成された本発明に係るメカニカルポンプは、減圧中で有毒ガスまたは腐食性ガス等を放出する半導体素子の製造工程等の処理工程に用いられるメカニカルポンプにおいて、ロータと、前記ロータを収納したケーシングに形成された気体の吸入ポート及び吐出ポートと、前記ケーシングの一部に前記ロータに対してオイルを注入するためのオイル注入口を形成してなるメカニカルポンプ本体と、前記メカニカルポンプ本体の吐出ポートに接続され、吐出気体と共に吐出されるオイルを吐出気体より分離するオイルトラップと、前記オイルトラップに接続され、分離された吐出気体を外部に放出する吐出管と、前記吐出管に形成された不活性ガス供給する供給口とを備え、不活性ガスを前記供給口から供給することによって、オイルトラップ及びポンプ内部等に外部の空気が侵入するのを防止するように構成したことを特徴としている。
【００１３】
好ましくは、減圧中で有毒ガスまたは腐食性ガス等を放出する半導体素子の製造工程等の処理工程に用いられるメカニカルポンプにおいて、前記ガスに接触する部材の表面をＦｅＦ2 、ＣｒＦ3 の表面処理がなされているのが望ましい。
【００１４】
以上のように、不活性ガスはメカニカルポンプ本体の吸入ポート側に導入され、吸入ポートよりメカニカルポンプ本体のケーシング内に導入されるため、空気の侵入を防止し、メカニカルポンプ本体内の腐食および反応物質の生成を防止するように作用する。
また、吸入側から微量の不活性ガスが供給されることによって、エゼクタ−効果によりポンプ側からチャンバ−側への逆拡散を防止するように作用する。
【００１５】
更に、このメカニカルポンプ本体の吐出側に、不活性ガスを供給することによって、メカニカルポンプの停止等の際において、外部から水分を含んだ空気がポンプ内に侵入し、ポンプの構成部材を腐食させるのを防止する。
またオイルトラップに配置された吐出管部分に不活性ガスを導入することにより、前述の場合と同様に、メカニカルポンプの停止等の際において外部から水分を含んだ空気がポンプ内に侵入し、ポンプの構成部材を腐食させるのを防止する。即ち、不活性ガスによって、オイルトラップおよびメカニカルポンプ内部と外部とを遮断し、空気中の水分が腐食性ガスと反応して各部を腐食させるのを防止するように作用する。
【００１６】
また、前記ガスに接触する部材の表面をＦｅＦ2 、ＣｒＦ3 の表面処理がなされているので、腐食性ガスによってかかる部材の腐食を防止することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るメカニカルポンプについて、図に示した実施の形態に基づいて説明する。
本実施形態の説明にあたっては、スクリューポンプを例にとって説明する。尚、以下に説明する各図における同一部分または相当部分は、それぞれ同一符号をもって示しており、したがってその詳細な説明は適宜省略する。
まず、図１はスクリューポンプ本体Ａの構成を断面図によって示したものである。スクリューポンプ本体Ａには、複数の螺旋状の陸部と溝部を有し、互いにかみ合いながら実質的に平行な二軸の回りを回転する一対のスクリューロータａ１（ａ２）が具備されている。
なお、図１においては、一方のスクリューロータａ２は紙面に対して垂直方向に位置するために描かれていない。
【００１８】
また、スクリューロータａ１（ａ２）は、ケーシングにａ３内に収納され、スクリューロータａ１（ａ２）を支持するシャフトａ４の両端がそれぞれ軸受けａ５によって回転可能に支持されている。
前記シャフトａ４の一端部には、タイミングギアａ６が取り付けられ、このタイミングギアａ６を介して一対のスクリューロータａ１（ａ２）が同期して回転されるように構成されている。
【００１９】
そして、前記両ロータａ１（ａ２）を収納するケーシングａ３の一端部側には吸入ポートａ７が形成されており、またケーシングａ３の他端部側には吐出ポートａ８が形成されており、前記スクリューロータａ１（ａ２）が同期して回転することにより、気体を吸入ポートａ７から吸入し、吐出ポートａ８より排気する真空ポンプの作用がなされるように構成されている。
【００２０】
また、前記吸入ポートａ７側には、不活性ガスを供給する供給口ａ１５が設けられ、微量の不活性ガスが供給できるように構成されている。
また、ケーシングａ３の吐出ポートａ８側には、空洞部が形成されて冷却用の水を循環させることができるジャケットａ９が形成され、特に吐出ポートａ８側における圧縮作用に基づく気体の発熱を冷却できるように構成されている。
さらに、スクリューロータの側面における前記ケーシングの一部には、オイル注入口ａ１０が穿設されており、このオイル注入口ａ１０より注入されるオイルは、一対のスクリューロータａ１（ａ２）に侵入し、両者の間をシールできるように作用すると共に、ポンプの冷却の効果も発揮する。
【００２１】
この場合、オイル注入口を、スクリューロータの側面に配置していることで、吸入ポートａ７側にオイルを飛散させる度合いを少なくし、吸入ポートａ７側に接続される例えば半導体素子製造用の気相成長装置を汚染させることなく、また気圧がかかる吐出ポートａ８側のスクリューロータ部分に対するシール効果が発揮できるようにされている。
【００２２】
尚、前記両ロータａ１（ａ２）を収納するケーシングａ３の両端部には、カバーａ１１，ａ１２が取り付けられており、これら両カバーａ１１，ａ１２と、ケーシングａ３の端部との間で、オイル溜めａ１３，ａ１４が形成され、スクリューロータａ１（ａ２）を支持するシャフトａ４の軸受け部分に対して、オイルによる潤滑作用が成されるように構成されている。
また一方のスクリューロータａ１を支持するシャフトａ４の一方は、前記カバーａ１１から突出され、後述するモータの回転軸に直結されるように成されている。
【００２３】
図２は、前記したスクリューポンプ本体Ａを用いて成る本発明の実施の形態を示したものである。
図１に示したスクリューポンプ本体Ａは、図２において簡略的に１つのブロックＡで示されている。そして、スクリューポンプ本体Ａに配置された前記オイル注入口ａ１０およびこれに接続された送油管、吐出ポートａ８およびこの吐出ポートａ８に接続された吐出管、および冷却ジャケットａ９に接続される送水管などは、それぞれ簡略的に一本の実線によって表現されている。
【００２４】
図２において、スクリューポンプ本体Ａには駆動モータＭが配置されており、このモータＭの駆動により前記スクリューロータａ１を支持するシャフトａ４が回転駆動され、スクリューポンプ本体Ａは真空ポンプとして作用するように成されている。
また、スクリューポンプ本体Ａの吐出ポートａ８に接続された吐出管ａ２１は、オイルトラップＢに接続されている。このオイルトラップＢは、その外郭は１つの筐体により構成されており、スクリューポンプ本体Ａの動作により、スクリューポンプ本体Ａから吐出気体と共に吐出されたオイルは、オイルトラップＢの上室ｂ１に導入される。
【００２５】
ここで図中の斜線部分ｂ６、ｂ７はフィルタ−を示しており、フィルタ−ｂ７は環状に形成され、オイルを気体から分離回収するものであり、フィルタ−ｂ６は円板上に形成され、オイル中に含まれる反応生成物のような不純物を除去するものである。
また、図中ｂ８、ｂ９はオイルミスト部、及びオイル戻し部であって、オイルミスト部ｂ８は前記フィルタ−ｂ７の背面に形成され、前記フィルタ−ｂ７を通過したオイルを上室ｂ１に戻すためのものである。
更に、オイルトラップＢは、ここでオイルを気体から分離回収し、回収されたオイルはオイル貯留部としての下室ｂ２に一時的に貯留されるように成されている。また吐出気体はオイルトラップＢの上室ｂ１に配置された吐出管ｂ４より、大気または気体処理装置に導出されるように構成されている。
【００２６】
このオイルトラップＢに配置された吐出管ｂ４には、不活性ガス供給口ｂ５が設けられ、前記供給口ｂ５から不活性ガスを導入することにより、吐出管ｂ４、オイルトラップＢの内部圧力を大気圧より高い圧力にし、スクリューポンプＡの停止の際などにおいて、外部から水分を含んだ空気がポンプ内に侵入し、ポンプの構成部材を腐食させるのを防止する。
即ち、不活性ガスによって、それぞれオイルトラップＢ内部と外部とを遮断し、空気中の水分が腐食性ガスと反応して各部が腐食するの防止するように作用する。
【００２７】
尚、オイルトラップＢが設けられていないポンプにあっては、ポンプの吐出ポ−トあるいは前記ポ−トに連結される吐出管に不活性ガス供給口を設けると良い。このような構成により、前述の場合と同様、外部から水分を含んだ空気がポンプ内に侵入することがなく、ポンプの構成部材の腐食を防止するすることができる。
【００２８】
また一方、オイルトラップＢにおける下室ｂ２には、貯留されたオイルに接してオイルを冷却するためのＵ字管より成る冷却ユニットｂ３が配置されている。この冷却ユニットｂ３には、冷却設備（図示せず）により冷却された冷却水が流量調節弁ｃ１，ｃ２を介して送水されるように成されており、冷却ユニットｂ３内を通過する冷却水により、オイルトラップＢの下室ｂ２に貯留されたオイルは冷却される。
また前記冷却水は、流量調節弁ｃ３，ｃ４を介してスクリューポンプ本体Ａの冷却ジャケットａ９にも送水されるように構成されており、この構成によりスクリューポンプ本体Ａにおける特に吐出ポートａ８部分を中心に冷却されるように成される。
【００２９】
前記オイルトラップＢによって分離されたオイルは、脱気チャンバＴに導入されるように構成されている。この脱気チャンバは、前記オイルトラップＢより流量調節弁ｃ５，ｃ６を介してそれぞれ接続された第１のチャンバＴ１と第２のチャンバＴ２より構成されており、第１のチャンバＴ１と第２のチャンバＴ２に接続される流量調節弁ｃ５，ｃ６は択一的に解放されるようにシーケンサ（図示せず）によって制御される。
【００３０】
説明の便宜上、例えば第１のチャンバＴ１側の流量調節弁ｃ５が解放状態にあれば、第２のチャンバＴ２側の流量調節弁ｃ６は閉塞状態となり、当然ながらオイルトラップＢからのオイルは、第１のチャンバＴ１に導入される。
前記第１のチャンバＴ１および第２のチャンバＴ２には、さらに流量調節弁ｃ７，ｃ８をそれぞれ介して脱気用真空ポンプＲＰが接続されている。第１のチャンバＴ１および第２のチャンバＴ２に備えられた前記流量調節弁ｃ７，ｃ８は択一的に解放され、したがって第１のチャンバＴ１または第２のチャンバＴ２に対して択一的に負圧が印加される。
【００３１】
上記第１のチャンバＴ１にオイルが導入されているとき、前記シーケンサの制御により第２のチャンバＴ２に対して負圧が印加されるように成され、したがって第２のチャンバＴ２に貯留されたオイル中に存在する気泡は、負圧により吸引され、脱気用真空ポンプＲＰの作用により吐出管ＲＰ１を介して大気に放出される。
【００３２】
そして前記第１のチャンバＴ１と第２のチャンバＴ２の下底部からは、送油管が導出され、流量調節弁ｃ９，ｃ１０を介してオイル循環ポンプＰに結合されている。さらにオイル循環ポンプＰによって送出されるオイルは可変バルブｄ１を介して前記スクリューポンプ本体Ａのオイル注入口ａ１０に注入されるように構成されている。
ここで、送油管に設けられた前記流量調節弁ｃ９，ｃ１０は、負圧により脱気されたチャンバ側のオイルを導出するように前記シーケンサの制御を受け、上記場合には、第２のチャンバＴ２に貯留されたオイルがポンプＰにより前記スクリューポンプ本体Ａのオイル注入口ａ１０に注入されるように成される。
【００３３】
また、不活性ガスは流量調節弁ｃ１１，ｃ１２をそれぞれ介して不活性ガスが前記２つのチャンバＴ１，Ｔ２に導入され、チャンバＴ１，Ｔ２においてオイルから吸引される腐食性ガス等による、チャンバＴ１，Ｔ２およびこれに接続された配管の腐食を防止するようになされている。
【００３４】
不活性ガスの供給について詳述すると、不活性ガスは可変バルブｄ２を介してスクリューポンプ本体Ａの吸入ポートａ７部分に導入され、吸入ポートａ７よりスクリューポンプ本体Ａのケーシングａ３内に導入される腐食性ガス等によるスクリューポンプ本体Ａ内の腐食および反応物質の生成を防止するように作用する。また、反応物質が生成されず、また腐食性ガスがオイル内に含まれないため、オイルの劣化を防止することができる。
また、吸入側から微量の不活性ガスを供給することによって、エゼクタ−効果によりポンプ側からチャンバ−側への逆拡散を防止することができる。
【００３５】
さらに、可変バルブｄ３およびｄ４をそれぞれ介してオイルトラップＢに配置された吐出管ｂ４および脱気用真空ポンプＲＰに配置された吐出管ＲＰ１に対して導入されるようにされている。
【００３６】
なお、スクリューポンプ本体Ａの吸入ポートａ７部分に導入される不活性ガスのガス量よりも、多くの不活性ガスがオイルトラップＢに配置された吐出管ｂ４に供給されるようになされている。このように吸入ポート側の不活性ガスの供給量が少ないのは、前述のようにエゼクタ−効果をも期待するものであり、また吐出ポート側の不活性ガスの供給量が多いのはオイルトラップＢ内部と外部とを遮断するために供給されるためである。
【００３７】
このオイルトラップＢに配置された吐出管ｂ４部分および脱気用真空ポンプＲＰに配置された吐出管ＲＰ１部分に不活性ガスを導入することにより、スクリューポンプＡの停止または脱気用真空ポンプＲＰの停止などの際において、外部から水分を含んだ空気がポンプ内に侵入し、ポンプの構成部材を腐食させるのを防止する。
【００３８】
即ち、不活性ガスによって、それぞれオイルトラップＢ、真空ポンプＲＰ内部と外部とを遮断し、空気中の水分が腐食性ガス等と反応して各部が腐食するの防止するように作用する。
また冷却用のオイルをポンプ内に導入するオイル循環型ポンプに不活性ガスを供給する場合には、反応生成物の発生が抑制されるため、オイルの劣化を防止することができる。
【００３９】
また、スクリューポンプＡのスクリューロ−タａ１、ａ２、ケ−シングａ３、オイルトラップＢ内部等、腐食性ガスに接触する部材の表面をＦｅＦ2 、ＣｒＦ3 の表面処理がなされている。
この表面処理は、構成部材の表面をフッ化処理することによって、ＦｅＦ2 、ＣｒＦ3 のフッ化不動態膜を形成することによってなされる。
このような表面処理がなされているため、腐食性ガスに接触する部材の腐食を防止することができる。
【００４０】
なお、上記実施形態ではスクリューポンプを用いて説明したが、本発明は特にこれに限定されることなく、ル−ツポンプ等のメカニカルポンプにも当然適用することができる。
【００４１】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明に係るメカニカルポンプによれば、不活性ガスをメカニカルポンプ本体の吸入ポート側に導入し、吸入ポートよりメカニカルポンプ本体のケーシング内に導入するように構成されているため、メカニカルポンプ本体内の腐食および反応生成物がポンプ内などに蓄積することがなく、ポンプの正常な動作を長期間保証することができるという効果を奏するものである。
また、吸入側から微量の不活性ガスが供給されることによって、エゼクタ−効果によりポンプ側からチャンバ−側への逆拡散を防止することができるという効果を奏するものである。
【００４２】
また本発明に係るメカニカルポンプによれば、メカニカルポンプ本体の吐出側に、不活性ガスを供給することによって、メカニカルポンプの停止等の際において、外部から水分を含んだ空気がポンプ内に侵入することによって発生するポンプ構成部材の腐食を防止するという効果を奏するものである。
またオイルトラップに配置された吐出管部分に不活性ガスを導入することにより、前述の場合と同様に、メカニカルポンプの停止等の際において外部から水分を含んだ空気がポンプ内に侵入し、ポンプの構成部材を腐食させるのを防止することができる。
また、腐食性ガスに接触する部材の表面をＦｅＦ2 、ＣｒＦ3 の表面処理がなされているため、腐食性ガスに接触する部材の腐食を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るスクリュ−ポンプ本体の一例を示した断面図である。
【図２】図１に示したスクリュ−ポンプを用いた本発明に係る実施の形態を示したブロック図である。
【図３】従来のポンプの一例を示したブロック図である。
【符号の説明】
Ａ      スクリューポンプ本体
ａ１，ａ２  スクリューロータ
ａ３  ケーシング
ａ７  吸入ポート
ａ８  吐出ポート
ａ１０  オイル注入口
ａ１５  供給口
Ｂ    オイルトラップ
ｂ１  上室
ｂ２  下室（オイル貯留部）
ｂ３  冷却ユニット
ｂ５  供給口
Ｆ    脱気フィルタ
ｆ２  ファイバ（隔壁膜）
Ｍ    駆動モータ
Ｐ    オイル循環ポンプ
ＲＰ  脱気用真空ポンプ
Ｔ    脱気チャンバ
Ｔ１  第１チャンバ
Ｔ２  第２チャンバ
【図１】
0003818709.tif 000002
【図２】
0003818709.tif 000003
【図３】
0003818709.tif 000004