(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
オイルが充填された圧縮機に少なくとも二つの開口部を設け、第１開口部をオイル回収経路と接続し、第２開口部を注水経路と接続し、上記圧縮機の上方における上記オイル回収経路の途中にオイル溜めを設け、上記圧縮機内部に上記第２開口部より注水して蓄水するとともに、圧縮機内部機構部からのオイルの遊離を促進させ、遊離浮上したオイルを上記オイル溜めに貯留させ、貯留したオイルを上記オイル回収経路を介して回収するようにしたことを特徴とする圧縮機からのオイル抜き取り方法。
【請求項２】
圧縮機モータ部に欠相通電することによりオイルの遊離を促進するようにした請求項１に記載の圧縮機からのオイル抜き取り方法。
【請求項３】
圧縮機を回転させることによりオイルの遊離を促進するようにした請求項１に記載の圧縮機からのオイル抜き取り方法。
【請求項４】
圧縮機を直接振動させることによりオイルの遊離を促進するようにした請求項１に記載の圧縮機からのオイル抜き取り方法。
【請求項５】
オイルが充填された圧縮機に連結される注水ポンプ及び貯水タンクと、オイル遊離促進手段とを備え、圧縮機の第１開口部をオイル回収経路を介して上記貯水タンクに接続するとともに上記圧縮機の上方における上記オイル回収経路の途中にオイル溜めを設け、上記圧縮機の第２開口部を注水経路を介して上記注水ポンプに接続して圧縮機内部に注水して蓄水するとともに、上記オイル遊離促進手段により圧縮機内部機構部からのオイル遊離を促進し、遊離浮上したオイルを上記オイル溜めに一時的に貯留させ、上記オイル溜めに貯留したオイルを上記オイル回収経路を介して上記貯水タンクに回収するようにしたことを特徴とするオイル抜き取り装置。
【請求項６】
上記オイル遊離促進手段を、圧縮機モータ部に接続される電源と、該電源を制御する電源制御部で構成し、圧縮機モータ部に欠相通電することによりオイル遊離を促進するようにした請求項５に記載のオイル抜き取り装置。
【請求項７】
上記オイル遊離促進手段を、圧縮機モータ部に接続される電源と、該電源を制御する電源制御部で構成し、圧縮機駆動部を回転させることによりオイル遊離を促進するようにした請求項５に記載のオイル抜き取り装置。
【請求項８】
上記オイル遊離促進手段が、圧縮機を直接振動させる加振手段である請求項５に記載のオイル抜き取り装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気調和器、電気冷蔵庫等の圧縮機を解体あるいは破砕する前に行われるオイル抜き取り方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、鉄、アルミニウム、銅、プラスティック等、あるいは、これらの複合材からなる産業廃棄物は破砕機等を使用して破砕した後、分離・選別することによりリサイクルを行っていた。
【０００３】
また、圧縮機等の廃棄物は内部にオイルが封入されているため、そのままの状態で破砕機に投入すると、オイルが燃焼し爆発の危険性があることから、ランニング設備及びコスト高の低温破砕、不活性ガス中での破砕等しかなかった。したがって、一般的には安価で危険な溶断等による手解体が主に行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、溶断等による手解体は火炎が飛び、火災ややけどの危険を伴う作業で、発煙により周囲環境を悪化させ、かつ、作業者の処理能力にも限界があることから、破砕機等を使用して安全に処理するためには、あらかじめ廃棄物からオイルを効率良く抜き取る必要があった。
【０００５】
本発明は、従来技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、オイルを含む圧縮機を破砕機等により解体処理する前に効率良くオイルを抜き取ることにより、周囲環境を汚染することなく解体を安全に行うことのできる圧縮機からのオイル抜き取り方法及びその装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のうちで請求項１に記載の発明は、オイルが充填された圧縮機に少なくとも二つの開口部を設け、第１開口部をオイル回収経路と接続し、第２開口部を注水経路と接続し、上記圧縮機の上方における上記オイル回収経路の途中にオイル溜めを設け、上記圧縮機内部に上記第２開口部より注水して蓄水するとともに、圧縮機内部機構部からのオイルの遊離を促進させ、遊離浮上したオイルを上記オイル溜めに貯留させ、貯留したオイルを上記オイル回収経路を介して回収するようにしたことを特徴とする圧縮機からのオイル抜き取り方法である。
【０００９】
また、請求項２あるいは３に記載の発明は、圧縮機モータ部に欠相通電するか、あるいは、圧縮機を回転させることによりオイルの遊離を促進するようにしたことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項４に記載の発明は、圧縮機を直接振動させることによりオイルの遊離を促進させるようにしたことを特徴とする。
【００１９】
さらに、請求項５に記載の発明は、オイルが充填された圧縮機に連結される注水ポンプ及び貯水タンクと、オイル遊離促進手段とを備え、圧縮機の第１開口部をオイル回収経路を介して上記貯水タンクに接続するとともに上記圧縮機の上方における上記オイル回収経路の途中にオイル溜めを設け、上記圧縮機の第２開口部を注水経路を介して上記注水ポンプに接続して圧縮機内部に注水して蓄水するとともに、上記オイル遊離促進手段により圧縮機内部機構部からのオイル遊離を促進し、遊離浮上したオイルを上記オイル溜めに一時的に貯留させ、上記オイル溜めに貯留したオイルを上記オイル回収経路を介して上記貯水タンクに回収するようにしたことを特徴とするオイル抜き取り装置である。
【００２４】
また、請求項６あるいは７に記載の発明は、上記オイル遊離促進手段を、圧縮機モータ部に接続される電源と、該電源を制御する電源制御部で構成し、圧縮機モータ部に欠相通電するか、あるいは、圧縮機駆動部を回転させることによりオイル遊離を促進するようにしたことを特徴とする。
【００２５】
また、請求項８に記載の発明は、上記オイル遊離促進手段が、圧縮機を直接振動させる加振手段であることを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は産業廃棄物となった密閉型圧縮機１を示しており、電動部と圧縮機構部が内蔵された密閉容器２と、密閉容器２に並設されたアキュムレータ３とを備えている。アキュムレータ３には吸入管４が連結される一方、密閉容器２の上部には吐出管５が連結され、圧縮機電動部への入力ターミナル６も配設されている。この密閉型圧縮機１には、使用時圧縮機構部を潤滑していたオイルが含まれており、廃棄物となった密閉型圧縮機１をそのままの状態で破砕機に投入すると、オイルが燃焼し爆発の危険性がある。
【００２８】
したがって、密閉型圧縮機１を破砕機に投入する前にオイルを抜き取る必要があるが、図１に示される縦型圧縮機の場合、アキュムレータ３は吸入口７を介して密閉容器２に強固に固定されており、アキュムレータ３を切り離すと、充填されているオイルが吸入口７から流出するので、オイル抜き取り作業はアキュムレータ３が連結された状態で行われる。
【００２９】
以下、上記構成の密閉型圧縮機１をワークとして使用した場合の本発明にかかるオイル抜き取り方法及びその装置について説明する。
【００３０】
実施の形態１
図２は、本発明の実施の形態１にかかるオイル抜き取り装置を示している。図２に示されるように、ワーク１をまず所定位置にセットし、吐出管５を第１開口部としてオイル回収経路８と接続する。また、第２開口部として密閉容器２の上部側壁にドリルでφ６の貫通孔２ａを穿設した後、シール部（図示せず）を介して注水経路９と接続し、吸入管４には密栓１０を取り付ける。
【００３１】
オイル回収経路８と注水経路９は、一時回収オイルタンクを兼ねた貯水タンク１１に連結され、注水経路９には注水ポンプ１２が配設されるとともに、オイル回収経路８の途中にはオイル溜め１３が配設されている。
【００３２】
また、密閉型圧縮機１とオイル溜め１３との間のオイル回収経路８には第１弁１４が取り付けられる一方、密閉型圧縮機１と注水ポンプ１２との間の注水経路９には第２弁１５が取り付けられている。さらに、貯水タンク１１には、その側部に回収オイルを最終排出するための第３弁１６が取り付けられるとともに、その上部には空気口１７が設けられており、密閉型圧縮機１の入力ターミナル６には３相のうち２相が電源制御部１９を介して電源１８に接続されている。
【００３３】
上記構成のオイル抜き取り装置の動作につき以下説明する。
まず、電源１８から２０Ａ以下の電流が圧縮機１の入力ターミナル６に流れるように、電源制御部１９により電流値をモニター制御し、電圧を下げながら約５分間入力を継続すると、モータコイルは例えば約８０℃まで上昇する。このモータコイルへの通電中に、第２開口部２ａを穿設する作業を行い、オイル回収経路８と注水経路９を密閉型圧縮機１と連結する。なお、コイルは大きな熱容量を有しているので、一旦温度上昇すると、短時間に温度低下することはない。
【００３４】
その後、第１弁１４及び第２弁１５を開放して、注水ポンプ１２を駆動すると、貯水タンク１１内の水は、注水経路９を通って圧縮機内部に注水され、密閉容器２よりオーバーフローしたオイルおよび水はオイル回収経路８を通ってオイル溜め１３に至る。この状態で、注水ポンプ１２を停止して第２弁１５を閉じ、所定時間放置すると、圧縮機内部のオイルは水との密度差によって浮上し、圧縮機内部に充填されていたオイルは、ほとんどオイル溜め１３に回収される。例えば、冷媒Ｒ２２とともに使用されてきたオイル（日本石油製、アトモスＭ６０）は密度０．８８ｇ／ｍｌであるので、水とはかなりの密度差があり、オイルの粘度が低下していれば簡単に浮上する。
【００３５】
次に、第２弁１５を開放して注水ポンプ１２を再駆動すると、オイルとオーバーフロー水は一時回収オイルタンクを兼用する貯水タンク１１に至る。その後、第１弁１４及び第２弁１５を閉じるとともに、密閉型圧縮機１をオイル回収経路８と注水経路９から分離し、入力ターミナル６から入力端子を外し、さらに密栓１０を吸入管４より外した後、内部にある水を排水して圧縮機からのオイル抜き取り作業が終了する。
【００３６】
貯水タンク１１内のオイルは、貯水タンク１１の内部をモニターしながら定期的に第３弁１６を開放して、最終的にはオイル回収タンク（図示せず）に回収される。
【００３７】
この実施の形態においては、圧縮機内部に導入する水を常温水とした。これはモータ部に欠相で通電し、モータコイルを８０℃まで上昇させると、圧縮機内部容積程度の常温水を導入しても、それによる温度低下が小さいので導入水も高温に保持することができ不具合は生じない。連続的な作業を行う場合には、注水温度をモニターしながらモータ部欠相通電時間を短縮して上昇時の温度を徐々に低下させてもよい。
【００３８】
実施の形態２
図３は、本発明の実施の形態２にかかるオイル抜き取り装置を示している。
このオイル抜き取り装置においては、吐出管５に連結されたオイル回収経路８に吸入管４も連結されており、さらに第１弁１４を介してオイル溜め１３に連結されている。また、圧縮機１は加振固定台２０上に載置されるとともに、貯水タンク１１には水を略一定温度に保持するためのヒータ２１が配設されている。
上記以外の図３に示される構成は、図２の構成と同一なので、その説明は省略する。
【００３９】
図３に示されるオイル抜き取り装置の動作につき以下説明する。
まず、第２開口部２ａを穿設する作業を行い、オイル回収経路８と注水経路９を密閉型圧縮機１と連結する。その後、第１弁１４及び第２弁１５を開放して注水ポンプ１２を駆動すると、貯水タンク１１内でヒータ２１により一定温度に加温され、例えば４０〜８０℃に保温された温水が注水経路９を通って圧縮機内部に注入される。また、吐出管５及び吸入管４を介してオーバーフローしたオイルおよび温水はオイル回収経路８を通ってオイル溜め１３に至る。
【００４０】
この状態で、注水ポンプ１２を停止して第２弁１５を閉じた後、加振固定台２０により密閉型圧縮機１を２Ｇの加速度で間欠的に加振し、所定時間放置すると、圧縮機内部のオイルは水との密度差によって浮上し、充填されていたオイルのほとんどはオイル溜め１３に回収される。
【００４１】
次に、第２弁１５を開放して注水ポンプ１５を再駆動すると、オイルとオーバーフローした水は一時回収オイルタンクを兼用する貯水タンク１１に至る。その後、第１弁１４及び第２弁１５を閉じるとともに、密閉型圧縮機１をオイル回収経路８と注水経路９から分離し、内部にある水を排水することにより圧縮機からのオイル抜き取り作業が終了する。
【００４２】
貯水タンク１１内のオイルは、貯水タンク１１の内部をモニターしながら定期的に第３弁１６を開放して、最終的にはオイル回収タンク（図示せず）に回収される。
【００４３】
この実施の形態においては、圧縮機内部に導入する水を温水とした。この場合、圧縮機本体内部を予熱することなく、導入する温水でオイルが分離し易くなる条件を作り出すため、ある程度高温の温水を使用したほうが作業性がよい。例えば、４０℃と５０℃では５０℃の場合の方がオイル分離回収を迅速に行うことができ、連続的な作業性は良好であった。また、圧縮機本体がオイル抜き取り作業前に冬場の低温状態にある場合には、かなり高温の温水が必要である。
【００４４】
また、この実施の形態では、圧縮機１を加振固定台２０により間欠的に加振したが、連続的に加振してもよい。しかしながら、金属類に付着しているオイルが遊離するのを促進するためには、外力によりある程度大きな加速度を定期的に与える方が促進効果が大きい。
【００４５】
さらに、この実施の形態では、圧縮機内部へ蓄水時に加振固定台２０により間欠的に加振したが、さらに注水途中に加振してもよい。
【００４６】
実施の形態３
図４は、本発明の実施の形態３にかかるオイル抜き取り装置を示している。
図４に示されるように、実施の形態３にかかるオイル抜き取り装置においては、吸入管４は圧縮空気導入経路２２を介して圧縮空気源２３と連結されており、圧縮空気導入経路２２の途中には第４弁２４が取り付けられている。また、密閉型圧縮機１は水槽２５内に配置され、水槽中には圧電素子２６が設置されている。さらに、圧縮機１の入力ターミナル６は電源制御部１９を介して電源１８に連結されており、貯水タンク１１にはオイルレベル検知器２７が設けられている。
【００４７】
上記構成のオイル抜き取り装置の動作につき以下説明する。
まず、電源制御部１９により電源１８を制御しながら、圧縮機１の入力ターミナル６に約６分間入力し、駆動部を約２０Ｈｚで回転することにより、圧縮機内部は、例えば約７０℃まで温度上昇する。この駆動部回転中に、第２開口部２ａの穿設作業を行い、オイル回収経路８と注水経路９と圧縮空気導入経路２２を密閉型圧縮機１に連結する。なお、圧縮機本体は大きな熱容量を有しているので、一旦温度上昇すると、短時間に温度低下することはない。
【００４８】
その後、第１弁１４及び第２弁１５を開放して注水ポンプ１２を駆動させると、注水経路９を通って圧縮機内部に注水され、オーバーフローしたオイル及び水はオイル回収経路８を通ってオイル溜め１３に至る。
【００４９】
この状態で、注水ポンプ１２を停止して第２弁１５を閉じた後、圧電素子２６により超音波を発振すると、圧縮機１が間接的に振動する。所定時間放置すると、圧縮機内部のオイルは水との密度差により浮上し、充填されていたオイルのほとんどはオイル溜め１３に回収される。
【００５０】
次に、第４弁２４を開放すると、約５kg/cm2の圧縮空気が圧縮空気源２３から吸入管４へと供給され、圧縮機１の圧縮機構部を低圧側から高圧側に通過し、さらに吐出管５を介してオイル溜め１３に達した時点で第４弁２４と第１弁１４を同時に閉鎖する。その結果、充填されていたオイルと、オイル回収のために利用した水は貯水タンク１１に排出されるので、密閉型圧縮機１をオイル回収経路８、注水経路９、圧縮空気導入経路２２から分離し、入力ターミナル６から入力端子を外すと圧縮機１からのオイル抜き取り作業は終了する。
【００５１】
一時回収オイルタンクを兼用する貯水タンク１１内部のオイルは、そのレベルをオイルレベル検知器２７でモニターしながら自動的に第３弁１６を開放して回収タンク（図示せず）に最終的に回収される。
【００５２】
この実施の形態においては、圧縮機１を２０Ｈｚで回転させたが、３０Ｈｚ程度の回転状態であればオイル吐出はほとんどなく、圧縮機本体を均一に予備加熱することができる。また、この実施の形態では、縦型圧縮機を使用したが、横型圧縮機の場合オイルが吐出し易いため、縦型よりも低Ｈｚでの回転しかできなかった。したがって、圧縮機駆動部を回転させる方法は、縦型圧縮機の均一加熱に有利である。
【００５３】
さらに、この実施の形態においては、圧縮機構部の吸入口から圧縮空気を導入することにより、内部に残留するオイル量及び水量をより少なくすることができた。また、約５kg/cm2というある程度圧力を有する圧縮空気を使用することにより圧縮空気導入時に駆動部も付随的に駆動でき、オイルの回収率向上につながった。圧縮空気としては、圧縮機構部の複雑さにも依存するが３〜１０kg/cm2の圧力が好ましかった。
【００５４】
また、この実施の形態においては、圧縮機内部へ蓄水時に圧電素子２６により連続的に超音波振動させたが、さらに注水途中に振動させてもよい。
【００５５】
実施の形態４
図５は、本発明の実施の形態４にかかるオイル抜き取り装置を示している。
図５に示される実施の形態４においては、吸入管４は注水経路９と圧縮空気導入経路２２の両方に連結され、注水経路９は第２弁１５を介して注水ポンプ１２に連結される一方、圧縮空気導入経路２２は第４弁２４を介して圧縮空気源２３に連結されている。圧縮機１の入力ターミナル６は、３相のうち２相が電源制御部１９を介して電源１８に連結されており、貯水タンク１１にはオイルレベル検知器２７が設けられている。
【００５６】
上記構成のオイル抜き取り装置の動作につき以下説明する。
まず、圧縮機１の入力ターミナル６に２０Ｗの電力が入力されるように電源制御部１９により電源１８を制御しながら、約５分間入力を継続すると、モータコイルは、例えば約８０℃まで温度上昇する。このモータコイルへの通電中に、オイル回収経路８と、注水経路９及び圧縮空気導入経路２２の共通経路を密閉型圧縮機１に連結する。なお、モータコイルは大きな熱容量を有しているので、一旦温度上昇すると、短時間に温度低下することはない。
【００５７】
その後、第４弁２４は閉じたまま第１弁１４及び第２弁１５を開放して注水ポンプ１２を駆動させると、注水経路９を通って圧縮機内部に注水され、オーバーフローしたオイル及び水はオイル回収経路８を通ってオイル溜め１３に至る。
【００５８】
この状態で、注水ポンプ１２を停止して第２弁１５を閉じた後、所定時間放置すると、圧縮機内部のオイルは水との密度差により浮上し、充填されていたオイルのほとんどはオイル溜め１３に回収される。
【００５９】
次に、第４弁２４を開放すると、約５kg/cm2の圧縮空気が圧縮空気源２３から吸入管４へと供給され、圧縮機１の圧縮機構部を低圧側から高圧側に通過し、さらに吐出管５を介してオイル溜め１３に達した時点で第４弁２４と第１弁１４を同時に閉鎖する。その結果、充填されていたオイルと、オイル回収のために利用した水は貯水タンク１１に排出されるので、密閉型圧縮機１をオイル回収経路８と、注水経路９及び圧縮空気導入経路２２の共通経路から分離し、入力ターミナル６から入力端子を外すと圧縮機１からのオイル抜き取り作業は終了する。
【００６０】
一時回収オイルタンクを兼用する貯水タンク１１内部のオイルは、そのレベルをオイルレベル検知器２７でモニターしながら自動的に第３弁１６を開放して回収タンク（図示せず）に最終的に回収される。
【００６１】
この実施の形態においては、吸入管４を注水経路とすることで、圧縮機本体に新たな貫通孔を穿設することなくオイル抜き取り作業を実施することができる。また、注水経路と圧縮空気導入経路を連結した経路を利用することにより、圧縮機１に第３開口部を設けることなく２個の開口部で所期の目的を達成することができる。
【００６２】
なお、上記実施の形態１〜４において、オイルの圧縮機内部機構部からの遊離を促進する工程として、圧縮機モータ部に欠相通電する工程、圧縮機駆動部を回転する工程、圧縮機を直接的あるいは間接的に振動させる工程を利用したが、これらの工程を適宜組み合わせて利用することもできる。しかしながら、圧縮機内部に水を導入した後に入力ターミナルに電気を入力すると危険を伴うので、圧縮機モータ部に欠相通電する工程あるいは圧縮機駆動部を回転させる工程は圧縮機本体の予備加熱工程として注水の前工程で実施するのが好ましい。
【００６３】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
本発明のうちで請求項１に記載の発明によれば、圧縮機内部に注水して蓄水するようにしたので、圧縮機内部に充填されているオイルは水との密度差により浮上する。この浮上作用を促進するために、外的加熱、振動等を行うことでオイルが圧縮機内部機構部からさらに遊離し易くなり、オイル回収率が向上するとともに回収時間を短縮することができる。
【００６６】
また、請求項２に記載の発明によれば、３相のモータ部に対して欠相通電することにより、オイルの効率的な回収が難しいモータコイル部からのオイル遊離を効果的に促進することができる。
【００６７】
また、請求項３に記載の発明によれば、圧縮機駆動部を回転させることによりモータ部を含めた圧縮機全体の均一加熱が達成できるとともに、圧縮機駆動部の複雑なもの、例えばスクロール型圧縮機では駆動部を回転させることにより駆動部からのオイル遊離をさらに促進することができる。
【００６８】
また、請求項４に記載の発明によれば、圧縮機内部に蓄水時、例えば圧縮機を固定している保持台を連続的あるいは間欠的に加振することにより圧縮機内部機構部からのオイル遊離を促進でき、効率的にオイルを回収することができる。
【００７９】
さらに、請求項５に記載の発明によれば、注水ポンプにより圧縮機内部に注水して蓄水するようにしたので、圧縮機内部に充填されているオイルは水との密度差により浮上する。この浮上作用を促進するために、オイル遊離促進手段を使用して外的加熱、振動等を行うことでオイルが圧縮機内部機構部からさらに遊離し易くなり、オイル回収率が向上するとともに回収時間を短縮することができる。また、注水経路とオイル回収経路を一時回収オイルタンクを兼ねた貯水タンクに連結することで、注水時オーバーフローして懸濁状態にある回収オイルは貯水タンク内でほぼ完全に分離されるとともにオイル回収に利用する水も循環再利用することができる。
【００８４】
また、請求項６に記載の発明によれば、オイル遊離促進手段を、圧縮機モータ部に接続される電源と電源制御部で構成し、圧縮機モータ部に欠相通電するようにしたので、オイルの効率的回収が難しいモータコイル部からのオイル遊離を効果的に促進することができる。
【００８５】
さらに、請求項７に記載の発明によれば、圧縮機駆動部を回転させることによりモータ部を含めた圧縮機全体の均一な加温が達成できるとともに、例えばスクロール型圧縮機のように圧縮機駆動部の複雑なものであっても、駆動部からのオイル遊離を促進することができる。
【００８６】
また、請求項８に記載の発明によれば、オイル遊離促進手段を、圧縮機を直接振動させる加振手段で構成したので、圧縮機内部機構部からのオイル遊離を促進でき、効率的にオイルを回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ワークとして使用される縦型圧縮機の正面図である。
【図２】  本発明の実施の形態１にかかる図１の圧縮機からのオイル抜き取り装置の配管系統図である。
【図３】  本発明の実施の形態２にかかる図１の圧縮機からのオイル抜き取り装置の配管系統図である。
【図４】  本発明の実施の形態３にかかる図１の圧縮機からのオイル抜き取り装置の配管系統図である。
【図５】  本発明の実施の形態４にかかる図１の圧縮機からのオイル抜き取り装置の配管系統図である。
【符号の説明】
１    密閉型圧縮機
２    密閉容器
３    アキュムレータ
４    吸入管
５    吐出管
６    入力ターミナル
７    吸入口
８    オイル回収経路
９    注水経路
１１  貯水タンク
１２  注水ポンプ
１３  オイル溜め
１８  電源
１９  電源制御部
２０  加振固定台
２２  圧縮空気導入経路
２３  圧縮空気源
２５  水槽
２６  圧電素子
２７  オイルレベル検知器
【図１】
0003802693.tif 000002
【図２】
0003802693.tif 000003
【図３】
0003802693.tif 000004
【図４】
0003802693.tif 000005
【図５】
0003802693.tif 000006