(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基軸が支持部材に回転自在に支持され、基軸に設けられたフランジ状の取付支持部にその周方向に複数並んで支持されると共にエアー供給装置から供給されるエアーにより電子部品等を吸着する吸着ノズルを備えたツールヘッドにおいて、
上記エアー供給装置と連結されると共に内部にエアーが供給される連通路が形成された供給装置連結部材と、
上記基軸は略筒状に形成されると共にその上端部が上記供給装置連結部材に回転可能に支持され、基軸内部が上記連通路と連通するエアー供給路とを有し、
上記エアー供給路内に筒状部材を配設して基軸内部における筒状部材の内外に正圧エアー供給路と負圧エアー供給路を形成し、
上記連通路は正圧エアー連通路と負圧エアー連通路の２つの連通路として形成され、
上記正圧エアー供給路は正圧エアー連通路と連通されると共に、上記負圧エアー供給路は負圧エアー連通路と連通され、
上記正圧エアーと負圧エアーが電子部品等の離脱モードと吸着モードに応じて上記吸着ノズル内部に各別に供給されるようにした
ことを特徴とするツールヘッド。
【請求項２】
上記基軸のうち上記取付支持部の上方側に外嵌されて基軸と各別に回転可能にされた外嵌部材が設けられ、
該外嵌部材はフランジ状の当接部を有し、
上記吸着ノズルはその中間部が取付支持部に回転自在に支持されると共に取付支持部の上方側に突出する部分に外嵌状にリング状部材が設けられ、
該リング状部材が上記外嵌部材の当接部の外周面に当接し、
外嵌部材の回転によりリング状部材を介して吸着ノズルが回転されるようにした
ことを特徴とする請求項１に記載のツールヘッド。
【請求項３】
上記外嵌部材の当接部の外周面は上方へ行くに従って吸着ノズルとの距離が短くなるような傾斜面として形成され、
上記リング状部材は付勢手段により上方への移動力が付勢されている
ことを特徴とする請求項２に記載のツールヘッド。
【請求項４】
上記当接部の外周面は上方へ行くに従って基軸との距離が短くなるように形成されている
ことを特徴とする請求項３に記載のツールヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はツールヘッドに関する。詳しくは、ツールに供給されるエアーの供給等に支障を来すことなくツールヘッドが回転されるようにした技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品のプリント回路基板への装着は自動機、例えば、所謂表面実装型の電子部品を対象とした部品装着装置により行われ、このような部品装着装置にあっては、電子部品供給装置により所定の吸着位置に供給された電子部品を吸着して保持しプリント回路基板に装着するツールたる吸着ノズルを備えているものがある。そして、通常、吸着ノズルは上下方向に長い略円筒状に形成され、その中間部がツールヘッドの上下方向に長く形成された基軸にフランジ状に設けられた取付支持部に支持され、該取付支持部にその周方向に複数並んで支持されている。
【０００３】
吸着ノズルにはその内部に電子部品を吸着するための負圧エアーが供給されるエアー供給室が形成され、該エアー供給室は下方に位置しその先端で電子部品を吸着するノズル部と連通されている。各吸着ノズルのエアー供給室と負圧エアーを供給するエアー供給装置とは各吸着ノズル毎に各別のエアー供給パイプにより連結され、該エアー供給パイプは各吸着ノズルのうち上記取付支持部の上方側に位置する部分に一端部が取り付けられ、基軸に這うようにして設けられている。
【０００４】
吸着ノズルによる電子部品の吸着は、ツールヘッドが電子部品供給装置の上方に移動され、ツールヘッドが回転して一の吸着ノズルが電子部品供給装置の所定の吸着位置上方に位置され、前記一の吸着ノズルが下降され内部に負圧エアーが供給されることにより行われる。
【０００５】
また、電子部品のプリント回路基板への装着は、ツールヘッドがプリント回路基板の上方に移動され、ツールヘッドが回転して一の吸着ノズルがプリント回路基板の部品取付位置上方に位置され、前記一の吸着ノズルが下降され内部に供給されていた負圧エアーの供給が遮断され、それから吸着ノズルが上方に移動されることにより行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、吸着ノズルによる電子部品の吸着及び装着の際には、ツールヘッドが回転して一の吸着ノズルが電子部品供給装置の所定の吸着位置上方またはプリント回路基板の所定の装着位置上方に位置される。
【０００７】
ところが、ツールヘッドには各吸着ノズルのエアー供給室とエアー供給装置とを連結するエアー供給パイプが基軸に這うようにしてツールヘッドに設けられた吸着ノズルの数だけ設けられているため、ツールヘッドの回転によりエアー供給パイプ同士が接触したり、或は、エアー供給パイプが基軸に巻き付いたり、ねじれてしまったりする。
【０００８】
そこで、従来の部品装着装置のツールヘッドにおいては、両方向に半回転ずつ回転させて上記接触や巻き付き、ねじれを減じるようにしている。
【０００９】
しかし、両方向に半回転ずつ回転する場合であっても、依然としてこれらの問題を完全に解消することは出来ない。さらに、近年の部品装着装置の高速化の要求等から、一のツールヘッドに吸着ノズルが多数設けられる傾向にあり、吸着ノズルの数が多くなれば、その分、エアー供給パイプの数も増え、エアー供給パイプ同士が接触する可能性が高くなる。また、エアー供給パイプの基軸への巻き付きやねじれによりエアー供給パイプが吸着ノズルからはずれてしまうという虞もある。
【００１０】
また、上記のようにツールヘッドを半回転づつ回転させて電子部品の吸着等を行う場合には、吸着ノズルによる吸着等がツールヘッドの半回転分終了した後には逆に半回転戻してから吸着等を行う必要があり、半回転戻す分のタイムロスが生じ、近年要求されている部品装着装置の高速化への対応に支障を生じている。
【００１１】
そこで、本発明ツールヘッドは、上記した問題点を克服し、ツールに供給されるエアーの供給等に支障を来すことなくツールヘッドを回転させることを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明ツールヘッドは、上記した課題を解決するために、エアー供給装置と連結されると共に内部にエアーが供給される連通路が形成された供給装置連結部材と、基軸は略筒状に形成されると共にその上端部が供給装置連結部材に回転可能に支持され、基軸内部が連通路と連通するエアー供給路とを有し、エアー供給路内に筒状部材を配設して基軸内部における筒状部材の内外に正圧エアー供給路と負圧エアー供給路を形成し、連通路は正圧エアー連通路と負圧エアー連通路の２つの連通路として形成され、正圧エアー供給路は正圧エアー連通路と連通されると共に、負圧エアー供給路は負圧エアー連通路と連通され、正圧エアーと負圧エアーが電子部品等の離脱モードと吸着モードに応じて吸着ノズル内部に各別に供給されるようにしたものである。
【００１３】
従って、本発明ツールヘッドによれば、ツールヘッドの基軸に這うようにしてエアー供給パイプを設ける必要がない。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明ツールヘッドの実施の形態を添付図面に示す実施例に従って説明する。
【００１５】
尚、図示した実施例は、本発明を電子部品等を吸着して保持しプリント回路基板等に装着する吸着ノズルを備える所謂表面実装型の部品装着装置に適用したものである。
【００１６】
部品装着装置にはツールヘッド１が設けられ、該ツールヘッド１は上下方向に長い略円筒状の外嵌部材２と該外嵌部材２にその一部が内嵌されると共に上下方向に長く略円筒状を為す基軸３とを有し、基軸３が鉛直方向に対し約２５°傾けられた状態で外嵌部材２を介して支持部材４に支持されている。
【００１７】
外嵌部材２にはその下端寄りの位置に外方に張り出し上下方向に短い略円筒状の当接部２ａが形成され、該当接部２ａの側面は上方に行くに従って基軸３の軸中心へ向かう外周面２ｂとされている。そして、外嵌部材２は上記支持部材４に対し軸回りに回転し、また、基軸３は外嵌部材２に対し軸回りに回転し得るようにされている。
【００１８】
基軸３は上端側略４分の１と下端部を除く部分が上記外嵌部材２に内嵌され、下端部には外方へ張り出したフランジ３ａが設けられている。
【００１９】
基軸３の下側にはヘッド部５が設けられており、該ヘッド部５は取付支持部６とエアー回路接続部７とから成る。
【００２０】
取付支持部６は略円板状を為す被支持部８と該被支持部８の周縁から稍斜め上方へ向けて突出するようにされたノズル支持部９とが一体に形成されて成る。
【００２１】
被支持部８にはその上面と下面との間を貫通する中心孔８ａが形成されており、該中心孔８ａの内径は上記基軸３の中心孔３ｂのそれと同じにされている。
【００２２】
ノズル支持部９はその外側に位置する部分がその余の部分より下方に厚く形成された厚肉部１０とされ、該厚肉部１０のうち稍内方側へ寄った位置には上面に開口する浅い凹部１０ａ、１０ａ、・・・が周方向に等間隔に並んで形成されている。
【００２３】
厚肉部１０には凹部１０ａ、１０ａ、・・・の底面の中心部に開口し後述する吸着ノズルを支持するためのノズル支持孔１１、１１、・・・が形成され、該ノズル支持孔１１、１１、・・・は厚肉部１０を貫通し、上方に行くに従って基軸３の中心軸に近づく向きに形成されている。そして、ノズル支持孔１１、１１、・・・はその上下両端部がそれぞれ小径部１１ａ、１１ｂ、その余の部分が大径部１１ｃとされ、小径部１１ａと小径部１１ｂの内径は同じにされ、また、大径部１１ｃの内径は小径部１１ａ、１１ｂのそれより稍大きくされている。
【００２４】
上記ノズル支持部９の厚肉部１０にはその上下方向における略中央とその真下の位置にその外面と内面との間を貫通する上側挿通孔１２、１２、・・・と下側挿通孔１３、１３、・・・が周方向に等間隔に並んで形成されている（図１、図３及び図４参照）。
【００２５】
各上側挿通孔１２は厚肉部１０の外面側から順に、後述するバルブロッドが挿通される第１のロッド移動室１４、小径部１５、後述する連結部材が取り付けられる取付孔１６とされている。
【００２６】
第１のロッド移動室１４と取付孔１６の内径は略同じにされ、小径部１５の内径は第１のロッド移動室１４のそれよりも稍小さくされている。そして、第１のロッド移動室１４は上側挿通孔１２の略３分の２の長さを占め、第１のロッド移動室１４の小径部１５寄りに位置する部分には上記ノズル支持孔１１と連通する上側連通口１７が形成されている。また、第１のロッド移動室１４と小径部１５との連結面は後述する負圧エアーの供給口となる負圧エアー供給口１８とされる。
【００２７】
各下側挿通孔１３は厚肉部１０の外面側から順に、後述するピストンが挿通されるシリンダ１９、後述するバルブロッドが挿通される第２のロッド移動室２０、小径部２１、連結部材が取り付けられる取付孔２２とされている。
【００２８】
第２のロッド移動室２０の内径は上記第１のロッド移動室１４のそれと同じにされ、シリンダ１９のそれよりも小さい。また、第２のロッド移動室２０と取付孔２２の内径は略同じにされ、小径部２１の内径は第２のロッド移動室２０のそれよりも稍小さくされている。そして、シリンダ１９は下側挿通孔１３の略半分の長さを占め、その分、第２のロッド移動室２０は第１のロッド移動室１４より短くされている。
【００２９】
上記第２のロッド移動室２０の小径部２１寄りに位置する部分で上側連通口１７の真下の位置には第２のロッド移動室２０とノズル支持孔１１を連通する下側連通口２３が形成されている。下側連通口２３の直ぐ横にはノズル支持孔１１とシリンダ１９を連通する連通口２４が形成されている。また、第２のロッド移動室２０と小径部２１との連結面は後述する正圧エアーの供給口となる正圧エアー供給口２５とされる。
【００３０】
バルブロッド２６は上記第１のロッド移動室１４の形状及び大きさに対応して略円柱状を為し、その長さは第１のロッド移動室１４のそれよりも稍長くされ、一方の端部は小径部１５の内径に対応してその外径がその余の部分より稍小さくされた小径部２６ａとされている。そして、バルブロッド２６は小径部２６ａの反対側の端部（以下、「外端部」と言う。）を除いて第１のロッド移動室１４内に摺動自在に挿入されている。
【００３１】
バルブロッド２７はバルブロッド２６と同じ形状及び大きさに形成され、その中間部に軸方向に短いピストン２８が外嵌状に固定されている。バルブロッド２７の一方の端部は小径部２１の内径に対応してその外径がその余の部分より稍小さくされた小径部２７ａとされている。そして、バルブロッド２７は小径部２７ａ寄りの部分が第２のロッド移動室２０内に摺動自在に挿入され、中間部がピストン２８と共にシリンダ１９内に位置されている。
【００３２】
バルブロッド２６とバルブロッド２７は挿通孔１２、１３外に位置した端部間、即ち、外端部間がリンク部材２９により連結されている。そして、リンク部材２９の中央部が厚肉部１０の外面から外方に向かって突出した図示しない支持部に回動自在に支持されることにより、ここに回動支点２９ａが形成され、両端部はバルブロッド２６とバルブロッド２７に対し回動自在にされている。
【００３３】
シリンダ１９の内端面、即ち、奥面１９ａとピストン２８との間にはコイルばね３０が自然長か或は自然長から僅かに縮んだ状態でバルブロッド２７に外嵌状に設けられている。
【００３４】
上記エアー回路接続部７は上記取付支持部６の被支持部８の下側に位置し、その外径が上記基軸３のそれよりも一回り大きく、上下方向に短い略円柱状に形成されている。そして、エアー回路接続部７は略上側半分の部分を占める上側部３１とその下側の部分を占める下側部３２とが一体的に結合されて成る。
【００３５】
上側部３１にはその中心部に上下方向に延びる貫通孔３３が形成され、該貫通孔３３は上側が大径部３３ａ、下側が小径部３３ｂとされている。そして、大径部３３ａの内径は上記被支持部８の中心孔８ａのそれよりも稍大きくされ、小径部３３ｂの内径は中心孔８ａのそれよりも稍小さくされている。また、上側部３１にはその側面に開口する取付凹部３４、３４、・・・が周方向に等間隔に並んで形成され、該取付凹部３４、３４、・・・にはその奥面の中央部に開口し上記貫通孔３３の大径部３３ａと連通する連通孔３５、３５、・・・が形成されている。
【００３６】
下側部３２にはその上面の中心部に開口し上記貫通孔３３の大径部３３ａの内径と略同じ大きさの内径を有する凹部３６が形成されている。そして、下側部３２には上側部３１に形成された取付凹部３４、３４、・・・の真下の位置の側面に開口する取付凹部３７、３７、・・・が形成され、該取付凹部３７、３７、・・・には上記取付凹部３４、３４、・・・と同様に凹部３６と連通する連通孔３８、３８、・・・が形成されている。
【００３７】
上側部３１に形成された取付凹部３４、３４、・・・と上記取付支持部６の厚肉部１０に形成された取付孔１６、１６、・・・にはそれぞれ連結部材３９ａ、３９ａ、・・・と３９ｂ、３９ｂ、・・・が取り付けられている。そして、それぞれ対応する位置にある連結部材３９ａ、３９ｂ間が連結チューブ４０、４０、・・・により連結されている。
【００３８】
また、下側部３２に形成された取付凹部３７、３７、・・・と厚肉部１０に形成された取付孔２２、２２、・・・にはそれぞれ連結部材３９ｃ、３９ｃ、・・・と３９ｄ、３９ｄ、・・・が取り付けられ、それぞれ対応する位置にある連結部材３９ｃ、３９ｄ間が連結チューブ４１、４１、・・・により連結されている。
【００３９】
上記基軸３の中心孔３ｂから取付支持部６の被支持部８の中心孔８ａを経てエアー回路接続部７の貫通孔３３までに該貫通孔３３の小径部３３ｂの内径と略同じ外径を有する円筒状の筒状部材４２が挿通され、該筒状部材４２の下端部は貫通孔３３の小径部３３ｂに挿入され、オイルシールによりシールされている。そして、筒状部材４２に対しエアー回路接続部７は上記取付支持部６及び基軸３と共に回転可能とされている。
【００４０】
しかして、上記筒状部材４２により基軸３の中心孔３ｂと取付支持部６の被支持部８の中心孔８ａとエアー回路接続部７の貫通孔３３の大径部３３ａとには、筒状部材４２の内側と外側とにそれぞれ別々の空室が形成され、外側に形成された空室は上側から順に後述する負圧エアーが供給される負圧エアー供給路３ｃ、６ａ、７ａとされる。また、隔壁部材４２の内側は後述する正圧エアーが供給される正圧エアー供給路４２ａとされる。
【００４１】
筒状部材４２の上端部は上記基軸３の上端から突出され、基軸３の上端部と筒状部材４２の上端部にはこれらの部分を上側から覆うと共に後述するエアー供給装置と連結された供給装置連結部材４３が設けられている。
【００４２】
供給装置連結部材４３はその上側に位置する蓋体４４と下側に位置する円筒体４５とが一体的に結合されて成る。
【００４３】
蓋体４４は略円板状をした支持部４４ａとその上面の中央部から上方へ突出した突出部４４ｂとから成り、支持部４４ａの外径は上記基軸３のそれの略３倍の大きさにされ、突出部４４ｂの外径は基軸３のそれと略同じ大きさにされている。そして、蓋体４４には支持部４４ａの下面に開口し突出部４４ｂの上端近くまで延びる支持穴４４ｃが形成され、該支持穴４４ｃの内径は上記筒状部材４２の外径と同じか僅かに小さくされている。また、突出部４４ｂにはその一の側面に開口し支持穴４４ｃの上端部側面に連通する正圧エアー連通孔４４ｄが形成されている。
【００４４】
円筒体４５は蓋体４４より上下方向に稍長く形成され、上側略３分の１はその余の部分より稍大径に形成された大径部４５ａとされ、該大径部４５ａの外径は蓋体４４の支持部４４ａのそれと同じにされている。円筒体４５の中心孔４５ｂは上下方向における略中央部がその余の部分より小径に形成された小径部４５ｃとされ、該小径部４５ｃの内径は上記基軸３の外径と略同じにされている。そして、中心孔４５ｂのうち小径部４５ｃの下側の部分には軸受４５ｄが内嵌されている。また、大径部４５ａには上記正圧エアー連通孔４４ｄの下側に位置すると共に一の側面に開口し中心孔４５ｂの上端部側面に連通する負圧エアー連通孔４５ｅが形成されている。
【００４５】
しかして、基軸３及び筒状部材４２の上端部は供給装置連結部材４３により上側から覆うようにされ、筒状部材４２の上端部は蓋体４４の支持穴４４ｃの下側略半分の部分に圧入され、基軸３の上端部は円筒体４５の小径部４５ｃの中心孔４５ｂのうち小径部４５ｃに軸受４５ｄを介して基軸３の上面と蓋体４４の下面との間に適当な間隔が設けられた状態で回転可能に支持される。
【００４６】
供給装置連結部材４３には正圧エアー連通孔４４ｄと負圧エアー連通孔４５ｅの外端部にそれぞれ連結部材４６ａ、４６ｂが取り付けられている。連結部材４６ａは図示しない正圧エアー供給装置と連結チューブ４７により連結され、連結部材４６ｂは図示しない負圧エアー供給装置と連結チューブ４８により連結されている。そして、正圧エアー連通孔４４ｄと支持穴４４ｃのうち筒状部材４２が圧入されていない部分とが正圧エアー連通路４９とされ、負圧エアー連通孔４５ｅと中心孔４５ｂのうち小径部４５ｃより上側の部分とが負圧エアー連通路５０とされる。
【００４７】
供給装置連結部材４３の直ぐ下側にはプーリー５１が基軸３に外嵌状に固定されており、該プーリー５１と図示しないプーリー駆動部の駆動ローラとの間に駆動ベルトが巻回されている。尚、基軸３の回転はプーリー駆動部の駆動により駆動ベルトが移動されてプーリー５１が回転することにより為される。
【００４８】
ツールたる吸着ノズル５２、５２、・・・は上下方向に長い略円柱状に形成され、取付支持部６の厚肉部１０に形成されたノズル支持孔１１、１１、・・・に支持されている。
【００４９】
吸着ノズル５２、５２、・・・はそれぞれスライド部５３と、外嵌筒部５４と、受光部５５と、ノズル部５６とを有している（図２参照）。
【００５０】
スライド部５３は被押圧部５７とその下側に位置するエアー供給部５８とから成る。
【００５１】
被押圧部５７は上下方向に長い略円柱状を為し、その上端部には外方に張り出したフランジ５７ａが形成され、下端寄りの位置には互いに１８０°隔てた面から突出したスライドピン５７ｂが設けられている。
【００５２】
エアー供給部５８は上記被押圧部５７の略２倍の長さを有する略円柱状を為し、その外径は被押圧部５７のそれよりも稍大きく上記厚肉部１０に形成されたノズル支持孔１１の小径部１１ａの内径と略同じにされている。そして、エアー供給部５８の上端部には上面に開口する嵌挿穴５８ａが形成されている。
【００５３】
エアー供給部５８の上下方向における略中央部には軸中心を通り互いに１８０°隔てた面の間を貫通した空孔５８ｂが形成され、下半部には空孔５８ｂの中央部から下方に伸び下面に開口する空孔５８ｃが形成されている。そして、空孔５８ｂと空孔５８ｃは正圧エアー又は負圧エアーが供給されるエアー供給室５９とされる。また、エアー供給部５８の上端寄りで互いに１８０°隔てた位置に、嵌挿穴５８ａに連通し上下方向に稍長くされた挿通孔５８ｄ、５８ｄが形成されている。
【００５４】
そして、上記被押圧部５７の下端部がエアー供給部５８の嵌挿穴５８ａに摺動自在に嵌挿され、スライドピン５７ｂの両端部は挿通孔５８ｄ、５８ｄから突出された状態とされている。また、被押圧部５７の下面と嵌挿穴５８ａの底面との間に第１のばね６０が縮設され、第１のばね６０の反発力により被押圧部５７に上方向への移動力が付勢され、スライドピン５７ｂはその両端部稍内側の部分が挿通孔５８ｄ、５８ｄ上端に当接されている。
【００５５】
外嵌筒部５４は上下方向に長い略円筒状を為し、上記エアー供給部５８の長さの略半分の長さを有している。外嵌筒部５４の中央部稍下側の位置には下方に行くに従って次第にその径が大きくなる突出部５４ａが形成されている。そして、上下両端部を除く部分で互いに１８０°隔てた位置には中心孔４５ｂに連通し上下方向に長いスライド孔５４ｃ、５４ｃが形成されている。また、上端部には硬質ゴムにより形成されたリング状部材５４ｄが外嵌状に取着されている。尚、外嵌筒部５４の中心孔４５ｂの内径はエアー供給部５８の外径と略同じにされている。
【００５６】
しかして、エアー供給部５８の略上半部に外嵌筒部５４が外嵌され、外嵌筒部５４とエアー供給部５８とは相互に摺動可能とされている。また、エアー供給部５８の略上半部に外嵌筒部５４が外嵌されることにより、被押圧部５７の下側略４分の１の部分が外嵌筒部５４内に位置され、スライドピン５７ｂの両端部はスライド孔５４ｃ、５４ｃ内に位置される。
【００５７】
被押圧部５７のフランジ５７ａの下面と外嵌筒部５４の上面との間には第２のばね６１が被押圧部５７に外嵌状に縮設されている。そして、第２のばね６１の反発力により被押圧部５７に上方向への移動力が付勢され、スライドピン５７ｂはその両端部がスライド孔５４ｃ、５４ｃ上端に当接される。尚、第２のばね６１は上記第１のばね６０よりもばね力が弱くされている。
【００５８】
スライド部５３のエアー供給部５８の略下半部のうち下端部を除く部分が厚肉部１０のノズル支持孔１１に摺動自在に挿入されている。これにより、エアー供給部５８の下端部はノズル支持孔１１から下方に突出し、スライド部５３のうち被押圧部５７とエアー供給部５８の略上半部及び外嵌筒部５４がノズル支持孔１１の上側に位置される。
【００５９】
厚肉部１０の凹部１０ａの底面の外縁には上下方向に短い略円筒状のシール部材６２が外嵌筒部５４の下端部に外嵌された状態で載置され、シール部材６２の上面と外嵌筒部５４の突出部５４ａの下面との間に第３のばねである付勢手段６３（以下、「第３のばね６３」と言う。）が外嵌筒部５４に外嵌状に縮設されている。尚、第３のばね６３のばね力は上記第１のばね力よりも強くされている。
【００６０】
ノズル部５６はエアー供給部５８よりも細径の略円筒状を為し、上端寄りの位置に外方に張り出したフランジ５６ａが形成されている。そして、透明材料により形成された受光部５５がその上面がフランジ５６ａの下面に当接した状態でノズル部５６の中間部に外嵌状に取り付けられている。
【００６１】
そして、エアー供給部５８の下端部にノズル部５６の上端部が取り付けられ、ノズル部５６内部と上記エアー供給室５９とが連通される。
【００６２】
尚、上記の通り、ノズル支持孔１１、１１、・・・は上方に行くに従って基軸３の中心軸に近づく向きに形成されているため、これに挿通された吸着ノズル５２、５２、・・・も上方に行くに従って基軸３の中心軸に近づくようにされる。このため、外嵌筒部５４の上端部に取着されたリング状部材５４ｄの外面は上記外嵌部材２の当接部２ａの外周面２ｂと当接され（図１、図５及び図６参照）、外嵌部材２の回転によって吸着ノズル５２が軸回りに回転される。
【００６３】
尚、吸着ノズル５２の回転は後述するように吸着ノズル５２に吸着された電子部品がプリント回路基板に装着される際に正しい向きで装着されるようにするために為される。
【００６４】
また、外嵌部材２の回転は該外嵌部材２の上端部と図示しない外嵌部材駆動部の駆動ローラとの間に巻回された駆動ベルトが外嵌部材駆動部の駆動により移動されることにより為される。
【００６５】
上記の通り、当接部２ａの外周面２ｂと吸着ノズル５２は共に上方へ行くに従って基軸３の中心軸に近づくようにされているが、図７に示すように基軸３の中心軸Ｘに対する傾斜角は吸着ノズル５２の方が稍大きくされている。即ち、当接部２ａの外周面２ｂの傾斜角Ｙは上方へ行くに従って吸着ノズル５２の中心軸Ｚに近づき、これにより当接部２ａの外周面２ｂは上方へ行くに従って吸着ノズル５２との距離が短くなるようにされている。そして、シール部材６２の上面と外嵌筒部５４の突出部５４ａの下面との間に第３のばね６３が外嵌筒部５４に外嵌状に縮設されていることから、外嵌筒部５４に上方向への移動力が付勢されている。従って、例えば、外嵌部材２の回転によって吸着ノズル５２が回転されることにより上記の通りゴム材料により形成されたリング状部材５４ｄの当接部２ａとの当接部分が磨耗しても、リング状部材５４ｄは当接部２ａの外周面２ｂに対し僅かに上方へ移動されたところで外周面２ｂに当接し、リング状部材５４ｄの磨耗によって吸着ノズル５２の回転が為されなくなってしまうようなことはない。
【００６６】
また、上記の通り、上記基軸３が鉛直方向に対し約２５°傾斜され、取付支持部６はノズル支持部９が被支持部８から稍斜め上方へ向けて突出するようにされているため、図１に示すように取付支持部６のノズル支持孔１１、１１、・・・に支持された吸着ノズル５２、５２、・・・が基軸３の回転に伴う取付支持部６の回転中に最下端に位置した場合（図１の右側に位置する吸着ノズル５２）にのみ、吸着ノズル５２は鉛直方向を向く。そして、この位置は吸着ノズル５２、５２、・・・が後述する電子部品を吸着したり、或は、プリント回路基板へ電子部品を装着する際の吸着位置及び装着位置とされる。
【００６７】
尚、この吸着位置（装着位置）における厚肉部１０の外側には、厚肉部１０の外側面に近接して上記支持部材４に設けられた上下方向に延びる支持柱６４が位置し、該支持柱６４には後述する吸着ノズル５２、５２、・・・による電子部品の離脱又は吸着の際にバルブロッド２６又はバルブロッド２７の外端面を押圧する上側プッシャー６５及び下側プッシャー６６が上下に離間して設けられている。そして、支持柱６４の上方側には該支持柱６４に上下方向に摺動自在に支持された押圧部材６７が設けられ、該押圧部材６７は吸着位置に位置した吸着ノズル５２の上端を下方へ押圧する押圧部６７ａを有している。尚、押圧部材６７の下方への移動は該押圧部材６７と連結された図示しない移動機構により為される。
【００６８】
尚、支持柱６４は支持部材４と共にツールヘッド１の後述する移動に伴って該ツールヘッド１との位置関係を保ったまま移動される。
【００６９】
しかして、電子部品の吸着や吸着された電子部品のプリント回路基板への装着の際には、吸着ノズル５２のノズル部５６がスライド部５３と共に上下動される。
【００７０】
ノズル部５６の下方への移動は被押圧部５７の上端部がその上方に位置する押圧部材６７により下方へ押圧されることにより為される。即ち、被押圧部５７が押圧部材６７により押圧されると、上記第１のばね乃至第３のばね６０、６１、６３のうちばね力の最も弱い第２のばね６１が圧縮されることによって被押圧部５７が外嵌部材２に対して下方に移動され、該被押圧部５７がエアー供給部５８の嵌挿穴５８ａ内に位置する第１のばね６０を下方へ押圧し、エアー供給部５８と受光部５５とノズル部５６とが被押圧部５７と共に一体的に下方へ移動する。このとき、スライドピン５７ｂの両端部は、外嵌筒部５４のスライド孔５４ｃ、５４ｃに案内されて下方へ移動する。
【００７１】
尚、第１のばね６０はノズル部５６が下方に移動され、その先端面が電子部品に当接したときに電子部品に加わる衝撃を弱めるためのクッションとしての役割を果たしている。即ち、ノズル部５６の先端面が電子部品に当接したときにさらに被押圧部５７が押圧部材６７により押圧されても、第１のばね６０が圧縮され被押圧部５７のみが第１のばね６０の圧縮分下方に移動され、ノズル部５６とエアー供給部５８はそれ以上下方へは移動しない。
【００７２】
ノズル部５６の上方への移動は、被押圧部５７への上記押圧部材６７による押圧が解除され、圧縮されていた第２のばね６１が元の状態に復することにより為される。即ち、押圧部材６７による押圧が解除されると、圧縮されていた第２のばね６１の反発力により被押圧部５７が上方に移動され、スライドピン５７ｂの両端部がエアー供給部５８の挿通孔５８ｄ、５８ｄの上端に当接されているためエアー供給部５８と受光部５５とノズル部５６が被押圧部５７と共に一体的に上方へ移動される。
【００７３】
尚、吸着ノズル５２が下方に移動されて電子部品を吸着する際には、負圧エアー供給装置から吸着ノズル５２内に負圧エアーが供給される。即ち、負圧エアーは、負圧エアー供給装置−連結チューブ４８−供給装置連結部材４３の負圧エアー連通路５０−基軸３の負圧エアー供給路３ｃ−取付支持部６の負圧エアー供給路６ａ−エアー回路接続部７の上側部３１の負圧エアー供給路７ａ−上側部３１の連通孔３５−連結チューブ４０−取付支持部６の上側挿通孔１２の小径部１５という経路を通って負圧エアー供給口１８から上側連通口１７及びノズル支持孔１１の大径部１１ｃを介して吸着ノズル５２のエアー供給室５９内に供給される。そして、上記経路のうち負圧エアー供給装置から負圧エアー供給口１８までが負圧エアー供給ライン６８とされる。
【００７４】
また、電子部品の吸着がされていないときには、図示しない正圧エアー供給装置から吸着ノズル５２内に正圧エアーが供給される。即ち、正圧エアーは、正圧エアー供給装置−連結チューブ４７−供給装置連結部材４３の正圧エアー連通路４９−正圧エアー供給路４２ａ−エアー回路接続部７の下側部３２の凹部３６−下側部３２の連通孔３８−連結チューブ４１−取付支持部６の下側挿通孔１３の小径部２１という経路を通って正圧エアー供給口２５から下側連通口２３及びノズル支持孔１１の大径部１１ｃを介して吸着ノズル５２のエアー供給室５９内に供給される。そして、上記経路のうち正圧エアー供給装置から正圧エアー供給口２５までが正圧エアー供給ライン６９とされる。また、供給される正圧エアーはノズル支持孔１１とシリンダ１９とを連通させている連通口２４からシリンダ１９内にも供給されることになる。
【００７５】
以下に、図３及び図４に従って吸着ノズル５２内部の空気圧の切換機構の動作について説明をする。
【００７６】
尚、図３及び図４においては、それぞれ上側に上側挿通孔１２の位置で切断した厚肉部１０の横断面を示し、下側に下側挿通孔１３の位置で切断した厚肉部１０の横断面を示し、リンク部材２９については説明の便宜のためバルブロッド２６、２７間を連結した状態で示してある。また、正圧エアーについては△を付し、負圧エアーについては梨字を付して示してある。
【００７７】
図示しない電子部品供給装置の部品供給位置上方にツールヘッド１が移動される。
【００７８】
上記基軸３が上記支持部材４に対して回転され、該基軸３の回転に伴いヘッド部５が基軸３と一体的に回転して一の吸着ノズル５２が上記吸着位置に位置される。尚、吸着ノズル５２が電子部品を吸着していない状態においては、上記の通り、吸着ノズル５２内には正圧エアーが供給されており、図３に示すようにバルブロッド２６はその小径部２６ａが負圧エアーに吸引されて負圧エアー供給口１８が閉塞され、バルブロッド２７はその小径部２７ａが正圧エアーに押圧されて正圧エアー供給口２５と下側連通口２３が開放された状態とされている。
【００７９】
しかして、電子部品の吸着が行われていない吸着ノズル５２、５２、・・・においては、バルブロッド２７、２７、・・・により下側連通口２３、２３、・・・が開放されているため、各エアー供給室５９、５９、・・・は正圧エアー供給ライン６９を介して連通されることになる。そして、上側連通口１７、１７、・・・はバルブロッド２６、２６、・・・により閉塞されているため、各エアー供給室５９、５９、・・・は負圧エアー供給ライン６８を介しては連通されていない。
【００８０】
尚、正圧エアーと負圧エアーはツールヘッド１の動作中には吸着ノズル５２、５２、・・・の電子部品の吸着、離脱に拘わらず正圧エアー供給ライン６９又は負圧エアー供給ライン６８に供給されている。
【００８１】
厚肉部１０の外側面に近接して位置する支持柱６４に設けられた下側プッシャー６６によってバルブロッド２７の外端面が押圧される。そして、正圧エアー供給口２５と下側連通口２３を開放する位置に位置していたバルブロッド２７は正圧エアー供給口２５側に移動され正圧エアー供給口２５と下側連通口２３が閉塞される。また、バルブロッド２７に設けられたピストン２８はバルブロッド２７の移動に伴って移動されコイルばね３０が圧縮される（図４参照）。
【００８２】
一方、負圧エアー供給口１８と上側連通口１７を閉塞していたバルブロッド２６は、リンク部材２９によりバルブロッド２７の移動方向と反対の方向に移動され負圧エアー供給口１８と上側連通口１７が開放される（図４参照）。
【００８３】
これにより、吸着ノズル５２内に供給されていた正圧エアーの供給が遮断されると共に負圧エアー供給口１８から上側連通口１７を介して負圧エアーが吸着ノズル５２内に供給される。
【００８４】
負圧エアーが吸着ノズル５２内に供給されると、上記したように押圧部材６７により吸着ノズル５２の被押圧部５７の上端部が押圧され、ノズル部５６が下方に移動される。そして、ノズル部５６の先端面で電子部品供給装置の部品供給位置にある電子部品が吸着される。
【００８５】
電子部品が吸着されると下側プッシャー６６によるバルブロッド２７の押圧が解除される。
【００８６】
そして、ノズル部５６に電子部品が吸着された状態においては、ノズル部５６内とエアー供給室５９内と該エアー供給室５９と連通しているシリンダ１９内は密閉状態となり所定の負圧に至る。従って、下側プッシャー６６によるバルブロッド２７の押圧が解除されても、ピストン２８への負圧エアーの吸引力がコイルばね３０のばね力に打ち勝って、ピストン２８がコイルばね３０を圧縮した状態即ち、図４の状態が維持され、正圧エアー供給口２５が閉塞され、負圧エアー供給口１８が開放された状態が維持される。
【００８７】
尚、吸着ノズル５２内に負圧エアーが供給された場合には、バルブロッド２６の小径部２６ａも負圧エアーによって吸引されるが、バルブロッド２６よりもシリンダ１９の方が負圧エアーに接する面積が大きく、バルブロッド２６の負圧エアー供給口１８側への移動力よりもシリンダ１９の正圧エアー供給口２５側へのそれの方が大きく、また、コイルばね３０の反発力とバルブロッド２６の負圧エアー供給口１８側への移動力の合計よりもシリンダ１９の正圧エアー供給口２５側への移動力が大きくなるようにシリンダ１９の大きさが決定されており、バルブロッド２６が負圧エアー供給口１８側へ移動してしまうようなことはない。
【００８８】
上記一の吸着ノズル５２が電子部品を吸着すると、押圧部材６７による吸着ノズル５２の上端部への押圧が解除され、圧縮されていた第２のばね６１の反発力により被押圧部５７と共にノズル部５６が上方に移動される。そして、基軸３が所定の角度だけ回転し電子部品の吸着が為されていない他の吸着ノズル５２が吸着位置に位置される。そして、上記と同様にして吸着ノズル５２が下方に移動され電子部品を吸着し、それから上方に移動される。
【００８９】
全ての吸着ノズル５２、５２、・・・に電子部品が吸着されると、ツールヘッド１はプリント回路基板の部品取付位置上方へ移動される。尚、上記したように上記支持柱６４はツールヘッド１の移動に伴って該ツールヘッド１との位置関係を保ったまま移動される。
【００９０】
そして、ツールヘッド１がプリント回路基板の部品取付位置上方へ移動されると装着位置に位置された一の吸着ノズル５２に吸着されている電子部品がプリント回路基板に正しい向きで装着されるように外嵌部材２が回転して吸着ノズル５２を回転させる。尚、基軸３が回転されて吸着ノズル５２が装着位置に位置されたときの吸着された電子部品の向きの認識は、部品装着装置に設けられた図示しない監視カメラにより電子部品を撮像して電子部品の状態を認識する部品認識装置により為されている。
【００９１】
本発明ツールヘッドにあっては、上記支持部材４に回転自在に支持された外嵌部材２の回転により吸着ノズル５２が回転されるため、例えば、吸着ノズル５２を回転させるための回転装置を吸着ノズル５２に設け該回転装置とこれを駆動させるための駆動部を電気的に接続し、吸着ノズル５２を回転させる等の機構を設ける必要がない。
【００９２】
そして、上記のように吸着ノズル５２に設けられた回転装置と駆動部を電気的に接続する場合には、回転装置と駆動部との間に配される電線により基軸３の回転の自由度が低くなってしまうが、本発明ツールヘッドにあってはこのような問題を生じることもなく、比較的簡単な機構により吸着ノズル５２、５２、・・・を回転させることが出来る。
【００９３】
ところで、吸着ノズル５２、５２、・・・の回転は外嵌部材２とリング状部材５４ｄとを当接させ外嵌部材２を回転させることにより行うようにしているため、上記に示したように回転を繰り返すにつれリング状部材５４ｄが磨耗して外嵌部材２の外周面２ｂに対するリング状部材５４ｄの当接位置が変化してしまう（図５及び図６参照）。そして、リング状部材５４ｄの磨耗前後において、外嵌部材２の回転軸から当接位置までの距離と吸着ノズル５２の回転軸から当接位置までの距離との比が異なる場合には外嵌部材２と吸着ノズル５２の回転比が変化し、即ち、外嵌部材２の回転角度に対する吸着ノズル５２の回転角度が変化し吸着された電子部品の正しい向きへの修正に支障を来してしまう。
【００９４】
ところが、本発明ツールヘッドにあっては、図７に示すように外嵌部材２の外周面２ｂとリング状部材５４ｄとの当接位置が変化して当接位置が何れの位置にあっても外嵌部材２の回転軸から当接位置までの距離と吸着ノズル５２の回転軸から当接位置までの距離との比が異ならないように外周面２ｂの基軸３に対する傾斜角と吸着ノズル５２、５２、・・・の基軸３に対する傾斜角が決定されている。図７に当接位置が変化して当接位置が何れの位置に移動しても外嵌部材２の回転軸から当接位置までの距離と吸着ノズル５２の回転軸から当接位置までの距離との比が変わらないことを例示しており、図７（ａ）のＡ１対Ｂ１と図７（ｂ）のＡ２対Ｂ２は同じである。
【００９５】
従って、リング状部材５４ｄが磨耗して外嵌部材２の外周面２ｂとリング状部材５４ｄとの当接位置が変化しても、外嵌部材２の回転軸から当接位置までの距離と吸着ノズル５２の回転軸から当接位置までの距離との比が変化せず、即ち、外嵌部材２と吸着ノズル５２の回転比が変化するようなことはなく、吸着された電子部品の正しい向きへの修正に支障を来たすことがない。
【００９６】
上記装着位置に位置された一の吸着ノズル５２の被押圧部５７の上端部が押圧部材６７により押圧され、ノズル部５６が下方に移動される。吸着ノズル５２が下方へ移動されプリント回路基板に電子部品が当接されると、支持柱６４に設けられた上側プッシャー６５によってバルブロッド２６の外端面が押圧される。
【００９７】
そして、負圧エアー供給口１８と上側連通口１７を開放する位置に位置していたバルブロッド２６は負圧エアー供給口１８側に移動され負圧エアー供給口１８と上側連通口１７を閉塞する（図３参照）。
【００９８】
一方、正圧エアー供給口２５と下側連通口２３を閉塞していたバルブロッド２７は、リンク部材２９によりバルブロッド２６の移動方向と反対の方向に移動され正圧エアー供給口２５と下側連通口２３が開放される。また、バルブロッド２７に設けられたピストン２８はバルブロッド２７の移動に伴って移動され圧縮されていたコイルばね３０が元の状態に復する（図３参照）。
【００９９】
これにより、吸着ノズル５２内に供給されていた負圧エアーの供給が遮断されると共に正圧エアー供給口２５から下側連通口２３を介して正圧エアーが吸着ノズル５２内に供給される。
【０１００】
正圧エアーが吸着ノズル５２内に供給されるとノズル部５６から電子部品が離脱されプリント回路基板に電子部品が装着される。
【０１０１】
プリント回路基板へ電子部品が装着されると押圧部材６７による被押圧部５７への押圧が解除され、圧縮されていた第２のばね６１の反発力により被押圧部５７と共にノズル部５６は上方へ移動され元の位置へ戻る。
【０１０２】
また、上側プッシャー６５のバルブロッド２６への押圧も解除されるが、上側プッシャー６５の押圧が解除されても、バルブロッド２６は負圧エアー供給口１８を閉塞する位置に移動された状態で負圧エアーに吸引されており、また、ピストン２８とバルブロッド２７は正圧エアー供給口２５を開放する位置に移動された状態で正圧エアーに押圧され、さらに、ピストン２８はコイルばね３０によって正圧エアー供給口２５を開放する方向に付勢されているため、負圧エアー供給口１８が閉塞され正圧エアー供給口２５が開放された状態が維持される。
【０１０３】
上記一の吸着ノズル５２がプリント回路基板に電子部品を装着すると、基軸３が所定の角度だけ回転し電子部品を吸着している他の吸着ノズル５２が装着位置に位置され、上記と同様にして装着位置に位置された吸着ノズル５２に吸着されている電子部品がプリント回路基板に正しい向きで装着されるように外嵌部材２が回転して吸着ノズル５２を回転させる。そして、吸着ノズル５２が下方に移動されプリント回路基板に電子部品を装着し、それから上方に移動される。
【０１０４】
全ての吸着ノズル５２、５２、・・・の電子部品がプリント回路基板に装着されると、再度、電子部品供給装置の部品供給位置上方にツールヘッド１が移動される。そして、吸着ノズル５２、５２、・・・による電子部品の吸着が為され、その後、吸着された電子部品のプリント回路基板への装着が為され、これらの吸着及び装着が繰り返し行われる。
【０１０５】
しかして、本発明ツールヘッドにあっては、基軸３内部にエアーの供給路を形成して各吸着ノズル５２、５２、・・・内部にエアーを供給するようにしているため、従来のツールヘッドのように各吸着ノズルのエアー供給室とエアー供給装置とを連結する基軸に這うようにして設けられるエアー供給パイプの必要がなく、従来のツールヘッドが有していたツールヘッドの回転によるエアー供給パイプ同士の接触、エアー供給パイプの基軸への巻き付き、或は、エアー供給パイプのねじれ等の問題は発生せず、吸着ノズル５２、５２、・・・に供給されるエアーの供給等に支障を来すことなくツールヘッド１を回転させることが出来る。
【０１０６】
そして、基軸３がヘッド部５と共に両方向に何度でも回転可能であることからツールヘッド１の回転の自由度が高まり、これにより従来のツールヘッドのようにツールヘッドを半回転づつ回転させて電子部品の吸着等を行う必要がなく、近年要求されている部品装着装置の高速化を図ることが出来る。
【０１０７】
また、基軸３内部に筒状部材４２を配設して基軸３内部における筒状部材４２の内外に正圧エアー供給路４２ａと負圧エアー供給路３ｃを形成し、正圧エアーと負圧エアーとが電子部品等を離脱させるモードと吸着するモードに応じて各別に吸着ノズル５２、５２、・・・内部に供給されるようにしていることから、電子部品の離脱は正圧エアーにより、また、電子部品の吸着は負圧エアーにより行うことが出来る。
【０１０８】
尚、かかる場合のように電子部品の離脱を正圧エアーによって行うようにすれば、電子部品の離脱を吸着ノズル内部への負圧エアーの遮断により行う方法に比し、電子部品を離脱させる速度が速くなることによる部品装着装置の高速化や電子部品の離脱の確実性の向上に寄与する。
【０１０９】
【発明の効果】
以上に記載したことから明らかなように、本発明ツールヘッドは、基軸が支持部材に回転自在に支持され、基軸に設けられたフランジ状の取付支持部にその周方向に複数並んで支持されると共にエアー供給装置から供給されるエアーにより電子部品等を吸着する吸着ノズルを備えたツールヘッドにおいて、エアー供給装置と連結されると共に内部にエアーが供給される連通路が形成された供給装置連結部材と、基軸は略筒状に形成されると共にその上端部が供給装置連結部材に回転可能に支持され、基軸内部が連通路と連通するエアー供給路とを有し、エアー供給路内に筒状部材を配設して基軸内部における筒状部材の内外に正圧エアー供給路と負圧エアー供給路を形成し、連通路は正圧エアー連通路と負圧エアー連通路の２つの連通路として形成され、正圧エアー供給路は正圧エアー連通路と連通されると共に、負圧エアー供給路は負圧エアー連通路と連通され、正圧エアーと負圧エアーが電子部品等の離脱モードと吸着モードに応じて吸着ノズル内部に各別に供給されるようにしたことを特徴とする。
【０１１０】
従って、本発明ツールヘッドにあっては、基軸内部における筒状部材の内外にそれぞれエアーの供給路を形成して各吸着ノズル内部に各別にエアーを供給するようにしているため、従来のツールヘッドのように各吸着ノズルのエアー供給室とエアー供給装置とを連結する基軸に這うようにして設けられるエアー供給パイプの必要がなく、従来のツールヘッドが有していたツールヘッドの回転によるエアー供給パイプ同士の接触、エアー供給パイプの基軸への巻き付き、或は、エアー供給パイプのねじれ等の問題は発生せず、吸着ノズルに供給されるエアーの供給等に支障を来すことなくツールヘッドを回転させることが出来る。
【０１１１】
そして、基軸がヘッド部と共に両方向に何度でも回転可能であることからツールヘッドの回転の自由度が高まり、これにより従来のツールヘッドのようにツールヘッドを半回転づつ回転させて電子部品の吸着等を行う必要がなく、近年要求されている部品装着装置の高速化を図ることが出来る。
【０１１２】
尚、上記した実施の形態に示した各部の形状及び構造は、何れも本発明を実施するに際しての具体化のほんの一例を示したものにすぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあってはならない。
【図面の簡単な説明】
【図１】図２乃至図７と共に本発明ツールヘッドの実施の形態を示すものであり、本図はツールヘッドが支持部材に支持された状態を示す縦断面図である。
【図２】吸着ノズルと空気圧の切換機構とを拡大して示す縦断面図である。
【図３】図４と共に空気圧の切換機構の動作を説明するための図であり、本図は負圧エアー供給口が閉塞され正圧エアー供給口が開放された状態を拡大して示す断面図である。
【図４】負圧エアー供給口が開放され正圧エアー供給口が閉塞された状態を拡大して示す断面図である。
【図５】図６と共に吸着ノズルのリング状部材と外嵌部材の当接部が当接した状態を示すものであり、本図はリング状部材が磨耗する前の状態を示す拡大縦断面図である。
【図６】リング状部材が磨耗した後の状態を示す拡大縦断面図である。
【図７】外嵌部材の当接部と吸着ノズルのリング状部材との当接位置が変化した場合において、外嵌部材の回転軸から当接位置までの距離と吸着ノズルの回転軸から当接位置までの距離との比の関係を示すものであり、（ａ）はリング状部材が磨耗する前の状態、（ｂ）はリング状部材が磨耗した後の状態を示す概略拡大側面図である。
【符号の説明】
１  ツールヘッド
２  外嵌部材
２ａ  当接部
２ｂ  外周面
３  基軸
３ｃ  エアー供給路
３ｃ  負圧エアー供給路
４  支持部材
６  取付支持部
４２  筒状部材
４２ａ  正圧エアー供給路
４９  正圧エアー連通路
５０  連通路
５０  負圧エアー連通路
５２  吸着ノズル
５４ｄ  リング状部材
６３  付勢手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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