(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検鏡筒と、
前記被検鏡筒に向かい合う位置に配置された第１の基準パターンを有する第１の基準チャートと、
前記被検鏡筒のアクチュエータを制御するアクチュエータ駆動手段と、
前記被検鏡筒のＲ／Ｇ／Ｂの固体撮像素子を駆動し映像信号を生成する映像信号生成手段と、
該映像信号生成手段から出力される映像信号を記憶する映像信号記憶手段と、
該映像信号記憶手段の情報から信号処理を行い前記被検鏡筒の良否判別を行う演算手段とを用いた被検鏡筒の検査方法であって、
前記アクチュエータ駆動手段を用いてアクチュエータを駆動し、前記被検鏡筒のフォーカスレンズを移動して、前記被検鏡筒の合焦位置とデフォーカス位置の各位置にて前記第１の基準チャートを撮影し、
前記演算手段にて、前記各位置の撮影画像のＲ／Ｇ／Ｂ各成分における画素のコントラスト情報から光路長の検査を行い良否判別することを特徴とする検査方法。
【請求項２】
被検鏡筒に向かい合う位置に配置された第１の基準パターンを有する第１の基準チャートと、
前記被検鏡筒のアクチュエータを制御するアクチュエータ駆動手段と、
前記被検鏡筒のＲ／Ｇ／Ｂの固体撮像素子を駆動し映像信号を生成する映像信号生成手段と、
該映像信号生成手段から出力される映像信号を記憶する映像信号記憶手段と、
該映像信号記憶手段の情報から信号処理を行い前記被検鏡筒の良否判別を行う演算手段とを備え、
前記アクチュエータ駆動手段で、アクチュエータを駆動し、前記被検鏡筒のフォーカスレンズを移動して、前記被検鏡筒の合焦位置とデフォーカス位置の各位置にて前記第１の基準チャートを撮影し、
前記演算手段にて、前記各位置の撮影画像のＲ／Ｇ／Ｂ各成分における画素のコントラスト情報から光路長の検査を行い良否判別することを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビデオカメラやデジタルスチルカメラ等で使用されている３板式カメラに使用される鏡筒及びプリズムユニットの検査方法および検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ビデオカメラにおいて、高解像度、高色再現性が必要とされる場合には３板式の方式が用いられている。この３板式のカメラの鏡筒ユニットは、複数枚のレンズとレンズ保持胴、及び所定レンズの位置を制御するステッピングモータ、リニアモータ等のアクチュエータで構成される鏡筒部分と、鏡筒部分を通過した光学的信号をＲ／Ｇ／Ｂの色成分毎に分解し各固体撮像素子に受光するプリズムユニットで構成されており、鏡筒部分は、単板式向けとバックフォーカス等の詳細な仕様を除けば同様な構成で成り立っている。
【０００３】
３板式のプリズムユニットの構成例を図１４に示す。１ＧはＧ信号に対応するプリズム、１ＲはＲ信号に対応するプリズム、１ＢはＢ信号に対応するプリズム、２ＧはＧ信号に対応する固体撮像素子、２ＲはＲ信号に対応する固体撮像素子、２ＢはＢ信号に対応する固体撮像素子である。また、１４４は光軸であり、１４１は入射面から固体撮像素子２Ｇの撮像面までの光学的距離のＧｃｈ光路長、１４２は入射面から固体撮像素子２Ｒの撮像面までの光学的距離のＲｃｈ光路長、１４３は入射面から固体撮像素子２Ｂの撮像面までの光学的距離のＢｃｈ光路長である。これらの位置関係は非常に高精度に位置合わせが行われており、各プリズム１Ｇ、２Ｇ、３Ｇの位置合わせにおいては、入射面から各固体撮像素子まで光学的距離を最適な位置にするために、Ｒは５Ｒ方向、Ｂは５Ｂ方向にμｍ単位で調整を行い光学接着剤等で固定する。また、各固体撮像素子２Ｇ、２Ｒ、２Ｂの位置合わせにおいては、各固体撮像素子の水平方向、垂直方向、回転方向の相対的位置を画素サイズ以下に調整を行い光学接着剤等で固定する。このような工程で作られたプリズムユニットと鏡筒をドッキングし、３板鏡筒として検査を行う。
【０００４】
検査を行う際には、作業者が所定ズーム位置、所定フォーカス位置で、所定のチャートを撮影し、その撮影画像を目視し、官能検査によって、光路長検査（プリズムの光学的位置の検査）、ゴミ／気泡検査（鏡筒内またはプリズム間、もしくはプリズム固体撮像素子間の間に入り込むゴミ及び接着剤の気泡の有無）、ゴースト検査（プリズム内面での光反射）、フレア検査（鏡筒内レンズのティルト／ディセンタ、プリズム内／端面での光反射による像の流れ）を検査し良否判別を行っている。
【０００５】
ゴミ／気泡がある場合の撮影画像の１例を図１５に示す。ゴミ、気泡は入っている場所によって、大きさ、見え方が多様に変化する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の方法によれば、３板鏡筒の検査を実施するのが作業者の官能目視検査のため良否判別の判定に作業者間でバラツキが生じること、また、長時間の検査により検査精度が低下すること、更には定量的な判定ができないなどの課題があった。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、ビデオカメラ、デジタルスチルカメラ等に使用される３板鏡筒の検査において、光路長の検査を自動で良否判別し、高精度で定量的な判定を可能とする検査方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために第１の発明は、被検鏡筒と、前記被検鏡筒に向かい合う位置に配置された第１の基準パターンを有する第１の基準チャートと、前記被検鏡筒のアクチュエータを制御するアクチュエータ駆動手段と、前記被検鏡筒のＲ／Ｇ／Ｂの固体撮像素子を駆動し映像信号を生成する映像信号生成手段と、該映像信号生成手段から出力される映像信号を記憶する映像信号記憶手段と、該映像信号記憶手段の情報から信号処理を行い前記被検鏡筒の良否判別を行う演算手段とを用いた被検鏡筒の検査方法であって、前記アクチュエータ駆動手段を用いてアクチュエータを駆動し、前記被検鏡筒のフォーカスレンズを移動して、前記被検鏡筒の合焦位置とデフォーカス位置の各位置にて前記第１の基準チャートを撮影し、前記演算手段にて、前記各位置の撮影画像のＲ／Ｇ／Ｂ各成分における画素のコントラスト情報から光路長の検査を行い良否判別することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１３】
（実施の形態１）
図１は、本発明の検査装置及び検査方法の一実施形態を示す構成図である。
【００１４】
１は第１基準チャート、２は鏡筒とプリズムユニットからなる被検鏡筒、３はプリズムユニットの固体撮像素子から映像信号を読み出しアナログ信号処理を行い映像信号を生成する映像信号生成手段、４は映像信号生成手段３から出力されるアナログ映像信号をＡ／Ｄ変換を行いメモリに記憶する画像メモリ等の映像信号記憶手段、５は映像信号記憶手段４に記憶された情報を演算し被検鏡筒２の良否判別を行う演算手段、６は被検鏡筒２のズームレンズ、フォーカスレンズ等を駆動するモータ等を制御するアクチュエータ駆動手段、７は演算手段５で検査した結果を記憶する結果記憶手段である。
【００１５】
図２に、第１基準チャートが有する第１基準パターン２１の一例を示す。第１基準パターンは、白と黒のパターンで構成されており、大小の四角形で構成されている。
【００１６】
図３は、本発明の検査方法の一実施形態の動作を示すフローチャートである。
【００１７】
以下にその動作を説明する。
【００１８】
最初に、被検鏡筒２をセットし、電源を入れる。
【００１９】
ステップ３１ではアクチュエータ駆動手段６で被検鏡筒２のズーム位置を所定の位置に移動しステップ３２に進む。
【００２０】
ステップ３２では第１基準パターン２１を有する第１基準チャート１を撮影しステップ３３に進む。
【００２１】
ステップ３３では、アクチュエータ駆動手段６で被検鏡筒２のフォーカス位置を制御し合焦位置にフォーカスレンズを移動し、ステップ３４に進む。
【００２２】
ステップ３４では、映像記憶手段４に映像信号を取り込みステップ３５に進む。
【００２３】
ステップ３５では、取りこんだ映像についてＲ／Ｇ／Ｂ各成分毎に第１基準パターンのエリアにおける所定輝度レベル以下の画素数をカウントし基準カウント数として記憶し、ステップ３６に進む。
【００２４】
ステップ３６では、アクチュエータ駆動手段６で被検鏡筒２のフォーカスレンズを制御しマイナス方向（チャート側）に所定ステップデフォーカスし、ステップ３７に進む。
【００２５】
ステップ３７では、ステップ３４同様に映像信号を取り込みステップ３８に進む。
【００２６】
ステップ３８では、ステップ３５同様にＲ／Ｇ／Ｂ各成分毎に第１基準パターンのエリアにおける所定輝度レベル以下の画素数をカウントし〔−〕側カウント数として記憶し、ステップ３９に進む。
【００２７】
ステップ３９では、ステップ３６と同様にプラス側（像面側）に所定ステップデフォーカスし、ステップ３１０に進む。
【００２８】
ステップ３１０では、ステップ３４、ステップ３７と同様に映像信号を取り込み３１１に進む。
【００２９】
ステップ３１１では、ステップ３８同様にＲ／Ｇ／Ｂ各成分毎に第１基準パターンのエリアにおける所定輝度レベル以下の画素数をカウントし〔＋〕側カウント数として記憶し、ステップ３１２に進む。
【００３０】
ステップ３１２では、〔−〕側カウント数から基準カウント数を減算し、あらかじめ設定してある第１カウント規定値を比較し、第１カウント規定値より大きい場合、または〔＋〕側カウント数についても同様に減算し、第１カウント規定値より大きい場合には不良と判断しステップ３１５に進む。小さい場合には、ステップ３１３に進む。
【００３１】
ステップ３１３では、〔−〕側カウント数から〔＋〕側カウント数を減算し、その絶対値とあらかじめ設定してある第２カウント規定値とを比較し、第２カウント規定値より大きい場合には不良と判断しステップ３１５に進む。小さい場合には、良品と判断してステップ３１４に進む。
【００３２】
ステップ３１４では、良品データの記憶をする。またステップ３１５では、不良項目のデータを記憶し終了する。
【００３３】
一連の処理概念を図４に示す。
【００３４】
図４（ａ）は被検鏡筒２をプラス側にデフォーカスした時に第１基準パターンを撮影した画像であり、図４（ｂ）は被検鏡筒２をマイナス側にデフォーカスした時に第１基準パターンを撮影した画像である。図４（ｃ）は合焦位置、プラス側デフォーカス位置、マイナス側デフォーカス位置における所定レベル以下の画素数を示した図である。Ｃ１は〔−〕カウント数から基準カウント数を減算した値、Ｃ２は〔＋〕カウント数から基準カウント数を減算した値、Ｃ３は〔−〕カウント数から〔＋〕カウント数を減算した値であり、Ｃ１は及びＣ２の値と第１カウント規定値と比較すること及びＣ３の値と第２カウント規定値とを比較することによって光路長の良否を判別する。
【００３５】
以上、説明したように本発明によれば、被検鏡筒をデフォーカスし、各々の位置でＲ／Ｇ／Ｂ各成分における所定レベル以下の画素数の情報に基づいて検査することによって光路長の検査を正確に自動で行うことが可能となる。
【００３６】
（実施の形態２）
図５は本発明の検査装置及び検査方法の一実施形態を示す構成図である。
【００３７】
実施の形態１と同様の構成については同一の符号を記し説明を省略する。５１はチャート切り換えを行うチャート切り換え手段であり、５２は面光源であり、６１は第２基準チャートである。
【００３８】
図６（ａ）は第２基準チャート６１の一例であり、黒地の平板上に複数の所定パターンが背面の光を透過させるように加工されている。
【００３９】
図６（ｂ）はチャート切替手段５１の概略構成図であり、面光源５２と第２基準チャート６１の切り換えを行う際には第１スライド機構６２、第２スライド機構６３をシリンダ等で作動させ被検鏡筒２の前面の光軸上に位置するようにチャート切替えを行う。
【００４０】
図７は本発明の検査方法の一実施形態の動作を示すフローチャートである。
以下にその動作を説明する。
【００４１】
最初に、被検鏡筒２をセットし、電源を入れる。
【００４２】
ステップ７１ではアクチュエータ駆動手段６によって被検鏡筒２のズーム位置を所定位置に移動しステップ７２に進む。
【００４３】
ステップ７２ではチャート切り換え手段５１によって面光源５２を被検鏡筒２の前面の光軸上に位置させ、ステップ７３に進む。
【００４４】
ステップ７３では、被検鏡筒２のフォーカス位置を合焦位置に移動し、ステップ７４に進む。
【００４５】
ステップ７４では、映像信号を取り込み、映像信号記憶手段４に記憶しステップ７５に進む。
【００４６】
ステップ７５では、所定記憶エリアに記憶してある映像信号に取りこんだ映像信号を加算して、所定記憶エリアに記憶する。
【００４７】
ステップ７６では、加算回数が所定回数未満かどうかを判断し、未満の場合にはステップ７４へと進む。所定回数以上の場合にはステップ７７に進む。
【００４８】
ステップ７７では、所定記憶エリアに記憶されている所定回数加算された映像信号に対してノイズ成分を抑制するフィルタリング処理を行いステップ７８に進む。
【００４９】
ステップ７８では、フィルタリングされた映像信号を垂直、水平方向にそれぞれｎ分割（初期値２）したエリア毎の平均輝度レベルを算出し、ステップ７９に進む。
【００５０】
ステップ７９では、隣り合うエリア毎の平均輝度レベルの差を算出し、記憶しステップ７１０に進む。
【００５１】
ステップ７１０では、算出した平均輝度レベルの差と所定基準輝度レベルを比較し所定基準輝度レベルより大きい場合には不良と判断しステップ７１６に進む。小さい場合にはステップ７１１に進む。
【００５２】
ステップ７１１では、分割数ｎを２倍に設定しステップ７１２に進む。
【００５３】
ステップ７１２では、設定した分割数ｎと規定分割数を比較し、規定分割数より大きい場合にはステップ７８に進み、ステップ７８〜ステップ７１１を繰り返す。規定分割数より大きい場合にはステップ７１３に進む。
【００５４】
ステップ７１３では、ステップ７８でフィルタリング処理された所定エリアに記憶された映像信号の各画素におけるＲ／Ｇ／Ｂ成分の信号レベルの差を算出し記憶しステップ７１４に進む。
【００５５】
ステップ７１４では、算出した信号レベル差を所定閾値と比較し所定閾値より大きい場合には不良と判断し、ステップ７１６に進む。小さい場合には良品と判断しステップ７１５に進む。
【００５６】
ステップ７１５では、良品データの記憶をする。またステップ７１６では、不良データ項目を記憶し終了する。
【００５７】
ここまででゴミ／気泡検査に関する検査を行う。次のステップ７１７よりフレア現象の検査に入る。
【００５８】
ステップ７１７では、チャート切替え手段５１によって面光源５２を背面にし、第２基準チャートを被検鏡筒２の前面の光軸上に位置させ、ステップ７１８に進む。
【００５９】
ステップ７１８では、被検鏡筒２のフォーカス位置を合焦位置に移動し、ステップ７１９進む。
【００６０】
ステップ７１９では、映像信号を取り込み、映像信号記憶手段４に記憶しステップ７２０に進む。
【００６１】
ステップ７２０では、第２基準パターンを記憶した映像信号内でサーチを行いステップ７２１に進む。
【００６２】
ステップ７２１では、パターンが検出されたかどうかを判断し、検出されない場合にはステップ７２５に進む。検出された場合にはステップ７２２に進む。
【００６３】
ステップ７２２では、検出された座標から所定距離位置における輝度レベルをチェックしステップ７２３に進む。
【００６４】
ステップ７２３では、チェックした輝度レベルと所定レベルを比較し、所定レベルより低い場合には良品と判断しステップ７２４に進む。所定レベル以上の場合には不良と判断しステップ７２５に進む。
【００６５】
ステップ７２４では、良品データの記憶をする。またステップ７２５では、不良データ項目を記憶し終了する。
【００６６】
このような動作によりゴミ/気泡及びフレア現象の検査を行う。
【００６７】
ゴミ/気泡検査の処理概念図を図８に示す。８１は平均輝度算出エリアである。
【００６８】
面光源を数回撮影し加算した映像信号の輝度レベルを算出し、水平垂直方向にｎ分割し、これを平均輝度算出エリア８１とする。この平均輝度算出エリア８１の平均輝度は（エリア内輝度総和÷（Ｐ＊Ｑ））で算出する。算出された各エリアにおける平均輝度レベルを隣り合うエリア同士で比較し、レベル差により変化部分を導出する。良品の場合は変化が少ない。
【００６９】
分割数ｎは最小は２分割から最大は水平または垂直の画素数まで可能であり、広いエリアでの輝度レベルの変化から画素単位での輝度レベルの変化が導出可能である。なお、水平垂直個別に分割数を設定しても可能である。
【００７０】
ゴミ/気泡検査の際の色成分における処理概念図を図９に示す。
【００７１】
図９（ａ）はゴミ/気泡が含まれるプリズムユニットで面光源を撮影した画像、図９（ｂ）は、図９（ａ）における破線の部分の映像信号のイメージ図である。
【００７２】
横軸は水平方向の画素位置であり縦軸は信号レバルである。Ｇ信号、Ｂ信号に対してＲ信号のみが信号レベルが低くなっており、所定閾値以上のレベル差がある場合不良として検出される。このとき、ゴミ/気泡が含まれる場所は図９（ｃ）に示すような場所に推定され不良及び推定される場所等の情報を結果として記憶する。
【００７３】
フレア現象の検査の処理概念図を図１０（ａ）及び（ｂ）に示す。１０１は第２基準パターンの一例であり、１０２は検出座標、１０３は検出座標からの所定距離である。１０（ｂ）のように面光源を背面に配し、第２基準パターン１０１から光が透過する映像を撮影する。その撮影された映像よりあらかじめ設定してある第２基準パターン１０１をサーチし、パターンの検出座標１０２を導出する。（この場合には５箇所）。導出したそれぞれの検出座標１０２から所定距離１０３における（破線エリア）の輝度レベルを導出し、所定輝度レベル以上である場合にはフレア現象が大きいと判断し不良と判断する。第２基準パターン１０１を第２基準パターンからサーチする際には正規化相関等の相関係数でパターン有無を判断する。パターンのサーチを行うのはチャート切り換えの誤動作（切替え失敗）などを検知する上でも有効である。
【００７４】
以上、説明したように本発明によれば、チャート切り換え手段５１によって面光源、第２基準チャートを切り換えて検査を行うことにより、ゴミ/気泡、フレア現象の検査が正確に自動で行うことが可能となる。
【００７５】
（実施の形態３）
本発明の検査装置及び検査方法の一実施形態の構成図を図１１に示す。
【００７６】
実施の形態１及び実施の形態２と同様の構成については同一の符号を記して説明を省略する。１１１は光源の点灯/消灯及び位置を制御する光源制御手段であり、１１２はハロゲンライト等の第１光源、１１３もハロゲンライト等の第２光源である。
【００７７】
図１２は第１光源１１２及び第２光源１１３の位置及び移動範囲を示す概要図である。第１光源１１２は撮影範囲の右側周辺に位置し、被検鏡筒２側に向かい上側より下側へと移動する（図１２（ａ））。第２光源１１３は撮影範囲の左側周辺に位置し、被検鏡筒２側に向かい上側より下側へと移動する。両光源とも光源制御手段１１１によって点灯／消灯、位置を制御される。また、点灯時に撮影される映像は光源の光によって帯状の光が映される。
【００７８】
図１３は本発明の検査方法の一実施形態の動作を示すフローチャートである。以下にその動作を示す。
【００７９】
最初に、被検鏡筒２をセットし、電源を入れる。
【００８０】
ステップ１３０では、被検鏡筒をオートフォーカスモードにし、ステップ１３１に進む。
【００８１】
ステップ１３１ではアクチュエータ駆動手段６によって被検鏡筒２のズーム位置を所定位置に移動しステップ１３２に進む。
【００８２】
ステップ１３２では、映像信号を取り込み、映像信号記憶手段４に記憶しステップ１３３に進む。
【００８３】
ステップ１３３では、取り込んだ映像信号のＲ／Ｇ／Ｂ各成分について所定レベル以上の画素数をカウントし、各基準カウント数として記憶し、ステップ１３４に進む。
【００８４】
ステップ１３４では、光源制御手段１１１により第１光源１１２を点灯し、下側に所定スピードで所定距離移動し、ステップ１３５に進む。
ステップ１３５では、ステップ１３２同様に映像信号を取りこみ記憶しステップ１３６に進む。
【００８５】
ステップ１３６では、ステップ１３３と同様に取り込んだ映像信号のＲ／Ｇ／Ｂ各成分について所定レベル以上の画素数をカウント、記憶しステップ１３７に進む。
【００８６】
ステップ１３７では、Ｒ／Ｇ／Ｂ各成分においてステップ１３６でカウントしたカウント数から各基準カウント数を減算し、あらかじめ設定してあるゴーストカウント規定値と比較し、規定値より大きい場合には不良と判断し、ステップ１３１５に進む。小さい場合にはステップ１３８に進む。
【００８７】
ステップ１３８では、第１光源１１２の位置が移動の終了位置に到達したかどうかを判断し、到達していない場合にはステップ１３４に進む。到達した場合には、ステップ１３９に進む。
【００８８】
ステップ１３９では、第１光源１１２を消灯し、第２の光源１１３を点灯し所定スピードで所定距離移動し、ステップ１３１０に進む。
【００８９】
ステップ１３１０では、映像信号を取り込み、映像信号記憶手段４に記憶しステップ１３１１に進む。
【００９０】
ステップ１３１１では、取り込んだ映像信号のＲ／Ｇ／Ｂ各成分について所定レベル以上の画素数をカウントし、各基準カウント数として記憶し、ステップ１３１２に進む。
【００９１】
ステップ１３１２では、Ｒ／Ｇ／Ｂ各成分においてステップ１３１１でカウントしたカウント数から各基準カウント数を減算し、あらかじめ設定してあるゴーストカウント規定値と比較し、規定値より大きい場合には不良と判断し、ステップ１３１５に進む。小さい場合にはステップ１３１３に進む。
【００９２】
ステップ１３１３では、第２光源１１２の位置が移動の終了位置に到達したかどうかを判断し、到達していない場合にはステップ１３９に進む。到達した場合には、良品と判断しステップ１３１４に進む。
【００９３】
ステップ１３１４では良品データを記憶する。また、ステップ１３１５では不良データを記憶し、終了する。
【００９４】
以上説明したように本発明によれば、光源を制御する光源制御手段１１１により光源を制御しながら映像を取りこみ、光源非点灯時の映像との比較を行うことによりゴースト現象の検査を正確に自動を行うことが可能となる。
【００９５】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１記載の発明によれば、合焦位置とデフォーカス位置において第１の基準チャートを撮影し、撮影画像のＲ／Ｇ／Ｂ各成分における画素のコントラスト情報によって検査を行うことにより精度良く光路長の検査を行うことができる。
【００９９】
また、これにより不良項目のデータベース化等を構築することが可能となり不良発生の削減や検査基準の明確化ができる等の効果や品質向上の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１を示す構成図
【図２】本発明の実施の形態１における第１基準パターンの一例を示す図
【図３】本発明の実施の形態１の動作を示すフローチャート
【図４】本発明の実施の形態１の一連の処理概念図
【図５】本発明の実施の形態２を示す構成図
【図６】本発明の実施の形態２における第２基準チャート及びチャート切替手段の一例を示す図
【図７】本発明の実施の形態２の動作を示すフローチャート
【図８】本発明の実施の形態２のゴミ／気泡検査の処理概念図
【図９】本発明の実施の形態２のゴミ／気泡検査の際の色成分における処理概念図
【図１０】本発明の実施の形態２のフレア現象検査の処理概念図
【図１１】本発明の実施の形態３を示す構成図
【図１２】本発明の実施の形態３の光源の位置及び移動範囲を示す概要図
【図１３】本発明の実施の形態３の動作を示すフローチャート
【図１４】プリズムユニット説明図
【図１５】ゴミ／気泡映像の一例を示す図
【符号の説明】
１  第１基準チャート
２  被検鏡筒
３  映像生成手段
４  映像信号記憶手段
５  アクチュエータ制御手段
６  固体撮像素子４Ｇの位置
７  結果記憶手段
２１  第１基準パターン
５１  チャート切替手段
５２  面光源
６１  第２基準チャート
６２  第１スライド機構
６３  第２スライド機構
８１  平均輝度算出エリア
５２  基準チャート
１Ｒ  Ｒ信号用プリズム
１Ｇ  Ｇ信号用プリズム
１Ｂ  Ｂ信号用プリズム
２Ｒ  Ｒ信号用固体撮像素子
２Ｇ  Ｇ信号用固体撮像素子
２Ｂ  Ｂ信号用固体撮像素子
１０１  第２基準パターン
１０２  検出座標
１０３  所定距離
１１１  光源制御手段
１１２  第１光源
１１３  第２光源
１４１  Ｇｃｈ光路長
１４２  Ｒｃｈ光路長
１４３  Ｂｃｈ光路長
【図１】
0003800950.tif 000002
【図２】
0003800950.tif 000003
【図３】
0003800950.tif 000004
【図４】
0003800950.tif 000005
【図５】
0003800950.tif 000006
【図６】
0003800950.tif 000007
【図７】
0003800950.tif 000008
【図８】
0003800950.tif 000009
【図９】
0003800950.tif 000010
【図１０】
0003800950.tif 000011
【図１１】
0003800950.tif 000012
【図１２】
0003800950.tif 000013
【図１３】
0003800950.tif 000014
【図１４】
0003800950.tif 000015
【図１５】
0003800950.tif 000016