(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空蒸着に使用する蒸発源を製造する蒸発源製造方法において、
複数個の発熱体個々の重量を計測する第１の計測工程と、
前記第１の計測工程による計測結果をもとに、所定範囲内の重量を有する発熱体を選別する第１の選別工程と、
前記第１の選別工程で選別された複数個の発熱体各々に複数個の蒸発材を装着する工程と、
前記発熱体を発熱させて、前記蒸発材を真空中で溶融する工程と、
前記溶融した蒸発材が前記発熱体各々の表面を覆った時点で、この発熱体の発熱を停止させる工程と、
前記溶融後の蒸発材で覆われた複数個の前記発熱体個々の重量を計測する第２の計測工程と、
前記第２の計測工程による計測結果をもとに、前記溶融後の蒸発材で覆われた発熱体の内、所定範囲内の重量を有する複数個の発熱体を選別する第２の選別工程と、
前記第２の選別工程で選別された溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体各々を気密状態で保管する工程とを備え、
前記保管された複数個の発熱体を前記蒸発源とすることを特徴とする蒸発源製造方法。
【請求項２】
複数の蒸発源を使用して真空蒸着を行う真空蒸着方法において、
複数個の発熱体を用意し、前記複数個の発熱体個々の重量を計測し、前記計測結果をもとに、所定範囲内の重量を有する発熱体を選別し、選別された複数個の発熱体各々に蒸発材を装着し、前記発熱体を発熱させて、前記蒸発材を真空中で溶融し、前記溶融した蒸発材が前記発熱体各々の表面を覆った時点で、この発熱体の発熱を停止させ、前記溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体個々の重量を計測し、計測結果をもとに、前記溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体の内、所定範囲内の重量を有する発熱体を選別し、この
選別された溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体各々を気密状態で保管しておき、
前記保管された複数個の発熱体を前記蒸発源として取り付け、
前記複数個の発熱体を発熱させて真空蒸着を行うことを特徴とする真空蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、大型の光学赤外線望遠鏡の反射鏡鏡面にアルミニウム等の蒸発材料を蒸着する際に使用する蒸発源を製造する蒸発源製造装置および蒸発源製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
真空中で蒸発させた金属を被加工部品上に凝縮させて、その部品表面に薄い金属皮膜を形成する、いわゆる真空蒸着技術は、望遠鏡、カメラ等の光学機械に用いる反射鏡の製造には不可欠の技術である。
【０００３】
図７は、従来の大型真空蒸着装置の構造を示しており、図８，図９は、その装置におけるフィラメント装着部の詳細を模式的に示した図である。また、図１０は、従来の大型真空蒸着装置で使用しているフィラメントの接続回路を模式的に示している。
【０００４】
図７に示すように、大型真空蒸着装置１０１は、蒸発材料を蒸着する対象となる大型ガラス鏡１０２、蒸発材料を加熱し、それを蒸発するための蒸発源フィラメント部１０３、フィラメント装着部１１３、フィラメントの接続回路１１４、このフィラメント接続回路への電源供給装置１２５によって構成されている。
【０００５】
図８あるいは図９は、図７において点線で囲んだ部分、すなわち、フィラメント装着部１１３およびその近傍の詳細構成を示す。図８に示すフィラメント装着部１１３は、蒸発材料１０８を加熱して、それを蒸発させるためのフィラメント１０６、フィラメントのコイル部分１０７、フィラメント接続部１１３の接続ケーブル１２２からなる。
【０００６】
また、フィラメント装着部の他の例として、図９の（ａ）は、そのフィラメント装着部１１３全体を示し、（ｂ）は、フィラメントのコイル部分１０７を詳細に示す図である。同図に示すフィラメント装着部１１３は、蒸発材料をフィラメントのコイル部分１０７の外側に取り付けるためのフィラメントのループ部分１２０ａ，１２０ｂ、これらのループ部分１２０ａ，１２０ｂを有するフィラメント１２３によって構成される。
【０００７】
なお、図８，図９に示すフィラメント装着部１１３には、フィラメントから蒸発した蒸発材料のガラス鏡への飛散領域を制限するためのアパチャー１２１が設けられている。
【０００８】
次に、上記従来の大型真空蒸着装置の動作について説明する。
従来の大型鏡の蒸着作業では、図８に示すように、まず、フィラメント１０６を大型真空蒸着装置１０１のフィラメント装着部１１３に取り付け、そのフィラメント１０６のコイル部分１０７に蒸発材料１０８を取り付けるか、あるいは、図９に示すように、フィラメント１２３のループ部分１２０ａ，１２０ｂに蒸発材料１０８を取り付けた後、大型真空蒸着装置１０１を真空引きし、蒸着の実現を試みている。
【０００９】
また、フィラメントの接続回路として、図１０に示すように、フィラメント１０６あるいはプリウェット・フィラメント１００を２本直列に接続したものを、複数本（図１０では、ｎ本）並列に接続した回路を用意して、所定の蒸着作業を行っている。
【００１０】
ガラス鏡１０２を大型真空蒸着装置１０１内に設置して真空引きを行った後には、電源供給装置１２５より、接続回路１１４を介して、これらのフィラメントに電力を供給し、フィラメントに取り付けた蒸発材料が、そのフィラメントの表面を覆うように融かし付ける作業(以下、ウェッティングと呼ぶ)を行い、さらに、フィラメントに電力を供給して蒸発材料を蒸発させ、大型鏡を蒸着する作業を連続して行っている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の方法で大型鏡を蒸着しようとする場合、ガラス鏡１０２を大型真空蒸着装置１０１内に設置して真空引きを行う前に、数１０個〜２００あるいは３００個のフィラメントの取付けと、それぞれのフィラメントに蒸発材料を取り付ける必要があるため、それらの作業に非常に時間がかかる。そのため、それらの作業の間、フィラメントおよび蒸発材料が長時間、大気に曝されることになり、それによって、ウエッティングの過程で、蒸発材料が融け始めたときに、フィラメントと蒸発材料のなじみが悪くなり、蒸発材料が融けきる前に、それがフィラメントより落下するという、不都合な現象が多々、見られる。
【００１２】
また、図８に示すようにフィラメントへ蒸発材用１０８を取り付ける場合、蒸発材料１０８は、アパチャー１２１部分の上部に位置するため、ウエッテイングの過程で蒸発材料がフィラメントから落下すると、それがガラス鏡１０２の上に直接、落下することになる。このため、落下した蒸発材料がガラス鏡の鏡面に付着し、それが原因となって鏡面精度が低下するという問題がある。
【００１３】
一方、図９に示す方法で、フィラメントに蒸発材料１０８を取り付けた場合、その蒸発材料がフィラメントから落下しても、アパチャー１２１の外側へ落下するため、鏡面への直接の落下は防げる。しかし、この取付け位置並びに方法では、フィラメントの発熱がフィラメント装着部１１３に逃げてしまい、熱的な条件が、図８に示す蒸発材料の取付け位置に比べて悪くなり、フィラメントから落下する蒸発材料がさらに多くなる。その結果、十分な膜厚の蒸着膜が得られない、という問題がある。
【００１４】
さらに、図８，図９に示す、いずれの方法においても、どのフィラメントから、どの程度の蒸発材料が落下するかを、あらかじめ把握することが困難であり、各フィラメントからの蒸発材料の蒸発量にばらつきが生じる。そのために均一な蒸着膜が得られない、という問題もある。
【００１５】
他方、上記従来の大型鏡の蒸着方法で使用する、図１０に示すフィラメントの接続回路は、上述したように、２本のフィラメントを直列に接続したものを複数本、さらに並列に接続した構成をとるため、フィラメントから蒸発材料が落下する危険のないプリウエット・フィラメントをフィラメント接続回路１１４に取り付けても、直列に接続したプリウエット・フィラメント間で、初期の電気抵抗にばらつきがあると、それらに電力を供給した際、電気抵抗の大きい方におけるプリウエット・フィラメントの電圧降下が大きくなる。
【００１６】
そのため、電気抵抗の高い方のプリウエット・フィラメントへの電力投入が大きくなり、電気抵抗の高い方のプリウエット・フィラメントの発熱が促進される。そして、それが電気抵抗のばらつきの差を増大することになり、結果として、各フィラメント間で蒸発材料の蒸発タイミングや蒸発量に、ばらつきが生じ、十分な絶対膜厚、並びに均一な膜厚分布が得られない、という問題がある。
【００１７】
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、各フィラメント（発熱体）から同量の蒸発材料を確実に蒸発させることのできる蒸発源を製造する蒸発源製造装置および蒸発源製造方法を提供することである。
【００１８】
また、本発明の他の目的は、十分な絶対膜厚と均一な膜厚分布を得て、大型鏡において高い反射性能を実現できる真空蒸着装置および真空蒸着方法を提供することである。
【００２０】
好ましくは、上記複数個の発熱体は電気抵抗体であり、これら発熱体の電気抵抗値は互いに等しい。また、好ましくは、上記複数個の発熱体は、電気的に並列回路を構成するよう接続されている。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、真空蒸着に使用する蒸発源を製造する蒸発源製造方法において、複数個の発熱体個々の重量を計測する第１の計測工程と、上記第１の計測工程による計測結果をもとに、所定範囲内の重量を有する発熱体を選別する第１の選別工程と、上記第１の選別工程で選別された複数個の発熱体各々に複数個の蒸発材を装着する工程と、上記発熱体を発熱させて、上記蒸発材を真空中で溶融する工程と、上記溶融した蒸発材が上記発熱体各々の表面を覆った時点で、この発熱体の発熱を停止させる工程と、上記溶融後の蒸発材で覆われた複数個の上記発熱体個々の重量を計測する第２の計測工程と、上記第２の計測工程による計測結果をもとに、上記溶融後の蒸発材で覆われた発熱体の内、所定範囲内の重量を有する複数個の発熱体を選別する第２の選別工程と、上記第２の選別工程で選別された溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体各々を気密状態で保管する工程とを備え、上記保管された複数個の発熱体を上記蒸発源とすることを特徴とする蒸発源製造方法を提供する。
【００２５】
そして、第２の発明は、複数の蒸発源を使用して真空蒸着を行う真空蒸着方法において、複数個の発熱体を用意し、上記複数個の発熱体個々の重量を計測し、上記計測結果をもとに、所定範囲内の重量を有する発熱体を選別し、選別された複数個の発熱体各々に蒸発材を装着し、上記発熱体を発熱させて、上記蒸発材を真空中で溶融し、上記溶融した蒸発材が上記発熱体各々の表面を覆った時点で、この発熱体の発熱を停止させ、上記溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体個々の重量を計測し、計測結果をもとに、上記溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体の内、所定範囲内の重量を有する発熱体を選別し、この選別された溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体各々を気密状態で保管しておき、上記保管された複数個の発熱体を上記蒸発源として取り付け、上記複数個の発熱体を発熱させて真空蒸着を行う真空蒸着方法を提供する。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る実施の形態を詳細に説明する。
図１，図２は、本発明の実施の形態に係る真空蒸着装置の構成を模式的に示す図である。ここでは、これらの図を参照して、本実施の形態に係る真空蒸着方法を説明する。すなわち、図１の（ａ）は、プリウェット・フィラメントを製造するための小型真空蒸着装置の構造を示しており、同図の（ｂ）は、後述するプリウェット・フィラメント保管用の袋の構成を、そして、図２は、大型真空蒸着装置の構成を示している。
【００２７】
図１の（ａ）に示す小型真空蒸着装置４は、図２の大型真空蒸着装置１の中に設置された大型のガラス鏡２の蒸着用に供給される、プリウェット・フィラメント１０（図１の（ｂ）参照）を製造するための小型の真空蒸着装置である。図１（ａ）に示す装置内には、フィラメント６とそれを装着するためのフィラメント装着部５、蒸発材料８（例えば、アルミニウム、ニッケル等の金属材料）を取り付けるための、フィラメント６のコイル部７が配され、装置外部には、フィラメント６の接続回路９と、このフィラメント接続回路９に電力を供給する電源装置２４が設けられている。
【００２８】
図１の（ｂ）に示す密閉袋１２には、小型真空蒸着装置４で製造したプリウェット・フィラメント１０が保管される。つまり、ここでは、個別にビニール袋１９に入れられたプリウェット・フィラメント１０が複数本、酸素吸着材１１の入った密閉袋１２内に納められ、保管される。
【００２９】
一方、図２に示す大型真空蒸着装置１は、その内部に、ガラス鏡２に蒸発材料を蒸着するための蒸発源フィラメント部３、フィラメント装着部１３が配され、このフィラメント部３へは、装置の外部に設けたフィラメントの接続回路１４、および電源供給装置２５によって電力が供給される。
【００３０】
次に、本実施の形態に係る装置について、その具体的な動作とともに説明する。
図２に示すように、本実施の形態に係る装置では、蒸発材料を蒸着するガラス鏡２が大型で、蒸発源フィラメント部３とガラス鏡２は、真空蒸着装置１の上部に蒸発源フィラメント部３が、下部にガラス鏡２が配されるという位置関係を有する。そして、1回の蒸着に使用するフィラメントの数は、約３００本である。
【００３１】
ここでは、大型真空蒸着装置１とは別に設けた小型真空蒸着装置４で、以下に述べる工程によって、プリウェット・フィラメント１０を製作する。すなわち、図１の（ａ）に示すように、フィラメント装着部５に固定したフィラメント６のコイル部分７に、Ｕ字形に成形した蒸発材料８を引っ掛け、小型真空蒸着装置４を真空引きした後、フィラメント接続回路９に対して電源装置２４より電力を供給する。この電力供給によるフィラメント６のコイル部分７での発熱（抵抗発熱）によって蒸発材料８が融け、それが、コイル部分７の表面を覆うように融かし付けられた状態になったときに、電力供給を停止する。
【００３２】
上記の過程を経て製作したプリウェット・フィラメント１０は、酸素吸着材１１の入った密閉袋１２を使用して、大型真空蒸着装置１によるガラス鏡２の蒸着作業を行う時期まで保管する。そして、実際の蒸着作業時に、密閉袋１２からプリウェット・フィラメント１０を取り出し、それらを大型真空蒸着装置１のフィラメント装着部１３に取り付けるという作業を行う。
【００３３】
その後、大型真空蒸着装置１を真空引きし、電源装置２５よりフィラメント接続回路１４に電力を供給して、プリウェット・フィラメント１０から蒸発材料を蒸発させる。その結果、真空蒸着装置１の下部に位置するガラス鏡２上に、蒸発した蒸発材料が蒸着する。
【００３４】
図３は、本実施の形態に係る大型真空蒸着装置に用いるフィラメントの接続回路である。ここでは、個々のフィラメント（１．１〜２ｎ．１）６または１０を互いに並列に接続し、それら全体に、フィラメント接続回路１４を介して電源装置２５を接続する。この接続構成により、各フィラメントに供給される電圧が等しくなる。
【００３５】
このような構成をとる、大型真空蒸着装置１のフィラメント接続部１３に、上記の工程で製作したプリウェット・フィラメント１０を接続し、その大型真空蒸着装置１を真空引きした後、フィラメント接続回路１４に電源装置２５より電力を供給する。このとき、各フィラメントの抵抗が均質であれば、そこでの発熱が一定となり、各プリウェット・フィラメント１０の昇温ムラが少なくなる。そのため、各プリウェット・フィラメント１０からは、電力供給開始後、蒸発材料がほぼ同時期に蒸発し、それがガラス鏡２上に蒸着する。
【００３６】
以下、本実施の形態に係る小型真空蒸着装置によるプリウェット・フィラメントの製作手順を詳細に説明する。
【００３７】
図４〜図６は、小型真空蒸着装置によるプリウェット・フィラメントの製作工程を、その手順に従って示す工程図である。図４に示す工程では、超音波洗浄器１５、フィラメント６を洗浄するエチルアルコール１６、これら超音波洗浄器１５、エチルアルコール１６で洗浄したフィラメント６を乾燥させるための高純度不活性ガス１７、フィラメント６（他の工程では、プリウェット・フィラメント１０）の重量を測定する重量計１８を使用する。
【００３８】
プリウェット・フィラメント製作の最初の工程、すなわち、図４の工程▲１▼では、超音波洗浄器１５を用いて５分程度、エチルアルコール(試薬一級)１６でフィラメント６を超音波洗浄し、工程▲２▼では、洗浄後のフィラメント６を、例えば、ボンベ（高圧ガス容器）に封入された高純度アルゴンガス等の不活性ガス１７を使用して乾燥させる。そして、続く工程▲３▼で、工程▲２▼で乾燥させたフィラメント６を１本づつ、デジタル重量計１８で、その重量を測定し、測定値を記録する。
【００３９】
図５に示す工程（工程▲４▼）では、真空引きが比較的容易で、かつ、数本のフィラメント６（ここでは８本）を取付け可能な小型真空蒸着装置４内のフィラメント装着部５に、これらのフィラメント６を取り付ける。その後、小型真空蒸着装置４を真空引きし、フィラメント接続回路９を介して、電源装置２４よりフィラメント６へ電力を供給する。
【００４０】
この電力供給によって、フィラメント６を数分程度、加熱（フラッシング）し、その後、それらを十分に冷却してから、小型真空蒸着装置４に不活性ガス１７を導入して、大気圧に戻す。次の工程▲５▼では、小型真空蒸着装置４を開けて、この装置内のフィラメント装着部５に固定されている、上記フラッシングを終えたフィラメント６のコイル部分７に、あらかじめＵ字形に成形した蒸発材料８を引っ掛ける作業を行う。
【００４１】
その後、小型真空蒸着装置４を再度、真空引きし、フィラメント接続回路９に電源装置２４より電力を供給する。これにより蒸発材料８が融け、それが、フィラメント６のコイル部分７の表面を覆うように融かし付けられた状態で電力供給を停止する。そして、コイル部分７を十分、冷却した後、小型真空蒸着装置４に不活性ガス１７を導入し、大気圧に戻す。
【００４２】
次の工程（図４の工程▲３▼）で、小型真空蒸着装置４を開け、上記の工程で蒸発材料８が融かし付けられたプリウェット・フィラメント１０を取り出し、１本づつ、ディジタル重量計１８で、その重量を測定して、それらの値を記録する。その後、図６に示す工程▲６▼で、プリウエット・フィラメント１０を１本づづ、ビニール袋１９に入れ、続く工程▲７▼で、ビニール袋１９に入れたプリウェット・フィラメント１０を数本まとめて、上述のように酸素吸着剤１１の入った密閉袋１２に入れ、保管する。
【００４３】
上記の各工程を経ることで、フィラメント６に融かし付けられた蒸発材料８の重量が所定の範囲内に収まり、かつ、その蒸発材料８が、フィラメント６のコイル部７に均一に融かし付けられる。その結果、大型鏡の蒸着作業時には、このように製作されたプリウェット・フィラメント１０だけを提供することで、例えば、十分な絶対膜厚（平均１５００Å程度）と、均一な膜厚分布（膜厚のばらつきが±５％程度）の大型反射鏡を得ることができる。
【００４４】
以上説明したように、本実施の形態によれば、一定の範囲内の重量を有するフィラメントのコイル部分に、真空中で一様に蒸発材料を融かし付けて得たプリウエット・フィラメントの内、一定の重要範囲のものを選別して、それらを酸素吸着材の入った密閉袋で保管することで、製造過程でフィラメントおよび蒸発材料が長時間、大気に曝されることを回避できるとともに、大型真空蒸着装置による実際の蒸着作業を行う時期まで、気密状態を維持したままプリウェット・フィラメントの保管ができる。
【００４５】
また、一様に蒸発材料が溶融付着したプリウエット・フィラメントを使用することで、各フィラメントからの蒸発材料の蒸発量にばらつきがなくなり、大型のガラス鏡の蒸着作業中に蒸発材料がフィラメントから落下するのを防ぐことができる。
【００４６】
さらに、使用するフィラメントの電気抵抗を一定範囲内のものに選別することで、各フィラメントの昇温ムラを少なくし、各蒸発源フィラメントから蒸発する蒸発材料の重量を把握できるので、大型真空蒸着装置で大型ガラス鏡の蒸着作業を行っても、十分な絶対膜厚と、均一な膜厚分布を持った大型反射鏡が得られる。
【００４８】
上記複数個の発熱体を電気抵抗体とし、これらの電気抵抗値を互いに等しくすることで、発熱体からの発熱量を一定にできる。
【００４９】
また、上記複数個の発熱体を、電気的に並列回路を構成するよう接続することで、それらに一定電圧を供給でき、各蒸発源からの蒸発材料の蒸発量にばらつきがなくなる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、第１の発明によれば、真空蒸着に使用する蒸発源を製造する蒸発源製造方法において、複数個の発熱体個々の重量を計測する第１の計測工程と、上記第１の計測工程による計測結果をもとに、所定範囲内の重量を有する発熱体を選別する第１の選別工程と、上記第１の選別工程で選別された複数個の発熱体各々に複数個の蒸発材を装着する工程と、上記発熱体を発熱させて、上記蒸発材を真空中で溶融する工程と、上記溶融した蒸発材が上記発熱体各々の表面を覆った時点で、この発熱体の発熱を停止させる工程と、上記溶融後の蒸発材で覆われた複数個の上記発熱体個々の重量を計測する第２の計測工程と、上記第２の計測工程による計測結果をもとに、上記溶融後の蒸発材で覆われた発熱体の内、所定範囲内の重量を有する複数個の発熱体を選別する第２の選別工程と、上記第２の選別工程で選別された溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体各々を気密状態で保管する工程とを備え、上記保管された複数個の発熱体を上記蒸発源とすることで、製造過程で発熱体および蒸発材料が長時間、大気に曝されることを回避でき、長期間に渡って、蒸発源の気密状態を維持できると共に、各蒸発源での昇温ムラを少なくし、各蒸発源より蒸発する蒸発材料の重量を的確に把握できる。
【００５４】
また、第２の発明によれば、複数の蒸発源を使用して真空蒸着を行う真空蒸着方法において、複数個の発熱体を用意し、上記複数個の発熱体個々の重量を計測し、上記計測結果をもとに、所定範囲内の重量を有する発熱体を選別し、選別された複数個の発熱体各々に蒸発材を装着し、上記発熱体を発熱させて、上記蒸発材を真空中で溶融し、上記溶融した蒸発材が上記発熱体各々の表面を覆った時点で、この発熱体の発熱を停止させ、上記溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体個々の重量を計測し、計測結果をもとに、上記溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体の内、所定範囲内の重量を有する発熱体を選別し、この選別された溶融後の蒸発材で覆われた複数個の発熱体各々を気密状態で保管しておき、上記保管された複数個の発熱体を上記蒸発源として取り付け、上記複数個の発熱体を発熱させて真空蒸着を行うので、大型真空蒸着装置による大型ガラス鏡の蒸着作業に当り、十分な絶対膜厚と、均一な膜厚分布を持った大型反射鏡が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１に係る真空蒸着装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】  実施の形態に係る真空蒸着装置の構成を模式的に示す図である。
【図３】  実施の形態に係る大型真空蒸着装置に用いるフィラメントの接続回路である。
【図４】  小型真空蒸着装置によるプリウエット・フィラメントの製作工程を示す図である。
【図５】  小型真空蒸着装置によるプリウエット・フィラメントの製作工程を示す図である。
【図６】  小型真空蒸着装置によるプリウエット・フィラメントの製作工程を示す図である。
【図７】  従来の大型真空蒸着装置の構造を示す図である。
【図８】  従来の装置におけるフィラメント装着部を模式的に示す図である。
【図９】  従来の装置におけるフィラメント装着部を模式的に示す図である。
【図１０】  従来の大型真空蒸着装置で使用しているフィラメントの接続回路を模式的に示す図である。
【符号の説明】
１…大型真空蒸着装置、２…大型ガラス鏡、３…蒸発源フィラメント部、４…小型真空蒸着装置、５，１３…フィラメント装着部、６…フィラメント、７…コイル部分、８…蒸発材料、９…フィラメント接続回路、１０…プリウエット・フィラメント、１１…酸素吸着剤、１２…密閉袋、１４…フィラメント接続回路、１５…超音波洗浄器、１６…エチルアルコール、１７…不活性ガス、１８…ディジタル重量計、１９…ビニール袋、２４，２５…電源供給装置、１２０a，１２０b…フィラメントのループ部分、１２１…アパチャー、１２２…接続ケーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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