(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気回路構成部材の表面である平面上において互いに直交する２つの直線群の交点である多数の格子点の各々に、その平面から突出して形成された多数の球冠状の半田ボールを撮像する方法であって、
前記平面に直角な方向から見た場合に互いに異なる複数の方向から前記多数の半田ボールに同時に光を照射し、その照射の方向を前記平面に対して傾斜させ、その傾斜の角度を、前記光が前記多数の半田ボールの各々の前記平面に隣接した基部の表面の前記複数方向に対向する部分により前記平面にほぼ直角な方向に反射される角度であってかつ１つの半田ボールの影がそれ以外の半田ボールの表面にかからない角度とすることにより、前記平面に直角な方向からそれら多数の半田ボールを見た場合に、それら半田ボールの前記基部の表面の前記複数方向に対向する部分が他の部分より明るく見えるようにするとともに、それら多数の半田ボールの像を前記平面に直角な方向から撮像装置により同時に撮像することを特徴とする光沢を有する半田ボールの撮像方法。
【請求項２】
前記電気回路構成部材がフリップチップであり、前記多数の半田ボールがフリップチップの裏側の表面に形成されてボールグリッドアレイを構成する請求項１に記載の半田ボールの撮像方法。
【請求項３】
前記光として平行光を使用する請求項１または２に記載の半田ボールの撮像方法。
【請求項４】
前記平行光の照射方向が、前記平面に直角な方向から見た場合に、前記２つの直線群のいずれに対しても傾斜した方向である請求項３に記載の半田ボールの撮像方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１つに記載の撮像方法により撮像された前記多数の半田ボールの像に基づいて、それら半田ボールの各々の前記平面に平行な方向における位置を特定する位置特定工程を含むことを特徴とする半田ボールの位置特定方法。
【請求項６】
請求項５の半田ボールの位置特定方法により特定された前記多数の半田ボールの位置の情報を利用する方法であって、
前記電気回路構成部材が、表面に前記多数の半田ボールが形成され、吸着ノズルにより保持される回路部品であり、その回路部品の前記吸着ノズルによる保持位置を、前記特定された半田ボールの位置に基づいて特定することを特徴とする回路部品の保持位置特定方法。
【請求項７】
電気回路構成部材の表面である平面上において互いに直交する２つの直線群の交点である多数の格子点の各々に、その平面から突出して形成された多数の球冠状の半田ボールを撮像する撮像システムであって、
前記平面に直角な方向から見た場合に互いに異なるとともに前記平面に対してそれぞれ傾斜した複数の方向から前記多数の半田ボールに平行光を同時に照射する照明装置であって、その平行光の前記平面に対する傾斜角が、平行光が半田ボールの前記平面に隣接した基部の表面の前記複数方向に対向する部分により前記平面にほぼ直角な方向に反射される角度であってかつ各半田ボールの影がそれ以外の半田ボールの表面にかからない角度である照明装置と、
前記多数の半田ボールの像を前記平面に直角な方向から同時に撮像する撮像装置と
を含むことを特徴とする半田ボールの撮像システム。
【請求項８】
前記照明装置が、平行光の平板状の光束を放射する平板状光束放射器を３個以上備え、それら３個以上の平板状光束放射器が前記平面に対する一法線のまわりに前記平面に対して傾斜して配設されたものである請求項７に記載の撮像システム。
【請求項９】
前記平板状光束放射器が４個である請求項８に記載の撮像システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フリップチップの半田ボールやプリント基板の基準マークのように、平面から突出し、表面が光沢を有する球冠状の突起の撮像に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
フリップチップの半田ボールやプリント基板の基準マークは、一般に半田により形成され、多くは、半球未満の球冠またはそれに近い形状の突起（これらを球冠状突起と総称する）として形成される。フリップチップにおいては、半田ボールがフリップチップの裏面（裏側の表面）の多数の格子点にそれぞれ形成され、ボールグリッドアレイとされるのであり、プリント基板においては、プリント基板の複数の角部に半田がスポット状に盛り上げられて基準マークとされるのである。
【０００３】
フリップチップを回路基材に装着する際には、吸着ノズル等の部品保持具にフリップチップを保持させ、回路基材のフリップチップ装着箇所の上方位置まで搬送させ、部品保持具と回路基材とを接近させてフリップチップを回路基材に装着することが行われている。このフリップチップの回路基材に対する装着位置の精度を向上させるために、部品保持具に保持されたフリップチップのボールグリッドアレイを撮像装置により撮像し、得られた像に基づいて、フリップチップの部品保持具による保持位置誤差を演算し、その保持位置誤差を解消するように、部品保持具と回路基材との相対位置決めを行うことが行われている。
【０００４】
また、回路部品をプリント基板に装着する際、装着位置の精度を高めるためには、上記のように部品保持具による回路部品の保持位置誤差を検出して補正するのみならず、回路基材の位置決め誤差も検出して補正することが望ましい。そこで、プリント基板については、上記のように複数の基準マークを設け、その基準マークを撮像装置により撮像することにより、プリント基板の位置決め誤差を検出することが行われている。
【０００５】
しかし、半田ボールや基準マークの撮像は必ずしも容易ではない。これらは半田により形成され、表面が光沢を有しているため、部分的に強い反射光が生じ易く、半田ボールや基準マークの外周縁が明確な像を取得することが困難であるからである。この問題を解決するために、従来から、半田ボールや基準マークの全表面にできる限り均等に光を照射し得る照明の工夫がなされてきているが、未だ完全なものは得られていない。
以上は、半田ボールや基準マークを例として説明したが、これら以外の光沢を有する球冠状突起の撮像についても事情は同じである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段，作用および効果】
本発明は、以上の事情を背景として、平面から突出し、表面が光沢を有する球冠状突起の、外周縁が明確な像を取得し得る撮像方法を得ることを課題としてなされたものである。
この課題は、平面から突出し、表面が光沢を有する球冠状突起の撮像方法を、前記平面に直角な方向から見た場合に互いに異なるとともに前記平面に対してそれぞれ傾斜した複数の方向から、球冠状突起に光を照射することにより、前記平面に直角な方向から球冠状突起を見た場合に、その球冠状突起の前記平面に隣接した基部の表面の前記複数方向に対向する部分が他の部分より明るく見えるようにするとともに、球冠状突起の像を前記平面に直角な方向から撮像装置により撮像するものとすることにより解決される。
【０００７】
球冠状突起を上記のように照明して撮像すれば、球冠状突起の基部の表面の前記複数方向に対向する部分が明るい像が取得される。すなわち、球冠状突起の中央部およびその球冠状突起が形成されている平面は、比較的暗い領域として撮像され、球冠状突起の基部の少なくとも複数の部分が特に明るい像として撮像されるのであり、それら複数の部分の像に基づいて球冠状突起の外周縁を正確に特定することができる。換言すれば、本発明においては、照明装置による光の複数の照射方向が、球冠状突起の外周縁を正確に特定するに足る像が取得できる方向とされるのである。例えば、球冠状突起の軸線を中心とする一円周を３等分以上に等分する等分点と軸線とを結ぶ３方向以上（軸線に平行な方向から見た場合に）から光を当てれば、球冠状突起の基部の表面のうち、少なくとも３箇所以上について他の部分と峻別し得る明確な像が得られ、したがって、球冠状突起の外周縁を正確に特定することができる。なお、球冠状突起を同心的に囲む円環状の光放射面から光を放射する場合には、光の照射方向の数が無限大であると考えることとする。また、球冠状突起の真球度が高い場合には、２等分の方向から光を照射して得られる２部分の像から球冠状突起の外周縁を正確に特定することができるが、一般的には精度が不足し易いため、３等分以上の方向から光が照射されるようにすることが望ましい。
【０００８】
本発明の一実施態様は、前記平面が電気回路構成部材の表面であり、前記球冠状突起が電気回路構成部材の表面に形成された半田の突起である態様である。電気回路構成部材には、回路部品としての前記フリップチップ、回路基材としての前記プリント基板が含まれ、その場合には前記半田ボールや基準マークが球冠状突起であることになる。前述のように、半田ボールや基準マークを、それらの外周縁を正確に特定できる状態で撮像する必要性は高く、本発明によれば、その要求を良好に満たすことができる。
【０００９】
本発明の別の実施態様は、前記球冠状突起が前記平面に分散して多数形成されており、前記平行光の照射がそれら多数の球冠状突起のうちの複数に対して同時に行われ、前記撮像がそれら同時に平行光が照射される複数の球冠状突起について同時に行われる態様である。
多数の球冠状突起のすべてが同時に照明され、撮像されても、一部の球冠状突起のみが同時に撮像されてもよい。後者の場合には、一部ずつの撮像の繰返しによりすべての球冠状突起が撮像されても、一部のみの撮像で目的が達せられるのであれば、一部のみで撮像が終了させられてもよい。いずれにしても、多数の球冠状突起が存在する場合に、それらを１個ずつ撮像する必要はなく、撮像の能率を向上させることができる。複数の球冠状突起を同時に照明するための、照明装置については、後に、発明の実施の形態の項において説明する。
【００１０】
本発明の別の課題は、光沢を有する球冠状突起の位置を良好に特定し得る方法を得ることであり、この課題は、球冠状突起の位置特定方法を、上記いずれかの撮像方法により取得された球冠状突起の像に基づいて、球冠状突起のそれが突設されている平面に平行な方向における位置を特定する位置特定工程を含むものとすることにより解決される。
前述のように本発明に係る撮像方法によれば、球冠状突起の外周縁を正確に特定するに足る像が取得できるため、その像に基づいて球冠状突起のそれが突設されている平面に平行な方向の位置を特定すれば、高精度で特定することができる。
【００１１】
本発明の更に別の課題は、平面から突出し、表面が光沢を有する球冠状突起を撮像するに適した撮像システムを得ることであり、この課題は、撮像システムを、(a) 前記平面に直角な方向から見た場合に互いに異なるとともに前記平面に対してそれぞれ傾斜した複数の方向から、前記球冠状突起に平行光を照射する照明装置であって、その平行光の前記平面に対する傾斜角が、平行光が球冠状突起の前記平面に隣接した基部の表面の前記複数方向に対向する部分により前記平面にほぼ直角な方向に反射される角度である照明装置と、(b) 球冠状突起の像を前記平面に直角な方向から撮像する撮像装置とを含むものとすることにより解決される。
【００１２】
上記構成の照明装置により球冠状突起を照明すれば、前記平面に直角な方向から球冠状突起を見た場合に、その球冠状突起の前記平面に隣接した基部の表面の前記複数方向に対向する部分が他の部分より明るく見える状態となる。したがって、この状態の球冠状突起を前記平面に直角な方向から撮像装置により撮像すれば、外周縁が他の部分と明確に区別可能な球冠状突起の像が得られる。
【００１３】
【発明の補足説明】
本発明は各請求項に記載の上記態様の外に、下記の態様でも実施可能である。実施の態様は、便宜上、請求項と同じ形式の実施態様項として記載する。
（１）前記球冠状突起が、前記平面上において互いに直交する２つの直線群の交点である多数の格子点の各々に形成されており、前記平行光の照射方向が、前記平面に直角な方向から見た場合に、前記２つの直線群のいずれに対しても傾斜した方向である請求項３に記載の球冠状突起の撮像方法。
この撮像方法によれば、後に発明の実施形態の項において説明するように、１つの球冠状突起の影が、すぐ隣の球冠状突起の表面にかかって、それの完全な撮像を妨げる事態の発生を回避することが容易になる。
（２）前記平行光の照射方向の前記平面に対する傾斜角が、１つの球冠状突起の影が、その１つ以外の球冠状突起の表面にかからない大きさに選定されている請求項３または実施態様項１に記載の球冠状突起の撮像方法。
（３）前記多数の球冠状突起がフリップチップの裏面に形成されたボールグリッドアレイである請求項３，実施態様項１，２のいずれか１つに記載の球冠状突起の撮像方法。
（４）前記電気回路構成部材が回路基材であり、前記球冠状突起がその回路基材の表面に形成された基準マークである請求項２に記載の球冠状突起の撮像方法。
（５）請求項４の球冠状突起の位置特定方法により特定された球冠状突起の位置に基づいて、その球冠状突起を有する回路部品の吸着ノズルによる保持位置を特定する保持位置特定工程を含む回路部品の保持位置特定方法。
（６）前記照明装置が、平行光の平板状の光束を放射する平板状光束放射器を３個以上備え、それら３個以上の平板状光束放射器が前記平面に対する一法線のまわりに前記平面に対して傾斜して配設されたものである請求項５に記載の撮像システム。
平板状光束放射器としては、例えば、後に発明の実施形態の項において説明するように、断面形状が矩形である導管と、その導管の出口近傍に配設されたスリットとを含み、スリットを通過したほぼ平行な光線のみを放射するものや、直線状の光源と、その光源から半径方向に放射される光を平行光に変換するレンズとを含むものや、直線状の光源と、その光源から半径方向に放射される光を反射して平行光に変換する反射器とを含むものや、上記レンズおよび反射器の少なくとも一方と前記スリットとを含むもの等が好適である。平板状光束放射器は等角度間隔またはそれに近い状態で配設されることが望ましい。
（７）前記平板状光束放射器が４個である実施態様項６に記載の撮像システム。
（８）前記照明装置が、中心線が前記平面に直角である一円錐面の各母線に平行な光線の、その円錐面とその円錐面に平行な別の円錐面とによって画定される円錐筒状を成す光束を放射する円錐筒状光束放射器を含むものである請求項５に記載の撮像システム。
円錐筒状光束放射器としては、例えば、リングライトと、そのリングライトからの光を反射してほぼ円錐筒状光束とする反射器とを含むものが好適である。これに、円錐筒状の導光器（出口近傍に円環状スリットが配設されたものであることが望ましい）を組み合わせれば一層好適な円錐筒状光束放射器となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１において１０は電子部品保持装置の吸着ノズルであり、電気回路構成部材としての電子部品１２を部品供給装置から取り出して図示しない回路基材としてのプリント基板に装着する。電子部品１２は、プリント基板上に塗布されたペースト状半田あるいはフラックスによりそのプリント基板に仮付けされる。そのため、吸着ノズル１０は、プリント基板に接合される側の平面である表面１６とは反対側の表面１８を吸着ノズル１０でバキュームによって吸着するものとされている。
【００１５】
電子部品保持装置については公知のものであるため、その構成を以下に概略的に説明し、図示を省略するものとする。電子部品保持装置は、水平面内において互いに直交するＸ方向とＹ方向とに移動させられる可動部材を備えている。この可動部材はサーボモータ等により駆動され、水平面内の任意の位置に高精度に位置決めされるようになっている。また、可動部材には、駆動装置により上下方向に移動させられる昇降部材が取り付けられており、この昇降部材に部品装着ヘッドが垂直軸線まわりに回転可能に保持されている。部品装着ヘッドは、吸着ノズル１０を備えている。本実施形態において、電子部品１２は吸着ノズル１０に水平に保持されてプリント基板支持装置により水平に支持されたプリント基板に装着されるのであって、表面１６は水平面であり、この表面１６に直角な方向は垂直方向である。
【００１６】
吸着ノズル１０は、ノズル本体（図示省略）とノズル本体に軸方向に摺動可能に嵌合された吸着管２０とを備えている。吸着管２０は、ノズル本体の通路を経て図示しない回転バルブ，ホースおよび電磁方向切換弁等を経てバキューム源に接続されており、電磁方向切換弁の切換えにより吸着管２０にバキュームが供給され、あるいは遮断されるようになっている。
【００１７】
電子部品１２は、平行六面体を成し、表面１６に露出した複数の電極上に、表面に光沢を有する球冠状突起としての半田ボール３０が形成されたフリップチップである。半田ボール３０はほぼ半球の球冠を成し、図３にその一部を示すように、表面１６上において互いに直交する２つの直線群の交点である多数の格子点の各々に形成されてボールグリッドアレイを構成している。この半田ボール３０が前記プリント基板の半田に接合されるのである。
【００１８】
電子部品１２に対して吸着管２０とは反対側には、半田ボール３０に光を照射する照明装置４０と、その半田ボール３０の像を撮像する撮像装置４２とが設けられている。また、撮像装置４２は図示しない制御装置に接続されている。これら照明装置４０，撮像装置４２および制御装置が撮像システム４４を構成している。撮像装置４２は、レンズ系および固体撮像素子を備えたＣＣＤカメラであり、吸着管２０が撮像装置４２の真上に位置決めされた状態において、電子部品１２の表面１６と対向するように設けられ、半田ボール３０の像を垂直な方向から撮像する。
【００１９】
照明装置４０は、複数（図示の例では４個）の光束放射器５０を備えており、図３に示すように、電子部品１２の表面１６側を垂直な方向から見た場合に吸着管２０の中心線のまわりに互いに９０°間隔を隔てて対向する状態で設けられている。つまり、これら光束放射器５０は、電子部品１２の表面１６に対する一法線まわりに等角度間隔で設けられていることになる。さらに、各光束放射器５０は、表面１６に対して傾斜させられている。この傾斜の角度については後に説明する。
【００２０】
図５に示すように、光束放射器５０の導管５２は断面形状が矩形で内面の反射率が低い角筒であり、その出口近傍にはスリット５４が形成されている。導管５２内には直線状の光源５６が配設されており、導管５２の出口とは反対側の端部には凹面から成る反射器５８が設けられている。したがって、光源５６から半径方向に放射された光は反射器５８に反射されて平行光に変換され、スリット５４を通過して電子部品１２に向かって平行光として放射される。本実施形態における光束放射器５０は平板状光束放射器の一例なのである。
【００２１】
光束放射器５０の上記傾斜角は、光束放射器５０からの平行光が、半田ボール３０における表面１６に隣接した基部６０（図４参照）の光束放射器５０の照射方向に対向する部分により、ほぼ垂直な方向に反射される角度に設定され、さらに、この傾斜角は、１つの半田ボール３０の影が、それ以外の半田ボール３０の表面にかからない大きさに選定されている。したがって、照明装置４０により半田ボール３０に平行光が照射されている状態を垂直な方向から見た場合、図４に示すように、半田ボール３０の基部６０の照射方向に対向する部分が他の部分より明るく見える。本実施形態においては、複数（４個）の光束放射器５０により電子部品１２に複数の方向（４方向）から光が照射されることにより、各半田ボール３０の中央部および表面１６が比較的暗い領域として撮像され、半田ボール３０の基部６０の４つの部分が特に明るい像として撮像される。したがって、それら４つの明るい部分の像に基づいて半田ボール３０の外周縁を正確に特定できる。基部６０の表面の垂直方向に対する角度が小さいため、特に明るい像として撮像される部分の表面１６からの距離がある程度変化しても、表面１６に直角な方向から見た場合の位置の変化が小さいことは、外周縁の位置、ひいては半田ボール３０の位置を精度良く特定する上で好都合である。
【００２２】
以上のように構成された電子部品保持装置は、部品供給装置から電子部品１２を受け取って前記プリント基板に装着するものであり、部品の受取位置と装着位置との間に照明装置４０および撮像装置４２が設けられていて、撮像装置４２により検出された電子部品１２の保持位置誤差が補正された上で電子部品１２がプリント基板に装着される。
電子部品１２の受取り時には、吸着管２０が部品供給装置中の受け取るべき電子部品１２の上方に位置決めされた状態において前記昇降部材が下降させられることにより吸着ノズル１０が下降させられて吸着管２０が電子部品１２の表面１８に当接させられる。この状態において吸着管２０がバキューム源に連通させられ、電子部品２０を吸着する。
【００２３】
その後、昇降部材が上昇させられ、前記可動部材が移動させられて吸着管２０が撮像装置４２の真上に位置決めされる。そして、以下に説明する撮像方法および位置特定方法により電子部品１２の複数の半田ボール３０が撮像され、それら半田ボール３０の位置が特定される。
まず照明装置４０の各光束放射器５０から電子部品１２に平行光が照射されることにより、表面１６に形成された半田ボール３０の基部６０の各光束放射器５０に対向する部分に光が照射され、その反射光が撮像装置４２の固体撮像素子面に電子部品１２の表面１６（ボールグリッドアレイ）の像を結ぶ。なお、本実施形態においては、電子部品１２の複数の半田ボール３０の全てが同時に照明，撮像される。撮像装置４２はこの像を中間調データまたは二値化データに変換し、前記制御装置に出力する。制御装置ではそのデータに基づいて、位置特定工程において、電子部品１２に形成された各半田ボール３０の、表面１６に平行な方向における位置を特定し、保持位置特定工程において、この特定された各半田ボール３０の位置に基づいて電子部品１２の吸着管２０による保持位置を特定する。そして、実際の電子部品１２の像のデータと制御装置自身のメモリに予め記憶させられている電子部品１２の正規の像、すなわち電子部品１２が正規の位置に保持された場合の表面１６における各半田ボール３０の位置を示す像のデータとを比較し、電子部品１２のＸ，Ｙ両方向における位置誤差（中心位置誤差）および軸線まわりの位置誤差（回転位置誤差）がそれぞれ演算される。
【００２４】
このように位置特定が行われた後、電子部品１２は装着位置に移動させられるのであるが、その際、上記中心位置誤差が、吸着ノズル１０のＸ方向およびＹ方向の停止位置を補正することによって補正され、上記回転位置誤差が前記部品装着ヘッドの回転により補正される。これら中心位置誤差および回転位置誤差が解消されることにより、吸着管２０が電子部品装着位置に位置決めされた状態では、プリント基板と電子部品１２とは装着に適した相対位置となっている。そして、昇降部材が下降させられ、吸着管２０に保持された電子部品１２がプリント基板の所定の位置に押し付けられ、ペースト状半田，フラックス等によって仮付けされる。その状態で前記電磁方向切換弁の切換えにより吸着管２０が大気に連通させられることによって、電子部品１２が解放され、その後、吸着管２０が上昇すれば電子部品１２はプリント基板上に残る。電子部品１２の装着が完了するのである。
【００２５】
本実施形態によれば、半田ボール３０の外周縁を特定するに足る像が取得でき、その像に基づいて半田ボール３０の位置を高精度で特定することができるため、電子部品１２のプリント基板に対する装着位置の精度を向上させることができる。さらに、電子部品１２における複数の半田ボール３０が同時に撮像されるため、撮像の能率が向上する。
【００２６】
複数の半田ボールを同時に照明する照明装置については、以下の図６ないし図８に概略的に示す各形態のうちのいずれかを選択して上記実施形態に適用することも可能である。
図６に示す照明装置１００は、出口近傍にスリット１０２を備えた矩形断面の導管１０４と、導管１０４内に配設された直線状の光源１０６と、スリット１０２と光源１０６との間に配設されたレンズ１０８とを備えている。光源１０６から放射される半径方向の光が、レンズ１０８により平行光に変換されてスリット１０２を通過して放射されるのである。
また、図７において、照明装置２００は、矩形断面を有し長手方向に長い導管２０２を備え、導管２０２の出口近傍にはスリット２０４が形成されている。導管２０２内においてスリット２０４から隔たった位置には直線状の光源２０６が配設されている。光源２０６からは半径方向に光が放射されるが、照明装置２００はスリット２０４を通過したほぼ平行な光線のみを外部に放射する。
以上図６および図７に示す各照明装置１００，２００はそれぞれ平板状光束放射器の一例である。
【００２７】
図８に示す照明装置３００は円錐筒状光束放射器の一例である。この照明装置３００において、導光器３０２は、中心線が電子部品１２の表面１６に対して垂直である円錐面とその円錐面に平行な別の円錐面とによって画定される中空の截頭円錐筒状を成している。導光器３０２内にはリングライト３０４が配設され、導光器３０２の出口近傍には円環状のスリット３０６が形成されている。
【００２８】
また、本発明における照明装置を、ケーシングとケーシング内に配設された複数の光ファイバとを備える構成とし、光源からの光がそれら光ファイバにより伝達されて電子部品に向かって平行光が放射されるようにすることも可能である。
【００２９】
上記実施形態においては、照明装置による光の照射方向が４方向とされていたが、照明装置を光束放射器を３個以上備える構成とし、半田ボールの軸線を中心とする一円周を３等分以上に等分する等分点と軸線とを結ぶ３方向以上（軸線に平行な方向から見た場合に）から光を当てれば、半田ボールの基部の表面のうち、少なくとも３箇所以上について他の部分と峻別し得る明確な像が得られ、したがって、半田ボールの外周縁を正確に特定することができる。なお、図８に示す実施形態のように電子部品１２を同心的に囲む円環状の光放射面から光を放射する場合には、光の放射方向の数が無限大であると考えることとする。また、光の放射方向間隔を等角度間隔とすることは不可欠ではない。
【００３０】
また、照明装置の平行光の照射方向を、電子部品の平面に直角な方向から見た場合に、上記実施形態において説明した格子点を構成する２つの直線群のいずれに対しても傾斜した方向とすることも可能である。このようにすれば、照明装置の電子部品の平面に対する傾斜角を小さくしても、１つの球冠状突起の影がすぐ隣の球冠状突起の表面にかかることを防止でき、球冠状突起のより基端に近い部分からの反射光の方向が電子部品の表面に直角となり、球冠状突起のより基端に近い部分の像を得ることができる。
【００３１】
上記実施形態においては、吸着ノズル１０がＸ方向，Ｙ両方向および上下方向に移動し、プリント基板が位置固定に設けられていたが、吸着ノズルがＸ方向および上下方向に移動し、回路基板がＹ方向に移動するものとしてもよく、あるいは回路基板がＸ方向およびＹ方向に移動し、吸着ノズルが一軸線の回りを旋回して定位置に停止し、上下方向のみに移動する形態の電子部品保持装置に本発明を適用することもできる。吸着ノズルと回路基板とが電子部品の装着に必要な相対移動を行う装置に本発明を適用することができるのである。
【００３２】
また、電気回路構成部材を回路基材であるプリント基板とし、球冠状突起をそのプリント基板上に設けられた基準マークとする形態で本発明を適用することも可能である。プリント基板上の複数の基準マークを撮像装置により撮像することにより、プリント基板の位置決め誤差を検出するのである。そして、電子部品の保持位置誤差とプリント基板の位置決め誤差とが合わせて補正されるようにすれば、電子部品のプリント基板への装着位置精度を高めることができる。
その他、特許請求の範囲を逸脱することなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で本発明を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である撮像システムを示す斜視図である。
【図２】上記撮像システムの正面（一部断面）図である。
【図３】上記撮像システムの平面図である。
【図４】上記撮像システムにより撮像される球冠状突起を示す平面図である。
【図５】上記撮像システムの照明装置の要部を示す正面断面図である。
【図６】本発明の別の実施形態である撮像システムの照明装置の要部を示す正面断面図である。
【図７】本発明のさらに別の実施形態である撮像システムの照明装置の要部を示す正面断面図である。
【図８】本発明のさらに別の実施形態である撮像システムの照明装置を示す正面断面図である。
【符号の説明】
１２  電子部品
１６  表面
３０  半田ボール
４０  照明装置
４２  撮像装置
４４  撮像システム
１００  照明装置
２００  照明装置
３００  照明装置
【図１】
0003802957.tif 000002
【図２】
0003802957.tif 000003
【図３】
0003802957.tif 000004
【図４】
0003802957.tif 000005
【図５】
0003802957.tif 000006
【図６】
0003802957.tif 000007
【図７】
0003802957.tif 000008
【図８】
0003802957.tif 000009