(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホストコンピュータと、
画像情報データと表示データとを同時に表示可能なタッチパネル式の表示手段及びプローブにより検査されるウエハを連続的に撮影して画像情報データを出力する画像処理部及び検査に係わる表示データを出力する表示制御部及び上記画像処理部と上記表示制御部との出力を制御するプローバ制御部とを夫々有する複数のプローバ装置と、
上記タッチパネル式の表示手段に表示されている画像データ及び表示データから選択された一つのプローバ装置に対する画像情報データ及び表示データを選択すると同時に上記ホストコンピュータの表示手段に表示させる選択表示手段とを備え、
この選択表示手段は、上記ホストコンピュータへのビデオキャプチャーボードと、出力がこのビデオキャプチャーボードに入力され上記各ブローバ装置の出力がそれぞれ入力されるマルチプレクサとを有し、
上記ホストコンピュータの表示手段及び上記プローバ装置のタッチパネル式の表示手段のいずれからも上記ブローバ装置が操作できることを特徴とするウェハプローバの遠隔操作システム。
【請求項２】
ホストコンピュータと、
画像情報データと表示データとを同時に表示可能なタッチパネル式の表示手段及びプローブにより検査されるウエハを連続的に撮影して画像情報データを出力する画像処理部及び検査に係わる表示データを出力する表示制御部及び上記画像処理部と上記表示制御部との出力を制御するプローバ制御部とを夫々有する複数のプローバ装置と、
上記タッチパネル式の表示手段に表示されている画像データ及び表示データから選択された一つのプローバ装置に対する画像情報データ及び表示データを選択すると同時に上記ホストコンピュータの表示手段に表示させる選択表示手段とを備え、
上記表示制御部は、上記画像処理部で得られた画像データを記憶する第１の記憶手段とと、表示データを記憶する第２の記憶手段とを有し、
上記画像処理部は、ウェハの画像を撮像してその画像データを出力する撮像手段と、その画像データを上記第１の記憶手段に転送することを制御する中央処理装置を有し、
プローバ制御部は、上記画像処理部及び表示制御部にそれぞれ設けられた中央処理装置を制御する中央処理装置と、このプローバ制御部の中央処理装置と上記ホストコンピュータを接続するローカルエリアネットワークを有することを特徴とするウェハプローバの遠隔操作システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハに形成された被測定の大規模集積回路等の半導体回路の被測定点と接触するプローブ（ピン）を夫々有する複数のプローバ装置を備えたウェハプローバの遠隔操作システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体ウエハに形成された回路、例えば、大規模集積回路（以下、ＬＳＩと称する）用のテストシステムにおいては、１台の演算及び測定ユニットに対し、プローブを備えたエレクトロニクス部を含む複数のテストステーションが互いに独立して接続されており、各テストステーション部にプローバ装置が設けられている。これら複数のプローバ装置で、夫々ＬＳＩのテストを独立して、平行に行うようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この操作は、夫々のプローバ装置に設けられた操作画面を見ながら互いに独立して行っている。このため、夫々のプローバ装置が、例えば正常に動作しているか否かは、これらプローバ装置に操作者がついて確認しなければならず、非常に人的効率が悪い。
【０００４】
本発明の目的は、複数のプローバ装置が同時に動作していても、それそれのプローバ装置の動作を一々操作者がついていて監視する必要のないウェハプローバの遠隔操作システムを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係わるウェハプローバの遠隔操作システムは、ホストコンピュータと、 画像情報データと表示データとを同時に表示可能なタッチパネル式の表示手段及びプローブにより検査されるウエハを連続的に撮影して画像情報データを出力する画像処理部及び検査に係わる表示データを出力する表示制御部及び上記画像処理部と上記表示制御部との出力を制御するプローバ制御部とを夫々有する複数のプローバ装置と、上記タッチパネル式の表示手段に表示されている画像データ及び表示データから選択された一つのプローバ装置に対する画像情報データ及び表示データを選択すると同時に上記ホストコンピュータの表示手段に表示させる選択表示手段とを備え、この選択表示手段は、上記ホストコンピュータへのビデオキャプチャーボードと、出力がこのビデオキャプチャーボードに入力され上記各ブローバ装置の出力がそれぞれ入力されるマルチプレクサとを有し、上記ホストコンピュータの表示手段及び上記プローバ装置のタッチパネル式の表示手段のいずれからも上記ブローバ装置が操作できることを特徴とする。
【０００６】
請求項２記載のウェハプローバの遠隔操作システムは、ホストコンピュータと、 画像情報データと表示データとを同時に表示可能なタッチパネル式の表示手段及びプローブにより検査されるウエハを連続的に撮影して画像情報データを出力する画像処理部及び検査に係わる表示データを出力する表示制御部及び上記画像処理部と上記表示制御部との出力を制御するプローバ制御部とを夫々有する複数のプローバ装置と、上記タッチパネル式の表示手段に表示されている画像データ及び表示データから選択された一つのプローバ装置に対する画像情報データ及び表示データを選択すると同時に上記ホストコンピュータの表示手段に表示させる選択表示手段とを備え、上記表示制御部は、上記画像処理部で得られた画像データを記憶する第１の記憶手段とと、表示データを記憶する第２の記憶手段とを有し、上記画像処理部は、ウェハの画像を撮像してその画像データを出力する撮像手段と、その画像データを上記第１の記憶手段に転送することを制御する中央処理装置を有し、プローバ制御部は、上記画像処理部及び表示制御部にそれぞれ設けられた中央処理装置を制御する中央処理装置と、このプローバ制御部の中央処理装置と上記ホストコンピュータを接続するローカルエリアネットワークを有することを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。図１において、符号１１は被測定の大規模集積回路の被測定点に、例えば、電極パットに、夫々当接されて電気的に接続される複数のプローブ（ピン）を有するプローバ回路を示す。このプローバ回路１１内において、システムバス１２には、プローバの制御を行うプローバ制御部１３、画像処埋を行う画像処理部１４、表示制御を行う表示制御部１５が夫々接続されている。このプローバ制御部１３は、後述するタッチパネルからの入力情報もしくはホストコンピュータからの入力情報に基づいて、画像処理部１４と表示制御部１５とを駆動制御して、これらに所定の動作を行わせる。
【０００８】
プローバ制御部１３は、前記システムバス１２に接続されたＣＰＵ２１を中心に構成されている。このＣＰＵ２１には、プローバ制御のためのプログラムやパラメータが記憶されているディスク装置２２が接続されると共に、メモリアプリケーション２３が接続されている。このメモリアプリケーション２３には、マップデータが記憶されている。このメモリアプリケーション２３には、ＲＳインタフェース２４、信号ラインＬ１を介してタッチパネル２５の出力側が接続されている。この結果、タッチパネル２５を操作した場合に得られるタッチパネル情報は、信号ラインＬ１を介してプローバ制御部１３のＲＳインタフェース２４において、信号変換された後、メモリアプリケーション２３に入り、この情報が処理される。
【０００９】
前記画像処理部１４において、符号３１は、前記システムバス１２に接続され、画像処埋を統括して制御するＣＰＵを示す。このＣＰＵ３１には、各種画像処埋を行うための制御プログラムが記憶されているＲ０Ｍ３２、アライメントの画像データ，プローブの針先の画像データが記憶されるメモリ３３が夫々接続されている。このメモリ３３には、図示していないメインチャック上での半導体ウエハのアライメントの画像，並びに針先の画像を夫々撮影し、この画像に対応した画像データ信号を出力するための、例えば、ＣＣＤカメラより構成された撮像装置３４が、ＡＤ変換器３５を介して接続されている。この撮像装置３４からのアナログ画像データ信号は、ＡＤ変換器３５でデジタルデータ信号に変換された後に、メモリ３３に記憶される。
【００１０】
ＡＤ変換器３５でデジタル信号に変換された前記画像データは表示制御部１５に出力される。この表示制御部１５において、符号４１は、前記システムバス１２に接続され、表示制御を統括するＣＰＵを示す。このＣＰＵ４１には、表示制御を行うための制御プログラムが記憶されているＲＯＭ４２、上層（オーバレイ）メモリ４３ｕ、下層（アンダーレイ）メモリ４３ｄが夫々接続されている。
【００１１】
前記両メモリ４３ｕ、４３ｄの出力側は、ＶＧＡドライバ４４の入力側に接続されており、これらメモリからの表示信号はＶＧＡドライバ４４に入力される。このＶＧＡドライバ４４の第１の出力側は、タッチパネル２５の入力側に、そして、第２の出力側は、光ファイバーケープル４５を介して、マルチプレクサ４６の複数の入力端の１つに接続されている。
【００１２】
前記タッチパネル２５の表示画面は上層画面と下層画面と有している。上層画面には、前記上層メモリ４３ｕに記憶されている表示データ（例えば、文字データ）が表示され、また、下層画面には、下層メモリ４３ｄに記憶されている表示データ（例えば、カメラ３４で撮影されたアライメントの画像や針先の画像）が動画として表示される。
【００１３】
前記マルチプレサ４６の他の入力端には、夫々ＶＧＡドライバ４４ａを備えた他のプローバ回路１１ａ、とタッチパネル２５ａとにより構成された他のプローバ装置が、光ファイバーケープル４５ａを介して、夫々接続されている。これら他のプローバ回路１１ａ並びにＶＧＡドライバ４４ａは、前記プローバ回路１１並びにＶＧＡドライバ４４と構成も接続方法も同じなので説明を省略する。また、図では、３つのプローバ回路１１，１１ａがマルチプレクサ４６に接続されているが、実際にはより多くのプローバ回路、例えば、８つのプローバ回路が接続され得る。
【００１４】
前記マルチプレクサ４６は、マルチプレクサ４６に、夫々入力されるＶＧＡドライバ４４，４４ａからの全ての表示信号から１つの表示信号を選択して、これの出力側に接続されている、ホストコンピュータ４９に組み込まれたビデオキャプチャーボード４７に入力させる。
【００１５】
図１中、符号４８は例えばイーサネット（Ｅｔｈｅｒｎｅｔ）のような回線により楕成されるＬＡＮ（ローカル・エリア・ネットワーク）を示す。このＬＡＮ４８は、上記プローバ制御部１３のＣＰＵ２１と、ホストコンピュータ４９との間の接続も行っており、ホストコンピュータ４９からの入力情報にもとづいて、前記タッチパネル２５からの情報と同様に、プローバ制御部１３を駆動させることが可能になっている。即ち、この装置においては、プローバ回路１１をホストコンピュータ４９からも、タッチパネル２５からも、駆動させることができる。この駆動操作は、タッチパネル手段に限られることはなく、キー、マウス等の入力手段によっても可能である。
【００１６】
次に、上記のように楕成された本発明の第１の実施の形態の動作について説明する。まず、タッチパネル２５もしくはホストコンピュータ４９からプローバ１１回路を操作するために必要な情報を入力手段により入力する。タッチパネル２５に入力した場合のタッチパネル情報、即ち、操作情報は、信号ラインＬ１を介してプローバ制御部１３のメモリアプリケーション２３に、ＲＳ２３２Ｃの規格で転送され、ここに格納される。このメモリアプリケーション２３に記憶された操作情報にもとづいてＣＰＵ２１は、画像処理部１４並びに表示制御部１５を夫々駆動すると共に、ＬＡＮ４８を介してホストコンピュータ４９にこの情報を出力する。そして、このタッチパネル情報はホストコンピュータ４９のメモリ（図示しない）に記憶される．
反対に、ホストコンピュータ４９に、タッチパネル、キーボードのキーもしくは／並びにマウスを使用して操作情報を入力した場合には、プローバ制御部１３はＬＡＮ４８を介して、前記と同様に機能する。
【００１７】
上記画像処理部１４が駆動されることにより、プローバ回路１１での測定中に、ウエハのアライメントの画像やプローブの針先の画像は撮像装置３４でリアルタイムに撮影されている。この撮像装置３４で撮影されたアライメントの画像や針先の画像は、ＡＤ変換器３５でデジタルデータに変換された後、ビデオバスＶ１を介して、表示制御部１５下層メモリ４３ｄに動画像データとして順次記憶される。
【００１８】
この画像処理部１４の動作と同時に、表示制御部１５において、作成された案内メッセージ等の表示データは上層メモリ４３ｕに格納される。そして、上層メモリ４３ｕに格納されている表示データ及び下層メモリ４３ｄに格納されている動画像データは、ＶＧＡドライバ４４に出力される。そして、このＶＧＡドライバ４４により、タッチパネル２５の上層に表示データが、下層にカメラ３４で撮影されたアライメントの画像や針先の画像が表示される。
【００１９】
上層メモリ４３ｕに格納されている表示データ及び下層メモリ４３ｄに格納されている動画像データはマルチプレクサ４６を介してヒデオキャプチャーボード４７に出力される。そして、このビデオキャプチャーボード４７で取り込まれた表示データ及び動画像データはホストコンピュータ４９の画面に表示される。従って、ホストコンピュータ４９の画面上に案内メッセージ等の表示データ及びカメラ３４で撮影されたアライメントの画像や針先の動画像を表示させることができる。このため、ホストコンピュータ４９で、プローバ回路１１のタッチパネル２５の表示内容を見ることができる。
【００２０】
ホストコンピュータ４９のタッチパネル、キーもしくはマウスにより、別のプローバ回路１１ａを選定して、前記と同様の操作をすることにより、別のプローバ回路１１ａの案内メッセージ等の表示データ及びカメラ３４で撮影されたアライメントの画像や針先の動画像を、前記画像に代えて、画面に新たに表示させることができる。
【００２１】
従って、例えば、複数のプローバ回路１１，１１ａをクリーンルーム内に配設し、これらに接続されたホストコンピュータ４９をクリーンルームの外に配置することにより、夫々のプローバ装置によるウエハの検査状態をクリーンルームに入ることがなく、ホストコンピュータ４９で、順次もしくは、選択的に監視することができる。
【００２２】
次に、本発明の第２の実施の形態について図２及び図３を参照して説明する。この第２の実施の形態では、各々が図１に示すような構成の複数のプローバ装置が共通のホストコンピュータ４９に接続され、これらプローバ装置の内の幾つか、あるいは全部の選定された画像情報が同時にホストコンピュータ４９の画面に表示され得る。
【００２３】
図２において、符号１１は，ＶＧＡドライバ４４を備えたプローバ回路を示し、これらプローバ回路１１には、ＶＧＡドライバからの信号が入力されるタッチパネル２５と、マルチプレクサ４６とが接続されている。各マルチプレクサ４６には、上記プローバ回路１１以外に複数の、この実施例では７つのプローバ回路１１ａ（ＶＧＡドライバ４４ａ）が接続されている。従って、１つのプローバ装置は、８つのプローバ回路１１，１１ａと、これらに夫々対応したタッチパネル２５，２５ａとを備えており、図１に示す実施例と同様に、各プローバ回路の所望のプローバの情報が対応するタッチパネルに表示され得る。
【００２４】
マルチプレクサ４６は、ビデオキャプチャーボード４７に夫々接続されており、これらビデオキャプチャーボード４７の出力側は、共通のパーソナルコンピュータ４９の入力側に接続されている。このコンピュータのフロントパネルには、図３に示すように、選択ボタン６１と、画面６２と、カーソルスイッチ６３とが設けられている。この画面は、ＣＲＴ画面でも、またタッチパネル機能を備えているものでも良い。この選択ボタン６１は、各プローバ装置の第１ないし第８のプローバ回路に対応した番号が付されていて、この内のどのプローバの情報を画面に表示するのかを選定するスイッチである。この例では、複数の、例えば、１６グループのプローバ装置群のうちの複数のプローバ装置群をキーボード６４で選定する。例えば、１６のプローバ装置群のうち４つ群をキーボードで選定し、選定された各プローバ装置群の８台のプローバのうちの１台を選択ボタン６１で設定することにより、ホストコンピュータ４９の画面には、４つのプローバ装置群のうちから選定された１台プローバ回路の情報（画像情報と表示情報）が表示され得る。
【００２５】
これらプローバ装置の選定と、選定されたプローバ装置のうちの１つのプローバ回路の選定とをする選定手段は、上記実施例のように、キーボード６４と、選択ボタン６１とに限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、キーボードか選定ボタンに、上記両選定機能を持たせても良く。またタッチパネルにより行うようにしても良い。
【００２６】
このように、１つの画面６２に複数のプローバ回路のタッチパネルの表示を同時に表示するようにしたので、１つのホストコンピュータ４９で複数のプローバ装置を同時に監視することができる。
【００２７】
なお、図１においては、ＲＳインタフェース２４は信号ラインＬ１を介してタッチパネル２５に接続されていたが、図４に示すように、ＲＳインタフェース２４からマルチプレクサ４６ａ、信号ラインＬ１を介してタッチパネル２５に接続するようにしても良い。
【００２８】
このようにすることにより、ホストコンピュータとプローバ装置のディスプレイやタッチパネル２５とを直接接続できるのでＬＡＮなどの回線の負荷を軽減できる。
【００２９】
図５は、図３に示すホストコンピュータ４９をウインドウズに対応するように設計した画面を示し、画面上の選択ボタン６１は、プローブ装置の数に対応した数のウインドウズを有しており、所望のプローブ装置に対応したウインドウの選択ボタンを、キーもしくはマウスにより画面に呼び出し、このうちの所望の番号を押すことにより、画面には、所望のプローブ装置の所望のプローブ回路のプローバ情報を複数、画面に順次表示することができる。
【００３０】
【発明の効果】
請求項１乃至２記載の発明によれば、プローバ装置のタッチパネルの表示内容をホストコンピュータに伝送すると共に、プローバ装置側と、ホストコンピュータ側からのプローバ装置操作情報を双方向で同時に扱えるようにしたので、ホストコンピュータで複数のプローバの監視を行うことができるウェハプローバの遠隔操作システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係わるウェハプローバの遠隔操作システムを示す図。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係わるウェハプローバの遠隔操作システムを示す図。
【図３】本発明の変形例を説明するためのＣＲＴ表示画面を示す図。
【図４】第１の実施の形態の変形例を示す図。
【図５】ウインドウズ対応のホストコンピュータの画面を示す図。
【符号の説明】
１１…プローバ回路、１２…システムバス、１３…プローバ制御部、１４…画像処理部、１５…表示制御部、２１…ＣＰＵ、２２…ディスク装置、２３…メモリアプリケーション、２４…ＲＳインタフェース、２５…タッチパネル、３１…ＣＰＵ、３２…ＲＯＭ、３３…メモリ、３４…撮像装置、３５…ＡＤ変換器、４１…ＣＰＵ、４２…ＲＯＭ、４３ｕ…上層メモリ、４３ｄ…下層メモリ、４４…ＶＧＡドライバ、４５…光ファイバーケーブル、４６…マルチプレクサ。
【図１】
0003749318.tif 000002
【図２】
0003749318.tif 000003
【図３】
0003749318.tif 000004
【図４】
0003749318.tif 000005
【図５】
0003749318.tif 000006