(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井面にファンフィルタユニットが間引きして配置されるとともに、その間引き部分に通風抵抗体が配置されたクリーンルームの天井構造において、
前記通風抵抗体は、
前記クリーンルームの天井面の間引き部分に形成された開口部の周囲を囲うように配置され、内周部に溝部を有する保持フレームと、
通風可能なシート状に形成され、辺部が前記保持フレームの溝部に嵌め込まれて前記保持フレームの底部に敷設される支持シートと、
前記支持シート上に敷設され、敷設枚数を増減することによって圧損調整がされたフィルタと、
前記保持フレームの溝部に嵌めこまれ、前記フィルタを上面から前記支持シートに押さえ付けて固定する止具とからなり、
前記止具が丸鋼を繰り返し屈曲させることによって、横方向に弾性変形可能に形成されていることを特徴とするクリーンルームの天井構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルームの天井構造に係り、特に半導体製造工場等のように高清浄度を必要とするクリーンルームの天井構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工場等のクリーンルームの天井面には、複数のファンフィルタユニット（以下、「ＦＦＵ」という。）が設置され、このＦＦＵによって天井裏空間のエアが浄化されて室内に供給される。しかし、ＦＦＵは必ずしも天井面に密に載置されるわけではなく、設備コストやランニングコストを低減するために間引きされて配設されることがある。この場合、天井裏空間の清浄前のエアが室内に流入するのを防ぐため、ＦＦＵを間引きした間引き空間には天井裏空間と室内とを完全に遮断する閉止板が設置される。
【０００３】
しかしながら、間引き空間に閉止板を設置すると、閉止板の下方において渦流が発生し、ＦＦＵから層流として吹き出されるエア流に乱れが生じ、クリーンルーム内の清浄度が低下するという不具合が生じる。
【０００４】
そこで、間引き空間にパンチングパネルなどの通風抵抗体を設置し、この通気抵抗体を介して滞留域のエアを天井裏空間に排出することによって、渦流の発生を抑制する方法が提案された。この場合において、天井裏空間に排出するエアの風量は、重ねて設置した２枚のパンチングパネルをスライドさせることにより開口率を変えて調整するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、クリーンルームは、ＦＦＵから吹き出すエア流が層流を形成するように、納入時に通風抵抗体の圧損調整を行うが、その後、ユーザーが生産設備等をクリーンルーム内に設置すると、層流が形成されない部分が生じてくるため、再度通風抵抗体の圧損調整を細かく行う必要が生じてくる。
【０００６】
しかしながら、従来のように２枚のパンチングパネルをスライドさせて圧損調整を行う方法では微調整が難しく、細かな設定ができないという欠点がある。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、簡単に通風抵抗体の圧損調整を行うことができるクリーンルームの天井構造を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、天井面にファンフィルタユニットが間引きして配置されるとともに、その間引き部分に通風抵抗体が配置されたクリーンルームの天井構造において、前記通風抵抗体は、前記クリーンルームの天井面の間引き部分に形成された開口部の周囲を囲うように配置され、内周部に溝部を有する保持フレームと、通風可能なシート状に形成され、辺部が前記保持フレームの溝部に嵌め込まれて前記保持フレームの底部に敷設される支持シートと、前記支持シート上に敷設され、敷設枚数を増減することによって圧損調整がされたフィルタと、前記保持フレームの溝部に嵌めこまれ、前記フィルタを上面から前記支持シートに押さえ付けて固定する止具とからなり、前記止具が丸鋼を繰り返し屈曲させることによって、横方向に弾性変形可能に形成されていることを特徴とするクリーンルームの天井構造を提供する。
【０００９】
本発明によれば、通風抵抗体は、支持シート上に敷設するフィルタの枚数を増減して圧損調整を行う。この際、フィルタは保持フレームに嵌め込んで、上から止具で押さえ付けるだけで簡単に保持フレームに取り付けることができる。これにより、簡単に圧損調整を行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルームの天井構造の好ましい実施の形態について詳説する。
【００１１】
図１はクリーンルーム設備１０の全体構成図である。同図に示すように、クリーンルーム１２の天井面１６には、格子状の天井フレーム３６が複数の吊りボルト１３、１３…によって吊設されており、この天井フレーム３６に複数台のＦＦＵ１４、１４…が間引きして配設されている。そして、このＦＦＵ１４、１４、…からクリーンルーム１２内に清浄エアが供給され、クリーンルーム１２内の塵埃とともにグレーチング床１８から床下空間２０に吸い込まれる。
【００１２】
床下空間２０に吸い込まれたエアの一部は、ドライコイル２１で冷却されたのちリターン空間２２を通って天井裏空間２４に戻される。また、他の一部は排気ダクト３４により外部へと排気され、他の一部は還気ダクト２６を介して空調機２８に送られる。空調機２８に送られたエアは、外気取り込みダクト３０から取り込まれた新鮮空気と混合されて所定の温湿度に調整されたのち、給気ダクト３２を介して天井裏空間２４に給気される。そして、ＦＦＵ１４により再び浄化されてクリーンルーム１２内へと供給される。
【００１３】
図２はクリーンルーム１２の天井裏空間２４の構成を示す斜視図である。同図に示すように、格子状に形成された天井フレーム３６の格子空間３７ＡにはＦＦＵ１４が間引きして配設されている。ＦＦＵ１４は、主としてケーシング、ファン及びフィルタから構成されており、ファンを駆動することにより天井裏空間２４に給気されたエアをケーシング内に吸引し、ＨＥＰＡフィルタを介してクリーンルーム１２内に吹き出す。
【００１４】
一方、ＦＦＵ１４が間引きして設置された天井フレーム３６の間引き空間３７Ｂには通風抵抗体３８が設置されている。この通風抵抗体３８は、クリーンルーム１２の天井面近傍に生じる滞留域のエアを天井裏空間２４に排出することで渦流の発生を抑制するもので、次のように構成されている。
【００１５】
図３、図４は、それぞれ通風抵抗体３８の構成を示す正面断面図と組立展開図である。
【００１６】
天井フレーム３６によって形成された間引き空間３７Ｂは、クリーンルーム１２の天井面に矩形状の開口を形成する。通風抵抗体３８は、この間引き空間３７Ｂの開口を覆うようにして取り付けられ、保持フレーム４０、支持ネット４２、フィルタ４４及び止金４６で構成されている。
【００１７】
保持フレーム４０は、天井フレーム３６に取り付けられる。この保持フレーム４０は、天井フレーム３６によって形成される間引き空間３７Ｂの開口を囲うように矩形の枠状に形成されている。また、この保持フレーム４０は断面コ字状に形成されており、その内周部には溝部４８が形成されている。
【００１８】
支持ネット４２は、保持フレーム４０の開口を覆うように敷設される。この支持ネット４２は、保持フレーム４０の開口よりも若干大きめの矩形状に形成されており、その辺部４２Ａを保持フレーム４０の溝部４８に嵌め込むことにより、保持フレーム４０に取り付けられる。
【００１９】
フィルタ４４は保持フレーム４０に取り付けられた支持ネット４２上に敷設される。このフィルタ４４は、保持フレーム４０の開口よりも若干大きめの矩形状に形成されており、その辺部４４Ａを保持フレーム４０の溝部４８に嵌め込むことにより、保持フレーム４０に取り付けられる。
【００２０】
止金４６は、保持フレーム４０の溝部４８に係合させて取り付けることにより、フィルタ４４を上から押し付けて保持フレーム４０に固定する。この止金４６は、図５に示すように、丸鋼を繰り返し屈曲させて形成されており、横方向（図中Ａ−Ｂ方向）に弾性変形可能に形成されるとともに、縦方向（図中Ｃ−Ｄ方向）に弾性変形可能に形成されている。
【００２１】
前記のごとく構成された通風抵抗体３８は、次のように組み立てられる。まず、保持フレーム４０に支持ネット４２を敷設する。この場合、支持ネット４２は、保持フレーム４０の内側に配置し、その辺部４２Ａを保持フレーム４０の溝部４８に嵌め込んで敷設する。これにより、保持フレーム４０に底面が形成される。
【００２２】
次に、支持ネット４２上にフィルタ４４を敷設する。この場合において、フィルタ４４は、図３に示すように、辺部４４Ａを保持フレーム４０の溝部４８に嵌め込むとともに、その溝部４８の内側で辺部４４Ａを折り返して敷設する。
【００２３】
次に、止金４６を保持フレーム４０に取り付けてフィルタ４４を固定する。この場合において、止金４６は、まず、一端を保持フレーム４０の一方側の溝部４８に嵌め込み係合させる。次いで、全体を弾性変形させることにより縮めて、他方端を保持フレーム４０の他方側の溝部４８に嵌め込む。これにより、保持フレーム４０に取り付けられる。
【００２４】
このようにして取り付けられた止金４６は、溝部４８の内側に折り曲げられたフィルタ４４の辺部４４Ａを溝部４８の内壁面４８ａに向けて押し付けるとともに、フィルタ４４を支持ネット４２に向けて押し付ける。この結果、フィルタ４４が保持フレーム４０に固定される。
【００２５】
また、このようにして固定されたフィルタ４４は、辺部４４Ａが溝部４８内で折り曲げられて止金４６で固定されるため、辺部４４Ａからのリークが防止される。
【００２６】
なお、フィルタ４４を保持フレーム４０から取り外す場合は、止金４６を縮ませることにより、溝部４８から簡単に止金４６を外すことができるので、この止金４６を溝部４８から外して取り外す。
【００２７】
また、必要に応じて図３に示すように押さえ材５０を止金４６と保持フレーム４０との間に介在させるようにしてもよい。これによりフィルタ４４の設置枚数が少ない場合でも止金４６の付勢力でフィルタ４４を保持フレーム４０にしっかりと固定することができる。
【００２８】
以上のようにして組み立てられた通風抵抗体３８は、その保持フレーム４０を天井フレーム３６のフランジ部３６ａに載置し、そのフランジ部３６ａに固定することにより天井面に取り付けられる。
【００２９】
前記のごとく構成された本実施の形態のクリーンルームの天井構造の作用は次のとおりである。
【００３０】
クリーンルーム設備１０は、納入時、ＦＦＵ１４から吹き出されるエア流が層流を形成するように通風抵抗体３８の圧損調整を行うようにしている。
【００３１】
しかし、このように納入時に通風抵抗体３８の圧損調整をした場合であっても、のちにユーザーが生産設備等をクリーンルーム１２内に設置すると、層流が形成されない部分が生じる。このため、納入後に再度通風抵抗体３８の圧損調整を細かく行う必要がある。
【００３２】
通風抵抗体３８の圧損調整は、通風抵抗体３８の上下に圧力センサを一対設置し、その一対の圧力センサで通風抵抗体３８の上下の差圧を測定し、その差圧が一定範囲内になるようにフィルタ４４の枚数を増減させて調整する。このとき、圧損を増大させる場合は、フィルタ４４を複数枚重ねて設置するようにし、減少させる場合は、フィルタ４４の設置枚数を減らすようにする。フィルタ４４の増減は次のように行われる。
【００３３】
まず、保持フレーム４０に取り付けられている止金４６を取り外す。止金４６は弾性変形させて縮ませることにより、保持フレーム４０から簡単に外すことができる。次に、保持フレーム４０からフィルタ４４を取り外す。そして、所望の枚数に調整し、再びフィルタ４４を保持フレーム４０に取り付ける。そして、フィルタ４４の上から止金４６を保持フレーム４０に取り付けてフィルタ４４を固定する。以上のようにしてフィルタ４４の枚数を増減させる。
【００３４】
このように本実施の形態のクリーンルームの天井構造によれば、通風抵抗体３８は、止金４４の着脱により簡単にフィルタ４４の設置枚数を増減できるので、容易に圧損調整を行うことができるとともに、圧損調整を細かく設定することができる。
【００３５】
なお、フィルタ４４を保持フレーム４０に固定する方法は上述した実施の形態のものに限定されるものではない。たとえば、図６に示すように、上述した実施の形態の止金４６と、丸鋼をＺ字状に折り曲げて形成した止金４７、４７とを組み合わせてフィルタ４４を保持フレーム４０に固定するようにしてもよい。これにより、フィルタ４４の四辺全てを保持フレーム４０の溝部４８の内壁面４８ａに押し付けることができ、フィルタ４４をより強固に固定することができるようになる。
【００３６】
また、本実施の形態では、保持フレーム４０の底面に支持ネット４２を敷設してフィルタ４４を支持する構成としているが、通気性を有し、フィルタ４４を支持できる構成のものであれば、ネットに限らずに他の構成の部材を用いてもよい。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、通風抵抗体のフィルタの枚数を簡単に増減することができ、これにより簡単かつ細かく通風抵抗体の圧損調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンルーム設備の全体構成図
【図２】クリーンルームの天井裏空間の構成を示す斜視図
【図３】通風抵抗体の構成を示す正面断面図
【図４】通風抵抗体の構成を示す組立展開図
【図５】止金の作用の説明図
【図６】止金と通風抵抗体の他の実施の形態の構成を示す斜視図
【符号の説明】
１０…クリーンルーム設備、１２…クリーンルーム、１４…ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）、１６…天井面、２４…天井裏空間、３６…天井フレーム、３７Ａ…格子空間、３７Ｂ…間引き空間、３８…通風抵抗体、４０…保持フレーム、４２…支持ネット、４２Ａ…支持ネットの辺部、４４…フィルタ、４４Ａ…フィルタの辺部、４６、４７…止金、４８…溝部、４８ａ…溝部の内壁面、５０…押さえ材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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