(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
静止側に配設された１次コイルと浮上側に配設された２次コイルとの間を所定の空隙を存せしめて浮上体を浮上させる交流磁気浮上方法において、前記浮上体に永久磁石を設置するとともに、交流電流を全波整流して得た１次コイルの脈流電流により２次コイルとの間に発生する浮上力である磁気結合力を該２次コイルのインピーダンスを制御することにより調整する永久磁石併用の交流磁気浮上方法であって、前記２次コイルのインピーダンス制御は、整流子を利用することで、磁気吸引力と磁気反発力とを独立して各別に制御することを特徴とする永久磁石併用の交流磁気浮上方法。
【請求項２】
前記静止側と浮上側との間に、永久磁石と電磁石とから構成されるゼロパワー磁気浮上制御系を採用したことを特徴とする請求項１に記載の永久磁石併用の交流磁気浮上方法。
【請求項３】
前記１次コイルと２次コイル間に形成されるトランンス構造を利用して、１次コイル側の電気エネルギーを非接触にて浮上側に電送制御することを特徴とする請求項１または２に記載の永久磁石併用の交流磁気浮上方法。
【請求項４】
前記２次コイルの１次コイルに対するインダクタンスを検出して、浮上空隙のセルフセンシング制御を行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の永久磁石併用の交流磁気浮上方法。
【請求項５】
前記２次コイルに付設して空隙計測回路用コイルを設置したことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の永久磁石併用の交流磁気浮上方法。
【請求項６】
一対の対向する１次コイルの間に、永久磁石およびインピーダンスが制御される２次コイルを浮上側の前記１次コイルとの対向面に配設した差動構造を持つことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の制御系を利用した永久磁石併用の交流磁気浮上方法。
【請求項７】
浮上体に複数の２次コイルを配設するとともに、静止側に前記浮上体の進行方向に沿って多数の１次コイルを配列し、交流を印加する１次コイルを順次進行方向に切り換えることにより、浮上体を搬送させることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の制御系を利用した永久磁石併用の交流磁気浮上方法。
【請求項８】
軸状の浮上体に永久磁石および円環状の２次コイルとを同軸上に配設し、前記浮上体の半径方向の静止側に１次コイルを配設したことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の制御系を利用した永久磁石併用の交流磁気浮上方法。
【請求項９】
軸状の浮上体に永久磁石および円環状の２次コイルとを同軸上に配設し、前記浮上体の軸方向の静止側に、円環状の１次コイルを配設したことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の制御系を利用した永久磁石併用の交流磁気浮上方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静止側に配設された１次コイルと浮上側に配設された２次コイルとの間を所定の空隙を存せしめて浮上体を浮上させる交流磁気浮上方法に関する。非接触型搬送装置、浮上式列車、軸受、電力貯蔵用フライホイール等に適用可能であり、特に、浮上体内にて電気エネルギーを必要とするものに最適である。
【０００２】
【従来の技術】
所定の空隙を存して対をなす２つの電磁石（静止地上側を１次コイルとし、浮上側を２次コイルとする）を磁気結合させて、交流電流にて発生させた磁束による吸引力を磁気浮上に利用することは公知である。図１２に示したものは、既存技術の典型的な例で、図１２（Ａ）に示すように、天井等の静止側に固定された１次コイルに対して所定の空隙を隔てて浮上体に２次コイルを取り付けたものである。１次コイルは交流電源に接続され、該交流電源は定電圧電源あるいは定電流電源である。浮上体に取り付けられた２次コイルは、僅かな空隙を隔てて磁気的に１次コイルと結合されているが、機械的には非接触である。図１２（Ｂ）に示すように、２次コイルにインピーダンス制御回路を接続し、該インピーダンスを変化させることで、静止側の１次コイルと浮上側の２次コイルとの間に作用する磁気的吸引力を調整することができる。インピーダンスを高くすると吸引力は強まり、低くすると吸引力は弱まる。かくして、前記空隙を検知してフィードバック制御を行うことにより、インピーダンスを適切に調整して浮上体を安定浮上させている。
【０００３】
また、浮上体の浮上と同時に、前記１次コイルと２次コイルとの組合せをトランスとして機能させることで、非接触で１次コイル側の電気エネルギーを浮上側の２次コイルに伝送することができる。伝送された電気エネルギーで、浮上側のセンサ回路や、制御回路、インピーダンス調整機構等を駆動することで、完全非接触型磁気浮上装置を構成することができた。このような従来の方式では、浮上に必要なエネルギーを全て１次コイル側に流れる電流から得ていた。したがって、電気エネルギーの効率がきわめて低いものであり、２つのコイルのカップリングでは吸引力しか作用しないため、吸引型のものしか実現ができなかった。
【０００４】
これら吸引型の磁気浮上装置として、小西  弘、平根  喜久による「２相リニアモータを用いた交流吸引磁気浮上搬送システムの移動に関する研究」（電気学会論文Ｄ、１２１巻第３号、２００１、４０３頁〜４０９頁や、引原  隆士、上條  武士、平根  喜久による「交流吸引形磁気浮上搬送兼用ＬＩＭの走行試験」（Ｔ．ＩＥＥ  ｊａｐａｎ、Ｖｏｌ．１１５−Ｄ、Ｎｏ．３１９９５、２８２頁、あるいは平田  亨、引原  隆士、平根  喜久による「吸引型磁気浮上リニアモータの浮上安定性」等の文献等に記載されたものがある。
【０００５】
また、コイルのインピーダンスを調整する回路を備えたものとして、制御コイルを短絡・開放する２次回路にリアクトルを挿入して移動子の浮上位置の振動を抑制するように構成した特開平５−１３７２１５号公報および特開平６−８６５２０号公報に開示されたもの、あるいは浮上する移動子の位置をフォトセンサーにて検出して、その出力値に基づいて移動子の制御コイルを短絡・開放する制御回路に蓄電池と電気抵抗を接続して移動子の浮上位置の振動を抑制するように構成した特開平６−１５３３２２号公報に開示されたもの等がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記吸引型の磁気浮上装置では、浮上体の質量を支持するために、静止側の１次コイルには定常的な電流が流れていなければならない。また、２次コイルで電力を取り出さない場合でも、浮上体の質量に応じた電力が消費される他、吸引型の磁気浮上装置に限定されて設計の自由度が規制されていた。また、浮上側のコイルにインピーダンスを調整する回路を備えて浮上する移動子の振動を抑制して安定化させるものでも、浮上体の浮上にエネルギーを費やされてエネルギー効率が低く、浮上側にインピーダンス制御やその他の電力を供給する余裕はなく、蓄電池等の電源を別途搭載する必要があった。
【０００７】
そこで、本発明では、僅かなエネルギーの投入のみにて安定した浮上体の走行を可能にするとともに、浮上側への電気エネルギーの充分な供給を可能にした永久磁石併用の交流磁気浮上方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このため、本発明が採用した技術解決手段は、
静止側に配設された１次コイルと浮上側に配設された２次コイルとの間を所定の空隙を存せしめて浮上体を浮上させる交流磁気浮上方法において、前記浮上体に永久磁石を設置するとともに、交流電流を全波整流して得た１次コイルの脈流電流により２次コイルとの間に発生する浮上力である磁気結合力を該２次コイルのインピーダンスを制御することにより調整する永久磁石併用の交流磁気浮上方法であって、前記２次コイルのインピーダンス制御は、整流子を利用することで、磁気吸引力と磁気反発力とを独立して各別に制御することを特徴とする永久磁石併用の交流磁気浮上方法である。
また、前記静止側と浮上側との間に、永久磁石と電磁石とから構成されるゼロパワー磁気浮上制御系を採用したことを特徴とする永久磁石併用の交流磁気浮上方法である。
また、前記１次コイルと２次コイル間に形成されるトランンス構造を利用して、１次コイル側の電気エネルギーを非接触にて浮上側に電送制御することを特徴とする永久磁石併用の交流磁気浮上方法である。
また、前記２次コイルの１次コイルに対するインダクタンスを検出して、浮上空隙のセルフセンシング制御を行うことを特徴とする永久磁石併用の交流磁気浮上方法である。
また、前記２次コイルに付設して空隙計測回路用コイルを設置したことを特徴とする永久磁石併用の交流磁気浮上方法である。
また、一対の対向する１次コイルの間に、永久磁石およびインピーダンスが制御される２次コイルを浮上側の前記１次コイルとの対向面に配設した差動構造を持つことを特徴とする制御系を利用した永久磁石併用の交流磁気浮上方法である。
また、浮上体に複数の２次コイルを配設するとともに、静止側に前記浮上体の進行方向に沿って多数の１次コイルを配列し、交流を印加する１次コイルを順次進行方向に切り換えることにより、浮上体を搬送させることを特徴とする制御系を利用した永久磁石併用の交流磁気浮上方法である。
また、軸状の浮上体に永久磁石および円環状の２次コイルとを同軸上に配設し、前記浮上体の半径方向の静止側に１次コイルを配設したことを特徴とする制御系を利用した永久磁石併用の交流磁気浮上方法である。
また、軸状の浮上体に永久磁石および円環状の２次コイルとを同軸上に配設し、前記浮上体の軸方向の静止側に、円環状の１次コイルを配設したことを特徴とする制御系を利用した永久磁石併用の交流磁気浮上方法である。
【０００９】
【実施の形態】
以下、本発明の永久磁石併用の交流磁気浮上方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１および図２は本発明の第１実施の形態を示す図で、図１（Ａ）は本発明の基本概念図、図１（Ｂ）は回路構成図、図２はインピーダンス制御回路図である。本発明の基本構成は、図１（Ａ）に示すように、静止側に配設された１次コイルと浮上側に配設された２次コイルとの間を所定の空隙を存せしめて浮上体を浮上させる交流磁気浮上方法において、前記浮上体に永久磁石を設置するとともに、交流電流を全波整流して得た１次コイルの脈流電流により２次コイルとの間に発生する浮上力である磁気結合力を該２次コイルのインピーダンスを制御することにより調整することを特徴とするものである。
【００１０】
つまり、交流磁気浮上に永久磁石を併用し、吸引力を永久磁石でまかなうことで消費電力を抑えることで、浮上体の質量を支えるのに充分な吸引力を発生する永久磁石を２つのコイルの間に挿入配設するものである。磁石の吸引力が打ち消されるのを避けるために、図１（Ｂ）に示すように、静止側の１次コイルに流す電流は予め整流して、脈流として電流の向きが変わらないようにする。ここで、１次側に流れる電流が周期的に変化するために、電流変化による浮上原理はそのまま適用することができる。
【００１１】
２次コイルには、１次コイルに印加される交流の２倍の周波数の交流が誘導される。２次コイルに接続されるインピーダンスを調整することで、２つのコイル間に作用する吸引力を調整することができる。接続されるインピーダンスとして抵抗を選べば、ボリュウーム等を使用してインピーダンスを容易に調整することができる。この場合、磁気浮上制御においては何らかのアクチュエータを用いてボリュームを駆動する必要がある。２次コイルに流れる電流を制御することができれば、結果的にインピーダンスを調整していると見做すことができる。つまり、２次コイルに流れる電流を電気的に制限することができれば、インピーダンスを調整したことと等価になる。
【００１２】
インピーダンスを調整する制御回路図を図２に示す。浮上側の２次コイルをダイオードブリッジで整流した後、トランジスタのベース電流により、コレクタに流れる電流を制限する。この回路では、オペアンプの動作により、ＶinとＲref の電圧降下Ｖref が同じになる（Ｒloadを流れる電流が少なくなると、Ｖref はＶinよりも小さくなる）。したがって、トランジスタでは電流の最大値を制限することができ、流れる電流は脈流のピークが潰れた波形となる。電流の時間平均で観ると、２次コイルに接続されたインピーダンスが変化したものと見做すことができる。よって、この回路により、インピーダンス調整回路の入力電圧Ｖinを調整することで、２次コイルに接続されたインピーダンスをリアルタイムで調整することができる。
【００１３】
図３は本発明の第２実施の形態を示すもので、本実施の形態のもののインピーダンス制御では、吸引力調整と反発力調整の両方を行えるように構成したものである。永久磁石を併用した交流磁気浮上では、永久磁石により既に磁束が存在するため、２次コイルに流れる電流の向きによって吸引力と反発力が切り替わる。したがって、図２に示すように、２次コイル電流を全波整流してからインピーダンスを調整する回路は使用できない。そこで、吸引力のためのインピーダンスを制御する回路と、反発力のためのインピーダンスを制御するための回路を分離・分割する。
【００１４】
図４は本発明の第３実施の形態を示すもので、本実施の形態では、インピーダンス制御回路に電源回路を並列にて接続したものである。本発明の磁気浮上装置は完全非接触で磁気浮上を実現するものであり、浮上制御回路やインピーダンス制御回路を駆動するための電源が必要となる。浮上体に蓄電池等のエネルギー源を搭載することも１つの方法であるが、２つのコイルを組み合わせて浮上機構を構成していることから、１次コイルに印加される交流の２倍の周波数の変動成分を有する。したがって、この構成をトランスとして機能させ、非接触で電気エネルギーを伝送することができる。２次コイルに流れる電流の一部を利用して各回路の電源とするものである。
【００１５】
電源回路には必ず平滑コンデンサを付加するが、該コンデンサがインピーダンスを低下させて２次コイルに流れる電流が増加するので、電源回路と２次コイルとの間に抵抗を挿入する（各回路駆動に充分な電流が取り出せる程度の抵抗値を選択する）。また、コンデンサと並列に充電式の蓄電池等を接続し、多量の電荷を蓄えておくことで、瞬間的に大きな電流を取り出すことができる。
【００１６】
図５は本発明の第４実施の形態を示すもので、本実施の形態は、静止側と浮上側との間に、永久磁石と電磁石とから構成されるゼロパワー磁気浮上制御系を採用したことを特徴とする。ゼロパワー磁気浮上制御系とは、浮上体に働く永久磁石の吸引力を釣り合わせた状態で安定浮上を実現するもので、コイルには浮上系を安定化するためだけに電流が流れ、安定状態ではコイルに流れる電流をほぼゼロにすることができるものである（詳細は特願２００１−８９２６４号参照）。２次コイルに図４と同様に電源回路を接続して制御用電源を確保する。電源回路には充電式蓄電池を備えており、瞬間的に大きな電流を取り出すことができる。このとき、電源回路の入力側の抵抗には２次コイルが有する抵抗より充分に大きな抵抗を有するものを選択する。インピーダンス制御回路に代えて電流アンプを接続する。２次コイルに電源を確保するに充分な電流が流れている状態で、電流アンプの出力がゼロになるように浮上空隙を制御することで、消費電力が抑制される。この制御系は従来のゼロパワー磁気浮上系と等価である。
【００１７】
図６は本発明の第５実施の形態を示すもので、本実施の形態は、セルフセンシング機能を有するインピーダンス制御回路を備えるものである。空隙を挟んだ２つのコイルにおいて、相互インダクタンスは空隙の幅に依存する。つまり、１次コイルに流れる電流が一定の場合、２次コイルに誘導される電流を計測することで空隙の幅を知ることができる。２次コイルに流れる電流の計測とインピーダンスの制御を一定周期で繰り返すことで、空隙の幅を計測しながらインピーダンスを制御することも可能となる。かく構成することで、図４・図５中のセンサを省略することができる。簡単に空隙を検出しつつインピーダンスを制御できる回路例を図６に示す。２次コイルに流れる交流の中、正の向きに流れる電流に対してインピーダンス制御を行い吸引力を調整する。負の向きに流れる電流を検出して空隙の幅を計算する。
【００１８】
この例では、計算と制御の占有時間比率は１：１となり、インピーダンス制御による吸引力の調整に費やす時間が短くなってしまう。インピーダンス制御回路と空隙計測回路を並列接続し、別途搭載されたコントローラ等で占有時間比率を自由に設定することができれば、インピーダンス制御に割り当てられる時間を長くして、吸引力の調整を有効に行うことができる。また、図７はその変形例を示すもので、前記２次コイルに付設して空隙計測回路用コイルを別途設置したことを特徴とする。このような構成により、計測と制御とを同時に行える。
【００１９】
図８は本発明の第６実施の形態を示すもので、本実施の形態は、差動構造を有する磁気浮上方法である。一対の対向する１次コイルＡ、Ｂの間に、永久磁石およびインピーダンスが制御される２次コイルＡ、Ｂを浮上側の前記１次コイルＡ、Ｂとの対向面に配設した差動構造を持つことを特徴とする。前記２つの２次コイルＡ、Ｂにはそれぞれインピーダンス制御回路が接続されるが、吸引力、反発力のどちらかのみ制御できればよい。すなわち、それぞれの回路では、前記図３の中どちらか一方、つまり２次回路に誘導される交流の半波のみ浮上力の制御に用い、残りの半波は電力供給やセンシングに用いることができる。
【００２０】
図９は本発明の第７実施の形態を示すもので、本実施の形態は、搬送装置に応用した磁気浮上方法である。浮上体側に複数のコイルを配設し、静止側である天井に浮上体の進行方向に沿ってコイルを直線状に多数の１次コイルを配列し、交流を印加する１次コイルを順次進行方向に切り換えることにより、浮上体が安定走行する位置が変わり、結果、浮上体を搬送させることができる。搬送装置の制御は電流を印加するコイルの切換えのみで済む。図９では１次コイルＡに電流が印加されている。順次Ａ→Ｃ→Ｂ→Ｄ→Ｃ→Ｅ→Ｄ→Ｆと切り換えていけば、浮上体は図面右方向へ前進する（この例では１周期を１／２に分割）。浮上体に取り付ける２次コイルを増やして１周期を細かく分割することで、より円滑で安定した移動が得られる。
【００２１】
図１０は本発明の第８実施の形態を示すもので、本実施の形態は、ラジアル荷重の磁気軸受に応用した磁気浮上方法である。軸状の浮上体に永久磁石および円環状の２次コイルとを同軸上に配設し、前記浮上体の半径方向の静止側に１次コイルを配設したことを特徴とする。２次コイル１つ当たり１個の１次コイルが配設され１自由度を拘束する。２組のコイルにより半径方向の２自由度を拘束する。前述の差動構造を応用した場合も、２組のコイルにより半径方向の２自由度を拘束する。
【００２２】
図１１は本発明の第９実施の形態を示すもので、本実施の形態は、スラスト（アキシアル）荷重の磁気軸受に応用した磁気浮上方法である。軸状の浮上体に永久磁石および円環状の２次コイルとを同軸上に配設し、前記浮上体の軸方向の静止側に、円環状の１次コイルを配設したことを特徴とする。ここで用いる永久磁石はリング状の形状を呈しており、表裏でＮＳとなるように着磁されている。１組のコイルで軸方向の自由度を拘束することができる。
【００２３】
以上、本発明の永久磁石併用の交流磁気浮上方法についての実施の形態を説明してきたが、本発明の趣旨の範囲内で、１次コイルおよび２次コイルの形状、形式およびそれらの静止側および浮上側への配設形態、永久磁石の形状、形式および浮上側への設置形態（実施の形態では浮上体側に設置して天井の静止側への吸引方式が採用されたが、基礎上の静止側に浮上側が載置されるような形態を採るならば、永久磁石を静止側および浮上側の双方に設置して反発力により浮上力を得るように構成してもよい）、静止側における１次コイルの脈流電流を得る交流電流の整流形態、２次コイルのインピーダンス制御形態およびその磁気吸引力と磁気反発力との独立しての各別制御形態、負のばね特性が付与されるゼロパワー磁気浮上制御形態、１次コイルと２次コイル間に形成されるトランンス構造による電気エネルギーの電送制御形態、２次コイルの１次コイルに対するインダクタンスの検出形態、空隙計測回路用コイルの２次コイルへの付設形態、差動構造における１次コイルと永久磁石および２次コイルとの関連構成、浮上体搬送における静止側における１次コイルの配列形態および浮上側における２次コイルと永久磁石の配列形態ならびに１次コイルの切換え制御形態、磁気軸受における静止側と浮上側との同軸状の径方向のあるいは対向する軸方向の嵌合形態等については適宜選定することができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明では、静止側に配設された１次コイルと浮上側に配設された２次コイルとの間を所定の空隙を存せしめて浮上体を浮上させる交流磁気浮上方法において、前記浮上体に永久磁石を設置するとともに、交流電流を全波整流して得た１次コイルの脈流電流により２次コイルとの間に発生する浮上力である磁気結合力を該２次コイルのインピーダンスを制御することにより調整するようにしたので、基本的に交流を用いた磁気浮上において、永久磁石による浮上力の確保の下に、吸引型のみならず反発型の磁気浮上において安定浮上状態で消費電力を限りなくゼロに近づけることができ、交流型磁気浮上を高エネルギー効率で実現することが可能となる。
【００２５】
また、前記２次コイルのインピーダンス制御において、整流子を利用することで、磁気吸引力と磁気反発力とを独立して各別に制御する場合は、永久磁石を併用した交流磁気浮上で２次コイル電流を全波整流してからインピーダンスを調整する回路は使用できない場合でも、吸引力のためのインピーダンスを制御する回路と、反発力のためのインピーダンスを制御するための回路を分離・分割して、それぞれの磁気力を調整することが可能となる。
さらに、前記静止側と浮上側との間に、永久磁石と電磁石とから構成されるゼロパワー磁気浮上制御系を採用した場合は、永久磁石と電磁石とから構成されるゼロパワーにおける磁気浮上制御系の構成要素をそのまま使用して、安定した磁気浮上が可能となる。
【００２６】
さらにまた、前記１次コイルと２次コイル間に形成されるトランンス構造を利用して、１次コイル側の電気エネルギーを非接触にて浮上側に電送制御する場合は、浮上に必要とされる電力が永久磁石によって負担された分、浮上コイルを用いて非接触にて高効率で浮上側に転送して、多くの電気エネルギーを浮上体内にて使用することができる。
また、前記２次コイルの１次コイルに対するインダクタンスを検出して、浮上空隙のセルフセンシング制御を行う場合は、２次コイルに負の向きに流れる電流を検出して簡単に空隙の幅を計算しつつインピーダンスを制御でき、浮上体の位置センサを省略することができる。
さらに、前記２次コイルに付設して空隙計測回路用コイルを設置した場合は、インピーダンス制御と空隙幅の計測とを同時に行えて、応答性が改善される。
さらにまた、一対の対向する１次コイルの間に、永久磁石およびインピーダンスが制御される２次コイルを浮上側の前記１次コイルとの対向面に配設した差動構造を持つ場合は、浮上体を対向する１次コイルの間の所定の位置に保持することが可能となる。
【００２７】
また、浮上体に複数の２次コイルを配設するとともに、静止側に前記浮上体の進行方向に沿って多数の１次コイルを配列し、交流を印加する１次コイルを順次進行方向に切り換えることにより、浮上体を搬送させる場合は、磁気浮上列車やコンベア等の非接触型搬送装置等を高エネルギー効率にて稼働させることが可能となる。
さらに、軸状の浮上体に永久磁石および円環状の２次コイルとを同軸上に配設し、前記浮上体の半径方向の静止側に１次コイルを配設した場合は、径方向の自由度を効果的に拘束して安定した非接触型の磁気軸受が実現できる。
さらにまた、軸状の浮上体に永久磁石および円環状の２次コイルとを同軸上に配設し、前記浮上体の軸方向の静止側に、円環状の１次コイルを配設した場合は、軸方向の自由度を効果的に拘束して安定した非接触型の磁気軸受が実現できる。しかも、前記径方向の自由度を効果的に拘束した同軸状の嵌合による軸受とともに、電力貯蔵用フライホイール等に応用して、回転を非接触で支持して摩擦損失等がなく、かつ電力を回転体に供給することができ、回転中の重心のずれを防止して長時間の安定した稼働による非接触型の磁気軸受が実現できる。
かくして、本発明によれば、僅かなエネルギーの投入のみにて安定した浮上体の走行を可能にするとともに、浮上側への電気エネルギーの充分な供給を可能にした永久磁石併用の交流磁気浮上方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の永久磁石併用の交流磁気浮上方法の第１実施の形態を示す図で、図１（Ａ）は本発明の基本概念図、図１（Ｂ）は回路構成図である。
【図２】同、インピーダンス制御回路図である。
【図３】本発明の第２実施の形態を示すもので、吸引力調整と反発力調整の両方を行えるように構成したインピーダンス制御回路図である。
【図４】本発明の第３実施の形態を示すもので、インピーダンス制御回路に電源回路を並列にて接続したものである。
【図５】本発明の第４実施の形態を示すもので、ゼロパワー磁気浮上制御系に応用された制御回路図である。
【図６】本発明の第５実施の形態を示すもので、セルフセンシング機能を有するインピーダンス制御回路図である。
【図７】図６の変形例を示すもので、前記２次コイルに付設して空隙計測回路用コイルを別途設置したインピーダンス制御回路図である。
【図８】本発明の第５実施の形態を示すもので、差動構造を有する磁気浮上方法の概念図である。
【図９】本発明の第６実施の形態を示すもので、搬送装置に応用した磁気浮上方法の概念図である。
【図１０】本発明の第７実施の形態を示すもので、ラジアル荷重の磁気軸受に応用した磁気浮上方法の概念図である。
【図１１】本発明の第８実施の形態を示すもので、スラスト（アキシアル）荷重の磁気軸受に応用した磁気浮上方法の概念図である。
【図１２】従来の交流磁気浮上方法の説明図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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