(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアに収納された電子部品を予め冷却するプレクール部と、該プレクール部で冷却された前記電子部品を低温下で試験する測定部と、試験終了後の前記電子部品及び前記キャリアを加熱する乾燥室とを有する恒温槽を備えるオートハンドラであって、
前記恒温槽内を冷却する冷却媒体を恒温槽内に取入れる際に、冷却媒体供給管が接続される接続部を、前記乾燥室の近傍に設けることを特徴とするオートハンドラ。
【請求項２】
請求項１記載のオートハンドラにおいて、
前記接続部から注入された冷却媒体を恒温槽内に取入れる冷却媒体取入部と、該冷却媒体収入部と前記接続部とを繋ぐ冷却媒体外部配管とを備え、前記冷却媒体取入部が前記プレクール部及び測定部のうちの少なくとも一方に隣接して配置され、前記恒温槽の外部で前記冷却媒体外部配管が前記接続部から前記冷却媒体取入部まで延在することを特徴とするオートハンドラ。
【請求項３】
請求項２記載のオートハンドラにおいて、
前記接続部が前記乾燥室上に設けられ、前記冷却媒体取入部が前記プレクール部及び測定部のうちの少なくとも一方の上に設けられ、前記接続部と前記冷却媒体取入部とを繋ぐ前記冷却媒体外部配管を前記恒温槽上に設けることを特徴とするオートハンドラ。
【請求項４】
請求項２または３記載のオートハンドラにおいて、
前記冷却媒体外部配管を、前記恒温槽から離間して配置することを特徴とするオートハンドラ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つに記載のオートハンドラを用いて前記接続部部分の結露を防止するオートハンドラの結露防止方法であって、
前記接続部を前記乾燥室近傍に設け、前記乾燥室の余熱で前記接続部部分を温めることを特徴とするオートハンドラの結露防止方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、オートハンドラ及びオートハンドラの恒温槽内に冷却媒体を供給する冷却媒体供給管が接続される接続部周辺に結露が付着するのを防止するオートハンドラの結露防止方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣ等の電子部品を選別するオートハンドラに備えられる恒温槽概略図を図４に示す。恒温槽１の内部には、ＩＣが収納されたキャリアを予め冷却するプレクール部２と、プレクール部２で冷却されたＩＣを試験する測定部３と、試験終了後のキャリアを加熱する乾燥室４との三部屋が隣接して配置される。
【０００３】
恒温槽１はＩＣを低温から高温までの温度環境下で測定するため、−３０℃〜＋１２５℃の範囲で温度制御が可能で、かつ、箱状構造を有する。低温環境下でＩＣを試験する場合に、キャリアＢに収納されたＩＣはプレクール部２で制御された所定温度になるまで冷却される。所定温度に冷却されたＩＣはキャリアＢとともに測定部３に搬送され、ＩＣの電気的特性が測定される。さらに、測定が終了したＩＣはキャリアＢとともに乾燥室４で加熱乾燥され、恒温槽１の外部に搬送される。
【０００４】
冷却されたＩＣ及びキャリアＢを直に恒温槽１の外部に搬送すると、冷却されたまま外気に触れることになり、ＩＣ及びキャリアＢに結露が付着する可能性がある。そこで、結露を防ぐため、低温環境下から搬送されたＩＣ及びキャリアＢは、乾燥室４内で熱風、または、ヒーター加熱により加熱乾燥され、その後、恒温槽１の外部に搬送される。
【０００５】
図５〜図８に恒温槽１内に液体窒素を取り入れる液体窒素取入部５を示す。液体窒素取入部５は外部が二重のカバー６に覆われた箱状の構造を有し、恒温槽１に隣接して配置される。液体窒素取入部５の二重のカバー６の内部には、恒温槽１への液体窒素の供給量を制御する三つの電磁弁（安全用電磁弁７・プレクール部用電磁弁８・測定部用電磁弁９）が備えられる。
【０００６】
液体窒素取入部５の二重のカバー６の外側には液体窒素供給管（図示しない）が接続される接続口継手２３が設けられる。そして、液体窒素供給管を液体窒素取入部５の接続口継手２３に接続して液体窒素が液体窒素取入部５内に取り入れられる。接続口継手２３から取り入れられた液体窒素は、二重のカバー６を貫通して液体窒素取入部５内に延在する金属配管１１を通り、安全用電磁弁７に流通される。安全用電磁弁７を介した液体窒素はマニホールドで分岐され、一方はプレクール部用電磁弁８を介して金属配管１２によりプレクール部２へ供給される。他方は測定部用電磁弁９を介して金属配管１３により測定部３へ供給される。
【０００７】
ここで、プレクール部用電磁弁８・測定部用電磁弁９にてプレクール部２・測定部３への液体窒素の供給量を制御する。詳しくは、オートハンドラ装置本体にてプレクール部２及び測定部３が温度制御されるので、プレクール部２及び測定部３が所定温度になるように、各々の電磁弁８・９をオンオフ制御し、液体窒素の供給量を制御する。仮に、プレクール部用電磁弁８または測定部用電磁弁９が故障した場合には、液体窒素の供給量を制御できなくなり、恒温槽１内が霜に覆われてしまうため、安全用電磁弁７をオフし、液体窒素の供給を中止する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来においては、液体窒素供給管が接続される接続部、すなわち接続口継手２３周辺が直接外気に触れるため、液体窒素の供給が長時間続くと接続口継手２３周辺に結露が付着する。
【０００９】
本発明の課題は冷却媒体を恒温槽内に供給する際、冷却媒体供給管が接続される接続部周辺に結露が付着するのを防止することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するため、請求項１記載の発明は、例えば図１及び図２に示すように、キャリアに収納された電子部品を予め冷却するプレクール部と、該プレクール部で冷却された前記電子部品を低温下で試験する測定部と、試験終了後の前記電子部品及び前記キャリアを加熱する乾燥室（４）とを有する恒温槽（１）を備えるオートハンドラ（Ａ）であって、前記恒温槽内を冷却する冷却媒体（例えば液体窒素）を恒温槽内に取入れる際に、冷却媒体供給管が接続される接続部（接続口継手２３）を、前記乾燥室の近傍に設けることを特徴とする。
【００１１】
請求項１記載の発明によれば、接続部が乾燥室の近傍に設けられるので、接続部周辺には乾燥室の余熱が伝わり、接続部周辺の結露を防止できる。つまり、低温環境下におかれた電子部品（例えばＩＣ等）への結露付着を防止するため、乾燥室は所定温度に温められている。そして、温められた状態の乾燥室の余熱が乾燥室近傍の接続部に伝わり、接続部周辺で冷却媒体が流通しても、接続部周辺は冷却されることがないので結露を防止できる。
【００１２】
なお、冷却媒体は、例えば液体窒素であるが、恒温槽のプレクール部及び測定部を所定温度まで低下させられるもので、被測定物に悪影響を与えない冷却流体ならよい。
【００１３】
請求項２記載の発明は、例えば図１及び図２に示すように、請求項１記載のオートハンドラにおいて、前記接続部から注入された冷却媒体を恒温槽内に取入れる冷却媒体取入部（液体窒素取入部５）と、該冷却媒体収入部と前記接続部とを繋ぐ冷却媒体外部配管（液体窒素外部配管３０）とを備え、前記冷却媒体取入部が前記プレクール部及び測定部のうちの少なくとも一方に隣接して配置され、前記恒温槽の外部で前記冷却媒体外部配管が前記接続部から前記冷却媒体取入部まで延在することを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載の発明によれば、冷却媒体外部配管が恒温槽の外部に配置されるので、恒温槽の乾燥室の余熱が冷却媒体外部配管に伝わりにくく、冷却媒体の温度を急激に上昇させることはない。従って、恒温槽のプレクール部及び測定部に冷却媒体を供給する際、冷却媒体が急激に温められることはないので、プレクール部及び測定部の温度制御・管理がしやすい。
【００１５】
請求項３記載の発明は、例えば図１及び図２に示すように、請求項２記載のオートハンドラにおいて、前記接続部が前記乾燥室上に設けられ、前記冷却媒体取入部が前記プレクール部及び測定部のうちの少なくとも一方の上に設けられ、前記接続部と前記冷却媒体取入部とを繋ぐ前記冷却媒体外部配管を前記恒温槽上に設けることを特徴とする。
【００１６】
請求項３記載の発明によれば、接続部が乾燥室上に設けられるので、温められた状態の乾燥室の余熱が接続部周辺に伝わり易く、接続部周辺の結露をより確実に防止できる。すなわち、温められた状態の乾燥室の余熱は外部に放熱される。そして、放熱された余熱により温められた空気（外気）は上昇するので、乾燥室上に設けられる接続部周辺が温まり易く、接続部周辺への結露をより確実に防止する。また、冷却媒体取入部及び冷却媒体外部配管を恒温槽上に設けるので、オートハンドラの設置面積を増やすことなく、全体をコンパクトにまとめることができる。
【００１７】
請求項４記載の発明は、例えば図１及び図２に示すように、請求項２または３記載のオートハンドラにおいて、前記冷却媒体外部配管を、前記恒温槽から離間して配置することを特徴とする。
【００１８】
請求項４記載の発明によれば、冷却媒体外部配管を恒温槽から離間して配置するので、乾燥室の余熱は冷却媒体の温度を急激に上昇させるほど冷却媒体外部配管には伝わらない。
【００１９】
請求項５記載の発明は、請求項１〜４のいずれか一つに記載のオートハンドラを用いて前記接続部部分の結露を防止するオートハンドラの結露防止方法であって、前記接続部を前記乾燥室近傍に設け、前記乾燥室の余熱で前記接続部部分を温めることを特徴とする。
【００２０】
請求項５記載の発明によれば、請求項１〜４のいずれか一つに記載のオートハンドラを用いるので、接続部周辺の温度が低下することはなく、接続部周辺の結露を防止できる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のオートハンドラに係る実施の形態について図面を参照して説明する。まず、本発明のオートハンドラＡの構成を説明する。
【００２２】
図１に示すように、オートハンドラＡは内部が所定温度に制御される恒温槽１と、恒温槽１に液体窒素（冷却媒体）を取り入れる液体窒素取入部５（以下、液窒取入部と称する）と、液窒取入部５から恒温槽１の乾燥室４上部まで連続して延在する配管カバー２０と、配管カバー２０に覆われるとともに恒温槽１内に供給される液体窒素の流通管となる液体窒素外部配管３０（冷却媒体外部配管，以下、外部配管と称する）とを備える。
【００２３】
恒温槽１は図１及び図２中右側に示すように、所定温度まで加熱制御して温められる乾燥室４を備える。なお、恒温槽１は従来技術で説明したように、乾燥室４以外にプレクール部・測定部の部屋を有するが、各部屋の役割・機能等は従来技術と同様なので、各部屋の詳細な説明は省略する。
【００２４】
液窒取入部５は外部が二重のカバー６で覆われた箱状構造を有し、恒温槽１（プレクール部または測定部のうちの少なくとも一方）の上部に設けられる。液窒取入部５の内部には三つの電磁弁（安全用電磁弁７・プレクール部用電磁弁８・測定部用電磁弁９）が備えられる。恒温槽１内に供給される液体窒素は電磁弁７・８・９を介して、金属配管１２・１３を通ってプレクール部及び測定部（図示しない）に供給される。なお、三つの電磁弁７・８・９は従来技術と同様のため、詳細な説明は省略する。
【００２５】
配管カバー２０は液窒取入部５に隣接して配置されるとともに、恒温槽１の乾燥室４上部まで延在する中空の直方体状の構造を有する。また、配管カバー２０の乾燥室４上部に配置された部分の側面側には、後述する接続口継手２３の先端が突出する接続孔２１が設けられる。
【００２６】
外部配管３０は配管カバー２０に覆われるとともに液窒取入部５と接続孔２１との間を繋ぐように配置される。外部配管３０の一方の端部は二重のカバー６を貫通して液窒取入部５内の安全用電磁弁７に接続される。外部配管３０の他方の端部には継手２２を介して接続口継手２３（接続部）が取り付けられ、接続口継手２３の先端が接続孔２１から配管カバー２０の外部に突出し接続口２４が設けられる。この場合、外部配管３０は恒温槽１から離間して配置されるのは勿論のこと、配管カバー２０の内面側の壁面にも接することなく離間して配置される。
【００２７】
次に上述したオートハンドラＡを稼働させた際の作用、すなわち本発明のオートハンドラＡの結露防止方法を説明する。
【００２８】
図示しない液体窒素供給管を、接続口継手２３の接続口２４に接続して恒温槽１内に液体窒素を供給し、恒温槽１内のプレクール部及び測定部を制御された低温環境下にする。なお、液体窒素の供給に併せて乾燥室４も試験終了後のＩＣ及びキャリアの結露を防止するため、所定温度になるまで加熱される。この場合、接続口継手２３は配管カバー２０の乾燥室４近傍に設けられているので、温められた乾燥室４の余熱が接続口継手２３周辺まで伝わり、接続口継手２３周辺も温められる。従って、接続口継手２３周辺を冷却媒体である液体窒素が流通しても、接続口継手２３周辺は急激に温度が低下しないので、接続口継手２３周辺の結露を防止できる。
【００２９】
より詳細に説明すると、液体窒素供給管が接続口継手２３の接続口２４に接続され接続口継手２３から注入された液体窒素は、外部配管３０を流通する。この場合、外部配管３０は配管カバー２０の内壁面に接することなく離間した状態で配置される。従って、乾燥室４の余熱が配管カバー２０の壁面に伝わっていても、液体窒素の温度を急激に上昇させるほどには外部配管３０は温められない。これにより、液体窒素を低温に維持させたまま恒温槽１内へ供給できるので、プレクール部及び測定部の温度制御・管理がしやすい。
【００３０】
外部配管３０を流通した液体窒素は液窒取入部５内の安全用電磁弁７へ流れ込む。安全用電磁弁７を通過した液体窒素は、その後分岐してプレクール部用電磁弁８・測定部用電磁弁９へ至り供給量がそれぞれ制御される。そして、プレクール部用電磁弁８・測定部用電磁弁９を介した液体窒素は、金属配管１２・１３を流通して恒温槽１内のプレクール部及び測定部にそれぞれ供給される。
【００３１】
上述のように、液体窒素は恒温槽１のプレクール部及び測定部に供給され続け、プレクール部及び測定部は制御された所定温度の低温環境にされる。このような状況下において、配管カバー２０の外部に露出する接続口継手２３周辺は外気に触れるとともに液体窒素が流通し冷却されるので、結露が付着しやすい状態にある。しかし、接続口継手２３は乾燥室４の近傍、すなわち配管カバー２０の壁面を介した乾燥室４の上方に設けられているので、乾燥室４の余熱が接続口継手２３周辺に伝わり、接続口継手２３周辺は温められ結露防止される。詳しくは、乾燥室４の余熱が乾燥室４の上部に隣接して配置された配管カバー２０の壁面に伝わる。そして、配管カバー２０の壁面に伝えられた乾燥室４の余熱は接続口継手２３周辺に集まり、接続口継手２３周辺の結露付着を防止する。
【００３２】
また、乾燥室４の余熱により温められた空気（外気）は上昇するので、乾燥室４の上方に設けられた接続口継手２３周辺への結露防止の効果はさらに高まる。さらに、液窒取入部５及び外部配管３０は恒温槽１の上部に設けられているので、オートハンドラＡ自体の設置面積は増えることなく、全体をコンパクトにまとめられる。
【００３３】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、接続部周辺には乾燥室の余熱が伝わり、接続部周辺の結露を防止できる。
【００３４】
請求項２記載の発明によれば、冷却媒体の温度を上昇させる程度には乾燥室の余熱が冷却媒体外部配管へは伝わらない。従って、恒温槽のプレクール部及び測定部に冷却媒体を供給する際、冷却媒体が急激に温められることはなく、プレクール部及び測定部を温度制御・管理しやすい。
【００３５】
請求項３記載の発明によれば、乾燥室の上方に上昇する温められた空気（外気）によって、接続部周辺の結露をより確実に防止できる。また、冷却媒体取入部及び冷却媒体外部配管を恒温槽上に設けるので、オートハンドラ自体の設置面積を増やすことなく、全体をコンパクトにまとめることができる。
【００３６】
請求項４記載の発明によれば、冷却媒体外部配管を流通する冷却媒体の温度が急激に上昇することはない。
【００３７】
請求項５記載の発明によれば、接続部周辺の温度が急激に低下することはなく、接続部周辺に結露が付着するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係るオートハンドラを示す縦断面図である。
【図２】前記オートハンドラを示す横断面図である。
【図３】前記オートハンドラを示す縦断正面図である。
【図４】従来及び本実施の形態に係る恒温槽の概略図である。
【図５】従来の液体窒素取入部を示す横断平面図である。
【図６】従来の液体窒素取入部を示す縦断正面図である。
【図７】従来の液体窒素取入部を示す縦断側面図である。
【図８】従来の液体窒素取入部を示す縦断背面図である。
【符号の説明】
Ａ    オートハンドラ
１    恒温槽
４    乾燥室
５    液体窒素取入部（冷却媒体取入部）
２３  接続口継手（接続部）
３０  液体窒素外部配管（冷却媒体外部配管）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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