(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像表示装置の製造方法であって、複数の電子放出素子を有する第１の部材と、前記電子放出素子が放出する電子が照射されて発光する蛍光体を有する第２の部材とを、真空雰囲気を実現している封着処理室において封着する工程を有しており、該封着の前に、前記電子放出素子に画像表示の時に印加される駆動電圧値よりも大きい電圧を印加する電圧印加工程と、該電圧印加工程を行った前記第一の部材と第二の部材を処理室に移動し、前記第一の部材または第二の部材にゲッタ膜を形成するパネルゲッタ工程とを行うことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項２】
画像表示装置の製造方法であって、複数の電子放出素子を有する第１の部材と、前記電子放出素子が放出する電子が照射されて発光する蛍光体を有する第２の部材とを、真空雰囲気を実現している封着処理室において封着する工程を有しており、該封着の前に、前記電子放出素子に画像表示の時に印加される駆動電圧値よりも大きい電圧を印加する電圧印加工程と、該電圧印加工程に先立って、エレクトロンビームクリーニング工程を行うことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記電圧印加工程で電圧を印加する電子放出素子が、前記複数の電子放出素子のうち、特定の電子放出素子であることを特徴とする請求項１または２に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記電圧印加工程で電子放出素子に印加する電圧が、対象電子放出素子により異なることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記電圧印加工程を行った後、前記電子放出素子を大気に曝すことなく前記封着を行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記電圧印加工程は、前記電子放出素子が存在する領域内が１×１０-4Ｐａ以下の圧力になっている状態で行うことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記電圧印加工程は、前記電子放出素子が存在する領域内の有機物質の分圧が１×１０-6Ｐａ以下になっている状態で行うことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像表示装置の製造方法に関する。特には、電子放出素子を有する部材と、蛍光体を有する部材とを組み合わせて得られる画像表示装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、電子放出素子としては、大別して熱電子放出素子と冷陰極電子放出素子の２種類のものが知られている。冷陰極電子放出素子には、電界放出型（以下、ＦＥ型という）、金属／絶縁層／金属型（以下、ＭＩＭ型という）、表面伝導型電子放出素子などがある。
【０００３】
ＦＥ型の例としては、Ｗ．Ｐ．Ｄｙｋｅ  ＆  Ｗ．Ｗ．Ｄｏｌａｎ，”Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ”，Ａｄｖａｎｃｅ  ｉｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｐｈｙｓｉｃｓ，８，８９（１９５６）、あるいはＣ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔ，”ＰＨＹＳＩＣＡＬ  Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ  ｏｆ  ｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ  ｆｉｅｌｄ  ｅｍｉｓｓｉｏｎ  ｃａｔｈｏｄｅｓ  ｗｉｔｈ  ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍ  ｃｏｎｅｓ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，４７，５２４８（１９７６）などに開示されたものが知られている。
【０００４】
ＭＩＭ型の例としては、Ｃ．Ａ．Ｍｅａｄ，”Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｔｕｎｎｅｌ−Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｅｖｉｃｅｓ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，３２，６４６（１９６１）などに開示されたものが知られている。
【０００５】
表面伝導型電子放出素子型の例としては、Ｍ．Ｉ．Ｅｌｉｎｓｏｎ，Ｒａｄｉｏ  Ｅｎｇ．Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｐｈｙｓ．，１０，１２９０（１９６５）などに開示されたものがある。
【０００６】
表面伝導型電子放出素子は、基板上に形成された小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことにより電子放出が生ずる現象を利用するものである。この表面伝導型電子放出素子としては、前記エリンソン等によるＳｎＯ2薄膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの［Ｇ．Ｄｉｔｔｍｅｒ：”Ｔｈｉｎ  Ｓｏｌｉｓ  Ｆｉｌｍｓ，”９，３１７（１９７２）］、Ｉｎ2Ｏ3／ＳｎＯ2薄膜によるもの［Ｍ．Ｈａｒｔｗｅｌｌ  ａｎｄ  Ｃ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ：”ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓ．ＥＤ  Ｃｏｎｆ．”，５１９（１９７５）］、カーボン薄膜によるもの［荒木久他：真空、第２６巻、第１号、２２頁（１９８３）］などが報告されている。
【０００７】
上記のような電子放出素子を用いた画像表示装置の製造には、これら電子放出素子をマトリクス配置した電子源基板（リアプレート）を用意すると共に、電子線の励起を受けて発光する蛍光体を設けた蛍光体基板（フェースプレート）を用意し、電子放出素子と蛍光体とが内側となるようにして、且つ、間に真空シール構造を提供する外囲器及び耐大気圧構造を提供するスペーサを配置して、これらフェースプレートとリアプレートとを対向配置してから、フリットガラスなどの低融点物質を封着材として用いて内部をシールし、予め設けておいた真空排気管から内部を真空排気した後、真空排気管を封止して表示パネルとする製造工程が用いられている。
【０００８】
また、従来技術として特開平１１−１３５０１８号、特開平８−９６７００号、ＥＰＡ０７６７４８１、ＥＰＡ０７８５５６４、ＥＰＡ０８０３８９２、特開平４−２４９８２７号に記載の技術がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このような、電子放出素子を用いた画像表示装置においては、内部の真空度が高い状態を実現したいという課題がある。
【００１０】
本願発明者等は、電子放出素子を用いた画像表示装置において、製造工程のひとつとして知られるいくつかの工程が画像表示装置内部の雰囲気に影響を及ぼすことを鋭意研究の末見出した。
【００１１】
本願にかかわる発明は、そのような工程を製造工程のひとつとして有する場合であっても、内部雰囲気の良好な画像表示装置を得ることができる製造方法を実現することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１は、画像表示装置の製造方法であって、複数の電子放出素子を有する第１の部材と、前記電子放出素子が放出する電子が照射されて発光する蛍光体を有する第２の部材とを、真空雰囲気を実現している封着処理室において封着する工程を有しており、該封着の前に、前記電子放出素子に画像表示の時に印加される駆動電圧値よりも大きい電圧を印加する電圧印加工程と、該電圧印加工程を行った前記第一の部材と第二の部材を処理室に移動し、前記第一の部材または第二の部材にゲッタ膜を形成するパネルゲッタ工程とを行うことを特徴とする画像表示装置の製造方法である。
また、本発明の第２は、画像表示装置の製造方法であって、複数の電子放出素子を有する第１の部材と、前記電子放出素子が放出する電子が照射されて発光する蛍光体を有する第２の部材とを、真空雰囲気を実現している封着処理室において封着する工程を有しており、該封着の前に、前記電子放出素子に画像表示の時に印加される駆動電圧値よりも大きい電圧を印加する電圧印加工程と、該電圧印加工程に先立って、エレクトロンビームクリーニング工程を行うことを特徴とする画像表示装置の製造方法である。
上記本発明の第１及び第２は、
前記電圧印加工程で電圧を印加する電子放出素子が、前記複数の電子放出素子のうち、特定の電子放出素子であること、
前記電圧印加工程で電子放出素子に印加する電圧が、対象電子放出素子により異なること、
前記電圧印加工程を行った後、前記電子放出素子を大気に曝すことなく前記封着を行うこと、
前記電圧印加工程は、前記電子放出素子が存在する領域内が１×１０-4Ｐａ以下の圧力になっている状態で行うこと、
前記電圧印加工程は、前記電子放出素子が存在する領域内の有機物質の分圧が１×１０-6Ｐａ以下になっている状態で行うこと、
を好ましい態様としてそれぞれ含むものである。
上記本発明は、以下のような本願発明者等の知見に基づいてなされたものである。
【００１４】
本願発明者等は電子放出素子のエージングを行う場合、真空度が高い状態（圧力が低い状態）で行うと好適であることを確認した。しかしながら本願発明者等はエージング処理によって真空雰囲気が悪化することを見出した。
【００１６】
本願発明で言うエージングとは電子放出素子に画像表示の駆動の際に印加する電圧よりも高い電圧を印加する、または画像表示の際に電子放出部に照射する電子の有するエネルギーよりも高いエネルギーを有する電子を予め電子放出部に照射する（この高いエネルギーを有する電子の放出源は画像表示装置の構成要素である電子放出素子に限らず、別途設けた画像表示に寄与しない電子ビーム源からの電子の場合も含む）、または放出部にＵＶ照射を行なう等、電子放出特性を制御する工程である。この工程を行っておくことにより、以降の、特には実際の画像表示のための駆動を開始してからの特性の急激な変化を抑制できるのである。特に、このエージング前の電子放出素子に所定の電圧（これは実際の画像表示の際に印加される電圧と同じ大きさの電圧であり、該画像表示の際に印加される電圧値に幅がある場合はその範囲内の値を持つ所定の電圧）を印加して得られる放出電流量よりもエージング後の該電子放出素子に前記所定の電圧を印加して得られる放出電流量の方が少なくなる場合、実際の画像表示のための駆動を開始してからの特性の急激な変化を長時間にわたって抑制でき、好ましい。
【００１９】
本願発明者等は電子放出素子の特性調整を行う場合、真空度が高い状態（圧力が低い状態）で行うと好適であることを確認した。しかしながら本願発明者等は特性調整処理によって真空雰囲気が悪化することを見出した。
【００２１】
ここで、複数の電子放出素子の特性調整を選択的に行うとは、特定の素子のみに特性調整を行うことや、特性調整の程度を対象素子により異ならせることを言う。また、ここで言う特性とは、具体的には、印加電圧の大きさと放出電流量の関係や、印加電圧の大きさと電子放出素子に流れる電流量の関係などである。特に本願に記載の各発明は冷陰極電子放出素子を用いる場合に特に好適に採用できる。ここで冷陰極電子放出素子においては少なくとも２つの電極間に電圧が印加されることにより電子が放出される構成となる。該２つの電極間の間隙部の状態を制御（具体的には間隙部の間隔や材質（結晶状態など）を制御）することにより前述したような諸特性を調整することが可能である。該間隙部の状態の制御としては具体的には該２つの電極間に電圧を印加する構成を好適に採用できる。その際に、特定の素子のみに電圧を印加したり、素子ごとに印加する電圧を異ならせることにより選択的な特性調整を行うことができる。
【００２６】
本願発明者等は活性化工程を経た電子放出素子、及び／もしくは、炭素及び／もしくは炭素化合物を電子放出部及び／もしくは電子放出部近傍に有する電子放出素子、に対して電圧印加を行うことにより良好な画像表示装置を得ることができることを確認した。この場合電圧印加は、真空度が高い状態（圧力が低い状態）で行うと好適であることも確認した。しかしながら本願発明者等は該電圧印加工程によって真空雰囲気が悪化することを見出した。
【００２７】
それらの知見を基に、本願発明者等は真空雰囲気を実現している封着処理室において封着を行う工程を採用すると共に、それに先立って電圧印加工程を行うことに想到した。なお、ここでいう活性化とは電子放出素子に対して電圧を印加したときの放出電流量を増加させる工程であり、活性化を行う前の電子放出素子に所定の電圧を印加したときの放出電流量よりも、活性化工程を行った電子放出素子に前記所定の電圧を印加したときの放出電流量のほうが大きくなる工程である。特に冷陰極素子であって、２つの電極間に電圧を印加して電子を放出せしめる電界放出素子、表面伝導型放出素子の場合には該２つの電極間の間隙部に堆積物を堆積させることにより活性化を行うことができる。
【００３０】
上記の発明において、前記エージング工程、または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程を行った後、前記電子放出素子を大気に曝すことなく前記封着を行うと好適である。具体的には、前記封着処理室内で前記エージング又は前記特性調整、又は前記電圧印加を行う構成や、後述の実施例で示すように電子放出素子を前記エージングまたは前記特性調整、または前記電圧印加を行う処理室から大気に曝すことなく封着処理室に搬送する構成を採用できる。後者の構成を採用する場合は、これらの処理室と封着処理室を直接もしくは他の減圧(処理)室を介して連結しておく構成が好適である。
【００３１】
また、前記エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程は、電子放出素子の電子放出部及び／もしくは電子放出部近傍に堆積する物質の材料が電子放出素子が存在する領域内で十分に少なくなっており、堆積が抑制される雰囲気で行うとよい。具体的には十分に圧力を低くして行うとよい。好適には１×１０-4Ｐａ以下、特には１×１０-5Ｐａ以下の圧力になっている状態で行うとよい。また、前記堆積には雰囲気中の有機物質に由来して生じるものが特に顕著であり、そのため、前記エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程は雰囲気中の有機物質の分圧が１×１０-6Ｐａ以下の状態で行うとよい。
【００３２】
また、前記エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程の後、前記封着工程において前記第１の部材と前記第２の部材に挟まれる孤立空間が形成されるまでの間、前記電子放出素子が存在する領域内の圧力が実質的に１×１０-4Ｐａ以下、特には１×１０-5Ｐａ以下の状態に保たれるようにすると好適である。ここでいう孤立空間とは、外部雰囲気の気体分子から直接影響を受けない空間という意味である。また、封着工程においては、該領域の圧力が１×１０-6Ｐａ以下になっているのが好ましい。なおここで、実質的に特定の真空度の状態、例えば上記のように１×１０-4Ｐａ以下、特には１×１０-5Ｐａ以下の状態に保つとは、すなわち、以下の実施例で示すように、ゲッタフラッシュによる一時的な真空度の低下を許容することを意味する。一時的な真空度の低下があってもその後速やかに真空度は上昇するので、実質的な影響は無視できる程度に抑制されるため許容できるのである。
【００３３】
また、前記エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程から封着を終えるまでは電子放出素子が存在する領域の有機物質の分圧が低い状態を保つのが好ましい。好適には該分圧が実質的に１×１０-6Ｐａ以下に維持されているとよい。また、封着工程においては、該領域の有機物質の分圧が１×１０-6Ｐａよりも低くなっているのが好ましい。
【００３４】
また、前記エージング工程または前記特性調整工程は、前記電子放出素子に電圧を印加する工程であるとよい。尚、前記電圧印加工程も含め、本発明が意図する、封着の前に前記電子放出素子に印加する電圧値は、該電子放出素子に画像表示の時に印加される通常の駆動電圧の電圧値よりも大きいことが好ましい。
【００３５】
また、前記エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程は、前記電子放出素子から電子を放出させる工程であるとよい。
【００３６】
また、封着工程の前に画像表示装置を構成する部材、具体的には、フェースプレートやリアプレートにゲッタを形成する工程（パネルゲッタ工程）を有する場合、このゲッタ形成工程に先立って前記エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程を行なうのが好ましい。これは、パネルゲッタが前記エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程で発生するガスに反応し、ゲッタの能力を製造工程中に消費してしまうことを回避できる点で好ましい。
【００３７】
また、封着工程の前に画像表示装置を構成する部材、具体的には、フェースプレートやリアプレートを洗浄するエレクトロンビームクリーニング工程を有する場合、このエレクトロンビームクリーニング工程の後に前記エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程を行なうのが好ましい。これは、エレクトロンビームクリーニング工程によるガスの発生が電子放出素子の特性に影響を及ぼす可能性があるため、エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程に先立ってエレクトロンビームクリーニング工程を行なうことが好ましい。
【００３８】
以上述べてきた全ての発明は、第１の部材が複数の電子放出素子をもつ場合に特に好適に採用できる。好適な画像表示を行うための構成として１０万個以上の電子放出素子を有する構成において本願にかかわる発明は特に有効である。また、電子放出素子は行方向と列方向にマトリックス状に配置されていると特に好適である。
【００３９】
また、第１の部材と第２の部材との封着とは間に例えば枠部材のような他の部材を介在させて封着することを含むものである。
【００４０】
なお、本願にかかわる発明における電子放出素子としては先に述べたように冷陰極電子放出素子を好適に採用できる。特には、スピント型の電子放出素子や、以下の実施例で採用している表面伝導型電子放出素子を好適に採用できる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
図１（ａ）は本発明に係る製造装置を模式的に示した図、図１（ｂ）は画像表示装置のパネル部材、即ち、上述した第１の部材あるいは第２の部材の温度を示す温度プロファイル、図１（ｃ）は製造装置内真空度を示す真空度プロファイルである。以下、これらに基づいて本発明に係る製造方法と製造装置の一例を説明する。
【００４２】
図１（ａ）において、１０１はパネル部材であるところのリアプレート（以後ＲＰと表記する）であり、蛍光体励起手段として、複数の電子放出素子（活性化工程により電子放出部及びその近傍にグラファイト状のカーボンが付与されている表面伝導型電子放出素子）が複数の行方向配線と複数の列方向配線によってマトリクス配線された電子源が形成されている。１０２はパネル部材であるところのフェィスプレート（以後ＦＰと表記する）であり、蛍光体、メタルバックなどが形成されている。１０３はパネル部材であるところの外枠でありＲＰ１０１とＦＰ１０２の間に配置され、ＲＰ１０１及びＦＰ１０２とともに気密容器であるパネルを構成する。１０４はスペーサであり、ＲＰ１０１とＦＰ１０２との間隔を維持するものである。本実施形態では外枠１０３、とスペーサ１０４は事前にＲＰ１０１上に配置固定されている場合を図示している。
【００４３】
１０５は前室、１０６はベーク処理室、１０７は表面浄化処理室、１００１はエージング及び特性調整処理室である通電処理室、１０８は第１のゲッタ処理室（チャンバーゲッタ処理室）、１０９は第２のゲッタ処理室（パネルゲッタ処理室）、１１０は封着処理室、１１１は冷却室であり、順次搬送方向（図中の矢印１４５）に従って配列接続され、それぞれ不図示の真空ポンプで排気されて、真空雰囲気が形成されている。
【００４４】
本実施形態においては、上記表面浄化処理室１０７は、電子線照射手段が設けられたエレクトロン・ビーム照射処理室（以後ＥＢ照射処理室と表記。本処理室においてエレクトロンビームクリーニング工程が行なわれる）となっている。大気および、各処理室間はゲートバルブ１１２、１１３、１１４、１１５１、１１５２、１１６、１１７、１１８、１１９で隔てられており、パネル部材であるＲＰ１０１，ＦＰ１０２、外枠１０３、スペーサ１０４は、まず、ゲートバルブ１１２の開閉により前室１０５に搬入され、順次、処理室へ各ゲートバルブの開閉によって移動する。１２０はパネル部材の各処理室への移動用のための搬送ローラーである。
【００４５】
また、１２１、１２３、１００３、１２７、１３２、１３６はＲＰ１０１および、これに固定された外枠１０３とスペーサ１０４を加熱するためのホットプレートである。一方、１２２、１２４、１００２、１２８、１３３、１３７はＦＰ１０２を加熱するためのホットプレートである。
【００４６】
１２５はＥＢ照射処理室１０７内でＥＢ照射するための電子銃、１２６は電子銃１２５から照射されたエレクトロン・ビームである。
【００４７】
１００４、１００５はプローブであって、ＲＰ１０１に形成されている複数の行方向配線の両端部と電気的に接触して電位を印加するためのものである。またＲＰ１０１に形成されている列方向配線の端部と電気的に接触して電位を印加するプローブも図示していないが設けられている。
【００４８】
チャンバーゲッタ処理室１０８内において、１２９はチャンバーゲッタフラッシュ装置、１３０はチャンバーゲッタフラッシュ装置から発生されるチャンバーゲッタフラッシュであり、Ｂａなどの材料を瞬間的に蒸発させたものである。１３１はチャンバーゲッタ板であり、チャンバーゲッタフラッシュ１３０が被着し、チャンバーゲッタとして排気作用を行う、即ち、チャンバーゲッタ処理室１０８内の真空度を上げることができる。
【００４９】
パネルゲッタ処理室１０９において、１３４はパネルゲッタフラッシュ装置、１３５はパネルゲッタフラッシュ装置１３４から発生されるパネルゲッタフラッシュであり、Ｂａなどの材料を瞬間的に蒸発させたものであり、ＦＰ１０２に被着される。そしてこの後、速やかに封着処理室１１０にてパネル封着を行なう。このパネルゲッタは、パネル封着後のパネル内の真空維持に作用する。
【００５０】
１３８、１３９、１００６、１４０、１４１、１４２は昇降機であり、それぞれ、ホットプレート１２１、１２３、１００３、１２７、１３２、１３６を支持しており、ＲＰ１０１を各処理工程に必要な高さに昇降させる機能を有する。
【００５１】
図１（ｂ）はその横軸が、図１（ａ）の製造装置における各処理室での工程を示し、縦軸が各処理室での工程におけるパネル部材の温度プロファイルである。この温度プロファイルは、ＲＰ１０１、ＦＰ１０２の温度状態を示すものである。また、図１（ｃ）はその横軸が、図１（ａ）の製造装置における各処理室での工程を示し、縦軸が各処理室での真空度プロファイルである。
【００５２】
ＲＰ１０１とＦＰ１０２、外枠１０３、スペーサ１０４は、搬送手段である搬送ローラ１２０の駆動によって、順次、矢印１４５方向に各処理室を通過し、この通過中に各種の処理が施される。
【００５３】
本実施形態においては、まず、前室１０５の真空雰囲気下に、複数の電子放出素子を複数の行方向配線及び列方向配線によってマトリクス状に接続した電子源が配置されたＲＰ１０１、外枠１０３、及び、スペーサ１０４からなる第１の部材と、蛍光体及びメタルバックが配置されたＦＰ１０２からなる第２の部材とが用意され、ベーク処理室１０６におけるベーク処理、ＥＢ照射処理室１０７における電子線照射、通電処理室１００１におけるエージング及び特性調整処理、チャンバーゲッタ処理室１０８におけるチャンバーゲッタ処理による高真空到達、パネルゲッタ処理室１０９におけるパネルゲッタ処理によるパネルへのゲッタフラッシュ、封着処理室１１０における加熱封着及び冷却室１１１における冷却処理の各工程が直列された一ライン上で行われるものとなっている。図３に本実施例のＲＰ１０１の平面図を示す。尚、ＲＰ１０１の構成は図４に示すように複数のＦＥ素子をマトリクス状に配置したものも適用できる。
【００５４】
図１（ａ）に図示した製造装置の各処理室間には、前述の通り、ゲートバルブ１１２、１１３、１１４、１１５１、１１５２、１１６、１１７、１１８、１１９が配置されており、各処理室は不図示の真空排気系で真空排気される。本実施形態においては、ゲートバルブ１１２、１１３、１１４、１１５１、１１５２、１１６、１１７、１１８、１１９を各処理室間毎に配置したが、このゲートバルブ配置は図１（ｃ）に図示する真空度プロファイルの真空度が相違する処理室間および装置外大気間のみでよく、例えば、チャンバーゲッタ処理室１０８、パネルゲッタ処理室１０９、封着室１１０の間のゲートバルブ１１６、１１７、またＥＢ照射処理室１０７と通電処理室１００１の間のゲートバルブ１１５１は省略することも可能である。
【００５５】
上記のように隣接した処理室間にゲートバルブがなく、しかも各処理工程におけるパネル部材の温度が異なる場合は、該処理工程間には、例えばアルミニウム、クロム、ステンレスなどの反射性金属によって形成した熱遮蔽部材（板形状、フィルム形状など）が配置されていることが好ましい。この熱遮蔽部材は、図１（ｂ）に図示するパネル部材の温度プロファイルの温度が相違する処理室間、例えば、ベーク処理室１０６とパネルゲッタ処理室１０９との間の何処か、あるいは、パネルゲッタ処理室１０９と封着処理室１１０との間、あるいは、上記両方に配置するのが好ましい。また、該熱遮蔽部材は各処理室間毎に配置してもよい。上記熱遮蔽部材は、上に載置したＦＰ１０２とＲＰ１０１とが各処理室間を移動する際には、障害を与えないように設置される。
【００５６】
また、本実施形態では、前室１０５に搬入する前のＲＰ１０１に、予め、真空構造をシールする外枠１０３及び耐大気圧構造を形成するスペーサ１０４を固定設置してあるがこれに限るものではない。例えば、外枠１０３にスペーサ１０４を事前に固定し（例えば外枠１０３内を横切る板状スペーサ１０４として、その両端を外枠１０３に固定。）、これを単独の構成部材としてＲＰ１０１やＦＰ１０２とは別に本装置内に投入し、各処理工程を行い、最終的に封着処理工程でパネルの構成部材として、所望の位置に配置固定することもできる。
【００５７】
尚、図１（ａ）において１４３は封着材であり、ＲＰ１０１に配置された外枠１０３のＦＰ１０２側端部に事前にフリットガラスなどの低融点物質やインジウムなどの低融点金属又はその合金として設けることができる。封着材１４３の配置はこれに限るものではなく、外枠１０３が接触固定されるＦＰ１０２上の部分に配置しておいても良い。さらには、外枠１０３を単独の構成部材として独立して、本装置内に投入する場合は、外枠１０３のＲＰ１０１側端部及びＦＰ１０２側端部に封着材１４３を設けても良い。また、封着材１４３は、外枠１０３が接触固定されるＲＰ１０１およびＦＰ１０２上の部分に配置されても良い。上記封着材１４３を設ける部分は、外枠１０３の端部と、この外枠１０３の端部が接触固定されるＲＰ１０１およびＦＰ１０２上の部分の少なくともいずれか一方に設けてあれば良い。
【００５８】
上記のように構成された装置において、パネルを真空排気して封着する工程を以下に示す。尚、以下の工程は１枚のパネルを封着する場合を示す場合であるが、連続して複数のパネルを連続的に処理して封着する場合は、各処理工程の処理時間が異なる場合があり、処理時間の長い工程については他の処理工程時間と調整するように、処理工程を複数の処理室に分割すること、あるいは同一の処理室に処理のための構成要素を、例えば、ホットプレート等を複数配置して、同時に処理を行うことよって可能となる。
【００５９】
まず、外枠１０３およびスペーサ１０４が事前に固定され、封着材１４３も事前に配置されたＲＰ１０１と、ＦＰ１０２を前室１０５に搬入する。搬入に際しては搬送用の治具に上記のＲＰ１０１とＦＰ１０２とを配置し、構造上、両者の基板に間隔が形成されるようにしてある。尚、搬入、搬送は治具を用いることに限るものではなく、ＲＰ１０１、ＦＰ１０２の基板をそのまま、装置本体側の支持搬送ユニットで搬送することも可能である。
【００６０】
搬入が終了したら、搬入口であるゲートバルブ１１２を遮蔽し、この前室１０５の内部を真空排気する。この間、ベーク処理室１０６以降の処理室は各々の真空度と温度プロファイルに設定されている。以降、ＲＰ１０１，ＦＰ１０２の基板の搬送に際して、対応する処理室間のゲートバルブ１１３−１１９を順次、開放、遮断する。
【００６１】
上記前室１０５が１０-5Ｐａ台の真空排気状態に達したとき、ゲートバルブ１１３を開放し、ＲＰ１０１とＦＰ１０２とを前室１０５から搬出してベーク処理室１０６に移動し、この移動終了後にゲートバルブ１１３を遮断する。
【００６２】
大気に曝されることなくベーク処理室１０６に移動されてきたＲＰ１０１とＦＰ１０２は、このベーク処理室１０６内で、ホットプレート１２１，１２２の加熱処理（ベーク処理）が施される。このベーク処理によって、ＲＰ１０１とＦＰ１０２に含有、吸着されている水素、酸素、水などの不純物をガス排出させることができる。このときのベーク温度は、一般的に、３００℃〜４００℃、好ましくは３５０℃〜３８０℃である。このときの真空度は約１０-4Ｐａである。
【００６３】
ベーク処理を終了したＲＰ１０１とＦＰ１０２とをＥＢ照射処理室１０７に移動させ、ＲＰ１０１をホットプレート１２３に固定し、昇降機１３９によってＥＢ照射処理室１０７の上部へ移動させる。この間、一時的にＲＰ１０１とＦＰ１０２は加熱源であるベーク処理室１０６のホットプレート１２１、１２２から離れることになるが、急激な温度低下を発生しないようにしてＥＢ照射処理室１０７のホットプレート１２３，１２４に固定し、加熱することで、穏やかに降温を行う。この降温状態の基板温度域において、電子銃１２５からＥＢ１２６を任意の領域へ放出してＥＢ照射処理（エレクトロンビームクリーニング処理）を行う。ＥＢ照射処理は、一般に基板温度域が１００℃からベーク温度までの範囲において行われる。この時の真空度は約１０-4Ｐａから１０-5Ｐａになる。
【００６４】
ＥＢ照射処理はＲＰ１０１、ＦＰ１０２への照射による吸着不純物のガス脱離による基板クリーニング等の効果がある。また、上述の通り、この際、ベーク処理工程での余熱を利用することができるので上記クリーニング効果は一層向上する。また、ＥＢ照射はＲＰ１０１、ＦＰ１０２の両方、または、いずれか一方のみの処理でも良い。
【００６５】
また、ＥＢ照射はＲＰ１０１、ＦＰ１０２に限らず、ＥＢ照射工程チャンバー内の任意の領域に照射しても良い。ＥＢ照射処理は、基板クリーニング以外に、チャンバー空間にＥＢ照射することにより、ベーキング、ＥＢ照射基板クリーニングによって脱離したガスをＥＢ照射によりイオン化し、後工程のゲッタフラッシュ処理工程で、よりゲッタへの吸着を促進することができる効果もある。
【００６６】
また、以上述べたＥＢ照射処理室１０７、あるいは、このＥＢ照射処理室１０７と後述する第１のゲッタ処理室１０８（チャンバーゲッタ処理室）とは、ベーク処理を終了したＲＰ１０１及びＦＰ１０２の降温を行う、徐冷却処理室としての機能をも果たすものであるが、ベーク処理室１０６とＥＢ照射処理室１０７との間に別個、徐冷処理室を設けることも好ましい形態の一つである。
【００６７】
このような徐冷処理室においては、ベーク処理時の加熱温度からの急激な温度低下を発生しないように、ＲＰ１０１及びＦＰ１０２はそれぞれホットプレートに固定され、穏やかに降温を行う。この時のホットプレートの温度域は１００℃からベーク温度までの範囲で設定され、真空度は約１０-4Ｐａから１０-5Ｐａの範囲で設定される。
【００６８】
ＥＢ照射処理が終了した後、昇降機１３９を降下させてから、ホットプレート１２３からＲＰ１０１を取り外し、ＦＰ１０２と共に、通電処理室１００１に移動する。このとき、ＲＰ１０１とＦＰ１０２は通電処理室１００１に大気に曝すことなく移動される。通電処理室ではＲＰはホットプレート１００３に保持され上昇される。その後、行方向配線用プローブ１００４、１００５及び不図示の列方向配線用プローブがＲＰ１０１に形成されている行方向配線及び列方向配線の端部に電気的に接触される。
【００６９】
ここで、行方向配線用プローブと列方向配線用プローブによってそれぞれ行方向配線と列方向配線に印加される電位の差である電圧が所定の素子に印加される。すなわち、複数の行方向配線のうちのひとつの行方向配線にマイナス７．５ボルトの電位が印加され、その他の行方向配線に０ボルトの電位が印加され、列方向配線の全てに＋７ボルトの電位が印加されると、マイナス７．５ボルトの電位が印加される行方向配線に接続される電子放出素子には、列方向配線に印加される電位との電位差である１４．５ボルトの電圧が印加され、素子のエージングが進行する。このとき、他の行方向配線に接続される素子には７ボルトの電圧が印加されるのみであるので、エージングの進行は抑制されている。その後順次マイナス７．５ボルトの電位が印加される行方向配線を変更しながら全ての電子放出素子に１４．５ボルトの電圧を経験させる。必要に応じてこのプロセスを繰り返してエージング処理を行う。なお、本実施例においては電子放出素子に印加される電圧はパルス状のものとし、電圧のパルスの幅は６６．８［μｓ］、パルス周期Ｔｓは１６．６［ｍｓ］とし、各素子に１４．５ボルトの電圧が１００パルス印加されるようにした。
【００７０】
本願発明で言うエージングとは即ち、電子放出素子に画像表示の駆動の際に印加する電圧よりも高い電圧を印加する、または画像表示の際に電子放出部に照射する電子の有するエネルギーよりも高いエネルギーを有する電子を予め電子放出部に照射する（この高いエネルギーを有する電子の放出源は画像表示装置の構成要素である電子放出素子に限らず、別途設けた画像表示に寄与しない電子ビーム源からの電子の場合も含む）、または放出部にＵＶ照射を行なう等、電子放出特性を制御する工程である。尚、本実施例における上述のエージング工程においては、エージング前の電子放出素子に所定の電圧（これは実際の画像表示の際に印加される電圧と同じ大きさの電圧であり、該画像表示の際に印加される電圧値に幅がある場合はその範囲内の値を持つ所定の電圧）を印加して得られる放出電流量よりもエージング後の該電子放出素子に前記所定の電圧を印加して得られる放出電流量の方が少なくなっており、実際の画像表示のための駆動を開始してからの特性の急激な変化を長期間に渡って抑制できた。
【００７１】
ただし、エージング処理を行うのみでは各素子の電子放出特性、この実施例においては印加電圧に対する素子に流れる電流（素子電流）量の特性、が一致しない場合が多々ある。そこで、本実施例では印加電圧１４ボルト(実際の画像表示のために印加する電圧の値)に対する素子電流量が他の素子よりも大きい素子に対しては、選択的に更なる電圧印加を行い特性を調整する。すなわち、前記エージング処理においては全ての列方向配線にエージングのための電位を与えたのに対して、この選択的な特性調整工程においては特性調整電圧を印加すべき素子が接続されている列方向配線には徐々に値を正の方向に大きくしながらパルス電位を与え、特性調整電圧を印加しない素子が接続されている列方向配線には０ボルトの電位を与える。これにより特定の素子にのみ徐々に大きくなる電圧が印加されることになる。なお、パルス幅とパルス周期は上記エージングのときと同じにした。なお、パルス電圧の印加と同時に列方向配線に流れる電流をモニタしておき、流れる電流値が所定の値になったら該素子に対する特性調整を終了する。なお、特性調整する素子を選択するために、行方向配線のほうも特性調整の対象となる電子放出素子が接続される行方向配線のみにマイナス７．５ボルトの電位を印加し、他の行方向配線には０ボルトの電位を与えておく。これらエージング工程、特性調整工程等の電圧印加工程が、どのようなメカニズムで電子放出素子の電子放出量を少なくするのかについては、十分解明されていないが、本発明者らは、少なくとも電子放出部近傍に炭素及び炭素化合物を有する素子においては、画像表示装置の通常の表示駆動に先駆けて、真空雰囲気、より好ましくは有機物質の分圧が低い雰囲気において、予めエージング工程、特性調整工程等の電圧印加工程を行なうことで放出電流量を少なくすることが出来ることを確認している。特に活性化工程によって電子放出部近傍に炭素及び炭素化合物を有する表面伝導型放出素子においては、この電圧印加工程の電圧値を表示駆動時の電圧値より大きくすることで、放出電流量を少なくすることが出来ることも確認している。
【００７２】
なお、このエージング工程、及び特性調整工程及び電圧印加工程においては、真空雰囲気を維持するため真空ポンプによる排気をしながら行う。有機物質の分圧は１×１０-6Ｐａ以下に維持した。
【００７３】
なお、本実施例で製造した電子源は、製造工程終了後実際に駆動する際にはパルス幅変調を行うものとし、実際の画像表示の際の駆動電圧として各素子に印加される電圧の大きさを１４ボルトとして用いるものである。
【００７４】
通電処理が終了した後、昇降機１００６を降下させた後、ホットプレート１００３からＲＰ１０１を取り外し、ＦＰ１０２と共に、チャンバーゲッタ処理室１０８へ移動する。このとき、ＲＰ１０１とＦＰ１０２は、チャンバーゲッタ処理室１０８に大気に曝すことなく移動される。このときのチャンバーゲッタフラッシュ装置１２９内に内蔵させていた蒸発型ゲッタ材（例えば、バリウムなどのゲッタ材）を抵抗加熱などの方法で加熱蒸発させてチャンバーゲッタフラッシュ１３０を生じさせ、パネル部材以外のチャンバー内に配置されたチャンバーゲッタ板１３１の表面にバリウム膜などからなるゲッタ膜（図示せず）を被着せしめる。この際のパネルゲッタの膜厚は、一般的に５ｎｍ〜５００ｎｍ、好ましくは１０ｎｍ〜２００ｎｍ、より好ましくは、２０ｎｍ〜２００ｎｍである。このチャンバーゲッタ処理工程により、チャンバーゲッタ板１３１に被着したゲッタ膜がチャンバー内のガスを吸着排気して、チャンバーゲッタ処理室の真空度は１０-6Ｐａ台に到達する。ＲＰ１０１、ＦＰ１０２の基板温度はベーク温度から１００℃までの温度範囲で当該処理が行われる。なお、チャンバーゲッタフラッシュ１３０によって、ゲッタ材が蒸発するため、一時的にチャンバー内の真空度は低下するが、真空排気により、高真空へと移行する。
【００７５】
次に、ＲＰ１０１とＦＰ１０２とをパネルゲッタ処理室１０９に移動させ、ＲＰ１０１をホットプレート１３２に固定し、昇降機１４１によってパネルゲッタ処理室１０９の上部へ移動させる。パネルゲッタ処理室は事前に１０-6Ｐａ台に真空排気されている。この真空度に到達するためには、一般的な真空排気ポンプの他に、上記、蒸発型ゲッタ材のフラッシュによる排気、非蒸発ゲッタ材の加熱活性化による排気などによる補助排気手段を用いることもできる。上記１０-6Ｐａ台に真空排気方法は、以下に述べる封着処理室１１０、冷却処理室１１１にも用いることができる。
【００７６】
パネルゲッタ処理室１０９ではパネルゲッタフラッシュ装置１３４内に内蔵させている蒸発型ゲッタ材（例えば、バリウムなどのゲッタ材）を抵抗加熱などの方法で加熱蒸発させてパネルゲッタフラッシュ１３５を生じさせ、ＦＰの表面にバリウム膜などからなるゲッタ膜（図示せず）を被着せしめる。この際のパネルゲッタの膜厚は、一般的に５ｎｍ〜５００ｎｍ、好ましくは１０ｎｍ〜２００ｎｍ、より好ましくは、２０ｎｍ〜２００ｎｍである。ここで成膜された蒸発型ゲッタは、当該処理工程のチャンバーが１０-6Ｐａの高真空であるためにガス吸着による劣化は小さく、十分にゲッタ真空排気能力を維持したまま、次の封着処理工程へ移される。
【００７７】
図１（ａ）ではＦＰ１０２上にゲッタ膜を被着、形成したが、形成する部材はこれに限るものではなく、ＲＰ１０１等に形成することも可能である。ただし、ゲッタ材は一般に導電性であるため、封着されたパネルの画像表示駆動時に大きなリーク電流の発生や、駆動電圧の耐圧が維持できないなどの問題が発生する場合がある。例えば、図１（ａ）のＲＰ１０１にパネルゲッタフラッシュを行うと、外枠１０３、スペーサ１０４にも導電性のゲッタ膜が成膜されるために、駆動時の電気的な問題が発生する場合がある。この様な場合には、ゲッタ膜を被着成膜してはならない部分をメタル薄板の成膜マスクで覆い、ゲッタ膜が被着形成されないようにしながらＲＰ１０１の必要な部分にのみゲッタ膜を成膜させることができる。なお、パネルゲッタフラッシュによって、ゲッタ材が蒸発するため、一時的にチャンバー内の真空度は低下するが、真空排気により、高真空へと移行する。
【００７８】
パネルゲッタ処理工程が終了した後、昇降機１４１を降下させた後、ホットプレート１３２からＲＰ１０１を取り外し、ＦＰ１０２と共に、封着処理室１０８へ移動する。
【００７９】
ＲＰ１０１、ＦＰ１０２を事前に１０-6Ｐａ台まで真空排気した封着処理室１１０へ移動させ、ＲＰ１０１、ＦＰ１０２を各々ホットプレート１３６、１３７に固定する。この時、ＲＰ１０１に配置固定された枠１０３上の封着材１４３とスペーサ１０４はＦＰ１０２と接触せず、わずかに間隔を有して固定される。またこの固定時にＲＰ１０１とＦＰ１０２のパネル封着時の相対位置が決定される。相対位置の決定は突き当てピンによる端面基準で行うことができるがこれに限るものではない。
【００８０】
この後、昇降機１４２を下降させて、ＲＰ１０１に配置固定された外枠１０３をＦＰ１０２に接触、押圧させながら、図１（ｂ）の温度プロファイルに示すように、基板を、封着材１４３の材料に適した封着温度まで上昇させ、封着材１４３を軟化、または溶解させてからピーク温度で１０分間保持し、その後、基板温度を降温させて、封着材料が接着固定される。これにより外枠１０３に形成された封着材１４３が軟化、溶解して外枠１０３とＦＰ１０２が接着された後、封着材１４３が硬化して固定される。このとき封着処理室１１０の真空度は１０-6Ｐａを維持しており、本工程で封着されたパネル内も１０-6Ｐａの真空度となる。封着材１４３の接着固定温度は例えば、インジュウム金属であれば加熱ピーク温度は１６０℃、硬化固定温度を１４０℃に設定とした。また封着材１４３がフリットガラスの場合はピーク温度３９０℃、硬化固定温度は３００℃とした。加熱の昇温レートは２０℃／分、降温レートは５℃／分としたがこれに限るものではない。また加熱ピーク温度、硬化固定温度も上記に限るものではない。
【００８１】
封着材の硬化固定温度以下に温度が下がった時点で、封着処理が終了し、この後、ホットプレート１３６からＲＰ１０１部を取り外し、昇降機１４２を上昇さる。ホットプレート１３７からＦＰ１０２部を取り外しＲＰ１０１、ＦＰ１０２外枠１０３、スペーサ１０４で構成された封着パネル１４４を、冷却処理室１１１へ移動する。この時、冷却処理室１１１は封着処理室の真空度を維持するために、１０-6Ｐａ台に真空排気されている。封着パネル１４４は封着材の硬化固定温度でホットプレートから取りはずされ、冷却処理室１１１で冷却される。冷却手段としては、水冷による温度制御機能を有する冷却プレートなどが用いられるがこれに限るものではなく、封着パネル１４４の急激な温度降下による基板損傷などが発生しなければ、冷却処理室１１１内で自然冷却を行っても良い。
【００８２】
封着パネル１４４の温度が室温、あるいは室温に近い温度まで降下した段階で、冷却処理室１１１の真空リークを行い処理室を大気圧にする。その後、装置外大気側のゲートバルブ１１９を開放し、封着パネル１４４を装置外へ搬出する。
【００８３】
本実施形態の製造装置は、上記封着処理室１１０と冷却室１１１との間に、ゲートバルブ１１８とを設け、該ゲートバルブの開放時に封着処理室１１０から表示パネルを搬出させ、冷却室１１１に搬入後、該ゲートバルブを遮蔽し、ここで徐冷後、搬出口１１９を開放し、表示パネルを冷却室１１１から搬出させ、最後に該搬出口１１９を遮蔽して、全工程を終了する。また、次の工程の開始前に、冷却室１１１の内部を独立配置した真空排気系（図示せず）によって、真空状態に設定しておくのがよい。
【００８４】
本実施形態では、上述した、蒸発型ゲッタ材のほかに、ＲＰ１０１又はＲＰ１０２上に、予め、チタン材などからなる非蒸発型ゲッタ膜又は非蒸発型ゲッタ部材を設けておいてもよい。
【００８５】
また、上述のホットプレート１２１、１２３、１００３、１２７、１３２、１３６は、ＦＰ１０１が脱落することなく十分な力で固定することができる機材、例えば、機械的に基板周辺をつかむツメによるチャック方式、静電チャック方式や真空着チャック方式を利用した機材を用いることができる。
【００８６】
上記の例は工程組み合わせの一例であり、各処理工程の組み合わせによって、様々な処理室の構成例があげられる。ここで、いずれの構成においても、エージング工程、特性調整工程、電圧印加工程は、パネルゲッタ工程に先駆けて行なうのが良い。これは、パネルゲッタが前記エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程で発生するガスに反応し、ゲッタの能力を製造工程中に消費してしまうことを回避できる点で好ましいからである。
【００８７】
また、エレクトロンビームクリーニングによる洗浄する工程を有する場合、このエレクトロンビームクリーニング工程の後に前記エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程を行なうのが好ましい。これは、エレクトロンビームクリーニング工程によるガスの発生が電子放出素子の特性に影響を及ぼす可能性があるため、エージング工程または前記特性調整工程、または前記電圧印加工程に先立ってエレクトロンビームクリーニング工程を行なうことが好ましいからである。
【００８８】
尚、具体的な処理工程の変形例としては、第１の変形例として、前室１０５における真空雰囲気下での用意、通電処理室１００１での通電処理、パネルゲッタ処理室１０９におけるパネルゲッタ処理、封着処理室１１０における加熱封着、冷却室１１１における冷却処理の順に工程を進めるように各処理室を直列させる例が挙げられる。
【００８９】
第２の変形例としては、前室１０５における真空雰囲気下での用意、ベーク処理室１０６におけるベーク処理、通電処理室１００１での通電処理、パネルゲッタ処理室１０９におけるパネルゲッタ処理、封着処理室１１０における加熱封着、冷却室１１１における冷却処理の順に工程を進めるように各処理室を直列させる例が挙げられる。
【００９０】
第３の変形例としては、前室１０５における真空雰囲気下での用意、ベーク処理室１０６におけるベーク処理、通電処理室１００１での通電処理、チャンバーゲッタ処理室１０８におけるチャンバーゲッタ処理、パネルゲッタ処理室１０９におけるパネルゲッタ処理、封着処理室１１０における加熱封着、冷却室１１１における冷却処理の順に工程を進めるように各処理室を直列させる例が挙げられる。
【００９１】
第４の変形例としては、前室１０５における真空雰囲気下での用意、ＥＢ照射処理室１０７におけるＥＢ照射処理、通電処理室１００１での通電処理、チャンバーゲッタ処理室１０８におけるチャンバーゲッタ処理、封着処理室１１０における加熱封着及び冷却室１１１における冷却処理の順に工程を進めるように各部屋を直列させる例が挙げられる。
【００９２】
次に構成部材であるＲＰ１０１、ＦＰ１０２、外枠１０３、スペーサ１０４の搬送と装置導入の変形例として、
第５の変形例としては、ＲＰ１０１とＦＰ１０２と外枠１０３へ固定配置したスペーサ１０４と３個の構成部材として本装置内に投入することもできる。この場合、外枠１０３の本装置内での封着処理による封着面はＲＰ１０１、ＦＰ１０２側両面となるために、それぞれの封着面に対して封着材を事前に形成しておくことが必要である。
【００９３】
第６の変形例としては、ＲＰ１０１とＦＰ１０２へ接着固定配置した外枠１０３、同様にＦＰ１０２に接着固定配置したスペーサ１０４の２個の構成部材として本装置に投入することもできる。この場合、外枠１０３の本装置内での封着処理による封着面はＲＰ１０１側面となるために、封着面に対して封着材を事前に形成しておくことが必要である。
【００９４】
次に上記構成部材の変形例に対して、装置の処理室を個別に一列のライン状に並べて、封着処理工程ですべての構成部材がひとつの処理室に合流して封着処理が行われる装置構成の変形例として、
第７の変形例としては、ＲＰ１０１とＦＰ１０２と外枠１０３へ固定配置したスペーサ１０４と３個の構成部材として、前室１０５以降、パネルゲッタラッシュ処理室１０９までの各処理室を３ライン並べ、上記３個の構成部材を別々に装置へ投入し、３つのパネルゲッタ処理室がひとつの封着処理室に合流するように接続され、該封着処理室で３個の構成部材を封着処理を行い、冷却処理を行う装置構成が挙げられる。
【００９５】
第８の変形例としては、ＲＰ１０１へ接着固定配置した外枠１０３、同様にＲＰ１０１に接着固定配置したスペーサ１０４とＦＰ１０２の２個の構成部材、あるいは、ＲＰ１０１とＦＰ１０２へ接着固定配置した外枠１０３、同様にＦＰ１０２に接着固定配置したスペーサ１０４の２個の構成部材として、前室１０５以降、パネルゲッタラッシュ処理室１０９までの各処理室を２ライン並べ、上記２個の構成部材を別々に装置へ投入し、２つのパネルゲッタ処理室がひとつの封着処理室に合流するように接続され、該封着処理室で２個の構成部材の封着処理を行い、冷却処理を行う装置構成が挙げられる。
【００９６】
上記の変形例７，８に対して、各々の処理工程ラインの工程設定を変形例１、２、３、４の工程の組み合わせで設定しても良い。
【００９７】
更に上述の実施態様の説明ではパネルの封着時の真空度を１０-6Ｐａ台に設定していたが、本発明はこの数値に限るものではない。すなわち、パネル封着時の真空度を一般の真空排気ポンプで到達可能な１０-5Ｐａ台に設定することもできる。この場合、処理室内の到達真空度を上げるために行われるチャンバーゲッタ処理室１４０と当該ゲッタ処理工程の省略が可能である。また１０-6Ｐａに到達するための補助的なゲッタポンプによる真空排気も省略することができる。
【００９８】
以上の処理工程をおこなった封着パネル１４４は、Ｂａなどの蒸発型ゲッタ材が、例えばＦＰ上に成膜形成されているにも関わらず、従来の封着パネルで存在していた蒸発型ゲッタ材の蒸発源である主に高周波加熱によってゲッタフラッシュを行うゲッタリングや主に抵抗加熱でゲッタフラッシュするゲッタラインが封着パネル内に残留しないという構成上の特徴を有している。
【００９９】
また、以上の処理工程と装置は、パネルゲッタフラッシュ処理工程と連続した封着工程が異なった処理室で構成されているという特徴を有している。
【０１００】
図２は、本実施形態の製造装置及び製造方法を用いて作成した画像表示装置の一部を示す断面図である。
【０１０１】
図中、図１と同一符号は、同一部材である。上記装置及び方法によって作成した画像表示装置は、ＲＰ１０１とＦＰ１０２と外枠１０３とによって真空容器又は減圧容器が形成されている。
【０１０２】
また、真空容器の場合には、１０-5Ｐａ以上、好ましくは、１０-6Ｐａ以上の高真空に設定することができる。
【０１０３】
上記真空容器又は減圧容器内には、スペーサ１０４が配置さて耐大気圧構造を形成している。本発明で用いたスペーサ１０４は、無アルカリガラスなどの無アルカリ絶縁物質からなる本体３１１と、該本体３１１の表面を覆って配置した高抵抗物質で成膜された高抵抗膜３０９と両端に設けた金属（タングステン、銅、銀、金、モリブデンやこれらの合金など）膜３１０とを有し、配線３０６上に導電性接着剤３０８を介して電気的に接続接着されている。スペーサ１０４は、上記前室１０５に搬入する際には、前もってＲＰ１０１に接着剤３０８によって接着固定され、封着処理室１１０において処理が終了した時点で、上記スペーサ１０４のもう一方の端部とＦＰ１０２とは電気的に接続されて接して配置される。
【０１０４】
ＲＰ１０１は、ガラスなどの透明基板３０４と、ナトリウムなどのアルカリの侵入を防止するための下地膜（ＳｉＯ2、ＳｎＯ2など）３０５と、ＸＹマトリクス配列した複数の電子線放出素子３１２とが配置されている。配線３０６は、電子線放出素子と接続したカソード側ＸＹマトリクス配線の一方のカソード側配線を構成する。
【０１０５】
ＦＰ１０２は、ガラスなどの透明基板３０１と蛍光体層３０２とアノード源（図示せず）に接続したアノード金属（アルミニウム、銀、銅など）膜３０３とが配置されている。
【０１０６】
外囲器１１３は、上記前室１０５に搬入する際には、前もってＲＰ１０１にフリットガラスなどの低融点接着剤３０７によって接着固定しておき、上記封着処理室１１０における処理工程で、インジウムやフリットガラスを用いた封着材１４３によって固定接着されている。
【０１０７】
以上述べてきた実施例によれば、上記電子放出素子やプラズマ発生素子をＸＹ方向に１００万画素以上のように大容量で設け、且つこの大容量画素を対角サイズ３０インチ以上の大画面に設けた画像表示装置を製造するに当たって、製造工程時間を大幅に短縮することができたのと同時に、画像表示装置を構成する真空容器を１０-6Ｐａ以上のような高真空に達成させることができた。
【０１０８】
また、以上述べた実施例においては、電子放出素子のエージング工程や特性調整などの工程、特には高真空状態での電圧印加工程を行った上で、封着した後の内部の真空度が高い画像表示装置を実現することができた。
【０１０９】
【発明の効果】
本願にかかわる発明によって、電子放出特性の変化が抑制され、及び／もしくは電子放出特性の均一性が良好で、かつ内部の真空度の高い画像表示装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】製造装置内のパネル部材の温度プロファイル及び製造装置内の各室間の真空度プロファイルと共に本発明に係る製造装置を模式的に示した図である。
【図２】本発明の製造装置及び製造方法を用いて作成した画像表示装置の一部を示す断面図である。
【図３】本発明による画像表示装置の構成部材である電子放出素子を有する第１の部材（リアプレート）の一例を模式的に示す平面図である。
【図４】本発明による画像表示装置の構成部材である電子放出素子を有する第１の部材（リアプレート）の別の例を模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
１０１  リアプレート（ＲＰ）
１０２  フェィスプレート（ＦＰ）
１０３  外枠
１０４  スペーサ
１０５  前室
１０６  ベーク処理室
１０７  表面浄化処理室（ＥＢ照射処理室）
１０８  第１のゲッタ処理室（チャンバーゲッタ処理室）
１０９  第２のゲッタ処理室（パネルゲッタ処理室）
１１０  封着処理室
１１１  冷却室
１００１  通電処理室
１１２〜１１４、１１６〜１１９、１１５１、１１５２  ゲートバルブ
１２０  搬送ローラー
１２１，１２３，１２７，１３２，１３６，１００３  ホットプレート（ＲＰ用）
１２２，１２４，１２８，１３３，１３７，１００２  ホットプレート（ＦＰ用）
１２５  電子銃
１２６  エレクトロン・ビーム（ＥＢ）
１２９  チャンバーゲッタフラッシュ装置
１３０  チャンバーゲッタフラッシュ
１３１  チャンバーゲッタ板
１３４  パネルゲッタフラッシュ装置
１３５  パネルゲッタフラッシュ
１３８〜１４２  昇降機
１００４，１００５  通電用プローブ
１４３  封着材
１４４  封着パネル
１４５  搬送方向を示す矢印
３０１  透明基板
３０２  蛍光体層
３０３  アノード金属膜
３０４  透明基板
３０５  下地膜
３０６  配線
３０７  低融点接着剤
３０８  金属膜
３０９  高抵抗膜
３１０  金属膜
３１１  本体
３１２  電子放出素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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