(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品搭載装置において本体装置内に搬入される基板の搬送路を形成する固定の基板案内レール及び可動の基板案内レールと、前記固定の基板案内レール及び前記可動の基板案内レールの上面に一体にそれぞれ備えられた天板と、基板位置決めピンと複数の基板支持ピンとを備え前記固定の基板案内レールと前記可動の基板案内レール間で形成される前記搬送路の下方において昇降可能に配置された位置決めテーブルと、を備えて、前記基板を前記固定の基板案内レールと前記可動の基板案内レール間に位置決めする基板位置決め装置であって、
前記位置決めテーブルの前記搬送路の幅方向両側部に係合して立設し且つそれぞれ前記固定の基板案内レール及び前記可動の基板案内レールの下方に配置されているスライドレールにスライドナットを介して係合し前記位置決めテーブルの上昇に伴って上昇し上端により前記天板との間に前記基板の両側部を挟み付けて前記天板と協働して前記基板を把持するクランプ部材と、
前記可動の基板案内レールを前記固定の基板案内レールから離隔する方向へ付勢する付勢手段と、
を備え、
前記付勢手段が前記可動の基板案内レールを前記固定の基板案内レールから離隔する方向へ付勢したとき前記可動の基板案内レールの前記天板と前記可動の基板案内レールに前記スライドナットを介して係合する前記クランプ部材とが協働して前記基板の撓みを矯正すべく前記搬送路上に前記基板を張設する、
ことを特徴とする基板位置決め装置。
【請求項２】
前記天板の前記搬送路に張り出している下面と、前記クランプ部材の前記上端とは、前記基板に加わる他の外力に対して前記基板が位置ずれしない程度に摩擦係数が高い材質の部材から成ることを特徴とする請求項１記載の基板位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板に電子部品を搭載する部品搭載装置における基板位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ＩＣ、抵抗、コンデンサ等多数のチップ状電子部品を自動的に回路基板に搭載して、その搭載した電子部品を半田付けして基板ユニットを製造する製造ラインがある。このような製造ラインは、回路基板を供給する基板供給装置、その供給された回路基板上の所定位置にペースト状の半田等を塗布するディスペンサ、その半田等が塗布された回路基板上に電子部品を搭載する部品搭載装置、その搭載された電子部品を回路基板上に固定するリフロー炉、搭載された電子部品が固定されて完成した基板ユニットを収納する基板収納装置等からなる。
【０００３】
これらの装置は、装置基台上の中央に、左右方向（製造ラインの流れ方向）に延在する２本の平行する案内レール及びコンベアベルトを備えており、これらによって回路基板を装置内に搬入して所定位置に停止させる。
【０００４】
中でもディスペンサや部品搭載装置は、装置基台上方の作業空間を前後左右及び上下に自在に移動する作業ヘッドを備えており、装置内に搬入された回路基板上の所定位置に、ペースト状の半田（又は電子部品）を自動的かつ迅速に塗布（又は搭載）する。この場合、回路基板は、前後左右の位置が正確でなくてはならないことは勿論であるが、前後左右のみでなく上下の位置も正確に固定されて位置決めされていないと作業ヘッドは微細な作業を正しく行うことができない。
【０００５】
図８(a),(b) は、これら諸装置（以下、本体装置という）における回路基板の搬送とその位置決めに係る要部の構成を示す図であり、同図(a) はその上面図、同図(b) はその側面図である。同図(a),(b) に示すように、本体装置は、回路基板１を搬送するためのコンベアベルト２ａ及び２ｂを有している。コンベアベルト２ａ及び２ｂは、回路基板搬送路３の両側に対向して設けられる固定レール４ａと可動レール４ｂの下部にそれぞれ配設され、駆動プーリ５ａと従動プーリ６ａ間及び駆動プーリ５ｂと従動プーリ６ｂ間に夫々張設され、モータ７ａ及び７ｂによって夫々図の矢印Ａで示す搬送方向に循環走行するように駆動される。
【０００６】
可動レール４ｂは、固定レール４ａとの間に、工程により大きさの異なる回路基板１の幅に対応して、多少余裕のある間隔を保つべく調節シリンダ８によって予め幅寄せされる。回路基板１は、両側を固定レール４ａと可動レール４ｂに案内され且つ両側部下面を夫々コンベアベルト２ａ及び２ｂによって下方から支持されて本体装置内に搬入される。本体装置内に搬入された回路基板１は下方からせり上がる停止装置９により所定位置に停止して前後を位置決めされる。コンベアベルト２ａ及び２ｂは回路基板上の作業が終了するまで一時的に停止する。
【０００７】
ところで、前述したように、回路基板１は、前後の位置ばかりでなく、左右及び上下にも正しい位置に正しい姿勢で固定しなければならないが、このための位置決め装置として、搬送路３の下方に位置決めテーブル１０が設けられている。この位置決めテーブル１０は、本体装置側のスライド溝１２ａ及び１２ｂに夫々滑動自在に嵌合するスライドレール１１ａ及び１１ｂを備え、シリンダ１３の進退駆動により上下に昇降する。位置決めテーブル１０は、上面に複数本の支持ピン１４を立設配置され、回路基板１が停止装置９により所定位置に停止すると下方から上昇する。そして、支持ピン１４により回路基板１の下面の要所要所を支持しながら回路基板１を上に押し上げ、その両側を天板１５ａ及び１５ｂに押し付けて上下の位置決めを行う。更に調整シリンダ８が図の矢印Ｂで示す固定レール４ａ方向に駆動される。これにより、回路基板１は、固定レール４ａに押し付けられて固定され左右方向を位置決めされる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、一般に電子部品のサイズは０．５ｍｍ×１ｍｍと極めて小さいか、または、サイズが４ｃｍ角というように大きい場合でも電子部品に配設されている多数のリード線（又は電極）の間隔は数百ミクロンというように極めて狭く、電子部品の設計寸法は年々微細化されている。これに伴って、ディスペンサや部品搭載装置における回路基板の位置決めには厳しい精度が要求される。
【０００９】
ところが、上述した位置決めの方法では、調整シリンダ８が回路基板１を固定レール４ａに押し付けて固定したとき、回路基板１が、図８(b) に示すように、しばしば反り返って上に撓むという欠点を有している。
【００１０】
このように、回路基板１に撓みがあると、例えば、ディスペンサの場合では、ペースト状の半田を塗布する吐出口と回路基板との間隔を正しく保つことができず、したがって、正確な塗布作業が不可能となる。また、部品搭載装置の場合は、電子部品を回路基板に当接させて載置するから、回路基板の反力で搭載した電子部品に位置ズレを生じ、これによって回路間に接続不良を招来し、完成した基板ユニットに不良品が発生するという問題を引き起こす。
【００１１】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、回路基板に撓みを発生させることなく正しく位置決めを行う基板位置決め装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
以下に、本発明の基板位置決め装置の構成を述べる。本発明の基板位置決め装置は、基板の両側縁を夫々把持する把持手段と、上記基板の撓みを矯正すべく上記把持手段を基板の幅出し方向に付勢する付勢手段とを備えて構成される。
【００１３】
上記把持手段は、例えば請求項２記載のように、基板に加わる他の外力に対して基板が位置ずれしない程度に摩擦係数が高い材質の部材から成る。また、上記付勢手段は、例えば基板牽引シリンダ等で構成される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１は、一実施の形態における基板位置決め装置を配設した部品装着装置の主要部の外観斜視図である。同図に示す部品装着装置（以下、本体装置）２０は、下部の基台２１の内部には、後述する位置決めテーブルや各部を制御する制御回路等を備えている。また上方を覆う保護カバーの図示を省略しているが、この保護カバーには、前面に液晶ディスプレイやタッチパネルからなる入力装置等が配設されており、外部操作により各種の指示を入力することができる。
【００１５】
基台２１の上には、中央に、固定と可動の１対の平行する基板案内レール２３ａ及び２３ｂが回路基板（以下、単に基板という）の搬送方向（Ｘ軸方向、図の斜め右下から斜め左上方向）に水平に延在して配設される。これらの基板案内レール２３ａ及び２３ｂの下部に接してループ状の搬送ベルト（コンベアベルト）が走行可能に配設される。搬送ベルトは、それぞれ数ミリ幅のベルト脇部を基板案内レール２３ａ又は２３ｂの下から基板搬送路に覗かせて、ベルト駆動モータにより駆動され、基板搬送方向に走行し、基板の裏面両側を下から支持しながら基板を搬送する。
【００１６】
上記１対の基板案内レール２３ａ及び２３ｂを跨いで、基板搬送方向（図の矢印Ｃで示す斜め右下から斜め左上方向）と直角の方向（前後方向）に平行に延在する左右一対の固定レール（Ｙ軸レール）２４ａ及び２４ｂが配設されている。これらＹ軸レール２４ａ及び２４ｂに移動レール（Ｘ軸レール）２５がＹ軸レールに沿って滑動自在に係合し、このＸ軸レール２５に、基板に電子部品（以下、単に部品という）を搭載する作業を行う作業ヘッド２６がＸ軸レールに沿って滑動自在に懸架されている。
【００１７】
図には定かに示していないが、上記のＸ軸レール２５には、その長手方向（Ｘ軸方向）に沿って作業ヘッド２６を自在に移動させるＸ軸方向駆動サーボモータが配設され、基台２１上には、Ｘ軸レール２５をＹ軸レール２４ａ及び２４ｂに沿って前後（Ｙ軸方向）に進退させるＹ軸方向駆動サーボモータが配設されている。これらのＸ軸方向駆動サーボモータ及びＹ軸方向駆動サーボモータが制御回路からの指示により正逆両方向に自在に回転することにより、作業ヘッド２６がＸ軸方向及びＹ軸方向に自在に移動する。この基台２１上の前部と後部には夫々部品カセット台２７ａ及び２７ｂが配設されている。これら部品カセット台２７ａ及び２７ｂには、特には図示しないが部品を収納したテープを巻着した複数種類の部品供給装置が載設される。
【００１８】
作業ヘッド２６は、その先端に着脱自在に装着する吸着ノズル２８により、部品カセット台２７ａ及び２７ｂ上に載設された部品供給装置から適宜の部品を吸着して基板上に搭載する。
【００１９】
図２は、上記の部品装着装置２０に配置されている基板位置決め装置の側面図（図１のＣ矢視図）である。同図に示すように、図１に示した基板案内レール２３ａ及び２３ｂの一方の基板案内レール２３ａは、本体装置２０のフレーム３１に固定されており、他方の基板案内レール２３ｂは、可動フレーム３２に支持されて、上記固定の基板案内レール２３ａに接離する方向に摺動可能に配置される。この可動フレーム３２の内側に対向し、可動フレーム３２を図の矢印Ｄで示す基板案内レール２３ａから離隔する方向へ付勢すべく、基板牽引シリンダ３３が配設される。
【００２０】
上記の基板案内レール２３ａ及び２３ｂの上部には天板３４ａ及び３４ｂが配設され、下部には基板を搬送するループ状の搬送ベルト３５ａ及び３５ｂが張設されている。
【００２１】
基板搬送路３６の下方に、位置決めテーブル３７が配設されており、位置決めテーブル３７は、本体装置２０側のスライド溝３８ａ及び３８ｂに夫々滑動自在に嵌合するスライドレール３９ａ及び３９ｂを備え、テーブル上下動シリンダ４１の進退駆動により上下に昇降する。この位置決めテーブル３７は、上面に立設する複数の基板支持ピン４２と少なくとも一本の位置決めピンを有し、側部にはクランプ部材４３ａ及び４３ｂを備えている。クランプ部材４３ａ及び４３ｂは、基板案内レール２３ａ及び２３ｂの下方に配置されているスライドレール４４ａ及び４４ｂに係合するスライドナット４５ａ及び４５ｂを備えており、位置決めテーブル３７の昇降に伴われて昇降する。
【００２２】
上記の天板３４ａ及び３４ｂの搬送路３６に張り出している下面、及びクランプ部材４３ａ及び４３ｂの上端は、焼結ダイヤ、電着ダイヤ、或は表面ブラスト処理をしたファインセラミックス等の、摩擦係数が高く且つ摩耗し難い耐久性に優れた素材により形成されている。
【００２３】
図３は、上記構成の各部を駆動制御する部品装着装置２０の基台２１内部に配設されている制御回路のブロック図である。同図において、ＣＰＵ５０は、マイクロプロセッサ等からなる。このＣＰＵ５０には、ＲＡＭ(Random Access Memory)等からなるメモリ部５１、各種のデータを入力するための入力キーを備えたキー入力部５２、及び各種の入出力装置の入出力を仲介するインタフェース５３が接続されている。ＣＰＵ５０は、内蔵のＲＯＭ(Read Only Memory)に格納されているプログラムに基づき、上記各部を制御する。
【００２４】
インタフェース５３は、ＣＰＵ５０から入力される駆動制御信号を、コンアベルトを駆動する基板搬送モータ５４ａ、５４ｂ、及び、特には図示しないが、ストッパ駆動モータ、レール幅可変駆動モータ等へ出力する。また、電磁弁マニホルド（manifold：分割多岐管）５５は、ＣＰＵ５０から入力される空圧制御信号により電磁弁を開閉して不図示の空圧ポンプから補給される単一の圧縮空気流を所定の吐き出し管を介して、テーブル上下動シリンダ４１、後述する基板ストッパーシリンダ５６、Ｙ方向引張りシリンダ（基板牽引シリンダ）３３等を駆動する。また、インタフェース５３には、テーブル上下動シリンダ４１に組み込まれている磁気センサ４７ａ及び４７ｂの出力が入力する。磁気センサ４７ａ及び４７ｂは、テーブル上下動シリンダ４１のピストン駒に埋設されているマグネットの磁気によりシリンダの作動（ピストンの上下動位置）を検知する。
【００２５】
続いて、上述した構成の本実施の形態におけるＣＰＵ５０からの制御による基板位置決め装置の処理動作を説明する。
図４(a),(b),(c) 及び図５(a),(b) は、基板位置決め装置の動作状態図であり、図６及び図７は、ＣＰＵ５０の処理動作を示すフローチャートである。尚、図４(a),(b),(c) には、各部の動作説明に応じて図２に示した番号を順次付記することとし、その他の番号の付記は省略する。また、図５(b) は、図４(c) の状態において図４(c) の向う側から見た図であり、図５(a) はその上面図である。
【００２６】
先ず、基板搬入及び位置決め処理について説明する。図６のフローチャートにおいて、基板搬入及び位置決め処理の開始後における搬送ベルト３５ａ及び３５ｂの停止時間をＣＰＵ２０に内蔵のタイマに設定する（ステップＳ１）。続いて、基板ストッパーシリンダ５６（図５参照）を押し出し駆動して、ストッパー５７を搬送路３６内に進出させる（ステップＳ２）。
【００２７】
次に（以下、図５(a) 参照）、基板搬送モータ５４ａ及び５４ｂを駆動する（ステップＳ３）。これにより、駆動プーリ５８ａ及び５８ｂを夫々介して搬送ベルト３５ａ及び３５ｂが走行駆動される。搬送ベルト３５ａ及び３５ｂは、駆動プーリ５８ａと従動プーリ５９ａ及び駆動プーリ５８ｂと従動プーリ５９ｂ間に夫々張設されている。この搬送ベルト３５ａ及び３５ｂの走行により、ライン前段の装置から搬入された基板６０が基板案内レール２３ａ及び２３ｂに案内されながら搬送され、搬送方向前端をストッパー５７に当接させて停止する。
【００２８】
この後、前述のタイマから出力される時間切れ信号に基づいて、基板搬送モータ５４ａ及び５４ｂを停止させる（ステップＳ４）。これにより、搬送ベルト３５ａ及び３５ｂが停止する（図４(a) 参照）。
【００２９】
次に（以下、図４(b) 参照）、テーブルアップ命令を出力して、テーブル上下動シリンダ４１を図の矢印Ｅで示すように上昇駆動する（ステップＳ５）。これにより、位置決めテーブル３７が上昇し、位置決めテーブル３７と共に基板支持ピン４２及びクランプ部材４３ａ、４３ｂが上昇する。
【００３０】
上記に続いて磁気センサ４７ａ（テーブルＵＰセンサ）を駆動（ＯＮ）し、ピストン駒６１が所定の位置まで上昇したことを示す検知信号（ＯＫ）が磁気センサ４７ａから出力されているかを監視する（ステップＳ６）。
【００３１】
そして、磁気センサ４７ａから検知信号が出力されていれば（Ｓ６がＹＥＳ）、位置決めテーブル３７が所定の位置まで上昇したのであり、基板支持ピン４２の先端が基板６０の下面を支持すべき位置に在り、位置決めピンが基板の位置決め孔に嵌入しており、クランプ部材４３ａ及び４３ｂが天板３４ａ及び３４ｂに基板６０の側部を押圧して天板３４ａ及び３４ｂとで基板６０の両側部を把持している。
【００３２】
前述したように、天板３４ａ及び３４ｂの搬送路３６に張り出している下面、及びクランプ部材４３ａ及び４３ｂの上端は、焼結ダイヤ、電着ダイヤ、或は表面ブラスト処理をしたファインセラミックス等の、摩擦係数の高い部材で形成されているので、上記基板６０への把持力は強固である。
【００３３】
そして、上記の検知信号の出力を確認したことにより、次に（以下、図４(c) 参照）、基板牽引シリンダ（Ｙ方向引張りシリンダ）３３へのＯＮ命令を出力する（ステップＳ７）。これにより、基板牽引シリンダ３３が進出駆動されて、可動フレーム３２を図の矢印Ｆで示す固定の基板案内レール２３ａから離隔する方向へ付勢する。この付勢力により、クランプ部材４３ｂ及び天板３４ｂが、その把持する基板６０の側部を、幅出し方向に緊張させる。すなわち、基板６０はクランプ部材４３ａ及び天板３４ａとクランプ部材４３ｂ及び天板３ｂとの間に張設される。
【００３４】
このように、基板６０がクランプ部材４３ａ及び天板３４ａとクランプ部材４３ｂ及び天板３ｂとの間に張設されることにより、基板６０に、例えば同図(a),(b) に示すような撓みが発生していたとしても、同図(c) 及び図５(b) に示すように、平らに矯正されて定位置に位置決めされる。
【００３５】
この後、基板牽引シリンダ３３への空気圧を一定に維持したまま（ステップＳ８）、位置決め処理を終了する。この後、部品搭載処理が行われるが、これは通常の処理動作であるので説明は省略する。
【００３６】
尚、上記ステップＳ６で、所定の時間経過後においても磁気センサ４７ａから検知信号が出力されないときは（Ｓ６がＮＯ）、いずれかの箇所に異常が発生したのであり、この場合は、モータ、空圧弁等の全てのアクチュエータを非作動（ＯＦＦ）として（ステップＳ９）、警告灯を点滅させ或は表示装置にエラー表示を行う等のエラー処理を行って（ステップＳ１０）、処理を終了する。
【００３７】
続いて、部品搭載処理後の基板排出処理について説明する。図７のフローチャートにおいて、先ず、基板ストッパーシリンダ５６を退縮駆動して、ストッパー５７を搬送路３６内から下降させる（ステップＳ１０１）。
【００３８】
次に、基板牽引シリンダ（Ｙ方向引張りシリンダ）３３へのＯＦＦ命令を出力する（ステップＳ１０２）。これにより、可動フレーム３２への付勢力が解除されて、基板６０の幅出し方向への緊張が解除される。基板６０は、もし撓みがあれば撓みがあるままの状態に戻される。
【００３９】
続いて、テーブルダウン命令を出力して、テーブル上下動シリンダ４１を退縮させる（ステップＳ１０３）。これにより、位置決めテーブル３７が下降し、位置決めテーブル３７の下降に伴って基板支持ピン４２及びクランプ部材４３ａ、４３ｂが下降を開始する。
【００４０】
上記に続いて磁気センサ４７ｂ（テーブルＤＯＷＮセンサ）を駆動（ＯＮ）し、ピストン駒６１が所定の位置まで下降したことを示す検知信号（ＯＫ）が磁気センサ４７ｂから出力されているかを監視する（ステップＳ１０４）。
【００４１】
そして、磁気センサ４７ｂから検知信号が出力されていれば（Ｓ１０４がＹＥＳ）、位置決めテーブル３７が所定の待機位置に戻っており、したがって、基板６０の把持が解除され、基板６０の両側端が搬送ベルト３５ａ、３５ｂ上に載置されている。
【００４２】
上記検知信号の出力を確認したことにより、基板搬送モータ５４ａ及び５４ｂを駆動して、搬送ベルト３５ａ及び３５ｂを搬送方向に走行させる（ステップＳ１０５）。これにより、処理の終えた基板６０が、基板案内レール２３ａ及び２３ｂに案内されながら搬送ベルト３５ａ及び３５ｂに搬送され、不図示のセンサによりライン後段の装置への排出が確認されて（ステップＳ１０６）、排出処理が終了する。
【００４３】
上記ステップＳ１０４で、所定の時間経過後においても磁気センサ４７ｂから検知信号が出力されないときは（Ｓ１０４がＮＯ）、いずれかの箇所に異常が発生したのであり、この場合は、モータ、空圧弁等の全てのアクチュエータを非作動（ＯＦＦ）として（ステップＳ１０７）、警告灯を点滅させ或は表示装置にエラー表示を行う等のエラー処理を行って（ステップＳ１０８）、処理を終了する。
【００４４】
尚、上記実施の形態においては、部品搭載装置の基板位置決め装置について説明しているが、これに限ることなく、ディスペンサの基板位置決め装置についても全く同様であり、また他に基板を位置決めする必要のある装置本体の基板位置決め装置にも適用できる。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、基板の位置決めの際に基板を強制的に平に矯正するので、搬入された基板に撓みがあっても作業時には撓みが解消され、したがって、ディスペンサによるペースト半田の塗布作業や部品搭載装置による部品の搭載作業等において基板の経時変化等による撓みに拘りなく正しい作業を安定して行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施の形態における基板位置決め装置を配設した部品装着装置の主要部の外観斜視図である。
【図２】部品装着装置に配置された基板位置決め装置の側面図（図１のＣ矢視図）である。
【図３】部品装着装置の基台内部に配設されている制御回路のブロック図である。
【図４】  (a),(b),(c) は基板位置決め装置の動作状態図である。
【図５】  (b) は図４(c) の向う側から見た図、(a) はその上面図である。
【図６】ＣＰＵの処理動作を示すフローチャート（その１）である。
【図７】ＣＰＵの処理動作を示すフローチャート（その２）である。
【図８】従来の回路基板の位置決めに係る要部の構成を示す図であり、(a) はその上面図、(b) はその側面図である。
【符号の説明】
１    回路基板
２ａ、２ｂ  コンベアベルト
３    回路基板搬送路
４ａ  固定レール
４ｂ  可動レール
５ａ、５ｂ  駆動プーリ
６ａ、６ｂ  従動プーリ
７ａ、７ｂ  モータ
８    調節シリンダ
９    停止装置
１０  位置決めテーブル
１１ａ、１１ｂ  スライドレール
１２ａ、１２ｂ  スライド溝
１４  支持ピン
１５ａ、１５ｂ  天板
２０  部品装着装置（本体装置）
２１  基台
２３ａ、２３ｂ  基板案内レール
２４ａ、２４ｂ  固定レール（Ｙ軸レール）
２５  移動レール（Ｘ軸レール）
２６  作業ヘッド
２７ａ、２７ｂ  部品カセット台
２８  吸着ノズル
３１  本体装置のフレーム
３２  可動フレーム
３３  基板牽引シリンダ（Ｙ方向引張りシリンダ、付勢手段）
３４ａ、３４ｂ  天板
３５ａ、３５ｂ  搬送ベルト
３６  基板搬送路
３７  位置決めテーブル
３８ａ、３８ｂ  スライド溝
３９ａ、３９ｂ  スライドレール
４１  テーブル上下動シリンダ
４２  基板支持ピン
４３ａ、４３ｂ  クランプ部材
４４ａ、４４ｂ  スライドレール
４５ａ、４５ｂ  スライドナット
４７ａ、４７ｂ  磁気センサ
５０  ＣＰＵ
５１  メモリ部
５２  キー入力部
５３  インタフェース
５４ａ、５４ｂ  基板搬送モータ
５５  電磁弁マニホルド（manifold：分割多岐管）
５６  基板ストッパーシリンダ
５７  ストッパー
５８ａ、５８ｂ  駆動プーリ
５９ａ、５９ｂ  従動プーリ
６０  回路基板（基板）
６１  ピストン駒
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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