(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるプレートと、
剛体部及びばね部を含み前記プレートに支持されて先端部のスライダに負荷荷重を与えるロードビームと、
ハードディスクに対して情報の書き込み，読み取りを行うヘッド部及び該ヘッド部に対し前記書き込み，読み取りのための信号の伝送を行う導電路を有して前記ロードビームに取り付けられ前記プレート側に延設されたフレキシャとを備え、
前記ロードビームのばね部を前記剛体部とは別体のばね部材で形成し、
前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を重ねて結合すると共に、前記ばね部材の他側を、前記プレート側に結合し、
前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を部分的に露出させる切欠部を設け、
前記ばね部材の他側に、前記切欠部に連続すると共に前記プレートを部分的に露出させる第２切欠部を設け、
前記フレキシャを、前記切欠部を通して前記プレート側に延設配置すると共に前記第２切欠部を通して延設配置し、
前記フレキシャを、前記第２切欠部内で前記プレートに結合固着し又は第２切欠部の両側で前記ばね部材に結合固着して前記切欠部内及び第２切欠部内で前記剛体部の端部及びプレートの端部に密接状態とした
ことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項２】
キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるプレートと、
剛体部及びばね部を含み前記プレートに支持されて先端部のスライダに負荷荷重を与えるロードビームと、
ハードディスクに対して情報の書き込み，読み取りを行うヘッド部及び該ヘッド部に対し前記書き込み，読み取りのための信号の伝送を行う導電路を有して前記ロードビームに取り付けられ前記プレート側に延設されたフレキシャとを備え、
前記ロードビームのばね部を前記剛体部とは別体のばね部材で形成し、
前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を重ねて結合すると共に、前記ばね部材の他側を、前記プレート側に結合し、
前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を部分的に露出させる切欠部を設け、
前記ばね部材の他側に、前記切欠部に連続すると共に前記プレートを部分的に露出させる第２切欠部を設け、
前記フレキシャを、前記切欠部を通して前記プレート側に延設配置すると共に前記第２切欠部を通して延設配置し、
前記ばね部材の他側は、前記プレート上に全体的に重ね合わされ、
前記プレートに、前記ばね部材を固定する端部に隣接する窓部を貫通形成すると共に、前記第２切欠部を前記窓部上まで拡大形成し、
前記フレキシャは、前記剛体部上から切欠部及び第２切欠部を通って前記プレートの窓部上に渡り直状に延設配置されると共に、該窓部上で側方へ偏向するように延設配置されたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項３】
請求項１又は２記載のディスクドライブ用サスペンションであって、
前記ばね部材の一側及び他側間に、前記ばね部のばね性を設定する開口部を設け、
前記切欠部及び第２切欠部を、前記開口部に連続させたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスクドライブ用サスペンションに関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転する磁気ディスクあるいは光磁気ディスク等に情報を記録し再生するためのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、軸を中心に旋回可能なキャリッジを有している。このキャリッジによる旋回は、ポジショニング用モータにより前記軸を中心として駆動される。
【０００３】
例えば米国特許（ＵＳＰ）第４，１６７，７６５号明細書に記載されているように、前記キャリッジは、キャリッジアームと、該キャリッジアームの先端部に設けたディスクドライブ用サスペンション（以下、単に「サスペンション」と称する）と、該サスペンションに取付けたスライダを含むヘッド部などとを備えている。そして、ディスクが高速回転することによってスライダがディスクから僅かに浮上するとともに、ディスクとスライダとの間にエアベアリングが形成されるようになっている。
【０００４】
前記サスペンションは、精密な薄板ばねからなるロードビーム（load beam）と、該ロードビームの先端部にレーザ溶接等によって固定された極薄い板ばねからなるフレキシャ（flexure）と、前記ロードビームの基部にレーザ溶接等によって固定されたプレートなどからなっている。前記プレートは、前記キャリッジアームのサスペンション取付面に固定される。
【０００５】
このようなハードディスクドライブでは、記録すべき情報の高密度化とディスクの高速回転化が進む傾向にある。従って、前記サスペンションは、前記ディスクの記録面に対して高精度に位置決めすることの可能な優れた振動特性を有する性能と、前記ディスクの高速回転化によって生じる風乱の影響を受けにくい性能とが要求される。しかも、この種のサスペンションには、新たに要求される種々の機能に対応すべく、さらに複雑な加工が施される傾向もある。
【０００６】
前記ディスクの高密度化に伴っては、前記サスペンションが、さらに高剛性でかつ、ばね定数が低いことが要求されるようになった。そこで本願出願人は、従来のサスペンションにおいてロードビームの剛体部とばね部とが一体となった構成に対し、図１２のような構造のサスペンション１０１を提案した（特開２００１−１５５４５８）。
【０００７】
この図１２のサスペンション１０１は、プレート１０３とロードビーム１０５とフレキシャ１０７とを備えている。
【０００８】
前記プレート１０３は、サスペンション１０１を軸回りに回転駆動するキャリッジのキャリッジアームに取り付けられる。
【０００９】
前記ロードビーム１０５は、先端部のスライダ１０８に負荷荷重を与えるものである。このロードビーム１０５は、剛体部１０９と、ばね部１１１とからなっている。このばね部１１１は、前記剛体部１０９とは別体のばね部材１１３によって構成されている。
【００１０】
前記ばね部材１１３は、略矩形の板状に形成され、このばね部材１１３に開口部１１５を形成することによりばね部１１１を構成している。すなわち、前記ばね部材１１３の一側１１３ａに、前記剛体部１０９の端部１０９ａが重ね合わされてレーザ溶接等による溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。前記ばね部材１１３の他側１１３ｂは、前記プレート１０３の端部１０３ａに重ね合わされてレーザ溶接による溶着あるいは接着剤による接着等によって固着されている。
【００１１】
前記剛体部１０９には、前記フレキシャ１０７が取り付けられている。このフレキシャ１０７は、前記ロードビーム１０５の剛体部１０９にレーザ溶接による溶着等により取り付けられ、前記ばね部材１１３上を通り前記プレート１０３側に延設配置されている。このフレキシャ１０７は、図１３のサスペンション１０１の長手方向に沿った要部断面図をも参照すると、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板等の金属基板１１７の表面に、電気絶縁層１１８を介して導電路１１９を形成したものである。この導電路１１９の一端は、前記ヘッド部１２１の端子に導通し、他端は外部接続用の端子１２３に導通している。
【００１２】
このような構成のサスペンション１０１は、前記ロードビーム１０５を構成する剛体部１０９とばね部材１１３とが別体で構成され、それぞれに適した材料と板厚を選定することができる。このため、剛体部１０９に要求される性能（例えば高剛性）とばね部１１１に要求される性能（例えば低ばね定数）とを容易に両立させることができる。また、前記ばね部１１１に、精度の高い圧延材を使用することで安定した低ばね定数のばね部１１１を得ることができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記剛体部１０９と前記ばね部材１１３とを別体にしたため、両者間に重ね合わせ部１２５が新たに形成されることとなり、かかる重ね合わせ部１２５にフレキシャ１０７が乗り上げることで導体部１１９のインピーダンスの変化に影響を及ぼす虞があった。
【００１４】
例えば、図１３のように、フレキシャ１０７の金属基板１１７に除去部１２７を長穴状に設ける場合がある。前記除去部１２７は、フレキシャ１０７の導電路１１９の下にある金属基板１１７を一部除去して形成され、電気的な特性を向上させるためのものである。すなわち、前記除去部１２７により、導電路１１９と金属基板１１７との間に存在する電気的容量を低減し、電気的な共振周波数を上げたり、ヘッド部１２１或いはサスペンション１０１と接合するフレキシブルケーブル，ＩＣ等との電気的整合を持たせることで信号を確実に伝送するようにしている。
【００１５】
一方において、前記導電路１１９の下における除去部１２７のさらにその下にある他の金属層との間にも電気的容量が存在する。この場合、フレキシャ１０７と他の金属層である剛体部１０９等との距離が変化すると電気的容量が変化するため、電気的な特性にばらつきが生じ、除去部１２７を設けて電気的な特性を向上させようとする目的を十分に達成することができなくなる虞がある。
【００１６】
すなわち、前記剛体部１０９と前記ばね部１１１とが一体である場合は、両者間に重ね合わせ部１２５は存在せず、フレキシャ１０７の密接状態を保つことができ、除去部１２７を設けた場合でも剛体部１０９からばね部１１１に至るまで電気的容量を一定にすることができる。しかし、図１３のように重ね合わせ部１２５にフレキシャ１０７が乗り上げると、図１３ＳＥ−ＳＥ矢視で示す図１４の状態から図１３ＳＦ−ＳＦ矢視で示す図１５の状態へと遷移し、図１５のようにフレキシャ１０７と剛体部１０９の表面１０９ｂとの間に乗り上げのための空間１２９が形成される。このため、図１４のようにフレキシャ１１７が表面１０９ｂに密着している場合に対し、図１５のように空間１２９が形成された場合は電気的容量の変化を招き、フレキシャ１０７が重ね合わせ部１２５に乗り上げる前後で導電路１１９にインピーダンスの変化を招く虞がある。
【００１７】
そして、前記導電路１１９を流れる信号は微弱であり、前記のようにインピーダンスの変化があると情報の高精度な書き込み，読み取りに影響を及ぼす虞がある。
【００１８】
また、フレキシャ１０７が重ね合わせ部１２５に乗り上げることでフレキシャ１０７と剛体部１０９との間に、前記乗り上げ遷移する部分で隙間が生ずると共にフレキシャ１０７が重ね合わせ部１２５上に突出することとなり、風の流れを妨げる原因となる。このため、ディスクが高速回転したときに風乱の影響を受け易く、フレキシャ１０７そのものがばたつき、或いはロードビーム１０５も共にばたつく恐れもある。
【００１９】
本発明は、ロードビームの剛体部とばね部とを別体にしたものでありながら、フレキシャの導電路のインピーダンスの変化を抑制すると共に、風乱の影響をより受け難くしたディスクドライブ用サスペンションの提供を課題とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるプレートと、剛体部及びばね部を含み前記プレートに支持されて先端部のスライダに負荷荷重を与えるロードビームと、ハードディスクに対して情報の書き込み，読み取りを行うヘッド部及び該ヘッド部に対し前記書き込み，読み取りのための信号の伝送を行う導電路を有して前記ロードビームに取り付けられ前記プレート側に延設されたフレキシャとを備え、前記ロードビームのばね部を前記剛体部とは別体のばね部材で形成し、前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を重ねて結合すると共に、前記ばね部材の他側を、前記プレート側に結合し、前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を部分的に露出させる切欠部を設け、前記ばね部材の他側に、前記切欠部に連続すると共に前記プレートを部分的に露出させる第２切欠部を設け、前記フレキシャを、前記切欠部を通して前記プレート側に延設配置すると共に前記第２切欠部を通して延設配置し、前記フレキシャを、前記第２切欠部内で前記プレートに結合固着し又は第２切欠部の両側で前記ばね部材に結合固着して前記切欠部内及び第２切欠部内で前記剛体部の端部及びプレートの端部に密接状態としたことを特徴とする。
【００２１】
請求項２の発明は、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるプレートと、剛体部及びばね部を含み前記プレートに支持されて先端部のスライダに負荷荷重を与えるロードビームと、ハードディスクに対して情報の書き込み，読み取りを行うヘッド部及び該ヘッド部に対し前記書き込み，読み取りのための信号の伝送を行う導電路を有して前記ロードビームに取り付けられ前記プレート側に延設されたフレキシャとを備え、前記ロードビームのばね部を前記剛体部とは別体のばね部材で形成し、前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を重ねて結合すると共に、前記ばね部材の他側を、前記プレート側に結合し、前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を部分的に露出させる切欠部を設け、前記ばね部材の他側に、前記切欠部に連続すると共に前記プレートを部分的に露出させる第２切欠部を設け、前記フレキシャを、前記切欠部を通して前記プレート側に延設配置すると共に前記第２切欠部を通して延設配置し、前記ばね部材の他側は、前記プレート上に全体的に重ね合わされ、前記プレートに、前記ばね部材を固定する端部に隣接する窓部を貫通形成すると共に、前記第２切欠部を前記窓部上まで拡大形成し、前記フレキシャは、前記剛体部上から切欠部及び第２切欠部を通って前記プレートの窓部上に渡り直状に延設配置されると共に、該窓部上で側方へ偏向するように延設配置されたことを特徴とする。
【００２２】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載のディスクドライブ用サスペンションであって、前記ばね部材の一側及び他側間に、前記ばね部のばね性を設定する開口部を設け、前記切欠部及び第２切欠部を、前記開口部に連続させたことを特徴とする。
【００２５】
【発明の効果】
請求項１の発明では、プレートは、キャリッジ側に取り付けられ、該プレートを前記キャリッジ側により軸回りに回転駆動することができる。剛体部及びばね部を含みプレートに支持されたロードビームによって先端部のスライダに負荷荷重を与えることができる。前記プレートの回転駆動により前記ロードビームを介しスライダがハードディスク上でトラック間の移動を行うことができる。
【００２６】
そして、前記ロードビームのばね部を前記剛体部とは別体のばね部材で形成し、前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を重ねて結合すると共に、前記ばね部材の他側を、前記プレート側に結合しているので、それぞれに適した材料と板厚を選定することができる。このため、剛体部に要求される性能（例えば高剛性）とばね部に要求される性能（例えば低ばね定数）とを容易に両立させることができる。前記ばね部に、精度の高い圧延材を使用することで安定した低ばね定数のばね部を得ることができる。
【００２７】
しかも、前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を部分的に露出させる切欠部を設け、前記フレキシャを、前記切欠部を通して前記プレート側に延設配置したため、フレキシャが剛体部とばね部材との重ね合わせ部に乗り上げること無く、フレキシャを剛体部からプレート側へ延設配置することができる。このため、フレキシャと剛体部との間に乗り上げのために生じる空間は存在せず、フレキシャに電気的な特性を向上させるための除去部を設けても剛体部上でのインピーダンスの変化を抑制することができ、書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送を行わせることができる。
【００２８】
また、フレキシャが剛体部とばね部材との重ね合わせ部に乗り上げることが無いため、フレキシャと剛体部との間に、隙間が生ずることが無いと共にフレキシャが切欠部内に収容されることで重ね合わせ部上に突出することは無い。このため、この部分でフレキシャが風の流れを妨げる原因になることはなく、ディスクが高速回転したときの風乱の影響を受け難く、フレキシャそのもののばたつき、或いはロードビームが共にばたつくことを抑制することができる。
【００２９】
さらに、前記ばね部材の他側に、前記切欠部に連続すると共に前記プレートを部分的に露出させる第２切欠部を設け、前記フレキシャを、前記第２切欠部を通して延設配置したため、この部分でフレキシャがプレートとばね部材との重ね合わせ部に乗り上げること無く、フレキシャを剛体部からプレート側へ延設配置することができる。このため、剛体部に対するフレキシャの密接状態を確実に維持することができ、フレキシャに電気的な特性を向上させるための除去部を設けても剛体部上でのインピーダンスの変化を確実に抑制することができ、書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送を確実に行わせることができる。
また、フレキシャが第２切欠部内に収容されることで重ね合わせ部上に突出することが無い。このため、この部分でフレキシャが風の流れを妨げる原因になることはなく、ディスクが高速回転したときに風乱の影響を受け難く、フレキシャそのもののばたつき、或いはロードビームが共にばたつくことを抑制することができる。
また、フレキシャが第２切欠部内に収容されることで重ね合わせ部上に突出することが無い。このため、この部分でフレキシャが風の流れを妨げる原因になることはなく、ディスクが高速回転したときに風乱の影響を受け難く、フレキシャそのもののばたつき、或いはロードビームが共にばたつくことを抑制することができる。
【００３０】
請求項２の発明では、キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるプレートと、剛体部及びばね部を含み前記プレートに支持されて先端部のスライダに負荷荷重を与えるロードビームと、ハードディスクに対して情報の書き込み，読み取りを行うヘッド部及び該ヘッド部に対し前記書き込み，読み取りのための信号の伝送を行う導電路を有して前記ロードビームに取り付けられ前記プレート側に延設されたフレキシャとを備え、前記ロードビームのばね部を前記剛体部とは別体のばね部材で形成し、前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を重ねて結合すると共に、前記ばね部材の他側を、前記プレート側に結合し、前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を部分的に露出させる切欠部を設け、前記ばね部材の他側に、前記切欠部に連続すると共に前記プレートを部分的に露出させる第２切欠部を設け、前記フレキシャを、前記切欠部を通して前記プレート側に延設配置すると共に前記第２切欠部を通して延設配置し、前記ばね部材の他側は、前記プレート上に全体的に重ね合わされ、前記プレートに、前記ばね部材を固定する端部に隣接する窓部を貫通形成すると共に、前記第２切欠部を前記窓部上まで拡大形成し、前記フレキシャは、前記剛体部上から切欠部及び第２切欠部を通って前記プレートの窓部上に渡り直状に延設配置されると共に、該窓部上で側方へ偏向するように延設配置されたため、プレートは、キャリッジ側に取り付けられ、該プレートを前記キャリッジ側により軸回りに回転駆動することができる。剛体部及びばね部を含みプレートに支持されたロードビームによって先端部のスライダに負荷荷重を与えることができる。前記プレートの回転駆動により前記ロードビームを介しスライダがハードディスク上でトラック間の移動を行うことができる。
そして、前記ロードビームのばね部を前記剛体部とは別体のばね部材で形成し、前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を重ねて結合すると共に、前記ばね部材の他側を、前記プレート側に結合しているので、それぞれに適した材料と板厚を選定することができる。このため、剛体部に要求される性能（例えば高剛性）とばね部に要求される性能（例えば低ばね定数）とを容易に両立させることができる。前記ばね部に、精度の高い圧延材を使用することで安定した低ばね定数のばね部を得ることができる。
しかも、前記ばね部材の一側に、前記剛体部の端部を部分的に露出させる切欠部を設け、前記フレキシャを、前記切欠部を通して前記プレート側に延設配置したため、フレキシャが剛体部とばね部材との重ね合わせ部に乗り上げること無く、フレキシャを剛体部からプレート側へ延設配置することができる。このため、フレキシャと剛体部との間に乗り上げのために生じる空間は存在せず、フレキシャに電気的な特性を向上させるための除去部を設けても剛体部上でのインピーダンスの変化を抑制することができ、書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送を行わせることができる。
また、フレキシャが剛体部とばね部材との重ね合わせ部に乗り上げることが無いため、フレキシャと剛体部との間に、隙間が生ずることが無いと共にフレキシャが切欠部内に収容されることで重ね合わせ部上に突出することは無い。このため、この部分でフレキシャが風の流れを妨げる原因になることはなく、ディスクが高速回転したときの風乱の影響を受け難く、フレキシャそのもののばたつき、或いはロードビームが共にばたつくことを抑制することができる。
前記ばね部材の他側に、前記切欠部に連続すると共に前記プレートを部分的に露出させる第２切欠部を設け、前記フレキシャを、前記第２切欠部を通して延設配置したため、この部分でフレキシャがプレートとばね部材との重ね合わせ部に乗り上げること無く、フレキシャを剛体部からプレート側へ延設配置することができる。このため、剛体部に対するフレキシャの密接状態を確実に維持することができ、フレキシャに電気的な特性を向上させるための除去部を設けても剛体部上でのインピーダンスの変化を確実に抑制することができ、書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送を確実に行わせることができる。
また、フレキシャが第２切欠部内に収容されることで重ね合わせ部上に突出することが無い。このため、この部分でフレキシャが風の流れを妨げる原因になることはなく、ディスクが高速回転したときに風乱の影響を受け難く、フレキシャそのもののばたつき、或いはロードビームが共にばたつくことを抑制することができる。
前記ばね部材の他側は、前記プレート上に全体的に重ね合わされているため、ロードビームをプレート側に確実に支持させることができる。
しかも、前記プレートに、前記ばね部材を固定する端部に隣接する窓部を貫通形成すると共に、前記第２切欠部を前記窓部上まで拡大形成したため、全体的に軽量化を図ることができる。
また、前記第２切欠部の拡大形成によりフレキシャが窓部に至るまでばね部材上に乗り上げることを抑制し、剛体部等に対するフレキシャの密接状態をより確実に維持することができる。このため、フレキシャに電気的な特性を向上させるための除去部を設けても剛体部上等でのインピーダンスの変化をより確実に抑制することができ、書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送をより確実に行わせることができる。
さらに、第２切欠部の拡大形成により剛体部上からプレート側の窓部に至るまでフレキシャがばね部材上へ突出するのを抑制することができ、ディスクが高速回転したときに風乱の影響をより受け難くし、フレキシャそのもののばたつき、或いはロードビームが共にばたつくことを抑制することができる。
【００３４】
請求項３の発明では、請求項１又は２の発明の効果に加え、前記ばね部材の一側及び他側間に、前記ばね部のばね性を設定する開口部を設けたため、ばね部材の曲げ剛性（ばね定数）を部分的に小さくし、前記プレートと剛体部との間にヒンジ部としてばね部を正確に形成することができる。
【００３５】
しかも、前記切欠部及び第２切欠部を、前記開口部に連続させたため、フレキシャが切欠部からそのままの状態で開口部及び第２切欠部を通ることができ、フレキシャが第２切欠部に至るまでばね部材上に乗り上げることを確実に抑制し、剛体部等に対するフレキシャの密接状態を確実に維持することができる。このため、フレキシャに電気的な特性を向上させるための除去部を設けても剛体部上等でのインピーダンスの変化を確実に抑制することができ、書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送を確実に行わせることができる。
【００３６】
また、ディスクが高速回転したときに風乱の影響をより受け難く、フレキシャそのもののばたつき、或いはロードビームが共にばたつくことを抑制することができる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態を適用したサスペンションを有するハードディスクドライブの一部を示す断面図である。この図１のように、ハードディスクドライブ１は、軸３を中心に旋回可能なキャリッジ５を有している。
【００４２】
前記キャリッジ５はボイスコイルモータ等のポジショニング用モータ７によって軸３を中心に旋回駆動される。前記キャリッジ５は、複数のキャリッジアーム９（図１では４個）と、各キャリッジアーム９の先端部に取り付けられたサスペンション１１と、各サスペンション１１の先端部に設けられたヘッド部１３等を備えている。前記キャリッジ５が前記軸３を中心に旋回することによって、前記ヘッド部１３がディスク１５の所望トラックまで移動する。
【００４３】
前記ヘッド部１３は、前記ディスク１５に対して情報の書き込み，読み取りを行うもので、前記ディスク１５のトラックと対向可能な位置に設けられたスライダ１７と、該スライダ１７に保持されたトランスジューサ（図示せず）等を含んでいる。前記ディスク１５が高速回転したとき、該ディスク１５と前記スライダ１７との間に空気が入り込むことによって前記スライダ１７は前記ディスク１５から僅かに浮上すると共に、ディスク１５及びスライダ１７間にエアベアリングが形成される。
【００４４】
前記サスペンション１１は、例えば図２，図３のようになっている。図２は本実施形態のサスペンション１１をフレキシャ配置側から見た平面図、図３はサスペンション１１の分解平面図である。このサスペンション１１は、プレート１９とロードビーム２１とフレキシャ２２とを備えている。
【００４５】
前記プレート１９は、前記図１のキャリッジ５側のキャリッジアーム９に取り付けられ、該キャリッジ５側により軸回りに回転駆動される。このプレート１９は、例えばステンレス鋼板等でほぼ矩形に形成され、その厚みは本実施形態において例えば２００μｍに設定されている。このプレート１９に対しボス部２３が形成されている。前記プレート１９には、後述するばね部材を固定する端部１９ａに隣接して窓部２４が貫通形成されている。
【００４６】
前記ロードビーム２１は、先端部のスライダ１７（図１）に負荷荷重を与えるものである。このロードビーム２１は、剛体部２５及びばね部２７を含んでいる。このばね部２７は、前記剛体部２５とは別体のばね部材２９によって形成されている。
【００４７】
前記剛体部２５は、例えばステンレス鋼で形成されている。但し、剛体部２５は、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）等の軽金属（Ｆｅよりも軽い金属）の合金もしくは合成樹脂等によって形成することもできる。これにより、サスペンション１１の、より軽量化と高剛性化とを両立させることもできる。また剛体部２５を、アルミニウムやチタン等の軽金属もしくはこれらを主体とする合金とそれ以外の金属（例えばステンレス鋼）とを積層した２種類以上の材料からなる複合材（クラッド材）によって形成することもできる。
【００４８】
前記ばね部材２９は、前記プレート１９上から剛体部２５側へ伸びた略矩形の板状に形成されている。このばね部材２９は、例えば、ばね性のある薄いステンレス鋼等からなっており、前記剛体部２５よりもそのばね定数が低く、精度の高い低ばね定数を有している。
【００４９】
前記ばね部材２９の一側２９ａ及び他側２９ｂ間には、エッチングあるいは精密プレス加工等によって開口部３０が形成されている。この開口部３０は、ばね部２７のばね性を設定するものである。前記開口部３０によって前記ばね部材２９の曲げ剛性（ばね定数）を部分的に小さくし、前記プレート１９と剛体部２５との間にヒンジ部として前記ばね部２７を構成している。
【００５０】
すなわち、前記ばね部材２９の一側２９ａに、前記剛体部２５の端部２５ａが重ね合わされ、レーザ溶接等による溶着２６あるいは接着剤による接着等によって結合固着されている。前記ばね部材２９の他側２９ｂは、前記プレート１９に対応して形成され、該プレート１９に全体的に重ね合わされている。このばね部材２９の他側２９ｂは、前記プレート１９の端部１９ａその他においてレーザ溶接による溶着３１あるいは接着剤による接着等によって結合固着されている。
【００５１】
前記ばね部材２９には、嵌合孔３２が形成されている。この嵌合孔３２は、前記プレート１９のボス部２３と同心に配置されている。前記嵌合孔３２の側部において前記ばね部材２９には、前記フレキシャ２２の後述する端子部を支持する支持片部３３が設けられている。
【００５２】
そして、本発明の実施形態では、図２，図３、及び図２のＳＡ−ＳＡ矢視断面図である図４のように、前記ばね部材２９の一側２９ａに、特に切欠部３５が形成されている。この切欠部３５は、前記ばね部材２９の一側２９ａと前記剛体部２５の端部２５ａとの重ね合わせ部３７において剛体部２５の端部２５ａを部分的に露出させるものである。前記切欠部３５は、本実施形態において、前記ばね部材２９の幅方向（図２，図３において上下方向）のほぼ中央に設けられ、前記開口部３０に連続している。この切欠部３５の幅は、該切欠部３５を通る前記フレキシャ２２の部分よりも広く形成されている。
【００５３】
前記ばね部材２９の他側２９ｂには、図２，図３，及び図２のＳＢ−ＳＢ矢視断面図である図５のように、第２切欠部３９が設けられている。この第２切欠部３９は、前記ばね部材２９の他側２９ｂと前記プレート１９の端部１９ａとの重ね合わせ部４１においてプレート１９の端部１９ａを部分的に露出させるものである。前記第２切欠部３９は、本実施形態において、前記ばね部材２９の幅方向（図２，図３において上下方向）のほぼ中央に設けられ、前記開口部３０及び切欠部３５に連続している。この第２切欠部３９の幅は、該第２切欠部３９を通る前記フレキシャ２２の部分よりも若干広く形成されている。前記第２切欠部３９には、拡大部４３が連続している。この拡大部４３は、前記プレート１９の窓部２４に対応した形状、大きさに形成され、この拡大部４３により前記第２切欠部３９が前記窓部２４上まで拡大形成された構成となっている。
【００５４】
前記フレキシャ２２は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板等の金属基板４５の表面に、電気絶縁層４６を介して導電路４７を形成したものである。
【００５５】
前記金属基板４５は、図６の平面図のように先端部４９と基端部５１と中間部５３とから成っている。前記金属基板４５には、図４〜図６のように先端部４９、中間部５３、及び基端部５１にかけて複数の除去部６７が設けられている。この除去部６７は、金属基板４５の一部を長穴状に除去して形成され、電気的な特性を向上させるためのものである。すなわち、前記除去部６７により、導電路４７と金属層である金属基板４５との間に存在する電気的容量を低減することにより、電気的な共振周波数を上げたり、ヘッド部１３或いはサスペンション１１と接合するフレキシブルケーブル，ＩＣ等との電気的整合を持たせることで信号を確実に伝送するようにしている。前記除去部６７の一部は、図４，図５のように切欠部３５間及び第２切欠部３９間にまで至っている。
【００５６】
前記金属基板４５の先端部４９には、タング部５５が設けられ、前記ヘッド部１３のスライダ１７（図１）が装着されている。この先端部４９は、直状に形成されている。前記基端部５１には、外部接続用の端子５７が設けられている。前記中間部５３は、前記先端部４９及び基端部５１に比較してその幅が狭く形成され、直状部５３ａ及び偏向部５３ｂとから成っている。前記直状部５３ａは、前記先端部４９に連続して直状に形成され、その中間両側に結合固着用の舌片５９が突設されている。
【００５７】
前記舌片５９は、前記金属基板４５から一体に突設されている。この舌片５９は、図５のように金属基板４５側の根本部５９ａが金属基板４５から垂直に立ち上げられ、該根本部５９ａがばね部材２９の板厚分に相当する高さになったところで金属基板４５の面方向に折り曲げられている。従って、舌片５９は、プレート１９の端部１９ａにおいてばね部材２９上に接すると共に、根本部５９ａが直状部５３ａと共に第２切欠部３９内へ収容されるようになっている。
【００５８】
前記偏向部５３ｂは、前記フレキシャ２２が前記窓部２４上で偏向する部分であり、前記直状部５３ａから側方へ曲がって形成され、前記基端部５１を先端部４９に対して側方へずらして配置する構成となっている。前記フレキシャ２２は、前記偏向部５３ｂにおいてばね部材２９上に乗り上げ、前記基端部５１に至っている。
【００５９】
前記導電路４７の一端は、ヘッド部１３の端子に導通し、他端は外部接続用の端子５７に導通している。
【００６０】
このようなフレキシャ２２は、前記先端部４９が前記剛体部２５の幅方向中央に配置され、レーザ溶接等による溶着あるいは接着剤による接着等によって結合固着されている。前記基端部５１は、前記ばね部材２９の支持片部３３上に配置され、レーザ溶接等による溶着あるいは接着剤による接着等によって結合固着されている。前記中間部５３は、前記舌片５９の根本部５９ａの外面５９ｂが前記第２切欠部３９によって規制されつつ位置決められ、舌片５９がばね部材２９にレーザ溶接等による溶着６１あるいは接着剤による接着等によって結合固着されている。
【００６１】
この状態で、前記フレキシャ２２は、前記ロードビーム２１の幅方向（図２，図３において上下方向）中央を通り該ロードビーム２１の剛体部２５上から切欠部３５及び第２切欠部３９を通って、前記プレート１９の窓部２４に渡り直状に延設配置されると共に、該窓部２４上で側方の基端部５１へ偏向するように延設配置されている。前記フレキシャ２２の中間部５３の直状部５３ａは、前記切欠部３５内に収容され、該直状部５３ａはそのまま開口部３０上を通って第２切欠部３９へ至っている。前記直状部５３ａは、前記第２切欠部３９内にも収容されている。前記舌片５９は、ばね部材２９上に固定されているが、前記のように舌片５９の根本部５９ａを前記のように予め折り曲げておくことにより、直状部５３ａを、前記第２切欠部３９内に収容させることができる。
【００６２】
前記偏向部５３ｂは、前記プレート１９の側部においてばね部材２９上に乗り上げているが、偏向始端側は窓部２４上で第２切欠部３９の拡大部４３内に位置した構成となっている。
【００６３】
上記構成により、本実施形態では、前記ロードビーム２１のばね部２７を前記剛体部２５とは別体のばね部材２９で形成し、前記ばね部材２９の一側２９ａに、前記剛体部２５の端部２５ａを重ねて結合すると共に、前記ばね部材２９の他側２９ｂを、前記プレート１９側に結合し、前記ばね部材２９の一側２９ａに、前記剛体部２５の端部２５ａを部分的に露出させる切欠部３５を設け、前記フレキシャ２２を、前記切欠部３５を通して前記プレート１９側に延設配置した構成となっている。
【００６４】
また、前記ばね部材２９の他側２９ｂに、前記切欠部３５に連続すると共に前記プレート１９を部分的に露出させる第２切欠部３９を設け、前記フレキシャ２２を、前記第２切欠部３９を通して延設配置した構成となっている。
【００６５】
さらに、前記ばね部材２９の一側２９ａ及び他側２９ｂ間に、前記ばね部２７のばね性を設定する開口部３０を設け、前記切欠部３５を、或いは前記切欠部３５及び第２切欠部３９を前記開口部３０に連続させた構成となっている。
【００６６】
また、前記ばね部材２９の他側２９ｂは、前記プレート１９上に全体的に重ね合わされ、前記プレート１９に、前記ばね部材２９を固定する端部１９ａに隣接する窓部２４を貫通形成すると共に、前記第２切欠部３９を前記窓部２４上まで拡大形成し、前記フレキシャ２２は、前記剛体部２５上から切欠部３５及び第２切欠部３９を通って前記プレート１９の窓部２４上に渡り直状に延設配置されると共に、該窓部２４上で側方へ偏向するように延設配置された構成となっている。
【００６７】
前記サスペンション１１のキャリッジアーム９に対する取付けは、ボス部２３の半径方向への拡大した塑性変形により行われる。
【００６８】
前記プレート１９を前記キャリッジ５側により軸回りに回転駆動することができ、ロードビーム２１によって先端部のスライダ１７に負荷荷重を与えることができる。前記プレート１９の回転駆動により前記ロードビーム２１を介し前記スライダ１７がディスク１５上でトラック間移動を行うことができる。
【００６９】
前記サスペンション１１は、前記ロードビーム２１を構成する剛体部２５とばね部材２９とが別体で構成され、それぞれに適した材料と板厚を選定することができる。このため、剛体部２５に要求される性能（例えば高剛性）とばね部２７に要求される性能（例えば低ばね定数）とを容易に両立させることができる。前記ばね部２７に、精度の高い圧延材を使用することで安定した低ばね定数のばね部２７を得ることができる。
【００７０】
しかも、前記のようにフレキシャ２２が剛体部２５とばね部材２９との重ね合わせ部３７に乗り上げること無く、フレキシャ２２を剛体部２５の端部２５ａ上においても密接状態を保ちながらプレート１９側へ延設配置することができる。このため、図４のように、フレキシャ２２と剛体部２５との間に、乗り上げのために生じる空間は存在せず、フレキシャ２２に電気的な特性を向上させるための除去部６７を設けても剛体部２５上での電気的容量の変化を招くことはなく、インピーダンスの変化による電気的な特性のばらつきを抑制し、除去部６７を設けて電気的な特性を向上させようとする目的を十分に達成することができる。従って、フレキシャ２２によって書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送を確実に行わせることができる。
【００７１】
同時に、第２切欠部３９の部分でフレキシャ２２がプレート１９とばね部材２９との重ね合わせ部４１に乗り上げること無く、フレキシャ２２を剛体部２５からプレート１９側へ延設配置することができる。このため、剛体部２５の端部２５ａ上でフレキシャ２２の密接状態を確実に維持することができ、インピーダンスの変化を確実に抑制することができ、書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送を確実に行わせることができる。
【００７２】
また、図５のように、第２切欠部３９においてフレキシャ２２の金属基板４５に除去部６７が存在してもフレキシャ２２がプレート１９の端部１９ａに対し密接状態を保つため、インピーダンスの変化を確実に抑制することができ、書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送を確実に行わせることができる。
【００７３】
さらに、フレキシャ２２が剛体部２５とばね部材２９との重ね合わせ部３７に乗り上げることが無いため、フレキシャ２２と剛体部２５との間に、隙間が生ずることが無いと共にフレキシャ２２が切欠部３５内に収容されることで重ね合わせ部３７上に突出することは無い。同時に、フレキシャ２２が第２切欠部３９内に収容されることで重ね合わせ部４１上に突出することが無い。これらにより、この部分でフレキシャ２２が風の流れを妨げる原因になることはなく、ディスク１５が高速回転したときに風乱の影響を受け難く、フレキシャ２２そのもののばたつき、或いはロードビーム２１が共にばたつくことを抑制することができる。
【００７４】
そして、フレキシャ２２ばたつきが抑制されるため、剛体部２５等に対する間隔の変化も抑制され、かかる点からも前記インピーダンスの変化を確実に抑制することができる。
【００７５】
また、開口部３０によりばね部材２９の曲げ剛性（ばね定数）を部分的に小さくし、前記プレート１９と剛体部２５との間にヒンジ部としてばね部２７を正確に構成することができる。しかも、前記切欠部３５及び第２切欠部３９を、前記開口部３０に連続させたため、フレキシャ２２が切欠部３５からそのままの状態で開口部３０及び第２切欠部３９を通ることができる。従って、フレキシャ２２が第２切欠部３９に至るまでばね部材２９上に乗り上げることを確実に抑制し、剛体部２５及びプレート１９の端部１９ａに対するフレキシャ２２の密接状態を確実に維持することができる。このため、前記インピーダンスの変化を確実に抑制することができ、書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送を確実に行わせることができる。
【００７６】
また、フレキシャ２２がばね部材２９上に突出する部分が少なくなり、ディスク１５が高速回転したときに風乱の影響をより受け難く、フレキシャ２２そのもののばたつき、或いはロードビーム２１が共にばたつくことを抑制することができる。
【００７７】
前記ばね部材２９の他側２９ｂは、前記プレート１９上に全体的に重ね合わされているため、ロードビーム２１をプレート１９側に確実に支持させることができる。前記プレート１９の窓部２４と前記第２切欠部３９の拡大部４３とにより全体的に軽量化を図ることができる。
【００７８】
前記第２切欠部３９の拡大部４３により剛体部２５上からプレート１９側の窓部２４上に至るまでフレキシャ２２がばね部材２９上へ乗り上げることが無く、剛体部２５に対するフレキシャ２２の密接状態、さらには第２切欠部３９内でプレート１９に対するフレキシャ２２の密接状態をより確実に維持することができる。このため、インピーダンスの変化をより確実に抑制することができ、書き込み，読み取りのための高精度な信号の伝送をより確実に行わせることができる。
【００７９】
また、ディスク１５が高速回転したときに風乱の影響をより受け難く、フレキシャ２２そのもののばたつき、或いはロードビーム２１が共にばたつくことを抑制することができる。
【００８０】
前記フレキシャ２２の偏向部５３ｂは、前記プレート１９の側部においてばね部材２９上に乗り上げている。しかし、偏向部５３ｂでの乗り上げが直状部５３ａ側に及ぶことはほとんどなく、剛体部２５に対するフレキシャの密接状態を確実に維持することができる。
【００８１】
また、前記偏向部５３ｂは剛性の高いプレート１９側に位置し、且つディスク１５の高速回転で起こる風の向きに沿った方向に配索されており、この部分でフレキシャ２２は、風乱の影響を受け難くくなっている。
（第２実施形態）
図７〜図９は本発明の第２実施形態に係り、図７はサスペンション１１Ａをフレキシャ配置側から見た平面図、図８はばね部材２９Ａの平面図、図９は図７のＳＣ−ＳＣ断面図である。尚、本実施形態も第１実施形態と基本的には同様な構成であり、第１実施形態と対応する構成部分には同符号を付している。
【００８２】
一方、本実施形態においては、ばね部材２９Ａの第２切欠部３９Ａの幅を第１実施形態の第２切欠部３９よりも広く設定している。この第２切欠部３９Ａの幅は、前記フレキシャ２２の舌片５９Ａ先端間の距離に対応して形成されている。前記舌片５９Ａはプレート１９の端部１９ａ上に密着させるため金属基板４５からフラットに突設されている。
【００８３】
そして、図７，図９のように、舌片５９Ａが第２切欠部３９Ａ内においてプレート１９の端部１９ａにレーザ溶接等による溶着６１Ａあるいは接着剤による接着等によって結合固着されている。
【００８４】
従って本実施形態においても、前記ロードビーム２１のばね部２７を前記剛体部２５とは別体のばね部材２９Ａで形成し、前記ばね部材２９Ａの一側２９ａに、前記剛体部２５の端部２５ａを重ねて結合すると共に、前記ばね部材２９Ａの他側２９ｂを、前記プレート１９側に結合し、前記ばね部材２９Ａの一側２９ａに、前記剛体部２５の端部２５ａを部分的に露出させる切欠部３５を設け、前記フレキシャ２２を、前記切欠部３５を通して前記プレート１９側に延設配置した構成となっている。
【００８５】
また、前記ばね部材２９Ａの他側２９ｂに、前記切欠部３５に連続すると共に前記プレート１９を部分的に露出させる第２切欠部３９Ａを設け、前記フレキシャ２２を、前記第２切欠部３９Ａを通して延設配置した構成となっている。
【００８６】
さらに、前記ばね部材２９Ａの一側２９ａ及び他側２９ｂ間に、前記ばね部２７のばね性を設定する開口部３０を設け、前記切欠部３５及び第２切欠部３９Ａを、前記開口部３０に連続させた構成となっている。
【００８７】
また、前記ばね部材２９Ａの他側２９ｂは、前記プレート１９上に全体的に重ね合わされ、前記プレート１９に、前記ばね部材２９Ａを固定する端部１９ａに隣接する窓部２４を貫通形成すると共に、前記第２切欠部２９Ａを前記窓部２４上まで拡大形成し、前記フレキシャ２２は、前記剛体部２５上から切欠部３５及び第２切欠部３９Ａを通って前記プレート１９の窓部２４に渡り直状に延設配置されると共に、該窓部２４上で側方へ偏向するように延設配置された構成となっている。
【００８８】
従って、本実施形態においても前記第１実施形態と同様な作用効果を奏することができる。
【００８９】
また、フレキシャ２２の取付時には、舌片５９Ａの部分を第２切欠部３９Ａ内でプレート１９の端部１９ａに重ね合わせれば、舌片５９Ａの両先端５９Ａｂが第２切欠部３９Ａに規制されて位置決めがなされ、フレキシャ２２の精度良い組付けを容易に行わせることができる。
【００９０】
さらに、本実施形態では、第２切欠部２９Ａの幅を拡大したため、舌片５９Ａをも第２切欠部３９Ａ内に収納することができる。従って、舌片５９Ａがばね部材２９Ａ上に突出するのを抑制することができ、ディスク１５が高速回転したときに風乱の影響をより受け難く、フレキシャ２２そのもののばたつき、或いはロードビーム２１が共にばたつくことを抑制することができる。
【００９１】
また、本実施形態では、舌片５９Ａを特に折り曲げる必要もなく、製造が容易である。
（参考例）
図１０、図１１は本発明の参考例に係り、図１０はサスペンション１１Ｂをフレキシャ配置側から見た平面図、図１１はばね部材２９Ｂの平面図である。尚、本参考例も第１実施形態と基本的には同様な構成であり、第１実施形態と対応する構成部分には同符号を付している。
【００９２】
一方、本参考例においては、ばね部材２９Ｂに第１，第２実施形態の第２切欠部３９，３９Ａに相当するものを設けず、連続部６３が形成されている。この連続部６３に隣接して、前記プレート１９の窓部２４に対応する穴部６５が貫通形成されている。舌片５９Ｂはばね部材２９Ｂの連続部６３に密着させるために金属基板４５からフラットに突設されている。そして、図１０のように、舌片５９Ｂがばね部材２９Ｂの連続部６３上においてレーザ溶接等による溶着６１Ｂあるいは接着剤による接着等によって結合固着されている。
【００９７】
尚、各実施形態において開口部３０、窓部２４、拡大部４３は、任意に省略することができる。但し、窓部２４を省略するときは、インピーダンスの変化を防止するために拡大部４３も共に省略することになる。
【００９８】
前記ばね部材２９，２９Ａを短く形成し、ばね部材２９，２９Ａの端部にプレート１９の端部１９ａを結合固着することもできる。前記プレート１９は、キャリッジアームを兼ねるように形成することもできる。
【００９９】
前記フレキシャ２２の直状部５３ａ，切欠部３５，第２切欠部３９，３９Ａは、ばね部材２９，２９Ａの幅方向一側にずらして配置することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態に係るサスペンションを備えたハードディスクドライブの一部を示す断面図である。
【図２】  第１実施形態に係り、サスペンションをフレキシャ配置側から見た平面図である。
【図３】  第１実施形態に係り、サスペンションの分解平面図である。
【図４】  第１実施形態に係り、図２のＳＡ−ＳＡ矢視断面図である。
【図５】  第１実施形態に係り、図２のＳＢ−ＳＢ矢視断面図である。
【図６】  第１実施形態に係り、金属基板の平面図である。
【図７】  本発明の第２実施形態に係るサスペンションをフレキシャ配置側から見た平面図である。
【図８】  第２実施形態に係り、ばね部材の平面図である。
【図９】  第２実施形態に係り、図７のＳＣ−ＳＣ矢視断面図である。
【図１０】  本発明の参考例に係るサスペンションをフレキシャ配置側から見た平面図である。
【図１１】  参考例に係り、ばね部材の平面図である。
【図１２】  従来例に係るサスペンションの斜視図である。
【図１３】  従来例に係り、フレキシャの金属基板に除去部を設けた例を示す要部断面図である。
【図１４】  従来例に係り、図１３のＳＥ−ＳＥ矢視断面図である。
【図１５】  従来例に係り、図１３のＳＦ−ＳＦ矢視断面図である。
【符号の説明】
５  キャリッジ
９  キャリッジアーム
１１，１１Ａ  サスペンション
１７  スライダ
１９  プレート
２１  ロードビーム
２２  フレキシャ
２４  窓部
２５  剛体部
２５ａ  剛体部の端部
２７  ばね部
２９，２９Ａ  ばね部材
２９ａ  ばね部材の一側
２９ｂ  ばね部材の他側
３０  開口部
３５  切欠部
３９、３９Ａ  第２切欠部
４３  拡大部
【図１】
0003752459.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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