(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を濾過する筒状のフィルタエレメントと、該フィルタエレメントを内部に収容するフィルタ収容体とを備え、該収容体における送入口から送入された空気が上記フィルタエレメントを通過することにより濾過された後、排気口から排出されるように構成された排気清浄装置において、
上記フィルタ収容体を、フィルタエレメントによる異物の捕捉状態を透視可能に形成し、該フィルタエレメントと排気口との間に、異物の捕捉により濾過能力が低下したフィルタエレメントを透過する異物を捕捉するための補助フィルタエレメントを設け、上記送入口から送入した空気を上記フィルタエレメントの内側に導入する流路を設けると共に、該フィルタエレメントの外側に流出した空気を補助フィルタエレメントに通過させる流路を形成し、上記フィルタエレメントの内側に、捕捉した油分の量に伴って次第に該フィルタエレメントの外表面に滲出する着色料を塗着することによって、濾過能力の低下を表示する表示手段を形成したことを特徴とするクリーンルーム用排気清浄装置。
【請求項２】
請求項１に記載のクリーンルーム用排気清浄装置において、上記送入口から送入した空気の、フィルタエレメントの一次側の流路と同二次側の流路との間における圧力の差圧を検出し、該差圧に基づいて濾過能力の限界状態を表示する目づまり検出手段を設けたもの。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のクリーンルーム用排気清浄装置において、上記フィルタ収容体が、フィルタエレメントと筒状の補助フィルタエレメントとを上下２段に収容していて、送入口から送入した流体をフィルタエレメントの内側から外側に通過させると共に、その通過した流体を、補助フィルタエレメントの外側から内側に通過させて排気口から排出する構成を有しているもの。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルーム用排気清浄装置に関するものであり、さらに詳しくは、空気中の微小粒子や油分等の異物の存在が、限定された清浄度レベル以下に保たれているクリーンルームにおいて、当該クリーンルーム内への排気を可能にするために使用されるクリーンルーム用排気清浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、空気配管中の微小な塵埃や油分等の異物を取り除く空気清浄器は広く知られており、一般に、空気を清浄化する筒状のフィルタエレメントと、該フィルタエレメントを内部に収容するフィルタ収容体とを備えていて、該収容体における送入口から送入された空気が上記フィルタエレメントを通過することにより濾過された後、排気口から排出するように構成されている。
この種のものは、通常、捕捉した異物による目づまり等、特に油分の捕捉によってフィルタエレメントの濾過能力が限界であることを目視で確認できるようにする必要があり、例えば、フィルタエレメントの一次側と二次側との差圧を検出して目づまりを検知して、あるいは、フィルタエレメントに油性の着色料を塗って、その着色料が捕捉した油分の量に伴って次第に該フィルタエレメントの表面に拡散するのを利用するなどして、フィルタエレメントの交換を促していた。
【０００３】
しかしながら、上述の空気清浄器をクリーンルーム中に直接排気する空気の濾過に用いた場合、フィルタエレメントの濾過能力の低下が該フィルタエレメントの表面において実際に視認できるようになった時には、そのフィルタエレメントは既に濾過能力の限界を越えていることが多いのに加え、通常、その視認後にフィルタエレメントを交換するため、送入された空気中の異物は、フィルタエレメントの交換までの間に、フィルタエレメントを透過してそのまま排気口から排出され、あるいは捕捉された異物が再飛散することになり、空気清浄器として機能し得ないという問題があった。また、そのような状態では、空気中の異物が濾過されないため、クリーンルーム内の空気清浄レベルを維持することは困難であり、その結果、クリーンルーム内で使用される空気圧機器の排気をクリーンルーム外に配管する必要があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の技術的課題は、クリーンルーム内で使用される空気圧機器の排気を直接クリーンルーム内に排出することができる程度に空気清浄レベルを高めることができるクリーンルーム用排気清浄装置を提供することにある。
本発明のさらに具体的な技術的課題は、フィルタエレメントの濾過能力の低下が視認できる場合に、該フィルタエレメントを透過した異物が、そのまま空気中に排出されるのを防いで、クリーンルーム内の空気清浄レベルを常に高レベルに維持することができるクリーンルーム用排気清浄装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、空気を濾過する筒状のフィルタエレメントと、該フィルタエレメントを内部に収容するフィルタ収容体とを備え、該収容体における送入口から送入された空気が上記フィルタエレメントを通過することにより濾過された後、排気口から排出されるように構成された排気清浄装置において、上記フィルタ収容体を、フィルタエレメントによる異物の捕捉状態を透視可能に形成し、該フィルタエレメントと排気口との間に、異物の捕捉により濾過能力が低下したフィルタエレメントを透過する異物を捕捉するための補助フィルタエレメントを設け、上記送入口から送入した空気を上記フィルタエレメントの内側に導入する流路を設けると共に、該フィルタエレメントの外側に流出した空気を補助フィルタエレメントに通過させる流路を形成し、上記フィルタエレメントの内側に、捕捉した油分の量に伴って次第に該フィルタエレメントの外表面に滲出する着色料を塗着することによって、濾過能力の低下を表示する表示手段を形成したことを特徴とするものである。
【０００６】
上記構成を有するクリーンルーム用排気清浄装置は、クリーンルームにおいて、微小な塵埃や油分等の異物が混入した空気配管を上記送入口に接続して異物を除去するために使用するもので、通常、送入口から送入された空気は、上記フィルタエレメントを通過することにより濾過されて異物が取り除かれ、上記排気口から排出される。
そして、異物の捕捉による上記フィルタエレメントの目づまり等によって、濾過能力の低下または限界を視認することができるようになった場合には、そのフィルタエレメントを交換する。
このとき、フィルタエレメントの濾過能力が限界状態に達して、その状態を視認できるに至った後から、フィルタエレメントを交換するまでの間には、通常、このフィルタエレメントを異物が透過するが、それらの透過した異物は、該フィルタエレメントと排気口との間に設けた補助フィルタエレメントにより捕捉される。この補助フィルタエレメントは上記フィルタエレメントの交換までに、能力が低下したフィルタエレメントを通過する異物を捕捉できる程度の能力があれば良い。
したがって、従来のようにフィルタエレメントを透過した異物がそのまま排気口から排出されてしまうことがないため、たとえフィルタエレメントの濾過能力が限界に達して、それが視認できるようなった後にフィルタエレメントを交換しても、上記補助フィルタエレメントの働きにより排気の空気清浄レベルは常に正常に維持される。
【０００７】
本発明のクリーンルーム用排気清浄装置においては、上記送入口から送入した空気の、フィルタエレメントの一次側の流路と同二次側の流路との間における圧力の差圧を検出し、該差圧に基づいて濾過能力の限界状態を表示する目づまり検出手段を設けたものとすることができる。
さらに、本発明においては、上記フィルタ収容体が、フィルタエレメントと筒状の補助フィルタエレメントとを上下２段に収容していて、送入口から送入した流体をフィルタエレメントの内側から外側に通過させると共に、その通過した流体を、補助フィルタエレメントの外側から内側に通過させて排気口から排出する構成を有するものとすることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１及び図２は、本発明のクリーンルーム用排気清浄装置の一実施例を示すもので、この実施例の排気清浄装置は、空気を濾過する筒状のフィルタエレメント１及び補助フィルタエレメント５をフィルタ収容体２の内部に収容してなり、該フィルタ収容体２は、フィルタエレメント１を内部に収容する円筒状のフィルタケース２ａと、該フィルタケース２ａの上端部に着脱自在に装着されたフィルタカバー２ｂとを備えている。
【０００９】
上記フィルタ収容体２は、フィルタカバー２ｂに空気の送入口３が、一方、フィルタケース２ａの底面に空気の排気口６がそれぞれ設けられており、送入口３から送入された空気が、フィルタカバー２ｂ内の流路４を通じて上記フィルタエレメント１を通過することにより濾過された後、補助フィルタエレメント５を通して排気口６から排出されるように構成されている。
また、上記フィルタケース２ａは、内部のフィルタエレメント１を透視することができるように、透明な素材により形成されていて、該フィルタエレメント１の異物の捕捉状態等を目で直接確認することができる。
【００１０】
上記フィルタエレメント１は、油分を吸着し易い活性炭素繊維を含んだ不織布製の濾材をプリーツ状に折り曲げたものを筒状にして内層濾材１Ａを形成し、その外周にグラスファイバー繊維を含んだ不織布製の濾材１Ｂを巻付けて、全体として二層構造の中空円筒状に形成したもので、オイルミスト等の油分は主として活性炭素繊維を含む内層濾材１Ａにより、塵埃は主としてグラスファイバー繊維を含む濾材１Ｂによりそれぞれ捕捉される。
このフィルタエレメント１の上端には、上記フィルタカバー２ｂの流路４内とフィルタエレメント１の中空部分８内とを気密に連結する装着部材１１が取付けられ、一方、下端には、フィルタエレメント１の中空部分８を気密に閉鎖する閉鎖部材１２が取付けられており、これにより、流路４からの空気が中空部分８を通じてフィルタエレメント１の内側から外側に向けて通過するようにしている。
【００１１】
また、上記フィルタエレメント１の内壁には、濾過能力の低下または限界を表示する表示手段として、捕捉した油分の量に伴って次第にフィルタエレメント１の外表面に滲出する油性の着色料を塗着している。
上記表示手段は、送入された空気中の油分がフィルタエレメント１に捕捉され、その捕捉された油分の量の増大に伴ってその油分中に拡散した着色料が外側の濾材１Ｂに滲出してその表面に達し、該表面が濾過能力の低下または限界を表示するものである。
【００１２】
また、上記フィルタカバー２ｂ上には、フィルタエレメント１の一次側の流路４と、同二次側の流路１４との間における空気の圧力の差圧を検出し、その差圧に基づいてに、該フィルタエレメント１の濾過能力の限界状態、即ち異物による目づまりを検知して表示する目づまり検出手段（インジケータ）１５を設けている。
このインジケータは、頭部を透明合成樹脂からなる透視カバー１５ａにより構成し、その内部に昇降可能に挿嵌した着色表示子１５ｂをスプリング１５ｃにより下方への没入状態に付勢し、この表示子１５ｂの上下部間の空気の流路を遮断して、その下方を上記一次側の流路４に連通させ、その上部を上記二次側の流路１４に連通させたものである。したがって、フィルタエレメント１の目づまりにより一次側の流路４の圧力が上昇すると、着色表示子１５ｂが透視カバー１５ａ内に突出し、その透視により目づまりを検知することができる。
なお、この目づまり検出手段１５は必ずしも設ける必要はないが、上記油性着色料による表示手段と共に、あるいは上記表示手段に代えて、濾過能力の限界を検出するために設けることができる。
【００１３】
上記閉鎖部材１２の下面側には、上記フィルタエレメント１における濾材１ｂと同様の素材で中空円筒状に形成された補助フィルタエレメント５が設けられており、これらのフィルタエレメント１と補助フィルタエレメント５とは、閉鎖部材１２を介して全体として上下２段に分かれて構成されている。
上記補助フィルタエレメント５は、この補助フィルタエレメント５の中空部分９の上端が上記閉鎖部材１２によって気密に閉鎖されていて、一方、中空部分９の下端は開放されて、排気口６に直接通じている。そして、上記フィルタエレメント１を通過した空気は、補助フィルタエレメント５を外側から内側に向けて通過した後、中空部分９を通じて排気口６から外部に排出される。
【００１４】
なお、上記補助フィルタエレメント５の下端には、フィルタエレメント１を通過した空気が、フィルタケース２ａと補助フィルタエレメント５の下端との間から漏れ出て、補助フィルタエレメント５を通過することなく直接排気口６から排出されないように、その部分を気密に閉鎖する環状の密封部材１３が取付けられている。
【００１５】
上記構成を有するクリーンルーム用排気清浄装置は、クリーンルームにおいて、微小な塵埃や油分等の異物が混入した空気配管を上記送入口３に接続して使用するもので、送入口３から送入された空気は、流路４を通ってフィルタエレメント１の中空部分８に達し、フィルタエレメント１を通過することにより濾過されて異物が取り除かれ、その清浄された空気はそのまま補助フィルタエレメント５通過して排気口６から排出される。
そして、異物の捕捉によって上記フィルタエレメント１の濾過能力が著しく低下し、あるいは濾過能力の限界状態に達すると、その状態が表示手段または目づまり検出手段１５により表示され、その表示が透明なフィルタケース２ａあるいは透視カバー１５ａを通して視認可能な状態になってフィルタエレメント１の交換が促される。
【００１６】
このとき、フィルタエレメント１の濾過能力が限界状態に達し、その状態を表示手段により視認して、該フィルタエレメント１を交換するまでの間には、通常、該フィルタエレメント１を異物が透過するが、それらの透過した異物は、フィルタエレメント１と排気口６との間に設けた補助フィルタエレメント５により捕捉される。
したがって、従来のようにフィルタエレメント１を透過した異物がそのまま排気口６から排出されてしまうことがないため、たとえフィルタエレメント１の濾過能力が限界に達した後に該フィルタエレメント１を交換しても、上記補助フィルタエレメント５の働きにより排気の空気清浄レベルは常に正常に維持される。
【００１７】
しかも、フィルタエレメント１の濾過能力の限界が、着色料による表示手段により色で視認でき、あるいはフィルタエレメント１の一次側と二次側との差圧に基づく表示で検知可能であるため、フィルタエレメント１の交換時期を非常に簡単に見極めることができ、交換作業等の対応を迅速に行うことができる。
【００１８】
この実施例では、上記フィルタケース２ａの内部を透視可能なように、フィルタケース２ａ全体を透明素材により形成しているが、これに限らず、フィルタケースに透明な小窓を設けて、その小窓から内部の状態を透視することができるようにしてもよい。
【００１９】
【発明の効果】
以上に詳述したように、本発明のクリーンルーム用排気清浄装置によれば、フィルタエレメントと排気口との間に補助フィルタエレメントを設けたので、フィルタエレメントの濾過能力が限界に達して、その能力の限界を視認できるに至った後からフィルタエレメントを交換するまでの間に、該フィルタエレメントを異物が透過しても、それらの透過した異物は、補助フィルタエレメントにより捕捉されるため、従来のようにフィルタエレメントを透過した異物がそのまま排気口から排出されてしまうことがなく、これにより、排気の空気清浄レベルは常に高レベルに維持される。しかも、フィルタエレメントの濾過能力の限界が、着色料による表示手段により色で視認できるので、フィルタエレメントの交換時期を非常に簡単に見極めることができ、交換作業等の対応を迅速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のクリーンルーム用排気清浄装置の一実施例を示す断面図である。
【図２】本発明の同実施例の斜視図である。
【符号の説明】
１  フィルタエレメント
２  フィルタ収容体
３  送入口
４  流路
５  補助フィルタエレメント
６  排気口
【図１】
0003863673.tif 000002
【図２】
0003863673.tif 000003