(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と、この振動子を励振する励振手段と、この励振手段により励振された前記振動子が回転することに伴って発生するコリオリの力に基づく振動の振幅を検出する検出手段と、この検出手段により検出された振幅の大きさから前記回転の角速度を演算する角速度演算手段とを備えた角速度検出装置において、
前記振動子は、ＸＹＺ三次元直交座標空間において、ＸＹ平面上のＸ方向に延在する振動子基体と、この振動子基体の中央部を通るＹ方向の軸に対してほぼ対称の位置において前記振動子基体から＋Ｙの向きに突出する２本の第１振動片と、Ｘ方向の位置がそれぞれ前記２本の第１振動子と同じで前記振動子基体から−Ｙの向きに突出する２本の第２振動片であって、第１振動片に対して細くて長く又は太くて短く第１振動片とＸ方向の固有振動数が異なっている第２振動片と、所望のねじり剛性を有し前記振動子基体の中央部から突出しその先端部が被検出体に固定される単一の支持棒とを有し、前記支持棒は前記振動子基体から−Ｙ方向に突出し、前記励振手段は前記第１振動片をＸ方向に励振するものであり、前記検出手段は前記第１振動片の励振と前記被検出体の回転運動とに伴って生じる前記第２振動片のＺ方向の振幅を検出することを特徴とする角速度検出装置。
【請求項２】
前記振動子を構成する前記振動子基体と前記第１および第２振動片とが１枚の等厚単結晶水晶基板で形成されていることを特徴とする請求項１記載の角速度検出装置。
【請求項３】
前記励振手段の回路部と前記第１振動片に設けられた励振用電極とを接続する励振用配線および前記検出手段の回路部と前記第２振動片に設けられた検出用電極とを接続する検出用配線と、それら励振用配線と検出用配線とを備えたメタライズド基板を備え、前記支持棒の先端は前記メタライズド基板に溶着され、このメタライズド基板が被検出体に固定されていることを特徴とする請求項２に記載の角速度検出装置。
【請求項４】
前記振動子は同電位の導電材で取り囲まれていることを特徴とする請求項３に記載の角速度検出装置。
【請求項５】
前記支持棒が、Ｘ方向にくびれたくびれ部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の角速度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車のナビゲーションシステムや姿勢制御などに用いられる角速度検出装置に関するものであり、特に、振動型の角速度検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、振動体に回転を加えるとコリオリの力によって回転角速度に応じた新たな振動が発生することを利用した振動型角速度検出装置が知られている。このような角速度検出装置の一例として、たとえば、特開平７−５５４７９号公報に記載の回転速度センサがある。この回転速度センサにおいて用いられている振動子は、ＸＹ平面において、矩形のフレームの一辺から＋Ｙの向きに２本の励振枝が突出しており、そのフレームの対向する辺から−Ｙの向きに２本ピックアップ枝が突出した構造を有している。この構造において、励振枝をＸ方向に励振すると、振動子の回転に伴って発生したコリオリの力によって励振枝がＺ方向にも振動し、このＺ方向（ＸＹ平面に垂直な方向）の振動はピックアップ枝に伝達される。ピックアップ枝側では、この伝達されたＺ方向の振動を検出し、検出結果から振動子の回転角速度を導く。
【０００３】
この従来技術における振動子は、フレームの内側に取り付け基部を備え、励振枝およびピックアップ枝が設けられているフレームの各辺と取り付け基部との間にクロスブリッジが渡されることによりフレームと取り付け基部とが連結されている。この振動子は、取り付け基部が被検出体に固定されている固定子に取り付けられることにより、被検出体に固定される。振動片の一部が固定されると振動片の振動が低減される。これは固定子へ振動が伝播してゆくためであり、この振動伝播を振動の漏れと称する。振動片と固定子との固定強度が高いほど振動の漏れが大きくなるのであるが、上記従来技術の回転速度センサは振動子を上述のような構造とすることにより、固定強度に柔軟性をもたせ、振動片のＺ方向の振動のエネルギがフレームを介して固定子に漏れることを抑制している。振動の漏れに起因する検出精度の低下を抑制しているのである。
【０００４】
【解決すべき課題】
しかし、この従来技術の振動子によると、取り付け基部とフレームとが２本のクロスブリッジで、すなわち２カ所で固定されているので、温度変化によりフレーム、クロスブリッジおよび取り付け基部のそれぞれに引っ張り応力や圧縮応力が加わる。この応力により、フレームと取り付け基部との間の固定強度が変動するため、振動の漏れ量も変動し、結果として角速度検出の感度が環境温度の変化に基づいてばらつくという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の角速度検出装置はこのような問題を解決するために為されたものであり、その振動子は、ＸＹＺ三次元直交座標空間において、ＸＹ平面上のＸ方向に延在する振動子基体と、この振動子基体の中央部を通るＹ方向の軸に対してほぼ対称の位置において振動子基体から＋Ｙの向きに突出する２本の第１振動片と、Ｘ方向の位置がそれぞれ２本の第１振動子と同じで振動子基体から−Ｙの向きに突出する２本の第２振動片であって、第１振動片に対して細くて長く又は太くて短く第１振動片とＸ方向の固有振動数が異なっている第２振動片と、所望のねじり剛性を有し振動子基体の中央部から突出しその先端部が被検出体に固定される単一の支持棒とを有し、支持棒は振動子基体から−Ｙ方向に突出し、励振手段は第１振動片をＸ方向に励振するものであり、検出手段は前記第１振動片の励振と前記被検出体の回転運動とに伴って生じる前記第２振動片のＺ方向の振幅を検出するものである。
【０００６】
この振動子においては、振動子の被検出体への固定強度は、支持棒のねじり剛性によって決定される。この振動子によれば、支持棒のねじり剛性が所望の値に調整されているので、支持棒からの振動漏れが調整されており、検出感度が調整されている。また、振動子基体が被検出体に固定される支持棒と１カ所で連結しているので、環境温度の変化に基づいて振動子の各要素が膨張または収縮しても支持棒から振動子基体に加わる応力は発生しない。したがって、支持棒のねじり剛性が変化しないので、振動子基体を経て支持棒に至る振動の漏れ量が温度変化の影響を受ない。
【０００７】
また、振動子の支持棒を振動子基体から−Ｙ方向に突出させ、励振手段で第１振動片をＸ方向に励振するので、励振によって振動子基体の第１振動片側の両第１振動片間に応力集中部ができるが、支持棒は振動子基体の第２振動片側に設けられているために応力集中部と支持棒とが離隔する。そのため、第１振動片の励振の振動応力が支持棒と両第１振動片との位置ずれ等に起因して支持棒をＸ方向に振動してしまうという現象が生じない。また、２本の第１振動片間の振動の伝達を支持棒が妨げないので、Ｑ値が低下しない。さらに、支持棒からの振動漏れが励振による応力の影響を受けないため、検出精度が安定している。
【０００８】
振動子基体と第１および第２振動片とを１枚の等厚基板で形成すれば、第１振動片と第２振動片のそれぞれのＸ方向の幅を調整することにより、基板に垂直な方向すなわちＺ方向の振動については第１振動片と第２振動片とを連成させつつ、Ｘ方向については連成しないようにすることができる。また、基板を水晶単結晶板とすれば、自身が圧電材料であるため、極性が周期的に変化する電圧を所定の方向に印加するだけで励振することができ、振動に伴って発生する分極の変化を検出するだけで振動を検出できる。
【０００９】
また、本発明の角速度検出装置の一形態として、励振手段の回路部と第１振動片に設けられた励振用電極とを接続する配線および検出手段の回路部と第２振動片に設けられた検出用電極とを接続する配線を備えたメタライズド基板を備え、支持棒の先端はメタライズド基板に溶着され、このメタライズド基板が被検出体に固定されているものがある。
【００１０】
メタライズド基板の配線は焼成されているので支持棒を溶着しても配線が損なわれない。また、振動子を同電位の導電材で取り囲めば、電磁ノイズの影響を受けない。
【００１１】
さらに、本発明の角速度検出装置の一形態として、支持棒が、Ｘ方向にくびれたくびれ部を備えているものがある。支持棒にくびれ部を設けることによってねじり剛性の柔軟性を維持しつつ、かつ、支持棒全体としては幅の広いものとすることで、配線のクロストークをできるだけ抑制することができる。この結果、電極と外づけの処理回路とを接続する配線を、クロストークの影響を少なくするためにできるだけ線を太くしてインピーダンスを下げつつ、線間を離すことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１（ａ）は、本発明の角速度検出装置の一実施形態における振動子１０を示す平面図である。この図において、左右方向をＸ軸とし右向きを正の向きにとり、上下方向をＹ軸とし上向きを正の向きにとり、紙面に垂直な方向をＺ軸とし表向きを正の向きにとっている。振動子１０は、Ｘ軸方向に延在する振動子基体１１と、振動子基体１１から＋Ｙの向きに延びる励振用の第１振動片１２および１３と、振動子基体１１からそれぞれ第１振動片１２および１３と同軸上で−Ｙの向きに延びる検出用の第２振動片１４および１５と、第２振動片１４および１５の間において振動子基体１１から−Ｙの向きに延びる支持棒１６と、支持棒１６の端部に設けられた固定板１７とが水晶の単結晶基板で一体に構成されている。
【００１３】
ここで、水晶の結晶軸について簡単に説明する。天然の水晶は、一般に柱状結晶であり、この柱状結晶の縦方向の中心軸すなわち＜０００１＞結晶軸はＺ軸または光軸と規定され、Ｚ軸を通り柱状結晶の各表面に垂直に交わる線はＹ軸または機械軸と規定される。また、Ｚ軸を通りこの柱状結晶の縦方向の稜線と直交する線はＸ軸または電気軸と規定される。
【００１４】
振動子１０に用いられている単結晶基板はＺ板と呼ばれる基板であり、Ｚ軸に垂直ないし略垂直な面で切り出された単結晶基板である。したがって、本実施形態においては、結晶方位のＺ軸と、図面上の振動子１０の配置方向を示す上述したＺ軸とは一致している。また、水晶のＸ軸およびＹ軸は互いに直交するものが３組あり、そのうちの一組と図面上の振動子１０の配置方向を示すＸ軸およびＹ軸とが一致している。なおこの結晶方位と振動子１０の方向関係は、後に述べる他の実施形態でも同様である。また、振動子１０に用いられる水晶は、人工水晶であるがその構造は天然の水晶と同じである。
【００１５】
第１振動片１２および１３は互いに同一寸法であり、本実施形態では共に励振用の振動片として用いられる。また、第２振動片１４および１５も互いに同一寸法であり、共に検出用の振動片として用いられる。第２振動片１４および１５は、第１振動片１２および１３に対して細くて長く、そのために、第１振動片１２、１３のＸ方向の固有振動数ｆX1と第２振動片１４、１５のＸ方向の固有振動数ｆX2とが互いに異なっている。Ｚ方向の固有振動数も第１振動片と第２振動片とでは互いに異なっているが、Ｚ方向の振動については、第１振動片と第２振動片とが連成して振動するため連成の固有振動数ｆZが存在する。Ｘ方向の振動については第１振動片と第２振動片との間の振動の伝達率が非常に低いため連成振動はほとんどない。このように、Ｘ方向の振動については第１振動片と第２振動片とが連成せず、Ｚ方向の振動については第１振動片と第２振動片とが連成するのは、振動子１０全体が非常に薄い水晶基板で一体に形成されており、振動子基体１１のＹ方向の幅が水晶基板の厚みに対して十分に広いという形状に起因している。本実施形態では、第１振動片１２、１３のＸ方向の固有振動数ｆX1と連成の固有振動数ｆZ  との値が非常に近い値になるように調整されている。
【００１６】
各振動片にはそれぞれの用途に応じた電極が設けられている。すなわち、第１振動片１２および１３には励振用の電極が、第２振動片１４および１５には検出用の電極がそれぞれ設けられている。電極の配置については、図面の微細描写を避けるために、図１（ａ）では省略されており、これに代えて、図１（ｂ）および（ｃ）を用いて表示されている。図１（ｂ）および（ｃ）は、それぞれ図１（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図およびＣ−Ｃ断面図である。図示のように、第１振動片１３には、それぞれ上面、下面および側面の４つの面に電極２１〜２４が、振動子基体１１との結合部から第１振動片１３の先端部に向かって、すなわち＋Ｙの向きに、振動片全長の２／３〜３／４程度の長さに延在している。第１振動片１２にも同様の電極３１〜３４（図３参照）が設けられている。一方、第２振動片１５には、矩形断面の４つの角部すなわち稜線部をそれぞれが覆うように、４つの電極２５〜２８が振動子基体１１との結合部から第２振動片１５の先端部に向かって、すなわち−Ｙの向きに、振動片全長の２／３〜３／４程度の長さに延在している。なお、第２振動片１４にも同様の電極３５〜３８（図３参照）が設けられている。
【００１７】
各電極は、クロムと金の２層構造となっており、振動子１０の表面にこれらの金属を蒸着した後に、フォトリソグラフィ技術を用いて適宜分離すると共に所望の形状にパターニングすることにより得られる。また、各電極は固定板１７に設けられているボンディングパッド８１〜８４のいずれかと電気的に接続され、そこからさらに後述する信号処理回路に接続される。振動片上の各電極とボンディングパッドとの間の配線は、図示していないが支持棒１６の表面に膜形成技術により設けらている。
図２は、この振動子１０が４層のメタライズド基板１００上に搭載され、さらに金属製のふた１１０で密封された状態を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図である。
【００１８】
メタライズド基板は、一般に９０％ＳｉＯ2のグリーンのシート（生状態）に、配線やボンディングパッド等をタングステンやモリブデンなどの金属で印刷し、これを多層に積み上げてプレスした後、乾燥させて焼成することにより作製されるセラミックスの多層配線基板のことである。各層の配線間はビアホールと呼ばれる接続穴によって接続される。このメタライズド基板は、生の状態（グリーンシートの状態）でのくり抜き加工が容易なので、表面に段差のある基板を容易に作製することができる。各層はプレス加工されて焼成されているので、また、ビアホールはタングステンやモリブデン等の金属によって埋められているので、各層間の気密性は十分に保たれている。さらに、配線にはタングステンやモリブデンといった高融点金属が用いられているので、これらの配線に影響を与えることなく種々の実装部品を高温でろう付けすることが可能である。
【００１９】
メタライズド基板１００は４層構造となっており、最下層である第１層１０１の裏面には、励振、振動検出および角速度演算等を行うための回路素子１１１、１１２が搭載されている。第１層１０１の上には順に第２層１０２、第３層１０３、第４層１０４が積層されている。第２層１０２、第３層１０３、第４層１０４はいずれも中央部が長方形にくり抜かれており、その開口の長手方向（図２の左右方向）の長さが順に長くなっていて、図示のように右側を揃えることで左側が階段状になっている。
【００２０】
このメタライズド基板１００の階段部の第２層１０２上には、振動子１０の固定板１７が半田付けにより溶着固定されており、第３層１０３の表面にはボンディングパッド１３１〜１３４が設けられている。ボンディングパッド１３１〜１３４はそれぞれ図示を省略した各層の配線およびビアホールを介して回路素子１１１および１１２に接続されている。振動子１０の固定板１７を第２層１０２上に溶着してあるので、振動片１２〜１５を第１層１０１から浮いた状態に保つことができる。メタライズド基板１００側のボンディングパッド１３１〜１３４を第２層１０２上に設けずに第３層１０３上に設けてあるので、振動子１０のボンディングパッド８１〜８４との高低差が緩和され、ボンディングワイヤ１２１〜１２４の結線作業が容易である。
【００２１】
金属製の蓋１１０の下端は全周に亘って封止用樹脂で第４層１０４に固着されている。封止用の樹脂による固着に代えて半田付けのようなろう付けで固着してもよい。これにより、振動子１０が納められている空間が完全に外界から遮断される。この内部空間は真空引きされており、振動子１０の振動エネルギが空気を媒介としてロスしないようになっている。
【００２２】
第１層１０１の上面１４０は全面が金属膜で覆われており、この金属膜と金属性の蓋１１０とがビアホールを介して電気的に接続されている。したがって、振動子が納められている空間は等電位の金属でほとんど覆われ、電磁シールドされている。後述する検出回路等にはオペアンプが使用され、高増幅率の増幅が行われるが、一般に高増幅率を持つ増幅回路は電磁ノイズに弱く、特にその入力端である素子部からのノイズの侵入を防ぐ必要がある。電磁シールドはこのようなノイズの侵入防止に有効である。また、各振動片に設けられた電極は互いに対向する電極同士でコンデンサを構成しており、後述するようにその電荷量の変化から角速度を求めるものであるが、この電荷量は外部からの電磁ノイズの影響を受けるので、その影響を抑えるためにも振動子１０を取り囲む電磁シールドは有効である。なお、第１層１０１の表面１４０に配線が施されている場合は、電磁シールド用の金属膜はその配線と接続しないように、その部分を除いて施される。
【００２３】
つぎに、回路素子１１１および１１２に搭載された励振、検出および角速度演算を行う処理回路について説明する。図３は励振回路５０、検出回路６０および角速度演算回路７０を示すと共に、これらの回路と振動片１２〜１５に設けられた電極２１〜２８および３１〜３８との接続関係を示すブロック図である。また、図４は、第１振動片１２および１３における逆圧電効果を説明するための図であり、図５は第２振動片１４および１５における圧電効果を説明するための図である。
【００２４】
励振回路５０は、電流電圧変換回路５１と自動利得制御回路５２と駆動回路５３とを備えており、検出回路６０は、電流電圧変換回路６１および６２と作動増幅回路６３と同期検波回路６４とを備えている。
【００２５】
駆動回路５３は、自動利得制御回路５２の出力電圧値に応じた振幅で所定の繰り返し周波数のパルス波を励振信号として出力するとともに、その出力信号と９０度位相のずれた信号を同期検波回路６４の検波信号として出力する回路であり、その出力端子は端子５６を介して第１振動片１３の側面の電極２２、２４と第１振動片１２の上下面の電極３１、３３に共通に接続されている。第１振動片１２および１３の残りの電極２１、２３、３２、３４は、互いに共通に端子５５を介して電流電圧変換回路５１の入力端子に接続されることにより、駆動回路５３が出力するパルス波の中間電位に固定される。
【００２６】
図４は、この励振回路５０による第１振動片の励振動作を説明するものであり、同図（ａ）は第１振動片１３をＺＸ平面で切った断面図であり、図１（ｂ）と同等の図である。また、図４（ｂ）は第１振動片１３の屈曲動作を示した斜視図である。上述したように、電極２１と２３が共通に端子５５に接続され、電極２２と２４が共通に端子５６に接続されているので、駆動回路５３の出力パルスがローレベルであると、図４（ａ）に示すような電圧、すなわち電極２２および２４には相対的に負の電圧が、電極２１および２３には正の電圧がそれぞれ各電極に与えられる。駆動回路５３の出力パルスがハイレベルであれば、その逆の極性が与えられる。
【００２７】
いま、図４（ａ）のような電圧が印加されている状態を考えると、振動片１３の内部には矢印９１から９４で示したような電界が与えられることになる。一方、水晶の圧電効果はＺ軸方向には現れないので、圧電効果に影響を与える有効電界は矢印９５および９６となる。水晶の結晶は逆圧電効果により、Ｘ軸の正の向きに電界が与えられるとＹ軸方向に伸び、Ｘ軸の負の向きに電界が与えらるとＹ軸方向に縮む。したがって、図４（ａ）の状態では、振動片１３の電極２４側が縮み、電極２２側が伸びるため、振動片１３は電極２４を内側にして屈曲する。電極２１から２４に対する印加電圧の極性が逆転すると、同様の原理により振動片１３は電極２２を内側にして屈曲する。したがって、振動片１３の一端を固定して駆動回路５３から所定周波数のパルス信号を電極２１、２３に印加すると、振動片１３は図４（ｂ）に示すようにＸ方向に振動する。
【００２８】
なお、本実施形態では、図３に示すように振動片１３の上下の電極２１および２３と振動片１２の左右の電極３２および３４とを共通に接続し、振動片１３の左右の電極２２および２４と振動片１２の上下の電極３１および３３とを共通に接続しているので、振動片１２と１３は、Ｘ方向に互いに逆相で振動する。
【００２９】
第１振動片１２と１３のＸ方向の振動情報は、電流電圧変換回路５１および自動利得制御回路５２を介してフィードバックされる。電流電圧変換回路５１は、第１振動片１２および１３の屈曲に伴う圧電効果によって電極２１、２３、３２、３４に発生した電荷の変化量を電圧値に変換する回路である。
【００３０】
自動利得制御回路５２は、電流電圧変換回路５１から出力された電圧信号を入力し、その入力電圧値が大きくなると出力電圧値を小さくし、入力電圧値が小さくなると出力電圧値が大きくなるように動作する。したがって、第１振動片１２および１３の振動振幅が大きくなれば、電極２１、２３、３２、３４に発生する電荷も大きくなり、電流電圧変換回路５１の出力電圧も大きくなる。これによって、自動利得制御回路５２の出力電圧値は低くなり、駆動回路５３の出力パルスの振幅は小さくなる。このように、駆動回路５３から出力されるパルス信号の振幅はフィードバック制御され、第１振動片１２および１３の振動振幅は常に安定する。
【００３１】
つぎに、図５に示すような第２振動片のＺ方向の振動を検出する検出回路６０を説明する。第２振動片１５が図５（ｂ）に示すようにＺ方向に振動して、＋Ｚの向きに屈曲すると、振動片１５の上側の半分がＹ方向に縮み、下側の半分がＹ方向に伸びる。水晶の圧電効果により、Ｙ方向に縮むとＸ方向の誘電分極が生じ、Ｙ方向に伸びると逆向きのＸ方向の誘電分極が生じる。そして、誘電分極の強さは伸縮の大きさに依存するので上面または下面において強く現れ、中間部に向かうほど弱い。したがって、誘電分極は振動片１５の４つの角部に集中して現れ、この誘電分極によって角部に設けられた各電極２５〜２８には図示のような正または負の電荷が集まる。つまり、電極２５と２７が同じ極性となり、これらの極性が電極２６と２８の極性と逆になる。振動片１５が下側に振れると、同様の原理に基づいて上述したものと全く逆の極性が現れる。
【００３２】
検出回路６０は、このようにして発生した振動片１５の各電極における電荷の変化量を検出し、第２振動片の振動振幅に応じた信号を出力する。本実施形態では、第１振動片１２、１３をＸ方向に互いに逆相で励振し、第１振動片と第２振動片とをＺ方向について互いに逆相で振動させるものなので、第２振動片１４と１５はＺ方向に関して互いに逆相で振動する。この第２振動片１４、１５のＺ方向の振動は、第１振動片１２、１３のＸ方向励振振動がＺ方向振動として漏れたものと、振動子１０が回転したときに生じるコリオリの力に基づいて発生したものとの合成振動であるが、いずれの成分についても第２振動片１４と１５について互いに逆相となる。コリオリの力に基づくＺ方向振動の発生メカニズムの詳細については後述するが、いずれにしろＺ方向に関して左右逆相の振動が発生するので、図３に示すように第２振動片１５の電極２５と２８に対してこれらと面対称の位置にある第２振動片１４の電極３６と３７が共通に接続され、さらに検出回路６０の端子６５に接続されている。そして、残りの電極２６、２７、３５、３８が共通に検出回路６０の端子６６に接続されている。
【００３３】
電流電圧変換回路６１は電極２５、２８、３６、３７での電荷の変化量を増幅して電圧値に変換する回路であり、電流電圧変換回路６２は電極２６、２７、３５、３８での電荷の変化量を増幅して電圧値に変換する回路である。作動増幅回路６３は電流電圧変換回路６１および６２のそれぞれの出力信号を入力し、両信号の電位差を増幅する回路であり、この出力信号の振幅変化は第２振動片１４および１５の振動振幅変化に比例している。
【００３４】
同期検波回路６４は作動増幅回路６３から出力された交流電圧信号を駆動回路５３からの励振信号に対して９０度位相のずれたパルス信号を検波信号として用いて同期検波を行った後、積分処理を行うものであり、通常の同期検波回路に積分回路が付加された回路である。Ｘ励振の漏れによるＺ方向振動は励振と同相であり、コリオリの力によるＺ方向の振動は励振に対して９０度位相がずれているため、同期検波および積分により、前者は常に零の値となり、後者は全波整流の積分値となる。すなわち、同期検波回路６４の出力信号電圧は、第２振動片１４および１５のコリオリの力によるＺ方向の振動振幅を示している。
【００３５】
角速度演算回路７０は、第２振動片１４および１５の振動振幅を示す検出回路６０の出力信号に基づいて、振動子１０のＹ軸に平行な軸を中心とする回転角速度を後述する角速度とコリオリの力との関係式を基にして算出する回路である。
【００３６】
次に、以上のように構成された角速度検出装置の動作を説明する。励振回路５０は、第１振動片１２、１３のＸ方向の固有振動数ｆX1（これを第１固有振動数という）に一致した周波数の励振信号を駆動回路５３から出力する。これにより第１振動片１２、１３は逆圧電効果により、Ｘ方向に固有振動数ｆX1で振動する。振動片１２と振動片１３の位相は上述したように互いに逆相である。
【００３７】
この状態で、振動子１０がＹ軸に平行な軸（Ｙ軸を含む）を中心として角速度ωで回転すると、第１振動片１２、１３には、Ｆ＝２ｍＶ・ωで表されるコリオリの力ＦがＺ方向に発生する。ここに、ｍは振動片の質量、Ｖは振動速度である。このコリオリの力Ｆの発生によって、第１振動片１２、１３はＸ方向の振動に対して９０度位相がずれてＺ方向に振動する。つまり、第１振動片１２、１３はＺ方向についても、励振周波数（第１固有振動数）で互いに逆相で振動する。この周波数は、Ｚ方向の第１および第２振動片の連成固有振動数とほぼ一致しているので、第２振動片１４、１５に効率よく伝達される。
【００３８】
一方、第１振動片１２、１３に与えられるＸ方向励振が、同相のＺ方向の励振として漏れ、この振動も連成により第２振動片１４、１５に伝達される。振動エネルギは、漏れ振動の方がコリオリの力による振動よりも遥かに大きいため、第２振動片のＺ方向の振動は、漏れ振動上に９０度位相のずれたコリオリの力による振動が重畳しているものとなる。検出回路６０によって第２振動片のＺ方向の振動からコリオリの力による振動のみを選択的検出することは上述したとおりである。
【００３９】
ところで、この実施形態ではＺ方向の振動について、左右（Ｘ方向）逆相、上下（Ｙ方向）逆相に振動する。この振動モードでは、支持棒１６を通るＹ軸を回転中心として励振と同相で揺動する力が振動子基体１１に対して加わる。これに対して、支持棒１６はねじり剛性が調整されており、ねじり力に対して適度な柔軟性があるため、振動子基体１１に働く揺動力をうまく緩衝して振動エネルギの漏れを防いでいる。ねじり剛性はねじりこわさとも呼ばれ、棒のねじれにおけるねじりモーメントとねじれ角との比のことであり、棒の形状とこわさによって定まる。本実施形態では支持棒１６の長さを調整することによりねじり剛性の調整が可能である。本実施形態では、支持棒１６の長さを第２振動片１４、１５よりも長くすることにより、ねじり剛性に柔軟性を持たせている。
【００４０】
なお、同軸で対となった第１および第２振動子の慣性モーメントが一致していれば振動子基体１１に対する揺動のエネルギが生じないことが推測できる。しかし、現実には種々の条件から慣性モーメントを厳密に一致させることが困難で、振動子基体１１に対する揺動のエネルギを完全に零にすることは容易ではない。そこで、第１および第２振動片の慣性モーメントの一致性を考慮しつつも、支持棒１６のねじり剛性を考慮することが望ましい。
【００４１】
また、振動子基体１１が支持棒１６と１カ所で連結しているので、環境温度の変化に基づいて振動子の各要素が膨張または収縮しても支持棒１６から振動子基体１１に加わる応力は発生しない。したがって、振動子基体１１を経て支持棒１６に至る振動の漏れ量が温度変化の影響を受ない。
【００４２】
ところで、励振回路５０で第１振動片１２、１３を互いに逆相でＸ方向に励振するので、振動子基体１１の第１振動片１２、１３側の両第１振動片間に応力集中部１５０ができる（図１（ａ）参照）。仮に、支持棒１６が応力集中部１５０から＋Ｙ方向に突出したものとすると、支持棒１６のＸ方向の位置ずれによって、支持棒１６に左右（Ｘ方向）に振動する力が発生する。この力によって、支持棒１６が左右に振動すると、第１振動片１２と１３の励振振幅に差が生じ、検出精度が低下する。また、応力集中部１５０から支持棒１６が突出しているとすると、応力集中部１５０が支持棒１６に広がるため、不必要に応力が分散される部分が発生し、そのために左右の振動片間の伝達効率が下がり、Ｑ値が下がる。さらに、支持棒１６に柔軟性を持たせて振動漏れを抑制しているが、振動漏れを完全に無くせるものではなく、僅かではあるが漏れる。応力集中部１５０と支持棒１６とが連結していると、この漏れ量が励振による応力の影響を受け、検出精度が不安定となる。
【００４３】
しかし、本実施形態では、支持棒１６が振動子基体１１の第２振動片１４、１６側に設けられているために応力集中部１５０と支持棒１６とが離隔しており、上述したような問題がない。
【００４４】
図６は振動片の別の実施形態を示す平面図である。この振動片２００は支持棒２０１にくびれ部２０２が設けられている点に特徴がある。支持棒には振動片１２〜１５に設けられた電極と外づけの処理回路とを接続する配線が設けられることは既に述べた。これらの配線は、クロストークの影響を少なくするためにできるだけ線を太くしてインピーダンスを下げ、且つ、線間を離すことが望ましい。この観点から考えると、支持棒をできるだけ幅の広いものにしたい。しかし、単に幅を広げれば、ねじり剛性が高くなりＱ値の低下を招く。
【００４５】
そこで、図６に示すように、支持棒２０１を全体としては幅の広いものとすると共にくびれ部２０２を設けることにより、ねじり剛性の柔軟性を維持しつつ、配線のクロストークをできるだけ抑制することができる。なお、振動子２００として、第１実施形態の振動子１０と同様の水晶のＺ板を用い、振動子基体および振動子を同様の方向に形成するのであれば、図示のごとくＸ方向に対して約３０度で切り欠かかれたくびれ部２０２のある支持棒２０１を有する振動子２００を非常に安定的に作製できる。これは、結晶方位とエッチング方向との関係に起因する。
【００４６】
また、この振動子２００の固定板１７には貫通穴２０３および２０４が設けれれており、この貫通穴２０３および２０４の側壁には金属が蒸着されている。振動子の上下面間での配線に有効に利用できる。
【００４７】
振動子１０のパッケージングに関しても種々の変形が考えられる。たとえば、振動子１０のボンディングパッド８１〜８４とメタライズド基板１００のボンディングパッド１３１〜１３４とをボンディングワイヤ１２１〜１２４で接続しているが、これに代えて、振動子１０のボンディングパッド８１〜８４を固定板１７の裏面に設け、固定板１７をメタライズド基板１００に溶着する際に、同時に、ボンディングパッド８１〜８４をメタライズド基板１００のボンディングパッド１３１〜１３４にダイボンディングしてもよい。回路部品１１１、１１２は全体の面積を小さくするために、メタライズド基板１００の第１層１０１の裏面に設けられているが、密封空間の外側で第１層１０１の面積を広げ、その上面に搭載してもよい。また、蓋１１０をフラットなものに置換してコストダウンを図ることができる。電磁シールドのために、蓋１１０は金属材料で構成されているが、これに代えて、セラミックスのような絶縁材料のものを用い、全面に金属膜を蒸着等により形成したものを用いてもよい。さらに、振動子１０を第２層１０２の厚みを利用して第１層１０１から浮かしているが、これに代えて、第１層の配線パターンで凸面を形成し、その上に固定板１７を溶着することにより、振動子１０を第１層１０１から離隔させてもよい。
【００４８】
本実施例の振動子１０は水晶のＺ板をパターニングしたものであるが、その他の圧電材料、たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）やニオブ酸リチウムといったその他の圧電材料を用いてもよい。さらに、振動子１０をステンレスのような単なる振動子とし、電極に代えて電歪手段を用いて振動させてもよい。
【００４９】
【発明の効果】
本発明の角速度検出装置によれば、振動子の支持棒のねじり剛性が所望の値に調整されているので、支持棒からの振動漏れを抑制することができる。また、振動子基体が被検出体に固定される支持棒と１カ所で連結しているので、環境温度の変化に基づいて振動子の各要素が膨張または収縮しても支持棒から振動子基体に加わる応力は発生しない。したがって、振動子基体を経て支持棒に至る振動の漏れ量が温度変化の影響を受ない。そのため、振動ロスが少なく高感度でコリオリの力による振動を検出することができ、また、その検出値が環境温度のような外乱の影響を受けないため、高精度で安定した角速度検出を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である角速度検出装置の振動子を示す図。
【図２】図１の振動子がメタライズド基板に搭載されパッケージングされた状態を示す図。
【図３】第１実施形態の角速度検出装置に用いられる励振回路５０、検出回路６０および角速度演算回路７０を示すと共に、これらの回路と振動片１２〜１５に設けられた電極２１〜２８および３１〜３８との接続関係を示すブロック図。
【図４】第１振動片１２および１３における逆圧電効果を説明するための図。
【図５】第２振動片１４および１５における圧電効果を説明するための図。
【図６】振動子の他の実施形態を示す平面図。
【符号の説明】
１０、２００…振動子、１１…振動子基体、１２、１３…第１振動片、１４、１５…第２振動片、１６、２０１…支持棒、１７…固定板、２１〜２８、３１〜３８…電極、５０…励振回路、６０…検出回路、７０…角速度演算回路、１００…メタライズド基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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