(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列に整列された複数枚の基板が収納される容器を移動させる装置であって，
前記容器が搬入される搬入ステージと，
前記容器からの基板の取出が行われる取出ステージと，
前記搬入ステージから取出ステージに容器を移動させる移動テーブルとを備え，
前記搬入ステージと取出ステージとの間に，前記移動テーブルが移動する移動通路が設けられ，
前記搬入ステージ，取出ステージに，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルの進退を可能にする開口部が形成され，
前記移動テーブルに，前記容器内の基板の収納状態を検査する検査手段を設け，
前記移動テーブルは，前記搬入ステージに移動する際に，前記検査手段によって搬入ステージに搬入された容器内の基板の収納状態と枚数を同時に検査するように構成されていることを特徴とする，容器の移動装置。
【請求項２】
前記移動テーブルを移動させる移動手段は，前記搬入ステージから取出ステージに移動テーブルを水平移動させる水平移動機構と，前記移動テーブルを上下方向に昇降させる昇降機構と，前記移動テーブルを水平面内で回動させる回動機構とを備えていることを特徴とする，請求項１に記載の容器の移動装置。
【請求項３】
前記搬入ステージに，前記容器の搬入が行われる搬入口と，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルによって容器の移動が行われる移動口とを設け，前記搬入口を開閉する搬入側第１のシャッタと，前記移動口を開閉する搬入側第２のシャッタとを設け，
前記搬入ステージに容器が搬入される際には，前記搬入側第１のシャッタを開ける一方で前記搬入側第２のシャッタを閉め，
前記検査手段により容器内の基板の収納状態と枚数を検査する際，及び，前記搬入ステージから取出ステージに容器を移動させる際には，前記搬入側第１のシャッタを閉める一方で前記搬入側第２のシャッタを開ける構成にしたことを特徴とする，請求項１または２に記載の容器の移動装置。
【請求項４】
並列に整列された複数枚の基板が収納される容器を移動させる装置であって，
前記容器が搬入される搬入ステージと，
前記容器が搬出される搬出ステージと，
前記容器からの基板の取り出しと容器への基板の収納とが行われる取出収納ステージと，
これら搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージの間で容器を移動させる移動テーブルとを備え，
前記搬入ステージおよび搬出ステージと取出収納ステージとの間に，前記移動テーブルが移動する移動通路が設けられ，
前記搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージに，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルの進退を可能にする開口部が形成され，
前記移動テーブルに，前記容器内の基板の収納状態を検査する検査手段を設け，
前記移動テーブルは，前記搬入ステージに移動する際に，前記検査手段によって搬入ステージに搬入された容器内の基板の収納状態と枚数を同時に検査するように構成されていることを特徴とする，容器の移動装置。
【請求項５】
前記移動テーブルを移動させる移動手段は，前記搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージとの間で移動テーブルを水平移動させる水平移動機構と，前記移動テーブルを上下方向に昇降させる昇降機構と，前記移動テーブルを水平面内で回動させる回動機構とを備えていることを特徴とする，請求項４に記載の容器の移動装置。
【請求項６】
前記搬入ステージに，前記容器の搬入が行われる搬入口と，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルによって容器の移動が行われる移動口とを設け，前記搬入口を開閉する搬入側第１のシャッタと，前記移動口を開閉する搬入側第２のシャッタとを設け，
前記搬入ステージに容器が搬入される際には，前記搬入側第１のシャッタを開ける一方で前記搬入側第２のシャッタを閉め，
前記検査手段により容器内の基板の収納状態と枚数を検査する際，及び，前記搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージとの間で容器を移動させる際には，前記搬入側第１のシャッタを閉める一方で前記搬入側第２のシャッタを開ける構成にしたことを特徴とする，請求項４または５に記載の容器の移動装置。
【請求項７】
前記搬出ステージに，前記容器の搬出が行われる搬出口と，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルによって容器の移動が行われる移動口とを設け，前記搬出口を開閉する搬出側第１のシャッタと，前記移動口を開閉する搬出側第２のシャッタとを設け，
前記搬出ステージから容器が搬出される際には，前記搬出側第１のシャッタを開ける一方で前記搬出側第２のシャッタを閉め，
前記検査手段により容器内の基板の収納状態と枚数を検査する際，及び，前記搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージとの間で容器を移動させる際には，前記搬出側第１のシャッタを閉める一方で前記搬出側第２のシャッタを開ける構成にしたことを特徴とする，請求項４または５に記載の容器の移動装置。
【請求項８】
前記搬入ステージと搬出ステージとが同一のステージであることを特徴とする，請求項４〜７のいずれかに記載の容器の移動装置。
【請求項９】
前記検査手段は，前記容器内の基板と平行な方向に光を投光する投光部と，この投光部からの光を受光する受光部とを有していることを特徴とする，請求項１〜８のいずれかに記載の容器の移動装置。
【請求項１０】
前記検査手段による容器内の基板の収納状態と枚数の検査は，前記移動テーブルが水平移動する際に行われることを特徴とする，請求項１〜９のいずれかに記載の容器の移動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，例えば半導体ウェハ等の基板を収納する容器を移動させる移動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば，半導体デバイスの製造工程では，基板としての半導体ウェハ（以下，「ウェハ」という。）を所定の薬液や純水等の洗浄液によって洗浄し，ウェハの表面に付着したパーティクル，有機汚染物，金属不純物等のコンタミネーションを除去する洗浄装置が使用されている。その中でも洗浄液が充填された洗浄槽内にウェハを浸漬させて洗浄処理を行うウェット型の洗浄装置は広く普及している。
【０００３】
かかる洗浄装置においては，例えば作業者やＡＧＶ（Ａｕｔｏ  ＧｕｉｄｅｄＶｅｈｉｃｌｅ）等の無人搬送車が，洗浄前のウェハを２５枚収納しているキャリアを搬入ステージを介してキャリア搬入部に搬入する。このキャリア搬入部では，例えばリフタ等を用いて，２個のキャリアを取出ステージに移動し，キャリアからウェハ５０枚分を一括して取り出す。その後，５０枚のウェハを洗浄・乾燥処理部に搬送して，バッチ式に洗浄，乾燥処理するようになっている。そして，洗浄後のウェハをキャリア搬出部に搬送する。このキャリア搬出部では，収納ステージにて洗浄後のウェハを予め待機していたキャリア内に収納し，その後，このキャリアをリフタによって搬出ステージに移動する。最後，作業者等が装置外にキャリアを搬出する。
【０００４】
取出ステージの上方には，ウェハカウンタが設けられている。このウェハカウンタは，キャリアからウェハを取り出す前に，ウェハの枚数の過不足や，ジャンプスロットを検査するものである。また，収納ステージの上方にも，ウェハカウンタが設けられている。このウェハカウンタは，キャリアにウェハを収納した後に，洗浄・乾燥処理部にウェハの置き残しがあるかないか等を検査するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，従来のキャリア搬入部およびキャリア搬出部内では，リフタの駆動部分が露出しているため，キャリア搬入部およびキャリア搬出部内の空いているスペース，特に搬入ステージや搬出ステージの上方スペースがリフタによって占められてしまう。このため，作業者等がキャリアを搬入や搬出する際に，動作中のリフタに接触し事故が起こる危険性がある。さらに，キャリア搬入部およびキャリア搬出部内が混雑し，洗浄装置内が複雑化する。
【０００６】
また，ウェハカウンタも，取出ステージおよび収納ステージの上方に露出しているので，リフタと同様に，検査中に事故が起こる危険性があり，さらにキャリア搬入部およびキャリア搬出部内を混雑させる。
【０００７】
従って，本発明の目的は，安全性が高く，かつ簡素化された容器の移動装置を提供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために，本発明は，並列に整列された複数枚の基板が収納される容器を移動させる装置であって，前記容器が搬入される搬入ステージと，前記容器からの基板の取出が行われる取出ステージと，前記搬入ステージから取出ステージに容器を移動させる移動テーブルとを備え，前記搬入ステージと取出ステージとの間に，前記移動テーブルが移動する移動通路が設けられ，前記搬入ステージ，取出ステージに，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルの進退を可能にする開口部が形成され，前記移動テーブルに，前記容器内の基板の収納状態を検査する検査手段を設け，前記移動テーブルは，前記搬入ステージに移動する際に，前記検査手段によって搬入ステージに搬入された容器内の基板の収納状態と枚数を同時に検査するように構成されていることを特徴とする，容器の移動装置を提供する。
【０００９】
この容器の移動装置によれば，移動テーブルによって容器を移動させるので，移動中は，搬入ステージ，取出ステージの上方スペースを空かせることができる。従って，例えば移動中に作業者等が，移動テーブルと接触して事故を起こすことを防止することができ，安全性を確保することができる。しかも，移動中だけでなく通常の状態においても，搬入ステージ，搬出ステージ，取出ステージ，収納ステージの上方スペースが空くようになるので，装置を簡素化することができる。なお，この空いている上方スペースを，容器の移動の邪魔に成らない程度で，例えば容器を貯めるスットク部等に有効活用してもよい。
【００１１】
前記移動テーブルを移動させる移動手段が，少なくとも前記搬入ステージ，取出ステージのうちのどちらか一方のステージより下方に設けられているとよい。かかる構成によれば，容器を移動させる移動手段が，搬入ステージ，取出ステージのうちのどちらか一方のステージより下方に設けられているので，容器を移動させる際に，これらステージの上方スペースに移動手段が露出する機会を減らすことができる。もちろん，移動手段が，搬入ステージ，取出ステージの何れのステージよりも下方に設けられるようになれば，露出する機会を殆ど減らすことができる。従って，容器の移動中の安全性を確保することができる。
【００１２】
前記移動手段は，前記搬入ステージから取出ステージに移動テーブルを水平移動させる水平移動機構と，前記移動テーブルを上下方向に昇降させる昇降機構と，前記移動テーブルを水平面内で回動させる回動機構とを備え，前記搬入ステージ，取出ステージに，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルの進退を可能にする開口部が形成されていることが好ましい。
【００１３】
かかる構成によれば，移動手段によって移動テーブルを水平移動，昇降，回動させることにより，搬入ステージに載置された容器を，搬入ステージに形成された開口部を介して移動テーブルに受容させる。その後，移動テーブルに載置させた状態で容器を取出ステージに水平移動させ，取出ステージに形成された開口部を介して，取出ステージに載置する。
【００１４】
前記搬入ステージに，前記容器の搬入が行われる搬入口と，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルによって容器の移動が行われる移動口とを設け，前記搬入口を開閉する搬入側第１のシャッタと，前記移動口を開閉する搬入側第２のシャッタとを設け，前記搬入ステージに容器が搬入される際には，前記搬入側第１のシャッタを開ける一方で前記搬入側第２のシャッタを閉め，前記検査手段により容器内の基板の収納状態と枚数を検査する際，及び，前記搬入ステージから取出ステージに容器を移動させる際には，前記搬入側第１のシャッタを閉める一方で前記搬入側第２のシャッタを開ける構成にしてもよい。
【００１５】
かかる構成によれば，例えば作業者が容器を搬入する際には，搬入側第１のシャッタを開け，搬入口を通して行う。この場合には，搬入側第２のシャッタを閉め，移動口を塞いで搬入ステージと移動通路との間を遮断する。また，搬入ステージから収納ステージに容器を例えば水平移動させる際には，搬入側第２のシャッタを開け，容器を自由に水平移動できるような状態にする。この場合には，搬入側第１のシャッタを閉め，搬入口を塞いで外部と搬入ステージとの間を遮断する。このように，搬入側第１のシャッタ若しくは搬入側第２のシャッタのどちらか一方を必ず閉じるようにしたので，接触事故を確実に防止することができる。
【００１６】
なお，並列に整列された複数枚の基板が収納される容器を移動させる装置であって，前記容器が搬出される搬出ステージと，前記容器への基板の収納が行われる収納ステージと，前記搬出ステージから収納ステージに容器を移動させる移動テーブルとを備えていることを特徴とする，容器の移動装置を提供する。
【００１７】
この移動装置によれば，移動テーブルによって容器を移動させるので，移動中は，搬出ステージ，収納ステージの上方スペースを空かせることができる。従って，容器の移動中の安全性を確保することができ，装置を簡素化することができる。なお，この空いている上方スペースをスットク部等に有効活用してもよい。
【００１８】
この容器の移動装置において，前記搬出ステージと収納ステージとの間に，前記移動テーブルが移動する移動通路が設けられていることが好ましい。
【００１９】
前記移動テーブルを移動させる移動手段が，少なくとも前記搬出ステージ，収納ステージのうちのどちらか一方のステージより下方に設けられているとよい。かかる構成によれば，同様に，容器を移動させる際に，搬出ステージ，取出ステージの上方スペースに移動手段が露出する機会を減らすことができ，容器の移動中の安全性を確保することができる。
【００２０】
前記移動手段は，前記収納ステージから搬出ステージに移動テーブルを水平移動させる水平移動機構と，前記移動テーブルを上下方向に昇降させる昇降機構と，前記移動テーブルを水平面内で回動させる回動機構とを備え，前記搬出ステージ，収納ステージに，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルの進退を可能にする開口部が形成されていることが好ましい。
【００２１】
かかる構成によれば，移動手段によって移動テーブルを水平移動，昇降，回動させることにより，収納ステージに載置された容器を，収納ステージに形成された開口部を介して移動テーブルに受容させる。その後，移動テーブルに載置させた状態で容器を搬出ステージに水平移動させ，搬出ステージに形成された開口部を介して，搬出ステージに載置する。
【００２２】
前記搬出ステージに，前記容器の搬出が行われる搬出口と，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルによって容器の移動が行われる移動口とを設け，前記搬出口を開閉する搬出側第１のシャッタと，前記移動口を開閉する搬出側第２のシャッタとを設け，前記搬出ステージから容器が搬出される際には，前記搬出側第１のシャッタを開ける一方で前記搬出側第２のシャッタを閉め，前記取出ステージから搬出ステージに容器を移動させる際には，前記搬出側第１のシャッタを閉める一方で前記搬出側第２のシャッタを開ける構成にしてもよい。
【００２３】
かかる構成によれば，収納ステージから搬出ステージに容器を例えば水平移動させる際には，搬出側第２のシャッタを開け，容器を自由に水平移動できるような状態にする。この場合には，搬出側第１のシャッタを閉め，搬出口を塞いで外部と搬出ステージとの間を遮断する。また，例えば作業者が容器を搬出する際には，搬出側第１のシャッタを開け，搬出口を通して行う。この場合には，搬出側第２のシャッタを閉め，移動口を塞いで搬出ステージと移動通路との間を遮断する。このように，搬出側第１のシャッタ若しくは搬出側第２のシャッタのどちらか一方を必ず閉めるようにしたので，接触事故を確実に防止することができる。
【００２４】
また本発明は，並列に整列された複数枚の基板が収納される容器を移動させる装置であって，前記容器が搬入される搬入ステージと，前記容器が搬出される搬出ステージと，前記容器からの基板の取出と，容器への基板の収納が行われる取出収納ステージと，これら搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージの間で容器を移動させる移動テーブルとを備え，前記搬入ステージおよび搬出ステージと取出収納ステージとの間に，前記移動テーブルが移動する移動通路が設けられ，前記搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージに，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルの進退を可能にする開口部が形成され，前記移動テーブルに，前記容器内の基板の収納状態を検査する検査手段を設け，前記移動テーブルは，前記搬入ステージに移動する際に，前記検査手段によって搬入ステージに搬入された容器内の基板の収納状態と枚数を同時に検査するように構成されていることを特徴とする，容器の移動装置を提供する。
【００２５】
この容器の移動装置によれば，移動テーブルによって容器を移動させるので，移動中は，搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージの上方スペースを空かせることができる。従って，同様に，容器の移動中の安全性を確保することができ，装置を簡素化することができる。なお，この空いている上方スペースをスットク部等に有効活用してもよい。
【００２７】
前記移動テーブルを移動させる移動手段が，少なくとも前記搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージのうちの何れかのステージより下方に設けられているとよい。かかる構成によれば，同様に，容器を移動させる際に，搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージの上方スペースに移動手段が露出する機会を減らすことができ，容器の移動中の安全性を確保することができる。
【００２８】
前記移動手段は，前記搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージとの間で移動テーブルを水平移動させる水平移動機構と，前記移動テーブルを上下方向に昇降させる昇降機構と，前記移動テーブルを水平面内で回動させる回動機構とを備え，前記搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージに，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルの進退を可能にする開口部が形成されていることが好ましい。
【００２９】
かかる構成によれば，移動手段によって移動テーブルを水平移動，昇降，回動させることにより，搬入ステージに載置された容器を取出収納ステージに水平移動させ，取出収納ステージに載置された容器を搬出ステージに水平移動させる。
【００３０】
前記搬入ステージに，前記容器の搬入が行われる搬入口と，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルによって容器の移動が行われる移動口とを設け，前記搬入口を開閉する搬入側第１のシャッタと，前記移動口を開閉する搬入側第２のシャッタとを設け，前記搬入ステージに容器が搬入される際には，前記搬入側第１のシャッタを開ける一方で前記搬入側第２のシャッタを閉め，前記検査手段により容器内の基板の収納状態と枚数を検査する際，及び，前記搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージとの間で容器を移動させる際には，前記搬入側第１のシャッタを閉める一方で前記搬入側第２のシャッタを開ける構成にしてもよい。
【００３１】
かかる構成によれば，容器を搬入する際または搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージとの間で容器を例えば水平移動させる際には，同様に，搬入側第１のシャッタ若しくは搬入側第２のシャッタのどちらか一方を必ず閉じるようにしたので，接触事故を確実に防止することができる。
【００３２】
前記搬出ステージに，前記容器の搬出が行われる搬出口と，前記移動通路に連通し，前記移動テーブルによって容器の移動が行われる移動口とを設け，前記搬出口を開閉する搬出側第１のシャッタと，前記移動口を開閉する搬出側第２のシャッタとを設け，前記搬出ステージから容器が搬出される際には，前記搬出側第１のシャッタを開ける一方で前記搬出側第２のシャッタを閉め，前記検査手段により容器内の基板の収納状態と枚数を検査する際，及び，前記搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージとの間で容器を移動させる際には，前記搬出側第１のシャッタを閉める一方で前記搬出側第２のシャッタを開ける構成にしてもよい。
【００３３】
かかる構成によれば，搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージとの間で容器を例えば水平移動させる際または容器を搬出する際には，請求項１４と同様に，搬出側第１のシャッタ若しくは搬出側第２のシャッタのどちらか一方を必ず閉めるようにしたので，接触事故を確実に防止することができる。
【００３４】
前記搬入ステージと搬出ステージとが同一のステージであってもよい。かかる構成によれば，装置を小型化することができる。
【００３５】
前記移動テーブルに，前記容器内の基板の収納状態を検査する検査手段を設けることが好ましい。かかる構成によれば，検査手段は，移動テーブルが容器を受容する際に，下方から容器内に進入し，基板の収納状態を検査する。これにより，検査手段の露出機会を殆ど無くすことができる。従って，作業者等の接触事故を防止することができる。また，検査手段を，移動テーブルと一体化しているので，装置を簡素化することができる。さらに，基板の収納状態の検査を，容器を例えば水平移動する際に同時に行うので，スループットを向上させることができる。なお，収納状態を検査するとは，例えば容器内の基板の枚数を確認したり，ジャンプスロットを発見することをいう。
【００３６】
前記移動テーブルは，前記搬入ステージに移動する際に，前記検査手段によって搬入ステージに搬入された容器内の基板の収納状態と枚数を同時に検査するように構成されているとよい。かかる構成によれば，例えば容器から基板を取り出して所定の処理を行う場合には，搬入ステージに載置された時点で基板の収納状態の検査するので，万が一，基板の枚数の不足等が発見された場合には，直ちに搬入ステージから容器を出して，例えば，基板が正常に収納されている次の容器を搬入することができる。このように，基板の収納状態の瑕疵を早期に発見することにより，効率的な処理を行うことができる。
【００３７】
前記検査手段は，前記容器内の基板と平行な方向に光を投光する投光部と，この投光部からの光を受光する受光部とを有しているとよい。かかる構成によれば，容器内に進入した検査手段は，基板の整列方向に沿って投光部と受光部を走査させる。ここで，投光部によって容器内の基板と平行な方向に投光された光は，基板が存在していると遮断される。そして，光が遮断される毎に，受光部がパルス状のセンサ信号を発生させる。従って，このパルス状のセンサ信号をカウントすることにより，基板の枚数を確認することができる。また，容器内にジャンプスロットが存在すれば，パルス状のセンサ信号の波形に異常が発生（例えばパルス幅が通常よりも長くなる。）する。従って，この異常によりジャンプスロットを発見することができる。例えば，前記検査手段による容器内の基板の収納状態と枚数の検査は，前記移動テーブルが水平移動する際に行われる。
【００３８】
なお，並列に整列された複数枚の基板が収納される容器を移動させる方法であって，前記容器が搬入される搬入ステージに容器を複数搬入する工程と，前記搬入された複数の容器を，前記搬入ステージから容器からの基板の取出が行われる取出ステージに１個ずつ水平移動させる工程と，前記取出ステージに１個の容器を水平移動させる度に，容器から基板を取り出す工程とを有することを特徴とする，容器の移動方法を提供する。
【００３９】
また，並列に整列された複数枚の基板が収納される容器を移動させる方法であって，前記容器への基板の収納が行われる収納ステージで，１個の容器に基板を収納する工程と，前記１個の容器に基板を収納する度に，前記収納ステージから容器が搬出される搬出ステージに容器を１個ずつ水平移動させる工程と，前記搬出ステージに水平移動された容器を複数搬出する工程とを有していることを特徴とする，容器の移動方法を提供する。
【００４０】
また，並列に整列された複数枚の基板が収納される容器を移動させる方法であって，前記容器が搬入される搬入ステージに容器を複数搬入する工程と，前記搬入された複数の容器を，前記搬入ステージから容器からの基板の取り出しと容器への基板の収納が行われる取出収納ステージに１個ずつ水平移動させる工程と，前記取出収納ステージに１個の容器を水平移動させる度に，容器から基板を取り出す工程と，前記取出収納ステージで，１個の容器に基板を収納する工程と，前記１個の容器に基板を収納する度に，前記取出収納ステージから容器が搬出される搬出ステージに容器を１個ずつ水平移動させる工程と，前記搬出ステージに水平移動された容器を複数搬出する工程とを有していることを特徴とする，容器の移動方法を提供する。
【００４１】
前記搬入ステージと搬出ステージとが同一のステージであることが好ましい。
【００４２】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の第１の実施の形態について，添付図面を参照して説明する。第１の実施の形態は，ウェハの搬入，洗浄，乾燥，搬出までをバッチ式に一貫して行うように構成された洗浄装置において，この洗浄装置の構成要素として備えられている移動装置に関するものである。図１は，第１の実施の形態にかかる移動装置２０が備えられている洗浄装置１の斜視図であり，図２は，洗浄装置１の平面図である。
【００４３】
洗浄装置１は，キャリアＣの搬入出が行われるキャリア搬入出部２と，キャリアＣを貯留するストック部３と，ウェハＷに対して所定の洗浄工程を行う洗浄・乾燥処理部４とを備えている。
【００４４】
キャリア搬入出部２は，洗浄前のウェハＷを収納したキャリアＣが搬入され，このキャリアＣからウェハＷが取り出されるまでの動作と，洗浄後のウェハＷがキャリアＣに収納され，このキャリアＣが搬出されるまでの動作を行うように構成されている。
【００４５】
ストック部３には，ストッカー５，６，７が一列に並べられている。この場合，後述する移動テーブル２４が，ストッカー５，６，７の適宜空いている場所にキャリアＣを移動させて格納したり，ストッカー５，６，７から格納されたキャリアＣを運び出すことができるようになっている。また，移動テーブル２４が，ストッカー５，６，７のうちのどれか一つのストッカーの特定の場所に対して専らキャリアＣを移動させて格納したり，運び出したりするようにしてもよい。この場合には，ストック部３にリフタ（図示せず）を設け，このリフタが，特定の場所からストッカー５，６，７の適宜空いている場所にキャリアＣを振り分けたり，格納されているキャリアＣを特定の場所に移動させて，移動テーブル２４に受け渡せるような状態にする。
【００４６】
洗浄・乾燥処理部４には，キャリア搬入出部２と洗浄・乾燥処理部４との間でウェハＷを搬送する搬送アーム８が設けられている。搬送アーム８は，開閉自在であると共に，伸縮自在（図２中のＹ方向）なウェハチャック８ａ，８ｂを備えている。また，洗浄・乾燥処理部４には，キャリア搬入出部２に近い方から順に，ウェハＷを例えばＩＰＡ（イソプロピルアルコール）蒸気を用いて乾燥させるための乾燥装置９と，ウェハＷに対して薬液成分を主体とした洗浄液によって洗浄処理を行い，その後に純水によるリンス処理を行う薬液・リンス洗浄装置１０と，搬送アーム８のウェハチャック８ａ，８ｂを洗浄，乾燥処理を行うウェハチャック洗浄・乾燥装置１１と，ウェハＷに対して薬液・リンス洗浄装置１０とは異なる薬液成分を主体とした洗浄液によって洗浄処理を行い，その後に純水によるリンス処理を行う薬液・リンス洗浄装置１２とが配置されている。
【００４７】
図３に示すように，キャリア搬入出部２には，第１の実施の形態にかかる移動装置２０が設けられている。この移動装置２０は，キャリアＣが搬入される搬入ステージ２１と，キャリアＣが搬出される搬出ステージ２２と，キャリアＣからの洗浄前のウェハＷの取り出しとキャリアＣへの洗浄後のウェハＷの収納が行われる取出収納ステージ２３と，これら搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３の間でキャリアＣを水平移動させる前述した移動テーブル２４とを備えている。搬入ステージ２１および搬出ステージ２２と取出収納ステージ２３との間には，移動テーブル２４が水平移動する移動通路２５が設けられている。
【００４８】
搬入ステージ２１は側壁部２６，２７に固定され，搬出ステージ２２は側壁部２７，２８に固定されている。搬入ステージ２１の上面には，開口によって形成されるステーション３０，３１が設けられている。ステーション３０，３１は，移動通路２５に連通し，搬入ステージ２１に対して移動テーブル２４が進退するのを可能している。搬出ステージ２２の上面には，開口によって形成されるステーション３２，３３が設けられている。ステーション３２，３３は，移動通路２５に連通し，搬出ステージ２２に対して移動テーブル２４が進退するのを可能している。キャリアＣは，各ステーション３０〜３３における開口周縁部に，その下面周縁を載置するようにして，搬入ステージ２１，搬出ステージ２２に載置されるように構成されている。
【００４９】
図３および図４に示すように，搬入ステージ２１の正面側には，キャリアＣの搬入が行われる搬入口３５が設けられ，搬入ステージ２１の背面側には，移動通路２５に連通し，移動テーブル２４によってキャリアＣの水平移動が行われる移動口３６が設けられている。図４は，後述する搬入側第１のシャッタ６５が開いて搬入口３５が外部に通じ，後述する搬入側第２のシャッタ６７が閉まって移動口３６が塞がれた状態を示している。また，搬出ステージ２２の正面側には，キャリアＣの搬出が行われる搬出口３７が設けられ，搬出ステージ２２の背面側には，移動通路２５に連通し，移動テーブル２４によってキャリアＣの水平移動が行われる移動口３８が設けられている。図４は，後述する搬出側第１のシャッタ７０が開いて搬出口３７が外部に通じ，後述する搬出側第２のシャッタ７１が閉まって移動口３８が塞がれた状態を示している。
【００５０】
キャリアＣは，例えば２５枚のウェハＷを起立した状態で並列に整列させて収納できるように構成され，キャリアＣの底面には開口部が形成されている。通常，ウェハＷは，円形形状をなし，その円周の一部には，ノッチＷａと呼ばれる切欠き部が形成されている。そして，移動装置２０内に設けられた位置合わせ装置（図示せず）が，このノッチＷａを利用して，キャリアＣ内の各ウェハＷの位置合わせを行うようになっている。
【００５１】
図５は，図３中のＡ−Ａ線断面図であるが，図５に示すように，移動テーブル２４を水平移動させる移動手段４０は，搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３の何れのステージよりも下方に設けられている。このため，搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３の上方スペース４２に移動手段４０の駆動部分が露出するようなことが殆どない。また移動手段４０は，移動テーブル２４を水平移動させると共に，上下方向に昇降および水平面内で回動させるように構成されている。
【００５２】
即ち，図６に示すように，移動テーブル２４は，昇降軸４５を介して昇降機構４６によって支持されており，この昇降機構４６の昇降稼働によって，上下方向（図６中のＺ方向）に昇降自在である。昇降機構４６は，ガイドレール４７にスライド部材４８を介して取り付けられており，ガイドレール４７の長手方向（図６中ではＲ方向）に沿って水平移動するように構成されている。ガイドレール４７は，基台４９の上面に固定されており，この基台４９は，回動機構５０の回動軸５１によって支持されている。そして，基台４９は，回動機構５０の回動稼働によって，水平面内で回動自在（図６中のθ方向）である。そして，回動機構５０は，ベース５２に水平方向にスライド自在（図６中のＹ方向，図２中ではＹ方向であり，キャリアＣの配列方向と平行な方向）に取り付けられている。ガイドレール４７，ガイド部材４８，ベース５２によって，移動テーブル２４を搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３との間で水平移動させるようになっている。
【００５３】
移動テーブル２４は例えば平面略Ｈ形状をなし，四方の各突出部２４ａには，キャリアＣの下面周縁を受容する溝５５が，それぞれ形成されている。また，移動テーブル２４には，キャリアＣ内のウェハＷの収納状態を検査するウェハカウンタ６０が設けられており，ウェハカウンタ６０は，キャリアＣ内のウェハＷと平行な方向に光を投光する投光部６１と，この投光部６１からの光を受光する受光器６２とを有している。
【００５４】
図５に示すように，搬入ステージ２１において，搬入口３５の下方には，搬入口３５を開閉する前述した搬入側第１のシャッタ６５が設けられ，この搬入側第１のシャッタ６５は，搬入側第１の昇降機構６６によって昇降自在（図５中のＺ方向）に支持されている。また，移動口３６の上方には，移動口３６を開閉する前述した搬入側第２のシャッタ６７が設けられ，この搬入側第２のシャッタ６７は，搬入側第２の昇降機構６８によって昇降自在（図５中のＺ方向）に支持されている。搬入側第２のシャッタ６７が閉じている間，移動手段４０は，移動テーブル２４を搬入ステージ２１に対して自由に進退させることができる。
【００５５】
そして，図４に示したように，搬入ステージ２１にキャリアＣが搬入される際には，搬入側第１のシャッタ６５を開ける一方で搬入側第２のシャッタ６７を閉め，搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３の間で，キャリアＣを水平移動させる際には，図５に示したように，搬入側第１のシャッタ６５を閉める一方で搬入側第２のシャッタ６７を開ける構成にしている。なお，搬入側第２のシャッタ６７を開閉する際には，搬入側第２のシャッタ６７の昇降を妨げないように，移動テーブル２４および移動手段４０を，図３中の二点鎖線２４’，４０’で示される位置まで回動させて待機させるようになっている。
【００５６】
また，図３に示すように，搬入ステージ２１と同様に，搬出ステージ２２において，搬出口３７の下方には，搬出口３７を開閉する前述した搬出側第１のシャッタ７０が設けられ，移動口３８の上方には，移動口３８を開閉する前述した搬出側第２のシャッタ７１が設けられている。搬出側第１のシャッタ７０は，搬出側第１の昇降機構７２によって昇降自在に支持され，搬出側第２のシャッタ７１は，搬出側第２の昇降機構７３によって昇降自在に支持されている。搬出側第２のシャッタ７１が閉じている間，移動手段４０は，移動テーブル２４を搬出ステージ２２に対して自由に進退させることができる。
【００５７】
搬出ステージ２２からキャリアＣが搬出される際には，図４に示すように，搬出側第１のシャッタ７０を開ける一方で搬出側第２のシャッタ７１を閉め，搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３の間でキャリアＣを水平移動させる際には，搬出側第１のシャッタ７０を閉める一方で搬出側第２のシャッタ７１を開ける構成にしている。
【００５８】
ここで，図４に示すように，搬入ステージ２１にキャリアＣが搬入された後，図５に示すように，搬入ステージ２１にキャリアＣが載置された状態になると，移動テーブル２４および駆動機構４０は，図３中の二点鎖線２４’，４０’で示される位置から図３中の実線２４，４０で示される位置に回動する。その後，図７に示すように，移動テーブル２４を，図７中の二点鎖線２４’で示す位置に前進させる。この前進させている間に，前記ウェハカウンタ６０が，ウェハＷの枚数やジャンプスロットを検査できるようになっている。
【００５９】
即ち，このときの様子を，図３中のＢ−Ｂ線断面からみた第１〜第４の動作説明図（図８〜図１１）に基づいて説明すると，まず，図８に示すように，移動テーブル２４を前進させる。このとき，投光部６１および受光器６２が，キャリアＣ内に進入できるようになっている。そして，図９に示すように，移動テーブル２４を，図示の如くキャリアＣの側壁の僅か手前まで前進させて停止させる。このとき，投光部６１および受光器６２による走査が行われる。この走査は，図１２に示すように，投光部６１と受光器６２との間にウェハＷの下方周縁部が位置することになるので，投光部６１から投光された光が，キャリアＣに収納された各ウェハＷによって遮断され，この遮断の状態によって判断されるようになっている。
【００６０】
例えば，図１３（ａ）に示すように，キャリアＣの各溝７５にウェハＷが正常に収納されていると，投光部６１から投光された光が各ウェハＷに遮断され，遮断される毎に，図１３（ｂ）に示すように，受光部６２がパルス状のセンサ信号を規則正しく発生させる。従って，このパルス状のセンサ信号をカウントすることにより，ウェハＷの枚数を確認することができる構成になっている。また，図１４（ａ）に示すように，キャリアＣの何れかの溝７５にウェハＷが収納されていなければ，図１４（ｂ）に示すように，そこの箇所だけ受光部６２がパルス状のセンサ信号を発生させなくなる。これにより，ウェハＷの枚数の不足を発見することができる構成になっている。また，図１５（ａ）に示すように，キャリアＣ内にジャンプスロットが存在すれば，図１５（ｂ）に示すように，パルス状のセンサ信号の波形に異常が発生（パルス幅が通常よりも長くなる。）する。従って，この異常によりジャンプスロットを発見することができる構成になっている。
【００６１】
キャリアＣ内にウェハＷが正しく収納されていることが確認されると，図１０に示すように，昇降軸４５を再び上昇させて移動テーブル２４を上昇させ，キャリアＣを受容するようになっている。その後，図１１に示すように，移動テーブル２４を後退させてキャリアＣを搬入テーブル２１から水平移動させるようになっている。
【００６２】
その後，図１６に示すように，移動テーブル２４および移動手段４０を水平面内で９０゜回動させる。そして，移動手段４０は，図１６中の二点鎖線４０’で示される位置，即ち，取出収納ステージ２３に水平移動し，その後，図１６中の二点鎖線４０”で示される位置に水平面内で９０゜回動する。そして，移動テーブル２４をスライド移動させて取出収納ステージ２３に形成されたステーション７６にキャリアＣを載置するようになっている。なお，取出収納ステージ２３の面積をもっと広くして，例えば２個のキャリアＣを載置できるようにしてもよい。
【００６３】
その他，移動テーブル２４は，搬入ステージ２１のステーション３０に載置されたキャリアＣも，ステーション３１に載置されたキャリアＣを取出収納ステージ２３に水平移動させた時とほぼ同様の手順で，取出収納ステージ２３に水平移動させるようになっている。また，取出収納ステージ２３から搬出ステージ２２にキャリアＣを水平移動させる場合等も，移動テーブル２４を，昇降，回動，Ｙ方向，Ｒ方向に自在に動かすことにより，実施できるようになっている。
【００６４】
図１６および図１７に示すように，取出収納ステージ２３の下方には，ウェハハンド８０が設けられている。このウェハハンド８０には，各ウェハＷの下方周縁部を挿入する溝８１が２６箇所形成されている。そして，ウェハハンド８０は，昇降回転機構８２の昇降回転軸８３によって支持され，昇降回転機構８２は，ガイドレール８４に沿って昇降（図１７中のＺ方向）する昇降部材８５の上面に固定されている。従って，ウェハハンド８０は，昇降部材８５の昇降および昇降回転機構８２の昇降稼働によって，図１７中の二点鎖線８０’で示される位置と図１７中で実線で示される位置との間で昇降できるようになっている。また，ウェハハンド８０は，二点鎖線８０’で示される位置でＺ方向を軸として９０゜回転し，伸張してきた搬送アーム８のウェハチャック８ａ，８ｂとの間でウェハＷの授受が行えるようになっている。こうして，ウェハハンド８０は，洗浄前のウェハＷをキャリアＣから取り出して搬送アーム８に受け渡すと共に，搬送アーム８から洗浄後のウェハＷを受け取り，キャリアＣに収納するように構成されている。
【００６５】
次に，以上に構成された第１の実施の形態にかかる移動装置２０の作用，効果を洗浄装置１におけるウェハＷの所定の洗浄工程に基づいて説明する。先ず，例えば工場内の作業者が，洗浄前のウェハＷを例えば２５枚収納したキャリアＣ２個を洗浄装置１に搬入する際には，図４に示したように，搬入側第１のシャッタ６５を開け，搬入口３５を通して行うようにする。この場合には，搬入側第２のシャッタ６７を閉め，移動口３６を塞いで搬入ステージ２１と移動通路２５との間を遮断する。
【００６６】
その後，図３，図８〜図１０に示したように，移動手段４０によって移動テーブル２４を水平移動，昇降，回動させることにより，搬入ステージ２１に載置されたキャリアＣを，ステーション３１を介して移動テーブル２４に受容させる。このとき，移動テーブル２４に設けられたウェハカウンタ６０によって，キャリアＣ内のウェハＷの収納状態を検査する。また，この場合には，搬入側第２のシャッタ６７を開け，キャリアＣを自由に水平移動できるような状態にする。一方，搬入側第１のシャッタ６５を閉め，搬入口３５を塞いで外部と搬入ステージ２１との間を遮断する。
【００６７】
ジャンプスロットが存在せず，所定の枚数のウェハＷがキャリアＣ内に収納されていることが確認されると，図１１に示しように，移動テーブル２４を後退させる。そして，図１７に示したように，移動テーブル２４にキャリアＣを載置させた状態でキャリアＣを取出収納ステージ２３に水平移動させ，ステーション７６を介して取出収納ステージ２３に載置する。
【００６８】
このように，ウェハＷの収納状態の検査を，キャリアＣを移動する際に同時に行うので，スループットを向上させることができる。しかも，搬入ステージ２１に載置された時点でウェハＷの収納状態の検査するので，万が一，ウェハＷの枚数の不足等が発見された場合には，直ちに搬入ステージ２１からキャリアＣを出して，例えば，ウェハＷが正常に収納されている次のキャリアＣを搬入することができる。このように，ウェハＷの収納状態の瑕疵を早期に発見することにより，効率的な処理を行うことができる。
【００６９】
次いで，図１７に示したように，取出収納ステージ２３に移動されたキャリアＣから洗浄前のウェハＷが取り出され，搬送アーム８に受け渡される。空になったキャリアＣは，ストック部３に移動されてストックされるか若しくは洗浄装置１から搬出される。取り出されたウェハＷは，各薬液・リンス洗浄装置１０，１２に順次搬送されて洗浄処理され，最後に乾燥装置９に搬送されて乾燥処理され，再び取出収納ステージ２３に戻される。そして，洗浄後のウェハＷは，キャリアＣに収納される。
【００７０】
次いで，移動手段４０によって移動テーブル２４を水平移動，昇降，回動させることにより，取出収納ステージ２３に載置されたキャリアＣを，ステーション７６を介して移動テーブル２４に受容させる。この場合も，ウェハカウンタ６０がキャリアＣ内のウェハＷの収納状態を検査し，例えば洗浄・乾燥処理部４にウェハＷの置き残しがないかどうかを確認する。これによっても，ウェハＷの収納状態の瑕疵を早期に発見するので，効率的な処理を行うことができる。その後，移動テーブル２４に載置された状態でキャリアＣを搬出ステージ２２に水平移動させ，ステーション３３を介して搬出ステージ２２に載置する。
【００７１】
搬出側第２のシャッタ７１を開け，キャリアＣを自由に水平移動できるような状態にしている。この場合，搬出側第１のシャッタ７０を閉め，搬出口３７を塞いで外部と搬出ステージ２２との間を遮断する。
【００７２】
次いで，先のキャリアＣと同様に，ステーション３０に載置されたキャリアＣを取出収納ステージ２３に水平移動させ，ウェハＷの取り出しを行う。そして，先と同様に，洗浄後のウェハＷを収納したキャリアＣを，取出収納ステージ２３から搬出ステージ２２にキャリアＣを水平移動させ，ステーション３２に載置する。
【００７３】
その後，搬出側第１のシャッタ７０を開け，作業者は搬出口３７を通して２個のキャリアＣを搬出する。この場合には，搬出側第２のシャッタ７１を閉め，移動口３８を塞いで搬出ステージ２２と移動通路２５との間を遮断する。
【００７４】
このように，搬入ステージ２２にキャリアＣを２個搬入し，２個のキャリアＣを，搬入ステージ２２から取出収納ステージ２３に１個ずつ水平移動させる。そして，取出収納ステージ２３に１個のキャリアＣを水平移動させる度に，キャリアＣから洗浄前のウェハＷを取り出し，ウェハＷに対して所定の洗浄工程を施す。そして，取出収納ステージ２３で，１個のキャリアＣに洗浄後のウェハＷを収納し，１個のキャリアＣにウェハＷを収納する度に，取出収納ステージ２３から搬出ステージ２２にキャリアＣを１個ずつ水平移動させる。そして，搬出ステージにキャリアＣが２個揃うと，これらキャリアＣを搬出ステージから搬出する。
【００７５】
かかる移動装置２０によれば，移動テーブル２４によってキャリアＣを移動させるので，移動中は，搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３の上方スペース４２を空かせることができる。そして，移動手段４０が，
搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３の何れのステージよりも下方に設けられているので，キャリアＣを水平移動させる際に，搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３の上方スペース４２に移動手段４０が露出する機会を殆ど無くすことができる。従って，例えば作業者が，移動テーブル２４や移動手段４０と接触して事故を起こすことを防止することができ，安全性を確保することができる。しかも，移動中だけでなく通常の状態においても，搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３のステージの上方スペース４２が空くようになるので，装置を簡素化することができる。なお，この空いている上方スペース４２を，キャリアＣの移動の邪魔に成らない程度で，例えばキャリアＣを貯めるスットク部等に有効活用してもよい。
【００７６】
そして，搬入ステージ２１においては，搬入側第１のシャッタ６５若しくは搬入側第２のシャッタ６７のどちらか一方を必ず閉めるようにし，搬出ステージ２２においては，搬出側第１のシャッタ７０若しくは搬出側第２のシャッタ７１のどちらか一方を必ず閉めるようにしたので，接触事故を確実に防止することができる。
【００７７】
また，前記ウェハカウンタ６０は，キャリアＣの下方からウェハＷの収納状態を検査するので，検査中において，ウェハカウンタ６０の露出機会を殆ど無くすことができる。従って，移動テーブル２４と同様に作業者等の接触事故を防止することができる。また，ウェハカウンタ６０を，移動テーブル２４と一体化しているので，装置を簡素化することができる。
【００７８】
かくして，本発明の移動装置２０によれば，接触事故を防止することができ，搬入ステージ２１，搬出ステージ２２，取出収納ステージ２３の上方スペースを空かせることができる。従って，安全性が高く，かつ簡素化された装置を実現することができる。
【００７９】
次に，図１８を参照して，第２の実施の形態にかかる移動装置１００について説明する。図１８に示すように，移動装置１００において，キャリアＣが搬入出される搬入出ステージ１０１が設けられ，この搬入出ステージ１０１には，ステーション１０２，１０３が形成されている。キャリアＣの搬入出が行われる搬入出口１０４の下方には，搬入出口１０４を開閉する第１のシャッタ１０５を設け，移動テーブル２４によってキャリアＣの水平移動が行われる移動口１０６の上方には，移動口１０６を開閉する搬入出側第２のシャッタ（図示せず）を設ける。なお，搬入出ステージ１０１を設けた以外は第１の実施の形態にかかる移動装置２０と同一の構成になっているので，略同一の機能および構成を有する構成要素については，同一符号を付することにより，重複説明を省略する。
【００８０】
かかる移動装置１００によれば，移動テーブル２４は，搬入出ステージ１０１と取出収納ステージとの間でキャリアＣを水平移動させることができる。即ち，搬入出ステージ１０１に，キャリアＣを２個搬入し，搬入出ステージ１０１から取出収納ステージ２３に１個ずつ水平移動させる。取出収納ステージ２３に１個のキャリアＣを水平移動させる度に，キャリアＣからウェハＷを取り出し，洗浄・乾燥処理部４に搬送する。洗浄後，取出収納ステージ２３で，１個のキャリアＣにウェハＷを収納し，このように，１個のキャリアＣにウェハＷを収納する度に，収納収納ステージ２３から搬入出ステージ１０１に１個ずつ水平移動させる。そして，搬入出ステージ１０１に２個のキャリアＣを揃えると，これらキャリアＣを搬出する。従って，移動装置２０と同様に，接触事故を防止し，安全性を確保することができる。また，移動装置２０よりも装置を小型化することができる。
【００８１】
もちろん，搬入出ステージを，搬入ステージと搬出ステージとに分け，取出収納ステージを取出ステージと収納ステージとに分け，搬入ステージから取出ステージへキャリアを移動テーブルによって水平移動させ，搬出ステージから収納ステージへキャリアを移動テーブルによって水平移動させるようにしてもよい。
【００８２】
なお，本発明は，バッチ式にウェハを洗浄する洗浄装置に即して説明したが，これに限らず所定の処理を行うその他の装置，例えば枚様式にウェハを洗浄する装置やウェハ上に所定の処理液を塗布する装置等にも適用することができる。また基板にはウェハを使用した例を挙げて説明したが，本発明はかかる例には限定されず，例えばＬＣＤ基板や他の基板にも応用することが可能である。
【００８３】
【発明の効果】
本発明によれば接触事故を防止することができ，搬入ステージ，取出ステージの上方スペースを空かせることができ，搬出ステージ，収納ステージの上方スペースを空かせることができ，搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージの上方スペースを空かせることができる。従って，安全性が高く，かつ簡素化された装置を実現することができる。
【００８４】
本発明によれば，機動性の高い移動手段を実現することができ，搬入ステージから取出ステージに容器を水平移動させることができ，収納ステージから搬出ステージに容器を水平移動させることができ，搬入ステージ，搬出ステージ，取出収納ステージとの間で容器を水平移動させることができる。また，接触事故を確実に防止することができる。
【００８５】
本発明によれば，より装置を小型化することができる。また，検査手段が作業者等と接触して事故を起こすのを防止でき，さらに装置の簡素化することができる。また，スループットも向上させることができる。例えば容器から基板を取り出して処理する場合に，処理効率の向上を図ることができる。
【００８６】
本発明によれば，容器の移動を安全確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる移動装置を備えた洗浄装置の斜視図である。
【図２】図１の洗浄装置の平面図である。
【図３】図１の洗浄装置の要部の拡大平面図である。
【図４】搬入ステージおよび搬出ステージの斜視図である。
【図５】図３中のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】移動手段の斜視図である。
【図７】搬入ステージおよび移動テーブルの斜視図であり，キャリアを移動する際の状態を示している。
【図８】図３中のＢ−Ｂ線断面からみた，キャリアを移動する場合の第１の動作説明図である。
【図９】図３中のＢ−Ｂ線断面からみた，キャリアを移動する場合の第２の動作説明図である。
【図１０】図３中のＢ−Ｂ線断面からみた，キャリアを移動する場合の第３の動作説明図である。
【図１１】図３中のＢ−Ｂ線断面からみた，キャリアを移動する場合の第４の動作説明図である。
【図１２】ウェハカウンタがキャリア内に進入してウェハの有無を検査している状態を示す説明図である。
【図１３】キャリア内にウェハが正常に収納されている時の図であって，この時のセンサ信号のグラフ図も併せて示した説明図である。
【図１４】キャリア内のウェハの枚数に不足がある時の図であって，この時のセンサ信号のグラフ図も併せて示した説明図である。
【図１５】キャリア内にジャンプスロットが存在している時の図であって，この時のセンサ信号のグラフ図も併せて示した説明図である。
【図１６】キャリアを取出収納ステージに移動させる時の様子を説明するための図１の洗浄装置の要部の拡大平面図である。
【図１７】取出収納ステージおよび取出収納ステージ下方に設けられたウェハハンドの様子を示す断面説明図である。
【図１８】本発明の第２の実施の形態にかかる移動装置を備えた洗浄装置の要部の拡大平面図である。
【符号の説明】
１  洗浄装置
２０  移動装置
２１  搬入ステージ
２２  搬出ステージ
２３  取出収納ステージ
２４  移動テーブル
２５  移動通路
３５  搬入口
３６，３８  移動口
３７  搬出口
４０  移動手段
４６  昇降機構
４７  ガイドレール
４８  ガイド部材
５０  回動機構
５２  ベース
６０  ウェハカウンタ
６１  投光部
６２  受光部
６５  搬入側第１のシャッタ
６７  搬入側第２のシャッタ
７０  搬出側第１のシャッタ
７１  搬出側第２のシャッタ
Ｗ    ウェハ
Ｃ    キャリア
【図１】
0003730810.tif 000002
【図２】
0003730810.tif 000003
【図３】
0003730810.tif 000004
【図４】
0003730810.tif 000005
【図５】
0003730810.tif 000006
【図６】
0003730810.tif 000007
【図７】
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【図８】
0003730810.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0003730810.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0003730810.tif 000013
【図１３】
0003730810.tif 000014
【図１４】
0003730810.tif 000015
【図１５】
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【図１６】
0003730810.tif 000017
【図１７】
0003730810.tif 000018
【図１８】
0003730810.tif 000019