(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール本体の表面を弾性部材でコーテイングしたラミネーションロールでフィルムと基板とを挟持し、該ラミネーションロールの回転に伴って該フィルムと該基板とを搬送しつつ加圧して該基板に該フィルムを貼り付けるフィルム貼付装置において、
該ラミネーションロールによる基板の任意距離分の搬送に相当する該ラミネーションロールの回転量の変化に基づいて該ラミネーションロールの半径方向における該弾性部材の変形状態を計測する計測手段と、該計測手段で得た該弾性部材の変形状態に基づいて、回転により該フィルムを基板に貼付けつつ該フィルムの後端まで基板を搬送する該ラミネーションロールの回転量を調整する手段を設けたことを特徴とするフィルム貼付装置。
【請求項２】
上記請求項１に記載のフィルム貼付装置において、該ラミネーションロールは該フィルムの貼付け先端を保持して基板の貼付け先端に搬送するものであり、さらに、該計測手段で得た該弾性部材の変形状態に基づいて、該フィルムの貼付け先端を基板の貼付け先端に搬送する該ラミネーションロールの回転量を調整する手段を設けたことを特徴とするフィルム貼付装置。
【請求項３】
上記請求項１に記載のフィルム貼付装置において、該計測手段に代えて該ラミネーションロールのニップ部に投光し該ニップ部からの漏光を受けて該ラミネーションロールの半径方向における該弾性部材の変形状態を計測する計測手段を用いることを特徴とするフィルム貼付装置。
【請求項４】
上記請求項１に記載のフィルム貼付装置において、該弾性部材として誘電体を用い、該計測手段に代えて該ラミネーションロールにパルス状高電圧を印加して該ラミネーションロールを流れるパルス電流を検出して該ラミネーションロールの半径方向における該弾性部材の変形状態を計測する計測手段を用いることを特徴とするフィルム貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフィルム貼付装置に係わり、特に、ロール本体の表面を弾性部材でコーテイングしたラミネーションロールでフィルムと基板とを挟持し、該ラミネーションロールの回転に伴って該フィルムと該基板とを搬送しつつ加圧して該基板に該フィルムを貼り付けるフィルム貼付装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種フィルム貼付装置に使われるラミネーションロールは、ロール本体の内部にコイルと鉄心からなる誘導加熱装置を組み込み、ロール本体の周辺に複数のヒートパイプを組み込み、ロール本体の表面には基板とフィルムを充分に加圧し両者の貼り付け性をよくすためにシリコンゴムなどの弾性部材をコーテイングしている。
【０００３】
基板とフィルムを貼り付ける場合は、ラミネーションロール軸を鉛直方向より強い力で押え回転させて基板とフィルムを搬送しつつ加圧する。基板の加圧はラミネーションロールの同じ位置で繰り返すことが多く、基板と接触する箇所の弾性部材は疲労して変形したり、汚れにより黒く変色してくる。
変形が大きくなると作業者の判断によりラミネーションロールを装置から取外し、弾性部材を交換する。
また、弾性部材を交換は、基板とフィルムの貼付回数を判断の目安としている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
量産現場においては、適宜な間隔を持って搬送される各基板と貼り付ける長さを調整してあるフィルムとを先端位置で位置合わせをして加圧を開始し、貼付送り量（搬送方向での基板とフィルムの貼り付け長さ）をラミネーションロールの回転量で制御しフィルム後端で加圧を停止することが多く、この場合、弾性部材の変形によりラミネーションロールのロール径が細くなると、貼付送り量が設計上の貼付送り量に比べ少なくなり、フィルム後端において貼り付けてない箇所が生じる。
【０００５】
貼付送り量が長くラミネーションロールの回転量が大きいほど、加圧してないフィルム後端の長さが大きくなる。
加圧してない箇所のフィルムは、空気を含んだ状態で基板と接触し気泡となり、しわが発生する原因となる。
ラミネーションロールのロール径が細くなることを考慮し、予めフィルム長さより長い貼付送り量とすると、フィルムのない箇所も加圧
することになり、ラミネーションロール表面のよごれが基板に付着してしまう。
それゆえ本発明の目的は、ラミネーションロールのロール径の変化を計測できるフィルム貼付装置を提供することにある。
【０００６】
本発明の他の目的は、ラミネーションロールのロール径が変化してもフィルムを基板に正確に貼り付けることができ、もって気泡やしわの発生を防止することができるフィルム貼付装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の特徴とするところは、ロール本体の表面を弾性部材でコーテイングしたラミネーションロールでフィルムと基板とを挟持し、該ラミネーションロールの回転に伴って該フィルムと該基板とを搬送しつつ加圧して該基板に該フィルムを貼り付けるフィルム貼付装置において、該ラミネーションロールの半径方向における該弾性部材の変形状態を計測する手段を設けたことにある。
さらには、該計測手段で得た該弾性部材の変形状態に基づいて該ラミネーションロールの回転量を調整する手段を設けたことにある。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の一実施形態になるフィルム貼付装置の概略断面図である。
【０００９】
図１において、ＫはフィルムＦを貼り付ける基板である。
【００１０】
フィルムＦはカバーフィルムとレジストフィルムとベースフィルムの３層で形成されており、フィルムロール１として内側からカバーフィルム、レジストフィルム、ベースフィルムの順番で巻き込んである。
【００１１】
フィルムロール１から繰り出したフィルムＦを基板Ｋの搬送路に搬送するためにフィルムロール１の下側にガイドロール３があり、ここでカバーフィルム２を剥離して、方向を変える。
【００１２】
フィルムロール１には巻き取りロール４が隣接しており、ガイドロール３で剥離したカバーフィルム２を巻き取る。
【００１３】
フィルムロール１及び巻き取りロール４の駆動装置（例えば、モータ）にはフィルム残量に応じてトルク調整をする機能を設けて、フィルムの張力を一定にして搬送するようにしている。
【００１４】
ガイドロール３の下側にはフィルムＦの先端または後端を吸着保持して図の左方に搬送する先端保持部材５と後端保持部材６がある。
【００１５】
先端保持部材５の内部には真空室、上面には吸着孔があり、その真空室を中間バルブを介して真空ポンプに連通してあるので、上面でフィルムＦの先端を吸着するようになっている。
【００１６】
７は、サーボモータ９と直結されたボールねじ１０で左右方向に移動可能な可動部１１に固定したエアシリンダであり、先端保持部材５はエアシリンダ７の可動部に固定してあるので、フィルムＦの先端をラミネーションロール１３付近まで正確に搬送することができる。    後端保持部材６も先端保持部材５と同じように内部に真空室、上面に吸着孔がある。また、フィルムＦの搬送方向（図１の左方向）に直交する幅方向（図１の紙面に垂直な方向）に溝を設けてあり、カッタ８等でフィルムFを幅方向に切断するときのカッタ受けとして用いる。  後端保持部材６は可動部１１に設けたロータリアクチュエータの連結材１２に固定してあり、連結材１２が回転することで後端保持部材６はフィルム搬送面から下側に退避する。
【００１７】
なお、後端保持部材６は先端保持部材５と並んだ時に先端保持部材５よりもラミネーションロール１３側に位置するようにしている。
【００１８】
カッタ８は後端保持部材６の上側に設けてあり、ロッドレスシリンダ等でフィルムＦの幅方向に移動して、フィルムＦを幅方向に切断する。
１３はラミネーションロールで、複数の搬送ローラ１５で構成する搬送路の上下にあり、搬送ローラ１５が図の左から右に向けて搬送する基板Ｋを上下方向から挟むように移動可能に配置してある。上下方向の移動はエアシリンダで行うが図示は省略する。
ラミネーションロール１３は、ロール本体とその外周表面にコーテイングしたシリコンゴムからなる。ロール本体の内部にはヒータがある。下側のラミネーションロール１３には、回転量を計測するエンコーダ１４を取り付けてある。
上側のラミネーションロール１３の上方に電極１６を設置してあり、静電気発生装置１７と接続している。静電気発生装置１７から電極１６に高電圧を印加した場合、電極１６の下側に搬送されてくるフィルムＦは帯電し、フィルムＦの先端部はクーロン力で上側のラミネーションロール１３表面に密着する。上側のラミネーションロール１３と電極１６を囲むように、防塵カバー１８を設けている。このため、電極１６で帯電されたフィルムＦにゴミ等が付着することはない。
２１，２２は、複数の搬送ローラ１５で構成した搬送路上を移動する基板Ｋの先端を検出するために搬送路に適宜な間隔をもって取り付けた光学センサである。２３はフィルム貼付装置の動作をコントロールする制御装置で、フィルムＦの貼付け長さ等のデータを表示するモニタ２４、データを入力するためのキーボード２５が付属している。
制御装置２３は、エンコーダ１４からのパルスを計測するカウンタやメモリー、さらには、フィルム貼付装置を構成する各部の動作のプログラム、特に、ラミネーションロール１３の回転を制御するプログラム，光学センサ２１，２２による基板先端の検出に伴うラミネーションロール１３の半径方向におけるシリコンゴム（弾性部材）の変形状態を算出するプログラムと、該プログラムで得たシリコンゴムの変形状態に基づいてラミネーションロール１３の回転量を調整するプログラム，シリコンゴム交換を警告するプログラムなどを含んでいる。
光学センサ２１，２２の間隔を、一例として、未使用状態でのラミネーションロール１３の円周長とした場合、ラミネーションロール１３が基板Ｋを挟持せて搬送し、基板Ｋの先端を各光学センサ２１，２２が検出することとなるラミネーションロール回転量Ｇに相当するエンコーダ１４のパルス数を制御装置２３内のカウンタで計測し、制御装置２３内のメモリー(図示せず)に保存する。
光学センサ２１，２２の間隔をラミネーションロール１３の円周長と相違する長さとした場合には、未使用状態でのラミネーションロール１３で基板Ｋを搬送し、光学センサ２１，２２が基板Ｋの先端をそれぞれ検出する間におけるラミネーションロール回転量Ｇに相当するエンコーダ１４のパルス数を制御装置２３内のカウンタで計測し、制御装置２３内のメモリーに保存する。
さらに、ラミネーションロール１３が上下方向から基板Ｆを挟み加圧（貼合）すると、加圧力によってシリコンゴムの弾性変形し、ラミネーションロール１３のロール径は変わるので、未使用状態でのラミネーションロール１３について加圧力別に光学センサ２１，２２が基板Ｋの先端をそれぞれ検出する間におけるラミネーションロール回転量Ｇに相当するエンコーダ１４のパルス数を計測し、制御装置２３内のメモリーに保存する。
以下の説明では、光学センサ２１，２２の間隔に対応したラミネーションロール回転量Ｇに相当するエンコーダ１４のパルス数をラミネーションロール回転量Ｇと総称する。
【００１９】
搬送方向に任意の長さを持つ基板Ｋに貼り付けるフィルムＦの長さは予め決まっており、その長さをＲで表すこととする。
【００２０】
基板Ｋに貼り付けるフィルムＦの長さＲとラミネーションロール回転量Ｇの関係は、係数をａとして次式で表すことができる。
【００２１】
Ｒ＝ａ・Ｇ          ‥（１）
係数ａはラミネーションロール１３の加圧力で変わった値となる。
ラミネーションロール１３が基板Ｋを挟持して搬送する基板搬送量は、制御装置２３がラミネーションロール１３の駆動装置にラミネーションロール１３の回転量で与えており、指定通り回転したかはエンコーダ１４のパルス数で監視している。
次に、フィルム貼付装置の動作を図２に示したフローに従って説明する。
はじめに、ステップ（以下、「Ｓ」と略記する）１００のフィルム貼付動作準備を行う。
図３に示すように、フィルム貼付動作を行うための準備として、手動でフィルムロール１からフィルムＦを引き出してガイドロール３に渡し、カバーフィルム２を剥離する。剥離したカバーフィルム２は巻き取りロール４に巻き付かせる。カバーフィルム２を剥離したフィルムＦは後端保持部材６の先端まで引き出し、先端保持部材５及び後端保持部材６の上面で真空吸着する。
【００２２】
このとき、フィルムロール１及び巻き取りロール４は図示していないモータを動作させて、フィルムＦの張力が一定になるようにしている。
【００２３】
後端保持部材６の溝部分にカッタ８が通過するようにしつつカッタ８をフィルムＦの幅方向に移動させて、フィルムＦを幅方向に切断する。フィルムFを吸着していた後端保持部材６の真空吸着を停止させて、後端保持部材６上におけるフィルムFの切れ端は、廃棄する。
【００２４】
このとき、先端保持部材５上には、フィルムが１０ｍｍ程度はみ出した状態で真空吸着されている。
【００２５】
これでフィルム貼付動作準備Ｓ１００が完了し、次に、図２のフィルム受渡し処理Ｓ２００に進む。
【００２６】
フィルム受渡し処理Ｓ２００では、図４に示すように、サーボモータ９でボールねじ１０を回転させて、可動部１１をラミネーションロール１３側に移動させる。次に可動部１１に設けてある連結材１２を回転させて、後端保持部材６を下側に退避させる。
【００２７】
この時、ラミネーションロール１３は開いており、内部のヒータで加熱された状態となっている。
そして、フィルムＦの先端が上側ラミネーションロール１３の上面中央付近に位置するように、エアシリンダ７で先端保持部材５を移動させる。
ここで、静電気発生装置１７から電極１６に高電圧を印加し、その電極１６とラミネーションロール１３の間にあり、先端保持部材５からはみ出しているフィルムＦの先端部分が帯電され、フィルムＦの先端部分は接地されているラミネーションロール１３に吸着されたら、静電気発生装置１７から電極１６への高電圧印加を停止する。
ラミネーションロール１３は搬送ローラ１５で構成している基板Ｋの搬送路方向に回転を開始し、吸着したフィルムＦを下側に搬送しようとする。この場合、先端保持部材５によるフィルムＦの真空吸着を解除することで、フィルムＦはラミネーションロール１３の回転とともに下側に搬送され、ガイドロール３のところではフィルムＦの巻き出しに合わせて、カバーフィルム２を剥ぎ取っている。
ラミネーションロール１３の回転でフィルムＦの先端が上側のラミネーションロール１３における下面中央に至ったどうかをエンコーダ１４からのパルス数で確認しており、確認できたところでラミネーションロール１３は回転を停止する。次に、図２のフィルムカット処理Ｓ３００に進む。
図５に示すように、ラミネーションロール１３にフィルムＦを受け渡した先端保持部材５は、基板Ｋに貼り付けるレジストフィルムの長さに応じた任意の位置へサーボモータ９により戻る。そして、退避していた後端保持部材６は、連結材１２の回転で先端保持部材５と並ぶようにしてフィルムＦの搬送位置に戻す。
【００２８】
先端保持部材５及び後端保持部材６の上側にあるフィルムＦを真空吸着して保持し、フィルムＦをカッタ８で幅方向に切断する。このとき、上側のラミネーションロール１３における下面中央に位置するフィルムＦの先端からカッタ８で切断した位置までのフィルムＦの長さは基板Ｋに貼り付ける長さになっている。
【００２９】
フィルムＦのカッタ８によるで幅方向の切断では、ラミネーションロール１３の回転を停止せず、カッタ８，先端保持部材５及び後端保持部材６をフィルムＦの搬送に同期して移動させて、フィルムをＦを吸着保持して切断してもよい。
その後、図２のフィルム貼付け処理Ｓ４００を行う。
図５に示すように、基板Ｋは搬送ロール１５で図５の左から右方向に移動して来る。この場合、図示していないセンサで移動量を検知していて、先端部のフィルム貼付開始位置が上側ラミネーションロール１３における下面中央に位置したフィルムＦの先端と一致したところで、移動を一旦停止するようになっている。
ここで、上下のラミネーションロール１３が基板Ｋの方向に上下動して、両ラミネーションロール１３で基板Ｋを挟持（ニップ）し、基板ＫへフィルムＦの先端を熱圧着する。その後、両ラミネーションロール１３は基板Ｋを挟持（ニップ）したまま回転して、基板Ｋを右方向に搬送しつつ上側ラミネーションロール１３上のフィルムＦを基板Ｋに熱圧着していく。
この時、ラミネーションロール１３の回転に同期して後端保持部材６は上側ラミネーションロール１３側に移動し、フィルムＦの張力が一定になるようにしている。
フィルムＦの基板Ｋへの貼付中に基板先端検出用の光学センサ２１が搬送路を移動していく基板Ｋの先端を検出すると、制御装置２３内のカウンタはエンコーダ１４からのパルス数の計測を開始する。
フィルムＦの基板Ｋへの貼付は続いて、基板Ｋは搬送路を右方向に移動して下流側の基板先端検出用の光学センサ２２が基板Ｋの先端を検出すると、制御装置２３内のカウンタはエンコーダ１４からのパルス数の計測を停止する。そして、制御装置２３では基板Ｋが光学センサ２１，２２を通過していく間にカウンタで計測したパルス数をラミネーションロール回転量Ｎｎに換算して、制御装置２３内のメモリーへ保存する。
【００３０】
フィルムＦの後端については、図６に示すように、後端保持部材６が上側ラミネーションロール１３付近まで到達した場合に、再び、静電気発生装置１７から高電圧を電極１６に印加し、フィルムＦの後端を帯電させてラミネーションロールに吸着させる。
【００３１】
フィルム後端がすべて上側ラミネーションロール１３に受け渡された後、後端保持部材６の真空吸着を解除し、連結材１２を回転させて下側に退避させる。そして、先端保持部材５が次のフィルムの先端を真空吸着で保持したまま、上側ラミネーションロール１３近傍まで移動し、次の基板Ｋへの貼付けについて待機をする。
【００３２】
両ラミネーションロール１３の回転が進み、フィルムＦの後端を基板Ｋに熱圧着した頃合は、制御装置２３においてエンコーダ１４からのパルス数の計測に基いてカウンタでの累積パルス数を両ラミネーションロール１３の回転量に換算して判断できるから、それによりフィルムＦの貼付完了として各ラミネーションロール１３をそれぞれ上下に移動して開き、フィルム貼付け処理Ｓ４００は終了する。
【００３３】
搬送路上における次の基板Ｋの有無を図２のＳ５００で確認し、あればフィルム受渡し処理Ｓ２００に戻って、以上説明した処理を繰り返し、なければ、処理を終了する。
【００３４】
次に、ラミネーションロールの半径方向におけるシリコンゴム（弾性部材）の変形状態を計測することについて、説明する。
【００３５】
フィルム貼付け処理Ｓ４００では、基板Ｋが光学センサ２１，２２を通過していく間にカウンタで計測したパルス数をラミネーションロール回転量Ｎｎに換算して、ラミネーションロール回転量Ｎｎを制御装置２３内のメモリーへ保存している。
ラミネーションロール回転量Ｎｎの制御装置２３内メモリーへの保存は、基板Ｋが通過する度に実行しているので、貼付回数Ｍ回（基板通過枚数Ｍ枚）を１セットとし、Ｍ回までのラミネーションロール回転量Ｎ１，Ｎ２，…Ｎｎ…ＮＭの平均値を算出しラミネーションロール回転量Ｌとしてもよい。
【００３６】
ラミネーションロール１３のシリコンゴムは加圧（フィルムの熱圧着）を繰り返すと次第に弾力を失い、経時変化で厚さが薄くなる。
すると、ラミネーションロール１３はロール径が小さくなって、円周長は短くなる。
【００３７】
ラミネーションロール１３の回転をパルス数で指定して１パルス当りの回転角が同じであると、ロール径が小さくなると、１パルス当りの基板搬送距離は短くなっていく。従って光学センサ２１，２２間を基板Ｋの先端が通過していくのに時間が掛かる、つまりはより多数のパルス数でラミネーションロール１３の回転が進まないことには光学センサ２１，２２間を基板Ｋの先端が通過できないことになる。
【００３８】
それで、図７に示すように、ロール径が小さくなるほど、測定値
（ラミネーションロール回転量Ｎ１，Ｎ２，…Ｎｎ…ＮＭの平均値）Ｌは次第に大きくなる。
【００３９】
ラミネーションロール１３の回転がパルス数で指定してあって、所定パルス数になると、基板Ｋへのフィルム貼付け処理は終了したとして、両ラミネーションロール１３が開いてしまうと、フィルム貼付け未処理部分を残す恐れがある。
【００４０】
そこで、制御装置２３は、測定値Ｌが許容できるへこみ量の範囲であればフィルム貼付け処理は継続するが、測定値Ｌがロール交換警告レベルＬｎを越えたらロール交換を警告するようにしておく。
【００４１】
測定値Ｌがロール交換警告レベルＬｎ以下であっても、近い場合にはラミネーションロール１３による基板Ｋの搬送量は相対的に減少しているので、１枚の基板に対するラミネーションロールの回転量を補正してフィルムＦの後端まで充分な貼付けが行われるようにするとよい。
【００４２】
任意な時点で基板Ｋが光学センサ２１，２２を通過していく間にカウンタで計測したパルス数をラミネーションロール回転量に換算した値をＮとする。このラミネーションロール回転量Ｎはラミネーションロール１３未使用時のラミネーションロール回転量Ｇよりも大きな値をもっている。前記（１）式の係数ａとラミネーションロール回転量Ｎの積が基板Ｋのフィルム貼付長Ｕであるが、ラミネーションロール回転量Ｎは見掛け上大きな値になっているから、基板Ｋへの本来のフィルム貼付長Ｒと算出した基板Ｋのフィルム貼付長Ｕの差分Ｕ−Ｒを求めると、この差分Ｕ−Ｒはロール径が小さくなることによって、基板Ｋの搬送量が減った分である。従って、差分Ｕ−Ｒに見合うラミネーションロール回転量のパルス数を指令として増加させる（ラミネーションロールの回転量を調整する）と、ラミネーションロール１３はフィルムＦの後端まで確実に基板ＫとフィルムＦを挟持して熱圧着を完了する。それで基板Ｋに貼付けたフィルムには気泡ななく、しわも起こらない。
【００４３】
また、フィルム受渡し処理時に上側のラミネーションロール１３を回転し吸着したフィルムＦを搬送路側に送る時も、ラミネーションロール１３のロール径が小さくなると、ラミネーションロール１３の回転量が減ってフィルムＦの先端を基板Ｋの貼付先端位置に合わせることができなくなるので、この場合にも、ラミネーションロール１３の回転量（図１の実施形態ではラミネーションロール１３半回転分）について上記のような補正（ラミネーションロールの回転量を調整）をして、フィルムＦの先端と基板Ｋの貼付先端位置との確実な位置合わせを得ることができる
図１の実施形態は各基板Ｋに対応つけてフィルムＦをカッタ８で切断する枚葉式のフィルム貼付装置であるが、フィルムＦを切断しない連続式のフィルム貼付装置に本発明を適用した実施形態について、以下説明する。
【００４４】
図８は本発明の他の実施形態である連続式のフィルム貼付装置を概略的に示しており、図１に示したものと同一物あるいは相当物には同一引用符号を付けている。
【００４５】
この実施形態では、図１の実施形態で備えていた先端保持部材５，後端保持部材６，カッタ８，電極１６，静電気発生装置１７などは無く、代わりに、基板間処理用カッタ３１と基板分離用カッタ３２を備えている。
【００４６】
搬送ロール１５で構成している搬送路上を前後しつつ移動する基板Ｋ１，Ｋ２のレジストフィルムを貼り付けない領域の長さＤ２について、予め1対の円盤カッタを有する基板間処理用カッタ３１でフィルムＦのレジストフィルムに幅方向に切れ目を設けて図示していない剥離手段で1対の円盤カッタ間のレジストフィルムを除去する。
【００４７】
レジストフィルムを除去したフィルムＦはベースフィルムで連続しており、ベースフィルム上に残っているレジストフィルムが先行する基板Ｋ１にラミネーションロール１３で貼り付けられる。
【００４８】
ラミネーションロール１３通過後、後続の基板Ｋ２へのフィルム貼付け処理が行われると、先行する基板Ｋ１と後続の基板Ｋ２を繋げているベースフィルムを基板分離用カッタ３２でフィルムＦの幅方向に切断し、前後の基板Ｋ１，Ｋ２を分離する。
【００４９】
光学センサ２１，２２での基板先端検出や制御装置２３でのシリコンゴム（弾性部材）における変形状態の計測は、図１の実施形態と同様に実行するようにしているので、説明は省略する。
【００５０】
ラミネーションロールの半径方向における弾性部材の変形状態を計測する手段としては、上記実施形態で説明したものの他に、図９，図１０に示すものも実施できる。
【００５１】
図９において、両ラミネーションロール１３を挟んで基板Ｋの搬送路における上流側と下流側に投光器４１と受光器４２を分けて、上下移動が可能なように配置してある。
【００５２】
即ち、投光器４１と受光器４２は、基板Ｋへのフィルム貼付け処理中には点線で示すように、基板Ｋの搬送の障害とならぬように搬送路から退避でき、基板Ｋが搬送路上に無い時に、投光器４１と受光器４２を実線で示すように上昇させ、ラミネーションロール１３をニップし、投光器４１からニップ部に投光し、ニップ部からの漏光を受光器４２で捕らえ得る構成としている。
【００５３】
ラミネーションロール１３における弾性部材が同じ場所で基板を加圧することを繰り返すと、基板加圧を繰り返した部署は弾性変形から塑性変形に移行して厚さが薄くなり、ラミネーションロール１３は部分的にロール径が変化する。
【００５４】
塑性変形で弾性部材に基板加圧の痕跡が目立つようになったところで、投光器４１と受光器４２を搬送路に位置せしめて、ラミネーションロール１３をニップさせ、ニップ部からの漏光を計測する。
【００５５】
漏光量が予め決めておいたレベルを越えたら、弾性部材の交換を警告する。
【００５６】
図１０の実施形態では、弾性部材として誘電体を用い、上側ラミネーションロール１３におけるヒータの接地線５１に検出コイル５２を設けておく。
【００５７】
フィルムＦがラミネーションロール１３上に無い場合に、静電気発生装置１７から電極１６にパルス状高電圧を印加し、ラミネーションロール１３における接地線５１を流れるパルス電流を検出コイル５２で計測する構成とする。
【００５８】
ラミネーションロール１３における弾性部材が劣化し厚さが薄くなると、弾性部材におけるコンデンサ容量が変化し、接地線５１を流れるパルス電流値が変わるので、検出コイル５２で絶縁分離してパルス電流を検出する。
【００５９】
制御装置２３では、パルス電流値の変動が予め決めておいたレベルを越えたら、弾性部材の交換を警告する。
【００６０】
図９のものは、図１の枚葉式、図８の連続式のいずれでも適用できる。図１０のものは電極を必要とするので、図８の連続式では静電気発生装置と電極を準備しておけばよい。
【００６１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ラミネーションロールのロール径の変化を計測でき、さらには、ラミネーションロールのロール径が変化してもフィルムを基板に正確に貼り付けることができ、もって気泡やしわの発生を防止することができる。
【００６２】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態であるフィルム貼付装置を示す概略断面図である。
【図２】図１のフィルム貼付装置における動作手順を説明するフローである。
【図３】図１のフィルム貼付装置におけるフィルム貼付動作準備処理を説明する図である。
【図４】図１のフィルム貼付装置におけるフィルム受渡し処理を説明する図である。
【図５】図１のフィルム貼付装置におけるフィルムカット処理を説明する図である。
【図６】図１のフィルム貼付装置におけるフィルム貼付け処理を説明する図である。
【図７】図１のフィルム貼付装置におけるラミネーションロールにおけるロール径と基板搬送の関係を説明する図である。
【図８】本発明の他の実施形態であるフィルム貼付装置を示す概略断面図である。
【図９】本発明の他の実施形態であるフィルム貼付装置を示す概略断面図である。
【図１０】本発明の他の実施形態であるフィルム貼付装置を示す概略断面図である。
【符号の説明】
Ｆ…フィルム
Ｋ…基板
１…フィルムロール
２…カバーフィルム
３…ガイドロール
４…巻き取りロール
５…先端保持部材
６…後端保持部材
７…エアシリンダ
８…カッタ
９…サーボモータ
１０…ボールねじ
１１…可動部
１２…連結材
１３…ラミネーションロール
１５…搬送ローラ
１６…電極
１７…静電気発生装置
１８…防塵カバー
２１，２２…光学センサ
２３…制御装置
２４…モニタ
２５…キーボード
【図１】
0003769506.tif 000002
【図２】
0003769506.tif 000003
【図３】
0003769506.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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