(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅もしくは銅化合物を触媒とし、金属ケイ素とハロゲン化炭化水素を２５０〜４００℃の温度において撹拌式反応器又は流動床反応器を用いてオルガノハロシランを製造する方法において、金属アルミニウムに対して銅化合物を０．１〜２０重量％予め添加、混合することにより得られた、２５０〜４００℃においてハロゲン化炭化水素と反応してハロゲン化アルミニウムを定量的に発生する活性化されたアルミニウムを促進剤として添加して反応を行うことを特徴とするオルガノハロシランの製造方法。
【請求項２】
銅化合物が塩化第一銅、塩化第二銅、酸化第一銅又は酸化第二銅である請求項１記載の製造方法。
【請求項３】
銅もしくは銅化合物を触媒とし、金属ケイ素とハロゲン化炭化水素を２５０〜４００℃の温度において撹拌式反応器又は流動床反応器を用いてオルガノハロシランを製造する方法において、アルミニウム合金に対して銅化合物を０．１〜２０重量％及び活性化助剤を０．０１〜２０重量％添加、混合することにより得られた、２５０〜４００℃においてハロゲン化炭化水素と反応してハロゲン化アルミニウムを定量的に発生する活性化されたアルミニウム合金を促進剤として添加して反応を行うことを特徴とするオルガノハロシランの製造方法。
【請求項４】
銅化合物が塩化第一銅、塩化第二銅、酸化第一銅又は酸化第二銅であり、活性化助剤が錫、亜鉛、リン、アンチモン、鉄又はこれらの化合物である請求項３記載の製造方法。
【請求項５】
促進剤の添加量が、アルミニウムとして金属ケイ素に対して０．００１〜１．０重量％である請求項１乃至４のいずれか１項記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロコウ反応によるオルガノハロシランの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
金属ケイ素とハロゲン化炭化水素を用いて銅もしくは銅化合物を触媒としてオルガノハロシランを製造する方法は、米国特許第２３８０９９５号により開示され、その発明者の名前からロコウ反応と称され、以来、シリコーン工業はこの直接合成によるオルガノハロシランの生産を行っている。即ち、メチルシラン合成等のオルガノクロロシラン合成は、金属ケイ素と銅触媒及び少量の助触媒からなる触体に塩化メチル等のハロゲン化アルキル、ハロゲン化ベンゼン等のハロゲン化アリールなどの有機ハロゲン化物を通気し、気相で直接反応させるといういわゆるロコウ反応によって行っている。この反応では、原材料費の中で占める金属ケイ素のコストが高いため、金属ケイ素の反応率を高めると同時に、通常主成分の他に多種類の副生成物が副生するので、この副生物の生成比率をオルガノクロロシランの需給バランスに沿った反応条件で維持することが必須である。即ち、この反応は、工業的には通常触体を追加しながら流動床、振動流動床、撹拌流動床等の反応器にて行っているが、この反応は、反応を定常状態に至らしめるための賦活に長時間を要するが、その反面、定常状態は比較的短い。このため、反応の進行に伴う失活触体の堆積による活性の低下（即ち、反応速度及び選択率の低下速度）を減じ、長時間運転し、結果として金属ケイ素の有効シランへの転化率を高めることが重要である。
【０００３】
ここにおいて、この反応速度及び選択率に大きく影響を与えるのが工業用金属ケイ素中に不純物として含まれるアルミニウムであるとされている。例えば、ノルウェー特許第１６９８３１号によれば、ケイ素中の三元相ＦｅＡｌ3Ｓｉ2は向上した反応性を与え、四元相Ｆｅ4Ｓｉ6Ａｌ4Ｃａは向上した選択率を与える。しかし、反応性と選択性との両方を増大させることはできない。つまり、ロコウ反応において、原料である工業用金属ケイ素中に不純物として存在するアルミニウムは、触媒活性を高めるためには必須であるが、逆に需要の高いジオルガノジハロシランの選択率を低下させることはよく知られており、金属ケイ素中に含まれるアルミニウムの形態と反応性等についてはいろいろ研究し、議論されている。
【０００４】
英国特許第２１５３６９７号によれば、Ｃｕ、Ｃｕ2Ｏ、ＣｕＯとの混合物よりなる銅触媒と、２００〜５０００ｐｐｍのＳｎ含有化合物と、５０〜５０００ｐｐｍのＡｌ又はＡｌ含有化合物とを使用することにより、直接法の反応性及び選択性を増大させることが提案されているが、有意な反応性又は選択性の増大は得られない。
【０００５】
Ｈ．Ｍ．Ｒｏｎｇ〔ノルウェー特許第９５０７６０号〕は、銅を基剤とする触媒の存在下に、及び場合によっては促進剤の存在下に、上昇した温度で元素態シリコンとアルキルハライドとの間の反応によってアルキルハロシランを製造する方法を提案している。しかし、有意な反応性も選択性の増大も得られない。この場合、アルミニウムとしては金属形アルミニウム、アルミニウム合金、アルミニウム含有シリコン合金、固体のアルミニウム含有化合物などが挙げられているが、これら単独では活性が十分ではなく、またその活性な形態についてもいろいろ提案されているが、その効果について未だ定説はなく、ましてやこのようなアルミニウムの活性化については具体的な方策が述べられていない。
【０００６】
このように、アルミニウムについて各種研究が行われているが、その趣旨は、金属ケイ素中の不純物を反応用の助触媒として使用するいわば受け身の使用法であり、金属ケイ素中にその大部分がシリサイドとして存在しているアルミニウムを活性化し、効果的に活用しようとする提案はなく、従来の技術は、ロコウ反応に対する功罪を有するアルミニウム含有金属ケイ素を原料とするために、反応系内の濃度管理はもちろん、原料そのものの管理も複雑であった。
【０００７】
本発明は、このようなロコウ反応において、賦活に要する時間を短縮することができると共に、特に望ましいジオルガノジハロシランの選択率を高めることができ、定常状態の長期化、ケイ素の転化率の向上を計ることができるオルガノハロシランの製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】
本発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、ロコウ法によるオルガノハロシランの製造において、促進剤として活性化されたアルミニウム、活性化されたアルミニウム合金、活性化された炭化アルミニウムの少なくとも１種を添加することが有効であることを知見した。
【０００９】
即ち、金属ケイ素中に上記したようにアルミニウム合金として存在するアルミニウムは、多少なりともハロゲン化炭化水素と反応してハロゲン化アルミニウムが生成していることは疑う余地のないところである。そして、このハロゲン化アルミニウムは、金属ケイ素表面に存在している酸化膜と反応し、その表面を活性化する作用があるとされている。また、ハロゲン化アルミニウムの存在により、銅触媒から生成するハロゲン化銅の蒸気圧を高めることによって、銅触媒の拡散を容易にし、結果として銅の触媒作用を促進する作用があるともいわれている。いずれにしても、アルミニウムの存在によって反応が促進されることは事実と考えてよい。
【００１０】
その一方で、生成（副生）したハロゲン化アルミニウムは、極めて強いルイス酸であり、これはオルガノハロシランの不均化反応の触媒としてよく知られているものである。即ち、このハロゲン化アルミニウムが過剰に存在すると、この反応生成物の主成分であり、かつ最も高収率であることが望ましいジオルガノジハロシランが反応系内において不均化反応を起こし、モノオルガノトリハロシラン、トリオルガノモノハロシラン等の副生シランの増加を招いてしまうという両刃の剣的な性質を有するものである。
【００１１】
即ち、ロコウ反応の初期である賦活反応の段階では触体を活性化する必要があるので、多くのハロゲン化アルミニウムの生成が好ましく、定常状態以降ではむしろその発生量は少ない方が好ましい。このような反応性の向上と選択率の向上という相反する働きを同一のものに求めるためには、きめ細かな反応上の管理が必須である。しかしながら、従来技術では、金属ケイ素中に不純物としてケイ素等との合金の形で存在しているアルミニウムにこの効果を求めた反応を行っている。一方、この金属ケイ素中のアルミニウムは、その冶金的製造工程において、原料珪石中の不純物に由来し混入するもので、金属ケイ素中には均一に存在するのではなく、ケイ素等の金属間化合物もしくは非金属間化合物となり、不純物ゾーンを形成して分散しているものである。オルガノハライドとの反応からなるハロゲン化アルミニウムの生成速度は遅いので、必要以上にアルミニウム含有量の多いものを使用するか、又は初期の長い賦活時間において選択率を重視して、アルミニウム含有量の少ない金属ケイ素を使用するかのどちらか一方しか採用できなかった。即ち、触体中の活性なアルミニウムを要求されるレベルで管理することは事実上不可能であり、これだけで反応性と選択性との両方を共に増大させることはできないのが実状であった。
【００１２】
これに対し、本発明者は、これら従来技術でいう「活性なアルミニウム」とハロゲン化炭化水素との反応を検討したところ、２５０〜４００℃では定量的（十分）に反応しないか、全く反応しないことが判明した。そこで、本発明者らが鋭意検討したところ、アルミニウム、アルミニウム合金、炭化アルミニウムの少なくとも１種と銅化合物を予め混合することにより、アルミニウムがハロゲン化炭化水素と該温度で定量的（十分）に反応し、ハロゲン化アルミニウムを発生させることを知見し、このように活性化されたアルミニウム、アルミニウム合金、炭化アルミニウムが反応性と選択性に有効に作用することを知見した。即ち、アルミニウム、アルミニウム化合物、炭化アルミニウムは、銅化合物の存在下にハロゲン化炭化水素と速やかに反応してハロゲン化アルミニウムと炭化水素が生成することを見出した。そして、この反応は定量的に進行するので、必要最小量加えるだけで十分に反応が活性化することを見出した。また、銅化合物単独触媒存在下では、金属状のアルミニウムと比較して、ハロゲン化炭化水素との反応性が極めて低いアルミニウムシリサイド等のアルミニウム合金や炭化アルミニウムが、銅化合物に対して少量の助触媒（金属錫、亜鉛、アンチモン、リン、鉄等）を添加することによって活性化され、これが速やかに反応してハロゲン化アルミニウムが生成することを見出した。この反応でも、合金の形で存在しているアルミニウムや炭化アルミニウムが定量的に反応するので、これを必要最小量加えるだけで十分にロコウ反応が活性化することを見出した。更に驚くべきことに、これら活性化されたアルミニウム、アルミニウム合金、炭化アルミニウムは、ハロゲン化メチルとより速やかに反応してハロゲン化アルミニウムと炭化水素が生成し、通常のアルミニウム化合物の場合に副生してくる水素発生量を低減することを見出した。これにより、直接合成の副生成物であるオルガノ水素ハロシラン（含Ｓｉ−Ｈシラン）の生成が抑制され、選択性が増大することを見出した。
【００１３】
即ち、従来、助触媒としてのアルミニウムの積極的な使用についての提案はないが、刻々と変化する触体の反応性をコントロールするためには、即効性のあるアルミニウムを使用することが効率的であり、重要であることを知見し、本発明に至った。
【００１４】
従って、本発明は、銅もしくは銅化合物を触媒とし、金属ケイ素とハロゲン化炭化水素を２５０〜４００℃の温度において撹拌式反応器又は流動床反応器を用いてオルガノハロシランを製造する方法において、金属アルミニウムに対して銅化合物を０．１〜２０重量％予め添加、混合することにより得られた、２５０〜４００℃においてハロゲン化炭化水素と反応してハロゲン化アルミニウムを定量的に発生する活性化されたアルミニウムを促進剤として添加して反応を行うことを特徴とするオルガノハロシランの製造方法、及び銅もしくは銅化合物を触媒とし、金属ケイ素とハロゲン化炭化水素を２５０〜４００℃の温度において撹拌式反応器又は流動床反応器を用いてオルガノハロシランを製造する方法において、アルミニウム合金に対して銅化合物を０．１〜２０重量％及び活性化助剤を０．０１〜２０重量％添加、混合することにより得られた、２５０〜４００℃においてハロゲン化炭化水素と反応してハロゲン化アルミニウムを定量的に発生する活性化されたアルミニウム合金を促進剤として添加して反応を行うことを特徴とするオルガノハロシランの製造方法を提供する。
【００１５】
本発明は、原料金属ケイ素中の不純物に頼ることなく即効性があり、かつ反応系内に滞留することなく使用できるため、高選択率、高転化率の反応が達成できる。更に、これによって原料管理も容易にすることができる。
【００１６】
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明は、銅もしくは銅化合物を触媒とし、金属ケイ素とハロゲン化炭化水素を２５０〜４００℃の温度において撹拌式反応器又は流動床反応器を用いてオルガノハロシランを製造するオルガノハロシラン直接製造反応において、活性化されたアルミニウム及びアルミニウム合金の少なくとも１種を反応促進剤として添加することを特徴とする、高収率、高選択性、高反応率を達成できるオルガノハロシランを製造する方法である。
【００１７】
ここで、活性化されたアルミニウム、アルミニウム合金とは、２５０〜４００℃においてハロゲン化炭化水素と十分に反応して、ハロゲン化アルミニウムを定量的に発生し得るものである。
【００１８】
活性化されたアルミニウム、アルミニウム合金は、銅化合物を添加、混合することによって得ることができる。アルミニウム合金は、アルミニウムを含有する合金であれば特に制限されないが、アルミニウム−ケイ素合金が好ましい。アルミニウム合金の場合は、銅化合物の他に、活性化助剤を添加、混合することが特に好ましい。
【００１９】
この場合、銅化合物としては、塩化第一銅、塩化第二銅、酸化第一銅、酸化第二銅等が挙げられ、その添加量はアルミニウム又はアルミニウム合金に対して０．１〜２０％（重量％、以下同じ）、特に１〜１０％である。
【００２０】
また、活性化助剤としては、錫、亜鉛、リン、アンチモン、鉄等の金属やこれらの化合物が好ましく、その添加量は、アルミニウム合金又は炭化アルミニウムに対して０．０１〜２０％、特に０．１〜１０％である。
【００２１】
なお、アルミニウム、アルミニウム合金は、粒径が１０ｍｍ以下、好ましくは１μｍ〜１ｍｍ、更に好ましくは１０μｍ〜１ｍｍであるものが好ましい。
【００２２】
アルミニウム、アルミニウム合金に対して銅化合物、活性化助剤を添加、混合する場合は、乾燥雰囲気で、機械的に、特に強い剪断力下で混合することが好ましい。
【００２３】
本発明のオルガノハロシランの製造方法は、促進剤として上記活性化されたアルミニウム及びアルミニウム合金の少なくとも１種を添加する以外は、常法に従って実施し得る。
【００２４】
この場合、原料として用いる金属ケイ素としては、冶金用ケイ素、太陽電池用アモルファスケイ素、半導体用高純度ケイ素などがあるが、冶金用ケイ素が好ましい。冶金用ケイ素中の不純物は、鉄、チタン、カルシウム、アルミニウム、リン、ホウ素などがあるが、それらのレベルは現在通常に用いられている冶金用ケイ素のそれと同じ程度であれば全く構わないが、本発明の効果をより大きくするためには、アルミニウム濃度のコントロールの容易さを考慮すると、金属ケイ素製造工程においてできるだけその濃度が低くなるように精製したものの方がよい。但し、クロム、ニッケル、鉛、水銀など、明らかに触媒毒又は反応毒と考えられている元素については、できるだけ少ないことが好ましい。粒径は１〜５００μｍの範囲にあることが好ましい。
【００２５】
次に、ハロゲン化炭化水素としては、メチルクロライド、エチルクロライド、プロピルクロライドなどの塩化アルキル、ビニルクロライドなどの塩化アルケニル、塩化ベンゼンなどの塩化アリール化合物などが好ましい。より好ましくはメチルクロライドである。
【００２６】
触媒として用いる銅もしくは銅化合物としては、金属銅、酸化銅、塩化銅などのハロゲン化銅、ギ酸銅、蓚酸銅などの銅カルボン酸塩、及びこれらの混合物などが好ましい。より好ましくは金属銅、酸化銅及びこれらの混合物である。使用量は、銅に換算して金属ケイ素に対して０．１〜２０％が好ましい。より好ましくは１〜１０％である。銅はケイ素と共に反応器に添加されてもよく、予め機械的にケイ素と混合されてもよい。
【００２７】
上記促進剤は、金属アルミニウムとして金属ケイ素に対して０．００１〜１．０％を反応器に添加することが好ましい。添加量は、反応状態によって異なるが、より好ましくは０．０１〜０．０５％である。
【００２８】
なお、本発明においては、亜鉛、アンチモン、錫、リン、鉄等の促進剤を追加して併用することは任意である。また、触体の凝集を防ぐために、シリカ、珪藻土、カーボンなどの凝集防止剤を併用することは任意である。
【００２９】
反応温度は２５０〜４００℃であり、より好ましくは２５０〜３５０℃である。
【００３０】
反応器は、撹拌式反応器又は流動床反応器を用いる。商業的な生産においては、流動床反応器がより好ましい。
【００３１】
なお、オルガノハロシランの製造装置は特に制限されないが、例えば図１に示す装置を用いることができる。ここで、図１において、１は流動床反応器であり、その下部に原料供給管２を介して原料供給槽３が連結しており、これから反応器１の下部に金属ケイ素及び上記銅触媒又は銅触媒と助触媒との混合触媒と促進剤とが導入される。また、４は加熱器５を介装する原料有機ハロゲン化物管であり、反応器１の底部に連結され、反応器１の底部から有機ハロゲン化物のガス又は蒸気が導入されて、上記金属ケイ素及び触媒の流動床１ａが反応器１内に形成されるものである。なお、図中６は冷却器である。
【００３２】
ここで、上記有機ハロゲン化物のガス又は蒸気は、定常状態において線速２〜１０ｃｍ／秒で導入することが好ましい。また、反応は２５０〜４００℃、特に２５０〜３５０℃で行うことができる。
【００３３】
反応で得られたオルガノハロシランは、反応器１の頂部に連結された排出管７より第１サイクロン８に導入され、随伴する固体粒子を分離した後（この固体粒子は固体粒子返送管９より流動床１ａに戻される）、更に第２サイクロン１０でなお随伴する固体粒子を分離し（この固体粒子は分離粒状物貯蔵層１１に貯蔵される）、次いで第１シラン凝縮器１２、更には第２シラン凝縮器１３でオルガノハロシランが凝縮され、シラン貯蔵層１４に貯蔵される。このように固体粒子が分離され、オルガノハロシランが凝縮、分離された後の排ガスは、その一部又は全部が循環ガスコンプレッサー１５が介装された有機ハロゲン化物返送管１６を通って再び反応器１に戻される。なお、この返送管１６は上記原料有機ハロゲン化物管４に連結されているものである。
【００３４】
【発明の効果】
従来、塩化メチル等のハロゲン化アルキル又は塩化ベンゼン等のハロゲン化アリールと金属ケイ素の銅触媒及び亜鉛、錫などの助触媒存在下におけるオルガノハロシラン合成反応（いわゆるロコウ反応）において、シラン生成の反応速度や選択率の定常状態に至るまでの賦活時間（誘導期）は極めて長いのに、その一方で定常状態は比較的短く、この改善が重要な課題であったが、本発明によれば、工業用金属ケイ素中に不純物として存在しており、かつ本反応において助触媒的に作用するアルミニウムの作用機構及び物理的性質を解明することにより、アルミニウムの形態を最適化することができ、これによりロコウ反応の上記問題点、とりわけ賦活に要する時間を短縮し、特に望ましいジオルガノジハロシランの選択率を高めることが可能になり、これによって定常状態の長期化、即ちケイ素の転化率の向上を行うことができるものであり、ひいては反応成績の向上を達成することができる。
【００３５】
【実施例】
以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。なお、下記例で部は重量部を示す。
【００３６】
〔実施例１〕
アルミニウムシリサイド（レアメタリックス社製ＡｌＳｉ；平均粒径約３０μｍ）１００部に、乾燥雰囲気下で、活性化助剤として錫粉、リン化錫又は酸化錫を錫として１０重量％含む塩化第二銅１０部を混合し、この混合物を塩化メチル通気下で昇温速度５℃／分で熱天秤測定を行った。比較として、同一条件で活性化助剤を含まないものとアルミニウムシリサイド粉（ＡｌＳｉx；平均粒径２０μｍ）のみを各々測定した。この結果を図２に示す。図２より、５９０℃までの昇温において、アルミニウムシリサイド単独ではアルミニウムの塩素化→揮散に起因する加熱減量は全く観察されず、またアルミニウムシリサイドに銅化合物を添加したものでは、４００℃位より僅かに減量が観察されたにすぎないが、アルミニウムシリサイドに更に錫、リン化錫又は酸化錫を活性化助剤として添加したものでは、２９０℃位から急激でかつほぼ定量的な減量が観察され、このことより、ロコウ反応において反応促進効果が大きい塩化アルミニウムを供給する活性なアルミニウム合金を形成していることが明らかである。
【００３７】
〔実施例２〕
比較的低アルミニウムの金属ケイ素粉（オーストラリア産；アルミニウム含有量０．０４％；平均粒径４０μｍ）１００部に対して、予め乾燥空気中で金属錫粉末１０重量％を含むように調整した塩化第二銅触媒１０重量％を添加した活性化アルミニウムシリサイド（レアメタリックス社製ＡｌＳｉ；平均粒径約３０μｍ）０．０２重量％（アルミニウムとしては約０．０１重量％）及び塩化第二銅１０重量％を均一に混合した。この混合物を塩化メチル通気下で昇温速度４℃／分で気体通気型示差熱分析装置にて測定を行った。この結果を、比較として活性化助剤を添加しないものと併せて、図３に示す。この結果、活性化助剤を添加した活性化アルミニウム合金を添加したものの方が、より低温側にシャープなピークが現れており、活性な触体が形成していることが明らかである。なお、本反応は、ロコウ反応の活性点形成反応Ｓｉ＋ＣｕＣｌ2→ＳｉＣｌ4＋Ｃｕに対応するもので、活性化アルミニウム合金の存在により、より効率的に活性点が形成することを示すものである。
【００３８】
〔実施例３〕
実施例２に記載した低アルミニウム金属ケイ素粉１００部に、塩化第二銅６部、酸化亜鉛０．５部及び活性化アルミニウム合金（実施例１に記載したアルミニウムシリサイド（ＡｌＳｉ；平均粒径約３０μｍ）１００部に、乾燥雰囲気下で予め金属錫粉末１０重量％を添加混合した塩化第二銅１０部を混合したもの）０．２部又は０．４部を、図１に示したようなスパイラル撹拌機を有し、予め十分に窒素で置換した直径８ｃｍのスチール製の反応器に仕込み、まず反応器内に窒素ガスを線速２ｃｍ／ｓｅｃで導入し、スパイラル撹拌機で撹拌しながら流動させ、３５０℃まで昇温した。その後、反応温度を２８０〜３００℃にコントロールしつつ塩化メチルを徐々に添加し、反応させ、最終的に線速７ｃｍ／ｓｅｃにして反応を継続した。反応を６時間継続したところで反応を終了させた。この間の平均シラン生成速度と生成シランの組成を表１に示した。比較として、活性化アルミニウムを添加しないものを表１に併記した。
【００３９】
【表１】
0003818357.tif 000002
【００４０】
〔実施例４〕
金属アルミニウム粒子（平均粒径約５００μｍ）１００部に、乾燥雰囲気下で塩化第一銅又は塩化第二銅１０部を混合し、この混合物を塩化メチル通気下で昇温速度５℃／分で熱天秤測定を行った。比較として、同一条件で金属アルミニウム（平均粒径約５００μｍ）及びアルミニウムシリサイド粉（ＡｌＳｉ；平均粒径２０μｍ）のみを測定した。この結果を図４に示す。図４より、６００℃までの昇温において、金属アルミニウム単独ではアルミニウムの塩素化→揮散に起因する加熱減量は全く観察されず、アルミニウムシリサイドにおいても５９３℃でようやく僅かに減量が観察されたにすぎないが、金属アルミニウムに塩化第一銅又は塩化第二銅を添加した系では４００℃付近から急激に減量が観察され（４００℃以下でも十分活性である）、ロコウ反応において明らかに活性なアルミニウムが形成された。
【００４１】
〔実施例５〕
低アルミニウムの金属ケイ素粉（オーストラリア産；アルミニウム含有量０．０４％；平均粒径４０μｍ）１００部に、予め金属アルミニウム粒子（平均粒径約５００μｍ）１００部に乾燥雰囲気下で塩化第二銅１０部を混合して調製した活性化アルミニウム１部及び塩化第二銅１０部を添加し、この混合物を塩化メチル通気下で昇温速度４℃／分で気体通気型示差熱分析装置にて測定を行った。この結果を、比較として活性化アルミニウムを添加しない上記金属ケイ素粉に塩化第二銅１０部を添加したものについての測定結果と併せて、図５に示した。この結果、活性化アルミニウムを添加したものの方がシャープなピークとして現れており、活性な触体が形成していることが明らかである。なお、本反応は、ロコウ反応の活性点形成反応Ｓｉ＋ＣｕＣｌ2→ＳｉＣｌ4＋Ｃｕに対応するもので、活性化アルミニウムの存在により、より効率的に活性点が形成することを示すものである。
【００４２】
〔実施例６〕
実施例５に記載した低アルミニウム金属ケイ素粉１００部に、塩化第二銅６部、酸化亜鉛０．５部及び活性化アルミニウム（実施例４に記載した金属アルミニウム粒子（平均粒径約５００μｍ）１００部に乾燥雰囲気下で塩化第二銅１０部を混合したもの）０．１部又は０．２部を、図１に示したようなスパイラル撹拌機を有し、予め十分に窒素で置換した直径８ｃｍのスチール製の反応器に仕込み、まず反応器内に窒素ガスを線速２ｃｍ／ｓｅｃで導入し、スパイラル撹拌機で撹拌しながら流動させ、３５０℃まで昇温した。その後、反応温度を２８０〜３００℃にコントロールしつつ塩化メチルを徐々に添加し、反応させ、最終的に線速７ｃｍ／ｓｅｃにして反応を継続した。反応を６時間継続したところで反応を終了させた。この間の平均シラン生成速度と生成シランの組成を表２に示した。比較として、活性化アルミニウムを添加しないものを表２に併記した。
【００４３】
【表２】
0003818357.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【図１】オルガノハロシランの製造装置の一例を示す概略図である。
【図２】アルミニウム合金（ＡｌＳｉ）と活性化アルミニウム合金の塩化メチル雰囲気下の熱天秤（ＴＧ）測定結果を示すグラフである。
【図３】金属ケイ素と塩化銅の反応に対する活性化アルミニウム合金の添加効果を説明する塩化メチル雰囲気下の示差熱分析（ＤＴＡ）測定結果を示すグラフである。
【図４】アルミニウムと活性化アルミニウムの塩化メチル雰囲気下の熱天秤（ＴＧ）測定結果を示すグラフである。
【図５】金属ケイ素と塩化銅の反応に対する活性化アルミニウムの添加効果を説明する塩化メチル雰囲気下の示差熱分析（ＤＴＡ）測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１    流動床反応器
１ａ  流動床
２    原料供給管
３    原料供給槽
４    原料有機ハロゲン化物管
５    加熱器
６    冷却器
７    排出管
８    第１サイクロン
９    固体粒子返送管
１０  第２サイクロン
１１  分離粒状物貯蔵層
１２  第１シラン凝縮器
１３  第２シラン凝縮器
１４  シラン貯蔵層
１５  循環ガスコンプレッサー
１６  有機ハロゲン化物返送管
【図１】
0003818357.tif 000004
【図２】
0003818357.tif 000005
【図３】
0003818357.tif 000006
【図４】
0003818357.tif 000007
【図５】
0003818357.tif 000008