(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置検出対象物の表面に、位置検出を行うＸＹ平面に沿う方向にバーコード状に並べて形成された複数本のマーカーと、
結像レンズとＣＣＤセンサを持ち、上記ＸＹ平面の離隔した２位置から上記マーカーの並び方向の横断画像を撮影する左右一対のＣＣＤ撮影ユニットと、
左右のＣＣＤセンサの各出力毎に、各マーカーのＣＣＤセンサ上の結像アドレスを、それが並ぶ順番と関連付けしながら求める結像アドレス演算回路と、
左右のＣＣＤセンサ毎に求められた複数の結像アドレスの同じ順番同士の組み合わせ毎に、それらの結像アドレスに基づき、２つの結像レンズ間の距離と各結像レンズへの入射角を利用する三角測距法の原理によって、対象物マーカーの位置（Ｘ0，Ｙ0）を求める計算を行う対象物位置演算回路と、
求められた対象物の位置（Ｘ0，Ｙ0）の全てが一定の一致基準を満たしているとき、その位置（Ｘ0，Ｙ0）を対象物の正しい位置として出力する判定回路とを具備したことを特徴とするイメージセンサ変位計。
【請求項２】
結像アドレス演算回路における対象物の位置を求める計算において、マーカーの結像アドレスを、検出平面内の調整基準点がＣＣＤセンサに結像する結像原点からの距離で表わすことを特徴とする請求項１に記載したイメージセンサ変位計。
【請求項３】
結像アドレス演算回路における対象物マーカーの位置（Ｘ0，Ｙ0）を求める計算を、
Ｘ軸に対し線対称に配置される左右一対のＣＣＤ撮影ユニットにおいて、左側結像レンズの中心位置を（０，ｈ）、右側結像レンズの中心位置を（０，−ｈ）とし、ＸＹ平面の第１象限に配置される左側ＣＣＤセンサの原点（０，０）から見たＸ軸に対する傾きをα1、ＸＹ平面の第４象限に配置される右側ＣＣＤセンサの原点（０，０）から見たＸ軸に対する傾きをα2とし、調整基準点（−Ｌ，０）から見た各結像レンズ中心のＸ軸に対する角度をβとし、調整基準点（−Ｌ，０）と各結像レンズ中心の距離をａ、各ユニットにおける結像レンズ中心から調整基準点がＣＣＤセンサ上に結像する結像原点との距離をｂとし、左側ＣＣＤセンサにおける結像原点からマーカーの結像点までの距離〔測定原点（０，０）に近づく方向を＋とする。〕をｄ1、右側ＣＣＤセンサにおけるマーカーの結像点から結像原点までの距離〔測定原点（０，０）から離れる方向を＋とする。〕をｄ2としたとき、
【数１】
0003828240.tif 000004
によって行うことを特徴とする請求項２に記載したイメージセンサ変位計。
【請求項４】
位置検出対象物の表面に、位置検出を行うＸＹ平面に沿う方向に不規則なピッチ間隔でバーコード状に並べて、形成された複数本のマーカーと、
結像レンズとＣＣＤセンサを、Ｘ軸にピントが合うように組み合わせて構成され、ＸＹ平面の離隔した２位置から上記マーカーの並び方向の横断画像を撮影する左右一対のＣＣＤ撮影ユニットと、
左右のＣＣＤセンサの各出力毎に、各マーカーのＣＣＤセンサ上の結像アドレスを、それが並ぶ順序と関連付けしながら求める結像アドレス演算回路と、
左右のＣＣＤセンサ毎に求められた複数の結像アドレスから１つずつ取出す組み合わせを行い、各組み合せ毎に、取り出した結像アドレスに基づき、２つの結像レンズ間の距離と各結像レンズへの入射角を利用する三角測距法の原理によって、対象物マーカーの位置（Ｘ0）を求める計算を行う対象物位置演算回路と、結像位置の並び順序の所定パターンに従って、左右のＣＣＤセンサ上の結像アドレスを複数個づつ取出し、このパターンの同じ順序の結像アドレス同士の組み合わせによって計算されている全ての位置（Ｘ0）が一定の一致基準を満たしているか否かの相互比較を、取出し開始位置をずらしながら繰り返し行い、全ての位置が一定の一致基準を満たしているとき、その位置を対象物の正しい位置として出力する判定回路とを具備したことを特徴とするイメージセンサ変位計。
【請求項５】
結像アドレス演算回路における対象物の位置を求める計算において、マーカーの結像アドレスを、検出平面内の調整基準点がＣＣＤセンサに結像する結像原点からの距離に換算して行うことを特徴とする請求項４に記載したイメージセンサ変位計。
【請求項６】
結像アドレス演算回路における対象物マーカーの位置（Ｘ0）を求める計算を、
Ｘ軸に対し線対称に配置される左右一対のＣＣＤ撮影ユニットにおいて、左側結像レンズの中心位置を（０，ｈ）、右側結像レンズの中心位置を（０，−ｈ）とし、ＸＹ平面の第１象限に配置される左側ＣＣＤセンサの原点（０，０）から見たＸ軸に対する傾きをα1、ＸＹ平面の第４象限に配置される右側ＣＣＤセンサの原点（０，０）から見たＸ軸に対する傾きをα2とし、調整基準点（−Ｌ，０）から見た各結像レンズ中心のＸ軸に対する角度をβとし、調整基準点（−Ｌ，０）と各結像レンズ中心の距離をａ、各ユニットにおける結像レンズ中心から調整基準点がＣＣＤセンサ上に結像する結像原点との距離をｂとし、左側ＣＣＤセンサにおける結像原点からマーカーの結像点までの距離〔測定原点（０，０）に近づく方向を＋とする。〕をｄ1、右側ＣＣＤセンサにおけるマーカーの結像点から結像原点までの距離〔測定原点（０，０）から離れる方向を＋とする。〕をｄ2としたとき、
【数２】
0003828240.tif 000005
によって行うことを特徴とする請求項５に記載したイメージセンサ変位計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、位置測定対象物にバーコード状に形成したマーカーを、一対のＣＣＤイメージセンサによって撮影して、対象物の位置を測定するイメージセンサ変位計に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
例えば、工場内で走行する無人車に対し、作業ステーションにおいて自動的にワークの積み込み及び積み下ろしをする場合に、停止した無人車の位置や姿勢によって、作業に支障が生じる場合がある。
【０００３】
この場合、ステーションから見た無人車の位置や姿勢を測定して作業を調整する必要がある。機械式のものは、無人車を傷つける等の事故のおそれがあので、非接触式の測定装置が望まれる。
【０００４】
この測定を、例えば、レーザ光を対象物に設けた反射板に照射し、その反射光を検出して距離測定を行うものもあるが、レーザー光源を用いると装置が高価になる。
【０００５】
そこで、本発明は、測定地点から見た対象物の位置を非接触で高精度に測定できるＣＣＤセンサを用いた光学式の変位計を、レーザー光源を用いない低コストの構成によって提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明が提供するイメージセンサ変位計は、以下に述べるように、対象物のＸＹ座標を測定するものと、Ｘ座標のみを測定するものがある。
(1) 対象物のＸＹ座標を測定するイメージセンサ変位計は、
位置検出対象物の表面に、位置検出を行うＸＹ平面に沿う方向にバーコード状に並べて形成された複数本のマーカーと、
【０００７】
結像レンズとＣＣＤセンサを持ち、上記ＸＹ平面の離隔した２位置から上記マーカーの並び方向の横断画像を撮影する左右一対のＣＣＤ撮影ユニットと、
【０００８】
左右のＣＣＤセンサの各出力毎に、各マーカーのＣＣＤセンサ上の結像アドレスを、それが並ぶ順番と関連付けしながら求める結像アドレス演算回路と、
【０００９】
左右のＣＣＤセンサ毎に求められた複数の結像アドレスの同じ順番同士の組み合わせ毎に、それらの結像アドレスに基づき、２つの結像レンズ間の距離と各結像レンズへの入射角を利用する三角測距法の原理によって、対象物マーカーの位置（Ｘ0，Ｙ0）を求める計算を行う対象物位置演算回路と、
【００１０】
求められた対象物の位置（Ｘ0，Ｙ0）の全てが一定の一致基準を満たしているとき、その位置（Ｘ0，Ｙ0）を対象物の正しい位置として出力する判定回路とを具備したことを特徴とする。
【００１１】
(2) 上記結像アドレス演算回路における対象物の位置を求める計算において、マーカーの結像アドレスは、検出平面内の調整基準点がＣＣＤセンサに結像する点（以下、結像原点という。）からの距離で表わして用いることができる。
これによって、組立・取付後の調整を容易に行うことができる。
(3) 上記(2) の計算は、具体的には、例えば次の▲１▼▲２▼式を用いて行うことができる。
【００１２】
すなわち、Ｘ軸に対し線対称に配置される左右一対のＣＣＤ撮影ユニットにおいて、左側結像レンズの中心位置を（０，ｈ）、右側結像レンズの中心位置を（０，−ｈ）とし、ＸＹ平面の第１象限に配置される左側ＣＣＤセンサの原点（０，０）から見たＸ軸に対する傾きをα1、ＸＹ平面の第４象限に配置される右側ＣＣＤセンサの原点（０，０）から見たＸ軸に対する傾きをα2とし、調整基準点（−Ｌ，０）から見た各結像レンズ中心のＸ軸に対する角度をβとし、調整基準点（−Ｌ，０）と各結像レンズ中心の距離をａ、各ユニットにおける結像レンズ中心から調整基準点がＣＣＤセンサ上に結像する結像原点との距離をｂとし、左側ＣＣＤセンサにおける結像原点からマーカーの結像点までの距離〔測定原点（０，０）に近づく方向を＋とする。〕をｄ1、右側ＣＣＤセンサにおけるマーカーの結像点から結像原点までの距離〔測定原点（０，０）から離れる方向を＋とする。〕をｄ2としたとき、
【数３】
0003828240.tif 000002
を用いて行うことができる。
(4) 対象物のＸ座標のみを測定するイメージセンサ変位計は、
【００１３】
位置検出対象物の表面に、位置検出を行うＸＹ平面に沿う方向に不規則なピッチ間隔でバーコード状に並べて、形成された複数本のマーカーと、
【００１４】
結像レンズとＣＣＤセンサを、Ｘ軸にピントが合うように組み合わせて構成され、ＸＹ平面の離隔した２位置から上記マーカーの並び方向の横断画像を撮影する左右一対のＣＣＤ撮影ユニットと、
【００１５】
左右のＣＣＤセンサの各出力毎に、各マーカーのＣＣＤセンサ上の結像アドレスを、それが並ぶ順序と関連付けしながら求める結像アドレス演算回路と、
【００１６】
左右のＣＣＤセンサ毎に求められた複数の結像アドレスから１つずつ取出す組み合わせを行い、各組み合せ毎に、取り出した結像アドレスに基づき、２つの結像レンズ間の距離と各結像レンズへの入射角を利用する三角測距法の原理によって、対象物マーカーの位置（Ｘ0）を求める計算を行う対象物位置演算回路と、
【００１７】
結像位置の並び順序の所定パターンに従って、左右のＣＣＤセンサ上の結像アドレスを複数個づつ取出し、このパターンの同じ順序の結像アドレス同士の組み合わせによって計算されている全ての位置（Ｘ0）が一定の一致基準を満たしているか否かの相互比較を、取出し開始位置をずらしながら繰り返し行い、全ての位置が一定の一致基準を満たしているとき、その位置を対象物の正しい位置として出力する判定回路とを具備したことを特徴とする。
【００１８】
(5) (4) のイメージセンサ変位計においても、マーカーの結像アドレスを結像原点からの距離に換算して対象物の位置を求めることができ、この場合の計算に、前記(3) に述べた計算式▲１▼を利用することができる。
【実施態様】
【００１９】
図１は、本発明のイメージセンサ変位計１の第１の実施態様の光学配置を示したもので、対象物の位置検出を行うＸＹ平面のＸ軸を挟む位置に、左右一対のＣＣＤ撮影ユニット２L，２Rを配置している。
【００２０】
上記光学配置は、結像レンズ３L，３Rから見た対象物マーカーの角度方向を、ＣＣＤセンサ４L，４R上のマーカー結像アドレスとして捉えるもので、左右の結像レンズ３L，３Rの中心間距離２ｈと、検出対象とする１本の対象物マーカーからの入射角度から、三角測距法の原理により、この対象物マーカーの位置（Ｘ0，Ｙ0）を演算することが、本発明の基本原理となっている。
【００２１】
対象物のＸＹ座標を検出する場合は、マーカー５として、例えば、図２に示すものを用いる。図２はバーコード状マーカーを３本並べたものであるが、この本数は２本以上あればよい。このマーカーは、マーカー部分とマーカーを囲む部分の明暗が容易に識別できるように、例えばマーカーを銀白色、その周囲を黒色にして形成される。このマーカーは、台車等の測定対象に容易に装着できるように、例えば貼着シートの形で用意される。
【００２２】
対象物のＸＹ座標を検出するためには、ＣＣＤ撮影ユニット２L，２Rの撮影可能エリアを、ＸＹ両方向に所定の幅を持たせて設定する必要があり、これは、結像レンズの被写界深度を深くするとともに、ＣＣＤセンサの結像レンズに対する傾きを調整して行う。この傾き調整は、例えば、Ｘ軸上のマーカーにピントを合わせた基準の傾きに対して、ＣＣＤセンサを、その中心を軸としてＺ軸回りに少し傾けて行う。
【００２３】
図１の光学系において、ＣＣＤセンサの出力から、マーカーの結像点アドレスを決定し、対象物の位置（Ｘ0，Ｙ0）を計算並びに決定する手法について説明する。
【００２４】
図３は、信号処理回路を示すもので、６はＣＣＤ出力を増幅するアンプ、７はＡ／Ｄ変換器、８は微分回路９と重心演算回路１０からなる結像アドレス演算回路、１１は結像アドレスに基づき測定対象の位置（Ｘ0，Ｙ0）を算出する対象物位置演算回路、１２は左右のＣＣＤセンサ毎に複数の結像アドレスが求められるので、結像アドレスの正しい組合わせを判別して、対象物の正しい位置（Ｘ0，Ｙ0）を決定する判定回路である。
図３の回路の動作は次のようになる。
【００２５】
マーカー５をＣＣＤセンサで撮影すると図４に示すような電圧波形が得られる。この電圧をアンプ６及びＡ／Ｄ変換器７を通して、ＣＰＵに入力する。
【００２６】
ＣＰＵ内の結像アドレス演算回路８は、左右のＣＣＤセンサの各出力毎に、各マーカーのＣＣＤセンサ上の結像アドレスを、それが並ぶ順序と関連付けしながら求める。
これは、次のように行われる。初めに、微分処理して図４の斜線を引いた部分のような微分信号を取り出す。
【００２７】
ここで、微分波形をサーチし、正及び負の微分しきい値を越える範囲（山及び谷の波形の斜線部分）の面積演算を行う。この面積が面積しきい値以下のときはノイズとみなし、これ以上であるときのみ、その範囲に対して重心演算を行う。この重心演算は、ＣＣＤセンサのアドレスをｉ、そのアドレスの微分値をＶiとしたとき、Σ（ｉ×Ｖi）／Σ（Ｖi）の演算を、ｉについて上記範囲であるｋからｎ（ｋ＜ｎ）まで行うものである。
【００２８】
この重心演算によって、山及び谷の波形の中心値、すなわち生データ山波形の立ち上がりエツジが求められる。さらに山及び谷の波形の中心値のアドレスを加算して２で割ることによって、マーカーの中心位置が結像アドレスとして求められる。この結像アドレスは、左右のＣＣＤセンサの出力毎に、順番が付けられて記憶される。
【００２９】
次に、ＣＰＵ内の対象物位置演算回路１１によって、左右のＣＣＤセンサ毎に求められた複数の結像アドレスから同じ順番のもの同士を組み合わせ、各組み合せ毎に、取り出した結像アドレスに基づき、２つの結像レンズ間の距離と各結像レンズへの入射角を利用する三角測距法の原理によって、対象物マーカーの位置（Ｘ0，Ｙ0）を求める計算を行う。この組合わせは、通常は同一マーカーの左右のＣＣＤセンサ結像アドレスの組合わせになる。なお、この計算に角度を直接用いる場合は、結像レンズ中心とＣＣＤセンサの位置関係に基づき、結像アドレスから変換した角度を用いる。
【００３０】
上記処理によって、各組合わせ毎の位置（Ｘ0，Ｙ0）を算出した後、それらを相互比較することによって、その値が正しいか調べる。これは、１本のマーカーの算出値のみでは、ノイズによる誤検出の可能性があるためである。
【００３１】
判定回路１２による判定は、例えば各マーカーのＸ座標（Ｘ0）の最大値と最小値の差が所定の許容誤差より小さいとき正しいと判断する。この判定は、Ｘ0のみについて行う他に、各マーカーのＹ座標（Ｙ0）の差が、マーカーの配列間隔に対応しているかを調べて行うこともできる。マーカーは、等間隔の配列と不規則な配列のいずれも採用することができ、判定は、隣接するマーカーのＹ座標の差が、この配列間隔に対応した値になっているか調べる。
【００３２】
判定の結果正しいと判断されたときは、例えば、Ｘ0の平均値（又は中央値）を対象物マーカーのＸ座標とし、Ｙ0の平均値（マーカーの並び方向の中心位置）を対象物マーカーのＹ座標として出力する。
【００３３】
上記対象物位置演算回路１１において、結像アドレスから対象物の位置（Ｘ0，Ｙ0）を求める演算の準備として、測定位置への設置後にＣＣＤセンサのアドレスの原点を決める等の調整作業が必要となる。
【００３４】
そこで、図１の実施態様では、この作業を容易にするため、調整用の１本のマーカーが仮に置かれる調整基準点（−Ｌ，０）を導入してＣＣＤ上の結像原点（調整基準点の結像点）を決め、各マーカーの結像アドレスを、この結像原点からのアドレス間隔によって表して、作業を容易化している。
【００３５】
この調整基準点（−Ｌ，０）を用いた場合は、例えば以下に説明するような式▲１▼▲２▼によって、１本のマーカーの位置（Ｘ0，Ｙ0）を演算することができる。
【００３６】
図１において、ＣＣＤ撮影ユニット２L，２Rの結像レンズ３L，３Rは、その中心をＹ軸上の（０，ｈ）及び（０，−ｈ）に配置され、この結像レンズ３L，３Rを通して対象物マーカーの像が結像するＣＣＤセンサ４L，４Rは、それぞれＸ軸に対してα1，α2の角度を付けて配置されている。この角度α1，α2は、測定対象物がＸ軸方向に移動しても、その像をＣＣＤセンサ上に結像できるようにするためのもので、例えば、Ｘ軸上のマーカーをＣＣＤセンサにピントを合せて結像させる基準角度に、必要とする撮影エリアに応じた調整を加えている。
【００３７】
また、調整基準点（−Ｌ，０）から見た各結像レンズ３L，３RのＸ軸に対する角度をβ、調整基準点（−Ｌ，０）から各結像レンズの中心までの距離をａ、各結像レンズの中心とＣＣＤセンサ上の調整原点との距離をｂとし、左側ＣＣＤセンサにおける結像原点から１本の対象物マーカーの結像点までの距離〔測定原点（０，０）に近づく方向を＋とする。〕をｄ1、右側ＣＣＤセンサにおける１本の対象物マーカーの結像点から結像原点までの距離〔測定原点（０，０）から離れる方向を＋とする。〕をｄ2とすると、次式が成立する。
【数４】
0003828240.tif 000003
【００３８】
以上の説明は、ＸＹ座標について、対象物の位置（Ｘ0，Ｙ0）を求めるものであったが、Ｘ軸に沿う位置にある対象物のＸ座標（Ｘ0）のみを測定をすれば良い場合は、ＣＣＤ撮影ユニットをＸ軸にピントを合うものに構成して、ＣＣＤセンサ上に明瞭な結像を得て演算精度を高くしながら、Ｘ方向の測定エリアを長く取ることができる。これを第２の実施態様として、以下に説明する。
【００３９】
この場合のＣＣＤ撮影ユニットの設定は、結像レンズの被写界深度を比較的浅くするとともに、ＣＣＤセンサの結像レンズの光軸に対する傾きを、Ｘ軸上のマーカーにピントを合わせた傾きにする。
【００４０】
このように、Ｘ軸に沿う位置にある対象物の位置測定をする場合は、対象物がＹ軸方向に若干ずれた位置にあっても、何れかのマーカーがＸ軸に沿う位置に来るように、図５に示すように、多数のバーコード状マーカーをＹ軸方向に不規則に並べたものを用いる。
【００４１】
第２の実施態様では、図１に示す光学配置において、各ＣＣＤ撮影ユニット２L，２RがＸ軸にピントを合せているため、ＣＣＤセンサ上の結像は、図６に示すように、Ｘ軸から離れた位置では、ＣＣＤセンサ出力が小さくなる。このため、結像アドレス演算回路８でマーカーの中心点を求める演算を行なうとき、Ｘ軸から離れた位置のマーカーはノイズとして排除され、Ｘ軸に沿った位置にあるマーカーの結像アドレスが、例えば３〜４本というように限定された数で求められる。
【００４２】
このため順番を付けて取出された複数の結像アドレスは、左右のＣＣＤセンサにおいて同一の順番のものが、同一のマーカーに対応するとは限らない。
【００４３】
そのため、対象物位置演算回路１１において、左右の結像アドレスの組合わせについて位置（Ｘ0）の計算を行った後、判定回路１２によって結像アドレスの正しい組合わせを判別して、対象物の正しい位置（Ｘ0）を決定する。
【００４４】
左右の結像アドレスの組合わせについて行う位置（Ｘ0）の計算は、左右のＣＣＤセンサ毎に求められた複数の結像アドレスから１つずつ取出す組み合わせを行い、各組み合せ毎に、取り出した結像アドレスに基づき、２つの結像レンズ間の距離と各結像レンズへの入射角を利用する三角測距法の原理によって、対象物マーカーの位置（Ｘ0）を求める計算である。
【００４５】
判定回路１２による結像アドレスの正しい組合わせの判別は、結像位置の並び順序の所定パターンに従って、左右のＣＣＤセンサ上の結像アドレスを複数個づつ取出し、このパターンの同じ順序の結像アドレス同士の組み合わせによって計算されている全ての位置（Ｘ0）が一定の一致基準を満たしているかの相互比較を、取出し開始位置をずらしながら繰り返し行うものである。
【００４６】
全ての位置（Ｘ0）が一定の一致基準を満たしているかの判定は、例えばＸ0の最大値と最小値の差が、所定の判定基準以下であるかを調べて行い、この基準を満たしているとき、例えばＸ0の平均値を、対象物の正しい位置（Ｘ0）として出力する。
【００４７】
ここで、結像位置の並び順序の所定パターンとは、ＣＣＤセンサ上の複数マーカーの結像点の並び（例えば４個のマーカーが結像したとすると、各マーカーの結像アドレス順に１番から４番までの順序を付けられた並びをいう。）において、例えば、小さい方から順に３個取り出すようなパターンを意味する。
【００４８】
このパターン例に従えば、初めに左右のＣＣＤセンサの結像アドレスから、夫々１番，２番，３番の結像アドレスを順に取り出し、パターンの順番に従って組み合わせた場合、次は左のＣＣＤセンサの結像アドレスを固定しておいて、右側のＣＣＤセンサの結像アドレスから２番、３番、４番の結像アドレスを順に取り出すことになる。
【００４９】
上記比較は、マーカーの位置が不規則に並んでいるため可能になっている。例えば図７に示すように、マーカーの配列ピッチが同じであると、本来○の位置でのみ組み合わされるべきものが、異なる結像アドレスを組み合わせた●の位置でも同じ計算結果（Ｘ0）が得られてしまう。これに対し、図８に示すようにピッチを不規則にしてあると、○の位置の正しい組合わせのときのみ（Ｘ0）が一致する。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、測定対象にバーコード状のマーカーを付けることにより、ＣＣＤセンサを用いた単純な構成の装置で、精度高く測定原点に対する測定対象物の位置（Ｘ0，Ｙ0）を測定できるので、低コストに自動システムの高精度な制御を行なえるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のイメージセンサ変位計の光学配置例を示す図である。
【図２】ＸＹ座標を測定する場合に用いるマーカーの一例を示す図である。
【図３】この発明のＣＣＤセンサの信号処回路を示す図である。
【図４】ＣＣＤセンサの出力の処理波形を示す図である。
【図５】Ｘ座標を測定する場合に用いるマーカーの一例を示す図である。
【図６】Ｘ軸にピントを合せたＣＣＤ撮影ユニットを用いた場合に、ＣＣＤイメージセンサに得られるマーカーの出力波形を示す図である。
【図７】マーカーのパターンピッチが同一の場合にパターンマッチに失敗することを説明する図である。
【図８】マーカーのピッチを異ならせることによって、パターンマッチを信頼性高く行なえることを説明する図である。
１  イメージセンサ変位計
２L，２R  ＣＣＤ撮影ユニット
３L，３R  結像レンズ
４L，４R  ＣＣＤイメージセンサ
８  結像アドレス演算回路
１１  対象物位置演算回路
１２  判定回路
【図１】
0003828240.tif 000006
【図２】
0003828240.tif 000007
【図３】
0003828240.tif 000008
【図４】
0003828240.tif 000009
【図５】
0003828240.tif 000010
【図６】
0003828240.tif 000011
【図７】
0003828240.tif 000012
【図８】
0003828240.tif 000013