(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
周波数ωＤの振動角速度信号でセンサを駆動するデイザリング装置と、センサと接続されコサイン（ωＤ  ｔ）に比例する信号でセンサ出力信号を復調し
0003816674.tif 000029
を発生する復調器と、センサ出力およびデイザリング装置の間に接続されるフイードバツクループとを備え、フイードバツクループにはセンサからの出力信号を入力するサーボ補償器と、サーボ補償器およびデイザリング装置間に接続されるノツチフイルタとが包有され、ノツチフイルタはデイザリング周波数ωＤの信号を拒絶してフイードバツクループにセンサ内にフイードバツクトルクを発生させる信号を搬送させないようにし、センサの運動が角速度の直接測定値でなるように構成されてなる、センサの出力信号を処理し角速度を測定する装置。
【請求項２】
周波数ωＤの振動角速度信号でセンサを駆動するデイザリング装置と、センサと接続されセンサ出力信号を発生するセンサピツクオフ回路と、センサピツクオフ回路に接続されるハイパスフイルタと、ハイパスフイルタに接続される同相信号処理チヤンネルと、ハイパスフイルタに接続される直角位相処理チヤンネルと、コサイン再変調器およびサイン再変調器に接続される第１の加算器と、センサピツクオフ回路および第２の加算器の間に接続される加速度フイードバツクループと、第１の加算器およびノツチフイルタの間に接続される第２の加算器とを備え、同相信号処理チヤンネルにはハイパスフイルタからの出力信号を入力するコサイン復調器と該コサイン復調器に接続され角速度測定信号を発生する第１のサーボ補償回路と第１のサーボ補償回路に接続されるコサイン再変調器とが包有され、直角位相信号処理チヤンネルにはハイパスフイルタからの出力信号を入力するサイン復調器と該サイン復調器に接続される第２のサーボ補償回路とサーボ補償回路に接続されるサイン再変調器とが包有され、加速度フイードバツクループにはノツチフイルタが包有され、ノツチフイルタはデイザリング周波数ωＤの信号を拒絶してデイザリング周波数でセンサ内のフイードバツクトルクを発生する信号をフイードバツクループに搬送させないようにし、センサの相対運動は角速度の直接測定値であり、ノツチフイルタは加速度を示す信号を発生し、第２の加算器の出力はセンサに接続されセンサに対し同相チヤンネル、直角位相チヤンネルおよび加速度フイードバツクループからの出力信号の和であるフイードバツク信号を与えるように構成されてなる、センサの出力信号を処理し角速度および加速度を測定する装置。
【請求項３】
加速度計と、周波数ωＤの振動角速度信号で加速度計を駆動するデイザリング装置と、加速度計と接続されセンサ出力信号を発生するセンサピツクオフ回路と、センサピツクオフ回路に接続されるハイパスフイルタと、ハイパスフイルタに接続されフイルタ処理されたセンサ信号を入力し角速度を示す信号を発生する復調器と、センサピツクオフ回路の出力および加速度計の間に接続されるフイードバツクループとを備え、フイードバツクループにはノツチフイルタが包有され、ノツチフイルタはデイザリング周波数ωＤの信号を拒絶してデイザリング周波数でセンサ内のフイードバツクトルクを発生する信号をフイードバツクループに搬送させないようにし、これによりセンサの相対運動は角速度の直接測定値であり、ノツチフイルタは加速度を示す信号を発生するように構成されてなる、センサの出力信号を処理し角速度および加速度を測定する装置。
【請求項４】
駆動信号をセンサアレイに与えてセンサアレイに対し周波数ωＤでデイザリング処理させセンサアレイから周波数ωＤで変調されるセンサ電気出力信号を発生させる装置と、センサのデイザリング旋回運動を示す信号を入力するデイザリングピツクオフ回路と、デイザリングピツクオフ回路からの出力信号を入力する第１のマルチプレクサと、マルチプレクサに接続されデイザリング速度の振幅および位相を決定する装置と、駆動信号と同相の第１の基準信号および駆動信号と直角の位相差を有する第２の基準信号を発生する装置と、センサアレイと接続される第２のマルチプレクサと、第２のマルチプレクサと接続され３個の軸のそれぞれに対しセンサ出力信号を順次処理するセンサ信号処理装置と、センサアレイにセンサフイードバツク信号を加えセンサでの線形およびコリオリ加速度の効果をゼロにする装置とを備え、振幅・位相決定装置はマルチプレクサに接続されるデイザリングコサイン再変調器を含み、センサ信号処理装置には第１の再平衡路と第２の再平衡路と加速度チヤンネルとが包有され、第１の再平衡路にはセンサ出力信号を第１の基準信号で復調する同相復調器と同相復調器からの出力信号を処理する第１のサーボ補償器と第１のサーボ補償器に接続される同相再変調器とが包有され、第２の再平衡路にはセンサ出力信号を第２の基準信号で復調するよう構成される直角位相復調器と同相復調器からの出力信号を処理してセンサのコリオリ加速度を示す信号を出力する第２のサーボ補償器と第２のサーボ補償器に接続される直角位相再変調器とが包有され、加速度チヤンネルにはセンサ信号を入力し駆動信号の周波数ωＤを有する成分を拒絶するよう構成されるノツチフイルタとノツチフイルタにより通過される信号を入力し選択された入力軸に沿ってセンサへの加速度入力を示す加速度フイードバツク信号を発生する加速度チヤンネルサーボ補償器と第１および第２の再平衡路および加速度チヤンネルからの出力信号を入力しセンサフイードバツク信号を発生する算術論理ユニツトとが包有されてなる、複数の互いに垂直な軸を中心とする角速度および加速度を測定するよう構成されたコリオリ力センサアレイからの出力信号を処理する装置。
【請求項５】
センサアレイに対し駆動信号を加える装置には、それぞれコサイン（ωＤ  ｔ）およびサイン（ωＤ  ｔ）として第１および第２の基準信号を出力するルツクアツプテーブルと、第１の基準信号を入力するよう構成されるコサイン変調器と、第２の基準信号を入力するよう構成されるサイン変調器と、コサインおよびサイン変調器からの出力信号を入力し特定の振幅および位相を有する加算器出力を発生するよう構成される加算器と、センサへ加算器出力を与えセンサをデイザリング処理する装置とが包有されてなる請求項４の装置。
【請求項６】
デイザリング角速度を調節しルツクアツプテーブルのコサイン波形出力と同相にする装置を包有してなる請求項４の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はナビゲーションあるいは他の用途に使用される回転センサシステムの信号処理技術、特に回転を測定するコリオリ加速度センサを含む回転センサシステムの信号処理技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
角速度は、線形加速度計を振動フレームに取り付け、慣性空間に対するフレームの加速度計により発生されるコリオリ加速度を測定することにより、捕捉された線形加速度計で測定可能である。一般に正確な加速度を測定するには、このような加速度計の周波数応答はデイザリング処理されたフレームの振動周波数で十分に定義して実行する要がある。倍率は加速度計で閉鎖されたループ利得と直接関連する。コリオリ信号の復調で基準位相を正確に制御することにより振動駆動動作の測定を適宜に制御する構成がないと、大きな誤差が振動駆動動作が加速度計と連結することにより発生される危惧がある。
【０００３】
加速度計の出力の利得および位相での不確実性による大きな誤差を除去する技術の一によれば、確度の高いＡＣトルクフイードバツクを用いて加速度により生じたコリオリ力を正確に抑止し、デイザリング周波数での標準質量を絶対ゼロに維持する構成がとられる。
【０００４】
またあるフイードバツク制御システムでは、測定中のパラメータにより正弦波搬送信号の振幅を変化させるべく設けられる。このようなシステムの場合、搬送信号の周波数は通常測定中のパラメータの所定のバンド幅より非常に高い。このような振幅変調された信号は圧力、加速度、速度、角速度等を測定するセンサから発生される。これらセンサの内の一部では、パラメータの正確な測定は閉鎖ループ構成での平衡を維持するに必要なフイードバツク信号を測定することにより決定される。
【０００５】
変調された信号を正確に測定することを重要視すべきケースとしては、角速度入力により発生されるコリオリ加速度を測定する振動角速度センサシステムがある。このようなセンサに一定加速度が入力されると、装置の被駆動発振周波数で振幅変調された出力信号が得られる。発生されたコリオリ加速度は入力加速度に比例し被駆動振動振幅と直角（９０度）の位相差がある。従つて振動の最大振幅に対し直角の位相差の最大振動速度が生じるとき最大加速度が生じる。ほとんどの場合加速度センサは振動する部材に装着された内蔵加速度検出器あるいは小さな加速度計である。検出器の標準質量は加速度により発生されるコリオリ加速度に応答する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
加速度センサが開放ループ構成で動作されるとき、出力信号の利得および位相が十分に正確に決定されていれば、周波数応答は一般に駆動周波数より大幅に高くする要がある。利得の絶対値は正確な倍率を得る場合重要であり、被駆動基準発振に対する信号の位相は［直角］な位相信号を拒絶するために重要であるが、これは加速度測定での誤差の主な発生源ともなる。この利得および位相の同種の問題点はまた、代表的な捕捉ループ技術を採用する場合閉鎖ループ加速度検出でも生じる問題がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、被駆動周波数ですべてのフイードバツクトルクをまとめてノツチアウトすることにより、被駆動周波数での加速度計サーボループのフイードバツクを抑止する標準質量を有する加速度センサシステムが提供される。標準質量相対運動は、加速度に応答する標準質量を変更するフイードバツクトルクが存在しないので、加速度の直接測定値になる。この場合標準質量は動作の振幅および位相がデイザリング駆動に対し十分に定義されている開放ループモードで本質的に応答する。この本発明による加速度センサシステムは特にコリオリ加速度を検出するのに有用である。
【０００８】
しかして本発明によれば、振幅変調されたサーボシステムの従来のフイードバツク変調技術の問題点を解決する技術が提供される。本発明によるフイードバツク変調システムではコリオリセンサが捕捉され、センサから発生された信号の位相および利得が良好な倍率を維持する構成に影響を与えなくなる。本発明による装置のフイードバツクループはサーボ補償器の出力と加算器との間に接続される。フイードバツクループにはトルク再変調器が含まれる。センサ、復調器、サーボ補償器およびトルク再変調器を有すフイードバツクループは協働して、検出力学の利得および位相、復調器およびサーボ補償と無関係な測定出力が発生され得る。
【０００９】
本発明の一実施例では、コリオリ力センサから出力された信号を処理して角速度を測定する装置は、センサに接続されそこからの角速度出力を示す信号を入力する復調器と、復調器から出力された信号を入力するサーボ補償器とを備える。サーボ補償器は角速度の測定された値を示す
0003816674.tif 000002
を発生する。トルク再変調器を含むフイードバツクループはサーボ補償器とセンサとの間に接続される。トルク再変調器は再変調された角速度信号をセンサに与え、復調器、サーボ補償器およびフイードバツクループは協働して、センサの利得および位相、復調器およびサーボ補償器に無関係な測定出力が発生され得る。
【００１０】
センサの出力信号を処理して角速度を測定する本発明による装置には、周波数ωＤの振動角速度信号でセンサを駆動するデイザリング装置と、センサと接続されセンサの出力信号をコサイン（ωＤ  ｔ）に比例する信号で復調し
0003816674.tif 000003
を発生する復調器とが包有される。フイードバツクループには、センサの出力信号を入力するサーボ補償器と、サーボ補償器とデイザリング装置との間に接続されるノツチフイルタとが含まれる。ノツチフイルタは、デイザリング周波数ωＤを拒絶してデイザリング周波数でセンサ内のフイードバツクトルクを発生する信号をフイードバツクループに持たせないように構成される。これによりセンサの相対運動は角速度の直接測定値になる。
【００１１】
且つまた本発明の装置はセンサピツクオフ回路と接続されたハイパスフイルタと、ハイパスフイルタと接続された同相信号処理チヤンネル回路とを備える。同相信号処理チヤンネル回路には好ましくは、ハイパスフイルタからの出力信号を入力するコサイン復調器と、コサイン復調器と接続され加速度測定信号を発生する第１のサーボ補償回路とが含まれる。コサイン復調器は第１のサーボ補償回路と接続される。直角位相信号処理チヤンネル回路はハイパスフイルタと接続される。直角位相信号処理チヤンネル回路にはハイパスフイルタの出力信号を入力するサイン復調器と、サイン復調器と接続される第２のサーボ補償回路とが含まれる。サイン再変調器はサーボ補償回路と接続される。第１の加算器はコサイン再変調器およびサイン再変調器と接続される。加速度フイードバツクループはセンサピツクオフ回路と第２の加算器との間に接続される。加速度フイードバツクループには、デイザリング周波数ωＤの信号を拒絶しデイザリング周波数でセンサ内にフイードバツクトルクを発生する信号をフイードバツクループに持たせないようにするノツチフイルタとが含まれ、これによりセンサの相対運動は角速度の直接測定値になり、ノツチフイルタは加速度を示す信号を発生する。第２の加算器は第１の加算器とノツチフイルタとの間に接続される。第２の加算器の出力はセンサと接続され、同相信号処理チヤンネル回路、直角位相信号処理チヤンネル回路および加速度フイードバツクループのそれぞれの出力信号の和であるフイードバツク信号をセンサに与えることになる。
【００１２】
また本発明はハイパスフイルタと接続されフイルタ処理されたセンサ信号を入力し角速度を示す信号を発生する復調器を備える。フイードバツクループはセンサピツクオフ回路の出力と加速度計との間に接続されている。フイードバツクループにはデイザリング周波数ωＤの信号を付与せずデイザリング周波数でセンサにフイードバツクトルクを発生する信号をフイードバツクループに持たせないノツチフイルタが包有される。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明による捕捉ループは特に加速度センサシステムに有用であるが、加速度センサの用途のみに限定されるものではない。ここに開示する捕捉ループは、圧力、温度、速度等を測定するセンサに使用できることは理解されよう。本発明による捕捉ループはまた検出中のパラメータにより振幅変調されるセンサに応用できる。更に本発明を添付の図面に沿つて詳述する。
【００１４】
図１は加速度センサシステムの出力信号を処理するのに使用された従来の捕捉
0003816674.tif 000004
れる。図１に使用可能なセンサは米国特許第４．６７９，４３４号、第４，８４１，７７３号、第５，０６５，６２７号および第５，１４２，９２１号に開示されている。以下の他の捕捉ループに含まれるセンサもセンサ１４と同様に構成され得る。
【００１５】
センサ１４はデイザリング処理する、または変調する信号により駆動され、
0003816674.tif 000005
はｃｏｓ（ωＤ  ｔ）により変調される。ここにωＤはセンサの駆動周波数であり、ｔは時間である。センサ１４はサーボ補償器１６に接続され、サーボ補償器１６はその入力信号を関数Ｇ（ｓ）で乗算し出力信号Ｖ（ｓ）を発生する。信号Ｖ（ｓ）はセンサ１４へフイードバツクされる。センサ１４はそのダイナミツク応答関数Ａ（ｓ）に従つて変調された加速度入力信号とフイードバツク信号との和に応答する。信号Ｖ（ｓ）も復調器１８に入力され、復調器１８は信号Ｖ（ｓ）を信号コサインｃｏｓ（ωＤ  ｔ）で復調する。復調器１８の出力は測定された
0003816674.tif 000006
である。
【００１６】
一定入力に対しセンサ１４の信号入力は駆動周波数ωＤで発振する。センサ１
0003816674.tif 000007
を打ち消すべくフイードバツクされる。センサ１４にフイードバツクされた信号は入力加速度の測定である。サーボ補償器の出力信号Ｖ（ｓ）は振動周波数での信号であるので、信号Ｖ（ｓ）は復調されて一定入力加速度を示す一定値が得られる。
【００１７】
図１の捕捉ループ技術は上述した従来技術の問題点を有する。この場合センサ１４およびサーボ補償器１６の周波数応答は特に駆動周波数ωＤで極めて重要となる。代表的な装置の場合、この周波数は１〜２０ｋＨｚ内にされるが加速度検出器はこの周波数範囲では十分に正確な出力を送出しないことが多い。従つてこのような２センサが振動環境で生じ、共通モードを抑止するように使用されている場合、センサは駆動周波数で利得および位相の両方で十分に適合させる要がある。センサが十分にマツチしていない場合、振動入力に対するこの差は加速度として検出される問題がある。実質的には、この出力はセンサ力学およびサーボ周波数応答に極めて敏感である。
【００１８】
図２には本発明による捕捉ループの一実施態様が示されている。
0003816674.tif 000008
はセンサ３４に入力され、センサ３４は図１に示した方法で
0003816674.tif 000009
をｃｏｓ（ωＤ  ｔ）で乗算する。センサ出力信号は復調器３６に入力され、復調器３６はセンサ信号を信号ｃｏｓ（ωＤ  ｔ）で復調する。復調器３６の出力信号はサーボ補償器３８に入力され、サーボ補償器３８は測定された
0003816674.tif 000010
を発生する。サーボ補償器は好ましくはＧ（ｊω）｜ω→０→∞のような利得Ｇ（ｊω）を有する。測定された
0003816674.tif 000011
はフイードバツクループ４０に入力され、フイードバツクループ４０には
0003816674.tif 000012
をｃｏｓ（ωＤ  ｔ）で変調するトルク再変調器４２が含まれている。トルク再変調器４２の出力信号は次にセンサ３４に入力されてフイードバツクループ４０が完成されるように設けられる。
【００１９】
図２に示す捕捉構成は
0003816674.tif 000013
を正確に測定する上で図１の従来の構成に比べはるかに優れていることが判明している。復調がフイードバツクループの内側で生じ、フイードバツク信号がサーボ補償器３８により処理された再変調された信号であり、サーボ補償器３８がその入力信号をＧ（ｓ）だけ増幅すること以外は、図２の装置は図１の装置と同様の周知の構成を取り得る。図２のシステムはコリオリ加速度からセンサ３４の標準質量のすべての相対運動を完全に抑制しそれに必要なトルクを測定することにより動作する。
【００２０】
再変調前の
0003816674.tif 000014
は
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の正確な測定にされる。
0003816674.tif 000016
は検出素子力学Ａ（ｓ）あるいはサーボ補償回路の利得Ｇ（ｓ）の利得および位相特性に対して実質的に独立したものとなっている。この条件は周波数が０に近づくに応じ、利得Ｇ（ｓ）が無限に近づくとき、即ちサーボ補償回路が積分利得を含む場合正確になる。本質的には、この無限利得のため、ＡＣフイードバツク信号により入力加速度信号の出力信号が正確にゼロにされ、
0003816674.tif 000017
はこのＡＣ信号の正確な測定となる。加速度入力測定は基本的には検出力学Ａ（ｓ）のダイナミツク動作の変化、サーボ補償Ｇ（ｓ）あるいは再変調器３６を経た位相あるいは利得のシフトによつても影響を受けない。一方再変調されたフイードバツクトルクが入力加速度により発生されているコリオリ加速度に比例して且つ同相にすることは重要である。
【００２１】
捕捉ループの出力はループの内部力学の利得および位相に対し非敏感であり、被駆動発振周波数の近傍の線形振動入力を良好な共通モードで抑止する要がある。
【００２２】
角速度の検出に１個のみのセンサを用いる場合、駆動周波数であるいはその近傍で環境からの線形振動入力により発生される信号と角速度信号とを区別する構成は現在のところはない。従つてほとんどのセンサは、互いに反対に振動し、それらの速度ベクトルが互いに１８０度位相がずれている少なくとも２個のセンサを有する。角速度がこのようなセンサに加えられると、コリオリ出力信号も互いに位相がずれる。この信号は線形振動入力に対しては同相である。しかし角速度信号はこれら信号を加算し差をとることにより振動入力と区別可能にしている。
【００２３】
図１の従来の装置の誤差および感度に関する問題点が図２に示す本発明の実施態様による捕捉ループでは克服され得ることが理解されよう。各センサの出力は本質的にはセンサ３４、再変調器３６およびサーボ補償器３８の利得および位相と独立される。復調器の基準入力は公称的には、代表的な検出素子力学Ａ（ｓ）の出力を最大にし、捕捉ループの安定性、バンド幅および総合性能を最適化するように位相調整できる。
【００２４】
0003816674.tif 000018
よび加速度ＧＩ Ｎは加速度計２００に加えられる。加速度計は好ましくは次の伝達関数により機能的に説明される振り子型装置である。
0003816674.tif 000019
【００２５】
信号ピツクオフ装置２０２は加速度計２００と接続される。加速度計２００には当業者に周知な加速度計の振り子が含まれる。信号ピツクオフ装置２０２は加速度計の振り子角度θを示すピツクオフ信号を発生する。信号ピツクオフ装置２０２の出力信号は加速度捕捉ループ２０４に入力され、また加速捕捉ループ２０６にも入力される。
【００２６】
加速度捕捉ループ２０４には信号ピツクオフ装置２０２の出力に接続されるハイパスフイルタ２０８が含まれる。ハイパスフイルタ２０８によりフイルタ処理された後のピツクオフ信号がピツクオフ信号をコサインｃｏｓ（ωＤ  ｔ）で復調する第１の復調器２１０に入力される。ピツクオフ信号もピツクオフ信号をサインｓｉｎ（ωＤ  ｔ）で復調する第２の復調器２１２にも入力される。コサイン復調器２１０の出力信号は関数ＨＣ（ｓ）をその入力信号に加える補償器２１４に入力される。サイン復調器２１２の出力信号は同様に関数ＨＳ（ｓ）を加える補償器２１６に入力される。
【００２７】
0003816674.tif 000020
１８に入力される。同様に補償器２１６の出力信号は入力信号をサインｓｉｎ（ωＤｔ）で再変調するサイン再変調器２２０に入力される。
【００２８】
再変調器２１８、２２０の出力信号としての再変調された信号は次に加算器２２２で合成される。再変調された信号の和は反転され負のフイードバツク信号として加算器２２３に入力される。
【００２９】
ピツクオフ装置２０２の利得および位相は、ピツクオフ信号が完全にゼロであるので、加速度捕捉ループでは重要ではない。復調および再変調はデジタルマルチプライヤ、アナログマルチプライヤによりあるいは全波復調器を切り替えることにより実行可能である。デイザリング周波数での全トルクフイードバツクにより、デイザリング周波数ωＤでの振り子動作が抑止される。
【００３０】
加速捕捉ループ２０６には利得ＧＨ（ｓ）をピツクオフ装置２０２の出力信号に加える増幅器２２４が含まれている。増幅されたピツクオフ信号は次にノツチフイルタ２３０に入力され、ノツチフイルタ２３０はデイザリング周波数での信号をの受入れを抑止する。ノツチフイルタ２３０の出力は測定された加速度を示
0003816674.tif 000021
れる。ノツチフイルタ２３０は加速捕捉ループ２０６内でデイザリング周波数でのフイードバツク信号を禁止する。
【００３１】
図４は本発明による第２の捕捉ループの実施態様を示す。センサ５４は入力コリオリ加速度を示す
0003816674.tif 000022
を入力する。センサ５４の出力はコサインｃｏｓ（ωＤ  ｔ）に比例する信号でセンサの出力信号を復調する復調器５６に入力される。センサ５４からのピツクオフ角度を示す信号はサーボ補償回路５８を含むフイードバツクループ５７に入力される。サーボ補償回路５８はデイザリング周波数の信号の受入を抑止するノツチフイルタ回路５９に補償された測定信号を与える。ノツチフイルタ回路の出力は次にセンサ５４に入力されフイードバツク信号を与える。
【００３２】
図４は加速度用の閉鎖ループおよび加速度用の開放ループを動作させる装置を示す。図４の本発明の実施態様の場合、標準質量は駆動周波数でのすべてのフイードバツクトルクをノツチアウトすることにより駆動周波数でのフイードバツクループ５７にフイードバツク信号が完全になくなる。標準質量の運動は、コリオリ加速度に対する標準質量の応答を変更するフイードバツクトルクは存在しないので、加速度の直接測定値である。この場合標準質量は本質的には運動の増幅および位相がデイザリング駆動に対し高精度に決定される開放ループモードに応答する。標準質量に作用する低い周波数の加速度もフイードバツクループ５７を経て捕捉されることが理解されよう。
【００３３】
0003816674.tif 000023
よび入力加速度ＧＩ Ｎは加速度計２５０に入力され、加速度計２５０はまた式（１）に与えられる伝達関数により機能的に動作される。加速度計２５０は図４のセンサ５４内に内蔵可能である。
【００３４】
加速度計２５０からの出力信号は角度θであり、ピツクオフ装置２５２に入力される。ピツクオフ装置２５２の出力信号は加速捕捉ループ２５４に入力され、加速捕捉ループ２５４には補償器２５６およびノツチフイルタ２６０が含まれ、これらは図３の補償器２２４およびノツチフイルタ２３０と同様にできる。ノツ
0003816674.tif 000024
に入力され振り子運動がゼロにされる。
【００３５】
ピツクオフ装置２５２の出力はハイパスフイルタ２６２に入力され、ハイパスフイルタ２６２はピツクオフ信号をフイルタ処理して復調器２６４に入力する。復調器２６４はフイルタ処理されたピツクオフ信号をコサインｃｏｓ（ωＤ  ｔ）で復調して
0003816674.tif 000025
を発生する。図４、図５に示される本発明の実施態様の場合、デイザリング周波数でのトルクフイードバツクが存在しない。標準質量である振り子はコリオリ力に対しての身完全に自由に応答する。従つて、振り子の力学はコリオリ加速度に対する利得および位相の応答に関して重要である。一方、図２および図３に示す本発明の実施態様を実施するに必要な回路の多くは削減できるので、コストがかなり削減できる。加速度入力は依然ノツチフイルタを有する低周波数加速度ループにより捕捉される。ノツチフイルタ２６０はフイードバツクループ２５４内のデイザリング周波数の信号を受入を抑止してフイードバツク信号に悪影響を与えることを阻止している。
【００３６】
図２の捕捉ループは標準質量のすべての相対運動をコリオリ加速度から完全に抑制しこのとき必要なトルクを測定することにより動作する。図４の捕捉ループでは標準質量がコリオリ加速度に対し完全に自由に応答でき、捕捉ループはその相対運動を測定できる。図２および図３の２条件の組み合わせは、フイードバツクされたトルクも標準質量運動も角速度入力により発生されるコリオリ加速度の真の測定値にならないので、生じることを阻止する要がある。
【００３７】
図６には、マルチセンサ装置システム６０および関連する信号処理回路６２のブロツク図が示されている。デイザリング装置６１はマルチセンサ装置システム６０を機械的にデイザリング処理するよう構成される。デイザリング装置６１には中央ロータ６４、外側リング６６および複数の羽根７０〜７２が含まれ、羽根７０〜７２は中央ロータ６４と外側リング６６との間を延びている。羽根７０はその対向側に装着された一対の圧電ドライバ７４、７５を有する。駆動電流はデイザリング駆動増幅器７８により圧電ドライバ７４、７５に与えられ、デイザリング駆動増幅器７８はデイジタル・アナログコンバータ８２を介してデイジタル信号プロセツサ８０に接続される。
【００３８】
また図６は加速度計１００およびデイザリング装置６１の略図を示す。実際上マルチセンサ装置６０には各軸のデイザリング装置６１と同様な２個のデイザリング装置が包有されている。１９９１年１１月１９日に発行されたスチユアート等による米国特許第５．０６５．６２７号に開示されるように、１個の加速度計が２個のデイザリング装置の３個の羽根のそれぞれに装着される。米国特許第５，０６５，６２７号に開示の如く２個のデイザリング装置は共通のロータに装着され、位相が１８０度ずらしてデイザリング処理される。
【００３９】
２個の圧電ドライバ７４、７５への駆動電流の位相関係により、圧電ドライバ７４、７５の一方が膨張し、他方のドライバが収縮する。羽根７０への駆動電流の位相関係により、羽根７０が小さな振幅で振動動作する。羽根７１、７２は対をなす圧電ドライバ８６、８７および８８、８９を有し、これらドライバはまた圧電ドライバ７４、７５へ供給された駆動電流と同じ駆動電流を入力する。しかして羽根７０−７２は同相で振動し、その結果リング６６が中央ハブ６４を通り紙面と垂直な軸を中心に振動回転運動する。
【００４０】
磁気式あるいは圧電式にできるデイザリングピツクアツプセンサ９０はリング６６の旋回振動を示す電気信号を発生する。デイザリングピツクアツプセンサ９０からの信号は増幅器９２に入力される。増幅器９２の出力信号はマルチプレクサ９４に入力され、マルチプレクサ９４自体はアナログ・デイジタルコンバータ９６を経てデイジタル信号プロセツサ８０と接続される。
【００４１】
図６のマルチセンサ装置６０にも線形加速度計１００が包有される。図６に示されるように、マルチセンサ装置６０には好ましくは線形加速度計１００と基本的に同一構成の５個の追加線形加速度計（図示せず）が包有される。線形加速度計１００は振り子装置を有し、振り子装置は基準質量１０２を有し、基準質量１０２はコンデンサ１０５の２枚のプレート１０３、１０４間に垂下される誘電体材料からなる。コンデンサ１０５の容量はコンデンサプレーとに対し標準質量の位置と関連付けされる。
【００４２】
振り子の位置を示す信号は前置増幅器１１０に入力され、前置増幅器１１０の出力はピツクオフ復調器１１２と接続されている。ピツクオフ復調器１１２の出力信号はマルチプレクサ１１４に入力され、マルチプレクサ１１４はアナログ・デイジタルコンバータ１１６を介しデイジタル信号プロセツサ８０とインターフェースをなしている。
【００４３】
コンデンサプレートは一対の加算器１２０、１２２から電気信号を入力し、加算器１２０、１２２はデイジタル・アナログコンバータ１２１を介しデイジタル信号プロセツサ８０と接続される。ピツクオフ励起回路１２４は加算器１２０、１２２に対し１８０度、位相がずれた信号を供給し、加算器１２０、１２２はデイジタル・アナログコンバータ１２１からの信号をピツクオフ励起回路１２４の出力に加算する。
【００４４】
図７はデイジタル信号プロセツサ８０の構造を示している。デイジタル信号プロセツサ８０は高い精度、低い消費電力および極めて低い費用を提供する方法でシステムデジタル周波数を制御する。
【００４５】
デイジタル信号プロセツサ８０はシステムクロツク回路１４１からマスタクロツク信号を入力する。このクロツク信号により論理ブロツク１５１でタイミングシーケンスが確立され、以下に説明するような機能を実行しシステムプロセツサバス１７５間に与えられる情報と同期してシステムプロセツサ１７３へのインターラプトが発生される。
【００４６】
デイジタル信号プロセツサ８０は周期ルツクアツプテーブル１５０を用いて基準サインおよびコサイン波形出力１４０、１４２をそれぞれ同期化する。周波数・位相指示器１４３からのインデツクスはルツクアツプテーブル１５０内の現在の位置をポイントしている。インデツクスはデジタル波形を構築するために各更新間隔（例えば、デイザリング周期の１／８）で増分される。これらのサインおよびコサイン基準波形はコントローラ回路８０の各箇所に対する精密位相基準として機能する。
【００４７】
コサイン変調器１５２はデジタル化された基準コサイン波形とコサイン振幅を乗算する。システムプロセツサ１７３はサインおよびコサイン振幅を制御する。サイン変調器１５４はデジタル化された基準サイン波形とシステムプロセツサバス１７５から入力されるサイン振幅とを乗算する。コサイン変調器１５２及びサイン変調器１５４の出力はベクトル的に加算器１５６と組合わされ、特定の振幅および位相を有する単一波形を発生しデイジタル・アナログコンバータ８２に入力される。
【００４８】
デイジタル・アナログコンバータ８２の出力はデイザリング駆動電圧であり、各マルチセンサロータ６４上の好適な組をなす圧電バイモルフに印加される。圧電ドライバ７４、７５、８６〜８７および８８〜８９は交互に拡張および収縮し、これによりロータを装着した各加速度計クラスタに旋回運動が与えられる。この機構により、デイザリングに振幅、位相および周波数を制御可能にする同期化した励起手段が与えられる。
【００４９】
ピツクオフ検出の場合、ピツクオフ回路９０はリング６６のデイザリング振幅を検出し、マルチプレクサ９４およびアナログ・デイジタルコンバータ９６を介しこの情報を再びデイジタル信号プロセツサ８０に中継する。デイザリングピツクオフ信号はデイザリングコサイン復調器１６０により基準コサイン波形で復調される。デイザリングピツクオフ信号もまたデイザリングサイン復調器１６２により基準サイン波形で復調される。この復調はデイザリング速度の振幅および位相を決定するためになされる。復調器１６０、１６２の出力はそれぞれ積分器１６４、１６６により積分処理される。復調され積分処理された情報はシステムプロセツサバス１７５へ供給され振幅および周波数が制御される。
【００５０】
0003816674.tif 000026
ここで、ω０はラデイアン／秒の単位で表される共振周波数である。共振時では
0003816674.tif 000027
相関係は共振周波数に対し区別される。
【００５１】
適切な信号関係を得るために、トルク位相は閉ループで調整されテーブル１５
0003816674.tif 000028
位相が観察される。直角（即ちサイン）成分が必要であるとき周波数は直角復調器の極性により１増分（例えば、１Ｈｚ）だけ増加あるいは減少される。これにより、デイザリング周波数が常に共振周波数の近傍に維持される。
【００５２】
ピツクオフ復調器１６０、１６２の出力信号の平方の和はテイザリング角速度に比例する。デイザリング角速度はマルチセンサ装置の角速度倍率を設定する特定値に制御される。振幅および位相の制御は好ましくはシステムプロセツサにおいて６００Ｈｚで生じる。
【００５３】
十分なバンド幅を補償して加速度計１００を復元するために、高周波励起信号（例えば、２５０ｋＨｚ）が加速度計トルクに加えられる。加速度計１００からピツクオフされた信号はピツクオフ復調器１１２により復調されて、ゼロからの変位に比例する信号が発生される。各ピツクオフ信号は増幅されマルチプレクサ１１４を介しアナログ・デイジタルコンバータ１１６へ与えられる。
【００５４】
６個の各加速度計のピツクオフ信号はアナログ・デイジタルコンバータ１１６によりデジタル化される。デジタル化速度は好ましくは１９．２ｋＨｚである。デジタル化された加速度計のピツクオフ信号は入力用のデイジタル信号プロセツサ８０に、更にピツクオフ信号処理回路１６５に与えられる。ピツクオフ信号処理回路１６５には一対の再平衡路１６９、１７１が含まれている。再平衡路１６９は同相チヤンネルであり、再平衡路１７１は直角位相チヤンネルである。
【００５５】
再平衡路１９０は低周波数チヤンネルであり、基準質量１０２の線形加速効果と対向する。再平衡路１６９、１７１はデイザリング搬送信号に作用し基準質量１０２に作用するコリオリカをゼロにする。デジタルフイードバツクチヤンネルを使用すると、アナログ電子のオフセツトのため誤差の蓄積が防止され、特に角速度信号に実行される復調処理からこれら誤差が除去される。
【００５６】
図７を参照するに、直角チヤシネル１７１ではアナログ・デイジタルコンバータ１１６からの信号は直角位相復調器１７２に入力され、直角位相復調器１７２自体はサインジエネレータ１４０からの基準信号を入力する。直角位相復調器１７２の出力信号は補償回路１７６に入力され、更に積分器１７８により積分処理される。積分器１７８の出力信号は次に直角位相再変調器１８０に入力され、直角位相再変調器１８０自体もサインジェネレータ１４０からの基準信号を入力する。直角位相再変調器１８０の出力は算術論理ユニツト（ＡＬＵ）１８２に入力される。
【００５７】
同相チヤンネル１６９では、アナログ・デイジタルコンバータ１１６からの信号は同相復調器１７４に入力され、同相復調器１７４自体はコサインジエネレータ１４２から基準信号を入力する。同相復調器１７４からの信号は補償器１８４へ送られ更に積分器１８６により積分処理される。積分器１８６からの出力信号はコリオリ加速度出力であり、これはシステムプロセツサバス１７５に供給される。積分器１８６の出力信号は同相再変調器１８８にも入力され、同相再変調器１８８自体もコサインジエネレータ１４２から基準信号を入力する。同相再変調器１８８の出力は算術論理ユニツト（ＡＬＵ）１８２へ送られる。
【００５８】
アナログ・デイジタルコンバータ１１６からの信号はまた加速ループ１９０に入力される。加速ループ１９０にはデイジタルノツチフイルタ１９２を含み、デイジタルノツチフイルタ１９２はアナログ・デイジタルコンバータ１１６から入力されるデジタル化されたピツクオフ信号に作用し、デイザリング周波数での信号成分の受入を抑止する。この結果得られたフイルタ処理された信号はデイジタルループ補償器２００を経て処理され、更に積分器２０２により積分処理される。加速ループ１９０は積分器２０２からの加速度計フイードバツク出力信号をシステムプロセツサバス１７５に更に算術論理ユニツト１８２に入力するために、積分利得を有している。ＡＬＵ１８２はデイジタル・アナログコンバータ１２１に入力され、デイジタル・アナログコンバータ１２１自体は加速度計１００の駆動回路の一部をなす。
【００５９】
この加速度フイードバツク信号は約５０μｓのタイマ更新期間にわたる平均加速（ΔＶ）に比例する。この形式の６個の出力は加速度計チツプの入力軸に沿つて測定された加速度を示す。
【００６０】
角速度に比例するコリオリ加速度はデイザリング角速度と同相である。一方、接線方向のデイザリング加速度を線形加速度計１００に連結すると、デイザリング周波数の不都合な直角成分が大きくなる危惧がある。上述したように直角成分および同相成分はゼロにしてピツクオフ位相シフトのため誤差を防止する必要がある。
【００６１】
同相再変調器１８８はデイザリングピツクオフ周波数と同期化される。補償器１８４および後続の加算器１８６を組み合わせると、積分利得が得られコリオリ加速度の測定値が供給され、コリオリ成分を零に駆動する同相再変調器１８８の振幅が設定される。この振幅は各デイザリング周期に一度更新され十分なループバンド幅が補償される。この振幅は１デイザリング周期にわたる平均角速度を示している。
【００６２】
直角チヤンネル１７１はコリオリ加速度に関する情報を含んではいないが、再変調された直角信号を加えることにより加速度計のピツクオフ信号が確実にゼロに維持される。従つて直角位相再変調器１８０の振幅もまた各デイザリング周期に一度更新される。加速度ループからの同相で、直角および低周波信号成分はすべてＡＬＵ１８２で共に加算される。ＡＬＵ１８２の出力はデジタルワードであり、デイジタル・アナログコンバータ１２１に印加され、デイジタル・アナログ（Ｄ／Ａ）コンバータ１２１自体はコンパクトなデイスクプレーヤに使用される種類の高精度Ｄ／Ａコンバータであることが好ましい。変換は２０ｋＨｚで行われ、２ｋＨｚのデイザリング波形の再構築のための十分な時間解像度が得られる。
【００６３】
このＤ／Ａコンバータの出力を用いて、反転構成での線形増幅器を用いて正および負の電圧が発生される。ピツクオフ励起回路１２４からの高周波数（通常約２５０ｋＨｚ）ピツクオフ励起信号は正および負の通路に対し加算および減算される。次に加算および減算された信号は加速度計の頂部および底部のトルクプレートに与えられる。振り子上に存在する電圧と共に差分的に与えられたプレート電圧が使用されると静電力が発生され、線形およびコリオリ加速度の両方による力が打ち消されピツクオフ信号が零に維持される。
【００６４】
図８は一対のコンデンサプレート３０４、３０６間で基準質量３０２が移動することにより出力されるコリオリ信号を処理するアナログシステム３００を示す。基準質量３０２及びコンデンサプレート３０４、３０６はコリオリカセンサの一例であることは理解されよう。実際上米国特許第５，０６５，６２７号に開示されるものと同様のセンサ構造が本発明の実用化に好ましい。コンデンサ３０８によりセンサの出力信号が増幅器３１０と連結される。Ｖｂｉａｓは抵抗器３１２を介し基準質量３０２に印加される。
【００６５】
増幅されたセンサの出力信号はコンデンサ３１４を経てピツクオフ復調器３１６へ送られる。第１のピツクオフ励起信号は復調器３２６にまた加算器３２９を介しコンデンサプレート３０４に印加される。第２のピツクオフ励起信号は加算器３３１を介しコンデンサプレート３０６に加えられる。第２のピツクオフ励起信号は第１のピツクオフ励起信号に対し位相が１８０度ずれている。これらのピツクオフ励起信号は好ましくは２５０ＫＨｚの周波数を有する。
【００６６】
ピツクオフ復調器３１６は信号を加速度捕捉ループ３１８および角速度捕捉ループ３２０に与える。加速度捕捉ループ３１８にはサーボ補償回路３２２が含まれ、サーボ補償回路３２２自体は加速度入力信号を発生する。加速度出力信号は加算器３２４に入力される。
【００６７】
角速度捕捉ループ３２０にはサイン・コサイン復調器３２６が含まれ復調器３２６自体はピツクオフ再変調器３１６に接続され、そこからの出力信号を入力する。サイン・コサイン復調器３２６の出力信号は積分利得回路３２８に入力される。積分利得回路３２８からの出力信号は角速度出力信号である。角速度出力信号はサイン・コサイン再変調回路３３０に入力される。デイザリング基準信号はサイン・コサイン再変調回路３３０および復調回路３２６に入力されている。
【００６８】
サイン・コサイン再変調回路３３０の出力信号は加算器３２４に入力される。加算器３２４は加速度出力信号および変調された角速度信号を加算しトルクフイードバツク信号を加算器３２９、３３１と接続される接続点３３２に与える。加算器３２９はトルクフイードバツク信号３３２を０度ピツクオフ励起信号に加算し、加算器３３１は１８０度ピツクオフ励起信号からフイードバツク信号３３２を減算する。
【００６９】
図９はセンサの出力信号を処理するデジタルシステムを示す。同図に示されるように、完全なセンサシステムには６個の加速度センサが含まれている。６個のセンサを用いて、３個の相互に垂直な軸のそれぞれに対する角速度および加速度を示す信号が得られる。
【００７０】
ｘ軸に対し、センサシステムは信号Ｘ１、Ｘ２を発生する。これら信号はそれぞれ成分ＸＡ１，ＸＲ１，ＸＡ２，ＸＲ２を有する。センサシステムは１２個の信号全体に対しｙ軸およびｚ軸に対する同様な信号を発生する。これらの信号は角速度および加速度の測定値を示す図８からの結果である。デユアルロータの場合、各軸に対し２組のセンサを有する対向デイザリング処理されたシステムは位相が１８０度ずれてデイザリング処理されて高周波の線形および角速度振動を高度に共通モードで受入を抑止する。デジタル処理システムでは、角速度および加速度のすべての信号処理は追加の電子装置を必要とすることなくシステムプロセツサ３８４内で行われる。
【００７１】
信号ＸＡ１、ＸＡ２は加算器３５０により組み合わされて加速度信号ＸＡを発生する。信号ＹＡ１、ＹＡ２および信号ＺＡ１、ＺＡ２はそれぞれ加算器３５２、３５４により組み合わせられる。加算器３５２、３５４はぞれぞれ加速度信号ＹＡ、ＺＡを発生する。
【００７２】
信号ＸＲ１、ＸＲ２は加算器３５６により組み合わせられて信号ＸＲを発生する。信号ＹＲ１、ＹＲ２、ＺＲ１，ＺＲ２は同様に加算器３５８、３６０により組み合わせられてそれぞれ角速度信号ＹＲ、ＺＲを発生する。
【００７３】
加速度信号ＸＡ、ＹＡ、ＺＡはそれぞれスイツチ３６４〜３６６に入力される。スイツチ３６４〜３６６はそれぞれサンプル・ホールド回路３７０〜３７２に接続される。サンプル・ホールド回路３７０〜３７２の出力はマルチプレクサ３７４に入力され、マルチプレクサ３７４はその出力信号をアナログ・デイジタル回路３７８に与える。アドレスバス３８２は好適な制御信号をマルチプレクサ３７４に供給し、接続すべきチヤンネルを順次選択する。アナログ・デイジタル回路３７８はデジタル信号出力をデジタルコントローラ・信号プロセツサ３８４に与える。角速度信号ＸＲ、ＹＲ、ＺＲはそれぞれスイツチ３９０〜３９２に入力される。スイツチ３９０〜３９２はそれぞれサンプル・ホールド回路３９４〜３９６に接続されている。サンプル・ホールド回路３９４〜３９６の出力はマルチプレクサ４００に入力され、マルチプレクサ４００はその出力信号をアナログ・デイジタル回路４０２に与える。アドレスバス４０８は好適な制御信号をマルチプレクサ４００に供給して接続すべきチヤンネルを順次選択する。アナログ・デイジタル回路４０２はデジタル信号出力をデジタルコントローラ・信号プロセツサ３８４に与え、デジタルコントローラ・信号プロセツサ３８４はシステムで使用するデータを処理し出力することになる。
【００７４】
【発明の効果】
上述のように構成された本発明によれば、測定誤差を有効に抑止し、利得の絶対値が正確な倍率を得、高精度の回転センサシステムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は加速度測定装置内でセンサからの出力信号を捕捉する従来のループのブロツク図である。
【図２】図２は本発明による第１の捕捉ループの一実施態様の簡略ブロツク図である。
【図３】図３は図２の第１の捕捉ループの、より詳細なブロツク図である。
【図４】図４は本発明による捕捉ループの他の実施態様の簡略ブロツク図である。
【図５】図５は図３の捕捉ループの、より詳細なブロツク図である。
【図６】図６は本発明によるマルチセンサ回転センサおよび信号処理回路のブロツク図である。
【図７】図７は図６の回路に含まれるデジタル信号プロセツサのブロツク図である。
【図８】図８はコリオリセンサの出力信号を処理する本発明によるアナログ回路である。
【図９】図９はコリオリセンサの出力信号を処理する本発明によるデジタル回路である。
【符号の説明】
１４  センサ
１６  サーボ補償器
１８  復調器
３４  センサ
３６  復調器
３８  サーボ補償器
４０  フイードバツクループ
４２  トルク再変調器
５４  センサ
５６  復調器
５７  フイードバツクループ
５８  サーボ補償回路
５９  ノツチフイルタ回路
６０  マルチセンサ装置
６１  デイザリング装置
６２  信号処理回路
６４  中央ハブ
６６  リング
７０  羽根
７１  羽根
７２  羽根
７４  圧電ドライバ
７５  圧電ドライバ
７８  デイザリング駆動増幅器
８０  デイジタル信号プロセツサ
８２  デイジタル・アナログコンバータ
９０  ピツクオフ回路
９２  増幅器
９４  マルチプレクサ
９６  アナログ・デイジタルコンバータ
１００  線形加速度計
１０２  基準質量
１０３  プレート
１０４  プレート
１０５  コンデンサ
１１０  前置増幅器
１１２  ピツクオフ復調器
１１４  マルチプレクサ
１１６  アナログ・デイジタルコンバータ
１２０  加算器
１２２  加算器
１２１  デイジタル・アナログコンバータ
１２４  ピツクオフ励起回路
１４０  サインジエネレータ
１４２  サインジエネレータ
１４１  システムクロツク回路
１４３  周波数・位相指示器
１５０  ルツクアツプテーブル
１５１  論理ブロツク
１５２  コサイン変調器
１５４  サイン変調器
１５６  加算器
１６０  デイザリングコサイン復調器
１６２  デイザリングサイン復調器
１６４  積分器
１６６  積分器
１６５  ピツクオフ信号処理回路
１６９  再平衡路
１７１  再平衡路
１７２  直角位相復調器
１７３  システムプロセツサ
１７４  同相復調器
１７５  システムプロセツサバス
１７６  補償回路
１７８  積分器
１８０  直角位相再変調器
１８２  算術論理ユニツト（ＡＬＵ）
１８４  補償器
１８６  加算器
１９０  加速ループ
１９２  デイジタルノツチフイルタ
２００  加速度計
２０２  ピツクオフ装置
２０４  加速度捕捉ループ
２０６  加速捕捉ループ
２０８  ハイパスフイルタ
２１０  復調器
２１２  復調器
２１４  補償器
２１６  補償器
２１８  コサイン再変調器
２２０  サイン再変調器
２２２  加算器
２２３  加算器
２２４  増幅器
２３０  ノツチフイルタ
２５０  加速度計
２５２  ピツクオフ装置
２５４  加速捕捉ループ
２５６  補償器
２６０  ノツチフイルタ
２６２  ハイパスフイルタ
２６４  復調器
３００  アナログシステム
３０２  基準質量
３０４  コンデンサプレート
３０６  コンデンサプレート
３０８  コンデンサ
３１０  増幅器
３１４  コンデンサ
３１６  ピツクオフ再変調器
３１８  加速度捕捉ループ
３２０  角速度捕捉ループ
３２２  サーボ補償回路
３２４  加算器
３２６  復調器
３２８  積分利得回路
３２９  加算器
３３０  サイン・コサイン再変調回路
３３１  加算器
３３２  トルクフイードバツク信号
３８４  デジタルコントローラ・信号プロセツサ
３５０  加算器
３５２  加算器
３５４  加算器
３５６  加算器
３５８  加算器
３６０  加算器
３６４  スイツチ
３６６  スイツチ
３７０  サンプル・ホールド回路
３７２  サンプル・ホールド回路
３７８  アナログ・デイジタル回路
３９０  スイツチ
３９２  スイツチ
３９４  サンプル・ホールド回路
３９６  サンプル・ホールド回路
４００  マルチプレクサ
４０２  アナログ・デイジタル回路
３０８  アドレスバス
【図１】
0003816674.tif 000030
【図２】
0003816674.tif 000031
【図３】
0003816674.tif 000032
【図４】
0003816674.tif 000033
【図５】
0003816674.tif 000034
【図６】
0003816674.tif 000035
【図７】
0003816674.tif 000036
【図８】
0003816674.tif 000037
【図９】
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