(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性チューブを第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具とによって保持し、該チューブを第１チューブ保持具と第２チューブ保持具との間にて発熱用抵抗体を有する切断板によって加熱溶融して切断した後、チューブ切断面同士を溶着して接続するチューブ接続装置において、
前記切断板が複数枚充填された切断板カセットと、
前記切断板を保持するホルダと、
前記切断板カセットから前記ホルダに前記切断板を送りセットする送り機構と、
前記ホルダに対して揺動可能な揺動部材と、
前記発熱用抵抗体の端子に電圧を印加する電極と、
前記切断板と接離可能な蓄熱体とを有し、
前記電極および前記蓄熱体は、前記揺動部材に固設されており、
前記揺動部材の揺動運動によって、前記電極および前記蓄熱体を前記切断板カセットから前記ホルダに送られた前記切断板に接触・待避させるように構成されていることを特徴とするチューブ接続装置。
【請求項２】
請求項１に記載のチューブ接続装置において、
前記蓄熱体内に測温体が埋設されたものであることを特徴とするチューブ接続装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のチューブ接続装置において、
前記蓄熱体内の測温体により、切断板の温度制御を行うことを特徴とするチューブ接続装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可撓性を有する複数のチューブを溶融して切断し、その切断面同士を溶着して接続するチューブ接続装置に関し、特にチューブを切断する切断板の温度変化を調整するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
チューブ接続装置は、例えば特開平９―１５４９２０号公報に開示されているもののように、接続する２本のチューブを平行に保持し、板状の加熱素子からなる切断板（以下、「ウェハ」という）を加熱した後、その加熱したウェハをチューブに対して直交するように移動させてチューブを溶融して切断し、次いで、その切断面がウェハ面をスライドするようにしてチューブを移動させた後、ウェハを後退させて両チューブの切断面同士を溶着接続させるものが知られている。
【０００３】
そこで、このようなチューブ接続装置の従来例について、その切断部を簡単に説明する。図１４は、チューブ接続装置の切断手段の構成を示した図である。
ウェハ１５１を保持するホルダ１５２は、下方に延設されたアーム部１５３に固設され、そのアーム部１５３先端には、カム１５４のカム溝内に摺動可能に挿入された従動部材１５５が設けられている。また、ウェハ１５１を保持したホルダ１５２は、本体１３０への取付部１３１に対しヒンジ１３２によって揺動可能に支持されている。
ウェハ１５１は、自己発熱型の加熱切断板であり、例えば銅板のような金属板を２つ折りにし、その内面に絶縁層を介して所望のパターンの発熱用の抵抗体が形成されている。そして、その抵抗体の両端の端子５１１，５１２が、それぞれ金属板の一端部に形成された開口より露出して形成されている。
【０００４】
よって、電極が端子５１１，５１２に接触して通電したウェハ１５１は、その内部の抵抗体が発熱し、チューブを溶融して切断するのに十分な温度にまで加熱される。
一方、回転軸１３３の回転によりカム１５４が回転し、そのカム溝内に挿入されている従動部材１５５が上下動する。そのため、ホルダ１５２がヒンジ１３２を中心に揺動し、加熱されたウェハ１５１が上げられた時に、図１５に示すように第１、第２チューブ保持具１０１，１０２に保持されたチューブ１０３，１０４が溶融、切断される。
【０００５】
その後、第２チューブ保持具１０２が１８０°回転し、切断されたチューブ１０３，１０４の位置がウェハ１５１を挟んで互いに入れ替わった状態になる（図１５参照）。
そして、回転軸１３３の回転によりカム１５４が回転すると同時に、第２チューブ保持具１０２が第１チューブ保持具１０１側へ接近し、後退したウェハ１５１によって対面したチューブ１０３，１０４の切断面同士が溶着して接続される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような構成からなる従来のチューブ接続装置は、そのウェハに関して次のような問題点があった。
チューブ接続装置は、先の説明にも記載したようにウェハ１５１を加熱し、その熱によってチューブ１０３，１０４を溶融・切断し、そのウェハ１５１に接する切断断面が溶融状態にある間に、チューブ１０３，１０４を交互に入れ替えて切断断面同士を溶着させるものである。従って、ウェハ１５１はこのようなチューブ接続作用を実現させるために十分な熱をもつ必要がある。
【０００７】
しかし、ウェハ１５１は厚さが数百μと極めて薄く熱容量が小さいため、チューブ切断時の温度ドロップが顕著になる。従って、切断したチューブの適切な溶着を行わせるためには、温度ドロップ分の温度低下を考慮して予めウェハ１５１を高温に加熱しておく必要がある。
ここで、従来のチューブ接続装置におけるウェハ１５１の温度変化を図１６の破線で示す。即ち、従来のチューブ接続装置では、ウェハは通電によって急激に温度上昇するが、チューブの切断によって熱が奪われて急激に、しかも大幅に温度低下することを示す。
【０００８】
一方、チューブ１０３，１０４を形成する特殊塩化ビニルは融点が１５０℃程度であることから、チューブ切断面の溶融状態を保ち適切な溶着接続を行わせるためには、切断から接続までの一連の工程において許容切断温度（約２００℃）を維持する必要がある。従って、従来のチューブ接続装置では、温度ドロップによる温度低下量が大きいため、その温度ドロップによる温度低下分を予め考慮に入れた加熱を行う必要があった。
ところが、あまりウェハ１５１を加熱し過ぎると、ウェハ１５１が絶縁破壊したり、チューブ１０３，１０４が焦げてしまうといった問題があった。
一方、切断時にウェハ１５１を充分に加熱してもウェハ１５１の温度低下が激しいため、ウェハ１５１に接するチューブ１０３，１０４切断面の温度も下がってしまい、接続時における切断面同士の溶融・接着に時間がかかるばかりか、最初の切断部では溶け量が幅広くなることでチューブ接続部からのリークや接続強度が低下するといった問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、かかる問題点を解決すべく、ウェハの大幅な温度低下を防止したチューブ接続装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のチューブ接続装置は、可撓性チューブを第１チューブ保持具及び第２チューブ保持具とによって保持し、該チューブを第１チューブ保持具と第２チューブ保持具との間にて発熱用抵抗体を有する切断板によって加熱溶融して切断した後、チューブ切断面同士を溶着して接続するものであって、前記切断板が複数枚充填された切断板カセットと、前記切断板を保持するホルダと、前記切断板カセットから前記ホルダに前記切断板を送りセットする送り機構と、前記ホルダに対して揺動可能な揺動部材と、前記発熱用抵抗体の端子に電圧を印加する電極と、前記切断板と接離可能な蓄熱体とを有し、前記電極および前記蓄熱体は、前記揺動部材に固設されており、前記揺動部材の揺動運動によって、前記電極および前記蓄熱体を前記切断板カセットから前記ホルダに送られた前記切断板に接触・待避させるように構成されていることを特徴とする。
【００１１】
よって、チューブ切断時には、揺動部材の揺動運動によって電極および蓄熱体が切断板に接触するため、切断板の熱容量が見かけ上大きくなり、チューブ切断時の大幅な温度低下を防止することができる。また、切断板を交換させる場合に揺動部材の揺動動作によって電極及び蓄熱体を待避させるので、交換作業の円滑化を図ることができる。
このように本発明のチューブ接続装置では、チューブ切断時の大幅な温度低下を防止することができるのでチューブ切断面の溶融状態を一定条件に保って接合強度を安定化させるとともに、切断板の交換作業の円滑化を図ることができる。
【００１２】
また、本発明のチューブ接続装置は、前記蓄熱体内に測温体が埋設されたものであることを特徴とする。
また、本発明のチューブ接続装置は、前記蓄熱体内の測温体により、切断板の温度制御を行うことを特徴とする。
よって、切断板を最適な温度に設定すことが容易にできる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
次に、本発明にかかるチューブ接続装置の一実施の形態について図面を参照して以下に説明する。そこで先ず、チューブを保持するためのクランプ部の構成について説明する。図１は、本実施の形態のチューブ接続装置のクランプ部を示した斜視図である。
本チューブ接続装置は、第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２とから構成され、それらが不図示の本体に係設されている。第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２は、可動クランプ３１，５１が固定クランプ２１，４１に対して当接・離間すべく移動可能なよう設けられている。
【００１４】
ところで、本チューブ接続装置には、第１チューブ保持具１に回転機構（６３）を備え、第２チューブ保持具２にはそのような回転機構がないといった違いがある。
第１チューブ保持具１の固定クランプ２１及び可動クランプ３１は、ともに図１に示すように一対のカバー部材２３，２４、カバー部材３３，３４が接合して一つのブロックが構成されている。カバー部材２３，２４及びカバー部材３３，３４はいずれも同様な形状をなし、互いに対称的な形状をなすものである。この具体的な構成については図２に示す片側のカバー部材２３，３３について説明する。図２は、第１チューブ保持具１の固定クランプ２１及び可動クランプ３１の縦断面を示した図である。
【００１５】
カバー部材２３，３３には、半円形状の一対のローター片６１，６２からなるクランプローター６３（図１参照）を装填できる半円形状の凹部が掘られたローター装填部２５，３５が形成されている。ローター装填部２５，３５の中心部には、それぞれ半円形状の切欠２６，３６が形成され、クランプローター６３の中心部が現れるように形成されている（図１参照）。ローター装填部２５，３５には、半円形状の円周レール２７，３７が形成されている。この円周レール２７，３７は、Ｕ字溝をなしている。
また、カバー部材２３，３３には、ローター装填部２５，３５の外周に連続するようにギヤ装填部２８，２９，３８，３９である凹部が形成されている。
【００１６】
次に、図４は、クランプローターを装填した状態を示した図である。カバー部材２３，２４及びカバー部材３３，３４が接合した中に装填されるクランプローター６３（図１参照）は、前述したように一対の半円形状のローター片６１，６２から構成されたものであり、その円周上には歯形が形成され、両ローター片６１，６２が接合した際に１個の歯車をなすよう構成されている。
ローター片６１，６２が互いに当接したクランプローター６３の中心、即ち、ローター片６１，６２同士の当接面６１ａ，６２ａの中央には、断面コ字形状の挟持部６１ｂ，６２ｂが形成されている。この挟持部６１ｂ，６２ｂは、図４に示すように２本のチューブ４，５を水平に重ねて並べた場合、その２本のチューブ４，５を扁平形状にして潰す深さで形成されている。これは、チューブ４，５を切断した際に中の液体が流れ出ないようにチューブ４，５の管内を圧閉するためである。
【００１７】
また、ローター片６１，６２のそれぞれの両側面には、カバー部材２３，２４，３３，３４に形成された円周レール２７，２７，３７，３７に嵌合する円周状に形成された円周凸部６１ｃ，６２ｃが形成されている。
一方、第１チューブ保持具１の固定クランプ２１及び可動クランプ３１内には、上下にローター片６１，６２と噛合するギヤ６４，６５，６６，６７が回転可能に軸支して装填される。これらのギヤ６４，６５，６６，６７のうち、固定クランプ２１を構成するカバー部材２３，２４の下方に装填されたギヤ６４が、モータの回転軸に連結されたドライブギヤとして構成されている。
【００１８】
次に、第２チューブ保持具２について説明する。図５は、第２チューブ保持具２を示した斜視図である。
この第２チューブ保持具２を構成する固定クランプ４１及び可動クランプ５１は、クランプ部材４３，４４、クランプ部材５３，５４が接合して形成されたブロックから構成されている。この第２チューブ保持具２には、第１チューブ保持具１のような回転機構は設けられていない。
固定クランプ４１及び可動クランプ５１は、当接面にローター片６１，６２に形成した挟持部６１ｂ，６２ｂと同じ深さの挟持部４５，５５が形成されている。即ち、２本のチューブ４，５を図４に示すよう水平に重ねて挟持した場合、その２本のチューブ４，５がともに扁平形状になる深さで形成されている。
【００１９】
このような構成からなる第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２は、可動クランプ３１，５１を固定クランプ２１，４１へ当接・離間させる駆動手段が係設されている。その駆動手段には、可動クランプ３１，５１に固定するシリンダやモータなどが使用される。
そして、この第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２の間には、図４に示すウェハ３が、チューブ４，５に対して直交するよう上下移動できるよう配設されている。
【００２０】
次に、図６及び図７は、チューブ接続装置の切断手段を示した側面図であり、図６は待機状態、図７は切断状態を示した図である。ウェハ３は、ウェハカセット７１に複数枚装填され、１枚のウェハが不図示の送り機構によって送られてホルダ７２にセットされるよう構成されている。
ウェハ３は、自己発熱型の加熱切断板であり、その詳細は図示しないが、例えば銅板のような金属板を２つ折りにし、その内面に絶縁層を介して所望パターンの発熱用の抵抗体が形成され、その抵抗体の端子３ａ，３ｂがそれぞれ金属板の一端部に形成された開口より露出して形成されたものである。
【００２１】
このウェハ３が装填されるホルダ７２は、図８の斜視図で示すように送り方向Ｘに溝７２ａが形成され、その両端には溝７２ａを挟むように壁が立設されている。このようにしてホルダ７２の真ん中を開けたのは、ここでチューブ４，５を横切るようにして切断するためである。また、図面裏側の壁は、後述する電極９１ａ，９１ｂ及び蓄熱体９２をウェハ３へ接触させるスペースを設けるため細めに形成されている。
図６に戻って、このようなホルダ７２は、第１レバー７３の一端に固設されている。この第１レバー７３は、他端を支軸７４にて揺動自在に支持され、ホルダ７２の固設された箇所で引張ばね７５によって下方へ引っ張られている。また、この第１レバー７３にはピン７３ａが立設され、それに第２レバー７６が係設されている。第２レバー７６は、そのピン７３ａに係設すべく一端部にＵ字状の切欠が形成され、他端部は支軸７７にて揺動自在に支持されている。更に、その中間位置には従動ローラ７８が軸支され、カム７９に当接されている。
【００２２】
更に、このような構成のホルダ７２及び第１、第２レバー７３，７６は、図１０の平面図で示すように直線上に配設され、ホルダ７２を挟むように前記第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２が配設されている。
これらは図６及び図７に示すようにボディ８１内に形成され、チューブの装填が可能なよう開設されたボディ８１上面の開口部には安全カバー８２が設けられている。
【００２３】
ところで、本装置で使用するウェハ３も従来例のものと同様、抵抗体からなる自己発熱型の切断板であり、図８に示すよう電極９１ａ，９１ｂが設けられている。電極９１ａ，９１ｂは、そのウェハ３の一端部に露出した抵抗体の端子３ａ，３ｂに接触する位置に設けられている。
この電極９１ａ，９１ｂは、レバー９３に一体のブロック９４に固定され、レバー９３の揺動作用により端子３ａ，３ｂに接触・待避するよう構成されている。そのレバー９３は、上端に電極９１ａ，９１ｂを備えたブロック９４が固定され、下端には従動ローラ９５が軸支され、その中間位置に揺動支点となる支点孔９６が穿設されている。そして、レバー９３は、この支点孔９６を貫通しホルダー７２に固定された不図示の支軸によって揺動支持されている。即ち、レバー９３は、ホルダ７２に対して揺動するよう構成されている。
【００２４】
更に、本装置では、ブロック９４に蓄熱体９２が取り付けられている。この蓄熱体９２は、電極９１ａ，９１ｂが端子３ａ，３ｂに接触したと同時にウェハ３の側面に圧接するものであり、例えば熱伝導率の高い銅が使用される。また、この蓄熱体９２には測温体１００が埋設されている、
一方、レバー９３とホルダ７２との間には、支点孔９６の下方に加圧バネ９７が固着され、レバー９３に与えられる付勢力によって電極９１ａ，９１ｂ及び蓄熱体９２がウェハ３へ押圧されるようになっている。また、従動ローラ９５は、図９に示すようカム９９のカム面に当接され、そのカム面に形成された凹凸に従って転動するよう構成されている。
【００２５】
以上の構成をなす本実施の形態のチューブ接続装置は、軟質ポリ塩化ビニル等のような軟質樹脂で構成され可撓性（柔軟性）を有する２本のチューブを２箇所でクランプして固定し、その固定した２点間で切断した後チューブ切断面の位置を反転させ、それぞれの切断面を交互に接続するものである。そこで、先ずクランプされたチューブの切断・接続動作について説明する。
２本のチューブ４，５は、図１１に示すよう固定クランプ２１，４１と可動クランプ３１，５１とによってクランプされた状態にある。このとき、挟持部６１ｂ，６２ｂ及び挟持部４５，５５の間にあったチューブ４，５はクランプされて扁平形状となっている。従って、切断時には、挟持部６１ｂ，６２ｂ及び挟持部４５，５５によってクランプされたチューブ４，５内の液体が外へ漏れ出ることはない。
【００２６】
一方、このようなクランプ動作に平行してウェハ３が加熱され、切断可能な状態におかれる。即ち、融点が１５０℃程度のチューブを切断・接続するために３００℃にまでウェハ３の温度が上げられる。
このウェハ３は１回毎に使い切るタイプのものであり、新たな接続動作が開始された場合には、ウェハカセット７１から１枚の新しいウェハ３が送り出される。送り出された新しいウェハ３は、使用済みの古いウェハ３がホルダ７２内に残っているため、古いウェハ３を押し出すようにしてホルダ７２内に送り込まれる。
そして、新しいウェハ３がホルダ７２内に送り込まれたならば、カム９９の回転により従動ローラ９５がカム面の凹部を転動する。そのため、バネ９７に付勢されたレバー９３が揺動し、電極９１ａ，９１ｂ及び蓄熱体９２がウェハ３へ圧接する。このとき、電極９１ａ，９１ｂが露出された抵抗体の端子３ａ，３ｂに接触し、蓄熱体９２はウェハ３側面に隙間なく密着する。
【００２７】
電極９１ａ，９１ｂが端子３ａ，３ｂに接触すれば、ウェハ３を構成する抵抗体が通電されて発熱し、その抵抗体を挟み込んだ銅板が加熱される。そして、このウェハ３の銅板を加熱する熱は、更にウェハ３に圧接している蓄熱体９２へも伝わっていく。
従って、抵抗体を通電して発生した熱は、ウェハ３本体の他に熱容量を増すために設けられた蓄熱体９２をも加熱することとなる。
【００２８】
そして、第１チューブ保持具１と第２チューブ保持具２との間に配設されたウェハ３が上昇し、その間の位置でチューブ４，５が垂直に切断される。
ウェハ３がホルダ７２内に送り込まれて加熱された時点では、まだ図６に示すように第１レバー７３が下げられた状態にある。そこで、ウェハ３が十分に昇温したところで持ち上げられてチューブを切断する。ウェハ３の温度は蓄熱体９２に埋設された測温体１００によって測定されている。
このようにウェハ３がチューブ４，５を切断する場合には、カム７９の係設されたモータが駆動し、カム７９が図６から図７の状態にまで回転する。その間に従動ローラ７８は、カム７９のカム面を転がって上昇する。そのため、第２レバー７６は支軸７７を中心に揺動し、第１レバー７３のピン７３ａとの係設端部が上昇することとなる。
【００２９】
その第１レバー７３は支軸７４を中心にして揺動し、これに一体固定されたホルダ７２が引張ばね７５の引張力に抗して上昇する。そして、上昇したウェハ３はチューブ４，５を直交することとなる。
チューブ４，５を切断する場合には、３００℃にまで熱せられたウェハ３によってチューブ４，５が溶融される。このようなチューブ４，５を切断するのに必要な熱量は、ウェハ３から直接供給（ウェハ３の蓄熱量及び切断中の通電加熱量）されるが、本チューブ接続装置では、更にウェハ３に密着した蓄熱体９２からも熱供給が行われる。即ち、熱容量が小さいウェハ３が大幅に温度低下しないうように、蓄熱体９２からチューブ４，５を切断するのに必要な熱が補填される。
【００３０】
このときのウェハ３の温度変化を見てみる。図１６の実線で示したものが本実施の形態で示した蓄熱体９２を設けたチューブ接続装置である。
先ず、電極９１ａ，９１ｂを端子３ａ，３ｂに接触させてからウェハ３が十分な温度にまで昇温する場合、蓄熱体９２に熱が奪われるため従来のウェハ（破線で示したもの）に比べ緩やかな上昇カーブを描く。
そして、所定温度にまで昇温したところでチューブ４，５を切断すると、ウェハ３の温度が急激に低下する。しかし、本装置では、ウェハ３の温度変化が従来のものに比べて少ない。これは、ウェハ３に圧接した蓄熱体９２によて熱容量が大きく、その蓄熱体９２に良伝熱体として銅を使用しているので、チューブを切断する場合に、切断に必要な熱量が蓄熱体９２からウェハ３へ素早く伝達されるからである。
【００３１】
チューブの切断完了の後は、依然として端子３ａ，３ｂに電極９１ａ，９１ｂが接触した通電状態にあるため、チューブ４，５の切断に使用する熱量が奪われて低下したウェハ３の温度を再び上昇させる。
そして、所定温度にまで昇温したところでチューブ接続動作を実行する。このとき、ウェハ３には所定温度が維持できるように通電加熱により温度制御を行っているものとする。
【００３２】
次いで、切断したチューブの接続動作について説明する。
先ず、ウェハ３がチューブ４，５を直交した状態で可動クランプ３１のドライブギヤ６４を回転させる（図３参照）。ドライブギヤ６４の回転は、歯形が噛み合ったクランプローター６３に伝達され、そのクランプローター６３に１８０°の回転が与えられる。
クランプローター６３が１８０°回転すると、ローター片６１，６２が固定クランプ２１と可動クランプ３１とで装填位置が入れ替わる。そのため、図１２に示すように第１チューブ保持具１に挟持された切断後のチューブ４ａ，５ａの切断面がウェハ３の側面を旋回して１８０°入れ替わり、チューブ４ａとチューブ５ｂとの切断面、チューブ５ａとチューブ４ｂとの切断面同士がウェハ３を挟んで対面した状態となる。
【００３３】
ところで、チューブ４，５の切断面は樹脂が溶融又は軟化した高温の状態であるため、その切断面はウェハ３に気密に接触している。そのため、回転に際してもチューブ４，５の切断面はウェハ３に気密に接触したまま側面を旋回することとなる。従って、チューブ４，５内部が大気に触れることなく無菌状態が維持される。
そして、ウェハ３が下方へ後退した後に、第２チューブ保持具２が、不図示の駆動手段（例えばシリンダなど）によって第１チューブ保持具１へ微小距離寄せられる。これは、切断代分（ウェハ３の厚さ分）移動させてチューブ同士を圧着させるためである。そこで、チューブ４ｂ，５ｂとチューブ５ａ，４ａとの切断面同士が溶着接続され、図１３に示すような交互に入れ替えられた２本のチューブ６，７が形成される。
【００３４】
ウェハ３の後退は、カム７９の回転により引張ばね７５によって引かれた第１レバー７３が下方へ揺動し、そのホルダ７２が下降して図６に示す元の位置にまで戻る。
そして、チューブの接続が完了したならば、図１３に示すように可動クランプ３１が固定クランプ２１から離間され、安全カバー８２を開いて形成したチューブ６，７が取り出される。
【００３５】
よって本実施の形態のチューブ接続装置では、蓄熱体９２をウェハ３に圧接するようにして熱容量を大きくしたので、チューブ切断時の大幅な温度低下を防止することができた。そのため、電極９１ａ，９１ｂを端子３ａ，３ｂに着けてウェハ３を加熱する際にも、従来のように温度低下分を考慮して過度に加熱する必要がなくなった。
また、切断時のウェハ３の温度の変化量が少ないため、チューブ切断面の溶融状態が維持され、その切断面同士を接着させた際の溶着が安定して行われるようになった。従って、チューブ接続部の強度が増し、接続後にその接続部分からリークしたり、破れるなどといった問題が回避されることとなった。
【００３６】
また、蓄熱体に温度センサを埋設して温度管理を行うようにしたので、ウェハ３の温度制御が簡単に行えるようになった。
また、ホルダー７２内のウェハ３をウェハカセット７１から送り出された新しいウェハ３に交換させる場合に、一旦レバー９３の揺動させて電極９１ａ，９１ｂ及び蓄熱体９２を待避させるよう構成したので交換作業の円滑化が図られ制御し易いものとなった。
また、クランプローター６３を構成するロータ片６１，６２は同一形状であるため、固定クランプ２１と可動クランプ３１との間での位置が限定されないので、接続後の状態で固定クランプ２１から可動クランプ３１を離間させてクランプを解除することができ、制御し易いものとなった。
【００３７】
以上、本発明にかかるチューブ接続装置の実施の形態の一例を説明したが、本発明は前記実施の形態に限定される訳ではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において様々な変更が可能である。
また、例えば、前記実施の形態では、ウェハ３の片面からのみ蓄熱体を接置させるようにしたが、両面から接置させるようにしてもよい。
【００３８】
【発明の効果】
本発明は、保持した可撓性チューブを発熱用抵抗体を有する切断板によって加熱溶融して切断した後、チューブ切断面同士を溶着して接続するものであって、切断板が複数枚充填された切断板カセットと、切断板を保持するホルダと、切断板カセットからホルダに切断板を送りセットする送り機構と、ホルダに対して揺動可能な揺動部材と、発熱用抵抗体の端子に電圧を印加する電極と、切断板と接離可能な蓄熱体とを有し、電極および前記蓄熱体は、揺動部材に固設されており、揺動部材の揺動運動によって、電極および蓄熱体を切断板カセットからホルダに送られた切断板に接触・待避する構成としたので、蓄熱体をウェハに圧接或いは待避させる操作機構を簡易なものとすることができ、かつ切断時におけるウェハの大幅な温度低下を防止したチューブ接続装置を提供することが可能となった。
【００３９】
また、本発明は、蓄熱体内に測温体を埋設した構成としたので、切断板の温度管理を行うことができるチューブ接続装置を提供することが可能となった。
また、本発明は、蓄熱体内の測温体により、切断板の温度制御を行う構成としたので、最適な温度に設定すことができるチューブ接続装置を提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２を示した外観斜視図である。
【図２】  第１チューブ保持具１の固定クランプ２１及び可動クランプ３１の断面を示した図である。
【図３】  カバー部材内にクランプローターを装填した状態を示した図である。
【図４】  固定クランプ２１，４１の当接面を示した図である。
【図５】  第２チューブ保持具２を示した外観斜視図である。
【図６】  チューブ接続装置の切断手段を示した待機状態の側面図である。
【図７】  チューブ接続装置の切断手段を示した切断状態の側面図である。
【図８】  チューブ接続装置の切断部を示した斜視図である。
【図９】  チューブ接続装置の切断部を示した平面図である。
【図１０】  チューブ接続装置の切断手段を示した平面図である。
【図１１】  第１チューブ保持具１及び第２チューブ保持具２のクランプ状態を示した図である。
【図１２】  チューブ切断時の状態を示した図である。
【図１３】  接続後のチューブを示した図である。
【図１４】  従来のチューブ接続装置の切断手段の構成を示した図である。
【図１５】  従来のチューブ接続装置のチューブ保持部を示した図である。
【図１６】  ウェハの温度変化を示した図である。
【符号の説明】
１              第１チューブ保持具
２              第２チューブ保持具
３              ウェハ
３ａ，３ｂ      端子
４，５          チューブ
２１，４１      固定クランプ
３１，５１      可動クランプ
６１，６２      ローター片
６３            クランプローター
７２            ホルダ
９１ａ，９１ｂ  電極
９２            蓄熱体
９３            レバー
９４            ブロック
９５            従動ローラ
９６            支点孔
９７            加圧バネ
１００          測温体
【図１】
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【図２】
0003825902.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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