(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
送液室と作動流体室とを画成する一対のダイヤフラムと、各ダイヤフラムの中央部が両端部に取り付けられたセンターロッドを往復動可能に支承する本体部と、前記センターロッドを往復動させるために両作動流体室への作動流体の供給切り換えを行う切り換え弁装置とを備え、該切り換え弁装置は、スリーブと、該スリーブ内部に設けられて軸方向に往復動するスプールと、該スプールの軸方向一端部に設けられて該スプールの中立位置での停止を防止するバネ機構とからなっているダイヤフラムポンプ装置において、前記バネ機構が一対の揺動アームと、前記スプールの一端にあって前記切り換え弁装置の弁装置本体の圧力室に隣接して設けたアーム受け部材と、前記スプールの前記一端に該スプールの軸方向に摺動可能に挿通してなるブッシュ部材と単一の半円形状バネ部材とにより構成され、前記一対の揺動アームは前記スプールの一端部で該スプールの中心軸線を挟んで対称配置されるとともに前記アーム受け部材に揺動アーム基端部が揺動可能に支承されかつ該揺動アーム自由端部が前記ブッシュ部材に係合されてなり、さらに、前記単一の半円形状バネ部材は前記アーム受け部材に前記一対の揺動アームの各基端部を介して支承されていて、前記スプールの軸方向の往復動により前記一対の揺動アームの揺動に伴い拡縮されるように構成したことを特徴とするダイヤフラムポンプ装置。
【請求項２】
前記半円形状バネ部材が合成樹脂からなることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムポンプ装置。
【請求項３】
前記半円形状バネ部材には前記湾曲方向両端部に円周方向に延びる切り欠きがそれぞれ設けられ、前記湾曲方向両端部に前記切り欠きに係合する係合片を有し該切り欠きに係合されて前記半円形状バネ部材と一体になって円形状を呈しかつ前記揺動アームの基端部が前記一対の係合片に係合されて該揺動アームの基端部を介して前記アーム受け部材に支承されると共に前記両係合片が離反接近する方向に拡縮される半円形状バネ部材とを設けることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のダイヤフラムポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、送液室と作動流体室とを画成する一対のダイヤフラムと、各ダイヤフラムが両端部に取り付けられたセンターロッドを往復動可能に支承する本体部と、このセンターロッドを往復動させるために両作動流体室への作動流体の供給切り換えを行うための切り換え弁装置とを備えたダイヤフラムポンプ装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ダイヤフラムポンプ装置には、送液室と作動流体室とを画成する一対のダイヤフラムと、各ダイヤフラムの中央部が両端部に取り付けられたセンターロッドを往復動可能に支承する本体部と、そのセンターロッドを往復動させるために両作動流体室への作動流体の供給切り換えを行う切り換え弁装置とを備えているものが知られている（例えば、特公平６-３１６５０号公報参照）。
【０００３】
その切り換え弁装置は、スリーブと、このスリーブ内部に設けられて軸方向に往復動されるスプールと、このスプールの軸方向一端部に設けられてこのスプールの中立位置での停止を防止するバネ機構（デデント機構）とからなっている。この従来のダイヤフラムポンプ装置では、その一方のダイヤフラム側の作動流体室と他方のダイヤフラム側の作動流体室とに交互に作動流体が供給され、この両作動流体室への作動流体の供給切り換えに基づき、センターロッドが往復動されて一方の作動流体室の容積拡大と他方の作動流体室の容積拡大とが交互に繰り返えされ、この繰り返しにより吸い込み口から流体が両送液室に交互に吸い込まれ、その各送液室に吸い込まれた流体が交互に両送液室から排出され、これにより吐出口から流体が連続的に吐出されるものとなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この従来のダイヤフラムポンプ装置では、その切り換え弁装置は、そのバネ機構が、図１に示すように、弁装置本体に固定されたバネ受け部材１と、図１、図２に示すように、スプール２の軸方向一端部３の軸端から挿入されて軸方向一端部３に摺動可能に支承されると共にナット４により抜け止めされたブッシュ部材５と、ブッシュ部材５に両端部６aが回動可能に取り付けられかつ当接部６ｂがバネ受け部材１の係合溝１aに当接支承された金属製のC形の一対の線状バネ部材６とから構成されている。
【０００５】
この従来の切り換え弁装置では、スプール２の往復動により図３に破線で示すように線状バネ部材６の湾曲部６ｃが荷重を受けて変形され、この線状バネ部材６の矢印方向のバネ作用方向の転換により、スプール２がその軸方向中立位置で停止するのが防止されている。
【０００６】
しかしながら、この従来の切り換え弁装置では、バネ受け部材１とブッシュ部材５との間に線状バネ部材６を揺動アームとして機能させるために掛け渡す構造であり、スプール２の軸方向の往復動に基づく変形応力が線状バネ部材６の湾曲部６ｃに集中して加わるため、スプール３の往復の繰り返しにより線状バネ部材６が疲労破損するおそれがある。また、線状バネ部材６の当接部６ｂに集中的に荷重が加わるため、バネ受け部材１が偏摩耗し、切り換え弁装置が作動不良を起こすおそれもある。
【０００７】
更に、この種のダイヤフラム弁装置は、今日では、半導体製造業の分野でも使用されているが、その半導体製造業の分野では、金属イオンによる生産ラインの汚染は、半導体の品質に直接影響し、一旦生産ラインが金属イオンに汚染されると、現にラインを流れている半導体製品の廃棄のみならず、汚染ラインの洗浄及び復旧に数時間から数日間を必要としてその間生産ラインを停止させなければならないためにその費用が膨大となり、金属イオンによる汚染が極端に嫌われており、できるかぎりダイヤフラムポンプ装置を合成樹脂製部品で製作することが望まれている。
【０００８】
ところが、切り換え弁装置のバネ機構として用いられている線状バネ部材６を合成樹脂製とすると、合成樹脂は金属よりも強度が低いため、耐用寿命が益々低くなるという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、バネ機構の長寿命化、作動安定性を図ることができ、バネ部材を樹脂製とした場合に好適な切り換え弁装置を有するダイヤフラムポンプ装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のダイヤフラムポンプ装置は、送液室と作動流体室とを画成する一対のダイヤフラムと、各ダイヤフラムの中央部が両端部に取り付けられたセンターロッドを往復動可能に支承する本体部と、前記センターロッドを往復動させるために両作動流体室への作動流体の供給切り換えを行う切り換え弁装置とを備え、該切り換え弁装置は、スリーブと、該スリーブ内部に設けられて軸方向に往復動されるスプールと、該スプールの軸方向一端部に設けられて該スプールの中立位置での停止を防止するバネ機構とからなっているダイヤフラムポンプ装置において、
前記バネ機構は、前記スプールの軸方向一端部の側に自由端部が設けられかつ前記スプールの軸方向に対称配置された一対の揺動アームと、、弁装置本体に設けられて前記一対の揺動アームの基端部を揺動可能に支承するアーム受け部材と、一方の揺動アームの基端部に湾曲方向一端部が係合されかつ他方の揺動アームの基端部に湾曲方向他端部が係合されて前記一対の揺動アームの両基端部を介して前記アーム受け部材に支承されると共に前記スプールの軸方向の往復動に基づく前記一対の揺動アームの揺動に伴って湾曲方向両端部が離反接近する方向に拡縮される半円形状バネ部材とから構成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載のダイヤフラムポンプ装置は、前記スプールの軸方向一端部には、該スプールの軸方向に摺動可能で前記一対の揺動アームの自由端部が係合されるブッシュ部材が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載のダイヤフラムポンプ装置は、前記半円形状バネ部材が合成樹脂からなることを特徴とする。
請求項４に記載のダイヤフラムポンプ装置は、前記半円形状バネ部材には前記湾曲方向両端部に円周方向に延びる切り欠き部がそれぞれ設けられ、該切り欠きに係合する係合片を湾曲方向両端部に有して該切り欠き部に係合されて前記半円形状バネ部材と一体になって円形状を呈しかつ該一対の係合片に前記揺動アームの基端部が係合されて該揺動アームの基端部を介して前記アーム受け部材に支承されると共に両係合片が離反接近される方向に拡縮される半円形状バネ部材とからなることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図４は本発明に係るダイヤフラムポンプ装置の縦断面図であり、この図４において、符号１０はダイヤフラムポンプ装置を示している。このダイヤフラムポンプ装置１０は、本体部１１と、この本体部１１の両側に配置される一対のケーシング部材１２、１２とから構成されている。その本体部１１の材料にはステンレス（SUS）が用いられ、そのステンレスの外周面はテフロン材料を用いて被覆されている。一対のケーシング部材１２、１２の材料にはテフロンが用いられる。
【００１４】
本体部１１と一対のケーシング部材１２、１２とは水平方向に延びる６本のタイロッド１３により一体化されている。
本体部１１にはその中央にセンターロッド１４が往復動可能に支承されている。センターロッド１４の両端部にはディスク１４a、１４ｂが設けられて、このディスク１４a、１４ｂに一対の円盤状のダイヤフラム１５が取り付けられる。
【００１５】
その一対のダイヤフラム１５は湾曲形状の隔膜部１６を有する。左方のダイヤフラム１５は送液室１７aと作動流体室１８aとを画成する役割を果たし、右方のダイヤフラム１５は送液室１７ｂと作動流体室１８ｂとを画成する役割を果たす。そのダイヤフラム１５の周辺部は一対のケーシング部材１２と本体部１１とにより挟持されている。
【００１６】
その本体部１１には、図５に示すように切り換え弁装置１９が取り付けネジ２０を用いて固定されている。その切り換え弁装置１９は、弁装置本体２１を有する。弁装置本体２１には図６に拡大して示すようにスリーブ２２が配設されている。そのスリーブ２２内にはスプール２３が軸方向（上下方向）に往復動可能に設けられている。
【００１７】
そのスプール２３は縮径部２３a、２３ｂ、拡径部２３ｃ、２３ｄ、２３e、軸方向一端部２３ｆを有する。拡径部２３ｄを境に下側の拡径部２３ｃと拡径部２３ｄとの間の縮径部２３aの部分が下室２３ｇとされ、拡径部２３ｄを境に上側の拡径部２３eと拡径部２３ｄとの間の縮径部２３ｂの部分が上室２３ｈとされている。
【００１８】
弁装置本体２１には拡径部２３ｃの下方に圧力室２１aが設けられ、拡径部２３eの上方に圧力室２１bが設けられている。その圧力室２１aには切り換え弁装置１９が万が一に作動不良状態となったときにスプール２３を駆動するためのスプール駆動ロッド機構２４が設けられている。２５はその駆動ロッドであり、２６は環状シールネジ部材である。なお、その駆動ロッド２５は手動でスプール２３を軸方向に可動させる機能を果たす。
【００１９】
圧力室２１ｂにはスプール２３がその軸方向中立位置で作動を停止するのを防止するためのバネ機構（デデント機構）２７が設けられている。このバネ機構２７は、アーム受け部材２８を有する。このアーム受け部材２８は弁装置本体２１に環状シールネジ部材２９により固定されている。そのアーム受け部材２８の詳細構造については後述する。
【００２０】
弁装置本体２１には作動流体としての圧縮空気を供給する供給通路３０a〜３０ｄが設けられている。スリーブ２２にはポート２２a〜２２eが設けられている。供給通路３０aはオリフィス３１を介して圧力室２１aに連通されている。供給通路３０ｄはオリフィス３２を介して圧力室２１ｂに連通されている。供給通路３０ｂはポート２２aに連通され、供給通路３０ｃはポート２２ｂに連通されている。
【００２１】
ケーシング１２部材には図４に示すように連通口３３a、３３ｂが設けられている。連通口３３aはポート２２ｃに通路２２ｃ´を介して連通され、連通口３３ｂはポート２２eに通路２２e´を介して連通されている。その連通口３３a、３３ｂは圧縮空気を作動流体室１８a、１８ｂに供給する役割と作動流体室１８a、１８ｂ内の圧縮空気をポート２２ｄを介して大気に放出する役割とを果たす。
【００２２】
図６には、ポート２２aが開成されると共にポート２２aが下室２３ｇを介してポート２２ｃに連通され、かつ、ポート２２ｂが閉成されると共にポート２２eとポート２２ｄとが上室２３ｈを介して連通されている状態が示されている。
【００２３】
ケーシング部材１２には切り換え圧減圧室３４a、３４ｂが図７に拡大して示すように設けられている。この切り換え圧減圧室３４aには圧力室２１ｂの圧縮空気が連通路３５ｂを介して供給される。切り換え圧減圧室３４ｂには圧力室２１aの圧縮空気が連通路３５aを介して供給される。その切り換え圧減圧室３４a、３４ｂにはプッシュロッド３５a、３５ｂが設けられている。そのプッシュロッド３５a、３５ｂはセンターロッド１４のディスク１４a、１４ｂに当接可能に臨まされている。そのプッシュロッド３５a、３５ｂには弁体３６が設けられている。切り換え圧減圧室３４a、３４ｂは弁体３６を介して開閉可能に連通されている。ケーシング部材１２にはそのプッシュロッド３５a、３５ｂの先端を作動流体室１８a、１８ｂに向けて突出させる方向に付勢する付勢バネ３７a、３７ｂが設けられている。弁体３６はディスク１４a、１４ｂがプッシュロッド３５a、３５ｂに当接することにより開成されて、切り換え圧減圧室３４a、３４ｂと作動流体室１８a、１８ｂとがそれぞれ連通される。スリーブ２２のポート２２ｄは通路２２ｄ´を介して大気に連通されている。
【００２４】
本体部１１には吸い込み口３８と吐出口３９とが図５に示すように設けられている。吸い込み口３８はチェック弁としての機能するボール４０、４１が配設された管路４２、４３に連通されている。その管路４２、４３には弁座４４、４５が設けられ、ボール４０、４１はその弁座４４、４５の開口４４a、４５aを開閉する役割を果たす。その管路４２は送液室１７aに連通され、その管路４３は送液室１７bに連通されている。
【００２５】
吐出口３９にはチェック弁として機能するボール４６、４７が配設された管路５０、５１に連通されている。管路５０、５１には弁座４８、４９が設けられ、ボール４６、４７はその弁座４８、４９の開口４８a、４９aを開閉する役割を果たす。その管路５０は送液室１７aに連通され、その管路５１は送液室１７ｂに連通されている。
【００２６】
バネ機構２７は図６に示すように半円形状バネ部材５２、一対の揺動アーム５４、ブッシュ部材５５を有する。これらの半円形状バネ部材５２、揺動アーム５４、ブッシュ部材５５はダイヤフラムポンプ装置１０を半導体製造業の分野に用いる場合には、なるべく合成樹脂製とすることが望ましい。
【００２７】
アーム受け部材２８には、図８に示すように、半円形状バネ部材５２が設置される設置空間５６が形成されている。揺動アーム５４は図１３に示すように肉厚の長方形状平板からなり、その一方の辺部は回動基端部５４aとされてその回動基端部５４aには図１３、図１４に示すように支承軸５４ｂ、５４ｂが形成されている。他方の辺部は自由端部５４ｃとされている。
【００２８】
ブッシュ部材５５は図１５、図１６、図１９に示すようにスプール２３の軸方向一端部２３ｆが挿通される挿通穴５５a、挿通用切り欠き５５ｂを有する。このブッシュ部材５５はスプール２３の軸方向に摺動可能とされ、軸方向一端部２３ｆの頭部５７´によりスプール２３から脱落しないようにされている。そのブッシュ部材５５にはスプール２３の軸線を境に対称位置に一対の係合溝５５ｃ、５５ｃが形成されている。この係合溝５５ｃ、５５ｃには揺動アーム５４の自由端部５４ｃが係合される。
【００２９】
そのアーム受け部材２８には、図９〜図１１に示すように、スプール２３の軸方向一端部２３ｆが貫通する貫通穴５７が形成されると共に、図８、図９、図１１、図１２に示すように、一対の揺動アーム５４の支承軸５４ｂ、５４ｂを回動可能に支承する一対の支承溝５８、５８が形成されている。一対の支承溝５８、５８はスプール２３の軸線方向対称位置に配設されている。その一対の揺動アーム５４はその支承溝５８、５８に支承軸５４ｂを係合支承させつつ設置空間５６内に挿入されて、その自由端部５４ｃがブッシュ部材５５の係合溝５５ｃ、５５ｃに係合される。
【００３０】
半円形状バネ部材５２は図１７〜図１９に示すように半円形状湾曲板から形成されている。その半円形状湾曲板は図１８に示すように上面から見た場合に直方形状を呈しており、その湾曲方向中間部５２aから両側に向かって延びる湾曲方向両端部５２ｂ、５２ｂにはその内周面側に係合溝５２ｃ、５２ｃが形成されている。その係合溝５２ｃ、５２ｃには揺動アーム５４の回動基端部５４a、５４aが係合される。
【００３１】
その半円形状バネ部材５２はこの回動基端部５４a、５４aを介してアーム受け部材２８に間接的に、すなわち、アーム受け部材２８に対して浮いた状態で支承される。この半円形状バネ部材５２はスプール２３の軸方向の往復動に基づく一対の揺動アーム５４の揺動に伴って、両湾曲端部５２ｂ、５２ｂが図１９に破線で示す示すように離反接近する方向に拡縮され、これによって、バネ力が蓄積解放され、そのバネの作用方向が転換される。
【００３２】
すなわち、図６に示すように、スプール２３が矢印X方向に往動されると、その湾曲方向両端部５２ｂ、５２ｂには揺動アーム５４、５４によって半円形状バネ部材５２の中心から半径方向外側に向かう力が作用し、半円形状バネ部材５２はその湾曲方向中間部５２aを中心にして外側に変形し、これにより半円形状バネ部材５２にバネ力が蓄積される。その半円形状バネ部材５２は全体的に変形するので局所的に応力が集中するのが防止され、疲労の減少が図られる。また、湾曲方向両端部５２ｂ、５２ｂには半径方向から垂直に揺動アーム５４による力が加わるので、その偏摩耗も低減される。
【００３３】
次に、このダイヤフラムポンプ装置１の作用を概略説明する。
今、図６において、切り換え弁装置１９のポート２２a、ポート２２ｃ、通路２２ｃ´、連通口３３aを介して左側の作動流体室１８aに圧縮空気が供給され、センターロッド１４が右方向へ可動中で、左側の作動流体室１８aの容積が拡大されると同時に連通口３３ｂ、通路２２e´、ポート２２e、ポート２２ｄ、通路２２ｄ´を介して右側の作動流体室１８ｂ内の圧縮空気が大気に放出され、右側の作動流体室１８ｂの容積が縮小されつつある状態にあるものとする。すなわち、左側の送液室１７aの容積が縮小過程にあり、右側の送液室１７ｂの容積が拡大過程にあるものとする。
【００３４】
このとき、左側の送液室１７aの圧力が増大し、ボール４０が弁座４４に当接され、ボール４６が弁座４８から離間され、左側の送液室１７aの流体が吐出口3９から吐出される。一方、右側の送液室１７ｂの圧力は減少され、ボール４１が弁座４５から離間され、ボール４７が弁座４９に当接され、流体が吸い込み口３８から右側の送液室１７ｂに吸い込まれる。
【００３５】
ディスク１４aがプッシュロッド３５aの突出端に当接すると、プッシュロッド３５aがバネ３７aの付勢力に抗する方向に可動されて、弁体３６が切り換え圧減圧室３４aを開成し、圧力室２１ｂの圧縮空気が通路３５b、切り換え圧減圧室３４aを介して右側の作動流体室１８ｂに流入し、連通口３３ｂを経て大気に放出される。
【００３６】
圧力室２１a、２１ｂには均等に圧縮空気の圧力が加わっているが、オリフィス３２による空気供給量よりも、切り換え圧減圧室３４a、作動流体室１８ｂ、連通口３３ｂ、通路２２e´、ポート２２e、２２ｄを介して大気に放出される空気の量が多いので、圧力室２１a、圧力室２１ｂの圧力バランスがくずれ、圧力室２１ｂの圧力が低くなる。従って、スプール２３が瞬時に上方向に可動され、ポート２２ｂが開かれ、ポート２２aが閉じられる。これにより、圧縮空気がポート２２ｂ、ポート２２e、通路２２e´、連通口３３ｂを経由して右側の作動流体室１８ｂに供給されて、右側の作動流体室１８ｂの容積が拡大される。これにより、センターロッド１４が左方向に可動される。
【００３７】
その際、スプール２３の軸方向中立位置に対してバネ機構２７の中立位置とがブッシュ部材５５によってオフセットされ、かつ、ブッシュ部材５５がスプール２３に連動して軸方向に摺動する構造となっているので、揺動アーム５４の揺動抵抗によりスプール２３の運動が抑制されることが防止される。
【００３８】
【変形例】
図２０に示すように、半円形状バネ部材５２には、湾曲方向両端部５２ｂ、５２ｂに円周方向に延びる切り欠き６０、６０が形成されている。この半円形状バネ部材５２には、半円形状バネ部材６１が係合されるものである。半円形状バネ部材６１にはその切り欠き６０、６０に係合する係合片６２、６２が湾曲方向両端部６１a、６１aに形成されている。その係合片６２、６２には揺動アーム５４の回動基端部５４aが係合される係合溝６１ｂ、６１ｂが形成されている。その半円形状バネ部材６１は、揺動アーム５４の回動基端部５４aを介してアーム受け部材２８に支承されると共に、スプール２３の往復動に基づき両係合片６２、６２が離反接近される方向に拡縮されるものとなっている。その半円形状バネ部材６１には、図２１に示すようにスプール２３の軸方向一端部２３ｆが貫通する貫通孔６３が形成されている。この半円形状バネ部材６１は半円形状バネ部材５２に係合されて全体として円形状のバネ部材を呈するものである。
【００３９】
このものによれば、スプール２３の往復動に基づき両半円形状バネ部材５２、６１の両湾曲端部５２ｂ、５２ｂ、６１a、６１aが離反接近する方向に拡縮されるので、バネの作用力を発明の実施の形態に較べて高めることができる。
【００４０】
【発明の効果】
請求項１ないし請求項４に記載の発明によれば、バネ機構の長寿命化、作動安定性を図ることができ、バネを樹脂製とした場合に好適な切り換え弁装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来の切り換え弁装置のバネ機構の構成を示す部分側面図である。
【図２】  図１に示すバネ機構の構成を示す分解斜視図である。
【図３】  図１に示すバネ機構を矢印Y方向から目視した図である。
【図４】  本発明に係るダイヤフラムポンプ装置の縦断面図である。
【図５】  図４の矢印A-A線に沿う断面図である。
【図６】  図５に示す切り換え弁装置の部分拡大断面図である。
【図７】  図５に示す切り換え圧減圧室の部分拡大図である。
【図８】  アーム受け部材の正面図である。
【図９】  図８に示す矢印B-B線に沿う断面図である。
【図１０】  図８に示すアーム受け部材の平面図である。
【図１１】  図１０に示す矢印C-C線に沿う断面図である。
【図１２】  図８に示すアーム受け部材の側面図である。
【図１３】  図６に示す揺動アームの平面図である。
【図１４】  図６に示す揺動アームの側面図である。
【図１５】  図６に示すブッシュ部材の縦断面図である。
【図１６】  図６に示すブッシュ部材の平面図である。
【図１７】  図６に示す半円形状バネ部材の側面図である。
【図１８】  図６に示す半円形状バネ部材の平面図である。
【図１９】  図６に示すバネ機構の分解斜視図である。
【図２０】  本発明のバネ機構の変形例を示す図であって、スリーブとアーム受け部材と半円形状バネ部材とスプールとの組み付け関係を示す平面図である。
【図２１】  図２０の矢印D-D線に沿う断面図である。
【符号の説明】
１０  ダイヤフラムポンプ装置
１１  本体部
１４  センターロッド
１５  ダイヤフラム
１９  切り換え弁装置
２１  弁装置本体
２１ｂ  圧力室
２２  スリーブ
２３  スプール
２７  バネ機構
２８  アーム受け部材
５２  半円形状バネ部材
５４  揺動アーム
５５  ブッシュ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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