(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
治療用レーザ光を角膜上に照射するレーザ照射光学系と、角膜形状測定用の光束を走査して角膜の３次元形状を測定する角膜形状測定光学系と、治療用レーザ光の照射条件を入力する入力手段と、該入力手段による照射条件と前記角膜形状測定光学系による測定結果とに基づいて角膜の切除データを得る切除データ演算手段と、該切除データ演算手段による演算結果に基づいて前記レーザ照射光学系を制御する照射制御手段と、を備え、治療用レーザ光によって患者眼角膜を切除する角膜手術装置において、前記測定光学系は測定用光束を角膜上で２次元方向に走査する走査光学系を備え、前記照射光学系は治療用レーザ光を角膜上で走査するために前記走査光学系を共用することを特徴とする角膜手術装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は患者眼角膜を切除して患者眼の屈折矯正や病変部除去を行う角膜手術装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来より、エキシマレーザ等を用いて患者眼角膜の実質部分を切除し、角膜の屈折力を変化させて近視、遠視、乱視等の屈折異常を矯正したり、角膜の混濁等の病変部を除去するレーザ角膜手術装置が知られている。また、プラチドリング像を角膜上に投影し、その像を撮影して角膜の表面形状を測定する角膜形状測定（以下、トポグラフィという）装置が知られている。さらに、このトポグラフィ装置からの角膜形状データをレーザ角膜手術装置に取り込み、そのデータと術後目標とする患者眼の屈折状態とからレーザで切除する量を算出し、その算出量に基づいて角膜を切除して屈折矯正を行うという方法も提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述した方法では以下のような問題点があった。まず、トポグラフィ装置で測定した角膜形状データを別置きのレーザ角膜手術装置に取り込み、そのデータに基づいて屈折矯正手術を行う場合は、トポグラフィ装置と患者眼との位置関係と、レーザ角膜手術装置と患者眼との位置関係とが一致している保証がない。殊に、トポグラフィの際には患者を座らせ顔を固定して測定するのに対して、レーザ角膜切除手術の際には患者を仰向けに寝かせて手術を行うため、顔の傾きや重力などの様々な要因で患者眼が同一な状態にならない場合が多い。従って、場合によっては切除しなければならない部分を切除せず、切除しなくてもよい部分を切除してしまう可能性が生じてしまう。この場合、術後の角膜表面形状が思い通りの形状にならず、屈折矯正が予想通りの結果にならないことがある。
【０００４】
このような問題を解決するための対応としては、レーザ角膜手術装置とトポグラフィ装置とを組合わせて１つの装置とし、患者眼に対するトポグラフィとレーザ角膜切除手術との位置を一致させる方法が考えられる。しかしながら、トポグラフィ装置のプラチドリングやその角膜反射像を撮影するＴＶカメラなどと、レーザ角膜手術装置のレーザ照射光学系や観察光学系などとを組合わせて１つの装置にしようとすると、装置全体が大きなものになってしまう。
【０００５】
本発明は上記従来技術の問題点に鑑み、レーザ角膜切除手術における角膜形状の測定位置とレーザ照射位置とのずれを防ぎ、かつコンパクトな角膜手術装置を提供することを技術課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は以下のような構成を備えることを特徴とする。
【０００７】
（１）  治療用レーザ光を角膜上に照射するレーザ照射光学系と、角膜形状測定用の光束を走査して角膜の３次元形状を測定する角膜形状測定光学系と、治療用レーザ光の照射条件を入力する入力手段と、該入力手段による照射条件と前記角膜形状測定光学系による測定結果とに基づいて角膜の切除データを得る切除データ演算手段と、該切除データ演算手段による演算結果に基づいて前記レーザ照射光学系を制御する照射制御手段と、を備え、治療用レーザ光によって患者眼角膜を切除する角膜手術装置において、前記測定光学系は測定用光束を角膜上で２次元方向に走査する走査光学系を備え、前記照射光学系は治療用レーザ光を角膜上で走査するために前記走査光学系を共用することを特徴とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
［全体構成］
図１は本発明のレーザ角膜手術装置の全体構成を示す図である。１は手術装置本体であり、後述する光学系や制御系の一部などが内蔵されている。２はレーザ光を患者眼へ導光するためのアーム部である。アーム部２の先端部２ａには患者眼を観察するための双眼の顕微鏡部３、照明部４等が備えられ、駆動装置によってＸ、Ｙ、Ｚ方向へ移動することができる。なお、このアーム部２（先端部２ａ）及びその駆動装置については、詳しくは本出願人による特開平９−１４９９１４号等を参照されたい。
【００２２】
５はコントローラであり、アーム部２（先端部２ａ）をＸ、Ｙ方向へ移動させるための信号を与えるジョイスティック６や各種の操作スイッチを備える。７はレーザ出射信号を送るためのフットスイッチである。８は手術条件である各種データの入力や角膜形状データ、切除データ等の演算、記憶、表示などを行うコンピュータである。９は患者を寝かせるためのベッドである。
【００２３】
［各部の構成］
図２は本発明のレーザ角膜手術装置の光学系及び制御系概略構成図である。なお、光学系については、角膜形状測定光学系、レーザ照射光学系、観察光学系、及び眼球位置検出光学系に分けて説明する。
【００２４】
（イ）角膜形状測定光学系
１０は角膜の３次元形状を測定するための角膜形状測定光学系である。１１は角膜の形状を測定するための測定光に使用されるレーザ光を出射するレーザ光源であり、本実施例では波長８００ｎｍの赤外レーザ光を出射する赤外半導体レーザ光源が使用されている。なお、測定光は必ずしも赤外光である必要はないが、赤外光にすると患者眼が眩しくなく、測定によって不快感を受けないという利点がある。１２は集光レンズ、１３はピンホール、１４は偏光ビームスプリッタである。１５は赤外レーザ光を平行光にするコリメーティングレンズ、１６は１／４波長板である。
【００２５】
１７は測定光学系１０の光軸と後述するレーザ照射光学系２５の光軸とを同一にするダイクロイックミラーであり、レーザ光源１１から出射される赤外レーザ光を透過し、後述するエキシマレーザヘッド２６からのエキシマレーザ光を反射する。１８は光軸に沿って前後に移動可能な集光レンズである。１９、２０は赤外レーザ光及びエキシマレーザ光を角膜上で２次元方向にスキャンするためのスキャニングミラーである。本実施例では、スキャニングミラー１９、２０にそれぞれガルバノミラーを使用している。
【００２６】
２１は測定光学系１０及び照射光学系２５の光軸と、後述する観察光学系３０及び眼球位置検出光学系３５の光軸とを同一にするダイクロイックミラーであり、レーザ光源１１による波長８００ｎｍの赤外レーザ光とエキシマレーザ光とを反射し、可視光と後述する赤外照明光源３４による波長９５０ｎｍの赤外光とを透過する。Ｅは患者眼の角膜である。なお、スキャニングミラー１９、２０及びダイクロイックミラー２１は先端部２ａ内に設けられている。
【００２７】
２２はピンホール、２３は測定光である赤外レーザ光による角膜Ｅからの反射光を検出する光検出器である。なお、ピンホール１３とピンホール２２とは、角膜Ｅに対して共役な位置関係になるように配置されている。
【００２８】
（ロ）レーザ照射光学系
２５はレーザ光を照射して角膜を切除するためのレーザ照射光学系である。２６はレーザ角膜切除手術において使用される角膜組織に熱的影響を与えないレーザ光を出射するレーザヘッドであり、本実施例では波長１９３ｎｍのエキシマレーザ光を出射するエキシマレーザヘッドを使用する。２７はレーザヘッド２６から出射されたエキシマレーザ光を反射するミラーである。レーザヘッド２６から出射されミラー２７で反射偏向されたエキシマレーザ光は、ダイクロイックミラー１７で反射偏向される。その後レンズ１８を介し、スキャニングミラー１９、２０、ダイクロイックミラー２１で反射偏向されて角膜Ｅに向かう。
【００２９】
（ハ）観察光学系
３０は患者眼を観察するための観察光学系である。３１は対物レンズである。３２は可視光を透過し赤外照明光源３４による波長９５０ｎｍの赤外光を反射するダイクロイックミラーである。照明部４の可視照明光によって照明された患者眼の前眼部像の光束は、ダイクロイックミラー２１、対物レンズ３１、ダイクロイックミラー３２を透過して顕微鏡部３に入射する。これにより、術者は双眼の顕微鏡部３から患者眼を観察することができる。なお、観察光学系３０には図示なきレチクル板が挿入されており、患者眼のＸ、Ｙ方向のアライメントの基準とすることができる。
【００３０】
また、観察光学系３０にはＺ方向のアライメントを行うための２本のスリットからなる視標投影光学系（本出願人による特開平６−４７００１号を参照）が配置されている。なお、観察光学系３０は先端部２ａ内に設けられている。３３は観察光学系３０の光軸上に配置された固視灯であり、可視光を出射する。
【００３１】
（ニ）眼球位置検出光学系
３５は患者眼の位置を検出するための眼球位置検出光学系である。３４は波長９５０ｎｍの赤外光を出射する赤外照明光源である。照明光源３４は光軸を中心にして９０度間隔に４個配置されている。３６は撮像レンズ、３７はミラーである。３８はノイズとなる光を遮断するための赤外光透過フィルタである。３９はＣＣＤカメラである。なお、眼球位置検出光学系３５も先端部２ａ内に設けられている。
【００３２】
照明光源３４によって照明された患者眼の前眼部像の光束は、ダイクロイックミラー２１、対物レンズ３１を透過し、ダイクロイックミラー３２によって反射される。その後、撮像レンズ３６により、ミラー３７、フィルター３８を介してＣＣＤカメラ３９の撮像面に結像する。このとき、フィルタ３８は、ダイクロイックミラー３２で僅かに反射する可視光をカットする。
【００３３】
ＣＣＤカメラ３９は眼球位置を次のようにして検出する。図３はＣＣＤカメラ３９で捕らえた前眼部像を示す図であり、図４はＣＣＤカメラ３９の撮像信号から得られるラインＡ−Ａ′（図３参照）上の光量分布を示した図である。図４のように瞳孔、虹彩、強膜によって光量分布が異なるので、この情報から横方向の瞳孔エッジの座標を検出することができ、さらに検出した瞳孔エッジの座標からその中央の位置、すなわち横方向の瞳孔中心の座標を得ることができる。同様に縦方向のラインＢ−Ｂ′（図３）上の光量分布情報から、縦方向の瞳孔中心の座標を得ることができる。したがって、この両者から、ＣＣＤカメラ３９の撮像素子上で所定の位置関係に調整された検出光学系３５の光軸（すなわち、測定光学系１０及び照射光学系２５の光軸）に対する瞳孔中心を得ることができる。
【００３４】
（ホ）制御系
４０は本体１に内蔵された制御部であり、レーザ光源１１、レンズ１８、スキャニングミラー１９、２０、レーザヘッド２６、固視灯３３、照明光源３４等を駆動制御する。４１、４２、４３、４４はそれぞれコンピュータ８に設けられている入力部（キーボード、マウス等）、演算・解析処理部（ＣＰＵ等）、表示部（モニタ）、出力部（プリンタ、フロッピディスクドライブ等）である。入力部４１は、術後目的とする屈折力値、角膜曲率半径等のレーザ照射条件などの入力に使用される。処理部４２は、光検出器２３からの信号に基づいて角膜形状データを求め、また、角膜形状データと入力されたレーザ照射条件とから角膜の切除量等の切除データを求める。処理部４２による処理結果は制御部４０に送られ、制御部４０は処理結果に基づいてスキャニングミラー１９、２０、レーザヘッド２６等を駆動制御する。表示部４３は、処理部４２からの角膜形状データにより、術前術後の角膜形状等を表示する。出力部４４は得られた様々なデータを出力する。
【００３５】
４５はレーザ光源１１の駆動回路、４６はレンズ１８の駆動回路、４７、４８はスキャニングミラー１９、２０の駆動回路、４９はレーザヘッド２６の駆動回路である（固視灯３３、照明光源３４の駆動回路は図示なし）。また、アーム部２の駆動装置も制御部４０によって制御される。
【００３６】
以上のような構成において、次に本装置の動作について説明する。なお、ここでは屈折矯正手術を中心に説明する。
【００３７】
術者はまず患者をベッド９に寝かせ、アーム部２（先端部２ａ）を患者眼の上部に配置する。次に照明部４、固視灯３３、照明光源３４等を点灯し、患者眼には固視灯３３を固視させる。術者は照明部４によって照明された患者眼の前眼部を顕微鏡部３によって観察し、ジョイスティック６を操作して図示なきレチクルと瞳孔とが所定の関係になるようにＸ、Ｙ方向をアライメントする。また、フォーカス調整スイッチ６０を操作してＺ方向をアライメントする。ジョイスティック６（及びスイッチ６０）による信号が制御部４０に入力されると、制御部４０はアーム部２の駆動装置を作動させ、アーム部２（先端部２ａ）をＸ、Ｙ方向（及びＺ方向）に移動する。
【００３８】
このアライメント時に、コントローラ５上の自動アライメント切換スイッチ６１をＯＮにすると、自動アライメントが作動する。検出光学系３５で瞳孔中心が検出できる範囲に患者眼があれば、制御部４０は測定光学系１０及び照射光学系２５の光軸と瞳孔中心とが一致するようにアーム部２（先端部２ａ）をＸ、Ｙ方向に移動させる。
【００３９】
測定光学系１０及び照射光学系２５の光軸と瞳孔中心とを一致させたまま角膜形状測定やレーザ照射を行う場合は、自動アライメント切換スイッチ６１をＯＮにしてアライメントを完了した後、コントローラ５上のＲｅａｄｙスイッチ６２を押す。ＣＣＤカメラ３９の撮像素子上の所定の位置が基準位置として記憶され、瞳孔中心が基準位置と一致するようにアーム部２（先端部２ａ）を移動させる眼球追尾機構（自動トラッキング）が作動する。なお、自動アライメント及び自動トラッキングについては、詳しくは本出願人による特開平９−１４９９１４号等を参照されたい。
【００４０】
患者眼へのアライメントが完了すると、測定光学系１０によって角膜Ｅの３次元形状を測定する。レーザ光源１１から出射した直線偏光の赤外レーザ光は、レンズ１２によってピンホール１３上に集光する。集光してピンホール１３を通過した赤外レーザ光は、その偏光方向が透過するようにレーザ光源１１が置かれているため、ビームスプリッタ１４をそのまま透過し、レンズ１５で平行光とされる。その後、赤外レーザ光の直線偏光面と波長板の主断面とが４５度になるように配置された波長板１６によって直線偏光が円偏光に変換される。そして、ダイクロイックミラー１７を透過し、レンズ１８によって集光され、スキャニングミラー１９、２０で反射偏向されて角膜Ｅ付近で収束する。このスキャニングミラー１９、２０による反射角をそれぞれ制御することにより、赤外レーザ光が２次元方向でスキャンされる。
【００４１】
ここで、スキャニングミラー１９、２０による赤外レーザ光の角膜Ｅ上での２次元方向のスキャンについて説明する。図５は、角膜Ｅにおける測定光の２次元方向でのスキャンを説明する図である。制御部４０が駆動回路４７、４８を介してスキャニングミラー１９、２０をそれぞれ駆動させることにより、測定光である赤外レーザ光５１がスキャン領域５０の左上から（Ｘ1，Ｙ1）…（Ｘn，Ｙ1）、（Ｘ1，Ｙ2）…（Ｘn，Ｙ2）〜（Ｘ1，Ｙn）…（Ｘn，Ｙn）の順でスキャンされる。
【００４２】
角膜Ｅで反射した赤外レーザ光は、発散しながらスキャニングミラー１９、２０で反射偏向され、レンズ１８で再び平行光にされる。その後、ダイクロイックミラー１７を通過し、波長板１６によって円偏光から直線偏光に変換される。直線偏光となった赤外レーザ光は、レーザ光源１１から角膜Ｅへ向かう時とは９０度偏光方向が回転しているため、レンズ１５で集光された後、偏光ビームスプリッタ１４で反射される。そしてピンホール２２上に集光して通過し、光検出器２３に入射する。
【００４３】
赤外レーザ光の集光点がスキャンされる２次元平面（曲面でもよい）上に角膜Ｅの表面（前面または後面）があると、図６（ａ）に示されるように、そこで反射した赤外レーザ光は前述した光路を戻ってピンホール２２上で集光し、光検出器２３に入射する光量は多くなる。これとは反対に、赤外レーザ光の集光点がスキャンされる２次元平面上に角膜Ｅの表面（前面または後面）がない場合、すなわち集光点以外で反射した場合は、図６（ｂ）に示すように、戻ってきた赤外レーザ光がピンホール２２上で収束せずにぼけてしまい、光検出器２３に入射する光量はほとんどなくなる。したがって、赤外レーザ光の集光点を２次元平面でスキャンすれば、平面内での角膜表面部分からの反射光のみが光検出器２３で十分に検出でき、角膜Ｅの平面形状を求めることができる。なお、ピンホール１３とピンホール２２とは、角膜Ｅに対して共役な位置関係になるように配置され、共焦点光学系（点光源と点検出器とが被検物の１点に対して結像関係にある）を成している。
【００４４】
さらに、制御部４０は駆動回路４６を介してレンズ１８を光軸方向に移動させ、赤外レーザ光の集光点がスキャンされる２次元平面を角膜の厚さ方向で段階的に移動する。そして、前述した方法と同じように角膜Ｅの平面形状を厚さ方向で段階的に検出し、それらを３次元的に組合わせることにより、角膜Ｅの前面形状及び後面形状を３次元方向で求めることができる。
【００４５】
光検出器２３からの検出信号は制御部４０を介して処理部４２に送られ、処理部４２は検出信号に基づいて３次元方向での角膜形状データを求める。また、角膜Ｅの前面形状及び後面形状から角膜の厚さを求める。求めた角膜形状データ及び角膜の厚さは表示部４３にマップ７０、断面図７１、数値等（図７参照）で表示される。
【００４６】
測定光学系１０による角膜形状測定が終わると、検者は術後目的とする屈折力値、角膜曲率半径等を入力部４１の操作によって入力する（予め入力しておいてもよい）。処理部４２は測定光学系１０によって得られた角膜形状データと入力された屈折力値等とに基づき、屈折矯正に必要な角膜の切除量等の切除データを求める。求めた切除データは表示部４３上のマップ７０、断面図７１等に重ねて表示され、切除厚（切除深さ）や切除範囲などの値も数値表示される（図７参照）。また、術後予想される屈折力値や角膜曲率半径なども表示される（図示なし）。さらに、マップ７０上のカーソル７２を移動させて、指定位置での角膜厚及び切除厚を表示７３としてそれぞれ表示することもできる。
【００４７】
術者は表示部４３上のマップ７０や断面図７１、術後の屈折値等を確認し、問題がなければエキシマレーザ光による角膜切除手術を行う。術者はフットスイッチ７によってレーザ出射信号を制御部４０に送る。制御部４０は求めた切除データに基づき、後述する方法で角膜切除を行うように照射光学系２５（駆動回路４７、４８、４９）を制御する。なお、自動トラッキング機能がない場合は、再度患者眼と装置とのアライメントを行ってからレーザ照射を行う。
【００４８】
制御部４０は駆動回路４９を介してレーザヘッド２６を駆動し、エキシマレーザ光を出射する。出射されたエキシマレーザ光はミラー２７、ダイクロイックミラー１７でそれぞれ反射偏向され、レンズ１８によって集光される。制御部４０は駆動回路４７、４８を介してスキャニングミラー１９、２０を駆動し、レンズ１８で集光されたエキシマレーザ光を角膜Ｅ上の任意の位置にもっていく。レンズ１８の焦点位置にある角膜Ｅに到達したエキシマレーザ光は、スキャニングミラー１９、２０により、求めた照射（切除）範囲内において２次元方向でスキャンされる。なお、エキシマレーザ光の２次元方向のスキャンについては、角膜形状測定用の赤外レーザ光と同様に直線方向でスキャンしてもよく、また、同心円方向でスキャンしてもよい。
【００４９】
エキシマレーザはパルスレーザであり、パルス数（照射時間）で切除する深さの制御が行える。このため、制御部４０は駆動回路４９を介してレーザヘッド２６を駆動し、必要な切除深さに相当するパルス数（照射時間）だけエキシマレーザ光を照射する。それを２次元方向でスキャンしながら求めた照射（切除）範囲内の各スキャン位置で行い、目的とする屈折矯正を行うために必要な角膜組織の切除を行えば、患者眼を目的とする屈折状態にすることができる。
【００５０】
ここで、前述したように角膜の厚さ情報が得られることから、この情報を利用して、より適切な手術を行うことができる。例えば、求めた角膜切除量と角膜の厚さとを比較し、術後の角膜の厚さ（切除による角膜の厚さ残余）が所定の基準値以下になってしまうと判断された場合は、レーザ照射を行わず、表示部４３に警告を表示させたり図示なき音声発生器によって警告音を発生させたりする。また、術後の角膜の厚さが所定の基準値以上になる場合のみ、レーザ照射を行うようにレーザヘッド２６等を制御する。これにより、切除すべきでない場合でも切除してしまう恐れがなくなる。さらにまた、術後の角膜の厚さが所定の基準値以下にならないように、処理部４２が切除データ（エキシマレーザ光の照射範囲等）を調整してレーザ照射を行うようにすることもできる。なお、術後の角膜厚の基準値は、入力部４１によって設定できる。
【００５１】
また、角膜の混濁等の病変部を除去する場合は、照射条件としてエキシマレーザ光の照射範囲と切除する深さとを入力部４１の操作によって入力する。この場合も、前述したように求めた角膜切除量と角膜の厚さとを比較し、その結果に基づいてレーザ照射を制御することができる。また、切除する深さを入力する代りに、表示部４３によって術前の角膜形状を確認した上、術後目的とする角膜の厚さを入力してもよい。
【００５２】
このように、測定光学系１０の光軸と照射光学系２５の光軸とを同一にすることにより、従来の問題点であった角膜形状測定（トポグラフィ）装置と患者眼との位置関係と、レーザ角膜手術装置と患者眼との位置関係とがずれてしまうということはなくなる。また、患者の姿勢の違いによる患者眼の状態の違いもなくなる。なお、測定光学系１０の光軸と照射光学系２５の光軸とは必ずしも同軸である必要はなく、両光軸が既知の所定の位置関係にあれば同じことが言えるが、両光軸が同軸である方が角膜形状の測定結果に対するレーザ照射の位置制御等が行い易い。
【００５３】
また、従来のトポグラフィ装置のプラチドリングやその角膜反射像を撮影するＴＶカメラなどと、レーザ角膜手術装置のレーザ照射光学系や観察光学系などとを組合わせる場合に比べ、もう一つの問題点であった装置全体が複雑で大きくなってしまうという問題点も解決できる。
【００５４】
さらにまた、角膜の前面及び後面の３次元形状を測定して角膜の厚さを求めることにより、術後の角膜の厚さの基準値に比べて算出した切除量を切除した後の角膜の厚さが小さい場合にそのまま切除するかどうかの判断や術者への警告などができるため、切除すべきでない場合でも切除してしまうという問題点も解決できる。
【００５５】
なお、本実施例では、眼球位置検出光学系３５を設けて自動アライメント及び自動トラッキングを行っているが、省略することもできる。また、角膜形状データの表示についても、様々なデータを表示することができる。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、レーザ角膜切除手術における角膜形状の測定位置とレーザ照射位置とのずれを防ぐことができ、また、装置全体をコンパクトにすることができる。
また、角膜の厚さを測定でき、測定された厚さに基づいて切除の判断や切除量の調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態である角膜手術装置の全体構成図である。
【図２】本実施の形態である角膜手術装置の光学系及び制御系概略構成図である。
【図３】ＣＣＤカメラに受像される患者眼の前眼部像を示す図である。
【図４】図３のラインＡ−Ａ′上の光量分布を示す図である。
【図５】角膜における測定光の２次元方向でのスキャンを説明する図である。
【図６】角膜における測定光の厚さ方向のずれによる光量の変化を説明する図である。
【図７】測定した角膜形状データと求めた切除データとを表示した表示例である。
【符号の説明】
５  コントローラ
１１  赤外半導体レーザ光源
１７  ダイクロイックミラー
１８  集光レンズ
１９、２０  スキャニングミラー
２３  光検出器
２６  エキシマレーザヘッド
３９  ＣＣＤカメラ
４０  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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