(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップ型電子部品及びメディアを収容するメッシュポットを有する容器と、前記容器を一定の方向に搬送する搬送機構と、前記搬送機構において前記容器が搬送される方向に、前記容器内のメディアを分離するメディア分離部と、前記容器内のチップ型電子部品を超音波洗浄する超音波洗浄部と、前記容器内のチップ型電子部品を乾燥する乾燥部とを順次備えることを特徴とするチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置。
【請求項２】
前記容器内のチップ型電子部品を純水で洗浄する純水リンス部を、前記超音波洗浄部と前記乾燥部との間に設けた請求項１記載のチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置。
【請求項３】
前記メッシュポットは、チップ型電子部品の最大長さ寸法よりも小さい最大長さ寸法のメディアが通過するが前記チップ型電子部品は通過しないメッシュを有し、前記メディア分離部は、前記チップ型電子部品及び前記メディアを収容する前記メッシュポットを有する前記容器に向けて洗浄液を噴出する噴出手段を備え、前記洗浄液により前記メッシュポットから前記メディアを通過させて排出し、前記メッシュポット内に前記チップ型電子部品が残留する構成とした請求項１又は２記載のチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置。
【請求項４】
前記メディア分離部において、前記容器を回転させる回転駆動手段を備え、前記チップ型電子部品及び前記メディアを収容するメッシュポットを有する前記容器を回転させながら、前記容器に向けて洗浄液を噴出する請求項３記載のチップ型電子部品洗浄乾燥装置。
【請求項５】
前記超音波洗浄部は、超音波振動子が設けられた洗浄槽と、前記洗浄槽の前記容器が搬送される方向の両側面に設けられた入口と出口をなす２つの開口と、前記開口を開閉するシャッターと、前記洗浄槽に洗浄液を供給する洗浄液供給手段を備えている請求項１，２，３又は４記載のチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置。
【請求項６】
前記乾燥部は、前記容器に向けてエアーブローするエアーブローノズルを少なくとも備えている請求項１，２，３，４又は５記載のチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置。
【請求項７】
前記搬送機構において、前記一定の方向が直線的である請求項１，２，３，４，５又は６記載のチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、外部電極の形成等を行うため、チップ型電子部品（以下チップ部品と呼ぶ）にメッキを施す工程に用いる装置に係り、特に端子電極をバレル電解メッキにより形成するチップ部品のメッキ工程に続けて、バレル電解メッキで使用するメディアを分離し、メッキを施されたチップ部品に付着する電解メッキ液等を除去する分離洗浄乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、フェライト磁石等を連続的に洗浄する超音波洗浄装置が知られており、特開平４−１７６３７９号公報、特開平５−２２０４５９号公報、特開平５−２９３４５１号公報には、連続超音波洗浄装置として洗浄槽に工夫を施してネットコンベアが直線的に配置できるようにすること、被洗浄物を載置した下側ネットコンベアに、押さえネットあるいは上側ネットコンベアを用いることで保持搬送することが開示される。また、バレル形洗浄方法及び洗浄装置として特開平６−７９２４３号公報には、洗浄すべき工作物とメディア及び洗浄剤等をバレル槽内へ装入し、バレル槽及び工作物に運動を与えて、工作物とメディアとの間に相対運動を発生させ、洗浄剤の作用と、相対運動とによって工作物表面の微細汚染物質を除去する洗浄方法が開示される。さらに、洗浄、濯ぎ、乾燥等一連の工程においてバレルを順次搬送し、洗浄槽あるいは超音波による洗浄槽で洗浄することが、特開平６−９１５１６号公報、特開平６−２２６２１６号公報、特開平７−３１９４１号公報、特開平７−２６５８２０号公報、特開平７−２７５８０９号公報に開示される。しかし、端子電極をバレル電解メッキにより形成するチップ部品には最適な洗浄装置とならない。すなわち、ネットコンベアによる洗浄装置ではバレルに収容したチップ部品とメディアを搬送するに適さないし、バレル形洗浄方法及び洗浄装置ではバレル槽に給排水装置を連結するため、複数のバレルを用いるバレル電解メッキには適さない。また、バレルを順次搬送するいずれの開示においても、バレルは洗浄槽に対し上下に出し入れする構成であり、水平方向に搬送する動作とともに上下に昇降する動作が混在し、洗浄装置の構成を複雑にしかつ搬送に伴う動作に無駄が生じることになる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記のような従来の技術における問題点を解決するためになされたものであり、特にチップ部品とメディアをバレルに収容して、複数のバレルを用い連続的にバレル電解メッキする工程において、チップ部品とメディアをバレルから異なる容器に移し替えてから、その容器を連続的にかつ直線的に搬送しながら、チップ部品とメディアを分離し、チップ部品を洗浄し乾燥することを連続的に実現するのに好適な装置であって、その装置の構成は簡単にしながら搬送に伴う無駄が生じないチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置を提供することを目的とする。
【０００４】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明に係るチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置は、チップ部品及びメディアを収容するメッシュポットを有する容器と、前記容器を一定の方向に搬送する搬送機構と、前記搬送機構において前記容器が搬送される方向に、前記容器内のメディアを分離するメディア分離部と、前記容器内のチップ部品を超音波洗浄する超音波洗浄部と、前記容器内のチップ部品を乾燥する乾燥部とを順次備えることを特徴としている。
【０００６】
本願請求項２の発明は、請求項１において、前記容器内のチップ部品を純水で洗浄する純水リンス部を、前記超音波洗浄部と前記乾燥部との間に設けたことを特徴としている。
【０００７】
本願請求項３の発明は、請求項１又は２において、前記メッシュポットは、チップ部品の最大長さ寸法よりも小さい最大長さ寸法のメディアが通過するが前記チップ部品は通過しないメッシュを有し、前記メディア分離部は、前記チップ部品及び前記メディアを収容する前記メッシュポットを有する前記容器に向けて洗浄液を噴出する噴出手段を備え、前記洗浄液により前記メッシュポットから前記メディアを通過させて排出し、前記メッシュポット内に前記チップ部品が残留する構成としたことを特徴としている。
【０００８】
本願請求項４の発明は、請求項３において、前記メディア分離部にて、前記容器を回転させる回転駆動手段を備え、前記チップ部品及び前記メディアを収容するメッシュポットを有する前記容器を回転させながら、前記容器に向けて洗浄液を噴出することを特徴としている。
【０００９】
本願請求項５の発明は、請求項１，２，３又は４において、前記超音波洗浄部は、超音波振動子が設けられた洗浄槽と、前記洗浄槽の前記容器が搬送される方向の両側面に設けられた入口と出口をなす２つの開口と、前記開口を開閉するシャッターと、前記洗浄槽に洗浄液を供給する洗浄液供給手段を備えていることを特徴としている。
【００１０】
本願請求項６の発明は、請求項１，２，３，４又は５において、前記乾燥部は、前記容器に向けてエアーブローするエアーブローノズルを少なくとも備えていることを特徴としている。
【００１１】
本願請求項７の発明は、請求項１，２，３，４，５又は６において、前記搬送機構における前記一定の方向が直線的であることを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置の実施の形態を図面に従って説明する。
【００１３】
図１はチップ型電子部品分離洗浄乾燥装置の実施の形態の主要部全体構成を示す正断面図であり、図２は同じく正面図であるが開閉する扉等も見える全体構成図を示し、図３は正面図に直交する上方からみた平面図である。また、図４は容器（ポット）を示す概略斜視図、図５は容器の側断面図、図６は容器が搬送チェーンに載っている状態の正面図を示す。
【００１４】
バレル電解メッキ処理において、チップ部品とメディア（電解メッキのために使用する金属球体）はバレル内に一緒に収容されているが、分離洗浄乾燥処理の前に、バレルから図４及び図５に示す容器１０にチップ部品１００とメディア１０１は入れ替えられる。
【００１５】
分離洗浄乾燥装置１は、メディア分離部３０、超音波洗浄部４０、純水リンス部５０及び乾燥部６０を備えており、チップ部品１００とメディア１０１を入れた専用の容器１０を受け取り、メディア分離部３０によって始めにチップ部品１００とメディア１０１を洗浄しながら分離し、超音波洗浄部４０にてチップ部品１００を超音波洗浄し、純水リンス部５０にてチップ部品１００を純水で洗浄し、乾燥部６０でチップ部品１００を乾燥し、専用の容器１０からチップ部品１００を取り出す次の工程に対し、この容器１０を受け渡すまでを１パスで自動的に行う構成である。
【００１６】
例えば、チップ部品１００は寸法が長さ１．６mm，幅０．８mm，厚さ０．８mmを製品１６０８と呼ぶことにする、製品とメディアサイズの関係について、製品１６０８に対して、メディア１０１は形状が球形で外径０．５７mmを選択しメディアサイズφ０．５７と呼ぶことにする。容器１０は円筒状のメッシュポット１１を有し、このメッシュポット１１はメディアサイズφ０．５７が通過し製品１６０８が通過しないメッシュで構成する。チップ部品１００の寸法が異なるとメディア１０１の形状やサイズを変更し、容器１０のメッシュポット１１のメッシュを変更することになる。
【００１７】
容器１０を搬送しながらチップ部品１００とメディア１０１を分離し、その後に乾燥までの一連の自動化を図るためには、メディア１０１の分離、チップ部品１００の洗浄、乾燥まで容器１０を共用することが重要であり、容器１０は上記工程を通して使用できる専用のメッシュポットを具備している。
【００１８】
前記容器１０は図５に構造をより詳しく示すが、図４に模式的に示す如く、メッシュポット１１を有する。このメッシュポット１１はステンレス鋼線の網を円筒状にし、円筒網の両端を塞ぐ円盤状の蓋１２Ａ，１２Ｂを装着したものである。図５のように蓋１２Ａは円筒網の一端に固着され、蓋１２Ａの外側には当該蓋１２Ａの中心に円筒網に平行な軸１３が固着され、軸１３の端部に蓋１２Ａと面を平行にしてスプロケット１４が固着されている。メッシュポット１１の中心とスプロケット１４の回転中心は同心である。
【００１９】
前記蓋１２Ｂは前記円筒網の他方にワンタッチで着脱自在である。図６に示すように、蓋１２Ｂには複数本の放射状ピン１５が設けられており、円筒網端部に固着された環状部材１６の内周溝１７に突出状態の放射状ピン１５が係合するようになっている。放射状ピン１５は引き込み方向にばね１８で付勢されている。蓋１２Ｂの中央部にはワンタッチのロック解除部材１９が設けられており、ロック解除部材１９のテーパー面１９ａが放射状ピン１５の基端に当接するようになっている。ロック解除部材１９は底面側のコイルばね１９ｂにて突出方向に付勢されている。
【００２０】
従って、ロック解除部材１９に外力が加わらない状態では、図５に図示の状態であり、ロック解除部材１９のテーパー面１９ａによって放射状ピン１５がばね１８の弾性力に抗して突出方向に駆動されて環状部材１６の内周溝１７に係合している。ロック解除部材１９を押せば、テーパー面１９ａの位置が放射状ピン１５から外れて放射状ピン１５はばね１８によって引き込み方向に駆動され、放射状ピン１５と環状部材１６との係合が外れ、蓋１２Ｂを離脱させることができる。逆に蓋１２Ｂを装着するときはロック解除部材１９を押した状態で円筒網端部の環状部材１６に嵌合すればよい。なお、蓋１２Ａと環状部材１６とは補強用ピン２２で連結されている。
【００２１】
このように構成された容器１０に対して、バレルからチップ部品１００とメディア１０１をそのまま移し入れワンタッチ蓋１２Ｂを閉め、容器１０を分離洗浄乾燥装置の入口（投入ステーション）から搬送チェーン７Ａ，７Ｂに載せると一連のプロセスが完了できるようになる。容器１０のサイズは、例えば円筒網の外径１００mm×長さ２００mmで容量が１５７０ｃｃとし、チップ部品１００とメディア１０１の合計で８００ｃｃを収容するので約半分の内容量になる。
【００２２】
図１乃至図３に示す如く、分離洗浄乾燥装置１は架台２に各機構を組み付けて構成し、架台２は複数の脚２１により床Ｆに載置する。架台２に固定する軸受３が軸支する軸４と、軸４に嵌着するスプロケットは複数組が備えられる。図３の複数のスプロケット５Ａ間には容器１０を回転駆動するための回転用チェーン６が張架されている。また、軸４の両側に設けられたスプロケット５Ｂ，５Ｃ間には容器１０を搬送する一対の搬送用チェーン７Ａ，７Ｂが張架されている。つまり、搬送用チェーンは図１の手前からチェーン７Ａ，７Ｂと複数が備えられる。この状態は図１に対し直交する方向から見て示す図５により詳しく示され、容器１０のメッシュポット１１の両側に搬送チェーン７Ａ，７Ｂが位置する。搬送チェーン７Ａ，７Ｂは対向する位置のリンク軸を延長するステーピン２５で一体化され、搬送チェーン７Ａ，７Ｂは複数のステーピン２５を梯子のような形態に備える。そうして、搬送チェーン７Ａは複数のスプロケット５Ｂで、搬送チェーン７Ｂは複数のスプロケット５Ｃで、各々張架されている。回転用チェーン６は図５に示す如く容器１０が備えるスプロケット１４に係合する。搬送チェーン７Ａ，７Ｂを連結するステーピン２５は両端にローラ２６Ａ，２６Ｂを回転自在に支持し、隣り合うローラ２６Ａの２個と、隣り合うローラ２６Ｂの２個で計４個が１つの容器１０を回転自在に支持する構成である。これらの搬送チェーン７Ａ，７Ｂ等を含む機構が搬送機構をなしている。
【００２３】
また、走行する回転用チェーン６にて前記容器１０側スプロケット１４を回転させると、軸１３から蓋１２Ａを経てメッシュポット１１に回転力が伝わり、結局、容器１０は一体にローラ２６Ａ，２６Ｂに回転自在に支持され回転することになる。これらの回転用チェーン６を含む機構が容器１０を回転させる回転駆動手段をなしている。
【００２４】
図１及び図２の右端には容器１０を搬送チェーン７Ａ，７Ｂ上に自動載置するためのローダー２０が設置されている。
【００２５】
また、図１及び図２において架台２左端にモータ８，９が固定されている。モータ８の出力軸に固着したスプロケットと軸４に固着したスプロケット間にチェーンを張架して、モータ８の出力軸が回転すると搬送チェーン７Ａ，７Ｂが循環する仕組みとする。モータ９の出力軸に固着したスプロケットと軸４Ａに固着したスプロケット間にチェーンを張架して、モータ９の出力軸が回転すると回転チェーン６が循環する仕組みとする。
【００２６】
架台２の上方に複数のチェーンガイドが固定される。チェーンガイドは図１の手前から直交する方向にチェーンガイド２７Ａ，２７Ｂと備えられ、チェーンガイド２７Ａは図１の手前において横一列に複数個が配置され、チェーンガイド２７Ｂは図１の奥側において横一列に複数個が配置される。チェーンガイド２７Ａは搬送チェーン７Ａを支持し、チェーンガイド２７Ｂは搬送チェーン７Ｂを支持する。なお、テンショナ１８はこの個所の軸受と軸とスプロケットの一体構造体を平行移動する構成であり、搬送チェーン７Ａ，７Ｂの張りを加減することができる。また、テンショナ１９は回転チェーン６の張りを加減できるよう左右に移動させてから固定できる。
【００２７】
図１に示すように、分離洗浄乾燥装置１は矢印Ｐの方向に容器１０を搬送する構成であるが、搬送される容器１０に対し行われるプロセス用の構成を順に説明する。なお、本実施の形態では容器１０の搬送は間欠搬送であるものとする。
【００２８】
図７及び図８に示すように、メディア１０１を分離排出するメディア分離部３０が容器搬送方向よりみて最前位置に配置されている。このメディア分離部３０はシャワー部３１を備えている。シャワー部３１はシャワーノズル３１１を備え、シャワーノズル３１１は噴出口３１２を備えていて、洗浄液としての洗浄水を噴出する噴出手段を構成している。噴出口３１２は容器１０の円筒方向に延長する長方形で細長い開口であり、例えば洗浄水を下方の容器１０の円筒方向全長にわたりナイフエッジ状に噴出する。図８のように矢印Ｐ１方向に間欠搬送される容器１０の下方にはメディア１０１や洗浄水の排出路３３を配置する。排出路３３は漏斗状のシュート３３１と排出口３３２でなり、シュート３３１でメディア１０１や洗浄水を受けて排出口３３２から洗浄水分離部３４に排出する。図８は矢印Ｑでメディア１０１や洗浄水が移動することを示すが、排出口３３２の真下に洗浄水分離部３４を配置するか、排出口３３２にダクトやパイプを接続する構成とすれば真下に位置しなくてもよい。いずれにしても、排出口３３２から排出されたメディア１０１や洗浄水は全て洗浄水分離部３４に至る構成である。
【００２９】
シャワー部３１での条件として例えば、メッシュポット１１を有する容器１０の回転数を２５〜３０rpmとし、噴出口３１２のスリット寸法は幅０．８〜１．０mm×長さ２５０mmとし、噴出する洗浄水量は５０リットル／分以上とし、分離に要する時間を１８０秒とすると、ほぼ完全に容器１０からメディア１０１を分離することが可能である。シャワー部３１により分離されたメディア１０１が、約４分毎に２．５ｋｇ（容量にして５００ｃｃ以上）ずつ排出されることになり、図８のようにシュート３３１で受け止めて洗浄水と同時に排出口３３２から排出し、洗浄水分離部３４のメッシュ篭３４１内に導いてメディア１０１を残し洗浄水は通過させて水切りする構成である。メッシュ篭３４１は円筒網の内周に螺旋状ヒレ３４２を設けたものであり、かつ円筒網はその円筒中心を回転中心として回転駆動されるようになっている。回転するメッシュ篭３４１内に洗浄水とともに導入されたメディア１０１はメッシュ篭３４１により通過を阻止され、メッシュ篭３４１内側の螺旋ヒレ３４２の働きで篭右端方向に移送され、水タンク５３２の横に併設されたメディア回収箱３４３内に次々に落下する。洗浄水はメッシュ篭３４１を通過して下方の水タンク５３２に戻る。図８に示すように、水タンク５３２内の水をポンプ４４で汲み上げてシャワーノズル３１１に供給する。つまり、水タンク５３２の下方にパイプ４３が接続し、パイプ４３の他端にポンプ４４が接続し、ポンプ４４の出口に接続したパイプ４５を通してシャワーノズル３１１に水を供給するようになっている。
【００３０】
なお、後述するが水タンク５３２内の水は超音波洗浄部４０と純水リンス部５０でも使用するため、水タンク５３２に補給する水は純水とする。
【００３１】
図８に示すように、容器１０の搬送方向よりみてメディア分離部３０の後に超音波洗浄部４０と純水リンス部５０とが設けられている。超音波洗浄部４０において、矢印Ｐ２の方向に間欠搬送されながら回転するメッシュポット１１を有する容器１０に対し超音波洗浄する構成であり、洗浄槽４２は４側面の角筒形状に底４２１を備える容器であって、上面の開口と下方の排水口４２２を備える。さらに、容器１０の搬送路において開口４２３，４２４を備え、開口４２３を開閉するシャッター４１１と、開口４２４を開閉するシャッター４１２とを備える。シャッター４１１，４１２は開口４２３，４２４の上部に枢支され、仮想線４１１’，４１２’に示す位置まで揺動して開閉する。シャッター４１１，４１２は図示しない駆動手段（例えば空庄あるいは油圧あるいは電動等）で開閉する構成である。間欠走行する搬送チェーン７Ａ，７Ｂでシャッター４１１，４１２の開いているときに洗浄槽４２内に１つの容器１０を送り込んだ後、シャッター４１１，４１２を閉めると洗浄槽４２は上面の開口以外は下方の排水口４２２が開口するだけである。排水口４２２はスリット状で所定の流量を通過させるが、水タンク５３２から所定量の水をポンプ４４で補給することで洗浄槽４２内の水位を保つ。つまり、水タンク５３２の下方にパイプ４３が接続し、パイプ４３の他端にポンプ４４が接続し、ポンプ４４の出口にパイプ４５が接続する循環系において、洗浄槽４２に所定の量の水を補給することで水位を保つ構成である。シャッター４１１，４１２を開く前には水補給を止めて開口の下辺以下に水位を下げてから開くようにする。
【００３２】
超音波洗浄部４０は、洗浄槽４２に対して、例えば容器１０の搬送経路の下側に超音波振動子４１を配置する。但し、超音波振動子の個数及び配置は超音波洗浄が有効に行われる範囲で任意である。超音波振動子４１は図示しない駆動電源に接続されており、駆動電源（超音波発振器）から電力を供給すると振動し、洗浄槽４２に所定の水位を保ち収容された水に超音波振動を与える。所定の位置の容器１０は超音波振動子４１から最も効率的に超音波振動を受ける位置にあり、容器１０内のチップ部品１００を効果的に振動させてチップ部品１００から付着物を除去し、また、純水置換によりより高度な洗浄をする。容器１０を各々次の位置に搬送する前にはポンプ４４を止めて洗浄槽４２の水位を下げ、シャッター４１１，４１２を仮想線の位置に開いてから容器１０を各々次の位置に搬送し、各々次の位置に容器１０が停止するとシャッター４１１，４１２を閉じてからポンプ４４を運転し、洗浄槽４２に所定の量の水を供給し水位を所定の位置に回復する。このためポンプ４４と超音波振動子４１は間欠的な運転をすることになる。なお、前記洗浄槽４２の排水口４２２から出た水は漏斗状のシュート３３１、洗浄水分離部３４を経て水タンク５３２に戻るようになっている。
【００３３】
純水リンス部５０と純水の循環処理系について説明すると、純水リンス部５０は前記シャワーノズルとは異なるスプレーノズル５１を備える。スプレーノズル５１は容器１０の円筒に平行なパイプ５１１と、容器円筒方向に沿ってパイプ５１１の長手方向に配列された複数個の噴射口５１２とを備え、加圧された純水がパイプ５１１に供給されると噴射口５１２から容器１０に噴射する構成であり、噴射により容器１０が純水でリンスシャワーされ、チップ部品１００の表面は純水置換される。噴射後の水は漏斗状のシュート３３１、洗浄水分離部３４を経て水タンク５３２に戻るようになっている。容器１０は搬送チェーン７Ａ，７Ｂの間欠走行により矢印Ｐ３の方向に搬送され超音波洗浄部４０から純水リンス部５０に搬入され、リンスシャワーを受けた後、次の位置に送り出される。
【００３４】
前記水タンク５３２には純水を補給するが、メディア分離部３０、超音波洗浄部４０及び純水リンス部５０で循環使用するため、回収した水は幾分汚れている可能性がある。メディア分離部３０及び超音波洗浄部４０ではポンプ４４で水タンク５３２内の水を直接汲み上げて使用可能であるが（必要ならば汚染物質を除去するフィルターを通す）、純水リンス部５０では純水のリンスシャワーをかける必要上、水タンク５３２の水を直接使用することはできない。このため、水タンク５３２の最下方にパイプ５４が接続し、パイプ５４の他端にポンプ５５が接続し、ポンプ５５の吐出口にパイプ５６１が接続し、パイプ５６１の他端にＵＶ殺菌部５７が接続し、ＵＶ殺菌部５７の出口にパイプ５６２を介して１０μｍのフィルター５８１が接続し、フィルター５８１の出口にパイプ５６３を介してイオン交換器５９が接続し、イオン交換器５９の出口にパイプ５６４を介して１μｍのフィルター５８２が接続し、フィルター５８２の出口にパイプ５６５が接続し、パイプ５６５の他端はスプレーノズル５１のパイプ５１１に接続する構成とする。パイプ５１１はパイプ５６５の接続を除き複数個の噴射口５１２が外部に開口するのみであり、ポンプ５５で加圧された純水がパイプ５１１に循環すると噴射口５１２から容器１０に噴射する。タンク５３２からの水がポンプ５５で循環する途中のＵＶ殺菌部５７はＵＶ殺菌灯で水を照射してバクテリア等を死滅させ、フィルター５８１，５８２は、洗浄工程で水が除去し含有した塵、バクテリア等の死菌、ポンプの発塵等の微粒子を除去し、イオン交換器５９は使用済み水に含有するイオンを除去して純水リンス部５０に純水として供給する。なお、水タンク５３２に新しい純水５３３の所定量を補給し、純水の循環系と循環処理系に保有される純水の量を常に所定量に保つようにする。
【００３５】
図９に示すように乾燥部６０は、容器１０を矢印Ｐ４の方向に搬送する搬送チェーン７Ａ，７Ｂに沿い、エアブロー部６１，６２を備えている。そのエアーブロー部６１におけるエアー供給の構成は、大気の取込口６４１にサクションフィルター６３を備えるブロアー６４と、ブロアー６４のエアー出口に接続するパイプ６５と、パイプ６５の他端に微粒子の除去等に有効なエアーフィルターであるヘパフィルター６６が接続し、ヘパフィルタ６６の出口にパイプ６７が接続する。パイプ６７はエアープロ一部６１でパイプ６８Ａ，６８Ｂ，６８Ｃに分岐する。エアーブロー部６１はエアーブローノズル６１１，６１４とスポットノズル６１７を備え、パイプ６８Ａに接続するエアーブローノズル６１１は噴気口６１２を備え、パイプ６８Ｂに接続するエアーブローノズル６１４は噴気口６１５を備える。噴気口６１２，６１５は容器１０の円筒方向に長いノズルスリットであり、例えばノズルスリットの寸法として幅０．５mmで長さが３５０mmとすることができ、上方から下方の容器１０に向かってエアーブロー６１３，６１６を噴出する構成である。また、パイプ６８Ｃに接続するスポットノズル６１７は噴気口６１８を備え、容器１０の円筒方向に複数個が配置され、上方から下方の容器１０に向かってエアーブロー６１９を噴出する構成である。
【００３６】
エアーブロー部６２はエアーブロー部６１の後段に配置されており、容器１０の配置された室６９の全体に前記ヘパフィルタ６６を通過したエアーを通過させて容器１０内のチップ部品１００を乾燥させている。
【００３７】
前記エアーブロー部６１，６２は容器１０の搬送経路下方にエアー及び水滴の排出路７０を備える。排出路７０はエアーブロー部６１下方に漏斗状をしており、下端に排出口７０１を有し、排出路７０の途中位置に受け網７１が配置される。排出口７０１は排出パイプ７２を通して前記水タンク５３２に接続されている。排出路７０を下降した水滴は受け網７１を通過して排出口７０１に至り、排出パイプ７２を経て水タンク５３２に戻る。容器１０は乾燥部６０に至っても僅かながらメディア１０１が残存している可能性があり、容器１０に上方からエアーブローすると水滴と共に残存するメディア１０１も落下する。この落下するメディア１０１を受け止めるのが受け網７１であり、水滴だけが下方の排出口７０１に降下してメディア１０１を回収することになる。また、乾燥における条件として例えば、メッシュポット１１を有する容器１０を２５〜３０rpmで回転させながら、エアブロー部６１において１８０秒の乾燥時間を設けたところ、１２０秒ほどから急速に乾燥しはじめ１８０秒では完璧に乾燥することが確認された。さらにエアーブロー部６２で容器１０全体に送風することで乾燥を一層確実にしている。
【００３８】
図１０は分離洗浄乾燥装置の工程を示すフローチャートであり、これにより分離洗浄乾燥装置の全体的な動作説明を行う。
【００３９】
分離洗浄乾燥装置に容器１０を投入すると、図１のローダー２０で搬送チェーン７Ａ，７Ｂを有する搬送機構上に載置され、まずメディア分離部３０に間欠搬送され、ここのシャワー部３１において容器１０を回転させながら洗浄水を噴射して容器１０からメディア１０１を分離する。メディア１０１は図８の洗浄水分離部３４が有するメッシュ篭３４１を介してメディア回収箱３４３内に回収される。洗浄水はメッシュ篭３４１を通過して水タンク５３２に戻る。なお、シャワー部３１への洗浄水の供給は水タンク５３２の水をポンプ４４で汲み上げることにより行う。
【００４０】
容器１０は搬送機構によりメディア分離部３０から図８の超音波洗浄部４０のシャッター４１１，４１２が開いた状態において洗浄槽４２内に導入される。容器１０が洗浄槽４２内に入るとシャッター４１１，４１２が閉じ、洗浄槽４２内に洗浄水が満たされ、超音波振動子４１より超音波を放射し、容器１０内のチップ部品１００に超音波振動を与えることで超音波洗浄が行われる。なお、前記洗浄槽４２への洗浄水の供給は水タンク５３２の水をポンプ４４で汲み上げることにより行う。
【００４１】
超音波洗浄の終了した容器１０は洗浄槽４２内の水位を下げ、シャッター４１１，４１２を開いた状態にて搬送機構により純水リンス部５０に移送される。純水リンス部５０においては図８のスプレーノズル５１から容器１０に純水を噴射して洗浄し、チップ部品１００の表面を純水置換する。スプレーノズル５１への純水の供給はポンプ５５で水タンク５３２の水を汲み上げ、ＵＶ殺菌部５７、１０μｍのフィルター５８１、イオン交換器５９、１μｍのフィルター５８２を通して行う。
【００４２】
純水リンス部５０を出た容器１０は、搬送機構の間欠搬送により乾燥部６０のエアブロー部６１，６２の順に移送され、サクションフィルター６３を持つブロアー６４よりヘパフィルター６６を介して送風し、エアーブローによってチップ部品１００は乾燥させられる。その後、容器１０が搬送機構の排出側端に移送される。
【００４３】
この実施の形態によれば、次の通りの効果を得ることができる。
【００４４】
(1)  チップ部品１００とメディア１０１とを収容するメッシュポット１１を有する容器１０を一定の方向に搬送する搬送機構と、容器１０が搬送される方向に順に、メディア分離部３０と、超音波洗浄部４０と、純水リンス部５０と、乾燥部６０とを備え、容器１０が間欠的にかつ一定の水平方向（横方向）に搬送される構成であり、搬送方向と異なる例えば上下方向に容器を移動させる動作を余分に行う必要がなく、容器の搬送や移動に伴う無駄が生じない。
【００４５】
(2)  チップ部品１００とメディア１０１とを収容するメッシュポット１１を有する容器１０について、チップ部品１００の最大長さ寸法よりも小さい最大長さ寸法のメディア１０１を選択し、かつメッシュポット１１はメディア１０１が通過するがチップ部品１００は通過しないメッシュで構成するようにしたので、メディア分離部３０において噴出口から容器１０に向けて洗浄水を噴出し、洗浄水によりメッシュポット１１からメディア１０１を通過させて排出し、メッシュポット１１内にチップ部品１００を残留させることにより、比較的に簡単な構成で効率よくチップ部品とメディアとを分離できる効果が得られる。その際、容器１０を回転させることで、メディア分離をいっそう確実かつ効率的に行うことができる。
【００４６】
(3)  超音波洗浄部４０で容器内のチップ部品１００を超音波洗浄するため、チップ部品１００から汚染物質を確実に除去できる。また、超音波洗浄部４０の洗浄槽４２は入口、出口にシャッターを有するので、容器１０を水平移動させることで洗浄槽４２に搬入、搬出できる。
【００４７】
(4)  純水リンス部５０では容器１０内のチップ部品１００に純水のリンスシャワーをかけるので、チップ部品１００表面に汚染物質が残存するのを防止できる。
【００４８】
(5)  乾燥部６０のエアブロー部６１では高速エアーブローにより容器内のチップ部品１００に付着した水滴を吹き飛ばすことができ、チップ部品１００表面の水滴が付着した状態で乾燥させたときに発生しやすい汚れやしみの発生を回避できる。
【００４９】
なお、メディア分離部３０におけるシャワー部は１つのステーションとしたが、複数ステーションとしてもよい。
【００５０】
また、純水が補給される水タンク５３２の水をメディア分離部３０、超音波洗浄部４０、純水リンス部５０に共通に使用したが、純水リンス部５０だけ水の循環系統を全く別にして、純水リンス部５０のみ純水の補給を受ける純水タンクとし、他の部分は工業用水又は水以外の洗浄液を使用する構成としてもよい。
【００５１】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るチップ部品分離洗浄乾燥装置によれば、チップ部品及びメディアを収容するメッシュポットを有する容器と、前記容器を一定の方向に搬送する搬送機構と、前記搬送機構において前記容器が搬送される方向に、前記容器内のメディアを分離するメディア分離部と、前記容器内のチップ部品を超音波洗浄する超音波洗浄部と、前記容器内のチップ部品を乾燥する乾燥部とを順次備える構成としたので、前記容器を一定の方向（横方向）に搬送することで、メディアの分離、洗浄、乾燥を自動的に実行可能である。また、それらの分離、洗浄、乾燥に際し、搬送方向と異なる例えば上下方向に容器を移動させる動作を余分に行う必要がなく、容器の搬送や移動に伴う無駄が生じない。
【００５３】
また、チップ部品とメディアとを収容するメッシュポットを有する容器を用い、かつメッシュポットはメディアが通過するがチップ部品は通過しないメッシュで構成するようにすれば、メディア分離部において噴出口から容器に向けて洗浄液を噴出することで、比較的に簡単な構成で効率よくチップ部品とメディアとを分離できる効果が得られる。
【００５４】
さらに、超音波洗浄部で容器内のチップ部品を超音波洗浄するため、チップ部品の汚染物質を確実に除去できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るチップ部品分離洗浄乾燥装置の実施の形態の主要部全体構成を示す正断面図である。
【図２】同正面図である。
【図３】同平面図である。
【図４】実施の形態においてチップ部品及びメディアを収容する容器を示す模式図である。
【図５】前記容器の側断面図である。
【図６】搬送チェーンに載置された前記容器を示す背面図である。
【図７】前記容器からメディアを分離するメディア分離部を示す説明図である。
【図８】メディア分離部、超音波洗浄部及び純水リンス部を示す説明図である。
【図９】前記容器に向かいエアーブローする乾燥部を示す説明図である。
【図１０】分離洗浄乾燥装置の工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１  分離洗浄乾燥装置
２  架台
３  軸受
４，１３  軸
５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，１４  スプロケット
７Ａ，７Ｂ  搬送チェーン
８，９  モータ
１０  容器
１１  メッシュポット
１２Ａ，１２Ｂ  蓋
１４  スプロケット
１５  放射状ピン
１６  環状部材
１７  内周溝
１９  ロック解除部材
２０  ローダー
２５  ステーピン
２６Ａ，２６Ｂ  ローラー
２８，２９  テンショナ
３０  メディア分離部
３１  シャワー部
３３  排出路
３４  洗浄水分離部
４０  超音波洗浄部
４１  超音波振動子
４２  洗浄槽
４４，５５  ポンプ
５０  純水リンス部
５７  ＵＶ殺菌部
５９  イオン交換器
６０  乾燥部
６１，６２  エアーブロー部
６４  ブロアー
７０  排出路
７１  受け網
１００  チップ部品
１０１  メディア
３１１  シャワーノズル
３１２  噴出口
３３１  シュート
３４１  メッシュ篭
３４３  メディア回収箱
４１１，４１２  開閉シャッター
４２２  排出口
５１２  噴射口
５３２  水タンク
５３３  純水
５８１，５８２  フィルター
６１１，６１４  エアーブローノズル
６１２，６１５，６１８  噴気口
６１７  スポットノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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