(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧燃料が導かれる燃圧室と、
燃圧室と差圧室の差圧に応じて変位する針弁と、
針弁によって開閉されて燃圧室の燃料を噴射する噴口と、
針弁を閉弁方向に付勢する弾性部材と、
圧電素子または磁歪素子から構成されたアクチュエータと、
アクチュエータの伸縮に応じて差圧室の圧力を加減圧するピストンと、
このピストンに取り付けられて差圧室を画成するシール部材と
を備えたエンジンの燃料噴射弁において、
前記差圧室はケーシング内周に形成した壁面とその壁面に面した前記ピストン及び針弁の端面との間に画成され、
前記ピストン端面と前記ケーシング内周に形成した壁面であって前記ピストン端面と対向する対向壁面との間には、差圧室を取り囲むように弾性を備えたシール部材が介装されて、
前記ピストン端面と前記対向壁面とに設けられてシール部材の外周方向への変位を規制する変位規制部を設けた
ことを特徴とするエンジンの燃料噴射弁。
【請求項２】
前記差圧室は、針弁に面した第１の差圧室と、前記ピストンを収装した第２の差圧室から構成され、
これら第１及び第２の差圧室を連通する連通路と、
前記ピストン端面から突出されてこの連通路内を摺動可能なガイド部材とを設けた
ことを特徴とする請求項１に記載のエンジンの燃料噴射弁。
【請求項３】
前記ピストン端面または前記対向壁面の一方には、アクチュエータの最大伸長位置で前記ピストン端面と前記対向壁面との間に所定の間隙を形成する、軸方向変位規制手段を設けた
ことを特徴とする請求項１に記載のエンジンの燃料噴射弁。
【請求項４】
前記変位規制部は、シール部材の外周を支持するテーパー部である
ことを特徴とする請求項１に記載のエンジンの燃料噴射弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、圧電素子または磁歪素子等のアクチュエータを介して針弁前後の燃料圧力を変化させることにより針弁を駆動するエンジンの燃料噴射弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から自動車用エンジンに備えられる燃料噴射弁には、印加電圧に応じて体積変化する圧電素子や、磁界の変化に応じて体積変化する磁歪素子を備えたアクチュエータによって針弁（弁体）を開弁作動させるものが知られており、針弁をこれらアクチュエータで駆動することにより、燃料噴射弁の応答性を向上でき、噴射可能範囲が拡大してエンジンの高出力化に対応できるとともに、少量の燃料を安定して噴射することが可能となってエンジンの燃費低減を図ることができる。
【０００３】
このような燃料噴射弁としては、例えば、特開平５−１８０１１３号公報に開示されるものが知られており、アクチュエータとして圧電素子からなるピエゾアクチュエータを用いるとともに、針弁の開閉をその前後差圧に基づいて行うようにしたものである。
【０００４】
これについて説明すると、針弁の前後には燃圧室と差圧室が画成されており、燃圧室には所定の圧力で燃料が導入され、差圧室は燃圧室とオリフィスにより連通されている。針弁背後側の差圧室にはピストンを備えたピエゾアクチュエータが設けられており、このピエゾアクチュエータの伸縮により針弁の開閉作動が制御される。ピストン外周には、ケーシング内周と摺接するＯリングが設けられて、差圧室とピエゾアクチュエータを収装する空間とを画成している。
【０００５】
そして、ピエゾアクチュエータに予め設定した電圧を印加して、伸長させた状態で針弁前後の燃圧室と差圧室の圧力はオリフィスを介して均等化されている。
【０００６】
このとき針弁はリターンスプリングの付勢力により閉弁保持している。この状態からピエゾアクチュエータへの印加電圧を所定の開弁電圧へ変更してピエゾアクチュエータを瞬時に収縮させると、針弁背後の差圧室の容積が拡大する。
【０００７】
同時に、差圧室は針弁前方の燃圧室に対してオリフィスを介して連通しているので、一時的に差圧室の内圧が低下して針弁の前後に開弁方向の圧力差が発生する。これにより針弁はリターンスプリングに抗して開弁し、噴口が開いて燃料が噴射されることになる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例では、ケーシング内周を摺動するピストンの外周にＯリングを設けて、差圧室とピエゾアクチュエータを収装する大気圧側の空間とを画成する構造となっているが、ピエゾアクチュエータを伸長駆動すると、ピストンは差圧室の容積を縮小する方向へ変位して、差圧室の圧力が上昇するが、このとき、ケーシング内周と摺接するＯリングの端部は、ケーシング内周との引きずりと差圧室内の圧力増大とに伴って大気圧側へ変形するため、差圧室内の容積は拡大することになり、ピストンの変位に応じた差圧室の圧力上昇が得られず、圧力損失が生じてピエゾアクチュエータの駆動効率が低下するという問題があった。
【０００９】
そこで、本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、圧電素子や磁歪素子を用いた燃料噴射弁の圧力損失を抑制して駆動効率を向上させることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
第１の発明は、加圧燃料が導かれる燃圧室と、燃圧室と差圧室の差圧に応じて変位する針弁と、針弁によって開閉されて燃圧室の燃料を噴射する噴口と、針弁を閉弁方向に付勢する弾性部材と、圧電素子または磁歪素子から構成されたアクチュエータと、アクチュエータの伸縮に応じて差圧室の圧力を加減圧するピストンと、このピストンに取り付けられて差圧室を画成するシール部材とを備えたエンジンの燃料噴射弁において、前記差圧室はケーシング内周に形成した壁面とその壁面に面した前記ピストン及び針弁の端面との間に画成され、前記ピストン端面と前記ケーシング内周に形成した壁面であって前記ピストン端面と対向する対向壁面との間には、差圧室を取り囲むように弾性を備えたシール部材が介装されて、前記ピストン端面と前記対向壁面とに設けられてシール部材の外周方向への変位を規制する変位規制部を設ける。
【００１１】
また、第２の発明は、前記第１の発明において、前記差圧室は、針弁に面した第１の差圧室と、前記ピストンを収装した第２の差圧室から構成され、これら第１及び第２の差圧室を連通する連通路と、前記ピストン端面から突出されてこの連通路内を摺動可能なガイド部材とを設ける。
【００１２】
また、第３の発明は、前記第１の発明において、前記ピストン端面または前記対向壁面の一方には、アクチュエータの最大伸長位置で前記ピストン端面と前記対向壁面との間に所定の間隙を形成する、軸方向変位規制手段を設ける。
【００１３】
また、第４の発明は、前記第１の発明において、前記変位規制部を、シール部材の外周を支持するテーパー部とする。
【００１４】
【発明の効果】
第１の発明は、アクチュエータを最収縮状態から伸長駆動すると、ピストンの変位に応じて差圧室の圧力が増大し、針弁はこの圧力増大と、弾性部材の付勢力によって閉弁する。この閉弁時には、差圧室を取り囲むシール部材はピストンの変位によって軸方向へ圧縮されるとともに、差圧室の圧力上昇に伴って、内周側から外周側へ向かう圧力を受けることになるが、このとき、シール部材の外周側は、変位規制部によって外周方向への変位を規制されとともに内周に加わる圧力が変位規制部に支持されるため、シール部材は外周側へ変形するとなく圧縮されて、差圧室の容積はピストンの変位に応じて確実に縮小することができ、前記従来例のように、摺動するＯリングの変形による圧力損失の発生を防止して、アクチュエータの駆動効率を向上させることができ、その分、アクチュエータの小型化が可能となって、製造コストの低減を推進でき、さらに、シール部材は前記従来例のように摺動することがなく、また、変位規制部によって変形が抑制されるため、前記従来例に比して、耐久性を向上させることが可能となるのである。
【００１５】
また、第２の発明は、ピストン端面から突出したガイド部材を、第１及び第２差圧室を連通する連通路内で摺動可能にしたため、燃料噴射弁の組立時には、例えばピストン側にシール部材を組み付けておき、ピストンをケーシング内周へ挿入するとともに、ガイド部材を連通路へ挿入させるだけで、径方向の位置決めを確実に行うことができ、シール部材が変位規制部からからずれることなく組み付けることが可能となり、ピストン及びシール部材の径方向の位置決めを容易、かつ確実に行って生産性を向上させるとともに、シール部材が変位規制部に噛み込まれるのを確実に防止して品質の確保を容易に行うことができる。
【００１６】
また、第３の発明は、軸方向変位規制手段がアクチュエータの最大伸長位置でピストン端面とケーシング壁面との間に所定の間隙を形成するため、ピストンの軸方向の位置決めを確実に行って過大な変位を防止でき、ピストンとケーシング壁面の間でシール部材が押し潰されるのを防いで、シール部材の耐久性及び信頼性を確保することが可能となるのである。
【００１７】
また、第４の発明は、変位規制手段はシール部材の外周を支持するテーパー部を備えたため、シール部材は外周をテーパー部に沿って圧縮されるため、第２差圧室の容積を増すような変形を防いで、耐久性を向上させることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を筒内噴射式火花点火エンジンに配設されるエンジンの燃料噴射弁に適用した一実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１〜図６において、燃料噴射弁のケーシング９の先端部には、図示しないエンジンの燃焼室に臨ませるノズルボディ１が設けられ、このノズルボディ１は先端に開口した噴口１ａから、燃料噴霧を燃焼室内へ向けて噴射するように構成される。
【００２０】
ノズルボディ１の内部には、噴口１ａ側に弁体２ａを形成する一方、他端にピストン部２ｃを形成した針弁２が摺動可能に収装され、ノズルボディ１の内部には針弁２のまわりを取り囲むように燃圧室３が画成されて、噴口１ａは針弁２によって開閉される。
【００２１】
燃圧室３への加圧燃料の供給は、ケーシング９の側面に開口した燃料入口６から行われ、この燃料入口６は図示しない燃料供給手段と連通する。
【００２２】
針弁２は、噴口１ａ側のノズルボディ１のシート部と接離する弁体２ａを形成する一方、ケーシング９の隔壁９a側の基端（図中右側）にノズルボディ１の内周を摺動するピストン部２ｃが形成され、さらに、弁体２ａとピストン部２ｃの間には棒状のロッド部２ｂが形成される。
【００２３】
ピストン部２ｃの背面、すなわち、ケーシング９の隔壁９ａと対向する側には、ピストン部２ｃと隔壁９ａとの間に差圧室８（第１差圧室）が画成され、この差圧室８にはピストン部２ｃを介して針弁２を閉弁方向へ付勢する弾性部材としてのリターンスプリング４が介装される。
【００２４】
そして、ピストン部２ｃの端面と隔壁９ａとの間には所定の間隙等からなる絞り通路２０が形成され、この絞り通路２０を介して燃圧室３と差圧室８の間で燃料の移動を徐々に行うことができる。
【００２５】
一方、ケーシング９の隔壁９ａよりも基端側（図中右側）は筒状に形成されており、内周には圧電素子からなるピエゾアクチュエータ１０が軸方向（図中左右方向）へ伸縮自在に配設され、ケーシング９の開口端（基端）には封止部材１６が配設される。
【００２６】
なお、ピエゾアクチュエータ１０は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）系セラミック、ＰＭＮ（ニオブ酸マグネシウム酸鉛）系セラミックなどからなる圧電素子を円盤状に形成した部材を多数積層し、これら、各圧電素子間及び両端には図示しない電極が介装されて、図示しないコントローラからの印加電圧に応じてピエゾアクチュエータ１０は、軸方向へ伸縮する。
【００２７】
ケーシング９の開口端側には封止部材１６が取り付けられて、隔壁９ａと封止部材１６の間にピエゾアクチュエータ１０を収装する空間９０が画成される。なお、この空間９０は円形断面を備えて、後述するピストン１１を内周９ｄで軸方向へ摺動自由に支持する。
【００２８】
そして、封止部材１６と対向したピエゾアクチュエータ１０の基端側には板状のスペーサ１４が固設され、このスペーサ１４と封止部材１６との間にはボール１５が介装され、ピエゾアクチュエータ１０はスペーサ１４を介して基端側を支持されるため、ピエゾアクチュエータ１０を伸長駆動すると、先端側は隔壁９ａに向けた軸方向へ変位する。
【００２９】
また、スペーサ１４と封止部材１６との間に介装されたボール１５は、ピエゾアクチュエータ１０の軸線上に設けられて、封止部材１６に対するピエゾアクチュエータ１０の相対的な回動を許容し、ピエゾアクチュエータ１０に軸まわりのねじれが発生するのを防止する。
【００３０】
一方、隔壁９ａと対向したピエゾアクチュエータ１０の先端には、ケーシング９の内周９ｄを摺動するピストン１１が固設される。このピストン１１の端面１１ａは隔壁９ａの壁面９ｃと対向しており、これら端面１１ａと壁面９ｃの間には第２差圧室としての圧力室１３が画成され、この圧力室１３は隔壁９ａに設けた円形断面の貫通孔９ｂを介して後述するように差圧室８と連通する。
【００３１】
ピストン１１の端面１１ａの中心部からは、図２及び図５に示すように、貫通孔９ｂの内周と摺接可能なガイド部１７が突設されるとともに、このガイド部１７の基端には、ピエゾアクチュエータ１０の最伸長位置で隔壁９ａの壁面９ｃと当接可能なストッパ１８（軸方向変位規制手段）が形成される。
【００３２】
ガイド部１７は図３及び図５に示すように、方形断面の柱状部材で形成されており、外周には円形断面の貫通孔９ｂ内周と摺接する頂部１７ａを四隅に備える一方、これら頂部１７ａの間は貫通孔９ｂの内周と所定の間隙を形成可能な平面部１７ｂを備え、頂部１７ａはピストン１１の変位に応じて貫通孔９ａ内を摺動してピストン１１の径方向の位置決めを行うとともに、平面部１７ｂと貫通孔９ｂとの間の間隙が差圧室８と圧力室１３を連通する連通路４０を構成する。
【００３３】
なお、ストッパ１８は図５に示すように、例えば十字状に形成されて、ストッパ１８が隔壁９ａの壁面９ｃに当接した場合でも、ストッパ１８の側面に間隙を形成して、連通路４０を介して圧力室１３と差圧室８の間で燃料の出入りを可能にする。
【００３４】
そして、壁面９ｃと対向するピストン１１の端面１１ａには、図２、図４及び図５のように、シール部材としてのＯリング１２を収装するため、環状のリング溝３０が所定の深さで形成される。さらに、このリング溝３０外周からピストン１１の周縁にかけては、端面１１ａよりも壁面９ｃ側へ突出した周縁部１１ｂが環状に形成される。
【００３５】
図２、図５に示すように、リング溝３０は、周縁部１１ｂからピストン１１の中心側（軸線Ｃ側）へ傾斜した変位規制部としてのテーパー部３１を外周側に形成する一方、内周側にはピストン１１の軸線Ｃと平行な壁面３２が形成される。
【００３６】
一方、ピストン１１の端面１１ａよりも隔壁９ａ側へ突出した周縁部１１ｂと対向する壁面９ｃの周縁には、図２、図６に示すように、ピストン１１側へ向けて環状の段部２２が突設され、ピストン１１の周縁部１１ｂと段部２２が対向する。そして、この段部２２と壁面９ｃの間には、中心へ向けて傾斜したテーパー部２１が形成される。なお、この段部２２または周縁部１１ｂの突出量は、ピエゾアクチュエータ１０の最伸長位置において、微小な間隙を形成する値に設定される。
【００３７】
そして、図１及び図４に示すように、ピストン１１に形成されたリング溝３０には、弾性部材で形成されたＯリング１２の基端が収装されるとともに、他端はケーシング９のテーパー部２１及び壁面９ｃに当接して、圧力室１３の側壁として配設されて、圧力室１３とピエゾアクチュエータ１０を収装する大気圧側の空間９０とを画成する。
【００３８】
Ｏリング１２は、ピエゾアクチュエータ１０が最収縮位置にある場合でも、その弾性によって基端及び先端をリング溝３０とケーシング９の壁面９ｃ及びテーパー部２１に押圧して、圧力室１３内の燃料が空間９０側へ漏れるのを防止する。一方、ピエゾアクチュエータ１０が伸長した場合では、Ｏリング１２はその弾性によって、ピストン１１をピエゾアクチュエータ１０の収縮方向へ付勢する。
【００３９】
なお、リターンスプリング４のバネ定数ｋは、ピストン１１の受圧面積をＡ、針弁２のピストン部２ｃに加わる前後差圧をΔＰ、ピストン１１に加わる力をＦ、リターンスプリング４が発生する力をＦｋとすると、ピエゾアクチュエータ１０を収縮駆動して針弁２を開弁させた状態では、
｜Ｆ｜＝｜ΔＰ×Ａ｜＞｜Ｆｋ｜  ………（１）
となるように、リターンスプリング４のバネ定数が設定される。
【００４０】
以上のように構成され、次に、燃料噴射弁の作用について説明する。
【００４１】
図１は、燃料噴射弁の閉弁状態を示しており、図示しないコントローラは所定の閉弁電圧を印加してピエゾアクチュエータ１０を伸長駆動する一方、図示しない燃圧供給回路より所定の圧力Ｐｆ（以下、燃圧とする）の加圧燃料が燃料入口６を介して燃圧室３へ供給される。
【００４２】
ピエゾアクチュエータ１０は印加された閉弁電圧に応じて隔壁９ａ側へ伸長し、Ｏリング１２の付勢力に抗して最伸長位置まで駆動され、ピエゾアクチュエータ１０の伸長に伴って、ピストン１１は圧力室１３の容積を縮小する方向（隔壁９ａ側）へ移動し、圧力室１３の圧力は上昇し、同時に、ピストン１１から突設されたガイド部１７と貫通孔９ｂの間の連通路４０を介して圧力室１３と連通する差圧室８の圧力も上昇するため、差圧室８の圧力上昇とリターンスプリング４の付勢力によって、ピストン部２ｃは燃圧室３の燃圧に抗して噴口１ａ側に押圧されて、弁体２ａが噴口１ａを閉鎖して閉弁状態を維持することができる。
【００４３】
この閉弁状態を維持している期間には、ピストン部２ｃとノズルボディ１の内周の間の絞り通路２０を介して、燃圧室３と差圧室８及び圧力室１３の圧力は均一化される。
【００４４】
一方、燃料噴射弁の開弁駆動は、図示しないコントローラがピエゾアクチュエータ１０への印加する駆動電圧を、上記閉弁電圧から開弁電圧へ切り換えることにより行われ、ピエゾアクチュエータ１０は上記伸長状態から急激に収縮する。
【００４５】
この開弁状態では、ピエゾアクチュエータ１０が収縮状態にあるため、ピストン１１は封止部材１６側へ変位して圧力室１３の容積は急増する。
【００４６】
圧力室１３の内圧は容積の急増に伴って急減圧し、この急減圧に伴って差圧室８の圧力も急減する。差圧室８は急減圧する一方、燃圧室３には常時所定の燃圧Ｐｆが加わっているため、針弁２のピストン部２ｃに加わる前後差圧は増大して、針弁２はリターンスプリング４の付勢力に抗して開弁方向（隔壁９ａ側）へ変位する。
【００４７】
この、針弁２の変位に伴って弁体２ａは開弁して噴口１ａが開き、燃料入口６から供給された燃圧室３内の加圧燃料は、図示しない燃焼室内に噴射される。
【００４８】
そして、燃料噴射を中止させるには、再びピエゾアクチュエータ１０へ閉弁電圧を印加して急激に伸長駆動させ、ピストン１１はＯリング１２を圧縮しながら圧力室１３及び差圧室８の圧力を増大させて、上記閉弁状態と同様に、リターンスプリング４の付勢力を加えて針弁２を閉弁させる。
【００４９】
この開弁状態から閉弁する際には、圧力室１３の側壁を構成するＯリング１２はピストン１１によって軸方向（軸線Ｃ方向）へ圧縮されるとともに、圧力室１３及び差圧室８の圧力上昇に伴って、内周側から外周側へ向かう圧力を受けることになる。
【００５０】
このとき、Ｏリング１２の外周側は、図４に示すように、基端側をピストン１１のテーパー部３１に押圧支持される一方、先端側をケーシング９の壁面９ｃと内周９ｄとの間に設けたテーパー部２１にそれぞれ押圧支持され、図中Ｆ１、Ｆ２の反力によって支持されるため、ピストン１１の変位によって、Ｏリング１２は外周をテーパー部２１、３１に沿って圧縮されることになり、外周側、すなわち大気圧側へ変形するのを防止することができ、圧力室１３の圧力を確実に上昇させることができる。また、段部２２と周縁部１１ｂは、ピエゾアクチュエータ１０の最伸長時にも、所定の間隙を形成するため、Ｏリング１２の噛み込みを防いで、噛み込みによるＯリング１２の損傷などを防止することができる。
【００５１】
したがって、閉弁の際には、圧力室１３の圧力の増大に抗してＯリング１２の変形を防止することが可能となって、圧力室１３の容積はピストン１１の変位に応じて縮小することができ、前記従来例のように、Ｏリングの変形による圧力損失の発生を防止して、ピエゾアクチュエータ１０の駆動効率を向上させることができ、その分、ピエゾアクチュエータ１０の小型化が可能となって、製造コストの低減を推進でき、さらに、Ｏリング１２は前記従来例のように摺動することがなく、また、上記テーパー部３１及び２１によって変形が抑制されるため、前記従来例に比して、耐久性を向上させることが可能となるのである。
【００５２】
また、ピストン１１には、隔壁９ａに形成した貫通孔９ｂに収装されるガイド部１７を突設したため、燃料噴射弁の組立時には、ピストン１１のリング溝３０にＯリング１２の基端側を収装する一方、先端側を突出させておき、ピストン１１をケーシング９内周へ挿入するとともに、ガイド部１７を貫通孔９ｂへ挿入させるだけで、Ｏリング１２が壁面９ｃ側のテーパー部２１からずれることなく組み付けることが可能となり、ピストン１１の径方向の位置決めを容易、かつ確実に行って生産性を向上させるとともに、Ｏリング１２が段部２２と周縁部１１ｂの間に噛み込まれるのを確実に防止して品質の確保を容易に行うことができる。
【００５３】
さらに、ピストン１１の外周は、ケーシング９の内周９ｄを変位可能な寸法であればよく、前記従来例のように、圧縮漏れを防止するためのクリアランス等の寸法管理が不要となり、製造コストの低減を推進できるのである。
【００５４】
加えて、ガイド部１７の基端側には、ピエゾアクチュエータ１０の最伸長位置で隔壁９ａの壁面９ｃに当接するストッパ１８を設けたため、ピストン１１の軸方向の位置決めを確実に行って過大な変位を防止でき、ピストン１１と壁面９ｃの間にＯリング１２が押し潰されるのを防いで、Ｏリング１２の耐久性及び信頼性を確保することが可能となるのである。
【００５５】
なお、上記実施形態において、ピストン１１を駆動するアクチュエータとして圧電素子からなるピエゾアクチュエータ１０を採用した場合を示したが、図示はしないが、磁界の強さに応じて伸縮する磁歪素子を用いた磁歪アクチュエータまたは超磁歪アクチュエータを採用しても同様である。
【００５６】
また、ガイド部１７を方形断面の部材で構成したが、円形断面の部材で構成するとともに、外周に差圧室８と圧力室１３とを連通する溝部などで構成し、この溝部を連通路４０としてもよい。
【００５７】
また、ストッパ１８は十字状に形成したが、図示はしないが、ピストン１１の端面１１ａから突出した部材で、かつ、圧力室１３と連通路４０を常時連通可能な形状であればよい。
【００５８】
また、ピストン１１とケーシング９の双方にテーパー部３１、２１をそれぞれ形成したが、少なくとも一方に形成すればよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す燃料噴射弁の概略断面図である。
【図２】ピストンと隔壁及び貫通孔の関係を示す拡大断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ矢示断面図である。
【図４】ピストンがＯリングを圧縮する様子を示す拡大断面図である。
【図５】ピストンの正面図である。
【図６】図２のＢ−Ｂ矢示断面図である。
【符号の説明】
１  ノズルボディ
１ａ  噴口
２  針弁
２ａ  弁体
２ｃ  ピストン部
３  燃圧室
４  リターンスプリング
６  燃料入口
８  差圧室（第１の差圧室）
９  ケーシング
９ａ  隔壁
９ｂ  貫通孔
９ｃ  壁面
９ｄ  内周
１０  ピエゾアクチュエータ
１１  ピストン
１１ａ  端面
１１ｂ  周縁部
１２  Ｏリング（弾性部材）
１３  圧力室（第２の差圧室）
１７  ガイド部（ガイド部材）
１７ａ  頂部
１７ｂ  平面部
１８  ストッパ（軸方向変位規制手段）
２１  テーパー部
２２  段部
３０  リング溝
３１  テーパー部（変位規制部）
３２  壁面
４０  連通路
【図１】
0003861368.tif 000002
【図２】
0003861368.tif 000003
【図３】
0003861368.tif 000004
【図４】
0003861368.tif 000005
【図５】
0003861368.tif 000006
【図６】
0003861368.tif 000007