(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板の所定の範囲に情報記録層を有している前記２枚のディスク基板を、前記一方のディスク基板の前記情報記録層が他方のディスク基板側に配置されるように接着剤を介して重ね合わせ、重ね合わされた前記２枚のディスク基板を加圧することにより、前記２枚のディスク基板が前記接着剤を介して接合されてなる情報記録媒体を作製する情報記録媒体の製造方法において、
前記接着剤を、前記情報記録層を含む領域に配し、
前記２枚のディスク基板を加圧する工程で、前記２枚のディスク基板のうち一方のディスク基板の前記接着剤側と反対側の面全体を平坦面で加圧し、他方のディスク基板の前記接着剤側と反対側の面における前記情報記録層に対応する部分を除く範囲で前記他方のディスク基板を加圧することを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記接着剤の膜厚が５μｍ以下で前記接着剤を介して前記２枚のディスク基板を重ね合わせた後、前記接着剤の膜厚の変化が１μｍ以下となるように前記２枚のディスク基板を加圧する請求項１に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板の所定の範囲に情報記録層を有している前記２枚のディスク基板を、前記一方のディスク基板の前記情報記録層が他方のディスク基板側に配置されるように、光の照射により硬化可能な光硬化性接着剤を介して重ね合わせる工程と、
重ね合わされた前記２枚のディスク基板を加圧することにより前記２枚のディスク基板を平坦にした状態で前記光硬化性接着剤に光を照射し、前記光硬化性接着剤が硬化することにより前記２枚のディスク基板が前記光硬化性接着剤を介して接合されてなる情報記録媒体を作製する情報記録媒体の製造方法において、
前記２枚のディスク基板を加圧する際に、前記２枚のディスク基板のうち一方のディスク基板の前記光硬化性接着剤側と反対側の面全体を第１の押圧部の平坦面で加圧し、他方のディスク基板の前記光硬化性接着剤側と反対側の面における前記情報記録層に対応する部分を除く範囲で前記他方のディスク基板を第２の押圧部により加圧し、かつ、前記第１および第２の押圧部の少なくともいずれか一方として、光透過性を有する材料からなるものを用いることを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記光硬化性接着剤の膜厚が５μｍ以下で前記光硬化性接着剤を介して前記２枚のディスク基板を重ね合わせた後、前記光硬化性接着剤の膜厚の変化が１μｍ以下となるように前記２枚のディスク基板を加圧する請求項３に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記情報記録層が、前記２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲内に位置しており、前記２枚のディスク基板を加圧する際に前記他方のディスク基板における内周部分および外周部分を加圧する請求項１〜４のいずれか１項に記載の情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】
２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板の所定の範囲に情報記録層を有している前記２枚のディスク基板を、前記一方のディスク基板の前記情報記録層が他方のディスク基板側に配置されるように、前記情報記録層を含む領域に配された接着剤を介して重ね合わせた状態で、前記２枚のディスク基板を加圧することにより、前記２枚のディスク基板が前記接着剤を介して接合されてなる情報記録媒体を作製する情報記録媒体の製造装置であって、
平坦な上面を有し、前記２枚のディスク基板が前記接着剤を介して重ね合わせられた状態で前記２枚のディスク基板が前記上面に載置されるベース部材と、
前記ベース部材上の前記２枚のディスク基板のうち上側のディスク基板の上面における前記情報記録層に対応する部分を除く範囲で前記他方のディスク基板に接して、前記上側のディスク基板を下側のディスク基板に向けて押圧するための押圧部材とを有する情報記録媒体の製造装置。
【請求項７】
２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板の所定の範囲に情報記録層を有している前記２枚のディスク基板を、前記一方のディスク基板の前記情報記録層が他方のディスク基板側に配置されるように、光の照射により硬化可能な光硬化性接着剤を介して接合することにより、前記２枚のディスク基板が前記光硬化性接着剤を介して接合されてなる情報記録媒体を作製する情報記録媒体の製造装置であって、
光透過性を有する材料により構成されるとともに平坦な上面を有し、前記２枚のディスク基板が前記光硬化性接着剤を介して重ね合わせられた状態で前記２枚のディスク基板が前記上面に載置されるベース部材と、
前記ベース部材上の前記２枚のディスク基板のうち上側のディスク基板の上面における前記情報記録層に対応する部分を除く範囲で前記他方のディスク基板に接して、前記上側のディスク基板を下側のディスク基板に向けて押圧するための押圧部材と、
前記ベース部材を通して前記２枚のディスク基板の間の前記光硬化性接着剤に照射するための光を発する光源とを有する情報記録媒体の製造装置。
【請求項８】
前記情報記録層が、前記２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲内に位置しており、前記押圧部材が、前記上側のディスク基板における内周部分および外周部分を加圧するものである請求項６または７に記載の情報記録媒体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報記録媒体の製造方法および製造装置に関し、特に、２枚の基板を貼り合わせて光ディスクを製造する際における基板の貼り合わせ方法に関し、さらに詳しくは、光ディスクの基板の組み立て精度が高く、機械特性の優れた高密度の情報記録媒体の製造方法および製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光ディスクを製造する際の基板同士の貼り合わせ方法としては、大きく分けて２つの方法が存在する。
【０００３】
それら２つの方法のうち一方の貼り合わせ方法では、ポリカーボネイト製のディスク基板上にスパッタ法などにより情報記録層を成膜した後、その情報記録層の表面にスピンコータ法により紫外線硬化樹脂を塗布する。塗布された紫外線硬化樹脂を紫外線の照射により硬化させ、その紫外線硬化樹脂が硬化してなる保護膜をディスク基板上に形成して、貼り合わせをする前のディスク基板を製作する。そして、そのように作製された２枚のディスク基板（内１枚はダミーディスク基板であってもよい）の情報記録層側の面に、例えばロールコータによりホットメルトタイプの接着剤を塗布するか、あるいは遅硬性の紫外線硬化樹脂をスクリーン印刷法により塗布した後にその紫外線硬化樹脂に紫外線を照射するか、あるいは両面接着タイプのテープをいずれか一方のディスク基板に装着した後に加圧装置の上下の保持部分にディスク基板を吸着させ、２枚のディスク基板の芯合わせを行った後、それらのディスク基板を加圧して貼り合わせる。
【０００４】
もう一つの別の貼り合わせ方法では、ポリカーボネイト製のディスク基板上にスパッタ法などにより情報記録層を成膜した後、スピンコータ法により２枚のディスク基板の間に紫外線硬化樹脂あるいは電子線硬化樹脂を塗布する。次に、２枚のディスク基板の間に塗布された樹脂を紫外線あるいは電子線の照射により硬化させて２枚のディスク基板を貼り合わせるか、それらのディスク基板を加圧して貼り合わせる。
【０００５】
ディスク基板を加圧する方法としては、特開平１０−２７５３６８号公報に開示されているように、重ね合わされた２枚のディスク基板をオーバロールとアンダーロールにより挟み込み、それらのディスク基板同士を加圧して貼り合わせるロール加圧方法がある。また、特開平１−１３３２３８号公報に開示されているように、２枚のディスク基板をそれらのディスク全面にわたって加圧して貼り合わせる方法がある。さらに、特開平４−２５９９３０号公報に開示されているように、ディスク基板を加圧する際にディスクの内周部分と外周部分とを含まないような範囲で加圧板によりディスク基板を加圧して貼り合わせる技術がある。さらに、特開平３−２３２１３５号公報に開示されているように、２枚のディスク基板を貼り合わせる際にディスク基板の非情報記録部の個所を情報記録部の個所よりも大きな圧力で加圧して貼り合わせるという技術がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような各々の情報記録媒体の製造方法では以下に説明する問題点を有している。
【０００７】
特開平１０−２７５３６８号公報に開示された、オーバロールとアンダーロールにより、重ね合わされた２枚のディスク基板を挟み込み加圧して貼り合わせるロール加圧方法では、ディスクの一端から他端まで局所的な加圧をディスクの全体にわたって連続して行うため、加圧バランスが崩れて、ディスクの形状に変形が起こりやすい。したがって、２枚のディスク基板の間にある接着剤の膜厚のばらつきが起こりやすいため、作製された光ディスクの機械特性である面振れ加速度が増大するという問題点がある。
【０００８】
特開平１−１３３２３８号公報に開示された、２枚のディスク基板を加圧用プレスにより上下からディスク全面にわたって均一な圧力で加圧して貼り合わせる技術では、それぞれのディスク保持体の平面性や平行度をいかに良好にし、なおかつ弾性シートを介して加圧したとしても、製造要因でディスク基板自体に必然的に存在する基板の厚み分布や接着剤の厚み分布、特に基板のうねりやその内周側あるいは外周側のエッジの盛り上がりが存在するため、加圧時に貼り合わせディスク基板に片当たりが生じ、ディスク基板に歪みが発生する。これにより、機械特性の変化として局所的な変形が発生し、このため、作製された光ディスクの機械特性である反り角や面振れ加速度が劣化するという問題点がある。
【０００９】
上記の問題を解決するために、特開平４−２５９９３０号公報に開示された、ディスク基板を加圧する範囲がディスク内周部分と外周部分とを含まないように加圧板によりディスク基板を加圧して貼り合わせる技術ある。
【００１０】
しかしながら、その特開平４−２５９９３０号公報に開示されているようなディスク基板を貼り合わせる技術を用いても、光ディスクの内周および外周部分（特に外周部分）が加圧されていないため、元々の反り量が大きなディスク基板を用いた場合、ディスク基板の外周部分での反り量が増大し、その外周部分でラジアルチルト（径方向反り角）が著しく劣化するという問題点がある。また、それとともに、ディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲である中周部分での片当たりによる面振れ加速度の劣化を取り除くことができないという問題点がある。
【００１１】
そして、そのような問題点を解決するために、特開平３−２３２１３５号公報に開示された、２枚のディスク基板を貼り合わせる際にディスク基板の非情報記録部の個所を情報記録部の個所よりも大きな圧力で加圧して貼り合わせるという技術が考案されているが、情報記録部の個所を加圧するために、ディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲である中周部分でのうねりの逃げ場所がない。これにより、２枚のディスク基板で片当たりが発生し、ディスク基板の歪みによる、面振れ加速度の劣化を取り除くことができないという問題点がある。
【００１２】
ホットメルトによるディスク基板の貼り合わせ方法では、冷たい基板に熱いホットメルトを塗布するためにディスク基板の変形が大きくなるとともに、ホットメルトは塗布された時点で高い接着性を有しているために加圧貼り合わせ時にストレスが大きくなる。よって、ディスク基板を無理に加圧して平らにすると情報記録媒体の内部に歪みが生じ、機械特性である面振れ加速度が増大するという問題点がある。
【００１３】
遅硬性の紫外線硬化樹脂を用いた貼り合わせ方法では、ディスク基板を加圧して平坦に貼り合わせても、接着剤が硬化するのに時間がかかるため、加圧時のディスク基板の平坦性を保持することは困難であり、貼り合わせ前のディスク基板の形状の良否が機械特性の良否を左右するという問題点がある。
【００１４】
両面テープによる貼り合わせ方法は、貼り合わせ時にテープとディスク基板の間に泡が入るため、脱泡に真空吸引が必要となり、歩留まりが悪いという問題点を有している。
【００１５】
紫外線硬化樹脂や電子線硬化樹脂による貼り合わせ方法は、ディスク基板を加圧する加圧機構を必要としないため、ディスク基板が貼り合わされて作製された情報記録媒体の平坦性はディスク基板の形状に大きく左右されるという問題点を有している。
【００１６】
本発明の目的は、上述した従来の情報記録媒体の製造方法が有している不都合を改善し、より平坦で機械特性の良好な、高密度の記録に対応可能な情報記録媒体の製造方法および製造装置を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板の所定の範囲に情報記録層を有している前記２枚のディスク基板を、前記一方のディスク基板の前記情報記録層が他方のディスク基板側に配置されるように接着剤を介して重ね合わせ、重ね合わされた前記２枚のディスク基板を加圧することにより、前記２枚のディスク基板が前記接着剤を介して接合されてなる情報記録媒体を作製する情報記録媒体の製造方法において、前記接着剤を、前記情報記録層を含む領域に配し、前記２枚のディスク基板を加圧する工程で、前記２枚のディスク基板のうち一方のディスク基板の前記接着剤側と反対側の面全体を平坦面で加圧し、他方のディスク基板の前記接着剤側と反対側の面における前記情報記録層に対応する部分を除く範囲で前記他方のディスク基板を加圧する。
【００１８】
上記の発明では、情報記録層を有する情報記録媒体を製造するために、接着剤を介して重ね合わされた２枚のディスク基板を加圧して接合する際に、一方のディスク基板の接着剤側と反対側の面全体を平坦面で加圧し、他方のディスク基板の接着剤側と反対側の面における情報記録層に対応する部分を除く範囲で前記他方のディスク基板を加圧することにより、それぞれのディスク基板の一面全体を加圧しなくとも、それぞれのディスク基板の一面全体を加圧したのと同等のディスク基板の平坦性を確保することができる。具体的には、上記の情報記録層が、その層を有するディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲内に位置しており、２枚のディスク基板を貼り合わせる際に他方のディスク基板における内周部分および外周部分を加圧することにより、作製される情報記録媒体の平坦性を確保することができる。また、それとともに、ディスク基板のうねりや反りによるディスク基板同士の片当たりが発生しても、他方のディスク基板に加圧されない範囲があることによって、ディスク基板の歪みが緩和され、情報記録媒体の機械特性である面振れ加速度の劣化を防止することができる。
【００１９】
また、本発明は、２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板の所定の範囲に情報記録層を有している前記２枚のディスク基板を、前記一方のディスク基板の前記情報記録層が他方のディスク基板側に配置されるように、光の照射により硬化可能な光硬化性接着剤を介して重ね合わせる工程と、重ね合わされた前記２枚のディスク基板を加圧することにより前記２枚のディスク基板を平坦にした状態で前記光硬化性接着剤に光を照射し、前記光硬化性接着剤が硬化することにより前記２枚のディスク基板が前記光硬化性接着剤を介して接合されてなる情報記録媒体を作製する情報記録媒体の製造方法において、前記２枚のディスク基板を加圧する際に、前記２枚のディスク基板のうち一方のディスク基板の前記光硬化性接着剤側と反対側の面全体を第１の押圧部の平坦面で加圧し、他方のディスク基板の前記光硬化性接着剤側と反対側の面における前記情報記録層に対応する部分を除く範囲で前記他方のディスク基板を第２の押圧部により加圧し、かつ、前記第１および第２の押圧部の少なくともいずれか一方として、光透過性を有する材料からなるものを用いる。
【００２０】
上記の発明では、情報記録層を有する情報記録媒体を製造するために、光硬化性接着剤を介して重ね合わされた２枚のディスク基板を加圧して接合する際に、一方のディスク基板の接着剤側と反対側の面全体を第１の押圧部の平坦面で加圧し、他方のディスク基板の接着剤側と反対側の面における情報記録層に対応する部分を除く範囲で前記他方のディスク基板を第２の押圧部により加圧することによって、上述したのと同様に、それぞれのディスク基板の一面全体を加圧しなくとも、それぞれのディスク基板の一面全体を加圧したのと同等のディスク基板の平坦性を確保することができる。具体的には、上記の情報記録層が、その層を有するディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲内に位置しており、２枚のディスク基板を貼り合わせる際に他方のディスク基板における内周部分および外周部分を加圧することにより、作製される情報記録媒体の平坦性を確保することができる。また、それとともに、ディスク基板のうねりや反りによるディスク基板同士の片当たりが発生しても、他方のディスク基板に加圧されない範囲があることによってディスク基板の歪みが緩和され、情報記録媒体の機械特性である面振れ加速度の劣化を防止することができる。そして、第１および第２の押圧部の少なくともいずれか一方として、光透過性を有する材料からなるものを用い、接着剤として光硬化性のものを用いることにより、光透過性の押圧部を通しての、光硬化性接着剤への光照射と、２枚のディスク基板の加圧とを同時にすることができる。よって、ストレスの少ない加圧と、貼り合わせ用接着剤の硬化とを同時に行えるため、２枚のディスク基板の平坦性を保持したまま、それらのディスク基板同士を貼り合わせることが可能となり、機械特性の優れた情報記録媒体を製造することができる。
【００２１】
さらに、前記接着剤または前記光硬化性接着剤の膜厚が５μｍ以下で前記接着剤または前記光硬化性接着剤を介して前記２枚のディスク基板を重ね合わせた後、接着剤の膜厚の変化が１μｍ以下となるように前記２枚のディスク基板を加圧することが好ましい。
【００２２】
上記のように接着剤の膜厚が５μｍ以下で接着剤を介して２枚のディスク基板を重ね合わせた後に、接着剤の膜厚の変化が１μｍ以下となるように、２枚のディスク基板の一方でディスク基板の一面全体を平坦面により加圧し、他方でディスク基板の一面を部分的に加圧することにより、接着剤の膜厚変動とディスク基板の片当たりに起因する、情報記録媒体の面振れ加速度の劣化を取り除くことができる。また、それとともに、情報記録媒体の反り量の増加量をディスク全面に分散できるため、情報記録媒体のチルト（反り角）を低く抑えることが可能となる。
【００２３】
さらに、前記情報記録層が、前記２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲内に位置しており、前記２枚のディスク基板を加圧する際に前記他方のディスク基板における内周部分および外周部分を加圧することが好ましい。
【００２４】
上記のように情報記録層がディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲内に位置しており、一方のディスク基板の一面全体を平坦面で加圧し、他方のディスク基板における内周部分および外周部分を平坦面を加圧することにより、それぞれのディスク基板の一面全体を加圧したのと同等のディスク基板の平坦性を確保することができる。また、それとともに、ディスク基板のうねりや反りによるディスク基板同士の片当たりが発生しても、他方のディスク基板で内周部分と外周部分の間の加圧されない範囲があることによってディスク基板の歪みが緩和され、情報記録媒体の機械特性である面振れ加速度の劣化を防止することができる。
【００２５】
さらに、本発明は、２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板の所定の範囲に情報記録層を有している前記２枚のディスク基板を、前記一方のディスク基板の前記情報記録層が他方のディスク基板側に配置されるように、前記情報記録層を含む領域に配された接着剤を介して重ね合わせた状態で、前記２枚のディスク基板を加圧することにより、前記２枚のディスク基板が前記接着剤を介して接合されてなる情報記録媒体を作製する情報記録媒体の製造装置であって、平坦な上面を有し、前記２枚のディスク基板が前記接着剤を介して重ね合わせられた状態で前記２枚のディスク基板が前記上面に載置されるベース部材と、前記ベース部材上の前記２枚のディスク基板のうち上側のディスク基板の上面における前記情報記録層に対応する部分を除く範囲で前記他方のディスク基板に接して、前記上側のディスク基板を下側のディスク基板に向けて押圧するための押圧部材とを有する。
【００２６】
さらに、本発明は、２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板の所定の範囲に情報記録層を有している前記２枚のディスク基板を、前記一方のディスク基板の前記情報記録層が他方のディスク基板側に配置されるように、光の照射により硬化可能な光硬化性接着剤を介して接合することにより、前記２枚のディスク基板が前記光硬化性接着剤を介して接合されてなる情報記録媒体を作製する情報記録媒体の製造装置であって、光透過性を有する材料により構成されるとともに平坦な上面を有し、前記２枚のディスク基板が前記光硬化性接着剤を介して重ね合わせられた状態で前記２枚のディスク基板が前記上面に載置されるベース部材と、前記ベース部材上の前記２枚のディスク基板のうち上側のディスク基板の上面における前記情報記録層に対応する部分を除く範囲で前記他方のディスク基板に接して、前記上側のディスク基板を下側のディスク基板に向けて押圧するための押圧部材と、前記ベース部材を通して前記２枚のディスク基板の間の前記光硬化性接着剤に照射するための光を発する光源とを有する。
【００２７】
さらに、前記情報記録層が、前記２枚のディスク基板のうち少なくともいずれか一方のディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲内に位置しており、前記押圧部材が、前記上側のディスク基板における内周部分および外周部分を加圧するものであることが好ましい。
【００２８】
上記の通りの本発明の情報記録媒体の製造装置によれば、情報記録層を有する情報記録媒体を製造するために、接着剤を介して重ね合わされた２枚のディスク基板をベース部材の平坦な上面に載置し、上側のディスク基板の上面における情報記録層に対応する部分を除く範囲でそのディスク基板を押圧部材によって下側のディスク基板に向けて加圧することにより、それぞれのディスク基板の一面全体を加圧しなくとも、それぞれのディスク基板の一面全体を加圧したのと同等のディスク基板の平坦性を確保して、２枚のディスク基板を貼り合わせることができる。また、それとともに、ディスク基板のうねりや反りによるディスク基板同士の片当たりが発生しても、上側のディスク基板に加圧されない範囲があることによってディスク基板の歪みが緩和され、情報記録媒体の機械特性である面振れ加速度の劣化を防止することができる。そして、ベース部材として、光透過性を有する材料により構成されたものを用い、接着剤として光硬化性のものを用いることにより、そのベース部材を通しての、光硬化性接着剤への光照射と、２枚のディスク基板の加圧とを同時にすることができる。よって、ストレスの少ない加圧と、貼り合わせ用接着剤の硬化とを同時に行えるため、２枚のディスク基板の平坦性を保持したまま、それらのディスク基板同士を貼り合わせることが可能となり、機械特性の優れた情報記録媒体を製造することができる。さらに、このような製造装置においても、情報記録層が、その層を有するディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲内に位置しており、２枚のディスク基板を貼り合わせる際に上側のディスク基板における内周部分および外周部分を押圧部材によって加圧することにより、作製される情報記録媒体の平坦性を確保することができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３０】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る貼り合わせ装置の主要部の断面図である。本実施形態の貼り合わせ装置は、情報記録媒体である光ディスクを作製するための製造装置の一部であって、図１に示すように、光ディスクを構成する上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂとを、接着剤３ｃを介して貼り合わせるための装置である。上側ディスク基板３ａおよび下側ディスク基板３ｂの各々の形状は円盤状であり、上側ディスク基板３ａの中央部には、そのディスクの外形の円と同心の円形の穴が形成されている。また、下側ディスク基板３ｂの中央部にも、そのディスクの外形の円と同心で、上側ディスク基板３ａに形成された穴と同じ大きさの円形の穴が形成されている。
【００３１】
これら上側ディスク基板３ａおよび下側ディスク基板３ｂの少なくともいずれか一方のディスク基板内に情報記録層が形成されている。上側ディスク基板３ａ内に情報記録層が形成される場合には、その情報記録層が上側ディスク基板３ａにおける内周部分３ｄと外周部分３ｆとの間の範囲内に位置するように情報記録層が上側ディスク基板３ａの一方の面側に備えられる。また、下側ディスク基板３ｂ内に情報記録層が形成される場合には、その情報記録層が下側ディスク基板３ｂにおける内周部分３ｅと外周部分３ｇとの間の範囲内に位置するように情報記録層が下側ディスク基板３ｂの一方の面側に備えられる。
【００３２】
本実施形態の貼り合わせ装置では、第１の押圧部である押圧部材２が、第２の押圧部であるベース部材５の上方に配置されている。ベース部材５の上面はほぼ水平な平坦面になっていて、押圧部材２がシリンダー機構部１によってベース部材５の上面に対して直角な方向に上下動可能に支持されている。シリンダー機構部１は、押圧部材２を上下動させるとともに、押圧部材２をベース部材５に向けて加圧するための駆動手段である。シリンダー機構部１の駆動動作によって、押圧部材２がベース部材５に向かって下降したり、押圧部材２がベース部材５から離れる方向に上昇したりする。ベース部材５の上面のほぼ中央部からは円柱状の芯出し軸４が突出している。芯出し軸４は、ベース部材５上で上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂとの中心軸を合わせるためのものである。芯出し軸４の、ベース部材５の上面と平行な方向の断面形状は、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂのそれぞれの中央部の穴よりもわずかに小さい円形となっている。上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂのそれぞれの穴に芯出し軸４を貫通させて、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂをベース部材５の上面に載置することにより、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂの中心軸をほぼ一致させることができる。
【００３３】
本実施形態では、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂとを接着するための接着剤３ｃとして遅効性の紫外線硬化樹脂を用いている。上面が平坦なベース部材５の材料としては、石質の常磐やステンレス鋼（ＳＵＳ３０３）を用いることが好ましい。
【００３４】
押圧部材２は、芯出し軸４により上側ディスク基板３ａおよび下側ディスク基板３ｂの芯合わせをしてそれらの基板をベース部材５上に載置した状態で、上側ディスク基板３ａの上面における内周部分および外周部分をベース部材５に向けて押圧することにより、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂとを接合するためのものである。すなわち、上側ディスク基板３ａの接着材３ｃ側と反対側の上面で、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂのいずれかの情報記録層に対応する部分を除く範囲に押圧部２が接して、押圧部２により上側ディスク基板３ａが下側ディスク基板３ｂ側に向けて加圧される。そのようにして上側ディスク基板３ａの内周部分３ｄおよび外周部分３ｆを押圧部２によってベース部材５側に向けて加圧することにより、下側ディスク基板３ｂの接着剤３ｃ側と反対側の面全体がベース部材５の平坦な上面により加圧される。したがって、押圧部材２の下面の外形形状は円形になっており、その下面の外形の大きさは、上側ディスク基板３ａおよび下側ディスク基板３ｂの外形よりもわずかに大きくなっている。
【００３５】
この押圧部材２のベース部材５側の下面には、凹部２ａ，２ｂがそれぞれ形成されている。凹部２ｂは、押圧部材２の下面における芯出し軸４に対応する部分に形成されている。凹部２ｂの深さは芯出し軸４の長さよりも大きく、凹部２ｂの深さ方向に対して直角な方向の断面形状は芯出し軸４の断面形状よりも大きくなっている。これにより、押圧部材２の下面がベース部材５の上面に接触するまで押圧部材２が下降した際に押圧部材２が芯出し軸４に接触しないようになっている。
【００３６】
また、凹部２ａは、押圧部材２の下面で、ベース部材５上の上側ディスク基板３ａおよび下側ディスク基板３ｂの記録エリアに対応する部分、すなわち上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂのいずれかの情報記録層に対応する部分に形成されている。これにより、押圧部材２の下面は、ベース部材５上の上側ディスク基板３ａにおける記録エリアを除く範囲、すなわち上側ディスク基板３ａの内周部分３ｄおよび外周部分３ｆに接触することになる。
【００３７】
次に、本実施形態の貼り合わせ装置を用いて光ディスクを製造する工程について説明する。
【００３８】
まず、押圧部材２が上方に移動して押圧部材２がベース部材５から充分に離れている状態で、ベース部材５上に上側ディスク基板３ａおよび下側ディスク基板３ｂを載置する。その際、接着剤３ｃを介して重ね合わされた上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂが上側から下側にその順番で積層されるように、芯出し軸４にそれらの基板の穴を貫通させ、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂとの芯合わせをする。また、この時、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂのいずれか一方のディスク基板の一方の面側に備えられた情報記録層が他方のディスク基板側に配置されるように、すなわち、その情報記録層が光ディスクの内側に配置されるように、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂを重ね合わせる。
【００３９】
次に、シリンダー機構部１により押圧部材２を下降させて、その押圧部材２の下面によって上側ディスク基板３ａの上面における内周部分３ｄおよび外周部分３ｆを加圧する。これにより、上側ディスク基板３ａおよび下側ディスク基板３ｂの半径方向で均一な圧力がそれらの基板に伝わり、ディスクの内周部分と外周部分が均一に加圧されることで、上側ディスク基板３ａおよび下側ディスク基板３ｂが平坦に保持される。よって、上側ディスク基板３ａの上面全体を加圧しなくとも、上側ディスク基板３ａを内周部分３ｄと外周部分３ｆとで部分的に加圧することにより、上側ディスク基板３ａの上面全体を加圧したのと同等のディスク基板の平坦性を確保することができる。
【００４０】
この時、加圧によるディスク基板のストレスに関しては、ディスク基板の記録エリアの一方の側に、上側ディスク基板３ａを加圧しないフリーな空間すなわち凹部２ａが存在するため、ディスク基板のうねりや反りによる片当たりが発生しても、上側ディスク基板３ａを加圧しないフリーな空間によってそれぞれのディスク基板の歪みが緩和される。
【００４１】
また、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂを接合する際には、接着剤３ｃの膜厚が５μｍ以下で接着剤３ｃを介してそれらのディスク基板を重ね合わせた後、接着剤３ｃの膜厚の変化が１μｍ以下となるようにそれらのディスク基板を加圧することが好ましい。これにより、接着剤３ｃの膜厚変動とディスク基板の片当たりに起因する、光ディスクの面振れ加速度の劣化を取り除くことができる。また、それとともに、光ディスクの反り量の増加量をディスク全面に分散できるため、光ディスクのチルト（反り角）を低く抑えることが可能となる。
【００４２】
したがって、上述したような光ディスクの製造方法および製造装置によって、上側ディスク基板３ａと下側ディスク基板３ｂを、接着剤３ｃを介して接合することにより、情報記録媒体として、より平坦で機械特性の良好な光ディスクが作製される。よって、高密度の記録に対応可能な光ディスクを製造することができる。
【００４３】
本実施形態で用いた貼り合わせ用の接着剤は、遅効性の紫外線硬化樹脂に限定されるものではない。他の貼り合わせ用の接着剤としては、ホットメルトや貼り合わせテープなどを用いてもよい。
【００４４】
（第２の実施の形態）
図２は、本発明の第２の実施形態に係る貼り合わせ装置の主要部の断面図である。本実施形態の貼り合わせ装置は、情報記録媒体である光ディスクを作製するための製造装置の一部であって、図２に示すように、光ディスクを構成する上側ディスク基板１３ａと下側ディスク基板１３ｂを、光硬化性接着剤である紫外線硬化樹脂１３ｃを介して貼り合わせるための装置である。
【００４５】
また、本実施形態の貼り合わせ装置は、第１の実施形態のものと比較して、２枚のディスク基板同士を接合する接着剤として紫外線硬化樹脂を用い、その貼り合わせ装置に光照射機構が備えられている点が主に異なっている。図２では、第１の実施形態と同一の構成部品に同一の符号を付し、以下では、第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。本実施形態で用いた上側ディスク基板１３ａおよび下側ディスク基板１３ｂの各々は、第１の実施形態で用いた上側ディスク基板３ａおよび下側ディスク基板３ｂと同様なものである。
【００４６】
したがって、上側ディスク基板３ａおよび下側ディスク基板３ｂと同様に、上側ディスク基板１３ａおよび下側ディスク基板１３ｂの少なくともいずれか一方のディスク基板内に情報記録層が形成されている。上側ディスク基板１３ａ内に情報記録層が形成される場合には、その情報記録層が上側ディスク基板１３ａにおける内周部分１３ｄと外周部分１３ｆとの間の範囲内に配置される。下側ディスク基板１３ｂ内に情報記録層が形成される場合には、その情報記録層が下側ディスク基板１３ｂにおける内周部分１３ｅと外周部分１３ｇとの間の範囲内に配置される。
【００４７】
本実施形態の貼り合わせ装置では、第２の押圧部であるベース部材１５の上面が露出するようにベース部材１５が作業台６の上部に取り付けられている。ベース部材１５の上面は、第１の実施形態のベース部材５の上面と同様に平坦になっている。押圧部２によって上側ディスク基板１３ｂの内周部分１３ｄおよび外周部分１３ｆをベース部材１５側に向けて加圧した際に、下側ディスク基板１３ｂの紫外線硬化樹脂１３ｃ側と反対側の面全体がベース部材１５の平坦な上面によって加圧される。
【００４８】
ベース部材１５の上面の中央部からは芯出し軸１４が突出している。芯出し軸１４は、第１の実施形態の芯出し軸４と同様に、ベース部材１５上で上側ディスク基板１３ａと下側ディスク基板１３ｂとの芯合わせを行うためのものである。
【００４９】
作業台６の内側には、上側ディスク基板１３ａと下側ディスク基板１３ｂとの間の紫外線硬化樹脂１３ｃに紫外線を照射するための光照射機構７が備えられている。光照射機構７は、紫外線発生源である高圧水銀ランプあるいはメタルハロイドランプなどの光源ランプ９と、光源ランプ９からの紫外線をベース部材１５上のディスク基板に向けて反射する集光型の反射ミラー８とから構成されている。ベース部材１５の材質としては、光源ランプ９からの紫外線を透過させるものが用いられており、アクリルやポリカーボネイトなどの透明な有機材料、または石英ガラスなどの透明な無機材料を用いることが好ましい。特に好ましいものは、強度と平坦性に優れた石英ガラスとアクリルを貼り合わせて作製された複合ガラスである。
【００５０】
次に、本実施形態の貼り合わせ装置を用いて光ディスクを製造する工程について説明する。
【００５１】
まず、押圧部材２が上方に移動して押圧部材２がベース部材１５から充分に離れている状態で、ベース部材１５上に上側ディスク基板１３ａおよび下側ディスク基板１３ｂを載置する。その際、紫外線硬化樹脂１３ｃを介して重ね合わされた上側ディスク基板１３ａと下側ディスク基板１３ｂが上側から下側にその順番で積層されるように、芯出し軸１４にそれらの基板の穴を貫通させて、上側ディスク基板１３ａと下側ディスク基板１３ｂとの芯合わせをする。また、この時、上側ディスク基板１３ａと下側ディスク基板１３ｂのいずれか一方のディスク基板の一方の面側に備えられた情報記録層が他方のディスク基板側に配置されるように、すなわち、その情報記録層が光ディスクの内側に配置されるように、それらのディスク基板を重ね合わせる。
【００５２】
次に、シリンダー機構部１により押圧部材２を下降させて、その押圧部材２の下面によって上側ディスク基板１３ａの上面における内周部分１３ｄおよび外周部分１３ｆを加圧する。これにより、上側ディスク基板１３ａおよび下側ディスク基板１３ｂの半径方向で均一な圧力がそれらの基板に伝わり、ディスクの内周部分と外周部分が均一に加圧されることで、上側ディスク基板１３ａおよび下側ディスク基板１３ｂが平坦に保持される。
【００５３】
この時、加圧によるディスク基板のストレスに関しては、第１の実施形態と同様に、光ディスクの記録エリアの一方の側に、上側ディスク基板１３ａを加圧しないフリーな空間すなわち凹部２ａが存在するため、ディスク基板のうねりや反りによる片当たりが発生しても、上側ディスク基板１３ａを加圧しないフリーな空間によって光ディスクの歪みが緩和される。
【００５４】
次に、下側ディスク基板１３ｂおよびベース部材１５の下方から、下側ディスク基板１３ｂおよび紫外線硬化樹脂１３ｃに向けて光源ランプ９および反射ミラー８より紫外線を照射する。これにより、紫外線硬化樹脂１３ｃが硬化し、硬化した紫外線硬化樹脂１３ｃによって上側ディスク基板１３ａと下側ディスク基板１３ｂとが接合される。この時、上述したように上側ディスク基板１３ａおよび下側ディスク基板１３ｂのそれぞれの内周部分および外周部分が押圧部材２によってベース部材１５側に押圧されていることにより、それらのディスク基板は、平坦性を保持した状態で貼り合わされる。光源ランプ９による紫外線の照射、非照射は、不図示のシャッタの開閉により行われる。以上の工程により、上側ディスク基板１３ａおよび下側ディスク基板１３ｂが紫外線硬化樹脂１３ｃを介して貼り合わされてなる情報記録媒体である光ディスクが作製される。
【００５５】
本実施形態の貼り合わせ装置によれば、ベース部材１５として、光透過性を有する材料により構成されたものを用い、接着剤として紫外線硬化樹脂１３ｃを用いることで、ベース部材１５を通しての、紫外線硬化樹脂１３ｃへの紫外線の照射と、２枚のディスク基板の加圧とを同時にすることができる。よって、ストレスの少ない加圧と、貼り合わせ用接着剤の硬化とを同時に行えるため、２枚のディスク基板の平坦性を保持したまま、それらのディスク基板同士を貼り合わせることが可能となり、機械特性の優れた情報記録媒体を製造することができる。
【００５６】
本実施形態においても、上側ディスク基板１３ａと下側ディスク基板１３ｂを接合する際には、紫外線硬化樹脂１３ｃの膜厚が５μｍ以下で紫外線硬化樹脂１３ｃを介してそれらのディスク基板を重ね合わせた後、紫外線硬化樹脂１３ｃの膜厚の変化が１μｍ以下となるようにそれらのディスク基板を加圧することが好ましい。これにより、紫外線硬化樹脂１３ｃの膜厚変動とディスク基板の片当たりに起因する、光ディスクの面振れ加速度の劣化を取り除くことができる。また、それとともに、光ディスクの反り量の増加量をディスク全面に分散できるため、光ディスクのチルトを低く抑えることが可能となる。
【００５７】
本実施形態では、ベース部材１５の構成材料として光透過性を有するものを用い、紫外線硬化樹脂１３ｃにベース部材１５側から紫外線を照射したが、押圧部２の構成材料として光透過性を有するものを用い、紫外線硬化樹脂１３ｃに押圧部２側から紫外線を照射するように貼り合わせ装置を構成してもよい。
【００５８】
本実施形態で用いられる貼り合わせ用の接着剤と照射光源の組み合わせは、紫外線硬化樹脂と高圧水銀ランプやメタルハロゲンランプなどの紫外線発生源との組み合わせに限定されるものではない。貼り合わせ用の接着剤と照射光源の他の組み合わせとしては、可視光硬化性樹脂（株式会社スリーボンド社製の市販品のＶＬシリーズ）とハロゲンランプなどの簡易照射システムであってもよい。その他の組み合わせとしてはポリアクリルレート系の電子線硬化樹脂と電子線照射システム、あるいはエポキシ系接着剤（変性ニトリルエポキシ、変性エポキシなど）にカーボンや金属粉末を混ぜて光吸収性を向上させた熱硬化性接着剤とハロゲンランプなどの簡易照射システムであってもよい。
【００５９】
また、熱硬化性と光硬化性を併せ持った接着剤と照射光源の組み合わせとしては、熱硬化性紫外線硬化性樹脂（スリーボンド社製の３０１３Ｃ）と高圧水銀ランプやメタルハロゲンランプなどのコールドミラーを取り外した紫外線発生源を用いてもよい。
【００６０】
図３は、上側のディスク基板を部分的に加圧する、いわゆるディスク基板の部分加圧をする本実施形態の貼り合わせ装置を用いて作製された光ディスクの面振れ加速度と、両方のディスク基板のそれぞれの一面全体を加圧する、いわゆるディスク基板の全面加圧により貼り合わせを行う従来の貼り合わせ装置を用いて作製された光ディスクの面振れ加速度との比較を示した図である。図３では、部分加圧により作製された光ディスクの面振れ加速度として、○が、レーザの進行方向と同一方向の面振れ加速度を示し、●が、レーザの進行方向とは逆方向の面振れ加速度を示している。また、全面加圧により作製された光ディスクの面振れ加速度として、△が、レーザの進行方向と同一方向の面振れ加速度を示し、▲が、レーザの進行方向とは逆方向の面振れ加速度を示している。
【００６１】
全面加圧では約１９．６Ｎ／ｃｍ2（約２．０ｋｇｆ／ｃｍ2）の貼り合わせ圧力で２枚のディスク基板を接合したのに対して、本実施形態の部分加圧では約１７．７Ｎ／ｃｍ2（約１．８ｋｇｆ／ｃｍ2）の貼り合わせ圧力で２枚のディスク基板を接合した。この際、図３に示されるように、従来の全面加圧による貼り合わせ方法では、光ディスクの面振れ加速度が部分的に２０ｍ／ｓ2をオーバしているのに対して、本発明の部分加圧を用いた貼り合わせ方法では面振れ加速度が８ｍ／ｓ2よりも小さい良好な値となった。
【００６２】
図４は、上側ディスク基板の部分加圧をする本実施形態の貼り合わせ装置を用いて作製された光ディスクのラジアルチルト（径方向反り角）と、ディスク基板の加圧無しで作製された光ディスクのラジアルチルトとの比較、および部分加圧により作製された光ディスクでの接着剤の膜厚の違いによるラジアルチルトの大きさの違いを示した図である。図４では、部分加圧により作製された光ディスクのラジアルチルトとして、○が、光硬化性接着剤１３ｃの膜厚が５μｍの時のラジアルチルトを示し、■が、光硬化性接着剤１３ｃの膜厚が３０μｍの時のラジアルチルトを示している。また、▲が加圧無しにより作製された光ディスクのラジアルチルトを示している。
【００６３】
図４に示されるように、加圧無しで作製された光ディスクのラジアルチルトがディスクの外周部分で０．６ｄｅｇ（degrees）程度あるのに対して、本実施形態の部分加圧による貼り合わせ装置により作製された光ディスクでは、そのラジアルチルトが０．３ｄｅｇ以下である。また、同じ部分加圧によるディスク基板の貼り合わせでも接着剤の膜厚を５μｍと薄くすると、接着剤の膜厚が３０μｍの場合で現れていたディスクの外周側部分でのラジアルチルトの急激な増加を抑えることが可能となり、ラジアルチルトを０．２ｄｅｇ以下に制御できる。
【００６４】
上記の実験に用いたディスク基板としては、反り量が３００μｍ以上ある反りの大きな基板を用いた。また、接着剤としては大日本インキ化学工業株式会社製のＳＤ−６６１を用い、ＵＶ（紫外線）の照射条件は、１５０ｍＷ／ｃｍ2で１０秒とし、ディスク基板の加圧圧力は何れも１９．６Ｎ／ｃｍ2（２ｋｇｆ／ｃｍ2）とした。作製された光ディスクの機械特性は、株式会社小野測器社製の光ディスク機械特性測定装置ＬＭ−１１０（改）を用いて測定した。
【００６５】
上記のそれぞれの実施形態では、ディスク基板を加圧する加圧機構として、押圧部およびシリンダー機構部を用いたが、押圧部とシリンダー機構部とが一体となった加圧治具（例えば、重し付きの押圧部）を用いてもよい。また、本実施形態において２枚のディスク基板同士を接合する際、それらのディスク基板に紫外線を万遍なく照射するためにディスク基板を回転速度３０ｒｐｍ程度で回転させることが好ましい。これにより、光ディスクの機械特性を向上させる効果をより高めることができる。
【００６６】
また、本実施形態では接着剤として紫外線硬化樹脂を用いたが、接着剤として遅効性紫外線硬化樹脂を用いてもよく、特に、光ディスクの機械特性を向上させる効果が得られる接着剤としてテープを用いて光ディスク同士を貼り合わせることが有効である。
【００６７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、情報記録層を有する情報記録媒体を製造するために２枚のディスク基板を接着剤により接合する際に、一方のディスク基板の接着剤側と反対側の面全体を平坦面で加圧し、他方のディスク基板の接着剤側と反対側の面における情報記録層に対応する部分を除く範囲で他方のディスク基板を加圧することにより、それぞれのディスク基板の一面全体を加圧したのと同等のディスク基板の平坦性を確保して情報記録媒体を作製することができる。また、それとともに、ディスク基板のうねりや反りによるディスク基板同士の片当たりが発生しても、他方のディスク基板に加圧されない範囲があることによってディスク基板の歪みが緩和され、情報記録媒体の機械特性である面振れ加速度の劣化を防止することができるという効果がある。
【００６８】
また、一方のディスク基板の接着剤側と反対側の面全体を第１の押圧部の平坦面により加圧し、他方のディスク基板の接着剤側と反対側の面における情報記録層に対応する部分を除く範囲で他方のディスク基板を第２の押圧部により加圧する際に、第１および第２の押圧部の少なくともいずれか一方として、光透過性を有する材料からなるものを用い、接着剤として光硬化性のものを用いることにより、光硬化性接着剤への光照射と、２枚のディスク基板の加圧とを同時にすることができる。よって、ストレスの少ない加圧と、貼り合わせ用接着剤の硬化とを同時に行うことができ、２枚のディスク基板の平坦性を保持したまま、それらのディスク基板同士を貼り合わせることが可能となり、機械特性の優れた情報記録媒体を製造することができる。
【００６９】
さらに、接着剤の膜厚が５μｍ以下で接着剤を介して２枚のディスク基板を重ね合わせた後に、接着剤の膜厚の変化が１μｍ以下となるように、２枚のディスク基板の一方でディスク基板の一面全体を平坦面により加圧し、他方でディスク基板の一面を部分的に加圧することにより、接着剤の膜厚変動とディスク基板の片当たりに起因する、情報記録媒体の面振れ加速度の劣化を取り除くことができるという効果がある。また、それとともに、情報記録媒体の反り量の増加量をディスク全面に分散できるため、情報記録媒体のチルトを低く抑えることが可能となる。
【００７０】
さらに、情報記録層がディスク基板における内周部分と外周部分との間の範囲内に位置しており、一方のディスク基板の一面全体を平坦面で加圧し、他方のディスク基板における内周部分および外周部分を平坦面を加圧することにより、それぞれのディスク基板の一面全体を加圧したのと同等のディスク基板の平坦性を確保することができる。また、それとともに、他方のディスク基板における内周部分と外周部分の間の加圧されない範囲によってディスク基板の歪みが緩和され、情報記録媒体の機械特性である面振れ加速度の劣化を防止することができる。
【００７１】
さらに、本発明の情報記録媒体の製造装置によれば、２枚のディスク基板を接着剤によって接合する際に、２枚のディスク基板をベース部材の平坦な上面に載置し、上側のディスク基板の上面における情報記録層に対応する部分を除く範囲で上側のディスク基板を押圧部材によって下側のディスク基板に向けて加圧することにより、それぞれのディスク基板の一面全体を加圧したのと同等のディスク基板の平坦性を確保して、２枚のディスク基板を貼り合わせることができる。また、上述したのと同様に、上側のディスク基板の加圧されない範囲によってディスク基板の歪みが緩和され、情報記録媒体の機械特性である面振れ加速度の劣化を防止することができる。さらに、ベース部材として、光透過性を有する材料により構成されたものを用い、接着剤として光硬化性のものを用いることにより、そのベース部材を通しての、光硬化性接着剤への光照射と、２枚のディスク基板の加圧とを同時にすることができる。よって、２枚のディスク基板の平坦性を保持したまま、それらのディスク基板同士を貼り合わせることが可能となり、機械特性の優れた情報記録媒体を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る貼り合わせ装置の主要部の断面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係る貼り合わせ装置の主要部の断面図である。
【図３】図２に示した貼り合わせ装置により作製された光ディスクと、従来の貼り合わせ装置によってディスク基板の全面加圧により作製された光ディスクとの面振れ加速度の比較を示した図である。
【図４】図２に示した貼り合わせ装置におけるディスク基板の加圧の有無と、接着剤の膜厚の違いとによるラジアルチルトの変化を示した図である。
【符号の説明】
１    シリンダー機構部
２    押圧部材
３ａ、１３ａ    上側ディスク基板
３ｂ、１３ｂ    下側ディスク基板
３ｃ    接着剤
３ｄ、３ｅ、１３ｄ、１３ｅ    内周部分
３ｆ、３ｇ、１３ｆ、１３ｇ    外周部分
４、１４    芯出し軸
５、１５    ベース部材
６    作業台
７    光照射機構
８    反射ミラー
９    光源ランプ
１０    紫外線
１３ｃ    紫外線硬化樹脂
【図１】
0003841144.tif 000002
【図２】
0003841144.tif 000003
【図３】
0003841144.tif 000004
【図４】
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