(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基盤等の加工物を加工装置等との間で受け渡しするための加工物受け渡し装置において、該加工物受け渡し装置に、加工物収納用カセット搬送用のスタッカークレーンと、加工物収納用カセットの載置棚と、加工物受け渡し部と、該加工物受け渡し部と加工装置等との間で加工物を受け渡しする加工物移載機構と、移動用車輪を備えるとともに、加工物受け渡し装置内にヘパフィルタを通った清浄空気が流通するようにし、かつ、スタッカークレーンを配設したスタッカークレーン部と、加工物収納用カセットの載置棚及び加工物受け渡し部を配設したカセット部と、加工物移載機構を配設した移載機構部とを、それぞれ独立して、又は隣接する任意の２つの部分でユニット化し、それぞれ分離可能にしたことを特徴とする加工物受け渡し装置。
【請求項２】
加工物受け渡し装置の下面に気流制御用可変抵抗ルーバを配設したことを特徴とする請求項１記載の加工物受け渡し装置。
【請求項３】
スタッカークレーンを、加工物受け渡し装置の移動用車輪による移動方向と直交する方向に敷設した走行レール上を移動するように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の加工物受け渡し装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶用ガラス基板、半導体ウエハ、ＰＤＰ、ＨＤ、磁気ヘッド等（本明細書において、「ガラス基盤等」という場合がある。）の加工物（本明細書において、「ワーク」という場合がある。）を加工装置等との間で受け渡しするための加工物受け渡し装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、ガラス基盤等の加工物は、各種加工装置等と加工物受け渡し装置との間で受け渡しを行いながら、複数工程の加工を行うようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このように複数工程の加工を行う場合、加工装置の稼働効率等との関係やシステムにトラブルが発生したときに、一時的に加工物を収納したカセットをスタッカークレーンを備えた載置棚に仮置きする必要があるが、通常、加工装置の設置位置とスタッカークレーンを備えた載置棚の設置位置とは、離れていることが多く、このため、加工物を収納したカセットの移動に時間を要し、生産効率が低下するという問題があった。
【０００４】
また、従来の加工物受け渡し装置は、装置毎にヘパフィルタ等の空気清浄機構を配設する必要があるため、空調費が高額になるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記従来の加工物受け渡し装置が有する問題点に鑑み、加工物を収納したカセットの移動を短時間で行うことができるようにすることによって、生産効率を向上することができるとともに、空調費を節約することができる加工物受け渡し装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の加工物受け渡し装置は、ガラス基盤等の加工物を加工装置等との間で受け渡しするための加工物受け渡し装置において、該加工物受け渡し装置に、加工物収納用カセット搬送用のスタッカークレーンと、加工物収納用カセットの載置棚と、加工物受け渡し部と、該加工物受け渡し部と加工装置等との間で加工物を受け渡しする加工物移載機構と、移動用車輪を備えるとともに、加工物受け渡し装置内にヘパフィルタを通った清浄空気が流通するようにし、かつ、スタッカークレーンを配設したスタッカークレーン部と、加工物収納用カセットの載置棚及び加工物受け渡し部を配設したカセット部と、加工物移載機構を配設した移載機構部とを、それぞれ独立して、又は隣接する任意の２つの部分でユニット化し、それぞれ分離可能にしたことを特徴とする。
【０００７】
この加工物受け渡し装置は、加工物受け渡し装置に、加工物収納用カセット搬送用のスタッカークレーンと、加工物収納用カセットの載置棚と、加工物受け渡し部と、該加工物受け渡し部と加工装置等との間で加工物を受け渡しする加工物移載機構と、移動用車輪を備えるようにしているので、一時的に加工物を収納したカセットを載置棚に仮置き等する必要がある場合でも、カセットを、加工物受け渡し装置に備えたスタッカークレーンを用いて、加工物受け渡し装置に備えた加工物収納用カセットの載置棚に仮置き等することができる。
また、加工物受け渡し装置内にヘパフィルタを通った清浄空気が流通するようにしているので、個別に配設した各装置毎にヘパフィルタを配設する場合と比較して、空調費を節約することができる。
さらに、スタッカークレーンを配設したスタッカークレーン部と、加工物収納用カセットの載置棚及び加工物受け渡し部を配設したカセット部と、加工物移載機構を配設した移載機構部とを、それぞれ独立して、又は隣接する任意の２つの部分でユニット化し、それぞれ分離可能にすることにより、装置の汎用性を高め、ユニット化した各部分を適宜組み合わせることにより、個別システムに最適な加工物受け渡し装置を容易に提供することができる。
【０００８】
また、加工物受け渡し装置の下面に気流制御用可変抵抗ルーバを配設することができる。
【０００９】
これにより、加工物受け渡し装置内を流通するヘパフィルタを通った清浄空気の流通経路及び流通量を容易に制御することができる。
【００１０】
また、スタッカークレーンを、加工物受け渡し装置の移動用車輪による移動方向と直交する方向に敷設した走行レール上を移動するように構成することができる。
【００１１】
これにより、加工物収納用カセットの載置棚の容量を増大することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の加工物受け渡し装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１３】
図１に、本発明の加工物受け渡し装置の一実施例を示す。
この加工物受け渡し装置は、ガラス基盤等の加工物を加工装置等との間で受け渡しするための加工物受け渡し装置において、加工物受け渡し装置に、加工物収納用カセット搬送用のハンド１１等を備えたスタッカークレーン１と、加工物収納用カセットの載置棚３と、加工物受け渡し部４と、この加工物受け渡し部４と加工物受け渡し口１０を介して加工装置等との間で加工物を受け渡しするロボットハンド５１等を備えた加工物移載機構としての移載用ロボット５と、移動用車輪８を備えるとともに、エア取り入れ口９から加工物受け渡し装置内に取り入れられてヘパフィルタ６を通った清浄空気が流通するように構成している。
【００１４】
この場合において、スタッカークレーン１を配設したスタッカークレーン部Ａ１と、加工物収納用カセットの載置棚３及び加工物受け渡し部４を配設したカセット部Ａ２と、加工物移載機構５を配設した移載機構部Ａ３とは、それぞれ独立してユニット化するようにしたり、あるいは、隣接する任意の２つの部分、例えば、カセット部Ａ２と移載機構部Ａ３とで１ユニット化Ｂ２したり、スタッカークレーン部Ａ１とカセット部Ａ２とで１ユニット化Ｃ１して、それぞれ分離可能に構成することができる。
これにより、装置の汎用性を高め、ユニット化した各部分を適宜組み合わせることにより、個別システムに最適な加工物受け渡し装置を容易に提供することができるものとなる。
【００１５】
また、加工物受け渡し装置の下面には、気流制御用可変抵抗ルーバ７を配設することにより、加工物受け渡し装置内を流通するエア取り入れ口９から取り入れられてヘパフィルタ６を通った清浄空気の流通経路及び流通量を容易に制御することができ、加工物受け渡し装置内の各部を最適な清浄度に維持することができる。
【００１６】
また、スタッカークレーン１を、加工物受け渡し装置の移動用車輪８による移動方向と直交する方向に敷設した走行レール２上を移動するように構成することにより、加工物収納用カセットの載置棚３の容量を容易に増大することができる。
【００１７】
上記の構成からなる加工物受け渡し装置は、加工物受け渡し装置に、加工物収納用カセット搬送用のスタッカークレーン１と、加工物収納用カセットの載置棚３と、加工物受け渡し部４と、この加工物受け渡し部４と加工装置等との間で加工物を受け渡しする加工物移載機構５と、移動用車輪８を備えるようにしているので、一時的に加工物を収納したカセットＣを載置棚３に仮置き等する必要がある場合でも、カセットＣを、加工物受け渡し装置５に備えたスタッカークレーン１を用いて、加工物受け渡し装置に備えた加工物収納用カセットの載置棚３に仮置き等することができる。
また、加工物受け渡し装置内にヘパフィルタ６を通った清浄空気が流通するようにしているので、個別に配設した各装置毎にヘパフィルタを配設する場合と比較して、空調費を節約することができる。
【００１８】
以上、本発明の加工物受け渡し装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【００１９】
【発明の効果】
本発明の加工物受け渡し装置によれば、加工物受け渡し装置に、加工物収納用カセット搬送用のスタッカークレーンと、加工物収納用カセットの載置棚と、加工物受け渡し部と、該加工物受け渡し部と加工装置等との間で加工物を受け渡しする加工物移載機構と、移動用車輪を備えるようにしているので、一時的に加工物を収納したカセットを載置棚に仮置き等する必要がある場合でも、カセットを、加工物受け渡し装置に備えたスタッカークレーンを用いて、加工物受け渡し装置に備えた加工物収納用カセットの載置棚に仮置き等することができ、これにより、加工物を収納したカセットの移動を短時間で行うことができるため、生産効率を向上することができる。
また、加工物受け渡し装置内にヘパフィルタを通った清浄空気が流通するようにしているので、個別に配設した各装置毎にヘパフィルタを配設する場合と比較して、空調費を節約することができる。
さらに、スタッカークレーンを配設したスタッカークレーン部と、加工物収納用カセットの載置棚及び加工物受け渡し部を配設したカセット部と、加工物移載機構を配設した移載機構部とを、それぞれ独立して、又は隣接する任意の２つの部分でユニット化し、それぞれ分離可能にすることにより、装置の汎用性を高め、ユニット化した各部分を適宜組み合わせることにより、個別システムに最適な加工物受け渡し装置を容易に提供することができる。
【００２０】
また、加工物受け渡し装置の下面に気流制御用可変抵抗ルーバを配設することにより、加工物受け渡し装置内を流通するヘパフィルタを通った清浄空気の流通経路及び流通量を容易に制御することができる。
【００２１】
また、スタッカークレーンを、加工物受け渡し装置の移動用車輪による移動方向と直交する方向に敷設した走行レール上を移動するように構成することにより、加工物収納用カセットの載置棚の容量を増大することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の加工物受け渡し装置の一実施例を示す説明図（正面断面図）である。
【符号の説明】
Ｃ    カセット
１    スタッカークレーン
２    走行レール
３    加工物収納用カセットの載置棚
４    加工物受け渡し部
５    加工物移載機構
６    ヘパフィルタ
７    気流制御用可変抵抗ルーバ
８    移動用車輪
９    エア取り入れ口
１０  加工物受け渡し口
【図１】
0003852694.tif 000002