Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両のサイドシルに設けられて車両前後方向に延びる上記サイドシルの下端縁より下方へ突出した下方への開口部をそなえ、上記開口部の車両前方壁部が車両後方壁部よりも下方へ突出して、上記開口部の両側壁部の下端縁が上記車両前方壁部から上記車両後方壁部へ向かってそれぞれ上方へ傾斜したサイドシル水抜き孔。
【請求項２】
請求項１において、上記開口部が上記サイドシルの下端に取り付けられた筒体により形成されたサイドシル水抜き孔。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、車両のサイドシルにおける水抜き孔の構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
車両のサイドシルには、下方へ開口する水抜き孔が車両前後方向に適宜の間隔をおいて設けられているが、実開昭６４−５１５８０号公報に示されているように、サイドシルインナの下縁部における水抜きビードの下辺に、車体の後方に向けて側面の一部より後面にわたって切り欠かれた水抜き穴が形成された場合には、車両の走行時に水抜き穴の下方開口に接して通過する気流が水抜きビード下辺の前端部で乱されて発生した空気の渦は、車両後方へ流れながら実際には車幅方向に振れ、そのため、水抜きビード下辺の前端部に接続して切り欠かれていない水抜きビード下辺の側面、及びまたは、サイドシルアウタの内側面に衝突し、また、横風があるときには一層強く上記側面、及びまたは、上記内側面に衝突するので、水抜き穴内において耳障りな共鳴音が生じ、車両の乗員に不快感を与える欠点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、車両のサイドシルに設けられて下方へ開口する水抜き孔において、車両の走行時に空気の渦による共鳴音が発生することを簡単に抑制することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
このため、本発明にかかるサイドシル水抜き孔は、車両のサイドシルに設けられて車両前後方向に延びる上記サイドシルの下端縁より下方へ突出した下方への開口部をそなえ、上記開口部の車両前方壁部が車両後方壁部よりも下方へ突出して、上記開口部の両側壁部の下端縁が上記車両前方壁部から上記車両後方壁部へ向かってそれぞれ上方へ傾斜している。
【０００５】
従って、車両の走行時に、サイドシル水抜き孔における下方開口部の車両前方壁部で気流が乱されて発生した空気の渦は、下方開口部が車両前後方向に延びるサイドシルの下端縁より下方へ突出し、かつ、開口部の両側壁部の下端縁が車両前方壁部から車両後方壁部へ向かってそれぞれ上方へ傾斜しているため、車両後方へ流れながら車幅方向に多少振れることがあっても、開口部の両側壁部及び車両後方壁部や下方開口部よりも車両後方側に位置するサイドシルに衝突することなく車両後方へ流れ去るので、サイドシル水抜き孔の下方開口部で渦流による共鳴音が生じることは確実に抑制することが可能となる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す本発明の実施形態例について、各実施形態例の同等部分にはそれぞれ同一符号を付けて説明する。
図１〜図３において、車両のサイドシル１はサイドシルアウタ２及びサイドシルインナ３により閉断面構造に形成されているが、下方へ開口する複数個の水抜き孔４が車両前後方向に適宜の間隔をおいて設けられており、水抜き孔４の下部は図３のように車両後方側に向かって下方へ傾斜すると共に、その開口部５の車両前方壁部６が車両後方壁部７よりも下方へ突出し、かつ、開口部５の両側壁部８が車両前方壁部６から車両後方壁部７へ向かってそれぞれ上方へ直線的に傾斜している。なお、９はサイドシル１に連結されたフロアパネル、１０はドアである。
【０００７】
上記のように、水抜き孔４の下部が車両後方側に向かって下方へ傾斜しているため、車両の走行時に、サイドシル水抜き孔４における下方開口部５の車両前方壁部６で気流が乱されにくくはなっているが、車両前方壁部６で気流が乱されて発生した空気の渦１１は、開口部５の両側壁部８が車両前方壁部６から車両後方壁部７へ向かってそれぞれ上方へ直線的に傾斜しているため、車両後方へ流れながら車幅方向に多少振れることがあっても、開口部５の両側壁部８及び車両後方壁部７に衝突することなく車両後方へスムースに流れ去るので、水抜き孔４の下方開口部５において渦流による不快な共鳴音が生じることは確実に抑制することができ、このため、乗員は快適に車両を運転することが可能となる。
【０００８】
しかも、水抜き孔４は、開口部５の車両前方壁部６が車両後方壁部７より下方へ突出しているだけの極めて簡単な形状であるため、格別のコストアップも伴わない利点がある。
【０００９】
なお、上記実施形態例では、水抜き孔４における開口部５の両側壁部８が車両前方壁部６から車両後方壁部７へ向かってそれぞれ上方へ直線的に傾斜しているが、図４に示されているように、開口部５の両側壁部８が車両前方壁部６から車両後方壁部７へ向かってそれぞれ上方へ湾曲しながら傾斜するようにしても、上記実施形態例と同等の作用効果を奏することができ、また、図５に示されているように、端面２０が傾斜した筒体２１を水抜き孔４内へ下方から差し込んで、図示しないクリップで係止し、または、水抜き孔４の内面に接着もしくは圧入することにより、端面２０が開口部５を構成するようにして、上記実施形態例と同等の形状をとらせるようにしてもよいことはいうまでもない。
【００１０】
【発明の効果】
本発明にかかるサイドシル水抜き孔にあっては、車両の走行時に、サイドシル水抜き孔における下方開口部の車両前方壁部で気流が乱されて発生した空気の渦は、車両後方へ流れながら車幅方向に多少振れることがあっても、開口部の両側壁部及び車両後方壁部や下方開口部よりも車両後方側に位置するサイドシルに衝突することなく車両後方へ流れ去って、サイドシル水抜き孔の下方開口部で渦流による共鳴音が生じることが確実に抑制されるので、乗員は快適に車両を運転することができる長所がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態例における概略側面図。
【図２】図１のII−II矢視縦断面拡大図。
【図３】図２の III−III 矢視縦断面拡大図。
【図４】本発明の他の実施形態例における図３相応の縦断面図。
【図５】本発明のさらに他の実施形態例における要部拡大斜視図。
【符号の説明】
１    サイドシル
４    水抜き孔
５    開口部
６    車両前方側
７    車両後方側
１１  筒体
【図１】
0003754533.tif 000002
【図２】
0003754533.tif 000003
【図３】
0003754533.tif 000004
【図４】
0003754533.tif 000005
【図５】
0003754533.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
バラを剪定するにあたり、１株の中の１本又は２本の枝を剪定せずに残し、他の枝を株元から一定の高さに揃えて剪定することを特徴とするバラの剪定方法。
【請求項２】
１株の中でより多くの葉をつけ、中位の太さの枝を剪定せずに残すことを特徴とする請求項１記載のバラの剪定方法。
【請求項３】
株元に可能な限り近づけて剪定することを特徴とする請求項１又は２記載のバラの剪定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、作業効率が良く、病虫害の防除が容易なバラの剪定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
バラの剪定は、大別して夏季剪定と冬季剪定とがあるが、夏季剪定としては強制休眠法、漸次切り戻し法等があるが、前者は剪定後枯死株が多発し、生育不良となり、また後者は熟練と時間を要することから、実用性のないものとなっている。
そこで、現在は一部剪定折り曲げ法及びその改良法が広く普及している。
また図１のようなアーチング栽培法も知られている(特公平６−１８４９２号公報、特公平８−８８１８号公報、特公平７−９９９７９号公報)。
【０００３】
この方法は、２週間前後かん水を打ち切り、床土の含水量を下げて、樹勢をやや落としたうえで、１株のうち太くてしっかりした主枝を２〜３本、５０〜６０ｃｍで切断し、残りの比較的細い枝を折り曲げる方法である。この剪定方法でやると、地下部への影響が少なく、新根の発生量が多いと言う利点がある。
【０００４】
しかしながら、比較的細い枝を折り曲げることは、枝が折れ易いため技術が要ると同時に、大変な時間と労力を必要とする。すなわち、折り曲げる際に折れないように細心の注意をする必要があり、高い枝の場合は先ず先端を切り詰めてから折り曲げることが要求されるし、折り曲げた枝を邪魔にならないように置くことを配慮することも求められる。
【０００５】
さらに、この方法では病虫害剤を散布しても折り曲げた枝が邪魔をして十分に葉裏に散布できないという欠点もある。
従って、誰がやっても短時間で容易にバラの剪定が行え、効果的な病虫害剤散布もできる方法が求められているところである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
品質のよい切花を数多く収穫でき、それほど技術もいらず時間、労力も少なくて済むバラの剪定方法の開発を課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、上記課題を解決すべく鋭意努力した結果、「１本残し剪定」が有効であることを見出した。
すなわち、本発明は
(１)バラを剪定するにあたり、１株の中の１本又は２本の枝を剪定せずに残し、他の枝を株元から一定の高さに揃えて剪定することを特徴とするバラの剪定方法、
(２)１株の中でより多くの葉をつけ、中位の太さの枝を剪定せずに残すことを特徴とする(１)記載のバラの剪定方法、
(３)株元に可能な限り近づけて剪定することを特徴とする(１)又は(２)記載のバラの剪定方法
に関する。
【０００８】
「１本残し剪定」とは、特許請求の範囲にも記載したように、バラを剪定するにあたり、１株の中の１本又は２本の枝を同化専用枝(以下、「力枝」という。)として剪定せずに残し、その他の枝を株元から一定の高さで切り揃えて剪定する方法のことである。
【０００９】
この剪定方法では、株を維持するために必要最小限の枝１本(葉数が少ない等１本では不十分と考えられる時は、２本)だけ残す。そのため上記したような従来の折り曲げ剪定に比べて、剪定作業自体や剪定後の芽の整理、病虫害の防除が容易になり、また剪定による枯れ込みが少なく、剪定後の生育も旺盛になるといった利点がある。
【００１０】
この剪定方法の手順を説明すると、
１）剪定前の管理
剪定までに樹勢を整え、生育を旺盛、健全にしておく。また、葉数確保のために採花を調整しておく。
２）剪定時期
通常は６月中に終了することが望ましい。切り口が速やかに乾燥するように、剪定は晴天時に行う。
３）「力枝」の条件
１株の中でより多くの葉をつけている、中位の太さの枝を「力枝」として残す。その年の春に出たシュートは樹勢が強いので、「力枝」に合致しても残さない。
４）剪定位置
株元に近ければ近いほど、ベーサルシュートの発生率が高いので好ましい。
ベーサルシュートとは、地際部から発生する勢のあるシュートを一般に「ベーサルシュート」と呼ぶ。
バラ切花栽培ではベーサルシュートを数回ピンチ(摘心)して葉数を確保すると同時に、分枝を増やして採花母枝とする。従って、単位面積当たりの切花本数はベーサルシュートの発生数によって大きく左右される。
５）剪定後の管理
仕立て方法は、ソフトピンチ、又はディシューティングとする。
６）「力枝」の管理
剪定後に「力枝」から発生した芽は、早めにすべて除去する。
７）「力枝」の処理
採花母枝の葉がしっかりとした頃、その採花位置に合わせて切る。目安として早い蕾が小豆大になった頃が望ましい。蕾が大きくなってから「力枝」を切ると、採花との日数間隔が短くなり株に負担がかかる。
【００１１】
以上の手順をソフトピンチを例として図示したものが、図２〜図７である。
このような方法を採用することにより、簡単で短時間に剪定でき、病虫害防除が容易で、生育旺盛、枯れ込みが少ない等の優れた利点を発揮することができる。本発明を具体的に説明するために、以下に実施例を示すが本発明はこれに限定されるものではない。
【００１２】
【発明の実施の形態】
[実施例]
２００１年６月１日に１人で３００坪のバラ園のバラ５４００株(１８株／坪)の剪定を開始し、「力枝」を残して他の枝を剪定し終えたのは、６月７日であった。これは従来の「アーチング栽培法」で剪定を行った場合と比較すると、１／３の労力で同じ作業を実施できたことになる。
【００１３】
また、剪定後病虫害防除のため農薬を散布したが、「力枝」以外は剪定されているため、散布すべき葉数が少なく、しかも株元には折り曲げた枝がないため極めて散布しやすく、効率的に散布することができた。これは、従来の病虫害剤散布に比し１／５の労力で済んだ。
しかも、剪定後採花できるまでの期間が短縮できるため、従来法より１割以上の増収となった。
【００１４】
【発明の効果】
本発明により、作業効率が良く、病虫害の防除が容易で増収が望めるバラの剪定方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】バラのアーチング栽培法を示す図。
【図２】バラの剪定前の状態を示す図。
【図３】バラの剪定直後の状態を示す図。
【図４】バラの１回目のソフトピンチの状態を示す図。
【図５】バラの２回目のソフトピンチの状態を示す図。
【図６】バラの採花母枝の育成の状態を示す図。
【図７】バラの力枝の除去の状態を示す図。
【図１】
0003754932.tif 000002
【図２】
0003754932.tif 000003
【図３】
0003754932.tif 000004
【図４】
0003754932.tif 000005
【図５】
0003754932.tif 000006
【図６】
0003754932.tif 000007
【図７】
0003754932.tif 000008
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開閉自在としたバッグ体の上部を開口部とする、化学繊維製袋状のバッグ体であって、
バッグ体の内部位に炭素繊維、ロックウール不燃シート、極微孔不織布を重層状に併合縫合して内層部を形成し、該バッグ体の外装を難燃性繊維布で縫製し構成したことを特徴とする、新規な発煙筒等処理バッグ。
【請求項２】
上記内層部を形成する化学繊維布等は、内挿部位より、ガラス炭素繊維を防炎を目的とし、セラミックロックウールシートを断熱防護を目的とし、有機不織布を着色煙濾過を目的とした各繊維体を上記順位としたことを特徴とする請求項１に記載の、新規な発煙筒等処理バッグ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、専ら所轄官庁（警察、機動隊）等で用いられるテロリスト、不法者等が政府（国）等が主宰する各種イベント等を妨害、撹乱する目的で使用が想察される発煙筒等を収蔵する容体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、発煙筒等火薬によって発火加熱によって使用される物品の処理容器として本件出願人が開示した実開昭６１−３４３９７号が存する。本容器体は現今においても広く利用され活用されている現況にある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
然し乍ら、上記容器体は金属板で形成され又、内設された処理部品もすべて多種類の金属板で構成されている。
【０００４】
上記の結果、必然的に重量となり嵩張る容体と成らざるを得なかった。
【０００５】
発煙筒、信号筒等は、自己燃焼を行うため、水による消火、空気遮断による消火、消勢されることは存しない。
即ち、不特定な群衆内に発煙筒等が放擲された場合、自己燃焼を行う発煙筒等の早急な撤去、適正な処置を課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
近年化学技術の進歩から、難燃性繊維、断熱性素材、火焔防護材、着色煙濾過材等が開発され、上記各素材を有効且つ適確に使用重合することによって、使い勝手の良い軽量な新規な処理バッグを得ることを手段とするものである。
【０００７】
上記のようにイベント会場等で放擲された発煙筒等は焔を上げながら着色された煙を噴射するため係官は該筒等を適確に除却するために、本件バッグ体内に収蔵し、群衆の混乱を早急に抑止することを目的とし手段とするものである。
【０００８】
請求項２に記載の如く、発火し煙を噴射中の該筒体を収蔵するバッグ体の内装化学繊維の重層、併合の順位を、最内挿部は、（１）防炎（焔）を目的とした繊維とし、（２）断熱を目的とした、セラミック不織布、（３）煙濾過を目的とした、有機不織布を使用し、
外装生地を難燃性を有する繊維布で、包括するものである。
【０００９】
上記の順位で重層状に併合することによって最も勝れた発煙筒等の収蔵効果が得られることを開発、発明したものである。
【００１０】
【実施例】
以下添付図面に基づいて説明する。
図１に記載のバッグ体（１）の外装布（２）の難燃性繊維布で縫製された袋状のバッグ体（１）の内部へ中心部へガラス炭素繊維布（３）と該繊維布の外部へ、セラミックロックウールシート（４）を位置させ、該シートの外部へ着色煙を濾過することを目的とした有機不織布（５）で内層とする各繊維布等を重合させて構成したものであって、発煙筒（６）を内層部で包括し袋体としたものである。
【００１１】
【発明の効果】
各種イベント会場、会議場等で過激派、テロリスト、無法者等が議事の妨害、混乱を謀るため、発煙筒等を使用放擲した場合、該発煙筒等を早急に回収処理できる効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本件発煙筒等処理バッグの内部の一部を横断面図で表した説明図である。
【符号の説明】
１…発煙筒等処理バッグ
２…外装布
３…ガラス炭素繊維布
４…セラミックロックウールシート
５…有機不織布
６…発煙筒。
【図１】
0003754984.tif 000002
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央送信機／受信機ホーン（１０）と、フィーダーホーンの対称軸（Ｏ）に関して対称に配置された少なくとも３つの分離した測定ホーン（１１、１２、１３）を含む特に２方向衛星通信装置用のフィーダーホーンであって、
すべてのホーンが一体金属構造（１）中に機械的に作成され、該一体金属構造（１）は、直交トランスジューサ型（ＯＭＴ）のフィルタにより分離される送信機導波管（１０１）と受信機導波管（１０２）とに合流する中央の開口（１００）を収容し貫通させるトランシーバーホーン（１０）を含み、前記フィルタは相違する分極を分離するように構成され且つ前記金属構造の前記中央の開口への出力と前記送信機導波管及び受信機導波管のそれぞれの導波管への２つの入力とを備え、
前記金属構造が、前記測定ホーン（１１、１２、１３）の各々に対し底面の制限された開口（１１０、１２０、１３０）と、前記測定ホーン（１１、１２、１３）の各々に対して前記金属構造（１）に取り付けられたスイッチング素子（１１１、１２１、１３１）と、他のホーンに関連してそれぞれのホーンを電磁的に分離するために前記金属構造中の各開口（１００、１１０、１２０、１３０）の周囲に設けられる濠状の溝（１０４、１１４、１２４、１３４）とを更に含むことを特徴とするフィーダーホーン。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
技術分野
本発明は、特に２方向衛星通信装置に使用されるフィーダーホーンに係わり、より特定すれば中央の送信機／受信機ホーンと、このフィーダーホーンの対称線に関し対称的に配置された少なくとも３つの独立した測定ホーンと、を含むこの種のホーンに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
背景技術の説明
特に海洋への応用を意図した衛星通信装置の機械的および電気的部品は、故障以前に少なくとも約２年の円滑かつ連続した動作時間を保証する超高品質でなければならない。使用可能な機械的ジャイロは、３次元空間において発生する極く小さい変動に関する情報を提供しないことを例として挙げることができる。このようなジャイロの機構は、海洋環境の中でこのような装置が受け得る急激なしかし微小な変動を補償するための十分に迅速な情報を取り扱うことを不可能とする大きい固有の慣性によって妨げられる。
【０００３】
この種の装置は、位置決めシステム中のトランスミッタから入力データを受信する制御システムを含んでいる。この入力データは、”真実の”信号、即ちアンテナによって受信され、その高度および方位が”真実の”較正に対して基準を構成し得る静止衛星に対して正確に定義されている目標対象物、すなわち衛星にその源を有する信号に対する頻繁な較正によって、特に電子システムにおける熱の影響に起因する非線形性および動作に対して更新される。
【０００４】
連続的に衛星から送信される信号を追跡し、Ｘ：Ｙ：Ｚ方向で発生するおそれのあるあらゆる偏差を記憶するために十分に迅速な能率がよく極めて有効な追尾装置を使用することによって、要求される０．１°の追尾精度を満足することが可能である。現在商業的に可能なこれらの製品は、極めて高い投資価格（約ＳＥＫ１，０００，０００：−のオーダ）を連想させる。さらに、大量に製造することによって価格低減を可能とする技術的解決策を見出すことも困難である。
【０００５】
本発明の目的は、前述した技術的および経済的な性質の欠点を除去することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
新規な、進歩性のあるフィーダーホーンは、入力信号間の物理的な位相差をまったく機械的に発生する基本概念に基づいている。新規なフィーダーホーンの特性上の特徴は、以下の請求項に述べられる。
本発明の概要
上述した種類の進歩性のあるフィーダーホーンは、直交モードトランスジューサ型（ＯＭＴ）のフィルタによって分離される送信機導波管と受信機導波管とに合流し、トランシーバーホーンに設置されそれを貫通する中央の開口を含む一体の金属構造として機械的に製作されるフィーダーホーンであって、それぞれの測定ホーンに対応してスイッチ手段がその金属構造に取り付けられ、各ホーンを残りのホーンから分離するために金属構造の各開口の周囲に濠状の溝が設けられることによって特徴付けられる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
望ましい実施例の説明
本発明は、以下に添付した概略図を参照することによって説明される。
【０００８】
図示されたフィーダーホーンは、中央に配置されたトランシーバーホーン１０と、図面と直角なフィーダーホーンの対称軸Ｏに関して対称に配置された４つの分離した測定ホーン１１、１２、１３および１４と、を含んでいる。
【０００９】
すべてのホーンは、機械的に一体かつ同一の金属構造１の中に作られる。トランシーバーホーン１０は、直交トランスジューサ型フィルタ１０３（ＯＭＴ−フィルタ）によって分離された送信機導波管１０１と受信機導波管１０２とに合流する貫通開口１００を有している。各測定ホーン１１、１２、１３、１４は底面の制限された開口１１０、１２０、１３０、１４０を有している。一体の金属構造１は、その中に、各測定ホーンに対応して測定プローブ形状のスイッチ素子１１１、１２１、１３１、１４１を具備している。
【００１０】
各ホーンを他のホーンから電磁気的に分離するために、濠状の溝１０４、１１４、１２４、１３４、１４４が各対応する開口１１０、１１０、１２０、１３０、１４０の周囲に設けられている。
【００１１】
４つの測定ホーンを含むフィーダーホーンを具備するアンテナが、測定ホーンによって受信され、衛星から送信される信号に対して得られる周波数線図（frequency diagram）が共通の交点を有するように回転されるならば、この点は４つの計測ホーンはすべて信号源（衛星）から同等に”オフセット”される、すなわち、アンテナ反射板は選択された衛星に最適に向けられていることを表している。
【００１２】
測定ホーンの底面の限定された開口（１１０、１２０、１３０、１４０）は外部フィルタが測定ホーン（１１、１２、１３、１４）に接続されることを可能とすること、および一体の金属構造（１）に取り付けられたスイッチ素子（１１１、１２１、１３１、１４１）はそれぞれの測定ホーンに外部導波管フィルタを接続した後に測定プローブが取り付けられることを可能とすることも述べられ得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、新規なフィーダーホーンの１実施例を上方から見た概略図であり、
【図２】図２は、図１のフィーダーホーンの側面図である。
【図１】
0003754073.tif 000002
【図２】
0003754073.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
主燃焼室（１）の前壁（２）には防火扉（３）を備え、前壁（２）と相対面する後壁（６）寄りに再燃焼室（９）へ煤煙を流入する煙道（１０）を設けている火葬炉において、主燃焼室（１）の天井壁（１１）上に起立壁（１６）を煙道（１０）に沿って設け、起立壁（１６）から主燃焼室（１）の後壁（６）より後方へ平行した状態に再燃室（９）を突設して主燃焼室（１）の天井壁（１１）より上方に空間部（１２）を設け、起立壁（１６）に副バーナー（１４）を設け、主燃焼室（１）の天井壁（１１）における前後方向の中央部分に主燃焼室（１）内へ噴射する主バーナー（１３）を前後方向に揺動自在に設けていることを特徴とする火葬炉。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、炉体を平面より見て長方形をなし、その奥行きが長くなるように配設され、主燃焼室と再燃焼室とを備える火葬炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、この種の火葬炉の主燃焼室の前壁に防火扉を有し、前壁に相対向する後壁に主バーナーを設け、主燃焼室に発生した煤煙を煙道を通じて再燃焼室に流入し、この再燃焼室に設けた副バーナーで排煙を浄化して排出するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の火葬炉において、主バーナーが主燃焼室の後壁に設けたものであるから、火葬する場合、主バーナーを上下に傾斜調節し、且つ噴射する火炎の長さを後壁側から前壁側間に到達するように調節されるが、主バーナーの取付け位置と被火葬体との間の高さ間隔が僅かであることから、主燃焼室の中心部から前壁側部の火葬に際し、火炎が殆ど被火葬体と平行状に噴射され恰も舐める状態となることから、熱伝導率が著しく低下し、その結果、燃料を多量に使用して火葬時間が長くなるという問題点があった。
【０００４】
そこで燃料の消費量を削減してしかも火葬時間を短縮できることを課題とし、燃焼効率を高めるには、火炎を媒体に対して衝突することが最も良策であることが燃焼工学からも明白であり、その原理を巧みに利用できるように火葬炉の構成を再検討して解決しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決手段は、主燃焼室の天井壁上に起立壁を煙道に沿って設け、起立壁から主燃焼室の後壁より後方へ平行した状態に再燃室を突設して主燃焼室の天井壁より上方に空間部を設け、起立壁に副バーナーを設け、主燃焼室の天井壁における前後方向の中央部分に主燃焼室内へ噴射する主バーナーを前後方向に揺動自在に設けていることを特徴とする。
尚、前記主バーナーを設ける前後方向の中央部分とは、前後方向の長さの１／２の位置のポイントのみを指すものではなく、その位置及び近傍をも含むものである。
【０００７】
【作用】
以上のように、主燃焼室の天井壁より上方に空間部を設け、主バーナーを天井壁の中心部に揺動自在に設けたものであるから、主バーナーから発射する火炎の長さを短くして、しかも被火葬体に強い衝突力をもって当てることができ、その結果、燃料の消費量と火葬時間とを従来の火葬炉による場合と比較して大幅に削減し短縮することができるようになる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明を実施形態によって説明すると、図１に示しているように、主燃焼室１の前壁２に防火扉３で開閉される挿入口４を有し、図示のものは台車５を挿入口４より出し入れするもので、前記前壁２に相対面する後壁６に覗き孔７と空気吸入口８とを備え、主燃焼室１内における後壁６寄りに再燃焼室９へ通じる煙道１０を設けている。
【０００９】
上記構造を持つ火葬炉において、再燃焼室９を主燃焼室１の天井壁１１の上方部以外に設ける。但し上方部以外といえども、必ずしも独立して設ける必要がなく、主燃焼室１の後壁６の近傍に重ねて設けても良く、再燃焼室９をこのように設けることにより、少なくとも天井壁１１の中央部分の上方部に空間部１２が設けられる。
【００１０】
以上のように天井壁１１の上方部に空間部１２を設け、天井壁１１に主バーナー１３を、該バーナー１３から噴射する火炎が主燃焼室１の底面に向かって噴射するように設ける。また主バーナー１３は前後方向に揺動可能に設けられるものである。図示する主バーナー１３は垂直な状態から前後に傾動する角θは４５°である。
【００１１】
ところで、前記主バーナー１３を天井壁１１の前部あるいは後部に極端に片寄せて設けても、主バーナー１３を傾斜することにより一応火葬は可能であるが、本発明の目的である燃料の消費量を削減してしかも火葬時間を短縮する効率が低下してしまう。
【００１２】
そこで本発明では、主バーナー１３を取付ける位置を、天井壁１１のほぼ中央部分に設けるものである。
被火葬体には難燃性の部分が存在し、従来ではその難燃部が炭化して火葬時間が長くなっていた。従って、主バーナー１３を被火葬体の難燃部に対向するように設けることが最も理想であるが、被火葬体の体長が異なるから、主バーナー１３を前述のように中央部またはその近傍に設けるものである。
【００１３】
尚、再燃焼室９にも副バーナー１４を、再燃焼室９の排気側に向かって火炎を噴射するように設けるもので、このように取付けるためには、再燃焼室９を図１に示しているように、主燃焼室１の後壁６の上部に再燃焼室９を形成する底壁１５を室外側に向かって突設し、この底壁１５上に再燃焼室９を起立する状態で構築し、底壁１５に副バーナー１４を設ける。この構成によって、前述のように天井壁１１の上方に空間部１２を設けることができる。
【００１４】
更に他の例を図２に示しているように、天井壁１１上に起立壁１６を設け、該起立壁１６より主燃焼室１の後方へ平行した状態に突設し、起立壁１６に副バーナー１４を設けるものであっても良い。
【００１５】
火葬時には、主副両バーナー１３，１４を稼働するが、主バーナー１３と被火葬体との距離が従来の物に比して短くなり、被火葬体への火炎により衝突力が増大され、被火葬体の難燃体を炭化することなく迅速に火葬することができ、その結果燃料の消費を削減して、しかも火葬時間を大幅に短縮することができるようになる。
更に、火葬状況を看視する際には、覗き孔７から覗き込まれるが、火炎が上方から降り注がれていることから、火炎によって看視障害されることがなくなり、被火葬体の火葬状況を確実に看視することができる。
【００１６】
【発明の効果】
本発明による火葬炉によれば、主燃焼室の天井壁の上方部に空間部を設け、天井壁の中央部分に主バーナーを前後に揺動自在に設けたもので、主バーナーからの火炎が上から下へ噴射し被火葬体に短距離で当てられることから、被火葬体への衝突力が大きくなり、火葬効率が大幅に向上され、燃料の消費を削減してしかも火葬時間を大幅に短縮することができる。
【００１７】
更に、天井壁の上方部に空間部を設けてあるから、主バーナーの取付けは勿論のこと、調整やメンテナンスあるいは修理などの作業を容易に行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による火葬炉を示す断面図である。
【図２】本発明による火葬炉の類例を示す断面図である。
【符号の説明】
１  主燃焼室
２  前壁
３  防火扉
６  後壁
９  再燃焼室
１０  煙道
１１  天井壁
１２  空間部
１３  主バーナー
１４  副バーナー
【図１】
0003754735.tif 000002
【図２】
0003754735.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有するドームにおいて、
開口部をアーチ構造で形成し、
アーチの支持点より下方に、アーチとは別の部材の大きな重量の梁を配置し、
前記梁とアーチとの間に、前記アーチの両端の支持点から距離をおいて支柱を取り付け、
前記アーチの両端の支持点付近と前記支柱下端付近とを、吊りケーブルで連結し、
前記アーチ部材と梁の重量により、前記ドームの開口部のアーチ端部に生じるスラストをバランスさせることを特徴とする
ドームの構造。
【請求項２】
アーチの各端部と梁とを連結する吊りケーブルには、
プレストレス力を導入して構成した、
請求項１記載のドームの構造。
【請求項３】
梁の下部を開放して出入り口として構成した、
請求項１記載のドームの構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、ドームの構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ドーム構造の競技場は、高い空間を確保できるとともに、外観の特異性から集客効果が大きく各地で採用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】
しかし多雪地帯では膨大な雪荷重を受ける。そのために、図３に示すようにドーム屋根ａの開口部ｂのアーチｃに大きな応力が生じる。さらにアーチｃの支持点ｄにも多大なスラストが発生する。したがって広い開口部ｂを備えた大型のドームを構築することは困難であった。
【０００４】
【本発明の目的】
本発明は上記したような従来の問題を解決するためになされたもので、多雪地帯においても、大きい開口部を採用することができるドームの構造を提供することを目的とする。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】
上記のような目的を達成するために、本発明のドームの構造は、開口部を有するドームにおいて、開口部をアーチ構造で形成し、アーチの支持点より下方に、アーチとは別の部材の大きな重量の梁を配置し、前記梁とアーチとの間に、前記アーチの両端の支持点から距離をおいて支柱を取り付け、前記アーチの両端の支持点付近と前記支柱下端付近とを、吊りケーブルで連結し、前記アーチ部材と梁の重量により、前記ドームの開口部のアーチ端部に生じるスラストをバランスさせることを特徴としたものである。
【０００６】
【本発明の構成】
以下図面を参照しながら本発明のドームの構造の実施例について説明する。
【０００７】
＜イ＞梁の設置。
前記したように本発明の対象は一端に開口部を有するドーム屋根１を備えた競技場であって、開口部２をアーチ構造３で形成してある。
このアーチ３の支持点４よりも下方に、梁５を配置する。この梁５はある程度の重量を有するように構成する。
【０００８】
＜ロ＞吊りケーブルの連結。
開口部２のアーチ３の各支持点４、あるいは支持点４付近の位置と梁５とを、吊りケーブルで連結する。
すなわちアーチ３の支持点４付近に吊りケーブル６の一端を固定し、吊りケーブル６の他端を梁５に固定する。
両側の吊りケーブル６は各々内側に向けて斜め方向に配置する。そのために吊りケーブル６と梁５との固定点は両支持点４よりも内側に設定する。
梁５はある程度の重量を備えているために、ケーブル６を介してアーチ３の端部には内側へ入ろうとする力が発生する。すなわち通常アーチ端部に生じるスラストと反対向きの力が発生する。
すると開口部のアーチ３と吊りケーブル６、および梁５とによって閉合した張力場を形成することができる。
【０００９】
＜ハ＞支柱の設置。
さらに梁５と開口部アーチ３との間にほぼ鉛直方向に支柱７を配置する。
すなわち支柱７の下端は梁５に取り付け、支柱７の上端は開口部アーチ３に下から固定する。
【００１０】
＜ニ＞プレストレスの導入。
アーチ３の支持点４と梁５を連結する吊りケーブル６にプレストレスを導入する。この作用によって、アーチ３の大きな応力と変位を最適の状態に制御することができる。
【００１１】
＜ホ＞使用方法。
競技場において、ドーム屋根１によって円形の観客席の上部空間を覆う。開口部２においては、梁５の下方を出入り口として使用することができる。
【００１２】
【発明の効果】
本発明のドームの構造は以上説明したように、大きなスパンをまたぐ重量の大きなアーチ３を吊りケーブル６によって大きな重量の梁５と連結して力学的に閉じた場を構成するものである。したがって開口部に生じる膨大なスラストや不連続なエッジリングの張力をバランスする力を作りだすことができる。
さらに吊りケーブル６にプレストレスを導入し、支柱７を立てることによって、自己釣合系を形成することができる。
したがって大きな重量を有する梁５を利用し、この梁５から斜めに吊りケーブル６を配置し、束材を建ててケーブル６にプレストレスを導入すれば，スパンが１００ｍ近い開口部であっても重力を感じさせない軽快な開かれた空間として実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のドームの構造の説明図。
【図２】開口部付近の斜視図。
【図３】従来のドームの構造の力の作業状態の説明図。
【図１】
0003854357.tif 000002
【図２】
0003854357.tif 000003
【図３】
0003854357.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中間階に免震装置を設けた建物において、
免震階とその上層階との間にエスカレーターを設置し、
エスカレーターの上端は上層階に固定し、
エスカレーターの下端は免震階との間に隙間を設け、
エスカレーターを上層階に吊り下げた状態で設置したことを特徴とする、
免震建物用エスカレーター。
【請求項２】
請求項１に記載の免震建物用エスカレーターにおいて、エスカレーターはフレ−ムで囲い、このフレ−ムの上部を上層階に固定して吊り下げた状態で設置したことを特徴とする、免震建物用エスカレーター。
【請求項３】
請求項１に記載の免震建物用エスカレーターにおいて、並列させた複数のエスカレーターをフレ−ムで一体的に囲い、このフレ−ムの上部を上層階に固定して吊り下げた状態で設置したことを特徴とする、免震建物用エスカレーター。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、免震建物用エスカレーターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のエスカレーターは、その上端を上層階の梁に、下端を下層階の梁に爪を介して搭載し、爪の部分をアンカーで固定した構造が一般的である。
【０００３】
【本発明が解決しようとする課題】
このような構造のエスカレーターを、中間の階層に免震装置と介在させた免震建物用に設置すると、上層階と下層階との間に水平変位が発生するためエスカレーターを固定したアンカーが破損しエスカレーターが落下する危険が予想される。
【０００４】
本発明は上記したような従来の問題を解決するためになされたもので、免震建物において、上層階と下層階との間に水平変位が発生しても、エスカレーターが落下したり破損する危険性のない、免震建物用エスカレーターを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記のような目的を達成するため、本発明は、中間階に免震装置を設けた建物において、免震階とその上層階との間にエスカレーターを設置し、エスカレーターの上端は上層階に固定し、エスカレーターの下端は免震階との間に隙間を設け、エスカレーターを上層階に吊り下げた状態で設置したことを特徴とする、免震建物用エスカレーターを提供する。
【０００６】
また、上記免震建物用エスカレーターにおいて、エスカレーターはフレ−ムで囲い、このフレ−ムの上部を上層階に固定して吊り下げた状態で設置したことを特徴とする、免震建物用エスカレーターを提供する。
【０００７】
さらに、上記免震建物用エスカレーターにおいて、並列させた複数のエスカレーターをフレ−ムで一体的に囲い、このフレ−ムの上部を上層階に固定して吊り下げた状態で設置したことを特徴とする、免震建物用エスカレーターを提供する。以下、図１〜３を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
＜イ＞免震建物
本発明のエスカレーターを使用する建物は図３に示すような、上層階Ａと下層階Ｂとの中間階に免震装置Ｃを設けた建物である。このような建物では前記したように上層階Ａと免震階Ｄとの間に水平変位が発生するために従来の構造のエスカレーターをそのまま利用することはできない。
【０００９】
＜ロ＞エスカレ−タ−の構造
本実施の形態では、上り用と下り用の２基のエスカレーター１を並列させて、それらを吊りフレ−ム２で一体的に包囲した構造を示すが、エスカレーターを１機あるいは３機以上で構成する場合もある。
【００１０】
各エスカレーター１はエスカレーターフレ−ム１１で保持されており、吊りフレ−ム２はエスカレーターフレ−ム１１に接合されている。吊りフレ−ム２は、例えば上部梁材２１、下部梁材２２、縦連結材２３、横連結材２４により方形に構成される。
【００１１】
上部梁材２１は図２に示すように、エスカレーター１の両側とそれらの中間に３本配され、エスカレーターフレ−ム１１の上端部との間を横連結材２４により接合されている。
【００１２】
また、図示しないが下部梁材２２も上部梁材２１と対応する位置に３本配され、エスカレーターフレ−ム１１の下端部との間を横連結材２４により接合されている。そして、上部梁材２１と下部梁材２２との端部間は縦連結材２３で接合されて方形に一体化されている。
【００１３】
＜ハ＞エスカレーター上部の取付構造
免震階Ｄとその上層階Ａとの間にエスカレーター１を設置する。この場合、吊りフレ−ム２の上部梁材２１の両端を、上層階Ａの躯体側面にアンカー３などで固定する。
【００１４】
＜ニ＞エスカレーターの下部の取付構造
吊りフレ−ム２の下部は、免震階Ｄの躯体側面との間に、地震時の最大揺れ量相当の隙間Ｓ１及びＳ２を確保する。これによって、吊りフレ−ム２で一体化された各エスカレーター１は上層階Ａから吊り下げられた状態となる。
【００１５】
なお、隙間Ｓ１には十分な長さのある渡り板４を掛け渡して被覆し、利用者の危険を回避する。
【００１６】
＜ホ＞地震時の作動
エスカレーター１の上部は上層階Ａの床に固定されているが、地震時に上層階Ａの揺れは少ないため、エスカレーター１の上部の揺れは小さい。一方、免震階Ｄは地震時に揺れるが、エスカレーター１の下部は免震階Ｄとは縁が切れているため、エスカレーター１の下部もやはり揺れは小さい。従って、地震力による水平変位が生じてもエスカレーター１に破損は生じない。
【００１７】
また、上り用と下り用等の複数のエスカレーター１が並列されているが、吊りフレ−ム２で一体化されているため、揺れが発生してもエスカレーター１同士が接触する心配はない。
【００１８】
【本発明の効果】
本発明の免震建物用エスカレーターは以上説明したようになるから、地震時に免震階とその上層階の間に水平変位が生じても、エスカレーターが破損したり落下することがなく、利用者に損傷を与える心配がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態の側面からの説明図
【図２】  その平面からの説明図
【図３】  免震装置を介在させた建物の説明図
【図１】
0003854365.tif 000002
【図２】
0003854365.tif 000003
【図３】
0003854365.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチック製のドレンパンと一体形成された排水管の先端にドレンホースを押し込むことによって接続してなる空気調和機のドレン排出水機構において、上記排水管の根元部の上部外周面に所定高さの複数のリブが放射方向に向かって突設され、これら複数のリブは軸方向に沿って伸び、その内端は上記ドレンパンの後壁外面に接続され、外端は接続具を上記排水管に押し込んだときその先端の当接位置まで伸びていることを特徴とする空気調和機のドレン排出機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は空気調和機のドレン排出機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の分離型空気調和機の壁掛式室内ユニットの１例が図２に示されている。室内ユニットの本体１の内部には貫流フアン７、３個のフィンアンドチューブ型熱交換器5a、5b、5c、ドレンパン6a、6c等が内蔵されている。
【０００３】
本体１の前面及び上面には吸込グリル２が設けられ、この吸込グリル２の背後にはフィルタ３が配設されている。
本体１の前面下部には吹出口４が設けられ、この吹出口４にはルーバ８及びフラップ9a、9bが配設されている。
【０００４】
空気調和機の運転時、図示しない室外ユニットからの冷媒が熱交換器5a、5b、5cのチューブ10内を循環し、貫流フアン７が回転駆動される。
すると、室内空気が吸込グリル２から本体１内に吸い込まれ、フィルタ３を流過することによってこの空気中に含まれる塵埃が捕捉除去される。
【０００５】
次いで、熱交換器5a、5b、5cを流過する過程でチューブ10内を流れる冷媒と熱交換することによって冷却又は加熱された後、貫流フアン７により付勢されて吹出口４からルーバ８及びフラップ9a、9bに案内されて室内に吹き出される。
【０００６】
冷房運転時、熱交換器5a及び5bの表面に結露したドレンはドレンパン6aに滴下する。
一方、熱交換器5cの表面に結露したドレンはドレンパン6cに滴下して図示しないホースを経てドレンパン6aに集められる。
ドレンパン6a内に集められたドレンは、図３(B) に示すように、排水管12、ドレンホース13を通って屋外に排出される。
【０００７】
ドレンパン6aはプラスチックからなり、その左端底部には、図３(A) に示すように、斜め下後方に伸びる排水管12が一体成形され、この排水管12の先端部外周には鍔11が形成されている。
【０００８】
ドレンホース13の先端には、図３(B) に示されるように、軟質プラスチックからなる接続具14が接着剤等で接着することにより固定され、この接続具14をその先端が鍔11に当接するまで排水管12の先端に押し込むことによってドレンホース13は排水管12に接続される。
なお、図３(B) において、20はドレンパン6aの前面及び下面並びに排水管12の下部に貼り付けられた断熱材、21は接続具14の先端外周面に貼り付けられた断熱材である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のドレン排出機構においては、排水管12に接続具14を押し込んでドレンホース13を接続する際、排水管12が破損するおそれがあった。
また、排水管12と接続具14との隙間からドレンが洩れるおそれがあった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために発明されたものであって、その要旨とするところは、プラスチック製のドレンパンと一体形成された排水管の先端にドレンホースを押し込むことによって接続してなる空気調和機のドレン排出機構において、上記排水管の根元部の上部外周面に所定高さの複数のリブが放射方向に向かって突設され、これら複数のリブは軸方向に沿って伸び、その内端は上記ドレンパンの後壁外面に接続され、外端は接続具を上記排水管に押し込んだときその先端の当接位置まで伸びていることを特徴とする空気調和機のドレン排出機構にある。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態が図１に示され、(A) はドレンパンの部分的斜視図、(B) はドレンホースの接続状態を示す断面図である。
排水管12の根元部の上部外周面には所定高さの複数のリブ15が放射方向に向かって突設されている。
【００１２】
これら複数のリブ15は軸方向に沿って伸び、その内端はドレンパン6aの後壁外面に接続され、外端は接続具14を排水管12に押し込んだときその先端に当接するまで伸びている。
他の構成は図２及び図３に示す従来のものと同様であり、対応する部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００１３】
しかして、排水管12は複数のリブ15によって補強されているため、接続具14を排水管12の先端に押し込む際、排水管12が破損するのを防止でき、従って、接続具14の内径を小さくしてその締め代を大きくできるので、排水管12と接続具14との隙間からドレンが洩れるのを防止できる。
【００１４】
【発明の効果】
本発明においては、排水管の根元部に複数のリブを突設したため、ドレンホースを排水管の先端に押し込む際、排水管が破損するのを防止できる。
そして、ドレンホースの内径を小さくしてその締め代を大きくできるので、排水管とドレンホースとの隙間からドレンが洩れるのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を示し、(A) はドレンパンの部分的斜視図、(B) はドレンホースの接続状態を示す断面図である。
【図２】従来の空気調和機の室内ユニットの縦断面図である。
【図３】従来のドレン排出機構を示し、(A) はドレンパンの部分的斜視図、(B) はドレンホースの接続状態を示す断面図である。
【符号の説明】
6a  ドレンパン
12  排水管
13  ドレンホース
14  接続具
15  リブ
20、21  断熱材
【図１】
0003854402.tif 000002
【図２】
0003854402.tif 000003
【図３】
0003854402.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲート酸化膜を含む被処理ウエハを、電極母材および表面材から構成される電極に設置して処理を行うプラズマエッチング処理装置において、前記表面材の前記被処理ウエハ外周部に対応する部分のみを、リング状に他の部分よりも厚く形成することにより前記被処理ウエハ外周部に対応する部分のみインピーダンスを大きくしたことを特徴とするプラズマエッチング処理装置。
【請求項２】
請求項１記載のプラズマエッチング処理装置において、前記電極母材の材質はアルミニウム、前記表面材の材質はアルミナであることを特徴とするプラズマエッチング処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体集積回路の加工に用いられるプラズマ処理装置、特にドライエッチング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術では、ウエハ外周部に電気電導性を有するリングを設置し静電的ダメージを防止していた。なお、この種の装置として関連するものには、例えば、特開平2-65131号公報が挙げられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術では１２インチ径以上へと大口径化するウエハに対応するためには制御性が十分でなく、またウエハ外周部にリングを置く構造のため電極面積が大きくなり、したがって処理室が大きくなるという課題があった。
【０００４】
本発明の目的は、省スペースの装置により、高速の半導体回路を高歩留まりで加工できるプラズマ処理装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、処理ウエハ裏面に対向する電極表面の一部をその他の部分と誘電率の異なる材料で構成した。あるいは処理ウエハ裏面に対向する電極表面を電極母材と異なる材料で構成し、その一部の材料の厚さがその他の部分と異なる構成としたものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
半導体集積回路は高機能、高速化のためますます微細化、複雑化している。
【０００７】
高速デバイスはゲート酸化膜が非常に薄いため、荷電粒子を用いてプラズマ処理を行うドライエッチング等では荷電粒子のバランスをとりながら処理を進めていかないと、ゲート酸化膜に大きな電位差を生じ静電的なダメージが発生するという問題が生じる。
【０００８】
これはウエハ母材（シリコン）の電位がウエハ上のプラズマから流入する電荷量の平均値に支配されるのに対し、ゲート酸化膜上の電位はその直上の局部のプラズマからの電荷の流入量に支配されるため、ウエハ面にわたって電荷の流入量に違いがあるとゲート酸化膜上とゲート酸化膜下（つまり母材シリコン）の電位が異なってゲート酸化膜に電位差を生じることによる。
【０００９】
これに対し、従来は、ウエハ外周部に導電性のリングを用いて静電的なダメージを防止する方法などがとられていたが、今日の大口径ウエハを処理するに当たってはその制御性が十分でなく、また、ウエハ外周部に設置するため電極径が大きくなり、それにしたがって処理室径、装置が大型化してしまうという問題点があった。
【００１０】
筆者らは、従来と異なる方法でより制御性よく、しかも電極径を増大させる必要のない本技術を発明した。
【００１１】
図１にその発明を実施した装置を示す。図１はマイクロ波ドライエッチング装置である。図１において、１は真空処理室で、２は真空処理室１に気密に設けられ真空処理室１内にマイクロ波を導入する石英窓で、３は石英窓２に対向して真空処理室１内に配置され半導体集積回路を有するウエハを配置する電極３で、４は電極３にバイアス電圧を生じさせるための高周波電源で、５は石英窓２に連結されマイクロ波を真空処理室１に導くための導波管で、６は真空処理室１内に磁場を形成するソレノイドコイルである。７はガス導入口で、エッチングレシピにしたがって混合したガスを真空処理室１に導入する。
【００１２】
図１に示す装置で通常電極を用いた場合は、ウエハ外周部はアース電極に近く、一方ウエハ中心部はアース電極から遠いためウエハ外周部の方がバイアス電流が流れやすい構造となっている。このためウエハ外周部で荷電粒子の引き込み量が多く、特に電子電流が多く引き込まれるためウエハ母材の電位は負方向にシフトし、ウエハ中央部のゲート酸化膜に正の電位差を生じていた。
【００１３】
そこで本発明の第１の実施例として、図１のウエハ設置電極を、図２に示すように電極母材１１がアルミニウムで、その表面材質の、ウエハ外周部に近い位置のリング状の部分１２が石英で、その他の部分１３の表面材質がアルミナから成る電極に交換して試験を行った。石英の誘電率はアルミナのそれに比べて1/2程度であるため石英部分の高周波バイアスに対するインピーダンスは２倍程度となる。このためウエハに引き込む電子電流は減少し、その結果ウエハ母材部分の電位が上昇しウエハ中心部のゲート酸化膜上の電位に近づく。結果、ゲート酸化膜にかかる電位が低くなり、図３に示すように静電的ダメージも発生しなくなった。
【００１４】
次に本発明の第２の実施例として、図１のウエハ設置電極を、図４に示すように電極母材１４がアルミニウムで、その表面材質はすべてアルミナであるが、ウエハ外周部に近い位置のリング状の部分１５の厚さがその他の部分の２倍であるものである。これは第１の実施例と同様リング部分でのインピーダンスが２倍になるため同じ効果が得られウエハ中心部のゲート酸化膜に発生する電位差が減少し、図３に示すように静電的ダメージの発生がなくなった。
【００１５】
なお、本発明ではリング部分の内径、外径を処理室の構成、処理条件によって適宜最適化して用いることが可能で従来より精密にウエハ母材の電位の制御ができ、静電的ダメージを大幅に低減できた。また、異種材料部分、または異なる厚さ部分の形状はリング形状に限るものではない。
【００１６】
【発明の効果】
本発明によれば、省スペースの装置により、高速の半導体回路を高歩留まりで加工できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のドライエッチング装置の説明図である。
【図２】本発明の一実施例を示すウエハ設置電極の説明図である。
【図３】本発明の効果を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施例を示すウエハ設置電極の説明図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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