(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
装着ヘッドに保持されて搬送されてきた部品を、装着ステージ上に搭載された装着対象物に装着するよう構成するとともに、装着ヘッドに保持された部品および装着ステージ上の装着対象物を撮像するカメラと、部品および装着対象物からの光路を屈曲させる反射部材とからなる撮像手段を備え、撮像によって得られた位置情報に基づいて部品および装着対象物の相対位置を修正するよう構成した部品装着装置において、
前記装着ヘッドに部品を供給搬送する部品搬送手段を装着ヘッドの移動経路に出退可能に配備するとともに、前記反射部材を部品搬送手段に装着し、前記カメラを前記反射部材を介して屈曲させられた部品および装着対象物からの光路上に固定配置してあることを特徴とする部品装着装置。
【請求項２】
請求項１記載の部品装着装置において、
前記部品搬送手段が装着ヘッドに部品を搬送するまでに、部品保持状態を光学的に認識する手段を備えてある部品装着装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の部品装着装置において、
前記撮像手段を、装着ヘッドに保持された部品が装着対象物に対向した状態で、部品および装着対象物を同時に撮像するよう構成してある部品装着装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の部品装着装置において、
前記部品搬送手段に備えられた前記反射部材の上下方向の振動振幅を検出する手段を備えてある部品装着装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の部品装着装置において、
部品と同時に撮像される認識部位を装着ヘッドに備えてある部品装着装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の部品装着装置において、
装着対象物に対して接近および離間移動可能な前記装着ヘッドと、ヘッド移動軌跡内に出退可能かつヘッド移動方向に移動可能な部品搬送手段と、装着ヘッドが移動中に部品搬送手段をヘッド移動方向に移動させながら両者を相対接近させるように、部品搬送手段および装着ヘッドの少なくともいずれかの移動速度を制御する制御手段とを備えてあることを特徴とする部品装着装置。
【請求項７】
請求項６に記載の部品装着装置において、
前記部品搬送手段を前記ヘッド移動方向に対応する上下方向に移動させるために部品装着装置の基台部に対して固定的に取り付けてある上下駆動手段と、
該上下駆動手段によって上下方向に移動可能な上下スライド部と、
該上下スライド部とともに上下動し、前記上下スライド部に対して左右方向に移動可能な第１連結部と、
前記部品搬送手段を前記ヘッド移動軌跡内への出退方向に対応する左右方向に移動させるために前記第１連結部を左右方向に移動させる左右方向駆動手段と、
該左右方向駆動手段によって駆動され、左右方向に移動可能な左右スライド部と、
前記第１連結部と前後方向に摺動可能で、かつ前記左右スライド部と上下方向に摺動可能である第２連結部とを有するとともに、
前記部品搬送手段を前記第２連結部に設けていることを特徴とする部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ部品などの電子部品を基板やパッケージなどの装着対象物に実装するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１６に、従来におけるこの種の部品装着装置の一例が示されている。この部品装着装置は、部品供給部３１の部品３２を装着ヘッド３３の吸着ノズル３４で保持して装着ステージ３５の上方にまで搬送し、装着ヘッド３３と装着ステージ３５の間に、プリズムやハーフミラーなどの反射部材３６およびカメラ３７などからなる撮像手段３８を進入させ、装着ヘッド３３に保持された部品３２および装着ステージ３５上の装着対象物３９の位置をそれぞれ撮像して、それぞれの位置情報を取り込み、撮像手段３８を後退移動させた後、取り込んだ位置情報に基づいて部品３２および装着対象物３９の位置ずれを修正し、その後、装着ヘッド３３を下降させて、装着ステージ３５に載置された装着対象物３９に部品３２を押圧装着するように構成されている。
【０００３】
また、従来における上記部品装着方法の一例が図１８に示されている。図１８に示しているように、従来の装着方法では、一組の部品装着が完了すると、装着ヘッド３１は次に装着する部品３２を受取るために上昇移動し、装着ステージ３３は次に装着される装着対象物３４を装着ヘッド３１の下に移動させる。この間、部品３２は部品供給部より部品搬送手段３５によって装着ヘッド３１の下方に搬入され、装着ヘッド３１が下降して、あるいは部品搬送手段３５が上昇して、部品３２が装着ヘッド３１の吸着ノズル３６に受け渡される。次に、部品３２を保持した装着ヘッド３１が再び上昇するとともに、部品搬送手段３５は装着ヘッド３１の昇降移動経路から退避し、その後、部品３２を保持した装着ヘッド３１が下降して、部品３２を装着対象物３４に装着する。これで１回の部品装着が完了し、以後、上記作動を繰り返すようにしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記図１６に示す従来装置では、装着ヘッドが上下動するのみならず、部品を搬送するために水平移動する構造であるために、装着ヘッドの駆動構造が複雑になり、加熱や加圧機構を備えた大きくて重い装着ヘッドを、高速で上下および水平に駆動することは難しく、そのためにタクトタイムが長くなったり、駆動振動が発生しやすくなる、等の不具合が生じやすいものであった。また、複雑な駆動機構を備えた質量の大きい装着ヘッドを高速かつ高精度で移動させるためには、剛性の高いフレームや大容量の駆動源が必要となり、設備の大型化を招くものであった。
【０００５】
そこで、図１７に示すように、部品搬送手段４０によって部品３２の表裏を反転して装着ヘッド３３に受け渡し、以下、上記例と同様にして位置情報の取り込みおよび部品装着を行うようにすることで、装着ヘッドを上下移動のみ行わせるように構成したものも提案されている。
【０００６】
この構成によれば、装着ヘッドを上下および水平移動させる先例の構造に見られた不具合は緩和することができるのであるが、部品搬送手段と撮像手段との干渉を回避するための時間待ちが必要となり、タクトタイムの遅れが生じるとともに、多くの駆動源を必要として設備コストが高くなる、等の不具合があった。
【０００７】
また、上記図１８に示す従来方法では、装着ヘッドの１サイクル作動において２回の上下動作が含まれるために、タクトタイムが長くなり、装着処理能率を向上する上での妨げとなっていた。
【０００８】
そして、このような従来の部品装着方法では、タクトタイムの短縮のために装着ヘッドの作動速度を高める努力も払われているが、装着時に加熱や加圧を必要とする装着ヘッドの場合、装着ヘッドが大型化および重量増加することで慣性が大きくなるので、高速化にも限度がある。
【０００９】
さらに、部品搬送手段から装着ヘッドへの部品の受け渡しにおいて、装着ヘッドが部品搬送手段の部品まで下降する際に、装着ヘッドの慣性力と重力により部品に大きい衝撃を与えてしまうおそれがある。
【００１０】
なお、部品搬送手段から装着ヘッドへの部品の受け渡し工程で、部品搬送手段を装着ヘッドに向かって上昇させて部品を受け渡す形態においては、上記のように装着ヘッドを下降させて部品を受け渡す形態に比較して部品に与える衝撃は少なくなると考えられるが、部品を受け渡すために部品搬送手段を上昇させる時間が装着ヘッド下降時間とは別に必要となり、タクトタイムがさらに長くなる。
【００１１】
本発明は、このような点に着目してなされたものであって、駆動構造を複雑化することなく、タクトタイムの短縮化を図ることができる部品装着装置を提供することを主たる目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記目的を達成するために、次のように構成している。
【００１３】
すなわち、本発明に係る発明の部品装着装置は、装着ヘッドに保持されて搬送されてきた部品を、装着ステージ上に搭載された装着対象物に装着するよう構成するとともに、装着ヘッドに保持された部品および装着ステージ上の装着対象物を撮像するカメラと、部品および装着対象物からの光路を屈曲させる反射部材とからなる撮像手段を備え、撮像によって得られた位置情報に基づいて部品および装着対象物の相対位置を修正するよう構成した部品装着装置において、前記装着ヘッドに部品を供給搬送する部品搬送手段を装着ヘッドの移動経路に出退可能に配備するとともに、前記反射部材を部品搬送手段に装着し、前記カメラを前記反射部材を介して屈曲させられた部品および装着対象物からの光路上に固定配置してあることを特徴とする。
【００１４】
こうした場合、部品搬送手段によって部品を装着ヘッドに受け渡した後に、部品搬送手段が装着ヘッドから退避する工程で、部品および装着ステージ上の装着対象物の撮像を行うことが可能となる。撮像手段全体の重量に対して反射部材は軽量であり、部品搬送手段の重量増加は少なくてすむ。また、部品搬送手段によって移動させる質量が軽くなるので、部品搬送手段を高速で移動させることができるうえ、位置決め時の振動の減衰が速くなるので、位置決めにかかるタクトタイムを短縮できる。また部品搬送手段そのものを小型にすることができる。さらに、カメラを移動させると、カメラの配線が断線するおそれがあるが、カメラを固定すると、そのような不具合はなくなる。部品および装着対象物からの光路を複数の反射部材によって屈曲させる場合は、部品搬送手段に装着する反射部材は少なくとも１つあればよく、その他の反射部材は部品および装着対象物からの光路上に固定配置していても良い。
【００１５】
また、本発明の場合、好ましくは、前記部品搬送手段が装着ヘッドに部品を搬送するまでに、部品保持状態を光学的に認識する手段を備えてある。
【００１６】
こうした場合、部品搬送手段が装着ヘッドに部品を搬送するまでに部品保持状態を光学的に認識できるので、部品搬送手段から装着ヘッドへの部品受け渡しにおいて、装着ヘッドでの部品保持位置を適正にすることができる。
【００１７】
また、本発明の場合、好ましくは、前記撮像手段を、装着ヘッドに保持された部品が装着対象物に対向した状態で、部品および装着対象物を同時に撮像するよう構成してある。
【００１８】
こうした場合、部品と装着対象物を別々に撮像する形態に比較して撮像時間を短縮できる。撮像後に装着ヘッドをＸＹ方向に移動させる必要がないので、撮像後の位置決め誤差を最小限に抑えることができる。
【００１９】
また、本発明の場合、好ましくは、前記部品搬送手段に備えられた前記反射部材の上下方向の振動振幅を検出する手段を備えてある。
【００２０】
こうした場合、水平方向にずれがない場合、もしくはずれが小さい場合、部品と同時に認識部位を撮像することで、上下方向の振動振幅を測定することができ、部品と装着対象物との相対的な位置ずれを補正する情報に利用できる。
【００２１】
また、本発明の場合、好ましくは、部品と同時に撮像される認識部位を装着ヘッドに備えてある。
【００２２】
こうした場合、撮像時に反射部材に振動があっても、反射部材のずれを認識することができる。つまり、図１３（ｂ）に示すような反射部材の水平方向での振動については、カメラに取り込まれる部品と装着対象物の像のずれ方向とずれ量δは同じになるために、部品と装着対象物の相対的な位置ずれはないが、図１３（ａ）に示すような上下方向の振動については、カメラに取り込まれる部品と装着対象物の像のずれ方向とずれ量δは同じであるが、ずれの方向が逆になるために、部品と装着対象物の相対的な位置ずれは２δとなる。そこで、反射部材の上下方向の振動振幅δを検出することで、部品と装着対象物の相対的位置ずれ２δ分を補正することが可能となる。
【００２３】
本発明の場合、好ましくは、装着対象物に対して接近および離間移動可能な前記装着ヘッドと、ヘッド移動軌跡内に出退可能かつヘッド移動方向に移動可能な部品搬送手段と、装着ヘッドが移動中に部品搬送手段をヘッド移動方向に移動させながら両者を相対接近させるように、部品搬送手段および装着ヘッドの少なくともいずれかの移動速度を制御する制御手段とを備えてあることを特徴とする。
【００２４】
こうした場合、例えば、１回の装着作動が完了した後、装着ヘッドが装着対象物から離間移動する工程において、ヘッド移動軌跡内に入った部品搬送手段をヘッド移動方向に移動させながら装着ヘッドに相対接近させることで、衝撃少なく部品を部品搬送手段から装着ヘッドに受け渡すことができる。
【００２５】
また、本発明の部品装着装置は、好ましくは、前記部品搬送手段を前記ヘッド移動方向に対応する上下方向に移動させるために部品装着装置の基台部に対して固定的に取り付けてある上下駆動手段と、該上下駆動手段によって上下方向に移動可能な上下スライド部と、該上下スライド部とともに上下動し、前記上下スライド部に対して左右方向に移動可能な第１連結部と、前記部品搬送手段を前記ヘッド移動軌跡内への出退方向に対応する左右方向に移動させるために前記第１連結部を左右方向に移動させる左右方向駆動手段と、該左右方向駆動手段によって駆動され、左右方向に移動可能な左右スライド部と、前記第１連結部と前後方向に摺動可能で、かつ前記左右スライド部と上下方向に摺動可能である第２連結部とを有するとともに、前記部品搬送手段を前記第２連結部に設けていることを特徴とする。
【００２６】
こうした場合、部品搬送手段および該部品搬送手段に設けられる撮像手段の構成要素の一部は、上下方向、左右方向および前後方向に移動可能であり、かつ、その移動させるための可動質量を極力小さくできるので部品搬送動作においての部品搬送手段の移動タクト時間を短縮できる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の態様を図面に基づいて説明する。
【００２８】
図１は、本発明に係る部品装着装置の概略構成を示す斜視図、また、図２は、概略構成を示す正面図である。この部品装着装置における装置フレーム１の上面には、装着対象物の一例であるパッケージ２を搭載支持（載置状態にしているものも含む）する左右２台の装着ステージ３、および、チップ部品などの部品４を整列収容した部品供給部５が装備されるとともに、装置フレーム１の上方には、部品搬送手段としての部品搬送ステージ６、部品供給部５から取出した部品４を部品搬送ステージ６に供給する部品供給ユニット７、部品搬送ステージ６に供給された部品４を受取って装着ステージ３上のパッケージ２に装着する装着ヘッド８、装着前の部品４とパッケージ２の位置情報（位置、姿勢、形状など）を取り込むための撮像手段９、などが配備された構造となっており、各部の詳細な構成および機能を以下に説明する。
【００２９】
２台の各装着ステージ３には、パッケージ２を整列装填したトレイ１０が脱着可能に搭載されるとともに、そのトレイ搭載部位にはヒータ１１が内蔵されており、トレイ１０を介してパッケージ２が適度に加熱されるようになっている。
【００３０】
そして、各装着ステージ３は、制御装置３０からの指令によって作動する図示しない駆動手段に接続されており、装着ヘッド８の下方の装着エリアと、これから左右に外れた待機位置とに亘って左右移動可能、かつ、前後方向にも移動可能に、構成されている。
【００３１】
図２に示すように、トレイ１０は、加熱によって反ることがないように、その上面に配備されたトレイ押さえ部材１２によって適度の荷重で装着ステージ３に押圧されている。トレイ押さえ部材１２は、パッケージ２を露出させる開口１３が形成されるとともに、トレイ押さえ部材１２の下面の適所には多数の突起１４が設けられ、トレイ１０を複数箇所において点接触状態で押圧している。このようにトレイ１０を点接触状態で押圧することで、トレイ押さえ部材１２自体が加熱などによって反り返り変形するのを抑制し、もって、トレイ１０が装着ステージ３に全面的に密着されて、ヒータ１１からの熱が効率よくトレイ１０に伝達されて、各パッケージ２が均一に加熱されるようになっている。なお、本発明は、トレイ１０とパッケージ２とで組み合わせたものに部品供給するものに限定されるのでなく、プリント基板や、アルミナ基板などを装着対象物として部品供給するものでもよい。プリント基板などを装着対象物とした場合、基板上の導体電極を部品装着のための撮像における位置合わせマークとしてもよいとともに、専用の位置合わせマークを設けてもよい。
【００３２】
部品供給ユニット７は、制御装置３０に接続された図示しない駆動手段によって上下および水平移動可能であり、部品供給部５に整列収容された部品４を吸着ノズル１５で１個づつ吸着保持して搬出し、部品搬送ステージ６の上面に供給するよう構成されている。
【００３３】
部品搬送ステージ６も、制御装置３０からの指令によって作動する後述する駆動手段Ａ（図１では図示していない）に接続されており、部品供給ユニット７によって供給された部品４を装着ヘッド８の上下移動軌跡内に搬入して、装着ヘッド８に受け渡すよう上下および左右に移動可能に構成されている。また、部品搬送ステージ６の側部には、撮像手段９の一部を構成する反射部材１６（プリズム、反射鏡、ハーフミラーなどが利用されている）が備えられている。
【００３４】
前記装着ヘッド４は、部品搬送ステージ６によって上下移動軌跡内に搬入された部品４を受取る吸着ノズルなどの部品保持部１７を備え、上方の待機位置と下方の装着位置とにわたって上下移動可能に構成されるとともに、保持した部品４の角度を変更するために部品保持部１７が縦軸心周りに回転制御可能に構成されている。
【００３５】
撮像手段９は、装着ヘッド４の部品保持部１７に保持された部品４と、トレイ１０上のパッケージ２を、部品搬送ステージ６に備えた反射部材１６および位置固定の反射部材１８を介して撮像する部品用のカメラ１９とパッケージ用のカメラ２０とで構成されている。
【００３６】
本発明に係る部品装着装置の基本的な構成は以上のようである。
【００３７】
次に、部品搬送ステージ６を上下左右前後に移動操作する駆動手段Ａについて、図１４，図１５に基づいて説明する。図１４は、駆動手段Ａの全体を概略的に示す斜視図であり、図１５は、駆動手段Ａのうち要部の概略構造を示す斜視図である。
【００３８】
図１４，図１５に示すように、前後駆動手段としてのＹ軸ステージ２６および上下駆動手段としてのＺ軸ステージ２７は、基台部としてのフレーム２８（前記装置フレーム１に固定されている）に設置され、左右駆動手段としてのＸ軸ステージ２９はＹ軸ステージ２６のスライド部（詳細は図示せず）に設置されている。Ｘ軸ステージ２９、Ｙ軸ステージ２６、および、Ｚ軸ステージ２７のそれぞれにはリニアアクチュエータが駆動手段として備えられている。
【００３９】
Ｘ軸ステージ２９はＹ軸ステージ２６によってＹ軸方向（前後方向）に移動するため、Ｘ軸ステージ２９のリニアガイドレール３０は、Ｙ軸方向に移動可能となっている。
【００４０】
したがって、このリニアガイドレール３０で摺動案内され、かつＸ軸ステージ２９によって左右方向に移動操作される左右スライド部４１は、Ｘ軸方向（左右方向）およびＹ軸方向に移動可能である。
【００４１】
左右スライド部４１に取り付けてあるリニアガイドレール４２は、第２連結部４３をＺ軸方向（上下方向）に摺動案内可能に構成している。
【００４２】
そして、前記Ｚ軸ステージ２７によって上下方向に移動操作される上下スライド部４４が設けられているとともに、この上下スライド部４４には、第１連結部４６を左右方向に摺動案内するためのリニアガイドレール４５が設けられている。
【００４３】
したがって、このリニアガイドレール４５で案内される第１連結部４６は、リニアガイドレール４５がＺ軸方向に移動するから、Ｘ軸およびＺ軸方向に移動可能となっている。
【００４４】
この第１連結部４６と、前記第２連結部４３とは、リニアガイドレール４７を介して互いが相対的に前後方向で摺動案内される状態で結合している。
【００４５】
部品搬送ステージ６は、第２連結部４３の前後方向での先端部に連結されている。
【００４６】
したがって、第２連結部４３へのＺ軸方向の駆動力は、Ｚ軸ステージ２７から上下スライド部４４，リニアガイドレール４５、第１連結部４６、リニアガイドレール４７を通して伝えられる。
【００４７】
なお、Ｙ軸方向の移動範囲は、Ｙ軸での位置調整を行う小範囲に限定されていて、Ｘ軸方向やＺ軸方向の移動範囲よりも小さく設定されている。
【００４８】
以上の駆動手段Ａの構成により、部品搬送ステージ６に取り付けた部品載置部６ａおよびプリズムからなる反射部材１６は、Ｘ軸ステージ２９、Ｙ軸ステージ２６、Ｚ軸ステージ２７によって、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動可能であり、かつ、可動質量を小さくでき、タクトタイムの短縮を図れる。
【００４９】
すなわち、Ｚ軸ステージ２７は、主に、上下スライド部４４、連結部４７、第２連結部４３、部品搬送ステージ６を可動質量とするものであって、Ｘ軸ステージ２９やＹ軸ステージ２６も含めてＺ軸方向へ移動させるのでない。また、Ｙ軸ステージ２６は、主に、Ｘ軸ステージ２９、左右スライド部４１、第２連結部４３、部品搬送ステージ６を可動質量とするものであって、Ｚ軸ステージ２７も含めてＹ軸方向へ移動させるものでない。また、Ｘ軸ステージ２９は、主に、左右スライド部４１、第１連結部４６、第２連結部４３、部品搬送ステージ６を可動質量とするものであって、Ｚ軸ステージ２７も含めてＸ軸方向へ移動させるものでない。
【００５０】
したがって、Ｘ軸ステージ２９、Ｙ軸ステージ２６、Ｚ軸ステージ２７それぞれに対する可動部分の小型化を図ることができ、よって、小型軽量な可動部分を駆動することになるため、部品搬送手段６を軽快かつ迅速に作動させることが可能であって、タクトタイムの短縮を図れる。
【００５１】
次にその部品装着作動を図４〜図９に基づいて工程順に説明する。なお、部品供給ユニット７から部品供給ステージ６への移し替えは、部品４を同じ姿勢で移し替えるものに限らず、図１７のように反転してから移し替えても構わない。
【００５２】
（１）図４に示すように、パケージ２への部品４の装着が完了したことが確認されると、同図中の仮想線で示すように、装着ヘッド８が上昇を開始するとともに、部品搬送ステージ６が装着ヘッド８の移動経路に向けて進出する。この場合、部品搬送ステージ６の水平移動経路の上方には、搬送される部品４を撮像するカメラ２３が配備されており、取り込まれた撮像情報は、部品４を装着ヘッド８に受け渡す際の位置合わせに利用される。このカメラ２３は、部品搬送ステージ６が装着ヘッド８に部品４を搬送するまでに、部品保持状態を光学的に認識する手段を構成している。この撮像結果に基づいて部品４を装着ヘッド８へ受け渡す前の部品４位置の修正を部品搬送ステージ６で行う。
【００５３】
（２）図５に示すように、装着ヘッド８が上昇すると、装着ステージ３は水平方向にピッチ移動して、次に装着するパッケージ２を装着ヘッド８の直下位置にセットする。
【００５４】
（３）装着ヘッド８が或る高さまで上昇すると、部品４を保持して水平方向に移動してきた部品搬送ステージ６が上昇中の装着ヘッド８の直下にもぐり込みながら上昇作動する。
【００５５】
（４）ここで、制御装置３０を作動させて、装着ヘッド８の上昇速度の減速制御、あるいは、部品搬送ステージ６の上昇速度の増速制御、の少なくともいずれかを行うことで、装着ヘッド８と部品搬送ステージ６との上昇速度差を次第に少なくし、図６に示すように、装着ヘッド８の上昇作動中に装着ヘッド８に部品搬送ステージ６を追いつかせることで、部品４を装着ヘッド８の部品保持部１７に受け渡す。
【００５６】
（５）図７に示すように、部品受け渡しが行われて装着ヘッド８が上方待機位置に到達すると、部品搬送ステージ６は下降しながら横移動し、装着ヘッド８に保持された部品４と、その直下に位置するパッケージ２との間に反射部材１６を位置させ、部品用カメラ１９とパッケージ用カメラ２０によって部品４およびパッケージ２をそれぞれ撮像する。
【００５７】
この場合、反射部材１６から部品用カメラ１９までの光路の長さと、反射部材１６からパッケージ用カメラ２０までの光路の長さとが等しくなる位置で撮像することが、図１２に示すように、反射部材１６の上下への回転振動に対する撮像誤差を少なくする上で望ましい。
【００５８】
また、この撮像工程に入ると、常時は退避していた透明板２１が水平に進出移動されてパッケージ４を上方から覆い、パッケージ加熱用の熱で暖められた空気の揺らぎによる撮像誤差を抑制する。また、パッケージ２を覆った透明板２１の上方に送風装置２２からの風を吹き付けて、透明板２１の上方での空気の揺らぎを除去することで、一層撮像誤差を少なくすることができる。この場合、送風装置２２からの風は透明板２１で遮られて直接にパッケージ２に吹き付けられることがないので、パッケージ２の温度が低下することはない。
【００５９】
そして、上記撮像は複数回行われ、その撮像データを制御装置３０内に記憶設定された所定の手順によって平均化処理することで、更に位置情報の精度の向上が図られる。
【００６０】
（６）得られた位置情報は制御装置３０内で演算解析されて、部品４とパッケージ２との位置ずれが割り出される。そのずれ量に基づいて、装着ヘッド８における部品保持部１７の回転、および、装着ステージ３の水平方向での二次元移動によってその位置ずれが修正される。
【００６１】
（７）図８に示すように、部品搬送ステージ６は部品供給を受ける待機位置まで水平復帰移動するとともに、装着ヘッド８は下降作動して、加熱されているパッケージ２に部品４が押圧装着される。
【００６２】
（８）以上で１回の部品装着処理が完了し、以後上記作動を繰り返す。
【００６３】
（９）一方の装着ステージ３での部品装着処理が行われている間、他方の装着ステージ３においては次に処理されるパッケージ２の予備加熱が行われる。
【００６４】
（１０）そして、一方の装着ステージ３での部品装着処理が完了すると、図９に示すように、その装着ステージ３は装着ヘッド下方の装着エリアから外れた待機位置に移動するとともに、予備過熱処理を行いながら待機していた他方の装着ステージ３が装着エリアに進出移動され、他方の装着ステージ３に搭載されたパッケージ群への部品装着処理が上記手順で行われる。
【００６５】
（１１）そして、装着エリアから待機位置に退避移動した装着ステージ３においては、部品装着処理の済んだトレイ１０の搬出と、新しいパッケージ２を搭載したトレイ１０の装填が行われる。
【００６６】
〔他の実施形態〕
図１０および図１１に、本発明の他の実施形態が示されている。
【００６７】
この例の基本的な構成は、先の例と同様であるが、以下の点で相違している。つまり、装着ヘッド８の吸着ノズル１７近くに、部品４と同時に撮像できる認識部位２４を備えてあり、図１３（ａ）に示すように、反射部材１６が上下方向に振動した際のずれ量δを測定して、部品４と装着対象物２との相対的な位置ずれ量２δ分を補正するのに利用する。
【００６８】
また、部品搬送ステージ６には、反射部材１６の上下方向の振動振幅を検出する手段の一例としての加速度センサ２５を装着してあり、検出結果を積分演算することで、撮影時における反射部材１６の上下方向のずれ量を測定することができる。なお、反射部材の上下方向の振動振幅を検出する手段としては、振動振幅を直接に検出する変位センサを利用することもできる。
【００６９】
また、部品搬送ステージ６の装着ヘッド８の上下移動経路に対する進退移動方向を、この部品搬送ステージ６に備えた反射部材１６への入射光および反射光の光軸と直交する方向に設定されている。
【００７０】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば以下に示すような効果が期待できる。
【００７１】
請求項１に係る発明の部品装着装置によれば、撮像手段を構成する反射部材を部品搬送手段に装着することで、部品を装着ヘッドに受け渡した後に、部品搬送手段を退避させながら、部品と装着対象物を撮像することができ、部品受け渡しから撮像までに要する時間が短くなり、タクトタイムの短縮化に有効となる。また、撮像手段の反射部材を移動させる駆動構造が部品搬送手段と共通となるので、設備の小型化およびコスト低減にも有効となる。さらに、カメラを移動させると、カメラの配線が断線するおそれがあるが、カメラを反射部材を介して屈曲させられた部品および装着対象物からの光路上に固定配置しているので、そのような不具合はなくなる。また、撮像手段のうち、反射部材が部品搬送手段に装着されていて、カメラは別途固定されているから、部品搬送手段全体の重量増加および大型化を抑制できる。
【００７２】
請求項２に係る発明の部品装着装置によれば、装着ヘッドでの部品保持位置を適正にすることができ、部品装着精度の向上を図ることができる。
【００７３】
請求項３に係る発明の部品装着装置によれば、部品と装着対象物を同時に撮像することで、タクトタイムの一層の短縮化を図ることができる。また、撮像後に装着ヘッドをＸＹ方向に移動させる必要がないので、撮像後の位置決め誤差を最小限に抑えることができる。
【００７４】
請求項４に係る発明の部品装着装置によれば、部品搬送手段に装着した反射部材の上下方向のずれによる撮像誤差を低減できるので、装着精度の向上を図ることができる。
【００７５】
請求項５に係る発明の部品装着装置によれば、部品搬送手段に装着した反射部材の上下方向のずれによる撮像誤差を低減できるので、装着精度の向上を図ることができる。
【００７６】
請求項６に係る発明の部品装着装置によれば、装着ヘッドの本来の移動時間内に部品受け渡しを行うので、タクトタイムの短縮化を図ることができ、処理能率の向上に有効となる。また、部品搬送手段から装着ヘッドへの部品の受け渡し工程において、部品搬送手段と装着ヘッドの相対移動速度を小さくしながら部品を受け渡すことができるので、部品への衝撃ダメージを少なくすることができる。
【００７７】
請求項７に係る発明の部品装着装置によれば、部品搬送手段および該部品搬送手段に設けられる撮像手段の構成要素の一部は、上下方向、左右方向および前後方向に移動可能であり、かつ、その移動させるための可動質量を極力小さくできるので部品搬送動作においての部品搬送手段の移動タクト時間を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る部品装着装置の概略構成を示す斜視図
【図２】本発明に係る部品装着装置の概略構成を示す正面図
【図３】トレイ押え部材の裏面側から見た斜視図
【図４】部品装着工程を示す正面図
【図５】部品装着工程を示す正面図
【図６】部品装着工程を示す正面図
【図７】部品装着工程を示す正面図
【図８】部品装着工程を示す正面図
【図９】部品装着工程を示す正面図
【図１０】本発明の他の実施形態の概略構成を示す斜視図
【図１１】本発明の他の実施形態の概略構成を示す正面図
【図１２】反射部材の回転振動に対する作動説明図
【図１３】反射部材の上下および水平振動に対する作動説明図
【図１４】部品搬送手段を駆動する駆動手段の全体を概略的に示す斜視図
【図１５】部品搬送手段を駆動する駆動手段のうち要部の概略構造を示す斜視図
【図１６】従来例の概略構成を示す正面図
【図１７】他の従来例の概略構成を示す正面図
【図１８】従来例の部品装着工程を示す概略正面図
【符号の説明】
２          装着対象物
３          装着ステージ
４          部品
６          部品搬送手段（部品搬送ステージ）
８          装着ヘッド
９          撮像手段
１６        反射部材
１９        カメラ
２０        カメラ
２４        認識部位
２７        Ｚ軸ステージ（上下駆動手段）
２８        フレーム（基台）
２９        Ｘ軸ステージ（左右駆動手段）
４１        左右スライド部
４３        第２連結部
４４        上下スライド部
４６        第１連結部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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