(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ上にライン状のスペーサを介して、貼り合わせてなる一対のガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそって一方のガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージの該スペーサによって区画されて形成される内部空間上に真空吸着によりガラス基板を固定し、その後にカッターで一方のガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら移動させることによって一方のガラス基板を複数に分断し、
その後、貼り合わせてなる一対のガラス基板を反転させて、ステージ上にライン状のスペーサを介して、一対のガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそって他方のガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージの該スペーサによって区画されて形成される内部空間上に真空吸着によりガラス基板を固定し、その後にカッターで他方のガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら移動させることによって他方のガラス基板を複数に分断することを特徴とするガラス基板分断方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は単一の大きなガラス基板や、貼り合わてなる大きな一対のガラス基板を所要通りのサイズに分断し、これによって多数の液晶表示素子やエレクトロルミネッセンスなどの電子部品もしくはデバイス部品に供して、量産性を向上せしめたガラス基板分断方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示素子は２枚のガラス基板を貼り合わせて、その間に液晶を封入した構成であって、その貼り合わせ基板を多数個作成するために、ガラス基板の分断技術が開発されている。
【０００３】
特開平４−２４６６１８号に提案された技術を図３によって説明すると、まず同図（Ａ）に示す通り、テーブル上に配置したガラス基板１をローラ２で挟持しながら送り、次いで真空吸着可能なホルダー３でガラス基板１の液晶表示素子の中央部に相当する位置を吸着し、その後に分断位置にカッター４でスクライブライン５を入れる。その際にカッター４の下側はローラ６で受けている。
【０００４】
次に同図（Ｂ）に示す通り、ホルダー３をガラス基板１のスクライブライン５に引張応力がかかるように、０．５〜３．０度傾斜させる。そのときにホルダー３に内蔵した応力センサーでガラス基板１にかかる応力を調整しながら、スクライブライン５にクラッチを入れる。
【０００５】
そして、ガラス基板の裏面についても同図（Ａ）および（Ｂ）の工程を実施して、さらに同図（Ｃ）に示す通り、ホルダー３を右方向に移動させると、液晶表示素子７はガラス基板から分断される。
【０００６】
また、特開平５−２８６７３３号に提案された技術を図４でもって説明すると、２枚のガラス基板８、９をスペーサー材１０を介して貼り合わせた構造のものに対して、その下側のガラス基板８に、分断しようとするスクライブライン１１を設け、他方のガラス基板９上に直径３ｍｍのウレタン線材１２を載せ、このウレタン線材１２上を凹溝を有する回転コロ１３を約３０ｋｇの押圧荷重Ｐをかけながら回転させて、下側のガラス基板８を分断している。
【０００７】
【発明が解決しようとする問題点】
しかしながら、特開平４−２４６６１８号の技術においては、１枚のガラス基板１より多くの基板を得たい場合に、より多くのスクライブライン５が要求されることになるので、多様なライン５を設けることになり、それらに対して個別にホルダー３の吸着位置と、ホルダー３のサイズ等を厳密に設定しなければならなくなり、これによって煩雑な作業となって、製造効率が低下し、その結果、製造コストが高くなるという問題点がある。
【０００８】
その上、ホルダー３の吸着位置によっては、高精度な分断ができないという問題点もある。この問題点を図５により説明すると、図５に示すように隣接した２本のスクライブライン５がある場合には、これらのスクライブライン５と吸着位置１４との関係で、ホルダー３にてガラス片を取り除く際に、自ずと限界があり、しかも、そのガラス片が小さすぎると、ホルダー３を傾けた際にはずれることになって、高精度な分断ができなくなり、あるいは１５の位置が吸着位置である場合には、その狭い領域にホルダー３を配置するために、ホルダー自体のサイズを考慮しなければならないという問題点がある。
【０００９】
また、特開平５−２８６７３３号の技術においては、スクライブライン１１毎に線材１２を移動させる必要があり、製造効率が低下するという問題点がある。しかも、スクライブライン１１に精度よく線材１２を載置させるには、相当に困難であり、そのために製造効率が下がり、製造コストが上がるという問題点もある。
【００１０】
したがって本発明は、叙上に鑑みて完成されたものであり、その目的はスクライブラインの設定精度を高めるとともに、作業効率を高め、これによって製造コストを低減させたガラス基板分断方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のガラス基板分断方法は、ステージ上にライン状のスペーサを介して、貼り合わせてなる一対のガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそって一方のガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージの該スペーサによって区画されて形成される内部空間上に真空吸着によりガラス基板を固定し、その後にカッターで一方のガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら移動させることによって一方のガラス基板を複数に分断し、
その後、貼り合わせてなる一対のガラス基板を反転させて、ステージ上にライン状のスペーサを介して、一対のガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそって他方のガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージの該スペーサによって区画されて形成される内部空間上に真空吸着によりガラス基板を固定し、その後にカッターで他方のガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら移動させることによって他方のガラス基板を複数に分断することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を図１と図２により説明する。図１は本発明のガラス基板分断方法に用いられるガラス基板分断装置１６の正面概略図であり、図２はその側面図である。
【００１３】
このガラス基板分断装置１６において、１７はステージ、１８はステージ１７内に設けられた隙間、１９はステージ１７上に配列されたライン状のスペーサ、２０は分断されるガラス基板であり、ステージ１７上にスペーサ１９を介してガラス基板２０を配している。このガラス基板２０は単一のガラス基板や貼り合わてなる一対のガラス基板でもよい。
【００１４】
そして、スペーサ１９のラインにそってスクライブライン２１を設定することで、隙間１８を通して内部空間２２に対して真空引きをおこなうことができ、これによってステージ１７上にガラス基板２０を固定できる。
【００１５】
また、このように固定されたガラス基板２０上にカッター装置２３を載置する。このカッター装置２３において、２４はホイール状のカッター、２５はカッター２４を支持するホルダー、２６は一対のローラー、２７はエアーシリンダーである。このエアーシリンダー２７はホルダー２５（カッター２４）とローラー２６と連結され、それぞれを随時上下運動させる。
【００１６】
また、２８はスライド軸であって、このスライド軸２８に沿ってカッター装置２３を所定の位置や方向に走査できる。したがって、一対のローラー２６をその対称面がスクライブライン２１上に配されるように載置して、一対のローラー２６をスクライブライン２１にそって送ることができる。
【００１７】
次に上記構成のガラス基板分断装置１６を用いたガラス基板分断方法を説明する。この方法は順次下記（１）〜（４）からなる。
【００１８】
（１）ステージ１７上にスペーサ１９を介してガラス基板２０を配する。その際にスペーサ１９のラインにそってガラス基板２０にスクライブライン２１を設定する。
【００１９】
（２）ステージ１７内に設けられた隙間１８を通して内部空間２２に対して真空引きをおこなって真空吸着させ、ステージ１７上にガラス基板２０を固定する。
【００２０】
（３）カッター装置２３を走査して、カッター２４をスクライブライン２１の直上に配し、さらにエアーシリンダー２７でホルダー２５（カッター２４）を押圧しながら、スクライブライン２１にそって切り込みを入れる。
【００２１】
（４）一対のローラー２６をその対称面がスクライブライン２１（切り込みライン）上に配されるように載置して、エアーシリンダー２７で一対のローラー２６をスクライブライン２１にそって押圧しながら移動させることによってガラス基板２０を複数に分断する。
【００２２】
以上の一連の工程で単一のガラス基板２０を所要通りに分断するできる。また、貼り合わてなる一対のガラス基板２０を分断する場合には、その一方のガラス基板を上記一連の工程（１）〜（４）で分断し、その後に他方のガラス基板を同様に工程（１）〜（４）で分断する。
【００２３】
かくして上記実施形態のガラス基板分断方法によれば、カッター２４と一対のローラー２６とを組み合わせてなるカッター装置２３を走査して、カッター２４をスクライブライン２１の直上に配し、まずはカッター２４でもってスクライブライン２１に切り込みを入れ、その直後に一対のローラー２６でガラス基板２０に歪みを入れるという連続した工程によって、スクライブライン２１の設定精度を高めることができ、その上、作業効率が向上した。
【００２４】
なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更や改良等は何ら差し支えない。たとえば、この実施形態であれば、真空吸着でステージ１７上にガラス基板２０を固定したが、その他に固定治具によりガラス基板２０をステージ１７上に固定してもよく、かかる固定治具によれば、ガラス板の四方端面のすべて、もしくは一部を固定する治具を配置することで、その板の前後左右の動きを防ぐことができる。
【００２５】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、ライン状のスペーサを介してガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそってガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでカッターでガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら分断する工程でもって、スクライブラインの設定精度を高めるとともに、作業効率が高まって、製造コストが低減したガラス基板分断方法が提供できた。
【００２６】
また、本発明のガラス基板分断方法によって、各種電子部品もしくはデバイス部品、たとえば液晶表示素子やエレクトロルミネッセンス、さらに配線パターニングされた基板などの量産性が向上し、製造コストが低減した。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラス基板分断方法に用いられるガラス基板分断装置の正面概略図である。
【図２】本発明のガラス基板分断方法に用いられるガラス基板分断装置の側面概略図である。
【図３】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は従来のガラス基板分断方法の説明図である。
【図４】従来のガラス基板分断方法の説明図である。
【図５】従来のガラス基板分断方法に関する要部拡大断面図である。
【符号の説明】
１６          ガラス基板分断装置
１７          ステージ
１９          スペーサ
２０          ガラス基板
２１          スクライブライン
２３          カッター装置
２４          カッター
２６          一対のローラー
２８          スライド軸
【図１】
0003810127.tif 000002
【図２】
0003810127.tif 000003
【図３】
0003810127.tif 000004
【図４】
0003810127.tif 000005
【図５】
0003810127.tif 000006