(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホログラムを水平移動、垂直移動及び水平回転させるホログラム把持ハンドを備えるホログラム実装装置において、
前記ホログラム把持ハンドは、前記ホログラムの上面を水平に突き当てることができる突き当て部と、前記ホログラムの上面を前記突き当て部に突き当てた状態で前記ホログラムを側面から把持するための第１、第２のフィンガーとを備えていることを特徴とするホログラム実装装置。
【請求項２】
前記突き当て部は、前記第１のフィンガーに設けられた第１の突き当て部と、前記第２のフィンガーに設けられた第２の突き当て部とを有していることを特徴とする請求項１記載のホログラム実装装置。
【請求項３】
前記第１のフィンガーは不動とされ、前記第２のフィンガーはホログラム把持方向に可動とされていることを特徴とする請求項１又は２記載のホログラム実装装置。
【請求項４】
前記第１、第２のフィンガーは、対向する部分に、前記ホログラムの対向する第１、第２の角部の側面に押し当てる第１、第２のＶ溝を備えていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のホログラム実装装置。
【請求項５】
前記ホログラムをその上面を上にして浮上可能に載置するホログラム載置部と、前記ホログラム載置部の下部から上方に圧縮空気を放出し、前記ホログラムを浮上させるための圧縮空気放出部とを有しているホログラム浮上手段を備えていることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のホログラム実装装置。
【請求項６】
前記ホログラム把持ハンドを水平移動させる第１の可動ステージと、
前記第１の可動ステージを搭載し、前記ホログラム把持ハンドを水平回転させる第２の可動ステージとを備えていることを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載のホログラム実装装置。
【請求項７】
前記ホログラム把持ハンドは、水平回転による角度変位に影響されず、撮像手段を介して座標値を取得することができる所定のマークを上面に有していることを特徴とする請求項６記載のホログラム実装装置。
【請求項８】
ホログラム把持ハンドを水平移動させる第１の可動ステージと、前記第１の可動ステージを搭載し、前記ホログラム把持ハンドを水平回転させる第２の可動ステージとを備えるホログラム実装装置を使用してホログラムをホログラム実装位置に実装するホログラム実装方法であって、
前記ホログラムの前記ホログラム実装位置への位置合わせ時、前記第２の可動ステージの回転中心に前記ホログラムの光学面の中心を合わせることを特徴とするホログラム実装方法。
【請求項９】
前記第２の可動ステージの回転中心の座標値は、前記第２の可動ステージを可動し、前記ホログラム把持ハンド又は前記ホログラム把持ハンドに把持されているホログラムの上面に形成されている所定のマークに３箇所以上の位置を取らせ、これら３箇所以上の位置の座標値を取得し、これら座標値に基づいて所定の演算を行うことにより算出することを特徴とする請求項８記載のホログラム実装方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学ヘッドの一種であるホログラムヘッドの構成部品であるホログラムユニットを製造する場合に使用されるホログラム実装装置及び方法並びにホログラムに関する。
【０００２】
近年、コンピュータシステムの高速化、データ量の増大化に伴い、補助記憶装置として、高速かつ大容量の記憶再生を行うことができる補助記憶装置が要求されている。
【０００３】
このため、ＣＤ−ＲＯＭ装置や光ディスク装置などの光学式情報記憶再生装置は、年々、その需要を増大させる傾向にあり、今後は、より安価で小型・大容量の機種へと移行するものと予想される。
【０００４】
これらＣＤ−ＲＯＭ装置や光ディスク装置などの小型化、大容量化を図るためには、信頼性の高い小型光学ヘッドや、記憶媒体の高密度化や、発光レーザの短波長化などが必要となる。
【０００５】
そこで、近年、小型光学ヘッドとして、光源をなすレーザダイオード、光検出器をなすホトダイオード及びホログラム等をユニット化したホログラムユニットと、コリーメントレンズと、対物レンズとを組み合わせてなるホログラムヘッドの開発が行われている。
【０００６】
【従来の技術】
図１２はホログラムユニットの一例を示す概略的正面図であり、図１２中、１はステム、２はステム１に実装された光源をなすレーザダイオード、３はステム１に実装された光検出器をなすホトダイオードである。
【０００７】
また、４〜７はリード、８はステム１に実装されたキャップ、９はキャップ８に形成されている光路をなす開口部を含むキャップ８の上面に接着剤１０により接着固定されたホログラムである。
【０００８】
図１３は図１２に示すホログラムユニットを製造する場合に行われるキャップ８に対する従来のホログラム実装方法を示すフローチャートである。
【０００９】
即ち、図１２に示すホログラムユニットを製造する場合に行われるキャップ８に対する従来のホログラム実装方法においては、まず、レーザダイオード２、ホトダイオード３及びキャップ８を実装したステム１を可動ステージにセットする（ステップＳ１）。
【００１０】
次に、キャップ８の開口部を含む上面にホログラム９をセットし、ＸＹＺθ自由度を有するハンドで、ホログラム９をキャップ８に低荷重で押し付ける（ステップＳ２）。
【００１１】
次に、上方に配置したＣＣＤカメラを使用してホログラム９の光学面の中心を認識した後、レーザダイオード２からレーザ光を発生させ、同じくＣＣＤカメラを使用してレーザダイオード２から出射される光線をＮＤ（neutral density）フィルタを介して撮像してレーザダイオード２の発光点を認識する（ステップＳ３、Ｓ４）。
【００１２】
次に、ホログラム９の位置決め演算を行い、ＸＹ面（水平面）上において、ホログラム９の光学面の中心がレーザダイオード２の発光点と一致するようにホログラム９をキャップ８の開口部を含む上面に位置決めする（ステップＳ５）。
【００１３】
次に、サーボ信号を取得するための光学素子をセットし、ホログラム９のＹ軸補正（Ｙ軸方向の補正）、θ軸補正（Ｚ軸回りの補正）、Ｘ軸補正（Ｘ軸方向の補正）を順に行う（ステップＳ６〜Ｓ９）。
【００１４】
次に、ホログラム９がＹ軸補正による所定信号を取得しているか否かを判断し（ステップＳ１０）、Ｙ軸補正による所定信号を取得していない場合にはステップＳ７に戻り、Ｙ軸補正による所定信号を取得している場合には、ホログラム９がθ軸補正による所定信号を取得しているか否かを判断する（ステップＳ１１）。
【００１５】
判断の結果、θ軸補正による所定信号を取得していない場合にはステップＳ８に戻り、θ軸補正による所定信号を取得している場合には、ホログラム９がＸ軸補正による所定信号を取得しているか否かを判断する（ステップＳ１２）。
【００１６】
判断の結果、Ｘ軸補正による所定信号を取得していない場合にはステップＳ９に戻り、Ｘ軸補正による所定信号を取得している場合には、ホログラム９をキャップ８に接着剤１０で固定する（ステップＳ１３）。このようにして、従来においては、ホログラム９のキャップ８への実装が行われていた。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図１３に示す従来のホログラム実装方法においては、ホログラム９はキャップ８の開口部を含む上面に沿って実装されるため、ホログラム９の水平度はキャップ８の加工精度や実装精度の影響を受けることになり、ステム１を可動ステージ時に水平にセットすることができたとしても、ホログラム９を水平に実装することができるとは限らないという問題点があった。
【００１８】
例えば、図１４に示すように、ステム１を水平にセットすることができたとしても、キャップ８の上面１２が破線１３で示す水平方向に対して傾いている場合には、ホログラム９も水平方向に対して傾いてしまい、ホログラム９の水平度を確保することができないという問題点があった。
【００１９】
また、レーザダイオード２の発光点のＸＹ座標値は、一般に、ステム１の公差や、ステム１に対するレーザダイオード２の実装誤差などにより、製品ごとに異なってしまう。
【００２０】
このため、ホログラム９のキャップ８への位置決め時、ＸＹ面上において、ホログラム９の光学面の中心をレーザダイオード２の発光点に一致させた場合、ホログラム９を水平回転させるθステージの回転軸と、ホログラム９の光学面の中心とが一致しない場合が生じてしまう。
【００２１】
しかし、図１３に示す従来のホログラム実装方法は、このようなθステージの回転軸とホログラム９の光学面の中心との不一致を考慮していないために、θステージの回転軸とホログラム９の光学面の中心との不一致が存在する場合には、θ軸補正を行った場合、ＸＹ面の原点がθステージの回転軸を中心に回転移動し、ホログラム９のＸＹ軸に対する位置ずれが生じてしまう。
【００２２】
このため、図１３に示す従来のホログラム実装方法においては、ステップＳ７〜Ｓ１２を繰り返して行わなければならず、ホログラム９の位置決めに長時間を要してしまうという問題点があった。
【００２３】
本発明は、かかる点に鑑み、ホログラムをホログラム実装位置に水平に実装することができるホログラム実装装置を提供することを第１の目的とし、ホログラムをホログラム実装位置に水平に実装することができ、かつ、ホログラムの実装に要する時間を短縮化することができるホログラム実装装置を提供することを第２の目的とする。
【００２４】
また、本発明は、ホログラム実装部分に対するホログラムの実装に要する時間を短縮することができるホログラム実装方法を提供することを第３の目的とし、ホログラム実装位置に対するホログラムの実装に要する時間を短縮化することができるホログラムを提供することを第４の目的とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
本発明中、第１の発明（請求項１記載のホログラム実装装置）は、ホログラムを水平移動、垂直移動及び水平回転させるホログラム把持ハンドを備えるホログラム実装装置において、ホログラム把持ハンドは、ホログラムの上面を水平に突き当てることができる突き当て部と、ホログラムの上面を突き当て部に突き当てた状態でホログラムを側面から把持するための第１、第２のフィンガーとを備えているというものである。
【００２６】
本発明中、第１の発明によれば、ホログラム把持ハンドは、ホログラムの上面を水平に突き当てることができる突き当て部を備えているので、ホログラムを突き当て部に突き当てて、第１、第２のフィンガーでホログラムを把持することによりホログラムを水平に保持することができ、ホログラム把持ハンドを水平移動、垂直移動及び水平回転させても、ホログラムの水平状態を維持することができる。
【００２７】
したがって、ホログラム把持ハンドによってホログラムを水平に把持してホログラム実装位置に移動し、ホログラムの水平状態を維持したまま、ホログラムをホログラム実装位置に固定することにより、ホログラム実装位置が水平でなくとも、ホログラムをホログラム実装位置に水平に実装することができる。
【００２８】
本発明中、第２の発明（請求項２記載のホログラム実装装置）は、第１の発明において、突き当て部は、第１のフィンガーに設けられた第１の突き当て部と、第２のフィンガーに設けられた第２の突き当て部とを有しているというものである。
【００２９】
本発明中、第２の発明によれば、第１の発明と同様の作用を得ることができると共に、第１、第２のフィンガーに第１、第２の突き当て部を設けるとしているので、簡単な構成で、ホログラムの突き当てを確実に行うことができる。
【００３０】
本発明中、第３の発明（請求項３記載のホログラム実装装置）は、第１又は第２の発明において、第１のフィンガーは不動とされ、第２のフィンガーはホログラム把持方向に可動とされているというものである。
【００３１】
本発明中、第３の発明によれば、第１又は第２の発明と同様の作用を得ることができると共に、第２のフィンガーのみを可動としているので、簡単な構成でホログラムの把持を行うことができる。
【００３２】
本発明中、第４の発明（請求項４記載のホログラム実装装置）は、第１、第２又は第３の発明において、第１、第２のフィンガーは、対向する部分に、ホログラムの対向する第１、第２の角部の側面に押し当てる第１、第２のＶ溝を備えているというものである。
【００３３】
本発明中、第４の発明によれば、第１、第２又は第３の発明と同様の作用を得ることができると共に、ホログラムの形状が四角形の平板の場合に、簡単な構成で、ホログラムを確実に把持することができる。
【００３４】
本発明中、第５の発明（請求項５記載のホログラム実装装置）は、第１、第２、第３又は第４の発明において、ホログラムをその上面を上にして浮上可能に載置するホログラム載置部と、ホログラム載置部の下部から上方に圧縮空気を放出し、ホログラムを浮上させるための圧縮空気放出部とを有しているホログラム浮上手段を備えているというものである。
【００３５】
本発明中、第５の発明によれば、第１、第２、第３又は第４の発明と同様の作用を得ることができると共に、ホログラム把持ハンドの突き当て部にホログラムを容易に水平に突き当てることができるので、ホログラム把持ハンドの突き当て部にホログラムを水平に突き当てるための装置として複雑な構成の装置を設ける必要がない。
【００３６】
本発明中、第６の発明（請求項６記載のホログラム実装装置）は、第１、第２、第３、第４又は第５の発明において、ホログラム把持ハンドを水平移動させる第１の可動ステージと、この第１の可動ステージを搭載し、ホログラム把持ハンドを水平回転させる第２の可動ステージとを備えているというものである。
【００３７】
本発明中、第６の発明によれば、第１、第２、第３、第４又は第５の発明と同様の作用を得ることができると共に、ホログラムの光学面の中心及び光源の発光点を第２の可動ステージの回転中心に一致させることにより、ホログラム把持ハンドを水平回転させても、水平面（ＸＹ面）の原点の位置が変化することはなくなるので、ホログラムの回転軸（Ｚ軸）回りの補正を行ったとしても、水平の２軸（ＸＹ軸）に対する位置ずれが発生することはない。
【００３８】
本発明中、第７の発明（請求項７記載のホログラム実装装置）は、第６の発明において、ホログラム把持ハンドは、水平回転による角度変位に影響されず、撮像手段を介して座標値を取得することができる所定のマークを上面に有しているというものである。
【００３９】
本発明中、第７の発明によれば、第６の発明と同様の作用を得ることができると共に、第２の可動ステージを可動し、ホログラム把持ハンドの上面に形成されている所定のマークに３箇所以上の位置を取らせ、これら３箇所以上の位置の座標値を取得し、これら座標値に基づいて所定の演算を行うことにより、第２の可動ステージの回転中心の座標値を容易に算出することができる。
【００４０】
本発明中、第８の発明（請求項８記載のホログラム実装方法）は、ホログラム把持ハンドを水平移動させる第１の可動ステージと、第１の可動ステージを搭載し、ホログラム把持ハンドを水平回転させる第２の可動ステージとを備えるホログラム実装装置を使用してホログラムをホログラム実装位置に実装するホログラム実装方法であって、ホログラムのホログラム実装位置への位置合わせ時、第２の可動ステージの回転中心にホログラムの光学面の中心を合わせるというものである。
【００４１】
本発明中、第８の発明によれば、光源の発光点を第２の可動ステージの回転中心に一致させておく場合には、ホログラム把持ハンドを水平回転させても、水平面（ＸＹ面）の原点の位置が変化することはなくなるので、ホログラムの回転軸（Ｚ軸）回りの補正を行ったとしても、水平の２軸（ＸＹ軸）に対する位置ずれが発生することはない。
【００４２】
本発明中、第９の発明（請求項９記載のホログラム実装方法）は、第８の発明において、第２の可動ステージの回転中心の座標値は、第２の可動ステージを可動し、ホログラム把持ハンド又はホログラム把持ハンドに把持されているホログラムの上面に形成されている所定のマークに３箇所以上の位置を取らせ、これら３箇所以上の位置の座標値を取得し、これら座標値に基づいて所定の演算を行うことにより算出するというものである。
【００４３】
本発明中、第９の発明によれば、第８の発明と同様の作用を得ることができると共に、第２の可動ステージの回転中心の座標値を容易に算出することができる。
【００４４】
本発明中、第１０の発明は、水平回転による角度変位に影響されず、撮像手段を介して座標値を取得することができる所定のマークを上面に有しているというものである。
【００４５】
本発明中、第１０の発明によれば、ホログラム把持ハンドを水平移動させる第１の可動ステージと、第１の可動ステージを搭載し、ホログラム把持ハンドを水平回転させる第２の可動ステージとを備えるホログラム実装装置を使用してホログラムをホログラム実装位置に実装する場合において、ホログラムのホログラム実装位置に対する位置決め時に、第２の可動ステージの回転中心にホログラムの光学面の中心を一致させようとする場合、予め、ホログラム把持ハンドにホログラムを把持し、第２の可動ステージを可動し、ホログラムの上面に形成されている所定のマークに３箇所以上の位置を取らせ、これら３箇所以上の位置の座標値を取得する場合には、第２の可動ステージの回転中心の座標値を容易に算出することができる。
【００４６】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図１１を参照して、本発明のホログラム実装装置の一実施形態について、図１２に示すホログラムユニットを製造する場合に使用するホログラム実装装置を例として、本発明のホログラム実装方法及びホログラムの一実施形態を含めて説明する。
【００４７】
図１は本発明のホログラム実装装置の一実施形態の要部を示す概略的斜視図であり、図１中、１９はホログラム９を３軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）移動及び１軸（θ軸）回転させることができるホログラム可動手段である。
【００４８】
また、２０はステム１を保持して２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）移動及び１軸（θ軸）回転させることができるステム可動手段、２１はホログラム可動手段１９の上方に配置され、ホログラム可動手段１９側を視野とする撮像手段である。
【００４９】
また、ホログラム可動手段１９において、２２はホログラム９を把持するホログラム把持ハンド、２３はホログラム把持ハンド２２を搭載してホログラム把持ハンド２２をＸ軸方向に移動させることができるように構成されたハンド系Ｘステージ、２４はホログラム把持ハンド２２をハンド系Ｘステージ２３に固定するホログラム把持ハンド固定手段である。
【００５０】
また、２５はハンド系Ｘステージ２３を搭載し、ホログラム把持ハンド２２をハンド系Ｘステージ２３と共にＹ軸方向に移動させることができるように構成されたハンド系Ｙステージである。
【００５１】
また、２６はハンド系Ｙステージ２５を搭載し、ホログラム把持ハンド２２をハンド系Ｘステージ２３及びハンド系Ｙステージ２５と共にＺ軸回りに水平回転させることができるように構成されたハンド系θステージである。
【００５２】
また、２７はハンド系θステージ２６を搭載し、ホログラム把持ハンド２２をハンド系Ｘステージ２３、ハンド系Ｙステージ２５及びハンド系θステージ２６と共にＺ軸方向に移動させることができるように構成されたハンド系Ｚステージである。
【００５３】
また、ステム可動手段２０において、２８は先端部をステム１を取外し可能に保持するステム保持部２９とされたステム保持アーム、３０はステム保持アーム２８を水平回転させることができるように構成されたステム系θステージである。
【００５４】
また、３１はステム系θステージ３０を搭載し、ステム保持アーム２８をステム系θステージ３０と共に、Ｘ軸方向に移動させることができるように構成されたステム系Ｘステージである。
【００５５】
また、３２はステム系Ｘステージ３１を搭載し、ステム保持アーム２８をステム系θステージ３０及びステム系Ｘステージ３１と共にＹ軸方向に移動させることができるように構成されたステム系Ｙステージである。
【００５６】
図２はホログラム把持ハンド２２を下方斜め方向から見た概略的斜視図、図３はホログラム把持ハンド２２を上方から見た概略的平面図である。
【００５７】
図２、図３において、３４は基体、３５は基体３４と一体に形成され、ホログラム９を把持するための第１のフィンガーをなす不動とされた不動フィンガーである。
【００５８】
また、３６は１次元的にスライドするように構成されたリニアスライダ３７、３８を介して基体３４に保持され、矢印３９に示すように前後に移動可能とされた、ホログラム９を把持するための第２のフィンガーをなす可動フィンガーである。
【００５９】
また、４０は可動フィンガー３６の下面に固定されたピストン固定部材、４１はエアシリンダ、４２は先端部をピストン固定部材４０に固定され、エアシリンダ４１内に供給される圧縮空気により可動フィンガー３６を前方に押し出すピストンである。
【００６０】
また、４３はホログラム９を把持するために不動フィンガー３５に形成された開き角を９０°とするＶ溝、４４はホログラム９を把持するためにＶ溝４３と対向するように可動フィンガー３６に形成された開き角を９０°とするＶ溝である。
【００６１】
また、４５はホログラム９の上面をＶ溝４３を介して突き当てるために不動フィンガー３５の上面に固定された突き当て板、４６はホログラム９の上面をＶ溝４４を介して突き当てるために可動フィンガー３６の上面に固定された突き当て板である。
【００６２】
また、４７、４８は突き当て板４５、４６の下面の一部分であり、Ｖ溝４３、４４を介してホログラム９の上面を突き当てる突き当て部であり、これら突き当て部４７、４８は、水平とされている。
【００６３】
また、４９はホログラム９に形成されている第１のホログラム認識マークを上方から画像認識するために突き当て板４５に形成されている開口、５０はホログラム９に形成されている第２のホログラム認識マークを上方から画像認識するために突き当て板４６に形成されている開口である。
【００６４】
また、５１は不動フィンガー３５の上面に形成されている画像認識することができるハンド系θステージ回転中心探索用マークであり、ハンド系θステージ回転中心探索用マーク５１は、水平回転による角度変位に影響されず、撮像手段を介して座標値を取得することができるように円形のマークとされている。
【００６５】
図４は本発明のホログラム実装装置の一実施形態を使用したホログラム実装方法（本発明のホログラム実装方法の一実施形態）を示すフローチャートであり、本発明のホログラム実装装置の一実施形態を使用したホログラム実装方法においては、まず、ホログラム可動手段１９におけるＺ軸、即ち、ハンド系θステージ２６の回転中心を探索する（ステップＰ１）。
【００６６】
図５はハンド系θステージ２６の回転中心の探索方法を説明するための平面図である。図５中、５２は撮像手段２１の視野であり、本例では、ハンド系θステージ２６を回転させて、撮像手段２１を使用して、ハンド系θステージ回転中心探索用マーク５１を３箇所の位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3で画像認識し、これら３箇所の位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3の座標値（Ｘ1、Ｙ1）、（Ｘ2、Ｙ2）、（Ｘ3、Ｙ3）を取得する。
【００６７】
本例においては、ハンド系θステージ２６を回転させると、ハンド系θステージ回転中心探索用マーク５１は、二点鎖線５３で示すように、ハンド系θステージ２６の回転中心５４を軸として回転することになる。
【００６８】
したがって、ハンド系θステージ２６の回転中心５４の座標値（Ｘ0、Ｙ0）は、Ｐ1（Ｘ1、Ｙ1）とＰ2（Ｘ2、Ｙ2）とを結ぶ直線５５の垂直２等分線５６と、Ｐ2（Ｘ2、Ｙ2）とＰ3（Ｘ3、Ｙ3）とを結ぶ直線５７の垂直２等分線５８との交点の座標値となり、具体的には、数１で示す式で求めることができる。
【００６９】
【数１】
0003815000.tif 000002
【００７０】
このようにして、ハンド系θステージ２６の回転中心５４を探索した後に、レーザダイオード２、ホトダイオード３及びキャップ８を実装したステム１をステム可動手段２０のステム保持アーム２８の先端部のステム保持部２９に水平にセットする（ステップＰ２）。
【００７１】
なお、本発明のホログラム実装装置の一実施形態を使用する場合には、ホログラム９の接着固定が可能な範囲で、キャップ８の高さを従来の場合の高さよりも低い高さとしておくことが好適である。
【００７２】
次に、ホログラム把持ハンド２２でホログラム９を把持し、ホログラム９をホログラム可動手段１９のＺ軸上に移動する（ステップＰ３、Ｐ４）。
【００７３】
図６はホログラム把持ハンド２２によるホログラム９の把持方法を説明するための概略的断端面図であり、図６中、５９はホログラム浮上手段を構成するパレット、６０はホログラム９をその上面を上にして浮上可能に載置するホログラム載置部をなすホログラム嵌合穴である。
【００７４】
また、６１はホログラム嵌合穴６０にホログラム嵌合穴６０の底面６２から圧縮空気を送出するためにパレット５９の中央部に形成された圧縮空気放出部をなす圧縮空気放出路である。
【００７５】
本例においては、まず、図６に示すように、ホログラム９をパレット５９のホログラム嵌合穴６０に嵌合させ、ホログラム把持ハンド２２をホログラム９の僅か上方に位置させる。
【００７６】
この場合、Ｖ溝４３、４４がホログラム９の一対の対角の上方に位置し、ホログラム９を浮上させた場合、ホログラム９の上面が突き当て部４７、４８に突き当たるように、ホログラム把持ハンド２２の位置決めをする。
【００７７】
次に、圧縮空気放出路６１を介してホログラム嵌合穴６０に圧縮空気を送出すると、図７に示すように、ホログラム９は浮上し、ホログラム９の上面がホログラム把持ハンド２２の突き当て部４７、４８に突き当たり、ホログラム９は水平状態となる。
【００７８】
そこで、次に、ホログラム把持ハンド２２のエアシリンダ４１に圧縮空気を供給し、図８に示すように、可動フィンガー３６を前方に移動させて、Ｖ溝４３、４４をホログラム９の対向する２個の角部の側面に押し当て、ホログラム９の水平状態を維持させたまま、ホログラム９を不動フィンガー３５と可動フィンガー３６とで把持し、圧縮空気放出路６１からの圧縮空気の送出を終了する。
【００７９】
このようにして、ホログラム把持ハンド２２でホログラム９を把持し、ホログラム９をホログラム可動手段１９のＺ軸上に移動した後、ホログラム９の光学面の中心を探索する（ステップＰ５）。
【００８０】
ホログラム９の光学面の中心は、図９に示すように、ホログラム９の対向する角部の上面に形成されているホログラム認識マーク６４、６５を突き当て板４５、４６の開口４９、５０を介して撮像手段２１を使用して画像認識し、ホログラム認識マーク６４、６５を結ぶ線分６６の中点を演算することによりホログラム９の中心６７を探索することができる。
【００８１】
このようにして、ホログラム９の光学面の中心６７を探索した後、ステム保持アーム２８のステム保持部２９に保持されているステム１を撮像手段２１の下方に位置させて、ステム１に実装されているレーザダイオード２の発光点の位置を推定する（ステップＰ６）。
【００８２】
レーザダイオード２の発光点の位置の推定は、図１０に示すように、レーザダイオード２の発光点６８から所定の距離に形成されている半円状のメサ部６９、７０を画像認識し、メサ部６９、７０の各認識ポイントを参照して演算することにより行うことができる。
【００８３】
このようにして、レーザダイオード２の発光点６８の位置を推定した後、ホログラム９及びステム１の位置決め演算を行い、ハンド系θステージ２６の回転中心５４にホログラム９の光学面の中心６７及びレーザダイオード２の発光点６８を一致させるように、ホログラム９のキャップ８の開口部を含む上面に位置決め及びステム１の位置決めを行う（ステップＰ７）。
【００８４】
次に、サーボ信号を取得するための光学素子をセットし、レーザダイオード２を発光させた後、ホログラム９のＹ軸補正、θ軸補正、Ｘ軸補正を順に行い（ステップＰ８〜Ｐ１１）、接着剤１０を使用したホログラム９のキャップ８への接着固定を行う（ステップＰ１２）。
【００８５】
このように、本発明のホログラム実装装置の一実施形態によれば、ホログラム９を水平にされたホログラム保持ハンド２２の突き当て部４７、４８に突き当てて、不動フィンガー３５と可動フィンガー３６とでホログラム９を把持することにより、ホログラム把持ハンド２２によりホログラム９を水平に把持することができ、ホログラム把持ハンド２２を水平移動、垂直移動及び水平回転させても、ホログラム９の水平状態を維持することができる。
【００８６】
したがって、ホログラム把持ハンド２２によってホログラム９を水平に把持してキャップ８の開口部を含む上面１２に移動し、ホログラム９の水平状態を維持したまま、ホログラム９をキャップ８の開口部を含む上面１２に接着固定することにより、ホログラム９をキャップ８の開口部を含む上面１２が水平でなくとも、ホログラム９をキャップ８の開口部を含む上面１２に水平に実装することができる。
【００８７】
なお、ホログラム９の接着固定が可能な範囲で、キャップ８の高さを従来の場合の高さよりも低い高さとしておく場合には、キャップ８の加工精度、実装精度が低い場合、たとえば、図１１に示すように、キャップ８の上面１２が傾いている場合であっても、ホログラム９をキャップ８から僅かに浮いた状態で水平に接着固定することができるので、Ｚ軸方向の実装精度を高くすることができる。
【００８８】
また、本発明のホログラム実装装置の一実施形態によれば、突き当て板４５、４６を不動フィンガー３５及び可動フィンガー３６に固定するとしているので、簡単な構成で、ホログラム９の突き当てを確実に行うことができると共に、一方のフィンガーのみを可動としているので、簡単な構成で、ホログラム９の把持を行うことができる。
【００８９】
また、本発明のホログラム実装装置の一実施形態によれば、不動フィンガー３５及び可動フィンガー３６に開き角を９０度とするＶ溝４３、４４を形成するとしているので、簡単な構成で、四角形の平板のホログラム９を確実に把持することができる。
【００９０】
また、本発明のホログラム実装装置の一実施形態によれば、ホログラム浮上手段をなすパレット５９を設け、圧縮空気によりホログラム把持ハンド２２の突き当て部４７、４８にホログラム９の上面を容易に水平に突き当てることができるので、ホログラム把持ハンド２２の突き当て部４７、４８にホログラム９を水平に突き当てるための装置として複雑な構成の装置を設ける必要がなく、装置の簡略化を図ることができる。
【００９１】
また、本発明のホログラム実装装置の一実施形態によれば、ハンド系Ｘステージ２３をハンド系Ｙステージ２５に搭載し、このハンド系Ｙステージ２５をハンド系θステージ２６に搭載させるようにしているので、ホログラム９の光学面の中心６７及びレーザダイオード２の発光点６８をハンド系θステージ２６の回転中心５４に一致させておく場合には、ホログラム把持ハンド２２を水平回転させても、ＸＹ面の原点の位置が変化することはなく、ホログラム９のθ軸補正を行ったとしても、ＸＹ軸に対する位置ずれが発生することはないので、ホログラムの位置決め時間を短縮し、ホログラムの実装に要する時間を短縮することができる。
【００９２】
また、本発明のホログラム実装装置の一実施形態によれば、ホログラム把持ハンド２２の上面に、水平回転による角度変位に影響されず、撮像手段２１を介して座標値を取得することができる円形のハンド系θステージ回転中心探索用マーク５１を設けるとしているので、ハンド系θステージ２６を回転させて、ハンド系θステージ回転中心探索用マーク５１に少なくとも３箇所の位置を取らせて、これら３箇所の位置の座標値を取得し、これら座標値に基づいて所定の演算を行うことにより、ハンド系θステージ２６の回転中心５４の座標値を容易に算出することができる。
【００９３】
なお、ハンド系θステージ回転中心探索用マーク５１をホログラム把持ハンド２２の上面に設ける代わりに、ホログラム９の上面にハンド系θステージ回転中心探索用マーク５１と同一のマークを設けるようにしても良く、このように構成されるホログラムは、本発明のホログラムの一実施形態をなすことになる。
【００９４】
また、本発明のホログラム実装装置の一実施形態によれば、レーザダイオード２の発光点６８の位置をメサ部６９、７０の画像認識を行うことで推定するようにしているので、ＮＤフィルタを用意する必要がなく、装置の簡略化を図ることができる。
【００９５】
【発明の効果】
本発明中、第１の発明（請求項１記載のホログラム実装装置）によれば、ホログラム把持ハンドによりホログラムを水平に把持することができるので、ホログラム把持ハンドによってホログラムを水平に把持してホログラム実装位置に移動し、ホログラムの水平状態を維持したまま、ホログラムをホログラム実装位置に固定することにより、ホログラム実装位置が水平でなくとも、ホログラムをホログラム実装位置に水平に実装することができる。
【００９６】
本発明中、第２の発明（請求項２記載のホログラム実装装置）によれば、第１の発明と同様の効果を得ることができると共に、第１、第２のフィンガーに第１、第２の突き当て部を設けるとしているので、簡単な構成でホログラムの突き当てを確実に行うことができる。
【００９７】
本発明中、第３の発明（請求項３記載のホログラム実装装置）によれば、第１又は第２の発明と同様の効果を得ることができると共に、第２のフィンガーのみを可動としているので、簡単な構成でホログラムの把持を行うことができる。
【００９８】
本発明中、第４の発明（請求項４記載のホログラム実装装置）によれば、第１、第２又は第３の発明と同様の効果を得ることができると共に、ホログラムの形状が四角形の平板の場合に、簡単な構成でホログラムを確実に把持することができる。
【００９９】
本発明中、第５の発明（請求項５記載のホログラム実装装置）によれば、第１、第２、第３又は第４の発明と同様の効果を得ることができると共に、ホログラム把持ハンドの突き当て部にホログラムを容易に水平に突き当てることができるので、ホログラム把持ハンドの突き当て部にホログラムを水平に突き当てるための装置として複雑な構成の装置を設ける必要がない。
【０１００】
本発明中、第６の発明（請求項６記載のホログラム実装装置）によれば、第１、第２、第３、第４又は第５の発明と同様の効果を得ることができると共に、ホログラムの回転軸（Ｚ軸）回りの補正を行ったとしても、水平の２軸（ＸＹ軸）に対する位置ずれが発生しないようにすることができるので、ホログラムの位置決め時間を短縮し、ホログラムの実装時間を短縮することができる。
【０１０１】
本発明中、第７の発明（請求項７記載のホログラム実装装置）によれば、第６の発明と同様の効果を得ることができると共に、第２の可動ステージの回転中心の座標値を容易に算出することができる。
【０１０２】
本発明中、第８の発明（請求項８記載のホログラム実装方法）によれば、ホログラムの回転軸回りの補正を行ったとしても、ＸＹ軸に対する位置ずれが発生しないようにすることができるので、ホログラムの位置決め時間を短縮し、ホログラムの実装時間を短縮することができる。
【０１０３】
本発明中、第９の発明（請求項９記載のホログラム実装方法）によれば、第８の発明と同様の効果を得ることができると共に、第２の可動ステージの回転中心の座標値を容易に算出することができる。
【０１０４】
本発明中、第１０の発明によれば、ホログラム把持ハンドを水平移動させる第１の可動ステージと、第１の可動ステージを搭載し、ホログラム把持ハンドを水平回転させる第２の可動ステージとを備えるホログラム実装装置を使用してホログラムをホログラム実装位置に実装する場合において、ホログラムのホログラム実装位置に対する位置決め時に、第２の可動ステージの回転中心にホログラムの光学面の中心を一致させようとする場合、第２の可動ステージの回転中心の座標値を容易に算出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のホログラム実装装置の一実施形態の要部を示す概略的斜視図である。
【図２】本発明のホログラム実装装置の一実施形態が備えるホログラム把持ハンドを下方斜め方向から見た概略的斜視図である。
【図３】本発明のホログラム実装装置の一実施形態が備えるホログラム把持ハンドを上方から見た概略的平面図である。
【図４】本発明のホログラム実装装置の一実施形態を使用したホログラム実装方法（本発明のホログラム実装方法の一実施形態）を示すフローチャートである。
【図５】本発明のホログラム実装装置の一実施形態が備えるホログラム可動手段のハンド系θステージの回転中心の探索方法を説明するための平面図である。
【図６】本発明のホログラム実装装置の一実施形態が備えるホログラム把持ハンドによるホログラムの把持方法を説明するための概略的断端面図である。
【図７】本発明のホログラム実装装置の一実施形態が備えるホログラム把持ハンドによるホログラムの把持方法を説明するための概略的断端面図である。
【図８】本発明のホログラム実装装置の一実施形態が備えるホログラム把持ハンドによるホログラムの把持方法を説明するための概略的断端面図である。
【図９】本発明のホログラム実装装置の一実施形態を使用して実装するホログラムを示す概略的平面図である。
【図１０】ホログラムユニットを構成するレーザダイオードを上方から見た概略的平面図である。
【図１１】本発明のホログラム実装装置の一実施形態を使用したホログラム実装方法の効果を説明するためのホログラムユニットの概略的正面図である。
【図１２】ホログラムユニットの一例を示す概略的正面図である。
【図１３】図１２に示すホログラムユニットを製造する場合に行われるキャップに対する従来のホログラム実装方法を示すフローチャートである。
【図１４】図１３に示す従来のホログラム実装方法が有する問題点を説明するためのホログラムユニットの概略的正面図である。
【符号の説明】
（図１）
２３  ハンド系Ｘステージ
２５  ハンド系Ｙステージ
２６  ハンド系θステージ
２７  ハンド系Ｚステージ
２８  ステム保持アーム
２９  ステム保持部
３０  ステム系θステージ
３１  ステム系Ｘステージ
３２  ステム系Ｙステージ
【図１】
0003815000.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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