(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヒータに供給される交流電圧から生成した同期入力信号を温度調節回路の入力チャネルに入力し、入力した同期入力信号に基いてオフセット制御された出力信号を出力チャネルから出力し、該出力信号に応じて上記ヒータに供給される電力を調節して、電気炉の温度を所定温度に制御する電気炉の温度制御方法において、
上記出力チャネルを任意の入力チャネルに接続する複数の情報テーブルを予め作成しておき、
上記入力チャネルに入力される同期入力信号を検出し、
上記入力チャネルのいずれかに同期入力信号が検出されなかったとき、上記複数の情報テーブルの中から、上記同期入力信号が検出されなかった入力チャネルを除いた他の入力チャネルに上記出力チャネルを接続した情報テーブルを検索し、
該検索した情報テーブルに接続された上記他の入力チャネルに入力される同期入力信号に基いて、上記ヒータに供給される電力の制御量が、上記検出されなかった同期入力信号が検出されたときと同じになるようにオフセット制御された出力信号を当該情報テーブルの上記他の入力チャネルに接続された出力チャネルから出すようにしたことを特徴とする電気炉の温度制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、縦型拡散装置や縦型ＣＶＤ装置等の半導体製造装置における電気炉の温度制御方法に係り、特に電気炉のヒータを制御する温度制御回路が故障した場合にも温度制御を続行できるように改善したものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１５に示すように、従来の電気炉１０はヒータ加熱領域が複数、例えば４つの領域ａ〜ｄに分割され、各領域ａ〜ｄに対応して４つのヒータ１１〜１４が設けられる。これらのヒータ１１〜１４は、双方向接続した２個のサイリスタ８、９からなるサイリスタ回路２１〜２４を介して供給されるＡＣ２００Ｖの交流電圧（三相または単相）からの電力により個別に加熱される。例えば石英ボート１５に載置した１００枚のウェーハ１６を入れた炉１０内の検知温度が、全て８００℃になるように温度制御される。
【０００３】
この温度制御を行なうための温度制御回路は、図１６に示すように、主に温度調節回路１８と位相同期回路１９とから構成される。上記三相交流電源電圧を位相同期回路１９に入力して交流電源電圧に応じた位相の異なる３つの同期入力パルスＩ1 〜Ｉ3 を生成する。これらを温度調節回路１８に加えて、炉１０を所定温度に制御するために位相オフセットをもつヒータ対応の４つの出力パルスＯ1 〜Ｏ4 を生成する。これらの出力パルスＯ1 〜Ｏ4 を位相同期回路１９に加えてサイリスタ回路２１〜２４のゲート制御に必要なレベルに変換し、４組のゲートパルスＧ1 ，Ｇ2 〜Ｇ7 ，Ｇ8 を生成する。この４組のゲートパルスＧ1 ，Ｇ2 〜Ｇ7 ，Ｇ8 を対応するサイリスタ回路２１〜２４のゲートにそれぞれ加えて、各ヒータ１１〜１４の電力を調節することにより、電気炉１０を所定温度に制御している。
【０００４】
図１７に、ヒータ１１〜１４に印加されるＡＣ２００Ｖの交流電圧２０のゼロクロス点Ｚで同期入力パルスＩm (m=1〜3)が生成され、演算により求めたＺ点からのオフセットＯＦを持つ出力パルスＯn (n=1〜4)を発生させ、この出力パルスＯn に基づいて交流電圧２０を位相制御する様子を示している。オフセットＯＦは、必要とされる電力に応じて可変する。
【０００５】
上記温度制御回路においては、位相同期回路１９の入出力チャネルがハードウェア上、１対１に固定されているように、温度調節回路１８においても、出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ４と入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３とは、
出力チャネルＣＨ１→入力チャネルＣＨ３
出力チャネルＣＨ２→入力チャネルＣＨ２
出力チャネルＣＨ３→入力チャネルＣＨ１
出力チャネルＣＨ４→入力チャネルＣＨ３
というように、入出力チャネルの接続はハードウェア上固定され、変更できない。
【０００６】
上述したように従来の温度制御回路を構成する温度調節回路１８は、各入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３に対する出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ４の接続状態を変更することが不可能なため、位相同期回路１９または温度調節回路１８の一部の配線や回路素子が故障して、温度調節回路１８に一部の同期入力パルスＩm が入力されなくなると、入力のない入力チャネルＣＨｍ（ｍ＝１〜３）に対応する出力チャネルＣＨｎ（ｎ＝１〜４）から出力パルスＯn を生成することができなくなる。このため炉内の温度制御を続行することができず、炉内での成膜処理等を中断せざるを得なかった。
【０００７】
また、温度調節回路１８に予備の出力チャネルを設けていなかったので、正規の出力チャネルに故障が生じて出力パルスが発生しないときは、当該出力パルスを出力する手立てがなかった。
【０００８】
さらに、温度調節回路１８に入力される同期入力パルス、または温度調節回路１８から出力される出力パルスを検出していなかったので、これらの入出力パルスが無くなっても、その故障を早期に発見することができず、故障回復の遅延化を招いていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、各同期入力信号に対する出力チャネルをソフト的に任意に接続可能とすることによって、上述した従来技術の問題点を解消して、同期入力信号がなんらかの故障で無くなった場合でも、他の正常な同期入力信号を使って、出力信号を発生させることが可能な電気炉の温度制御方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ヒータに供給される電源から生成した同期入力信号を温度調節回路の入力チャネルに入力し、入力した同期入力信号に基づいてオフセット制御された出力信号を所定の出力チャネルから出力し、該出力信号に応じて上記ヒータに供給される電力を調節して、電気炉の温度を所定温度に制御する電気炉の温度制御方法に関する。
【００１１】
この温度制御方法において、上記出力チャネルを任意の入力チャネルに接続する複数の情報テーブルをあらかじめ作成しておき、上記入力チャネルに入力される同期入力信号を検出し、上記入力チャネルのいずれかに同期入力信号が検出されなかったとき、上記複数の情報テーブルの中から、上記同期入力信号が検出されなかった入力チャネルを除いた他の入力チャネルに上記出力チャネルを接続した情報テーブルを検索し、該検索した情報テーブルに接続された上記他の入力チャネルに入力される同期入力信号に基づいて、上記ヒータに供給される電力の制御量が、上記検出されなかった同期入力信号が検出されたときと同じになるようにオフセット制御された出力信号を当該情報テーブルの上記他の入力チャネルに接続された出力チャネルから出すようにしたものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に係る電気炉の温度制御方法の実施形態を説明する。サイリスタ回路を含む電気炉は従来例の図１５と構成が同じであるため説明を省略する。異なる点は、主に温度制御回路を構成する温度調節器にあり、温度調節器の入出力系に故障が生じても正常な入出力系で代替して位相同期回路からゲートパルスを出力できるようにした点である。本実施形態の温度制御回路は、図２に示すように、操作端末２７、温度調節回路２８、位相同期回路２９で構成される。
【００１３】
操作端末２７は、必要な操作手順をマニュアル入力して温度調節回路２８を操作するものであり、図４に示す情報テーブルの設定、変更、情報テーブル状態の表示、位相同期回路２９または温度調節回路２８に故障が生じた場合のエラー表示等をする。
【００１４】
温度調節回路２８は、同期入力パルスＩ1 〜Ｉ3 をＣＰＵ３０に取り込み、これに基づいて炉内を所定温度に制御するためのサイリスタ回路制御用の出力パルスＯ1 〜Ｏ6 を出力する。そのために、同期入力パルスＩ1 〜Ｉ3 が入力される３つの入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３と、出力パルスＯ1 〜Ｏ6 が出力される６本の出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ６とを有する。６本の出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ６のうちＣＨ５、ＣＨ６の２本は予備の出力チャネルである。上記情報テーブルは、操作端末２７を介して温度調節回路２８のメモリ３１にあらかじめ記憶される。この情報テーブルにより入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３とソフト的に任意に接続される出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ６から、次のように同期入力パルスＩm に基づいた出力パルスＯn (n=1〜6)を生成、出力する。
【００１５】
まず炉を所定温度に制御するために各ヒータに必要なヒートパワーをＰＩＤ演算によってそれぞれ求め、それらのヒートパワーを得るために各ヒータに加えるＡＣ２００Ｖの交流電圧の位相を算出し、つぎに、算出した位相をもつ出力パルスＯn を得るために、同期入力パルスＩm からのオフセットＯＦｎ（ｎ＝１〜６）を求め、最後に入力チャネルＣＨｍに入力された同期入力パルスＩm にオフセットＯＦｎを加えたタイミングで出力チャネルＣＨｎから出力パルスＯn を出す。正常時は図４(a) に示すデフォルトの情報テーブルに基づいた出力パルスＯn を出す。
【００１６】
また、温度調節回路２８は同期入力パルスＩm を常時監視し、これを検出する。このとき同期入力パルスＩm が３本入力されているときは３相入力とソフトウェアが判断し、２本だけ入力されているときは単相入力と判断する。同期入力パルスＩm を検出した結果、温度調節回路２８に入力される３つの同期入力パルスＩ1 〜Ｉ3 のうち１つまたは２つが検出されなかったら、入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３のデフォルト以外の情報テーブルの値を見て、検出されない同期入力パルスＩm の代りに正常な同期入力パルスＩl (m≠l)を割り振り、その割り振った情報テーブルに基づいて所定の出力パルスＯn が得られるようにソフト的に処理する。
【００１７】
位相同期回路２９は、温度調節回路２８からの出力パルスＯ1 〜Ｏ6 をサイリスタ回路のゲート制御に必要なレベルに変換しゲートパルスＧ1 ，Ｇ2 〜Ｇ7 ，Ｇ8 とを発生する一方、ＡＣ２００Ｖの交流電圧のゼロクロス点に同期した３つの同期入力パルスＩ1 〜Ｉ3 を発生する。３つの同期入力パルスＩ1 〜Ｉ3 は、１／（５０×２）（または１／（６０×２）、以下略）ｓｅｃ毎に発生する。１／（５０×２）ｓｅｃ毎にサンプリングするのは、交流電圧の半周期毎に位相を制御するためである。
【００１８】
なお、位相同期回路２９の内部は、図３に示すように、パルスドライバ３２とレベル変換器３３とからなるドライバ回路３４と、同期入力パルスを発生する同期入力パルス発生器３５とから構成される。
【００１９】
ところで、同期入力パルスＩm を検出して、どの出力チャネルＣＨｎに出力すべきかを決定しているのは既述したようにソフトウェアなので、その組合わせは自由に変更できる。例えば、入力チャネルＣＨ１に入力される同期入力パルスＩ1 に同期させて、６チャネル（ＣＨ１〜ＣＨ６）の全てから出力パルスＯn を出すこともできるし、出力チャネルＣＨ１のみから出力パルスＯn を出すこともできる。さらに３つの出力チャネルＣＨ１、ＣＨ３、ＣＨ６からも出力パルスＯn を出すことができる。この組合わせから、入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３に同期入力パルスが入力されないという入力系故障に考慮した情報テーブルの種類は全部で７つある。図４に温度調節回路２８に設けたメモリ３１に記憶される上記情報テーブルの例を示す。ここでは３例を挙げる。
【００２０】
図４(a) は３つの入力チャネルに入力される同期入力パルスがいずれも正常な場合でデフォルトとなる（正常モードＡ）。図４(b) では、ある１本の入力チャネルに同期入力パルスが入力されていない場合に、その入力チャネルに他の入力チャネルを割り振っている（故障モードＢ）。また、図４(c) は２本の入力チャネルに同期入力パルスが入力されない場合に、それらの入力チャネルに残りの入力チャネルを割り振っている（故障モードＣ）。(a) の正常モードＡでは、出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ６には、入力チャネルＣＨ３、ＣＨ２、ＣＨ１、ＣＨ３、ＣＨ２、ＣＨ１がそれぞれ割り振られている。(b) の故障モードＢでは、入力チャネルＣＨ１に入力される同期入力パルスＩ1 が異常な場合に、その入力チャネルＣＨ１が入力チャネルＣＨ２に代替される。(c) の故障モードＣでは、入力チャネルＣＨ１及びＣＨ２にそれぞれ入力される同期入力パルスＩ1 、Ｉ2 が共に異常な場合に、それらの入力チャネルＣＨ１及びＣＨ２がＣＨ３に代替される。
【００２１】
これらの割り振られた入力チャネルに対応する出力チャネルには、そこから出力される出力パルスに所定のオフセットが加えられ、正常時と等価な位相をもつ出力パルスが出力されるようになっている。所定のオフセットはあらかじめ、情報テーブルに設定し、その設定は既述したように操作端末２７から行なう。
【００２２】
つぎに、上述のように構成された電気炉の温度制御回路の動作を説明する。
【００２３】
(1) 正常モードＡ（図２）
位相同期回路２９から温度調節回路２８の各入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３に同期入力パルスＩ1 〜Ｉ3 が正常に入力される場合である。メモリ３１中の情報テーブルの対応表（図４(a) ）にしたがって、入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３に入力される同期入力パルスＩ1 〜Ｉ3 に所定のオフセットＯＦを加えた後、出力チャネルＣＨ１〜ＣＨ６から出力パルスＯ1 〜Ｏ6 を出力する。
【００２４】
(2) 異常モードＢ（図１）
入力チャネルＣＨ１に同期入力パルスＩ1 が入力されなかった場合である。温度調節回路２８は、入力チャネルＣＨ１に同期入力パルスＩ1 が入力されていないことを検出すると、図４(a) に示す正常モードＡに対応する情報テーブルを、故障モードＢに対応する図４(b) に示す情報テーブルに切替える。その結果、温度調節回路２８において、異常となっている入力チャネルＣＨ１に対応していた出力チャネルＣＨ３、ＣＨ６を、同期入力パルスＩm が正常に入力されている他の入力チャネルＣＨ２に割り振り、割り振られた他の入力チャネルＣＨ２に接続される出力チャネルＣＨ３、ＣＨ６から出力パルスＯ3 、Ｏ6 を出す。
【００２５】
(3) 異常モードＣ（図５）
２つの入力チャネルＣＨ１、ＣＨ２に同期入力パルスＩ1 、Ｉ2 が入力されなかった場合である。温度調節回路２８は、入力チャネルＣＨ１、ＣＨ２に同期入力パルスＩ1 、Ｉ2 が入力されていないことを検出したとき、その故障モードＣに対応する図４(c) に示す情報テーブルに切替える。その結果、温度調節回路２８において、異常となっている入力チャネルＣＨ１、ＣＨ２が正常に入力されている残りの入力チャネルＣＨ３に割り振られ、当該残りの入力チャネルＣＨ３を割り振られた出力チャネルＣＨ２、ＣＨ３、ＣＨ５、ＣＨ６から出力パルスＯ2 、Ｏ3 、Ｏ5 、Ｏ6 を出す。
【００２６】
さらに図６〜図１１に示すタイミングチャート及びフローチャートを参照して上記実施の形態の動作を具体的に説明する。
【００２７】
図６のタイミングチャートに示すように、温度調節回路２８の入力チャネルＣＨｍに入力される同期入力パルスＩm はＣＰＵ３０に割り込みをかけて検出する。すなわち１０ｍｓｅｃ毎に出力される同期入力パルスＩm の間隔を、入力チャネル用タイマカウンタで１ｍｓｅｃ毎にカウントし、カウント値は常時監視する。同期入力パルスＩm が正常に出ていれば、カウント値は１５（本来、１０＝（１／（５０×２））×１０００でもよいが、余裕をみている）より小さいが、１５より大きくなったら、同期入力パルスＩm が出なかったと判断する。
【００２８】
図７に、全ての同期入力パルスＩ1 〜Ｉ3 を監視、検出する概念フローチャートを示す。上記したＣＰＵタイマ割り込み処理は、入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３用タイマカウンタをインクリメントしていき（ステップ７０１）、入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３用の各タイマカウンタのカウント値が１５より大きいか否かを順次判断していく（ステップ７０２、７０４、７０６）。大きいときは入力チャネルＣＨｍのパルスがないときの出力チャネル決定処理を行なう（ステップ７０３、７０５、７０７）。３つのカウント値のいずれもが１５より大きいと、代替処理によっても温度制御は不可能であるため終了する。
【００２９】
図８は、入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３に起こり得る８通りのモード状態を示した図であり、(a) はフローチャート、(b) は表で示したモード状態図である。同表で○は同期入力パルス有り、×は無しを意味する。前述したように、いずれの入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３においても同期入力パルスが入力されないときは（ステップ８０１、８０５、８０７）、完全エラーとなる（Ｈモード）。入力チャネルＣＨ１〜ＣＨ３の３本とも同期入力パルスが正常に入力されているときは（ステップ８０１、８０２、８０３）、正常モードとなる（Ａモード）。残りのＢ〜Ｇモードは温度制御回路の入力系エラーであるけれども、代替処理ができるモードとして扱われ、対応する情報テーブルに基づいて決定処理される。なお、Ａモード、Ｂモード、Ｃモードの各情報テーブルは、既に説明した図４に示すように構成されている。
【００３０】
図９は入力チャネルＣＨ１に同期入力パルスＩ1 がないときのＢモード決定処理を行なうフローチャートを示す。ステップ９０１の切替フラグは、チャネル切替を手動で行なうか自動で行なうかを判別するためのもので、フラグ内容は操作端末２７によって設定する。まず切替フラグが“１”か否かを判断し（ステップ９０１）、“１”であれば、情報テーブル内容を検索して故障モードＢに対応した情報テーブルに自動的に切替えて（ステップ９０２）、つぎのステップ９０３に進む。切替フラグが“０”の場合は正常時の情報テーブルのまま、つぎのステップで入力チャネルＣＨ１用タイマカウンタをクリアし（ステップ９０３）、操作端末２７にテーブル状態を表示すると共に、エラー表示をする（ステップ９０４）。なお、切替フラグ“０”の場合、操作端末２７の表示内容に基づいて作業者が手動で所定の操作を行なう。
【００３１】
ここで故障モードＢに応じて検索された情報テーブルによって割り振られた入力チャネルＣＨ２を通じて得られる出力パルスＯ3 、Ｏ6 の生成を説明する。図１０に示すように、入力チャネルＣＨ１の正常時は、交流電圧２０のゼロクロス点Ｚで生成される同期入力パルスＩ1 に対して出力パルスＯ3 は、例えばオフセットＯＦ分を７００カウントとすると、この７００カウントに相当するオフセット時間経過後に出力チャネルＣＨ３から出力される。ここで、タイマカウンタの１カウントを８μｓとすると、交流電圧の半周期は１／１００ｓｅｃであるからカウント値は１２５０カウントである。この場合において、入力チャネルＣＨ１を入力チャネルＣＨ２で代替すると、入力チャネルＣＨ２の同期入力パルスＩ2 は入力チャネルＣＨ１の同期入力パルスＩ1 に対して−６０°、カウント値で換算して４１６カウント遅れて出力される。このことから入力チャネルＣＨ２の同期入力パルスＩ2 の発生点から８３３カウント加えて、元のオフセット分である７００カウントを加えた点で、代替時の出力パルスＯ3 ′を出力チャネルＣＨ３から出す。出力される出力パルスＯ3 ′は正常時の出力パルスＯ3 と位相的に略等しい。
【００３２】
なお、入力チャネルＣＨ１を入力チャネルＣＨ３で代替するときは、この入力チャネルＣＨ３に入力される同期入力パルスＩ3 は、入力チャネルＣＨ１に入力される同期入力パルスＩ1 に対して−１２０°、カウント値で８３３カウント遅れるから、入力チャネルＣＨ３の同期入力パルスＩ3 の発生点から４１６カウント加えて、元のオフセット分である７００カウントを加えた点で、代替時の出力パルスＯ3 ′を出力チャネルＣＨ３から出すことになる。
【００３３】
なお、本装置の立上げ時にも、代替処理できるエラーが生じたときは、図１の次のような決定処理を行なう。すなわち８μｓタイマを使用して同期入力パルス間隔を監視し（ステップ１００）、正常時の同期入力パルス間隔１２５０カウントに対して±５％の誤差を許容する「１１８８カウント」と「１３１２カウント」との間に入いるか否かのエラー判断をし（ステップ１０１）、この間に入いらない場合が、規定回数Ｎの繰り返し（ステップ１０５）の中に１回でもあれば、入力チャネルＣＨm の同期入力パルスＩm が無いときの処理と同様な処理（ステップ１０２、１０３、１０４）を行なった上でメイン処理に入いる（ステップ１０６）。
【００３４】
ところで、上述した実施の形態では位相同期回路２９の出力チャネル系ないし温度調節回路２８の入力チャネル系が故障したときの代替処理について説明した。そこで、つぎに温度調節回路２８の出力チャネル系が故障したときの代替処理について説明する。
【００３５】
温度調節回路２８の出力チャネルＣＨ1 〜ＣＨ6 から出力される出力パルスＯ1 〜Ｏ6 も、同期入力パルスＩ1 〜Ｉ3 と同様に温度調節回路２８のＣＰＵ３０によって常に監視するようにし、その有無を検出する。図１２(a) に示すように、例えば温度調節回路２８の出力チャネルＣＨ３に故障が発生し、その出力チャネルＣＨ３から出力パルスＯ3 が出力されないときは、図１２(b) に示すように同期入力パルスＩ1 に対応する故障した出力チャネルＣＨ３を、これから出るべき出力パルスＯ3 と同じオフセットをもつ出力パルスＯ6 を出力する予備出力チャネルＣＨ６に変更する。その変更は、位相同期回路２９からサイリスタ回路２３に接続されるのケーブル３６をチャネルＣＨ３からチャネルＣＨ６に手動で変更することにより行なう。これは予備の出力チャネルをもってはじめて可能になる。
【００３６】
図１３は、そのフローチャートを示す。出力パルスＯn （n=1 〜6 ）の有無を判断し（ステップ２０１）、出力パルスＯn が検出されなかったときは、操作端末２７にエラー及びエラー出力チャネルを表示する（ステップ２０２）。その表示内容に基づいて作業者は上述したチャネルＣＨｎ（ｎ＝１〜６）の切替接続を手動で行なう（ステップ２０３）。
【００３７】
図１４は、デフォルトのＡモード情報テーブルと、入力チャネルＣＨ１の同期入力パルスＩ1 が故障したときのＢモード情報テーブルとがそれぞれ検索されたとき、いずれかの出力チャネルＣＨn から出力パルスＯn が検出されなかったときに、２本あるうちのどの予備出力チャネルＣＨ５、ＣＨ６を使って切替接続を行なったらよいかをそれぞれ示した説明図である。上記ケーブルを切替えるべき出力チャネルは◎で示してある。
【００３８】
なお、上述した入出力チャネル間のパスは、論理回路もしくはゲートアレイなどで構成し、情報テーブルに基づいて切替える。またオフセットは温度調節回路２８のＣＰＵ３０内でデジタル遅延させることにより行なうことができる。また、代替処理によって成膜処理等を終了したら、代替処理により悪化する力率を改善するために、温度制御回路の故障箇所を速やかに修理する。
【００３９】
上述したように、同期入力パルスが異常であったり、入力されない場合でも、正常な同期入力パルスが入力される入力チャネルに代替させて、本来の同期入力パルスに対応するオフセットをもつ出力パルスに等価なパルスを発生させることにより、サイリスタ回路へのゲートパルスを確保するようにしたので、炉の温度制御を中断することなく、温度調節回路及び位相同期回路の故障対策が行なえ、温度制御回路の保守性を向上できる。
【００４０】
また、同期入力パルス及び出力パルスを検出しているため、故障の早期発見ができるので、故障回復の素速い対応が可能となる。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、故障により温度調節回路の任意の入力チャネルの入力同期信号に異常が生じても、他の正常な入力同期信号で代替して、故障した入力同期信号に対応する所定の出力信号を出力できるようにしたので、電気炉の温度制御を中断せずに続行することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による電気炉の温度制御方法を説明するための温度制御回路の要部構成図であり、入力チャネルＣＨ１に同期入力パルスが入力されなかったときに、炉の温度制御を継続運転するための代替チャネルが形成された状態を示したブロック図である。
【図２】同じくデフォルト状態のブロック図である。
【図３】図１に示す位相同期回路及びそれに接続されるゲート回路の構成図である。
【図４】各種の情報テーブルを示す説明図であり、(a) はデフォルト、(b) は入力チャネルＣＨ１に入力される同期入力パルスＩ1 が無いとき、(c) は入力チャネルＣＨ１及びＣＨ２に入力される同期入力パルスＩ1 、Ｉ2 がないときの接続状態を示す。
【図５】  (a) は同期入力パルスＩ1 、Ｉ2 がないときの代替チャネル形成のブロック図である。
【図６】同期入力パルスの検出方法を示す説明図である。
【図７】ＣＰＵタイマの割り込み処理を説明するフローチャートである。
【図８】同期入力パルスを検出して決定処理する図であり、(a) はフローチャート、(b) は表図である。
【図９】入力チャネルＣＨ１の同期入力パルスが無いときの代替処理フローチャートである。
【図１０】入力チャネルＣＨ１を入力チャネルＣＨ２で代替したときの出力オフセットを説明するタイミングチャートである。
【図１１】イニシャル処理のフローチャートである。
【図１２】出力チャネルに故障が生じたときに予備出力チャネルを使用して手動で代替処理を行なう説明図である。
【図１３】出力チャネルの代替処理を説明するフローチャートである。
【図１４】出力チャネルに故障が生じたときに使用する変更すべき予備チャネルを特定する一例を示す説明図である。
【図１５】従来例の炉の加熱構造を示す説明図である。
【図１６】従来例の温度制御回路を示す構成図である。
【図１７】従来例の同期入力パルスと出力パルスとの接続を説明するタイミングチャートである。
【符号の説明】
２７    操作端末
２８    温度調節回路
２９    位相同期回路
３０    ＣＰＵ
３１    メモリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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