(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に所定の間隔で微細な間隙が形成された第１のテープ状部材と第１のテープ状部材を保護する第２のテープ状部材とを重ねて巻回した供給リールから各テープ状部材を繰出し、移動経路上で所定の作業がなされた第１のテープ状部材に第２のテープ状部材を重ねて巻取リールに巻取るようにしたテープ状部材の搬送装置において、
上記供給リールと巻取リール間に第２のテープ状部材をクリーニングする機構を配置し、
第２のテープ状部材をクリーニングする機構は、第２のテープ状部材の移動経路をはさんで対向配置され第２のテープ状部材の移動時に第２のテープ状部材を挟持する一対の払拭部と、払拭部に揮発性洗浄剤を定量供給して湿潤させる洗浄剤供給部とを備えたことを特徴とするテープ状部材の搬送装置。
【請求項２】
第２のテープ状部材をクリーニングする機構の払拭部は、払拭部材を収容するとともに揮発性洗浄剤を収容する箱状の容器と、箱状容器の開口端から突出させた払拭部材を第２のテープ状部材に接離させる駆動機構とを備えたことを特徴とする請求項１に記載のテープ状部材の搬送装置。
【請求項３】
箱状部材が駆動機構に着脱自在であることを特徴とする請求項２に記載のテープ状部材の搬送装置。
【請求項４】
第２のテープ状部材をクリーニングする機構と巻取リールとの間に、第２のテープ状部材の巻き取りテンションを一定にするテンショナを配置したことを特徴とする請求項１に記載のテープ状部材の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は微細な間隙が所定間隔で形成された長尺の第１のテープ状部材の微細な間隙部分を保護する保護用の第２のテープ状部材とともに供給リールから繰出し、所定の作業がなされた第１のテープ状部材に第２のテープ状部材を重ねて巻取リールに巻き取るようにしたテープ状部材の搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多数のリードを狭ピッチで配列した電子部品、例えば液晶表示装置に用いられるドライバＩＣは画素数によってリードの数が決定され、画素数の増大にともなってリード数が増大する。
またこのドライブＩＣのパッケージは液晶表示パネルに一体に取り付けられるため小型、薄型化が要求される。
このように外形寸法が制限されたパッケージに多数本のリードを配列するにはリードの巾を狭めるだけでなくその配列間隔も狭める必要があり、そのためにはリードの厚みも薄くする必要があるため一般的にＴＡＢテープを用いて製造される。
このＴＡＢテープを用いた電子部品（半導体装置）の一例を図４及び図５に示す。図において１は長尺の絶縁テープ１で、その巾方向中間位置で、長手方向に所定の間隔で矩形状の透孔１ａを穿設し、両側に一定間隔で送り孔１ｂを穿設している。
２は絶縁テープ１に積層した導電箔をエッチングして形成した導電パターンで、その一部が透孔１ａ内に延長されてインナリード２ａを形成し、絶縁テープ１上でアウタリード２ｂを形成し、絶縁テープ１と導電パターンとでＴＡＢテープ３を構成している。
４は矩形状の半導体ペレットで、一方の面に多数の電極（図示せず）が形成され、ＴＡＢテープ３の透孔１ａ内に配置されて、インナリード２ａに電気的に接続されている。
５は半導体ペレット４上に塗布された樹脂で、ペレット上の電極とインナリード２ａの接続部を被覆して保護している。
このＴＡＢテープ３のアウタリード２ｂの配列間隔は絶縁テープ１の巾方向の有効長さとリード数で決定され、インナリード２ａの配列間隔は半導体ペレット４の電極間隔で決定される。
そのためアウタリード２ｂのリードとリードの間隔が例えば２５μｍの電子部品では、インナリード２ａのリードとリードの間隔を７〜１０μｍに狭くせざるを得ず、リードがわずかでも変形すると短絡の虞があるため、ＴＡＢテープ３の取扱いには注意を要する。
この電子部品の製造装置を以下に説明する。図において、６は供給リールで、ＴＡＢテープ３にこのテープ３のインナリード２ａを保護する層間テープ７を重ねて巻き回している。
リール６、１１に巻き回されたＴＡＢテープ３は湾曲しインナリード２ａが曲がったり短絡する虞があり、また重なり合った絶縁テープ１上の導電パターン２が擦れ合って一部が剥離し異物を発生する虞があるが、表面が平滑でＴＡＢテープ３と接触した面が容易にずれても異物を発生しにくい材料を用いた層間テープ７により上記虞を解消している。
この層間テープ７はインナリード２ａと直接接触しないような構造にしたものも用いられる。
８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄは供給リール６から繰出されたＴＡＢテープ３をガイドする複数個の第１のガイドローラで、繰出されたＴＡＢテープ３の一部を水平にガイドしている。９はＴＡＢテープ３の水平移動経路に沿って配置された作業ポジションで、例えばＴＡＢテープ３の透孔１ａと重なる位置に半導体ペレット４を供給するペレット供給装置や半導体ペレット４とインナリード２ａとを接続するリードボンディング装置が配置されている。
１０ａ、１０ｂは供給リール６から繰出された層間テープ７をＴＡＢテープ３の移動経路上方でガイドする複数の第２のガイドローラ、１１は所定の作業が完了したＴＡＢテープ３と層間テープ７とを重ね合わせて巻き取る巻取リールを示す。
ＴＡＢテープ３は巻取リール１１の他に第１のガイドローラ８ｂ、８ｃを回転駆動することによって供給リール６から繰出されるが、供給リール６を制動し、第１のガイドローラ８ａ、８ｄを水平方向に揺動可能とすることによりＴＡＢテープ３に張力を与えて搬送経路上で弛まないようにしている。
１２ａ、１２ｂは供給リール６と巻取リール１１の間でＴＡＢテープ３の移動経路に沿って配置され周縁のエアをイオン化し除電するイオナイザ、１３ａ、１３ｂはイオナイザ１２によって除電されたＴＡＢテープ３上にエアを吹き付けるノズル、１４ａ、１４ｂはエアノズル１３ａ、１３ｂによって吹き飛ばされた異物を吸引除去するダクト、１５ａ、１５ｂはＴＡＢテープ３上の磁性異物を吸着除去する磁石を示す。
この装置によって半導体ペレット４が固定されたＴＡＢテープ３を巻き取ったリール１１はこの装置と同様の樹脂被覆工程に送られて、半導体ペレット４上が樹脂５にて被覆され、さらに電気的検査工程や切断工程に送られ個々の電子部品に分離される。
一方、図６に示す装置には回転部や摺動部があり、これらから不所望な異物が絶えず発生している。
導電性をもった異物が間隔が狭められたリードの上やリード間に付着すると耐電圧不良や短絡事故を生じ電子部品を不良にする。
また絶縁性の異物は耐電圧低下や短絡によって電子部品自体を損傷することはないが、リードの外部接続を損なったり電気的接続を不安定にすることがある。そのため、多数のリードを狭ピッチで配列した電子部品は清浄度の高い作業環境で製造され、製造装置の異物が発生する可能性がある部分にはカバーをして異物の飛散を抑え、電子部品の移動経路にはイオナイザ１２やエアノズル１３、吸引ダクト１４、磁石１５を配置してＴＡＢテープ３に付着した異物を除去し、ＴＡＢテープ３への異物の再付着を防止している。
電子部品の製造工程中で異物を除去するものは、図６に示すものの他、リードフレームにバイブレータを当てて振動させ付着した異物を振り落とすもの（特開昭５９−１０１８４４号公報：先行技術１）、底面にエア吹出口を開口させ、内部に超音波発生器を配置したエア排出室と、底面にエア吸引室を開口させたエア吸引室とを隣接配置したクリーナヘッドを移動するパネル上に配置し、超音波の乗ったエアをパネルに吹きつけ、パネル表面の異物とともにエア吸引室に吸引除去するもの（実開平５−８０５７３号公報：先行技術２）、先行技術２におけるエア吸引室の前後にエア排出室を配置した構造のもの（特開平７−６０２１１号公報：先行技術３）、回転軸を水平配置した回転体の周面にブラシを植設した回転ブラシロールをブラシの一部が下端から突出するように筒状体で囲み、筒状体下端から空気を吸引しつつブラシを回転させて機械的に剥離させた異物を筒状体内に吸引除去するもの（特開平１０−３０９５４１号公報：先行技術４）などが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところでＴＡＢテープ３は耐熱性や位置精度が要求されるためポリイミド樹脂などの強靱で伸縮性が小さい材料が用いられるのに対して、ＴＡＢテープ３を保護する層間テープ７は比較的軟らかい樹脂が用いられる。
一方、図７に示すように何らかの原因により供給リール６内でＴＡＢテープ３と層間テープ７の接触面間に異物Ａが入り込むと、この異物Ａはテープの巻き締めにより各テープ３、７に圧着される。
また制動された供給リール６からＴＡＢテープ３を繰出す際に、テープ３にかけた張力が内層の層間テープ７上の異物Ａに集中し、異物Ａは層間テープ７に食い込む。
このようにして層間テープ７に食い込んだ異物Ａは繰出されるＴＡＢテープ３の陰になって移動するため、イオナイザ１２やエアノズル１３、吸引ダクト１４などの影響を受けず、テープ７に上面に移動しそのまま巻取リール１１に巻き取られて再度ＴＡＢテープ３と接触する。
このとき各リール６、１１内でのＴＡＢテープ３の巻き径が異なるため、層間テープ７上の異物Ａにかかる力の大きさや方向が異なり強固に密着した異物Ａが剥離可能の状態となると、再度繰出されるテープから剥離してＴＡＢテープ上の不所望部分に付着することがあった。
また層間テープ７に静電吸着された異物も、ＴＡＢテープ３に再付着することがあり、特に配列間隔が数１０μｍ程度の微細なインナリード間に微細な異物が入り込むと、エアノズル１３の吹付圧を高めてもインナリード間の圧力を高めることができず異物を確実に除くことができないため層間テープ７上の異物も確実に除去することが望まれていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題の解決を目的として提案されたもので、長手方向に所定の間隔で微細な間隙が形成された第１のテープ状部材と第１のテープ状部材を保護する第２のテープ状部材とを重ねて巻回した供給リールから各テープ状部材を繰出し、移動経路上で所定の作業がなされた第１のテープ状部材に第２のテープ状部材を重ねて巻取リールに巻取るようにしたテープ状部材の搬送装置において、上記供給リールと巻取リール間に第２のテープ状部材をクリーニングする機構を配置したことを特徴とするテープ状部材の搬送装置を提供する。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明によるテープ状部材の搬送装置は、上記供給リールと巻取リール間に層間テープである第２のテープ状部材をクリーニングする機構を配置したことを特徴とするが、第２のテープ状部材をクリーニングする機構は、第２のテープ状部材の移動経路をはさんで対向配置され第２のテープ状部材の移動時に第２のテープ状部材を挟持する一対の払拭部と、払拭部に揮発性洗浄剤を定量供給して湿潤させる洗浄剤供給部とを備えたことを特徴とする。
第２のテープ状部材をクリーニングする機構の払拭部として、払拭部材を収容するとともに揮発性洗浄剤を収容する箱状の容器と、箱状容器の開口端から突出させた払拭部材を第２のテープ状部材に接離させる駆動機構とを備えたものを用いることができる。
この箱状部材は駆動機構に着脱自在とすることにより保守、点検が容易となる。
また本発明装置は第２のテープ状部材をクリーニングする機構と巻取リールとの間に、第２のテープ状部材の巻き取りテンションを一定にするテンショナを配置することができる。
【０００６】
【実施例】
以下に本発明の実施例を図１及び図２から説明する。図において図４と同一物には同一符号を付し重複する説明を省略する。本発明による装置は図４装置と同様に供給リール６から繰出されたＴＡＢテープ（第１のテープ状部材）３を第１のガイドローラ８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄでガイドして巻取リール１１に搬送し、ガイドローラ８ｂ、８ｃ間の移動経路に作業ポジション９を配置している。
ＴＡＢテープ３の移動経路に沿って周縁のエアをイオン化し除電するイオナイザ１２、イオナイザ１２によって除電されたＴＡＢテープ３上にエアを吹き付けるノズル１３、エアノズル１３ａ、１３ｂによって吹き飛ばされた異物を吸引除去するダクト１４、ＴＡＢテープ３上の磁性異物を吸着除去する磁石１５を配置し、作業ポジション９に供給され、所定の作業がなされて巻取リール１１に巻き取られるＴＡＢテープ３上から可能な限り異物を除去するようにしている。
また供給リール６から繰出された層間テープ（第２のテープ状部材）７は第２のガイドローラ１０ａ、１０ｂによりガイドされ、ＴＡＢテープ３に重ねられて巻取リール１１に巻き取られる。
そしてこの層間テープ７の移動経路に符号１６で示すクリーニング機構を配置している。
このクリーニング機構１６は、図２に示すように層間テープ７の移動経路をはさんで対向配置され層間テープ７の移動時に層間テープ７を挟持する一対の払拭部１７ａ、１７ｂと、アルコールなどの揮発性洗浄剤を収容したタンク１８、一端がタンク１８に接続され他端側が分岐されて払拭部１７ａ、１７ｂに接続されたパイプ１９、パイプ１９の中間に介挿されタンク１８内の洗浄剤を払拭部１７ａ、１７ｂに送るポンプ２０からなる洗浄剤供給部２１とを備えている。
さらに払拭部１７ａ、１７ｂは、図３に示すように払拭部材２２ａ、２２ｂを収容するとともに揮発性洗浄剤を収容する箱状の容器２３ａ、２３ｂと、箱状容器２３ａ、２３ｂの開口端から突出させた払拭部材２２ａ、２２ｂを層間テープ７に接離させる駆動機構２４ａ、２４ｂ、図示例ではシリンダを備えている。
このクリーニング機構１６の動作を以下に説明する。先ず、イオナイザ１２、ノズル１３、ダクト１４を動作させて、供給リール６からＴＡＢテープ３に接続されたリーダーテープ（図示せず）とともに層間テープ７を繰出し、それぞれの移動経路を通して巻取リール１１に重ねて巻き込む。
次にポンプ２０を動作させ、タンク１８から洗浄剤を各箱状容器２３ａ、２３ｂに送り込む。これにより払拭部材２２ａ、２２ｂの表面は湿潤する。
次にシリンダ２４ａ、２４ｂを動作させて、払拭部１７ａ、１７ｂで層間テープ７を挟持させる。
これにより払拭部材２２ａ、２２ｂは層間テープ７に密着し、洗浄剤が層間テープ７の両面に接触する。
この状態で搬送装置を動作させ、ＴＡＢテープ３を間欠送りして、その上に所定の作業を行なう。
このＴＡＢテープ３の移動と連動して層間テープ７も間欠送りされるが、層間テープ７の表面に付着、圧着された異物は払拭部材２２ａ、２２ｂに引っ掛かり機械的に剥離され、払拭部材２２ａ、２２ｂ内に閉じ込められる。
この時、払拭部材２２ａ、２２ｂから滲み出した洗浄剤が異物と層間テープ７上の付着面に入り込み、異物の剥離を容易にするとともに層間テープ７への異物の再付着を防止することができる。
このように本発明による装置は層間テープ７に付着または圧着した異物を確実に除去でき、再付着を防止できるため、巻取リール１１に巻き取られたＴＡＢテープ３上への異物の持ち込みを防止できる。
尚、本発明は上記実施例にのみ限定されるものではなく、払拭部１７ａ、１７ｂの箱状部材２３ａ、２３ｂは図３に示すように、駆動機構２４に着脱自在とすることができる。
図示例では、駆動機構２４に支持枠２５を取り付け、この支持枠２５と箱状部材２３ａの対向部に磁石（図示せず）を取り付け、この磁石により保持することができる。
これにより払拭部１７ａ、１７ｂの保守、点検が容易となる。
また、ガイドローラ１０ｂと巻取リール１１の間に層間テープ７のテンションを一定にするテンショナを配置することができる。
これにより間欠送りされる層間テープ７の払拭部１７ａ、１７ｂ間の移動をスムーズにでき、間欠動作開示時に層間テープ７にかかる衝撃を和らげ、層間テープ７と払拭部１７ａ、１７ｂの接触を安定にすることができる。
また本発明はＴＡＢテープだけでなく、微細な間隙を有し微細な異物が問題となるテープに適用でき、このテープと層間テープとを重ねてリールに巻き回し再度巻取リールに巻き取る装置一般に適用できる。
【０００７】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、微細な間隙を有する第１のテープ状部材の層間に挿入されてリールに巻き回される第２のテープ状部材に付着あるいは圧着した微細な異物を確実に除去でき、リールに巻き取られた第１のテープ状部材上への異物の持ち込みを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例を示すテープ状部材の搬送装置を示す正面図
【図２】  図１装置のクリーニング機構を示す要部正断面図
【図３】  図２に示す機構の要部を示す拡大斜視図
【図４】  ＴＡＢテープを用いた半導体装置を示す要部斜視図
【図５】  図４半導体装置の側断面図
【図６】  図４半導体装置を製造するためのＴＡＢテープ搬送装置の正面図
【図７】  リールに巻回したテープ間に異物を巻き込んだ状態を示す側断面図
【符号の説明】
３  第１のテープ状部材（ＴＡＢテープ）
７  第２のテープ状部材（層間テープ）
６  供給リール
１１  巻取リール
１６  クリーニング機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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