(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦性を持たせて保持する必要のある対象物を保持する対象物保持装置において、
基台と、
上記基台に設けられて、対象物一の面の一端側を面接触して支えるための第１の支持手段と、
上記基台に設けられて、上記対象物の一の面の他端側を線状に接触して支える第２の支持手段と、
上記対象物の一の面の一端側と他端側の間の位置を、弾性的に着脱可能に吸着して保持する吸着手段とを備え、
上記第２の支持手段は、上記対象物の一の面の他端側を線状に接触して支える半円柱形の支持部材と、この支持部材の位置を上記基台において変更可能に固定する固定部材とを備えることを特徴とする対象物保持装置。
【請求項２】
上記対象物は、液晶表示パネルである請求項１記載の対象物保持装置。
【請求項３】
上記吸着手段は、対象物を密着して吸引するための吸着パッドと、対象物を吸着パッドで吸引するための真空吸引源とを備える請求項１記載の対象物保持装置。
【請求項４】
上記基台は、対象物を移動するために、少なくとも一軸に沿って移動して位置決め可能である請求項１記載の対象物保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路基板や液晶表示パネルのような対象物を平坦性を持たせて保持するための対象物保持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品、たとえば所謂ベアチップのような部品は、対象物である液晶表示パネル等に対して装着することがある。液晶表示パネルに装着されるベアチップは、たとえば駆動ＩＣであり、このような電子部品は部品装着装置を用いて液晶表示パネルの所定位置に対して装着し、電子部品を液晶表示パネルの所定の配線パターンに対して異方性導電膜を介して熱圧着により電気的に接続する。
このように、電子部品が異方性導電膜を介して液晶表示パネルの配線パターンに対して熱圧着する場合には、電子部品と液晶表示パネルの平行度が問題になる。この理由としては、異方性導電膜の厚みが数十μｍ程度と非常に薄いために、液晶表示パネル１が平坦性を持たせてテーブルに対して保持されていないと、電子部品のバンプ（突起電極）が、異方性導電膜を介して確実に液晶表示パネルの配線パターンに対して接続できないからである。
そこで、従来では図１５に示すように液晶表示パネル３００がテーブル４００の真空吸引部材５００により真空吸引することで、液晶表示パネル３００がテーブル４００に対して保持するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このように、液晶表示パネル３００が真空吸引部材５００で真空吸引して保持する形式では、液晶表示パネル３００の一部分が強く真空吸引されるので、その液晶表示パネル３００の偏光板３０１に対してニュートンリングが発生してしまうという問題がある。しかも液晶表示パネル３００の偏光板３０１はその厚みのばらつきがあり、真空吸引部材５００で液晶表示パネル３００の偏光板３０１を所謂面吸着する方式では、その偏光板の厚みのばらつきの影響を受けるので、液晶表示パネル３００の基板３０２の平行度（平坦性）を上手く出すことができない。従って、基板３０２に対して電子部品を取付けた後に、偏光板３０１を基板３０２に貼り付けるという面倒な作業が必要である。
そこで本発明は上記課題を解消し、液晶表示パネルのような対象物を平坦性を持たせて確実に保持することができる対象物保持装置を提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、本発明は、平坦性を持たせて保持する必要のある対象物を保持する対象物保持装置において、基台と、上記基台に設けられて、対象物一の面の一端側を面接触して支えるための第１の支持手段と、上記基台に設けられて、上記対象物の一の面の他端側を線状に接触して支える第２の支持手段と、上記対象物の一の面の一端側と他端側の間の位置を、弾性的に着脱可能に吸着して保持する吸着手段とを備え、上記第２の支持手段は、上記対象物の一の面の他端側を線状に接触して支える半円柱形の支持部材と、この支持部材の位置を上記基台において変更可能に固定する固定部材とにより構成したものである。
【０００５】
本発明では、第１の支持手段が、対象物の一の面の一端側を支える。第２の支持手段が対象物の一の面の他端側を面接触して支える。これに対して、第２の支持手段は対象物の一の面の他端側を線状に接触して支える。このような状態で吸着手段は、対象物の一の面の一端側と他端側の間の位置を着脱可能に吸着して保持する。従って、対象物の一の面の一端側は第１の支持手段で面接触して倣うようにして支持され、かつ対象物の一の面の他端側が第２の支持手段により線状に接触して支持されているので、対象物は第１の支持手段の平面度を高めるだけで、第２の支持手段を第１の支持手段の面に合せて調整すれば、対象物の平坦度を正確に出すことができる。つまり、対象物の他端側が第２の支持手段に対して線状に接触しているので、対象物の平坦性の調整は、第２の支持手段を第１の支持手段に対して調整するだけで行うことができる。そして、吸着手段は、第１の支持手段と第２の支持手段において保持された対象物が動かないように弾性的にしかも対象物を保持する際の歪を発生させずに保持できる。このように保持された対象物に対して、部品を装着する場合であっても、対象物は平坦性を保持したまま固定される。
【０００６】
本発明では、第２の支持手段と吸着手段が、基台において位置を変更できるので、液晶表示パネルのサイズが変わったりあるいは液晶表示パネルの支持方向が変わったとしてもそれに対応できる。
本発明では、第２の支持手段が、対象物の他端側を線状に接触して支えるために、半円柱形の支持部材となっており、この支持部材は基板に対して位置を変更できる。このようにすることで、対象物のサイズが変わったりあるいは対象物の保持する方向が変わってもそれに対応することができる。吸着手段が弾性的に対象物を着脱可能に吸着する方式としては、吸着パッドを用いることにより、対象物の形状が変わっても、弾力的に対応して確実に吸着保持することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
図１と図２は、本発明の対象物保持装置を有する部品装着装置の好ましい実施の形態を示している。この部品装着装置１０は、ベース１１、ヘッド移動手段３０、電子部品供給部１６、保持ヘッド（ツール）２０、ステージ（対象物保持手段）４０等を有している。
ベース１１は、ヘッド移動手段３０、電子部品供給部１６、カメラ１７、ステージ４０等を支持している。
【０００８】
図１のヘッド移動手段３０は、保持ヘッド２０をＸ方向に移動する移動手段である。ヘッド移動手段３０は、支柱９とこの支柱９に保持されたガイド部材１２を備えている。ガイド部材１２のモータＭは、送りネジ１２ａ有しており、送りネジ１２ａは、電子部品搬送装置１３のナット１３ａに噛み合っている。従って、モータＭを作動して送りネジ１２ａを回転することで、電子部品搬送装置１３はＸ方向に移動して位置決め可能である。
電子部品搬送装置１３は、上述した保持ヘッド２０を備えており、モータＭ３を作動することにより、ｒ方向に可動体２２をインデックスすることができる。この可動体２２は、保持ヘッド２０を着脱可能に保持している。電子部品搬送装置１３はモータＭ２とカメラ１４を備えている。モータＭ２を作動することで、可動体２２とその保持ヘッド２０は、Ｚ方向に移動して位置決め可能である。
【０００９】
図１と図２のステージ４０は、ガイドレール４１，４１に沿って移動可能になっており、モータＭ４を作動することで、送りネジ４２が回転するので、ステージ４０はガイドレール４１に沿ってＹ方向に移動して位置決め可能である。ステージ４０は、対象物であるたとえば液晶表示パネルあるいはプリント配線板を載せるものであり、たとえばこの実施の形態では対象物は液晶表示パネル１９である。なお上述した図１のＸ，Ｙ，Ｚ方向は互いに直交している。
【００１０】
これによって、電子部品搬送装置１３の保持ヘッド２０は、あらかじめ電子部品供給部１６に供給されている電子部品ＰＡを吸着保持して、Ｘ方向に移動し、カメラ１７でその電子部品ＰＡの吸着姿勢を撮像することにより、制御部１００は保持ヘッド２０に保持されている電子部品ＰＡの吸着姿勢を認識する。
そして電子部品搬送装置１３がＸ方向に移動して、電子部品搬送装置１３に設けられているカメラ１４によって、液晶表示パネル１９のパターン上のアライメントマーク（図示せず）を認識することにより、液晶表示パネル１９の上の電子部品装着位置を確認する。これにより、電子部品搬送装置１３の保持ヘッド２０が、液晶表示パネル１９の所定の装着位置に対して電子部品ＰＡを装着するようになっている。
【００１１】
図３は、図１のステージ４０と、電子部品搬送装置１３等を示している。
電子部品搬送装置１３の可動体２２は、保持ヘッド２０を交換可能に保持している。保持ヘッド２０の部品保持面２０ａは、真空吸引源７７の作動により、電子部品１８を着脱可能に吸着保持できる。一方、ステージ４０は液晶表示パネル１９を、真空吸引源７７の作動で吸着保持できる。
この保持ヘッド２０の部品保持面２０ａの中央部には吸引通路が形成されており、真空吸引源７７に接続されている。この部品保持面２０ａは、たとえば下側から見て長方形状の平坦面である。
【００１２】
図３の可動体２２は、モータＭ２により矢印Ｚ方向に移動して位置決めできる。このモータＭ２は、たとえばステッピングモータである。モータＭ２の回転位置（回転角）は、エンコーダ６３により測定することができる。このエンコーダ６３によりデジタル的に測定されたモータＭ２の回転位置は、可動体２２と保持ヘッド２０の矢印Ｚ方向の位置のエンコード値として、制御部１００に送ることができる。
図３において、モータＭ４は、上述したようにステージ４０を、Ｙ方向に移動して位置決めするものであるが、このモータＭは、エンコーダ１８５により、その回転位置（回転角）を検出できるようになっている。エンコーダ１８５がデジタル的に検出したモータＭ４の回転位置、すなわちステージ４０のＹ方向に関する位置は、制御部１００に対して送ることができる。
【００１３】
加熱用電源１３０は、ヒータＨに加熱用の電力を供給するようになっている。このヒータＨは、保持ヘッド２０に設けられており、保持ヘッド２０の部品保持面２０ａを加熱するようになっている。部品保持面２０ａは、たとえば工業用ダイアモンドにより作ることができる。
なお、制御部１００は、図１と図３に示すように、モータＭ，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４、真空吸引源７７、加熱用電源１３０を制御することができる。またエンコーダ１８５，６３のエンコード値は制御部１００に与えることができる。
【００１４】
ここで、図４を参照して、対象物である液晶表示パネル１９を説明する。
図４の対象物である液晶表示パネル４は、ガラス製の基板４ａ、対向ガラス４ｂ、２枚の偏光板４ｃ，４ｄを積層して形成されている。基板４ａと対向ガラス４ｂの間には液晶が封入されている。
偏光板４ｃ及び４ｄは、バックライトからの光を一定の方向に向ける機能を有している。
基板４ａは、対向ガラス４ｂ、偏光板４ｃ，４ｄの大きさよりも大きくなっており、対向ガラス４ｂの側方へはみ出た基板４ａの部分は、電子部品を装着する回路部分４ｅである。この回路部分４ｅは、４辺のうち２辺の部分に突出しており、たとえば駆動用のＩＣである電子部品ＰＡ１，ＰＡ２，ＰＡ３が、回路部分４ｅの配線パターンＦＰに対して電気的に接続する必要がある。この配線パターンＦＰと、ファインピッチの透明導電膜の配線パターンであり、配線パターンの導体間の間隔は非常に狭いものである。
【００１５】
図４に示す電子部品ＰＡ（ＰＡ１，ＰＡ２，ＰＡ３）は、回路部分４ｅの配線パターンＦＰに対して異方性導電膜ＡＣＦを介して、突起電極であるバンプＢＰを用いて電気的に接続するようになっている。
異方性導電膜ＡＣＦは、たとえば球状の導電粒子ＤＴの周囲に絶縁性の材質部分ＤＳで被覆したものであり、バンプＢＰを上方から熱圧着（加熱しながらの加圧）することで、この絶縁部分ＤＳが破れて、導電体ＤＴは表出することができるので、バンプＢＰと配線パターンＦＰがこの導電体ＤＴにより電気的に接続できる。
【００１６】
図５と図６は、図１と図２に示すステージ４０を示している。このステージ４０は本発明の対象物保持装置である。ステージ４０は、基台２１０、第１の支持手段２１２、第２の支持手段２１４、吸着手段２１６等を備えている。
まず第１の支持手段２１２は、たとえば透明の石英ガラス製であり基台２１０と一体になっている。この第１の支持手段２１２の支持面２２０は、平坦性（平面性）が確保された平面であり、液晶表示パネル１９の回路部分４ｅを面接触で支持する役目を有している。この支持面２２０は、この実施の形態では上方から見て長方形状になっている。第１の支持手段２１２は、基台２１０の一端側に垂直方向に突出して設けられている。基台２１０は、その上面に位置決め用の穴２２１がＸ，Ｙ方向に複数個設定されている。
【００１７】
第２の支持手段２１４は、図５、図６及び図８に示すような形状となっている。つまり第２の支持手段２１４は、支持部材（受台）２２５、固定部材（受台下部）２２６及び複数個のビス２２７を有している。支持部材２２５は、ほぼ半円柱形状を有しており、例えばジュラルミンなどの硬度が高く精度の出る材料により作られている。
その支持部材２２５の軸方向の頂点部分は、図５あるいは図６に示すように液晶表示パネル１９の偏光板４ｄの下面を、線状に接触して支える部分である。この線状に接触して支える部分を、図８では直線Ｌで図示している。
図８の支持部材２２５は、ビス２２７を用いて固定部材２２６に固定できる。但し、支持部材２２５は、ねじ２２７で固定部材２２６に固定する場合に、所定の厚みのワッシャのようなスペーサ２２９を用いることができる。このスペーサ２２９は、支持部材２２５の頂点部分２２５ａ（ラインＬで示している）を、図５あるいは図６の第１の支持手段２１２の支持面２２０とを平行にする役目を果たす。図９のように、図８のラインＬのステージ４０からの高さＨ（図１０参照）は、ステージ４０からの高さＨ１に対して偏光板４ｄの厚み分低くなっている。
【００１８】
図５あるいは図６のねじ２２７を緩めることで、固定部材２２６は、基台２１０のいずれかの位置決め用の穴２２１に対して固定することができる。つまり、第２の支持手段２１４は、基台２１０の必要とする位置にその固定場所を変更して設定することができる。第２の支持手段２１４は、第１の支持手段２１２に近づく方向あるいは遠ざかる方向に、しかも第２の支持手段２１４を第１の支持手段２１２に平行になるように位置決めして固定することができる。
【００１９】
次に、図５と図６の吸着手段２１６について説明する。
吸着手段２１６は、図５と図６の図示例では基台２１０の上に４つ設定されている。吸着手段２１６は、図７に示すような構造である。吸着手段２１６は、ゴム製の吸着パッド２３０、固定部材２３１を備えており、ビス２３３は吸着パッド２３０の本体２３５を固定部材２３１に対して固定できるようになっている。この場合にも、所定の厚みのワッシャのようなスペーサ２３７を設定することで、固定部材２３１に対する吸着パッド２３０の高さを調整することができる。
ビス２３４は、固定部材２３１を、図５の基台２１０の位置決め用穴２２１に固定するようになっている。
【００２０】
吸着パッド２３０は上述したようにゴム製であり、図５のように液晶表示パネル１９の偏光板４ｄの下面を吸着することができる。この吸着パッド２３０は、ホース２３９を介して図５の真空吸引源７７に接続されている。従って真空吸引源７７を作動すると、図５では４つの吸着手段２１６の吸着パッド２３０が偏光板４ｄの下面を吸着してしっかりと固定できる。
このように吸着パッド２３０がゴムで作られているように弾性的に変形できるようにしているのは、次の理由からである。すなわち、液晶表示パネル１９の偏光板４ｄの厚さには、誤差があるので、それに対応するために、偏光板４ｄの厚みが厚くなったりあるいは薄くなったとしても、確実に偏光板４ｄの下面側を吸着できるようにするためである。
【００２１】
次に、図５と図９を参照して、ステージ４０への液晶表示パネルの設定例を説明する。
図５と図９を参照すると、液晶表示パネル１９の一方の回路部分４ｅが、第１の支持手段２１２の支持面２２０に対して面接触で支持される。一方、液晶表示パネル１９の他端側の偏光板４ｄは、第２の支持手段２１４により、線状（線受ともいう）で接触して支持されている。
このような状態では、第２の支持手段２１４の支持部材２２５の頂点部分２２５ａから基台２１０の上面までの高さＨは、第１の支持手段２１２の支持面２２０の基台２１０に対する高さＨ１よりも、偏光板４ｅの厚みＤ分小さく設定されている。
このようにすることで、液晶表示パネル１９は、ステージ４０の基台２１０の上面２１０ａに対して平行に設定できる。しかも、吸着手段２１６の各吸着パッド２３０が、液晶表示パネル１９の一端側である回路部分４ｅから他端側である偏光板４ｄの端部の間のほぼ中間位置を、真空吸引することができる。
従って液晶表示パネル１９は、基台２１０の上面２１０ａに対して平坦度を保ったまま（基台２１０の上面２１０ａに平行を保った状態）、しかも確実に吸着手段２１６により移動しないように保持することができる。
【００２２】
次に、図１と図２の部品装着装置の動作及び図５と図６の対象物保持装置の動作について簡単に説明する。
図１の部品装着装置が、液晶表示パネル１９に対して図４に示すような駆動ＩＣのような電子部品ＰＡ（ＰＡ１，ＰＡ２，ＰＡ３）を装着する場合を考える。
この場合に、液晶表示パネル１９はまず図５のように、比較的面積の小さい側の回路部分４ｅが、第１の支持手段２１２の支持面２２０に面接触で支持されるとともに、偏光板４ｄの端部が第２の支持手段２１４の支持部材２２５により線状に接触するようにして支持される。そして真空吸引源７７が作動すると、４つの吸着パッド２３０が、偏光板４ｄの下面を吸着してしっかりと保持する。これにより液晶表示パネル１９は、支持面２２０、支持部材２２５及び吸着パッド２３０により確実に保持され、液晶表示パネル１９は基台２１０の上面２１０ａと平行に、つまり平坦性を持って保持される。
【００２３】
次に、保持ヘッド２０の図３に示す吸着面２０ａは、ステージ４０の基台２１０の上面と平行にする必要がある。
図１の真空吸引源７７を作動して、保持ヘッド２０を吸引状態として、保持ヘッド２０を電子部品供給部１６に位置決めする。これにより、電子部品供給部１６の電子部品ＰＡが、保持ヘッド２０に吸着される。そして電子部品ＰＡを吸着した保持ヘッド２０は、図１のカメラ１７でその電子部品ＰＡの姿勢を撮像する。そして電子部品搬送装置１３が、保持ヘッド２０を液晶表示パネル１９側に移動する。
この時に、カメラ１７が電子部品ＰＡの姿勢を撮像した結果に基づいて、モータＭ３が作動して電子部品ＰＡの向きを正しくする。そして図１のカメラ１４が液晶表示パネル１９のアライメントマーク（図示せず）を検出して、図１のモータＭ２を作動することで、電子部品ＰＡは液晶表示パネル１９の所定の位置に対して装着することになる。この液晶表示パネル１９の所定位置とは、図２に示すような信号供給用電極部６１ｇの近くの箇所である。
【００２４】
図４に示すように、電子部品ＰＡが液晶表示パネル１９のそれぞれの位置に電気的に接続される場合には、電子部品ＰＡのバンプ（突起電極）ＢＰが、異方性導電膜ＡＣＦを介して、回路部分４ｅの配線パターンＦＰに対して電気的に接続される。この場合に図３に示すように保持ヘッド２０はヒータＨを有しており、ヒータＨが加熱用電源１３０の作動により保持ヘッド２０を加熱することで、電子部品ＰＡは加熱されかつ電子部品ＰＡは加圧されるので、この結果異方性導電膜ＡＣＦの導体ＤＴの被覆ＤＳが破れて、導電粒子ＤＴが、電子部品ＰＡのバンプＢＰと、回路基板４ｅの配線パターンＦＰを電気的に接続することができる。
このように電子部品ＰＡは、回路部分４ｅに対して加熱して加圧する（熱圧着）のであるが、この場合であっても、図５と図６に示すように液晶表示パネル１９は、支持面２２０、支持部材２２５及び吸着パッド２３０により弾性的に支持されかつ固定され、平坦性も保持されているので、電子部品ＰＡは回路部分４ｅに対して確実に固定して電気的接続を達成することができる。
【００２５】
ところで、図４の電子部品ＰＡ１が図５の比較的小さい領域の回路部分４ｅに装着された後、次に図４の比較的広い側の回路部分４ｅに対して２つの電子部品ＰＡ２，ＰＡ３を装着する。
この場合には、液晶表示パネル１９は図５の状態から図６の状態にその向きを変更する。つまり真空吸引源７７の作動を一時停止して、吸着パッド２３０の吸着を解除し、液晶表示パネル１９の向きを９０度反時計方向に回す。つまり比較的広い部分の回路部分４ｅが支持面２２０に面接触で支持されるとともに、偏光板４ｄの別の端部が支持部材２２５により線状に接触して支持される。この状態において、再び真空吸引源７７が作動して吸着パッド２３０が偏光板４ｄの下面を弾性的に吸着することができる。
【００２６】
ところで、吸着手段２１６のホース２３９は、図５と図６に示すように、支持部材２２５の穴２２５ｈを通すことで真空吸引源７７に簡単に接続することができる。
また、液晶表示パネル１９の大きさに応じて、第２の支持手段２１４の位置及び吸着手段２１６の位置は、基台２１０の上面２１０ａにおいてずらして再度固定することができる。
【００２７】
次に、図１１〜図１３を参照して本発明の対象物保持装置の別の実施の形態を説明する。
図１１〜図１３の対象物保持装置であるステージ４４０は、基台２１０、第１の支持手段４１２、第２の支持手段４１４、そして吸着手段４１６を備えている。
第１の支持手段４１２は、図５の第１の支持手段２１２と同じものであり、たとえば石英ガラス等の透明体で作られている。第２の支持手段４１４は、図５の第２の支持手段２１４と同様の構造である。
【００２８】
ところが、吸着手段４１６は、図５の吸着手段２１６とは構造が異なっている。この吸着手段４１６は、吸着部４１７、固定部材４１８、スプリング４１９等を有している。吸着部４１７は、複数の吸引用の穴４１７ａを有している。吸着用の穴４１７ａは、真空吸引源７７に接続されており、真空吸引源７７が作動すると、吸着部４１７は液晶表示パネル１９の偏光板４ｄの下部を弾性的に吸着することができる。吸着部４１７の特徴的な点は、その長さＬ１に対してその幅Ｌ２が小さいことである。この吸着部４１７の長手方向は、第１の支持手段４１２と第２の支持手段４１４の方向とは直交する方向に配置されている。このようにすることで、吸着手段４１６の上面が、液晶表示パネル１９の偏光板４ｄの下部の面を吸着するときの面どうしの吸着をスムーズに行えるという効果がある。
【００２９】
図１２に戻ると、吸着部４１７は、スプリング４１９を介して固定部材４１８に対して弾性的に支持されている。しかも、固定部材４１８はガイド４３０を備えており、吸着部４１７は、ガイド４３０，４３０により、スプリング４１９のばね力に抗してＺ方向に案内可能である。固定部材４１８は、ネジ等により、基台２１０に対して固定しかつ移動して位置決めして、再度固定することも可能である。
【００３０】
ところで本発明は上記実施の形態に限定されない。
上述した実施の形態では電子部品として、液晶表示パネル用の駆動ＩＣ（ドライバーＩＣ）が用いられており、対象物は液晶表示パネルである。しかしこれに限らず、他の電子部品を他の種類の対象物に対して装着する場合にも、本発明の対象物保持装置が適用できる。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、液晶表示パネルのような対象物を平坦性を持たせて確実に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の対象物保持装置を備える部品装着装置の好ましい実施の形態を示す斜視図。
【図２】図１の部品装着装置の対象物保持装置の付近を示す拡大斜視図。
【図３】対象物保持装置の付近を拡大して示すブロック図。
【図４】対象物である液晶表示パネルの一例を示す斜視図。
【図５】液晶表示パネルを平坦性を以て保持している対象物保持装置を示す斜視図。
【図６】液晶表示パネルの保持方向を変更した状態を示す図。
【図７】吸着手段の一例を示す斜視図。
【図８】第２の支持手段の一例を示す斜視図。
【図９】対象物保持装置により保持された状態を示す液晶表示パネルの側面図。
【図１０】第２の支持手段を示す側面図。
【図１１】本発明の対象物保持装置の別の実施の形態を示す側面図。
【図１２】図１１の対象物保持装置を拡大して示す側面図。
【図１３】図１２の対象物保持装置の一部を示す平面図。
【図１４】図１２の吸着手段を示す斜視図。
【図１５】従来の対象物保持装置の一例を示す断面図。
【符号の説明】
１９・・・液晶表示パネル（対象物）、４０・・・ステージ（対象物保持装置）、２１０・・・基台、２１２・・・第１の支持手段、２１４・・・第２の支持手段、２３０・・・吸着手段
【図１】
0003755186.tif 000002
【図２】
0003755186.tif 000003
【図３】
0003755186.tif 000004
【図４】
0003755186.tif 000005
【図５】
0003755186.tif 000006
【図６】
0003755186.tif 000007
【図７】
0003755186.tif 000008
【図８】
0003755186.tif 000009
【図９】
0003755186.tif 000010
【図１０】
0003755186.tif 000011
【図１１】
0003755186.tif 000012
【図１２】
0003755186.tif 000013
【図１３】
0003755186.tif 000014
【図１４】
0003755186.tif 000015
【図１５】
0003755186.tif 000016