(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハンドラのチェンバーに設置されて、回転中心軸にカップリングで連結されたシャフトが内側に設置されるケースの両端にそれぞれ設置される複数個のベアリングハウジングからなるファン装置において、
第１ガイド溝が形成された第１ハウジングと；
前記第１ハウジングに収容されてその内側にスライディング可能に構成された第２ハウジングと；
前記第２ハウジングの内側に設置されて、前記シャフトを支持するベアリングと；
前記ベアリングの両側面に設置されてベアリングを支持するラビリンスと；
前記第１ハウジングに挿設された第１ハウジングをカバーするプッシュカバーと、から構成されて、
温度変化によって前記シャフトの長さが可変される場合に、前記第２ハウジングが前記第１ハウジングの内側の前記第１ガイド溝に沿って移動されることを特徴とするファン装置。
【請求項２】
前記第１ガイド溝は第１ハウジングの内周面に複数個が互いに対称されるように形成されることを特徴とする請求項１に記載のファン装置。
【請求項３】
第２ハウジングは第１ハウジングの複数個の第１ガイド溝に対向してその外周面に複数個の第２ガイド溝が形成されることを特徴とする請求項１に記載のファン装置。
【請求項４】
前記複数個の第１ガイド溝と複数個の第２ガイド溝には複数個のキーがスライディング可能に挿設されることを特徴とする請求項３に記載のファン装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明はハンドラチェンバー用ファン装置に係るもので、特にハンドラ（handler）のチェンバー（chamber）に適用されたファン装置の温度変化によるファンまたはシャフトの変形を吸収することができるハンドラチェンバー用ファン装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体部品の電気的特性をテストするためにハンドラが用いられる。ハンドラはベースフレーム（base frame）上にエレベ−タ−／トレイトランスファ（elevator／tray transfer）、Ｘ−Ｙロボット、交換装置であるエクスチェンジャ（exchanger）、チェンバーがそれぞれ設置され構成される。半導体部品が積載されるトレイはエレベータ／トレイトランスファに移動された後トレイに積載された半導体部品はＸ−Ｙロボットによって配列装置であるアライナ（aligner）に移動される。アライナに移動された半導体部品はエクスチェンジャによってテストトレイ（test tray）に移された後、チェンバーに移動されテストされる。
【０００３】
チェンバーはプレヒーター（pre heater）、テスト サイト（test site）及びデフロスター（defroster）からなる。プリーヒーターはテスト トレイに積載された半導体部品を予熱させて、テストサイトは高温及び低温状態でプリヒーターを通過したテストトレイに積載された半導体部品の電気的特性を検査する。テスト サイトで半導体部品のテストが完了されると完了されたテストトレイはデフロスターに移動された後デフロスターで半導体部品の温度を常温にした後排出させる。
【０００４】
チェンバーで半導体部品の電気的特性をテストするため前述したようにチェンバーの内部の温度を調節するためチェンバーの内側にファン装置が具備される。ファン装置の構成を図面の図５を用いて説明する。
【０００５】
図５は従来のハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の斜視図である。図示されたように、ファン装置は回転電動機１、カップリング２、シャフト３、ケース４及びベアリングハウジング５からなる。
回転電動機１はチェンバー（図示せず）の外側に設置されてチェンバーの内側に設置された回転電動機１の回転中心軸１ａにはカップリッグ２を用いてシャフト３が連結設置される。シャフト３はケース４の内側に設置されて、ケース４の両端にはそれぞれベアリングハウジング５が設置された状態でケース４の内側にはグリースが充填される。またケース４の内側に設置されたシャフト３にはセンサードッグ（sensor dog）６ａ及びセンサーブレーク（sensor break）６ｂが設置されシャフト３を停止させるため用いられる。
【０００６】
前記グリースが充填されたケース４はチェンバーの内側に設置されるのでチェンバーの温度変化を直接的に受ける。従って、チェンバーの内部は半導体部品を高温／低温でテストすることによりケース４の温度変化が厳しくなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、このようにケース４の温度変化が厳しくなるとケース４の内側に設置されたシャフト３の長さが変わるのでファン装置の軸方向に熱応力が発生されてこれによってベアリングハウジングが破損されてファン装置の機能を行うことができない問題点がある。
【０００８】
そこで、本発明の目的はハンドラで半導体部品をテストするため高温及び低温状態を随時（よく）変化させるチェンバーの内側に装着されたファン装置の温度変化によってファン装置の軸方向に発生される長さの変形を吸収することができるファン装置を提供するにある。
【０００９】
本発明のまた他の目的はファン装置の温度変化による変形を吸収することによってファン装置の軸方向に発生される熱応力によるベアリングハウジングの破損を防止することができるファン装置を提供するにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため本発明のファン装置は第１ガイド溝が形成された第１ハウジングと、前記第１ハウジングに収容されてその内側でスライディング可能に構成された第２ハウジングと、前記第２ハウジングの内側に設置されて、前記シャフトを支持するベアリングと、前記ベアリングの両側面に設置されベアリングを支持するラビリンスと、前記第１ハウジングに挿設された第２ハウジングをカバーするプッシュカバーと、から構成されて、温度変化によって前記シャフトの長さが可変される場合に、前記第２ハウジングが前記第１ハウジングの内側の前記第１ガイド溝に沿って移動されることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳しく説明する。
図１は本発明によるハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の斜視図で、図２は図１に示したベアリングハウジングの分離組み立て斜視図である。図に示すように、回転電動機１０の回転中心軸１１にカップリング２０で連結されたシャフト３０が内側に設置されるケース４０の両端にそれぞれ設置される複数個のベアリングハウジング６０と、複数個のベアリングハウジング６０の中いずれか一つはシャフト３０を支持するベアリングハウジング６０が設置される第２ハウジング６１と第２ハウジング６１の外側を支持する第１ハウジング６２からなりシャフト３０の温度変化によって長さが可変される場合に第２ハウジング６１が第１ハウジング６２の内側に沿って移動されるように構成される。
【００１２】
本発明の構成及び作用をより詳しく説明する。
本発明のファン装置は図１に示したように回転電動機１０、カップリング２０、シャフト３０、ケース４０及び複数個のベアリングハウジング６０からなり、ベアリングハウジング６０の一端にセンサードッグ５１及びセンサーブレーク５２が設置される。回転電動機１０の回転中心軸１１にはカップリング２０を用いてシャフト３０が連結設置される。カップリング２０によって回転中心軸１１に連結されたシャフト３０はケース４０の内側に設置されて、シャフト３０の外周面にファン（図示せず）が設置される。
【００１３】
シャフト３０がケース４０の内側に設置されるとともにケース４０の両端に複数個のベアリングハウジング６０が設置されるとグリースを充填させた後栓６７７で密封する。この状態でファン装置はチェンバー（図示せず）の内側に設置された状態で作動する。チェンバー内部で作動されるファン装置が厳しい温度変化を受けてケース４０の内側に設置されたシャフト３０またはシャフト３０に設置されたファンの長さが変わる。
【００１４】
シャフト３０またはファンの長さが変わるとファン装置の軸方向に熱応力が発生されて、この熱応力によってケース４０の両端に設置されたベアリングハウジング６０の中いずれか一つは微細に押される。ケース４０の両端に設置されたベアリングハウジング６０の中いずれか一つが押し出されるとファン装置の機能が停止されるのでこれを防止するため本発明ではケース４０の両側端に設置されたベアリングハウジング６０の中いずれか一つのベアリングハウジング６０を第２ハウジング６１と第１ハウジング６２を持つ二重構造で設置する。
【００１５】
第２ハウジング６１と第１ハウジング６２を持つ二重構造のベアリングハウジング６０を図２を用いて説明する。図２に示したようにケース４０の両端に設置された複数個のベアリングハウジング６０の中いずれか一つを第２ハウジング６１と第１ハウジング６２の持つ二重構造を持つようにして第２ハウジング６１はシャフト３０を支持するベアリングハウジング６０を設置して、ベアリングハウジング６０が設置された第２ハウジング６１を第１ハウジング６２が支持するように設置する。シャフト３０の温度変化によって長さが可変される場合に第２ハウジング６１が第１ハウジング６２の内側に沿って移動されるように設置する。
【００１６】
シャフト３０の長さ変化によって第２ハウジング６１が第１ハウジング６２の内側に沿って移動されるように設置するためベアリンハウジング６０は大きく第２ハウジング６１、第１ハウジング６２、キー６３、ベアリング６４、ラビリンス（labyrinth）６５及びプッシュカバー（push cover）６６からなる。ベアリング６４はケース４０の内側に設置されたシャフト３０を支持して、ベアリング６４の両側面にそれぞれラビリンス６５が設置されベアリング６４を支持する。
【００１７】
前記ベアリング６４は第２ハウジング６１の内側に挿入設置されて、第２ハウジング６１の外周面には第２ガイド溝６１ａが形成される。ここで、第２ガイド溝６１ａは第２ハウジング６１の外周面に複数個が形成される。複数個の第２ガイド溝６１ａが形成された第２ハウジング６１は第1ハウジング６２の内側に挿入設置される。
【００１８】
前記第１ハウジング６２は内周面に第１ガイド溝６２ａを形成する。ここで、第１ガイド溝６２ａは内周面に互いに対向する方向に複数個が形成されて図３及び図４に示すように第１ハウジング６２の内側に第２ハウジング６１を挿入設置の際第２ハウジング６１の外周面に形成された複数個の第２ガイド溝６１ａと複数個の第１ガイド溝６１ａが互いに対向する方向に設置される。
【００１９】
第２ハウジング６１が第１ハウジング６２に挿入される前に複数個の第２ガイド溝６１ａに複数個のキー６３が固定設置される。キー６３が第２ガイド溝６１ａに設置された後第２ハウジング６１が第１ハウジング６２の内側に挿入設置の際キー６３は第１ハウジング６２に形成された第１ガイド溝６２ａの外周面に摺動されて挿入される。キー６３が第２ガイド溝６１ａに固定設置されるとともに第１ガイド溝６２ａに挿入設置されることによって第２ハウジング６１の移動の際キー６３によって第２ハウジング６１が第１ハウジング６２の第１ガイド溝６２ａに沿って移動する。
【００２０】
第２ガイド溝６１ａに設置されて第１ガイド溝６１ａに挿入設置されるキー６３は、第２ハウジング６１と第１ハウジング６２にそれぞれ形成される第２ガイド溝６１ａと第１ガイド溝６２ａの個数と同一に具備されて第２ガイド溝６１ａと第１ガイド溝６２ａに設置される。第２ガイド溝６１ａと第１ガイド溝６２ａにキー６３が設置されると第１ハウジング６２をプッシュカバー（push cover）６６でケース４０に固定設置して二重構造を持つファン装置の設置を完了する。ここで、ケース４０に固定設置される第１ハウジング６２に形成されたホール６２ｂはグリースの充填が完了されると栓６７で密封する。
【００２１】
ファン装置のケース４０のいずれか一所を前述したように二重構造を持つベアリングハウジング６０で設置することによってケース４０の内側に設置されるファン（図示せず）またはシャフト３０が温度変化によって長さが可変されシャフト３０の軸方向に熱応力が発生されるとシャフト３０の長さの可変の分だけ第２ハウジング６１が第１ハウジング６２の内側面に沿って移動することができてシャフト３０）の軸方向に発生される熱応力を吸収することができる。
【００２２】
このようにハンドラで半導体部品をテストするため高温及び低温状態を随時（よく）変化させるチェンバーの内側に装着されたファン装置の温度変化によってファン装置の軸方向に発生される熱応力によるベアリングハウジンの破損を防止することができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のハンドラにおいて半導体部品をテストするため高温及び低温状態を随時（よく）変化させるチェンバーの内側に装着されたファン装置の温度変化によってファン装置の軸方向に発生される熱応力によるベアリングハウジングの破損を防止することができる効果を提供する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明によるハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の斜視図である。
【図２】 図１に示したベアリングハウジングの分離組み立て斜視図である。
【図３】 図２に示したベアリングハウジングの組み立て斜視図である。
【図４】 図３に示したベアリングハウジングの縦断面図である。
【図５】 従來のハンドラのチェンバーに適用されたファン装置の斜視図である。
【符号の説明】
１０ 回転電動機
２０ カップリング
３０ シャフト
４０ ケース
５１ センサードッグ
５２ センサーブレーク
６０ ベアリングハウジング
６１ 第２ハウジング
６１ａ 第２ガイド溝
６２ 第１ハウジング
６２ａ 第１ガイド溝
６３ キー
【図１】
0003764111.tif 000002
【図２】
0003764111.tif 000003
【図３】
0003764111.tif 000004
【図４】
0003764111.tif 000005
【図５】
0003764111.tif 000006