(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧印加手段から電荷検出回路に信号波形を入力し、出力信号を観察することで当該電荷検出回路が正常に動作しているか否かを確認する電荷検出回路の試験回路において、
上記電荷検出回路の試験を行う際には、上記電圧印加手段の出力端子と上記電荷検出回路との間に、上記電荷検出回路を電圧入力に対する反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入するとともに、
上記電荷検出回路の通常動作時には、上記コンデンサを回路から削除するための切り替え手段を備えていることを特徴とする電荷検出回路の試験回路。
【請求項２】
上記切り替え手段は、上記コンデンサの前後に直列に接続された第１・第２スイッチと、該コンデンサと並列に接続された第３スイッチとを含んで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の電荷検出回路の試験回路。
【請求項３】
上記コンデンサの容量は、上記電荷検出回路が備えている電荷増幅器の帰還コンデンサの容量と同一であることを特徴とする請求項１または２に記載の電荷検出回路の試験回路。
【請求項４】
複数の電荷検出回路を集積して構成されているＬＳＩであって、
上記電荷検出回路の試験を行う際には、ＬＳＩの入力端子と上記電荷検出回路との間に、上記電荷検出回路を電圧入力に対する反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入するとともに、上記電荷検出回路の通常動作時には、上記コンデンサを回路から削除するための切り替え手段を有する電荷検出回路の試験回路を備えていることを特徴とするＬＳＩ。
【請求項５】
電圧印加手段から電荷検出回路に信号波形を入力し、出力信号を観察することで当該電荷検出回路が正常に動作しているか否かを確認する電荷検出回路の試験方法において、
上記電荷検出回路の試験を行う際には、上記電圧印加手段の出力端子と上記電荷検出回路との間に、上記電荷検出回路を電圧入力に対する反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入し、上記電荷検出回路が通常動作を行う際には、上記コンデンサを回路から削除するように切り替えることを特徴とする電荷検出回路の試験方法。
【請求項６】
上記出力端子から正弦波からなる信号波形を入力するとともに、該正弦波の中心値が上記電荷検出回路が備えている電荷増幅器の非反転入力端子に入力される基準電圧と等しい場合には、
上記正弦波の振幅をＡ、上記電荷増幅器の帰還コンデンサの容量をＣｆ、上記電荷検出回路の試験回路のコンデンサの容量をＣＴ、上記電荷増幅器による増幅率をＧとすると、上記電荷増幅器の正弦波の出力信号波形の振幅が、以下の関係式（１）を満たすように入力信号波形を決定することを特徴とする請求項５に記載の電荷検出回路の試験方法。
Ａ×（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜≦ｍｉｎ（ＶＡ＋，ＶＡ−）・・・・・（１）
（ＶＡ＋：基準電圧と正側の電源電圧との電圧差、ＶＡ−：基準電圧と負側の電源電圧との電圧差）
【請求項７】
上記電荷増幅器の出力側に位置する標本化回路の標本化周波数をｆｓとすると、上記正弦波の周波数は、ｆｓ／８以下になるように設定されることを特徴とする請求項６に記載の電荷検出回路の試験方法。
【請求項８】
上記出力端子から入力される信号波形は、時間に対して一次関数で表される線形部分を含む波形であることを特徴とする請求項５に記載の電荷検出回路の試験方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線センサ等の画像センサ等に備えられた電荷検出回路の動作確認試験を行うための電荷検出回路の試験回路およびＬＳＩならびに電荷検出回路の試験方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、フィルムを用いたＸ線撮像装置がＸ線診断装置として広く用いられてきた。しかし、近年、液晶表示装置に用いられるＴＦＴアレイ基板上にＸ線を電荷に変換する光電変換層を形成して画像データを得る平面型Ｘ線センサが開発され、Ｘ線撮像装置としての実用段階に移行しつつある。
【０００３】
一般的な２次元行列構造の画像センサの概略の構成は、本発明の説明で用いる図２に示すような構成と同様の構成となっている。
【０００４】
すなわち、画像センサ４８は、図２に示すように、硝子基板５０の上に、光電変換層５４およびバイアス電極５２が形成されている。硝子基板５０の光電変換層５４側の面には、行列上に配置された画素電極５６、蓄積容量（画素容量）１７およびスイッチ素子１８と、走査線（行）１０およびデータ線（列）１２が形成されている。そして、走査線１０およびデータ線１２は、それぞれ走査駆動器（ゲートドライバ）１４および読み取り回路（電荷検出回路）１６に接続されている。
【０００５】
このように、画像センサ４８は、光電変換層５４と蓄積容量１７とを主体とした、Ｘ線等の光子を電荷に変換して蓄積する光電変換部と、その光電変換部からの電荷の信号を読み取る読み取り回路１６とを備えた構成となっている。
【０００６】
ここで、図２の読み取り回路１６を多数集積したＬＳＩにおける読み取り回路１６が正常に動作するか否かを調べるための試験方法について説明する。
【０００７】
ＣＳＡ２０を備えたＬＳＩの入力端子に、試験を行うための電荷供給回路１００を接続した場合には、図１２に示すような回路図となる。
【０００８】
この回路図では、Ｔｃ２をオフ、Ｔｃ１をオンの状態にすると、コンデンサＣＴにＶｉｎ×ＣＴの電荷が充電される。
【０００９】
次に、ＴＣ１をオフ、ＴＣ２をオンとすることにより、ＣＳＡ２０にはＶｉｎ×ＣＴの電荷が注入される。このとき、ＣＳＡ２０の出力は、Ｖｒｅｆに対して−Ｖｉｎ×ＣＴ／Ｃｆの電圧となり、最終的にディジタルデータとなって出力される。
【００１０】
電荷供給回路１００を用いた従来の試験方法においては、この出力データを観察することにより、読み取り回路が正常に動作しているか否かを確認することができる。また、この試験方法では、電荷供給回路１００に与える電圧Ｖｉｎを何段階かに変化させることによって、ＣＳＡ２０へ供給する電荷量を変えてより詳細な試験を行うことができる。
【００１１】
通常、上記のような読み取り回路１６は、多数集積されて構成されるＬＳＩの状態になっている。このため、このＬＳＩが備えている全ての読み取り回路１６の動作を確認するための試験は、図１２に示す電荷供給回路１００の先に探針を設け、探針を読み取り回路１６が接続された各端子に順次接触させて端子毎に行われる。また、測定効率を向上させるため、電荷供給回路１００と探針を複数設けた試験装置を構成し、複数の端子に接続された読み取り回路１６の試験を同時に行う方法が広く行われている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような従来の試験方法では、比較的容易に試験を行うことができるものの、多数集積された読み取り回路１６に対して個々に電荷供給回路１００を接続し、電圧を印加して試験を行う必要があるため、非常に効率が悪い。また、上記のように、１回の測定で複数の読み取り回路１６について試験を行う場合においては、各電荷供給回路の物理的位置の違いによって線路の長さ等条件が異なってしまうため、寄生容量のばらつきの影響が大きくなり、高精度の試験を行うことが困難であった。
【００１３】
実際に、１００ポイントの入力範囲についてテストを行う場合には、Ｖｉｎの入力電圧を１００種類用意する、ＣＴの容量を１００種類用意する、あるいはＶｉｎの入力電圧とＣＴの容量の組み合わせとを１００種類用意して試験が行われている。
【００１４】
しかし、このような試験方法においても、試験用の電荷供給回路１００の負担が大きくなり、読み取り回路１６の動作確認試験を正確に行うことができないという問題を有している。
【００１５】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、Ｘ線センサのように非常に精密な電荷検出を必要とする電荷検出回路の動作確認試験を正確に行うことができる電荷検出回路の試験回路およびＬＳＩならびに電荷検出回路の試験方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の電荷検出回路の試験回路は、上記の課題を解決するために、電圧印加手段から電荷検出回路に信号波形を入力し、出力信号を観察することで当該電荷検出回路が正常に動作しているか否かを確認する電荷検出回路の試験回路において、上記電荷検出回路の試験を行う際には、上記電圧印加手段の出力端子と上記電荷検出回路との間に、上記電荷検出回路を電圧入力に対する反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入するとともに、上記電荷検出回路の通常動作時には、上記コンデンサを回路から削除するための切り替え手段を備えていることを特徴としている。
【００１７】
上記の構成によれば、切り替え手段により、電荷検出回路が通常に動作する場合にはコンデンサを挿入せず、電荷検出回路の動作確認試験を行う場合にはコンデンサを挿入することで、容易に電荷検出回路の動作確認試験モードと通常動作モードとを切り替えることができ、かつ容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【００１８】
すなわち、本発明の電荷検出回路の試験回路は、電荷検出回路を電圧入力回路として動作させるためのコンデンサと、該コンデンサを回路に挿入するか否かを決定する切り替え手段とを備えている。これにより、電荷検出回路の動作確認試験時と通常動作時とで、切り替え手段を用いて、コンデンサを回路から削除したり、回路へ挿入したりすることにより、電荷検出回路は試験回路を備えたまま通常の動作も行うことができる。そして、入力端子に印加した信号波形と、出力した信号波形とを比較観察することで、容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことが可能になる。
【００１９】
さらに、本発明の電荷検出回路の試験回路によれば、切り替え手段により、コンデンサを回路から削除あるいは挿入するだけで、電荷検出回路の通常動作モードと動作確認試験モードとの切り替えができるため、電荷検出回路の試験回路をＬＳＩ等の装置の内部に設けることができる。よって、電荷検出回路の動作確認試験を行う際における電荷検出回路に対する電荷供給のために、従来の電荷供給回路を電荷検出回路の入力部に接続する手間を省くことができ、入力端子に信号波形を入力するだけで、効率よく電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【００２０】
また、上記切り替え手段は、上記コンデンサの前後に直列に接続された第１・第２スイッチと、該コンデンサと並列に接続された第３スイッチとを含んで構成されていることがより好ましい。
【００２１】
これにより、電荷検出回路の通常動作モードと動作確認試験モードとを容易に切り替えることができるとともに、電荷検出回路の動作確認試験を容易に行うことができる。
【００２２】
すなわち、電荷検出回路の通常動作時には、第３スイッチだけをＯＮする。そして、電荷検出回路の動作確認試験時には、先ず第１スイッチだけをＯＮし、コンデンサに電荷を蓄積する。続いて、第１スイッチおよび第２スイッチを共にＯＮし、コンデンサを電荷検出回路の前段に挿入する。これにより、該コンデンサと電荷増幅器（ＣＳＡ）とからなる回路が反転増幅回路として機能することになり、電荷に代えて電圧波形を入力できるようになる。よって、従来の試験時は必要であった電荷供給回路が不要となり、入力端子に信号波形を印加するだけで容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【００２３】
また、上記コンデンサの容量は、上記電荷検出回路が備えている電荷増幅器の帰還コンデンサの容量と同一であることがより好ましい。
【００２４】
これにより、電荷検出回路の動作確認試験において、電荷検出回路が正常な動作を行っている場合には、入力信号波形と出力信号波形とを等しく表示することが可能になるため、入力信号波形と出力信号波形とを容易に比較することができる。
【００２５】
すなわち、電荷検出回路の動作確認試験における入力した電圧（信号波形）をＶとすると、電荷検出回路が正常である場合には、出力電圧を−（ＣＴ／Ｃｆ）×Ｖで示すことができる。よって、ＣＴ＝Ｃｆとすることにより、電荷検出回路が正常に動作している場合における入出力の信号波形の振幅を等しくすることで、両者の比較を容易に行うことができる。よって、電荷検出回路が正常に動作していない場合には、その異常を容易に発見できる。さらに、出力した信号波形が歪み成分等を含んでいる場合にも、その比較を容易に行うことができるため、電荷検出回路の特性を正確に検出できる。
【００２６】
本発明のＬＳＩは、上記の課題を解決するために、複数の電荷検出回路を集積して構成されているＬＳＩであって、上記電荷検出回路の試験を行う際には、ＬＳＩの入力端子と上記電荷検出回路との間に、上記電荷検出回路を電圧入力に対する反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入するとともに、上記電荷検出回路の通常動作時には、上記コンデンサを回路から削除するための切り替え手段を有する電荷検出回路の試験回路を備えていることを特徴としている。
【００２７】
上記の構成によれば、ＬＳＩ自身が、電荷検出回路の動作確認試験を行う試験回路を内部に備えているため、切り替え手段を切り替えてコンデンサを回路から削除あるいは回路へ挿入するだけで、電荷検出回路の通常動作モードと動作確認試験モードとを容易に切り替えることができ、かつ容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【００２８】
よって、動作確認試験を行う際の電荷検出回路に電荷を供給するために、従来の電荷供給回路を電荷検出回路の入力部に接続する手間を省くことができ、入力端子に信号波形を印加するだけで効率よく電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【００２９】
また、本発明の電荷検出回路の試験方法は、上記の課題を解決するために、電圧印加手段から電荷検出回路に信号波形を入力し、出力信号を観察することで当該電荷検出回路が正常に動作しているか否かを確認する電荷検出回路の試験方法において、上記電荷検出回路の試験を行う際には、上記電圧印加手段の出力端子と上記電荷検出回路との間に、上記電荷検出回路を電圧入力のための反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入し、上記電荷検出回路が通常動作を行う際には、上記コンデンサを回路から削除するように切り替えることを特徴としている。
【００３０】
上記の試験方法によれば、電荷検出回路が通常動作を行う場合にはコンデンサを挿入せず、電荷検出回路の動作確認試験を行う場合にはコンデンサを挿入することで、容易に電荷検出回路の動作確認試験モードと通常動作モードとを切り替えることができ、かつ容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【００３１】
すなわち、本発明の電荷検出回路の試験方法では、電荷検出回路を電圧入力に対する反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入するか否かを、通常動作モードと動作確認試験モードとで切り替えている。これにより、電荷検出回路は、試験回路を備えた状態で通常の動作も行うことができる。そして、入力端子に印加した信号波形と、出力した信号波形とを比較観察することで、容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことが可能になる。
【００３２】
さらに、本発明の電荷検出回路の試験方法によれば、コンデンサを回路から削除あるいは挿入するだけで、電荷検出回路の通常動作モードと動作確認試験モードとの切り替えができるため、電荷検出回路の試験回路をＬＳＩ等の装置の内部に設けることができる。よって、電荷検出回路の動作確認試験を行う際における電荷検出回路に対する電荷供給のために、従来の電荷供給回路を電荷検出回路の入力部に接続する手間を省くことができ、入力端子に信号波形を入力するだけで、効率よく電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【００３３】
また、上記出力端子から正弦波からなる信号波形を入力するとともに、該正弦波の中心値が上記電荷検出回路が備えている電荷増幅器の非反転入力端子に入力される基準電圧と等しい場合には、上記正弦波の振幅をＡ、上記電荷増幅器の帰還コンデンサの容量をＣｆ、上記電荷検出回路の試験回路のコンデンサの容量をＣＴ、上記電荷増幅器による増幅率をＧとすると、上記電荷増幅器の正弦波の出力信号波形の振幅が、以下の関係式（１）を満たすように入力信号波形を決定することがより好ましい。
【００３４】
Ａ×（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜≦ｍｉｎ（ＶＡ＋，ＶＡ−）・・・・・（１）
（ＶＡ＋：基準電圧と正側の電源電圧との電圧差、ＶＡ−：基準電圧と負側の電源電圧との電圧差）
これにより、正弦波である電荷増幅器からの出力信号波形の振幅が、上記関係式（１）を満たすように入力信号波形を決定することで、電荷検出回路の特性を正確に測定することができる。
【００３５】
すなわち、電荷検出回路に設けられた電荷増幅器の出力信号波形の振幅は、入力信号波形の振幅を（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜倍した大きさとなるため、電荷増幅器の出力信号波形の振幅は、Ａ×（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜となる。この出力信号波形の振幅が電荷検出回路のアナログ回路の動作範囲に収まらない場合には、出力信号波形に歪みが生じてしまうため、増幅回路の出力信号波形を用いて電荷検出回路の特性を正確に測定できなくなる。よって、電荷増幅器の出力信号波形の振幅が上記関係式を満たすように、入力信号波形を決定することで、電荷検出回路の特性を正確に測定できる。
【００３６】
なお、上記関係式（１）の右辺は、ＶＡ＋およびＶＡ−の小さい方を採用することを意味しており、ＶＡ＋は、基準電圧と正側の電源電圧との電圧差、ＶＡ−は、基準電圧と負側の電源電圧との電位差を示している。
【００３７】
また、上記電荷増幅器の出力側に位置する標本化回路の標本化周波数をｆｓとすると、上記正弦波の周波数は、ｆｓ／８以下になるように設定されることがより好ましい。
【００３８】
これにより、出力信号に歪みが含まれている場合には、この歪み成分を正確に検出することができる。
【００３９】
すなわち、出力信号の波形が歪むということは、基本周波数の高調波が含まれていることを示している。よって、その高調波を検出するためには、標本化周波数をその高調波の周波数の２倍以上にすればよい。一般に、４次以下の高調波成分に大部分の歪みのエネルギーが集中しているので、標本化周波数ｆｓに対して、入力する正弦波の周波数をｆｓ／８以上にすることで、より確実に出力信号の波形に含まれる歪み成分を検出できる。
【００４０】
また、上記出力端子から入力される信号波形は、時間に対して一次関数で表される線形部分を含む波形であってもよい。
【００４１】
これにより、入力された信号波形として、ランプ波等の一次の時間関数で表される線形部分を含む波形を用いることで、標本化回路の標本化定理を考慮する必要がなくなり、標本化周波数を適当に設定することができる。また、電荷検出回路の出力として示される線形部分の傾きや直線性を解析することにより、電荷検出回路の特性を容易に測定することができる。
【００４２】
【発明の実施の形態】
本発明の電荷検出回路の試験回路およびＬＳＩならびに電荷検出回路の試験方法に係る一実施形態について、図１〜図１１に基づいて説明すれば以下の通りである。
【００４３】
本実施形態の試験用回路１（電荷検出回路の試験回路）は、図２に示す画像センサ４８に備えられている読み取り回路１６が、電荷検出回路として正常に動作するか否かを調べるための確認試験に用いられるものである。
【００４４】
本実施形態では、先ず、図２〜図１０を用いて、画像センサ４８および画像センサ４８の回路構成について以下で詳しく説明する。
【００４５】
図２に示す画像センサ４８は、硝子基板５０の上に、光電変換層５４およびバイアス電極５２が形成されて構成されている。光電変換層５４は、たとえば非晶質セレン（以下、ａ−Ｓｅと記す）の層などで形成されており、バイアス電極５２はＸ線を透過する金属膜、たとえば金等の導体膜で形成されている。硝子基板５０の光電変換層５４側の面には、行列上に配置された画素電極５６、蓄積容量（画素容量）１７およびスイッチ素子１８と、走査線（行）１０およびデータ線（列）１２が形成されている。そして、走査線１０およびデータ線１２は、それぞれ走査駆動器（ゲートドライバ）１４および読み取り回路１６に接続されている。
【００４６】
このように、画像センサ４８は、光電変換層５４と蓄積容量１７とを主体とした、Ｘ線等の光子を電荷に変換して蓄積する光電変換部と、その光電変換部からの電荷の信号を読み取る読み取り回路１６とを備えた構成となっている。
【００４７】
画素電極５６は、スイッチ素子１８を介してデータ線１２に接続されており、スイッチ素子１８のスイッチング動作は、走査駆動器１４から走査線１０を介して供給される電圧により行われる。したがって、スイッチ素子１８として一般的な薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと示す）を用いた場合には、ＴＦＴのソースは画素電極５６に、ドレインはデータ線１２に、ゲートは走査線１０にそれぞれ接続されることになる。なお、以下の説明においては、スイッチ素子１８としてＴＦＴが用いられているものとして説明する。
【００４８】
図２におけるＡ−Ａ線矢視断面図は、図３に示すように、絶縁膜５８を介して画素電極５６と対向する位置に補助電極６０が設けられており、画素電極５６との間で蓄積容量１７を構成している。この補助電極６０は、全画素２２において共通の基準電位（Ｖｒｅｆ）となるように配線されている。また、バイアス電極５２は画素電極に対して高電圧、例えば数千ボルトを印加できるようになっている。
【００４９】
上記のような画像センサ４８に、Ｘ線光子６８がバイアス電極５２側から入射すると、バイアス電極５２を透過したＸ線光子６８は、光電変換層５４において電子と正孔との対を発生させる。ここで、バイアス電極５２に正の電圧が印加されているときは正孔が、負の電圧が印加されているときは電子が画素電極５６側に移動し、Ｘ線光子６８の入射位置に対応する位置にある画素電極５６に達する。画素電極５６に達した正孔または電子は、蓄積容量１７にて保持される。蓄積容量１７にて保持された正または負の電荷（以下、信号電荷と示す）は、ＴＦＴからなるスイッチ素子１８がオンとなることでデータ線１２に流出し、データ線１２に接続された読み取り回路１６によってその電荷量（信号電荷量）が読み取られる。
【００５０】
走査駆動器１４が所定の一本の走査線１０にＨｉｇｈの電圧を出力すると、その走査線１０に接続された全てのＴＦＴがオン状態になり、各蓄積容量１７に保持されている信号電荷が、対応するそれぞれのデータ線１２に流出する。走査駆動器１４が各走査線１０に順次Ｈｉｇｈの電圧を出力することで全ての画素電極５６のデータが読み取られ、一枚の画像データの読み取りが行われる。
【００５１】
ここで、上記の画像センサ４８に用いられている読み取り回路１６に関して説明する。
【００５２】
読み取り回路１６が備えている電荷増幅器（Charge Sensitive Amplifier：以下、ＣＳＡと称す）２０は、電荷量の読み取りに使われる。ＣＳＡ２０において、図４に示すように、演算増幅器２０ａの反転入力と出力とが帰還容量２０ｂを介して互いに接続されており、負帰還回路を構成している。また、帰還容量２０ｂと並列にリセットスイッチ２０ｃが接続されており、帰還容量２０ｂに蓄積された電荷を放電してリセットすることができる。データ線１２は、演算増幅器２０ａの反転入力に接続されており、非反転入力は基準電位であるＧＮＤに接続されている。
【００５３】
ＴＦＴからなるスイッチ素子１８と、蓄積容量１７とを含めた画素２２一つ当たりの読み取りの等価回路図は、図５に示すような回路となる。
【００５４】
図５において、画素２２は第ｉ行目の走査線１０である走査線１０ｉおよび第ｊ列目のデータ線１２ｊに接続された画素であるものとする。なお、Ｃｄｌは、データ線１２ｊの容量を表す。
【００５５】
そして、図５における読み取り動作のタイミングチャートおよびＣＳＡ２０の出力電位は、図６に示すようなグラフで示される。なお、図６のＧ（ｉ）は走査線１０ｉに出力される電圧を表し、またＲＳＴはリセットスイッチ２０ｃに出力されるリセット信号を表す。
【００５６】
読み取り動作は、まずリセットスイッチ２０ｃをオンすることで開始される（Ａ期間）。これにより、それ以前の動作で帰還容量２０ｂに蓄積されていた電荷を放電してリセットし、ＣＳＡ２０の出力電位はＧＮＤすなわち０となる。次に、ＲＳＴがＬｏｗになってから（Ｄ期間）、Ｇ（ｉ）にＨｉｇｈの電圧が出力されてＴＦＴのスイッチ素子１８がオンとなり、蓄積容量１７に蓄積されていた信号電荷（−Ｑ）がデータ線１２ｊに流出する。演算増幅器２０ａは、データ線１２ｊに流出した電荷（−Ｑ）が全て帰還容量の入力側の電極に集まるように動作し、その結果、帰還容量の出力側の電極には、等量で逆極性の電荷（＋Ｑ）が現れる。結局、ＣＳＡ２０の出力には、信号電荷に対応する電荷であるＱを帰還容量２０ｂの容量値で割った電位が現れる（Ｂ期間）。この電位を読み取ることで、信号電荷量を電位として検出できる。その後、この行のＧ（ｉ）にＬｏｗの電圧が出力されてからしばらくして（Ｃ期間）、次の行の読み取り動作のためにＲＳＴが再度リセットされ、それに伴ってＣＳＡ２０の出力電位はＧＮＤに戻る。
【００５７】
ここで、相関２重サンプリング（Correlated Double Sampling：以下、ＣＤＳと示す）と呼ばれる電位読み取り方法について簡単に説明する。もし、図５に示す読み取り回路系が完全であれば、Ｃ期間で読み取られた電位は正確に信号電荷量に相当するはずである。しかしながら実際には、リセット後のＤ期間において、ＣＳＡ２０の出力電位は完全にＧＮＤにはならずに、オフセットが存在する。オフセットの原因としては、演算増幅器２０ａ自体の持つフリッカ雑音やオフセット、リセットスイッチ２０ｃのＯＮ抵抗による熱雑音がＯＦＦされる瞬間に帰還容量Ｃｆに固定されることなどが挙げられる。
【００５８】
上記ＣＤＳは、図６のｓｍｐ１とｓｍｐ２とで示したタイミングでＣＳＡ２０の電位をそれぞれ読み取り、ｓｍｐ２で読み取った電位とｓｍｐ１で読み取った電位との差を求めることで、ｓｍｐ１とｓｍｐ２との間の期間でのＣＳＡ２０の電位変動量を正確に求めることができる。ＣＤＳを行うことにより、Ｄ期間に存在するオフセットを取り除けるということは、すなわち、Ｄ期間におけるオフセットが０という理想回路系において、Ｃ期間に１回のみ電位を読み取る場合と等いので、以下では説明を単純化するため、ＣＤＳによって等価として扱える理想回路系において、読み取りをＣ期間に１回のみ行うものとして説明する。
【００５９】
信号電荷がディジタルデータとして出力されるまでの１入力対応の読み取り回路（単位読み取り回路）の回路構成としては、図７に示すような構成となる。
【００６０】
すなわち、ＣＳＡ２０の出力は、必要に応じて電圧増幅回路（メインアンプ）（以下、ＭＡと示す）で増幅され、サンプルホールド回路（以下、Ｓ／Ｈと示す）にてサンプリングされ保持される。保持されたデータ電圧はマルチプレクサを介してＡＤ（アナログディジタル）変換器（以下、ＡＤＣと示す）に入力されディジタル値に変換され、データラッチ回路（以下、ＤＬと示す）にて保持される。なお、マルチプレクサは、１つのＡＤＣに複数の入力端子を割り当てるために用いられるものであり、回路の本質的なものではない。したがって、例えば各入力端子に１対１に対応してＡＤＣを構成する場合には不要となる。
【００６１】
ＭＡは、ＣＳＡ２０の出力電圧が小さい場合に、それ以降の回路が動作するのに十分な大きさの電圧範囲にまで出力電圧を増幅するために設けられている。
【００６２】
Ｘ線撮影装置の一般的な用途である静止画像撮影（撮影モード）の場合には、照射するＸ線の線量が十分に大きい。したがって、そのデータの信号電荷量も大きく、ＣＳＡ２０に対して十分大きな電圧が与えられるため、ＭＡは必ずしも必要ではない。しかし、動画像を得るための撮影（透視モード）を行う場合には、秒単位から分単位の期間、Ｘ線を照射し続ける必要があり、Ｘ線の総照射量を抑えるため、撮影モードより２桁ほど弱いＸ線が用いられている。したがって、透視モードでの信号電荷量は、撮影モードに比して極めて小さくなるため、ＭＡが必要となる。なお、図７ではＭＡを１つのブロックで表しているが、増幅率によっては２段以上の構成が用いられることもある。
【００６３】
読み取り回路１６を多数集積したＬＳＩ（Large-Scale Integrated Circuit）として構成する場合のＭＡの典型的な回路構成としては、図８に示すように、ＭＡは１段の反転増幅器から構成されており、増幅率Ｇは、
｜Ｇ｜＝Ｃ1 ／Ｃ2 
となる。
【００６４】
ＭＡとして図８の回路を用いたときの（ＣＳＡ＋ＭＡ＋Ｓ／Ｈ）回路は、図９に示すように、ＣＳＡ２０、ＭＡ、Ｓ／Ｈがこの順に接続されて構成されている。
【００６５】
なお、Ｓ／Ｈは、その制御信号ＳＨがＨｉｇｈの期間にＭＡの出力を標本化し、次に制御信号ＳＨがＨｉｇｈになるまで、その標本化した電圧を維持するための回路である。
【００６６】
図９の（ＣＳＡ＋ＭＡ＋Ｓ／Ｈ）回路の制御信号は、図１０に示すような制御タイミングとなる。
【００６７】
すなわち、ＣＳＡ２０およびＭＡは、初期化スイッチを同時にオンして、その後ＣＳＡ２０のスイッチを先にオフとして、次にＭＡのスイッチをオフとする。これでＣＳＡ２０およびＭＡが共に初期化され、その後で入力される電荷が電圧に変換される。Ｓ／Ｈの制御信号ＳＨがＨｉｇｈの期間に、ＭＡの出力がＳ／Ｈ回路により標本化され、次にＨｉｇｈになるまでその出力が保持される。保持された出力信号（電圧）は、その後段にあるＡＤＣでディジタル値に変換される。なお、制御信号ＳＨがＨｉｇｈになってから次にＨｉｇｈになるまでの期間、すなわちＳＨのパルス間隔を標本化周期といい、その逆数を標本化周波数という。また、図１０に示した制御信号ＳＨは、回路を通常動作させたときの信号である。
【００６８】
ここで、本発明の電荷検出回路の試験回路に係る試験用回路１について、図１を用いて詳しく説明すれば、以下の通りである。
【００６９】
本実施形態の試験用回路１は、図１に示すように、ＬＳＩ２におけるＬＳＩ２の入力端子ＩＮとＣＳＡ２０との間に設けられており、スイッチＮＳＷ（第３スイッチ）と、該スイッチＮＳＷと並列に接続されたコンデンサＣＴと、該コンデンサＣＴの前後に直列に接続されたスイッチＴＣ１（第１スイッチ）、ＴＣ２（第２スイッチ）とを備えている。
【００７０】
本実施形態の試験用回路１は、読み取り回路１６の試験を行っている時以外、つまり読み取り回路１６が通常動作を行う際にはスイッチＮＳＷをオンにし、スイッチＴＣ１、ＴＣ２をオフにしている。
【００７１】
一方、読み取り回路１６の試験を行う際には、スイッチＮＳＷをオフにし、先ずＴＣ１だけをオンすることで、コンデンサＣＴに電荷を蓄積させる。そして、ＴＣ１をオフ、ＴＣ２をオンすることにより、入力端子ＩＮとＣＳＡ２０との間に挿入したコンデンサＣＴから、読み取り回路１６のＣＳＡ２０に対して電荷を供給することができる。
【００７２】
これにより、コンデンサＣＴおよびＣＳＡ２０からなる回路が反転増幅回路として機能するようになり、電荷に替えて電圧波形を入力できるようになる。よって、読み取り回路１６の試験を行う際に従来の電荷供給回路が不要となる。
【００７３】
図１に示す構成のＬＳＩ２の読み取り回路１６に対して、実際に試験を行う際には、先ず、図示しないＬＳＩ試験機からＬＳＩ２の入力端子ＩＮに交流信号が与えられる。ＬＳＩ２は、図７に示すＭＡで交流信号を増幅した後、Ｓ／Ｈでサンプルホールドし、続いてＡＤＣにおいて増幅した交流信号をディジタル値に変換する。
【００７４】
ここで、交流信号の周波数とＳ／Ｈの周期とを調整することで、交流信号を再現可能なディジタルの出力データ列を得ることができる。そして、入力された交流信号と出力データ列から再現した交流信号とを比較することにより、ＬＳＩ２に備えられた読み取り回路１６（ＣＳＡ２０）の動作が正常であるか否かを確認することができるとともに、増幅率、直線性、歪み率などの読み取り回路１６の各特性についても測定することが可能となる。
【００７５】
以上のように、本実施形態の試験用回路１では、テストモード時に、ＬＳＩ２の入力端子ＩＮとＣＳＡ２０との間にコンデンサＣＴを挿入することにより、ＬＳＩ２の入力端子ＩＮに信号波形を入力するだけで、容易に読み取り回路１６の試験を行うことができる。
【００７６】
また、本実施形態の試験用回路１によれば、ＣＳＡ２０を有するＬＳＩ２のテストが容易に可能となる。また、非常に精密な測定が必要なＸ線センサ等の信号読み出し回路として設計されたＬＳＩでも、各端子毎に正確な特性の測定が可能となり、ＬＳＩの量産時のテスト効率を大きく向上させることができる。さらに、特性が均一のＬＳＩを選別することにより、Ｘ線センサ性能を向上させることが可能となる。
【００７７】
ここで、本実施形態の試験用回路１を用いて試験を行う際に、ＬＳＩ２の入力端子ＩＮに入力すべき信号波形と、ＣＳＡ２０の制御信号ＲＳＴおよびＭＡが存在するときのＭＡの制御信号ＭＡとの関係について、図１１を用いて説明すれば以下の通りである。
【００７８】
本実施形態の試験方法では、図１１に示すように、ＲＳＴ、ＭＡのリセット信号は最初の一回だけ入力され、その後は入力されずにＳ／Ｈを動作させ、さらに図示しない制御信号によりＡＤＣを動作させている。また、ＭＡもＣＳＡ２０と同時にリセットされることにより、ＭＡの出力信号波形にもオフセットがかかることはないため、出力信号波形はＶｒｅｆを中心とした波形となる。
【００７９】
図１１において、ＣＳＡ２０の制御信号ＲＳＴおよびＭＡの制御信号ＭＡがＨｉｇｈとなっている期間、つまりＣＳＡ２０およびＭＡが初期化されている期間には、入力端子ＩＮはＶｒｅｆレベルとなっており信号波形はまだ印加されていない。ＲＳＴおよびＭＡがＬｏｗ、ＣＳＡ２０の帰還コンデンサＣｆのスイッチＳＷがオフになってから、上述した信号波形が入力端子ＩＮに印加される。
【００８０】
続いて、ＣＳＡ２０の制御信号ＲＳＴがＬｏｗになった後の動作について説明すれば、以下の通りである。
【００８１】
このとき、ＣＳＡ２０の回路は、ＣＴ／Ｃｆの増幅率を持った反転増幅器として動作するため、ＣＳＡ２０は振幅がＣＴ／Ｃｆ倍で位相が反転した波形を出力する。このＣＳＡ２０の出力波形は、ＭＡにおいて増幅される。そして、増幅された波形は、Ｓ／Ｈ回路でサンプルホールドされ、ＡＤＣにおいてディジタル値に変換される。
【００８２】
この時、信号波形は、試験用回路１のコンデンサＣＴ、ＣＳＡ２０の帰還回路のコンデンサＣｆの容量をそれぞれＣＴ，Ｃｆとし、信号波形の中心値をＶｒｅｆ、振幅Ａ、ＭＡの倍率をＧとすると、ＭＡの出力信号波形は、入力信号波形の振幅が（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜倍となった大きさとなるため、ＭＡの出力信号波形の振幅は、Ａ×（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜で示される。
【００８３】
本実施形態の電荷検出回路の試験方法では、ＭＡの出力信号波形の振幅は、読み取り回路１６のダイナミックレンジを越えないように決定される。
【００８４】
すなわち、例えば、ＬＳＩ２のオぺアンプのアナログ電源の電圧が、Ｖｒｅｆを中心として、＋ＶＡ、−ＶＡであるとすると、
Ａ×（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜≦ＶＡ
となる。
【００８５】
もし、入力された信号波形がＶｒｅｆを中心として非対称であり、Ｖｒｅｆに対してその絶対値が正側にＶＡ＋、負側にＶＡ−であるとすると、ＭＡの出力信号波形の振幅が、
Ａ×（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜≦ｍｉｎ（ＶＡ＋，ＶＡ−）
の条件を満たすように入力信号波形が決定される。なお、上記式における右辺はＶＡ＋およびＶＡ−の小さい方を採用することを意味しており、ＶＡ＋は、基準電圧と正側の電源電圧との電圧差、ＶＡ−は、基準電圧と負側の電源電圧との電位差を示している。
【００８６】
このように、Ａ×（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜で示されるＭＡの出力信号波形の振幅が、ＬＳＩ２のアナログ回路の動作電圧範囲に収まるように入力信号波形を決定することで、出力信号波形に歪みが生じ、読み取り回路１６の特性が正確に測定できなくなることを防止することができる。
【００８７】
さらに、本実施形態の試験用回路１では、挿入したコンデンサＣＴおよびＣＳＡ２０の帰還回路のコンデンサＣｆの容量は、ＣＴ＝Ｃｆの関係を満たしている。
【００８８】
これにより、読み取り回路１６の動作確認試験において、読み取り回路１６が正常な動作を行っている場合には、限りなく入力信号波形と出力信号波形とを等しく表示することが可能になり、入力信号波形と出力信号波形との比較が容易になる。
【００８９】
すなわち、動作確認試験における入力電圧（信号波形）をＶとすると、読み取り回路１６が正常である場合には、出力電圧は（ＣＴ／Ｃｆ）×Ｖで示すことができる。よって、ＣＴ＝Ｃｆとすることにより、読み取り回路１６が正常に動作している場合における入力時の信号波形と出力時の信号波形とを等しくすることができる。よって、入力時の信号波形と出力時の信号波形との比較が容易になり、読み取り回路１６が正常に動作していないことを明確に認識できる。
【００９０】
さらに、容量のばらつきを原因とするＣＴ／Ｃｆ比の変動を最小限に抑えることを考慮すれば、挿入したコンデンサＣＴおよびコンデンサＣｆの容量は、上記のようにＣＴ＝Ｃｆであることが望ましい。
【００９１】
なお、一般に、ＬＳＩの内部に設けられたコンデンサの容量比ＣＴ／Ｃｆは、絶対値のばらつきと比較するとかなり正確なものであるが、１パーセント程度のばらつきは避けられない。これは基本的に測定系がそれだけのばらつきの要素を含んでいることを意味している。試験用回路１のコンデンサＣＴとして、コンデンサＣｆと容量が等しいコンデンサを用いた場合には、コンデンサを全く同一のパターン（形状）にできるため、ＣＴ／Ｃｆで示される比のばらつきを最小限に抑えることができる。
【００９２】
すなわち、例えば、コンデンサＣＴ，Ｃｆが、共に長方形の同じパターンである場合には、マスクのずれが生じた場合でも、同じＬＳＩ基板上に設けられた同一パターンのコンデンサは同一のずれ方をするため、ＣＴ／Ｃｆ比はほとんど変化しない。よって、コンデンサＣＴ，Ｃｆを同じパターンで形成した場合には、ＣＴ／Ｃｆ比のばらつきを最小限に抑えることができる。
【００９３】
なお、出力電圧の波形が入力電圧に対して負号がつくか否かは、図７に示す回路の各部の構成によって変わり、本質的なものではない。よって、これ以降においては本質に関わる箇所以外については負号の有無は問題としないものとする。
【００９４】
次に、入力信号波形が正弦波である場合における、周波数とＳ／Ｈの周期との関係について説明する。
【００９５】
Ｓ／Ｈの周波数をｆｓとすると、標本化定理により、入力信号波形の周波数がｆｓ／２以下であればＡＤＣの出力として得られれたディジタルデータ列から元の正弦波を正確に再現できることになる。
【００９６】
ただし、この関係を満たすだけでは歪み率は測定できない。歪むということは、すなわち基本周波数の高調波を持っているということであるから、その高調波を検出するためには、標本化周波数がその高調波の周波数の２倍以上であることが必要である。
【００９７】
また、歪みの成分のエネルギーは、一般に第４調波までにその大部分が含まれている。よって、歪み率を測定する場合には、少なくとも４次までの高調波成分を検出し、Ｓ／Ｈの周波数ｆｓの１／８の周波数の正弦波を入力すればよい。また、測定に余裕を持たせるためには、さらにその１／２程度以下、すなわち、１／１６程度以下の周波数にすることが望ましい。例えば、ｆｓを２０ｋＨｚとすると、２．５ｋＨｚから１．２５ｋＨｚ程度以下の正弦波を入力すればよいことになる。これにより、歪み成分の測定を余裕を持って行うことができ、正確な歪み成分の測定が可能になる。
【００９８】
本実施形態の電荷検出回路の試験回路を用いた試験方法では、以上のような条件を満たす信号波形を電荷検出回路の試験回路に入力して、入力信号波形と再現した波形（出力信号波形）とを比較することにより、歪み率、オフセット、倍率等の回路特性を正確に測定できる。
【００９９】
なお、ここで「再現した波形」と示したのは、あくまでも観念的な意味合いであり、必ずしも実際に出力されたディジタルデータ列をＤ／Ａ変換して、入力されたアナログ信号を再現する必要はない。実際、汎用的なアナログＩＣ試験装置は、入力したアナログ信号波形をＡ／Ｄ変換してディジタルデータ列に変換し、該データを数値処理することで該信号の高調波成分や歪み率、オフセット等を計算している。つまり、変換したディジタル信号をアナログ信号に再変換して、波形を再現しなくても、歪み率等を算出できる。
【０１００】
本実施形態の試験用回路１においては、このようなアナログＩＣ試験装置を用いて動作確認試験、特性検出試験を行った場合であっても、容易に試験を行うことができる。
【０１０１】
なお、本実施形態では、入力する信号波形として正弦波を用いた例を挙げて説明したが、これに限定されるものではない。入力される信号波形としては、一般的に正弦波が使用されるが、例えば、ランプ波形、三角波あるいは鋸歯状波等のその他の波形を用いることができる。ただし、本実施形態のように、入力信号波形は正弦波を用いることが望ましい。すなわち、入力信号波形として正弦波以外の波形を用いた場合には、その信号波形が基本周波数以上の高調波を含んでいるため、元の周波数を正確に再現するためには高調波の周波数も考慮しなければならず、特性検査等を正確に行うことができない。さらに、正弦波は最も単純に発生できる波形であり、如何なる信号発生器でも発生させることができる。よって、基本周波数以上の高調波を含んでおらず、容易に発生させることができる正弦波を入力信号波形として使用するで、歪み率等の特性に関する試験を容易に行うことができる。
【０１０２】
一方、入力信号波形としてランプ波形等の、時間に対して一次関数で示される部分（線形部分）を有する波形を用いる場合には、Ｓ／Ｈの標本化定理を考慮する必要がないため、適当な周期で標本化すればよい。これにより、電荷検出回路の出力として現れる線形部分の傾きや直線性を解析することで、目的とする読み取り回路１６の特性を測定することができる。なお、ここで「回路の出力として現れる」とは、上記と同様に観念的な意味合いであり、ディジタルデータとして得られた出力をそのまま解析データとして用いることを示しており、アナログデータを再現するという意味ではない。
【０１０３】
なお、以上の説明では、ＬＳＩ２の出力はディジタルデータとして得られる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明は、出力をディジタルで行うかアナログで行うかについては、本質的に無関係である。例えば、ＬＳＩ２にアナログ／ディジタル変換器が内蔵されておらず、アナログデータを回路の出力とする場合には、出力したアナログ信号を直接試験器に入力して特性を解析することも可能である。
【０１０４】
また、Ｘ線画像センサ等は、極めて多数の画素により構成されており、電荷検出回路も画素毎に必要であるから、極めて多数の電荷検出回路が必要となる。よって、読み出し回路についても、電荷検出回路とともに多数集積されてＬＳＩ化されることが望ましい。
【０１０５】
そこで、本発明の電荷検出回路の試験回路によれば、上記のように、読み取り回路１６の通常動作時と試験時とで、スイッチをＯＮ／ＯＦＦするだけで切り替えができるため、ＬＳＩ２に内蔵することができる。
【０１０６】
また、電荷検出回路は非常に特殊な分野のＬＳＩであり、従来のアナログＩＣ用の汎用試験装置では試験が困難であった。そこで、本発明の電荷検出回路の試験回路によれば、電荷検出回路の特性を測定するための試験回路とその試験回路を用いた測定方法に関して、平面型Ｘ線画像センサの読み出し回路のような極めて高精度な電荷読み出しを必要とする電荷検出回路の試験を行うことができるとともに、汎用のアナログＩＣ試験装置を用いた場合でも正確に試験を行うことができる。
【０１０７】
なお、本実施形態では、以上のように、本発明の電荷検出回路の試験回路が、Ｘ線センサのような非常に微小な信号を精密に検出する必要がある読み出し回路１６を集積したＬＳＩ２の試験に使用されることを説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。電荷検出回路以外にも電荷増幅器を備えた回路を有する装置であれば、どのような装置であってもその装置の動作確認試験を正確かつ容易に行うことが可能になる。
【０１０８】
また、本発明は、電荷検出増幅器を多数集積したＬＳＩであって、該ＬＳＩの試験態様において、該ＬＳＩの入力端子と該入力端子に対応する電荷検出増幅器との間に、コンデンサが挿入されるように構成されることを特徴とするＬＳＩの試験回路と表現することもできる。
【０１０９】
さらに、本発明は、電圧印加手段から電荷検出回路に信号波形を入力し、出力信号を観察することで当該電荷検出回路が正常に動作しているか否かを確認する電荷検出回路の試験回路において、上記電荷検出回路の試験を行う際には、上記電圧印加手段の出力端子と上記電荷検出回路との間に、上記電荷検出回路を電圧入力に対する反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入することを特徴とする電荷検出回路の試験回路と表現することも可能である。
【０１１０】
これにより、従来の電荷供給装置を試験を行う度に接続する必要がなく、容易に正確な電荷検出回路の試験を行うことができる。
【０１１１】
【発明の効果】
本発明の電荷検出回路の試験回路は、以上のように、上記電荷検出回路の試験を行う際には、上記電圧印加手段の出力端子と上記電荷検出回路との間に、上記電荷検出回路を電圧入力に対する反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入するとともに、上記電荷検出回路の通常動作時には、上記コンデンサを回路から削除するための切り替え手段を備えている構成である。
【０１１２】
それゆえ、切り替え手段により、電荷検出回路が通常に動作する場合にはコンデンサを挿入せず、電荷検出回路の動作確認試験を行う場合にはコンデンサを挿入することで、容易に電荷検出回路の動作確認試験モードと通常動作モードとを切り替えることができ、かつ容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことができるという効果を奏する。
【０１１３】
すなわち、本発明の電荷検出回路の試験回路は、電荷検出回路に電荷を供給するためのコンデンサと、該コンデンサを回路に挿入するか否かを決定する切り替え手段とを備えている。これにより、電荷検出回路の動作確認試験時と通常動作時とで、切り替え手段を用いて、コンデンサを回路から削除したり、回路へ挿入したりすることにより、電荷検出回路は試験回路を備えたまま通常の動作も行うことができる。そして、入力端子に印加した信号波形と、出力した信号波形とを比較観察することで、容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことが可能になる。
【０１１４】
さらに、本発明の電荷検出回路の試験回路によれば、切り替え手段により、コンデンサを回路から削除あるいは挿入するだけで、電荷検出回路の通常動作モードと動作確認試験モードとの切り替えができるため、電荷検出回路の試験回路をＬＳＩ等の装置の内部に設けることができる。よって、電荷検出回路の動作確認試験を行う際における電荷検出回路に対する電荷供給のために、従来の電荷供給回路を電荷検出回路の入力部に接続する手間を省くことができ、入力端子に信号波形を入力するだけで、効率よく電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【０１１５】
また、上記切り替え手段は、上記コンデンサの前後に直列に接続された第１・第２スイッチと、該コンデンサと並列に接続された第３スイッチとを含んで構成されていることがより好ましい。
【０１１６】
それゆえ、電荷検出回路の通常動作モードと動作確認試験モードとを容易に切り替えることができるとともに、電荷検出回路の動作確認試験を容易に行うことができるという効果を奏する。
【０１１７】
すなわち、電荷検出回路の通常動作時には、第３スイッチだけをＯＮする。そして、電荷検出回路の動作確認試験時には、先ず第１スイッチだけをＯＮし、コンデンサに電荷を蓄積する。続いて、第１スイッチをＯＦＦし、第２スイッチをＯＮすることで、コンデンサに蓄積した電荷を電荷検出回路に供給することができる。これにより、従来の試験時は必要であった電荷供給回路が不要となり、入力端子に信号波形を印加するだけで容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【０１１８】
また、上記コンデンサの容量は、上記電荷検出回路が備えている電荷増幅器の帰還コンデンサの容量と同一であることがより好ましい。
【０１１９】
それゆえ、電荷検出回路の動作確認試験において、電荷検出回路が正常な動作を行っている場合には、入力信号波形と出力信号波形とを等しく表示することが可能になるため、入力信号波形と出力信号波形とを容易に比較することができるという効果を奏する。
【０１２０】
すなわち、電荷検出回路の動作確認試験における入力した電圧（信号波形）をＶとすると、電荷検出回路が正常である場合には、出力電圧を（ＣＴ／Ｃｆ）×Ｖで示すことができる。よって、ＣＴ＝Ｃｆとすることにより、電荷検出回路が正常に動作している場合における入出力の信号波形を等しくすることで、両者の比較を容易に行うことができる。よって、電荷検出回路が正常に動作していない場合には、その異常を容易に発見できる。さらに、出力した信号波形が歪み成分等を含んでいる場合にも、その比較を容易に行うことができるため、電荷検出回路の特性を正確に検出できる。
【０１２１】
本発明のＬＳＩは、以上のように、上記電荷検出回路の試験を行う際には、ＬＳＩの入力端子と上記電荷検出回路との間に、上記電荷検出回路を電圧入力に対する反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入するとともに、上記電荷検出回路の通常動作時には、上記コンデンサを回路から削除するための切り替え手段を有する電荷検出回路の試験回路を備えている構成である。
【０１２２】
それゆえ、ＬＳＩ自信が、電荷検出回路の動作確認試験を行う試験回路を内部に備えているため、切り替え手段を切り替えてコンデンサを回路から削除あるいは回路へ挿入するだけで、電荷検出回路の通常動作モードと動作確認試験モードとを切り替えることができ、かつ容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことができるという効果を奏する。
【０１２３】
よって、動作確認試験を行う際の電荷検出回路に電荷を供給するために、従来の電荷供給回路を電荷検出回路の入力部に接続する手間を省くことができ、入力端子に信号波形を印加するだけで効率よく電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【０１２４】
また、本発明の電荷検出回路の試験方法は、以上のように、上記電荷検出回路の試験を行う際には、上記電圧印加手段の出力端子と上記電荷検出回路との間に、上記電荷検出回路を電圧入力に対する反転増幅回路として機能させるためのコンデンサを挿入し、上記電荷検出回路が通常動作を行う際には、上記コンデンサを回路から削除するように切り替える方法である。
【０１２５】
それゆえ、電荷検出回路が通常動作を行う場合にはコンデンサを挿入せず、電荷検出回路の動作確認試験を行う場合にはコンデンサを挿入することで、容易に電荷検出回路の動作確認試験モードと通常動作モードとを切り替えることができ、かつ容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことができるという効果を奏する。
【０１２６】
すなわち、本発明の電荷検出回路の試験方法では、電荷検出回路に電荷を供給するためのコンデンサを挿入するか否かを、通常動作モードと動作確認試験モードとで切り替えている。これにより、電荷検出回路は、試験回路を備えた状態で通常の動作も行うことができる。そして、入力端子に印加した信号波形と、出力した信号波形とを比較観察することで、容易に電荷検出回路の動作確認試験を行うことが可能になる。
【０１２７】
さらに、本発明の電荷検出回路の試験方法によれば、コンデンサを回路から削除あるいは挿入するだけで、電荷検出回路の通常動作モードと動作確認試験モードとの切り替えができるため、電荷検出回路の試験回路をＬＳＩ等の装置の内部に設けることができる。よって、電荷検出回路の動作確認試験を行う際における電荷検出回路に対する電荷供給のために、従来の電荷供給回路を電荷検出回路の入力部に接続する手間を省くことができ、入力端子に信号波形を入力するだけで、効率よく電荷検出回路の動作確認試験を行うことができる。
【０１２８】
また、上記出力端子から正弦波からなる信号波形を入力するとともに、該正弦波の中心値が上記電荷検出回路が備えている電荷増幅器の非反転入力端子に入力される基準電圧と等しい場合には、上記正弦波の振幅をＡ、上記電荷増幅器の帰還コンデンサの容量をＣｆ、上記電荷検出回路の試験回路のコンデンサの容量をＣＴ、上記電荷増幅器による増幅率をＧとすると、上記電荷増幅器の正弦波の出力信号波形の振幅が、以下の関係式（１）を満たすように入力信号波形を決定することがより好ましい。
【０１２９】
Ａ×（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜≦ｍｉｎ（ＶＡ＋，ＶＡ−）・・・・・（１）
（ＶＡ＋：基準電圧と正側の電源電圧との電圧差、ＶＡ−：基準電圧と負側の電源電圧との電圧差）
それゆえ、正弦波である電荷増幅器からの出力信号波形の振幅が、上記関係式（１）を満たすように入力信号波形を決定することで、電荷検出回路の特性を正確に測定することができるという効果を奏する。
【０１３０】
すなわち、電荷検出回路に設けられた電荷増幅器の出力信号波形の振幅は、入力信号波形の振幅を（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜倍した大きさとなるため、電荷増幅器の出力信号波形の振幅は、Ａ×（ＣＴ／Ｃｆ）×｜Ｇ｜となる。この出力信号波形の振幅が電荷検出回路のアナログ回路の動作範囲に収まらない場合には、出力信号波形に歪みが生じてしまうため、増幅回路の出力信号波形を用いて電荷検出回路の特性を正確に測定できなくなる。よって、電荷増幅器の出力信号波形の振幅が上記関係式を満たすように、入力信号波形を決定することで、電荷検出回路の特性を正確に測定できる。
【０１３１】
また、上記電荷増幅器の出力側に位置する標本化回路の標本化周波数をｆｓとすると、上記正弦波の周波数は、ｆｓ／８以下になるように設定されることがより好ましい。
【０１３２】
それゆえ、出力信号に歪みが含まれている場合には、この歪み成分を正確に検出することができるという効果を奏する。
【０１３３】
すなわち、出力信号の波形が歪むということは、基本周波数の高調波が含まれていることを示している。よって、その高調波を検出するためには、標本化周波数がその高調波の周波数の２倍以上にすればよい。よって、標本化周波数ｆｓに対して、入力する正弦波の周波数をｆｓ／８とすることで、より確実に出力信号の波形に含まれる歪み成分を検出できる。
【０１３４】
また、上記出力端子から入力される信号波形は、時間に対して一次関数で表される線形部分を含む波形であることがより好ましい。
【０１３５】
それゆえ、標本化回路の標本化定理を考慮する必要がなくなり、標本化周波数を適当に設定することができ、電荷検出回路の出力として示される線形部分の傾きや直線性を解析することにより、電荷検出回路の特性を容易に測定することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る試験用回路を集積して構成されたＬＳＩの一部分を示す回路図である。
【図２】図１のＬＳＩを備えたＸ線センサの構造を示す斜視図である。
【図３】図１のＸ線センサにおけるＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図４】電荷検出回路に備えられた電荷増幅器の基本構成を示す回路図である。
【図５】１データ線に対応した画素および電荷増幅器の等価回路の構成を示す回路図である。
【図６】信号電荷の読み取り動作を示す説明図である。
【図７】１入力対応の単位読み取り回路の回路構成を示すブロック図である。
【図８】ＭＡとしての回路の一例を示す回路図である。
【図９】図８の回路を用いた（ＣＳＡ＋ＭＡ＋Ｓ／Ｈ）の回路図である。
【図１０】図９の回路の通常動作させるときの制御タイミングを示す説明図である。
【図１１】本発明の電荷検出回路の試験方法による制御タイミングを示す説明図である。
【図１２】従来の電荷増幅器の動作試験を行うための回路構成の一例を示す回路図である。
【符号の説明】
１        試験用回路（電荷検出回路の試験回路）
２        ＬＳＩ
１０        走査線
１０ｉ      走査線
１２        データ線
１２ｊ      データ線
１４        走査駆動器
１６        読み取り回路（電荷検出回路）
１７        蓄積容量
１８        スイッチ素子
２０        電荷増幅器
２０ａ      演算増幅器
２０ｂ      帰還容量
２０ｃ      リセットスイッチ
２２        画素
４８        画像センサ
５０        硝子基板
５２        バイアス電極
５４        光電変換層
５６        画素電極
５８        絶縁膜
６０        補助電極
６８        Ｘ線光子
ＡＤＣ        アナログ／ディジタル変換器
Ｃｄｌ        容量
Ｃｆ        コンデンサ（帰還コンデンサ）
ＣＴ        コンデンサ
ＣＳＡ        電荷増幅器
ＤＬ        データラッチ回路
Ｇ（ｉ）        電圧
ＭＡ        電圧増幅回路，制御信号
ＮＳＷ        スイッチ（第３スイッチ）
ＲＳＴ        電荷増幅器のリセット信号
Ｓ／Ｈ        サンプルホールド回路
ＳＨ        制御信号
ＴＣ１        スイッチ（第１スイッチ）
ＴＣ２        スイッチ（第２スイッチ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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