(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスを製造する方法において、
半導体基板の表面に熱酸化により酸化物層を形成するに当たり、
１ｐｐｍを超えない濃度の水素非同位元素を含み、重水素を含有するガススチーム雰囲気下熱酸化させることにより、１０１６ｃｍ−３以上の濃度の重水素を前記酸化物層へ導入することを特徴とする方法。
【請求項２】
半導体デバイスを製造する方法において、
半導体基板の表面に化学堆積により堆積層を形成するに当たり、
１ｐｐｍを超えない濃度の水素非同位元素を含み、重水素を含有する原料ガス雰囲気下前記堆積層を堆積させることにより、１０１６ｃｍ−３以上の濃度の重水素を前記堆積層へ導入することを特徴とする方法。
【請求項３】
前記堆積層を堆積することは、誘電体層及びポリシリコン層からなるグループから選択された材料の層を堆積することを含む
ことを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記誘電体層は、二酸化シリコン、窒化シリコン、酸化窒化シリコンからなるグループから選択される材料である
ことを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記半導体デバイスは、ミクロン以下の寸法を有するシリコン製トランジスタである
ことを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
前記シリコン製トランジスタは、相補型金属酸化物半導体と、Ｂｉ相補型金属酸化物半導体とフラッシュ型のイレーザブルプログラマブルＲＯＭからなるグループから選択される
ことを特徴とする請求項５記載の方法。
【請求項７】
前記半導体基板は、Ｓｉからなる材料で構成される
ことを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
前記半導体基板内に少なくとも１つのドープ領域を形成するステップ
を含むことを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
前記酸化物層を形成することは、ゲート酸化物またはフィールド酸化物を形成するステップを含み、前記ゲート酸化物またはフィールド酸化物は重水素を含有する
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１０】
前記堆積層を形成することは、スペーサを形成するステップを含み、前記スペーサは重水素を含有する
ことを特徴とする請求項２記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイスに関し、特に、半導体デバイスの製造中に重水素に曝された誘電体とポリシリコン層を含む半導体デバイスとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスにおいて、シリコンを使用することは公知である。これらのデバイスは経年劣化し、これはホットキャリア劣化効果として知られている。この劣化は、半導体デバイス中を流れる電流により惹起される欠陥に起因する。
【０００３】
これらの欠陥は、キャリアの移動度と寿命を低減させ、半導体デバイスの性能を劣化させる。多くの場合、基板はシリコンを含有し、これらの欠陥は、エネルギギャップ内に印加されたバイアスに一部依存して半導体デバイス内の電荷キャリアを除去したり、不要な電荷キャリアを付加するような状態を導入するダングリングボンド（dangling bonds  即ち、ぶら下がり結合）により引き起こされると考えられている。
【０００４】
ダングリングボンドは、半導体デバイスの表面あるいは界面で主に発生するが、空隙，ミクロ細孔，転位のある場所でも発生し、また不純物とも関係すると見られている。このようなダングリングボンドにより引き起こされる問題を解決するために、水素不動態化プロセスを用いるが、これは半導体デバイスの製造における一般的に確立した処理である。
【０００５】
水素不動態化プロセスにおいては、半導体デバイスの動作に影響を及ぼすような欠陥は、水素がダングリングボンドサイトでシリコンと結合すると、除去できると考えられる。一方、水素不動態化処理は、これらのダングリングボンドに関連する問題については解決することができるが、経年劣化の問題を永久的に解決できるものではない。理由は、不動態化プロセスにより付加された水素原子は、ホットキャリア効果により、ダングリングボンドサイトから「脱着」即ち除去されてしまうからである。
【０００６】
ホットキャリアは、電圧が半導体デバイスの電極に加えられた時に付加される高運動エネルギを有する電子またはホールである。このような動作状態においては、水素不動態化プロセスにより付加された水素原子は、ホットエレクトロンによって追い出されてしまう。この水素脱着（追い出されること）は、半導体デバイスの性能の劣化あるいは経年劣化の原因となる。
【０００７】
確立された理論によると、この経年劣化プロセスは、水素をシリコン製基板の表面あるいは二酸化シリコンの界面から脱着を促すようなホットキャリアの結果として発生する。このホットキャリア効果は、特に小型の半導体デバイスの際には問題となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
したがって本発明の目的は、従来のプロセスにより不動態化されたデバイスが有する効率の経年劣化を有さない新規の素子の製造方法およびその方法により製造された素子を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体デバイスを製造する方法は、請求項１及び請求項２に記載した特徴を有する。本発明は、層(薄膜)を不動態化するために重水素を採用するものである。本発明においては、「相当の濃度」とは、重水素の同位元素を１０１６ｃｍ−３以上含有する濃度を意味する。
【００１０】
本発明の一実施例によれば、半導体デバイスを製造する方法において、半導体基板の表面に熱酸化により酸化物層を形成するに当たり、１ｐｐｍを超えない濃度の水素非同位元素を含み、重水素を含有するガススチーム雰囲気下熱酸化させることにより、１０１６ｃｍ−３以上の濃度の重水素を前記酸化物層へ導入することを特徴とする方法が提供される。
【００１１】
本発明の他の態様においては、半導体デバイスを製造する方法において、半導体基板の表面に化学堆積により堆積層を形成するに当たり、１ｐｐｍを超えない濃度の水素非同位元素を含み、重水素を含有する原料ガス雰囲気下前記堆積層を堆積させることにより、１０１６ｃｍ−３以上の濃度の重水素を前記堆積層へ導入することを特徴とする方法が提供される。
【００１２】
ゲートとスペーサを形成した後の半導体デバイスの断面図である図１において、半導体デバイス１０は基板１２を有し、その中にｎ−ウェル１４とｐ−ウェル１６が従来方法により形成されている。この基板１２は、Ｓｉからなる材料で構成される。
【００１３】
本発明の好ましい実施例においては、半導体デバイス１０は誘電体製構造物１８を含む。この誘電体製構造物１８は、酸化重水素スチーム（Ｄ２Ｏ）のような水素同位元素のスチームの存在下で熱成長で形成される。本発明の実行のためには、この水素同位元素のスチーム（蒸気）は、できるだけ高い濃度の水素同位元素を含有しなければならない。さらにまた好ましい実施例においては、水素非同位元素の濃度は、このスチーム内で１ｐｐｍを超えてはならない。
【００１４】
一実施例においては、水素の様々な種類の同位元素をイオンの形で含みうるが、本発明においては、水素同位元素として重水素が採用される。更に、水素のさらに質量が重い同位元素にも適用できる。しかし、別の構造体も存在するが、本発明は水素同位元素とアモルファスシリコンとの間の結合の種類には無関係である。
【００１５】
別法として、誘電体製構造物１８は例えば相当濃度の重水素のような水素同位元素を含むガス混合物から化学堆積により形成することもできる。本発明の実行に際しては、「相当濃度」とは水素同位元素の少なくとも１０16ｃｍ-3の濃度として定義する。このようなガスおよびガス混合物の代表例は、重水素化シランと酸素（ＳｉＤ4 ＋Ｏ2 ），重水素化シランと酸化窒素（ＳｉＤ4 ＋Ｎ2Ｏ）， 重水素化テトラエチルオートシリケート（ＴＥＯＳ，Ｓｉ（ＯＣ2Ｄ5）4 ），重水素化アンモニア（ＮＤ3 ）あるいは重水素化ディクロロシランと酸化窒素（ＳｉＣｌ2Ｄ2 ＋Ｎ2Ｏ）を含む。
【００１６】
半導体デバイス１０内に様々な構造体を形成するために通常用いられる従来のプロセスおよび他のガス混合物を用いることができるが、しかし本発明では相当濃度の水素同位元素を含む。好ましい実施例においては、通常の水素（即ち水素の非同位元素）は、ガス混合物中で１ｐｐｍを超えてはならない。不動態化処理が行われる圧力は、大気圧以上あるいは大気圧以下いずれか（即ち圧力に関係しない）で、ガスの流速は堆積に用いられる装置に依存する。これらの条件を組み合わせて毎分０．０１ｎｍから１０．０ｎｍの範囲の好ましい形成速度を得ることができる。さらに好ましい本発明の一実施例においては、この形成速度は毎分０．５ｎｍから３ｎｍの範囲である。
【００１７】
誘電体製構造物１８が相当濃度の水素同位元素を含む場合には、それ近傍のダングリングボンドサイトは、水素同位元素により占有される。この不動態化処理により半導体デバイス１０内の劣化が大幅に低減するが、その理由はダングリングボンドサイトは、半導体デバイス内で電荷キャリアを除去したり、あるいは不要な電荷キャリアを付加するためにもはや利用することができないからである。
【００１８】
さらにまた水素同位元素は、基板１２との結合を構成し、これは破壊しづらくその結果信頼性のある光学デバイスあるいは電気的デバイスを形成できる。結合が破壊しづらい理由の説明は、水素同位元素は通常の水素よりも質量が重くそのため同位元素を除去することが困難となるからである。かくして誘電体製構造物１８内の水素同位元素の存在により、従来のデバイスよりも優れた利点がある。
【００１９】
図１にはゲート２２を形成するために、従来プロセスを用いて堆積し、ドーピングし、エッチングされたポリシリコン構造体が示されている。このゲート２２は、ゲート酸化物２４の上に形成される。相当濃度の水素同位元素が必要によってはゲート酸化物２４内に導入される。この同位元素は、例えば酸化重水素スチーム（Ｄ2 Ｏ）のような水素同位元素スチームの存在下でゲート酸化物２４を熱成長で形成することにより導入することができる。ゲート酸化物２４を成長させるのに用いられる他の条件およびプロセスは公知である。
【００２０】
半導体デバイス１０はゲート２２の周囲に形成されるスペーサ（即ちゲート側壁）２６を有する。水素同位元素をこの構造体に、相当濃度の水素同位元素を含むシリコン材料のガス状堆積により導入することができる。スペーサ２６の形成プロセスは公知であるが、但し、相当濃度の水素同位元素を含むガス状材料を使用する点で本発明は従来技術とは異なる。
【００２１】
このようなガスおよびガス混合物の代表例は、重水素化シランと酸素（ＳｉＤ4 ＋Ｏ2 ），重水素化シランと酸化窒素（ＳｉＤ4 ＋Ｎ2Ｏ）， 重水素化テトラエチルオートシリケート（ＴＥＯＳ，Ｓｉ（ＯＣ2Ｄ5）4 ），重水素化アンモニア（ＮＤ3 ）あるいは重水素化ディクロロシランと酸化窒素（ＳｉＣｌ2Ｄ2＋Ｎ2 Ｏ）を含む。
【００２２】
好ましい実施例においては、通常の水素はガス混合物内で１ｐｐｍを超えてはならない。さらに好ましい実施例においては、このガス混合物は堆積チェンバ内に注入され、不動態化プロセスが１５０℃から１１００℃の範囲の温度で行われる。
【００２３】
不動態化処理が行われる圧力は、大気圧以上あるいは大気圧以下いずれかで（即ち圧力には無関係で）、ガスの流速は堆積に用いられる装置に依存する。これらの条件を組み合わせて毎分０．０１ｎｍから１０．０ｎｍの範囲の好ましい形成速度を得ることができる。さらに好ましい本発明の一実施例においては、この形成速度は毎分０．５ｎｍから３ｎｍの範囲である。
【００２４】
スペーサ２６が相当濃度の水素同位元素を含む場合には、それ近傍のダングリングボンドサイトは、水素同位元素により占有される。この強い水素同位元素／シリコン結合によりゲートはより頑強になり、経年劣化の速度が低下することになる。
【００２５】
基板１２と誘電体製構造物１８とゲート２２とゲート酸化物２４とスペーサ２６は、半導体製造プロセスの結果形成された構造体を示す。
【００２６】
図２に示すように、ゲート２２とスペーサ２６の形成後、誘電体層２８が形成され、この誘電体層２８内に金属製相互接続構造体３２が形成され、この誘電体層２８上に誘電体層３０が形成される。この誘電体層２８は従来プロセスにより形成されるが、但し、本発明ではガス状材料例えば重水素化ＴＥＯＳあるいは重水素化ＳｉＤ4 等は、水素同位元素をその中に含む点で異なる。図２から分かるように、本発明を用いて水素同位元素を必要によっては半導体デバイス１０内の様々な構造体に導入することもできる。導入された場合には水素同位元素は、上記の利点を有する構造体を提供できることになる。
【００２７】
図３は、ピーク基板電流状態においてトランジスタ上で実行されたホットキャリアストレスの実験結果を表すグラフである。ホットキャリアに起因する界面損傷は、ＮＭＯＳトランジスタの線形トランスコンダクタンス（ｇm） としきい値電圧（Ｖth）の変化をモニタすることにより観測できる。図３はまたＶthの劣化とストレス時間との関係を示す。
【００２８】
同グラフに示すように水素で不動態化処理されたトランジスタの劣化（○印）は、重水素で不動態化処理されたトランジスタで観測される劣化（□印）よりもはるかに高い。重水素で不動態化処理したデバイスのしきい値電圧は、１０4 分の期間の間、わずか１．０５Ｖに上昇するだけであるのに対し、同一期間水素で不動態化処理したデバイスのしきい値電圧は、１．３Ｖに増加する。
【００２９】
図４はトランジスタの寿命と基板電流との関係を表すグラフである。このデータから水素同位元素（例えば、重水素）でアニール処理されたデバイスは、チャネルホットエレクトロンのストレスのもとでも、はるかに頑強である。外挿されたトランジスタの寿命は、様々な劣化限界を用いて示されている。水素アニールと重水素アニールのプロセスの間の差は明白である。
【００３０】
基板電流は、重水素がポスト金属アニールプロセスにおいて水素の代わりに用いられた時には、等しいホットエレクトロン劣化寿命を達成する場合は２倍に増加する。ＮＭＯＳデバイスと半導体デバイスの間の構造が類似の場合には、同様の結果が半導体デバイスとＮＭＯＳデバイスで得られる。
【００３１】
【発明の効果】
以上述べたように半導体デバイスの劣化のプロセスにおいては、水素同位元素がその改善に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図１】ゲートとスペーサを形成した後の半導体デバイスの断面図
【図２】多重レベルの誘電体と金属半導体を含む図１の半導体デバイスの断面図
【図３】ピーク基板電流状態において、水素処理したトランジスタと重水素処理したトランジスタ上で実行されたホットキャリアストレスの実験結果を表すグラフ
【図４】水素処理したトランジスタと重水素処理したトランジスタの寿命と基板電流との関係を表すグラフ
【符号の説明】
１０  半導体デバイス
１２  基板
１４  ｎ−ウェル
１６  ｐ−ウェル
１８  誘電体製構造物
２２  ゲート
２４  ゲート酸化物
２６  スペーサ
２８，３０  誘電体層
３２  金属製相互接続構造体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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