(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄乾燥槽内に被処理物を収容すると共に、該洗浄乾燥槽内を減圧し、洗浄溶剤の加熱蒸気を導入して被処理物を蒸気洗浄し、蒸気洗浄の後に被処理物の乾燥を行う部品洗浄乾燥装置において、
上記洗浄乾燥槽内へ溶剤蒸気を導入する蒸気洗浄系には、洗浄溶剤を加熱して気化させる熱交換器を設け、
該熱交換器は、その胴体内に溶剤細管を下部から上部に挿通すると共に、該溶剤細管の溶剤導入口に洗浄溶剤を霧状にする噴霧器を設けてなり、
該噴霧器で噴霧化した洗浄溶剤を溶剤細管内で加熱気化して該加熱蒸気を洗浄乾燥槽に導入することを特徴とする部品洗浄乾燥装置。
【請求項２】
前記噴霧器が噴霧ノズルで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の部品洗浄乾燥装置。
【請求項３】
前記噴霧器の上流側に、清浄な蒸留再生溶剤を貯溜するタンクを設け、清浄な洗浄溶剤を噴霧器で噴霧化して熱交換器に供給することを特徴とする請求項１または２に記載の部品洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、油脂系の汚れ等が付着した機械部品やメッキ部品等を蒸気洗浄し乾燥する部品洗浄乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
金属製機械部品、メッキ部品、電子部品等の各種部品には、その製造工程や組立工程等において、切削油等の工作油脂、フラックス、塵埃等をはじめとして様々な汚れが付着する。このような汚れが付着した機械部品や電子部品等の被処理物の清浄は、従来、例えば炭化水素系、塩素系等の金属洗浄溶剤を使用して、被処理物を洗浄溶剤に浸漬して超音波による振動を与えて洗浄する浸漬洗浄工程を行ない、次に、洗浄溶剤の蒸気を噴霧して洗浄を行う蒸気洗浄工程を行なうことにより成されている。そして、真空乾燥工程を行うことにより、蒸気洗浄後の被処理物を乾燥している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
例えば、図３に示す従来の部品洗浄乾燥装置５１では、溶剤タンク５２内に汚れ成分を含む溶剤が貯溜されており、この溶剤を再生使用するために、溶剤タンク５２から蒸留器５３、溶剤再生弁５４、コンデンサ５５、及びリザーブタンク５６を介して再び溶剤タンク５２へと至る環状の溶剤再生系５７が備えられている。また、溶剤再生弁５４の上流側（蒸留器側）の溶剤再生系５７は分岐され、蒸気洗浄弁５８を介して洗浄乾燥槽５９へと至る蒸気洗浄系６０が備えられており、上記蒸留器５３により溶剤を加熱気化させて、気化した溶剤蒸気を洗浄乾燥槽５８へと導入し、蒸気洗浄工程を行うように成っている。
【０００４】
しかし、この部品洗浄乾燥装置５１では、蒸留器５３により発生した溶剤蒸気を洗浄乾燥槽５９へと直接導入して蒸気洗浄工程を行っているので、蒸気温度はその後の凝縮効率を高めるために高温にすることは望ましくない。また、蒸留器５３と洗浄乾燥槽５９との間隔を短くすることが容易ではなく、蒸気洗浄系６０が長尺になってしまう。このため、比較的低温の溶剤蒸気が蒸気洗浄系６０の導管の途中で結露し易く、液滴が混ざった溶剤蒸気が洗浄乾燥槽５９へ導入され易い。このため、被処理物に溶剤の液滴が付着することがあり、そのまま乾燥すると被処理物にシミが残ってしまう。
【０００５】
また、図４に示す部品洗浄乾燥装置６１では、溶剤タンク６２内に貯溜されている汚れ成分を含む溶剤を再生使用するために、溶剤タンク６２から蒸留器６３、コンデンサ６４、及びリザーブタンク６５へと至る溶剤再生系６６が備えられている。またリザーブタンク６５には、蒸気洗浄補助弁６７、熱交換器６８、及び蒸気洗浄弁６９を介して洗浄乾燥槽７０へと至る蒸気洗浄系７１が備えられており、上記リーザーブタンク６５に貯溜された蒸留再生溶剤を上記熱交換器６８に通過させることにより加熱気化させて、溶剤蒸気を洗浄乾燥槽７０へと導入し、蒸気洗浄工程を行うように成っている。
【０００６】
しかし、蒸留再生溶剤を熱交換器６８に通過させ、短時間で高温の溶剤蒸気として加熱気化させるには大熱量が必要であり、該熱交換器６８を大型化しなければならない。さらに、蒸気洗浄開始直後は、完全にガス化されておらず、溶剤蒸気に溶剤液滴が混ざった状態で洗浄乾燥槽７０へ導入され易い。このため、被処理物に溶剤の液滴が付着することがあり、そのまま乾燥すると被処理物にシミが残ってしまう。
【０００７】
そこで、本発明は、熱交換器を大型化することなく、洗浄乾燥槽に導入する溶剤蒸気への溶剤液滴の混入を防止し、乾燥後の被処理物へのシミの付着を防止することができる部品洗浄乾燥装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記に鑑み提案されたもので、請求項１に記載のものは、洗浄乾燥槽内に被処理物を収容すると共に、該洗浄乾燥槽内を減圧し、洗浄溶剤の加熱蒸気を導入して被処理物を蒸気洗浄し、蒸気洗浄の後に被処理物の乾燥を行う部品洗浄乾燥装置において、
上記洗浄乾燥槽内へ溶剤蒸気を導入する蒸気洗浄系には、洗浄溶剤を加熱して気化させる熱交換器を設け、
該熱交換器は、その胴体内に溶剤細管を下部から上部に挿通すると共に、該溶剤細管の溶剤導入口に洗浄溶剤を霧状にする噴霧器を設けてなり、
該噴霧器で噴霧化した洗浄溶剤を溶剤細管内で加熱気化して該加熱蒸気を洗浄乾燥槽に導入することを特徴とする部品洗浄乾燥装置である。
【０００９】
請求項２に記載のものは、前記噴霧器が噴霧ノズルで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の部品洗浄乾燥装置である。
【００１０】
請求項３に記載のものは、前記噴霧器の上流側に、清浄な蒸留再生溶剤を貯溜するタンクを設け、清浄な洗浄溶剤を噴霧器で噴霧化して熱交換器に供給することを特徴とする請求項１または２に記載の部品洗浄乾燥装置である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る部品洗浄乾燥装置１の系統構成を示す概略図、図２は熱交換器の概略図である。
【００１２】
図１に示すように、工作油脂等の汚れが付着した機械部品や電子部品等の被処理物２の清浄及び乾燥は、洗浄乾燥槽３内にバスケット４に入れた複数の被処理物２を収容して行われる。この洗浄乾燥槽３内では、例えば炭化水素等の洗浄溶剤を使用して、被処理物２を洗浄溶剤に浸漬して超音波による振動を与えて洗浄する浸漬洗浄工程を行ない、次に洗浄溶剤の蒸気を導入して被処理物２の洗浄を行う蒸気洗浄工程を行ない、さらに蒸気洗浄後の被処理物２を真空乾燥工程を行って乾燥する。
【００１３】
洗浄溶剤としては、炭化水素系溶剤（パラフィン、ナフテン）、塩素系溶剤（トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン）、臭素系溶剤（ノルマルプロピルブロマイド）、フッ素系溶剤（ＨＦＣ、ＨＦＥ、ＨＣＦＣ）等が挙げられるが、環境保護の観点から炭化水素系が好ましい。
【００１４】
洗浄乾燥槽３は、上部が開閉可能な中空箱体状の耐圧容器であり、上部開口部５に形成されたフランジ部５ａにはシール材６を介して、該開口部５を密閉して覆う開閉蓋７が設けられている。この開閉蓋７は、少なくともその天井面（即ち、下面）７ａが傾斜するように洗浄乾燥槽３の上部開口部５に開閉自在に設けられる。開閉蓋７の天井面７ａを傾斜させて設けるのは、この開閉蓋７の天井面７ａに溶剤ガスが結露した場合に、結露した溶剤液滴を該天井面７ａを伝わらせて傾斜下端側へと流下させるためであり、傾斜下端側に集められた溶剤液滴は洗浄乾燥槽３の内側側壁面３ｂを伝って流下し、底面３ａへと流下する。
【００１５】
洗浄乾燥槽３の底部３ａには、後述する溶剤タンクに至る排液系８が接続されており、該排液系８にはこれを開閉する排液弁９が介設されている。
【００１６】
上述の浸漬洗浄工程、蒸気洗浄工程、及び真空乾燥工程は、被処理物２を収容する洗浄乾燥槽３内を炭化水素等の可燃性洗浄溶剤の爆発下限界以下まで減圧して行われるので、洗浄乾燥槽３には、真空ポンプ１０に至る排気系１１が接続されており、該排気系１１にはこれを開閉する洗浄乾燥槽真空弁１２が介設されている。
【００１７】
また、洗浄乾燥槽３には、その内部に洗浄溶剤を流入して被処理物２を浸漬洗浄するために、溶剤タンク１３に至る浸漬洗浄系１４が接続されており、該浸漬洗浄系１４にはこれを開閉する浸漬洗浄弁１５が介設されている。洗浄乾燥槽３には、その内部に流入された洗浄溶剤のレベルを検出するためのレベルスイッチ１６が備えられている。浸漬洗浄工程は、前述したように被処理物２を洗浄溶剤に浸漬して超音波による振動を与えて洗浄する工程であり、したがって、本実施形態の洗浄乾燥槽３には、超音波発生装置３ｃが備えられている。なお、溶剤タンク１３は、上部が覆われた密閉容器であり、後述する分岐排気系を介して真空ポンプ１０により減圧される。
【００１８】
浸漬洗浄工程の完了後、洗浄乾燥槽３内の洗浄溶剤は、前述したように、上記排液弁９を開放することにより、洗浄乾燥槽３の傾斜底部３ａの最下部に接続された排液系８を通じて溶剤タンク１３へと排液される。
【００１９】
溶剤タンク１３から洗浄乾燥槽３への洗浄溶剤の流入、及び洗浄乾燥槽３から溶剤タンク１３への排液は、溶剤タンク１３と洗浄乾燥槽３との圧力差により行われる。したがって、洗浄乾燥槽３には、前述したように、真空ポンプ１０に至る排気系１１が接続されている。洗浄乾燥槽３にはその内部圧力を表示する洗浄乾燥槽内圧力計１７が備えられており、排気系１１の洗浄乾燥槽真空弁１２の上流側（洗浄乾燥槽側）には洗浄乾燥槽３の内部圧力を大気開放して調整する洗浄乾燥槽大気開放弁１８が分岐介設されている。
【００２０】
また、洗浄乾燥槽３との相対関係において溶剤タンク１３の内部圧力を調整する必要があるため、排気系１１の洗浄乾燥槽真空弁１２の下流側（真空ポンプ側）は分岐され、溶剤タンク１３に至る分岐排気系１９が接続され、この分岐排気系１９には溶剤タンク減圧弁２０が介設されている。さらに溶剤タンク１３には、その内部圧力を表示する溶剤タンク圧力計２１が備えられており、その内部圧力を大気開放して調整する溶剤タンク大気開放弁２２が備えられている。
【００２１】
浸漬洗浄工程の完了後、排液弁９を開放することにより、洗浄乾燥槽３内の使用済み洗浄溶剤が排液系８を通じて溶剤タンク１３へと排液されるが、洗浄に使用した洗浄溶剤には被処理物２に付着していた各種の汚れが混入している。これらの汚れ成分は洗浄乾燥槽３や排液系８に設けるフィルタ等を通しただけでは除去しきれず、省資源および環境保護の観点から洗浄溶剤を再生して使用する。したがって、溶剤タンク１３には、使用済み溶剤を蒸留して凝縮し、再生溶剤として貯留するリザーブタンク２３に至る再生処理系２４が接続されており、この再生処理系２４には蒸留器２５及びコンデンサ２６が順次介設されている。
【００２２】
蒸留器２５は、例えば耐熱・耐圧性を有する概略円筒体状の竪型容器であり、本実施形態では蒸留器２５の下部を収納する状態で、加熱機構２５ａが備えられている。この加熱機構２５ａは、例えばオイル加熱ユニットであり、熱源として電気ヒータを備えており、該ヒータにより加熱媒体としての耐熱オイルを加熱し、この加熱オイルを介して蒸留器２５を加熱することにより、この蒸留器２５内を流通する汚れ成分を含む洗浄溶剤を加熱して蒸発する。
【００２３】
なお、沸点を低下させるために蒸留器２５内を減圧する。また、溶剤タンク１３から蒸留器２５への汚れ成分を含む溶剤の流入は、これら溶剤タンク１３と蒸留器２５との圧力差により行われ、汚れ成分を含む溶剤は蒸留器２５の下部に流入し、気化した溶剤蒸気は蒸留器２５の上部から取り出される。
【００２４】
再生処理系２４の蒸留器２５よりも下流側には、この蒸留器２５によって蒸留した溶剤蒸気を凝縮して液化するためのコンデンサ２６が介設されている。このコンデンサ２６の本体は、例えば概略円筒体状の竪型または横型の容器であり、その内部に冷却水を通す冷却細管２６ａを収納した熱交換器である。コンデンサ２６を通過する溶剤蒸気は冷却細管２６ａに接触して凝縮（液化）され、この液化した再生溶剤が清浄な洗浄溶剤としてリザーブタンク２３内に貯溜される。コンデンサ２６とリザーブタンク２３との間の再生処理系２４には、循環ポンプ２７ａにより再生溶剤を循環させて水分分離器２７ｂに通して水分を分離してからリザーブタンク２３に供給すると共に、コンデンサ２６からの再生溶剤をエゼクタ２７ｃにより循環流路内に吸引合流する水分分離機構が介設されており、リザーブタンク２３には再生溶剤の貯溜量を検出するレベルスイッチ２８が備えられている。なお、上記エゼクタ２７ｃは、蒸留器２５内を減圧して蒸留効率を高めている。
【００２５】
また、リザーブタンク２３には、上記洗浄乾燥槽３へ溶剤蒸気を導入して、該洗浄乾燥槽３内に収容された被処理物２の蒸気洗浄工程を行うために、該洗浄乾燥槽３に至る蒸気洗浄系２９が接続されている。この蒸気洗浄系２９には、リザーブタンク２３から導入される再生溶剤を溶剤蒸気として気化させるための熱交換器３０が介設されており、リザーブタンク２３から熱交換器３０への再生溶剤の導入、熱交換器３０から洗浄乾燥槽３への溶剤蒸気の導入は、リザーブタンク２３と洗浄乾燥槽３との圧力差により行われ、熱交換器３０よりも上流側の蒸気洗浄系２９にはこれを開閉するための蒸気洗浄補助弁３１が介設され、熱交換器３０よりも下流側の蒸気洗浄系２９にはこれを開閉するための蒸気洗浄弁３２が介設されている。
【００２６】
熱交換器３０の本体は、例えば概略円筒体状の竪型または横型の容器であり、本実施形態では図２に示すような竪型熱交換器として構成されている。図２において、熱交換器３０の胴体３４内には、その下部から上部へ蛇行するように挿通された加熱細管３０ａが収納されており、この加熱細管３０ａ内には下部から上部へ向けて、電気ヒータ等の加熱手段（図示せず）により加熱した耐熱オイル等の加熱媒体が供給されるようになっている。この熱交換器３０を通過する再生溶剤は、熱交換器３０の胴体３４内に収納され、その下部から上部へ蛇行するように挿通された溶剤細管３０ｂ内に導入されるように成っており、該溶剤細管３０ｂは加熱媒体の通過する加熱細管３０ａと接触して熱交換しうるように配置されている。
【００２７】
また、溶剤細管３０ｂの溶剤導入口３０ｃには、この溶剤細管３０ｂ内へ再生溶剤を霧状にする噴霧器として噴霧ノズル３３が設けられている。この噴霧ノズル３３は、そのノズル口３３ａを上記溶剤導入口３０ｃ内へ臨ませて配置されており、該ノズル口３３ａから溶剤細管３０ｂへ再生溶剤を霧状に噴出することにより、霧状溶剤が溶剤細管３０ｂ内を通過しながら加熱媒体の通過する加熱細管３０ａと熱交換して高温ガス化するものであり、溶剤液滴の混入しない高温溶剤蒸気として洗浄乾燥槽３に導入されることになる。
【００２８】
なお、前述したように、蒸気洗浄系２９はリザーブタンク２３から熱交換器３０を介して洗浄乾燥槽３へと至っており、リザーブタンク２３には蒸留再生溶剤が貯溜されているので、本実施形態では蒸留再生溶剤を熱交換器３０により確実にガス化して洗浄乾燥槽３に導入しているが、熱交換器３０に供給する洗浄溶剤には未使用の洗浄溶剤も使用できる。この場合には未使用の洗浄溶剤をタンクを別個設けて熱交換器３０に供給する。
【００２９】
次に、本発明の部品洗浄乾燥装置１の操作を説明する。
準備段階として、洗浄乾燥槽大気開放弁１８を開放した後、洗浄乾燥槽３の開閉蓋７を開放して、機械部品等の被処理物２を複数個入れたバスケット４を載置部上に載置し、開閉蓋７をシール部材６を介して密閉状態で閉成すると共に、洗浄乾燥槽大気開放弁１８を閉成する。
【００３０】
このような準備が整ったら、まず、洗浄乾燥槽３へ洗浄溶剤の給液を行う。給液操作は、溶剤タンク大気開放弁２２を開放して溶剤タンク１３の内部圧力を溶剤タンク圧力計２１が爆発下限界以下の５００Ｐａを指示するまで大気方向へと戻して、溶剤タンク大気開放弁２２を閉成し、浸漬洗浄系１４の浸漬洗浄弁１５、及び排気系１１の洗浄乾燥槽真空弁１２を開放すると共に、真空ポンプ１０を駆動する。すると、洗浄乾燥槽３と溶剤タンク１３との圧力差により、ヒータ１３ａを備えた溶剤タンク１３内から加熱された洗浄溶剤が洗浄乾燥槽３へと給液される。このとき、溶剤タンク減圧弁２０、蒸気洗浄弁３２、蒸気洗浄補助弁３１、及び排液弁９は閉成されている。そして、洗浄乾燥槽３のレベルスイッチ１６の上限レベル検出により、浸漬洗浄弁１５及び洗浄乾燥槽真空弁１２を閉成すると共に、真空ポンプ１０を停止する。
【００３１】
そして、真空浸漬洗浄工程を行う。この浸漬洗浄工程では被処理物２が加熱溶剤内に浸漬している状態で、超音波発生装置３ｃにより超音波振動を与えて浸漬洗浄（超音波洗浄）を行う。
【００３２】
浸漬洗浄の完了後に、洗浄乾燥槽３内の汚れ成分を含む溶剤を排液する。排液操作は、洗浄乾燥槽大気開放弁１８を開放し、洗浄乾燥槽３の内部圧力を洗浄乾燥槽圧力計１７が爆発下限界以下の５００Ｐａを指示するまで大気方向へと戻して、洗浄乾燥槽大気開放弁１８を閉成し、排液系８の排液弁、及び分岐排気系１９の溶剤タンク減圧弁２０を開放すると共に、真空ポンプ１０を駆動する。すると、洗浄乾燥槽３と溶剤タンク１３との圧力差により、洗浄乾燥槽３内から汚れ成分を含む溶剤が溶剤タンク１３へと排液される。
【００３３】
排液操作の完了後、仕上げ蒸気洗浄工程に移行する。蒸気洗浄工程では、真空ポンプ１０は既に駆動状態にあり、排気系１１の洗浄乾燥槽真空弁１２を開放した後、蒸気洗浄系２９の蒸気洗浄弁３２及び蒸気洗浄補助弁３１を開放する。蒸気洗浄弁３２及び蒸気洗浄補助弁３１の開放タイミングは、洗浄乾燥槽３の洗浄乾燥槽圧力計１７が１００Ｐａ以下の減圧状態を指示したときである。すると、洗浄乾燥槽３とリザーブタンク２３との圧力差により、リザーブタンク２３から熱交換器３０の溶剤導入口３０ｃに導入され、該溶剤導入口３０ｃに設けられた噴霧ノズル３３のノズル口３３ａから溶剤細管３０ｂへ再生溶剤が霧状に噴出されることにより、霧状溶剤が溶剤細管３０ｂ内を通過しながら加熱媒体の通過する加熱細管３０ａと熱交換してガス化するとともに、この溶剤蒸気が溶剤細管３０ｂ内を通過する間にさらに加熱されて高温蒸気となる。そして、この溶剤液滴の混入しない完全なる溶剤ガスが洗浄乾燥槽３に導入される。したがって、熱交換器３０を大型化することなく、洗浄乾燥槽３に導入する溶剤蒸気への溶剤液滴の混入を防止することができる。このため、被処理物２に溶剤蒸気中の溶剤液滴が付着することを防止でき、後述する真空乾燥後の被処理物２へのシミの付着を防止することができる。
【００３４】
蒸気洗浄を所定の時間行った後、蒸気洗浄弁３２及び蒸気洗浄補助弁３１を閉成して蒸気洗浄工程を完了し、真空乾燥工程へと移行する。真空ポンプ１０は継続して駆動状態であり、排気系１１の洗浄乾燥槽真空弁１２を開放したままであるが、所定時間ごとに洗浄乾燥槽大気開放弁１８を開放して洗浄乾燥槽圧力計１７が爆発下限界以下の５００Ｐａを指示するまで大気方向へと戻し（復圧し）、再度洗浄乾燥槽大気開放弁１７を閉成して真空ポンプ限界値まで減圧する操作を真空乾燥工程中に複数回繰り返す。
【００３５】
真空乾燥を行うと、被処理物２に付着した溶剤が気化するときに、気化熱を奪い、被処理物２の表面温度が低下し、乾燥効率が低下する。そこで、洗浄乾燥槽３の内部圧力を所定時間ごとに爆発下限界以下の５００Ｐａまで大気方向へと戻して、被処理物２が保有する芯熱を呼び戻して、再び真空方向へと減圧することにより乾燥効率を向上させることができる。
【００３６】
真空乾燥工程が完了したら、洗浄乾燥槽大気開放弁１８を開放して、洗浄乾燥槽３の内部圧力を大気開放し、全工程の終了を警報する。そして、洗浄乾燥槽３の開閉蓋７を開放すれば、バスケット４と共に洗浄乾燥された複数の被処理物２を取り出すことができる。
【００３７】
なお、前記実施形態においては、噴霧器として噴霧ノズルを例に挙げて説明したが、本発明における噴霧器はこれに限定されるものではなく、洗浄溶剤を霧状化して熱交換器に供給することができればよい。例えば、洗浄溶剤の噴流中に板材等を衝突させることにより噴霧化する構成でもよい。
【００３８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の部品洗浄乾燥装置によれば、洗浄乾燥槽内に収容された被処理物を蒸気洗浄するために、洗浄乾燥槽内へ溶剤蒸気を導入する蒸気洗浄系に、洗浄溶剤を加熱して気化させる熱交換器が備えており、該熱交換器は、その胴体内に溶剤細管を下部から上部に挿通すると共に、該溶剤細管の溶剤導入口に洗浄溶剤を霧状にする噴霧器を設けてなり、該噴霧器で噴霧化した洗浄溶剤を溶剤細管内で加熱気化させるので、霧状溶剤が熱交換器の溶剤細管内を通過しながら熱交換して確実にガス化し、溶剤液滴の混入しない高温溶剤蒸気となり、この高温溶剤蒸気を洗浄乾燥槽に導入することができる。
したがって、熱交換器を大型化することなく、洗浄乾燥槽に導入する溶剤蒸気への溶剤液滴の混入を防止し、被処理物に溶剤液滴が付着することを未然に防止することができ、これにより乾燥後の被処理物へのシミの付着を防止することができる。
そして、噴霧器を噴霧ノズルで構成すると、装置の構成が簡単で製造も容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る部品洗浄乾燥装置の系統構成を示す概略図である。
【図２】本実施形態の部品洗浄乾燥装置における熱交換器を示す概略図である。
【図３】従来の部品洗浄乾燥装置における一例を示す概略図である。
【図４】従来の部品洗浄乾燥装置における他の例を示す概略図である。
【符号の説明】
１  部品洗浄乾燥装置
２  被処理物
３  洗浄乾燥槽
３ａ  底面
３ｂ  側壁面
３ｃ  超音波発生装置
４  バスケット
５  上部開口部
５ａ  フランジ部
６  シール材
７  開閉蓋
７ａ  開閉蓋の天井面
８  排液系
９  排液弁
１０  真空ポンプ
１１  排気系
１２  洗浄乾燥槽真空弁
１３  溶剤タンク
１４  浸漬洗浄系
１５  浸漬洗浄弁
１６  レベルスイッチ
１７  洗浄乾燥槽内圧力計
１８  洗浄乾燥槽大気開放弁
１９  分岐排気系
２０  溶剤タンク減圧弁
２１  溶剤タンク圧力計
２２  溶剤タンク大気開放弁
２３  リザーブタンク
２４  再生処理系
２５  蒸留器
２６  コンデンサ
２６ａ  冷却細管
２７ａ  循環ポンプ
２７ｂ  水分分離器
２７ｃ  エゼクタ
２８  レベルスイッチ
２９  蒸気洗浄系
３０  熱交換器
３０ａ  加熱細管
３０ｂ  溶剤細管
３０ｃ  溶剤導入口
３１  蒸気洗浄補助弁
３２  蒸気洗浄弁
３３  噴霧ノズル
３３ａ  ノズル口
３４  胴体
【図１】
0003759439.tif 000002
【図２】
0003759439.tif 000003
【図３】
0003759439.tif 000004
【図４】
0003759439.tif 000005