(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が低グレードな清浄度に保持されるクリーンルームと、
内部が前記クリーンルームの内圧より陽圧となるよう高グレードな清浄度に保持され且つワークを収容可能な受渡部と、該受渡部の側面に開口され且つワークを出し入れ可能なプロセス側受渡口と、該プロセス側受渡口を開閉可能なプロセス側気密扉とを有し、前記クリーンルーム内に設置されるプロセス装置と、
内部が前記クリーンルームの内圧より陽圧となるよう高グレードな清浄度に保持され且つワークを収容可能な搬送室と、該搬送室の側面に開口され且つワークを出し入れ可能な搬送側受渡口と、該搬送側受渡口を開閉可能な搬送側気密扉と、前記搬送室とプロセス装置の受渡部との間でワークを受け渡し可能な移載装置とを有し、前記クリーンルーム内に走行可能に配設される搬送台車とを備え、
前記プロセス側受渡口の上下縁部に外方へ張り出すプロセス側庇部材を取り付けると共に、前記搬送側受渡口の上下縁部に、ワークの移載時に搬送側受渡口をプロセス側受渡口へ対向させた際に前記プロセス側庇部材に対し上下方向へ所要の隙間をあけて重なり合うよう外方へ張り出す搬送側庇部材を取り付け、
ワークの移載時に搬送側受渡口をプロセス側受渡口に対向させた状態でその間の空間にクリーンフローによるエアパージが行われるよう構成したことを特徴とするクリーンルーム装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体、液晶、医薬品、食料品等を製造するために、ワークの加工を行う工場には、内部を所望の清浄度に保持したクリーンルーム装置が設けられている。
【０００３】
図８は従来のクリーンルーム装置の一例を表わすものであって、これは、低グレードな清浄度に保持されるクリーンルーム１１内に、高グレードな清浄度に保持される複数のプロセス装置１２を設置すると共に、該複数のプロセス装置１２間を、クリーンブースで囲われたトンネル状のコンベヤ１３でつなぎ、最初のプロセス装置１２で加工されたワークをコンベヤ１３で次のプロセス装置１２へ搬送し、順次、ワークの加工を行うようにしたものである。
【０００４】
しかし、図８に示されるようなクリーンルーム装置では、ワークの搬送方向が一方向に限定され、工程の組換え等が困難となって融通が利かないため、近年においては、図９に示されるように、ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  ＧｕｉｄｅｄＶｅｈｉｃｌｅ）等の搬送台車１４によりワーク１５を搬送してプロセス装置１２へ受け渡すようにし、これに伴い、搬送台車１４とプロセス装置１２との間におけるワーク１５の受け渡し時にワーク１５が汚染されることを防止すべく、クリーンルーム１１全体を高グレードな清浄度としたものが開発されている。
【０００５】
尚、前記プロセス装置１２は、内部が高グレードな清浄度に保持され且つワーク１５を受台１６上に載置する形で収容可能な受渡部１７と、該受渡部１７の側面に開口され且つワーク１５を出し入れ可能なプロセス側受渡口１８と、該プロセス側受渡口１８を開閉可能なプロセス側気密扉１９と、前記受渡部１７に搬入されたワーク１５の加工を行う加工部２０とを有している。
【０００６】
又、前記搬送台車１４は、内部が高グレードな清浄度に保持され且つワーク１５を収容可能な搬送室２１と、該搬送室２１の側面に開口され且つワーク１５を出し入れ可能な搬送側受渡口２２と、該搬送側受渡口２２を開閉可能な搬送側気密扉２３と、前記搬送室２１とプロセス装置１２の受渡部１７との間でワーク１５を受け渡し可能な移載装置２４とを有し、前記クリーンルーム１１内に走行可能に配設されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の如く、ワーク１５の搬送経路となるクリーンルーム１１全体を高グレードな清浄度とするのでは、大掛かりな空調設備が必要となり、その設備費並びに運転費が嵩むという欠点を有していた。
【０００８】
このような欠点を解消するものとしては、従来、例えば、特開平９−１３３３８５号公報に開示されたようなものが存在し、これは、図１０に示される如く、搬送台車１４の高グレードな清浄度に保持される搬送室２１全体をせり出すように進退可能に設け、搬送台車１４とプロセス装置１２との間におけるワーク１５の受け渡し時には、搬送室２１全体をせり出すように前進させることにより、搬送側受渡口２２をプロセス側受渡口１８に密着させ、この状態で、プロセス側気密扉１９と搬送側気密扉２３とを開き、移載装置２４によりワーク１５を受け渡すようにしたものである。
【０００９】
しかしながら、特開平９−１３３３８５号公報に開示されたようなものでは、搬送台車１４の一側にしか搬送側受渡口２２を形成できなくなると共に、高グレードな清浄度に保持される搬送室２１全体をせり出すように進退可能とするための機構が必要となり、搬送台車１４の構造が非常に複雑化し、コストアップにつながるという不具合があった。
【００１０】
本発明は、斯かる実情に鑑み、ワークの搬送経路を簡単な構造で局所的に高グレードな清浄度とすることができ、クリーンルーム全体を高グレードな清浄度とする必要をなくして、大掛かりな空調設備を不要とし得、設備費並びに運転費を削減し得るクリーンルーム装置を提供しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、内部が低グレードな清浄度に保持されるクリーンルームと、
内部が前記クリーンルームの内圧より陽圧となるよう高グレードな清浄度に保持され且つワークを収容可能な受渡部と、該受渡部の側面に開口され且つワークを出し入れ可能なプロセス側受渡口と、該プロセス側受渡口を開閉可能なプロセス側気密扉とを有し、前記クリーンルーム内に設置されるプロセス装置と、
内部が前記クリーンルームの内圧より陽圧となるよう高グレードな清浄度に保持され且つワークを収容可能な搬送室と、該搬送室の側面に開口され且つワークを出し入れ可能な搬送側受渡口と、該搬送側受渡口を開閉可能な搬送側気密扉と、前記搬送室とプロセス装置の受渡部との間でワークを受け渡し可能な移載装置とを有し、前記クリーンルーム内に走行可能に配設される搬送台車とを備え、
前記プロセス側受渡口の上下縁部に外方へ張り出すプロセス側庇部材を取り付けると共に、前記搬送側受渡口の上下縁部に、ワークの移載時に搬送側受渡口をプロセス側受渡口へ対向させた際に前記プロセス側庇部材に対し上下方向へ所要の隙間をあけて重なり合うよう外方へ張り出す搬送側庇部材を取り付け、
ワークの移載時に搬送側受渡口をプロセス側受渡口に対向させた状態でその間の空間にクリーンフローによるエアパージが行われるよう構成したことを特徴とするクリーンルーム装置にかかるものである。
【００１２】
上記手段によれば、以下のような作用が得られる。
【００１３】
ワークの移載時に搬送側受渡口をプロセス側受渡口に対向させた状態でその間の空間にクリーンフローによるエアパージが行われると、ワークの搬送経路となる搬送側受渡口とプロセス側受渡口との間の空間が局所的に高グレードな清浄度に保持される形となり、クリーンルーム全体を高グレードな清浄度としなくて済み、大掛かりな空調設備が不要となり、設備費並びに運転費を削減可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図示例と共に説明する。
【００１５】
図１〜図７は本発明を実施する形態の一例であって、図中、図９と同一の符号を付した部分は同一物を表わしており、基本的な構成は図９に示す従来のものと同様であるが、本図示例の特徴とするところは、図１〜図７に示す如く、プロセス側受渡口１８の上下縁部に外方へ張り出すプロセス側庇部材１を取り付けると共に、搬送側受渡口２２の上下縁部に、ワーク１５の移載時に搬送側受渡口２２をプロセス側受渡口１８へ対向させた際に前記プロセス側庇部材１に対し上下方向へ所要の隙間をあけて重なり合うよう外方へ張り出す搬送側庇部材２を取り付け、ワーク１５の移載時に搬送側受渡口２２をプロセス側受渡口１８に対向させた状態でその間の空間にクリーンフローによるエアパージが行われるよう構成した点にある。
【００１６】
次に、上記図示例の作動を説明する。
【００１７】
先ず、図１に示す如く、搬送室２１にワーク１５を収容した搬送台車１４を走行させ、図２に示す如く、搬送台車１４をプロセス装置１２に接近させて搬送側受渡口２２をプロセス側受渡口１８に対向させると、搬送側気密扉２３が開き始める。
【００１８】
前記搬送側気密扉２３が開き始めると、搬送室２１の内部はクリーンルーム１１の内圧より陽圧となっているため、搬送側受渡口２２とプロセス側受渡口１８との間の空間には、図３に示す如く、クリーンフローによるエアパージが行われる形となり、該空間が局所的に高グレードな清浄度に保持される。ここで、クリーンルーム１１における気流は主に上方から下方へ向かう流れとなっているが、前記搬送側受渡口２２をプロセス側受渡口１８へ対向させた際には、該搬送側庇部材２がプロセス側庇部材１に対し上下方向へ所要の隙間をあけて重なり合うようになっており、搬送側庇部材２とプロセス側庇部材１とによっていわゆるラビリンス構造が搬送側受渡口２２とプロセス側受渡口１８との間の空間の上下に形成されているため、クリーンルーム１１における上方から下方へ向かう気流にごく僅かに含まれる微小な塵埃等が搬送側受渡口２２とプロセス側受渡口１８との間の空間に侵入する心配はなく、プロセス側庇部材１と搬送側庇部材２が、プロセス側受渡口１８と搬送側受渡口２２の上下縁部にそれぞれ取り付けられているだけで、プロセス側受渡口１８と搬送側受渡口２２の左右縁部が開放されていても、搬送側受渡口２２とプロセス側受渡口１８との間の空間を高グレードな清浄度に保持することに関して支障を来たすことはない。尚、この点については、実際に気流可視化装置（水蒸気式）を用い、搬送側受渡口２２とプロセス側受渡口１８との間の空間にダーティー領域を形成するように模擬して行った実験においても、白く目視される水蒸気がクリーンフローによるエアパージにより除去され、透明となることが確認されている。
【００１９】
続いて、図４に示す如く、搬送側気密扉２３とプロセス側気密扉１９が完全に開放されると、ワーク１５の移載が開始され、図５に示す如く、移載装置２４のフォークがスライドするように張り出されてワーク１５がプロセス装置１２の受渡部１７へ移載され、図６に示す如く、ワーク１５が受渡部１７の受台１６の上に載置され、前記移載装置２４のフォークがスライドするように引き戻された後、図７に示す如く、プロセス側気密扉１９と搬送側気密扉２３が閉じられ、ワーク１５の移載が完了する。このような動作が行われている間、搬送側受渡口２２とプロセス側受渡口１８との間の空間は、クリーンエアで満たされたまま保持されている。
【００２０】
このように、ワーク１５の移載時に搬送側受渡口２２をプロセス側受渡口１８に対向させた状態でその間の空間にクリーンフローによるエアパージが行われると、ワーク１５の搬送経路となる搬送側受渡口２２とプロセス側受渡口１８との間の空間が局所的に高グレードな清浄度に保持される形となり、クリーンルーム１１全体を高グレードな清浄度としなくて済み、大掛かりな空調設備が不要となり、設備費並びに運転費を削減可能となる。又、図示したように両側に搬送側受渡口２２が形成された搬送台車１４への適用も容易に行うことが可能となる。
【００２１】
こうして、ワーク１５の搬送経路を簡単な構造で局所的に高グレードな清浄度とすることができ、クリーンルーム１１全体を高グレードな清浄度とする必要をなくして、大掛かりな空調設備を不要とし得、設備費並びに運転費を削減し得る。
【００２２】
尚、本発明のクリーンルーム装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、搬送側受渡口２２とプロセス側受渡口１８との間の空間にクリーンフローによるエアパージを行うための専用のノズルを別途設けるようにしてもよいこと等、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００２３】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明のクリーンルーム装置によれば、ワークの搬送経路を簡単な構造で局所的に高グレードな清浄度とすることができ、クリーンルーム全体を高グレードな清浄度とする必要をなくして、大掛かりな空調設備を不要とし得、設備費並びに運転費を削減し得るという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施する形態の一例におけるワーク搬送状態を表わす概要側面図である。
【図２】本発明を実施する形態の一例において、搬送台車をプロセス装置に接近させて搬送側受渡口をプロセス側受渡口に対向させ、搬送側気密扉を開き始めた状態を表わす概要側面図である。
【図３】図２のＩＩＩ部拡大図である。
【図４】本発明を実施する形態の一例において、搬送側気密扉とプロセス側気密扉を完全に開放し、ワークの移載を開始する直前の状態を表わす概要側面図である。
【図５】本発明を実施する形態の一例において、ワークの移載途中の状態を表わす概要側面図である。
【図６】本発明を実施する形態の一例において、ワークを受渡部へ移載した状態を表わす概要側面図である。
【図７】本発明を実施する形態の一例において、ワークの移載が完了した状態を表わす概要側面図である。
【図８】従来のクリーンルーム装置の一例を表わす概要平面図である。
【図９】従来のクリーンルーム装置の他の例を表わす概要側面図である。
【図１０】従来のクリーンルーム装置の更に他の例を表わす概要側面図である。
【符号の説明】
１  プロセス側庇部材
２  搬送側庇部材
１１  クリーンルーム
１２  プロセス装置
１４  搬送台車
１５  ワーク
１７  受渡部
１８  プロセス側受渡口
１９  プロセス側気密扉
２１  搬送室
２２  搬送側受渡口
２３  搬送側気密扉
２４  移載装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0003852570.tif 000010
【図１０】
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