(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源より照射される照射光を平面上に複数配列された微小鏡面素子の鏡面偏向によつて空間光変調する鏡面偏向型空間光変調装置において、
複数配列された上記微小鏡面素子によつて形成される有効反射領域の周囲に拡がる無効反射領域に対面させて上記微小鏡面素子の配列される平面と平行になるように配された上記照射光を反射する鏡面反射層を具え、
上記鏡面反射層は、複数配列する上記微小鏡面素子の周囲にスペーサを介して上記微小鏡面素子の配列される平面と所定の間隔を保持するように形成される
ことを特徴とする鏡面偏向型空間光変調装置。
【請求項２】
上記鏡面反射層は、上記微小鏡面素子の配列される平面との間隔を約１〔mm〕以下、に保持して設置する
ことを特徴とする請求項１に記載の鏡面偏向型空間光変調装置。
【請求項３】
上記微小鏡面素子を形成する半導体基板の周辺部に設けた段差部の上記半導体基板の表面に比して低くなつた位置に、当該半導体基板とリードフレームとを接続するボンデイングワイヤのパツドを設置することによつて、上記ボンデイングワイヤの上部が上記鏡面反射層に接触するのを防ぐようにした
ことを特徴とする請求項１に記載の鏡面偏向型空間光変調装置。
【請求項４】
上記鏡面反射層は、照射光を透過する上記微小鏡面素子を保護するための光透過部材の下面において、複数配列される上記微小鏡面素子に対面しない領域に形成される
ことを特徴とする請求項１に記載の鏡面偏向型光空間変調装置。
【請求項５】
光源より照射される照射光を平面上に複数配列された微小鏡面素子の鏡面偏向によつて空間光変調する鏡面偏向型空間光変調装置において、
複数配列された上記微小鏡面素子によつて形成される有効反射領域の周囲に拡がる無効反射領域に対面させて上記微小鏡面素子の配列される平面と平行になるように配された上記照射光を反射する鏡面反射層を具え、
上記微小鏡面素子を形成する半導体基板の周辺部に設けた段差部の上記半導体基板の表面に比して低くなつた位置に、当該半導体基板とリードフレームとを接続するボンデイングワイヤのパツドを設置することによつて、上記ボンデイングワイヤの上部が上記鏡面反射層に接触するのを防ぐようにした
ことを特徴とする鏡面偏向型空間光変調装置。
【請求項６】
光源より照射される照射光を鏡面偏向型空間光変調装置によつて映像信号に応じて空間光変調することにより映像光を生成し、該映像光を投射レンズを通じて拡大投射するプロジエクタ装置において、
上記鏡面偏向型空間光変調装置は、空間光変調するために複数配列される微小鏡面素子によつて形成される有効反射領域の周囲に拡がる無効反射領域に対面させて上記微小鏡面素子の配列される平面と平行になるように配された上記照射光を反射する鏡面反射層を具え、
上記鏡面反射層は、複数配列する上記微小鏡面素子の周囲にスペーサを介して上記微小鏡面素子の配列される平面と所定の間隔を保持するように形成される
ことを特徴とするプロジエクタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【目次】
以下の順序で本発明を説明する。
発明の属する技術分野
従来の技術（図７〜図１１）
発明が解決しようとする課題
課題を解決するための手段
発明の実施の形態（図１〜図６）
発明の効果
【０００２】
【発明の属する技術分野】
本発明は鏡面偏向型空間光変調装置及びプロジエクタ装置に関し、例えば光源からの照射光を空間光変調して映像光を生成する鏡面偏向型空間光変調装置及び該映像光をスクリーン上に拡大投射するプロジエクタ装置に適用して好適なものである。
【０００３】
【従来の技術】
従来、デイスプレイシステムとして微小鏡面素子を画素に応じて平面状に配置し、各々の微小鏡面素子の反射を利用した鏡面偏向型光変調装置（以下これをミラーライトバルブと呼ぶ）を用いたものが提案されている（特開昭60-179781 号公報、特開平3-40693 号公報、特開平3-174112号公報）。さらにこのミラーライトバルブを用いて光源から照射される光を空間光変調することによつて得られる映像光をスクリーン上に拡大投射するプロジエクタ装置が提案されている。
【０００４】
図７に示すようにプロジエクタ装置１は、映像信号に基づいてミラーライトバルブ２をオン／オフ制御して光源Ｓから照射される照射光Ｌを空間光変調し、その結果得られる映像光でなる反射光Ｌ１をプロジエクシヨンレンズ３を通じてスクリーン４上に拡大投射する。このプロジエクタ装置１の投射光学系は、映像源に用いるミラーライトバルブ２の法線がプロジエクシヨンレンズ３の光軸Ｌaxと平行になるように配置する。
【０００５】
さらにミラーライトバルブ２がオン時に反射光Ｌ１が法線と平行になるようにすると共に、ミラーライトバルブ２がオフ時には反射光Ｌ２がプロジエクシヨンレンズ３の開口に入らないように光源２からの照射光Ｌを入射させる。このように光学系の配置を設定することによつてミラーライトバルブ２がオン時の一つの画素からの反射光がプロジエクシヨンレンズ３によつて集光されスクリーン４上に画素の像が結像される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで図８に示すように照射光Ｌは、空間変調するためのミラーライトバルブ２の設けられた領域（以下有効反射領域という）１０と空間変調に寄与しない領域（以下無効反射領域という）１１のそれぞれに照射される。ここで有効反射領域１０に照射された照射光Ｌは、ミラーライトバルブ２のオン／オフに応じてそれぞれ反射光Ｌ１及びＬ２の向きに反射される。このとき反射光Ｌ１及びＬ２の強度分布の角度依存性による拡がりはそれぞれ分布Ｒ１及びＲ２のようになる。また無効反射領域１１から反射される反射光Ｌ３の強度分布の角度依存性による拡がりは分布Ｒ３のようになる。
【０００７】
ここで図９（Ａ）及び（Ｂ）にミラーライトバルブ２の微小鏡面素子１２がオン／オフそれぞれの場合の有効反射領域１０に照射された照射光Ｌの反射光の向きと強度分布の角度依存性による拡がりを示す。このように有効反射領域１０であるミラーライトバルブ２に照射された照射光Ｌは、微小鏡面素子１２のオン／オフによつてそれぞれの反射光の領域を容易に分けることができる。
【０００８】
ここで有効反射領域１０は鏡面で形成されているが、画像変調に寄与しないミラーライトバルブ２周辺の無効反射領域１１は通常、拡散面で形成される。このため無効反射領域１１によつて反射される光は散乱光となり、拡がりが大きくかつオフ状態の場合のような傾きをもたない。この結果、図８に示すように、有効反射領域１０のオン状態のときの反射光Ｌ１と無効反射領域１１からの散乱光Ｌ３とのつくる角度が小さくなる。このため無効反射領域１１から反射される散乱光Ｌ３の一部がプロジエクシヨンレンズ３の開口に入りスクリーン４上に結像して投射画像の画質を大幅に損なうという問題があつた。
【０００９】
実際、無効反射領域１１に設けられたミラーライトバルブ２のための回路がスクリーン４上に投射されるのは避けがたく、通常は図１０に示すように無効反射領域１１からの反射光を遮るカバー１３を設けている。しかしそのカバーは通常、拡散面で形成されているのでスクリーン４上において映像光による画像が投射される有効画像領域１４の周辺部にカバー１３からの光が入り込む。
【００１０】
また図１１に示すミラーライトバルブ１５のように、無効反射領域１１を覆つているカバーガラス１６に照射光Ｌを反射する反射面１７を設けたものが提案されている。この反射面１７は、コーテイング処理により形成される。ところで無効反射領域１１には、リードフレーム１８とミラーライトバルブ２が形成される半導体チツプ１９とを接続するボンデイングワイヤ２０が設けられている。ここでボンデイングワイヤ２０は半導体チツプ１９上に上部に山なりに曲がつて半導体チツプ１９に接続するので、ボンデイングワイヤ２０の上部が反射面１７に接触しないように反射面１７に所定の傾きをつける必要がある。
【００１１】
ところで微小鏡面素子１２をマトリクス状に配列したミラーライトバルブ２の有効反射領域１０の形状は方形となるので、各辺に対応して設けられる傾きのつけられた反射面１７同士のつぎ目が光学的な特異点となる。このためつぎ目によつて散乱光が発生され、この散乱光による不要な光がスクリーン４上の有効画像領域１４の内部に入り込んでしまうという問題があつた。
【００１２】
さらに各反射面１７に対して照射される照射光Ｌの反射方向がそれぞれ異なるため、各反射面１７による反射光を全てスクリーン４上の有効画像領域１４に入れないように照射の向きを設定することが難しいという問題があつた。
【００１３】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、無効反射領域からの散乱光による投射画像の画質の劣化を未然に防止することのできる鏡面偏向型空間光変調装置及びプロジエクタ装置を提案しようとするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため本発明においては、光源より照射される照射光を平面上に複数配列された微小鏡面素子の鏡面偏向によつて空間光変調する鏡面偏向型空間光変調装置において、複数配列された微小鏡面素子によつて形成される有効反射領域の周囲に拡がる無効反射領域に対面させて微小鏡面素子の配列される平面と平行になるように配された照射光を反射する鏡面反射層を備え、鏡面反射層は、複数配列する微小鏡面素子の周囲にスペーサを介して微小鏡面素子の配列される平面と所定の間隔を保持するように形成されるようにする。これにより有効反射領域の周囲の無効反射領域に照射される照射光を散乱光とせずに所定方向に反射することができる。
また本発明においては、光源より照射される照射光を平面上に複数配列された微小鏡面素子の鏡面偏向によつて空間光変調する鏡面偏向型空間光変調装置において、複数配列された微小鏡面素子によつて形成される有効反射領域の周囲に拡がる無効反射領域に対面させて微小鏡面素子の配列される平面と平行になるように配された照射光を反射する鏡面反射層を備え、微小鏡面素子を形成する半導体基板の周辺部に設けた段差部の半導体基板の表面に比して低くなつた位置に、当該半導体基板とリードフレームとを接続するボンデイングワイヤのパツドを設置することによつて、ボンデイングワイヤの上部が鏡面反射層に接触するのを防ぐようにする。これにより、有効反射領域の周囲の無効反射領域に照射される照射光を散乱光とせずに所定方向に反射することができ、鏡面反射層と微小鏡面素子の高さ位置の違いによりスクリーン上の有効画像領域に結像位置がずれた像が投射されるのを未然に防止することができる。
【００１５】
さらに、本発明においては、光源より照射される照射光を鏡面偏向型空間光変調装置によつて映像信号に応じて空間光変調することによつて映像光を生成し、該映像光を投射レンズを通じて拡大投射するプロジエクタ装置において、鏡面偏向型空間光変調装置は、空間光変調するために複数配列される微小鏡面素子によつて形成される有効反射領域の周囲に拡がる無効反射領域に対面させて微小鏡面素子の配列される平面と平行になるように配された上記照射光を反射する鏡面反射層を備え、鏡面反射層は、複数配列する微小鏡面素子の周囲にスペーサを介して微小鏡面素子の配列される平面と所定の間隔を保持するように形成する。これにより有効反射領域の周囲に照射される照射光を投射レンズの開口に入らない方向に反射することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。
【００１７】
図７との対応する部分に同一符号を付した図１において、２５は全体としてプロジエクタ装置を示し、白色光を照射する光源Ｓからの照射光Ｌを空間光変調するための平面上に複数配列されたミラーライトバルブ３０と、該ミラーライトバルブ３０によつて空間光変調された映像光を集光してスクリーン４上に拡大投射するプロジエクシヨンレンズ３とから構成される。
【００１８】
プロジエクタ装置２５の光学系は、ミラーライトバルブ３０平面の法線Ｌaxがプロジエクシヨンレンズ３の光軸と平行になるように配置する。ここでミラーライトバルブ３０がオン時、反射光Ｌ１が法線Ｌaxと平行になるように光源Ｓからの照射光Ｌを入射させると共に、ミラーライトバルブ３０がオフ時の場合に反射光Ｌ２がプロジエクシヨンレンズ３の開口に入らないようにしておく。ミラーライトバルブ３０の光学系配置をこのように設定することによつて、ミラーライトバルブ３０がオン時には、対応する画素からの反射光がプロジエクシヨンレンズ３によつて集光されスクリーン４上に画素の像が結像される。
【００１９】
図２に示すように、ミラーライトバルブ３０は、それぞれ映像信号の画素の配列（例えば768 ×576 個でなる）に応じて、例えば17〔μｍ〕角程度でなる微小鏡面素子１２が半導体チツプ３１上に形成された駆動回路に組み合わされて複数配列されている。この微小鏡面素子１２は映像データの画素の配列に応じたフレームメモリの各メモリセルに対応して配置され照射光Ｌを空間光変調する有効反射領域１０を形成している。すなわちミラーライトバルブ３０は、駆動回路によつて各メモリセルの状態に応じた映像信号によつて対応する微小鏡面素子１２の傾き状態がそれぞれ選択的に変化されるようになされている。
【００２０】
実際上、図３（Ａ）に示すように、ミラーライトバルブ３０の各微小鏡面素子１２は支点３３を軸にして照射光Ｌを反射する鏡面を±5 〜±15〔°〕に傾かせる。すなわち図３（Ｂ）に示すように、ミラーライトバルブ３０は、画素がオン状態の場合には中立状態に対して微小鏡面素子１２が支点３３を軸にして鏡面素子を＋5 〜＋15〔°〕傾かせ、反射光Ｌ１をプロジエクシヨンレンズ３に照射する。逆にメモリセルがオフ状態の場合には中立状態に対して微小鏡面素子１２が−5 〜−15〔°〕傾くようになされている。これにより入射光Ｌに対して鏡面で反射される反射光が画像を形成するために必要な有効な反射光Ｌ１と無効な反射光Ｌ２で約20〜60〔°〕の光路差を有するように切換えられる。ここでメモリセルがオフ状態のときの発せられる反射光Ｌ２を散乱させないために、所定のストツパー（図示せず）を用いて散乱光を吸収するようにする。
【００２１】
因みに図３では照射光Ｌを平行光として表現しているが、実際には光源Ｓが有限の大きさをもつているので光束は10〔°〕程度の拡がりを有している。このため反射光Ｌ１をプロジエクシヨンレンズ３によつてスクリーン４上に結像する必要がある。
【００２２】
図４にセラミツクパツケージでなるミラーライトバルブ３０を示す。ミラーライトバルブ３０は、微小鏡面素子１２が半導体チツプ３１上に形成されると共に、半導体チツプ３１がセラミツク基板３４上に設置され、半導体チツプ３１表面上の全体を照射光Ｌを透過するガラス体でなる平板状の保護用カバーガラス３５によつて覆われる。カバーガラス３５平面は、半導体チツプ３１平面と平行に約0.5 〔mm〕の間隔を保持して設置される。このように半導体チツプ３１は、セラミツク基板３４とカバーガラス３５との間に気密用のシールリング３６を介して密閉されている。
【００２３】
カバーガラス３５は、空間光変調がなされる有効反射領域１０に対面する部分に照射光Ｌが透過できる窓を開ける一方、空間光変調に寄与しない有効反射領域１０周囲の無効反射領域１１に対面する領域の下面に照射光Ｌを反射するための鏡面反射層３７を形成している。
この鏡面反射層３７は、カバーガラス３５の有効反射領域１０に対面する領域をマスキングしてアミニウム等のコーテイング処理によつてカバーガラス３５裏面の無効反射領域１１に対面する領域全面に形成される。ここでアミニウム等のコーテイング処理は、一様な平面をもつたカバーガラス３５に対してなされるので光学的に特異点のない均一な反射層を形成することができる。これにより鏡面反射層３７によつて散乱光が発生することを未然に防止し得る。
【００２４】
微小鏡面素子１２が形成される半導体チツプ３１は、ボンデイングワイヤ４０によつてリードフレーム４１に接続されている。この半導体チツプ３１の縁の部分３１Ａには段差が設けられており、半導体チツプ３１表面より一段下つた部分にボンデイングワイヤ４０を接続するためのボンデイングパツド４２が設けられている。このようにボンデイングパツド４２の位置を半導体チツプ３１表面に比して低く設定することにより、半導体チツプ３１とリードフレーム４１とを接続するボンデイングワイヤ４０の上部がカバーガラス３５に接触するのを未然に防止することができる。
これにより平板状のカバーガラス３５をミラーライトバルブ３０表面に対して約0.5 〔mm〕の間隔に容易に近接させて設置することができる。
【００２５】
この結果、図５に示すようにミラーライトバルブ３０表面と鏡面反射層３７との高さ位置の違いによりスクリーン４上の有効画像領域１４に結像位置がずれた像が投射されるのを未然に防止することができる。これにより有効画像領域１４に映像光以外の光が入り込み投射画像のコントラストを低下させるのを防止することができる。
またカバーガラス３５を傾けず半導体チツプ３１の平面と平行に設置するようにしたことにより、傾斜部を形成するためのプレス加工等の工程が必要なくなり、製作の手間を省くことができる。さらに傾斜部を形成しないことによつてガラス厚を薄くすることができるのでコストを抑えることもできる。
【００２６】
さらに平板状の鏡面反射層３７をミラーライトバルブ３０表面上と平行にかつ近接させて設けることにより、無効反射領域１１に対して所定の方向から照射される照射光Ｌを全て同じ方向に一様に反射することができる。すなわち照射光Ｌの照射方向を所定の方向に設定することにより、無効反射領域１１に照射された照射光Ｌによつて発生する反射光Ｌ４をスクリーン４上の有効画像領域１４とは別の方向に反射することができる。このとき反射光Ｌ４は散乱光とはならないため、プロジエクシヨンレンズ３の開口に無効反射領域１１から反射される映像光以外の光が入射されることがなくなる。これによりスクリーン４上に拡大投射される画像の周辺部のコントラストの低下を未然に防止し得る。
【００２７】
以上の構成において、光源Ｓより照射された照射光Ｌは、カバーガラス３５に開けられた窓を透過して複数配列された微小鏡面素子１２に照射される。ここで複数配列された微小鏡面素子１２に照射された照射光Ｌは、各々映像信号に基づいて空間光変調される。この結果、得られる映像光Ｌ１は、プロジエクシヨンレンズ３によつて集光されスクリーン４上の有効画像領域１４に拡大投射される。このとき半導体チツプ３１の無効反射領域１１にも照射光Ｌが照射されるが、照射光Ｌは鏡面反射層３７によつてプロジエクシヨンレンズ３の開口に入らない方向に反射光Ｌ４として反射される。この結果、スクリーン４上の有効画像領域１４に有効反射領域１０から反射される映像光Ｌ１以外の光が入るのが未然に防止される。これによりスクリーン４上に拡大投射される画像の画質を従来に比して大幅に向上させることができる。
【００２８】
以上の構成によれば、ミラーライトバルブ３０表面を覆うカバーガラス３５の無効反射領域１１に対応する部分に鏡面反射層３７を形成することにより、空間変調に寄与しない無効反射領域１１にされた照射光Ｌによつて発生する散乱光の発生を未然に防止することができる。さらに鏡面反射層３７をミラーライトバルブ３０表面とほぼ同じ高さ位置に設けたことにより、有効画像領域１４に鏡面反射層３７による結像位置のずれた像が結像するのを未然に防止し得る。
【００２９】
さらに鏡面反射層３７によつて反射される照射光Ｌの反射光Ｌ４を有効画像領域１４以外の方向に反射させてスクリーン４上の有効画像領域１４に入らないように設定することにより、有効画像領域１４の周辺に無効反射領域１１からの反射光が入り込むのを未然に防止し得る。これによりスクリーン４上の有効画像領域１４に映像光Ｌ１以外の光が結像するのを未然に防止し得、映像光Ｌ１による画像周辺部のコントラストの低下を防ぐと共に、画質を大幅に向上することができる。
【００３０】
さらに上述の実施例によれば、鏡面反射層３７によつて半導体チツプ３１上の無効反射領域１１に照射光Ｌが照射されなくなるので、半導体チツプ３１の温度上昇を未然に防止し得る。
【００３１】
なお上述の実施例においては、複数配列された微小鏡面素子１２の表面と鏡面反射層３７との間隔を0.5 〔mm〕とした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、好ましくは0.5 〔mm〕程度として、約１〔mm〕以下であれば良く、これにより上述した実施例と同様の効果が得られる。
【００３２】
また上述の実施例においては、鏡面反射層３７をカバーガラス３５の下面に設けた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば図６（Ａ）に示すように、鏡面反射層５０をカバーガラス３５の上面に設けるようにしても良い。
さらに上述の実施例においては、鏡面反射層３７を半導体チツプ３１平面に対して平行になるように設置した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば図６（Ｂ）に示す鏡面反射層５１のように、半導体チツプ３１平面に対して周辺部に向かつて徐々に下るように所定の傾きを有するようにしても良く、これにより半導体チツプ３１周辺部に接続されるボンデイングワイヤ等が鏡面反射層５１に接触するのを防ぐことができる。
【００３３】
さらにミラーライトバルブ３０表面と保護用のカバーガラス３５との間隔が拡がつている場合には図６（Ｃ）に示すように、カバーガラス３５の内側に鏡面反射層５２を設けた平板５３をスペーサ５４を介して半導体チツプ３１平面に平行に設けるようにしても良い。また図６（Ｄ）に示すように、傾きをつけた平板５５を設置しても良い。
【００３４】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、複数配列された微小鏡面素子により形成される空間光変調するための有効反射領域の周囲に拡がる無効反射領域に対面させて有効反射領域の平面と平行に鏡面反射層を設置し、鏡面反射層は、複数配列する微小鏡面素子の周囲にスペーサを介して上記微小鏡面素子の配列される平面と所定の間隔を保持するように形成することにより、無効反射領域に照射される照射光を散乱させずに所定方向に反射することのできる鏡面偏向型空間光変調装置及び当該鏡面偏向型空間光変調装置を設けたプロジエクタ装置を実現し得る。
また本発明によれば、光源より照射される照射光を平面上に複数配列された微小鏡面素子の鏡面偏向によつて空間光変調する鏡面偏向型空間光変調装置において、複数配列された微小鏡面素子によつて形成される有効反射領域の周囲に拡がる無効反射領域に対面させて微小鏡面素子の配列される平面と平行になるように配された照射光を反射する鏡面反射層を備え、微小鏡面素子を形成する半導体基板の周辺部に設けた段差部の半導体基板の表面に比して低くなつた位置に、当該半導体基板とリードフレームとを接続するボンデイングワイヤのパツドを設置することによつて、上記ボンデイングワイヤの上部が上記鏡面反射層に接触するのを防ぐようにする。これにより、有効反射領域の周囲の無効反射領域に照射される照射光を散乱光とせずに所定方向に反射することができ、鏡面反射層と微小鏡面素子の高さ位置の違いによりスクリーン上の有効画像領域に結像位置がずれた像が投射されるのを未然に防止することができる鏡面偏向型空間光変調装置を実現し得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例による鏡面偏光型空間光変調装置を用いたプロジエクタ装置を示す略線図である。
【図２】鏡面偏光型空間光変調装置を示す略線図である。
【図３】鏡面偏光型空間光変調装置の微小鏡面反射素子の動作の説明に供する略線図である。
【図４】実施例による鏡面偏光型空間光変調装置を示す側面図である。
【図５】鏡面偏光型空間光変調装置に照射される照射光と反射光の説明に供する略線図である。
【図６】鏡面偏光型空間光変調装置の鏡面反射層の設置状態を示す略線図である。
【図７】従来の鏡面偏光型空間光変調装置を用いたプロジエクタ装置を示す略線図である。
【図８】従来の鏡面偏光型空間光変調装置に照射される照射光と反射光の説明に供する略線図である。
【図９】微小鏡面素子の反射光の向きと強度分布の説明に供する略線図である。
【図１０】従来の鏡面偏光型空間光変調装置に照射される照射光と反射光の説明に供する略線図である。
【図１１】従来の鏡面偏光型空間光変調装置を示す側面図である。
【符号の説明】
１、２５……プロジエクタ装置、２、３０……ミラーライトバルブ、３……プロジエクシヨンレンズ、４……スクリーン、１０……有効反射領域、１１……無効反射領、１２……微小鏡面素子、１３……カバー、１４……有効画像領域、１６、３５……カバーガラス、１７……反射面、１８、４１……リードフレーム、１９、３１……半導体チツプ、２０、４０……ボンデイングワイヤ、４２……ボンデイングパツド、３６……スペーサ、３７、５０、５１、５３、５５……鏡面反射層、５４……スペーサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図１０】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図８】
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【図１１】
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