(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部材に対して、測定対象物が載置される載物台を移動させる載物台用送り機構であって、
前記載物台に回転可能かつ前記載物台の移動方向に対して平行に支持された送りねじ軸と、この送りねじ軸を回転させる送りハンドルと、前記固定部材に設けられ前記送りねじ軸に噛合可能なナット部材と、このナット部材を前記送りねじ軸に対して噛合および離脱させる噛合離脱手段とを備え、
前記噛合離脱手段は、前記載物台に前記送りねじ軸と平行に配置される切換軸と、この切換軸を回転させる操作部と、前記切換軸および前記送りねじ軸を挟んで前記固定部材に支持され、それぞれ前記ナット部材を有する２枚の板ばねと、前記切換軸に設けられ当該切換軸の回転に応じて、前記ナット部材が前記送りねじ軸に対して噛合および離脱する方向へ前記２枚の板ばねを変形させるカムとを備え、
前記噛合離脱手段の操作部は、前記送りハンドルの近傍に配置されるとともに、前記送りハンドル近傍の前記送りねじ軸に回転可能に設けられ、かつその送りねじ軸を中心とする歯車部を有する切換ハンドルと、前記切換軸に取り付けられるとともに、前記歯車部に噛合する歯車とを備え、前記切換ハンドルの操作により、前記歯車を介して、前記切換軸が回転可能に構成されていることを特徴とする載物台用送り機構。
【請求項２】
請求項１に記載の載物台用送り機構において、前記ナット部材のピッチは、前記送りねじ軸のピッチよりも小さく形成されていることを特徴とする載物台用送り機構。
【請求項３】
請求項２に記載の載物台用送り機構において、前記ナット部材のピッチは、前記送りねじ軸のピッチの半分であることを特徴とする載物台用送り機構。
【請求項４】
請求項１に記載の載物台用送り機構において、前記ナット部材の内径は、前記送りねじ軸の外径よりも大きく形成されていることを特徴とする載物台用送り機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、載物台を送るための載物台用送り機構に関する。
【０００２】
【背景技術】
測定顕微鏡には、測定対象物の測定部位を観察位置まで移動させるために、固定部材に対して、測定対象物が載置される載物台を移動させる載物台用送り機構が備えられている。
従来の載物台用送り機構は、図６，７に示すように、載物台１００にフレーム１０１を介して回転可能かつ載物台１００の移動方向に対して平行に支持された送りねじ軸１２０と、送りねじ軸１２０を回転させる送りハンドル１３０と、固定部材１１０側にブラケット１１１を介して設けられ送りねじ軸１２０に噛合可能なナット部材としてのハーフナット１４０とを備えて構成されている。
【０００３】
これにより、一方の手（右手）で送りハンドル１３０を操作すると、送りねじ軸１２０が回転するので、送りねじ軸１２０に噛合されたハーフナット１４０との協働により、載物台１００が、固定部材１１０に対して送りねじ軸１２０に沿った方向へと移動（微動）される。
しかし、載物台１００を大きく移動（粗動）させたい場合に、送りねじ軸１２０の回転で載物台１００を移動させるこのような機構では、送りハンドル１３０の操作回数を増加させなければならず、非常に効率が悪い。
【０００４】
そこで、この点を改善するために、送りねじ軸１２０の軸方向に直交する方向（上下方向）へハーフナット１４０を移動させて、送りねじ軸１２０とハーフナット１４０との噛合および離脱を可能にするフローティングレバー１５０を設けある。
これにより、他方の手（左手）でフローティングレバー１５０を操作すると、ハーフナット１４０と送りねじ軸１２０とが離脱して、載物台１００がフリー状態となるので、このフリー状態としたままで送りハンドル１３０を動かせば、載物台１００を粗動させることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このように載物台１００の粗動および微動の切換をフローティングレバー１５０の操作により行っているが、微動のための送りハンドル１３０と粗動のためのフローティングレバー１５０とが離れているため、測定顕微鏡による測定時には、観察または測定のために覗いていた接眼レンズから一度目を離して、フローティングレバー１５０の位置を確認しなければならず、操作性が悪く、測定作業が繁雑であるという問題があった。
なお、このような問題は、測定顕微鏡に限らず、測定投影機等の載物台用送り機構を有するその他の測定機器においても同様であった。
【０００６】
本発明の目的は、操作性を向上して測定作業を簡単にできる載物台用送り機構を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の載物台用送り機構は、固定部材に対して、測定対象物が載置される載物台を移動させる載物台用送り機構であって、前記載物台に回転可能かつ前記載物台の移動方向に対して平行に支持された送りねじ軸と、この送りねじ軸を回転させる送りハンドルと、前記固定部材に設けられ前記送りねじ軸に噛合可能なナット部材と、このナット部材を前記送りねじ軸に対して噛合および離脱させる噛合離脱手段とを備え、前記噛合離脱手段は、前記載物台に前記送りねじ軸と平行に配置される切換軸と、この切換軸を回転させる操作部と、前記切換軸および前記送りねじ軸を挟んで前記固定部材に支持され、それぞれ前記ナット部材を有する２枚の板ばねと、前記切換軸に設けられ当該切換軸の回転に応じて、前記ナット部材が前記送りねじ軸に対して噛合および離脱する方向へ前記２枚の板ばねを変形させるカムとを備え、前記噛合離脱手段の操作部は、前記送りハンドルの近傍に配置されるとともに、前記送りハンドル近傍の前記送りねじ軸に回転可能に設けられ、かつその送りねじ軸を中心とする歯車部を有する切換ハンドルと、前記切換軸に取り付けられるとともに、前記歯車部に噛合する歯車とを備え、前記切換ハンドルの操作により、前記歯車を介して、前記切換軸が回転可能に構成されていることを特徴とするものである。
【０００８】
このような本発明において、例えば、載物台に送りねじ軸が設けられるとともに、固定部材側にナット部材が設けられ、かつ載物台の上方に接眼レンズが設けられている場合には、一方の手（右手）で噛合離脱手段を操作して、送りねじ軸とナット部材とを噛合させた後に、接眼レンズを覗き、その覗いた状態のまま、右手で送りハンドルを操作すると、送りねじ軸が回転するから、この送りねじ軸に噛合されたナット部材との協働により、載物台を送りねじ軸に沿った方向へ微動させることができる。
また、このように接眼レンズを覗いた状態のままで、右手を少しずらして送りハンドル近傍に配置された噛合離脱手段の操作部を操作し、送りねじ軸とナット部材とを離脱させると、載物台がフリー状態となるため、そのまま右手で送りねじ軸に沿った方向へ載物台を粗動させることができる。
さらに、載物台がフリー状態の場合において、右手で噛合離脱手段を操作して、送りねじ軸とナット部材とを噛合させた後に、右手を少しずらして送りハンドルを操作すると、前述と同様にして、載物台を微動させることができる。
このようにして、接眼レンズを覗いた状態のまま右手（片手）だけで、載物台の微動，粗動に加えて、微動，粗動の切り替え操作ができるので、操作性を向上できて測定作業を簡単にできる。
【０００９】
また、噛合離脱手段の操作部が操作されると、切換軸が回転し、この切換軸の回転に応じてカムが動き、ナット部材と送りねじ軸とが噛合および離脱する方向に２枚の板ばねが変形する。このように噛合離脱手段の操作部を操作するだけで、ナット部材と送りねじ軸との噛合，離脱を簡単に切り替えることができる。
【００１０】
また、切換ハンドルを回転させると、切換ハンドルの歯車部と歯車との噛合を介して切換軸が回転する。このため、比較的簡単な構造でありながら、確実に切換軸を回転できる。
また、送りハンドルに加えて切換ハンドルも送りねじ軸に対して回転可能としたので、各ハンドルが同軸を中心として回転することになる。このため、例えば、接眼レンズを覗きながらでも、これらのハンドルに掛ける手をスムーズに行き来させることができて、載物台の粗動と微動との切換操作をすばやくかつ確実に行うことができる。
【００１１】
さらに、前記ナット部材のピッチは、前記送りねじ軸のピッチよりも小さく形成されていることが好ましい。この際、前記ナット部材のピッチは、前記送りねじ軸のピッチの半分であることがより好ましい。
ここで、送りねじ軸とナット部材とが噛み合う場合には、送りねじ軸およびナット部材におけるねじ山の頂点同士がぶつかった状態から、そのねじ山の頂点同士が僅かずれると、ナット部材のピッチ分だけ載物台がずれることになる。これにより、載物台上の測定対象物にも衝撃が加えられ、その衝撃が強いと測定対象物が位置ずれを起こすとになる。
しかしながら、本発明では、ナット部材のピッチを送りねじ軸のピッチよりも小さく形成したので、載物台のずれ幅が小さくなることにより前述の衝撃が小さくなるから、測定対象物の位置ずれを防止できる。このため、再度の位置決め作業等を行って測定をやり直す必要もないから、測定作業を能率的にできる。
【００１２】
また、前記ナット部材の内径は、前記送りねじ軸の外径よりも大きく形成されていることが好ましい。
このような構成によれば、送りねじ軸およびナット部材において、摺動する歯面同士の接触部分が小さくなるので、載物台の移動方向と送りねじ軸の方向との平行がずれたとしても２枚の板ばねが変形してこのずれを吸収するため、送りねじ軸と送りナットとを確実に噛合させることができる。
即ち、送りねじ軸の外径に対してナット部材の内径の方を大きくした理由は、同一径にした場合載物台の移動に対し送りねじ軸の平行を出さないと、送りねじ軸とナット部材との噛み合いが悪くなり、微動送りに支障が起こる。本発明では、送りねじ軸の外径に対してナット部材の内径の方を大きくしたので、載物台の移動と、ナット部材の平行が若干狂っても、例えば上下方向には板ばねが変形して対応でき、また、前後方向は送りねじ軸に対しナット部材で噛み合わされているので、これも板ばねの変形で対応が可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る載物台用送り機構を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態の測定顕微鏡１の一部を上方から見た断面図であり、図２は、図１のII-II線縦断面図であり、図３は、図１のIII-III線縦断面図であり、図４は、測定顕微鏡１の要部を左側から見た断面図であり、図５は、操作部４の要部を拡大して前方から見た断面図である。
【００１４】
図１に示すように、測定顕微鏡１は、固定部材２と、この固定部材２の上側に配置され、かつ測定対象物（図示略）が載置される略直方体状の載物台３と、この載物台３の前面に取り付けられ、かつ固定部材２に対して載物台３を移動させる操作部４とを備える。
【００１５】
操作部４は、載物台３の前面にねじ止めされ、かつ内部が中空で略直方体状の操作部本体２０と、この操作部本体２０の右側に配置される操作ハンドル３０とを備える。
【００１６】
操作部本体２０の内部側には、この操作部本体２０に回転可能に支持された２本の軸が配置される。これらの２本の軸は、操作部本体２０の左右側面２０Ｌ，２０Ｒに渡って前後に平行に配置されており、前側の軸が送りねじ軸２１であり、後側の軸が切換軸２２である。
【００１７】
送りねじ軸２１は、外径が１０ｍｍでピッチが１ｍｍとなるように外周側がねじ切りされた送りねじ軸本体２３と、この送りねじ軸本体２３の左端に設けられるとともに、操作部本体２０の左側面２０Ｌに対して回転可能に軸受けされた左側軸部材２４と、送りねじ軸本体２３の右端に設けられるとともに、操作部本体２０の右側面２０Ｒに対して回転可能に軸受けされ、かつ右側面２０Ｒを貫通して操作ハンドル３０側へと突出する右側軸部材２５とを備える。
【００１８】
切換軸２２は、図４にも示すように、その中間部分から左端側にかけて軸２２に沿って、切換軸２２の中心軸を挟んで対称となる位置に、切欠き２２Ａ，２２Ｂが形成されている。
ここで、切換軸２２の外周において、切欠き２２Ａ，２２Ｂを有する部分には、図３，４に示すように、粗動切換スリーブ４０が取り付けられる。
【００１９】
粗動切換スリーブ４０は、図３に示すように、内部側に切換軸２２を通すための空間が設けられた円筒状の樹脂製部材であって、円筒状の内部側において円の中心を挟んで対称の位置には、切欠き２２Ａ，２２Ｂに係合する突起４０Ａ，４０Ｂ（図４）が形成されている。つまり、突起４０Ａ，４０Ｂと切欠き２２Ａ，２２Ｂとを係合させて、粗動切換スリーブ４０を切換軸２２に取付けることにより、粗動切換スリーブ４０が切換軸２２に対して回転規制された状態で軸方向へスライドできるようになっている。
また、粗動切換スリーブ４０において、図３中の左側部分は外側へ膨出しており、この膨出部分がカム４１である。ここで、カム４１は、図４に示すように、断面が滑らかな曲面を有する略楕円形状とされている。
なお、粗動切換スリーブ４０において送りナットホルダ１１に挿通される部分は、円筒部分４２である。
【００２０】
操作ハンドル３０は、図５に拡大して示すように、載物台３を所定位置まで移動させるために使用者の手が置かれて操作される部分であり、操作部本体２０の右側面２０Ｒの右側に設けられた噛合離脱手段の操作部としての粗動切換ハンドル３１と、この粗動切換ハンドル３１の右側に設けられた微動送りハンドル３２とを備えて構成される。
【００２１】
粗動切換ハンドル３１は、右側軸部材２５の外側のスリーブ２５Ａを回転軸として、換言すれば右側軸部材２５を回転中心として回転可能に設けられ、かつその右側軸部材２５を中心とする歯車部３３Ａを有する略円柱状の粗動切換ハンドル本体３３と、切換軸２２の右端に取り付けられて切換軸２２と同軸上で回転し、かつ歯車部３３Ａに噛合する平歯車３４とを備える。
【００２２】
ここで、粗動切換ハンドル本体３３が回転すると、粗動切換ハンドル本体３３の歯車部３３Ａと平歯車３４との噛合を介して、平歯車３４が粗動切換ハンドル本体３３の回転とは反対の方向へと回転し、平歯車３４に固定された切換軸２２が回転することになる。
【００２３】
微動送りハンドル３２には、つまみ部３２Ａが回転可能に設けられている。微動送りハンドル３２は、その中央部分が右側軸部材２５の右端部にビス止めされた略円柱状のハンドルであり、右側軸部材２５を回転軸として回転可能となっている。つまり、つまみ部３２Ａを介して、微動送りハンドル３２を回転させると、送りねじ軸２１が回転することになる。
なお、微動送りハンドル３２および粗動切換ハンドル本体３３は、略同じ大きさの円柱状に形成されており、それぞれの上下端面の高さ位置が略等しくなっている。
【００２４】
固定部材２は、載物台３の下側に配置された略直方体状の固定台１０と、ブラケット１０Ａを介して、固定台１０の前面に取り付けられる送りナットホルダ１１とを備える。
【００２５】
送りナットホルダ１１は、図１に示すように、下方へと突出するブラケット１０Ａの上面にビス止めされている。この送りナットホルダ１１の上面および下面には、略長方形状の２枚の板ばね１２（１２Ａ，１２Ｂ）がそれぞれ固定されている。また、２枚の板ばね１２の対向面（内側面）には、ナット部材としてのハーフナット状の送りナット１３（１３Ａ，１３Ｂ）がそれぞれビス止めされている。
【００２６】
また、送りナットホルダ１１は、図１〜４に示すように、厚さ寸法（図４で上下寸法）がカム４１における断面楕円の短軸部分の寸法と略同じとされ、かつ左右方向の長さ（幅）寸法が粗動切換スリーブ４０における円筒部分４２の左右方向の長さ寸法と略同じとされた略直方体状の部材であって、その左右方向には、送りねじ軸２１と、粗動切換スリーブ４０が取付けられた切換軸２２とをそれぞれ挿通させるための挿通孔１４，１５（図２，３）が前後に形成されている。
また、送りナットホルダ１１は、その上面から上方へ逆Ｌ字状に膨出（突出）する膨出部１１Ａと、その下面から下方へ同様に逆Ｌ字状に膨出する膨出部１１Ｂとを有する（図２，３参照）。
【００２７】
図３に示すように、挿通孔１４には、切換軸２２に取付けられた粗動切換スリーブ４０のうち、カム４１ではない円筒部分４２だけが挿通される。このため、円筒部分４２よりも断面積が大きいカム４１は、挿通孔１４には挿通されずに、送りナットホルダ１１の左側に位置することとなる。
【００２８】
２枚の板ばね１２は、送りねじ軸２１および切換軸２２を挟んで対向配置されるとともに、その左右方向の長さ寸法は、粗動切換スリーブ４０の左右方向の長さ寸法と略同じとされている。
【００２９】
また、２枚の板ばね１２のうちの上側の板ばね１２Ａは、その内側面の図１中の右端側が膨出部１１Ａに当接しており、板ばね１２Ａの右端側と膨出部１１Ａとが３つのビスで固定されている。また、下側の板ばね１２Ｂも同様に、板ばね１２Ｂの右端側と膨出部１１Ｂとが３つのビスで固定されている。
【００３０】
また、２枚の板ばね１２（１２Ａ，１２Ｂ）の内側面の図１中の左前側には、送りねじ軸２１の外周側のねじに噛合可能で、かつ内径が１２ｍｍでピッチが０．５ｍｍの送りナット１３（１３Ａ，１３Ｂ）が２つのビスでそれぞれ固定されている。
【００３１】
以上のことから、送りナットホルダ１１と２枚の板ばね１２とは、２枚の板ばね１２の右端側においてビス止めされている（固定端）ものの、２枚の板ばね１２の左端側においては固定されていない。このため、２枚の板ばね１２の左端側（自由端）は、上下方向へと変形可能となっている。また、粗動切換スリーブ４０のカム４１の外周面は、２枚の板ばね１２の内側面の左端上側（自由端上側）で当接している。
【００３２】
従って、粗動切換ハンドル本体３３を操作すると、平歯車３４を介して切換軸２２が回転し、この切換軸２２の回転に伴って粗動切換スリーブ４０が回転する。すると、２枚の板ばね１２の左側部分において、２枚の板ばね１２間の寸法は、カム４１の短軸部分の寸法から長軸部分の寸法へと拡げられることになる。
このように２枚の板ばね１２間の寸法が大きくなると、送りねじ軸２１と送りナット１３との噛合が解除され、載物台３および操作部４は、固定部材２に対して、軸２１，２２に沿った方向へと自由に移動可能なフリー状態となる。
なお、通常時には、粗動切換ハンドル本体３３は、送りねじ軸２１と送りナット１３とが噛合する位置で設定されている。
【００３３】
ここで、本発明に係る載物台用送り機構は、送りねじ軸２１と、微動送りハンドル３２と、送りナット１３と、噛合離脱手段とで構成される。この噛合離脱手段は、粗動切換ハンドル３１と、切換軸２２と、２枚の板ばね１２と、粗動切換スリーブ４０のカム４１とで構成されている。
【００３４】
このような測定顕微鏡１において、載物台３の所定位置に測定対象物を固定し、接眼レンズ（図示略）を覗きながら、載物台３つまり測定対象物を位置決め固定する際の操作について説明する。
まず、接眼レンズを覗いた状態で、片手、例えば右手（指）で微動送りハンドル３２を操作すると、送りねじ軸２１が回転するから、送りねじ軸２１に噛合された送りナット１３との協働により、載物台３が送りねじ軸２１に沿って微動する。この際、所定の位置で微動送りハンドル３２の操作を止めれば、載物台３がその位置で位置決めされる。
【００３５】
ここで、接眼レンズを覗いた状態のままで、載物台３を粗動させたい場合には、まず、微動送りハンドル３２に掛けた右手を左側の粗動切換ハンドル本体３３へと移動し、粗動切換ハンドル本体３３の回転操作を行う。このような回転操作を行うと、粗動切換スリーブ４０のカム４１によって、送りねじ軸２１と送りナット１３とが離脱し、載物台３がフリー状態となる。そして、ハンドル上の右手で載物台３を粗動できる。つまり、片手操作のままで、微動送りと粗動送りとを切換できる。
【００３６】
また、載物台３がフリー状態で、載物台３を微動させたい場合には、まず、右手で前述とは反対の方向へと粗動切換ハンドル本体３３を回転操作して、送りねじ軸２１と送りナット１３とを噛合させ、載物台３をフリー状態から噛合状態へと変更する。その後、右手を右側に少しずらして、微動送りハンドル３２を操作すると、前述と同様にして、載物台３が微動する。
【００３７】
ここで、載物台３がフリー状態から固定状態へと変更されると、送りねじ軸２１と送りナット１３とが、離脱した状態から噛合した状態へと変化する。この際、送りねじ軸２１のねじ山の頂点と送りナット１３の山の頂点が当たる場合ががあり、この状態から送りナット１３のピッチ分だけ載物台３がずれることになる。この際にも、ずれ量が従来の２分の一であるから、載物台３上の測定対象物に加えられる衝撃も小さく、従って、測定対象物の位置ずれを抑えることができる。
以上のような操作により、載物台３つまり測定対象物が位置決め固定される。
【００３８】
本実施形態によれば、以下に示すような効果がある。
(１)粗動切換ハンドル３１と微動送りハンドル３２とが隣接して配置されているため、接眼レンズを覗いたままの状態でも、右手だけで、載物台３の微動粗動の操作に加えて、微動と粗動との切り替え操作ができるので、測定顕微鏡１における操作性を向上できて測定作業を簡単にできる。
【００３９】
(２)微動送りハンドル３２と粗動切換ハンドル本体３３とが同軸を中心として回転し、しかも、微動送りハンドル３１および粗動切換ハンドル本体３３における上下面の高さ位置が同じとなるようにしたので、微動送りハンドル３１および粗動切換ハンドル本体３３に掛ける手をスムーズに移動させることができる。このため、接眼レンズを覗きながらでも、粗動と微動との切換操作をすばやく、かつ確実に行うことができる。
【００４０】
(３)粗動切換ハンドル本体３３が操作されると、粗動切換ハンドル本体３３の歯車部３３Ａと平歯車３４との噛合を介して切換軸２２が回転し、この切換軸２２の回転に応じてカム４１が動き、送りナット１３と送りねじ軸２１とが噛合および離脱する方向に２枚の板ばね１２が変形する。このように粗動切換ハンドル本体３３を操作するだけで、送りナット１３と送りねじ軸２１との噛合，離脱を簡単に切り替えることができる。また、このように比較的簡単な構造でありながらも、確実に切換軸２２を回転できる。
【００４１】
(４)送りナット１３のピッチを、送りねじ軸２１のピッチの半分としたので、従来のように送りナット１３のピッチと送りねじ軸２１のピッチとを等しくする場合に比べて、送りねじ軸２１および送りナット１３をフリー状態から噛合状態に移行させた際における載物台３のずれ幅が小さくなるので、このようなずれが生じた時に発生する載物台３への衝撃が小さくなる。このため、載物台３に対する測定対象物の位置ずれを防止でき、測定作業をより一層簡単にできる。
【００４２】
(５)ここで、送りナット１３の内径と送りねじ軸２１の外径とを同一とした場合には、載物台３の移動方向と送りねじ軸２１の方向とを正確に平行としておかないと、送りねじ軸２１と送りナット１３との噛み合いが悪くなり、載物台３の微動に支障が起こりやすくなる。そこで、本実施形態においては、送りナット１３の内径（１２ｍｍ）を、送りねじ軸２１の外径（１０ｍｍ）よりも大きくしたので、送りねじ軸２１および送りナット１３において、摺動する歯面同士の接触部分が小さくなるから、載物台３の移動方向と送りねじ軸２１の方向との平行がずれたとしても、このずれを２枚の板ばね１２が変形して吸収するため、送りねじ軸２１と送りナット１３とを確実に噛合させることができる。
即ち、送りねじ軸２１の外径（１０ｍｍ）に対して送りナット１３の内径（１２ｍｍ）の方を大きくした理由は、同一径にした場合載物台３の移動に対し送りねじ軸２１の平行を出さないと、送りねじ軸２１と送りナット１３との噛み合いが悪くなり、微動送りに支障が起こる。本実施形態では、送りねじ軸２１の外径に対して送りナット１３の内径の方を大きくしたので、載物台３の移動と、送りナット１３の平行が若干狂っても、上下方向には板ばね１２が変形して対応でき、また、前後方向は送りねじ軸２１に対し送りナット１３で噛み合わされているので、これも板ばね１２の変形で対応が可能となる。
【００４３】
(６)粗動切換スリーブ４０を樹脂製としたので、突起４０Ａ，４０Ｂ等も一体的に形成することができ、金属製とする場合のように後加工が要らないから、簡単に製造できて、製造コストを抑えることができる。また、載物台３を移動させると、切換軸２２と粗動切換スリーブ４０との間には、滑り運動が生じるが、このように粗動切換スリーブ４０に樹脂を採用したので、滑らかな滑りとすることができる。
【００４４】
(７)また、粗動切換スリーブ４０のカム４１を滑らかな曲面を有する楕円形状としたので、カム４１の外周面が２枚の板ばね１２に沿って滑らかに摺動する。このため、小さな力で簡単に切換軸２２を回転させることができる。換言すれば、一定の力で切換軸２２を回転させることにより、切換軸２２の回転角度に従って２枚の板ばね１２をスムーズに広げることができる。このため、載物台３への衝撃を小さくできるので、測定時の操作性をより一層向上できる。
【００４５】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる他の構成等を含み、以下に示すような変形等も本発明に含まれる。
例えば、前記実施形態において、送りナット１３のピッチを送りねじ軸２１のピッチの半分としたが、これに限らず、１/３や１/４等のその他の割合としてもよいし、送りねじ軸２１と送りナット１３との噛合を確実にできれば、各ピッチを等しくしてもよい。
ただし、送りナット１３のピッチを送りねじ軸２１のピッチの半分よりも小さくすると、送りナット１３と送りねじ軸２１との噛合具合が低下する不具合が生じ易くなり、一方、送りナット１３のピッチを送りねじ軸２１のピッチの半分よりも大きくすると、載物台３のずれが大きくなるという不具合が生じ易くなる。しかしながら、前記実施形態の場合には、これらの２点がそれぞれ許容できる範囲となり、これら２点を十分に満足できるという利点がある。
なお、送りナット１３のピッチを送りねじ軸２１のピッチよりも大きくしてもよいが、載物台３の位置がずれやすくなるため、送りナット１３のピッチを送りねじ軸２１のピッチよりも小さくする方がよい。
【００４６】
前記実施形態において、送りナット１３の内径を１２ｍｍとし、送りねじ軸２１の外径を１０ｍｍとしたが、送りナット１３および送りねじ軸２１が噛合できて、載物台３が確実に移動できれば、送りナット１３および送りねじ軸２１の寸法は特に限定されない。
【００４７】
また、前記実施形態において、送りナット１３には、めねじを施していたが、これに限らず、平行なセレーションとして形成してもよい。ただし、前記実施形態の方が、送りナット１３および送りねじ軸２１の噛合が確実となり、動力の伝達がスムーズにできるという利点がある。
【００４８】
また、前記実施形態において、２枚の板ばね１２の間に、カム４１を有する粗動切換スリーブ４０が設けられた切換軸２２を配置し、この切換軸２２が回転する際のカム４１によって、２枚の板ばね１２を変形させる機械的な構造としたが、これに限らず、例えば、２枚の板ばね１２に対して、磁気的な反発作用や吸引作用が生じるように磁石等を設置して、２枚の板ばね１２を変形させてもよい。要するに、送りナット１３および送りねじ軸２１の噛合、離脱の切換えが確実に行えるのであれば、その構造は、機械的なものや、磁気的なもの、さらには、電気的なものでもよく、任意にできるということである。
【００５０】
前記実施形態において、測定顕微鏡１を測定顕微鏡用としたが、これに限らず、例えば、測定投影機等のその他の測定機器に用いてもよい。
【００５１】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の載物台用送り機構によれば、操作性を向上できて、測定作業を簡単にできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る測定顕微鏡の一部を上方から見た断面図である。
【図２】図１におけるII-II線縦断面図である。
【図３】図１におけるIII-III線縦断面図である。
【図４】前記実施形態における測定顕微鏡の要部を左側から見た断面図である。
【図５】前記実施形態における操作部の要部を拡大して前方から見た断面図である。
【図６】従来の測定顕微鏡の一部を上方から見た断面図である。
【図７】前記従来の測定顕微鏡の要部を右側から見た断面図である。
【符号の説明】
１      測定顕微鏡
２      固定部材
３      載物台
４      操作部４
１０      固定台
１０Ａ      ブラケット
１１      送りナットホルダ
１２（１２Ａ，１２Ｂ）      ２枚の板ばね
１３（１３Ａ，１３Ｂ）      ナット部材としての送りナット
２１      送りねじ軸
２２      切換軸
３１      噛合離脱手段の操作部としての粗動切換ハンドル
３２      送りハンドルとしての微動送りハンドル
３３      粗動切換ハンドル本体
３３Ａ      歯車部
３４      歯車としての平歯車
４０      粗動切換スリーブ
４１      カム
１００      載物台
１１０      固定部材
１２０      送りねじ軸
１３０      回転ハンドル
１４０      ハーフナット
１５０      フローティングレバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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