(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のピストンロッドに固定された第１のピストンを軸方向に往復動自在に収容する第１のシリンダと、前記第１のピストンロッドに連結される第２のピストンロッドに固定された第２のピストンを軸方向に往復動自在に収容する第２のシリンダとが並列となって一体に設けられるシリンダ本体と、
前記第２のシリンダ内に形成された膨張収縮室と、正圧若しくは負圧の空気が供給される作動ポートとを接続する圧力供給路と、
前記圧力供給路に設けられ、前記第２のピストンの往復動に伴う前記膨張収縮室の膨張収縮時に前記圧力供給路を介して前記作動ポートと前記膨張収縮室とを連通させる開放用逆止弁と、前記圧力供給路に接続された補助流路に設けられ、前記開放用逆止弁が前記圧力供給路を開放するときに前記補助流路を閉じ、前記圧力供給路を閉じるときに前記補助流路を開放する補助逆止弁とが組み込まれた逆止弁組立体と、
前記逆止弁組立体に設けられ、前記圧力供給路および前記補助流路を流れる空気中の異物を捕捉するフィルタとを有し、
前記第１のピストンを駆動して前記第２のピストンを作動させ、前記第２ピストンにより前記膨張収縮室を膨張させて前記作動ポートに正圧若しくは負圧の空気を供給することを特徴とする圧力発生装置。
【請求項２】
請求項１記載の圧力発生装置において、前記第２のピストンの一方側の膨張収縮室に接続された第１の圧力供給路に設けられる第１の開放用逆止弁と、前記第１の圧力供給路に接続された第１の補助流路に設けられる第１の補助逆止弁とが組み込まれた第１の逆止弁組立体と、
前記第２のピストンの他方側の膨張収縮室に接続された第２の圧力供給路に設けられる第２の開放用逆止弁と、前記第２の圧力供給路に接続された第２の補助流路に設けられる第２の補助逆止弁とが組み込まれた第２の逆止弁組立体と、
それぞれの前記逆止弁組立体に設けられ、それぞれの前記圧力供給路および前記補助流路を流れる空気中の異物を捕捉するフィルタとを有し、
前記第２のピストンの往復動によりそれぞれの前記圧力供給路が接続された２つの前記作動ポートに交互に正圧若しくは負圧の空気を供給することを特徴とする圧力発生装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の圧力発生装置において、部品を搬送する部品搬送部に形成された前記作動ポートに、前記圧力供給路を接続したことを特徴とする圧力発生装置。
【請求項４】
請求項２記載の圧力発生装置において、前記第１の逆止弁組立体と前記第２の逆止弁組立体とを前記第２のシリンダに前記第２のピストンの往復動方向にずらして設けたことを特徴とする圧力発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はパルス状の負圧空気若しくは正圧空気を発生させる圧力発生装置に関し、たとえば、半導体チップ、コンデンサや抵抗器などの小型かつ軽量な部品を搬送する搬送部において部品の姿勢ないし位置決めを行うための正圧若しくは負圧の空気を発生させる圧力発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップ、コンデンサや抵抗器などの小型かつ軽量な部品を実装基板やテストボードに搭載する場合には、部品供給部からチップマウンタによって実装基板やテストボードにまで搬送するようにしている。比較的小型の部品を搭載する場合には、部品はテープフィーダやバルクフィーダに収容された状態となって部品供給部に配置される。テープフィーダはテープに所定の間隔毎に部品を装着し、テープを搬送しながら部品を繰り出すようにしている。また、バルクフィーダは部品収容部からガイドレールに直線状に配列して搬送するようにし、ガイドレールの先端部から部品を繰り出すようにしている。
【０００３】
テープフィーダは部品が取り出された後には、空のテープが残ることになり、それを廃棄物として処理することが必要となるのに対して、バルクフィーダは廃棄物を発生させることがないという利点を有している。しかしながら、バルクフィーダを使用して部品を取り出すためには、バルクフィーダのガイドレールの取り出し口の位置で部品を位置決めする必要がある。部品を所定の姿勢として所定の位置に位置決めするために、部品を真空によってガイドレールの所定の位置に位置決めする試みがなされた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
真空は、1989年２月25日、株式会社オーム社発行の「油空圧便覧」第450〜451頁に記載されるように、真空ポンプやエジェクターによって発生させることができるが、バルクフィーダなどに真空ポンプを組み込むようにするとフィーダ自体が大型となってしまう。また、エジェクターを用いて真空を発生させるには、圧縮空気を常にノズルからディフューザ部に供給する必要があるので、部品搬送装置にコンプレッサなどの空気圧発生源を設けなければならず、搬送装置が大型となってしまう。
【０００５】
たとえば、バルクフィーダにより所定の搬出口まで搬送される部品の姿勢を調整するとともに位置決めを行うために、部品を真空吸着させる場合には、常に部品を真空により吸着したのでは、バルクフィーダにより形成される部品供給部から実装基板まで搬送ヘッドにより部品を持ち上げる際に、部品を軽く持ち上げることができなくなる。そこで、バルクフィーダに部品を吸着するために、パルス状に負圧空気を供給するようにしたところ、部品は瞬間的に吸着と吸着解除とが繰り返されることになり、部品の位置決めを確実に行うことができるとともに、吸着が解除されたときに搬送ヘッドにより部品を確実に持ち上げることが可能となることが判明した。また、部品を搬送するために、パルス状の圧縮空気を供給しても、同様に部品の位置決めを確実に行うことが可能であることが判明した。
【０００６】
しかしながら、真空ポンプやエジェクターによって発生させた負圧空気やコンプレッサによって発生させた正圧空気をパルス状に供給するには、真空路や正圧路にこの流路を開閉するための電磁弁を設ける必要がある。
【０００７】
本発明の目的は正圧空気若しくは負圧空気を発生させる小型の圧力発生装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的はパルス状の正圧空気若しくは負圧空気を発生させる小型の真空発生装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、小型かつ軽量の部品を搬送部材に沿って搬送する際に、搬送部材の所定の位置で正圧若しくは負圧の空気によって部品を位置決めし、先頭の部品を確実に搬送部材から取り出し得るようにすることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の圧力発生装置は、第１のピストンロッドに固定された第１のピストンを軸方向に往復動自在に収容する第１のシリンダと、前記第１のピストンロッドに連結される第２のピストンロッドに固定された第２のピストンを軸方向に往復動自在に収容する第２のシリンダとが並列となって一体に設けられるシリンダ本体と、前記第２のシリンダ内に形成された膨張収縮室と、正圧若しくは負圧の空気が供給される作動ポートとを接続する圧力供給路と、前記圧力供給路に設けられ、前記第２のピストンの往復動に伴う前記膨張収縮室の膨張収縮時に前記圧力供給路を介して前記作動ポートと前記膨張収縮室とを連通させる開放用逆止弁と、前記圧力供給路に接続された補助流路に設けられ、前記開放用逆止弁が前記圧力供給路を開放するときに前記補助流路を閉じ、前記圧力供給路を閉じるときに前記補助流路を開放する補助逆止弁とが組み込まれた逆止弁組立体と、前記逆止弁組立体に設けられ、前記圧力供給路および前記補助流路を流れる空気中の異物を捕捉するフィルタとを有し、前記第１のピストンを駆動して前記第２のピストンを作動させ、前記第２ピストンにより前記膨張収縮室を膨張させて前記作動ポートに正圧若しくは負圧の空気を供給することを特徴とする。
【００１１】
本発明の圧力発生装置は、前記第２のピストンの一方側の膨張収縮室に接続された第１の圧力供給路に設けられる第１の開放用逆止弁と、前記第１の圧力供給路に接続された第１の補助流路に設けられる第１の補助逆止弁とが組み込まれた第１の逆止弁組立体と、前記第２のピストンの他方側の膨張収縮室に接続された第２の圧力供給路に設けられる第２の開放用逆止弁と、前記第２の圧力供給路に接続された第２の補助流路に設けられる第２の補助逆止弁とが組み込まれた第２の逆止弁組立体と、それぞれの前記逆止弁組立体に設けられ、それぞれの前記圧力供給路および前記補助流路を流れる空気中の異物を捕捉するフィルタとを有し、前記第２のピストンの往復動によりそれぞれの前記圧力供給路が接続された２つの前記作動ポートに交互に正圧若しくは負圧の空気を供給することを特徴とする。
【００１２】
本発明の圧力発生装置は、部品を搬送する部品搬送部に形成された前記作動ポートに、前記圧力供給路を接続したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の圧力発生装置は、前記第１の逆止弁組立体と前記第２の逆止弁組立体とを前記第２のシリンダに前記第２のピストンの往復動方向にずらして設けたことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１５】
図１は本発明の一実施の形態である圧力発生装置を示す概略図、図２は図１の圧力発生装置の構成を示す断面図である。この圧力発生装置はバルクフィーダにより形成される部品供給部から図示しない実装基板に対して半導体チップなどの部品を搬送供給するための部品搬送装置に適用されており、部品搬送装置に負圧空気を供給することにより部品が所定の位置で位置決めされ、先頭の部品から外部に取り出されるようになっている。つまり、この圧力発生装置は負圧発生用として適用されている。
【００１６】
図１にはバルクフィーダの部品搬出口が示されており、部品Ｗはガイドレール１に沿って整列されて搬送されるようになっている。ガイドレール１には矢印で示すように直線方向に往復動自在に開閉式のシャッター２が設けられており、このシャッター２により部品搬出口３が開閉される。シャッター２により部品搬出口３が開かれた状態のもとで、図示しない搬送ヘッドに設けられた吸着具４が下降移動して吸着具４により部品Ｗは吸着されて上昇し、実装基板などの所定の組み付け位置まで水平方向に搬送される。所定の位置まで搬送された後、吸着具４を下降移動させることにより、部品Ｗは実装基板などの被組み付け部材に搭載される。
【００１７】
ガイドレール１に沿って搬送された部品Ｗを部品搬出口３の所定の位置で位置決めするとともに所定の姿勢に設定するために、ガイドレール１の底面には負圧空気つまり真空が供給されるようになった２つの作動ポート５，６が形成されている。これらに負圧空気を供給するための圧力発生装置は、図１，２に示すように、ツインロッドシリンダ型の構成となっており、圧縮空気にて駆動される駆動部７と、駆動部７よって駆動される圧力発生部８とを備えている。
【００１８】
駆動部７には、駆動側ピストンロッド（第１のピストンロッド）１５に固定され、駆動側シリンダ（第１のシリンダ）１６内に軸方向に往復動自在に収容された駆動側ピストン（第１のピストン）１７が設けられている。一方、圧力発生部８には、駆動側ピストン１７と同期駆動される圧力発生用の従動側ピストン（第２のピストン）１３が設けられている。従動側ピストン１３は、従動側ピストンロッド（第２のピストンロッド）１４に固定されており、従動側シリンダ（第２のシリンダ）１０内に軸方向に往復動自在に収容されている。
【００１９】
駆動側シリンダ１６と従動側シリンダ１０は、図１および図２に示すように並列となって隣接して一体的に設けられ、シリンダ本体１８を形成している。すなわち、本発明の圧力発生装置では、駆動部７と圧力発生部８とが一体化された構成となっており、装置の小型化が図られている。駆動側シリンダ１６および従動側シリンダ１０の一端部にはヘッドカバー４１，１１が設けられ、他端部にはロッドカバー４２，１２が設けられている。各シリンダ１６，１０の内部とヘッドカバー４１，１１およびロッドカバー４２，１２との間にはＯリング１９が介設され、それらの間は気密な状態となっている。また、各ピストンロッド１５，１４とロッドカバー４２，１２との間にもパッキン２０が介設されている。
【００２０】
両ピストンロッド１５，１４は、ロッドカバー４２，１２を貫通して外部に突出しており、両ピストンロッド１５，１４の先端部が連結プレート４３によって図示するように連結されている。そして、駆動側ピストン１７が駆動され駆動側ピストンロッド１５が軸方向に往復動すると、連結プレート４３を介して従動側ピストンロッド１４が駆動され従動側ピストン１３もまた軸方向に往復動する。
【００２１】
駆動側シリンダ１６内には駆動側ピストン１７の両側にそれぞれ圧力室４４，４５が形成されており、各圧力室４４，４５には、図２に示すように、空気流路４６，４７が連通している。各空気流路４６，４７は電磁切換弁４８と接続されており、コンプレッサ４９より圧縮空気が供給される。なお、電磁切換弁４８は駆動側シリンダ１６に直接取り付けても、また、駆動側シリンダ１６から離れた位置に設置しても良い。そして、圧力室４４に空気流路４６を介して圧縮空気が供給されると駆動側ピストン１７が図１，２において左側に移動する。逆に、圧力室４５に空気流路４７を介して圧縮空気が供給されると駆動側ピストン１７が右側に移動する。
【００２２】
従動側シリンダ１０内には従動側ピストン１３の両側にそれぞれ膨張収縮室２１，２２が形成されており、膨張収縮室２１は従動側ピストン１３が図１，２において左側に移動すると収縮し、右側に移動すると膨張する。逆に、膨張収縮室２２は従動側ピストン１３が図１，２において左側に移動すると膨張し、右側に移動すると収縮する。一方の膨張収縮室２１とガイドレール１の底面との間には負圧供給路２３が圧力供給路として接続されており、この負圧供給路２３はガイドレール１の底面に形成された作動ポート５に連通されている。他方の膨張収縮室２２とガイドレール１の底面との間には負圧供給路２４が圧力供給路として接続されており、この負圧供給路２４はガイドレール１の底面に形成された作動ポート６に連通されている。
【００２３】
一方の負圧供給路２３には補助流路として排気流路２５が接続されており、この排気流路２５は負圧供給路２３を介して膨張収縮室２１に連通している。他方の負圧供給路２４には補助流路として排気流路２６が接続されており、この排気流路２６は負圧供給路２４を介して膨張収縮室２２に連通している。
【００２４】
それぞれの負圧供給路２３，２４には、それぞれ作動ポート５，６から膨張収縮室２１，２２に向かう空気の流れを許容し、逆方向の流れを阻止する負圧用逆止弁３１，３２が開放用逆止弁として設けられている。つまり、負圧用逆止弁３１は従動側ピストン１３の往復動に伴って膨張収縮室２１が膨張すると負圧供給路２３を開放してこの負圧供給路２３を介して作動ポート５と膨張収縮室２１とが連通状態となり、収縮すると負圧用逆止弁３１により負圧供給路２３は閉じられることになる。また、負圧用逆止弁３２は、従動側ピストン１３の往復動に伴って膨張収縮室２２が膨張すると負圧供給路２４を開放してこの負圧供給路２４を介して作動ポート６と膨張収縮室２２とが連通状態となり、収縮すると負圧用逆止弁３２により負圧供給路２４は閉じられることになる。
【００２５】
それぞれの排気流路２５，２６には、それぞれの膨張収縮室２１，２２から外部に向かう空気の流れを許容し、逆方向の流れを阻止する排気用逆止弁３３，３４が補助逆止弁として設けられている。つまり、排気用逆止弁３３は負圧用逆止弁３１が負圧供給路２３を開放するときには排気流路２５を閉じ、負圧用逆止弁３１が負圧供給路２３を閉じるときには排気流路２５を開放することになる。また、排気用逆止弁３４は、負圧用逆止弁３２が負圧供給路２４を開放するときには排気流路２６を閉じ、負圧用逆止弁３２が負圧供給路２４を閉じるときには排気流路２６を開放することになる。
【００２６】
したがって、駆動側ピストン１７が図１において右方向に移動すると、従動側ピストン１３もまたそれに同期して右側に移動し、膨張収縮室２１が膨張する。膨張収縮室２１が膨張すると、負圧用逆止弁３１は開かれて負圧供給路２３は負圧状態になり、作動ポート５には負圧空気が供給される。一方、駆動側ピストン１７が左方向に移動すると、従動側ピストン１３もまたそれに同期して左側に移動するとともに、負圧用逆止弁３１が閉じられ、排気用逆止弁３３が開かれて排気流路２５は外部と連通して膨張収縮室２１内の空気は外部に排出される。
【００２７】
同様に、駆動側ピストン１７が図１において左方向に移動して従動側ピストン１３が左方向に移動し膨張収縮室２２が膨張すると、負圧用逆止弁３２は開かれて負圧供給路２４は負圧状態になり、作動ポート６には負圧空気が供給される。一方、右方向に移動すると、負圧用逆止弁３２が閉じられ、排気用逆止弁３４が開かれて排気流路２６は外部と連通して膨張収縮室２２内の空気は外部に排出される。つまり、この圧力発生装置は負圧空気発生装置として適用されている。
【００２８】
一方、前述の開放用逆止弁と補助逆止弁は、図２に示すように、従動側シリンダ１０に取り付けられた逆止弁組立体５５，５６内に組み込まれており、膨張収縮室２１，２２と各逆止弁３１〜３４が近接配置されている。図３は、逆止弁組立体５５の構成を拡大して示した断面図である。なお、他方の逆止弁組立体５６も同様の構造となっている。この逆止弁組立体５５はシリンダ本体１８に固定される取付金具５７を有し、この取付金具５７には２つの中空部材６１，６２が取り付けられている。中空部材６１には内部を貫通し、取付金具５７に形成された連通路５８に連通する流路６３が形成されており、先端にはジョイント部材６４がねじ止めされ、ジョイント部材６４は負圧供給路２３を形成する図示しないチューブにより作動ポート５に接続されるようになっている。なお、符号６５はガスケットである。
【００２９】
中空部材６１の後端部には負圧用逆止弁３１を形成するゴム製等の弾性体からなる弁体６６が設けられ、この弁体６６にはばね部材６７により流路６３を閉じる方向のばね力が加えられている。中空部材６２は連通路５８と外部とを連通させる流路６８が形成されており、中空部材６２には排気用逆止弁３３を形成するゴム製の弁体６９が設けられ、この弁体６９にはばね部材７１により流路６８を閉じる方向のばね力が加えられている。
【００３０】
したがって、流路６３から連通路５８に空気が流れるときには、負圧用逆止弁３１としての弁体６６は開き、逆方向の流れは弁体６６により阻止される。一方、連通路５８から流路６８に空気が流れるときには、排気用逆止弁３３としての弁体６９は開き、逆方向の流れは弁体６９により阻止される。
【００３１】
中空部材６１の中には、多孔質材料からなり円筒形状に形成されたフィルタ７２が組み込まれており、このフィルタ７２のジョイント部材側の端部は蓋部材７３により閉塞されている。したがって、流路６３内を空気が流れる際には、その内部に含まれるゴミなどの異物はフィルタ７２によって捕捉される。同様に、中空部材６２の端部には多孔質材料からなり円柱形状に形成されたフィルタ７４が組み込まれており、このフィルタ７４によって外部に排出される空気の中の異物が除去されるとともに、このフィルタ７４は排気音を低減するマフラーとしても機能する。
【００３２】
中空部材６２の端部には弁体６６に向けて突出して突出部７５が形成されている。これにより、膨張収縮室が膨張して流路６３から膨張収縮室に向けて空気が流れると、その空気は弁体６６の外周面に沿って流れることになる。その空気は弁体６６が突出部７５によって弁体６９に作用することなく、膨張収縮室内に流れ込むことになる。このため、突出部７５によって弁間距離を大きくとらなくても、弁体６９への空気の作用を防止して逆止弁組立体の小型化を容易に実現できる。この空気の流れは、所定の真空度の吸気流を確実に発生させ、空気の逆流を防止するように作用することになり、所定量の負圧空気を確実に部品に作用させることができる。
【００３３】
逆に、膨張収縮室が収縮すると、そこから流出する空気は突出部７５に当たって弁体６６に対してこれを閉じる方向に作用し、弁体６９にはばね力に抗して開くように作用する。これにより、空気の流れは弁体６６を確実にシールするように作用し、空気の吸気と排気の切換を確実に実現することができる。
【００３４】
上述した構成の圧力発生装置にあっては、駆動側ピストン１７を直線方向に往復動させると、それに伴って従動側ピストンロッド１４も直線方向に往復動する。そして、従動側ピストンロッド１４が図１，２において右側に後退移動するときには、作動ポート５は負圧状態になり、左側に従動側ピストンロッド１４が前進移動するときには、作動ポート５には負圧は供給されない。同様に、右側に後退移動させるときには、作動ポート６には負圧空気は供給されず、左側に前進移動させるときには、作動ポート６は負圧状態となる。それぞれの作動ポート５，６に対しては、パルス状となった負圧空気が供給されることになり、駆動側ピストン１７を連続的に往復動させることによって従動側ピストンロッド１４が往復動し、それぞれの作動ポート５，６に対して負圧空気の供給と供給停止とがパルス状に繰り返される。
【００３５】
これにより、図１に示すように、バルクフィーダのガイドレール１の部品搬出口にそれぞれの負圧供給路２３，２４を接続すると、ガイドレール１の底面には負圧空気の供給と供給停止とがパルス状に繰り返されることになり、部品搬出口３にまで搬送された部品Ｗは瞬間的にガイドレール１の底面に引き付けられて所定の位置に所定の姿勢となって位置決めされる。たとえば、0.1秒以下の高速でピストンロッドを往復動させ、パルス状の圧縮空気あるいは負圧空気を発生させることができる。
【００３６】
しかも、負圧空気の供給と供給停止とが繰り返されることから、吸着具４によって部品Ｗを真空吸着する際には、負圧空気の供給が停止された状態のもとで、部品Ｗを上昇させると、円滑に部品Ｗを吸着具４によって上昇搬送させることができる。したがって、部品としては、1.0×0.5mmの角形あるいは0.6×0.3mmの角形の電子部品のように、非常に小型かつ軽量な部品を空気圧で作動する従動側シリンダ１０による吸気や排気を利用して、部品搬送装置の所定の位置に確実に位置決めさせることができ、部品を確実に取り出すことができる。
【００３７】
また、負圧用逆止弁３１，３２と排気用逆止弁３３，３４が逆止弁組立体５５，５６内に組み込まれ、シリンダ本体１８に直結されているので、膨張収縮室２１，２２と各逆止弁３１〜３４との距離が小さくなる。このため、空気の流れる空間が小さくなり、パルス状に発生させる正圧あるいは負圧空気の高速応答性が向上する。
【００３８】
図４は本発明の他の実施の形態である圧力発生装置を示す概略図である。この圧力発生装置は図１に示すものと同様の部品搬送装置に適用されており、部品搬送装置に正圧空気を供給することにより部品が所定の位置で位置決めされ、先頭の部品から外部に取り出されるようになっている。
【００３９】
図４においては図１に示された部材と共通する部材には同一の符号が付されており、この場合には作動ポート５，６はガイドレール１の側面に開口され、ここから正圧空気を部品Ｗに吹き付けることにより、部品Ｗはガイドレール１の所定の位置に位置決めされる。
【００４０】
作動ポート５と膨張収縮室２１との間には圧力供給路としての正圧供給路２３ａが接続され、作動ポート６と膨張収縮室２２との間には圧力供給路としての正圧供給路２４ａが接続されている。それぞれの正圧供給路２３ａ，２４ａには、それぞれの膨張収縮室２１，２２が収縮する際にそれぞれの正圧供給路２３ａ，２４ａを開放して正圧空気をそれぞれの作動ポート５，６に供給する正圧用逆止弁３１ａ，３２ａが設けられている。
【００４１】
一方、それぞれの正圧供給路２３ａ，２４ａに接続された補助流路としての外気案内流路２５ａ，２６ａには正圧用逆止弁３１ａ，３２ａが正圧供給路２３ａ，２４ａを開放するときに外気案内流路２５ａ，２６ａを閉じ、正圧供給路２３ａ，２４ａを閉じるときに外気案内流路２５ａ，２６ａを開放する外気案内用逆止弁３３ａ，３４ａが補助逆止弁として設けられている。
【００４２】
したがって、従動側ピストン１３が図４におい左方向に移動して膨張収縮室２１が収縮すると、正圧用逆止弁３１ａは開かれて正圧供給路２３ａは正圧状態になり、作動ポート５には正圧空気が供給される。一方、右方向に移動すると、正圧用逆止弁３１ａが閉じられ、外気案内用逆止弁３３ａが開かれて外気案内流路２５ａから膨張収縮室２１には外気が案内される。
【００４３】
同様に、従動側ピストン１３が図４において右方向に移動して膨張収縮室２２が収縮すると、正圧用逆止弁３２ａは開かれて正圧供給路２４ａは正圧状態になり、作動ポート６には正圧空気が供給される。一方、左方向に移動すると、正圧用逆止弁３２ａが閉じられ、外気案内用逆止弁３４ａが開かれて外気案内流路２６ａから膨張収縮室２２には外気が案内される。
【００４４】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、図示する圧力発生装置は、従動側ピストン１３の両側の膨張収縮室を作動ポートに接続するようにしているが、一方の膨張収縮収縮室のみを作動ポートに接続するようにしても良い。また、両方の圧力供給路を相互に接続させるようにして、従動側ピストン１３の前進移動と後退移動との両方で同一の作動ポートに正圧あるいは負圧の空気を供給するようにしても良い。その場合には、作動ポートには脈動とならずに平滑化された所定の圧力の正圧あるいは負圧の空気が常時供給されることになる。
【００４５】
さらに、図示する場合には、部品Ｗを実装基板に搭載するための搬送装置に適用されているが、テストボードに搭載する場合に適用しても良い。また、図１に示された吸着具４に対する負圧供給をこの圧力発生装置によって行うようにしても良い。さらに、２つの作動ポート５，６をともにガイドレール１の底面または側壁に設けたものを示したが、作動ポート５，６の一方をガイドレール１の側壁に設けるようにしても良い。本発明の圧力供給装置の用途は、前述のような部品搬送装置には限られず、負圧あるいは正圧を供給する必要がある場合であれば、どのような場合にも本発明を適用することができる。
【００４６】
【発明の効果】
本発明の圧力発生装置によれば、圧縮流体によって駆動される第１のピストンと、第１のピストンとともに作動する第２のピストンを設け、第１のピストンを駆動して第２のピストンを直線方向に往復動させることによって正圧空気あるいは負圧空気を発生させるようにしたので、駆動部と圧力発生部とをコンパクトに集約した小型の圧力発生装置を構成することができる。また、ピストンの往復動によって正圧あるいは負圧の空気を発生させるピストンの往動と復動の一方の移動時に正圧あるいは負圧の空気を発生させ、他方の移動時には正圧あるいは負圧の空気の発生を停止させることができるので、簡単かつ小型の装置によって正圧あるいは負圧の空気の供給と供給の停止とを繰り返してパルス状に発生させることができる。さらに、膨張収縮室と逆止弁との距離を近づけることによって、空気の流れる空間を小さくでき、そのためパルス状に発生させる正圧あるいは負圧空気の高速応答性が向上する。これにより、上述したような軽量な部品を良好に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である圧力発生装置を示す概略図である。
【図２】図１の圧力発生装置の構成を示す断面図である。
【図３】図１の圧力発生装置にて使用される逆止弁組立体の構成を拡大して示した断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態である圧力発生装置を示す概略図である。
【符号の説明】
１    ガイドレール
２    シャッター
３    部品搬出口
４    吸着具
５    作動ポート
６    作動ポート
７    駆動部
８    圧力発生部
１０    従動側シリンダ（第２のシリンダ）
１１    ヘッドカバー
１２    ロッドカバー
１３    従動側ピストン（第２のピストン）
１４    従動側ピストンロッド（第２のピストンロッド）
１５    駆動側ピストンロッド（第１のピストンロッド）
１６    駆動側シリンダ（第１のシリンダ）
１７    駆動側ピストン（第１のピストン）
１８    シリンダ本体
１９    Ｏリング
２０    パッキン
２１    膨張収縮室
２２    膨張収縮室
２３，２４      負圧供給路（圧力供給路）
２３ａ，２４ａ  正圧供給路（圧力供給路）
２５，２６      排気流路（補助流路）
２５ａ，２６ａ  外気案内流路（補助流路）
３１，３２      負圧用逆止弁（開放用逆止弁）
３１ａ，３２ａ  正圧用逆止弁（開放用逆止弁）
３３，３４      排気用逆止弁（補助逆止弁）
３３ａ，３４ａ  外気案内用逆止弁（補助逆止弁）
４１    ヘッドカバー
４２    ロッドカバー
４３    連結プレート
４４，４５      圧力室
４６，４７      空気流路
４８    電磁切換弁
４９    コンプレッサ
５５，５６      逆止弁組立体
５７    取付金具
５８    連通路
６１，６２      中空部材
６３    流路
６４    ジョイント部材
６５    ガスケット
６６    弁体
６７    ばね部材
６８    流路
６９    弁体
７１    ばね部材
７２    フィルタ
７３    蓋部材
７４    フィルタ
７５    突出部
Ｗ      部品
【図１】
0003814211.tif 000002
【図２】
0003814211.tif 000003
【図３】
0003814211.tif 000004
【図４】
0003814211.tif 000005