(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金が８４乃至８９重量％と、コバルトが９乃至１０重量％と、バナジウムが１乃至７重量％とからなるロウ材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はセラミック体とセラミック体、或いはセラミック体と金属体とを直接接合させるためのロウ材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、セラミック体とセラミック体、或いはセラミック体と金属体との接合は、セラミック体の表面に予めメタライズ金属層を被着させておき、該メタライズ金属層同士を、或いはメタライズ金属層と金属体とを銀ロウ等のロウ材を介し接合することによって行われている。
【０００３】
かかるセラミック体に被着されるメタライズ金属層は、一般にタングステンやモリブデンーマンガン等の高融点金属粉末から成り、タングステンやモリブデンーマンガン等の高融点金属粉末に有機バインダーや溶剤を添加混合して金属ペーストを作成し、これを生もしくは焼結セラミック体表面に、スクリーン印刷法等の厚膜手法により印刷塗布し、しかる後、これを還元雰囲気中で焼成し高融点金属粉末とセラミック体とを焼結一体化させることによってセラミック体の表面に被着される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この従来のセラミック体とセラミック体、あるいはセラミック体と金属体との接合はセラミック体表面に予めメタライズ金属層を被着させておかなければならず、メタライズ金属層を被着するための複雑な工程が必要で，最終製品を高コストとする欠点を有していた。
【０００５】
また、前記タングステンやモリブデンーマンガン等を使用したメタライズ金属層は酸化アルミニウムに代表される酸化物系セラミックにしか被着せず、セラミック体とセラミック体、あるいはセラミック体と金属体との接合において，セラミック体側の材質に大きな制約を受けるという欠点も有していた。
【０００６】
本発明者は上記欠点に鑑み種々の実験の結果、バナジウム（Ｖ）をセラミック体に接触させて熱を印加するとバナジウム（Ｖ）があらゆるセラミックに対し活性をしめしセラミック体に強固に接合することを知見した。
【０００７】
本発明は上記知見に基づき酸化物系、炭化物系、窒化物系のすべてのセラミックから成るセラミック体同志あるいはセラミック体と金属体とをメタライズ金属層を不要として直接接合することができる新規なロウ材を提供すことにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明のロウ材は、金（Ａｕ）が８４乃至８９重量％と、コバルト（Ｃｏ）が９乃至１０重量％と、バナジウム（Ｖ）が１乃至７重量％とからなることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明のロウ材の一成分として使用されるバナジウム（Ｖ）はセラミック体とロウ材とを直接接合させる作用をなし、セラミック体の表面にロウ材を載置させるとともに約７００℃の熱を印加すればロウ材中のバナジウム（Ｖ）がセラミック体の表面と反応して、例えば、セラミック体が窒化物系セラミックからなる場合にはＶＮｘ（ｘ＝不定）から成る反応層を、またセラミック体が炭化物系セラミックからなる場合にはＶＣｘ（ｘ＝不定）から成る反応層を、更にセラミック体が酸化物系セラミックからなる場合にはＶＯｘ（ｘ＝不定）から成る反応層を形成し、該形成された反応層によってロウ材がセラミック体表面に接合される。
【００１０】
前記バナジウム（Ｖ）は窒化物系セラミック、炭化物系セラミック、酸化物系セラミックのいずれとも反応層を形成することから、かかるバナジウム（Ｖ）を一成分として使用した本発明のロウ材は窒化物系セラミック、炭化物系セラミック、酸化物系セラミックのいずれにも接合することが可能となる。
【００１１】
なお、前記バナジウム（Ｖ）はその量が１重量％未満となるとセラミック体との反応で形成される反応層の絶対量が少なくなってロウ材をセラミック体表面に強固に接合させることができず、また７重量％を超えると後述する金ーコバルト合金中にバナジウム（Ｖ）が多量に入り込み、ロウ材の耐酸化性が大きく劣化してしまう。従って、前記ロウ材の一成分として使用されるバナジウム（Ｖ）はその量が１乃至７重量％の範囲に特定される。
【００１２】
また前記ロウ材に使用される金（Ａｕ）は溶融してセラミック体同士を接合させる場合には、各々のセラミック体の表面に形成された反応層を互いに接合させる作用をなし、またセラミック体と金属体とを接合させる場合には、セラミック体の表面に形成された反応層と金属体の表面とを接合させる作用をなし、またコバルト（Ｃｏ）は金（Ａｕ）と共晶を作り、金（Ａｕ）の溶融温度を下げる作用をなす。
【００１３】
前記ロウ材はその金（Ａｕ）の量が８４重量％未満で、かつコバルト（Ｃｏ）の量が１０重量％を超えた場合、あるいは金（Ａｕ）の量が８９重量％を超え、かつコバルト（Ｃｏ）の量が９重量％未満の場合、金の溶融温度が高いものとなってセラミック体同士、あるいはセラミック体と金属体とを接合させる際の処理温度が不要に高いものとなってしまう。従って、前記ロウ材の一成分として使用される金（Ａｕ）はその量が８４乃至８９重量％の範囲に、またコバルト（Ｃｏ）は９乃至１０重量％の範囲に特定される。
【００１４】
（実験例）
次に本発明の作用効果を実験例に基づき説明する。
まずバナジウム（Ｖ）、金（Ａｕ）及びコバルト（Ｃｏ）を表１に示す重量％となるように秤量するとともに、これに有機溶剤、溶媒を添加混合しペースト状にしてロウ材試料を得る。
【００１５】
次にこのロウ材試料を酸化アルミニウム質焼結体（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム質焼結体（ＡｌＮ）、炭化珪素質焼結体（ＳｉＣ）から成る直径６ｍｍ、厚さ３ｍｍのセラミック体の上下面に、厚さ３０μｍに印刷塗布し、しかる後、印刷塗布したペースト上に直径６ｍｍ、長さ３ｃｍの鉄―ニッケルーコバルト合金からなる金属体を配するとともに、真空度が１．３３×１０−４Ｐａ（１０−６Ｔｏｒｒ）以下の真空炉中、１０３０℃の温度で焼成し、セラミック体の上下両面に金属体を接合する。
【００１６】
そして次に金属体を垂直方向に引っ張り、金属体の一方がセラミック体より剥がれた時の引っ張り力を求め、これを基に単位面積当たりの接合強度を調べた。
【００１７】
なお、前記ロウ材試料を使用したペーストは粒径が１０μｍ〜３０μｍのバナジウム、金、コバルトに有機溶剤、溶媒を添加した後、混練機で１０時間混練して作成した。
【００１８】
また接合強度は各試料につき２０個を調べ、その平均値を接合強度とした。
更に試料番号１５は本発明品と比較するための比較試料であり、セラミック体表面に従来一般に使用されている銀ロウ材を使用して金属体をロウ付けしたものである。
上記の結果を下表に示す。
【００１９】
【表１】
0003740300.tif 000002
【００２０】
上記実験結果からも判るように従来の銀ロウはセラミック体には直接接合しないものであるのに対し、本発明のロウ材は酸化物系セラミック、窒化物系セラミック、炭化物系セラミックのいずれにも強固に接合する。
【００２１】
特にバナジウムを１〜７重量％、金を８４〜８９重量％、コバルトを９〜１０重量％の範囲としたロウ材は全ての材質のセラミック体に金属体を３９．２Ｎ／ｍｍ２（４ｋｇｆ／ｍｍ２）以上の強い結合力で接合させることが可能となる。
【００２２】
【発明の効果】
本発明のロウ材は、金が８４乃至８９重量％と、コバルトが９乃至１０重量％と、バナジウムが１乃至７重量％から成り、内部にバナジウムを含有していることから酸化物系性、窒化物系セラミック、炭化物系セラミックのいずれにも金属体を下地のメタライズ金属層を不要として直接、強固に接合させることができる。
【００２３】
また本発明のロウ材は金とコバルトによってロウ付け温度を１０３０℃の低い値となすことができ、セラミック体に金属体を接合させる処理温度を低いものとなすことができる。