(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下搬送コロと上搬送コロを有し、これら下搬送コロと上搬送コロの間を通してフィルムを搬送し、かつ、該フィルムを洗浄するフィルム洗浄装置において、前記フィルムの搬送スピードと等速度で回転する下搬送コロの両端で前記上搬送コロの両端のリングが接触することで該上搬送コロもフィルム搬送スピードと同一の方向に回転し、かつ、該上搬送コロの前記両端リングの内側に併設された併設リングが前記フィルム基板の両端に位置し、該併設リングは通常はフィルムと離間された状態で回転し、フィルムが反った場合に、該併設リングに接触することで反りの上限が制約されることを特徴とするフィルム洗浄装置。
【請求項２】
前記下搬送コロの両端に前記上搬送コロの両端のリングと接触するリングとを有し、該上搬送コロの前記両端リングの内側に併設された前記併設リングがフィルム基板の両端に位置することを特徴とする請求項１記載のフィルム洗浄装置。
【請求項３】
前記フィルム基板の両端に位置する併設リングの線速度とフィルム搬送速度が等しいことを特徴とする請求項２記載のフィルム洗浄装置。
【請求項４】
前記下搬送コロのリングと上搬送コロの外側リングの直径が等しく、上搬送コロの内側リングの直径と下搬送コロのシャフトの直径が等しいことを特徴とする請求項３記載のフィルム洗浄装置。
【請求項５】
前記フィルム洗浄装置と該フィルム洗浄装置に続く乾燥装置との間に液切りを行うエアーナイフを有し、該エアーナイフの前に前記上下の搬送コロが設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のフィルム洗浄装置。
【請求項６】
前記エアーナイフはプラスチック製であることを特徴とする請求項５記載のフィルム洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルム洗浄装置、より詳細には、フレキシブルプリント基板，フィルム液晶基板等の表面に付着した油膜，塵埃等を液体を用いて洗浄するフィルム洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ），フィルム基板を用いた液晶パネル（ＰＦ−ＬＣＤ）の製造工程では、各製造工程において基板（フィルム）上に付着した油脂等の汚れ、及び、微細な塵埃を確実に除去するための処理（洗浄）工程が不可欠である。
図６は、上述のごとき処理工程部の従来技術の一例を説明するための要部構成図で、図中、１はフィルム、２は処理（洗浄）槽、３は薬液（又は洗浄液）、４は乾燥装置、１１，１２は処理槽２内に配設された搬送コロ、２１は処理槽２と乾燥装置４との間で使用される搬送コロで、フィルム１は搬送コロによって搬送されるが、薬液に浸漬された場所で使用されるコロ１１，１２と処理槽と乾燥装置間で使用されるコロ２１とでは構成が異なる。なお、フィルムの搬送の駆動は、図示しないが装置の両端に設けられた巻き取り装置で行い、搬送コロが共に回転するのはあくまで補助的な役目を担うものである。
【０００３】
図７は、薬液中で使用される搬送コロ１１，１２の詳細を示す図で、図中、１１は下搬送コロ、１２は上搬送コロで、これらコロ１１，１２の両端には、それぞれリング１１ａ，１２ａが接して設けられ、それによって、これらのコロ１１，１２は同方向に回転される。又、上搬送コロ１２の前記両端リング１２ａの内側にはリング１２ｂが併設され、この併設リング１２ｂがフィルム基板１に接して回転するようになっている。即ち、薬液中での搬送コロ１１，１２は、フィルム１の駆動を補助する機能とフィルム１が薬液に浮かない機能が求められ、そのため、搬送コロの両端に設けられた併設リング１２ｂでフィルム１を挟みかつフィルム１の浮きを防止している。このとき、上搬送コロの併設リング１２ｂはフィルム基板１の有効処理領域の外側でフィルムに接触することはもちろんである。また、フィルム１にリング１２ｂが接触しても薬液の中にあるため薬液が潤滑剤の役目を果たし、フィルムがリングによって削り取られるようなことはない。
【０００４】
図８は、処理槽２と乾燥装置４との間で使用される搬送コロ２１の詳細を示す図で、処理槽２と乾燥装置４との間では、乾燥したフィルム基板１にリングが接触すると、フィルムが微細ながらも削りとられてフィルムカスを発生させる可能性があり、クリーン度を要求する装置では、図示のように、下搬送コロ２１のみを用い上搬送コロは用いられない。このような構成の装置では、次のような不具合が生じる。即ち、隣接する乾燥装置４からは乾燥空気が漏れだして処理槽２に吹き出してくるが、このエアーによってフィルム１がバタつき、該フィルム１が乾燥装置４の入口や処理槽２の出口に当たりキズを発生させる。これを避けるためには、乾燥空気の吹き出し量を抑えることが必要であるが、その場合、所望の乾燥装置内で均一温度を得られないという不具合が生じる場合がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述のごとき問題を解決するため、フィルムのバタツキを抑え、かつ、フィルムカスの発生を最小限に抑える機構を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、下搬送コロと上搬送コロを有し、これら下搬送コロと上搬送コロの間を通してフィルムを搬送し、かつ、該フィルムを洗浄するフィルム洗浄装置において、前記フィルムの搬送スピードと等速度で回転する下搬送コロの両端で前記上搬送コロの両端のリングが接触することで該上搬送コロもフィルム搬送スピードと同一の方向に回転し、かつ、該上搬送コロの前記両端リングの内側に併設された併設リングが前記フィルム基板の両端に位置し、該併設リングは通常はフィルムと離間された状態で回転し、フィルムが反った場合に、該併設リングに接触することで反りの上限が制約されることを特徴としたものである。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記下搬送コロの両端に前記上搬送コロの両端のリングと接触するリングとを有し、該上搬送コロの前記両端リングの内側に併設された前記併設リングがフィルム基板の両端に位置することを特徴としたものである。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項２の発明において、前記フィルム基板の両端に位置する併設リングの線速度とフィルム搬送速度が等しいことを特徴としたものである。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項３の発明において、前記下搬送コロのリングと上搬送コロの外側リングの直径が等しく、上搬送コロの内側リングの直径と下搬送コロのシャフトの直径が等しいことを特徴としたものである。
【００１０】
請求項５の発明は、請求項１乃至４のいずれかの発明において、前記フィルム洗浄装置と該フィルム洗浄装置に続く乾燥装置との間に液切りを行うエアーナイフを有し、該エアーナイフの前に前記上下の搬送コロが設けられていることを特徴としたものである。
【００１１】
請求項６の発明は、請求項５の発明において、前記エアーナイフはプラスチック製であることを特徴としたものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明が適用されるフィルム処理工程部の一例を示す要部構成図で、図中、図６に示した従来技術と同様の作用をする部分は、図６の場合と同一の参照番号が付してある。而して、本発明は、処理槽２と乾燥装置４との間で使用される搬送コロに関して、従来の下搬送コロ２１の上に、上搬送コロ２２を設けたものである。なお、従来技術においては、図８に示したように、下搬送コロ２１のみを具備し、上搬送コロは使用していない。
【００１３】
図２は、上述のごとく、乾燥装置４の手前に配設された搬送コロ２１，２２の詳細の一例を示す図で、図示のように、上搬送コロ２２はシャフト２２′と２つのリング２２ａ，２２ｂで構成される。上搬送コロ２２の外側リング２２ａは下搬送コロ２１のシャフト２１′に接して共に回転する。上搬送コロ２２の内側の併設リング２２ｂはフィルム基板１と接しない距離の径となり、本実施例では約３ｍｍ離間するように設計されている。このため、フィルム基板１がバタついたり反ったりしない限りは、上側の併設リング２２ｂに接することはないが、バタついたり反ったりした場合でも、フィルム基板１が上側の併設リング２２ｂよりも上に位置することはない。この位置よりも乾燥装置４の入口や処理槽２の出口の高さを大きくすればこれら部位に基板が接することはない。
【００１４】
図３は、本発明の他の実施例を示す図で、この実施例においても、上搬送コロ２２はシャフト２２′と２つのリング２２ａ，２２ｂで構成される。下搬送コロ２１もシャフト２１′とリング２１ａで構成され、上搬送コロの外側リング２２ａは下搬送コロのリング２１ａと接して共に回転する。この場合、上搬送コロのリング２２ａの回転線速度は下搬送コロ２２ａ上のフィルム基板１の走行速度に近づき、たとえ、接触してもフィルムカスの発生は小さい。下搬送コロのリング２１ａはフィルム基板１が図面左右方向に横にずれることも防止する。
【００１５】
図４は、本発明の他の実施例を示す図で、この実施例においても、上搬送コロはシャフト２２′と２つのリング２２ａ，２２ｂで構成される。下搬送コロはシャフト２１′とリング２１ａで構成され、リング２２ａとリング２１ａは同一の直径であり、リング２２ｂの直径は下搬送コロのシャフト２１′の径に等しい。この構成では、リング２２ｂの回転線速度はフィルム基板１の搬送速度と同一となり、たとえ、リング２２ｂとフィルム基板１が接触してもフィルムカスの発生はほとんどない。下搬送コロのリング２１ａは、フィルム基板１が図面左右方向に横にずれることも防止する。
【００１６】
図５は、本発明の他の実施例を説明するための図で、図中、３０はエアーナイフで、その他、図１に示した発明と同様の作用をする部分は、図１の場合と同一の参照番号が付してある。而して、本発明では、前述のように、フィルム１のバタツキが抑えられるため、さらにエアーの圧力を上げることが可能となる。図５に示すように、乾燥装置４の前にエアーナイフ３０を設置して、エアーをフィルム基板１に吹き付けて液切りを行うことが容易となり、液の持ち出しや乾燥装置への持ち込みが少なくなり、液供給サイクルが長くなり、コスト削減となる。また、下側にエアーナイフを設置すると、フィルム１を持ち上げ易くなるが、この場合は、上下のエアー圧力のバランスをとることでフィルムの持ち上げを防止することとなる。その場合も、前述のように上搬送コロ２２を設けることで、フィルム基板１が持ち上がりにくくなり、上下のエアーナイフへのエアー供給のバランス調整がし易くなるという効果もある。
【００１７】
なお、図示しないが、エアーナイフ３０の材質をプラスチック（塩ビ，アクリル他）にした場合、金属製（例えばＳＵＳや鉄）製のエアーナイフではエアーナイフの空冷効果によるエアーナイフ自身の低温化による結露により、エアーナイフの上から水滴が落ちてフィルム１に液痕が残る場合があるが、これを防止することができる。
【００１８】
【発明の効果】
請求項１の発明に対応する効果
処理槽の後のコロとして、上搬送コロをフィルム基板に、通常は、接することのない距離をおいて設置し、フィルム基板がばたついたり、反ったりした時にだけ、上搬送コロのリングで上方向への制限を与えることで、乾燥装置の入口や処理槽出口にフィルム基板処理面が当たることがなくなり、フィルム基板にキズを与えることがない。
【００１９】
請求項２の発明に対応する効果
下搬送コロにリングを設け、上搬送コロのリングの線速度をフィルム基板の搬送速度に近づけることで、たとえ、フィルム基板にリングが接触してもこすれによるフィルムカスの発生が少ない。
【００２０】
請求項３の発明に対応する効果
上搬送コロのリングの線速度をフィルム基板の搬送速度と等しくすることで、たとえ、フィルム基板にリングが接触してもフィルムカスの発生がほとんどない。
【００２１】
請求項４の発明に対応する効果
下搬送コロのリングと上搬送コロのリングの直径を同じくし、下搬送コロのシャフトと上搬送コロの内側リングの直径を同じくすることで、フィルム基板の横ズレを防止し、かつ、リングの線速度とフィルムの搬送速度を等しくすることができる。
【００２２】
請求項５の発明に対応する効果
上搬送コロの設置をすることでエアーナイフを設置することができ、フィルム基板の処理液持ち出し量が少なくコスト削減できる。
【００２３】
請求項６の発明に対応する効果
エアーナイフの材質をプラスチックにした場合、金属製（例えばＳＵＳや鉄）製のエアーナイフではエアーナイフの空冷効果によるエアーナイフ自身の低温化による結露により、エアーナイフの上から水滴が落ちてフィルムに液痕が残る場合があるがこれを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明が適用されてフィルム処理工程部の一例を示す要部構成図である。
【図２】  乾燥装置の手前に配設された搬送コロの詳細の一例を示す図である。
【図３】  本発明の他の実施例を示す図である。
【図４】  本発明の他の実施例を示す図である。
【図５】  本発明の更に他の実施例を説明するための図である。
【図６】  処理工程部の従来技術の一例を説明するための要部構成図である。
【図７】  薬液中で使用される搬送コロの詳細を示す図である。
【図８】  処理槽と乾燥装置との間で使用される搬送コロの詳細を示す図である。
【符号の説明】
１…フィルム基板、２…処理槽、３…処理液、４…乾燥装置、１１，１２，２１，２２…搬送コロ、１１ａ，１２ａ，１２ｂ，２１ａ，２２ａ，２２ｂ…リング、２１′，２２′…シャフト、３０…エアーナイフ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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