(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１本の光入力導波路と、該光入力導波路の出力側に接続された第１のスラブ導波路と、該第１のスラブ導波路の出力側に接続され、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネル導波路から成るアレイ導波路と、該アレイ導波路の出力側に接続された第２のスラブ導波路と、該第２のスラブ導波路の出力側に接続されて複数並設された光出力導波路とを有する導波路形成領域を基板上に形成した平板光導波回路を有し、前記第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方がスラブ導波路を通る光の経路と交わる交差分離面で分離されて分離スラブ導波路と成すとともに、前記交差分離面に連通して前記各導波路とは交差しない非交差分離面によって、前記導波路形成領域が分離された一方の分離スラブ導波路および該分離スラブ導波路に接続さる平板光導波回路の回路部分が形成された導波路形成領域部分と、他方の分離スラブ導波路および該分離スラブ導波路に接続さる平板光導波回路の残りの回路部分が形成された導波路形成領域部分とに分離し、該分離スラブ導波路の少なくとも一方側を、前記交差分離面に沿って、前記平板光導波回路の光透過中心波長の温度依存性シフトを補償する方向に補償する移動量だけ、温度に依存してスライド移動させるスライド移動部材と、前記分離された一方の分離スラブ導波路と他方の分離スラブ導波路に跨って配置されて両方の分離スラブ導波路が形成されている部分において導波路形成領域を押えて前記分離スラブ導波路同士の基板面に垂直なＺ方向の光軸ずれを抑制する位置ずれ抑制部材とが設けられており、該位置ずれ抑制部材による導波路形成領域押さえ位置は分離スラブ導波路の光軸およびその光軸の近傍を避けた位置に形成されていることを特徴とするアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項２】
分離スラブ導波路の両側面は該分離スラブ導波路の光軸と略平行に形成されていることを特徴とする請求項１記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項３】
分離スラブ導波路の光軸は、該分離スラブ導波路の側面に近接して該分離スラブ導波路に沿う平板光導波回路側面と略平行に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項４】
位置ずれ抑制部材の導波路形成領域押さえ位置は分離スラブ導波路の光軸から０．３ｍｍ以上離れた位置としたことを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項５】
位置ずれ抑制部材は分離スラブ導波路の表面側から導波路形成領域を押さえる構成と成していることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項６】
位置ずれ抑制部材の導波路形成領域押さえ位置は、互いに間隔を介した２本以上の線領域としたことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項７】
位置ずれ抑制部材は、導波路形成領域の押さえ位置と対応させて基板裏面の２本以上の線領域を基板の裏面側から押さえる構成としたことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一つに記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項８】
位置ずれ抑制部材は直径０．１ｍｍ以上の曲面形成部を２つ以上互いに間隔を介して配置して形成されており、該曲面形成部が導波路形成領域表面側と基板裏面側のうち少なくとも導波路形成領域表面側を互いに間隔を介した２本以上の線領域で押さえる構成としたことを特徴とする請求項６または請求項７記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項９】
位置ずれ抑制部材は導波路形成領域表面側と基板裏面側から平板光導波回路を挟む応力付与アームと、直径０．１ｍｍ以上の曲面形成部を２つ以上互いに間隔を介して配置した押え基板を有しており、該押え基板を介して前記平板光導波回路を前記応力付与アームで押えたことを特徴とする請求項６または請求項７記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項１０】
曲面形成部は円柱の側周面により形成されていることを特徴とする請求項８記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項１１】
円柱は円柱保持部材に回転可能に保持されていることを特徴とする請求項１０記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【請求項１２】
位置ずれ抑制部材は導波路形成領域表面側と基板裏面側から平板光導波回路を挟む応力付与アームと、円柱を保持する円柱保持基板とを有しており、前記円柱と前記円柱保持基板を介して前記平板光導波回路を前記応力付与アームで押えたことを特徴とする請求項１０または請求項１１記載のアレイ導波路回折格子型光合分波器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば波長多重光通信において光合分波器として用いられるアレイ導波路回折格子型光合分波器に関するものである。
【０００２】
【背景技術】
近年、光通信においては、その伝送容量を飛躍的に増加させる方法として、光波長多重通信の研究開発が盛んに行なわれ、実用化が進みつつある。光波長多重通信は、例えば互いに異なる波長を有する複数の光を多重して伝送させるものであり、このような光波長多重通信のシステムにおいては、伝送される多重光から、光受信側で波長ごとの光を取り出すために、予め定められた波長の光のみを透過する光透過デバイス等を、システム内に設けることが不可欠である。
【０００３】
光透過デバイスの一例として、図１５に示すような平板光導波回路（ＰＬＣ；Ｐｌａｎａｒ  Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）あり、この平板光導波回路はアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ；Ａｒｒａｙｅｄ  Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ  Ｇｒａｔｉｎｇ）とよばれている。アレイ導波路回折格子は、例えばシリコンなどの基板１上に石英系ガラスの導波路形成領域１０を形成したものであり、導波路形成領域１０には同図に示すような導波路構成が形成されている。
【０００４】
アレイ導波路回折格子の導波路構成は、少なくとも１本の光入力導波路２と、該光入力導波路２の出力側に接続された第１のスラブ導波路３と、該第１のスラブ導波路３の出力側に接続されたアレイ導波路４と、該アレイ導波路４の出力側に接続された第２のスラブ導波路５と、該第２のスラブ導波路５の出力側に接続されて複数並設された光出力導波路６とを有する。
【０００５】
前記アレイ導波路４は、第１のスラブ導波路３から導出された光を伝搬するものであり、複数のチャンネル導波路４ａを並設して形成されており、隣り合うチャンネル導波路４ａの長さは互いに設定量（ΔＬ）異なっている。
【０００６】
なお、光出力導波路６は、例えばアレイ導波路回折格子によって分波あるいは合波される互いに異なる波長の信号光の数に対応させて設けられるものであり、アレイ導波路４を構成するチャンネル導波路４ａは、通常、例えば１００本といったように多数設けられるが、同図においては、図の簡略化のために、これらのチャンネル導波路４ａ、光出力導波路６および光入力導波路２の各々の本数を簡略的に示してある。
【０００７】
光入力導波路２には、例えば送信側の光ファイバ（図示せず）が接続されて、波長多重光が導入されるようになっており、光入力導波路２を通って第１のスラブ導波路３に導入された光は、その回折効果によって広がってアレイ導波路４に入力し、アレイ導波路４を伝搬する。
【０００８】
このアレイ導波路４を伝搬した光は、第２のスラブ導波路５に達し、さらに、光出力導波路６に集光されて出力されるが、アレイ導波路４の全てのチャンネル導波路４ａの長さが互いに異なることから、アレイ導波路４を伝搬した後に個々の光の位相にずれが生じ、このずれ量に応じて集束光の波面が傾き、この傾き角度により集光する位置が決まる。
【０００９】
なお、アレイ導波路４から第２のスラブ導波路５に光が入力する際に、光が集光する角度（回折角）をφとすると、この角度φと集光する光の波長（光透過中心波長）λとの間には、次式（１）に示すような関係がある。
【００１０】
ｎｓ・ｄ・ｓｉｎφ＋ｎｃ・ΔＬ＝ｍ・λ・・・・・（１）
【００１１】
ｎｓは第１、第２のスラブ導波路の等価屈折率、ｄはチャンネル導波路同士の、第１、第２のスラブ導波路側の端部間隔、φは回折角、ｎｃはアレイ導波路の等価屈折率、ΔＬは隣り合うチャンネル導波路の長さの差、ｍは回折次数をそれぞれ示す。
【００１２】
ここで、回折角φ＝０としたときの波長をλ０とすると、この波長λ０は次式（２）により示される。なお、波長λ０は、一般に、アレイ導波路回折格子の中心波長と呼ばれる。
【００１３】
λ０＝ｎｃΔＬ／ｍ・・・・・（２）
【００１４】
また、図１８に示すように、回折角φ＝０となるアレイ導波路回折格子の集光位置を点Ｏとすると、回折角φｐを有する光の集光位置は、点Ｏとは異なる点Ｐ（点ＯからＸ方向にずれた位置）に集光する。ここで、Ｏ−Ｐ間のＸ方向の距離をｘとすると、距離ｘと波長λとの間に（数１）が成立する。
【００１５】
【数１】
0003764105.tif 000002
【００１６】
（数１）において、Ｌfは第２のスラブ導波路の焦点距離であり、ｎgはアレイ導波路の群屈折率である。なお、アレイ導波路の群屈折率ｎgは、アレイ導波路の等価屈折率ｎcにより、（数２）で与えられる。
【００１７】
【数２】
0003764105.tif 000003
【００１８】
前記（数１）は、第２のスラブ導波路の焦点ＯからＸ方向の距離ｄｘ離れた位置に光出力導波路の入力端を配置形成することにより、ｄλだけ波長の異なった光を取り出すことが可能であることを意味する。
【００１９】
また、（数１）の関係は、第１のスラブ導波路３に関しても同様に成立する。すなわち、例えば第１のスラブ導波路３の焦点中心を点Ｏ’とし、この点Ｏ’からＸ方向に距離ｄｘ’ずれた位置にある点を点Ｐ’とすると、この点Ｐ’に光を入力した場合に、出力の波長がｄλ’ずれることになる。この関係を式により表わすと、（数３）のようになる。
【００２０】
【数３】
0003764105.tif 000004
【００２１】
なお、（数３）において、Ｌｆ’は第１のスラブ導波路の焦点距離である。この（数３）は、第１のスラブ導波路の焦点Ｏ’とＸ方向の距離ｄｘ’離れた位置に光入力導波路の出力端を配置形成することにより、前記焦点Ｏに形成した光出力導波路においてｄλ’だけ波長の異なった光を取り出すことが可能であることを意味する。
【００２２】
図１５には、アレイ導波路回折格子の光分波機能が模式的に示されており、１本の光入力導波路２から波長λ１，λ２，λ３，・・・λｎ（ｎは２以上の整数）の波長多重光を入力させると、これらの光は、波長毎に互いに異なる光出力導波路６から出力される。
【００２３】
また、アレイ導波路回折格子は、光回路の相反性（可逆性）の原理を利用しているため、光分波器としての機能と共に、光合波器としての機能も有しているので、図１５とは逆に、各光出力導波路６から互いに波長が異なる複数の光を入力させると、これらの光は、上記と逆の伝搬経路を通り、アレイ導波路４と第１のスラブ導波路３とによって合波され、１本の光入力導波路２から出力される。
【００２４】
ところで、アレイ導波路回折格子は、元来、石英系ガラス材料を主とするために、この石英系ガラス材料の温度依存性に起因してアレイ導波路回折格子の前記光透過中心波長が温度に依存してシフトする。
【００２５】
この温度依存性は、１つの光出力導波路６からそれぞれ出力される光の透過中心波長をλ、前記アレイ導波路４を形成するコアの等価屈折率をｎc、基板（例えばシリコン基板）１の熱膨張係数をαs、アレイ導波路回折格子の温度変化量をＴとしたときに、（数４）により示されるものである。
【００２６】
【数４】
0003764105.tif 000005
【００２７】
ここで、従来の一般的なアレイ導波路回折格子において、（数４）から前記光透過中心波長の温度依存性を求めてみる。従来の一般的なアレイ導波路回折格子においては、ｄｎｃ／ｄＴ＝１×１０−５（℃−１）、αｓ＝３．０×１０−６（℃−１）、ｎｃ＝１．４５１（波長１．５５μｍにおける値）であるから、これらの値を（数４）に代入する。
【００２８】
また、波長λは、各光出力導波路６についてそれぞれ異なるが、各波長λの温度依存性は等しい。そして、現在用いられているアレイ導波路回折格子は、波長１５５０ｎｍを中心とする波長帯の波長多重光を分波したり合波したりするために用いられることが多いので、ここでは、λ＝１５５０ｎｍを（数４）に代入する。そうすると、従来の一般的なアレイ導波路回折格子の前記光透過中心波長の温度依存性ｄλ／ｄＴは、ｄλ／ｄＴ＝０．０１１（ｎｍ／℃）となる。
【００２９】
ここで、アレイ導波路回折格子の温度変動によって光出力導波路から出力される光透過中心波長がΔλずれたとする。上記の議論から、ｄλ’＝Δλとなるように、例えば図１８において光入力導波路２の出力端位置を前記Ｘ方向に距離ｄｘ’だけずらせば、焦点Ｏに形成した光出力導波路６において、波長ずれのない光を取り出すことができる。また、他の光出力導波路に関しても同様の作用が生じるため、前記光透過中心波長ずれΔλを補正（解消）できることになる。
【００３０】
ここで、温度変化量と光入力導波路の位置補正量の関係を導いておく。前記光透過中心波長の温度依存性（温度による光透過中心波長のずれ量）は、前記の如く、ｄλ／ｄＴ＝０．０１１（ｎｍ／℃）で表されるので、温度変化量Ｔを用いて光透過中心波長ずれ量Δλを（数５）により表わすことができる。
【００３１】
【数５】
0003764105.tif 000006
【００３２】
（数３）、（数５）から、温度変化量Ｔと光入力導波路の位置補正量ｄｘ’を求めると、（数６）が導かれる。
【００３３】
【数６】
0003764105.tif 000007
【００３４】
上記議論をふまえ、アレイ導波路回折格子の第１のスラブ導波路３と第２のスラブ導波路５の少なくとも一方を、スラブ導波路を通る光の経路と交わる面で分離して分離スラブ導波路と成し、該分離スラブ導波路の少なくとも一方側を前記分離面に沿って温度に依存してスライド移動させるスライド移動部材を設けたアレイ導波路回折格子型光合分波器が提案された。
【００３５】
このアレイ導波路回折格子型光合分波器において、例えば図１６に示すように、第１のスラブ導波路３を分離して分離スラブ導波路３ａ，３ｂとし、（数６）により示される位置補正量ｄｘ’だけ、前記分離面に沿って第１のスラブ導波路３の分離スラブ導波路３ａ及び光入力導波路２を分離面８に沿ってスライド移動させることにより、前記光透過中心波長ずれを解消することが可能となる。
【００３６】
なお、アレイ導波路回折格子は、シリコン基板１上に、火炎加水分解堆積法によるガラス微粒子の堆積と、該ガラス微粒子の焼結・透明化を行って導波路形成領域１０を形成した平板光導波回路であり、基板１を形成するシリコンと導波路形成領域１０を形成するガラスとの線膨張係数の違いから、若干の反りを有することがある。
【００３７】
したがって、上記提案のアレイ導波路回折格子型光合分波器において、一方側の分離スラブ導波路３ａを有する第１の導波路形成領域１０ａと、他方側の分離スラブ導波路３ｂを有する第２の導波路形成領域１０ｂとが、基板面に垂直なＺ方向にずれることがある。
【００３８】
そうすると、一方側の分離スラブ導波路３ａと他方側の分離スラブ導波路３ｂの光軸がＺ方向にずれるので、この光軸ずれを抑制するように、クリップ等の位置ずれ抑制部材を設けて分離スラブ導波路３ａ，３ｂのＺ方向光軸ずれを抑制する提案も成されている。
【００３９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように、第１または第２のスラブ導波路を分離したアレイ導波路回折格子に位置ずれ抑制部材を設けると、アレイ導波路回折格子の各光透過中心波長の損失が増加する等の光学特性劣化が生じる場合があることが分かった。
【００４０】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、光透過中心波長の温度依存性を正確に抑制することができ、かつ、挿入損失が小さいアレイ導波路回折格子型光合分波器を提供することにある。
【００４１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。すなわち、第１の発明は、少なくとも１本の光入力導波路と、該光入力導波路の出力側に接続された第１のスラブ導波路と、該第１のスラブ導波路の出力側に接続され、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネル導波路から成るアレイ導波路と、該アレイ導波路の出力側に接続された第２のスラブ導波路と、該第２のスラブ導波路の出力側に接続されて複数並設された光出力導波路とを有する導波路形成領域を基板上に形成した平板光導波回路を有し、前記第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方がスラブ導波路を通る光の経路と交わる交差分離面で分離されて分離スラブ導波路と成すとともに、前記交差分離面に連通して前記各導波路とは交差しない非交差分離面によって、前記導波路形成領域が分離された一方の分離スラブ導波路および該分離スラブ導波路に接続さる平板光導波回路の回路部分が形成された導波路形成領域部分と、他方の分離スラブ導波路および該分離スラブ導波路に接続さる平板光導波回路の残りの回路部分が形成された導波路形成領域部分とに分離し、該分離スラブ導波路の少なくとも一方側を、前記交差分離面に沿って、前記平板光導波回路の光透過中心波長の温度依存性シフトを補償する方向に補償する移動量だけ、温度に依存してスライド移動させるスライド移動部材と、前記分離された一方の分離スラブ導波路と他方の分離スラブ導波路に跨って配置されて両方の分離スラブ導波路が形成されている部分において導波路形成領域を押えて前記分離スラブ導波路同士の基板面に垂直なＺ方向の光軸ずれを抑制する位置ずれ抑制部材とが設けられており、該位置ずれ抑制部材による導波路形成領域押さえ位置は分離スラブ導波路の光軸およびその光軸の近傍を避けた位置に形成されている構成をもって課題を解決する手段としている。
【００４２】
また、第２の発明は、上記第１の発明の構成に加え、前記分離スラブ導波路の両側面は該分離スラブ導波路の光軸と略平行に形成されている構成をもって課題を解決する手段としている。
【００４３】
また、第３の発明は、上記第１または第２の発明の構成に加え、前記分離スラブ導波路の光軸は、該分離スラブ導波路の側面に近接して該分離スラブ導波路に沿う平板光導波回路側面と略平行に形成されている構成をもって課題を解決する手段としている。
【００４４】
さらに、第４の発明は、上記第１または第２または第３の発明の構成に加え、前記位置ずれ抑制部材の導波路形成領域押さえ位置は分離スラブ導波路の光軸から０．３ｍｍ以上離れた位置とした構成をもって課題を解決する手段としている。
【００４５】
さらに、第５の発明は、上記第１乃至第４のいずれか一つの発明の構成に加え、前記位置ずれ抑制部材は分離スラブ導波路の表面側から導波路形成領域を押さえる構成と成している構成をもって課題を解決する手段としている。
【００４６】
さらに、第６の発明は、上記第１乃至第５のいずれか一つの発明の構成に加え、前記位置ずれ抑制部材の導波路形成領域押さえ位置は、互いに間隔を介した２本以上の線領域とした構成をもって課題を解決する手段としている。
【００４７】
さらに、第７の発明は、上記第１乃至第６のいずれか一つの発明の構成に加え、前記位置ずれ抑制部材は、導波路形成領域の押さえ位置と対応させて基板裏面の２本以上の線領域を基板の裏面側から押さえる構成とした構成をもって課題を解決する手段としている。
【００４８】
さらに、第８の発明は、上記第６または第７の発明の構成に加え、前記位置ずれ抑制部材は直径０．１ｍｍ以上の曲面形成部を２つ以上互いに間隔を介して配置して形成されており、該曲面形成部が導波路形成領域表面側と基板裏面側のうち少なくとも導波路形成領域表面側を互いに間隔を介した２本以上の線領域で押さえる構成とした構成をもって課題を解決する手段としている。
【００４９】
さらに、第９の発明は、上記第６または第７の発明の構成に加え、位置ずれ抑制部材は導波路形成領域表面側と基板裏面側から平板光導波回路を挟む応力付与アームと、直径０．１ｍｍ以上の曲面形成部を２つ以上互いに間隔を介して配置した押え基板を有しており、該押え基板を介して前記平板光導波回路を前記応力付与アームで押えた構成をもって課題を解決する手段としている。
【００５０】
さらに、第１０の発明は、上記第８の発明の構成に加え、前記曲面形成部は円柱の側周面により形成されている構成をもって課題を解決する手段としている。
【００５１】
さらに、第１１の発明は、上記第１０の発明の構成に加え、前記円柱は円柱保持部材に回転可能に保持されている構成をもって課題を解決する手段としている。
【００５２】
さらに、第１２の発明は、上記第１０または第１１の発明の構成に加え、前記位置ずれ抑制部材は導波路形成領域表面側と基板裏面側から平板光導波回路を挟む応力付与アームと、円柱を保持する円柱保持基板とを有しており、前記円柱と前記円柱保持基板を介して前記平板光導波回路を前記応力付与アームで押えた構成をもって課題を解決する手段としている。
【００５３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明において、従来例および提案例と同一名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略する。
【００５４】
図１には、本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第１実施形態例が示されている。なお、同図の（ａ）には本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器の平面図が、同図の（ｂ）にはその正面図がそれぞれ示されている。
【００５５】
これらの図に示すように、本実施形態例は、アレイ導波路回折格子の導波路構成において、第１のスラブ導波路３を長方形状に形成している。そして、この第１のスラブ導波路３を、第１のスラブ導波路３を通る光の経路と交わる交差分離面８によって分離し、分離スラブ導波路３ａ，３ｂとしている。
【００５６】
この構成により、分離スラブ導波路３ａ，３ｂは、その両側面１４が分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸Ｚ３と略平行になっている。分離スラブ導波路３ａ，３ｂのそれぞれの側面１４と光軸Ｚ３との距離Ｇは３．７ｍｍである。
【００５７】
また、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸は、該分離スラブ導波路３ａ，３ｂの側面１４に近接して該分離スラブ導波路３ａ，３ｂに沿う平板光導波回路側面４０と略平行に形成されている。
【００５８】
前記交差分離面８は導波路形成領域１０の一端側（側面４０がわ）から導波路形成領域の途中部にかけて設けられており、この交差分離面８に連通させて、第１のスラブ導波路３と交差しない非交差分離面１８が形成されている。非交差分離面１８は交差分離面８と直交して設けられている。なお、非交差分離面１８は交差分離面８と直交しなくてもよく、同図は直交している態様を記載している。
【００５９】
そして、本実施形態例では、交差分離面８と非交差分離面１８とによって、導波路形成領域１０を、一方側の分離スラブ導波路３ａを含む第１の導波路形成領域１０ａと、他方側の分離スラブ導波路３ｂを含む第２の導波路形成領域１０ｂとに分離している。また、導波路形成領域１０ａ，１０ｂに対応させて、交差分離面８と非交差分離面１８とによって、基板１も基板１ａ，１ｂに分離している。
【００６０】
前記第１の導波路形成領域１０ａと第２の導波路形成領域１０ｂとに跨る態様で、導波路形成領域１０よりも熱膨張係数が大きいスライド移動部材７が設けられ、接着剤１３により固定されている。
【００６１】
このスライド移動部材７は、温度に依存して第１の導波路形成領域１０ａを交差分離面８に沿ってスライド移動させ、分離スラブ導波路３ａを交差分離面８に沿ってスライド移動する構成と成している。分離スラブ導波路３ａは、図１の（ａ）の矢印Ｃ、Ｄに示すようにスライド移動する。
【００６２】
また、本実施形態例では、スライド移動部材７を導波路形成領域１０ａ，１０ｂの表面上に、導波路形成領域１０ａと導波路形成領域１０ｂに跨る態様で設けることにより、前記導波路形成領域１０ａのスライド移動時に、導波路形成領域１０ａが基板面に垂直なＺ方向に変位することをできるだけ抑制する構成と成している。
【００６３】
上記スライド移動部材７は、例えば熱膨張係数が１．６５×１０−５（１／Ｋ）の銅板により形成されている。スライド移動部材７はアレイ導波路回折格子の光透過中心波長温度依存性を補償できる長さに形成されている。すなわち、スライド移動部材７は、アレイ導波路回折格子の光透過中心波長のシフトに応じた分離スラブ導波路３ａの移動量に対応する長さだけ、熱膨張係数による伸縮が生じ、光入力導波路２の出力端を前記（数３）に示した距離ｄｘ’だけ移動する。
【００６４】
なお、上記第１の導波路形成領域１０ａと第２の導波路形成領域１０ｂは分離されたため間隔を介して配置されており、例えば、同図に示すＡ部の間隔（非交差分離面１８同士の間隔）は１００μｍ程度であり、同図に示すＢ部の間隔（交差分離面８同士の間隔）は２５μｍ程度である。
【００６５】
また、本実施形態例においては、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸がＺ方向にずれるのを抑制する位置ずれ抑制部材１１が設けられている。この位置ずれ抑制部材１１は、第１のスラブ導波路３の上側（表面側）から前記導波路形成領域１０を押え、かつ、基板１の下側（裏面側）から基板１を押えるコの字型クリップ１９により形成されている。
【００６６】
クリップ１９は平板光導波回路であるアレイ導波路回折格子を挟んで、荷重約２．５ｋｇｆの応力を付与する構成と成している。クリップ１９による導波路形成領域１０の押さえ位置は、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸を避けた位置に形成されている。この押え部材位置は、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸と平行に、光軸から１ｍｍ離れた位置としている。押さえ位置の長さは１３ｍｍであり、第１のスラブ導波路３とほぼ同じ長さである。
【００６７】
なお、クリップ１９による把持は、前記第１の導波路形成領域１０ａの交差分離面８に沿ったスライド移動を妨げるものではなく、第１の導波路形成領域１０ａおよびその下の基板１ａは、スライド移動部材７によって第２の導波路形成領域１０ｂに対して交差分離面８に沿ってスライド移動可能なように、クリップ１９により把持されている。
【００６８】
ところで、本発明者は、アレイ導波路回折格子の第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方を分離して分離スラブ導波路と成し、該分離スラブ導波路の少なくとも一方側を前記分離面に沿って温度に依存してスライド移動させる構成のアレイ導波路回折格子型光合分波器において、前記分離スラブ導波路同士の基板面に垂直なＺ方向の光軸ずれを抑制する位置ずれ抑制部材を設けた場合に、光学特性が劣化する原因を追及した。
【００６９】
その結果、位置ずれ抑制部材による押さえ位置により光学特性劣化が大きく異なることを見出した。以下、本発明者の検討およびその検討結果について述べる。
【００７０】
まず、アレイ導波路回折格子型光合分波器に形成する導波路構成を、図１６に示すように従来例と同様に形成し、第１のスラブ導波路３側を分離した。そして、この分離面（交差分離面）８の上側に位置ずれ抑制部材として図の破線に示すクリップ１９を設け、損失波長特性を求めた。
【００７１】
その結果、クリップ１９の位置が第１のスラブ導波路３の光伝搬領域以外の場合は、アレイ導波路回折格子の損失波長特性が図１７の特性線ａのように良好になるのに対し、クリップ１９による押さえ位置が第１のスラブ導波路３の光軸上および光軸近傍の場合は図１７の特性線ｂに示すように大きく劣化することが分かった。
【００７２】
そこで、本発明者は、位置ずれ抑制部材としてクリップ１９を適用し、クリップ１９による押さえ位置とアレイ導波路回折格子の挿入損失との関係をさらに詳しく検討した。
【００７３】
なお、この特性検討結果は、図５に示すように、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸中心線を０（Ｘ方向の座標原点）とし、クリップ１９による押さえ位置をアレイ導波路回折格子の外側（図の上側）にした場合はマイナス（−）、クリップによる押さえ位置を内側（図の下側）にした場合をプラス（＋）として求めた。また、クリップ１９によりアレイ導波路回折格子に加えられる荷重は２．５ｋｇｆとした。
【００７４】
その結果、図６に示すように、クリップ１９による押さえ位置を−４．０ｍｍの位置から３．０ｍｍの位置まで変化させた時の損失値は、押さえ位置によって大きく異なり、クリップ１９による押さえ位置を、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸上および光軸近傍の位置（例えば分離スラブ導波路の光軸を中心として±０．３ｍｍ未満の位置）にすると、挿入損失が大きく増大することが分かった。
【００７５】
また、従来のアレイ導波路回折格子型光合分波器に形成されている第１のスラブ導波路３は、図５に示すように、アレイ導波路４側に向かうにつれて幅が広がる末広がり形状であり、クリップ１９による押さえ位置が分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸から離れる（側面１４側に近づく）と、クリップ１９による押さえ線と分離スラブ導波路３ａ，３ｂの側面１４とが交わる。
【００７６】
そうすると、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの側面１４の形成部位に形成されている導波路形成領域１０の表面のわずかな段差によって、クリップ１９による押さえが良好に行われない可能性もあることから、本発明者は、本実施形態例のように、第１のスラブ導波路３を長方形状に形成し、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの両側面１４が分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸と略平行になるようにした。
【００７７】
なお、本実施形態例では、第１のスラブ導波路３を長方形状としたが、第１のスラブ導波路３を、例えば図１４に示すような形状としてもよい。つまり、第１のスラブ導波路３の入力端側と出力端側を湾曲形状とし、両側面を第１のスラブ導波路３の光軸と平行に形成して、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの両側面１４が分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸と略平行になるようにしてもよい。
【００７８】
分離スラブ導波路３ａ，３ｂを上記のように形成すると、クリップ１９による押さえ位置を分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸から３．０ｍｍ以上遠ざけて、図３の鎖線Ｅ、Ｆに示すように、側面１４の上を押さえるようにしても、クリップ１９による押さえ線と側面１４とが交わる（点接触となる）ことはないため、クリップ１９による押えをより一層良好に行える。
【００７９】
したがって、分離スラブ導波路３ａ，３ｂを本実施形態例のような形状にすると、クリップ１９による押さえ位置を−４．０ｍｍの位置から４．０ｍｍの位置まで変化させた時の損失値は、図４に示すようになり、損失が小さい領域が広くなるので、クリップ１９で押さえられる位置の取り幅を広げることができる。
【００８０】
なお、アレイ導波路回折格子の光学特性は、第１のスラブ導波路３および分離スラブ導波路３ａ，３ｂの形状を本実施形態例のように形成しても、アレイ導波路４側に向かうにつれて幅が広がる形状とした場合と同様である。
【００８１】
本実施形態例は、上記検討に基づき、クリップ１９による導波路形成領域１０の押さえ位置を、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸から１ｍｍ離れた位置としたものであるから、押える位置が多少ばらついたり変化したりしても、分離スラブ導波路３ａ，３ｂのＺ方向の光軸ずれを抑制することができる。
【００８２】
したがって、本実施形態例は、分離スラブ導波路３ａ，３ｂの形成および、分離スラブ導波路３ａの交差分離面８に沿った移動によって、挿入損失が増大することを抑制することができ、挿入損失が殆ど劣化しない安定した状態を得ることができる。
【００８３】
なお、本実施形態例においては、分離スラブ導波路の少なくとも一方（図１においては分離スラブ導波路３ａ）を分離面に沿って移動させることになるので、移動側の分離スラブ導波路３ａの光軸はＸ方向に移動することになるが、この移動距離はμｍオーダーの値であり、非常に小さいので、上記のように分離スラブ導波路３ａの移動前の光軸を基準としてこの光軸を避けた位置を位置ずれ抑制部材の押さえ位置とすれば、上記のように、挿入損失の増大を抑制することが可能となる。
【００８４】
図２には、本実施形態例の損失波長特性例が示されている。図２に示すように、本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、挿入損失が５ｄＢ以下、クロストークが−２８ｄＢ以下の良好な波形を得ることができる。
【００８５】
また、本実施形態例は、位置ずれ抑制部材１１による押え位置を適切にすることにより、第１のスラブ導波路３を通る光の光路への影響を抑制できるので、挿入損失等の光学特性のばらつきが殆ど無い優れたアレイ導波路回折格子型光合分波器であることを確認できた。
【００８６】
さらに、本実施形態例によれば、スライド移動部材７により温度に依存して分離スラブ導波路３ａを含む導波路形成領域１０ａを交差分離面８に沿ってスライド移動することによって、光透過中心波長の温度依存性を正確に抑制することができる。
【００８７】
図７には、本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第２実施形態例が示されている。本第２実施形態例は、アレイ導波路回折格子型光合分波器の第１のスラブ導波路３を、アレイ導波路４側に向かうにつれて幅が広がる形状としている。第２実施形態例は、この構成以外の構成を上記第１実施形態例と同様にしており、第２実施形態例の説明において、上記第１実施形態例との重複説明は省略する。
【００８８】
第２実施形態例は、第１のスラブ導波路３の形状を上記第１実施形態例と異なる形状とすることにより、上記第１実施形態例に比べると、クリップ１９で押さえられる位置の取り幅は狭いものの、その他の構成は上記第１実施形態例と同様であるので、上記第１実施形態例と同様の効果を奏することができる。
【００８９】
図８には、本第２実施形態例の損失波長特性例が示されており、同図に示す特性は、図２に示した上記第１実施形態例の損失波長特性と同様であった。
【００９０】
図９には、本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第３実施形態例が示されている。第３実施形態例は上記第２実施形態例とほぼ同様に構成されており、本第３実施形態例が上記第２実施形態例と異なる特徴的なことは、位置ずれ抑制部材１１の構成を以下のようにしたことである。なお、第３実施形態例の構成において上記第２実施形態例と同様の構成については、その重複説明を省略する。
【００９１】
本第３実施形態例において、位置ずれ抑制部材１１は、導波路形成領域１０の表面側と基板１の裏面側から平板光導波回路を挟む応力付与アームとしてのクリップ１９と、２枚の押え基板３１（３１ａ，３１ｂ）を有しており、押え基板３１にはそれぞれ直径０．１ｍｍ以上の２つの曲面形成部３０が互いに間隔を介して配置されている。
【００９２】
位置ずれ抑制部材１１は、押え基板３１を介して平板光導波回路をクリップ１９で押える構成と成しており、前記曲面形成部３０によって、導波路形成領域１０の表面側と基板１の裏面側を、間隔を介した２本の線領域で押える構成と成している。
【００９３】
言い換えれば、位置ずれ抑制部材１１による導波路形成領域１０の押さえ位置は、互いに間隔を介した２本の線領域とし、かつ、位置ずれ抑制部材１１は、導波路形成領域１０の押さえ位置と対応させて基板１の裏面の２本の線領域を基板１の下側から押さえる構成としている。これら２本の線領域の間隔は、それぞれ４ｍｍである。
【００９４】
また、上記線領域の間隔の中央が第１のスラブ導波路３の光軸と一致するように押え基板３１を配置しており、したがって、位置ずれ抑制部材１１による導波路形成領域１０の押さえ位置および基板１の押え位置は、それぞれ、第１のスラブ導波路３の光軸から２ｍｍ離れたところ（Ｘ方向の位置が＋２ｍｍのところと−２ｍｍのところ）である。
【００９５】
本第３実施形態例は、上記構成の位置ずれ抑制部材１１により導波路形成領域１０と基板１を挟んで押えており、導波路形成領域１０上側から上記２本の線領域に均等な応力を付与して押え、また、基板１下側から上記２本の線領域に均等な応力を付与して押えることができる。
【００９６】
すなわち、本第３実施形態例は、クリップ１９、押え基板３１を別個の部材としており、２つの押え基板３１ａ，３１ｂを互いに平行にして、平板光導波回路としてのアレイ導波路回折格子の上下（導波路形成領域１０の上側と基板１の下側）からそれぞれ、上記２本の線領域に均等な応力を付与して導波路形成領域１０および基板１を押えることができる。この構成は、１本の線領域に応力を付与した場合と比較して分離されたスラブ導波路同士を同一平面上に矯正することができるため、分離スラブ導波路３ａ，３ｂ同士の光軸をより正確にＺ方向に合わせることができる。
【００９７】
したがって、本第３実施形態例は、上記第２実施形態例と同様の効果を奏することができ、さらに、第２実施形態例に比べ、位置ずれ抑制部材１１の押さえ位置の変化による光学特性のばらつきを抑制することができる。
【００９８】
例えば、図１０には、位置ずれ抑制部材１１の押さえ位置と挿入損失との関係が示されており、同図においては、２本の線領域の間隔の中央位置をＸ方向の位置として示している。２本の線領域の間隔は上記第３実施形態例で示した４ｍｍである。
【００９９】
図１０においては、Ｘ方向の位置を−２．０〜−１．５ｍｍとした場合や、Ｘ方向の位置を１．５〜２．０ｍｍとした場合に、２本の線領域のいずれか一方が第１のスラブ導波路３の光軸付近となっているために、挿入損失が増加している。
【０１００】
しかし、Ｘ方向の位置を約−０．５から＋０．５ｍｍの範囲内とした場合に、２本の線領域の双方が第１のスラブ導波路３の両側面１４付近となっているが、この場合の挿入損失の増加は見られない。
【０１０１】
さらに、２本の線領域の間隔の中央位置が第１のスラブ導波路３の光軸から±１．５ｍｍ離れたところまでは、挿入損失が安定しており、挿入損失が安定している範囲が大きい。
【０１０２】
このように、クリップ１９等の応力付与アームと、応力付与アームとは別個の部材である押え基板３１を設けて位置ずれ抑制部材１１を形成し、導波路形成領域１０を間隔を介した２本以上の線領域で押えると、位置ずれ抑制部材１１の押さえ位置を変化させたときの挿入損失の安定範囲を広げることができる。
【０１０３】
つまり、この構成は、位置ずれ抑制部材１１による導波路形成領域１０の押さえ位置が多少ばらついたり変化したりしても、挿入損失が殆ど劣化しないアレイ導波路回折格子型光合分波器を実現することができる。
【０１０４】
なお、第３実施形態例において、第１のスラブ導波路３の形状を上記第１実施形態例の第１のスラブ導波路３の形状と同様にしても同様の効果を奏することができる。
【０１０５】
つまり、分離スラブ導波路３ａ，３ｂを、その両側面１４が分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸と略平行になるようにした場合も、位置ずれ抑制部材１１の構成を第３実施形態例における位置ずれ抑制部材１１の構成と同様にすることによって、図１０に示したように、挿入損失が安定している範囲を広くすることができる。
【０１０６】
図１１には、本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第４実施形態例の正面図が示されている。なお、本第４実施形態例の平面構成は上記第３実施形態例と同様である。また、本第４実施形態例において、位置ずれ抑制部材１１の構成は上記第１〜第３実施形態例における位置ずれ抑制部材１１の構成と異なるが、それ以外の第４実施形態例の構成は上記第２、第３実施形態例と同様であるので、その重複説明は省略する。
【０１０７】
第４実施形態例において、位置ずれ抑制部材１１は、クリップ１９と、図１１、図１２の（ａ）に示す円柱（円柱部材）９（９ａ１，９ａ２，９ｂ１，９ｂ２）と、該円柱９を保持する円柱保持基板３２（３２ａ，３２ｂ）とを有している。クリップ１９は、上記第３実施形態例と同様の応力付与アームとして機能するものである。本第４実施形態例において、クリップ１９、円柱９、円柱保持基板３２はそれぞれ別個の部材により形成されており、クリップ１９が円柱９と円柱保持基板３２を介して平板光導波回路を押えている。
【０１０８】
また、図１２の（ａ）に示すように、円柱保持基板３２ａにはＶ字形状の溝部３３が互いに間隔を介して形成されており、これらの溝部３３にそれぞれ、前記円柱９ａ１，９ａ２が挿入されている。同様に、円柱保持基板３２ｂにはＶ字形状の溝部３３が互いに間隔を介して形成されており、これらの溝部３３にそれぞれ、前記円柱９ｂ１，９ｂ２が挿入されている。
【０１０９】
なお、同図の（ｂ）に示すように、溝部３３の形状は、例えば円柱９の弧に沿ったＵ字形状としてもよい。
【０１１０】
円柱９は、いずれも直径０．１ｍｍ以上であり、円柱９は円柱保持部材としての円柱保持基板３２に回転可能に保持されている。本第４実施形態例では、円柱９の側周面により曲面形成部３０を形成しており、この曲面形成部３０により、間隔を介した２本の線領域で押える構成と成している。２本の線領域の間隔は４ｍｍである。
【０１１１】
本第４実施形態例は上記構成の位置ずれ抑制部材１１により、導波路形成領域１０と基板１を挟んで押えており、上記第３実施形態例と同様に、クリップ１９、円柱９、円柱保持基板３２をそれぞれ別個の部材により形成し、円柱９の側周面の曲面形成部３０によって間隔を介した２本の線領域で押える構成としているために、上記第３実施形態例と同様の効果を奏することができる。
【０１１２】
また、本第４実施形態例は、円柱９の側周面によって曲面形成部３０を形成し、円柱９を円柱保持基板３２により回転可能に保持しているので、スライド移動部材７によって導波路形成領域１０ａが移動しても、導波路形成領域１０ａ位置ずれ抑制部材１１との摩擦を非常に小さくすることができ、スライド移動部材７による導波路形成領域１０ａの移動により、光透過中心波長の温度依存性をより一層正確に抑制することができる。
【０１１３】
なお、本発明は上記実施形態例に限定されることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば上記第３、第４実施形態例では、いずれも、導波路形成領域１０の表面側と基板１の裏面側を、互いに間隔を介した２本の線領域で押える構成としたが、図１３に示すように、導波路形成領域１０の表面側を、曲面形成部３０によって互いに間隔を介した２本の線領域で押え、基板１の裏面側は押え基板３１等によって面で押えるようにしてもよい。
【０１１４】
また、導波路形成領域１０の表面側や基板１の裏面側を、互いに間隔を介した線領域で押える場合に、線領域は必ずしも２本とするとは限らず、３本以上の線領域で導波路形成領域１０の表面側や基板１の裏面側を押えてもよい。
【０１１５】
さらに、導波路形成領域１０の表面側や基板１の裏面側を押える領域は、線領域とは限らず、面や点により押える構成としてもよい。
【０１１６】
さらに、上記各実施形態例では、位置ずれ抑制部材１１は、クリップ１９を有する構成としたが、クリップ１９以外の応力付与可能な部材を設けて位置ずれ抑制部材１１を形成してもよい。
【０１１７】
さらに、上記各実施形態例では、位置ずれ抑制部材１１による導波路形成領域１０の押さえ位置を分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸と平行な位置としたが、位置ずれ抑制部材１１による導波路形成領域１０の押さえ位置は、必ずしも分離スラブ導波路３ａ，３ｂの光軸と平行な位置とするとは限らず、分離スラブ導波路の光軸を避けた位置に形成されていればよい。
【０１１８】
また、上記第３、第４実施形態例では、２本線領域の間隔を４ｍｍとしたが、この間隔は特に限定されるものでなく、導波路形成領域１０の押さえ位置が分離スラブ導波路の光軸から０．３ｍｍ以上離れた位置となる２本の線領域の間隔であればよい。
【０１１９】
さらに、上記各実施形態例では、第１のスラブ導波路３を分離したが、アレイ導波路回折格子は光の相反性を利用して形成されているものであり、第２のスラブ導波路５側を分離して、分離された分離スラブ導波路の少なくとも一方側を、スライド移動部材によって前記面に沿って前記各光透過中心波長の温度依存変動を低減する方向にスライド移動させてもよい。
【０１２０】
この場合も、上記各実施形態例のように、位置ずれ抑制部材１１による導波路形成領域１０の押さえ位置を分離スラブ導波路の光軸を避けた位置にすることにより、上記各実施形態例と同様の効果を奏することができる。
【０１２１】
また、この場合に、上記第１実施形態例のように、第２のスラブ導波路５を長方形または図１４に示した第１のスラブ導波路３のような形状として、分離スラブ導波路の両側面を分離スラブ導波路の光軸と略平行に形成すると、位置ずれ抑制部材１１により押さえられる位置の取り幅を広げることができる。
【０１２２】
さらに、第１のスラブ導波路３や第２のスラブ導波路５の交差分離面８は上記各実施形態例のようにＸ軸とほぼ平行な面とするとは限らず、Ｘ軸に対して斜めの面としてもよく、分離するスラブ導波路を通る光の経路と交わる面で分離すればよい。
【０１２３】
さらに、本発明のアレイ導波路回折格子型光合分波器を構成する各導波路２，３，４，５，６の等価屈折率や本数、大きさなどの詳細な値は特に限定されるものではなく、適宜設定されるものである。
【０１２４】
【発明の効果】
本発明によれば、スラブ導波路が分離された分離スラブ導波路を有する平板光導波回路（アレイ導波路回折格子）の導波路形成領域を押えて、前記分離スラブ導波路同士の基板面に垂直なＺ方向の光軸ずれを抑制する位置ずれ抑制部材を設け、この位置ずれ抑制部材による導波路形成領域押さえ位置を、分離スラブ導波路の光軸を避けた位置に形成したものであるから、挿入損失の増大を抑制できるアレイ導波路回折格子型光合分波器とすることができる。
【０１２５】
また、本発明によれば、第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方を、スラブ導波路を通る光の経路と交わる面で分離して分離スラブ導波路と成し、該分離スラブ導波路の少なくとも一方側を前記分離面に沿って温度に依存してスライド移動させることにより、例えば光透過中心波長の温度依存性を補償することができる。
【０１２６】
また、本発明において、分離スラブ導波路の両側面は該分離スラブ導波路の光軸と略平行に形成されている構成によれば、位置ずれ抑制部材により押さえられる位置の取り幅を大きくすることができる。
【０１２７】
さらに、本発明において、分離スラブ導波路の光軸は、該分離スラブ導波路の側面に近接して該分離スラブ導波路に沿う平板光導波回路側面と略平行に形成されている構成によれば、位置ずれ抑制部材によって導波路形成領域を押さえやすいので、導波路形成領域をより的確に押さえることができる。
【０１２８】
さらに、本発明において、位置ずれ抑制部材の導波路形成領域押さえ位置を分離スラブ導波路の光軸から０．３ｍｍ以上離れた位置とする構成によれば、上記挿入損失増大の抑制をより的確にできる。
【０１２９】
さらに、本発明において、位置ずれ抑制部材は分離スラブ導波路の表面側から導波路形成領域を押さえる構成と成している構成によれば、上記挿入損失増大をより一層的確に抑制できる。
【０１３０】
さらに、本発明において、位置ずれ抑制部材の導波路形成領域押さえ位置は、互いに間隔を介した２本以上の線領域とした構成によれば、２本以上の線領域で押えることにより、分離スラブ導波路の光軸をより精密に合わせることができ、上記挿入損失増大をより一層的確に抑制できる。
【０１３１】
さらに、この構成の本発明において、位置ずれ抑制部材は、導波路形成領域の押さえ位置と対応させて基板裏面の２本以上の線領域を基板の裏面側から押さえる構成によれば、分離スラブ導波路の光軸をさらにより精密に合わせることができるので、さらにより一層、挿入損失増大を的確に抑制できる。
【０１３２】
さらに、本発明において、位置ずれ抑制部材は直径０．１ｍｍ以上の曲面形成部を２つ以上互いに間隔を介して配置して形成されており、該曲面形成部が導波路形成領域と基板の裏面のうち少なくとも導波路形成領域側を互いに間隔を介した２本以上の線領域で押さえる構成とした構成によれば、導波路形成領域に付加する応力をさらに適切にすることができる。
【０１３３】
さらに、本発明において、位置ずれ抑制部材は導波路形成領域表面側と基板裏面側の両側から平板光導波回路を挟む応力付与アームと、直径０．１ｍｍ以上の曲面形成部を２つ以上互いに間隔を介して配置した押え基板を有しており、押え基板を介して平板光導波回路を前記応力付与アームで押えた構成によれば、導波路形成領域に付加する応力をさらに確実に均等化することができ、上記挿入損失増大の抑制をより一層的確にできる。
【０１３４】
さらに、本発明において、導波路形成領域や基板を押える曲面形成部は円柱の側周面により形成されている構成によれば、円柱によって容易に曲面形成部を形成することができる。
【０１３５】
さらに、本発明において、円柱は円柱保持部材に回転可能に保持されている構成によれば、分離スラブ導波路がスライド移動部材によって移動したときの導波路形成領域と円柱との摩擦を低減でき、スライド移動部材によって行われるアレイ導波路回折格子の光透過中心波長温度補償等の動作をより正確に行うことができる。
【０１３６】
さらに、本発明において、位置ずれ抑制部材は導波路形成領域表面側と基板裏面側の両側から平板光導波回路を挟む応力付与アームと、円柱を保持する円柱保持基板とを有しており、前記円柱と前記円柱保持基板を介してアレイ導波路回折格子型光合分波器を前記応力付与アームで押えた構成によれば、円柱から導波路形成領域や基板に付与する応力を均等化することができ、上記挿入損失増大抑制の効果を的確に発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第１実施形態例を示す要部構成図である。
【図２】上記第１実施形態例の損失波長特性を示すグラフである。
【図３】分離スラブ導波路の両側面を分離スラブ導波路の光軸と略平行に形成したアレイ導波路回折格子型光合分波器の分離スラブ導波路側部をクリップで押さえた状態を示す説明図である。
【図４】上記第１実施形態例において、クリップによる押さえ位置を変えたときの挿入損失特性を示すグラフである。
【図５】アレイ導波路側に向かうにつれて拡幅する形状の分離スラブ導波路を有するアレイ導波路回折格子型光合分波器におけるクリップ押え位置の説明図である。
【図６】アレイ導波路側に向かうにつれて拡幅する形状の分離スラブ導波路を有するアレイ導波路回折格子型光合分波器における、クリップによる押え部材位置による挿入損失変動を示すグラフである。
【図７】本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第２実施形態例を示す要部構成図である。
【図８】上記第２実施形態例の損失波長特性を示すグラフである。
【図９】本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第３実施形態例を示す要部構成図である。
【図１０】上記第３実施形態例において、曲面形成部による押さえ位置を変えたときの挿入損失特性を示すグラフである。
【図１１】本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第４実施形態例を示す正面図である。
【図１２】上記第４実施形態例における円柱と円柱保持基板の構成例を示す説明図である。
【図１３】本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の他の実施形態例を示す説明図である。
【図１４】本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の他の実施形態例に形成される第１のスラブ導波路の例を示す説明図である。
【図１５】従来のアレイ導波路回折格子型光合分波器を示す説明図である。
【図１６】提案されているアレイ導波路回折格子型光合分波器を示す平面説明図である。
【図１７】図１６に示すアレイ導波路回折格子において、クリップによる押さえ位置を変えたときの挿入損失特性を示すグラフである。
【図１８】アレイ導波路回折格子における光透過中心波長シフトと光入力導波路および光出力導波路の位置との関係を示す説明図である。
【符号の説明】
１  基板
２  光入力導波路
３  第１のスラブ導波路
３ａ，３ｂ  分離スラブ導波路
４  アレイ導波路
４ａ  チャンネル導波路
５  第２のスラブ導波路
６  光出力導波路
７  スライド移動部材
８  交差分離面
１０，１０ａ，１０ｂ  導波路形成領域
１１  位置ずれ抑制部材
１４  側面
４０  平板光導波回路側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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