(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を用いて試料を解析するＸ線測定方法において、
Ｘ線光路上に湾曲結晶モノクロメータを配設し、
集中法光学系として用いるときと平行ビーム法光学系として用いるときとの間で上記湾曲結晶モノクロメータを面内回転方向で異なる角度位置に置いた状態で測定を行う
ことを特徴とするＸ線測定方法。
【請求項２】
請求項１記載のＸ線測定方法において、
湾曲結晶モノクロメータの湾曲中心軸線がＸ線進行経路に対して実質的に直角方向を向くような配置形態を横方向配置とし、
湾曲結晶モノクロメータの湾曲中心軸線がＸ線進行経路と実質的に同じ方向を向くような配置形態を縦方向配置とするとき、
集中法光学系として用いるときには湾曲結晶モノクロメータを横方向配置に設定し、
平行ビーム法光学系として用いるときには湾曲結晶モノクロメータを縦方向配置に設定する
ことを特徴とするＸ線測定方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載のＸ線測定方法において、
湾曲結晶モノクロメータの湾曲回折面の湾曲中心軸線方向の長さＬ１が湾曲中心軸線方向と直角方向の長さＬ２よりも長いか又は等しい
ことを特徴とするＸ線測定方法。
【請求項４】
Ｘ線を用いて試料を解析するＸ線測定装置において、
いずれかが選択的にＸ線光路上に配設された集中法光学系及び平行ビーム法光学系と、
Ｘ線光路上に配設された湾曲結晶モノクロメータと、
その湾曲結晶モノクロメータの面内回転方向の角度位置を変化させると共にその位置に固定できるモノクロメータ面内角度可変手段と、を有し、
前記モノクロメータ面内角度可変手段は、
湾曲結晶モノクロメータの湾曲中心軸線がＸ線進行経路に対して実質的に直角方向を向くような配置形態である横方向配置と、湾曲結晶モノクロメータの湾曲中心軸線がＸ線進行経路と実質的に同じ方向を向くような配置形態である縦方向配置との間で、湾曲結晶モノクロメータの面内回転方向の角度位置を変化させる
ことを特徴とするＸ線測定装置。
【請求項５】
請求項４記載のＸ線測定装置において、モノクロメータ面内角度可変手段は、湾曲結晶モノクロメータを面内回転させて面内角度位置を変化させると共にその回転をロックしてその面内角度位置を保持することを特徴とするＸ線測定装置。
【請求項６】
請求項４又は請求項５記載のＸ線測定装置において、湾曲結晶モノクロメータの湾曲回折面の湾曲中心軸線方向の長さＬ１が湾曲中心軸線方向と直角方向の長さＬ２よりも長いか又は等しいことを特徴とするＸ線測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線を用いて試料を解析するＸ線測定方法及びＸ線測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ線測定方法の種類として集中法及び平行ビーム法があることは、従来より広く知られている。集中法は、一般的なＸ線測定方法であり、試料に発散Ｘ線ビームを入射させ、その試料で回折したＸ線、すなわち回折Ｘ線を焦点円上の１点に集中させた状態でその回折Ｘ線をＸ線検出器によって検出する。この集中法は、一般に、平行ビーム法に比べて分解能が良く、回折Ｘ線の強度が強いという特性を有する。
【０００３】
一方、平行ビーム法は、試料に平行Ｘ線ビームを入射させ、その試料で回折した回折Ｘ線を特定点に集中させることなくＸ線検出器によって検出する。この平行ビーム法は、例えば、Ｓｉ等の基板上に形成された薄膜からの回折Ｘ線を有効に取り出すことができる等といった特性を有する。
【０００４】
ところで、Ｘ線測定を行うＸ線光学系には、しばしば、結晶モノクロメータが用いられる。この結晶モノクロメータは、Ｘ線の進行方向からみて試料の前方位置に配設されたり、あるいは試料の後方位置に配設されたりするが、いずれの場合でも、試料で回折してＸ線検出器に取り込まれる回折Ｘ線を単色化して、測定結果におけるバックグランドを除去することを主な目的とする。
【０００５】
この結晶モノクロメータを上記集中法光学系に用いる場合には、Ｘ線回折面が湾曲状態にある湾曲結晶モノクロメータが広く用いられる。また、平行ビーム法光学系に用いる場合には、Ｘ線回折面が平面状態にある平板結晶モノクロメータが広く用いられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来のＸ線測定の分野では、集中法光学系と平行ビーム法光学系とがそれぞれ単独に専用機として提供され、測定者は必要に応じてそれらを選択的に用いていた。しかしながら、そのような測定方法では、予め、集中法光学系及び平行ビーム法光学系の２種類の装置を用意しておかなければならず、設備コストが高くなるという問題があった。
【０００７】
本発明者は、集中法及び平行ビーム法の両方を何とか１種類の結晶モノクロメータの配置によって測定できないかということを考え、それを実現するために種々の実験を行った。それらの実験を通して分かったことは、両方の測定を１種類の結晶モノクロメータの配置で行うことが難しいということである。
【０００８】
そこで本発明者は、モノクロメータに種々の改良を加えることにより、１種類の結晶モノクロメータで集中法及び平行ビーム法の両方法を行うことを実験した。この実験により、次のようなことが分かった。
（１）通常は平行ビーム法で用いる平板結晶モノクロメータを集中法と平行ビーム法との間で兼用したところ、その平板結晶モノクロメータを集中法光学系の１要素として用いたときに、湾曲結晶モノクロメータを用いる通常の場合に比べてＸ線強度が著しく減衰、具体的には０．５８程度に減衰することが分かった。このようなＸ線強度の減衰状態下では、充分な信頼性の集中法測定を行うことは到底無理である。
【０００９】
（２）通常の集中法で用いる湾曲結晶モノクロメータを全く同じ使用形態のままで集中法と平行ビーム法との間で兼用したところ、その湾曲結晶モノクロメータを平行ビーム法で用いたときにその出力側に所望のＸ線平行ビームを得ることができず、よって、平行ビーム法の測定を行うことができなかった。
【００１０】
（３）通常の集中法で用いる湾曲結晶モノクロメータを集中法と平行ビーム法との間で湾曲回折面を９０゜回転させた状態でそれを両方法間で兼用したところ、その湾曲結晶モノクロメータを平行ビーム法で用いたときに、平板結晶モノクロメータを用いる通常の場合に比べてＸ線強度がわずかに、具体的には０．７２程度に減衰することが分かった。しかしながらこの程度の減衰状態であるならば、実用上支障のない程度に平行ビーム法の測定を行うことができた。
【００１１】
本発明は、以上のような知見に基づいて成されたものであって、湾曲結晶モノクロメータを集中法と平行ビーム法との間で使用形態を工夫しながら兼用することにより、１種類の結晶モノクロメータで両方法に基づいたＸ線測定を行うことができるようにすることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明に係るＸ線測定方法は、Ｘ線を用いて試料を解析するＸ線測定方法であって、Ｘ線光路上に湾曲結晶モノクロメータを配設し、集中法光学系として用いるときと平行ビーム法光学系として用いるときとの間で上記湾曲結晶モノクロメータを面内回転方向で異なる角度位置に置いた状態で測定を行うことを特徴とする。
【００１３】
このＸ線測定方法によれば、湾曲結晶モノクロメータを用いて通常の通りに集中法に基づくＸ線測定を行うことができる。そしてさらに、湾曲結晶モノクロメータの湾曲回折面の面内角度位置を変化させることにより、この湾曲結晶モノクロメータを平行ビーム法に適用したときにも充分な強度のＸ線を取り出すことができ、その結果、平行ビーム法に関しても充分な信頼度で湾曲結晶モノクロメータを用いることができる。これらの結果、湾曲結晶モノクロメータの面内角度位置を変化させるだけで、１種類の結晶モノクロメータによって集中法及び平行ビーム法の両方法に基づいてＸ線測定を行うことが可能になった。
【００１４】
上記Ｘ線測定方法のさらに具体的な実施態様として次のような構成が考えられる。すなわち、（１）湾曲結晶モノクロメータの湾曲中心軸線がＸ線進行経路に対して実質的に直角方向を向くような配置形態を横方向配置とし、（２）湾曲結晶モノクロメータの湾曲中心軸線がＸ線進行経路と実質的に同じ方向を向くような配置形態を縦方向配置とするとき、（３）集中法光学系として用いるときには湾曲結晶モノクロメータを横方向配置に設定し、（４）平行ビーム法光学系として用いるときには湾曲結晶モノクロメータを縦方向配置に設定する。なお、「実質的に」というのは、製作誤差等に起因して位置がわずかにずれるような場合をも含む意味である。
【００１５】
この構成によれば、集中法に基づくＸ線測定のときには通常の通りに高精度の測定を行うことができる。そして、平行ビーム法に基づくＸ線測定のときには、湾曲結晶モノクロメータを用いて可能な限り高強度のＸ線を取り出すことができ、よって、実用上充分な精度で測定を行うことができる。
【００１６】
以上の構成のＸ線測定方法において、望ましくは、湾曲結晶モノクロメータの湾曲回折面の湾曲中心軸線方向の長さＬ1 を、湾曲中心軸線方向と直角方向の長さＬ2 よりも長く又は等しく設定する。こうすれば、湾曲結晶モノクロメータを平行ビーム法光学系の１要素として用いるときでも、その湾曲結晶モノクロメータによって強度の強いＸ線を取り出すことができる。発明者の実験によれば、Ｌ1 ＝２０ｍｍ、Ｌ2 ＝２５ｍｍとしたときＸ線強度の減衰比は平板結晶モノクロメータを用いたときと比べて０．７２程度であった。また、Ｌ1＝Ｌ2＝２５ｍｍとしたときにはほとんど減衰がなかった。
【００１７】
次に、本発明に係るＸ線測定装置は、Ｘ線を用いて試料を解析するＸ線測定装置において、いずれかが選択的にＸ線光路上に配設された集中法光学系及び平行ビーム法光学系と、Ｘ線光路上に配設された湾曲結晶モノクロメータと、その湾曲結晶モノクロメータの面内回転方向の角度位置を変化させると共にその位置に固定できるモノクロメータ面内角度可変手段とを有し、前記モノクロメータ面内角度可変手段は、湾曲結晶モノクロメータの湾曲中心軸線がＸ線進行経路に対して実質的に直角方向を向くような配置形態である横方向配置と、湾曲結晶モノクロメータの湾曲中心軸線がＸ線進行経路と実質的に同じ方向を向くような配置形態である縦方向配置との間で、湾曲結晶モノクロメータの面内回転方向の角度位置を変化させることを特徴とする。この装置によれば、モノクロメータ面内角度可変手段によって湾曲結晶モノクロメータの面内角度位置を適宜に調節することにより、１種類のＸ線光学系を用いて集中法及び平行ビーム法の両方の測定を行うことができる。
【００１８】
上記のモノクロメータ面内角度可変手段は、モノクロメータを面内回転させてその角度位置を変化させたうえでその位置にクランプするという構成とすることもできるし、あるいは、ネジ等の締結具を使ってモノクロメータを取付板に着脱自在に固着する際にそのモノクロメータの面内角度を種々に異ならせて固着するという構成とすることもできる。これらの場合のうち、特に、面内回転させてからクランプするという構成を採用すれば、湾曲結晶モノクロメータを取付板に着脱することによって面内角度位置を変化させる場合に比べて、角度を変化させるための作業が簡単になる。
【００１９】
本Ｘ線測定装置においても、望ましくは、湾曲結晶モノクロメータの湾曲面の湾曲中心軸線方向の長さＬ1 を、湾曲中心軸線方向と直角方向の長さＬ2 よりも長く設定する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図３は、本発明のＸ線測定装置の一実施形態を示しており、特に、そのＸ線測定装置を集中光学系の光学配置に設定した状態を示している。このＸ線測定装置は、Ｘ線を放射するＸ線焦点１と、そのＸ線焦点１から放射されるＸ線の発散を制限して試料２へ導く発散制限スリット３と、試料２のＸ線に対する角度を測角するためのゴニオメータ４とを有する。Ｘ線焦点１及び発散制限スリット３は固定配置される。
【００２１】
ゴニオメータ４は、試料軸線Ｘ１を中心として回転できると共に試料２を支持するθ回転台６と、試料軸線Ｘ１を中心として回転できると共に２θアーム７を備えた２θ回転台８と、そして、２θアーム７の先端部に取り付けられていてモノクロメータ軸線Ｘ２を中心として回転可能であるモノクロメータアーム９とを有する。
【００２２】
θ回転台６は、θ回転駆動系１１によって駆動されて試料軸線Ｘ１を中心として回転、いわゆるθ回転する。２θ回転台８は、２θ回転駆動系１２によって駆動されて試料軸線Ｘ１を中心としてθ回転の２倍の角速度で回転、いわゆる２θ回転する。θ回転駆動系１１及び２θ回転駆動系１２は、任意の構造の回転駆動系によって構成できるが、例えば、パルスモータの回転駆動力を該パルスモータに固定したウオームと各回転台に固定したウオームホイールとを介して伝達するような構成を採用できる。
【００２３】
２θアーム７の上には散乱線規制スリット１３及び受光スリット１４が取り付けられる。また、モノクロメータアーム９の回転中心部分には湾曲結晶モノクロメータ１８が配設され、そのアーム９の先端部分にはＸ線カウンタ２２が固定配置される。また、Ｘ線カウンタ２２の前方位置に受光スリット２３が配設される。
【００２４】
湾曲結晶モノクロメータ１８を支持するための構造は、例えば図２に示すように構成される。すなわち、モノクロメータアーム９の上にモノクロメータ支持台１６が固定され、そのモノクロメータ支持台１６に取り付けられた回転支持装置１９よって回転ヘッド１７がモノクロメータ軸線Ｘ２を中心として回転可能に支持される。そして、その回転ヘッド１７に取り付けられた回転支持装置２１よって湾曲結晶モノクロメータ１８が面内回転軸線Ｘ３を中心として回転可能に支持される。符号２９は、湾曲結晶モノクロメータ１８を取り付けるための取付板であり、モノクロメータ１８はこの取付板２９にネジ等といった締結具によって固定される。
【００２５】
回転支持装置１９は、回転ヘッド１７を回転可能に支持すると共に、その回転ヘッド１７を任意の角度位置において容易には回転しないようにクランプ、すなわち保持する。また、回転支持装置２１は、同様にして、湾曲結晶モノクロメータ１８を回転可能に支持すると共に、そのモノクロメータ１８を任意の角度位置において容易には回転しないように保持する。モノクロメータ等を容易には回転しないように保持するための構造は任意の構造とすることができるが、例えば、止めネジ等といった締結具を用いてクランプする構造や、機械的な摩擦力に基づいてクランプする構造等が考えられる。なお、回転ヘッド１７やモノクロメータ１８はパルスモータ等を用いて自動的に回転移動させることができるが、その場合には、パルスモータの回転をロックすることによって回転ヘッド１７等の回転角度位置を保持することができる。
【００２６】
以下、上記構成から成るＸ線測定装置についてその動作を説明する。
（集中法測定）
まず、集中法に基づく測定を行う際には、図２において、湾曲結晶モノクロメータ１８を面内回転軸線Ｘ３を中心として手動により又はモータ等を使って自動的に回転させて、図１の（ａ）で示すように、湾曲結晶モノクロメータ１８の湾曲回折面１８ａの湾曲中心軸線Ｘ４がＸ線Ｒの進行経路、すなわち図の横方向に対して実質的に直角方向を向くように、すなわち横方向配置に位置設定する。
【００２７】
また、図３において、モノクロメータアーム９を２θアーム７に対して所定の角度に設定し、さらに、湾曲結晶モノクロメータ１８の入射Ｘ線に対する角度を所定の角度に設定する。湾曲結晶モノクロメータ１８に関するＸ線入射角度を調節する際には、図２において回転ヘッド１７をモノクロメータ軸線Ｘ２を中心として回転、いわゆるθM 回転させることによって行う。
【００２８】
その後、図３において、θ回転台６に測定対象の試料２を装着し、Ｘ線焦点１からＸ線を放射すると共に、θ回転台６をθ回転させ、同時に２θ回転台８を２θ回転させる。Ｘ線焦点１から発散するＸ線は試料２の結晶格子面との間で所定の回折条件を満足するときにその試料２で回折する。そしてこの回折Ｘ線は、焦点円Ｃ1 の上であって受光スリット１４を配置した点に集中した後、モノクロメータ１８の湾曲回折面１８ａに入射する。
【００２９】
モノクロメータ１８に入射した回折Ｘ線はそのモノクロメータ１８によって単色化された後、焦点円Ｃ2 上の受光スリット２３のところに集中した後、Ｘ線カウンタ２２に取り込まれてその強度が測定される。この測定は、異なる２θ回転角度位置、すなわち異なる回折角度（２θ）位置のそれぞれに関して実行され、その結果、回折角度（２θ）位置を横軸にとり、Ｘ線強度値を縦軸にとったグラフ上にＸ線強度分布曲線が得られる。
【００３０】
（平行ビーム法測定）
次に、平行ビーム法に基づく測定、例えば薄膜試料に対するＸ線測定を行う際には、図４に示すように、Ｘ線焦点１と薄膜試料２４との間に縦発散制限ソーラスリット２６を配設し、さらに、試料２４と湾曲結晶モノクロメータ１８との間に横発散制限ソーラスリット２７を配設する。そしてさらに、図２において、湾曲結晶モノクロメータ１８を面内回転軸線Ｘ３を中心として手動により又はモータ等を使って自動的に回転させて、図１の（ｂ）に示すように、湾曲結晶モノクロメータ１８の湾曲回折面１８ａの湾曲中心軸線Ｘ４がＸ線Ｒの進行経路、すなわち図の横方向と実質的に同じ方向を向くように、すなわち縦方向配置に位置設定する。
【００３１】
また、図４において、モノクロメータアーム９を２θアーム７に対して所定の角度に設定し、さらに、湾曲結晶モノクロメータ１８の入射Ｘ線に対する角度を所定の角度に設定する。その後、図４において、θ回転台６に測定対象の薄膜試料２４を装着し、Ｘ線焦点１からＸ線の放射してソーラスリット２６によって形成される平行Ｘ線ビームを試料２４へ入射する。このときの試料２４に対するＸ線の入射角度αは０．５゜程度の低角度に設定される。これは、Ｘ線が薄膜内を長い距離にわたって通過できるようにするためである。
【００３２】
低角度で薄膜試料２４に入射した平行Ｘ線ビームは、その薄膜試料２４の薄膜層部分を斜めに通過し、回折条件が満足されたときにその薄膜層部分から回折Ｘ線が発生する。その回折Ｘ線はソーラスリット２７によって横方向への発散を規制された状態で湾曲結晶モノクロメータ１８の湾曲回折面１８ａに入射して単色化される。そして単色化された回折Ｘ線はＸ線カウンタ２８に取り込まれてそのＸ線強度が測定される。
【００３３】
本実施形態では、平行ビーム法の測定時にも湾曲結晶モノクロメータ１８を用いてＸ線の単色化を行うので、そのモノクロメータ１８の出力側に得られるＸ線の強度は、平板結晶モノクロメータを用いる場合に比べてある程度減衰する。しかしながら本実施形態では、平行ビーム法に基づく測定を行うときには、湾曲結晶モノクロメータ１８のＸ線に対する配置状態を、横方向配置（図１（ａ））から縦方向配置（図１（ｂ））へと変化させるので、Ｘ線の減衰の程度を非常に小さく抑えることができ、その結果、実用上何等の支障がない程度に精度の良い測定結果を得ることができる。
【００３４】
なお、図１（ｂ）において、湾曲結晶モノクロメータ１８の湾曲回折面１８ａの湾曲中心軸線Ｘ４に沿った方向の長さＬ1 は、予め、湾曲中心軸線Ｘ４と直角方向の長さＬ2 よりも長く又は等しく設定すること（Ｌ1 ≧Ｌ2 ）が望ましい。こうすれば、湾曲結晶モノクロメータ１８を平行ビーム法の測定に用いる場合に、Ｌ1 ＜Ｌ2 に設定する場合に比べて、より強度の強い回折ビームを得られることが分かった。
【００３５】
以上のように、本実施形態のＸ線測定装置によれば、湾曲結晶モノクロメータ１８を面内回転方向で９０゜だけ角度位置を変化させると共に、その他の光学要素にわずかな変更を加えるだけで、集中法と平行ビーム法との間で測定方法を自由に変更できるようになった。
【００３６】
（実験例１）
なお、測定の信頼性を確認するために、図４の平行ビーム法光学系において、試料２４のところにＳｉ結晶を装着し、モノクロメータとして▲１▼平板結晶モノクロメータ、▲２▼縦方向配置（図１（ｂ））の湾曲結晶モノクロメータ及び▲３▼横方向配置（図１（ａ））の湾曲結晶モノクロメータのそれぞれのモノクロメータを交互に設置してそれぞれについて回折Ｘ線の強度を測定した。そしてその結果、図５に示すような測定結果が得られた。図５において、横軸は回折角度２θであり、縦軸は測定されたＸ線強度（ｃｐｓ）である。なお、用いた湾曲結晶モノクロメータの寸法は、Ｌ1＝２０ｍｍ、Ｌ2＝２５ｍｍであった。
【００３７】
図５において、平板結晶モノクロメータのピーク強度Ｄ1 と縦方向配置の湾曲結晶モノクロメータのピーク強度Ｄ2 とに関して、強度比（Ｄ2 ／Ｄ1 ）を算出したところ、Ｄ2／Ｄ1＝０．７２が得られた。つまり、平行ビーム法の測定において従来より普通に用いられていた平板結晶モノクロメータに代えて縦方向配置の湾曲結晶モノクロメータを用いると、０．７２程度のＸ線の減衰がみられたが、この程度の減衰であれば実用上差し支えない程度の高信頼性で平行ビーム法測定を行うことができた。
その一方で、横方向配置の湾曲結晶モノクロメータに関してはそのピーク強度Ｄ3 の減衰の程度が非常に大きく、この場合には、平行ビーム法の測定において信頼性の高い測定結果は到底得られなかった。
【００３８】
（実験例２）
実験例１に対して湾曲結晶モノクロメータの寸法をＬ1＝Ｌ2＝２５ｍｍに変更して実験を行った。その結果、Ｄ2／Ｄ1≧１が得られた。これは、Ｌ1 の幅を広くしたことにより、より多くの回折Ｘ線を取り込むことができたためと思われる
。
【００３９】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
例えば、以上に説明した実施形態では、平行ビーム法に基づく測定の一例として図４に示すような薄膜測定を考えた。しかしながら、平行ビーム法は薄膜測定以外の種々の目的のために適用できる。また、以上の実施形態では、Ｘ線進行経路からみて試料の後ろ側にモノクロメータを配設する構造のゴニオメータを例示したが、モノクロメータは試料の前方側に配設することもできる。
【００４０】
また、上記の実施形態では、湾曲結晶モノクロメータの面内回転方向の角度位置を変化させるためのモノクロメータ面内角度可変手段として、図２に示すような回転支持装置２１を考えた。この回転支持装置２１は、主に、湾曲結晶モノクロメータ１８を手動によって回転させることを念頭に置いていた。しかしながら、モノクロメータ１８をパルスモータ等によって自動的に回転させて測角することもできる。
【００４１】
また、湾曲結晶モノクロメータの面内回転方向に関する角度位置を変化させるための方法としては、図２に示す実施形態のように、モノクロメータ１８を面内回転させた後にそれをクランプするという方法以外に、取付板２９は回転不能に設備しておいて、湾曲結晶モノクロメータ１８をその取付板２９に対して９０゜回転させた状態で着脱するという方法も考えられる。
【００４２】
【発明の効果】
請求項１記載のＸ線測定方法によれば、湾曲結晶モノクロメータを用いて通常の通りに集中法に基づくＸ線測定を行うことができる。そしてさらに、湾曲結晶モノクロメータの湾曲回折面の面内角度位置を変化させることにより、この湾曲結晶モノクロメータを平行ビーム法に適用したときにも充分な強度のＸ線を取り出すことができ、その結果、平行ビーム法に関しても充分な信頼度で湾曲結晶モノクロメータを用いることができる。これらの結果、湾曲結晶モノクロメータの面内角度位置を変化させるだけで、１種類のＸ線光学系によって集中法及び平行ビーム法の両方法に基づいてＸ線測定を行うことが可能になった。
【００４３】
請求項２記載のＸ線測定方法によれば、集中法及び平行ビーム法の両方法においてモノクロメータの出力側に、単色化されたＸ線を最も強度が強い状態で取り出すことができ、その結果、集中法はもとより、平行ビーム法においても信頼性の高い測定結果が得られる。
【００４４】
請求項３記載のＸ線測定方法及び請求項６記載のＸ線測定装置によれば、湾曲結晶モノクロメータを平行ビーム法に用いる場合に、そのモノクロメータの出力側に強度がより強いＸ線を得ることができる。
【００４５】
請求項４記載のＸ線測定装置によれば、湾曲結晶モノクロメータの面内角度位置を変化させるだけで、１種類の結晶モノクロメータによって集中法及び平行ビーム法の両方法に基づいてＸ線測定を行うことができる。
【００４６】
請求項５記載のＸ線測定装置によれば、湾曲結晶モノクロメータを取付板に着脱することによって面内角度位置を変化させる場合に比べて、角度を変化させるための作業が簡単になる。
【００４７】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＸ線測定方法における湾曲結晶モノクロメータの使用方法を説明するための図である。
【図２】本発明に係るＸ線測定装置の一実施形態の要部を示す図である。
【図３】本発明に係るＸ線測定装置を用いて集中法光学系を構成した場合を示す平面図である。
【図４】図３と同じＸ線測定装置を用いて平行ビーム法光学系を構成した場合を示す平面図である。
【図５】本発明方法と従来方法とを比較するために行った実験の結果を示すＸ線回折図形である。
【符号の説明】
１          Ｘ線焦点
２          試料
３          発散制限スリット
４          ゴニオメータ
６          θ回転台
７          ２θアーム
８          ２θ回転台
９          モノクロメータアーム
１１          θ回転駆動系
１２          ２θ回転駆動系
１３          散乱線規制スリット
１４          受光スリット
１６          モノクロメータ支持台
１７          回転ヘッド
１８          湾曲結晶モノクロメータ
１９，２１    回転支持装置
２２，２８    Ｘ線カウンタ
２３          受光スリット
２４          薄膜試料
２６          縦発散制限ソーラスリット
２７          横発散制限ソーラスリット
２９          取付板
Ｃ1 ，Ｃ2  焦点円
Ｒ          Ｘ線
Ｘ１        試料軸線
Ｘ２        モノクロメータ軸線
Ｘ３        面内回転軸線
Ｘ４        湾曲中心軸線
【図１】
0003741398.tif 000002
【図２】
0003741398.tif 000003
【図３】
0003741398.tif 000004
【図４】
0003741398.tif 000005
【図５】
0003741398.tif 000006