(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータ（１１）の流路（１７）と配管ベース（１２）の流路（１６）の連接部分をシールするガスケット（２４）を前記アクチュエータ（１１）と前記配管ベース（１２）の間で挟んだ状態で固定する電磁弁（１）において、
多数の穿孔をもってフィルタ兼開口部（２２Ｂ）を形成された剛性を有するプレート（２０Ａ）に、前記開口部（２２Ｂ）を囲い巡らして弾性体からなる前記ガスケット（２４）を接合し、前記プレート（２０Ａ）を、前記アクチュエータ（１１）と前記配管ベース（１２）の間に挟んだ状態で固定して、前記開口部（２２Ｂ）と前記連接部分を重ね合わせることにより、前記フィルタを前記連接部分に設けたことを特徴とする電磁弁（１）。
【請求項２】
アクチュエータ（１１）の流路（１７）と配管ベース（１２）の流路（１６）の連接部分をシールするガスケット（２４）を前記アクチュエータ（１１）と前記配管ベース（１２）の間で挟んだ状態で固定する電磁弁（１）において、
リブ（３６）が設けられた開口部（２２Ａ）を形成され、前記開口部（２２Ａ）を囲い巡らして弾性体からなる前記ガスケット（２４）を接合された剛性を有するプレート（２０Ｂ）と、
前記リブ（３６）の上に置かれるスプリング（３４）に、弁体（３３）と本体（３１）とを組み付けることにより、前記リブ（３６）上に載設される逆止弁と、を有し、
前記アクチュエータ（１１）の流路（１７）に前記逆止弁を嵌挿させながら、前記アクチュエータ（１１）と前記配管ベース（１２）の間に前記プレート（２０Ｂ）を挟んだ状態で固定して、前記開口部（２２Ａ）と前記連接部分を重ね合わせることにより、前記逆止弁を前記連接部分に設けたことを特徴とする電磁弁（１）。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータ（ここでは、その内部で弁体が駆動するものをいう。）をガスケットを介して配管ベースに固定した電磁弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、油空圧などのシステムで使用される作動流体には、金属粉などのゴミが多く含まれており、油空圧機器の摺動部の摩耗などのトラブルを招いていた。そこで、金属粉などのゴミを作動流体から取り除くために、配管ライン上にフィルタを設けている。
【０００３】
さらに、配管ライン上にフィルタを設けても、かかるフィルタの下流側の配管ラインから金属粉などのゴミが発生することもあるので、油空圧機器のポートに配管継手などを介してフィルタを設け、配管ラインから発生した金属粉などのゴミが油空圧機器の内部に侵入することを確実に防止する場合もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、油空圧機器として、配管ベースにアクチュエータが固定された電磁弁を考えた場合には、配管ベースのポートにフィルタを設けても、配管ベース内において発生した金属粉などのゴミがアクチュエータ内に侵入することがあり、アクチュエータ内の弁体の摩耗などのトラブルを避けることはできない。特に、配管ベースは、ダイカストで製造されるものの旋削加工される箇所もあり、また、製作そのものを客先で行うこともあり、さらに、配管継手がねじ止めにより取付けられることが多いので、配管ベース内において金属粉などのゴミが発生する可能性は高い。
【０００５】
このような事態を防止するためには、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分にフィルタを設ければよいが、かかる連接部分をシールするガスケットの固定構造等から、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分にフィルタを設けることは難しかった。
【０００６】
そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をシールするガスケットの機能を確保するとともに、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分にフィルタを設けることができる電磁弁を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために成された請求項１に係る電磁弁は、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をシールするガスケットを前記アクチュエータと前記配管ベースの間で挟んだ状態で固定する電磁弁において、多数の穿孔をもってフィルタ兼開口部を形成された剛性を有するプレートに、前記開口部を囲い巡らして弾性体からなる前記ガスケットを接合し、前記プレートを、前記アクチュエータと前記配管ベースの間に挟んだ状態で固定して、前記開口部と前記連接部分を重ね合わせることにより、前記フィルタを前記連接部分に設けたことを特徴とする。
【０００８】
【０００９】
また、請求項２に係る電磁弁は、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をシールするガスケットを前記アクチュエータと前記配管ベースの間で挟んだ状態で固定する電磁弁であって、リブが設けられた開口部を形成され、前記開口部を囲い巡らして弾性体からなる前記ガスケットを接合された剛性を有するプレートと、前記リブの上に置かれるスプリングに、弁体と本体とを組み付けることにより、前記リブ上に載設される逆止弁と、を有し、前記アクチュエータの流路に前記逆止弁を嵌挿させながら、前記アクチュエータと前記配管ベースの間に前記プレートを挟んだ状態で固定して、前記開口部と前記連接部分を重ね合わせることにより、前記逆止弁を前記連接部分に設けたことを特徴とする。
【００１０】
【００１１】
このような構成を有する本発明の電磁弁では、配管ベースにアクチュエータが固定されることによって、アクチュエータの流路と配管ベースの流路が連通する。また、アクチュエータと配管ベースの間には、開口部を有するプレートが挟まれた状態で固定されており、これによって、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分にプレートの開口部が重なり合う。さらに、プレートにおいては、開口部を囲むようにして弾性体が接合されることによってガスケットが形成されているので、このガスケットより、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をシールすることができる。
【００１２】
そして、プレートは剛性を有するものであるから、開口部にフィルタを設けることができる。従って、フィルタがプレートの開口部に設けられている場合には、上述したように、プレートの開口部がアクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に重なり合うことから、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分にフィルタを設けることができる。これにより、配管ベースの流路に対してフィルタを作用させることができ、配管ベース内において発生した金属粉などのゴミがアクチュエータ内に侵入することはないので、アクチュエータ内の弁体の摩耗などのトラブルを避けることができる。
【００１３】
また、プレートは剛性を有するものであるから、開口部に逆止弁を載設することができる。そして、逆止弁がプレートの開口部に設けられている場合には、プレートの開口部がアクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に重なり合う際に、アクチュエータの流路に逆止弁が嵌挿するので、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に逆止弁を設けることができる。これにより、逆止弁をその内部に備え付けた電磁弁において、従来のものとは異なり、アクチュエータ又は配管ベースそのものに逆止弁を設ける必要はない。
【００１４】
また、「アクチュエータの流路に逆止弁が嵌挿する」とは、直接的には、アクチュエータの流路に逆止弁が嵌め込まれるように挿入されることを言うが、アクチュエータの流路の内側と逆止弁の外側の間にクリアランスが生じても、かかるクリアランスに対して、プレートの開口部を囲むようにして弾性体が接合されることによって形成されるガスケットのシール機能が作用する限り、アクチュエータの流路に逆止弁が緩やかに挿入されてもよい。
【００１５】
尚、プレートの開口部に載設された逆止弁が配管ベースの流路に嵌挿する場合には、逆止弁が載設された開口部を有するプレートがアクチュエータと配管ベースの間で挟まれた状態で固定されることによって、プレートの開口部に載設された逆止弁が配管ベース内に存在する位置も固定されるので、配管ベースの流路設計を制約することもあるが、プレートの開口部に載設された逆止弁がアクチュエータの流路に嵌挿する場合には、プレートの開口部に載設された逆止弁はアクチュエータ内に存在し配管ベース内には存在しないので、配管ベースの流路設計を従来通り自由に行うことができる。
【００１６】
また、プレートにおいて、複数の開口部に対してはそれらを一つの開口部として囲い巡らし、さらに、他の開口部に対してはそれぞれ単独で囲い巡らしながら弾性体を接合してガスケットを形成している場合には、上述したように、プレートの開口部がアクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に重なり合うことから、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分であって他の開口部に重なるものは、それぞれ独立した状態でシールされる一方、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分であって複数の開口部を一つの開口部として弾性体を囲い巡らしたものに重なるものは、互いに連通した状態でシールされる。これにより、アクチュエータ又は配管ベースの流路の間を連通させるバイパス流路を有する電磁弁において、従来のものとは異なり、アクチュエータ又は配管ベースそのものにバイパス流路を設ける必要はない。
【００１７】
尚、ガスケットとなる弾性体の材質については、作動流体の種類、性質、温度等の使用環境に応じ、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、水素化ＮＢＲ、フッ素ゴム、シリコンゴム等が用いられる。また、プレートの材質については、作動流体の種類、性質、温度等の使用環境に適応でき、さらに、弾性体が接合できるものであればよく、例えば、ステンレス、鋼、リン青銅、銅、プラスチックなどが用いられる。また、プレートの厚さについては、電磁弁の大型化の防止やプレートの取り扱いやすさの観点から、ガスケットのシール機能が確保され、かつ、フィルタ、逆止弁、バイパス流路を設けるための剛性が確保される限り、薄いものであることが望ましい。
【００１８】
すなわち、本発明の電磁弁では、開口部を囲い巡らして弾性体を接合することによってガスケットを形成したプレートを、アクチュエータと配管ベースの間で挟んだ状態で固定することにより、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をガスケットでシールするとともに、プレートの開口部に設けられたフィルタをアクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に設けることができるので、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をシールするガスケットの機能を確保するとともに、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分にフィルタを設けることができる。
【００１９】
また、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に設けることができるフィルタについては、配管ベース内において発生する金属粉などのゴミを主な対象物とし、繊維構造を有する高性能なものまで要求されない場合があり、このような場合においては、プレートに設けられた複数の穿孔をもって開口部及びフィルタを兼用することができるので、フィルタを設けた開口部を有するプレートを容易に製作することができる。
【００２０】
また、開口部を囲い巡らして弾性体を接合することによってガスケットを形成したプレートを、アクチュエータと配管ベースの間で挟んだ状態で固定することにより、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をガスケットでシールするとともに、プレートの開口部に載設された逆止弁をアクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に設けることができるので、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をシールするガスケットの機能を確保するとともに、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に逆止弁を設けることができる。
【００２１】
また、アクチュエータ又は配管ベースそのものに逆止弁を設けるのでなく、プレートの開口部に載設された逆止弁をアクチュエータの流路に嵌挿させているので、アクチュエータと配管ベースの間に挟まれた状態で固定されるプレートを交換するだけで、新しい逆止弁に容易にとりかえることができ、逆止弁を新しいものにとりかえるだけのために、アクチュエータや配管ベースを交換する必要はない。
【００２２】
また、複数の開口部に対してはそれらを一つの開口部として囲い巡らし、さらに、他の開口部に対してはそれぞれ単独で囲い巡らしながら弾性体を接合してガスケットを形成したプレートを、アクチュエータと配管ベースの間で挟んだ状態で固定することにより、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分であって他の開口部に重なるものは、それぞれ独立した状態でシールされ、さらに、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分であって複数の開口部を一つの開口部として弾性体を囲い巡らしたものに重なるものは、互いに連通した状態でシールされるので、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をシールするガスケットの機能を確保するとともに、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分にアクチュエータ又は配管ベースの流路の間を連通させるバイパス流路を設けることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。図９は、アクチュエータ１１が配管ベースであるマニホールドベース１２に固定されることによって組み立てられる電磁弁１の斜視図であって、アクチュエータ１１をマニホールドベース１２に取り付ける方法を示したものである。アクチュエータ１１をマニホールドベース１２に取り付けるには、図９に示すように、取付ねじ１３をアクチュエータ１１の取付穴１４に挿通させた後、マニホールドベース１２の取付穴１５に螺合させることにより行う。尚、１６は、マニホールドベース１２の流路である。
【００２４】
このとき、第１実施の形態においては、アクチュエータ１１とマニホールドベース１２の間には、プレート２０Ａが挟まれた状態で固定される。そこで、プレート２０Ａについて、図１の斜視図に基づいて説明する。プレート２０Ａは、厚さが０．２ｍｍ〜０．７ｍｍのステンレス板２１からできており、開口部２２Ａ、２２Ｂと取付穴２３が設けられている。プレート２０Ａの開口部２２Ａについては、ステンレス板２１に開いた口をもって形成されている。一方、プレート２０Ａの開口部２２Ｂについては、直径０．３ｍｍ程度の多数の穿孔をもって形成されている。尚、図１においては、プレート２０Ａの開口部２２Ｂを形成する穿孔の一部は省略してある。
【００２５】
また、プレート２０Ａの開口部２２Ａ、２２Ｂを囲むようにして弾性体であるゴム材のＮＢＲを加硫接着することにより、プレート２０Ａにガスケット２４が接合されている。ガスケット２４は、その厚さが０．３ｍｍ〜０．５ｍｍ、その幅が０．５ｍｍ程度のものであり、プレート２０Ａの両面に接合されている。また、ガスケット２４の断面は長方形に類似した形をしている（図４参照）。
【００２６】
また、プレート２０Ａの隅には、弾性体であるゴム材のＮＢＲを加硫接着することにより、凸部２５が設けられている。この凸部２５は、アクチュエータ１１に設けられた凹部（図示せず）に圧入されるものであり、これにより、プレート２０Ａをアクチュエータ１１にくっつけた状態にすることができるので、アクチュエータ１１をマニホールドベース１２に取り付ける際において、プレート２０Ａの取り扱いが容易となるとともに、プレート２０Ａを介してガスケット２４の位置決めを行うことができる。このとき、プレート２０Ａの取付穴２３は、アクチュエータ１１の取付穴１４と重なるので、アクチュエータ１１の取付穴１４を挿通した取付ねじ１３は、プレート２０Ａの取付穴２３をも挿通し、その後において、マニホールドベース１２の取付穴１５に螺合することになる。
【００２７】
さらに、アクチュエータ１１をマニホールドベース１２に取り付けた際において、プレート２０Ａの開口部２２Ａ、２２Ｂには、アクチュエータ１１の流路１７（図３参照）とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分が存在するので、開口部２２Ａ、２２Ｂを囲むようにプレート２０Ａの両面に接合されたガスケット２４は、アクチュエータ１１の流路１７（図３参照）とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分を囲むことができる。
【００２８】
よって、第１実施の形態においては、プレート２０Ａの両面に接合されたガスケット２４は、アクチュエータ１１の凹部（図示せず）に対するプレート２０Ａの凸部２５の圧入によって位置決めがなされつつ、アクチュエータ１１をマニホールドベース１２に取り付けるための取付ねじ１３の締付トルクをもって、アクチュエータ１１とマニホールドベース１２に挟まれた状態で固定される。
【００２９】
このとき、アクチュエータ１１の流路１７（図３参照）とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分が存在するプレート２０Ａの開口部２２Ｂについては、プレート２０Ａの開口部２２Ｂそのものが直径０．３ｍｍ程度の多数の穿孔をもって形成されていることから、直径０．３ｍｍ以上のゴミを取り除くフィルタとして機能することになる。
【００３０】
また、第２の実施の形態においては、アクチュエータ１１とマニホールドベース１２の間には、図２に示すプレート２０Ｂが挟まれた状態で固定される。そこで、プレート２０Ｂについて、図２の分解組立図に基づいて説明するが、ここでは、第１の実施の形態のプレート２０Ａと異なる点についてのみ説明する。
【００３１】
プレート２０Ｂの開口部２２Ａ、２２Ｂのいずれも、ステンレス板２１に開いた口をもって形成されるが、開口部２２Ａにおいては、リブ３６が設けられている。そして、開口部２２Ａのリブ３６の上にスプリング３４が置かれ、さらに、弁体３３、本体３１が組み付けられることによって、開口部２２Ａの上に逆止弁が設けられている。このとき、図４に示すように、プレート２０Ｂのガスケット２４の上に本体３１が載置されるとともに、プレート２０Ｂのガスケット２４に設けられた取付穴３５に、本体３１のボス３２が嵌入されることによって、その位置決めがなされる。
【００３２】
そして、第２実施の形態において、アクチュエータ１１をマニホールドベース１２に取り付けた際には、図３に示すように、プレート２０Ｂの開口部２２Ａの上に設けられた逆止弁の本体３１は、アクチュエータ１１の流路１７に挿入して嵌め込まれるので、アクチュエータ１１の流路１７の内壁から反作用の力を受けることにより、本体３１の下に位置するプレート２０Ｂのガスケット２４を押さえ込むことができる。これにより、かかる逆止弁が嵌挿されたアクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分をシールすることができる。さらに、逆止弁の本体３１が、アクチュエータ１１の流路１７に緩やかに挿入されても、図５に示すように、ガスケット２４は弾性変形しやすく、かかる逆止弁の本体３１の外側とアクチュエータ１１の流路１７の内側に生じるクリアランスにガスケット２４が押し出される状態となるので、かかる逆止弁が嵌挿されたアクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分をシールすることができる。
【００３３】
また、第３の実施の形態においては、アクチュエータ１１とマニホールドベース１２の間には、図８に示すプレート２０Ｃが挟まれた状態で固定される。そこで、プレート２０Ｃについて、図８の斜視図に基づいて説明するが、ここでも、第１の実施の形態のプレート２０Ａと異なる点についてのみ説明する。
【００３４】
プレート２０Ｂの開口部２２Ａ、２２Ｂのいずれも、ステンレス板２１に開いた口をもって形成される。そして、プレート２０Ｃの開口部２２Ｂについては、３つの開口部２２Ｂをそれぞれ単独で囲むようにして弾性体であるゴム材のＮＢＲを加硫接着するとともに、プレート２０Ｃの開口部２２Ａについては、２つの開口部２２Ａを一体に囲むようにして弾性体であるゴム材のＮＢＲを加硫接着することにより、プレート２０Ｃにガスケット２４が接合されている。このとき、２つの開口部２２Ａの間には、互いの開いた口に通じるものであって、ステンレス板２１の表面が露出した露出部分４０が形成される。
【００３５】
そして、第３実施の形態では、プレート２０Ｃの両面に設けられた露出部分４０は、アクチュエータ１１をマニホールドベース１２に取り付けた際において、プレート２０Ｃの両面に接合されたガスケット２４がアクチュエータ１１とマニホールドベース１２に押し付けられることによって、２つの開口部２２Ａを連通させるとともに外部からシールされたバイパス流路になることができる。
【００３６】
尚、プレート２０Ｃの開口部２２Ｂについては、第１の実施の形態のプレート２０Ａの開口部２２Ｂよりも小さいが、第１の実施の形態と同様にして、アクチュエータ１１をマニホールドベース１２に取り付けた際において、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分が存在する。
【００３７】
以上詳細に説明したように、本実施の形態の電磁弁１では、マニホールドベース１２にアクチュエータ１１が固定されることによって、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６が連通する。また、アクチュエータ１１とマニホールドベース１２の間には、開口部２２Ａ、２２Ｂを有するプレート２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのいずれか一つが挟まれた状態で固定されており、これによって、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分にプレート２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃのいずれか一つものの開口部２２Ａ、２２Ｂが重なり合う。さらに、プレート２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃにおいては、開口部２２Ａ、２２Ｂを囲むようにして弾性体であるゴム材のＮＢＲが接合されることによってガスケット２４が形成されているので、このガスケット２４より、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分をシールすることができる。
【００３８】
そして、プレート２０Ａは剛性を有するものであるから、開口部２２Ｂにフィルタを設けることができる（図１参照）。従って、第１実施の形態のように、フィルタがプレート２０Ａの開口部２２Ｂに設けられている場合には、上述したように、プレート２０Ａの開口部２２Ｂがアクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分に重なり合うことから、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分にフィルタを設けることができる。これにより、マニホールドベース１２の流路１６に対してフィルタを作用させることができ、マニホールドベース１２内において発生した金属粉などのゴミがアクチュエータ１１内に侵入することはないので、アクチュエータ１１内の弁体の摩耗などのトラブルを避けることができる。
【００３９】
また、プレート２０Ｂは剛性を有するものであるから、開口部２２Ａに逆止弁を載設することができる（図２参照）。そして、第２実施の形態のように、スプリング３４、弁体３３、本体３１が組み付けられることによって、逆止弁がプレート２０Ｂの開口部２２Ａに設けられている場合には、プレート２０Ｂの開口部２２Ａがアクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分に重なり合う際に、図３に示すように、アクチュエータ１１の流路１７にかかる逆止弁が嵌挿するので、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分に逆止弁を設けることができる。これにより、逆止弁をその内部に備え付けた電磁弁において、従来のものとは異なり、アクチュエータ１１又はマニホールドベース１２そのものに逆止弁を設ける必要はない。
【００４０】
また、第３実施の形態のように、プレート２０Ｃにおいて、２つの開口部２２Ａに対してはそれらを一つの開口部として囲い巡らし、さらに、３つの開口部２２Ｂに対してはそれぞれ単独で囲い巡らしながら弾性体であるゴム材のＮＢＲを接合してガスケット２４を形成している場合には（図８参照）、上述したように、プレート２０Ｃの開口部２２Ａ、２２Ｂがアクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分に重なり合うことから、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分であって３つの開口部２２Ｂに重なるものは、それぞれ独立した状態でシールされる一方、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分であって２つの開口部２２Ａを一つの開口部として弾性体であるゴム材のＮＢＲを囲い巡らしたものに重なるものは、互いに連通した状態でシールされる。これにより、アクチュエータ１１又はマニホールドベース１２の流路１６の間を連通させるバイパス流路を有する電磁弁において、従来のものとは異なり、アクチュエータ１１又はマニホールドベース１２そのものにバイパス流路を設ける必要はない。
【００４１】
すなわち、本実施の形態の電磁弁１では、開口部２２Ａ、２２Ｂを囲い巡らして弾性体であるゴム材のＮＢＲを接合することによってガスケット２４を形成したプレート２０Ａを、アクチュエータ１１とマニホールドベース１２の間で挟んだ状態で固定することにより、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分をガスケット２４でシールするとともに、プレート２０Ｃの開口部２２Ｂに設けられたフィルタをアクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分に設けることができるので、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分をシールするガスケット２４の機能を確保するとともに、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分にフィルタを設けることができる。
【００４２】
また、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分に設けることができるフィルタについては、マニホールドベース１２内において発生する金属粉などのゴミを主な対象物とし、繊維構造を有する高性能なものまで要求されない場合があり、このような場合においては、プレート２０Ａに設けられた複数の穿孔をもって開口部２２Ｂ及びフィルタを兼用することができるので、フィルタを設けた開口部２２Ｂを有するプレート２０Ａを容易に製作することができる。
【００４３】
また、開口部２２Ａ、２２Ｂを囲い巡らして弾性体であるゴム材のＮＢＲを接合することによってガスケット２４を形成したプレート２０Ｂを、アクチュエータ１１とマニホールドベース１２の間で挟んだ状態で固定することにより、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分をガスケット２４でシールするとともに、プレート２０Ｂの開口部２２Ａに載設された逆止弁をアクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分に設けることができるので、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分をシールするガスケット２４の機能を確保するとともに、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分に逆止弁を設けることができる。
【００４４】
また、アクチュエータ１１又はマニホールドベース１２そのものに逆止弁を設けるのでなく、プレート２０Ｂの開口部２２Ａに載設された逆止弁をアクチュエータ１１の流路１７に嵌挿させているので、アクチュエータ１１とマニホールドベース１２の間に挟まれた状態で固定されるプレート２０Ｂを交換するだけで、新しい逆止弁に容易にとりかえることができ、逆止弁を新しいものにとりかえるだけのために、アクチュエータ１１やマニホールドベース１２を交換する必要はない。
【００４５】
また、２つの開口部２２Ａに対してはそれらを一つの開口部として囲い巡らし、さらに、３つの開口部２２Ｂに対してはそれぞれ単独で囲い巡らしながら弾性体であるゴム材のＮＢＲを接合してガスケット２４を形成したプレート２０Ｃを、アクチュエータ１１とマニホールドベース１２の間で挟んだ状態で固定することにより、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分であって３つの開口部２２Ｂに重なるものは、それぞれ独立した状態でシールされ、さらに、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分であって２つの開口部２２Ａを一つの開口部として弾性体であるゴム材のＮＢＲを囲い巡らしたものに重なるものは、互いに連通した状態でシールされるので、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分をシールするガスケット２４の機能を確保するとともに、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分にアクチュエータ１１又はマニホールドベース１２の流路１６の間を連通させるバイパス流路を設けることができる。
【００４６】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、第１実施の形態のプレート２０Ａにおいては、複数の穿孔をもって開口部２２Ｂ及びフィルタを兼用していたが、ステンレス板２１に開いた口をもって開口部２２Ｂを形成するとともに、かかる開口部２２Ｂに繊維構造の高性能なフィルタを設けてもよい。このようにすれば、金属粉などより小さい金属微粉なども取り除くことが可能となる。
【００４７】
また、第２実施の形態のプレート２０Ｂにおいては、アクチュエータ１１をマニホールドベース１２に取り付けた際には、図３に示すように、プレート２０Ｂの開口部２２Ａの上に設けられた逆止弁の本体３１は、アクチュエータ１１の流路１７に挿入して嵌め込まれるが、マニホールドベース１２の流路１６に挿入して嵌め込まれてもよい。但し、マニホールドベース１２の流路１６の内壁から反作用の力を受けることにより、本体３１の上に位置するプレート２０Ｂのガスケット２４を押さえ込ませるようにする。
【００４８】
尚、このように、プレート２０Ｂの開口部２２Ａに載設された逆止弁がマニホールドベース１２の流路１６に嵌挿する場合には、逆止弁が載設された開口部２２Ａを有するプレート２０Ｂがアクチュエータ１１とマニホールドベース１２の間で挟まれた状態で固定されることによって、プレート２０Ｂの開口部２２Ａに載設された逆止弁がマニホールドベース１２内に存在する位置も固定されるので、マニホールドベース１２の流路設計を制約することもあるが、第２実施の形態のように、プレート２０Ｂの開口部２２Ａに載設された逆止弁がアクチュエータ１１の流路１７に嵌挿する場合には（図３参照）、プレート２０Ｂの開口部２２Ａに載設された逆止弁はアクチュエータ１１内に存在しマニホールドベース１２内には存在しないので、マニホールドベース１２の流路設計を従来通り自由に行うことができる。
【００４９】
また、第２実施の形態においては、その断面が長方形に類似した形をしたガスケット２４の上に、開口部２２Ａに設けられた逆止弁の本体３１が載置され、さらに、アクチュエータ１１をマニホールドベース１２に取り付けた際には、かかる逆止弁の本体３１は、アクチュエータ１１の流路１７に挿入して嵌め込まれ、アクチュエータ１１の流路１７の内壁から反作用の力を受けることにより、逆止弁の本体３１の下に位置するプレート２０Ｂのガスケット２４を押さえ込むことができるので、かかる逆止弁が嵌挿されたアクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分をシールすることができる（図４、図５参照）。
【００５０】
しかし、図６に示すように、その断面が凸状の形をしたガスケット２４の横に、開口部２２Ａに設けられた逆止弁の本体３１が位置してもよい。このような場合にも、図７に示すように、ガスケット２４は弾性変形しやすく、さらに、かかる逆止弁の本体３１が、アクチュエータ１１の流路１７に緩やかに挿入されても、かかる逆止弁の本体３１の外側とアクチュエータ１１の流路１７の内側に生じるクリアランスにガスケット２４が押し出される状態となるので、かかる逆止弁が嵌挿されたアクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分をシールすることができる。
【００５１】
また、第３実施の形態においては、ステンレス板２１の表面が露出した露出部分４０をプレート２０Ｃの両面に設けることにより、アクチュエータ１１の流路１７とマニホールドベース１２の流路１６の連接部分にアクチュエータ１１又はマニホールドベース１２の流路１６の間を連通させるバイパス流路を、プレート２０Ｃの両面に設けているが、ステンレス板２１の表面が露出した露出部分４０をプレート２０Ｃの片面に設けることにより、かかるバイパス流路をプレート２０Ｃの片面のみに設けてもよい。また、露出部分４０は、アクチュエータ１１又はマニホールドベース１２の流路１６の間を連通させるバイパス流路の基となる原型であるから、ステンレス板２１の表面を必ず露出させる必要はない。
【００５２】
また、本実施の形態では、配管ベースとして、マニホールドベース１２を使用して説明しているが、単体ベースであってもよい。
【００５３】
【発明の効果】
本発明の電磁弁では、開口部を囲い巡らして弾性体を接合することによってガスケットを形成したプレートを、アクチュエータと配管ベースの間で挟んだ状態で固定することにより、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をガスケットでシールするとともに、プレートの開口部に設けられたフィルタをアクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に設けることができるので、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をシールするガスケットの機能を確保するとともに、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分にフィルタを設けることができる。
【００５４】
また、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に設けることができるフィルタについては、配管ベース内において発生する金属粉などのゴミを主な対象物とし、繊維構造を有する高性能なものまで要求されない場合があり、このような場合においては、プレートに設けられた複数の穿孔をもって開口部及びフィルタを兼用することができるので、フィルタを設けた開口部を有するプレートを容易に製作することができる。
【００５５】
また、開口部を囲い巡らして弾性体を接合することによってガスケットを形成したプレートを、アクチュエータと配管ベースの間で挟んだ状態で固定することにより、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をガスケットでシールするとともに、プレートの開口部に載設された逆止弁をアクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に設けることができるので、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分をシールするガスケットの機能を確保するとともに、アクチュエータの流路と配管ベースの流路の連接部分に逆止弁を設けることができる。
【００５６】
また、アクチュエータ又は配管ベースそのものに逆止弁を設けるのでなく、プレートの開口部に載設された逆止弁をアクチュエータの流路に嵌挿させているので、アクチュエータと配管ベースの間に挟まれた状態で固定されるプレートを交換するだけで、新しい逆止弁に容易にとりかえることができ、逆止弁を新しいものにとりかえるだけのために、アクチュエータや配管ベースを交換する必要はない。
【００５７】
【図面の簡単な説明】
【図１】  開口部にフィルタが設けられたプレートの一例を示した斜視図である。
【図２】  開口部に逆止弁が載設されたプレートの一例を示した分解組立図である。
【図３】  開口部に逆止弁が載設されたプレートをアクチュエータとマニホールドベースの間で挟んだ状態で固定した電磁弁であって、プレートの開口部に載設された逆止弁がアクチュエータの流路に嵌挿されたものの断面図である。
【図４】  開口部に逆止弁が載設されたプレートの一部であって、開口部を囲い巡らして弾性体を接合することによって形成されたガスケットと、開口部に載設された逆止弁の位置関係を示した断面図である。
【図５】  開口部に逆止弁が載設されたプレートをアクチュエータとマニホールドベースの間で挟んだ状態で固定した電磁弁の一部であって、プレートの開口部を囲い巡らして弾性体を接合することによって形成されたガスケットがアクチュエータとマニホールドベース、さらに、プレートの開口部に載設された逆止弁に圧接する状態を示した断面図である。
【図６】  開口部に逆止弁が載設されたプレートの一部であって、開口部を囲い巡らして弾性体を接合することによって形成されたガスケットと、開口部に載設された逆止弁の位置関係を示した断面図である。
【図７】  開口部に逆止弁が載設されたプレートをアクチュエータとマニホールドベースの間で挟んだ状態で固定した電磁弁の一部であって、プレートの開口部を囲い巡らして弾性体を接合することによって形成されたガスケットがアクチュエータとマニホールドベース、さらに、プレートの開口部に載設された逆止弁に圧接する状態を示した断面図である。
【図８】  複数の開口部に対してはそれらを一つの開口部として囲い巡らし、さらに、他の開口部に対してはそれぞれ単独で囲い巡らしながら弾性体を接合してガスケットを形成したプレートの一例を示した斜視図である。
【図９】  アクチュエータがマニホールドベースに固定されることによって組み付けられる電磁弁の斜視図であって、アクチュエータをマニホールドベースに取り付ける方法を示したものである。
【符号の説明】
１  電磁弁
１１  アクチュエータ
１２  配管ベース
１６  配管ベースの流路
１７  アクチュエータの流路
２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ  プレート
２２Ａ、２２Ｂ  開口部
２４  ガスケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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