(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスパネルに蛍光面形成用塗布液を塗布する陰極線管の製造方法であって、
複数の吐出穴が線状に配列され、上記吐出穴のノズル掃引方向の長さをＤ、上記ノズル内の液誘導部の長さをＬとすると、１＜Ｌ／Ｄ≦１０の関係にある液体塗布用ノズルを上記ガラスパネルのガラスパネル短辺方向または長辺方向のいずれかの方向に掃引し、
上記ノズルの掃引により、上記蛍光面形成用塗布液を、上記ガラスパネルの蛍光面形成部上に、線状に塗布する陰極線管の製造方法。
【請求項２】
上記塗布におけるガラスパネル前面を、水平軸に対して実質的平行にしてある請求項１に記載の陰極線管の製造方法。
【請求項３】
上記塗布に加えて、上記ガラスパネルのガラスパネル自転回転数を３０〜６０ｒｐｍとして、上記蛍光面形成用塗布液を上記ガラスパネルの蛍光面形成部の全面に引き延ばし、その後、上記ガラスパネル自転回転数を５０〜１５０ｒｐｍとし、ガラスパネル傾斜角を水平軸に対して９５〜１１５度として余剰の蛍光面形成用塗布液を排出し、その後、上記ガラスパネル自転回転数を１０〜１５０ｒｐｍとして、上記蛍光面形成用塗布液により形成された蛍光膜を乾燥させる請求項１又は２に記載の陰極線管の製造方法。
【請求項４】
上記ガラスパネルの蛍光面形成部が、完全平面形状である請求項１〜３のいずれかに記載の陰極線管の製造方法。
【請求項５】
上記吐出穴のノズル掃引方向の長さＤは、上記ノズル掃引方向と直交する方向の長さｄより大きいノズルを使用する請求項１〜４のいずれかに記載の陰極線管の製造方法。
【請求項６】
上記吐出穴のノズル掃引方向の長さをＤ、上記ノズル内の液誘導部の長さをＬとすると、３≦Ｌ／Ｄ≦８の関係にあるノズルを使用する請求項１〜５のいずれかに記載の陰極線管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、陰極線管、半導体基板、液晶基板、光ディスク用基板等の塗布対象物に液体を塗布して薄膜を形成するための、液体塗布用ノズル、その製造方法、液体塗布方法、および液体塗布装置に関する。本発明はまた、上記ノズルの用途としての陰極線管法に関する。
特に、本発明は、塗布パターンの均質な蛍光面を高いレベルで実現するとともに、高輝度の画像を供給することが可能な塗布ノズル及びカラー陰極線管の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
たとえば、陰極線管のガラスパネル内面の蛍光面には、赤、緑及び青のそれぞれの色に発光する３種類の蛍光体絵素が形成されている。これら蛍光体絵素は、ブラックマトリックスと言われる光吸収膜を介してドット状またはストライプ状に規則正しく配列されている。このような蛍光体絵素を塗布形成する場合には、液体塗布装置が用いられている。
【０００３】
以下、上記の蛍光面の作製について説明する。まず、陰極線管のガラスパネル内面に感光性樹脂膜を形成する。この感光性樹脂膜の形成部のうち、蛍光体絵素を形成する位置に、光反応性物質を塗布、露光、現像することにより蛍光体形成部位を作製する。この蛍光体形成部位の作製には、フォトリソグラフ技術を利用する。次に、ガラスパネル内面に蛍光体懸濁液（以下、スラリーと呼ぶ）を塗布し、同様のフォトリソグラフ技術により特定色の蛍光体部位を随時作製する。陰極線管の蛍光面を形成させるための上記の塗布は、ガラスパネルを回転させながらスラリーを塗布する回転塗布が主流である。
【０００４】
以下、この回転塗布について説明する。まず、感光性樹脂に蛍光体を懸濁させたスラリーを、低速回転するガラスパネル内面に注入する。注入したスラリーは、ガラスパネルの傾斜と回転によって、徐々にガラスパネル内面に広がり、その間に蛍光体は沈降していく。蛍光体の塗布プロセスでは、塗布むらのない均一な塗布膜を得ることが重要である。そのために、ガラスパネルの回転周期に同期させてガラスパネルの傾斜角を周期的に変化させる方法（例えば特開平３−１２２９４４号公報等）や、ガラスパネルの回転を正回転と逆回転で行う方法（例えば特開平５−１０１７７５号公報等）などがすでに提案されている。
【０００５】
次に、ガラスパネルの回転を高速にして、余剰のスラリーを振り切る工程に移る。均一な塗布膜を得るためには、振り切り時のガラスパネルの傾斜角と回転数の設定が重要である。そのために、ガラスパネルを斜め上向きで振り切る方法（例えば特開昭５５−５７２３０号公報等）や、斜め下向きで振り切る方法（例えば特開昭５９−１８６２３０号公報等）などがすでに提案されている。
【０００６】
本工程では、余剰のスラリーをガラスパネル外に排出させる。次に、塗布膜を外部の赤外線ヒーターで加熱することにより塗布膜を乾燥させる。さらに、シャドウマスクをセットし、紫外線により露光させる。紫外線の照射により、感光性樹脂と感光開始剤との間に光架橋反応が進行し、露光部は水に不溶化する。露光後、シャドウマスクを取り外し温水シャワーなどによって現像を行うと未露光部が水に洗い流されて、必要な部分にのみ蛍光体パターンが形成される。以上のような工程を経て、陰極線管の蛍光面が完成する。
【０００７】
一方、ＯＡ環境の変化によって、陰極線管用ディスプレーの要求も高精細度や高輝度、高コントラスト化等の技術課題からディスプレーのあり方に至るまでの様々なものに変貌しつつある。画面も従来の曲率を持った陰極線管では外光の写り込みによる乱反射により見にくいため、画面形状も完全平面へと要求は高まっている。さらに、陰極線管用ディスプレーは、ＯＡ環境の進展により、ディスプレー上の中央部、周辺部のいずれにおいても高輝度で高解像度であることが要求されている。そのための改良策として、例えば蛍光面形成の際にガラスパネル内面に、スラリーを線状に短時間で塗布する方法がすでに提案されている。
【０００８】
しかしながら、上記のような蛍光面形成方法では以下のような問題があった。
（１）従来のスラリー塗布方法では、ガラスパネルの傾斜と回転数の調整によりスラリーを有効面に広げるためスラリーの塗布量が多めに必要であった。このため、過剰のスラリーにより、液はねや泡かみ込みが発生していた。また、ガラスパネルの傾斜により強制的に中央部から周辺部へスラリーを流動させるために、膜厚差が発生した。
（２）線状にスラリーを塗布する場合には、塗布ノズルから吐出される塗布液を層流状にガラスパネル上に被着させることは非常に困難であった。このため、例えば塗布液がノズル掃引方向と垂直方向に横飛びする現象が生じ、ガラスパネル内面上に液の塗り残し部分が残留していた。
従って、本発明の目的は、液体を線状又はカーテン状に流下させるノズルとしてより優れた特性を有する新規なノズルを提供することと、この新規なノズルを精度良く効率的に製造する方法を提供することと、上記新規なノズルを使用する液体塗布方法、装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の別の目的は、低いコストで厚みの均一な膜を必要液体の消費を抑えつつ短時間に形成できる陰極線管の製造方法を提供することにある。
また、本発明の目的は、液体を線状に流下させる塗布ノズルを用いて、かつ蛍光面形成の塗布スケジュールを最適化することにより塗布パターンの均質な蛍光面を高いレベルで実現するとともに、高輝度の陰極線管を供給できる塗布ノズル及び陰極線管の製造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために以下のように構成している。
【００１６】
本発明の第１態様によれば、ガラスパネルに蛍光面形成用塗布液を塗布する陰極線管の製造方法であって、複数の吐出穴が線状に配列され、上記吐出穴のノズル掃引方向の長さをＤ、上記ノズル内の液誘導部の長さをＬとすると、１＜Ｌ／Ｄ≦１０の関係にある液体塗布用ノズルを上記ガラスパネルのガラスパネル短辺方向または長辺方向のいずれかの方向に掃引し、上記ノズルの掃引により、上記蛍光面形成用塗布液を、上記ガラスパネルの蛍光面形成部上に、線状に塗布する陰極線管の製造方法を提供する。
【００１７】
本発明の第２態様によれば、第１態様において、上記塗布におけるガラスパネル前面を、水平軸に対して実質的平行にしてある陰極線管の製造方法を提供する。
本発明の第３態様によれば、第１又は２態様において、上記塗布に加えて、上記ガラスパネルのガラスパネル自転回転数を３０〜６０ｒｐｍとして、上記蛍光面形成用塗布液を上記ガラスパネルの蛍光面形成部の全面に引き延ばし、その後、上記ガラスパネル自転回転数を５０〜１５０ｒｐｍとし、ガラスパネル傾斜角を水平軸に対して９５〜１１５度として余剰の蛍光面形成用塗布液を排出し、その後、上記ガラスパネル自転回転数を１０〜１５０ｒｐｍとして、上記蛍光面形成用塗布液により形成された蛍光膜を乾燥させる陰極線管の製造方法を提供する。
本発明の第４態様によれば、第１〜３のいずれかの態様において、上記ガラスパネルの蛍光面形成部が、完全平面形状である陰極線管の製造方法を提供する。
本発明の第５態様によれば、第１〜４のいずれかの態様において、上記吐出穴のノズル掃引方向の長さＤは、上記ノズル掃引方向と直交する方向の長さｄより大きいノズルを使用する陰極線管の製造方法を提供する。
本発明の第６態様によれば、第１〜５のいずれかの態様において、上記吐出穴のノズル掃引方向の長さをＤ、上記ノズル内の液誘導部の長さをＬとすると、３≦Ｌ／Ｄ≦８の関係にあるノズルを使用する陰極線管の製造方法を提供する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。
まず、本発明の実施形態の概要について説明する。
【００１９】
本発明の１つの実施形態に係る液体塗布用ノズルでは、液体貯留部中の液体が内側吐出部から吐出されるとともに、気体貯留部中の気体が外側吐出部から吐出され、内側吐出部から流下する線状またはカーテン状の液体流を外側から囲う気体流を作る。このため、液体流がノズルの前後方向にずれずにまっすぐ流下して塗布対象物表面にムラなく達する。内側吐出部および外側吐出部が小孔であるときには、線状の液体流を筒状に囲う気体流が作られるため、液体流が、ノズルの前後方向にも左右方向にもずれずに、よりまっすぐ流下しやすい。
【００２０】
本発明の別の実施形態に係る液体塗布用ノズルでは、内側吐出部と外側吐出部を構成する小孔の形状が細長い六角形であるので、液体流および気体流が旋回流となって流下し、横に曲がりにくくなる。
本発明の別の実施形態に係る液体塗布用ノズルでは、液体貯留部は、内側吐出部の位置が谷底となるような傾斜面を有するので、液体は液体貯留部ではその傾斜面に沿ってすべり落ちて内側吐出部から吐出される。このため、液体が顔料などの粒子を含んでいる場合でも、沈殿した粒子が傾斜面に沿ってすべり落ち、液体貯留部内に留まらない。
【００２１】
本発明の別の実施形態に係る液体塗布用ノズルでは、気体貯留部の断面形状が必要な強度を維持する限りで大きく取られているので、第１ブロックの強度が確保されるとともに気体貯留部内の気体圧力差が上記長手方向の一端側と他端側とで小さくなり、外側吐出部からの気体の吐出が安定する。
【００２２】
本発明の別の実施形態に係る液体塗布用ノズルの製造方法は、第１ブロックと第２ブロックが内側吐出部の幅方向中心を上記長手方向に沿って通る鉛直面により分断された２分割体からなり、かつ、内側吐出部および／または外側吐出部が多数の小孔で構成されている上記実施形態までのいずれかに記載のノズルを製造する方法であって、小孔の加工が、液体貯留部および／または気体貯留部となる溝状空間を予め形成しておいた分割体２個を、溝状空間の開口面が同一面を形成するよう位置決めしておいて両分割体の上記小孔を構成するための小溝を同時切削することで行われるので、両分割体の一方における小溝の位置と大きさとが両分割体の他方におけるものとぴったり一致する。このため、分割体２個を合わせて第１ブロックと第２ブロックとをそれぞれ形成したときに、各分割体の小溝が互いにぴったり合わされて小孔を形成する。
【００２３】
本発明のさらに別の実施形態に係る、液体塗布方法および液体塗布装置では、上記実施形態のノズルの外側吐出部を塗布対象物に対面させて、外側吐出部を通して、塗布対象物に向けて気体流を吐出させつつ液体流を線状またはカーテン状に吐出させる間、塗布対象物とノズルとの少なくとも一方を上記長手方向と交差する方向に相対移動させる。このため、液体吐出量を調整することで、塗布ムラが少ない均一な薄い塗膜を液体の消費を抑えて短時間で形成できる。
【００２４】
本発明の別の実施形態に係る、液体塗布方法および液体塗布装置では、上記実施形態に記載のノズルの吐出部を塗布対象物に対面させて、吐出部を通して、塗布対象物に向けて液体流を線状またはカーテン状に吐出させる間、塗布対象物とノズルとの少なくとも一方を上記長手方向と交差する方向に相対移動させる。このため、液体吐出量を調整することで、塗布ムラが少ない均一な薄い塗膜を液体の消費を抑えて短時間で形成できる。
【００２５】
本発明の別の実施形態に係る液体塗布装置では、液体貯留部に液体を循環供給する液体循環路を備えるとともに、この液体循環路を開閉する開閉部材をも備えるので、液体の循環を行ったり、あるいは、止めたりすることができる。このため、液体の吐出中には液体の循環を止めて圧力の安定化を図ることができ、また、液体の吐出停止中には液体の循環を行って粒子の沈降を防ぐことができる。
以下に、これらの実施形態を図面を基により具体的に説明する。
【００２６】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態による液体塗布用ノズルを示す部分斜視図、図２は、その断面図である。
図１において、液体塗布用ノズル４は、第１ブロック４１と第２ブロック４２とを備えている。
【００２７】
第１ブロック４１は、断面略Ｔ字形（図２）の長尺物であって縦辺先端側が先細りとなるように形成されていて、内部に長さ方向に延びる液体貯留部４３を有する。液体貯留部４３はノズル４の長さ方向に延びる大きなトンネルとされている。液体貯留部４３の底部（Ｔ字形の縦辺先端部）には、図４と５にもみるように、第１ブロック４１の長さ方向に沿って多数個の小孔４４からなる内側吐出部が形成されている。
【００２８】
小孔４４の列の長さは、塗布対象の最大サイズのガラスパネル（図示されず）の縦または横方向長さより十分長くされることができ、たとえば、６００ｍｍとすることができ、１０００ｍｍとすることもできる。
第２ブロック４２は、断面略Ｕ字形（図２）の長尺物であって第１ブロック４１の横辺先端面に気体が流通しないように密着されていて、第１ブロック４１の外側に気体貯留部４６を形成する内部空間を有する。この内部空間の底部には、図３〜５にもみるように、第２ブロック４２の長さ方向に沿って、小孔４４の直下となる位置に形成された多数個の小孔４８からなる外側吐出部が形成されている。
【００２９】
小孔４８が、小孔４４よりも大きく作られていると、小孔４４から吐出された液体流が小孔４８内を通過しやすい。
小孔４４、４８の形状はいずれも、たとえば、丸孔、楕円、多角形孔、星形孔、不定形孔など種々の形状とすることが可能である。吐出された液体流、気体流がそれぞれ旋回流となりやすいという点を考慮すると、六角形孔であることが好ましく、細長い孔であることがより好ましく、細長い六角形孔であることがさらに好ましい。細長い小孔では、小孔の長さ方向（小孔の長い方の径と幅方向（短い方の径）との比は、たとえば１／１．５〜１／３、好ましくは１／１．５〜１／２となる。細長い小孔の長さ方向がノズルの長さ方向に一致しているときには、小孔の加工精度を高くしやすい（特に、２分割体からなるブロックの場合）。
【００３０】
小孔４４、４８の大きさはいずれも、隣合う小孔の中心間距離で、たとえば０．５〜８ｍｍ程度であり、吐出された液体が塗布対象物表面に達して横に流れて隣のものとつながってムラなく均一に塗布されやすいという点を考慮すると、好ましくは０．５〜１ｍｍである。隣合う小孔４４の中心間距離１ｍｍで小孔４４、４８を６００個作り、６００ｍｍのガラスパネルに対応させたり、１０００個作り、１０００ｍｍのガラスパネルに対応させたりすることができる。なお、小孔４４、４８の中心間距離が一定であっても、ノズル４の長さ方向が塗布対象物の縦方向または横方向に対して斜めとなるようにノズル４を配置して、この状態でノズル４を塗布対処物の縦方向または横方向に平行移動させる場合、斜めの角度を変更することにより、線状に吐出された液体同士の間隔を適宜調節することができる。
【００３１】
第１ブロック４１は、内側吐出部たる小孔４４の幅方向中心を長さ方向に沿って通る鉛直面により分断された２分割体４１ａ，４１ｂからなっている。第２ブロック４２も、小孔４８の幅方向中心を長さ方向に沿って通る鉛直面により分断された２分割体４２ａ，４２ｂからなっている。
液体貯留部４３は、小孔４４の位置が谷底となるような傾斜面４３ａを有する。この傾斜面４３ａは、鉛直面と直交する面に対する傾きが大きいほど、内部の液体が小孔４４に容易にながれ落ちるので好ましい。また、液体貯留部４３の一端側と他端側とで液体の吐出量の違いを生じるのを防ぐために、断面積をできるだけ大きくとることが好ましい。液体貯留部４３の断面積をできるだけ大きくとるためには、傾斜面４３ａはできるだけ急な傾斜を有する方が好ましい。傾斜面４３ａに沿って容易に流れ落ちることと液体貯留部４３の断面積をできるだけ大きくとることとを考慮すると、傾斜面４３ａは鉛直面と直交する面に対して７５度以上９０度未満が好ましい。
【００３２】
気体貯留部４６の一端側と他端側とで気体の吐出量の違いを生じるのを防ぐために、気体貯留部４６の断面積をできるだけ大きくとることが好ましい。また、気体貯留部４６の断面積をできるだけ大きくとるためには、第１ブロック４１や第２ブロック４２の厚みをできるだけ薄くすることが好ましい。ただし、第１ブロック４１や第２ブロック４２の厚みが薄くなるほど第１ブロック４１や第２ブロック４２が膨らんだりすぼんだりして液体貯留部４３または気体貯留部４６の断面積を変化させたり小孔４４、小孔４８の幅を変化させたりして吐出量の変動させることがある。このような変動を防ぐためには第１ブロック４１と第２ブロック４２の必要な強度を維持するのが好ましい。気体貯留部４６の断面積をできるだけ大きくとり、かつ、第１ブロック４１と第２ブロック４２の強度を維持することを考慮すると、気体貯留部４６の断面形状は、必要な強度を維持する限りで大きく取られていることが好ましい。気体貯留部４６の第１ブロック４１側の面は、液体貯留部４３の傾斜面４３ａと平行であるよりも傾斜面４３ａよりも緩やかな傾斜面であると、厚みが厚くなっている部分が補強効果を持ち必要な強度を維持することができる。
【００３３】
気体貯留部４６と小孔４８との間に気体通路４９を設けておき、気体流を層流に整流するようにしておくことができる。
２分割体４１ａ，４１ｂからなっている第１ブロック４１の小孔４４の加工は、たとえば次の方法で行うと精度良く効率的である。図６にみるように、液体貯留部となる溝状空間４３ａ，４３ｂを予め形成しておいた分割体２個４１ａ，４１ｂを、溝状空間４３ａ，４３ｂの開口面が同一面を形成するよう位置決めしておいて両分割体４１ａ，４１ｂに小孔４４を構成するための小溝４４ａ，４４ｂを同時切削することにより、図８に示すような分割体４１ａ，４１ｂを得るのである。
【００３４】
２分割体４２ａ，４２ｂからなっている第２ブロック４２の小孔４８の加工も、たとえば次の方法で行うと精度良く効率的である。図７にみるように、気体貯留部４６となる溝状空間４６ａ，４６ｂを予め形成しておいた分割体２個４２ａ，４２ｂを、溝状空間４６ａ，４６ｂの開口面が同一面を形成するよう位置決めしておいて両分割体４２ａ，４２ｂに小孔４８を構成するための小溝４８ａ，４８ｂを同時切削することによ、図９に示すような分割体４２ａ，４２ｂを得るのである。
【００３５】
このようにして作られた分割体４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂを図１０にみるように組み立て、両端部にパッキン（図示省略）を間にいれて固定金具（図示省略）で分割体４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂを組み立てた状態で固定することにより、図１〜５に示すノズル４が得られる。
（第２実施形態）
図１１は、本発明の第２実施形態による液体塗布用ノズルを示す底面図、図１２は、そのＸ−Ｘ断面の拡大部分図である。図１１、１２において、液体塗布用ノズル４０は、次の点で違っていること以外は第１実施形態による液体塗布用ノズル４と同じである。
【００３６】
このノズル４０では、内側吐出部は多数個の小孔４４からなっているが、外側吐出部は小孔４４の列の両側に配された２つの平行なスリット１４８ａ，１４８ｂからなっている。第１ブロック４１の縦辺先端面は、第２ブロック４２の下面とほぼ同一面を形成するように位置決めされていて、小孔４４は第１実施形態のものと同じ形、大きさの多数個の小孔からなっているが、長さがより長くなっていて、気体貯留部４６とはつながっていない。第２ブロック４２は、断面略Ｌ字形（図１１、１２では図示されず）の長尺物であって縦辺先端面にスリット１４８ａ，１４８ｂを構成するための幅広溝を有していて、第１ブロック４１の縦辺先端部側面に密着されてスリット１４８ａ，１４８ｂを構成している。
【００３７】
この実施形態のノズルでは、内側吐出部から線状の液体流が流下するとともに外側吐出からカーテン状の気体流が流下する。
（第３実施形態）
図１３は、本発明の第３実施形態による液体塗布装置を示す斜視図である。
図１３において、液体塗布装置１は、たとえば縦横比が１６：９の横長の陰極線管のガラスパネル２を回転可能に支持する管支持部３と、ガラスパネル２に蛍光体懸濁液を吐出するＸ方向（紙面奥行き方向）に長い、第１実施形態のノズル４と、ノズル４を管支持部３上でＸ方向と直交するＹ方向に移動させるノズル移動部５とを備えている。
【００３８】
管支持部３は箱状の部材であり、その下面にはモータを含む回転駆動部１０が取り付けられている。なお、管支持部３は陰極線管のガラスパネル２のサイズに応じた形状のものが用意されており、回転駆動部１０に着脱自在に取り付けられている。管支持部３の上面の周囲には、余剰の液体を搬出するための勾配を有する排出溝１１が形成されている。排出溝１１の一番低い位置には排出口１２が設けられており、余剰の液体はそこから外部に排出されて再利用される。管支持部３の中央部には、ガラスパネル２を装着するための略矩形の装着孔１３が形成されている。装着孔１３はガラスパネル２の外周に沿った形状であり、その内周部には液体の漏洩を防止するためのシール部材１４が取り付けられている。
【００３９】
ノズル４は、下面に、Ｘ方向に並んだ内外側吐出部たる小孔４４，４８を有する。小孔４４，４８の列の長さは塗布対象の最大サイズのガラスパネル２のＸ方向長さより十分長い。
ノズル移動部５は、図１３および図１４に示すように、管支持部３の両側に配置されたＹ方向に延びる１対のガイドレール５０と、図１３奥側のガイドレール５０に沿って配置された回転可能なボールネジ軸５１と、ノズル４の両端にパッキンと固定金具（図示省略）を挟んで固着された駆動フレーム５２および従動フレーム５３とを有している。ボールネジ軸５１はその両端を軸受５７，５８により回転自在に支持されており、軸受５７側端部には駆動モータ５４が連結されている。駆動フレーム５２にはガイドレール５０に案内される直線軸受５５と、ボールネジ軸５１に噛み合うボールナット５６とが設けられている。従動フレーム５３にはガイドレール５０に案内される直線軸受５５が設けられている。
【００４０】
駆動フレーム５２および従動フレーム５３には、図１３、１４に示すように、ノズル４内部の気体貯留部４６に空気を導入するための２つの空気導入部（図示省略）が、液体貯留部４３に液体を循環して導入および排出するための液体導入部及び排出部（図示省略）が設けられている。空気導入部にはエアホース３０ａ，３０ｂが接続金具を介して接続されている。エアホース３０ａ，３０ｂは図１４に示すように空気圧源８８に接続されている。液体導入部及び排出部には循環ホース３１，３２が接続金具を介して接続されている。循環ホース３１は、図１４に示すように、ギアポンプからなる循環ポンプ３３の吐出側に接続されている。循環ホース３２は循環ポンプ３３の吸入側にバルブ３６を介して接続されている。循環ポンプ３３の吸入側には蛍光体入り液体を貯留するタンク３４もバルブ３５を介して接続されている。ここで、液体を循環させるようにしたのは、液体供給停止時に配管やホースやノズル４に滞留した液体中の蛍光体が液体中で沈澱するのを防止するためである。液体供給停止時にはバルブ３５を閉めてバルブ３６を開けて液体を循環ホース３１，３２内を循環させて蛍光体の沈澱を抑えている。
【００４１】
駆動フレーム５２および従動フレーム５３の空気導入部は、Ｘ方向に長い空間である、ノズル４の気体貯留部４６につながっている。気体貯留部４６は、ノズル４の第２ブロック４２の底部において気体通路４９を通って外側吐出部たる小孔４８に連通している。気体通路４９は、小孔４４、４８の列より少し長い幅で極薄の空間であり、空気を層流に整流することができるようになっている。ここを通過した空気は実質的に層流の空気になる。液体導入部及び排出部は、Ｘ方向に長い空間である液体貯留部４３につながっている。液体貯留部４３は、流量に比べて容量が非常に大きな空間であり、そこに貯留された液体は常圧下では吐出しないようになっている。液体貯留部４３は、底部で小孔４４につながっていて、気体通路４９の出口において小孔４８に連通している。
【００４２】
このような構成のノズル４に空気と液体とを流量及び圧力を制御して供給すると、図４に示すように、小孔４４から流下する線状の液体流２２を外側から筒状に囲う空気流２１が作られる。この液体流２２は、供給量が少なくても空気流２１に導かれて切れることなく吐出される。
次に、このように構成された第３実施形態の液体塗布装置１の動作について説明する。
【００４３】
塗布対象の陰極線管のガラスパネル２が管支持部３に装着され、管支持部３がその長手方向がＹ方向に沿うように回転駆動部１０に取り付けられると、バルブ３５を開いてバルブ３６を閉じる。これにより循環ホース３１，３２およびノズル４内部の液体貯留部４３を循環していた液体が循環ホース３１を介してタンク３４からノズル４に供給される。また、空気圧源８８からノズル４に加圧された空気が供給される。加圧された空気はエアホース３０から空気導入部を経て空気貯留部４６に導入され、そこでＸ方向に広がって気体通路４９に導かれる。気体通路４９に導かれた空気は、ここを通過する際に層流の空気２１となって外側吐出部たる小孔４８から吐出される。
【００４４】
一方、循環ポンプ３３により循環ホース３１を経てタンク３４から供給された液体は液体導入部を経て液体貯留部４３に貯留されＸ方向に広がる。そして、層流の空気によって内側吐出部たる小孔４４から吸い出されてその空気に添うようにして線状の液体２２が小孔４８を通って下方に吐出される。なお、この時の流量は陰極線管２のサイズによっても異なるが概ね２００〜５００ｃｃ／ｍｉｎである。
【００４５】
この空気および液体の吐出を開始すると、駆動モータ５４によりボールネジ軸５１を回転させて駆動フレーム５２をＹ方向に移動させることでノズル４をＹ方向に移動させる。例えば、図１８に示すように、ガラスパネル２が水平方向沿いに配置された状態でノズルを水平方向沿いに移動させる。このようにしてノズル４から液体を吐出させながらノズル４をＹ方向に移動させることで、ノズル４から吐出された液体流２２が陰極線管のガラスパネル２に塗布される。液体の塗布が終了すると回転駆動部１０により管支持部３を４０〜５０ｒｐｍで回転させて、液体の中央部への流入を抑えつつ、図１９に示すように、ヒータ９９をガラスパネル２上に配置して液体を乾燥させて蛍光膜を形成する。そして、公知のフォトリソグラフ法によって所望の位置に蛍光体層を形成したのち、この工程を全部で３回繰り返すとガラスパネル２に赤青緑の３色の蛍光体層が所望の位置にたとえばマトリックス状に形成される。
【００４６】
ここでは、実質的に層流に吐出された気体２１に添うように太さが均一な線状の液体２２がガラスパネル２に吐出されるので、ノズル４をガラスパネル２に対して移動させるだけで一定の膜厚を維持して液体をガラスパネル２に塗布できる。このため、液体吐出量を調整することで、塗布ムラが少ない均一な薄い塗膜を液体の消費を抑えて短時間で形成できる。また、流量が比較的少ないため、ガラスパネル２に接触しても泡立つことはない。さらに、小孔４４、４８の列の長さが陰極線管のガラスパネル２の幅より長いので一回の移動で液体を塗布できる。
【００４７】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態による液体塗布装置は、第３実施形態による液体塗布装置において、第１実施形態によるノズル４の代わりに第２実施形態によるノズル４０（図１１、１２）を用いたこと以外は同じである。
第２実施形態のノズル４０に空気と液体とを流量及び圧力を制御して供給すると、層流の平板状の空気流がスリット１４８ａ，１４８ｂから吐出されるとともに、その空気に添うように線状の液体流が小孔４４から吐出される。この液体流は、供給量が少なくても空気に導かれて切れることなく吐出される。
【００４８】
（第５実施形態）
本発明の第５実施形態の液体塗布装置は、第３実施形態の液体塗布装置において、ノズル４の長さ方向が水平面内で塗布対象物の縦方向または横方向に対して斜めとなるようにノズル４を配置して、この状態でノズル４を塗布対処物の縦方向または横方向に平行移動させるようにしたものである。ノズル４を斜めにする角度を適宜変えることにより、線状の液体流で塗布対象物に描かれる平行線の間隔を調節することができる。
【００４９】
（第６実施形態）
本発明の第６実施形態の液体塗布装置は、第４実施形態の液体塗布装置において、ノズル４０の長さ方向が水平面内で塗布対象物の縦方向または横方向に対して斜めとなるようにノズル４０を配置して、この状態でノズル４０を塗布対処物の縦方向または横方向に平行移動させるようにしたものである。ノズル４０を斜めにする角度を適宜変えることにより、カーテン状の液体流で塗布対象物に描かれる塗膜の幅を調節することができる。
【００５０】
（第７実施形態）
第１、第３、または第５実施形態において、内側吐出部が小孔４４ではなく小孔４４の列の長さと幅を持つスリットであり、外側吐出部が小孔４８ではなく小孔４８の列の長さと幅のスリットであることができる。この場合、内側吐出部から吐出したカーテン状の液体流が外側吐出部を通って流下するとともにこの液体流を外側から囲うカーテン状の気体流が外側吐出部から流下する。
【００５１】
（第８実施形態）
第１、２、３、４、５、６、または７実施形態において、第１ブロック４１の液体貯留部４３中の液体を加熱したりあるいは冷却したりするための温調手段（温度調節手段）を液体貯留部４３内または第１ブロック４１の液体貯留部４３外面に配置することができる。温調手段としては、たとえば、ヒーターなどの加熱だけを行うもの、ペルチェ素子などの加熱または冷却の両方を行うことができるもの、チラーなどの冷却だけを行うもの、あるいは、ブロック塊内に熱媒または冷媒を流すための配管を設けるとともにこの配管に熱媒または冷媒を循環させる手段とを備えたものが使用されうる。ノズルを使用する雰囲気温度の高低に応じて、温調手段で液体を加熱したりまたは冷却したりすることにより、液体の粘度を一定に維持することができ、吐出量を一定に保つことができる。
【００５２】
（第９実施形態）
第１、２、３、４、５、６、７、または８実施形態において、内側吐出部が目詰まりしたときに内側吐出部を狭めたりあるいは塞いだりしている物（樹脂固化物、顔料などの粒子、該粒子の凝集物など）を除去するための除去手段を、第１ブロック４１の液体貯留部内部または外面に配置することができる。除去手段は、超音波発生装置、あるいは、ノズルの外部に配置した超音波発生装置から超音波を第１ブロックに伝える超音波伝達手段（たとえば棒状の部材）であることができる。液体を吐出中に除去手段を作動させて内側吐出部が狭まったり塞がったりするのを防ぐことができる。また、液体の吐出を停止中に除去手段を作動させて、狭まったり塞がったりした小孔またはスリットの掃除をして元に戻すことができる。
【００５３】
（第１０実施形態）
第１、２、３、４、５、６、７、、８または９実施形態において、液体貯留部４３と気体貯留部４６を、それぞれ、ノズル４（または４０）の長さ方向の一端側から他端側にかけて徐々に断面を拡大するような形にしておき、断面積の小さい側から液体および気体をそれぞれ液体貯留部４３と気体貯留部４６を供給することができる。このようにすると、液体貯留部４３と気体貯留部４６中の、液体と気体が、ノズル４（または４０）の長さ方向で圧力差を小さくすることができ、液体と気体の吐出量を均一にすることができる。
【００５４】
（第１１実施形態）
第１実施形態において、ノズル４が第２ブロック４２を備えていないことが可能である（図１５）。第１１実施形態のノズル４ａでは、構造が簡単になり、液体貯留部４３中の液体の圧力を第１実施形態のものよりも大きくすることにより、気体流なしでも液体を吐出でき、線状の液体流を塗布対象物に流下させることができる。より実用的な例として、湾曲面を少なくして平面で構成するようにした図１５のノズル４の変形例を図１６に示す。図１６のノズル１２４は、液体貯溜部１６３、傾斜面１６３ａ、小孔１６４は、それぞれ、上記液体貯溜部４３、傾斜面４３ａ、小孔４４に対応する。また、小孔４４の種々の変形例を図１７に示す。１６４ａは横長の六角形、１６４ｂは円形、１６４ｃは横長の楕円形、１６４ｄは縦長の楕円形である。
【００５５】
（第１２実施形態）
第２、３、４、５、６、７、８、９、または１０実施形態において、第１実施形態のノズル４の代わりに第１１実施形態のノズル４ａを用いたものである。
本発明の、液体塗布用ノズル、このノズルを使用した液体塗布方法、装置を用いて、陰極線管のガラスパネル裏面に、蛍光体層形成用孔を構成するためのパターン形成用レジスト液（たとえば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）など）、ブラックマトリックスを構成するための黒色無機顔料入り樹脂溶液（たとえば、カーボンブラックのような黒色顔料を分散させた樹脂液）および蛍光体層を構成するための蛍光体懸濁液（たとえば、緑、青、赤の各蛍光体入りのグラファイト液）のうちの少なくともひとつを塗布する工程を行って陰極線管を作ることができる。塗布したパターン形成用レジスト液を公知の露光法によって処理して所望の位置に蛍光体層形成用孔となる仮ドットなどのパターンを形成する。得られたパターンは、従来の、ノズル、液体塗布方法、装置を使用して該レジスト液を塗布したものに比べて、厚みが薄くて均一であり、色ムラを抑えてホワイトバランスを向上させるという利点がある。パターンを形成したガラスパネル裏面に塗布した、黒色着色剤入り液を公知の現像法によってパターン部分のパターン形成用レジスト液を除去して該パターンがあった部分（この部分が蛍光体層形成用孔になる。）の周囲にブラックマトリックス（ブラックストライプとも言う。）を形成する。得られたブラックマトリックスは、従来の、ノズル、液体塗布方法、装置を使用して該黒色着色剤入り液を塗布したものに比べて、ブラックマトリックスで囲まれる領域の大きさが均一になる。ブラックマトリックスを形成したガラスパネル裏面に塗布した蛍光体懸濁液を塗布して公知のフォトリソグラフ法によってブラックマトリックスで囲まれる領域内（蛍光体層形成用孔）に蛍光体層を形成する。この蛍光体層形成を緑青赤の順に全部で３回繰り返すとガラスパネル裏面に緑青赤の３色の蛍光体層がブラックマトリックスで囲まれる領域に形成される。得られた蛍光体層はいずれも、従来の、ノズル、液体塗布方法、装置を使用して該液を塗布したものに比べて、厚みが均一になる。その後、公知の陰極線管組み立て法によって陰極線管を得ることができる。得られた陰極線管は、従来の、ノズル、液体塗布方法、装置を使用してレジスト液、黒色着色剤入り液、または蛍光体入り液を塗布したものに比べて、輝度ムラが少なくて全体的に明るく、または、色ムラが少なくてホワイトバランスの良いものである。また、塗布プロセスも従来よりも１／２〜１／３（時間、ラインの長さなど）に短縮される。
【００５６】
なお、図２０には、上記実施形態及び後記する実施形態に適用可能な管支持部３の回転及び傾斜機構を示す。回転機構の一例として、ガラスパネル２を支持する管支持部３を回転させる回転駆動部１０は、モータ１０ａと該モータ１０ａにより回転されて上記管支持部３を回転させる回転軸１０ｂとから構成されている。また、管支持部３を傾斜させる傾斜機構の一例として、上記回転軸１０ｂを回転可能な状態で支持する傾斜軸９１と、該傾斜軸９１を任意の角度回転させて管支持部３を傾斜させる駆動モータ９３と、駆動モータ９３と傾斜軸９１との間に介在されたギヤボックス９２とから構成されている。これらの構成により、図２１に示すように、例えば、蛍光体を含有した液体（１５cpoiseの粘度）をノズルによりガラスパネル２に塗布する塗布工程では、図１８に示すように、ガラスパネル２を回転も傾斜もさせずに水平方向沿いに配置した状態で塗布工程を行う一方、蛍光体引き延ばし工程では、水平方向に対して傾斜させることなく、ガラスパネル２を回転駆動部１０で３０rpmで回転させて液体をガラスパネル２に広げる。その後、余剰液排出工程では、図１９に示すように、上記傾斜機構によりガラスパネル２を水平軸に対してθ＝１１０度傾斜させた状態で、回転駆動部１０によりガラスパネル２を回転数１５０rpmで回転させて余剰液をガラスパネル外に飛散させる。その後、図１９に示すように、上記傾斜機構によりガラスパネル２を水平軸に対してθ＝１１０度傾斜させた状態で、回転駆動部１０によりガラスパネル２を回転数２０rpmで回転させつつ、ヒータ９９で乾燥させる。
【００５７】
上記実施形態において、蛍光体層の厚みが従来より均一になる例として、従来の塗布方法では、ガラスパネルの中央部が１００に対して４つのコーナー部（周辺部）が７０〜８０の割合で厚みが小さくなっていたのに対して、上記実施形態では、中央部が１００に対して４つのコーナー部が９５〜１００の割合で中央部と大略同じ厚みとすることができる。場合によっては、陰極線管としては周辺部が暗くなる傾向があることを考慮すると、４つのコーナー部を１０５〜１１０の割合の厚みとして中央部よりも厚くすることも可能である。
【００５８】
一方、本発明の上記各実施形態とは別の実施形態について、その概要をまず説明する。
本発明のある別の実施形態の塗布ノズルは、複数の吐出穴を線状に配列した塗布ノズルであって、上記吐出穴のノズル掃引方向の長さをＤ、上記ノズル掃引方向と直交する方向の長さをｄ、ノズル内の液誘導部の長さをＬとすると、１＜Ｌ／Ｄ≦１０の関係にあり、必要ならば、Ｄ＞ｄであることを特徴とする。
【００５９】
上記のような塗布ノズルによれば、塗布液の吐出方向をノズル掃引方向に強制的に規制できる。このため、ノズル掃引方向と直交する方向に液が吐出する横飛び現象を解消させることができる。
【００６０】
次に、本発明の別の実施形態にかかる陰極線管の製造方法は、複数の吐出穴が線状に配列され、上記吐出穴のノズル掃引方向の長さをＤ、上記ノズル掃引方向と直交する方向の長さをｄ、ノズル内の液誘導部の長さをＬとすると、１＜Ｌ／Ｄ≦１０の関係にあり、必要ならば、Ｄ＞ｄである塗布ノズルを用いた陰極線管の製造方法であって、静止しているガラスパネル例えば陰極線管のガラスパネルのガラスパネル短辺方向または長辺方向のいずれかの方向に上記塗布ノズルを掃引することにより、蛍光面形成用塗布液を上記ガラスパネルの蛍光面形成部上に、線状に塗布する塗布工程を含むことを特徴とする。
【００６１】
上記製造方法においては、ガラスパネル前面を水平軸に対して実質的平行にしてあることが好ましい。水平軸に対して実質的平行とは、ガラスパネル前面が平面の場合には、この平面部が水平軸に対して平行であることをいい、ガラスパネル前面が曲率を有する場合については、この曲率部の頂点における接線が、水平軸に対して平行であることをいう。
【００６２】
また、上記製造方法においては、例えば、上記塗布工程で蛍光体懸濁液（スラリー）を塗布した場合らは、これに加えて、上記ガラスパネルの自転回転数を３０〜６０ｒｐｍとして、スラリーをガラスパネルの蛍光面形成部の全面に引き延ばす引延ばし工程と、上記ガラスパネル自転回転数を５０〜１５０ｒｐｍとし、ガラスパネル傾斜角を水平軸に対して９５〜１１５度とし余剰のスラリーを排出する排出工程と、上記ガラスパネル自転回転数を１０〜１５０ｒｐｍとして、蛍光膜を乾燥させる乾燥工程とを備えた蛍光面形成方法であって、上記各工程が、塗布工程、引延ばし工程、排出工程、乾燥工程の順に連続していることが好ましい。
【００６３】
上記のような製造方法によれば、塗布パターンの均質な蛍光面を高いレベルで実現するとともに、高輝度の陰極線管を供給することができる。
【００６４】
また、上記製造方法においては、上記ガラスパネルの蛍光面形成部が、完全平面形状であることが好ましい。上記のような方法によれば、外光の写り込みによる乱反射を防止することができる完全平面状のガラスパネルにおいても、良好な蛍光面を形成することができる。
以下に、これらの実施形態を図面を基により具体的に説明する。
【００６５】
以下、本発明の第１３実施形態について図面を参照しながら説明する。図２２（Ａ），図２２（Ｂ），図２２（Ｃ）は、本発明の第１３実施形態の塗布ノズルの三面図を示している。図２２（Ａ），図２２（Ｂ），図２２（Ｃ）において、１０１は塗布ノズルで、１０１ａは塗布ノズル本体、１０１ｂは吐出部を示している。１０２は吐出穴を示し、吐出部１０１ｂに線状に配列されている。スラリーは、この吐出穴１０２を通してガラスパネル内面に線状に塗布される。また、Ｌは吐出液誘導部長さ、Ｄは吐出穴のノズル掃引方向長さ、ｄは吐出穴の幅方向長さをそれぞれ示している。上記Ｌ、Ｄ、ｄは、以下の２式の関係を満足している。
Ｄ＞ｄ
１＜Ｌ／Ｄ≦１０
上記関係式のように、上記Ｌ、Ｄ、ｄを特定化することにより塗布液の吐出方向をノズル掃引方向に強制的に規制できる。このため、横飛び現象を解消させることができる。横飛び現象とは、ノズル掃引方向と直交する方向に液が吐出する現象のことである。
【００６６】
上記関係式を満足しない場合、例えばＤ＜ｄであれば、ある場合には、掃引方向の液吐出が規制され、幅方向への液の曲がりが増長されてしまう可能性がある。また、１≧Ｌ／Ｄであれば、液吐出状態は吐出穴形状に大きく依存してしまう。Ｌ／Ｄ＞１０であれば吐出液誘導部の表面仕上げなどのノズル加工精度が液吐出に影響を与えてしまうことになる。このため、加工精度によっては液吐出を抑制してしまう。また、ノズルから液を押し出す力が大きくなりすぎるとポンプ容量のより大きなものが必要となることから、実用的には、３≦Ｌ／Ｄ≦８が好ましい。
【００６７】
なお、吐出穴の大きさや隣接する穴間距離については、目詰まりの防止やメンテナンスの便利を考慮すればできる限り大きいことが好ましい。ただし、作製する陰極線管のサイズにより調整する必要がある。
なお、第１３実施形態の構成は、図１６のノズルなどの他の実施形態のノズルにも適用可能である。
【００６８】
図２３は、本発明の第１４実施形態のスラリーの塗布方法を示した概略図である。図２３において、１０３はガラスパネル、１０４は鉛直軸、１０５はスラリー、１０６はガラスパネル内面を示している。塗布ノズル１０１は、図２２（Ａ），図２２（Ｂ），図２２（Ｃ）に示したものと同じである。
【００６９】
ガラスパネル内面１０６に蛍光面を形成するためには、まず、塗布するスラリーの調整を行う。スラリーの調整は例えば緑色発光体、ポリビニルアルコール樹脂、重クロム酸アンモニウム、界面活性剤、消泡剤、水を混合して行う。上記材料をプロペラ式ミキサーを用いて混合した後、ディスパーザーを用いて一定時間分散させる。調整したスラリーに、さらに、所定の重クロム酸アンモニウムとアンモニアを添加し、スラリーのｐＨ濃度を調整して塗布用スラリーとする。蛍光体の接着力を上げるためにスラリーにボールミル処理を施しても良い。
【００７０】
以下、蛍光面が形成されるまでの工程を塗布工程、引延ばし工程、排出工程、乾燥工程に分けて説明する。
（ａ）塗布工程
まず、上記のように調整されたスラリー１０５を、図２３のように、塗布ノズル１０１を用いてガラスパネル内面１０６に塗布する。ガラスパネル内面１０６には、あらかじめブラックマトリックスが形成されている。この塗布は、塗布ノズル１０１を矢印１０７方向に、所定の吐出量、掃引速度で行う。また、塗布時におけるガラスパネル１０３は水平に設置する。つまり、図１８のノズル４とガラスパネル２のように、ガラスパネル１０３の前面を水平軸に対して実質的平行にする。
【００７１】
水平軸に対して実質的平行とは、ガラスパネル前面が平面の場合には、この平面部が水平軸に対して平行であることをいい、ガラスパネル前面が曲率を有する場合については、この曲率部の頂点における接線が、水平軸に対して平行であることをいう。
（ｂ）引延ばし工程
スラリー１０５の塗布が完了すれば、鉛直軸１０２を中心とするガラスパネル１０３の自転回転数（以下、ガラスパネル自転回転数と略す）を３０〜６０ｒｐｍにする。このことにより、強制的にガラスパネル内面１０６の有効面上にスラリー１０５を広げ、ガラスパネル内面１０６の中央部への液戻りを防ぐとともにガラスパネル内面１０６の中央部と周辺部との塗布パターンのむらを小さくできる。この引き延ばし工程は、上記の塗布工程と同様にガラスパネルを水平軸に実質的に平行に保ったまま行ってもよいが、蛍光体粒子の十分な沈降を促進し、かつ、ガラスパネル中央部と周辺部との粒子充填性の差をなるべく小さくするためには、ガラスパネルの傾斜角を４５度を越えない程度に適度に傾けた状態で行ってもよい。
【００７２】
ガラスパネル自転回転数を３０〜６０ｒｐｍとしたのは、以下の理由による。ガラスパネル自転回転数が３０ｒｐｍより低ければ、注入したスラリー１０５がガラスパネル内面１０６の中央部へ集まってしまい、塗布ムラの原因となってしまう。一方、ガラスパネル自転回転数が６０ｒｐｍより高ければ、注入したスラリー１０５は回転数増大による遠心力の増大によって、より強い勢いでガラスパネル内面１０６の全面に広がろうとする。このため、ガラスパネル内面１０６の周辺部ではスラリー１０５はガラスパネル内面１０６のウォール面１０３ａと激しく衝突する。この衝突によって微細な泡が発生し、この泡が内面上に残留してしまう。
（ｃ）排出工程
次に、図１９のガラスパネル２のように、ガラスパネル自転回転数を上記塗布工程の回転数より上げて、ガラスパネル１０３を水平軸に対して傾斜させる。このことによって、ガラスパネル内面１０６の周辺部に余剰に残存しているスラリー１０５は、振り切られガラスパネル１０３の外へ排出される。
【００７３】
この排出時のガラスパネル自転回転数は５０ｒｐｍ〜１５０ｒｐｍが好ましい。これは、以下の理由による。５０ｒｐｍより低ければ、ガラスパネル１０３の傾斜角を０度から高めていく過程において、ガラスパネル内面１０６上へスラリー１０５がガラスパネル壁面から逆流したり、ガラスパネル内面の有効面とガラスパネル壁面との境界部が汚れてしまう。逆に、ガラスパネル自転回転数が１５０ｒｐｍより高ければ、ガラスパネル内面１０６の中央部から周辺部へ向けて放射状の塗布ムラが発生してしまう。
【００７４】
ガラスパネル１０３の傾斜角度は、次に説明する乾燥工程においても、同じ角度を用いる。具体的には、水平軸に対して９５〜１１５度が好ましい。これは、以下の理由による。ガラスパネル１０３の傾斜角が９５度より小さければ、ガラスパネル内面１０６の周辺部の乾燥ムラやスラリー１０５のガラスパネル内面１０６へのタレ込みが発生してしまう。逆に、ガラスパネル１０３の傾斜角が１１５度より大きければ、乾燥ムラがより顕著になってしまう。
（ｄ）乾燥工程
次に、上記排出工程におけるガラスパネル１０３の傾斜角度を保ったまま、ガラスパネル自転回転数を下げる。この状態で、ガラスパネル１０３の外部から赤外線ガラスパネルヒータ（図１９の９９など）を用いて加熱することにより蛍光面を乾燥させる。この際、必要に応じてヒータ加熱に加えて、熱風をガラスパネル内面１０６に送風しても良い。このことによって、乾燥時間を短縮させることができる。
【００７５】
ガラスパネル自転回転数は、生産時間が許す限り低い方が好ましい。上記説明では、ガラスパネル自転回転数を、上記排出工程における回転数より下げた場合を説明したが、これに限る必要はない。具体的には乾燥時のガラスパネル自転回転数は１０ｒｐｍ〜１５０ｒｐｍが好ましい。この範囲内であれば乾燥状態には、何等問題はない。ただし、２色目、３色目の塗布時には、より低速にするほうがスラリー１０５の塗布パターンを良好にできるので好ましい。
【００７６】
なお、スラリー１０５の注入量は、多すぎるとガラスパネル内面１０６の周辺部での液はねによって泡かみなど発生しやすく、逆に少ないとガラスパネル内面１０６の有効面に充分に塗布できない。このため、例えば４１ｃｍガラスパネル１０３では７〜３０ｃｍ3程度が好ましい。だだし、吐出流量、ノズル掃引速度、ガラスパネル傾斜角度およびガラスパネル自転回転数との関係より、これに限る必要はない。
【００７７】
以上のような工程を経て、ガラスパネル１０３上に緑色蛍光体の塗布膜が形成される。次に、ガラスパネル１０３にシャドウマスク（図示せず）を装着し、紫外線露光後、現像すれば緑色蛍光面が作製できる。同様の工程を経て、青色蛍光面、赤色蛍光面を作製することができる。
【００７８】
得られた蛍光面サンプルに、アルミ膜処理を施した後、シャドウマスク、ファネルおよび磁気シールドなど（図示せず）を組み込み、電子銃（図示せず）を封入し、排気すれば完成球の作製完了となる。
【００７９】
なお、上記の実施形態においては、ガラスパネル内面１０６の蛍光面形成部分は、完全平面のものが好ましい。完全平面のものを用いれば、外光の写り込みによる乱反射を防止できる。
【００８０】
【実施例】
以下、本発明の実施例および比較例について図面を参照しながら説明する。いずれの場合についても、得られた蛍光面サンプルは、アルミ膜処理を施した後、シャドウマスク、ファネルおよび磁気シールドなどを組み込み、電子銃を封入し、排気し完成球を作製した。陰極線管に用いる蛍光面については４１ｃｍサイズのものとした。
（実施例１）
本実施例で用いた塗布ノズルは、図２２（Ａ），図２２（Ｂ），図２２（Ｃ）を用いて説明した上記実施形態のものと同じである。
【００８１】
まず、ガラスパネル内面１０６に塗布する蛍光体のスラリー１０５として、以下の材料を用いてスラリー１０５の調整を行った。
緑色蛍光体（日亜化学工業製）（２５重量％）
ポリビニルアルコール樹脂    （２．５重量％）
重クロム酸アンモニウム      （０．２５重量％）
界面活性剤                  （０．０３重量％）
消泡剤                      （０．０２重量％）
水                          （７２．２重量％）
上記材料をプロペラ式ミキサーを用いて混合した後、ディスパーザーを用いて一定時間分散した。なお、用いた緑色蛍光体の粒径は４μｍで硫化亜鉛に付活材として銅をドープしたものを用いた。ガラスパネル１０３は４１ｃｍサイズでガラスパネル透過率５２％、内面有効面形状は完全平面状のものを用いた。調整したスラリー１０５にさらに所定の重クロム酸アンモニウムとアンモニアを添加し、スラリー１０５のｐＨ濃度を８〜９に調整して塗布用スラリー１０５とした。
【００８２】
次に、調整したスラリー１０５はブラックマトリクス形成済みのガラスパネル内面１０６に図２２（Ａ），図２２（Ｂ），図２２（Ｃ）の塗布ノズル１０１を用いて、図２３に示した方法で、ノズルからの吐出量を２５ｃｍ3、ノズル掃引速度を１５ｃｍ／ｓで塗布した。上記塗布と同時に、ガラスパネル回転数を４０ｒｐｍに上げて、スラリー１０５をガラスパネル内面１０６の有効面にできるだけ広げた。次に、ガラスパネル１０３を水平に保持したまま、蛍光体粒子を充分に沈降させた。上記塗布においては、塗布ノズル１０１からの蛍光体液は横飛びすることなく、ガラスパネル内面１０６の全面に均一に塗り上げられた。
【００８３】
次に、ガラスパネル自転回転数を９０ｒｐｍに上げて、ガラスパネル１０３を水平軸に対して１１０度まで傾斜させながらガラスパネル内面１０６のガラスパネル周辺部に余剰に残存しているスラリー１０５を振り切り、ガラスパネル１０３の外へ排出させた。さらに、ガラスパネル１０３の傾斜角度は１１０度に保ったまま３０ｒｐｍまでガラスパネル自転回転数を下げ、外部から赤外線ガラスパネルヒータにより蛍光面を乾燥させた。
【００８４】
この後、緑色蛍光体を塗布したガラスパネル１０３にシャドウマスクを装着し、紫外線露光後、現像して緑色蛍光面を作製した。得られた緑色蛍光体のストライプサイズはガラスパネル内面１０６の中央部で６５μｍ、周辺部で６７μｍであった。ガラスパネル内面１０６への緑色蛍光体の付着は見られなかった。同様にして、粒径４μｍの青色蛍光体を懸濁させたスラリー１０５をガラスパネル内面１０６に塗布し、青色蛍光面を得た。また、３色目として粒径５μｍの赤色蛍光体を懸濁させたスラリー１０５をガラスパネル内面に塗布し、赤色蛍光面を作製した。青色蛍光体のストライプサイズはガラスパネル内面１０６の中央部で６８μｍ、周辺部で６９μｍ、赤色蛍光体のストライプサイズはガラスパネル内面１０６の中央部で７０μｍ、周辺部で７２μｍであった。なお、緑色蛍光体の表面に付着する青色及び赤色蛍光体は２００μｍ長さ当りに２ないし３個見られる程度であった。青色蛍光体の表面に付着する赤色蛍光体は、ほとんど観察されなかった。
【００８５】
（実施例２）
本実施例２では、塗布ノズル１０１を通してスラリー１０５を注入した直後のガラスパネル自転回転数を５０ｒｐｍとした以外は、すべて実施例１と同様とした。得られた緑色蛍光体のストライプサイズはガラスパネル内面１０６の中央部で６６μｍ、周辺部で６９μｍであった。ガラスパネル内面１０６への緑色蛍光体の付着は見られなかった。青色蛍光体のストライプサイズは、ガラスパネル内面１０６の中央部で６６μｍ、周辺部で６８μｍ、赤色蛍光体のストライプサイズはガラスパネル内面１０６の中央部で７１μｍ、周辺部で７４μｍであった。なお、緑色蛍光体の表面に付着する青色及び赤色蛍光体は２００μｍ長さ当りに１ないし２個見られる程度であり、青色蛍光体の表面に付着する赤色蛍光体は、ガラスパネル内面１０６の中央部ではほとんど見られず、ガラスパネル内面１０６の周辺部で数個観察された。
【００８６】
（実施例３）
本実施例３では、余剰スラリー１０５の排出時のガラスパネル自転回転数を１５０ｒｐｍとした以外はすべて実施例１と同様とした。得られた緑色蛍光体のストライプサイズはガラスパネル内面１０６の中央部で６６μｍ、周辺部で６９μｍであった。ガラスパネル内面１０６への緑色蛍光体の付着はほとんど見られなかった。青色蛍光体のストライプサイズは、ガラスパネル内面１０６の中央部で７０μｍ、周辺部で７１μｍ、赤色蛍光体のストライプサイズは、ガラスパネル内面１０６の中央部で７０μｍ、周辺部で７４μｍであった。なお、緑色蛍光体の表面に付着する青色及び赤色蛍光体は２００μｍ長さ当りに１ないし２個見られる程度であり、青色蛍光体の表面に付着する赤色蛍光体は、ガラスパネル内面１０６の中央部ではほとんど見られず、ガラスパネル内面１０６の周辺部で数個観察された。
【００８７】
（実施例４）
本実施例４では、余剰スラリー１０５の排出時のガラスパネル自転回転数を９０ｒｐｍとし、それに引き続く乾燥時の回転数を同じ９０ｒｐｍとした以外はすべて実施例１と同様とした。得られた緑色蛍光体のストライプサイズは、ガラスパネル内面１０６の中央部で６７μｍ、周辺部で６９μｍであった。ガラスパネル内面１０６への緑色蛍光体の付着はほとんど見られなかった。青色蛍光体のストライプサイズは、ガラスパネル内面１０６の中央部で６９μｍ、周辺部で７１μｍ、赤色蛍光体のストライプサイズは、ガラスパネル内面１０６の中央部で７０μｍ、周辺部で７３μｍであった。なお、緑色蛍光体の表面に付着する青色及び赤色蛍光体は２００μｍ長さ当りに１ないし２個見られる程度であり、青色蛍光体の表面に付着する赤色蛍光体は、ガラスパネル内面１０６の中央部ではほとんど見られず、ガラスパネル内面１０６の周辺部で数個観察された。
【００８８】
（比較例１）
本比較例１では、蛍光体沈降のためのガラスパネル自転回転数を１５ｒｐｍとした以外はすべて実施例１と同様とした。得られた緑色蛍光体のストライプサイズは、ガラスパネル内面１０６の中央部で６９μｍ、周辺部で６６μｍであった。ブラックマトリクス上への緑色蛍光体の付着はガラスパネル内面１０６の全面で２００μｍ長の範囲で約１０個程度見られた。
【００８９】
また、緑色スラリー乾燥後のガラスパネル内面１０６には、図２４に示したようなガラスパネル内面１０６の中央部から周辺部へ向かって放射状の塗布ムラが観察された。なお、青色蛍光体のストライプサイズはガラスパネル内面１０６の中央部で７０μｍ、周辺部で６８μｍ、赤色蛍光体のストライプサイズはガラスパネル内面１０６の中央部で７６μｍ、周辺部で７１μｍであった。緑色蛍光体の表面に付着する青色及び赤色蛍光体は２００μｍ長当たりに数個見られる程度であったが、青色蛍光体の表面に付着する赤色蛍光体は、ガラスパネル内面１０６の全面に無数に見られた。
【００９０】
（比較例２）
本比較例２では、塗布ノズル１１１を図２５（Ａ），図２５（Ｂ），図２５（Ｃ）に示したような穴加工を施された従来のものとした以外は、すべて実施例１と同様とした。図２５（Ａ），図２５（Ｂ），図２５（Ｃ）に示した塗布ノズルは、吐出穴１０８が丸型であり、上記実施形態のようにＤ＞ｄの関係は満足していない。この場合には、塗布ノズル１１１から吐出されるスラリー１０５が一部横飛び現象を生じ、図２６に示したようにガラスパネル内面１０６上に未塗布部１１０，１１０ａ（１０９は塗布部）が残留し、引き続くガラスパネル回転処理によってももはやガラスパネル内面１０６の有効面全面をスラリー１０５で満たすことができなかった。
【００９１】
（比較例３）
本比較例３では、比較例２と同様に、塗布ノズルを図２５（Ａ），図２５（Ｂ），図２５（Ｃ）に示したような穴加工を施された従来のノズルにし、余剰スラリー１０５の排出時のガラスパネル自転回転数を１５０ｒｐｍとした以外は、すべて実施例１と同様とした。ガラスパネル内面１０６には、図２４で見られたのと同様な放射状の塗布ムラが観察された。
【００９２】
実施例１〜４、比較例１〜３の測定、評価結果を以下の表に示す。
まず、塗布パターン、カブリ（混色）の評価を以下の表１に示す。
【００９３】
【表１】
0003745859.tif 000002
【００９４】
表１において、塗布パターンの○印は塗布パターンが良好であることを示し、△印は塗布ムラがあることを示し、×印は、未塗装部があることを示す。また、Ｂ，Ｒ／Ｇは緑色蛍光体表面への青色蛍光体及び赤色蛍光体のカブリを、Ｒ／Ｂは青色蛍光体表面への赤色蛍光体のカブリを、Ｇ面はガラス内面１０６上への緑色蛍光体のカブリをそれぞれ示す。表中の数値は、２００μｍ当たりの、他色の蛍光体の付着個数を示す。
表１から分かるように、比較例１〜３はいずれも塗布パターンに不良があるのに対して、実施例１〜４はいずれも良好である。
【００９５】
次に、完成球の輝度評価を以下の表２に示す。
【表２】
0003745859.tif 000003
【００９６】
表２において、Ｒは赤色単色輝度、Ｂは青色単色輝度、Ｇは緑色単色輝度、Ｗは白色輝度をそれぞれ示し、すべて比較例１を１００％とした相対値を示す。表２から分かるように、実施例１〜４の輝度値は、いずれも比較例１〜３を上回っている。
【００９７】
なお、本発明の実施例では４１ｃｍガラスパネル１０３を用いたが、何等これに限定されるものではない。例えば、他のサイズであっても、塗布ノズルからのスラリー１０５の吐出量やノズル掃引速度等の調整により十分に本発明の適用が可能である。
【００９８】
また、スラリー１０５の塗布ノズル１０１のノズル先端部１０２に設けた突起部に加工された穴形状についても、本発明の実施例では六角形状であるが、塗布ノズル１０１からのスラリー１０５の液吐出が直線状であることを確保できれば、六角形状に限らない。
【００９９】
さらに、上記実施形態では、スラリー１０５を用いた膜形成に関するものについて説明したが、本発明はこれに限らず、陰極線管のガラスパネル内面に蛍光面形成用塗布液として、塗布されるその他の液、例えば、塗布液の接着性の向上、ぬれ性向上のために予め塗布するプリコート液、蛍光体形成孔を形成するための仮ドット形成用レジスト液、ブラックマトリックスを形成するためのグラファイト液、フィルミング用のラッカー液などの塗布についても用いることができる。また、本発明は、様々な粒子径の蛍光体を用いる場合においても良好に適用でき、蛍光面のパターンがドットパターンであっても、ストライプパターンであっても良好に適用することかできる。
【０１００】
【発明の効果】
本発明に係る液体塗布用ノズルは、内部に長手方向に延びる液体貯留部と、液体貯留部の底部に上記長手方向に沿って形成された、多数個の小孔またはスリットからなる内側吐出部とを有する第１ブロックと、第１ブロックの外側に上記長手方向に延びる気体貯留部を形成する内部空間とこの内部空間の底部に上記長手方向に沿って形成された、多数個の小孔またはスリットからなる外側吐出部とを有する第２ブロックとを備えているので、液体貯留部および気体貯留部を大きくすることができ、液体貯留部および気体貯留部の各上記長手方向の一端側と他端側とでの圧力差を小さくすることができ、内外側吐出部からの吐出量を上記長手方向で均一にすることができる。このため、ノズルの中の液体が内側吐出部から吐出されるとともに、気体貯留部中の気体が外側吐出部から吐出され、内側吐出部から流下する線状またはカーテン状の液体流を外側から囲う気体流を作る。このため、液体流がノズルの前後方向にずれずにまっすぐ流下して塗布対象物表面にムラなく達する。内側吐出部および外側吐出部が小孔であるときには、線状の液体流を筒状に囲う気体流が作られるため、液体流が、ノズルの前後方向にも左右方向にもずれずに、よりまっすぐ流下しやすい。
【０１０１】
本発明に係る液体塗布用ノズルは、第１ブロックと第２ブロックとがいずれも、内側吐出部の幅方向中心を上記長手方向に沿って通る鉛直面により分断された２分割体からなるので、ノズル孔の目詰まりなどトラブル発生時に容易に分解洗浄でき、安定吐出を容易に復帰再現できる。
本発明に係る液体塗布用ノズルは、内側吐出部と外側吐出部を構成する小孔の形状が細長い六角形であるので、液体流および気体流が旋回流となって真っ直ぐ流下し、曲がりにくくなる。
【０１０２】
本発明に係る液体塗布用ノズルでは、液体貯留部は、内側吐出部の位置が谷底となるような傾斜面を有するので、蛍光体などの粒子を含んでいる液体が液体貯留部に留まっている間に粒子が沈殿しても傾斜面に沿ってすべり落ち、液体貯留部内に留まらずに吐出部から吐出され、色ムラを起こしにくい。
本発明に係る液体塗布用ノズルでは、気体貯留部の断面形状が必要な強度を維持する限りで大きく取られているので、第１ブロックの強度が確保されるとともに気体貯留部内の長さ方向の一端側と他端側とで気体圧力差が小さくなり、気体流が安定する。
【０１０３】
本発明に係る液体塗布用ノズルは、内部に長手方向に延びる液体貯留部と、液体貯留部の底部に上記長手方向に沿って形成された、多数個の小孔またはスリットからなる吐出部とを有するブロックを備えているので、液体貯留部を大きくすることができ、液体貯留部の上記長手方向の一端側と他端側とでの圧力差を小さくすることができ、吐出部からの吐出量を上記長手方向で均一にすることができる。このため、ノズルの中の液体が吐出部から吐出され、線状またはカーテン状の液体流となってまっすぐに流下しやすい。このため、吐出された液体が塗布対象物表面にムラなく達することができる。吐出部が小孔であるときには、線状の液体流が作られ、まっすぐ流下しやすい。
【０１０４】
本発明に係る液体塗布用ノズルの製造方法は、第１ブロックと第２ブロックが内側吐出部の幅方向中心を上記長手方向に沿って通る鉛直面により分断された２分割体からなり、かつ、内側吐出部および／または外側吐出部が多数の小孔で構成されている本発明のノズルを製造する方法であって、小孔の加工が、液体貯留部および／または気体貯留部となる溝状空間を予め形成しておいた分割体２個を、溝状空間の開口面が同一面を形成するよう位置決めしておいて両分割体の上記小孔を構成するための小溝を同時切削することで行われるので、精度の良い多数の小孔で構成されている内側吐出部および／または外側吐出部を有するノズルを効率的に作ることができる。
【０１０５】
本発明に係る、液体塗布方法および液体塗布装置では、本発明のノズルの外側吐出部を塗布対象物に対面させて、外側吐出部を通して、塗布対象物に向けて気体流を吐出させつつ液体流を線状またはカーテン状に吐出させる間、塗布対象物とノズルとの少なくとも一方を上記長手方向と交差する方向に相対移動させる。このため、液体吐出量を調整することで、塗布ムラが少ない均一な薄い塗膜を液体の消費を抑えて短時間で形成できる。
【０１０６】
本発明に係る、液体塗布方法および液体塗布装置では、上記実施形態のノズルの吐出部を塗布対象物に対面させて、吐出部を通して、塗布対象物に向けて液体流を線状またはカーテン状に吐出させる間、塗布対象物とノズルとの少なくとも一方を上記長手方向と交差する方向に相対移動させる。このため、液体貯留部中の液体圧力により液体吐出量を調整することで、塗布ムラが少ない均一な薄い塗膜を液体の消費を抑えて短時間で形成できる。
【０１０７】
本発明に係る液体塗布装置では、液体貯留部に液体を循環供給する液体循環路を備えるとともに、この液体循環路を開閉する開閉部材をも備えるので、液体の循環を行ったり、あるいは、止めたりすることができる。このため、液体の吐出中には液体の循環を止めて圧力の安定化を図ることができ、また、液体の吐出停止中には液体の循環を行って粒子の沈降を防ぐことができる。
【０１０８】
本発明に係る陰極線管では、上記実施形態の液体塗布方法を使用してガラスパネルの裏面に蛍光体が塗布されてなるため、蛍光体層の厚みが均一になって色ムラがなくホワイトバランスの良いものとなる。
本発明に係る陰極線管は、上記実施形態の液体塗布装置を使用してガラスパネルの裏面に蛍光体が塗布されてなるため、蛍光体層の厚みが均一になって色ムラがなくホワイトバランスの良いものとなる。
【０１０９】
本発明に係る陰極線管の製造方法は、上記実施形態のノズルを使用して陰極線管のガラスパネル内面に、蛍光面形成用塗布液として、塗布液の接着性向上、ぬれ性向上のために予め塗布するプリコート液、蛍光体形成孔を形成するための仮ドット形成用レジスト液、ブラックマトリックスを形成するためのグラファイト液、蛍光体懸濁液、フィルミング用のラッカー液の少なくとも１つを塗布する工程を含む。このため、例えば、蛍光体層形成用孔サイズに塗布対象物の中央部と周辺部とで差がなく均一になる（パターン形成用レジスト液を塗布した場合）か、および／または、ブラックマトリックスの色ムラが生じず画面の分解能が向上する（ブラックマトリックスを構成するための黒色着色剤入り液を塗布した場合）か、および／または、蛍光体層の厚みが均一になって色ムラがなくホワイトバランスが良い高輝度の（蛍光体層を構成するための蛍光体懸濁液を塗布した場合）陰極線管を製造できる。
【０１１０】
以上のように、本発明の塗布ノズルおよび陰極線管の製造方法によれば、線状の塗布ノズルを用いて、かつ蛍光面形成の塗布スケジュールを最適化することにより塗布パターンの均質な蛍光面を高いレベルで実現するとともに、高輝度の陰極線管を供給することができる。したがって、本発明は、今後のディスプレイの高精細度化や大画面化等に対しても十分に対応可能であり、非常に有用な発明である。
なお、明細書、請求の範囲、図面、要約書を含む１９９６年２月２１日に出願された日本特許出願第８−３３３９１号及び１９９６年１０月１４日に出願された日本特許出願第８−２７１１０４号に開示されたものの総ては、参考としてここに総て取り込まれるものである。
本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態による液体塗布用ノズルの構成を示す斜視図。
【図２】  上記第１実施形態のノズルの断面図。
【図３】  上記第１実施形態のノズルの部分拡大横断面図。
【図４】  上記第１実施形態のノズルの部分拡大縦断面図。
【図５】  上記第１実施形態のノズルの底面図。
【図６】  上記第１実施形態のノズルの第１ブロック製造時を示す斜視図。
【図７】  上記第１実施形態のノズルの第２ブロック製造時を示す斜視図。
【図８】  上記第１実施形態の一部分の分解斜視図。
【図９】  上記第１実施形態の一部分の分解斜視図。
【図１０】  上記第１実施形態のノズルの一部分解・破断斜視図。
【図１１】  本発明の第２実施形態のノズルの底面図。
【図１２】  上記第２実施形態のＸ−Ｘ部分拡大断面図。
【図１３】  本発明の第３実施形態の液体塗布装置の構成を示す斜視図。
【図１４】  上記第３実施形態の側面一部破断図。
【図１５】  第１１実施形態のノズルの断面図。
【図１６】  第１１実施形態の変形例のノズルの断面図。
【図１７】  ノズルの小孔の様々な変形例の底面図。
【図１８】  本発明の実施形態のノズルによる塗布動作でのガラスパネルの状態を示す説明図。
【図１９】  本発明の実施形態による余剰液排出及び乾燥動作でのガラスパネルの状態を示す説明図。
【図２０】  ガラスパネルの傾斜及び回転機構を示す概略図。
【図２１】  本発明の実施形態にかかるノズルによる塗布、蛍光体引き延ばし、余剰液排出、乾燥の工程のフローチャート
【図２２】  （Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、本発明の第１３実施形態の塗布ノズルの正面図、底面図、側面図、
【図２３】  本発明の第１４実施形態のスラリーの塗布方法を示す概略図。
【図２４】  比較例のスラリーの塗布パターンの一例を示す図。
【図２５】  （Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、従来の塗布ノズルの一例を示す正面図、底面図、側面図。
【図２６】  比較例のスラリーの塗布パターンの一例を示す図である。
【符号の説明】
４，４ａ，１２４  液体塗布用ノズル、
４１  第１ブロック
４２  第２ブロック
４３  液体貯溜部
４４，４８  小孔
４６  気体貯溜部
【図１】
0003745859.tif 000004
【図２】
0003745859.tif 000005
【図３】
0003745859.tif 000006
【図４】
0003745859.tif 000007
【図５】
0003745859.tif 000008
【図６】
0003745859.tif 000009
【図７】
0003745859.tif 000010
【図８】
0003745859.tif 000011
【図９】
0003745859.tif 000012
【図１０】
0003745859.tif 000013
【図１１】
0003745859.tif 000014
【図１２】
0003745859.tif 000015
【図１３】
0003745859.tif 000016
【図１４】
0003745859.tif 000017
【図１５】
0003745859.tif 000018
【図１６】
0003745859.tif 000019
【図１７】
0003745859.tif 000020
【図１８】
0003745859.tif 000021
【図１９】
0003745859.tif 000022
【図２０】
0003745859.tif 000023
【図２１】
0003745859.tif 000024
【図２２】
0003745859.tif 000025
【図２３】
0003745859.tif 000026
【図２４】
0003745859.tif 000027
【図２５】
0003745859.tif 000028
【図２６】
0003745859.tif 000029