(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クラッド主面に設けられた溝部にコアが形成された光通信用の光導波路ユニットの製造方法であって、
互いに対向する一対の主面とその一端で該一対の主面に接する端面とを有する板状部材と、第１面と該第１面の一端に接する第２面とを有する複数の固定用部材とを準備し、該板状部材の該一対の主面の各々に該複数の固定用部材の該第１面を当てて該板状部材を該複数の固定用部材ではさみ且つ該板状部材の該端面と該一対の主面の該一端側にある一部分の各々を該固定用部材の該第２面から突出させて成形治具を組み立てる第１のステップと、
前記成形治具を加熱して前記クラッドを形成するためのプラスチック材を軟化させ、該プラスチック材を加圧して前記複数の固定用部材の前記第２面及び該第２面から突出した前記板状部材の前記一端を該プラスチック材で覆い、その後、該プラスチック材を硬化して該複数の固定用部材の該第２面により形成された表面に該板状部材の該一端により形成された溝部を有する該クラッドを成形する第２のステップと、
前記クラッドを前記成形治具から分離する第３のステップと、
前記クラッドの前記表面にプラスチックシート材に結合して該表面における前記溝部の第１開口を覆い、該クラッド表面と該プラスチックシート材とにより規定される該溝部の一端における第２開口を漏れ止め部材で塞ぐ第４のステップと、
前記クラッドを前記溝部の前記一端が下方に位置するように配置し、該クラッド表面と前記プラスチックシート材とにより規定される該溝部の他端における第３開口から該溝部内に樹脂を重力方向に注入して該溝部を樹脂で充填し、且つ該樹脂を該溝部の該一端から該他端に向けて順次硬化させてコアを構成する第５のステップと、
をこの順に行うことを特徴とする光導波路ユニットの製造方法。
【請求項２】
前記プラスチックシート材は光透過性の材料から成り、
前記樹脂として紫外線硬化樹脂を用い、
前記第５のステップにおいて、前記溝部に注入された該樹脂に紫外線を該プラスチックシート材を通して照射することにより硬化させて、前記クラッド及び該プラスチックシート材よりも光の屈折率が高い前記コアを形成する請求項１に記載の光導波路ユニットの製造方法。
【請求項３】
前記第１のステップにおいて、前記固定用部材の前記第１面に対向する斜面部に外力を与えて前記板状部材を該固定用部材の該第１面で固定する請求項１または請求項２に記載の光導波路ユニットの製造方法。
【請求項４】
前記プラスチックシート材として、その光の屈折率が前記クラッドと略等しいものを用いる請求項１から３のいずれかに記載の光導波路ユニットの製造方法。
【請求項５】
前記第５のステップにおいて、前記紫外線を、前記溝部に対して、その前記延在方向の一端から前記延在方向の他端に向けて相対移動させながら該溝部に注入された前記樹脂に前記プラスチックシート材を通して照射する請求項２に記載の光導波路ユニットの製造方法。
【請求項６】
クラッド主面に設けられた光導波路用の溝が形成された光通信用の光導波路ユニットの該クラッド主面を成形する光導波路ユニット成形用型であって、
互いに対向する一対の主面とその一端で該一対の主面に接する端面とを有する板状部材と、
第１面と該第１面の一端に接する第２面とを有する複数の固定用部材と、を備え、
前記板状部材と前記複数の固定用部材とは、該板状部材の前記一対の主面の各々に該複数の固定用部材の前記第１面を夫々当てて該板状部材を該複数の固定用部材ではさみ且つ該板状部材の該端面と該一対の主面の該一端側にある一部分の各々とを該固定用部材の該複数の固定用部材の該第２面から夫々突出させて組み立てられて、前記クラッドを成すプラスチック材が軟化され且つ加圧される加工面を該固定用部材の該第２面と該板状部材の該一端とで成し、
前記複数の固定用部材の前記第２面と、該第２面から突出する前記板状部材の前記一端を成す前記端面並びに前記主面の一部分とは、前記加工面を覆う前記プラスチック材の硬化で成形される前記クラッド主面と前記溝部との形状を決め、
前記複数の固定用部材の前記第１面の前記板状部材の前記主面に当てられる部分には逃げ部が夫々形成されていることを特徴とする光導波路ユニット成形用型。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバなどに結合される光通信用の光導波路ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光ファイバに結合される光通信用の光導波路ユニット等の光部品には、光伝送損失と伝送帯域の点からガラス系無機材料が使用されている。しかし、最近では、加工性や価格の点で無機材料よりも有利なプラスチック系材料が光導波路用材料として注目され、種々のプラスチック材や製造方法の開発が行われている。例えば、特開平８−３１３７４７号公報や特開平９−１８９８１８号公報には、光導波路用材料としてプラスチック材を用い、露光技術を利用して製作する関連技術が記載されている。また、特開昭６３−１３９３０４号公報には、断面積の大きな光導波路を製造するための技術として、金型を使用する技術が記載されている。図９に、該公報記載の技術の概略を示す。同図（ａ）〜（ｅ）は光導波路ユニットの製造過程であって、（ａ）一部が突起状になった金型１を用意する、（ｂ）金型１の突起部１ａを転写してクラッド２'に溝を形成する、（ｃ）該溝にコア材を注入して固化し、コア３とする、（ｄ）クラッド面とコア面とを平坦にするようにクラッド２'の表面を研削加工する、（ｅ）加工面上に上クラッド４を接着する、を経て光導波路ユニットを製造する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術のうち、露光技術を用いるものでは、溝深さを数十ミクロン以上とする断面積の大きな光導波路の形成は精度が不十分となるおそれがある。また、特開昭６３−１３９３０４号公報記載のような金型を用いる技術では、金型１の突起部１ａを切削加工により形成するため、該突起部１ａの側面１ａ１（図１０）の面粗さ精度を確保できなかったり、該突起部１ａの側面１ａ２の根本部と金型平面との角１ａ２（図１０）に丸みが付いてしまいクラッド２'の溝の開口部のダレの原因となったりする。さらに、コア材の固化収縮分の補填を目的に、クラッド２'の溝内に液状のコア材を余剰に注入した場合には、クラッド２'とコア３とを平坦にするための研削加工などの後加工が必要（上記図９（ｄ））で、これを行うと、加工時において工具から与えられる力により、クラッド２'の溝側面とコア３との間に隙間が発生し易い。これら、突起部１ａの側面１ａ１などの不十分な面精度や、該突起部１ａの根本部の角の丸みによる溝開口部のダレや、クラッド２'の溝側面とコア３との間の隙間などはいずれも、光導波路ユニットにおける光伝送損失を増大させる要因となる。
本発明の課題点は、上記従来技術の状況に鑑み、光導波路ユニット技術において、コアやクラッドにプラスチック材を用いた場合にも、深さ数十ミクロン以上の光導波路断面を有する光導波路ユニットを、容易かつ安価に製作でき、光伝送損失の増大も抑えられるようにすることである。そのためには、クラッドの溝形成用の型の精度を簡易構成下で確保するとともに、コアの後加工を不要にすることが必要条件となる。
本発明の目的は、かかる課題点を解決できる技術の提供にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題点を解決するために、本発明では、基本的には、光導波路ユニットのクラッド（第１の部材）製作用の成形型としては、板状部材の両面を複数の固定用部材（コマ）ではさみ該板状部材の一部が該固定用部材の端面から突出するようにした構成のものを用いる。クラッド（第１の部材）としては、該板状部材の突出部と該固定用部材の端面とをプラスチック材で覆い、該板状部材の突出部により該プラスチック材の表面に溝部を形成して硬化させた構成とする。さらに、第２の部材を該クラッド（第１の部材）に結合して上記溝部を覆った後、上記溝部内にコア材としての紫外線硬化樹脂等を注入し硬化させ、コア材を内蔵した光導波路ユニットの状態にする。具体的には、（１）光導波路ユニットとして、溝部（該当実施例：符号２Ｇ）を有しプラスチック材で構成された第１の部材（該当実施例：符号２）と、光透過性の材料から成り、上記第１の部材に結合されて上記溝部を覆う第２の部材（該当実施例：符号１４）と、上記溝部に設けられ上記第１の部材及び上記第２の部材よりも光の屈折率が高いプラスチック材で構成されたコア（該当実施例：符号３）と、を備えて成り、上記溝部のコア中を光信号が導かれるようにした構成とする。（２）上記（１）において、上記コアを、紫外線硬化樹脂で構成する。（３）上記（１）において、上記第１の部材を、上記溝部の側面の平均面粗さが１０×１０-9ｍ以下である構成とする。（４）上記（１）において、上記第２の部材を、光の屈折率が上記第１の部材と略等しいプラスチック材で構成する。（５）光導波路ユニットの製造方法として、板状部材の両面を複数の固定用部材ではさみ、該板状部材の一部が該固定用部材の端面から突出する状態にする第１のステップ（該当実施例：符号Ｓ６０１）と、該板状部材の突出部と該固定用部材の端面とをプラスチック材で覆い、該板状部材の突出部により該プラスチック材の表面に溝部を形成して第１の部材を構成する第２のステップ（該当実施例：符号Ｓ６０２）と、該第１の部材を上記板状部材及び上記固定用部材から分離する第３のステップ（該当実施例：符号Ｓ６０３）と、第２の部材を上記第１の部材に結合し上記溝部を覆う第４のステップ（該当実施例：符号Ｓ６０４）と、上記溝部内に樹脂を注入し、硬化させてコアを構成する第５のステップ（該当実施例：符号Ｓ６０６）とを経て光導波路ユニットを製造する。（６）光導波路ユニットの製造方法として、板状部材の両面を複数の固定用部材ではさみ、該板状部材の一部が該固定用部材の端面から突出する状態にする第１のステップ（該当実施例：符号Ｓ６０１）と、該板状部材の突出部と該固定用部材の端面とをプラスチック材で覆い、該板状部材の突出部により該プラスチック材の表面に溝部を形成して第１の部材を構成する第２のステップ（該当実施例：符号Ｓ６０２）と、該第１の部材を上記板状部材及び上記固定用部材から分離する第３のステップ（該当実施例：符号Ｓ６０３）と、光透過性の材料から成る第２の部材を上記第１の部材に結合し上記溝部を覆う第４のステップ（該当実施例：符号Ｓ６０４）と、上記溝部内に紫外線硬化樹脂を注入し、該注入した紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し該樹脂を硬化させ、上記第１の部材、第２��部材よりも光の屈折率が高いコアを構成する第５のステップ（該当実施例：符号Ｓ６０６）と、を経て光導波路ユニットを製造する。（７）上記（５）または（６）において、上記第１のステップでは、上記固定用部材の斜面部に外力を与えて上記板状部材を固定する。（８）上記（５）または（６）において、上記第２のステップでは、上記プラスチック材を加熱し軟化させた状態で上記板状部材の突出部と上記固定用部材の端面と覆って上記溝部を形成し、該形成後、該プラスチック材を冷却して硬化させる。（９）上記（５）または（６）において、上記第４のステップでは、上記第２の部材として光の屈折率が上記第１の部材と略等しいものを用いる。（１０）上記（６）において、上記第５のステップでは、上記紫外線を、上記第２の部材を介しかつ上記溝部の長手方向に対し相対移動させる状態で上記注入した紫外線硬化樹脂に照射する。（１１）光導波路ユニットを製造するための光導波路ユニット成形用型として、板状部材（該当実施例：符号５、２５、２６）と、該板状部材の両面をはさみ、端部を所定量突出させた状態で該板状部材を固定する複数の固定用部材（該当実施例：符号６、７、２７、２８、２９）とを備え、上記突出部で光導波路用溝部を形成可能にした構成とする。（１２）上記（１１）において、上記固定用部材を、それぞれが、上記板状部材に対向する面側に逃げ部（該当実施例：符号６'、７'、２７'、２８'、２８''、２９'）を有し、複数個の面で該板状部材に接触する構成とする。（１３）光導波路ユニットを備えた光通信機器として、該光導波路ユニットが、溝部を有しプラスチック材で構成された第１の部材と、光透過性の材料から成り上記第１の部材に結合されて上記溝部を覆う第２の部材と、上記溝部に設けられ上記第１の部材及び上記第２の部材よりも光の屈折率が高いプラスチック材で構成されたコアとを備えて成り、上記溝部のコア中を光信号が導かれるようにした構成とする。上記それぞれにおいて、上記板状部材、上記固定用部材は、それぞれ、端面を含め表面を予め高精度に加工されたものを用いる。
上記板状部材は、成形加工において、上記第１の部材の表面に上記溝部を形成する。上記第２の部材は、上記第１の部材に結合されることにより上記溝部を覆い上記コア材の注入される空間を形成するとともに、注入後のコアの研削等の後加工を不要にする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例につき、図面を用いて説明する。
図１〜図６は、本発明の第１の実施例の説明図である。
本実施例は、１本の直線状の光導波路を有する光導波路ユニットの例である。図１は、第１の部材としてのクラッドを製作するための成形型の構成例、図２は、図１の成形型を用いてクラッドを製作するときの成形治具の構成例、図３は、図２の治具で製作されたクラッド、図４は、該製作したクラッドの溝部内に、液状など流動性を有するコア材を注入して硬化させてコアを形成する装置の構成例、図５は、図４の装置で製作された光導波路ユニットの断面、図６は、光導波路ユニットを製作する手順例を示すフロー図である。
図１において、５は板状部材、６、７は、板状部材５の両面をはさみ固定する固定用部材としてのコマ、６'はコマ６の板状部材接触面側に設けた逃げ部、７'はコマ７の板状部材接触面側に設けた逃げ部、８は、上記コマ７に斜面部３６を介して外力を与える押さえ部材、９は、上記コマ６に斜面部３５を介して外力を与える外枠部材である。板状部材５及びコマ６、７は、端面を含め表面を予め高精度に加工されている。コマ６、７の板状部材５への接触面は長手方向に直線状にされている。このため、板状部材５はコマ６、７によってはさまれて固定された状態においては、該コマ６、７の端面から所定の高さで突出した該板状部材５の突出部も長手方向に直線状となる。押さえ部材８は、図において下方に移動することで、斜面部３６を介しコマ７に外力を与える。外枠部材９は斜面部３５を介しコマ６に外力を与える。コマ６、７はそれぞれ、隙間のない状態で板状部材５の両面に接して該板状部材５を固定する。コマ７の逃げ部７'は、押さえ部材８から与えられる外力を該逃げ部７'の両側の接触面に分配しそれぞれの接触面での板状部材５との接触の面圧を高める。同様に、コマ６の逃げ部６'は、外枠部材９から与えられる外力を該逃げ部６'の両側の接触面に分配しそれぞれの接触面での板状部材５との接触の面圧を高める。逃げ部６'、７'は、板状部材のそり等も吸収する。
【０００６】
図２において、２ｐは、第１の部材としてのクラッドを形成するためのプラスチック材、１０は下側基材、１１は上側基材、１２は上側基材１１に設けた穴部、１３はねじである。他の部分は上記図１と同様である。成形治具としては、ねじ１３により、押さえ部材８を図の下方に移動させることで、コマ７に対し斜面部３６を介して外力を与え、板状部材５を、コマ６、７間に所定の位置及び姿勢で固定した状態とする。かかる状態の成形治具を加熱し、所定の温度に達したら、上側基材１１の穴部１２内にプラスチック材２ｐを入れ、熱により該プラスチック材２ｐを軟化させ、加圧して、板状部材５の突出部とコマ６、７の端面とを該プラスチック材２ｐが覆うようにし、次に、冷却して該プラスチック材２ｐを硬化させる。硬化後、該プラスチック材２ｐを成形治具から取出して第１の部材としてのクラッド２とする。
【０００７】
図３は、上記図２の成形治具により製作されたクラッド２の外観を示す。溝部２Ｇは板上部材５の突出部とコマ６、７の端面によって形成される。本実施例では、板上部材５の突出部及びコマ６、７の端面は予め高精度に加工されたものを組合わせてあるため、該溝部２Ｇは、溝寸法及び側面や底面の面粗さや平坦度等は所定の範囲内になっている。例えば、該溝部２Ｇの側面や底面の平均面粗さを１０×１０-9ｍ以下とすると光伝送損失の増大を抑えられる。
【０００８】
図４は、上記製作したクラッド２の溝部２Ｇ内にコア材を注入し硬化させてコアを形成する装置の構成例である。本図４は、クラッド２が装着されたときの状態を示す。図４において、３'はコア材としての液状の紫外線硬化樹脂、１８は紫外線硬化樹脂３'を保持するシリンダ、１４は、クラッド２に結合され溝部２Ｇを覆う第２の部材としての光透過性のプラスチックシート材、１５は、該プラスチックシート材１４を押さえるためのガラス板、１６は、クラッド２が取付けられ、図の上下方向に移動するスライダ、１７は、該スライダ１６を支持する支持部材、２０は、紫外線硬化樹脂３'を硬化させるために照射される紫外線、２１は該紫外線２０の光源としてのランプ、２２、２３は遮蔽板、２４は、遮蔽板２２、２３間に形成されるスリット、１９は、溝部２Ｇ内に注入された液状の紫外線硬化樹脂を漏れないようにする漏れ止め部材、３ａ'は、溝部２Ｇ内に注入された紫外線硬化樹脂のうち硬化しない状態のもの、３ｂ'は硬化したものである。本実施例では、上記プラスチックシート材１４はクラッド２と同じ材質のものとする。また、紫外線硬化樹脂は、光の屈折率が上記クラッド２や上記プラスチックシート材１４よりも高いものを用いる。上記構成において、シリンダ１８に圧力を付加し、クラッド２の溝部２Ｇ内に紫外線硬化樹脂３’を重力方向に注入し、注入時に、または該注入の完了後に、溝部２Ｇ内の紫外線硬化樹脂に紫外線２０を、ガラス板１５及びプラスチックシート材１４を介して照射し、該紫外線硬化樹脂を硬化させる。このとき、紫外線２０は、スリット２４からクラッド２の溝部２Ｇに対し部分的に照射され、図の上から下へのスライダ１６の移動により、紫外線２０が、溝部２Ｇ内の紫外線硬化樹脂に対し、溝部２Ｇの下方にある部分から順次照射されるようにする。これによって、クラッド２の溝部２Ｇ内の紫外線硬化樹脂は下方側から順に硬化する。すなわち、未硬化の溝部の上端部にコア材料を補充することによって、溝部２Ｇの長手方向にコアが形成される。最終的に溝上端部に空隙が発生した場合にはその部分を切除してもよい。なお、スリット２４は、遮蔽板２２、２３の相互位置をずらすことにより、その大きさを変えられる。
【０００９】
図５は、図４の装置で製作された光導波路ユニットの外観図である。図５において、２は、溝部を有しプラスチック材で構成された第１の部材としてのクラッド、１４は、光透過性の材料から成り、上記クラッド２に結合されて上記溝部を覆う第２の部材としてのプラスチックシート材、３は、上記クラッド２の溝部に設けられ該クラッド２及び上記プラスチックシート材１４よりも光の屈折率が高い紫外線硬化樹脂で形成されたコアである。該コアは成形後の後加工は不要である。
【００１０】
図６は、上記図１〜図５で説明した光導波路ユニットの製作手順を示すフロー図である。
図６において、
（１）板状部材６の両面を複数の固定用部材としてのコマ６、７ではさみ、該板状部材５の一部が該コマ６、７の端面から突出する状態にする（ステップＳ６０１）。板上部材５及びコマ６、７は、予め高精度に加工されたものを用いる。（２）成形治具における加熱、加圧等により、上記板状部材５の突出部と該コマ６、７の端面とをプラスチック材で覆い、該板状部材５の突出部により該プラスチック材の表面に溝部２Ｇを形成して第１の部材としてのクラッド２を構成する（ステップＳ６０２）。
（３）上記クラッド２を上記板状部材５及び上記コマ６、７から分離する（ステップＳ６０３）。
（４）光透過性の材料から成る第２の部材としてのプラスチックシート材１４を上記第１の部材としてのクラッド２に結合し上記溝部２Ｇを覆う（ステップＳ６０４）。
（５）クラッド２にプラスチックシート材１４を結合したアセンブリを、コア形成用装置のステージ（スライダ１６）に取付ける（ステップＳ６０５）。
（６）上記溝部２Ｇ内に紫外線硬化樹脂を注入し、該注入した紫外線硬化樹脂に紫外線２０を照射し該樹脂を硬化させ、上記クラッド２、上記プラスチックシート材１４よりも光の屈折率が高いコアを構成する（ステップＳ６０６）。
（７）コア形成したものをコア形成用装置のステージ（スライダ１６）から取外し、光導波路ユニットとする（ステップＳ６０７）。
【００１１】
上記第１の実施例によれば、平面や端面を予め所定の精度にした板状部材５と複数のコマ６、７とを組合わせた成形型によりクラッド２を形成するため、（ａ）該クラッド２の溝部２Ｇの側面や底面の面粗さの所定の精度を容易に確保できるとともに、（ｂ）溝部２Ｇの開口部のダレも抑えられる。また、コア３の成形後の加工が不要なため、（ｃ）コア３とクラッド２の溝部２Ｇの内面との間に隙間が生ずることも抑えられる。また、上記図４の装置構成においては、クラッド２の溝部２Ｇ内に紫外線硬化樹脂３’を重力方向に注入して硬化させるため、該樹脂の固化収縮を重力方向すなわち溝部２Ｇの長手方向に発生させることができる。この点からも、コア３とクラッド２の溝部２Ｇの内面との間に隙間が発生するのを抑えることができる。これらの結果として、光伝送損失の増大を抑えられる。（ａ）に関し、表面精度は、例えば、従来技術では平均面粗さが約５０×１０-9ｍであったものを、上記第１の実施例構成では約５×１０-9ｍにできる見通しである。また、（ｂ）に関し、溝部２Ｇの開口部のダレ（丸み）は、例えば、従来技術では曲率半径が約５０×１０-6ｍであったものを、上記第１の実施例構成ではほとんど０にできる見通しである。さらに、（ｃ）に関し、コア３とクラッド２の溝部２Ｇの内面との間の隙間は、例えば、従来技術では約２×１０-6ｍであったものを、上記第１の実施例構成ではほとんど０にできる見通しである。これら（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の改善の結果、光伝送損失は、例えば、従来技術では約１ｄＢ／１０-2ｍであったものを、上記第１の実施例構成では約０．３ｄＢ／１０-2ｍにできる見通しである。また、製作も容易かつ安価にできる。製品及び製作過程における部品の信頼性も高められる。
【００１２】
図７、図８は、本発明の第２の実施例の説明図である。
本実施例は、１本の直線状の第１の光導波路と、該第１の光導波路から分岐した曲線条の第２の光導波路を有する光導波路ユニットの場合の例である。図７は、本実施例の光導波路ユニットの第１の部材としてのクラッドを成形するための成形型の平面構成例図、図８は、図７の構成の側面図である。
図７、図８において、２５は、直線状の第１の光導波路を形成するための第１の板状部材、２６は、曲線状の第２の光導波路を形成するための第２の板状部材、２７、２８、２９は、板状部材２５、２６の両面をはさみ固定する固定用部材としてのコマ、２７'は、コマ２７の板状部材２５との接触面側に設けた逃げ部、２８'は、コマ２８の板状部材２５との接触面側に設けた逃げ部、２８''は、コマ２８の板状部材２６との接触面側に設けた逃げ部、２９'は、コマ２９の板状部材２６との接触面側に設けた逃げ部である。板状部材２５、２６及びコマ２７、２８、２９はそれぞれ、端面を含め表面を予め高精度に加工されている。コマ２７、２８、２９の板状部材２５への接触面は長手方向に直線状にされている。このため、板状部材２５はコマ２７、２８、２９によってはさまれ押されて固定された状態においては、該コマ２７、２８、２９の端面から所定の高さで突出した突出部も長手方向に該コマ２７、２８、２９の接触面に沿った直線状となる。一方、コマ２８、２９の板状部材２６への接触面は長手方向に曲線状にされている。このため、板状部材２６はコマ２８、２９によってはさまれ押されて固定された状態においては、該コマ２８、２９の端面から所定の高さで突出した突出部も長手方向に該コマ２８、２９の曲面状接触面に沿った曲線状となる。該コマ２７、２８、２９は、上記第１の実施例の場合と同様、外枠部材と、可動式の押さえ部材とから外力を供給されるようになっている。上記各コマコマ２７、２８、２９の各逃げ部２７'、２８'、２８''、２９'はそれぞれ、押さえ部材と外枠から与えられる外力を該逃げ部の両側の接触面に分配しそれぞれの接触面での板状部材２５、２６との接触の面圧を高めるとともに、板状部材２５、２６それぞれのそり等も吸収する。
本第２の実施例の場合も、上記第１の実施例と同様、図２に示すような成形治具によりクラッドを製作し、図４に示すような装置によりコアを形成して光導波路ユニットを製作する。
【００１３】
上記第２の実施例によれば、上記第１の実施例の場合と同様、平面や端面を予め所定の精度にした板状部材２５、２６と複数のコマ２７、２８、２９とを組合わせた成形型によりクラッドを形成するため、（ａ）該クラッドの溝部の側面や底面の面粗さの所定の精度を容易に確保できるし、また、（ｂ）溝部の開口部のダレも抑えられる。また、コアに対し、成形後の加工が不要なため、（ｃ）コアとクラッドの溝部の内面との間の隙間発生も抑えられる。また、クラッドの溝部内に紫外線硬化樹脂を重力方向に注入して硬化させるようにするため、該樹脂の固化収縮を重力方向すなわち溝部の長手方向に発生させるようにでき、この点からも、コアとクラッドの溝部の内面との間に隙間を発生しにくくすることができる。これらの結果、光伝送損失の増大を抑えられる。（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に関しての定量的な改善幅も、上記第１の実施例の場合と同様にできる。また、容易かつ安価に製作でき、かつ信頼性も高められる。
【００１４】
なお、上記各実施例では、コア材として紫外線硬化樹脂を用いたが、本発明はこれに限定されない。光導波路の数や形状、コマ数なども、上記実施例の構成に限定されない。
さらに、本発明の適用範囲は、深さ数十ミクロン以上の光導波路断面を有する光導波路ユニットに限定されない。
【００１５】
【発明の効果】
本発明によれば、光通信用の光導波路ユニットを容易かつ安価に製作でき、光伝送損失の増大も抑えられる。また、信頼性も高められる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例におけるクラッド成形型の構成例図である。
【図２】図１の成形型を用いたクラッド成形治具の構成例図である。
【図３】図２の治具で製作したクラッドの外観図である。
【図４】本発明の第１の実施例におけるコア形成用装置の構成例図である。
【図５】図４の装置で製作された光導波路ユニットの断面図である。
【図６】本発明の第１の実施例の光導波路ユニットを製作する手順の例を示すフロー図である。
【図７】本発明の第２の実施例におけるクラッド成形型の平面構成例を示す図である。
【図８】図７のクラッド成形型の側面図である。
【図９】従来技術例を示す図である。
【図１０】従来技術の課題点の説明図である。
【符号の説明】
１…金型、  ２、２'…クラッド、  ３…コア、  ５、２５、２６：板状部材、  ６、７、２７、２８、２９…コマ、  ６'、７'、２７'、２８'、２８''、２９'…逃げ部、  ８…押さえ部材、  ９…外枠部材、  １４…プラスチックシート材、  １５…ガラス板、  １６…スライダ、  １７…支持部材、  １９…漏れ止め部材、  ２０…紫外線、  ２１…ランプ、  ２２、２３…遮蔽板、  ２４…スリット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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