(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子の進行方向に、上流側から第１の電極、第２の電極および第３の電極の順で配列された第１ないし第３の電極を有していて、第１の電極と第２の電極との間および第２の電極と第３の電極との間で荷電粒子を２段階に分けて加速または減速する静電加速管において、前記第２の電極を、荷電粒子の経路を挟んで相対向していて互いに異なる電位が与えられて荷電粒子を偏向させる二つの電極体に分けて構成すると共に、前記第３の電極を、前記偏向後の特定エネルギーを有する荷電粒子の軌道に沿って配置していることを特徴とする静電加速管。
【請求項２】
前記荷電粒子は正イオンであり、前記二つの電極体に分けて構成された第２の電極の内で、当該正イオンを偏向させる方向側の電極体には、相手側の電極体よりも低い電位が与えられる請求項１記載の静電加速管。
【請求項３】
前記荷電粒子は負イオンであり、前記二つの電極体に分けて構成された第２の電極の内で、当該負イオンを偏向させる方向側の電極体には、相手側の電極体よりも高い電位が与えられる請求項１記載の静電加速管。
【請求項４】
請求項１、２または３記載の静電加速管を備えていて、イオンを当該静電加速管を通してターゲットに入射させるように構成されているイオン注入装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば正イオン、負イオン等の荷電粒子を加速または減速する静電加速管およびそれを備えるイオン注入装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
荷電粒子の一種であるイオン（以下においては、断りがない場合は正イオン）を加速または減速する従来の静電加速管を備えるイオン注入装置の一例を図５に示す。
【０００３】
このイオン注入装置は、イオン源２からイオン（具体的にはイオンビーム）４を引き出し、質量分離マグネット６によって所望の種類のイオンだけを取り出し、更に静電加速管１０で加速または減速して所望のエネルギーにして、所望の種類およびエネルギーのイオン４をホルダ１６に保持されたターゲット（例えば半導体ウェーハ等の基板）１４に入射させてイオン注入を行うように構成されている。従来の静電加速管１０は、イオン４の進行方向に直線的に配列された複数の電極１１を有している。
【０００４】
なお、イオン源２の出口からホルダ１６までのイオン４の経路は、真空容器内に収納されているが、ここではその図示を省略している。また、イオン４を走査する走査器等が設けられる場合もあるが、ここではその図示も省略している。図４においても同様である。
【０００５】
上記のようなイオン注入装置においては、イオン４が例えば質量分離マグネット６の出口から静電加速管１０の出口に至る間に、下記のような現象によって、静電加速管１０から出て来るイオン４に、所望の（目的の）エネルギーとは異なるエネルギーを有するイオンや中性粒子が混入する。このような混入現象を、エネルギーコンタミネーションと呼ぶ。
【０００６】
（１）イオン４が残留ガスと衝突することによる荷電変換によって、イオン４の一部が中性粒子に変化する。中性粒子は、イオンと違って静電加速管１０で加速または減速されないので、これによって、所望のエネルギーとは異なるエネルギーを有する中性粒子が混入する。
【０００７】
（２）イオン４が残留ガスと衝突することによる荷電変換によって、イオン４の一部の価数が変化する。通常は価数が減少する。価数が変化すると、静電加速管１０に印加される電圧は一定であるので、静電加速管で加速または減速されるエネルギーに差が生じる。例えば、２価イオンが１価イオンに変化すると、静電加速管１０で加速されるエネルギーは半分になる。これによって、所望のエネルギーとは異なるエネルギーを有するイオンが混入する。
【０００８】
（３）イオン４が分子イオンである場合、分子解離によって、元のイオンでなくなる。例えば、ＢＦ2 イオンがＢＦイオンとＦイオンや、ＢイオンとＦ2 イオンとに解離する。分子解離によって生じた各イオンのエネルギーは、元のイオンのエネルギーよりも小さくなる。それらのエネルギーの和が、元のイオンのエネルギーに等しいからである。これによって、所望のエネルギーとは異なるエネルギーを有するイオンが混入する。
【０００９】
上記のようなエネルギーコンタミネーションが生じることは、イオン等の荷電粒子を利用する場合に好ましくない。例えば、イオン注入装置において、所望のエネルギーを有するイオンと共に、それとは異なるエネルギーを有するイオンや中性粒子がターゲット１４に注入されることは好ましくない。エネルギーが違うので、注入深さや注入分布が初期のものから変化して、注入特性が悪化するからである。
【００１０】
そこで上記のようなエネルギーコンタミネーションを抑制するために、従来は、図５に示す例のように、静電加速管１０の下流側に、特定のエネルギーを有するイオンを選別して導出する（即ちエネルギー分離機能を有する）エネルギー分離器１２を設置して、これによって所望エネルギーのイオンだけを取り出していた。このエネルギー分離器１２は、具体的には、偏向マグネットまたは静電偏向器である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記のようなエネルギー分離器１２を設置すると、それに関する分、イオン４の輸送距離が長くなるので、イオン４の輸送効率が低下する。これは、輸送距離が長くなると、輸送中におけるイオンの空間電荷による発散が大きくなってイオン４の損失が大きくなるからである。イオン以外の荷電粒子を輸送する場合も同様である。
【００１２】
そこでこの発明は、エネルギーコンタミネーションを抑制することができ、しかも荷電粒子の輸送距離を短くすることのできる手段を提供することを主たる目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る静電加速管の一つは、荷電粒子の進行方向に、上流側から第１の電極、第２の電極および第３の電極の順で配列された第１ないし第３の電極を有していて、第１の電極と第２の電極との間および第２の電極と第３の電極との間で荷電粒子を２段階に分けて加速または減速する静電加速管において、前記第２の電極を、荷電粒子の経路を挟んで相対向していて互いに異なる電位が与えられて荷電粒子を偏向させる二つの電極体に分けて構成すると共に、前記第３の電極を、前記偏向後の特定エネルギーを有する荷電粒子の軌道に沿って配置していることを特徴としている。
【００１４】
上記静電加速管によれば、二つの電極体に分けて構成された第２の電極の部分で荷電粒子を偏向させることができる。このときの偏向量は、偏向時の荷電粒子のエネルギーに依存するので、所望のエネルギーを有する荷電粒子とそうでないエネルギーを有する荷電粒子とを分離することができる。中性粒子は偏向されずに直進するので、これも分離することができる。即ち、上記静電加速管は、エネルギー分離作用を奏するので、所望エネルギーの荷電粒子を選別して導出することができ、エネルギーコンタミネーションを抑制することができる。
【００１５】
しかも、エネルギー分離作用と共に、荷電粒子を加速または減速する本来の作用をも奏し、これらの作用を一つの静電加速管において実現することができるので、従来のようにエネルギー分離器を別に設けなくて済む。従って、エネルギー分離器を別に設ける場合に比べて、荷電粒子の輸送距離を短くすることができ、それによって荷電粒子の輸送効率を向上させることができる。
【００１６】
また、第３の電極を、前記偏向後の特定エネルギーを有する荷電粒子の軌道に沿って配置しているので、特定のエネルギー、具体的には所望のエネルギーを有する荷電粒子を効率良く導出することができると共に、それ以外の荷電粒子や中性粒子を当該第３の電極で効率良く阻止することができるので、エネルギーコンタミネーションをより効果的に抑制することができる。
【００１７】
更に、荷電粒子を、第１と第２の電極間と、第２と第３の電極間の２段階に分けて加速することができ、その内の後段での加速前に荷電粒子を偏向させることができるので、偏向が容易になる。  
【００１８】
前記荷電粒子が正イオンの場合は、二つの電極体に分けて構成された第２の電極の内で、正イオンを偏向させる方向側の電極体に相手側の電極体よりも低い電位が与えられる。負イオンの場合には、これとは反対の電位が与えられる。
【００１９】
上記のような静電加速管を用いて、イオンを当該静電加速管を通してターゲットに入射させるイオン注入装置を構成しても良い。そのようにすれば、当該静電加速管によって上記のようにエネルギーコンタミネーションを抑制することができるので、エネルギーコンタミネーションによる注入特性の悪化を抑制することができる。しかも、当該静電加速管を用いることによって上記のようにイオンの輸送距離を短くすることができるので、イオンの輸送効率が向上し、ひいてはターゲットに対するイオン注入のスループットが向上する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明に係る静電加速管の一例を示す横断面図である。但し、イオン４は、簡略化して中心軌道のみを線で示している。図２は、図１の線Ａ−Ａに沿う縦断面図である。図３は、図１の線Ｂ−Ｂに沿う縦断面図である。
【００２１】
この静電加速管２０は、荷電粒子の一種であるイオン４を加速（加速モード時）または減速（減速モード時）するものであり、イオン４の進行方向に配列された第１ないし第５の電極２１〜２５を有している。これらの電極２１〜２５は、符号の若い順に上流側から下流側に向けて順に並べて配置されている。
【００２２】
イオン４は、例えば前述した質量分離マグネット６から導出されたイオンビームである。このイオン４は、この例では図２および図３に示すように、イオン４の進行方向に交差する縦方向Ｙに長い縦長断面のイオンビームであるが、これに限られるものではない。例えば、スポット状のイオンビームでも良いし、一定方向（例えば縦方向Ｙ）に走査されているイオンビームでも良い。
【００２３】
各電極２１、２３〜２５は、上記のようなイオン４のビーム形状にほぼ対応した形状をしていて当該イオン４を通す開口３１、３３〜３５をそれぞれ有している。電極２２は、この例では、上記のようなイオン４を通す隙間３２を有している。
【００２４】
第１の電極２１には電位Ｖ１が与えられる。この電位Ｖ１は、通常は正（加速モード時）または負（減速モード時）の高電位であるので、この電極２１は高電位電極とも呼ばれる。
【００２５】
なお、各電極２１〜２５、あるいは後述する各電極体２２ａ、２２ｂに電位を与える場合、それらの電位が０Ｖ以外の場合は、各電極等に対応する電圧印加手段（例えば直流電源や、直流電源からの電圧を分圧する分圧抵抗器等。図示省略。以下同じ）から当該電位がそれぞれ与えられる。電位が０Ｖの場合は、その電極は接地される。
【００２６】
第２の電極２２は、通常は第１の電極２１と第３の電極２３との中間の電位にされるので、あるいは両電極２１、２３の中間に位置するので、中間電極とも呼ばれる。この第２の電極２２は、従来の静電加速管では一つの電極であるが、この例では、イオン４の経路を横方向Ｘにおいて挟んで相対向する二つの電極体２２ａおよび２２ｂに分けて構成されている。しかも両電極体２２ａ、２２ｂには、互いに異なる電位Ｖ２ａ、Ｖ２ｂ（Ｖ２ａ≠Ｖ２ｂ）がそれぞれ与えられ、それによってイオン４を横方向Ｘにおいて偏向させるようにしている。このような電位を与える手段は前述のとおりである。
【００２７】
より具体的には、この例では、前述したように荷電粒子の一種としてイオン（これは、前述したように断りがない限り正イオン）４を扱っており、イオン４を偏向させる方向側の電極体２２ｂに、相手側の電極体２２ａの電位Ｖ２ａよりも低い電位Ｖ２ｂを与えるようにしている。即ちＶ２ｂ＜Ｖ２ａとされる。
【００２８】
各電極２１、電極体２２ａ、２２ｂおよび電極２３〜２５に与えられる電位の具体例は、後述する表１にまとめて示している。
【００２９】
電極２２を構成する二つの電極体２２ａ、２２ｂ間には、イオン４を通す上記隙間３２が設けられている。この隙間３２は、この例のように（図１参照）、イオン４の偏向方向に曲げておくのが好ましい。より具体的には、偏向後の特定エネルギーを有する、具体的には所望エネルギーを有するイオン４ａの軌道に沿って曲げておくのが好ましい。そのようにすれば、所望エネルギーを有するイオン４ａを効率良く導出することができる。
【００３０】
第３の電極２３には、通常は０Ｖの電位Ｖ３が与えられる。即ち接地される。従ってこの電極２３は、接地電極とも呼ばれる。
【００３１】
第４の電極２４には、下流側からの電子の逆流を抑制するために、通常は負の電位Ｖ４が与えられる。従ってこの電極２４は、サプレッサ電極とも呼ばれる。
【００３２】
第５の電極２５は、通常は０Ｖの電位Ｖ５が与えられる。即ち接地される。従ってこの電極２５は、接地電極とも呼ばれる。
【００３３】
上記電極２４および２５は、下流側からの逆流電子を抑制するためには設けておく方が好ましいけれども、必須のものではなく、設けなくても良い。
【００３４】
二つの電極体２２ａ、２２ｂに分けて構成された第２の電極２２より下流側の電極２３〜２５は、この例のように、電極２２での偏向後であって特定エネルギー、具体的には所望エネルギーを有するイオン４ａの軌道に沿って配置しておくのが好ましい。そのようにすれば、所望のエネルギーを有するイオン４ａを効率良く導出することができると共に、それ以外のイオン４ｂ、４ｃや中性粒子５を当該下流側の電極２３〜２５で効率良く阻止することができるので、エネルギーコンタミネーションをより効果的に抑制することができる。
【００３５】
第２の電極２２を構成する電極体２２ａと２２ｂとに印加する電位Ｖ２ａとＶ２ｂとの差をどの程度に設定するかは、所望の（目的の）エネルギーを有するイオン４ａが、当該静電加速管２０の中心軌道、具体的には偏向機能を有する第２の電極２２以降の電極２２〜２５の（より具体的にはそられの隙間３２や開口３３〜３５の）中心軌道を通るように設定すれば良い。
【００３６】
イオン４が正イオンの場合に、上記各電極および各電極体に与える各電位の例を表１にまとめて示す。この表１中の例１および例２は、静電加速管２０でイオン４を加速する加速モード時のものであり、例３はイオン４を減速する減速モード時のものである。例１の場合は３０ｋｅＶの加速エネルギーを、例２の場合は１３０ｋｅＶの加速エネルギーを、それぞれ実現することができる。例３の場合は、８ｋｅＶの減速エネルギーを実現することができる。いずれの場合も、第２の電極２２を構成する一方の電極体２２ｂの電位Ｖ２ｂを、相手側の電極体２２ａの電位Ｖ２ａよりも低く設定している。
【００３７】
【表１】
0003738734.tif 000002
【００３８】
上記静電加速管２０によれば、二つの電極体２２ａ、２２ｂに分けて構成され、それらに異なる電位Ｖ２ａ、Ｖ２ｂが与えられる第２の電極２２の部分でイオン４を偏向させることができる。このときの偏向量は、偏向時のイオン４のエネルギーに依存するので、所望のエネルギーを有するイオン４ａとそうでないエネルギーを有するイオン４ｂ、４ｃとを分離することができる。イオン４ｂは所望エネルギーよりも低エネルギーのイオンであり、イオン４ａよりも偏向量は大きい。イオン４ｃはイオン４ａよりも高エネルギーのイオンであり、イオン４ａよりも偏向量は小さい。中性粒子５は偏向されずに直進するので、これも分離することができる。即ち、上記静電加速管２０は、エネルギー分離作用を奏するので、所望エネルギーのイオン４ａを選別して導出することができ、エネルギーコンタミネーションを抑制することができる。所望エネルギーのイオン４ａ以外のイオン４ｂ、４ｃや中性粒子５は、この例では、第２の電極２２よりも下流側にある電極２３〜２５のいずれかに衝突することによって阻止され除去される。
【００３９】
しかも、この静電加速管２０は、上記のようなエネルギー分離作用と共に、イオン４を加速または減速する本来の作用をも奏し、これらの作用を一つの静電加速管２０において実現することができるので、従来のようにエネルギー分離器を別に設けなくて済む。従って、エネルギー分離器を別に設ける場合に比べて、イオン４の輸送距離を短くすることができ、それによってイオン４の輸送効率を向上させることができる。
【００４０】
また、図１に示す例のように、正または負の高電位にされる第１の電極２１と、通常は接地電位にされる第３の電極２３との間に、通常は電極２１、２３の中間の電位にされる第２の電極２２を有している場合は、上記例のように、この第２の電極２２を二つの電極体２２ａ、２２ｂに分けて構成してそれらに別々の電位Ｖ２ａ、Ｖ２ｂを与えることで偏向機能を持たせるのが好ましい。
【００４１】
このような第２の電極２２を有していると、イオン４を電極２１と２２との間と、電極２２と２３との間の２段階に分けて加速することができる。表１中の例２はその一例を示す。そして、後段での加速前に（即ちエネルギーの低いときに）イオン４を電極２２の部分で偏向させることができるので、全部加速した後に偏向させる場合に比べて、イオン４の偏向が容易になる。より具体的には、電極２２を構成する二つの電極体２２ａ、２２ｂに与える電位Ｖ２ａとＶ２ｂとの差が小さくて済むので、当該電極２２周りの電気絶縁が容易になる等の利点がある。
【００４２】
また、電極２２の下流側の電極２３によって、所望エネルギーのイオン４ａ以外のイオンや中性粒子を阻止して除去することができるので、エネルギーコンタミネーションをより効果的に抑制することができる。特に、減速モード時には（表１中の例３参照）、電極２１と２２間におけるイオン４の減速時に荷電変換によって中性粒子５が発生しやすいことが経験的に分かっているけれども、中性粒子５が多く発生してもこれは直進して電極２３に衝突して阻止されるので、静電加速管２０内において中性粒子５を効果的に除去することができる。
【００４３】
また、加速モード時において、所望エネルギー以外のエネルギーのイオンが電極に衝突した箇所から電子が高電位側へ放出かつ加速され、そのような加速電子が衝突した電極の部分から、加速電子のエネルギーに相当する高エネルギーのＸ線が発生する。従来の静電加速管においては、中間電極と呼ばれるものを有していても当該中間電極は一つの電極であって偏向機能を有していないので、上記加速電子は当該中間電極で曲げられずに高電位電極（電極２１に相当する電極）にまで到達することができ、当該高電位電極の電位に相当する大きなエネルギーで加速されて高電位電極に衝突し、そこから大きなエネルギーのＸ線が発生する。
【００４４】
これに対して、上記例のように中間電極と呼ばれる第２の電極２２を二つの電極体２２ａ、２２ｂに分けて構成してそれらに別々の電位を与えて偏向機能を持たせておくと、不所望エネルギーのイオンが衝突した箇所から発生した電子は電極２２において曲げられて高電位の電極２１にまで到達することができなくなる。具体的には、上記電子は、電極２２を構成する二つの電極体２２ａ、２２ｂの内の高電位側の電極体２２ａ側に曲げられて当該電極体２２ａに衝突する。このときの電子の加速エネルギーは、当該電極体２２ａの電位に相当するエネルギーであり、高電位の電極２１に衝突する場合に比べて小さい。例えば、表１中の例１の場合であれば、衝突電子のエネルギーはほぼ０ｅＶであり、Ｘ線は殆ど発生しない。例２の場合は約１００ｋｅＶであり、電極２１に衝突する場合の約１３０ｋｅＶよりかは小さい。従っていずれの場合にも、従来の静電加速管よりも、それから発生するＸ線のエネルギーを低くすることができる。
【００４５】
図１のような構成の静電加速管２０において、入射イオン４として７０ｋｅＶのエネルギーを有するＢＦ2+ イオンビームを用い、これを静電加速管２０で３０ｋｅＶだけ加速して、所望エネルギーを有するイオン４ａとして１００ｋｅＶのＢＦ2+ イオンを得る場合のイオン軌道のシミュレーションを行った。このときの各電極および各電極体の電位の構成は表１中の例１のとおりにした。このときのイオン４ａの偏向角は約３０°である。
【００４６】
その結果、電極２１付近で７０ｋｅＶのＢＦ2+ イオンから解離したＢＦ+ イオン（このイオンのエネルギーは、ＢＦ2+ との質量数比により、約４３ｋｅＶである）は、電極２１と２３との間で３０ｋｅＶだけ加速されて最終エネルギーは約７３ｋｅＶになるけれども、二つの電極体２２ａ、２２ｂに分けて構成された電極２２で偏向されて、図１中のイオン４ｂに示すような軌道を取り、電極２５に衝突して除去されることが確かめられた。
【００４７】
なお、上記のように二つの電極体に分けて構成してそれらに異なる電位を与える電極は、上述したように第２の電極（中間電極）２２が好ましい。また、第２の電極を含む複数の電極をそのように構成しても良い。要は、少なくとも第２の電極をそのように構成すれば良い。複数の電極をそのように構成すれば、イオン４の偏向を複数回行ってエネルギー分離を複数回行うことができるので、エネルギーコンタミネーションをより一層効果的に抑制することができる。
【００４８】
例えば、第２の電極２２を上記のように分割するのと併用して、第１の電極２１を二つの電極体に分けて構成し、それらに互いに異なる電位を与えてイオン４を偏向させるように構成しても良い。あるいは、第２の電極２２を上記のように分割するのと併用して、第３の電極２３を二つの電極体に分けて構成し、それらに互いに異なる電位を与えてイオン４を偏向させるように構成しても良い。
【００４９】
上述したような静電加速管２０は、荷電粒子の他の例である負イオンを加速する場合にも、即ちイオン４が負イオンの場合にも適用することができる。その場合は、二つの電極体に分けて構成された電極の内で、負イオンを偏向させる方向側の電極体に、相手側の電極体よりも高い電位が与えられる。例えば、図１の例ではＶ２ｂ＞Ｖ２ａにされる。その他は、正イオンの場合と同様である。
【００５０】
上記のような静電加速管２０は、例えば、イオン注入装置に用いるのに好適である。上記のような静電加速管２０を備えるイオン注入装置の一例を図４に示す。ここでは、図５に示した従来例と同等部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。
【００５１】
このイオン注入装置は、前述した質量分離マグネット６から導出されたイオン（正イオン）４を静電加速管２０を通して加速または減速し、この静電加速管２０から導出されたイオン４（より具体的には所望のエネルギーを有するイオン４ａ）をターゲット１４に入射させてイオン注入を行うように構成されている。イオン４として、正イオンの代わりに負イオンを用いても良い。
【００５２】
このイオン注入装置によれば、静電加速管２０によって上記のようにエネルギーコンタミネーションを抑制することができるので、ターゲット１４にイオン注入を行う場合に、エネルギーコンタミネーションによる注入特性の悪化を抑制することができる。しかも、静電加速管２０を用いることによって、従来のようにエネルギー分離器を設けずに済むので、イオン４の輸送距離を短くすることができる。その結果、イオン４の輸送効率が向上し、ひいてはターゲット１４に対するイオン注入のスループットが向上する。
【００５３】
【発明の効果】
この発明は、上記のとおり構成されているので、次のような効果を奏する。
【００５４】
請求項１記載の発明によれば、二つの電極体に分けて構成された第２の電極の部分で荷電粒子を偏向させることができ、これによってエネルギー分離作用を奏するので、所望エネルギーの荷電粒子を選別して導出することができ、エネルギーコンタミネーションを抑制することができる。しかも、エネルギー分離作用と共に、荷電粒子を加速または減速する本来の作用をも奏し、これらの作用を一つの静電加速管において実現することができるので、従来のようにエネルギー分離器を別に設けなくて済む。従って、エネルギー分離器を別に設ける場合に比べて、荷電粒子の輸送距離を短くすることができ、それによって荷電粒子の輸送効率を向上させることができる。
【００５５】
また、第３の電極の存在によって、特定のエネルギーを有する荷電粒子を効率良く導出することができると共に、それ以外の荷電粒子や中性粒子を第３の電極で効率良く阻止することができるので、エネルギーコンタミネーションをより効果的に抑制することができる。特に、減速モード時には第１の電極と第２の電極との間におけるイオンの減速時に荷電変換によって中性粒子が発生しやすいことが経験的に分かっているけれども、中性粒子が多く発生してもこれは直進して第３の電極に衝突して阻止されるので、静電加速管内において中性粒子を効果的に除去することができる。
【００５６】
更に、荷電粒子を２段階に分けて加速することができ、その内の後段での加速前に荷電粒子を偏向させることができるので、偏向が容易になる。更に、不所望荷電粒子の衝突によって発生した電子を第２の電極で曲げて当該電子が第１の電極に到達することを防止することができるので、当該電子の衝突によって発生するＸ線のエネルギーを低くすることができる。
【００５７】
請求項２記載の発明によれば、正イオンに関して、請求項１記載の発明の上記効果と同様の効果を奏することができる。
【００５８】
請求項３記載の発明によれば、負イオンに関して、請求項１記載の発明の上記効果と同様の効果を奏することができる。
【００５９】
請求項４記載の発明によれば、上記静電加速管によって上記のようにエネルギーコンタミネーションを抑制することができるので、エネルギーコンタミネーションによる注入特性の悪化を抑制することができる。しかも、当該静電加速管を用いることによって、従来のようにエネルギー分離器を設けずに済むので、イオンの輸送距離を短くすることができる。その結果、イオンの輸送効率が向上し、ひいてはターゲットに対するイオン注入のスループットが向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る静電加速管の一例を示す横断面図である。
【図２】図１の線Ａ−Ａに沿う縦断面図である。
【図３】図１の線Ｂ−Ｂに沿う縦断面図である。
【図４】この発明に係る静電加速管を備えるイオン注入装置の一例を示す概略図である。
【図５】従来の静電加速管を備えるイオン注入装置の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
４  イオン（荷電粒子）
１４  ターゲット
２０  静電加速管
２１  第１の電極
２２  第２の電極
２２ａ、２２ｂ  電極体
２３  第３の電極
２４  第４の電極
２５  第５の電極
Ｖ２ａ、Ｖ２ｂ  電位
【図１】
0003738734.tif 000003
【図２】
0003738734.tif 000004
【図３】
0003738734.tif 000005
【図４】
0003738734.tif 000006
【図５】
0003738734.tif 000007