(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゴム製ガスケットの表面近くの内部に、蒸着した金属皮膜原子の一部を浸透させてゴムと金属皮膜原子の混合領域層を形成し、該混合領域層の上に蒸着した金属皮膜原子による稠密な金属皮膜原子積層構造の金属皮膜層を形成したことを特徴とする導電ガスケット。
【請求項２】
ゴム製ガスケットを高真空下の真空室内にセットし、銀やニッケル等の金属蒸着材を電子線にて融解、蒸発させると同時にゴム製ガスケットに向けて放射される金属皮膜原子に向けてイオン発生源からイオン照射して金属皮膜原子に衝突させ、ゴム製ガスケットの表面近くの内部に、蒸着した金属皮膜原子の一部を浸透させてゴムと金属皮膜原子の混合領域層を形成し、さらに金属皮膜原子に衝突するようにイオン照射して該混合領域層の上に蒸着した金属皮膜原子による稠密な金属皮膜原子積層構造の金属皮膜層を形成したことを特徴とする導電ガスケットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電子部品を内蔵した収納ケース等に取付けるガスケットに電磁波シールド対策を施した導電ガスケット及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のガスケットは電磁波シールド対策として、天然ゴム、合成ゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム等の各種ゴムに銀やニッケル等の金属フィラーを添加してブレンド、加硫してガスケットを成形していた。
【０００３】
しかし、従来のガスケットは電磁波シールド対策として、導電性を良くする為に、金属フィラー等の導電材をゴム中に多量にブレンドして得た成形品を使用していた。
このような導電材を多量に含んだガスケットは、ゴム弾性が失われることとなり、ガスケットとしての特性が失われることとなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ゴム弾性が失われることなく、ガスケット表面に形成した蒸着膜が剥離することなく、強固に固着したガスケットで、かつシールド対策に優れ、ガスケット特性の良好な導電ガスケット及びその製造方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る導電ガスケットは、ゴム製ガスケットの表面近くの内部に、蒸着した金属皮膜原子の一部を浸透させてゴムと金属皮膜原子の混合領域層を形成し、該混合領域層の上に蒸着した金属皮膜原子による稠密な金属皮膜原子積層構造の金属皮膜層を形成したものである。
【０００６】
本発明に係る導電ガスケットの製造方法は、ゴム製ガスケットを高真空下の真空室内にセットし、銀やニッケル等の金属蒸着材を電子線にて融解、蒸発させると同時にゴム製ガスケットに向けて放射される金属皮膜原子に向けてアルゴン等の不活性ガスのイオン発生源からイオン照射して金属皮膜原子に衝突させ、ゴム製ガスケットの表面近くの内部に、蒸着した金属皮膜原子の一部を浸透させてゴムと金属皮膜原子の混合領域層を形成し、さらに金属皮膜原子に衝突するようにイオン照射して該混合領域層の上に蒸着した金属皮膜原子による稠密な金属皮膜原子積層構造の金属皮膜層を形成したものである。
【０００７】
【作用】
ゴムと金属皮膜原子の混合領域層の形成に当たっては、高真空下の真空室内にセットされた被処理物であるゴム製ガスケットが、電子線により融解した金属皮膜原子を蒸発させてゴム製ガスケットに蒸着させる際にアルゴン等の不活性ガスのイオン照射によって該金属皮膜原子に衝突させて強制的に金属皮膜原子の一部をガスケット表面から内部に浸入させることにより得られる。これによって、ゴム中の金属皮膜原子は一種のアンカー効果を発揮することとなる。
こうして金属皮膜原子に向けて照射された不活性ガスイオンによって強制的に打ち込まれる金属皮膜原子は混合領域層の上に次々に稠密構造に積層され、従来の単なる蒸着形成に比べて空隙部がなく、強固に密着した金属皮膜層が得られることとなる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面により説明する。
１はゴム製ガスケットで、天然ゴム、合成ゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム又はゴム弾性を有する熱可塑性エラストマー等により成形して得られる。
２はゴム製ガスケット１の表面近くの内部に形成した混合領域層で、ゴムと金属皮膜原子の混合した領域である。ゴムと金属皮膜原子の混合領域層の形成に当たっては、例えば１０-3〜１０-5Ｔｏｒｒといった高真空下の真空室内に被処理物であるゴム製ガスケット１をセットし、電子線により融解した銀、ニッケル等の金属皮膜原子を蒸発させてゴム製ガスケット１に蒸着させる際にアルゴン等の不活性ガスのイオン照射によって該金属皮膜原子に衝撃、衝突させて強制的に金属皮膜原子の一部をゴム製ガスケット１の表面から内部に浸入させることにより得られる。このようにイオン照射は金属皮膜原子に衝撃、衝突を与えるように出力コントロールを独自に行うようにすることが肝要である。ゴム製ガスケット１の表面近くの内部にイオン照射によって金属皮膜原子が打ち込まれることによりアンカー効果が発揮されることとなる。
【０００９】
そしてゴム製ガスケット１の表面には上記の方法によるイオン照射により蒸着した金属皮膜原子による稠密な金属皮膜原子積層構造の金属皮膜層３を形成する。従来の真空蒸着法では被蒸着物の表面に蒸着物質が塗布されて蒸着膜を形成していたが、このような方法では蒸着物質の原子同士の密な結合は困難であり、図８に示すように空隙部が生じ、蒸着膜を手で擦る等によって簡単に剥離してしまうものであった。ところが本発明の真空蒸着法によれば、イオン照射により金属皮膜原子が強制的に積層構造に配列されるようになり、結果として稠密な金属皮膜原子積層構造の金属皮膜層３が得られることとなる。
【００１０】
図中、４は絶縁材で形成された上ケース、５は絶縁材で形成された下ケース、６は上下各ケース４、５の内面に施された電磁波シールド用アルミ蒸着又はメッキである。７が上下各ケース４、５間に配設した本発明に係る導電ガスケットである。
【００１１】
【発明の効果】
本発明は上記の説明から判るように、ガスケットのゴム弾性が何ら損なわれることなく、電磁波シールドが効果的に行われ、ケース内に組み込まれた電子部品の電気特性を維持することができる。またガスケットに形成された金属皮膜層はアンカー効果の役割を果たすゴムと金属皮膜原子の混合領域層の上に、蒸着した金属皮膜原子による稠密な金属皮膜原子積層構造の金属皮膜層を形成することとしたので、強固な密着構造を維持し、手等で擦ろうとも金属皮膜層は剥離することがない。
しかも本発明の方法によれば容易に上記特性の優れた導電ガスケットを作ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】  本発明に係る導電ガスケットの要部拡大断面図である。
【図３】  本発明に係る導電ガスケットの金属皮膜層の原子的説明図である。
【図４】  本発明に係る導電ガスケットの使用状態を示す概略説明図である。
【図５】  本発明に係る導電ガスケット表面のアンカー効果を示す拡大断面図である。
【図６】  本発明に係る導電ガスケットを真空蒸着法による得る一例を示す説明図である。
【図７】  従来の導電ガスケットを示す断面図である。
【図８】  従来の蒸着皮膜層の原子的説明図である。
【符号の説明】
１  ゴム製ガスケット
２  ゴムと金属皮膜原子の混合領域層
３  金属皮膜層
４  上ケース
５  下ケース
７  本発明に係る導電ガスケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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