(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
柔軟性のあるガス捕集バッグの一端側にガス採取ラインが切換弁を介して接続され、前記ガス採取ラインの前記切換弁の上流側には複数のマスフローコントローラが互いに並列的に設けられている一方、前記ガス捕集バッグの他端側に第１ガス排出ラインが接続され、この第１ガス排出ラインに開閉弁を介して排気手段が設けられ、さらに、前記ガス採取ラインの前記マスフローコントローラとガス捕集バッグとの間に切換弁を介して第２ガス排出ラインが分岐接続されるとともに、前記マスフローコントローラ、開閉弁および切換弁がコントローラと接続されてなり、前記コントローラが予め設定・記憶されている制御プログラムに従って、まず、前記切換弁を操作して前記ガス採取ラインから第２ガス排出ラインへガスを排出させることにより前記マスフローコントローラにおけるガス流量を所定の流量となるように安定化させる一方、前記開閉弁を開き前記排気手段を作動させて前記ガス捕集バッグを真空引きした後、前記開閉弁を閉じ、しかる後に、前記切換弁を操作して前記マスフローコントローラから前記ガス捕集バッグへ流量の安定したガスを所定時間注入することにより、前記ガス捕集バッグ内に所定量のガスを採取するようにしたことを特徴とするガス定量注入装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばテドラーバッグ（商品名）等のガス捕集バッグに所定量のガスを採取できるようにしたガス定量注入装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
標準ガス等を作成するために、テドラーバッグ等の柔軟性のあるガス捕集バッグに所定量のガスを採取する場合や、複数種のガスを所望の混合比で所定量だけガス捕集バッグに採取しようとする場合等には、ガスの流量設定が可能なマスフローコントローラ等の流量調整手段を用いたガス定量注入装置が考えられる。
【０００３】
しかし、このような流量調整手段を用いる場合、採取するガスの流量を高い精度に設定するためには、まず、ガス流量の安定化を図らなければならない。また、流量調整手段の吐出側で圧力変動が生じないようにしなければならない。さらに、所望のガスを、全自動で能率よく採取できることも望まれる。
【０００４】
本発明はこのような事情を考慮してなされ、ガス捕集バッグに所定量のガスを能率よく採取できるようにしたガス定量注入装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の課題を解決するための手段を以下のように構成している。
すなわち、本発明のガス定量注入装置は、柔軟性のあるガス捕集バッグの一端側にガス採取ラインが切換弁を介して接続され、前記ガス採取ラインの前記切換弁の上流側には複数のマスフローコントローラが互いに並列的に設けられている一方、前記ガス捕集バッグの他端側に第１ガス排出ラインが接続され、この第１ガス排出ラインに開閉弁を介して排気手段が設けられ、さらに、前記ガス採取ラインの前記マスフローコントローラとガス捕集バッグとの間に切換弁を介して第２ガス排出ラインが分岐接続されるとともに、前記マスフローコントローラ、開閉弁および切換弁がコントローラと接続されてなり、前記コントローラが予め設定・記憶されている制御プログラムに従って、まず、前記切換弁を操作して前記ガス採取ラインから第２ガス排出ラインへガスを排出させることにより前記マスフローコントローラにおけるガス流量を所定の流量となるように安定化させる一方、前記開閉弁を開き前記排気手段を作動させて前記ガス捕集バッグを真空引きした後、前記開閉弁を閉じ、しかる後に、前記切換弁を操作して前記マスフローコントローラから前記ガス捕集バッグへ流量の安定したガスを所定時間注入することにより、前記ガス捕集バッグ内に所定量のガスを採取するようにしたことを特徴としている（請求項１）。
【０００６】
上記構成よりなるガス定量注入装置においては、ガス採取ラインに設けられた切換弁を操作することによって、前記ガス採取ラインの前記切換弁より上流側に互いに並列的に設けられた複数のマスフローコントローラを第２排出ラインと連通させた状態にしてガスを排出させ各マスフローコントローラにおけるガス流量を所定の流量となるように安定化させることができる。これと併せて、開閉弁を操作することによってガス捕集バッグを第１ガス排出ラインと連通させ、この第１ガス排出ラインに設けられた排気手段を作動させることによりガス捕集バッグの真空引きを行う。次いで、切換弁を操作してマスフローコントローラとガス捕集バッグとを連通させ、ガス流量に応じて所要時間ガスを注入すれば、所定量のガスをガス捕集バッグに採取することができる。
【０００７】
そして、前記ガス定量注入装置においては、前記マスフローコントローラ、開閉弁および切換弁がコントローラと接続され、このコントローラが予め設定・記憶されている制御プログラムに従って、まず、前記切換弁を操作して前記ガス採取ラインから第２ガス排出ラインへガスを排出させることにより前記マスフローコントローラにおけるガス流量を所定の流量となるように安定化させる一方、前記開閉弁を開き前記排気手段を作動させて前記ガス捕集バッグを真空引きした後前記開閉弁を閉じ、しかる後に、前記切換弁を操作して前記マスフローコントローラからガス捕集バッグへ流量の安定したガスを所定時間注入することにより、前記ガス捕集バッグ内に所定量のガスを採取するようにしてあるので、コントローラからの指令によって、ガス流量の安定化とガス捕集バッグの真空引きからガスの注入に至る一連の操作を全自動で能率よく行うことができる。
【０００８】
【０００９】
また、前記ガス定量注入装置においては、ガス採取ラインに複数のマスフローコントローラが互いに並列に設けられているので、各マスフローコントローラからそれぞれ異なる種類のガスをそれぞれ所定の流量で導入することにより、所望の混合比の混合ガスを所定量採取することができる。
【００１０】
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に本発明のガス定量注入装置の一実施形態を図面を参照しつつ説明する。
図１は前記ガス定量注入装置の構成の一例を示す図である。この図１において、１はガス捕集バッグで、分析対象成分の吸着及び透過並びに変質が生じない材質よりなるものが好ましく、例えばテドラーバッグ等を用いることができる。２はこのガス捕集バッグ１の一端側に切換弁としての三方電磁弁４を介して接続されたガス採取ラインである。このガス採取ライン２の三方電磁弁４の上流側には、流量の設定が可能な３つのマスフローコントローラ３１，３２，３３が互いに並列的に設けられている。５はガス捕集バッグ１の他端側に接続された第１ガス排出ラインで、この第１ガス排出ライン５には電磁開閉弁６を介して排気手段としての吸引ポンプ７が設けられている。８は三方電磁弁４を介してガス採取ライン２に分岐接続された第２ガス排出ラインである。前記マスフローコントローラ３１〜３３、三方電磁弁４および電磁開閉弁６は、コントローラ（ＣＴＲ）９に接続されている。なお、前記三方電磁弁４に代えて一対の電磁開閉弁を用いてもよい。
【００１２】
次に、上記構成のガス定量注入装置の作動を説明する。コントローラ９に予め設定・記憶されている制御プログラムに従って、まず、図示の状態のように、ガス採取ライン２と第２ガス排出ライン８とを接続し、ガス採取ライン２からガスを導入しつつ第２ガス排出ライン８から排出させ、各マスフローコントローラ３１〜３３を流過するガス流量を設定流量Ａ1 ，Ａ2 ，Ａ3 （Ｌ／分）となるまで安定化を図るとともに、吸引ポンプ７を作動させてガス捕集バッグ１の真空引きを行う。
【００１３】
ガス流量が安定化し、かつ、ガス捕集バッグ１内の真空引きが完了した時点で三方電磁弁４および電磁開閉弁６をオン操作し、各マスフローコントローラ３１〜３３とガス捕集バッグ１とを連通させて第１ガス排出ライン５を閉じ、ガス捕集バッグ１内に所定量のガスを導入する。これにより、ガス捕集バッグ１内には、捕集時間Ｂ分で（Ａ1 ＋Ａ2 ＋Ａ3 ）×ＢＬのガスが捕集される。
【００１４】
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のガス定量注入装置は、柔軟性のあるガス捕集バッグの一端側にガス採取ラインが切換弁を介して接続され、前記ガス採取ラインの前記切換弁の上流側には複数のマスフローコントローラが互いに並列的に設けられている一方、前記ガス捕集バッグの他端側に第１ガス排出ラインが接続され、この第１ガス排出ラインに開閉弁を介して排気手段が設けられ、さらに、前記ガス採取ラインの前記マスフローコントローラとガス捕集バッグとの間に切換弁を介して第２ガス排出ラインが分岐接続されるとともに、前記マスフローコントローラ、開閉弁および切換弁がコントローラと接続されてなり、前記コントローラが予め設定・記憶されている制御プログラムに従って、まず、前記切換弁を操作して前記ガス採取ラインから第２ガス排出ラインへガスを排出させることにより前記マスフローコントローラにおけるガス流量を所定の流量となるように安定化させる一方、前記開閉弁を開き前記排気手段を作動させて前記ガス捕集バッグを真空引きした後、前記開閉弁を閉じ、しかる後に、前記切換弁を操作して前記マスフローコントローラから前記ガス捕集バッグへ流量の安定したガスを所定時間注入することにより、前記ガス捕集バッグ内に所定量のガスを採取するように構成されているので、ガス流量の安定化を図りつつ、ガス捕集バッグの真空引きを行い、次いで、その真空引き後のガス捕集バッグに所定量のガスを注入することができる。
【００１６】
そして、上記ガス定量注入装置においては、コントローラからの指令によって、ガス流量の安定化とガス捕集バッグの真空引きからガスの注入に至る一連の操作を全自動で能率よく行うことができるとともに、所望の混合比の混合ガスを所定量採取することができる。
【００１７】
従って、本発明によれば、ガス捕集バッグに所定量のガスを能率よく採取することができ、特に、所望の混合比の混合ガスをガス捕集バッグ内に全自動で能率よく採取することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のガス定量注入装置の一実施形態を示すブロック構成図である。
【符号の説明】
１…ガス捕集バッグ、２…ガス採取ライン、４…切換弁、５…第１ガス排出ライン、６…開閉弁、７…排気手段、８…第２ガス排出ライン、９…コントローラ、３１〜３３…マスフローコントローラ。
【図１】
0003836963.tif 000002