(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空室（５）を、２つの段階で迅速に排気するための装置であって、第１の真空ポンプ（１４）と、この第１の真空ポンプ（１４）の吸込側を真空室（５）に接続する吸込管片と、該吸込管片内に設けられた第１の遮断弁（１６）と、第１の真空ポンプ（１４）に後置された第２の真空ポンプ（１５）と、これら２つのポンプ（１４，１５）を互いに接続する接続導管（２０）内に配置された第２の遮断弁（１２）と、第２のポンプ（１５）と第２の遮断弁（１２）との間の接続導管区分において第２の真空ポンプ（１５）の吸込側に接続された副導管（１９）と、該副導管（１９）内に設けられた第３の遮断弁（１３）とから構成されており、該副導管（１９）が真空室（５）内に開口しており、
第１の段階で、第２の遮断弁（１２）が閉鎖され、第３の遮断弁（１３）が開放され、それによって第２のポンプ（１５）の吸込管片が真空室（５）に接続されるようになっており、第２の段階で、第２の遮断弁（１２）が開放され、第３の遮断弁（１３）が閉鎖され、それによって第２のポンプ（１５）が第１のポンプ（１４）のための予備真空ポンプとして使用されるようになっている形式のものにおいて、
第１の段階で、さらに第１の遮断弁（１６）が開放され、それによって２つのポンプの吸込能力が合算されるようになっており、
接続導管（２０）内の、第１のポンプ（１４）の吸込管片と第２の遮断弁（１２）との間の接続導管区分内に、大気に通じるブローアウトフラップ（１７）が設けられており、
ブローアウトフラップ（１７）を閉鎖するテイクオーバ圧力より低い圧力が生じると、第２の段階が開始されるようになっている、
ことを特徴とする、真空室を迅速に排気するための装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空室を、２つの段階で迅速に排気するための装置であって、第１の真空ポンプと、この第１の真空ポンプの吸込側を真空室に接続する吸込管片と、該吸込管片内に設けられた第１の遮断弁と、第１の真空ポンプに後置された第２の真空ポンプと、これら２つのポンプを互いに接続する接続導管内に配置された第２の遮断弁と、第２のポンプと第２の遮断弁との間の接続導管区分において第２の真空ポンプの吸込側に接続された副導管と、該副導管内に設けられた第３の遮断弁とから構成されており、該副導管が真空室内に開口しており、第１の段階で、第２の遮断弁が閉鎖され、第３の遮断弁が開放され、それによって第２のポンプの吸込管片が真空室に接続されるようになっており、第２の段階で、第２の遮断弁が開放され、第３の遮断弁が閉鎖され、それによって第２のポンプが第１のポンプのための予備真空ポンプとして使用されるようになっている形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
大容積の室を迅速に排気するために、予備インテーク冷却されたルーツポンプとしての真空ポンプを備えたポンプ段がしばしば使用される。２００ｍｂａｒより低い圧力範囲まで排気したいような室では、多数のポンプ段を設けるのが適切である。真空室に直接配置される最大の真空ポンプとしてルーツポンプを使用し、これに後置されたポンプ段のために予備インテーク冷却されたルーツポンプおよび／またはその他の真空ポンプとの任意な組み合わせを選択することが公知である。予備インテーク冷却された最大のルーツポンプが排気のために真空室に接続される。これにより、大気圧直後からすでに大きな吸込能力が発揮される。この作動形式により、後置された（比較的小さい）真空ポンプは、この第１の真空ポンプにより吐き出された気体量を大気圧より低い圧力ではもはや吐き出すことができない。この場合、不所望な過圧の形成を阻止するために、一般的には第１のポンプ段と、第２のポンプ段との間に大気へのブローアウトフラップが組み込まれる。使用される真空ポンプの段分けに関連してテイクオーバ圧力(Uebernahmedruck)が生じ、それより低い圧力ではブローアウトフラップが閉鎖される。その理由は、第１のポンプ段により吐き出された質量流れを予備ポンプがいまや負圧範囲内で吐き出すことができるからである。テイクオーバ圧力より低い圧力ではじめて、予備ポンプ段が全吸込能力へ影響する。すなわち、それより高い圧力では予備ポンプ段は利用されないままとなる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題とするところは、ポンピング時間を短縮するように主真空ポンプと予備真空ポンプとを互いに組み合わせることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明の構成では、第１の段階で、さらに第１の遮断弁が開放され、それによって２つのポンプの吸込能力が合算されるようになっており、接続導管内の、第１のポンプの吸込管片と第２の遮断弁との間の接続導管区分内に、大気に通じるブローアウトフラップが設けられており、ブローアウトフラップを閉鎖するテイクオーバ圧力より低い圧力が生じると、第２の段階が開始されるようにした。
【０００５】
【発明の効果】
本発明のように構成されていると、ポンピング時間を著しく短縮することができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明によれば種々の実施例が可能であり、その１つを図面に示して以下に説明する。
【０００７】
図１に示す公知技術に基づく装置では、主真空ポンプ２がルーツポンプとして形成されていて、遮断弁４を備えた吸込管片３を介して真空室５に接続されている。他面において、主真空ポンプ２の吐出部は接続導管６を介して予備真空ポンプ７に接続されている。接続導管６内にはさらに予備インテーク冷却器８が配置されており、かつ分岐導管９内には消音器１０とブローアウトフラップ１１とが配置されている。ルーツポンプとしての主真空ポンプ２の著しい加熱を排除するために、主真空ポンプから吐き出されて予備インテーク冷却器８により冷却された気体媒体が、主真空ポンプ２の冷却のために予備インテーク導管１８を介して、主真空ポンプ２に戻すことができる（図１および図３参照）。主真空ポンプ２と予備真空ポンプ７とが互いに前後に接続されているために、予備真空ポンプ７は排気過程の開始当初では非作用状態にある。
【０００８】
本発明の目的は、この予備真空ポンプ７の吸込能力をテイクオーバ圧力より高い圧力でも排気のために使用することができるようにすることにある。このことは付加的な遮断弁１２，１３により行われる。これにより、一般的には予備真空ポンプ段がブローアウトフラップ１１；１７の存在により機能を失うような、テークオーバ圧力より高い圧力においても、予備真空ポンプ段を真空室５に直接的に接続することができる。この期間中には主真空ポンプ２；１４の吸込能力のみならず予備真空ポンプ７；１５の吸込能力も共に利用される。
【０００９】
ポンプ作動順序
排気のために、遮断弁１６，１３が同時に開放され、遮断弁１２が遮断されたままである。これにより、主真空ポンプ１４と予備真空ポンプ１５が並列的に真空室５を排気する。吸込能力は
Ｓ＝Ｓ（１４）＋Ｓ（１５）
である。
【００１０】
主真空ポンプ１４は吐き出された気体量を直接的にブローアウトフラップ１７を介して大気へ放出する。
【００１１】
テイクオーバ圧力より低い圧力を適当に選択しようとする場合には、副導管１９内に配置された遮断弁１３が閉鎖され、接続導管２０内に配置された遮断弁１２が開放される。予備真空ポンプ１５がいまや主真空ポンプ１４のための予備ポンプとして役立ち、予備真空ポンプ１５により吸い込まれた全気体量を吐き出す。
【００１２】
以上説明した手段により、段分けおよび所望の最終圧力に応じて１０〜１５％のポンピング時間の短縮が付加的なポンプなしに可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】公知技術に基づく主ポンプと予備ポンプとを備えた装置を示す図である。
【図２】直列並びに並列に接続可能な複数の真空ポンプを備えた本発明の装置の１実施例を示す図である。
【図３】予備インテーク導管を備えた本発明の別の実施例を示す図である。
【符号の説明】
２  主真空ポンプ、  ３  吸込管片、  ４  遮断弁、  ５  真空室、  ６  接続導管、  ７  予備真空ポンプ、  ８  予備インテーク冷却器、  ９  分岐導管、  １０  消音器、  １１  ブローアウトフラップ、  １２，１３  遮断弁、  １４  主真空ポンプ、  １５  予備真空ポンプ、  １６  遮断弁、  １７  ブローアウトフラップ、  １８  予備インテーク導管、  １９  副導管、  ２０  接続導管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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