(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液を貯留する秤量槽と、
前記秤量槽から処理液を送出する処理液送出手段と、
所定量の処理液が前記秤量槽から送出されたことを検知する送出完了検知手段と、
前記処理液送出手段が動作している時間を計測する計時手段と、
異常を報知する報知手段と、
前記所定量の処理液を前記処理液送出手段が単位時間当たりに送出する処理液量で除すことにより前記処理液送出手段が前記所定量の処理液を送出するために要する送出完了予定時間を算出する算出手段を有する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記送出完了検知手段が前記秤量槽から前記所定の処理液が送出されたことを検知していない場合であって、前記計時手段により計測されている前記処理液送出手段の動作時間が前記送出完了予定時間に誤差を加えた時間を超えているとき、及び
前記送出完了検知手段が前記秤量槽から所定の処理液が送出されたことを検知した場合であって、前記計時手段により計測されている前記処理液送出手段の動作時間が前記送出完了予定時間に対する所定の誤差範囲を逸脱しているとき、
前記報知手段によって異常を報知させる、
処理液供給装置。
【請求項２】
処理液を貯留する秤量槽と、
前記秤量槽から処理液を送出する処理液送出手段と、
所定量の処理液が前記秤量槽から送出されたことを検知する送出完了検知手段と、
前記処理液送出手段が動作している時間を計測する計時手段と、
異常を報知する報知手段と、
前記所定量の処理液を前記処理液送出手段が単位時間当たりに送出する処理液量で除すことにより前記処理液送出手段が前記所定量の処理液を送出するために要する送出完了予定時間を算出する算出手段を有する制御部とを備え、
前記制御部は、
前記計時手段により計測されている前記処理液送出手段の動作時間が前記送出完了予定時間に誤差を差し引いた時間に到達していない場合であって、前記送出完了検知手段が前記秤量槽から所定の処理液が送出されたことを検知したとき、
前記計時手段により計測されている前記処理液送出手段の動作時間が前記送出完了予定時間に誤差を差し引いた時間に達している場合であって、前記送出完了検知手段が前記秤量槽から所定の処理液が送出されたことを検知しておらず、かつ前記計時手段により計測されている前記処理液送出手段の動作時間が前記送出完了予定時間に誤差を加えた時間を超えているとき、及び
前記計時手段により計測されている前記処理液送出手段の動作時間が前記送出完了予定時間に誤差を差し引いた時間に達している場合であって、前記送出完了検知手段が前記秤量槽から所定の処理液が送出されたことを検知し、かつ前記計時手段により計測されている前記処理液送出手段の動作時間が前記送出完了予定時間に誤差を加えた時間を超えているとき、
前記報知手段によって異常を報知させる、
処理液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板を処理する基板処理装置に対して処理液を供給する処理液供給装置、特に基板処理装置に対して定量の処理液を供給する処理液供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示器用基板等のＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）用基板、フォトマスク用基板、プリント基板、半導体基板等の基板に処理を施す基板処理装置は、一般に、基板を収容して処理液によって基板に処理を施す処理部を備えている。そして、この処理部に対しては、処理液供給装置によって処理液が供給される。
【０００３】
この処理液供給装置の一例が、実開平６−６６０２６号公報に示されている。ここに示されている処理液供給装置は、処理液を貯留する秤量槽と、処理部における液量や濃度を調整するために秤量槽から処理部に対して処理液を定量補充させるポンプとを有している。そして、定量補充指令が出されると、ポンプを所定時間だけ作動させて、所定量の処理液を秤量槽から処理部に対して送出する。
【０００４】
このように、処理液処理装置では、一般に所定時間だけポンプ等の処理液送出手段を作動させることによって処理部への定量補充を行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の処理液供給装置においては、秤量槽から処理部に対して所定量の処理液が適正に供給されているか否かについて検知していないものが多い。この場合、処理部に適正な所定量の処理液が補充されていないときにもこれを察知できず、処理部での基板の処理に支障が出てしまう。例えば、ポンプやポンプの前後の配管から処理液が漏れていてもこれを察知できず、処理部での期待された基板の処理品質が得られなくなる。
【０００６】
また、秤量槽から処理部に対して所定量の処理液が適正に供給されているか否かについて検知している処理液供給装置も提案されているが、複雑な制御を必要とするものが多い。
【０００７】
本発明の課題は、所定量の処理液が適正に供給されたか否かを簡易に検知して報知することのできる処理液供給装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る処理液供給装置は、秤量槽と、処理液送出手段と、送出完了検知手段と、計時手段と、報知手段と、制御部とを備えている。秤量槽は、処理液を貯留する。処理液送出手段は、秤量増から処理液を送出する。送出完了検知手段は、所定量の処理液が秤量槽から送出されたことを検知する。計時手段は、処理液送出手段が動作している時間を計測する。報知手段は、異常を報知する。制御部は、所定量の処理液を処理液送出手段が単位時間当たりに送出する処理液量で除すことにより処理液送出手段が所定量の処理液を送出するために要する送出完了予定時間を算出する算出手段を有している。そして、この制御部は、送出完了検知手段が秤量槽から所定の処理液が送出されたことを検知していない場合であって、計時手段により計測されている処理液送出手段の動作時間が送出完了予定時間に誤差を加えた時間を超えているとき、及び送出完了検知手段が秤量槽から所定の処理液が送出されたことを検知した場合であって、計時手段により計測されている処理液送出手段の動作時間が送出完了予定時間に対する所定の誤差範囲を逸脱しているとき、報知手段によって異常を報知させる。
【０００９】
ここでは、計時手段によって処理液送出手段が動作している時間を計測して、この計測された時間が所定の時間範囲内に入っていない場合に、報知手段によって異常として報知される。この報知によって、処理液供給装置の操作者あるいは管理者等は、所定量の処理液が適正に送出されていないという異常を認識することができるようになる。また、処理液送出手段の動作時間が、算出手段により算出された送出完了予定時間に所定の誤差を加味した範囲内に入っていない場合に、異常を報知させる制御を行う。
【００１０】
請求項２に係る処理液供給装置は、秤量槽と、処理液送出手段と、送出完了検知手段と、計時手段と、報知手段と、制御部とを備えている。秤量槽は処理液を貯留する。処理液送出手段は秤量槽から処理液を送出する。送出完了検知手段は所定量の処理液が秤量槽から送出されたことを検知する。計時手段は処理液送出手段が動作している時間を計測する。報知手段は異常を報知する。制御手段は、所定量の処理液を処理液送出手段が単位時間当たりに送出する処理液量で除すことにより処理液送出手段が所定量の処理液を送出するために要する送出完了予定時間を算出する算出手段を有している。そして、制御部は、次の場合に異常手段によって異常を報知させる。
（１）計時手段により計測されている処理液送出手段の動作時間が送出完了予定時間に誤差を差し引いた時間に到達していない場合であって、送出完了検知手段が秤量槽から所定の処理液が送出されたことを検知したとき。
（２）計時手段により計測されている処理液送出手段の動作時間が送出完了予定時間に誤差を差し引いた時間に達している場合であって、送出完了検知手段が秤量槽から所定の処理液が送出されたことを検知しておらず、かつ計時手段により計測されている処理液送出手段の動作時間が送出完了予定時間に誤差を加えた時間を超えているとき、
（３）計時手段により計測されている処理液送出手段の動作時間が送出完了予定時間に誤差を差し引いた時間に達している場合であって、送出完了検知手段が秤量槽から所定の処理液が送出されたことを検知し、かつ計時手段により計測されている処理液送出手段の動作時間が送出完了予定時間に誤差を加えた時間を超えているとき。
【００１１】
ここでは、報知によって、処理液供給装置の操作者あるいは管理者等は、所定量の処理液が適正に送出されていないという異常を認識することができるようになる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
［第１実施形態］
本発明の一実施形態における処理液供給装置を図１に示す。図１に示す処理液供給装置は、半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板等（以下、基板という。）に対して処理液による処理を行う基板処理装置に設けられた処理槽９に対して処理液を供給する装置である。この処理液供給装置は、主として、秤量槽１と、処理液供給主管７と、処理液補充管８とを備えている。また、処理槽９は、内部に複数の基板Ｗを保持することのできる内槽９ａと、内槽９ａの外側に装着されている外槽９ｂとから構成されており、内槽９ａからオーバーフローした処理液が外槽９ｂに流れ込むようになっている。この外槽９ｂ内の処理液は、循環ポンプ２２によって内槽９ａの下部に配置されている処理液供給パイプ１４から内槽９ａ内に送られるが、循環ポンプ２２と処理液供給パイプ１４との間において、温度調節装置１２で所定の温度に調節され、フィルター１３にかけられる。
【００１３】
秤量槽１は、上下方向に平面的な面積（Ｓ）が一定である箱型の槽であり、処理液供給源からポンプ２１によって処理液が供給される。この秤量槽１には、秤量槽１の底面を貫通するオーバーフロー管６が設けられている。このオーバーフロー管６にはフローセンサー６ａが装着されており、オーバーフロー管６内を処理液が流れているときにはフローセンサー６ａがこれを感知して制御部４０に信号を送る。なお、オーバーフロー管６の上端の高さ方向の位置は高さレベルＬＶ３にある。この高さレベルＬ３は秤量槽１の底面からの高さを表し、後述する高さレベルＬ１，Ｌ２もそれぞれ秤量槽１の底面からの高さを表す。
【００１４】
また、秤量槽１の内部には、それぞれ圧電素子からなる第１，第２圧力センサー（送出完了検知手段）３１ａ，３２ａを備えた２本の窒素ガス配管３１，３２が配備されている。これらの窒素ガス配管３１，３２は、先端の開口から窒素ガスが噴出するように内部が調圧されている。そして、第１，第２圧力センサー３１ａ，３２ａは、窒素ガス配管３１，３２内の窒素ガスの圧力を感知し、これを制御部４０に送る。窒素ガス配管３１の先端は、高さ方向の位置が高さレベルＬＶ１にあり、窒素ガス配管３２の先端は、高さ方向の位置が高さレベルＬＶ２にある。高さレベルＬＶ１と高さレベルＬＶ２とは異なる高さ位置にあり、高さレベルＬＶ１は高さレベルＬＶ２よりも高い位置にある（図１参照）。第１，第２圧力センサー３１ａ，３２ａは窒素ガス配管３１，３２の先端の開口まで処理液の液面レベルが上がってきたときに急激な圧力変動を感知するため、これらのセンサー３１ａ，３２ａからの情報によって、制御部４０は秤量槽１内の処理液の液面レベルが高さレベルＬＶ１あるいは高さレベルＬＶ２になったことを認識することができる。
【００１５】
処理液供給主管７は、秤量槽１の底面から処理槽９の外槽９ｂに延びている配管であって、秤量槽１内の処理液を外槽９ｂに供給するものである。この処理液供給主管７の途中にはポンプ２３が挿入されている。制御部４０の指令にしたがってポンプ２３が作動することによって、秤量槽１内の処理液が処理液供給主管７を通って外槽９ｂに送り出される。
【００１６】
処理液補充管８は、処理液供給主管７よりも小径の配管であって、秤量槽１の底面から処理槽９の外槽９ｂに延びている。この処理液補充管８の途中には、ベローズ（処理液送出手段）１０ａと、ベローズ１０ａの前後に配置され秤量槽１への逆流を防ぐ逆止弁１１ａ，１１ｂとが設けられている。このベローズ１０ａは、制御部４０からの指令により作動するエアシリンダ（処理液送出手段）１０ｂの往復動によって伸縮して、秤量槽１から外槽９ｂに処理液を送出する。エアシリンダ１０には図２に示すタイマー（計時手段）４３が装着されており、タイマー４３はエアシリンダ１０の作動時間を積算して、随時その積算されたタイマー値（ｔ）を制御部４０に送信する。
【００１７】
また、この処理液供給装置は、図２に示す制御部４０によって、図３〜図６に示すように制御される。制御部４０は、フローセンサー６ａ，第１及び第２圧力センサー３１ａ，３２ａ，タイマー４３等からの信号を受け取り、これらの情報を基にポンプ２１，ポンプ２３，エアシリンダ１０ｂ等の作動を制御している。
【００１８】
また、処理液供給装置は図示しない制御パネルを備えており、この制御パネルには、処理液補充管８を介した秤量槽１から外槽９ｂへの所定量の処理液の補充（以下、定量補充という。）が正常に為されなかったことを報知する異常表示灯４１及び異常報知ブザー４２が配置されている。異常表示灯４１は制御部４０からの点灯指令によって点灯し、異常報知ブザー４２は制御部４０からの指令によって警報を発生する。
【００１９】
次に、制御部４０による処理液供給装置の制御について、図３〜図６に示すフローチャートに従って説明する。
【００２０】
図３に全体の制御フローを示す。ここではまず、ステップＳ１において、初期設定を行う。このステップＳ１では、エアシリンダ１０ｂにより伸縮して処理液を送り出すベローズ１０ａが単位時間当たりに送出する処理液の量（送出速度Ｖ）、定量補充の量（補充量Ｑ）、送出速度Ｖに対する所定の精度（ｄ％）の入力値から、補充量Ｑを送出速度Ｖで除して送出完了予定時間Ｔ（Ｔ＝Ｑ／Ｖ）を算出し、精度ｄ％から送出完了予定時間Ｔに対する誤差Ｔ１（Ｔ１＝Ｔ×ｄ／１００）を設定する。
【００２１】
次に、ステップＳ２に移り、処理槽９に処理液を供給しなければならないか否かを判断する。処理槽９に処理液を供給しなければならない場合には、ステップＳ１０に移り、ポンプ２１を作動させて秤量槽１のオーバーフロー管６の上端部の高さレベルＬＶ３まで処理液を入れる。そして、ステップＳ２０において、ポンプ２３を作動させて秤量槽１内の処理液を全て処理槽９の外槽９ｂに送り出す。この処理を終えると、ステップＳ３に移行する。
【００２２】
ステップＳ２において、処理槽９に処理液を供給する必要のない場合は、ステップＳ３に移行する。
【００２３】
ステップＳ３では、定量補充が必要か否かを判断する。処理槽９内の処理液の液量や濃度を保持する等のために定量補充が必要な場合は、ステップＳ３０に移って、定量補充を行うためにポンプ２１を作動させて秤量槽１の高さレベルＬＶ１まで処理液を入れる。そして、ステップＳ４０において、エアシリンダ１０ｂを作動させてベローズ１０ａの伸縮によって所定量の処理液を秤量槽１から外槽９ｂに送出する。
【００２４】
ステップＳ３において定量補充が必要でない場合、及びステップＳ４０の処理を終えた場合は、ステップＳ４に移って他の処理を行う。処理液供給装置を作動させている間は、これらのステップＳ２〜ステップＳ４が繰り返される。
【００２５】
ステップＳ１０における制御フローを図４に示す。ここでは、まず、ステップＳ１１において、ポンプ２１を作動させて、秤量槽１に処理液を投入し始める。ステップＳ１２では、オーバーフロー管６に秤量槽１からオーバーフローした処理液が流れているか否か、すなわち、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ３まで上がったか否かを、フローセンサー６ａがオフの状態であるかオンの状態であるかによって判断する。そして、フローセンサー６ａがオフの状態であり、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ３まで上がってきていない場合には、ポンプ２１による秤量槽１への処理液の投入を続ける。ステップＳ１２において、フローセンサー６ａがオンの状態であり、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ３まで上がっている場合には、ステップＳ１３に移り、ポンプ２１の作動を止めて、処理液の秤量槽１への投入を停止させる。この状態においては、秤量槽１内には、秤量槽１の平面的な面積（Ｓ）に高さレベルＬＶ３を乗じた容積（Ｓ×ＬＶ３）だけ処理液が貯留されている。このように秤量された処理液は、ステップＳ２０において、処理液供給主管７から全て処理槽９に供給される。
【００２６】
ステップＳ３０における制御フローを図５に示す。ここでは、まず、ステップＳ３１において、ポンプ２１を作動させて、秤量槽１に処理液を投入し始める。ステップＳ３２では、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ１まで上がったか否かを、第１圧力センサー３１ａからの情報によって判断する。そして、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ１まで上がってきていないと判断した場合には、ポンプ２１による秤量槽１への処理液の投入を続ける。ステップＳ３２において、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ１まで上がってきたと判断した場合には、ステップＳ３３に移り、ポンプ２１の作動を止めて、秤量槽１への処理液の投入を停止させる。この状態においては、秤量槽１内には、秤量槽１の平面的な面積（Ｓ）に高さレベルＬＶ１を乗じた容積（Ｓ×ＬＶ１）だけ処理液が貯留されている。
【００２７】
次に、ステップＳ４０における制御フローを図６に示す。ここでは、まず、ステップＳ４１においてエアシリンダ１０ｂを作動させると同時にステップＳ４２においてタイマー４３をスタートさせる。エアシリンダ１０ｂが作動し始めると、秤量槽１内の処理液がベローズ１０ａの伸縮により外槽９ｂに送られる。タイマー４３がスタートすると、タイマー４３はエアシリンダ１０ｂの動作時間を積算して、随時その積算したタイマー値（ｔ）を制御部４０に送信する。
【００２８】
ステップＳ４３に移ると、ここでは、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ２まで下がったか否かを判断する。秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ２まで下がっていないと判断すると、ステップＳ４７に移り、タイマー値（ｔ）が送出完了予定時間Ｔに誤差Ｔ１を加えた時間（Ｔ＋Ｔ１）を超えているか否かを判断する。そして、まだ超えていない場合には、エアシリンダ１０ｂを作動し続けて、秤量槽１内の処理液を外槽９ｂに送り続ける。ステップＳ４７において、タイマー値（ｔ）が時間（Ｔ＋Ｔ１）を超えている場合には、所定の時間を超過してエアシリンダ１０ｂを作動させても定量補充が完了していないとして、ステップＳ４８に移って異常表示灯４１の点灯及び異常報知ブザー４２による警報の発令を行う。これにより、定常補充が処理液補充管８の詰まりやベローズ１０ａの劣化等によって正常に為されていないことを、操作者や管理者に知らしめることができる。
【００２９】
ステップＳ４３において、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ２まで下がったと判断すると、ステップＳ４４においてエアシリンダ１０ｂの作動を停止させるとともに、ステップＳ４５でタイマー４３を止めてタイマー値（ｔ）を保持する。この状態においては、秤量槽１内には、秤量槽１の平面的な面積（Ｓ）に高さレベルＬＶ２を乗じた容積（Ｓ×ＬＶ２）だけ処理液が貯留されている。ステップＳ４０に移る直前には、ステップＳ３０の処理の終了時において容積（Ｓ×ＬＶ１）だけ処理液が貯留されている状態であったので、このステップＳ４０に処理では、この差の容積（Ｓ×ＬＶ１−Ｓ×ＬＶ２）分の処理液が秤量槽１から処理槽９に補充されたことになる。この容積（Ｓ×ＬＶ１−Ｓ×ＬＶ２）分の処理液は、上述の定量補充の量（補充量Ｑ）と一致している。
【００３０】
次に、ステップＳ４６において、ステップＳ４５でタイマー４３を止めたときのタイマー値（ｔ）が、送出完了予定時間Ｔに誤差Ｔ１を加味した時間範囲（Ｔ−Ｔ１〜Ｔ＋Ｔ１）内にあるか否かを判断する。ここで、タイマー値（ｔ）がこの時間範囲（Ｔ−Ｔ１〜Ｔ＋Ｔ１）内にあると判断されれば、正常に定量補充が為されたとして、定量補充の処理を終了させる。ステップＳ４６において、タイマー値（ｔ）がこの時間範囲（Ｔ−Ｔ１〜Ｔ＋Ｔ１）を逸脱していると判断されれば、なんらかの異常が生じているとしてステップＳ４８に移り、異常表示灯４１の点灯及び異常報知ブザー４２による警報の発令が行われる。これにより、定常補充が正常に為されていないことを、操作者や管理者に知らしめることができる。
【００３１】
［第２実施形態］
上記第１実施形態においては、図６に示すような定量補充の制御フローを用いて定量補充を行っているが、以下に示すように、図７に示す定量補充の制御フローを用いて定量補充を行わせることもできる。
【００３２】
図７に、本実施形態における定量補充（ステップＳ４０）の制御フローを示す。ここでは、まず、ステップＳ５１においてエアシリンダ１０ｂを作動させると同時にステップＳ５２においてタイマー４３をスタートさせる。エアシリンダ１０ｂが作動し始めると、秤量槽１内の処理液がベローズ１０ａの伸縮により外槽９ｂに送られる。タイマー４３がスタートすると、タイマー４３はエアシリンダ１０ｂの動作時間を積算して、随時その積算したタイマー値（ｔ）を制御部４０に送信する。
【００３３】
ステップＳ５３に移ると、ここでは、タイマー値（ｔ）が送出完了予定時間Ｔから誤差Ｔ１を引いた時間（Ｔ−Ｔ１）に達しているか否かを判断する。タイマー値（ｔ）が時間（Ｔ−Ｔ１）に達していないと判断した場合には、ステップＳ５８に移り、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ２まで下がったか否かを判断する。秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ２まで下がっていないと判断した場合は、エアシリンダ１０ｂを作動し続けて、秤量槽１内の処理液を外槽９ｂに送り続ける。ステップＳ５８において、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ２まで下がっていると判断した場合は、所定の時間（Ｔ−Ｔ１）に至っていないにもかかわらず補充量Ｑの処理液（容積（Ｓ×ＬＶ１−Ｓ×ＬＶ２）分の処理液）が秤量槽１から排出されてしまったことになるため、配管の漏れ等の異常があるとしてステップＳ６０に移って異常表示灯４１の点灯及び異常報知ブザー４２による警報の発令が行われる。
【００３４】
ステップＳ５３において、タイマー値（ｔ）が時間（Ｔ−Ｔ１）に達していると判断した場合には、ステップＳ５４に移り、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ２まで下がったか否かを判断する。秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ２まで下がっていないと判断した場合は、ステップＳ５９に移り、タイマー値（ｔ）が送出完了予定時間Ｔに誤差Ｔ１を加えた時間（Ｔ＋Ｔ１）を超えているか否かを判断する。そして、まだ超えていない場合には、エアシリンダ１０ｂを作動し続けて、秤量槽１内の処理液を外槽９ｂに送り続ける。ステップＳ５９において、タイマー値（ｔ）が（Ｔ＋Ｔ１）を超えている場合には、所定の時間を超過してエアシリンダ１０ｂを作動させても定量補充が完了していないとして、ステップＳ６０に移って異常表示灯４１の点灯及び異常報知ブザー４２による警報の発令が行われる。これにより、定常補充が処理液補充管８の詰まりやベローズ１０ａの劣化等によって正常に為されていないことを、操作者や管理者に知らしめることができる。
【００３５】
ステップＳ５４において、秤量槽１内の処理液の液面の高さレベルが高さレベルＬＶ２まで下がっていると判断した場合は、ステップＳ５５においてエアシリンダ１０ｂの作動を停止させるとともに、ステップＳ５６でタイマー４３を止めてタイマー値（ｔ）を保持する。この状態においては、秤量槽１内には、秤量槽１の平面的な面積（Ｓ）に高さレベルＬＶ２を乗じた容積（Ｓ×ＬＶ２）だけ処理液が貯留されている。ステップＳ４０に移る直前には、ステップＳ３０において容積（Ｓ×ＬＶ１）だけ処理液が貯留されている状態であったので、このステップＳ４０に処理では、この差の容積（Ｓ×ＬＶ１−Ｓ×ＬＶ２）分の処理液が秤量槽１から処理槽９に補充されたことになる。
【００３６】
次に、ステップＳ５７において、ステップＳ５６でタイマー４３を止めたときのタイマー値（ｔ）が送出完了予定時間Ｔに誤差Ｔ１を加えた時間（Ｔ＋Ｔ１）内にあるか否かを判断する。ここで、タイマー値（ｔ）がこの時間（Ｔ＋Ｔ１）内にあると判断されれば、正常に定量補充が為されたとして、定量補充の処理を終了させる。ステップＳ５７において、タイマー値（ｔ）がこの時間（Ｔ＋Ｔ１）を超過していると判断されれば、なんらかの異常が生じているとしてステップＳ６０に移って異常表示灯４１の点灯及び異常報知ブザー４２による警報の発令が行われる。これにより、定常補充が正常に為されていないことを、操作者や管理者に知らしめることができる。
【００３７】
【発明の効果】
本発明では、処理液送出手段が動作している時間を計測し、この時間が所定の時間範囲内に入っていない場合に異常を報知する。この報知によって、操作者等に異常を認識させることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態における処理液供給装置及び基板処理装置の処理槽の概略図。
【図２】  制御系統図。
【図３】  全体の制御フローチャート。
【図４】  秤量処理の制御フローチャート。
【図５】  補充分秤量の制御フローチャート。
【図６】  定量補充の制御フローチャート。
【図７】  第２実施形態の定量補充の制御フローチャート。
【符号の説明】
１  秤量槽
１０ａ  ベローズ（処理液送出手段）
１０ｂ  エアシリンダ（処理液送出手段）
３１，３２  窒素ガス配管（送出完了検知手段）
３１ａ  第１圧力センサー（送出完了検知手段）
３２ａ  第２圧力センサー（送出完了検知手段）
４１  異常表示灯（報知手段）
４２  異常報知ブザー（報知手段）
４３  タイマー（計時手段）
Ｔ  送出完了予定時間
ｔ  タイマー値（動作時間）
【図１】
0003745900.tif 000002
【図２】
0003745900.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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