(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器から放射される電磁波ノイズを測定する電磁波ノイズ測定装置において、
前記電磁波ノイズを受信するアンテナと、
前記アンテナで受信した所定周波数範囲の電磁波ノイズのピーク電界強度を測定するピーク電界強度測定手段と、
前記アンテナで受信した予め定めた特定周波数における電磁波ノイズの準尖頭値を測定する準尖頭値測定手段と、
前記特定周波数における前記ピーク電界強度と前記準尖頭値との差が所定値以上の場合に報知する報知手段と、
を備えたことを特徴とする電磁波ノイズ測定装置。
【請求項２】
前記ピーク電界強度測定で測定した電磁波ノイズのピーク電界強度と所定周波数範囲とに基づいて、前記準尖頭値測定手段の特定周波数を設定する設定手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の電磁波ノイズ測定装置。
【請求項３】
電子機器から放射される電磁波ノイズを測定する電磁波ノイズ測定方法において、
前記電磁波ノイズを受信し、
前記アンテナで受信した所定周波数範囲の電磁波ノイズのピーク電界強度を測定し、
前記アンテナで受信した電磁波ノイズの特定周波数における準尖頭値を測定し、
前記特定周波数における前記ピーク電界強度と前記準尖頭値との差が所定値以上の場合に報知する
ことを特徴とする電磁波ノイズ測定方法。
【請求項４】
電子機器から放射される電磁波ノイズの測定について制御するためのプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、
前記電磁波ノイズを受信させるステップと、
前記アンテナで受信した所定周波数範囲の電磁波ノイズのピーク電界強度を測定させるステップと、
前記アンテナで受信した電磁波ノイズの特定周波数における準尖頭値を測定させるステップと、
前記特定周波数における前記ピーク電界強度と前記準尖頭値との差が所定値以上の場合に報知させるステップと、
を含む処理をコンピュータに実行させるためのプログラムが記録されたことを特徴とする記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電磁波ノイズ測定装置、方法、及び記録媒体に係り、より詳しくは、電子機器から放射される電磁波ノイズを測定するための電磁波ノイズ測定装置、方法、及び記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電気機器及び電子機器の普及に伴い電磁妨害（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）が社会的問題となっている。このため、各国で規格（ＶＣＣＩやＦＣＣ）が設けられており、装置の販売に当たってはこれらの規格を満足する必要がある。
【０００３】
電気機器及び電子機器がＥＭＩ規格に適合しているか否かを判断するためには、装置が放射する電磁波ノイズを測定し、測定値が規格値を下回っていることを確認する必要がある。この電磁波ノイズの測定は、通常３０ＭＨｚ〜１ＧＨｚの範囲で行われる。
【０００４】
製品のＥＭＩ規格への適合判定は準尖頭値（Ｑｕａｓｉ−Ｐｅａｋ）と呼ばれる測定結果によって判定されるが、この測定は一定の測定時間を要するため、３０ＭＨｚ〜１ＧＨｚの範囲に亘って準尖頭値測定を実施することは測定効率が低くなるためあまり使用されていない。
【０００５】
一般的な電波測定設備（Ｏｐｅｎ  Ｆｉｅｌｄ  Ｔｅｓｔ  Ｓｉｔｅ等）では、規制周波数範囲に亘って準尖頭値測定を実施する代わりに、スペクトラムアナライザなどにより尖頭値（Ｐｅａｋ）測定を実施し、この尖頭値が該当する規格値に合致しないか、または許容値に十分なマージンを持たない妨害信号について準尖頭値を測定していた。
【０００６】
このような測定設備では、電気機器や電子機器などの装置から放射される電磁波の最大値を測定するために、被測定装置を回転させる回転手段と被測定装置が放射する電磁波を受信するアンテナの昇降手段をさらに必要とする。
【０００７】
また、従来の電磁波自動測定ソフトでは、その作業を効率化するために、受信アンテナをあるハイトパターンと呼ばれるアンテナを用いた計算式、又は送信・受信アンテナを用いた実測値に基づいて所定位置に固定し、装置の電磁波ノイズ測定を実施していた。
【０００８】
しかしながら、電磁妨害波がアンテナの高さ方向に指向性が高い場合、アンテナを一定の高さにして電磁波の測定を行っていたのでは測定漏れを起こす場合がある。
【０００９】
このような電波測定設備において使用する電波測定装置は、電気機器及び電子機器から発生する電磁妨害波を受信するアンテナ、該アンテナによって受信された各電磁波を増幅する増幅器、受信した電磁波の結果の表示を行うスペクトラム解析手段、電界強度計等が同軸ケーブルなどによって接続された構成となっており、電磁妨害波が規格値を下回っているか否かを確認する際には、各部における電磁妨害波入出力の利得やロス（ファクター）を各々算出し、各部において受信した各電磁波からファクターを相殺し測定値が規格値を下回っていることを確認する必要があった。また、被測定装置により異なる電磁波ノイズ信号の時間的な発生タイミングや、一時的なノイズの観測に関わる判定は行われていなかった。
【００１０】
さらに、これらの利得やロスは、実際の被測定装置が放射している電磁波ノイズレベルとは大きくかけ離れた所定信号レベルで測定、管理されていた。この場合、入力の強弱の変化に対する出力のリニアリティは検査されず、一定の入力に対するファクターは正確となるが、入力変動に対するファクターは不正確となり、規格値との比較ができない場合がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記の電磁波ノイズに関する規格では、例えばＱＰ（Ｑｕａｓｉ  Ｐｅａｋ：準尖頭値）測定を行い、このＱＰ測定値が規格を満たしているか否かを判断する必要があるが、上記のような電磁妨害波の評価方法では、放射ノイズ測定、各周波数の電磁波のレベルを測定し、この測定結果から装置が有する複数の繰り返し信号のうち、特定の繰り返し信号の各高調波成分に対応する電磁波のレベルを自動抽出し、ＱＰ測定を自動で行ったときに、特定の繰り返し信号の各高調波成分が異なった繰り返し信号の各高調波と同一周波数で重なり合った場合やその高調波が隣接している場合、測定目的とした高調波についてＱＰ測定を自動で行ったときに誤測定になってしまうことがある。
【００１２】
また、測定システムが被測定装置が放射している電磁波ノイズのレベルと同等の信号強度を受信したとき、これらのシステムが必ずしも直線性を持った性能を示すとは限らず、測定結果にエラーを生じる場合がある。
【００１３】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたものであり、電磁波ノイズの誤測定を防ぐと共に測定効率を向上させることができる電磁波ノイズ測定装置、方法、及び記録媒体を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、電子機器から放射される電磁波ノイズを測定する電磁波ノイズ測定装置において、前記電磁波ノイズを受信するアンテナと、前記アンテナで受信した所定周波数範囲の電磁波ノイズのピーク電界強度を測定するピーク電界強度測定手段と、前記アンテナで受信した予め定めた特定周波数における電磁波ノイズの準尖頭値を測定する準尖頭値測定手段と、前記特定周波数における前記ピーク電界強度と前記準尖頭値との差が所定値以上の場合に報知する報知手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、例えばプリンタやコピー機、ファクシミリなどの電子機器から放射される電磁波ノイズをアンテナにより受信する。なお、電磁波ノイズを受信する際には、例えばアンテナを昇降させるアンテナ昇降手段により電磁波ノイズが最大となる位置にアンテナを移動させ、電子機器をターンテーブル上に載置し、このターンテーブルを回転させながら受信する。
【００１６】
ピーク電界強度測定手段では、このアンテナで受信した所定周波数範囲の電磁波ノイズのピーク電界強度を測定する。このピーク電界強度測定手段には、例えば公知のスペクトラムアナライザを用いることができる。
【００１７】
準尖頭値測定手段は、アンテナで受信した予め定めた特定周波数における電磁波ノイズの準尖頭値、すなわちＱＰ値を測定する。この準尖頭値測定手段には、例えば公知の電界強度計（レシーバ）などを用いることができる。予め定めた特定周波数とは、例えばピーク電界強度が所定閾値を超えている電磁波ノイズの周波数であり、請求項２にも記載したように、設定手段をさらに設け、この設定手段により、ピーク電界強度測定手段で測定した電磁波ノイズのピーク電界強度と所定周波数範囲とに基づいて、準尖頭値測定手段の特定周波数を設定するようにしてもよい。この設定は、オペレータが手動で行っても良いし、ピーク電界強度が所定閾値を超えている電磁波ノイズの周波数を自動で検出して自動的に設定するようにしてもよい。
【００１８】
ところで、ＱＰ測定では、規格で定められた所定時間以上継続しない鋭いピーク波形については測定できないため、何らかの原因によりピーク電界強度測定手段で測定したときと測定条件が異なってしまったような場合には、自動でＱＰ測定を行ったときの準尖頭値測定手段によって測定した値が正しくなく、誤測定となる恐れがある。
【００１９】
そこで、報知手段は、特定周波数におけるピーク電界強度と準尖頭値との差が所定値以上の場合には、例えば手動で測定を行うよう促す旨を示すエラーメッセージを表示手段に表示するなどして報知する。これにより、ＱＰ測定を自動測定する場合でも誤測定を防ぐことができる。
【００２０】
なお、電子機器の各基板に搭載されたクロックのクロック周波数をクロックリストとして記憶手段に予め記憶させておき、このクロックリストから選択されたクロックの整数倍の周波数の波形、すなわ高調波と予め定めた特定周波数の波形とを重ね合わせて表示手段に表示させるようにしてもよい。これにより、どの基板のクロックがノイズ源となっているかを容易に特定することができる。
【００２１】
また、表示手段に複数の周波数の波形を表示させると共に、予め定めた基本周波数の波形との差分を演算手段により演算して記憶手段に記憶するようにしてもよい。これにより、例えば電磁波ノイズ対策を施す前の基板で測定した電磁波ノイズの波形と電磁波ノイズ対策を施した後の基板で測定した電磁波ノイズの波形とを容易に比較することができる。また、基板の各ポイントの電磁波ノイズをレベルに応じて例えば色分けして３次元表示させるようにしてもよい。
【００２２】
また、請求項３にも記載したように、電子機器から放射される電磁波ノイズを測定する電磁波ノイズ測定方法において、前記電磁波ノイズを受信し、前記アンテナで受信した所定周波数範囲の電磁波ノイズのピーク電界強度を測定し、前記アンテナで受信した電磁波ノイズの特定周波数における準尖頭値を測定し、前記特定周波数における前記ピーク電界強度と前記準尖頭値との差が所定値以上の場合に報知することにより、電磁波ノイズの誤測定を防ぐことができる。
【００２３】
また、請求項４に記載したように、電子機器から放射される電磁波ノイズの測定について制御するためのプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、前記電磁波ノイズを受信させるステップと、前記アンテナで受信した所定周波数範囲の電磁波ノイズのピーク電界強度を測定させるステップと、前記アンテナで受信した電磁波ノイズの特定周波数における準尖頭値を測定させるステップと、前記特定周波数における前記ピーク電界強度と前記準尖頭値との差が所定値以上の場合に報知させるステップと、を含む処理をコンピュータに実行させるためのプログラムが記録された記録媒体により上記の制御を実行させることにより、電磁波ノイズの誤測定を防ぐことができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
［第１実施形態］
本発明の第１実施形態について説明する。
【００２９】
図１には、電磁波ノイズ測定装置１０が示されている。図１に示すように、電磁波ノイズ測定装置１０は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）１２、電界強度計１４、スペクトラムアナライザ１６、プリアンプ１８、コントローラ２０、プリンタ２２等を含んで構成されている。ＰＣ１２と電界強度計１４、スペクトラムアナライザ１６、コントローラ２０、プリンタ２２は、各々ＧＰＩＢケーブル２４により接続されている。
【００３０】
コントローラ２０は、電磁波ノイズの測定対象である例えば複写機２６などを回転させるためのターンテーブル２８や複写機２６から放射される電磁波ノイズを測定するためのアンテナ３０を昇降するためのアンテナ昇降機３２と接続されている。コントローラ２０では、ＰＣ１２の指示に従ってターンテーブル２８やアンテナ昇降台３２を制御する。
【００３１】
次に、複写機２６から放射される電磁波ノイズの測定（ＥＭＩ測定）について説明する。
【００３２】
図２には複写機２６から放射される電磁波ノイズを測定する場合のＥＭＩ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）ソフトウェアのフローチャートが示されている。
【００３３】
図２に示すように、電磁波ノイズを測定する際には、オペレータがスペクトラムアナライザ１６に所定の設定値をセットする（ステップ１００）。
【００３４】
次に、ＰＣ１２の指示によりコントローラ２０によりアンテナ昇降台３２を制御し、アンテナ３０を指定位置へ移動させる（ステップ１０２）。この指定位置とは、例えば複写機２６から放射される電磁波ノイズの直接波及び床面で反射した反射波とを合成した電界強度が最大となる高さである。
【００３５】
従って、この指定位置にアンテナ３０をセットするために、例えばターンテーブル２８を所定角度に設定した状態でアンテナ３０を昇降させ、電界強度計１４で測定された電磁波ノイズの電界強度が最大となる位置でアンテナ３０の昇降を停止する。このようにして、複写機２６からの電磁波ノイズが最大となる位置にアンテナ３０を移動させる。
【００３６】
このようにアンテナ３０を移動させた後、ＰＣ１２の指示によりコントローラ２０によりターンテーブル２８の回転を開始させる（ステップ１０４）。そして、回転角度を監視しながらスペクトラムアナライザ１６から電磁波ノイズのスペクトラムデータを取得し、ＰＣ１２内のメモリへ記憶させていくと同時に、図３に示すように、ＰＣ１２のモニタ３４に表示させる。
【００３７】
そして、ターンテーブル２８が３６０度回転したか否かを判断し（ステップ１０８）、３６０度回転した場合には、ターンテーブル２８を停止させる（ステップ１１０）。
【００３８】
そして、取得したスペクトラムアナライザ１６のデータを解析し図４に示すようにＰＣ１２のモニタ３４へ表示させる（ステップ１１２）。図４では、３０ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数の波形を表示している。
【００３９】
次に、図５に示すように、オペレータは図４に示すようにＰＣ１２のモニタ３４上に表示されたスペクトラムデータを元に解析したい周波数の範囲をキーボードやマウスなどを用いて指定する（ステップ２００）。これにより、指定された周波数範囲の波形が図６に示すように別のウィンドウ３６に拡大表示される（ステップ２０２）。
【００４０】
そして、オペレータは、ウィンドウ３６に拡大表示された波形から解析したい周波数ポイント、例えば電界レベルが所定閾値以上の周波数ポイントを指定する（ステップ２０４）。これにより、指定されたポイントのデータが図６に示すポイントリスト３８に表示される（ステップ２０６）。
【００４１】
そして、スペクトラムアナライザ１６を使用し、ＱＰ測定を行うポイント周波数を絞り込み（ステップ３００）、絞り込んだ周波数のピークレベルを取得する（ステップ３０２）。
【００４２】
そして、スペクトラムアナライザ１６から取得したピークレベルをａ、図５のステップ２０４で指定したポイントのピークレベルをｂ、予め設定した不確な値をｃとしてａ＜ｂ−ｃであるか否かを判定する（ステップ３０４）。そして、ａ＜ｂ−ｃである場合には、指定したポイントは時間的に変動した電磁波ノイズであり自動測定できないものであると判断し、手動で測定すべき旨をポイントリスト３８のコメント欄へエラーメッセージを表示する（ステップ３０６）。これにより、誤測定を防ぐことができる。
【００４３】
一方、ａ＜ｂ−ｃでない場合には、指定したポイントは自動測定可能な電磁波ノイズであると判断し、図８に示すようなＱＰ測定を行う（ステップ３０８）。
【００４４】
ＱＰ測定では、図８に示すように、まずターンテーブル２８及びアンテナ３０をそれぞれ電磁波ノイズが最大となる位置へ移動させる（ステップ４００）。そして、電界強度計１４又はスペクトラムアナライザ１６でＱＰ値を取得する（ステップ４０２）。
【００４５】
そして、スペクトラムアナライザ１６から取得したＱＰをａ、図５のステップ２０４で指定したポイントのピークレベルをｂ、予め設定したマージン値をｃとしてａ＜ｂ−ｃであるか否かを判定する（ステップ４０４）。そして、ａ＜ｂ−ｃである場合には、指定したポイントは時間的に変動した電磁波ノイズであり自動測定できないものであると判断し、手動で測定すべき旨をポイントリスト３８のコメント欄へエラーメッセージを表示する（ステップ４０６）。これにより、誤測定を防ぐことができる。一方、ａ＜ｂ−ｃでない場合にはリターンする。そして、上記のような動作を周波数ポイント分繰り返す。
【００４６】
このように、指定したポイントが時間的に変動した電磁波ノイズであり自動測定できないものであるか否かを判断し、自動測定できないものであると判断した場合には、モニタ３４上のエラーメッセージを表示するため、電磁波ノイズの誤測定を防ぐことができる。
【００４７】
［第２実施形態］
本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態では、電磁波測定装置１０の電界強度計１４、スペクトラムアナライザ１６、プリアンプ１８の入出力関係のリニアリティをチェックする場合について説明する。
【００４８】
電磁波ノイズの測定は、例えば図９に示すような電波暗室４０内に測定対象の複写機２６やアンテナ３０を設置して行われる。そして、測定機器のリニアリティのチェックを行うために、複写機２６から放射される電磁波ノイズに代えて信号発生器（ＳＧ）４２を設けている。
【００４９】
信号発生器４２からの信号は、アッテネータ（ＡＴＴ）４４を介してプリアンプ１８に入力され、分配器４６によりスペクトラムアナライザ１６及び電界強度計１４に入力される。リニアリティのチェックは、例えばプリアンプ１８とスペクトラムアナライザ１６、プリアンプ１８と電界強度計（レシーバ）１４について行う。
【００５０】
以下、プリアンプ１８とレシーバ１４のリニアリティのチェックを行う場合について図１０に示すフローチャートを参照して説明する。
【００５１】
図１０に示すように、まず各ハードウェアの設定及びチェックを行う（ステップ５００）。そして、信号発生器４２の出力レベルを許容値及びファクターから算出し（ステップ５０１）、信号発生器４２のレベルをＯＮにし（ステップ５０２）、信号発生器４２のレベル及び周波数を設定する（ステップ５０４）。
【００５２】
次に、レシーバ１４の周波数を設定し（ステップ５０６）、レシーバ１４の受信レベルを取得する（ステップ５０８）。そして、信号発生器４２の発信レベルとレシーバ１６の受信レベルとから比較結果を算出する（ステップ５１０）。
【００５３】
そして、取得した比較値を図１１に示すリスト４８及びグラフ５０に表示する（ステップ５１２）。そして、周波数ポイント分終了したか否かを判定し（ステップ５１４）、周波数ポイント分終了するまでステップ５０４からステップ５１２の動作を繰り返す。周波数ポイント分終了した場合には、信号発生器４２のレベルをＯＦＦし（ステップ５１６）する。
【００５４】
次に、現在の信号発生器４２の送信レベルにステップレベル（設定値、例えば２ｄｂ）を加算した値を送信レベルとして設定する（ステップ５１８）。そして、この計算した送信レベルが予め定めた測定範囲（例えば測定値−１０ｄｂ〜測定値＋１０ｄｂ）外になったか否かを判断し（ステップ５２０）、測定範囲内の場合には、上記の処理を繰り返し、測定範囲外になった場合には測定を終了する。
【００５５】
これにより、周波数毎の各レベルの比較値（偏差）がグラフ５０に表示され、周波数毎の各レベルの比較値の変動の様子、すなわちプリアンプ１８とレシーバ１４のリニアリティを把握することができる。このため、より精度の高い電磁波ノイズの測定を行うことができる。
【００５６】
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態について説明する。第３実施形態では、複写機２６のどの部分がノイズ発生源かを特定する場合について説明する。
【００５７】
複写機２６には、様々なクロックを持った基板が搭載されている。このため、ＰＣ１２のメモリには、各基板に搭載されたクロックの周波数リストが予め記憶されている。このクロック周波数リストと測定した電磁波ノイズとに基づいてノイズ発生源を特定する。
【００５８】
まず、第１実施形態で説明したように、図２，５に示すフローチャートに従って、複写機２６から放射される電磁波ノイズを測定し、モニタ３４に表示させる。そして、ポイントリスト３８から解析する周波数を選択し、解析リスト（別ソフト）へ移動させる（図１２に示すステップ６００）。
【００５９】
次に、オペレータは図１４に示すように解析リストから解析したい１ポイントを選択する（ステップ６０２）。そして、選択されたポイントのデータを高調波解析プログラムへ送り（ステップ６０４）、高調波解析プログラムが起動される（ステップ６０６）。これにより、モニタ３４には、図１５に示すような画面となる。
【００６０】
次に、スペクトラムアナライザ１６に基本設定値をセットし（ステップ６０８）、スペクトラムアナライザ１６のセンター周波数を解析リストで選択された周波数にセットする（ステップ６１０）。
【００６１】
次に、基本クロックリストのファイルをロードし、図１５に示すようにウィンドウ５２に表示させる（ステップ６１４）。そして、スペクトラムアナライザ１６の現在の波形を取得し、モニタ３４上へ表示させる（ステップ６１４）。
【００６２】
次に、周波数の上下移動ボタン５４が押下されたか否かを判断し（ステップ６１６）、押された場合にはステップ６１７でセンター周波数を基本クロックリストから選択された基本クロック（周波数）分上下へずらす（ステップ６１７）。
【００６３】
そして、スペクトラムアナライザ１６の現在の波形を取得し、図１６に示すように基本周波数の波形と重ね描きしてモニタ３４上へ表示する（ステップ６１８）。このステップ６１６乃至６１８をオペレータの判断により繰り返す（ステップ６２０）。このように、基本クロックの高調波成分とスペクトラムアナライザ１６の現在の波形とを重ね描きして表示するため、対策が必要となる電磁波ノイズの周波数がどの基本クロックの高調波成分となっているかを容易に特定することができ、ノイズ源を容易に特定することができる。
【００６４】
次に、確定ボタンが押下されたか否かを判断し（ステップ６２２）、確定ボタンが押下された場合には、コメント用ウィンドウを表示させ（図１３に示すステップ６２４）、解析した周波数をリスト表示する（ステップ６２６）。
【００６５】
そして、高周波解析プログラムの終了が指示されたか否かを判断し（ステップ６２８）、終了が指示された場合には、ＥＭＩソフトウェアへ解析結果を送り（ステップ６３０）、解析リストのデータを更新する（ステップ６３２）。
【００６６】
このように、基本クロックの高調波成分とスペクトラムアナライザ１６の現在の波形とを重ね描きして表示するため、対策が必要となる電磁波ノイズの周波数がどの基本クロックの高調波成分となっているかを容易に特定することができ、ノイズ源を容易に特定することができる。
【００６７】
［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態について説明する。第４実施形態では、測定した電磁波ノイズの波形解析を行う場合について説明する。
【００６８】
まず、第１実施形態で説明したように、図２に示すフローチャートに従って、複写機２６から放射される電磁波ノイズを測定し、モニタ３４に表示させる。そして、ポイントリスト３８から解析する周波数を選択し、解析リスト（別ソフト）へ移動させる（図１７に示すステップ７００）。
【００６９】
次に、オペレータは図１４に示すように解析リストから解析したい１ポイントを選択する（ステップ７０２）。そして、選択されたポイントのデータを波形解析プログラムへ送り（ステップ７０４）、波形解析プログラムが起動される（ステップ７０６）。
【００７０】
次に、スペクトラムアナライザ１６に基本設定値をセットし（ステップ７０８）、スペクトラムアナライザ１６の現在の波形（Ｎｏ１）を取得しモニタ３４へ表示する（ステップ７１０）。
【００７１】
次に、図１８に示すようにデータＮｏを指定し（ステップ７１２）、指定されたデータＮｏの表示スイッチがＯＮか否かを判断し（ステップ７１４）、ＯＦＦだった場合にはデータを消去する（ステップ７１６）。
【００７２】
一方、指定されたデータＮｏの表示スイッチがＯＮだった場合には、指定されたデータＮｏのデータを表示し（ステップ７１８）、スペクトラムアナライザ１６のＭＡＸ−ＨＯＬＤ機能及びＣＬＥＡＲ−ＷＲＩＴＥ機能を用いてピークデータを取得する（ステップ７２０）。
【００７３】
そして、取得したデータをモニタ３４に図１９に示すように重ね描きして表示する（ステップ７２２）。次に、確定ボタンが押下されたか否かを判断し（ステップ７２４）、押下された場合には、コメント入力用ウィンドウを表示させる（ステップ７２６）。そして、取得したデータを解析後、モニタ３４に表示する。この時指定されているデータＮｏのデータを重ね描きする（ステップ７２８）。
【００７４】
このように、複数のデータを重ね描きして表示できるため、例えばノイズ源と思われる基板に対して様々な対策を取ったものについて測定した複数のデータを同時に表示させることができ、これらを容易に比較することができる。
【００７５】
そして、これらの中から基本データの番号を選択し（図２０に示すステップ７３０）、演算データの番号を選択する（ステップ７３２）。次に、演算データの表示スイッチがＯＮか否かを判断し（ステップ７３４）、ＯＦＦだった場合にはデータは表示せず（ステップ７３６）、表示スイッチがＯＮだった場合には基本データの周波数を元に演算データのレベルを検索し、同一周波数でのレベルを引き算する（ステップ７３８）。これを周波数ポイント分繰り返す。そして、演算した結果を偏差データとして表示する（ステップ７４０）。このように、各データの差分データを演算して表示することができるため、ノイズ源と思われる基板に対策を施した場合に、容易に対策前と比較してどの程度効果があるのかを把握することができる。
【００７６】
［第５実施形態］
次に、本発明の第５実施形態について説明する。第５実施形態では、測定した電磁波ノイズの波形分布解析を行う場合について説明する。
【００７７】
まず、第１実施形態で説明したように、図２に示すフローチャートに従って、複写機２６から放射される電磁波ノイズを測定し、モニタ３４に表示させる。そして、ポイントリスト３８から解析する周波数を選択し、解析リスト（別ソフト）へ移動させる（図２１に示すステップ８００）。
【００７８】
次に、オペレータは解析リストから解析したい１ポイントを選択する（ステップ８０２）。そして、選択されたポイントのデータを分布測定プログラムへ送り（ステップ８０４）、分布測定プログラムが起動される（ステップ８０６）。
【００７９】
次に、スペクトラムアナライザ１６に基本設定値をセットする（ステップ８０８）。
【００８０】
次に、図２３に示すような例えば基板の表面を表示したビットマップ５６から前記基板上の測定するポイントを選択し（図２２に示すステップ８１０）、スペクラムアナライザ１６から現在の波形を取得する（ステップ８１２）。そして、取得した波形を解析し図２４に示すように３次元表示する（ステップ８１４）と共にグラフに表示する（ステップ８１６）。これは、例えばレベルが高い部分については赤、レベルが低い部分については青といったようにレベルに応じて色分けして３Ｄ表示することができる。
【００８１】
そして、指定ポイント分終了したか否かを判断し（ステップ８１８）、指定ポイント分終了した場合には、分布測定の終了が指示されたか否かについて判断する（ステップ８２０）。そして、分布測定の終了が指示された場合にはＥＭＩソフトウェアへ解析結果を送り（ステップ８２２）、解析リストのデータを更新する（ステップ８２４）。
【００８２】
このように、基板上の各ポイントの取得した波形の波形分布を３次元表示することができるため、どの部分のレベルが高いかを容易に判断することができる。
【００８３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の発明によれば、電磁波ノイズの誤測定を防ぐと共に測定効率を向上させることができる、という効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  電磁波測定装置の概略構成図である。
【図２】  第１実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図３】  第１実施形態に係る電磁波測定において表示される画面の一例である。
【図４】  第１実施形態に係る電磁波測定において表示される画面の一例である。
【図５】  第１実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図６】  第１実施形態に係る電磁波測定において表示される画面の一例である。
【図７】  第１実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図８】  第１実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図９】  第２実施形態に係る電磁波測定装置の概略構成図である。
【図１０】  第２実施形態に係るリニアリティ測定のフローチャートである。
【図１１】  第２実施形態に係るリニアリティ測定において表示される画面の一例である。
【図１２】  第３実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図１３】  第３実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図１４】  第３実施形態に係る電磁波測定において表示される画面の一例である。
【図１５】  第３実施形態に係る電磁波測定において表示される画面の一例である。
【図１６】  第３実施形態に係る電磁波測定において表示される画面の一例である。
【図１７】  第４実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図１８】  第４実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図１９】  第４実施形態に係る電磁波測定において表示される画面の一例である。
【図２０】  第４実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図２１】  第５実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図２２】  第５実施形態に係る電磁波測定のフローチャートである。
【図２３】  第５実施形態に係る電磁波測定において表示される画面の一例である。
【図２４】  第５実施形態に係る電磁波測定において表示される画面の一例である。
【符号の説明】
１０    電磁波測定装置
１２    ＰＣ
１４    電界強度計
１６    スペクトラムアナライザ
１８    プリアンプ
２０    コントローラ
２２    プリンタ
２４    ＧＰＩＢケーブル
２６    複写機
２８    ターンテーブル
３０    アンテナ
３２    アンテナ昇降台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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