(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動手段と、
前記駆動手段の駆動作用下に変位する弁ロッドと、
前記弁ロッドを案内するガイドシャフトと、
前記弁ロッドの変位作用下に、弁箱に形成された通路を開閉する弁ディスクと、
前記ガイドシャフトに連結されたブロック体を有し、前記弁ディスクを前記弁ロッドの軸線と略直交する方向に変位させる変位機構と、
を備え、
前記変位機構は、前記弁ロッドに連結されて該弁ロッドと一体的に変位する単一のラック部材と、前記ラック部材を間にして該ラック部材の側部にそれぞれ噛合し所定距離離間して前記ブロック体に回動自在に軸支された第１および第２ピニオンと、前記弁ディスクに連結され前記第１および第２ピニオンの内周面に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部が形成された一対の軸受部材とを有し、
前記駆動手段の駆動作用下に前記弁ロッドと一体的に前記ラック部材が変位し、前記ラック部材の歯部と前記第１および第２ピニオンの歯部とがそれぞれ噛合することにより、前記第１および第２ピニオンがそれぞれ反対方向に回転し、ねじの切り込み方向が反対に形成された前記一対の軸受部材の雄ねじ部と前記第１および第２ピニオンの雌ねじ部との螺合作用下に、前記一対の軸受部材および前記弁ディスクが前記通路側に向かって一体的に変位することを特徴とするゲートバルブ。
【請求項２】
請求項１記載のゲートバルブにおいて、
前記ガイドシャフトの一端部には、該ガイドシャフトの変位を規制するストッパが設けられることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項３】
請求項２記載のゲートバルブにおいて、
前記ピストンに連結されるロッド部材と、ガイドシャフトの孔部内に配設され前記ロッド部材をピストン側に向かって押圧するばね部材とを有し、ストッパの係止作用下にガイドシャフトの変位が規制されたとき、前記ばね部材の弾発力に抗してロッド部材が弁ロッドと一体的に変位するように設けられることを特徴とするゲートバルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、圧力流体、気体等の流通通路もしくは排気通路等を開閉することが可能なゲートバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、例えば、半導体ウェハや液晶基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行われており、前記通路には、それぞれ、該通路を開閉するゲートバルブが設けられている。
【０００３】
この種のゲートバルブは、例えば、特許第２６１３１７１号公報に示されるように、シリンダの駆動作用下に変位する弁ロッドの直進運動によって弁ディスクが弁座の対向位置に到達した後、前記弁ロッドの傾動運動によって前記弁ディスクが弁座に押し付けられて着座することにより、弁箱に形成された通路が閉塞されるように設けられている。
【０００４】
すなわち、従来技術に係る前記ゲートバルブ１は、図８および図９に示されるように、ワークを出し入れする通路２が形成された弁箱３と、前記弁箱３内に形成された弁座４に着座することにより前記通路２を閉塞する弁ディスク５と、前記弁ディスク５に連結されて上下動および傾動自在に設けられた弁ロッド６とを有する。
【０００５】
前記弁ロッド６の上部にはブロック７が連結され、前記ブロック７の両側面には、一組のシリンダ８ａ、８ｂのシリンダチューブ９の両側面にそれぞれ形成されたガイド溝１０（図１０参照）に沿って変位する枢軸１１が固着され、前記ブロック７は、枢軸１１が係合するガイド溝１０の案内作用下に上下動および傾動が可能なように設けられている。なお、前記シリンダチューブ９、ブロック７および枢軸１１はそれぞれ金属製材料によって形成されている。
【０００６】
換言すると、前記ブロック７は、枢軸１１が係合するガイド溝１０の案内作用下に、引張ばね１２を介してヨーク１３と一体的に上下方向に沿って直進運動するとともに、前記ガイド溝１０の湾曲する下端部１０ａ（図１０参照）によって支持された枢軸１１を支点として矢印Ａ方向に傾動運動するように設けられている。従って、前記弁ディスク５は、枢軸１１を支点として矢印Ｂ方向に傾動して弁座４に着座することにより、通路２が気密に閉塞される。
【０００７】
なお、参照数字１４は、断面菱形の板状カムを示し、傾斜した前記板状カム１４が略水平に変位することにより、前記ブロック７がガイド溝１０の下端部１０ａを支点として矢印Ａ方向に傾動するように設けられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来技術に係るゲートバルブでは、一組のシリンダの駆動作用下に弁ロッドが上下動および傾動し、前記弁ロッドに連結された弁ディスクによって通路が閉塞されるように設けられている。このため、従来技術に係るゲートバルブでは、長年の使用により、弁ディスクが弁座に着座して通路を閉塞した際に前記通路のシール性が劣化するおそれがある。
【０００９】
本発明は、前記の不具合を考慮してなされたものであり、弁箱の弁座に対し弁ディスクが略直交する方向から押圧してシールすることにより、擦れによる塵埃の発生を阻止し、しかも、通路を確実にシールすることにより、通路に対するシール性を向上させることが可能なゲートバルブを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、駆動手段と、
前記駆動手段の駆動作用下に変位する弁ロッドと、
前記弁ロッドを案内するガイドシャフトと、
前記弁ロッドの変位作用下に、弁箱に形成された通路を開閉する弁ディスクと、
前記ガイドシャフトに連結されたブロック体を有し、前記弁ディスクを前記弁ロッドの軸線と略直交する方向に変位させる変位機構と、
を備え、
前記変位機構は、前記弁ロッドに連結されて該弁ロッドと一体的に変位する単一のラック部材と、前記ラック部材を間にして該ラック部材の側部にそれぞれ噛合し所定距離離間して前記ブロック体に回動自在に軸支された第１および第２ピニオンと、前記弁ディスクに連結され前記第１および第２ピニオンの内周面に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部が形成された一対の軸受部材とを有し、
前記駆動手段の駆動作用下に前記弁ロッドと一体的に前記ラック部材が変位し、前記ラック部材の歯部と前記第１および第２ピニオンの歯部とがそれぞれ噛合することにより、前記第１および第２ピニオンがそれぞれ反対方向に回転し、ねじの切り込み方向が反対に形成された前記一対の軸受部材の雄ねじ部と前記第１および第２ピニオンの雌ねじ部との螺合作用下に、前記一対の軸受部材および前記弁ディスクが前記通路側に向かって一体的に変位することを特徴とする。
【００１１】
この場合、前記ガイドシャフトの一端部に、該ガイドシャフトの変位を規制するストッパを設けるとよい。
【００１２】
さらに、前記ピストンに連結されるロッド部材と、ガイドシャフトの孔部内に配設され前記ロッド部材をピストン側に向かって押圧するばね部材とを有し、ストッパの係止作用下にガイドシャフトの変位が規制されたとき、前記ばね部材の弾発力に抗してロッド部材が弁ロッドと一体的に変位するように構成するとよい。
【００１３】
本発明によれば、駆動手段の駆動作用下に弁ロッドと一体的にラック部材が変位し、所定距離離間して前記ブロック体に回動自在に軸支された第１および第２ピニオンの歯部とラック部材の歯部とがそれぞれ噛合することにより、前記第１および第２ピニオンがそれぞれ反対方向に回転する。その際、ねじの切り込み方向が反対に形成された一対の軸受部材の雄ねじ部と前記第１および第２ピニオンの雌ねじ部との螺合作用下に、前記一対の軸受部材および前記弁ディスクが通路側に向かって一体的に変位する。従って、前記一対の軸受部材に連結された弁ディスクによって通路が確実に閉塞され、通路のシール性が向上する。
【００１４】
また、前記弁ディスクは、弁箱の弁座に対して略直交する方向から着座して通路をシールするため、着座するときの擦れに起因する塵埃の発生を阻止することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明に係るゲートバルブについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１６】
図１において、参照数字２０は、本発明の実施の形態に係るゲートバルブを示す。
【００１７】
このゲートバルブ２０は、駆動部２２と、前記駆動部２２の駆動作用下に上下方向に沿って変位する弁ロッド２４と、前記弁ロッド２４の変位作用下に通路（後述する）を開閉する弁ディスク２６と、前記弁ロッド２４と弁ディスク２６との間に設けられ、前記弁ディスク２６を前記通路側に向かって進退動作させる変位機構２８とを有する。
【００１８】
なお、前記駆動部２２の上部側にはねじ部材を介して弁箱３０が連設され、前記弁箱３０には大気側と真空室とを連通させる通路３２が設けられる（図３参照）。前記弁箱３０の内壁面に形成された弁座３４に前記弁ディスク２６が着座することにより、前記通路３２が気密に閉塞される。前記弁ディスク２６には環状溝に沿ってシール部材３６が装着され、前記シール部材３６によって弁ディスク２６が弁座３４に着座した際の気密性が保持される。
【００１９】
駆動部２２は、シリンダ機構（駆動手段）４４からなり、前記シリンダ機構４４は筒状に形成されたシリンダチューブ４６と、前記シリンダチューブ４６の一端部に連結されるロッドカバー４８と、該シリンダチューブ４６の他端部に連結されるヘッドカバー５０とを有する。前記シリンダチューブ４６の外壁面には軸線方向に沿って延在する略平行な２条のセンサ取付用長溝５２ａ、５２ｂが形成され（図４参照）、前記センサ取付用長溝５２ａ、５２ｂには後述するピストンの位置を検出する図示しない一組のセンサが装着される。
【００２０】
なお、前記ロッドカバー４８およびヘッドカバー５０には、図４に示されるように、後述する上部側のシリンダ室および下部側のシリンダ室にそれぞれ連通する一組の圧力流体出入ポート５４ａ、５４ｂが形成されている。
【００２１】
さらに、前記シリンダ機構４４は、図２に示されるように、前記シリンダチューブ４６内のシリンダ室５８に沿って変位自在に収装されたピストン６０と、一端部が前記ピストン６０に連結され、他端部が変位機構２８に連結された弁ロッド２４とを有する。
【００２２】
前記ピストン６０には、該ピストン６０によって二分割された上部側シリンダ室５８ａと下部側シリンダ室５８ｂとをそれぞれ気密に保持するピストンパッキン６２と、シリンダチューブ４６の内壁面に沿って摺動するウェアリング６４と、環状のマグネット６６とが装着されている。前記マグネット６６はピストン６０と一体的に変位し、センサ取付用長溝５２ａ、５２ｂに取着された図示しないセンサによってマグネット６６の磁気を検知することにより、ピストン６０の位置が検出される。
【００２３】
さらに、前記ピストン６０には、弁ロッド２４と略平行に一組のロッド部材６８ａ、６８ｂが連結され、前記ロッド部材６８ａ、６８ｂの一端側はガイドシャフト７０ａ、７０ｂの孔部７２内に挿通するように設けられている。前記ガイドシャフト７０ａ、７０ｂの孔部７２内にはばね部材７４が配設され、前記ばね部材７４の弾発力によってロッド部材６８ａ、６８ｂはピストン６０側（下方側）に向かって、常時、押圧された状態にある。従って、ロッド部材６８ａ、６８ｂは、ばね部材７４の弾発力に抗して孔部７２に沿って変位自在に設けられている。
【００２４】
前記ガイドシャフト７０ａ、７０ｂの一端部は変位機構２８を構成する筐体（ブロック体）７６に連結され、反対側の他端部には、半径外方向に向かって突出する環状膨出部が形成されたストッパ７８が連結されている。この場合、前記ストッパ７８は、ロッドカバー４８に固着された板状の緩衝部材８０に当接してガイドシャフト７０ａ、７０ｂの変位を規制するとともに、ロッド部材６８ａ、６８ｂの一端部に形成された環状係止部８２が該ストッパ７８の内周突起部に当接することにより該ロッド部材６８ａ、６８ｂがガイドシャフト７０ａ、７０ｂから抜け出ることを防止する機能を営む。
【００２５】
ロッドカバー４８の略中央部には弁ロッド２４が挿通する小径な第１貫通孔８４が形成され、さらにロッドカバー４８には、前記第１貫通孔８４を間にして前記一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂがそれぞれ挿通する大径な一組の第２貫通孔８６ａ、８６ｂが形成されている。
【００２６】
前記第１貫通孔８４の内周面には、弁ロッド２４の外周面を囲繞することによりシリンダ室５８を気密に保持するシール部材８８が装着され、さらに、前記内周面には、弁ロッド２４の外周面に塗布された潤滑油の逃げ溝として機能する環状凹部９０が形成されている。
【００２７】
また、前記第２貫通孔８６ａ、８６ｂの内周面には、ガイドシャフト７０ａ、７０ｂの外周面を囲繞するガイドリング９２が環状溝を介して装着され、前記ガイドリング９２は、シリンダ室５８を気密に保持するシール機能と、ガイドシャフト７０ａ、７０ｂを直線状に変位させるためのガイド機能とを併有するように設けられている。
【００２８】
変位機構２８は、一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂの一端部にそれぞれ連結され、その軸線方向に沿って前記一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂと一体的に変位する筐体７６を有し、前記筐体７６は、ねじ部材９４によって固定されたハウジングとカバー部材とから構成される。前記筐体７６の内部には、断面略円形状の室９６が形成され、弁ロッド２４の一端部が前記室９６内を挿通自在に設けられている。
【００２９】
前記弁ロッド２４の一端部には、ねじ部材を介してラック９８が連結され、前記ラック９８の相互に対向する側部には、略平行に形成された一組の歯部が形成されている。前記筐体７６には、前記ラック９８の一組の歯部にそれぞれ噛合する歯部を有する第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂがそれぞれ回動自在に軸支され、前記第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂの内周面には雌ねじ部１０２が形成されている（図３参照）。
【００３０】
弁ディスク２６には、ねじ部材１０４を介して一組の軸受部材１０６ａ、１０６ｂが略直交する方向にそれぞれ連結され、前記一組の軸受部材１０６ａ、１０６ｂには第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂの内周面に形成された雌ねじ部１０２にそれぞれ螺合する雄ねじ部１０８が形成されている。各軸受部材１０６ａ、１０６ｂは、一組のベアリング部材１１０ａ、１１０ｂによって回動自在に軸支され、前記ベアリング部材１１０ａ、１１０ｂには、環状に配置された複数のコロが設けられている。
【００３１】
なお、前記一組の軸受部材１０６ａ、１０６ｂに形成された雄ねじ部１０８は、第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂの雌ねじ部１０２に対応して、ねじの切り込み方向が反対となる右ねじおよび左ねじに形成されている。
【００３２】
変位機構２８では、弁ロッド２４と一体的にラック９８が上昇することにより、該ラック９８の歯部と第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂの歯部とがそれぞれ噛合し、前記第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂがそれぞれ反対方向に回転する。前記第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂがそれぞれ回転することにより、該第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂの雌ねじ部１０２と軸受部材１０６ａ、１０６ｂの雄ねじ部１０８との螺合作用下に前記軸受部材１０６ａ、１０６ｂが通路３２側に向かって突出する。従って、前記一組の軸受部材１０６ａ、１０６ｂに連結された弁ディスク２６が通路３２側に略水平方向に変位し、シール部材３６が弁座３４に着座することにより通路３２が閉塞される。
【００３３】
この場合、前記変位機構２８では、弁ディスク２６が弁ロッド２４の軸線と略直交する方向（略水平方向）に変位する際、弁ロッド２４に対して偏荷重が付与されることがなく、一組の第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂを均等に回転させて弁ディスク２６を変位させることができるという利点がある。
【００３４】
本発明の実施の形態に係るゲートバルブ２０は、基本的には以上のように形成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、以下の説明では、図５に示されるように、ピストン６０がシリンダ室５８の最下端位置（下死点）にあり、弁箱３０に形成された通路３２が弁ディスク２６によって閉塞されていない開成状態を初期位置として説明する。
【００３５】
前記初期位置において、圧力流体供給源（図示せず）から圧力流体出入ポート５４ｂを介して下部側シリンダ室５８ｂに圧力流体（例えば、圧縮空気）を供給する。下部側シリンダ室５８ｂに供給された圧力流体の作用下にピストン６０が上昇し、前記ピストン６０に連結された弁ロッド２４も一体的に上昇する。なお、この場合、上部側シリンダ室５８ａは、図示しない切換弁の作用下に大気開放状態にあるものとする。
【００３６】
前記弁ロッド２４が上昇することにより、該弁ロッド２４とともに一組のロッド部材６８ａ、６８ｂ、ガイドシャフト７０ａ、７０ｂ、変位機構２８および弁ディスク２６が一体的に上昇する。この場合、ガイドシャフト７０ａ、７０ｂの孔部７２内に配設されたばね部材７４のばね力を所定値に設定しておくことにより、ピストン６０に連結されたロッド部材６８ａ、６８ｂとガイドシャフト７０ａ、７０ｂとが共に上昇するように設けられている。換言すると、図５に示す初期状態から弁ディスク２６が通路３２に対峙する図２の状態となるまでの間は、ロッド部材６８ａ、６８ｂの変位がばね部材７４の弾発力に打ち勝つことがなく、前記ロッド部材６８ａ、６８ｂとガイドシャフト７０ａ、７０ｂとが一体的に変位するように設けられている。
【００３７】
なお、一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂが上昇する際、前記一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂがガイドリング９２によってそれぞれ支持されることにより、一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂ間に配置された弁ロッド２４の直線精度が保持される。
【００３８】
弁ロッド２４とともにガイドシャフト７０ａ、７０ｂが上昇する際、ガイドシャフト７０ａ、７０ｂの一端部に設けられたストッパ７８がロッドカバー４８に固着された緩衝部材８０に当接することにより、一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂの変位動作が規制される（図２参照）。従って、前記一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂの端部に連結された変位機構２８および弁ディスク２６も静止し、弁ディスク２６が弁箱３０の通路３２と対峙した状態となる（図３参照）。
【００３９】
図２に示す状態からピストン６０がさらに上昇すると、ばね部材７４の弾発力に打ち勝ったロッド部材６８ａ、６８ｂと弁ロッド２４とが一体的に上昇して図６に示す状態となる。この場合、ストッパ７８の係止作用下にガイドシャフト７０ａ、７０ｂおよび筐体７６が静止した状態を保持しながら、ロッド部材６８ａ、６８ｂおよび弁ロッド２４のみが上昇する。
【００４０】
従って、変位機構２８を構成する筐体７６が静止した状態で、弁ロッド２４の一端部に連結されたラック９８が一体的に上昇することにより、該ラック９８の歯部と第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂの歯部とがそれぞれ噛合し、前記第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂがそれぞれ反対方向に回転する。
【００４１】
前記第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂがそれぞれ反対方向に回転することにより、該第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂの雌ねじ部１０２と軸受部材１０６ａ、１０６ｂの雄ねじ部１０８との螺合作用下に該軸受部材１０６ａ、１０６ｂが通路３２側に向かって突出する。従って、前記一組の軸受部材１０６ａ、１０６ｂに連結された弁ディスク２６が略水平方向に変位し、シール部材３６が弁座３４に着座することにより通路３２が閉塞される。
【００４２】
なお、変位機構２８の付勢作用下に弁ディスク２６のシール部材３６を通路３２側に向かって押圧する際、弁ロッド２４に付与される横荷重は、略長円状に形成されたピストン６０の平面部１１２（図１参照）とシリンダチューブ４６の内壁面とによって吸収される。また、一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂにそれぞれ付与される横荷重は、ガイドリング９２およびウェアリング６４によって吸収されるため、前記ガイドリング９２およびウェアリング６４に低摩擦処理を施しておくとよい。
【００４３】
次に、弁ディスク２６を弁座３４から離間させて通路３２を開成する場合には、図示しない切換弁の切換作用下に上部側のシリンダ室５８ａに圧力流体を供給することにより、ピストン６０、弁ロッド２４、ロッド部材６８ａ、６８ｂおよびラック９８が一体的に下降する。なお、上部側のシリンダ室５８ａは、図示しない切換弁の切換作用下に大気開放状態にある。この場合、前記ラック９８の歯部に噛合する第１ピニオン１００ａと第２ピニオン１００ｂが前記と反対方向に回転し、第１ピニオン１００ａおよび第２ピニオン１００ｂにそれぞれ螺合する軸受部材１０６ａ、１０６ｂが前記とは反対方向に変位することにより、弁ディスク２６が通路３２から離間する方向に変位して図３に示す状態に至る。
【００４４】
なお、ピストン６０が下降する際、ばね部材７４の弾発力の作用下に一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂが上方側に向かって押圧されているため、弁ロッド２４のみが下降し、一組のガイドシャフト７０ａ、７０ｂはその変位が規制された状態にある。
【００４５】
上部側のシリンダ室５８ａに圧力流体を供給してさらにピストン６０を下降させることにより、弁ロッド２４、ロッド部材６８ａ、６８ｂ、ガイドシャフト７０ａ、７０ｂ、変位機構２８および弁ディスク２６が一体的に下降して初期位置に復帰する。なお、ピストン６０に連結された弁ロッド２４が下降する際、前記弁ロッド２４の一端部に形成された環状係止部８２がストッパ７８の内周突起部に係合することにより、弁ロッド２４とガイドシャフト７０ａ、７０ｂとが一体的に変位する。
【００４６】
本実施の形態では、弁ディスク２６を通路３２側に向かって略水平方向に進退動作させる変位機構２８を弁ロッド２４の端部に設けることにより、弁ディスク２６のシール部材３６によって確実に通路３２が閉塞され、通路３２に対するシール性を向上させることができる。この場合、弁ディスク２６のシール部材３６は、弁座３４に対して略直交する方向から着座するため、シール部材３６が着座するときに滑ることがなく、塵埃の発生を阻止することができる。この結果、弁箱３０内の清浄性を保持することができる。
【００４７】
また、本実施の形態では、変位機構２８の付勢作用下に弁ディスク２６を通路３２側に向かって進退動作させてシール部材３６を弁座３４に着座させるようにしている。このため、弁ロッド２４は傾動することがなく往復直線運動を行うだけであることから、シリンダ機構４４に付与される負荷を減少させることができ、シリンダ機構４４の耐久性を向上させることができる。
【００４８】
さらに、弁ディスク２６によって通路３２を閉塞した際に弁ロッド２４に付与される横荷重は、略楕円形状に形成されたピストン６０の平面部１１２とシリンダチューブ４６との内壁面とによって好適に吸収される。従って、シリンダ機構４４に付与される負荷を減少させることができ、耐久性をより一層向上させることができる。また、前記横荷重を吸収する構成部材を特別に付設する必要がなく、部品点数を削減して製造コストを低減することができる。
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００５０】
すなわち、弁ディスクによって確実に通路が閉塞され、通路に対するシール性を向上させることができる。この場合、弁ディスクは、弁箱の弁座に対して略直交する方向から着座するため、弁ディスクが着座するときに滑ることがなく、塵埃の発生を阻止することができる。この結果、弁箱内の清浄性を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの概略斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図４】図２の軸線方向に沿った一部縦断面図である。
【図５】ピストンが下死点にある初期位置の状態を示す動作説明図である。
【図６】ピストンが上死点に到達した状態を示す動作説明図である。
【図７】図３に示す状態から弁ディスクが通路側に向かって略水平方向に変位した状態を示す部分拡大図である。
【図８】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図である。
【図９】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図である。
【図１０】従来技術に係るゲートバルブを構成するシリンダチューブの斜視図である。
【符号の説明】
２０…ゲートバルブ                    ２２…駆動部
２４…弁ロッド                        ２６…弁ディスク
２８…変位機構                        ３２…通路
３４…弁座                            ３６、８８…シール部材
４４…シリンダ機構                    ４６…シリンダチューブ
５４ａ、５４ｂ…圧力流体出入ポート    ５８、５８ａ、５８ｂ…シリンダ室
６０…ピストン                        ６４…ウェアリング
６８ａ、６８ｂ…ロッド部材            ７０ａ、７０ｂ…ガイドシャフト
７４…ばね部材                        ７８…ストッパ
８２…環状係止部                      ９８…ラック
１００ａ、１００ｂ…ピニオン          １０２…雌ねじ部
１０６ａ、１０６ｂ…軸受部材          １０８…雄ねじ部
１１０ａ、１１０ｂ…ベアリング        １１２…平面部
【図１】
0003810604.tif 000002
【図２】
0003810604.tif 000003
【図３】
0003810604.tif 000004
【図４】
0003810604.tif 000005
【図５】
0003810604.tif 000006
【図６】
0003810604.tif 000007
【図７】
0003810604.tif 000008
【図８】
0003810604.tif 000009
【図９】
0003810604.tif 000010
【図１０】
0003810604.tif 000011