(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に基板をほぼ水平に収納する収納部を有するとともに、この収納部の前面に基板を出し入れする開口部を有し、導電材にて形成されたカセット本体と、
このカセット本体の収納部の両側に対向配設され、前記基板の側縁部が係合する第１の段部を有するとともに、この第１の段部の上部外側に両側の第１の段部の対向間隔より広い間隔があけられる第２の段部を有し、第１の段部の基板との接触面が非導電材にて形成されるとともにその接触面以外が導電材にて形成された側縁支持部と
を具備していることを特徴とする基板搬送用カセット。
【請求項２】
内部に基板をほぼ水平に収納する収納部を有するとともに、この収納部の前面に基板を出し入れする開口部を有するカセット本体と、
このカセット本体の収納部の両側に配設され、前記基板の両側縁部を支持する側縁支持部と、
前記カセット本体の収納部の後側で両側の側縁支持部間の等間隔位置に一対配設され、前記基板の後縁部を支持する後縁支持部と
を具備していることを特徴とする基板搬送用カセット。
【請求項３】
後縁支持部は側縁支持部より下方に位置するとともに、後縁支持部と側縁支持部の高低差は両側の側縁支持部のみによって基板の両側縁部のみを支持するときの基板のたわみ量の１／３以下とすることを特徴とする請求項２記載の基板搬送用カセット。
【請求項４】
横幅が５５０mm、前後幅が６５０mm、厚さが０．７mmの基板を対象とするとき、後縁支持部は側縁支持部より３〜６mm下方に位置することを特徴とする請求項２記載の基板搬送用カセット。
【請求項５】
基板との接触面は、基板との摩擦係数が０．５以上となる材質にて形成したことを特徴とする請求項１ないし４いずれか記載の基板搬送用カセット。
【請求項６】
基板との摩擦係数が０．５以上となる材質は、熱可塑性ポリエステルエラストマであることを特徴とする請求項５記載の基板搬送用カセット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、基板を収納して搬送するための基板搬送用カセットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、たとえば、液晶表示器の製造工程においては、液晶表示器の基板を基板搬送用カセット内に多段に収納し、この基板搬送用カセットによって各工程の製造装置の間を移動させている。その各製造装置には、基板搬送用カセット内の基板を１枚ずつ製造装置側に取り出したり、挿入するための基板移載機を備えている。
【０００３】
従来の基板搬送用カセットは、たとえば、特開平２−２９５１５０号公報に記載されているように、カセット本体を備え、このカセット本体の内部に基板をほぼ水平に収納する収納部が形成されるとともに、この収納部の前面に基板を出し入れする開口部が形成されている。カセット本体の収納部の両側には基板の両側縁部を載置して支持する側縁支持部が配設され、収納部の後側に基板の後方への移動を規制する円柱状のストッパが配設されている。
【０００４】
側縁支持部は、基板の側縁部を載置する載置面を有するとともに、この載置面の外端から立ち上げられ基板の側縁方向への移動を規制する規制面を備えている。両側の側縁支持部の規制面の対向間隔は、基板の出し入れの際に基板の側縁部が規制面に当接しないように、基板の横幅よりも広く形成されている。
【０００５】
そして、基板搬送用カセットから基板を取り出すときには、基板移載機のハンドが基板の下側に侵入し、基板を上方へ多少持ち上げて載置面から離反させた後、そのまま基板を前方へ水平移動させて取り出す。また、基板搬送用カセット内に基板を収納するときには、基板移載機によって基板を水平移動させて収納部内に挿入させた後、基板を下降させて載置面に載置させる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の基板搬送用カセットでは、カセット搬送時の振動などにより基板が移動して一方の側縁支持部に片寄ることがあり、その状態から基板を上方へ多少持ち上げて載置面から離反させた後に、基板を前方へ水平移動させて取り出すとき、基板移載機の横ぶれによっては基板の一側縁部が一方の側縁支持部の規制面を擦り、規制面からの発塵や基板にマイクロクラックが生じる問題がある。
【０００７】
また、基板搬送用カセットの両側の側縁支持部によって両側縁のみが支持される基板は、横幅が広い程、その中央部分が下方へ大きく湾曲するたわみが生じる。そのため、基板の出し入れの際、出し入れする基板の下側に侵入しようとする基板移載機のハンドがその基板の前縁に接触したり、基板移載機のハンドが基板の下面を擦り、発塵やマイクロクラックが生じる問題がある。
【０００８】
しかも、カセット搬送時の振動によって基板が移動したり基板自体が大きく振動して側縁支持部の載置面との間で擦れが生じ、発塵する問題がある。
【０００９】
本発明は、上記のような点に鑑みなされたもので、基板を出し入れする際の基板とカセット側との擦れを防止するとともに基板との接触面からの発塵や基板の帯電を防止し、また、基板の下方へのたわみを低減し、カセット搬送時の基板の振動を低減できる基板搬送用カセットを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板搬送用カセットは、カセット本体の収納部の両側に側縁支持部を配設し、この側縁支持部に、基板の側縁部が係合する第１の段部を設けるとともに、この第１の段部の上部外側に両側の第１の段部の対向間隔より広い間隔があけられる第２の段部を設ける。第１の段部の基板との接触面は非導電材にて形成し、その接触面以外は導電材にて形成する。
【００１１】
また、カセット本体の収納部の後側に、基板の後縁部を支持する後縁支持部を配設する。
【００１２】
【作用】
本発明の基板搬送用カセットでは、側縁支持部の第１の段部によってカセット搬送時の振動などによる基板の移動を規制し、第１の段部より間隔が広い第２の段部によって基板の出し入れ時の横ぶれに対応可能とする。基板との接触面を非導電材として、その接触面を導電材で形成した場合のカーボンなどの発塵を防止し、その接触面以外を導電材として基板に静電気が帯電するのを防止する。
【００１３】
また、後縁支持部によって、両側の側縁支持部で両側縁部が支持される基板が下方へのたわむのを低減し、カセット搬送時の基板の振動を抑える。
【００１４】
【実施例】
以下、本発明の基板搬送用カセットの一実施例の構成を図面を参照して説明する。
【００１５】
なお、本実施例では、液晶表示器の製造工程において、液晶表示器の基板を基板搬送用カセット内に多段に収納し、この基板搬送用カセットによって各工程の製造装置の間を移動させ、各製造装置では基板移載機によって基板搬送用カセット内の基板を１枚ずつ製造装置側に取り出したり、挿入するものとする。
【００１６】
図１および図２において、１は基板で、この基板１は、たとえば、液晶表示器に使用されるものであり、無アルカリケイ酸塩ガラスにて、横幅ｂ1 が５５０mm、前後幅（縦）ｂ2 が６５０mm、厚さｔが０．７mmの直方体形状に形成されている。
【００１７】
11は基板搬送用カセットで、この基板搬送用カセット11は、カセット本体12を有し、このカセット本体12は、上板13、底板14、両側の複数の側板15によって箱状に形成され、内部に基板１がほぼ水平で上下方向に沿って多段に収納される収納部16が形成されているとともに、この収納部16の前面に基板１が出し入れされる開口部17が形成されている。なお、このカセット本体12は導電材にて形成されている。
【００１８】
側板15は上板13および底板14の前部、中間部および後部に配設され、その各側板15の内面に側縁支持体18が一体に形成されている。この側縁支持体18は、側板15と一体の上下方向に長い基板19を備え、この基板19に上下方向に沿って複数段の側縁支持部20が形成されている。
【００１９】
各側縁支持部20は、基板１の両側縁部を載置するほぼ水平な載置面21およびこの載置面21の外端からほぼ垂直に立ち上げられた規制面22を設けた第１の段部23を有するとともに、この第１の段部23の規制面22の上端から外方へ向けてほぼ水平な逃げ面24およびこの逃げ面24の外端から立ち上げられた立上面25を設けた第２の段部26を有している。
【００２０】
なお、第１の段部23の載置面21および規制面22すなわち基板１との接触面は、基板１との摩擦係数が０．５以上となる材質、たとえば熱可塑性ポリエステルエラストマなどの非導電材にて形成されている。また、その第１の段部23の載置面21および規制面22以外は導電材にて形成されている。
【００２１】
そして、両側の対向する側縁支持部20において、載置面21の先端間の間隔をＬ1 、第１の段部23の規制面22の間隔をＬ2 、第２の段部26の立上面25の間隔をＬ3 とすると、基板１の横幅ｂ1 に対して、第１の段部23の規制面22の間隔Ｌ2 が９mm程度、第２の段部26の立上面25の間隔Ｌ3 が１４mm程度広く形成されている。
【００２２】
すなわち、第１の段部23の規制面22の間隔Ｌ2 は、基板１の外形精度：±０．５mm、カセット本体12の精度：±１．０mm、カセット本体12の側板15の垂直度（経時変化含む）：±１．５mm、カセットゲージング精度：±０．２mm、基板移載機の停止精度：±０．５mmにマージン：±０．８mmを加えた±４．５mmから、基板１の横幅ｂ1 より９mm程度広く形成されている。また、第２の段部26の立上面25の間隔Ｌ3 は、下段の±４．５mmに、基板移載機の動作時左右振れ：±２．０mm、マージン：±０．５mmを加えた±７．０mmから、基板１の横幅ｂ1 より１４mm程度広く形成されている。
【００２３】
しかも、それら各精度の向上により、第１の段部23の規制面22の間隔Ｌ2 は基板１の横幅ｂ1 より５mm以上とすることができ、また、第２の段部26の立上面25の間隔Ｌ3 は基板１の横幅ｂ1 より７mm以上とすることが可能である。
【００２４】
また、規制面22の高さＨは、基板移載機による出し入れ時に基板１が昇降される高さよりも低く設定される。
【００２５】
基板搬送用カセット11の上板13および底板14の後縁部間には、一対の後縁支持体28が配設されている。この後縁支持体28は、上下方向に長い基板29を備え、この基板29に上下方向に沿って各側縁支持部20に対応する複数段の後縁支持部30が形成されている。各後縁支持部30は、基板１の後縁部を載置するほぼ水平な載置面31およびこの載置面31からほぼ垂直に立ち上げられた規制面32を備えている。
【００２６】
なお、載置面31および規制面32すなわち基板１との接触面は、基板１との摩擦係数が０．５以上となる材質、たとえば熱可塑性ポリエステルエラストマなどの非導電材にて形成されている。また、その載置面31および規制面32以外は導電材にて形成されている。
【００２７】
また、後縁支持体28は、両側の側縁支持体20間に支持される基板１の自重によるたわみ量が均一となる両側の側縁支持部20間の等間隔Ｌ4 の位置に一対配設されている。すなわち、両側の側縁支持部20間の間隔Ｌ1 を５４０mmとすれば、間隔Ｌ4 は１８０mmとなる。
【００２８】
また、後縁支持部30は対応する両側の側縁支持部20とともに基板１を載置して支持するものであるが、後縁支持部30は側縁支持部20より３〜６mm下方に位置する。
【００２９】
ここで、後縁支持部30が側縁支持部20より３〜６mm下方に位置する理由について説明する。図３に示すように、後縁支持部30の載置面31の高さと側縁支持部20の載置面21の高さとの相対的な高低差を横軸に、基板１の最大たわみ量を縦軸にプロットすると、後縁支持部30と側縁支持部20が同じ高さのときに最大たわみ量の最大値を示すとともに、後縁支持部30が基板１から下方へ離れた状態で最大たわみ量の最小値を示す。これは、基板１の自重によるたわみ量が後縁支持部30により基板１の後縁部だけ強制的に規制されるために、基板１の前縁部がより下方へたわむことによって生じる。
【００３０】
この場合、後縁支持部30の近傍の最も後側の側縁支持部20に対して基板１は浮く現象を示す。図４の実線に示すように、後縁支持部30と側縁支持部20との高低差に対して浮き量をプロットすると、後縁支持部30と側縁支持部20が同じ高さのときに浮き量の最大値を示すとともに、後縁支持部30が側縁支持部20よりも３mm以上下がったときに浮き量が０になる。基板１が側縁支持部20から浮き上がっている場合、この側縁支持部20は機能しないことになり、このような状態で基板搬送用カセット11に基板１を収納して移動すれば、側縁支持部20と基板１とが浮いている箇所では基板１が移動等の振動により大きな振れを生じ、結果として基板１と側縁支持部20との擦れを生じ、基板１にマイクロクラックなどを発生させる。よって、後縁支持部30は側縁支持部20に対し、３mm以上低く設定する必要がある。
【００３１】
一方、加速度ピックアップを取り付けた基板１を基板搬送用カセット11に収納し、この基板搬送用カセット11を台車などに搭載して段差のついた床上を移動させ、後縁支持部30と側縁支持部20との高低差の値ごとに、加速度ピックアップによって基板１に作用する振動加速度を測定する振動試験を実施した。その結果を、図４の破線に示す。この結果から、後縁支持部30と側縁支持部20との高低差が３〜６mmの位置が最適であることがわかる。
【００３２】
よって、横幅が５５０mm、前後幅が６５０mm、厚さが０．７mmの基板１を対象とする場合、後縁支持部30を側縁支持部20より３〜６mm下方に位置させることにより、基板１の振動を最も低減できる。
【００３３】
そして、その後縁支持部30と側縁支持部20の高低差の値は、両側の側縁支持部20のみによって基板１の両側縁部のみを支持するときの基板１のたわみ量の１／３以下となる。
【００３４】
以上のように構成された基板搬送用カセット11により、液晶表示器の製造工程において、基板１を基板搬送用カセット11内に多段に収納し、この基板搬送用カセット11によって各工程の製造装置の間を移動させ、各製造装置では基板移載機によって基板搬送用カセット11内の基板１が１枚ずつ製造装置側に取り出されたり、挿入される。
【００３５】
基板搬送用カセット11から基板１を取り出すときには、基板移載機のハンドが基板１の下側に侵入し、基板１を上方へ多少持ち上げて側縁支持部20の載置面21および後縁支持部30の載置面31から離反させた後、そのまま基板１を前方へ水平移動させて取り出す。また、基板搬送用カセット11内に基板１を収納するときには、基板移載機によって基板１を水平移動させて収納部16内に挿入させた後、基板１を下降させて各載置面21，31に載置させる。
【００３６】
そして、側縁支持部20には、第１の段部23と第２の段部26が形成されている。この第１の段部23によって、カセット搬送時の振動などにより収納されている基板１が大きく移動してしまうのを規制できる。第２の段部26によって、基板１の出し入れ時に、基板１の側縁部が側縁支持体18に接触するのを防止できる。これは、たとえば、基板１を取り出すとき、基板移載機によって基板１を上方へ多少持ち上げて載置面21，31から離反させた状態で、基板１は第１の段部23から第２の段部26の高さ位置に上昇され、この状態から基板１が前方へ水平移動されて取り出されるため、基板移載機の横ぶれによって基板１の側縁部が側縁支持体18に擦ることがない。そのため、基板１の出し入れ時において、発塵や基板１にマイクロクラックが生じるのを防止できる。
【００３７】
また、両側の側縁支持部20によって両側縁が支持される基板１は、その横幅が広い程、その中央部分が下方へ大きく湾曲するたわみが生じるが、後縁支持部30によって基板１の中央部分が下方へのたわむのを低減できる。そのため、基板の出し入れの際には、従来のように出し入れする基板１の下側に侵入しようとする基板移載機のハンドがその基板１の前縁に接触したり、基板移載機のハンドが基板１の下面を擦り、発塵やマイクロクラックが生じるような問題を解消できる。カセット搬送時には、基板１が振動するのを低減できる。
【００３８】
また、側縁支持部20の第１の段部23によってカセット搬送時の基板１の移動を規制できるとともに、後縁支持部30によってカセット搬送時の基板１の振動を低減でき、載置面21，31と基板１との間の擦れを低減して、発塵を減少させることができる。
【００３９】
また、後縁支持体28の後縁支持部30が両側の側縁支持部20間の等間隔位置に一対配設されるため、両側の側縁支持体20間に支持される基板１の自重によるたわみ量を均一にできる。
【００４０】
また、横幅が５５０mm、前後幅が６５０mm、厚さが０．７mmの基板１を対象とする場合に、後縁支持部30は側縁支持部20より３〜６mm下方に位置することにより、基板１の振動を最も低減できる。
【００４１】
この後縁支持部30と側縁支持部20の高低差の値は、両側の側縁支持部20のみによって基板１の両側縁部のみを支持するときの基板１のたわみ量の１／３以下とすることにより、基板１の振動を低減できる。
【００４２】
また、載置面21，31および規制面22，32すなわち基板１との接触面が非導電材にて形成されるため、その接触面を導電材で形成した場合に基板１と接触面との擦れによってカーボンなどが発塵するのを防止できる。その接触面以外は導電材にて形成されるため、基板１に静電気が帯電するのを防止できる。
【００４３】
しかも、載置面21，31および規制面22，32すなわち基板１との接触面の材質を基板１との摩擦係数が０．５以上となる材質、たとえば熱可塑性ポリエステルエラストマとすることにより、カセット搬送時の振動などによる基板１の移動を防止し、発塵を低減できる。
【００４４】
【発明の効果】
本発明の基板搬送用カセットによれば、側縁支持部の第１の段部によってカセット搬送時の振動などによる基板の移動を規制でき、第１の段部より間隔が広い第２の段部によって基板の出し入れ時の横ぶれに対応でき、さらに、基板との接触面を非導電材とするとともに、その接触面以外を導電材として、接触面からの発塵や基板の帯電を防止できる。
【００４５】
また、後縁支持部によって、両側の側縁支持部で両側縁部が支持される基板の下方へのたわみを低減できるとともに、カセット搬送時の基板の振動を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例を示す基板搬送用カセットの一部を切り欠いた斜視図である。
【図２】  同上実施例の基板搬送用カセットの一部を拡大した正面図である。
【図３】  側板支持部と後縁支持部の高低差に対する基板最大たわみ量を示すグラフである。
【図４】  側板支持部と後縁支持部の高低差に対する基板浮き量および振動加速度を示すグラフである。
【符号の説明】
１    基板
11    基板搬送用カセット
12    カセット本体
16    収納部
17    開口部
20    側縁支持部
21    接触面を構成する載置面
22    接触面を構成する規制面
23    第１の段部
26    第２の段部
30    後縁支持部
【図１】
0003741748.tif 000002
【図２】
0003741748.tif 000003
【図３】
0003741748.tif 000004
【図４】
0003741748.tif 000005