(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学測定機器の被測定物を載置するステージや対物レンズの精密移動を行うステッピングモータを備えるリモートコントローラにおいて、指先で回動できるようにコントローラ本体に支持された第１の手動操作部材に追従できかつ回動量に応じて前記ステッピングモータの回転量を指示できるインクリメンタルエンコーダと、前記第１の手動操作部材とは別の第２の手動操作部材に追従できかつ回動量に応じて前記ステッピングモータの回転速度を指示できるアブソリュートエンコーダと、前記インクリメンタルエンコーダ及び前記アブソリュートエンコーダからの信号を入力されてアブソリュートエンコーダで指定された回転速度及びインクリメンタルエンコーダで指示された回動量だけ前記ステッピングモータを駆動する制御装置とを備えることを特徴とする光学測定機器用リモートコントローラ。
【請求項２】
前記第２の手動操作部材に追従できる前記アブソリュートエンコーダは任意の方向に回動できる回転型であり、このアブソリュートエンコーダの回転方向の向き及び中立位置からの回動量に応じた回転速度が指示されることを特徴とする請求項１記載の光学測定機器用リモートコントローラ。
【請求項３】
前記インクリメンタルエンコーダ及び前記アブソリュートエンコーダは同軸関係におかれることを特徴とする請求項１または請求項２記載の光学測定機器用リモートコントローラ。
【請求項４】
前記第１の手動操作部材は指先で回動できるようにコントローラ本体に支持されたロータリディスクであり、前記第２の手動操作部材は前記ロータリディスクに対して同心的に位置されて指先で摘んで回動できるロータリリングであることを特徴とする請求項１記載の光学測定機器用リモートコントローラ。
【請求項５】
前記ロータリリングは常時前記アブソリュートエンコーダを中立位置に向かって復旧させるリターンスプリングで付勢されることを特徴とする請求項２記載の光学測定機器用リモートコントローラ。
【請求項６】
前記第１の手動操作部材から前記インクリメンタルエンコーダに至る動力伝達系統にはこれらの手動操作部材及びインクリメンタルエンコーダの位置及び回転を安定させる慣性のあるフライホイールが組み込まれることを特徴とする請求項１記載の光学測定機器用リモートコントローラ。
【請求項７】
前記制御装置は、前記ステージまたは対物レンズの最大移動位置を予め登録できるレジスタと、前記インクリメンタルエンコーダ及びアブソリュートエンコーダで指示された前記ステッピングモータによる移動量を計数するカウンタと、これらのレジスタの内容とカウンタの内容とを比較してカウンタの内容がレジスタの内容を超えるとき、前記ステージまたは対物レンズの移動を禁止する信号を発信するコンパレータとを内蔵することを特徴とする請求項１記載の光学測定機器用リモートコントローラ。
【請求項８】
前記コントローラ本体には、前記ステージまたは対物レンズの最大移動量をセットできる上、下限設定ボタンと、これらの上、下限設定ボタンによる設定値及び前記インクリメンタルエンコーダ及びアブソリュートエンコーダによる指示量を表示する表示器とが設けられることを特徴とする請求項７記載の光学測定機器用リモートコントローラ。
【請求項９】
前記レジスタの内容は電源投入時に予め定められた内容にプリセットされることを特徴とする請求項８記載の光学測定機器用リモートコントローラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば顕微鏡や投影機等の光学測定機器に関し、特に、光学測定機器の可変操作部に用いるリモートコントローラに関する。
【０００２】
【背景技術】
周知のように、例えば図８に示すようなズーム型測定顕微鏡のような光学測定機器においては、遠隔位置から焦点操作を行ったり、測定位置の微調整を行うため、対物レンズの焦点合せつまみや被測定物ステージの調整用つまみにリモートコントローラを後付けする場合がある。
【０００３】
即ち、従来のリモートコントローラは、例えば特開平８−２１１３０１号公報に開示されたように、焦点合せつまみの代わりに、同操作軸に取り付けることができる取付ヘッドＨを有するもので、同取付ヘッドＨには操作軸を回転させるステッピングモータＩを備え、このステッピングモータＩはコントローラ本体ＪのジョイスティックＫからの信号を入力される制御装置Ｌで回転制御される。
つまり、図９に示すように、このジョイスティックＫにはその傾け角度に応じた電圧を発生する可変抵抗Ｍが従動され、Ｖ／Ｆ変換器Ｎにより出力電圧に対応した周波数パルスが作られ、同周波数パルスでステッピングモータＩが駆動される。
しかしながら、このようなアナログ変化の可変抵抗Ｍを用いるリモートコントローラでは、可変抵抗Ｍの電圧値をパルスに変換するＶ／Ｆ変換器Ｎが必要になるばかりでなく、焦点が合うまでの移動量が大きな場合に、時間がかかり、作業能率が悪い問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
また、作業能率の改善のため、従来では、操作ごとに一定量の微動動作を指示できる微動ボタンスイッチと、この微動ボタンスイッチによる微動動作量の数倍の動作量を指示できる早送りボタンスイッチとを備えるリモートコントローラが実用新案登録第２５８５８８３号明細書により提案されている。
つまり、このリモートコントローラにおいては、例えば微動ボタンスイッチの操作ごとにステッピングモータＩの駆動のための１パルスのデジタル信号が発生され、早送りボタンスイッチの押圧により１０パルスの駆動用デジタル信号が発生される。
したがって、この構造のリモートコントローラでは、焦点合せ軸を粗動作させる場合は早送りボタンスイッチを、微動作させる場合は微動ボタンスイッチを操作させることにより、合焦点までの距離が長い場合でも、単時間で焦点合せを行うことができる。
【０００５】
しかしながら、このような複数種のボタンスイッチを併設したリモートコントローラにおいては、機能の異なったボタンスイッチが近接して配置されるから、目的とは異なったボタンスイッチが誤って押圧操作されてしまう場合が多く、このような過誤操作によりオペレータが苛立ちを覚える場合がある。
【０００６】
本発明の目的は、以上に述べたような従来のリモートコントローラの問題に鑑み、調整量が大きな場合でも短時間で調整動作を完了でき、しかもオペレータが操作ミスをすることが少ない光学測定機器用リモートコントローラを得るにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明は、光学測定機器の被測定物を載置するステージや対物レンズの精密移動を行うステッピングモータを備えるリモートコントローラにおいて、指先で回動できるようにコントローラ本体に支持された第１の手動操作部材に追従できかつ回動量に応じて前記ステッピングモータの回転量を指示できるインクリメンタルエンコーダと、前記第１の手動操作部材とは別の第２の手動操作部材に追従できかつ回動量に応じて前記ステッピングモータの回転速度を指示できるアブソリュートエンコーダと、前記インクリメンタルエンコーダ及び前記アブソリュートエンコーダからの信号を入力されてアブソリュートエンコーダで指定された回転速度及びインクリメンタルエンコーダで指示された回動量だけ前記ステッピングモータを駆動する制御装置とを備える光学測定機器用リモートコントローラを提案するものである。
【０００８】
後述する本発明の好ましい実施例の説明においては、
1)前記第２手動操作部材であるロータリリングに追従できる前記アブソリュートエンコーダは任意の方向に回動できる回転型であり、このアブソリュートエンコーダの回転方向の向き及び中立位置からの回動量に応じた回転速度が指示される構造、
2)前記インクリメンタルエンコーダ及び前記アブソリュートエンコーダは同軸関係におかれる構造、
3)前記第１の手動操作部材は指先で回動できるようにコントローラ本体に支持されたロータリディスクであり、前記第２の手動操作部材は前記ロータリディスクに対して同心的に位置されて指先で摘んで回動できるロータリリングである構造、
4)前記ロータリリングは常時前記アブソリュートエンコーダを中立位置に向かって復旧させるリターンスプリングで付勢される構造、
5)前記第１の手動操作部材から前記インクリメンタルエンコーダに至る動力伝達系統にはこれらの手動操作部材及びインクリメンタルエンコーダの位置を安定させる慣性のあるフライホイールが組み込まれる構造、
6)前記制御装置は、前記ステージまたは対物レンズの最大移動位置を予め登録できるレジスタと、前記インクリメンタルエンコーダ及びアブソリュートエンコーダで指示された前記ステッピングモータによる移動量を計数するカウンタと、これらのレジスタの内容とカウンタの内容とを比較してカウンタの内容がレジスタの内容を超えるとき、前記ステージまたは対物レンズの移動を禁止する信号を発信するコンパレータとを内蔵する構造、
7)前記コントローラ本体には、前記ステージまたは対物レンズの最大移動量をセットできる上、下限設定ボタンと、これらの上、下限設定ボタンによる設定値及び前記インクリメンタルエンコーダによる指示量を表示する表示器とが設けられる構造、
8)前記レジスタの内容は電源投入時に予め定められた内容にプリセットされる構造
が説明される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図１から図７について本発明の実施例の詳細を説明する。
図１から図３は本発明の第１実施例によるリモートコントローラを示し、図１に示すように、遠隔操作用フォーカス装置として計画された同コントローラは、測定顕微鏡等の焦点合せ軸の位置に取り付けられる取付ヘッド１及び結合コード２を介して同取付ヘッド１のステッピングモータ３を制御するコントローラ本体４Ａを備えている。
つまり、ステッピングモータ３の出力軸３ａは軸接手３ｂを介して焦点合せ軸に結合されるから、ステッピングモータ３の出力軸により同焦点合せ軸が回動され、測定顕微鏡の被測定物ステージと対物レンズとの間の相対的な微調送りが行われる。
【００１０】
オペレータの手元におかれるコントローラ本体４Ａの表面には、前述したステッピングモータ３を直ちに停止できる指先操作用のストップボタン５Ａが配置され、このストップボタン５Ａの手前には、操作ノブ６ａを摘んで任意の向きに回動操作できるロータリディスク６Ａ（第１の手動操作部材）及び同ロータリディスク６Ａの外囲に同心的に位置されて全体を指で掴んで回動操作できるロータリリング７Ａ（第２の手動操作部材）が位置される。
図２に示すように、ロータリディスク６Ａは樹脂成形されるコントローラ本体４Ａの上蓋４ａと下ケース４ｂとの間に軸支される中心軸８Ａを中心として指先で任意の方向に回動できるが、このロータリディスク６Ａの外囲には外周面に滑止めローレット７ａを形成された環状のロータリリング７Ａが自由に回動操作できる状態に支持される。
【００１１】
そして、前記ロータリディスク６Ａと一体として回転できる前記中心軸８Ａには、相対回動角度に応じた数の指令パルスを発信できるインクリメンタルエンコーダ９Ａが固定され、また、前記ロータリリング７Ａの内面に固定された取付ブラケット１０Ａに対しては中立位置からのロータリリング７Ａの回動向き信号及び同回動角度に応じた周波数の早送り信号を発信できるアブソリュートエンコーダ１１Ａが前記インクリメンタルエンコーダ９Ａの延長上に同心的に固定される。
勿論、図示例のロータリディスク６Ａは操作ノブ６ａを摘んで回動動作させる構造であるけれども、同操作ノブ６ａを廃止してロータリディスク６Ａの表面に指先を当てがうことができる円形凹みを形成し、同円形凹みに当てがった指先でロータリディスク６Ａを回動動作させる構造であってもよい。
【００１２】
第１実施例によるリモートコントローラは、以上のような構造であるから、ロータリディスク６Ａを介して手動操作されるインクリメンタルエンコーダ９Ａ及びロータリリング７Ａを介して手動操作されるアブソリュートエンコーダ１１Ａの出力信号は、図３に示す制御装置１２Ａに入力され、同制御装置１２Ａで信号処理される。
つまり、制御装置１２Ａに結合されたモータドライバ１３Ａには、ロータリディスク６Ａの手動回動量、即ちインクリメンタルエンコーダ９Ａで計数された数のパルス出力が与えれられるが、このパルス周波数は、オペレータにより操作されるロータリディスク６Ａの回動量に比例する。ロータリリング７Ａの回動量、即ちアブソリュートエンコーダ１１Ａからの出力は早送り速度を指示する。このため、オペレータは、操作ノブ６ａでフォーカス用微動送り量を与えられるばかりでなく、ロータリリング７Ａの操作で希望の早送り状態にすることができる。
【００１３】
焦点合せ時の操作ノブ６ａ及びロータリリング７Ａは、オペレータが片手の３指で軽快に操作できるので、移動量が大きな場合でも、能率よく、単時間で焦点合せを行うことができる。
なお、操作ノブ６ａ及びロータリリング７Ａの操作による焦点合せ動作中、ピント状態が得られた場合には、ストップボタン５Ａを指先で押すことにより、インクリメンタルエンコーダ９Ａ及びアブソリュートエンコーダ１１Ａの信号処理が中止され、ステッピングモータ３が直ちに停止され、ピント状態が保全されることになる。
【００１４】
図４は本発明の第２実施例によるリモートコントローラの図２相当断面図であり、上蓋４ａと下ケース４ｂとの間に軸支される中心軸８Ｂには、ロータリディスク６Ｂの相対回動角度に応じた数の指令パルスを発信できるインクリメンタルエンコーダ９Ｂが固定され、ロータリリング７Ｂの内面の取付ブラケット１０Ｂに中立位置からのロータリリング７Ｂの回動向き信号及び同回動角度に応じた周波数の早送り信号を発信できるアブソリュートエンコーダ１１Ｂが前記インクリメンタルエンコーダ９Ｂの延長上に固定してある。
このリモートコントローラの特徴は、前述した中心軸８Ｂに固定される慣性能率の高いフライホイール１４にあり、このフライホイール１４によってロータリディスク６Ｂの回動方向の位置を安定させた点にある。
即ち、中心軸８Ｂにフライホイール１４を固定しておけば、外来振動や指先から僅かの力が加えられただけでは、ロータリディスク６Ｂが不用意に動かなくなるから、ロータリディスク６Ｂが過敏になって、焦点位置が不用意にずれるのを防止できる。また、連続回転を行う場合にはスムーズな回転を得ることができる。
【００１５】
図５は本発明の第３実施例によるリモートコントローラを示し、このリモートコントローラにおいても、コントローラ本体４Ｃの上蓋４ａの表面に配置されるストップボタン５Ｃ、操作ノブ６ａを有するロータリディスク６Ｃ、ロータリリング７Ｃが設けられる。
このリモートコントローラの特徴は、リターンスプリング１５で中立位置に向かってロータリリング７Ｃを付勢した点にある。即ち、ロータリリング７Ｃの下面のピン１６と上蓋４ａの下面の固定ピン１７との間には引っ張りばねで構成したリターンスプリング１５が掛けられ、同リターンスプリング１５の付勢により図示の中立位置に向かって戻る習性がロータリリング７Ｃに与えられる。
したがって、このようなリターンスプリング１５の付設により、指先や衣服等に触れてロータリリング７Ｃが一時的に不用意に回動された場合にあっても、ロータリリング７Ｃが中立位置に自然に復帰するから、突然に早送り状態になるのを防止できる。
なお、前述したリターンスプリング１５は、装置固定部とロータリリング７Ｃとの間に設ける渦巻きばねで置換できる。
【００１６】
図６は本発明の第４実施例によるリモートコントローラは、前述したストップボタン５Ｄ、操作ノブ６ａを有するロータリディスク６Ｄ、ロータリリング７Ｄに加えて、インクリメンタルエンコーダ９Ｄ及びアブソリュートエンコーダ１１Ｄから与えられた送り量や予めセットされる上下限界送り位置を表示できる液晶表示器１８、この液晶表示器１８の前後にあるリセットボタン１９、セットボタン２０、限界表示ボタン２１が設けられ、前記ストップボタン５Ｄの左右には焦点合せ軸による上下送り限界位置を与える上限設定ボタン２２及び下限設定ボタン２３が配置される。
【００１７】
また、図７に示すように、前述したリセットボタン１９、セットボタン２０、限界表示ボタン２１、上限設定ボタン２２、下限設定ボタン２３、インクリメンタルエンコーダ９Ｄ、アブソリュートエンコーダ１１Ｄは制御装置１２Ｄに結合されて同制御装置１２Ｄに入力信号を与えるが、この制御装置１２Ｄは予めセットされた上下限界送り位置及び新たに登録された上下限界送り位置を記憶するメモリ２４、このメモリ２４から読み出された上下限界送り量を演算のために登録するレジスタ２５、インクリメンタルエンコーダ９Ｄ及びアブソリュートエンコーダ１１Ｄで指定された送り量パルス信号を計数するカウンタ２６、前記レジスタ２５の内容と前記カウンタ２６の内容とを比較するコンパレータ２７を内蔵する。つまり、前述した各実施例の場合と同様に、制御装置１２Ｄに結合されたモータドライバ１３Ｄには、インクリメンタルエンコーダ９Ｄ及びアブソリュートエンコーダ１１Ｄで指示された数のパルス出力が与えられる。カウンタ２６の内容がレジスタ２５の登録内容と常時比較され、カウンタ２６の内容がレジスタ２５の内容を超える時、モータドライバ１３Ｄの駆動が停止されると同時に、液晶表示器１８に限界に達したことが表示される。
【００１８】
第４実施例によるリモートコントローラは、以上のような構成で更に、電源投入により、レジスタ２５の内容がクリアされ、予めメモリ２４に記憶させてある上下限界送り位置がレジスタ２５に読み出され、これと同時に、上下限界送り位置が液晶表示器１８に表示される。
【００１９】
ロータリディスク６Ｄ及びロータリリング７Ｄを手動操作すると、指示されたステッピングモータ３の送り量がカウンタ２６で計数されながら、ステッピングモータ３が指示された向きに駆動されると共に、液晶表示器１８にカウンタ２６の内容が表示されるから、ユーザは表示器の表示により微調及び早送り量を知ることができる。
勿論、ステッピングモータ３の駆動中にピントがあった場合には、ストップボタン５Ｄを押すことで、ステッピングモータ３が直ちに停止されるので、被測定物ステージと対物レンズとの間の距離が特定されることになる。
【００２０】
オペレータが新たな上下限界送り位置をセットするには、まずロータリディスク６Ｄ及びロータリリング７Ｄを操作してステージを上昇させ、対物レンズと被測定物を最接近させて、その位置にて上限設定ボタン２２を押す。次にステージを下限まで下降させて、その位置にて下限設定ボタン２３を押す。これらの操作によってステージの上限位置と下限位置がレジスタ２５に登録される。更にこれらの値をメモリ２４に記憶させるには、セットボタン２０を押す。このような操作を繰り返せば、複数組の上下限界送り位置をメモリ２４に記憶させることができる。
次に、メモリ２４に記憶された複数組の上下限界送り位置を選択するには、限界表示ボタン２１を押して複数組の上下限界送り位置を順次、液晶表示器１８に表示し、必要な上下限界送り位置が表示されたら、セットボタン２０を押すことにより、それらの値がレジスタ２５に設定される。この後、ロータリディスク６Ｄ及びロータリリング７Ｄを操作してステッピングモータ３を駆動する。
リセットボタン１９を操作した場合は、レジスタ２５の内容がクリアされ、メモリ２４の先頭に記憶されている上下限界送り位置がレジスタ２５に読み出され、これと同時に、上下限界送り位置が液晶表示器１８に表示される。
この第４実施例による上下限界送り位置とカウンタ２６の内容をコンパレータ２７で比較してモータドライバの駆動を阻止することによって、顕微鏡の目視観察を行いながら手探りでリモートコントローラを操作する場合であっても、誤操作による、対物レンズと被測定物の衝突や、ステージを下限位置に衝突させる危険を回避することができる。
【００２１】
なお、前記各実施例の説明では、指先で掴んで回転操作するロータリリング７Ｄにアブソリュートエンコーダ１１Ｄを追従させる例を説明したが、同ロータリリング７Ｄの代わりに回転レバーとしてもよく、また、操作ノブ６ａ自体が慣性能率の高い金属ブロックで構成される場合は、操作ノブ６ａ自体がフライホイール１４と同様の作用効果をもつ。
また、前述した各インクリメンタルエンコーダ９Ｄ及びアブソリュートエンコーダ１１Ｄは、第１及び第２の手動操作部材に格子円板を、装置固定側に検出器を位置した構成であってもよく、さらに、これらのインクリメンタルエンコーダ９Ｄ及びアブソリュートエンコーダ１１Ｄは、光学式、磁気式、静電容量式、接触式等の公知の構成から任意に選択できる。
【００２２】
そして、前述したアブソリュートエンコーダ１１Ｄの回動量と操作向きにより定まる早送り速度は一定の関数変化とするか、または、関数テーブルを用意して同テーブルの参照により最終的な早送り速度を得てもよく、早送り駆動パルスは、アブソリュートエンコーダ１１Ｄの出力をデジタル／パルス変換回路で変換するものの他、アブソリュートエンコーダ１１Ｄのデジタル出力を直接に制御装置１２Ｄに入力させ、ソフトウエアによりパルス出力を得ることもできる。
また、図６においてはストップボタン５Ｄを有する構成としたが、ロータリディスク６Ｄ及びロータリリング７Ｄから手を離せばロータリディスク６Ｄの回転は停止し、ロータリリング７Ｄは中立位置へ戻り、その結果ステッピングモータ３の駆動は停止するので、このストップボタン５Ｄは必ずしも必須ではない場合がある。
更に、図７においてメモリ２４を不揮発性とすれば、電源が遮断されても上下限界送り位置を記憶・保存することができる。
メモリ２４に記憶される複数組の上下限界送り位置は、顕微鏡の種類や被測定物の大きさ（厚さ）あるいは使用する対物レンズに依存して決まる固定値をあらかじめ記憶させておき、それらから任意選択あるいは自動選択させることも可能である。すなわち顕微鏡種類、被測定物厚さ、対物レンズ種類を検出して、その結果を基にしてメモリ２４から最適な上下限界送り位置を自動選択し、その結果をレジスタ２５へ設定する構成としてもよい。
更に、図７の第４実施例においては、顕微鏡に物理的な下限リミットスイッチを設けてこの下限リミットスイッチによりステッピングモータの下方駆動を阻止する構成とすれば、下限設定ボタン２３を省略できる。
また、原点復帰ボタンを設け、前記下限リミットスイッチを原点スイッチと見做して原点復帰機能を付加することも出来る。即ち原点復帰ボタンが操作されると、ステージは一定速度で下降を開始し、下限リミットスイッチが検出された位置でステッピングモータの下方駆動を阻止すると同時に、カウンタ２６をリセットする構成とすれば、下限リミットスイッチ位置におけるカウンタ２６の計数値をゼロリセットすることが容易になる。
そして、各実施例においては、対物レンズに対して被測定物を載置したステージの上下駆動を行う場合について説明したが、対物レンズを上下駆動する場合にも同様に実施できることは明白である。
【００２３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ロータリディスク（第１の手動操作部材）に追従するインクリメンタルエンコーダで微動量を発信させ、このロータリディスクと同心的なロータリリング（第２の手動操作部材）に追従するアブソリュートエンコーダで早送り量を与えるので、移動量が大きな微調整時であっても、迅速に遠隔調整を行うことができ、誤って手動調整することが少ない光学測定機器用リモートコントローラを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一部を切欠いて示した本発明の第１実施例によるリモートコントローラの全体斜視図である。
【図２】同リモートコントローラの要部拡大断面図である。
【図３】同リモートコントローラのブロックダイヤグラムである。
【図４】本発明の第２実施例によるリモートコントローラの図２相当断面図である。
【図５】本発明の第３実施例によるリモートコントローラの要部拡大平面図である。
【図６】本発明の第４実施例によるリモートコントローラの要部拡大平面図である。
【図７】同リモートコントローラのブロックダイヤグラムである。
【図８】リモートコントローラを後付けされた従来のズーム型測定顕微鏡の全体斜視図である。
【図９】同リモートコントローラのブロックダイヤグラムである。
【符号の説明】
１              取付ヘッド
３              ステッピングモータ
４Ａ〜４Ｄ      コントローラ本体
５Ａ〜５Ｄ      ストップボタン
６Ａ〜６Ｄ      ロータリディスク
７Ａ〜７Ｄ      ロータリリング
９Ａ，９Ｂ      インクリメンタルエンコーダ
１１Ａ，１１Ｂ  アブソリュートエンコーダ
１２Ａ，１２Ｄ  制御装置
１３Ａ，１３Ｄ  モータドライバ
１４            フライホイール
１５            リターンスプリング
１８            液晶表示器
２４            メモリ
２５            レジスタ
２６            カウンタ
２７            コンパレータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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