(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に対向する対向面、支持側となる支持面、トレーリング側とリーディング側の各端面を有するスライダと、前記スライダのトレーリング側に設けられた磁気記録および／または再生用の素子部とを有する磁気ヘッドの製造方法において、
（ａ）トレーリング側端面に複数の素子部が形成されたスライダバーを形成する工程と、
（ｂ）前記スライダバーでの前記対向面のトレーリング側の角部を、研磨加工面に当てて、前記スライダバーの前記支持面と前記研磨加工面とのなす角度を５°以上１４°以下の角度に設定し、前記スライダバーをその長手方向と平行な方向に往復摺動させて、前記トレーリング側の角部に傾斜面を形成する工程と、
（ｃ）前記スライダバーを、各々が前記素子部を有する個々のスライダに分離する工程と、
を有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記（ｂ）の工程の後に、
（ｄ）前記スライダバーでの前記対向面のリーディング側の角部を、研磨加工面に当てて、前記スライダバーの前記支持面と前記研磨加工面とのなす角度を５°以上１４°以下の角度に設定し、前記スライダバーをその長手方向と平行な方向に往復摺動させて、前記リーディング側の角部に傾斜面を形成する工程を
有する請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記スライダバーの記録媒体との対向面の表面上に保護膜を形成した後に、前記（ｂ）及び／又は（ｄ）の工程に移行する請求項１または２記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばハードディスク装置などに搭載されるスライダを備えた磁気ヘッド及びその製造方法に係り、特に前記磁気ヘッドが記録媒体上に浮上した状態で記録および／または再生動作を行なうときに、前記記録媒体の損傷を低減することのできる磁気ヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１７は、ハードディスク装置などに搭載される従来の磁気ヘッドを記録媒体との対向面を上向きにして示した斜視図である。
【０００３】
この磁気ヘッドでは、記録媒体の移動方向に対して上流側Ａがリーディング側と呼ばれ、下流側Ｂが、トレーリング側と呼ばれている。
【０００４】
図１７に示す符号１はセラミック材料などにより形成されたスライダであり、前記スライダ１のトレーリング側端面Ｂには、磁気記録及び／又は再生用の薄膜素子部６が設けられている。
【０００５】
前記スライダ１の記録媒体との対向面には、エアグルーブ２が形成され、前記エアグルーブ２を囲むようにしてＡＢＳ面３が形成されている。このＡＢＳ面３はクラウン形成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで図１７に示す従来の磁気ヘッドでは、スライダ１の記録媒体との対向面における角部１ａ，１ａが角張っており、磁気ヘッドが記録媒体に接触した際などに、前記記録媒体が損傷を受け易いといった問題があった。このため、前記スライダ１の角部１ａ，１ａを例えば機械加工などによって面取りしていた。
【０００７】
従来、複数のスライダ１が一体になって形成された状態、つまりスライダバーの状態で前記角部１ａ，１ａの面取り加工を行っていた。図１８は、スライダバーの状態を示す部分斜視図である。
【０００８】
図１８に示すように、前記スライダバー７のトレーリング側端面Ｂには、複数の薄膜素子部６が形成されている。そして前記スライダバー７の記録媒体との対向面８には、エアグルーブ２及びＡＢＳ面３の加工が施されており、さらに各薄膜素子部６間には、一定の深さを有する溝部９が形成されている。
【０００９】
図１９は、従来の面取り加工方法を示す正面図である。従来は、治具１０に固定されたスライダバー７のエアグルーブ２及びＡＢＳ面３の全面を、クッション材Ｋ上に設置された研磨用のラッピングテープＲに一定の圧力をかけて当接させ、治具１０をＸ方向及び／又はＹ方向に往復摺動させることにより、スライダバーの状態で前記角部１ａ，１ａの面取り加工を行なう。
【００１０】
しかし、上記面取り加工を行うときに面取り加工の加工寸法をどの範囲に設定すれば効果的に前記記録媒体の損傷を低減させることができるかということについて、従来ほとんど検討されていなかった。また、上述した従来の面取り加工方法を用いてスライダの面取り加工を行なうと、面取り加工の加工精度を一定にすることが困難になるという問題も生じていた。
【００１１】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、前記スライダの記録媒体との対向面における前記角部の面取り加工寸法が、磁気ヘッドが記録媒体に接触したときなどにおける前記記録媒体の損傷を低減でき、かつ、面取り加工のバラつきを少なくすることのできる範囲にある磁気ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
また、本発明は、記録媒体に対向する対向面、支持側となる支持面、トレーリング側とリーディング側の各端面を有するスライダと、前記スライダのトレーリング側に設けられた磁気記録および／または再生用の素子部とを有する磁気ヘッドの製造方法において、
（ａ）トレーリング側端面に複数の素子部が形成されたスライダバーを形成する工程と、
（ｂ）前記スライダバーでの前記対向面のトレーリング側の角部を、研磨加工面に当てて、前記スライダバーの前記支持面と前記研磨加工面とのなす角度を５°以上１４°以下の角度に設定し、前記スライダバーをその長手方向と平行な方向に往復摺動させて、前記トレーリング側の角部に傾斜面を形成する工程と、
（ｃ）前記スライダバーを、各々が前記素子部を有する個々のスライダに分離する工程と、
を有することを特徴とするものである。
【００２２】
なお、前記（ｂ）の工程の後に、
（ｄ）前記スライダバーでの前記対向面のリーディング側の角部を、研磨加工面に当てて、前記スライダバーの前記支持面と前記研磨加工面とのなす角度を５°以上１４°以下の角度に設定し、前記スライダバーをその長手方向と平行な方向に往復摺動させて、前記リーディング側の角部に傾斜面を形成する工程を有してもよい。
【００２３】
本発明では、前記スライダの前記トレーリング側及び／又は前記リーディング側の角部に平坦な傾斜面を形成するので、製造段階における前記傾斜面の傾斜角度や深さといった加工寸法のばらつきを抑えることが容易になる。
【００２５】
前記スライダバーの支持面と前記研磨加工面とがなす角度を５°以上１４°以下に固定して前記スライダバーの角部を研磨すると、完成したスライダのトレーリング側及び／又はリーディング側の角部に形成された傾斜面と前記対向面との間にある第１の境界線と、前記傾斜面と前記端面との間にある第２の境界線を含む仮想平面と前記スライダの支持面とがなす角の大きさが５°以上１４°以下になる。従って、形成された磁気ヘッドが記録媒体に接触したときなどにおける前記記録媒体の損傷を低減することができ、かつ、面取り加工のバラつきを少なくすることができる。
【００２６】
さらに、前記スライダバーの支持面と前記研磨加工面とがなす角度を５°以上８°以下に固定した状態で、前記スライダバーを往復摺動させると、完成したスライダのトレーリング側及び／又はリーディング側の角部に形成された傾斜面と前記対向面との間にある第１の境界線と、前記傾斜面と前記端面との間にある第２の境界線を含む仮想平面と前記スライダの支持面とがなす角の大きさも、５°以上８°以下になる。従って、形成された磁気ヘッドが記録媒体に接触したときなどにおける前記記録媒体の損傷を完全に防止することも可能になるので好ましい。
【００２７】
また、前記スライダバーの支持面と研磨加工面とがなす角度を５°以上１４°以下に固定して前記スライダバーを往復摺動させると、前記傾斜面を形成するための前記スライダバーの総往復摺動距離を低減させることができ、加工性が向上する。なお、前記スライダバーの支持面と前記研磨加工面とがなす角度を５°以上８°以下に固定した状態で、前記スライダバーを往復摺動させると加工性を一層向上させることができるので好ましい。
【００２９】
前記スライダバーを往復摺動させる方向を、前記スライダバーの長手方向に平行な方向とすると、完成したスライダのトレーリング側端部及び／又はリーディング側端部に形成された傾斜面と前記対向面との前記第１の境界線が、前記スライダの幅方向に向けて直線状または曲線状に延び、前記傾斜面の加工寸法のばらつきを抑えることが容易になるので好ましい。
【００３０】
また、前記スライダバーの記録媒体との対向面の表面上に保護膜を形成した後に、前記（ｂ）及び／又は（ｄ）の工程に移行することが好ましい。
【００３１】
従来の面取り加工方法では、スライダバー記録媒体との対向面の全面をラッピングテープに当接させていたので、記録媒体との対向面の表面に形成された保護膜も研磨されてしまうという問題が生じていた。
【００３２】
本発明では、前記スライダバーのトレーリング側及び／又はリーディング側の角部のみを前記研磨加工面に当てて研磨するので、記録媒体との対向面の表面に形成された保護膜は、前記角部以外では研磨されることがない。
【００３３】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の形態の磁気ヘッドを記録媒体との対向面を上向きにして示した斜視図である。
【００３４】
この磁気ヘッドでは、記録媒体の移動方向に対して上流側Ａがリーディング側と呼ばれ、下流側Ｂが、トレーリング側と呼ばれている。
【００３５】
図１に示す符号１１はセラミック材料などにより形成されたスライダであり、スライダ１１のトレーリング側端面Ｔにはアルミナ層１５が形成されており、アルミナ層１５には磁気記録及び／又は再生用の素子部１２が設けられている。この素子部１２は、磁気抵抗効果素子を用いた再生部と、インダクティブ型の薄膜磁気ヘッドにより構成された記録部とが重ねられたものであり、スライダ１１の記録媒体との対向面Ｆにギャップ部（記録および／または再生部）Ｇが現れている。なお、本実施の形態の磁気ヘッドのスライダ１１では、記録媒体との対向面Ｆ上に、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）などの材料を用いて保護膜が形成されており、ギャップ部Ｇは前記保護膜に覆われている。図１では、図面を見やすくするために、前記保護膜の図示を省略しているが、後に説明する図４において保護膜１６として図示されている。また、対向面Ｆの反対側の面が支持側となる支持面Ｓである。
【００３６】
図１に示すように、記録媒体との対向面Ｆには段差が形成されて、前記段差を介して対向面Ｆ側において最も高い位置にある面が、記録媒体上の空気流からの浮上力を受けるＡＢＳ面１４であり、ＡＢＳ面１４に囲まれてエアグルーブ１３が形成されている。なお、前記段差の高さは１．５ｍｍである。
【００３７】
図２に示されるように、図１のスライダ１１を支持する支持体２１は、ロードビーム２２とフレキシャ２３とで構成されている。ロードビーム２２はステンレスなどの板ばね材料により形成されている。またロードビーム２２の先端部付近には、図示下方向に突き出した球面状のピボット２４が形成されており、このピボット２４にフレキシャ２３を介してスライダ１１が当接される。
【００３８】
フレキシャ２３はステンレスなどの薄い板ばねにより形成されたものである。フレキシャ２３は、固定部２３ａと舌片２３ｂとで構成されており、舌片２３ｂの下面に、スライダ１１の支持側となる支持面Ｓが接着固定されている。
【００３９】
舌片２３ｂの上面はロードビーム２２に形成されたピボット２４に突き当てられ、舌片２３ｂの下面に接着固定されたスライダ１１が舌片２３ｂの弾性により、ピボット２４の頂点を支点として姿勢を自由に変えることができるようになっている。
【００４０】
磁気ディスクＤ１（記録媒体）の起動時には、ディスクの移動方向に沿ってスライダ１１と磁気ディスクＤ１表面の間に空気流が導かれ、スライダ１１のＡＢＳ面１４が空気流による浮上力を受けて、磁気ディスクＤ１表面から短い距離δ１（スペーシング）だけ浮上する。
【００４１】
浮上姿勢では、図２に示すように、スライダ１１のリーディング側Ａがトレーリング側Ｂよりも高く持ち上がる傾斜した浮上姿勢となる。この浮上姿勢にて、素子部１２のＭＲヘッドによりディスクからの磁気信号が検出され、あるいはインダクティブヘッドにより前記磁気信号が書き込まれる。
【００４２】
図１に示された本実施の形態のスライダ１１では、記録媒体との対向面Ｆのトレーリング側端部に傾斜面１１ａが、また、リーディング側端部に傾斜面１１ｂが形成されている。傾斜面１１ａ、１１ｂの表面は平坦面である。
【００４３】
図３は、図１に示されたスライダ１１を記録媒体との対向面Ｆ側からみた平面図、図４はスライダ１１の側面図である。
【００４４】
傾斜面１１ａの対向面Ｆとの境界線が第１の境界線１１ａ１であり、傾斜面１１ａのトレーリング側端面Ｔとの境界線が第２の境界線１１ａ２である。なお、本実施の形態では、第１の境界線１１ａ１は傾斜面１１ａのＡＢＳ面１４との境界線を含む。第１の境界線１１ａ１と第２の境界線１１ａ２を含む仮想平面Ｃとスライダ１１の支持面Ｓとがなす角の大きさをθ１とする。
【００４５】
また、傾斜面１１ｂの対向面Ｆとの境界線が第１の境界線１１ｂ１であり、傾斜面１１ｂのリーディング側端面Ｌとの境界線が第２の境界線１１ｂ２である。第１の境界線１１ｂ１と第２の境界線１１ｂ２を含む仮想平面Ｄとスライダ１１の支持面Ｓとがなす角の大きさをθ２とする。θ１及びθ２は、５°以上１４°以下の範囲内にある。θ１とθ２の大きさは、異っていても等しくてもどちらでもよい。
【００４６】
なお、記録媒体との対向面Ｆの前記トレーリング側端部及び／又はリーディング側端部には、傾斜面１１ａ、１１ｂの代りに曲面が形成されてもよい。この場合も、前記曲面の対向面Ｆとの間の第１の境界線と、前記曲面のトレーリング側端面Ｔとの間の第２の境界線を含む仮想平面とスライダの支持面Ｓとがなす角の大きさ、及び前記曲面の対向面Ｆとの間の第１の境界線と、前記曲面のリーディング側端面Ｌとの間の第２の境界線を含む仮想平面と、スライダの支持面Ｓとがなす角の大きさを、５°以上１４°以下の範囲内にする。
【００４７】
θ１及びθ２が５°以上１４°以下の範囲内にあるようにすると、図２に示されるように、磁気ディスクＤ１（記録媒体）上を浮上走行しているスライダ１１が、磁気ディスクＤ１に接触したときの磁気ディスクＤ１の損傷を低減できる。また、θ１及びθ２が５°以上８°以下の範囲内にあるようにすると、磁気ディスクＤ１の損傷を完全に防止することも可能になるので好ましい。
【００４８】
θ１及びθ２が１４°より大きいと、傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１を頂点とする角部の角度及び傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１を頂点とする角部の角度が直角に近づき、スライダ１１が、磁気ディスクＤ１に接触したときの磁気ディスクＤ１の損傷を低減できなくなる。
【００４９】
また、θ１及びθ２が５°未満であると、傾斜面１１ａの第２の境界線１１ａ２を頂点とする角部の角度及び傾斜面１１ｂの第２の境界線１１ｂ２を頂点とする角部の角度が直角に近づき、スライダ１１が、磁気ディスクＤ１に接触したときの磁気ディスクＤ１の損傷を低減できなくなる。
【００５０】
すなわち、θ１及びθ２が５°以上１４°以下であると、傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１を頂点とする角部及び傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１を頂点とする角部、並びに傾斜面１１ａの第２の境界線１１ａ２を頂点とする角部及び傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ２を頂点とする角部の鋭角度が減少し、スライダ１１が磁気ディスクＤ１に接触したときの磁気ディスクＤ１の損傷を低減できる。
【００５１】
また、θ１及びθ２が５°以上であると、傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１からトレーリング側端面Ｔまでの距離Ｌ１及び傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１からリーディング側端面Ｌまでの距離Ｌ３の製品ごとのバラつきを許容範囲以内にでき、製品の品質を向上させることができる。
【００５２】
また、図３に示されるように、対向面Ｆのトレーリング側端部に形成された傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１は、素子部１２のギャップ部Ｇよりも、トレーリング側端面Ｔ側に形成されており、ギャップ部Ｇの損傷を防止することができるようになっている。第１の境界線１１ａ１からギャップ部Ｇまでの距離Ｌ２は、例えば３〜５μｍである。
【００５３】
さらに、ギャップ部Ｇは、ＡＢＳ面１４の領域内に位置し、記録及び再生時に、素子部１２を磁気ディスクＤ１に最も近づけることができるようになっている。ギャップ部Ｇは、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）などからなる保護膜（図３では図示せず）によって覆われている。ただし、ギャップ部Ｇが、ＡＢＳ面１４上に露出していてもよい。
【００５４】
なお、ギャップ部Ｇは、必ずしもＡＢＳ面の領域内に位置しなくともかまわない。例えば、エアーグルーブ１３と連続する平面内に位置していてもかまわない。
【００５５】
また、リーディング側の端部に形成された傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１は、ＡＢＳ面１４を形成する段差よりもリーディング側端面Ｌ側に位置しており、傾斜面１１ｂがスライダ１１の浮上特性に影響を与えることを避けることができる。
【００５６】
図１から図４に示されたスライダ１１は、トレーリング側端部及びリーディング側端部の両方に傾斜面１１ａ、１１ｂが形成され、角度θ１及びθ２が５°以上１４°以下の範囲にある。
【００５７】
ただし、図２に示されるように、浮上時のスライダ１１は、トレーリング側端部が磁気ディスクＤ１に近づいた姿勢を取り、その結果、トレーリング側端部の方がリーディング側端部よりも磁気ディスクＤ１と接触しやすくなる。すなわち、トレーリング側端部の傾斜面１１ａのみが形成され、リーディング側端部の傾斜面１１ｂが形成されなくとも、スライダ１１の接触による磁気ディスクＤ１の損傷を低減することができる。また、トレーリング側端部及びリーディング側端部に傾斜面１１ａ、１１ｂが形成されている場合、角度θ１のみが５°以上１４°以下の範囲にあり、角度θ２はこの範囲から外れた大きさであっても良い。
【００５８】
図３に示されるように、対向面Ｆの前記トレーリング側端部及びリーディング側端部に形成された傾斜面１１ａ、１１ｂの第１の境界線１１ａ１、１１ｂ１は、スライダ１１の幅方向に向けて直線状に延びている。なお、傾斜面１１ａ、１１ｂの第１の境界線１１ａ１、１１ｂ１は、スライダ１１の幅方向に向けて曲線状に延びていることもある。
【００５９】
さらに、スライダ１１の記録媒体との対向面Ｆの表面上には、図４の斜線部で示される保護膜１６が形成されている。保護膜１６は、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）などの材料を用いて形成されている。この保護膜１６は傾斜面１１ａ、１１ｂの表面上には形成されていない。なお、図１及び図３では、図を見やすくするために保護膜１６の図示を省略している。
【００６０】
また図１から図４に示されたスライダ１１では、対向面Ｆの側縁部１１ｃ，１１ｃは角部となっているが、この側縁部１１ｃ、１１ｃに傾斜面又は曲面が形成されても良い。また、傾斜面１１ａ及び１１ｂと側縁部１１ｃ、１１ｃとの交点を頂点とする角部１１ｄ，１１ｄ，１１ｄ，１１ｄがなだらかなＲ面となっていてもよい。
【００６１】
なお、また図１から図４に示されたスライダ１１のＡＢＳ面１４は、なだらかな曲面状となり、いわゆるクラウンが形成されていてもよい。
【００６２】
この磁気ヘッドは、いわゆるＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）方式、あるいはランプロード方式のハードディスク装置などに使用される。
【００６３】
本発明は、ランプロード方式のハードディスク装置の磁気ヘッドに適用すると特に有用である。
【００６４】
図５から図１０は、ランプロード方式のハードディスク装置の動作を説明するための側面図及び平面図である。
【００６５】
図６において、１１はスライダ、２２はロードビーム、３４はロードバー、３５はロードビーム２２を支持するためのアーム、Ｄ１は磁気ディスク（記録媒体）である。
【００６６】
ロードバー３４は磁気ディスク（記録媒体）Ｄ１に対して平行な部分３４−Ｈと傾斜を持つ部分３４−Ｋを有する。図５及び図６に示すように、非動作時においては、磁気ディスクＤ１とスライダ１１は非接触であり、スライダ１１は磁気ティスクＤ１の半径方向の外側であって、スライダ１１表面の存在する平面上より離れた空間上に配置される。この状態から、モータを回転させた後、アーム３５をアームの支点を中心に回転させると、ロードビーム２２は、ロードバー３４の平行な部分３４−Ｈを滑り、さらに傾斜部３４−Ｋに達して傾斜に沿って滑って行く（図７、図８）。さらにアーム３５が回転すると、ロードビーム２２を支持していたロードバー３４のロックが解け、スライダ１１は磁気ディスクＤ１上に移動し浮上する（図９，図１０）。スライダ１１を磁気ディスクＤ１からアンロードするときには、図５から図１０に示した一連の動作を逆順に行う。
【００６７】
上述したランプロード方式では、スライダ１１が磁気ディスクＤ１上に移動し浮上するとき（図９，図１０）にスライダ１１の姿勢が不安定になり、スライダ１１の、記録媒体との対向面のトレーリング側端部及びリーディング側端部が磁気ディスクＤ１と接触しやすくなる。
【００６８】
本発明では、スライダ１１の、記録媒体との対向面のトレーリング側端部及びリーディング側端部に傾斜面または曲面が形成されているので、スライダ１１が磁気ディスクＤ１と接触しやすくなった場合でも、磁気ディスクＤ１の損傷を低減できる。
【００６９】
図１１は、本発明の磁気ヘッドの製造方法の実施の形態を説明するための斜視図である。
【００７０】
まずセラミックやアルミナチタンカーバイドなどからなる円形状の基板上に、複数の素子部４１を形成した後、前記基板を直方形状に切断し、スライダバー４２を形成する。このスライダバーのトレーリング側端面には、一列に並んで複数の素子部４１が形成された状態となっている。
【００７１】
そして、スライダバー４２の記録媒体との対向面Ｆに、素子部４１と同じ数だけのエアグルーブ及びＡＢＳ面を形成する。また、スライダバーの対向面Ｆと反対側の面が支持側となる支持面である。
【００７２】
次に、図１１に示すように、スライダバー４２の記録媒体との対向面Ｆのトレーリング側の角部４２ａを研磨加工面であるラッピングテープ４３の表面に当てて、治具（図示せず）によってスライダバー４２の支持面Ｓとラッピングテープ４３表面とがなす角度θを５°以上１４°以下に設定した状態で、スライダバー４２の長手方向に平行な方向（図示Ｙ方向；スライダバー４２のトレーリング端面Ｔに平行な方向）に往復摺動させて、前記トレーリング側の角部４２ａに傾斜面を形成する。なお、スライダバー４２をラッピングテープ４３に力を加えて押付けることはせず、スライダバー４２は、自重のみによってラッピングテープ４３に押付けられている。スライダバー４２の往復摺動は手動で行う。
【００７３】
次に、スライダバー４２の記録媒体との対向面Ｆのリーディング側の角部４２ｂをラッピングテープ４３の表面に当てて、スライダバー４２の支持面Ｓとラッピングテープ４３の表面とがなす角度を５°以上１４°以下に設定した状態で、スライダバー４２の横方向に平行な方向（図示Ｙ方向；スライダバー４２のトレーリング端面Ｔに平行な方向）に往復摺動させて、前記リーディング側の角部４２ｂに傾斜面を形成する。ただし、スライダバー４２の記録媒体との対向面Ｆのリーディング側の角部４２ｂに傾斜面を形成する工程は省略してもよい。
【００７４】
なお、ラッピングテープ４３の下層にクッションを敷いてもよいし、敷かなくてもよい。
【００７５】
その後に、スライダバー４２の記録媒体との対向面Ｆ側に形成された溝部４４においてスライダバー４２を切断すると、図１から図４に示すような個々のスライダ１１が得られる。
【００７６】
本実施の形態では、スライダバー４２のトレーリング側の角部４２ａ及び／又は前記リーディング側の角部４２ｂに平坦な傾斜面を形成するので、製造段階における前記傾斜面の傾斜角度や深さといった加工寸法のばらつきを抑えることが容易になる。
【００７７】
すなわち、図１から図４に示される得られたスライダ１１の傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１と第２の境界線１１ａ２を通る仮想平面Ｃとスライダ１１の支持面Ｓとがなす角の大きさθ１、及び傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１と第２の境界線１１ｂ２を通る仮想平面Ｄとスライダ１１の支持面Ｓとがなす角の大きさθ２の製品ごとのバラつきを小さくでき、製品の品質を向上させることができる。
【００７８】
さらに、得られたスライダ１１の傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１からトレーリング端面Ｔまでの距離Ｌ１及び傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１からリーディング端面Ｌまでの距離Ｌ３の製品ごとのバラつきを小さくでき、製品の品質を向上されることができる。
【００７９】
また、スライダバー４２の支持面Ｓとラッピングテープ４３表面とがなす角度を５°以上１４°以下に設定した状態で、スライダバー４２を往復摺動させると、傾斜面を形成するためのスライダバー４２の総往復摺動距離を低減させることができ、加工性が向上する。なお、スライダバー４２の支持面Ｓとラッピングテープ４３表面とがなす角度を５°以上８°以下に設定した状態で、スライダバー４２を往復摺動させると加工性を一層向上させることができるので好ましい。
【００８０】
前記スライダバーの支持面Ｓとラッピングテープ表面とがなす角度を５°以上１４°以下に設定して前記スライダバーの角部を研磨すると、完成したスライダのトレーリング側及び／又はリーディング側の角部に形成された傾斜面の前記第１の境界線と前記第２の境界線を通る仮想平面と前記スライダの支持面とがなす角の大きさθは５°≦θ≦１４°の範囲内になる。従って、形成された磁気ヘッドが記録媒体に接触したときなどにおける前記記録媒体の損傷を低減することができ、かつ、面取り加工のバラつきを少なくすることができる。
【００８１】
また、スライダバー４２の支持面Ｓとラッピングテープ４３表面とがなす角度を５°以上８°以下に設定した状態で、スライダバー４２を往復摺動させると、完成したスライダのトレーリング側及び／又はリーディング側の角部に形成された傾斜面の前記第１の境界線と前記第２の境界線を通る仮想平面と前記スライダの支持面とがなす角の大きさθも５°以上８°以下の範囲内になる。従って、形成された磁気ヘッドが記録媒体に接触したときなどにおける前記記録媒体の損傷を完全に防止することも可能になるので好ましい。
【００８２】
また、上記のように往復摺動させる方向を、スライダバー４２の長手方向に平行な方向とすると、完成したスライダ１１のトレーリング側端部に形成された傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１及びリーディング側端部に形成された傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１が、図３に示されるようにスライダ１１の幅方向に延びる直線となり、傾斜面１１ａ及び１１ｂの加工寸法のばらつきを抑えることが容易になる。
【００８３】
なお、傾斜面１１ａを形成するときには、図３に示されるように、トレーリング側端部に形成された傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１が、素子部１２のギャップ部Ｇよりも、トレーリング側端面Ｔ側となるようにすると、ギャップ部Ｇの損傷を防止することができるので好ましい。
【００８４】
また、傾斜面１１ｂを形成するときには、リーディング側端部に形成された傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１が、ＡＢＳ面を形成する段差よりもリーディング側端面Ｌ側に形成されるようにすると、傾斜面１１ｂがスライダ１１の浮上特性に影響を与えることを避けることができるので好ましい。
【００８６】
ただし、スライダバー４２の長手方向と直角方向（図示Ｘ方向；スライダバー４２のトレーリング端面Ｔに垂直な方向）に往復摺動させて、前記トレーリング側の角部４２ａ及び角部４２ｂに傾斜面を形成すると、完成したスライダ５１のトレーリング側端部に形成された傾斜面５１ａの第１の境界線５１ａ１及びリーディング側端部に形成された傾斜面５１ｂの第１の境界線５１ｂ１が、図１３に示されるような波状或いはジグザグ状のガタつきのある曲線となり傾斜面５１ａ及び５１ｂの加工寸法のばらつきが生じやすくなる。
【００８７】
また、スライダバー４２の長手方向と直角方向（図示Ｘ方向）に往復摺動させて、前記トレーリング側の角部４２ａ及び角部４２ｂに傾斜面を形成する方法では、一つの角部を研磨するために必要なラッピングテープ４３の面積は、図１２に示されるように、Ｗ１×Ｗ２である。ただし、Ｗ１はスライダバー４２をラッピングテープ４３上で摺動させる距離、Ｗ２はスライダバー４２の長手方向の長さである。
【００８８】
一方、スライダバー４２の長手方向に平行な方向（図示Ｙ方向）に往復摺動させて、前記トレーリング側の角部４２ａ及び角部４２ｂに傾斜面を形成する方法では、一つの角部を研磨するために必要なラッピングテープ４３の面積は、図１１に示されるように、Ｗ３×Ｗ４である。ただし、Ｗ３は形成される傾斜面の第１の境界線から第２の境界線までの長さ、Ｗ４はスライダバー４２をラッピングテープ４３上で摺動させる距離である。
【００８９】
通常、Ｗ１×Ｗ２＞Ｗ３×Ｗ４である。すなわち、一つの角部を研磨するために必要なラッピングテープ４３の面積は、スライダバー４２の長手方向に平行な方向（図示Ｙ方向）に往復摺動させる方法（図１１）より、スライダバー４２の長手方向と直角方向（図示Ｙ方向）に往復摺動させる方法（図１２）の方が大きい。
【００９０】
一つのスライダに傾斜面を形成するために使用したラッピングテープ４３上の部分（図１１及び図１２の斜線部分）は加工レートが落ちるので、再使用はされない。すなわち、一つのスライダ４２の角部４２ａ及び角部４２ｂに傾斜面を形成した後ラッピングテープ４３をマイクロメータなどを用いて微少送りし、異るスライダバーに傾斜面を形成するときは、ラッピングテープ４３の使われていない部分を用いる。
【００９１】
従って、図１１に示されるスライダバー４２の長手方向に平行な方向（図示Ｙ方向）に往復摺動させる方法の方が、図１２に示されるスライダバー４２の長手方向と直角方向（図示Ｙ方向）に往復摺動させる方法よりも、同じ面積のラッピングテープを用いたときに、より多くのスライダの角部を研磨することができる。
【００９２】
また、スライダバー４２の記録媒体との対向面Ｆの表面上にＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）によって保護膜（図１１及び図１２では図示せず）が形成されている。
【００９３】
従来の面取り加工方法では、スライダバー４２の記録媒体との対向面Ｆの全面をラッピングテープ４３に当接させていたので、記録媒体との対向面Ｆの表面に形成された保護膜も研磨され、記録媒体との対向面Ｆが損傷するという問題が生じていた。
【００９４】
本実施の形態では、スライダバー４２のトレーリング側の角部４２ａ及び／又はリーディング側の角部４２ｂのみをラッピングテープ４３表面に当てて研磨するので、記録媒体との対向面Ｆの表面に形成された保護膜は、角部４２ａ，４２ｂ以外では研磨されることがない。従って、完成したスライダは、例えば図４に示されるように、記録媒体との対向面Ｆの大部分が保護膜１６で覆われたものとなる。また、記録媒体との対向面Ｆが損傷することも防止できる。
【００９５】
【実施例】
図１から図４に示されたスライダ１１と同じ形状で、トレーリング側端部の傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１と第２の境界線１１ａ２を通る仮想平面Ｃとスライダ１１の支持面Ｓとがなす角の大きさθ１と、リーディング側端部の傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１と第２の境界線１１ｂ２を通る仮想平面Ｄとスライダ１１の支持面Ｓとがなす角の大きさθ２を様々に変化させた複数個のスライダを形成した。以下、θ１及びθ２を、それぞれ、傾斜面１１ａ及び傾斜面１１ｂの傾斜角という。なお、本実施例ではθ１＝θ２＝θとしている。
【００９６】
また、傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１からトレーリング端面Ｔまでの距離Ｌ１を２０μｍ、第１の境界線１１ａ１からキャップＧまでの距離Ｌ２を５μｍとした。
【００９７】
これらの複数個のスライダを図２及び図６に示されるように、フレキシャ２３及びロードビーム２２を介してアーム３５に固定し、いわゆるランプロード方式のハードディスク装置を構成した。さらに、このハードディスク装置の起動・停止を繰り返し、磁気ディスクＤ１（記録媒体）の損傷発生試験を行った。
【００９８】
図１４は、傾斜面１１ａ及び１１ｂの傾斜角の大きさθ（＝θ１＝θ２）と磁気ディスクＤ１の損傷発生率との関係を示すグラフである。
【００９９】
図１４から、θ≦１４°になると、磁気ディスクの損傷発生率が１５％以下になり、５°≦θ≦８°の範囲で磁気ディスクの損傷発生率が０％になることがわかる。すなわち、磁気ディスクに損傷が発生する原因は、スライダ１１の記録媒体との対向面Ｆのトレーリング側端部及びリーディング側端部が磁気ディスクＤ１と接触しやすくなることであり、対向面Ｆのトレーリング側端部及びリーディング側端部に適切な傾斜角を有する傾斜面を形成することで、磁気ディスクの損傷を低減させること、もしくは防止することができることがわかる。
【０１００】
θ１及びθ２が１４°以上であると、傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１を頂点とする角部の角度及び傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１を頂点とする角部の角度が直角に近くなり、スライダ１１が、磁気ディスクＤ１に接触したときの磁気ディスクＤ１の損傷を低減できなくなる。
【０１０１】
次に、傾斜面１１ａの傾斜角の大きさθ（＝θ１）を変化させたスライダを複数個ずつ形成し、傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１からトレーリング側端面Ｔまでの距離Ｌ１のばらつき（標準偏差σ）を測定した。傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１からトレーリング側端面Ｔまでの距離Ｌ１の目標値を２０μｍ、第１の境界線１１ａ１からキャップ部Ｇまでの距離Ｌ２の目標値を５μｍとした。
【０１０２】
結果を図１５に示す。図１５から、θ＜５°であると、傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１からトレーリング側端面Ｔまでの距離Ｌ１のばらつき（標準偏差σ）が２μｍを越える。すなわち、３σ＞６μｍとなり、上述したように傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１からギャップ部Ｇまでの距離Ｌ２の目標値を５μｍとしている場合に、第１の境界線１１ａ１の位置がばらついて、ギャップ部Ｇの位置を越えてしまう確率が無視できない確率になる（約５％以上になる）。第１の境界線１１ａ１の位置が、ギャップ部Ｇの位置を越えるということは、傾斜面１１ａの形成時にギャップ部Ｇも研磨されることを意味し、すなわち、素子部１２の特性が変化してしまう。従って、θ≧５°であることが必要である。
【０１０３】
なお、リーディング側の傾斜面１１ｂの傾斜角の大きさθ（＝θ２）を変化させたスライダを複数個ずつ形成し、傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１からリーディング側端面Ｌまでの距離Ｌ３のばらつき（標準偏差σ）を測定した場合にも、図１５のグラフに示された結果と同等の結果が得られた。
【０１０４】
さらに、傾斜面１１ａの傾斜角の大きさθ（＝θ１）と、傾斜面１１ａを形成するときの加工性の関係を調べた。傾斜面１１ａを形成するときの加工性は、ある傾斜角の大きさθ（＝θ１）を有する傾斜面１１ａを形成するために、スライダバーをラッピングテープ上で往復摺動させたときの総摺動距離Ｌａによって表わすことができる。
【０１０５】
傾斜面１１ａは、図１１に示されるスライダバー４２を長手方向に平行な方向（図示Ｙ方向）に往復摺動させる方法で形成した。なお、スライダバー４２は、自重のみによってラッピングテープ４３に押付けられ、スライダバー４２の往復摺動は手動で行った。
【０１０６】
前記総摺動距離Ｌａは、スライダバー４２をラッピングテープ４３上で摺動させる距離をＷ４、往復回数をＮとすると、Ｌａ＝２×Ｗ４×Ｎで表わされる。
【０１０７】
図１６は、傾斜面１１ａの傾斜角の大きさθ（＝θ１）と、傾斜面１１ａを形成するときの総摺動距離Ｌａとの関係を示すグラフである。
【０１０８】
図１６から、θ＞１４°となると、総摺動距離Ｌａが急激に増大し、加工性が著しく悪化することがわかる。また、５°≦θ≦８°の範囲では、総摺動距離Ｌａは約３０ｃｍ以下となり、非常に良好な加工性を示すことがわかる。
【０１０９】
なお、リーディング側の傾斜面１１ｂの傾斜角の大きさθ（＝θ２）と、傾斜面１１ｂを形成するときの総摺動距離Ｌａとの関係を調べた結果も、図１６の結果と同様の結果であった。
【０１１０】
図１４から図１６の結果から、トレーリング側端部の傾斜面１１ａの第１の境界線１１ａ１と第２の境界線１１ａ２を通る仮想平面Ｃとスライダ１１の支持面Ｓとがなす角の大きさθ１と、リーディング側端部の傾斜面１１ｂの第１の境界線１１ｂ１と第２の境界線１１ｂ２を通る仮想平面Ｄとスライダ１１の支持面Ｓとがなす角の大きさθ２は、５°≦θ１，θ２≦１４°であることが必要であり、好ましくは５°≦θ１，θ２≦８°であることがわかった。
【０１１１】
【発明の効果】
以上、詳細に説明した本発明によれば、前記スライダに設けられた記録媒体との対向面の前記トレーリング側端部および／またはリーディング側端部に傾斜面又は曲面を形成し、前記傾斜面又は曲面の第１の境界線と第２の境界線を含む仮想平面と前記スライダの支持面とがなす角の大きさθが５°以上１４°以下の範囲内にあるので、形成された磁気ヘッドが記録媒体に接触したときなどにおける前記記録媒体の損傷を低減でき、かつ、面取り加工のバラつきを少なくすることができる。
【０１１２】
また、前記傾斜面又は曲面の第１の境界線と第２の境界線を含む仮想平面と前記スライダの支持面とがなす角の大きさθを５°以上８°以下の範囲内にすることにより、磁気ヘッドが記録媒体に接触したときなどにおける前記記録媒体の損傷を完全に防止することも可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態を示す磁気ヘッドの斜視図、
【図２】  図１の磁気ヘッドがロードビームに取りつけられた状態で、記録媒体上を浮上している状態を示す側面図、
【図３】  図１の磁気ヘッドを記録媒体との対向面側からみた平面図、
【図４】  図１の磁気ヘッドの側面図、
【図５】  ランプロード方式のハードディスク装置の動作を説明するための側面図、
【図６】  ランプロード方式のハードディスク装置の動作を説明するための平面図、
【図７】  ランプロード方式のハードディスク装置の動作を説明するための側面図、
【図８】  ランプロード方式のハードディスク装置の動作を説明するための平面図、
【図９】  ランプロード方式のハードディスク装置の動作を説明するための側面図、
【図１０】  ランプロード方式のハードディスク装置の動作を説明するための平面図、
【図１１】  本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明するための斜視図、
【図１２】  本発明の磁気ヘッドの他の製造方法を説明するための斜視図、
【図１３】  本発明の他の実施の形態を示す磁気ヘッドの平面図、
【図１４】  スライダの傾斜面の傾斜角の大きさと磁気ディスクの損傷発生率との関係を示すグラフ、
【図１５】  スライダの傾斜面の傾斜角の大きさと、傾斜面の第１の境界線からトレーリング側端面までの距離のばらつき（標準偏差σ）との関係を示すグラフ、
【図１６】  スライダの傾斜面の傾斜角の大きさと、スライダバーの総摺動距離との関係を示すグラフ。
【図１７】  従来の磁気ヘッドの斜視図、
【図１８】  図１７の磁気ヘッドを形成するためのスライダバーの斜視図、
【図１９】  従来の磁気ヘッドの面取り加工方法を説明するための正面図、
【符号の説明】
１１  スライダ
１１ａ、１１ｂ  傾斜面
１１ａ１、１１ｂ１  第１の境界線
１１ａ２、１１ｂ２  第２の境界線
１２  素子部
１３  エアーグルーブ
１４  ＡＢＳ面
４２  スライダバー
４３  ラッピングテープ
Ｔ  トレーリング側端面、
Ｌ  リーディング側端面
Ｇ  ギャップ部
【図１】
0003764846.tif 000002
【図２】
0003764846.tif 000003
【図３】
0003764846.tif 000004
【図４】
0003764846.tif 000005
【図５】
0003764846.tif 000006
【図６】
0003764846.tif 000007
【図７】
0003764846.tif 000008
【図８】
0003764846.tif 000009
【図９】
0003764846.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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