(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状のステータと、該ステータ上にセットされ、弾性表面波を励振して自走する弾性表面波素子を有する移動子と、該移動子を介して前記ステータに対して圧力を付与する手段とを備え、前記移動子はエネルギー補填用櫛型電極からのエネルギー供給により、振動を電力に変換する一方向性電極を有する移動用素子と、前記エネルギー補填用櫛型電極と一方向性電極を有する駆動用素子とを具備する自走式弾性表面波モータであって、前記移動用素子と前記駆動用素子とが別体の素子からなり、両者の一方向性電極間を電線で接続してなることを特徴とする自走式弾性表面波モータ。
【請求項２】
平板状のステータと、該ステータ上にセットされ、弾性表面波を励振して自走する弾性表面波素子を有する移動子と、該移動子を介して前記ステータに対して圧力を付与する手段とを備え、前記移動子はエネルギー補填用櫛型電極からのエネルギー供給により、振動を電力に変換する一方向性電極を有する移動用素子と、前記エネルギー補填用櫛型電極と一方向性電極を有する駆動用素子とを具備する自走式弾性表面波モータであって、前記移動用素子と前記駆動用素子とが一体化され、両者の一方向性電極間を配線で接続してなることを特徴とする自走式弾性表面波モータ。
【請求項３】
平板状のステータと、該ステータ上にセットされ、弾性表面波を励振して自走する弾性表面波素子を有する移動子と、該移動子を介して前記ステータに対して圧力を付与する手段とを備え、前記移動子はエネルギー補填用櫛型電極からのエネルギー供給により、振動を電力に変換する一方向性電極を有する移動用素子と、前記エネルギー補填用櫛型電極と一方向性電極を有する駆動用素子とを具備する自走式弾性表面波モータであって、前記移動用素子と前記駆動用素子とが単一の基板からなり、両者の一方向性電極間を配線で接続してなることを特徴とする自走式弾性表面波モータ。
【請求項４】
請求項１、２又は３記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記移動子は一軸方向へ移動可能に構成されることを特徴とする自走式弾性表面波モータ。
【請求項５】
請求項１、２又は３記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記移動子は二軸方向へ移動可能に構成されることを特徴とする自走式弾性表面波モータ。
【請求項６】
請求項１、２又は３記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記移動子は回転可能に構成されることを特徴とする自走式弾性表面波モータ。
【請求項７】
請求項１、２又は３記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記移動子の前記ステータへの接触面に形成される摩擦駆動面を具備することを特徴とする自走式弾性表面波モータ。
【請求項８】
請求項７記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記摩擦駆動面は複数の突起群からなることを特徴とする自走式弾性表面波モータ。
【請求項９】
請求項１、２又は３記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記移動子は、前記ステータへの接触面にエネルギー補填用櫛型電極と振動を電力に変換する一方向性電極とを具備することを特徴とする自走式弾性表面波モータ。
【請求項１０】
Ｖ溝を有するステータと、該ステータ上にセットされ、前記Ｖ溝に嵌まるＶ突起を有する弾性表面波を励振して自走する弾性表面波素子を有する移動子と、該移動子を介して前記ステータに対して圧力を付与する手段とを備え、前記移動子はエネルギー補填用櫛型電極からのエネルギー供給により、振動を電力に変換する一方向性電極を有する移動用素子と、前記エネルギー補填用櫛型電極と一方向性電極を有する駆動用素子とを具備することを特徴とする自走式弾性表面波モータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自走式弾性表面波モータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から弾性表面波モータは、高速、高推力、高速応答な小型リニアモータとして期待され、優れた動作特性が実現されている。移動速度としては、１ｍ／秒以上が実現しており、極めて大きな推力を発生できるということが実験で示されている。この弾性表面波モータは、厚さ数ｍｍでアクチュエータを実現することができ、薄型で推力が大きな高速応答が可能なモータである。
【０００３】
これまでは、弾性表面波モータのステータ振動子に進行波を励振して、ステータ振動子上のスライダーを移動子として用いるモータが提案されてきた。例えば、本願発明者によって既に提案されている弾性表面波モータ（特願平９−３０４０６８号）がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した弾性表面波モータは、スライダーの移動距離がステータ振動子の寸法で決まってしまい、移動範囲の制限が大きいことと、様々なアクチュエータへの応用に制限があること、また、運動の自由度としては、平面内の一次元か二次元の運動に限られているなどの問題があった。
【０００５】
本発明は、上記問題点を除去し、弾性表面波モータを自走式とすることにより、振動子の大きさに制限されていた移動距離の制約を取り除くとともに、各種の移動を実現することができる自走式弾性表面波モータを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕平板状のステータと、このステータ上にセットされ、弾性表面波を励振して自走する弾性表面波素子を有する移動子と、この移動子を介して前記ステータに対して圧力を付与する手段とを備え、前記移動子はエネルギー補填用櫛型電極からのエネルギー供給により、振動を電力に変換する一方向性電極を有する移動用素子と、前記エネルギー補填用櫛型電極と一方向性電極を有する駆動用素子とを具備する自走式弾性表面波モータであって、前記移動用素子と前記駆動用素子とが別体の素子からなり、両者の一方向性電極間を電線で接続するようにしたものである。
【０００７】
〔２〕平板状のステータと、このステータ上にセットされ、弾性表面波を励振して自走する弾性表面波素子を有する移動子と、この移動子を介して前記ステータに対して圧力を付与する手段とを備え、前記移動子はエネルギー補填用櫛型電極からのエネルギー供給により、振動を電力に変換する一方向性電極を有する移動用素子と、前記エネルギー補填用櫛型電極と一方向性電極を有する駆動用素子とを具備する自走式弾性表面波モータであって、前記移動用素子と前記駆動用素子とが一体化され、両者の一方向性電極間を配線で接続するようにしたものである。
【０００８】
〔３〕平板状のステータと、このステータ上にセットされ、弾性表面波を励振して自走する弾性表面波素子を有する移動子と、この移動子を介して前記ステータに対して圧力を付与する手段とを備え、前記移動子はエネルギー補填用櫛型電極からのエネルギー供給により、振動を電力に変換する一方向性電極を有する移動用素子と、前記エネルギー補填用櫛型電極と一方向性電極を有する駆動用素子とを具備する自走式弾性表面波モータであって、前記移動用素子と前記駆動用素子とが単一の基板からなり、両者の一方向性電極間を配線で接続するようにしたものである。
【０００９】
〔４〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記移動子は一軸方向へ移動可能に構成したものである。
【００１０】
〔５〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記移動子は二軸方向へ移動可能に構成したものである。
【００１１】
〔６〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記移動子は回転可能に構成したものである。
【００１２】
〔７〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記移動子の前記ステータへの接触面に形成される摩擦駆動面を具備するようにしたものである。
【００１３】
〔８〕上記〔７〕記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記摩擦駆動面は複数の突起群からなる。
【００１４】
〔９〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載の自走式弾性表面波モータにおいて、前記移動子は、前記ステータへの接触面にエネルギー補填用櫛型電極と振動を電力に変換する一方向性電極とを具備するようにしたものである。
【００１５】
〔１０〕自走式弾性表面波モータにおいて、Ｖ溝を有するステータと、このステータ上にセットされ、前記Ｖ溝に嵌まるＶ突起を有する弾性表面波を励振して自走する弾性表面波素子を有する移動子と、この移動子を介して前記ステータに対して圧力を付与する手段とを備え、前記移動子はエネルギー補填用櫛型電極からのエネルギー供給により、振動を電力に変換する一方向性電極を有する移動用素子と、前記エネルギー補填用櫛型電極と一方向性電極を有する駆動用素子とを具備するようにしたものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。
【００１７】
図１は本発明の第１実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図、図２はその自走式弾性表面波モータの移動子の電極構造を示す図であり、図２（ａ）はその自走式弾性表面波モータの移動子の平面図、図２（ｂ）はその自走式弾性表面波モータの移動子の正面図、図２（ｃ）はその自走式弾性表面波モータの移動子の側面図、図３はその自走式弾性表面波モータの駆動用素子の構成図であり、図３（ａ）はその自走式弾性表面波モータの駆動用素子の平面図、図３（ｂ）はその自走式弾性表面波モータの駆動用素子の接続を示す斜視図である。
【００１８】
図３に示すように、駆動用素子（基板）１には、その内側には外部電源であるＥO ｓｉｎωｔ，ＥO ｃｏｓωｔが接続されるエネルギー補填用櫛型電極（ＩＤＴ）３，４が配置され、その外側には外部電源に接続されない電気・機械変換を行う一方向性電極（ＩＤＴ）５，７：６，８が配置されている。ここで、この一方向性電極には変換素子としての櫛型電極（ＩＤＴ）５，６とそれらの外側に配置される反射電極７，８を含んでいる。
【００１９】
一方、図２に示すように、移動子（基板）２１の中央部に摩擦駆動面２３が形成され、その外側には、前記した駆動用素子（基板）１の一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）５，６に一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）２４，２５が接続される。つまり、一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）５，６の電線９，１０と一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）２４，２５の電線２８，２９で接続される。また、最も外側には一方向性電極の反射電極２６，２７が配置されている。
【００２０】
なお、図１において、３０は平面が形成される自走式弾性表面波モータのステータである。このステータは制限無く広く設定することができる。ここで、移動子２１の摩擦駆動面２３は、スパッタ等を用いて絶縁膜もしくは金属膜などを着け、摩擦駆動面２３が一方向性電極（ＩＤＴ）２４，２６：２５，２７よりも高くなるようにする。
【００２１】
このように構成することにより、移動子２１を圧力付与手段（バネ）によりステータ３０に押し付けた時、一方向性電極（ＩＤＴ）２４，２６：２５，２７は接触せずに、摩擦駆動部２３のみがステータ３０の平面と接することになり、図１に示すように、自走式弾性表面波モータとしての動作を実現することができる。
【００２２】
なお、この実施例では、駆動用素子１と移動子２１は別体となっており、例えば、駆動用素子１は移動子２１とは別の位置に固定するようにしているが、移動子２１の上に駆動用素子１を搭載して一体化した自走式弾性表面波モータに構成するようにしてもよい。その場合には、表面側に設けられる駆動用素子の主要部分を避けた周辺部分をバネなどにより押さえて、移動子２１を介してステータ３０に対して圧力を付与するようにする。
【００２３】
上記した自走式弾性表面波モータは、厚さ１〜２ｍｍ程度以下、幅数ｍｍ〜数ｃｍ程度の寸法で実現することができる。
【００２４】
次に、本発明の第２実施例について説明する。
【００２５】
図４は本発明の第２実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図、図５はその自走式弾性表面波モータの移動子の電極構造を示す図であり、図５（ａ）はその自走式弾性表面波モータの移動子の正面図、図５（ｂ）はその自走式弾性表面波モータの平面図、図５（ｃ）はその自走式弾性表面波モータの側面図、図５（ｄ）はその自走式弾性表面波モータの裏面図である。
【００２６】
この実施例では、移動子１０１（基板）の表面側の内側には、外部電源であるＥO ｓｉｎωｔ，ＥO ｃｏｓωｔが接続されるエネルギー補填用櫛型電極（ＩＤＴ）１０３，１０４が配置され、その外側に、外部電源に接続されない一方向性電極（ＩＤＴ）１０５，１０７：１０６，１０８が配置されている。つまり、一方向性電極として、櫛型電極（ＩＤＴ）１０５，１０６と、それらの外側に接続される反射電極１０７，１０８が配置されている。
【００２７】
一方、基板１０１の裏面側の中央部には摩擦駆動面１０９が形成され、その外側に前記した表面に搭載された一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）１０５，１０６にスルホール１１４，１１５，１１６，１１７を介して接続される一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）１１０，１１１が配置され、最も外側に一方向性電極の反射電極１１２，１１３が配置されている。なお、図４において、１２１は平面状の自走式弾性表面波モータのステータであり、このステータ１２１は制限無く広く設定することができる。
【００２８】
このように構成したので、ステータ１２１上で移動子１０１を制限無く広範囲に駆動させることができる。また、ステータを長尺にすることにより、移動子を長い距離駆動させることができる。
【００２９】
従来は弾性表面波の基板の大きさ（最大で１０ｃｍ）の半分程度の移動距離しかとれなかったが、本発明によれば、数１０ｃｍの移動が可能となる。この方法では、弾性表面波素子が移動子となることができるだけでなく、移動子を固定子よりも長尺とすることが可能であり、移動距離の制約が取り除かれる。
【００３０】
この自走式弾性表面波モータは、利用分野として次のようなものが上げられる。
【００３１】
（１）情報端末（磁気／光磁気記憶装置、カメラ、ビデオ等）
（２）科学機器（測定装置など）
（３）製造装置（半導体関連、その他）
（４）自走式リニアモータ
図６は本発明の自走式弾性表面波モータの移動子の摩擦駆動面の変形例を示す図であり、図６（ａ）はその摩擦駆動面の側面図、図６（ｂ）はその摩擦駆動面の平面図である。
【００３２】
この例では、第２実施例に示す摩擦駆動面１０９を、複数の突起１０９Ａを有する表面形状とすることにより、効率よく大きな摩擦力を取り出すことができる。摩擦駆動部１０９の全体の面積を５ｍｍ角とすると、１０Ｎ程度の力を取り出すことができ、無負荷時の速度は１ｍ／ｓｅｃ以上となる。移動可能な範囲は、用意できる平坦なガイド面の長さで決まる。
【００３３】
次に、本発明の第３実施例について説明する。
【００３４】
図７は本発明の第３実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図、図８はその自走式弾性表面波モータの移動子の電極構造を示す図であり、図８（ａ）はその自走式弾性表面波モータの移動子の正面図、図８（ｂ）はその自走式弾性表面波モータの表面図、図８（ｃ）はその自走式弾性表面波モータの側面図、図８（ｄ）はその自走式弾性表面波モータの裏面図、図９はその自走式弾性表面波モータの駆動用素子の電極構造を示す図である。
【００３５】
図９に示すように、駆動用素子（基板）１１には、その内側には外部電源であるＥO ｓｉｎωｔ，ＥO ｃｏｓωｔが接続されるエネルギー補填用櫛型電極（ＩＤＴ）３，４が配置され、その外側には外部電源に接続されない電気・機械変換を行う一方向性電極（ＩＤＴ）５，７：６，８が配置される。ここで、この一方向性電極には変換素子としての櫛型電極（ＩＤＴ）５，６とそれらの外側に配置される反射電極７，８を含んでいる。
【００３６】
一方，移動子側は、図８に示すように、２０１は移動子（基板）、２０２は摩擦駆動面、２０３，２０４は前記した一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）５，６が電線９，１０などによって接続される一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）、２０５，２０６は最も外側に配置される一方向性電極の反射電極である。
【００３７】
また、これとは直角方向に、前記した一方向性電極（ＩＤＴ）５，６が電線９，１０などによって接続される一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）２０７，２０８が、その外側には一方向性電極の反射電極２０９，２１０が配置されている。
【００３８】
このように、移動子２０１の裏面にはＸとＹの二方向への一方向性電極が配置されるので、図７に示すように、移動子２０１をＸとＹの二方向へ移動させることができる自走式のリニアモータが実現される。
【００３９】
なお、図７において、２１２は移動子２０１がセットされるステータである。
【００４０】
次に、本発明の第４実施例について説明する。
【００４１】
図１０は本発明の第４実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図、図１１はその自走式弾性表面波モータの移動子の電極構造を示す図であり、図１１（ａ）はその自走式弾性表面波モータの移動子の正面図、図１１（ｂ）はその自走式弾性表面波モータの表面図、図１１（ｃ）はその自走式弾性表面波モータの側面図、図１１（ｄ）はその自走式弾性表面波モータの裏面図である。
【００４２】
図１１において、３０１は基板（移動子）、３０２，３０３，３０４，３０５は摩擦駆動面、３０６，３０７，３１０，３１１，３１４，３１５，３１８，３１９は一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）、３０８，３０９，３１２，３１３，３１６，３１７，３２０，３２１は一方向性電極の反射電極である。
【００４３】
上記した一方向性電極の櫛型電極には、図示しないが、図９と同様の駆動素子が設けられ、各一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）３０６，３０７：３１０，３１１：３１４，３１５：３１８，３１９に電線等により接続される。
【００４４】
そこで、例えば、一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）３０６，３０７と３１０，３１１間に互いに逆方向の進行波を発生させると、予圧が付与された移動子３０１の中心点を中心にして、図１０に示すように、回転トルクが生じて移動子３０１を回転させることができる。なお、図１０において、３３１はステータである。
【００４５】
このように、一方向電極である櫛型電極を４組〔（３０６，３０７）、（３１０，３１１）、（３１４，３１５）、（３１８，３１９）〕として、隣合う組（Ａ−Ａ′、Ｂ−Ｂ′：Ｃ−Ｃ′、Ｄ−Ｄ′）で逆向きの進行波を励振することで移動子３０１を回転させることもできる。
【００４６】
次に、本発明の第５実施例について説明する。
【００４７】
図１２は本発明の第５実施例を示す弾性表面波素子の電極構造を示す図であり、図１２（ａ）はその弾性表面波素子の正面図、図１２（ｂ）はその弾性表面波素子の表面図、図１２（ｃ）はその弾性表面波素子の側面図、図１３はその弾性表面波素子の要部拡大表面図である。
【００４８】
これらの図において、４０１は弾性表面波素子、４０２，４０３，４０４は外部電源であるＥO ｓｉｎωｔが接続されるエネルギー補填用櫛型電極（ＩＤＴ）、４０５，４０６，４０７は外部電源であるＥO ｃｏｓωｔが接続されるエネルギー補填用櫛型電極（ＩＤＴ）、４０８，４０９は外部電源に接続されない一方向性電極の櫛型電極、４１０，４１１は一方向性電極の反射電極、４１２はエネルギー補填用櫛型電極（ＩＤＴ）４０２〜４０７上に形成される摩擦駆動面である。
【００４９】
圧電材料のコストの問題から、弾性表面波素子はなるべく小さくすることが重要である。また、アクチュエータの応答性を高める必要から、弾性波の伝搬路は短くする必要がある。
【００５０】
以上の要求から、摩擦駆動面４１２とエネルギー補填用櫛型電極（ＩＤＴ）４０２〜４０７を一緒に形成することは、極めて効果的である。
【００５１】
このように構成することにより、図１４に示すように、ステータ４１５上に予圧より接触するコンパクトな移動子を提供することができる。
【００５２】
また、この移動子の場合、上面は予圧を付与する以外は何ら自走モータの部分を形成する必要がないので、計測すべき試料面や搬送部品を搭載する搭載面として用いることができる。特に、搬送部品を搭載すると移動子に下方の予圧を付与することができるので有利であり、簡素で、小型な弾性表面波素子を構成することができる。
【００５３】
より詳細に電極構造を示すと、図１３に示すように、エネルギー補填用型形電極（ＩＤＴ）４０２，４０３，４０４は外部電源であるＥO ｓｉｎωｔが接続され、エネルギー補填用櫛型電極（ＩＤＴ）４０５，４０６，４０７は外部電源であるＥO ｃｏｓωｔが接続され、櫛型電極ピッチｂはλ（波長）／２、櫛型電極幅ａはλ（波長）／４である。
【００５４】
更に、図１５に示すように、ウエハ４２１の裏面に弾性表面波素子を形成することにより、ウエハ４２１を移動子となし、微小移動させながら、加工や処理を行わせるようにしてもよい。なお、図１５において、４２５はステータである。
【００５５】
特に、レイリー波の励振を短い時間で定常状態の振動振幅に持っていくには、伝搬経路を短くして、駆動電極が分布した構造が有利である。そのため駆動電極は、図１〜図１１に示したように、２相の駆動電極（励振電極）が分かれているのではなく、一体となった構成として摩擦駆動部の下部に分布していることが好ましい。
【００５６】
このように構成することにより、振動励振が早くなり、モータの過渡応答特性も改善することができる。
【００５７】
次に、本発明の第６実施例について説明する。
【００５８】
図１６は本発明の第６実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図、図１７はその要部断面図である。
【００５９】
これらの図に示すように、ステータ５０１にはＶ溝５０２が形成されており、一方、移動子５０４には、上記したＶ溝５０２に嵌まるように形成されたＶ突起５０５が形成されている。そして、Ｖ突起５０５には第５実施例で示した進行波を生成する弾性表面波素子をステータに対して対向するように固定して、ステータ５０１に対してＶ溝５０２に沿って駆動されるようにしている。
【００６０】
このように構成したので、移動子５０４に働く重力Ｎと、ステータ５０１に働く予圧Ｎ′の関係は、図１８に示すようになる。つまり、Ｎが小さくても、θを小さくすることで、予圧Ｎ′＝Ｎ／２ｓｉｎθを大きくすることができる。予圧Ｎ′を大きくすることで、モータの推力を大きくとることができる。
【００６１】
また、弾性表面波素子をステータ５０１に固定するようにしてもよい。そのようにすると、また、ステータ５０１に対して、弾性表面波素子を要しない移動子を種々搭載することにより、移動させることができる。
【００６２】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００６３】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００６４】
（Ａ）弾性表面波型モータを自走式とすることにより、振動子の大きさに制限されていた移動距離の制約を取り除くとともに、１つの素子でＸ−Ｙ２軸方向への動きや回転を実現することができる。
【００６５】
（Ｂ）移動子の裏面に、ＸとＹの２方向への一方向性電極を配置することにより、移動子をＸとＹの２方向へ移動させることができる。
【００６６】
（Ｃ）一方向電極である櫛型電極を４組として、隣合う組で逆向きの進行波を励振することにより、移動子を回転させることもできる。
【００６７】
（Ｄ）摩擦駆動面とエネルギー補填用櫛型電極を一緒に形成することにより、コンパクトな移動子を提供することができる。
【００６８】
（Ｅ）素子の片面に弾性表面波素子を構成するようにしたので、弾性表面波素子の上面には、搬送部品を搭載すると移動子に下方の予圧を付与することができるので有利であり、簡素で、小型な弾性表面波素子を構成することができる。
【００６９】
（Ｆ）ステータにＶ溝、移動子にＶ突起を設けて、互いに嵌合させ、そのＶ突起又はＶ溝に弾性表面波素子を設けるようにしたので、移動子に働く重力Ｎが小さくても、Ｖ溝の形成角度θを小さくすることで予圧を大きくすることができる。予圧を大きくすることで、モータの推力を大きくとることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図である。
【図２】  本発明の第１実施例を示す自走式弾性表面波モータの移動子の電極構造を示す図である。
【図３】  本発明の第１実施例を示す自走式弾性表面波モータの駆動用素子の構成図である。
【図４】  本発明の第２実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図である。
【図５】  本発明の第２実施例を示す自走式弾性表面波モータの移動子の電極構造を示す図である。
【図６】  本発明の自走式弾性表面波モータの移動子の摩擦駆動面の変形例を示す図である。
【図７】  本発明の第３実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図である。
【図８】  本発明の第３実施例を示す自走式弾性表面波モータの移動子の電極構造を示す図である。
【図９】  本発明の第３実施例を示す自走式弾性表面波モータの駆動用素子の電極構造を示す図である。
【図１０】  本発明の第４実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図である。
【図１１】  本発明の第４実施例を示す自走式弾性表面波モータの移動子の電極構造を示す図である。
【図１２】  本発明の第５実施例を示す弾性表面波素子の電極構造を示す図である。
【図１３】  本発明の第５実施例を示す弾性表面波素子の要部拡大表面図である。
【図１４】  本発明の第５実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図（その１）である。
【図１５】  本発明の第５実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図（その２）である。
【図１６】  本発明の第６実施例を示す自走式弾性表面波モータの模式図である。
【図１７】  本発明の第６実施例を示す自走式弾性表面波モータの要部断面図である。
【図１８】  移動子に働く重力と、ステータに働く予圧の関係を示す説明図である。
【符号の説明】
１，１１    駆動用素子（基板）
３，４，１０３，１０４，４０２，４０３，４０４，４０５，４０６，４０７    エネルギー補填用櫛型電極（ＩＤＴ）
（５，７：６，８）（２４，２６：２５，２７）（１０５，１０７：１０６，１０８）    一方向性電極（ＩＤＴ）
５，６，２４，２５，１０５，１０６，１１０，１１１，２０３，２０４，２０７，２０８，３０６，３０７，３１０，３１１，３１４，３１５，３１８，３１９，４０８，４０９    一方向性電極の櫛型電極（ＩＤＴ）
７，８，２６，２７，１０７，１０８，１１２，１１３，２０５，２０６，２０９，２１０，３０８，３０９，３１２，３１３，３１６，３１７，３２０，３２１，４１０，４１１  一方向性電極の反射電極
９，１０，２８，２９    電線
２１，１０１，２０１，３０１，５０４    移動子
２３，１０９，２０２，３０２，３０３，３０４，３０５，４１２    摩擦駆動面
３０，１２１，２１２，３３１，４１５，４２５，５０１    ステータ（ステージ）
１０９Ａ    複数の突起
１１４，１１５，１１６，１１７    スルホール
４０１    弾性表面波素子
４２１    ウエハ
５０２    Ｖ溝
５０５    Ｖ突起
【図１】
0003741875.tif 000002
【図２】
0003741875.tif 000003
【図３】
0003741875.tif 000004
【図４】
0003741875.tif 000005
【図５】
0003741875.tif 000006
【図６】
0003741875.tif 000007
【図７】
0003741875.tif 000008
【図８】
0003741875.tif 000009
【図９】
0003741875.tif 000010
【図１０】
0003741875.tif 000011
【図１１】
0003741875.tif 000012
【図１２】
0003741875.tif 000013
【図１３】
0003741875.tif 000014
【図１４】
0003741875.tif 000015
【図１５】
0003741875.tif 000016
【図１６】
0003741875.tif 000017
【図１７】
0003741875.tif 000018
【図１８】
0003741875.tif 000019