(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
細く集束された粒子ビームを形成するための粒子光学コラムであって、
針状粒子源と、
複数のレンズと、
複数のインターリーブ四重極レンズであって、各インターリーブ四重極レンズが電気極と磁気極とが交互に配置された８極レンズである、複数のインターリーブ四重極レンズとを含み、
前記各インターリーブ四重極レンズは、インターリーブ四重極レンズの負の色収差が他の全ての粒子光学要素の正の色収差を正確に相殺し、像点直径が粒子エネルギの小さな変化とは実質的に無関係であるような電場対磁場の臨界比において使用されることを特徴とする粒子光学コラム。
【請求項２】
抽出電極と、集束レンズとをさらに含むことを特徴とする請求項１記載の粒子光学コラム。
【請求項３】
針状粒子源と、
抽出電極と、
集束レンズと、
細く集束された粒子ビームを形成するための二重インターリーブ四重極レンズであって、各インターリーブ四重極レンズが電気極と磁気極とが交互に配置された８極レンズである、二重インターリーブ四重極レンズとを含む粒子光学コラムであって、
前記インターリーブ四重極レンズは、針状粒子源と抽出電極とによって生成される正の色収差にいかなる色収差も加えず、像点直径のエネルギ依存が、静電レンズだけを用いて細いビームを形成するコラムと比べて低減されるような電場対磁場の臨界比において使用されることを特徴とする粒子光学コラム。
【請求項４】
イオン源とインターリーブ四重極レンズとの間に配置され、一種類の粒子から成る細く集束されたビームを生成するように機能するウィーン速度フィルタをさらに含むことを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれかに記載の粒子光学コラム。
【請求項５】
細く集束された粒子ビームを形成するための粒子光学コラムを使用するための方法であって、
該粒子光学コラムが、針状粒子源と、複数のインターリーブ四重極レンズを含む他のレンズであって、各インターリーブ四重極レンズが電気極と磁気極とが交互に配置された８極レンズである、他のレンズとを含み、
前記複数のインターリーブ四重極レンズの各インターリーブ四重極レンズは、インターリーブ四重極レンズの負の色収差が他の全ての粒子光学要素の正の色収差を両主断面において同時に正確に相殺し、像点直径が粒子エネルギの小さな変化とは実質的に無関係であるような電場対磁場の臨界比において使用されることを特徴とする請求項１記載の粒子光学コラムを使用する方法。
【請求項６】
細く集束された粒子ビームを形成するための粒子光学コラムを使用する方法であって、
該粒子光学コラムが、針状粒子源と、抽出電極を含む集束レンズ装置と、二重インターリーブ四重極レンズから成るレンズ装置であって、各インターリーブ四重極レンズが電気極と磁気極とが交互に配置された８極レンズである、レンズ装置とを含み、
前記二重インターリーブ四重極レンズの各インターリーブ四重極レンズは、針状粒子源と抽出電極とによって生成される正の色収差にいかなる色収差も加えず、像点直径のエネルギ依存が、静電レンズだけを用いて細いビームを形成するコラムと比べて低減されるような電場対磁場の臨界比において使用されることを特徴とする粒子光学コラムを使用する方法。
【請求項７】
イオン注入、材料のマイクロ機械加工、イオンビームリソグラフィのいずれかを含むマイクロ加工法、または二次イオン顕微鏡検査を含む微量分析法における細く集束された粒子ビームを形成するための請求項５または６記載の方法。
【発明の詳細な説明】
米国政府は、本発明の支払い済みのライセンスを所有し、限られた状況においてThe National Science Foundationから与えられた補助金（ISI85 21 280号）の条件によって特許権者に合理的な約定で他のライセンスを与えることを命令する権利を有する。
発明の技術分野
本発明は、細く集束されたイオンビームを形成するための装置において使用され、一般に、半導体へのイオン注入、材料のマイクロ機械加工、イオンビームリソグラフィ、および二次イオン顕微鏡検査などのマイクロ加工および微量分析などの分野で使用される、イオン光学の分野に関する。
発明の背景技術
従来の技術では、細いビームを生成するために使用される装置は、通常、電子を放出する、あるいは周囲のガスをイオン化させる、または低温度での表面イオン化を伴う、もしくは、最も一般的には所望のイオンを含む液体金属または液体合金で濡れている針である針状粒子源から成る。ある場合においては、粒子源の微小な放出部分の像を形成するために単一レンズが用いられる。より高い強度は集束レンズを粒子源近くで使用する、あるいは複数の集束レンズを使用することで得られる。数個のレンズが使用されるとき、粒子源の中間像を形成することができる。その中間像が、加速ギャップまたはウィーンフィルタなどのようなイオン光学要素の中央に配置される場合、その要素で発生した収差が大幅に低減される。しかしながら、静電レンズを利用したすべての方式の集束能力は、イオン源から発生するイオンの避け難いエネルギ分布の拡散とあいまって、これらのレンズの色収差によって制限される。最後の焦点像の全幅ｄは、
ｄ＝Ｃ ａ ｄＥ／Ｅ
の型の式で与えられる。ここでｄＥはイオンのエネルギＥの中央値のまわりのエネルギ分布であり、ａは最終的な焦点での全収斂角であり、Ｃは色収差係数である。色収差は、ａへの一次依存の点で他の収差と異なる。たとえば円形レンズの球面収差はａ3として変化する。したがって、１次の色収差は球面収差が非常に小さくなる小さなレンズアパーチャにおいて重要であり、ａの値が大きい場合は三次の球面収差が支配的である。
静電方式の不十分な集束能力は従来の技術で長い間困難な問題であったイオン光学装置の能力を制限する原因である。マイクロ機械加工のような応用では、電流密度は最も重要なものである。液体金属イオン源からの電流は、
Ｉ＝Ｂ ａsｂsｒ2
で与えられる。典型的な数値は、輝度Ｂ＝１０6Ａ／ｓｒ−ｃｍ2であり、放射角ａs，ｂs＝４００ミリラジアンであり、有効イオン源半径ｒであって、ｒは１００オングストロームよりも小さい。有効半径が非常に小さいので、ビームの大きさはイオン源の幾何像によるのではなく、むしろｄで与えられる。したがって、電流密度Ｊは、
Ｊ＝Ｉ／ｄ2＝Ｂ（ａsｂs／ａｂ）（ｒＥ／Ｃ ｄＥ）2
で与えられる。Ｅ／Ｃなる量は静電レンズでは大体一定であるので、「約１Ａ／ｃｍ2の獲得される最高電流密度は近い将来においては実質的に増えないであろう」と言われてきた。４つの電極を有する複雑な静電レンズでさえも最高１０Ａ／ｃｍ2を発生する。この長い間の困難な問題を解消するために、本発明の目的はＣ＝０である色消しレンズを用いて電流密度を増大させることである。
用途特定の集積回路の製作のためのマスクを使わないイオン注入などのような広い試料面積を覆うことが要望されるとき、電流密度よりもむしろ電流の方が重要になる。１ｎＡの電流では、単一レンズ方式における放射量１０13イオン／ｃｍ2で４インチのウエハに書き込む時間は約１時間である。小さな電流ではこのような装置では困難な問題がある。より大きい電流は複数のレンズを有する装置で得られ、それでより大きな値のａとｂとで操作できる。しかしながら、このような拡大された角度は、希望した像の大きさよりも集束されたビームを大きくするであろう収差を導入する。色収差と他の収差とが等しくなる交差角度よりも小さい角度では、色収差の除去は与えられたどの集束ビームの大きさについてもより大きな作動角度とより大きい電流という結果になるであろう。したがって、本発明の目的はＣ＝０となる完全な色消し方式を利用することによって高電流を生成し、より高い書き込み速度でマイクロ加工を可能にすることである。
発明の簡潔な開示
液体金属イオン源と複数の静電レンズとから成るイオンビームコラムは、イオン源の像と同様に小さい点に焦点を結ぶ細いビームを作ることができない。その代わりに、イオン源から放出されたイオンのエネルギ分布の拡散は、像をぼかしまたは拡大する、焦点距離の変動を生じる。このような色収差は全ての静電気と磁気とだけによるレンズの性質である。この問題を除く粒子ビームコラムは、針状イオン源と、複数の静電レンズと、複数のインターリーブ四重極レンズとの組合せからなっている。このインターリーブ四重極レンズは、電気極と磁気極とが交互に配置された８極レンズであり、インターリーブ電磁気四重極レンズを形成する。電気対磁気の比の調整によって、インターリーブレンズは色消しにでき、それによってコラムの色収差は大いに低減されるか、または色収差を負にでき、それによってコラムの色収差は完全に除去される。
液体合金金属イオン源によって生じた不要なイオンを除く質量分離イオンビームコラムは、イオン注入の分野で使われているが、イオン源の後に置かれたウィーン速度フィルタを有するコラムを含む。このようなコラムは、短くて湾曲していなくともよいが、最終的な焦点において、単一の原子番号のイオンを生じることができる。
色収差の除去は、所与の集束されたビームのスポットの大きさにおいてより高いビーム電流が生成されるように、レンズ中でより大きなアパーチャを使用することも許される。次いで、アパーチャの大きさは、一次の色収差よりもむしろ高次の収差によって限定される。
発明の実施の形態
図１は、色消しイオンビームコラムの切断面を示す。図２は、インターリーブ四重極レンズの切断面を示す。図３〜図７は、光学系のこの２つの主要部分の典型的なイオン光線を示す色消しコラムの図である。図４〜図７では、インターリーブレンズ中で負の色収差がコラム中の他のレンズの色収差を補正するために使われている。図４では、集束レンズがイオンを平行ビームの収斂させる。図５では、集束レンズがイオンを交差させる。図６は質量分離色消しイオンビームコラムを示し、図７は２つのレンズコラムで使用できるエネルギよりもより高い質量分離エネルギの細く集束されたビームのための質量分離色消し装置を示す。
イオンビームコラムの液体金属イオン源１は、通常、付近の抽出電極８から数キロボルトの負の電位におかれ、抽出電極８は、典型的にイオンビームを通過させるように孔が穿設された平らな表面を有する。イオンおよび電子光学において周知のように、これは発散レンズとして働く「有孔電極レンズ」を形成する。ポート７に接続されたイオンポンプは、イオン源付近で１０-8Ｔｏｒｒの真空を作るために設けられている。
抽出電極の後段には、適正に調整されればイオンを平行ビームに収斂できる集束レンズ装置２がある。単一の集束レンズを使用することはできるが、イオンの抽出は狭い電圧の範囲でしかうまくいかず、また単一ギャップの焦点作用には一定の電圧を必要とするので、出力エネルギは実質的に固定される。それゆえに可変イオンエネルギの供給手段として２レンズ集束装置が有効である。電極８，９，１０はこのような集束レンズ装置の１つを形成し、このうち３つの電極間のギャップ５，６は円形静電レンズを形成する。イオン源と電極とは従来の技術の周知の方法による高電圧電源で必要な電圧に保持されている。
集束レンズを出たイオンはドリフト空間３を通過し、インターリーブ四重極レンズ４に入る。ドリフト空間には、ビーム方向軸の周囲の任意の方位角に一平面内のビームを偏向することができる多重極ディフレクタ１１，１３が置かれてあり、独立した相互に干渉しない４枚の羽板（ベーン）から成るアパーチャを規定する組立体１２がこの空間に置かれている。明確化のために、そのうちの１枚のみが図示されている。
図２に示されたように、インターリーブ四重極レンズは、ビーム方向に対して周囲に等方位角で等間隔に中心を置いた８つの極を有している。これらの極は交互に磁極１７と電気極１８とであり、それによって電気四重極レンズと磁気四重極レンズとを形成する。極の４５度の角度間隔は、２つのレンズの四重極力場に一致する主断面を持たせる一方で、単一平面内にそれらの中心を位置させることは、レンズに一致する主平面を持たせる。
好ましい実施形態において、周囲に巻線１９を有する強磁性材料から成る極１７がセラミックスペーサ２０に固く接着され、該スペーサは、また反磁性体電極１８を支持するために用いる。このように、この構造は２つの相互に干渉しない入れ子式の四重極素子を形成し、これらの両方の四重極素子はほとんど完全な四重極場を達成するために必要な大きな極先端半径を有することができる。かご形構造はより小さな極先端を有し、四重極電圧で励起されるときに不要な多重極場を必然的に導入する。
インターリーブレンズは、電気力対磁気力の調整可能な比を有する単一の四重極力場を形成するために利用することができる。この力の比Ｒは、従来の技術の周知の方法に従って、電極電圧と巻線電流とを測定することと、磁場の強さと電場の強さとをこのような測定に関係づける数式とによって決定される。
Ｒ＝−０．５になるように電気力が磁気力の大きさの半分に調整され方向が逆にされるとき、インターリーブレンズはＥについて一次の色消しとなる。このことは、物点を、
ｄ＝Ｃ1 ａ ｄＥ／Ｅ＋Ｃ2 ａ （ｄＥ／Ｅ）2
の形の主断面の幅を有するスポットに結像することを意味し、ここでＣ1＝０である。
電気力はさらに増大するが、磁気力よりも大きくない場合、インターリーブレンズは負の値のＣ1を有する色収差補償レンズとなる（V.M.KelmanおよびS.Ya.Yavor, Zuhrnal Tekhnicheskoi Fiziki33(1963)368）。他の力の比においては、これは正の値のＣ1を有する通常のレンズとして働く。
両方の主断面で集束できる最も簡単なレンズ構成は、二重レンズ装置である。上流側のインターリーブレンズ１４と下流側のインターリーブレンズ１６とは、そのような二重レンズを構成する。スペーサ１５は、これらのレンズの間隔の調整に役立つ。２つのレンズから成る装置は、その２つのレンズの中心で定められる１つの軸を必ず有し、適正に作動するためには、流入ビームに対して全体として二重レンズ装置の角度調整だけが必要となる。二重レンズはその２つの主断面で異なる倍率を有し、したがって２つの小さい異なる幅を持った集束されたビームを作る働きをする。
図３に示されたように、集束レンズのすべての電極が同一電圧に設定される場合、集束効果はなく、したがって色収差を起こさない。機能要素はイオン源１と抽出電極８と二重インターリーブ四重極レンズ装置４とから成る。インターリーブレンズが色消し作動点に設置されると、この光学コラムの最後の集束レンズによる色収差は導入されない。２つの装置が同じビーム幅で作動される場合には、イオン源、抽出電極および静電レンズから成る同様な寸法の装置よりも、本装置での焦点像はそれに相応して小さい。このビーム幅は調整可能なアパーチャで定められる。焦点像の大きさが同じであるとき、静電レンズを含むコラムよりも、インターリーブレンズを有するコラムはより大きいイオン電流を生成するように、この幅が増加できる。
図４に示されたように、集束レンズの電極が適正な電圧にされると、イオン源からより多くのイオンがインターリーブレンズ４内に導かれる。ＬＭＩＳからの大部分のイオン電流は半角約１４度の範囲内で発生する。イオン源から最初のレンズギャップまでの間隔が９ｍｍのとき、最初のレンズの直径が充分に大きければ幅約５ｍｍの平行ビームが形成されるであろう。
拡大された角度ａsとｂsとがおそらく原因して集束レンズの色収差を大きくする。正の色収差を除くために、二重インターリーブレンズはそれを正確に補償する負の色収差を作るように調整される。調整は、角度を規定するアパーチャ１２を小さく調整してイオンエネルギＥに対してスポットの大きさが敏感でなくなることによって決定される。このような調整は、加速電極の孔と、イオン源および抽出電極間のギャップにおける加速電場とで形成されたアパーチャレンズを含むすべての収差源から生じる正の一次の色収差を補償する。次いで、残りの高次の収差が集束されたビームを特定のスポット直径に至らせる位置まで、アパーチャが開けられてもよい。それによって、色収差を相殺するためのインターリーブ四重極レンズ装置を含まない装置と比べて、焦点像に入るイオン電流が増大する。
２つの独立した主断面を有するインターリーブレンズが円形レンズの色収差を補償するように調整できるということは直ちにわかることではない。単一のインターリーブレンズではそのようなことはできない。なぜならそれは２つの主断面に逆符号の収差を導入するからである。しかしながら、２つのインターリーブレンズは２つの変数を導入し、その系の寸法が与えられれば２つの主断面中の収差を表す連立線形方程式を解くことができる。図４の平行ビームの幾何学に対して、２つのインターリーブレンズの係数ＣxとＣyとは、
Ｃx／Ｆx2＝Ｃy／ｆy2＝−Ｃ／ｈ2
を満足させなければならない。ここでｆxとｆyとは二重レンズ４の焦点距離であり、ｈおよびＣは円形レンズ２の焦点距離および色収差係数である。レンズを薄いとした近似計算では、二重レンズの上流側および下流側のレンズそれぞれの収斂断面における係数ＣyuおよびＣxdとは、
Ｃyu／ｆu＝−（１＋２ｓ／ｖ）ｖＣ／２ｈ2
Ｃxd／ｆd＝                −ｖＣ／２ｈ2
で与えられる。ここでｖは下流側レンズの像距離である。発散断面の係数は、
Ｃxu＝−Ｃyu，Ｃxd＝−Ｃyd
で与えられ、ｓはレンズ間距離である。ビームが平行でないときは別の式を適用する。薄いレンズ係数自体は、
Ｃyu／ｆu＝（２Ｒu＋１）／（２Ｒu＋２）
Ｃxd／ｆd＝（２Ｒd＋１）／（２Ｒd＋２）
でインターリーブレンズの寸法ｓ，ｖ、集束レンズのパラメータＣおよびｈが与えられれば、電気力対磁気力の比ＲuおよびＲdが算出できるような形をとる。動作の最良の形態では、従来の技術に見られる型の電源が用いられ、該電源において、インターリーブレンズの電気部分および磁気部分が比例して変化し、固定値Ｒに対してｆを変化させる。ＲuおよびＲdは補償されるべきレンズのＣおよびｈのために計算された値に設定される。従来の技術において周知の手法によって、２つの四重極二重レンズのためのｆuとｆdとを変化させることによって集束されたビームを得る。
ディフレクタ１１，１３あるいはレンズ４の下流側のディフレクタを用いてミクロン以下のビームの大きさの測定をすることができる。集束されたビームがナイフエッジを横切るために必要な偏向からビームの幅が決定される。ラスタの線間距離がビーム幅よりも狭いとき、イオンビームスパッタリングによってナイフエッジの破壊を回避する方法は、ラスタ走査された薄い試料の部分でマイクロ機械加工するために必要な電荷を測定することである。ミクロン以下の試料を必要としない従来の技術の第３の方法は、ｄをａの関数として測定することである。１本のビーム束がアパーチャ１２を小さくすることで生じたときは、ディフレクタ１１，１３の等しくかつ相対する設定は、イオン線がインターリーブレンズの軸から大きく外れてインターリーブレンズのアパーチャに入射され、したがってａの値を大きくさせる。インターリーブレンズが不適正に調整されたときは、大きくて簡単に測定可能な収差ｄが生じる。次いで、計算されたインターリーブレンズの磁気対電気比は、最小のスポットの大きさではなくてむしろ、最小の色収差を生じるように調整することができる。
２つの主断面内で倍率が等しくなるように、複数のインターリーブレンズから成る装置を設計することができる。そのような最も簡単な装置は、三重レンズである［L.R.Harriott,W.L.Browhn,D.L.Barr, J.Vac, Sci. Tech. B8(1990)1706］。三重レンズは作動が余計に複雑であり、３つのレンズの中心が確実に一直線上になるようにするためにかなりの高精度の機械加工を必要とするという短所がある。
このコラムは、平行ビームで作動させる必要はない。集束レンズは、一般的に、イオン源の中間像を形成し、この像はイオン源の上流側または最終焦像平面の下流側を含むコラムの任意の位置に存在する。このコラムは、このようにしていわゆるズームレンズを形成し、中間像の位置を変えると、像の最小の大きさが（色収差を考慮に入れずに倍率のみから決定されるように）変化する。図５に示されたように、集束レンズとその次のレンズとの間に中間像２１が位置することがあり、この場合、この装置の軸をビームのまわりからのイオン線が交差するので、ビームは交差するといわれる。
液体合金型のイオン源は同時に数種類のイオンを生じ、１種類のイオンから成る集束されたビームを生じるためには質量分析が必要である。図６に示された集束レンズとその次の下流側レンズとの間に置かれたウィーン速度フィルタ２２は、不要なイオン種をビームの方向軸から偏向し、そこで与えられた電荷対質量比を有するイオンのみが偏向されずに進めるようにする。このような偏向は任意の位置にある中間像に対して生じ、集束レンズから出る発散、平行、または収斂ビームを生成する。しかしながら、コラムの最良の作動は、フィルタによって導入された色収差が除去されるようにウィーンフィルタ２２の中央で交差が生じるときに起こる。
インターリーブレンズのアパーチャを通過できないように充分に偏向されたイオンは、インターリーブレンズが結ぶ像から完全に除去される。このような装置は、ガリウム（質量６９，７１）などの所与の元素の質量が非常に近い同位元素を分離できないが、合金ベースイオン源によって作られた、質量差が大きく、異なる種類のイオンを分離するためには有用である。たとえば合金Ｎｉ4Ｂ6はＮｉ2+（電荷対質量比３０、収率３２％）と商業上重要なＢ+1（電荷対質量比１０または１１、収率３３％）とを生成する。静電集束レンズとインターリーブ四重極二重レンズとから成る装置は、マイクロ加工およびイオン注入などの目的のために１つの原子番号を有するイオンから最終像２３を形成する際に有用である。
重いイオンと高エネルギとの組合せは、空冷式電磁石によって提供可能な磁場よりも大きな磁場を必要とするので、質量分析は一般的に近いＥで行う必要がある。高エネルギで質量分析が行われる場合、ビームを大きい曲率半径で曲げる双極曲線磁石が必要である［マーチン、米国特許４，５５５，６６６号］。しかしながら、１ミクロンの数分の１の深さの部分をドープするために、半導体でのイオン注入は３００ｋＶまたはそれ以上のエネルギを要する。図７に示されたように、高電圧源２４、制御エレクトロニクス２５および加速ギャップ２６はビームエネルギを増大させる働きをし、対物レンズ２７はイオンを集束して高エネルギの最終像２８を結ぶ。
２番目の中間像２３が、図７に示されたように、加速ギャップに置かれると、そのギャップで導入される収差が最小化される。対物レンズ２７は、円形静電レンズまたは円形磁気レンズ、電気、磁気またはインターリーブ四重極素子などを含むいずれの型のレンズでもよい。この複数のレンズにおける小さい角度ａ，ｂで最小のスポットの大きさを生じるように、インターリーブ四重極素子１４，１６のレンズ装置４の電気対磁気の比が調整され、それによってレンズ装置４の負の色収差を用いて、全ての他のイオン光学要素による正の色収差を補償する。色収差がそれによって最小にされたとき、角度設定アパーチャは高次の収差がスポットを大きくするまで開けられてもよい。イオン源１、集束レンズ２、インターリーブ四重極装置４、加速ギャップ２６および対物レンズ２７から成るコラムは、それによって、所与の大きさの最終焦像点における増加されたイオン電流を生じるように作用する。
最も有用な構成は、低エネルギでのインターリーブ四重極レンズ装置４を含むことである。なぜなら、電気力と磁気力とがこのようなレンズでは反対方向に向けられていることによって、さらに簡単なレンズと比べて同じ集束能力に達するために、より強い場を要するからである。この困難性は、インターリーブレンズが低エネルギの粒子で作動する、または小さい孔を有している場合には軽減される。対物レンズ２７が磁気四重極二重レンズであり、その２番目のレンズ４が負の色収差を生じるように作動しているインターリーブレンズである場合、有用な装置が得られる。この装置では対物レンズ２７は２番目のレンズ４によって導入された等しくない倍率の影響を弱めるために利用可能であり、それによって２つの主断面におけるこの装置の倍率を等しくできる。２番目のレンズ４が、大きな静電レンズであり、対物レンズ２７が負の色収差を生じるように作動する小さい孔と短い焦点距離とを有するインターリーブ装置である場合、他の有用な装置が得られる。
これらの粒子ビームコラムの本質的特徴は、複数のインターリーブ四重極レンズを提供することであり、それらは総合すれば負の色収差を有し、コラム中の他の部品の正の色収差を補償するように作用する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  色消しイオンビームコラムの切断面を示す。
【図２】  インターリーブ四重極レンズの切断面を示す。
【図３】  光学系の２つの主要部分の典型的なイオン光線を示す色消しコラムを示す図である。
【図４】  光学系の２つの主要部分の典型的なイオン光線を示す色消しコラムを示す図である。
【図５】  光学系の２つの主要部分の典型的なイオン光線を示す色消しコラムを示す図である。
【図６】  光学系の２つの主要部分の典型的なイオン光線を示す色消しコラムを示す図である。
【図７】  光学系の２つの主要部分の典型的なイオン光線を示す色消しコラムを示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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