(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の圧電素子を積層してなるピエゾスタックと、このピエゾスタックの伸縮動作に伴いインジェクタボディ内を摺動するピストン部材と、噴射圧相当の高圧燃料を導入する高圧室内に配設され、球状の外周面で高圧燃料を遮断する圧力制御用弁体と、背面に前記高圧燃料が作用することで閉弁位置に保持されるニードル弁とを備え、ピエゾスタックの伸長時にピストン部材の先端面で圧力制御用弁体の外周面を押圧して高圧燃料を低圧側にリークさせ、それに伴いニードル弁先端部より燃料噴射を実施する内燃機関用ピエゾインジェクタであって、
ピストン部材と圧力制御用弁体とが線接触するようにピストン部材の先端面に加工を施したことを特徴とする内燃機関用ピエゾインジェクタ。
【請求項２】
ピストン部材の先端面に円錐状の凹みを形成した請求項１記載の内燃機関用ピエゾインジェクタ。
【請求項３】
多数の圧電素子を積層してなるピエゾスタックと、このピエゾスタックの伸縮動作に伴いインジェクタボディ内を摺動するピストン部材と、噴射圧相当の高圧燃料を導入する高圧室内に配設され、球状の外周面で高圧燃料を遮断する圧力制御用弁体と、背面に前記高圧燃料が作用することで閉弁位置に保持されるニードル弁とを備え、ピエゾスタックの伸長時にピストン部材の先端面で圧力制御用弁体の外周面を押圧して高圧燃料を低圧側にリークさせ、それに伴いニードル弁先端部より燃料噴射を実施する内燃機関用ピエゾインジェクタであって、
ピストン部材と圧力制御用弁体とが２点以上で点接触するようにピストン部材の先端面に加工を施したことを特徴とする内燃機関用ピエゾインジェクタ。
【請求項４】
ピストン部材の先端面に略Ｖ字状の切り欠きを形成した請求項３記載の内燃機関用ピエゾインジェクタ。
【請求項５】
多数の圧電素子を積層してなるピエゾスタックと、このピエゾスタックの伸縮動作に伴いインジェクタボディ内を摺動するピストン部材と、噴射圧相当の高圧燃料を導入する高圧室内に配設され、球状の外周面で高圧燃料を遮断する圧力制御用弁体と、背面に前記高圧燃料が作用することで閉弁位置に保持されるニードル弁とを備え、ピエゾスタックの伸長時にピストン部材の先端面で圧力制御用弁体の外周面を押圧して高圧燃料を低圧側にリークさせ、それに伴いニードル弁先端部より燃料噴射を実施する内燃機関用ピエゾインジェクタであって、
圧力制御用弁体の外周面の一部に平坦面を設け、その平坦面にピストン部材の端面を当接させるようにしたことを特徴とする内燃機関用ピエゾインジェクタ。
【請求項６】
前記ピストン部材を、前記インジェクタボディ内に摺動自在に保持される摺動部と、前記圧力制御用弁体を押圧するための弁体押圧部とに分割し、それら各部材を軸心調整可能に駆動連結した請求項５記載の内燃機関用ピエゾインジェクタ。
【請求項７】
互いに面接触し且つピエゾスタックの伸びを伝達する部材同士についてその接触面の表面粗さを十点平均粗さで２．０Ｒｚより平滑にした請求項１乃至６の何れかに記載の内燃機関用ピエゾインジェクタ。
【請求項８】
多数の圧電素子を積層してなるピエゾスタックを有し、このピエゾスタックの伸縮動作に伴いピストン部材を移動させ、ニードル弁先端部より燃料噴射を実施する内燃機関用ピエゾインジェクタであって、
互いに面接触し且つピエゾスタックの伸びを伝達する部材同士についてその接触面の表面粗さを十点平均粗さで２．０Ｒｚより平滑にしたことを特徴とする内燃機関用ピエゾインジェクタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内燃機関用ピエゾインジェクタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ピエゾスタックを用いたピエゾインジェクタとして、米国特許５，７７９，１４９号等に開示されたインジェクタが知られている。このピエゾインジェクタでは、ニードル弁の背面に高圧燃料を供給して該ニードル弁を閉弁位置に保持し、ピエゾスタックの駆動によりニードル弁背面の高圧燃料を逃がし燃料噴射を行わせるようにしている。より具体的には、ピエゾスタックの伸縮動作に伴いピストン部材を移動させ、そのピストン部材の先端部でボール弁を押圧する。このとき、ボール弁が移動することで噴射圧相当の高圧燃料が低圧側にリークし、ニードル弁の背面の高圧燃料が抜ける。これにより、ニードル弁が開弁位置に移動し、燃料噴射が行われる。
【０００３】
図７は、ピエゾインジェクタの要部を示す断面図である。図７に示すように、インジェクタボディ５１には、図示しないピエゾスタックの伸縮に伴い往復動するピストン５２が収容されており、ピストン５２の先端部によりボール弁５３が押圧される。ボール弁５３は、高圧室５４内の高圧燃料により図の上方に付勢されており（矢印Ｆ）、この付勢によりボール弁５３がインジェクタボディ５１に密着（シート）している。ピエゾスタックの伸長に伴いピストン５２が図の下方にボール弁５３を押し込むと、ボール弁５３とインジェクタボディ５１とのシート部分が離れ、高圧室５４内の高圧燃料がリーク通路５５にリークする。それにより、燃料噴射が行われる。
【０００４】
上記図７の構成では、ピストン５２の先端部は円柱状をなし、その先端面は平坦面である。故に、ピストン５２の先端面とボール弁５３とは点接触している。そのため、ボール弁５３の開弁時においてピストン５２に荷重がかかると、一般に知られているヘルツの弾性変形により、ピストン５２及びボール弁５３が弾性変形し圧縮される。このとき、ピストン５２及びボール弁５３の弾性変形分は、ピエゾスタックの伸びのロスとなる。このピエゾスタックの伸びのロス分を補うには、ピストン５２の変位量を大きくしなければならず、ピエゾスタックの大型化、高コスト化を招くといった問題が生じる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題に着目してなされたものであって、その目的とするところは、ピエゾスタックを小型化し、ひいてはコスト低減を図ることができる内燃機関用ピエゾインジェクタを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のピエゾインジェクタでは、ピエゾスタックの伸長時にピストン部材の先端面で圧力制御用弁体の外周面が押圧され、それに伴い圧力制御用弁体が移動して高圧室内の高圧燃料が低圧側にリークする。このとき、ニードル弁の背面に作用していた高圧燃料が抜け、ニードル弁が開弁する。すると、ニードル弁の先端部より燃料噴射が実施される。本発明では特に、ピストン部材と圧力制御用弁体とが線接触するようにピストン部材の先端面に加工が施されている。具体的には、請求項２に記載したように、ピストン部材の先端面に円錐状の凹みが形成されると良い。
【０００７】
要するに、従来構成の場合（例えば、前記図７の場合）、ピストン部材の先端が平坦面、圧力制御用弁体の外周が球面をなすことから両者が１点で接触する。この場合、その接触部の変形量δはヘルツの弾性変形によると、
【０００８】
【数１】
0003854120.tif 000002
で表される。このとき、接触荷重Ｐ＝２０ｋｇｆ、ヤング率Ｅ（鋼の場合）＝２１０００ｋｇｆ／ｍｍ2 、圧力制御用弁体の球面の半径ｒ0 ＝１．１９ｍｍとし、これらを上記（１）式に代入すると、変形量δは１１．２４μｍとなる。
【０００９】
これに対し本発明では、ピストン部材と圧力制御用弁体とが線接触するよう構成しており、この場合、その接触部の変形量δはヘルツの弾性変形によると、
【００１０】
【数２】
0003854120.tif 000003
で表される。上記（２）式においてｂは接触幅である。つまり、図６に示すように、ピストン部材Ａと圧力制御用弁体Ｂとは、荷重Ｐを受けることで２ｂの幅で接触しており、その接触幅ｂは、次の（３）式により求められる。
【００１１】
【数３】
0003854120.tif 000004
更に、上記（２），（３）式中の単位長さ当たりの荷重ｑは次式のように求められる。接触荷重Ｐ、球面の半径ｒ0 等は１点接触の場合と同じ数値を用いる。
【００１２】
【数４】
0003854120.tif 000005
この場合、単位長さ当たりの荷重ｑの数値（ｑ＝１８．５３ｋｇｆ／ｍｍ）とポアソン比υの数値（υ＝０．３）とを上記（２），（３）式に代入すると、上記（３）式より接触幅ｂは４９．３３μｍとなり、更に上記（２）式より変形量δは１．１８μｍとなる。以上のことから、線接触の場合の変形量δ（＝１．１８μｍ）は点接触の場合の変形量δ（＝１１．２４μｍ）よりも小さくなり、変形量δの大幅な低減が可能となる。接触部の変形量δは、言い換えればピエゾスタックの伸長量のロス分である。従って、変形量δが小さくなることにより、インジェクタを開弁させるために必要なピエゾスタックの伸長量が小さくなる。その結果、ピエゾスタックを小型化し、ひいてはコスト低減を図ることができる。
【００１３】
また、請求項３記載のピエゾインジェクタでは、ピストン部材と圧力制御用弁体とが２点以上で点接触するようにピストン部材の先端面に加工を施したことを特徴としている。具体的には、請求項４に記載したように、ピストン部材の先端面に略Ｖ字状の切り欠きを形成すると良い。
【００１４】
この場合にもやはり、ピストン部材と圧力制御用弁体との接触部における変形量が小さくなり、ピエゾスタックの伸長量のロス分が削減できる。すなわち、１点接触の場合の歪みエネルギ量Ｕ１は、
【００１５】
【数５】
0003854120.tif 000006
となる。なお上記（４）式において、ε1 は歪み（変形量）である。また、２点接触の場合には、歪みエネルギ量Ｕ2 は、
【００１６】
【数６】
0003854120.tif 000007
となる。歪みエネルギ量は一定であるため、Ｕ1 ＝Ｕ2 である。従って、上記（４），（５）式によれば、ε2 ＝（１／√２）ε1 となり、２点接触の場合の変形量は１点接触の場合の変形量の０．７倍程度となる。その結果、請求項１の発明と同様に、ピエゾスタックを小型化し、ひいてはコスト低減を図ることができる。因みに、接触点が多くなるほど歪み（変形量）が小さくなるのは言うまでもない。
【００１７】
更に、請求項５記載のピエゾインジェクタでは、圧力制御用弁体の外周面の一部に平坦面を設け、その平坦面にピストン部材の端面を当接させるようにしたことを特徴としている。すなわち、ピストン部材と圧力制御用弁体とを面接触させる。この場合、詳細な解析は便宜上省略するが、上記の各請求項の発明と同様、ピストン部材と圧力制御用弁体との接触部における応力が小さくなるために変形量が小さくなり、ピエゾスタックの伸長量のロス分が削減できる。その結果、ピエゾスタックを小型化し、ひいてはコスト低減を図ることができる。
【００１８】
上記請求項５記載の発明では、請求項６に記載したように、前記ピストン部材を、前記インジェクタボディ内に摺動自在に保持される摺動部と、前記圧力制御用弁体を押圧するための弁体押圧部とに分割し、それら各部材を軸心調整可能に駆動連結すると良い。この場合、ピストン部材の先端部（弁体押圧部）と圧力制御用弁体とが確実に面接触するようになる。
【００１９】
また、請求項７記載の発明では、互いに面接触し且つピエゾスタックの伸びを伝達する部材同士についてその接触面の表面粗さを十点平均粗さで２．０Ｒｚより平滑にする。より望ましくは、前記接触面の表面粗さを十点平均粗さで１．２Ｒｚより平滑にすると良い。要するに、互いに面接触する部材同士の表面が粗いと、その分ピエゾスタックの伸長時にロスとなる。これに対して上記の如く表面粗さを規定すれば、ピエゾスタック伸長時のロスが低減できる。それ故、ピエゾスタックがより一層小型化できるようになる。
【００２０】
一方、請求項８記載の発明では、多数の圧電素子を積層してなるピエゾスタックを有し、このピエゾスタックの伸縮動作に伴いピストン部材を移動させ、ニードル弁先端部より燃料噴射を実施する内燃機関用ピエゾインジェクタであって、互いに面接触し且つピエゾスタックの伸びを伝達する部材同士についてその接触面の表面粗さを十点平均粗さで２．０Ｒｚより平滑にしている。請求項８の発明によれば、やはりピエゾスタック伸長時のロスが低減できる。その結果、ピエゾスタックを小型化し、ひいてはコスト低減を図ることができる。
【００２１】
なお、請求項７，８の発明では、接触面の表面粗さを十点平均粗さで規定したが、それ相当の粗さ（同程度の粗さ）であれば、十点平均粗さ以外の手法で表面粗さを規定するものであっても良い。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。本実施の形態の燃料噴射装置は、車両用ディーゼルエンジンに採用されるコモンレール式燃料噴射装置として具現化されるものであり、コモンレール（蓄圧配管）に蓄えられた高圧燃料はインジェクタの駆動に伴いエンジンに噴射供給される。本実施の形態では特に、インジェクタの構成及びその動作について詳しく説明する。
【００２３】
図１は、インジェクタ断面及びその周辺構成を示す図面である。インジェクタ１０には、コモンレール２００から例えば１５０ＭＰａ程度の高圧燃料が供給される。インジェクタ１０は、ＥＣＵ１００及び駆動回路１１０からの制御信号に応じて開閉し、その開動作に伴い図示しないエンジンに燃料を噴射供給する。ＥＣＵ１００は、周知のマイクロコンピュータ等を備えて構成され、エンジン回転数、アクセル開度、エンジン水温等のエンジン運転情報を取り込み、インジェクタ１０による燃料噴射時期及び燃料噴射量を最適に制御する。
【００２４】
インジェクタ１０において、インジェクタボディ１１には、多数の圧電素子を積層してなるピエゾスタック１２と、インジェクタボディ１１内を摺動する大径ピストン１３とが収容され、これらは互いの端面が密着するよう皿バネ１４により付勢されている。ピエゾスタック１２は、ＥＣＵ１００及び駆動回路１１０から取り込まれる制御信号（駆動電圧）に応じて伸縮し、制御信号に従いピエゾスタック１２が伸長すると、大径ピストン１３が皿バネ１４の付勢力に抗して図の下方に移動する。符号１２ａはピエゾスタック保持板である。
【００２５】
大径ピストン１３の下方には、この大径ピストン１３よりも径の小さい小径ピストン１５が配設され、大径ピストン１３と小径ピストン１５との間には変位拡大室１６が形成されている。変位拡大室１６は、大径ピストン１３が図の下方に変位する時、その下向きの力を内部の燃料圧を介して小径ピストン１５に伝達するものである。この場合、大径ピストン１３と小径ピストン１５との断面積の比率に応じて、小径ピストン１５の変位量が拡大される。すなわち、変位拡大室１６は、ピエゾスタック１２の微小な変位を拡大し、小径ピストン１５に伝える役割を果たす。
【００２６】
小径ピストン１５は、ボール弁２０を押圧して高圧室２１内の高圧燃料を燃料リーク室１７にリークさせるものであり、小径ピストン１５の先端に形成された円柱状の縮径部１５ａがボール弁２０の外周面（球面）に当接している。ここで、高圧室２１には、高圧通路２２を介して噴射圧相当の高圧燃料、すなわちコモンレール２００より供給される高圧燃料が導入され、この高圧燃料によりボール弁２０が押し上げられている。この高圧燃料の押し上げにより、ボール弁２０がインジェクタボディ１１のシート面２３に着座し、高圧室２１と燃料リーク室１７との間が遮断される（図示の状態）。また、小径ピストン１５によりボール弁２０が図の下方に押圧されると、ボール弁２０が押し込まれてボール弁２０がシート面２３から離れ、高圧室２１内の高圧燃料が燃料リーク室１７にリークする。燃料リーク室１７にリークした燃料はドレイン通路１８を介して排出される。なお、符号１９は、小径ピストン１５をボール弁２０外周面に当接させるためのスプリングを示す。
【００２７】
高圧室２１には、燃料通路２４を介して圧力制御室２５が連通されている。圧力制御室２５には高圧通路２２を介してコモンレール２００からの高圧燃料が導入され、この高圧燃料と圧力制御室２５内のスプリング２６とによりノズルニードル２７が図の下方向に付勢されている。これにより、インジェクタ先端部の噴孔２８が閉鎖状態となっている。
【００２８】
上記構成のインジェクタ１０において、ピエゾスタック１２が縮小状態にある場合、ボール弁２０はシート面２３に着座した状態で保持される。この状態では、ノズルニードル２７は圧力制御室２５の高圧燃料により閉弁位置に付勢保持され、噴孔２８から燃料が噴射されることはない。そして、ピエゾスタック１２が伸長すると、小径ピストン１５が図の下方向に移動してボール弁２０を押圧し、ボール弁２０がシート面２３から離れて高圧室２１内の高圧燃料が燃料リーク室１７にリークする。このとき、圧力制御室２５内の圧力が低下し、それに伴いノズルニードル２７が開弁方向（図の上方向）に移動する。よって、噴孔２８から燃料が噴射される。
【００２９】
なお本実施の形態では、小径ピストン１５が特許請求の範囲に記載した「ピストン部材」に、ボール弁２０が同「圧力制御用弁体」に、ノズルニードル２７が同「ニードル弁」に、それぞれ相当する。
【００３０】
本実施の形態では、インジェクタ１０の特徴的な構成として、小径ピストン１５とボール弁２０とが線接触する構成となっており、その詳細を図２により説明する。図２（ａ）は要部の拡大断面図、図２（ｂ）は小径ピストン１５の縮径部１５ａのみを示す断面図である。
【００３１】
図２（ａ），（ｂ）に示すように、小径ピストン１５の縮径部１５ａは、その先端面が円錐形状に凹んだ構成となっており、その円錐形状の先端面がボール弁２０の外周面に当接している。従って、小径ピストン１５の縮径部１５ａとボール弁２０との接触部は、円形状に連続する線接触となっている。
【００３２】
この場合、小径ピストン１５とボール弁２０とが点接触する場合と比較して、小径ピストン１５とボール弁２０との接触部の弾性変形量が小さくなり、ボール弁２０のリフト量のロスが低減される。具体的には、既述した通り点接触の場合の変形量δが１１．２４μｍであるのに対し、線接触の場合の変形量δが１．１８μｍとなり、変形量δの大幅な低減が可能となる。従って、ピエゾスタック１２の変位量が小さくてもボール弁２０の所定のリフト量を確保することができる。
【００３３】
但し、縮径部１５ａの凹み形状は円錐以外であっても良く、小径ピストン１５とボール弁２０とが線接触可能となる形状であれば良い。また、小径ピストン１５の先端には円柱状の縮径部１５ａを設けたが、この構成以外にもボール弁２０を押圧できる構成であれば、小径ピストン１５の先端部を他の形状で構成して良い。
【００３４】
また、本実施の形態のインジェクタ１０では、互いに面接触し且つピエゾスタック１２の伸びを伝達する部材同士についてその接触面の表面粗さを十点平均粗さで１．２Ｒｚよりも平滑にするようにしている。具体的には、ピエゾスタック１２と大径ピストン１３との接触面、ピエゾスタック１２とピエゾスタック保持板１２ａとの接触面、ピエゾスタック保持板１２ａとインジェクタボディ１１との接触面等において、それら接触面の表面粗さを、十点平均粗さで１．２Ｒｚよりも平滑に加工している。
【００３５】
図３は、部材接触面における十点平均粗さとピエゾスタック１２の伸びロス分との関係を示す図である。図３から分かるように、十点平均粗さが１．２Ｒｚ以下であれば、ピエゾスタック１２の伸びロスが殆どない。従って、ピエゾスタック１２の伸長に伴いボール弁２０が効率良くリフトする。なお、表面粗さの規定を十点平均粗さで２．０Ｒｚ程度まで緩和しても、ピエゾスタック１２の伸びロスは極めて低レベルで抑えられ、表面粗さの規定のないものに比べてボール弁２０が良好にリフト動作する。
【００３６】
以上詳述した本実施の形態によれば、以下に示す効果が得られる。
小径ピストン１５とボール弁２０とが線接触するように構成したので、ピエゾスタック１２の伸長量のロス分が低減される。その結果、ピエゾスタック１２を小型化し、ひいてはコスト低減を図ることができる。また、ピエゾスタック１２の消費電力を小さくすることも可能となる。
【００３７】
互いに面接触し且つピエゾスタック１２の伸びを伝達する部材同士についてその接触面の表面粗さを上記の如く規定したので、ピエゾスタック伸長時のロスが低減できる。それ故、ピエゾスタック１２がより一層小型化できるようになる。
【００３８】
なお本発明は、上記以外に次の形態にて具体化できる。
上記実施の形態では、図２で説明したように、小径ピストン１５の縮径部１５ａとボール弁２０とを線接触させたが、この構成に代えて以下の構成を採用する。
【００３９】
図４の構成では、小径ピストン１５の先端（縮径部１５ａの先端）を平坦面とすると共に、ボール弁２０の外周面の一部に平坦面を設け、各々の平坦面でそれら各部材を当接させている。すなわち、小径ピストン１５及びボール弁２０を面接触させるよう構成している。この場合にも、小径ピストン１５とボール弁２０との接触部における変形量が小さくなり、ピエゾスタック１２の伸長量のロス分が削減できる。その結果、上記実施の形態と同様に、ピエゾスタック１２を小型化し、ひいてはコスト低減を図ることができる。
【００４０】
前記図４の構成では、図５（ａ），（ｂ）に示すように、小径ピストン１５を、インジェクタボディ１１内に摺動自在に保持される摺動部と、ボール弁２０を押圧するための弁体押圧部とに分割し、それら各部材を軸心調整可能に駆動連結すると良い。図５（ａ）では、小径ピストン１５を摺動部３１と弁体押圧部３２とに分割し、摺動部３１に凹状の円錐面を、弁体押圧部３２に凸状の球面をそれぞれ設け、それら円錐面と球面とを接触させている。また、図５（ｂ）では、小径ピストン１５を摺動部３３と弁体押圧部３４とに分割し、摺動部３３に凸状の球面を、弁体押圧部３４に凹状の円錐面をそれぞれ設け、それら球面と円錐面とを接触させている。この場合、弁体押圧部３２，３４により軸心が調整され、小径ピストン１５の先端部とボール弁２０とが確実に面接触するようになる。従って、ピエゾスタック１２の伸びロスを削減する効果が確実に得られるようになる。
【００４１】
上記以外に、小径ピストン１５とボール弁２０とが２点以上で点接触するように構成しても良い。具体的には、小径ピストン１５の先端面に略Ｖ字状の切り欠きを形成し、小径ピストン１５とボール弁２０とを２点で接触させるよう構成する。この場合にもやはり、小径ピストン１５とボール弁２０との接触部における変形量が小さくなり、ピエゾスタック１２の伸長量のロス分が削減できる。その結果、上記実施の形態と同様に、ピエゾスタック１２を小型化し、ひいてはコスト低減を図ることができる。因みに、小径ピストン１５とボール弁２０とを多点接触させる場合、接触点が多くなるほど変形量が小さくなり、ピエゾスタック１２の伸びロスを削減する効果が顕著になる。
【００４２】
ボール弁（圧力制御用弁体）２０は、球状の外周面を持ち、その外周面（球面）で高圧室２１を遮断することが要件であるが、その形状は上記の要件を満たす範囲内で任意に変更できる。例えば、円柱状の弁体とし、先端部に球面を持る構成であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】発明の実施の形態におけるインジェクタ断面及びその周辺の構成を示す図。
【図２】小径ピストンとボール弁とが線接触する構成を示す断面図。
【図３】部材接触面における十点平均粗さと伸びロス分との関係を示す図。
【図４】小径ピストンとボール弁とが面接触する構成を示す断面図。
【図５】小径ピストンとボール弁とが面接触する構成を示す断面図。
【図６】ピストン部材と圧力制御用弁体との接触部分を示す図。
【図７】従来技術においてピエゾインジェクタの要部を示す断面図。
【符号の説明】
１０…インジェクタ、１１…インジェクタボディ、１２…ピエゾスタック、１５…小径ピストン、２０…ボール弁、２１…高圧室、２７…ノズルニードル、３１，３３…摺動部、３２，３４…弁体押圧部。
【図１】
0003854120.tif 000008
【図２】
0003854120.tif 000009
【図３】
0003854120.tif 000010
【図４】
0003854120.tif 000011
【図５】
0003854120.tif 000012
【図６】
0003854120.tif 000013
【図７】
0003854120.tif 000014