(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クラッド及びコアを有するガラス母材を研削する装置であって、
前記クラッドを研削する砥石と、
前記ガラス母材の長手方向に対して垂直な方向における前記ガラス母材中心位置と前記コア中心位置との偏心量を、前記ガラス母材の長手方向の複数箇所において測定する測定部と、
前記偏心量が実質的に０となるような前記コア中心位置を中心とする前記ガラス母材の目標直径を、前記偏心量を測定した複数箇所のそれぞれについて算出することによって、前記ガラス母材の長手方向にわたって前記目標直径を略連続的に算出する設計部と、
前記ガラス母材の長手方向にわたって略連続的に算出された前記目標直径に基づいて、前記ガラス母材の長手方向にわたって略連続的に前記ガラス母材の直径が前記コア中心位置を中心として前記目標直径となるように前記クラッドを研削すべく前記砥石を制御する制御部と
を備えたことを特徴とするガラス母材研削装置。
【請求項２】
前記設計部は、前記測定部が前記複数箇所で測定した前記偏心量に基づいて、測定した前記複数箇所の間の位置における前記目標直径を算出することによって前記ガラス母材の長手方向にわたって略連続的に前記目標直径を算出することを特徴とする請求項１に記載のガラス母材研削装置。
【請求項３】
前記設計部は、最小自乗法を用いて前記複数箇所の間の位置における前記目標直径を算出することを特徴とする請求項２に記載のガラス母材研削装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記砥石を前記ガラス母材の中心に向けて往復移動することによって前記クラッドを研削することを特徴とする請求項１に記載のガラス母材研削装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記ガラス母材の中心を軸として前記ガラス母材を回転し、前記ガラス母材の回転量の増加に応じて前記砥石の前記ガラス母材に対する移動の軌跡が、正弦曲線を描くように前記砥石を往復移動することを特徴とする請求項４に記載のガラス母材研削装置。
【請求項６】
前記ガラス母材の長手方向における前記偏心量の測定箇所が、２０箇所以上であることを特徴とする請求項１に記載のガラス母材研削装置。
【請求項７】
前記設計部は、前記コアの直径と前記クラッドの直径との比率が前記ガラス母材の長手方向にわたって一定となるように、前記複数箇所及び前記複数箇所の間の位置における前記目標直径をそれぞれ算出することを特徴とする請求項２に記載のガラス母材研削装置。
【請求項８】
粗研削用の砥石及び仕上げ研削用の砥石を備え、
前記制御部は、前記粗研削用の砥石を用いて前記クラッドを研削した後、前記仕上げ研削用の砥石を用いて前記クラッドを研削することを特徴とする請求項４に記載のガラス母材研削装置。
【請求項９】
複数の前記砥石が、前記ガラス母材の長手方向に沿って並列に配置されたことを特徴とする請求項１に記載のガラス母材研削装置。
【請求項１０】
クラッド及びコアを有するガラス母材を製造する方法であって、
コア部材の周囲にガラス微粒子を堆積することによって多孔質ガラス母材を形成する堆積ステップと、
前記多孔質ガラス母材を脱水及び焼結することによってガラス母材を形成する脱水焼結ステップと、
前記ガラス母材の長手方向に対して垂直な方向における前記ガラス母材中心位置と前記コア中心位置との偏心量を、前記ガラス母材の長手方向の複数箇所において測定する測定ステップと、
前記偏心量が実質的に０となるような前記コア中心位置を中心とする前記ガラス母材の目標直径を、前記偏心量を測定した複数箇所のそれぞれについて算出することによって、前記ガラス母材の長手方向にわたって前記目標直径を略連続的に算出する設計ステップと、
前記ガラス母材の長手方向にわたって略連続的に算出された前記目標直径に基づいて、前記ガラス母材の長手方向にわたって略連続的に前記ガラス母材の直径が前記コア中心位置を中心として前記目標直径となるように前記クラッドを研削する研削ステップと
を備えたことを特徴とするガラス母材製造方法。
【請求項１１】
前記設計ステップは、前記測定ステップが前記複数箇所で測定した前記偏心量に基づいて、測定した前記複数箇所の間の位置における前記目標直径を算出することによって前記ガラス母材の長手方向にわたって略連続的に前記目標直径を算出することを特徴とする請求項１０に記載のガラス母材製造方法。
【請求項１２】
前記設計ステップは、最小自乗法を用いて前記複数箇所の間の位置における前記目標直径を算出することを特徴とする請求項１１に記載のガラス母材製造方法。
【請求項１３】
前記研削ステップは、砥石を前記ガラス母材の中心に向けて往復移動することによって前記クラッドを研削することを特徴とする請求項１０に記載のガラス母材製造方法。
【請求項１４】
前記研削ステップは、前記ガラス母材の中心を軸として前記ガラス母材を回転し、前記ガラス母材の回転量の増加に応じて前記砥石の前記ガラス母材に対する移動の軌跡が正弦曲線を描くように前記砥石を往復移動することを特徴とする請求項１３に記載のガラス母材製造方法。
【請求項１５】
前記測定ステップは、前記ガラス母材の長手方向における２０箇所以上の位置において前記偏心量を測定することを特徴とする請求項１０に記載のガラス母材製造方法。
【請求項１６】
前記設計ステップは、前記コアの直径と前記クラッドの直径との比率が前記ガラス母材の長手方向にわたって一定となるように、前記複数箇所及び前記複数箇所の間の位置における前記目標直径をそれぞれ算出することを特徴とする請求項１０に記載のガラス母材製造方法。
【請求項１７】
前記研削ステップは、粗研削用の前記砥石を用いて前記クラッドを研削した後、仕上げ研削用の前記砥石を用いて前記クラッドを研削することを特徴とする請求項１３に記載のガラス母材製造方法。
【請求項１８】
前記研削ステップは、前記ガラス母材の長手方向に沿って並列に配置された複数の前記砥石を用いて前記クラッドを研削することを特徴とする請求項１３に記載のガラス母材製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス母材研削装置及びガラス母材製造方法に関する。特に本発明は、優れた真円度及びコアの偏心率を有するガラス母材を製造する研削装置及び製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバの母材である多孔質ガラス母材は、通常、気相軸付け法（ＶＡＤ法）及び外付け化学蒸着法（ＯＶＤ法）等によってコア部材の表面にガラス微粒子を堆積することによって製造される。多孔質ガラス母材を脱水及び焼結することによりガラス母材が製造される。ガラス母材を延伸することによりプリフォームが形成され、プリフォームを線引きすることによって光ファイバが製造される。
【０００３】
ＯＶＤ法においてコア部材の表面へのガラス微粒子の堆積速度を増加する方法として、コア部材の表面にガラス微粒子を噴出して堆積するバーナの口径を大きくする方法と、バーナの本数を増やす方法とがある。また、ＯＶＤ法において多孔質ガラス母材の生産性を向上する方法としては、コア部材の長さを長くすることによってガラス母材製品の直胴部、すなわち直径が均一な部分、の比率を増加する方法がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
バーナの口径を大きくしてガラス微粒子の堆積速度を増加する方法は、堆積の初期工程においてコア部材へのガラス微粒子の付着率が低くなるので堆積速度が増加しない。更に、口径が大きいバーナを複数本使用すると、バーナの炎同士が干渉するために堆積効率が増加しない。
【０００５】
一方、バーナの本数を増やす方法は、バーナが複数本あるためにガラス微粒子の堆積体の表面に凹凸が生じる。特に、バーナに供給する原料ガスを増加して堆積速度を増加した場合、表面の凹凸が顕著となる。その結果、バーナの本数を増やすことにより得られたガラス母材から線引きされた光ファイバは、良好な光学特性を有しない。例えば単一モード光ファイバは、所望のカットオフ波長及び分散特性を有することができない。更に、コア部材の長さを長くする方法の場合は、コア部材の長さが長いので、ガラス微粒子の堆積中にコア部材が曲がり、製品をガラス母材として使用できなくなる。
【０００６】
そこで、ガラス母材の表面に生じる凹凸を減少し、かつコア部材の中心をガラス母材の中心と一致させる方法として、コア部の中心とガラス母材の中心とを一致させるようにガラス母材を研削する方法が、特開平９−３２８３２８及び特開２０００−４７０３９に開示されている。しかし、特開平９−３２８３２８及び特開２０００−４７０３９に開示された方法は、コア部材がガラス母材の長手方向にわたって曲がっている場合には、コア部材の中心とガラス母材の中心とをガラス母材の全長にわたって一致させることができない。
【０００７】
更に、特開平９−３２８３２８及び特開２０００−４７０３９に開示された方法は、ガラス母材の仕上がり時の直径が、ガラス母材の長手方向にわたって一定であるために、コア部材の直径の変動に伴って最終製品である光ファイバのカットオフ波長が不均一となる。また、コア部材の位置がガラス母材の中心の位置から偏心している場合、このガラス母材を線引きすることにより得られた光ファイバを敷設する際に、光ファイバを融着して接続する作業において接続損失等の問題が生じる。
【０００８】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできるガラス母材製造方法、ガラス母材、及び光ファイバを提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明の第１の形態であるガラス母材研削装置は、クラッド及びコアを有するガラス母材を研削する装置であって、クラッドを研削する砥石と、ガラス母材の長手方向に対して垂直な方向におけるガラス母材中心位置とコア中心位置との偏心量を、ガラス母材の長手方向の複数箇所において測定する測定部と、偏心量が実質的に０となるようなコア中心位置を中心とするガラス母材の目標直径を、偏心量を測定した複数箇所のそれぞれについて算出することによって、ガラス母材の長手方向にわたって目標直径を略連続的に算出する設計部と、ガラス母材の長手方向にわたって略連続的に算出された目標直径に基づいて、ガラス母材の長手方向にわたって略連続的にガラス母材の直径がコア中心位置を中心として目標直径となるようにクラッドを研削すべく砥石を制御する制御部とを備える。
【００１０】
設計部は、測定部が複数箇所で測定した偏心量に基づいて、測定した複数箇所の間の位置における目標直径を算出することによってガラス母材の長手方向にわたって略連続的に目標直径を算出することが好ましい。更に、設計部は、最小自乗法を用いて複数箇所の間の位置における目標直径を算出してもよい。
【００１１】
更に、制御部は、砥石をガラス母材の中心に向けて往復移動することによってクラッドを研削することが好ましい。制御部は、ガラス母材の中心を軸としてガラス母材を回転し、ガラス母材の回転量の増加に応じて砥石のガラス母材に対する移動の軌跡が、正弦曲線を描くように砥石を往復移動することが好ましい。
【００１２】
また、ガラス母材の長手方向における偏心量の測定箇所が、２０箇所以上であることが好ましい。設計部は、コアの直径とクラッドの直径との比率がガラス母材の長手方向にわたって一定となるように、複数箇所及び複数箇所の間の位置における目標直径をそれぞれ算出することが好ましい。
【００１３】
更に、ガラス母材研削装置は、粗研削用の砥石及び仕上げ研削用の砥石を備え、制御部は、粗研削用の砥石を用いてクラッドを研削した後、仕上げ研削用の砥石を用いてクラッドを研削することが好ましい。また、複数の砥石が、ガラス母材の長手方向に沿って並列に配置されてもよい。
【００１４】
本発明の第２の形態であるガラス母材製造方法は、クラッド及びコアを有するガラス母材を製造する方法であって、コア部材の周囲にガラス微粒子を堆積することによって多孔質ガラス母材を形成する堆積ステップと、多孔質ガラス母材を脱水及び焼結することによってガラス母材を形成する脱水焼結ステップと、ガラス母材の長手方向に対して垂直な方向におけるガラス母材中心位置とコア中心位置との偏心量を、ガラス母材の長手方向の複数箇所において測定する測定ステップと、偏心量が実質的に０となるようなコア中心位置を中心とするガラス母材の目標直径を、偏心量を測定した複数箇所のそれぞれについて算出することによって、ガラス母材の長手方向にわたって目標直径を略連続的に算出する設計ステップと、ガラス母材の長手方向にわたって略連続的に算出された目標直径に基づいて、ガラス母材の長手方向にわたって略連続的にガラス母材の直径がコア中心位置を中心として目標直径となるようにクラッドを研削する研削ステップとを備える。
【００１５】
設計ステップは、測定ステップが複数箇所で測定した偏心量に基づいて、測定した複数箇所の間の位置における目標直径を算出することによってガラス母材の長手方向にわたって略連続的に目標直径を算出することが好ましい。また、設計ステップは、最小自乗法を用いて複数箇所の間の位置における目標直径を算出してもよい。
【００１６】
更に、研削ステップは、砥石をガラス母材の中心に向けて往復移動することによってクラッドを研削することが好ましい。更に、研削ステップは、ガラス母材の中心を軸としてガラス母材を回転し、ガラス母材の回転量の増加に応じて砥石のガラス母材に対する移動の軌跡が正弦曲線を描くように砥石を往復移動することが好ましい。
【００１７】
また、測定ステップは、ガラス母材の長手方向における２０箇所以上の位置において偏心量を測定することが好ましい。更に、設計ステップは、コアの直径とクラッドの直径との比率がガラス母材の長手方向にわたって一定となるように、複数箇所及び複数箇所の間の位置における目標直径をそれぞれ算出することが好ましい。
【００１８】
更に、研削ステップは、粗研削用の砥石を用いてクラッドを研削した後、仕上げ研削用の砥石を用いてクラッドを研削することが好ましい。更に、研削ステップは、ガラス母材の長手方向に沿って並列に配置された複数の砥石を用いてクラッドを研削することが好ましい。
【００１９】
なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のコンビネーションも又発明となりうる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施形態を通じて本発明を説明するが、実施形態はクレームにかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態である多孔質ガラス母材を製造する装置の構成の概略を示す。図１に示す多孔質ガラス母材の製造装置は、ＯＶＤ法を用いて多孔質ガラス母材を製造する。
【００２２】
多孔質ガラス母材製造装置は、コア部材１２の両端に接続されたダミー部１０をそれぞれ把持するチャック８０、チャック８０を回転するモータ１８、コア部材１２にガラス微粒子を堆積する複数のバーナ２０、複数のバーナ２０をコア部材１２の長手方向に移動するためのバーナガイド機構２２及びバーナ移動用モータ２４、コア部材１２及びバーナ２０等を収容する反応炉２８、及び反応炉２８内の排気ガスを排出する排気フード２６を備える。
【００２３】
コア部材１２の両端は、ダミー部１０にそれぞれ接続される。チャック８０は、ダミー部１０のそれぞれを把持する。モータ１８は、チャック８０を回転することによってコア部材１２を回転する。複数のバーナ２０は、モータ１８によって回転しているコア部材１２にガラス微粒子を噴出して堆積することによってコア部材１２の周囲にクラッド部１４を形成し、多孔質ガラス母材１６を形成する。バーナ２０は、ＳｉＣｌ４等の原料ガス及び燃焼ガスを噴出し、原料ガス及び燃焼ガス等を酸水素火炎中で加水分解することによってガラス微粒子を生成する。なお、原料ガス及び燃焼ガス等をバーナ２０へ供給する速度は、コア部材１２に対するガラス微粒子の付着性を考慮してガラス微粒子の堆積の開始の時点から次第に増加させていくことが好ましい。
【００２４】
バーナガイド機構２２は、コア部材１２の長手方向に対して平行に配置される。モータ２４は、バーナガイド機構２２を駆動することによって複数のバーナ２０をバーナガイド機構２２の長手方向に沿って移動する。そのため、コア部材１２の周囲に長手方向に沿ってガラス微粒子が堆積される。
【００２５】
図１に示す多孔質ガラス母材装置を用いて多孔質ガラス母材１６が所定の寸法となるまでガラス微粒子をコア部材１２の周囲に堆積した後、多孔質ガラス母材１６を脱水及び焼結することによってガラス母材が製造される。
【００２６】
図２は、本発明の一実施形態であるガラス母材研削装置５０の構成の概略を示す。図２は、ガラス母材４０の長手方向に対して垂直な方向にガラス母材４０を切った断面が見える方向からガラス母材研削装置５０を示す。ガラス母材４０は、コア３６及びクラッド３２を有する。図２においてコア３６の中心Ｏ１の位置とガラス母材４０の中心Ｏ２の位置とは一致しない。そこで、ガラス母材研削装置５０は、ガラス母材４０のクラッド３２を破線で示す目標クラッド３４の直径となるまで砥石３０で研削することにより、コア３６の中心Ｏ１の位置とガラス母材４０の中心Ｏ２の位置とを一致させる。
【００２７】
本実施形態のガラス母材研削装置５０として、図２に示す円筒研削装置を使用することが好ましい。円筒研削装置は、回転している工作物の外面を研削する。ガラス母材研削装置５０は、砥石３０、砥石駆動部６４、制御部６０、及び測定部６２を備える。ガラス母材４０が中心Ｏ２を軸として回転している間、砥石３０は、クラッド３２を研削する。砥石３０は、軸５２を介して砥石駆動部６４に接続される。砥石駆動部６４は、砥石３０を、軸５２を中心にして回転し、かつ砥石３０をガラス母材４０の中心Ｏ２に向けて往復移動する。そのため、砥石３０は、軸５２を中心にして回転し、クラッド３２を押圧することによってクラッド３２を研削する。
【００２８】
測定部６２は、ガラス母材４０の中心Ｏ２の位置と、コア３６の中心Ｏ１の位置との偏心量Ｘを、ガラス母材４０の長手方向における複数の箇所において測定する。測定部６２として偏光ガラスを使用する計測器又はプリフォームアナライザ等の計測器が使用される。測定部６２として偏光ガラスを使用する計測器を用いる場合、測定部６２は、ガラス母材研削装置５０と一体に設けられる。測定部６２は、制御部６０に接続されるので測定結果をガラス母材研削装置５０の制御部６０へ直接出力することができる。測定部６２と制御部６０が直接接続されるので、測定結果を手作業で制御部６０に入力する場合に比べ、入力に要する手間を省き、入力に要する時間を短縮することができるばかりでなく、入力ミスを防ぐことができる。
【００２９】
プリフォームアナライザは、ガラス母材４０へレーザ光等を透過させ、透過させた光の位置のずれを測定することによりガラス母材４０内部の屈折率分布を求める。得られた屈折率分布からコア３６の中心Ｏ１のガラス母材４０内における位置を求めることができる。測定部６２としてプリフォームアナライザを使用する場合、プリフォームアナライザは、ガラス母材研削装置５０とは別体に設けられ、測定結果をガラス母材研削装置５０の制御部６０へ直接出力できるようにガラス母材研削装置５０に接続される。プリフォームアナライザとガラス母材研削装置５０の制御部６０が直接接続されるので、測定結果を手作業で制御部６０に入力する場合に比べ、入力に要する手間を省き、入力に要する時間を短縮することができるばかりでなく、入力ミスを防ぐことができる。
【００３０】
ガラス母材４０は、一旦プリフォームアナライザに設置される。プリフォームアナライザによって測定されたガラス母材４０内におけるコア３６の中心Ｏ１の位置に関するデータは、ガラス母材研削装置５０に入力される。なお、ガラス母材４０内におけるコア３６の位置を測定する装置は、プリフォームアナライザ及び偏光ガラスを使用する計測器に限られず他の光学計測器を用いてもよい。
【００３１】
制御部６０は、設計部６６を有する。設計部６６は、コアの中心Ｏ１とガラス母材４０の中心Ｏ２とが実質的に一致するように、すなわち偏心量Ｘが実質的に０となるように、偏心量Ｘが実質的に０となるようなコアの中心Ｏ１の位置を中心とするガラス母材４０の目標直径Ｔを、偏心量Ｘを測定した複数の箇所のそれぞれについて算出する。
【００３２】
更に、設計部６６は、測定した複数箇所の間の位置における目標直径Ｔを算出することによって、すなわち測定部６２によって測定されていない箇所における目標直径Ｔを算出することによって、ガラス母材４０の長手方向にわたって略連続的に目標直径Ｔを算出する。例えば、設計部６６は、偏心量Ｘを測定した複数箇所の間の位置における目標直径Ｔを、最小自乗法を用いて算出してもよい。また、複数箇所の間の位置における目標直径Ｔの算出方法は、最小自乗法に限らず他の方法を用いてもよい。
【００３３】
更に、設計部６６は、ガラス母材４０から得られる光ファイバの推定カットオフ波長が光ファイバの長手方向にわたって一定となるように目標直径Ｔを算出する。ガラス母材４０の外径がガラス母材４０の長手方向にわたって一定であり、かつコア３６の直径がガラス母材４０の長手方向にわたって不均一である場合、コア３６の直径とクラッド３２の直径との比率は、ガラス母材４０の長手方向にわたって一定でない。したがって、このガラス母材４０から製造された光ファイバのカットオフ波長は、光ファイバの長手方向にわたって一定でないので、この光ファイバは、使用に適さない。
【００３４】
そこで、ガラス母材４０から得られる光ファイバの推定カットオフ波長が光ファイバの長手方向にわたって一定とする必要がある。そこで、設計部６６は、コア３６の直径とクラッド３２の直径との比率がガラス母材４０の長手方向にわたって一定となるように、偏心量Ｘを測定した複数箇所及び複数箇所の間の位置における目標直径Ｔをそれぞれ算出する。したがって、コア３６の直径がガラス母材４０の長手方向にわたって変動する場合は、ガラス母材４０の外径がコア３６の直径の変動に従って変化するように、すなわち目標直径Ｔが長手方向にわたって変化するように目標直径Ｔを算出する。
【００３５】
制御部６０は、砥石３０がガラス母材４０の中心Ｏ２に向けて往復移動するように砥石駆動部６４を制御する。制御部６０は、砥石駆動部６４を制御することによって砥石３０の回転量及び砥石３０の中心Ｏ２へ向かう方向への移動量を調整し、クラッド３２を研削する。
【００３６】
図３は、図２に示したガラス母材研削装置５０を、ガラス母材４０の長手方向が見える方向から示す。ガラス母材研削装置５０は、図２で説明した構成に加えて、チャック４４Ａ及び４４Ｂ、チャック支持部４２Ａ及び４２Ｂ、及びモータ９０を更に備える。チャック４４Ａ及び４４Ｂは、ガラス母材４０の端部をそれぞれ把持する。チャック支持部４２Ａ及び４２Ｂは、チャック４４Ａ及び４４Ｂを支持する。モータ９０は、チャック支持部４２Ａ及び４２Ｂをガラス母材４０の中心Ｏ２を軸として回転する。そのため、ガラス母材４０は、モータ９０によって中心Ｏ２を軸として回転する。
【００３７】
ガラス母材４０が中心Ｏ２を軸として回転している間、砥石３０は、クラッド３２を研削する。砥石３０は、図２で説明したように軸５２を中心にして回転し、かつガラス母材５０の中心Ｏ２に向けて往復移動する。更に、ガラス母材製造装置５０は、ガラス母材４０をガラス母材４０の長手方向に沿って図３の矢印に示す方向に移動する。したがって、砥石３０は、コア３６の中心Ｏ１とガラス母材４０の中心Ｏ２とがガラス母材４０の長手方向にわたって実質的に一致するようにクラッド３２を研削することができる。すなわち、砥石３０は、コア３６の中心位置Ｏ１と、ガラス母材の中心位置Ｏ２との偏心量が、ガラス母材４０の長手方向にわたって実質的に０となるようにクラッド３２を研削することができる。
【００３８】
図４（Ａ）及び図４（Ｂ）は、測定部６２によってガラス母材４０内におけるコア３６の中心Ｏ１の位置を測定した結果を示す。図４（Ｂ）は、ガラス母材４０を図４（Ａ）に示す状態から９０°回転した状態でコア３６の中心Ｏ１の位置を測定した結果を示す。
【００３９】
クラッド３２の表面における所定の箇所に標識７０が設けられる。測定部６２は、標識７０の位置からレーザ光等をガラス母材４０に対して照射し、ガラス母材４０を透過した光の位置のずれを測定することにより図４（Ａ）及び図４（Ｂ）の下部に示すガラス母材４０内部の屈折率分布を求める。屈折率分布に示されるように、コア３６に対応する位置の屈折率分布は、クラッド３２の屈折率分布より高くなっている。そのため、ガラス母材４０内におけるコア３６の中心Ｏ１の位置を測定することができる。
【００４０】
更に、屈折率分布からクラッド３２の直径Ｄが得られるのでガラス母材４０の中心Ｏ２の位置が求められる。測定されたコアの中心Ｏ１の位置とガラス母材４０の中心Ｏ２の位置に基づいて、ガラス母材４０の中心Ｏ２の位置と、コアの中心Ｏ１の位置との偏心量Ｘ１を算出することができる。更に、クラッド３２の直径Ｄ及び偏心量Ｘ１に基づいてクラッド３２の表面からコアの中心Ｏ１までの距離ｒ１が求められる。
【００４１】
更に、ガラス母材４０は、図４（Ｂ）に示すように図４（Ａ）に示す状態から中心Ｏ２を軸として９０°時計回りに回転され、ガラス母材４０内におけるコア３６の中心Ｏ１の位置が再度測定される。この測定によってガラス母材４０の中心Ｏ２の位置と、コアの中心Ｏ１の位置との偏心量Ｘ２が得られる。更に、クラッド３２の直径Ｄ及び偏心量Ｘ２に基づいてクラッド３２の表面からコアの中心Ｏ１までの距離ｒ２が求められる。ガラス母材４０の中心Ｏ２の位置と、コアの中心Ｏ１の位置との偏心量Ｘ１及び偏心量Ｘ２に基づいて、ガラス母材４０内におけるコア３６の中心Ｏ１の位置が確定する。
【００４２】
図５は、図４で説明した偏心量Ｘ１を、ガラス母材４０の長手方向の複数箇所において測定する状況を示す。図５では、ガラス母材４０の長手方向に沿って等間隔にＡからＧの７箇所において偏心量Ｘ１A〜Ｘ１G及びガラス母材の直径Ｄ１A〜Ｄ１Gが測定される。各測定箇所Ａ〜Ｇにおける偏心量Ｘ１A〜Ｘ１G及びガラス母材の直径Ｄ１A〜Ｄ１Gに基づいて各測定箇所Ａ〜Ｇにおけるクラッド３２の表面からコアの中心Ｏ１までの距離ｒ１A〜ｒ１Gが求められる。
【００４３】
次に、図面には示さないが図４（Ｂ）と同様に、ガラス母材研削装置５０は、ガラス母材４０を、中心Ｏ２を軸として９０°回転し、ガラス母材４０の長手方向に沿って等間隔にＡからＧの７箇所において偏心量Ｘ２A〜Ｘ２G及びガラス母材の直径Ｄ２A〜Ｄ２G及が測定され、各測定箇所Ａ〜Ｇにおけるクラッド３２の表面からコアの中心Ｏ１までの距離ｒ２A〜ｒ２Gが求められる。
【００４４】
図５では、例として偏心量Ｘ１及びＸ２が、ガラス母材４０の長手方向の７箇所において測定されているが、測定箇所は７箇所に限られない。ガラス母材４０の全長が通常の長さ、例えば１２００ｍｍから１５００ｍｍである場合、ガラス母材４０の長手方向における偏心量Ｘ１及びＸ２の測定箇所は、２０箇所以上であることが好ましい。測定箇所が２０箇所より少ないと得られるガラス母材の中心とコアの中心との一致の精度が低下する。更に、偏心量Ｘ１及びＸ２の測定箇所の数は、３０箇所以上であることが好ましい。測定箇所の数は、ガラス母材の全長及びガラス母材製品に求められる精度に応じて定められることが好ましい。
【００４５】
例えば、ガラス母材４０の長さが１５００ｍｍである場合、ガラス母材４０の長手方向に５０ｍｍごとの間隔で測定する。この場合、偏心量Ｘ１及びＸ２は、ガラス母材４０の長手方向の３１箇所において測定される。図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように０°と９０°の２つの角度について偏心量Ｘ１及びＸ２が測定されるので、偏心量Ｘ１及びＸ２は合計６２箇所において測定される。
【００４６】
図６は、図５の測定結果に基づいて設計された、ガラス母材４０の長手方向の各複数箇所Ａ〜Ｇにおける目標直径ＴA〜ＴGを示す。設計部６６は、測定部６２が各複数箇所で測定した偏心量Ｘ１A〜Ｘ１Gに基づいて、各偏心量Ｘ１A〜Ｘ１Gが実質的に０となるように、各複数箇所Ａ〜Ｇのそれぞれにおいてコア３６の中心Ｏ１の位置を中心とするガラス母材４０の目標直径ＴA〜ＴGを算出する。図６において、目標直径ＴA〜ＴGは、破線で示される目標クラッド３４の各複数箇所Ａ〜Ｇにおける直径を示す。コア３６の直径が、各複数箇所Ａ〜Ｇにおいて異なる場合、目標直径ＴA〜ＴGは、各複数箇所Ａ〜Ｇにおいて異なる値となる。
【００４７】
更に、設計部６６は、各複数箇所の間の位置における目標直径ＴＸを算出する。例えば、設計部６６は、測定箇所Ａ及びＢ間の任意の位置におけるコア３６の中心Ｏ１の位置を中心とする目標直径ＴＸを算出する。コア３６の中心Ｏ１の位置を中心とする目標直径ＴＸは、測定箇所Ｂ及びＣの間、Ｃ及びＤの間、Ｄ及びＥの間、Ｅ及びＦの間、及びＦ及びＧの間における任意の位置においても算出される。したがって、設計部６６は、図６の破線で示すように、ガラス母材４０の長手方向にわたって略連続的に偏心量Ｘが実質的に０となる目標直径Ｔを算出する。設計部６６は、最小自乗法を用いて複数箇所の間の位置における目標直径Ｔｘを算出してもよい。また、複数箇所の間の位置における目標直径Ｔｘの算出方法は、最小自乗法に限らず他の方法を用いてもよい。
【００４８】
また、設計部６６は、ガラス母材４０から得られる光ファイバの推定カットオフ波長が光ファイバの長手方向にわたって一定となるように目標直径ＴA〜ＴG及びＴｘを算出することが好ましい。そのために、設計部６６は、コア３６の直径とクラッド３２の直径との比率がガラス母材４０の長手方向にわたって一定となるように、コア３６の中心Ｏ１の位置を中心とする目標直径ＴA〜ＴG及びＴｘを算出する。
【００４９】
図７は、設計部６６が設計した結果の一例を示す。図７の上方に示された表は、各測定箇所Ａ〜Ｇにおける距離ｒ１及びｒ２、ガラス母材４０の直径ｄ１及びｄ２、及び目標直径Ｔとを示す。表中に示した距離ｒ１及びｒ２、ガラス母材４０の直径ｄ１及びｄ２、及び目標直径Ｔの値は、一つの例として示してあり、表中の値に限られない。距離ｒ１及びｒ２、ガラス母材４０の直径ｄ１及びｄ２、及び目標直径Ｔは、制御部６０に入力され、制御部６０は、距離ｒ１及びｒ２、ガラス母材４０の直径ｄ１及びｄ２、及び目標直径Ｔに基づいて、砥石３０を制御する。
【００５０】
図７の下方に、研削前のクラッド３２及び目標クラッド３２を、それぞれ実線及び破線で示す。図７に示すように、コアの中心Ｏ１の位置から、コアの中心Ｏ１から最も近いガラス母材４０の表面の位置までの距離をＺとしたときに、目標直径Ｔの値は、距離Ｚによって定まる。すなわち、目標直径Ｔの二分の一の値は、距離Ｚより大きくなることはない。
【００５１】
ガラス母材研削装置５０は、実線で示されたクラッド３２が破線で示された目標クラッド３４の形状及び寸法となるようにクラッド３２を研削する。そのために制御部６０は、距離ｒ１及びｒ２に基づいてコア３６の中心Ｏ１の位置を認識し、クラッド３２の直径がコア３６の中心Ｏ１の位置を中心とする目標直径Ｔとなるように砥石３０を制御してクラッド３２を研削する。
【００５２】
図８は、設計部６６の設計に基づいて砥石３０がクラッド３２を研削する様子を示す。図８の上部は、ガラス母材４０及び砥石３０の位置関係を示す。図８の下部は、砥石３０の移動の軌跡を示す。
【００５３】
制御部６０は、設計部６６が算出したコア３６の中心Ｏ１の位置を中心とする目標直径Ｔに基づいて、砥石３０をガラス母材３０の中心Ｏ２に向けて往復移動させる。クラッド３２が研削されている間、ガラス母材４０は中心Ｏ２を軸として回転する。制御部６０は、ガラス母材４０の回転量の増加に応じて砥石３０のガラス母材４０に対する移動の軌跡が正弦曲線を描くように砥石３０を移動させる。
【００５４】
コア３６の中心Ｏ１とガラス母材４０の中心Ｏ２とを一致させるためには、破線で示す目標クラッド３４の形状となるまで実線で示すクラッド３２を研削する必要がある。コア３６の中心Ｏ１とガラス母材４０の中心Ｏ２とがずれているために、ガラス母材４０を回転すると、コア３６の中心Ｏ１は、ガラス母材４０の中心Ｏ２を中心にして半径Ｘの円を描く。
【００５５】
図８に示すクラッド３２の研削量は、Ｙ軸から時計回りに約４５度の方向においては、ほぼ０であり、Ｙ軸から時計回りに約２２５度の方向では、最大値の２Ｘにほぼ等しく、一回転した約４５°の方向では再び０となる。このようにクラッド３２の研削量は、ガラス母材４０の軸回りの回転量に応じて周期的に変化する。図８においてガラス母材４０の一回転は、図８の下部に示す砥石３０の移動軌跡の一周期に対応する。したがって、制御部６０は、ガラス母材４０が中心Ｏ２を中心として一回転すると、砥石３０の移動の軌跡を示す正弦曲線が一周期を描くように砥石３０を移動させる。更に、制御部６０は、ガラス母材４０の中心Ｏ２に対するコアの中心Ｏ１の偏心量Ｘに応じて正弦曲線の振幅２Ｘを設定する。
【００５６】
また、ガラス母材４０が一回転する間にクラッド３２の研削を完了することが困難である場合、制御部６０は、ガラス母材４０が一回転する毎に砥石３０がクラッド３２の中心Ｏ２に近づくように移動してもよい。すなわち、制御部６０は、研削の進捗に伴って砥石３０の正弦曲線の折り返し位置を徐々にガラス母材４０の中心Ｏ２へと近づける。
【００５７】
更に、図６に示すように、ガラス母材４０の長手方向の各位置Ａ〜Ｇによって目標直径ＴA〜ＴGの値は異なる。したがって、制御部６０は、ガラス母材４０が長手方向に沿って移動したときに、砥石３０の正弦曲線の振幅２Ｘを目標直径Ｔの設計値に基づいて変更する。
【００５８】
図９（Ａ）及び（Ｂ）は、ガラス母材研削装置５０の他の実施形態を示す。図９（Ｂ）は、図９（Ａ）に示すガラス母材研削装置５０の上面を示す。ガラス母材研削装置５０は、複数種の砥石３０Ａ、３０Ｂ、及び３０Ｃを備えること以外は、図３に示すガラス母材研削装置５０と同様の構成を有する。複数種の砥石３０Ａ、３０Ｂ、及び３０Ｃは、それぞれ目の粗さが異なる。そのため、クラッド３２を研削するのに必要な時間を短縮することができる。図９（Ａ）及び（Ｂ）に示すように複数種の砥石３０Ａ、３０Ｂ、及び３０Ｃは、ガラス母材４０の長手方向に一列に配置されてもよい。更に、研削速度を増加するために複数の砥石３０をガラス母材４０の長手方向に対して垂直な方向に沿って並列に配置してもよい。
【００５９】
複数種の砥石は、粗研削用の砥石３０Ａ及び仕上げ研削用の砥石３０Ｃを含む。粗研削用の砥石３０Ａ及び仕上げ研削用の砥石３０Ｃとの中間の粗さの砥石３０Ｂを用いてもよい。また、砥石の種類は、３種類に限られず、研削の内容に応じて更に多くの種類の砥石を使用してもよい。複数の砥石３０を並列に配置する場合、１〜２個の粗研削用の砥石３０Ａ及び１〜２個の仕上げ研削用の砥石３０Ｃを並列に配置することが好ましい。砥石３０として、ダイヤモンドを用いた砥石、例えば、ダイヤモンドホイールを用いてもよく、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）を用いた砥石を用いてもよい。
【００６０】
図９（Ａ）及び（Ｂ）に示すガラス母材研削装置５０の制御部６０は、設計部６６が算出した目標直径Ｔに基づいて、複数種の砥石３０Ａ、３０Ｂ、及び３０Ｃの移動をそれぞれ個別に制御する。例えば、制御部６０は、ガラス母材４０の中心Ｏ２に対するコアの中心Ｏ１の偏心量Ｘに応じて使用する砥石３０Ａ、３０Ｂ、及び３０Ｃの種類を選択する。
【００６１】
制御部６０は、まず粗研削用の砥石３０Ａを用いてクラッド３２を研削した後、細研削用の砥石３０Ｂを用いてクラッド３２を研削し、最後に仕上げ研削用の砥石３０Ｃを用いてクラッドを研削するように砥石３０Ａ〜３０Ｃの移動を制御する。すなわち、制御部６０は、まず目の粗い粗研削用砥石３０Ａを用いてクラッド３２を深く削り込み、順次目の細かい砥石３０Ｂに交換してクラッド３２を研削する。最後に、制御部６０は、最も目の細かい仕上げ研削用の砥石３０Ｃを用いてクラッド３２の表面を平滑にする。また、制御部６０は、複数種の３０Ａ、３０Ｂ、及び３０Ｃを同時に用いることによって粗い研削から細かい研削までを同時に実施してもよい。
【００６２】
仕上げ研削は、複数の砥石３０を用いて行う必要はなく、単一の砥石３０によって研削してもよい。なお、仕上げ研削は、１回だけでもよく、また必要に応じて複数回繰り返してもよい。
【００６３】
本実施形態のガラス母材研削装置５０によって研削されたガラス母材は、延伸されることによってプリフォームへと加工され、線引きされることにより光ファイバへと加工される。
【００６４】
本実施形態のガラス母材研削装置５０を用いて研削したガラス母材を線引きして得られる光ファイバは、優れた光学特性を有する。特に単一モード光ファイバは、カットオフ波長及び分散特性等について優れた光学特性を有するばかりでなく、光ファイバケーブル敷設時に実施される光ファイバ同士の融着接続において損失が生じない。
【００６５】
(実施例）
コア部材１２として外径２５ｍｍφ、長さ１，２００ｍｍのシングルモード光ファイバ用石英ガラスを使用した。コア部材１２の両端を、ダミー用石英棒１０に溶接して密閉型反応炉２８内のチャック８０に取り付けた。次に、モータ１８によってコア部材１２を４０ｒｐｍの速度で軸回りに回転した。
【００６６】
次に、口径２８ｍｍφの多重管酸水素火炎バーナ２０に酸素ガス７５Ｌ／ｍｉｎ、水素ガス１５０Ｌ／ｍｉｎ、キャリアガスとして酸素ガス９Ｌ／ｍｉｎ、及び原料ガスのＳｉＣｌ４を４０ｇ／ｍｉｎ供給した。更に、バーナ移動用モータ２４によってバーナ２０を、バーナガイド機構２２上において１、６００ｍｍの範囲で１５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で往復移動させた。バーナ２０から噴出された原料ガス及び燃焼ガスによる火炎加水分解によってガラス微粒子が発生し、コア部材１２上に堆積した。反応炉２８内の排気ガスは、排気フード２６から排出された。
【００６７】
多孔質ガラス母材製造装置は、コア部材１２へのガラス微粒子の堆積の進行に伴ってバーナ２０に供給する原料ガスの量を増加した。ガラス微粒子の堆積開始から２４時間後に外径が２４０ｍｍφの多孔質ガラス母材を得た。ガラス微粒子の堆積終了直前においては、酸素ガス１８０Ｌ／ｍｉｎ、水素ガス３６０Ｌ／ｍｉｎ、キャリアガスとして酸素ガス２０Ｌ／ｍｉｎ、及び原料ガスのＳｉＣｌ４が、バーナ２０に供給された。コア部材１２に堆積されたガラス微粒子の平均堆積速度は、３１ｇ／ｍｉｎであった。
【００６８】
得られた多孔質ガラス母材の表面には、凹凸が螺旋状に存在していた。この多孔質ガラス母材を焼却炉に設置して脱水・焼結ガラス化することによって外径１３５ｍｍφの透明なガラス母材４０が得られた。このガラス母材４０の表面を肉眼観察すると、凹凸がガラス母材４０の表面に螺旋状に残っていた。凹凸の深さは最大で１．０５ｍｍであった。
【００６９】
次に、ガラス母材４０を、図３に示すガラス母材研削装置５０のチャック４４Ａ及び４４Ｂに取り付けた。次に、チャック４４Ａ及び４４Ｂをモータ９０によって回転することによって、ガラス母材４０を軸回りに回転させた。測定部６２は、ガラス母材４０が回転している間、ガラス母材４０の長手方向に沿った５０箇所の地点においてガラス母材４０内におけるコア３６の中心Ｏ１の位置を測定した。測定部６２として偏光ガラスを用いた光学計測器を使用した。
【００７０】
次に、設計部６６は、ガラス母材４０の長手方向に沿った各コア位置測定箇所の間の位置において、ガラス母材４０内におけるコア３６の中心Ｏ１の位置を最小自乗法によって推定計算することによってガラス母材４０内におけるコア３６の中心Ｏ１の位置を、ガラス母材４０の長手方向にわたって略連続的に算出した。次に、設計部６６は、ガラス母材４０を線引きして得られる光ファイバの推定カットオフ波長が１．２７μｍとなるように、ガラス母材４０の長手方向にわたってコアの中心Ｏ１の位置を中心とする目標直径Ｔを算出した。設計部６６は、制御部６０に算出結果を出力した。制御部６０は、測定部６２が測定したコアの中心Ｏ１の位置及び設計部６６が算出した目標直径Ｔに基づいて、クラッド３２を研削した。
【００７１】
粗研削用の砥石３０Ａには、目の粗さが＃６０番のダイヤモンドホイールが使用された。制御部６０は、粗研削用の砥石３０Ａの最大削り込み深さを０．７５ｍｍに設定した。更に、砥石３０Ｂには、目の粗さが＃１４０番のダイヤモンドホイールが使用された。制御部６０は、砥石３０Ｂの最大削り込み深さを砥石３０Ａの研削面より更に０．３ｍｍ深くなるように設定した。更に、砥石３０Ｃには、目の粗さが＃６００番のダイヤモンドホイールが使用された。制御部６０は、砥石３０Ｃの最大削り込み深さを砥石３０Ｂの研削面より更に０．０５ｍｍ深くなるように設定した。
【００７２】
ガラス母材研削装置５０は、ガラス母材４０を送り速度５０ｍｍ／ｍｉｎで移動しつつ、設計部６６の設計に基づいて砥石３０Ａ〜３０Ｃを、ガラス母材の中心に向けて往復移動することによってガラス母材４０を１回研削した。ガラス母材４０を研削する間、ガラス母材研削装置５０は、ガラス母材４０の研削部を水で冷却した。上記の研削工程においてガラス母材研削装置５０は、ガラス母材４０の長手方向にわたって略連続的にガラス母材４０の直径がコアの中心Ｏ１の位置を中心とする目標直径Ｔとなるように研削した。
【００７３】
この研削工程によってガラス母材４０の表面は、ほぼ平滑となり、コア３６の中心Ｏ１がガラス母材４０の中心Ｏ２とほぼ一致するようになった。次に、このガラス母材４０について再度上記と同様に、設計部６６は、ガラス母材４０の長手方向にわたるガラス母材４０の仕上げ寸法を決定した。制御部６０は、設計部６６の設計に基づいてガラス母材４０を研削した。このとき、砥石３０として目の粗さが＃６００番のダイヤモンドホイールが使用された。制御部６０は、最大削り込み深さを０．０５ｍｍ、ガラス母材４０の送り速度を５０ｍｍ／ｍｉｎとしてガラス母材４０を一回研削した。この研削によって得られたガラス母材の表面における凹凸の深さは、最大で０．０１ｍｍであった。
【００７４】
上記の研削工程によって得られたガラス母材４０を電気炉によって直径４５ｍｍφに延伸することによりプリフォームが得られた。更に、プリフォームを線引きすることによって外径１２５μｍの光ファイバを製造した。この光ファイバの接続損失、コア３６の偏心率、及び光ファイバの長手方向におけるカットオフ波長λｃの変動幅を測定した。光ファイバの接続損失は、ＯＴＤＲ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｔｉｍｅ  Ｄｏｍａｉｎ  Ｒｅｆｒａｃｔｏｍｅｔｏｒｙ）法を用いて測定した。コア３６の偏心率は、光ファイバ構造測定装置（ｐｈｏｔｏｎ  Ｋｉｎeｔｉｃｓ社製、Ｍｏｄｅｌ  ２４００）を用いて測定した。カットオフ波長λｃの変動幅は、カットオフ波長測定装置を用いて測定した。測定方法は、ＩＴＵ−Ｔ  Ｇ６５０に準じた。
【００７５】
表１は、上記項目を測定した結果を示す。表１に示すように下記に説明する比較例と比較して良好な結果が得られた。
【００７６】
【表１】
0003854843.tif 000002
(比較例）
まず、実施例で説明したのと同様の多孔質ガラス母材製造工程及び脱水・焼結ガラス化工程により外径１３５ｍｍφの透明なガラス母材を得た。ガラス母材の表面における凹凸の深さは、最大１．０３ｍｍであった。更に、ガラス母材の長手方向に沿った５０箇所の地点においてガラス母材４０内におけるコアの中心位置を測定した。測定結果の平均値からガラス母材の長手方向にわたるコア３６の中心の位置を推定するとともに、得られる光ファイバのカットオフ波長が１．２７μｍとなるようにガラス母材の仕上げ寸法を決定した。
【００７７】
次に、ガラス母材をガラス母材研削装置に設置し、コアの中心Ｏ１が、ガラス母材の中心Ｏ２と一致するようにガラス母材を研削した。ただし、実施例と異なり、ガラス母材を研削している間、各ダイヤモンドホイールは、ガラス母材の中心Ｏ２に向けて前後に往復移動することなくガラス母材に対して一定の位置を保った。
【００７８】
次に、研削して得られたガラス母材に対して実施例と同様に仕上げ直径を決定し、ガラス母材を仕上げ研削した。研削には目の粗さが＃６００番のダイヤモンドホイールを使用した。削り込み深さを０．０５ｍｍ、ガラス母材の長手方向に沿った砥石３０の移動速度を５０ｍｍ／ｍｉｎとしてガラス母材を一回研削した。仕上げ研削によって得られたガラス母材の表面における凹凸の深さは最大で０．０１ｍｍであった。
【００７９】
上記の研削工程によって得られたガラス母材を実施例と同様に電気炉で外径４５ｍｍφに延伸してプリフォームに加工した。更に、このプリフォームを線引きすることにより外径１２５μｍの光ファイバに加工した。
【００８０】
この光ファイバの接続損失、コア３６の偏心率、及びガラス母材の長手方向におけるカットオフ波長λｃの変動幅を実施例と同様に測定した。表１に示すように、比較例の接続損失、コア３６の偏心率、及びカットオフ波長λｃの変動幅は、実施例と比較して大きくなった。
【００８１】
以上、本発明を実施形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることができる。そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【発明の効果】
【００８２】
上記説明から明らかなように、本発明によれば平滑な表面及び優れたコア偏心率を有するガラス母材を短時間で製造することができる。そのため、製造されたガラス母材を線引きすることにより得られた光ファイバは、良好な光学特性を有する。特に、単一モード光ファイバは、良好な接続損失、コア偏心率、及びカットオフ波長の均一性を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施形態である多孔質ガラス母材を製造する装置の構成の概略を示す。
【図２】図２は、本発明の一実施形態であるガラス母材研削装置５０の構成の概略を示す。
【図３】図３は、図２に示したガラス母材研削装置５０を、ガラス母材４０の長手方向が見える方向から示す。
【図４】図４（Ａ）及び図４（Ｂ）は、測定部６２によってガラス母材４０内におけるコア３６の中心Ｏ１の位置を測定した結果を示す。
【図５】図５は、図４で説明した偏心量Ｘ１を、ガラス母材４０の長手方向の複数箇所において測定する状況を示す。
【図６】図６は、図５の測定結果に基づいて設計された、ガラス母材４０の長手方向の各複数箇所Ａ〜Ｇにおける目標直径ＴA〜ＴGを示す。
【図７】図７は、設計部６６が設計した結果の一例を示す。
【図８】図８は、設計部６６の設計に基づいて砥石３０がクラッド３２を研削する様子を示す。
【図９】図９（Ａ）及び（Ｂ）は、ガラス母材研削装置５０の他の実施形態を示す。
【表１】表１は、接続損失、コア部偏心率、及びカットオフ波長λｃの変動幅を測定した結果を示す。
【符号の説明】
１０・・・ダミー部、１２・・・コア部材、１４・・・クラッド部、１６・・・多孔質ガラス母材、１８・・・モータ、２０・・・バーナ、２２・・・バーナガイド機構、２４・・・バーナ移動用モータ、２６・・・排気フード、２８・・・反応炉、３０・・・砥石、３２・・・クラッド、３４・・・目標クラッド、３６・・・コア、４０・・・ガラス母材、４２Ａ及び４２Ｂ・・・チャック支持部、４４Ａ、４４Ｂ・・・チャック、５０・・・ガラス母材研削装置、５２・・・軸、６０・・・制御部、６２・・・測定部、６４・・・砥石駆動部、６６・・・設計部、７０・・・標識、８０・・・チャック、９０・・・モータ、Ａ〜Ｇ・・・測定箇所、Ｘ１A〜Ｘ１G・・・偏心量、Ｄ１A〜Ｄ１G・・・ガラス母材の直径、ｒ１A〜ｒ１G・・・クラッド３２の表面からコアの中心Ｏ１までの距離、ＴA〜ＴG・・・目標直径、Ｏ１・・・コア中心、Ｏ２・・・ガラス母材中心
【図１】
0003854843.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003854843.tif 000009
【図８】
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【図９】
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