(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カップ型研削ホイールを用いて欠球の球面研削加工を行う際に欠球の表面中心部に発生する研削残りの測定方法において、被検レンズ表面に微少高低差があれば干渉縞が発生する二光束干渉法により測定し、この干渉縞の有無判断から研削残りの特定を行うことを特徴とする欠球の研削中心残り測定方法。
【請求項２】
前記干渉縞の検出は顕微鏡を用い、該顕微鏡は、対物レンズに対向して垂直に設置された被検物受け雇いを有して被検物受け雇いはＸＹスライドに載り、被検レンズ中心出しが可能なことを特徴とする請求項１の欠球の研削中心残り測定方法。
【請求項３】
前記被検物受け雇いはＸＹスライド上の突き当てを基準に位置決めされていて被検レンズの大きさが変更になった場合、その被検レンズの専用受け雇いの突き当て部は同径のために突き当てに当てるだけで被検レンズの中心出しが可能なことを特徴とする請求項２記載の欠球の研削中心残り測定方法。
【請求項４】
被検物受け雇いを保持するＸＹスライドは１つの操作である方向へ傾けて干渉縞のチルトができることを特徴とする請求項２記載の欠球の研削中心残り測定方法。
【請求項５】
前記被検レンズを保持する受け雇いは焼き入れ等熱処理することにより、硬度Ｈｖ３００〜４００程度に高くしたことを特徴とする請求項２記載の欠球の研削中心残り測定方法。
【請求項６】
被検レンズの検査を、光源からの光をフィルターを通しての強弱調整した光を用いることを特徴とする請求項２記載のレンズ中心研削残り測定方法。
【請求項７】
被検レンズの曲率に合わせて前記対物レンズの倍率は交換できることを特徴とする請求項２記載の欠球の研削中心残り測定方法。
【請求項８】
被検レンズの研削中心残りの大きさを、接眼レンズにスケールのついた測定治具を取り付けて行うことを特徴とする請求項２記載の欠球の研削中心残り測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、計測機器に関するものである。特に本発明は、欠球の研削加工部品の表面中心部研削残りの有無特定をするために光学部品等の研削面を高精度で能率良く計測するための計測機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
このような欠球の研削中心残りは一般的に、図３に示すように被計測物１０１の表面部に収束させた光束１０２を当てて表面部の状態をルーペ等１０３で拡大させて研削中心残り１０４の高低の特定を行っていた。また研削中心残りの大きさはアイゲージ等を当ててアイゲージのスケール目盛りより読み取っていた。
【０００３】
この方法では測定者により、被計測物１０１の研削中心残りの有無判断が異なり、また中心研削残りの大きさの読み方が一定でないために正確な計測が出来ない等の欠点があった。
【０００４】
【発明を解決しようとする課題】
このような一般的な欠球の研削中心残りの有無判定、大きさ測定は上述のような解決すべき欠点を有するものである。
【０００５】
本発明の目的は被計測物の欠球の研削中心残りの有無判断、大きさの測定を精度良く能率良く計測するために二光束干渉方法により正確に計測できること、被検物専用受け雇いを使用することで容易に中心位置合わせができて各種計測物の研削中心残りを測定できること、計測を非接触方法にして被計測物にキズが入らないようにしたことを提供するために考案されたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このため、本発明では、被計測物を載せる受け雇いと、被計測物に対向して設置された接眼レンズ、対物レンズ、光源等を含む計測器とから構成された計測機器において、受け雇いを突き当てにより一定位置に保持させて簡便に中心に位置合わせできること、受け雇いを熱処理等することにより硬度Ｈｖ３００〜４００程度に高くして摩耗及び変形防止をしたこと、受け雇いをＸＹスライドに載せて被計測物の中心出しが容易にできること、ＸＹスライドは１つの操作で所定方向へ傾けて干渉しまのチルトができること、計測を容易にするために光源からの光をフィルターを通して強弱調整できること、計測物に対向する対物レンズはスライド式により簡単に干渉しま出しとピント合わせができること、回転式により被計測物の曲率に合わせた倍率の対物レンズが簡単に設置できることで異なる曲率の被計測物に容易に対応でき、被計測物に対向して設置された対物レンズを非接触式にして被計測物へのキズ発生を防止できること、被計測物の研削中心残りの大きさを測定可能にするために接眼レンズにスケールのついた測定治具を取り付けることができるように考案されたものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施例について、図面を参照して具体的に説明する。
本発明の欠球の研削中心残り測定方法は、
カップ型研削ホイールを用いて欠球の球面研削加工を行う際に欠球の表面中心部に発生する研削残りの測定方法において、被検レンズ表面に微少高低差があれば干渉縞が発生する二光束干渉法により測定し、この干渉縞の有無判断から研削残りの特定を行うことを特徴としている。
【０００８】
図１は、光学部品１を受け雇い１１に入れて金属顕微鏡２は対物レンズ３、接眼レンズ４、光源５からの光をフィルター６を通して光学部品１に当てる。光が光学部品の中心に入るように受け雇い１１が載ったＸＹスライド７を動かして調整する。また、干渉しまをチルトさせるためにＸＹスライド下部の傾角ステージ８を使用することで研削中心残りの有無特定が可能である。
【０００９】
接眼レンズ部にはスケールの入った測定治具９を付けて研削中心残りの大きさが測定可能である。対物レンズは倍率の異なった種類のものをレボルバ１０にセットして被計測物の曲率に合った倍率の対物レンズに簡単に交換できる。光学部品１を入れる受け雇い１１は焼き入れ等熱処理することにより硬度Ｈｖ３００〜４００程度に高くしたこと、受け雇い１１はＸＹスライド上にある突き当て１２に受け雇い突き当て部１３を当てることで中心出しが容易なこと、部品が変更になった場合でも部品専用受け雇いの突き当て部が同径のために突き当てに当てるだけで所定部品の中心出しが容易にできる。
【００１０】
図２は実際に研削中心残り１４があるレンズをこの二光束干渉方法及び装置で測定したものである。
【００１１】
研削中心残り１４の大きさは図１の測定治具９で計測可能である。
【００１２】
測定装置については例として、（株）ニコン製の金属顕微鏡オプチフオト１００Ｓに対物レンズは二光束干渉用ＣＦＩＣ  ＥＰＩ  Ｐｌａｎ  ５倍、２０、５０倍をレボルバに取り付けて使用、接眼レンズはＣＦＷＮ１０倍、光源は落射照明用電源内蔵のハロゲンランプ１２Ｖ１００Ｗに光量調整ボリュームが付随して、フィルターは光学レンズ研削面を計測する場合は緑色フィルターを使用することで計測が容易になる。５倍の対物レンズ使用で測定範囲４ｍｍ、２０倍対物レンズ使用で１ｍｍ、５０倍対物レンズ使用で０．４ｍｍの径範囲が測定可能である。研削中心残りの大きさを測定する治具については（株）ニコン製の測微接眼レンズ１０倍を使用することで分解能０．０１ｍｍまで読み取り可能である。
【００１３】
【発明の効果】
本発明は以上に説明したように、光学部品の研削中心残りの有無を高精度、高能率に計測することができ、測定者が変わっても正確に計測可能であり、計測器が被計測物と非接触のために被計測物表面のキズ発生を防止することができる。また、被計測物は受け雇いに入れる方式のために受け部のキズ発生も防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施例１を示す図である。
【図２】  実施例１の研削中心残りがあるレンズをこの二光束干渉方法、装置で測定した図である。
【図３】  従来例を示す概略図である。
【符号の説明】
１  光学部品
２  金属顕微鏡
３  対物レンズ
４  接眼レンズ
５  光源
６  フィルター
７  ＸＹステージ
８  傾角ステージ
９  測定治具
１０  レボルバ
１１  受け雇い
１２  突き当て
１３  受け雇い突き当て部
１４  研削中心残り（二光束干渉方法）
１０１  被計測物
１０２  光束
１０３  ルーペ
１０４  研削中心残り
【図１】
0003740393.tif 000002
【図２】
0003740393.tif 000003
【図３】
0003740393.tif 000004