(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
種結晶層の種結晶を成長させて多孔質支持体にゼオライト膜を密着して製膜する工程を含む方法であって、前記種結晶層は、種結晶を含有するスラリーを多孔質支持体で濾過して前記多孔質支持体で担持する厚みが実質的に均一な種結晶担持層であることを特徴とするゼオライト膜製膜方法。
【請求項２】
前記種結晶担持層は、厚みが０．１〜２０μｍの範囲内で実質的に均一であることを特徴とする請求項１に記載のゼオライト膜製膜方法。
【請求項３】
前記種結晶層の種結晶を水熱合成により成長させることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載のゼオライト膜製膜方法。
【請求項４】
前記スラリーを前記多孔質支持体でクロスフロー濾過又は全濾過することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のゼオライト膜製膜方法。
【請求項５】
クロスフロー濾過条件は、前記スラリーにおける種結晶濃度５０〜５０００ｐｐｍ、流速０．１〜１０ｌ／分、差圧０．１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2であり、
前記種結晶の平均粒子径Ａと前記多孔質支持体の平均細孔径Ｂの比Ａ／Ｂは０．０１〜１００であることを特徴とする請求項４に記載のゼオライト膜製膜方法。
【請求項６】
全濾過条件は、前記スラリーにおける種結晶濃度０．１〜１００ｐｐｍ、差圧１〜５０ｃｍＨ2Ｏであり、
前記種結晶の平均粒子径Ａと前記多孔質支持体の平均細孔径Ｂの比Ａ／Ｂは０．０１〜１００であることを特徴とする請求項４に記載のゼオライト膜製膜方法。
【請求項７】
前記種結晶の平均粒子径Ａと前記多孔質支持体の平均細孔径Ｂの比Ａ／Ｂを０．０１〜１として、前記種結晶担持層を前記多孔質支持体の細孔内部にのみ形成し、前記多孔質支持体の外面に前記種結晶担持層を形成しないことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のゼオライト膜製膜方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ゼオライト膜の製膜方法に関し、より詳細には、ゼオライト膜を多孔質支持体に形成するゼオライト膜の製膜方法に関する。ゼオライト膜は、結晶中に数オングストロームの細孔を有しており、この細孔を利用した分子ふるいによるガス分離、パーベーパレーション等の分離膜やメンブレンリアクター、あるいはガスセンサー等への応用が考えられている。
【０００２】
本発明のゼオライト膜製膜方法によれば、ゼオライト膜を多孔質支持体に形成することにより、上記用途に用いることのできるゼオライト膜エレメントを製造することができる。
【０００３】
【従来の技術】
ゼオライトの膜化の技術としては各種の手法が検討されている。代表的な製膜方法として、特公平４−８０７２６号公報に記載の様にゼオライト組成のゾルもしくはゲルを支持体で担持した後に水熱処理により結晶化させてゼオライト膜を製造する方法や、また特開平７−８９７１４号公報に示すようにゼオライト組成のゲルを支持体で担持した後に水熱処理を蒸気中で行い結晶化させる方法や、特開平６−９９０４４号公報に記載のようにゼオライトの合成原料を含むゾルあるいはゲルに支持体を浸漬した後、水熱処理を行い支持体上にゼオライト膜を合成する方法等がある。
【０００４】
この中で現在、一般的に検討されている手法が、特開平６−９９０４４号公報に記載のようにゼオライトの合成原料を含むゾルやゲルに支持体を浸漬した後、水熱処理を行い支持体上にゼオライト膜を合成する方法である。この方法では、ゾルあるいはゲル中からゼオライトを構成する原料が供給されて、支持体上にゼオライト膜が形成されるため、単に合成用ゾルに支持体を浸漬して水熱合成を行うだけで支持体表面に製膜できる。しかし、この方法ではゾルやゲル中でも結晶が発生し支持体表面に付着することにより膜欠陥が発生しやすく、高い分離性能が得られなかった。
【０００５】
これを改良するために特開平９−２０２６１５号公報に記載のように膜を支持体の細孔内部に製膜する方法や、「ゼオライト膜による浸透気化分離」（喜多英敏、「膜」、２０（３）、１６９−１８２（１９９５））のように種結晶を支持体上に担持した後で水熱処理により製膜する方法や、特開平７−１０９１１６号公報、あるいは特開平１０−５７７８４号公報に記載のように種結晶を担持した後で液中で結晶が成長しない条件で水熱合成を行い製膜する方法が前記それぞれの公報に示されており、それぞれで分離性能が向上することが確認されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の製膜方法では、複雑な形状の支持体や大面積の支持体に欠陥のない均一なゼオライト膜を効率よく製膜することは困難であった。本発明は、複雑な形状の支持体や大面積の支持体に欠陥のない厚さが均一なゼオライト膜を効率よく製膜することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、種結晶層の種結晶を成長させて多孔質支持体にゼオライト膜を密着して製膜する工程を含む方法であって、前記種結晶層は、種結晶を含有するスラリーを多孔質支持体で濾過して前記多孔質支持体で担持する厚みが実質的に均一な種結晶担持層であるゼオライト膜製膜方法により上記目的を達成することができる。このゼオライト膜製膜方法は、次のようにすることができる。
【０００８】
前記種結晶担持層は、厚みが０．１〜２０μｍの範囲内で実質的に均一にすることができる。
前記種結晶層の種結晶を水熱合成により成長させることができる。
前記スラリーを前記多孔質支持体でクロスフロー濾過又は全濾過することができる。
クロスフロー濾過条件を、前記スラリーにおける種結晶濃度５０〜５０００ｐｐｍ、流速０．１〜１０ｌ／分、差圧０．１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2にし、前記種結晶の平均粒子径Ａと前記多孔質支持体の平均細孔径Ｂの比Ａ／Ｂを０．０１〜１００にすることができる。
【０００９】
全濾過条件を、前記スラリーにおける種結晶濃度０．１〜１００ｐｐｍ、差圧１〜５０ｃｍＨ2Ｏにし、前記種結晶の平均粒子径Ａと前記多孔質支持体の平均細孔径Ｂの比Ａ／Ｂを０．０１〜１００にすることができる。
前記種結晶の平均粒子径Ａと前記多孔質支持体の平均細孔径Ｂの比Ａ／Ｂを０．０１〜１として、前記種結晶担持層を前記多孔質支持体の細孔内部にのみ形成し、前記多孔質支持体の外面に前記種結晶担持層を形成しないことができる。
【００１０】
上記本発明のゼオライト膜製膜方法により、多孔質支持体にゼオライト膜を形成してゼオライト膜エレメントを得ることができる。
【００１１】
［発明の着想］
上記従来の製膜方法の中で、大面積、複雑形状の支持体への製膜を考えた場合、種結晶を支持体で担持して、前記種結晶を成長させて膜化する手法が最も有効と考えられる。この場合に膜性能に影響を及ぼす重要な要因として、種結晶の担持状態と水熱合成時の条件があげられる。このうち水熱合成時の条件としては、前述のように液中で結晶化が起きない条件で製膜することで高い性能が得られることは明らかになっているが、種結晶の担持方法についてはあまり議論されていない。
【００１２】
本発明者らは種結晶の担持状態の膜性能に対する影響について検討した結果、種結晶層が一定の厚さで均一に担持されていないとゼオライト膜化した場合に膜欠陥が生じやすいとの結論に至った。即ち、種結晶層が厚すぎる場合には層の一部に結晶化しない部分が残り、薄すぎ均一でない場合には支持体においてゼオライト膜を形成しようとした領域を十分に覆う膜が形成されない。しかし、従来検討されている種結晶の担持方法であるディップコートなどでは小さな支持体には対応できるが、大きな支持体やモノリス等の形状が複雑な支持体では担持層の厚みムラが大きくなるために再現性良く製膜を行うことはできなかった。
【００１３】
そこで、本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、大きな支持体やモノリス等の形状が複雑な支持体であっても、種結晶を含有するスラリーを多孔質支持体で濾過することにより前記多孔質支持体で厚みが実質的に均一な種結晶層を担持することができる、ということを見出し本発明を完成するに至った。以下、まず、本発明の概要について説明する。
【００１４】
［発明の概要］
ゼオライト膜の製膜過程を示した模式図が図１及び図２である。図２に示したのが種結晶を用いない場合の製膜過程で、液（結晶核を発生させることができる液）２１の中で発生した結晶核２２が支持体２３の表面に付着しこれが成長して成長した結晶２２’になり、さらに膜２４となる。しかし、核発生、結晶成長は全くランダムに進行するために、図２で示すような膜欠陥２５が生じやすい。
【００１５】
このような問題点を解消する方法として、図１に示すように予め支持体３の表面で種結晶２を担持し、担持した種結晶のみが成長するような条件で液（種結晶を成長させることができる液）１の中で水熱合成を行えば、前記種結晶は、成長した結晶２’になり、さらには欠陥のないゼオライト膜４が製膜できると考えられ、結晶成長の条件については前述のような特許公報が公開されている。
【００１６】
従来、種結晶の担持方法としては各種方法が検討されており、その中で支持体の形状による制限の少ない種結晶担持方法として、ゼオライト種結晶を溶媒中に分散したスラリーを作成し、これを用いて担持する方法が考えられる。最も単純な方法としては、ディップコートにより支持体表面で種結晶を担持する方法が考えられる。しかし、実際にこの方法による担持を行い、ゼオライト膜を製膜してみたところ、低い分離性能の膜しか得られなかった。
【００１７】
この原因を検討したところ、種結晶担持層の厚みムラによることが明らかになった。場所によって層の厚みに差がある場合には、水熱合成による結晶成長後もこのムラはなくならず、厚みが均一な膜を製膜することは困難であり、種結晶担持層に厚い部分や薄い部分がある場合には、厚い部分と薄い部分で欠陥が生じやすいために高い性能のゼオライト膜は製膜できなかったことがわかった。
【００１８】
これらの欠陥の発生を図で示したのが、図３であり、支持体に形成された種結晶担持層の厚さが厚すぎる場合には、厚すぎる部分の種結晶の全てが結晶化するのではなく支持体により近い側の種結晶は結晶化せず支持体とゼオライト膜との間に欠陥が生じやすい。この場合には、ゼオライト膜が支持体上に密着していないため、ゼオライト膜の剥離やクラックが生じやすい。
【００１９】
また、支持体に形成された種結晶担持層が薄すぎる場合には、種結晶担持層の種結晶の塗布されていない部分（種結晶の存在率が小さい部分）にはゼオライト膜が形成されず支持体表面が露出したままになり、種結晶層の担持によりゼオライト膜を形成しようとした支持体領域の全体を覆うゼオライト膜が形成されないために、欠陥が生じてしまう。
【００２０】
以上の結果をまとめると理想的な種結晶の担持状態は、種結晶は一定値以下の厚みで均一に支持体で担持していることであると考えられる。このような種結晶の担持層の厚みを検討した結果、少なくとも０．１〜２０μｍの範囲であれば前述のような欠陥が生じないことが明らかになった。なお、この０．１〜２０μｍの範囲は、実施例に用いた支持体の条件によって規定されるが、支持体としてさらに均一なものが得られればそれに依存する。
【００２１】
また、種結晶担持層の厚みは、好ましくは０．１〜２０μｍの範囲内において、種結晶を欠陥の発生なしに成長させて欠陥のないゼオライト膜を製膜することができる程度に実質的に均一であればよく、例えば、１ｍｍ2における最大厚みＬと最小厚みＳと種結晶径ｒの関係（Ｌ−Ｓ）／ｒが５以下（好ましくは３以下、より好ましくは１以下）である程度に均一であればよい。
【００２２】
次に、このような理想的な種結晶の担持状態を実現するために各種担持方法を検討した結果、簡便性等から、種結晶を分散したスラリーを用いて行う担持方法が最も効率が良いと判断した。しかし、通常のディップコートでは前述のように厚みムラが生じやすいため、均一に担持するための手法を検討した結果、スラリーを多孔質支持体で濾過することで多孔質支持体は種結晶層を均一な厚さで担持することができることが確認できた。
【００２３】
種結晶を含有するスラリーを多孔質支持体で濾過して前記多孔質支持体で種結晶層を担持する際の濾過方法としては、図４のように、全濾過法とクロスフロー濾過法が考えられる。全濾過による種結晶層の担持は、ディップコートのように毛管凝縮による支持体内へのスラリー溶媒の浸透を利用した担持ではなく、図４の上段に示すように圧力をかけて強制的に種結晶担持層を支持体に形成するので、スラリー調製条件、濾過条件を適正化すれば、厚みが均一な種結晶層を支持体で担持することが可能になる。
【００２４】
またクロスフロー濾過とは、図４の下段に示すように種結晶含有スラリーを支持体における種結晶を担持させたい面に流し、差圧により液（分散媒）が支持体の壁面を透過するように前記壁面に対して直角方向に流れて、粒子（分散質）、この場合はゼオライト種結晶の一部が支持体の表面に捕捉される。しかし、前記スラリーを流す速度が大きい場合には捕捉された粒子がかき取られ再び前記スラリー中へ分散していき支持体表面層の厚みは一定に保たれ、差圧と流速を制御することでゼオライト膜の厚さもコントロール（制御）できる。
【００２５】
また上記の各方法では、粒子サイズ（寸法）によって種結晶は支持体の細孔内部にも入り込む場合がある。よって条件を更に絞り込めば、支持体の外側表面だけでなく支持体細孔内部の内壁面にのみ一定の厚みで支持体は種結晶層を担持することも可能になる。
【００２６】
担持状態に影響を及ぼす主な要因としては、スラリーにおける種結晶の濃度、流速、差圧、ゼオライト種結晶の平均粒子径と支持体の平均細孔径の比があげられ、各種条件で試験を行った結果、以下の範囲が適正であることが明らかになった。
【００２７】
スラリーにおけるゼオライト種結晶の濃度範囲は全濾過で０．１〜１００ｐｐｍ（好ましくは０．１〜５０ｐｐｍ、より好ましくは０．１〜１０ｐｐｍ）、クロスフロー濾過で５０〜５０００ｐｐｍ（好ましくは１００〜３０００ｐｐｍ、より好ましくは５００〜１０００ｐｐｍ）が適切であり、それぞれの濾過における前記濃度範囲の最小値よりも濃度が薄い場合は種結晶の担持に要する時間が長くなり過ぎ実用的ではなく、それぞれの濾過における前記濃度範囲の最大値よりも濃度が濃い場合は他の条件を変えても厚すぎる膜しか担持できない。全濾過とクロスフロー濾過で前記濃度範囲が異なるのは、クロスフロー濾過では多孔質支持体の表面に担持された種結晶層をはがす力も加わるため、全濾過よりも高い濃度にする必要があるからである。
【００２８】
クロスフロー濾過の場合の流速は０．１〜１０ｌ／分（好ましくは１〜１０ｌ／分、より好ましくは１〜３ｌ／分）が適切であり、０．１ｌ／分よりも遅い場合は支持体表面に種結晶が厚く付着してしまい、１０ｌ／分よりも速い場合には細孔内部に捕捉される種結晶量が少なくなり効率が悪くなる傾向がある。差圧の適正範囲はクロスフロー濾過で０．１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2（好ましくは０．１〜１ｋｇｆ／ｃｍ2、より好ましくは０．１〜０．５ｋｇｆ／ｃｍ2）、全濾過で１〜５０ｃｍＨ2Ｏ（好ましくは１〜３０ｃｍＨ2Ｏ、より好ましくは５〜２０ｃｍＨ2Ｏ）であり、差圧がそれぞれの前記適正範囲の最大値よりも高い場合には支持体の表面に厚い層ができてしまい、それぞれの前記適正範囲の最小値よりも低い場合には種結晶層の厚みムラが大きくなってしまう。
【００２９】
ゼオライト種結晶の平均粒子径Ａと多孔質支持体の平均細孔径Ｂの比Ａ／Ｂは、好ましくは、クロスフロー濾過の場合０．０１〜１００の範囲（好ましくは０．１〜１０、より好ましくは０．３〜５）であり、全濾過の場合０．０１〜１００の範囲（好ましくは０．０１〜５０、より好ましくは０．１〜１０、さらに好ましくは０．３〜５）にあることが重要であり、それぞれの濾過についての前記範囲の最小値よりも小さい場合には種結晶が支持体細孔を透過してしまう傾向があり、それぞれの濾過についての前記範囲の最大値よりも大きい場合には細孔内部に種結晶が入り込まない傾向があるために種結晶を十分に担持できなくなってしまったり、あるいは担持されても種結晶層が厚くなってしまう。
【００３０】
【好適な実施形態】
〔ゼオライト膜製膜方法〕
本発明のゼオライト膜製膜方法は、種結晶層の種結晶を成長させてゼオライト膜を製膜する工程の前に、種結晶を含有するスラリーを調整するスラリー調整工程、及び、種結晶を含有するスラリーを多孔質支持体で濾過して前記多孔質支持体で種結晶層を担持する種結晶層担持工程を設けることができる。
【００３１】
種結晶層を成長させてゼオライト膜を製膜する方法としては、好ましくは水熱合成法を用いる。水熱合成法としては、各種手法が適用可能だが、例として特開平１０−５７７８４号公報に記載のような方法が可能である。出発原料として、好ましくは、ゼオライト骨格金属源、アルカリ金属源、水を用い、必要に応じて結晶化促進剤を添加することができる。
【００３２】
ゼオライト骨格金属源としては、従来のゼオライト合成に用いられている各種の金属源、例えば、シリカやアルミナが適用可能である。シリカ源としてシリカコロイドゾル、水ガラス、アルミナ源として硝酸アルミニウム、アルミン酸ナトリウム、ベーマイトゾル、シリカーアルミナ複合コロイドを用いる。またアルカリ金属源としては、水酸化ナトリウムや水酸化カリウム等が用いられる。
【００３３】
結晶化促進剤としても、従来のゼオライト製造に関して使用されているもの、例えば、テトラプロピルアンモニウムブロマイド（ＴＰＡＢｒ）、水酸化テトラブチルアンモニウム等を添加することができる。
【００３４】
合成可能なゼオライトの結晶系としてはＭＦＩ、Ａ型、Ｙ型、Ｘ型等の各種ゼオライトがあり、また骨格金属源としては前記以外に鉄、クロム、チタン等各種金属源が適用可能である。
【００３５】
混合の手法としては、撹拌混合のほかに一般的なボールミル、アトライター等の通常の粉砕混合の他に、ダイヤモンドファインミル（三菱重工株式会社製）のようなサブミクロンオーダーの粉砕・分散が可能な特殊なミルの適用も可能である。また、粉砕メディアである玉石の材質としては、好ましくは、水熱合成用溶液中に不純物が混入しにくい材質であり、例えばジルコニア等各種の材質が適用可能である。さらに凝集粒子を分散させるために超音波を利用することも可能である。
【００３６】
使用する種結晶は、合成するゼオライト種によって各種のゼオライト結晶が使用可能である。種結晶としては市販のゼオライト結晶、あるいはこのゼオライト結晶を粉砕し微粒子化した結晶、この他に各種方法で合成したゼオライト結晶が使用可能である。また、本発明における「種結晶」は、ゼオライト種結晶に変化する前の段階のゼオライト種結晶の前駆体を包含するものとする。
【００３７】
種結晶におけるゼオライトの結晶粒径は、例えば０．０１〜１０μｍにすることができ、好ましくは０．０１〜５μｍ（より好ましくは０．０１〜１μｍ）である。
【００３８】
多孔質支持体の材質としては、例えば、単一元素の金属、合金、セラミック等が考えられる。形状に関しては、ゼオライトが成長し得る形状であればよく、膜状、板状、筒状、ペレット状、中空糸状、ハニカム状等の各種の形状が考えられる。製造方法としても押出成型、プレス成型、鋳込み成型等の製造方法が支持体形状に合わせて選択可能である。また支持体構造は、２層以上の層からなる構造でもよく、２層目以降はディップコートなどの手法が利用できる。
【００３９】
多孔質支持体は、種結晶を含有するスラリーを濾過して種結晶を担持できるものであればよいが、多孔質支持体の気孔率は好ましくは１０〜６０％（より好ましくは２０〜５０％、さらに好ましくは３０〜４５％）である。
【００４０】
水熱処理（水熱合成）は、好ましくは、圧力容器中で一般的に８０〜２５０℃程度で１時間〜１８０時間程度行われる。水熱処理後、ゼオライト膜を担持した支持体は洗浄、乾燥した後、熱処理を行い、結晶化促進剤等の熱分解性成分を除去する。
【００４１】
本発明のゼオライト膜製膜方法によれば、ゼオライト膜の厚みが０．１〜２０μｍの範囲内にあり厚みが均一で厚みばらつきが少なく欠陥のないゼオライト膜を多孔質支持体に形成することができる。例えば、１ｍｍ2における最大厚みＬと最小厚みＳと種結晶径ｒの関係（Ｌ−Ｓ）／ｒが５以下（さらには３以下、さらには１以下）のゼオライト膜を形成することができる。
【００４２】
【実施例】
［実施例１］
平均細孔径１μｍの管状のαアルミナ多孔質支持体（外径１０ｍｍ×内径７ｍｍ、長さ１５０ｍｍ）に、粒径０．４μｍのＡ型ゼオライト粉末を水に分散した懸濁液（スラリー）を用いてクロスフロー濾過方式により、前記支持体上に種結晶を担持した。
【００４３】
クロスフロー濾過条件は、懸濁液の種結晶濃度４０００ｐｐｍ、流量（流速）５ｌ／分、操作圧力（差圧）０．２ｋｇｆ／ｃｍ2で行った。流量が大きいために支持体表面にゼオライト種結晶の堆積層は確認できなかったが、支持体の細孔内部には捕捉されたゼオライト種結晶層が厚さ５μｍで確認できた。
【００４４】
次に水熱合成によるゼオライト膜の製膜を行った。原料として、シリカ源にケイ酸ナトリウム、アルミナ源に水酸化アルミニウム、アルカリ源に水酸化ナトリウム、逆浸透水を用い、各成分のモル比がＮａ2Ｏ：Ａｌ2Ｏ3：ＳｉＯ2：Ｈ2Ｏ＝９０：１：９：５７６０となるように前記原料を混合して、水熱合成用の溶液を調整した。この溶液中に前記種結晶を担持した支持体を浸漬し、８０℃で水熱合成によりＡ型ゼオライト膜を製膜した。
【００４５】
５時間水熱合成後、洗浄、乾燥したサンプル（ゼオライト膜を製膜した多孔質支持体）のゼオライト膜をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡、以下同様）により５００倍で観察した結果、立方晶が一面に繋がり多結晶膜を形成していることが確認でき、ＸＲＤ（Ｘ線回折、以下同様）からこの結晶はＡ型ゼオライトであることが確認できた。また、水熱合成された膜の断面をＳＥＭ（１０００倍）により観察した結果、厚さ約７μｍの薄いゼオライト層がアルミナ支持体の細孔内に形成されていることが確認できた。
【００４６】
［実施例２］
使用した種結晶を粒径３μｍの種結晶とし、操作圧力を０．３６ｋｇｆ／ｃｍ2、流速を２．５ｌ／分とした以外は実施例１と同じ手法でゼオライト膜を作製した。作製過程において種結晶担持後の支持体の断面をＳＥＭにより観察した結果、厚さ１４μｍの薄いゼオライト種結晶担持層がアルミナ多孔質支持体表面に形成されていることが確認できた。また、水熱合成後のＸＲＤ測定からこの水熱合成された膜を形成している結晶はＡ型ゼオライトであることが確認できた。
【００４７】
［実施例３］
スラリー濃度を２０００ｐｐｍとした以外は実施例２と同じ手法でゼオライト膜を作製した。作製過程において種結晶担持後の支持体の断面をＳＥＭにより観察した結果、厚さ９μｍの薄いゼオライト種結晶担持層がアルミナ多孔質支持体の細孔内部に形成されていることが確認できた。また水熱合成後のＸＲＤ測定からこの水熱合成された膜を形成している結晶はＡ型ゼオライトであることが確認できた。
【００４８】
［実施例４］
流速を０．５ｌ／分、濃度を５００ｐｐｍ、操作圧力を０．１ｋｇｆ／ｃｍ2とした以外は実施例１と同じ手法でゼオライト膜を作製した。作製過程において種結晶担持後の支持体の断面をＳＥＭにより観察した結果、厚さ８μｍの薄いゼオライト種結晶担持層がアルミナ多孔質支持体の外表面および細孔内部に形成されていることが確認できた。また水熱合成後のＸＲＤ測定からこの水熱合成された膜を形成している結晶はＡ型ゼオライトであることが確認できた。
【００４９】
［実施例５］
多孔質支持体の細孔径を０．２μｍ、種結晶の粒径を０．１μｍとした以外は実施例１と同じ手法でゼオライト膜を作製した。作製過程において種結晶担持後の支持体の断面をＳＥＭにより観察した結果、厚さ１μｍの薄いゼオライト種結晶担持層がアルミナ多孔質支持体の外表面および細孔内部に形成されていることが確認できた。また水熱合成後のＸＲＤ測定からこの水熱合成された膜を形成している結晶はＡ型ゼオライトであることが確認できた。
【００５０】
［実施例６］
スラリーにおける種結晶濃度を５０ｐｐｍ、差圧を２０ｃｍＨ2Ｏとして全濾過で種結晶を多孔質支持体に担持させた以外は、実施例１と同じ手法でゼオライト膜を製膜した。製膜過程において種結晶担持後の支持体の断面をＳＥＭにより観察した結果、厚さ７μｍの薄いゼオライト種結晶担持層がアルミナ多孔質支持体の外表面及び細孔内部に形成されていることが確認できた。また水熱合成後のＸＲＤ測定からこの水熱合成された膜を形成している結晶はＡ型ゼオライトであることが確認できた。
【００５１】
［実施例７］
種結晶としてＹ型ゼオライトの種結晶を用いる以外は実施例１と同じ手法でゼオライト膜を作製した。作製過程において種結晶担持後の支持体の断面をＳＥＭにより観察した結果、厚さ５μｍの薄いゼオライト種結晶担持層がアルミナ多孔質支持体の細孔内部に形成されていることが確認できた。また水熱合成後のＸＲＤ測定からこの水熱合成された膜を形成している結晶はＦＡＶゼオライトであることが確認できた。
【００５２】
［比較例１］
スラリーにおける種結晶濃度を１００００ｐｐｍとした以外は、実施例１と同じ手法でゼオライト膜を作製した。作製過程において種結晶担持後の支持体の断面をＳＥＭにより観察したところ、種結晶は厚さ２５０μｍで支持体に担持されており、水熱合成後の支持体の破断面の観察でもゼオライト膜が製膜されていない欠陥部分が確認できた。
【００５３】
［比較例２］
流速を３０ｌ／分とした以外は、実施例１と同じ手法によりゼオライト膜を作製した。作製過程において種結晶担持後に支持体の破断面の観察をしたところ、種結晶担持層の厚さは１μｍ以下で、部分的に種結晶が担持されていない部分も確認できた。水熱合成後に支持体の破断面を観察しても、ゼオライト膜が製膜されていない欠陥部分が確認できた。
【００５４】
［比較例３］
種結晶の担持をディップコート法により行う以外は、実施例１と同じ方法でゼオライト膜の製膜を行った。種結晶担持後に支持体の破断面の観察をしたところ、種結晶担持層の厚さは７μｍ以下で、膜厚にはバラツキが大きかった。水熱合成後に支持体の破断面を観察しても、ゼオライト膜が製膜されていない欠陥部分が確認できた。
【００５５】
［実施例８］
浸透気化（ＰＶ）法により、エタノール水溶液系での実施例１〜７および比較例１〜３の各々で得られたゼオライト膜の分離性能の評価を行った。図５に示すようなＰＶ装置を用いて、供給液に１０重量％エタノール水溶液を用いて、３０℃で行った。供給液および透過液の濃度はガスクロマトグラフにより測定した。分離係数αは次の式より計算して求めた。
【００５６】
【数１】
0003764309.tif 000002
【００５７】
ここで、Ｘ1はエタノールの供給側モル濃度（ｍｏｌ％）、Ｘ2は水の供給側モル濃度（ｍｏｌ％）、Ｙ1はエタノールの透過側モル濃度（ｍｏｌ％）、Ｙ2は水の透過側モル濃度（ｍｏｌ％）をそれぞれ示す。
【００５８】
分離試験結果（ゼオライト膜のＰＶ特性評価結果）を表１に示す。この結果から分かるように種結晶の担持層を制御したＡ型ゼオライト膜は全て１００００以上の高い分離性能を示した。Ｙ型についても１００程度の分離性能を示す膜が得られた。しかし比較例に示したように、種結晶の担持層が厚い場合や薄い場合は、膜欠陥が生じやすく、ＰＶ性能が低くなってしまった。またディップコートによる担持では、濾過法に比べ厚みムラが大きく製膜後の膜に欠陥が生じやすいために、ＰＶ性能が低くなってしまった。
【００５９】
【表１】
0003764309.tif 000003
【００６０】
［実施例９］
平均細孔径１μｍの図６に示すような直径が３０ｍｍでその中に直径２ｍｍのチャンネルを９１有するαアルミナ支持体に、粒径０．５μｍのＭＦＩゼオライト粉末を水に分散した懸濁液を用いてクロスフロー濾過方式により、前記支持体上に種結晶を担持した。クロスフロー濾過条件は、スラリーにおける種結晶濃度４０００ｐｐｍ、流量５ｌ／分、操作圧力（差圧）０．２ｋｇｆ／ｃｍ2で行った。流量が大きいために支持体表面にゼオライト種結晶の堆積層は確認できなかったが、前記支持体の細孔内部には捕捉されたゼオライト種結晶が確認でき、その厚みは６μｍであった。
【００６１】
水熱合成は出発原料として、水酸化ナトリウム、ＴＰＡＢｒ（テトラプロピルアンモニウムブロマイド）、蒸留水、シリカゾル（触媒化成工業製：ＳＩ−３０）を用いた。これら原料を、ＴＰＡＢｒ：Ｎａ2Ｏ：ＳｉＯ2：Ｈ2Ｏ＝０．１：０．０５：０．１：８０の比になるように混合し、ゼオライト合成用のゾルとした。このゾルはマグネティックスターラーで撹拌混合した後、ダイヤモンドファインミル（三菱重工株式会社製）を用いて、ジルコニア製玉石（径０．３ｍｍ）により粉砕混合した。このゾルと種結晶を担持した支持体をオートクレーブに設置して、オートクレーブ内を真空に引き、支持体細孔内の気泡を除去し細孔内を合成用のゾルで満たした後、１７０℃で７２時間水熱合成を行った。
【００６２】
水熱合成終了後、支持体は８０℃の温水で洗浄し、さらに超音波洗浄し、蒸留水置換した後、１００℃で２４時間乾燥した。その後６００℃で２時間焼成し、結晶中のＴＰＡＢｒを除去した。ゼオライト膜はＸＲＤの結果より、ＭＦＩであることが確認できた。またＸＲＤの結果から細孔径は約０．６ｎｍと考えられ、これは一般的なＭＦＩの細孔径に一致した。
【００６３】
［比較例４］
スラリーにおける種結晶濃度を１００００ｐｐｍとした以外は、実施例９と同じ方法でゼオライト膜の製膜を行った。製膜の過程において種結晶担持層の断面をＳＥＭにより観察したところ、種結晶層は厚さ５０μｍで支持体に担持されており、水熱合成後の支持体の破断面の観察でも製膜されていない部分が確認できた。
【００６４】
［比較例５］
種結晶を用いずに、実施例９と同様の方法で水熱合成を行いゼオライト膜を製膜した。
【００６５】
［実施例１０］
実施例７、９、比較例４、５で製膜したゼオライト膜についてガス分離試験を行った結果（透過率、透過係数比）を表２に示す。ガス分離試験は以下の方法により行った。まず、モノリスサンプルは図７のようにサンプルの両端をサンプル固定治具を介して被験ガスの流路に連結する。次に、被験ガスとして二酸化炭素１０容量％、窒素９０容量％の混合気体をサンプルの内面側から供給し、ゼオライト膜を透過し支持体の外に出た気体を集めて、ガスクロマトグラフで分析し、次式により透過率および分離係数を算出した。
【００６６】
【数２】
0003764309.tif 000004
【００６７】
上記式において、Ｑは透過率（ｍｏｌ／ｍ2・ｓ・Ｐａ）、Ａは透過量（ｍｏｌ）、Ｐrは供給側圧力（Ｐａ）、Ｐpは透過側圧力（Ｐａ）、Ｓは膜面積（ｍ2）、Ｔは時間（ｓ）を表す。
【００６８】
また分離係数は次式より算出した。なお、次式のガス種１は二酸化炭素、ガス種２は窒素である。
【００６９】
【数３】
0003764309.tif 000005
【００７０】
上記式において、Ｐrは供給側ガスの全圧（Ｐａ）、Ｐpは透過側ガスの全圧（Ｐａ）、Ｒpは透過側流量（ｍｏｌ／分）、Ｐaは開放圧（Ｐａ）、Ｔは温度（
Ｋ）、Ｔoは標準温度（Ｋ）、Ｐoは標準圧（Ｐａ）、Ｃp1は透過側ガス（１）の濃度（％）、Ｃr1は供給側ガス（１）の濃度（％）、Ｃp2は透過側ガス（２）の濃度（％）、Ｃr2は供給側ガス（２）の濃度（％）、Ｑ1はガス（１）の透過率（ｍｏｌ／ｍ2・ｓ・Ｐａ）、Ｑ2はガス（２）の透過率（ｍｏｌ／ｍ2・ｓ・Ｐａ）、α*は分離係数（透過係数比）である。
【００７１】
表２のゼオライト膜のガス分離性能の結果からわかるように、本発明で作製したサンプルは、比較例で示した種結晶層の厚みが適正でなかったサンプルや合成時に種結晶を用いていないサンプルよりも高い分離性能を示すことが確認できた。
【００７２】
先のＰＶ試験及びガス分離試験の結果より、濾過方式で担持厚みを制御しながら種結晶を担持して作製したサンプルは、担持層の厚みが適正でない場合や他の担持方法、あるいは種結晶を用いない場合に比べて、高い性能を示し、サンプルの用途が異なっても高い性能を示すことが確認できた。
【００７３】
【表２】
0003764309.tif 000006
【００７４】
【発明の効果】
請求項１〜７のゼオライト膜製膜方法は、種結晶層の種結晶を成長させて多孔質支持体にゼオライト膜を密着して製膜する工程を含む方法であって、前記種結晶層は、種結晶を含有するスラリーを多孔質支持体で濾過して前記多孔質支持体で担持する厚みが実質的に均一な種結晶担持層であるので、次の基本的な効果を奏することができる。
【００７５】
支持体に欠陥のない厚みが均一なゼオライト膜を効率よく製膜することができる。特に、複雑な形状の支持体、あるいは大面積の支持体であっても、欠陥のない厚みが均一なゼオライト膜を効率よく製膜することができる。
【００７６】
請求項２〜７のゼオライト膜製膜方法は、前記それぞれの構成をさらに具備するので、上記基本的な効果が顕著である。
【００７７】
本発明のゼオライト膜製膜方法により、多孔質支持体にゼオライト膜を形成して得られたゼオライト膜エレメントは、ゼオライト膜に欠陥がなく厚みが均一である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のゼオライト膜製膜方法における種結晶を用いる製膜過程を示した模式図である。
【図２】図２は、従来のゼオライト膜製膜方法における種結晶を用いない製膜過程を示した模式図である。
【図３】図３は、ゼオライト膜における欠陥の発生を示す図である。
【図４】図４は、本発明のゼオライト膜製膜方法において、種結晶を含有するスラリーを支持体で濾過することにより種結晶を支持体で担持する方法を示す図であって、上段が全濾過の場合であり、下段がクロスフロー濾過の場合である。
【図５】図５は、ゼオライト膜の分離性能を評価するためのＰＶ（浸透気化）装置の概略を示す図である。
【図６】図６は、略円柱形状のαアルミナ支持体であってその長手方向に９１の略円柱形状の穴を有するもの（９１穴モノリス基材）の端面を示す図である。
【図７】図７は、ガスが流れる方向のガス分離試験サンプルの概略断面図である。
【符号の説明】
１、２１…液
２…種結晶
２２…結晶核
２’、２２’…成長した結晶
３、２３…支持体
４、２４…ゼオライト膜
２５…膜欠陥
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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