(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の直径の外周を有する円柱状回転軸に装填して被洗浄物を洗浄するのに用いられる円筒状のロールスポンジにおいて；
弾性を有する湿潤状態と固化した乾燥状態とが可逆的な材料をもって円筒を形成し；
前記円筒を、湿潤状態で前記円筒の内周が前記第１の直径より大なる第２の直径になるように維持して乾燥し、前記第１の直径より大なる直径の内周を有する固化した円筒状に形成した；
ロールスポンジ。
【請求項２】
前記材料をもって形成された円筒は、湿潤状態で前記第１の直径と同等かまたは前記第１の直径より小なる第３の直径の内周を有する、請求項１に記載のロールスポンジ。
【請求項３】
第１の直径の外周を有する円柱状回転軸に装填して被洗浄物を洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジの製造方法において；
弾性を有する湿潤状態と固化した乾燥状態とが可逆的な材料をもって円筒を形成する工程と；
前記円筒を、湿潤状態で前記円筒の内周が前記第１の直径より大なる第２の直径になるように維持して乾燥する工程とを備える；
ロールスポンジの製造方法。
【請求項４】
第１の直径の外周を有する円柱状回転軸に装填して被洗浄物を洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジの製造具において；
円筒状の心棒円筒を長手方向に複数のセグメントに分割し、該複数のセグメントを組み合わせた状態の前記心棒円筒の外周の直径が、前記第１の直径より細く形成した前記円筒状ロールスポンジの湿潤状態における内周の直径と同等またはそれより細い分割心棒と；
前記心棒円筒の内周側に嵌合するテーパ心棒であって、前記テーパの先細の先端の直径が、前記組み合わせた状態にある心棒円筒の端部の内周の直径よりも小さく、該テーパ心棒を前記分割心棒の内周側に挿入したとき、該分割心棒の外周の直径が前記第１の直径よりも大なる直径になるように形成したテーパ心棒とを備える；
ロールスポンジ製造具。
【請求項５】
第１の直径の外周を有する円柱状回転軸に装填して被洗浄物を洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジを前記回転軸に取り付ける方法において；
弾性を有する湿潤状態と固化した乾燥状態とが可逆的な材料をもって形成された円筒材を、湿潤状態に維持する工程と；
前記円筒を、湿潤状態に維持したまま前記内周が前記第１の直径より大なる第２の直径になるように維持して乾燥する工程と；
前記乾燥したロールスポンジを前記回転軸に挿入する工程と；
前記回転軸に挿入したロールスポンジを湿潤状態にする工程とを備える；
ロールスポンジを回転軸に取り付ける方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロールスポンジ、ロールスポンジの製造方法、ロールスポンジの製造具及びロールスポンジを軸に取り付ける方法に関し、特に円柱状回転軸に装填して被洗浄物を洗浄するのに用いられるロールスポンジ、ロールスポンジの製造方法、ロールスポンジの製造具及びロールスポンジを軸に取り付ける方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハをスクラブ洗浄するのに使用されるロールスポンジは、回転軸に取り付けられる。そのようなロールスポンジは、従来から、図５に示すように、ロールスポンジ５２の内周側に界面活性剤を塗りつけて滑りやすくした状態で、むりやり回転軸５１を押し込んでいた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような従来の方法によれば、ロールスポンジに過大な応力が加わり破損することがあった。またロールスポンジがよじれることがあった。ロールスポンジのよじれは洗浄性能の低下につながるので、それを直すために多大な労力を必要としていた。
【０００４】
そこで本発明は、回転軸に装填するのが容易なロールスポンジ、そのようなロールスポンジの製造方法、ロールスポンジの製造具及びロールスポンジを軸に取り付ける方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明によるロールスポンジは、例えば図１に示すように、第１の直径ｄ１の外周を有する円柱状回転軸１１に装填して被洗浄物Ｗ（図４）を洗浄するのに用いられる円筒状のロールスポンジ２１において；弾性を有する湿潤状態２１ａと固化した乾燥状態２１ｂとが可逆的な材料をもって円筒を形成し；前記円筒を、湿潤状態で前記円筒の内周が第１の直径ｄ１より大なる第２の直径Ｄ２（図２）になるように維持して乾燥し、第１の直径ｄ１より大なる直径ｄ２の内周を有する固化した円筒状に形成する。
【０００６】
被洗浄物は、典型的には表面が平坦な被洗浄物であり、例えば半導体ウエハである。湿潤状態と乾燥状態の可逆は何回も２つの状態間を行き来できる必要はなく、例えば湿潤状態から乾燥状態になり、次に湿潤状態で先の湿潤状態とほぼ同様な寸法形状になり得るだけでもよい。
【０００７】
このように構成すると、湿潤状態と乾燥状態とが可逆的な材料をもって円筒を形成し、この円筒を、湿潤状態で円筒の内周が第１の直径より大なる第２の直径になるように維持して乾燥するので、第１の直径より大なる直径の内周を有する固化した円筒が形成できる。
【０００８】
また請求項２に記載のように、請求項１に記載のロールスポンジでは、前記材料をもって形成された円筒は、湿潤状態で前記第１の直径ｄ１と等しいかまたは第１の直径ｄ１より小なる第３の直径ｄ３の内周を有するようにするとよい。
【０００９】
このように構成すると、第３の直径ｄ３≦第１の直径ｄ１＜固化した乾燥状態のロール内周直径ｄ２（≒第２の直径Ｄ２）の関係となる。好ましくは第３の直径ｄ３＜第１の直径ｄ１であり、第１の直径ｄ１と第３の直径ｄ３との差が締め代となる。
【００１０】
前記目的を達成するために、請求項３に係る発明によるロールスポンジの製造方法は、第１の直径ｄ１の外周を有する円柱状回転軸１１に装填して被洗浄物Ｗを洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジの製造方法において；弾性を有する湿潤状態２１ａと固化した乾燥状態２１ｂとが可逆的な材料をもって円筒を形成する工程と；前記円筒を、湿潤状態で前記円周の内周が第１の直径ｄ１より大なる第２の直径Ｄ２になるように維持して乾燥する工程とを備える。
【００１１】
このように構成すると、第２の直径とほぼ等しい内径を有する、乾燥して固化したロールスポンジが得られる。
【００１２】
前記目的を達成するために、請求項４に係る発明によるロールスポンジ製造具は、第１の直径ｄ１の外周を有する円柱状回転軸１１に装填して被洗浄物Ｗを洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジの製造具において；円筒状の心棒円筒３１を長手方向に複数のセグメント３１ａ、３１ｂ、３１ｃに分割し、複数のセグメント３１ａ、３１ｂ、３１ｃを組み合わせた状態の心棒円筒の外周の直径Ｄ１、Ｄ１’が、第１の直径ｄ１より細く形成した円筒状ロールスポンジ２１ａの湿潤状態における内周の直径ｄ３と同等またはそれより細い分割心棒３１と；心棒円筒３１の内周側に嵌合するテーパ心棒３２ａ、３２ｂであって、前記テーパの先細の先端の直径が、前記組み合わせた状態にある心棒円筒３１ａ、３１ｂ、３１ｃの端部の内周の直径よりも小さく、テーパ心棒３２ａ、３２ｂを分割心棒３１ａ、３１ｂ、３１ｃの内周側に挿入したとき、分割心棒３１ａ、３１ｂ、３１ｃの外周の直径Ｄ１、Ｄ１’が第１の直径ｄ１よりも大なる直径になるように形成したテーパ心棒３２ａ、３２ｂとを備える。
【００１３】
このように構成すると、分割心棒の内周側に挿入したとき、分割心棒の外周の直径が第１の直径よりも大なる直径になるように形成したテーパ心棒を備えるので、湿潤状態のロールスポンジの内径を拡大することができる。
【００１４】
前記目的を達成するために、請求項５に係る発明によるロールスポンジを回転軸に取り付ける方法は、第１の直径ｄ１の外周を有する円柱状回転軸１１に装填して被洗浄物Ｗを洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジ２１を回転軸１１に取り付ける方法において；弾性を有する湿潤状態と固化した乾燥状態とが可逆的な材料をもって形成された円筒材を、湿潤状態に維持する工程と；前記円筒を、湿潤状態に維持したまま前記内周が第１の直径ｄ１より大なる第２の直径Ｄ２になるように維持して乾燥する工程と；前記乾燥したロールスポンジを回転軸１１に挿入する工程と；回転軸１１に挿入したロールスポンジを湿潤状態にする工程とを備える。
【００１５】
このように構成すると、湿潤状態に維持したまま第２の直径になるように維持して乾燥する工程を備えるので、乾燥したロールスポンジを回転軸に容易に挿入することができ、回転軸に挿入したロールスポンジを湿潤状態にする工程を備えるので、回転軸に取り付けられたロールスポンジを使用可能状態にすることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、各図において互いに同一あるいは相当する部材には同一符号を付し、重複した説明は省略する。
【００１７】
図１は、本発明による実施の形態である円筒状ロールスポンジと、円柱状回転軸としてのロールスポンジホルダーの組立体を説明する。図１（ａ）は、組立体の断面図である。ここでロールスポンジの全体とロールスポンジホルダーの一部（先端部）は断面を示してある。
【００１８】
図中、ロールスポンジホルダー１１は、第１の直径としての外周の直径がｄ１の円柱状に形成されている。ロールスポンジホルダー１１の外周には、ある程度の締め代をもって円筒状のロールスポンジ２１が嵌め込まれている。
【００１９】
ロールスポンジホルダー１１の円柱形状の一端（図中右端）には鍔１２が形成されており、ロールスポンジ２１の円筒の一端が鍔１２に当接するようになっている。したがって、鍔１２の外径はロールスポンジホルダー１１に嵌合した状態のロールスポンジ２１の外径よりも小さい。
【００２０】
ロールスポンジホルダー１１の円柱形状の他端（図中左端）部１３にはネジが切られており、このネジにナット１４が装着され、ナット１４の端面が、ロールスポンジ２１の円筒の他端に当接するようになっている。このようにして、ロールスポンジ２１の内周が、ロールスポンジホルダー１１の外周に嵌合し、鍔１２とナット１４とによって端面が当接、保持されている。
【００２１】
ロールスポンジホルダー１１の円柱の外周にはローレットが切られており、ロールスポンジホルダー１１とロールスポンジ２１とが、洗浄に使用されているときに滑りにくくなっている。
【００２２】
図１（ｂ）を参照して、ロールスポンジホルダー１１に装着していない状態のロールスポンジ２１を説明する。ここでは、ロールスポンジ２１は断面をして示してある。図中、左側には弾性を有する湿潤状態のロールスポンジ２１ａを右半分を省略して示してあり、右側には固化した乾燥状態のロールスポンジ２１ｂを左半分を省略して示してある。ここで、ロールスポンジを湿潤状態と乾燥状態とで区別しないであるいは総称的に指し示すときの符号は、２１ａ、２１ｂとしないで、単に２１とする。
【００２３】
弾性を有する湿潤状態のロールスポンジ２１ａの円筒の内周直径は、第３の直径としての直径ｄ３である。また、固化した乾燥状態のロールスポンジ２１ｂの円筒の内周直径は、後述の図２（ｃ）中の第２の直径Ｄ２とほぼ等しい直径ｄ２である。直径ｄ２は、直径ｄ３よりも大きい。また直径ｄ２は、直径ｄ１と同等かあるいはそれよりも大きい。
【００２４】
ロールスポンジ２１は、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を原料として作られている。この材料は、ＰＶＡに限らず、弾性を有する湿潤状態と固化した乾燥状態が可逆な材料であればよい。
【００２５】
ロールスポンジ２１の材料としては、ＰＶＡを原料としてこれにアルデヒド類を縮合して製造する、ＰＶＡｔ（ポリビニルアセタール）、中でもＰＶＦ（ポリビニルホルマール）を用いるのが好ましい。この材料は、親水性に優れ、微細な連続気孔により、吸水性と保水性を有し、被洗浄物を傷つけず、また凹凸面にも追従して吸水むらがない。またスポンジ一体構造に形成されている。
【００２６】
また、この材料は、水でしめらせた湿潤状態では弾性を有し、かなりな自由度をもって所定の形状に変形させることができる。また湿潤状態で所定の形状に変形させて、そのまま保持して乾燥状態とすると、ほぼその所定の形状のまま固化する。固化した乾燥状態の該材料を再び湿潤状態とすると、弾性を有する元の形状とほぼ同じ形状に戻る。
【００２７】
このような材料で形成されたロールスポンジ２１ａの内径を、図１（ｂ）の左側に示すように湿潤状態かつ外力をかけない状態のｄ３から、内径を拡大してほぼｄ２に維持して乾燥させたものが、図１（ｂ）の右側に示すロールスポンジ２１ｂである。
【００２８】
図２を参照して、ロールスポンジ２１ａを、内径を拡大して固化した乾燥状態にするためのロールスポンジ製造具としての器具３０と、固化した乾燥状態のロールスポンジ２１ｂを器具３０を用いて製造する方法を説明する。図２（ａ）は、置き台３３に載置された器具３０の平面断面図であり、（ｂ）は、正面図である。また、２点鎖線の想像線で、ロールスポンジ２１を示してある。
【００２９】
器具３０は、円筒状の分割心棒３１と、その中に挿入される２本のテーパ心棒３２ａ、３２ｂとで構成されている。分割心棒３１は、円筒の中心軸に直交する面Ａ−Ａ矢視で断面した拡大断面図（ｃ）に示すように、内部が中空の、即ち円筒状の心棒を長手方向に複数のセグメントに分割して構成されている。この実施の形態では、心棒は円周方向に３等分され、複数である３つのセグメント３１ａ、３１ｂ、３１ｃに分割されている。分割前の心棒の外径はＤ２、３つの分割面のギャップはそれぞれｔであるとする。分割数は、２以上であればよいが、３または４が好ましい。特に３分割が最も好ましい。
【００３０】
図２（ｄ）は、分割心棒３１の分割面を密着させてギャップｔをゼロにした状態の拡大断面である（断面は（ｃ）と同じ位置）。この断面は、分割面を密着させた結果真円ではなくおむすび型になっており、外周の直径方向の最大寸法はＤ１、最小寸法はＤ１’である。寸法Ｄ１は、ロールスポンジ２１の湿潤状態の内径ｄ３と同等またはそれよりも小さく作られている。内径ｄ３と同等であれば、ロールスポンジはもともと弾性を有するので、締め代が多少あっても、それがあまり大きくなければ、分割心棒をロールスポンジに挿入するのは、困難ではないからである。分割心棒が、ロールスポンジの中空部よりも太いときでも、１０％程度なら比較的容易に挿入することができる。
【００３１】
おむすび型は真円ではないが、便宜上寸法Ｄ１、Ｄ１’を、複数のセグメント３１ａ、３１ｂ、３１ｃを組み合わせた状態の前記心棒３１円筒の外周の直径とよぶ。即ち、分割心棒３１の複数のセグメント３１ａ、３１ｂ、３１ｃを組み合わせた状態の前記心棒円筒の外周の直径Ｄ１（及びＤ１’）が円筒状ロールスポンジ２１の湿潤状態における内周の直径ｄ３と同等かそれより細い。ここで、直径ｄ３は、ロールスポンジホルダーの外径ｄ１より細く形成されている。
【００３２】
また２本のテーパ心棒３２ａ、３２ｂが、心棒３１の中空部の内周側に挿入、嵌合できるように用意されている。テーパ心棒３２ａ、３２ｂは、この実施の形態では同一形状をしており、心棒３１の内周側に、心棒３１の両端側から対称に挿入できるようになっている。
【００３３】
テーパ心棒３２ａ、３２ｂのテーパの先細の先端の直径は、組み合わせた状態にある心棒３１の円筒の端部の内周の直径よりも小さく、また、テーパの根元の直径は、テーパ心棒３２ａ、３２ｂを前記分割心棒３１の内周側に挿入したとき、分割心棒３１の外周の直径Ｄ２が、ロールスポンジホルダー１１の外周の直径ｄ１よりも大になるように形成されている。
【００３４】
分割心棒３１の全長Ｌ２は、この器具で取り扱うべきロールスポンジ２１の全長Ｌ１と同じかそれより長く形成されている（Ｌ１≦Ｌ２）。テーパ心棒３２ａ、３２ｂの、テーパの先端から根元までの長さＬ３は、長さＬ２の半分と同じか、それより短く形成されている（Ｌ３≦Ｌ２／２）。またテーパ心棒３２ａ、３２ｂのテーパの根元には鍔が形成されており、テーパ心棒３２ａ、３２ｂを根元まで分割心棒３１に挿入したとき、その鍔が分割心棒３１の端面に当接するように構成されている。
【００３５】
したがって、テーパ心棒３２ａ、３２ｂを分割心棒３１に挿入すれば、鍔が端面に当接して、分割心棒３１の外径は自動的に直径Ｄ２になる。
【００３６】
テーパ心棒３２ａ、３２ｂの材料は、ロールスポンジホルダー１１と同じ材料とするのが好ましく、典型的にはＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）である。このようにすれば、ロールスポンジ２１が製造中に金属イオン等で汚染されるのを防止できる。
【００３７】
また、円筒状に形成された分割心棒３１には、その円筒中空部の内周に円筒の端から内部に向かって、内周の直径が小さくなるテーパを与えるのが好ましい。このテーパは、テーパ心棒のテーパと同じとするのが好ましい。
【００３８】
ここで一実施例における各寸法の例を示す。ロールスポンジについては、ロールスポンジホルダーに取り付けない湿潤状態で、全長Ｌ１が２０８公差０〜＋２ｍｍ、内径ｄ３が１８ｍｍ、外径３１ｍｍ（実施例では外周に突起が設けられており、その外径が３８ｍｍ）、ロールスポンジホルダーに取り付けた湿潤状態で、全長Ｌ１が２０９ｍｍ、外径が３８公差０〜＋２ｍｍ、ロールスポンジホルダーの外径ｄ１は２１ｍｍであった。したがって、ロールスポンジの締め代は、ｄ１／ｄ３＝２１／１８＝１．１７、即ち１７％であった。
【００３９】
分割心棒の外径Ｄ２は２１．５ｍｍ、Ｄ１は１９．７２ｍｍ、Ｄ１’は１９．４７ｍｍであった。したがって、内径の拡大率は、Ｄ２／ｄ３＝２１．５／１８＝１．１９、即ち１９％であった。
【００４０】
以上説明したような器具３０を用いて、外周の直径がｄ１である円柱状回転軸１１に装填してウエハのような被洗浄物を洗浄するのに用いられる乾燥した円筒状ロールスポンジ２１ｂを製造する方法を説明する。
【００４１】
まず湿潤状態で内径がｄ３の円筒状ロールスポンジ２１を用意する。このロールスポンジ２１の円筒の中空部に分割面を密着して組み合わせた分割心棒３１（３１ａ、３１ｂ、３１ｃ）を挿入する。分割心棒３１の外周の直径Ｄ１、Ｄ１’が、湿潤状態のロールスポンジ２１の内周の直径ｄ３よりも小さいので、ロールスポンジ２１の中空部に容易に挿入できる。
【００４２】
次に分割心棒３１に、２本のテーパ心棒３２ａ、３２ｂを、両側から同時に、テーパ心棒の鍔が分割心棒の端面に当接するまで挿入する。２本を同時に挿入するので、分割心棒３１は一様に拡大され、外径はＤ２となる。ロールスポンジ２１は、湿潤状態で弾性を有するので、その内径はＤ２まで拡大し、その状態で維持される。
【００４３】
このように内径を拡大した状態に維持しつつ、置き台３３と共に、約５０℃に維持される電気炉に納め、２０時間以上（一実施例では２３時間）保持する。但し、保持の時間は、電気炉の温度との兼ね合いで、前記よりも長く、或いは短くすることもできる。例えば温度が５０℃より低ければ、保持の時間は２０時間よりもかなり長くすることを要し、例えば５５℃とすれば、２０時間より短くすることもできる。また温度だけでなく、電気炉内を低湿度に除湿してやれば、時間を短くすることができる。
【００４４】
電気炉内で十分に乾燥した後に取り出し、テーパ心棒３２ａ、３２ｂを、分割心棒３１から抜き出す。すると分割心棒の外径は、Ｄ１、Ｄ１’になるので、乾燥したロールスポンジ２１ｂから分割心棒３１を容易に抜き出すことができる。このようにして作られた乾燥ロールスポンジ２１ｂは、乾燥して固化しているので、取り扱いが容易で、且つ乾燥状態であるので黴（かび）の発生も抑えられる。
【００４５】
このようにして作られた乾燥ロールスポンジ２１ｂは、その内径ｄ２がほぼ直径Ｄ２と同じであり、ロールスポンジホルダー１１の外径ｄ１よりも大きいので、両者を容易に組み立てることができる。組立後、ロールスポンジ２１を湿潤状態にすると、元の形状に戻るので、図１（ａ）に示すようなロールスポンジホルダー１１とロールスポンジ２１との組立体が容易に構成できる。
【００４６】
ここで、乾燥ロールスポンジ２１ｂは固化しているものの、ある程度の弾性を有する。したがって、その内径ｄ２の測定方法によっては、大きめに測定されたり、小さめに測定されたりする。「ロールスポンジ２１ｂの内径ｄ２がロールスポンジホルダー１１の外径ｄ１より大きい」とは、乾燥固化されたロールスポンジ２１ｂがロールスポンジホルダー１１に無理なく押し込める状態にあることを言い、両者がほぼ等しく、測定方法によっては内径ｄ２が外径ｄ１よりも多少は小さく測定される場合を含むものとする。
【００４７】
図３を参照して、ロールスポンジ製造具の別の実施の形態である器具３４を説明する。器具３４では、分割心棒３５の全長は器具３０と同じくＬ２であるが、そのテーパは分割心棒３５の円筒の一端から他端に向けて一様に付けられている。これと組み合わせるテーパ心棒３２ｃは１本で済む。テーパ心棒３２ｃの長手方向の長さＬ３’は、分割心棒３５の長さＬ２にほぼ等しく、それより僅かに短く作られている。その他、分割心棒３５の分割方法等は、器具３０の場合と同様であるので、重複した説明は省略する。
【００４８】
この場合も、図２の場合と同様に、テーパ心棒３２ｃを分割心棒３５に挿入することにより、湿潤状態にあるロールスポンジの内径を拡大し、乾燥ロールスポンジ２１ｂを製造することができる。
【００４９】
乾燥ロールスポンジ２１ｂの製造は、クリーンルームで行うのが好ましい。
【００５０】
湿潤ロールスポンジ２１の拡大率、即ちＤ２／ｄ３（≒ｄ２／ｄ３）は、１５〜４０％とする。拡大率が小さ過ぎると、ロールスポンジホルダー１１との締め代が十分にとれず、拡大率が大き過ぎるとロールスポンジ２１が破損する虞がある。拡大率は、さらに好ましくは１９〜２５％とする。一実施例では２３％とした。
【００５１】
従来は、ロールスポンジホルダーに、湿潤状態のロールスポンジを無理に押し広げて挿入していたので、例えば２０％以上の拡大率とすると、ロールスポンジが割れることがあった。しかしながら、本発明の実施の形態の器具を用いれば、一様に拡大されて無理な力が加わらず、破損させることなしにロールスポンジの内径の拡大が可能である。
【００５２】
図４を参照して、以上説明した円柱状回転軸としての取付軸１１にロールスポンジ２１を装填して半導体基板Ｗを洗浄する洗浄装置の例を説明する。図に示すのは、半導体基板の洗浄装置としてのスクラブ洗浄装置である。
【００５３】
これは、被洗浄物である半導体基板Ｗを保持して、回転させるスピンチャック４０と、基板Ｗの面に平行な軸回りに回転する円柱状回転軸としての取付軸１１と、取付軸１１の外周に装着した洗浄部材であるロールスポンジ２１と、基板Ｗの被洗浄面に洗浄液を供給する洗浄液ノズル４３を有している。ロールスポンジ２１は、支持駆動部４４によって軸回りに回転し、基板Ｗの表面を擦りながら洗浄する。
【００５４】
スピンチャック４０は、基板Ｗの外周に沿って配置されたスピンドル４１と、スピンドル４１上に回転可能に設けられ基板Ｗの外周部を保持する駒４２とを備えており、駒４２の回転力が基板Ｗの外側面に伝達されて基板Ｗが回転するようになっている。
【００５５】
ロールスポンジ２１は取付軸１１の外周に弾性的に嵌合しているので、洗浄の際に、ロールスポンジ２１と基板Ｗの間の摩擦によりロールスポンジ２１に作用する回転モーメントによる取付軸１１とロールスポンジ２１との滑りが防止される。また、洗浄時の取付軸１１とロールスポンジ２１の滑り防止のために、取付軸１１には細かい溝を形成したローレット加工が施され、さらに滑りにくくなっている。乾燥ロールスポンジ２１ｂを用いれば、ローレット加工がほどこされた取付軸１１にも、容易にロールスポンジを取り付けることができる。また締め代も十分にとることができるので、洗浄中のロールスポンジ２１とロールスポンジホルダー１１との滑りも抑えることができ、したがって、ロールスポンジ２１のよじれも最小限に抑えることができる。
【００５６】
また本発明の実施の形態の乾燥ロールスポンジ、ロールスポンジを回転軸に取り付ける方法によれば、従来は、現場でロールスポンジを交換することが困難であったために、ロールスポンジの使用後は、回転軸としてのロールスポンジホルダーをロールスポンジごと廃棄していたものを、乾燥ロールスポンジを用いるので、ロールスポンジホルダーを繰り返し利用することが可能となる。このようにして、環境保護にも資することができる。
【００５７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、湿潤状態と乾燥状態とが可逆的な材料をもって円筒を形成し、この円筒を、湿潤状態で円筒の内周が第１の直径より大なる第２の直径になるように維持して乾燥するので、第１の直径より大なる直径の内周を有する固化した円筒が形成でき、回転軸に容易に装填できるロールスポンジを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態であるロールスポンジを、ロールスポンジホルダーに装填した状態を示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態であるロールスポンジ製造具としての器具を示す平面断面図と正面図である。
【図３】本発明の別の実施の形態であるロールスポンジ製造具としての器具を示す一部断面した正面図である。
【図４】本発明の実施の形態で製造したロールスポンジをロールスポンジホルダーに装着して、ウエハを洗浄するスクラブ洗浄装置の例を示す斜視図である。
【図５】従来の、ロールスポンジとロールスポンジホルダーとの組立方法を示すイラスト図である。
【符号の説明】
１１  ロールスポンジホルダー
２１  ロールスポンジ
２１ａ  湿潤状態のロールスポンジ
２１ｂ  乾燥状態のロールスポンジ
３０、３４  器具
３１  分割心棒
３２  テーパ心棒
【図１】
0003844635.tif 000002
【図２】
0003844635.tif 000003
【図３】
0003844635.tif 000004
【図４】
0003844635.tif 000005
【図５】
0003844635.tif 000006