(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機材料の粉体を加熱部に連続的に供給する供給工程と、
該有機材料の粉体を加熱し気化する工程と、
該気化された該有機材料を基体の表面に堆積させる工程と、を包含し、
該供給工程は、多孔質材料からなるエンドレスベルトの孔に前記有機材料の粉体を充填する工程と、該多孔質材料からなるエンドレスベルトを回転させることによって、該粉体を加熱部に供給する工程と、を包含し、
前記有機材料の粉体を加熱し気化する工程が、該エンドレスベルトに有機材料が保持された状態で行われ、
該供給工程と、該気化工程と、該堆積工程とは真空中で行われる蒸着方法。
【請求項２】
前記多孔質材料は、発泡メタルからなる請求項１に記載の蒸着方法。
【請求項３】
前記有機材料の粉体を充填する工程は、前記多孔質材料からなるエンドレスベルトに超音波振動を加えながら、該有機材料の粉体を前記多孔質材料からなるエンドレスベルトの孔に充填する工程である請求項１または２に記載の蒸着方法。
【請求項４】
前記供給工程は、前記有機材料の粉体を金属粉体とともに撹拌しながら、前記多孔質材料からなるエンドレスベルトに該有機材料の粉体を供給する工程を包含する請求項１から３のいずれかに記載の蒸着方法。
【請求項５】
前記エンドレスベルトは、前記加熱部を通過した後、冷却され、その後、前記有機材料の粉体を再び供給される請求項１に記載の蒸着方法。
【請求項６】
前記気化された前記有機材料を前記基体の表面に堆積させる工程は、
前記有機材料を気化させて媒体の表面に堆積する工程と、
該媒体の該表面に堆積された該有機材料を加熱し再度気化する工程と、
該再度気化された有機材料を該基体の表面に堆積させる工程と、
を包含する請求項１から４のいずれかに記載の蒸着方法。
【請求項７】
前記基体は、耐熱性繊維からなる布である請求項６に記載の蒸着方法。
【請求項８】
第１の領域と第２の領域とを巡回通過する多孔質材料からなり、前記多孔質材料の孔に有機材料の粉体と金属粉体を保持するエンドレスベルトと、
該第１の領域に設けられ、前記有機材料の粉体を前記金属粉体とともに撹拌しながら、該多孔質材料からなるエンドレスベルトに該有機材料の粉体を供給する手段と、
該第２の領域に設けられ、該多孔質材料からなるエンドレスベルトを加熱し、該多孔質材料からなるエンドレスベルトに保持された該有機材料を加熱し気化する手段と、
該気化された該有機材料を基体の表面に堆積させるように、該基体を保持する手段と、
を真空槽内に有する蒸着装置。
【請求項９】
前記多孔質材料は、発泡メタルからなる請求項８に記載の蒸着装置。
【請求項１０】
前記多孔質材料からなるエンドレスベルトに超音波振動を加える手段を前記第１の領域にさらに有する請求項８または９に記載の蒸着装置。
【請求項１１】
前記多孔質材料からなるエンドレスベルトが前記第１の領域から前記第２の領域に至る経路および前記第２の領域から前記第１の領域に至る経路の少なくとも一方に断熱手段をさらに有する請求項８から１０のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項１２】
前記多孔質材料からなるエンドレスベルトが前記第１の領域から前記第２の領域に至る経路および前記第２の領域から前記第１の領域に至る経路の少なくとも一方に冷却手段をさらに有する請求項８から１１のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項１３】
前記有機材料を加熱し気化する手段が、
前記多孔質材料からなるエンドレスベルトから気化された前記有機材料を媒体の表面に堆積するように、該媒体を保持する手段と、
該媒体を加熱し、該媒体に保持された有機材料を加熱し再度気化する手段と、
を更に有する請求項８から１２のいずれかに記載の蒸着装置。
【請求項１４】
前記媒体は、耐熱性繊維からなる布である請求項１３に記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、蒸着方法および蒸着装置、特に、有機材料の蒸着方法および蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光記録媒体、カラーフィルタ、マイクロレンズ、および薄膜ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）などは、機能性材料からなる薄膜を用いて形成されている。機能性材料としては、酸化物材料、金属材料、硫化物材料や機能性材料が用いられている。薄膜の形成方法としては、真空蒸着や塗布方法が用いられている。
【０００３】
特に、有機材料からなる薄膜を形成する方法として、塗布方法が広く利用されている。しかしながら、塗布方法には、下記▲１▼〜▲３▼の問題があった。
【０００４】
▲１▼  １μｍ以下の膜厚の薄膜を作製することが困難である。
【０００５】
▲２▼  １００ｎｍ程度の膜厚の制御が困難である。
【０００６】
▲３▼  溶剤を必要とするので、材料の選択の幅が狭く（不溶な材料を用いられない）、環境汚染の問題がある。
【０００７】
上記の問題を解決する方法として、特開昭59-177365号公報には、有機材料を真空蒸着する方法が開示されている。この公報は、エンドレスベルトの一方の面に液状または気化した有機材料を供給し、エンドレスベルトの他方の面を加熱することによって、有機材料を蒸発させる真空蒸着方法を開示している。エンドレスベルトの面に有機材料を供給する方法としては、有機材料の融点に応じて、液状の有機材料を塗布する方法と、気相で蒸着する方法が開示されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記公報に開示されている真空蒸着方法には、以下の問題があった。まず、塗布法は、加熱により溶解し液状になる有機材料に限られる。また、有機材料はエンドレスベルトの表面に膜状に供給されるので、十分な量の有機材料を供給することが困難である。特に、蒸着法を用いると、この問題はさらに顕著となる。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、生産性に優れた有機材料の蒸着方法および蒸着装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の蒸着方法は、有機材料の粉体を加熱部に連続的に供給する供給工程と、該有機材料の粉体を加熱し気化する工程と、該気化された該有機材料を基体の表面に堆積させる工程と、を包含し、該供給工程は、多孔質材料からなるエンドレスベルトの孔に前記有機材料の粉体を充填する工程と、該多孔質材料からなるエンドレスベルトを回転させることによって、該粉体を加熱部に供給する工程と、を包含し、前記有機材料の粉体を加熱し気化する工程が、該エンドレスベルトに有機材料が保持された状態で行われ、該供給工程と、該気化工程と、該堆積工程とは真空中で行われ、そのことにより上記目的が達成される。
【００１４】
前記多孔質材料は、発泡メタルからなってもよい。
【００１５】
前記有機材料の粉体を充填する工程は、前記エンドレスベルトに超音波振動を加えながら、該有機材料の粉体を前記エンドレスベルトの孔に充填する工程であってもよい。
【００１６】
前記供給工程は、前記有機材料の粉体を金属粉体とともに撹拌しながら、前記多孔質材料からなるエンドレスベルトに該有機材料の粉体を供給する工程を包含してもよい。
【００１７】
前記エンドレスベルトは、前記加熱部を通過した後、冷却され、その後、前記有機材料の粉体を再び供給される構成としてもよい。
【００１８】
前記気化された前記有機材料を前記基体の表面に堆積させる工程は、前記有機材料を気化させて媒体の表面に堆積する工程と、該媒体の該表面に堆積された該有機材料を加熱し再度気化する工程と、該再度気化された有機材料を該基体の表面に堆積させる工程とを包含してもよい。
【００１９】
前記媒体は、耐熱性繊維からなる布であることが好ましい。
【００２０】
本発明の蒸着装置は、第１の領域と第２の領域とを巡回通過する多孔質材料からなり、前記多孔質材料の孔に有機材料の粉体と金属粉体を保持するエンドレスベルトと、該第１の領域に設けられ、前記有機材料の粉体を前記金属粉体とともに撹拌しながら、該多孔質材料からなるエンドレスベルトに該有機材料の粉体を供給する手段と、該第２の領域に設けられ、該多孔質材料からなるエンドレスベルトを加熱し、該多孔質材料からなるエンドレスベルトに保持された該有機材料を加熱し気化する手段と、該気化された該有機材料を基体の表面に堆積させるように、該基体を保持する手段と、を真空槽内に有し、そのことにより上記目的が達成される。
【００２２】
前記多孔質材料は、発泡メタルからなってもよい。
【００２３】
前記多孔質材料からなるエンドレスベルトに超音波振動を加える手段を前記第１の領域にさらに有してもよい。
【００２４】
前記多孔質材料からなるエンドレスベルトが前記第１の領域から前記第２の領域に至る経路および前記第２の領域から前記第１の領域に至る経路の少なくとも一方に断熱手段をさらに有してもよい。
【００２５】
前記多孔質材料からなるエンドレスベルトが前記第１の領域から前記第２の領域に至る経路および前記第２の領域から前記第１の領域に至る経路の少なくとも一方に冷却手段をさらに有してもよい。
【００２６】
前記有機材料を加熱し気化する手段が、前記多孔質材料からなるエンドレスベルトから気化された前記有機材料を媒体の表面に堆積するように、該媒体を保持する手段と、該媒体を加熱し、該媒体に保持された有機材料を加熱し再度気化する手段と、を更に有してもよい。
【００２７】
前記媒体は、耐熱性繊維からなる布であることが好ましい。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明についてさらに詳細に説明する。以下の実施形態では、追記型光ディスクの有機色素層の製造に好適に用いられる蒸着装置および蒸着方法について説明するが、本発明は、以下の実施形態に限られない。
【００２９】
（実施形態１）
図１に本発明の実施形態１による蒸着装置１００を示す。蒸着装置１００は、真空ポンプ２０で排気される真空槽１０内に、エンドレスベルト３０と、ホッパー（粉体供給装置）４０と、基板６０を保持する保持装置５０とを有している。真空槽１０内の圧力は、典型的には、約１０-5ｔｏｒｒである。
【００３０】
有機材料の粉体は、ホッパー４０からエンドレスベルト３０に供給され（第１領域）、エンドレスベルト３０に保持された状態で移送され、加熱装置３４によって加熱気化される（第２領域）。気化された有機材料７０は、保持装置５０によって保持された基体６０（基板やフィルム）の蒸着面に堆積される。以下に、それぞれの構成要素、および工程をさらに詳細に説明する。
【００３１】
ホッパー４０内に蓄えられた有機材料の粉体は、ホッパー４０に設けられた撹拌装置４２によって撹拌されながら、エンドレスベルト３０に供給される。有機材料の粉体は、一般的に圧縮率が高く凝集しやすく流動性が低いので、撹拌しないとエンドレスベルト３０に安定に供給できない場合がある。撹拌装置を用いることによって、流動性の低い有機材料の粉体を安定に供給することができる。
【００３２】
また、有機材料の粉体とともに、金属粉体を混合することによって、流動性を更に向上することができる。金属粉体は、熱伝導性がよいとともに、耐熱性が高いので、粉体を加熱・気化させる工程における熱のロスが少なく、加熱によって気化する成分を実質的に含まないので、形成する膜中に不純物を混在させることがなく、再利用することもできる。有機粉体と金属粉体との混合比は、重量比で１：３〜１：２０程度が好ましい。有機粉体の流動性を考慮して適宜、混合比を設定すればよい。
【００３３】
なお、本実施形態で用いた撹拌装置４２は、弾性を有する材料（例えば、プラスチック）からなる羽根を有している。撹拌装置４２の羽根は、図１中の矢印２ａで示すように、エンドレスベルト３０の移動方向（矢印１ａ）に対向する方向に回転する。羽根がエンドレスベルト３０と接触するときに、羽根はその弾性力によって、粉体をエンドレスベルト３０に押しつける。後に詳述するように、エンドレスベルト３０が多孔性材料や表面に孔を有する材料（金属メッシュなど）から構成されている場合、上記の羽根の作用によって、これらの孔に効率よく粉体を充填することができる。
【００３４】
エンドレスベルト３０は、有機材料の粉体を保持し移送する機能を有するものであればよい。なお、有機材料を気化（蒸発および昇華を含む）させる温度に耐える材料であることが好ましく、また、熱伝導率が高い材料からなることが好ましい。具体的には、薄厚の金属板が好ましく、真空中で使用するので、特にＳＵＳ３０４が好ましい。ＳＵＳ３０４以外に、ニッケルやチタンからなる金属板を用いることができる。さらに、エンドレスベルト３０の材料として、多孔質材料や表面に孔を有する材料（金属メッシュなど）を用いることによって、有機材料の粉体を効率よく（単位長さ当たり多くの粉体を）保持することができるとともに、粉体を効率よく加熱する（粉体との接触面積が増加する）ことができる。多孔質材料としては、発泡メタルを用いることができる。
【００３５】
また、多孔性材料等からなるエンドレスベルト３０を用いる場合には、粉体供給部にさらに、超音波振動子８０を設けることによって、粉体の充填効率を更に向上することができる。超音波振動子８０としては、約１０〜１００ｋＨｚの超音波を発生するものが好ましい。超音波振動子８０の代わりに、超音波モータ等など、粉体に超音波を印加できる装置を広く利用することができる。
【００３６】
エンドレスベルト３０は、駆動装置３２ａおよび３２ｂによって、周回運動している。エンドレスベルト３０に保持された有機材料の粉体は移動され、加熱装置３４によって加熱・気化される。加熱装置３４は抵抗型加熱装置や誘電加熱装置などの公知の加熱装置を用いることができる。エンドレスベルト３０が加熱される領域の両側に断熱部材３６ａおよび３６ｂを設けることによって、放熱を抑制することができるので、エンドレスベルト３０の加熱効率を上昇することができる。粉体供給側にのみ断熱部材３６ａを設けてもよいし、エンドレスベルト３０の長さ（粉体供給部との距離）や加熱装置の能力によっては、もちろん省略することができる。断熱部材３６ａおよび３６ｂの材料としては、耐熱性が約１０００℃以上で、熱伝導率が０．００７cal/sec・℃・cm以下の材料が好ましい。例えば、石原薬品社製のマコールなどのセラミック材料を用いることができる。また、加熱によって凝集しやすい粉体材料を用いる場合には、断熱部材３６ａおよび３６ｂの両側に、更に冷却部材３８ａおよび３８ｂを設けてもよい。冷却部材３８ｂを省略することも、もちろん可能である。
【００３７】
気化された有機材料７０は、保持装置５０によって保持された基体６０（基板やフィルム）の蒸着面に堆積される。有機材料の気化速度は、エンドレスベルト３０の送り速度と加熱パワーで制御することができる。堆積速度は、気化速度と基体６０の送り速度を調整することによって、制御することができる。更に、有機材料が蒸発する領域（加熱領域）と基体の蒸着面との距離を調節することによっても、堆積速度を制御することができる。なお、保持装置５０は、基板６０を回転させながら（例えば矢印４ａの方向に）、矢印３ａの方向に移動する。基板６０を回転させることによって、堆積される膜の均一性を向上することができる。
【００３８】
図２にエンドレスベルト３０の模式図を示す。例えば、図２に示すように、幅約５０ｍｍのエンドレスベルト３０の幅方向の中央部の幅約３０ｍｍの領域（有機材料領域）３０ａに有機材料の粉体がホッパー４０によって供給される。エンドレスベルト３０が移動することによって、有機材料の粉体は、加熱装置３４によって加熱される領域（加熱領域）３４ａに移送され、蒸発する。加熱領域３４ａは、例えば図２に示したように、エンドレスベルト３０の長手方向の長さ約３０ｍｍ、幅方向全体の領域とすることができる。加熱領域３４ａの幅は、有機材料の粉体を完全に蒸発させるように、有機材料領域３０ａの幅よりも広いことが好ましい。
【００３９】
なお、有機材料としては、フタロシアニン系、ナフタロシアニン系、スクアリリウム系、コロコニウム系、ピリリウム系、ナフトキノン系、アントラキノン系、キサンテン系、トリフェニルメタン系、アズレン系、テトラヒドロコリン系、フェナナスレン系、トリフェノチアゾン系、ポリメチン系の色素材料等を用いることができる。
【００４０】
（実施形態２）
図３に本発明の実施形態２による蒸着装置２００を示す。蒸着２００は、エンドレスベルトとして、ホイール状のエンドレスベルト１３０を用いている点において、実施形態１の蒸着装置１００と異なる。
【００４１】
蒸着装置２００は、真空ポンプ１２０で排気される真空槽１１０内に、ホイール状のエンドレスベルト１３０と、ホッパー（粉体供給装置）１４０と、基板６０を保持する保持装置１５０とを有している。有機材料の粉体は、ホッパー１４０からエンドレスベルト１３０に供給され（第１領域）、エンドレスベルト１３０に保持された状態で移送され、加熱装置１３４によって加熱気化される（第２領域）。気化された有機材料７０は、保持装置１５０によって保持された基体６０（基板やフィルム）の蒸着面に堆積される。
【００４２】
なお、エンドレスベルト１３０の形態が異なるので、断熱部材１３６や冷却部材１３８の配置が、蒸着装置１００と異なるが、これらの配置はこれに限られず、実施形態１と同様の配置としてもよい。また、ホッパー１４０に設けられた撹拌装置１４２は、実施形態１と同じものを用いてもよいし、他の公知の撹拌装置を用いることもできる。ホイール状エンドレスベルト１３０の回転方向１１ａと撹拌装置１４２の回転方向１２ａは、互い対向する方向であることが好ましいのは、実施形態１と同様である。基体６０の回転方向１４ａや移送方向１３ａは、図示の例に限られないのは、勿論である。
【００４３】
蒸着装置２００において、有機材料が加熱・気化される位置が、有機材料の粉体が供給される位置よりも高いところにあるので、特に、ホイール状エンドレスベルト１３０の材料としては、多孔質材料や表面に孔を有する材料を用いることが好ましい。表面が平坦な材料を用いると、図３中の１３０ａで示したように、有機材料の粉体を安定に保持して、移送することが困難な場合がある。
【００４４】
エンドレスベルト１３０の例を図４に示す。図４（ａ）は、エンドレスベルト１３０の断面図、（ｂ）は上面図である。エンドレスベルト１３０は、例えば、外径約１００ｍｍ、内径約９８ｍｍのＳＵＳ３０４（厚さ：約１ｍｍ）からなるベルトで、その表面に深さ約０．５ｍｍ、直径約３ｍｍの孔１３０ｂを多数有する。勿論、孔の形状は円に限られず、また、規則正しく配置されていなくてもよい。また、平坦な表面を有する材料と貫通孔を有する材料とを貼りあわせて、表面に孔を有するベルトを形成することもできる。なお、エンドレスベルトの材料としては、耐熱性と熱伝導性に優れた材料が好ましいのは、実施形態１と同様である。
【００４５】
（実施形態３）
図５に本発明の実施形態３による蒸着装置３００を示す。蒸着装置３００は、エンドレスベルト２３０と基体６０との間に、ガラス布３３０を連続的に搬送する機構と、ガラス布３３０を加熱し有機材料を気化させる加熱装置２３４とを備え、その点において、実施形態２による蒸着装置２００と異なっている。エンドレスベルト２３０から気化した有機材料は、ガラス布３３０に堆積する（第１蒸着過程）。その後、ガラス布３３０上に堆積した有機材料が再び加熱・気化され、基体６０上に蒸着される（第２蒸着過程）。蒸着装置３００は、２段階に蒸着を行うことに特徴がある。
【００４６】
蒸着装置３００は、真空ポンプ２２０で排気される真空槽２１０内に、有機材料の粉体を気化し、ガラス布３３０の表面に有機材料を蒸着する第１蒸着部と、ガラス布３３０の表面に堆積された有機材料を気化し、基体６０の表面に有機材料を蒸着する第２蒸着部を有する。
【００４７】
第１蒸着部は、ホイール状のエンドレスベルト２３０と、加熱装置２３４、断熱部材２３６、冷却部材２３５と、ホッパー（粉体供給装置）２４０と、撹拌装置２４２とを有している。これらの構成要素は、実施形態２による蒸着装置２００の対応する構成要素と同様の機能を有しているので、その詳細な説明は省略する。なお、撹拌装置２４２として実施形態１の羽根状の撹拌装置４２を用いると、羽根の回転方向２３ａはホイール状エンドレスベルトの回転方向２２ａと対向する方向であることが、好ましい。
【００４８】
有機材料の粉体は、ホッパー２４０からエンドレスベルト２３０に供給され（第１領域）、エンドレスベルト２３０に保持された状態で移送され、加熱装置２３４によって加熱気化される（第２領域）。気化された有機材料７０は、ガラス布３３０の表面に堆積される。
【００４９】
ガラス布３３０は、閉曲面を形成する（エンドレスとなる）ように構成されており、回転する搬送ローラ２３３、冷却ローラ２３８によって、矢印２１ａの方向に周回運動している。有機材料を保持したガラス布３３０は、その後、加熱装置３３４で加熱され、ガラス布３３０の表面に保持された有機材料は気化される。
【００５０】
ガラス布３３０は広い表面積を有するので、気化された有機材料は広範囲に分散して堆積する。従って、スプラッシュの発生原因となるように凝集して存在する有機材料の量は少ないので、ガラス繊維から再び気化する過程においてスプラッシュが発生することは少ない。ガラス布３３０に代えて、種々の材料を用いることができる。ガラス繊維などの耐熱性繊維からなる布は、表面積が広いので、有機材料を分散して保持することができるので、スプラッシュの発生を抑制する効果が高く、好ましい。また、エンドレスベルトと同様ＳＵＳ３０４等の金属板や発泡メタル等の多孔性材料を用いてもよい。熱伝導性の高い材料を用いる場合には、必要に応じて、加熱部周辺を断熱することによって、加熱効率を向上することができる。
【００５１】
【実施例】
以下に、本発明の実施例を説明する。
（実施例１）
本実施例においては、実施形態１の薄膜製造装置１００を用いて、銅フタロシアニンの薄膜を作製する。銅フタロシアニンは、追記型光ディスクの色素層の材料として、本発明の実施例において、好適に用いられる。なお、銅フタロシアニンは、有機溶剤に難溶性なので、従来の塗布法で成膜することは困難な材料の１つである。
【００５２】
本実施例では、有機材料の粉体として、粒径が約１０〜２０μｍの銅フタロシアニン粉末を用いた。また、エンドレスベルト３０の材料として、厚さ約０．２ｍｍt、幅約５０ｍｍのＳＵＳ３０４を用いた。ホッパー４０内の撹拌装置４２の回転数を約３ｒｐｍとした。
【００５３】
エンドレスベルト３０の送り速度を約２０ｍｍ／ｍｉｎ、加熱装置３４の加熱パワーを１００Ｗとしたとき、約３．０〜４．０ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度（蒸着速度）で、銅フタロシアニンの薄膜を安定に連続的に形成することができた。
【００５４】
また、エンドレスベルト３０の送り速度を約４０ｍｍ／ｍｉｎ、加熱装置３４の加熱パワーを１５０Ｗとしたとき、約５．０〜６．２ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度で、銅フタロシアニンの薄膜を安定に連続的に形成することができた。
【００５５】
このように、本実施例によると、銅フタロシアニンの薄膜を連続して、安定に形成できる。また、ベルトの送り速度や加熱パワーを調整することによって、堆積速度を制御できる。
【００５６】
（実施例２）
本実施例においても、実施例１と同様に、実施形態１の薄膜製造装置１００を用いて、銅フタロシアニンの薄膜を作製する。本実施例では、エンドレスベルト３０の材料として、発泡メタル（住友電工社製、Ｎｉセルメット、厚さ１．６ｍｍt、７メッシュ孔）を用いた。その他の条件は、実施例１と同様とした。
【００５７】
ホッパー４０内の撹拌装置４２の回転数を約３ｒｐｍ、エンドレスベルト３０の送り速度を約２０ｍｍ／ｍｉｎ、加熱装置３４の加熱パワーを１００Ｗとしたとき、約５．０〜５．９ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度で、銅フタロシアニンの薄膜を安定に連続的に形成することができた。実施例１（約３．０〜４．０ｎｍ／ｓｅｃ）と比較して、発泡メタルを用いることによって、蒸着速度が向上したことが分かる。
【００５８】
また、ホッパー４０内の撹拌装置４２の回転数を約３ｒｐｍ、エンドレスベルト３０の送り速度を約４０ｍｍ／ｍｉｎ、加熱装置３４の加熱パワーを１５０Ｗとしたとき、約７．０〜７．６ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度で、銅フタロシアニンの薄膜を安定に連続的に形成することができた。実施例１（約５．０〜６．２ｎｍ／ｓｅｃ）と比較して、発泡メタルを用いることによって、蒸着速度が向上したことが分かる。
【００５９】
さらに、ホッパー４０で粉体を供給しながら、超音波振動子８０を用いて、約５０ｋＨｚの超音波を印加しながら、同様の実験を行った。エンドレスベルト３０の送り速度を約２０ｍｍ／ｍｉｎ、加熱装置３４の加熱パワーを１００Ｗとしたとき、約５．０〜５．６ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度で、銅フタロシアニンの薄膜を安定に連続的に形成することができた。また、エンドレスベルト３０の送り速度を約４０ｍｍ／ｍｉｎ、加熱装置３４の加熱パワーを１５０Ｗとしたとき、約８．０〜８．４ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度で、銅フタロシアニンの薄膜を安定に連続的に形成することができた。このように、多孔質材料に粉体を供給しながら、超音波を印加することによって、均等に粉体を供給できるので堆積速度（気化速度）を更に安定させることができる。
【００６０】
（実施例３）
本実施例においても、実施例１と同様に、実施形態１の薄膜製造装置１００を用いて、銅フタロシアニンの薄膜を作製する。本実施例では、粒径約１〜１０μｍの銅フタロシアニンと１００〜２００メッシュ品の銅粉とを、重量比で約１：１５の比率で混合したものをホッパー４０に投入して、実験を行った。エンドレスベルトの材料には、実施例１と同様、厚さ約０．２ｍｍt、幅約５０ｍｍのＳＵＳ３０４を用い、撹拌装置４２の回転数を約３ｒｐｍとした。
【００６１】
エンドレスベルト３０の送り速度を約６０ｍｍ／ｍｉｎ、加熱装置３４の加熱パワーを１００Ｗとしたとき、約６．５〜７．０ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度で、銅フタロシアニンの薄膜を安定に連続的に形成することができた。また、エンドレスベルト３０の送り速度を約１２０ｍｍ／ｍｉｎ、加熱装置３４の加熱パワーを１５０Ｗとしたとき、約９．０〜９．５ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度で、銅フタロシアニンの薄膜を安定に連続的に形成することができた。
【００６２】
実施例１との比較から明らかなように、金属粉体と有機材料の粉体とを混合することによって、単位ベルト送り速度当たりの堆積速度は低下するものの、得られた膜の均一性は、実施例１で得られた膜よりも優れていた（スプラシュが少ない）。これは、有機材料の粉体を金属粉体と混合することによって、有機材料の粉体が均一に効率よく加熱されたためと思われる。
【００６３】
（実施例４）
本実施例においては、実施形態２の薄膜製造装置２００を用いて、銅フタロシアニンの薄膜を作製する。有機材料の粉体として、粒径が約１０〜２０μｍの銅フタロシアニン粉末を用いた。また、エンドレスベルト１３０として、図４に示したものを用いた。ホッパー１４０内の撹拌装置１４２（実施例１と同じものを用いた）の回転数を約３ｒｐｍとした。
【００６４】
エンドレスベルト１３０の回転数を約０．１７ｒｐｍとし、加熱装置１３４の加熱パワーを１００Ｗとしたとき、約３．０〜３．９ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度で、銅フタロシアニンの薄膜を安定に連続的に形成することができた。また、エンドレスベルト１３０の回転数を約０．２５ｒｐｍとし、加熱装置１３４の加熱パワーを１５０Ｗとしたとき、約６．０〜７．０ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度で、銅フタロシアニンの薄膜を安定に連続的に形成することができた。
【００６５】
このように、本実施例によると、銅フタロシアニンの薄膜を連続して、安定に形成できる。また、ホイール状エンドレスベルトの回転速度や加熱パワーを調整することによって、堆積速度を制御できる。
【００６６】
（実施例５）
本実施例においては、実施形態３の薄膜製造装置３００を用いて、銅フタロシアニンの薄膜を作製する。有機材料の粉体として、粒径が約１０〜２０μｍの銅フタロシアニン粉末を用いた。また、エンドレスベルト２３０として、図４に示したものを用いた。ホッパー２４０内の撹拌装置２４２（実施例１と同じものを用いた）の回転数を約３ｒｐｍとした。すなわち、第１蒸着部の構成は、実施例４の対応する構成と同様である。なお、有機材料が気化する領域とガラス布３３０との距離を調節し、第１蒸着部から、約５０ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度で、銅フタロシアニンをガラス布３３０に安定に連続して供給できる構成とした。ガラス布３３０として、１５０デニールのガラス繊維からなるガラス布（幅４０ｍｍで縦糸：約８０本、長手方向３０ｍｍ当たり横糸：約３５本、厚さ：約０．１ｍｍ、ガラス繊維の引張強度：約１００ｋｇ）を用いた。
【００６７】
加熱装置３３４の加熱パワーを１５０Ｗとして、ガラス布３３０を搬送速度約４００ｍｍ／ｍｉｎで、約３００℃の加熱源に接触させて搬送したとき、約８．０〜９．０ｎｍ／ｓｅｃの堆積速度が得られた。形成された銅フタロシアニンの薄膜には、スプラッシュがほとんど見られず、非常に均一性の高い膜が得られた。
【００６８】
【発明の効果】
上述したように、本発明によると、従来の塗布法が有していた問題を解決するとともに、生産性に優れた蒸着方法および蒸着装置を提供することができる。本発明による蒸着方法および蒸着装置は、追記型光ディスクの色素層など、１μｍ以下の厚さの薄膜を高精度で製造することができる。さらに、有機材料を粉体として供給するので、本発明による蒸着方法の生産性は、従来の方法に比べて高い。また、２段階蒸着を行うことによって、スプラッシュの発生を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態１による蒸着装置１００を示す模式図である。
【図２】実施形態１で用いたエンドレスベルト３０の模式図である。
【図３】実施形態２による蒸着装置２００を示す模式図である。
【図４】実施形態２で用いたエンドレスベルト１３０の模式図である。（ａ）は断面図、（ｂ）は上面図である。
【図５】実施形態３による蒸着装置３００を示す模式図である。
【符号の説明】
１０、１１０  真空槽
２０、１２０ 真空ポンプ
３０、１３０、 ２３０ エンドレスベルト
３２ａ、３２ｂ  駆動装置
３４、１３４  加熱装置
３６ａ、３６ｂ、１３６  断熱部材
３８ａ、３８ｂ、１３８  冷却部材
４０、１４０  ホッパー（粉体供給装置）
４２、１４２、２４２  撹拌装置
５０、１５０  基体保持装置
６０  基体
７０  気化した有機材料
８０  超音波振動子
１００、２００、３００  蒸着装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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