(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
略柱状に形成された光学素材を加工して複数の光学素子を得るための光学素子保持具から前記加工終了後に前記光学素子を剥離させる光学素子剥離装置であって、
前記光学素子保持具を固定する保持具固定手段と、
前記光学素子の延在方向に対し垂直となる平面への前記光学素子の投影位置に対応するように配置された突起部であるとともに、前記固定された光学素子保持具上に保持され研磨が完了した前記光学素子の端面に当接される当接手段と、
前記光学素子を当接している側とは逆側となる前記当接手段の部分を衝打する衝打手段を
備え、
前記突起部は複数個設けられ、
前記複数の突起部のうち少なくとも１つは、前記光学素子の延在方向への長さが他と異なること
を特徴とする光学素子剥離装置。
【請求項２】
請求項１記載の光学素子剥離装置において、
前記当接手段と前記衝打手段との間には、前記当接手段を前記光学素子の端面に押し当てた状態を維持する押当維持手段が配設されていること
を特徴とする光学素子剥離装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の光学素子剥離装置において、
前記衝打手段における１回の衝打時間、衝打ストローク、衝打間隔のいずれか又はこれらの適宜の組合わせを制御する衝打制御手段を備えていること
を特徴とする光学素子剥離装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１項に記載の光学素子剥離装置において、
前記光学素子の延在方向のうち前記光学素子に接近する方向に前記当接手段を移動させる移動手段と、
前記当接手段が前記光学素子の端面に当接し押当状態になったことを検出する第１検出手段と、
前記押当状態が検出された場合に前記移動手段の移動を停止させるように制御する第１制御手段を
有することを特徴とする光学素子剥離装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１項に記載の光学素子剥離装置において、
前記複数の突起部のうちの１つが、最後の光学素子を剥離させたことを検出する第２検出手段と、
前記最後の光学素子の剥離が検出された場合に前記衝打手段の衝打を停止させるように制御する第２制御手段を
有することを特徴とする光学素子剥離装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１項に記載の光学素子剥離装置において、
前記光学素子保持具は、前記光学素材を、凹又は凸の円筒面上で前記円筒の中心軸に平行となるように、接着により保持する保持部を有し、前記光学素材の被研磨面を円筒面状に研磨して光学素子を得る場合に用いられること
を特徴とする光学素子剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、略柱状の光学素材を研磨してシリンドリカルミラー等の光学素子を作製する場合に、光学素材を保持するための保持皿から光学素子を剥離させる光学素子剥離装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光学ガラス等の光学材料からなり円筒面状の反射面を有するシリンドリカルミラーや円筒面状レンズ面を有するシリンドリカルレンズなどの光学素子の円筒面を形成するための研磨加工方法として、図７に示すような保持皿５を用いる方法が知られている。
【０００３】
この方法では、図７に示すように、円筒凹面を有する保持皿本体５０の円筒凹面上に、円筒軸方向にｎ個（ｎ：自然数）の保持溝Ｇ1 ，Ｇ2 ，…，Ｇn が略等間隔で延設された保持皿５が使用される。
【０００４】
また、この方法では、ｎ個の光学素材Ｗ1 ′，Ｗ2 ′，…，Ｗn ′が研磨され、これらは、クラウン系ガラス，フリント系ガラス等の光学ガラスを含む光学材料からなり、粗加工により略四角柱状に形成され、表面粗さも所定レベルに調整されている。
【０００５】
上記の保持皿５を用いて光学素材Ｗ1 ′，Ｗ2 ′，…，Ｗn ′の表面を円筒面状に研磨するためには、まず、光学素材Ｗ1 ′，Ｗ2 ′，…，Ｗn ′を保持溝Ｇ1 ，Ｇ2 ，…，Ｇn に嵌め込む。次に、光学素材Ｗ1 ′，Ｗ2 ′，…，Ｗn ′の４つの側面のうち、保持溝Ｇ1 ，Ｇ2 ，…，Ｇn の内底面に接触する１側面に接着剤（図示せず）を塗布して接着させる。この接着剤は、有機溶剤により溶解可能で、かつ熱によって劣化する材料により構成されている。
【０００６】
次に、接着された各光学素材Ｗ1 ′，Ｗ2 ′，…，Ｗn ′の側面のうち、保持溝Ｇ1 ，Ｇ2 ，…，Ｇn に嵌め込まれた面以外の露出面（被研磨面）上に研磨具（図示せず）の研磨面（図示せず）を当接させる。研磨具の研磨面は、保持皿５の円筒凹面と同様な円筒面（凸面）を有している。この研磨面の円筒面を構成する円の中心（図示せず）を揺動中心として揺動させ、研磨剤を加えながら光学素材Ｗ1 ′，Ｗ2 ′，…，Ｗn ′と研磨具とを摺り合せることにより、光学素材Ｗ1 ′，Ｗ2 ′，…，Ｗn ′の被研磨面を円筒面状に研磨し、シリンドリカルミラーやシリンドリカルレンズ等として用いる光学素子を得ることができる。研磨は、一般的には、「スムージング」、「磨き」の２段階で行われ、順次粗さが細かくなり、最終段階の磨き工程において被研磨面は光学鏡面に仕上げられる。
【０００７】
次に、被研磨面の形状を測定し、所定の面精度が確認された場合は、研磨が完了した光学素子Ｗ1 ，Ｗ2 ，…，Ｗn を保持皿５から取出す。取出し方法としては、例えば、保持皿５を例えば２００°Ｃ程度に加熱し、接着剤を劣化させて光学素子Ｗ1 ，Ｗ2 ，…，Ｗn を保持皿５から分離させる「加熱法」、あるいは、光学素子を保持皿５ごと有機溶剤中に浸漬し、光学素子の底面に塗布された接着剤を溶解させて光学素子Ｗ1 ，Ｗ2 ，…，Ｗn を保持皿５から分離させる「溶剤浸漬法」などがあった。
【０００８】
しかし、上記した加熱法では、保持皿５とともに光学素子Ｗ1 ，Ｗ2 ，…，Ｗn 自体も加熱されるため、光学素子にひび割れが生じやすいこと、熱により保持皿５がゆがむため面精度等が低下してしまうこと、取り扱う作業者に火傷等のおそれがあること等の問題があった。
【０００９】
また、溶剤浸漬法では、光学素子Ｗ1 ，Ｗ2 ，…，Ｗn の下半部は保持溝Ｇ1 ，Ｇ2 ，…，Ｇn の内壁面にほぼ密着しており、その間には有機溶剤が浸透しにくいため、保持溝Ｇ1 ，Ｇ2 ，…，Ｇn の底面付近にある接着剤を溶解させて光学素子Ｗ1 ，Ｗ2 ，…，Ｗn の取出すには長時間が必要であり、作業性が悪い、という問題があった。
【００１０】
一方、上記した接着剤は、保持溝Ｇ1 ，Ｇ2 ，…，Ｇn の内底面と光学素子Ｗ1 ，Ｗ2 ，…，Ｗn の１側面とを部分的に接着している。
そこで、従来は、研磨が完了した光学素子Ｗ1 ，Ｗ2 ，…，Ｗn の剥離方法として、保持皿５の長手方向の端となる面、例えば図７における面Ｓ1 側に露出した光学素子Ｗ1 ，Ｗ2 ，…，Ｗn の端面にその都度当て木（図示せず）等を当て、この上からハンマ等（図示せず）で衝打を行うことにより、接着部分を破壊させ、光学素子を一つずつ剥離させる、という方法（以下、「衝打法」という。）が採用されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したような従来の光学素子剥離方法である衝打法においては、強く衝打しすぎると光学素子にカケ等の損傷が生じやすいこと、損傷を生じないようにするためには慎重に作業を行う必要があり光学素子取出しにかかる時間が長くなること、作業に習熟した熟練作業者を必要とすることが工場全体の要員配置計画上のネックとなること、誤って保持皿を衝打する場合もあるため精度の低下の可能性もあること、等の問題があった。
【００１２】
本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、本発明の解決しようとする課題は、未熟練作業者でも短時間で容易に剥離可能で、かつ保持皿の精度の低下も防止し得る光学素子剥離装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１に係る光学素子剥離装置は、
略柱状に形成された光学素材を加工して複数の光学素子を得るための光学素子保持具から前記加工終了後に前記光学素子を剥離させる光学素子剥離装置であって、
前記光学素子保持具を固定する保持具固定手段と、
前記光学素子の延在方向に対し垂直となる平面への前記光学素子の投影位置に対応するように配置された突起部であるとともに、前記固定された光学素子保持具上に保持され研磨が完了した前記光学素子の端面に当接される当接手段と、
前記光学素子を当接している側とは逆側となる前記当接手段の部分を衝打する衝打手段を
備え、
前記突起部は複数個設けられ、
前記複数の突起部のうち少なくとも１つは、前記光学素子の延在方向への長さが他と異なること
を特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項２に係る光学素子剥離装置は、
請求項１記載の光学素子剥離装置において、
前記当接手段と前記衝打手段との間には、前記当接手段を前記光学素子の端面に押し当てた状態を維持する押当維持手段が配設されていること
を特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項３に係る光学素子剥離装置は、
請求項１又は請求項２に記載の光学素子剥離装置において、
前記衝打手段における１回の衝打時間、衝打ストローク、衝打間隔のいずれか又はこれらの適宜の組合わせを制御する衝打制御手段を備えていること
を特徴とする。
【００１６】
また、本発明の請求項４に係る光学素子剥離装置は、
請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１項に記載の光学素子剥離装置において、
前記光学素子の延在方向のうち前記光学素子に接近する方向に前記当接手段を移動させる移動手段と、
前記当接手段が前記光学素子の端面に当接し押当状態になったことを検出する第１検出手段と、
前記押当状態が検出された場合に前記移動手段の移動を停止させるように制御する第１制御手段を
有することを特徴とする。
請求項１又は請求項２に記載の光学素子剥離装置において、
前記衝打手段における１回の衝打時間、衝打ストローク、衝打間隔のいずれか又はこれらの適宜の組合わせを制御する衝打制御手段を備えていること
を特徴とする。
【００１７】
また、本発明の請求項５に係る光学素子剥離装置は、
請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１項に記載の光学素子剥離装置において、
前記複数の突起部のうちの１つが、最後の光学素子を剥離させたことを検出する第２検出手段と、
前記最後の光学素子の剥離が検出された場合に前記衝打手段の衝打を停止させるように制御する第２制御手段を
有することを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の請求項６に係る光学素子剥離装置は、
請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１項に記載の光学素子剥離装置において、
前記光学素子保持具は、前記光学素材を、凹又は凸の円筒面上で前記円筒の中心軸に平行となるように、接着により保持する保持部を有し、前記光学素材の被研磨面を円筒面状に研磨して光学素子を得る場合に用いられること
を特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２２】
図１は、本発明の光学素子剥離装置の一実施形態である光学素子剥離装置の全体構成を示す斜視図である。また、図２は、図１に示す光学素子剥離装置の作用を説明する斜視図である。また、図３は、図１に示す光学素子剥離装置におけるクランプ部の構成及び作用を説明する概念図である。また、図４は、図１に示す光学素子剥離装置におけるエアシリンダ部の構成及び作用を説明する概念図である。また、図５は、図１に示す光学素子剥離装置における剥離治具の構成を示す図であり、図５（Ａ）は全体斜視図を、図５（Ｂ）は剥離ピンの配置状態を示す上面図を、それぞれ示している。図６は、図１に示す光学素子剥離装置における衝打部のさらに詳細な構成及び衝打作用を説明する図である。
【００２３】
図１に示すように、この光学素子剥離装置１００は、固定部１と、衝打部２と、制御部３と、剥離治具４を備えて構成されている。
【００２４】
上記した固定部１は、固定ステージ１０と、規制板１１と、クランプ部１２ａ及び１２ｂを有している。
【００２５】
固定ステージ１０は、保持皿５を載置するための平面状の部分である。規制板１１は、略平板状に形成され、固定ステージ１０の端縁部に立設され、保持皿５の端面、例えば図７における面Ｓ2 に当接し、保持皿５の端面Ｓ2 が、この光学素子剥離装置１００の突当方向（後述する剥離治具４の剥離ピンＰ1 ，Ｐ2 ，…，Ｐn の延設方向）に対して正確に垂直となるように規制する。
【００２６】
次に、クランプ部１２ａ，１２ｂの構成と作用について、図１及び図３を参照しつつ詳細に説明する。
クランプ部１２ａ，１２ｂは、略「逆Ｌ字」状に形成された部材であり、固定ステージ１０の両側の開口１３ａ，１３ｂから突出するように配置されている。このクランプ部１２ａには、上記した逆Ｌ字状部材の垂直部材の内側、すなわち保持皿５に接触する側に接触を検知する第１水平接触センサ１４ａが、また、逆Ｌ字状部材の水平部材の下側、すなわち保持皿５に接触する側に接触を検知する第１垂直接触センサ１５ａが、それぞれ設けられている（図３参照）。クランプ部１２ｂも同様の構成を有している（ただし、第２水平接触センサ，第２垂直接触センサは図示せず。）。また、クランプ部１２ａ，１２ｂには公知の機械的な駆動機構（例えば、ラック・アンド・ピニオン機構，カム機構）等に取り付けられており、クランプ部１２ａ，１２ｂを図３の左右方向、又は図３の上下方向へ移動させることができる。
【００２７】
上記のような構成により、クランプ部１２ａ，１２ｂは、後述するように、保持皿５の２つの平行な側面の上端縁、例えば図７における端縁Ｅを上から押し付けて動かないように拘束する。
【００２８】
また、剥離治具４は、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、剥離治具本体４０と、突当部４１と、嵌合部４２ａ及び４２ｂと、取手４３を有している。
剥離治具本体４０は、略板状に形成されている。また、剥離治具本体４０の両側には、略溝状の嵌合部４２ａ及び４２ｂが形成されている。
【００２９】
また、突当部４１は、剥離治具本体４０の一面（以下、「剥離ピン植設面」という。）Ｓ3 に植設された細い丸棒状のｎ個の剥離ピンＰ1 ，Ｐ2 ，…，Ｐn を有している。これらの剥離ピンＰ1 ，Ｐ2 ，…，Ｐn は、図５（Ａ）に示すように、剥離ピン植設面Ｓ3 の展開方向に垂直な方向から見ると、所定の円弧上に並ぶように設定されている。また、この円弧は、図７に示す保持皿５に保持された光学素子Ｗ1 ，Ｗ2 ，…，Ｗn の端面の中心点を結んで形成される円弧と等しくなっている。一方、剥離ピンＰ1 ，Ｐ2 ，…，Ｐn の先端は、図５（Ｂ）に示すように、剥離ピン植設面Ｓ3 の展開方向に平行な方向から見ると、所定の傾斜線上に並ぶように設定されており、剥離ピンＰ1 よりも剥離ピンＰ2 の方が突出量が短く、また剥離ピンＰ2 よりも剥離ピンＰ3 の方が突出量が短くなっており、以下同様にして突出量が短くなっている。
また、剥離治具本体４０の上面には、略「コ」字状の取手４３が設けられている。
【００３０】
また、衝打部２は、衝打ステージ２０と、治具ホルダ部２１と、衝打伝達部２２と、ハンマブロック部２３と、エアシリンダ部２４と、支持誘導部２５と、ユニット移動用ロッド２６を有している。
【００３１】
衝打ステージ２０は、後述する衝打動作を行うための平面状の部分であり、上記した固定ステージ１０よりも低くなっている。
【００３２】
また、治具ホルダ部２１は、衝打ステージ２０の端縁部のうち固定ステージ１０に近い側の端縁部付近に立設状態で配置されている。この治具ホルダ部２１は、略平板状の治具ホルダ本体２１ｅと、治具ホルダ本体２１ｅの両側縁から垂直に突設された略「逆Ｌ字」状断面の梁状部材である係止部２１ａ，２１ｂと、治具ホルダ本体２１ｅの両側面に設けられた固定ネジ２１ｃ，２１ｄ（２１ｃは図示せず。）を有している。また、治具ホルダ本体２１ｅの固定ステージ１０から見た場合の背面には、後述するシリンダチューブ２４ａ，ガイドシャフト２５ａ，２５ｂ，ユニット移動用ロッド２６の一端が固定されている（図６参照）。
【００３３】
上記のような構成により、治具ホルダ本体２１ｅの両側付近と係止部２１ａ，２１ｂとが凹部を形成しており、この凹部に剥離治具４の嵌合部４２ａ，４２ｂが嵌合可能となっている。このため、図１における上方から剥離治具４を治具ホルダ部２１に挿入することができ、挿入後に固定ネジ２１ｃ，２１ｄ（２１ｃは図示せず。）を締め付けることにより、剥離治具４を固定することができる。これにより、後述する衝打動作により衝撃力が伝達されても、剥離治具４が動いたり離脱することが防止されている。
【００３４】
また、衝打伝達部２２は、図１において治具ホルダ部２１の右側（固定ステージ１０から見た場合の後側）に配置されている。この治具ホルダ部２１は、厚い略平板状の伝衝板２２ａと、図１において伝衝板２２ａの右側（固定ステージ１０から見た場合の後側）に配置されたやや薄い略平板状の受衝板２２ｅと、伝衝板２２ａ及び受衝板２２ｅとを連結する連結ロッド２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを有している。また、上記の伝衝板２２ａ及び受衝板２２ｅには、固定ステージ１０から見た場合の同一位置に複数の円形断面の開口が開設されており、後述するシリンダチューブ２４ａ，ガイドシャフト２５ａ，２５ｂが相互移動可能な状態で挿通されている（図６参照）。
【００３５】
上記のような構成により、受衝板２２ｅの右側（固定ステージ１０から見た場合の後側）から力が加えられると、その力は受衝板２２ｅから連結ロッド２２ｂ，２２ｃ，２２ｄにより伝衝板２２ａに伝達され、さらに伝衝板２２ａから治具ホルダ部２１を経て剥離治具４に伝えられる。
【００３６】
ハンマブロック部２３は、図１において衝打伝達部２２の右側（固定ステージ１０から見た場合の後側）に配置されている。このハンマブロック部２３は、金属材料等の重量がありかつ衝撃に強い材料からなり、厚い略平板状又は略直方体状に形成されている。また、このハンマブロック部２３の略中央上部には、後述するエアシリンダ部２４の連動部２４ｂが配設されている。そして、固定ステージ１０から見た場合の同一位置には、複数の略円形断面の開口が開設されており、後述するシリンダチューブ２４ａ，ガイドシャフト２５ａ，２５ｂが相互移動可能な状態で挿通されている（図６参照）。
【００３７】
上記のような構成により、ハンマブロック２３は後述するエアシリンダ部２４によって駆動されると、衝打伝達部２２の受衝板２２ｅの方向へ設定速度で移動し、受衝板２２ｅに衝突して衝撃力を受衝板２２ｅに付与する（図６参照）。
【００３８】
次に、エアシリンダ部２４の構成と作用について、図１及び図４を参照しつつ詳細に説明する。
図に示すように、エアシリンダ部２４は、ハンマブロック部２３の略中央上部に配設されている。このエアシリンダ部２４は、略中空円筒状のシリンダチューブ２４ａと、シリンダチューブ２４ａの外側を取り囲むように配置された略環状の連動部２４ｂと、シリンダチューブ２４ａ内に可動状態で配置されたピストン２４ｃと、シリンダチューブ２４ａの両端に設けられた開口に連通するエア配管２４ｄ及び２４ｅと、エア配管２４ｄ，２４ｅに接続するエアコントローラ２４ｆを有している。このエアコントローラ２４ｆは、電磁弁（図示せず）や制御用信号端子（図示せず）等を有しており、後述する制御部３から制御用信号端子に制御信号が送られてくると、電磁弁等を開閉制御することにより、エア配管２４ｄ又は２４ｅ内に圧縮空気を送出し、あるいはエア配管２４ｄ又は２４ｅから空気を排出するように空気の流れや圧力等を制御することができる。
【００３９】
また、後述する支持パネル２５ｃの固定ステージ１０から見た場合の前面には、シリンダチューブ２４ａの他端が固定されている（図６参照）。そして、上記したピストン２４ｃの円筒面側の表面には、永久磁石２４ｇ及び２４ｈが配設されている。また、永久磁石２４ｇに対応する連動部２４ｂの位置には、永久磁石２４ｉが設置され、永久磁石２４ｈに対応する連動部２４ｂの位置には、永久磁石２４ｋが設置されている。この場合、永久磁石２４ｇと２４ｉの対向する側には互いに吸引力が作用するような磁極、例えば、永久磁石２４ｇ側がＮ極の場合には永久磁石２４ｉ側がＳ極というような組合わせとなっている。また、永久磁石２４ｈと２４ｋの場合も同様であり、各々の対向する側には互いに吸引力が作用するような磁極、例えば、永久磁石２４ｈ側がＳ極の場合には永久磁石２４ｋ側がＮ極というような組合わせとなっている。
【００４０】
上記のような構成により、エアコントローラ２４ｆは、後述する制御部３から制御用信号端子に制御信号が送られた場合、電磁弁等を開閉制御することにより、エア配管２４ｅ内に圧縮空気を急速に送出し、かつエア配管２４ｄから空気を急速に排出するように制御する。このように制御すると、シリンダチューブ２４ａ内の空気圧差により、シリンダチューブ２４ａ内のピストン２４ｃが図４における左方向へ移動する。この場合、ピストン２４ｃ上の永久磁石２４ｇ，２４ｈと連動部２４ｂの永久磁石２４ｉ，２４ｋの間には互いに吸引されるような磁力が作用しているため、ピストン２４ｃの移動に伴い、連動部２４ｂ及びハンマブロック部２３も図４における左方向へ移動する。
【００４１】
逆に、ハンマブロック部２３を図４における右方向へ戻そうとする場合には、後述する制御部３からの制御信号により、エア配管２４ｄ内に圧縮空気を送出し、かつエア配管２４ｅから空気を排出するように電磁弁を開閉制御すればよい。
【００４２】
次に、支持誘導部２５の構成と作用について、図１及び図６を参照しつつ詳細に説明する。
図に示すように、支持誘導部２５は、ガイドシャフト２５ａ，２５ｂと、支持パネル２５ｃを有している。ガイドシャフト２５ａ，２５ｂは、略円柱状に形成されており、その一端は治具ホルダ部２１の治具ホルダ本体２１ｅの固定ステージ１０から見た場合の背面に支持され、他端は支持パネル２５ｃの固定ステージ１０から見た場合の前面に支持されている。また、ガイドシャフト２５ａ，２５ｂは、衝打伝達部２２の伝衝板２２ａ，受衝板２２ｅ，ハンマブロック部２３の固定ステージ１０から見た場合の同一位置に開設された略円形断面の開口内に相互移動可能な状態で挿通されている。支持パネル２５ｃは、略平板状に形成され、衝打ステージ２０の端縁部のうち固定ステージ１０から遠い側の端縁部付近に立設状態で配置されている。
【００４３】
上記のような構成により、支持誘導部２５は、ハンマブロック部２３及び衝打伝達部２２を移動しやすいように浮いた状態で支持するとともに、移動時に正確に平行移動するようにハンマブロック部２３及び衝打伝達部２２を誘導する。
【００４４】
ユニット移動用ロッド２６は、略円柱状に形成されており、その一端は治具ホルダ部２１の治具ホルダ本体２１ｅの固定ステージ１０から見た場合の背面に支持され、他端は、図１，２（図６には図示せず。）における取付部３５に取り付けられており、衝打部２の一段下方に配置されている。取付部３５には、ラック・アンド・ピニオン機構等の公知の移動機構が装着されており、ユニット移動用ロッド２６を図１における略左右方向に出入させることができる。このような構成により、剥離治具４を装着した治具ホルダ部２１と、衝打伝達部２２と、ハンマブロック部２３の全体を図１における略右側へ退避させる等の動作を行うことができる。
【００４５】
次に、制御部３の構成と作用について、図１を参照しつつ詳細に説明する。
図に示すように、制御部３は、セットボタン３１と、起動ボタン３２と、解除ボタン３３と、ハンマ作動ボタン３４を有している。これらは、後述する各動作を行わせるための制御ボタンである。
【００４６】
一方、この制御部３は、図示はしないが、ケース内部に、ＣＰＵ（Central Processing Unit ：中央演算処理装置）と、ＲＯＭ（Read Only Memory：読出し専用メモリ）と、ＲＡＭ（Random Access Memory：随時書込み読出しメモリ）等を有している。
【００４７】
ＣＰＵは、制御部３の各部を統括し、各種演算やプログラム実行等の処理を行う部分である。また、ＲＯＭは、ＣＰＵの実行するプログラム等を格納した記憶装置である。このＲＯＭのかわりにハードディスク又は他の形式の記憶装置を用いてもよく、これらの記憶装置は読出し専用のものだけでなく１回又は複数回書込み可能なものであってもよい。また、ＲＡＭは、ＣＰＵにより演算されたデータ等を一時記憶する記憶装置である。このＲＡＭのかわりにハードディスク又は他の形式の記憶装置を用いてもよい。
【００４８】
上記のような構成により、制御部３は、操作者のボタン操作に応じて、この光学素子剥離装置１００に、後述するような「保持皿セット動作」、「起動動作」、「解除動作」等の各動作を行わせるように制御する。
【００４９】
次に、本発明に係る光学素子剥離装置１００の作用について、図１ないし図７を参照しつつ、詳細に説明する。
まず、上記したユニット移動用ロッド２６により、衝打部２全体を図１における略右側へ退避させておく。この状態で、剥離させる光学素子や保持皿の形状等に合った剥離治具４を治具ホルダ部２１の上方から挿入するようにして装着する。その後、固定ネジ２１ｄを締め付けることにより、剥離治具４を固定する。
【００５０】
次に、図７に示すような研磨の完了した光学素子Ｗ1 ，…，Ｗn が保持された保持皿５を、固定ステージ１０上に載置する（図２参照）。この場合、保持皿５の端面のうちの一面全体を規制板１１に当接させる。これにより、保持皿５の端面の一方は、規制板１１により規制され、保持皿５上の各光学素子Ｗ1 ，…，Ｗn の延設方向がこの光学素子剥離装置１００の軸方向（剥離ピンＰk の延設方向）と合致する。この際、クランプ部１２ａ，１２ｂは、自由解放状態になっており、保持皿５はクランプ部１２ａ，１２ｂにより拘束されることなく自由に動かすことができる。
【００５１】
この状態となった場合には、操作者はセットボタン３１を押す。この操作により、制御部３内のＣＰＵ（図示せず）は、クランプ部１２ａ，１２ｂの駆動機構（図示せず）に水平始動制御信号を出力する。これにより、図３に示すように、まずクランプ部１２ａ，１２ｂが保持皿５に接近するように水平駆動される。このようにすると、一般的には保持皿５は装置中心軸に対し横方向にいくらかのずれがあるので、いずれか一方のクランプ部の垂直部材に取り付けられた第１水平接触センサ（例えば１４ａ）が保持皿５のいずれかの側面に接触する。このように、２つの水平接触センサのうちの一方が接触した旨の第１水平接触信号は、ＣＰＵに送られる。
【００５２】
その後は、接触したクランプ部により保持皿５は水平駆動される。最終的には、他方のクランプ部の垂直部材に取り付けられた第２水平接触センサ（図示せず。）も保持皿５の他の側面に接触する。２つの水平接触センサの両方が接触した旨の第２水平接触信号も、ＣＰＵに送られる。ＣＰＵは、この第２水平接触信号を受けると、クランプ部１２ａ，１２ｂの駆動機構に停止制御信号を出力する。これにより、クランプ部１２ａ，１２ｂがその位置で水平移動を停止する。この状態では、保持皿５の中心軸が装置の中心軸と正確に合致し、横方向のずれがなくなっている。
【００５３】
次に、ＣＰＵは、クランプ部１２ａ，１２ｂの駆動機構に垂直始動制御信号を出力する。これにより、クランプ部１２ａ，１２ｂがその位置で垂直下方への移動を開始する。このようにすると、一般的には保持皿５には水平面に対し上下方向にわずかなずれがありガタがあるので、いずれか一方のクランプ部の水平部材に取り付けられた第１垂直接触センサ（例えば１５ａ）が保持皿５のいずれかの上端縁に接触する。このように、２つの垂直接触センサのうちの一方が接触した旨の第１垂直接触信号は、ＣＰＵに送られる。
【００５４】
その後は、クランプ部の垂直駆動が続行され、最終的には、他方のクランプ部の水平部材に取り付けられた第２垂直接触センサ（図示せず。）も保持皿５の他の上端縁に接触する。２つの垂直接触センサの両方が接触した旨の第２垂直接触信号も、ＣＰＵに送られる。
【００５５】
また、ＣＰＵは、この第２垂直接触信号を受けると、クランプ部１２ａ，１２ｂの駆動機構に固定力増加制御信号を出力する。これにより、クランプ部１２ａ，１２ｂがその位置で垂直方向にさらに微少量移動し、保持皿５が強く固定された状態で停止する。このため、後述する衝打動作により衝撃力が伝達されても、保持皿５が動いたり離脱することが防止される。ここまでが「保持皿セット動作」である。
【００５６】
ここで操作者は、保持皿５のセット状態を目視し、作業の続行に支障がないと判断した場合には、次に、起動ボタン３２を押す。
この操作により、ＣＰＵは、ユニット移動用ロッド２６の駆動機構（図示せず）に自由解放制御信号を出力する。これにより、衝打部２の各部、例えば、ハンマブロック部２３，衝打伝達部２２，治具ホルダ部２１及び剥離治具４は、ユニット移動用ロッド２６の拘束から解放され、衝打ステージ２０上で図１における略左右方向へ移動可能な状態となる。
【００５７】
次に、ＣＰＵは、エアコントローラ２４ｆ（図４参照）に空気圧低速制御信号を出力する。これにより、エアコントローラ２４ｆは、電磁弁（図示せず）等を開閉制御することにより、エア配管２４ｅ内に圧縮空気を徐々に送出し、かつエア配管２４ｄから空気を徐々に排出するように制御する。
【００５８】
このように制御すると、シリンダチューブ２４ａ内の空気圧差により、シリンダチューブ２４ａ内のピストン２４ｃが図４における左方向へ低速で移動し、これに伴い、連動部２４ｂ及びハンマブロック部２３も図４における左方向へ低速で移動する（図６（Ａ）参照）。ハンマブロック部２３は、いずれかの箇所で衝打伝達部２２の受衝板２２ｅに接触し、これにより衝打伝達部２２が押圧され図１の略左方向又は図６の左方向へ移動する。次に、衝打伝達部２２は、いずれかの箇所で治具ホルダ部２１の治具ホルダ本体２１ｅに接触し、これにより治具ホルダ部２１及び剥離治具４が押圧され図１の略左方向又は図６の左方向へ移動する。
【００５９】
この光学素子剥離装置１００は、図示しない位置検出センサ等を備えており、ハンマブロック部２３が所定の位置（例えば、治具ホルダ部２１が動き始める位置等）に到達した場合には、ＣＰＵに到達検知信号を出力する。ＣＰＵは、この到達検知信号を受けた場合には、エアコントローラ２４ｆに空気圧減速制御信号を出力する。これにより、エアコントローラ２４ｆは、電磁弁（図示せず）等を開閉制御することにより、圧縮空気の送出や排気をさらに非常に緩やかに行わせるように制御する。
【００６０】
これにより、剥離治具４の剥離ピン植設面に設けられた剥離ピンのうち最も突出量の長い剥離ピンＰ1 （図５（Ｂ）参照）が、保持皿５上の対応する光学素子Ｗ1 の図における右端面の略中央部に非常にゆっくりと当接し、さらに微少量だけ押し当てられる。この光学素子剥離装置１００には、レーザ光等を利用した光学式センサ等の剥離ピン端位置検出センサ（図示せず）が設けられており、剥離ピンＰ1 が光学素子Ｗ1 に接触する位置に達した場合には、ＣＰＵに接触検知信号を出力する。ＣＰＵは、この接触検知信号を受けた場合には、エアコントローラ２４ｆに停止制御信号を出力する。これにより、エアコントローラ２４ｆは、電磁弁（図示せず）等を開閉制御することにより、圧縮空気の送出や排気を停止させるように制御し、ハンマブロック部２３は停止する。ここまでが「起動動作」である。
【００６１】
この起動動作終了時点では、剥離ピンＰ1 が光学素子Ｗ1 に押し当てられ、かつ衝打伝達部２２の伝衝板２２ａが治具ホルダ部２１の背面（図１，２，６における右側面）に押し当てられた状態となっている。したがって、この場合には、衝打伝達部２２により、剥離ピンＰ1 が光学素子Ｗ1 に押し当てられた状態が維持されている。
【００６２】
ここで操作者は、保持皿５の光学素子Ｗ1 ，…，Ｗn と剥離ピンＰ1 ，…，Ｐn との関係などを目視し、作業の続行に支障がないと判断した場合には、次に、ハンマ作動ボタン３４を押す。
この操作により、ＣＰＵは、いったんエアコントローラ２４ｆに空気圧逆転制御信号を出力する。これにより、エアコントローラ２４ｆは、電磁弁（図示せず）等を開閉制御することにより、エア配管２４ｄ内に圧縮空気を徐々に送出し、かつエア配管２４ｅから空気を徐々に排出するように制御する。このように制御すると、シリンダチューブ２４ａ内の空気圧差により、シリンダチューブ２４ａ内のピストン２４ｃが逆に図４における右方向へ低速で移動し、これに伴い、連動部２４ｂ及びハンマブロック部２３も図４における右方向へ低速で移動する（図２における右方向への矢印動作参照）。
【００６３】
この光学素子剥離装置１００は、上記したもの以外に図示しない位置検出センサ等を備えており、ハンマブロック部２３が所定の位置（例えば、支持パネル２５ｃの直前位置等）に到達した場合には、ＣＰＵに到達検知信号を出力する。ＣＰＵは、この到達検知信号を受けた場合には、エアコントローラ２４ｆに空気圧停止制御信号を出力する。これにより、エアコントローラ２４ｆは、電磁弁（図示せず）等を開閉制御することにより、圧縮空気の送出や排気を停止してハンマブロック部２３を停止させるように制御する。
【００６４】
この状態の後、ＣＰＵは、エアコントローラ２４ｆに空気圧高速制御信号を出力する。これにより、エアコントローラ２４ｆは、電磁弁（図示せず）等を開閉制御することにより、エア配管２４ｅ内に圧縮空気を急激に送出し、かつエア配管２４ｄから空気を急激に排出するように制御する。このように制御すると、シリンダチューブ２４ａ内の空気圧差により、シリンダチューブ２４ａ内のピストン２４ｃが図４における左方向へ移動し、これに伴い、連動部２４ｂ及びハンマブロック部２３も図４における左方向へ移動する（図６（Ａ）、及び図２における左方向への矢印動作参照）。したがって、ハンマブロック部２３は、いずれかの箇所で衝打伝達部２２の受衝板２２ｅに衝突する。
【００６５】
上記したように、光学素子Ｗ1 には剥離ピンＰ1 が押し当てられており、剥離治具４は治具ホルダ部２１に密着しており、かつ治具ホルダ部２１の背面側には衝打伝達部２２の伝衝板２２ａが押し当てられた状態となっている。このため、受衝板２２の受けた衝撃力は、非常に微少な時間で剥離ピンＰ1 に伝達され、剥離ピンＰ1 はほぼ瞬間的に光学素子Ｗ1 の端面を図６の左方向へ向けて衝打する。これにより、光学素子Ｗ1 の底面と保持皿５の保持溝Ｇ1 の間に介在する接着剤（図示せず）が破壊され、光学素子Ｗ1 は保持溝Ｇ1 から剥離される（図６（Ｂ）参照）。
【００６６】
その後、ＣＰＵは、上記と同様の動作を繰り返すように各部に制御信号を送る。このようにすると、今度は、突出量が２番目に長い剥離ピンＰ2 が対応する光学素子Ｗ2 の端面を図６の左方向へ向けて衝打し、光学素子Ｗ2 を剥離させることができる。この場合、光学素子Ｗ1 はすでに剥離されているから、剥離ピンＰ1 の先端はいずれの光学素子をも損傷することはない。以下、同様にして、光学素子Ｗ3 ，Ｗ4 ，…，Ｗn まで順次剥離される。
【００６７】
この光学素子剥離装置１００は、上記したもの以外に図示しないリミットスイッチ等を備えており、最後の光学素子Ｗn が剥離された場合には、このリミットスイッチ等がＣＰＵに最終素子剥離検知信号を出力する。ＣＰＵは、この最終素子剥離検知信号を受けた場合には、エアコントローラ２４ｆに空気圧停止制御信号を出力して衝打動作を停止させる一方、ユニット移動用ロッド２６の駆動機構にも退避制御信号を出力し、衝打部２全体を図の右方向へ退避させ、さらにクランプ部１２ａ，１２ｂの駆動機構にも自由解放制御信号を出力し、クランプ部１２ａ，１２ｂを図の上方へ移動させる。これにより、保持皿５の拘束が解除され、すべての光学素子が剥離された保持皿５を取り出すことができる。
【００６８】
上記の衝打動作において、ＣＰＵは、ハードウェア又はソフトウェアとしてタイマ（図示せず）を備えるか、あるいは光学素子剥離装置１００が衝打ステージ２０等に位置検出スイッチ等を有しており、上記の衝打の速度（あるいは衝打時間）、衝打ストローク、１回の衝打と次回の衝打との時間間隔である衝打間隔のいずれか又はこれらの適宜の組合わせ等を自在に制御することができる。これらの制御量は、調節ツマミや数値入力キー等（図示せず）により装置外部からＣＰＵに入力することができる。
【００６９】
一方、この光学素子剥離装置１００においては、上記した「保持皿セット動作」や「起動動作」の終了時点において、操作者がその後の作業の続行に支障があると判断した場合には、解除ボタン３３を押すことにより、その前の段階の状態に戻して再度やり直すことが可能となっている。
【００７０】
上記したように、本実施形態の光学素子剥離装置１００を用いれば、
▲１▼  衝打速度（衝打力）等はＣＰＵにより制御できるので、光学素子を強く衝打しすぎることはなく、光学素子にカケ等の損傷が生じることがないこと
▲２▼  衝打作業は、すべてプログラムにより自動的に行うことができ、光学素子取出しにかかる時間は従来に比べ非常に短縮化されること
▲３▼  光学素子剥離装置自体の操作には特に熟練は要せず、未熟練作業者でも十分に操作可能であり、工場全体の要員配置計画等に支障を与えることはないこと
▲４▼  本装置では光学素子の端面を衝打し、保持皿を衝打することはないため、保持皿の精度が低下することはないこと
等の利点を享受することができる。
【００７１】
上記において、保持皿５は光学素子保持具に相当している。また、固定部１は保持具固定手段に相当している。また、剥離ピンＰ1 ，…，Ｐn は、当接手段に相当している。また、衝打部２は衝打手段に相当している。また、衝打伝達部２２は押当維持手段に相当している。また、制御部３の図示しないＣＰＵは、衝打制御手段に相当している。また、エアシリンダ部２４は移動手段に相当している。また、図示しない剥離ピン端位置検出センサは、第１検出手段に相当している。また、制御部３の図示しないＣＰＵは、第１制御手段に相当している。また、剥離ピンＰ1 ，…，Ｐn は、突起部に相当している。また、図示しないリミットスイッチ等は、第２検出手段に相当している。また、制御部３の図示しないＣＰＵは、第２制御手段に相当している。
【００７２】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００７３】
例えば、上記実施形態においては、剥離される光学素子として略四角柱状に形成されたものを例に挙げて説明したが、本発明はこれには限定されず、略柱状であればどのような光学素子であってもよく、略円柱状、略三角柱状、略Ｎ角柱状（Ｎ：５以上の自然数）等であってもよい。
【００７４】
また、上記実施形態においては、剥離される光学素子として円筒面状に研磨されるシリンドリカルミラー等を例に挙げて説明したが、本発明はこれには限定されず、略柱状に形成された光学素材を加工することにより得られる光学素子であればどのようなものであってもよい。
【００７５】
また、上記実施形態においては、光学素子保持具である保持皿５に保持された光学素子が複数個（ｎ個）である例について説明したが、本発明はこれには限定されず、光学素子の個数は１個であってもよい。
【００７６】
また、上記実施形態においては、保持皿に形成された円筒面が外部に向って凹となる円筒面である例について説明したが、本発明はこれには限定されず、円筒面は外部に向って凸となるものであってもよい。
【００７７】
また、上記実施形態においては、保持皿に形成された円筒面が外部に向って凹となる円筒面である例について説明したが、本発明はこれには限定されず、円筒面は外部に向って凸となるものであってもよい。
【００７８】
また、上記実施形態においては、当接手段又は突起部である剥離ピンＰ1 ，Ｐ2 ，…，Ｐn の先端が、剥離ピン植設面Ｓ3 の展開方向に平行な方向から見たときに、所定の傾斜線上に並ぶように設定された例について説明したが、本発明はこれには限定されず、他の構成の当接手段又は突起部、例えば、図５（Ｃ）に示すように、剥離ピンＱ1 ，Ｑ2 ，…，Ｑi の先端が、剥離ピン植設面Ｓ3 の展開方向に平行な方向から見ると所定の減少曲線上に並び、かつこれらに連続する剥離ピンＱk ′，…，Ｑ2 ′，Ｑ1 ′の先端が、剥離ピン植設面Ｓ3 の展開方向に平行な方向から見ると所定の増加曲線上に並ぶように設定されており、剥離ピンＱ1 よりも剥離ピンＱ1 ′の方が突出量が短く、また剥離ピンＱ2 よりも剥離ピンＱ2 ′の方が突出量が短くなっており、以下同様にして突出量が交互に短くなっているような剥離治具４Ａであってもよい。要は、複数の突起部のうち少なくとも１つの突起部の光学素子の延在方向への長さが他と異なるように構成されている当接手段であればどのようなものであってもよいのである。
【００７９】
また、上記実施形態においては、いずれかの当接手段（例えば剥離ピンＰk ）が対応する光学素子（例えばＷk ）に接触した場合には第１検出手段（例えば、図示しない剥離ピン端位置検出センサ）が接触を検出して第１制御手段（例えば、図示しないＣＰＵ）に信号を出力し、第１制御手段はこれを受けて移動手段（例えばエアシリンダ部２４）の移動を停止させるように制御する例について説明したが、本発明はこれには限定されず、他の制御形式、例えば、当接手段が光学素子に接触し押し当て状態となったことを操作者が視認したのち、操作者がハンマ作動ボタンを押した場合に、衝打制御手段であるＣＰＵが移動手段を所定ストロークで往復運動させるように制御するようにしてもよい。このような制御にすれば、衝打が何回か繰り返されることによりいずれかの当接手段（例えば剥離ピンＰk ）により光学素子（Ｗk ）を剥離させ、その後引き続いて次の当接手段（例えば突出量が剥離ピンＰkに次ぐ剥離ピンＰk+1 ）が対応する光学素子（例えばＷk+1 ）に接触し、また何回かの繰り返し衝打により光学素子（Ｗk+1 ）を剥離させ、以下同様にして最後の光学素子（例えばＷn ）まで剥離させることができる。その後、第２検出手段（例えば図示しないリミットスイッチ）により衝打動作を停止させるとともに衝打手段（例えば衝打部２）全体を後方へ退避させるように制御し、剥離した全光学素子を取り出す点は上記した実施形態と同様である。この制御方式によれば、衝打制御手段（例えば、図示しないＣＰＵ）による制御が簡素になり、かつ、第１検出手段が不要となるため、装置がより低廉となる、という利点がある。
【００８０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る光学素子剥離装置によれば、光学素子保持具を固定する保持具固定手段と、光学素子の延在方向に対し垂直となる平面への前記光学素子の投影位置に対応するように配置された突起部であるとともに、光学素子の端面に当接される当接手段と、光学素子を当接している側とは逆側の部分を衝撃的に打撃する衝打手段を備えたので、
（１）衝打速度（衝打力）等は衝打手段を制御すればよく、光学素子を強く衝打しすぎることはなく、光学素子にカケ等の損傷が生じることがないこと
（２）  衝打作業は、熟練作業者にたよらずすべて光学素子剥離装置により行うことができ、光学素子取出しにかかる時間は従来に比べ非常に短縮化されること
（３）  光学素子剥離装置自体の操作には特に熟練は要せず、未熟練作業者でも十分に操作可能であり、工場全体の要員配置計画等に支障を与えることはないこと
（４）  本装置では光学素子の端面を衝打し、光学素子保持具自体を衝打することはないため、光学素子保持具の精度が低下することはないこと
等の利点を享受することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である光学素子剥離装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す光学素子剥離装置の作用を説明する斜視図である。
【図３】図１に示す光学素子剥離装置における固定部の構成及び作用を説明する概念図である。
【図４】図１に示す光学素子剥離装置におけるエアシリンダ部の構成及び作用を説明する概念図である。
【図５】図１に示す光学素子剥離装置における剥離治具の構成を示す図であり、図５（Ａ）は全体斜視図を、図５（Ｂ）は剥離ピンの配置状態を示す上面図を、図５（Ｃ）は剥離治具の他の実施形態における剥離ピンの配置状態を示す上面図を、それぞれ示している。
【図６】図１に示す光学素子剥離装置における衝打部のさらに詳細な構成及び衝打作用を説明する図である。
【図７】光学素材を固定する保持皿の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  固定部
２  衝打部
３  制御部
４，４Ａ  剥離治具
５  保持皿
１０  固定ステージ
１１  規制板
１２ａ，１２ｂ  クランプ部
１３ａ，１３ｂ  開口
１４ａ  第１水平接触センサ
１５ａ  第１垂直接触センサ
２０  衝打ステージ
２１  治具ホルダ部
２１ａ，２１ｂ  係止部
２１ｄ  固定ネジ
２１ｅ  治具ホルダ本体
２２  衝打伝達部
２２ａ  伝衝板
２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ  連結ロッド
２２ｅ  受衝板
２３  ハンマブロック部
２４  エアシリンダ部
２４ａ  シリンダチューブ
２４ｂ  連動部
２４ｃ  ピストン
２４ｄ，２４ｅ  エア配管
２４ｆ  エアコントローラ
２４ｇ，２４ｈ，２４ｉ，２４ｋ  永久磁石
２５  支持誘導部
２５ａ，２５ｂ  ガイドシャフト
２５ｃ  支持パネル
２６  ユニット移動用ロッド
３１  セットボタン
３２  起動ボタン
３３  解除ボタン
３４  ハンマ作動ボタン
３５  取付部
４０  剥離治具本体
４１，４１′  突当部
４２ａ，４２ｂ  嵌合部
４３  取手
５０  保持皿本体
１００  光学素子剥離装置
Ｇ1 ，…，Ｇn   保持溝
Ｐ1 ，…，Ｐn ，Ｑ1 ，…，Ｑi ，Ｑk ′，…，Ｑ1 ′  剥離ピン
Ｓ1   端面
Ｓ2   剥離ピン植設面
Ｗ1 ′，…，Ｗn ′  光学素材
Ｗ1 ，…，Ｗn   光学素子
【図１】
0003851703.tif 000002
【図２】
0003851703.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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