(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示画面を構成する各画素ごとに検出した所定の表示特性のデータにつき、所定の区分に含む複数の画素に対応した一組のデータずつをそれぞれ１つのデータに圧縮し、この圧縮した各圧縮データをそれらに対応した各圧縮画素位置に倣った配列の圧縮画像データとして取り扱い、この圧縮画像データを前記圧縮対象となる所定の区分の指定位置を同一区分の一部の画素が重複して存在する条件を満足して複数位置にシフトした各シフト条件ごとに得、各シフト条件での圧縮画像データの対応し合う圧縮画素データどうしを１つの判定対象圧縮データに合成し、この各判定対象圧縮データを基準データと比較して各圧縮画素ごとに表示特性の欠陥を判定し検出することを特徴とする表示画面の検査方法。
【請求項２】
前記合成は、対応し合う圧縮画素データどうしからそれらの平均値を得る請求項１に記載の表示画面の検査方法。
【請求項３】
前記合成は、対応し合う圧縮画素データどうしからそれらの中央値、最大値、最小値の１つを得る請求項１に記載の表示画面の検査方法。
【請求項４】
表示画面を構成する各画素ごとの所定の表示特性を検出する検出手段と、検出された各データを各画素の配列に対応する縦横番地をもって取り扱えるように記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶された各画素データの、所定の区分に含む複数の画素に対応した一組のものずつをそれぞれ１つのデータに圧縮し、この圧縮した各圧縮データをそれらに対応した各圧縮画素位置に倣った配列の圧縮画像データとし、この圧縮画像データを前記圧縮対象となる所定の区分の指定位置を同一画素が重複して存在する条件を満足して複数位置にシフトした各シフト条件ごとに生成する画像圧縮手段と、各シフト条件での圧縮画像データの対応し合う圧縮画素データどうしを１つの判定対象圧縮データに合成する圧縮画像合成手段と、合成された前記各判定対象圧縮データを基準データと比較して各圧縮画素ごとの表示特性の欠陥を判定し検出する欠陥判定手段とを備えたことを特徴とする表示画面の検査装置。
【請求項５】
前記圧縮画像合成手段は、対応し合う圧縮画素データどうしの平均値を得る請求項４に記載の表示画面の検査装置。
【請求項６】
前記圧縮画像合成手段は、対応し合う圧縮画素データどうしの中央値、最大値、最小値の１つを得る請求項４に記載の表示画面の検査装置。
【請求項７】
請求項１記載の表示画面の検査方法を用いてプラズマディスプレイパネルの欠陥を検出することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は表示画面の検査方法と装置に関し、詳しくは陰極線管（ＣＲＴ）、液晶表示パネル、プラズマディスプレイパネルなどの表示画面を構成する多数の表示画素による表示特性の欠陥を検査する表示画面の検査方法と装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
上記表示画面の検査は通常、人による目視判定か、自動機での画像処理を伴う自動判定かで行われている。人による場合、検査対象の機種が切り換わっても容易に対応でき立上がりは早い。しかし、欠陥のある画素の詳細位置を特定するには長い時間が掛かり、スループットが低下する。また、検査には個人差があって検査精度を維持し統一するのに問題がある。自動機による場合は人による場合の前記問題は解消できる。しかし、検査対象の機種が切り換わると、検査のための条件設定など調整に多くの時間を費やす。
【０００３】
自動機による検査は、表示画素が多い上記ＣＲＴ、液晶表示パネル、プラズマディスプレイパネルなどには特に有効であり、主流をなしている。しかも、近時の表示画面の大型化、表示画素の高密度化で画素数が勢い膨大化するのに伴い、検査のさらなる高速化が望まれている。
【０００４】
これに対応するのに従来、表示画面のサイズを圧縮して検査する手法が用いられている。二次元に広がる画面サイズを縦横でそれぞれ１／２に圧縮できると、画素数は全体で１／４と少なくなり、以降の処理速度は４倍になる。このような表示画面のサイズ圧縮は、表示画面を構成する各画素ごとに検出した例えば図８の（ａ）に示すような輝度特性のデータにつき、所定の区分ａで寄り合う例えば４つずつの画素に対応した一組のデータ４つずつを、それぞれ例えば図８の（ａ１）に示すような平均値を取るなどした１つのデータｂ１に圧縮し、以降圧縮した各圧縮データｂ１を基準データと比較して圧縮画素の欠陥の判定と検出が行われる。
【０００５】
具体的に説明すると、図８の（ａ）に示す縦横番地０・０、０・１、１・０、１・１での４つのデータ９９、１００、１００、１００は、その平均を取って図８の（ａ１）の縦横番地１・１に示す１つのデータ１００に圧縮される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のような圧縮手法で検査すると、検査誤差が生じ欠陥画素が検出できないことがときとしてあり、万一の場合最終製品になってしまってからの歩留り低下や信頼性の低下につながり得る。
【０００７】
そこで、本発明者等はこれにつき種々に実験をし検討を重ねたところ、上記従来の圧縮手法に問題があることを知見した。具体的に説明すると、上記従来のように圧縮を行うデータの組み合わせを、図８の（ａ）に示す場合の区分ａの指定位置に対し、例えば、図８の（ｂ）〜（ｄ）のように少し違えて位置指定した区分ａ１〜ａ３にて行うと、各画素のデータのうちの欠陥部分に対応するデータが、圧縮データの上で残らず、欠陥を検出できなくなることがある。
【０００８】
図８の（ａ）〜（ｄ）で取り扱っている画素データの値およびその配列位置はそれぞれ共通したもので、例えば１２０以上の輝度が過剰で欠陥であるとしたとき、隣接し合う４つの画素データが１４６、１５１、１５４、１４２となる欠陥画像部分ｃをいずれも持っている。従って、これらが基準データと比較されると欠陥画素として判定され検出される。
【０００９】
ところが、この欠陥画像部分ｃの４つの画素データ１４６、１５１、１５４、１４２は、図８の（ａ）〜（ｄ）に示すような各圧縮操作のための区分指定の位置の違いによって、図８の（ａ）では縦横番地５・６、５・７、６・６、６・７に位置して、上下２つのデータ圧縮区分ａ・に２つずつ別れて所属し、図８の（ｂ）では縦横番地４・５、４・６、５・５、５・６に位置して、左右２つのデータ圧縮区分ａ１・に２つずつ別れて所属し、図８の（ｃ）では縦横番地５・５、５・６、６・５、６・６に位置して、上下左右４つの組み合わせ区分ａ２・・・に１つずつ別れて所属し、図８の（ｄ）では縦横番地４・６、４・７、５・６、５・７に位置して、１つのデータ圧縮区分ａ３に４つ全てが所属している。
【００１０】
図８の（ａ）の欠陥画像部分ｃの上側画素データ１４６、１５１は同じ区分ａにある他の２つの画素データ１０２、１０１との組み合わせで平均を取って図８の（ａ１）における縦横番地３・４での１つのデータ１２５に圧縮され、欠陥画像部分ｃの残る下側画素データ１５４、１４２は同じ区分ａにある他の２つの画素データ１０６、１００との組み合わせで平均を取って図８の（ａ１）における縦横番地４・４での１つのデータ１２６に圧縮され、それらが所属するいずれの区分ａ・の圧縮画素でも基準データ１２０との比較において欠陥として判定されて検出され、その検出された位置の番地データから欠陥位置が特定する。
【００１１】
図８の（ｂ）の欠陥画像部分ｃの左側画素データ１４６、１５４は同じ区分ａ１にある他の２つの画素データ１００、１００との組み合わせで平均を取って図８の（ｂ１）における縦横番地３・３での１つのデータ１２５に圧縮され、欠陥画像部分ｃの残る右側画素データ１５１、１４２は同じ区分ａ１にある他の２つの画素データ１０２、１００との組み合わせで平均を取って図８の（ｂ１）における縦横番地３・４での１つのデータ１２４に圧縮され、それらが所属するいずれの区分ａ１・の圧縮画素でも基準データ１２０との比較において欠陥として判定されて検出され、その検出された位置の番地データから欠陥位置が特定する。
【００１２】
図８の（ｃ）の欠陥画素ｃの左上画素データ１４６は同じ区分ａ２にある他の３つの画素データ１０５、１０２、１００との組み合わせで平均を取って図８の（ｃ１）における縦横番地３・３での１つのデータ１１３に圧縮され、欠陥画素ｃの右上画素データ１５１は同じ区分ａ２にある他の３つの画素データ１０１、１００、１０２との組み合わせで平均を取って図８の（ｃ１）における縦横番地３・４での１つのデータ１１４に圧縮され、欠陥画素ｃの左下画素データ１５４は同じ区分ａ２にある他の３つの画素データ１００、１０８、１０６との組み合わせで平均を取って図８の（ｃ１）における縦横番地４・３での１つのデータ１１７に圧縮され、欠陥画像ｃの右下画素データ１４２は同じ区分ａ２にある他の３つの画素データ１００、１００、１００との組み合わせで平均を取って図８の（ｃ１）における縦横番地４・４での１つのデータ１１１に圧縮され、それらが所属するいずれの区分ａ２の圧縮画素でも基準データ１２０との比較において欠陥として判定されず検出されない。
【００１３】
図８の（ｄ）の欠陥画素ｃの上下左右の４つの各画素データ１４６、１５１、１５４、１４２は同じ区分ａ３でのそのままの組み合わせで平均を取って図８の（ｄ１）における縦横番地４・４での１つのデータ１４８に圧縮され、それらが所属する区分ａ３における圧縮画素での基準データ１２０との比較において欠陥として判定されて検出され、その検出された位置の番地データから欠陥位置が特定する。
【００１４】
これは、同じデータ配列であっても欠陥を検出する圧縮操作を行う区分の指定位置の違いによって、欠陥部分の検出結果が大きく違うことを意味し、１つの指定区分に欠陥画像ｃのデータがあっても、その１つの区分における全てのデータが欠陥でない限り、圧縮する複数のデータの値の組み合わせの違いによって、圧縮したデータに欠陥情報として残らないことが起こり得る。そして、表示装置の製造上で各表示画素に欠陥が生じる位置や形状、大きさは一定しないため、上記従来のものはこの問題を避けられない。同一表示画面を繰り返して検査してより精度のよい検査結果を得ようとするような場合に、各回の撮像によって一画素程度の撮像位置ずれが起きて検査結果がまちまちになるようなことも解消する。圧縮する複数のデータの数を半減させれば前記問題の生じる確率は半減するものの問題は避けられない上、処理速度が大きく低下する。
【００１５】
本発明の目的は、高い圧縮率で高速に処理できるようにしながら、欠陥画素が欠落しにくく信頼性の高い欠陥検査ができる表示画面の検査方法と装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の表示画面の検査方法は、表示画面を構成する各画素ごとに検出した所定の表示特性のデータにつき、所定の区分に含む複数の画素に対応した一組のデータずつをそれぞれ１つのデータに圧縮し、この圧縮した各圧縮データをそれらに対応した各圧縮画素位置に倣った配列の圧縮画像データとして取り扱い、この圧縮画像データを前記圧縮対象となる所定の区分の指定位置を同一区分の一部の画素が重複して存在する条件を満足して複数位置にシフトした各シフト条件ごとに得、各シフト条件での圧縮画像データの対応し合う圧縮画素データどうしを１つの判定対象圧縮データに合成し、この各判定対象圧縮データを基準データと比較して各圧縮画素ごとに表示特性の欠陥を判定し検出することを主たる特徴とするものである。
【００１７】
これを達成する表示画面の検査装置としては、表示画面を構成する各画素ごとの所定の表示特性を検出する検出手段と、検出された各データを各画素の配列に対応する縦横番地をもって取り扱えるように記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶された各画素データの、所定の区分に含む複数の画素に対応した一組のものずつをそれぞれ１つのデータに圧縮し、この圧縮した各圧縮データをそれらに対応した各圧縮画素位置に倣った配列の圧縮画像データとし、この圧縮画像データを前記圧縮対象となる所定の区分の指定位置を同一区分での一部の画素が重複して存在する条件を満足して複数位置にシフトした各シフト条件ごとに生成する画像圧縮手段と、各シフト条件での圧縮画像データの対応し合う圧縮画素データどうしを１つの判定対象圧縮データに合成する圧縮画像合成手段と、合成された前記各判定対象圧縮データを基準データと比較して各圧縮画素ごとの表示特性の欠陥を判定し検出する欠陥判定手段とを備えたことを主たる特徴とするもので足りる。
【００１８】
これらの構成では、表示画面の各画素の所定の特性の画素データを基準データと比較して欠陥画素を検出するのに、前記各画素データの複数ずつを１つの圧縮データに圧縮するが、この圧縮した各圧縮データをそれらに対応した各圧縮画素位置に倣った配列の圧縮画像データとして取り扱い、この圧縮画像データを前記圧縮対象となる所定の区分の指定位置を同一区分の一部の画素が重複して存在する条件を満足して複数位置にシフトした各シフト条件ごとに得て、各シフト条件での圧縮画像データの対応し合う圧縮画素データどうしを１つの判定対象圧縮データに合成することにより、得られた判定対象圧縮データは、前記同一区分の一部の画素データが重複するシフト条件に従い１つの画素データにつきまわりの画素データとの組み合わせを前記シフト回数分だけ異ならせた圧縮情報を含んで合成され、圧縮する複数の画素データの組み合わせの違いによって従来欠落しやすかった欠陥画像部分のデータを拾いやすくなるので、こうして得られた判定対象圧縮データを基準データと比較することにより、前記シフト処理と合成処理を行うだけで特に処理時間が長くなるようなことなく高精度に欠陥を判定して検出することができ、従来同様にその検出位置の番地データから欠陥位置が特定する。
【００１９】
所定の表示特性は、輝度の高低、カラー特性など各種のものについて検査することができる。複数の圧縮画素データの合成は、対応し合う圧縮画像デーダどうしの平均値を得てもよいし、中央値、最大値、最小値の１つを得てもよい。最大値は輝度過剰画素の欠陥を逃さないので輝度過剰な欠陥の検出に特に適し、最小値は輝度不足画素の欠陥を逃さないので輝度不足な欠陥の検出に特に適し、輝度過剰または輝度不足の欠陥が指定した区分に複数以上あるような面積の欠陥を検出するような場合に有効である。
【００２０】
本発明のそれ以上の目的および特徴は、以下の詳細な説明および図面の記載によって明らかになる。本発明の各特徴は、可能な限りにおいてそれ単独で、あるいは種々な組み合わせで複合して用いることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の表示画面の検査方法と装置の実施の形態について、その実施例とともに図１〜図７を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
【００２２】
本実施の形態は液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルを被検査体として各画素の輝度過剰画素を欠陥として検出する検査を行う場合の一例である。しかし、本発明はこれに限られることはなく、ＣＲＴ、プラズマディスプレイパネルなどをも含め、多数の表示画素から構成される表示画面を持つ各種の表示装置の表示画面の検査に適用して有効であるし、欠陥とする表示特性も上記輝度過剰に限られることはなく、輝度不足、あるいはカラー表示画面の表示画素ではそれらのカラー特性などの欠陥も検出することができる。
【００２３】
本実施の形態の表示画面の検査方法は、例えば図１に示すような検査装置を用いて行われ、被検査体１は検査ステージ２の上に載置され、装置上の検査原点に対し高精度な位置決めが行われる。これは例えば被検査体１の表示画面１ａを構成する各画素を高精度に位置認識するのに役立つ。被検査体１の表示画面１ａはこれも装置上の検査原点に対して高精度に位置決めされた撮像カメラ３によって上方から撮像される。撮像カメラ３は例えばＣＣＤエリアセンサ３ａを用いたもので、ＣＣＤエリアセンサ３ａは表示画面１ａの縦横に広がりを持って並んだ各画素１ａ１と１対１で対応するセンサ画素３ａ１を有し、被検査体１の表示画面１ａの各画素１ａ１の表示状態、つまり駆動状態を各センサ画素３ａ１で受光し電気信号として外部に出力する。本実施の形態では輝度信号でよいのでモノクロでの濃淡検出データをそのまま用いることができる。しかし、ＣＣＤエリアセンサ３ａは被検査体１の表示画面１ａの全面積分を一括撮像できる大きさのものでもよいが、部分画面を順次シフトしていきながら全画面分を撮像してもよい。
【００２４】
撮像カメラ３で撮像した上記表示画面１ａの各画素１ａ１での表示状態の撮像情報はマイクロコンピュータ４に入力され画像メモリ５に格納されるようにする。ここで画像メモリ５には表示画面１ａでの各画素１ａ１の配列位置に対応する番地指定のもとに各画素１ａ１からの撮像情報を格納し、各画素１ａ１ごとの撮像情報を各画素１ａ１の実際の配列位置に対応して取り扱えるようにする。しかし、その具体的なデータ展開の手法は自由に選択できる。また、画像メモリ５に格納するデータは撮像情報における検査対象となる表示特性についてのものにしておくのが後の利用に便利であり、本実施の形態では各画素１ａ１での表示輝度データである。図３の（ａ）〜（ｄ）は画像メモリ５に格納された各画素データ１ａ２が、表示画面１ａの各画素１ａ１の実際の配列に対応して取り扱えるように縦横の番地指定をして格納された状態を模式的に示している。
【００２５】
このように、画像メモリ５に所定の撮像データが所定の形式のもとに格納されると、マイクロコンピュータ４によってプログラムメモリ６に格納されたプログラムに従って、それに含まれ、あるいは他から受け取る画像処理アルゴリズムを用い、画像メモリ５に格納された上記のような撮像データから撮像した表示画面１ａの各画素データ１ａ２につき欠陥の判定および検出を行う検査処理を行う。
【００２６】
この検査は本実施の形態の場合、表示画面１ａを構成する各画素１ａ１ごとに検出した所定の表示特性の画素データ１ａ２につき、例えば図３の（ａ）に示す所定の区分Ｓに含む複数の画素に対応した画素データ１ａ２の一組ずつをそれぞれ、図３の（ａ１）に示す１つの圧縮データ１ａ３に圧縮する。
【００２７】
例えば図３の（ａ）を例に取ると縦横番地０・０、０・１、１・０、１・１を含む区分Ｓでの画素データ１ａ２の組み合わせは９９、１００、１００、１００であり、これを平均を取った１つの圧縮データ１ａ３として図３の（ａ１）における縦横番地１・１での１００に圧縮している。他の各画素１ａ１についても余すことのない図３の（ａ）に示すような区分Ｓの指定のもとに同様の画像圧縮を行う。
【００２８】
次いで、前記のように圧縮した各圧縮データ１ａ３をそれらに対応した各圧縮画素位置に倣った配列の図３の（ａ１）に示すような圧縮画像データＤ１として取り扱うようにし、前記圧縮対象となる所定の区分Ｓの指定位置を同一の区分Ｓ内の一部の画素データ１ａ２が重複して存在する条件を満足して、図３の（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すような複数位置にシフトした各シフト条件ごとの圧縮画像データＤ２〜Ｄ４を図３の（ｂ１）〜（ｄ１）に示すように得て同様に取り扱う。図３の（ｂ）は図３の（ａ）の場合に対し、区分Ｓの指定位置が縦横に一画素分シフトしていて、例えば縦横番地１・１の画素データ１００が図３の（ａ）および（ｂ）の双方の区分Ｓに重複して存在し、それぞれの区分Ｓにて異なった他のデータとの組み合わせで前記圧縮に供される。図３の（ｃ）は図３の（ａ）の場合に対し、指定区分Ｓが横方向に一画素分シフトしていて、例えば縦横番地０・１、１・１の画素データ１００、１００が図３の（ａ）および（ｃ）の双方の区分Ｓに重複して存在し、それぞれの区分Ｓにて異なった他のデータとの組み合わせで前記圧縮に供される。図３の（ｄ）は図３の（ａ）の場合に対し、指定区分Ｓが縦方向に一画素分シフトしていて、例えば縦横番地１・０、１・１の画素データ１００、１００が図３の（ａ）および（ｄ）の双方の区分Ｓに重複して存在し、それぞれの区分Ｓにて異なった他のデータとの組み合わせで前記圧縮に供される。このように、同一の撮像データにつき図３の（ａ）〜（ｄ）に示すデータ圧縮対象となる区分Ｓをシフトした、各シフト条件での圧縮操作で、図３の（ａ）の区分位置では図３の（ａ１）のように圧縮画像データＤ１が得られ、図３の（ｂ）の区分位置では図３の（ｂ１）のように圧縮画像データＤ２が得られ、図３の（ｃ）の区分位置では図３の（ｃ１）のように圧縮画像データＤ３が得られ、図３の（ｄ）の区分位置では図３の（ｄ１）のように圧縮画像データＤ４が得られる。
【００２９】
なお図３に示す実施例は、図８の（ａ）〜（ｄ）で取り扱った画素データおよびその配列と、それぞれで指定した区分の位置設定とを同じにして、本実施の形態が図８で説明した１回の圧縮操作しか行わない従来手法と比較されやすくしている。
【００３０】
次いで、各シフト条件での図３の（ａ１）、（ｂ１）、（ｃ１）、（ｄ１）に示す圧縮画像データＤ１〜Ｄ４の例えば同一縦横番地どうしで対応し合う圧縮データ１ａ３どうしを図３の（ｅ）に示すような１つの判定対象圧縮データ１ａ４に合成し、この各判定対象圧縮データ１ａ４を基準データ例えば１２０と比較して各圧縮画素ごとに表示特性の欠陥を判定し検出する。判定対象圧縮データ１ａ４は例えば図３の（ａ１）、（ｂ１）、（ｃ１）、（ｄ１）の各縦横番地１・１での圧縮画素データ１ａ３については、それぞれ１００、９９、１００、９９であるので、図３の（ｅ）に示す縦横番地１・１での１つのデータ９９に合成される。このようにして得た図３の（ｅ）に示すような各判定対象圧縮データ１ａ４の合成画像データの配列から、縦横番地３・４のデータで代表される欠陥画像Ｅを判定でき検出できる。そして検出された縦横番地３・４から欠陥画像Ｅの位置が特定する。これによって、ＣＣＤエリアセンサ３ａと被検査体１との間の位置ずれなどで考えられる取り込み画素データに対する区分位置の一画素レベル程度のずれなどの影響も受けなくなるのは勿論である。また、上記のような複数の画素データ１ａ２の平均化による圧縮、およびそれによって得られた複数の圧縮画像データＤ１〜Ｄ４の合成処理の連動は、幾つかの画素１ａ１の表示特性を均した状態で基準レベルと比較したいような場合に特に有効である。
【００３１】
上記実施例での圧縮画像データＤ１〜Ｄ４相互の合成は平均値を取ることによって行っている。他の合成の実施例としては、中央値、最大値、最小値などを得るような合成処理を行ってもよく、最大値は輝度過剰の欠陥を逃さないので輝度過剰の検出に好適であり、最小値は輝度不足の欠陥を逃さないので輝度不足の欠陥の検出に好適であり、輝度過剰または輝度不足の欠陥が指定した区分に複数以上あるような面積の欠陥を検出するような場合に有効である。
【００３２】
上記のような検査方法は、図１に示すように被検査体１の表示画面１ａを構成する各画素ごとの所定の表示特性を検出する検出手段としての上記撮像カメラ３からの撮像情報をマイクロコンピュータ４の内部機能によって達成するためマイクロコンピュータ４は、図２に示すように撮像カメラ３からの撮像情報を受信して撮像情報から検査対象となる表示特性のデータを、記憶手段としての画像メモリ５に対し表示画素１ａ１の二次元配列に対応する番地指定のもとに記憶させる入力部２１と、画像メモリ５に記憶された画素データ１ａ２を基に、表示画面１ａの表示特性の欠陥を判定し検出するとともに、その位置を特定するための処理をするのに、画像メモリ５に格納された各画素データ１ａ２の、所定の区分に含む複数の画素に対応した一組のものずつをそれぞれ１つの圧縮データ１ａ３として圧縮し、この圧縮した各圧縮データ１ａ３をそれらに対応した各圧縮画素位置に倣った配列の圧縮画像データとし、この圧縮画像データを前記圧縮対象となる各区分の指定位置を同一区分Ｓの一部の画素１ａ１が重複して存在する条件を満足して複数位置にシフトした各シフト条件ごとの圧縮画像データＤ１〜Ｄ４などとして生成する画像圧縮手段としての画像圧縮部２２と、各シフト条件での圧縮画像データの対応し合う圧縮画素データどうしを１つの判定対象圧縮データに合成する圧縮画像合成手段としての圧縮画像合成部２３と、合成された前記各判定対象圧縮データを基準データと比較して各圧縮画素ごとの表示特性の欠陥を検出する欠陥判定手段としての欠陥判定部２４とを設け、これらを図２に示すフローチャートのステップ＃１〜ステップ＃４のように処理の順位に従って順次働かせればよい。もっとも、これらの処理はマイクロコンピュータ４によらないでも専用の処理回路、処理装置によることもできる。
【００３３】
なお、画像圧縮部２２では、全てのシフト圧縮画像を生成する必要のないことが考えられる。例えば図４に示すような細長い被検査体１の撮像画像Ｆが検査対象になる場合、データ数が極端に少ない横方向の相対位置ずれが欠陥部分Ｅを逃さず検出するのに重要になってくる。圧縮を横１／５、縦１／５で行う場合２５種類の圧縮画像が考えられるが、図５に示すように○印を付して圧縮対象画素を示したように、横方向には密に圧縮処理をし、縦方向には間引きをして圧縮処理することにより、検査精度に影響なく処理速度を高められる。なお、検出すべき欠陥部分Ｅの形、起こり得る相対位置ずれの方向に応じて、シフト圧縮画像の生成数を変更することが望ましい。
【００３４】
さらに、対象データの平均値を取る平滑化圧縮に関しては、予めフィルタエレメントを図６に示すように設定することも考えられる。図６の（ａ）は横１／２、縦１／２のフィルタエレメントＦＥ１を示し、圧縮対象となる１つの区分Ｓでの縦２×横２の４つの画素データを、４つの位置にシフトして圧縮して合成することになるのに対応して、各シフト位置にて取り扱うまわりの画素データを含む縦３×横３の９つの画素データのそれぞれが加算処理される回数を、各画素に対応して示してあり、中央の画素が最大回数４になる。図６の（ｂ）は横１／３、縦１／３のフィルタエレメントＦＥ２を示し、圧縮対象となる１つの区分Ｓでの縦３×横３の９つの画素データを、９つの位置にシフトして圧縮して合成することになるのに対応して、各シフト位置にて取り扱うまわりの画素データを含む縦５×横５の２５個の画素データのそれぞれが加算処理される回数を、各画素に対応して示してあり、中央の画素が最大回数９になる。図６の（ｃ）は横１／４、縦１／４のフィルタエレメントＦＥ３を示し、圧縮対象となる１つの区分Ｓでの縦４×横４に並ぶ１６個の画素データが、１６の位置にシフトして圧縮して合成することになるのに対応して、各シフト位置にて取り扱うまわりの画素データを含む縦７×横７の４９個の画素データがのそれぞれが加算処理される回数を、各画素に対応して示してあり、中央の画素が最大回数１６になる。
【００３５】
図６の（ａ）の横１／２、縦１／２のフィルタエレメントの具体的な用い方につき説明すると、図７の（ａ）〜（ｄ）の斜線部分で示した横２×縦２の画素の部分画像３１を圧縮する場合、前記の横、縦にシフトすることに関連して、それを含む縦３×横３の９つの画素の部分画像３２に対して図６の（ａ）のフィルタエレメントを当てがう。これを各画素データに番地符号ａ１１〜ａ１３、ａ２１〜ａ２３、ａ３１〜ａ３３を付して一般化して示したのが図７の（ｅ）であり、各画素データａ１１〜ａ１３、ａ２１〜ａ２３、ａ３１〜ａ３３の値のそれぞれを、図６の（ａ）に示すフィルタエレメントＦＥ１の対応する画素位置にある加算回数と掛け合わせ、その各乗算結果を加算し合った値を、画素データ数１６で除算すると、４つの位置にシフトとして平滑化して圧縮し合成したデータが得られる。これを計算式で示すと以下の通りでありマイクロコンピュータ４で演算すると圧縮濃度値として出力することができる。
【００３６】
（１／１６）×［（ａ１１＋ａ１３＋ａ３１＋ａ３３）＋２×（ａ１２＋ａ２１＋ａ２３＋ａ３２）＋４×ａ２１］
【００３７】
【発明の効果】
本発明によれば、上記の説明で明らかなように、前記同一区分の一部の画素データが重複するシフト条件に従い１つの画素データにつきまわりの画素データとの組み合わせを前記シフト回数分だけ異ならせた圧縮情報を含んで合成した判定対象圧縮データを得て、これを基準データと比較し表示画面の表示特性の欠陥を判定して検出しその位置を特定することにより、圧縮する複数の画素データの組み合わせの違いによって従来欠落しやすかった欠陥画像部分のデータを拾いやすくなり、前記シフト処理と合成処理を行うだけで特に処理時間が長くなるようなことなく高精度に欠陥を判定して検出することができ、処理の高速化を妨げることなく検査精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態の表示画面の検査装置の概略構成図である。
【図２】図１の装置の検査処理を行う主な処理部を処理作業のフローに合わせて示したフローチャートである。
【図３】図１の画像圧縮部および圧縮画像合成部での具体的な１つの実施例操作を模式的に示す説明図で、その（ａ）〜（ｄ）は検査対象画素列に対し設定した圧縮対象区分の各シフト位置を示し、その（ａ１）〜（ｄ１）は各シフト位置での圧縮画像例を示し、その（ｅ）は各圧縮画像を合成した圧縮合成画像を示す。
【図４】縦長な表示画面を撮像して検査する際の撮像画像の一例を示す図である。
【図５】図５の撮像画像に適した別の圧縮手法を示す説明図である。
【図６】画像圧縮および合成の操作に用いるフィルタエレメントの例を示す模式図である。
【図７】図６のフィルタエレメントを用いて画像の圧縮合成を行う場合の説明図で、その（ａ）〜（ｄ）は圧縮区分の位置を違えて示し、その（ｅ）は１つの圧縮対象区分についてのシフト操作による処理対象画素を含む部分画像を一般化して示す部分画像図である。
【図８】従来の検査方法における画像圧縮操作の一例で、その（ａ）〜（ｄ）は同一の検査対象画素列に対し異なって設定した圧縮対象区分の各位置を示し、その（ａ１）〜（ｄ１）は各設定位置での圧縮画像例を示す。
【符号の説明】
１  被検査体
１ａ  表示画面
１ａ１  表示画素
１ａ２  画素データ
１ａ３  圧縮データ
１ａ４  判定対象圧縮データ
３  撮像カメラ
３ａ  ＣＣＤエリアセンサ
３ａ１  センサ画素
４  マイクロコンピュータ
５  画像メモリ
６  プログラムメモリ
２１  画像入力部
２２  画像圧縮部
２３  圧縮画像合成部
２４  欠陥判定部
Ｄ１〜Ｄ４  圧縮画像データ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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