(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに相対する一対の励振用平板部がその両端で連結された励振用振動部と、互いに相対する一対の検出用平板部がその両端で連結された検出用振動部とを備え、
前記励振用平板部と前記検出用平板部とが直交するように連結され、
前記両励振用平板部及び両検出用平板部にはそれぞれ圧電部を有し、
前記両励振用平板部の各圧電部には同平板部に振動を加える励振用電極がそれぞれ設けられ、
前記両検出用平板部の各圧電部には同平板部に加えられた振動を検出する検出用電極と、同平板部に発生する漏れ振動を抑制する振動相殺用電極がそれぞれ設けられた圧電振動ジャイロにおいて、
前記振動相殺用電極の面積は、検出用平板部の面積に比して２分の１以下で、かつ検出用電極の面積より広いことを特徴とする圧電振動ジャイロ。
【請求項２】
前記振動相殺用電極は、検出用平板部の圧電部と同じ幅を有するように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動ジャイロ。
【請求項３】
励振用振動部の一端は固定端とし、他端は検出用振動部との連結端とし、検出用振動部の一端は自由端とし、他端は励振用振動部との連結端とすることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動ジャイロ。
【請求項４】
検出用振動部の一端は固定端とし、他端は励振用振動部との連結端とし、励振用振動部の一端は自由端とし、他端は検出用振動部との連結端とすることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電振動ジャイロ。
【請求項５】
前記請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項に記載の圧電振動ジャイロを備えた装置であって、
前記励振用電極は、第１励振用電極と第２励振用電極からなり、
前記振動相殺用電極は、第１振動相殺用電極と第２振動相殺用電極とからなり、
所定の周波数で発振信号を出力する発振回路と、
入力した前記発振信号を反転し、第１励振用電極に対して発振信号に基づく圧電信号を印加する第１反転回路と、
入力した前記発振信号を反転しないで、第２励振用電極に対して発振信号に基づく圧電信号を印加する第１非反転回路と、
両検出用電極から検出信号の差を取り、両電極の検出信号の差に係る出力信号を出力する差動回路と、
前記発振信号を入力し、発振信号の所定の位相補正に基づく補正信号を出力する位相補正回路と、
入力した前記補正信号を反転し、第１振動相殺用電極に対して補正信号に基づく圧電信号を印加する第２反転回路と、
入力した前記補正信号を反転しないで、第２振動相殺用電極に対して補正信号に基づく圧電信号を印加する第２非反転回路と
を備えた圧電振動ジャイロ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電振動ジャイロ及び高検出感度を備えた圧電振動ジャイロ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、図１３に示すような圧電振動ジャイロが知られている。この圧電振動ジャイロ１６０は、その長手方向の中心軸が角速度Ωの検出軸となっている。
【０００３】
前記圧電振動ジャイロ１６０はともに四角枠状をなす励振用振動部１６４と検出用振動部１６７とを有する振動子１６１を備えている。同振動子１６１は折り曲げ加工された板材１６１ａと、３つのマス１６１ｂ〜１６１ｄとから形成されている。振動子１６１は、その長手方向にある検出軸方向での一方の端部が固定端とされ、同じく他方の端部が自由端とされている。
【０００４】
振動子１６１の固定端側は励振用振動部１６４とされ、貫通孔１６２を有している。同励振用振動部１６４は互いに相対して平行に配置された一対の励振用扁平部１６３を有している。各励振用扁平部１６３の外面には励振用圧電板１６８が設けられている。振動子１６１の自由端側は検出用振動部１６７とされ、貫通孔１６５を有している。同検出用振動部１６７は、前記励振用扁平部１６３に直交するとともに、互いに相対して平行に配置された一対の検出用扁平部１６６を有している。各検出用扁平部１６６の外面には検出用圧電板１６９が設けられている。
【０００５】
両励振用圧電板１６８の外面において、励振用振動部１６４の上部領域には励振用電極１７０ａが設けられ、励振用振動部１６４の下部領域には励振用電極１７０ｂが設けられている。両検出用圧電板１６９の外面において、検出用振動部１６７の上部領域には検出用電極１７１ａが設けられ、検出用振動部１６７の下部領域には検出用電極１７１ｂが設けられている。
【０００６】
前記励振用電極１７０ａと励振用電極１７０ｂは同じ面積で、かつ検出用電極１７１ａと検出用電極１７１ｂは同じ面積となっている。
そして、圧電振動ジャイロ１６０によって角速度Ωを検出する際には、励振用電極１７０ａ，１７０ｂに交流圧電信号を印加して、励振用圧電板１６８及び励振用扁平部１６３をＸ方向に弾性振動させる。
【０００７】
すると、検出軸（中心軸）回りに作用する角速度Ωによって検出用振動部１６７に対し検出軸（中心軸）及びＸ方向に垂直な方向、すなわちＹ方向に角速度Ωの大きさに比例したコリオリオ力が交番して作用する。このコリオリ力によって検出用扁平部１６６及び検出用圧電板１６９がＹ方向に弾性振動し、コリオリ力の大きさに比例した検出信号が検出用電極１７１ａ，１７１ｂに発生する。従って、この検出信号から角速度Ωを検出することができる。
【０００８】
前記励振用電極１７０ａ，１７０ｂは面積が広いほど、面積が狭い場合に比して、励振用圧電板１６８及び励振用扁平部１６３を振動させる際に低い電圧の圧電信号で振動できる。一方、前記検出用電極１７１ａ，１７１ｂは、検出用圧電板１６９における最も圧縮及び伸張変形する部分（応力集中部分）のみに設けるべく、その面積を励振用電極１７０ａ、１７０ｂの面積に比して狭くしている。これは、応力集中部分に対して検出用電極１７１ａ，１７１ｂを面積を狭くして設けた方が、面積を広くして設ける場合よりも検出感度を高くすることができるからである。
【０００９】
ところで、前記圧電振動ジャイロ１６０は、前記中心軸を中心とする回転対称性が良いほど、重量バランスがとれ良好な検出信号が得られる。しかし、圧電振動ジャイロ１６０の加工や組み付けを行う際、組み付け公差や、加工公差のため、前記対称性が微妙にずれることがある。この結果、高感度な検出を行う際には検出軸（中心軸）回りの角速度Ωが０になっていても、励振用振動部１６４のＸ方向の振動が、検出用振動部１６７へＹ方向の振動となってしまう漏れ振動が発生することがある。この現象は、メカニカルカップリングの影響により生ずる。この現象により検出用電極１７１ａ，１７１ｂに漏れ電圧が発生する。
【００１０】
前記漏れ電圧を抑制するために、検出用電極１７１ａの代わりに同検出用電極１７１ａと同じ位置に、検出用電極１７１ａと同面積の振動相殺用電極１８０を設けた圧電振動ジャイロが提案されている。この圧電振動ジャイロは、振動相殺用電極１８０（図１３参照）に最適な圧電信号を印加することで振動を発生させ、その振動で検出用振動部１６７に発生する漏れ振動を相殺し、検出用電極１７１ｂのみでコリオリ力の大きさに比例した検出信号を検出している。この結果、圧電振動ジャイロに加工公差や組み付け公差があっても、漏れ振動の影響が少ない高感度な検出を行うことができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、後者の圧電振動ジャイロは振動相殺用電極１８０の面積が検出用電極１７１ｂの面積と同じで、かつ励振用電極１７０ａ，１７０ｂの面積に比して狭くしていた。このため、振動相殺用電極１８０は、例えば振動相殺用電極１８０を前記励振用電極１７０ａと同面積にしたものと比べて、高い電圧の圧電信号を印加して漏れ振動を抑制する必要がある。これは、面積が狭いほど高い電圧を印加して振動させる必要があるからである。すると、検出用電極１７１ｂには振動相殺用電極１８０に印加される高い電圧の圧電信号の影響を受け、この結果、検出用電極１７１ｂからは、前記高い電圧の圧電信号に起因して生じたノイズを多く含んだ検出信号が出力されてしまう問題があった。
【００１２】
従って、本発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、その目的は振動相殺用電極から発生するノイズを極力抑制して検出用電極からノイズが少ない検出信号を出力することができる圧電振動ジャイロ及び圧電振動ジャイロ装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、互いに相対する一対の励振用平板部がその両端で連結された励振用振動部と、互いに相対する一対の検出用平板部がその両端で連結された検出用振動部とを備え、前記励振用平板部と前記検出用平板部とが直交するように連結され、前記両励振用平板部及び両検出用平板部にはそれぞれ圧電部を有し、前記両励振用平板部の各圧電部には同平板部に振動を加える励振用電極がそれぞれ設けられ、前記両検出用平板部の各圧電部には同平板部に加えられた振動を検出する検出用電極と、同平板部に発生する漏れ振動を抑制する振動相殺用電極がそれぞれ設けられた圧電振動ジャイロにおいて、前記振動相殺用電極の面積は、検出用平板部の面積に比して２分の１以下で、かつ検出用電極の面積より広いことを要旨とする。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、請求項１において、前記振動相殺用電極は、検出用平板部の圧電部と同じ幅を有するように設けられていることを要旨とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２において、励振用振動部の一端は固定端とし、他端は検出用振動部との連結端とし、検出用振動部の一端は自由端とし、他端は励振用振動部との連結端とすることを要旨とする。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は請求項２において、検出用振動部の一端は固定端とし、他端は励振用振動部との連結端とし、励振用振動部の一端は自由端とし、他端は検出用振動部との連結端とすることを要旨とする。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項に記載の圧電振動ジャイロを備えた装置であって、前記励振用電極は、第１励振用電極と第２励振用電極からなり、前記振動相殺用電極は、第１振動相殺用電極と第２振動相殺用電極とからなり、所定の周波数で発振信号を出力する発振回路と、入力した前記発振信号を反転し、第１励振用電極に対して発振信号に基づく圧電信号を印加する第１反転回路と、入力した前記発振信号を反転しないで、第２励振用電極に対して発振信号に基づく圧電信号を印加する第１非反転回路と、両検出用電極から検出信号の差を取り、両電極の検出信号の差に係る出力信号を出力する差動回路と、前記発振信号を入力し、発振信号の所定の位相補正に基づく補正信号を出力する位相補正回路と、入力した前記補正信号を反転し、第１振動相殺用電極に対して補正信号に基づく圧電信号を印加する第２反転回路と、入力した前記補正信号を反転しないで、第２振動相殺用電極に対して補正信号に基づく圧電信号を印加する第２非反転回路とを備えたことを要旨とする。
（作用）
従って、請求項１に記載の発明においては、振動相殺用電極に対して漏れ振動に応じた圧電信号を印加すると、検出用平板部に発生する漏れ振動が抑制される。この際、振動相殺用電極の面積は検出用平板部の面積に比して２分の１以下で、かつ検出用電極の面積より広いため、同振動相殺用電極の面積を検出用電極の面積と同じ面積にした場合と比べ以下の作用を奏する。振動相殺用電極と、「検出用電極の面積と同じ面積にした振動相殺用電極」とにそれぞれ同じ圧電信号を印加すると、前者の振動相殺用電極の方が検出用平板部を大きく振動させる。即ち、検出用平板部をある大きさに振動させる際に、振動相殺用電極の方が「検出用電極の面積と同じ面積にした振動相殺用電極」に比べ印加する圧電信号が小さくて済む。そして、振動相殺用電極に印加する圧電信号が小さいほど、その圧電信号が検出用電極に対してノイズとして検出されることが少なくなる。
【００１７】
請求項２に記載の発明においては、請求項１に記載の作用に加えて、振動相殺用電極は、検出用平板部の圧電部における幅一杯に設けられている。そのため、振動相殺用電極は、例えば「長さが同じで、かつ幅が検出用平板部の圧電部における幅一杯まで設けられていない振動相殺用電極」と比べて広い面積を確保できる。この結果、振動相殺用電極は、検出用平板部に発生する漏れ振動を抑制する際に、「長さが同じで幅が検出用平板部の圧電部における幅一杯まで設けられていない振動相殺用電極」と比べて、小さな圧電信号を印加することで漏れ振動を抑制する。
【００１８】
請求項３に記載の発明においては、請求項１又は請求項２に記載の作用に加えて、励振用振動部の一端は固定端とされ、他端は検出用振動部に連結される。検出用振動部の一端は自由端とされ、他端は励振用振動部に連結される。
【００１９】
請求項４に記載の発明においては、請求項１乃至請求項３のうちいずれか１項に記載の作用に加えて、検出用振動部の一端は固定端とされ、他端は励振用振動部に連結される。励振用振動部の一端は自由端とされ、他端は検出用振動部に連結される。
【００２０】
請求項５に記載の発明においては、請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項に記載の作用に加えて、発振回路は所定の周波数で発振信号を出力する。第１反転回路は入力した前記発振信号を反転し、第１励振用電極に対して発振信号に基づく圧電信号を印加する。又、第１非反転回路は、入力した前記発振信号を反転しないで、第２励振用電極に対して発振信号に基づく圧電信号を印加する。この結果、駆動部である励振用平板部が振動する。
【００２１】
前記励振用平板部の振動時に、圧電振動ジャイロが軸心の回りに回転した場合、差動回路は両検出用電極から検出信号の差を取り、両電極の検出信号の差に係る出力信号を出力する。位相補正回路は、前記発振信号を入力し、発振信号の所定の位相補正に基づく補正信号を出力する。第２反転回路は、入力した前記補正信号を反転し、第１振動相殺用電極に対して補正信号に基づく圧電信号を印加する。第２非反転回路は、入力した前記補正信号を反転しないで、第２振動相殺用電極に対して補正信号に基づく圧電信号を印加する。両振動相殺用電極は圧電信号が印加されると検出用平板部を振動させ、その振動により検出用平板部の漏れ振動を相殺する。
【００２２】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態を図１〜図６に従って説明する。
なお、図１〜図６及び後記する図７〜図１２は全て模式図であって、各部間の寸法関係は実際の寸法関係と異なる。
【００２３】
以下、説明の便宜上、図１における上下方向を圧電振動ジャイロの上下方向として説明する。
また、本実施形態では、励振用平板部３５Ｂから励振用平板部３５Ａへ向かう方向をＸ方向、検出用平板部３６Ａから検出用平板部３６Ｂへ向かう方向をＹ方向という。そして、第１マス１２から第３マス１４へ向かう方向をＺ方向という。前記Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向は互いに直交している（第２〜第４及び他の実施形態においても同じ）。
【００２４】
図１及び図２に示すように、本実施形態の圧電振動ジャイロ１０は、枠体１１、第１マス１２、第２マス１３及び第３マス１４とからなる振動子１５を備えている。
【００２５】
図２に示すように、枠体１１は、互いに同一幅の帯状板材によって略四角枠状に形成された一対の励振用枠部１６と、互いに同一幅の帯状板材によって略四角枠状に形成された一対の検出用枠部１７とを備えている。励振用枠部１６及び検出用枠部１７は、励振用枠部１６の天部、及び検出用枠部１７の底部を形成する共通の連結部１８によって、水平方向に対して互いに直交する向きとなるように形成されている。
【００２６】
励振用枠部１６は、一対の垂直板部２０がその上側及び下側で連結されることで形成され、その底部には嵌合孔２１を備えている。検出用枠部１７は、一対の垂直板部２２がその上側及び下側で連結されることで形成され、その天部には嵌合孔２３を備えている。また、連結部１８には嵌合孔１８ａが形成されている。
【００２７】
枠体１１は、図２，３に示すように、弾性金属板材を十字状に打ち抜き加工した金属板部材２４を折り曲げ加工することで形成されている。弾性金属板材としては、厚さが２００μｍ未満のものが使用される。弾性金属としては恒弾性材料、低膨張材料である例えばＳＵＳ３０４、エリンバー等が使用されている。金属板部材２４は、２組の帯状材が十字状に、すなわち、直交して交差するように形成され、その交差部から互いに反対向きに延出する２組の延出片２４Ａ，２４Ｂを備えている。両延出片２４Ａ，２４Ｂの交差部には嵌合孔１８ａが形成されている。また、各延出片２４Ａの端には半円状の切り欠き部２１ａがそれぞれ形成され、各延出片２４Ｂの端には半円状の切り欠き部２３ａがそれぞれ形成されている。
【００２８】
そして、両延出片２４Ａを略四角枠状に閉じるように折り曲げ加工し、その各端同士を突き合わせて接合することで励振用枠部１６が形成される。このとき、折り曲げ加工によって、一対の垂直板部２０が互いに平行に且つ相対する位置に形成される。また、両延出片２４Ｂを前記両延出片２４Ａの折曲方向とは逆方向に、かつ略四角枠状に閉じるように折り曲げ加工し、その各端同士を突き合わせて接合することで検出用枠部１７が形成される。このとき、折り曲げ加工によって、一対の垂直板部２２が互いに平行に且つ相対する位置に形成される。そして、両延出片２４Ａ，２４Ｂの交差部によって連結部１８が形成される。また、両延出片２４Ａの切り欠き部２１ａによって嵌合孔２１が形成され、両延出片２４Ｂの各切り欠き部２３ａによって嵌合孔２３が形成される。
【００２９】
第１マス１２、第２マス１３及び第３マス１４はアルミニウム合金から鋳造で形成されている。図２に示すように、第１マス１２は、その下面から突出する円柱状の嵌合部１２ａを備え、この嵌合部１２ａが嵌合孔２１に嵌合することで励振用枠部１６の下部内側に位置決めされている。前記第１マス１２は励振用枠部１６に対して接着固定されている。また、第２マス１３は、その下面から突出する円柱状の嵌合部１３ａを備え、この嵌合部１３ａが嵌合孔１８ａに嵌合することで検出用枠部１７の下部内側に位置決めされている。前記第２マス１３は検出用枠部１７に対して接着固定されている。また、第３マス１４は、その上面から突出する円柱状の嵌合部１４ａを備え、この嵌合部１４ａが嵌合孔２３に嵌合することで検出用枠部１７の上部内側に位置決めされている。前記第３マス１４は検出用枠部１７に対して接着固定されている。
【００３０】
圧電振動ジャイロ１０は、図１に示すように、鉛直方向、即ちＺ方向に配置された長手方向における下部に励振用振動部２５を備え、同じく上部に検出用振動部２６を備えている。
【００３１】
なお、本実施形態では、枠体１１の下端が図示しない固定部材に固定される固定端、上端が自由端とされている。言い換えると、前記励振用振動部２５の下端は固定端に相当し、上端は検出用振動部２６に連結する連結端に相当する。検出用振動部２６の上端は自由端に相当し、下端は励振用振動部２５に連結する連結端に相当する。
【００３２】
励振用振動部２５は、励振用枠部１６、第１マス１２、検出用枠部１７の下部、及び第２マス１３によって形成されている。図１，２，３に示すように、励振用振動部２５は、励振用枠部１６の両垂直板部２０によって第１マス１２よりも上側に形成された一対の励振用扁平部２７Ａ，２７Ｂを備えている。そして、両励振用扁平部２７Ａ，２７Ｂは、励振用枠部１６の上部によってその上側で連結され、励振用枠部１６の下部及び第１マス１２によってその下側で連結されている。従って、両励振用扁平部２７Ａ，２７Ｂは、互いに平行に且つ相対する位置に配置されている。
【００３３】
また、検出用振動部２６は、検出用枠部１７、第２マス１３及び第３マス１４によって形成されている。図１，２，３に示すように、検出用振動部２６は、検出用枠部１７の両垂直板部２２によって第２マス１３と第３マス１４との間に形成された一対の検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂを備えている。そして、両検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂは、検出用枠部１７の上部及び第３マス１４によってその上側で連結され、検出用枠部１７の下部及び第２マス１３によってその下側で連結されている。従って、検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂは、互いに平行に且つ相対する位置に配置されている。
【００３４】
図１に示すように、励振用振動部２５における励振用扁平部２７Ａ側の垂直板部２０には、その外側面に励振用圧電板２９Ａが接着されている。同様に、励振用扁平部２７Ｂ側の垂直板部２０には、その外側面に励振用圧電板２９Ｂが接着されている。前記励振用圧電板２９Ａ，２９Ｂは圧電部に相当する。各励振用圧電板２９Ａ、２９Ｂは同一材質にて同一形状に形成され、励振用振動部２５の下端から励振用扁平部２７Ａ，２７Ｂの上端までの範囲で励振用枠部１６の幅と同じ幅で形成されている。各励振用圧電板２９Ａ，２９Ｂは、ジルコン・チタン酸鉛（ＰＺＴ）の板材から形成されている。
【００３５】
励振用圧電板２９Ｂには、図２に示すように、その内側面全体に接地電極３０が形成されている。また、励振用圧電板２９Ａにも、同様にその内側面全体に接地電極３０が形成されている。各接地電極３０は、スパッタリング、真空蒸着等によって形成されたチタン、金等の電極膜からなる。
【００３６】
また、励振用圧電板２９Ａには、その外側面に上下一対の励振用電極としての励振用電極膜３１Ａ，３１Ｂが形成されている。なお、前記励振用電極膜３１Ａは第１励振用電極に相当し、励振用電極膜３１Ｂは第２励振用電極に相当する。上側の励振用電極膜３１Ａは、励振用扁平部２７Ａの上部領域に対応する領域に形成され、下側の励振用電極膜３１Ｂは、同じく下部領域に対応する領域に形成されている。また、励振用圧電板２９Ｂにも、同様にその外側面に上下一対の励振用電極膜３１Ｂ，３１Ａが形成されている。そして、上側の励振用電極膜３１Ｂは、励振用扁平部２７Ｂの上部領域に対応する領域に形成され、下側の励振用電極膜３１Ａは、同じく下部領域に対応する領域に形成されている。なお、各励振用電極膜３１Ａ，３１Ｂは、同一の面積となるように形成されており、スパッタリング、真空蒸着等によって形成されたアルミニウム等の電極膜からなる。
【００３７】
励振用圧電板２９Ａに形成された励振用電極膜３１Ａと励振用圧電板２９Ｂに形成された励振用電極膜３１Ｂとは、各励振用扁平部２７Ａ，２７Ｂの上部領域間でＸ方向に沿って相対向するように形成されている。また、同様に、励振用圧電板２９Ａに形成された励振用電極膜３１Ｂと励振用圧電板２９Ｂに形成された励振用電極膜３１Ａとは、各励振用扁平部２７Ａ，２７Ｂの下部領域間でＸ方向に沿って相対向するように形成されている。
【００３８】
そして、前記励振用扁平部２７Ａと、前記励振用圧電板２９Ａにおける励振用扁平部２７Ａに相対する部位とにより、励振用平板部３５Ａが構成されている。また、前記励振用扁平部２７Ｂと、前記励振用圧電板２９Ｂにおける励振用扁平部２７Ｂに相対する部位とにより、励振用平板部３５Ｂが構成されている。
【００３９】
前記検出用振動部２６における検出用扁平部２８Ａ側の垂直板部２２には、その外側面に検出用圧電板３２Ａが接着されている。また、検出用扁平部２８Ｂ側の垂直板部２２には、同様にその外側面に検出用圧電板３２Ｂが接着されている。前記検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂは圧電部に相当する。各検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂは同一材質にて同一形状に形成され、各検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂの下端から検出用振動部２６の上端までの範囲で検出用枠部１７の幅と同じ幅で形成されている。各検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂは、励振用圧電板２９Ａ，２９Ｂと同様にジルコン・チタン酸鉛（ＰＺＴ）の板材から形成されている。
【００４０】
検出用圧電板３２Ｂには、図２に示すように、その内側面全体に接地電極３３が形成されている。また、検出用圧電板３２Ａにも、同様にその内側面全体に接地電極３３が形成されている。各接地電極３３は、スパッタリング、真空蒸着等によって形成されたチタン、金等の電極膜からなる。検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂには、その外側面の上下に振動相殺用電極膜３４Ａ及び検出用電極膜３４Ｂが形成されている。
【００４１】
前記振動相殺用電極膜３４Ａは振動相殺用電極に相当し、前記検出用電極膜３４Ｂは検出用電極に相当する。また、検出用圧電板３２Ａの振動相殺用電極膜３４Ａは第１振動相殺用電極に相当し、検出用圧電板３２Ｂの振動相殺用電極膜３４Ａは第２振動相殺用電極に相当する。
【００４２】
上側の振動相殺用電極膜３４Ａは、検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂの上部領域に対応する領域に形成され、下側の検出用電極膜３４Ｂは、同じく下部領域に対応する領域に形成されている。
【００４３】
前記検出用電極膜３４Ｂは、検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂにおける最も圧縮及び伸張変形する部分（応力集中部分）のみに設けるべく、その面積を励振用電極膜３１Ａ，３１Ｂの面積に比して狭くしている。これは、応力集中部分に対して検出用電極膜３４Ｂの面積を狭くして設けた方が、面積を広くして設ける場合よりも検出感度を高くすることができるからである。
【００４４】
前記振動相殺用電極膜３４Ａ及び検出用電極膜３４Ｂは、スパッタリング、真空蒸着等によって形成されたアルミニウム等の電極膜からなる。
検出用圧電板３２Ａに形成された振動相殺用電極膜３４Ａと検出用圧電板３２Ｂに形成された振動相殺用電極膜３４Ａとは、各検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂの上部領域間でＹ方向に沿って相対向するように形成されている。また、同様に、検出用圧電板３２Ａに形成された検出用電極膜３４Ｂと検出用圧電板３２Ｂに形成された検出用電極膜３４Ｂとは各検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂの下部領域間でＹ方向に沿って相対向するように形成されている。
【００４５】
これは、例えば検出用振動部２６が図４に示すようにＹ方向へ向け波形に変形した場合、検出用圧電板３２Ａにおいて、検出用扁平部２８Ａの上部領域に対応する部位は縮み、検出用扁平部２８Ａの下部領域に対応する部位は伸びる。一方、検出用圧電板３２Ｂにおいて、検出用扁平部２８Ｂの上部領域に対応する部位は伸び、検出用扁平部２８Ａの下部領域に対応する部位は縮む。この伸び・縮みが生ずるそれぞれに部位に対応して振動相殺用電極膜３４Ａ、及び検出用電極膜３４Ｂとが配置されている。なお、図４では、検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂ内において、矢印は検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂの分極方向を示し、右下がりのハッチング部分は伸びている部分を示し、左下がりのハッチング部分は縮み部分を示している。
【００４６】
そして、前記検出用扁平部２８Ａと、前記検出用圧電板３２Ａにおける検出用扁平部２８Ａに相対する部位とにより、検出用平板部３６Ａが構成されている。また、前記検出用扁平部２８Ｂと、前記検出用圧電板３２Ｂにおける検出用扁平部２８Ｂに相対する部位とにより、検出用平板部３６Ｂが構成されている。
【００４７】
図１に示すように、前記検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの長さをＬ、幅をＷとすると、振動相殺用電極膜３４Ａの長さは略「Ｌの５分の２」で、幅はＷとされている。検出用電極膜３４Ｂの長さは略「Ｌの７分の１」で、幅はＷとされている。即ち、振動相殺用電極膜３４Ａの面積は検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの２分の１以下の面積で、かつ検出用電極膜３４Ｂの面積より広くされている。
【００４８】
そして、前記励振用平板部３５Ａ，３５Ｂと前記検出用平板部３６Ａ，３６Ｂは互いに直交した状態で配置され、前記励振用平板部３５Ａ，３５Ｂの振動が検出用平板部３６Ａ，３６Ｂに伝達するようにされている。
【００４９】
なお、本実施形態では、励振用平板部３５Ａ，３５Ｂの共振周波数と、検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの共振周波数が同一になるように設定されている。
次に、図５を参照して、上記圧電振動ジャイロ１０を採用した圧電振動ジャイロ装置７１を説明する。
【００５０】
なお、図５の圧電振動ジャイロ１０は模式図であり、説明の便宜上励振用振動部２５に対して検出用振動部２６を９０度回転させて図示している。
圧電振動ジャイロ装置７１は、発振回路７２を備えている。同発振回路７２は所定周波数の発振信号を発振し、反転増幅回路７３、非反転増幅回路７４、及び位相補正回路７５に出力する。反転増幅回路７３は、入力した発振信号を反転増幅し、圧電振動ジャイロ１０の励振用電極膜３１Ａに、反転増幅した発振信号に基づく圧電信号を印加する。又、非反転増幅回路７４は入力した発振信号を増幅し、圧電振動ジャイロ１０の励振用電極膜３１Ｂに、増幅した発振信号に基づく圧電信号を印加する。前記反転増幅回路７３は第１反転回路に相当し、非反転増幅回路７４は第１非反転回路に相当する。なお、圧電振動ジャイロ１０の振動子１５は接地電極３０，３３を介して接地されている。
【００５１】
位相補正回路７５は入力した発振信号に位相補正を行い、その位相補正を行った発振信号を補正信号として反転増幅回路７６及び非反転増幅回路７７に出力する。反転増幅回路７６は、入力した補正信号を反転増幅し、検出用平板部３６Ａの振動相殺用電極膜３４Ａに、反転増幅した補正信号に基づく圧電信号を印加する。又、非反転増幅回路７７は入力した補正信号を増幅し、検出用平板部３６Ｂの振動相殺用電極膜３４Ａに、増幅した補正信号に基づく圧電信号を印加する。前記反転増幅回路７６は第２反転回路に相当し、非反転増幅回路７７は第２非反転回路に相当する。
【００５２】
検出部である検出用振動部２６において、互いに反対側面同士に設けられた両検出用電極膜３４Ｂは差動回路７８に電気的に接続されている。同差動回路７８は、両検出用電極膜３４Ｂから検出信号を入力し、その差を取り、２倍の出力信号として出力する。
【００５３】
なお、前記位相補正回路７５の位相補正量の設定は、下記のようにして行う。角速度が働かない状態、すなわち、コリオリの力が発生しない状態において、圧電振動ジャイロ１０に位相補正をかけずに、励振用電極膜３１Ａ，３１Ｂに対して、発振回路７２から前記反転増幅回路７３、非反転増幅回路７４を介して圧電信号を印加する。そして、検出用電極膜３４Ｂから、そのときの検出信号を差動回路７８を介して入力測定する。
【００５４】
このときの検出信号には、従来技術で説明したようにメカニカルカップリングによる漏れ振動によってオフセット電圧分も含んでいる。このオフセット電圧を解消、すなわち、０とするように、前記位相補正回路７５の回路定数等を設定することにより位相補正量が決定されている。
【００５５】
次に圧電振動ジャイロ装置７１の作用について説明する。
さて、上記のように構成された圧電振動ジャイロ装置７１を使用する場合、枠体１１（励振用振動部２５）の固定端を固定する。その状態で、励振用振動部２５の励振用電極膜３１Ａ，３１Ｂに対して、前記発振回路７２、反転増幅回路７３、及び非反転増幅回路７４にてそれぞれ反対電位の交番電圧を同期して印加する。
【００５６】
すると、励振用圧電板２９Ａ，２９Ｂの分極方向が励振用電極膜３１Ａ，３１Ｂから垂直板部２０の方向に向いている場合、プラス電位側に印加された方の励振用圧電板２９Ａ，２９Ｂは圧縮され、マイナス電位に印加された側の励振用圧電板２９Ａ，２９Ｂは引き伸ばされる。そして、交番電圧による極性の変化によって、励振用圧電板２９Ａは、上下に配置された励振用電極膜３１Ａ，３１Ｂの裏面側において圧縮、引き伸ばしが交互に繰り返される。又、励振用圧電板２９Ｂは、上下に配置された励振用電極膜３１Ａ，３１Ｂの裏面側において、圧縮、引き伸ばしが交互に繰り返される。
【００５７】
この結果、励振用振動部２５は、Ｘ、反Ｘ方向に駆動され、上部に位置する検出用振動部２６は同方向に振動する。
そして、この振動状態で、圧電振動ジャイロ１０に角速度Ωの回転が加わったときに、コリオリ力が交番して作用し、検出用振動部２６において検出用圧電板３２Ａ及び検出用圧電板３２Ｂは特に応力集中部で、圧縮、引き伸ばしが交互に繰り返される。
【００５８】
このとき、例えば、図４に示すように検出用振動部２６がＹ方向へ向け波形に変形した場合、検出用圧電板３２Ｂの上側は伸び、下側は縮む。一方、検出用圧電板３２Ａの上側は縮み、下側は伸びる。この伸び・縮みが生ずるそれぞれの部位に対応して配置された各検出用電極膜３４Ｂがそのときに検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂに発生した検出信号を差動回路７８に出力する。なお、検出用圧電板３２Ａ、及び検出用圧電板３２Ｂは互いに反対に作動（延び・縮み）するため、検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂで発生する圧電信号（検出信号）の極性は逆になる。
【００５９】
従って、差動回路７８では、両検出用電極膜３４Ｂの検出信号の差が取られるため、差動回路７８からの出力信号は、元の検出信号の２倍の電圧となる。この出力信号に基づいて角速度Ωが検出される。
【００６０】
上記圧電振動ジャイロ１０は励振用平板部３５Ａ，３５Ｂの共振周波数と、検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの共振周波数が同一になるように設定されている。このように共振周波数が同一になればなるほど、加工及び組み付け精度のバラツキによる対称性のずれ等の影響により、角速度Ωが０にもかかわらずメカニカルカップリングの影響を受け、検出用振動部２６がＹ、反Ｙ方向に振動することがある（以下、このような振動を漏れ振動という）。
【００６１】
この漏れ振動を抑制すべく、圧電振動ジャイロ装置７１は両振動相殺用電極膜３４Ａに対して前記発振回路７２、位相補正回路７５、反転増幅回路７６、及び非反転増幅回路７７にてそれぞれ反対電位の交番電圧を同期して印加する。そして、位相補正回路７５からの圧電信号は、オフセット電圧が０となるように位相補正されているため、前記両振動相殺用電極膜３４Ａに印加される圧電信号により、Ｙ方向及び反Ｙ方向に発生している漏れ振動が減少する。
【００６２】
ところで、両振動相殺用電極膜３４Ａの面積は検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの２分の１以下の面積で、かつ検出用電極膜３４Ｂの面積より広くされている。そのため、各振動相殺用電極膜３４Ａに面した、すなわち各振動相殺用電極膜３４Ａに直接触れている部分の検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂは以下に示す作用を奏する。
【００６３】
図６には、板厚ｄ、長さＬ、幅Ｗの圧電板が示されている。この圧電板の電気容量Ｃは、
Ｃ＝（Ｓ・εo ・εr ）／ｄ    ……（式１）
（εo は真空誘電率、εr は圧電板の比誘電率、Ｓ（振動相殺用電極膜３４Ａに直接触れている部分の圧電板の面積）＝Ｗ×Ｌ）
となる。
【００６４】
前記圧電板に圧電信号Ａを印加した際に、圧電板に発生する＋ΔＱ、−ΔＱの電荷は、
ΔＱ＝Ａ・Ｃ    ……（式２）
となる。なお、前記（式２）中のＡは、圧電信号Ａの電圧である。
【００６５】
ところで、圧電板に＋ΔＱ、−ΔＱの電荷が発生すると、その電荷の大きさに比例して圧電板の長さの変量ΔＬも大きくなる。
そして、前記（式１）と前記（式２）より、
Ａ＝（ΔＱ・ｄ）／（Ｓ・εo ・εr ）    ……（式３）
の関係式が導き出される。
【００６６】
前記（式３）より、圧電信号Ａの印加電圧及び板厚ｄが一定の場合において、圧電板の面積Ｓが広いほどΔＱ（ΔＬ）が大きくなることが導き出せる。即ち、前記板厚ｄ及びΔＬが一定の場合において、面積Ｓが広いほど、圧電信号Ａの電圧は低くなる。
【００６７】
従って、振動相殺用電極膜３４Ａによって、検出用振動部２６をある一定の大きさで振動させる場合、本実施形態の振動相殺用電極膜３４Ａは、「検出用電極膜３４Ｂの面積と同面積の振動相殺用電極膜３４Ａを使用して漏れ振動を減少させる場合」と比べ使用する圧電信号としての印加電圧は低くて済む。そして、振動相殺用電極膜３４Ａに印加する圧電信号の印加電圧が低いほど、その振動相殺用電極膜３４Ａに印加した圧電信号が検出用電極膜３４Ｂを介してノイズとして検出されることが少なくなる。
【００６８】
従って、上記第１実施形態の圧電振動ジャイロ１０及び圧電振動ジャイロ装置７１によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態の圧電振動ジャイロ１０は、互いに相対する一対の励振用平板部３５Ａ，３５Ｂがその両端で連結された励振用振動部２５を備えた。また、圧電振動ジャイロ１０は、互いに相対する一対の検出用平板部３６Ａ，３６Ｂがその両端で連結された検出用振動部２６を備えた。前記励振用平板部３５Ａ，３５Ｂと検出用平板部３６Ａ，３６Ｂとが直交するように連結した。励振用平板部３５Ａ，３５Ｂ及び検出用平板部３６Ａ，３６Ｂには、各平板部に振動を加える励振用圧電板２９Ａ，２９Ｂ及び検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂをそれぞれ設けた。
【００６９】
検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂには前記平板部３６Ａ，３６Ｂに加えられた振動を検出する検出用電極膜３４Ｂと、前記平板部３６Ａ，３６Ｂに発生する漏れ振動を抑制する振動相殺用電極膜３４Ａを設けた。前記振動相殺用電極膜３４Ａの面積は、検出用平板部３６Ａの面積に比して２分の１以下で、かつ検出用電極膜３４Ｂの面積より広くした。
【００７０】
そのため、前記（式３）より、振動相殺用電極膜３４Ａに対して漏れ振動に応じた圧電信号を印加する際に、振動相殺用電極膜３４Ａに印加する圧電信号の印加電圧は、「検出用電極膜３４Ｂの面積と同面積の振動相殺用電極膜３４Ａ」と比べ、低く済む。そして、振動相殺用電極膜３４Ａに印加する圧電信号の印加電圧が低いほど、その振動相殺用電極膜３４Ａに印加した圧電信号が検出用電極膜３４Ｂを介してノイズとして検出されることが少なくできる。
【００７１】
従って、圧電振動ジャイロ１０は、振動相殺用電極膜３４Ａから発生するノイズを極力抑制して、検出用電極膜３４Ｂからノイズが少ない検出信号を出力することができる。
【００７２】
（２）本実施形態では、振動相殺用電極膜３４Ａの幅は、検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの幅と同じ幅に設けた。そのため、振動相殺用電極膜３４Ａは、例えば「電極膜の長さＬが同じで、かつ幅Ｗが検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの幅よりも狭く設けた振動相殺用電極膜３４Ａ」と比べて面積が大きくなる。この結果、振動相殺用電極膜３４Ａは、例えば「電極膜の長さＬが同じで、かつ幅Ｗが検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの幅よりも狭く設けた振動相殺用電極膜３４Ａ」と比べて振動相殺用電極膜３４Ａから発生するノイズを極力抑制して、検出用電極膜３４Ｂからノイズが少ない検出信号を出力することができる。
【００７３】
（３）本実施形態では、励振用振動部２５の下端を固定端とし、励振用振動部２５の上端と、検出用振動部２６の下端とを連結した。そして、検出用振動部２６の上端を自由端とした。従って、本実施形態では励振用振動部２５を固定した圧電振動ジャイロ１０として実現できる。
【００７４】
（４）本実施形態の圧電振動ジャイロ装置７１は圧電振動ジャイロ１０を備えた。加えて、圧電振動ジャイロ装置７１は所定の周波数で発振信号を出力する発振回路７２と、入力した発振信号を反転し励振用電極膜３１Ａに対して発振信号に基づく圧電信号を印加する反転増幅回路７３とを備えた。また、圧電振動ジャイロ装置７１は、入力した発振信号を反転しないで励振用電極膜３１Ｂに対して発振信号に基づく圧電信号を印加する非反転増幅回路７４と、両検出用電極膜３４Ｂから検出信号の差を取り、両検出用電極膜３４Ｂの検出信号の差に係る出力信号を出力する差動回路７８とを備えた。
【００７５】
前記圧電振動ジャイロ装置７１は、発振信号を入力し、発振信号の位相補正に基づく補正信号を出力する位相補正回路７５を備えた。圧電振動ジャイロ装置７１は、入力した前記補正信号を反転し検出用平板部３６Ａの振動相殺用電極膜３４Ａに対して補正信号に基づく圧電信号を印加する反転増幅回路７６を備えた。圧電振動ジャイロ装置７１は、入力した前記補正信号を反転しないで、検出用平板部３６Ｂの振動相殺用電極膜３４Ａに対して補正信号に基づく圧電信号を印加する非反転増幅回路７７とを備えた。
【００７６】
そして、両振動相殺用電極膜３４Ａは圧電信号が印加されると検出用平板部３６Ａ，３６Ｂを振動させ、その振動により検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの漏れ振動を相殺するようにした。従って、圧電振動ジャイロ１０における検出用電極膜３４Ｂが振動相殺用電極膜３４Ａのノイズの影響を受けることが少ない、圧電振動ジャイロ装置７１とすることができる。
【００７７】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態を図７〜図１０に従って説明する。
なお、説明の便宜上、図７（ａ）における上下方向を圧電振動ジャイロの上下方向として説明する。
【００７８】
また、本実施形態では、検出用平板部６６Ｂから検出用平板部６６Ａへ向かう方向をＸ方向、励振用圧電板５９Ａから励振用圧電板５９Ｂへ向かう方向をＹ方向という。そして、第３マス４４から第２マス４３へ向かう方向をＺ方向という。
【００７９】
図７（ａ）及び図８に示すように、本実施形態の圧電振動ジャイロ４０は、枠体４１、第１マス４２、第２マス４３及び第３マス４４とからなる振動子４５を備えている。
【００８０】
枠体４１は、互いに同一幅の帯状板材によって略逆チャンネル形状に折り曲げ形成された一対の励振用屈曲部４６と、互いに同一幅の帯状板材によって略逆チャンネル形状に折り曲げ形成された一対の検出用屈曲部４７とを備えている。励振用屈曲部４６及び検出用屈曲部４７は、励振用屈曲部４６の天部、及び検出用屈曲部４７の天部を形成する共通の連結部４８によって、水平方向に対して互いに直交する向きとなるように形成されている。前記連結部４８には嵌合孔４８ａが形成されている。
【００８１】
枠体４１は、図１０に示すように、弾性金属板材を十字状に打ち抜き加工した金属板部材５４を折り曲げ加工することで形成されている。弾性金属板材としては、厚さが２００μｍ未満のものが使用される。弾性金属としては恒弾性材料、低膨張材料である例えばＳＵＳ３０４、エリンバー等が使用されている。金属板部材５４は、２組の帯状材が十字状に交差するように形成され、その交差部から互いに反対向きに延出する２組の延出片５４Ａ，５４Ｂを備えている。両延出片５４Ａ，５４Ｂの交差部には嵌合孔４８ａが形成されている。
【００８２】
そして、図８に示すように、両延出片５４Ａを略逆チャンネル形状に折り曲げ加工することで励振用屈曲部４６が形成される。このとき、折り曲げ加工によって、一対の垂直板部５０が互いに平行に且つ重なる位置に形成される。また、両延出片５４Ｂを前記両延出片５４Ａの折曲方向と同方向に略逆チャンネル形状に折り曲げ加工することで検出用屈曲部４７が形成される。このとき、折り曲げ加工によって、一対の垂直板部５２が互いに平行に且つ相対する位置に形成される。そして、両延出片５４Ａ，５４Ｂの交差部によって連結部４８が形成される。
【００８３】
図７（ａ），７（ｂ），８に示すように、前記両垂直板部５０の外側面には、圧電部としての励振用圧電板５９Ａ，５９Ｂが接着されている。各励振用圧電板５９Ａ、５９Ｂは同一材質にて同一形状に形成され、垂直板部５０の下端から上端までの範囲で、かつ垂直板部５０の幅と同じ幅で形成されている。同様に、図７（ａ），７（ｃ），８に示すように、垂直板部５２の外側面には圧電部としての検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂが接着されている。各検出用圧電板６２Ａ、６２Ｂは同一材質にて同一形状に形成され、垂直板部５２の下端から上端までの範囲で、かつ垂直板部５２の幅と同じ幅で形成されている。
【００８４】
各励振用圧電板５９Ａ，５９Ｂ、及び各検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂは、ジルコン・チタン酸鉛（ＰＺＴ）の板材から形成されている。図８に示すように、励振用圧電板５９Ａ，５９Ｂには、その内側面全体に接地電極６０が形成され、検出用圧電板６２Ａ、６２Ｂには、その内側面全体に接地電極６３が形成されている。各接地電極６０，６３は、スパッタリング、真空蒸着等によって形成されたチタン、金等の電極膜からなる。
【００８５】
第１マス４２、第２マス４３及び第３マス４４はアルミニウム合金から鋳造で形成されている。図７（ａ）及び図８に示すように、第１マス４２は略凹状に形成され、同第１マス４２の凹み部４２ａに前記垂直板部５０，５２の下端が配置されている。そして、前記第１マス４２の凹み部４２ａ内には、一対の係合段部４２ｂが形成されている。同係合段部４２ｂには前記励振用圧電板５９Ａ，５９Ｂをそれぞれ貼着した両垂直板部５０が当接した状態で接着固定され、前記枠体４１は第１マス４２に位置決めされている。
【００８６】
また、第２マス４３は、その上面から突出する円柱状の嵌合部４３ａを備え、この嵌合部４３ａが前記嵌合孔４８ａに嵌合されて、検出用屈曲部４７の上部内側に位置決めされて接着固定されている。また、第３マス４４は一対の係合段部４４ａ（図８において片方のみ図示）を備えている。この両係合段部４４ａには前記検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂをそれぞれ貼着した両垂直板部５２が当接した状態で接着固定され、前記第３マス４４は垂直板部５２の下端に対して位置決めされている。
【００８７】
圧電振動ジャイロ４０は、図７（ａ）に示すように、励振用振動部５５と検出用振動部５６とを備えている。前記励振用振動部５５は励振用振動部に相当し、前記検出用振動部５６は検出用振動部に相当する。
【００８８】
励振用振動部５５は、励振用屈曲部４６、第１マス４２、検出用屈曲部４７の上部、及び第２マス４３によって形成されている。なお、本実施形態では、第１マス４２の下端が図示しない固定部材に固定される固定端とされている。言い換えると、励振用振動部５５の下端は固定端に相当し、加えて、励振用振動部５５の上端は検出用振動部５６と連結する連結端に相当する。
【００８９】
図８，１０に示すように、励振用振動部５５は、励振用屈曲部４６の両垂直板部５０によって第１マス４２よりも上側に形成された一対の励振用扁平部５７Ａ，５７Ｂを備えている。そして、図７（ａ）に示すように、両励振用扁平部５７Ａ，５７Ｂは、励振用屈曲部４６の上部によってその上側で連結され、第１マス４２によってその下側で互いに連結されている。従って、両励振用扁平部５７Ａ，５７Ｂは、互いに平行に且つ相対する位置に配置されている。
【００９０】
図７（ａ）及び図８に示すように、前記励振用扁平部５７Ａと、前記励振用圧電板５９Ａにおける励振用扁平部５７Ａに相対する部位とにより、励振用平板部６５Ａが構成されている。また、前記励振用扁平部５７Ｂと、前記励振用圧電板５９Ｂにおける励振用扁平部５７Ｂに相対する部位とにより、励振用平板部６５Ｂが構成されている（図７（ｂ）参照）。
【００９１】
また、図７（ａ），７（ｂ）に示すように、励振用圧電板５９Ａには、その外側面に上下一対の励振用電極膜６１Ａ，６１Ｂが形成されている。前記励振用電極膜６１Ａ，６１Ｂは励振用電極に相当する。また、励振用電極膜６１Ａは第１励振用電極に相当し、励振用電極膜６１Ｂは第２励振用電極に相当する。上側の励振用電極膜６１Ａは、励振用扁平部５７Ａの上部領域に対応する領域に形成され、下側の励振用電極膜６１Ｂは、同じく下部領域に対応する領域に形成されている。一方、励振用圧電板５９Ｂには、その外側面に上下一対の励振用電極膜６１Ｂ，６１Ａが形成されている。上側の励振用電極膜６１Ｂは、励振用扁平部５７Ｂの上部領域に対応する領域に形成され、下側の励振用電極膜６１Ａは、同じく下部領域に対応する領域に形成されている。
【００９２】
なお、各励振用電極膜６１Ａ，６１Ｂは同一の面積となるように形成されおり、スパッタリング、真空蒸着等によって形成されたアルミニウム等の電極膜からなる。
【００９３】
励振用平板部６５Ａに形成された励振用電極膜６１Ａと励振用平板部６５Ｂに形成された励振用電極膜６１Ｂとは、各励振用平板部６５Ａ，６５Ｂの上部領域間でＹ方向に沿って相対向するように形成されている。また、同様に、励振用平板部６５Ａに形成された励振用電極膜６１Ｂと励振用平板部６５Ｂに形成された励振用電極膜６１Ａとは、各励振用平板部６５Ａ，６５Ｂの下部領域間でＹ方向に沿って相対向するように形成されている。
【００９４】
一方、図７（ａ）及び図８に示すように、検出用振動部５６は検出用屈曲部４７、第２マス４３及び第３マス４４によって形成されている。なお、本実施形態では、第３マス４４の下端が自由端とされている。言い換えると、検出用振動部５６の下端は自由端に相当し、上端は励振用振動部５５と連結する連結端に相当する。
【００９５】
図８，１０に示すように、検出用振動部５６は、検出用屈曲部４７の両垂直板部５２によって第２マス４３と第３マス４４との間に形成された一対の検出用扁平部５８Ａ，５８Ｂを備えている。そして、図７（ａ）に示すように、両検出用扁平部５８Ａ，５８Ｂは、第３マス４４によってその下側で連結され、検出用屈曲部４７の上部及び第２マス４３によってその上側で連結されている。従って、検出用扁平部５８Ａ，５８Ｂは、互いに平行に且つ相対する位置に配置されている。
【００９６】
前記検出用扁平部５８Ａと、前記検出用圧電板６２Ａにおける検出用扁平部５８Ａに相対する部位とにより、検出用平板部６６Ａが構成されている。また、前記検出用扁平部５８Ｂと、前記検出用圧電板６２Ｂにおける検出用扁平部５８Ｂに相対する部位とにより、検出用平板部６６Ｂが構成されている（図７（ｃ）参照）。前記検出用平板部６６Ａ，６６Ｂは検出用平板部に相当する。
【００９７】
図７（ａ），７（ｃ）に示すように、検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂには、その外側面に上下一対の検出用電極膜６４Ａ及び振動相殺用電極膜６４Ｂが形成されている。前記検出用電極膜６４Ａは検出用電極に相当し、振動相殺用電極膜６４Ｂは振動相殺用電極に相当する。また、検出用圧電板６２Ｂの振動相殺用電極膜６４Ｂは第１振動相殺用電極に相当し、検出用圧電板６２Ａの振動相殺用電極膜６４Ｂは第２振動相殺用電極に相当する。上側の検出用電極膜６４Ａは、検出用平板部６６Ａ，６６Ｂの上部領域に対応する領域に形成され、下側の振動相殺用電極膜６４Ｂは、同じく下部領域に対応する領域に形成されている。両検出用電極膜６４Ａ及び両振動相殺用電極膜６４Ｂは、スパッタリング、真空蒸着等によって形成されたアルミニウム等の電極膜からなる。
【００９８】
検出用平板部６６Ａに形成された検出用電極膜６４Ａと検出用平板部６６Ｂに形成された検出用電極膜６４Ａとは、各検出用平板部６６Ａ，６６Ｂの上部領域間でＸ方向に沿って相対向するように形成されている。また、同様に、検出用平板部６６Ａに形成された振動相殺用電極膜６４Ｂと検出用平板部６６Ｂに形成された振動相殺用電極膜６４Ｂとは各検出用平板部６６Ａ，６６Ｂの下部領域間でＸ方向に沿って相対向するように形成されている。
【００９９】
これは、例えば検出用振動部５６がＸ方向へ向け波形に変形した場合、検出用圧電板６２Ａにおいて、検出用扁平部５８Ａの上部領域に対応する部位は縮み、検出用扁平部５８Ａの下部領域に対応する部位は伸びる。一方、検出用圧電板６２Ｂにおいて、検出用扁平部５８Ｂの上部領域に対応する部位は伸び、検出用扁平部５８Ａの下部領域に対応する部位は縮む。この伸び・縮みが生ずるそれぞれの部位に対応して検出用電極膜６４Ａ、及び振動相殺用電極膜６４Ｂとが配置されている。
【０１００】
図７（ａ）に示すように、前記検出用平板部６６Ａ，６６Ｂの長さをＬ、幅をＷとすると、検出用電極膜６４Ａの長さは略「Ｌの７分の１」で、幅はＷとされている。振動相殺用電極膜６４Ｂの長さは略「Ｌの５分の２」で、幅はＷとされている。即ち、振動相殺用電極膜６４Ｂの面積は検出用平板部６６Ａ，６６Ｂの２分の１以下の面積で、かつ検出用電極膜６４Ａの面積より広くされている。
【０１０１】
そして、前記励振用平板部６５Ａ，６５Ｂと前記検出用平板部６６Ａ，６６Ｂは互いに直交した状態で配置されている。前記励振用平板部６５Ａ，６５Ｂの振動が検出用平板部６６Ａ，６６Ｂに伝達するようにされている。
【０１０２】
ところで、前記励振用平板部６５Ａ，６５Ｂ及び前記検出用平板部６６Ａ，６６Ｂは、励振用平板部６５Ａ，６５Ｂの共振周波数と、検出用平板部６６Ａ，６６Ｂの共振周波数が同一になるように設定されている。
【０１０３】
次に、図９を参照して上記圧電振動ジャイロ４０を採用した圧電振動ジャイロ装置８１を説明する。
なお、圧電振動ジャイロ装置８１は前記第１実施形態の圧電振動ジャイロ装置７１における圧電振動ジャイロ１０を圧電振動ジャイロ４０に取り替えたものであるため、圧電振動ジャイロ装置７１と異なる部分を説明する。また、図９の圧電振動ジャイロ４０は模式図であり、説明の便宜上図５に示す圧電振動ジャイロ１０と同じ図にて示している。また、図９では図５と比べて反転増幅回路７６と非反転増幅回路７７との図示位置を逆にしている。
【０１０４】
反転増幅回路７３は励振用電極膜６１Ａに圧電信号を印加し、非反転増幅回路７４は励振用電極膜６１Ｂに圧電信号を印加する。反転増幅回路７６は検出用平板部６６Ｂの振動相殺用電極膜６４Ｂに圧電信号を印加し、非反転増幅回路７７は検出用平板部６６Ａの振動相殺用電極膜６４Ｂに圧電信号を印加する。差動回路７８は両検出用電極膜６４Ａに電気的に接続され、検出用電極膜６４Ａからの検出信号を入力する。
【０１０５】
次に、圧電振動ジャイロ装置８１の作用について説明する。
さて、上記のように構成された圧電振動ジャイロ装置８１を使用する場合、第１マス４２（励振用振動部５５）を固定する。その状態で、励振用振動部５５の励振用電極膜６１Ａ，６１Ｂに対して、前記発振回路７２、反転増幅回路７３、及び非反転増幅回路７４にてそれぞれ反対電位の交番電圧を同期して印加する。すると、交番電圧による極性の変化によって、励振用圧電板５９Ａは、上下に配置された励振用電極膜６１Ａ，６１Ｂの裏面側において圧縮、引き伸ばしが交互に繰り返される。又、励振用圧電板５９Ｂは、上下に配置された励振用電極膜６１Ａ，６１Ｂの裏面側において、圧縮、引き伸ばしが交互に繰り返される。この結果、励振用振動部５５は、Ｙ、反Ｙ方向に駆動され、検出用振動部５６は同方向に振動する。
【０１０６】
そして、この振動状態で、圧電振動ジャイロ４０に角速度Ωの回転が加わったときに、コリオリ力が交番して作用し、検出用振動部５６において検出用圧電板６２Ａ及び検出用圧電板６２Ｂは、特に応力集中部において、圧縮、引き伸ばしが交互に繰り返される。
【０１０７】
このとき、例えば、検出用振動部５６がＸ方向へ向け波形に変形した場合、検出用圧電板６２Ａの上側は縮み、下側は伸びる。一方検出用圧電板６２Ｂの上側は伸び、下側は縮む。この伸び・縮みが生ずるそれぞれの部位に対応して配置された各検出用電極膜６４Ａがそのときに検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂに発生した検出信号を差動回路７８に出力する。
【０１０８】
なお、検出用圧電板６２Ａ、及び検出用圧電板６２Ｂは互いに反対に作動（延び・縮み）するため、検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂで発生する圧電信号（検出信号）の極性は逆になる。
【０１０９】
従って、差動回路７８から第１実施形態と同様に元の検出信号の２倍の電圧の出力信号が出力される。この出力信号に基づいて角速度Ωが検出される。
上記圧電振動ジャイロ４０は励振用平板部６５Ａ，６５Ｂの共振周波数と、検出用平板部６６Ａ，６６Ｂの共振周波数が同一になるように設定されている。そして、検出用振動部５６に漏れ振動が発生することを抑制すべく、圧電振動ジャイロ装置８１は両振動相殺用電極膜６４Ｂに対して前記発振回路７２、位相補正回路７５、反転増幅回路７６、及び非反転増幅回路７７にてそれぞれ反対電位の交番電圧を同期して印加する。そして、位相補正回路７５からの圧電信号は、オフセット電圧が０となるように位相補正されているため、前記両振動相殺用電極膜６４Ｂに印加される圧電信号により、Ｘ方向及び反Ｘ方向に発生している漏れ振動が減少する。
【０１１０】
ところで、両振動相殺用電極膜６４Ｂの面積は検出用平板部６６Ａ，６６Ｂの２分の１以下の面積で、かつ検出用電極膜６４Ａの面積より広くされている。そのため、各振動相殺用電極膜６４Ｂに面した、すなわち各各振動相殺用電極膜６４Ｂに直接触れている部分の検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂは、前記第１実施形態における「圧電振動ジャイロ装置７１の作用の説明」中の（式３）より以下の効果を奏する。
【０１１１】
従って、振動相殺用電極膜６４Ｂによって、検出用振動部５６をある一定の大きさで振動させる場合、本実施形態の振動相殺用電極膜６４Ｂは、「検出用電極膜６４Ａの面積と同面積の振動相殺用電極膜６４Ｂを使用して漏れ振動を減少させる場合」と比べ使用する圧電信号の印加電圧は低くて済む。そして、振動相殺用電極膜６４Ｂに印加する圧電信号の印加電圧が低いほど、その検出用電極膜６４Ａに印加した圧電信号が検出用電極膜６４Ａを介してノイズとして検出されることが少なくなる。
【０１１２】
従って、上記第２実施形態の圧電振動ジャイロ４０及び圧電振動ジャイロ装置８１によれば、前記第１実施形態の効果（１）、（２）、（４）と同様の効果を奏するとともに、以下の効果を奏する。
【０１１３】
（１）本実施形態では、励振用振動部５５の下端を固定端とし、励振用振動部５５の上端と、検出用振動部５６の上端とを連結した。そして、検出用振動部５６の下端を自由端とした。従って、本実施形態では励振用振動部５５を固定した圧電振動ジャイロ４０として実現できる。
【０１１４】
（２）本実施形態では、検出用振動部５６を励振用扁平部５７Ａ，５７Ｂの間に配置した。従って、検出用振動部５６が励振用振動部５５の上端より下方に位置するので、励振用振動部５５の慣性モーメントが小さくなる。このため、励振用振動部５５がＹ軸方向に弾性振動するとき、検出用振動部５６がＹ軸方向に撓み振動し難い。従って、検出する角速度Ωの大きさに応じて検出用振動部５６がＸ軸方向に効率よく弾性振動するので、両検出用電極膜６４Ａから取り出される検出信号に誤差が入り難い。その結果、角速度Ωの検出精度が向上する。
【０１１５】
（３）加えて本実施形態では、上記（２）の理由によって、振動子４５の検出軸方向の長さが垂直板部５０の同長さ程度となる。従って、圧電振動ジャイロ４０を圧電振動ジャイロ１０の約半分程度に小型化することができる。
【０１１６】
（４）加えて本実施形態では、上記（３）の理由によって、圧電振動ジャイロ４０の重心が前記圧電振動ジャイロ１０と比べ、固定端寄りとなるので、従来より強固でない固定程度で固定することができる。このため、固定が容易となる。
【０１１７】
（第３実施形態）
以下、本発明を具体化した第３実施形態を図１１に従って説明する。なお、第３実施形態の圧電振動ジャイロ８５及び圧電振動ジャイロ装置７１は、前記第１実施形態を変更したものであり、前記第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付して、その詳細な説明を省略し、異なるところのみを説明する。
【０１１８】
前記第１実施形態では、固定端側を励振側、自由端側を検出側としていた。しかしながら、本実施形態の圧電振動ジャイロ８５は固定端側を検出側、自由端側を励振側としている。
【０１１９】
そのため、本実施形態の圧電振動ジャイロ８５では前記第１実施形態と比して、励振用平板部３５Ａ，３５Ｂ及び励振用電極膜３１Ａ，３１Ｂと、検出用平板部３６Ａ，３６Ｂ及び電極膜３４Ａ，３４Ｂとを入れ替えて設けている。
【０１２０】
この場合においても、前記検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの長さをＬ、幅をＷとすると、振動相殺用電極膜３４Ａの長さは略「Ｌの５分の２」で、幅はＷとされている。検出用電極膜３４Ｂの長さは略「Ｌの７分の１」で、幅はＷとされている。また、励振用枠部１６と検出用枠部１７、励振用振動部２５と検出用振動部２６、励振用扁平部２７Ａ，２７Ｂと検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂ、励振用圧電板２９Ａ，２９Ｂと検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂも入れ替えて設けている。
【０１２１】
なお、本実施形態においても、枠体１１の下端が図示しない固定部材に固定される固定端、上端が自由端とされている。そのため、本実施形態では、検出用振動部２６の下端は固定端に相当し、上端は励振用振動部２５に連結する連結端に相当する。励振用振動部２５の上端は自由端に相当し、下端は検出用振動部２６に連結する連結端に相当する。
【０１２２】
さらに、圧電振動ジャイロ装置７１において、各電極膜３１Ａ，３１Ｂ，３４Ａ，３４Ｂに対する各回路７３，７４，７６，７７，７８の電気的接続関係は前記第１実施形態と同様にする。
【０１２３】
従って、本実施形態の圧電振動ジャイロ８５及び圧電振動ジャイロ装置７１では、励振用振動部２５がＹ、反Ｙ方向に駆動し、検出用振動部２６がＸ、反Ｘ方向に振動すること以外は前記第１実施形態の作用と同様の作用を奏する。
【０１２４】
従って、本実施形態の圧電振動ジャイロ８５及び圧電振動ジャイロ装置７１では、前記第１実施形態の（１）、（２）、（４）と同様の効果を奏するとともに以下の効果を奏する。
【０１２５】
（１）本実施形態では、検出用振動部２６の下端を固定端とし、検出用振動部２６の上端と、励振用振動部２５の下端とを連結した。そして、励振用振動部２５の上端を自由端とした。従って、本実施形態では検出用振動部２６を固定した圧電振動ジャイロ１０として実現できる。
【０１２６】
（第４実施形態）
以下、本発明を具体化した第４実施形態を図１２に従って説明する。なお、第２実施形態の圧電振動ジャイロ９０及び圧電振動ジャイロ装置８１は、前記第２実施形態を変更したものであり、前記第２実施形態と同様の構成については、同一符号を付して、その詳細な説明を省略し、異なるところのみを説明する。
【０１２７】
前記第４実施形態では、固定端側を励振側、自由端側を検出側としていた。しかしながら、本実施形態の圧電振動ジャイロ９０は固定端側を検出側、自由端側を励振側としている。
【０１２８】
そのため、本実施形態の圧電振動ジャイロ９０では前記第２実施形態と比して、励振用平板部６５Ａ，６５Ｂ及び励振用電極膜６１Ａ，６１Ｂと、検出用平板部６６Ａ，６６Ｂ及び電極膜６４Ａ，６４Ｂとを入れ替えて設けている。
【０１２９】
この場合においても、前記検出用平板部６６Ａ，６６Ｂの長さをＬ、幅をＷとすると、検出用電極膜６４Ａの長さは略「Ｌの７分の１」で、幅はＷとされている。振動相殺用電極膜６４Ｂの長さは略「Ｌの５分の２」で、幅はＷとされている。また、励振用屈曲部４６と検出用屈曲部４７、励振用振動部５５と検出用振動部５６、励振用扁平部５７Ａ，５７Ｂと検出用扁平部５８Ａ，５８Ｂ、励振用圧電板５９Ａ，５９Ｂと検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂも入れ替えて設けている。
【０１３０】
なお、本実施形態においても、第１マス４２の下端が図示しない固定部材に固定される固定端とされ、第３マス４４の下端が自由端とされている。そのため、本実施形態では、検出用振動部５６の下端は固定端に相当し、上端は励振用振動部５５に連結する連結端に相当する。励振用振動部５５の下端は自由端に相当し、上端は検出用振動部５６に連結する連結端に相当する。
【０１３１】
さらに、圧電振動ジャイロ装置８１において、各電極膜６１Ａ，６１Ｂ，６４Ａ，６４Ｂに対する各回路７３，７４，７６，７７，７８の電気的接続関係は前記第２実施形態と同様にする。
【０１３２】
従って、本実施形態の圧電振動ジャイロ９０及び圧電振動ジャイロ装置８１では、励振用振動部５５がＸ、反Ｘ方向に駆動し、検出用振動部５６がＹ、反Ｙ方向に振動すること以外は前記第２実施形態の作用と同様の作用を奏する。
【０１３３】
従って、本実施形態の圧電振動ジャイロ９０及び圧電振動ジャイロ装置８１では、前記第１実施形態の（１）、（２）、（４）、及び前記第２実施形態の（２）〜（４）とほぼ同様の効果を奏するとともに以下の効果を奏する。
【０１３４】
（１）本実施形態では、検出用振動部５６の下端を固定端とし、検出用振動部５６の上端と、励振用振動部５５の上端とを連結した。そして、励振用振動部５５の下端を自由端とした。従って、本実施形態では検出用振動部５６を固定した圧電振動ジャイロ４０として実現できる。
（他の実施形態）
なお、上記各実施形態は以下のような他の実施形態に変更して具体化してもよい。
【０１３５】
・前記第１，第３実施形態では、振動相殺用電極膜３４Ａは、検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂにおける検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂの上部領域に対応する領域に形成されていた。検出用電極膜３４Ｂは、検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂにおける検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂの下部領域に対応する領域に形成されていた。これに限らず、振動相殺用電極膜３４Ａを検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂにおける検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂの下部領域に対応する領域に形成する。そして、検出用電極膜３４Ｂを検出用圧電板３２Ａ，３２Ｂにおける検出用扁平部２８Ａ，２８Ｂの上部領域に対応する領域に形成してもよい。この場合、圧電振動ジャイロ装置７１において、振動相殺用電極膜３４Ａと回路７６，７７との電気的接続関係、及び検出用電極膜３４Ｂと差動回路７８との電気的接続関係は前記第１，第３実施形態と同様にする。このようにしても前記第１，第３実施形態と同様の効果を奏する。
【０１３６】
・前記第２，第４実施形態では、振動相殺用電極膜６４Ｂは、検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂにおける検出用扁平部５８Ａ，５８Ｂの下部領域に対応する領域に形成されていた。検出用電極膜６４Ａは、検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂにおける検出用扁平部５８Ａ，５８Ｂの上部領域に対応する領域に形成されていた。これに限らず、振動相殺用電極膜６４Ｂを検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂにおける検出用扁平部５８Ａの上部領域に対応する領域に形成する。そして、検出用電極膜６４Ａを検出用圧電板６２Ａ，６２Ｂにおける検出用扁平部５８Ａの下部領域に対応する領域に形成してもよい。この場合、圧電振動ジャイロ装置８１において、振動相殺用電極膜６４Ｂと回路７６，７７との電気的接続関係、及び検出用電極膜６４Ａと差動回路７８との電気的接続関係は前記第２，第４実施形態と同様にする。このようにしても前記第２，第４実施形態と同様の効果を奏する。
【０１３７】
・前記第１，第３実施形態では、前記検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの長さをＬ、幅をＷとした際に、振動相殺用電極膜３４Ａの長さは略「Ｌの５分の２」で、幅はＷとしていた。また、検出用電極膜３４Ｂの長さは略「Ｌの７分の１」で、幅はＷとしていた。この結果、振動相殺用電極膜３４Ａの面積を検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの２分の１以下の面積で、かつ検出用電極膜３４Ｂの面積より広くしていた。これに限らず、振動相殺用電極膜３４Ａの面積は、検出用平板部３６Ａ，３６Ｂの２分の１以下の面積で、かつ検出用電極膜３４Ｂの面積より広くなるのならば、長さを略「Ｌの５分の２」及び幅をＷにしなくてもよい。このようにしても、前記第１，第３実施形態と同様の効果を奏する。
【０１３８】
また、このような変更を第２，第４実施形態に採用してもよい。このようにしても、前記第２，第４実施形態と同様の効果を奏する。
【０１３９】
【発明の効果】
以上詳述したように請求項１〜５に記載の発明によれば、振動相殺用電極から発生するノイズを極力抑制して検出用電極からノイズが少ない検出信号を出力することができる。
【０１４０】
請求項２に記載の発明によれば、振動相殺用電極は検出用平板部に発生する漏れ振動を抑制する際に、「長さが同じで幅が検出用平板部の圧電部における幅一杯まで設けられていない振動相殺用電極」と比べて、小さな圧電信号を印加することで漏れ振動を抑制できる。
【０１４１】
請求項３に記載の発明によれば、励振用振動部を固定した圧電振動ジャイロとして実現できる。
請求項４に記載の発明によれば、検出用振動部を固定した圧電振動ジャイロとして実現できる。
【０１４２】
請求項５に記載の発明によれば、請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項に記載の圧電振動ジャイロにおける検出用電極が振動相殺用電極から発生られるノイズの影響を受けることが少なく、かつ漏れ振動を各回路の制御にて抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１実施形態における圧電振動ジャイロの斜視図。
【図２】  第１実施形態における圧電振動ジャイロの分解斜視図。
【図３】  第１実施形態における枠体の展開図斜視図（金属板部材の斜視図）。
【図４】  圧電振動ジャイロの作用の説明のための模式図。
【図５】  第１実施形態における圧電振動ジャイロ装置の電気回路図。
【図６】  発生電圧の説明のための説明図。
【図７】  （ａ）は、第２実施形態における圧電振動ジャイロの斜視図。（ｂ）は励振用圧電板５９Ｂの正面図。（ｃ）は検出用圧電板６２Ｂの正面図。
【図８】  第２実施形態における圧電振動ジャイロの分解斜視図。
【図９】  第２実施形態における圧電振動ジャイロ装置の電気回路図。
【図１０】  第２実施形態における枠体の展開図斜視図（金属板部材の斜視図）。
【図１１】第３実施形態における圧電振動ジャイロの斜視図。
【図１２】第４実施形態における圧電振動ジャイロの斜視図。
【図１３】従来技術における圧電振動ジャイロの斜視図。
【符号の説明】
１０，４０，８５，９０…圧電振動ジャイロ、２５，５５…励振用振動部、２６，５６…検出用振動部、２９Ａ，２９Ｂ，５９Ａ，５９Ｂ…圧電部としての励振用圧電板、３１Ａ，６１Ａ…第１励振用電極としての励振用電極膜、３１Ｂ，６１Ｂ…第２励振用電極としての励振用電極膜、３２Ａ，３２Ｂ，６２Ａ，６２Ｂ…圧電部としての検出用圧電板、３４Ａ…第１振動相殺用電極としての振動相殺用電極膜（検出用圧電板３２Ａ側）、３４Ａ…第２振動相殺用電極としての振動相殺用電極膜（検出用圧電板３２Ｂ側）、６４Ｂ…第１振動相殺用電極としての振動相殺用電極膜（検出用圧電板６２Ｂ側）、６４Ｂ…第２振動相殺用電極としての振動相殺用電極膜（検出用圧電板６２Ａ側）、３４Ｂ，６４Ａ…検出用電極としての検出用電極膜、３５Ａ，３５Ｂ，６５Ａ，６５Ｂ…励振用平板部、３６Ａ，３６Ｂ，６６Ａ，６６Ｂ…検出用平板部、７１，８１…圧電振動ジャイロ装置、７２…発振回路、７３…第１反転回路としての反転増幅回路、７４…第１非反転回路としての非反転増幅回路、７８…差動回路、７５…位相補正回路、７６…第２反転回路としての反転増幅回路、７７…第２非反転回路としての非反転増幅回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003755753.tif 000009
【図９】
0003755753.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
0003755753.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
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