(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチックフィルムと、前記プラスチックフィルムの表面に蒸着されたアルミニウム核と、前記アルミニウム核を蒸着した前記プラスチックフィルムの表面に蒸着された亜鉛層と、前記亜鉛層上に蒸着された酸化珪素層とを具備しており、前記アルミニウム核の付着量は０．３〜４．０ｍｇ／ｍ２であり、前記亜鉛層の付着量は４０〜５００ｍｇ／ｍ２であり、前記酸化珪素層の珪素付着量は０．４〜３．０ｍｇ／ｍ２であることを特徴とする亜鉛蒸着フィルム。
【請求項２】
前記亜鉛層の表面抵抗値は１〜５０Ω／□であることを特徴とする請求項１記載の亜鉛蒸着フィルム。
【請求項３】
積層された２種の金属蒸着フィルムを有する金属化フィルムコンデンサであって、前記金属蒸着フィルムの少なくとも一方は、プラスチックフィルムと、前記プラスチックフィルムの表面に蒸着されたアルミニウム核と、前記アルミニウム核を蒸着した前記プラスチックフィルムの表面に蒸着された亜鉛層と、前記亜鉛層上に蒸着された酸化珪素層とを具備しており、前記アルミニウム核の付着量は０．３〜４．０ｍｇ／ｍ２であり、前記亜鉛層の付着量は４０〜５００ｍｇ／ｍ２であり、前記酸化珪素層の珪素付着量は０．４〜３．０ｍｇ／ｍ２であることを特徴とする金属化フィルムコンデンサ。
【請求項４】
前記金属蒸着フィルムの少なくとも一方には、前記金属蒸着フィルムの幅方向に延びるマージンが形成されていることを特徴とする請求項３記載の金属化フィルムコンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、亜鉛蒸着フィルムおよび金属化フィルムコンデンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
金属化フィルムコンデンサは、例えば図６に示すように、帯状のプラスチックフィルム１の片面にアルミニウムまたは亜鉛の蒸着膜２を形成してなる金属蒸着フィルム３を２枚重ねて円柱状に巻き、この円柱体の両端に電極５を溶射した構造を有するものであり、金属蒸着層が非常に薄いため、フィルムの弱点部で電圧破壊が生じたとしても、短絡電流によって破壊部周辺の金属蒸着層がジュール熱で蒸発し絶縁が回復する、いわゆる自己回復性を有するという特徴がある。
【０００３】
ところで、金属蒸着フィルムに形成される金属薄膜としては、一般に、アルミニウムまたは亜鉛が用いられるが、アルミニウム薄膜はコロナ放電によりコロージョンが発生しやすく、電極面積の消失によりコンデンサ容量が漸次減少する傾向がある。また、アルミニウム薄膜の場合、コンデンサ素子の両端に溶射する亜鉛電極との接合性が悪く、電気抵抗の増大によりジュール熱が発生するため耐電流性が低いという欠点を有していた。
【０００４】
一方、亜鉛薄膜は、コロージョン発生の問題がなく、溶射電極との接合性も良好であるが、耐食性（耐湿性）に劣る欠点を有しており、保管中に水分と反応して多孔質のＺｎ（ＯＨ）2 を生じて腐食が進み、コンデンサ特性が劣化する問題がある。そこで、亜鉛薄膜を使用する場合には、亜鉛蒸着フィルムにワックスや絶縁油を含浸させる等の手段が採られていたが、コスト増を招く上、ワックスや絶縁油の含浸には数十時間程度の長時間を要して生産性が悪い問題があった。
【０００５】
これらを解決する手段として、特開昭６２−２７７７１２号公報には、プラスチックフィルムの表面に亜鉛蒸着層を形成し、さらに５０〜１０００オングストロームのＳｉＯまたはＳｉＯ2 蒸着層を形成する構成が記載されている。このようなＳｉＯまたはＳｉＯ2 蒸着層を形成することにより、亜鉛蒸着層の表面を保護して亜鉛薄膜のＺｎ（ＯＨ）2 化を防止する効果が得られる。また、酸化珪素層の形成は亜鉛蒸着と同一ラインで連続して行うことができるため、生産性も高められる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、最近では、金属化フィルムコンデンサの耐電圧特性などの信頼性を高めるために、金属蒸着フィルムの金属蒸着層をより薄くすることが望まれている。金属蒸着層を薄くすれば、重ね合わされた２枚のフィルムの金属蒸着層間に短絡が生じた場合にも、その短絡箇所の金属蒸着層がより少ないジュール熱で局部的に蒸発するようになり、金属蒸着フィルムにダメージを与えずに短絡が解消され易く、いわゆる自己回復性が向上することによりコンデンサの耐電圧特性が向上するばかりか、蒸着すべき金属量が少なくて済むため、製造コストが削減でき、製造効率も高めることができるからである。
【０００７】
しかし、亜鉛を薄く蒸着しようとすると、蒸着膜を均一に形成することが困難になって、プラスチックフィルムへの亜鉛蒸着層の密着性が悪くなり、僅かな摩擦で亜鉛蒸着層が剥離する。さらに、亜鉛蒸着層上に形成した酸化珪素蒸着層による保護効果が得られ難くなり、保管している間に部分的に亜鉛酸化物へ転換されてしまい、予定通りの静電容量が得られない等の様々な問題が生じる。このため、現実には、亜鉛層を薄膜化した金属化フィルムコンデンサを製造することは困難だった。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、亜鉛蒸着層の表面抵抗値が均一で高いにも拘わらず、耐食性に優れた亜鉛蒸着フィルムおよび金属化フィルムコンデンサを提供することを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る亜鉛蒸着フィルムは、プラスチックフィルムと、前記プラスチックフィルムの表面に蒸着されたアルミニウム核と、前記アルミニウム核を蒸着した前記プラスチックフィルムの表面に蒸着された亜鉛層と、前記亜鉛層上に蒸着された酸化珪素層とを具備しており、前記アルミニウム核の付着量は０．３〜４．０ｍｇ／ｍ２であり、前記亜鉛層の付着量は４０〜５００ｍｇ／ｍ２であり、前記酸化珪素層の珪素付着量は０．４〜３．０ｍｇ／ｍ２であることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る金属化フィルムコンデンサは、積層された２種の金属蒸着フィルムを有する金属化フィルムコンデンサであって、前記金属蒸着フィルムの少なくとも一方は、プラスチックフィルムと、前記プラスチックフィルムの表面に蒸着されたアルミニウム核と、前記アルミニウム核を蒸着した前記プラスチックフィルムの表面に蒸着された亜鉛層と、前記亜鉛層上に蒸着された酸化珪素層とを具備しており、前記アルミニウム核の付着量は０．３〜４．０ｍｇ／ｍ２であり、前記亜鉛層の付着量は４０〜５００ｍｇ／ｍ２であり、前記酸化珪素層の珪素付着量は０．４〜３．０ｍｇ／ｍ２であることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に係る亜鉛蒸着フィルムの一実施形態Ｆ１を示す断面拡大図である。この亜鉛蒸着フィルムＦ１は、プラスチックフィルム１０と、このプラスチックフィルム１０の表面に蒸着されたアルミニウム核１２と、アルミニウム核１２を蒸着したプラスチックフィルム１０の表面に蒸着された亜鉛層１４と、亜鉛層１４上に蒸着された酸化珪素層１６とを有している。
【００１２】
プラスチックフィルム１０の材質は限定されないが、一般的には、ポリエチレンテレフタレート，ポリプロピレン，ポリスチレン，ポリカーボネイト，ポリ４フッ化エチレン，ポリエチレン，ポリフェニレンサルファイド，ポリフッ化ビニリデンから選択される１種、または２種以上を積層して形成されたものなどが例示できる。プラスチックフィルム１０の厚さは用途に応じて適宜設定されるべきであるが、一般的には０．５〜２５μｍ、より好ましくは１．５〜１６μｍとされる。プラスチックフィルム１０の平面形状は限定されない。
【００１３】
アルミニウム核１２は、プラスチックフィルム１０の表面に、真空蒸着法、高周波マグネトロンスパッタ法等のスパッタ法により蒸着されたもので、その付着量は０．３〜４ｍｇ／ｍ2 であることが望ましい。アルミニウム核１２の付着量が０．３ｍｇ／ｍ2 未満であると本発明の効果が得られ難い。また４ｍｇ／ｍ2 より厚いと亜鉛層１４の電気的特性に影響を与えるため好ましくない。一般的により好ましい範囲は０．６〜３．０ｍｇ／ｍ2 であり、特に亜鉛層１４を表面抵抗値１５Ω／□以上にまで薄膜化するときには１．０〜３．０ｍｇ／ｍ2 であることが望ましい。
【００１４】
アルミニウムは活性が高いため、プラスチックフィルム１０に対し上記のように微量だけ蒸着する場合であっても、プラスチックフィルム１０の蒸着すべき面積の全面に亘って、ごく小さな粒子として均一に付着させることができる。このようにアルミニウム核１２が均一分散されているプラスチックフィルム１０上に亜鉛を蒸着すると、極薄く蒸着する場合にも均一な膜を形成しやすくなる。
【００１５】
これに対し、アルミニウム核１２を形成しないで亜鉛を蒸着した場合には、厚さが均一かつ薄い亜鉛層１４を形成することが困難である。その理由は、亜鉛粒子はプラスチックフィルム１０に対する馴染みが悪く、プラスチックフィルム１０上に固着しにくいばかりか、プラスチックフィルム１０上に着地した亜鉛粒子がフィルム表面を移動し、局部的に凝集が起こって膜が均一に成長しないためと考えられる。本発明者らは、アルミニウム以外の、例えば銅核を蒸着した後に金属蒸着層を形成することも従来から試みているが、銅核を使用した場合も、アルミニウム核１２の場合のように均一かつ薄い亜鉛層１４を形成することは困難で、亜鉛層１４の耐食性も低下する。この原因は明らかではないが、アルミニウムの方が、プラスチックフィルム１０上に付着する金属核の平均粒子径が小さく、核の発生個数が多く、さらに核の分散性もよいから、亜鉛層１４の膜構造が整ってその活性点密度が減少するためではないかと推測している。また、アルミニウム核１２の方が蒸着時の熱容量が小さいため、プラスチックフィルム１０への熱ダメージも少ないため、この点も上述した効果の差となって現れている可能性がある。
【００１６】
亜鉛層１４の付着量は一般に４０〜５００ｍｇ／ｍ2 であることが好ましく、より好ましくは７０〜３００ｍｇ／ｍ2 とされる。特に、表面抵抗値１５Ω／□以上を得る場合には、４０〜９０ｍｇ／ｍ2 であることが望ましい。なお、実用可能な亜鉛層１４の表面抵抗値の上限は４０Ω／□程度と考えられる。亜鉛層１４の蒸着方法は特に限定されず、真空蒸着法や高周波マグネトロンスパッタ法等のスパッタ法が用いられる。
【００１７】
酸化珪素層１６はＳｉＯｘで形成されたもので、ｘの値は０．５〜２．０であることが好ましい。ｘが前記範囲よりも小さくても逆に大きくても、バリア性が悪化する。より好ましくはｘ＝１．０〜２．０、さらに好ましくは１．５〜１．８である。
【００１８】
酸化珪素層１６の付着量は珪素の付着量として、一般に０．４〜３．０ｍｇ／ｍ2 であることが好ましく、より好ましくは０．８〜１．５ｍｇ／ｍ2 とされる。特に、亜鉛層１４の表面抵抗値を１５Ω／□以上にする場合には１．０〜１．５ｍｇ／ｍ2 であることが望ましい。酸化珪素層１６の付着量が０．４ｍｇ／ｍ2 未満であると、アルミニウム核１２との相乗効果による酸化防止効果が得られ難くなり、亜鉛層１４の耐食性が低下する。酸化珪素層１６の厚さが珪素付着量で２．０ｍｇ／ｍ2 （質量膜厚＝９オングストローム程度）にまで薄いと、酸化珪素層１６は緻密な膜ではなく多孔膜になると考えられる。このような多孔膜であっても耐蝕性向上効果が得られる理由は、亜鉛層１４の表面の活性点（キンク，ステップ等）に酸化珪素が選択的に結合し、亜鉛酸化物、水酸化物の生成・成長を防止するためであると考えられる。本発明においては、アルミニウム核１２の採用により亜鉛層１４の膜構造が整うため、表面の活性点密度が減少し、酸化珪素層１６によって効果的に活性点をマスクするためではないかと推測される。
【００１９】
一方、本発明に係る金属化フィルムコンデンサは、以上のような構造からなる亜鉛蒸着フィルムＦ１を使用したことを特徴とするものであり、その点を除いては従来と同様の構造であってよい。すなわち、巻回型コンデンサの場合には、図４に示すように、上記亜鉛蒸着フィルムＦ１を２枚重ねるか、もしくは上記亜鉛蒸着フィルムＦ１上に他種の金属蒸着フィルムＦ２を重ねて巻き、その巻回体の両端に電極５４，５６を溶射等により接合し、これら電極５４，５６からの端子を形成し、さらに全体を覆う外装を形成する。一方、積層型コンデンサの場合には、上記亜鉛蒸着フィルムＦ１を多数枚積層するか、あるいは他種の金属蒸着フィルムと交互に積層して、フィルム一枚毎に互い違いに２種の電極を接続し、外装を設ければよい。
【００２０】
次に、上記構成からなる亜鉛蒸着フィルムの製造方法の一例を説明する。
図２は、この方法に使用できる製造装置の一例を示す。符号２０は真空容器であり、その内部は図示しない真空ポンプによって減圧され、必要に応じて各種ガスを導入できる。真空容器２０内には、プラスチックフィルム１０を繰り出すアンコイラ２２と、蒸着処理後の金属蒸着フィルムＦ１を巻き取るリコイラ４４とが配置されている。アンコイラ２２に巻かれているプラスチックフィルム１０は実際にコンデンサを製造するときのフィルム幅の複数倍以上に設定され、蒸着工程が完了してから必要な幅に切断してコンデンサ製造に供される。本発明でいう亜鉛蒸着フィルムは、幅の広い状態および切断後の幅の狭い状態のいずれも含むものとする。
【００２１】
アンコイラ２２とリコイラ４４との間には、フィルム１０をそれぞれ案内するように、ロール２４、第１冷却ロール２６、ロール３６、第２冷却ロール３８およびロール４２が順に配置され、いずれも図示しない駆動手段によりフィルム走行と同期して回転駆動される。
【００２２】
ロール２４と第１冷却ロール２６の間には、フィルム１０に対向してオイル付着装置２８が配置されている。オイル付着装置２８は、プラスチックフィルム１０の表面にマージン形状をなすようにマスクオイルを付着させるものであり、この例の場合には、図３に示すように横マージン１８および縦マージン１９を形成すべき部分にマスクオイルを付着させる。オイル付着装置２８は一種の印刷装置であるが、一般的な直接印刷装置ではなく、プラスチックフィルム１０に傷を付けないように、プラスチックフィルム１０との間に間隙を空けて非接触でマスクオイルまたはその蒸気を噴き付けて印刷する形式のものが好ましい。
【００２３】
オイル付着装置２８内には、パーフルオロアルキルポリエーテル等のフッ素系化合物のオイルが入れられており、このオイルを霧化または蒸気化して噴出し、プラスチックフィルム１０の金属蒸着すべき面に付着させることにより、プラスチックフィルム１０の表面に、図３に示すマージン１８，１９に対応する形状のオイル付着部を形成する。これにより、オイル付着部へのアルミニウム核１２および亜鉛層１４の蒸着が阻止されるため、金属等が蒸着されていないマージン１８，１９が形成される。ただし、マージン１８，１９の形状は所望の製品規格に応じて適宜変更してよいし、必要であればマージン部を有しない亜鉛蒸着フィルムとしてもよい。
【００２４】
第１冷却ロール２６および第２冷却ロール３８は、いずれも内部に冷媒流体が循環される冷媒路を有し、図示しない冷媒供給手段からフレオン等の冷媒が連続供給されることにより、表面温度が常に、例えば−１０〜−３０℃となるように冷却されている。但し、この温度範囲に限定されることはない。
【００２５】
真空容器２０の下部は水平な隔壁３０により仕切られている。この隔壁３０には開口部３０Ａ，３０Ｂが形成され、これら開口部３０Ａ，３０Ｂを通じて、第１冷却ロール２６および第２冷却ロール３８の下端部が、隔壁３０の下方へ突き出されている。これらの突き出された第１冷却ロール２６および第２冷却ロール３８の下端部にはプラスチックフィルム１０が密着され、同期して搬送されるようになっている。
【００２６】
第１冷却ロール２６の下端部のフィルム走行方向上流側部分と対向する位置には、核付着装置３２が第１冷却ロール２６へ向けて配置されている。核付着装置３２は、アルミニウムをプラスチックフィルム１０に微量蒸着してアルミニウム核１２を形成するためのものであり、真空蒸着法またはスパッタリング法等によりアルミニウム蒸気を発生させ、プラスチックフィルム１０の全面に亙って均一に吹き付ける。これにより、オイル付着部を除いた部分の全面にアルミニウム核１２が均一な密度で付着する。なお、核付着装置３２による好適なアルミニウム蒸着量は前述したとおりである。
【００２７】
第１冷却ロール２６の下端部の下流側部分と対向する位置には、亜鉛蒸発源３４が第１冷却ロール２６へ向けて配置されている。亜鉛蒸発源３４は、亜鉛をプラスチックフィルム１０に一定の厚さに蒸着するためのものであり、真空蒸着法またはスパッタリング法により亜鉛蒸気を発生させ、プラスチックフィルム１０の全幅に亙って均一に付着させる。亜鉛蒸発源３４による好適な亜鉛蒸着量は前述したとおりである。
【００２８】
第２冷却ロール３８のフィルム巻回面と対向する位置には、酸化珪素蒸発源４０がプラスチックフィルム１０に向けて配置されている。酸化珪素蒸発源４０はＳｉＯｘを蒸発させて亜鉛層１４上に蒸着するためのもので、好適な蒸着量や好適なｘの値は前述したとおりである。
【００２９】
次に、上記装置を用いた金属蒸着フィルムおよび金属化フィルムコンデンサの製造方法を説明する。
アンコイラ２２、ロール２４，３６，４２、第１冷却ロール２６、第２冷却ロール３８、およびリコイラ４４を全て同期させて回転駆動する。アンコイラ２２から繰り出されたプラスチックフィルム１０には、まずオイル付着装置２８から噴出するオイルまたはその蒸気が吹き付けられ、マージン形状をなすオイル付着部が形成される。
【００３０】
オイルが付着したプラスチックフィルム１０は、第１冷却ロール２６に巻回され、この巻回部分の上流位置において、核付着装置３２により微量のアルミニウム核１２が均一な密度で蒸着され、続いて、亜鉛蒸発源３４により一定厚さの亜鉛層１４が形成される。このとき、オイル付着部にはアルミニウム核１２および亜鉛層１４は蒸着されない。
【００３１】
亜鉛層１４が形成されたプラスチックフィルム１０は、強制冷却されている第２冷却ロール３８に巻かれ、これに密着した状態で酸化珪素蒸発源４０から蒸気を吹き付けられ、亜鉛層１４上に酸化珪素層１６が形成される。酸化珪素層１６が形成され完成した亜鉛蒸着フィルムＦ１はリコイラ４４に順次巻き取られていく。
【００３２】
リコイラ４４に巻き取られた亜鉛蒸着フィルムＦ１の一例を図３に示す。この例では、プラスチックフィルム１０の長手方向に延びる縦マージン１９、および幅方向へ延びる横マージン１８を形成しているが、本発明ではこのマージン形状に限定される必要はない。必要に応じては、マージンを形成しないことも可能である。
【００３３】
図３の亜鉛蒸着フィルムＦ１はスリッタ装置にかけられ、製造すべきコンデンサの寸法に合うように、図３中の一点鎖線に沿って裁断される。裁断された細幅の亜鉛蒸着フィルムＦ１はそれぞれボビンに巻回されたうえ、コンデンサ製造工程に移される。
【００３４】
コンデンサ製造工程では、図４に示すように、亜鉛蒸着フィルムＦ１と、第２の金属蒸着フィルムＦ２とを金属蒸着面を同じ側へ向けて重ねる。金属蒸着フィルムＦ２は亜鉛蒸着フィルムＦ１と全く同じものであってもよいし、亜鉛蒸着フィルムＦ１から横マージン１８を省いたものであってもよいし、他種の金属を蒸着したものであってもよいが、幅は互いにほぼ同じであることが好ましい。重ねた状態において、各フィルムＦ１，Ｆ２に形成されている縦マージン１９，５２は互いに反対側に配置し、かつ、相手のフィルムの金属蒸着面の内側にずれて位置するようにする。これは、溶射等により電極５４，５６を各蒸着層１４，５０にそれぞれ接合する便宜のためである。
【００３５】
なお、亜鉛蒸着フィルムＦ１に図４に示す形状のマージン１８，１９を形成した場合には、本発明との組み合わせにより以下のような利点が得られる。すなわち、このようなマージン形状を採用した場合、金属蒸着層が多数の矩形状に分割されるため、いずれかの矩形領域において、自己回復性では回復しきれない短絡が生じた場合には、金属蒸着層の矩形領域と電極５４との境界部分Ｈがジュール熱で蒸発し、いわばヒューズが切れた状態となって短絡箇所への電流供給が停止される。ところが実際には、このマージン形状は専らアルミニウム蒸着層を使用する場合に限られていた。というのも、このマージン形状では、図５のようなヒューズ部６０に比して、ヒューズ部Ｈの幅が大きいため、薄膜化しにくい亜鉛層では十分なヒューズ効果が得られなかったからである。ところが、本発明を採用すると、亜鉛層１４を薄膜化することが容易になるため、このようなマージン形状を採用しても、信頼に足るヒューズ効果を得ることができる。そして、このマージン形状は、ヒューズ効果を奏する他のマージン形状よりも製造コストが安いという利点を有している。
【００３６】
一方、図５は、図４で用いた亜鉛蒸着フィルムＦ１にさらに縦マージン５８を追加形成し、これによりヒューズ部６０を形成したものである。このようなマージン形状ももちろん採用可能である。
【００３７】
図４または図５のように重ねられたフィルムＦ１，Ｆ２は、例えば円柱状に巻かれ、その両端に電極５４，５６が形成され、それらにリード等の端子が接続され、さらに絶縁体からなる外装が形成されて金属化フィルムコンデンサが完成する。電極５４，５６の形成は、一般に金属、特に亜鉛を溶射して行われる。本発明の亜鉛蒸着フィルムは亜鉛層１４を有するものであるから、溶射された亜鉛電極との接合性が良好で、接合不良による電気抵抗が生じにくい利点も有する。
【００３８】
上記構成からなる亜鉛蒸着フィルムによれば、アルミニウム核１２の作用により、亜鉛層１４を薄くかつ均一な厚さに蒸着することができるから、亜鉛層１４の表面抵抗値を高めることが可能で、コンデンサの自己回復性を従来品よりも高めることが容易となる。また、アルミニウム核１２を形成したことにより、亜鉛層１４が薄い場合にも亜鉛層１４の構造が比較的整ったものとなるので、亜鉛層１４の表面に存在する結晶構造の乱れた活性点（キンクやステップなど）の分布密度を低下することができると考えられる。これにより、酸化珪素層１６によって亜鉛層１４の表面活性点を効果的にマスクすることができるから、亜鉛層１４が薄いにもかかわらず亜鉛層１４の耐食性を十分に高めることが可能である。したがって、亜鉛層１４を薄くした場合に問題だったＺｎ（ＯＨ）2 化による亜鉛層１４の面積減少を防ぐことができ、保管中の容量変化が防止できる。
【００３９】
すなわち、本発明では、アルミニウム核１２および酸化珪素層１６の相乗効果により、製品として要求される亜鉛層１４の耐食性を満たしつつ、亜鉛層１４を薄肉化してその表面抵抗を高めることが可能となるので、耐食性および自己回復性の両立が図れる。また、亜鉛層１４および酸化珪素層１６の蒸着量が少なくて済むので、蒸着に要するコストを低減できるばかりか、蒸着工程におけるラインスピードを増して生産性を高めることも可能である。
【００４０】
【実施例】
［実験１］
プラスチックフィルム上にアルミニウム核を付着させたのちに亜鉛層を蒸着形成し、さらに酸化珪素層を形成した本発明の実施例１〜６および比較例１，２と、アルミニウム核の代わりに銅核を付着させたのちに亜鉛層を蒸着形成し、さらに酸化珪素層を形成した比較例３〜８とをそれぞれ作成し、亜鉛層の密着性および高湿度高温環境下での亜鉛層の表面抵抗の変化率を計測した。なお、蒸着核をまったく付着させずに亜鉛層を蒸着形成することは困難である。
【００４１】
実験に使用したプラスチックフィルムは、幅３０ｍｍ×厚さ５μｍのポリプロピレンフィルムである。核の付着方法、亜鉛層および酸化珪素層の形成方法は真空蒸着法を用いた。
【００４２】
亜鉛層の密着性は、作成した亜鉛蒸着フィルムを室温の大気中に２４時間放置した後、酸化珪素層上からセロテープを貼り、それを直後に引き剥がすことにより評価した。評価基準は、「４」では剥がれた部分の面積が貼付面積の２０％未満、「３」では剥がれた部分の面積が貼付面積の２０％以上５０％未満、「２」では剥がれた部分の面積が貼付面積の５０％以上８０％未満、「１」では剥がれた部分の面積が８０％以上であることを意味する。
【００４３】
亜鉛層の表面抵抗の変化率は、以下のようにして求めた。まず、作成した亜鉛蒸着フィルムから長さ１０ｍの試験品を複数切り、同種のフィルム同士をそれぞれ２枚重ねたうえ、巻き取り装置を用いて円柱状に巻き、サンプルとした。次いで、これらサンプルを７０℃×８０％ＲＨ×１２時間の条件で高温多湿環境に置き、この劣化試験前後の亜鉛層の表面抵抗を、横河電機株式会社製「組試験器Ｌ−３型」を用いてＪＩＳ  Ｃ−２３１６の８（７）に基づいて計測した。測定した表面抵抗値から、以下の式に基づいて表面抵抗の変化率を計算した。
表面抵抗の変化率（％）＝
（［試験後の抵抗値］／［試験前の抵抗値］−１）×１００
実験１の結果を表１に示す。
【００４４】
【表１】
0003759266.tif 000002
【００４５】
［実験２］
プラスチックフィルム上にアルミニウム核を付着させたのちに亜鉛層を蒸着形成し、さらに酸化珪素層を形成した本発明の構成において、アルミニウム核の付着量と亜鉛層の付着量とを一定にしたまま、酸化珪素層の厚さを変化させて、亜鉛層の表面抵抗の変化率を実験１と同様に測定した。結果を表２に示す。
【００４６】
【表２】
0003759266.tif 000003
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る亜鉛蒸着フィルムおよび金属化フィルムコンデンサによれば、アルミニウム核および酸化珪素層の相乗効果により、製品として要求される亜鉛層の耐食性を満たしつつ、亜鉛層を薄肉化することが可能となるので、良好な自己回復性が得られるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る亜鉛蒸着フィルムの一実施形態を示す断面拡大図である。
【図２】  同亜鉛蒸着フィルムの製造に使用される装置の一例を示す側面図である。
【図３】  本発明に係る亜鉛蒸着フィルムの一実施形態の平面図である。
【図４】  本発明に係る金属化フィルムコンデンサの一実施形態の展開図である。
【図５】  本発明に係る金属化フィルムコンデンサの他の実施形態の展開図である。
【図６】  従来の金属化フィルムコンデンサを一部分解した斜視図である。
【符号の説明】
Ｆ１  亜鉛蒸着フィルム
１０  プラスチックフィルム
１２  アルミニウム核
１４  亜鉛層
１６  酸化珪素層
１８，１９  マージン
【図１】
0003759266.tif 000004
【図２】
0003759266.tif 000005
【図３】
0003759266.tif 000006
【図４】
0003759266.tif 000007
【図５】
0003759266.tif 000008
【図６】
0003759266.tif 000009