(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板搬送面に沿って搬送されてくる基板にフィルムを張り付ける方法において、基板に転がり接触可能な凸円弧状面を備えた円弧状面部材を、該凸円弧状面の背後から、該凸円弧状面に対して、基板送り方向と反対方向に相対的に移動する押圧部材を押し付けて、前記凸円弧状面を基板表面に転がり接触させ、該凸円弧状面と基板との間のフィルムを該基板に圧着することを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項２】
請求項１において、前記円弧状面部材の表面には複数の凸円弧状面が環状に配置され、前記押圧部材は該環状の内側を、凸円弧状面の円弧中心線と平行に貫通して配置され、該環状の複数の凸円弧状面を基板送り方向に順次回転させつつ押圧部材により基板に押圧することを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記凸円弧状面の基板送り方向両端部外側位置で、前記フィルムを保持しつつ、該フィルムを基板に圧着することを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項４】
請求項３において、前記フィルム保持位置で後行フィルムの基板送り方向下流側端部と先行フィルムの上流側端との間を切断することを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記押圧部材を、その軸線廻りに回転させることにより、凸円弧状面を背後から押圧することを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項６】
請求項５において、前記押圧部材を、前記凸円弧状面の背後位置で、該凸円弧状面を基板と同方向に送るように回転させることを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、前記押圧部材を押し付けて基板にフィルムを圧着する際に、該基板を、前記押圧部材と対向して配置されたラミネーションロールにより、前記凸円弧状面と反対側から挟み込みつつ基板に送りをかけることを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項８】
基板搬送面に沿って搬送されてくる基板に転がり接触する複数の凸円弧状面を備え、各凸円弧状面はその円弧の長さが前記基板の搬送方向の長さと略等しく、円弧中心軸線が基板の幅方向となるように配置され、且つ、該円弧中心軸線方向の長さが基板の幅と略等しくされた円弧状面部材と、この円弧状面部材における前記凸円弧状面の背面側を貫通して前記円弧中心軸線と平行に配置され、該背面に接触・押圧しつつ、凸円弧状面に対して基板搬送面と平行、且つ、基板搬送方向と相対的反対方向に移動自在な押圧部材と、を有してなり、前記押圧部材の、凸円弧状面に対する相対移動時に、凸円弧状面と基板との間のフィルムを、該基板に圧着することを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項９】
請求項８において、前記凸円弧状面は複数であって、前記円弧状面部材の表面に環状に配置され、該円弧状面部材は、前記複数の凸円弧状面が順次基板搬送面に対面する位置となるように、基板搬送方向に回転自在とすると共に、前記押圧部材は、前記環状の凸円弧状面の内側位置で前記円弧状面部材を貫通して配置されたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項１０】
請求項８又は９において、前記基板搬送面を介して、前記押圧部材の反対側に配置され、該押圧部材と共に前記基板フィルム及び凸円弧状部を挾持しつつ、これらに基板搬送方向の送りをかけるようラミネーションロールを設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線板用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張付方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板の製造過程において、プリント配線板用基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポリエステルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接又は介在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、これがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルムを、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルムを剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付けられる。
【０００３】
上記のような積層体フィルムを張り付けるためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム張付面側になるようにして、両者を重ねた状態でラミネーションロール間に通し、フィルムを複数の基板に連続的に圧着しつつ基板を搬送するようにした、いわゆる連続張りタイプのものがある。
【０００４】
又、フィルムロールから巻き出した積層体フィルムを、対応する基板の長さに応じて切断し、切断された各積層体フィルムの先端を基板の先端に仮付けして、ラミネーションロール間に通して積層体フィルムを基板に張り付けるようにしたものがある。
【０００５】
ここで、近年、液晶表示装置あるいはプラズマ表示装置は非常に大型化し、特にプラズマ表示装置の場合、５０インチサイズのパネルが主力となっている。
【０００６】
このように、基板が大きくなると、当然ラミネーションロールのスパンも大きくなり、基板をフィルムと共に挟み込むべく該ラミネーションロールを圧下させると、その軸方向中間部が撓み易くなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
スパンの長いラミネーションロールの軸方向中間部に撓みが生じると、積層体フィルムを基板に押圧する圧力が低減し、積層体フィルムを基板に張り付けた状態で、基板送り方向のしわや気泡が発生して、これが、パターンを焼き付けたときのパータン不良を生じてしまうという問題点がある。
【０００８】
更に、このように、ラミネーションロールの撓みを防止するため、該ラミネーションロールの剛性を高めるべく直径を大きくしたりすると、ラミネーションロールを加熱するための熱がラミネーションロール軸方向中間部に過剰に蓄積され、これが積層体フィルムに悪い影響を与えてしまうという新たな問題点を生じる。
【０００９】
又、積層体フィルムを基板に張り付ける際に、該積層体フィルムにある程度の張力を加えた状態でラミネーションロールによって基板に押圧しなければならないが、積層体フィルムを対応する基板の長さに応じて切断してから張り付ける場合、該積層体フィルムの先端及び後端はこれに引張力を付与するための、例えば負圧による吸着装置を、ラミネーションロールに一定以上接近させることができないので、積層体フィルムの前後端はどうしても引張力不足となり、基板に張り付けた状態でしわや気泡が発生し易いという問題点がある。
【００１０】
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、大型の基板に積層体フィルムを張り付ける場合に、ラミネーションロールを大型化することなく、基板幅方向中央部分でフィルムにしわや気泡が発生しないようにしたフィルム張付方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１１】
又、積層体フィルムを対応する基板の長さに応じて切断してから基板に張り付ける場合においても、該積層体フィルムの先端部及び後端部に必要な引張力を付与して、しわ等が生じることなく基板に張り付けることができるようにしたフィルム張付方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本方法発明は、基板搬送面に沿って搬送されてくる基板にフィルムを張り付ける方法において、基板に転がり接触可能な凸円弧状面を備えた円弧状面部材を、該凸円弧状面の背後から、該凸円弧状面に対して、基板送り方向と反対方向に相対的に移動する押圧部材を押し付けて、前記凸円弧状面を基板表面に転がり接触させ、該凸円弧状面と基板との間のフィルムを該基板に圧着することを特徴とするフィルム張付方法により、上記目的を達成するものである。
【００１３】
請求項２のように、前記円弧状面部材の表面には複数の凸円弧状面が環状に配置され、前記押圧部材は該環状の内側を、凸円弧状面の円弧中心線と平行に貫通して配置され、該環状の複数の凸円弧状面を基板送り方向に順次回転させつつ、押圧部材により基板に押圧するようにしてもよい。
【００１４】
又、請求項３のように、前記凸円弧状面の基板送り方向両端部外側位置で、前記フィルムを保持しつつ、該フィルムを基板に圧着するようにしてもよい。
【００１５】
更に、請求項４のように、前記フィルム保持位置で後行フィルムの基板送り方向下流側端部と先行フィルムの上流側端との間を切断するようにしてもよい。
【００１６】
又、請求項５のように、前記押圧部材を、その軸線廻りに回転させることにより、凸円弧状面を背後から押圧するようにしてもよい。
【００１７】
更に、請求項６のように、前記押圧部材を、前記凸円弧状面の背後位置で、該凸円弧状面を基板と同方向に送るように回転させるようにしてもよい。
【００１８】
又、請求項７のように、前記押圧部材を押し付けて基板にフィルムを圧着する際に、該基板を、前記押圧部材と対向して配置されたラミネーションロールにより、前記凸円弧状面と反対側から挟み込みつつ基板に送りをかけるようにしてもよい。
【００１９】
本装置発明は、請求項８のように、基板搬送面に沿って搬送されてくる基板に転がり接触する複数の凸円弧状面を備え、各凸円弧状面はその円弧の長さが前記基板の搬送方向の長さと略等しく、円弧中心軸線が基板の幅方向となるように配置され、且つ、該円弧中心軸線方向の長さが基板の幅と略等しくされた円弧状面部材と、この円弧状面部材における前記凸円弧状面の背面側に、前記円弧中心軸線と平行に配置され、該背面に・押圧接触しつつ、凸円弧状面に対して基板搬送面と平行、且つ、基板搬送方向と相対的反対方向に移動自在な押圧部材と、を有してなり、前記押圧部材の、凸円弧状面に対する相対移動時に、凸円弧状面と基板との間のフィルムを、該基板に圧着することを特徴とするフィルム張付装置により、上記目的を達成するものである。
【００２０】
又、請求項９のように、前記凸円弧状面は複数であって、前記円弧状面部材の表面に環状に配置され、該円弧状面部材は、前記複数の凸円弧状面が順次基板搬送面に対面する位置となるように、基板搬送方向に回転自在とすると共に、前記押圧部材は、前記環状の凸円弧状面の内側位置で前記円弧状面部材を貫通して配置するようにしてもよい。
【００２１】
請求項１０のように、前記基板搬送面を介して、前記押圧部材の反対側に配置され、該押圧部材と共に前記基板フィルム及び凸円弧状部を挾持しつつ、これらに基板搬送方向の送りをかけるようラミネーションロールを設けてもよい。
【００２２】
この発明においては、円弧状面部材における凸円弧状面の背後からこれを押圧部材によって押し付け、フィルムを基板に張り付けるので、円弧状面部材を大型化しても、その軸方向中間部に撓みが生じることがない。従って、フィルムを基板に確実に圧着することができる。
【００２３】
又、円弧状面部材における凸円弧状面の両端においてフィルムを吸着することによって、該フィルムに常時引張力を付与した状態で基板に張り付けることができ、従って、フィルムの前端又は後端に気泡やしわが発生することがない。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【００２５】
図１に示されるように、本発明に係るフィルム張付装置１０は、基板搬送面１２Ａに沿って搬送されてくる基板１４に転がり接触する３個の凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃを備え、各凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃは、その円弧の長さが前記基板１４の搬送方向の長さと略等しく、円弧中心軸線が基板１４の幅方向となるように配置され、且つ、該円弧中心軸線方向の長さが基板１４の幅と略等しくされた中空の略三角形状の円弧状面部材１８と、この円弧状面部材１８における前記凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃの背面側を貫通して、前記円弧中心軸線と平行に配置され、該背面である内周面１７Ａ〜１７Ｃに接触しつつ、凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃを基板搬送方向に送るように回転される押圧バー２０と、前記凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃのいずれか及び前記基板搬送面１２Ａを介して前記押圧バー２０と対向して、図１において下側位置に配置され、該押圧バー２０と共に前記いずれかの凸円弧状面を挟持するラミネーションロール２２と、を備えて構成され、前記押圧バー２０及びラミネーションロール２２により円弧状面部材１８を図１において反時計方向に回転移動させ、且つ基板１４を基板搬送面１２Ａに沿って図１において右方向に送りつつ、凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃのいずれかと基板１４の上面との間の積層体フィルム２４を該基板１４に圧着するようにしたものである。
【００２６】
前記積層体フィルム２４は、図１に示されるように、供給源であるフィルムロール２６から巻き出され、該積層体フィルム２４を構成するカバーフィルム２４Ｃ（後述）をカバーフィルム剥離装置２８によって剥離した後、ガイドロール２９を経て前記円弧状面部材１８に供給されるものである。
【００２７】
前記積層体フィルム２４は、図２に示されるように、透光性支持フィルム２４Ａ、この透光性支持フィルム２４Ａに積層された感光性樹脂層２４Ｂ、及び、この感光性樹脂層２４Ｂを被って積層されたカバーフィルム２４Ｃからなり、帯状に巻かれたフィルムロール２６から連続的に巻き出されるようになっている。ここで、透光性支持フィルム２４Ａにおける「透光性」とは、感光性樹脂層２４Ｂを露光させる光あるいはビーム、即ち、可視光線、紫外光、Ｘ線、電子線等を透過できることを意味する。
【００２８】
前記基板搬送面１２Ａは基板搬送装置１２における、複数の搬送ローラの上面によって構成される、前記ラミネーションロール２２の上端に接して通過するように配置されている。
【００２９】
前記円弧状面部材１８は、いわゆるロータリピストンエンジンにおけるローターに類似した形状であって、略三角形の各辺に前記凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃが形成され、且つ中心側は該凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃと平行な内周面１７Ａ〜１７Ｃを備えた中空形状であり、該中空部を、前記押圧バー２０が貫通して配置されている。
【００３０】
この押圧バー２０は、前記内周面１７Ａ〜１７Ｃを押圧する状態のとき、摩擦回転接触により円弧状面部材１８を図１において反時計方向に回転駆動できるように、例えば耐熱性硬質ゴム等によって被覆されると共に、モータ（図示省略）によって、図１において反時計方向に回転されるようになっている。
【００３１】
ここで、前記ラミネーションロール２２も、図１において時計方向に駆動され、このラミネーションロール２２による基板１４の搬送速度及び押圧バー２０による円弧状面部材１８の凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃにおける基板搬送方向の速度が同期するようにされている。
【００３２】
前記押圧バー２０の図１において上方には、該押圧バー２０と平行に円弧状面部材１８を貫通し、且つ、内周面１７Ａ〜１７に摩擦回転して円弧状面部材１８を反時計方向に回転駆動する駆動ロール３０が設けられている。
【００３３】
この駆動ロール３０は、前記凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃのいずれかが押圧バー２０とラミネーションロール２２の間の位置で基板１４に外接しているとき、その凸円弧状面の円弧中心となる位置に配置されている。なお、凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃの曲率半径は、その円弧中心が内周面１７Ａ〜１７Ｃの内側近傍となるように設定しておく。
【００３４】
図の符号３２及び３４は、前記押圧バー２０及び駆動ロール３０を中心とする円弧状面部材１８の、図１おいて反時計方向の揺動角度を検出する揺動角度センサを示す。
【００３５】
前記円弧状面部材１８の外周面における、各凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃ間の部分には、前記円弧状面部材１８における図形中心を中心とする円の接線方向になる吸着面４０Ａ〜４０Ｃが形成されている。
【００３６】
この吸着面４０Ａ〜４０Ｃは、図３に示されるように、各々後端側吸着面４２及び先端側吸着面４１に２分割され、それぞれには、円弧状面部材１８の軸方向両端外側に配置された負圧供給源４４から切換弁４６を介して負圧が供給されるようになっている。
【００３７】
前記切換弁４６は、前記揺動角度センサ３２、３４による円弧状面部材１８の揺動角度に応じて、制御装置４８により制御されるものであり、凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃのいずれかで積層体フィルム２４を基板１４に圧着する際に、積層体フィルム２４の先端側には圧着開始直前まで、後端側には圧着終了時まで負圧を印加させるようになっている。
【００３８】
前記切換弁４６は、揺動接続部材４７に接続され、この揺動接続部材４７は、積層体フィルム２４が吸着面４０Ａ〜４０Ｃのいずれかに吸着され、基板１４への張付けが終了するまで円弧状面部材１８と共に揺動しつつ、その軸方向両端面から先端及び後端吸着面４１、４２に負圧を供給するようにされている。
【００３９】
又、前記先端吸着面４１と後端吸着面４２との間には、切断用スリット４３が形成され、吸着面４０Ａ〜４０Ｃが、ラミネーションロール２２の入側位置で基板搬送面１２Ａと略直交する状態となったとき、積層体フィルム２４を介して対向して配置されたカッター５０の刃先が食い込んで、吸着面に吸着されている積層体フィルム２４を、先端吸着面４１側と後端吸着面４２側とに分割できるようにされている。
【００４０】
図１の符号５３Ａ、５３Ｂは、ラミネーションロール２２の出側で積層体フィルム１４及び基板２０を挟み込むことができるようにされたピンチロールを示す。上側のピンチロール５３Ａは、下側のピンチロール５３Ｂに対して離接自在とされている。
【００４１】
次に、上記フィルム張付装置１０によって、積層体フィルム２４を基板１４に連続的に張り付ける工程について説明する。
【００４２】
まず、フィルムロール１２から積層体フィルム２４の先端を巻き出し、その先端からカバーフィルム２４Ｃを剥離して、分離部材２８Ａを介して巻き取りロール２８Ｂに巻き取り可能な状態にセットする。
【００４３】
一方、カバーフィルム２４Ｃを剥離した透光性支持フィルム２４Ａは、円弧状面部材１８における、基板搬送面１２Ａと直交する位置の吸着面４０Ａにその先端を吸着させる（図５（Ａ）参照）。
【００４４】
次に、押圧バー２０を図において反時計方向に回転させることによって積層体フィルム２４を引張りつつ、該円弧状面部材１８を反時計方向に回転させる（図５Ａ（Ｂ）参照）。
【００４５】
回転が所定位置、即ち、凸円弧状面１６Ａの反時計方向先端側の吸着面４０Ａが基板搬送面１２Ａと平行になる位置まできたとき、揺動回転センサ３４からの信号に基づいて、制御装置４８が、押圧バー２０の回転を停止し、次に、基板１４の先端が進行してきたとき、そのタイミングで押圧バー２０の回転を開始し、フィルム２４の先端部と基板１４とを、ラミネーションロール２２との間に挟み込む（図１参照）。
【００４６】
この状態で、フィルム張付装置１０の運転を開始し、ラミネーションロール２２及び押圧バー２０を、両者間に挟持されている基板１４と積層体フィルム２４を、厚さ方向に押圧しつつ図１において右方向に送る。
【００４７】
このとき、円弧状面部材１８の内周面１７Ａは凸円弧状面１６Ａと平行であり、凸円弧状面１６Ａは常に積層体フィルム２４を介して基板１４の図において上面に外接するようにして、且つ、凸円弧状面１６Ａの円弧中心位置にある駆動ロール３０を中心として揺動する。
【００４８】
なお、前記押圧バー２０を回転させる直前に、次の吸着面４０Ｂに積層体フィルム２４を吸着させると共に、カッター５０によって吸着面４０Ｂに吸着されている積層体フィルム２４を先端吸着面４１側と後端吸着面４２側に分離する。
【００４９】
凸円弧状面１６Ａがその回転方向前端から後端までラミネーションロール２２の上方位置を転がり接触しながら通過すると、最初の基板１４に対する積層体フィルム２４の張付けが終了する。張付けの終了は、前記揺動角度センサ３４によって検出され、この揺動角度センサ３４からの張付終了信号によって、制御装置４８は、吸着面４０Ｂにおける後端吸着面４２の負圧を解除する。なお、吸着面４０Ａにおける先端吸着面４１における負圧は、吸着面４０Ａが押圧バー２０を通過する際に解除する。
【００５０】
従って、積層体フィルム２４は凸円弧状面１６Ａから離れて基板１４上にその全体が張り付けられることになる。
【００５１】
次に、制御装置４８によって、押圧バー２０の回転を停止し、駆動ロール３０の回転を開始する。
【００５２】
これにより、円弧状面部材１８は図５（Ｃ）に示されるように押圧バー２０を中心として反時計方向に揺動する。円弧状面部材１８が図１の状態まで揺動すると、前述と同様に凸円弧状面１６Ｂによる積層体フィルム２４の張付け作業を開始する。以下上記と同様の工程を繰り返し、凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃをこの順で基板１４に押しつけて、基板１４に順次積層体フィルム２４を張り付けていく。
【００５３】
上記フィルム張付装置１０において、押圧バー２０により内周面１７Ａ〜１７Ｃをラミネーションロール２２方向に押圧する際に、該押圧バー２０の軸方向両端を、図において下方に押すことになるが、このようにすると押圧バー２０の軸方向中間部が基板搬送面１２Ａから離間する方向に撓むことが考えられる。
【００５４】
このような場合、図６に示されるように、押圧バー２０の軸方向中間部分２０Ａを両端側部分よりも太径にすれば、撓みが生じても凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃを均一に押圧することができる。  又、積層体フィルム２４の、凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃの両端外側位置で、吸着面４０Ａ〜４０Ｃにより積層体フィルムの送り方向両端に引張力を与えた状態で吸着保持できるので、該積層体フィルム２４を基板１４に張り付けたとき、しわや気泡が発生することを防止できる。
【００５５】
なお、上記実施の形態の例では、吸着面４０Ａ〜４０Ｃに吸着した積層体フィルム２４を、カッター５０によって切断するようにしているが、本発明はこれに限定されるものでなく、いわゆる連続張りタイプのフィルム張付装置にも適用され得るものである。
【００５６】
その場合、上記と同様にフィルム張付装置１０を運転させるが、カッター５０による積層体フィルム２４の切断工程を省略する。又、吸着面４０Ａ〜４０Ｃに、フィルム吸着をしない場合もある。
【００５７】
又、連続張りの場合、図７に示されるように、ラミネーションロール２２入側近傍にガイドロール５２を設け、積層体フィルム２４を基板１４の上面に接触することなく、且つ接近して凸円弧状面とラミネーションロール２２間に送り込むようにしてもよい。
【００５８】
更に、図８のように、ラミネーションロール２２出側位置で、出側カッター５４により、各基板１４、１４間の隙間を通って下方から積層体フィルム２４を切断して各基板を順次分離するようにしてもよい。
【００５９】
なお、上記のフィルム張付装置１０における円弧状面部材１８は、３つの凸円弧状面１６Ａ〜１６Ｃをロータリーエンジンにおける略三角形状のローターと同様な構成としたものであるが、これは、複数の凸円弧状面を備えるものであればよく、従って、例えば図９（Ａ）に示されるように、２つの凸円弧状面５６Ａ、５６Ｂを備えた円弧状面部材５８、あるいは図９（Ｂ）に示されるように、４つの凸円弧状面６０Ａ〜６０Ｄを備えた円弧状面部材６２としてもよい。
【００６０】
又、上記フィルム張付装置１０において、押圧バー２０は円弧状面部材１８の内周面１７Ａ〜１７Ｃに対して摩擦接触することにより、これを回転するようにされているが、これは、例えば内周面１７Ａ〜１７Ｃに内歯歯車を形成し、押圧バーはこの内歯歯車に噛み合うピニオンとしてもよい。
【００６１】
更に、上記フィルム張付装置１０は、押圧バー２０及びラミネーションロール２２の両方を回転することによって、円弧状面部材１８、基板１４及び積層体フィルム２４に送りを掛けるようにしているが、これは、押圧バー２０とラミネーションロール２２の一方のみによって送りを形成するようにしてもよい。
【００６２】
又、上記のように、駆動ロール３０を凸円弧状面の円弧中心に設けて、円弧状面部材１８の揺動を規制しているが、これは押圧バー２０により内周面を押圧することにより自動的に調心されるので必ずしも設けなくてもよい。但し、１回の張付け終了後に次の張付け位置まで円弧状面部材１８を揺動させる他の手段が必要となる。この場合、円弧状面部材１８を押圧バー２０によって揺動させてもよい。
【００６３】
なお、押圧バーは、いわゆるバーに限定されるものではなく、形状、構造にかかわらず凸円弧状面をその背面側から押圧する押圧部材であればよい。
【００６４】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、基板が大型になっても、フィルムを張り付ける際に、基板幅方向中心部位置でも確実にフィルムを押圧して、気泡やしわが発生することを防止することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装置を示す略示側面図
【図２】同フィルム張付装置によって基板に張り付けられる積層体フィルムを拡大して示す断面図
【図３】同フィルム張付装置における円弧状面部材の吸着面及びカッターを拡大して示す側面図
【図４】同フィルム張付装置における制御系を示すブロック図
【図５】同フィルム張付装置により積層体フィルムを基板に張り付ける過程を示す略示側面図
【図６】本発明の他の実施の形態の例に係る円弧状面部材及び押圧バーを示す略示斜視図
【図７】本発明の更に他の実施の形態の例に係るフィルム張付装置の要部を示す略示側面図
【図８】前記本発明における他のフィルム切断過程を示す略示側面図
【図９】本発明の円弧状面部材の他の実施の形態の例を示す略示側面図
【符号の説明】
１０…フィルム張付装置
１２…基板搬送装置
１２Ａ…基板搬送面
１４…基板
１６Ａ〜１６Ｃ、５６Ａ、５６Ｂ、６０Ａ〜６０Ｄ…凸円弧状面
１７Ａ〜１７Ｃ…内周面
１８、５８、６２…円弧状面部材
２０…押圧バー
２２…ラミネーションロール
２４…積層体フィルム
３０…駆動ロール
４０Ａ〜４０Ｃ…吸着面
４１…先端吸着面
４２…後端吸着面
４４…負圧供給源
４８…制御装置
５０、５４…カッター
【図１】
0003805863.tif 000002
【図２】
0003805863.tif 000003
【図３】
0003805863.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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