(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル開口とそれぞれ連通する複数の圧力室と、
前記圧力室の一壁面を構成する弾性膜と、
前記複数の圧力室に対応して前記弾性膜上に形成された複数のアクチュエータと、
前記複数のアクチュエータに接続される複数の端子から成る端子列と、を備え、
前記複数のアクチュエータは、前記複数の圧力室に対応して前記弾性膜上に形成された複数の下部電極膜と、前記複数の下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、前記複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有し、
前記複数の端子は、前記複数の上部電極膜のそれぞれに対応して設けられた複数のセグメント端子と、前記複数の下部電極膜のすべて又は一部において共有される少なくとも１つのコモン端子と、を有し、
前記コモン端子とこれに隣接する前記セグメント端子との間隔は、互いに隣接する前記セグメント端子同士の間隔よりも広く、
前記セグメント端子及び前記コモン端子は、前記端子列の長手方向に沿って測った幅が揃えられており、
前記セグメント端子同士の間隔は均等である、ことを特徴とするアクチュエータユニット。
【請求項２】
前記複数の下部電極膜はいくつかのグループに分類され、前記各グループに対応して前記各コモン端子が設けられ、
前記各グループに属する前記下部電極膜同士を連結すると共に対応する前記コモン端子に前記下部電極膜を接続する各コモン連絡導線をさらに有することを特徴とする請求項１記載のアクチュエータユニット。
【請求項３】
前記各グループには一対の前記下部電極膜が属していることを特徴とする請求項２記載のアクチュエータユニット。
【請求項４】
前記コモン連絡導線は、前記下部電極膜と同一平面上に形成され、互いに隣接する前記アクチュエータ同士の間を通って延設された部分を有することを特徴とする請求項２又は３に記載のアクチュエータユニット。
【請求項５】
前記コモン連絡導線は、端子列に近い側において、互いに隣接する前記下部電極膜の端部同士を連結していることを特徴とする請求項２又は３に記載のアクチュエータユニット。
【請求項６】
前記複数のアクチュエータが複数列状に形成されると共に、前記複数の端子から成る端子列が１列形成され、
単一の前記端子列に、複数列の前記アクチュエータの全列が接続されていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータユニット。
【請求項７】
前記単一の端子列は前記アクチュエータユニットの１つの縁部に形成されていることを特徴とする請求項６記載のアクチュエータユニット。
【請求項８】
前記複数のアクチュエータが複数列状に形成されると共に、前記複数の端子から成る端子列が複数列形成され、
複数列の前記端子列のうちの少なくとも１列には、複数列の前記アクチュエータのうちの少なくとも２列が接続されていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータユニット。
【請求項９】
複数列の前記端子列は前記アクチュエータユニットの互いに対向する一対の縁部に形成されていることを特徴とする請求項８記載のアクチュエータユニット。
【請求項１０】
複数列の前記端子列のうちの少なくとも１列は、前記アクチュエータの列同士の間に配置されると共にその両側に位置する一対の前記アクチュエータの列の両方が接続されていることを特徴とする請求項８記載のアクチュエータユニット。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一項に記載のアクチュエータユニットと、
前記複数のノズル開口が形成されたノズルプレートと、を備えたことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクチュエータユニット及び同ユニットを備えたインクジェット式記録ヘッドに係わり、特に、圧力室の上面開口を封止する弾性膜を圧電体膜の変位により振動させ、これにより圧力室内のインクの圧力を変化させてノズル開口からインク滴を吐出させるアクチュエータユニット及びインクジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、圧力発生手段によって圧力室内のインクを加圧してノズルプレートのノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドとして、軸方向に伸縮する縦振動モードの圧電振動子を圧力発生手段として利用するものと、たわみ振動モードの圧電振動子を圧力発生手段として利用するものとがある。
【０００３】
前者は、圧電振動子の端面を弾性板に当接させて圧電振動子の伸縮動作により圧力室の容積を変化させるものであり、高密度印刷に適した記録ヘッドの製作が可能である反面、圧電振動子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた圧電振動子を圧力室に位置決めして固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。
【０００４】
これに対して後者は、圧電材料のグリーンシートを圧力室の形状に合わせて貼付し、これを焼成するという比較的簡単な工程で弾性膜に圧電振動子（圧電体膜）を作りつけることができる。
【０００５】
図１１及び図１２は、たわみ振動モードの圧電振動子（圧電体膜）を備えた従来のインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図及び透視図である。このアクチュエータユニットは、互いに対向する一対の縁部に、複数の端子１００、１０１から成る一対の端子列１０２を備えている。端子１００は互いに分離されたセグメント端子であり、端子１０１はコモン端子である。また、このアクチュエータユニットは、複数のノズル開口に連通するノズル連通孔１０３を列状に配置して成るノズル連通孔列１０４を２列備えている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の記録ヘッドにおいては、セグメント端子１００及びコモン端子１０１から成る複数の端子が、すべて均一な間隔で配置されていた。すなわち、端子列１０２の両端に配置されたコモン端子１０１とこのコモン端子１０１に隣接するセグメント端子１００との間隔が、セグメント端子１００同士の間隔と同一に設定されていた。
【０００７】
ところが、セグメント端子１００とコモン端子１０１との間には相当な電位差が存在するために、両端子間でショートすると大電流が流れて危険である。コモン端子１０１の形成には一般的に銀が使用されるが、銀はイオン化傾向が高いために、セグメント端子１００とコモン端子１０１との間の電位差に起因して銀がイオン化し、マイグレーションが発生して両端子間が電気的につながってショートしてしまう恐れがある。また、記録ヘッドの実装工程時における半田づけ作業の際に、セグメント端子１００とコモン端子１０１とが誤って接続されてしまう恐れもある。
【０００８】
特に、近年の印刷密度の高密度化の要請に応えるために、記録ヘッドの端子同士の間隔がますます狭くなってきているので、上述したセグメント端子１００とコモン端子１０１とのショートの問題が深刻化している。
【０００９】
本発明は、上述した事情を考慮して成されたものであって、その目的とするところは、セグメント端子とコモン端子とのショートを防止することができるアクチュエータユニット及びインクジェット式記録ヘッドを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明によるアクチュエータユニットは、複数のノズル開口とそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室の一壁面を構成する弾性膜と、前記複数の圧力室に対応して前記弾性膜上に形成された複数のアクチュエータと、前記複数のアクチュエータに接続される複数の端子から成る端子列と、を備え、前記複数のアクチュエータは、前記複数の圧力室に対応して前記弾性膜上に形成された複数の下部電極膜と、前記複数の下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、前記複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有し、前記複数の端子は、前記複数の上部電極膜のそれぞれに対応して設けられた複数のセグメント端子と、前記複数の下部電極膜のすべて又は一部において共有される少なくとも１つのコモン端子と、を有し、前記コモン端子とこれに隣接する前記セグメント端子との間隔は、互いに隣接する前記セグメント端子同士の間隔よりも広く、前記セグメント端子及び前記コモン端子は、前記端子列の長手方向に沿って測った幅が揃えられており、前記セグメント端子同士の間隔は均等であることを特徴とする。
【００１２】
また、好ましくは、前記複数の下部電極膜はいくつかのグループに分類され、前記各グループに対応して前記各コモン端子が設けられ、前記各グループに属する前記下部電極膜同士を連結すると共に対応する前記コモン端子に前記下部電極膜を接続する各コモン連絡導線をさらに有する。
【００１３】
また、好ましくは、前記各グループには一対の前記下部電極膜が属している。
【００１４】
また、好ましくは、前記コモン連絡導線は、前記下部電極膜と同一平面上に形成され、互いに隣接する前記アクチュエータ同士の間を通って延設された部分を有する。
【００１５】
また、好ましくは、前記コモン連絡導線は、端子列に近い側において、互いに隣接する前記下部電極膜の端部同士を連結している。
【００１６】
また、好ましくは、前記複数のアクチュエータが複数列状に形成されると共に、前記複数の端子から成る端子列が１列形成され、単一の前記端子列に、複数列の前記アクチュエータの全列が接続されている。
【００１７】
また、好ましくは、前記単一の端子列は前記アクチュエータユニットの１つの縁部に形成されている。
【００１８】
また、好ましくは、前記複数のアクチュエータが複数列状に形成されると共に、前記複数の端子から成る端子列が複数列形成され、複数列の前記端子列のうちの少なくとも１列には、複数列の前記アクチュエータのうちの少なくとも２列が接続されている。
【００１９】
また、好ましくは、複数列の前記端子列は前記アクチュエータユニットの互いに対向する一対の縁部に形成されている。
【００２０】
また、好ましくは、複数列の前記端子列のうちの少なくとも１列は、前記アクチュエータの列同士の間に配置されると共にその両側に位置する一対の前記アクチュエータの列の両方が接続されている。
【００２１】
上記課題を解決するために、本発明によるインクジェット式記録ヘッドは、上記いずれかのアクチュエータユニットと、前記複数のノズル開口が形成されたノズルプレートと、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドについて図１乃至図５を参照して説明する。
【００２３】
図１は本実施形態による記録ヘッドにおける１つのアクチュエータ及びその周辺を拡大して示した縦断面図であり、図１に示したようにこの記録ヘッドは、ノズル開口１を有するノズルプレート２と、このノズルプレート２に積層された流路形成基板３と、この流路形成基板３に積層された供給口形成基板１７と、この供給口形成基板１７に積層されたアクチュエータユニット５とを備えている。
【００２４】
アクチュエータユニット５は、圧力室６が形成された圧力室形成基板７を有し、この圧力室形成基板７の上面には弾性膜８が形成されている。弾性膜８の上面には下部電極膜９及び台座膜２５が形成されており、下部電極膜９の上面には圧電体膜１１が形成されている。圧電体膜１１の上面には上部電極膜１２が形成されており、この上部電極膜１２はセグメント端子２０に接続されている。１つの圧電体膜１１、１つの上部電極膜１２、及び１つの下部電極膜９によって１つのアクチュエータ３０が構成される。アクチュエータユニット５の一部を構成する連通孔形成基板４には、複数のノズル連通孔１３及び複数のリザーバ連通孔１４が形成されている。
【００２５】
供給口形成基板１７には、ノズル連通孔１３に連通する第２のノズル連通孔１８と、リザーバ連通孔１４に連通するインク供給口１９とが形成されている。流路形成基板３には、ノズル開口１及び第２のノズル連通孔１８に連通する接続孔１５と、インク供給口１９に連通するリザーバ１６が形成されている。リザーバ１６には、複数の圧力室６に供給されるインクが貯留されている。なお、圧力室６からノズル開口１に連通するノズル連通孔１３と、リザーバ１６に連通するリザーバ連通孔１４とは、２つある孔のうちどちらかがそれぞれの役目を果たせば良い。
【００２６】
図２及び図３は、本実施形態による記録ヘッドのアクチュエータユニット５の平面図及び透視図である。このアクチュエータユニット５は、互いに対向する一対の縁部に、複数のセグメント端子２０及び複数のコモン端子２１から成る一対の端子列２２を備えている。また、複数のノズル開口１に連通する複数のノズル連通孔１３を列状に配置して成るノズル連通孔列２３が２列形成されている。
【００２７】
図４及び図５は、図１乃至図３に示したアクチュエータユニットの各層を示した図である。図４（ａ）は連通孔形成基板４を示し、図４（ｂ）は圧力室形成基板７を示している。連通孔形成基板４には複数のノズル開口１に連通する複数のノズル連通孔１３が２列形成されており、また、リザーバ１６に連通する複数のリザーバ連通孔１４が２列形成されている。圧力室形成基板７には、ノズル連通孔１３及びリザーバ連通孔１４に連通する複数の圧力室６がノズル連通孔１３及びリザーバ連通孔１４の各列に対応して２列形成されている。
【００２８】
図４（ｃ）に示したように圧力室形成基板７の上面には弾性膜８が形成されており、この弾性膜８によって複数の圧力室６の上面開口が封止されている。弾性膜８の上面には、図４（ｄ）に示したように圧力室形成基板７の対向する両縁部に端子形成用の台座部２４が形成されている。
【００２９】
さらに、図５（ａ）に示したように弾性膜８の上面及び台座部２４の上面には、複数の圧力室６の上方を通るようにして複数の下部電極膜９及びその連絡導線９ａが、白金等の導電材料を用いた印刷工程によって形成されている。なお、図５（ａ）において符号２５は複数の圧電体膜１１の一部を支持する台座部である。
【００３０】
図５（ｂ）に示したように、各下部電極膜９の上面には各圧電体膜１１が印刷工程にて形成されている。複数の圧電体膜１１の上面には、図５（ｃ）に示したように複数の上部電極膜１２が形成されている。
【００３１】
図５（ｄ）に示したように、各上部電極膜１２に接続するようにして各セグメント端子２０が台座部２４上に形成されている。また、台座部２４上には下部電極膜９に接続されたコモン端子２１も形成されており、圧力室６の各列の両端に位置するコモン端子２１同士の間は端子延長部２６によって連結されている。端子延長部２６は下部電極膜９の連絡導線９ａに重ねて形成されており、これにより、コモン端子２１は複数の下部電極膜９に電気的に接続されている。なお、コモン端子２１に対応する位置にある上部電極膜１２は端子延長部２６で覆われており、この位置にある圧力室６は使用されない。
【００３２】
そして、本実施形態による記録ヘッドにおいては、図２に示したように、コモン端子２１とこれに隣接するセグメント端子２０との間隔ｄ１は、隣接するセグメント端子２０同士の間隔ｄ２よりも広く設定されている。この間隔ｄ１は０．１ｍｍ以上であることが望ましい。
【００３３】
セグメント端子２０及びコモン端子２１の幅はすべて、端子列２２の長手方向に沿って測った幅が同一である。また、セグメント端子２０同士の間隔はすべて均等である。
【００３４】
このように本実施形態による記録ヘッドにおいてはコモン端子２１とこれに隣接するセグメント端子２０との間隔ｄ１をセグメント端子２０同士の間隔ｄ２よりも広くし、０．１ｍｍ以上としたので、セグメント端子２０とコモン端子２１とが記録ヘッドの実装工程時の半田づけ作業の際に誤って接続される可能性が低くなる。これにより、両端子に配線を接続する際の位置合わせの許容誤差が大きくなるので製造工程の管理が容易になる。また、記録ヘッドの使用時においても、セグメント端子２０とコモン端子２１との間隔ｄ１が十分に大きいため、両端子間におけるマイグレーションが発生しにくく、両端子間におけるショートを防止することができる。
【００３５】
また、セグメント端子２０及びコモン端子２１の幅はすべて、端子列２２の長手方向に沿って測った幅が同一であるので、半田づけの際の半田の熱容量がすべての端子２０、２１において同一となる。従って、一体型のヒートツールで複数の端子２０、２１に同時に半田づけを行った時に均一な半田づけが可能であり、この結果、半田づけ作業の時間の短縮及び歩留まりの向上を図ることができる。
【００３６】
次に、本発明の第２実施形態によるインクジェット式記録ヘッドについて図６を参照して説明する。
【００３７】
図６は、本実施形態による記録ヘッドのアクチュエータユニット３５の平面図である。このアクチュエータユニット３５は、互いに対向する一対の縁部に、複数のセグメント端子２０及び複数のコモン端子２１から成る一対の端子列２２を備えている。
【００３８】
本実施形態においては、互いに隣接する一対のアクチュエータ３０を１つのグループとして、各グループに対応して各コモン端子２１を設けている。各グループに属する一対のアクチュエータ３０の下部電極膜同士はコモン連絡導線４１によって接続されている。各コモン連絡導線４１は、アクチュエータ３０同士の間を通って延設された細線部分４１ａを有している。
【００３９】
そして、上記第１実施形態と同様に、セグメント端子２０とこれに隣接するコモン端子２１との間隔ｄ１は、互いに隣接するセグメント端子２０同士の間隔ｄ２よりも広く設定されている。
【００４０】
以上述べたように本実施形態によるインクジェット式記録ヘッドによれば、コモン端子２１とこれに隣接するセグメント端子２０との間隔ｄ１をセグメント端子２０同士の間隔ｄ２よりも広くしたので、上記第１実施形態と同様の効果が得られる。
【００４１】
また、複数のアクチュエータ３０をいくつかのグループに分類して各グループに対応して各コモン端子２１を設けたので、コモン連絡導線４１の全長が短くなって電圧降下が生じにくくなる。このため、上記第１実施形態における端子延長部２６に相当する膜を形成しなくとも十分な導通が得られ、複数のノズル開口の特性を均一化することが可能であり、記録ヘッドの製造工程の簡素化を図ることができると共に、両端のアクチュエータ３０が使用不可能となることがないので有効なノズル開口の数の減少を招くことがない。
【００４２】
また、図７は本実施形態の一変形例によるアクチュエータユニット４５を示しており、この変形例においては、端子列２２に近い側の端部において下部電極膜同士がコモン連絡導線４２によって連結されている。
【００４３】
この変形例によれば、上記実施形態と同様の効果が得られると共に、アクチュエータ３０同士の間に細い導線を延設する必要がないので、コモン連絡導線４２を形成する際の印刷精度に対する要求が緩和される。
【００４４】
次に、本発明の第３実施形態によるインクジェット式記録ヘッドについて図８を参照して説明する。
【００４５】
図８は、本実施形態による記録ヘッドのアクチュエータユニット５５の平面図である。このアクチュエータユニット５５はその１つの縁部に、複数のセグメント端子２０及び一対のコモン端子２１から成る端子列２２を１列備えている。
【００４６】
本実施形態においては、複数のアクチュエータ３０が２列に形成されており、単一の端子列２２に対してアクチュエータ３０の全列が接続されている。より具体的には、端子列２２から遠い側の列に属するアクチュエータ３０の上部電極膜は、端子列２２に近い側の列に属するアクチュエータ３０同士の間をぬって延設された上部電極用の連絡導線５１によってセグメント端子２０に接続されている。また、端子列２２に近い側の列に属するアクチュエータ３０の下部電極膜は、端子列２２に遠い側の列に属するアクチュエータ３０同士の間をぬって延設された下部電極用の連絡導線５２によって端子延長部５３に接続されている。端子延長部５３の両端部は一対のコモン端子２１に接続されている。
【００４７】
そして、本実施形態においても、上記各実施形態と同様に、セグメント端子２０とこれに隣接するコモン端子２１との間隔ｄ１は、互いに隣接するセグメント端子２０同士の間隔ｄ２よりも広く設定されている。
【００４８】
以上述べたように本実施形態によるインクジェット式記録ヘッドによれば、コモン端子２１とこれに隣接するセグメント端子２０との間隔ｄ１をセグメント端子２０同士の間隔ｄ２よりも広くしたので、上記各実施形態と同様の効果が得られる。
【００４９】
また、複数列のアクチュエータ３０の全列を単一の端子列２２に接続するようにしたので、記録ヘッドの実装工程の際の端子列２２への半田付け工程が容易となり、また、記録ヘッドの小型化を図ることができる。
【００５０】
次に、本発明の第４実施形態によるインクジェット式記録ヘッドについて図９を参照して説明する。
【００５１】
図９は、本実施形態による記録ヘッドのアクチュエータユニット６５の平面図である。図９に示したようにこのアクチュエータユニット６５は、図８に示した第３実施形態のアクチュエータユニット５５の構成を、１つのアクチュエータユニット６５の中に一体的に２つ組み入れた構成を備えている。
【００５２】
そして、本実施形態によるインクジェット式記録ヘッドにおいても、コモン端子２１とこれに隣接するセグメント端子２０との間隔ｄ１をセグメント端子２０同士の間隔ｄ２よりも広くしたので、上記各実施形態と同様の効果が得られる。
【００５３】
また、一対の端子列２２のそれぞれに複数列（２列）のアクチュエータ３０を接続するようにしたので、記録ヘッドの実装工程の際の端子列２２への半田付け工程が容易となり、また、記録ヘッドの小型化を図ることができる。
【００５４】
次に、本発明の第５実施形態によるインクジェット式記録ヘッドについて図１０を参照して説明する。
【００５５】
図１０は、本実施形態による記録ヘッドのアクチュエータユニット７５の平面図である。このアクチュエータユニット７５は、その互いに対向する一対の縁部に形成された一対の端子列２２と、一対の端子列２２の間に配置された中央の端子列２２とから成り、中央の端子列２２の両側に位置する一対のアクチュエータ３０の列の両方が中央の端子列２２に接続されている。
【００５６】
そして、本実施形態によるインクジェット式記録ヘッドにおいても、アクチュエータユニット７５の両縁部の端子列２２及び中央の端子列２２のそれぞれにおいて、コモン端子２１とこれに隣接するセグメント端子２０との間隔ｄ１をセグメント端子２０同士の間隔ｄ２よりも広くしたので、上記各実施形態と同様の効果が得られる。
【００５７】
また、本実施形態によれば、中央の１列の端子列２２に対して２列のアクチュエータ３０を接続するようにしたので、合計４列のアクチュエータ３０に対して合計３列の端子列２２で対応することが可能であり、記録ヘッドの実装工程の際の端子列２２への半田付け工程が容易となり、また、記録ヘッドの小型化を図ることができる。
【００５８】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、コモン端子とこれに隣接するセグメント端子との間隔をセグメント端子同士の間隔よりも広くしたので、各端子への配線の接続を容易且つ的確に行うことができると共に、記録ヘッドの使用時においても、セグメント端子とコモン端子との間隔が十分に大きいため、両端子間におけるマイグレーションが発生しにくく、両端子間におけるショートを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドにおける１つのアクチュエータ及びその周辺を拡大して示した縦断面図。
【図２】本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。
【図３】本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの透視図。
【図４】本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの各層を示した平面図。
【図５】本発明の第１実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの各層を示した平面図。
【図６】本発明の第２実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。
【図７】本発明の第２実施形態の一変形例によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。
【図８】本発明の第３実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。
【図９】本発明の第４実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。
【図１０】本発明の第５実施形態によるインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。
【図１１】従来のインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。
【図１２】従来のインクジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの透視図。
【符号の説明】
１  ノズル開口
２  ノズルプレート
３  流路形成基板
４  連通孔形成基板
５、３５、４５、５５、６５、７５  アクチュエータユニット
６  圧力室
７  圧力室形成基板
８  弾性膜
９  下部電極膜
１１  圧電体膜
１２  上部電極膜
１３  ノズル連通孔
１４  リザーバ連通孔
１５  接続孔
１６  リザーバ
１７  供給口形成基板
１８  第２のノズル連通孔
１９  インク供給口
２０  セグメント端子
２１  コモン端子
２２  端子列
３０  アクチュエータ
４１、４２  コモン連絡導線
ｄ１  コモン端子とこれに隣接するセグメント端子との間隔
ｄ２  互いに隣接するセグメント端子同士の間隔
【図１】
0003844188.tif 000002
【図２】
0003844188.tif 000003
【図３】
0003844188.tif 000004
【図４】
0003844188.tif 000005
【図５】
0003844188.tif 000006
【図６】
0003844188.tif 000007
【図７】
0003844188.tif 000008
【図８】
0003844188.tif 000009
【図９】
0003844188.tif 000010
【図１０】
0003844188.tif 000011
【図１１】
0003844188.tif 000012
【図１２】
0003844188.tif 000013