(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の樹脂シートを接着剤を介して重ね合わせ、これを一対の加圧ローラ間に挟み込んで貼り合わせて積層シートを形成する樹脂シートの貼り合わせ方法であって、
前記２枚の樹脂シートの送出速度を増減させることで、前記樹脂シートを前記加圧ローラ間に送り出す際の張力を設定することにより前記積層シートのカール量を調節することを特徴とする樹脂シートの貼り合わせ方法。
【請求項２】
前記２枚の樹脂シートは、第一の回転軸および第２の回転軸にそれぞれ取り付けられ、
前記２枚の樹脂シートを前記加圧ローラの回転により引き出すとともに、前記第一の回転軸および前記第２の回転軸に取り付けられたブレーキ機構の締結力を増減させることで、前記２枚の樹脂シートの送出速度を増減させることを特徴とする請求項１に記載の樹脂シートの貼り合わせ方法。
【請求項３】
第１の回転軸に取り付けられた第１の送出ロールおよび第２の回転軸に取り付けられた第２の送出ロールから送り出される２枚の樹脂シートを接着剤を介して重ね合わせ、これを一対の加圧ローラ間に挟み込んで貼り合わせて積層シートを形成する樹脂シートの貼り合わせ装置であって、
前記樹脂シートを前記加圧ローラ間に送り出す際の張力を設定する張力設定手段を備え、
前記張力設定手段は、前記第１の回転軸の回転速度を減速させる第１のブレーキ機構と、前記第２の回転軸の回転速度を減速させる第２のブレーキ機構と、を備えることを特徴とする樹脂シートの貼り合わせ装置。
【請求項４】
前記第１のブレーキ機構および前記第２のブレーキ機構は、電磁クラッチからなり、
前記電磁クラッチに供給する励磁電流の増減制御を行い、前記電磁クラッチの締結力を増減させる制御部をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の樹脂シートの貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は樹脂シートの貼り合わせ方法及び樹脂シートの貼り合わせ装置に関し、特に、２枚の樹脂シートを貼り合わせて形成された積層シートのカール量を調節することができる樹脂シートの貼り合わせ方法及び樹脂シートの貼り合わせ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気ディスクや磁気テープ等の磁気記録媒体においては、記録密度の更なる向上が望まれている。特に、磁気ディスクにおいては、記録密度を向上させるために、緻密な磁性層を、均一かつ平滑な薄膜状に形成することが必要とされる。すなわち、磁性層を、緻密で均一な薄膜状に形成することにより、記録密度の向上が達成されると共に、記録信号の短波長化にも対応でき、電磁変換特性を改善した磁気ディスクを具現することができる。
【０００３】
このような特性を備えた磁性層は、従来公知のスパッタリング法を用いることによって、比較的容易に具現される。すなわち、まず非磁性の支持体を形成した後、この支持体上にスパッタリング法によって磁性層を成膜するようにすれば、成膜条件（圧力、投入電力、温度、ターゲットの種類等）を適宜コントロールすることによって、所望の膜質（膜厚、緻密性、平滑性等）を有する磁性層が得られる。
【０００４】
スパッタリング法による磁性層の成膜は、支持体を加熱しながら行われるので、支持体にはある程度の耐熱性が要求される。また、記録密度が高い磁気ディスクとするためには、磁気ディスクと読み取りヘッドとの距離を短くする必要があるため、、支持体を平坦にすることが必要となる。また、磁気ディスクを安定に回転させるためには、支持体の厚みは適度に厚い方が良い。しかし、支持体の両面に磁性層を形成することを想定した場合、現状では、耐熱性、平坦性、適度な厚みの各条件を満たす樹脂シートを用意することは難しい。これらの理由により、支持体は、ある程度の耐熱性、平坦性、適度な厚みを持たせるために、例えば、ポリイミドやポリアミド等の耐熱性樹脂を２枚貼り合わせて形成する必要がある。また、支持体は、ＰＥＮ（ポリエチレンテレフタレート）やＰＥＴ（ポリエチレンナフタレート）等の樹脂シートを２枚貼り合わせて形成することもできる。その際、各樹脂シートは、平坦性の高い方の面が外側になるようにする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、２枚の耐熱性樹脂を貼り合わせて支持体を形成すると、一方の耐熱性樹脂と他方の耐熱性樹脂とでは内部応力が異なるため、内部応力の大きい方が収縮して支持体にカールが発生するという問題があった。また、支持体上に磁性層を形成する際にも、支持体を加熱することから、磁気ディスク全体にカールが生じる。したがって、支持体上に磁性層を形成した時点で、磁気ディスクが所要の平坦性を有するためには、支持体を形成した時点では、支持体の表面は平らである必要はなく、むしろ、所要のカール量でカールさせた方が良い場合もある。
【０００６】
本発明は前記事情に鑑みて案出されたものであり、その目的は、２枚の樹脂シートを貼り合わせて形成された積層シートのカール量を調節することができる樹脂シートの貼り合わせ方法及び樹脂シートの貼り合わせ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の樹脂シートの貼り合わせ方法は、２枚の樹脂シートを接着剤を介して重ね合わせ、これを一対の加圧ローラ間に挟み込んで貼り合わせて積層シートを形成する樹脂シートの貼り合わせ方法であって、前記２枚の樹脂シートの送出速度を増減させることで、前記樹脂シートを前記加圧ローラ間に送り出す際の張力を設定することにより前記積層シートのカール量を調節することを特徴とする。
【０００８】
積層シートのカール量は、２枚の樹脂シートを貼り合わせた際の、一方の樹脂シートと他方の樹脂シートとの内部応力の大きさの差に依存するため、樹脂シートを加圧ローラ間に送り出す際の張力を、前記２枚の樹脂シートの送出速度を増減させることで適宜設定し、一方または両方の樹脂シートの内部応力の大きさを変えることにより、積層シートのカールが所要のカール量となるように調節することができる。
なお、前記２枚の樹脂シートは、第一の回転軸および第２の回転軸にそれぞれ取り付けられ、前記２枚の樹脂シートを前記加圧ローラの回転により引き出すとともに、前記第一の回転軸および前記第２の回転軸に取り付けられたブレーキ機構の締結力を増減させることで、前記２枚の樹脂シートの送出速度を増減させることが望ましい。
【０００９】
また、本発明の樹脂シートの貼り合わせ装置は、第１の回転軸に取り付けられた第１の送出ロールおよび第２の回転軸に取り付けられた第２の送出ロールから送り出される２枚の樹脂シートを接着剤を介して重ね合わせ、これを一対の加圧ローラ間に挟み込んで貼り合わせて積層シートを形成する樹脂シートの貼り合わせ装置であって、前記樹脂シートを前記加圧ローラ間に送り出す際の張力を設定する張力設定手段を備え、前記張力設定手段は、前記第１の回転軸の回転速度を減速させる第１のブレーキ機構と、前記第２の回転軸の回転速度を減速させる第２のブレーキ機構と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
この装置によれば、樹脂シートを加圧ローラ間に送り出す際の張力を張力設定手段で適宜設定することにより、積層シートのカールが所要のカール量となるように調節することができる。また、張力設定手段を、樹脂シートが巻回された送出ロールの回転速度を減速させるブレーキ機構とすると、送出ロールの回転速度を制御することにより、樹脂シートを加圧ローラ間に送り出す際の張力を容易に設定することができる。このブレーキ機構には、機械クラッチや、磁性粉体クラッチ、磁性流体クラッチ、渦電流クラッチ、ヒステリシスクラッチ等の電磁クラッチを用いるのが好適である。例えば、ブレーキ機構に磁性粉体クラッチ（いわゆる電磁パウダクラッチ）を用いた場合は、磁性粉体クラッチへ供給する励磁電流の増減制御によって磁性粉体クラッチの締結力を増減させることにより、駆動手段により回転駆動される送出ロールの回転速度を制御することができるので、樹脂シートを加圧ローラ間に送り出す際の張力の設定が容易になる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。ここでは、２枚の樹脂シートを貼り合わせて、磁気ディスクの支持体を形成する場合について説明する。なお、磁気ディスクは、この支持体の表面に磁性層を形成することにより作製される。
【００１２】
以下、２枚の樹脂シートを貼り合わせて磁気ディスクの支持体（以下、単に「支持体」という）を形成する工程について説明する。この工程は、図１（ａ）に示す第１の工程と、図１（ｂ）に示す第２の工程とからなる。第１の工程は、両面に剥離紙が付着している接着剤シートの一方の面の剥離紙を剥がして、接着剤シートと第１の樹脂シートとを貼り合わせる工程である。また、第２の工程は、第１の樹脂シートに貼り合わせられた接着剤シートの他方の面の剥離紙を剥がして、第１の樹脂シートと第２の樹脂シートとを貼り合わせる工程である。これら２つの工程は、図２に示す貼り合わせ装置１０を用いて行われる。
【００１３】
まず、図２に示す貼り合わせ装置１０について説明する。この貼り合わせ装置１０は、一対の加圧ローラ１１，１２、第１の回転軸１３、第２の回転軸１４、第３の回転軸１５、第４の回転軸１６を備えて構成されている。また、この貼り合わせ装置１０には、第１回転軸１３に取り付けられた第１の送出ロールＡおよび第２の回転軸１４に取り付けられた第２の送出ロールＢから送り出される各シート２０〜５０の走行を案内する複数のガイドローラ１７が設けられている。また、図１（ａ）および（ｂ）には図示していないが、第１の回転軸１３には、ブレーキ機構である第１の電磁パウダクラッチ１８Ａが取り付けられている。同様に、第２の回転軸１４には、ブレーキ機構である第２の電磁パウダクラッチ１８Ｂが取り付けられている。この電磁パウダクラッチ１８Ａ，１８Ｂは、特許請求の範囲にいう「張力設定手段」に相当する。以下、各部について説明する。
【００１４】
第１の回転軸１３には、第１のシート（図１（ａ）では樹脂シート２０Ａ、図１（ｂ）では樹脂シート２０Ｂ）が巻回された第１の送出ロールＡが着脱自在に取り付けられている。この第１の送出ロールＡは、第１の回転軸１３が図示しない駆動手段で回転されることにより、第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）を、加圧ローラ１１，１２間に向けて送り出す。
【００１５】
第２の回転軸１４には、第２のシート（（図１（ａ）では接着剤シート３０、（図１（ｂ）では第１の積層シート４０）が巻回された第２の送出ロールＢが着脱自在に取り付けられている。この第２の送出ロールＢは、第２の回転軸１４が図示しない駆動手段で回転されることにより、第２のシート３０（４０）を、加圧ローラ１１，１２間に向けて送り出す。第２の送出ロールＢから送り出された第２のシート３０（４０）は、加圧ローラ１１，１２に向けて送られる途中で、一方の面の剥離紙が剥がされる。
【００１６】
なお、第１の送出ロールＡに巻回された第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）および第２の送出ロールＢに巻回された第２のシート３０（４０）は、加圧ローラ１１，１２の回転により引き出されるので、第１の回転軸１３および第２の回転軸１４は、必ずしも駆動手段は必要としない。
【００１７】
第３の回転軸１５には、第２のシート３０（４０）から剥がされた剥離紙（図１（ａ）では剥離紙３０ｂ、図１（ｂ）では剥離紙３０ｃ）を巻き取るための剥離紙巻取ロールＣが着脱自在に取り付けられている。この剥離紙巻取ロールＣは、第３の回転軸１５が図示しない駆動手段で回転されることにより、第２のシート３０（４０）から剥がされた剥離紙３０ｂ（３０ｃ）を巻き取る。
【００１８】
加圧ローラ１１，１２は、第１の送出ロールＡおよび第２の送出ロールＢから送り出された、第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）と第２のシート３０（４０）を貼り合わせる際に、両方のシートを上下から押圧し、シート同士を圧着させる。また、加圧ローラ１１，１２は、図示しない熱源に接続されており、第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）と第２のシート３０（４０）を貼り合わる際に、自身が加熱されることにより、両方のシートを加熱する。この加圧ローラ１１，１２には、例えば、ゴム製のものを用いることができる。また、この加圧ローラ１１，１２の一方または両方は、図示しない駆動手段により回転駆動される。
【００１９】
第４の回転軸１６には、加圧ローラ１１，１２で貼り合わせて形成された積層シート（図１（ａ）では第１の積層シート４０、図１（ｂ）では第２の積層シート５０）を巻き取る積層シート巻取ロールＤが着脱自在に取り付けられている。この積層シート巻取ロールＤは、第４の回転軸１６が図示しない駆動手段で回転されることにより、積層シート４０（５０）を巻き取る。
【００２０】
第１の電磁パウダクラッチ１８Ａおよび第２の電磁パウダクラッチ１８Ｂは、図３に示すように、電磁パウダクラッチ制御部１９に接続されており、電磁パウダクラッチ制御部１９に制御されて動作する。
【００２１】
この電磁パウダクラッチ制御部１９は、第１の電磁パウダクラッチ１８Ａへ供給する励磁電流の増減制御を行い、第１の電磁パウダクラッチ１８Ａの締結力を増減させることにより、図示しない駆動手段により回転駆動される第１の回転軸１３の回転速度を制御する。したがって、第１の電磁パウダクラッチ１８Ａは、第１の回転軸１３の回転速度を制御することにより、第１の回転軸１３に取り付けられた第１の送出ロールＡから送り出される第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）の送出速度を減速、または、一旦は減速させた送出速度を元の送出速度まで増速させることができるので、第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）を加圧ローラ１１，１２間に送り出す際の張力を任意に設定することができる。
【００２２】
また、この電磁パウダクラッチ制御部１９は、第１の電磁パウダクラッチ１８Ａの場合と同様に、第２の電磁パウダクラッチ１８Ｂへ供給する励磁電流の増減制御を行い、第２の電磁パウダクラッチ１８Ｂの締結力を増減させることにより、図示しない駆動手段により回転駆動される第２の回転軸１４の回転速度を制御する。したがって、第２の電磁パウダクラッチ１８Ｂは、第２の回転軸１４の回転速度を制御することにより、第２の回転軸１４に取り付けられた第２の送出ロールＢから送り出される第２のシート３０（４０）の送出速度を減速、または、一旦は減速させた送出速度を元の送出速度まで増速させるので、第２のシート３０（４０）を加圧ローラ１１，１２間に送り出す際の張力を任意に設定することができる。
【００２３】
次に、前記した貼り合わせ装置１０を用いて行う、第１の工程、すなわち、接着剤シート３０から剥離紙３０ｂを剥がして、接着剤シート３０と第１の樹脂シートである樹脂シート２０Ａとを貼り合わせて第１の積層シート４０を形成する工程について、主に図１（ａ）を参照して説明する。
【００２４】
第１の送出ロールＡに巻回された樹脂シート２０Ａは、後に、表面にスパッタリング法によって磁性層が形成されるので、スパッタリング時の加熱に耐えられるように、例えば、ポリアミドやポリイミド等の耐熱性樹脂が用いられる。この樹脂シート２０Ａは、第１の送出ロールＡの回転により、加圧ローラ１１，１２に向けて送り出される。
【００２５】
第２の送出ロールＢに巻回された接着剤シート３０は、図４に示すように、接着層３０ａの両面に剥離紙３０ｂ，３０ｃを貼り合わせたものである。この接着剤シート３０は第２の送出ロールＢの回転により、加圧ローラ１１，１２に向けて送り出される。このとき、接着剤シート３０は、剥離紙３０ｂが樹脂シート２０Ａと貼り合わせられる側となるように送り出され、剥離紙３０ｂは、図５に示すように、加圧ローラ１１，１２に向けて送られる途中で剥がされる。剥がされた剥離紙３０ｂは、剥離紙巻取ロールＣに巻き取られる。
【００２６】
加圧ローラ１１，１２に向けて送り出された樹脂シート２０Ａと接着剤シート３０は、図６に示すように、加圧ローラ１１，１２間に挟み込まれ、加圧ローラ１１，１２で加熱されながら押圧される。このとき、接着剤シート３０の剥離紙３０ｂは既に剥がされており、接着層３０ａの樹脂シート２０Ａに面する側は露出した状態となっているので、接着剤シート３０の接着層３０ａを樹脂シート２０Ａに貼着させることができる。このようにして、樹脂シート２０Ａと接着剤シート３０とを貼り合わせた第１の積層シート４０が形成される。この第１の積層シート４０は、加圧ローラ１１，１２間から引き出された後、ガイドローラ１７に案内されて、積層シート巻取ロールＤに巻き取られる。
【００２７】
次に、第２の工程、すなわち、第１の積層シート４０から剥離紙３０ｃを剥がして、第１の積層シート４０と第２の樹脂シートである樹脂シート２０Ｂとを貼り合わせて第２の積層シート５０を形成する工程について、主に図１（ｂ）を参照して説明する。
【００２８】
第１の送出ロールＡに巻回された樹脂シート２０Ｂは、樹脂シート２０Ａと同じく、例えば、ポリアミドやポリイミド等の耐熱性樹脂が用いられる。この樹脂シート２０Ｂは、第１の送出ロールＡの回転により、加圧ローラ１１，１２に向けて送り出される。
【００２９】
第２の送出ロールＢに巻回された第１の積層シート４０は、図７に示すように、樹脂シート２０Ａ、接着層３０ａ、剥離紙３０ｃが順に積層されて構成されている。この第１の積層シート４０は第２の送出ロールＢの回転により、加圧ローラ１１，１２に向けて送り出される。このとき、第１の積層シート４０は、剥離紙３０ｃが樹脂シート２０Ｂと貼り合わせられる側となるように送り出され、剥離紙３０ｃは、図８に示すように、加圧ローラ１１，１２に向けて送られる途中で剥がされる。剥がされた剥離紙３０ｃは、剥離紙巻取ロールＣに巻き取られる。
【００３０】
加圧ローラ１１，１２に向けて送り出された樹脂シート２０Ｂと第１の積層シート４０は、図９に示すように、加圧ローラ１１，１２間に挟み込まれ、加圧ローラ１１，１２で加熱されながら押圧される。このとき、第１の積層シート４０の剥離紙３０ｃは既に剥がされており、接着層３０ａの樹脂シート２０Ｂに面する側は露出した状態となっているので、接着剤シート３０の接着層３０ａを樹脂シート２０Ｂに貼着させることができる。このようにして、樹脂シート２０Ｂと第１積層シート４０とを貼り合わせた第２の積層シート５０（図１０参照）が形成される。この第２の積層シート５０が、磁気ディスクの支持体となる。
【００３１】
この積層シート（支持体）５０は、前記したように、２枚の樹脂シート２０Ａ，２０Ｂを貼り合わせて形成されるが、樹脂シート２０Ａと樹脂シート２０Ｂで内部応力の大きさが異なると、内部応力の大きい方が収縮して支持体５０全体にカールが発生する。そこで、本発明の樹脂シートの貼り合わせ方法では、張力設定手段である第１の電磁パウダクラッチ１８Ａおよび第２の電磁パウダクラッチ１８Ｂにより、第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）および第２のシート３０（４０）を加圧ローラ１１，１２間に送り出す際の張力を適宜設定し、第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）および第２のシート３０（４０）の内部応力の大きさを変えることにより、支持体５０のカール量を調整するようにした。
【００３２】
以下、第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）および第２のシート３０（４０）を加圧ローラ１１，１２間に送り出す際の張力（以下、「送出テンション」という）と、支持体５０のカール量との関係について説明する。なお、送出テンションは、図１（ａ）に示す第１の工程における送出テンションよりも、図１（ｂ）に示す第２の工程における送出テンションの方が、支持体５０のカール量に与える影響が大きいため、ここでは、第２の工程における送出テンションを設定することにより、支持体５０のカール量の調整を行った。
【００３３】
図１１は、図１（ｂ）に示す第２の工程において、樹脂シート２０Ｂおよび第１の積層シート４０を加圧ローラ１１，１２間に送り出す際の張力と、支持体５０のカール量との関係とを示した表である。なお、第１の積層シート４０は、図１（ａ）に示す第１の工程において、樹脂シート２０Ａおよび接着剤シート３０を、それぞれ２００ｇの張力で加圧ローラ１１，１２間に送り出して貼り合わせた。また、第１の工程および第２の工程では、第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）と第２のシート３０（４０）との貼り合わせが毎分１ｍの速度で行えるように、剥離紙巻取ロールＣおよび積層シート巻取ロールＤの巻取速度を調整した。
【００３４】
樹脂シート２０Ｂの送出テンションは、樹脂シート２０Ｂが第１の送出ロールＡから引き出される際の値を、樹脂シート２０Ｂに接着テープで貼り付けたばね秤により計測した。同様に、第１の積層シート４０の送出テンションは、第１の積層シート４０が第２の送出ロールＢから引き出される際の値を、第１の積層シート４０に接着テープで貼り付けたばね秤により計測した。
【００３５】
カール量の測定は、次のようにして行った。まず、支持体５０を磁気ディスクのサイズ（直径３．５インチ）に打ち抜き、垂直に支持した状態で６０ｒｐｍの回転数で回転させる。次に、回転させた支持体５０が１周する間の、最も手前にくる位置と、最も遠ざかる位置との差を、ノギスを用いて測定する。このようにして測定された値を、支持体５０のカール量とする。なお、カール量は、樹脂シート２０Ａを上側、樹脂シート２０Ｂを下側として、上側が凸に反っているカールをプラス、下側が凸に反っているカールをマイナスとした。
【００３６】
図１１に示すように、樹脂シート２０Ｂの送出テンションが７００ｇ、第１の積層シート４０の送出テンションが２００ｇの場合（実施例１）は、支持体５０のカール量は５．１ｍｍであり（図１２（ａ）参照）、樹脂シート２０Ｂの送出テンションが２００ｇ、第１の積層シート４０の送出テンションが２００ｇの場合（実施例２）は、支持体５０のカール量は３．５ｍｍであった（図１２（ｂ）参照）。また、樹脂シート２０Ｂの送出テンションが５０ｇ以下、第１の積層シート４０の送出テンションが２００ｇの場合（実施例３）は、支持体５０のカール量は３．１ｍｍであり（図１２（ｃ）参照）、樹脂シート２０Ｂの送出テンションが２００ｇ、第１の積層シート４０の送出テンションが７００ｇの場合（実施例４）は、支持体５０のカール量は−４．１ｍｍであった（図１２（ｄ）参照）。
【００３７】
このことから、樹脂シート２０Ｂおよび第１の積層シート４０の送出テンションによって、支持体５０のカール量がそれぞれ異なることが分かる。すなわち、樹脂シート２０Ｂの送出テンションを大きくするほど、支持体５０は上側に凸にカールすることが分かる。また、第１の積層シート４０の送出テンションを大きくすると、今度は、支持体５０は下側に凸にカールすることが分かる。
【００３８】
以上の結果から、張力設定手段である第１の電磁パウダクラッチ１８Ａおよび第２の電磁パウダクラッチ１８Ｂで、第１のシート２０Ａ（２０Ｂ）および第２のシート３０（４０）を加圧ローラ１１，１２間に送り出す際の張力を適宜設定することにより、支持体５０のカール量を調節できることが分かる。
【００３９】
以上、発明の実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明したが、本発明はこの発明の実施の形態のみに限定されるものではない。例えば、樹脂シートには、様々な素材のものを用いることができる。また、接着剤は、シート状になったものに限らず、液体状の接着剤等を用いても良い。また、張力設定手段は電磁パウダクラッチに限らず、機械クラッチや、磁性粉体クラッチ、磁性流体クラッチ、渦電流クラッチ、ヒステリシスクラッチ等の電磁クラッチ等の、様々なタイプのブレーキ機構を用いることができる。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によれば、２枚の樹脂シートを貼り合わせて形成された積層シートのカール量を調節することができる樹脂シートの貼り合わせ方法及び樹脂シートの貼り合わせ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】２枚の樹脂シートを貼り合わせて支持体を形成する工程を示した模式図あり、（ａ）は第１樹脂シートと接着剤シートを貼り合わせる工程を示し、（ｂ）は接着剤シートが貼り合わされた第１樹脂シートと第２樹脂シートを貼り合わせる工程を示す。
【図２】貼り合わせ装置を示した模式図である。
【図３】電磁パウダクラッチの制御を示した説明図である。
【図４】接着剤シートを示した断面図である。
【図５】接着剤シートから剥離紙が剥がされる状態を示した断面図である。
【図６】第１の樹脂シートと接着剤シートを貼り合わせた状態を示した断面図である。
【図７】第１の積層シートを示した断面図である。
【図８】接着剤シートから剥離紙が剥がされる状態を示した断面図である。
【図９】第１の積層シートと第２の樹脂シートを貼り合わせた状態を示した図である。
【図１０】支持体を示した断面図である。
【図１１】送出テンションと支持体のカール量の関係を示した表である。
【図１２】支持体がカールした状態を示す模式図であり、（ａ）は実施例１、（ｂ）は実施例２、（ｃ）は実施例３、（４）は実施例４を示す。
【符号の説明】
１０    貼り合わせ装置
１１，１２    加圧ローラ
１３    第１の回転軸
１４    第２の回転軸
１５    第３の回転軸
１６    第４の回転軸
１７    ガイドローラ
１８Ａ  第１の電磁パウダクラッチ（張力設定手段）
１８Ｂ  第２の電磁パウダクラッチ（張力設定手段）
１９    電磁パウダクラッチ制御部
Ａ      第１の送出ロール
Ｂ      第２の送出ロール
Ｃ      剥離紙巻取ロール
Ｄ      積層シート巻取ロール
２０Ａ、２０Ｂ    樹脂シート
３０    接着剤シート
３０ａ  接着層
３０ｂ  剥離紙
３０ｃ  剥離紙
４０    第１の積層シート
５０    第２の積層シート（支持体）
【図１】
0003824261.tif 000002
【図２】
0003824261.tif 000003
【図３】
0003824261.tif 000004
【図４】
0003824261.tif 000005
【図５】
0003824261.tif 000006
【図６】
0003824261.tif 000007
【図７】
0003824261.tif 000008
【図８】
0003824261.tif 000009
【図９】
0003824261.tif 000010
【図１０】
0003824261.tif 000011
【図１１】
0003824261.tif 000012
【図１２】
0003824261.tif 000013