(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストガス漏洩検出装置を用いて、多数の類似の被検体の漏洩を検出するための方法であって、
被検体（２）用の接続部（テスト接続部３）を備え、
補助真空ポンプ（１３）を備え、該補助真空ポンプの流入部が、第１の弁（１５）を有する第１の導路（１２）を介してテスト接続部（３）に接続されており、
２段の高圧真空ポンプ（６）を備え、該ポンプの流入部が質量分析計（５）にかつ中間流入部（９）が第２の弁（１６）を備えた第２の導路（１４）を介してテスト接続部（３）にかつ流出部が第３の弁（１８）を備えた第３の導路（１７）を介して補助真空ポンプ（１３）の流入部に接続されており、
被検体（２）がまず、第２及び第３の弁（１６もしくは１８）が閉鎖されていてかつ第１の弁（１５）が開放されている状態で、測定作動に切換えた後で質量分析計における最大許容圧力ＰU maxを上回らないように選ばれた圧力ＰUに補助真空ポンプによって排気され（排気作動）、次いで、第２の弁（１６）の開放によって排気作動から測定作動への切換えが行われる形式のものにおいて、
最良の切換え圧力ＰU optを規定するために、第１の被検体を検査する際に切換え圧力ＰUを最良の切換え圧力ＰU optまで段階的に高めることによる学習法を利用し、別の被検体（２）の漏洩を検査する際に、規定された切換え圧力ＰU optにおいて弁（１６）を開放することを特徴とする、被検体の漏洩を検出するための方法。
【請求項２】
第１の被検体において排気作動から測定作動への切換えを最大許容圧力ＰU maxより著しく低い圧力ＰUで行い、別の被検体を検査する場合に排気作動から測定作動への切換えを比較的高い圧力ＰUで行い、切換え後圧力挙動を圧力測定器（２２）によって観察し、このような圧力比較において圧力ＰUが圧力ＰU maxよりもまだ著しく低くい場合に、圧力ＰUを別の被検体の検査に際して、切換え後観察された圧力値（ＰU opt）が圧力値ＰU maxのほぼ２０％乃至７０％になるまで、引き続き増大する、請求項１記載の方法。
【発明の詳細な説明】
本発明は、請求の範囲第１項の上位概念に記載の形式の方法に関する。
製品、特に中空室を備えた大量生産品（容器、ケーシング、熱交換器、凝縮器等）の特性を改善するために、しばしばヘリウム・漏洩検出法が使用され、この場合、欠陥のある製品ができるだけ早期に確認されかつ排除される。この場合、時間及びコスト的な理由からサイクル時間（被検体毎の検査時間）ができるだけ短縮されねばならない。
真空漏洩検出法の場合には、軽いガス、特にヘリウムがテストガスとして使用される。このガスは、漏洩が生じた場合に排気された被検体内に達しかつ質量分析計によって記録される。被検体の排気は、漏洩検出器に収容された補助真空ポンプによって行われる。質量分析計の排気には高圧真空ポンプが用いられる。それというのも、質量分析計の作動圧力が最大１０-4ｍバールでなければならないからである。請求の範囲第１項の上位概念に記載の形式の公知の方法では、それぞれ被検体が排気されかつ圧力ＰU（切換え圧力）に達した後に排気作動から測定作動に切り換えられる。ＰUは、高圧真空ポンプの中間流入部で支配する圧力である。この圧力は、質量分析計における圧力が許容最大作動圧力を上回らないようにするために、十分低く選択されねばならない。
安全性の理由から圧力ＰUは、いかなる場合でも質量分析計の作動に危害が及ぼされることを回避するために、極めて低く選ばれねばならない。このような安全措置によって、比較的長い排気時間後に初めて排気作動から測定作動に切り換えることができる。このことは特に最新の漏洩検出器に該当し、この場合、低圧（例えば＞５ｍバール）の場合に比較的小さい吸込み能を有する乾式の（オイルなしの）真空ポンプ、例えばダイヤフラムポンプ、スクロールポンプ等が使用される。
本発明の課題は、サイクル時間を規定する基準となる被検体用の排気時間を短縮することにある。
前記課題は本発明によれば、請求の範囲の特徴部分に記載の方法によって解決された。本発明は、多数の類似の被検体の漏洩を検出する場合に切換え圧力ＰUを、安全性の理由から従来行われたよりも高く選択できるという、認識に基づいている。排気作動から測定作動への早期の切換えは、漏洩検出を早期に開始できるという利点をもたらすのみならず、切換え直後に中間流入部に後続する高圧ポンプ段の大きな吸込み能が有効になり、従って、排気時間自体も著しく短縮されるという、利点が得られる。被検体の類似性に基づいて学習プロセスを利用でき、この学習プロセスによって、最良の切換え圧力ＰU optを検出することができる。
次に図示の実施例に基づき本発明を説明する。
図面では、本発明による漏洩検出器が概略的に図示されている。
図示の漏洩検出器１は、被検体２用の接続部（テスト接続部３）を備えている。被検体には例えば外部からヘリウムがスプレー（スプレーガン４）される。漏れがある場合には、ヘリウムは漏洩検出器内に達しかつ質量分析計５によって記録される。被検体２の代わりに、単数又は複数の被検体が占めるチャンバをテスト接続部３に接続することもできる。
質量分析計５において所要の作動圧力を発生させるために、２つのポンプ段７，８と１つの中間流入部９とを有する高圧真空ポンプ６が用いられる。２つの別個のポンプを使用することができるが、有利には二段の摩擦ポンプ、例えば中間流入部９を備えたターボ分子ポンプの使用が有利である。
高圧真空ポンプ６のポンプ段７は、軽いガスのために比較的小さい圧縮能を有しているので、中間流入部９を介して流入するヘリウムは、ポンプ段７の搬送方向に抗して質量分析計５に達することができる（逆流原理）。
テスト接続部３は、補助真空ポンプ１３に導路区分１１，１２を介してかつ中間流入部９に導路区分１１，１４を介して接続される。導路区分１２，１４内には弁１５もしくは１６が設けられている。高圧ポンプ６もしくはポンプ段８の流出部も、弁１８を備えた導路区分１７を介して、補助真空ポンプ１３に接続されている。導路区分１２は、弁１８と補助真空ポンプ１３との間で導路区分１７に連通している。
漏洩検出プロセスの制御には、圧力測定機械２２から信号を供給される制御ユニット２１が用いられる。圧力測定機械は、テスト接続部３の領域で圧力を測定する。弁１５，１６，１８に案内された制御導路のみが図示されている。
被検体の漏洩の検査は、まず弁１５が開放されるように行われる。これによって、被検体が排気される。排気は、圧力測定機械２２によって測定された圧力が切換え圧力ＰUに達するまで継続する。次いで、弁１６，１８が開放されることによって、測定作動に切り換えられる。被検体に漏れがある場合には、被検体内に流入するヘリウムは導路区分１４及びポンプ段７を介して質量分析計内に達しかつそこで記録される。
最良の切換え圧力ＰU optを調節するために、以下の学習法が使用される。第１の被検体の漏洩を検査する場合に、従来のように、比較的低い切換え圧力ＰUが選択される。この圧力は、今正に測定作動への切換えを行え得る圧力ＰU maxより著しく低く、この場合、質量分析計内の圧力が臨界限界を上回ることはない。
排気作動から測定作動への各切換え後には、圧力低下が圧力測定機械２２によって検出される。第１の被検体を検査する場合このステップでは、圧力ＰUは圧力ＰU maxよりも著しく低い。
次の被検体を検査する場合には、高い（例えば５０％だけ高い）切換え圧力ＰUが選択される。次いで行われる圧力ＰUと圧力ＰU maxとの間の圧力比較により、圧力ＰUが圧力ＰU maxよりもまだ著しく低くいことが明らかとなった場合には、圧力ＰUは、第３の被検体を検査する場合に更に高められる。切換え後観察された圧力値が圧力値ＰU maxのほぼ２０％乃至７０％である場合に初めて、圧力ＰUは最早引き続き増大させない。この場合この圧力値ＰUは、排気作動から測定作動に切換えるための所望の最良の圧力値ＰU optである。
この学習法は、順次検査される被検体ができるだけ同一であることを前提とする。一般に密な被検体の場合圧力は、ターボ分子ポンプＴＭＰの高い吸込み能に基づいて切換え後極めて迅速に質量分析計における最大許容圧力以下に低下するので、極めて早期の切換えが可能である。しかしながら、圧力しきい値を規定する場合には、流入圧力が被検体からのガスのよるばかりでなく、場合によっては粗漏れ（Grobleck）によっても生ぜしめられることが、考慮されねばならない。後者の場合、圧力は切換え後最終的な圧力値に低下し、この圧力値は、QGROB・LECK(粗漏れの漏洩率）とSTMP（ターボ分子ポンプの吸込み能）との比から得られかつ質量分析計における最大許容圧力以上にはならない。
本発明は、被検体を前もって複雑な検査によって規定することなしに、被検体の特性に漏洩検出法を適合することができる。
【図１】
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