(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子回路部品を多数設けたテープからなるＴＣＰを供給リールから供給して、テストヘッドとコンタクトさせた後、巻き取りリールに巻き取らせるようになし、また供給リール及び巻き取りリールではスペーサテープをＴＣＰに積層状態で巻き付け、このスペーサテープは、ＴＣＰの走行経路とは別の迂回経路を通って巻き取りリールに巻き取らせるものにおいて、
前記迂回経路の途中には、巻き取りリールに巻き取られる際に、スペーサテープに引っ張り方向に荷重を作用させる荷重付与手段が設けられ、
この荷重付与手段は一対のガイドローラと、両ガイドローラの間に配置され、所定の重量を有する荷重ローラとで構成され、この荷重ローラは上下方向に可動であり、前記スペーサテープを両ガイドローラ間から荷重ローラに係合させるように走行させ、
かつ前記供給リールの巻き付け長さと前記巻き取りリールへの巻き取り長さとをほぼ一致させるために、前記荷重ローラはカウンタウエイトにより荷重を調整可能とする
構成としたことを特徴とするＴＣＰハンドラ。
【請求項２】
前記荷重ローラの上限位置と下限位置とを検出する検出手段を備える構成としたことを特徴とする請求項１記載のＴＣＰハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多数の電子回路部品とフレキシブル基板とを構成するテープ状の部材からなるＴＣＰを、電子回路部品の検査を行うために、ＴＣＰの供給，巻き取り及び検査機構への接離機構を備えたＴＣＰハンドラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶ディスプレイは、液晶パネルにドライバ回路を接続することにより構成されるが、ドライバ回路はフレキシブル基板を有し、このフレキシブル基板にはＬＳＩ（Large Scale Integration ）が搭載されると共に、入出力リードが設けられ、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film ）を用いてＴＡＢ（Tape Automated Bonding）方式で液晶セルに実装される。ドライバ回路は長尺のテープ状の状態のＴＣＰ（Tape Carrier Package）として製造される。ＴＣＰの製造後には、各ドライバ回路にテスト、例えば通電試験等が行われるが、このテストはＴＣＰの状態で行われる。通電試験を行う試験装置としては、テスタとハンドラから構成される。テスタはＴＣＰを構成する各ドライバ回路に通電して、その電気的特性の測定を行うものであり、ハンドラはＴＣＰのロード及びアンロードと、テスタにおけるテストヘッドへの接離機構とを含むものである。
【０００３】
ＴＣＰのハンドラにおいては、ロード及びアンロードはリールを用いて行うようになし、ＴＣＰをリールに巻き付けておき、このリールからＴＣＰを所定の経路に沿って走行させる間にテスタのテストヘッドに接続してテストを行い、テスト終了後には、再びリールに巻き取られる。ここで、ＴＣＰには回路構成部品としてＬＳＩが搭載されて、このＬＳＩの部分が凸状となり、しかも基板の表面には極細の配線パターンが引き回されているから、ＬＳＩ同士またはＬＳＩと配線パターンが直接当接すると、ＬＳＩが損傷したり、配線が断線する等といった不都合が生じる。
【０００４】
以上のことから、ＴＣＰがリールに巻回された状態では、間にスぺーサテープを介在させて、その保護を図るようにしている。ＴＣＰには、テープ送り用のスプロケットと係合するスプロケット孔がその両側に各１列に設けられており、この部分はドライバ回路を構成しない余白部分であり、最終的には打ち抜き除去される。従って、スぺーサテープは、その左右の両側におけるＴＣＰのスプロケット孔近傍に対応する位置に、所定ピッチ間隔で多数の突起部を形成したものであり、この突起は略半球形状のものであり、表面側に突出する突起部と裏面側に突出する突起部とが交互に設けられる。このスぺーサテープとＴＣＰとを順次積層すると、上下のスぺーサテープ間に突起部の高さの２倍の空間が形成されて、ＴＣＰが実質的に浮いた状態になり、ＬＳＩを搭載した部分及び入出力リードを形成した部分は他の物と非接触状態に保つことができる。
【０００５】
供給リールにおいては、ＴＣＰはスぺーサテープと共に巻き付けられているが、ＴＣＰにスぺーサテープを当接させたままテストヘッドに供給すると、コンタクトを行うことができないから、供給リールから供給された直後にスぺーサテープをＴＣＰから分離する。ただし、テストの終了後に、ＴＣＰを巻き取りリールに巻き取る際には、再びスぺーサテープを間に挟み込ませる必要があるから、スぺーサテープは迂回経路を通って巻き取りリールの直前でＴＣＰと合流させることになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、テープをリール巻き付ける際に、固く巻き付けたのと、緩く巻き付けたのとでは、巻き径が違ってくる。特に、スぺーサテープには突起部が設けられており、しかもある程度の腰を持ったものであり、従って巻き付け方により極めて大きな巻き径の差がでる。リールに巻き付ける際に、ある程度の張力を持たせれば、固く巻き付けることができて、リールに巻き付ける長さが長くなる。そこで、供給リール側では、ＴＣＰの巻き付け時に、ある程度の張力を作用させていたとすると、この張力に応じた長さ分のＴＣＰを巻き付けられる。これに対して、巻き取りリール側では、格別の張力を作用させないか、供給リールに巻き付け時より弱い張力しか作用させないと、巻き取りリールの方が巻き径が太くなってしまう。とりわけ、リール径を大きくした場合には、巻き取りリール側で、ＴＣＰを完全に巻き取れず、余長が生じてしまうことになる。従って、テスト後に巻き取りリールにＴＣＰを巻き取る際には、供給リールに巻き付けた時とできるだけ同じ条件で巻き取るようにしなければならない。
【０００７】
ハンドラにあっては、テストヘッドと対面する部位の前後の位置にスプロケットが設けられ、これらのスプロケットによりＴＣＰの送り制御が行われることから、巻き取りリールへの巻き取り時に、テストヘッドの下流側に位置するスプロケットの送りに対して巻き取りリールを回転させるモータによる負荷を作用させると、所要の張力を持った状態で巻き取りリールに巻き取られるようになる。しかしながら、ＴＣＰには、その入出力リードの部位に打ち抜き部が設けられる等、引っ張り力が作用すると、容易に切断されてしまう箇所がある等、極めて脆弱な部材であるから、それに張力を作用させるのは好ましくはない。
【０００８】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、簡単な装置構成によって、供給リールから供給されたＴＣＰを、必要な長さ分だけ巻き取りリールに巻き取れるようにすることにある。
【０００９】
前述した目的を達成するために、本発明は、電子回路部品を多数設けたテープからなるＴＣＰを供給リールから供給して、テストヘッドとコンタクトさせた後、巻き取りリールに巻き取らせるようになし、また供給リール及び巻き取りリールではスペーサテープをＴＣＰに積層状態で巻き付け、このスペーサテープは、ＴＣＰの走行経路とは別の迂回経路を通って巻き取りリールに巻き取らせるものであって、前記迂回経路の途中には、巻き取りリールに巻き取られる際に、スペーサテープに引っ張り方向に荷重を作用させる荷重付与手段が設けられ、この荷重付与手段は一対のガイドローラと、両ガイドローラの間に配置され、所定の重量を有する荷重ローラとで構成され、この荷重ローラは上下方向に可動であり、前記スペーサテープを両ガイドローラ間から荷重ローラに係合させるように走行させ、かつ前記供給リールの巻き付け長さと前記巻き取りリールへの巻き取り長さとをほぼ一致させるために、前記荷重ローラはカウンタウエイトにより荷重を調整可能とする構成としたことをその特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
そこで、以下に図面に基づいて本発明の実施の一形態について説明する。なお、以下の実施例においては、液晶ディスプレイのドライバ回路を多数設けたＴＣＰについて説明するが、ＴＣＰを構成する電子回路部品はこのドライバ回路に限定されるものではない。
【００１１】
まず、ＴＣＰ１は、図１に示したように、ポリイミド等からなるテープ２に所定の間隔毎に入出力リード３を有する配線パターンが形成されると共に、ＬＳＩ４が、その電極を入出力リード３に接続させた状態にして実装されている。これによって、図１に点線で囲ったように、テープ２に沿って多数のドライバ回路５が形成される。ここで、後述するテスタのテストヘッドに対するコンタクトを確実に行わせ、かつ入出力リード３を損傷させないようにするために、入出力リード３の延長線上、即ち点線で囲ったドライバ回路５の領域外の部位にパッド３ａが連結されている。
【００１２】
ドライバ回路５は、液晶ディスプレイを構成する液晶セルにＡＣＦを用いてＴＡＢ実装されるものであって、このために最終的にはＴＣＰ１のテープ２からドライバ回路５の部分が打ち抜かれる。また、ＴＣＰ１におけるテープ２の左右両側に所定のピッチ間隔でスプロケット孔６が形成されており、また入出力リード３のうち、片側のリードの部位には、リード間の余白部分は打ち抜き部７となっている。さらに、これら以外にも、製造時におけるいずれかの段階で不良品であると判定されたものを識別させるために、穿孔部を設けたものもある。
【００１３】
最終製品としてのドライバ回路５に対して行われる通電試験は、それが打ち抜かれる前の長尺テープの状態で行われる。この試験装置は、テスタとハンドラとからなり、ハンドラは概略図２に示したように構成される。図中において、１０は供給リール、１１は巻き取りリールである。供給リール１０にはＴＣＰ１が巻き付けられており、この供給リール１０から送り出されたＴＣＰ１は、所定の経路に沿って走行させて、巻き取りリール１１に巻き取られるまでの間に各ドライバ回路５のテストが順次行われる。ここで、供給リール１０及び巻き取りリール１１は、共にモータ１０Ｍ，１１Ｍにより回転駆動されて、ＴＣＰ１の供給及び巻き取りが行われる。
【００１４】
ＴＣＰ１は供給リール１０に巻き付けた状態では、ＬＳＩ４同士及びＬＳＩ４と入出力リード３とが接触しないようにするために、スぺーサテープ８がＴＣＰ１と共に供給リール１０に巻き付けられる。このスぺーサテープ８は、図３に示したように、ＴＣＰ１とほぼ同じ幅を有するテープからなり、その両側近傍の部位には、それぞれ１列に多数の突起が設けられる。突起は、略半球状態に膨出させるようにしたものであって、所定のピッチ間隔で、表面側に突出する突起９ａと裏面側に突出する突起９ｂが交互に設けられている。これによって、供給リール１０に巻き付けた時には、図４に示したように、ＴＣＰ１には、ドライバ回路を構成しない不要部分にスぺーサテープ８の突起９ａ，９ｂのみが当接するだけで、入出力リード３及びＬＳＩ４に対しては何等の部材も当接せず、完全に浮いた状態になる。
【００１５】
ＴＣＰ１は供給リール１０から供給されるが、この供給側には供給側余長部が設けられる。この余長部は固定ガイド１２及びローラ１３からなり、固定ガイド１２に沿って導出されたＴＣＰ１はローラ１３を回り込むようにして引き出される。そして、ＴＣＰ１は供給リール１０から所定の長さ毎に間欠的に送られて、この余長部にストックされることになる。供給側余長部を経たＴＣＰ１はガイドローラ１４，１５を経て水平方向に引き回される。この水平方向に引き回された部位には、スプロケット１６，１７が前後に配設されている。なお、これらスプロケット１６，１７の前後には、固定のガイド部材が設けられる場合もある。スプロケット１６，１７間の位置における下方の部位にはテスタのテストヘッド１８が臨んでいる。スプロケット１６，１７は昇降基台１９に設けられており、ＴＣＰ１のスプロケット孔６がこのスプロケット１６，１７のスプロケット爪に係合して、弛みのない状態とされ、かつ昇降基台１９を下降させることによって、テストヘッド１８に接続される。ここで、スプロケット１６，１７のうち、下流側のスプロケット１７には駆動モータ１７Ｍが接続され、またスプロケット１６にはトルクモータ１６Ｍが接続されるようになっており、これによりテスト時にＴＣＰ１に所定の張りを持たせることができ、しかもテスト終了後におけるＴＣＰ１の送りが行われる。
【００１６】
スプロケット１７の下流側には不良品打ち抜き部２０が設けられており、この不良品打ち抜き部２０において、テスト結果に基づいて不良品であると判定されたものが打ち抜かれて、排除される。なお、このテストの前の段階で、不良品と判定されて、穿孔部を設けたものがある場合には、この不良品打ち抜き部２０で打ち抜き排除しても良いが、このように予め判明している不良品のドライバ回路は、テストヘッド１８の位置に到達する前の段階で打ち抜いて排除することもできる。不良品打ち抜き部２０を通ったＴＣＰ１は、ガイドローラ２１，２２により走行経路が変えられて、巻き取り側余長部を構成するローラ２３及び固定ガイド２４を経て巻き取りリール１１に巻き取られる。
【００１７】
供給側及び巻き取り側にそれぞれ余長部を設けることによって、昇降基台１９が下降する際に、余長部からＴＣＰ１が所定の長さ分引き出され、上昇時には引き出した長さ分のＴＣＰ１が余長部に戻されることになる。また、余長部を設けることによって、テスト時や巻き取りリール１１への巻き取り時等において、ＴＣＰ１に過大な張力が作用するのを防止できる。
【００１８】
ＴＣＰ１は供給リール１０側においては、スぺーサテープ８と共に巻き付けられており、このスぺーサテープ８は、ＴＣＰ１の走行経路とは別の迂回経路を通って巻き取りリール１１に送り込まれる。これによって、スぺーサテープ８はＴＣＰ１のテストを行う際には、このＴＣＰ１から分離され、巻き取りリール１１でＴＣＰ１が巻き取られる際に、スぺーサテープ８がＴＣＰ１に合流する。従って、巻き取りリール１１にはＴＣＰ１とスぺーサテープ８とが積層状態になるようにして巻き取られる。
【００１９】
このスぺーサテープ８の供給リール１０から巻き取りリール１１に至る迂回経路の途中には、図５及び図６に示したように、スぺーサテープ８に張力を持たせるための荷重付与手段が設けられている。この荷重付与手段は、所定の間隔を置いて固定的に設けた一対のガイドローラ２５，２６と、これら両ガイドローラ２５，２６間に配設され、上下方向に移動可能に設けた荷重ローラ２７とから構成される。荷重ローラ２７はスライドブロック２８に取り付けられており、このスライドブロック２８は上下方向に設けたガイドレール２９に沿って移動可能となっている。
【００２０】
ガイドレール２９には、上部及び下部にストッパ３０，３１が設けられており、荷重ローラ２７を設けたスライドブロック２８は、この両ストッパ３０，３１間で上下方向に動けるようになっている。また、スライドブロック２８には被検出体３２が設けられており、この被検出体３２は、ガイドレール２９の側部に設けた上限及び下限の各位置検出用のセンサ３３，３４により検出されるようになっている。
【００２１】
スぺーサテープ８はガイドローラ２５から荷重ローラ２７に係合させて、ガイドローラ２６にガイドされる。これによって、荷重ローラ２７及びスライドブロック２８の合計重量に基づく荷重がスぺーサテープ８に作用することになり、この荷重によりスぺーサテープ８が巻き取りリール１１に巻き取られる際に、所定の張力が生じることになる。そして、スぺーサテープ８に作用する荷重は調整可能となっている。このために、スライドブロック２８にはワイヤ３５が連結されており、このワイヤ３５は滑車３６，３７により方向転換して下方に延在されている。ワイヤ３５の先端にカウンタウエイト３８が着脱可能に取り付けられて、このカウンタウエイト３８の重量を調整できるようになっている。
【００２２】
以上の構成において、ＴＣＰ１のテストを行うには、テストされるべきＴＣＰ１を巻き付けた供給リール１０を装着し、また巻き取りリール１１は空の状態にしておく。そして、供給リール１０からＴＣＰ１を引き出して、供給側余長部からガイドローラ１４，１５を経て、スプロケット１６，１７に係合させる。さらに、スプロケット１７からガイドローラ２１，２２及び巻き取り側余長部を順次通過させて、先端を巻き取りリール１１に固定する。ただし、スプロケット１６，１７間の部位より巻き取りリール１１側の部分はテストを行えない。そこで、ＴＣＰ１の先端にリードテープを連結して設け、このリードテープを少なくともスプロケット１７の位置から巻き取りリール１１に連結されるまでの長さを持たせておく。また、ＴＣＰ１の後端部も同様のリードテープが連結される。
【００２３】
一方、スペーサテープ８は、供給リール１０からガイドローラ２５にガイドさせて、このガイドローラ２５から下方に方向転換させて、荷重ローラ２７を回り込むように係合させる。さらに、この荷重ローラ２７からガイドローラ２６により方向転換させて、その先端を巻き取りリール１１に引き回し、ＴＣＰ１の先端に連設したリードテープの上に重ね合わせて固定する。ここで、スペーサテープ８には、荷重ローラ２７及びスライドブロック２８の重量からなる荷重が作用することになり、荷重ローラ２７は上限位置と下限位置との間に配置されることになる。ここで、スペーサテープ８を巻回させた状態で、荷重ローラ２７が位置するのは、ガイドレール２９のほぼ中間位置とするのが好ましい。
【００２４】
供給リール１０のモータ１０Ｍを回転させると、ＴＣＰ１における所定の長さ分が供給側余長部に供給される。また、ＴＣＰ１の巻き取りリール１１への巻き取り側余長部にも予めある程度の余長を持たせておく。スプロケット１７を駆動モータ１７Ｍにより回転駆動すると、ＴＣＰ１が送られるが、スプロケット１６にはトルクモータ１６Ｍが接続されているから、このスプロケット１６によりＴＣＰ１におけるスプロケット１６，１７間の部位がテストヘッド１８に接続する際に、所要の張りを持たせることができて、パッド３ａをテストヘッド１８のプローブにコンタクトが円滑かつ確実に行えるようになる。
【００２５】
ＴＣＰ１のドライバ回路５が順次テストヘッド１８に対面する位置に臨み、その都度昇降基台１９を下降させ、かつＴＣＰ１の入出力リード３に連なるパッド３ａの部分を、図示しないコンタクトプレスにより上方から押圧することによりテストヘッド１８のプローブに確実に接続される。この状態で、入出力リード３に通電することによりテストが実行される。テスト終了後は、昇降基台１９を上昇させることによって、ＴＣＰ１をテストヘッド１８から離間させて、所定のピッチ分だけＴＣＰ１を送る。従って、スプロケット１７を間欠的に回転駆動することによって、ＴＣＰ１のドライバ回路５は順次テストされる。
【００２６】
テストが進むと、巻き取り側余長部の余長が長くなり、供給側余長部では余長が減少する。これら各余長部にはセンサ等を用いて余長を検出し、巻き取り側余長部における余長が所定値を越えると、モータ１１Ｍを作動させて、所定長さ分だけ巻き取りリール１１に巻き取るようになし、また供給側余長部では余長が短くなると、モータ１０Ｍを作動させて、供給リール１０からＴＣＰ１を所定の長さ分だけ供給する。
【００２７】
以上のようにしてＴＣＰ１のテストが行われるが、巻き取り側余長部が設けられている関係から、巻き取り時にＴＣＰ１に張力を発生させることはできない。これに対して、スペーサテープ８も迂回経路に沿って送られて、巻き取りリール１１にＴＣＰ１と共に巻き取られるが、このスペーサテープ８が走行する迂回経路の途中には荷重付与手段が設けられており、この荷重付与手段は荷重ローラ２７とスライドブロック２８との重量からなる荷重をスペーサテープ８に作用させるものである。スペーサテープ８は、荷重ローラ２７とスライドブロック２８との重量による荷重で、供給リール１０及び巻き取りリール１１からスペーサテープ８を引き出して、荷重ローラ２７がガイドレール２９に沿って下降する方向に力が作用している。従って、巻き取りリール１１側では、スペーサテープ８に対してその巻き取り方向とは反対方向に引っ張り力が作用する。
【００２８】
モータ１１Ｍを作動させて、ＴＣＰ１を巻き取る際に、スペーサテープ８も同時に巻き取られるが、この時にスペーサテープ８は巻き取りリール１１に巻き付けが終わったＴＣＰ１に押圧力を作用させる。この結果、巻き取りリール１１ではある程度固く巻き付けられ、巻き径が太くならない。従って、荷重ローラ２７とスライドブロック２８との重量を調整することにより、供給リール１０に巻き付け長さと、巻き取りリール１１の巻き取り長さとをほぼ一致させることができる。この重量は、ワイヤ３５の先端に取り付けられるカウンタウエイト３８を交換する等により調整することができる。
【００２９】
ところで、ＴＣＰ１は、供給側及び巻き取り側に余長部を設け、この余長部における余長部の長さは刻々変化するものであり、また供給リール１０のモータ１０Ｍと、巻き取りリール１１におけるモータ１１Ｍとは同期して作動するものではないから、余長部の長さが変化すると、荷重ローラ２７はそれに応じて上下動することにより吸収される。この場合の荷重ローラ２７の動きは、微小量上下することになる。
【００３０】
供給リール１０側と巻き取りリール１１側とで全く同じ条件で巻き付けるのは実際上不可能なことであり、両リール１０，１１では巻き径が全く同一にはならない。また、供給リール１０側では、その全体が均一な張力を持った状態で巻き付けられているとは限らない。このように、供給リール１０側の巻き付け状態と、巻き取りリール１１側での巻き付け状態とにある程度の差があるのは当然であり、従ってこの両リール１０，１１間での巻き付け状態の差に応じて、荷重ローラ２７は上下する。例えば、巻き取りリール１１側の方が多少緩い巻き取り状態になっていたとすると、時間の経過と共に、荷重ローラ２７は連続的に下降することになる。そこで、ガイドレール２９を長尺なものとなし、当初の状態では、荷重ローラ２７を上下のストッパ３０，３１のほぼ中間に位置させておくことによって、供給リール１０における巻き付け状態と、巻き取りリール１１における巻き付け状態とに多少の差があっても、それを有効に吸収できる。
【００３１】
ここで、荷重ローラ２７は、常に上下のストッパ３０，３１間の位置に配置されていなければならない。テストの進行と共に荷重ローラ２７が上昇して、上限位置にまで到達した後にもハンドラの作動を継続すると、スペーサテープ８に極めて強い張力が作用して、スぺーサとしての機能を発揮する突起９ａ，９ｂが潰れたり、ＴＣＰ１に過大な押圧力が加わったり、甚だしい場合には、スペーサテープ８が切断されたりするおそれがある。そこで、荷重ローラ２７が上限位置（ストッパ３０に当接する直前の位置）まで上昇したことが、上限位置検出用のセンサ３３の位置にスライドブロック２８の被検出体３２が到達することにより検出される。従って、このセンサ３３からの信号に基づいて機械の作動を停止させれば良い。
【００３２】
一方、荷重ローラ２７が下限位置まで下降すると、スペーサテープ８に対する荷重が作用しなくなる。また、スペーサテープ８が切断された時にも、荷重ローラ２７が下限位置まで下降する。従って、荷重ローラ２７が下限位置に変位する前の段階で、それを検出して、機械を停止させなければならない。このために、下限位置検出用のセンサ３４が設けられており、被検出体３２がこのセンサ３４の位置に達すると、荷重ローラ２７が下限位置（ストッパ３１に当接する直前の位置）にまで下降したことが検出されて、機械の停止等の措置を取ることができる。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、スぺーサテープが走行する迂回経路の途中に、このスぺーサテープが巻き取りリールに巻き取られる際に、引っ張り方向に所定の荷重を作用させる荷重付与手段を設ける構成としたので、簡単な装置構成によって、供給リールから供給されたＴＣＰを、必要な長さ分だけ巻き取りリールに確実に巻き取ることができる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＴＣＰの構成説明図である。
【図２】ＴＣＰ試験装置の全体構成図である。
【図３】リールにＴＣＰ及びスぺーサテープを巻き付けた状態の外観図である。
【図４】リールに巻き付けたＴＣＰとスぺーサテープとの積層状態を示す構成説明図である。
【図５】荷重付与手段の構成を示す正面図である。
【図６】図５のＸ−Ｘ断面図である。
【符号の説明】
１  ＴＣＰ
２  テープ
５  ドライバ回路
８  スぺーサテープ
９ａ，９ｂ  突起
１０  供給リール
１１  巻き取りリール
２５，２６  ガイドローラ
２７  荷重ローラ
２８  スライドブロック
２９  ガイドレール
３０，３１  ストッパ
３２  被検出体
３３，３４  センサ
３５  ワイヤ
３８  カウンタウエイト
【図１】
0003740735.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003740735.tif 000006
【図６】
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