(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ほぼ面状のワーク（２４）を真空のコーティングチャンバ（２６）内へ搬入しかつこのコーティングチャンバから搬出しかつロックゲート（１９）の領域内へワークを供給しかつロックゲートの領域内からワークを戻し案内するための装置において、定置の支承部を中心として回転可能な旋回アーム（３）がその自由端に皿状のワーク支持体（１６）を備えており、ロックゲート（１９）の開口の平面（２０）に対して垂直に旋回アーム自由端に固定的に配置された、ワーク支持体の保持ピン（１２）が、ワーク支持体（１６）のシール面に対して平行に延びていて半径方向外側の縁部でワーク支持体（１６）に緊定されたダイヤフラム（１４）の中央部に固定されていることを特徴とするコーティングチャンバ内へワークを搬入しかつコーティングチャンバからワークを搬出するための装置。
【請求項２】
ダイヤフラム（１４）が円形の薄板切断片から形成されている請求項１記載の装置。
【請求項３】
ワーク支持体（１６）がコップ状に形成されており、ダイヤフラム（１４）の半径方向外側の部分がワーク支持体（１６）の環状の縁に固定的に結合されている請求項２記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はほぼ面状のワークを真空のコーティングチャンバ内へ搬入しかつこのコーティングチャンバから搬出しかつロックゲートの領域内へワークを供給しかつロックゲートからワークを戻し案内するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の装置は例えば米国特許第３８７４５２５号明細書により公知であり、この装置はコーティングチャンバを備え、このコーティングチャンバ内には２アーム式のグリッパ工具が鉛直軸線を中心として回転可能に支承されている。この２アーム式グリッパ工具はその直径方向で互いに対向して位置する端部にそれぞれフォークを備えており、これらのフォークは駆動モータによりラック伝動装置を介して鉛直平面内で互いに向かい合わせに運動可能である。さらに、２つのコンソールがコーティングチャンバ内に取付けられており、一方のコンソールがロックゲートの下方でコーティングチャンバのカバー内に配置されており、かつ他方のコンソールがこのコンソールと対向して位置する側で電極管の下方に配置されている。
【０００３】
この公知の装置の欠点とするところは、２アーム式のグリッパ工具が比較的複雑に形成されており、かつ複雑な歯車伝動装置により駆動が行われるため、低い信頼性でしか作動しないことにある。さらに、この装置では、ワークが確実にフォーク状の工具によりつかまれず、その結果、傾いて受容されてしまうか又は工具から完全に解離してコーティングチャンバの底面上へ落下し、これにより装置全体の閉塞もしくは運転中止を招く危険が生じる。さらに、この公知装置は大きな全高を要し、従って不所望に大容積のコーティングチャンバが必要となる。
【０００４】
コーティングチャンバとコーティングソースとしてカソードとを備えたコーティング装置が例えば欧州特許第０２９１６９０号明細書に基づき公知であり、このコーティング装置は、カバーとこれに対して平行な平面内で延びている底板とこれら両方の部分を耐圧的に結合させて互いに間隔をあけて保持する環状の側部分とから形成された真空にすることのできるコーティングチャンバ内へほぼ面状のワークを搬入及び搬出するための装置と、このコーティングチャンバ内で回転可能に支承されていてワークをコーティングチャンバのカバー内のロックゲートの開口からコーティングソースへかつその逆に搬送するための回転皿とを備えており、その場合、単数又は複数のカバー状のワーク支持体を備えた１つのコーティング装置が設けられており、このコーティング装置により、ワーク支持体の下方に保持されたワークがコーティングチャンバのロックゲートの開口に隣合った位置へもたらされることができ、この位置から、ロックゲートの開口が上方からはワーク支持体により、下方からは持上げ皿により閉鎖可能であり、その場合、この持上げ皿は回転可能に支承された回転皿上に保持されかつ案内されており、その場合、ワーク支持体がコーティング装置に支持された持上げシリンダにより、かつ持上げ皿が定置の持上げ装置によりカバーに圧着可能であり、その際、両側で閉鎖されたロックゲートが搬入及び搬出のために真空にされることができる。
【０００５】
その場合、コーティング装置はコーティングチャンバのカバーの上側に固定的に配置された旋回モータを備えており、その駆動軸がこれに対して直角に延びている旋回アームに回動不能に結合されており、その場合、少なくとも一方の旋回アーム端部に持上げモータ又は持上げシリンダが配置されており、その駆動軸又はピストンロッドがコーティングチャンバの平面に対して垂直に延びていてワーク支持体と作用的に協働している。
【０００６】
ワークの搬入及び搬出のためのこの公知装置の欠点とするところは、コーティングチャンバのカバーに支承されていて旋回アームを備えた駆動軸が、カバー状のワーク支持体を、特に駆動軸もしくはその旋回支承部の不可避の運転摩耗の結果としてコーティングチャンバの平面に対してわずかな傾斜でロックゲートの開口上へ載着せしめてコーティングチャンバのカバー上へ圧着してしまうことにある。実地によれば、ワーク支持体がわずかに傾いただけでも、サブストレートを搬入もしくは搬出せしめる、ワーク支持体の下方のカバー内のチャンバが十分迅速には真空にされない。それというのは、ワーク支持体若しくはワーク支持体パッキンと搬入口の縁との間の隙間が、このチャンバ内に開口していて真空ポンプに接続された通路の横断面に対比して著しく大きいからである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題とするところは、この種の装置を改良して、旋回アームの支承部内の傾動の遊びが、コーティングチャンバのカバーに設けたロックゲートの開口のシール作用に影響しないようにすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決した本発明の構成によれば、ほぼ面状のワークを真空のコーティングチャンバ内へ搬入しかつこのコーティングチャンバから搬出しかつロックゲートの領域内へワークを供給しかつロックゲートの領域内からワークを戻し案内するための装置において、定置の支承部を中心として回転可能な旋回アームがその自由端に皿状のワーク支持体を備えており、旋回アームの自由端に固定的に配置されていてロックゲートの開口の平面に対して垂直な、ワーク支持体の保持ピンが、ワーク支持体のシール面に対して平行に延びていて半径方向外側の縁部でワーク支持体に緊定されたダイヤフラムの中央部に固定されている。
【０００９】
面状で薄く振動しやすい構造を有するダイヤフラムは、ダイヤフラムが延びている平面に対して、ダイヤフラムに固定的に結合された保持ピンの傾斜を許容し、ひいては、旋回アームに対するワーク支持体の相対的な傾動をわずかな量だけ許容し、その結果、閉鎖運動時にワーク支持体が常にロックゲートの開口の平面もしくはカバーへ向けられ、これにより搬入室内へのいかなる漏れでも排除される。
【００１０】
本発明の別の構成が他の請求項に記載されている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に図示の実施例につき本発明を詳しく説明する。
【００１２】
旋回軸線５を中心として回転可能にかつ矢印Ａで示す方向に持上げ可能に旋回アーム３が軸４に支承されており、この旋回アーム３に固定的に配置された２つのピン６，７により、旋回アーム３はその閉鎖位置（図１）で可能な限り水平な位置を保つことができ、このことのためにピン６，７はその下方の端面で旋回駆動装置のケーシングの上面８に支持されもしくは固定的に載着される。旋回アーム３は旋回運動のために軸４により持上げられて旋回され、その際、圧縮ばね１０により、旋回アーム３は遊びなく軸４のカラー１１上に載着される。旋回アーム３の自由端は保持ピン１２に固定的に結合されており、この保持ピンの下端は、旋回アーム３と保持ピンの頭１３との間に緊定された円環状のダイヤフラム１４に固定されている。
【００１３】
ダイヤフラム１４は円板状の金属製の薄板切断片として形成されており、かつその半径方向外側の縁部で多数のねじ１７，１７′を介してワーク支持体１６の環状の縁に結合されている。ワーク支持体１６はシールエレメントとして丸形コードリング１８を有しており、このシールエレメントによりワーク支持体１６はロックゲート１９の開口の閉鎖時にカバー２０の上縁に固定的に載着される。旋回アーム３がコーティングチャンバ２６のカバー２０の平面に対して完全には平行に向いていない場合には、保持ピン１２のところで緊定箇所の軸線２１を中心として角αだけワーク支持体１６の傾動運動が強制的に生じる。角αのワーク支持体１６の傾動時にダイヤフラム１４はわずかながらＳ状に変形するが、しかし、平面２０に対して平行なワーク支持体１６の運動（矢印Ｂの方向）が排除されているため、鉛直方向の閉鎖運動は傾動もしくはみそすり運動により影響されない。さらに、ワーク支持体１６は複数の吸盤２２，２２′を備えており、これらの吸盤は吸込導管２３，２３′に接続されていてワーク２４（符号２４′はコーティング装置の持上げ皿２５と共に降下したワークの位置を示す）を持上げ又はコーティング装置２６内もしくはその持上げ皿２５上に載せる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例に基づくワーク支持体を断面して旋回アームの半分とコーティングチャンバの一部とを示す図である。
【図２】ワーク支持体と一緒に旋回アームの半分を図１の上方から見た図である。
【符号の説明】
３  旋回アーム、  ４  軸、  ５  旋回アーム、  ６，７  ピン、  ８  上方のケーシング面、  ９  旋回駆動装置のケーシング、  １０  圧縮ばね、  １１カラー、  １２  保持ピン、  １３  保持ピンの頭、  １４  ダイヤフラム、１５  縁、  １６  ワーク支持体、  １７，１７′  ねじ、  １８  丸形コードリング、  １９  ロックゲート、  ２０  コーティングチャンバのカバー、  ２１  緊定箇所の軸線、  ２２，２２′  吸盤、  ２３，２３′  吸込導管、  ２４，２４′  ワーク、  ２５  持上げ皿、  ２６  コーティング装置、  ２７圧力片
【図１】
0003841851.tif 000002
【図２】
0003841851.tif 000003