(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鍛造プレス装置で成形されるワークを、サーボモータの回転力をねじ機構により直線方向の移動力に変換する力変換機構を介してＸ、Ｙ、Ｚ方向へ三次元的に一対のビーム３、３を移動させるビーム移動機構１、２により把持、昇降、又は移動させて自動搬送するトランスファ装置において、力変換機構の直線方向への移動部材の移動変位を検出する変位センサ３１と、プレス装置の動作を表す信号に基づいてトランスファ装置のビーム移動機構１、２を制御する制御部とを備え、制御部はプレス動作の信号に基づいて各移動機構１、２によるビーム３、３の変位位置の理想曲線Ａを演算し、理想曲線Ａに一定の進角補正値を加えた進角補正指令値Ａ’による変位センサ３１からの実変位ストロークを表わす補正動作曲線Ｂ’と理想曲線Ａとの差の誤差関数Ｇ（Ｙ）を演算して求め、この誤差関数Ｇ（Ｙ）を理想曲線Ａに加えた誤差変化曲線Ｃに上記一定の進角補正を演算して加えた信号をパルス指令信号として出力することによりビーム３、３の把持、昇降、又は移動の三方向のサーボモータを制御するようにしたことを特徴とするトランスファ装置の制御装置。
【請求項２】
前記一対のビーム３、３に対しその両端に一対のビーム移動機構１、２を設け、この一対のビーム移動機構１、２のそれぞれに同一パターンのパルス指令信号を送ることにより同期駆動するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のトランスファ装置の制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、鍛造プレス装置で成形されるワークを自動搬送するトランスファ装置の三次元動作を制御するトランスファ装置の制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
鍛造プレス装置において、複数の金型により複数の成形を進行させるため、複数の金型へ成形素材を順次供給するトランスファ装置を併設する方式が主流となっている。トランスファ装置は、複数の金型に対し水平に並設される２本のビームを昇降（リフト）、開閉（クランプ）、及び所定方向へ移動（フィード）させ、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の三次元の運動を与えるように構成されている。２本のビームにはワークを挾持するための複数対のフィンガがそれぞれ対向して設けられている。
【０００３】
このトランスファ装置には、２本のビームを昇降させる手段、２本のビームの各対のフィンガを開閉する手段、及び所定方向へ移動させる手段が設けられ、開閉手段及び移動手段はサーボモータの出力軸の回転を軸継手、ボールねじ、ボールねじに係合するスライダなどを介してビームの動きに転換し、昇降手段はサーボモータの出力軸の回転を軸継手、ボールねじ、スライダなどを介して開閉手段、移動手段を載置した共通板を昇降させる動作に転換するよう構成され、ボールねじの回転により速い動作速度で、かつ高精度でワークの移動を可能としている。
【０００４】
このようなトランスファ装置を制御する場合、鍛造プレス装置のラムの回転に連動してトランスファ装置の昇降、開閉、移動用の各手段のサーボモータを回転駆動し、各手段のスライダの移動ストロークの設定パターンに対応してスライダを移動させるように制御が行われる。この移動ストロークの設定パターンは、各製品毎に最も生産性の高いサイクルを描くように予め実際の加工をしたデータに基づいて設定される。そして、このような設定パターンを記憶した制御回路から送られる制御信号によりパルス発生器からパルス信号をサーボモータの駆動回路へ送り、サーボモータが駆動される。
【０００５】
サーボモータには、一般にその回転状態を検出するためにパルス検出器が設けられ、検出されたパルス信号はフィードバックパルスとして制御回路へ送り返され、入力パルスとフィードバックパルスを比較してサーボモータの回転が設定パターンに対応した状態に近づくように作動状態が調整される。しかし、サーボモータの回転は、一般に溜まりパルスの現象を伴うため、入力パルスによる指令よりわずかに遅れ、設定パターンに一致しない。このため、そのロスタイムを極力減少させる方法が種々提案されている。
【０００６】
その一例として、特開平８−１９７１８３号（特許第２，８３３，５０４号）公報により提案された制御方法が公知である。この公報によるトランスファ装置の制御方法は、予めトランスファ装置を作動させて昇降、開閉、移動の三方向の指令位置と実際の動作位置とのずれを測定しておき、開閉運動でのクランプ曲線と鍛造プレスのストローク曲線上で互に最も接近する位置における動作パターン固有の遅れ時間を制御回路に記憶させ、実際の動作時に入力した初期条件に対応する遅れ時間をそれぞれの動作指令について進角補正する演算を加え、干渉の限界までロスタイムを縮小するようにビームの位置制御をするというものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述したように、サーボモータを駆動する系では動作指令による入力から出力までの間にわずかに生じる遅れのため、ビームの動作位置に時間遅れが生じる。この時間遅れは、周知のように、サーボモータ及びビームを含む機械系、電気系を支配する伝達関数に起因するが、この伝達関数を調整してゲインを大きくし、時間遅れを可能な限り小さくすることによりビームの動作位置を理想曲線上の設定位置に近づけることができる。
【０００８】
しかし、サーボゲインを大きくすることはサーボモータが入力に対し過度に応答することであるから、パルス入力に応答する回転が段階的となり、ビームの動作がギクシャクとしたものとなり、滑らかでスムースな動きが失われる。従って、一般にはビームの動作が滑らかでスムースな動きとなるようにゲイン値を適正な値に設定するため、上述した時間遅れが生じることを避けることができないのである。このため時間的なずれや到達点のずれが発生する。
【０００９】
そこで、上述した特許公報によるトランスファ装置の制御方法は、鍛造プレスのラム曲線にクランプ曲線が干渉することなく最も接近する位置で、予めクランプの移動の遅れ時間を測定しておき、その遅れ時間に対応する角度分だけ三方向の各動作が早く行われるようにパルス信号の指令に対して進角補正をして送り出す方法を採用している。この場合、進角補正はラム曲線とクランプ曲線が最も接近する位置における固有の時間遅れｔを予め測定し、この時間遅れｔの一定間隔の時間毎にその遅れ時間分早めにその動作位置となるようなパルス指令信号を与えることにより動作位置の時間遅れを解消するような補正が行われる。
【００１０】
しかし、このような進角補正は上記固有の時間遅れｔという比較的長い一定の時間間隔毎に、かつ動作速度の変化と無関係に行われるため、ある程度時間遅れを解消し設定される理想曲線に近づけることはできるが、階段状の動作速度とならないようゲインを下げる調整が行われるため、完全に理想曲線に一致させることはできず、依然として到達点のずれを解消することはできない。
【００１１】
この発明は、上記の問題に留意して、トランスファ装置を制御する際にサーボゲインを低下させることなくビームの動作位置の階段状の変化を無くし、到達点のずれが生じないように制御し得る制御装置を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記の課題を解決する手段として、鍛造プレス装置で成形されるワークを、回転力をねじ機構により直線方向の移動力に変換する力変換機構を介してＸ、Ｙ、Ｚ方向へ三次元的に一対のビームを移動させるビーム移動機構により把持、昇降、又は移動させて自動搬送するトランスファ装置において、力変換機構の直線方向への移動部材の移動変位を検出する変位センサと、プレス装置の動作を表す信号に基づいてトランスファ装置のビーム移動機構を制御する制御部とを備え、制御部はプレス動作の信号に基づいて各移動機構によるビームの移動位置の理論ストローク値を演算し、理想曲線に一定の進角補正値を加えた進角補正指令値による変位センサからの実変位ストロークを表わす補正動作曲線と理想曲線との差の誤差変化曲線を演算して求め、この誤差変化曲線に一定の進角補正を演算して加えた信号をパルス指令信号として出力することによりビームの把持、昇降、又は移動の三方向のサーボモータを制御するようにしたことを特徴とするトランスファ装置の制御装置としたのである。
【００１３】
このような構成としたこの発明の制御装置によれば、ビームの動作位置をより理論ストローク位置へ近づけ、正確な位置制御が行われる。ビームの動作位置は、プレス装置の動作を表す信号に基づいて制御装置により演算で求められる。プレス装置からの動作信号に基づいてビームの理論ストローク位置についてまず演算され、理想曲線がそれぞれ設定される。プレス装置のラムの変動に対してトランスファ装置のビームの把持、昇降、移動の動作を最も理想的な位置を通る理論的な曲線を想定して設定するのである。
【００１４】
このような理想曲線に対し、ビームの実際の動作位置は、理想曲線と同じ波形の動作指令を出力しても、その指令に従って移動するまでにわずかに遅れが生じる。そこで、この遅れを打消すために次のような段階的な処理を実施する。まず、ビームの各三方向への動作をそれぞれ上記理想曲線のパルス波形データに一定の進角補正量を加えて可能な限り動作曲線が理想曲線に近づくように予備的動作として実行し、変位センサからのデータに基づいて実際の補正動作曲線のデータを得る。
【００１５】
次に、補正動作曲線と理想曲線の差の誤差変化曲線を演算により求め、この変化曲線に基づく指令値に一定の進角補正量を加えた信号をパルス指令信号として出力する。上記誤差変化曲線とは、理想曲線に対し遅れを生じる実際の補正動作曲線の遅れを打消すに必要な差だけ補正する曲線である。これは、ビームの動作速度が途中で変化するため、一定の進角量の補正を加えて進角補正しても補正動作曲線は理想曲線に一致せず、その誤差分を補正する必要があるからである。
【００１６】
上記誤差変化曲線は、理想曲線に対し補正動作曲線が速度変化の度合いに応じて異なる遅れの変化分だけ理想曲線より指令値のタイミングを早めたものであるから、実際に指令値として出力する際はさらに一定の進角量を加えた信号をパルス指令信号として出力する。上記誤差変化曲線は、ｎ次の多項式で近似し、次数を適宜設定してその多項式の各係数を最小二乗法により定めて得ることができる。
【００１７】
【実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１はトランスファ装置の外観斜視図である。図示のトランスファ装置は、図示しないプレス本体の左右に設置される移動機構１、２を備え、両移動機構間に２本のビーム３、３を横架している。２本のビーム３、３には互いに対向する側面に所定の間隔で複数箇所に被加工物を挟むためのフインガが設けられているが、図示簡略化のため省略している。移動機構１、２は、ビーム３、３の昇降、開閉の動作をさせる機構は基本的に左右で同じであるが、ビーム３、３の進退動をさせる機構が異なるため、全体としては左右で異なる。
【００１８】
移動機構１には、ビーム３、３の昇降動を駆動する駆動部としてのサーボモータ１１ａが設けられ、その出力軸にカップリングを介して接続されたボールねじ１２ａを駆動し、このボールねじに係合するスライダ１３ａを上下移動台１４に取付け、従動部材であるスライダ１３ａをボールねじ１２ａの回転により昇降させて上下移動台１４を昇降自在に構成している。
【００１９】
サーボモータのカップリングは、摩擦締結形の公知の軸継手であり、サーボモータ１１ａから被駆動部材までの動力伝達経路上に機械的な不都合で抵抗力が生じた場合、その抵抗力が動力伝達機構やサーボモータ１１ａに損傷を与えないように一定以上の抵抗力を摩擦締結部で逃がすように構成されている。このカップリングは、サーボモータの出力軸とテーパ型金具（図示省略）で連結されている。なお、以下で説明するサーボモータにも同じ形式のカップリングが使用されている。
【００２０】
又、ビーム３、３の開閉を駆動する駆動部としてサーボモータ１１ｂが設けられ、その出力軸にカップリングを介して接続されたボールねじ１２ｂを回動し、このボールねじに係合するクランプ用のスライダ１３ｂは、上下移動台１４上に設けた支持台１５上の案内部材で左右に移動自在に設けられている。ボールねじ１２ｂは、ビーム３の中央を境に互いに逆ねじが刻設され、左右のスライダ１３ｂ、１３ｂを同期して互いに逆向きに移動させるように設けられている。
【００２１】
さらに、ビーム３、３の進退動を駆動する駆動部としてサーボモータ１１ｃが設けられ、その出力軸にカップリングを介して接続されたボールねじ１２ｃを回動し、このねじに螺合するスライダ１３ｃを支持台１５に取付け、従動部材であるスライダ１３ｃをボールねじ１２ｃの回転により進退動させて支持台１５を上下移動台１４上で進退動させ、これによりビーム３、３を進退動自在としている。なお、このビーム３、３の進退動を駆動するサーボモータ１１ｃは、移動機構１にだけ設けられている。
【００２２】
移動機構２には、ビーム３、３の昇降動、開閉動作用のサーボモータ２１ａ、２１ｂが移動機構１と同様に設けられ、これらにボールねじ２２ａ、２２ｂ、スライダ２３ａ、クランプ用のスライダ２３ｂが設けられているが、これら部材は、図示のように上下移動台１４に対し一体に設けられ、この移動台１４の下端の延長部の穴にビーム３、３の端３E 、３E が移動自在に挿通されている。
【００２３】
以上の移動機構１、２には、従って５つのサーボモータ１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、２１ａ、２１ｂが独立して設けられ、ビーム３、３を昇降、開閉、進退動の三次元的な立体運動を行うようにトランスファ装置は構成されている。
【００２４】
図２にトランスファ装置の各動作部を制御する制御回路の全体概略ブロック図を示す。図中、右側に移動機構１、左側に移動機構２のそれぞれのサーボモータ、スライダ、サーボ駆動部等について示している。上記移動機構１、２を制御する制御回路４０としてマイクロコンピュータが用いられ、図示のように、入力手段としてキーボード４１、トランスファパターンを特定するためのフレキシブルディスク４２の差込装置、動作線図を表示するためのＣＲＴ表示器４３などが接続されている。
【００２５】
制御回路４０は、移動機構１、２、ビーム３、３から成るトランスファ装置をプレス動作に追従して所定タイミング、トランスファパターンで動作させるように制御し、かつサーボモータ１１、２１、スライダ１３、２３、サーボ駆動部４５などの動作をセンサからの信号や電流、電圧値などを測定して監視し、動作の安全性を確保するように設けられている。なお、特に示さない限り上記サーボモータ、スライダ、サーボ駆動部などの符号はａ、ｂ、ｃの記号を省略しそれぞれを代表したものとしている。以下でも同様である。
【００２６】
このため、制御回路４０は、プレス装置を制御するためのシーケンサ５０からプレス動作についてのタイミング信号や動作信号がこの制御回路４０へ入力できるように相互に接続され、これらの信号に基づいてパルス回路４４へ指令信号を出力し、発生したパルス信号をそれぞれのサーボ駆動部４５へ送り、サーボモータ１１、２１をそれぞれ駆動するように接続されている。この制御回路４０における特有の演算処理機能については後で説明する。
【００２７】
さらに、前述した各スライダ１３、２３に対して設けた変位センサ３１からの変位信号、及びサーボ駆動部４５からのトルクデータＴ、溜りパルスデータＰのそれぞれの信号はＡ／Ｄボード４７へ送られ、そこでディジタル信号に変換されて制御回路４０へ入力される。そして、変位信号、トルクＴ、溜りパルスＰの各信号が正常であるかを判断し、異常と判断される事項が検出されると異常信号をシーケンサ５０へ出力してプレス装置、トランスファ装置を停止させるようにそれぞれの接続がされている。４９Ｐ、４９Ｔはそれぞれプレス装置用、トランスファ装置用のエンコーダである。各サーボモータの回転数、回転位置はパルスジェネレータＰＧ４６からのパルス信号を各サーボ駆動部へ入力して検出される。
【００２８】
図３の（ａ）図に移動機構１の部分断面図を示す。この断面図には、代表例として昇降用のサーボモータから下方へ延びるボールねじ１２ａに係合するスライダ１３ａが下部のボールねじの軸受台座に接近した状態が示されている。軸受台座上には原点位置を決定するための基準ゲージとしてスペーサ１６を準備して挿置し、このスペーサ１６にスライダ１３ａが当接した状態で停止し、スライダ１３ａが原点位置にある状態を示している。
【００２９】
スライダ１３ａにはブラケット１３Ｂが取付けられ、このブラケット１３Ｂに作用片の磁石３２ａが取付けられている。又、作用片の磁石に応動する変位センサ３１ａがボールねじ１２ａのカップリングの下方に設けられた軸受の取付板の張出部に取付けられ、これら部材によりスライダ１３ａの移動を検出する検出手段３０ａが形成されている。
【００３０】
図示の変位センサ３１ａは磁歪式リニア変位センサと称される公知の形式のものであり、変位センサ３１ａから下方へ延びる直線ロッド３３ａに沿って磁石３２ａが非接触で昇降自在に移動する。上記磁歪式リニア変位センサ３１ａは、直線ロッド３３ａ内に設けた磁歪線（図示せず）に電流パルスを与えて磁歪線軸方向全域に生じる円周方向の磁場に対し、直線ロッド３３ａに沿って非接触で移動自在に磁石を配置したものである。
【００３１】
この磁石３２ａから磁場が軸方向磁場として与えられ、円周方向磁場との合成によって斜めの磁場が生じ、この部分にのみねじり歪が発生する。このねじりは機械振動の一種であり、磁歪線上を超音速で伝播する。変位センサ３１ａは、この超音波の伝播時間を計測し、磁石３２ａの直線ロッド３３ａ上の絶対位置を電気信号として出力するというものである。なお、図３の（ｂ）図にビーム３、３の開閉、進退動について変位センサ３１、磁石３２、直線ロッド３３を設けた配置構成例を示す。開閉動作はｂ、進退動についてはｃの添字を付している。変位センサの信号は昇降用の変位センサ３１ａと同様に処理される。
【００３２】
上記トランスファ装置の制御装置では次のように移動機構１、２を制御しながらサーボモータの同期駆動が行なわれる。制御装置は、プレス装置でワークのプレス加工をする際にそれぞれのワークの加工種類に応じて予定されるプレス動作に対し追従してトランスファ装置を作動させるように制御する。トランスファ装置の移動機構１、２によるビーム３、３の昇降、開閉、進退動に必要なそれぞれのサーボモータによるスライダの変位曲線の計画値のデータは予めフレキシブルディスク４２から制御回路４０の一時記憶部（ＲＡＭ）４０ｂに記憶し、固定記憶部（ＲＯＭ）４０ｃに記憶されている制御プログラムに従って制御が行われる。
【００３３】
制御回路４０は、サーボモータを駆動するのに必要なパルス信号を送るため、パルス回路４４へ信号を送って所定パターン（パルス幅、間隔）のパルス信号を発生させ、それぞれのサーボモータのサーボ駆動部４５へそのパルス信号を送り、サーボ駆動部４５のそれぞれによりサーボモータを所定の変位、トルク状態に刻々と変動させる。これによりそれぞれのスライダが所定の変位パターンに従って移動し、ビーム３、３が昇降、開閉、進退動される。この時、スライダの変位は変位センサＳ1 （ａ、ｂ、ｃ）、Ｓ2 （ａ、ｂ）からの信号Ｓとして、サーボモータのトルク、パルス量の信号をサーボ駆動部４５からの信号Ｔ、Ｐとして（図２中にＰ、Ｔ、Ｓの信号で示す）Ａ／Ｄボード４７を経由してディジタル信号として制御回路４０へ送る。
【００３４】
なお、この装置ではビーム３、３の開閉、昇降動作については移動機構１、２は互いに原則として同期するように左右で同一のトランスファパターンの制御信号を送り、これによって基本的な周期駆動が図られるようにしており、特に左右のサーボモータの回転数について同期させる同期機構は設けていない。
【００３５】
以上のように構成した実施形態のトランスファ装置は、制御装置により次のように制御される。プレス−トランスファ装置がプレス動作を始めると、まずビーム３、３を前進させてプレス装置の入口に供給されたワークを把持し、ビーム３、３を上昇させて後退した後プレス位置でビーム３、３を下降させ、その位置でビーム３、３を開放してワークを下金型に乗せる。その後、プレスのラムが下降して上金型との間でプレス加工が行われる。
【００３６】
プレス加工の後、ラムが上昇して上金型が持ち上げられている間にビーム３、３を再び前進させてワークの供給位置へ戻りビーム３、３を閉じると、次のワークと加工済のワークを一緒にビーム３、３の複数のフインガで把持する。その後、ビーム３、３を上昇させて後退させると、次のワークは第１の加工位置へ、加工済のワークは第２の加工位置へ送られ、その位置でビーム３、３を開放する。この状態でプレスのラムが加工位置へ下降して再びプレス加工が行われる。そして、これを繰り返すことにより複数の加工位置へワークが供給されてプレス加工が複数段において行われる。
【００３７】
以上のような制御が行われる際に、この制御装置による特有の制御が次のように行われる。図４の（ａ）図に３種類の軸（フィード（移動）、リフト（昇降）、クランプ（開閉））のスライダについてクランク角度（＝時間ｔ）φに対する変位ストローク曲線（理想曲線）を示す。但し、プレス装置のラムの曲線はラム自身のストローク曲線であり、ラムを駆動するクランクの主軸回転数は一定である。
【００３８】
図５の（ａ）図に制御対象の例としてフィード軸のストローク曲線について立上り動作部分を拡大して示している。Ａはクランク角度φに対する変位ストロークの上述した理想曲線（理論ストローク曲線）、Ｂはこの理想曲線での指令値による実際の動作曲線である。Ａ’は、実際の動作曲線Ｂをできるだけ理想曲線Ａに近づけるため、理想曲線Ａに対し一定の進角補正を加えた進角補正指令値であり、これにより実際の動作曲線は補正動作曲線Ｂ’となる。
【００３９】
しかし、上記進角補正指令値Ａ’で指令パルス信号を出力しても、課題の欄で説明したように、補正動作曲線Ｂ’への修正はできるが、これにより理想曲線Ａに一致させることはできず、依然として到達点のずれを解消することはできない。このため、さらに上記理想曲線Ａと補正動作曲線Ｂ’との差を解消するため、次のような処理を行なう。即ち、理想曲線Ａと補正動作曲線Ｂ’との差の変化を関数として次のような処理に基づいて理想曲線Ａに近づく誤差変化曲線Ｃを求める。
【００４０】
この修正処理は、理想曲線Ａ−補正動作曲線Ｂ’＝ａＹ3 ＋ｂＹ2 ＋ｃＹ＋ｄの三次多項式で近似し、最小二乗法により各動作点での差が各動作点の全体として最小値となるように三次多項式を定め、この設定された三次多項式に対して理想曲線Ａに対応するクランク角φの値に基づく誤差変化曲線Ｃを求めることにより行なう。上記最小二乗法による処理は次のように実行する。
【００４１】
今、クランク角φ（＝ｔ）の時刻ｔ1 、ｔ2 ……ｔn に対応して実測値Ｙ1 、Ｙ2 、Ｙ3 ……Ｙn 、理想値ｙ1 、ｙ2 、ｙ3 ……ｙn のデータが得られたものとする。この理想値ｙn と実測値Ｙn の差の変化曲線をＧ（Ｙ）＝ａＹ3 ＋ｂＹ2 ＋ｃＹ＋ｄとして、
【００４２】
【数１】
0003841711.tif 000002
【００４３】
ａ、ｂ、ｃ、ｄの各係数の値がＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄとして求められると、改めてそのＧ（Ｙ）＝ＡＹ3 ＋ＢＹ2 ＋ＣＹ＋Ｄに対して理想値ｙ1 〜ｙn を代入することによりＧ（ｙ1 ）、Ｇ（ｙ2 ）、Ｇ（ｙ3 ）……Ｇ（ｙn ）が得られ、これらの値を修正指令値の誤差変化曲線Ｃとする。さらに、上記Ｇ（ｙ1 ）〜Ｇ（ｙn ）に対して一定の進角補正値（ｔ0 ）をそれぞれ加えて理想指令値Ａ”を求める。この進角補正は、理由曲線Ａに出来るだけ近づけるために最初に加えた進角補正と同じであり、実際の動作曲線Ｂ’を得るため理想曲線Ａに対し動作時間のずれが生じる（図示の装置では移動速度１ｍ／ｓｅｃとすると時間ずれは４０ｍｓ程度）のに対しこれを解消するのに有効な進角補正値（ｔ0 ）である。
【００４４】
なお、上記演算処理は、制御回路４０の記憶部に各サーボモータの制御のためのプログラムと並設され、必要な演算処理が行なわれた後その演算結果に従って各サーボモータの制御が行なわれる。但し、サーボモータの制御のためのプログラムと並設せずに、別途上記演算処理のためのプログラムを有するパーソナルコンピュータを外部に設け、その専用プログラムで上記演算処理を行ない、その演算結果を制御回路４０へ送り、各サーボモータの制御を行なうようにしてもよい。
【００４５】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、この発明のトランスファ装置の制御装置は、トランスファ装置の移動機構によるビームの三方向への移動位置についてそれぞれ理論ストローク値を演算し、理想曲線の指令値では必ず生じる遅れを一定の進角量を加えた指令値による補正動作曲線とその理想曲線との差による誤差関数を求め、この誤差関数を理想曲線に加えた誤差変化曲線に上記一定の進角補正をした信号をパルス指令信号として出力してサーボモータの制御を行なうとしたから、ビーム動作をゲイン調整することなく階段状でない滑らかな状態の動作曲線を理想曲線に限りなく近づけることが可能となり、従ってさらに安全な動作を確保でき、高効率な制御動作が可能になるという顕著な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態のトランスファ装置の外観斜視図
【図２】同上の制御装置の全体概略ブロック図
【図３】変位センサの概略図
【図４】変位量の理想曲線の図
【図５】指令値の補正処理の説明図
【符号の説明】
１、２  移動機構
３  ビーム
１１ａ〜１１ｃ  サーボモータ
１２ａ〜１２ｃ  ボールねじ
１３ａ〜１３ｃ  スライダ
１４  上下移動台
１５  支持台
２１ａ、２１ｂ  サーボモータ
２２ａ、２２ｂ  ボールねじ
２３ａ、２３ｂ  スライダ
３１ａ、３１ｂ、３１ｃ  変位センサ
４０  制御回路
４１  キーボード
４２  フレキシブルディスク
４３  表示器
４４  パルス回路
４５  サーボ駆動部
４７  Ａ／Ｄボード
【図１】
0003841711.tif 000003
【図２】
0003841711.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
0003841711.tif 000007