(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストヘッドに電気的に接続され、被試験ＩＣと接触するＩＣソケットが装着された測定部と、この測定部に接触された被試験ＩＣに試験パターン信号を送給し、被試験ＩＣの応答信号を取り込んで期待値と比較し、被試験ＩＣの良否を判定するテスタと、上記測定部に装着されたＩＣソケットに被試験ＩＣを順次自動的に送給すると共に、試験が終了したＩＣを順次上記ＩＣソケットから排出する動作を実行するハンドラとを具備して構成されるＩＣ試験装置において、
上記測定部に設けられ、測定部の型式を電気信号で発信する型式信号発信手段と、
上記テスタに格納され、上記型式信号発信手段が発信する型式信号を読み込む型式信号読込手段と、
この型式信号読込手段で読み込んだ型式信号及び上記テスタに格納されたテストプログラムによって指定されたＩＣの同測数とを上記ハンドラに送り込む伝送手段と、
上記ハンドラに設けられ、上記伝送手段によって送られて来た同測数と型式信号とを自己に設定された同測数と比較し、上記テストプログラム及びハンドラが正常に設定されているか否かを判定する判定手段と、
この判定手段の判定結果により設定が正常であるか否かを表す信号を上記テスタに送り込む返送手段と、
この返送手段により設定不良が通知されたことにより、上記テスタの起動を阻止する起動・停止制御手段と、
を付加して構成したことを特徴とするＩＣ試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体集積回路（以下ＩＣと称す）によって構成される例えばメモリ等を試験するＩＣ試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３にＩＣ試験装置の概略の構成を示す。ＩＣ試験装置は大きく分けてテスタ１００とテストヘッド２００及びハンドラ４００とによって構成される。テストヘッド２００には測定部と呼ばれる部材３００が着脱自在に装着される。この測定部３００は被試験ＩＣと接触するＩＣソケットＳＫを具備し、このＩＣソケットＳＫに被試験ＩＣをハンドラ４００が自動搬送して接触させ試験を実行する。
【０００３】
テスタ１００は主制御器１０１に格納したテストプログラムに従って動作し、測定部３００に装着される被試験ＩＣを試験する。つまり、テスタ１００とテストヘッド２００はケーブルＫＢ１によって接続され、テスタ１００からケーブルＫＢ１を通じてＩＣソケットＳＫに接触した被試験ＩＣに試験パターン信号を送り込み、その応答信号を再びケーブルＫＢ１を通じてテスタ１００に取り込み、その応答信号をテスタ１００側で期待値パターンと比較し、不一致の発生を検出して被試験ＩＣの不良個所を特定する等の判定動作を実行する。
【０００４】
測定部３００が着脱自在に装着されている理由
ここで被試験ＩＣの品種は多種類存在する。従って、例えばピン数が異なるＩＣを試験する場合には、各ＩＣに適合したＩＣソケットを実装した測定部に交換しなければならない。
また、ＩＣのピン数は各ＩＣの品種によって数１０ピンから数１００ピンに及ぶため、一度に試験することができるＩＣの数（以下同測数と称す）は大きく変動する。つまりテスタ１００から被試験ＩＣに試験パターン信号、或いは電源電圧、デバイスコントロール信号等を供給できるチャンネル数は１０００チャンネル程度、具体的には１０２４チャンネル用意されており、この１０２４チャンネルの信号系を適当に各ＩＣソケットＳＫに分配して試験を実行する。このためピン数の少ないＩＣを試験する場合には同測数を多く採ることができるが、ピン数が数１００ピンに及ぶＩＣを試験する場合には同測数は小さな数に制限される。
【０００５】
従って、各種のピン数のＩＣソケットを実装した測定部を用意し、これらの各測定部を利用して規格が異なるＩＣを試験することになる。
図４乃至図１０に各種の型式の測定部の例を示す。図４には型式Ｎo.５（ＴＹＰ＝５）と呼ばれる測定部の構造を示す。各図に示すＳＫはＩＣソケットの位置を示し、その内部に付した番号は各ＩＣソケット（各ＩＣソケットに接触する被試験ＩＣの番号にも対応）に付した番号を示す。
【０００６】
図４Ａは同測数がＳＵＭ＝３２個でＩＣソケットＳＫが４行８列（以下４×８と表記する）に配置された測定部、図４Ｂは同測数がＳＵＭ＝１６個でＩＣソケットＳＫが４×４に配置された測定部、図４Ｃは同測数がＳＵＭ＝８個でＩＣソケットＳＫが４×２に配置された測定部の例を示す。
なお、図４ＢとＣに示した０を付した部分はソケットＳＫが存在しないことを表している。図４に示す型式ＴＹＰ＝５で特徴とする共通項は、ＩＣソケットＳＫが４行全てに配置される点とＩＣソケットＳＫの番号を横方向に割り付けた点である。
【０００７】
これに対し図５は型式Ｎo.４（ＴＹＰ＝４）と呼ばれる測定部の構造を示す。図５においても、図５Ａは同測数ＳＵＭ＝３２でＩＣソケットＳＫが４×８で配列された測定部、Ｂは同測数ＳＵＭ＝１６でＩＣソケットＳＫが４×４で配列された測定部、Ｃは同測数ＳＵＭ＝８でＩＣソケットＳＫが４×２で配列された測定部の例を示す。図４と異なる点は、ＩＣソケットＳＫの番号を縦方向に割り付けている点である。ＩＣソケットＳＫの番号の割り付けは各ユーザの希望によって決められたものであり、技術的な違いはない。
【０００８】
図６は型式Ｎo.３（ＴＹＰ＝３）と呼ばれている測定部の構造を示す。この型式Ｎo.３の測定部は同測数がＳＵＭ＝８でＩＣソケットＳＫが２×４に配置された測定部を示す。この型式Ｎo.３ではＩＣソケットＳＫの位置と番号の割り付けがちどり状である点を特徴とし、図６に示す１種類だけである。
図７は型式Ｎo.２（ＴＹＰ＝２）と呼ばれている測定部３００の構造を示す。図７Ａは同測数ＳＵＭ＝１６でＩＣソケットＳＫが２×８に配置した測定部、図７Ｂは同測数ＳＵＭ＝８でＩＣソケットＳＫが２×４に配置した測定部、図７Ｃは同測数ＳＵＭ＝４でＩＣソケットＳＫが２×２に配置された測定部の構造を示す。型式Ｎo.２では全てＩＣソケットＳＫの番号の割り付けは横方向である。
【０００９】
図８は型式Ｎo.１（ＴＹＰ＝１）と呼ばれる測定部の構造を示す。図８Ａは同測数ＳＵＭ＝１６でＩＣソケットＳＫが２×８に配置された測定部、図８Ｂは同測数ＳＵＭ＝８でＩＣソケットＳＫが２×４に配置された測定部、図８Ｃは同測数ＳＵＭ＝４でＩＣソケットＳＫが２×２に配置された測定部を示す。この型式Ｎo.１は全てＩＣソケットＳＫの番号の割り付けは縦方向である。
【００１０】
図９と図１０は特殊な測定部の例を示す。図９は型式Ｎo.６（ＴＹＰ＝６）と呼ばれ、同測数はＳＵＭ＝８でＩＣソケットＳＫは横１段（１×８）に配列される。
図１０は型式Ｎo.７（ＴＹＰ＝７）と呼ばれ、同測数はＳＵＭ＝１６でＩＣソケットＳＫは横２段（２×８）に配列される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、測定部３００には各種の型式が用意され、これらの各型式の測定部３００を被試験ＩＣの品種に対応させて選択し試験を実行する。
試験の開始時に準備すべき事項
▲１▼  被試験ＩＣのピン数に合致したＩＣソケットＳＫを搭載した測定部を選択してテストヘッド２００に装着する。
【００１２】
▲２▼  テスタ１００の主制御器１０１に（図３参照）に測定部の型式に従って被試験ＩＣに番号を割り付けて識別する機能を持つテストプログラムをロードする。
▲３▼  ハンドラ４００に測定部の型式に従って被試験ＩＣをＩＣソケットＳＫに送り込む動作を行わせるための設定として、ＩＣソケットＳＫの配置４×８，４×４，４×２……等を設定手段３０１（図３参照）に設定する。
【００１３】
しかるに、従来はテストヘッド２００にどの型式の測定部３００を装着したかを確認する手段が無く、測定部３００を交換した際に操作者は間違いなくテスタ１００に対しては上記▲２▼の操作を、またハンドラ４００に対しては▲３▼の設定を行わなければならない。
これらの設定を怠ると試験は正常に行われず、悪くするとハンドラ４００のＩＣ供給手段或いは測定部３００のＩＣソケットＳＫ等を破損させたり、或いはＩＣソケットＳＫの番号を誤って認識することによって試験結果に従ってＩＣを分類する動作を間違えてしまう事故等が発生する不都合が生じる。
【００１４】
この発明の目的は、テストヘッドに或る種の測定部を装着すると、その測定部に対応した設定がテスタ側及びハンドラ側に設定されていない限り、テスタが起動されないように構成し、設定の間違いによる誤動作を防止することができるＩＣ試験装置を提供しようとするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明では各測定部に設けられ、各測定部の型式を表す電気信号を発信する型式信号発信手段と、テスタに設けられ、測定部が発信する型式信号を読み込む型式信号読込手段と、この型式信号読込手段で読み込んだ型式信号及びテスタに格納したテストプログラムによって指定されたＩＣの同測数とをハンドラに送り込む伝送手段と、ハンドラに設けられた伝送手段によって送られて来た同測数と型式信号とによって参照表から測定部上のＩＣソケットの配置を読み出し、この参照したＩＣソケットの配置と、自己に設定されたＩＣソケットの設定とを比較し、テストプログラム及びハンドラが正常に設定されているか否かを判定する判定手段と、この判定手段の判定結果により各設定が正常であるか否かをテスタに送り込む返送手段と、この返送手段により設定が良と通知されたことによりテスタを起動させ、不良と通知された場合はテスタの起動を阻止する起動・停止手段とを付加した構成としたものである。
【００１６】
この発明の構成によれば、測定部の交換に伴ってテスタ側のテストプログラム及びハンドラへの設定が正規に実行されない限り、判定手段は良と判定しないから、誤設定のままテスタが起動されることはない。
従って誤設定のまま試験を実行してハンドラを破損させてしまうような事故が起きるおそれはなく、また試験結果を誤って認識して、ＩＣを分類してしまうような事故が起きることもなく、取扱いが容易でしかも信頼性の高いＩＣ試験装置を提供することができる利点が得られる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１にこの発明によるＩＣ試験装置の実施例を示す。図１において図３と対応する部分には同一符号を付して示す。
この発明では測定部３００に各測定部３００の型式を表す電気信号を発信する型式信号発信手段３０１を設ける。この型式信号発信手段３０１としては、例えばディップスイッチを用いた設定手段或いは端子板におけるジャンパ線の接続によって複数ビットのＨ論理信号とＬ論理信号を発信させ、その複数ビットの論理信号によって測定部３００の型式Ｎo.を電気信号として発信させる構成の接点信号発信器を用いることができる。
【００１８】
測定部３００に装着した型式信号発信手段３０１は、測定部３００をテストヘッド２００に装着することにより、ＩＣソケットＳＫと共にテストヘッド２００に電気的に接続され、ケーブルＫＢ１を通じてテスタ１００に設けた型式信号読込手段１０２に接続される。
型式信号読込手段１０２は測定部３００に搭載した型式信号発信手段３０１が発信する型式信号ＴＹＰを読み込む。型式信号読込手段１０２は読み込んだ型式信号ＴＹＰを伝送手段１０３に受け渡す。伝送手段１０３には主制御器１０１からこの主制御器１０１にロードされたテストプログラムから、このテストプログラムに設定されている同測数ＳＵＭを抽出して入力し、この同測数ＳＵＭを型式信号ＴＹＰと共にケーブルＫＢ２を通じてハンドラ４００に送り込む。
【００１９】
ハンドラ４００には判定手段４０２と参照表４０３及び返送手段４０４が設けられる。判定手段４０２にテスタ１００から送られて来る型式信号ＴＹＰと同測数ＳＵＭとを入力する。
判定手段４０２は型式信号ＴＹＰと同測数ＳＵＭとから参照表４０３を参照し、装着されている測定部３００のＩＣソケットＳＫの配置を特定する。
【００２０】
つまり、参照表４０３は図２に示すように、型式信号ＴＹＰと同測数ＳＵＭとが対応して記憶され、型式信号ＴＹＰと同測数ＳＵＭとが決まるとＩＣソケットＳＫの配置を読み取ることができる構成とされる。
例えば、型式信号ＴＹＰがＴＹＰ＝１で、同測数ＳＵＭがＳＵＭ＝１６であった場合には、ＩＣソケットＳＫは図２から明らかなように、２×８（２行８列）の配置が特定される。これは図８Ａに示した測定部の構造と判定することができる。
【００２１】
また、型式信号ＴＹＰがＴＹＰ＝４で、同測数ＳＵＭがＳＵＭ＝３２であった場合には、ＩＣソケットＳＫは図２から明らかなように、４×８（４行８列）の配置とされ、これは図５Ａに示した測定部の構造と判定することができる。
更に、型式信号ＴＹＰがＴＹＰ＝５で、同測数ＳＵＭがＳＵＭ＝８であった場合には、ＩＣソケットＳＫは図２から明らかなように、４×２（４行２列）の配置とされる。これは図４Ｃに示した測定部の構造と判定することができる。
【００２２】
このようにテスタ１００から型式信号ＴＹＰと同測数ＳＵＭが送られてくることにより、ハンドラ４００では装着されている測定部３００のＩＣソケットＳＫの配置を特定することができる。従って、参照表４０３で特定したＩＣソケットＳＫの配置と、設定手段４０１に設定されているＩＣソケットの配置とを比較することにより、ハンドラ４００に設定したＩＣソケットの配置と実際に装着されている測定部３００のＩＣソケットの配列が一致しているか、否かを判定することができる。
【００２３】
更に、テスタ１００から送られて来る型式信号ＴＹＰと同測数ＳＵＭとの関係が参照表４０３に存在しない場合には、テスタ１００にロードしたテストプログラムが測定部３００の型式と対応していないことが解る。つまり、型式信号ＴＹＰがＴＹＰ＝４または５であるにも係わらず、テストプログラムから抽出した同測数ＳＵＭがＳＵＭ＝４或いは２であった場合には、ＴＹＰ＝４または５には対応する同測数が存在しないから、テスタ１００にロードされているテストプログラムが間違えていると判定することができる。
【００２４】
従って、ハンドラ側では自己に設定したＩＣソケットの配置が実際に装着されている測定部３００のＩＣソケットの配置と一致しているか否かとテスタ１００にロードしているテストプログラムが適正であるか否かを判定できることになる。
判定手段４０２の判定結果をアラーム発生器４０５に供給すると共に、返送手段４０４とケーブルＫＢ３を通じてテスタ１００に設けた起動・停止制御手段１０４に送られる。起動・停止制御手段１０４はハンドラ４００から設定が良であることを表す設定良信号ＯＫが送られてくると、主制御器１０１に起動信号を与え、試験を開始させる。
【００２５】
一方、判定手段４０２が設定が不良であることを表す設定不良信号ＮＧを発生した場合には、アラーム発生器４０５が起動されてアラームを発生すると共に、起動・停止制御手段１０４は主制御器１０１に設定が不良であったことを知らせ、表示器１０５に設定が不良であることを表示させ、主制御器１０１が起動されることを阻止する。また必要に応じてアラーム発生器１０６を起動させて、アラームを発生させることができる。
【００２６】
尚、上述では型式Ｎo.１，２及び４，５において３種類の測定部を総称して示したが、型式信号発信手段３０１に発信可能なビット数に余裕があれば全ての測定部について型式Ｎo を付与することもできる。このように全ての型式の測定部に型式Ｎo を付与した場合には、テスタ１００において測定部の型式Ｎo とＩＣソケットの配列と同測数の全てについてテストプログラムと対応するか否かについて判定することができる。
【００２７】
従ってテスタ１００側で測定部とテストプログラムとの対応関係が一致しているか否かを判定し、その判定結果が良であればハンドラ４００にＩＣソケットの配列を送り込み、ハンドラ４００に設定したＩＣソケットの配列と比較すれば二重の判定を行うことができる。
【００２８】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば被試験ＩＣの品種に対応して測定部３００を交換した場合、各測定部３００から型式信号ＴＹＰを読み取ることができ、しかもこの型式信号ＴＹＰとテストプログラムから抽出した同測数ＳＵＭをハンドラ４００に送り込むことにより、ハンドラ４００では型式信号ＴＹＰと同測数ＳＵＭとから参照表４０３により測定部３００のＩＣソケットＳＫの配列を知ることができる。
【００２９】
従って、この参照表４０３から読み取ったソケットの配列とハンドラ４００の設定手段４０１に設定したソケットの設定とが一致しているか否かによりハンドラ４００の設定が正常であるか否かを判定することができる。
また、テスタ１００からハンドラ４００に送られる同測数ＳＵＭが型式信号ＴＹＰに存在しない数値の場合には、テストプログラムが測定部３００の型式に適合していないことを意味するものであるから、主制御器１０１に適正なプログラムがロードされているか否かも判定することができる。
【００３０】
この判定結果が全て良であればテスタ１００が起動され、試験を開始するが、判定結果が不良である場合はテスタ１００は起動を阻止され、誤動作することはない。従って、誤設定のまま起動されてハンドラ４００の機構部分を破損させたり、ＩＣを誤分類するような事故が起きることを防止できるため取扱いが容易で、しかも信頼性の高いＩＣ試験装置を提供できる利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例を説明するためのブロック図。
【図２】図１に示した実施例に用いる参照表を説明するための図。
【図３】従来のＩＣ試験装置を説明するためのブロック図。
【図４】ＩＣ試験装置に用いられる測定部の種類を説明するための図。
【図５】図４と同様の図。
【図６】図４と同様の図。
【図７】図４と同様の図。
【図８】図４と同様の図。
【図９】図４と同様の図。
【図１０】図４と同様の図。
【符号の説明】
１００      テスタ
１０１      主制御器
１０２      型式信号読込手段
１０３      伝送手段
１０４      起動・停止制御手段
２００      テストヘッド
３００      測定部
３０１      型式信号発信手段
ＳＫ      ＩＣソケット
４００      ハンドラ
４０１      設定手段
４０２      判定手段
４０３      参照表
４０４      返送手段
４０５      アラーム発生器
【図１】
0003805888.tif 000002
【図２】
0003805888.tif 000003
【図３】
0003805888.tif 000004
【図４】
0003805888.tif 000005
【図５】
0003805888.tif 000006
【図６】
0003805888.tif 000007
【図７】
0003805888.tif 000008
【図８】
0003805888.tif 000009
【図９】
0003805888.tif 000010
【図１０】
0003805888.tif 000011