(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス通電により部材を接合するにあたり、接合すべき部材の接合面を互いに突き合わせ、突き合わせられた接合面を密着させるように加圧した状態で、接合すべき部材の任意な方向に一対の電極をあて、接合すべき部材のみに通電させることにより電流密度を上げ、接合界面間にデューティー比が８６〜９９．９％のパルス大電流を流すことによって、通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせた後に、接合すべき部材の固溶化温度以上、或いは溶融点の６０％以上からなる固溶化温度帯域にて、１乃至複数回にわたる相互拡散接合処理を行うことを特徴とする、パルス通電による部材の接合方法。
【請求項２】
接合すべき部材の接合面に予め薄膜を形成させておくことを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項３】
突き合わせられた接合面近傍を外部から強制的に加熱しながら通電させることを特徴とする、請求項１又は２記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パルス通電による部材の接合方法に関し、詳しくは衝撃試験、疲労試験等において、母材と同等の特性を有するものと認められるほどの強固な接合が得られる、パルス通電による部材の接合方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、溶接や蝋付けなどの接合法に代わり、パルス通電により部材の接合を行う方法が開発されている。
例えば、特開２００１−１７９４５９号公報は低放射化フェライト鋼の放電プラズマ焼結接合方法に関し、該公報には、接合しようとする低放射化フェライト鋼の接合面を、バフ研磨等により、表面粗さを０．２μｍ以下程度に仕上げ、放電プラズマ焼結装置を用い、真空下、加圧力：２００〜１０００ｋｇｆ／ｃｍ２、接合温度７６０〜１０００℃、接合保持時間：２０〜７０ｍｉｎ、の条件で接合を行い、放電プラズマ焼結接合の後、接合材を７４０〜８５０℃で２０〜６０ｍｉｎ程度の焼き戻し処理を施すことによる、低放射化フェライト鋼の放電プラズマ焼結低温接合方法が開示されている。
この方法によれば、低放射化フェライト鋼接合近傍の金属組織を粗粒化させることなく、母材の持つ機械的強度等の保持が可能であるとされている。
【０００３】
しかし、この方法においては、放電プラズマ焼結接合の後の焼き戻し温度は、歪み取りを目的とした母材の変態点近くの低い温度の「焼き戻し」低温領域であり、成分組織の安定化に寄与はするものの、変態点近くでは接合界面において強固な接合のための相互拡散は充分には行われず、短時間で強固な接合結果は得られない。
【０００４】
この方法では、母材の持つ機械的強度等の保持が可能であるとしているが、該公報には単なる静的引張試験結果が示されているに過ぎず、このような単なる静的引張試験結果のみでは母材と同等の特性と認定することは不可能である。最新の強化接着剤接合法や、接合面が粗面の場合の放電プラズマ焼結のみによる接合法でも、静的引張試験においてはほぼ母材と同等の特性が得られるからである。従って、接合強度試験においては、衝撃試験、疲労試験等が満足されて初めて母材の特性と同等であると言える。そこで、本発明者は、この方法について衝撃引張試験（落錘試験）を行ってみたところ、母材と同等であるものとは到底認められるものではなかった。さらに、接合界面に微小の隙間が認められた。
【０００５】
また、放電プラズマ焼結法は、粉体の焼結のための手法であるため、部材の接合のように固体接合に使用する場合には、接合部材に密着させ、周囲を囲むカーボン型を使用することにより、電流が接合部材とカーボン型の双方に流れるため、電流密度が低下し、接合促進を阻害するばかりでなく、接合部材の形状に大きな制約があるという実用面で最も大きな問題点がある。
さらに、接合部材の温度測定は、接合部材ではなく、接合部材を取り巻くカーボン型を間接的に測定しているため、接合温度数値は実際の接合部材温度と大きく異なり、使用できない。
【０００６】
また、特開２００２−５９２７０号公報には、接合対象の部材の接合面を相互に突き合わせ、この状態で接合面に所定の押圧力を加えながら当該接合面にパルス電流を流して、接合面を熱処理することにより、強固に接合された接合面を形成している。
【０００７】
この方法によれば、固体同士を強固に接合可能であるが、接合後における接合界面には組織の不連続性が残っているなどの改善すべき点があり、依然として、より強固、かつ確実に固体同士を接合しうる新たな接合方法が要望されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、これら従来の問題点を解決して、衝撃試験、疲労試験等において、母材と同等の特性を有するものと認められるほどの強固な接合が得られる、パルス通電による部材の接合方法を提供することを目的とするものである。
さらに、本発明は、接合すべき部材を極めて強固かつ確実に短時間で接合することのできるパルス通電による部材の接合方法を提供することを目的とするものである。
【０００９】
本発明者は、上記従来の問題点を解決すべく鋭意検討を重ねた。
その結果、本発明者は、接合部材を取り囲むカーボン型を使用せず、接合すべき部材のみに通電させることにより電流密度を上げ、接合界面間にデューティー比が８６〜９９．９％のパルス大電流を流すことによって、通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせた後に、接合すべき部材の固溶化温度以上、或いは溶融点の６０％以上からなる固溶化温度帯域にて相互拡散接合処理することにより、接合部材の接合界面間組織成分を充分に拡散させて、目的を達成しうることを見出し、かかる知見に基づいて本発明を完成するに到った。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
すなわち、請求項１に係る本発明は、パルス通電により部材を接合するにあたり、接合すべき部材の接合面を互いに突き合わせ、突き合わせられた接合面を密着させるように加圧した状態で、接合すべき部材の任意な方向に一対の電極をあて、接合すべき部材のみに通電させることにより電流密度を上げ、接合界面間にデューティー比が８６〜９９．９％のパルス大電流を流すことによって、通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせた後に、接合すべき部材の固溶化温度以上、或いは溶融点の６０％以上からなる固溶化温度帯域にて、１乃至複数回にわたる相互拡散接合処理を行うことを特徴とする、パルス通電による部材の接合方法を提供するものである。
【００１１】
請求項２に係る本発明は、接合すべき部材の接合面に予め薄膜を形成させておくことを特徴とする、請求項１記載の方法を提供するものである。
【００１２】
請求項３に係る本発明は、突き合わせられた接合面近傍を外部から強制的に加熱しながら通電させることを特徴とする、請求項１又は２記載の方法を提供するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を示す。
請求項１に係る本発明は、パルス通電による部材の接合方法に関し、パルス通電により部材を接合するにあたり、接合すべき部材の接合面を互いに突き合わせ、突き合わせられた接合面を密着させるように加圧した状態で、接合すべき部材の任意な方向に一対の電極をあて、接合すべき部材のみに通電させることにより電流密度を上げ、接合界面間にデューティー比が８６〜９９．９％のパルス大電流を流すことによって、通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせた後に、接合すべき部材の固溶化温度以上、或いは溶融点の６０％以上からなる固溶化温度帯域にて、１乃至複数回にわたる相互拡散接合処理を行うことを特徴とするものである。
【００１４】
請求項１に係る発明においては、パルス通電により部材を接合するにあたり、接合すべき部材の接合面を互いに突き合わせ、次に、このようにして互いに突き合わせられた接合面を密着させるように加圧し、この加圧した状態で、接合すべき部材の任意な方向に一対の電極をあて、接合すべき部材のみに通電させる。
【００１５】
ここで接合すべき部材は２本に限られず、３本以上の部材を同時に接合することもできる。棒状の部材の場合には、直列に複数本突き合わせた状態で加圧すれば、同時に複数の接合面を接合することができる。また、このように直列に接合した部材を複数組平行に配列して、これらを同時に加圧・通電すれば、より多数の接合を同時に行うことができる。
【００１６】
接合すべき部材としては、例えば、高速度工具鋼（ハイス鋼）、ダイス鋼（ＳＫＤ）、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などの鉄鋼材料；銅、アルミニウム、亜鉛、非鉄合金などの非鉄金属；ニッケル基耐熱合金、形状記憶合金、耐熱合金、防振合金、防音合金、シールド材などの特殊合金；放電プラズマ焼結体、ホットプレス焼結体などの焼結金属；高温になると導電性を呈するセラミックなどの部材；半導体；単結晶材料などが挙げられる。
【００１７】
本発明においては、上記した如き各種接合部材について、２種以上複数の部材を同時に接合することができ、同種部材同士で、或いは異種部材同士を組み合わせて接合することができる。
具体的には、鉄鋼材料同士の接合、鉄鋼材料と非鉄金属や特殊合金との接合、非鉄金属同士（アルミニウム同士、銅同士など）の接合、特殊合金同士の接合等を行うことができる。
また、形状記憶合金、磁性材、非磁性材などの組み合わせのように異なった特性を有する部材同士の接合にも用いることができる。
さらに、接合面の両面又は片面に任意な形状の加工溝を施し、接合によって、直線、曲線を含む流体の通路、細穴、スリット、溜まり場等を形成することができる。
【００１８】
本発明は、熱交換流路内蔵各種金型・液体気体材料の曲線通路内蔵マニホールド、タービンブレード、エンジンバルブ、ピストンヘッド、燃料電池冷却板、燃料噴射ノズル、繊維材料噴射ノズル、半導体発熱部冷却板、油圧部をはじめ、微小細穴スリットを有した極細パンチ型、光ファイバーコネクター及びターミナル部、ロケットエンジン燃焼部等冷却パイプ接合、磁性材非磁性材接合によるセンサー電磁弁などへ応用することができる。
【００１９】
接合すべき部材の形状は特に制限はなく、例えばバルク状（固体）でも良いし、１ｍｍ以下程度の薄膜状でも良いし、パイプ状、波板状などであっても良い。本発明は、これら各種形状の部材について、同一形状のもの同士、或いは異なる形状のもの同士の相互の接合に利用することができる。
なお、接合面は、平坦であっても良いし、両接合面間に隙間が形成されないようにすれば曲面であっても良い。
さらに接合面を、第１の部材の接合面と第２の部材の接合面が相互に密着するように、相補的な接合面形状に加工しておくこともできる。例えば、一方の接合部材の接合面が凸曲面の場合には、これと密着するような凹曲面を他方の接合部材の接合面形状として採用することもできる。
【００２０】
接合面は粗面でも良いが、接合面の平滑度が高いほど良好な結果が得られる。従って、接合面の両面又は片面には、研磨、バフ仕上げ等公知の方法により平滑化処理を施しておくことが好ましい。例えば、接合部材が鉄系の場合には、研磨処理により接合面の面粗度をＲａ＝０．３以上の鏡面に仕上げておくことが望ましい。銅やアルミニウムなど、前記鉄系の接合部材に比べて硬度の低い部材の場合には、これよりも粗い面粗度であっても差し支えない。
【００２１】
さらに強固に接合するために、請求項２に記載したように、接合すべき部材の接合面の両面又は片面に、予め薄膜を形成させておくことが好ましい。
薄膜の厚さは、一般的には０．１〜５μｍの範囲内である。０．１μｍ未満であると、薄膜形成による効果を期待することができない。一方、５μｍを超えると、薄膜が接合面に残存するおそれがある。
【００２２】
薄膜の形成方法としては、スパッタ蒸着法、プラズマ溶射法、メッキ法など特に制限されないが、膜厚制御が容易であり、均一な薄膜を形成することのできるスパッタ蒸着法によることが最も望ましい。例えば、単結晶材の接合は、接合面に極薄の薄膜をスパッタ蒸着をして接合すると良い結果が得られる。
【００２３】
薄膜としては、少なくとも接合過程において接合部材の母材組織内に拡散して消滅する成分であることが必要であり、その成分の少なくとも一部が、当該薄膜が形成される接合面の材質と同一のものであることが望ましい。とりわけ接合面と同一の材質の薄膜を形成させておくことが好ましい。このような薄膜は、接合過程において接合部材の母材組織内に拡散して消滅し、強固で確実に接合された接合面が形成される。なお、薄膜は、還元性のある成分を含むものであっても良い。
【００２４】
例えば、図１（ａ）に模式的に示すように、接合対象の第１の部材１と第２の部材２が同材質Ａである場合には、それらの接合面１ａ、２ａにそれぞれ同一素材からなる薄膜３、４を形成し、これら薄膜の接合面を接合界面５とする。この場合には、図１（ｂ）に模式的に示すように、これらの薄膜３、４が処理過程で各部材１、２内に拡散して消滅して、強固、かつ確実に接合された接合界面５ａが形成される。
【００２５】
また、図２（ａ）に模式的に示すように、接合対象の第１の部材１と第２の部材２が異材質Ａ、Ｂの場合には、それらの接合面１ａ、２ａにはそれぞれの部材と同一素材からなる薄膜６、７を形成し、これら薄膜の接合面を接合界面８とする。この場合においても、図２（ｂ）に模式的に示すように、これらの薄膜６、７が処理過程でそれぞれの部材１、２内に拡散して消滅して、強固、かつ確実に接合された接合界面８ａが形成される。
【００２６】
なお、上記薄膜の形成の代わりに、接合面の両面又は片面に、スパッタ、洗浄液等による清浄化を施し、接合界面の異物、酸化膜、不動態被膜等を除去して接合を行っても良い。
また、細穴、スリット、溜まり場等を内蔵させる接合部材の接合面や加工溝などに浸硫窒化、窒化処理、コーティング等の表面処理又は表面改質を行った後、接合し、接合部材の硬度、防錆効果を上げても良い。接合の後からの窒化処理では、極細穴、スリットの内部まで硬度を上げることができない。
【００２７】
本発明においては、上記のようにして接合面の両面又は片面を処理しておいた後、該接合面を互いに突き合わせる。
次に、このようにして互いに突き合わせられた接合面を密着させるように加圧し、この加圧した状態で、接合すべき部材の任意な方向に一対の電極をあて、接合すべき部材のみに通電させる。
【００２８】
接合面に対する加圧力は、部材の持つ固有の硬度、耐圧力等により様々に異なるが、一般には１〜７００ＭＰａの範囲内、好ましくは１０〜２００ＭＰａの範囲内とすれば良い。加圧方向は１軸方向のみでなく、直交する方向や斜め方向など、多軸方向から加えることもできる。
【００２９】
この加圧した状態で、接合すべき部材の任意な方向に一対の電極をあて、接合すべき部材のみに通電させる。
電極方向と接合界面加圧方向とは、異なっていても良いし、同じであっても良い。
接合部材と接する電極の形状は、接合部材の形状に合わせ、円盤状でも、通電可能なローラー状でも良いし、さらには彫り込んだものであっても良い。接合部材を挟む電極は、カーボン材でも、モリブデン材でも良い。
【００３０】
ここで「接合すべき部材のみに通電させる。」とは、接合すべき部材以外に通電するようなものを使用しないということであり、換言すると放電プラズマ焼結法で一般に用いられている、接合部材を取り囲むカーボン型を使用しないということである。
電極間に接合部材以外の接合部材を取り囲む通電可能なカーボン型を使用しないことによって、通電可能なカーボン型を使用することによる電流密度の低下を防ぎ、また、接合部材側帯部の直接温度制御を可能にして効率の良い接合をし、併せて、これまでカーボン型の中で円盤又は円柱状のみしかできなかった接合部材の形状的制約を排除し、任意な形状の接合が可能となり、飛躍的に接合範囲を拡大した。
【００３１】
このとき本発明においては、特に大型の部材を接合するときには、請求項３に記載したように、突き合わせられた接合面近傍を外部から強制的に加熱しながら通電させることが好ましい。これにより大型の部材を短時間に効率良く接合することができる。また、セラミック等の接合は、外部加熱をして一定の温度に達すると導電し、接合が可能である。但し、質量、熱容量の小さな接合材の場合には、外部からの強制加熱は行わなくとも良い。
このような外部から強制的に加熱する手段としては特に制限はないが、マイクロ波誘導加熱、ミリ波誘導加熱、サブミリ波誘導加熱などの誘導加熱方式が最も好ましい。この他に高周波加熱等が挙げられ、これらの１種を単独で、或いは２種以上を組み合わせて用いることができる。
外部から強制的に加熱する際の加熱時間は、接合部材の熱容量により異なるが、一般的には６０分以下とすれば良い。
【００３２】
本発明においては、上記したように接合部材を取り囲むカーボン型を使用せず、接合すべき部材のみに通電させることにより、電流密度を上げ、接合界面間にデューティー比が８６〜９９．９％のパルス大電流を流すことによって、通電衝撃による液相での接合界面の原子間微小溶融をさせる。
【００３３】
ここで本発明においては、デューティー比、つまりパルスのＯＮとＯＦＦの比（ＯＮ／ＯＮ＋ＯＦＦ）が８６〜９９．９％、好ましくは９０〜９９．９％、より好ましくは９０〜９９％のパルス大電流を流すことが必要である。この範囲外のパルス電流であると、短時間に通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせることができない。このようなデューティー比のパルス電流はこれまでプラズマ焼結接合において用いられていないものと認められる。
【００３４】
また、接合部材の質量、材質により異なるが、パルス電流としては、１００〜５００００Ａ、好ましくは３００〜３００００Ａの範囲のものが用いられ、電圧は１００Ｖ以下である。
【００３５】
このようなパルス大電流を流し、必要に応じて外部から強制的に加熱しながら通電させると、温度が上昇し、接合すべき部材の固溶化温度以上、或いは溶融点の６０％以上（好ましくは溶融点の６５％以上、９０％未満）からなる固溶化温度帯域まで達する。接合部材の質量、熱容量により異なるが、この固溶化温度帯域に達したときの温度（ピーク温度）、例えば鉄鋼材料などでは８７０℃、特に１０００℃を超えた温度を、０．５〜６０分間程度保持することにより、パルス大電流の通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせ、第一段階での接合を行う。このような液相状態での原子間微小溶融は、これまで全く行われていない。なお、この際には真空雰囲気としておくことが望ましいが、接合すべき部材によっては大気中でも可能である。或いは窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス下において行っても良い。
【００３６】
本発明においては、このようにして通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせた後に、引き続いて接合すべき部材の固溶化温度以上、或いは溶融点の６０％以上からなる固溶化温度帯域にて、１乃至複数回にわたる相互拡散接合処理を行う。このような相互拡散接合処理を行うことにより、完全にかつ短時間で接合することができる。特に接合部材の材質によっては、１回の相互拡散接合処理では完全に接合しない場合も考えられることから、１回だけでなく、それ以上の複数回にわたる相互拡散接合処理を行うことが好ましい。
これまでは焼結後にいわゆる焼き戻し処理などを行うことにより、固相状態で接合することは行われてきたが、これと本発明で行う相互拡散接合処理とは全く異なる。本発明のようなパルス通電における相互拡散接合処理はこれまで他に見られない。
【００３７】
このような相互拡散接合処理は、鉄鋼材料においては固溶化温度以上の固溶化温度帯域で行うことができ、それ以外の材料については溶融点の６０％以上、好ましくは６５％以上、９０％未満からなる固溶化温度帯域で行うことができる。接合すべき材料により異なるが、一般的には、８７０℃より高い温度帯域で、好ましくは１０００℃を超えた温度であり、また前記原子間微小溶融時の温度と同程度、或いはこれより若干高い温度である。
【００３８】
なお、この固溶化温度帯域でいう温度とは、あくまで接合面近傍表面、つまり接合面側帯表面を、例えば赤外線パイロスコープ、放射温度計、熱電対等を用いて測ったときの温度を指している。接合界面の温度は、実際には測定できないのが現状である。接合界面は、実際には極めて微小範囲であり、極めて短時間に溶融点以上の温度を繰り返し、微小局部においては材料成分の高温高圧蒸気状態を繰り返して塑性流動を促していると推測される。
固溶化温度帯域でいう温度は、異材質の場合には、いずれか低い方の固溶化温度或いは溶融点を基準としている。
【００３９】
この相互拡散接合処理を行う際には、パルス電流は流さない。また、加圧は特に必要ないが、前工程からの加圧をそのまま引き続いて行っても良い。相互拡散接合処理を行う際には、固溶化温度帯域に達したときの温度（ピーク温度）を３０〜１２０分間程度、好ましくは４５〜９０分間程度保持することが望ましい。これにより極めて強固かつ短時間に接合することができる。
【００４０】
本発明では、上記したように通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせた後に、引き続いて接合すべき部材の固溶化温度以上、或いは溶融点の６０％以上からなる固溶化温度帯域にて相互拡散接合処理すること、つまり一旦液相状態として原子間微小溶融をさせた後に、相互拡散接合処理すること、が必要である。
このような液相状態とした後の相互拡散接合処理は、あくまでパルス通電における液相状態とした後の相互拡散接合処理を指しており、従来公知の液相拡散接合とは異なっている。従来公知の液相拡散接合は、接合面間に低融点部材をインサートして行う場合に生ずる現象を指しており、明らかにここでいう液相状態とした後の相互拡散接合処理とは異なっているが、そのような液相状態での拡散がパルス通電においても生ずることが分かった。なお、この「液相状態とした後の相互拡散接合処理」は、溶融させて液相状態とした後に相互拡散させる点で、溶融させてはおらず固相状態で拡散させる「固相拡散」とは明確に異なる。
【００４１】
本発明は以上の如きものである。このようにして本発明によれば、極めて強固かつ短時間に接合することができる。なお、接合完成後、所望の公知各種熱処理を施すこともできる。
【００４２】
【実施例】
次に、本発明を実施例により詳しく説明するが、本発明はこれらによって何ら制限されるものではない。
【００４３】
試験例１（パルス電流のデューティー比の差による接合強度試験Ｉ）
（１）接合界面の液相での原子間微小溶融
縦１５ｍｍ、横１５ｍｍ、厚さ０．３ｍｍであって、図３（ａ）に示されるような形状の試験片（ＳＵＳ３０４）２個を用意した。
この試験片の各接合面をスパッタ洗浄した後、図３（ｂ）に示される向きにて互いに突き合わせ、該接合面を密着させるように１０ＭＰａの圧力で加圧した状態で、接合すべき試験片の両端に一対の電極をあて、接合すべき試験片のみに通電させることにより電流密度を上げ、接合界面間にデューティー比が９８％（パルス比９８：２）のパルス大電流を流すことによって、通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせた。このときの接合部温度（接合側帯部表面温度）は１０３０℃であり、保持時間は３分間であり、ピーク電流は３００Ａであった。
このようにして得られた接合試験片について、放冷後、図３（ｃ）に示される方向への剥離を行う剥離試験を行い、このときの剥離強度と剥離界面を観察した。
その結果、この接合試験片は、容易には剥離せず、１５０Ｎ／ｍｍ２にて剥離した。この接合試験片は、図４（電子顕微鏡写真像図）に示すように、全面に接合状態になる界面組織となっていた。
【００４４】
（２）液相での原子間微小溶融後の相互拡散接合処理
上記（１）において、液相での原子間微小溶融させた後の試験片について、この試験片を１０１０℃の温度で６０分間保持することにより、相互拡散接合処理した。
このようにして得られた接合試験片について、放冷後、図３（ｃ）に示される方向への剥離を行う剥離試験を行い、このときの剥離強度と剥離界面を観察した。
その結果、この接合試験片は剥離せず、引張部（折り曲げ部）より破断してしまった。参考値（ＪＩＳ）として、５２０Ｎ／ｍｍ２以上であると認められた。
【００４５】
試験例２（パルス電流のデューティー比の差による接合強度試験ＩＩ）
（１）接合界面の液相での原子間微小溶融
上記試験例１（１）において、デューティー比が８５％（パルス比１２：２）のパルス電流を流したこと以外は、上記試験例１（１）と同様にして行った。
この接合試験片は、接合していない箇所が多く、簡単に剥離した。参考値（ＪＩＳ）として、１５０Ｎ／ｍｍ２以下であると認められた。この接合試験片の剥離界面は図５（電子顕微鏡写真像図）に示す通りであった。
【００４６】
（２）液相での原子間微小溶融後の相互拡散接合処理
上記（１）において、液相での原子間微小溶融させた後の試験片について、上記試験例１（２）と同様にして、１０１０℃の温度で６０分間保持することにより、相互拡散接合処理し、剥離試験を行った。
その結果、この接合試験片は、上記（１）より強い剥離強度を持っていたものの、全面剥離した。
【００４７】
以上の試験例１と試験例２の結果によれば、パルス電流のデューティー比が高い試験例１の方が、接合に優位であることが分かる。
【００４８】
試験例３（パルス電流のデューティー比の差による接合状態の観察Ｉ）
最大直径２０ｍｍ、長さ９０ｍｍであり、そのうち接合部の直径が１５ｍｍ、その長さが２５ｍｍであって、図６に示されるような形状の試験片（ＳＵＳ３０４）４個を用意した。うち２個は以下に示す引張試験用に使用し、残りの２個は切断面状態観察用に使用した。
この試験片の各接合面をスパッタ洗浄した後、接合面同士を互いに突き合わせ、該接合面を密着させるように１０Ｍｐａの圧力で加圧した状態で、接合すべき試験片の両端に一対の電極をあて、接合すべき試験片のみに通電させることにより電流密度を上げ、接合界面間にデューティー比が９８％（パルス比９８：２）のパルス大電流を流すことによって、通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせた。このときの接合部温度（接合側帯部表面温度）は１０３０℃であり、保持時間は３分間であり、ピーク電流は５００Ａであった。
引き続いて、この試験片を１０１０℃の温度で６０分間保持することにより、相互拡散接合処理した。
このようにして得られた接合試験片について、放冷後、ＪＩＳ  Ｚ２２０１に基づいて引張試験を行い、このときの引張強度を測定した。その結果、この接合試験片の引張強度は５５０ＭＰaと優れていた。
また、このようにして得られた接合試験片について、接合したままの状態で接合界面に対して垂直に切断したときの切断面の状態を電子顕微鏡により観察した。その結果、この接合試験片の接合界面付近の切断面には、図７（電子顕微鏡写真像図）に示すように、接合部における隙間がほとんど見られなかった。
【００４９】
試験例４（パルス電流のデューティー比の差による接合状態の観察ＩＩ）
上記試験例３において、デューティー比が８５％（パルス比１２：２）のパルス電流を流したこと以外は、上記試験例３と同様にして行った。
その結果、この接合試験片の引張強度は４９５ＭＰaであった。また、この接合試験片の接合界面付近の切断面には、図８（電子顕微鏡写真像図）に示すように、接合部に隙間が見られた。
【００５０】
以上の試験例３と試験例４の結果によれば、パルス電流のデューティー比が高い試験例３の方が、試験例４に比べて引張強度並びに接合状態に優れることが分かる。
【００５１】
試験例５（液相での原子間微小溶融後の相互拡散接合処理温度による接合強度の相違Ｉ）
（１）衝撃（動的）引張試験
直径９ｍｍ、長さ２５ｍｍの丸棒状の試験片（Ｓ４５Ｃ）２個を用意した。
この試験片の各接合面をスパッタ洗浄した後、接合面同士を互いに突き合わせ、該接合面を密着させるように１０Ｍｐａの圧力で加圧した状態で、接合すべき試験片の両端に一対の電極をあて、接合すべき試験片のみに通電させることにより電流密度を上げ、接合界面間にデューティー比が９８％（パルス比９８：２）のパルス大電流を流すことによって、通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせた。このときの接合部温度（接合側帯部表面温度）は１０３０℃であり、保持時間は３分間であり、ピーク電流は５００Ａ（電圧２Ｖ）であった。
引き続いて、この試験片を１０１０℃の温度で６０分間保持することにより、相互拡散接合処理した。
このようにして得られた接合試験片について、放冷後、中央の接合面付近を長さ１０ｍｍにわたり直径３．６ｍｍとなるように切削加工すると共に、それ以外の部分を丸棒の面に沿って螺旋状にねじを切って、図９に示す如き形状の試験片を作成した。
このようにして得られた加工試験片について、衝撃（動的）引張試験（落錘試験）を行った。結果を図１０に示す。図中Ａ（１０１０℃）で示されるものが、この試験例５による衝撃（動的）引張試験（落錘試験）の結果である。
【００５２】
（２）回転曲げ疲労試験
直径１２ｍｍ、長さ４５ｍｍの丸棒状の試験片（Ｓ４５Ｃ）２個を用意した。この試験片の各接合面をスパッタ洗浄した後、接合面同士を互いに突き合わせ、該接合面を密着させるように１０Ｍｐａの圧力で加圧した状態で、接合すべき試験片の両端に一対の電極をあて、接合すべき試験片のみに通電させることにより電流密度を上げ、接合界面間にデューティー比が９８％（パルス比９８：２）のパルス大電流を流すことによって、通電衝撃による接合界面の液相での原子間微小溶融をさせた。このときの接合部温度（接合側帯部表面温度）は１０３０℃であり、保持時間は３分間であり、ピーク電流は５００Ａ（電圧２Ｖ）であった。
引き続いて、この試験片を１０１０℃の温度で６０分間保持することにより、相互拡散接合処理した。
このようにして得られた接合試験片について、放冷後、中央の接合面付近の最小直径が６ｍｍとなるように段階状に切削加工して、図１１に示す如き形状の試験片を作成した。
このようにして得られた加工試験片について、小野式回転曲げ疲労試験を行った。結果を図１２に示す。図中Ａ（１０１０℃）で示されるものが、この試験例５による回転曲げ疲労試験の結果である。
【００５３】
試験例６（液相での原子間微小溶融後の相互拡散接合処理温度による接合強度の相違ＩＩ）
（１）衝撃（動的）引張試験
上記試験例５の（１）において、８５０℃の温度で６０分間相互拡散接合処理を行ったこと以外は、上記試験例５の（１）と同様にして行った。結果を図１０に示す。図中Ｂ（８５０℃）で示されるものが、この試験例６による衝撃（動的）引張試験（落錘試験）の結果である。なお、接合を全く行わないで作成した加工試験片の結果を図１０にＣ（接合なし母材）として示す。
【００５４】
（２）回転曲げ疲労試験
上記試験例５の（２）において、８５０℃の温度で６０分間相互拡散接合処理を行ったこと以外は、上記試験例５の（２）と同様にして行った。結果を図１２に示す。図中Ｂ（８５０℃）で示されるものが、この試験例６による回転曲げ疲労試験の結果である。なお、接合を全く行わないで作成した加工試験片の結果を図１２にＣ（接合なし母材）として示す。
【００５５】
図１０と図１２によれば、衝撃（動的）引張試験（落錘試験）並びに回転曲げ疲労試験のいずれにおいても、試験例５で示されるように液相での原子間微小溶融後の相互拡散接合処理したもの（Ａ）が、試験例６によるもの（Ｂ）よりも断然優れており、接合なし母材のＣと同等であることが分かる。
【００５６】
【発明の効果】
請求項１に係る本発明の方法によれば、衝撃試験、疲労試験等において、母材と同等の特性を有するものと認められるほどの強固な接合が得られる、パルス通電による部材の接合方法が提供される。
さらに、請求項１に係る本発明の方法によれば、接合すべき部材を極めて強固かつ確実に短時間で、しかも低コストで接合することができる。
【００５７】
このように請求項１に係る本発明の方法によれば、衝撃試験、疲労試験等において、母材と同等の特性を有するものと認められるほどの強固な接合が得られることから、各種部材の接合に広く利用することができる。特に、接合面の両面又は片面に任意な形状の加工溝を施しておきさえすれば、本発明の方法による接合によって、直線、曲線を含む流体の通路、細穴、スリット、溜まり場等の複雑な形状を有する機械部品を容易に形成することができる。
【００５８】
従って、本発明の接合技術は、熱交換流路内蔵各種金型・液体気体材料の曲線通路内蔵マニホールド、タービンブレード、エンジンバルブ、ピストンヘッド、燃料電池冷却板、燃料噴射ノズル、繊維材料噴射ノズル、半導体発熱部冷却板、油圧部をはじめ、微小細穴スリットを有した極細パンチ型、光ファイバーコネクター及びターミナル部、ロケットエンジン燃焼部等冷却パイプ接合、磁性材非磁性材接合によるセンサー電磁弁などへ幅広く応用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のパルス通電による部材の接合方法における接合面に形成した同材質の薄膜の状態遷移を模式的に示す説明図である。
【図２】  本発明のパルス通電による部材の接合方法における接合面に形成した異材質の薄膜の状態遷移を模式的に示す説明図である。
【図３】  試験例１、２で使用した試験片を示す説明図である。（ａ）は接合前の試験片を示す説明図であり、（ｂ）は接合時の向きを示す説明図であり、（ｃ）は剥離方向を示す説明図である。
【図４】  試験例１で得られた接合試験片の電子顕微鏡写真像図である。
【図５】  試験例２で得られた接合試験片の電子顕微鏡写真像図である。
【図６】  試験例３、４で使用した試験片を示す説明図である。
【図７】  試験例３で得られた接合試験片の電子顕微鏡写真像図である。
【図８】  試験例４で得られた接合試験片の電子顕微鏡写真像図である。
【図９】  試験例５、６における衝撃（動的）引張試験において使用した接合試験片を示す説明図である。
【図１０】  試験例５、６における衝撃（動的）引張試験の結果を示すグラフである。
【図１１】  試験例５、６における回転曲げ疲労試験おいて使用した接合試験片を示す説明図である。
【図１２】  試験例５、６における回転曲げ疲労試験の結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１  第１の部材
２  第２の部材
１ａ  接合面
２ａ  接合面
３  薄膜
４  薄膜
５  接合界面
５ａ  接合界面
６  薄膜
７  薄膜
８  接合界面
８ａ  接合界面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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