(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動される被洗浄物の上面と下面とをそれぞれ上部洗浄ブラシと下部洗浄ブラシとを接触させて洗浄するブラシ洗浄装置において、
上記被洗浄物の板面に対してほぼ垂直な上下方向に沿って立設された取付け部材と、
この取付け部材に上記上下方向と交差する方向に所定の間隔で離間しかつ上下方向に沿って設けられた一対のガイド体と、
この一対のガイド体の一方にスライド自在に設けられた第１のスライド体および他方にスライド自在に設けられた第２のスライド体と、
上記第１のスライド体の上端部に設けられ上記上部洗浄ブラシを上記被洗浄物の上面側で軸線を被洗浄物の上面に対してほぼ平行にして回転自在に保持した上部保持手段と、
上記第２のスライド体の上端部に設けられ上記下部洗浄ブラシを上記被洗浄物の下面側で軸線を被洗浄物の下面に対してほぼ平行にして回転自在に保持した下部保持手段と、
上記第１のスライド体の下端側で上記ガイド体の一方にスライド自在に設けられ上記第１のスライド体の上下方向に沿うスライド位置を調整する第１の調整機構と、
上記第２のスライド体の下端側で上記ガイド体の他方にスライド自在に設けられ上記第２のスライド体の上下方向に沿うスライド位置を調整する第２の調整機構と、
中途部が上記取付け部材に回動自在に取付けられ一端が上記第１の調整機構に回動自在に連結され他端が上記第２の調整機構に回動自在に連結されたリンクと、
このリンクを回動駆動し上記第１のスライド体を上記第１の調整機構を介して下降方向へスライドさせ上記上部洗浄ブラシを被洗浄物の上面に接触させると同時に、上記第２のスライド体を上記第２の調整機構を介して上昇方向へスライドさせ上記下部洗浄ブラシを上記被洗浄物の下面に接触させる駆動手段と
を具備したことを特徴とするブラシ洗浄装置。
【請求項２】
上記取付け部材は、上下方向と交差する方向に沿う軸線を中心にして回動角度の調整自在に設けられていることを特徴とする請求項１記載のブラシ洗浄装置。
【請求項３】
上記第１および第２の調整機構は、上記ガイド体にスライド自在に設けられ上記リンクの端部が回動自在に連結される基体と、この基体に上記ガイド体と交差する方向に沿ってスライド自在に設けられ上面が上記第１および第２のスライド体の下端にスライド自在に当接するテ−パ面に形成された調整体と、この調整体を上記ガイド体と交差する方向に駆動することで上記各スライド体を上記ガイド体の上下方向に沿ってスライドさせる調整ねじとからなることを特徴とする請求項１記載のブラシ洗浄装置。
【請求項４】
上記上部および下部保持手段は、一対の支持部と、各支持部に回転自在に設けられ先端部に第１の係合部が形成された支持軸と、上記支持軸に螺合され先端部がテ−パ凸部に形成されたナット体とを具備し、
上記上部および下部洗浄ブラシは、外周面にブラシ部材が設けられたブラシ軸と、このブラシ軸の両端部に形成され上記第１の係合部にそれぞれ着脱自在に係合し上記ブラシ軸を上記支持軸と一体的に回転させる第２の係合部と、
上記ブラシ軸の端面に形成され上記第１の係合部と第２の係合部との係合状態を保持するために上記ナット体をブラシ軸の端面方向へ移動させることで上記テ−パ凸部が係合するテ−パ凹部と
を具備したことを特徴とする請求項１記載のブラシ洗浄装置。
【請求項５】
上記被洗浄物は回転駆動される支持ピンによって周辺部が支持され、この支持ピンが回転することで上記被洗浄物を回転させるようになっていて、
上記支持ピンは、回転駆動される駆動軸に取付けられる基軸部と、この基軸部の上端に着脱自在に取付けられた押え部材と、上記基軸部の上端に上記押え部材によって着脱自在に保持され上記被洗浄物の周辺部を支持する支持部材とからなることを特徴とする請求項１記載のブラシ洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は被洗浄物を回転させながらその上下面をロ−ル状の洗浄ブラシで洗浄するブラシ洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程においては、被洗浄物としての半導体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求される工程がある。上記半導体ウエハを洗浄する方式としては、洗浄液中に複数枚の半導体ウエハを浸漬するデイップ方式や半導体ウエハに向けて洗浄液を噴射して一枚づつ洗浄する枚葉方式があり、最近では高い清浄度が得られるとともに、コスト的に有利な枚葉方式が採用されることが多くなってきている。
【０００３】
枚葉方式の１つとして洗浄ブラシを用いたブラシ洗浄装置が知られている。このブラシ洗浄装置は半導体ウエハをほぼ水平な状態で回転駆動できるように保持するとともに、その上下両面側にロ−ル状の一対の洗浄ブラシを上下駆動できるように配置し、これら洗浄ブラシを上記半導体ウエハの上下面にそれぞれ接触させ、その接触部分に洗浄液を供給しながら上記半導体ウエハと洗浄ブラシとを回転させることで、上記半導体ウエハの上下両面を洗浄するようになっている。
【０００４】
上記半導体ウエハの上下面を所定の清浄度で洗浄するためには、上記半導体ウエハの上下両面に対して一対の洗浄ブラシが接触する圧力を調整できるようにすることが要求される。
【０００５】
従来、半導体ウエハの上下面に対して一対の洗浄ブラシが接触する圧力を調整できるようにするには、図８に示すブラシ駆動機構が用いられていた。このブラシ駆動機構は、それぞれガイド部１ａ、１ｂによって軸線を垂直方向に沿わせてスライド自在に設けられた第１のスライド体２と第２のスライド体３とを有する。
【０００６】
上記第１のスライド体２の上端には上部洗浄ブラシ４が軸線を水平方向に沿わせて回転駆動されるように設けられ、第２のスライド体３の上端には下部洗浄ブラシ５が軸線を水平方向に沿わせて回転駆動されるように設けられている。上部洗浄ブラシ４は被洗浄物としての半導体ウエハＵの上面を洗浄し、下部洗浄ブラシ５は下面を洗浄するようになっている。上記半導体ウエハＵは図示しない回転体に保持され、回転駆動されるようになっている。
【０００７】
各スライド体２、３の下端には第１のナット体２ａ、３ａが螺合され、各第１のナット体２ａ、３ａには係合ピン６ａ、６ｂが設けられている。各係合ピン６ａ、６ｂにはリンク７の両端部に形成された係合溝７ａがスライド自在に係合している。このリンク７の中途部は支軸８によって回動自在に支持されている。
【０００８】
上記リンク７の一端部には第２のナット体９が回動自在に設けられている。この第２のナット体９には駆動ねじ軸１１が固着されている。この駆動ねじ軸１１はサ−ボモ−タ１２の回転軸１２ａに連結されている。このサ−ボモ−タ１２は制御装置１３によって駆動制御されるようになっている。
【０００９】
したがって、上記サ−ボモ−タ１２が作動して駆動ねじ軸１１が回転駆動されることで、上記リンク７が支軸８を支点として矢印で示す反時計方向に回動させられるから、上部洗浄ブラシ４が下降して半導体ウエハＵの上面に接触し、下部洗浄ブラシ５が上昇して下面に接触するようになっている。
【００１０】
上記構成において、各洗浄ブラシ４、５の半導体ウエハＵの上下面に対する接触圧力を調整する場合、つぎのように行われていた。まず、サ−ボモ−タ１２を作動させてリンク７を反時計方向へ回動させ、上部洗浄ブラシ４と下部洗浄ブラシ５とを半導体ウエハＵの上面と下面とに接触させ、その位置を０点して制御装置１３に記憶させる。
【００１１】
その際、各スライド体２、３の下端に設けられたナット体２ａ、３ａを回転させて係合ピン６ａ、６ｂを移動させることで、上記０点において上部洗浄ブラシ４と下部洗浄ブラシ５とが半導体ウエハＵの上面と下面とに同じ圧力で接触するよう調整できる。
【００１２】
ついで、上記０点を基準にして接触圧力を設定する。つまり、所定の接触圧力を得るための上記各洗浄ブラシ４、５の０点からの移動量を算出し、その算出値に応じてサ−ボモ−タ１２による駆動ねじ１１の回転数を上記制御装置１３によって設定する。さらに、制御装置１３により、洗浄終了後にリンク７を時計方向に所定角度回動させて各洗浄ブラシ４、５を退避させるよう設定する。
【００１３】
以上の設定により、制御装置１３により、洗浄ブラシ４、５は半導体ウエハＵの上下面に所定の圧力で接触して洗浄し、洗浄が終了したならばその半導体ウエハＵを取り出し新たな半導体ウエハＵを供給するために退避させられることになる。
【００１４】
しかしながら、半導体ウエハＵに対する洗浄ブラシ４、５の接触圧力をサ−ボモ−タ１２により制御するようにすると、高価な部品であるサ−ボモ−タ１２やそれを制御する制御装置１３が必要となるから、コストアップや構成の複雑化を招くということがあるばかりか、その設定作業が容易でないなどのことがあった。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来は被洗浄物に対する洗浄ブラシの接触圧力を設定するためにサ−ボモ−タを用いていたので、コストアップや構成の複雑化を招いたり、設定作業に手間が掛かるなどのことがあった。
【００１６】
この発明は上記事情に基づきなされたもので、その目的とするところは、サ−ボモ−タを用いずに被洗浄物に対する洗浄ブラシの接触圧力を機械的に設定できるようにしたブラシ洗浄装置を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、回転駆動される被洗浄物の上面と下面とをそれぞれ上部洗浄ブラシと下部洗浄ブラシとを接触させて洗浄するブラシ洗浄装置において、
上記被洗浄物の板面に対してほぼ垂直な上下方向に沿って立設された取付け部材と、
この取付け部材に上記上下方向と交差する方向に所定の間隔で離間しかつ上下方向に沿って設けられた一対のガイド体と、
この一対のガイド体の一方にスライド自在に設けられた第１のスライド体および他方にスライド自在に設けられた第２のスライド体と、
上記第１のスライド体の上端部に設けられ上記上部洗浄ブラシを上記被洗浄物の上面側で軸線を被洗浄物の上面に対してほぼ平行にして回転自在に保持した上部保持手段と、
上記第２のスライド体の上端部に設けられ上記下部洗浄ブラシを上記被洗浄物の下面側で軸線を被洗浄物の下面に対してほぼ平行にして回転自在に保持した下部保持手段と、
上記第１のスライド体の下端側で上記ガイド体の一方にスライド自在に設けられ上記第１のスライド体の上下方向に沿うスライド位置を調整する第１の調整機構と、
上記第２のスライド体の下端側で上記ガイド体の他方にスライド自在に設けられ上記第２のスライド体の上下方向に沿うスライド位置を調整する第２の調整機構と、
中途部が上記取付け部材に回動自在に取付けられ一端が上記第１の調整機構に回動自在に連結され他端が上記第２の調整機構に回動自在に連結されたリンクと、
このリンクを回動駆動し上記第１のスライド体を上記第１の調整機構を介して下降方向へスライドさせ上記上部洗浄ブラシを被洗浄物の上面に接触させると同時に、上記第２のスライド体を上記第２の調整機構を介して上昇方向へスライドさせ上記下部洗浄ブラシを上記被洗浄物の下面に接触させる駆動手段と
を具備したことを特徴とする。
【００１８】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、上記取付け部材は、上下方向と交差する方向に沿う軸線を中心にして回動角度の調整自在に設けられていることを特徴とする。
【００１９】
請求項３の発明は、請求項１の発明において、上記第１および第２の調整機構は、上記ガイド体にスライド自在に設けられ上記リンクの端部が回動自在に連結される基体と、この基体に上記ガイド体と交差する方向に沿ってスライド自在に設けられ上面が上記第１および第２のスライド体の下端にスライド自在に当接するテ−パ面に形成された調整体と、この調整体を上記ガイド体と交差する方向に駆動することで上記各スライド体を上記ガイド体の上下方向に沿ってスライドさせる調整ねじとからなることを特徴とする。
【００２０】
請求項４の発明は、請求項１の発明において、上記上部および下部保持手段は、一対の支持部と、各支持部に回転自在に設けられ先端部に第１の係合部が形成された支持軸と、上記支持軸に螺合され先端部がテ−パ凸部に形成されたナット体とを具備し、
上記上部および下部洗浄ブラシは、外周面にブラシ部材が設けられたブラシ軸と、このブラシ軸の両端部に形成され上記第１の係合部にそれぞれ着脱自在に係合し上記ブラシ軸を上記支持軸と一体的に回転させる第２の係合部と、
上記ブラシ軸の端面に形成され上記第１の係合部と第２の係合部との係合状態を保持するために上記ナット体をブラシ軸の端面方向へ移動させることで上記テ−パ凸部が係合するテ−パ凹部と
を具備したことを特徴とする。
【００２１】
請求項５の発明は、請求項１の発明において、上記被洗浄物は回転駆動される支持ピンによって周辺部が支持され、この支持ピンが回転することで上記被洗浄物を回転させるようになっていて、
上記支持ピンは、回転駆動される駆動軸に取付けられる基軸部と、この基軸部の上端に着脱自在に取付けられた押え部材と、上記基軸部の上端に上記押え部材によって着脱自在に保持され上記被洗浄物の周辺部を支持する支持部材とからなることを特徴とする。
【００２２】
請求項１の発明によれば、上部洗浄ブラシと下部洗浄ブラシとの被洗浄物に対する接触圧力の調整は第１の調整機構と第２の調整機構とによって機械的に行うようにし、各洗浄ブラシの駆動は駆動手段によって行うようにした。各洗浄ブラシの接触圧力の調整と、駆動とを分離して行えることで、複雑な制御を行わずにすみ、しかも高価な部品を使わずにすむ。
【００２３】
請求項２の発明によれば、洗浄ブラシや調整機構などが設けられた取付け部材を被洗浄物に対して角度調整できるため、被洗浄物に対して洗浄ブラシを平行に位置決めすることができる。
【００２４】
請求項３の発明によれば、第１、第２の調整機構を上面がテ−パ面に形成された調整体およびこの調整体を駆動する調整ねじとから構成したことで、簡単な構成で確実に洗浄ブラシが設けられたスライド体を位置決め調整することができる。
【００２５】
請求項４の発明によれば、洗浄ブラシを保持する保持手段として洗浄ブラシを支持軸に保持固定する際、ナット体のテ−パ凸部を、洗浄ブラシのブラシ軸に形成されたテ−パ凹部に係合させるようにしたから、上記支持軸の軸心に上記洗浄ブラシのブラシ軸心を精度よく一致させることができる。
【００２６】
請求項５の発明によれば、被洗浄物を支持する支持ピンを基軸部、押え部材および支持部材とから構成し、被洗浄物を支持する支持部材を使用に伴い摩耗したならば交換することができる。
【００２７】
【発明の実施形態】
以下、この発明の一実施形態を図１乃至図７を参照して説明する。
図２に示すブラシ洗浄装置は筐体２１を備えている。この筐体２１の内部には仕切板２２が設けられ、この内部を上部室２３と下部室２４とに隔別している。上部室２３には被洗浄物としての半導体ウエハＵを保持して回転させる保持機構２５が設けられている。この保持機構２５はそれぞれ４本の内側支持ピン２６と外側支持ピン２７とが周方向に９０度間隔で配置されている。
【００２８】
各支持ピン２６、２７は図７に示すように駆動軸２８の上端のねじ部２８ａに着脱自在にねじ込まれた基軸部２９ａを有する。この基軸部２９ａはピ−ク材などの合成樹脂によって形成されていて、その上端面には弗素樹脂などによって形成された押え部材２９ｂがねじ３１によって着脱自在に取付けられている。この押え部材２９ｂの外周面下端側には段部３２が形成され、この段部３２にはゴムなどの摩擦係数の高い材料によってリング状に形成された支持部材２９ｃが設けられ、上記基軸部２９ａの上端面とで挟持固定されている。
【００２９】
４本の内側支持ピン２６の支持部材２９ｃには図４に鎖線で示すように所定径の半導体ウエハＵ1 が周辺部を係合載置して保持される。したがって、内側支持ピン２６が図中矢印で示す反時計方向に回転駆動されれば、上記半導体ウエハＵ1 は上記支持部材２９ｃとの接触摩擦によって逆方向である時計方向に回転駆動されるようになっている。
【００３０】
４本の外側支持ピン２７には内側支持ピン２６に支持される半導体ウエハＵ1 よりも大径な半導体ウエハＵ2 が周辺部を係合させて保持される。外側支持ピン２７が矢印で示す反時計方向に回転駆動されれば、上記半導体ウエハＵ2 は支持部材２９ｃとの接触摩擦によって時計方向に回転駆動されることになる。つまり、内側支持ピン２６と外側支持ピン２７とを設けることで、サイズの異なる半導体ウエハＵ1 、Ｕ2 を保持できるようになっている。
【００３１】
なお、外側支持ピン２７に半導体ウエハＵ2 を保持する場合、内側支持ピン２６は駆動軸２８のねじ部２８ａから取り外される。
上記各支持ピン２６、２７が取付られた駆動軸２８は図３に示すようにそれぞれ軸受筒体３２によって上部と下部とが軸受３２ａにより回転自在に支持されている。各軸受筒体３２は上記仕切板２２に形成された通孔３３に挿通され、下部室２４に水平に配置された取付板３４に立設されている。
【００３２】
上記軸受筒体３２の上部室２３に位置する部分は上部カバ−３５によって覆われている。この上部カバ−３５は上記通孔３３よりも大径に形成され、図４に示すように２組の内側支持ピン２６と外側支持ピン２７とを覆う大きさに設定されている。
【００３３】
上記通孔３３の周辺部には上記上部カバ−３５の内部に入り込む下部カバ−３６が立設されている。それによって、上記半導体ウエハＵを洗浄するときに使用される洗浄液が上記通孔３３から仕切板２２の下面側へ侵入するのを阻止するラビリンス構造になっている。
【００３４】
上記各支持ピン２６、２７を回転駆動する駆動軸２８は取付板３４の下面側に突出し、各突出端部には従動歯車３８が嵌着されている。内側支持ピン２６の駆動軸２８に嵌着された従動歯車３８は外側支持ピン２７の駆動軸２８に嵌着された従動歯車３８よりも上方に位置している。
【００３５】
各従動歯車３８は駆動歯車３９に噛合している。この駆動歯車３９は上部歯車部３９ａと下部歯車部３９ｂとが一体的に形成されていて、上部歯車部３９ａに上記内側支持ピン２６の従動歯車３８が噛合し、下部歯車部３９ｂに外側支持ピン２６の従動歯車３８が噛合している。
【００３６】
上記駆動歯車３９は駆動モ−タ４１の回転軸４１ａに取付けられている。この駆動モ−タ４１は上記取付板３４にブラケット４２を介して取付けられている。したがって、上記駆動モ−タ４１が作動して駆動歯車３９が回転されると、この回転に連動する従動歯車３８を介して駆動軸２８、つまり内側支持ピン２６と外側支持ピン２７とが回転駆動されるようになっている。
【００３７】
なお、図７に示すように各支持ピン２６、２７の基軸部２９ａの下端部には凹部４３が形成され、上記上部カバ−３５には上記凹部４３に入り込むフランジ４４が突設されている。それによって、上記上部カバ−３５の駆動軸２８が挿通された部分からその内部へ洗浄液が侵入するのを防止するラビリンス構造となっている。
【００３８】
上記仕切板２２の下面側には上面側に連通する複数の排出管４５が接続されている。各排出管４５は図２に示すようにチュ−ブ４６を介して気液分離器４７に接続されている。この気液分離器４７は上記排出管４５から排出される気体と液体とを分離する。分離された液体は排液管４８によって排液され、気体は排気管４９によって排気されるようになっている。
【００３９】
上記内側支持ピン２６あるいは外側支持ピン２７に保持された半導体ウエハＵの上下面は上部洗浄ブラシ５１と下部洗浄ブラシ５２とによってブラシ洗浄されるようになっている。各洗浄ブラシ５１、５２は駆動機構５３によって上記半導体ウエハＵの上下面に接触する洗浄状態と、半導体ウエハＵの上下面から所定距離離間する位置に退避する退避状態とに駆動されるようになっている。
【００４０】
上記駆動機構５３は図２に示すように上記取付板３４の下面に上端を固定して垂設されたベ−ス板５４を有する。このベ−ス板５４の一方の板面側には図６に示すように平板状の取付け部材５５の一方の板面が接合され、支軸５６によって回動自在に保持されている。
【００４１】
上記取付け部材５５には図１に示すように上記支軸５６を中心として所定の半径で４つの長孔５７が形成され、各長孔５７から上記ベ−ス板５４にねじ５８が螺合されている。したがって、上記ねじ５８を緩めることで、上記取付け部材５５は支軸５６を中心として長孔５７の範囲内で左右方向へ回動させることができるようになっている。
【００４２】
上記取付け部材５５の他方の板面にはレ−ル状の一対のガイド体６１（図６に示す）が所定の間隔で、かつ上下方向に沿って設けられている。一方のガイド体６１には第１のスライド体６２がスライド自在に設けられ、他方のガイド体６１には第２のスライド体６３がスライド自在に設けられている。
【００４３】
各スライド体６２、６３は図１に示すように上記ガイド体６１にスライド自在に係合するスライダ６４が設けられた基部６５と、この基部６５の上端面に立設された支柱部６６とからなる。
【００４４】
各スライド体６２、６３の支柱部６６は、仕切板２２に形成された通孔６７を貫通して上部室２３に突出ている。この貫通部は、図１に示すように上部カバ−７０ａと下部カバ−７０ｂとによって洗浄液が侵入するのを阻止するラビリンス構造となっている。
【００４５】
上記第１のスライド体６２の支柱部６６の上端には上部支持板６８が水平に取付けられ、第２のスライド体６３の支柱部６６の上端には下部支持板６９が水平に取付けられている。
【００４６】
各支持板６８、６９には図４と図５に示すようにコ字状の凹部７１ａによって一対の支持部７１が所定の間隔で形成されている。各支持部７１にはそれぞれ支持軸７２が軸線を一致させるとともに軸受７３によって回転自在に支持されている。各支持軸７２の上記凹部７１ａ側に突出した一端部にはねじ７４が形成され、そのねじ７４にはナット体７５およびこのナット体７５の移動を阻止するために固定ナット７６が螺合されている。上記ナット体７５の先端部は外周面を傾斜させたテ−パ凸部７７に形成されている。さらに支持軸７２の先端面には第１の係合部としての係合凹部７８が径方向に貫通して形成されている。
【００４７】
一方の支持軸７２の後端部は軸受７３から突出し、その突出端には従動プ−リ７９が嵌着されている。
上部支持板６８の上面の幅方向一端側には上部駆動モ−タ８１が配置され、下部支持板６９の上面の幅方向他端側には下部駆動モ−タ８２が配置されている。各駆動モ−タ８１、８２の回転軸８１ａ、８２ａには駆動プ−リ８３が嵌着されている。
【００４８】
上部駆動モ−タ８１の駆動プ−リ８３と上部支持板６８の一方の支持軸７２に設けられた従動プ−リ７９とには第１の駆動ベルト８４が張設され、下部駆動モ−タ８２の駆動プ−リ８３と下部支持板６９の一方の支持軸７２に設けられた従動プ−リ７９とには第２の駆動ベルト８５が張設されている。
【００４９】
上部支持板６８の一対の支持軸７２には上記上部洗浄ブラシ５１が保持され、下部支持板６９の一対の支持軸７２には上記下部洗浄ブラシ５２が支持される。したがって、上記各駆動モ−タ８１、８２が作動することで、上記各洗浄ブラシ５１、５２が回転駆動されるようになっている。
【００５０】
上記支持軸７２による各洗浄ブラシ５１、５２の支持構造は図５に示すようになっている。つまり、洗浄ブラシ５１、５２はブラシ軸８６を有する。ブラシ軸８６の外周面にはたとえばスポンジなどの筒状のブラシ部材８７が装着されている。ブラシ軸８６の両端部はブラシ部材８７から突出し、その突出端部には上記支持軸７２の係合凹部７８に係合する係合凸部８８が径方向全長にわたって形成されている。さらに、ブラシ軸８６の端面には上記ナット体７５の先端部に形成されたテ−パ凸部７７が係合する環状のテ−パ凹部８９が形成されている。
【００５１】
したがって、各洗浄ブラシ５１、５２は、各支持軸７２に螺合されたナット体７５を図５に鎖線で示すように後退させた状態で、そのブラシ軸８６の両端部に形成された係合凸部８８を一対の支持軸７２の係合凹部７８に係合させる。
【００５２】
ついで、上記ナット体７５を図５に実線で示す前進方向へ回転させることで、このナット体７５が上記係合凹部７８と係合凸部８８の係合部分を覆ってその係合状態を保持し、さらに先端部のテ−パ凸部７７がテ−パ凹部８９に係合することで、ブラシ軸８６の軸心が支持軸７２の軸心に一致されることになる。
【００５３】
つまり、各洗浄ブラシ５１、５２はナット体７５を後退位置から前進方向へ回転させることで、支持軸７２に対して軸心を一致させた状態で連結固定されることになる。
【００５４】
図１に示すように、上記取付け部材５５には、上記第１のスライド体６２と第２のスライド体６３の下方にそれぞれ第１の調整機構９１と第２の調整機構９２とが設けられている。
【００５５】
各調整機構９１、９２はそれぞれのガイド体６１にスライダ９３ａを介してスライド自在に設けられたほぼ三角形の板状の基体９３を有する。この基体９３の上端面はほぼ水平になっていて、その水平部にはＬ字状のテ−ブル９４が設けられている。このテ−ブル９４の上には上面がテ−パ面９５ａに形成された調整体９５が上記テ−ブル９４に沿う水平方向にスライド自在に設けられている。
【００５６】
上記調整体９５の一端部には調整ねじ９６が螺合されている。この調整ねじ９６は上記基体９３の幅方向一端部に設けられた支持部９７に回転自在に支持され、他端部にはハンドル９８が設けられている。したがって、上記調整ねじ９６を回転させることで、上記調整体９５を上記テ−ブル９４に沿ってスライドさせることができるようになっている。
【００５７】
上記調整体９５のテ−パ面９５ａには上記各スライド体６１、６２の下端に設けられたカムフォロア９９が当接している。したがって、上記調整体９５がスライドすると、上記各スライド体６１、６２は取付け部材５５に設けられたガイド体６１に沿って上下動するようになっている。なお、上記調整ねじ９６は図２に示すストッパ９６ａによって回転不能に固定される。それによって、調整体９５がスライドするのが阻止される。
【００５８】
図１に示すように、上記取付け部材５５の下端部で、一対のスライド体６１、６２の中間部にはリンク１０１の中途部が支軸１０２によって回動自在に支持されている。このリンク１０１の両端部にはそれぞれ長孔１０３が形成されている。
【００５９】
上記各調整機構９１、９２の基体９３の板面の下端部にはそれぞれ係止軸１０４が突設されている。各係止軸１０４は上記リンク１０１の長孔１０３に係合している。
【００６０】
上記リンク１０１には駆動手段としてのシリンダ１０５のロッド１０６が回動自在に連結されている。図２に示すように、上記シリンダ１０５は下部室２４に上記ベ−ス板５４と一体的に設けられた支持部材１０７にスタッド１０７ａによって揺動自在に連結されている。
【００６１】
図１は上部洗浄ブラシ５１と下部洗浄ブラシ５２とが半導体ウエハＵの上下面から退避した状態を示しており、この退避状態においてリンク１０１は第１の調整機構９１に連結された一端部が上方に位置する状態で傾斜し、下方となる他端部側に上記シリンダ１０５のロッド１０６が連結されている。この退避状態において、上記シリンダ１０５のロッド１０６は没入方向の後退限にある。
【００６２】
上記シリンダ１０５のロッド１０６が突出方向に駆動されると、上記リンク１０１が図１に矢印で示す反時計方向に回動する。それによって、第１の調整機構９１が下降し、第２の調整機構９２が上昇するから、これら調整機構９１、９２の動きに第１のスライド体６２と第２のスライド体６３とが連動する。つまり、上記シリンダ１０５のロッド１０６が突出方向の前進限まで駆動されると、上部洗浄ブラシ５１が下降し、下部洗浄ブラシ５２が上昇し、これら洗浄ブラシが半導体ウエハＵの上下面にそれぞれ接触する洗浄状態に後述するごとく位置決めされることになる。
【００６３】
上記シリンダ１０５による上部洗浄ブラシ５１の下降と、下部洗浄ブラシ５２の上昇とは重量的にバランスがとれている。そのため、上記各洗浄ブラシ５１、５２の上下駆動を小型のシリンダ１０５によって行うことができる。
【００６４】
上記第１、第２のスライド体６２、６３の基部６５の一側にはそれぞれダイヤルゲ−ジ１０８が設けられている。各ダイヤルゲ−ジ１０８のスピンドル１０８ａは、各洗浄ブラシ５１、５２を洗浄状態に変位させたときに、取付け部材５５の両側に設けられた当接体１０９に当接するようになっている。
【００６５】
なお、洗浄状態においては、図示せぬ洗浄液の供給ノズルから上記半導体ウエハＵの上面と下面とに洗浄液が供給されるようになっている。
つぎに、上記構成のブラシ洗浄装置において、半導体ウエハＵを洗浄する前に、上部洗浄ブラシ５１と下部洗浄ブラシ５２とを上記半導体ウエハＵに接触する圧力、つまり押付け量を設定する作業について説明する。
【００６６】
まず、最初にシリンダ１０５のロッド１０６を図１に示す後退限から前進限へ突出させる。それによって、リンク１０１が図１に矢印で示す反時計方向へ回動するから、上部洗浄ブラシ５１が下降し、下部洗浄ブラシ５２が上昇する。
【００６７】
つぎに、第１の調整機構９１の調整ねじ９６をハンドル９８によって回転させて調整体９５をスライドさせ、上部洗浄ブラシ５１を上昇あるいは下降させることで、そのブラシ部材８７が半導体ウエハＵの上面に変形することなく接触する状態に位置決めする。その状態でダイヤルゲ−ジ１０８の目盛り盤を回転させ、その０点に指針を合わせる。つまり、上部洗浄ブラシ５１が半導体ウエハＵの上面に圧力を加えることなく接触する０点を設定する。
【００６８】
上部洗浄ブラシ５１の０点を設定したならば、調整ねじ９６を回転させて調整体９５を後退方向へスライドさせ、上部洗浄ブラシ５１を下降させることで半導体ウエハＵの上面に所定の圧力で圧接させる。その際、上部洗浄ブラシ５１のブラシ部材８７が弾性変形し、その変形量はダイヤスゲ−ジ１０８によって分かるから、上部洗浄ブラシ５１の半導体ウエハＵに対する押圧力を所定の値に設定できる。
【００６９】
同様に、下部洗浄ブラシ５２を半導体ウエハＵの下面に対して所定の押圧力で接触させる。つまり、下部洗浄ブラシ５２が半導体ウエハＵの下面に弾性変形することなく接触する状態の０点を設定したならば、その状態をダイヤルゲ−ジ１０８の目盛り盤の０に合わせ、その位置から第２の調整機構９２の調整体９５を前進方向へ駆動することで、第２のスライド体６３を介して下部洗浄ブラシ５２を所定寸法上昇させる。それによって、下部洗浄ブラシ５２の半導体ウエハＵに対する押圧力を所定の値に設定できる。
【００７０】
このようにして、半導体ウエハＵの上下面に対する各洗浄ブラシ５１、５２の押圧力を設定したならば、その状態で各調整機構９１、９２の調整ねじ９６をストッパ９６ａによって回転不能に固定することで、その設定状態を維持することができる。つまり、各洗浄ブラシ５１、５２のブラシ部材８７が所定量摩耗するまでは、半導体ウエハＵに対する各洗浄ブラシ５１、５２の押圧力を所定の範囲に維持することができる。
【００７１】
すなわち、上記構成のブラシ洗浄装置によれば、上下駆動される各洗浄ブラシ５１、５２と、これら洗浄ブラシを上下駆動するシリンダ１０５との間に、それぞれ調整機構９１、９２を介在させたことで、洗浄状態における半導体ウエハＵの上下面に対する各洗浄ブラシ５１、５２の接触圧力を上記調整機構９１、９２によって機械的に設定することができる。
【００７２】
しかも、各洗浄ブラシ５１、５２の退避状態は、シリンダ１０５のロッド１０６を前進限まで駆動させることで行われるから、各洗浄ブラシ５１、５２を洗浄状態から退避状態へ駆動させる場合にも、機械的に行うことができる。
【００７３】
すなわち、サ−ボモ−タを用いた従来のように、制御装置によって駆動を制御するということをせずに、一対の洗浄ブラシ５１、５２を機械的に洗浄状態と退避状態とに移動させることができるから、複雑な制御構造を採用せずにすむばかりか、各洗浄ブラシ５１、５２の接触力の設定を精度の低下を招くこともない。
【００７４】
各洗浄ブラシ５１、５２は、ブラシ軸８６の両端面に形成されたテ−パ凹部８９に、支持軸７２に螺合されたナット体７５の先端部のテ−パ凸部７７を係合させることで、上記支持軸７２に連結固定されている。そのため、上記テ−パ凸部７７と上記テ−パ凹部８９との係合によって支持軸７２の軸心にブラシ軸８６の軸心を一致させることができるから、各洗浄ブラシ５１、５２の取付け精度を一定にすることができる。
【００７５】
第１のスライド体６２と第２のスライド体６３とを介して各洗浄ブラシ５１、５２がスライド自在に保持された取付部材５５はベ−ス板５４に対して支軸５６によって回動方向の角度調整自在に設けられている。そのため、各洗浄ブラシ５１、５２の軸線を半導体ウエハＵの板面に対して平行になるよう設定することができるから、洗浄時に各洗浄ブラシ５１、５２の軸方向全長を半導体ウエハＵの板面に対して均一に当接させることができる。
【００７６】
半導体ウエハＵを支持して回転駆動する内側支持ピン２６あるいは外側支持ピン２７は、図７に示すように基軸部２９ａに対して上記半導体ウエハＵの周辺部が係合する支持部材２９ｃを着脱できる構造にした。そのため、長期の使用によって上記支持部材２９ｃが摩耗したならば、その支持部材２９ｃだけを新たなものに交換することができるから、支持ピン２６、２７全体を交換する場合に比べてコストの大幅な低減が計れる。
【００７７】
この発明は上記一実施形態に限定されず、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。たとえば、各洗浄ブラシが半導体ウエハを押圧する押圧力を設定するのに、ダイヤルゲ−ジを用いたが、ダイヤルゲ−ジを用いずに、調整ねじの回転数によって押圧力を設定するようにしてもよいこと勿論である。
【００７８】
また、被洗浄物としては半導体ウエハに限らず、液晶用ガラス基板であってもよく、要は精度よく洗浄する必要のあるものであれば、この発明を適用することができる。
【００７９】
また、上下の洗浄ブラシを駆動するための駆動手段としてシリンダを用いたが、シリンダに代わりリニアモ−タを用いてもよく、要はコンピュ−タ制御せずにリンクを所定の範囲で回動させることができるものであればよい。
【００８０】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、上部洗浄ブラシと下部洗浄ブラシとの被洗浄物に対する接触圧力の調整は第１の調整機構と第２の調整機構とによって機械的に行うようにし、各洗浄ブラシの駆動は駆動手段によって行うようにした。
【００８１】
そのため、各洗浄ブラシの接触圧力の調整と、駆動とを分離して行えるから、従来のようにサ−ボモ−タなどの高価な部品を用いて複雑な制御をせずにすむため、構成が簡単となるばかりか、コストの低減を計ることもできる。
【００８２】
請求項２の発明によれば、洗浄ブラシや調整機構などが設けられた取付け部材を被洗浄物に対して角度調整できるため、被洗浄物に対して洗浄ブラシを平行に位置決めすることができる。
【００８３】
そのため、洗浄ブラシの軸線方向を全長にわたって均一に被洗浄物に圧接させることができるから、被洗浄物の全面を均一に洗浄することができる。
請求項３の発明によれば、第１、第２の調整機構を上面がテ−パ面に形成された調整体およびこの調整体を駆動する調整ねじとから構成した。
【００８４】
そのため、簡単な構成で確実に洗浄ブラシが設けられたスライド体を位置決め調整することができる。
請求項４の発明によれば、洗浄ブラシを支持軸に保持固定する際、ナット体のテ−パ凸部を、洗浄ブラシのブラシ軸に形成されたテ−パ凹部に係合させるようにした。
【００８５】
そのため、上記支持軸の軸心に上記洗浄ブラシの軸心を精度よく一致させることができるから、上記洗浄ブラシを芯ずれが生じるようなことなく高精度に取付けることができる。
【００８６】
請求項５の発明によれば、被洗浄物を支持する支持ピンを基軸部、押え部材および支持部材とから構成し、被洗浄物を支持する支持部材を使用に伴い摩耗したならば交換することができるようにしたから、支持ピン全体を交換しなければならなかった従来に比べてコストの低減を計ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態の一対の洗浄ブラシを上下駆動する機構を示す正面図。
【図２】同じく側面図。
【図３】同じく半導体ウエハを回転駆動する機構の断面図。
【図４】同じく洗浄ブラシの配置状態の平面図。
【図５】同じく洗浄ブラシの支持構造の断面図。
【図６】同じくスライド体の支持構造の断面図。
【図７】同じく支持ピンの構造を示す断面図。
【図８】従来の構造を示す説明図。
【符号の説明】
２６、２７…支持ピン
２９ａ…基部
２９ｂ…押え部材
２９ｃ…支持部材
５１…下部洗浄ブラシ
５２…上部洗浄ブラシ
５５…取付け部材
６１…ガイド体
６２…第１のスライド体
６３…第２のスライド体
６８、６９…支持板（保持手段）
７１…支持部
７２…支持軸
７５…ナット体
７７…テ−パ凸部
７８…第１の係合部
８６…ブラシ軸
８７…ブラシ部材
８８…第２の係合部
８９…テ−パ凹部
９１…第１の調整機構
９２…第２の調整機構
９３…基体
９５…調整体
９５ａ…テ−パ面
９６…調整ねじ
１０１…リンク
１０５…シリンダ（駆動手段）
Ｕ…半導体ウエハ（被洗浄部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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