(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
サドルを有し、
前記サドルにレ−ザ加工ヘッドを、ヘッド移動駆動手段を介して所定のＺ軸方向に移動駆動自在に設けたレ−ザ加工機において、
前記レ−ザ加工ヘッドは第１トーチ部材を有し、
前記第１トーチ部材に第２トーチ部材をＺ軸方向に移動自在に設け、
前記第１及び第２トーチ部材のうち、一方のトーチ部材にレーザ光射出ノズルを、他方のトーチ部材に集光レンズをそれぞれ設け、
前記第１トーチ部材の内部及び前記第２トーチ部材の内部に、これら第１及び第２トーチ部材に亙り、かつ前記集光レンズを通って前記レーザ光射出ノズルに達した形でレーザ光路を形成し、
前記第１トーチ部材及び前記第２トーチ部材の間に移動拘束手段を、これら第１及び第２トーチ部材間のＺ軸方向における移動を拘束・拘束解除自在な形で設け、
前記第２トーチ部材に被係合部を形成し、
係合駆動手段の設けられたトーチ係合部材を、前記第２トーチ部材がＺ軸上の所定の係合位置に配置された状態で、前記第２トーチ部材に対して前記被係合部を介して、前記係合駆動手段により係合・係合解除自在に設け、
前記トーチ係合部材が前記第２トーチ部材に対して係合解除された状態で、前記レーザ加工ヘッドをＺ軸方向に移動駆動し得るようにして構成したレ−ザ加工機。
【請求項２】
前記第１及び第２トーチ部材はスリーブ状の部材からなり、
前記第２トーチ部材は、Ｚ軸方向に移動自在な形で前記第１トーチ部材の外周側に挿嵌されて設けられており、
前記レーザ光射出ノズルは前記第２トーチ部材の先端に設けられており、
前記集光レンズは前記第１トーチ部材の内部に設けられていることを特徴とする請求項１記載のレ−ザ加工機。
【請求項３】
前記第１及び第２トーチ部材はスリーブ状の部材からなり、
前記第２トーチ部材は、Ｚ軸方向に移動自在な形で前記第１トーチ部材の内周側に挿嵌されて設けられており、
前記レーザ光射出ノズルは前記第１トーチ部材の先端に設けられており、
前記集光レンズは前記第２トーチ部材の内部に設けられていることを特徴とする請求項１記載のレ−ザ加工機。
【請求項４】
前記レーザ光射出ノズルにアシストガスを供給自在なアシストガス供給手段を設け、
前記第１トーチ部材及び前記第２トーチ部材間に、シリンダ及び該シリンダ内をＺ軸方向に相対的に移動自在なピストンからなる圧力バランス調整機構を設け、
前記シリンダ及び前記ピストンのうち、一方を前記第１トーチ部材に、他方を前記第２トーチ部材に設け、
前記第１トーチ部材に設けられた前記シリンダ又はピストンに第１受圧部を形成し、
前記第２トーチ部材に設けられた前記ピストン又はシリンダに第２受圧部を、前記第１受圧部に対向した形で形成し、
前記アシストガス供給手段を、前記圧力バランス調整機構の前記第１及び第２受圧部間に接続し、
前記圧力バランス調整機構は、前記アシストガス供給手段からのアシストガスにより、前記レーザ光射出ノズルと前記集光レンズを互いに接近させる方向に作動させるようになっていることを特徴とする請求項１記載のレーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワーク表面に対するレーザ光の焦点位置を調整できるレ−ザ加工機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザ加工機においてワークを加工する場合、ワークの材質や板厚等により、ワーク表面に対するレーザ光の焦点の最適な位置が様々である。そのため加工に際しては、レーザ光の焦点の最適な位置を得るため、レーザ光の焦点位置調整を、具体的にはトーチのノズル先端からレーザ光の焦点までの距離を調整する形で行っている。従来、このような焦点位置調整は主にトーチに設けられた公知の手動の調整機構を介して手作業により行われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した焦点位置調整を手作業により行うための作業者が必要となり、生産の無人化を進めるうえで不都合となっていた。また、焦点位置調整用のサーボ制御機構を設けることにより、焦点位置調整を自動で行おうとする試みもなされているが、トーチ等にモータやアクチェータ等の駆動装置を設ける構造となるため、トーチ付近が、複雑化、重量化し不都合であった。
【０００４】
そこで本発明は上記事情に鑑み、レーザ光の焦点位置調整を人手を介さず行うことができ、しかもトーチ付近が、複雑化、重量化せず好都合なレーザ加工機を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
即ち本発明のうち第１の発明は、サドル（６）を有し、前記サドル（６）にレ−ザ加工ヘッド（７）を、ヘッド移動駆動手段（１２）を介して所定のＺ軸方向に移動駆動自在に設けたレ−ザ加工機（１）において、前記レ−ザ加工ヘッド（７）は第１トーチ部材（２１、２１０）を有し、前記第１トーチ部材（２１、２１０）に第２トーチ部材（２２、２２０）をＺ軸方向に移動自在に設け、前記第１及び第２トーチ部材（２１、２２、２１０、２２０）のうち、一方のトーチ部材にレーザ光射出ノズル（４５、４５０）を、他方のトーチ部材に集光レンズ（５０、５００）をそれぞれ設け、前記第１トーチ部材（２１、２１０）の内部及び前記第２トーチ部材（２２、２２０）の内部に、これら第１及び第２トーチ部材（２１、２２、２１０、２２０）に亙り、かつ前記集光レンズ（５０、５００）を通って前記レーザ光射出ノズル（４５、４５０）に達した形でレーザ光路（ＫＬ）を形成し、前記第１トーチ部材（２１、２１０）及び前記第２トーチ部材（２２、２２０）の間に移動拘束手段（１６、１６０）を、これら第１及び第２トーチ部材（２１、２２、２１０、２２０）間のＺ軸方向における移動を拘束・拘束解除自在な形で設け、前記第２トーチ部材（２２、２２０）に被係合部（４３、７００）を形成し、係合駆動手段（５５）の設けられたトーチ係合部材（５６、５６０）を、前記第２トーチ部材がＺ軸上の所定の係合位置（ＱＰ）に配置された状態で、前記第２トーチ部材に対して前記被係合部（４３、７００）を介して、前記係合駆動手段により係合・係合解除自在に設け、
前記トーチ係合部材が前記第２トーチ部材に対して係合解除された状態で、前記レーザ加工ヘッドをＺ軸方向に移動駆動し得るようにして構成される。

【０００６】
また本発明のうち第２の発明は、第１の発明によるレ−ザ加工機（１）において、前記第１及び第２トーチ部材（２１、２２）はスリーブ状の部材からなり、前記第２トーチ部材（２２）は、Ｚ軸方向に移動自在な形で前記第１トーチ部材（２１）の外周側に挿嵌されて設けられており、前記レーザ光射出ノズル（４５）は前記第２トーチ部材（２２）の先端に設けられており、前記集光レンズ（５０）は前記第１トーチ部材（２１）の内部に設けられている。
【０００７】
また本発明のうち第３の発明は、第１の発明によるレ−ザ加工機（１）において、前記第１及び第２トーチ部材（２１０、２２０）はスリーブ状の部材からなり、前記第２トーチ部材（２２０）は、Ｚ軸方向に移動自在な形で前記第１トーチ部材（２１０）の内周側に挿嵌されて設けられており、前記レーザ光射出ノズル（４５０）は前記第１トーチ部材（２１０）の先端に設けられており、前記集光レンズ（５００）は前記第２トーチ部材（２２０）の内部に設けられている。
【０００８】
また本発明のうち第４の発明は、第１の発明によるレ−ザ加工機（１）において、前記レーザ光射出ノズル（４５、４５０）にアシストガス（ＡＧ）を供給自在なアシストガス供給手段（３６、３６０）を設け、前記第１トーチ部材（２１、２１０）及び前記第２トーチ部材（２２、２２０）間に、シリンダ（３２、３２０）及び該シリンダ（３２、３２０）内をＺ軸方向に相対的に移動自在なピストン（３３、３３０）からなる圧力バランス調整機構（３１、３１０）を設け、前記シリンダ（３２、３２０）及び前記ピストン（３３、３３０）のうち、一方を前記第１トーチ部材（２１、２１０）に、他方を前記第２トーチ部材（２２、２２０）に設け、前記第１トーチ部材（２１、２１０）に設けられた前記シリンダ（３２、３２０）又はピストン（３３、３３０）に第１受圧部（３３ａ、３２０ａ）を形成し、前記第２トーチ部材（２２、２２０）に設けられた前記ピストン（３３、３３０）又はシリンダ（３２、３２０）に第２受圧部（３２ａ、３３０ａ）を、前記第１受圧部（３３ａ、３２０ａ）に対向した形で形成し、前記アシストガス供給手段（３６、３６０）を、前記圧力バランス調整機構（３１、３１０）の前記第１及び第２受圧部（３３ａ、３２ａ、３２０ａ、３３０ａ）間に接続し、前記圧力バランス調整機構（３１、３１０）は、前記アシストガス供給手段（３６、３６０）からのアシストガス（ＡＧ）により、前記レーザ光射出ノズル（４５、４５０）と前記集光レンズ（５０、５００）を互いに接近させる方向に作動させるようになっている。
【００１０】
なお、括弧内の番号等は、図面における対応する要素を示す便宜的なものであり、従って、本記述は図面上の記載に限定拘束されるものではない。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１は、本発明によるレーザ加工機の一例を示した斜視図、
図２は、サドルの内部側面等を示した図、
図３は、トーチユニット付近を示した断面図、
図４は、本発明によるレーザ加工機の別の一例であり、そのトーチユニット付近を示した断面図である。
【００１２】
レ−ザ加工機１は、図１に示すように機体２を有しており、機体２上には上部にワ−ク搭載面３aの形成されたテ−ブル３が矢印Ａ、Ｂ方向（Ｘ軸方向）に 移動駆動自在に設けられている。機体２にはコラム５がテ−ブル３上を跨ぐ形で設けられており、コラム５にはサドル６が、矢印Ａ、Ｂ方向とは直角の矢印Ｃ、Ｄ方向（Ｙ軸方向）に移動駆動自在に支持されている。
【００１３】
サドル６は、図２に示すようにコラム５に沿って図中紙面と直角方向、即ち、矢印Ｃ、Ｄ方向（Ｙ軸方向）に移動駆動されるサドルベ−ス１０を有しており、サドルベ−ス１０には、矢印Ａ、Ｂ方向（Ｘ軸方向）及び矢印Ｃ、Ｄ方向（Ｙ軸方向）と直角な矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）にガイドレ−ル１１が設けられている。ガイドレ−ル１１にはレ−ザ加工ヘッド７が、該ガイドレ−ル１１に沿って矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に移動自在に支持されている。また、サドルベース１０には、ボールねじからなる移動駆動装置１２が設けられており、前記レ−ザ加工ヘッド７は、この移動駆動装置１２によりガイドレール１１に沿って矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に移動駆動され得るようになっている。
【００１４】
またコラム５には、前記サドル６よりも図２の矢印Ｂ側の位置において、図示しないレーザ発振器が設けられており、このレーザ発振器とレーザ加工ヘッド７の間は公知のレーザ光路管１３（図２に一部のみ図示）によって接続されている。一方、レーザ加工ヘッド７には、図２に示すように、前記レーザ光路管１３に接続した形で、矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に伸延した略円筒状のヘッド光路管９が設けられており、ヘッド光路管９の下端にはトーチユニット２０が設けられている。なお、ヘッド光路管９内には、レーザ光路管１３から伝達されてきたレーザ光を矢印Ｆ方向にトーチユニット２０まで伝送し得るレーザ光路９ａが形成されている。
【００１５】
トーチユニット２０は、図３に示すように矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に伸延した略円筒状の内スリーブ部材２１を、前記ヘッド光路管９の下端に接続された形で有しており、内スリーブ部材２１の外周には、矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に伸延した筒状の外スリーブ部材２２が、該内スリーブ部材２１をガイドとして矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に摺動移動自在に設けられている。内スリーブ部材２１の外周には、矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に長さＬ１で伸延したキー溝２０ａが形成されており、外スリーブ部材２２の内周には前記キー溝２０ａに摺動移動自在に係合した形のキー２０ｂが突出形成されている。これらキー溝２０ａ及びキー２０ｂにより、外スリーブ部材２２は内スリーブ部材２１に対して略長さＬ１のストローク範囲内で矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に摺動のみ自在となっている。
【００１６】
外スリーブ部材２２の内周側には、内スリーブ部材２１及び外スリーブ部材２２の中心軸ＣＴ１を中心とした、基本的に円環形状に形成された第１シリンダ２５が、前記内スリーブ部材２１の外周面２１ｂに隣接した形で形成されており、第１シリンダ２５は、これら外スリーブ部材２２と内スリーブ部材２１によって気密に包囲されている。外スリーブ部材２２には、中心軸ＣＴ１を中心とした略円環形状に形成されたコレット２６が、内スリーブ部材２１の外周部に挿嵌された形で設けられており、該コレット２６は外スリーブ部材２２と共に内スリーブ部材２１に対して矢印Ｅ、Ｆ方向に摺動自在になっている。コレット２６は、その上側、即ち矢印Ｅ側が外スリーブ部材２２に固定されており、その下側、即ち矢印Ｆ側は、下方向（矢印Ｆ方向）に外径が縮小した形のテーパ部２６ａとなっている。テーパ部２６ａには、図示しないスリ割が中心軸ＣＴ１を中心に放射状に形成されている。
【００１７】
また、第１シリンダ２５には、該第１シリンダ２５内を矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に摺動自在な第１ピストン２７が、前記コレット２６よりも基本的に下側（矢印Ｆ側）に配置された形で設けられており、第１ピストン２７の上部側には、前記コレット２６のテーパ部２６ａと係合自在なコレット係合部２７ａがテーパ状に形成されている。第１シリンダ２５には、該第１シリンダ２５内で第１ピストン２７を移動駆動するためのエアを供給するエア供給管路２９が設けられている。なお、後述する焦点位置調整時以外の状態では、第１ピストン２７のコレット係合部２７ａがコレット２６のテーパ部２６ａと係合し、エア供給管路２９を介して第１ピストン２７が矢印Ｅ方向に押圧されている。これにより、コレット２６のテーパ部２６ａは内スリーブ部材２１を締め付けた状態となり、内スリーブ部材２１と外スリーブ部材２２間の固定が実現している。即ち、上述したコレット２６及び、第１シリンダ２５、第１ピストン２７は、内スリーブ部材２１と外スリーブ部材２２の間におけるブレーキ機構１６となっている。
【００１８】
外スリーブ部材２２の内周側には、前記第１シリンダ２５よりも下側（矢印Ｆ側）の位置に、中心軸ＣＴ１を中心とした、基本的に円環形状に形成された第２シリンダ３２が、前記内スリーブ部材２１の外周面２１ｂに隣接した形で形成されており、第２シリンダ３２は、これら外スリーブ部材２２と内スリーブ部材２１によって気密に包囲されている。第２シリンダ３２には、該第２シリンダ３２内を矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に摺動自在な第２ピストン３３が設けられている。一方、内スリーブ部材２１の外周には、リング状のストッパ２１ａが挿嵌固定されており、このストッパ２１ａは第２シリンダ３２内で第２ピストン３３よりも下側（矢印Ｆ側）の位置に配置されている。なお、第２ピストン３３の上面は受圧面３３ａとなっており、該受圧面３３ａに対して矢印Ｅ、Ｆ方向に対向する形で位置した第２シリンダ３２の上端部の内壁面は受圧面３２ａとなっている。また、これら第２シリンダ３２及び第２ピストン３３は圧力バランス調整機構３１を構成している。
【００１９】
ところで、前記コラム５にはアシストガスを供給自在な図示しないガスボンベ及び該ガスボンベからアシストガスを輸送するガス管等からなるガス輸送供給手段３５が設けられており、ガス輸送供給手段３５の先端は前記トーチユニット２０の外スリーブ部材２２に接続されている。外スリーブ部材２２には、該部材の材料内部に穿設された形で、かつ前記ガス輸送供給手段３５に接続した形で穴状のガス管路３７が設けられており、該ガス管路３７の先端側は第１管路３９及び第２管路４０に２股に分岐している。なお、これらガス輸送供給手段３５及びガス管路３７はアシストガス供給手段３６を構成している。
【００２０】
ガス管路３７のうち第１管路３９の先端は外スリーブ部材２２の内周面２２ａに開口部３９ａを形成した形で開口している。なお、外スリーブ部材２２の下端側は、常に内スリーブ部材２１の下端２１ｃよりも下方に突出した状態になるようになっており、開口部３９ａは、常に内スリーブ部材２１の下端２１ｃかそれよりも下方に位置するように配置され、従って開口部３９ａは内スリーブ部材２１によって閉塞されないように配置されている（図３では開口部３９ａが内スリーブ部材２１の下端２１ｃの位置に配置された状態を示しており、この状態では開口部３９ａの上半分だけが内スリーブ部材２１と閉塞されることなく重なり合っている）。一方、ガス管路３７のうち第２管路４０の先端は、第２シリンダ３２のうち、その上端付近、即ち第２ピストン３３よりも上側（矢印Ｅ側）で開口している。
【００２１】
内スリーブ部材２１内は、前記ヘッド光路管９を介して送られてきたレーザ光ＲＺが更に下方向、即ち矢印Ｆ方向に送られる光路ＫＬとなっており、該光路ＫＬの途中には内スリーブ部材２１によって支持固定された形で集光レンズ５０が設けられている。更に、光路ＫＬは、内スリーブ部材２１の下端２１ｃから下方に、従って外スリーブ部材２２内に亙って形成されている。また、外スリーブ部材２２の下端にはノズル４５が設けられており、前記光路ＫＬは外スリーブ部材２２から更に矢印Ｆ方向にノズル４５に至る形で形成されている。
【００２２】
一方、サドルベース１０には、図２に示すようにアクチェータ５５が設けられており、アクチェータ５５のロッド５５ａは図の矢印Ａ、Ｂ方向に移動駆動され得るようになっている（なお、このアクチェータ５５はコラム５等に設けることも可能である）。ロッド５５ａの先端には上方から見た形が略Ｕ字型（即ち図の矢印Ｆ方向に見た形が、図の矢印Ａ方向に開口した略Ｕ字型）となった係合部材５６が設けられており、レーザ加工ヘッド７が図２に示すような基準位置ＫＪ（機械原点の位置）に配置され、かつ外スリーブ部材２２が内スリーブ部材２１に対して、上述したキー溝２０ａ及びキー２０ｂにより規制された略長さＬ１のストローク一杯に下方（矢印Ｆ方向）に配置された下限位置ＫＧ（外スリーブ部材２２の内スリーブ部材２１に対する相対的な位置）にある際、従って外スリーブ部材２２がＺ軸上の所定の係合位置ＱＰにある際には、前記係合部材５６はトーチユニット２０に対して矢印Ａ、Ｂ方向に対向した形で配置されるようになっている。また、トーチユニット２０には、図３に示すように、ノズル４５のやや上方の位置に、外スリーブ部材２２の外周に中心軸ＣＴ１を中心とした円環状に切り込んだ形で断面がＶ字型の係合溝４３が形成されており、外スリーブ部材２２が係合位置ＱＰに配置された際には、上述した係合部材５６と矢印Ａ、Ｂ方向に対向対応した位置に係合溝４３が配置されるようになっている。
【００２３】
レーザ加工機１は上述したように構成されているので、該レーザ加工機１により板状のワーク６０を加工するには以下のように行う。即ち、図１に示すようにテーブル３のワーク搭載面３ａにワーク６０を設置しておき、レーザ加工ヘッド７を移動駆動装置１２を介して矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に移動駆動させることにより、トーチユニット２０のノズル４５の先端４５ａと加工すべきワーク６０の表面との距離を一定に保ちつつ、テーブル３を矢印Ａ、Ｂ方向（Ｘ軸方向）に移動駆動させ、またサドル６を矢印Ｃ、Ｄ方向（Ｙ軸方向）に移動駆動させると共に、ノズル４５の先端４５ａからレーザ光ＲＺを射出するようにしてワーク６０への加工が施される。レーザ光ＲＺは、上述した図示しないレーザ発振器からレーザ光路管１３を介してレーザ加工ヘッド７に到達し、更に該レーザ加工ヘッド７のヘッド光路管９を介してトーチユニット２０に到達し、トーチユニット２０では光路ＫＬを通り、集光レンズ５０を通過する形でノズル４５の先端４５ａから外部に射出される。また、ワーク６０に向けてレーザ光ＲＺを射出する際には、アシストガスＡＧも同時にワーク６０に向けて放出される。このアシストガスＡＧはアシストガス供給手段３６から開口部３９ａを介して外スリーブ部材２２内に放出され、該外スリーブ部材２２からノズル４５を通過してその先端４５ａから外部に向けて下方、即ち矢印Ｆ方向に放出される。
【００２４】
ところで、ワーク６０の材質や板厚等により、ワーク６０の表面に対するレーザ光の焦点位置の調整を行う必要がある。本実施例のレーザ加工機１では、この焦点位置調整を、ノズル４５の先端４５ａからレーザ光の焦点ＦＣまでの距離Ｄ１を調整する形で行うようになっている（ノズル４５の先端４５ａからワーク６０の表面までの距離は加工時に一定に保たれるので、該先端４５ａから焦点ＦＣまでの距離Ｄ１を調整することにより、ワーク６０の表面から焦点ＦＣまでの距離を調整するようになっている）。また集光レンズ５０からレーザ光の焦点ＦＣまでの距離Ｄ３は一定なので、上述した距離Ｄ１は、集光レンズ５０からノズル４５の先端４５ａまでの距離Ｄ２を然るべき大きさに設定することにより調整される。以下、本実施例のレーザ加工機１において、ワーク６０の表面に対するレーザ光の焦点位置調整を説明する。
【００２５】
即ちまず、レーザ加工ヘッド７を移動駆動装置１２を介して矢印Ｅ方向（Ｚ軸方向）に移動駆動させて図２に示す所定の基準位置ＫＪに位置決めする。次いで、エア供給管路２９を介してエアを供給することにより第１ピストン２７を矢印Ｆ方向に押圧駆動する。これにより、該第１ピストン２７のコレット係合部２７ａとコレット２６のテーパ２６ａとの係合が解除され（或いは押圧が解除され）、コレット２６による内スリーブ部材２１の締め付け固定が解除される。この時点で、内スリーブ部材２１と外スリーブ部材２２との間の矢印Ｅ、Ｆ方向における移動の拘束は、キー溝２０ａとキー２０ｂによるもの以外は無くなったので、外スリーブ部材２２はその自重により内スリーブ部材２１に対して下方（矢印Ｅ方向）に移動し、キー溝２０ａとキー２０ｂの係合により上述した下限位置ＫＧで位置決めされる。つまり外スリーブ部材２２は係合位置ＱＰに位置決めされた。次いで、アクチェータ５５によりロッド５５ａを介して係合部材５６を矢印Ａ方向に移動駆動させる。トーチユニット２０の係合溝４３が係合部材５６に対向対応した状態になっているので、矢印Ａ方向に移動駆動された係合部材５６は係合溝４３に係合する。これによりトーチユニット２０の外スリーブ部材２２及びノズル４５側はサドルベース１０側に固定された。（なお、アクチェータ５５がコラム５に設けられている場合には、まずサドル６を矢印Ｃ、Ｄ方向に移動駆動させてコラム５に対する所定の位置に位置決めしておき、続いて外スリーブ部材２２の係合位置ＱＰでの位置決め及び、係合部材５６と係合溝４３の係合を行って、トーチユニット２０の外スリーブ部材２２及びノズル４５側をコラム５側に固定する。）
【００２６】
ところで、外スリーブ部材２２が内スリーブ部材２１に対して下限位置ＫＧに位置決めされた時点で、内スリーブ部材２１側の集光レンズ５０から外スリーブ部材２２側のノズル４５の先端４５ａまでの距離Ｄ２が最大限長くなっている。従って、この距離Ｄ２を、所望する距離Ｄ１の大きさに対応した然るべき長さになるように（即ち、本実施例の場合には距離Ｄ２を短くする形で）以下のように設定を行う。即ち、レーザ加工ヘッド７を移動駆動装置１２を介して下方である矢印Ｆ方向（Ｚ軸方向）に所望の量だけ移動駆動させる。上述したようにトーチユニット２０の外スリーブ部材２２及びノズル４５側はサドルベース１０側に固定されているので、ノズル４５に対して内スリーブ部材２１の集光レンズ５０が矢印Ｆ方向（Ｚ軸方向）に移動することとなる。つまり、集光レンズ５０からノズル４５の先端４５ａまでの距離Ｄ２が短くなる形で設定された。距離Ｄ２が設定されたことにより、結果的にノズル４５の先端４５ａと焦点ＦＣの間の距離Ｄ１が所望の大きさに調整された。なお、外スリーブ部材２２が内スリーブ部材２１に対して下限位置ＫＧに位置決めされた時点での、集光レンズ５０からノズル４５の先端４５ａまでの距離Ｄ２は一定不変の値であり、既知の値となっていると共に、レーザ加工ヘッド７の移動駆動装置１２を介したＺ軸方向の移動は、極めて正確な移動量で行えるので、距離Ｄ２の設定、従って距離Ｄ１の調整は極めて正確に行える。
【００２７】
次いで、エア供給管路２９を介してエアを供給することにより第１ピストン２７を矢印Ｅ方向に移動駆動する。これにより該第１ピストン２７のコレット係合部２７ａとコレット２６のテーパ２６ａとを係合し（或いは係合した状態で押圧し）、コレット２６により内スリーブ部材２１を締め付け固定する。これにより、内スリーブ部材２１と外スリーブ部材２２との間は互いに固定された。その後、アクチェータ５５によりロッド５５ａを介して係合部材５６を矢印Ｂ方向に移動駆動させ、トーチユニット２０の係合溝４３から係合部材５６を係合解除させる。これによりトーチユニット２０の外スリーブ部材２２及びノズル４５側は内スリーブ部材２１と共に、レーザ加工ヘッド７と一緒に矢印Ｅ、Ｆ方向（Ｚ軸方向）に移動駆動できる状態になった。この後、ワーク６０の加工を行うと、ノズル４５の先端４５ａからワーク６０の表面までの距離は焦点位置調整に関係無く変化せず一定に保たれたままであるが、ノズル４５の先端４５ａから焦点ＦＣまでの距離Ｄ１が調整されているので、結果的にワーク６０の表面から焦点ＦＣまでの距離が調整されている。
【００２８】
このように、本実施例のレーザ加工機１では焦点位置調整を手作業により行わずに済むため、この焦点位置調整を行うための作業者が不要となり、生産の無人化を進めるうえで好都合である。また、焦点位置調整を行う際に、内スリーブ部材２１側と外スリーブ部材２２側を相対的に移動駆動し、集光レンズ５０とノズル４５の先端４５ａの間の距離Ｄ２を所望の大きさに設定するための移動駆動手段がレーザ加工ヘッド７をＺ軸方向に移動駆動させるための移動駆動装置１２で兼用されており、トーチユニット２０等にモータやアクチェータ等の駆動装置を別個に設けない構造となっている。従って、トーチユニット２０等が、複雑化、重量化せず好都合なレーザ加工機１となっている。
【００２９】
また上述したように、アシストガスＡＧは開口部３９ａを介して外スリーブ部材２２内に放出されているので、外スリーブ部材２２内に放出されたアシストガスＡＧが内スリーブ部材２１の下端２１ｃから該内スリーブ部材２１内に入り集光レンズ５０を上方、即ち矢印Ｅ方向に押圧し、ノズル４５を下方、即ち矢印Ｆ方向に押圧している。内スリーブ部材２１に対する押圧力はヘッド光路管９を介してレーザ加工ヘッド７側により支持されており、ノズル４５及び外スリーブ部材２２に対する押圧力は、基本的には、内スリーブ部材２１と外スリーブ部材２２の間のブレーキ機構１６等を介した固定によって該内スリーブ部材２１側により支持するようになっている。ところで、ガス管路３７に送られたアシストガスＡＧは第２管路４０を通り第２シリンダ３２にも供給されており（即ち、受圧面３２ａ、３３ａの間に供給）、該第２シリンダ３２に供給されたアシストガスＡＧは第２ピストン３３を下方、即ち矢印Ｆ方向に押圧駆動する。上述したように第２ピストン３３の下側（矢印Ｆ側）には内スリーブ部材２１に固定されたストッパ２１ａが配置されているので、第２ピストン３３が矢印Ｆ方向に押圧駆動されることにより、外スリーブ部材２２をストッパ２１ａに対して矢印Ｅ方向に押圧することになる。即ち、ノズル４５側を内スリーブ部材２１に接近させようとする力が作用する。従って、上述した外スリーブ部材２２に対する矢印Ｆ方向の押圧力は、圧力バランス調整機構３１による、ノズル４５側を内スリーブ部材２１に接近させようとする力により打ち消され、その結果、内スリーブ部材２１と外スリーブ部材２２の間のアシストガスＡＧに起因する矢印Ｅ、Ｆ方向における力は極力小さく抑えられる。これにより、ブレーキ機構１６による内スリーブ部材２１と外スリーブ部材２２の間の制動力はアシストガスＡＧの圧力を考慮する必要がなくなるので小さくて済み、その分、該ブレーキ機構１６等の小型化が実現し、好都合である。
【００３０】
また、内スリーブ部材２１に対して外スリーブ部材２２を拘束するブレーキ機構１６は、コレット２６及びこれに係合する第１ピストン２７等により構成されているので、例えば、レーザ加工ヘッド７をワークに対して矢印Ｆ方向に移動させた際に、誤ってノズル４５の先端４５ａをワークに衝突させてしまったような場合に効果を発揮する。即ち、ノズル４５の先端４５ａがワークに衝突すると、該ノズル４５に固定されたさせて外スリーブ部材２２、更に該外スリーブ部材２２に固定されたコレット２６が矢印Ｅ方向へ衝撃を受ける。コレット２６のテーパ部２６ａは上述したように矢印Ｆ方向にとがったくさび状となっているので、この衝撃によって第１ピストン２７との係合が解除される（或いは緩められる）。つまり、内スリーブ部材２１に対する外スリーブ部材２２の拘束が解除されるので（或いは緩められるので）、ノズル４５がワークに衝突するやいなや、該ノズル４５及び外スリーブ部材２２がワークとの衝突による衝撃を吸収する形で、内スリーブ部材２１に対して、従って前記ワークに対して矢印Ｅ方向に移動する。これによりノズル４５やワークに対する衝突時のダメージは最小限に抑えられ安全性が高い。
【００３１】
なお上述した実施例では、圧力バランス調整機構３１の第２シリンダ３２を外スリーブ部材２２に、第２ピストン３３を内スリーブ部材２１に設けているが、圧力バランス調整機構３１のシリンダを内スリーブ部材２１等の第１トーチ部材に、ピストンを外スリーブ部材２２等の第２トーチ部材に設けるようにしてもよい。
【００３２】
次に本発明によるレーザ加工機に関し、上述した実施例とは別の実施例を説明する。この別の実施例のレーザ加工機は、上述した実施例と比較すると、トーチユニット２０を除いてその他の構成は上述したレーザ加工機１と略同様の構成となっている。そこで図４を参照しながら、上述した実施例とは異なる構成をもつトーチユニット２００について説明する。即ち、このトーチユニット２００はレーザ加工ヘッド７等のレーザ加工ヘッドに設けられたヘッド光路管９等のヘッド光路管の下端に設けられており、トーチユニット２００は、図４に示すように矢印Ｅ、Ｆ方向に伸延した略円筒状の外スリーブ部材２１０を、前記ヘッド光路管の下端に接続された形で有している。外スリーブ部材２１０の内周側には、矢印Ｅ、Ｆ方向に伸延した筒状の内スリーブ部材２２０が、該外スリーブ部材２１０をガイドとして矢印Ｅ、Ｆ方向に摺動移動自在に挿嵌されて設けられており、内スリーブ部材２２０内には集光レンズ５００が支持固定されている。なお、外スリーブ部材２１０の下端は内スリーブ部材２２０の位置より更に下方に延びており、該下端にはノズル４５０が設けられている。このように、外スリーブ部材２１０内及び、内スリーブ部材２２０が挿嵌されている位置では該内スリーブ部材２２０内は光路ＫＬとなっており、前記ヘッド光路管を介して送られてきたレーザ光ＲＺは該光路ＫＬを通って、従って上述した集光レンズ５００を通過する形で矢印Ｆ方向にノズル４５０に至り、外部に射出されるようになっている。これら外スリーブ部材２１０と内スリーブ部材２２０の間のブレーキ機構１６０は、上述した実施例でのブレーキ機構１６と略同様に、外スリーブ部材２１０の内周側に形成された第１シリンダ２５０、外スリーブ部材２１０に形成されていると共に内スリーブ部材２２０の外周部に挿嵌されたコレット２６０、該コレット２６０のテーパ部２６０ａと係合自在な形で前記第１シリンダ２５０内に設けられた第１ピストン２７０等によって構成されている。なお図４では表われていないが、第１シリンダ２５０内で第１ピストン２７０を移動駆動するためのエアを供給するエア供給管路等が設けられている。
【００３３】
内スリーブ部材２２０の外周部には中心軸ＣＴ１０に直角な方向に突出した形で棒状の係合突起７００が設けられており、外スリーブ部材２１０には、前記係合突起７００に対応した形で矢印Ｅ、Ｆ方向に伸延開口したスリット７１０が、該外スリーブ部材２１０の内外を貫通した形で形成されている。上述した係合突起７００はスリット７１０を貫通した形で配置されており、係合突起７００は該スリット７１０の形成範囲内で矢印Ｅ、Ｆ方向に移動できるようになっている。即ち内スリーブ部材２２０は、係合突起７００がスリット７１０内で上下移動できる範囲内で外スリーブ部材２１０に対して矢印Ｅ、Ｆ方向に移動自在となっている。なお、外スリーブ部材２１０には、係合突起７００の矢印Ｆ側に位置した形でストッパ７２０が形成されており、係合突起７００がスリット７１０内で矢印Ｆ方向に移動の限界まで達すると同時に、該係合突起７００がこのストッパ７２０に当接するようになっている。一方、サドルベース（或いはコラム）には、上述した実施例でのアクチェータ５５と同様の図示しないアクチェータ等が設けられており、そのロッド５５０ａはトーチユニット２００に対して水平方向に接近・後退駆動され得るようになっている。ロッド５５０ａの先端には上述した係合突起７００の先端に係合自在な溝をもつ係合部５６０が設けられており、レーザ加工ヘッドが所定の基準位置（機械原点の位置）に配置され、かつ内スリーブ部材２２０が外スリーブ部材２１０に対して、上述した係合突起７００がストッパ７２０に当接する下限位置にある際には、係合部５６０と係合突起７００が水平方向に対向対応するようになっている。なお図４では二点鎖線で簡略化して示しているが、アシストガスＡＧを供給するアシストガス供給手段３６０が設けられており、該アシストガス供給手段３６０により外スリーブ部材２１０内には、内スリーブ部材２２０よりも下方位置でアシストガスＡＧが供給されるようになっている。
【００３４】
トーチユニット２００は上述したように構成されているので、ワークの表面に対するレーザ光の焦点位置の調整を行うには、まずレーザ加工ヘッドを所定の基準位置に位置決めし、ブレーキ機構１６０において第１ピストン２７０とコレット２６０の係合を解除する。すると、外スリーブ部材２１０と内スリーブ部材２２０との間の矢印Ｅ、Ｆ方向における移動の拘束が無くなるので、内スリーブ部材２２０はその自重により外スリーブ部材２１０に対して下方（矢印Ｅ方向）に移動し、係合突起７００がストッパ７２０に当接する下限位置で位置決めされる。次いで、ロッド５５０ａをトーチユニット２００に対して接近駆動させて、該ロッド５５０ａの先端の係合部５６０を係合突起７００に係合する。これによりトーチユニット２００の内スリーブ部材２２０側はサドルベース（或いはコラム）側に固定された。
【００３５】
ところで、内スリーブ部材２２０が外スリーブ部材２１０に対して下限位置に位置決めされた時点で、集光レンズ５００からノズル４５０の先端までの距離Ｄ２が最大限短くなっている。従って、この距離Ｄ２を、所望する距離Ｄ１（ノズル４５０の先端とレーザ光ＲＺの焦点の間の距離）の大きさに対応した然るべき長さになるように（即ち、本実施例の場合には距離Ｄ２を長くする形で）以下のように設定を行う。即ち、レーザ加工ヘッドを下方である矢印Ｆ方向（Ｚ軸方向）に所望の量だけ移動駆動させる。上述したように内スリーブ部材２２０及び集光レンズ５００側はサドルベース側に固定されているので、集光レンズ５００に対してノズル４５０が矢印Ｆ方向（Ｚ軸方向）に移動することとなる。つまり、集光レンズ５００からノズル４５０の先端までの距離Ｄ２が長くなる形で設定された。距離Ｄ２が設定されたことにより、結果的にノズル４５０の先端と焦点の間の距離Ｄ１が所望の大きさに調整された。調整の後は、ブレーキ機構１６０において外スリーブ部材２１０と内スリーブ部材２２０との間を固定し、係合部５６０と係合突起７００の係合を解除してワークの加工を行うことになる。
【００３６】
このように、図４で示す実施例のレーザ加工機でも焦点位置調整を手作業により行わずに済むため、この焦点位置調整を行うための作業者が不要となり、生産の無人化を進めるうえで好都合である。また、焦点位置調整を行う際に、外スリーブ部材２１０側と内スリーブ部材２２０側を相対的に移動駆動し、集光レンズ５００とノズル４５０の先端の間の距離Ｄ２を所望の大きさに設定するための移動駆動手段がレーザ加工ヘッドをＺ軸方向に移動駆動させるための移動駆動装置で兼用されており、トーチユニット２００等にモータやアクチェータ等の駆動装置を別個に設けない構造となっている。従って、トーチユニット２００等が、複雑化、重量化せず好都合なレーザ加工機となっている。なお図４に示すトーチユニット２００に対しても、１番目の実施例で述べた圧力バランス調整機構３１と同様の圧力バランス調整機構３１０を設けることも可能である。例えば、図４に示すように、第２シリンダ３２０を外スリーブ部材２１０に、第２ピストン３３０を内スリーブ部材２２０にそれぞれ設けると共に、第２シリンダ３２０側に矢印Ｆ方向を向いた受圧面３２０ａを、第２ピストン３３０側に矢印Ｅ方向を向いた受圧面３３０ａを、互いに対向した形でそれぞれ形成する。そして、これら受圧面３２０ａ、３３０ａ間に、第２シリンダ３２０内で第２ピストン３３０を矢印Ｆ方向に駆動するためのアシストガスＡＧを供給するように、前記アシストガス供給手段３６０を接続するようにすればよい。
【００３７】
また上述した各実施例では、アクチェータ５５側の係合部材５６（係合部５６０）と外スリーブ部材２２（内スリーブ部材２２０）の係合方法としては、内スリーブ部材２１（外スリーブ部材２１０）に対して外スリーブ部材２２（内スリーブ部材２２０）を下限位置ＫＧに位置決めすることにより外スリーブ部材２２（内スリーブ部材２２０）を係合位置ＱＰに位置決めする形で行っている。しかし、係合部材５６（係合部５６０）と外スリーブ部材２２（内スリーブ部材２２０）の係合はその他の方法でも可能である。例えば、直前の焦点位置調整時に距離Ｄ２の大きさを設定した際のレーザ加工ヘッド７のＺ軸における座標位置を記憶する座標位置記憶部を設ける。即ち、各焦点位置調整時には、レーザ加工ヘッド７を、前記座標位置記憶部に記憶した前回の焦点位置調整時のＺ軸における座標位置（即ち、アクチェータのロッドを用いた前回の焦点位置調整が完了した状態のレーザ加工ヘッド７の位置）に位置決めする。これにより、外スリーブ部材２２（内スリーブ部材２２０）の係合溝４３（係合突起７００）は、アクチェータ５５側の係合部材５６（係合部５６０）と対向対応する係合位置ＱＰに配置されるので、レーザ加工ヘッド７の位置決め後、アクチェータ５５によりロッド５５ａ（ロッド５５０ａ）を移動駆動すれば係合部材５６（係合部５６０）と外スリーブ部材２２の係合溝４３（内スリーブ部材２２０の係合突起７００）の係合固定が完了する。なお、後の距離Ｄ２の設定は直前の焦点位置調整により設定された値に対して内スリーブ部材２１（外スリーブ部材２１０）を適宜な量だけＺ軸方向に移動させる形で行う。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のうち第１の発明は、サドル６等のサドルを有し、前記サドルにレ−ザ加工ヘッド７等のレーザ加工ヘッドを、移動駆動装置１２等のヘッド移動駆動手段を介して所定のＺ軸方向に移動駆動自在に設けたレ−ザ加工機において、前記レ−ザ加工ヘッドは内スリーブ部材２１、外スリーブ部材２１０等の第１トーチ部材を有し、前記第１トーチ部材に外スリーブ部材２２、内スリーブ部材２２０等の第２トーチ部材をＺ軸方向に移動自在に設け、前記第１及び第２トーチ部材のうち、一方のトーチ部材にノズル４５、４５０等のレーザ光射出ノズルを設け、他方のトーチ部材に集光レンズ５０、５００等の集光レンズをそれぞれ設け、前記第１トーチ部材の内部及び前記第２トーチ部材の内部に、これら第１及び第２トーチ部材に亙り、かつ前記集光レンズを通って前記レーザ光射出ノズルに達した形で光路ＫＬ等のレーザ光路を形成し、前記第１トーチ部材及び前記第２トーチ部材の間にブレーキ機構１６、１６０等の移動拘束手段を、これら第１及び第２トーチ部材間のＺ軸方向における移動を拘束・拘束解除自在な形で設け、前記第２トーチ部材に係合溝４３、係合突起７００等の被係合部を形成し、係合駆動手段の設けられた係合部材５６、係合部５６０等のトーチ係合部材を、前記第２トーチ部材がＺ軸上の係合位置ＱＰ等の所定の係合位置に配置された状態で、前記第２トーチ部材に対して前記被係合部を介して、前記係合駆動手段により係合・係合解除自在に設け、前記トーチ係合部材が前記第２トーチ部材に対して係合解除された状態で、前記レーザ加工ヘッドをＺ軸方向に移動駆動し得るようにして構成されるので、焦点位置調整は、第２トーチ部材をトーチ係合部材でサドル（或いはコラム）側に固定し、移動拘束手段において第１及び第２トーチ部材間の移動拘束を解除した後、ヘッド移動駆動手段を介してレ−ザ加工ヘッド側の第１トーチ部材を第２トーチ部材に対してＺ軸方向に移動駆動させることにより、集光レンズとレーザ光射出ノズルの間の距離をＺ軸方向に調整する形で行われる。従って、本発明によるレーザ加工機では焦点位置調整における集光レンズとレーザ光射出ノズルの間の距離の調整を手作業により行わずに済むため、生産の無人化を進めるうえで好都合である。また、集光レンズとレーザ光射出ノズルの間の距離の調整を行うための駆動手段がヘッド移動駆動手段で兼用されており、レーザ光射出ノズル等の近傍にモータやアクチェータ等の駆動装置を別個に設けない構造となっているので、レーザ光射出ノズル等の近傍が、複雑化、重量化せず好都合なレーザ加工機となっている。更に、ヘッド移動駆動手段で兼用することにより、Ｚ軸方向での集光レンズとレーザ光射出ノズルの間の距離の調整精度は高い。
また前記トーチ係合部材にアクチェータ５５等の係合駆動手段を、該トーチ係合部材を前記第２トーチ部材に対して係合・係合解除自在に設けたので、焦点位置調整を手作業により行わずに済むため、生産の無人化を進めるうえで好都合である。また、係合駆動手段をサドル（或いはコラム）側に設けることにより、レーザ光射出ノズル等の近傍にモータやアクチェータ等の駆動装置を別個に設ける必要のない構造となり、レーザ光射出ノズル等の近傍が、複雑化、重量化せず好都合である。
【００３９】
また本発明のうち第２の発明は、第１の発明によるレ−ザ加工機において、前記第１及び第２トーチ部材はスリーブ状の部材からなり、前記第２トーチ部材は、Ｚ軸方向に移動自在な形で前記第１トーチ部材の外周側に挿嵌されて設けられており、前記レーザ光射出ノズルは前記第２トーチ部材の先端に設けられており、前記集光レンズは前記第１トーチ部材の内部に設けられているので、例えば焦点位置調整時などにレーザ加工ヘッドをワークに向けて移動させ、誤ってレーザ光射出ノズルの先端をワークに衝突させてしまったような場合には、第１トーチ部材に対して移動拘束手段により拘束されていた第２トーチ部材が、該移動拘束手段による拘束を解除したり或いは緩めたりする形で（或いは移動拘束手段を破損させる形で）、上述した衝突による衝撃を吸収する形で移動する。これにより、第１の発明による効果に加えて、レーザ光射出ノズルやワークに対する衝突時のダメージを最小限に抑えることができ安全性が高い。
【００４０】
また本発明のうち第３の発明は、第１の発明によるレ−ザ加工機において、前記第１及び第２トーチ部材はスリーブ状の部材からなり、前記第２トーチ部材は、Ｚ軸方向に移動自在な形で前記第１トーチ部材の内周側に挿嵌されて設けられており、前記レーザ光射出ノズルは前記第１トーチ部材の先端に設けられており、前記集光レンズは前記第２トーチ部材の内部に設けられているので、第１の発明による効果に加えて、操作ミス等により移動拘束手段による第１及び第２トーチ部材間の拘束が誤って解除されても、第１トーチ部材内に挿嵌された第２トーチ部材が該第１トーチ部材内で移動するだけで済み、レーザ光射出ノズルが不用意に移動してワークに衝突するような事故を未然に防ぐことができ安全性が高い。
【００４１】
また本発明のうち第４の発明は、第１の発明によるレ−ザ加工機において、前記レーザ光射出ノズルにアシストガスを供給自在なアシストガス供給手段３６、３６０等のアシストガス供給手段を設け、前記第１トーチ部材及び前記第２トーチ部材間に、第２シリンダ３２、３２０等のシリンダ及び該シリンダ内をＺ軸方向に相対的に移動自在な第２ピストン３３、３３０等のピストンからなる圧力バランス調整機構３１、３１０等の圧力バランス調整機構を設け、前記シリンダ及び前記ピストンのうち、一方を前記第１トーチ部材に、他方を前記第２トーチ部材に設け、前記第１トーチ部材に設けられた前記シリンダ又はピストンに受圧面３３ａ、３２０ａ等の第１受圧部を形成し、前記第２トーチ部材に設けられた前記ピストン又はシリンダに受圧面３２ａ、３３０ａ等の第２受圧部を、前記第１受圧部に対向した形で形成し、前記アシストガス供給手段を、前記圧力バランス調整機構の前記第１及び第２受圧部間に接続し、前記圧力バランス調整機構は、前記アシストガス供給手段からのアシストガスにより、前記レーザ光射出ノズルと前記集光レンズを互いに接近させる方向に作動させるようになっている。従って、レーザ光射出ノズルに供給されるアシストガスの圧力により、レーザ光射出ノズルと集光レンズが互いに遠ざかる方向に力がかかるが、レーザ光射出ノズルを集光レンズに接近させる方向に作動する圧力バランス調整機構により力のバランスが調整され、その結果、第１及び第２トーチ部材間のアシストガスに起因するＺ軸方向における力は極力小さく抑えられる。これにより第１の発明による効果に加えて、移動拘束手段による第１及び第２トーチ部材間の制動力はアシストガスの圧力を考慮する必要がなくなるので小さくて済み、その分、該移動拘束手段等の小型化が実現し、好都合である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明によるレーザ加工機の一例を示した斜視図である。
【図２】図２は、サドルの内部側面等を示した図である。
【図３】図３は、トーチユニット付近を示した断面図である。
【図４】図４は、本発明によるレーザ加工機の別の一例であり、そのトーチユニット付近を示した断面図である。
【符号の説明】
１……レーザ加工機
６……サドル
７……レ−ザ加工ヘッド
１２……ヘッド移動駆動手段（移動駆動装置）
１６……移動拘束手段（ブレーキ機構）
２１……第１トーチ部材（内スリーブ部材）
２２……第２トーチ部材（外スリーブ部材）
３１……圧力バランス調整機構
３２……シリンダ（第２シリンダ）
３２ａ……第２受圧部（受圧面）
３３……ピストン（第２ピストン）
３３ａ……第１受圧部（受圧面）
３６……アシストガス供給手段
４３……被係合部（係合溝）
４５……レーザ光射出ノズル（ノズル）
５０……集光レンズ
５５……係合駆動手段（アクチェータ）
５６……トーチ係合部材（係合部材）
１６０……移動拘束手段（ブレーキ機構）
２１０……第１トーチ部材（外スリーブ部材）
２２０……第２トーチ部材（内スリーブ部材）
３１０……圧力バランス調整機構
３２０……シリンダ（第２シリンダ）
３２０ａ……第１受圧部（受圧面）
３３０……ピストン（第２ピストン）
３３０ａ……第２受圧部（受圧面）
３６０……アシストガス供給手段
７００……被係合部（係合突起）
４５０……レーザ光射出ノズル（ノズル）
５００……集光レンズ
５６０……トーチ係合部材（係合部）
ＫＬ……レーザ光路（光路）
ＱＰ……係合位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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