(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品取出しノズルにより取出した部品を逐次実装基板上に実装する部品実装装置において、
自動実装動作とは別に特殊用途に対応し、前記部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、前記部品が手付けされた前記部品取出しノズルを移動させ、前記部品を実装基板上に実装する手付け実装を実行させる制御手段を具備させたことを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
部品取出しノズルにより取出した部品を逐次実装基板上に実装する部品実装装置において、
各種操作画面を表示し、当該画面上に自動実装動作とは別に特殊用途に対応し、前記部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、前記部品が手付けされた前記部品取出しノズルを移動させ、前記部品を実装基板上に実装する手付け実装動作を可能にする設定画面を表示する表示手段を具備させたことを特徴とする部品実装装置。
【請求項３】
部品取出しノズルにより取出した部品を逐次実装基板上に実装する部品実装装置において、
自動実装プログラム及び自動実装動作とは別に特殊用途に対応し、前記部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、前記部品が手付けされた前記部品取出しノズルを移動させ、前記部品を実装基板上に実装する手付け実装のプログラムを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶されている両プログラムの内、所望のプログラムを選択する選択手段と、
前記選択手段により選択された所望のプログラムに基づいて自動実装あるいは手付け実装を実行させる制御手段とを具備したことを特徴とする部品実装装置。
【請求項４】
部品取出しノズルにより取出した部品を逐次実装基板上に実装する部品実装方法において、
手付け実装を実行させる制御手段により自動実装動作とは別に、特殊用途に対応し、前記部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、前記部品が手付けされた前記部品取出しノズルを移動させ、前記部品を実装基板上に実装する手付け実装動作を可能にすることを特徴とする部品実装方法。
【請求項５】
部品取出しノズルにより取出した部品を逐次実装基板上に実装する部品実装方法において、
各種操作画面を表示する表示手段の画面上に、自動実装動作とは別に特殊用途に対応し、前記部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、前記部品が手付けされた前記部品取出しノズルを移動させ、前記部品を実装基板上に実装する手付け実装動作を可能にする設定画面を表示させ、当該設定画面上での設定操作に基づいて手付け実装作業を実行させることを特徴とする部品実装方法。
【請求項６】
部品取出しノズルにより取出した部品を逐次実装基板上に実装する部品実装方法において、
選択手段を介して記憶手段に記憶された自動実装プログラム及び自動実装動作とは別に特殊用途に対応し、前記部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、前記部品が手付けされた前記部品取出しノズルを移動させ、前記部品を実装基板上に実装する手付け実装のプログラムの内、所望のプログラムを選択し、
制御手段を介して当該選択手段により選択された所望のプログラムに基づいて自動実装あるいは手付け実装を実行させるようにしたことを特徴とする部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、実装基板上に各種電子部品を実装する部品実装装置及び部品実装方法に関し、更に言えば、自動実装モードとは別に、特殊部品等の特定用途に対応する手付け実装モード機能を備えた部品実装装置とその部品実装方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
以下、従来の部品実装装置について説明する。
【０００３】
図１は上記部品実装装置の平面図で、図１において、部品実装装置１の基台２上にＡビーム３及びＢビーム４のＹ方向への移動を案内する一対のレール５が配置されている。Ａビーム３及びＢビーム４はＸ方向に長く、この長手方向に沿って装着ヘッド７，８がそれぞれ移動可能に配設されている。従って、前記装着ヘッド７，８は、ＸＹ方向に移動可能になされている。
【０００４】
また、Ａ側Ｙ軸モータ１０により回転されるボールネジ軸１１がＡビーム３に固定された図示しないナットに螺合しており、このＡビーム３はボールネジ軸１１の回転によりレール５に沿って移動可能である。Ｂビーム４は同様な構造のボールネジ軸１２がＢ側Ｙ軸モータ１４により回転されることで、レール５に沿って移動する。
【０００５】
更に、基台２の図１における上方及び下方の位置には、それぞれ部品供給部が形成され、この部品供給部では種々の電子部品１５を供給する部品供給装置１６が搭載されている。尚、部品供給装置１６には、いわゆるテープ供給方式の部品供給装置やスティック供給方式の部品供給装置やトレイ供給方式の部品供給装置等がある。
【０００６】
そして、前記装着ヘッド７，８は、各部品供給装置１６から真空吸着により取り出した電子部品１５をプリント基板１８の所望の位置に搬送して実装するものである。
【０００７】
また、前記プリント基板１８は、基台２上に設置された搬送コンベア２０により搬送され、所定の作業ステージ位置で図示しない固定機構により位置決め固定される。
【０００８】
更に、前記部品供給装置１６から取り出された電子部品１５は部品認識カメラ２１により、その装着ヘッド７，８に対する吸着位置ずれ状況、部品落下状況等が認識される。
【０００９】
また、前記基台２にはノズルストッカ２２が設置されており、前記装着ヘッド７，８に自動交換可能に取り付けられる吸着ノズル２４（図示した当該装着ヘッド７，８のそれぞれに付された一対の黒丸が、それに相当する。図１０に前記部品１５を吸着した状態を示している。）が用意されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように上記部品実装装置では、例えばテープフィーダ等により供給される電子部品を吸着ノズル２４で順次吸着した状態で、当該吸着ノズル２４をプリント基板１８上まで移動させて、当該部品をプリント基板１８上の実装箇所に自動実装していた。
【００１１】
ここで、試作ラインにおいては、充分な部品数が確保されないのが普通である。例えば、テーピング部品では、試作ロット分の数点供給であり、上記テープフィーダに装填可能なテープ長さが確保されないのが実状である。
【００１２】
このような状態で、上記部品実装装置を使用する場合、部品のセッティングが困難故に運転不可となる場合、また部品セッティングのために要する段取時間が大きなウエイトを占めてしまい、非常に効率が悪くなってしまうといった問題があった。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
そこで、上記課題に鑑み本発明の部品実装装置及び部品実装方法は、特殊用途に対応し、部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、前記部品が手付けされた前記部品取出しノズルを移動させ、前記部品を実装基板上に実装する手付け実装を実行させる制御手段を具備し、当該制御手段により自動実装動作とは別に、特殊用途に対応する手付け実装動作を可能にしたことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の部品実装装置及び部品実装方法は、各種操作画面を表示する表示手段を具備し、部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、前記部品が手付けされた前記部品取出しノズルを移動させ、前記部品を実装基板上に実装する特殊用途に対応する手付け実装動作を可能にする設定画面を表示させ、当該設定画面上での設定操作に基づいて手付け実装作業を実行させることを特徴とする。
【００１５】
更に、本発明の部品実装装置及び部品実装方法は、自動実装プログラム及び自動実装動作とは別に特殊用途に対応し、前記部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、前記部品が手付けされた前記部品取出しノズルを移動させ、前記部品を実装基板上に実装する手付け実装のプログラムを記憶する記憶手段と、当該記憶手段に記憶されている両プログラムの内、所望のプログラムを選択する選択手段と、当該選択手段により選択された所望のプログラムに基づいて自動実装あるいは手付け実装を実行させる制御手段とを具備し、前記選択手段を介して記憶手段に記憶された自動実装プログラム及び手付け実装プログラムの内、所望のプログラムを選択し、前記制御手段を介して当該選択手段により選択された所望のプログラムに基づいて自動実装あるいは手付け実装を実行させるようにしたことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の部品実装装置及び部品実装方法に係る一実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００１８】
ここで、本発明の特徴は、図１に示すように複数個の装着ヘッド７，８にそれぞれ複数の吸着ノズル２４（図１０参照）が装着され、当該吸着ノズル２４で吸着した電子部品１５を順次プリント基板上の実装箇所に実装する部品実装装置及び部品実装方法において、自動実装動作とは別に、例えば試作ライン等における充分な部品供給点数が確保されずに、装置への部品のセッティングが不可能、あるいは部品のセッティングに要する段取作業が煩雑となるような特殊用途に対応して、そのような部品の手付け実装（作業者が直接、吸着ノズル２４に部品１５を手付け吸着させ、その後、通常の部品自動実装）動作を可能にしたことである。
【００１９】
尚、部品実装装置本体の外観構成は、図１に示すものと同等であり、重複する説明を避けるために同符号を付して説明を省略するが、本発明の特徴と為す構成は、詳しくは後述するが通常の生産運転時の自動実装動作の他に、上述した特殊用途に対応する手付け実装動作を可能にする設定メニューを追加したものである。そして、図８に示すように記憶手段（ＲＡＭ３０，ＲＯＭ３１等）に記憶させた自動実装動作プログラムと、手付け実装動作プログラムとを表示手段（ＣＲＴ３３）の表示画面上で選択し、当該設定画面上で設定された内容に基づいて、制御手段（ＣＰＵ３２）により自動実装動作、あるいは手付け実装動作を実行させる機能を具備させたことにある。
【００２０】
以下、図８に示す各種回路構成について説明しながら、上記設定メニューについて説明する。
【００２１】
先ず、部品実装装置本体に搭載されたＣＲＴ３３の画面上に取り付けられたタッチパネル画面に「初期画面」を表示させる（図２参照）。
【００２２】
この「初期画面」には、「生産運転」、「段取作業」、「データ編集」、「装置メンテナンス」、「環境設定」の各操作タッチキーが準備されている。そして、この画面上で、例えば「生産運転」の操作タッチキーをタッチすれば、生産運転が開始され、自動実装作業が実行される。
【００２３】
また、この「初期画面」上の「データ編集」の操作タッチキーをタッチし、当該「データ編集」の画面を表示させる（図３参照）。
【００２４】
この「データ編集」の画面には、「パターンプログラム」、「装置設定データ」、「運転パラメータ」、「オフセットデータ」、「テスト運転データ」、「部品ライブラリデータ」、「ノズル配置データ」、「ノズルタイプデータ」、「ノズル手付け指定データ」の各操作タッチキーが表示される。この画面上で、編集するデータを選択する。
【００２５】
ここで、装着作業に係る各種データの設定について説明すると、上記「データ編集」の画面上で「パターンプログラム」の操作タッチキーをタッチすることで、「パターンプログラム」の画面が表示され（図示せず）、この中に、図４に示すような「装着データ」の入力画面を表示させるタッチキーが存在する。図４では、既に実装作業に係る装着データが入力されている。尚、この装着データは、装着ステップ毎に、どういう種類（どのテープフィーダ（ＦＤＲ）内）の部品１５をプリント基板１８上のどこに（座標Ｘ，Ｙ）、どういう方向（角度Ｚ）で、実装するかを示すデータである。
【００２６】
ここで、ＦＤＲ番号が、１０１番〜１１０番までは、装置に実在する部品設置ＦＤＲ番号で、１００番未満の番号は、装置にはない架空のＦＤＲ番号である。従って、図４に示す装着データでは、ステップ番号（Ｐ−ＮＯ）の０００４，０００５のＦＤＲ：００１，ＦＤＲ：００２が、この架空のＦＤＲ番号で、後述する手付け対応部品であることを示すデータとなる。
【００２７】
また、上記「パターンプログラム」の画面中に、図５に示すような「部品配置データ」の入力画面を表示させるタッチキーが存在する。図５では、既に部品配置に関するデータが入力されている。尚、この部品配置データは上記装着データと関連付けるもので、当該装着データ内の各ＦＤＲ番号（各テープフィーダ内）に、どういう部品（部品ＩＤ）を設置するかを示すデータである。
【００２８】
更に、上記「パターンプログラム」の画面中に、図６に示すような「部品ライブラリデータ」の入力画面を表示させるタッチキーが存在する。図６では、既に部品ライブラリに関するデータが入力されている。尚、この部品ライブラリデータは部品毎に、その部品の特徴（例えば、部品寸法、部品厚み）、ハンドリング速度、認識データ、また使用ノズル等の各種データ細目を設定するデータで、このデータを基に部品ハンドリング制御、部品認識等が実行される。
【００２９】
そして、これらの各種データは、図８に示す記憶手段としてのＲＡＭ３０やＲＯＭ３１内に記憶されている。尚、図８において、３２は制御手段としてのＣＰＵで、３６はＩ／Ｏで、当該Ｉ／Ｏ３６を介してＲＡＭ３１，ＲＯＭ３２，ＣＰＵ３２，ＣＲＴ３３，駆動回路３４，ブザー３５等は接続されている。
【００３０】
以下、動作について説明する。
【００３１】
作業者による各種段取作業が終了した後、装置側の「始動」ボタン（不図示）を押して部品実装装置１による自動実装作業を開始させる。即ち、装着データ内に入力されている装着ステップ順に、部品吸着（吸着ノズル２４による部品供給装置１６内の部品１５の取り出し）、部品認識（認識カメラ２１による吸着ノズル２４に吸着された部品の有無、姿勢等の認識）、部品位置補正（認識結果を加味した装着方向（角度Ｚ）への位置補正）、そして部品実装（プリント基板１８上の指定座標（Ｘ，Ｙ）位置に角度Ｚで実装）が繰り返される。
【００３２】
そして、装置１に実際に設置されたフィーダ部品は、実在するＦＤＲ番号か否かで判定され、上記した装着データでは、装着ステップ０００１〜０００３までは自動実装運転が行われ、装着ステップ０００４で架空ＦＤＲ番号００１の処理に入った時点で、手付け実装運転に移行する。
【００３３】
以下、上記自動実装運転から手付け実装運転への移行の流れについて図９に示す動作フロー図等を参照しながら説明する。
【００３４】
先ず、図９において、生産運転が開始されると、ステップカウンタが初期化され、当該ステップカウンタが「１」歩進される。
【００３５】
続いて、装着データ内のＦＤＲ番号がチェックされ、当該ＦＤＲ番号が実在する番号か否か判定される。この場合、装着ステップ０００１であるから、実在するＦＤＲ番号であり、以下に従って、生産運転が実行される。
【００３６】
即ち、該当するＦＤＲ番号のフィーダ（ＦＤＲ）部品を収納した部品供給装置１６内のテープフィーダ位置まで、所望の装着ヘッド（吸着ノズル１４）が移動して行き、その位置で所望の部品１５を吸着する。
【００３７】
次に、前記部品１５を吸着した吸着ノズル１４が認識カメラ２１上に移動し、そこで当該部品１５の有無、姿勢等を認識する。
【００３８】
更に、その認識結果に基づいて、駆動回路３４を介して吸着ノズル１４をＸ，Ｙ，Ｚ（回転）に駆動させて、当該部品１５姿勢を実装箇所に合わせて補正する。
【００３９】
続いて、プリント基板１８上の実装箇所に当該部品１５を実装する。
【００４０】
そして、コントロールコマンドＣがＥ（終了）か否か判定し、この場合にはＥ（終了）ではないから、次の装着ステップ０００２に移る。
【００４１】
以下、同様に装着ステップ０００３までの実装作業が完了したら、装着ステップ０００４の実装作業に移る。当該装着ステップ０００４の実装作業は、上述したように本発明の特徴である、架空ＦＤＲ番号に相当し、当然のことながらＦＤＲ番号の判定結果は、架空のものと判定される。
【００４２】
従って、今までの動作説明と異なり、以下の動作に移行される。即ち、手付け位置に装着ヘッド（吸着ノズル１４）が移動し、当該吸着ノズル１４は、その位置で真空吸引状態を保ちながら移動を停止する。尚、手付け位置としては、作業者による部品手付けが行い易い場所であれば良く、例えば隣り合う部品供給装置１６同士の中間位置等が考えられる。
【００４３】
そして、作業者は、この手付け位置に待機している吸着ノズル１４に所望の部品１５を手付けする。このとき、「生産運転」の画面は、図７に示すような手付け実行案内である「部品手付けモード」の画面に切り替わる。
【００４４】
従って、作業者は、当該「部品手付けモード」の画面上に表示された手付け対応（部品ＩＤ：ＱＦＰ３０４）の部品１５を、同じく表示されたＡビーム３の装着ヘッド７（ヘッド（１）側）のノズル２４に吸着させる。そして、手付け吸着が完了したら、画面上の「完了」タッチキーをタッチした後、装置側の「始動」ボタンを押して再始動させる。
【００４５】
このように本実施形態では、手付け実行案内を画面表示させることで、作業者に手付け実装作業を促しているが、例えば、音声案内等により上記手付け実装作業を実行させるようにしても良い。
【００４６】
その後は、上述したようにして、部品１５を吸着した吸着ノズル１４が認識カメラ２１上に移動し、そこで当該部品１５の有無、姿勢等を認識する。
【００４７】
更に、その認識結果に基づいて、駆動回路３４を介して吸着ノズル１４をＸ，Ｙ，Ｚ（回転）に駆動させて、当該部品１５姿勢を実装箇所に合わせて補正する。
【００４８】
続いて、プリント基板１８上の実装箇所に当該部品１５を実装する。
【００４９】
そして、コントロールコマンドＣがＥ（終了）か否か判定し、この場合にはＥ（終了）ではないから、次の装着ステップ０００５に移る。
【００５０】
以下、同様にして自動実装運転あるいは手付け実装運転が実行されて、コントロールコマンドＣがＥ（終了）となる装着ステップ０００７で、本部品実装装置１による部品実装作業が終了する。
【００５１】
以下、部品実装作業における図１に示す部品実装装置１の各構成部の動作説明をすると、先ず、作業テーブル位置にプリント基板１８が搬送コンベア２０により搬送され、固定機構により位置決め固定される。
【００５２】
続いて、前記装着ヘッド７，８が、所望の部品供給装置１６の電子部品取り出し位置までＸＹ移動して行き、そこで電子部品１５の上面まで下降して吸着ノズル２４の先端で電子部品１５を吸着する。尚、前記部品供給装置１６は、電子部品をテープ収納して成る、いわゆるテープカセットフィーダ方式の部品供給装置を一例として紹介しているが、いわゆるトレイ上に電子部品を載置するトレイフィーダ方式の部品供給装置や、スティック内に電子部品を収納したスティックフィーダ方式の部品供給装置であっても良い。
【００５３】
そして、再び装着ヘッド７，８が上昇して吸着ノズル２４の先端で電子部品１５を吸着保持した状態で、部品認識カメラ２１上方までＸＹ移動して行き、そこで、その装着ヘッド７，８（吸着ノズル２４）に対する吸着位置ずれ状況、部品落下状況を認識する。
【００５４】
以下、異常なしとして説明を続けるが、もし、異常が発見された場合には、その異常状況に合わせて対処する。即ち、例えば吸着位置ずれ異常であれば、その電子部品１５を排出した後、再度吸着作業に戻るように、また、例えば部品落下異常であれば、直ちに吸着作業に戻るように制御させれば良い。更に言えば、装置を異常停止させると共に、ブザー３５等を介して異常報知して作業者に報知させるようなものでも良い。
【００５５】
以下、異常なしとして説明を続けるが、前記装着ヘッド７，８がプリント基板１８の所望の電極パッド（予め、接着剤、半田等が塗布されている。）上までＸＹ移動し、そこで下降して電極パッド上に電子部品１５を実装する。以下、上記作業が繰り返された後、半田をリフローすることで、プリント基板１８上に各電子部品１５が接続される。
【００５６】
尚、本実施形態では、プリント基板１８上の実装箇所に電子部品１５を吸着した装着ヘッド７，８がＸＹ移動する、いわゆるＸＹロボ式の部品実装装置について説明したが、これに限らず、回転可能な回転盤の裏面に放射状に複数個の装着ヘッドを設置して成る、いわゆるロータリーテーブル式の部品実装装置に適用しても良い。
【００５７】
【発明の効果】
本発明によれば、特殊用途に対応し、部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、前記部品が手付けされた前記部品取出しノズルを移動させ、前記部品を実装基板上に実装する手付け実装を実行させる制御手段を具備し、当該制御手段により自動実装動作とは別に、特殊用途に対応する手付け実装動作を可能にしたことにより、従来、部品のセッティングが困難故に運転不可となっていた場合、また部品セッティングのために要する段取時間が大きなウエイトを占めてしまい、非常に効率が悪くなっていた場合等の問題を解決することができる。
【００５８】
特に、試作ラインにおいて、フィーダに装填可能なテープ長さが確保されないような、短いテーピング部品等であっても、手付け実装環境を提供することで、装置の運転を可能にすることができる。
【００５９】
また、仕上げ基板枚数が１枚や数枚と少ない場合に、テーピング部品を装置にセッティングする段取作業によるロスが問題となる場合、故意に、手付け実装を選択することで作業効率の向上が見込める。
【００６０】
更に言えば、自動実装動作モードと手付け実装動作モードという、今までになかった２つの動作モードの混在化が図れるため、部品実装装置の応用範囲が広がる。
【００６１】
また、本発明では、各種操作画面を表示する表示手段の画面上に自動実装動作とは別に、特殊用途に対応し、部品取出しノズルを所望位置まで移動させ、その位置で部品が部品取出しノズルに手付けされるまで当該部品取出しノズルの移動を停止させ、部品が手付けされた部品取出しノズルを移動させ、部品を実装基板上に実装する手付け実装動作を可能にする設定画面を表示させ、当該設定画面上での簡易な設定操作に基づいて手付け実装作業を実行させることができる。
【００６２】
また、手付け実装動作を行う際には、表示手段の画面上に手付け実行案内を表示させ、この表示画面上の指示に従って、作業者は手付け実装することができるため、作業ミスが抑止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の部品実装装置を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施形態の部品実装装置に関する「初期画面」の画面を表示したＣＲＴ画面を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態の部品実装装置に関する「データ編集」の画面を表示したＣＲＴ画面を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態の部品実装装置に関する「装着データ」の画面を表示したＣＲＴ画面を示す図である。
【図５】本発明の一実施形態の部品実装装置に関する「部品配置データ」の画面を表示したＣＲＴ画面を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態の部品実装装置に関する「部品ライブラリデータ」の画面を表示したＣＲＴ画面を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態の部品実装装置に関する「部品手付けモード」の画面を表示したＣＲＴ画面を示す図である。
【図８】本発明の一実施形態の部品実装装置に関する回路構成図である。
【図９】本発明の一実施形態の部品実装装置に関する動作フロー図である。
【図１０】本発明の部品実装装置に用いられるノズル形状を示す側面図である。
【符号の説明】
１      部品実装装置
３      Ａビーム
４      Ｂビーム
７      装着ヘッド
８      装着ヘッド
１５    電子部品
２４    ノズル
３０    ＲＡＭ
３１    ＲＯＭ
３２    ＣＰＵ
３３    ＣＲＴ
【図１】
0003737923.tif 000002
【図２】
0003737923.tif 000003
【図３】
0003737923.tif 000004
【図４】
0003737923.tif 000005
【図５】
0003737923.tif 000006
【図６】
0003737923.tif 000007
【図７】
0003737923.tif 000008
【図８】
0003737923.tif 000009
【図９】
0003737923.tif 000010
【図１０】
0003737923.tif 000011