(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの支持フィルムおよびその片面に接着剤を有するウェーハおよび／または半導体関連材料のダイシング用水透過性接着テープであって、前記接着テープは液体ジェットによって案内されるレーザービームを使用したダイシングに使用され、前記少なくとも１つの支持フィルムが穿孔を有し、かつ３〜９０％の空隙率を持つことを特徴とするダイシング用水透過性接着テープ。
【請求項２】
上記支持フィルムが合成樹脂または不織布からなることを特徴とする請求項１記載のダイシング用水透過性接着テープ。
【請求項３】
上記穿孔のサイズが０．００１〜３．０ｍｍ2であることを特徴とする請求項１または２記載のダイシング用水透過性接着テープ。
【請求項４】
上記接着剤がゴム系またはアクリル系接着剤からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
【請求項５】
上記接着剤が感圧性、感光性および／または感熱性であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
【請求項６】
１０％を超える伸び率を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
【請求項７】
０．１Ｎ／２０ｍｍを超える引張り強さを有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
【請求項８】
０．１５〜１０Ｎ／２０ｍｍの接着強さを有することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
【請求項９】
支持フィルムが当該支持フィルムの厚さ方向の貫通孔である穿孔を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
【請求項１０】
支持フィルムが人工的な穿孔を含む不織布であることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
【請求項１１】
半導体ウェーハおよび／または半導体関連材料に、請求項１〜１０記載のダイシング用水透過性接着テープを接着し、液体ジェットによって案内しながらレーザービームでダイシングすることを特徴とする半導体ウェーハおよび／または半導体関連材料のダイシング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウェーハおよび/または半導体関連材料加工用のダイシング用水透過性接着テープに関する。より具体的には本発明は、半導体ウェーハを、液体ジェットによって案内されるレーザービームを使用したダイシングによりＩＣ素子チップに切断分離する時にその半導体ウェーハを固定するために使用できるダイシング用水透過性接着テープに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体ウェーハおよび半導体関連材料は、ダイシングブレードとして知られる回転ダイヤモンドブレードを使ってウェーハまたは関連材料を切断することによりチップおよびＩＣ部品に分離されている。本発明にいう半導体関連材料には、ＢＧＡパッケージ、プリント回路、セラミック板、液晶装置用のガラス部品が包含される。上述の方法では、半導体ウェーハおよび半導体関連材料が、ブレード中のダイアモンド粒子を使ってＩＣ素子チップに切断される。このダイシング工程中に半導体ウェーハまたは半導体関連材料を固定しておくために、半導体ウェーハまたは半導体関連材料は、通常、ダイシングテープとも呼ばれる接着テープに接着される。半導体ウェーハまたは半導体関連材料がＩＣ素子チップに切断された後、それらＩＣ素子チップは接着テープからピックアップすることができる。このような工程に使用される接着テープは一般に合成樹脂（例えばＰＶＣ）からなる層を持ち、その層が接着層によってウェーハに接着される。
【０００３】
最近、この方法によって切断されたＩＣチップおよびＩＣ部品のクラッキング、チッピングまたは欠陥が、それらチップおよび部品の品質の低下と、この切断方法の生産性の低下をもたらす大きな問題になっている。この問題は、電子装置の小型化と、よりいっそう薄いウェーハに対する需要の増加を受けて顕著となった。しかし、半導体材料の厚さが減少するにつれて、その材料がダイシング時にクラッキングを生じる傾向は増加する。また分離が困難な、すなわち、より脆くより硬い半導体関連材料も現れており、それらはいっそうチッピングを起こしやすい。このクラッキングまたはチッピングという問題の主な原因は、回転ダイヤモンドブレードという切断手段である。
【０００４】
この問題を克服するために他の切断技術に注目が集まっている。特にレーザー技術は、レーザービームを使ったダイシングの方がはるかに正確であり、しかもその正確さは切断対象である材料の厚さによって大きく左右されないことからも有利であると思われる。具体的には、上記の目的に役立ちうるレーザー技術がＷＯ９５／３２８３４に記載されており、液体ジェットによって案内されるレーザービームを使用した切断、穿孔、溶接、刻印および材料剥離による材料の加工が開示されている。具体的には、水流によって案内されるレーザービームが様々な材料の加工に使用される。しかし、このレーザー技術を用いた分離工程では、チップおよびＩＣ部品が、それらに接着させた接着テープからの剥離が起こりうることが問題である。例えば水流などによって接着面に高圧がかけられるため、これらのチップおよびＩＣ部品を接着テープ上に完全に固定しておくことができない。したがって、チップおよびＩＣ部品がダイシング工程中にウェーハまたは材料から飛散し、またはダイシングに由来する溶融粒子の混入によって破損されることが起こりうるため、半導体ウェーハおよび半導体関連材料加工用の従来の接着テープは、レーザーダイシング技術には適していないものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明は、半導体ウェーハおよび／または半導体関連材料を加工するための接着テープ、特に前記ウェーハまたは材料をダイシングするための接着テープであって、前記接着テープは液体ジェットによって案内されるレーザービームを使用したダイシングに使用され、チップまたはＩＣ部品のチッピングまたは他の欠陥などといった加工上の問題を何ら生じることなく極めて薄い半導体ウェーハまたは材料の加工が可能な接着テープを提供することを目的とするものであり、同時にその接着テープでのウェーハまたは材料の良好な接着を保証し、ダイシング工程中にその接着テープからチップまたは部品が剥離することを防ぐ接着テープを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この目的は、以下の水透過性接着テープ、によって達成された。
１．少なくとも１つの支持フィルムおよびその片面に接着剤を有する半導体ウェーハおよび／または半導体関連材料のダイシング用水透過性接着テープであって、前記接着テープは液体ジェットによって案内されるレーザービームを使用したダイシングに使用され、前記少なくとも１つの支持フィルムが穿孔を有し、かつ３〜９０％の空隙率を持つことを特徴とするダイシング用水透過性接着テープ。
２．上記支持フィルムが合成樹脂または不織布からなることを特徴とする上記１記載のダイシング用水透過性接着テープ。
３．上記穿孔のサイズが０．００１〜３．０ｍｍ2であることを特徴とする上記１または２記載のダイシング用水透過性接着テープ。
４．上記接着剤がゴム系またはアクリル系接着剤からなることを特徴とする上記１〜３のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
５．上記接着剤が感圧性、感光性および／または感熱性であることを特徴とする上記１〜４のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
６．１０％を超える伸び率を有することを特徴とする上記１〜５のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
７．０．１Ｎ／２０ｍｍを超える引張り強さを有することを特徴とする上記１〜６のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
８．０．１５〜１０Ｎ／２０ｍｍの接着強さを有することを特徴とする上記１〜７のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
９．支持フィルムが当該支持フィルムの厚さ方向の貫通孔である穿孔を有することを特徴とする上記１〜８のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
１０．支持フィルムが人工的な穿孔を含む不織布であることを特徴とする上記１〜９のいずれかに記載のダイシング用水透過性接着テープ。
１１ ．半導体ウェーハおよび／または半導体関連材料に、上記１〜１０記載のダイシング用水透過性接着テープを接着し、液体ジェットによって案内しながらレーザービームでダイシングすることを特徴とする半導体ウェーハおよび／または半導体関連材料のダイシング方法。
【０００７】
上記の水透過性接着テープは、上述した問題を効果的に回避することができ、半導体ウェーハおよび/または半導体関連材料の加工、特に前記ウェーハまたは材料の液体ジェットによって案内されるレーザービームを使用したダイシングに適していることがわかった。したがって、このような水透過性接着テープは、レーザー技術による、特にレーザーマイクロジェット法による半導体ウェーハおよび/または半導体関連材料の加工に使用できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の水透過性接着テープは少なくとも1 つの支持フィルムを含んでなる。支持フィルムに適した材料の例には、合成樹脂、例えばポリエチレンおよびポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリウレタン、ＥＶＡ、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアミド、アセタール樹脂、ポリスチレンおよびポリカーボネートなどのフィルムが包含され、またＰＰ、ＰＶＣ、ＰＥ、ＰＵ、ＰＳ、ＰＯまたはＰＥＴなどのポリマー繊維、レーヨンまたは酢酸セルロースなどの合成繊維、綿、絹または羊毛などの天然繊維およびガラス繊維または炭素繊維などの無機繊維からなる不織布も含まれる。また、ＰＰ、ＰＶＣ、ＰＥ、ＰＵ、ＰＳ、ＰＯまたはＰＥＴなどのポリマー繊維、レーヨンまたは酢酸セルロースなどの合成繊維、綿、絹または羊毛などの天然繊維およびガラス繊維または炭素繊維などの無機繊維からなる織布も含まれる。
【０００９】
上記支持フィルムは当該支持フィルムの厚さ方向の貫通孔である穿孔を有する。これらの穿孔は支持フィルム上に規則正しくまたは不規則に設けることができる。支持フィルムの材料が繊維からなる場合、穿孔は繊維−繊維間隙の結果として、自然に得られ、その支持フィルムを多孔性にする。これに対し、支持フィルムがポリマー樹脂からなる場合は、穿孔を人工的に導入することができる。繊維からなる上述の多孔性不織材は、自然にできた細孔または穴に加えて、さらに人工的な穿孔を含んでもよい。本発明の水透過性接着テープの水透過性を増加させるには、そのような配置が有利である。
【００１０】
支持フィルムは従来の貫通孔作成法によって穿孔することができる。そのような方法の例には、当技術分野で一般に知られている機械的、化学的および／または熱的方法が含まれる。支持フィルムを機械的に穿孔する方法としては、プレス機または回転ロールによる打抜き、レーザー処理および水ジェット処理を挙げることができる。さらに支持フィルムの製造時に支持フィルム中に無機粒子を処方することもできる。そのフィルムを膨張させると前記粒子の一部が壊れ、そのフィルムに穴をあけることになる。化学的な穿孔法としては、次の方法を挙げることができる。支持フィルム材料には発泡剤を処方することができ、そのようにすると支持フィルムの製造時に発泡が起こって所望の穴が生成する。もう一つの化学的方法では、支持ポリマーと、ある溶媒に容易に溶解する化合物とを使って支持フィルムを製造する。フィルムをシート状に加工した後、前記の溶媒にその支持フィルムを浸漬し、続いて乾燥および膨張を行なうと、やはり穿孔が生じる。
【００１１】
本発明の水透過性接着テープは、良好な水透過性を保証し、液体ジェットによって案内されるレーザービームを使用したダイシング工程中にその水透過性接着テープが剥離するのを防止するために、十分な穿孔を持つ。穿孔の形状は、それが水透過性を保証するものである限り限定されない。例えば穴形状は、繊維含有支持材の繊維−繊維間隙の場合のように、不規則であってよい。また穿孔の形は円形、正方形、三角形、ひし形、星状であってもよい。顕微鏡で測定される穿孔のサイズ（穴サイズ）は通常＜３．２ｍｍ２であり、好ましくは０．００１〜３．２ｍｍ２、より好ましくは０．１〜２．０ｍｍ２、最も好ましくは０．２〜１．１ｍｍ２である。穴が円形である場合、穴サイズは直径で表すことができ、その直径は好ましくは０．１７〜０．８８ｍｍ、より好ましくは０．２５〜０．５９ｍｍである。穿孔が正方形、三角形またはひし形である場合、穴サイズはその正方形、三角形またはひし形の一辺の長さとして与えることができ、その長さは０．３０〜１．４０ｍｍであることが好ましく、０．４５〜１．００ｍｍであることがより好ましい。穴密度は１００，０００穴／ｍ２を越えることが好ましく、３００，０００〜７００，０００穴／ｍ２であることがより好ましい。穴密度は長さ方向と横方向のピッチ間隔から計算される。
【００１２】
本発明の水透過性接着テープは３〜９０％の空隙率を持つ。空隙率が３％未満であると、水透過性が不十分であり、接着テープからのチップの剥離および／またはテープとチップの間に異物混入が起こりうる。これに対し、空隙率が９０％を超えると、テープの機械的強度の不足、テープの平滑度低下および支持フィルムと接着剤の間の固着不足が起こりうる。空隙率は支持フィルム中の空隙または穿孔の割合を表す。支持フィルムが人工的穿孔を含有する場合、空隙率は３〜６０％であることが好ましく、より好ましくは１０〜５５％、最も好ましくは２０〜５０％である。この場合、空隙率は穴サイズおよび穴密度から決定される。すなわち、空隙率＝（穴サイズ）×（穴密度）×１００％、である。
【００１３】
繊維からなる多孔性不織材を支持材として使用する場合、空隙率は１０〜８０％であることが好ましく、より好ましくは２０〜７０％である。この場合、空隙率はその不織材の単位面積あたりの重量、素材密度および不織材の厚さから、
空隙率＝（不織材の単位面積あたりの重量）／（素材密度）／（不織材の厚さ）×１００％、
の形で決定される。不織材の厚さは厚み測定器で測定される。
【００１４】
必要であれば、接着フィルムへの接着性を高めるために、コロナ放電処理、火炎処理、プラズマ処理、スパッタエッチング処理または下塗り（例えばプライマー）フッ素処理などの表面処理を、支持フィルムの接着フィルムを形成させる表面に施してもよい。
【００１５】
支持フィルムの厚さは一般に１０〜４００μｍであり、３０〜２５０μｍが好ましい。厚さが１０μｍ未満であると、テープは容易に破損し、または半導体ウェーハおよび／または半導体関連材料の加工中に切断されるおそれがある。厚さが４００μｍを超えると、本発明水透過性接着テープの製造費がかなり高くなる。
【００１６】
上記の支持フィルムの１つを単独で使用するか、2 つ以上の上記支持フィルムを多層構造として使用することができる。そのような多層フィルムは従来の方法で製造できる。
【００１７】
本発明の水透過性接着テープはさらに接着剤も含有し、その接着剤は通例、支持フィルムの片面に塗布される。接着剤は一般的な接着組成物、好ましくはゴム系またはアクリル系接着剤を使って製造できる。
【００１８】
ゴム系またはアクリル系接着剤はベースポリマーとして、天然ゴムおよび種々の合成ゴムなどのゴム、またはアクリロニトリルや炭素数３０未満（好ましくは炭素数１〜１８）の直鎖もしくは分枝鎖アルキル基（例えばメチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔ−ブチル、イソブチル、アミル、イソアミル、ヘキシル、シクロヘキシル、２−エチルヘキシル、オクチル、イソオクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ラウリル、トリデシル、テトラデシルまたはステアリル基など）を有するアクリル酸アルキルまたはポリメタクリル酸アルキルから製造されるポリアクリル酸アルキルまたはポリメタクリル酸アルキルなどのアクリル系ポリマーを含みうる。上記の群の混合物を使用できる。他の接着剤、例えばポリブテン系またはポリブタジエン系接着剤も可能である。上記の接着剤は一般に５０〜１００重量％の量で存在する。
【００１９】
必要であれば、多官能性モノマーを架橋剤として接着剤に添加することができる。架橋剤の例には、ヘキサンジオールジ（メタ）アクレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリ（メタ）アクリレートおよびウレタンアクリレートが包含される。架橋剤は単独で使用することも、2 つ以上の化合物の混合物として使用することもできる。架橋剤の量は、総合的接着性を制御するために、全モノマー重量に対して３０重量％未満であることが好ましい。
【００２０】
接着剤は感圧性でも、感光性でも、感熱性（熱感受性）でもよく、またそれらの組み合わせでもよい。感光接着剤の場合は、光照射、特にＵＶ光照射によって硬化させることができる。光を照射すると、接着剤内での三次元網目構造の形成により、接着強さを低下させることができる。感熱接着剤の場合は、接着剤を加熱すると、接着強さが低下する。
【００２１】
感光接着剤を使用する場合は、光照射によって容易に反応しうるモノマーまたはオリゴマー、いわゆる光重合性化合物を接着剤に組み込むことができる。そのようなモノマーまたはオリゴマーの例には、ウレタン、メタクリレート、トリメチルプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテトラメタクリレートおよび４−ブチレングリコールジメタクリレートが含まれる。光重合性化合物の量は一般にベースポリマー１００重量部につき５〜５００重量部の範囲にあり、７０〜１５０重量部の範囲にあることが好ましい。さらにこの場合は、光重合開始剤も含まれる。開始剤の例には、４−（４−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル) ケトン、メトキシアセトフェノンおよび１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどのアセトフェノン化合物、ベンゾインエチルエーテルおよびベンゾインイソプロピルエーテルなどのベンゾインエーテル化合物、ケタール化合物、芳香族塩化スルホニル化合物、光活性オキシム化合物およびベンゾフェノン化合物が包含される。ここでも、これらの化合物は単独で、またはその混合物として使用できる。感光接着剤に関するさらなる詳細は例えばＥＰ−Ａ−１５７５０８に記載されている。
【００２２】
接着剤が感熱接着剤である場合、接着剤はいわゆる熱発泡成分を含有しうる。発泡はテープを加熱した結果として起こる。接着テープと半導体ウェーハまたは半導体関連材料の間の結合面は、発泡に起因するペブリングと呼ばれる過程により、減少する。したがって接着強さが低下する。発泡剤の例には、分解型の発泡剤とマイクロカプセル型の発泡剤が包含される。感熱接着剤に関するさらなる情報は、例えばＥＰ−Ａ−０５２３５０５に記載されている。
【００２３】
必要であれば、例えば、テルペン樹脂（例：α−ピネンポリマー、β−ピネンポリマー、ジテルペンポリマー、α−ピネン−フェノールコポリマー）、炭化水素樹脂（例：脂肪族樹脂、芳香族樹脂、脂肪族−芳香族コポリマー）、ロジン、クマロン−インデン樹脂、（アルキル）フェノール樹脂、キシレン樹脂またはアルキド樹脂などの任意の適当な粘着付与剤を配合することなどによって、接着剤の接着性を制御することができる。
【００２４】
また接着剤の接着性は、必要であれば、ポリイソブチレンに相当する配合成分としての低分子量ポリイソブチレンおよびＡ−Ｂ−Ａ型ブロックポリマーに相当する配合成分としてのパラフィン系油などといった任意の適当な軟化剤を配合することによって、さらに制御できる。
【００２５】
さらに接着剤には、必要であれば充填材、顔料、老化防止剤または安定化剤などの任意の適当な添加剤が混合されていてもよい。
【００２６】
また接着剤は、水透過性をさらに高めるために、穿孔を含んでもよい。それらの穿孔は支持フィルムについて上述した方法のいずれによっても設けることができる。それらの穿孔は支持フィルムの穿孔と同時に設けても、別個の工程で設けてもよい。ただし接着剤が穿孔を有することは必須ではない。なぜなら、接着剤はレーザービームまたは水ジェットによる加工中に完全に切断されうるので、接着剤の水透過性は重要ではないからである。
【００２７】
接着剤の厚さは一般に３００μｍ未満、好ましくは３〜２００μｍ、より好ましくは３〜１００μｍ、さらに好ましくは５〜１００μｍであり、５〜７０μｍが最も好ましい。厚さが３μｍ未満であると、十分な接着強さが得られない。これに対し、厚さが３００μｍを超えると、半導体ウェーハまたは半導体関連材料をテープから取り外した後に、そのウェーハまたは材料の裏面に望ましくない接着剤残渣が形成される可能性がある。また、水を通過させるための接着層の切断を水ビームによってできなくなるおそれがある。
【００２８】
接着剤の１００％モジュラス（２０℃）は一般に１０ｋｇ／ｃｍ2 以下であり、好ましくは０．５〜８ｋｇ／ｃｍ2 である。トルエン（２０℃）に２４時間浸漬することによって決定される接着剤中のゲル含量は、通常５５重量％未満であり、好ましくは０．５重量％から５５重量％未満まで、より好ましくは３５重量％から５５重量％未満までであって、ゲル膨潤度は一般に少なくとも２０倍であり、好ましくは２５〜８０倍である。
【００２９】
本発明の水透過性接着テープは当技術分野で知られている任意の従来のテープ製造法によって製造できる。一般的には、まず、穿孔を有し３〜９０％の空隙率を持つ支持フィルムを用意する。なお、穿孔は、支持フィルムに接着剤をコーティングする工程の後に設けることもできる。接着剤は支持フィルム材に直接コーティングできる。もう一つの選択肢として、接着剤コーティングは、接着剤がまず剥離剤が塗布されたプロセス材料にコーティングするトランスファーコーティング法によって行なうこともできる。接着剤を溶解した溶剤を乾燥によって除去した後、その接着剤を支持フィルムに積層する。このコーティング工程は任意の既存のコーティング法によって行なうことができる。例えばリバースロールコーティング、グラビアコーティング、カーテンスプレーコーティング、ダイコーティング、押出および他の工業的に応用されるコーティング法などを使用できる。さらに、支持フィルム上に接着剤をコーティングするために接着剤圧延を使用することもできる。
【００３０】
伸びは半導体ウェーハおよび／または半導体関連材料の加工において常に必要なわけではないが、本発明の水透過性接着テープは伸長可能であることが好ましい。伸び値は元のテープ長の１０％より大きいことが好ましくは、２０％より大きいことがより好ましい。テープの伸びはダイシング工程後に接着テープからチップのピッキング工程に役立ちうる。
【００３１】
本発明の水透過性接着テープの引張り強さは一般に０．１Ｎ／２０ｍｍより高く、０．３Ｎ／２０ｍｍより高いことが好ましい。引張り強さが低すぎると、本発明の水透過性接着テープは、半導体ウェーハおよび／または半導体関連材料を加工する際に、容易に破損および／または切断されるだろう。
【００３２】
引張り強さと伸びは、長さ５．０ｃｍ、幅２０ｍｍの試料を使用して引張り試験機で測定される。試験を行なう速度は室温および相対湿度５０％で３００ｍｍ／分である。伸び率は次のように計算される。
伸び＝（破断時の長さ−元の長さ）／（元の長さ）×１００％。
この点での力の測定値がそのテープの引張り強さとして表される。このように引張り強さと伸びはＡＳＴＭ  Ｄ１０００に準拠する。
【００３３】
本発明の水透過性接着テープは、室温および相対湿度５０％、１８０°剥離接着強さおよび剥離速度３００ｍｍ／分（ＡＳＴＭ  Ｄ１０００に準拠）の条件下に、Ｓｉ−ウェーハ上で一般に２０Ｎ／２０ｍｍ未満、好ましくは０．１５〜１０Ｎ／２０ｍｍの接着強さを持つ。接着剤が感光性である場合（すなわち光照射によって硬化させることができる場合）または接着剤が感熱性である場合（すなわち熱によって剥離できる場合）、接着強さは光または熱処理前で一般に２０Ｎ／２０ｍｍ未満、好ましくは０．１５〜１０Ｎ／ｍｍであり、前記処理後は通例、２Ｎ／２０ｍｍ未満である。
【００３４】
【実施例】
下記の実施例に関して本発明をさらに詳しく説明する。各例中の部は全て重量部である。
【００３５】
実施例１
アクリルコポリマー１００部、可塑剤３０部および架橋剤１０部からなるアクリル接着剤を、５０μｍ厚のプロセスライナーの片面に、１５μｍの厚さでコーティングした後、１００℃で３分間乾燥した。乾燥後直ちに、穴を持つポリプロピレン繊維でできた２００μｍ厚の不織シートであって、空隙率３０％のサイズ０．１〜０．３ｍｍの穿孔でさらに穿孔されているシートを、上記のコーティングの上に積層して、半導体ウェーハ加工用の薄い接着テープを得た。このテープは、縦方向（長さ方向）に２２Ｎ／２０ｍｍの引張り強さと５５％の伸びを示し、横方向（横断方向）に１６Ｎ／２０ｍｍの引張り強さと７０％の伸びを示した。
【００３６】
実施例２
アクリルコポリマー１００部、可塑剤３０部および架橋剤１０部からなるアクリル接着剤を、５０μｍ厚のプロセスライナーの片面に、１５μｍの厚さでコーティングした後、１００℃で３分間乾燥した。乾燥後直ちに、穴を持つポリプロピレン繊維でできた２００μｍ厚の不織シートであって、空隙率５０％のサイズ０．１〜０．３ｍｍの穿孔でさらに穿孔されているシートを、上記のコーティングの上に積層して、半導体ウェーハ加工用の薄い接着テープを得た。このテープは、縦方向に１８Ｎ／２０ｍｍの引張り強さと１１０％の伸びを示し、横方向に１５Ｎ／２０ｍｍの引張り強さと１２５％の伸びを示した。
【００３７】
実施例３
アクリルコポリマー１００部、可塑剤３０部および架橋剤１０部からなるアクリル接着剤を、ＥＶＡ（ビニル含量９％）とポリエチレンのブレンドフィルム（ブレンド比（重量％）はＥＶＡ：ポリエチレン＝３０／７０）の片面に、１５μｍの厚さでコーティングした後、１００℃で３分間乾燥した。コーティング後直ちに、製造した接着テープに、縦横両方向に１ｍｍの規則的パターンのピッチ間隔で、面積０．０４ｍｍ2 の正方形の穴をあけることにより、半導体ウェーハ加工用の接着テープを得た（図１参照）。このテープは、縦方向に２０Ｎ／２０ｍｍの引張り強さと６０％の伸びを示し、横方向に１７Ｎ／２０ｍｍの引張り強さと７０％の伸びを示した。
【００３８】
実施例４
アクリルコポリマー１００部、可塑剤３０部および架橋剤１０部からなるアクリル接着剤を、ＥＶＡ（ビニル含量９％）とポリエチレンのブレンドフィルム（ブレンド比（重量％）はＥＶＡ：ポリエチレン＝３０／７０）の片面に、１５μｍの厚さでコーティングした後、１００℃で３分間乾燥した。コーティング後直ちに、製造した接着テープに、各穴の間が１ｍｍの千鳥配置のピッチ間隔で、面積０．２ｍｍ2 の円形の穴をあけることにより、半導体ウェーハ加工用の接着テープを得た（図２参照）。このテープは、縦方向に１５Ｎ／２０ｍｍの引張り強さと５０％の伸びを示し、横方向に１２Ｎ／２０ｍｍの引張り強さと６０％の伸びを示した。
【００３９】
実施例５
アクリルコポリマー、光重合性化合物としてのウレタンオリゴマーおよび光重合開始剤を、ＥＶＡ（ビニル含量９％）とポリエチレンのブレンドフィルム（ブレンド比（重量％）はＥＶＡ：ポリエチレン＝３０／７０）の片面に、１０μｍの厚さでコーティングした後、１００℃で３分間乾燥した（ＥＰ−Ａ−０１５７５０８参照）。コーティング後直ちに、製造した接着テープに、各穴の間が１ｍｍの千鳥配置のピッチ間隔で、面積０．１３ｍｍ2 の円形の穴をあけることにより、半導体ウェーハ加工用の接着テープを得た（図３参照）。このテープは、縦方向に１５Ｎ／２０ｍｍの引張り強さと５５％の伸びを示し、横方向に１４Ｎ／２０ｍｍの引張り強さと７０％の伸びを示した。
【００４０】
比較例１
比較例として、回転ダイヤモンドブレード法を使ったシリコンウェーハの加工に一般に使用されているアクリル接着剤（厚さ１０μｍ）と７０μｍの厚さを持つ標準的ＰＶＣフィルムを製造した。
【００４１】
結果を次の表１に要約する。
【表１】
0003824874.tif 000002
表１中の＊は硬化処理を示す。
【００４２】
直径１２．７ｃｍ（５インチ）の半導体ウェーハを実施例１〜５および比較例の薄い接着テープのそれぞれに接着させ、次にそれを、直径５０μｍの水マイクロジェットと組み合わせたレーザービームを使って素子チップに切断した。
【００４３】
切断後、各例をフィルム損傷、チップの切断面状態、チップ損傷、テープとウェーハの間の解離および異物混入の観点から調べた。
【００４４】
（ダイシング条件）
ダイシング装置：Ｓｙｎｏｖａ製
ダイシング速度：５０ｍｍ／ｓ
レーザー直径：５０μｍ
レーザー波長：１０６４ｎｍ
水ジェット圧：４０ＭＰａ（４００バール）
チップサイズ：３ｍｍ×３ｍｍ
ウェーハサイズ：１３．７ｃｍ（５インチ）
【００４５】
テープを直接照射した場合、本発明による実施例１〜５では、支持フィルム自体はレーザービームによって損傷されなかった。さらに、実施例１〜５の薄い接着シートは４０ＭＰａ（４００バール）の圧力でも水ジェットによって劣化しなかった。不織支持フィルム（実施例１および２）の繊維は水ジェットの障害物にはならない。なぜなら繊維直径（２０μｍ）は水ジェットよりはるかに小さいからである。また、溶融したシリコンの熱は本発明の接着テープを切断しなかった。さらに、全ての水は支持フィルムの穿孔を通して排水され、半導体ウェーハは接着テープから全くはがれなかった。また、半導体ウェーハの裏側には切断後もシリコン粒子が混入していなかった。結果として、上面からも裏面からもウェーハのきれいな切り口が観察され、チッピングおよび切り口に付着したシリコン粒子は観察されなかった。下降中にチップの飛散は観察されず、極めてまっすぐな切り口を得ることができた。引き続いて、接着テープに接着されている加工された半導体ウェーハをその伸長性について評価した。伸びは均一に起こり、加工されたチップを接着テープから適正に取り外すことができた。
【００４６】
しかし比較例１の接着テープを、水マイクロジェットと組み合わせたレーザービームを用いるダイシング工程で使用したところ、低圧の水ジェットでさえ切り口のどちらかの面で接着テープが切り口の周りから０．５〜１ｍｍはがれることが観察された。この解離は水ジェットが低圧でさえウェーハを押し下げるという事実によって起こった。結果として、素子チップの裏面には溶融したシリコン粒子が混入した。さらに、ダイシング工程中にウェーハとテープを支えるために接着テープの下に平坦な支持体を接着したが、それでも解離が観察されて、異物の混入が起こり、結局はチップ面のさらなる損傷（チッピング）が起こった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例３における接着テープの支持フィルム中の穿孔の規則的パターンのピッチを示す略図。
【図２】本発明の実施例４における接着テープの支持フィルム中の穿孔の千鳥配置のピッチを示す略図。
【図３】本発明の実施例５における接着テープの支持フィルム中の穿孔の千鳥配置のピッチを示す略図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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