(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光の透過と反射とを交互に行う第１、第２トラック、および、凹凸格子であって凹凸格子表面に反射領域を形成した第３トラックを有し、第１，第２トラックを隣接させるとともにこれら第１，第２トラックから第３トラックを離間させて配置するスケール板と、
第１トラックと第２トラックとに対向して配置される第１発光素子と、
第３トラックに対向して配置される第２発光素子と、
スケール板の第１トラックおよび第２トラックで反射された第１発光素子からの光を受光する第１受光素子と、
スケール板の第３トラックで反射された第２発光素子からの光を受光する第２受光素子と、
を備える光学式絶対値エンコーダであって、
前記第１トラックはＭ系列の規定に基づいて光を透過または反射するＭ系列トラックであり、
前記第２トラックは予め定められた周期ピッチで交互に光を透過または反射する第１内挿倍トラックであり、
前記第３トラックは第２発光素子から照射される光の四分の一波長の深さの線状の格子を、第１内挿倍トラックの周期ピッチに対して１／Ｎ（Ｎは２以上の自然数）の長さの周期ピッチとなるように、配置した凹凸格子である第２内挿倍トラックであり、
前記第１受光素子は、
前記Ｍ系列トラックと対向する位置に配置され、Ｍ系列トラックと同じ周期ピッチで配置された複数個の受光セルである一群の受光セルアレイを二群配置し、位相差πの信号を二信号得るＭ系列用の受光セルアレイと、
前記第１内挿倍トラックと対向する位置に配置され、第１内挿倍トラックと同じ周期ピッチで配置された複数個の受光セルである一群の受光セルアレイをｍ群（ｍは２の倍数）配置し、位相差π／２の信号をｍ信号得る第１内挿倍用の受光セルアレイと、
を備える素子とし、
前記第２発光素子は、
第２内挿倍トラックと同じ周期の間隔を持つように発光領域に複数の遮光領域を配置して形成した明暗格子を介して光が照射される素子とし、
前記第２受光素子は、
第２内挿倍トラックと同じ周期ピッチで配置された複数個の受光セルである一群の受光セルアレイをｎ群（ｎは２の倍数）配置し、位相差π／２の信号をｎ信号得る第２内挿倍用の受光セルアレイを備える素子とし、
第１受光素子及び第２受光素子から出力された検出信号を組合せることで、絶対位置情報を得ることを特徴とする光学式絶対値エンコーダ。
【請求項２】
請求項１記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
前記第１受光素子の第１内挿倍用の受光セルアレイは、
受光セルアレイをＡ’群，Ｂ’群の二群配置し、それぞれ位相差π／２の信号を二信号得ることを特徴とする光学式絶対値エンコーダ。
【請求項３】
請求項１記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
前記第１受光素子の第１内挿倍用の受光セルアレイは、
受光セルアレイをＡ’群，Ｂ’群，Ｃ’群，Ｄ’群の四群配置し、それぞれ位相差π／２の信号を四信号得ることを特徴とする光学式絶対値エンコーダ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
前記第２受光素子の第２内挿倍用の受光セルアレイは、
受光セルアレイをＡ”群，Ｂ”群の二群配置し、それぞれ位相差π／２の信号を二信号得ることを特徴とする光学式絶対値エンコーダ。
【請求項５】
請求項１〜請求項３の何れか一項記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
前記第２受光素子の第２内挿倍用の受光セルアレイは、
受光セルアレイをＡ”群，Ｂ”群，Ｃ”群，Ｄ”群の四群配置し、それぞれ位相差π／２の信号を四信号得ることを特徴とする光学式絶対値エンコーダ。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
第１受光素子と第２受光素子とを一体に形成した素子とすることを特徴とする光学式絶対値エンコーダ。
【請求項７】
請求項１〜請求項５の何れか一項記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
第２受光素子の中心に第２発光素子を配置し、第１受光素子，第２発光素子及び第２受光素子を一体に形成した素子とすることを特徴とする光学式絶対値エンコーダ。
【請求項８】
請求項１〜請求項７の何れか一項記載の光学式絶対値エンコーダと、
前記光学式絶対値エンコーダから出力される絶対位置情報を用いる移動体と、
を備えることを特徴とする移動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転体の角度や直線移動体の位置を検出する機能を有する光学式絶対値エンコーダ、及び、この光学式絶対値エンコーダを用いて高精度な位置決め・速度制御を実現する半導体検査装置、製造装置、工作機械その他の移動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光学式絶対値エンコーダには、光学式ロータリエンコーダおよび光学式リニアエンコーダなどが存在している。
従来技術として、例えば、本出願人による光学式ロータリエンコーダに係る発明の特許出願が、出願公開（特許出願公開番号：特開２００１−１９４１８５号，発明の名称：光学式絶対値エンコーダ）されている。
【０００３】
この従来技術について図を参照しつつ説明する。図２５は、従来技術の光学式ロータリエンコーダの構成図であり、図２５（ａ）はその断面図、図２５（ｂ）はスリット円板の説明図である。
これは、エンコーダケース１００にベアリング１０１、１０２を介して取付られた中空軸１０３と、この中空軸１０３に取付けられ、外周部に光を一定周期で透過させるスリットを有するスリット円板１０４と、エンコーダケース１００の内部であってスリット円板１０４のスリットを照明できる位置に配置された発光素子の一具体例であるＬＥＤ（Light Emitting Diode）１０５と、スリット円板１０４を挟みＬＥＤ１０５と対向して配置された受光素子１０６と、この受光素子１０６および図示しない電子部品が実装され、エンコーダケース１００に取り付けられたプリント基板１０７から構成される。
【０００４】
この受光素子１０６の構成について説明する。図２６に受光素子１０６の構成図を示す。位置関係を明確にするため図２５（ｂ）と図２６とで共通の矢印２０１，２０２，２０３，２０４を用いている。図２５（ｂ），図２６の下方向は光学式ロータリエンコーダの中心方向２０１であり、上方向は外周方向２０２である。また、左右方向は円周方向２０３，２０４となる。
【０００５】
図２６中の斜線で示した領域は感帯部である受光セルを示し、その他の領域は光を検出しない不感帯を示している。受光素子１０６は、受光セルを複数集めた受光セルアレイを１群とし、さらに複数群の受光セルアレイを有するものであり、Ａ群，Ｂ群，Ａ’群，Ｂ’群，Ａ”群，Ｂ”群の６群の受光セルアレイを有している。
【０００６】
詳しくは、図２６の最上段の８個の受光セルから構成される受光セルアレイＡ群１０６Ａ、上から２段目の８個の受光セルから構成される受光セルアレイＢ群１０６Ｂ、最下段の左側の６個の受光セルから構成される受光セルアレイＡ’群１０６Ａ’、 最下段の右側の６個の受光セルから構成される受光セルアレイＢ’群１０６Ｂ’、上から３段目左側の多数の受光セルから構成される受光セルアレイＡ”群１０６Ａ”、上から３段目右側の多数の受光セルから構成される受光セルアレイＢ”群１０６Ｂ”とに分割される。
【０００７】
このような受光セルアレイＡ群１０６Ａ，Ｂ群１０６Ｂは、図２５（ｂ）で示すように、スリット円板１０４の検出用トラック１０４ａのうち最外周（２０２側）のＭ系列スリット列を透過した光を受光してＭ系列信号を出力する、
また、受光セルアレイＡ’群１０６Ａ’，Ｂ’群１０６Ｂ’は、図２５（ｂ）で示すように、スリット円板１０４の検出用トラック１０４ａのうち最内周（２０１側）の第１内挿倍スリット列を透過した光を受光して第１内挿倍信号を出力する。
また、受光セルアレイＡ”群１０６Ａ”，Ｂ”群１０６Ｂ”は、図２５（ｂ）で示すように、スリット円板１０４の検出用トラック１０４ａのうち中央の第２内挿倍スリット列を透過した光を受光して第２内挿倍信号を出力する。
【０００８】
プリント基板１０７に搭載される図示しないＣＰＵは、これらＭ系列信号、第１内挿倍信号、第２内挿倍信号を組合せ、絶対値の位置情報を得る。
このように構成することで、大型化・コスト増大を回避するとともに、高精度・高分解能の検出を実現していた。従来技術の光学式ロータリエンコーダはこのように構成される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
近年では光学式絶対値エンコーダをより高分解能にしたいという要請がある。従来技術において、更なる高分解能化を実現するためには、第２内挿倍スリット列のスリットピッチをさらに小さくしなければならないが、それにともなって受光素子１０６とスリット円板１０４との間隔も非常に狭くしなければならない。しかしながら、この間隔の管理は困難であるという問題点があった。
【００１０】
本発明は、上記したような問題点を解決するものであり、その目的は、高分解能化、スケール板（スリット円板）と受光素子間との間隔の管理の容易化、および、絶対値化の３条件を共に満たす光学式絶対値エンコーダを提供することにある。
また、他の目的は、この光学式絶対値エンコーダを用いて高精度の位置検出を実現する移動装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明に係る光学式絶対値エンコーダは、
光の透過と反射とを交互に行う第１、第２トラック、および、凹凸格子であって凹凸格子表面に反射領域を形成した第３トラックを有し、第１，第２トラックを隣接させるとともにこれら第１，第２トラックから第３トラックを離間させて配置するスケール板と、
第１トラックと第２トラックとに対向して配置される第１発光素子と、
第３トラックに対向して配置される第２発光素子と、
スケール板の第１トラックおよび第２トラックで反射された第１発光素子からの光を受光する第１受光素子と、
スケール板の第３トラックで反射された第２発光素子からの光を受光する第２受光素子と、
を備える光学式絶対値エンコーダであって、
前記第１トラックはＭ系列の規定に基づいて光を透過または反射するＭ系列トラックであり、
前記第２トラックは予め定められた周期ピッチで交互に光を透過または反射する第１内挿倍トラックであり、
前記第３トラックは第２発光素子から照射される光の四分の一波長の深さの線状の格子を、第１内挿倍トラックの周期ピッチに対して１／Ｎ（Ｎは２以上の自然数）の長さの周期ピッチとなるように、配置した凹凸格子である第２内挿倍トラックであり、
前記第１受光素子は、
前記Ｍ系列トラックと対向する位置に配置され、Ｍ系列トラックと同じ周期ピッチで配置された複数個の受光セルである一群の受光セルアレイを二群配置し、位相差πの信号を二信号得るＭ系列用の受光セルアレイと、
前記第１内挿倍トラックと対向する位置に配置され、第１内挿倍トラックと同じ周期ピッチで配置された複数個の受光セルである一群の受光セルアレイをｍ群（ｍは２の倍数）配置し、位相差π／２の信号をｍ信号得る第１内挿倍用の受光セルアレイと、
を備える素子とし、
前記第２発光素子は、
第２内挿倍トラックと同じ周期の間隔を持つように発光領域に複数の遮光領域を配置して形成した明暗格子を介して光が照射される素子とし、
前記第２受光素子は、
第２内挿倍トラックと同じ周期ピッチで配置された複数個の受光セルである一群の受光セルアレイをｎ群（ｎは２の倍数）配置し、位相差π／２の信号をｎ信号得る第２内挿倍用の受光セルアレイを備える素子とし、
第１受光素子及び第２受光素子から出力された検出信号を組合せることで、絶対位置情報を得ることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項２の発明に係る光学式絶対値エンコーダは、
請求項１記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
前記第１受光素子の第１内挿倍用の受光セルアレイは、
受光セルアレイをＡ’群，Ｂ’群の二群配置し、それぞれ位相差π／２の信号を二信号得ることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項３の発明に係る光学式絶対値エンコーダは、
請求項１記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
前記第１受光素子の第１内挿倍用の受光セルアレイは、
受光セルアレイをＡ’群，Ｂ’群，Ｃ’群，Ｄ’群の四群配置し、それぞれ位相差π／２の信号を四信号得ることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項４の発明に係る光学式絶対値エンコーダは、
請求項１〜請求項３の何れか一項記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
前記第２受光素子の第２内挿倍用の受光セルアレイは、
受光セルアレイをＡ”群，Ｂ”群の二群配置し、それぞれ位相差π／２の信号を二信号得ることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項５の発明に係る光学式絶対値エンコーダは、
請求項１〜請求項３の何れか一項記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
前記第２受光素子の第２内挿倍用の受光セルアレイは、
受光セルアレイをＡ”群，Ｂ”群，Ｃ”群，Ｄ”群の四群配置し、それぞれ位相差π／２の信号を四信号得ることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項６の発明に係る光学式絶対値エンコーダは、
請求項１〜請求項５の何れか一項記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
第１受光素子と第２受光素子とを一体に形成した素子とすることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項７の発明に係る光学式絶対値エンコーダは、
請求項１〜請求項５の何れか一項記載の光学式絶対値エンコーダにおいて、
第２受光素子の中心に第２発光素子を配置し、第１受光素子，第２発光素子及び第２受光素子を一体に形成した素子とすることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項８の発明に係る移動装置は、
請求項１〜請求項７の何れか一項記載の光学式絶対値エンコーダと、
前記光学式絶対値エンコーダから出力される絶対位置情報を用いる移動体と、
を備えることを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の請求項１，２，５に係る第１実施形態の光学式絶対値エンコーダについて説明する。ここに図１は本実施形態の光学式絶対値エンコーダが備えるスケール板の構成図、図２は本実施形態の光学式絶対値エンコーダが備える検出部の構成図、図３は本実施形態の光学式絶対値エンコーダの構成図、図４は第１受光素子２３の受光セルアレイ群の説明図、図５は第２発光素子２４，第２受光素子２５の説明図、図６は第２受光素子２５の受光セルアレイ群の説明図、図７は第２トラックと第３トラックとのピッチを説明する説明図である。
【００２０】
光学式絶対値エンコーダは、図１で示すスケール板１０と図２で示す検出部２０とを少なくとも備えるものである。
スケール板１０は、図１で示すように、透明板１１、第１トラック１２、第２トラック１３、および、第３トラック１４を備えている。
検出部２０は、図２で示すように、回路基板２１、第１発光素子２２、第１受光素子２３、第２発光素子２４、第２受光素子２５を備えている。
【００２１】
そして、図３で示すように、検出部２０がスケール板１０と対向するとともに所定距離だけ離間するように配置される。この場合、スケール板１０または検出部２０のどちらか一方が図示しない移動体に固定されて図３で示す矢印ａ方向に移動するようになされ、他方は固定されて動かないようになされている。なお、本実施形態では説明を具体化するため、検出部２０は固定され、また、スケール板１０が移動体に取り付けられて移動体とともに移動するものとして以下説明する。
【００２２】
続いて、スケール板１０と検出部２０とを詳細に説明する。まず、スケール板１０について説明する。
図１（ａ）は、検出部２０からスケール板１０を眺めた図、図１（ｂ）は、第３トラック（第２内挿倍トラック）１４を分断するＡ−Ａ’線断面図である。
図１（ａ）で示すように、透明板１１の上に設けられた第１トラック１２は、M系列トラックであり、第２トラック１３は第１内挿倍トラックであり、また、第３トラック１４は第２内挿倍トラックである。
【００２３】
第１トラック１２のM系列トラックは、図１の斜線部で表される反射部１２ａと、隣接する二個の反射部の間にある透過部１２ｂとを交互に形成してなるトラックである。
反射部１２ａを透明板１１の上に多数設けると、隣接する２個の反射部１２ａの間は透過部１２ｂとなって、反射部１２ａと透過部１２ｂとが交互に形成される。このような反射部１２ａと透過部１２ｂとをＭ系列の規則に従って配置してＭ系列トラックを形成する。
【００２４】
ここで、Ｍ系列とは、Ｎを自然数とし、１周期あたり２Ｎ個の１または０の組み合わせで構成され、簡単な規則によって作られる確定的系列であるが、外観上不規則な系列に似ているものである。このＭ系列の特定位置から連続するＮ個の１または０情報（パターン）は、Ｍ系列内では１つしか存在しないため、２Ｎ個の重複しない情報を持つ。このＭ系列トラックは、このＭ系列の１を反射部１２ａ、０を透過部１２ｂとして、２Ｎ個の明暗格子を有するものある。
【００２５】
第２トラック１３の第１内挿倍トラックは、同様に反射部１３ａを透明板１１の上に多数設け、反射部１３ａと透過部１３ｂとを交互に形成してなるトラックである。特定の周期で交互に反射部１３ａと透過部１３ｂとを配置して第１内挿倍トラックを形成する。
【００２６】
第３トラック１４の第２内挿倍トラックは、図１（ｂ）で示すように、スケール板１０の移動方向である矢印ａ方向と垂直方向に線状に形成され、第２発光素子２４から照射される光の波長に対し１／４波長の深さｄで、所定の周期（以下、この周期を位相差周期と称す。）Ｐｂで設けられた凹凸格子から構成される。
第３トラック１４の凹凸格子上には、非常に薄い反射膜が設けられている。なお、第３トラック１４の凹凸格子の位相差周期Ｐｂは、第２トラック１３の位相差周期Ｐａの１／Ｎ倍である。つまりＰａ＝Ｎ・Ｐｂが成立する。ここでＮは２以上の自然数の中から適当に選択された整数である。なお、図１（ａ）では、Ｎ＝約１０程度となるように図示されているが、本実施形態ではＮ＝２が選択されるものとして以下説明を進める。
【００２７】
続いて、検出部２０について説明する。図２（ａ）は第１発光素子２２，第１受光素子２３を横側から眺めた図、図２（ｂ）はスケール板１０から検出部２０を眺めた図、図２（ｃ）は第２発光素子２４，第２受光素子２５を横側から眺めた図である。
光学式絶対値エンコーダの検出部２０は、図２（ａ），（ｂ），（ｃ）で示すように、回路基板２１、第１発光素子２２、第１受光素子２３、第２発光素子２４、第２受光素子２５を備えている。
【００２８】
回路基板２１は、図２（ｂ）で示すように、第１発光素子２２、第１受光素子２３、第２発光素子２４、第２受光素子２５を搭載している。なお、図中の余白部分は、図示しないが、他の電子部品を搭載している。
第１発光素子２２は、回路基板２１に直接、または、適宜構成された取付部材を介して配置され、平行光を発するように構成されている。
【００２９】
第１受光素子２３は、詳しくは図４に示すように構成される。図４の斜線で示した領域は、それぞれが光を感じる感帯部である受光セルを示し、その他の領域は光を検出しない不感帯を示している。
そして、第１受光素子２３は、図４の最上段に位置する８個の受光セルから構成される受光セルアレイＡ群２３Ａ、上から２段目に位置する８個の受光セルから構成される受光セルアレイＢ群２３Ｂ、左下に位置する６個の受光セルから構成される受光セルアレイＡ’群２３Ａ’、および、右下に位置する６個の受光セルから構成される受光セルアレイＢ’群２３Ｂ’から構成される。
【００３０】
受光セルアレイＡ群２３Ａ，Ｂ群２３ＢはＭ系列トラックである第１トラック１２に対向して配置されており、第１発光素子２２から照射されて第１トラック１２の反射部１２ａで反射した反射光を検出してＭ系列信号を出力する。
受光セルアレイＡ’群２３Ａ’，Ｂ’群２３Ｂ’は第１内挿倍トラックである第２トラック１３に対向して配置されており、第１発光素子２２から照射されて第２トラック１３の反射部１３ａで反射した反射光を検出して第１内挿倍信号を出力する。
【００３１】
Ｍ系列用の受光セルアレイＡ群２３Ａ，Ｂ群２３Ｂでは１群の受光セルアレイに受光セルが８個あることから１群で８ビットのＭ系列を検出できる。受光セルアレイＡ群２３Ａ，Ｂ群２３Ｂの受光セルは周期的に配置されるものであり、隣接する２つの受光セル間の距離である周期ピッチＰａ（以下、Ｍ系列用周期ピッチＰａという。）は、電気角で３６０°である。受光セルアレイＡ群２３Ａ、Ｂ群２３Ｂの位相差を電気角で１８０°とするため、図４の位相差Ｐ５の距離は、Ｍ系列用周期ピッチＰａの半分、つまり、Ｐａ／２とする。
【００３２】
一方、第１内挿倍用の受光セルアレイＡ’群２３Ａ’の６個の受光セルと受光セルアレイＢ’群２３Ｂ’の６個の受光セルは、それぞれ電気的に並列接続となっている（つまり６個の受光セルから出力される信号の和信号となる）。また、受光セルアレイＡ’群２３Ａ’，Ｂ群２３Ｂ’の周期ピッチ（以下、第１内挿倍用周期ピッチという。）Ｐ２，Ｐ３はＭ系列検出用周期ピッチＰ１と同じ値、つまり、第１内挿倍用周期ピッチはＰａとなるように設けられている。
【００３３】
第１内挿倍用周期ピッチＰａ（＝Ｐ２＝Ｐ３）を電気角で３６０°とした場合に、受光セルアレイＡ’群２３Ａ’，Ｂ群２３Ｂ’の位相差を９０°もしくは２７０°の電気角の位相差に設定するためには、図４の位相差となる距離Ｐ４を、Ｐａ／４または３Ｐａ／４とすることにより達成される。なお、本実施形態では説明の具体化のため距離Ｐ４はＰａ／４であるとして説明する。
【００３４】
さらに、Ｍ系列用の受光セルアレイＢ群２３Ｂと第１内挿倍検出用の受光セルアレイＡ’群２３Ａ’とは適当な位相差にて配置されるが、本実施形態では、受光セルアレイＢ群２３Ｂと受光セルアレイＡ’群２３Ａ’との機械角が同位相となるように配置されている。
【００３５】
続いて、第２発光素子２４・第２受光素子２５について説明する。
図５（ａ）に第２発光素子２４を、図５（ｂ）に第２受光素子２５をそれぞれ示す。この図でスケール板１０の移動方向は矢印ａの方向である。第２発光素子２４は、数μｍの発光領域２４ａに、複数の遮光領域２４ｂを配置して明暗パターンが形成されている。この明暗パターンの周期は、第２内挿倍トラックである第３トラック１４の位相差周期Ｐｂと同じ周期である。発光領域２４ａおよび遮光領域２４ｂは、スケール板１０の移動方向ａに対して垂直方向に配置されている。このような光は第３トラック１４上で干渉縞を生じることになる。
【００３６】
図５（ｂ）に第２受光素子２５を示す。前記第２受光素子２５は、それぞれ独立した光を検出するための４個の受光セルアレイＡ”群２５Ａ”，Ｂ群２５Ｂ”，Ｃ”群２５Ｃ”，Ｄ群２５Ｄ”が配置されている。これら４個の受光セルアレイＡ”群２５Ａ”，Ｂ群２５Ｂ”，Ｃ”群２５Ｃ”，Ｄ群２５Ｄ”は、スケール板１０の第２内挿倍トラックである第３トラック１４の位相差周期Ｐｂと同じ周期で、スケール板１０の移動方向（矢印ａ方向）に対して垂直方向に配置された感帯部により形成される。
【００３７】
第２受光素子２５は、詳しくは図６に示すように構成される。図４の斜線で示した領域は、それぞれが光を感じる感帯部である受光セルを示し、その他の領域は光を検出しない不感帯を示している。
そして、第２受光素子２５は、図６の下段左側に位置する６個の受光セルから構成される受光セルアレイＡ”群２５Ａ”、下段右側に位置する６個の受光セルから構成される受光セルアレイＢ”群２５Ｂ”、上段左側に位置する６個の受光セルから構成される受光セルアレイＣ”群２５Ｃ”、および、上段右側に位置する６個の受光セルから構成される受光セルアレイＤ”群２５Ｄ”から構成されている。
Ａ”群２５Ａ”，Ｂ”群２５Ｂ”，Ｃ”群２５Ｃ”およびＤ”群２５Ｄ”において、各受光セルは、それぞれ電気的に並列に接続されている（つまり同じ群にある６個の受光セルから出力される信号の和信号となる）。
【００３８】
隣接する２つの受光セル間のピッチＰ６（＝Ｐｂ）とすると、Ｐ７は０．２５Ｐｂ、Ｐ８は０．５Ｐｂ、Ｐ９は１．２５Ｐｂの距離となる。
このように配置することで、第３トラック１４のトラックの１周期ピッチが電気角３６０゜に対応する周期信号であり、
Ａ”群とＢ”群との位相差は、（９０＋α×３６０）゜に、
Ａ”群とＣ”群との位相差は、（１８０＋β×３６０）゜に、
Ａ”群とＤ”群との位相差は、（２７０＋γ×３６０）゜にそれぞれなる。
ここに、α，β，γは適当な任意の整数である。
本実施形態ではＡ”群とＢ”群との位相差は９０゜であり、Ａ”群とＣ”群との位相差は１８０゜であり、Ａ”群とＤ”群との位相差は２７０゜である
【００３９】
なお、第１内挿倍トラックの周期Ｐａと第２内挿倍トラックの周期Ｐｂとをより具体的に説明するため、前記したＮを２としてＰａ＝２・Ｐｂであるとすると、図７で示すような関係となる。この場合、第３トラック１４の周期は第２トラック１３の周期の１／２倍の周期を有している。図４で示す第１受光素子２３、および、図６で示す第２受光素子２５の大小関係において、実際は、第２受光素子２５は第１受光素子２３よりも小さいこととなる。
【００４０】
続いてエンコーダとしての動作について説明する。
図８は第１受光素子へ到達する反射光の説明図、図９は第２発光素子および第２受光素子による光検出を説明する説明図、図１０は検出信号の説明図である。
まず、第１発光素子２２、第１受光素子２３の動作について説明する。
例えば、図３（ａ）で示すように、第１発光素子２２からの照明光は、スケール板１０の第１トラック１２・第２トラック１３を照明し、反射部での反射により光が多い領域（明領域）と透過部での透過により反射光が少ない領域（暗領域）とを含む反射光が第１受光素子２３へ入射される。
【００４１】
そして、図８で示すような反射光が第１受光素子２３へ到達する。上段の白黒で表される列は、Ｍ系列トラックである第１トラック１２による反射光２７であり、また、下段の白黒で表される列は、第１内挿倍トラックである第２トラック１３による反射光２８である。
【００４２】
図８の反射光２７で黒く示す領域はスケール板１０の第１トラック１２の透過部１２ａで透過したため反射光がないか著しく少ない暗領域であり、この暗領域は受光セルが光を受光しない。
また、黒くない領域はスケール板１０の第１トラック１２の反射部１２ｂで反射したため反射光が多い明領域であり、この明領域は受光セルが光を受光する。
【００４３】
同様に、図８の反射光２８の黒く示す領域は、スケール板１０の第２トラック１３の透過部１３ａで透過したため反射光がないか著しく少ない暗領域であり、この暗領域は受光セルが光を受光しない。
また、黒くない領域はスケール板１０の第２トラック１３の反射部１３ｂで反射したため反射光が多い明領域であり、この明領域は受光セルが光を受光する。
そして、受光セルは光量に比例して光電流信号を出力する。具体的には、図１０で示すように、周期的に変化する信号を出力する。
【００４４】
続いて、第２発光素子２４、第２受光素子２５の動作について説明する。
例えば、図５（ａ）で示すように、発光領域２４ａに複数の遮光領域２４ｂを配置して形成した明暗パターンを介して、図３（ｃ）で示すように、第２発光素子２４から照射された光線は、スケール板１０を照明すると、スケール板１０の第３トラック１４の明暗格子（図１（ｂ）参照）により回折しつつ反射膜により反射して発生した±１次回折光により、図９で示すように、所定の位置に干渉縞２９が発生する。そして、この干渉縞２９が第２受光素子２５へ入射する。
【００４５】
なお、干渉縞２９の明暗領域により第２受光素子２５の各受光セルで光量が変化する点は図８を用いてした説明と同様であるが、特徴点としては、干渉縞２９が第２受光素子２５の受光面でスケール板１０の移動速度の２倍の速度で移動するように受光されるため、第３トラック１４の凹凸の明暗格子の位相差周期（＝Ｐｂ）の１／２周期で、９０゜位相差の４相光電流信号を得られる点にある。このため、図１０で示すように第１内挿倍信号の一周期の信号を得る期間で第２内挿倍信号を４周期得られている。第３トラック１４・第２受光素子２５の位相差周期（＝Ｐｂ）は大きいままで従来よりも２倍の位相差周期の第２内挿倍信号を得られる。
【００４６】
このような第１受光素子２３，第２受光素子２５は、到達した照射光の光量に比例して光電流信号を出力する。
第１受光素子２３の受光セルアレイＡ群２３Ａ，Ｂ群２３Ｂは、Ｍ系列トラックである第１トラック１２による反射光を受光して、光電流信号であるＭ系列信号を出力する。
第１受光素子２３の受光セルアレイＡ’群２３Ａ’，Ｂ’群２３Ｂ’は、第１内挿倍トラックである第２トラック１３による反射光を受光して、光電流信号である第１内挿倍信号を出力する。
第２受光素子２５の受光セルアレイＡ”群２５Ａ”，Ｂ”群２５Ｂ”，Ｃ”群２５Ｃ”，Ｄ”群２５Ｄ”は、第２内挿倍トラックである第３トラック１４による干渉縞を受光して、光電流信号である第２内挿倍信号を出力する。
【００４７】
これらＭ系列信号・第１内挿倍信号・第２内挿倍信号は、図示しないが、電流電圧変換用抵抗でＩ／Ｖ変換されて電圧のＭ系列信号に変換され、コンパレータ等により波形整形されたのちに、ＣＰＵに取り込まれる。
【００４８】
ＣＰＵに取り込まれる前のアナログ電圧信号は図１０で示すようになる。
スケール板１０が移動して反射光・干渉縞の明暗位置の変化に対応し、図１０に示すようなＭ系列信号３１，３２および第１内挿倍信号３３，３４、第２内挿倍信号３５，３６を得る。
例えば、図１０では、Ｍ系列用の受光セルアレイＡ群の中の一個の受光セルからのＭ系列信号３１、Ｍ系列用の受光セルアレイＢ群の中の一個の受光セルからのＭ系列信号３２、第１内挿倍用の受光セルアレイＡ’群，Ｂ’群からの第１内挿倍信号３３，３４及び第２内挿倍用の受光セルアレイＡ”群，Ｂ”群からの第２内挿倍信号３５，３６が図示されている。先ほど説明したように、第１内挿倍信号の一周期の信号を得る期間で第２内挿倍信号を４周期得られている。
【００４９】
図１０の縦軸は、各受光セルからの光電流信号を変換した電圧信号Ｖを示し、横軸はスケール番１０の移動に応じた絶対位置θを示す。なお、第１内挿倍信号３３，３４、および、第２内挿倍信号３５，３６は、オフセット電圧が加算されている。
但し、本実施形態では、第２受光素子３５から得られる第２内挿倍信号は実際にはＡ”群，Ｂ”群，Ｃ”群，Ｄ”群の４信号であるが、ここではＡ”群，Ｂ”群の２信号のみ図示しており、その他のＣ”群，Ｄ”群の２信号は図示を省略している。
【００５０】
さて、第２受光素子２５が受光セルアレイＡ”群２５Ａ”，Ｂ”群２５Ｂ”，Ｃ”群２５Ｃ”，Ｄ”群２５Ｄ”という４群を配置しているが、４相信号とすることにより、組立誤差、受光素子の感度ばらつき、第２発光素子２４の照明むらなどに影響されて下位信号の電気角に角度誤差が発生する事態を回避し、高精度・高分解能の検出を実現することができる。この点は本出願人により特願平１１−３２２０７３号として特許出願され、特開平２００１−１４１５２２号として出願公開された発明に基づくものであり、簡単に説明するに止める。
【００５１】
第２受光素子２５の受光セルアレイＡ”群２５Ａ”，Ｂ”群２５Ｂ”，Ｃ”群２５Ｃ”，Ｄ”群２５Ｄ”という４群から出力され、ＣＰＵに取り込まれる信号を、ＩＡ  、ＩＢ 、ＩＣ  、ＩＤ とすると次式のようになる。
【００５２】
【数１】
0003738742.tif 000002
【００５３】
そして三角関数の公式により変形すると次式のようになる。
【００５４】
【数２】
0003738742.tif 000003
【００５５】
そしてこれら式から誤差成分であるΔＸ，ΔＹが除去されるように式を変形すると次式のようになる。
【００５６】
【数３】
0003738742.tif 000004
【００５７】
また、他の計算方法でΔＸ，ΔＹが除去されるように式を変形すると次式のようになる。
【００５８】
【数４】
0003738742.tif 000005
【００５９】
ここでｍ，ｎ，Ｐは定数であるが、好ましくはｍ−ｎ／２＝Ｐの関係を満たすように決定される。
このような式により求められたθ（絶対位置）は、誤差成分がないため正確な絶対位置を表している。このように４群の第２内挿倍信号を検出することで、検出精度を高めている。
【００６０】
続いて、取り込んだＭ系列信号・第１内挿倍信号・第２内挿倍信号を用いる絶対位置の検出原理について説明する。例えば、図８で示すＭ系列用の受光セルアレイＢ群２３Ｂのように各受光セル毎の明部・暗部が明瞭な場合は各受光セル毎の検出が明確になされるが、図８で示すＭ系列用の受光セルアレイＡ群の受光セルのように、Ｍ系列トラックにて受光セルの一部の領域（例えば図８の受光セル４０など）が暗部と明部が共にある場合、受光セルアレイＡ群の８個の受光セルからの信号は、暗状態であるか、もしくは、明状態であるかを判断することが困難となり、正確な角度情報を得ることが困難となる。
【００６１】
そこで、受光セルアレイＢ群２３Ｂでは完全に明部（受光セル４１など）又は暗部（受光セル４２など）の状態となっている点に着目し、受光セルアレイＡ群２３Ａからの出力信号でなく、受光セルアレイＢ群２３Ｂからの出力信号を用いて、正しいＭ系列信号を得ることとなる。
【００６２】
例えば、図１０の３７ａの位置における検出信号では、受光セルアレイＡ群２３Ａのある受光セルの検出信号３１は、Ｍ系列信号が立ち上がっている途中であり、Ｈｉｇｈ又はＬｏｗ信号を判断するためには、不安定な状態であることがわかる。しかしながら、同じ位置３７ａでも受光セルアレイＢ群２３Ｂのある受光セルの検出信号３２は完全にＨｉｇｈ側であるために、Ｍ系列信号を正しく検出できる。
【００６３】
纏めると、間隔３８に含まれる位置の場合にはＣＰＵが受光セルアレイＡ群２３ＡのＭ系列信号を選択するようにする。この選択を行う判断手法として、例えば、位置３７ｂにおける場合の第１内挿倍用の受光セルアレイＡ’群２３Ａ’の出力信号３３がマイナス側、すなわち、オフセット成分よりもＬｏｗ側にある場合には、受光セルアレイＡ群２３ＡのＭ系列信号を選択する。
【００６４】
同様に、間隔３９に含まれる角度の場合にはＣＰＵが受光セルアレイＢ群２３ＢのＭ系列信号を選択するようにする。この選択を行う判断手法として、例えば、角度３７ａにおける場合の第１内挿倍用の受光セルアレイＡ’群２３Ａ’の出力信号がプラス側、すなわち、オフセット成分よりもＨｉｇｈ側にある場合に受光セルアレイＢ群２３ＢのＭ系列信号を選択する。
【００６５】
そして、このようにして得られた受光セルアレイＡ群，Ｂ群の正しいＭ系列信号を、例えば、ＣＰＵが角度情報に変換する。これによりＭ系列信号は絶対値角度情報に変換される。ここで、Ｍ系列信号によって得られた８ビット分の分解能を上位８ビットと呼ぶ。
【００６６】
更に、高分解能とするために、第１内挿倍信号と同期して得られた第２内挿倍信号をさらに電気的に内挿倍することにより、Ｍ系列で得られた８ビットの分解能を超える分解能を実現することが可能となる。ここで、第２内挿倍によって得られたＸビット分の分解能を下位Ｘビットと呼ぶ。この上位８ビットの分解能と下位Ｘビットの分解能を組合せた分解能、すなわち８＋Ｘビット分の分解能を光学式ロータリエンコーダの分解能と呼ぶ。
【００６７】
しかしながら、下位の第２内挿倍信号は、Ｍ系列信号の１周期ピッチ内に４周期ピッチ分の内挿倍情報を持つために、何番目の内挿倍信号かを判断することが困難となる。例えば、位置３７ａにおいて角度情報を得ようとした場合、３番目の第２内挿倍信号３９ａを内挿倍するのであるが、１番目第２内挿倍信号３８ａ〜４番目第２内挿倍信号３９ｂの中のどの第２内挿倍信号を内挿倍したのかを判断することができない。そこで、第１内挿倍信号を電気的に内挿倍することにより、１番目〜４番目第２内挿倍信号３８ａ，３８ｂ，３９ａ，３９ｂを選定することが可能となる。
【００６８】
例えば、本実施形態の場合は、第１内挿倍信号３３がＬｏｗ，３４がＨｉｇｈならば１番目第２内挿倍信号３８ａに、第１内挿倍信号３３，３４がともにＬｏｗならば２番目第２内挿倍信号３８ｂに、第１内挿倍信号３３がＨｉｇｈ，３４がＬｏｗならば３番目第２内挿倍信号３９ａに、第１内挿倍信号３３，３４がともにＨｉｇｈの場合が４番目第２内挿倍信号３９ｂに対応しているため、どの第２内挿倍信号を内挿倍したかの判断を行うことができる。
【００６９】
１番目〜４番目第２内挿倍信号の選定を可能とするため、第１内挿倍信号は、最低２ビット分だけ内挿倍できるようにすればよい。ここで、例えば、第１内挿倍信号によって得られた２ビットの分解能を中位２ビットと呼ぶ。これにより、Ｍ系列で得られた分解能８ビットに、中位２ビット及び下位のＸビットをつなぎ合わせることにより、（８＋２＋Ｘ）ビットの分解能を有する光学式絶対値エンコーダが実現可能である。
【００７０】
なお、本実施形態では、Ｐａ＝２・Ｐｂとして具体的に説明したが、この値は２以外にも２の倍数である自然数を適宜選択することが可能である。
このような本実施形態の光学式絶対値エンコーダでは、高分解能を実現することが可能となる。また、高性能なＡ／Ｄ変換器なども不要となるため、コストダウンとなる。
【００７１】
以上本実施形態では光学式絶対値エンコーダの一具体例である光学式リニアエンコーダについて説明した。しかしながら、本発明は光学式リニアエンコーダに限定するものではなく、電気角を検出するようにした光学式ロータリエンコーダにも適用できる。光学式リニアエンコーダは発光素子と受光素子を一体に取り付けた検出部とスケール板と相対的に移動させる構成であるのに対し、光学式ロータリエンコーダはスリット円板を回転させるの点で相違するものの下位信号は電気角θを用いるなどその原理は同じである。本発明を適用した光学式ロータリエンコーダでも高分解能化を実現できる。
【００７２】
続いて、本発明の請求項１，３，５に係る第２実施形態の光学式絶対値エンコーダについて説明する。ここに図１１は本実施形態の第１受光素子２３の受光セルアレイ群の説明図である。なお、第１実施形態と共通する点については同じ図面・同じ符号を用いて説明する。
第１実施形態の第１受光素子２３の第１内挿倍検出用の受光セルアレイがＡ’群，Ｂ’群の２群であったのに対し、本実施形態では第１受光素子２３の第１内挿倍検出用の受光セルアレイがＡ’群，Ｂ’群，Ｃ’群，Ｄ’群の４群である点が相異している。
【００７３】
第１受光素子２３は、図１１の最上段に位置する８個の受光セルから構成される受光セルアレイＡ群２３Ａ、上から２段目に位置する８個の受光セルから構成される受光セルアレイＢ群２３Ｂ、最下段左側に位置する６個の受光セルから構成される受光セルアレイＡ’群２３Ａ’最下段右側に位置する６個の受光セルから構成される受光セルアレイＢ’群２３Ｂ’、上から３段目左側に位置する６個の受光セルから構成される受光セルアレイＣ’群２３Ｃ’、および、上から３段目右側に位置する６個の受光セルから構成される受光セルアレイＤ’群２３Ｄ’から構成される。
図１１の斜線で示した領域は、それぞれが光を感じる感帯部である受光セルを示し、その他の領域は光を検出しない不感帯を示している。
【００７４】
受光セルアレイＡ群２３Ａ，Ｂ群２３ＢはＭ系列トラックである第１トラック１２に対向して配置されており、第１トラック１２の反射部１２ａからの反射光を検出してＭ系列信号を出力する。この点は第１実施形態と同様である。
そして、受光セルアレイＡ’群２３Ａ’，Ｂ群’２３Ｂ’，Ｃ’群２３Ｃ’，Ｄ群’２３Ｄ’は、第１内挿倍トラックである第２トラック１３に対向して配置されており、第２トラック１３の反射部１３ａからの反射光を検出して第１内挿倍信号を出力する。
【００７５】
Ａ’群とＢ’群との位相差は、（９０＋α×３６０）゜に、
Ａ’群とＣ’群との位相差は、（１８０＋β×３６０）゜に、
Ａ’群とＤ’群との位相差は、（２７０＋γ×３６０）゜にそれぞれなる。
ここに、α，β，γは適当な任意の整数である。
本実施形態ではＡ’群とＢ’群との位相差は９０゜であり、Ａ’群とＣ’群との位相差は１８０゜であり、Ａ’群とＤ’群との位相差は２７０゜である
【００７６】
このように第１受光素子２３の第１内挿倍信号を検出する受光セルアレイを４群としたことで、第１内挿倍信号も先に数１〜数４を用いて説明したような原理により高精度な検出が可能となる。
このようにしても本発明の実施は可能である。
【００７７】
続いて、本発明の請求項１，２，３，４に係る第３実施形態について、図を参照しつつ説明する。図１２は本実施形態の第２受光素子２５の受光セルアレイ群の説明図である。
本実施形態では第２受光素子２５を図１２で示すように受光セルアレイＡ”群２５Ａ”，Ｂ”群２５Ｂ”の二群のみであるとした。この場合、得られる第１内挿倍信号は９０゜の位相差の二信号となる。
【００７８】
この場合、第１受光素子２３は、図４で示したようにＡ群，Ｂ群，Ａ’群，Ｂ’群という構成にしてもよく、また、図１１で示したようにＡ群，Ｂ群，Ａ’群，Ｂ’群，Ｃ’群，Ｄ’群という構成にしてもよい。
これらのように構成しても、図１０を用いて説明したように、Ｍ系列信号・第１内挿倍信号・第２内挿倍信号を用いる絶対値検出処理は可能であるため、本発明の実施は可能である。
【００７９】
続いて、本発明の請求項６に係る第４実施形態について、図を参照しつつ説明する。図１３は本実施形態の光学式絶対値エンコーダが備える検出部の構成図、図１４は本実施形態の光学式絶対値エンコーダの構成図である。
光学式絶対値エンコーダの検出部２０’は、図１３（ａ），（ｂ），（ｃ）で示すように、回路基板２１、第１発光素子２２、第２発光素子２４、一体化受光素子５０を備えている。
【００８０】
一体化受光素子５０は、図１３（ｂ）で示すように、第１実施形態〜第３実施形態で述べた、第１受光素子２３と、第２受光素子２５とを１つの受光素子としたものであり、第１〜第３実施形態で述べた第１受光素子２３および第２受光素子２５の代わりに搭載し、図１４で示すように光学式絶対値エンコーダを形成する。なお、得られる検出信号は同様であり、これらの検出信号から絶対位置を検出する処理は、第１実施形態〜第３実施形態と同様であるので省略する。
本実施形態の構成を採用することにより、第１実施形態〜第３実施形態で述べた第１受光素子２３と、第２受光素子２５との位置調整が不要となり、調整コストが削減される。
【００８１】
続いて、本発明の請求項７に係る第５実施形態について、図を参照しつつ説明する。図１５は本実施形態の光学式絶対値エンコーダが備える検出部の構成図、図１６は本実施形態の光学式絶対値エンコーダの構成図、図１７は受発光素子による光検出を説明する説明図、図１８，図１９は受発光素子を説明する説明図である。
【００８２】
光学式絶対値エンコーダの検出部２０”は、図１５（ａ），（ｂ），（ｃ）で示すように、回路基板２１、第１発光素子２２、一体化受発光素子６０を備えている。
一体化受発光素子６０は、図１５（ｂ）で示すように、受発光素子６１（第２受光素子２４と第２受光素子２５とを一体に構成したもの）と、第１〜第３実施形態で述べた第１受光素子２３とを一体に形成したものである。この一体化受発光素子６０を、第１〜第３実施形態で述べた第１受光素子２３，第２発光素子２４および第２受光素子２５の代わりに搭載し、図１６で示すように光学式絶対値エンコーダを形成する。
【００８３】
続いて、受発光素子６１の具体例について説明する。図１７で示すように、この光学系は、受発光素子６１とスケール板１０は距離６２にわたり離された位置に配置されている。スケール板１０は矢印ａ方向に移動することが可能なように構成されている。
受発光素子６１は、図１８で示すように、シリコンベアチップ６１ａ上で４分割された受光素子である感帯部６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ，６１ｅと、シリコンベアチップ６１ａの中心部に配置され、直径数百μmの円状の面照明領域もつ拡散光源のＬＥＤチップ６１ｆと、これら感帯部６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ，６１ｅおよびＬＥＤチップ６１ｆと対向する位置に配置されるガラス基板６１ｇと、ガラス基板６１ｇとシリコンベアチップ６１ａとを所定間隔離間させるため、間に挟まれるスペーサ６１ｈから構成される。
【００８４】
ガラス基板６１ｇは、図１９で示すように、感帯部６１ｂ，６１ｃ，６１ｄ，６１ｅの対向する位置に、スケール板１０の移動方向ａに対して垂直方向にクロムまたはアルミニウムにて描かれた明暗格子パターン６１ｉ，６１ｊ，６１ｋ，６１ｌが形成されている。これら明暗格子パターン６１ｉ，６１ｊ，６１ｋ，６１ｌに干渉縞６３が入射したとき、４相で９０゜位相差の光電流信号が得られるように配置されている。
また、ガラス基板６１ｇの中心部には、数μmの光を透過する領域で、繰返し周期がスケール板１０の第３トラック１４の位相差周期Ｐｂと同じ周期でパターンニングされたスリットパターン６１ｍを有する。
【００８５】
次に、動作について説明する。
図１８に示す受発光素子６１の中心部にあるＬＥＤチップ６１ｆから照明された光が、ガラス基板６１ｇのスリットパターン６１ｍを介して、スケール板１０の第３トラック１４を照明して反射すると、干渉縞６３が発生する。図１７に示すようにスケール板１０が矢印ａ方向に移動すると、スケール板１０から所定の位置に発生していた干渉縞６３は、受発光素子６１の受光面でスケール板１０の移動速度の２倍の速度で移動するため、第３トラック１４の凹凸の明暗格子の位相差周期の１／２周期（＝周期Ｐｂ／２）で、９０゜位相差の４相光電流信号を得る。
以下、位置の検出方法は、第１実施形態での説明と同様であるのでその説明を省略する。
【００８６】
以上、この本実施形態では、
１）        受発光素子６１は殆どの光を第３トラック１４に照射して光を有効に用いることによりＳ／Ｎ比が向上し、高分解能を得ることが可能となる。
２）        従来の受光素子、発光素子の位置合わせ工程が不要となり、製造コストが削減される。
等の効果が期待できる。
【００８７】
続いて、このような受発光素子６１の他の具体例について説明する。図２０は他の受発光素子を説明する説明図である。
この例の受発光素子６１は、図２０で示すように、シリコンベアチップ６１ａ上の中心部にＬＥＤチップ６１ｆが入る深さの穴６１ｎを設ける。ＬＥＤチップ６１ｆを穴６１ｎ内に入れた場合、ＬＥＤチップ６１ｆは突出することなく、シリコンベアチップ６１ａの平面は平らである。このため、ガラス基板６１ｇを直接シリコンベアチップ６１ａに取り付けることができ、スペーサ６１ｈを不要としている点が先に説明した受発光素子６１と相異している。
このような受発光素子の構成にすることにより、スペーサ６１ｈが不要となり、部品削減によるコストダウンが可能となる。
【００８８】
続いて、このような受発光素子６１の他の具体例について説明する。図２１，図２２は他の受発光素子を説明する説明図である。
この例の受発光素子６１は、図２１で示すように、シリコンベアチップ６１ａ上の中心部にＬＥＤチップ６１ｆ’が入る深さの穴６１ｎを設け、ＬＥＤチップ６１ｆ’を配置する。また、アルミニウムパターンもしくはクロムパターンによる明暗格子６１ｏを直接形成した４個の感帯部６１ｂ’，６１ｃ’，６１ｄ’，６１ｅ’を備えている。明暗格子の位相差周期がスケール板１０の第３トラック１４の第２内挿倍トラックの位相差周期Ｐｂと同じ周期で形成されている。
この感帯部６１ｂ’，６１ｃ’，６１ｄ’，６１ｅ’が移動する干渉縞を検出したとき、４相で９０°位相差の出力信号が得られる。
【００８９】
一方、ＬＥＤチップ６１ｆ’上には、図２２に示すように数μmの光を透過する領域をもち、その周期がスケール板１０の第３トラック１４の第２内挿倍トラックの位相差周期Ｐｂと同じ周期でクロムパターンまたはアルミニウムにてパターニングされたものを配置したものである。
このような受発光素子の構成を採用することにより、ガラス基板６１ｇ・スペーサ６１ｈがともに不要となり、部品削減による更なるコストダウンが可能となる。
【００９０】
続いて、このような受発光素子６１の他の具体例について説明する。
図２３，図２４は他の受発光素子を説明する説明図である。
この受発光素子６１は、中心部にＬＥＤチップ６１ｆ”が入る分だけの深さの穴６１ｎが空けられたシリコンベアチップ６１ａの上に4つの感帯部６１ｂ’，６１ｃ’，６１ｄ’，６１ｅ’を有し、この中心部の穴６１ｎに面発光レーザであるＬＥＤチップ６１ｆ”を挿入したものである。この面発光レーザであるＬＥＤチップ６１ｆ”は、図２４で示すようにスケールの移動方向に幅６１ｑ（数μm）の発光面６１ｐもしくはアレイ状の発光面を有するものである。
【００９１】
このような受発光素子６１の構成を採用することにより、
（１）高出力面発光レーザを用いて高出力光を得ることが可能となり、高いＳ／Ｎ比が得られる高分解能リニアエンコーダを提供することが可能となる、
（２）例えば先に説明したＬＥＤ６１ｆ’（図２２参照）で必要であった発光面上のパターニングが不要となり、光源の製造コストが削減できる、
などの効果がある。
【００９２】
このような４種の具体例を示した受発光素子６１を搭載した検出部２０”（図１５参照）により、第１実施形態で説明した同様の原理で絶対位置を検出することが可能であるが、本実施形態では他の実施形態よりも光学系の調整がさらに容易となるため、製造コストの低減が図れるという利点がある。
【００９３】
以上説明した第１〜第５実施形態による光学式絶対値エンコーダを用いて高精度な位置決め・速度制御を実現する半導体検査装置、製造装置、工作機械その他の移動装置とすることが可能である。
【００９４】
【発明の効果】
従来の透過部・反射部による第２内挿倍トラックの代わりに、凹凸格子による第２内挿倍トラックを用いることにより、スケール板から広い領域に亘って干渉縞を発生させることが可能となった。その結果、
１） 発生させる縞の周期を小さくさせることが可能となり、高分解能が得られるようになると同時に、絶対値化が容易となる。
２） スケール板１０と受光素子（第１受光素子２３・第２受光素子２５・受発光素子６１）の間隔の管理が容易のため、調整コストが削減される。
などの効果によって、高分解能化と絶対値化及び調整コストの削減が可能となった。
【００９５】
総じて、本発明によれば、高分解能化、スケール板（スリット円板）と受光素子との間隔の管理の容易化、および、絶対値化の３条件を共に満たす光学式絶対値エンコーダを提供することができる。
また、この光学式絶対値エンコーダを用いて高精度の位置検出を実現する移動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の光学式絶対値エンコーダが備えるスケール板の構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態の光学式絶対値エンコーダが備える検出部の構成図である。
【図３】本発明の第１実施形態の光学式絶対値エンコーダの構成図である。
【図４】第１受光素子の受光セルアレイ群の説明図である。
【図５】第２発光素子，第２受光素子の説明図である。
【図６】第２受光素子の受光セルアレイ群の説明図である。
【図７】第２トラックと第３トラックとのピッチを説明する説明図である。
【図８】第１受光素子へ到達する反射光の説明図である。
【図９】第２発光素子および第２受光素子による光検出を説明する説明図である。
【図１０】検出信号の説明図である。
【図１１】本発明の第２実施形態の第１受光素子の受光セルアレイ群の説明図である。
【図１２】本発明の第３実施形態の第２受光素子の受光セルアレイ群の説明図である。
【図１３】本発明の第４実施形態の光学式絶対値エンコーダが備える検出部の構成図である。
【図１４】本発明の第４実施形態の光学式絶対値エンコーダの構成図である。
【図１５】本発明の第５実施形態の光学式絶対値エンコーダが備える検出部の構成図である。
【図１６】本発明の第５実施形態の光学式絶対値エンコーダの構成図である。
【図１７】受発光素子による光検出を説明する説明図である。
【図１８】受発光素子を説明する説明図である。
【図１９】受発光素子を説明する説明図である。
【図２０】他の受発光素子を説明する説明図である。
【図２１】他の受発光素子を説明する説明図である。
【図２２】他の受発光素子を説明する説明図である。
【図２３】他の受発光素子を説明する説明図である。
【図２４】他の受発光素子を説明する説明図である。
【図２５】従来技術の光学式ロータリエンコーダの構成図である。
【図２６】従来の光学式ロータリエンコーダの受光素子の構成図である。
【符号の説明】
１０                          スケール板
１１                        透明板
１２                        第１トラック
１２ａ                    反射部
１２ｂ                    透過部
１３                        第２トラック
１３ａ                    反射部
１３ｂ                    透過部
１４                        第３トラック
２０，２０’，２０”          検出部
２１                          回路基板
２２                          第１発光素子
２３                          第１受光素子
２３Ａ                      受光セルアレイＡ群
２３Ｂ                      受光セルアレイＢ群
２３Ａ’                    受光セルアレイＡ’群
２３Ｂ’                    受光セルアレイＢ’群
２３Ｃ’                    受光セルアレイＣ’群
２３Ｄ’                    受光セルアレイＤ’群
２４                          第２発光素子
２４ａ                      発光領域
２４ｂ                      遮光領域
２５                          第２受光素子
２５Ａ”                    受光セルアレイＡ”群
２５Ｂ”                    受光セルアレイＢ”群
２５Ｃ”                    受光セルアレイＣ”群
２５Ｄ”                    受光セルアレイＤ”群
２７，２８                    反射光
２９                          干渉縞
３１，３２                    Ｍ系列信号
３３，３４                    第１内挿倍信号
３５，３６                    第２内挿倍信号
３７ａ，３７ｂ                位置
３８，３９                    領域
３８ａ，３８ｂ                領域
３９ａ，３９ｂ                領域
４０，４１，４２              受光セル
５０                          一体化受光素子
６０                          一体化受光素子
６１                        受発光素子
６１ａ                      シリコンベアチップ
６１ｂ，６１ｂ’            感帯部
６１ｃ，６１ｃ’            感帯部
６１ｄ，６１ｄ’            感帯部
６１ｅ，６１ｅ’            感帯部
６１ｆ，６１ｆ’，６１ｆ”  ＬＥＤチップ
６１ｇ                      ガラス基板
６１ｈ                      スペーサ
６１ｉ                      明暗格子パターン
６１ｊ                      明暗格子パターン
６１ｋ                      明暗格子パターン
６１ｌ                      明暗格子パターン
６１ｍ                      スリットパターン
６１ｎ                      穴
６１ｏ                      明暗格子
６１ｐ                      発光面
６１ｑ                      幅
６２                          距離
６３                          干渉縞
【図１】
0003738742.tif 000006
【図２】
0003738742.tif 000007
【図３】
0003738742.tif 000008
【図４】
0003738742.tif 000009
【図５】
0003738742.tif 000010
【図６】
0003738742.tif 000011
【図７】
0003738742.tif 000012
【図８】
0003738742.tif 000013
【図９】
0003738742.tif 000014
【図１０】
0003738742.tif 000015
【図１１】
0003738742.tif 000016
【図１２】
0003738742.tif 000017
【図１３】
0003738742.tif 000018
【図１４】
0003738742.tif 000019
【図１５】
0003738742.tif 000020
【図１６】
0003738742.tif 000021
【図１７】
0003738742.tif 000022
【図１８】
0003738742.tif 000023
【図１９】
0003738742.tif 000024
【図２０】
0003738742.tif 000025
【図２１】
0003738742.tif 000026
【図２２】
0003738742.tif 000027
【図２３】
0003738742.tif 000028
【図２４】
0003738742.tif 000029
【図２５】
0003738742.tif 000030
【図２６】
0003738742.tif 000031