(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミクロの超微粒子の侵入を防止し、温度、湿度を制御した空間となるクリーンルームの気密構造において、床面部では概略断面コ型の長尺材からなる床レールであって、両側片の内側先端に気密ゴムを設けると共に、底片下面にも気密ゴムを備え、両側片間に嵌入したパネル下端部の表面に気密ゴムを密着させ、又床面にも気密ゴムを隙間なく当接し、そして、上記側片の内側中間部位に支持片を形成し、この支持片にアジャスターの基台両側に屈曲して形成している脚を係止して取付けると共に、ネジ上端の支持板にパネル下端を載置し、天井部では概略コ型断面の長尺材からなる笠木であって、両側片の内側先端に気密ゴムを設けると共に、上片上面にも気密ゴムを備え、両側片間に嵌入したパネル上端部の表面に気密ゴムを密着させ、又天井面にも気密ゴムを隙間なく当接し、そして、上記笠木を概略Ｌ型の本体部と該本体部の上片に形成した係止部に着脱自在に取付けした補助部の２ピースで構成し、さらに、壁面部には概略断面コ型の長尺材からなる壁レールであって、両側片の内側先端に気密ゴムを設けると共に、底片下面にも気密ゴムを備え、両側片間に嵌入したパネル側端部の表面に気密ゴムを密着させ、又壁面にも気密ゴムを隙間なく当接し、そして、上記壁レールを概略Ｌ型の本体部と該本体部の底片に形成した係止部に着脱自在に取付けた補助部の２ピースで構成したことを特徴とするクリーンルームの気密構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はクリーンルームの気密構造、特に床部や天井部、それに壁面部における気密構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータの開発やバイオテクノロジーの分野、又精密機械工業や電子、医療、食品等の新たな分野において「クリーンルーム」と称される超清浄空間が要求されている。このクリーンルームとはミクロの超微粒子の侵入を防止し、温度、湿度を制御した空間となっていて、製品の品質や歩留の向上、病原菌の感染防止等が図られる。
【０００３】
ところで、該クリーンルームは建物内の一部を仕切ることによって作られている訳であり、一般には間仕切り用のパネルが使用されている。図４（ａ）、（ｂ）は従来のクリーンルームを構成している壁部構造で、縦断面と横断面を示している。床面には床レール(イ) を敷設し、該床レール(イ) の上には巾木(ロ) が被覆されてアジャスター装置(ハ) にて支持され、巾木上にはパネル（ニ)が載って垂直に据え付けられ、天井には笠木(ホ) を取り付けし、パネル上端は該笠木(ホ) の両側片間に嵌って止着されている。
【０００４】
そして隣り合うパネル（ニ)、（ニ)は側端に取り付けしている補強桟(ヘ) 、(ヘ) が互いに連結している。又コーナー部にはコーナーポスト(ト) が取付けられ、さらに壁面との境には壁レール(チ) が設けられている。ところで、クリーンルームは外部から空気が侵入しないように壁面との境界、隣り合うパネル間、床面や天井との境界はシールされた気密構造となっている。
【０００５】
図５（ａ）、（ｂ）は従来の天井部と床部における気密構造を表しているが、天井と笠木間、笠木とパネル表面間にはシリコン(ヌ) が用いられてコーキングされ、同じく床面と床レール間、笠木とパネル下端にもシリコン(リ) が用いられてコーキングされている。このようなシリコンを用いて各部材の境界部位にコーキングする作業が面倒であるとともに、該シリコンシールからはアウトガス（低シロキサン）が発生し、半導体製造として使用するクリーンルームであれば該半導体に悪影響を及ぼし、製品の不良率を高くしてしまう問題がある。
【０００６】
【本発明が解決しようとする課題】
このように従来のクリーンルームの気密構造には上記のごとき問題がある。本発明が解決しようとする課題はこの問題点であって、コーキング作業を必要とせず、又アウトガスを発生しない気密構造を提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の気密構造は天井部、床部、それに壁部における気密構造を対象とし、これらの各部位に取り付けする笠木、床レール、壁レールは気密機能を備えた構造としている。床レールの場合、概略コ型断面の長尺材としてその両側片先端内側には気密ゴムを設け、底片にも同じく気密ゴムを備えた構造とする。従って、床レールの両側片に挟まれたパネル表面には気密ゴムが密着してシールし、底片の気密ゴムは床面との間のシール効果を図る。
【０００８】
同じく笠木は床レールと同じく、側片先端内側には気密ゴムを設け、上片にも気密ゴムを備えている。さらに壁レールの両側片先端内側には気密ゴムを有し、底片にも気密ゴムを設けていて、従来のコーキング処理を必要としない。以下、本発明に係る実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【０００９】
【実施例】
図１は本発明の気密構造を成した床レールの具体例である。該床レールは断面コ型を成した長尺材であり、底片１の両側には側片２、２が垂直に起立し、側片先端の内側には凹溝が沿設されていて、該凹溝には気密ゴム３が嵌合して設けられている。又、底片１の下面にも凹溝を形成して気密ゴム３を嵌合している。
【００１０】
この床レールは従来のコ型断面をした床レールよりも側片の高さを大きくし、その中間位置には支持片４を形成している。そしてこの側片２、２に形成した支持片４、４を利用してアジャスター５を取り付けしている。アジャスター５はコ型に屈曲した基台６とネジ７、それに支持板８から成り、基台６の中央に設けたネジ穴に上記ネジ７が螺合している。そして支持板８はネジ７の頭に取り付けされ、ネジ７が回転することにより支持板８の高さは調整される。
【００１１】
基台６の両側に屈曲して形成している脚９、９は側片２、２に設けている支持片４、４に係止して支えられている。従って、基台６は支持片４、４に係止してガタ付くことなく安定し、逆に支持片４、４も脚９、９が係止することで位置決めされ、高さが高い側片２、２ではあるが、側片２、２の中間部位が基台６にて拘束される為に床レールの両側片２、２の曲げ剛性は高くなる。
【００１２】
図２は上記床レールにパネル１０の下端部を嵌合して支持した場合であり、該パネル１０は床レールに取り付けしているアジャスター５の支持板８に載っている。そしてパネル１０の下端部は床レールの両側片２、２に挟持され、側片先端に設けている気密ゴム３はパネル表面に当接し、隙間を残さない状態で密着している。側片２はその中間部位にてアジャスター５の基台６の脚９が支持片４に係止することで、外方向への倒れを防止し、パネル表面との間に隙間が生じないようにしている。
【００１３】
そして、先端に設けている気密ゴム３はパネル表面に密着し、パネル１０との間の気密性を保つことが出来る。同じく、底片１の下面にも気密ゴム３を設けていて、床面との間の隙間を完全に無くし、気密性が保たれている。勿論、側片先端に形成した凹溝並びに底片に形成した凹溝に嵌合する気密ゴム３は凹溝から僅かに突出した厚みを有し、パネル表面及び床面には僅かに圧縮された状態で接することになる。このように気密ゴム３を床レールに備えることで、シリコンシールをコーキングする必要はない。
【００１４】
図３はパネル上端に設けている笠木を示している具体例である。この笠木は本体部１１と補助部１２の２ピースから成り、概略Ｌ型断面をした本体部１１の上片１３は天井にネジ止めされ、取り付けされた本体部１１に該補助部１２が係止状態で取付けられている。勿論、補助部１２の取付けには何らネジを使用せず、上片１３に形成している係止部材に係止され、着脱自在となっている。
【００１５】
ところで、この笠木も本体部１１に補助部１２を取り付けした状態では断面が概略コ型を成し、両側片１４、１５の内側先端には床レールの場合と同じような凹溝が形成され、この凹溝には気密ゴム３が嵌合して取り付けされている。そして該気密ゴム３はパネル表面に隙間なく接し、笠木とパネル間の気密性を保っている。又上片１３の上面には同じく凹溝を形成し、この凹溝にも気密ゴム３が嵌合して天井面と隙間なく接している。従って、天井部からクリーンルーム内に外気が侵入することは出来ない。
【００１６】
図３に示している笠木はそのまま壁面の壁レールとして使用することが出来る。床レールが図２のごとくパネル下端部を嵌入して支持する為に、笠木並びに壁レールは本体部と補助部の２ピースから成る分割型でなくてはならず、該補助部を取り外した状態でパネルを据え付けし、その後で補助部を取り付けすることが出来る。以上述べたように、本発明に係るクリーンルームの気密構造は床レール、笠木、それに壁レールの各側片先端に気密ゴムを設けると共に、底片又は上片にも気密ゴムを取り付けしたものであり、次のような効果を得ることが出来る。
【００１７】
【発明の効果】
本発明のクリーンルームの気密構造は床レール、笠木、それに壁レールの側片の内側先端に気密ゴムを設けると共に、底片や上片にも気密ゴムを設けている為に、側片の気密ゴムはパネル表面に隙間なく密着し、底片や上片の気密ゴムは床面や天井面、壁面に密着する為に、床面部、天井部それに壁面部から外気が侵入することはなく、気密性が保たれる。
【００１８】
又床レールの側片を高くして該側片中間部位に支持片を設け、この支持片にアジャスターを係止して取り付けすることで、側片の曲げ剛性は高くなって先端の気密ゴムは両側片間に嵌入したパネル下端部の表面に隙間なく当接することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】気密機能を備えた床レールの実施例。
【図２】床レールにパネル下端部を嵌入して支持した場合。
【図３】笠木にパネル上端を嵌入した場合。
【図４】従来のクリーンルームの縦断面と横断面。
【図５】天井部と床面部をシリコンを用いてコーキングした場合。
【符号の説明】
１  底片
２  側片
３  気密ゴム
４  支持片
５  アジャスター
６  基台
７  ネジ
８  支持板
９  脚
10  パネル
11  本体部
12  補助部
13  上片
14  側片
15  側片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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