(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定長さにカットして対象物に圧着された帯状の異方性導電シートの圧着状態の検査方法であって、
前記異方性導電シートにおける両端側の各々の角部の前記対象物に対する位置座標を検出する角部位置検出工程と、
前記角部位置検出工程において二つの角部が共に検出されたか否かにより前記異方性導電シートの正確な圧着の有無を判別する有無判別検査工程と、
前記角部位置検出工程において検出した二つの角部の位置座標に基づき算出した前記異方性導電シートの圧着長さを長さ許容値と比較して良否を判別する長さ検査工程と、
前記二つの位置座標に基づき算出した対象物に対する前記異方性導電シートの圧着位置および圧着角度を各々の許容値と比較して良否を判別する位置検査工程とを有する異方性導電シートの圧着状態検査方法。
【請求項２】
位置検査工程は、異方性導電シートの長手方向における対象物に対する位置ずれを長手方向位置ずれ許容値と比較する工程と、前記異方性導電シートの短手方向における対象物に対する位置ずれを短手方向位置ずれ許容値と比較する工程と、前記異方性導電シートの回転方向における対象物に対する位置ずれを角度位置ずれ許容値と比較する工程とを有している請求項１に記載の異方性導電シートの圧着状態検査方法。
【請求項３】
異方性導電シートを所定の長さ分だけ間欠的に移送するシート送り手段と、
前記異方性導電シートを所定の長さにカットするカット手段と、
カットされた前記異方性導電シートを圧力と熱を加えて対象物に圧着する加圧手段と、
前記異方性導電シートの両端側の各角部および対象物の検出手段と、
前記異方性導電シートを前記加圧手段および前記検出手段の各々の対向位置に移送する移送手段と、
装置全体を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記検出手段からの入力信号に基づいて信号処理することにより、請求項１に記載の異方性導電シートの圧着状態検査方法における角部位置検出、前記異方性導電シートの有無判別検査、前記異方性導電シートの長さ検査および前記異方性導電シートの対象物に対する位置検査をそれぞれ実行するとともに、前記いずれかの検査において異常であると判別したときに、装置の駆動を停止させる機能を備えている異方性導電シートの圧着装置。
【請求項４】
制御部は、前記角部位置検出の結果に基き、カット手段のクリーニングを行なう必要があるか否かを判断し、必要があると判断したときに、カット手段のクリーニングを行うよう指令する機能を備えている請求項３に記載の異方性導電シートの圧着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、異方性導電シートを所定の長さにカットしたのちに加圧手段により対象物に圧着することにより、対象物に貼り付けられた異方性導電シートの圧着状態を検査する方法およびその検査方法を用いた圧着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶パネルの製造工程においては、ガラスパネルの透明電極上に異方性導電シート（Anisotropic Conductive Film 、以下、ＡＣＦという）を圧着手段により貼り付け、このＡＣＦ上に電子部品を配置して熱と圧力を加えることにより、ＡＣＦが含有している導電粒子で電子部品の電気的接合を行うＡＣＦ実装工法が用いられており、近年、このＡＣＦ実装工法は、液晶実装分野だけでなく半導体実装分野などにも応用されている。このＡＣＦ実装工法におけるＡＣＦを対象物に圧着する圧着装置としては、特開平7-270742号公報に記載のものが知られており、この圧着装置について以下に説明する。
【０００３】
すなわち、ベーステープにＡＣＦを担持させてなるテープ状体は、供給リールから繰り出されて巻取りリールに巻き取られるように圧着装置に装着され、且つ供給リールと巻取りリールとの間に存在する一部分が加圧手段である加圧ヘッドの下方において張設されている。このテープ状体は、フィードチャックに把持されて、対象物に圧着する長さ分だけ引き出されたのちに、カッターによりＡＣＦのみに切り目を入れられ、さらに、フィードチャックにより加圧ヘッドの下方の所定の圧着位置に移送されて張設状態に保持される。
【０００４】
一方、ＡＣＦにより電子部品が実装される対象物、例えば液晶パネルは、保持ステージに吸着保持されて、ＸＹロボットにより位置認識用のカメラの対向位置に移送され、所定位置に設けられたマークがカメラで認識されることにより液晶パネルの位置が検出される。そののちに、液晶パネルは、カメラの認識に基づき位置補正されながらＸＹロボットにより移送されて圧着位置に位置決め静止される。続いて、加圧ヘッドが下降してテープ状体を液晶パネルの所定箇所に加圧しながら熱を加えることにより、切れ目を入れられたＡＣＦのみが液晶パネルに圧着される。ＡＣＦが剥離されたあとのベーステープは巻取りリールに巻き取られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＡＣＦは、張設状態において加圧ヘッドにより熱と圧力とが加えられると、延び易い性質があるため、液晶パネルなどの対象物の所定位置に所定長さで正確に圧着するのが難しく、圧着不良が生じ易い。しかも、ＡＣＦは、対象物に確実に圧着させるための熱と圧力の設定条件の最適範囲が小さいため、対象物によっては貼り付き難いことがある。もしも、ＡＣＦが圧着されていない状態で電子部品の実装が行われると、電子部品が対象物から落下して部品不良となったり、落下した電子部品に塵埃が付着して電気的に接続されないなどの二次的な不良を引き起こす。そこで、ＡＣＦの圧着工程を経た液晶パネルは、その所定位置にＡＣＦが圧着されているか否かの有無をセンサにより検査されている。
【０００６】
しかしながら、上記のセンサによる検査では、ＡＣＦが所定位置に圧着されているか否かの有無を単に検出しているだけであり、ＡＣＦが正確な設定長さにカットされているか否か、或いは対象物の設定位置に正確に圧着されているか否かの判別はできず、さらに、ＡＣＦの一部がめくれた状態に貼り付けられていても、これを検知することができない。そのため、対象物の部品実装すべきスペースが小さい場合、或いは複数の部品を小さな間隔で実装するような場合には、高い寸法精度および位置精度でＡＣＦを圧着する必要があるが、上記のようにＡＣＦの長さおよび対象物に対する圧着位置などを判別できないことから、実装の信頼性が低下する。また、ＡＣＦの送り機構が正常動作していないことなどに起因して圧着不良が発生していても、これを検知する手段がないことから、この状態で圧着装置が使用され続けると、ＡＣＦの圧着不良が続出するおそれがあり、圧着装置を調整して所要の状態に復旧するのに時間がかかる問題がある。
【０００７】
また、ＡＣＦは粘着性を有しているため、ＡＣＦの圧着装置を長期にわたり稼働する場合には、このＡＣＦをカットするカッターやＡＣＦを把持して引き出すフィードチャックなどを必要に応じてクリーニングする必要があり、従来では、予め設定したＡＣＦの圧着回数ごとにクリーニングを行っている。しかしながら、上記クリーニングを必要とするタイミングはＡＣＦの種類やＡＣＦの圧着長さなどにより種々異なり、圧着回数のみに基づいてクリーニングのタイミングを設定すると、正確にカットされていないＡＣＦを引き出して対象物に圧着するといったトラブルが発生する。しかも、ＡＣＦはテープ状の連続体であることから、ＡＣＦにおける不完全にカットされた箇所の後方部分も圧着時にベーステープから剥離されてしまい、圧着異常が一度発生すると、この圧着異常が連続的に発生する可能性が極めて高い。この場合には、ＡＣＦが圧着不良の多くの製品を次工程に送出する不都合が生じる。
【０００８】
そこで本発明は、ＡＣＦの圧着長さや対象物の設定位置に対する位置ずれなどを正確に検査することができるＡＣＦの圧着状態検査方法およびこれを用いた圧着装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、所定長さにカットして対象物に圧着された帯状の異方性導電シートの圧着状態の検査方法において、前記異方性導電シートにおける両端側の各々の角部の前記対象物に対する位置座標を検出する角部位置検出工程と、前記角部位置検出工程において二つの角部が共に検出されたか否かにより前記異方性導電シートの正確な圧着の有無を判別する有無判別検査工程と、前記角部位置検出工程において検出した二つの角部の位置座標に基づき算出した前記異方性導電シートの圧着長さを長さ許容値と比較して良否を判別する長さ検査工程と、前記二つの位置座標に基づき算出した対象物に対する前記異方性導電シートの圧着位置および圧着角度を各々の許容値と比較して良否を判別する位置検査工程とを有している。
【００１０】
この異方性導電シートの圧着状態検査方法では、異方性導電シートにおける両端側の各々の角部の対象物に対する位置座標を検出しているので、異方性導電シートが一端から他端まできれいに圧着されているか否かを正確に検出することができる。さらに、位置座標に基づいて圧着されている異方性導電シートの長さを正確に検出することができるから、異方性導電シートのめくれなどの圧着不良の有無を確実に検知できる。しかも、異方性導電シートが正確な長さできれいに圧着されているか否かの検査だけでなく、本来最も重要である対象物の設定位置に対し許容範囲内のずれで正確に貼られているか否かの位置検査を行うことができる。したがって、対象物の部品実装すべきスペースが小さい場合や複数の部品を小さな間隔で実装するような場合にも、異方性導電シートが高い寸法精度および位置精度で圧着されているか否かの検査を行うことができ、この検査結果に基づき圧着装置を調整することにより、信頼性の高い実装を行うことができる。
【００１１】
上記発明において、位置検査工程には、異方性導電シートの長手方向における対象物に対する位置ずれを長手方向位置ずれ許容値と比較する工程と、前記異方性導電シートの短手方向における対象物に対する位置ずれを短手方向位置ずれ許容値と比較する工程と、前記異方性導電シートの回転方向における対象物に対する位置ずれを角度位置ずれ許容値と比較する工程とを有していることが好ましい。
【００１２】
それにより、異方性導電シートの対象物に対する位置ずれを極めて正確に検査することが可能となり、異方性導電シートの圧着異常状態を正確に把握できるから、復旧に要する調整時間を短縮することができるとともに、圧着不良の続出を未然に防止できる。
【００１３】
一方、本発明の異方性導電シートの圧着装置は、異方性導電シートを所定の長さ分だけ間欠的に移送するシート送り手段と、前記異方性導電シートを所定の長さにカットするカット手段と、カットされた前記異方性導電シートを圧力と熱を加えて対象物に圧着する加圧手段と、前記異方性導電シートの両端側の各角部および対象物の検出手段と、前記異方性導電シートを前記加圧手段および前記検出手段の各々の対向位置に移送する移送手段と、装置全体を制御する制御部とを備え、前記制御部には、前記検出手段からの入力信号に基づいて信号処理することにより、上記発明の異方性導電シートの圧着状態検査方法における角部位置検出、前記異方性導電シートの有無判別検査、前記異方性導電シートの長さ検査および前記異方性導電シートの対象物に対する位置検査をそれぞれ実行するとともに、前記いずれかの検査において異常であると判別したときに、装置の駆動を停止させる機能を備えた構成になっている。
【００１４】
この異方性導電シートの圧着装置は、異方性導電シートの圧着不良を正確に検出できるととにも、検査により何らかの異常を発見した時点で装置の駆動を停止するので、圧着不良の続出を未然に防止でき、異方性導電シートが圧着不良の対象物が次工程に送られるのを防止できる。
【００１５】
上記発明において、制御部は、前記角部位置検出の結果に基き、カット手段のクリーニングを行なう必要があるか否かを判断し、必要があると判断したときに、カット手段のクリーニングを行うよう指令する機能を備えていることが好ましい。
【００１６】
それにより、異方性導電シートのカットされた角部の形状等からカット手段の汚れや劣化などを自動的に検出して、そのカット手段に汚れなどが発生する毎に、このカット手段を最も適したタイミングでクリーニングすることができ、連続体である異方性導電シートの圧着不良が連続的に発生するのを未然に防止できる。しかも、カット手段は定期的に頻繁に検査する必要がなくなる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形態に係るＡＣＦの圧着装置の内部構造を示す斜視図である。図１において、装置の上方中央部には、ＡＣＦに熱と圧力を加えて対象物にＡＣＦを圧着するための加圧手段である加圧ヘッド１が昇降可能に設置されており、この加圧ヘッド１の一方側には、テープ状体２の供給手段である供給リール３が、他方側にはテープ状体２におけるＡＣＦが剥離されたあとのベーステープ４を巻き取るための巻取りリール７がそれぞれ配置されている。
【００１８】
この実施の形態のテープ状体２は、ベーステープ４にＡＣＦを担持させた２層構造になっており、周知のテープ送り手段により供給リール３から複数のガイドローラ８，９を介して間欠的に移送されて、巻取りリール７に巻き取られる。このテープ状体２は、加圧ヘッド１の両側に設けられた一対のガイドローラ９間に案内されて、加圧ヘッド１の下部において張設されている。また、加圧ヘッド１の下部には、テープ状体２を把持して設定長さ分だけ引き出すテープ送り手段としてのフィードチャック１０が設けられている。
【００１９】
ＡＣＦを圧着して電子部品を実装するための対象物（図示せず）は、保持ステージ１１に吸着保持されて、Ｘ方向およびＹ方向への移動手段であるＸＹロボット１２により任意の位置に移動される。ここで、対象物は、ＡＣＦを圧着すべき特定箇所を加圧ヘッド１側に突出させた状態で保持ステージ１１に吸着保持され、ＸＹロボット１２により移送されて特定箇所が加圧ヘッド１の下方のボンディングステージ１３上に載置される。ボンディングステージ１３の側部には張設状態のテープ状体２におけるＡＣＦをカットするカッター１８が配設されている。
【００２０】
検出手段としてのカメラ１４は、対象物がボンディングステージ１３上に正確に位置決めされたか否かを認識する。この実施の形態では、従来装置において既存のカメラ１４が対象物に圧着された帯状のＡＣＦの対角線上の二つの角部を認識する検出手段に兼用されている。
【００２１】
コンソールパネルなどからなる制御部１７は、所要の動作を行わせるための入力操作に基づき上述の各機構の動作を制御するとともに、データの編集を行って出力する。なお、この実施の形態では、対象物における少なくとも特定箇所が透明である場合を例示してあり、したがって、カメラ１４は下方から特定箇所上のＡＣＦを透視して認識するようになっている。
【００２２】
図２は、部品実装すべき対象物である液晶パネル１９を示し、その液晶表示部１９ａを囲む表示枠１９ｂの所定箇所にＡＣＦ２０が圧着されている。ここで、２点鎖線で図示したＡＣＦ２１は、設定された正確な位置に正確な長さのものが圧着された場合を仮定した基準のものを仮想して示してある。液晶パネル１９には、ＡＣＦ２０を圧着すべき箇所の両側の所定位置にそれぞれ位置検出用マーク２２，２３が付されている。この実施の形態では、圧着されたＡＣＦ２０の対角線上の二つの角部をカメラ１４で撮像して画像認識したのちに、その二つの角部の位置座標に基づいてＡＣＦ２０の長さおよび圧着位置を制御部１７で演算して算出するようになっている。
【００２３】
そこで、圧着されたＡＣＦ２０の対角線上の二つの角部２０ａ，２０ｂ間の長さをＬ、仮定の基準ＡＣＦ２１の対角線上の二つの角部２１ａ，２１ｂ間の長さをＬｒ、左側の位置検出用マーク２２を基点としたときのＡＣＦ２０の二つの角部２０ａ，２０ｂの位置座標をそれぞれ（Ｘ1,Ｙ1 ），（Ｘ2,Ｙ2 ）、左側の位置検出用マーク２２を基点としたときの基準ＡＣＦ２１の二つの角部２１ａ，２１ｂの位置座標をそれぞれ（Ｘｒ1,Ｙｒ1 ），（Ｘｒ2,Ｙｒ2 ）、左側の位置検出用マーク２２からＡＣＦ２０のセンター位置ＳまでのＸ方向およびＹ方向の距離をそれぞれＸ0,Ｙ0 、左側の位置検出用マーク２２から基準ＡＣＦ２０のセンター位置ＳｒまでのＸ方向およびＹ方向の距離をＸｒ，Ｙｒ、ＡＣＦ２０における基準ＡＣＦ２１に対する回転方向のずれをＤｖ、ＡＣＦ２０と基準ＡＣＦ２１の各々のセンター位置Ｓ，ＳｒのＸ方向およびＹ方向のそれぞれのずれをＤｘ，Ｄｙ（図示せず）とする。また、図示していないが、ＡＣＦ２０と基準ＡＣＦ２１の長さのずれをＤＩとする。
【００２４】
つぎに、上記ＡＣＦの圧着装置の全体の動作を、制御部１７による制御処理を示した図３のフローチャートに基づき説明する。ここでは、図２に例示した液晶パネル１９を部品実装の対象物として説明する。先ず、保持ステージ１１がＸＹロボット１２によりパネル受取位置に向け移動されて、パネル受取位置に停止した保持ステージ１１上に液晶パネル１９が吸着保持される（ステップＳ１）。この液晶パネル１９の保持ステージ１１への受渡しは、図示しないロボットまたは作業員の手作業により行われる。つぎに、ＸＹロボット１２により保持ステージ１１がカメラ１４に向け移動されて、液晶パネル１９の二つの位置検出用マーク２２，２３がカメラ１４で撮像され、この画像信号を取り込んだ制御部１７が画像認識処理により液晶パネル１９の位置を検出する（ステップＳ２）。この場合、液晶パネル１９をその右側のマーク２３がカメラ１４の真上で対向するよう位置決めして、このマーク２３を画像認識したのちに、液晶パネル１９をその左側のマーク２２がカメラ１４の真上で対向するよう位置決めして、このマーク２２を画像認識する。
【００２５】
続いて、保持ステージ１１がＸＹロボット１２によりボンディングステージ１３に向け移動されて、液晶パネル１９の実装すべき箇所がボンディングステージ１３上の所定の圧着位置に位置決めされる（ステップＳ３）。この液晶パネル１９の位置決めは、制御部１７が二つのマーク２２，２３の認識により検出した液晶パネル１９の位置に基づき補正しながらＸＹロボット１２を制御することにより行われる。この液晶パネル１９の位置決めと並行して、テープ状体２がフィードチャック１０に把持されて所定の長さ分だけ引き出されたのちに、カッター１８によりＡＣＦ２０のみの所定の長さ位置に切れ目が入れられ、この切れ目を入れられたＡＣＦ２０はフィードチャック１０により再び引き出されて加圧ヘッド１の真下の圧着位置に移送される（ステップＳ４）。
【００２６】
そののちに、加圧ヘッド１が下降してテープ状体２を液晶パネル１９に圧力を加えて押し付けるとともに、熱を加えてＡＣＦ２０を液晶パネル１９に圧着する（ステップＳ５）。ＡＣＦ２０の圧着が終了したならば、保持ステージ１１がＸＹロボット１２により移動されて液晶パネル１９が再びカメラ１４の上方位置に移送され、この液晶パネル１９に圧着されたＡＣＦ２０の対角線上の二つの角部２０ａ，２０ｂがカメラ１４により撮像されて、その画像信号が制御部１７に入力される。制御部１７は、画像認識処理により二つの角部２０ａ，２０ｂの位置座標（Ｘ1,Ｙ1 ），（Ｘ2,Ｙ2 ）を検出する（ステップＳ６）。ここで、カメラ１４は、液晶パネル１９における予め設定された範囲のみを撮像し、制御部１７は、二つの角部２０ａ，２０ｂの画像信号が共に入力されたか否かにより、ＡＣＦ２０が予め設定された範囲内に圧着されているか否かの判別を行う（ステップＳ７）。
【００２７】
制御部１７は、いずれか一方の角部２０ａまたは２０ｂを画像認識できなかった場合に、ＡＣＦ２０が正しく貼られていないと判断して、カッター２８のクリーニングを行うよう制御する（ステップＳ１５）。これは、ＡＣＦ２０がカッター１８の汚れなどにより正確にカットされなかった場合に尖った形状の角部２０ａ，２０ｂが得られないことから、ＡＣＦ２０の角部２０ａ，２０ｂを画像認識できなくなるからである。このようにＡＣＦ２０のカットされた角部２０ａ，２０ｂの形状からカッター１８の汚れなどを自動的に検出するので、カッター１８に汚れなどが発生する毎に、このカッター１８を最も適したタイミングでクリーニングすることができ、カッター１８を定期的に頻繁に検査する必要がなくなる。
【００２８】
また、制御部１７は、カッター１８のクリーニングを指令するとともに、コンソールパネルに検査異常を表示し（ステップＳ１６）たのちに、装置の駆動をエラー停止させる（ステップＳ１７）。それにより、連続体であるＡＣＦ２０の圧着不良が連続的に発生するのを未然に防止することができ、ＡＣＦ２０の圧着が不良の液晶パネル１９が次工程に送られるのを防止できるとともに、ＡＣＦ２０の圧着不良をこれが発生した時点で異常表示により確認することができ、圧着装置を復旧するための調整時間を短縮することができる。
【００２９】
ステップＳ７におけるＡＣＦ２０の有無検査において、二つの角部２０ａ，２０ｂを共に画像認識できた場合には、圧着したＡＣＦ２０と基準ＡＣＦ２１との長さのずれＤＩを算出する（ステップＳ８）。すなわち、制御部１７は、先に検出した二つの角部２０ａ，２０ｂの位置座標（Ｘ1,Ｙ1 ），（Ｘ2,Ｙ2 ）に基づき角部２０ａ，２０ｂ間の長さＬを算出する。この長さＬは、（１）式を演算することにより算出される。さらに、制御部１７は、（２）式を演算することにより、理論値である基準ＡＦＣ２１の二つの角部２１ａ，２１ｂ間の長さＬｒを算出し、この算出した２種の長さＬ，Ｌｒに基づき（３）式を演算することにより、圧着したＡＣＦ２０と基準ＡＣＦ２１との長さのずれＤＩを算出する。
【００３０】
【数１】
0003738114.tif 000002
【００３１】
【数２】
0003738114.tif 000003
【００３２】
【数３】
0003738114.tif 000004
【００３３】
制御部１７は、長さのずれＤＩを算出したならば、このずれＤＩと予め設定されている長さ許容値ＫＩとを比較して、ＡＣＦ２０が所定の長さで正しく貼られているか否かを判別する（ステップＳ９）。すなわち、制御部１７は、ずれＤＩが長さ許容値ＫＩよりも小さい場合に正常と判断し、大きい場合に長さが異常であると判断して検査異常を表示し（ステップＳ１６）、装置の駆動をエラー停止させる（ステップＳ１７）。このように、ＡＣＦ２０の二つの角部２０ａ，２０ｂを検出して長さ検査を行うことにより、ＡＣＦ２０が一端から他端まできれいに貼られいるか否かを正確に検査することができ、ＡＣＦ２０の長さを正確に求めることができる。また、ＡＣＦ２０の長さ検査を行うことにより、ＡＣＦ２０の圧着時のめくれが存在しないか否かを検査することもできる。
【００３４】
長さ検査が正常であれば、制御部１７は、ＡＣＦ２０の液晶パネル１９に対する各種の位置ずれＤｘ，Ｄｙ，Ｄｖを算出する（ステップＳ１０）。ＡＣＦ２０の基準ＡＣＦ２１に対するＸ方向の位置ずれＤｘは（４）式を演算することにより算出し、Ｙ方向の位置ずれＤｙは（５）式を演算することにより算出し、ＡＣＦ２０の基準ＡＣＦ２１に対する回転方向の位置ずれＤｖは（６）式を演算することにより算出する。
【００３５】
【数４】
0003738114.tif 000005
【００３６】
【数５】
0003738114.tif 000006
【００３７】
【数６】
0003738114.tif 000007
【００３８】
つぎに、制御部１７は、算出したＸ方向の位置ずれＤｘと予め設定されているＡＣＦ長手方向許容値Ｋｘとを比較して、ＡＣＦ２０がＸ方向に許容値以内の小さな位置ずれで圧着されているか否かを判別する（ステップＳ１１）。すなわち、制御部１７は、Ｘ方向の位置ずれＤｘがＡＣＦ長手方向許容値Ｋｘよりも小さい場合に正常と判断し、大きい場合にＸ方向の圧着位置が異常であると判断して検査異常を表示し（ステップＳ１６）、装置の駆動をエラー停止させる（ステップＳ１７）。
【００３９】
さらに、制御部１７は、算出したＹ方向の位置ずれＤｙと予め設定されているＡＣＦ長手方向許容値Ｋｙとを比較して、ＡＣＦ２０がＹ方向に許容値以内の小さな位置ずれで圧着されているか否かを判別する（ステップＳ１２）。すなわち、制御部１７は、Ｙ方向の位置ずれＤｙがＡＣＦ短手方向許容値Ｋｙよりも小さい場合に正常と判断し、大きい場合にＹ方向の圧着位置が異常であると判断して検査異常を表示し（ステップＳ１６）、装置の駆動をエラー停止させる（ステップＳ１７）。
【００４０】
続いて、制御部１７は、算出した回転方向の位置ずれＤｖと予め設定されているＡＣＦ回転方向許容値Ｋｖとを比較して、ＡＣＦ２０が回転方向に許容値Ｋｖ以内の小さな位置ずれで圧着されているか否かを判別する（ステップＳ１３）。
【００４１】
すなわち、制御部１７は、回転方向の位置ずれＤｖがＡＣＦ回転方向許容値Ｋｖよりも小さい場合に正常と判断し、大きい場合に回転方向の圧着位置が異常であると判断して検査異常を表示し（ステップＳ１６）、装置の駆動をエラー停止させる（ステップＳ１７）。
【００４２】
以上のＡＣＦ２０の各種の位置ずれＤｘ，Ｄｙ，Ｄｖは、液晶パネル１９の位置検出用マーク２２を基点としたＡＣＦ２０の二つの角部２０ａ，２０ｂの位置座標（Ｘ1,Ｙ1 ），（Ｘ2,Ｙ2 ）に基づき算出しているから、ＡＣＦ２０が正確な長さできれいに圧着されているか否かの検査だけでなく、本来最も重要である液晶パネル１９の設定位置に対し正確に貼られているか否かの位置検査を行うことができる。
【００４３】
上述の種々の検査の結果が全て正常であるならば、予め設定した枚数のＡＣＦ２０の圧着が終了したか否かを判別して（ステップＳ１４）、終了でない場合には、ステップＳ３にリターンして、液晶パネル１９の次の圧着箇所を圧着位置に移動させて上述の処理をＡＣＦ２０の圧着枚数だけ繰り返す。全てのＡＣＦ２０の圧着が完了したならば、生産完了した液晶パネル１９を搬出位置に移動させて、次工程に送出する（ステップＳ１８）。
【００４４】
なお、図３におけるステップＳ７、Ｓ９，Ｓ１１〜Ｓ１３に示した５種類の検査工程は、これを全て行う必要がなく、必要に応じて適当に選択して組み合わせてもよい。また、ＡＣＦ２０を検出するための二つの角部２０ａ，２０ｂは検査の使用目的に応じて任意であるが、上記実施の形態のように、対角線上の二つを選択するのが好ましい。さらに、図３のステップＳ３〜ステップＳ６の処理をＡＣＦ２０の圧着枚数だけ繰り返して全てのＡＣＦ２０の圧着を先ず終了させて、その圧着時毎に検出したＡＣＦＦ２０の二つの角部２０ａ，２０ｂの位置座標（Ｘ1,Ｙ1 ），（Ｘ2,Ｙ2 ）を記憶させておき、ステップＳ７〜ステップＳ１３の検査工程を圧着したＡＣＦ２０の枚数だけ繰り返すようにしてもよい。
【００４５】
この実施の形態では、ＡＣＦ２０の位置決め精度を向上するために設けられた既存のカメラ１４を、ＡＣＦ２０の圧着状態の検査用に兼用して構成されているとともに、従来においてＡＣＦ２０の有無を検出するために設けられていた図１に２点鎖線で示すセンサー５が不要となり、構成を簡略化してコストを低減できる。
【００４６】
【発明の効果】
以上のように本発明の異方性導電シートの圧着状態検査方法によれば、異方性導電シートにおける両端側の各々の角部の対象物に対する位置座標を検出するので、異方性導電シートが一端から他端まで確実に圧着されているか否かを正確に検出することができ、圧着されている異方性導電シートの長さを正確に検出することができる。また、異方性導電シートの正確に検出した長さの検査を行うことにより、異方性導電シートのめくれなどの圧着不良の有無を確実に検知できる。
【００４７】
しかも、本来最も重要である対象物の設定位置に対し異方性導電シートが許容範囲内のずれで正確に貼られているか否かの位置検査を行うことができる。したがって、対象物の部品実装すべきスペースが小さい場合や複数の部品を小さな間隔で実装するような場合にも、異方性導電シートが高い寸法精度および位置精度で圧着されているか否かの検査を行うことができ、この検査結果に基づき圧着装置を調整することにより、信頼性の高い実装を行うことができる。
【００４８】
また、本発明の異方性導電シートの圧着装置によれば、異方性導電シートの圧着不良を正確に検出できるとともに、検査により何らかの異常を発見した時点で装置の駆動を停止するので、圧着不良の続出を未然に防止でき、異方性導電シートが圧着不良の対象物が次工程に送られるのを確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る異方性導電シートの圧着装置の内部構造を示す斜視図。
【図２】異方性導電シートを圧着した対象物を示す平面図。
【図３】本発明の一実施の形態に係る異方性導電シートの圧着状態検査方法の信号処理を示すフローチャート。
【符号の説明】
１  加圧ヘッド（加圧手段）
１０  フィードチャック（シート移送手段）
１２  ＸＹロボット（移送手段）
１４  カメラ（検出手段）
１７  制御部
１８  カッター（カット手段）
１９  液晶パネル（対象物）
２０  異方性導電シート
２０ａ，２０ｂ  異方性導電シートの角部
【図１】
0003738114.tif 000008
【図２】
0003738114.tif 000009
【図３】
0003738114.tif 000010