(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨パッドを研磨機の定盤に固定する研磨パッド固定用両面粘着テープであって、基材の両面に粘着剤層を有するものであり、定盤に接着する側の粘着剤層は、分子内に放射線重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び／又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、放射線重合性の多官能オリゴマー又はモノマーとを主成分として含有する硬化型粘着剤からなり、刺激を与えることにより気体を発生するアジド化合物を含有することを特徴とする研磨パッド固定用両面粘着テープ。
【請求項２】
アジド化合物は、定盤に接着する側の粘着剤層の定盤と接する面に存在することを特徴とする請求項１記載の研磨パッド固定用両面粘着テープ。
【請求項３】
定盤に接着する側の粘着剤層の定盤と接する面におけるアジド化合物の濃度が、定盤に接着する側の粘着剤層の基材と接する面におけるアジド化合物の濃度よりも高いことを特徴とする請求項１又は２記載の研磨パッド固定用両面粘着テープ。
【請求項４】
アジド化合物は、定盤に接着する側の粘着剤層の定盤と接する面に存在し、基材に接着する側の面には存在しないことを特徴とする請求項１、２又は３記載の研磨パッド固定用両面粘着テープ。
【請求項５】
研磨パッドを研磨機の定盤に固定する研磨パッド固定用両面粘着テープであって、粘着剤層のみからなるものであり、前記粘着剤層は、分子内に放射線重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び／又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、放射線重合性の多官能オリゴマー又はモノマーとを主成分として含有する硬化型粘着剤からなり、刺激を与えることにより気体を発生するアジド化合物を含有することを特徴とする研磨パッド固定用両面粘着テープ。
【請求項６】
アジド化合物は、粘着剤層の定盤と接する面に存在することを特徴とする請求項５記載の研磨パッド固定用両面粘着テープ。
【請求項７】
アジド化合物は、粘着剤層において定盤と接する面には存在するが、研磨パッドと接する面には存在しないことを特徴とする請求項５又は６記載の研磨パッド固定用両面粘着テープ。
【請求項８】
分子内に放射線重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び／又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、放射線重合性の多官能オリゴマー又はモノマーとを主成分として含有する硬化型粘着剤からなり、刺激を与えることにより気体を発生するアジド化合物を含有する粘着剤層を介して研磨機の定盤に貼り付けられた研磨パッドを、前記粘着剤層に刺激を与え気体を放出させ、前記研磨機の定盤から研磨パッドを剥離することを特徴とする研磨パッドの剥離方法。
【請求項９】
請求項１、２、３、４、５、６又は７記載の研磨パッド固定用両面粘着テープにより研磨機に接着された研磨パッドの剥離方法であって、超音波又は熱による刺激を与えることにより研磨機の定盤から剥離することを特徴とする研磨パッドの剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、使用時には強い接着力を示すが、刺激を与えることにより容易に剥離することができる研磨パッド固定用両面粘着テープ及び研磨パッド固定用両面粘着テープの剥離方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路（ＩＣチップ）は、通常高純度半導体単結晶等をスライスしてウエハとしたのち、フォトレジストを利用してウエハ表面に所定の回路パターンを形成して、次いでウエハ裏面を研磨機により研磨して、ウエハの厚さを１００〜６００μｍ程度まで薄くし、最後にダイシングしてチップ化することにより、製造されている。
【０００３】
ここで、上記研磨には、研磨パッドと呼ばれる研磨材を用いている。研磨パッドは通常、研磨パッド固定用両面粘着テープを用いて研磨機の定盤に固定して用いられる。
しかし、ウエハを平滑に研磨するためには研磨パッドを常に研磨効率のよい状態にしておく必要があり、頻繁に研磨パッドを取り換える必要がある。この作業を効率よく行うためには、研磨パッド固定用両面粘着テープは剥離しやすいことが好ましい。一方で、研磨パッドを固定するための研磨パッド固定用両面粘着テープの接着力を弱くすると、研磨工程における衝撃により研磨パッドが剥がれてしまう。
このように研磨パッド固定用両面粘着テープには、高接着でかつ易剥離という矛盾する性能が求められていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記現状に鑑み、使用時には強い接着力を示すが、刺激を与えることにより容易に剥離することができる研磨パッド固定用両面粘着テープ及び研磨パッド固定用両面粘着テープの剥離方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、研磨パッドを研磨機の定盤に固定する研磨パッド固定用両面粘着テープであって、基材の両面に粘着剤層を有するものであり、定盤に接着する側の粘着剤層は、刺激を与えることにより気体を発生するアジド化合物を含有する研磨パッド固定用両面粘着テープである。
以下に本発明を詳述する。
【０００６】
本発明の研磨パッド固定用両面粘着テープは、基材の両面に粘着剤層を形成させたものであってもよいし、基材を有さない自立テープであってもよい。
上記基材としては特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂からなるものが挙げられる。
【０００７】
本発明の研磨パッド固定用両面粘着テープが基材の両面に粘着剤層を形成させたものである場合には、上記粘着剤層のうち定盤側に接着する粘着剤層は、刺激を与えることにより気体を発生するアジド化合物を含有する。
上記粘着剤層を形成する粘着剤としては特に限定されないが、重合性オリゴマーを含有し、これが重合架橋することにより粘着力が低下する粘着剤からなることが好ましい。
かかる粘着剤としては、例えば、分子内に放射線重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び／又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、放射線重合性の多官能オリゴマー又はモノマーとを主成分として含んでなる硬化型粘着剤等が挙げられる。
【０００８】
上記重合性ポリマーは、例えば、分子内に官能基を持った（メタ）アクリル系ポリマー（以下、官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーともいう）をあらかじめ合成し、分子内に上記の官能基と反応する官能基と放射線重合性の不飽和結合とを有する化合物（以下、官能基含有不飽和化合物ともいう）と反応させることにより得ることができる。
なお、本明細書において（メタ）アクリル系ポリマーとは、アクリル系ポリマー及びメタクリル系ポリマーを意味するものとする。
【０００９】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーは、常温で粘着性を有するポリマーとして、一般の（メタ）アクリル系ポリマーの場合と同様に、アルキル基の炭素数が通常２〜１８の範囲にあるアクリル酸アルキルエステル及び／又はメタクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、これと官能基含有モノマーと、更に必要に応じてこれらと共重合可能な他の改質用モノマーとを常法により共重合させることにより得られるものである。
【００１０】
上記官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等のカルボキシル基含有モノマー；アクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー；アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有モノマー；アクリル酸イソシアネートエチル、メタクリル酸イソシアネートエチル等のイソシアネート基含有モノマー；アクリル酸アミノエチル、メタクリル酸アミノエチル等のアミノ基含有モノマー等が挙げられる。
【００１１】
上記共重合可能な他の改質用モノマーとしては、例えば、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の一般の（メタ）アクリル系ポリマーに用いられている各種のモノマーが挙げられる。
【００１２】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの重量平均分子量は通常２０〜２００万程度である。
【００１３】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーに反応させる官能基含有不飽和化合物としては、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基に応じて上述した官能基含有モノマーと同様のものを使用できる。例えば、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基がカルボキシル基の場合はエポキシ基含有モノマーやイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がヒドロキシル基の場合はイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がエポキシ基の場合はカルボキシル基含有モノマーやアクリルアミド等のアミド基含有モノマーが用いられ、同官能基がアミノ基の場合はエポキシ基含有モノマーが用いられる。
【００１４】
上記多官能オリゴマー又はモノマーとしては、分子量が１万以下であるものが好ましく、より好ましくは光の照射による粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が５，０００以下でかつ分子内の放射線重合性の不飽和結合の数が２〜６個のものである。このようなより好ましい多官能オリゴマー又はモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート又は上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。その他、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマーは、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００１５】
上記硬化型粘着剤には、以上の成分のほか、粘着剤としての凝集力の調節を図
る目的で、所望によりイソシアネート化合物、メラミン化合物、エポキシ化合物等の一般の粘着剤に配合される各種の多官能性化合物を適宜配合してもよい。また、可塑剤、樹脂、界面活性剤、ワックス、微粒子充填剤等の公知の添加剤を加えることもできる。
【００１６】
上記硬化型粘着剤は、活性ラジカル種を与えることにより粘着剤層の全体が均一にかつ速やかに重合架橋して一体化するため、重合硬化による弾性率の増加が著しくなり、粘着力が大きく低下する。
【００１７】
本発明の研磨パッド固定用両面粘着テープが基材の両面に粘着剤層を形成させたものである場合には、上記定盤に接着する側の粘着剤層は、刺激を与えることにより気体を発生するアジド化合物を含有する。
上記アジド化合物としては、例えば、３−アジドメチル−３−メチルオキセタン、テレフタルアジド、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルベンズアジド；３−アジドメチル−３−メチルオキセタンを開環重合することにより得られるグリシジルアジドポリマーなどのアジド基を有するポリマー等が挙げられる。
上記アジド化合物は、光、熱、超音波及び衝撃による刺激を与えることにより分解して、窒素と活性ラジカル種に分裂し、窒素ガスを発生する。
【００１８】
上記アジド化合物から発生した窒素ガスは粘着剤層外へ放出される。これにより、本発明の研磨パッド固定用両面粘着テープに光、熱、超音波又は衝撃等の刺激を与えるとアジド化合物から発生した窒素ガスが接着面の一部を剥がし接着力を低下させるため、容易に研磨パッドを剥離することができる。
この際、アジド化合物から発生した窒素ガスはすべて粘着剤層外へ放出され接着性物質中に存在しないことが好ましい。ただしこの場合であっても、発生した窒素ガスの一部が気泡として粘着剤層中に存在していてもかまわない。
【００１９】
上記アジド化合物の分解により生成した活性ラジカル種は、重合性オリゴマーに作用して重合架橋を促進する。したがって、例えば、上記接着性物質が上記硬化型粘着剤からなる場合にあっては、上記アジド化合物の分解により生成した活性ラジカル種により重合架橋が起こり、粘着力が低下する。
【００２０】
本発明の研磨パッド固定用両面粘着テープが基材の両面に粘着剤層を形成させたものである場合には、上記アジド化合物は定盤と接する側の粘着剤層中に分散されてあってもよいが、定盤と接する面に存在することが好ましい。より好ましくは定盤と接する面におけるアジド化合物の濃度が、基材と接する面におけるアジド化合物の濃度よりも高いことであり、更に好ましくはアジド化合物が定盤と接する面に存在し、基材と接する面には存在しないことである。これにより、剥離は粘着剤層と定盤との接着面でのみ起こることから、定盤に糊残りを生ずることがない。
【００２１】
かかる構成の研磨パッド固定用両面粘着テープを作製するためには、上記定盤に接着する側の粘着剤層は、少なくとも２層以上の層からなる多層構造を有するものであって、アジド化合物は、前記粘着剤層を構成する複数層のうち定盤と接する層には含有され、基材と接する層には含有されないことが好ましい。
【００２２】
本発明の研磨パッド固定用両面粘着テープが自立テープである場合には、粘着剤層のみからなり、上記粘着剤層は、刺激を与えることにより気体を発生するアジド化合物を含有する。
粘着剤層を形成する粘着剤及びアジド化合物としては、上述のものと同様のものが挙げられる。
【００２３】
本発明の研磨パッド固定用両面粘着テープが自立テープである場合には、上記アジド化合物は粘着剤層中に分散されてあってもよいが、定盤と接する面に存在することが好ましい。より好ましくは定盤と接する面におけるアジド化合物の濃度が、研磨パッドと接する面におけるアジド化合物の濃度よりも高いことであり、更に好ましくはアジド化合物が定盤と接する面に存在し、研磨パッドと接する面には存在しないことである。これにより、剥離は粘着剤層と定盤との接着面でのみ起こることから、定盤に糊残りを生ずることがない。
【００２４】
かかる構成の研磨パッド固定用両面粘着テープを作製するためには、上記粘着剤層は、少なくとも２層以上の層からなる多層構造を有するものであって、アジド化合物は、前記粘着剤層を構成する複数層のうち定盤と接する層には含有され、研磨パッドと接する層には含有されないことが好ましい。
【００２５】
本発明の研磨パッド固定用両面粘着テープを用いて研磨機に接着した研磨パッドを剥離するには、熱、超音波又は衝撃による刺激を与える。特に熱による刺激は、研磨工程における水冷を制御することで容易に与えることができることから好適である。
刺激を与えることにより、粘着剤層に含有されているアジド化合物が分解して窒素ガスが発生し、上記アジド化合物から発生した窒素ガスが接着面の一部を剥がすことにより、接着力が低下し、容易に研磨パッドを剥離することができる。
【実施例】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
【００２６】
＜接着性物質の調製＞
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量７０万のアクリル共重合体を得た。
得られたアクリル共重合体を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、メタクリル酸２−イソシアネートエチル３．５重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレート２０重量部、ベンゾフェノン０．５重量部、ポリイソシアネート０．３重量部を混合し粘着剤（１）の酢酸エチル溶液を調製した。
ブチルアクリレート                ７９重量部
エチルアクリレート                １５重量部
アクリル酸                          １重量部
２ーヒドロキシエチルアクリレート    ５重量部
光重合開始剤                    ０．２重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン          ０．０１重量部
【００２７】
粘着剤（１）の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、３−アジドメチル−３−メチルオキセタン１００重量部を混合して、アジド化合物を含有する粘着剤（２）の酢酸エチル溶液を調製した。
【００２８】
＜研磨パッド固定用両面粘着テープの作製＞
粘着剤（１）の酢酸エチル溶液を、両面にコロナ処理を施した厚さ３８μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理を施した面上に乾燥皮膜の厚さが約１０μｍとなるようにドクターナイフで塗工し、溶剤を揮発させ塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。
【００２９】
粘着剤（１）の酢酸エチル溶液を、離型処理を施した厚さ３８μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理を施した面上に乾燥皮膜の厚さが約１０μｍとなるようにドクターナイフで塗工し、溶剤を揮発させ塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。
【００３０】
一方、粘着剤（２）の酢酸エチル溶液を、表面に離型処理が施された厚さ３８μｍＰＥＴフィルムに、バーコーターを用いての乾燥後の厚さが５μｍとなるように塗工し、溶剤を揮発させ粘着剤層を乾燥させた。
【００３１】
片面に粘着剤（１）層が形成された両面にコロナ処理を施したＰＥＴフィルムの粘着剤（１）層がない側の面に、離型処理が施されたＰＥＴフィルム上に形成された粘着剤（１）層とを貼り合わせた。次いで、粘着剤（１）層と、離型処理が施されたＰＥＴフィルム上に形成された粘着剤（２）層とを貼り合わせた後、３日間４０℃で養生して、研磨パッド固定用両面粘着テープを得た。
【００３２】
＜研磨パッドの固定と剥離＞
得られた研磨パッド固定用両面粘着テープを用いて、研磨パッドと研磨機の定盤とを接着した。このとき、粘着剤（２）層が定盤と接着するようにした。
この状態で、水冷しながらウエハの研磨を行った。
研磨終了後水冷を止めることにより、研磨パッド周辺の温度を上昇させた。
これにより、含有されたアジド化合物から気体が発生すると同時に、粘着剤層が硬化して粘着力を失い、研磨パッドを容易に剥離することができた。
【００３３】
【発明の効果】
本発明によれば、使用時には強い接着力を示すが、刺激を与えることにより容易に剥離することができる研磨パッド固定用両面粘着テープ及び研磨パッド固定用両面粘着テープの剥離方法を提供することができる。