(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤーと、前記ワイヤーに当接して設けられ、圧電素子を備えた振動体とを有し、
前記振動体が前記ワイヤーに当接して前記ワイヤーを屈曲させ、前記ワイヤーの復元力により、前記振動体が押圧されるよう構成されており、
前記振動体は、前記圧電素子に交流電圧を印加することにより振動し、この振動により、前記ワイヤーに力を繰り返し加えて前記ワイヤーを前記ワイヤーの長手方向へ移動させるよう構成されていることを特徴とするワイヤーアクチュエータ。
【請求項２】
ワイヤーと、前記ワイヤーに当接して設けられ、圧電素子を備えた振動体とを有するアクチュエータユニットを複数備えたワイヤーアクチュエータであって、
前記振動体が前記ワイヤーに当接して前記ワイヤーを屈曲させ、前記ワイヤーの復元力により、前記振動体が押圧されるよう構成されており、
前記振動体は、前記圧電素子に交流電圧を印加することにより振動し、この振動により、前記ワイヤーに力を繰り返し加えて前記ワイヤーを前記ワイヤーの長手方向へ移動させるよう構成されていることを特徴とするワイヤーアクチュエータ。
【請求項３】
前記各アクチュエータユニットの各ワイヤーの配列方向が略一致している請求項２に記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項４】
前記各アクチュエータユニットは、板状をなし、その厚さ方向に重なるように配置されている請求項２または３に記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項５】
前記各アクチュエータユニットは、放射状に配置されている請求項２または３に記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項６】
前記各アクチュエータユニットは、該各アクチュエータユニットの各ワイヤーが中心部に集まるように、放射状に配置されている請求項２または３に記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項７】
前記振動体は、板状をなしている請求項１ないし６のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項８】
前記振動体は、略長方形状をなしている請求項７に記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項９】
前記振動体は、該振動体の短辺と前記ワイヤーとが略平行となるように設置されている請求項８に記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項１０】
前記振動体は、該振動体の長辺と前記ワイヤーとが略平行となるように設置されている請求項８に記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項１１】
前記振動体から突出して設けられた腕部を有し、前記振動体は、前記腕部により支持されている請求項１ないし１０のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項１２】
前記振動体の前記ワイヤーへ当接する部分は、２箇所以上に設けられており、該複数の部分で前記ワイヤーに力を加える請求項１ないし１１のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項１３】
前記振動体の前記ワイヤーへ当接する部分に、凹部が設けられている請求項１ないし１２のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項１４】
前記ワイヤーを案内する案内手段を有する請求項１ないし１３のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項１５】
前記ワイヤーの離脱を阻止する離脱阻止手段を有する請求項１ないし１４のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項１６】
前記ワイヤーを案内する複数のガイドローラを備えている請求項１ないし１３のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項１７】
外周面に溝が形成され、前記ワイヤーを案内する複数のガイドローラを備えている請求項１ないし１３のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項１８】
前記ガイドローラの回転量を検出することにより、前記ワイヤーの移動量を検出する移動量検出手段を有する請求項１６または１７に記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項１９】
前記ワイヤーの移動量を検出する移動量検出手段を有する請求項１ないし１７のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項２０】
前記ワイヤーは、環状をなし、該ワイヤーが循環するよう構成されている請求項１ないし１９のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項２１】
前記振動体から所定距離離間した位置に、前記ワイヤーが掛けられ、該ワイヤーの移動により回転する従動ローラを有する請求項２０に記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項２２】
前記振動体は、一端側に位置し、前記従動ローラは、他端側に位置する請求項２１に記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項２３】
前記振動体は、前記ワイヤーの内側に位置している請求項２０ないし２２のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【請求項２４】
前記振動体の振動パターンを変更することにより、前記ワイヤーを正方向と逆方向のいずれの方向にも移動し得るよう構成されている請求項１ないし２３のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤーアクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ワイヤーをその長手方向へ移動させるワイヤーアクチュエータが知られており、例えば、ロボットハンド等において用いられている。
【０００３】
このワイヤーアクチュエータは、ワイヤーと、ワイヤーを巻き付けるリールと、モータ（回転型のアクチュエータ）と、モータの回転駆動力を減速してリールへ伝達する減速器とを備え、モータを駆動してリールを回転させることにより、ワイヤーをその長手方向へ移動させるようになっている。
【０００４】
しかしながら、前記従来のワイヤーアクチュエータでは、リールや減速器を必要とするとともに、モータが大きいために、小型・軽量化、特に薄型化し難いという問題がある。したがって、例えば関節や五指などを動かすために複数のワイヤーアクチュエータを搭載するためには大きなスペースが必要であり、重量も増加することからいっそう小型化を困難にしていた。
【０００５】
さらに、前記モータは、ロータやスライダーに特殊な磁気特性を有することが必要であり、長いストロークの並進機構を小さくし難く、小型・軽量化に不利である。
【０００６】
また、回転運動を直線運動に変換するので、この変換に伴うエネルギーロスが大きい。
【０００７】
また、モータの電磁ノイズが他の機器に影響を及ぼすおそれがあるという問題もある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、簡単な構造であり、小型化、特に薄型化に有利なワイヤーアクチュエータを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記（１）〜（２４）の本発明により達成される。
【００１０】
（１）  ワイヤーと、前記ワイヤーに当接して設けられ、圧電素子を備えた振動体とを有し、
前記振動体が前記ワイヤーに当接して前記ワイヤーを屈曲させ、前記ワイヤーの復元力により、前記振動体が押圧されるよう構成されており、
前記振動体は、前記圧電素子に交流電圧を印加することにより振動し、この振動により、前記ワイヤーに力を繰り返し加えて前記ワイヤーを前記ワイヤーの長手方向へ移動させるよう構成されていることを特徴とするワイヤーアクチュエータ。
【００１１】
（２）  ワイヤーと、前記ワイヤーに当接して設けられ、圧電素子を備えた振動体とを有するアクチュエータユニットを複数備えたワイヤーアクチュエータであって、
前記振動体が前記ワイヤーに当接して前記ワイヤーを屈曲させ、前記ワイヤーの復元力により、前記振動体が押圧されるよう構成されており、
前記振動体は、前記圧電素子に交流電圧を印加することにより振動し、この振動により、前記ワイヤーに力を繰り返し加えて前記ワイヤーを前記ワイヤーの長手方向へ移動させるよう構成されていることを特徴とするワイヤーアクチュエータ。
【００１２】
（３）  前記各アクチュエータユニットの各ワイヤーの配列方向が略一致している上記（２）に記載のワイヤーアクチュエータ。
【００１３】
（４）  前記各アクチュエータユニットは、板状をなし、その厚さ方向に重なるように配置されている上記（２）または（３）に記載のワイヤーアクチュエータ。
【００１４】
（５）  前記各アクチュエータユニットは、放射状に配置されている上記（２）または（３）に記載のワイヤーアクチュエータ。
【００１５】
（６）  前記各アクチュエータユニットは、該各アクチュエータユニットの各ワイヤーが中心部に集まるように、放射状に配置されている上記（２）または（３）に記載のワイヤーアクチュエータ。
【００１６】
（７）  前記振動体は、板状をなしている上記（１）ないし（６）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００１７】
（８）  前記振動体は、略長方形状をなしている上記（７）に記載のワイヤーアクチュエータ。
【００１８】
（９）  前記振動体は、該振動体の短辺と前記ワイヤーとが略平行となるように設置されている上記（８）に記載のワイヤーアクチュエータ。
【００１９】
（１０）  前記振動体は、該振動体の長辺と前記ワイヤーとが略平行となるように設置されている上記（８）に記載のワイヤーアクチュエータ。
【００２０】
（１１）  前記振動体から突出して設けられた腕部を有し、前記振動体は、前記腕部により支持されている上記（１）ないし（１０）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００２１】
（１２）  前記振動体の前記ワイヤーへ当接する部分は、２箇所以上に設けられており、該複数の部分で前記ワイヤーに力を加える上記（１）ないし（１１）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００２２】
（１３）  前記振動体の前記ワイヤーへ当接する部分に、凹部が設けられている上記（１）ないし（１２）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００２４】
（１４）  前記ワイヤーを案内する案内手段を有する上記（１）ないし（１３）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００２５】
（１５）  前記ワイヤーの離脱を阻止する離脱阻止手段を有する上記（１）ないし（１４）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００２６】
（１６）  前記ワイヤーを案内する複数のガイドローラを備えている上記（１）ないし（１３）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００２７】
（１７）  外周面に溝が形成され、前記ワイヤーを案内する複数のガイドローラを備えている上記（１）ないし（１３）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００２８】
（１８）  前記ガイドローラの回転量を検出することにより、前記ワイヤーの移動量を検出する移動量検出手段を有する上記（１６）または（１７）に記載のワイヤーアクチュエータ。
【００２９】
（１９）  前記ワイヤーの移動量を検出する移動量検出手段を有する上記（１）ないし（１７）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００３０】
（２０）  前記ワイヤーは、環状をなし、該ワイヤーが循環するよう構成されている上記（１）ないし（１９）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００３１】
（２１）  前記振動体から所定距離離間した位置に、前記ワイヤーが掛けられ、該ワイヤーの移動により回転する従動ローラを有する上記（２０）に記載のワイヤーアクチュエータ。
【００３２】
（２２）  前記振動体は、一端側に位置し、前記従動ローラは、他端側に位置する上記（２１）に記載のワイヤーアクチュエータ。
【００３３】
（２３）  前記振動体は、前記ワイヤーの内側に位置している上記（２０）ないし（２２）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００３４】
（２４）  前記振動体の振動パターンを変更することにより、前記ワイヤーを正方向と逆方向のいずれの方向にも移動し得るよう構成されている上記（１）ないし（２３）のいずれかに記載のワイヤーアクチュエータ。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のワイヤーアクチュエータを、添付図面に示す好適な実施の形態に基づいて詳細に説明する。
【００３６】
図１は、本発明のワイヤーアクチュエータの第１実施形態を示す平面図、図２は、図１に示すワイヤーアクチュエータの側面図、図３は、図１に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体の斜視図、図４は、図１に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体の側面図（図３中の矢印Ａ方向から見た図）、図５は、図１に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体が屈曲振動する様子を示す平面図、図６は、図１に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体の凸部が楕円運動する様子を示す平面図である。なお、以下の説明では、図１中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００３７】
これらの図に示すワイヤーアクチュエータ１は、ワイヤー２を直接駆動（移動）するアクチュエータであり、ワイヤー２と、ワイヤー２がその長手方向へ移動可能に取り付けられたアクチュエータ本体３とで構成された板状のアクチュエータユニット１０を有している。
【００３８】
ここで、ワイヤーとは、可撓性を有する長尺の線状体または帯状体であり、その断面形状は、特に限定されず、円形の他、例えば、半円、楕円、半楕円、正方形、長方形等の多角形などであってもよい。また、ワイヤーは、弾性体であるのが好ましい。
【００３９】
また、前記ワイヤーの長手方向とは、ワイヤーが直線状の場合の軸方向に限らず、例えば、ワイヤーが湾曲または屈曲している場合のワイヤーのパターンに沿った方向を含む概念である。
【００４０】
図１および図２に示すように、アクチュエータ本体３は、板状のベース４と、ワイヤー２を移動させる振動体６と、２つの大径のガイドローラ（案内手段）５１および５２と、４つの小径のガイドローラ（案内手段）５３、５４、５５および５６とを有している。ガイドローラ５３とガイドローラ５４は、対をなし、また、ガイドローラ５５とガイドローラ５６は、対をなしている。
【００４１】
振動体６は、ベース４の一方（図２中上側）の面に、ベース４と平行な姿勢で設置され、また、２つのガイドローラ５１および５２と、２対のガイドローラ５３、５４、および５５、５６とは、それぞれ、ベース４の一方（図２中上側）の面に、ベース４と平行な姿勢で回転可能に設置されている。なお、振動体６については後に詳述する。
【００４２】
ガイドローラ５１および５２の周面（外周面）には、それぞれ、断面形状が例えば円弧状に凹の溝（離脱阻止手段）５１１および５２１が外周に沿って形成されている。
【００４３】
また、ガイドローラ５３、５４、５５および５６の周面（外周面）には、それぞれ、断面形状が例えばＶ字状の溝（離脱阻止手段）５３１、５４１、５５１および５６１が外周に沿って形成されている。
【００４４】
前記ガイドローラ５１とガイドローラ５２は、所定距離離間して、左右方向（ガイドローラ５１が左側、ガイドローラ５２が右側）に並設されており、これらガイドローラ５１の溝５１１およびガイドローラ５２の溝５２１に、それぞれ、ワイヤー２が配設されている。
【００４５】
また、図１に示すように、１対のガイドローラ５３、５４は、上下方向（ガイドローラ５３が下側、ガイドローラ５４が上側）に並設され、その間、すなわち、ガイドローラ５３の溝５３１とガイドローラ５４の溝５４１の間に、ワイヤー２が配設されている。
【００４６】
同様に、１対のガイドローラ５５、５６は、上下方向（ガイドローラ５５が下側、ガイドローラ５６が上側）に並設され、その間、すなわち、ガイドローラ５５の溝５５１とガイドローラ５６の溝５６１の間に、ワイヤー２が配設されている。
【００４７】
これら２対のガイドローラ５３、５４、および５５、５６は、それぞれ、ガイドローラ５１および５２の外側に配置されている。すなわち、一方の１対のガイドローラ５３、５４は、ガイドローラ５１の左側に配置され、他方の１対のガイドローラ５５、５６は、ガイドローラ５２の右側に配置されている。
【００４８】
また、振動体６は、ガイドローラ５１および５２の上側であって、凸部６６がガイドローラ５１とガイドローラ５２の間に位置するように配置されている。この振動体６は、図１に示す所定角度傾斜した姿勢で、かつ、その凸部６６がワイヤー２に当接するように設置されている。
【００４９】
図２に示すように、前記振動体６、ガイドローラ５１、５２、５３、５４、５５および５６は、それぞれ、図１中下側から見たとき、それらがすべて、ほぼ同一直線上に位置し、かつ、図１に示すように、ガイドローラ５１、５２、５３および５５の上端がすべて、ほぼ同一直線上に位置するように配置されている。
【００５０】
また、図１に示すように、ワイヤー２には、振動体６の凸部６６が当接し、ワイヤー２は、その凸部６６によりガイドローラ５１および５２へ押し付けられ、屈曲している。そして、振動体６の凸部６６は、ワイヤー２の復元力（弾性力）、すなわち、反力を受け、上側に押圧されている。
【００５１】
振動体６が振動すると、ワイヤー２は、振動体６から摩擦力（押圧力）を繰り返し受けて右側に移動する。
この振動体６は、通常のモータ等と比べ、小型（薄型）である。
【００５２】
本発明では、この振動体６を用いてワイヤー２を移動させることにより、ワイヤーアクチュエータ１全体の小型化、特に薄型化（図２中、上下方向の小型化）を図ることができる。以下、振動体６について説明する。
【００５３】
図３および図４に示すように、振動体６は、ほぼ、長方形の板状をなしている。振動体６は、図３中の上側から板状の電極６１と、板状の圧電素子６２と、補強板６３と、板状の圧電素子６４と、板状の電極６５とをこの順に積層して構成されている。なお、図３および図４では、厚さ方向を誇張して示している。
【００５４】
圧電素子６２、６４は、それぞれ、長方形状をなし、電圧を印加することにより、その長手方向（長辺の方向）に伸長・収縮する。圧電素子６２、６４の構成材料としては、特に限定されず、チタン酸ジルコニウム酸鉛（ＰＺＴ）、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。
【００５５】
これらの圧電素子６２、６４は、補強板６３の両面にそれぞれ固着されている。補強板６３は、振動体６全体を補強する機能を有しており、振動体６が過振幅、外力等によって損傷するのを防止する。補強板６３の構成材料としては、特に限定されないが、例えばステンレス鋼、アルミニウムまたはアルミニウム合金、チタンまたはチタン合金、銅または銅系合金等の各種金属材料であるのが好ましい。
【００５６】
この補強板６３は、圧電素子６２、６４よりも厚さが薄い（小さい）ものであることが好ましい。これにより、振動体６を高い効率で振動させることができる。
【００５７】
補強板６３は、圧電素子６２、６４に対する共通の電極としての機能をも有している。すなわち、圧電素子６２には、電極６１と補強板６３とによって交流電圧が印加され、圧電素子６４には、電極６５と補強板６３とによって交流電圧が印加される。
【００５８】
圧電素子６２、６４は、交流電圧が印加されると長手方向に繰り返し伸縮し、これに伴なって、補強板６３も長手方向に繰り返し伸縮する。すなわち、圧電素子６２、６４に交流電圧を印加すると、振動体６は、図３および図４中の矢印で示すように、長手方向（長辺の方向）に微小な振幅で振動（縦振動）し、凸部６６が縦振動（往復運動）する。
補強板６３の図３中の右端部には、凸部６６が一体的に形成されている。
【００５９】
図２、図３および図４に示すように、本実施形態では、振動体６の凸部６６の先端部には、ワイヤー２の長手方向に沿って溝（凹部）６６１が形成されており、ワイヤー２は、溝６６１の内面（凹面）６６２に当接している。これにより、振動体６の凸部６６がワイヤー２から外れてしまうことを防止することができる。
【００６０】
また、図３および図４に示すように、溝６６１（内面６６２）の断面形状は、円弧状をなしている。これにより、ワイヤー２は、凸部６６の中央部に位置し、このため、ワイヤー２をより円滑かつ効率良く駆動させることができる。
【００６１】
この凸部６６は、補強板６３の幅方向中央（図５に示す中心線６９）からずれた位置（図示の構成では、図１中、左下の角部、すなわち、図１中、下側の端辺６０１の左側の端部）に設けられている。
【００６２】
前記凸部６６の溝６６１は、例えば、エッチング（オーバーエッチング）等により形成することができる。エッチング法を用いることにより、小さな寸法のものでも容易に、かつ精度良く、溝６６１を形成することができる。
【００６３】
また、補強板６３の長手方向ほぼ中央からは、腕部６８が長手方向とほぼ垂直な方向に突出するように設けられている。腕部６８の先端部には、ボルト１３が挿入する孔６８１が形成されている。
【００６４】
このような振動体６は、図１および図２に示すように、凸部６６の内面６６２がワイヤー２に上側から当接するように設置されている。
【００６５】
また、振動体６は、ベース４とほぼ平行な姿勢で設置されている。これにより、ワイヤーアクチュエータ１全体の薄型化に特に有利である。
【００６６】
振動体６は、腕部６８の孔６８１の近傍において、ボルト１３により、ベース４に設けられた図示しないネジ孔に固定されている。すなわち、振動体６は、腕部６８によって支持されている。これにより、振動体６は自由に振動することができ、比較的大きい振幅で振動する。また、振動体６は、腕部６８の弾性と、ワイヤー２の復元力とにより、凸部６６の内面６６２がワイヤー２に圧接された状態で設置されている。
【００６７】
凸部６６がワイヤー２に当接した状態で、圧電素子６２、６４に交流電圧を印加して振動体６を振動させると、ワイヤー２は、振動体６が伸長するときに凸部６６から摩擦力（押圧力）を受け、この繰り返しの摩擦力（押圧力）によって、右側に移動する。
【００６８】
この際、ワイヤー２は、ガイドローラ５１、５２、５３、５４、５５および５６により、移動方向が規制され（案内され）、また、各溝により、各ガイドローラからの離脱が阻止される。
【００６９】
また、ガイドローラ５１および５２は、それぞれ、ワイヤー２が移動すると、ワイヤー２に対して滑ることなく回転する。
【００７０】
また、ワイヤー２を振動体６で直接駆動（移動）するので、軽量化、小型化（薄型化）に特に有利である。また、構造を極めて簡素化することができ、製造コストを低減することができる。
【００７１】
また、本実施形態では、振動体６の面内振動をワイヤー２の直線運動（移動）に直接変換するので、この変換に伴なうエネルギーロスが少なく、ワイヤー２を高い効率で駆動することができる。
【００７２】
また、振動体６は、通常のモータのように磁力で駆動する場合と異なり、前記のような摩擦力（押圧力）によってワイヤー２を駆動することから、駆動力が高い。このため、本実施形態のように、変速機構（減速機構）を介さなくてもワイヤー２を十分な力で駆動することができる。
【００７３】
圧電素子６２、６４に印加する交流電圧の周波数は、特に限定されないが、振動体６の振動（縦振動）の共振周波数とほぼ同程度であるのが好ましい。これにより、振動体６の振幅が大きくなり、高い効率でワイヤー２を駆動することができる。
【００７４】
前述したように、振動体６は、主に、その長手方向に縦振動するが、縦振動と屈曲振動とを同時に励振し、凸部６６を楕円振動（楕円運動）させることがより好ましい。これにより、より高い効率でワイヤー２を駆動することができる。以下、この点について説明する。
【００７５】
図５に示すように、振動体６がワイヤー２を駆動するとき、凸部６６は、ワイヤー２から図５中の矢印で示すような反力を受ける。本実施形態では、凸部６６が振動体６の中心線６９からずれた位置に設けられていることから、振動体６は、この反力によって、図５に示すように面内方向に屈曲するように変形、振動する。なお、図５では、振動体６の変形を誇張して示している。
【００７６】
印加電圧の周波数、振動体６の形状・大きさ、凸部６６の位置などを適宜選択することにより、この屈曲振動の共振周波数を縦振動の周波数と同程度にすることができる。このようにすると、振動体６の縦振動と屈曲振動とが同時におこり、振幅がより大きくなるとともに、凸部６６は、図６中の一点鎖線で示すように、ほぼ楕円に沿って変位（楕円振動）する。
【００７７】
これにより、振動体６の１回の振動において、凸部６６がワイヤー２をその長手方向に送るときには、凸部６６がワイヤー２により強い力で圧接され、凸部６６が戻るときには、ワイヤー２との摩擦力を低減または消滅させることができるため、振動体６の振動をワイヤー２の移動（直線運動）により高い効率で変換することができる。
【００７８】
また、ワイヤーアクチュエータ１の小型化（薄型化）を図ることができる利点の他に、ワイヤー２を移動させるのに通常のモータを用いないことから、通常のモータのような電磁ノイズが全くないか、あっても僅かであるので、周辺の機器に影響を及ぼすことがないという利点もある。
【００７９】
また、ワイヤー２を駆動していないとき（停止状態）には、凸部６６とワイヤー２との摩擦力により、ワイヤー２が移動するのを阻止、すなわちワイヤー２を所定の位置に保持することができる。
【００８０】
また、図２に示すように、組み立て時、ベース４に図２中、下側から組み付ける部品がなく、一方向（図２中の上側）から部品を組み付けて組み立てることができ、組み立てを容易かつ迅速に行うことができる利点もある。
【００８１】
また、前記ガイドローラのような案内手段により、ワイヤー２の配置パターンを自在に設定することができる。
【００８２】
次に、本発明のワイヤーアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図７は、本発明のワイヤーアクチュエータの第２実施形態を示す平面図、図８は、図７に示すワイヤーアクチュエータの側面図、図９は、図７に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体の斜視図、図１０および図１１は、それぞれ、図７に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体が振動する様子を示す平面図、図１２は、図７に示すワイヤーアクチュエータの回路構成を示すブロック図である。なお、以下の説明では、図７中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００８３】
以下、第２実施形態のワイヤーアクチュエータ１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００８４】
図７、図８および図１２に示すように、第２実施形態のワイヤーアクチュエータ１は、ワイヤー２の移動量を検出する移動量検出手段７と、発振回路８１、増幅回路８２および移動量制御回路８３を備えた駆動回路８と、スイッチ９とを有している。
【００８５】
図７および図８に示すように、移動量検出手段７は、外周部に複数のスリットが一定間隔で形成されたスリット板７１と、発光部および受光部を有するセンサー７２とで構成されている。
【００８６】
本実施形態では、センサー７２として、スリット板７１の外周部（スリットが形成されている部分）へ向けて光を照射する発光素子と、この発光素子から発せられ、スリット板７１で反射した光（反射光）を受光（光電変換）する受光素子とを有するフォトリフレクタを用いているが、これに限らず、例えば、スリット板７１の外周部へ向けて光を照射する発光素子と、この発光素子から発せられ、スリット板７１のスリットを通過（透過）した光（透過光）を受光（光電変換）する受光素子とを有するフォトインタラプタ等を用いてもよい。
【００８７】
スリット板７１は、ガイドローラ５１の側面に固定されており、そのガイドローラ５１と一体となって回転する。
【００８８】
一方、第１実施形態で述べたように、ワイヤー２が移動すると、ガイドローラ５１は、ワイヤー２に対して滑ることなく回転するので、ワイヤー２の移動量は、ガイドローラ５１の回転量、すなわち、スリット板７１の回転量に対応し、ワイヤー２の移動速度は、ガイドローラ５１の回転数（回転速度）、すなわち、スリット板７１の回転数（回転速度）に対応する。
【００８９】
また、センサー７２は、ベース４の図８中上側の面であって、スリット板７１の近傍に設置されている。
【００９０】
ワイヤー２が移動し、スリット板７１が回転すると、これに伴って、センサー７２からは、パルス（パルス信号）が出力される。このパルスは、駆動回路８の移動量制御回路８３に供給（入力）され、移動量制御回路８３は、そのパルスを計数し、計数値（パルス数）に基づいて、ワイヤー２の移動量を求める。なお、前記パルスの周期または所定時間内のパルス数に基づいて、ワイヤー２の移動速度を求めることもできる。前記ワイヤー２の移動量や移動速度の情報は、所定の制御や処理に利用される。
【００９１】
なお、移動量検出手段７は、光学的に検出するものに限らず、例えば、磁気的に検出するものであってもよい。
【００９２】
また、このワイヤーアクチュエータ１では、振動体６の電極を分割し、それらに対して選択的に電圧を印加して、圧電素子を部分的に駆動することにより、面内の縦・屈曲の振動を任意に選択し得るようになっている。すなわち、振動体６への通電状態（振動体６の振動パターン）を変更することにより、振動体６の凸部６６の振動（振動変位）の方向を変え、これにより、ワイヤー２を右側と左側（正方向と逆方向）のいずれの方向にも移動させることができる（ワイヤー２の移動方向の切り替えができる）ように構成されている。以下、具体的に説明する。
【００９３】
図９に示すように、振動体６は、第１実施形態における振動体６と同様に、補強板６３の図９中上側に圧電素子６２、下側に圧電素子６４を積層した構造であるが、圧電素子６２の図９中上側に、板状の４つの電極６１ａ、６１ｂ、６１ｃおよび６１ｄが設置され、圧電素子６４の図９中下側に、板状の４つの電極６５ａ、６５ｂ、６５ｃおよび６５ｄ（電極６５ａ、６５ｂ、６５ｃおよび６５ｄは、図示せず、各符号のみを括弧内に示す）が設置されている点で、第１実施形態と異なっている。すなわち、圧電素子６２を４つの長方形の領域にほぼ等しく分割（区分）し、分割された各領域に、それぞれ、長方形状をなす電極６１ａ、６１ｂ、６１ｃおよび６１ｄが設置され、同様に、圧電素子６４を４つの領域に分割（区分）し、分割された各領域に、それぞれ、長方形状をなす電極６５ａ、６５ｂ、６５ｃおよび６５ｄが設置されている。なお、電極６１ａ、６１ｂ、６１ｃおよび６１ｄの裏側に、それぞれ、電極６５ａ、６５ｂ、６５ｃおよび６５ｄが配置されている。
【００９４】
一方の対角線上の電極６１ａおよび６１ｃと、これらの裏側に位置する電極６５ａおよび６５ｃとは、すべて電気的に接続され、同様に、他方の対角線上の電極６１ｂおよび６１ｄと、これらの裏側に位置する電極６５ｂおよび６５ｄとは、すべて電気的に接続（以下、単に「接続」と言う）されている。
【００９５】
スイッチ９は、連動する２つのスイッチ部９１および９２を有しており、振動体６の電極６１ｄは、スイッチ部９１の端子９７に接続され、電極６１ａは、スイッチ部９２の端子９８に接続されている。
【００９６】
そして、スイッチ部９１の端子９３およびスイッチ部９２の端子９６は、それぞれ、駆動回路８の増幅回路８２の出力側に接続されており、増幅回路８２から各端子９３および９６に、それぞれ交流電圧が印加されるようになっている。
【００９７】
また、振動体６の補強板６３は、アース（接地）されている。
また、スイッチ部９１の端子９４およびスイッチ部９２の端子９５は、それぞれ、駆動回路８の発振回路８１の入力側に接続されている。
【００９８】
図７および図８に示すように、この振動体６は、振動体６の短辺６０１とワイヤー２とが略平行、すなわち、振動体６の長辺６０２とワイヤー２とが略垂直となるように設置されている。
【００９９】
そして、補強板６３には、腕部６８が２つ、左右対称に設けられており、振動体６は、各腕部６８の孔６８１の近傍において、それぞれ、ボルト１３により、ベース４に設けられた図示しないネジ孔に固定されている。
【０１００】
また、凸部６６は、下側の短辺６０１側であって、補強板６３の幅方向中央に設けられている。
【０１０１】
振動体６の電極６１ａ、６１ｃ、６５ａおよび６５ｃに通電し、これらの電極６１ａ、６１ｃ、６５ａおよび６５ｃと、補強板６３との間に、交流電圧が印加されると、図１０に示すように、振動体６の電極６１ａ、６１ｃ、６５ａおよび６５ｃに対応する部分がそれぞれ矢印ａ方向に繰り返し伸縮し、これにより、振動体６の凸部６６は、矢印ｂで示す斜めの方向に振動（往復運動）、または、矢印ｃで示すように、楕円振動（楕円運動）する。ワイヤー２は、振動体６の電極６１ａ、６１ｃ、６５ａおよび６５ｃに対応する部分が伸長するときに凸部６６から摩擦力（押圧力）を受け、この繰り返しの摩擦力（押圧力）によって、図１０中左側に移動する。
【０１０２】
前記と逆に、振動体６の電極６１ｂ、６１ｄ、６５ｂおよび６５ｄに通電し、これらの電極６１ｂ、６１ｄ、６５ｂおよび６５ｄと、補強板６３との間に、交流電圧が印加されると、図１１に示すように、振動体６の電極６１ｂ、６１ｄ、６５ｂおよび６５ｄに対応する部分がそれぞれ矢印ａ方向に繰り返し伸縮し、これにより、振動体６の凸部６６は、矢印ｂで示す斜めの方向に振動（往復運動）、または、矢印ｃで示すように、楕円振動（楕円運動）する。ワイヤー２は、振動体６の電極６１ｂ、６１ｄ、６５ｂおよび６５ｄに対応する部分が伸長するときに凸部６６から摩擦力（押圧力）を受け、この繰り返しの摩擦力（押圧力）によって、図１１中右側に移動する。
【０１０３】
なお、図１０および図１１では、それぞれ、振動体６の変形を誇張して示すとともに、腕部６８は図示されていない。
【０１０４】
ここで、前記振動体６の形状・大きさ、凸部６６の位置などを適宜選択し、屈曲振動の共振周波数を縦振動の周波数と同程度にすることにより、振動体６の縦振動と屈曲振動とが同時におこり、凸部６６は、図６中の一点鎖線で示すように、ほぼ楕円に沿って変位（楕円振動）させることができる。また、従来知られているように縦振動と屈曲振動を別々に位相をずらして駆動することにより、楕円振動の長径と短径の比（長径／短径）を変えることができる。
【０１０５】
次に、図１２に基づいて、ワイヤーアクチュエータ１の作用を説明する。
電源スイッチがオンの状態において、ワイヤー２の移動方向および移動量の指示があると、それに基づいて、スイッチ９および駆動回路８の移動量制御回路８３が作動する。
【０１０６】
ワイヤー２を図１２中上側に移動させる旨の指示の場合には、図１２に示すように、スイッチ９の端子９３と端子９７が接続し、端子９５と端子９８が接続するようにスイッチ９が切り替わる。これにより、駆動回路８の増幅回路８２の出力側と、振動体６の電極６１ｂ、６１ｄ、６５ｂおよび６５ｄとが導通し、振動体６の電極６１ａ、６１ｃ、６５ａおよび６５ｃと、駆動回路８の発振回路８１の入力側とが導通する。
【０１０７】
駆動回路８の発振回路８１および増幅回路８２は、それぞれ、移動量制御回路８３により制御される。
【０１０８】
発振回路８１から出力される交流電圧は、増幅回路８２で増幅され、電極６１ｂ、６１ｄ、６５ｂおよび６５ｄと、補強板６３との間に印加される。これにより、前述したように、振動体６の電極６１ｂ、６１ｄ、６５ｂおよび６５ｄに対応する部分がそれぞれ繰り返し伸縮し、振動体６の凸部６６が、図１１の矢印ｂで示す斜めの方向に振動（往復運動）、または、矢印ｃで示すように、楕円振動（楕円運動）し、ワイヤー２は、振動体６の電極６１ｂ、６１ｄ、６５ｂおよび６５ｄに対応する部分が伸長するときに凸部６６から摩擦力（押圧力）を受け、この繰り返しの摩擦力（押圧力）によって、図１２中上側に移動する。
【０１０９】
この際、駆動していない各電極６１ａ、６１ｃ、６５ａおよび６５ｃは、それぞれ、検出電極となり、電極６１ａ、６１ｃ、６５ａおよび６５ｃと、補強板６３との間に誘起される電圧（誘起電圧）の検出に用いられる。
【０１１０】
前記検出された誘起電圧（検出電圧）は、発振回路８１へ入力され、発振回路８１は、その検出電圧に基づいて、振動体６の振幅が最大、すなわち、検出電圧が最大になるような周波数（共振周波数）の交流電圧を出力する。これにより、ワイヤー２を効率良く移動させることができる。
【０１１１】
また、移動量検出手段７のセンサー７２から移動量制御回路８３へは、パルス（パルス信号）が入力される。移動量制御回路８３は、そのパルスを計数し、計数値（パルス数）に基づいて、ワイヤー２の移動量（実際の値）を求め、その値と、指示されたワイヤー２の移動量（目標値）とを比較し、ワイヤー２の実際の移動量が指示された移動量になるまで発振回路８１および増幅回路８２を作動させ、振動体６を駆動し、ワイヤー２を移動させる。
【０１１２】
前記と逆に、ワイヤー２を図１２中下側に移動させる旨の指示の場合には、スイッチ９の端子９４と端子９７が接続し、端子９６と端子９８が接続するようにスイッチ９が切り替わる。これにより、駆動回路８の増幅回路８２の出力側と、振動体６の電極６１ａ、６１ｃ、６５ａおよび６５ｃとが導通し、振動体６の電極６１ｂ、６１ｄ、６５ｂおよび６５ｄと、駆動回路８の発振回路８１の入力側とが導通する。以降の動作は、前記ワイヤー２を図１２中上側に移動させる旨の指示の場合と同様であるので、その説明は省略する。
【０１１３】
この第２実施形態のワイヤーアクチュエータ１によれば、前述した第１実施形態と同様の効果が得られる。
【０１１４】
そして、このワイヤーアクチュエータ１では、ワイヤー２の移動量や移動速度を検出することができ、その情報を利用して種種の制御を行うことができる。
【０１１５】
また、ワイヤー２を正・逆両方向（左・右両方向）に移動させることができるので、汎用性が広い。
【０１１６】
また、単一の振動体６でワイヤー２を両方向に移動させることができるので、移動方向毎に専用の振動体を設ける場合に比べ、部品点数を少なくすることができ、製造が容易であり、また、ワイヤーアクチュエータ１全体の小型化に有利である。
【０１１７】
次に、本発明のワイヤーアクチュエータの第３実施形態について説明する。
図１３は、本発明のワイヤーアクチュエータの第３実施形態を示す平面図である。なお、以下の説明では、図１３中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【０１１８】
以下、第３実施形態のワイヤーアクチュエータ１について、前述した第２実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１１９】
同図に示すように、第３実施形態のワイヤーアクチュエータ１では、振動体６は、振動体６の長辺６０２とワイヤー２とが略平行、すなわち、振動体６の短辺６０１とワイヤー２とが略垂直となるように設置されている。
【０１２０】
これにより、ワイヤーアクチュエータ１をより小型化に（上下方向に小さく）することができる。
【０１２１】
また、腕部６８は、補強板６３の上側に１つ設けられており、振動体６は、その腕部６８の孔６８１の近傍において、ボルト１３により、ベース４に設けられた図示しないネジ孔に固定されている。
【０１２２】
また、凸部６６は、補強板６３の下側の長辺６０２の右側の端部に設けられている。
【０１２３】
この第３実施形態のワイヤーアクチュエータ１によれば、前述した第２実施形態と同様の効果が得られる。
【０１２４】
なお、図示および説明を省略したが、第３実施形態においても前述した第２実施形態における移動量検出手段７を有しているのが好ましい。
【０１２５】
次に、本発明のワイヤーアクチュエータの第４実施形態について説明する。
図１４は、本発明のワイヤーアクチュエータの第４実施形態を示す平面図である。なお、以下の説明では、図１４中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【０１２６】
以下、第４実施形態のワイヤーアクチュエータ１について、前述した第３実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１２７】
同図に示すように、第４実施形態のワイヤーアクチュエータ１では、振動体６の凸部６６は、補強板６３の複数の箇所（図示の構成では２箇所）に設けられている。一方の凸部６６は、補強板６３の下側の長辺６０２の右側の端部に設けられており、他方の凸部６６は、補強板６３の下側の長辺６０２の左側の端部に設けられている。
【０１２８】
この振動体６は、右側の凸部６６がガイドローラ５１とガイドローラ５５および５６の間に位置し、左側の凸部６６がガイドローラ５１とガイドローラ５３および５４の間に位置するように配置されている。
【０１２９】
また、ガイドローラ５１は、振動体６の長手方向中央に位置し、ガイドローラ５３および５４と、ガイドローラ５５および５６とは、ガイドローラ５１から略等しい距離に配置されている。
【０１３０】
ワイヤー２には、振動体６の各凸部６６がそれぞれ当接し、ワイヤー２は、各凸部６６によりガイドローラ５１、５３および５５へ押し付けられ、屈曲している。そして、振動体６の各凸部６６は、それぞれ、ワイヤー２の復元力（弾性力）、すなわち、反力を受け、上側に押圧されている。
【０１３１】
振動体６が振動すると、ワイヤー２は、振動体６の各凸部６６から交互に摩擦力（押圧力）を繰り返し受けて右側または左側に移動する。
【０１３２】
この第４実施形態のワイヤーアクチュエータ１によれば、前述した第３実施形態と同様の効果が得られる。
【０１３３】
そして、このワイヤーアクチュエータ１では、振動体６の離間した２つの凸部６６でワイヤー２へ交互に摩擦力（押圧力）を与えてそのワイヤー２を移動させるので、１つの凸部６６でワイヤー２を移動させる場合に比べ、ワイヤー２を強い力で移動させることができる。
【０１３４】
なお、図示および説明を省略したが、第４実施形態においても前述した第２実施形態における移動量検出手段７を有しているのが好ましい。
【０１３５】
次に、本発明のワイヤーアクチュエータの第５実施形態について説明する。
図１５は、本発明のワイヤーアクチュエータの第５実施形態を示す平面図であって、一方のベースを取り外した状態を示す図、図１６は、図１５に示すワイヤーアクチュエータの側面図、図１７は、図１５中のＢ−Ｂ線での断面図である。なお、以下の説明では、図１５中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【０１３６】
以下、第５実施形態のワイヤーアクチュエータ１について、前述した第２実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１３７】
これらの図に示すように、第５実施形態のワイヤーアクチュエータ１は、複数の板状のアクチュエータユニット（図示の構成では、３つのアクチュエータユニット１０ａ、１０ｂおよび１０ｃ）を有している。
【０１３８】
この場合、ワイヤーアクチュエータ１は、互いに平行になるように対向配置された一対の板状のベース４１、４２を有しており、このベース４１、４２が各アクチュエータユニット１０ａ、１０ｂおよび１０ｃで共用されている。ベース４１は、図１７中の左側端に配置され、ベース４２は、図１７中の右側端に配置されている。
【０１３９】
図１６および図１７に示すように、各アクチュエータユニット１０ａ、１０ｂおよび１０ｃは、各ワイヤー２の配列方向が略一致し、かつ、振動体６（アクチュエータユニット１０ａ、１０ｂおよび１０ｃ）の厚さ方向に重なるように配置されている。なお、アクチュエータユニット１０ａ、１０ｂおよび１０ｃは、図１７中、左側から右側へ向って、アクチュエータユニット１０ａ、１０ｂ、１０ｃの順序で配置されている。また、図１７に示すように、各ワイヤー２は、図１６中横方向に１列に並んでいる。
【０１４０】
このように各アクチュエータユニット１０ａ、１０ｂおよび１０ｃを重ねることにより、各ワイヤー２を集中（集積）させることができる。
【０１４１】
図１７に示すように、振動体６の図１５中右側の腕部６８の孔６８１に対応する位置であって、ベース４１とアクチュエータユニット１０ａの振動体６の間、アクチュエータユニット１０ａの振動体６とアクチュエータユニット１０ｂの振動体６の間、アクチュエータユニット１０ｂの振動体６とアクチュエータユニット１０ｃの振動体６の間、およびアクチュエータユニット１０ｃとベース４２の間には、それぞれ、孔１４５が設けられたスペーサ１４１、１４２、１４３および１４４が設置されている。同様に、振動体６の図１５中左側の腕部６８の孔６８１に対応する位置にも孔が設けられた図示しない４つのスペーサが設置されている。
【０１４２】
そして２つのボルト１５（一方のボルトは図示せず）が、それぞれ、前記ベース４１に設けられた孔４１１、各スペーサ１４１〜１４４の孔１４５および各腕部６８の孔６８１に挿入され、ベース４２に設けられたネジ孔４２１に螺合し、その２つのボルト１５により、各振動体６は、固定されている。
【０１４３】
なお、各アクチュエータユニット１０ａ〜１０ｃの構造や作用は、前述した第２実施形態とほぼ同様であるので、その説明は省略する。
【０１４４】
この第５実施形態のワイヤーアクチュエータ１によれば、前述した第２実施形態と同様の効果が得られる。
【０１４５】
そして、このワイヤーアクチュエータ１では、各アクチュエータユニット１０ａ〜１０ｃが振動体６の厚さ方向に重なっているので、ワイヤーアクチュエータ１をより小型化することができる。
【０１４６】
また、このワイヤーアクチュエータ１では、各アクチュエータユニット１０ａ〜１０ｃが板状（平面状）をなしているので、それらを容易に重ねる（積層する）ことができ、組み立てを容易に行うことができる。
【０１４７】
なお、図示および説明を省略したが、第５実施形態においても、各アクチュエータユニット１０ａ、１０ｂおよび１０ｃは、前述した第２実施形態における移動量検出手段７を有しているのが好ましい。
【０１４８】
次に、本発明のワイヤーアクチュエータの第６実施形態について説明する。
図１８は、本発明のワイヤーアクチュエータの第６実施形態を示す断面図（第５実施形態の図１７に相当する図）である。
【０１４９】
以下、第６実施形態のワイヤーアクチュエータ１について、前述した第２実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１５０】
同図に示すように、第６実施形態のワイヤーアクチュエータ１は、複数の板状の（図示の構成では、４つ）アクチュエータユニット１０を有している。
【０１５１】
各アクチュエータユニット１０は、各ワイヤー２の配列方向が略一致し、かつ、各ワイヤー２が中心部に集まるように、すなわち、振動体６の凸部６６（ワイヤー２）側を中心として、放射状に（図示の構成では、９０°間隔）配置されている。
【０１５２】
なお、各アクチュエータユニット１０の構造や作用は、前述した第２実施形態とほぼ同様であるので、その説明は省略する。
【０１５３】
この第６実施形態のワイヤーアクチュエータ１によれば、前述した第２実施形態と同様の効果が得られる。
【０１５４】
そして、このワイヤーアクチュエータ１では、各アクチュエータユニット１０を放射状に配置することにより、各ワイヤー２を集中させることができる。
【０１５５】
なお、図示および説明を省略したが、第６実施形態においても、各アクチュエータユニット１０は、前述した第２実施形態における移動量検出手段７を有しているのが好ましい。
【０１５６】
また、本実施形態では、各アクチュエータユニット１０間の角度（中心角）は、等角度であるが、本発明では、等角度でなくてもよい。
【０１５７】
次に、本発明のワイヤーアクチュエータの第７実施形態について説明する。
図１９は、本発明のワイヤーアクチュエータの第７実施形態を示す平面図である。
【０１５８】
以下、第７実施形態のワイヤーアクチュエータ１について、前述した第２実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１５９】
同図に示すように、第７実施形態のワイヤーアクチュエータ１は、環状のワイヤー２を直接駆動（移動）するアクチュエータであり、環状のワイヤー２と、ワイヤー２がそのパターンに沿った方向へ移動可能に取り付けられたアクチュエータ本体３とで構成されたアクチュエータユニット１０を有している。
【０１６０】
アクチュエータ本体３は、板状のベース４と、ワイヤー２を移動させる振動体６と、ガイドローラ（案内手段）５１、５２、５７、５８、５９、１１１および１１２と、従動ローラ１２とを有している。
【０１６１】
振動体６は、ベース４の一方の面に、ベース４と平行な姿勢で設置され、また、各ガイドローラ５１、５２、５７、５８、５９、１１１および１１２は、それぞれ、ベース４の前記一方の面に、ベース４と平行な姿勢で回転可能に設置されている。
【０１６２】
一方、従動ローラ１２は、振動体６（ベース４）から所定距離離間した位置に、前記ベース４、振動体６および各ガイドローラと平行な姿勢で回転可能に設置されている。すなわち、振動体６（ベース４）は、一端側に位置し、従動ローラ１２は、他端側に位置している。
【０１６３】
ワイヤー２は、従動ローラ１２に掛けられ、この従動ローラ１２と、各ガイドローラ５１、５２、５７、５８、５９、１１１および１１２とにより、移動可能に、図示のパターン（形状）に保持され、その移動方向が規制される（案内される）。すなわち、振動体６の振動により、ワイヤー２は、図示のパターンを保持しつつ、循環する。
【０１６４】
また、ガイドローラ５１、５２、５７、５８、５９および従動ローラ１２の周面（外周面）には、それぞれ、溝（離脱阻止手段）５１１、５２１、５７１、５８１、５９１および１２１が外周に沿って形成されており、ワイヤー２は、前記溝５１１、５２１、５７１、５８１、５９１および１２１に配設されている。これにより、従動ローラ１２および各ガイドローラからのワイヤー２の離脱が阻止される。
【０１６５】
また、振動体６は、ワイヤー２の内側に位置しており、振動体６の凸部６６は、ワイヤー２の内側へ当接している。これにより、振動体６をワイヤー２の外側に設ける場合に比べ、ワイヤーアクチュエータ１を小型化することができる。
【０１６６】
振動体６の振動により、ワイヤー２が矢印ｄの方向に移動（循環）すると、従動ローラ１２は、図１９中反時計回りに回転し、この従動ローラ１２から（従動ローラ１２を介して）駆動力（出力）を取り出すことができる。
【０１６７】
逆に、振動体６の振動により、ワイヤー２が矢印ｅの方向に移動（循環）すると、従動ローラ１２は、図１９中時計回りに回転し、同様に、この従動ローラ１２から（従動ローラ１２を介して）駆動力（出力）を取り出すことができる。
【０１６８】
この第７実施形態のワイヤーアクチュエータ１によれば、前述した第２実施形態と同様の効果が得られる。
【０１６９】
なお、図示および説明を省略したが、第７実施形態においても前述した第２実施形態における移動量検出手段７を有しているのが好ましい。
【０１７０】
また、本実施形態では、振動体６は、振動体６の短辺６０１とワイヤー２（ワイヤー２の凸部６６が当接している部分における接線）とが略平行、すなわち、振動体６の長辺６０２とワイヤー２（ワイヤー２の凸部６６が当接している部分における接線）とが略垂直となるように設置されているが、これに限らず、振動体６は、例えば、振動体６の長辺６０２とワイヤー２（ワイヤー２の凸部６６が当接している部分における接線）とが略平行、すなわち、振動体６の短辺６０１とワイヤー２（ワイヤー２の凸部６６が当接している部分における接線）とが略垂直となるように設置されていてもよい。
【０１７１】
また、前述した第４実施形態のように、振動体６には、ワイヤー２へ当接する部分、すなわち、凸部６６が、２箇所以上に設けられていてもよい。
【０１７２】
また、前述した第５実施形態や第６実施形態のように、複数のアクチュエータユニットを有し、例えば、それらが、厚さ方向に重なるように、または、放射状に配置されていてもよい。
【０１７３】
以上、本発明のワイヤーアクチュエータを、図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。
【０１７４】
また、本発明のワイヤーアクチュエータは、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１７５】
また、本発明では、振動体の形状、構造は、図示の構成に限らず、ワイヤーを駆動（移動）することができるものであればいかなるものでもよい。例えば、圧電素子が１枚のものや、補強板を有さないものや、ワイヤーと当接する部分に向かって幅が漸減するような形状のもの等であってもよい。
【０１７６】
また、前記実施形態では、振動体６は、１つのアクチュエータユニット１０に１つ設置されているが、本発明では、１つのアクチュエータユニット１０に複数の振動体６を設けてもよい。
【０１７７】
なお、本発明のワイヤーアクチュエータの用途は、特に限定されず、例えば、複数のアクチュエータユニットを備えているものの場合、ロボットの指の牽引（駆動）等が挙げられる。
【０１７８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、振動体を用いてワイヤーを移動、特に、振動体を用いてワイヤーを直接駆動することにより、ワイヤーアクチュエータ全体の小型化、特に薄型化を図ることができる。
【０１７９】
また、構造を簡素化することができ、製造コストを低減することができる。
また、通常のモータを用いないことから、電磁ノイズが全くないか、あっても僅かであるので、周辺機器に影響を及ぼすことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のワイヤーアクチュエータの第１実施形態を示す平面図である。
【図２】図１に示すワイヤーアクチュエータの側面図である。
【図３】図１に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体の斜視図である。
【図４】図１に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体の側面図（図３中の矢印Ａ方向から見た図）である。
【図５】図１に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体が屈曲振動する様子を示す平面図である。
【図６】図１に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体の凸部が楕円運動する様子を示す平面図である。
【図７】本発明のワイヤーアクチュエータの第２実施形態を示す平面図である。
【図８】図７に示すワイヤーアクチュエータの側面図である。
【図９】図７に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体の斜視図である。
【図１０】図７に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体が振動する様子を示す平面図である。
【図１１】図７に示すワイヤーアクチュエータにおける振動体が振動する様子を示す平面図である。
【図１２】図７に示すワイヤーアクチュエータの回路構成を示すブロック図である。
【図１３】本発明のワイヤーアクチュエータの第３実施形態を示す平面図である。
【図１４】本発明のワイヤーアクチュエータの第４実施形態を示す平面図である。
【図１５】本発明のワイヤーアクチュエータの第５実施形態を示す平面図であって、一方のベースを取り外した状態を示す図である。
【図１６】図１５に示すワイヤーアクチュエータの側面図である。
【図１７】図１５中のＢ−Ｂ線での断面図である。
【図１８】本発明のワイヤーアクチュエータの第６実施形態を示す断面図（第５実施形態の図１７に相当する図）である。
【図１９】本発明のワイヤーアクチュエータの第７実施形態を示す平面図である。
【符号の説明】
１              ワイヤーアクチュエータ
１０、１０ａ〜１０ｃ  アクチュエータユニット
２              ワイヤー
３              アクチュエータ本体
４、４１        ベース
４１１          孔
４２            ベース
４２１          ネジ孔
５１〜５９      ガイドローラ
５１１〜５９１  溝
６              振動体
６０１          短辺
６０２          長辺
６１、６５      電極
６１ａ〜６１ｄ  電極
６５ａ〜６５ｄ  電極
６２、６４      圧電素子
６３            補強板
６６            凸部
６６１          溝
６６２          内面
６８            腕部
６８１          孔
６９            中心線
７              移動量検出手段
７１            スリット板
７２            センサー
８              駆動回路
８１            発振回路
８２            増幅回路
８３            移動量制御回路
９              スイッチ
９１、９２      スイッチ部
９３〜９８      端子
１１１、１１２  ガイドローラ
１２            従動ローラ
１２１          溝
１３            ボルト
１４１〜１４４  スペーサ
１４５          孔
１５            ボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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