(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能なヘッドユニットに、部品吸着用の複数のノズル部材と、各ノズル部材を昇降駆動させるエアシリンダとを備えた表面実装機において、上記エアシリンダ駆動用のエアを供給するエア供給源と、このエア供給源に接続されるエア供給路と、このエア供給路から分岐して各エアシリンダにそれぞれ接続される単位供給路と、エア供給路における上記単位供給路の分岐部分より上流側に配置されるエアタンクとが設けられ、少なくともエアタンクを含む部分から下流側の供給路が上記ヘッドユニットに搭載されていることを特徴とする表面実装機のエア供給回路。
【請求項２】
上記エア供給源の出力エア圧が上記エアシリンダの要求エア圧より高く設定されるとともに、上記エア供給路におけるエアタンクの上流側に、上記エア供給源からの出力エア圧をエアシリンダの要求エア圧まで低下させるレギュレータが設けられていることを特徴とする請求項１記載の表面実装機のエア供給回路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品供給部と部品装着部とにわたって移動可能なヘッドユニットに、エアシリンダにより駆動されて昇降する部品吸着用の複数のノズル部材を備えた表面実装機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、部品供給部と所定の作業位置に位置決めされたプリント基板とにわたって移動可能とされたヘッドユニットに、部品吸着用のノズル部材を昇降かつ回転可能に装備し、上記ノズル部材に供給される負圧により電子部品を吸着するようにし、部品供給部から部品を吸着した後にヘッドユニットをプリント基板上に移動させて部品を装着するようにした表面実装機は一般に知られている。この実装機において、上記ヘッドユニットに装備されるノズル部材は、部品吸着時及び部品装着時に昇降駆動手段により昇降される。
【０００３】
昇降駆動手段としては、サーボモータによりボールねじ等を介してノズル部材を昇降させるようにしたものと、エアシリンダによりノズル部材を昇降させるようにしたものとがあるが、ヘッドユニットのコンパクト化といった観点から、エアシリンダを用いてノズル部材昇降用の駆動系統を構成する実装機が多い。
【０００４】
特に、実装効率を高めるべくヘッドユニットに多数のノズル部材を装備する実装機では、各ノズル部材に対してそれぞれサーボモータを設けることはスペース等の面で困難であることから、各ノズル部材を個別に駆動する駆動手段としてはエアシリンダが有効となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにヘッドユニットに多数のノズル部材を搭載し、各ノズル部材をそれぞれエアシリンダを用いて昇降させるようにした実装機では、各エアシリンダがエア給排のための切替えバルブ等を介して共通のエア供給管に並列的に接続され、このエア供給管がエア供給源に接続されるようにエア供給回路が構成されている場合が多い。
【０００６】
このようなエア回路では、切替えバルブがオンされるとエアシリンダにエアが供給されてピストンが押し下げられ、これによりノズル部材が下降させられる一方、切替えバルブがオフに切替えられると、シリンダ内のエアが外部に排出されつつ例えばスプリングの付勢力によってノズル部材が上昇させられる。
【０００７】
ところで、このような実装機（例えば１２本のノズル部材を搭載した実装機）では、いずれか一つのノズル部材を作動させる場合には、図９（ａ）に示すようにエアシリンダに略一定圧のエアが供給されて適切なノズル昇降動作が行われるものの、例えば、複数のノズル部材を同時に作動させる場合には、図９（ｂ）に示すように各エアシリンダへの供給エア圧が低下する傾向にある（図９（ｂ）は全てのノズル部材を作動させた場合）。そのため、複数のノズル部材を同時に作動させる場合には、一つのノズル部材を作動させる場合に比べて各ノズル部材の下降速度が低下するといった事態を招いており、このような下降速度の低下は、同時作動させるノズル部材の数が多くなるに連れて遅くなる傾向にある。
【０００８】
しかし、近年では、多数のノズル部材をヘッドユニットに搭載し、同時に複数のノズル部材を作動させて多数の部品を同時に吸着することによってサイクルタイムを短縮することが考えられており、このような実装機においては上記のような現象は不都合である。
【０００９】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、エアシリンダ駆動により昇降する多数のノズル部材を備えた実装機において、同時作動させるノズル部材の数に拘らずノズル部材を一定速度で昇降させることができる表面実装機のエア供給回路を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係るエア供給回路は、移動可能なヘッドユニットに、部品吸着用の複数のノズル部材と、各ノズル部材を昇降駆動させるエアシリンダとを備えた表面実装機において、上記エアシリンダ駆動用のエアを供給するエア供給源と、このエア供給源に接続されるエア供給路と、このエア供給路から分岐して各エアシリンダにそれぞれ接続される単位供給路と、エア供給路における上記単位供給路の分岐部分より上流側に配置されるエアタンクとが設けられ、少なくともエアタンクを含む部分から下流側の供給路が上記ヘッドユニットに搭載されているものである。
【００１１】
このエア供給回路の構成によれば、エア供給源から供給されるエアがエアタンクに蓄積されるため、複数のノズル部材を同時に作動させる場合でも、各エアシリンダに対して要求エア圧に見合う充分なエアを供給することが可能となる。
【００１２】
特に、エアタンクを含む部分より下流側の供給路がヘッドユニットに設けられることにより、エアタンクからエアシリンダまでの経路を短くすることができ、これにより各エアシリンダに対するエアタンクのエア蓄積効果が有効に働くことになる。
【００１３】
請求項２に係るエア供給回路は、請求項１記載のエア供給回路において、エア供給源の出力エア圧がエアシリンダの要求エア圧より高く設定されるとともに、エア供給路におけるエアタンクの上流側に、エア供給源からの出力エア圧をエアシリンダの要求エア圧まで低下させるレギュレータが設けられているものである。
【００１４】
このエア供給回路の構成によれば、エアシリンダに対して定圧のエアを安定して供給し易くなり、より確実にノズル昇降速度を適正に保つことが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面に基づいて説明する。
【００１６】
図１は本発明に係る表面実装機（以下、実装機と略す）の平面図、図２は同正面図、図３は同側面図である。この図において、基台１上にはコンベア２により構成される搬送ラインＬが設けられ、プリント基板３がこの搬送ラインＬに沿って搬送されて所定の作業位置に保持されるようになっている。
【００１７】
搬送ラインＬの上方には、後に詳述する部品装着用の２つのヘッドユニット５Ａ，５Ｂが装備され、これらのヘッドユニット５Ａ，５ＢがそれぞれＸ軸方向（搬送ラインＬの方向）に移動することができるようになっている。
【００１８】
すなわち、搬送ラインＬの上方には、Ｘ軸方向に延びる一対の支持部材６が配設され、図２に示すように、各支持部材６にＸ軸方向に延びる一対の固定レール４Ａと、Ｘ軸サーボモータ７により回転駆動されるボールねじ軸８とが配設され、上記固定レール４Ａにヘッドユニット５Ａが移動自在に装着されるとともに、このヘッドユニット５Ａに設けられたナット部分９（図５に示す）が上記ボールねじ軸８に螺合している。そして、Ｘ軸サーボモータ７の作動によりボールねじ軸８が回転することによりヘッドユニット５ＡがＸ軸方向に移動することができるようになっている。
【００１９】
なお、以上は一方のヘッドユニット５Ａの駆動系についての説明であるが、他方のヘッドユニット５Ｂの駆動系も同様の構成となっており、ここでは説明を省略する。
【００２０】
一方、図１に示すように、上記支持部材６の外側方であって、前記搬送ラインＬに対して点対称的な位置には、プリント基板３の上記作業位置となる作業ステーション１０Ａ，１０Ｂが設けられ、各作業ステーション１０Ａ，１０Ｂにそれぞれプリント基板３を保持する基板保持装置１１Ａ，１１Ｂが装備されるとともに、これら各作業ステーション１０Ａ，１０ＢがＹ軸方向（水平面上でＸ軸と直交する方向）に移動することができるようになっている。
【００２１】
すなわち、搬送ラインＬに対して点対称的な位置には、それぞれ上記基台１上にＹ軸方向に延びる固定レール１２Ａ，１２Ｂと、Ｙ軸サーボモータ１３により回転駆動されるボールねじ軸１４とが配設され、上記固定レール１２Ａ，１２Ｂ上に作業ステーション１０Ａ，１０Ｂがそれぞれ移動自在に装着されるとともに、これら作業ステーション１０Ａ，１０Ｂに設けられたナット部分（図示せず）が上記ボールねじ軸１４に螺合している。そして、Ｙ軸サーボモータ１３の作動によりボールねじ軸１４が回転することにより作業ステーション１０Ａ，１０ＢがそれぞれＹ軸方向に移動することができるようになっている。
【００２２】
また、図３に示すように、上記搬送ラインＬの上方には、詳しく図示していないが、搬送ラインＬと作業ステーション１０Ａ，１０Ｂとの間でプリント基板３を受け渡すための移載装置１５が設けられている。
【００２３】
さらに、図１に示すように、各作業ステーション１０Ａ，１０Ｂのそれぞれ両側には部品供給部１６Ａ，１６Ｂ及び１７Ａ，１７Ｂがそれぞれ配置されている。これらの部品供給部１６Ａ，１６Ｂ及び１７Ａ，１７Ｂには、多数列のテープフィーダ１８が備えられており、各テープフィーダ１８はそれぞれ、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ部品を所定間隔おきに収納、保持したテープがリールから導出されるようになっているとともに、テープ繰り出し端にはラチェット式の送り機構が具備され、ヘッドユニット５Ａ，５Ｂにより部品がピックアップされるにつれてテープが間欠的に繰り出されるようになっている。
【００２４】
図４〜図６は、上記ヘッドユニット５Ａの構造を示している。これらの図において、上記ヘッドユニット５Ａには、部品を吸着するためのノズル部材２０が具備され、本実施形態では１２本のノズル部材２０がＸ軸方向に整列した状態で配設されている。さらにヘッドユニット５Ａには、上記各ノズル部材２０を昇降させる昇降駆動機構と、各ノズル部材を回転させる回転駆動機構と、各ノズル部材２０に部品吸着用の負圧を供給する負圧供給系統等が具備されている。
【００２５】
上記昇降駆動機構は、各ノズル部材２０を同時に上下動させる１個の全体上下動用サーボモータ２１と、各ノズル部材２０を個別に一定ストロークだけ昇降させる所定数（１２個）のエアシリンダ２５とを有しており、上記サーボモータ２１とエアシリンダ２５とを併用することにより各ノズル部材２０を所定の上昇位置と下降位置とにわたって昇降させるように構成されている。また、図示を省略しているが、回転駆動機構は１個の回転用サーボモータを有し、このサーボモータによりベルト伝動機構からなる動力伝達手段を介して各ノズル部材２０を回転させるように構成されている。
【００２６】
上記ヘッドユニット５Ａの構造をより具体的に説明すると、ヘッドユニット本体２４には、図５に示すように、上記ノズル部材２０及びエアシリンダ２５等を保持するハウジング２２がレール１９を介して上下動可能に取付けられているとともに、その上方に上下動用サーボモータ２１が取付けられ、このサーボモータ２１の駆動によるボールねじ２３の正逆回転に伴いハウジング２２を上下動させるようになっている。
【００２７】
上記各ノズル部材２０は、図６に示すように、中空のノズルシャフト２０ａと、これに取付けられるノズルホルダ２０ｂと、その下端に着脱自在に装着されるノズル２０ｃとから構成され、このノズル部材２０がノズルガイド２６を介して上記ハウジング２２に上下動及び回転可能に取付けられている。つまり、ハウジング２２にノズルガイド２６が回転可能に取付けられ、このノズルガイド２６に上記ノズルシャフト２０ａが上下動可能に嵌合されている。
【００２８】
ノズルシャフト２０ａには、その略中間部分にベアリング２７が固定されるとともに、その下方部分には上記ノズルガイド２６との間にスプリング２８が装着されており、このスプリング２８によりベアリング２７を介してノズルシャフト２０ａが上方に付勢されるようになっている。
【００２９】
また、各ノズル部材２０のノズルシャフト２０ａに対向する位置には、ハウジング２２に下降端センサ２９が取付けられており、ノズルシャフト２０ａの下降に伴ってセンサ２９が上記ベアリング２７を検出することによってノズルシャフト２０ａが下降端位置に到達したことが検知されるようになっている。
【００３０】
上記ハウジング２２の前面側におけるノズル部材配設箇所の上方には、上記各エアシリンダ２５と、各エアシリンダ２５に対するエア給排系統が設けられており、上記各ノズル部材２０のノズルシャフト上端がそれぞれ対応するエアシリンダ２５の内部に挿入されている。上記エア給排系統は、後に詳述するように、各エアシリンダ２５に対するエアの給排を切替えるエアシリンダ駆動用のソレノイドバルブ４６を有しており、これらソレノイドバルブ４６がエア供給源４０（図７に示す）に接続されている。
【００３１】
各エアシリンダ２５は、その内部にピストン３０を備えるとともに、このピストン３０の上方及び下方に圧力室３１，３２を有し、これらの圧力室３１，３２がポート３３，３４を介してエア給排系統の通路に接続されている。そして、上側圧力室３１にエアが供給されつつ下側圧力室３２からエアが排出されるときにはピストン３０が下降し、逆に下側圧力室３２にエアが供給されつつ上側圧力室３１からエアが排出されるときにはピストン３０が上昇するようになっている。
【００３２】
また、上記エアシリンダ２５の内部においてその上端部には、ピストン３３の昇降ストロークよりも長い筒状のスリーブ３５が固定的に設けられており、このスリーブ３５がピストン３０の上端部に挿入されている。そして、エアシリンダ２５の上部にキャップ３６が装着され、このキャップ３６内に後述する負圧供給系統に接続される通路３７が形成されるとともに、この通路３７が上記スリーブ３５に連通している。これにより実装機の駆動時には、キャップ３６の通路３７，スリーブ３５、ノズルシャフト２０ａ及びノズルホルダ２０ｂを通じてノズル２０ｃの先端に部品吸着用の負圧が供給されるようになっている。
【００３３】
なお、以上は一方のヘッドユニット５Ａの構成であるが、他方のヘッドユニット５Ｂも同様の構成となっており、従ってここでは説明を省略する。
【００３４】
図７は上記エアシリンダ２５に対するエア給排系統及び各ノズル部材２０に対する負圧供給系統を示している。
【００３５】
エアシリンダ２５に対するエア給排系統は、同図に示すようにエア供給源４０で発生したエアをエア供給路４１及び各ソレノイドバルブ４６を介して各エアシリンダ２５に供給するように構成されている。各ソレノイドバルブ４６は、各エアシリンダ２５に接続される単位供給路に配設され、各ソレノイドバルブ４６とエアシリンダ２５との間には、エアシリンダ２５の下側圧力室３２に通じる下側圧力室用エア通路４７と、上側圧力室３１に通じる上側圧力室用エア通路４８とが設けられており、各ソレノイドバルブ４６は、下側圧力室用エア通路４７をエア供給源４０に接続するとともに上側圧力室用エア通路４８を図外のエア排気通路を介して大気に開放する上昇駆動状態と、上側圧力室用エア通路４８をエア供給源４０に接続するとともに下側圧力室用エア通路４７をエア排気通路を介して大気に開放する下降駆動状態とに切替可能となっている。
【００３６】
上記エア供給路４１には、その上流側から順に減圧バルブ（レギュレータ）４３、圧力計４４及びエアタンク４５が設けられているとともに、エアタンク４５よりも下流側の部分はループ状の通路とされ、このループ状の通路に対して上記各ソレノイドバルブ４６が並列に接続されている。
【００３７】
すなわち、高圧力のエアをエア供給源４０で発生させて、減圧バルブ４３を介して要求圧力までエア圧を下げて各エアシリンダ２５に供給することにより定圧のエアを安定して供給できるようになっているとともに、エアタンク４５を設けてエアを蓄積させることによって、複数のエアシリンダ２５を同時に作動させる場合でも、要求圧力に見合う充分なエアを各エアシリンダ２５に供給できるようになっている。特に、同図に示すエア給排系統のうちエアタンク４５以降の部分は上記ヘッドユニット５Ａ，５Ｂに一体に搭載されており、このようにエアタンク４５以降の経路とエアシリンダ２５とが近接されることにより、エアタンク４５によるエアの蓄積効果が有効に働くようにされている。
【００３８】
また、各ソレノイドバルブ４６をエア供給路４１のループ状の通路部分に接続することにより複数のエアシリンダ２５を同時に作動させる場合でも、各エアシリンダ２５に対して均等のエアが供給され得るようになっている。
【００３９】
一方、各ノズル部材２０に対する負圧供給系統は、真空発生器５０で発生された負圧を負圧供給路５１及びソレノイドバルブ５２を介して各ノズル部材２０に、正確にはエアシリンダ２５に装着されたキャップ３６の上記通路３７に供給するように構成されている。各ソレノイドバルブ５２とノズル部材２０との間には負圧通路５３が設けられており、各ソレノイドバルブ５２は、負圧通路５３を真空発生器５０に接続する状態と、負圧通路５３を図外の通路を介して大気に開放する状態とに切替可能となっている。
【００４０】
上記負圧供給路５１は同図に示すようにループ状の通路を有しており、各ソレノイドバルブ５２がこのループ状の通路部分で負圧供給路５１に接続されることにより、複数のノズル部材２０に同時に負圧を供給する場合でも、各エアシリンダ２５に対して均等の負圧が供給され得るようになっている。
【００４１】
なお、図４及び図５において５５は、プリント基板３に設けられたフィデューシャルマークを認識するためのカメラであり、ヘッドユニット本体５ａの一側部に取付けられている。
【００４２】
次に上記実装機の作用効果について説明する。
【００４３】
以上のように構成された実装機において実装動作が開始されると、先ず、搬送ラインＬに沿ってプリント基板３が図１の矢印方向（左方向）に向かって最初の作業ステーション１０Ａの手前まで搬送され、ここで、プリント基板３が上記移載装置１５により作業ステーション１０Ａの基板保持装置１１Ａに移載されて保持される。
【００４４】
そして、ヘッドユニット５Ａが部品供給部１６Ａ又は１６Ｂの上方に配置配置され、部品の吸着を行なうべきノズル部材２０に対応するエアシリンダ２５において上側圧力室３１にエアが供給されつつ下側圧力室３２からエアが排出されるとともに、真空発生器５０で生成された負圧が所定のタイミングでノズル部材２０内に供給される。これによりピストン３０が下降させられてベアリング２７を下方に押圧することにより、ピストン３０とノズルシャフト２０ａが一体に下降端位置まで変位させられて部品の吸着が行われる。また、このようなエアシリンダ２５の作動に加えて上下動用サーボモータ２１が作動させられることにより、下降端位置が調整される。
【００４５】
その後、上記エアシリンダ２５へのエアの給排が切換えられて下側の圧力室３２にエアが供給されつつ上側の圧力室３１からエアが排出されることによりピストン３０が上昇させられるとともに、上記スプリング２８の付勢力によりノズルシャフト２０ａがピストン３０に追従して上昇端位置まで上昇させられる。
【００４６】
こうして各ノズル部材２０毎に上述のような部品吸着動作が行われることによって、順次各ノズル部材２０によって部品の吸着が行われ、可能な場合には、複数のノズル部材２０により同時に部品の吸着が行われる。
【００４７】
なお、このように複数のノズル部材２０を作動させる場合には、各エアシリンダ２５への供給エア量の不足に起因したノズル下降速度の低下が懸念されるところであるが、この実装機では上述のようにエア給排系統にエアタンク４５が設けられてエアが蓄積されるようになっているため、要求圧力に見合った充分なエアを各エアシリンダ２５に供給することができる。
【００４８】
例えば、図８（ａ）は、上記実装機において一つのノズル部材２０を作動させた場合のエアシリンダ２５への供給エア圧の経時変化を示し、また、図８（ｂ）は、全てのノズル部材２０を同時に作動させた場合のエアシリンダ２５の供給エア圧の経時変化を示しているが、これらの図からも、全てのノズル部材２０を作動せる場合であっても著しいエア圧の低下はみられないことが考察できる。
【００４９】
そのため、複数のノズル部材２０を作動させる場合でも、一つのノズル部材２０を作動させる場合と略同一の速度で各ノズル部材２０を昇降させることができる。
【００５０】
こうして部品供給部１６Ａ，１６Ｂからの部品の取出しが完了すると、ヘッドユニット５ＡがＸ軸方向に移動させられつつ、作業ステーション１０ＡがＹ軸方向に移動させられることによって、吸着部品がプリント基板３の所定の装着位置上方に移動させられ、上記部品吸着時と同様、上下動用サーボモータ２１及びエアシリンダ２５の作動によりノズル部材２０が昇降させられるとともに、ノズル部材２０が下降端に達するタイミングでノズル部材２０への負圧の供給が遮断され、これによって部品がプリント基板３に装着される。この際、ノズル部材２０の下降前、あるいは下降後に上記回転駆動機構の回転用サーボモータが駆動されることによりノズル部材２０が回転させられ、これにより部品の回転方向の位置決めが行われる。
【００５１】
そして、作業ステーション１０Ａ上で上記作業が繰り返され、プリント基板３の例えば半分の領域について部品の装着が完了すると、上記移載装置１５によりプリント基板３が作業ステーション１０Ａから作業ステーション１０Ｂの基板保持装置１１Ｂに移載されて保持され、部品供給部１７Ａ，１７Ｂからの部品の供給を受けながら、ヘッドユニット５Ｂ及び作業ステーション１０Ｂの移動に伴いプリント基板３の残りの領域について部品の装着が行われる。そして、最終的に全ての部品の装着が完了すると、移載装置１５によりプリント基板３が搬送ラインＬ上に搬出される。
【００５２】
以上説明したように、この実装機によれば、エア給排系統に設けられたエアタンク４５にエアが蓄積され、これによって複数のノズル部材２０を同時作動させる場合でも各エアシリンダ２５に充分なエアを供給することできるようになっているため、複数のノズル部材２０を作動させる場合でも、一つのノズル部材２０を作動させる場合と略同一のノズル昇降速度でもって部品の吸着を行うことができる。従って、複数のノズル部材を作動させた場合と一つのノズル部材を作動させた場合とでノズル昇降速度が異なる従来のこの種の実装機に比べると、より効率良く部品の実装を行うことができる。
【００５３】
なお、実装機やエア給排系統等の具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００５４】
例えば、上記実施形態の実装機では、エア給排系統のうちエアタンク４５を含むそれ以降の部分を上記ヘッドユニット５Ａ，５Ｂに搭載してエアタンク４５とエアシリンダ２５を近設するようにしているが、エアタンク４５を基台１や支持部材１１等に設置することも考えられ、このようにすればヘッドユニット５Ａ，５Ｂの重量を軽減することができる点で有利である。しかし、エアタンク４５からエアシリンダ２５までの経路をできるだけ短くする方が、各エアシリンダ２５に対するエアタンク４５のエア蓄積効果が有効に働くため、複数のノズル部材を同時作動させる際の昇降速度を重視する場合には、上記実施形態のようにエアタンク４５を含むそれ以降のエア供給系統をヘッドユニット５Ａ，５Ｂに搭載するのが有効である。
【００５５】
また、エアタンク４５の形状や容積等の具体的な要件については特に説明していないが、これらの要件は、ノズル部材２０の数、エアシリンダ２５の要求圧力等を考慮して適宜設定するようにすればよい。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のエア供給回路は、ヘッドユニットに複数のノズル部材を備え、各ノズル部材をエアシリンダ駆動により昇降させる表面実装機において、エア供給源に接続されるエア供給路から分岐する単位供給路を介してエアシリンダにエアを供給するとともに、エア供給路における単位供給路の分岐部分より上流側にエアタンクを設けてエア供給源から供給されるエアをエアタンク内に蓄積するようにしたので、複数のノズル部材を同時に作動させる場合でも、各エアシリンダに対して充分なエアを供給することができる。
【００５７】
そのため、複数のノズル部材を同時に作動させる場合でも、一つのノズル部材を作動させる場合と同一のノズル昇降速度でもって部品の吸着を行うことができる。従って、従来のこの種の実装機に比べると、より効率良く部品を実装することができる。
【００５８】
特に、上記のエア供給回路において、エア供給源の出力エア圧をエアシリンダの要求エア圧より高く設定するとともに、エア供給路のエアタンクの上流側にエア供給源からの出力エア圧をエアシリンダの要求エア圧まで低下させるレギュレータを設けるようにすれば、各エアシリンダに対して定圧のエアを安定して供給でき、よりノズル昇降速度を適正に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による表面実装機全体の概略平面図である。
【図２】上記表面実装機を示す正面図である。
【図３】上記表面実装機を示す側面図である。
【図４】上記実装機におけるヘッドユニットの構成を示す正面図である。
【図５】上記ヘッドユニットの側面図である。
【図６】ノズル部材及びその昇降駆動機構を示す要部断面図である。
【図７】エアシリンダに対するエア供給系統及びノズル部材に対する負圧供給系統の回路図である。
【図８】（ａ）（ｂ）はエアシリンダへの供給エア圧の経時変化を示す図で、（ａ）は一つのノズル部材を作動させた場合の当該ノズル部材に対応するエアシリンダへの供給エア圧、（ｂ）は全てのノズル部材を同時に作動させた場合のエアシリンダへの供給エア圧を示す図ある。
【図９】（ａ）（ｂ）は従来の実装機におけるエアシリンダへの供給エア圧の経時変化を示す図で、（ａ）は一つのノズル部材を作動させた場合の当該ノズル部材に対応するエアシリンダへの供給エア圧、（ｂ）は全てのノズル部材を同時に作動させた場合のエアシリンダへの供給エア圧を示す図ある。
【符号の説明】
５Ａ，５Ｂ  ヘッドユニット
２０  ノズル部材
２５  エアシリンダ
３０  ピストン
３１  上側圧力室
３２  下側圧力室
４０  エア供給源
４１  エア供給路
４３  減圧バルブ
４４  圧力計
４５  エアタンク
４６  ソレノイドバルブ
４７  下側圧力室用エア通路
４８  上側圧力室用エア通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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