(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーブジェネレータおよびフレクスプラインを有する波動減速機の伝達トルクを検出する装置であって、
前記フレクスプラインの弾性変形に基づいて、前記波動減速機を介して伝達される実伝達トルクを検出するトルクセンサと、
前記ウエーブジェネレータの回転速度を検出する回転速度センサと、
前記トルクセンサにより検出された実伝達トルクから、前記ウェーブジェネレータの回転速度に対応する周波数成分を有するトルク成分を除去するフィルタ手段と、
このフィルタ手段により前記トルク成分が除去されて得られた修正伝達トルクに基づいて、前記波動減速機の伝達トルクを算出するトルク算出手段とからなることを特徴とする波動減速機における伝達トルク検出装置。
【請求項２】
前記ウエーブジェネレータを構成するカムの数をＮ（整数）とすると、前記フィルタ手段は前記ウエーブジェネレータの回転速度のＮ倍の周波数成分を有するトルク成分を除去するバンドパスフィルタからなることを特徴とする請求項１に記載の伝達トルク検出装置。
【請求項３】
前記ウエーブジェネレータの回転角度位置を検出する回転角度センサと、前記ウェーブジェネレータの回転角度位置に対応したトルク補正データを測定記憶した補正データ記憶手段と、前記トルクセンサにより検出された実伝達トルクを前記補正データ記憶手段に記憶されたトルク補正データに基づいて補正して補正伝達トルクを求めるトルク補正手段とを有し、
前記フィルタ手段は、前記補正伝達トルクから前記ウェーブジェネレータの回転速度に対応する周波数成分を有するトルク成分を除去して修正伝達トルクを求めることを特徴とする請求項１もしくは２に記載の伝達トルク検出装置。
【請求項４】
前記補正データ記憶手段は、前記波動減速機の温度に対応したトルク補正データを測定記憶しており、
前記波動減速機の温度を検出する温度センサを有し、
前記トルク補正手段は、前記温度センサにより検出された温度に対応するトルク補正データを前記補正データ記憶手段から読み出し、この読み出したトルク補正データに基づいて実伝達トルクを補正することを特徴とする請求項３に記載の伝達トルク検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、例えばロボットの減速機等として用いられる波動減速機において伝達されるトルクを検出する装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年ロボットは多用されているが、このロボットの制御において、関節部等のトルクを計測しこれを制御に利用することは、ロボットの制御性能を向上させる上で非常に有用である。また、計測トルクを用いて故障診断を行うようにすれば、安全性を向上させることができる。
【０００３】
このようなことから、ロボット駆動に用いられる波動減速機における伝達トルクを検出する装置は従来から種々提案されている。一例を挙げれば、特開平７−１０３２９１号公報に開示された波動減速機があり、ここでは波動減速機を構成するフレクスプラインの周囲にコイルを配設し、フレクスプラインに作用するトルクをフレクスプラインの磁気特性の変化に基づくインピーダンスの変化から検出するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このように波動減速機を介して伝達するトルクを、このトルクによるフレクスプラインの弾性変形に基づいて検出する装置等は従来から知られている。しかしながら、フレクスプラインはウエーブジェネレータにより変形されるものであるため、フレクスプラインには伝達トルクによる弾性変形に加えてウエーブジェネレータによる弾性変形が生じ、ウエーブジェネレータによる弾性変形が伝達トルクの検出精度を低下させるおそれがあるという問題がある。この問題は本出願人が先に出願した特願平８−４７７２４号に記載のように、センサの配置により解決できるが、フレクスプラインの製造不均衡などに起因する検出誤差は修正できないという問題がある。
【０００５】
このような問題に鑑み、本発明は波動減速機において、ウエーブジェネレータによるフレクスプラインの弾性変形の影響を受けることなく伝達トルクを正確に検出できるような伝達トルク検出装置および方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このような目的達成のため、本発明に係る伝達トルク検出装置においては、フレクスプラインの弾性変形に基づいて波動減速機を介して伝達される実伝達トルクを検出するトルクセンサと、ウエーブジェネレータの回転速度を検出する回転速度センサと、トルクセンサにより検出された実伝達トルクからウェーブジェネレータの回転速度に対応する周波数成分を有するトルク成分を除去するフィルタ手段とを有し、このフィルタ手段により上記トルク成分が除去されて得られた修正伝達トルクに基づいて、波動減速機の伝達トルクを算出する。
【０００７】
ウエーブジェネレータにより生じるフレクスプラインの弾性変形は、ウエーブジェネレータのカムにより引き起こされるものであり、ウエーブジェネレータの回転速度に比例する。このため、ウエーブジェネレータの回転速度に対応する周波数成分を有するトルク成分が、ウエーブジェネレータにより生じるフレクスプラインの弾性変形により検出されるトルク成分に対応し、トルクセンサにより検出された実伝達トルクからこのトルク成分を除去すれば、上記弾性変形の影響を除去した正確な伝達トルクを算出することができる。
【０００８】
なお、ウエーブジェネレータのカムによりフレクスプラインの弾性変形が生じるものであるため、ウエーブジェネレータの回転数をＮ（＝カム数）倍した周波数成分を有するトルク成分を除去するのが最も好ましい。このため、上記フィルタ手段はウエーブジェネレータの回転数（回転速度）のＮ倍（但し、Ｎはウエーブジェネレータのカム数）の周波数成分を有するトルク成分を除去するバンドパスフィルタにより構成される。また、この周波数成分の高周波分（整数倍の周波数成分）を有するトルク成分も除去するのが望ましい。これら周波数成分の除去はバンドパスフィルタにより行える。
【０００９】
本発明ではさらに、ウエーブジェネレータの回転角度位置を検出する回転角度センサと、ウェーブジェネレータの回転角度位置に対応したトルク補正データを測定記憶した補正データ記憶手段と、トルクセンサにより検出された実伝達トルクを補正データ記憶手段に記憶されたトルク補正データに基づいて補正して補正伝達トルクを求めるトルク補正手段とを設けるのが好ましく、この場合には、フィルタ手段は、トルク補正手段により補正して求められた補正伝達トルクから、ウェーブジェネレータの回転速度に対応する周波数成分を有するトルク成分を除去して修正伝達トルクを求める。
【００１０】
ウエーブジェネレータにより生じるフレクスプラインの弾性変形はその回転角度に対応して一定のものであるため、ウエーブジェネレータの回転角度位置に対応したトルク補正データも伝達トルクの如何に拘わらず一定である。このため、上記のように、ウエーブジェネレータの回転角度に対応してウエーブジェネレータによるフレクスプラインの弾性変形のみに基づいて検出されるトルクを、トルク補正データとしてウエーブジェネレータの回転角度に対応して記憶しておき、実際の検出トルクからこのトルク補正データを引き去れば、ウエーブジェネレータによるフレクスプラインの弾性変形の影響を除去した補正伝達トルクを得ることができる。その上で、このようにして求めた補正伝達トルクからウェーブジェネレータの回転速度に対応する周波数成分を有するトルク成分を、フィルタ手段により除去して修正伝達トルクを求めれば、一層正確な伝達トルクを求めることが可能である。
【００１１】
但し、トルク補正データは、波動減速機の温度に応じて変動する。これは、例えば、低温のときには潤滑油の粘性が大きくなり駆動抵抗が大きくなるといったことによるものである。このようなことから、波動減速機の温度毎にトルク補正データを測定設定し、波動減速機の実際の温度に対応するトルク補正データを用いて補正伝達トルクを求めるのが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明に係る伝達トルク検出装置について説明する。本発明に係る波動減速機の一例を図１に示している。この減速機は、内歯サーキュラースプライン１ａが形成されたほぼ円筒状の支持ケース１とこの支持ケース１に結合されたフランジカバー２とに囲まれた空間内に、以下の部材をベアリング８ａ，８ｂにより回転自在に支持して構成される。なお、これら支持ケース１およびフランジカバー２は通常、固定保持される。
【００１３】
波動減速機は入力軸３の回転を非常に大きな減速比（数十から百数十といった非常に大きな減速比）で減速して出力軸１３に伝達する減速機であるが、この減速機そのものは従来から公知であるので、この減速機自体の説明は簡単に行う。
【００１４】
入力軸３はベアリング８ａを介してフランジカバー２により回転自在に支持されており、一端が外方に突出し、他端に楕円盤カム５が結合されている。この楕円盤カム５の外周に沿って複数の押圧ボール６ａを等間隔で配設してウェーブジェネレータ６が構成されている。一方、出力軸１３はベアリング８ｂを介して支持ケース１により回転自在に支持されるとともに、一端が支持ケース１の側面から外方に突出し、他端が支持ケース２内に配設されたフレクスプライン部材１０に結合されている。
【００１５】
フレクスプライン部材１０は、弾性材料から形成された部材で、先端部に外歯フレクスプライン１１を有するとともに、この外歯フレクスプライン１１と出力軸１３とを結合する円盤状底壁１２ａを有した薄肉円筒状のカップリング部１２を有して構成される。外歯フレクスプライン１１の内周面に沿ってウェーブジェネレータ６が位置するとともに、この外歯フレクスプライン１１は内歯サーキュラースプライン１ａと噛合する位置にある。
【００１６】
ウェーブジェネレータ６において、楕円盤カム５はその楕円形状に対応してボール６ａを外周方向に押し上げ、フレクスプライン１１は楕円形に弾性変形される。このとき、フレクスプライン１１における楕円の長軸に対応する部分が最も外周側に押し出されるように変形し、フレクスプライン１１は１８０度離れた２箇所において内歯サーキュラースプライン１ａと噛合する。
【００１７】
以上の構成の波動減速機において、入力軸３が回転駆動されるとこれに結合されたウェーブジェネレータ６（楕円盤カム５）が一緒に回転され、フレクスプライン１１と内歯サーキュラースプライン１ａとの噛合位置がこの回転とともに回転移動する。ここで、内歯サーキュラースプライン１ａの歯数に対してフレクスプライン１１の歯数が１〜数枚少なく形成されており、上記のように入力軸３の回転に応じて噛合位置が回転移動すると、入力軸３が１回転したときにフレクスプライン部材１０はこの相違歯数分だけ回転する。すなわち、入力軸３の一回転に対して出力軸１３はフレクスプライン１１の１〜数枚の歯数分しか回転されず、非常に大きな減速比で回転が伝達される。
【００１８】
この波動減速機におけるフレクスプライン部材１０の円盤状底壁１２ａの外側面に、このフレクスプライン部材１０を介して伝達されるトルクを検出するトルクセンサ２０が接着されて配設されている。このトルクセンサ２０の上には保護カバー１５が取り付けられている。なお、フレクスプライン部材１０を保護カバー１５を外した状態で図２に示している。
【００１９】
本例のトルクセンサ２０は、図３に示すように、中央に開口を有するドーナッツ型円盤状に形成され、このトルクセンサ２０を構成する励磁コイルを励磁したり、検出コイルの誘導起電力を検出したりする処理回路３０がトルクセンサ２０に接続されている。
【００２０】
このトルクセンサ２０をフレクスプライン部材１０に取り付けた状態を図４に示している。トルクセンサ２０は、アモルファスシートもしくはアモルファス合金シートから形成された第１磁性体層２２を有し、この第１磁性体層２２は接着剤を含浸させたカーボンクロスシート２１によりフレクスプライン部材１０の円盤状底壁１２ａの外側面にしっかりと接着されている。この第１磁性体層２２の上には、励磁コイルパターン２３ａ，２３ｂが形成された励磁用プリント配線板２３と、検出コイルパターン２４ａ，２４ｂが形成された検出用プリント配線板２４とが重ねて配設され、この上に、アモルファスシートもしくはアモルファス合金シートからなる第２磁性体層２５ａ，２５ｂが配設されている。
【００２１】
第１磁性体層２２は、図５に示すように、アモルファスもしくはアモルファス合金からなるシートを中央に円状開口２２ｃを有した円盤状に形成して作られており、周方向に整列した複数のスリット２２ａ，２２ｂが２列にリング状に並んで形成されている。図示のように、内周側スリット２２ａおよび外周側スリット２２ｂはそれぞれ、周方向に対して４５度傾いて形成されており、しかも、内周側スリット２２ａは周方向に対して左側に４５度傾き、外周側スリット２２ｂは周方向に対して右側に４５度傾いて形成されている。なお、内周側スリット２２ａを右側に４５度傾け、外周側スリット２２ｂを左側に４５度傾けてもよい。
【００２２】
励磁用プリント配線板２３は、図６に示すように、絶縁材料性フレキシブルプリント基板２３ｅの表面に、内周側に位置するとともに時計回り方向に形成された第１励磁コイルパターン２３ａと、外周側に位置するとともに反時計回り方向に形成された第２励磁コイルパターン２３ｂとが形成されて作られている。図において、各コイルパターン２３ａ，２３ｂはそれぞれ約二周するように形成されているが、もっと多くの巻数のコイルパターンをそれぞれ形成しても良い。
【００２３】
なお、図４においてはコイルパターン２２ａ，２２ｂを模式的に断面円形に示しているが、実際はプリント基板の上に形成された導電材料パターンである。また、図６において、実線のコイルパターンはフレキシブルプリント基板２３ｅの表面に形成され、破線のコイルパターンは裏面に形成されている。なお、間に絶縁層を介して両コイルパターンを表面もしくは裏面に多層に形成してもよい。
【００２４】
第１励磁コイルパターン２３ａの外周端と第２励磁コイルパターン２３ｂの内周端が接続されるとともに、第１励磁コイルパターン２３ａの内周端と第２励磁コイルパターン２３ｂの外周端がそれぞれ励磁用コネクタ部２３ｃに接続されており、励磁用コネクタ部２３ｃ以外のコイルパターンは絶縁コーティングされている。励磁用コネクタ部２３ｃは露出しており、これらコネクタ部２３ｃ間に電流を流せば、第１および第２励磁コイルパターン２３ａ，２３ｂを流れる電流により、図４に矢印Ｐ，Ｑで示す磁界が発生する。このとき、両コイルパターン２３ａ，２３ｂの巻方向が反対なので、両磁界Ｐ，Ｑも反対方向の磁界となる。
【００２５】
検出用プリント配線板２４は、図７に示すように、絶縁材料性フレキシブルプリント基板２４ｅの表面に、内周側に位置して時計回り方向に形成された第１検出コイルパターン２４ａと、外周側に位置して反時計回り方向に形成された第２検出コイルパターン２４ｂとが形成されて作られている。この検出用プリント配線板２４においても、各コイルパターン２４ａ，２４ｂの巻数をもっと多くしても良く、実線のコイルパターンがフレキシブルプリント基板２３ｅの表面に形成され、破線のコイルパターンが裏面に形成される。なお、第１検出コイルパターン２４ａは第１検出用コネクタ部２３ｃに繋がり、第２検出コイルパターン２４ｂは第２検出用コネクタ部２３ｄに繋がる。
【００２６】
上記両プリント配線板２３，２４が第１磁性体層２２の上に重ねられた状態で、第１励磁コイルパターン２３ａおよび第１検出パターン２４ａはともに内周側スリット２２ａの上に重なり、第２励磁コイルパターン２３ｂおよび第２検出パターン２４ｂはともに外周側スリット２２ｂの上に重なる。
【００２７】
そして、内周側に位置する第２磁性体層２５ａは第１励磁コイルパターン２３ａおよび第１検出パターン２４ａを覆うリング状に形成され、これらの上に重ねて取り付けられる。同様に、外周側に位置する第２磁性体層２５ｂは第２励磁コイルパターン２３ｂおよび第２検出パターン２４ｂを覆うリング状に形成され、これらの上に重ねて取り付けられる。これら第２磁性体層２５ａ，２５ｂは励磁用コネクタ部２３ｃ間に電流を流して図４に示す磁界Ｐ，Ｑを発生されるとき誘磁体としての役目を果たし、第１および第２励磁コイルパターン２３ａ，２３ｂの周りに磁界Ｐ，Ｑを明瞭に発生させる。
【００２８】
第１磁性体層２２はフレクスプライン部材１０の円盤状底壁１２ａの外側面に接着されているため、フレクスプライン部材１０を介してトルク伝達がなされるときにフレクスプライン部材１０がこのトルクを受けて弾性変形すると、第１磁性体層２２も一緒に変形し、この変形により第１磁性体層２２の磁気歪特性が変化して透磁率が変化する。このように透磁率が変化すると、磁界Ｐ，Ｑの強度が変化するので、第１および第２検出コイルパターン２４ａ，２４ｂに生じる誘導起電力の変化を第１および第２コネクタ部２４ｃ，２４ｄから取り出して検出すれば、透磁率の変化を検出することができる。
【００２９】
このようにして検出した透磁率の変化はフレクスプライン部材１０の弾性変形に比例するため、この透磁率の変化に基づいてフレクスプライン部材１０を介して伝達されるトルクを演算して求めることができる。なお、フレクスプライン部材１０はウェーブジェネレータ６により楕円形状に弾性変形されるため、第１磁性体層２２の磁気歪特性はこの弾性変形の影響も受ける。このため、この影響を補正する処理を行って正確な伝達トルク検出を行うようにしているが、この構成は後述する。
【００３０】
このように、本発明のトルクセンサは第１磁性体層２２の透磁率の変化を検出してトルクを検出するものであるが、第１磁性体層２２の透磁率の変化が最大となる方向、すなわち、周方向に対して４５度傾いた方向にスリット２２ａ，２２ｂを形成している。図５に示すように、フレクスプライン部材１０にトルクＴが作用すると内周側のスリット２２ａが形成された部分には矢印Ａで示すようにスリット２２ａの方向に圧縮力が作用し、外周側のスリット２２ａが形成された部分には矢印Ｂで示すようにスリット２２ｂの方向に引っ張り力が作用する。このとき、スリット２２ａ，２２ｂにより形状的な異方性効果を得て第１磁性体層２２における透磁率変化を増幅させることができ、トルクの検出精度がより高くなる。
【００３１】
以上のようにして透磁率変化を検出する装置、すなわち、図３に示した処理回路３０について図８を参照して説明する。この回路３０は交流電源３１を有しており、この交流電源３１からの交流電流が励磁用コネクタ部２３ｃを介して第１および第２励磁コイルパターン２３ａ，２３ｂに流されてこれらが励起される。これにより、この電流に対応して互いに反対方向となる磁界Ｐ，Ｑが図４に示すように、これらコイルパターン２３ａ，２３ｂの周りに発生する。
【００３２】
この磁界Ｐ，Ｑは、第１および第２検出コイルパターン２４ａ，２４ｂに相互誘導起電力を発生させ、この相互誘導起電力が第１および第２コネクタ部２４ｃ，２４ｄを介してブリッジ回路３２ａ，３２ｂに取り出される。ここで、磁界Ｐ，Ｑの方向が逆なので、誘導起電力は一方がプラスで他方がマイナスの値となり、これがブリッジ回路３２ａ，３２ｂを介して両者の差に該当する電圧として検出端子３３から取り出される。
【００３３】
以上まとめると、波動減速機の入力軸３の回転が減速されて出力軸１３に伝達されるとき、フレクスプライン部材１０を介してトルク伝達がなされるので、この伝達トルクの大きさに応じてフレクスプライン部材１０が弾性変形する。このため、第１磁性体層２２の透磁率が変化し、磁界Ｐ，Ｑの強さが変化し、検出端子３３において検出される電圧も変化する。この電圧変化から透磁率の変化を演算し、フレクスプライン部材１０を介して伝達されるトルクの大きさを求めることができる。
【００３４】
以上のように、波動減速機にトルクセンサが組み込まれるのであるが、このトルクセンサの検出値は、上述のようにウエーブジェネレータによるフレクスプラインの弾性変形分も検出するため、これを補正して正確な伝達トルク検出を行うトルクセンサシステム（伝達トルク検出装置）が構成されている。このトルクセンサシステムについて以下に説明する。
【００３５】
このトルクセンサシステム構成を図９に示しており、このシステムは、上述のように構成されたトルクセンサ２０を有した波動減速機ＨＤおよびトルクセンサからの信号を処理する信号処理回路３０を有し、この減速機ＨＤの入力軸３が電動モータ６０により回転駆動される。このシステムはさらに、モータ６０の駆動軸の回転速度（ウエーブジェネレータの回転速度）を検出するエンコーダ５１と、信号処理回路３０から出力される検出トルク信号Ｔoをエンコーダ５１の検出値に基づいて補正するトルク補正演算器４０と、トルク補正演算器（コンピュータ）４０により求められた伝達トルクに基づいて電動モータ６０の駆動を制御するサーボアンプ５０を有する。
【００３６】
トルク補正演算器４０は、信号処理回路３０から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器４１と、エンコーダ５１の出力をカウントするカウンタ４２とトルク補正演算を行う演算処理器（ＣＰＵ）４４とを備える。なお、図９には、減速機ＨＤの温度を検出する温度センサ５２と、トルク補正データＴｃを記憶したＲＯＮ（読み出し専用メモリ）４３とが示されているが、これらは後述する第２実施例においてのみ使用され、本実施例では使用されないのでその部分の説明は後述する。
【００３７】
ここで、トルクセンサ２０の出力信号を信号処理回路３０において処理して得られる検出トルク信号Ｔoは、減速機ＨＤを介して伝達するトルクにウエーブジェネレータ６によるフレクスプライン１１の弾性変形の影響が加わったものであり、例えば、図１０に示すように、ウエーブジェネレータ６の回転数に比例するサイクルで変化する。本減速機ＨＤは楕円盤カム５を有してウエーブジェネレータ６が構成されるため、ウエーブジェネレータのカム数Ｎ＝２であり、図１０に示すように、半回転毎に変化する波形となる。このため、検出トルク信号は、回転数の２倍（Ｎ倍）の周波数で変動する信号となり、この周波数の変動トルクはウエーブジェネレータ６によるフレクスプライン１１の弾性変形により発生するものである。
【００３８】
なお、図１０（Ａ）はウエーブジェネレータ６の回転速度が１０００ｒｐｍのときの波形で、図１０（Ｂ）は回転速度が２０００ｒｐｍのときの波形である。また、この図において、上側の線Ｔo（＋１０）は伝達トルクＴ＝１０(N-m)のときの検出信号であり、中央の線Ｔo（０）は伝達トルクＴ＝０(N-m)のときの検出信号であり、下側の線Ｔo（−１０）は伝達トルクＴ＝−１０(N-m)のときの検出信号である。
【００３９】
このような検出トルク信号Ｔoは、Ａ／Ｄ変換器４１においてデジタル化された後、演算処理機４４において所定周波数成分を除去する修正が行われる。この修正について、図１１を参照して説明する。まず、上述のように、トルクセンサ２０の出力信号を信号処理回路３０において処理するとともに、Ａ／Ｄ変換器４１においてデジタル化される（ステップＳ１）。同時に、エンコーダ５１の出力信号からウエーブジェネレータ６の回転速度ｎ(ｗ)を検出する（ステップＳ２）。そして、この回転速度ｎ(ｗ)の２倍（Ｎ倍：但し、Ｎはウエーブジェネレータのカム数であり、本例では楕円盤カムのため、Ｎ＝２）相当の周波数（ｆ）を算出する（ステップＳ３）。
【００４０】
そして、図１２に示すような特性を有するバンドパスフィルターを用いて、このように算出した周波数（ｆ）を中心として所定幅（例えば、±５％）の周波数を有するトルク成分を除去する（ステップＳ４）。そして、このトルク成分の除去がなされた後のトルク信号を用いて伝達トルクを算出（ステップＳ５）すると、この算出伝達トルクは、図１０に示したトルク変動が除去されたトルク信号となり、ほぼフラットな伝達トルクが求まる。これにより、正確な伝達トルクの検出が可能となる。
【００４１】
なお、バンドパスフィルタにより、上記周波数（ｆ）の整数倍の高周波成分も除去するのが好ましく、これにより変動トルク成分の高周波成分も除去でき、一層正確な伝達トルク検出が可能である。また、ここではデジタル化したトルク信号を処理するデジタルフィルタを用いているが、アナログ信号をそのまま用いるフィルタ（例えば、スイッチドキャパシタ等）を用いても良い。
【００４２】
次に、本発明の第２実施例を説明する。トルクセンサ２０の出力信号を信号処理回路３０において処理して得られる検出トルク信号Ｔoは、上述のようにウエーブジェネレータ６の回転数に対応する周波数で変動する信号であるが、図１３に示すように、ウエーブジェネレータ６の回転角度θｗに対応して変化する値でもある。しかも、回転角度θｗに対して見れば、回転数に影響されず一定の変動であり、且つ伝達トルクの大きさに拘わらず常に一定の変動である。このため、ウエーブジェネレータ６によるフレクスプライン１１の弾性変形のみにより生じるトルク変動波形を回転角度θｗとの関係でトルク補正データＴｃとして予め測定してＲＯＭ４３に記憶しておき、このトルク補正データＴｃを用いて補正を行ってもよい。
【００４３】
ウエーブジェネレータ６によるフレクスプライン１１の弾性変形のみにより生じるトルク変動は変速機ＨＤを介しての伝達トルクが零のときに検出されるトルク（これを無負荷検出トルクＴo(０)と称する）であり、図１３に示す無負荷検出トルクＴo(０)がトルク補正データＴｃとしてＲＯＭ４３に記憶される。
【００４４】
上記トルク補正は、信号処理回路３０から出力される検出トルク信号Ｔoから、上記のようにしてＲＯＭ４３に記憶されたトルク補正データＴcを、ウエーブジェネレータ６の回転角度位置θｗを合わせた上で、減じて行われ、これにより伝達トルクＴtが算出される。このようなトルク補正の例を図１４に示しており、無負荷検出トルクＴo（０）のプラスマイナス符号を逆転した値を補正トルクＴc｛＝−Ｔo（０）｝として設定する。そして、例えば、図において実線で示す伝達トルクＴ＝１０(N-m)のときの検出信号Ｔo（＋１０）に破線で示すトルク補正データＴcを、回転位相を合わせた状態で加えると、図１５に示すように、ほぼフラットな伝達トルクＴt（＋１０）が求まる。
【００４５】
ウエーブジェネレータ６によるフレクスプライン１１の弾性変形のみにより検出される検出トルクは無負荷検出トルクＴo（０）に等しく、伝達トルクの大きさによっても変化しないため、上記のような補正が可能である。しかしながら、この無負荷検出トルクＴｏ（０）は、減速機ＨＤの温度が変化すると変化する。これは、温度に応じて潤滑油の粘度が変化したりするためであるが、このため、各温度に対応する無負荷検出トルクＴo（０）を検出するとともに、これらデータが全てＲＯＭ４３内に記憶されている。そして、トルク補正を行うときには、温度センサ５２により検出された温度に対応するトルク補正データＴcを読み出してトルク補正を行う。
【００４６】
なお、このように温度毎のデータを記憶しておく代わりに、基準温度でのトルク補正データのみをＲＯＭ４３に記憶しておくとともに、温度変化に対するトルク補正データの修正係数を測定記憶しておき、トルク補正を行うときには、検出温度に対する修正係数を読み出して、これをＲＯＭ４３から読み出したトルク補正データに乗じて得られたデータを用いても良い。
【００４７】
以上のようにトルク補正データＴｃを減じる補正を行えば、理論的には図１５に示すようなフラットなデータが得られるのであるが、実際の検出トルク波形とトルク補正データＴｃとが正確に一致するのは難しく、このような補正を行っても若干のトルク変動は残される。但し、このように残されるトルク変動もウエーブジェネレータ６の回転に比例し、且つこの回転数をカム数倍（Ｎ倍）した周波数で変動する。このため、本例においては、上記のように補正して得られたトルク信号を図１２に示す特性のバンドパスフィルタを通してウエーブジェネレータの回転数のＮ倍の周波数成分を除去し、一層平坦化されたトルク信号を求め、これにより伝達トルクを算出する。このようにすれば、さらに正確な伝達トルクの検出が可能である。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、検出実伝達トルクからウェーブジェネレータの回転速度に対応する周波数成分を有するトルク成分をフィルタ手段により除去し、このようにして得られた修正伝達トルクに基づいて、波動減速機の伝達トルクを算出するので、ウエーブジェネレータにより生じるフレクスプラインの弾性変形に対応するトルク変動成分を効率良く除去して、正確な伝達トルクの検出が可能である。
【００４９】
なお、ウエーブジェネレータのカムによりフレクスプラインの弾性変形が生じるものであるため、ウエーブジェネレータの回転数をＮ（＝カム数）倍した周波数成分を有するトルク成分を除去するのが最も好ましい。なお、この周波数成分の高周波分（整数倍の周波数成分）を有するトルク成分も除去するのが望ましい。これら周波数成分の除去はバンドパスフィルタにより行える。
【００５０】
本発明ではさらに、ウエーブジェネレータの回転角度位置を検出する回転角度センサと、ウェーブジェネレータの回転角度位置に対応したトルク補正データを測定記憶した補正データ記憶手段と、トルクセンサにより検出された実伝達トルクを補正データ記憶手段に記憶されたトルク補正データに基づいて補正して補正伝達トルクを求めるトルク補正手段とを設けるのが好ましく、この場合には、フィルタ手段は、トルク補正手段により補正して求められた補正伝達トルクから、ウェーブジェネレータの回転速度に対応する周波数成分を有するトルク成分を除去して修正伝達トルクを求める。
【００５１】
ウエーブジェネレータにより生じるフレクスプラインの弾性変形はその回転角度に対応して一定のものであるため、ウエーブジェネレータの回転角度位置に対応したトルク補正データも伝達トルクの如何に拘わらず一定である。このため、上記のように、ウエーブジェネレータの回転角度に対応してウエーブジェネレータによるフレクスプラインの弾性変形のみに基づいて検出されるトルクを、トルク補正データとしてウエーブジェネレータの回転角度に対応して記憶しておき、実際の検出トルクからこのトルク補正データを引き去れば、ウエーブジェネレータによるフレクスプラインの弾性変形の影響を除去した補正伝達トルクを得ることができる。その上で、このようにして求めた補正伝達トルクからウェーブジェネレータの回転速度に対応する周波数成分を有するトルク成分を、フィルタ手段により除去して修正伝達トルクを求めれば、一層正確な伝達トルクを求めることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る伝達トルク検出装置が用いられる波動減速機を示す断面斜視図である。
【図２】この減速機を構成するフレクスプライン部材およびこれに取り付けられたトルクセンサを示す斜視図である。
【図３】トルクセンサおよび処理回路を示す斜視図である。
【図４】フレクスプライン部材に取り付けられたトルクセンサを示す断面図である。
【図５】トルクセンサを構成する第１磁性体層の平面図である。
【図６】トルクセンサを構成する励磁用プリント配線板の平面図である。
【図７】トルクセンサを構成する検出用プリント配線板の平面図である。
【図８】処理回路を示す電気回路図である。
【図９】本発明に係る伝達トルク検出装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】トルクセンサにより検出された検出トルク信号を示すグラフであり、（Ａ）はウエーブジェネレータの回転速度が１０００ｒｐｍの時で、（Ｂ）は２０００ｒｐｍの時を示す。
【図１１】伝達トルクの修正方法を示すブロック図である。
【図１２】バンドパスフィルタ特性を示すグラフである。
【図１３】トルクセンサにより検出されたトルク信号をウエーブジェネレータの回転角度に対して示すグラフである。
【図１４】検出トルク信号をトルク補正データにより補正する処理を説明するグラフである。
【図１５】検出トルク信号をトルク補正データにより補正した結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１  支持ケース
６  ウェーブジェネレータ
１０  フレクスプライン部材
２０  トルクセンサ
３０  信号処理回路
４０  トルク補正演算器
５０  サーボアンプ
５１  エンコーダ
５２  温度センサ
６０  電動モータ
ＨＤ  波動減速機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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