(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材に固定された磁石板ユニットと前記第１部材に対し相対的に直線移動可能な第２部材に前記磁石板ユニットに対向して固定された電磁コイルユニットを有したリニアモータにおいて、
前記電磁コイルユニットの前記磁石板ユニットと反対側の背面を前記相対直線移動方向と平行な縦方向及びこれと直交する横方向に広がる取付平面とし、
この取付平面に複数の連結部材を一体的に突設し、
この連結部材により前記電磁コイルユニットを前記第２部材に固定し、
前記縦方向に伸長する第１縦側面及び第２縦側面と前記横方向に伸長する第１横側面及び第２横側面とで囲まれた直方体で形成され、内部に冷却流体を循環させる冷却プレートを前記電磁コイルユニットの前記取付平面に密着させて取付け、
前記第１縦側面近傍から前記第２縦側面近傍へ伸長する複数の第１貫通溝及び複数の第２貫通溝を前記冷却プレートの前記連結部材と対応する位置に交互に形成し、
前記冷却プレートの前記第１貫通溝及び第２貫通溝と前記第１縦側面との間に前記第１縦側面に沿って冷却往路を、前記第１貫通溝及び前記第２貫通溝と前記第２縦側面との間に前記第２縦側面に沿って冷却復路を、それぞれ設け、
前記冷却プレートの前記第１貫通溝と前記第２貫通溝との間に、前記冷却往路に接続され前記第２縦側面方向へ伸長し折返して再び前記冷却往路に接続される第１冷却回路を設け、
前記冷却プレートの前記第２貫通溝と前記第１貫通溝との間に、前記冷却復路に接続され前記第１縦側面方向へ伸長し折返して再び前記冷却復路に接続される第２冷却回路を前記第１冷却回路と前記縦方向に交互に設け、
前記第２横側面近傍で前記冷却往路と前記冷却復路を連通した
ことを特徴とするリニアモータにおける電磁コイルの冷却装置。
【請求項２】
請求項１に記載のリニアモータにおける電磁コイルの冷却装置において、
前記第１縦側面から前記第２縦側面方向へ向って前記冷却往路と交差する迂回穴を穿設し、前記第１縦側面から前記第２縦側面方向へ向って前記冷却往路及び前記迂回穴の先端と交差する戻り穴を穿設し、前記迂回穴及び前記戻り穴の前記第１縦側面の開口部を閉塞し、前記冷却往路の前記迂回穴及び前記戻り穴との各交点の間を閉塞することによって、前記第１冷却回路を形成し、
前記第２縦側面から前記第１縦側面方向へ向って前記冷却復路と交差する迂回穴を穿設し、前記第２縦側面から前記第１縦側面方向へ向って前記冷却復路及び前記迂回穴の先端と交差する戻り穴を穿設し、前記迂回穴及び前記戻り穴の前記第２縦側面の開口部を閉塞し、前記冷却復路の前記迂回穴及び前記戻り穴との各交点の間を閉塞することによって、前記第２冷却回路を形成した
ことを特徴とするリニアモータにおける電磁コイルの冷却装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のリニアモータにおける電磁コイルの冷却装置において、
前記第１貫通溝を前記横方向へ伸長する第１横溝とこの第１横溝の前記第２縦側面側の一端部に接続し前記縦方向に伸長する第１縦溝とで構成し、
前記第２貫通溝を前記第１縦溝に接続し前記横方向へ伸長する第２横溝とこの第２横溝の前記第１縦側面側の一端部に接続し前記縦方向に伸長する第２縦溝とで構成し、
前記冷却プレートの前記第１横溝及び前記第１縦溝及び前記第２横溝で囲まれるエリアに前記第１冷却回路を、前記第２横溝及び前記第２縦溝及び前記第１縦溝で囲まれるエリアに前記第２冷却回路を配置したことを特徴するリニアモータにおける電磁コイルの冷却装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のリニアモータにおける冷却装置において、
前記連結部材を前記第２部材へ引寄せる手段により前記電磁コイルユニットを前記第２部材に固定し、
前記冷却プレートを前記電磁コイルユニットの前記取付平面に押圧して密着させる押圧部材を前記連結部材に固定した
ことを特徴とするリニアモータにおける冷却装置。
【請求項５】
請求項４に記載のリニアモータにおける電磁コイルの冷却装置において、
前記押圧部材のうち前記縦方向中央部分の連結部材に固定された押圧部材を前記冷却プレートに固定し、
前記押圧部材のうち前記連結部材に固定されない押圧部材は前記冷却プレートに対して滑り移動可能に密着して押圧されている
ことを特徴とするリニアモータにおける冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、第１部材に載置された第２部材を相対的に直線移動させるリニアモータにおける電磁コイルの冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
工作機械に使用されるリニアモータは、互いに微小隙間を有して対向する磁石板ユニットと電磁コイルユニットからなる。 通常、固定体上に磁石板ユニットが敷設され、固定体に相対直線移動可能に載置された可動体に電磁コイルユニットが装着される。磁石板ユニットは、固定体に固着される保持プレート上に多数の磁石バーが、それらの長手方向が前記相対直線移動方向と直角な横方向を向くように、前記相対直線移動方向と平行な縦方向に所定間隔で配置されている。電磁コイルユニットは、多数の鋼板製コアプレートを前記横方向に積層したコアプレートの積層体と、この積層体上で縦方向に所定間隔をおいて横方向に突設された歯部に巻かれた複数のコイルにより構成されている。
【０００３】
このようなリニアモータにおいて、電磁コイルユニットに通電して可動体を位置決め送りするとき、電磁コイルユニットが発熱する。この発熱は、単にリニアモータに付与される電気エネルギ損失となるだけでなく、発熱による工作機械の構成体としての可動体に変形をもたらし、加工精度低下の原因となる。
【０００４】
そこで、図４に示すように、従来においては、この種のリニアモータに冷却装置を付属している。固定体１００上面には磁石板ユニット１０８が敷設され、固定体１００に相対直線移動可能に載置された可動体１０１の下面には電磁コイルユニット１０６が装着されている。この電磁コイルユニット１０６と可動体１０１との間にアルミニュウム製の冷却プレート１０７が介在され、冷却プレート１０７内には、縦方向に伸長し縦方向両端部近傍で折り返す冷却流体の流路１０５ａが横方向に並んで設けられている。なお、図４では、紙面と垂直方向を可動体の移動方向とした場合におけるリニアモータの概略断面図である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図４に示す従来装置では、冷却プレート１０７内に縦方向両端部で折り返す冷却流路１０５ａを横方向に並んで設けたものであるので、冷却プレート１０７の冷却流路１０５ａの上流側に対応する部分と下流側に対応する部分とで温度差が生じ、全域で温度が平均化されることがなく、電磁コイルユニット延いては可動体１０１が局部的又は不均一に熱変形するという不具合があった。
【０００６】
そこで、本願発明者らは特開平１１−２５２８６３号公報に記載の発明を提案している。この発明によれば、電磁コイルユニットの全長を均一に冷却することができるが、その反面、多数のブロックと多数のジョイントを用いているので部品点数が多く、構造が複雑で製造に長時間を要し、コスト高であるという新たな問題を生じる。
【０００７】
本発明は、上述した不具合を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、リニアモータの電磁コイルユニットを冷却プレートの全域に亙って均一に冷却することでき、かつ構造が簡単で低コストなリニアモータにおける電磁コイルの冷却装置を提供することである。
ここで、冷却プレートによって電磁コイルの発熱の多くは冷却することができるが、電磁コイルの発熱の全てを除去することは困難であるので、冷却プレートには熱変位が生じる可能性がある。本発明の他の目的は、冷却プレートの熱変位が可動体に影響を及ぼさないようにすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するための手段は、請求項１に記載の発明である。請求項１に記載の構成により、冷却流体は第１横側面側から第２横側面側へ冷却往路及び第１冷却回路を通って流通し、第２横側面近傍で折返し、第２横側面側から第１横側面側へ冷却復路及び第２冷却回路を通って流通する。これにより、電磁コイルユニットの縦方向の全長に亘って、かつ横方向にも略均等に冷却することができ、延いては第２部材の局部的な又は不均一な熱変形を防止することができる。また、冷却プレートに第１貫通溝及び第２貫通溝を形成したので、冷却プレートが熱変形しても第１貫通溝及び第２貫通溝により吸収され、第２部材が変形することがなく、リニアモータの位置決め精度の低下を防止することができる。
さらに、冷却プレートに設けた第１貫通溝及び第２貫通溝に対応した連結部材を電磁コイルユニットの背面に突設し、この連結部材により前記電磁コイルユニットを前記第２部材に固定したので、冷却プレートを一体で形成することが可能となり、さらに、電磁コイルユニットに密着させて容易に取付けることができる。
【０００９】
ここで、請求項１に記載の構成において、第１貫通溝と第２貫通溝は横方向に平行に形成することも可能であるが、横方向に対して傾斜した方向に形成することもできる。この場合、第１貫通溝と第２貫通溝の傾斜方向を反転させることが好ましい。また、第１貫通溝と第２貫通溝はそれぞれ独立して形成することも可能であるが、第１貫通溝と第２貫通溝を各端部で接続した一連の溝として形成することもできる。
【００１０】
上述の課題を解決するための手段は請求項２に記載の発明である。請求項２に記載の構成により、冷却往路、冷却復路、第１冷却回路及び第２冷却回路は冷却プレートに対するドリル加工と詰め栓等の閉塞手段によって形成することができるので、上述の効果に加えて、部品点数の削減、製作時間の短縮といった効果を得ることができる。
【００１１】
また、上述の課題を解決するための手段は請求項３に記載の発明である。請求項３に記載の発明により、第１貫通溝及び第２貫通溝は、第１横溝、第２縦溝、第１横溝、第２縦溝による一連の連続した溝として形成されるので、冷却プレートが縦方向及び横方向の両方向に撓みやすくなり、冷却プレートの熱変位をより吸収することができ、延いては第２部材の変形を防止することができる。
【００１２】
さらに、上述の課題を解決するための手段は請求項４に記載の発明である。請求項４に記載の構成により、冷却プレートが密着された電磁コイルユニットを第２部材にコンパクトに、かつ簡単に固定することができる。
【００１３】
さらに、上述の課題を解決するための手段は請求項５に記載の発明である。請求項５に記載の構成により、冷却プレートは連結部材に固定された中央部分から縦方向あるいは横方向に熱変位し、熱変位した冷却プレートは中央部分以外の固定されていない押圧部材に対して滑り移動するので、冷却プレートの熱変位はこの滑り移動により吸収され、冷却プレートの熱変位が第２部材に影響を及ぼさない。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明による冷却装置を備えたリニアモータ及びこのリニアモータを使用する送り機構の一部断面図で、この送り機構１０は、第１部材１１と、この第１部材１１上で一対のガイド機構１５により紙面と垂直な移動方向に駆動される第２部材１２と、この第２部材１２を往復駆動するリニアモータＬＭと、リニアモータＬＭの電磁コイルユニット３０と、これを冷却するコイル冷却装置４０と、さらに、リニアモータＬＭの磁石板ユニット２０とにより構成される。
【００１５】
工作機械に適用した場合、第１部材１１はベースで、第２部材１２はベース上で移動可能なテーブルである。一対のガイド機構１５は、リニアモータＬＭの両側でテーブル１２の移動方向にベース１１上に固定された一対のガイドレール１６と、これらレール１６にガイドされテーブル１２の下面４隅に固着されたベアリングブロック１７からなる。各ベアリングブロック１７は、対応するガイドレール１６上を転動する多数のコロ１８を移動方向に循環可能に保持している。各ガイドレール１６の左右両側面に形成されたＶ字溝にコロ１８を転動させることにより、各ベアリングブロック１７は、上下方向及び左右方向には不動でテーブル移動方向にのみ移動可能にガイドレール１６に案内されている。
【００１６】
ベース１１に固定されたリニアモータＬＭの磁石板ユニット２０は、テーブル１２の移動方向と直角な横方向に延びる多数の磁石バー２２がテーブル移動方向に所定の間隔で保持プレート２１上に配置固定され、磁石バー２２の上面及び全側面を合成樹脂で包囲した樹脂枠２３を備えている。磁石板ユニット２０は、テーブル１２の移動ストロークをカバーするようにテーブル移動方向と平行な縦方向に長い全長を有する。
【００１７】
テーブル１２に磁石板ユニット２０に対向して固定されたリニアモータＬＭの電磁コイルユニット３０は、テーブル移動方向に配置された多数の鋼板製のコアプレート３１を一対のガイドレール１６間で積層した積層体３２を有する。図１のＡ−Ａ矢視断面である図２に示すように、積層体３２は長い櫛状をなし、多数の櫛歯部３２ａがテーブル移動方向に所定間隔で形成され、各櫛歯部３２の前後面及び左右面を包囲するようにコイル３３が巻装されている。
【００１８】
積層体３２の磁石板ユニット２０と対向する面と反対側の背面は、テーブル移動方向と平行な縦方向及びこれと直角な横方向に広がる略長方形の取付平面３２ｃとなっている。取付平面３２ｃ上には、横方向に横断する断面矩形の連結部材３４が縦方向に所定間隔を空けて複数個突設されている。各連結部材３４は、鋼製のもので、多数のコアプレート３１に例えば溶接により固着されてこれらコアプレート３１を一体化している。そして、電磁コイルユニット３０は、複数のコイル３３を巻装された積層体３２が上下面を除く４面を合成樹脂で固化されて樹脂枠３２ｂで包囲され、テーブル移動方向に長く丈の低い直方体形状をなしている。
【００１９】
電磁コイルユニット３０を冷却する冷却装置４０の冷却プレート４１は、電磁コイルユニット３０の取付平面３２ｃに密着して取付けられている。冷却プレート４１は、テーブル１２の移動方向と平行な縦方向に伸長する第１縦側面４２、第２縦側面４３及び縦方向に直角な横方向に伸長する第１横側面４４、第２横側面４５で囲まれた板状の直方体で形成されている。本実施例の場合、冷却プレート４１は、その底面４６が電磁コイルユニット３０の樹脂枠３２ｂの上面と略同じ長方形をなす直方体であるが、冷却プレート４１の形状は直方体に限定されるものではなく、例えば、縦方向中央部で凹凸のある多面体で形成しても良い。
【００２０】
冷却プレート４１には、第１縦側面４２近傍から第２縦側面４３近傍に向かって横方向に伸長する第１横溝４８ａと、この第１横溝４８ａの終点から縦方向に伸長する第１縦溝４８ｂとが、冷却プレート４１の上面４９から底面４６を貫通して設けられている。これら第１横溝４８ａと第１縦溝４８ｂとで第１貫通溝４８が構成されている。冷却プレート４１には、第１縦溝４８ｂと第２縦側面４３近傍の第２接続部５０で接続され、第１縦側面４２に向かって横方向に伸長する第２横溝５１ａと、第２横溝５１ａの終端から縦方向に伸長する第２縦溝５１ｂとが、冷却プレート４１の上面４９から底面４６を貫通して設けられている。これら第２横溝５１ａと第２縦溝５１ｂとで第２貫通溝５１が構成されている。
【００２１】
続いて、第２貫通溝５１の第２縦溝５１ｂに第１貫通溝４８の第１横溝４８ａが第１縦側面４２近傍の第１接続部５２で接続されている。このようにして、縦横合成方向に交互に伸長する第１貫通溝４８、第２貫通溝５１が第１横側面４４近傍から第２横側面４５近傍に至るまで九十九折りに冷却プレート４１を貫通して形成されている。
【００２２】
第１貫通溝４８、第２貫通溝５１の第１横溝４８ａ、第２横溝５１ａは、冷却プレート４１が電磁コイルユニット３０の取付平面３２ｃに取付けられたとき、複数個の連結部材３４が冷却プレート４１を貫通する位置に形成されている。なお、第１貫通溝４８、第２貫通溝５１は、互いに反対側に傾斜した各直線溝で形成しても良い。
【００２３】
冷却プレート４１には、第１貫通溝４８と第２貫通溝５１とが第２縦側面４３近傍で接続する第２接続部５０と第１縦側面４２、第２縦側面４３との間に、第１エリア５３、第２狭部５４が形成され、第１貫通溝４８と第２貫通溝５１とが第１縦側面４２近傍で接続する第１接続部５２と第１縦側面４２、第２縦側面４３との間に、第１狭部５５、第２エリア５６が形成されている。
【００２４】
冷却プレート４１には、往路穴６０が第１横側面４４から第２横側面４５に向かって第１縦側面４２に沿って穿設されている。各第１エリア５３においては、迂回穴６１が第１縦側面４２から第２接続部５０近傍に向けて往路穴６０と交差して穿設され、戻り穴６２が往路穴６０と交差し、迂回穴６１の先端と交差するように第１縦側面４２から穿設されている。迂回穴６１、戻り穴６２の第１縦側面４２への開口部は詰め栓６３、６４にて閉塞されている。６５は、迂回穴６１と戻り穴６２との間で縦側面４２から往路穴６０と交差して穿設された止め穴で、この止め穴６５に圧入された詰め栓６６により往路穴６０の迂回穴６１と戻り穴６２との各交点の間が閉塞され、往路穴６０から迂回穴６１、戻り穴６２を経て往路穴６０に戻る第１冷却回路６７が形成される。往路穴６０の第１横側面４４の開口部には、図略の冷却水供給装置に接続され、冷却水が冷却プレート４２に流入する流入口６０ａが設けられている。
【００２５】
往路穴６０が、第１縦側面４２に沿って第１狭部５５に設けられた冷却往路をなし、迂回穴６１及び戻り穴６２が、各第１エリア５３において、上流側の冷却往路に接続され第２接続部５０近傍まで伸長し折返して下流側の冷却往路に接続される第１冷却回路６７をなす。
【００２６】
冷却プレート４１には、復路穴７０が第１横側面４４から第２横側面４５に向かって第２縦側面４３に沿って穿設されている。各第２エリア５６においては、迂回穴７１が第２縦側面４３から第１接続部５２近傍に向けて復路穴７０と交差して穿設され、戻り穴７２が復路穴７０と交差し、迂回穴７１の先端と交差するように縦側面４３から穿設されている。迂回穴７１、戻り穴７２の第２縦側面４３への開口部は詰め栓７３、７４にて閉塞されている。７５は、迂回穴７１と戻り穴７２との間で縦側面４３から復路穴７０と交差して穿設された止め穴で、この止め穴７５に圧入された詰め栓７６により復路穴７０の迂回穴７１と戻り穴７２との各交点の間が閉塞され、復路穴７０から迂回穴７１、戻り穴７２を経て復路穴７０に戻る第２冷却回路７７が形成される。復路穴７０の第１横側面４４の開口部には、冷却水が冷却プレート４２から流出して図略の冷却水供給装置に還流する流出口７０ａが設けられている。
【００２７】
復路穴７０が、第２縦側面４３に沿って第２狭部５４に設けられた冷却復路をなし、迂回穴７１及び戻り穴７２が、各第２エリア５６において、上流側の冷却復路に接続され第１接続部５２近傍まで伸長し折返して下流側の冷却復路に接続される第２冷却回路７７をなす。
【００２８】
第２横側面４５近傍で横方向に穿設された接続穴６８は、往路穴６０と復路穴７０とを連通しており、接続穴６８の第２縦側面４３への開口は詰め栓６９により閉塞されている。
【００２９】
図２に示すように、冷却プレート４１は、電磁コイルユニット３０の取付面３２ｃ上に取付けられている。８０は、電磁コイルユニット３０の連結部材３４の両端と中央に設けられた装着面で、冷却プレート４１の上面より高く形成され、電磁コイルユニット３０はこの装着面８０でテーブル１２に装着される。８１は、連結部材３４の上面に装着面８０の間に凹設された押え面で、冷却プレート４１の上面より低くなっている。冷却プレート４１の上面には、第１横溝４８ａ、第２横溝５１ａの両側で押え面８１に対向する位置に係合凹部８２が刻設されている。８５は、押え面８１にねじ８６によって固定された弾力性を有する押圧部材で、この押圧部材８５の両端部が係合凹部８２に弾力を付与して係合し、冷却プレート４１を電磁コイルユニット３０の取付平面３２ｃに押圧して密着させる。
【００３０】
冷却プレート４１の縦方向中央部分は、ねじ８７により押圧部材８５の両端部分に接続され、冷却プレート４１は縦方向中央部分において押圧部材８５を介して連結部材３４に固定されている。しかし、縦方向中央部分以外は、連結部材３４に固定されていないので、電磁コイルユニット３０の取付平面３２ｃに縦横方向に滑り移動可能に密着して押圧されている。
【００３１】
電磁コイルユニット３０は、磁石板ユニット２０に対向してテーブル１０の下面に取付けられている。９０は、テーブル１２の上面から下面に向けて挿通された複数個のボルトで、テーブル１２の下面から突出した雄ねじ部が電磁コイルユニット３０の連結部材３４の装着面８０に設けられたねじ穴に螺合されている。ボルト９０をねじ穴にねじ込むことにより、連結部材３４の装着面８０がテーブル１２の下面に引寄せられて密着し、電磁コイルユニット３０がテーブル１２の下面に固定される。
【００３２】
次に、上記のように構成される実施に形態に動作を説明する。
図略の数値制御装置に制御下にあるリニアモータ駆動回路からの指令により電磁コイルユニット３０のコイル３３が通電されると、図１において上下方向に磁力が生起され、電磁コイルユニット３０と磁力板ユニット２０との間に吸引力が生じる。駆動方向に配列された複数のコイル３３に付与される電流の通電位相が駆動回路により変えられると電磁コイルユニット３０に駆動方向の推力が生起され、テーブル１２がレール１６上を縦方向に移動する。
【００３３】
このように複数のコイル３３への通電制御が行われると、コイル３３が巻装された積層体３２が発熱する。この電磁コイルユニット３０の発熱は、冷却水が図略の冷却水供給装置から冷却プレート４２の流入口６０ａに供給され、冷却プレート４１内を循環して流出口７０ａから冷却水供給装置に還流することにより除去される。
【００３４】
即ち、冷却水は冷却水供給装置から流入口６０ａに供給され、接続穴６８に向かって、各第１狭部５５及び各第１エリア５３に設けられた往路穴６０、第１冷却回路６７を巡回し、接続穴６８から流出口７０ａに向かって、各第２狭部５４及び各第２エリア５６に設けられた復路穴７０、第２冷却回路７７を巡回して流れる間に、電磁コイルユニット３０から冷却プレート４１に伝導された熱を吸収して徐々に温度上昇し、冷却水供給装置に還流する。この温度上昇した冷却水は、冷却水供給装置で冷却された後、流入口６０ａに供給される。
【００３５】
この場合、第１冷却回路６７は、第１横側面４４側が上流、第２横側面４５側が下流となるように複数個配置され、第２冷却回路７７は、第２横側面４５側が上流、第１横側面４４側が下流となるように複数個、第一冷却回路６７と冷却プレート４１の横方向に交互入りに入込んで配置されているので、第１冷却回路６７は第１横側面４５側、第２冷却回路７７は第２横側面側で温度が低くなり、両者平準化されて冷却プレート４１延いては電磁コイルユニット３０が均一に冷却される。
【００３６】
ここで、上述のように、電磁コイルユニット３０から冷却プレート４１で伝導された熱は冷却水により冷却されるが、これを完全には除去することは困難である。したがって、冷却プレート４１は若干の変位を生じるが、この熱変位は、冷却プレート４１が連結部材３４に押圧部材８５を介して固定された中央部分を基準として、縦方向及び横方向への熱変位となる。
【００３７】
このとき、冷却プレート４１には第１貫通溝４８及び第２貫通溝５１が形成されているので、この第１貫通溝４８及び第２貫通溝５１の存在により薄肉となる部分で撓みを生じ、熱変形を吸収する。さらに、中央部分以外の連結部材３４は押圧部材８５によって滑り移動可能に密着しているだけで、固定されていないので、冷却プレート４１と押圧部材８５との間の滑り移動によっても熱変位が吸収される。これにより、冷却プレート４１の熱変位が第２部材１２に影響を及ぼすことがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るリニアモータにおける電磁コイルの冷却装置の一部断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面側面図。
【図３】冷却装置の一部を破断して示した上面図。
【図４】従来のリニアモータ冷却装置を示す図。
【符号の説明】
１０・・・送り機構
１１・・・ベース（第１部材）
１２・・・テーブル（第２部材）
１５・・・ガイド機構
ＬＭ・・・リニアモータ
２０・・・磁石板ユニット
３０・・・電磁コイルユニット
３１・・・コアプレート
３２・・・積層体
３２ｃ・・取付平面
３３・・・コイル
３４・・・連結部材
４１・・・冷却プレート
４２・・・第１縦側面
４３・・・第２縦側面
４４・・・第１横側面
４５・・・第２横側面
４８・・・第１貫通溝
４８ａ・・・第１横溝
４８ｂ・・・第１縦溝
５０・・・第２接続部
５１・・・第２貫通溝
５１ａ・・・第２横溝
５１ｂ・・・第２縦溝
５２・・・第１接続部
５３・・・第１エリア
５４・・・第２狭部
５５・・・第１狭部
５６・・・第２エリア
６０・・・往路穴（冷却往路）
６１、７１・・・迂回穴
６２、７２・・・戻り穴
６３、６４、６６、７３、７４、７６・・・詰め栓
６５、７５・・・止め穴
６７・・・第１冷却回路
６８・・・接続穴
７０・・・復路穴（冷却復路）
７７・・・第２冷却回路
８５・・・押圧部材
【図１】
0003860686.tif 000002
【図２】
0003860686.tif 000003
【図３】
0003860686.tif 000004
【図４】
0003860686.tif 000005