(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の糸がマスク形成開口部に一軸方向に平行配置されて平行線部を形成し、マスクフレーム又は開口部を有する平板状基体の非開口部において平行線糸に緯糸又は経糸を密に織り込んだ織物を形成して固着されていることを特徴とする平行線型マスク。
【請求項２】
マスク部を形成する平行線部を合成繊維又は天然繊維からなる単繊維を経糸又は緯糸とし、これに直角に交叉する緯糸又は経糸を織り込んで形成したマスク布を伸張してマスクフレーム又は開口部を有する平板状基体に固着した後、マスク部を形成する部分の緯糸又は経糸を除去して平行線マスク部を形成することを特徴とする平行線型マスクの製造方法。
【請求項３】
前記マスク布は、マスク部を形成する部分の経糸又は緯糸に交叉する緯糸又は経糸の織り密度は疎とし、マスクフレーム固着部又は開口部を有する平板状基体における固着部を形成する部分の緯糸又は経糸の織り密度は密に形成されていることを特徴とする請求項２記載の平行線型マスクの製造方法。
【請求項４】
平行線マスク部を形成する平行線部を、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で平行ピッチを保持してマスクフレームに固着して平行線マスク部を形成することを特徴とする平行線型マスクの製造方法。
【請求項５】
平行線マスク部を形成する平行線部を、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で、平行ピッチを保持して硬化性物質からなる固定材料を塗布して固定し、マスク部形成所定領域に開口部を設けて平行線マスク部を形成し、マスクフレームに配設することを特徴とする平行線型マスクの製造方法。
【請求項６】
平行線マスク部を形成する平行線部を、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で、平行ピッチを保持して固定基体に固定し、マスク部形成所定領域に平行線マスク部を形成し、マスクフレームに配設することを特徴とする平行線型マスクの製造方法。
【請求項７】
固定基体として開口部を有する金属板、プラスチック板、又はガラス板を使用して、該固定基体に平行ピッチを保持した状態で固定し、開口部に平行線マスク部を形成することを特徴とする請求項６記載の平行線型マスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細なパターンを有する発光体素子の透明電極等を薄膜形成する際の蒸着マスク等に使用される平行線型マスク及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、有機ＥＬ発光表示素子は、一般的にはエッチングにより形成されたＩＴＯ等の透明導電膜のストライプをＸ軸方向とし、この上に、例えばＮＰＢ等のホール輸送性有機材料と、Ａｌｑ３等の電子輸送性有機材料を全面的に付着した後、Ｘ軸と直交するＹ軸方向にＡｌ−Ｌｉなどの背面電極ストライプを形成し、ＩＴＯをプラスとし、Ａｌ−Ｌｉをマイナスとして通電したとき、その交点において発光させるいわゆる単純マトリックス構成によって発光させることが多く用いられている。
【０００３】
このような場合、一般にはマイナス側を走査線とし、ＩＴＯ側を並列入力線としてマイナス側を一線毎に順次発光させることにより画面を構成することが行われている。このような方法において、人の目に不自然に写らない程度の画面精度とするためには、ストライプの幅もしくはピッチは、１ｍｍ幅に3本以上となるよう３３０μｍ以下とすることが望ましい。ＩＴＯのような導電膜については、フォトエッチングなどの手法によりこのような精度は比較的容易に実現することができるが、Ａｌ−Ｌｉなどによる背面電極においては、有機発光材料は反応性が高く、エッチングなどの手法が採用できない問題があった。
【０００４】
そこで、エッチングによりＩＴＯ等の透明導電膜ストライプを形成した後、フォトレジストにより断面が逆三角形を有する隔壁を形成することにより、オーバーハング部分に有機発光材料およびＡｌ−Ｌｉなどの付着を防ぎ相互に絶縁して、Ａｌ−Ｌｉなどの背面電極材料を全面に付着させて相互に離間されたストライプを形成させるいわゆる陰極隔壁法が採用されている。
この方法は、隔壁形成にフォトリソグラフィー技術が用いられるために通常７工程以上の工程が必要であり、またマスク合わせ、露光などに大きな設備が必要であること、さらには、隔壁形成後の洗浄に有機物を除去するＵＶオゾン洗浄やプラズマクリーニングなどを用いると、有機物からなる隔壁に悪影響を及ぼすため完全に洗浄することが困難で、ダークスポットなどの欠陥を生じ易いという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者らは、上記の問題点を解決すべく、検討を重ね、平行に配列された合成繊維糸をマスクとして用いて陰極をストライプ状に構成する方法を採用することにより、フォトリソグラフィー方法における多数の工程が不要となり、このための多大な設備投資が不要であるのみならず、洗浄を完全に行うことができダークスポットの発生を著しく減少させることができた。
【０００６】
上記の場合は、７０μｍ程度の単繊維の糸を使用した５００μｍピッチの平行線マスクであったが、さらに微細化されたピッチを有する平行線マスクについて検討を行った結果、微細な単繊維の糸、例えば３０μｍの有機材料からなる単繊維の糸を使用した３３０μｍピッチの平行線マスクにより相互に絶縁されたストライプの形成が可能であることを見出した。しかしながら、ストライプの幅、すなわち、単繊維の糸の平行ピッチを高精度に保持することは困難で、２００μｍ〜４５０μｍの範囲のバラツキが発生した。
【０００７】
本発明は、単繊維の糸を使用した３３０μｍまでの微細なピッチを有する平行線マスクにおいて、ストライプの幅、すなわち、単繊維糸の平行ピッチのバラツキが極めて少なく平行ピッチが高精度に保持された平行線型マスク及びその製造方法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明の第１の発明は、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の糸がマスク形成開口部に一軸方向に平行配置されて平行線部を形成し、マスクフレーム又は開口部を有する平板状基体の非開口部において平行線糸に緯糸又は経糸を密に織り込んだ織物を形成して固着されていることを特徴とする平行線型マスクに関する。
【０００９】
本発明の第２の発明は、平行線型マスクの製造方法に関する。
すなわち、（１）マスク部を形成する平行線部を合成繊維又は天然繊維からなる単繊維を経糸又は緯糸とし、これに直角に交叉する緯糸又は経糸を織り込んで形成したマスク布を伸張してマスクフレーム又は開口部を有する平板状基体に固着した後、マスク部を形成する部分の緯糸又は経糸を除去して平行線マスク部を形成することを特徴とする平行線型マスクの製造方法に関する。
【００１０】
（２）平行線マスク部を形成する平行線部を、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で平行ピッチを保持してマスクフレームに固着して平行線マスク部を形成することを特徴とする平行線型マスクの製造方法。
【００１１】
また、（３）平行線マスク部を形成する平行線部を、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で、平行ピッチを保持して硬化性物質からなる固定材料を塗布して固定し、マスク部形成所定領域に開口部を設けて、平行線マスク部を形成しマスクフレームに配設することを特徴とする平行線型マスクの製造方法に関する。
（４）平行線マスク部を形成する平行線部を、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で、固定基体により、平行ピッチを保持して固定し、マスク部形成所定領域に平行線マスク部を形成しマスクフレームに配設することを特徴とする平行線型マスクの製造方法に関する。
【００１２】
上記（１）の方法において、マスク布は、マスク部を形成する部分の経糸又は緯糸に交叉する緯糸又は経糸の織り密度を疎とし、マスクフレーム固着部又は開口部を有する固定基体における固着部を形成する部分の緯糸又は経糸の織り密度は密に形成されていることを特徴とする平行線型マスクの製造方法に関する。
【００１５】
上記（４）の方法において、固定基体として開口部を有する金属板、プラスチック板、又はガラス板を使用して、該固定基体に平行ピッチを保持した状態で固定し、開口部に平行線マスク部を形成することを特徴とする平行線型マスクの製造方法に関する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の平行線型マスクの製造方法について、具体的に説明すると、
１）平行線マスク部を形成する部分を経糸又は緯糸とし、経糸又は緯糸の平行ピッチを保持する緯糸又は経糸を織り込んだマスク布を作製し、該マスク布を伸張してマスクフレーム又は開口部を有する平板状基体に固着した後、マスク部を形成する部分の緯糸又は経糸を除去して、経糸又は緯糸のいずれかの糸、すなわち平行糸を残すことによる方法（第１の態様）、および２）(a)平行線マスク部を形成する経糸を、金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定ピッチに平行配置し伸張した状態で平行ピッチを保持してマスクフレームに固着して平行線マスク部を形成するか、(b)平行線マスク部を形成する経糸を、金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で平行ピッチを保持して硬化性物質からなる固定材料を塗布して固定し、マスク部形成所定領域に開口部を設けて平行線マスク部を形成し、マスクフレームに配設する方法、または(c)平行線マスク部を形成する経糸を、金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で平行ピッチを保持して固定基体に固定し、マスク部形成所定領域に平行線マスク部を形成しマスクフレームに配設する方法（第２の態様）である。
【００１７】
本発明の平行線型マスクを製造する第１の態様は、マスク部を形成する平行線部を、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維を経糸又は緯糸とし、これに直角に交叉する緯糸又は経糸を織り込んだマスク布を伸張してマスクフレーム又は開口部を有する平板状基体に固着した後、マスク部を形成する部分の緯糸又は経糸を除去して平行線マスク部を形成することを特徴とする平行線型マスクの製造方法である。
【００１８】
第２の態様は、（ａ）平行線マスク部を形成する平行線部を、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維の経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で平行ピッチを保持してマスクフレームに固着して平行線マスク部を形成するか、(b)平行線マスク部を形成する平行線部を、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維を経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で、平行ピッチを保持して硬化性物質からなる固定材料を塗布して固定し、マスク部形成所定領域に開口部を設けて平行線マスク部を形成しマスクフレームに配設するか、(c)平行線マスク部を形成する平行線部を、合成繊維又は天然繊維からなる単繊維を経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具などを用いて所定のピッチに平行配置し伸張した状態で平行ピッチを保持して固定基体に固定し、マスク部形成所定領域に平行線マスク部を形成し、マスクフレームに配設することを特徴とする平行線型マスクの製造方法である。
【００１９】
本発明方法の実施態様についてさらに具体的に説明すると、一般に、織物を形成する場合、たて糸は「筬」と呼ばれる等間隔なスリットを有する治具に糸（繊維）を通すことによりピッチが決められるが、筬のスリットは使用される糸（繊維）の径よりもやや広く余裕が設けられており、経糸には張力（テンション）がかけられるが、この張力が均一でなければピッチは正確には一定にならない。また、緯糸を織り込むことにより経糸のピッチが等しく保持される。したがって、通常、経糸の等ピッチを確実に発現するためには、経糸の張力の均一化を図るために緯糸を織り込むことが望まれる。
【００２０】
上記第1の態様の方法について、マスク布を形成するに際して、平行線マスクを形成する部分の経糸又は緯糸は疎な織りとし、マスクフレームへの固着部、あるいは保持部の緯糸又は経糸は密な織りとして織り込むことにより、経糸又は緯糸の等ピッチが実現される。
【００２１】
この際に、精密に作製されたピッチゲージを使用してゲージ溝にたて糸を合わせて伸張すればさらに高精度に平行線ピッチが形成されたマスク部を得ることができる。また、経糸又は緯糸の平行性を損なわないようにするには、緯糸又は経糸は、他方の糸に比較して細くかつ柔軟性を有する糸を使用することが望ましい。本発明における上記第1の態様の方法において、平行線マスク部の形成は、マスク布の該当部分の緯糸又は経糸を、抜き取る等の方法により除去することにより形成される。
【００２２】
マスク布を形成する際、抜き取られる部分の緯糸又は経糸は疎な織りとし、マスクフレームへの固着部あるいは保持部の緯糸又は経糸は密な織りとして織り込んだマスク布を作製し、疎に形成された緯糸又は経糸を抜き取り、経糸又は緯糸のいずれか一方を残すことにより平行線マスク部を形成する。
【００２３】
本発明の上記第1の態様におけるマスク布およびマスクフレームに固着した状態の説明図を図１（１）、（２）に示す。（１）は経糸及び固着部を密に織り込み、緯糸を疎に織り込んだマスク布の概略を示す部分図を示す。（２）はマスク布をマスクフレームに固着し疎に形成された緯糸を抜き取った状態を示す。図２は開口部を有する平板状基体にマスク布を固着しマスクフレームに配設する概略図を示す。図１、２においてＡはマスク布を示し、１は密に織られた経糸および緯糸部分、２は疎に織られた緯糸部分を表す。３はマスクフレーム、４は平板状基体、５は開口部、６はピッチゲージ、７、７１は接着部をそれぞれ示す。
【００２４】
また、マスク布を形成する経糸と緯糸とが性質を異にする繊維を使用し、平行線マスク部を形成する部分の緯糸又は経糸を溶解又は化学的処理などの方法により除去することもできる。例えば、経糸として合成繊維を使用し、緯糸として温水又は水に対する溶解性（例えばアルカリ性又は酸性水溶液）を有するセルロース系の単繊維を使用してマスク布を形成し、平行線マスク部形成部分の緯糸を温水又水により溶解除去し所定のマスク部を形成する。または分解性の異なる繊維を経糸又は緯糸として使用してマスク布を形成し、一方の糸のみを化学的に分解して除去し所定のマスク部を形成する。等が例示される。
【００２５】
本発明においては上記した平行線マスク形成部の緯糸又は経糸を抜き取りマスク部を形成する方法が簡便な方法である。また他の方法に比べコスト的にも有利であり、繊維にダメージを与えることがない。
【００２６】
マスク布を形成するに際して、経糸又は緯糸の適宜の本数毎に色違いの糸、例えば赤色に着色した糸を配して織り込むことにより抜糸する箇所やフレームに対応する位置などの位置決めの目安となり作業上好ましい。この適宜の本数毎に例えば赤色に着色した糸を配して織る手段は、マスク布を織るときに限らず、後述の平行線マスクを形成する経糸を直接マスクフレームに固着配設する際にも適用して、適宜の本数毎に例えば赤色に着色した糸を配することにより糸の本数のカウントやフレームに対応する位置決めなどを容易にすることができる。
【００２７】
次に、マスク布を使用せず平行線マスクを直接形成する方法に係る本発明の第２の態様について説明する。すなわち、（ａ）マスク部を形成する平行線部を合成繊維あるいは天然繊維からなる単繊維を経糸とし、該経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し伸張してマスクフレームに直接配設して平行線マスク部を形成するか、（ｂ）経糸を金筬又はピッチゲージ治具を用いて所定のピッチに平行配置し、固定材料又は固定基体により平行ピッチを保持して固定し、マスク部を形成する所定領域に平行線マスク部を形成し、マスクフレームに配設することからなる平行線型マスクの製造方法である。
【００２８】
上記第２の態様において、マスク部を形成する平行線部を、合成繊維あるいは天然繊維からなる単繊維の経糸を平行配置する場合、金筬又はピッチゲージ治具を用いることにより所定のピッチに配置される。この際、金筬はスリット内の糸の占有率が８０％以上１００％以下、又は２倍の筬密度の１／２通しとした精密なスリット溝を有するように作製したものを用い、各経糸に均一な荷重をかけて張力を均一にして張るか、精密なピッチ溝を有するピッチゲージ治具を用いて平行に配置し各経糸に均一な荷重をかけて張力を均一にして伸張した状態でマスクフレームに配設される。
【００２９】
本発明の第２の態様の方法における装置の概略を図３に示す。図３（１）は平面図、（２）は側面図を示す。図３において、１１は経糸ビーム（男巻）、１２は経糸、１３は綜絖、１４は糸へのテンション賦与部、１４１は荷重、１４２、１４３、１４４、および１４５はそれぞれ送りロール、１４６はテンションロール、１５は第１筬、１６は第２筬、１７は幅出し筬、１８はマスクフレーム、１９は架台、２０はマスクフレーム供給治具をそれぞれ表す。
【００３０】
上記の方法において、金筬またはピッチゲージ治具を用いて経糸を平行に配置し伸張した状態で平行ピッチを正確に保持してマスクフレームに配設し固着することは細心の注意と熟練を必要とし、マスクフレームに固着する際に不注意な取り扱いで少しでも糸の張力にズレが生じるとピッチずれの原因となる。特に開口部が広いマスクフレームの場合などに起こり易い。このため、マスクフレームの平面を平坦にするようにすること及びその平面が平行糸平面と平行な状態で接するようにすることが重要である。そこで金筬またはピッチゲージ治具を用いて糸が平行に配置され伸張した状態で平行ピッチを正確に保持して、マスクフレームに固着するか、固定材料又は固定基体により固定してマスク部形成所定領域に平行線マスク部を形成し、マスクフレームに配設して平行線型マスクフレームを製造することができる。
【００３１】
上記の方法、すなわち平行に配置され伸張した状態で、固定材料又は固定基体により平行ピッチを正確に保持して固定し、マスク部形成所定領域に平行線マスク部を形成し、マスクフレームに配設して平行線型マスクを製造する方法として、１）硬化性物質を固定材料として使用し、平行ピッチを保持した状態で硬化性物質を塗布して固定し、マスク形成部の所定領域の硬化性物質を除去して開口部を設けて平行線マスク部を形成することによる方法。２）ピッチゲージ治具としてピッチゲージフレームを使用して、平行ピッチを保持した状態でマスクフレームに固定してマスクフレームに配設したのち、ピッチゲージフレームを除去して平行線マスク部を形成することによる方法。３）固定基体として開口部を有する平板状基体を使用して、該平板状基体に平行ピッチを保持した状態で固定し、開口部に平行線マスク部を形成することによる方法。４）固定基体として金属板を用い、該金属板に平行ピッチを保持した状態で固定し、マスク形成部の所定領域をエッチング除去して開口部を形成して平行線マスク部を形成することによる方法が挙げられる。
【００３２】
上記、１）の方法において硬化性物質は、例えば、熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂等を用いることができる。１）の方法による平行線マスク部は、マスク部形成所定領域部分の硬化性物質のみを、例えば溶解除去して開口部を形成することにより所定の平行線マスク部を形成することができる。また、この硬化性物質は２５０℃以上の温度により接着力を失う等熱的に分解できるものか、又は溶剤等で除去できるものが好ましい。
【００３３】
２）の方法において、ゲージフレームは、マスクフレーム内に収まる大きさで、精密なゲージ溝を有するゲージフレームを使用しゲージフレームにより平行ピッチを保持した状態で固定してマスクフレームに配設したのち、ゲージフレームを除去することにより平行線マスク部を形成することができる。
【００３４】
また平行線のピッチを変更するような場合には、ピッチゲージを使用することにより、その度毎に織物の準備工程を経る必要なく、単にピッチゲージを所望のピッチのものに交換することにより、所望のピッチを有する平行線マスクを形成することができ便利である。特に小型のマスクを製造する場合には好適で重宝である。
【００３５】
３）の方法においては、開口部を有する平板状の固定基体に予め接着剤を塗布し、経糸を所定ピッチで平行配列して精密に平板面に合わせて押圧して接着し開口部に平行線マスク部を形成し、固定基体をマスクフレームに配設することができる。開口部を有する固定基体としては、金属板、プラスチック板、又はガラス板等の平面な板状体が例示される。
【００３６】
また上記４）の方法は、開口部が大きくマスク部の平行ピッチの保持性が弱いか不安定であるような場合に適用される。この場合、固定基体として金属板を用い、該金属板に接着剤を塗布し、平行ピッチを保持した状態で金属板に接着したのち、金属板のマスク形成部分の所定領域をエッチング等により除去して平行線マスク部を形成する。
【００３７】
また固定基体により平行ピッチを保持した状態で固定する場合、上記のようなゲージフレームを使用することなく、固定基体自体にピッチゲージ溝を設け、このゲージ溝に正確に経糸ピッチを合わせて直接固定基体に固定することもできる。
【００３８】
所定の平行線マスク部が形成された基体（平板状基体）をマスクフレームに配設する際しては、例えばねじ止め、接着などにより配設される。また平行線マスク部が形成された基体自体が十分強度を有する場合、使用条件、使用箇所等によっては、マスクフレームに配設することなくそのままで使用することもできる。
【００３９】
本発明の経糸及び／又は緯糸に用いられる単繊維は、径が２０μｍ〜２００μｍの有機材料からなる合成繊維、またはセルロース系、たんぱく質系の天然繊維の単繊維が使用される。また強度は、１０ｇ／Ｄｔｅｘ以上であるものが好適である。なお金属単繊維の使用も考えられるが金属繊維は、引っかかったり、巻き癖が残り平行線の精度が出し難く相当の張力も懸ける必要がありマスクフレームの精度を損ねる虞がある。またフレームへの固着も合成繊維のように簡単ではない等の問題がある。したがって、有機材料からなる合成繊維、セルロース系、たんぱく質系の天然繊維の単繊維糸が好適に使用される。有機材料からなる合成繊維は、例えば、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリアクリル系、ポリウレタン系、ポリオレフィン系、ポリビニルアルコール系、ポリ塩化ビニル系、ポリ尿素系等の単繊維が挙げられる。また天然繊維としては、セルロース系、たんぱく質系の水溶解性の単繊維が挙げられる。
【００４０】
本発明の方法により製造された平行線型マスクを蒸着用マスクとして使用する場合、特に平板状の固定基体を用いた場合、使用される固定基体は被蒸着用の基体と熱膨張率が近似しているか、等しいものを使用することが位置ズレを生じないので好ましい。被蒸着用の基体の熱膨張率が固定基体と異なる場合には被蒸着用の基体を予め加温して蒸着することにより位置ズレを起こすことなく皮膜を形成することができる。
【００４１】
【実施例】
次に本発明の方法について実施の一例を挙げて具体的に説明する。
【００４２】
実施例１
３０μｍの径を有するポリアリレート単繊維（商品名：ベックリー、（株）クラレ社製）を経糸として使用した。この経糸１０００本を３３０μｍのピッチで平行配列し、３０本ごとに１本の赤色に染色した糸を配置した。一方、約１０μｍの太さのセルロース系繊維からなる糸を緯糸として平織りしてマスク布を作製した。この際、経糸には一定の張力を加えるものの、緯糸には特に張力を加えずルーズな状態にした。これにより経糸の蛇行が抑制され経糸の平行度が維持された。このようにして幅５０ｍｍは密に織り、幅３００ｍｍは５ｍｍ毎に１本の緯糸を疎に織り込む形式で約５ｍの長さの布を作製した。
【００４３】
これをマスク布として使用し、縦方向に、密織りの部分をマスクフレームに接着する保持部とするように伸張し約２％のテンションを与えた状態で、開口部が３００ｍｍ角、フレーム幅が２０ｍｍのマスクフレームに接着剤により固着し配設した。この際平行ピッチ精度を保持するために、ピッチゲージをフレームの内側部に配置し平行ピッチを保持した状態でマスクフレームに配設した。
次いで、マスク部形成開口部の緯糸を抜き取り、平行線型マスクを製造した。
【００４４】
実施例２
経糸として実施例１に使用したと同様のポリアリレート単繊維を使用し、緯糸としてセルロース系の水溶解性繊維（商品名：ソロブロン、（株）ニチビ社製）を使用した以外は実施例１と同様にしてマスク布を作製し、実施例１と同様にマスクフレームに接着，固着した。次いで、マスク部形成開口部の緯糸を温水で溶解除去して高精度の平行ピッチを有する平行線型マスクを製造した。
【００４５】
実施例３
径が３０μｍの実施例１に使用したと同様のポリアリレート単繊維を経糸として使用し、精密に作製されたピッチ３３０μｍ、占有率９５％の金筬を使用して、図３に示した装置により、先ず２枚の筬（第１筬（経糸ビーム側）（１５）と第２筬（１６））の間に、開口部が３００ｍｍ角、フレーム幅が２０ｍｍのマスクフレームを配置し、１０００本の経糸を平行配置し、全糸に同重量の荷重を懸けて均一にテンションを懸けてマスクフレームに配置し固着した。次いで経糸が平行配置され固着されたマスクフレームを第２の筬の位置まで平行移動し、第２筬を取り除き第１筬のみとし、１枚目のマスクフレームと第１筬との間に２枚目のマスクフレームを配置し経糸を平行配置して固着し、１枚目のマスクフレームを所定位置に平行移動し、１枚目のマスクフレームと２枚目のマスクフレームとの間で平行線糸を切断して目的とする平行線型マスクを製造した。以後同様にして連続的に平行線型マスクを製造した。
【００４６】
実施例４
精密なゲージ溝を有する製作されたゲージフレームを用い、ゲージ溝に経糸を配置し、伸張してテンションを懸けた状態で、ゲージフレームに経糸を平行配置した。一方所定（３２ｍｍ×８８ｍｍ）の開口部を設けた金属板（固定基体）の全面に接着剤を塗布した後、経糸と金属板平面とが全面で接着するようにしてゲージフレームを金属板に押圧し接着した後、ゲージフレームを取り除き金属板の開口部に平行線マスクを形成した。これをマスクフレームに配設して目的の平行線型マスクを得た。
【００４７】
実施例５
精密なゲージ溝を有する製作されたゲージフレームを用い、ゲージ溝に経糸を配置し、伸張してテンションを懸けた状態で、ゲージフレームに経糸を平行配置した。一方開口部を有しない金属板（固定基体）の全面に接着剤を塗布した後、経糸と金属板平面とが全面で接着するようにしてゲージフレームを金属板に押圧し接着した後、ゲージフレームを取り除き、平行線マスク形成部をエッチングにより開口部を設け平行線マスクを形成した。これをマスクフレームに配設して目的の平行線型マスクを得た。
【００４８】
【発明の効果】
本発明に係る平行線型マスクは、微細なストライプ幅を有し、バラツキが極めて少なくストライプ幅が所定ピッチで高精度に保持された平行線型マスクであり、従来のマスクに見られるようなダークスポットの発生が抑制され微細なパターンの発光素子の透明電極を薄膜形成する際の蒸着マスクとして使用するのに好適なものである。本発明の平行線型マスクは、（１）平行線マスク部を形成する部分を経糸又は緯糸とし、経糸又は緯糸の平行ピッチを保持する緯糸又は経糸を織り込んだマスク布を作製し、該マスク布を伸張してマスクフレームに固着した後、緯糸又は経糸を除去して平行糸を残すことによる方法。または（２）平行線マスク部を形成する経糸を、金筬あるいはピッチゲージ治具などを用いて所定ピッチに平行配列し、伸張した状態でマスクフレームに固着し、配設するか、所定ピッチに平行配列し伸張した状態で、固定材料又は固定基体に平行ピッチを保持して固定して所定領域に平行線マスク部を形成しマスクフレームに配設する方法により製造することができる。本発明の方法はリソグラフィーによる方法に比べ隔壁形成などの工程を必要としないため、製造工程が著しく短縮できコスト的にも有利なものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に使用されるマスク布、及び該マスク布をマスクフレームに固着した状態を示す説明図である。図１（１）はマスク布の部分図、図１（２）はマスクフレームに固着した状態図を示す。
【図２】開口部を有する平板状基体にマスク布を固着しマスクフレームに配設する概略図を示す。
【図３】本発明における第２の態様の方法に係る製造工程の概略を示す。図３（１）は平面図、図３（２）は側面図を示す。
【符号の説明】
Ａ………マスク布
１………密に織られた経糸および緯糸部分
２………疎に織られた緯糸部分
３、１８………マスクフレーム
４………平板状基体
５………開口部
６………ピッチゲージ
７，７１……接着部
１１………経糸ビーム（男巻）
１２………経糸
１３………綜絖
１４………テンション賦与部
１４１……荷重
１４２、１４３、１４４、１４５……送りロール
１４６……テンションロール
１５、１６、１７………筬
１９………架台
２０………マスクフレーム供給具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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