(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスの充填された囲い（１）を有し、内部に比例カウンタ（２）が配置された電離放射線検出器であって、前記カウンタ（２）が、それ自体と囲い（１）の上方壁部との間に、放射線によりガスが電離される吸収域（Ａ）形成している形式のものにおいて、
比例カウンタが、少なくとも１個の第一電極（６）と、少なくとも１個の第二電極（５）とを有しており、これらの電極が互いに平行に配置され、かつ前記第一電極（６）と前記第二電極（５）との間に電界を生じさせるよう絶縁層（７）を介して隔離されており、さらに、前記第二電極（５）と前記絶縁層（７）とが、それぞれ孔（８）を備え、前記第二電極（５）の前記孔（８）と前記絶縁層（７）の前記孔（８）は互いに整列されて共通孔（８）を形成し、前記共通孔（８）に前記第一電極（６）が面し、且つ前記共通孔（８）の長手方向、即ち、前記第一電極（６）と前記第二電極（５）と前記絶縁層（７）の積み重ね方向において、前記共通孔（８）に前記第一電極（６）が露出されて、この前記共通孔（８）内には事実上均等な電界が支配し、かつまた前記共通孔（８）が、放射線の電離の結果生じる電子を増倍する増倍域を形成していることを特徴とする、電離放射線検出器。
【請求項２】
請求項１記載の電離放射線検出器において、前記第一電極（６）が陽極であり、前記第二電極（５）が陰極であることを特徴とする、検出器。
【請求項３】
請求項１又は２記載の電離放射線検出器において、前記絶縁層（７）が剛体であることを特徴とする、検出器。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の電離放射線検出器において、前記絶縁層（７）が、感光性材料、高抵抗材料、蛍光材料のいずれかから成ることを特徴とする、検出器。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の電離放射線検出器において、比例カウンタが、重ねられた複数の前記第二電極（５ａ，５ｂ）と、前記第一電極（６または６ｃ）の重ねられた複数の補助電極（６ａ，６ｂ）と、複数の前記絶縁層（７ａ，７ｂ）とを有し、前記第二電極が、前記第一電極（６または６ｃ）並びに前記補助電極（６ａ，６ｂ）と平行に配置され、更に前記補助電極（６ａ，６ｂ）から前記絶縁層（７ａ，７ｂ）によりそれぞれ隔離されており、前記第二電極（５ａ，５ｂ）の前記孔（８）が、前記絶縁層（７ａ，７ｂ）の前記孔（８）と前記補助電極（６ａ，６ｂ）の孔（８）とに整合されていることを特徴とする、検出器。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の電離放射線検出器において、比例カウンタ（２）が、同一の第１平面内に、同一の第１方向で、相互接続されて配置された複数の前記第二電極（５ａ，５ｂ）と、第１平面と平行な同一の第２平面内に、同一の第２方向で、相互接続されて配置された前記第一電極（６または６ｃ）の複数の補助電極（６ａ，６ｂ）とを有することを特徴とする、検出器。
【請求項７】
請求項１から４のいずれか１項に記載の電離放射線検出器において、比例カウンタ（２）が、全体にわたり円筒形であり、前記第一電極（６）と前記第二電極（５）とが円筒を形成し、前記円筒の長手方向軸線の方向に延びる開口（１２）により前記円筒の円周方向の一部が取り除かれており、前記円筒内を電位供給線（９）が前記円筒の長手方向軸線の方向に延びていることを特徴とする、検出器。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の電離放射線検出器において、前記第二電極（５）と前記第一電極（６）とが、独立しており、それぞれ、電子処理回路の入力部に接続されていることを特徴とする、検出器。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、比例カウンタを形成するために集成された複数比例マイクロカウンタからの電離放射線、例えばα線、β線、γ線、ｘ線、紫外線のいずれかを検出可能なガス検出器に関するものである。
この種の検出器は、医学的なイメージング、生物学、素粒子物理学、結晶学等の分野や、非破壊検査を必要とする数多くの分野で、広く用いられている。
先行技術
本発明による検出器は、ガスによる放射線電離の結果生じる一次電子を、ガス内の局所的に高い強度の電界の作用下で増倍させる種類の検出器である。この種の検出器は、現在、数種類が知られており、専門家の間で利用されている。
この種の検出器で最も広く知られているのは、平行プレート検出器である。この検出器は、互いに数ミリメータの間隔をおいた２個の平行グリッドによって得られるカウンタを有し、これら２個の平行グリッドの間で電子が増倍される。グリッド間のこの区域は、“増倍域”と呼ばれる。このように、この種の検出器の増倍域は、２個のグリッドによって仕切られた単一容積の形態を有している。この増倍域が、比較的大きい寸法の単一容積から成るため、この種のカウンタは、きわめて故障しやすい欠点を有している。加えて、この種の平行プレート検出器のカウンタは、限定された空間分解能しかもたず、また、プレート／グリッドの厚さのため、種々の形状の検出器が構成できるようには配置できない。
別種のガス検出器としては、ワイヤ検出が挙げられる。この検出器は、１つの平面内にぴんと張られた等間隔の複数ワイヤを有している。前記平面のどちらかの側に、陰極を形成する２個のぴんと張られたグリッドが配置されている。電子の増倍は、強電界が存在するため、ワイヤの近辺で行われる。しかし、この種の検出器の増倍域は、等方性にすることができない。また、この検出器の場合も、検出器を種々の形態に構成はできない。
更に、より新しい型式のガス検出器としては、マイクロストリップ型検出器が挙げられる。この型式の検出器の場合、カウンタは、絶縁支持体上に蝕刻された同一平面上の電極から成っている。この型式の検出器は、フランス特許公開第２６０２０５８号明細書に開示されている。この検出器の大きな欠点は、数個のカウンタを重ね合わせることができないため、利得が、事実上５０００という比較的低い値に制限される点である。加えて、前述の平行プレート型の検出器同様、この検出器のカウンタも、極めて薄いトラック（約１０μｍ）に局限された異方性増倍域を有し、このため極めて故障しやすい。検出器も比較的壊れやすい欠点を有している。
発明の説明
本発明の目的は、前述の検出器の欠点を除去することにある。この目的のため、複数の独立した比例マイクロカウンタから成るカウンタを組み込んだガス検出器を提案するものである。
更に具体的には、本発明は、電離放射線検出器、それもガス状混合物、例えば希ガスが充填された囲いを有し、比例カウンタが、この囲い内に配置され、カウンタ自体と囲いの上方壁部との間に、放射線の吸収によりガスの電離をおこなう吸収域を形成している形式の検出器に関するものである。この比例カウンタは、また、少なくとも１個の下方電極と、少なくとも１個の上方電極とを有している。これらの電極は、互いに平行には位置され、絶縁層によって隔離され、異なる電位に高められる。上方電極と絶縁層とは、少なくとも１つの開口ないし孔を有しており、この孔内には、事実上均等な電界が形成され、孔が放射線電離の結果生じる電子の増倍域をなしている。
有孔の上方電極部分及び絶縁層部分と、下方電極部分とを組み込んだカウンタの各部分は、ユニットセルとも呼ばれる独立のマイクロカウンタを構成している。好ましくは、下方電極を陽極とし、下方電極を陰極とする。
本発明によれば、絶縁層の材料は剛性材料である。この剛性材料は、検出器の製造を容易にする感光性材料でもよければ、高抵抗率（１０9〜１０13Ω・ｃｍ）の材料でもよく、また増倍によるＵＶ放射線を可視放射線へ変換し得る蛍光材料であってもよい。
本発明の第１実施例によれば、比例カウンタは、下方電極と平行な平面内に並置された複数上方電極を有し、これら上方電極は、絶縁層によって下方電極と互いに隔離され、各上方電極の孔は、絶縁層の孔と整合されている。
本発明の別の実施例によれば、比例カウンタは、同一の第１平面内に、第１方向で互いに接続配置された複数上方電極と、第１平面と平行な、同一の第２平面内に、第２方向で互いに接続配置された複数下方電極とを有している。
本発明の更に別の実施例によれば、比例カウンタは、全体が円筒形に構成され、上下の電極が開放円筒体を形成し、この円筒体内を縦方向に給電線が貫通するようにされている。
本発明の更に別の実施例によれば、上下の電極が独立し、各電極が、ピクセル検出器を形成する電子処理回路の入力部に接続されている。
【図面の簡単な説明】
第１Ａ図は、第１実施例による比例カウンタを備えた本発明の検出器の斜視図である。
第１Ｂ図は、第１Ａ図の実施例によるマイクロカウンタストリップの前面図である。
第２Ａ図は、本発明の第２実施例によるマイクロカウンタストリップの前面図である。
第２Ｂ図は、第２Ａ図のマイクロカウンタの数個のストリップを備えたカウンタの斜視図である。
第３Ａ図及び第３Ｂ図は、それぞれ円錐形と凹形の穴を有する２つのマイクロカウンタの断面図である。
第４図は、数個の陰極が重ねられたマイクロカウンタ列の前面図である。
第５図は、マイクロカウンタの数個のストリップが重ねられたカウンタの前面図である。
第６図は、陽極を介して外部回路へ接続された各マイクロカウンタが載置されたプレートの斜視図である。
第７図は、マイクロカウンタの数個のストリップを配列した例を示した斜視図である。
第８図は、円筒形の比例カウンタの１例を示した斜視図である。
第９図は、本発明によるガス検出器を用いた場合の、Ｆｅ55源からの６Ｋｅｖのエネルギー測定分解能を示したスペクトルの線図である。
実施例の詳細な説明
第１Ａ図は、本発明のガス検出器を略示した図である。この検出器は、図には破線で示した囲い１を有している。この囲い１は、通常、希ガス（例えばアルゴン、クリュプトン、キセノン等）を混じたガス状混合物が充填されている。このガス状混合物には、選定圧力が加えられる。検出器が受け取った放射線は、このガス状混合物により確実に吸収される。したがって、前記放射線は、一様な弱電界が支配するいわゆる“吸収域”内でガスによって電離される。この放射線の電離は電荷を生じさせ、この電荷が、比例カウンタ２によって増倍される。
この比例カウンタ２は、“ユニットセル”４とも呼ばれる複数マイクロカウンタを有している。各マイクロカウンタ４は、異なる平面内に配置された２個の電極により構成され、異なる電位に高められることによって、電界を生じさせる。この電界は、ガス内での放射線の電離の結果生じる電荷を引き付ける。
第１Ａ図から分かるように、マイクロカウンタは、ストリップ３の形式で配置されている。第１Ａ図及び以下で説明される図面には、ストリップ形式又は列形式で配置されたマイクロカウンタが示されている。しかし、これらマイクロカウンタは、ランダムな幾何形状（例えば方形）に配置でき、また、独立配置することもできる。ストリップ形式で図示したのは、図面の理解を容易にするためにすぎない。
第１Ａ図の実施例の場合、各マイクロカウンタのストリップ３は、上方電極５、すなわち陰極と、下方電極６、すなわち陽極と、その間の絶縁層７とから成っている。陰極５と絶縁層７とには、陽極６の上に開口している孔又は開口８が設けられている。各孔８は、増倍域をなしている。したがって、各マイクロカウンタは、陰極５の部分と、絶縁層７の部分と、陽極６の部分と、増倍域８とを有している。
各テープ又はストリップ３には、数個の孔８を設けることができるが、各マイクロカウンタ４は、各自の増倍域を有しているので、独立している。
このように、本発明によるカウンタ２は、複数の増倍域を有することができ、それによって、故障の危険が大幅に低減される。
第１Ａ図には、カウンタ２の１つの“モデル”を、マイクロカウンタのストリップ３に所属する、各陽極６の上に開口する２つの孔８を破断して示してある。
第１Ｂ図は、マイクロカウンタのストリップ３の詳細図である。既述のように、各ストリップ３は、上方電極５と、下方電極６とを有している。上方電極５は陰極であり、下方電極は陽極である。陰極５と陽極６とは、互いに絶縁層７によって隔離されている。
本発明の一実施例によれば、絶縁層は感光材料製であり、これにより検出器の製造が容易になる。
別の実施例の場合、絶縁層は、高い抵抗率をも有する材料製である。更に別の実施例では、絶縁層が蛍光材料製であり、したがって、増倍によるＵＶ放射線を可視放射線に変換する。可視放射線は、例えば計数が可能である。
陰極５と絶縁層７には、孔８が設けられ、孔８内には電界が支配し、増倍域が形成される。これら増倍域８内での電界強度は、大であり、かつ準均等である。したがって、吸収域での放射線電離によって生じる電荷は、当然、これらの増倍域へ向かう。
電気的には、検出器（すなわち囲い）の入口窓の電位が０ボルトであれば、陰極は、数百ボルトに高めることができ、これによって、一次電荷が引き付けられ、また陽極は、より高い均等の電圧に高められるため、これらの一次電荷は、確実に増倍される。
加えて、特定用途の場合、絶縁材料として、各マイクロカウンタのストリップ内に、例えばセラミックなどのサブストレートを用い、それによって、カウンタの安定性を高めることもできる。
第２Ａ図は、第１Ｂ図とは異なる実施例によるマイクロカウンタ４の断面図である。この実施例では、陰極５と陽極６とは、互いに直角方向に、陰極５が列として、陽極６が行として配列されている。各孔８は、前の実施例同様、陽極は６の上に開口している。
第２Ｂ図は、第２Ａ図に示した種類の複数マイクロカウンタストリップ３によって構成された比例カウンタ２を示したものである。言い換えれば、この比例カウンタ２は、行として配置された複数陰極５と、列として配置された複数陽極６とを有している。既出の図面から分かるように、陰極５は、剛性の感光性絶縁層７によって、陽極６から隔離されている。陰極５と絶縁層７とは、孔８を備え、これらの孔８は、第２Ｂ図に見られるように、陽極６上に開口している。
電極５、６のこのような配置は、イベントを２方向にコード化することを可能にし、したがって、例えばイメージングに利用できる。
既出の図面に示したどの比例カウンタの場合も、マイクロカウンタ４の孔８は、第２Ｂ図に見られるように、円形横断面を有している。しかし、これらの孔又は開口８は、別の形状でもよい。例えば、互いに平行又は非平行なスロットでもよいし、また円錐形でも、円筒形でも、その他の形状でもよく、更に寸法も変更できる。
第３Ａ図と第３Ｂ図には、そうした孔の２つの実施例が示してある。第３Ａ図の孔８は円錐形であり、この形状は、増倍されるイオンが孔壁８′、つまり絶縁層７に付着するのを防止できる利点がある。第３Ｂ図の孔８は、凹状の壁面８′を有している。この形状の利点は、第３Ａ図のそれと類似している。
しかし、これら孔の形状がどのようなものであれ、マイクロカウンタの中実部分と孔部分との比は、通常、１〜１０の範囲で選ばれる。
本発明の好適実施例（第１Ａ図〜第２Ｂ図）によれば、孔８は、円形の孔であり、孔の深さと径の比は、通常、３〜１／２の範囲で変えられる。
適宜な形状と寸法を有する孔８の場合、増倍中に発せられる光を集めることによって、イメージ形成したり、計数を行ったり、イベント（イオンのアヴァランシェ）を示す同期信号を得たりすることができる。
第４図に示したストリップ３の実施例は、これまでの実施例とは異なっている。ストリップ３は、この実施例の場合、２つの陰極５ａ，５ｂと、感光材料製の２つの絶縁層７ａ，７ｂとを有している。絶縁層７ａは、陰極５ａと５ｂとの間に配置され、絶縁層７ｂは、陰極５ｂと共通の陽極６との間に配置されている。この場合、孔８は、陰極と絶縁層とから成る全厚を貫通して延びている。
複数陰極層を有するこの構成によって、孔８の高さを増し、したがって増倍域の容積を増すことができる。このため、この増倍域の増倍能力が増大し、増倍中に生じるイオンの収集が容易かつ増加する。
第５図は、数個のマイクロカウンタプレート３ａ，３ｂを重ねることによって構成された多層カウンタの前面図である。この実施例の場合は、マイクロカウンタが、第１Ｂ図のストリップと事実上等しい形状のストリップを有している。各プレートは、直接に下のプレート上に配置されるか、（この図の場合のように）増倍域内のガスと同じガス又は絶縁層によって、隣接部から隔離される。各プレート３ａ、３ｂの補助陽極６ａ、６ｂは、陰極５ａ、５ｂ及び絶縁層７ａ、７ｂの孔と整合された孔８ａ、８ｂを有している。孔８ａ、８ｂは、（第一電極としての）陽極６ｃ上に開口している。
この実施例では、孔の全高にわたって電界を生じさせるために、（第一電極としての）陽極６ｃが必要とされ、これら補助陽極は、孔８ａ、８ｂによって得られる空間の下に配置されている。プレート３ａ、３ｂと（第一電極としての）陽極６ｃとは、剛性サブストレート１０の上に析出される。
前記孔内に生じる電界は、孔の全高にわたって準均等である。したがって、プレート３の各陰極／陽極スペースが、第２Ａ図のカウンタの増倍域より増倍能力が低いとはいえ、陰極／陽極を数スペース重ねることによって、単一増倍域（第２Ａ図）より高い利得が得られる。このサンドイッチ構成によって、絶縁層内の電界を有意に減少させることができる。また、補助陰極が、増倍から結果するイオン部分を集めるようにすることもできる。このため、検出器の計数率が有意に高められる。
ストリップ３ａ、３ｂ間のギャップｅと、プレート３ｂと（第一電極としての）陽極６ｃとの間のギャップｅ′とは、目標結果の関数として変化し得ることを指摘しておく。
以上説明したように、各マイクロカウンタ４は、各自の増倍域８を有している。
このことは、各マイクロカウンタが独立していることを意味する。しかし、特定の用途においては、マイクロカウンタ４は、その陰極又は陽極を介して相互接続できる。
また、増倍域８の上方又は下方から、すなわち陰極５又は陽極６から、電極に対する電気信号を集めることも可能であり、それによって接続が容易になる。
第６図は、マイクロカウンタ４のプレート又はストリップ３を示したもので、マイクロカウンタ４は、陽極６を介して外部回路に接続されている。より詳しく言えば、プレート３は、マイクロカウンタ４の陽極６を保持する支持体１３に接着されている。各陽極６は、接触トラックＰ１，Ｐ２を介して外部回路、例えば支持体１７上の増幅器１５に接続されている。この実施例に場合、接触トラックＰ１、Ｐ２は支持体１３を横切っている。更に、第６図に示したように、動力源１９は、陰極５を介してプレート３に接続されている。
陽極６が相互接続されていない別の実施例の場合、各陽極６は、直接に別個の増幅器に接続できる。各マイクロカウンタは、その場合、２次元検出器又は線形検出器のピクセルと考えることができる。
このように、マイクロカウンタの陽極と外部回路との相互接続は、例えばセラミック材料の多層回路と公知手続きとによって、容易に実現可能である。
したがって、本発明の利点は、接続が容易な点にある。なぜなら、接続を、検出器の陰極側、陽極側、後側のいずれからも行うことができるからである。加えて、マイクロカウンタと増幅器との接続回路は、比例カウンタの製造時に蝕刻又はスクリーン印刷によって設けることができ、このことによって、また接続が容易になる。
この形式の場合、各マイクロカウンタは電気信号を発するが、この電気信号は、受け取った電子量の関数である。この電気信号は、衝突のエネルギーと位置とを測定するために利用される。より詳しく言えば、放射線の衝突位置の決定（空間位置測定）は、吸収域が弱い場合、作用を受けるマイクロカウンタを直接に同定することにより達せられる。逆の場合には、電離から結果する電子は、比例カウンタの少なくとも１部にわたって散乱する。したがって、セントロイド、すなわち、最大の割合の散乱電子を受け取ったマイクロカウンタを調べることが可能になる。作用を受けたマイクロカウンタのなかの、そのようなセントロイドを調べるためには、作用を受けたマイクロカウンタからの信号をデジタル化し、対応セントロイドを計算する公知の論理方法を利用するか、もしくは、Ｒ．Ｃ、Ｌ．Ｃ、Ｒいずれかの種類の遅延ラインへの電気信号をサンプリングするアナログ式の方法を利用することが可能である。イベントの位置決定のために、どのプロセスを選択しようと、陰極からの信号と、陽極からの信号とが必要であり、また補助陽極を使用する特定実施例の場合には、その補助陽極からの信号が必要となる。
第７図は、本発明の別の実施例を示したもので、この実施例の場合は、マイクロカウンタ４の数個のストリップ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅが、一連のＵｓ字形及び逆Ｕｓ字形を形成するように配列されている。これらのストリップは、第１Ｂ図のストリップに等しい。この特殊な配置によって、イベントの位置決定に利用可能な遅延ラインを実現できる。この実施例によれば、異なる陰極５ａ〜５ｅが、相互に直角方向に配列されている。これらの陰極５ａ〜５ｅには、絶縁層７ａ〜７ｅにより対応陰極５ａ〜５ｅから隔離されている陽極６ａ〜６ｅが対応している。
第８図は、本発明の比例カウンタの別の実施例を示した図である。このカウンタは、既述の実施例のような線形カウンタではなく、円筒形である。この円筒形カウンタは、例えば結晶学で利用されている。
第６図に見られるように、カウンタ２は、開放円筒形状をなし、その開口１２を介して放射線は、確実に円筒内に導入される。カウンタ２は、円筒の内壁を形成する陰極面５と、円筒外壁を形成する陽極面６とを有している。陽極６と陰極５は、感光性の絶縁層７によって隔離されている。円筒の断面図から、孔８の位置が分かる。孔８は、円筒の全長にわたって分配されており、陽極６に覆われているため、点線で示してある。
第８図から分かるように、電線９が、円筒を縦断しており、この電線によって、円筒内部に一定の電位を供給することができる。例えば、陰極５は、０電位に高められ、陽極６は、＋１０００Ｖの電位に、また電線９は−２００Ｖの電位にされる。
各マイクロカウンタ列は、導電材料で各面を覆われた絶縁材料シートによって構成されている。この実施例では、絶縁層は、ガラス、感光性ガラス、その他適当な誘電強度を有するプラスチック材料のいずれでもよい。
プレート上に各マイクロカウンタを形成するためには、複合材料シート（導電層で片側が覆われた絶縁シート）内に盲孔を設ける必要がある。そのためには、種々の公知の方法を利用できる。その方法の１つは、写真平版により陰極に耐食膜（ｒｅｓｅｒｖｅｓ）を設け、続いて、例えば化学エッチングによりスクリーン目を形成するものである。陰極は、その場合、自己支持式のマスクとして役立つ。絶縁シートの孔開けは、ＵＶ写真平版、Ｘ線平凹版、化学エッチング、イオンエッチング、レーザ加工等のいずれかにより、前記絶縁シートの性質の関数となるように、行う。別の方法は、陰極及び絶縁層に穿孔可能なレーザ光を用い、直接に盲孔を開け、陽極には穿孔しない。この目的のためには、陽極は、陰極より厚くされるか、又は適当な性質の材料で作られる。
特定実施例の場合、第５図に示したように、放出孔又は貫通孔、つまり複合シートを完全に貫通している孔を設ける必要がある。その目的のためには、機械式の孔開け又はレーザによる孔開けを利用して、盲孔より簡単に孔開けを行なうことができる。
これらの技術によって、カウンタを比較的低コストで製造できる。これらのカウンタは、等しい数個のカウンタを並列することによって、かなり大きい寸法にすることができる。
本発明の別の利点は、カウンタが主として増倍域から成るため、極めて薄く、数十ミクロンにすることができる点である。したがって、１枚の紙葉よりわずかに厚い比例カウンタを得ることができる。また、このことから、検出器を種々の形状に、例えば第８図に示したように、円筒形に設計できることが明らかになる。このような円筒形、球形、その他類似の幾何形状によって、吸収域に一般に生じるパララックスを除去でき、その結果、約１００ｍｍの厚い吸収域を得ることができる。
加えて、増倍域は、プレート端部でも電極間に破壊が生じることのない幾何形状を有している。電極、すなわち陰極と陽極とが、同一平面内にないからである。陽極が、簡単かつ頑丈な形状なので、可能な破壊効果又は何らかの電子やイオンのボンバード効果による劣化にさらされることがない。
第１Ａ図〜第８図に示した種類の比例カウンタは、すべて、種々の放射線測定用ガス検出器、例えば結晶学で用いられるＸ線検出器に用いることができるので、極めて高い計数率が可能な円形、線形、球形いずれかの比例カウンタ得ることができる。その場合、カウンタは、Ｘ線源又はシンクロトロン放射線源の前方のゴニオメータ上に配置される。
これらの検出器は、極めて良好なエネルギー分解能と高い利得を有しているので、極めて良好な空間分解能が得られる一方、接続が容易となる。なぜなら、陽極平面と陰極平面とが、スクリーン印刷によって、外部回路への必要なすべての電気経路を形成できるからである。
第９図は、エネルギー測定の分解能を示すスペクトルの線図であり、エネルギーは６０００ｅＶ、混合物は大気圧下でのアルゴン／ＣＯ2である。既述の実施例の場合、エネルギー分解能は約２０％であり、この値は、カウンタが比例条件下で効果的に動作したことを示すものである。
既述の種類のカウンタの場合、約２００００の増倍利得が得られ、これによって、電気信号の正確な処理が可能である。例えば、約３００μｍまで分離される独立の増倍セルを有するカウンタの場合、空間分解能は約５０μｍである。このような比例カウンタは、マイクロカウンタが毎秒約１０００００イベントの高い計数率を得るよう支援する。
本発明によるカウンタは、高いマイクロカウンタ密度を有しているので、極めて高い流量で作業が可能である。
加えて、各マイクロカウンタが独立しているカウンタの場合、均等な比較的高い信号を得ることが可能であるため、低流量の検出が可能であり、ガイガーカウンタの操作が可能となる。
本発明のこのほかの利点は、他の技術を用いて製造されるカウンタと比較して、安価な製造費で、カウンタをコンパクトかつ軽量に構成でき、その結果、使用範囲がかなり広げられる点にある。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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