(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能的に同一の複数のチップ回路のセットを個々のチップ領域内に限定しており、該チップ領域は少なくとも２つの対向する境界線に沿ってエッチングした溝により限定されている半導体ウェーハにおいて、
第１の所定長さの間隔をおいて配置された２つの対向するエッチング溝によって限定された第１チップ領域と、
前記第１所定長さより短い第２の所定長さの間隔をおいて配置された２つの対向するエッチング溝によって限定された第２チップ領域とを備え、
前記第１チップ領域と第２チップ領域とが、それぞれ、前記２つの対向する境界線間のチップ長さが前記第１所定長さおよび第２所定長さに等しいモードを持つ正規分布で分布したチップを生ずるように、ダイシング処理されたとき、該第２チップ長さの上方３σが、前記第１チップ長さの下方３σ以下になるように、前記第１所定長さが前記第２所定長さより大きいことを特徴とする半導体ウェーハ。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体ウェーハにおいて、各チップ回路セットは、２つのエッチング溝の間に延びている線形アレイとして配列された複数の繰り返し構造を含んでいることを特徴とする半導体ウェーハ。
【請求項３】
請求項２に記載の半導体ウェーハにおいて、前記第２チップ領域内の繰り返し構造のサブセットは、前記第１チップ領域内の繰り返し構造の対応するサブセットより、近接した間隔で配置されていることを特徴とする半導体ウェーハ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、一般には基板に取り付けられる半導体チップに関し、より詳細には基板に取り付けられた半導体チップを修理のため選択的に取外し、交換することができる技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
文書イメージを走査する電荷結合素子（ＣＣＤ）などのイメージセンサは、一般にシリコンチップ上に集積されたフォトセンサの列すなわち線形アレイと、適当な支援回路とを含んでいる。通常は、センサは、文書の横幅を横切って一行づつ走査するものとして使用され、文書はその走査と同期して文書の縦方向にステップ送りされる。そのようなセンサアレイのための典型的な構成が、たとえば米国特許第５，１５３，４２１号に記載されている。
【０００３】
全ページ幅イメージスキャナの場合は、文書の全幅（例えば、１１インチ）に延びる小形フォトセンサの線形アレイが配置されている。それらのフォトセンサは、好ましくは、各チップ上に１インチあたり６００個もの細かさで間隔をおいて配置される。文書がフォトセンサの線形アレイのそばを通過すると、各フォトセンサは文書イメージから反射された光を電気信号へ変換する。文書イメージが線形アレイに対し垂直な方向に動くと、各フォトセンサから一連の信号が出力されてディジタルデータへ変換される。
【０００４】
そのような長いフォトセンサの線形アレイを作成する今のところ好ましい技術は、各半導体チップの上にフォトセンサの線形アレイと付属回路デバイスが形成された一組の比較的小形の半導体チップを形成することである。これらのチップは一般に長さ約３／４インチであるが、そのようなチップを２０個以上、端と端を突き合わせてフォトセンサの単一線形アレイを作ることにより、実際の全ページ幅のアレイを作成することができる。突き合わせたチップは一般に支持台の上に取り付けられる。支持台は、そのほかに実際のシステムのための個々のチップ上の回路素子に信号や電流を与えるプリント配線基板上の回路網を含んでいる。プリント配線基板上の比較的大規模の導体と半導体チップ上の比較的小さい接触パッドとの接続は、プリント配線基板の導体とチップ上の接触パッドの双方に超音波溶接したワイヤボンドで行うことが好ましい。
【０００５】
米国特許第５，２５８，３３０号は、上面に接点を有し、上面の中央部分の上に横たわるインタポーザを有する半導体チップを開示している。周辺接点リード線は周辺接点からインタポーザ上の中央端子まで内側に延びている。チップおよび基板の熱膨張を補償するため、端子がチップ上の接点に対し動くことができるように、リード線とインタポーザは柔軟性がある。
【０００６】
米国特許第５，２７２，１１３号は、複数の突き合わせたシリコンチップから成るフォトセンサのアレイを作る方法を開示している。この方法は、チップを未硬化エポキシで基板上に粘着した後、硬化工程の加熱の前に、アセンブリを低温にしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
高精度イメージ形成装置たとえば全ページ幅センサバーや、あるいはインクジェット印字ヘッドを形成する場合、大きな費用の原因は最初に製造するときの部品チップの「歩留り」に関係がある。フォトセンサチップのある種の応用においては、たとえば、一般的な歩留りは約７５％に過ぎない。すなわち、シリコンウェーハから生成されたチップのすべてのバッチについて、チップの２５％がチップアレイとして取り付けるには不満足なものであると判ることは珍しいことではない。さらに、チップをチップアレイとして取り付けたあと、特定のチップに致命的な欠陥が見つかることも珍しいことではない。仮に取り付けたチップにそのような欠陥が発見されても、１個の欠陥チップのためにチップアレイ全体を廃棄する必要がないことが望ましい。また、個々の欠陥チップをチップアレイから取り外し、交換することが可能であるのが好ましい。
【０００８】
前から存在するチップアレイ内の個々のチップを交換することに伴う１つの実際問題は、熱または圧力などによるチップの取外しは、センサバーの中でチップアレイ内の完全に機能する他のチップを損傷させるかも知れない状態にさらすことである。従って、隣接するチップを損傷させる可能性が最少限度であるやり方でチップアレイから選択した１個の欠陥チップを取り外す技術を提供することが要望されている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、機能的に同一の複数のチップ回路セットを個々のチップ領域に限定しており、該チップ領域は、エッチングした溝により、少なくとも２つの対向する境界に沿って限定されている半導体ウェーハが得られる。この半導体ウェーハにおいて、第１チップ領域は、第１の所定長さの間隔をおいて配置された２つの対向するエッチング溝によって限定され、第２チップ領域は、前記第１所定長さより短い第２の所定長の間隔をおいて配置された２つの対向するエッチング溝によって限定されている。
【００１０】
【実施例】
図１は、複数の突き合わせたシリコンチップ１２ａ，１２ｂ，．．．１２ｚが上面に取り付けられた基板１０を示す。図示したシリコンチップ１２ａ〜１２ｚは機能について明記していないが、それらの各チップがＣＣＤの一部分、別形式の感光性半導体チップ、ＬＥＤ（発光ダイオード）印字バー、サーマルインクジェット技術に関連するチップ、あるいは一連の半導体チップを突き合わせて配列する必要があるその他の用途を表すことができることは理解されるであろう。基板１０上の隣接するチップ１２間の横境界面に、バックカット１３を形成することが好ましい。バックカット１３は基板１０の表面に接して置かれる開いた溝であり、隣接するチップと基板１０の間に狭い空洞を提供する役目を果たす。このようなバックカットは、たとえば米国特許第４，８１４，２９６号に記載されている。基板上の突き合わせたチップのある典型的な応用において、チップ１２ａ〜１２ｚの厚さは約１７ミル（４３０μｍ）であり、バックカットの領域内の各チップの厚さが約６ミル（１５０μｍ）になるようにチップの縁にバックカットが形成されている。バックカット１３によって形成された空洞は、数ある理由の中で、あとで説明するように、アレイの組立工程において基板１０の上に置かれてチップの下から押し出された過剰なエポキシを受け入れる役目も果たす。
【００１１】
さらに、各チップ１２ａ，１２ｂ，．．．１２ｚの上に、一組の繰り返し構造１４が形成されている。用語「繰り返し構造」は、本書で使用するとき、各チップの上に規則的に間隔をおいて配置され、規則的パターンを形成するすべてのデバイスまたは構造を意味する。繰り返し構造の例としては、ＣＣＤ、ＬＥＤ内のフォトサイト、あるいはサーマルインクジェット印字ヘッド内の毛管チャンネルまたは抵抗器があるが、それらに限定されない。上に述べたように、通常、そのような繰り返し構造の規則正しい間隔は、チップを突き合わせて状態で、詳細には隣接するチップ間のギャップ内で維持することが重要である。
【００１２】
ほとんどの半導体の応用において、チップ１２ａ〜１２ｚの最もありふれた原材料は結晶シリコンである。基板１０を作るための好ましい物質は、揖斐電株式会社から商標名 CERACOM  で販売されているボードである。このボードは一般にセラミックコアにガラス繊維樹脂積層板を貼り合わせたものである。基板１０に適した別の材料としては、“ＦＲ−４”として知られるプリント配線基板材料すなわち比較的薄いアルミナ基板がある。
【００１３】
図２は、図１に示したチップアレイの詳細な正面図で、選択した半導体チップ（たとえば、１２ｂ）を取り外す本発明の方法を示す。図２から判るように、図示した典型的な各チップ１２ａ，１２ｂ，１２ｃは接着剤（たとえばエポキシ）の個々のビード１６で基板１０に接着されている。接着剤ビード１６は、チップアレイに沿って連続してはいないので、隣接するチップの間、詳細にはバックカット１３の領域に接着剤が殆ど又は全く残留しないことが好ましい。
【００１４】
図２において、チップ取外し工程の一部として、基板１０は凸状に少し曲げられていて、チップ１２を保持している基板１０の表面が引っ張り状態に、その反対側表面が圧縮状態であることに気づかれるであろう。この凸状曲げは、たとえば基板１０を作業面（図示せず）に一様に押し当て、図示のように基板１０を凸形に一致させることによって達成することができる。代わりに、たとえば締付けによって基板１０の両端を押して所望の凸状曲げを得ることもできると考えられる。
【００１５】
本発明の方法による凸状曲げの目的は、隣接するチップ１２の間の間隔を広げることにある。図２に示すように、この凸状曲げにより、隣接するチップの上隅間の距離は（詳細には図２の正面図にチップ１２の上面として示したもののまわりに）増大するであろう。この曲げによって生じた隣接するチップ間の余分の間隔は、取外し工程において隣接するチップを損傷させる機会を最少限度にすると同時に、選択したチップ１２の取外しを可能にする。
【００１６】
図３は、図１に示したチップアレイの一部の平面図で、エポキシで接着した部材を他の部材から除去する多くの類似した物理的方法によって、選択したチップ（ここでは１２ｂ）をどのように基板１０から除去することができるかを示す。図３に示した具体的なケースでは、工具２０でチップ１２ｂを基板１０の表面に平行に横方向に押すことによって基板１０から取り外しているところである。さらに、この押しと接着剤を融解させるための加熱とを組み合わせてもよい。図２に示すように、基板１０の凸状曲げは取外し中のチップとその隣接チップとを分離する特別な手段を提供するので、隣接するチップたとえば１２ａと１２ｃを損傷させる可能性が少なくなる。
【００１７】
図４は、図１に示したチップアレイの一部のもう１つの詳細な正面図で、選択した１個のチップをチップアレイから取り外す別の方法を示す。図４に示した方法は、単独で用いることもできるし、図２について説明した基板曲げ法と組み合わせて用いることもできる。図４に示すように、一連のチップ１２ａ，１２ｂ，１２ｃは隣接するチップ間のバックカット１３に対応する領域内の過剰な接着剤の量を最少限度にするようなやり方で個々のエポキシビード１６によって接着される。図４の方法に従って、取り外したい半導体チップ１２ｂに２つのソーカット（ここでは３０ａ，３０ｂ）が作られる。ソーカット３０ａ，３０ｂは、バックカット１３のすぐそばのチップ１２ｂの部分を有効に切除するため、チップ１２ｂのバックカット１３に比較的近い所に作ることが好ましい。
【００１８】
バックカット１３に近いチップ１２ｂの部分を基板１０に接着する接着剤が存在しないので、切断工程のあと、チップ１２ｂの縁にある切断部分は簡単に遊離するであろう。チップ１２ｂのこれらの遊離した部分は部分３２ａ，３２ｂとして示してある。一般に、ソーカット３０ａ，３０ｂは遊離した部分３２ａ，３２ｂの取外しを許す所定の厚さのダイヤモンド刃によって作られる。遊離した部分をブラシで払いのけるか、または吹き飛ばすかして、チップ１２ｂの中央部分のみを残すことができる。このチップ１２ｂの残部は隣接するチップ１２ａまたは１２ｃのどちらからも十分な間隔があいているので、熱または圧力またはその両方を用いて取り外すことができ、そのとき隣接するチップを損傷させる危険は少ない。図５は、チップアレイからチップ１２ｂを取り外す工程を示す平面図で、そのほかに、加熱工具および（または）加圧工具２０でチップ１２ｂの残部を取り外す工程の前に、遊離した部分３２ａ，３２ｂは簡単に外へ押し出すことができることを示す。
【００１９】
相当に多数のチップ１２を単一のウェーハに作って次に個々のチップにダイシングする製造工程を計画する場合、それらのチップをチップアレイに取り付けたあとチップを交換できるようにすることを設計段階で考慮に入れることが望ましい。前から存在しているチップアレイから取り外したチップと交換するチップの臨界的なチップ対チップ寸法が、標準チップより少し小さく作られていることが好ましい。すなわち、欠陥チップをチップアレイから取り外したあと、チップアレイ内の他のチップとその他の点で機能的に同一であり（すなわち、同じ数のフォトセンサと付属回路網を有する）、しかし長さが少し短くなるように事前に設計された交換用チップと置き換えることが好ましい。フォトセンサの線形アレイまたはインクジェット噴射器の一部分のような繰り返し構造であるから、その短いチップ長さが長いチップアレイ内の繰り返し構造の正しい配置に影響を及ぼすほど、交換用チップを標準チップより著しく短くしてはいけないことは言うまでもない。
【００２０】
図６は、複数の実質上同一のチップに対応する回路セットが既知の手段によって作られ、最後に個々の実質上同一のチップにダイシングされるシリコンウェーハ１００を示す平面図である。用語「回路セット」は、本書で使用するとき、関連回路網を有する一定の数のフォトセンサあるいはインクジェット印字ヘッド内の一定の数のインクジェット噴射器の一部分を提供するなど、所定の機能を有する一組の回路網を意味する。典型的なウェーハは、集合１０２としてまとめて示した一組のチップ１２のための回路セットと、多数のチップ１１２から成る集合１０４として示した一組の回路セットを含んでいる。本発明に従って、集合１０４内のチップ１１２は集合１０２内のチップ１２と機能的に同一であるが、重要な相違点はチップ１１２の有効長さがチップ１２より少し短く設計されていることである。フォトセンサチップについて一例を挙げれば、そのフォトサイトの線形アレイに沿ったチップ１２の典型的な長さは１５．７４８ｍｍ（図６に示した長さＡ）であり、それより少し短いチップ１１２は１５．７４３ｍｍ（図６に示した長さＢ）の有効長さをもつように計画されている。ウェーハ１００の上にチップ１２および１１２に対応する種々のチップセットを作るとき、これらの長さは、個々のチップの有効端の境界を定めるＶ形エッチング溝の存在によって限定される。ウェーハ１００の溝１０６または１０８は、チップの有効端を限定するほか、切断刃（たとえば、ダイヤモンド刃）が個々のチップを作るためウェーハ１００を切断する場所の役目を果たすことが意図されている。
【００２１】
ウェーハ１００内の長いチップ１２より短いチップ１１２の相対的な数は、一般に、チップアレイに取り付けたあと、どれくらいの数のチップを交換する必要があるか経験的な研究に基づいて選定することができる。
【００２２】
図７および図８は、本発明に係る典型的なチップ１２，１１２のそれぞれの平面図である。各ケースにおいて、２４８個の繰り返し構造（この場合は、最大で６３．５μｍのピッチだけ離れているフォトサイト）１４がチップ上に設けられている。図７に示した基本的全長のチップ１２の場合、各フォトサイト１４はチップ１２の全長にわたって６３．５μｍの中心間距離だけ離れており、線形アレイの端のフォトサイトは前記ピッチの１／２すなわち３１．７５μｍだけチップの端から離れている。一般に、複数のチップ１２を突き合わせて全ページ幅アレイを作る場合でも、この繰り返し構造の配置により、一様なピッチ間隔が維持されるであろう。すなわち、端のフォトサイトの短いピッチが隣接するチップの端のフォトサイトの短いピッチに加わり、同じ６３．５μｍ  のピッチになる。
【００２３】
図８に示した短いチップ１１２の場合は、同様にチップの端の間に２４８個のフォトサイトが設けられている。しかし、意義深いことに、チップの両端に向かう最後の５個のフォトサイトは、隣接するフォトサイトの中心が６３．５μｍの通常ピッチで配置されておらず、少し寄せられて６３．０μｍのピッチで配置されているが、２４８個のフォトサイトの大部分については、６３．５μｍの通常ピッチが維持されている。このようにチップの両端で５個の端フォトサイトを寄せる目的は、チップ１２の１５．７４８ｍｍとは異なり、２４８個の適度に一様に間隔をおいて配置されたフォトサイトを少し短い１５．７４３ｍｍのチップ１１２の中に詰め込むためである。実際問題として、このように各チップにフォトサイトの比較的少さい部分集合を限定して詰めても、そのチップによるイメージの記録または生成にそれほど有害ではない。チップ１１２のような短いチップは、必要な短縮化を一組の繰り返し構造の全体にわたって分散させ、チップ１１２の端から端まで一様なピッチを維持することができる考えられる。しかし、チップの両端の所でチップの小さい部分集合のみを詰めても、満足できる結果が得られることが判った。それどころか、チップの端にあるフォトサイトの代わりに、中間のフォトサイトに向かって短いピッチにすることもできるであろう。
【００２４】
上に述べたように、チップ１２または１１２の有効長さは基本的に個々のチップを作るためウェーハ１００にエッチングされた主Ｖ形溝の間隔で決まる。ウェーハ１００を個々のチップをダイシングするとき切断刃のガイドの役目を果たす上記の溝は、この分野で知られたフォトリソグラフ・エッチングによってウェーハ１００上に極めて高い精度で配置することができる。本発明に従って、短いチップ１１２の両端のＶ形溝は故意に標準チップ１２の対応するＶ形溝より狭い間隔で配置される。しかし、ダイシング工程おいて、機械的切断刃の作用はチップ１２または１１２の意図した長さが不確定になる原因を与える。この不正確さは統計的手法で考慮に入れることができる。
【００２５】
図９は、たとえばウェーハ１００から機械的にダイシングしたチップの実際に測定した長さの分布を示すグラフの例である。図示のように、図７に示したチップ１２について決められた長さのチップの分布を示す分布（１２）は、そのモードが１５．７４８ｍｍの意図した長さのまわりに中心を置く正規分布である。図８に示したチップ１１２の実際の長さの分布に対応する分布曲線（１１２）は、同様にそのモードが１５．７４３ｍｍの最適の長さのまわりに中心を置く正規分布である。ここでは、両チップ１２と１１２に同じ機械的ダイシング工程が実施され、その結果各分布について同じ統計的分散が生じるものと仮定しているが、それぞれの分布曲線の実際の形状は最終的に機械的ダイシング工程の精度によって決まるであろう。
【００２６】
本発明によれば、フォトリソグラフ法によってウェーハに形成されたエッチングしたＶ形溝の場所に対応する長いチップ１２および短いチップ１１２に対するそれぞれのモードは、実際の長いチップと短いチップの正規分布が与えられたとして、短いチップの上方（上位側）３σ（標準偏差）が長いチップの分布の下方（下位側）３σより大きくないように選定すべきである。所望モードの選定は、本質的に、特定の機械的ダイシング技術で作られるチップ長さの分散に依存しており、そのモードの選定が、長いチップ及び短いチップのためのＶ形溝の意図した間隔を決定する。
【００２７】
短いチップの上方３σを長いチップの場合の分布の下方３σに等しいか、それ以下にすべきである特別の理由は、１つの意図した長さのチップが存在する基本的なケースでも、モードから３σ以上逸脱しているチップはチップアレイ内のチップの間隔を破壊し過ぎるので、いずれにせよ廃棄されるからである。図９に示すように、長いチップのモードと短いチップのモードを分離することによって、少なくともモードから３σ以上ずれているという理由で、最少限度の数のチップを廃棄すれば済む。
【００２８】
以上、開示した構造に関して説明したが、本発明は説明した詳細に限定されるものではなく、特許請求の範囲に入ると思われるすべての修正物または変更物を包含するものとする。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板上に突き合わせたシリコンチップが取り付けられている、全ページ幅フォトセンサアレイまたはインクジェット印字ヘッドなどに使用されるチップアレイの斜視図である。
【図２】基板が凸状そりをもつ作業面に押しつけられた状態のチップアレイの正面図である。
【図３】基板から取外し中のチップを示すチップアレイの平面図である。
【図４】本発明の一特徴による工程を示すチップアレイの正面図である。
【図５】基板から取外し中のチップを示すチップアレイの平面図である。
【図６】本発明の方法に従って作られたウェーハを示す平面図である。
【図７】本発明の一特徴に従って作られた相対的に長いチップの平面図である。
【図８】本発明の一特徴に従って作られた相対的に短いチップの平面図である。
【図９】本発明の一特徴に従って作られた相対的に長いチップと短いチップの統計的分布を示すグラフである。
【符号の説明】
１０  基板
１２ａ〜１２ｚ  突き合わせたシリコンチップ
１３  バックカット
１４  一組の繰り返し構造
１６  接着剤のビード
２０  工具
３０ａ，３０ｂ  ソーカット
３２ａ，３２ｂ  遊離した部分
１００  シリコンウェーハ
１０２  長いチップ１２の集合
１０４  短いチップ１１２の集合
１０６，１０８  エッチング溝
１１２  短いチップ
【図１】
0003745016.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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