(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの天井面に配された格子状の天井フレームにファンフィルタユニットを間引きして配置するとともに、その間引き部分に通気性を有する半閉止板を配置したクリーンルーム設備の天井構造において、
前記半閉止板の上方位置に踏抜防止板を配置するとともに、該踏抜防止板を前記ファンフィルタユニット間に掛け渡して設置したことを特徴とするクリーンルームの天井構造。
【請求項２】
前記踏抜防止板は、エキスパンドメタル、パンチングメタル又は井桁で構成されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの天井構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルームの天井構造に係り、特に半導体製造工場等のように高清浄度を必要とするクリーンルームの天井構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンルームの天井面には、複数のファンフィルタユニット（以下『ＦＦＵ』という。）が設置されており、このＦＦＵによって天井裏空間のエアが浄化されてクリーンルーム内に供給される。
【０００３】
しかし、ＦＦＵは必ずしも天井面全てに設置されるのではなく、設備コストやランニングコストを低減するため間引きして設置されるのが一般的である。この場合、清浄化前のエアが室内に流入するのを防ぐため、間引き空間には閉止板を設置するようにしている。
【０００４】
しかしながら、このように間引き空間に閉止板を設置すると、閉止板の下方に渦流が発生し、この領域の塵埃が滞留して室内の清浄度が低下するという不具合を生じる。
【０００５】
そこで、間引き空間に通気性を有する半閉止板（たとえば多孔板）を設置し、その半閉止板を介して室内のエアの一部を天井裏空間に逆流させることで渦流の発生を抑制する方法が採用されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、クリーンルームは、フィルタの交換など定期的にメンテナンスを行う必要があり、この場合は作業者が天井裏に上ってメンテナンス作業を行うようにしている。このとき、天井裏空間には通路も何もないため、作業者は天井フレーム等を足掛かりとして天井裏空間を移動し、メンテナンス作業を行うようにしているが、半閉止板はＦＦＵに比べて強度が弱いため、作業者が誤って足を踏み外し、半閉止板上に足を踏み込むと、半閉止板が天井から抜け落ちて、作業者が落下する危険性がある。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、作業者が天井裏で安全に作業ができるクリーンルームの天井構造を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために、クリーンルームの天井面に配された格子状の天井フレームにファンフィルタユニットを間引きして配置するとともに、その間引き部分に通気性を有する半閉止板を配置したクリーンルーム設備の天井構造において、前記半閉止板の上方位置に踏抜防止板を配置するとともに、該踏抜防止板を前記ファンフィルタユニット間に掛け渡して設置したことを特徴とするクリーンルームの天井構造を提供する。
【０００９】
本発明によれば、作業者が半閉止板の上方で足を踏み外した場合であっても、半閉止板の上方には踏抜防止板がファンフィルタユニット間に掛け渡して配置されているので、作業者が半閉止板を踏み込むことはない。したがって、半閉止板が抜け落ちて、作業者が天井裏から落下することもない。これにより、作業者は安全に天井裏でメンテナンス等の作業を行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って、まず、本発明に属さない形態のクリーンルームの天井構造を説明した後に、本発明に係るクリーンルームの天井構造の好ましい実施形態について説明する。
【００１１】
図１〜図５は本発明に属さない形態のクリーンルームの天井構造を示している。図１はクリーンルーム設備１０の全体構成図である。同図に示すように、クリーンルーム１２の天井面１６には、格子状の天井フレーム３６が複数の吊りボルト１３、１３…により吊設されており、この天井フレーム３６に複数台のＦＦＵ１４、１４…が配設されている。そして、このＦＦＵ１４によってクリーンルーム１２内に清浄エアが供給され、クリーンルーム１２内の塵埃とともにグレーチング床１８から床下空間２０に吸い込まれる。
【００１２】
床下空間２０に吸い込まれたエアの一部は、ドライコイル２１で冷却されたのちリターン空間２２を通って天井裏空間２４に戻され、他の一部は排気ダクト３４により外部へと排気される。また、他の一部は還気ダクト２６を介して空調機２８に送られ、外気取り込みダクト３０から取り込まれた新鮮空気と混合されて所定の温湿度に調整されたのち、給気ダクト３２を介して天井裏空間２４に給気される。そして、このように天井裏空間２４に送られたエアは、ＦＦＵ１４により再び浄化されてクリーンルーム１２内へと供給される。
【００１３】
図２はクリーンルーム１２の天井裏空間２４の構成を示す斜視図である。同図に示すように、格子状に形成された天井フレーム３６の格子空間にはＦＦＵ１４が間引きして配設されている。ＦＦＵ１４は、主としてケーシング、ファン及びフィルタから構成されており、ファンを駆動することにより天井裏空間２４に給気された空調エアをケーシング内に吸引し、ＨＥＰＡフィルタを介してクリーンルーム１２内に吹き出すように構成されている。
【００１４】
一方、ＦＦＵ１４を間引きした部分には半閉止板３８が設置されている。半閉止板３８は、天井裏空間２４とクリーンルーム１２との間に通気性を有するものが使用され、たとえば多孔板やエアフィルタ等が用いられている。そして、この半閉止板３８の上方には、作業者が天井裏空間２４に上った際に足場にできるように踏抜防止板４０が配置されている。
【００１５】
踏抜防止板４０は、図３及び図４に示すように、矩形の板状に形成されており、補強用の桟４０Ａ、４０Ａがクロスして取り付けられている。この踏抜防止板４０は、半閉止板３８の中央部分を覆うようにして天井フレーム３６に掛け渡して設置されており、その天井フレーム３６に固定されている。
【００１６】
図５は踏抜防止板４０の固定部の構造を示す断面図である。同図に示すように、踏抜防止板４０は、天井フレーム３６とともに吊りボルト１３に固定されている。この吊りボルト１３は、先端部分にネジ部１３Ａが形成されており、このネジ部１３Ａに踏抜防止板４０に形成された取付穴４０Ｂを挿通させるとともに、天井フレーム３６に形成された取付穴３６Ｂを挿通させ、そのネジ部１３Ａに螺合させた一対のナット４２、４２で上下から締め付けることにより、踏抜防止板４０を天井フレーム３６とともに吊りボルト１３に固定する。
【００１７】
以上のようにして踏抜防止板４０の少なくとも４か所を天井フレーム３６に固定し、踏抜防止板４０を天井フレーム３６に取り付ける。
【００１８】
なお、吊りボルト１３に固定された天井フレーム３６の下端部にはボルト部３６Ａが一体に形成されており、このボルト部３６Ａには支持フレーム４４がナット４６を介して取り付けられる。この支持フレーム４４は天井フレーム３６よりも幅広に形成されており、この支持フレーム４４の上面部にＦＦＵ１４又は踏抜防止板４０が載置されて、ＦＦＵ１４又は踏抜防止板４０が天井フレーム３６に取り付けられる。
【００１９】
図６、図７は、それぞれ本発明に係るクリーンルームの天井構造の実施形態の要部構成を示す平面図と側面断面図である。
【００２０】
上述した本発明に属さない形態では、踏抜防止板４０を天井フレーム３６に掛け渡して設置し、その天井フレーム３６に固定して取り付けているが、本実施の形態では、踏抜防止板４０を隣り合うＦＦＵ１４、１４に掛け渡して設置し、そのＦＦＵ１４、１４に固定して取り付ける。この場合において、踏抜防止板４０は、半閉止板３８の中央部分を覆うようにしてＦＦＵ１４、１４に掛け渡し、少なくとも四隅をＦＦＵ１４、１４にボルト４８、４８、…で固定して取り付ける。
【００２１】
なお、本実施の形態の踏抜防止板４０は、図６に示すように、矩形の板状に形成されており、補強用の桟４０Ａ、４０Ａ、…が一定の間隔をもって取り付けられている。
【００２２】
前記のごとく構成された本実施の形態のクリーンルームの天井構造によれば、たとえばメンテナンス等のために天井裏空間２４で作業を行っている作業者が、半閉止板３８の上方で足を踏み外した場合であっても、半閉止板３８の上方には踏抜防止板４０が設置されているので、作業者が半閉止板３８を踏み込むことはない。したがって、半閉止板３８が抜け落ちて、作業者が天井裏から落下することもない。これにより、作業者は安全に天井裏空間２４でメンテナンス等の作業を行うことができる。
【００２３】
踏抜防止板４０は井桁状に形成されたものを用いてもよく、この他エキスパンドメタルやパンチングメタルを用いてもよい。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、半閉止板の上方に踏抜防止板をファンフィルタユニット間に掛け渡して設置することにより、作業者が半閉止板を踏み、天井裏から落下するのを防止できる。これにより、作業者は安全に天井裏空間で作業を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に属さない形態のクリーンルーム設備の全体構成図
【図２】  本発明に属さない形態のクリーンルームの天井裏空間の構成を示す斜視図
【図３】  本発明に属さない形態のクリーンルームの天井構造の要部の構成を示す平面図
【図４】  本発明に属さない形態のクリーンルームの天井構造の要部の構成を示す側面断面図
【図５】  本発明に属さない形態の踏抜防止板の固定部の構造を示す断面図
【図６】  本発明に係るクリーンルームの天井構造の実施形態の要部構成を示す平面図
【図７】  本発明に係るクリーンルームの天井構造の実施形態の要部構成を示す側面断面図
【符号の説明】
１０…クリーンルーム設備、１２…クリーンルーム、１３…吊りボルト、１４…ＦＦＵ、１６…天井面、１８…グレーチング床、２０…床下空間、２１…ドライコイル、２４…天井裏空間、２６…還気ダクト、２８…空調機、３０…外気取り込みダクト、３２…給気ダクト、３４…排気ダクト、３６…天井フレーム、３８…半閉止板、４０…踏抜防止板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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