(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
切換弁(１２)によって高圧ガス室(１６)と低圧ガス室(１８)とに切り換え接続される蓄冷器(１,２)と、この蓄冷器(１,２)に先端部が連通されたパルス管(３,４)と、上記パルス管(３,４)の先端部に設けられた冷却ステージ(２４,２５)を有するパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造であって、
本体に取り付けられると共に、上記蓄冷器(１)およびパルス管(３,４)の基端部が挿通される貫通穴(３１,３２,３３)が形成され、上記蓄冷器(１)およびパルス管(３,４)の基端部が、この基端部の端が上記貫通穴(３１,３２,３３)を通過するように上記貫通穴(３１,３２,３３)に挿通されて取り付け固定されたシリンダフランジ(８)と、
少なくとも上記蓄冷器(１)の基端部における内側を埋め且つ穴（３７）を有して、上記蓄冷器(１)の基端部を介して上記シリンダフランジ(８)に一体に取り付け固定されたプラグ(３８)を備え、
上記シリンダフランジ(８)と上記蓄冷器(１)の基端部と上記プラグ(３８)とを一体化させて上記シリンダフランジ(８)の剛性を高め、作動ガス圧の脈動に起因する上記シリンダフランジ(８)の変形を抑制する
ことを特徴とするパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造。
【請求項２】
請求項１に記載のパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造において、
上記パルス管(３,４)の基端部における内側を埋め且つ穴(４０)を有して、上記パルス管(３,４)の基端部を介して上記シリンダフランジ(８)に一体に取り付け固定されたプラグ(４１)を備えた
ことを特徴とするパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造。
【請求項３】
切換弁(１２)によって高圧ガス室(１６)と低圧ガス室(１８)とに切り換え接続される蓄冷器(１,２)と、この蓄冷器(１,２)に先端部が連通されたパルス管(３,４)と、上記パルス管(３,４)の先端部に設けられた冷却ステージ(２４,２５)を有するパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造であって、
本体に取り付けられると共に、上記蓄冷器(１)の基端部が挿通される貫通穴(３１)が形成され、上記蓄冷器(１)の基端部が、この基端部の端が上記貫通穴(３１)を通過するように上記貫通穴(３１)に挿通されて取り付け固定されたシリンダフランジ(８)と、
上記蓄冷器(１)の基端部における内側を埋め且つ穴(３７)を有して、上記蓄冷器(１)の基端部を介して上記シリンダフランジ(８)に一体に取り付け固定されたプラグ(３８)を備え、
上記シリンダフランジ(８)における上記パルス管(３,４)の取り付け面には、上記パルス管(３,４)の基端が嵌合する溝が設けられると共に、上記溝で囲まれた領域には穴が形成されており、
上記パルス管(３,４)は、上記シリンダフランジ(８)の溝に上記基端が嵌合されることによって、上記シリンダフランジ(８)に取り付け固定されて、
上記シリンダフランジ(８)と上記蓄冷器(１)およびパルス管(３,４)の基端部と上記プラグ(３８)とを一体化させて上記シリンダフランジ(８)の剛性を高め、作動ガス圧の脈動に起因する上記シリンダフランジ(８)の変形を抑制する
ことを特徴とするパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、パルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、冷凍機として、特開２００１‐２６３８４０号公報に開示されているようなパルス管冷凍機がある。このパルス管冷凍機は、低温部に、ギフォードマクマホン型冷凍機のディスプレーサのような可動部分が無く構造が簡単で、振動の少ない冷凍機として期待されている。
【０００３】
上記パルス管冷凍機は、蓄冷器とパルス管とを有している。そして、上記蓄冷器の高温端は、高圧側バルブによって圧縮機の吐出口に接続される一方、低圧側バルブによって上記圧縮機の吸入口に接続されている。そして、この蓄冷器の低温端部には、上記パルス管の低温端部が接続されており、上記パルス管の高温端部にはオリフィスを介してバッファタンクが接続されている。
【０００４】
上記構成において、上記低圧側バルブが閉鎖される一方、上記高圧側バルブが開放されると、上記圧縮機から高圧の作動ガス(ヘリウムガス等)が蓄冷器に導入されて蓄冷材と熱交換を行いつつ低温端部に至り、パルス管の低温端部に流入する。そうすると、既にパルス管に存在している作動ガスが、新たに流入した作動ガスによって押されて高温端側に移動する。その結果、上記パルス管内の圧力が上記バッファタンク内の圧力よりも高くなって、作動ガスがオリフィスを通ってバッファタンク内に流入する。
【０００５】
次に、上記高圧側バルブが閉鎖される一方、低圧側バルブが開放されると、上記蓄冷器の高温端側の作動ガスが上記圧縮機に吸入され、それに連れてパルス管内の作動ガスが蓄冷器の低温端側に流れ込み、蓄冷材を冷却して温度上昇しつつ高温端側に移動し、圧縮機の吸入口に戻る。その際に、上記バッファタンク内の作動ガスがオリフィスを通ってパルス管内に戻る。
【０００６】
こうして、上記パルス管内で作動ガスの圧縮・膨張が繰り返され、その際における断熱膨張によって冷熱が発生して上記蓄冷器の低温端に設けられた冷却ステージが３０Ｋ〜８０Ｋ程度に冷却される。また、上記蓄冷器を２段に構成し、各段夫々の蓄冷器を異なるパルス管に接続した場合には、２段目の蓄冷器の冷却ステージが１０Ｋ以下に冷却される。さらに、上記２段目の蓄冷器の低温端側に極低温においても大きな比熱を有する磁性材料を用いた場合には、４Ｋ以下に冷却される。
【０００７】
上述したように、上記従来のパルス管冷凍機においては、パルス管内に上記ディスプレーサのような可動部分は無い。したがって、振動が少なく、光学機器等の精密機器の冷却に用いられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のパルス管冷凍機には、以下のような問題がある。
【０００９】
図４は、上述したような構成を有する従来のパルス管冷凍機における蓄冷器とパルス管との取り付け構造の一例を示す。上記蓄冷器を構成する蓄冷器シリンダ１０１の高温端および上記パルス管を構成するパルス管シリンダ１０２の高温端は、シリンダフランジ１０３に形成された両シリンダ１０１,１０２の外直径と略同一の内径を有する穴１０４,１０５内に挿通されて、溶接等によって固着されている。
【００１０】
そして、上記パルス管シリンダ１０２内では、流入・排出される作動ガスによって圧力が低圧と高圧との間で脈動する。したがって、パルス管シリンダ１０２内での圧力変動に同期してシリンダフランジ１０３が変形し、それによってパルス管シリンダ１０２の低温端に設けられた冷却ステージ(図示せず)が振動するという問題がある。また、上述したように上記蓄冷器を２段に構成し、各段夫々の蓄冷器を異なるパルス管シリンダに接続した場合には、シリンダフランジ１０３には上記複数のパルス管シリンダを加えた３つ以上のシリンダが接続・固定されることになり、シリンダフランジ１０３の剛性が更に低下するために上記シリンダフランジ１０３の変形がより大きくなる。
【００１１】
上述したような上記冷却ステージの振動は、上記ディスプレーサの可動に起因する振動に比べて小さいとは言うもののさらに小さいに越したことは無く、さらに小さくすることによって、冷却対象となる光学機器による計測精度の更なる向上を図ることができるのである。
【００１２】
そこで、この発明の目的は、シリンダフランジの変形を抑制して、冷却ステージの振動をより少なくできるパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、
切換弁によって高圧ガス室と低圧ガス室とに切り換え接続される蓄冷器と、この蓄冷器に先端部が連通されたパルス管と、上記パルス管の先端部に設けられた冷却ステージを有するパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造であって、
本体に取り付けられると共に、上記蓄冷器およびパルス管の基端部が挿通される貫通穴が形成され、上記蓄冷器およびパルス管の基端部が、この基端部の端が上記貫通穴を通過するように上記貫通穴に挿通されて取り付け固定されたシリンダフランジと、
少なくとも上記蓄冷器の基端部における内側を埋め且つ穴を有して、上記蓄冷器の基端部を介して上記シリンダフランジに一体に取り付け固定されたプラグを備え、
上記シリンダフランジと上記蓄冷器の基端部と上記プラグとを一体化させて上記シリンダフランジの剛性を高め、作動ガス圧の脈動に起因する上記シリンダフランジの変形を抑制する
ことを特徴としている。
【００１４】
上記構成によれば、少なくとも蓄冷器の基端部には、内側を埋め且つ穴を有するプラグが設けられ、上記蓄冷器の基端部を介して上記シリンダフランジに一体に取り付け固定されている。したがって、上記シリンダフランジの剛性が上記プラグがない場合よりも大きくなって、上記シリンダフランジに取り付けられたパルス管内におけるガス圧の脈動に起因する上記シリンダフランジの周期的な変形が低減される。こうして、上記パルス管の先端部に設けられた冷却ステージの振動が防止される。
【００１５】
さらに、上記シリンダフランジに上記蓄冷器を取り付け固定した後に上記蓄冷器の基端部が上記プラグによって塞がれる。したがって、上記シリンダフランジに上記蓄冷器を取り付け固定した後に上記蓄冷器内に蓄冷材を充填することが可能になり、上記シリンダフランジに上記蓄冷器を取り付け固定する際における上記蓄冷材に対する熱的影響が無くなる。
【００１６】
また、請求項２に係る発明は、
請求項１に係る発明のパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造において、
上記パルス管の基端部における内側を埋め且つ穴を有して、上記パルス管の基端部を介して上記シリンダフランジに一体に取り付け固定されたプラグを備えた
ことを特徴としている。
【００１７】
上記構成によれば、上記パルス管の基端部には、内側を埋め且つ穴を有するプラグが設けられ、上記パルス管の基端部を介して上記シリンダフランジに一体に取り付け固定されている。したがって、上記シリンダフランジの剛性が上記請求項１に係る発明の場合よりも大きくなって、上記シリンダフランジの周期的変形がさらに低減される。
【００１８】
また、請求項３に係る発明は、
切換弁によって高圧ガス室と低圧ガス室とに切り換え接続される蓄冷器と、この蓄冷器に先端部が連通されたパルス管と、上記パルス管の先端部に設けられた冷却ステージを有するパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造であって、
本体に取り付けられると共に、上記蓄冷器の基端部が挿通される貫通穴が形成され、上記蓄冷器の基端部が、この基端部の端が上記貫通穴を通過するように上記貫通穴に挿通されて取り付け固定されたシリンダフランジと、
上記蓄冷器の基端部における内側を埋め且つ穴を有して、上記蓄冷器の基端部を介して上記シリンダフランジに一体に取り付け固定されたプラグを備え、
上記シリンダフランジにおける上記パルス管の取り付け面には、上記パルス管の基端が嵌合する溝が設けられると共に、上記溝で囲まれた領域には穴が形成されており、
上記パルス管は、上記シリンダフランジの溝に上記基端が嵌合されることによって、上記シリンダフランジに取り付け固定されて、
上記シリンダフランジと上記蓄冷器およびパルス管の基端部と上記プラグとを一体化させて上記シリンダフランジの剛性を高め、作動ガス圧の脈動に起因する上記シリンダフランジの変形を抑制する
ことを特徴としている。
【００１９】
上記構成によれば、上記パルス管の基端部は、上記シリンダフランジに設けられた溝に嵌合されて取り付け固定されている。したがって、上記シリンダフランジには上記パルス管の基端部が挿入される穴は形成されてはおらず、上記シリンダフランジの剛性が上記請求項１および請求項２に係る発明の場合よりも大きくなって、上記シリンダフランジの周期的変形がより防止される。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。図１は、本実施の形態のパルス管冷凍機の蓄冷管取り付け構造が適用されているパルス管冷凍機における断面図である。
【００２１】
このパルス管冷凍機は、第１蓄冷器１と、この第１蓄冷器１の先端部に連通して直列に設けられた第２蓄冷器２と、先端が連通管５によって第１蓄冷器１の先端部に連通された第１パルス管３と、先端が連通管６によって第２蓄冷器２の先端部に連通された第２パルス管４とを有している。そして、第１蓄冷器１,第１パルス管３および第２パルス管４の基端部は、バルブ室７の端面に取り付けられたシリンダフランジ８に挿入されて固定されており、バルブ室７はモータ室９に固定されている。ここで、第１蓄冷器１内にはメッシュ状の蓄冷材１０(一部のみ図示)が積層されて充填され、第２蓄冷器２内には球状の蓄冷材１１(一部のみ図示)が積層されて充填されている。
【００２２】
上記バルブ室７には、ロータとステータとで構成される切換弁１２が設けられており、モータ室９に設けられた駆動モータ１３によって切換弁１２の上記ロータを回転駆動することによって、第１蓄冷器１の基端部が、通路１４を介して、導入口１５を有する高圧室１６と排出口１７を有する低圧室１８とに切り換え連通される。尚、駆動モータ１３は高圧室１６内に収納されており、導入口１５は圧縮機１９の吐出口に接続されており、排出口１７は圧縮機１９の吸入口に接続されている。
【００２３】
また、上記第１パルス管３の基端部は、第１流路抵抗２０が介設された流路によって通路１４に連通されている。更に、第１パルス管３の基端部は、第２流路抵抗２１が介設された流路によってバッファタンク２２に連通されている。尚、図１では省略されているが、第２パルス管４の基端部も同様に、流路抵抗が介設された流路によって通路１４とバッファタンク２２とに連通されている。
【００２４】
上記構成を有するパルス管冷凍機は、上記駆動モータ１３によって切換弁１２を回転して、第１蓄冷器１の基端部を高圧室１６と低圧室１８とに切り換え接続することによって、上記従来のパルス管冷凍機の場合と同様にして、第１パルス管３内で作動ガスが圧縮と膨張とを繰り返し、その際における断熱膨張によって発生する冷熱によって、第１蓄冷器１の先端部に設けられたシールド冷却ステージ２３および第１パルス管３の先端部に設けられた冷却ステージ２４が３０Ｋ〜８０Ｋ程度に冷却される。
【００２５】
さらに、本パルス管冷凍機の蓄冷器は２段に構成されているため、上記高圧室１６から第１蓄冷器１内に導入された高圧作動ガスは、第１蓄冷器１の先端から第２蓄冷器２の基端部に導入される。そして、第２蓄冷器２の蓄冷材１１と熱交換を行いつつ先端部に至り、連通管６を通って第２パルス管４の先端部に流入する。そうすると、既に第２パルス管４に存在している作動ガスが、新たに流入した作動ガスによって押されて基端側に移動し始める。同時に、第１流路抵抗を通って第２パルス管４の基端部に作動ガスが流入し、第２パルス管４の先端部から流入する作動ガスが抑制される。その結果、作動ガスの移動のタイミングが第２パルス管４内における圧力変化のタイミングに対して遅れる。その後、第２パルス管４内の圧力がバッファタンク２２内の圧力よりも高くなって基端側の作動ガスが第２流路抵抗を通ってバッファタンク２２内に流入し、第２パルス管４内の作動ガスが基端側に移動する。
【００２６】
次に、上記第１蓄冷器１が低圧室１８に切り換え接続されると、上記第１蓄冷器１内の減圧に伴って第２蓄冷器２内の作動ガスが第１蓄冷器１に吸入され始める。そうすると、既に第２パルス管４に存在している作動ガスが、第２蓄冷器２に吸入され、第２パルス管４内の作動ガスが低温端側に移動し始める。同時に、第１流路抵抗を通って第２パルス管４の基端側の作動ガスが流出し、第２パルス管４の先端部から流出する作動ガスが抑制される。その後、バッファタンク２２内の作動ガスが第２流路抵抗を通って第２パルス管４内に戻ると共に、第２パルス管４内の作動ガスが第２蓄冷器２の低温端側に流れ込み、蓄冷材１１を冷却して温度上昇しつつ高温端側に移動し、第１蓄冷器１を介して圧縮機１９の吸入口に戻る。
【００２７】
こうして、上記第２パルス管４内において、第１パルス管３によって３０Ｋ〜８０Ｋ程度に冷却された作動ガスの圧縮・膨張が繰り返され、その際における断熱膨張によって発生した冷熱によって、第２パルス管４の先端部に設けられた冷却ステージ２５が４Ｋ程度に冷却されるのである。
【００２８】
図２は、上記第１蓄冷器１,第１パルス管３および第２パルス管４のシリンダフランジ８への取り付け構造の一例を示す。第１蓄冷器１の蓄冷器シリンダ３４,第１パルス管３のパルス管シリンダ３５および第２パルス管４のパルス管シリンダ３６における高温端は、図３に示すように、シリンダフランジ８に形成された各シリンダ３４,３５,３６の外直径と略同一の内直径を有する穴３１,３２,３３内に挿通されて、溶接等によって固着されている。そして、蓄冷器シリンダ３４内には、メッシュ状の蓄冷材１０が積層されて充填される。
【００２９】
そうした後に、上記蓄冷器シリンダ３４の開口には、蓄冷器シリンダ３４の内直径と略同一の外直径を有すると共に、中央にはバルブ室７に形成された通路１４に連通する孔３７が設けられた第１プラグ３８が嵌合され、冷し嵌めやネジ止めによって取り付け固定される。また、パルス管シリンダ３５の開口には、パルス管シリンダ３５の内直径と略同一の外直径を有すると共に、中央にはバルブ室７に形成された流路抵抗用の流路３９に連通する孔４０が設けられた第２プラグ４１が嵌合され、冷し嵌めやネジ止めによって取り付け固定される。同様に、図示してはいないが、パルス管シリンダ３６の開口には、第２プラグ４１と同様の第３プラグが嵌合されて、冷し嵌めやネジ止め等によって取り付け固定されている。
【００３０】
このようにして、上記シリンダフランジ８に形成された蓄冷器シリンダ３４およびパルス管シリンダ３５,３６を挿通するための３つの穴３１,３２,３３を、蓄冷器シリンダ３４およびパルス管シリンダ３５,３６と、小孔３７,４０(２つのみ図示)が形成された３つの第１,第２,第３プラブ３８,４１(２つのみ図示)とで、蓋すると共に冷し嵌めによって一体化することによって、シリンダフランジ８の剛性を高めるのである。したがって、パルス管シリンダ３５,３６内での圧力の脈動に起因するシリンダフランジ８の変形が抑制されるのである。
【００３１】
以上のごとく、本実施の形態においては、上記蓄冷器シリンダ３４およびパルス管シリンダ３５,３６における高温端を、シリンダフランジ８に形成された各シリンダ３４,３５,３６用の穴３１,３２,３３に挿通し、冷し嵌めによって固着している。そして、蓄冷器シリンダ３４内には、メッシュ状の蓄冷材１０を充填した後、蓄冷器シリンダ３４およびパルス管シリンダ３５,３６の開口には、バルブ室７の通路に連通する孔が設けられたプラグ３８,４１(２つのみ図示)を嵌合し、冷し嵌めやネジ止め等によって取り付け固定している。
【００３２】
したがって、上記シリンダフランジ８の剛性を上げることができ、蓄冷器シリンダ３４およびパルス管シリンダ３５,３６内での圧力の脈動に起因するシリンダフランジ８の変形を抑制でき、冷却ステージ２５の振動を防止することができるのである。また、蓄冷器シリンダ３４の高温端をシリンダフランジ８に固着した後に、蓄冷器シリンダ３４内に蓄冷材１０を充填することができる。したがって、冷し嵌め時における蓄冷材１０に対する熱的影響をなくすことができる。また、プラグ３８,４１をネジ止めによって固定した場合には、プラグ３８を取り外して蓄冷材１０を交換することが可能になり、メンテナンスが容易に行えるようになる。
【００３３】
すなわち、本実施の形態におけるパルス管冷凍機によれば、上記冷却ステージ２５の振動を従来のパルス管冷凍機よりも小さくすることができ、冷却ステージ２５に取り付けられる光学機器等の精密機器に対する振動の影響を小さくして、上記精密機器による計測精度を従来のパルス管冷凍機よりも大幅に向上できるのである。
【００３４】
尚、上記実施の形態においては、上記蓄冷器シリンダ３４,パルス管シリンダ３５およびパルス管シリンダ３６の総てをプラグで塞ぐようにしているが、必ずしもその必要はない。上記シリンダをプラグで塞ぐのは、シリンダフランジ８に上記シリンダを取り付け固定した後に、シリンダ内に蓄冷材を挿入充填する必要があるからである。したがって、元々蓄冷材を充填する必要がないパルス管シリンダ３５,３６は、必ずしもプラグで塞ぐ必要はないのである。
【００３５】
そこで、上記パルス管シリンダ３５,３６の場合の取り付け構造を、以下のようにすることによって、シリンダフランジ８の剛性を更に上げることができるのである。すなわち、シリンダフランジ８におけるパルス管シリンダ３５,３６を取り付ける箇所に、パルス管シリンダ３５,３６の高温端が嵌合される円形の溝を形成し、その中央部にはバルブ室７に形成された流路抵抗用の流路３９に連通する孔を設ける。そして、パルス管シリンダ３５,３６の高温端をシリンダフランジ８に形成された上記円形の溝に嵌合し、溶接によって固定するのである。こうすることによって、シリンダフランジ８には、蓄冷器シリンダ３４を挿通するための１つの穴のみを形成すればよく、シリンダフランジ８の剛性を更に上げることができるのである。
【００３６】
【発明の効果】
以上より明らかなように、請求項１に係る発明のパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造は、シリンダフランジに基端部がその端が貫通穴を通過するように上記貫通穴に挿通されて取り付け固定された少なくとも蓄冷器の基端部には、内側を埋め且つ穴を有するプラグを設けて、上記蓄冷器の基端部を介して上記シリンダフランジに一体に取り付け固定したので、上記シリンダフランジの剛性を上記プラグがない場合よりも大きくできる。したがって、上記シリンダフランジに取り付けられたパルス管内におけるガス圧の脈動に起因する上記シリンダフランジの変形を防止することができ、上記パルス管の先端部に設けられた冷却ステージの振動を防止することができる。
【００３７】
さらに、上記シリンダフランジに上記蓄冷器を取り付け固定した後に上記蓄冷器の基端部を上記プラグによって塞ぐので、上記シリンダフランジに上記蓄冷器を取り付け固定した後に、上記蓄冷器内に蓄冷材を充填することができる。したがって、上記シリンダフランジに上記蓄冷器を取り付け固定する際における上記蓄冷材に対する熱的影響を無くすことができる。
【００３８】
すなわち、この発明によれば、光学機器等の精密機器の冷却に最適なパルス管冷凍機を提供できるのである。
【００３９】
また、請求項２に係る発明のパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造は、上記シリンダフランジに基端部が取り付け固定されたパルス管の基端部には、内側を埋め且つ穴を有するプラグが設けられ、上記パルス管の基端部を介して上記シリンダフランジに一体に取り付け固定されている。したがって、上記シリンダフランジの剛性を上記請求項１に係る発明の場合よりも大きくして、上記冷却ステージの変形をさらに防止することができる。
【００４０】
また、請求項３に係る発明のパルス管冷凍機の蓄冷器取り付け構造は、上記パルス管の基端部を、上記シリンダフランジに設けられた溝に嵌合して取り付け固定している。したがって、上記シリンダフランジに上記パルス管の基端部を挿入するための穴を形成する必要が無く、上記シリンダフランジの剛性を上記請求項１および請求項２に係る発明の場合よりも大きくして、上記冷却ステージの変形をより防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明のパルス管冷凍機の蓄冷管取り付け構造が適用されたパルス管冷凍機における断面図である。
【図２】  図１における第１蓄冷器,第１パルス管および第２パルス管のシリンダフランジへの取り付け構造の一例を示す図である。
【図３】  図１におけるシリンダフランジの平面図である。
【図４】  従来のパルス管冷凍機における蓄冷器とパルス管との取り付け構造の一例を示す図である。
【符号の説明】
１…第１蓄冷器、
２…第２蓄冷器、
３…第１パルス管、
４…第２パルス管、
５,６…連通管、
８…シリンダフランジ、
１０,１１…蓄冷材、
１２…切換弁、
１３…駆動モータ、
１６…高圧室、
１８…低圧室、
１９…圧縮機、
２０,２１…流路抵抗、
２２…バッファタンク、
２４,２５…冷却ステージ、
３１,３２,３３…穴、
３４…蓄冷器シリンダ、
３５,３６…パルス管シリンダ、
３８,４１…プラグ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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