(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
架台と、印刷テーブルと、印刷用スクリーン及び該スクリーン上を移動するスキージを含む印刷部とを備えたスクリーン印刷機において、
前記架台が前記印刷テーブルを支持する下部架台と、該下部架台の上面に固定されて前記印刷部を支持する上部架台とからなり、
前記下部架台が熱膨張係数１０−５／℃以下の石材からなる石定盤であり、
前記スクリーンの側方は前記上部架台で囲み、前記スクリーンの上方は気密カバーで気密化し、前記スクリーンの下方に印刷動作時のみ開いて通常時は閉鎖するスクリーン下方シャッタを設けたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子デバイス、ディスプレイ製造用のスクリーン印刷機に係り、とくに電子部品用の誘電体や磁性体の未焼成シート（以下、グリーンシートという）、半導体ウエハへのバンプ印刷、ガラス基板への被印刷物の印刷（ＰＤＰ関係）、電子回路基板への導体ペースト印刷等の用途に好適なスクリーン印刷機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
(1)  従来、この種のスクリーン印刷機の架台構造は、角型鋼管を溶接した骨組み構造のフレームに厚さ１０〜２０mm程度の鉄もしくはアルミ合金製のベース板をボルトにて締結している。ベース板上には印刷テーブル移動用の軸受を支持するブロック、印刷ヘッド部全体を保持するスタンド、画像処理用カメラを支持するブラケット（いずれも鉄、アルミ合金等の金属製部品の組み合わせ）が取り付けられている。
【０００３】
この従来架台構造では、構造用角型鋼管を箱状に組み合わせ溶接しているため、溶接接合部の残留応力や、平面加工仕上げによるベース板取付面の残留応力等の影響で、経年変化による、架台フレームの変形（歪み）が問題となる。
【０００４】
架台フレームの変形は、フレームに取り付けたベース板の平面度を変化させるので、ベース板上に取り付けられた支持ブラケットの姿勢（基準理想面に対する真直度や、位置関係）が各々変化し、最終的には、▲１▼印刷テーブルのワーク載置面、▲２▼印刷用スクリーン面、▲３▼スキージ先端の軌跡面、の三つの平面の平行度が変化する問題が生じる。
【０００５】
(2)  従来、ワーク（被印刷体）を載置する印刷テーブルは、エアシリンダにより駆動され、印刷位置と画像処理位置を移動する。両端部ではショックアブソーバにて減速し、衝撃吸収する。停止位置は位置決めボルトにより規制されるメカニカルストップ方式である。
【０００６】
印刷テーブルの移動をエアシリンダで実行する場合、移動ストローク内の細かな加減速制御が不可能である。また、移動時間短縮のため最大速度を増加すると十分な減速がとれず、停止時に衝撃が発生してしまう。
【０００７】
通常のサーボモータとボールネジ構成の場合、停止保持時外力が作用するとモータがその力に対抗しようとするため、微少パルス分のテーブル動作となって現れてしまい、完全な停止位置保持は不可能である。
【０００８】
(3)  印刷用テーブルのＸ，Ｙ，θ方向の補正を行うための補正テーブルは、従来、Ｘ，Ｙ，θ各々の方向に移動可能な移動プレートを階層的に３段積み重ねて構成されている。各プレートは一方向のみに移動可能な軸受によって支持され、サーボモータ等によって駆動、制御される。
【０００９】
補正テーブルの補正動作時のテーブル上面の平行度は、各移動プレートの平面度、平行度、及び各軸受動作の真直度の影響を受け、各々の誤差が累積された値となる。そのため、テーブル上面の平行度を高精度に保つには、三つの移動プレートの加工精度及び各軸受の運動精度を高精度にする必要がある。また、３段重ねの構造のため、下部の軸機構ほど負荷重量が大きくなり、高速で精密な動作制御が難しくなる。高速、精密動作を実現するには、駆動モーターの大容量化、軸受部品及び移動プレートの剛性向上等が必要となり、全体構成の小型化が困難となる。さらに、印刷テーブル面までの高さが高くなるので、補正テーブルユニット据付け面の平面度（平行性）の影響が増幅されて現われる。
【００１０】
(4)  従来のスクリーン印刷におけるスクリーンギャップ調整は、ダイヤルゲージを取り付けた測定治具を用いて作業者が測定していた。スクリーン中央部に置かれた円形の硝子板の表面で零点調整をし、その後硝子板を印刷テーブルに押し付け、変位を読み取りスクリーンギャップとしていた。この場合、治具である硝子板の寸法、重量が統一されていないので、測定条件が一定とは言えず、データの相関が取れない。さらに、測定作業の段取りが必要で、稼働中（印刷用スクリーン上にペーストがある状態）の測定ができない問題がある。
【００１１】
(5)  従来のスクリーン平行調整は、組み立て時に製版取り付け部の製版受けブロックの高さをダイヤルゲージ等の測定器具を用いて測定し、現合加工調整を行うことにより印刷テーブルとスクリーン面の平行を調整している。
【００１２】
スクリーン面の反対面を版枠の取付け基準面として製版取付け板に固定し、その状態で設備の製版受けブロックに載せて固定していたが、従来のこの方法だと版枠の厚み精度がスクリーン面と印刷テーブルの平行度に加算されてしまい、版枠の加工精度に左右されてしまう。さらに、設備稼動時には、測定も調整も不可能である。
【００１３】
(6)  従来のスキージ平行調整は、図９（Ａ）,（Ｂ）のように、印刷ステージ５５（印刷テーブルの上部）左右に埋め込まれた荷重値測定用の２個のロードセル９０上にスキージ７２を載せ印圧をかけて、左右の荷重バランスを測定し、荷重の指示値が左右等しくなるようにスキージホルダー調整している。
【００１４】
この場合、左右のロードセルのセンサーヘッド高さは印刷テーブル上面より等しい高さになるように組み立て時に現合調整されるが、組み立て、測定の誤差（公差）がスキージ平行の測定に影響する。
【００１５】
また、スキージはウレタン製のため、荷重により変形を生じる。従来の方法で測定できるのは荷重であるため、スキージ素材内での硬度バラツキがあった場合、等しい荷重値を示していたとしても、スキージのエッジと印刷テーブル面が平行とはならない。
【００１６】
さらに、変形量が荷重に対してリニア（線形）な変化とはならないため、測定時の印圧が異なると指示値が変わる可能性がある。
【００１７】
上記構成に近い技術として特開２０００−６２１３９号公報がある。
【００１８】
(7)  従来、スクリーン印刷機の雰囲気制御については、とくに配慮がなかった。つまり、スクリーン印刷機の印刷部周辺の雰囲気は特別に意識されることがなかったので、設備周囲の環境と区別されることはなかった。
【００１９】
この場合、スクリーン上に供給されたペーストは時間経過とともに揮発性の溶剤成分が揮発して、粘度が変化したり、雰囲気中の酸素により酸化して化学的組成が変化するため、同じ印刷条件で印刷を行っても、ペースト供給直後と供給直前とでは印刷結果が異なる場合がある。
【００２０】
(8)  ワーク（被印刷体）がグリーンシート等の基板であるときのローダ／アンローダについて、従来は、前工程にて所定の寸法のカード状に切断されたグリーンシート等の基板は工程移動用の収納マガジンに段積みされて供給される。マガジンごと機械にセットされた基板は供給用ハンドによってスクリーン印刷機の印刷部に搬送され印刷される。印刷後は、排出用ハンドによって印刷機に連結している乾燥炉等に搬送され、乾燥後再び収納マガジンに段積みされて次工程へ流される。
【００２１】
この場合、前工程作業（切断）等で混入する切断カスやシートのかけら、また工程移動時の雰囲気中のパーティクル等の異物がグリーンシート等の基板に付着して印刷機に供給されることにより、印刷されたパターンにカスレやカケの欠陥が生じる問題がある。
【００２２】
電子部品の小型化により、印刷パターンの微細化（細線化）、印刷膜厚の薄層化が進んでいるため、従来は問題とならなかった大きさの異物の付着も印刷の欠陥として現れるようになり、製品の歩留まり低下となってしまう。
【００２３】
従来の収納マガジンではグリーンシート等の基板が直接他の基板の上に段積みされるため、他の基板の裏面が印刷面に接触してしまい、異物が混入、付着した場合に取り除くのが困難である。また、周囲の環境に対し開放しているため、工程間の移動や一時保管の間に異物が付着する可能性が大きくなってしまう問題もある。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の目的は、上記の点に鑑み、周囲温度による熱膨張変化や経時変化の少ない架台構造として、高精度のスクリーン印刷を可能としたスクリーン印刷機を提供することにある。
【００２５】
本発明の第２の目的は、印刷機本体のクリーンエアユニット化を図るとともに、気密ポッド使用によるワークの供給、排出を可能として印刷品質の向上を図ったスクリーン印刷機を提供することにある。
【００２６】
本発明の第３の目的は、印刷用スクリーンやスキージの平行調整の精度向上を図り、ひいては印刷品質の向上が可能なスクリーン印刷機を提供することにある。
【００２７】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【００２８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明に係るスクリーン印刷機は、架台と、印刷テーブルと、印刷用スクリーン及び該スクリーン上を移動するスキージを含む印刷部とを備えた構成において、
前記架台が前記印刷テーブルを支持する下部架台と、該下部架台の上面に固定されて前記印刷部を支持する上部架台とからなり、
前記下部架台が熱膨張係数１０−５／℃以下の石材からなる石定盤であり、
前記スクリーンの側方は前記上部架台で囲み、前記スクリーンの上方は気密カバーで気密化し、前記スクリーンの下方に印刷動作時のみ開いて通常時は閉鎖するスクリーン下方シャッタを設けたことを特徴としている。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るスクリーン印刷機の実施の形態を図面に従って説明する。
【００３６】
図１乃至図６は本発明に係るスクリーン印刷機の実施の形態であって全体構成を示す。これらの図において、１は装置全体を囲む筐体であり、この筐体１は脚２により床面Ｆ上に設置されている。この筐体１内には印刷機本体３及びローダ／アンローダ用ロボット４が設置されている。筐体１の上面には図２のようにエアフィルタユニット（ＨＥＰＡフィルタユニット）５が設置されており、筐体内部に清浄エアが導入されている。つまり、筐体１はクリーンルームと実質同様の機能を持っている。
【００３７】
筐体１の左側面外側には、ゲート口（筐体内部に連通する開閉口）を有するチェンジャー（クリーン搬送ロードポート）６が設置され、ここに基板搬送用密閉型ポッド１０を載置してゲート口を開くことで、密閉型ポッド１０内部空間と筐体１内部とを連通させるようになっている。そして、前記ローダ／アンローダ用ロボット４はそのゲート口の開いた連通状態にて密閉型ポッド１０内部の多段の棚に支持された基板（例えば、グリーンシート等）を印刷機本体３（後述の印刷部４０）に供給する動作、あるいは印刷後の基板を密閉型ポッド１０に戻す動作を実行する。なお、密閉型ポッド１０内部空間と筐体１内部とを連通させる必要があるとき以外は、ゲート口は閉じており、筐体１内は清浄エア雰囲気に保たれている。
【００３８】
前記印刷機本体３は、下部架台３１及び上部架台３２を有しており、石材（黒御影石）を切削加工にて一体成形した石定盤からなる下部架台３１と、鋳鉄製、又は溶接後焼鈍処理を行い残留応力、加工応力を除去した角型鋼管溶接構造の上部架台３２を組み合わせている。
【００３９】
前記下部架台３１用の石材は、熱膨張係数１０−５／℃以下の石材からなる石定盤であり、具体的には、通称、黒御影石と呼ばれる火成岩で、熱膨張係数が７.９８〜９.１０×１０−６／℃、化学組成がＳｉＯ２の重量％で４５％以上の深成岩を使用する。本実施の形態では、中でもＳｉＯ２重量％が６５〜７７％の範囲にある花崗岩を採用した。下部架台３１上に上部架台３２取付け面や印刷テーブル移動用の軸受取付け面を直接形成している。画像処理カメラ３３の支持ブラケット３４は上部架台３２に直接取り付け、固着している。
【００４０】
なお、熱膨張係数が１０−５／℃より大きい石材を下部架台として用いることは、炭素鋼等に対する優位性がなくなるため好ましくない。前記石材として特に好ましい材質として、ＳｉＯ２重量％が６５〜７７％の範囲にある花崗岩としたのは、比較的組成が限定されていて、石材としてばらつきが少ないからである。
【００４１】
上部架台３２の内側及び上部に印刷ヘッド４２等を有する印刷部４０が組み立てられており、印刷部４０は上部架台３２の上側を覆う気密カバー４３で覆われている。なお、印刷部４０の側方は上部架台３２で囲まれている。
【００４２】
前記印刷テーブル４１は、図３のように下部架台３１上に設置されたスライドレール５０により下部架台３１の上面に平行な面内で横方向（図１の左右方向）に移動するベーステーブル５１を有し、その上にＸ，Ｙ，θ方向に移動自在な補正テーブル５２が取り付けられ、補正テーブル５２の移動プレート５３上に印刷テーブル本体５４が固定されている。
【００４３】
前記印刷テーブル４１は画像処理位置と印刷位置間で移動自在であり、印刷テーブル４１全体の移動、つまりベーステーブル５１の移動は、サーボモータとボールネジで実行される。すなわち、サーボモータで回転駆動されるボールネジは下部架台の上面に平行に軸支され、ボールネジに螺合するボールネジナットとベーステーブル５１は一定のクリアランスを有するジョイントにて連結されている。画像処理カメラ３３による画像処理のための画像処理位置に対応した移動端及び印刷位置に対応した移動端ではエアシリンダ駆動のクランプカム（メカニカルクランプ）により、ベーステーブル５１は引き寄せられて固定される。停止位置は位置決めボルトにより規制されるメカニカルストップ方式とする。クランプカムの引き寄せ量を前記ジョイント部分のクリアランス量よりも小さく設定することにより、クランプ時にサーボモータに過負荷を与えること無く確実にベーステーブル５１を停止保持できる。
【００４４】
ベーステーブル５１上に搭載された補正テーブル５２は、移動プレート５３を１枚のみの構成として、Ｘ，Ｙ，θ全方向に移動可能な軸受にて支持した。移動プレート５３にはＸ方向１軸、Ｙ方向２軸の合計３軸のサーボモータが取り付けられており、Ｘ，Ｙ，θ全方向の動きが制御されるようになっている。
【００４５】
なお、前記印刷テーブル本体５４には、図７及び図８のように、ワークとしてのグリーンシート、半導体やガラス等の基板を搭載する印刷ステージ５５が一体化されている。印刷ステージ５５の上面がワーク載置面となる。
【００４６】
図７のように、印刷用スクリーン６０の版枠６１は、上部架台３２に設けられた製版受け部６２で支持される。ここで、スクリーン６０と印刷テーブル本体５４の平行調整のために、印刷テーブル４１側に複数箇所（最少３箇所、本例では４箇所）非接触レーザー変位計２０を取り付け、これらの非接触レーザー変位計により、スクリーン下方より直接スクリーン面までの距離を測定できるようにしている。そして、各々の変位計２０の指示値が等しくなるよう、製版受け部６２に設けられた調整機構で各製版受け部６２の版枠支持高さを変化させてスクリーンの平行調整を行う。
【００４７】
図７及び図８のように、印刷ヘッド４２は、下部架台３１の上面に平行な面内でかつ上部架台３２に対して図１の紙面に垂直な方向に摺動自在に取り付けられた印刷ヘッド本体７０と、これに対して昇降自在（下部架台３１の上面に垂直方向に移動自在）なスキージホルダー７１と、これにより保持されるスキージ７２とを備えている。前記スキージホルダー７１はガイド軸７３によって印刷ヘッド本体７０に対して昇降自在に案内されかつエアシリンダ７４にて昇降駆動される。スキージ７２の取付部７２ａの幅方向中央位置は、スキージホルダー７１の幅方向中央位置に支点軸となるピン７５で揺動自在に枢支されている。スキージホルダー７１片側の端部には、サーボモータを使用したリニアアクチュエータ７６にて駆動される調整用のプッシュロッド７７がスキージの取付部７２ａの一端を押し下げるように取り付けられ、スキージホルダー７１の反対側の端部とスキージの取付部７２ａ間にバックアップスプリング７８（圧縮ばね）が設置されている。これらはスキージ左右方向の平行調整を行えるようにするための機構である。
【００４８】
さらに、図８（Ａ）のスキージ正面及び同図（Ｂ）のスキージ側面を示す図のように、スキージ７２左右端において印刷テーブル４１の印刷ステージ５５上面からスキージ７２のエッジまでの距離が測定できるように、印刷テーブル４１に２組の平行光リニアセンサー８０を設置している。各平行光リニアセンサー８０は投光側センサー８０ａと受光側センサー８０ｂとの組み合わせとなっている。これにより、印刷テーブル面（印刷ステージ５５上面）とスキージ先端のエッジのギャップ量が非接触で測定できるため、印圧やスキージ硬度等の他のパラメータの影響を受けることなく測定ができる。
【００４９】
従って、スキージ７２左右端での印刷ステージ５５上面とスキージ先端のエッジ間のギャップ量を平行光リニアセンサー８０で測定しながら前記リニアアクチュエータ７６で調整用のプッシュロッド７７を駆動することでスキージ平行調整が可能である。つまり、測定したギャップデータに従いプッシュロッド７７を移動させ、スキージ７２両端のギャップ量が等しくなるまでフィードバック制御が行われ、ステージ面との平行が出た後にロックボルト７９にてスキージの取付部７２ａのスキージホルダー７１への固定を行う。
【００５０】
前述のように、印刷機本体３を囲むように筐体１を設け、筐体１内にはエアフィルタユニット５を通して清浄エアが導入されるようになっているが、さらに、印刷機本体３の印刷部４０の上側を気密カバー４３で覆っている。そして、製版受け部６２にスクリーン下方シャッターを設けている。
【００５１】
これにより、スクリーン６０の上方は気密カバー４３で気密化し、スクリーン側方は上部架台３２で囲み、スクリーン６０の下方は、スクリーン下方シャッターで印刷動作時のみ開いて通常時は閉鎖することにより、スクリーン６０の印刷パターン孔を通じて周囲の雰囲気が侵入してこないようにして、印刷部４０の気密化を行い、その中の環境を一定の状態に保つことが出来るようにしている。
【００５２】
なお、筐体１の外側前面には、操作パネル７０や画像処理カメラ３３の撮像画像等を表示する画像処理モニタ７１が設置されている。
【００５３】
本実施の形態の全体動作を説明すると、筐体１の左側面外側に設置されたチェンジャー（クリーン搬送ロードポート）６に、印刷前の基板（例えば、グリーンシート等）を収容した基板搬送用密閉型ポッド１０を載置し、前記チェンジャー６のゲート口を開き、密閉型ポッド１０の内部空間と筐体１内部とを連通させ、ローダ／アンローダ用ロボット４にてゲート口の開いた連通状態にて密閉型ポッド１０内部の多段の棚に支持された基板を印刷機本体３（後述の印刷部４０）の印刷テーブル４１上（つまり印刷ステージ５５上）に移載する。このとき、印刷テーブル４１は画像処理位置であり、基板移載後に必要な画像処理を実行する。
【００５４】
前記画像処理によってＸ，Ｙ，θ方向の補正量を算出して印刷テーブル４１側に組み込まれた補正テーブル５２にて印刷テーブル本体５４のＸ，Ｙ，θ方向の位置補正を行い、その後、印刷テーブル４１をスクリーン６０下方の印刷位置に移動し、ここでスキージ７２を下降させてスクリーン６０を基板に押し付けながら動かすことでスクリーン６０上に供給された印刷用ペーストをスクリーンの印刷パターン孔を通して基板上に印刷する。
【００５５】
基板印刷処理後、印刷テーブル４１は画像処理位置に戻り、その上の印刷済み基板をローダ／アンローダ用ロボット４で保持してゲート口の開いた連通状態にて密閉型ポッド１０内部の多段の棚に印刷済み基板を移載する。
【００５６】
この実施の形態によれば、次の通りの効果を得ることができる。
【００５７】
(1)  石材（黒御影石）を切削加工にて一体成形した石定盤の下部架台３１と、鋳鉄製、又は溶接後焼鈍処理を行い残留応力、加工応力を除去した角型鋼管溶接構造の上部架台３２を組み合わせた架台構造であり、周囲温度変化や経年変化が少なく、印刷テーブル４１の面（印刷ステージ５５の上面）、スクリーン６０の面、スキージ７２先端の軌跡面、の三つの平面の平行度を維持でき、高精度のスクリーン印刷が可能である。例えば、下部架台３１用の石材として、熱膨張係数が７.９８〜９.１０×１０−６／℃、化学組成がＳｉＯ２の重量％で４５％以上の深成岩、とくにＳｉＯ２重量％が６５〜７７％の範囲にある花崗岩を採用すれば、効果が大きい。以下の表１に下部架台として花崗岩を用いた本実施の形態と炭素鋼を用いた比較例を示す（但し、常温での測定結果）。
【００５８】
【表１】
0003829642.tif 000002
この表１でリニアガイドは印刷テーブル４１を支持する印刷テーブル移動用軸受を構成するものである。この表１から、リニアガイド取付面精度及び印刷テーブルの真直度共に本実施の形態が格段に優れていることが判る。
【００５９】
(2)  印刷機本体３を清浄エアが供給されているクリーン雰囲気に保たれた筐体１内に配置することで、筐体内部をグリーンシート等のワークが移動する際のパーティクル等の異物がワークに付着して印刷品質を損なうことを防止できる。また、外部から筐体内部へのワークの供給を多段棚を持つ密閉型ポッド１０を使用して行うことで、前工程作業（切断）等で混入する切断カスやシート等のかけら、さらには工程移動時のパーティクル等の異物がワークに付着することを未然に防止し、従って印刷されたパターンにカスレやカケの欠陥が生じることを防止できる。
【００６０】
電子部品の小型化により、印刷パターンの微細化（細線化）、印刷膜厚の薄層化が進んでいるため、従来は問題とならなかった大きさの異物の付着も印刷の欠陥として現れるようになり、製品の歩留まり低下となってしまうが、本実施の形態の構成とすることで、印刷機本体３は全体を密閉式カバーとして機能する筐体１で覆いエアフィルタユニット５にて筐体内部の環境（クリーン度）を良好に管理し、さらに外部の雰囲気を遮断できる密閉型ポッド１０に収納されたグリーンシート等のワークはポッド１０ごと筐体１に接続されて、印刷機に備え付けられたローダ／アンローダ用ロボット４のロボットアームにより外部の雰囲気にさらされることなく印刷部に供給される。印刷後、グリーンシート等のワークは再び前記ロボットアームにてポッド１０へ排出され、その後ポッドは筐体１より切り離され、次工程の乾燥炉等へ搬送される。このように、印刷パターンの微細化（細線化）、印刷膜厚の薄層化に対応した高品質のスクリーン印刷が可能である。
【００６１】
(3)  スクリーン６０上部を気密カバー４３にて覆い、かつ下方はシャッターで印刷時以外は閉じるようにして、スクリーン６０上に供給された印刷用ペースト周辺の雰囲気を周囲の環境と区別できるように気密化を図っている。これにより、スクリーン上方及び印刷パターン孔を通じて周囲の雰囲気が侵入してこないようにすることができ、揮発性の溶剤成分が揮発することによるペーストの粘度変化や雰囲気中の酸素により酸化して化学的組成が変化することを防止できる。
【００６２】
(4)  印刷テーブル４１に複数（最少３個、本例では４個）取り付けた非接触レーザー変位計２０により、スクリーン下方より直接スクリーン面までの距離を測定できるようにしたので、印刷テーブル４１の印刷テーブル本体５４とスクリーン６０の平行度調整を高精度で実行できる。
【００６３】
(5)  スキージ７２の左右端において印刷テーブル面からスキージのエッジまでの距離が測定できるように印刷テーブル４１に２組の平行光リニアセンサー８０を設置したので、印刷テーブル面とスキージ先端のエッジのギャップ量が非接触で測定できるため、印圧やスキージ硬度等の他のパラメータの影響を受けることなくギャップ測定ができる。そして、ギャップ測定量に従いスキージホルダー７１に揺動自在に支持されたスキージ７２を微少量揺動させることで印刷テーブル４１の印刷ステージ５５上面とスキージ７２との平行度調整を高精度で実行できる。
【００６４】
(6)  印刷テーブル４１を画像処理位置と印刷位置の間で移動させるが、駆動はサーボモータとボールネジ方式であり、印刷テーブル４１が移動停止後、停止位置にて更に別のメカニカルなクランプにより保持する。これにより、印刷時に印刷テーブル４１が動かないように確実に保持できる。
【００６５】
(7)  補正テーブル５２は移動プレートを１枚のみの構成として、Ｘ，Ｙ，θ全方向に移動可能な軸受にて支持した。移動プレートにはＸ方向１軸、Ｙ方向２軸の合計３軸のサーボモータが取り付けられており、Ｘ，Ｙ，θ全方向の動きが制御される。これにより、補正テーブル５２の小型化、ひいては、補正テーブル５２を組み込んだ印刷テーブル４１の全体構造の小型化を図ることができる。
【００６６】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００６７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、周囲温度による熱膨張変化や経時変化の少ない架台構造として、高精度のスクリーン印刷が可能であり、また、印刷機本体のクリーンエアユニット化や気密ポッド使用によるワークの供給、排出を可能として印刷品質の向上を図り、さらに印刷用スクリーンやスキージの平行調整の精度向上を図ることで、印刷品質の向上を図ったスクリーン印刷機を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るスクリーン印刷機の実施の形態を示す一部を透視した正面図である。
【図２】実施の形態の平面図である。
【図３】同じく一部を透視した右側面図である。
【図４】同じく一部を透視した左側面図である。
【図５】同じく一部を透視した背面図である。
【図６】同底面図である。
【図７】実施の形態における印刷部の構成を示す正断面図である。
【図８】実施の形態におけるスキージ平行測定のための構成を示す説明図である。
【図９】従来のスキージ平行測定のための構成を示す説明図である。
【符号の説明】
１  筐体
２  脚
３  印刷機本体
４  ローダ／アンローダ用ロボット
５  エアフィルタユニット
６  チェンジャー
１０  密閉型ポッド
２０  非接触レーザー変位計
３１  下部架台
３２  上部架台
３３  画像処理カメラ
４０  印刷部
４１  印刷テーブル
４２  印刷ヘッド
４３  気密カバー
５１  ベーステーブル
５２  補正テーブル
５５  印刷ステージ
６０  スクリーン
７０  印刷ヘッド本体
７１  スキージホルダー
７２  スキージ
７４  エアシリンダ
７５  ピン
７７  プッシュロッド
７８  バックアップスプリング
７９  ロックボルト
８０  平行光リニアセンサー
【図１】
0003829642.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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