(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより光記録媒体に片側だけを変調した溝を形成する光情報記録装置において、
上記一方のレーザービームを他方のレーザービームから離れる方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオンに制御し、上記一方のレーザービームを他方のレーザービームに近づく方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオフに制御する手段を設けたことを特徴とする光情報記録装置。
【請求項２】
請求項１記載の光情報記録装置において、
上記一方のレーザービームの制御を行うための上記光記録媒体上のアドレスを生成する片側ウオブリングアドレス生成部を設けたことを特徴とする光情報記録装置。
【請求項３】
変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせて順次光記録媒体に片側だけを変調した溝を形成し、上記溝により所望のデータを記録する光情報記録方法において、
上記一方のレーザービームを他方のレーザービームから離れる方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオンに制御し、上記一方のレーザービームを他方のレーザービームに近づく方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオフに制御するようにしたことを特徴とする光情報記録方法。
【請求項４】
変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより順次片側だけを変調した溝が形成され、上記溝により所望のデータが記録された光情報記録媒体において、
上記一方のレーザービームを他方のレーザービームから離れる方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオンに制御し、上記一方のレーザービームを他方のレーザービームに近づく方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオフに制御することにより溝が形成されることを特徴とする光情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光情報記録媒体、光情報記録装置及び光情報記録方法に関し、例えば、光磁気ディスク（ＭＯ）、コンパクトディスク（ＣＤ、ＣＤ−ＲＯＭ）やディジタルビデオディスク（ＤＶＤ）、及びこれらのディスクの記録方法、記録装置に適用することができる。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えばこの種の光情報記録媒体でなるコンパクトディスクの記録装置においては、記録に供するデータをデータ処理した後、ＥＦＭ（Eight-to-Fourteen Modulation）変調することにより、所定の基本周期Ｔに対して、周期３Ｔ〜１１Ｔのピット列が形成され、これによりオーディオデータ等が記録されるようになされている。
【０００３】
これに対応してコンパクトディスクプレイヤーは、コンパクトディスクにレーザービームを照射して戻り光を受光することにより、この戻り光の光量に応じて信号レベルが変化する再生信号を得、この再生信号を所定のスライスレベルにより２値化して２値化信号を生成する。さらにこの２値化信号よりＰＬＬ回路を駆動して再生クロックを生成すると共に、この再生クロックにより２値化信号を順次ラッチし、これによりコンパクトディスクに形成されたピット列に対応する周期３Ｔ〜１１Ｔの再生データを生成する。
【０００４】
コンパクトディスクプレイヤーは、このようにして生成した再生データを記録時のデータ処理に対応するデータ処理により復号し、コンパクトディスクに記録されたオーディオデータ等を再生するようになされている。
【０００５】
ところで近年、このようなコンパクトディスクを高密度記録して高転送レートで再生することが一般的になっている。高密度記録及び高転送レートを実現させるため、ディスクのランドおよびグルーブに共にピットを形成してデータを記録するランドグルーブ記録フォーマットが用いられるようになった。ランドグルーブ記録フォーマットを用いることにより、狭トラックピッチ化を図ることができ、これにより、ディスクの記録容量を増やすことができる。
【０００６】
また、ランドグルーブ記録フォーマットを用いることにより、ディスクにアドレス情報を記録する際に、隣り合うランドとグルーブとで同じアドレスを記録しておいて同じアドレスで記録したデータを読み出せるように片側だけをウオブリングさせていた。高転送レートの再生装置においては、例えばコンパクトディスクを所定の回転数の８倍以上で回転させることにより高速でデータを再生するものである。このような高転送レートの再生装置では、同じ量のデータを通常よりも遥かに短時間で得ることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、図１１に示すように、ディスク作成時において２ビームによるスポット２０１、２０２を用いてグルーブ上にカッティングを行うが、上述した片側ウオブリングを行う際に、一方のウオブル（蛇行）しているビームのスポット２０２が他方のウオブルしないビームのスポット２０１に漏れ込まないように２つのビームの間隔やレーザーパワーを高い精度で調整しなければならない。このために、決められたグルーブ幅に対する必要な２つのビームの間隔から、カッティングに用いるレーザービームのサイズを求めるようにしていた。しかしながら、図１２に示すように、２つのレーザービーム２０５（ＬＡ０，ＬＢ０）はビーム強度分布２０７（ＳＡ０，ＳＢ０，加算分布Ｓ０）を有していて、ディスクカッティング方向２０４における露光スレッショルド２０６（ＴＨ）等のディスクが露光される条件との組み合わせでグルーブ（溝）２０３の幅（ＷＡ０〜ＷＢ０）が決まってくる。これらで調整されたビーム間隔と光強度が求められても、２つのビームのうちの一方の側のビームをウオブリングさせてアドレス情報を記録する際に、ウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されてしまい、本来変調されないはずの他方の側のグルーブまでオフセットの影響を受けて変調されてしまうため、再生時にオフセット信号が重畳されるので、精度のよいアドレス情報の再生を行うことができないという不都合があった。
【０００８】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、２つのビームのうちの他方の側のビームへの一方の側のビームによるオフセットの影響が少なく、高密度記録においても安定に信号を復号することが可能な光情報記録媒体、光情報記録方法及び光情報記録装置を提案しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため本発明の光情報記録装置は、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより光記録媒体に片側だけを変調した溝を形成する光情報記録装置において、上記一方のレーザービームを他方のレーザービームから離れる方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオンに制御し、上記一方のレーザービームを他方のレーザービームに近づく方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオフに制御する手段を設けたものである。
【００１０】
また、本発明の光情報記録方法は、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせて順次光記録媒体に片側だけを変調した溝を形成し、上記溝により所望のデータを記録する光情報記録方法において、上記一方のレーザービームを他方のレーザービームから離れる方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオンに制御し、上記一方のレーザービームを他方のレーザービームに近づく方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオフに制御するようにしたものである。
【００１１】
また、本発明の光情報記録媒体は、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより順次片側だけを変調した溝が形成され、上記溝により所望のデータが記録された光情報記録媒体において、上記一方のレーザービームを他方のレーザービームから離れる方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオンに制御し、上記一方のレーザービームを他方のレーザービームに近づく方向にウオブルさせる際に該一方のレーザービームをオフに制御することにより溝が形成されるものである。
【００１２】
本発明の光情報記録装置によれば、以下の作用をする。
光情報記録装置において、一方のレーザービームは変調信号により溝の一方の側をウオブルする際にウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側の他方のレーザービームに一方の側のレーザービームの光強度が加算されることがないように作用する。これにより、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことが少なくなる。また、２ビームのうち一方のレーザービームにより溝の片側をウオブルすることにより、隣り合うランドとグルーブ（溝）とが共有アドレスになる。
【００１３】
本発明の光情報記録方法によれば、以下の作用をする。
光情報記録方法において、一方のレーザービームは変調信号により溝の一方の側をウオブルする際にウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがないように作用する。これにより、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことが少なくなる。また、２ビームのうち片側ウオブルをすることにより、隣り合うランドとグルーブとで共有アドレスを作ることができるので、情報記録の冗長度が低くなる。
【００１４】
本発明の光情報記録媒体によれば、以下の作用をする。
光情報記録媒体を製造する際において、一方のレーザービームは変調信号により溝の一方の側をウオブルする際にウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがないように作用する。これにより、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことを少なくすることができ、また、２ビームのうち片側ウオブルをすることにより、隣り合うランドとグルーブとで共有アドレスを作ることができるので、情報記録の冗長度を低くした光情報記録媒体となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、適宜図面を参照しながら本発明の実施の形態を詳述する。
【００１６】
図４は、本発明の実施の形態に係るディスクカッティング装置の構成を示すブロック図である。このディスクカッティング装置は、ガラス原盤１２１を露光して、信号源１２４から供給されるオーディオデータ等に基づいてフォーマッター１２４でフォーマットされた変調信号により露光用レーザ１０２を変調して記録するものである。光ディスクの製造工程では、このガラス原盤１２１を現像した後、電鋳処理することにより、マザーディスクを作成し、このマザーディスクよりスタンパーを作成する。さらに光ディスクの製造工程では、このようにして作成したスタンパーよりディスク状基板を作成し、このディスク状基板に反射膜、保護膜を形成してコンパクトディスクを作成する。以下、詳述する。
【００１７】
このディスクカッティング装置は、露光用のレーザビームを高速変調すると共に、十分な振幅で偏向できる光学系を有している。このディスクカッティング装置は、露光用の光源である露光用レーザ１０２から出射して光路を分離するビームスプリッタ１０３で分離されたレーザ光を、音響光学効果光変調器ＡＯＭ１０５により変調するための光路と、音響光学効果光変調器ＡＯＭ１１２により変調および偏向するための光路とを備えている。
【００１８】
このディスクカッティング装置でレーザ光を偏向しない場合には、露光用レーザ１０２から出射されたレーザ光は、固定光学定盤１００上に設置された反射鏡１１０で反射され、レンズ１１１で集光され、ＡＯＭ１１２で変調される。ＡＯＭ１１２で変調された後の拡散光は、レンズ１１３でコリメートされ、ビームスプリッタ１１４で反射され、１／４波長板１１５を透過して、移動光学定盤１０１上の偏向ビームスプリッタ１１６および１／４波長板１１７を透過してレンズ１１８で集光された後に対物レンズ１２０で集光されてガラス原盤１２１を露光する。なお、１／４波長板１１５、１１７は、光源側への戻り光を防ぐために設置されている。
【００１９】
また、このディスクカッティング装置でレーザ光を偏向する場合には、露光用レーザ１０２から出射したレーザ光は、固定光学定盤１００上に設置されたビームスプリッタ１０３で反射され、レンズ１０４で集光され、ＡＯＭ１０５で変調されると共に偏向される。このＡＯＭ１０５は、レンズ１０４の焦点面よりも光源側にずらして設置されている。具体的には、集光レンズ１０４の焦点距離が８０ｍｍであり、ＡＯＭ１０５は集光レンズ１０４の焦点面よりも１０ｍｍだけ光源側にずらして設置されている。
【００２０】
ＡＯＭ１０５で変調された後の拡散光は、レンズ１０６でコリメートされ、反射鏡１０７で反射され、移動光学定盤１０１上の反射鏡１０９および偏向ビームスプリッタ１１６で反射され、１／４波長板１１７を透過してレンズ１１８で集光された後に対物レンズ１２０で集光されてガラス原盤１２１を露光する。
また、ビームスプリッタ１１４では、ＡＯＭ１１２で変調されたレーザ光の一部がＣＣＤ１２２に導かれてモニタされる。
【００２１】
ここで、この実施の形態のディスクカッティング装置においては、音響光学効果光変調器ＡＯＭ１０５、１１２において露光用レーザ１０２を変調する変調信号を供給するものとして、信号源１２３からの信号に片側ウオブリングアドレス生成部１２５で生成された片側ウオブリングアドレスを付加してトラックフォーマットを生成するフォーマッター１２４を設けるようにしている。
【００２２】
ここで、片側ウオブリングアドレス生成部１２５は、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより光記録媒体に片側だけを変調した溝を形成するディスクカッティング装置において、オンまたはオフに制御する一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせる機能を有する。
また、片側ウオブリングアドレス生成部１２５は、上述のディスクカッティング装置において、オンまたはオフに制御する一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して離れる側にウオブルさせる機能を有する。
また、片側ウオブリングアドレス生成部１２５は、上述のディスクカッティング装置において、一方のレーザービームをオンまたはオフに制御する際に、レーザービームの光強度を段階的に強弱をつけて制御する機能を有する。
【００２３】
図５は、上述したディスクカッティング装置の移動光学定盤１０１上の光学系の側面図である。このように、レンズ１１８で集光された光は、反射光１１９により下方に反射され、対物レンズ１２０によりガラス原盤１２１上の集光点１２６に集光される。
なお、ガラス原盤１２１は、ターンテーブル上で所定の回転数で回転されるため、移動光学定盤１０１をガラス原盤１２１の半径方向に平行移動させることによりスパイラル状に露光される。
【００２４】
図６は、上述したディスクカッティング装置により作成される光ディスクの構造を説明する図である。図６Ａに示す光ディスク３１の信号記録領域３２には、光学的に透明なプラスチック製のディスク基板３３の一方の面（信号面）３４に、案内溝として用いられるグルーブ３５または連続したピット３８の列が、１〜２μｍ程度の所定のトラックピッチＰでスパイラル状に形成されている。図６Ｂはグルーブ３５の様子を、図６Ｃはピット３８の様子をそれぞれ示している。このグルーブ３５やピット３８の列は、光ディスク３１の半径方向に周期的に蛇行（ウオブリング）させて形成される場合もある。特に、本実施の形態においては、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより順次片側だけを変調した溝が形成され、溝により所望のデータが記録された光ディスクにおいて、オンまたはオフに制御する一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせることにより溝が形成されるものである。
【００２５】
記録可能な光ディスクである相変化型光ディスクや光磁気ディスクでは、マスタリング原盤から信号面３４に転写されて形成される凹凸形状の一方（例えばランド３６）が記録領域とされ、他方（例えばグルーブ３５）がトラッキング用の光反射領域とされるのが通常である。グルーブ３５やピット３８の列がウオブリングされて形成される場合には、その周期的な変化が光ディスク３１の全面でアドレス情報として用いられる。また、再生専用の光ディスクでは、信号面３４のピット３８の列が、記録領域およびトラッキング用回折格子として用いられるのが通常である。
【００２６】
なお、グルーブ３５が形成された信号面３４には、いずれも図示していない相変化膜あるいは磁性膜からなる記録層、光反射層、保護層なども形成される。
この光ディスク３１に信号を記録したり再生するときには、光ディスク３１を回転させながら、信号面３４の反対側の面である読み取り面３７に、光学ピックアップからレーザ光が照射される。光ディスク３１が記録可能な光ディスクであるときには、照射されたレーザ光によって、例えばランド３６の記録層に信号が光学的に書き込まれる。また、光ディスク３１に光学的に書き込まれた信号は、光ディスク３１から反射されたレーザ光によって読みとられる。
【００２７】
また、記録または再生用のレーザ光が常に所定のトラック上に照射されるように、例えばグルーブ３５からの反射光を検出してトラッキング制御が行われる。再生専用の光ディスクでは、読み取り面３７に照射されたレーザ光を、ピット３８の列が形成された信号面３４から反射・回折光として検出することにより、信号の読み取りとトラッキングが行われる。
光ディスクの信号面の凹凸形状は、記録媒体としての性能を左右するため、マスタリング原盤から光ディスク基板に高精度に転写されて形成されることが要求される。
【００２８】
図７は、光ディスクのマスタリング原盤を作成する工程の概略を示している。まず、図７Ａのような、表面が十分平坦に研磨されて洗浄された円形のガラス原盤４１（ガラス基板）が用意される。そして、図７Ｂのように、露光処理によってアルカリ可溶性となる露光材料（フォトレジスト４２）がガラス原盤４１上に塗布される。この塗布工程は、スピンナによる回転塗布法により行われるのが一般的であり、フォトレジスト層４２の厚さは０．１μｍ程度である。
【００２９】
次に、図７Ｃに示すように、信号記録用のレーザ光３１をレンズ３２で集光して、フォトレジスト層４２を露光する露光処理が行われる。このとき、ガラス原盤４１を回転させながらレーザ光４３を一回転あたり等距離ずつ半径方向に送ることにより、フォトレジスト層４２にグルーブの潜像４５を一定の距離（トラックピッチＰ）でスパイラル状に形成することができる。また、このときレーザ光４３を断続的に照射すれば、フォトレジスト層４２にピット列の潜像４５を同様に形成することができる。さらに、レーザ光４３の集光点を半径方向に周期的に偏向することにより、グルーブまたはピッチ列の潜像を蛇行（ウオブリング）させることができる。特に、本実施の形態においては、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせて順次光記録媒体に片側だけを変調した溝を形成し、溝により所望のデータを記録する光情報記録方法において、オンまたはオフに制御する一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせるようにしたものである。
【００３０】
ここで、使用される露光処理は、上述したレーザカッティング装置により行われ、ガラス原盤４１上のフォトレジスト層４２を露光して信号記録を行うためのレーザ光源、記録される信号に応じてレーザ光を変調するための光変調器、レーザ光をフォトレジスト層４２に集光するための光学系、ガラス原盤４１を回転させたり、露光位置を移動させるための光学定盤などにより行われる。
【００３１】
図８は、上述した露光処理（レーザカッティング）が施されたガラス原盤をアルカリ製現像液で現像して、フォトレジスト層４２の露光されてアルカリ可溶性に変化した部分を溶解除去する工程を示している。
【００３２】
図８Ａおよび図７Ｂは、いずれも現像処理されたガラス原盤４１の様子を例示している。図８Ａは、記録可能な光ディスクの原盤であり、フォトレジスト層４２が露光されて溶解除去されたグルーブ５２と、その間に残された凸部であるランド５１とがフォトレジスト層４２に半径方向に交互に形成される。また、図８Ｂは、再生専用の光ディスクの原盤であり、フォトレジスト層４２が露光されて溶解除去されたピット５３の連続した列が半径方向に繰り返して形成される。
【００３３】
次に、図８Ｃに示すように、現像処理されてフォトレジスト層４２に凹凸形状が形成されたガラス原盤４１上にＮｉめっきが施され、フォトレジスト層４２のグルーブ５２または連続したピット５３の列が転写されたスタンパ５４が作成される。
【００３４】
そして、図８Ｄに示すように、スタンパ５４の凹凸形状を射出成型法などにより光ディスクのプラスチック基板材料に転写して、グルーブ５２とランド５１またはピット５８の列を有するディスク基板（レプリカ基板３３）が作成される。
【００３５】
なお、記録可能な光ディスクのレプリカ基板３３には、グルーブ５２が形成された信号面３４上に、記録膜と反射膜および保護膜がさらに成膜される。また、再生専用の光ディスクのレプリカ基板３３には、ディスク基板３３のピット５３が形成された信号面３４上に、反射膜および保護膜がさらに成膜される。
【００３６】
上述した光ディスクの原盤を作成する際に、ガラス原盤４１上のフォトレジスト層４２の露光の有無を切り替える手段として、ＡＯＭ（Ａｃｏｕｓｔｏ−Ｏｐｔｉｃ  Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ：音響光学効果光変調器）が用いられる。また、フォトレジスト層４２の露光位置を光ディスクの半径方向に蛇行（ウオブリング）させるために露光用レーザ光を偏向する手段として、ＡＯＤ（Ａｃｏｕｓｔｏ−Ｏｐｔｉｃ  Ｄｅｆｌｅｃｔｏｒ：音響光学効果光偏向素子）が用いられる。このようなＡＯＭおよびＡＯＤの構造および動作原理を以下に説明する。
【００３７】
図９は、音響光学効果素子の構造と動作原理を示す図である。すなわち、光学結晶６５に取り付けられた超音波振動子６６を駆動することにより超音波６０が光学結晶６５に入射して伝搬すると、光学結晶６５の内部には超音波６０の波長と強度に応じた周期的な屈折率変化が生じて伝搬する。この周期的な屈折率変化の波により実質的に形成される格子間隔ｄの位相型回折格子に対して、ブラッグ回折条件を満たす角度θで入射した光はブラッグ回折される。なお、光学結晶６５中を伝搬した超音波６０は、図示しない超音波吸収材により吸収されるなどして、その反射による影響を生じないようにされている。
【００３８】
光学結晶６５でブラッグ回折される一次回折光６３の強度は、超音波６０の強度に依存する。つまり、超音波６０の強度が低いときには入射光６１の大部分は非回折光（透過光）６２となり、超音波６０の強度が高いときには入射光６１の大部分が一次回折光６３となる。
【００３９】
ＡＯＭは、この作用を利用するものであり、光学結晶６５に印加される超音波６０を断続することにより、一次回折光６３の有無を選択できる。すなわち、超音波振動子６６を記録信号に応じて断続的に駆動することにより超音波６０の強度を変調して、このときの光学結晶６５から出射する一次回折光６３を原盤露光用の光として用いれば、記録信号に応じたピット列を原盤上に露光形成することができる。なお、以下の説明では、ＡＯＭからの回折光の有無を制御することも含めて変調という。
【００４０】
また、光学結晶６５による回折角θは、超音波６０の周波数（キャリア周波数）に依存する。つまり、入射光６１の入射角を一定にしてキャリア周波数を変化させることにより、ブラッグ回折条件を満足する角度θで回折光が射出される。
【００４１】
ＡＯＤはこの作用を利用するものであり、光学結晶６５に印加される超音波６０の周波数を変化させることにより、一次回折光６３の出射方向を制御できる。すなわち、超音波振動子６６を駆動する周波数を周期的に変化させることにより超音波６０の周波数を周期的に変化させる。そして、これにより光学結晶６５から射出する一次回折光６３の方向を周期的に変化させる。この周期的に偏向する一次回折光６３を原盤露光用の光として用いれば、原盤上で露光形成されるグルーブやピット列をウオブリングさせることができる。
【００４２】
図１０は、音響光学効果素子の光学結晶中で、屈折率変化の波の周期が位置によって変化する様子を模式的に示す図である。
超音波振動子６６により印加される超音波６０の周波数（キャリア周波数）が一定であるときには、屈折率の波が光学結晶６５中に定常的に存在するため、一次回折光６３の出射方向は一義的に決定される。しかし、レーザ光を周期的に偏向させるためにキャリア周波数を時間的に変化させると、超音波６０が光学結晶６５中を伝搬して、光学結晶６５全体の屈折率の波の周期が別の周期に変化するために、ある時間を要する。すなわち、このときには光学結晶６５中の屈折率の波の周期が位置によって異なる。しかも、偏向速度（周波数）が高くなるほど光学結晶６５中で屈折率の変化が一定になる領域は狭くなる。
【００４３】
例えば、ある波長の入射光６１が通過する光学結晶６５の光路内に、間隔がｄ１の粗密波と間隔がｄ２の粗密波とが存在すると、図１０に示すように、光学結晶６５中には、格子間隔がｄ１である回折格子と格子間隔がｄ２である回折格子とが存在することに相当する。このため、格子間隔がｄ１である回折格子からはブラッグの回折条件を満足する回折角θ１で一次回折光６３が出射し、同様に、格子間隔がｄ２である回折格子からは回折角θ２で一次回折光６３が出射することになる。この現象がシリンドリカル効果である。
【００４４】
本実施の形態では、集光レンズとＡＯＭの配置を以下のようにしている。つまり、ＡＯＭ１０５を集光レンズの焦点位置から若干ずらして設置するようにしている。これにより、ＡＯＭ１０５に入射するレーザ光がレンズ１０４で集光されて小径であるので高速に変調することができ、同時にＡＯＭ１０５でレーザ光を偏向することもできる。
【００４５】
なお、原盤上でのグルーブまたはピット列のウオブリングの振幅が十分に必要であり、ウオブリングの周波数は低くてもよい場合には、ＡＯＭ１０５を集光用のレンズ１０４の焦点位置から光軸方向に大きくずらして設置すればよい。また、高速のウオブリングが必要であり、ウオブリングの振幅は小さくてもよい場合には、ＡＯＭ１０５を集光用レンズ１０４の焦点位置から近距離の位置に設置すればよい。
【００４６】
なお、上述したディスクカッティング装置を用いて、２本のレーザービームのうち、一方のレーザービームに対してウオブリングを形成するように変調制御して、他方のレーザービームを上述した変調器を経ない経路で変調をかけないようにすることにより、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより光記録媒体に片側だけを変調した溝を形成する光情報記録装置において、オンまたはオフに制御する一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせるように構成する。
【００４７】
すなわちこの光ディスクカッティング装置において、図示しないスピンドルモータは、ガラス原盤１２１を回転駆動し、底部に保持したＦＧ信号発生回路より、所定の回転角毎に信号レベルが立ち上がるＦＧ信号ＦＧを出力する。スピンドルサーボ回路は、ガラス原盤１２１の露光位置に応じて、このＦＧ信号ＦＧの周波数が所定の周波数になるようにスピンドルモータを駆動し、これによりガラス原盤１２１を所定の回転数になるように回転駆動する。尚、本実施の形態では、記録再生周波数を特定の半径領域ごとに区切り、記録再生のためのクロックをディスクのゾーンごとに変更するＺＣＡＶ（Zone Constant Angular Velocity）モードが使用されることが多いが、スピンドルモーターが常に一定回転数で回転する（ＣＡＶモードと呼ばれる）モードにも適用することができる。
【００４８】
また、露光用レーザー１０２は、ガスレーザー等により構成され、ガラス原盤１２１に露光用のレーザービームを射出する。ＡＯＭ光変調器は、電気音響光学素子で構成され、変調信号に応じてレーザービームをオンオフ制御して出力する。上述した光学系は、このレーザービームの光路を折り曲げてガラス原盤１２１に向けて射出し、対物レンズ１２０は、この光学系により導かれた光をガラス原盤１２１に集光する。これら光学系及び対物レンズ１２０は、図示しないスレッド機構により、ガラス原盤１２１の回転に同期してガラス原盤１２１の外周方向に順次移動し、これによりレーザービームによる露光位置を順次ガラス原盤１２１の外周方向に変位させる。
【００４９】
これによりこの光ディスクカッティング記録装置では、ガラス原盤１２１を回転駆動した状態で、光学系及び対物レンズ１２０の移動によりらせん状にトラックを形成し、このトラックに変調信号に対応して順次グルーブまたはピットを形成する。
【００５０】
このようにして、変調信号が光変調器に送り込まれ、通常のコンパクトディスク作成と同様にしてレーザ光により光ディスク原盤を露光する。
【００５１】
このようにして光変調器においてレーザの出力をオンオフしてガラス原盤１２１に記録することにより、作製されたガラス原盤１２１全面において、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより順次片側だけを変調した溝が形成され、溝により所望のデータが記録された光ディスクにおいて、オンまたはオフに制御する一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせることにより溝が形成され光ディスク原盤を作成することができる。
【００５２】
このようにして露光した光ディスク原盤を現像した後、電鋳処理してマザーディスクを作成し、このマザーディスクよりスタンパーを作成する。さらにこのスタンパーより通常のコンパクトディスク作成工程と同様に、光ディスクを作成する。
【００５３】
次に、図４に示したフォーマッター１２４により信号源１２３からの信号がフォーマットされるトラックフォーマットについて図３を参照しながら説明する。本実施の形態では、記録再生周波数を特定の半径領域ごとに区切り、記録再生のためのクロックをディスクのゾーンごとに変更するＺＣＡＶについて説明する。図３において、１トラックＴはＭ個のフレームに分割され、ゾーンによってフレーム数が異なっている。例えば、ゾーンＡではフレーム０（Ａ０）のみで構成され、ゾーンＢではフレーム０（Ｂ０）、・・・、フレームＭ−１（ＢＭ−１）、フレームＭ（ＢＭ）で構成されている。一つのゾーン内ではフレームはディスクの円周上に沿って放射状に配置されている。フレームはさらに４６のセグメントに分割されている。例えば、ゾーンＡのフレーム０（Ａ０）の先頭からアドレスセグメント０（ＡＡ０）、データセグメント０（ＡＤ０）、・・・、データセグメントＮ（ＡＤＮ）（ここでＮ＝４５）に分割される。ゾーンＢのフレーム０（Ｂ０）先頭からアドレスセグメント０（ＢＡ０）、データセグメント０（ＢＤ０）、・・・、の順に分割される。
【００５４】
このようなアドレスセグメントの情報を高周波成分のウオブリングでディスク上に記録すると、ピットで記録する場合に比べて、高周波成分（例えば１００ＫＨＺ程度）を落としてトラッキングすればトラッキングのための情報（クロックマーク）の低周波成分（例えば１ＫＨＺ程度）に対する影響はない。なお、データセグメントは、ユーザデータとしてのデータフィールド、ＥＣＣ，位相調整用のヘッダー情報などを含む情報が記録される。
【００５５】
そして、アドレスセグメントには、トラックアドレス、フレームアドレス、および図示しないこれらのエラー検出用のＥＣＣが配置されている。例えば、ゾーンＡのフレーム０（Ａ０）の先頭のアドレスセグメント０（ＡＡ０）は、クロックマーク１１、チルトマーク１２、トラックアドレスおよびフレームアドレス１３が配置される。ゾーンＡのデータセグメント０（ＡＤ０）は、クロックマーク１４、データフィールド１５が配置されている。ここで、クロックマーク１１、１４は、データ再生時のクロック生成用のマークである。図示はしないが、クロックマークの前後には、オーバーライトによる前のデータの消し残りを防ぐための余裕データエリア、および露光レーザーの記録パワー変動による位置ずれ分を吸収できる余裕データエリアが設けられている。チルトマーク１２は、ディスク傾き量を検出してこの傾き量をフィードバックしてディスクチルトによるオフセットを防止するためのマークである。
【００５６】
ここで、本実施の形態では、トラックアドレスおよびフレームアドレス１３は、２つのレーザービームのうち、一方のレーザービームの制御を行うための光ディスク上のアドレスを記録する。トラックアドレスおよびフレームアドレス１３は、上述した図４のフォーマッター１２４の片側ウオブリングアドレス生成部１２５によって生成される。
【００５７】
上述した片側ウオブリングアドレス生成部１２５により生成されたトラックアドレスおよびフレームアドレス１３に基づいて片側ウオブリングを行うことによる、ディスクの露光状態を以下に図２を参照しながら説明する。
【００５８】
図２Ａに示すように、２つのレーザービーム５（ＬＡ０，ＬＢ０）はビーム強度分布７（ＳＡ０，ＳＢ０，加算分布Ｓ０）を有していて、ディスクカッティング方向４における露光スレッショルド６（ＴＨ）等のディスクが露光される条件との組み合わせでグルーブ（溝）１の幅（ＷＡ０〜ＷＢ０）が決まってくる。
【００５９】
第１の片側ウオブリングによるディスク露光方法は、図２Ｂに示すように、２つのレーザービーム５（ＬＡ０，ＬＢ０）のうちの一方のＬＡ０をＬＡ１またはＬＡ２にウオブリングさせたとき、レーザービームＬＡ１にビーム強度分布ＳＡ１が対応し、レーザービームＬＡ２にビーム強度分布ＳＡ２が対応する。ビーム強度分布ＳＡ０とＳＢ０の合成分布がＳ０，ビーム強度分布ＳＡ１とＳＢ０の合成分布がＳ１，ビーム強度分布ＳＡ２とＳＢ０の合成分布がＳ２である。そして、合成分布Ｓ０のディスクカッティング方向４における露光スレッショルド６（ＴＨ）に対応して、グルーブ（溝）１の幅（ＷＡ０〜ＷＢ０）が決まり、同様にして、合成分布Ｓ１に対応して、グルーブ（溝）１の幅（ＷＡ１〜ＷＢ０）、合成分布Ｓ２に対応して、グルーブ（溝）１の幅（ＷＡ２〜ＷＢ１）が決まる。
【００６０】
このように、２つのビームの光強度の組み合わせでビーム間隔、つまりグルーブ（溝）幅を制御しているため、２つのビームのうちの一方の側のビームをウオブリングさせてアドレス情報を記録する際に、ウオブリングするビームを他方のウオブリングしない側のビームに対して離れる方向にウオブリングすることにより、ウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがなく、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことを少なくすることができる。
【００６１】
第２の片側ウオブリングによるディスク露光方法は、図２Ｃに示すように、２つのレーザービーム５（ＬＡ０，ＬＢ０）のうちの一方のＬＡ０をオンにしてＬＡ３にウオブリングさせたとき、レーザービームＬＡ３にビーム強度分布ＳＡ３が対応する。ビーム強度分布ＳＡ０とＳＢ０の合成分布がＳ０，ビーム強度分布ＳＡ３とＳＢ０の合成分布がＳ３である。そして、合成分布Ｓ０のディスクカッティング方向４における露光スレッショルド６（ＴＨ）に対応して、グルーブ（溝）１の幅（ＷＡ０〜ＷＢ０）が決まり、同様にして、合成分布Ｓ３に対応して、グルーブ（溝）１の幅（ＷＡ３〜ＷＢ０）、２つのレーザービーム５（ＬＡ０，ＬＢ０）のうちの一方のＬＡ０をオフにして他方のＳＢ０に対応して、グルーブ（溝）１の幅（ＷＡ４〜ＷＢ０）が決まる。
【００６２】
このように、２つのレーザービーム５（ＬＡ０，ＬＢ０）のうちのウオブリングしている一方のＬＡ０をオンまたはオフに制御することにより、ウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがなく、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことを少なくして、かつウオブリングの振幅を大きくすることにより再生信号を効率よく再生することができる。
【００６３】
ここで、２つのビームの重なり具合によって、変調されている一方のビームによる振幅しているグルーブ（溝）のエッジ部分がグルーブ（溝）幅に対して対称にならなくなるので、一方のビームを露光されるビームの実効サイズの半分だけ他方のビームから離れた状態でオンまたはオフに制御するのが最適な条件となる。この場合には、他方のビームの光強度分を考慮して、一方のビームのウオブル量を決めることはいうまでもない。これにより、最大ビームサイズ分だけのウオブル量を確保することができる。
【００６４】
図１は、上述した第１および第２の片側ウオブリングによるディスク露光方法を組み合わせて得られたディスクのカッティング状態を示す図である。図１において、グルーブ（溝）１の幅（ＷＡ０〜ＷＢ０）に対して、ディスクカッティング方向（図中右方向）にグルーブ（溝）１の一方の側（図中上側）のエッジ部分を他方のエッジ部分ＷＢ０から離れる方向にＷＡ１にウオブルさせる際に一方のビームをオンに制御し、近づく方向にＷＡ２にウオブルさせる際に一方のビームをオフに制御することにより、ウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがなく、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことを少なくして、かつウオブリングの振幅を大きくすることにより再生信号を効率よく再生することができる。
【００６５】
このようにグルーブ（溝）の片側だけを変調することにより、図１において、隣り合うランド２から見ても、あるいはグルーブ１から見ても、極性が逆で同じアドレス情報を再生することができるようになり、狭トラックピッチに有利なランド／グルーブ記録フォーマットに適用したとき、２ビームのうちウオブリングする側の隣り合うランドとグルーブとで極性が逆で同じアドレス情報を用いることができるので、隣り合うランドとグルーブとで異なるアドレス情報を用いることなく、少ないアドレス情報でトラッキングを行うことができる。
【００６６】
このように、本実施の形態によれば、２ビームのうち片側ウオブルをすることにより、隣り合うランドとグルーブとで共有アドレスを作ることができるので、冗長度を低くすることができ、また、ウオブリングするビームを他方のウオブリングしない側のビームに対して離れる方向にウオブリングすることにより、グルーブ（溝）幅を制御する際の制限を少なくすることができ、このとき、ウオブリングするビームが他方の側のビームにはみ出す心配がないのでランド側でのアドレス信号の信頼性を向上させることができ、また、最大ビームサイズ分だけのウオブル量を確保することができるので、グルーブを検出するトラッキングの際のプッシュプル信号の振幅を大きくとることができ、Ｓ／Ｎのよい信号を再生することができる。
【００６７】
上述した本実施の形態の光情報記録装置によれば、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより光記録媒体に片側だけを変調したグルーブ（溝）を形成する光情報記録装置において、オンまたはオフに制御する上記一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせるための手段を設けたので、ウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがなく、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことを少なくすることができ、また、２ビームのうち片側ウオブルをすることにより、隣り合うランドとグルーブとで共有アドレスを作ることができるので、情報記録の冗長度を低くすることができる。
【００６８】
また、本実施の形態の光情報記録装置によれば、上述において、オンまたはオフに制御する上記一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して離れる側にウオブルさせるので、ウオブリングするビームを他方のウオブリングしない側のビームに対して離れる方向にウオブリングすることにより、グルーブ（溝）幅を制御する際の制限を少なくすることができ、このとき、ウオブリングするビームが他方の側のビームにはみ出す心配がないのでランド側でのアドレス信号の信頼性を向上させることができる。
【００６９】
また、本実施の形態の光情報記録装置によれば、上述において、上記一方のレーザービームをオンまたはオフに制御する際に、上記レーザービームの光強度を段階的に強弱をつけて制御するので、最大ビームサイズ分だけのウオブル量を確保することができるので、グルーブを検出するトラッキングの際のプッシュプル信号の振幅を大きくとることができ、Ｓ／Ｎのよい信号を再生することができる。
【００７０】
また、本実施の形態の光情報記録装置によれば、上述において、上記一方のレーザービームの制御を行うための上記光記録媒体上のアドレスを生成する片側ウオブリングアドレス生成部を設けたので、信号源からの信号に対して片側ウオブリングアドレス生成部によってトラックアドレスおよびフレームアドレスが生成され、これにより２つのレーザービームのうち一方の片側ウオブリングするレーザービームの制御を行うための光ディスク上のトラックアドレスおよびフレームアドレスを記録することができる。
【００７１】
また、本実施の形態の光情報記録装置によれば、上述において、上記一方のレーザービームの制御を行うための上記光記録媒体上のアドレスを生成するように上記変調信号のフォーマットを行うフォーマッターを設けたので、信号源からの信号を変調信号にフォーマットする際に片側ウオブリングアドレス生成部によってトラックアドレスおよびフレームアドレスが生成され、これによりフォーマットを行うことにより２つのレーザービームのうち一方の片側ウオブリングするレーザービームの制御を行うための光ディスク上のトラックアドレスおよびフレームアドレスを記録することができる。
【００７２】
また、本実施の形態の光情報記録方法によれば、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせて順次光記録媒体に片側だけを変調したグルーブ（溝）を形成し、上記グルーブ（溝）により所望のデータを記録する光情報記録方法において、オンまたはオフに制御する上記一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせるようにしたので、ディスクカッティングの工程において、ウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがなく、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことを少なくすることができ、また、２ビームのうち片側ウオブルをすることにより、隣り合うランドとグルーブとで共有アドレスを作ることができるので、情報記録の冗長度を低くしてディスクカッティングすることができる。
【００７３】
また、本実施の形態の光情報記録媒体によれば、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより順次片側だけを変調したグルーブ（溝）が形成され、上記グルーブ（溝）により所望のデータが記録された光情報記録媒体において、オンまたはオフに制御する上記一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせることによりグルーブ（溝）が形成されるので、光ディスクを製造する際において、ウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがなく、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことを少なくすることができ、また、２ビームのうち片側ウオブルをすることにより、隣り合うランドとグルーブとで共有アドレスを作ることができるので、情報記録の冗長度を低くした光ディスクを得ることができる。
【００７４】
また上述の実施の形態においては、記録再生のためのクロックをディスクのゾーンごとに変更するＺＣＡＶフォーマットと言われるモードを前提に説明したが、本発明はこれに限らず、スピンドルサーボ５の回転数が常に一定のＣＡＶ、またディスクのゾーンごとに線速度が一定となるＺＣＬＶ（Zone Constant Linear Velocity ）においても適用することが可能である。このときは、上述したＺＣＡＶフォーマットにおいて、記録再生周波数が異なる半径領域毎に、複数の片側ウオブリングアドレスを確保し、記録する半径に従ってこれらの片側ウオブリングアドレスを切り替えるのに対して、ＣＡＶフォーマットにおいて一定の片側ウオブリングアドレスにしてもよいし、データに応じて片側ウオブリングアドレスを切り替えるようにしても良い。
【００７５】
【発明の効果】
本発明の光情報記録装置においては、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより光記録媒体に片側だけを変調した溝を形成する光情報記録装置において、オンまたはオフに制御する上記一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせるための手段を設けたので、ウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがなく、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことを少なくすることができ、また、２ビームのうち片側ウオブルをすることにより、隣り合うランドとグルーブとで共有アドレスを作ることができるので、情報記録の冗長度を低くすることができるという効果を奏する。
【００７６】
また、本発明の光情報記録装置においては、上述において、オンまたはオフに制御する上記一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して離れる側にウオブルさせるので、ウオブリングするビームを他方のウオブリングしない側のビームに対して離れる方向にウオブリングすることにより、溝幅を制御する際の制限を少なくすることができ、このとき、ウオブリングするビームが他方の側のビームにはみ出す心配がないのでランド側でのアドレス信号の信頼性を向上させることができるという効果を奏する。
【００７７】
また、本発明の光情報記録装置においては、上述において、上記一方のレーザービームをオンまたはオフに制御する際に、上記レーザービームの光強度を段階的に強弱をつけて制御するので、最大ビームサイズ分だけのウオブル量を確保することができるので、グルーブを検出するトラッキングの際のプッシュプル信号の振幅を大きくとることができ、Ｓ／Ｎのよい信号を再生することができるという効果を奏する。
【００７８】
また、本発明の光情報記録装置においては、上述において、上記一方のレーザービームの制御を行うための上記光記録媒体上のアドレスを生成する片側ウオブリングアドレス生成部を設けたので、信号源からの信号に対して片側ウオブリングアドレス生成部によってトラックアドレスおよびフレームアドレスが生成され、これにより２つのレーザービームのうち一方の片側ウオブリングするレーザービームの制御を行うための光ディスク上のトラックアドレスおよびフレームアドレスを記録することができるという効果を奏する。
【００７９】
また、本発明の光情報記録装置においては、上述において、上記一方のレーザービームの制御を行うための上記光記録媒体上のアドレスを生成するように上記変調信号のフォーマットを行うフォーマッターを設けたので、信号源からの信号を変調信号にフォーマットする際に片側ウオブリングアドレス生成部によってトラックアドレスおよびフレームアドレスが生成され、これによりフォーマットを行うことにより２つのレーザービームのうち一方の片側ウオブリングするレーザービームの制御を行うための光ディスク上のトラックアドレスおよびフレームアドレスを記録することができるという効果を奏する。
【００８０】
また、本発明の光情報記録方法においては、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせて順次光記録媒体に片側だけを変調した溝を形成し、上記溝により所望のデータを記録する光情報記録方法において、オンまたはオフに制御する上記一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせるようにしたので、ディスクカッティングの工程において、ウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがなく、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことを少なくすることができ、また、２ビームのうち片側ウオブルをすることにより、隣り合うランドとグルーブとで共有アドレスを作ることができるので、情報記録の冗長度を低くしてディスクカッティングすることができるという効果を奏する。
【００８１】
また、本発明の光情報記録媒体においては、変調信号に従って２つのレーザービームのうちの１方のレーザービームをオンまたはオフさせることにより順次片側だけを変調した溝が形成され、上記溝により所望のデータが記録された光情報記録媒体において、オンまたはオフに制御する上記一方のレーザービームを、他方のレーザービームに対して影響を与えないようにウオブルさせることにより溝が形成されるので、光ディスクを製造する際において、ウオブリングした分だけ他方のウオブリングしない側のビームに一方の側のビームの光強度が加算されることがなく、本来変調されないはずの他方の側のグルーブにオフセットの影響を及ぼすことを少なくすることができ、また、２ビームのうち片側ウオブルをすることにより、隣り合うランドとグルーブとで共有アドレスを作ることができるので、情報記録の冗長度を低くした光ディスクを得ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る２ビームによる片側ウオブル（変調）ディスクのカッティング状態を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態の２ビームによるレーザービームの光強度とディスクの露光状態を示す図であり、図２Ａは基本状態、図２Ｂはウオブリング状態、図２Ｃはオンまたはオフ制御状態を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態のトラックフォーマットを示す図である。
【図４】本発明の実施の形態のディスクカッティング装置の構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施の形態の移動光学定盤上の光学系の側面図である。
【図６】本発明の実施の形態の光ディスクの構造を説明する図であり、図５Ａは光ディスクの信号記録領域を示し、図６Ｂはブルーブを示し、図６Ｃはピットを示す図である。
【図７】本発明の実施の形態の光ディスクの原盤の露光処理工程を説明する図であり、図７Ａはガラス原盤、図７Ｂはフォトレジスト、図７Ｃは露光処理を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態の光ディスクの原盤の現像処理工程およびスタンパを説明する図であり、図８Ａはフォトレジスト層が露光されたグルーブ、図８Ｂはフォトレジスト層が露光されたピット、図８Ｃはスタンパの形成、図８Ｄはディスク基板（レプリカ基板）の形成を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態の音響光学効果素子の構造と動作原理を説明する図である。
【図１０】本発明の実施の形態の音響光学効果素子の光学結晶中で、屈折率の波の周期が位置によって変化する様子を説明する図である。
【図１１】従来の２ビームによるウオブリングを説明する図である。
【図１２】従来の２ビームによるレーザービームの光強度とディスクの露光状態を説明する図である。
【符号の説明】
１……グルーブ（溝）（ＷＡ０，ＷＢ０，ＷＡ１，ＷＡ２，ＷＡ３，ＷＡ４，ＷＢ１）、２……ランド、３……ランド、４……カッティング方向、５……レーザービーム（ＬＡ０，ＬＢ０，ＬＡ１，ＬＡ２，ＬＡ３）、６……露光スレッショルドＴＨ、７……ビーム強度分布（ＳＡ０，ＳＢ０，Ｓ０，ＳＡ１，ＳＡ２，Ｓ１，Ｓ２，ＳＡ３，Ｓ３）、１１……クロックマーク、１２……チルトマーク、１３……トラックアドレスおよびフレームアドレス、１４……クロックマーク、１５……データフィールド、Ｔ……トラック、Ａ０……フレーム０，Ｂ０〜ＢＭ……フレーム０〜Ｍ、ＡＡ０，ＢＡ０……アドレスセグメント０、ＡＤ０，ＢＤ０〜ＡＤＮ……データセグメント０〜Ｎ、３１……光ディスク、３２……信号記録領域、３３……ディスク基板、３４……信号面、３５……グルーブ、３６……ランド、３７……読み取り面、３８……ピット、Ｐ……トラックピッチ、４１……ガラス原盤、４２……フォトレジスト、４３……レーザ光、４４……レンズ、４５……グルーブまたはピットの潜像、５１……ランド、５２……グルーブ、５３……ピット、５４……スタンパ、６０……超音波、６１……入射光、６２……非回折光、６３……一次回折光、６５……光学結晶、６６……振動子、１００……固定光学定盤、１０１……移動光学定盤、１０２……露光用レーザ、１０３……ビームスプリッタ、１０４……レンズ、１０５……ＡＯＭ、１０６……レンズ、１０７……反射鏡、１０９……反射鏡、１１０……反射鏡、１１１……レンズ、１１２……ＡＯＭ、１１３……レンズ、１１４……ビームスプリッタ、１１５……１／４波長板、１１６……偏向ビームスプリッタ、１１７……１／４波長板、１１８……レンズ、１２０……対物レンズ、１２２……ＣＣＤ、１２３……信号源、１２４……フォーマッター、１２５……片側ウオブリングアドレス生成部
【図１】
0003809715.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003809715.tif 000009
【図９】
0003809715.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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