(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線の回りに回転自在に配設されて駆動源に連結された下定盤と、上記軸線の回りに回転自在且つ昇降自在に配設された上定盤と、上記軸線上に回転自在に配設されて駆動源に連結された上定盤駆動用のドライバと、上記上定盤に取付部材を介して取り付けられ、該上定盤が研磨位置に下降したとき上記ドライバに係合するフックと、を備えた平面研磨装置において、
上記フック用取付部材が上定盤に対し、上記軸線と直交する面内において自由度を有する、
ことを特徴とする防振機構付き平面研磨装置。
【請求項２】
請求項１に記載の平面研磨装置において、上記取付部材が環状をしていて、上定盤に取り付けるための取付部に穿設した取付穴内に、該取付部の厚さより長寸のスリーブ状をしたスペーサを穴壁との間に隙間を保って遊嵌し、該スぺーサを介して上定盤にボルト締めすることにより取り付けられているもの。
【請求項３】
請求項２に記載の平面研磨装置において、上記スペーサの上端に取付穴より大径のフランジ部を形成し、該フランジ部を上記自由度を損なわない程度の微小隙間を保って取付部の上面に係止させるようにしたもの。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨加工時に上定盤が振動するのを防止した、防振機構付きの平面研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ラッピングマシンやポリッシングマシン等の平面研磨装置は、一般に、図３に示すように、円環状をした上下の定盤１，２と、下定盤２の中央に位置する太陽歯車３と、下定盤２の回りに位置する内歯歯車４と、これらの両歯車３，４に噛合して太陽歯車３の回りを遊星運動するキャリヤ５とを有し、該キャリヤ５に保持されたワーク６の両面を回転する上下の定盤１，２で研磨するように構成されている。
【０００３】
このような平面研磨装置においては、研磨加工時に上定盤１が径方向に微小な振動を生じ易く、この振動が加工荷重を変化させてワーク６及び上定盤１の平面度を低下させるという問題があった。この問題は、主として上定盤１の支持・駆動方式に起因すると考えられる。
【０００４】
即ち、上記下定盤２と太陽歯車３及び内歯歯車４は、図示しない駆動源に連結されて定位置で回転するが、上定盤１は、シリンダ７のロッド８の下端に吊下機構９を介して回転自在且つ昇降自在に支持され、その内周端に複数（２〜４個）のフック１０が該上定盤１の軸線を取り囲むように取り付けられていて、該上定盤１が研磨位置に下降すると、これらのフック１０が下定盤２の中央に位置するドライバ１１の係合溝１１ａに係合し、このドライバ１１を介して上定盤１が駆動源により回転されるようになっている。
【０００５】
従って、上定盤１を安定的に回転させるためには、該上定盤１の軸線と、ロッド８の軸線と、複数のフック１０が取り囲む軸線とを一致させると同時に、これらの軸線をドライバ１１の軸線と一致させなければならず、いずれかの軸線がずれていると上定盤１が振動することになる。
【０００６】
本発明者らの研究によれば、上記上定盤１とロッド８及びドライバ１１の軸線は、部品精度や組立精度等を高めることによってかなりの精度で一致させることができるが、フック１０については、それらが複数個の独立した部品であるために、それらを上定盤１の軸線の回りに少しの位置ずれもないように正確に取り付けるのは非常に難しく、精度良く取り付けたつもりでも、これらのフック群が取り囲む軸線と上定盤１の軸線とが僅かにずれることが多い。そして、このようなフック１０と上定盤１との間で軸線のずれがあると、該フック１０がドライバ１１に偏った状態で係合するため、上定盤１とドライバ１１との間で軸線のずれが発生し、それが原因となって上定盤が振動する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、上定盤とフックとの間の軸線のずれを吸収して加工時における上定盤の振動を確実に防止することができる、振動防止機能を備えた平面研磨装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、軸線の回りに回転自在に配設されて駆動源に連結された下定盤と、上記軸線の回りに回転自在且つ昇降自在に配設された上定盤と、上記軸線上に回転自在に配設されて駆動源に連結された上定盤駆動用のドライバと、上記上定盤に取付部材を介して取り付けられ、該上定盤が研磨位置に下降したとき上記ドライバに係合するフックとを備えた平面研磨装置において、上記フック用取付部材が上定盤に対し、上記軸線と直交する面内において自由度を有することを特徴とするものである。
【０００９】
上記構成の研磨装置において、研磨加工時に複数のフックが上定盤との間の軸線のずれによってドライバに偏った状態で係合しても、自由度を有する取付部材の変移よって上定盤とドライバとの間の軸線のずれが防止され、該上定盤とドライバとは常に軸線が一致した状態を保つことになる。この結果、該上定盤の軸ずれによる振動は確実に防止され、振動による研磨精度の低下を生じない。
【００１０】
本発明の具体的な実施態様によれば、上記取付部材が環状をしていて、上定盤に取り付けるための取付部に穿設した取付穴内に、該取付部の厚さより長寸のスリーブ状をしたスペーサを穴壁との間に隙間を保って遊嵌し、該スぺーサを介して上定盤にボルト締めすることにより取り付けられている。
かくして上記取付部材を上定盤に、スリーブ状のスペーサを介在させてボルト締めするだけの簡単な構成により、必要な自由度を持たせた状態で確実に取り付けることができる。
【００１１】
上記スペーサの上端には取付部材の取付穴より大径のフランジ部を形成し、該フランジ部を上記自由度を損なわない程度の微小隙間を保って取付部の上面に係止させるようにすることが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明に係る平面研磨装置の一実施例を示すもので、この平面研磨装置は、図３に示す従来のものとは上定盤に対するフックの取付構造が相違するのみで、その他の構成は基本的に同じである。
【００１３】
即ち、この平面研磨装置は、円環状をした上下の定盤２０，２１と、下定盤２１の中央に位置する太陽歯車２２と、下定盤２１の回りに位置する内歯歯車２３と、これらの両歯車２２，２３に噛合して太陽歯車２２の回りを遊星運動するキャリヤ２４とを有し、該キャリヤ２４に保持されたワーク２５の両面を回転する上下の定盤２１，２２で研磨するように構成されている。
【００１４】
上記下定盤２１と太陽歯車２２及び内歯歯車２３は、図示しない駆動源に連結されて定位置で回転する。一方、上定盤２０は、機体２６に取り付けられたシリンダ２７のロッド２７ａの下端に、調芯機構２９と、吊板３０と、スタッド３１と、固定プレート３２とからなる吊下機構２８を介して回転自在且つ昇降自在に支持され、該上定盤２０の内周端には、取付部材３４を介して複数（２〜４個）のフック３５が該上定盤２０の軸線を取り囲むように取り付けられ、該上定盤２０が研磨位置に下降すると、これらのフック３５が下定盤２１の中央に位置するドライバ３６の外面の係合溝３６ａに係合し、このドライバ３６を介して駆動源により駆動回転されるようになっている。
図中３３は、上定盤２０の昇降を案内するガイドシャフトである。
【００１５】
上記取付部材３４は、吊下機構２８における固定プレート３２とは別の、円環状をした一つのプレートからなるもので、円周上の複数個所（例えば４〜８箇所）に設けた取付部４０において、上定盤２０に、該上定盤２０の軸線と直交する面内で０．１〜１ｍｍ程度の自由度を有するように取り付けられ、その内周端近くに上記複数のフック３５が、上定盤２０の軸線を取り囲むように取り付けられている。
【００１６】
上記取付部材３４を上定盤２０に自由度を保って取り付けるための機構は、図２に詳細に示されている。即ち、この図２から明らかなように、取付部４０に穿設した円形の取付穴４１内には、該取付部４０における取付部材３４の厚さより僅かに長寸のスリーブ状をしたスペーサ４２が、穴壁との間に０．１〜１ｍｍ程度のギャップを保った状態で遊嵌され、取付穴４１から上方に僅かに突出する該スペーサ４２を介して取付部材３４を、ボルト４３及びナット４４で上定盤２０に締着することにより、該取付部材３４が、上定盤２０の軸線方向（上下方向）には殆ど自由度を持たないが、該軸線と直交する方向には上述したような自由度を持つように取り付けられている。
【００１７】
図中４３ａはボルト４３の頭部であって、他の部材との位置関係でこのような平板状の頭部４３ａを偏寄して設けたボルトを使用しているが、通常の六角頭を持ったボルトを使用しても良いことはいうまでもないことである。
また、図示の例では、ボルト４３とナット４４とを使用して取付部材３４を取り付けているが、上定盤２０の取付穴４５を螺子穴として、これに取付部材３４の上面側からボルトを螺着するようにしても良い。
【００１８】
かくして、スリーブ状のスペーサ４２を介してボルト締めするだけの簡単な構成により、取付部材３４を上定盤２０に、必要な自由度を持たせた状態で簡単且つ確実に取り付けることができる。
【００１９】
上記スペーサ４２の上端には、図示したように取付穴４１より大径のフランジ部４２ａを形成し、該フランジ部４２ａを上記自由度を損なわない程度の微小隙間を保って取付部材３４の上面に係止させるようにすることが望ましく、これにより、取付穴４１より小径のナット４４を使用することができる。
【００２０】
上記構成の研磨装置において、図１の如く上定盤２０が上昇した状態で各キャリヤ２４にワーク２５が供給されると、該上定盤２０が加工位置まで下降してフック３５がドライバ３６の外面の係合溝３６ａに係合し、両歯車２２，２３及び両定盤２０，２１が所要の方向に所要の速度で回転することにより、上記各キャリヤ２４に保持されたワーク２５の両面が上下の定盤２０，２１で研磨加工される。
【００２１】
ここで、上記上定盤２０が下降して複数のフック３５がドライバ３６に係合するとき、これらのフック３５が、上定盤２０との間の軸線のずれによってドライバ３６に偏った状態で係合しても、取付部材３４が上記軸線と直交する方向に変移することによって上定盤２０とドライバ３６との間に軸線のずれが発生するのを防止するため、該上定盤２０の軸線とドライバ３６の軸線とは常に一致した状態を保つことになる。この結果、該上定盤２０の軸ずれによる振動は確実に防止され、振動による研磨精度の低下を生じない。
【００２２】
上記実施例では、フック用取付部材３４が上定盤２０の上面に直接取り付けられているが、吊下機構２８における固定プレート３２の内周端を中心方向に延長し、この固定プレート３２に上記取付部材３４を自由度を持たせて取り付けても良い。
【００２３】
【発明の効果】
このように本発明によれば、上定盤にフックを取り付けるための取付部材に該上定盤の軸線と直交する面内において自由度を持たせたので、上記フックが上定盤との間の軸線のずれによってドライバに偏った状態で係合しても、上記取付部材の変移によって上定盤とドライバとの軸線のずれを吸収し、軸線のずれによる該上定盤の振動を確実に防止することができ、振動による研磨精度の低下を来すことがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の平面研磨装置の一実施例を示す断面図である。
【図２】図１の要部拡大断面図である。
【図３】従来の平面研磨装置の断面図である。
【符号の説明】
２０，２１  定盤                  ３４  取付部材
３５  フック                      ３６  ドライバ
４０  取付部                      ４１  取付穴
４２  スペーサ                    ４２ａ  フランジ部
４３  ボルト                      ４４  ナット
【図１】
0003833774.tif 000002
【図２】
0003833774.tif 000003
【図３】
0003833774.tif 000004