(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマガジンを載置して水平方向に搬送する上下二段の搬送手段と、該搬送手段の端部に設けられ、一方の搬送手段から他方の搬送手段へマガジンを昇降させて移載するエレベーターとを備え、前記搬送手段から前記エレベーターへマガジンを１個ずつ搬送するためのマガジンの搬送装置であって、
前記搬送手段の前記エレベーターの手前に出没可能に設けられ、前記搬送手段により順方向に搬送される第１のマガジンを停止させるマガジンストッパーと、
該マガジンストッパーの直前に設けられ、前記第１のマガジン停止に続く前記搬送手段の停止時に前記第１のマガジンを載置して上昇させることにより、該第１のマガジンを前記搬送手段から切り離すマガジンリフターと、
を設け、
前記第１のマガジンが所定高さに上昇したとき、前記搬送手段を逆方向に移動させることにより、第２のマガジン以降のマガジンを逆移送して、第１のマガジンと第２のマガジンとの間に所定間隔を確保した後、前記搬送手段の逆方向移動を停止し、前記マガジンリフターを下降させて、前記第１のマガジンを前記搬送手段上に戻して該搬送手段を再び順方向移動させ、第１のマガジンを前記エレベータのフォークに移送可能に形成したことを特徴とするマガジンの搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マガジンの搬送装置に関し、詳しくは、半導体製造工程におけるリードフレームを収納するためのマガジンを搬送手段からエレベーターに向けて１個ずつ搬送移載するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、ＬＳＩ等の半導体デバイスを製造する工程では、ダイボンダによりチップをリードフレームに接着（ダイボンド処理）した後、キュア装置により接着剤を熱硬化してチップをリードフレームに固着し、次いでワイヤボンダによりチップの端子とリードフレームのリードとを結線することが行われている。
【０００３】
このような工程において、前記リードフレームの搬送には、多数のリードフレームを上下多段に収納可能なマガジンが用いられており、このマガジンへのリードフレームの収納や、マガジンからのリードフレームの取出しは、前記キュア装置等に設けられているリードフレーム搬送機構に対応した位置にマガジンを昇降させることにより行われている。
【０００４】
このための装置として、例えば、マガジンを水平方向に搬送する上下二段の搬送手段を設けるとともに、該搬送手段の一端にマガジンを昇降させる昇降手段を設けたものが用いられている。このような装置では、例えば、下段の搬送手段に空のマガジンを載置して前記昇降手段の方向に搬送するとともに、上段の搬送手段でリードフレームを収納したマガジンを前記昇降手段から受取って反対方向に搬送するように形成し、マガジンを載置した昇降手段を、前記キュア装置等のリードフレーム搬送機構に対応した位置に所定ピッチで上昇させることにより、キュア装置等からの処理済みのリードフレームをマガジン内へ収納するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記マガジンは、収納するリードフレームの横幅に合わせて形成されるため、幅寸法の異なるマガジンが多数種存在している。一方、マガジンを昇降させる昇降手段は、通常、前記搬送手段と干渉しない位置にマガジン載置用のフォークを設けたものであり、このフォークの長さは、通常、最大幅のマガジンの幅以上に形成されている。このため、幅の狭いマガジンをフォークに載置して昇降させる場合、昇降させるべきマガジンをフォーク上に移送した際に、次に昇降させるマガジンがフォークの先端部に掛かってしまい、このマガジンがフォークの昇降によって転倒してしまうことがあった。したがって、フォークの長さより幅の狭いマガジンを昇降させる場合には、フォーク上に１個ずつマガジンを移送する必要があった。
【０００６】
そこで本発明は、搬送手段から昇降装置に移載して昇降させるマガジンと次のマガジンとを分離してマガジンを１個ずつ昇降装置に向けて搬送することができるマガジンの搬送装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のマガジンの搬送装置は、複数のマガジンを載置して水平方向に搬送する上下二段の搬送手段と、該搬送手段の端部に設けられ、一方の搬送手段から他方の搬送手段へマガジンを昇降させて移載するエレベーターとを備え、前記搬送手段から前記エレベーターへマガジンを１個ずつ搬送するためのマガジンの搬送装置であって、前記搬送手段の前記エレベーターの手前に出没可能に設けられ、前記搬送手段により順方向に搬送される第１のマガジンを停止させるマガジンストッパーと、該マガジンストッパーの直前に設けられ、前記第１のマガジン停止に続く前記搬送手段の停止時に前記第１のマガジンを載置して上昇させることにより、該第１のマガジンを前記搬送手段から切り離すマガジンリフターと、を設け、前記第１のマガジンが所定高さに上昇したとき、前記搬送手段を逆方向に移動させることにより、第２のマガジン以降のマガジンを逆移送して、第１のマガジンと第２のマガジンとの間に所定間隔を確保した後、前記搬送手段の逆方向移動を停止し、前記マガジンリフターを下降させて、前記第１のマガジンを前記搬送手段上に戻して該搬送手段を再び順方向移動させ、第１のマガジンを前記エレベータのフォークに移送可能に形成したことを特徴としている。
【０００８】
上記構成のマガジンの搬送装置は、搬送手段を順方向に作動させてエレベーター（昇降装置）により昇降させる第１のマガジンが前記マガジンストッパーに当接して停止したときに搬送手段を停止させ、前記マガジンリフターを作動させて第１のマガジンを上昇させる。この状態で搬送手段を逆方向に所定距離移動させると、次に昇降させる第２のマガジン以降のマガジンが搬送手段により逆方向に移送され、マガジンリフターにより上昇して搬送手段から切り離されている第１のマガジンとの間に所定の間隔が形成される。この状態でマガジンリフターを降下させて第１のマガジンを搬送手段上に戻した後、再び搬送手段を順方向に移動させて第１のマガジンをエレベーターに移載する。このとき、第１のマガジンと第２のマガジンとの間に所定間隔を設けておくことにより、第２のマガジンがエレベーターの位置まで移動することがなく、エレベーターには、第１のマガジンのみが載置された状態となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明を適用したマガジン搬送装置の一例を示す正面図、図２はマガジン搬送装置をキュア装置等と組合わせた状態を示す平面図、図３は他の組合わせ例を示す平面図、図４はマガジン搬送装置の要部を示す正面図、図５は要部の概略を示す平面図、図６はマガジン搬送装置の作動を説明するための概略図である。
【００１０】
マガジン搬送装置１は、例えば、図２，図３に示すように、ダイボンダ２，リードフレーム搬送装置３及びキュア装置４を有するリードフレーム処理装置に組み込まれるもので、キュア装置４でキュア処理されたリードフレームＰのマガジンＭへの収納、あるいは、マガジンＭ内に収納されているリードフレームＰのキュア装置４への送り出しを行うために用いられている。
【００１１】
図２に示すリードフレーム処理装置は、ダイボンダ２でダイボンド処理したリードフレームＰを、リードフレーム搬送装置３を介してキュア装置４に搬送し、該キュア装置４内でキュア処理しながらキュア装置４の末端（図２において右端）に設けられた送出用ローラーコンベア４１まで搬送し、送出用ローラー４１ａを介してマガジン搬送装置１にリードフレームＰを送り出してマガジンＭ内に収納するようにしている。
【００１２】
図３に示すリードフレーム処理装置は、通常は、ダイボンダ２でダイボンド処理したリードフレームＰを、前記同様に、リードフレーム搬送装置３で図３において左側に搬送してキュア装置４でキュア処理した後、送出用ローラー４１ａによってリードフレームＰをマガジンＭ内に収納するように作動するが、キュア装置４を通さずに、ダイボンド処理した状態のリードフレームＰをマガジンＭに直接収納することもできるように形成されている。すなわち、リードフレーム搬送装置３で、前記とは逆にリードフレームＰを右側に搬送し、送出用ローラーコンベア３１からキュア装置４の送出用ローラーコンベア４１を通過させてマガジン搬送装置１のマガジンＭ内に収納できるようにしている。
【００１３】
図１に示すように、前記マガジン搬送装置１は、マガジンＭを水平方向に搬送する下段コンベア１１と上段コンベア１２とを有するもので、下段コンベア１１は、空のマガジンＭを図１において左側から右側に向けて搬送し、上段コンベア１２は、リードフレームＰを収納したマガジンＭを図１において右側から左側に向けて搬送する。両コンベア１１，１２は、正逆転可能なモーター１１ａ，１２ａによりそれぞれ駆動される。
【００１４】
上記両コンベア１１，１２の両端部には、マガジンを前記リードフレームＰの受け取りや送出し位置に昇降させるための昇降装置１３がそれぞれ設けられている。このマガジン昇降装置１３は、固定フォーク１４ａを有する下部エレベーター１４と、可動フォーク１５ａを有する上部エレベーター１５とを備えており、各エレベーター１４，１５は、モーター１６に取付けられたボールネジ１７により上下動し、前記下部エレベーター１４は、下段コンベア１１とのマガジン受け渡し位置から中間位置までの間を、上部エレベーター１５は、上段コンベア１２とのマガジン受け渡し位置から中間位置までの間を、それぞれ昇降するように形成されている。
【００１５】
図１右側のマガジン昇降装置１３は、下段コンベア１１から空のマガジンＭを受け取り、前記キュア装置４の送出用ローラー４１ａにより送り出されるキュア処理済みのリードフレームＰをマガジンＭ内に収納するために所定位置で所定ピッチ毎に上昇した後、リードフレームＰを収納したマガジンＭを上段コンベア１２に移載し、図１左側のマガジン昇降装置１３は、上段コンベア１２からリードフレームＰを収納したマガジンＭを受け取り、所定ピッチで下降しながらキュア処理を行うリードフレームＰを前記キュア装置４に送り出し、空になったマガジンＭを下段コンベア１１に移載するものである。
【００１６】
なお、図１左側のマガジン昇降装置１３に載置されたマガジンＭからキュア装置４へのリードフレームＰの送り出しは、キュア装置４の左側に設けた受取用ローラーコンベア４２及び受取用ローラー４２ａ（図２，図３参照）と、マガジン昇降装置１３に対応して設けられたプッシャー４３とにより行われる。
【００１７】
前記下段コンベア１１の送り方向端部には、該下段コンベア１１で移送するマガジンＭを１個ずつ前記マガジン昇降装置１３に移載するための搬送間隔調節装置５１が設けられている。この搬送間隔調節装置５１は、前記下部エレベーター１４の手前に出没可能に設けられたマガジンストッパー５２と、該マガジンストッパー５２の直前に設けられたマガジンリフター５３とを備えている。
【００１８】
図４に示すように、前記マガジンストッパー５２は、下段コンベア１１の下方に設けられたシリンダー５２ａにより上下動するもので、該マガジンストッパー５２を上昇させると、下段コンベア１１で搬送されるマガジンＭが、マガジンストッパー５２に当接した位置で停止する。また、マガジンリフター５３は、同様に下段コンベア１１の下方に設けられたシリンダー５３ａにより上下動するもので、このマガジンリフター５３を上昇させると、前記マガジンストッパー５２に当接した状態のマガジンが上昇して下段コンベア１１から浮き上がり、下段コンベア１１の作動から切り離された状態になる。
【００１９】
また、マガジンリフター５３は、下段コンベア１１の進行方向に対して前後一対のマガジン載置部５４ａ，５４ｂを有しており、マガジンストッパー５２側の一方のマガジン載置部５４ａは、前記シリンダー５３ａ側に固定されている。他方のマガジン載置部５４ｂは、モーター５５により駆動されるネジ軸５５ａに螺合しており、ネジ軸５５ａの回転により、下段コンベア１１の進行方向に沿って移動可能に設けられている。すなわち、上昇させるマガジンＭの幅寸法Ｗに応じてマガジン載置部５４ｂを移動させ、両マガジン載置部５４ａ，５４ｂの間隔を調節することにより、マガジンストッパー５２に当接して停止している先頭のマガジンのみを上昇させることができるように形成されている。なお、この両マガジン載置部５４ａ，５４ｂの間隔調節は、手動で行うこともできるが、通常は、リードフレーム処理装置に組込まれている制御装置に、処理するリードフレームの情報を入力することによって自動的に行われる。
【００２０】
次に、図６に基づいて、マガジンを下段コンベア１１により搬送して下部エレベーター１４のフォーク上に１個ずつ移載する作動について説明する。
【００２１】
まず、図６（Ａ）に示すように、マガジンストッパー５２が上昇した状態で下段コンベア１１が順方向に作動し、下段コンベア１１上に並んでいるマガジンを下部エレベーター１４方向に移動させる。これにより、先頭のマガジンＭ１は、マガジンストッパー５２に当接して所定位置に停止する。
【００２２】
次に、図６（Ｂ）に示すように、マガジンリフター５３が上昇して第１のマガジンＭ１のみを下段コンベア１１から浮き上がらせ、下段コンベア１１の作動から切り離した後、図６（Ｃ）に示すように、下段コンベア１１が逆方向に作動し、第１のマガジンＭ１と第２のマガジンＭ２との間に適当な間隔をあけて下段コンベア１１が停止する。次いで、図６（Ｄ）に示すように、マガジンリフター５３が下降して第１のマガジンＭ１を下段コンベア１１上に降ろすとともに、マガジンストッパー５２が下降した後、下段コンベア１１が再び順方向に作動し、図６（Ｅ）に示すように、第１のマガジンＭ１を下部エレベーター１４のフォーク上に移載する。
【００２３】
そして、再びマガジンストッパー５２が上昇し、最後に、図６（Ｆ）に示すように、第１のマガジンＭ１を載置した下部エレベーター１４が上昇を開始するとともに、下段コンベア１１の作動により第２のマガジンＭ２がマガジンストッパー５２に当接して所定位置に停止し、前記図６（Ａ）と同じ状態になる。以下、同様の動作を繰り返すことにより、下段コンベア１１上のマガジンが１個ずつ下部エレベーター１４に移載されていく。なお、図６（Ｃ）における下段コンベア１１の逆方向への移動距離は、図６（Ｅ）における下部エレベーター１４への第１のマガジンＭ１の移送距離以上に設定すればよく、特に制限はないい。
【００２４】
また、適当な位置に各種センサーを設けることによって下段コンベア１１上のマガジンの存在を検知したり、下部エレベーター１４へのマガジンの移載完了を検知したりすることにより、上述の各動作を確実に行わせることができる。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のマガジンの搬送間隔調節装置によれば、コンベア上を搬送されるマガジンを１個ずつ確実にエレベーター（昇降装置）に移載できるので、マガジンの転倒等を生じることがなく、各種幅寸法のマガジンを確実に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明を適用したマガジン搬送装置の一例を示す正面図である。
【図２】  マガジン搬送装置をキュア装置等と組合わせた状態を示す平面図である。
【図３】  他の組合わせ例を示す平面図である。
【図４】  マガジン搬送装置の要部を示す正面図である。
【図５】  要部の概略を示す平面図である。
【図６】  マガジン搬送装置の作動を説明するための概略図である。
【符号の説明】
１…マガジン搬送装置、２…ダイボンダ、３…リードフレーム搬送装置、４…キュア装置、１１…下段コンベア、１２…上段コンベア、１３…昇降装置、１４…下部エレベーター、１５…上部エレベーター、５１…搬送間隔調節装置、５２…マガジンストッパー、５３…マガジンリフター、５４ａ，５４ｂ…マガジン載置部、Ｍ…マガジン、Ｐ…リードフレーム
【図１】
0003790593.tif 000002
【図２】
0003790593.tif 000003
【図３】
0003790593.tif 000004
【図４】
0003790593.tif 000005
【図５】
0003790593.tif 000006
【図６】
0003790593.tif 000007