(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気メモリ（１０，２５，３０，３５，４０）であって：
基板（１１）；
前記基板（１１）上のＧＭＲ磁気メモリ・セル素子（１４）；
前記ＧＭＲ磁気メモリ素子（１４）を覆う導体（１６）；
前記導体（１６）と前記磁気メモリ・セル素子（１４）との間の誘電体（１３）；および
前記導体（１６）の一方の表面に隣接する磁性体（１７，１８，３１，３２，４１，４２，４４）；
から成ることを特徴とする磁気メモリ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的に磁気抵抗物質(magnetoresistive materials)に関し、更に特定すれば磁気抵抗物質を用いた新規なメモリに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
過去において、これまで種々の磁気抵抗物質を利用して不揮発性メモリを形成してきた。典型的に、このようなメモリは、異方性磁気抵抗（ＡＭＲ:anisotropic magnetoresistive ）または巨大磁気抵抗（ＧＭＲ:giant magnetoresistive ）多層磁気素子を、基本メモリ・セル素子として利用している。この基本メモリ・セル素子を誘電体で被覆し、ワード導体即ちワード線が基本メモリ・セル素子に対して直角にこの誘電体と交差する。従来のメモリに伴う問題の１つに、電力消費(power dissipation) が上げられる。メモリの読み書きを行うのに十分な磁場を生成するためには、大電流が必要であり、その結果、電力消費が多くなる（通常、５０ミリワット／ビット以上）。
【０００３】
この大電流が発生する大磁場（通常、約５０エルステッド以上）のために、各メモリ・セル間には大きな距離（通常、メモリ・セルの長さ以上）を設けて、隣接するメモリ・セルに対するこの大磁場の影響を防止する必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、電力消費が少なく（５０ミリワット／ビット未満）、特定のメモリ・セルの読み出しまたは書き込みを行うときに隣接するメモリ・セルに影響を与えず、メモリ・セル間に大きな距離を必要としない磁気メモリを有することができれば望ましいであろう。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は磁気抵抗物質を用いた磁気メモリを提供する。この磁気メモリは磁性体を利用して、磁場を磁気メモリ・セル素子内に集中させる。磁性体は、磁気メモリに書き込みおよび読み出しを行うために必要な電流量を減少させる効果がある。導体から離れるように磁場を集中させ、磁場を素子内に集中させることによって、磁場を生成するために必要な電流量を減少させる。必要な電流を減らせば、メモリによる電力消費量も少なくなる。加えて、磁気メモリ素子は、隣接する磁気メモリ・セルが発生する磁場の影響が減少するように機能する。この遮蔽効果によって、メモリ・セルを密接配置しても、隣接するメモリ・セルの磁場によって、これらのメモリ・セルが妨害を受けることはない。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１は、磁気メモリ・セル１０を有する、磁気メモリ・アレイの一部即ち磁気メモリを示す拡大断面図である。メモリおよびセル１０は基板１１を含み、その上にセル１０の他の部分が形成されている。磁気メモリ・セル１０は磁気メモリ・セル素子１４を含み、この素子１４の中に情報が磁化ベクトル(magnetization vector)の形で記憶される。好適実施例では、素子１４は多層巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）物質であり、これは当業者には既知である。図１に示すように、素子１４は矢印で示す長さ２１と、図面に垂直な方向となる幅とを有する。ショート・バー(shorting bar)即ち列導体１２を用いて、列内の素子１４を他のメモリ・セルと接続する。誘電体１３が素子１４および導体１２を被覆し、素子１４をワード線導体１６から絶縁している。導体１６は、矢印で示す幅２２と、図面に垂直な方向にメモリ全体に及ぶ長さとを有する。導体１６は素子１４を覆い、全体的に素子１４にほぼ垂直に延びている。幅２２は、通常、少なくとも長さ２１と等しい。
【０００７】
導体１６の上面は磁性体１７で被覆されている。磁性体１７は高い透磁性を有し、導体１６によって発生する磁場に応答して、磁性体１７の磁化方向を変更可能となっている。通常、磁性体１７の透磁性は素子１４の透磁性よりも高い。通常、電流が導体１６を通過して磁場を発生する。導体１６によって発生する磁場が大きくなるに連れて、磁性体１７の各端部に蓄積される極の強度も、その強透磁性のために大きくなる。その結果、導体１６の上面上またはその上の空間における磁場はゼロとなり、一方、導体１６の残りの部分を包囲する、矢印で示す磁場２０は、導体１６の上面上またはその上の空間における磁場が小さくなった量に等しい量だけ大きくなる。その結果、磁場２０は素子１４に向かって集中し、導体１６の上面または上面の上の空間からは離れることになる。
【０００８】
この磁界２０の強度増大によって、素子１４内に所与の磁場強度を得るために必要な導体１６を通過する電流量が減少する。この電流の減少は、磁性体１７を設けた結果として、素子１４内の磁場強度の増加に直接比例する。磁性体１７は、所与の磁場値を生成するために必要な電流を、約５０パーセント減少可能であると考えられている。
【０００９】
磁性体１７を形成するには、通常、導体１６に用いられる導体物質のブランケット堆積(blanket deposition)を行い、続いて導体１６に用いられる物質の上に磁性体１７に用いられる物質のブランケット堆積を行う。その後、磁性体１７に用いられる物質上でマスクのパターニングを行い、双方の物質の不要部分を除去して、導体１６および磁性体１７を残す。
【００１０】
図２は、図１に示したメモリ１０の他の実施例である、磁気メモリ・セル２５の一部を示す拡大断面図である。図２の部分で図１と同じ参照番号を有するものは、図１の素子に対応する部分である。磁性体１８は、導体１６の両側全体に磁性体１７を拡張することによって形成される。磁性体１８は、矢印で示す磁場１９を、導体１６の両側から遠ざけ、素子１４内に集中させる。このため、磁性体１８の両側および磁性体１７の上面から離れるように集中した磁場強度に等しい量だけ、磁場１９の強度が大きくなる。
【００１１】
この磁場１９の強度増大のために、素子１４内に所与の磁場強度を得るために必要な導体１６を流れる電流量が少なくて済むことになる。この電流減少は、磁性体１７および磁性体１８を設けた結果として、素子１４内の磁場強度の増大に直接比例する。磁性体１７，１８は、所与の磁場を生成するために必要な電流を５０パーセント以上減少可能であると考えられている。
【００１２】
典型的に、磁性体１８は、先ず導体１６および磁性体１７を形成することによって形成される。次に、磁性体１８に用いられる物質のブランケット堆積を磁性体１７および誘電体１３上で行う。続いて、反応性イオン・エッチングを用いて、導体１６上および誘電体１３上の物質を除去し、導体１６の両側において接点物質１７に至るまで磁性体１８を残す。
【００１３】
図３は、図１に示したセル１０の他の実施例である、磁気メモリ・セル３０の一部を示す拡大断面図である。図３の部分で図１と同じ参照番号を有するものは、図１の素子に対応する部分である。セル３０は、導体１６と同様のワード線導体３６を有する。しかしながら、導体３６の幅２３は幅２２よりも大きい。これについては後に見ていくことにする。磁性体３１および磁性体３２が導体１２上に形成され、概略的に素子１４の一部と重なり合っている。磁性体３１，３２は素子１４の長さ２１方向の対向端に形成されており、矢印で示すギャップ３７が素子１４の上に形成され、導体３６と素子１４との間に位置する。誘電体１３が磁性体３１と３２の上に形成される。結果的に、誘電体１３の一部が導体３６と磁性体３１，３２との間に位置し、磁性体３１，３２は導体３６に隣接することになる。
【００１４】
磁性体３１，３２は、矢印で示す導体３６によって形成された磁場３３，３４の強度を、磁性体３１，３２が磁場を導体３６から離れるように集中させた量に等しい量だけ増大させる。ギャップ３７は磁場３４を素子１４内に集中させる。ギャップ３７の幅は長さ２１よりも短く、磁場３４を素子１４内に集中させるのを補助する。通常、幅２３を長さ２１よりも大きくすることによって、導体３６が磁性体３１，３２と重なり合って、磁場３３が磁性体３１，３２と相互作用することを保証する。
【００１５】
図４は、図１に示したセル１０および図３に示したセル３０の更に他の実施例である、磁気メモリ・セル３５の一部を示す拡大断面図である。図４の部分で図１および図３と同じ参照番号を有するものは、図１および図３の素子に対応する部分である。磁性体３１，３２は非常に短いので、磁性体３１，３２のみが用いられる場合に磁性体３１，３２から得られる磁場の増大は少ない。しかしながら、磁性体３１，３２を磁性体１７，１８と共に用いると、得られた磁場がギャップ３７を通して素子１４内に集中する。この結果得られる磁場は、導体３６の上面上、両側、およびその底面の一部から離れるように集中する磁場の量だけ増大する。
【００１６】
図５は、図１に示すセル１０および図３に示すセル３０の更に他の実施例である、磁気メモリ・セル４０の一部を示す拡大断面図である。図５の部分で図１および図３と同じ参照番号を有するものは、図１および図３の素子に対応する部分である。セル４０は、誘電体１３上に形成された磁性体４１と磁性体４２とを有する。磁性体４１，４２は、図３に示した磁性体３１，３２と同様に機能する。導体１６が磁性体４１，４２上に形成されている。磁性体４４が導体１６の上面上に形成され、図１に示す磁性体１７と同様に機能する。磁性体４３が導体１６の両側に沿って形成され、図２に示した磁性体１８と同様に機能する。磁性体４１，４２，４３，４４はギャップ４７を形成し、導体１６によって発生された矢印で示す磁場４６を、導体１６の上部、両側および底面の一部から離すように集中させる作用を行い、磁場４６を素子１４内に集中させる。
【００１７】
図６は、図１に示した磁気メモリ・セル１０を利用した、磁気メモリ・アレイの一部即ち磁気メモリ５０を示す拡大断面図である。図６の部分で図１および図２と同じ参照番号を有するものは、図１および図２の素子に対応する部分である。メモリ５０は、破線のボックスで示す複数のセル１０を含む。セル１０については、図１の検討において既に説明してある。メモリ５０は、図２のセル２５、または図３のセル３０、または図４のセル３５、または図５のセル４０を利用することも可能である。
【００１８】
尚、セル１０，２５，３０，３５，４０は、ディジット線も含み、ワードまたはセンス導体には電流が大き過ぎる場合に、磁場の発生を助けるようにしてもよいことを注記しておく。通常、ディジット線はワード導体上に垂直に配置されるが、磁気メモリ・セル素子の下側であってもよい。導体１６に加えてまたはその代わりに、磁性体１７のような磁性体でディジット線を包囲することも可能である。
【００１９】
以上の説明から、新規な磁気メモリ・セルが提供されたことが認められよう。導体１６から離れるように磁場を集中させ、磁場を素子１４内に集中させることによって、磁場を生成するために必要な電流量を減少させる。必要な電流を減らせば、メモリによる電力消費量も少なくなる。加えて、磁気メモリ素子は、隣接する磁気メモリ・セルが発生する磁場の影響が減少するように機能する。この遮蔽効果によって、メモリ・セルを密接配置しても、隣接するメモリ・セルの磁場によって、これらのメモリ・セルが妨害を受けることはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による磁気メモリの一部を示す拡大断面図。
【図２】本発明による磁気メモリの他の実施例の一部を示す拡大断面図。
【図３】本発明による磁気メモリの更に他の実施例の一部を示す拡大断面図。
【図４】本発明による磁気メモリの更に他の実施例の一部を示す拡大断面図。
【図５】本発明による磁気メモリの更に他の実施例の一部を示す拡大断面図。
【図６】本発明による磁気メモリ・アレイの一部を示す拡大断面図。
【符号の説明】
１０    磁気メモリ・セル
１１    基板
１２    列導体
１３    誘電体
１４    磁気メモリ・セル素子
１６    ワード線導体
１７，１８    磁性体
１９，２０    磁場
２５    磁気メモリ・セル
３０    磁気メモリ・セル
３１，３２    磁性体
３５    磁気メモリ・セル
３６    導体
３７    ギャップ
４０    磁気メモリ・セル
４１，４２，４３，４４    磁性体
４７    ギャップ
５０    磁気メモリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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