(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
動作周波数を有し、基体(19)に形成された共振器(12;56;62)と、基体(19)上に共振器(12;56;62)を支持するために基体(19)に固定された支持構造体(16;18;54)とを備えたマイクロメカニカル共振器デバイス(10;58;64)において、
上記支持構造体(16;18;54)は、上記基体上において上記共振器(12;56;62)の少なくとも１つの節点(14)に取り付けられた支持スプリング(16)を含み、そして上記支持構造体(16;18;54)の支持スプリングと上記共振器(12;56;62)とが、共振器が１μｍよりも大きく１ｍｍよりも小さい長さを有し且つ共振器(12;56;62)の振動中に共振器が分離されるような大きさにされ、それにより、基体(19)に対するエネルギーロスが実質的に軽減され、
上記共振器デバイス(10;58;64)が、上記共振器(12;56;62)の静電励起を許すように基体(19)に形成された少なくとも１つの駆動電極(20;50;51;68)を更に備え、上記共振器(12;56;62)及び少なくとも１つの駆動電極(20;50;51;68)は、それらの間に容量性トランスジューサギャップ(24)を形成し、それにより、共振器デバイス(10;58;64)がＶＨＦ周波数レンジにおいてＱの高い共振器デバイスとなるようにしたことを特徴とするマイクロメカニカル共振器デバイス。
【請求項２】
上記支持構造体(16;18;54)は、共振器(12;56;62)の節点(14)に取り付けられた少なくとも１つのビームを含む請求項１に記載のデバイス。
【請求項３】
少なくとも１つのスペーサ(26;60)を更に備え、各スペーサ(26;60)は、節点(14)において共振器(12;62)と基体(19)との間に延びる請求項１に記載のデバイス。
【請求項４】
上記デバイス(10;58;64)は、シリコンをベースとする共振器デバイスである請求項１〜３のいずれか１つに記載のデバイス。
【請求項５】
上記デバイス(10;58;64)は、ダイアモンドをベースとする共振器デバイスである請求項１〜３のいずれか１つに記載のデバイス。
【請求項６】
出力電流を感知するように基体(19)に形成された感知電極(66)を更に備えた請求項１〜５のいずれか１つに記載のデバイス。
【請求項７】
基体(19)に形成された基本的共振モードを有する共振器(12;56;62)と、基体(19)上に共振器(12;56;62)を支持するために基体(19)に固定された支持構造体(16;18;54)とを備えたマイクロメカニカル共振器デバイス(10;58;64)の動作方法において、
上記共振器(12;56;62)の異なる部分を同時に逆方向に強制的に移動させて、共振器(12;56;62)が基本的共振モードより高い共振モードｍで振動するようにし、共振器(12;56;62)は、ｍ＋１個の節点(14)を有し、そして上記支持構造体(16;18;54)は、支持スプリングを含み且つ共振器が共振器振動中に分離されるように節点(14)に取り付けられ、基体(19)に対するエネルギーロスが実質的に軽減されることを特徴とする方法。
【請求項８】
上記マイクロメカニカル共振器デバイス(58)は、共振器(56)の静電励起を許すように共振器(56)に沿って離間された複数の駆動電極(50;51)を含み、上記強制的に移動させる段階は、上記駆動電極の１つ(50)に同相信号を付与して共振器(56)の第１部分を第１方向に偏向し、そして他の駆動電極(51)に位相ずれ信号を付与して共振器(56)の第２部分を上記第１方向とは逆の第２方向に偏向して、共振器(56)を強制的に正しいモード形状にする段階を含む請求項７に記載の方法。
【請求項９】
上記支持構造体(16;18;54)は、動作周波数に基づいて大きさが決められたｍ＋１個のビーム(16;54)を含む請求項７又は８に記載の方法。
【請求項１０】
上記マイクロメカニカル共振器デバイス(64)は、共振器(62)の静電励起を許すように基体に形成された駆動電極(68)を含み、上記強制的に移動させる段階は、この駆動電極(68)に信号を付与する段階を含み、共振器(62)及び駆動電極(68)は、それらの間に容量性トランスジューサギャップを形成し、そして上記マイクロメカニカル共振器(64)は、更に、ｍ＋１個の節点(14)において共振器(62)と基体(19)との間に延びるｍ＋１個のスペーサ(66)を含み、これらｍ＋１個のスペーサ(60)は、駆動電極(68)に信号を付与する間に共振器(62)を強制的に正しいモード形状にする請求項７〜９のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１１】
上記マイクロメカニカル共振器デバイス(64)は、出力電流を感知するために基体に形成された感知電極(66)を含む請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
上記支持構造体(15;18;54)は、共振器デバイス(64)の動作周波数に基づいて大きさが決められたｍ＋１個未満のビーム(16;54)を含む請求項１０又は１１に記載の方法。
【請求項１３】
上記支持構造体(15;18;54)は、単一ビームを含む請求項１１又は１２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は、マイクロメカニカル共振器を含むデバイスに係り、より詳細には、動作周波数を有するマイクロメカニカル共振器を含むデバイス及び動作周波数を拡張する方法に係る。
【０００２】
【背景技術】
現在のワイヤレス通信サブシステムには、それらのクオリティファクタＱが高くそして温度安定性が顕著なことから周波数選択及び参照のために、クリスタル及びＳＡＷ共振器のような振動型メカニカルタンク部品が広く使用されている。しかしながら、これらのデバイスは、かさばる上に、通常は精密な加工を必要とし、それ故、高価である。オフチップ部品として最も重要なことは、これらメカニカルデバイスが、ボードレベルで集積電子装置にインターフェイスしなければならず、これが、ヘテロダイントランシーバの小型化及び性能にとって重大なボトルネックになることである。
【０００３】
近年、ＩＣに適合するポリシリコン表面マイクロ加工技術を使用して、マクロ型のものと同様の性能を有するマイクロメカニカル共振器（「μ共振器」と省略する）が紹介されている。真空状態でＱが８０，０００以上でありそして中心周波数の温度係数が−１０ｐｐｍ／℃の範囲（ナル技術の場合の数分の１）である場合には、多結晶シリコンのμ共振器が種々の高Ｑ発振器及びフィルタアプリケーションにおいてクリスタルに代わる小型のものとして充分に機能し得る。今日、数ＫＨｚないし数百ＫＨｚの周波数範囲で動作する高Ｑの折り返しビーム型μ共振器が、ニューエンＣ．Ｔ−Ｃ氏等により、「ＣＭＯＳマイクロメカニカル共振発振器の設計及び性能(Design and Performance of CMOS Micromechanical Resonator Oscillators)」、Proceedings of the International Frequency Control Symposium, US, New York, IEEE, Vol.SYMP.48, 1994、第１２７−１３４ページに掲載されている。しかしながら、通信アプリケーションでは、ＶＨＦレンジのＩＦフィルタのような高周波数共振器が必要とされる。
【０００４】
多結晶シリコンからメッキニッケルまでの種々の材料で形成された振動ビームのマイクロメカニカル（即ち「μメカニカル」）共振器が、近年、種々の周波数選択型通信アプリケーションに使用するための潜在的候補として出現している。特に、必要なＶＨＦ及びＵＨＦ周波数が得られるとすれば、低ロスＩＦ及びＲＦフィルタと、高Ｑ発振器の両方は、小型サイズ、実質上ゼロのＤＣ電力消費及びこれらデバイスの集積性から利益を得ることができる。
今日、小さなかさと高いスチフネスの両方が比較的容易に得られることから、クランプ−クランプ型ビームのμメカニカル共振器がＶＨＦレンジのアプリケーションに対して広範囲に試験されている。通信グレードの共振器では高いＱと高いスチフネスが同時に得られることが重要である。というのは、スチフネスは、このような共振器で構成される回路のダイナミックレンジに直接影響するからである。しかしながら、クランプ−クランプ型ビーム設計の場合に、大きなスチフネスは、しばしば、大きなアンカー消散を犠牲にして得られ、ひいては、共振器のＱが低くなる。
【０００５】
マクドナルド氏等の米国特許第５，６４０，１３３号は、キャパシタンスをベースとする同調型のマイクロメカニカル共振器を開示している。この共振器は、複数の電極を保持する可動ビームを備えている。又、この共振器は、複数の静止電極も備えている。動作中に、ビーム電極及び静止電極に印加される調整可能なバイアス電圧を使用して、共振器の共振周波数が調整される。
バーンズ氏等の米国特許第５，５５０，５１６号は、一体型の共振マイクロビームセンサ及びトランジスタ発振器を開示している。高いＱ値を与えることのできるセンサ及び発振器は、種々の回路、電極配置及び種々の構成のマイクロビーム形状を使用して、動作共振周波数を変更する。
【０００６】
アルブレッチ氏等の米国特許第５，３９９，２３２号は、一体型のピラミッド状尖端を有するマイクロ製造された片持梁式の針を開示している。片持梁アームに一体的に形成されたピラミッド状尖端は、アームの移動を尖端の方向に制限する。
グリフィン氏等の米国特許第４，２６２，２６９号は、共振器の位置を利用して所望の性能を与えるＱ改善共振器を開示している。共振器は、所望のロス特性を得るために１／４波長の距離だけ分離される。
ファラス氏等の米国特許第４，７２１，９２５号は、シリコンウェハーからエッチングされたマイクロメカニカル電子発振器を開示している。この特許は、所望の特性に基づいて発振器を動作できるようにする構成及び回路について説明している。
一般的に、次の米国特許が本発明に関連している。
第４，０８１，７６９号；第４，５９６，９６９号；第４，６６０，００４号；第４，８６２，１２２号；第５，０６５，１１９号；第５，１９１，３０４号；第５，４４６，７２９号；第５，４２８，３２５号、第５，０２５，３４６号；第５，０９０，２５４号；第５，４５５，５４７号；第５，４９１，６０４号；第５，５３７，０８３号；及び第５，５８９，０８２号。
【０００７】
【発明の開示】
本発明の目的は、基体上に形成された高いＱファクタのマイクロメカニカル共振器を含むデバイスであって、現在の商用トランシーバの周波数レンジを有するデバイスを提供すると共に、共振器の動作周波数を拡張する方法を提供することである。
本発明の別の目的は、基体上に形成された高いＱファクタのマイクロメカニカル共振器を含むデバイスであって、公知共振器の基本的な撓みモードビーム設計を保持するが、戦略的にそれらの支持体を変更して、アンカー及びそれに関連したロスが設計から実質上排除されるようにしたデバイスを提供することであり、この解決策を使用して、中心周波数が３０ＭＨｚないし９０ＭＨｚ以上で、高いスチフネスを有し、そしてＱが８４００程度の高さである自由−自由ビームのμメカニカル共振器が実証されている。
【０００８】
本発明の更に別の目的は、基体上に形成された高いＱファクタのマイクロメカニカル共振器を含むデバイスであって、ａ）シリコンをベースとするプレーナーＩＣ技術に適合し、ｂ）ＳＡＷ及びクオーツ共振器に比してサイズが何桁も減少され、ｃ）広いＶＨＦレンジにおいて高いＱを達成し、ｄ）収率改善設計を有し、そしてｅ）良好な温度安定性を有するデバイスを提供することである。このデバイスは、ワイヤレストランシーバ（例えば、セルラー電話、コードレス電話、ＧＰＳ等）及び共振器ベースのセンサシステムに潜在的なアプリケーションを有する。
【０００９】
本発明の上記目的及び他の目的を達成する際には、動作周波数を有するマイクロメカニカル共振器と、基体に形成された共振器ビームとを含むデバイスが提供される。このデバイスは、基体上に共振器ビームを支持するために基体に固定された非侵入型支持構造体を備えている。この支持構造体は、共振器の動作周波数の有効１／４波長に対応する大きさにされた少なくとも１つのねじれビームを含む。この少なくとも１つのねじれビームは、共振器ビームが横方向運動に対して実質的に抵抗を見ないように、共振器ビームの少なくとも１つの撓み節点に取り付けられる。共振器は、Ｑの高い共振器である。
本発明の実施形態において、共振器ビームの静電励起を許すために基体に少なくとも１つの駆動電極が形成される。共振器ビーム及び少なくとも１つの駆動電極は、それらの間に容量性のトランスジューサギャップを形成する。
【００１０】
ある高さを有する少なくとも１つのスペーサが、少なくとも１つの撓み節点において共振器ビームと基体との間に延びる。ギャップのサイズは、共振器ビームのプルダウン中に少なくとも１つのスペーサの高さに基づく。
好ましくは、共振器は、シリコンをベースとする共振器であるが、ニッケル又はダイアモンドをベースとするものでもよい。
更に、本発明の上記目的及び他の目的を達成する際には、高いＱを有する撓みモードのマイクロメカニカル共振器デバイスが提供される。このデバイスは、基体と、少なくとも１つの撓み節点を有する共振器ビームとを備えている。又、このデバイスは、共振器ビームを少なくとも１つの撓み節点に支持するための少なくとも１つのねじれビームと、この少なくとも１つのねじれビームを基体に固定するための少なくとも１つの堅牢なアンカーとを備えている。更に、このデバイスは、電気信号が付与された際に共振器ビームを振動させる少なくとも１つの駆動電極を備えている。少なくとも１つのねじれビームは、振動する共振器ビームを少なくとも１つの堅牢なアンカーから実質的に分離するためのインピーダンス変換を遂行する大きさとされる。
【００１１】
更に、本発明の上記目的及び他の目的を達成する際には、マイクロメカニカル共振器の動作周波数を拡張する方法が提供される。マイクロメカニカル共振器は、基体に形成された基本的共振モードを有する共振器ビームを含む。上記方法は、共振器ビームの異なる部分を同時に逆方向に強制的に移動させて、共振器ビームが、基本的共振モードより高い共振モードｍで振動するようにする段階を含む。共振器ビームは、ｍ＋１個の撓み偏向節点を有する。
この方法の第１の実施形態では、マイクロメカニカル共振器は、共振器ビームの静電励起を許すように共振器ビームに沿って離間された複数の駆動電極を含む。上記強制的に移動させる段階は、駆動電極の１つに同相信号を付与して共振器ビームの第１部分を第１方向に偏向し、そして他の駆動電極に位相ずれ信号を付与して共振器ビームの第２部分を上記第１方向とは逆の第２方向に偏向して、共振器ビームを強制的に正しいモード形状にする段階を含む。
【００１２】
マイクロメカニカル共振器は、動作周波数の有効１／４波長に対応する大きさにされたｍ＋１個のねじれビームを含む。共振器ビームが横方向運動又はねじれ運動に対する抵抗を実質的に見ないように共振器ビームの各節点にねじれビームの１つが取り付けられる。
上記方法の第２の実施形態では、マイクロメカニカル共振器は、共振器ビームの静電励起を許すように基体に形成された駆動電極を含む。上記強制的に移動させる段階は、この駆動電極に信号を付与する段階を含む。共振器ビーム及び駆動電極は、それらの間に容量性トランスジューサギャップを形成する。マイクロメカニカル共振器は、更に、ある高さを有し、ｍ＋１個の節点において共振器ビームと基体との間に延びるｍ＋１個のスペーサを含む。これらｍ＋１個のスペーサは、駆動電極に信号を付与する間に共振器ビームを強制的に正しいモード形状にする。
第２の実施形態では、マイクロメカニカル共振器は、通常、出力電流を感知するために基体に形成された感知電極も含む。
上記方法の第２の実施形態では、マイクロメカニカル共振器は、ｍ＋１個未満のねじれビームを含む。例えば、マイクロメカニカル共振器は、単一のねじれビームを含む。
【００１３】
【発明を実施するための最良の形態】
本発明の上記目的、他の目的、特徴及び効果は、添付図面を参照した本発明の好ましい実施形態の詳細な説明から明らかとなろう。
添付図面を参照すれば、図１は、自由−自由ビームの撓みモードのμメカニカルデバイス即ち共振器を参照番号１０で一般的に示すと共に、電気的ピックオフ機構を示す斜視図である。しかしながら、ほとんどの実際のアプリケーションでは１Ｘバッファが使用されないことを理解されたい。
図１に示すように、デバイス１０は、４本のねじれビーム１６により撓み節点１４に支持された自由−自由μメカニカル撓みビーム１２を備え、各ねじれビーム１６は、図５ａ−５ｂに最も良く示すように、堅牢なコンタクトアンカー１８により基体１９に固定される。基体１９は、以下に述べるように、多数の層を含むのが好ましい。しかしながら、本発明から逸脱せずに、単一のねじれビームを単一の堅牢なコンタクトアンカーと共に使用してもよいことを理解されたい。この場合に、単一のねじれビームは、撓みビームを単一の撓み節点において支持する。
【００１４】
駆動電極２０が自由−自由ビーム１２の下に設けられ、ＡＣ電圧Ｖiの印加により静電気励起を行えると共に、出力電流は、ＤＣバイアスされた（Ｖpを経て）共振器構造体２２から直接検出される。このデバイス１０のねじれ支持ビーム１６は、自由−自由ビーム１２を堅牢なアンカー１８から分離するインピーダンス変換を行うために、１／４波長寸法で戦略的に設計される。理想的には、自由−自由ビーム１２は、その支持体即ちビーム１６に向かってゼロインピーダンスを見、従って、実際には、あたかも支持なしに浮かび上がったかのように動作する。その結果、従来のクランプ−クランプビーム共振器に通常見られるアンカー消散メカニズムが著しく抑制され、デバイスのＱを著しく高くすることができる。しかしながら、プッシュ−プル励起を行うように多数の駆動電極が使用されてもよいことを理解されたい。この場合には、感知、周波数同調及び出力の検出のための電極も使用できる。
【００１５】
付加的な収率及びＱ改善特徴として、このデバイスにおけるトランスジューサキャパシタギャップ間隔は、従来のクランプ−クランプビームの高周波数デバイスにおいて（困難を伴って）行われていたように、薄い犠牲的な酸化物を介して完全に決定されるのではない。むしろ、キャパシタギャップ２４は、ここでは、タイミングを合わせたエッチングにより設定されるスペーサ即ち突起２６の高さによって決定される。図２に示すように、突起２６の高さは、駆動電極２０と共振器ビーム１２との間に充分に大きなＤＣバイアスＶpが印加されたときに、全構造体が下降して突起２６にのせられ、突起２６は、撓み節点１４に位置され、従って、共振器の動作にほとんど影響しないというものである。スペーサ２６は、共振器ビーム１２に形成されてもよいし、又は基体１９に形成されてもよい。
【００１６】
キャパシタギャップ間隔２４を設定するために突起を使用する効果は、２つある。即ち（１）非常に厚い犠牲的酸化物スペーサを使用して、超薄型犠牲層におけるピンホール及び非均一性による従来の問題を軽減することができ、そして（２）厚い犠牲的酸化物は、従来の薄いものより除去が容易であり、従って、必要なＨＦ解除エッチング時間（図５ｂに示す）を短縮し、そしてエッチングの副産物がギャップ２４に残留する（そこでそれらが共振器の動作及びＱに干渉する）機会を少なくする。しかしながら、単一のスペーサ又は突起、並びに３つ以上のスペーサを使用してもよいことを理解されたい。通常、多数のスペーサ又は突起は、以下で詳細に述べるように、デバイスのより高いモード動作に使用される。
【００１７】
自由−自由ビームのμ共振器設計
本発明の自由−自由ビームのμメカニカル共振器デバイス１０の適切な設計は、所与の周波数を発生する幾何学形状の選択を伴うだけでなく、支持分離を確保し、下方突起(dimple-down)及び引き込み(pull-in)安定性を保証し、そしてより複雑な支持ネットワークに関連したスプリアスモードを抑制する幾何学形状の選択も伴う。これらの各事柄について以下に説明する。
【００１８】
共振器ビーム設計
ほとんどの実際的な設計の場合に、共振器ビームの巾Ｗrは、トランスジューサ及び長さ対巾比の設計事項により決定され、一方、その厚みｈは、主としてプロセス制約により決定される。ほとんどはデフォールトによるものであり、従って、長さＬrは、全体的な共振周波数を設定するための主たる変数となる。Ｌr対Ｗr及びＬr対ｈの比が大きい場合には、自由−自由ビームの基本モード周波数に対する次のような一般的なオイラー−ベルヌイ方程式で充分である。
【数１】
0003790104.tif 000002
但し、ｋri及びｍriは、各々、μ共振器ビーム１２の中間点における有効スチフネス（剛性）及び質量であり、αは、ビームのトポロジー及びアンカー１８における有限弾性を考慮する適合パラメータであり、ｋmiは、これもビーム１２の中間点におけるμ共振器の機械的スチフネスであるが、今度は、Ｖp＝０Ｖの特殊なケースに対するものであり、次の式で表される。
【数２】
0003790104.tif 000003
そして＜ｋe／ｋm＞は、電極巾Ｗeにわたって一体化された機械的−電気的合成スチフネス比を表すパラメータで、次の関係を満足する。
【数３】
0003790104.tif 000004
但し、ε0は、真空中の透磁率であり、ｄは、突起が下方に延びた状態での電極対共振器ギャップ間隔である。他の全ての幾何学的変数は、図１に示され、そして機械的スチフネスｋmの位置依存性について以下に明確に示す。
【００１９】
式（１）は、ビーム長さがそれに対応する巾及び厚みより著しく長い低周波数設計に対して充分に機能する便利な閉じた形態の関係を構成する。ビーム長さがそれらの巾及び厚み寸法に接近し始めるところの高いＶＨＦ設計の場合には、オイラー−ベルヌイ方程式は、もはや正確でなくなる。というのは、せん断変位及び回転慣性を無視するからである。高いＶＨＦμメカニカル共振器に対して正確なビーム長さを得るためには、結合方程式の同時解を含むチモセンコによる設計手順が適当である。
【数４】
0003790104.tif 000005
そしてＩrは、慣性モーメントであり、Ｅは、構造物質のヤング係数であり、ｖは、ｖは、ポアソン比であり、κは、形状ファクタであり（長方形断面の場合、κは２／３である）、Ａ、ｍ、及びｐ(ｙ,ｔ)は、各々、ビームの断面積、単位長さ当たりの質量、及び単位長さ当たりの荷重であり、Ψは、曲げによる傾斜であり、そして軸の定義は、図１に示される。
【００２０】
支持構造体の設計
上述したように、本発明の自由−自由μメカニカル共振器デバイス１０は、図３に示した基本モード節点１４に固定された４本のねじれビーム１６により支持され、このビームは、次のモード形状方程式を評価することにより特定される。
【数５】
0003790104.tif 000006
そしてω0は、ラジアン共振周波数であり、ρは、構造物質の密度である。基本モードの場合、βＬrは、４．７３である。
ビーム１６は節点１４に取り付けられるので、支持スプリング即ちビーム１６は、（理想的には）共振器の振動中に並進移動を持続せず、従って、クランプ−クランプビーム共振器により持続されたような並進移動による支持（即ち固定）ロスが著しく軽減される。更に、支持ねじれビーム１６が、当該ＶＨＦ周波数において実際には音響伝送線のように振舞うことを認識すれば、自由−自由ビーム１２に対して実質上インピーダンスを与えないように支持体の寸法を戦略的に選択することによりねじれロスメカニズムを無効にすることもできる。より詳細には、共振器の動作周波数の有効１／４波長に対応するようにねじれ支持ビーム１６の寸法を選択することにより、支持ビーム１６の片側における内実の固定状態が、共振器ビーム１２に接続する他側の自由端状態に変換される。その結果、共振器ビーム１２は、実際上、全く支持を「見ず」、そしてあたかもアンカー及びその関連ロスメカニズムがなく基体１９上に浮いているかのように動作する。
【００２１】
上記の変換は、おそらく、ねじれビーム１６に対して等価音響πネットワークモデルを使用して容易に明らかとなろう。より詳細には、所与の支持ビーム１６の寸法が共振器動作周波数の有効１／４波長に対応するときに、その等価音響πネットワークが図４ｂに示す形態をとり、ここでは、直列及び分路アームインピーダンスが、互いに逆の等しいスチフネスｋb及び−ｋbによってモデリングされている。図４ａのビーム１６をＢ側で固定することが、図４ｂのＢポートを短絡することに対応するとすれば、図４ｂの回路における残留ｋb及び−ｋbの打消しにより、ポートＡに見られるインピーダンスがゼロになることが明らかである。
適当な音響ネットワーク分析により、ねじれビームの寸法は、次の式を満足するときには、動作周波数の１／４波長に対応することが分かった。
【数６】
0003790104.tif 000007
【００２２】
トランスジューサ設計
μメカニカル共振器１０の入力即ち駆動電極２０に向かって見える直列運動抵抗Ｒz（他のインピーダンス素子の中で）の値は、フィルタ及び発振器の両アプリケーションにおいて最も重要である。従来の容量性変換型クランプ−クランプビームμメカニカル共振器の場合のように、電極対共振器の重畳容量に直接影響するＷe、Ｗr及びｄのようなパラメータは、共振器１０に印加されるＤＣバイアスＶpと同様に、入力電極２０に向かって見える電気的インピーダンスに直接保持されるものである。適当なインピーダンス分析により、この容量性変換される自由−自由ビームμメカニカル共振器１０のＲzを左右する式は、次の通りである。
【数７】
0003790104.tif 000008
但し、中心電極２０に対してＬ1＝０．５（Ｌr−Ｗe）そしてＬ2＝０．５（Ｌr＋Ｗe）である。
【００２３】
上述したように、通常の動作状態のもとでは、自由−自由ビーム共振器１０は、共振器１０に印加されるＤＣバイアス電圧Ｖpによりその支持突起２６へプルダウンされねばならない。突起２６が「ダウン」であるときだけ、電極対共振器のギャップ間隔ｄは、ほとんどのアプリケーションに対して充分な電気機械的結合を与えるに充分なほど小さい。従って、デバイスの入力電極２０を設計するときには、電極２０に向かって見える入力インピーダンスだけでなく、突起２６をプルダウンするに必要なＶpについても、入念に考慮しなければならない。この電圧Ｖpは、共振器ビーム１２をその突起２６に対して充分にプルダウンしながら、突起２６がダウンとなった後に自由−自由ビーム１２が電極２０にプルダウンされるのを回避するに充分なほど小さくなければならない。典型的に、ＤＣバイアス電圧Ｖpは、次の関係を満足しなければならない。
Ｖc＞Ｖp＞Ｖd                          （１１）
但し、Ｖdは、突起ダウン電圧であり、そしてＶcは、共振器プルダウン電圧である。
【００２４】
共振器１０をその突起２６に対してプルダウンするときには、支持ビーム１６がほとんどの場合に自由−自由共振器ビーム１２より著しくコンプライアンスがあるので、共振器ビーム１２自体にはほとんど曲がりが発生しない。従って、プルダウンを防止する復帰力は電極２０にわたって均一であり、そして突起ダウン電圧Ｖdは、次の式で表される。
【数８】
0003790104.tif 000009
但し、ｋsは、支持ビーム１６のスチフネスであり、そしてｄmiは、初期ギャップ（即ち図２ａ）であり、その後、ビーム１２は、その突起２６に対してダウンされる（即ち図２ｂ）。
突起２６がダウンされると、電極２０に向かう共振器ビーム１２の更なる移動が、共振器ビーム１２自体の曲げにより得られる。ここで、電極２０は、プルダウンを防止する分布したスチフネスを見、これは、ここでは、破壊的な共振器プルダウン電圧Ｖcを正確に予想するために電極面積にわたって積分されねばならない。従って、Ｖcを決定する手順は、設定（３）を１に等しくし、そしてＶp変数に対して解くことである。
【００２５】
デバイスの製造
周波数が３０−３９ＭＨｚで、種々の初期ギャップ及び突起深さをもつ多数の自由−自由ビームμ共振器が、上述した方法を用いて設計され、次いで、図５ａ及び５ｂに示すプロセスの流れで示された５マスクのポリシリコン表面マイクロ加工技術を使用して製造された。テーブルＩは、図１に示されたパラメータ及び寸法を参照して、７０ＭＨｚバージョンに対する設計データを要約するものである。
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【００２６】
製造シーケンスは、分離層３０及び３２が次々の成長により形成され、そして２μｍの熱酸化物及び２０００ÅのＬＰＣＶＤ  Ｓｉ3Ｎ4が各々＜１００＞の軽くドープされたｐ型出発シリコンウェハー３４上に付着された状態で始まる。次いで、３０００ÅのＬＰＣＶＤポリシリコンが５８５℃で付着され、インプランテーションを介して燐ドープされ、次いで、接地平面２２及び相互接続部を形成するようにパターン化される。次いで、ＬＰＣＶＤ犠牲的酸化物層３８が、式（１２）で指示される厚みまで付着され、その後、次々のマスキング段階を使用して、突起及びアンカー開口４０を得る（図５ａ参照）。正確な深さを確保するために、突起は、ＣＦ4化学物質を使用して正確に制御された反応性イオンエッチングにより形成される。一方、アンカー１８は、緩衝フッ化水素酸（ＢＨＦ）の溶液中で単純に湿式エッチングされる。
【００２７】
次いで、構造用ポリシリコンが５８５℃でＬＰＣＶＤを経て付着され、そして燐のドーパントがイオンインプランテーションにより導入される。次いで、２０００Å厚みの酸化物マスクが９００℃でＬＰＣＶＤを経て付着され、その後、ウェハーが１０００℃で１時間アニールされ、ストレスを緩和すると共に、ドーパントを分散させる。次いで、酸化物マスク及び構造層の両方が、各々、ＳＦ6／Ｏ2系及びＣｌ2系のＲＩＥエッチングによりパターン化され、そして構造体１２及び１６が４８．８重量％のＨＦ中で５分間のエッチングにより解除される。この解除エッチング時間は、突起作用型ギャップ間隔から利益が得られず、従って、数百Åの犠牲的酸化物厚みを必要した従来のクランプ−クランプビーム共振器に要する時間（１時間以内）より著しく短い。
構造解除の後に、アルミニウムが蒸発され、そして直列抵抗を減少するためにリフトオフを介してポリシリコン相互接続部上にパターン化される。
【００２８】
実験データ
実験データは、ＶＨＦ周波数において高いスチフネスを有するクランプ−クランプビーム共振器の場合にアンカー消散が主たるロスメカニズムになっており、そして非侵入支持体１６を有する自由−自由ビーム共振器１０を使用すると、このロスメカニズムが相当に緩和されることを強く示唆している。
又、実験データは、クランプ−クランプビーム共振器は、周波数が５０−７０ＭＨｚから増加するにつれてＱの低下を示すが、自由−自由ビーム共振器は、この周波数レンジにわたって非常に一定のＱを維持することも示している。
【００２９】
第１の結論
節点１４に固定された１／４波長のねじれ支持体１６と、電気的に作動され、突起で決定される電極対共振器ギャップ２４とを組合せて使用すると、ここに開示する自由−自由ビームのμメカニカル共振器設計は、現在クランプ−クランプビーム共振器の妨げとなっているアンカー消散及び処理の問題を巧妙に解消し、そしてその際に、高Ｑのマイクロエレクトロメカニカルシステムのアプリケーション範囲を、より高い周波数への途中を割愛するために大きなＱで中間ＶＨＦレンジまで首尾良く拡張する。本発明のμメカニカル共振器設計は、多くのセルラー及びコードレス通信サブシステムに使用される最も一般的なＩＦの幾つかを含む周波数レンジにおいて８０００以上のＱを達成し、そして発振器及びフィルタの両アプリケーションにおいて充分なダイナミックレンジを維持するのに必要な高いスチフネスを保ちながらそれを行う。
【００３０】
ここに述べるＶＨＦ周波数は、特に、この設計の観察されたＱが、設計された周波数レンジ全体にわたって大きな値を維持し、周波数の増加に伴うロールオフをほとんど又は全く示さないと考えられるならば、μメカニカル共振器技術の最終的なレンジを何ら表すものではない。
上述した自由−自由ビームμメカニカル共振器設計の周波数を拡張する方法について以下に説明する。特に、２つの技術を使用して高い振動モードを励起し、周波数の利得を実現することができる。これらの技術は、自由−自由ビーム設計に限定されない。これら技術は、実際には、種々の他の共振器設計に適用することができる。
上述したように、自由−自由ビームμメカニカル共振器は、図３に示すようにその基本的モードで振動することにより動作できる。
【００３１】
幾何学的サイズを著しく減少する必要があるために、基本的モードで動作する自由−自由ビーム共振器の周波数を拡張することは困難である。しかしながら、図７ａ及び７ｂに示すように共振器ビームの高い共振モードを励起することにより、幾何学的サイズを減少せずに著しい周波数利得を得ることができる。
図７ａ及び７ｂには、第２及び第３モード励起が各々概念的に示されている。明らかに、各モードｍに対し、ｍ＋１個の撓み偏向節点が存在する。固定の幾何学的サイズに対しこれらのモード及び後続モードにより得られる周波数利得ファクタがテーブル２に示されている。ここでは、１００ＭＨｚ基本モードデバイスに対する周波数利得も示されている。
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【００３２】
これらの高いモードを励起するための１つの技術は、差動シグナリングを使用することである。図８に示すように、同相信号が電極５０に印加されてある方向のビーム偏向を誘起し、一方、位相ずれした信号が電極５１に印加されてモード形状で示されたように逆方向のビーム偏向を誘起する。図８は、第２モード励起に対してこの技術を示すだけであるが、これは、基本的モードより大きないかなる振動モードにも容易に拡張される。
正しいモード形状が強制されるように保証するために、図９に示すように、各節点に少なくとも１つの１／４波長支持ビーム５４が配置される。この１／４波長支持ビーム５４は、その撓みビーム５６に対してゼロのねじれモードインピーダンスを与えるように設計される。しかしながら、支持ビーム５４は、著しい撓みモードインピーダンスを与える。それ故、ビーム５６は、他のモード形状へと偏向することができない。図９は、このトポロジーを伴い５８で一般的に示された第２モードデバイスの上から見た概略図である。
【００３３】
差動シグナリング技術の１つの欠点は、偶数次の共振モードの振動を感知することが困難なことである。この概念は、図１０に最も良く示されている。両電極５０及び５１は、ビーム５６を強制的に正しいモード形状にするのに使用されるので、信号は、図１０に示すように、ビーム５６から検出されるのが最も便利であり、ここで、キャパシタＣは、ビーム５６からの信号を結合し、そしてインダクタＬは、バイアス電圧pＶを分離する。しかしながら、偶数次の共振モードに対してはビーム５６から信号が出されない。これは、非対称的形状のためにビーム５６の信号を効果的に打ち消すこれらモードに対するモード形状の性質によるものである。これは、対称的モード形状を有する奇数次モードには当てはまらず、それ故、差動シグナリング技術は、これらモードに良く適している。
【００３４】
上述した問題を克服するために別の技術を使用することができる。より詳細には、所与のモード形状に対し、各節点においてビーム６２に小さな突起即ちスペーサ６０が形成される。バイアス電圧（Ｖp）を印加すると、ビーム６２がこれら突起６０にのせられる。突起６０は、ビーム６２を強制的に正しいモード形状にする「柔軟な節」を形成する。この考え方は、ギターで自然の倍音を弾くのと実質的に同じである。この解決策は、「下方突起(dimple-down)技術」と称され、図１１にデバイス６４と共に示されている。
振動の感知は、全共振モードに対して容易に達成される。というのは、正しいモード形状を強制するために両電極６６及び６８を使用することがもはや必要とされないからである。ここでは、突起６０がビーム６２をモード形状に強制し、印加される信号ではない。図１１に示すように、一方の電極６８は、デバイス６４を駆動するのに使用でき、そして他方の電極６６は、感知に使用できる。
【００３５】
又、下方突起技術は、モード形状が突起６０のみによって強制されるので、少数の１／４波長支持ビーム（図示せず）の使用も許す。実際には、デバイス６４に対して１つ程度の支持ビームを使用できる。
製造公差には限度があるために、１／４波長ビームは一定のエネルギー消散を示し、これは共振器のクオリティファクタを減少させる。それ故、この消散メカニズムを最小限にすることが最重要である。上述した下方突起技術及び単一支持ビーム（多数の支持体ではなく）の使用は、この消散メカニズムを最小にし、それ故、上述した差動シグナリング技術よりも良好な性能を与える。
【００３６】
第２の結論
自由−自由ビームμメカニカル共振器及び他の共振器の高モード動作によって周波数を拡張する２つの技術又は方法について説明した。差動シグナリング技術は、奇数次モードに対して最も適しており、一方、下方突起技術は、いかなるモード形状にも適している。しかしながら、性能について考えると、下方突起技術は、少数の１／４波長支持ビームが必要とされるだけであり、それ故、エネルギー消散が最小となるので、優れている。
以上、本発明の好ましい実施形態を詳細に説明したが、これらの実施形態は、本発明の考えられるあらゆる形態を示すものではない。むしろ、ここで使用した用語は、説明のための用語であって、それに限定されるものではなく、本発明の精神及び範囲から逸脱せずに種々の変更がなされ得ることを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の非侵入型支持構造体をもつ自由−自由ビーム共振器の概略斜視図で、典型的なバイアス、励起、及びオフチップ出力感知回路を示す図である。
【図２ａ】  図１の２−２線に沿った製造後の共振器の断面図である。
【図２ｂ】  図２ａと同様であるが、適当な大きさのＤＣバイアス電圧Ｖpを印加した後の図である。
【図３】  一対の節点をもつ静的状態にある自由−自由ビームを示すと共に、その基本的モードでの振動を仮想線で示す側面図である。
【図４ａ】  側部固定の共振器の１／４波長ねじれビームを示す概略斜視図である。
【図４ｂ】  図４ａのビームに等価な音響ネットワークの回路図で、ポートＡがゼロインピーダンスで、ポートＢが接地された状態を示す図である。
【図５ａ】  図１の５−５線に沿った製造中の共振器のねじれビームを示す断面図である。
【図５ｂ】  図５ａと同様であるが、更に製造プロセスに沿って示す図である。
【図６】  本発明の９２．２５ＭＨｚの自由−自由ビーム共振器に対する測定スペクトルのグラフである。
【図７ａ】  図３と同様であるが、ビームが３つの節点を有し、そしてその第２共振モードでの振動を仮想線で示した図である。
【図７ｂ】  図３及び７ａと同様であるが、ビームが４つの節点を有し、そして第３共振モードでの振動を仮想線で示した図である。
【図８】  共振器を第２共振モードで励起するための差動シグナリング方法を示す共振器の断面図である。
【図９】  各節点に配置された支持ビーム及び一対の電極を有する第２モード共振器を示す上方斜視図である。
【図１０】  共振器と、共振器のビームから外れた第２共振モードの振動を感知する感知回路とを示す断面図である。
【図１１】  共振器と、下方突起技術を用いて第２共振モードの振動を感知し、１つの電極を使用してデバイスを駆動しそして別の電極を使用して振動を感知するための感知回路とを示す断面図である。
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図６】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図７ａ】
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【図７ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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