(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周に円筒面または円錐面を形成した保持体と、
前記保持体に複数の球体を保持体の軸線方向に沿って列設し、
前記列設した球体の列を複数列配置したことを特徴とする３次元座標測定機用ゲージ。
【請求項２】
前記球体の列を球体固定部材に固定し、
前記球体固定部材を前記保持体に固定したことを特徴とする請求項１記載の３次元座標測定機用ゲージ。
【請求項３】
前記球体固定部材を前記保持体の表面に形成した溝に嵌合したことを特徴とする請求項２記載の３次元座標測定機用ゲージ。
【請求項４】
前記球体固定部材に永久磁石を設け、磁性材からなる保持体に吸着固定したことを特徴とする請求項２記載の３次元座標測定機用ゲージ。
【請求項５】
前記球体固定部材を前記保持体の表面上で保持体の軸線を中心に捻リ、側面視で傾斜状態に固定したことを特徴とする請求項２記載の３次元座標測定機用ゲージ。
【請求項６】
前記保持体に標準リングゲージ部を形成したことを特徴とする請求項１記載の３次元座標測定機用ゲージ。
【請求項７】
前記保持体の端面に立設用突起を設けたことを特徴とする請求項１記載の３次元座標測定機用ゲージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、３次元座標測定機の性能評価に用いるためのゲージに関し、特に円筒上または円錐状表面を備えた保持体に複数の球体を固定したゲージを用い、迅速且つ簡便に３次元座標測定機の校正、真直度及び直角度を同時に求めることができるようにした円筒ゲージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
３次元座標測定機（coordinate measuring machine：ＣＭＭともいう。）は、３次元空間に存在する離散したＸ、Ｙ、Ｚの座標点を用いて計算機の支援により寸法及び形状を測定するための計測機であり、より具体的には、定盤上に載置した被測定物と、測定機においてＺ軸先端に取り付けたプローブとを、Ｘ、Ｙ、Ｚの３次元方向へ相対移動させ、プローブが被測定物に接触した瞬間をとらえ、この瞬間を電気的トリガとして各送り軸方向の座標値を読みとり、計算機により寸法及び形状を計測するものである。このような３次元座標測定機は、自動車用のエンジンや変速機のケースのような機械部品類の寸法測定に用いられ、測定テーブル上にセッティングした被測定物に対して上記のようなプローブの先端を接触させて測定を行っている。
【０００３】
上記のような３次元座標測定機においては、一般的に、プローブが互いに直交する３つの方向に移動可能な構造になっており、例えば、特開平２−３０６１０１号公報に記載されているものでは、被測定物がセッティングされる測定テーブルの両側で水平方向のレールに案内されて直線移動する門柱状の第１の移動体を有しており、前記第１の移動体には、その移動方向と直角な水平方向に移動可能な第２の移動体が搭載されている。この第２の移動体には、上下方向に移動可能なスピンドル部が設けられていて、このスピンドル部の先端には球を固定したプローブが取り付けられ、測定テーブル上にセッティングされた被測定物の上面にプローブ先端の球を接触させながらこれを３次元方向に移動させて被測定物各部の寸法を測定している。
【０００４】
このような３次元座標測定機においては、プローブ先端の球が摩耗すると正確な寸法の検出ができなくなる。また、３次元座標測定機に生じる測定誤差には、プローブ先端の移動を案内するガイドレール等の案内部材の湾曲や歪みによって生じるプローブ先端の蛇行による誤差や、互いに直角な方向にプローブの移動を案内する２つの案内部材間の直角からの角度誤差等も含まれている。
【０００５】
３次元座標測定機は特に高精度を要求され、高品質の生産形態を構築する上で重要な要素となる。３次元座標測定機による高精度の測定を保証する意味から、精度検査を逐次行い、その後この３次元座標測定機を用いて測定する際には、精度検査の結果を補正値として用いて測定値を校正し、或いは調整手段により３次元座標測定機の微調整を行っている。この３次元座標測定機の精度検査に際しては、基準となるゲージが必要であり、そのゲージとしては、プローブを３次元的に移動させることによりその検出値を評価できるようにしなければならない。
【０００６】
３次元座標測定機の各軸の誤差をどのように調べるかということは多くの研究者にとって重大な課題であった。そこで、３次元座標測定機の誤差を求める目的にあったゲージの考案がなされ、基本的には球体の測定を行ってなされるべきであることは周知の事実となっている。そして、球体をどのような形態で配置した測定評価ゲージとするかが次の問題となり、球体を同一平面内にどのように配置するのか、或いは立体的に配置するのか等、種々検討されている。
【０００７】
このような３次元座標測定機の測定評価用のゲージとして、本発明者等は特開２００１−３３０４２８号公報に示されるような３次元座標測定機の測定誤差評価方法及び３次元座標測定機用ゲージを提案している。ここで用いられるゲージは、図６に示すようなものであり、この３次元座標測定機用ゲージ３１は、平面視において等脚台形状の輪郭を有し、均一な厚さを有するブロック状の保持体３２と、この保持体３２の両側の傾斜した面に５個づつ等間隔に配列されている複数の球体３３から構成されている。保持体３２の各面は高精度の平面に仕上げられ、その厚み方向に貫通する４つの透孔３４が開けられている。
【０００８】
上記のような３次元座標測定機用ゲージ３１を用いて、３次元測定機の校正評価を行うに際しては、先ず１つの球体の赤道上の４点と極の１点の合計５点にプローブを接触させて、これらの位置から幾何学的に中心位置を算定する。同様に、同列上の他端の球体と、反対側の列上における同様の２個の球体の４箇所の中心位置を測定し、これらの球体の中心が含まれる仮想基準平面Ｐを決定する。次いで、対向する列における互いに反対側端部の球体のそれぞれの中心を通る直線をＡ軸とし、このＡ軸上の中間点、すなわち、Ａ軸と基準軸との交点を原点として、３次元座標測定機用ゲージ３１上に付随した座標系、すなわち、ゲージ座標系を設定する。このゲージ座標系は、仮想基準平面内で基準軸の方向をＸ軸、前記Ａ軸の方向をＹ軸とした直角座標系で、３次元座標測定機の機械軸方向に設定されている機械座標系と一対一に対応しているので、各球体中心の座標値を全てゲージ座標系で取り扱うことができる。
【０００９】
３次元座標測定機用ゲージ３１のセッティング位置における座標設定後、全ての球体を順に中心位置を測定し、次に、上記球体を逆方向に戻りながら中心位置の測定を行なう。中心位置の測定は、各球体毎に２回ずつ行う。次に、３次元座標測定機用ゲージ３１を基準軸回りに１８０度反転して取付治具上にセッティングし直し、前述した手順と同様な手順で仮想基準平面とＡ軸を決定し、３次元座標測定機用ゲージ３１上に新たにゲージ座標系を設定し直す。
【００１０】
次いで、前記と同様に、全ての球体を順に、各球体毎に２回ずつ中心位置の測定を行った後、全ての球体を逆方向に順に戻りながら、同様に各球体毎に２回ずつ測定を行う。更に、測定の再現性確認のために、３次元座標測定機用ゲージ３１の表側と反転側も同様な測定をそれぞれもう一度繰り返す。
【００１１】
３次元座標測定機の測定誤差の評価としては、先ず、全球体の測定で得られた球径の測定結果と、これらの球体の球径の真値から、球体の安定測定に関する誤差評価を行う。次に、球体間のＸ軸（基準軸Ｎ）方向の中心間距離と、Ｙ軸（Ａ軸）方向の中心間距離とを３次元座標測定機用ゲージ３１を表側にして測った測定値から算出し、これらの球体間距離の規定されている真値と比較して誤差評価を行う。次いで、３次元座標測定機用ゲージ３１を１８０度反転して測った測定値から球体間のＡ軸方向の中心間距離と、基準軸Ｎ方向の中心間距離をΔＹ’k-1とを３次元座標測定機用ゲージ３１を表側にして測った測定値から算出し、これらの球体間距離の真値と比較して誤差評価を行う。ここでは、３次元座標測定機用ゲージ３１を表側にセッティングした場合と、基準軸Ｎ回りに１８０度反転させてセッティングした場合との両方の値を平均して誤差評価することで、評価値の精度を高める。
【００１２】
次に、３次元座標測定機の機械軸の真直度の評価を行う。先ず、Ｘ方向の機械軸の真直度を調べるために、３次元座標測定機用ゲージ３１を表側にセッティングしたときの球体の座標値Ｙiと、反転してセッティングしたときの同じ球体の座標値Ｙ’iから、δi＝(Ｙi−Ｙ’i)／２を求める。また、球体Ｓ６〜Ｓ１０の５個についても同様な演算を行ってδiの振れ幅を求め、両者を平均して真直度の評価を行う。
【００１３】
次に、３次元座標測定機の２つの機械軸間の直角度の評価を行う。まず、Ｘ方向とＹ方向の直角度の評価を行うために、３次元座標測定機用ゲージ３１の表側における、５個の球体の中心の座標値から最小二乗法によって得られた、これらの中心の回帰直線Ｒと座標軸Ｘとのなす角度θを求める。次に、３次元座標測定機用ゲージ３１を反転したときのこれら５個の球体の中心の座標値から、最小二乗法によって同様に得られた回帰直線Ｒ’と座標軸Ｘとのなす角度θ’を求め、（θ−θ’）／２によって３次元座標測定機２の直角度の評価を行う。また、他の側の５個の球体についても同様な手順で直角度の評価を行い、両方の結果を平均することで３次元座標測定機のＸ、Ｙ両軸間の直角度を評価する。
【００１４】
上記の操作は３次元座標測定機用ゲージ３１を例えば図６（ａ）に示すような姿勢で３次元座標測定機にセットして行うものであるが、その他、同図（ｂ）に示すようにＸＹ平面内で９０度回転した向きにセッティングすることにより、Ｙ方向の機械軸の真直度の評価を行う。また、同図（ｃ）に示すようにこの３次元座標測定機用ゲージ３１を立ててセッティングすることで、Ｚ方向の機械軸のＸ方向の湾曲に対する真直度と、Ｚ方向とＸ方向の２つの機械軸間の直角度を評価し、同図（ｄ）に示すように同様にこれをＸＹ平面内で９０度回転した向きにセッティングすることで、Ｚ方向の機械軸のＹ方向の湾曲に対する真直度と、Ｙ方向とＺ方向の２つの機械軸間の直角度を評価する。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者等が提案した上記のような３次元座標測定機用ゲージとそれを用いた測定方法によって、それ迄困難であった３次元座標測定機の各機械軸の真直度や機械軸間の直角度の誤差評価を高精度に行うことができるようになったものであるが、高精度の校正・評価作業を行うには上記のように、この３次元座標測定機用ゲージを例えば図６（ａ）に示すような姿勢で前記各種の測定を行い、次に同図（ｂ）に示すようにこのゲージをＸＹ平面内で９０度回転した向きにセッティングして真直度の評価を行い、更に同図（ｃ）に示すように、この３次元座標測定機用ゲージを立ててセッティングしてＺ方向の機械軸のＸ方向の湾曲に対する真直度と、Ｚ方向とＸ方向の２つの機械軸間の直角度を評価し、また、同図（ｄ）に示すように同様にこれをＸＹ平面内で９０度回転した向きにセッティングすることで、Ｚ方向の機械軸のＹ方向の湾曲に対する真直度と、Ｙ方向とＺ方向の２つの機械軸間の直角度を評価することとなる。このように先に提案したゲージにおいては、その使用に際して多くの作業を行う必要があるため面倒であり、多くの時間と労力を要するため、より効率的な作業を行うことができる３次元座標測定機用ゲージが望まれている。
【００１６】
したがって本発明は、３次元座標測定機の校正・評価を行うに際し、迅速且つ簡便にその作業を行うことができる３次元座標測定機用ゲージを提供することを主たる目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、外周に円筒面または円錐面を形成した保持体と、前記保持体に複数の球体を保持体の軸線方向に沿って列設し、前記列設した球体の列を複数列配置したことを特徴とする３次元座標測定機用ゲージとしたものである。
【００１８】
また、請求項２に係る発明は、前記球体の列を球体固定部材に固定し、前記球体固定部材を前記保持体に固定したことを特徴とする請求項１記載の３次元座標測定機用ゲージとしたものである。
【００１９】
また、請求項３に係る発明は、前記球体固定部材を前記保持体の表面に形成した溝に嵌合したことを特徴とする請求項２記載の３次元座標測定機用ゲージとしたものである。
【００２０】
また、請求項４に係る発明は、前記球体固定部材に永久磁石を設け、磁性材からなる保持体に吸着固定したことを特徴とする請求項２記載の３次元座標測定機用ゲージとしたものである。
【００２１】
また、請求項５に係る発明は、前記球体固定部材を前記保持体の表面上で保持体の軸線を中心に捻リ、側面視で傾斜状態に固定したことを特徴とする請求項２記載の３次元座標測定機用ゲージとしたものである。
【００２２】
また、請求項６に係る発明は、前記保持体に標準リングゲージ部を形成したことを特徴とする請求項１記載の３次元座標測定機用ゲージとしたものである。
【００２３】
また、請求項７に係る発明は、前記保持体の端面に立設用突起を設けたことを特徴とする請求項１記載の３次元座標測定機用ゲージとしたものである。
【００２４】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例を図面に沿って説明する。図１には本発明の一実施例を示しており、同図に示す実施例においては金属製の円筒状保持体１の外周面両側に、この円筒状保持体１の軸線に平行に、且つ互いに１８０度離れた対向する位置に嵌合溝２を形成し、この嵌合溝２に対して、その表面に図示実施例では６個の球体３を固定している略直方体状の球体固定部材４を嵌合し、接着、或いはねじ等の手段で固定している。更に、この円筒状保持体１の外周面には図示実施例では３個の各々大きさの異なる標準リングゲージ５を形成している。
【００２５】
この球体を球体固定部材４に固定するに際しては種々の態様で固定することができ、図１（ａ）、（ｃ）或いは（ｄ）の（１）図に示すように、球体固定部材４に対して直接球体３を固定しても良く、また図１（ｄ）の（２）図或いは図２（ａ）図に示すように、球体固定部材４に対して球体保持具６を介して固定しても良い。更に、球体３を直接保持体１に固定し、或いは図１（ｄ）の（２）図に示すような球体３を固定した球体保持具６を直接保持体１に固定してもよい。また、前記図１（ｃ）のように球体固定部材４に直接球体３を固定する際には、球体固定部材４に対して、これに固定する球体３の曲面と同一曲面を有する球状嵌合孔溝７を形成し、この球状嵌合溝７に球体を嵌合して接着等の手段で固定することができるが、それ以外に、球体固定部材４の表面には上記のような球状嵌合溝７を設けず、球体３を任意の平面で切断し、これを球体固定部材４の表面に対して固定するようにしても良い。なお、その際に用いられる一部が平面で切断された球体も、本発明においては完全な球体と同一の作用をなすので、説明の便宜のため「球体」と称する。
【００２６】
上記のように球体３を固定した球体固定部材４は、前記実施例の図２（ａ）に示すように形成し、これを円筒状の保持体１の嵌合溝２に嵌合し、接着等の固定手段で固定することができるが、その他、例えば図２（ｂ）に示すように、球体固定部材４の底面８に永久磁石９を取り付け、このような球体固定部材４を前記と同様の円筒状保持体１の嵌合溝２に嵌合させながら、球体固定部材４の永久磁石９により鉄等の磁性材料からなる円筒状の保持体１に対して吸着させることにより固定するようにしても良い。なお、保持体１に対して嵌合溝２を設けることにより球体固定部材を正確な位置にしかも確実に固定することができる。
【００２７】
このように構成することにより、円筒状の保持体１と球３を固定した球体固定部材４をばらした状態で運搬することができ、取り扱いやすいゲージとすることができる。また、このように球体３を固定した球体固定部材４を着脱自在に構成することにより、長期間の使用により球体が摩耗・変形  したとき、或いは不適切な取り扱いにより球体が変形、或いは損傷したときに新しい球体固定部材を入手して取り付けることにより、安価に、且つ容易に対応可能となる。
【００２８】
このような円筒ゲージ１０を用いて３次元座標測定機の性能検査の作業を行う際には、３次元座標測定機の座標系に沿ってＸ−Ｙ平面内、Ｘ−Ｚ平面内、更にはＹ−Ｚ平面内のいずれかに円筒ゲージ１０を定置する。Ｘ−Ｙ平面内ではＶブロックを用意し、そこに安定に定置させる。
【００２９】
上記のような円筒ゲージの定置に際して、例えばＹ方向に球体が配置され、Ｘ方向は円筒の直径方向とした状態で、３次元座標測定機により図中６個並んでいる片側の列の球体３について全て、その中心位置を求めるための測定を行う。この測定は前記従来の技術にも詳細に記載されているように周知の方法により容易に求めることができる。
【００３０】
このようにして求めた球体の列を０度側とする。次に、この円筒ゲージを１８０度回転させて他の列の球体について同様の測定を行う。この一連の測定データから、球体の中心間距離を求め、予め精密な測定を行っている各球体間の距離と比較し、その結果から３次元座標測定機の目盛の校正を行うことができる。
【００３１】
次に、同一球体の前記０度におけるＸ座標値データと、これを１８０度反転したときのＸ座標値データを以下のように処理する。
ｙｉ＝（Ｘ０−Ｘ１８０）／２
ここで  ｉ＝１〜ｎ  （ｎは球体の個数）
同様にｙｎまで計算処理し、理想直線からの狂いの大きさから真直度を求めることができる。
【００３２】
また、直角度については、前記０度側の基準球と１８０度側の基準球で作られた基準線をもとに、０度側の基準球と最も離れた球体の中心座標点で作られる角度を求める。次に１８０度反転して同様な測定と計算処理を行い、両者の差の１／２を求めることにより直角度を知ることができる。
【００３３】
このように一度の測定によって３次元座標測定機の目盛の校正、真直度、直角度の３項目の評価を同時に行うことが可能となり、極めて簡便にこれらの作業を行うことができるようになる。
【００３４】
前記実施例においては円筒状の保持体１に前記球体固定部材４を設けていない面を利用し、標準リングゲージ５を図中３個示しているように複数個形成している。したがって３次元座標測定機では各標準リングゲージ５を計測することにより、得られた離散したデータから数学的処理によって円の直径、或いは形状を求められるので、特定の面内の校正を行うことが可能となる。
【００３５】
図３には本発明による３次元座標測定機用ゲージの保持体１を円錐台形に形成し、円錐台状のゲージとした例を示しており、主要構成は前記円筒状のゲージと同様であって、同様に使用される。なお同図（ｃ）に示すように球体３は必ずしも球体固定部材４に対して埋め込み深さを等しくする必要はなくばらつきがあっても変わりなく使用することができる。この点は前記円筒ゲージについても同様である。
【００３６】
図３（ｄ）には更に他の例を示しており、底面１３に図中３個の球体１４を突出して固定しており、同図（１）の一部側面図に示すように、この３個の球体１４により３次元座標測定機の測定テーブル上に確実に立設することができる。このような態様は前記円筒状のゲージ等、他のゲージにおいても同様である。
【００３７】
上記実施例においては、球体の列を円筒状のゲージの中心軸に対して捻れの無いように配置した例を示したが、図４に示す態様においては球体固定部材４の軸線を円筒状の保持体１の軸線を中心に捻った状態、即ち同図（ｃ）に示すような側面視において傾斜した状態に設置している。この例においては互いに対抗する２個の球体固定部材４を円筒状の保持体１の軸線に対して同じ方向に捻った状態とし、それにより図４（ｃ）に示す状態では互いに逆方向に傾斜した状態で固定されている。このように構成することにより３次元座標測定機の空間内での性能を容易に評価することができる。なお、上記実施例においては２つの球体固定部材４の両方を傾けた例を示したが、片側のみを傾けてもよく、また傾ける方向も各々任意に設定することができる。更に図３に示すような円錐台状のゲージの球体固定部材４を上記のように捻った状態に固定してもよい。
【００３８】
このようなゲージによる計測はＸ−Ｙ平面内、Ｘ−Ｚ平面内、更にＹ−Ｚ平面内で行うことができる。従来の３次元座標計測機の校正作業において、その空間内の性能評価に際しステップゲージを傾斜した台に定置させて行っていたものもあるが、ここでは円筒ゲージを平面内で安定に位置させ、球体配列それ自身を傾斜させておく。このようにすることにより、円筒ゲージの両側の球体の中心座標を読みとり校正用測定作業を行うことができることから、広い範囲の性能を一度に計測し、容易に且つ正確にスケール校正を行うことができるようになる。その際、円筒を平行或いは直角に球中心座標を読み取りスケール校正を行い、この作業は円筒ゲージの０度側そして１８０度側について行うことにより、隔たった距離の違いによる誤差が求めることができる。次に円筒ゲージを１８０度反転して同様の測定を行うことにより、より正確な校正データを得ることができる。
【００３９】
なお、図４に示す実施例においては、図中左側の列の球体３は球体保持部材４にほぼその球体全体が突出した状態で固定されているのに対して、他側の列の球体３は半分程度が突出した状態で固定した例を示している。このような球体の固定手法は他のゲージにおいても同様に適用することができる。
【００４０】
また、同図（ｄ）にはこの円筒状のゲージを水平に支持する際の例を示しており、図示するようにＶ字型溝を備えたＶブロック１５にこの円筒状のゲージを載置することにより、容易に、且つ確実に固定することができる。このようにＶブロック１５にゲージを支持した状態で、支持したゲージをＶブロック上で適宜の角度だけ保持体の軸線を中心に回転させることにより、ゲージを種々の姿勢に保持することができ、各種の態様における３次元座標測定機の校正作業を容易に行うことができる。
【００４１】
図５に示す態様においては、前記図３に示す円錐台状の保持体１を用いており、この保持体１の円錐状表面に対して、その中心軸から放射状に互いに９０度をなす位置に合計３個の球体保持部材４を固定しており、残りの９０度の位置の端面近傍に図中１個の球体１５を球体固定部材４に直接固定している。なお、保持体１におけるこの角度部分に、前記と同様の標準リングゲージ５を形成している。
【００４２】
【発明の効果】
本願の請求項１に係る発明は状態のように構成したので、従来の平板状の３次元座標測定機用ゲージのように、３次元座標測定機の校正作業等を行う際に、ゲージを多数回その姿勢を変更して測定作業を行う必要が無く、迅速且つ簡便にその作業を行うことができ、３次元座標測定機の目盛りの校正を行い、またその３次元座標測定機の真直度、直角度も同時に評価することができるようになる。
【００４３】
また、請求項２に係る発明は、上記請求項１記載の３次元座標測定機用ゲージにおいて、前記球体の列を球体固定部材に固定し、前記球体固定部材を前記保持体に固定したので、保持体と球体とを分離して搬送、管理することができ、取り扱いの容易なゲージとすることができるとともに、ゲージの長期間の使用により摩耗、破損が生じたときには、一部の部品の交換のみで対処することができる。
【００４４】
また、請求項３に係る発明は、上記請求項２記載の３次元座標測定機用ゲージにおいて、前記球体固定部材を前記保持体の表面に形成した溝に嵌合したので、球体固定部材を保持体に対して正確に、且つ容易に固定することができる。
【００４５】
また、請求項４に係る発明は、上記請求項２記載の３次元座標測定機用ゲージにおいて、前記球体固定部材に永久磁石を設け、磁性材からなる保持体に吸着固定したので、保持体と球体とを分離可能にして管理可能にしたゲージにおいて、容易に球体の着脱が可能となり、取り扱いの容易なゲージとすることができる。
【００４６】
また、請求項５に係る発明は、上記請求項２記載の３次元座標測定機用ゲージにおいて、前記球体固定部材を前記保持体の表面上で保持体の軸線を中心に捻リ、側面視で傾斜状態に固定したので、３次元座標計測機の空間内での性能を容易に評価することができる。
【００４７】
また、請求項６に係る発明は、上記請求項１記載の３次元座標測定機用ゲージにおいて、前記保持体に標準リングゲージ部を形成したので、前記球体の計測に加えてこの標準リングゲージを計測することにより、得られた離散したデータから数学的処理によって円の直径、或いは形状を求めることによって、特定の面内の校正を容易に行うことが可能となる。
【００４８】
また、請求項７に係る発明は、上記請求項１記載の３次元座標測定機用ゲージにおいて、前記保持体の端面に立設用突起を設けたので、このゲージを測定テーブル上に確実に立設することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例を示し、（ａ）は同図（ｃ）のＡ−Ａ視平面図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ部分断面図であり、（ｃ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ部分の断面図であり、（ｄ）の（１）及び（２）は球体保持部材に球体を保持する異なった態様を示す図である。
【図２】  同実施例に用いる球体保持部材の態様を示す図であり、（ａ）は第１の態様を示し、（ｂ）は球体保持部材に永久磁石を設けた態様を示す図である。
【図３】  本発明の他の実施例を示す図であり、（ａ）は同図（ｃ）のＡ−Ａ視平面図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ部分断面図であり、（ｃ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ部分の断面図であり、（ｄ）の（１）及び（２）は球体固定部材の端面部分の他の例を示す図であり、（１）は同図（２）のＤ−Ｄ視の一部側面図であり、（２）は同図（１）のＥ−Ｅ視の底面図である。
【図４】  本発明の更に他の実施例を示す図であり、（ａ）は同図（ｂ）のＡ−Ａ視平面図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ視側面図であり、（ｃ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ視側面図である。
【図５】  本発明の更に他の実施例を示す図であり、（ａ）は同図（ｂ）のＡ−Ａ視平面図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ視側面図であり、（ｃ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ視側面図である。
【図６】  従来例を示す斜視図であり、（ａ）〜（ｄ）は各々３次元座標測定機の測定テーブルに固定して作業を行う状態を示す図である。
【符号の説明】
１  保持体
２  嵌合溝
３  球体
４  球体固定部材
５  標準リングゲージ
６  球体保持具
７  球状嵌合溝
８  底面
９  永久磁石
１０  ゲージ
【図１】
0003837503.tif 000002
【図２】
0003837503.tif 000003
【図３】
0003837503.tif 000004
【図４】
0003837503.tif 000005
【図５】
0003837503.tif 000006
【図６】
0003837503.tif 000007