(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被除塵物の表面に向かって気体を継続的に噴射する噴射手段と、前記被除塵物および前記噴射手段を前記被除塵物の面方向に沿って相対移動させるための移動手段と、前記気体を遮蔽可能な遮蔽部材を備えた遮蔽手段とを有し、前記遮蔽部材が前記気体の噴射方向に対して交差する方向を軸線として前記噴射手段の周囲を周回可能に設けられており、気体を噴射することにより被除塵物の表面に付着した塵を除去するための除塵装置において、
前記噴射手段が当該噴射手段および前記被除塵物の相対移動方向と交差する方向に延びるスリット状のノズルを有し、
前記遮蔽手段が前記ノズルを収容可能な円筒体と、前記円筒体の周面に形成された貫通孔とを有し、前記円筒体が軸線を中心として回転可能であるとともに、
前記貫通孔が前記円筒体の内周面から外周面に向かって拡開する略擂り鉢状に形成されていることを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
前記噴射手段が前記噴射方向と、当該噴射手段に対する前記被除塵物の移動方向との挟み角が鋭角となるように設けられていることを特徴とする請求項１に記載した除塵装置。
【請求項３】
前記貫通孔が略螺旋状に所定間隔で多数形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載した除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は除塵装置に係り、さらに詳しく言えば、例えば液晶パネルの製造にあたって、ガラス基板，樹脂基板を除塵するための除塵装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
各種画像表示に用いられる液晶パネルを製造するにあたっては、ガラス製あるいは樹脂製の基板表面に付着した塵を確実に除去するための除塵工程が不可欠となっている。
一般に、除塵工程には、基板表面に例えば窒素等の気体を高圧噴射することにより塵を吹き飛ばすエアナイフ方式の除塵装置を用いることが多い。
このような除塵装置としては、例えばエアーを噴射するノズルの噴射口の前側至近位置に往復回動可能なシャッタを設けたエアー噴射除塵装置が提案されている（特公平７−３２８９９号公報参照：従来例）。
【０００３】
図８に、従来例の第３実施例に例示されたエアー噴射除塵装置８０の概略を示す。このエアー噴射除塵装置８０は、所定方向に進行するフィルム８１の表面を除塵するためのフィルム除塵装置であり、フィルム８１の進行方向（図中矢印ａ参照）に対して直交する方向に延びる噴射口８２と、この噴射口８２の前側（図中下方）至近位置に配置されたシャッタ８３とを有している。
シャッタ８３は、噴射口８２に沿う横長板とされ、噴射口８２を横断する多数のスリット８４が設けられている。このシャッタ８３は、噴射口８２に沿って周期的に高速で小刻みに往復動するようになっている（図中矢印ｂ，ｃ参照）。
したがって、このエアー噴射除塵装置８０によれば、噴射口８２から噴射されたエアーを高速で間欠的に遮断することにより、エアーシャワーを高速で小刻みに振動させながらフィルム８１の表面に吹き付け、いわばパルス状にエアー噴射することにより、フィルム８１から除塵できるとされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述したエアー噴射除塵装置８０は、シャッタ８３が往復動しても、常時開放された各スリット８４からエアーが継続的に噴射されていることになる。
すなわち、このエアー噴射除塵装置８０は、噴射口８２から略帯状に噴射するエアーをシャッタ８３により略櫛状に分岐させているに過ぎず、シャッタ８３が往復動しても、フィルム８１の表面に対して略筋状に噴射される各エアーの軌跡が蛇行するのみである（図中鎖線参照）。
したがって、このエアー噴射除塵装置８０は、間欠的にエアーを噴射するものではなく、フィルム８１の除塵効果が低いという問題がある。
本発明は、このような従来の問題を解決するためになされたもので、その目的は、除塵効果を向上できる除塵装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項１に記載した発明は、被除塵物の表面に向かって気体を継続的に噴射する噴射手段と、前記被除塵物および前記噴射手段を前記被除塵物の面方向に沿って相対移動させるための移動手段と、前記気体を遮蔽可能な遮蔽部材を備えた遮蔽手段とを有し、前記遮蔽部材が前記気体の噴射方向に対して交差する方向を軸線として前記噴射手段の周囲を周回可能に設けられており、気体を噴射することにより被除塵物の表面に付着した塵を除去するための除塵装置において、前記噴射手段が当該噴射手段および前記被除塵物の相対移動方向と交差する方向に延びるスリット状のノズルを有し、前記遮蔽手段が前記ノズルを収容可能な円筒体と、前記円筒体の周面に形成された貫通孔とを有し、前記円筒体が軸線を中心として回転可能であるとともに、前記貫通孔が前記円筒体の内周面から外周面に向かって拡開する略擂り鉢状に形成されていることを特徴としている。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、前記噴射手段が前記噴射方向と、当該噴射手段に対する前記被除塵物の移動方向との挟み角が鋭角となるように設けられていることを特徴とし、また、請求項３に記載の発明は、前記貫通孔が略螺旋状に所定間隔で多数形成されていることを特徴としている。
【０００７】
本発明において、気体としては、帯電性，毒性等が無く、被除塵物が変質しない例えば窒素や通常の空気等が採用できる。
また、移動手段としては、噴射手段および被除塵物のうちの一方を他方に対して移動させればよく、あるいは双方を移動させてもよい。
【０００８】
本発明によれば、遮蔽部材の周回に伴って噴射手段から噴射される気体が、流速，流圧，流量等が減少することなく、断続的あるいは脈動的に被除塵物の表面に到達するため、従来に比較して被除塵物の除塵効果が向上することになり、これにより前記目的が達成される。
【０００９】
また、請求項２に記載した発明によれば、例えば平坦面状の被除塵物に対して気体が斜めに噴射される。したがって、被除塵物の表面に付着した塵は、被除塵物に反射される気体とともに被除塵物から離脱して舞い上がることになるため、顕著な除塵効果が得られることになる。
【００１０】
また、請求項３に記載した発明によれば、前記貫通孔が略螺旋状に所定間隔で多数形成されていることにより、円筒体の回転に伴って貫通孔から断続的に噴射される気体の被除塵物の表面に対する噴射軌跡が直線状とならないため、被除塵物の表面全域を除塵することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１には、本発明に係る第１実施例が示されている。本実施例における除塵装置１０は、液晶パネルに用いられるガラス製あるいは樹脂製の基板１１に向かって、例えば窒素等の気体１２を高圧噴射することにより、基板１１の表面を除塵するものである。
この除塵装置１０は、基板１１の表面に向かって気体１２を継続的に噴射する噴射手段２０と、噴射手段２０に対して基板１１を面方向（図中矢印Ａ方向）に移動させるための移動手段３０と、気体１２を遮蔽可能な遮蔽手段４０とを含んで構成されている。
移動手段３０は、縦列配置された複数のベルトコンベア３１により、噴射手段２０の直下を通過するように基板１１を順次移動させるようになっている。
【００１２】
図２に示すように、噴射手段２０は、角筒部材２１の内部に圧送された気体１２を角筒部材２１の側面に設けられたノズル２２から外部に吹き出すようになっている。
角筒部材２１は、略最中合わせに接続された一対のコ字部材２３，２４により形成されている。コ字部材２３，２４は図中奥行方向に向かって連続する長尺材とされ、リブ２５，２５同士が面接続され、かつ、リブ２６，２６同士が離間配置されている。リブ２６，２６は、相互対向面が平行になるように配置されている。
したがって、角筒部材２１は、リブ２６，２６により、ノズル２２が当該角筒部材２１の軸方向（図中奥行方向）に沿うスリット状に形成されている。
【００１３】
このような噴射手段２０は、ノズル２２から帯状に噴射される気体１２の噴射方向（図中矢印Ｂ参照）と、噴射手段２２に対する基板１１の移動方向（図中矢印Ａ参照）との挟み角が鋭角となるように、リブ２６，２６が適宜形成され、かつ、角筒部材２１が適宜配置されている。
また、この噴射手段２０は、ノズル２２の長手寸法が基板１１の面方向最大長さよりも大きく設定されているとともに、角筒部材２１が基板１１の移動方向に対して直交配置されている。
したがって、本実施例の除塵装置１０は、基板１１が移動手段３０により移動すると、噴射手段２０が基板１１の表面全域に気体１２を斜めに順次噴射するようになっている。
【００１４】
遮蔽手段４０は、ノズル２２を収容可能な円筒体４１と、円筒体４１の周面に形成された多数の貫通孔４２とを有している。
円筒体４１は、軸線が角筒部材２１の軸線と内周面４１Ａが角筒部材２１に接触せず、かつ、外周面４１Ｂが基板１１に接触しないように、内径，外径，設置位置が適宜選択されていて、軸線が角筒部材２１の軸線と平行になるように配置されている。
図３にも示すように、貫通孔４２は、円筒体４１の内周面４１Ａから外周面４１Ｂに向かって拡開する略擂り鉢形状とされ、略螺旋状に所定間隔で多数形成されている。
これらの貫通孔４２は、円筒体４１の外周面に二重螺旋を描くように形成されている。
【００１５】
このような遮蔽手段４０は、円筒体４１が軸線を中心として回転可能とされていて、遮断部材である円筒体４１の内周面４１Ａおよび各貫通孔４２がノズル２２の開口直前を無限軌道状に交互に通過するようになっている。
したがって、本実施例の除塵装置１０は、円筒体４１の回転に伴って、ノズル２２から基板１１に向かって噴射される気体１２を一定周期で遮断あるいは脈動させるようになっている。
【００１６】
この際、遮蔽手段４０は、貫通孔４２がノズル２２の直前に位置したとき、貫通孔４２の軸線が気体１２の噴射方向に対して交差していても、略擂り鉢形状に形成された貫通孔４２の内周面に沿って気体１２を滑らかに通過させるようになっている。
したがって、本実施例の除塵装置１０においては、円筒体４１の回転に伴って、断続的あるいは脈動的に噴射される気体１２の流速，流圧等を減少させる虞れが少ない。
【００１７】
図１に戻って、以上のような除塵装置１０は、移動手段３０により基板１１を移動させるとともに、噴射手段２０のノズル２２から気体１２を噴射させ、かつ、遮断手段４０の円筒体４１を回転させる。
すると、図２に示すように、遮断手段４０は、円筒体４１の回転に伴って、各貫通孔４２から基板１１の表面に気体１２を断続的あるいは脈動的に噴射する。  この際、遮断手段４０は、各貫通孔４２が円筒体４１の周面に螺旋状に形成されているため、円筒体４１の回転に伴って基板１１の移動幅方向に沿って順次気体１２を間欠的に噴射し、これにより基板１１の表面全域を順次除塵する。
そして、基板１１の表面に付着した塵１３は、気体１２が基板１１の表面に対して斜めに噴射されるため、基板１１の表面に反射する気体１２Ａとともに基板１１から離れるように舞い上がり、ダクト５０（図１中鎖線参照）を通じて所定の集塵手段に集塵される。
【００１８】
以上のような本実施例の除塵装置１０によれば、ノズル２２から継続的に噴射される気体１２が遮蔽部材である円筒体４１の内周面４１Ａにより間欠的に遮蔽されるため、気体１２を基板１１の表面に向かって確実に断続的あるいは脈動的に噴射させることができ、従来に比較して良好な除塵効果が得られる。
また、この除塵装置１０は、スリット状のノズル２２が基板１１の移動方向に対して直交配置されているため、噴射手段２０の直下に基板１１を通過させることにより、１行程で基板１１の表面全域を除塵でき、基板１１の製造を迅速化できる。
【００１９】
さらに、噴射手段２０は、ノズル２２から基板１１の表面に対して斜めに気体１２を噴射するため、基板１１の表面に付着した塵１３が基板１１から容易に離脱し、これにより顕著な除塵効果が得られる。
また、遮断手段４０が回転可能な円筒体４１と、多数の貫通孔４２とを有しているため、円筒体４１の直径，回転方向，回転速度および貫通孔４２の形状，大きさ，数，形成形態等を適宜選択することにより、断続的あるいは脈動的に噴射される気体１２の周期を任意に設定できる。
【００２０】
特に、各貫通孔４２が略螺旋状に所定間隔で形成されているため、円筒体４１の回転に伴って、基板１１の移動幅方向に沿って順次気体１２を間欠的に噴射し、これにより気体１２を基板１１の表面全域に確実に噴射できる。
そして、遮断手段４０は、各貫通孔４２が略擂り鉢状に形成されているため、ノズル２２から基板１１の表面に対して斜めに噴射される気体１２の流れを阻害せず、除塵効果を一層向上できる。
【００２１】
図４には本発明に係る第２実施例が示され、図５には本発明に係る第３実施例が示されている。
なお、以下に説明する各実施例において、既に図１ないし図３において説明した部材については、図中に同一符号を付すことにより説明を簡略あるいは省略する。
【００２２】
図４に示す第２実施例の除塵装置１０Ａは、被除塵物であるフィルム１１Ａを除塵するためのものであり、フィルム１１Ａが移動手段３０Ａにより噴射手段２０の直下を通過するようになっている。移動手段３０Ａは、第１ドラム３１から送り出されたフィルム１１Ａが第２ドラム３２に巻き取られるように、一対の送りローラ３３，３３を有している。
このような除塵装置１０Ａによれば、前述した第１実施例の除塵装置１０と基本的に同様な構成を有しているため、前述した第１実施例の除塵装置１０と同様な効果が得られる。
【００２３】
一方、図５に示す第３実施例の除塵装置１０Ｂは、表面に凹凸が形成された被除塵物１１Ｂを除塵するためのものである。
この除塵装置１０Ｂの遮断手段４０は、円筒体４１の外周面４１Ｂに設けられたブラシ４１Ｃの先端が被除塵物１１Ｂの表面に接触するように設けられている。ブラシ４１Ｃは、各貫通孔４２を塞がないように形成された螺旋状の突起４１Ｄに植毛されている。
そして、噴射手段２０は、貫通孔４２から噴射する気体１２がブラシ４１Ｃ間を滑らかに通過できるように、ノズル２２の向きが適宜選択されている。
【００２４】
このような除塵装置１０Ｂによれば、前述した第１実施例の除塵装置１０および第２実施例の除塵装置１０Ａと基本的に同様な構成を有しているため、前述した第１実施例の除塵装置１０および第２実施例の除塵装置１０Ａと同様な効果が得られる。
一方、この除塵装置１０Ｂによれば、断続的あるいは脈動的に噴射される気体１２と、ブラシ４１Ｃの摺接との相乗効果により、表面に凹凸が形成された被除塵物１１Ｂを確実に除塵できる。
【００２５】
なお、本発明は前述した実施例に限定されるものではなく、本発明を達成できる範囲での改良，変形等は本発明に含まれるものである。
例えば、図６（Ａ）に示す除塵装置１０Ｃは、一対のプーリ６０間に噴射手段２０の角筒部材２１が配置されているとともに、各プーリ６０に無端ベルト６１が掛け渡されている。この除塵装置１０Ｃは、無端ベルト６１にスリット状の貫通孔６２が所定間隔で多数形成されていて、各プーリ６０を回転させることにより、ノズル２２の直前を貫通孔６２および無端ベルト６１の内周面が交互に通過するようになっている。
このような除塵装置１０Ｃによっても、前述した各実施例と同様な効果が得られる。
【００２６】
また、図６（Ｂ）に示す除塵装置１０Ｄは、噴射手段２０の角筒部材２１の周囲を遮断部材６３が周回可能に設けられている。
遮蔽部材６３は断面半円形状の長尺部材とされ、角筒部材２１の軸線と平行に配置された軸線を中心として回転可能とされている。
このような除塵装置１０Ｄは、噴射手段２０のノズル２２から噴射する気体１２の噴射方向に対して交差する軸線を中心として遮蔽部材６３が回転することにより、気体１２が一定周期で遮断される。
したがって、このような除塵装置１０Ｃによっても、基板１１に対して気体１２が断続的あるいは脈動的に噴射されるため、前述した各実施例と同様な効果が得られる。
【００２７】
さらに、図７に示す除塵装置１０Ｅは、噴射手段２０の角筒部材２１および遮蔽手段４０の円筒体４１が各基板１１の移動方向（図中矢印Ａ参照）に沿って設けられている。そして、この除塵装置１０Ｅは、角筒部材２１および円筒体４１が各基板１１の移動方向に対して直交する方向（図中矢印Ｃ参照）に往復移動可能に設けられていて、基板１１および噴射手段２０が相対的に移動可能とされている。
このような除塵装置１０Ｅにおいては、前述した各実施例と同様な効果が得られるとともに、基板１１の表面に付着した塵が基板１１の移動方向に対して直交する方向に舞い上がるため、塵が基板１１の表面に再び付着する虞れが一層少ない。
【００２８】
また、遮断手段としては、例えば円筒体を同軸収容可能な外筒を設けておき、この外筒の周面軸方向に沿ってスリットを設けておいてもよい。
これによれば、円筒体の内周面に遮蔽された気体が隣り合う貫通孔から被除塵物に向かって漏洩する虞れがなく、噴射される気体の断続性を向上できる。
その他、前述した各実施例および変形例において例示した被除塵物，気体，塵，噴射手段，ノズル，移動手段，遮蔽手段，円筒体，遮蔽部材，貫通孔等の材質，形状，寸法，形態，数，配置個所等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、貫通孔から噴射される気体を流速，流圧，流量等を減少させることなく、断続的あるいは脈動的に被除塵物の表面に噴射でき、従来に比較して被除塵物の除塵効果が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施例を示す模式斜視図である。
【図２】  遮蔽手段を示す側面図である。
【図３】  第１実施例の作用を示す断面図である。
【図４】  本発明の第２実施例を示す模式斜視図である。
【図５】  本発明の第３実施例を示す断面図である。
【図６】  本発明の変形例を示す模式図である。
【図７】  本発明の変形例を示す模式斜視図である。
【図８】  従来の除塵装置を示す模式斜視図である。
【符号の説明】
１０  除塵装置
１１  被除塵物である液晶基板
１２  気体
１３  塵
２０  噴射手段
２２  ノズル
３０  移動手段
４０  遮蔽手段
４１  円筒体
４１Ａ  遮蔽部材である内周面
４２  貫通孔
Ａ    移動方向
Ｂ    噴射方向
【図１】
0003739124.tif 000002
【図２】
0003739124.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
0003739124.tif 000006
【図６】
0003739124.tif 000007
【図７】
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【図８】
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