(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測気体が流通する管路に取付けられ基板取付凹部が設けられると共に該基板取付凹部を取囲む周壁部位を前記管路内に面した位置で切欠くことにより取付板挿通溝が設けられたケーシングと、
前記ケーシングの基板取付凹部に配置される基板取付部と該基板取付部から前記取付板挿通溝を介してケーシングの基板取付凹部の外側に延びた素子取付部とを有する取付板と、
該取付板の基板取付部に設けられ電子部品が実装された回路基板と、
前記取付板の素子取付部に設けられ前記被測流体の流量を検出する流量検出素子と、
シリコン材料により形成され前記ケーシングの基板取付凹部内に充填されて前記回路基板を覆うシリコン充填材とからなる流量計測装置において、
前記ケーシングの基板取付凹部内であって取付板挿通溝の近傍には、フッ素系高分子材料により形成され前記取付板挿通溝をシールすることにより前記シリコン充填材をケーシングの基板取付凹部内に保持するフッ素系シール材を設け、
前記ケーシングには前記取付板の素子取付部を臨む位置に通路部を形成する通路形成体を設け、該通路形成体には前記通路部を閉塞してバイパス通路を形成する蓋体を設け、該蓋体には前記取付板挿通溝を閉塞して前記フッ素系シール材が取付板挿通溝から外部に流出するのを防止するストッパ部材を設ける構成としたことを特徴とする流量計測装置。
【請求項２】
前記流量検出素子の一部を前記ケーシングの取付板挿通溝から前記ケーシングの基板取付凹部内に延設し、前記フッ素系シール材によって前記流量検出素子の表面部位をシールする構成としてなる請求項１に記載の流量計測装置。
【請求項３】
前記フッ素系シール材は、前記流量検出素子と回路基板とを接続するボンディングワイヤを覆う箇所に塗布する構成としてなる請求項２に記載の流量計測装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば自動車用エンジン等の吸入空気流量を検出するのに用いて好適な流量計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、自動車用エンジン等では、吸入空気と燃料とを混合して適切な空燃比の混合気を形成するため、エンジンの吸入空気流量を流量計測装置によって検出し、その検出値に応じて燃料の噴射量等を定める構成としている。
【０００３】
この種の従来技術による流量計測装置は、エンジンの吸入空気が流通する吸気管に取付けられ基板取付凹部が設けられると共に該基板取付凹部を取囲む周壁部位を吸気管内に面した位置で切欠くことにより取付板挿通溝が設けられたケーシングと、ケーシングの基板取付凹部に配置される基板取付部と該基板取付部から取付板挿通溝を介してケーシングの基板取付凹部の外側に延びた素子取付部とを有する取付板と、該取付板の基板取付部に設けられ電子部品が実装された回路基板と、取付板の素子取付部に設けられ吸入空気の流量を検出する流量検出素子とを備えたものが知られている（例えば、特開２０００−２５７２号公報等）。
【０００４】
ここで、流量検出素子は、例えばシリコン基板上に白金等の金属薄膜を用いて感温抵抗体とヒータとが形成されており、その一部はケーシングの取付板挿通溝からケーシングの基板取付凹部内に延設され、回路基板と接続されてブリッジ回路等を構成している。そして、流量検出素子は、感温抵抗体がヒータにより加熱された状態で吸入空気の流れと接触して冷却されることにより、その温度（抵抗値）の変化を吸入空気の流量として検出するものである。
【０００５】
また、エンジンの運転中には、吸気管内を流通する吸入空気の一部が取付板挿通溝を介してケーシングの基板取付凹部内に侵入し易いため、従来技術では、例えばシリコンゲルを基板取付凹部内に予め充填して固化させ、このシリコンゲルを用いて回路基板を覆うことにより、吸入空気中に含まれるダスト、水分等の異物から回路基板を保護する構成としている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来技術では、例えばシリコンゲルをケーシングの基板取付凹部内に充填して固化させることにより、吸入空気中に含まれるダスト、水分等の異物から基板取付凹部内の回路基板を保護する構成としている。
【０００７】
しかし、例えば自動車等の車両にあっては、燃料タンク内で揮発する燃料ガス（エバポガス）が大気中に放出されるのを防ぐためにエバポガスを吸気管内に流入させ、吸入空気と一緒に燃焼させる機構（所謂エバポージ機構）を搭載しているものがある。また、エンジンの排気ガスを浄化するために排気ガスの一部を吸気管内に還流させ、吸入空気と一緒に燃焼させる機構（排ガス再循環燃焼機構）を搭載している車種もある。
【０００８】
この結果、エンジンの吸入空気中には、これらのエバポガス、排気ガス等に含まれるガソリン、軽油等の揮発油成分が混入している場合があり、吸入空気が流量計測装置の基板取付凹部内に侵入してシリコンゲルに接触すると、このシリコンゲル等は揮発油成分への耐久性が低いため、膨潤等により劣化して溶け出すことがある。
【０００９】
このため、従来技術では、基板取付凹部内のシリコンゲルが膨潤等により取付板挿通溝から外部に溶け出し、感温抵抗体等に付着することがあるため、空気流量の検出精度が不安定となる虞れがあり、信頼性が低下するという問題がある。
【００１０】
本発明は上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、本発明の目的は、ケーシングの基板取付凹部内に充填されたシリコン材が被測流体中に含まれる成分によって劣化するのを防止でき、流量検出素子により被測流体の流量を長期間に亘って安定的に検出できると共に、信頼性を向上できるようにした流量計測装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために本発明は、被測気体が流通する管路に取付けられ基板取付凹部が設けられると共に該基板取付凹部を取囲む周壁部位を前記管路内に面した位置で切欠くことにより取付板挿通溝が設けられたケーシングと前記ケーシングの基板取付凹部に配置される基板取付部と該基板取付部から前記取付板挿通溝を介してケーシングの基板取付凹部の外側に延びた素子取付部とを有する取付板と、該取付板の基板取付部に設けられ電子部品が実装された回路基板と、前記取付板の素子取付部に設けられ前記被測流体の流量を検出する流量検出素子と、シリコン材料により形成され前記ケーシングの基板取付凹部内に充填されて前記回路基板を覆うシリコン充填材とからなる流量計測装置に適用される。
【００１２】
そして、請求項１の発明が採用する構成の特徴は、ケーシングの基板取付凹部内であって取付板挿通溝の近傍には、フッ素系高分子材料により形成され前記取付板挿通溝をシールすることにより前記シリコン充填材をケーシングの基板取付凹部内に保持するフッ素系シール材を設け、前記ケーシングには前記取付板の素子取付部を臨む位置に通路部を形成する通路形成体を設け、該通路形成体には前記通路部を閉塞してバイパス通路を形成する蓋体を設け、該蓋体には前記取付板挿通溝を閉塞して前記フッ素系シール材が取付板挿通溝から外部に流出するのを防止するストッパ部材を設ける構成としたことにある。
【００１３】
このように構成することにより、フッ素系シール材は、例えばガソリン、軽油等の揮発油成分に対して高い耐久性を有しているので、このフッ素系シール材を用いてケーシングの取付板挿通溝をシールすることにより、ケーシングの基板取付凹部内に充填されたシリコン充填材を被測流体から遮断でき、被測流体中に揮発油成分が含まれる場合でも、シリコン充填材を保護することができる。
また、ケーシングには取付板の素子取付部を臨む位置に通路部を形成する通路形成体を設け、該通路形成体には通路部を閉塞してバイパス通路を形成する蓋体を設け、該蓋体にはストッパ部材を設ける構成としたから、通路形成体と蓋体とは、管路内を流通する被測流体の一部を流量検出素子の周囲に導くバイパス通路を形成することができる。また、流量計測装置の組立時には、蓋体を通路形成体に取付けることによってストッパ部材をケーシングの取付板挿通溝に配置することができる。
【００１４】
また、請求項２の発明によると、流量検出素子の一部を前記ケーシングの取付板挿通溝から前記ケーシングの基板取付凹部内に延設し、前記フッ素系シール材によって前記流量検出素子の表面部位をシールする構成としている。
【００１５】
これにより、例えば流量検出素子のうち被測流体と接触させる検出部位をケーシングの基板取付凹部の外側に配置し、回路基板と接続する接続部位を取付板挿通溝から基板取付凹部内に延設することができる。そして、フッ素系シール材は、取付板挿通溝の位置で流量検出素子の表面部位をシールすることができる。
【００１６】
また、請求項３の発明によると、フッ素系シール材は、前記流量検出素子と回路基板とを接続するボンディングワイヤを覆う箇所に塗布する構成としている。
【００１７】
これにより、フッ素系シール材を各ボンディングワイヤ等の間に隙間なく簡単に充填することができるから、フッ素系シール材を用いてボンディングワイヤ等を吸入空気中のダスト、水分等から保護することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態による流量計測装置を、自動車用エンジンに用いた場合を例に挙げ、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
１は例えば樹脂材料、金属材料等によって円筒状に形成された管路で、該管路１はエンジンの吸気管等の途中に接続され、その内部は被測流体となる吸入空気がエアクリーナ側からエンジンの燃焼室（いずれも図示せず）側に向けて図１中の矢示Ａに流通する流路２となっている。また、管路１の周壁３には後述のケーシング１１が取付けられるボス部４が径方向に突設されている。
【００２２】
１１は流量計測装置の本体部分を構成するケーシングで、該ケーシング１１は例えば樹脂材料、金属材料等からなり、図２、図３に示す如く、後述の取付部１２、回路収容部１４、通路形成体１８等を一体に形成することにより構成されている。そして、ケーシング１１は取付部１２が管路１のボス部４に取付けられ、該取付部１２には、管路１の外部に面してピン端子１３Ａを有するコネクタ部１３が設けられている。
【００２３】
１４は略長方形の箱形状に形成された回路収容部で、該回路収容部１４は取付部１２から管路１内に向けて延設され、先端側が管路１内に突出している。そして、回路収容部１４は、図３中の左側に開口した収容ケース１４Ａと、該収容ケース１４Ａの開口側を閉塞した四角形状の蓋板１４Ｂとによって構成され、その内部には後述の回路基板２３が取付られる基板取付凹部１５が設けられている。
【００２４】
また、収容ケース１４Ａのうち後述のバイパス通路２１に面した周壁部１４Ａ1には、図６に示す如く、該周壁部１４Ａ1を略四角形状に切欠くことによりバイパス通路２１内に開口した取付板挿通溝１６と、該取付板挿通溝１６を挟んで左，右両側に配置され、後述する蓋体１９の爪部１９Ａ，１９Ａが嵌合される嵌合穴１７，１７とが設けられている。
【００２５】
１８は管路１内に突出する回路収容部１４の突出端側に設けられた通路形成体で、該通路形成体１８は例えば樹脂材料、金属材料等からなり、回路収容部１４の収容ケース１４Ａと一体に形成されると共に、その側面には略Ｕ字状またはコ字状をなす通路部としての凹溝１８Ａが設けられている。
【００２６】
１９は通路形成体１８の側面に取付けられた蓋体で、該蓋体１９は例えば樹脂板、金属板等により形成され、その外縁側には、図４、図６に示す如く回路収容部１４に向けて突出した２個の爪部１９Ａが設けられている。また、蓋体１９には、各爪部１９Ａ間に位置して後述のストッパ部材２０が一体に形成されている。そして、蓋体１９は、各爪部１９Ａが回路収容部１４の嵌合穴１７に嵌合され、例えば接着等の手段を用いて通路形成体１８の側面に固定されると共に、その凹溝１８Ａを閉塞することによってバイパス通路２１を形成している。
【００２７】
２０は通路形成体１８の蓋体１９に設けられたストッパ部材で、該ストッパ部材２０は、蓋体１９から取付板挿通溝１６に向けて突出した板状の小片により形成され、取付板挿通溝１６に対応する幅寸法を有している。また、蓋体１９を通路形成体１８に取付けた状態では、図４、図５に示す如く、ストッパ部材２０が取付板挿通溝１６を閉塞し、その先端側が後述する流量検出素子２４の感温抵抗体２４Ｂと接続部２４Ｃとの間で基板２４Ａの表面にほぼ接触した状態となる。
【００２８】
これにより、ストッパ部材２０は、回路収容部１４の基板取付凹部１５内とバイパス通路２１との間を仕切るように配置され、後述の如く流量計測装置の組立時にフッ素系シール材２７となるゲル状の材料が基板取付凹部１５から取付板挿通溝１６を介して外部に流出したり、流量計測装置の使用時にフッ素系シール材２７が経時劣化等により外部に散逸するのを防止するものである。
【００２９】
２１は通路形成体１８の凹溝１８Ａと蓋体１９との間に形成されたバイパス通路で、該バイパス通路２１は、図２、図６に示す如く略Ｕ字状またはコ字状に屈曲し、その一端側は管路１の上流側に面した流入口２１Ａとなり、他端側は通路形成体１８の下面側に開口した流出口２１Ｂとなっている。
【００３０】
２２は回路収容部１４に設けられた取付板で、該取付板２２は例えば略四角形状の金属板等からなり、収容ケース１４Ａの基板取付凹部１５内に取付けられ回路基板２３が搭載される基板取付部２２Ａと、該基板取付部２２Ａから回路収容部１４の取付板挿通溝１６を介してバイパス通路２１内に突出した素子取付部２２Ｂとによって構成されている。そして、素子取付部２２Ｂには、後述の流量検出素子２４を取付ける四角形状の凹部２２Ｃが設けられている。
【００３１】
２３は取付板２２の基板取付部２２Ａに搭載された四角形状の回路基板で、該回路基板２３は回路収容部１４の基板取付凹部１５内に収容されている。また、回路基板２３上には、流量検出素子２４との間で電気信号を入出力する複数の電子部品が搭載され、これらの電子部品はボンディングワイヤ等を介してコネクタ１３のピン端子１３Ａと接続されている。
【００３２】
２４は取付板２２の素子取付部２２Ｂに取付けられた流量検出素子で、該流量検出素子２４は、図５に示す如く、シリコン板等により細長い四角形状に形成され取付板２２の凹部２２Ｃ内に固着された基板２４Ａと、該基板２４Ａ上に白金等の金属薄膜を用いて形成された感温抵抗体２４Ｂと、該感温抵抗体２４Ｂを加熱するヒータ（図示せず）とを含んで構成されている。
【００３３】
また、感温抵抗体２４Ｂは基板２４Ａの長さ方向に対して一側に配置され、バイパス通路２１内に露出されている。また、基板２４Ａの他側部位は、感温抵抗体２４Ｂとヒータからそれぞれ延びる複数の電極パッド（図示せず）等が設けられた接続部２４Ｃとなり、該接続部２４Ｃは回路収容部１４の取付板挿通溝１６を介してストッパ部材２０の内側位置まで延びると共に、その各電極パッド等はボンディングワイヤ２５，２５，…を介して回路基板２３と接続されている。
【００３４】
そして、流量検出素子２４は、感温抵抗体２４Ｂがヒータにより加熱された状態で吸入空気の流れと接触して冷却されることにより、その温度（抵抗値）の変化を吸入空気の流量として検出し、回路基板２３、コネクタ１３等を介して外部に検出信号を出力するものである。
【００３５】
２６は回路収容部１４の基板取付凹部１５内に設けられた絶縁性のシリコン充填材で、該シリコン充填材２６は、例えばシリコンゲル等のゲル材料を基板取付凹部１５内に充填して固化させることにより形成され、図３ないし図５に示す如く、フッ素系シール材２７と共に回路基板２３をほぼ全体に亘って覆っている。
【００３６】
２７は回路収容部１４の基板取付凹部１５内で取付板挿通溝１６の近傍に充填して設けられた絶縁性のフッ素系シール材で、該フッ素系シール材２７は、例えばフッ素エラストマと呼ばれるゴム状の弾性材料からなり、フッ素を含有したゲル状の高分子材料を図４、図５に示す如く回路収容部１４内に予め塗布して固化させることにより形成されると共に、ガソリン、軽油等の揮発油成分に対して高い耐久性を有している。
【００３７】
また、フッ素系シール材２７は、ボンディングワイヤ２５を覆った状態で取付板挿通溝１６の開口近傍と蓋体１９のストッパ部材２０の内側面とに亘って固着され、取付板挿通溝１６、取付板２２、流量検出素子２４の表面部位とストッパ部材２０との間に形成される微小な隙間をシールすると共に、ストッパ部材２０と協働して取付板挿通溝１６を気密状態で閉塞している。
【００３８】
そして、フッ素系シール材２７は、管路１内を流通する吸入空気が取付板挿通溝１６から回路収容部１４内に侵入するのを防止し、シリコン充填材２６と協働して回路基板２３、ボンディングワイヤ２５等を吸入空気中のダスト、水分等から保護している。また、フッ素系シール材２７は、シリコン充填材２６を吸入空気から遮断することにより、吸入空気中に揮発油成分が含まれている場合でも、シリコン充填材２６が揮発油成分と接触することにより劣化して取付板挿通溝１６から回路収容部１４の外部に溶け出すのを防止するものである。
【００３９】
本実施の形態による流量計測装置は上述の如き構成を有するもので、次にその作動について説明する。
【００４０】
まず、エンジンの運転中には、図１に示す如く、その吸入空気が管路１内を矢示Ａ方向に流通すると、吸入空気の一部がバイパス通路２１内に向けて流入口２１Ａから流入し、この空気はバイパス通路２１により整流された状態で流量検出素子２４の位置を通過した後に、流出口２１Ｂから管路１内へと流出する。そして、流量検出素子２４は吸入空気の流量を検出し、回路基板２３、コネクタ１３等を介して検出信号を外部に出力する。
【００４１】
このとき、ケーシング１１内の回路基板２３等は、シリコン充填材２６とフッ素系シール材２７とによって吸入空気から遮断されているため、回路基板２３等を吸入空気中に含まれるダスト、水分等の異物から保護することができる。
【００４２】
また、例えば吸入空気中に燃料ガス（エバポガス）、排気ガスに含まれるガソリン、軽油等の揮発油成分が混入している場合でも、回路収容部１４の取付板挿通溝１６は、これらの揮発油成分に対して高い耐久性を有するフッ素系シール材２７によって閉塞されているため、シリコン充填材２６が吸入空気中の揮発油成分と接触することによって溶け出すのを確実に防止することができる。
【００４３】
一方、ケーシング１１の組立時には、図６に示す如く、まず回路収容部１４の収容ケース１４Ａ側に取付板２２、回路基板２３、流量検出素子２４等を組付けた後に、通路形成体１８の側面に蓋体１９を取付けて凹溝１８Ａを閉塞し、バイパス通路２１を形成する。これにより、収容ケース１４Ａの取付板挿通溝１６は蓋体１９のストッパ部材２０によってほぼ遮断され、流量検出素子２４は、接続部２４Ｃが回路収容部１４の基板取付凹部１５内に配置されると共に、感温抵抗体２４Ｂがバイパス通路２１内に配置された状態となる。
【００４４】
そして、フッ素系シール材２７となるゲル状材料を収容ケース１４Ａの開口側から取付板挿通溝１６とストッパ部材２０の近傍に塗布し、これを固化させることによってフッ素系シール材２７を形成する。さらに、シリコン充填材２６となるゲル状材料を基板取付凹部１５内に充填して固化させる。
【００４５】
これにより、回路基板２３は、シリコン充填材２６とフッ素系シール材２７とによりほぼ全体に亘って覆われた状態となるので、収容ケース１４Ａの開口側に蓋板１４Ｂを取付けて基板取付凹部１５を閉塞し、ケーシング１１を組立てることができる。
【００４６】
かくして、本実施の形態によれば、回路収容部１４の基板取付凹部１５内には、取付板挿通溝１６の近傍に位置してフッ素系シール材２７を設ける構成としたので、例えばバイパス通路２１内を流通する吸入空気中に揮発油成分が含まれている場合でも、高い耐久性と弾性を有するフッ素系シール材２７により取付板挿通溝１６、取付板２２、流量検出素子２４の表面部位とストッパ部材２０との間に形成される微小な隙間を確実にシールでき、回路収容部１４内のシリコン充填材２６を吸入空気から安定的に遮断し続けることができる。
【００４７】
これにより、フッ素系シール材２７は、シリコン充填材２６が吸入空気中の揮発油成分と接触することにより劣化して回路収容部１４の取付板挿通溝１６から外部に溶け出し、流量検出素子２４の感温抵抗体２４Ｂ等に付着するのを確実に防止でき、流量検出素子２４の検出動作を長期間に亘って良好に保持できると共に、耐久性、信頼性を向上させることができる。
【００４８】
この場合、フッ素系シール材２７を、回路収容部１４内で取付板挿通溝１６の近傍部位に配設したので、回路収容部１４内の他の部位では、シリコンゲル等により汎用品として形成されたシリコン充填材２６により回路基板２３の大部分を覆うことができ、フッ素系シール材２７の使用量を節約してコストダウンを図ることができる。
【００４９】
また、通路形成体１８の蓋体１９にストッパ部材２０を設け、このストッパ部材２０により回路収容部１４の取付板挿通溝１６を閉塞したので、フッ素系シール材２７は、例えば取付板挿通溝１６内でストッパ部材２０の周囲に形成される微小な隙間をシールすればよくなり、少量のフッ素系シール材２７によってシール性能を安定的に発揮することができる。
【００５０】
しかも、流量計測装置の組立時には、蓋体１９を通路形成体１８に取付けることによってストッパ部材２０を取付板挿通溝１６内に容易に配置でき、その後にフッ素系シール材２７となるゲル状の高分子材料を取付板挿通溝１６の近傍に塗布して固化させるだけで、フッ素系シール材２７を各ボンディングワイヤ２５等の間に隙間なく簡単に充填することができる。
【００５１】
また、この充填作業時には、ゲル状の高分子材料が取付板挿通溝１６から流量検出素子２４の感温抵抗体２４Ｂ側に流出するのをストッパ部材２０によって防止できるから、充填作業を円滑に実行することできる。さらに、流量計測装置の使用時には、フッ素系シール材２７が経時劣化等により外部に散逸するのを防ぐことができ、耐久性をより高めることができる。
【００５２】
なお、実施の形態では、ケーシング１１によって回路収容部１４と通路形成体１８とを一体に形成し、このケーシング１１を管路１に取付ける構成としたが、本発明はこれに限らず、例えば図７、図８に示す変形例のように、通路形成体１８′をケーシング１１′ではなく管路１′と一体に設け、取付板２２′の素子取付部２２Ｂ′を通路形成体１８′の上側からバイパス通路２１′内に挿入する構成とした流量計測装置に適用してもよい。
【００５３】
この場合、回路収容部１４′の先端側には、図８に示す如く収容ケース１４Ａ′と蓋板１４Ｂ′との間を密閉する蓋体３１が取付けられ、該蓋体３１には取付板挿通溝１６′を閉塞するストッパ部材３２が設けられている。
【００５４】
【発明の効果】
以上詳述した通り、請求項１の発明によれば、ケーシングの基板取付凹部内には、取付板挿通溝の近傍に位置してフッ素系シール材を設ける構成としたので、例えば被測流体中に揮発油成分が含まれている場合でも、この揮発油成分に対して高い耐久性を有するフッ素系シール材により取付板挿通溝を確実にシールでき、ケーシングの基板取付凹部内に充填されたシリコン充填材を被測流体から安定的に遮断し続けることができる。これにより、シリコン充填材が被測流体中の揮発油成分と接触することにより劣化して取付板挿通溝から外部に溶け出し、流量検出素子の検出部位等に付着するのを確実に防止でき、その検出動作を長期間に亘って良好に保持できると共に、耐久性、信頼性を向上させることができる。
また、ストッパ部材を通路形成体の蓋体に設ける構成としたので、流量計測装置の組立時には、蓋体を通路形成体に取付けることによってストッパ部材を取付板挿通溝内に容易に配置でき、組立作業を円滑に行うことができる。
【００５５】
また、請求項２の発明によれば、流量検出素子の一部をケーシングの取付板挿通溝からケーシングの基板取付凹部内に延設し、その表面部位をフッ素系シール材によってシールする構成としたので、取付板挿通溝を介して基板取付凹部の内，外に延設された流量検出素子の表面部位をフッ素系シール材によって確実にシールでき、基板取付凹部内を被測流体から安定的に遮断することができる。
【００５６】
また、請求項３の発明によれば、フッ素系シール材は、前記流量検出素子と回路基板とを接続するボンディングワイヤを覆う箇所に塗布する構成としたので、フッ素系シール材を各ボンディングワイヤ等の間に隙間なく簡単に充填することができる。このため、フッ素系シール材を用いてボンディングワイヤ等を吸入空気中のダスト、水分等から保護することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による流量計測装置を管路に取付けた状態で示す縦断面図である。
【図２】本発明の実施の形態による流量計測装置を一部破断して示す正面図である。
【図３】図２中の矢示III − III方向からみた流量計測装置の縦断面図である。
【図４】シリコン充填材、フッ素系シール材等を示すケーシングの部分拡大正面図である。
【図５】図４中の矢示Ｖ−Ｖ方向からみたケーシングの部分拡大断面図である。
【図６】通路形成体に蓋体を取付ける前の状態を示す分解斜視図である。
【図７】実施の形態の変形例による流量計測装置を管路に取付けた状態で示す縦断面図である。
【図８】シリコン充填材、フッ素系シール材等を示すケーシングの部分拡大断面図である。
【符号の説明】
１  管路
２  流路
１１  ケーシング
１２  取付部
１４  回路収容部
１４Ａ  収容ケース
１４Ａ1  周壁部
１５  基板取付凹部
１６  取付板挿通溝
１８  通路形成体
１８Ａ  凹溝（通路部）
１９  蓋体
２０，３２  ストッパ部材
２１  バイパス通路
２２  取付板
２２Ａ  基板取付部
２２Ｂ  素子取付部
２３  回路基板
２４  流量検出素子
２６  シリコン充填材
２７  フッ素系シール材
【図１】
0003785319.tif 000002
【図２】
0003785319.tif 000003
【図３】
0003785319.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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