(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先鋭度が異なる第１探針と第２探針とを含む可動部と、
支持部に設けられた固定部とヒータ部が配設されたヒータ積層部と、
前記固定部と前記可動部とを連結する第１屈曲部と、
前記ヒータ積層部と前記可動部とを連結する第２屈曲部と、
前記第１屈曲部と前記第２屈曲部とにピエゾ抵抗体を形成し、
前記ヒータ部によって前記ヒータ積層部を屈曲させるとともに、
前記可動部の撓み量を前記ピエゾ抵抗体の抵抗値変化として検出することを特徴とするマイクロプローブ。
【請求項２】
前記第１探針と前記第２探針との結ぶ線分が、前記第１屈曲部と前記第２屈曲部とを結ぶ線分に対して所定の角度をなすように、前記第１探針と前記第２探針が前記可動部上に配設されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロプローブ。
【請求項３】
前記ヒータ部は、ピエゾ抵抗体であることを特徴とする請求項１乃至２のいずれか一つに記載のマイクロプローブ。
【請求項４】
マイクロプローブに設けられた先鋭化された探針を試料表面に近接させ、前記探針と試料表面との間に生じる相互作用によって、前記マイクロプローブの撓み量を検出することにより前記試料表面の観測をおこなう走査型プローブ装置において、
前記マイクロプローブが請求項１乃至３のいずれか一つに記載のマイクロプローブを用いたことを特徴とする走査型プローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料表面の微小領域（ナノメートルオーダ）を観察するために用いられるマイクロプローブおよびそれを用いた走査型プローブ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
現在、試料表面におけるナノメートルオーダの微小な領域を観察するための顕微鏡（走査型プローブ装置）の１つとして、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）が用いられている。その中でも、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）は、マイクロプローブとして、先端部に探針を設けたカンチレバーを使用しており、そのカンチレバーの探針を試料表面に沿って走査し、試料表面と探針との間に発生する相互作用（引力または斥力等）をカンチレバーの撓み量として検出することで、試料表面の形状測定を可能としている。
【０００３】
カンチレバーの撓み量は、カンチレバーの先端表面にレーザ光等の照射光を照射し、先端表面から反射された反射光の反射角度を測定することにより検出される。この反射角度は、実際には、２分割されたフォトダイオード等の光検出器を使用して、各検出部において受光される光の強度分布から得ている。
【０００４】
このようなＡＦＭによる試料観測においては、一般に、観測精度や観測範囲に応じて探針の先鋭度の異なるカンチレバーを選択し、これを装置に装着して使用している。例えば、マイクロメートルオーダの広領域を高速に測定したい場合には、低分解能ではあるが、先鋭度の低い探針を有したカンチレバー（以下、低分解能用カンチレバーと称する）が使用され、また、ナノメートルオーダの狭領域を高分解能で測定したい場合には、先鋭度の高い探針を有したカンチレバー（以下、高分解能用カンチレバーと称する）が使用される。
【０００５】
このように、観測目的によってカンチレバーを交換する必要が生じるが、この交換は、上記した照射光の照射角度や光検出器の受光角度等を微調整する煩雑な作業となっていた。また、交換作業の前後において、観測位置が大きくずれてしまう場合が多く、正確な試料観測を行うことが困難であった。
【０００６】
そこで、支持部を共通にして、上記した低分解能用カンチレバーと高分解能用カンチレバーとを共に備えたダブルレバー型のマイクロプローブが提案されている。特に、このダブルレバー型のマイクロプローブにおいては、上述した観測目的に応じて、ヒータの熱膨張を利用したスイッチングによって、上記２種類のカンチレバーの切り替えを可能としている。
【０００７】
図１２は、このダブルレバー型のマイクロプローブ１およびそれを用いた走査型プローブ装置の要部の構成を示す斜視図である。また、図１３は、ダブルレバー型のマイクロプローブ１の動作を説明する側面図である。
【０００８】
図１２において、マイクロプローブ１は、試料４の上方に配設されており、シリコンを基材として作成されたものであり、支持部１ａに低分解能用カンチレバー部１ｂと高分解能用カンチレバー部１ｄとが形成されている。これら低分解能用カンチレバー部１ｂと高分解能用カンチレバー部１ｄとは、図１２に示すように、支持部１ａの端縁より同図に示すマイナスｙ軸方向に突出するように、かつ、間隙１ｆで隔てられるように、支持部１ａに支持されている。なお、実際の使用にあたっては、支持部１ａは、図示しない固定部材に固定される。
【０００９】
また、上記試料４は、図示しないアクチュエータによって同図に示すｘｙ平面内およびｚ軸方向に移動され、これによりマイクロプローブ１の試料表面上に亘る走査と、マイクロプローブ１と試料表面との近接制御が達成される。
【００１０】
さらに、低分解能用カンチレバー部１ｂおよび高分解能用カンチレバー部１ｄは、支持部１ａとの接合部分を屈曲部として同図に示すｚ軸方向に撓むように形成されている。そして、低分解能用カンチレバー部１ｂの先端部には、マイナスｚ軸方向へ突出するように、先鋭化された低分解能用探針１ｃが形成されている。
【００１１】
この低分解能用探針１ｃは、試料４の試料表面４ａに近接しており、その先鋭度は後述する高分解能用探針１ｅの先鋭度と比べて低く、かつそのｚ軸方向における長さは高分解能用探針１ｅの長さに比較して長い。すなわち、低分解能用探針１ｃ（低分解能用カンチレバー部１ｂ）は、低分解能であってかつ広領域の測定の際に用いられる。
【００１２】
一方、高分解能用カンチレバー部１ｄの先端部には、マイナスｚ軸方向へ突出するように、先鋭化された高分解能用探針１ｅが形成されている。この高分解能用探針１ｅは、その先鋭度を低分解能用１ｃの先鋭度と比べて高くかつ、ｚ軸方向の長さを低分解能用探針１ｃの長さと比較して短くしている。すなわち、高分解能用探針１ｅ（高分解能用カンチレバー部１ｄ）は、高分解能であってかつ狭領域の測定の際に用いられる。
【００１３】
低分解能用カンチレバー部１ｂおよび高分解能用カンチレバー部１ｄの撓みの検出は、上記したように、カンチレバーの表面で反射された反射光の測定により行う。低分解能用カンチレバー部１ｂの撓み検出については、発光素子５1から照射された照射光Ｌａ1が反射され、その反射光Ｌｂ1が受光素子６1において受光されることで行われる。また、同様に、高分解能用カンチレバー部１ｄの撓み検出については、発光素子５2から照射された照射光Ｌａ2が反射され、その反射光Ｌｂ2が受光素子６2において受光されることで行われる。
【００１４】
さらに、低分解能用カンチレバー部１ｂにおいては、図１３に示すように、低分解能用探針１ｃ側の面上に、上記したスイッチングのためのヒータ３が形成されている。特に、このヒータ３は、低分解能用カンチレバー部１ｂと支持部１ａとの接合部分（屈曲部）に形成されており、図示しない配線を介した通電によって発熱し、ヒータ３自体の熱膨張により、または、低分解能用カンチレバー部１ｂにおいてヒータ３が形成された側とその反対側と熱膨張の差異により、低分解能用カンチレバー部１ｂをヒータ３部においてｚ軸プラス方向に屈曲させることができる。
【００１５】
ここで、低分解能用カンチレバー部１ｂが屈曲する前のヒータ３の温度をＴ0とし、低分解能用カンチレバー部１ｂが屈曲するためのヒータ３の温度（差動温度）をＴ（＞Ｔ0）とする。
【００１６】
よって、このマイクロプローブ１を用いた走査型プローブ装置においては、初期状態、すなわちヒータ３の温度がＴ0である状態を、高分解能用探針１ｅよりも高さの高い低分解能用探針１ｃが試料表面４ａにより近接した状態として使用できる状態とし、この状態では広領域かつ低分解能の観測をおこなうことができる。
【００１７】
そして、ヒータ３に電流を流して、ヒータ３の温度を作動温度Ｔまで上昇させることで低分解能用カンチレバー部１ｂをｚ軸プラス方向に屈曲させると、この状態では、高分解能用探針１ｅの方が低分解能用探針１ｃよりも試料表面４ａにより近接した状態となるので、狭領域かつ高分解能の観測をおこなうことができる。
【００１８】
よって、以上のようなダブルレバー型のマイクロプローブは、マイクロプローブの交換作業を行うことなく、広領域かつ低分解能のための観測または狭領域かつ高分解能の観測の一方をおこなうための専用の探針に切り換えることが可能になる。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなマイクロプローブ１およびそれを用いた走査型プローブ装置においては、必然的に、低分解能用カンチレバー部１ｂの撓み量を検出する検出部（発光素子５1および受光素子６1）と、高分解能用カンチレバー部１ｄの撓み量を検出する検出部（発光素子５2および受光素子６2）という２系統の検出部が必要となる。
【００２０】
よって、従来のマイクロプローブ１およびそれを用いた走査型プローブ装置においては、２系統の検出部に対して、個々に配設位置や角度の微調整を行う必要が生じ、また、このように検出部が２系統分必要となるため、構成が複雑となるという問題があった。
【００２１】
さらに、従来のマイクロプローブ１およびそれを用いた走査型プローブ装置においては、２系統の検出部の検出特性に製造上やむを得ないばらつきが存在するため、おのずとこのばらつきにより測定精度が落ちてしまうという問題があった。
【００２２】
そこで、従来においては、２系統の検出部による問題等を解決すべく、低分解能用カンチレバー部１ｂおよび高分解能用カンチレバー部１ｄの各先端部の双方を覆うような大径の光ビームの光を用いる１系統の検出部を、２系統の検出部に代えて用いる構成も考えられる。
【００２３】
しかしながら、この１系統の検出部を有するものは、２系統の検出部を有するものと比較して、構成を簡単にすることができるという利点があるが、光ビームの径が測定精度に反比例することを考慮すれば、測定精度の低下を招くため、必ずしも上述した問題のすべてを同時に解決するものではない。
【００２４】
さらに、従来のマイクロプローブ１およびそれを用いた走査型プローブ装置においては、測定の度に発光素子５1および５2、受光素子６1および６2の各配設位置・角度のアライメント調整が必要である旨を述べたが、実際には、測定オーダがナノメートルというきわめて微小なオーダであることから、微細な位置・角度調整を何度も繰り返す必要が生じ、非常に煩雑であってかつ長時間の作業を要するという問題もあった。
【００２５】
本発明はこのような背景の下になされたもので、構成を簡易にすることができるとともに、試料面の測定精度を向上させることができ、しかも測定毎のアライメント調整を不要にすることができるマイクロプローブおよびそれを用いた走査型プローブ装置を提供することを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１にかかるマイクロプローブは、第１の先鋭度を有する探針を備えた第１のカンチレバー部と第２の先鋭度を有する探針を備えた第２のカンチレバー部とを支持部に設け、前記第１のカンチレバー部と前記支持部との連結部に加熱手段を配設し、前記加熱手段によって前記第１のカンチレバー部を屈曲させるマイクロプローブにおいて、前記第１のカンチレバー部と前記加熱手段とを連結する第１の屈曲部と、前記第２のカンチレバー部と前記支持部とを連結する第２の屈曲部と、にそれぞれピエゾ抵抗体を形成し、前記第１のカンチレバー部および第２のカンチレバー部の撓み量を前記ピエゾ抵抗体の抵抗値変化として検出することを特徴とする。
【００２７】
この請求項１に記載の発明によれば、第２のカンチレバー部を使用して第２の先鋭度を有する探針を有効とする場合には、第１のカンチレバー部に連結された加熱手段により与えられる熱膨張によって、第１の先鋭度を有する探針が観測対象となる試料表面から離間するように第１のカンチレバー部を屈曲させる。これにより、第２の先鋭度を有する探針を試料表面に近接させることが可能となる。
【００２８】
一方、第１のカンチレバー部を使用して第１の先鋭度を有する探針を有効とする場合には、加熱手段を駆動せずに第１のカンチレバー部を屈曲させない。この状態においては、あらかじめ第１の先鋭度を有する探針がより試料表面に近接している。
【００２９】
これらの状態において、有効となった探針により試料表面が走査されると、試料表面とその探針との間に作用する相互作用に応じて有効となったカンチレバー部が屈曲部を支点として撓む。この撓み量は、試料表面の状態に対応する測定結果であるピエゾ抵抗体の抵抗値として検出される。
【００３０】
請求項２にかかるマイクロプローブは、第１の先鋭度を有する探針と第２の先鋭度を有する探針とを備えた可動部と、支持部に設けられた第１のレバー部と前記可動部とを連結する第１の屈曲部と、前記支持部に設けられかつ加熱手段が配設された第２のレバー部と前記可動部とを連結する第２の屈曲部と、にそれぞれピエゾ抵抗体を形成し、前記加熱手段によって前記第１のレバー部を屈曲させるとともに、前記可動部の撓み量を前記ピエゾ抵抗体の抵抗値変化として検出することを特徴とする。
【００３１】
この請求項２に記載の発明によれば、可動部に異なる２種類の先鋭度を有する探針を備え、加熱手段を駆動させて、それら探針のうち有効とする探針を選択することができるので、構成をより簡単にすることができる。
【００３２】
請求項３にかかるマイクロプローブは、前記第１の先鋭度を有する探針と前記第２の先鋭度を有する探針とは、各々を結ぶ線分が前記第１の屈曲部と前記第２の屈曲部とを結ぶ線分に対して所定の角度をなすように前記可動部上に配設されていることを特徴とする。
【００３３】
この請求項３に記載の発明によれば、第１の先鋭度を有する探針と第２の先鋭度を有する探針とを結ぶ線分が、第１の屈曲部と第２の屈曲部とを結ぶ線分に対して所定角度をなしているので、可動部が第２の屈曲部を回転軸として回転したときのその回転量が多くなる。
【００３４】
請求項４にかかるマイクロプローブは、請求項１〜３のいずれか一つのマイクロプローブにおいて、前記加熱手段は、ピエゾ抵抗体により構成され、当該ピエゾ抵抗体に電流が供給されることによって発熱することを特徴とする。
【００３５】
この請求項４に記載の発明によれば、ピエゾ抵抗体に電流を流すことによって生じる抵抗熱を加熱手段として利用しているので、加熱手段の駆動が電気的に行え、このマイクロプローブのレバー部の屈曲を容易に制御することができる。
【００３６】
請求項５にかかる走査型プローブ装置は、マイクロプローブに設けられた先鋭化された探針を試料表面に近接させ、前記探針と試料表面との間に生じる相互作用によって、前記マイクロプローブの撓み量を検出することにより前記試料表面の観測をおこなう走査型プローブ装置において、前記マイクロプローブとして請求項１〜４のいずれか一つに記載のマイクロプローブを用い、当該マイクロプローブに設けられた前記加熱手段を駆動する駆動手段を備えたことを特徴とする。
【００３７】
この請求項５に記載の発明によれば、請求項１〜４のいずれか一つのマイクロプローブを使用し、そのマイクロプローブに設けられた加熱手段を駆動する駆動手段によって試料の観測目的に応じた探針を選択することが可能となり、マイクロプローブの煩雑な交換作業を削減させることができる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明にかかるマイクロプローブおよびぞれに用いた走査型プローブ装置の実施の形態１〜５について詳細に説明する。
【００３９】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１によるマイクロプローブ１００およびそれを用いた走査型プローブ装置１０の構成を示す図である。図２は、図１に示すマイクロプローブ１００の構成を示す拡大平面図であり、図３は、図２に示すＡ−Ａ線に沿った断面図である。また、図４は、図２に示すマイクロプローブ１００の断面図である。
【００４０】
まず、図１に示す走査型プローブ装置１０において、試料１１は、測定対象であり、その試料表面１１ａの状態が観測される。アクチュエータ１２は、試料１１を同図に示すｘｙ平面内およびｚ軸方向に移動させるものであり、後述する制御部１３より供給されるアクチュエータ駆動信号Ｓｍによって駆動制御される。
【００４１】
マイクロプローブ１００は、試料１１の上方に配設されており、ピエゾ抵抗体をその表面に設けることにより、試料１１の試料表面１１ａの状態を上述した相互作用による撓み量として検出するものである。このマイクロプローブ１００は、後述する２種類の低分解能用カンチレバー部（後述する低分解能用カンチレバー部１１０、図２参照）および高分解能用カンチレバー部（後述する高分解能用カンチレバー部１３０、図２参照）を備えており、測定目的に応じて、これらの低分解能用カンチレバー部と高分解能用カンチレバー部とをヒータ部（後述するヒータ部１１２1および１１２2）への通電によって切り替えることができるダブルレバー型のものである。
【００４２】
制御部１３は、アクチュエータ１２に対する駆動制御、後述する測定部１６より入力される測定信号Ｓｄから試料表面１１ａの測定結果を導出する処理や、上記測定結果に基づいて、試料表面１１ａの状態を画像表示するための画像信号Ｓｇの生成等を行う。探針選択スイッチ１４は、測定時に、上記した低分解能用カンチレバー部と高分解能用カンチレバー部とを切り替えて、それらのいずれか一方を選択するためのスイッチである。
【００４３】
換言すれば、探針選択スイッチ１４は、低分解能用カンチレバー部を有効とした低分解能・広領域測定モード、高分解能用カンチレバー部を有効とした高分解能・狭領域測定モードのいずれか一方の測定モードを選択するためのスイッチである。
【００４４】
そして、図１に示すヒータ駆動部１５は、探針選択スイッチ１４により高分解能用カンチレバー部１３０が選択されたときに、上記したヒータ部に電流を流すための機構である。一方、探針選択スイッチ１４によって示す低分解能用カンチレバー部が選択されたときには、ヒータ駆動部１５は、ヒータ部に電流を流さない。
【００４５】
また、測定部１６は、図２に示す導電膜１３４および導電膜１３３に電気的に接続されており、ピエゾ抵抗体（後述するピエゾ抵抗体１２２1および１２２2、またはピエゾ抵抗体１３１および１３２）の各抵抗値を測定して、この測定結果を測定信号Ｓｄとして、制御部１３へ出力する。表示部１７は、制御部１３より入力される画像信号Ｓｇに基づいて、測定結果である試料表面１１ａの状態を画像表示するものである。
【００４６】
つぎに、図２および図３を参照して、上記したマイクロプローブ１００の構成について詳細に説明する。図２に示すマイクロプローブ１００は、支持部１０１と、支持部１０１に、同図に示すｚ軸方向に屈曲自在に支持された低分解能用カンチレバー部１１０と、同じく支持部１０１に、ｚ軸方向に屈曲自在に支持された高分解能用カンチレバー部１３０とが形成されている。
【００４７】
低分解能用カンチレバー部１１０は、前述した低分解能・広領域測定時に用いられる一方、高分解能用カンチレバー部１３０は、高分解能・狭領域測定用に用いられる。
【００４８】
この低分解能用カンチレバー部１１０は、シリコン材料から形成されており、ヒータ積層部１１１ａ、ヒータ積層部１１１ｂ、屈曲部１１１ｃ、屈曲部１１１ｄおよび可動部１１１ｅから構成される。ヒータ積層部１１１ａおよび１１１ｂは、支持部１０１の端縁からプラスｙ軸方向へ各々延びかつ互いにｘ軸方向に一定間隔をおいて各々配置されている。
【００４９】
ヒータ積層部１１１ａは、図３に示すように、シリコン基板１１９上にイオン注入によって形成されるピエゾ抵抗体等からなるヒータ部１１２1と、シリコン基板１１９およびヒータ部１１２1の表面に形成されたＳｉＯ2等の絶縁層１２０と、絶縁層１２０の表面に形成される導電膜１１５1と、から構成されている。よって、絶縁層１２０は、ヒータ配線１１２1と導電膜１１５1との絶縁を確保するために形成されるものである。
【００５０】
また、導電膜１１５1は、後述するように、導電膜１１４1とピエゾ抵抗体１２２1の一端部との間を電気的に接続する配線および導電膜１１５1とピエゾ抵抗体１２２1ととの間を電気的に接続する配線としての役目を果たしているとともに、ヒータ部１１２1において生じる熱をシリコン基板１１９の表面に効率よく伝達するための機能も果たす。
【００５１】
可動部１１１ｅは、平面略逆Ｖ字形状をしており、屈曲部１１１ｃおよび１１１ｄを介してヒータ積層部１１１ａおよび１１１ｂの各端縁に、同図に示すｚ軸方向に屈曲可能に連結されている。ここで、上記屈曲部１１１ｃおよび１１１dは、他の部分に比して幅狭に形成されている。
【００５２】
可動部１１１ｅの先端部１１１ｆにおいて、図２に示すｚ軸において紙面手前側には、先端部分が先鋭化された低分解能用探針１１１ｇが形成されている。この低分解能用探針１１１ｇは、図４（ａ）に示すように試料１１の試料表面１１ａに近接する位置にあり、その先鋭度が後述する高分解能用探針１３０ｅの先鋭度に比べて低い。すなわち、この低分解能用探針１１１ｇ（低分解能用カンチレバー部１１０）は、低分解能であってかつ広領域の測定の際に用いられる。
【００５３】
導電膜１１３1および導電膜１１４1は、支持部１０１の表面であって、かつヒータ積層部１１１ａ近傍に一定距離をおいて各々薄膜形成されており、上述したヒータ部１１２1への電流供給用配線としての役目を果たしている。そして、ヒータ部１１２1の一端部１１２1aおよび他端部１１２1bは、それぞれメタルコンタクト部１１６1bおよびメタルコンタクト部１１６1aを介して導電膜１１４1および１１３1に電気的に接続されている。
【００５４】
また、ピエゾ抵抗体１２２1は、屈曲部１１１ｃの表面にイオン注入法等によって帯状に薄膜形成されており、加えられる圧力に応じてその抵抗値が変化するという特性を有している。すなわち、ピエゾ抵抗体１２２1は、この特性によって、屈曲部１１１ｃ（低分解能用カンチレバー部１１０）における撓み量の変化をその抵抗値の変化として検出することができる。
【００５５】
また、導電膜１１５1の一端部と導電膜１１４1とは、メタルコンタクト部１１６1aを介して電気的に接続されているとともに、導電膜１１５1の他端部とピエゾ抵抗体１２２1の一端部とは、メタルコンタクト部１２４1を介して電気的に接続されている。
【００５６】
図２において、導電膜１２３は、可動部１１１ｅの表面であって、かつ可動部１１１ｅの一端部から先端部１１１ｆを経由して他端部までの間を接続するように薄膜形成されており、配線としての役目を果たしている。この導電膜１２３の一端部は、メタルコンタクト部１２５1を介して、ピエゾ抵抗体１２２1の他端部と電気的に接続されている。
【００５７】
一方、ヒータ積層部１１１ｂは、ヒータ積層部１１１ａに対して左右対称な構造であり、上述したヒータ積層部１１１ａと同様な構成であるため、ここではその説明を省略する。なお、図中、ヒータ積層部１１１ｂ、ヒータ部１１２2、導電膜１１３2、導電膜１１４2、一端部１１２2a、他端部１１２2b、メタルコンタクト部１１６2b、メタルコンタクト部１１６2a、導電膜１１３2、導電膜１１４2、ピエゾ抵抗体１２２2は、屈曲部１１１ｄ、メタルコンタクト部１２５2、導電膜１１５2は、順に、ヒータ積層部１１１ａ、ヒータ部１１２1、導電膜１１３1、導電膜１１４1、一端部１１２2b、他端部１１２1a、メタルコンタクト部１１６1a、メタルコンタクト部１１６1b、導電膜１１４1、導電膜１１３1、ピエゾ抵抗体１２２1は、屈曲部１１１ｃ、メタルコンタクト部１２５1、導電膜１１５1に対応している。
【００５８】
他方、高分解能用カンチレバー部１３０は、低分解能用カンチレバー部１１０と同様に、シリコン材料から形成されており、屈曲部１３０ａ、屈曲部１３０ｂ、可動部１３０ｃから構成されている。この高分解能用カンチレバー部１３０は、低分解能用カンチレバー部１１０と支持部１０１とにより囲まれた領域に位置している。
【００５９】
上記した可動部１３０ｃには、先端部分に鋭角部を有する長尺形状をしており、屈曲部１３０ａおよび１３０ｂを介して、支持部１０１の端縁に、同図に示すｚ軸方向に屈曲可能に連結されている。ここで、上記屈曲部１３０ａおよび１３０ｂは、可動部１３０ｃに比べて幅狭に形成されている。
【００６０】
また、可動部１３０ｃの先端部１３０ｄには、図２に示すｚ軸において紙面手前側には、先端部分が先鋭化された高分解能用探針１１１ｇが形成されている。この高分解能用探針１３０ｅは、図４（ａ）に示すように試料１１の試料表面１１ａに近接する位置にあり、その先鋭度が上述した低分解能用探針１１１ｇの先鋭度に比べて高い。すなわち、この高分解能用探針１３０ｅ（高分解能用カンチレバー部１３０）は、高分解能であってかつ狭領域の測定の際に用いられる。
【００６１】
さらに、高分解能用カンチレバー部１３０は、試料表面１１ａに対して０〜２０度程度の角度を有して配設される。特に、図４（ａ）および（ｂ）においては、この角度が約１０度の場合を示している。
【００６２】
ピエゾ抵抗体１３１および１３２は、屈曲部１３０ａおよび１３０ｂの各表面にイオン注入法等によって帯状に薄膜形成されており、加えられる圧力に応じてその抵抗値が変化するという特性を有している。すなわち、ピエゾ抵抗体１３１および１３２は、上述したピエゾ抵抗体１２２1および１２２2と同様に、屈曲部１３０ａおよび１３０ｂ（高分解能用カンチレバー部１３０）における撓み量の変化をその抵抗値の変化として各々検出するものである。
【００６３】
導電膜１３３および１３４は、支持部１０１の表面であって、かつ屈曲部１３０ａおよび１３０ｂ近傍に一定距離をおいて各々薄膜形成されており、配線としての役目を果たしている。
【００６４】
導電膜１３３および１３４と、屈曲部１３０ａおよび１３０ｂの各一端部とは、それぞれメタルコンタクト部１３５および１３６を介して電気的に接続されている。導電膜１３７は、可動部１３０ｃの表面に薄膜形成されており、配線としての役目を果たしている。導電膜１３７の一端縁部分と、ピエゾ抵抗体１３１および１３２とは、メタルコンタクト部１３８および１３９を介して電気的に接続されている。なお、この導電膜１３７は、図２に示すように可動部１３０ｃの表面の大部分に亘って形成される以外にも、メタルコンタクト部１３８および１３９の近傍のみに形成することもできる。
【００６５】
よって、図１に示す探針選択スイッチ１４は、測定の際に、図２に示す低分解能用探針１１１ｇ（低分解能用カンチレバー部１１０）または高分解能用探針１３０ｅ（高分解能用カンチレバー部１３０）のいずれか一方を選択するためのスイッチであり、ヒータ駆動部１５は、この探針選択スイッチ１４によって、高分解能用探針１３０ｅ（高分解能用カンチレバー部１３０）が選択されたときに、導電膜１１３1および１１４1と、導電膜１１３2および１１４2との双方へ電圧を印加することにより、ヒータ部１１２1および１１２2を駆動するものである。
【００６６】
次に、上述した実施の形態１によるマイクロプローブ１００およびそれを用いた走査型プローブ装置１０の動作について説明する。
【００６７】
（低分解能・広領域測定）
まず、図２に示す低分解能用カンチレバー部１１０（低分解能用探針１１１ｇ）を用いた低分解能・広領域測定時の動作について説明する。この低分解能・広領域測定時においては、図１に示す探針選択スイッチ１４により低分解能・広領域測定モードが選択される。従って、ヒータ駆動部１５からは、図２に示す導電膜１１４1および１１３1と、導電膜１１３2および１１４2とに対して電圧が印加されない。
【００６８】
従って、ヒータ積層部１１１ａおよび１１１ｂの温度が作動温度Ｔ以下となるため、低分解能用カンチレバー部１１０は、図４（ａ）に示すように、変形することなく直線状であって、かつ高分解能用カンチレバー１３０と同一平面上に位置している状態となる。
【００６９】
このような状態において、同図に示す低分解能用探針１１１ｇと試料表面１１ａとの間の距離が、高分解能用探針１３０ｅと試料表面１１ａとの間の距離に比べて短いため、マイクロプローブ１００としては、低分解能用探針１１１ｇ（低分解能用カンチレバー部１１０）が有効なる。
【００７０】
また、測定時においては、図１に示す測定部１６が図２に示す導電膜１１４1および１１３2に接続されており、測定部１６→導電膜１１４1→メタルコンタクト部１１６1a→導電膜１１５1→メタルコンタクト部１２４1→ピエゾ抵抗体１２２1→メタルコンタクト部１２５1→導電膜１２３→メタルコンタクト部１２５2→ピエゾ抵抗体１２２2→メタルコンタクト部１２４2→導電膜１１５2→メタルコンタクト部１１６2b→導電膜１１３2→測定部１６という経路からなる閉ループ回路が形成されている。
【００７１】
ここで、図１に示す制御部１３からアクチュエータ駆動信号Ｓｍがアクチュエータ１２へ出力されると、アクチュエータ１２が駆動され、試料１１がｘｙ平面内においてｙ方向へ移動される。
【００７２】
これにより、試料表面１１ａにおけるマイクロプローブ１００による走査が行われ、この走査中においては、図４（ａ）に示す低分解能用探針１１１ｇと試料表面１１ａとの間に相互作用（引力または斥力等）が作用し、低分解能用カンチレバー部１１０は、図２に示す屈曲部１１１ｃおよび１１１ｄを支点として、この相互作用に応じた撓み量をもってｚ軸方向に撓む。
【００７３】
すなわち、屈曲部１１１ｃおよび１１１ｄは、上記した撓み量に応じて屈曲し、この屈曲度に応じて、ピエゾ抵抗体１２２1および１２２2は、各抵抗値が変化する。そして、これらのピエゾ抵抗体１２２1および１２２2の抵抗値は、図１に示す測定部１６によって測定され、測定部１６からは、測定結果として測定信号Ｓｄが制御部１３へ出力される。
【００７４】
これにより、制御部１３は、測定信号Ｓｄに基づいて、ピエゾ抵抗体１２２1および１２２2の抵抗値の変化を求め、さらにこの抵抗値の変化から試料表面１１ａの状態に応じた画像信号Ｓｇを生成する。ついで、制御部１３は、測定結果としての上記画像信号Ｓｇを表示部１７へ出力する。これにより、表示部１７には、測定結果として試料表面１１ａの状態が画像表示される。
【００７５】
ここで、表示部１７に表示されている測定結果は、低分解能用カンチレバー部１１０（低分解能用探針１１１ｇ）による検出結果に基づいているため、試料表面１１ａにおける広領域の測定結果であるが、分解能が低いものである。
【００７６】
（高分解能・狭領域測定）
つぎに、上述した低分解能・広領域測定に代えて、高分解能・狭領域測定を行う場合には、図１に示す探針選択スイッチ１４により高分解能・狭領域測定モードが選択される。これにより、ヒータ駆動部１５からは、図２に示す導電膜１１４1および１１３1と、導電膜１１３2および１１４2とに対して電圧が印加される。
【００７７】
この結果、図２に示すマイクロプローブ１００においては、ヒータ駆動部１５→導電膜１１３1→メタルコンタクト部１１６1b→ヒータ部１１２1→メタルコンタクト部１１６1a→導電膜１１４1→ヒータ駆動部１５という経路からなる第１の閉ループ回路が形成される。
【００７８】
これと同様にして、マイクロプローブ１００においては、ヒータ駆動部１５→導電膜１１３2→メタルコンタクト部１１６2b→ヒータ部１１２2→メタルコンタクト部１１６2a→導電膜１１４2→ヒータ駆動部１５という経路からなる第２の閉ループ回路が形成される。
【００７９】
そして、上記第１および第２の閉ループ回路が形成されることにより、ヒータ部１１２1および１１２2の双方に電流が流れ、ヒータ部１１２1および１１２2においては、ジュール熱が各々発生する。
【００８０】
これにより、ヒータ積層部１１１ａおよび１１１ｂの温度が上昇し、導電膜１１５1（および１１５2）およびその周辺部分が徐々に熱膨張する。この結果、図４（ｂ）に示すように、低分解能用カンチレバー部１１０が、ヒータ積層部１１１ａ（および１１１ｂ）を屈曲部として、プラスｚ軸方向へ屈曲するとともに、低分解能用探針１１１ｇが試料表面１１ａから離間する。
【００８１】
この状態においては、低分解能用カンチレバー部１１０の低分解能用探針１１１ｇと試料表面１１ａとの間の距離が、他方の高分解能用カンチレバー部１３０の高分解能用探針１３０ｅと試料表面１１ａとの間の距離と比較して長いため、マイクロプローブ１００としては、低分解能用カンチレバー部１１０（低分解能用探針１１１ｇ）は無効なる。
【００８２】
これに対して、高分解能用カンチレバー部１３０の高分解能用探針１３０ｅと試料表面１１ａとの間の距離が、低分解能用カンチレバー部１１０の低分解能用探針１１１ｇと試料表面１１ａとの間の距離と比較して短いため、マイクロプローブ１００としては、高分解能用カンチレバー部１３０（高分解能用探針１３０ｅ）が有効なる。
【００８３】
また、測定時においては、図１に示す測定部１６が図２に示す導電膜１３３および１３４に接続されており、測定部１６→導電膜１３３→メタルコンタクト部１３５→ピエゾ抵抗体１３１→導電膜１３７→メタルコンタクト部１３９→ピエゾ抵抗体１３２→メタルコンタクト部１３６→導電膜１３４→測定部１６という経路からなる閉ループ回路が形成されている。
【００８４】
ここで、図１に示す制御部１３からアクチュエータ駆動信号Ｓｍがアクチュエータ１２へ出力されると、アクチュエータ１２が駆動され、試料１１がｘｙ平面内においてｙ方向へ移動される。
【００８５】
これにより、試料表面１１ａにおけるマイクロプローブ１００による走査が行われ、この走査中においては、図４（ｂ）に示す高分解能用カンチレバー部１３０の高分解能用探針１３０ｅとの間に相互作用（引力または斥力等）が作用し、高分解能用カンチレバー部１３０は、図２に示す屈曲部１３０ａおよび１３０ｂを支点として、上記相互作用に応じた撓み量をもってｚ軸方向に撓む。
【００８６】
すなわち、屈曲部１３０ａおよび１３０ｂは、上記撓み量に応じて屈曲し、この屈曲度に応じて、ピエゾ抵抗体１３１および１３２は、各抵抗値が変化する。そして、これらのピエゾ抵抗体１３１および１３２の抵抗値は、図１に示す測定部１６によって測定され、測定部１６からは、測定結果として測定信号Ｓｄが制御部１３へ出力される。
【００８７】
以降につづく制御部１３等の処理は、上述した動作と同様であり、ここではそれらの説明を省略する。そして最終的に得られる測定結果は、高分解能用カンチレバー部１３０（高分解能用探針１３０ｅ）による検出結果に基づいているため、試料表面１１ａにおける狭領域の測定結果であるが、分解能が高いものである。
【００８８】
以上説明したように、上述した実施の形態１によるマイクロプローブ１００およびそれを用いた走査型プローブ装置１０によれば、低分解能用カンチレバー部１１０および高分解能用カンチレバー部１３０の撓み量をピエゾ抵抗体１２２1、ピエゾ抵抗体１２２2、ピエゾ抵抗体１３１およびピエゾ抵抗体１３２の各抵抗値に基づいて検出するように構成したので、従来の光学的に撓み量を検出する構成に比べて、構成を簡単にすることができるとともに、試料表面１１ａの測定精度を向上させることができる。
【００８９】
また、上述した実施の形態１によるマイクロプローブ１００およびそれを用いた走査型プローブ装置１０によれば、第１のカンチレバー部１１０および第２のカンチレバー部１３０と、撓み量を検出するピエゾ抵抗体１２２1、ピエゾ抵抗体１２２2、ピエゾ抵抗体１３１およびピエゾ抵抗体１３２とを一体にする構成としたので、従来のような撓み量を検出するための光学的構成要素が不要となることから、測定毎のアライメント調整を不要にすることができる。
【００９０】
なお、以上に説明した実施の形態１においては、可動部１１１ｅの先端部１１１ｆに形成される探針を低分解能用探針１１１ｇとし、可動部１３０ｃの先端部１３０ｄに形成される探針を高分解能用探針１３０ｅとしたが、逆に、図５（ａ）に示すように、先端部１１１ｆに形成される探針を高分解能用探針１３０ｅとし、先端部１３０ｄに形成される探針を低分解能用探針１１１ｇとすることもできる。
【００９１】
ただし、ヒータ部１１２1および１１２2によって屈曲するカンチレバー部の先端部（上述した例では、高分解能用カンチレバー部）に形成された探針の方が、カンチレバー部が屈曲していない状態において、先に試料に近接するという条件を満たす必要がある。よって、図５（ａ）の場合、同図（ｂ）に示すように、カンチレバー部が屈曲していない状態において、高分解能用探針１３０ｅの方が、低分解能用探針１１１ｇよりも先に試料表面に近接する。
【００９２】
しかしながら、上述したカンチレバー部の屈曲状態（ヒータオン状態）には、低分解能用探針１１１ｇが有効となるように構成することが好ましい。これは、ヒータオン状態では、ヒータ部１１２1および１１２2の発熱により、ピエゾ抵抗体による電流変化に熱雑音が混入する可能性があるためであり、この場合、低精度な結果を許容できる低分解能モードの方を有効にすることが適しているからである。なお、これらの探針の配置や屈曲時のモードの選択については、以降に説明する実施の形態についても同様である。
【００９３】
（実施の形態２）
つぎに、本発明の実施の形態２に係るマイクロプローブについて説明する。実施の形態２に係るマイクロプローブは、ピエゾ抵抗体によりカンチレバー部の撓み量を検出し、かつ先鋭度の異なる２種類の探針を備えたマイクロプローブについての他の例である。特に、実施の形態２に係るマイクロプローブは、上述したマイクロプローブ１００において、高分解能用カンチレバー部１３０と、屈曲部１３０ａおよび１３０ｂと、可動部１３０ｃと、ピエゾ抵抗体１３１および１３２と、メタルコンタクト部１３５、１３６、１３８および１３９と、導電膜１３７と、に相当する構成を設けずに、かつヒータ積層部１１１ａまたは１１１ｂに相当する部分のいずれか一方を支持部１０１を突出させたヒータ部を持たない部材とし、さらに、可動部１１１ｆに相当する部分に低分解能用探針１１１ｇおよび高分解能用探針１３０に相当する２種類の探針をともに形成した点で、実施の形態１と異なる。
【００９４】
図６は、実施の形態２に係るマイクロプローブ２００の構成を示す平面図である。なお、この実施の形態２によるマイクロプローブ２００を用いた走査型プローブ装置２０においては、図１に示すマイクロプローブ１００に代えて、マイクロプローブ２００が用いられる。
【００９５】
このマイクロプローブ２００は、シリコン材料から形成されており、支持部２０１と、支持部２０１の端縁に連結部２０１ａおよび連結部２０１ｂを介して支持された固定部２０１ｅと、同じく支持部２０１の端縁に連結部２０１ｃおよび連結部２０１ｄを介して支持された２０１ｆと、固定部２０１ｅの端縁およびヒータ積層部２０１ｆの端縁に、屈曲部２０１ｉおよび屈曲部２０１ｊを介して、ｚ軸方向に屈曲自在であってかつｙ軸回りに回転可能に支持された可動部２０１ｋとが一体に形成されてなる。
【００９６】
上記固定部２０１ｅは、台形状をしており、支持部２０１側の一端縁がｘ軸に対して平行をなしており、他方、可動部２０１ｋ側の他端縁がｘ軸に対して所定角度をもって斜辺とされている。また、この固定部２０１ｅとヒータ積層部２０１ｆとは、ｘ軸方向に一定間隔をおいて併設されており、固定部２０１ｅとヒータ積層部２０１ｆとの間には、間隙２０１ｈが形成されている。
【００９７】
ヒータ積層部２０１ｆは、台形状をしており、固定部２０１ｅと同様にして、支持部２０１側の一端縁がｘ軸に対して平行をなしており、他方、可動部２０１ｋ側の他端縁がｘ軸に対して所定の角度をもって斜辺とされている。さらに、ヒータ積層部２０１ｆの可動部２０１ｋ近傍には、角穴２０１ｇが形成されている。さらに、ヒータ積層部２０１ｆおよび固定部２０１ｅと、可動部２０１ｋとの間には、間隙２０１ｌが形成されている。
【００９８】
可動部２０１ｋは、固定部２０１ｅの他端縁およびヒータ積層部２０１ｆの他端縁に沿うように、ｘ軸に対して所定角度をもつ斜辺を有しており、かつプラスｙ軸方向に各々突出された低分解能用カンチレバー部２０１ｍおよび高分解能用カンチレバー部２０１ｏとを有している。
【００９９】
また、低分解能用カンチレバー部２０１ｍ、高分解能用カンチレバー部２０１ｏには、それぞれ実施の形態１における低分解能用探針１１１ｇ、高分解能用探針１３０ｅに対応して、低分解能用探針２０１ｎ、高分解能用探針２０１ｐが形成されている。
【０１００】
ヒータ積層部２０１ｆには、実施の形態１と同様に、ピエゾ抵抗体からなるヒータ部２０２が形成されており、供給される電流によってヒータ積層部２０１ｆを加熱する役目を果たす。このヒータ部２０２の一端部２０２ａ側および他端部２０２ｂ側は、連結部２０１ｄを経由して支持部２０１の表面に薄膜形成されている。
【０１０１】
アルミニウム膜２０３は、ヒータ積層部２０１ｆの表面であって、かつヒータ部２０２と角穴２０１ｇとの間に薄膜形成されており、ヒータ部２０２において生じる熱をシリコン基板表面に効率よく伝達するための機能を果たす。
【０１０２】
ピエゾ抵抗体２０４1、ピエゾ抵抗体２０４2は、それぞれ実施の形態１において説明した各ピエゾ抵抗体と同様に、屈曲部２０１ｉ、屈曲部２０１ｊにおける撓み量の変化を検出するものである。
【０１０３】
導電膜２０５は、可動部２０１ｋの表面であって、かつ間隙２０１ｌに沿うように帯状に薄膜形成されており、ピエゾ抵抗体２０４1とピエゾ抵抗体２０４2との間を、メタルコンタクト部２０６および２０７を介して電気的に接続する配線としての役目を果たす。
【０１０４】
導電膜２０８は、屈曲部２０１ｉ近傍から連結部２０１ｂを経由して支持部２０１までの表面に薄膜形成されており、配線としての役目をしている。この導電膜２０８の他端部２０８ｂは、メタルコンタクト部２０９を介して、ピエゾ抵抗体２０４1の一端部に電気的に接続されている。また、導電膜２１０は、屈曲部２０１ｊ近傍から連結部２０１ｃを経由して支持部２０１までの表面に薄膜形成されており、配線としての役目をしている。この導電膜２１０の他端部２１０ｂは、メタルコンタクト部２１１を介して、ピエゾ抵抗体２０４2の一端部に電気的に接続されている。
【０１０５】
また、ヒータ配線２０２の一端部２０２ａおよび他端部２０２ｂは、図１に示すヒータ駆動部１５に電気的に接続されており、このヒータ駆動部１５は、低分解能用カンチレバー部２０１ｍ（低分解能用探針２０１ｎ）を使用するときに、上記一端部２０２ａおよび他端部２０２ｂに電圧を印加する。
【０１０６】
さらに、導電膜２０８の一端部２０８ａおよび導電膜２１０の一端部２１０ａは、図１に示す測定部１６に接続されている。また、図６に示すマイクロプローブ２００においては、低分解能用探針２０１ｎと高分解能用探針２０１ｐとを結ぶ線分が、屈曲部２０１ｉと屈曲部２０１ｊとを結ぶ線分に対して所定角度を持つようにして形成されている。これは、後述する屈曲部２０１ｉを回転軸として可動部２０１ｋが回転したときの回転角度を大きくするためである。
【０１０７】
上述した実施の形態２によるマイクロプローブ２００およびそれを用いた走査型プローブ装置２０の動作については、実施の形態１と同様であるので、ここではそれらの説明を省略する。ただし、実施の形態２においては、ヒータオフ状態で、可動部２０１ｋが図７に実線で示すように屈曲部２０１ｉを回転軸とした回転が行われていない状態となり、ヒータオン状態で、同図に２点鎖線で示すように可動部２０１ｋのメタルコンタクト部２０７近傍部分においてマイナスｚ軸方向に、ヒータ積層部２０１ｆの屈曲による力が作用することにより、可動部２０１ｋが屈曲部２０１ｉを回転軸とした回転が行われた状態となる。
【０１０８】
すなわち、ヒータオン状態では、可動部２０１ｋが回転することにより、図７に２点鎖線で示すように高分解能用探針２０１ｐが試料表面１１ａから離間するとともに、低分解能用探針２０１ｎが試料表面１１ａに近接して、この低分解能用探針２０１ｎによる低分解能・広領域測定モードが有効となる。
【０１０９】
よって、以上に説明した実施の形態２によるマイクロプローブ２００およびそれを用いた走査型プローブ装置２０によれば、低分解能用探針２０１ｎおよび高分解能用探針２０１ｐを有する可動部２０１ｋと、該可動部２０１ｋの撓み量を検出するピエゾ抵抗体２０４1およびピエゾ抵抗体２０４2とを一体に構成したので、従来のような撓み量を検出するための光学的構成要素が不要となることから、測定毎のアライメント調整を不要にすることができる。
【０１１０】
（実施の形態３）
つぎに、本発明の実施の形態３に係るマイクロプローブについて説明する。実施の形態３に係るマイクロプローブは、ピエゾ抵抗体によりカンチレバー部の撓み量を検出し、かつ先鋭度の異なる２種類の探針を備えたマイクロプローブについての他の例である。特に、実施の形態２に係るマイクロプローブは、上述したマイクロプローブ１００において、高分解能用カンチレバー部１３０と、屈曲部１３０ａおよび１３０ｂと、可動部１３０ｃと、ピエゾ抵抗体１３１および１３２と、メタルコンタクト部１３５、１３６、１３８および１３９と、導電膜１３７と、に相当する構成を設けずに、可動部１１１ｆに相当する部分に低分解能用探針１１１ｇおよび高分解能用探針１３０に相当する２種類の探針をともに形成した点で、実施の形態１と異なる。ただし、ヒータ積層部１１１ａまたは１１１ｂに相当する部分のいずれか一方は機能しない。
【０１１１】
図８は、本発明の実施の形態３によるマイクロプローブ３００の構成を示す平面図である。なお、この実施の形態３によるマイクロプローブ３００を用いた走査型プローブ装置３０においては、図１に示すマイクロプローブ１００に代えて、マイクロプローブ３００が用いられる。
【０１１２】
このマイクロプローブ３００は、シリコン材料から形成されており、支持部３０１と、支持部３０１の端縁にｙ軸方向に支持された板状の固定部３０１ｂと、同じく支持部３０１の端縁に支持されたヒータ積層部３０１ａと、ヒータ積層部３０１ａの一隅部および固定部３０１ｂの一隅部に、屈曲部３０１ｄおよび屈曲部３０１ｅを介して、ｚ軸方向に屈曲自在であってかつｙ軸回りに回転可能に支持された可動部３０１ｆとが一体に形成されている。ヒータ積層部３０１ａは、板形状をしており、固定部３０１ｂとの間に形成された間隙３０１ｃを境にして、固定部３０１ｂに対して左右対称配置されている。
【０１１３】
また、可動部３０１ｆは、略台形状をしており、ｘ軸に対して所定の角度をもつ斜辺部３０１ｇの両端部（低分解能用角部３０１ｈおよび高分解能用角部３０１ｊ）には、それぞれ実施の形態１における低分解能用探針１１１ｇ、高分解能用探針１３０ｅに対応して、低分解能用探針３０１ｉ、高分解能用探針３０１ｋが形成されている。
【０１１４】
ヒータ積層部３０１ａには、実施の形態１と同様に、ピエゾ抵抗体からなるヒータ部３０２1が形成されており、供給される電流によってヒータ積層部２０１ｆを加熱する役目を果たす。そして、このヒータ部３０２1の一端部３０２1a側および他端部３０２1b側は、支持部３０１の表面に薄膜形成されている。
【０１１５】
上記ヒータ部３０２1の一端部３０２1aは、支持部３０１の表面に薄膜形成された導電膜３０３とメタルコンタクト部３０５を介して電気的に接続されている。これと同様にして、他端部３０２1bは、支持部３０１の表面に薄膜形成された導電膜３０４とメタルコンタクト部３０６を介して電気的に接続されている。
【０１１６】
また、上記ヒータ部３０２1の一端部３０２1aおよび他端部３０２1bは、図１に示すヒータ駆動部１５に電気的に接続されており、このヒータ駆動部１５は、低分解能用探針３０１ｉを使用するときに、上記一端部３０２1aおよび他端部３０２1bに電圧を印加する。
【０１１７】
アルミニウム膜３０７は、ヒータ積層部３０１ａの表面であって、かつヒータ部３０２1の全面をほぼ覆うようにして薄膜形成されている。なお、アルミニウム膜３０７とヒータ部３０２1との間には、実施の形態１の図３において示したように、図示しない絶縁層が形成されている。従って、この絶縁層により、アルミニウム膜３０７と第１のヒータ配線３０２1との間の電気的な絶縁が確保されている。また、アルミニウム膜３０７は、ヒータ部３０２1において生じる熱をシリコン基板の表面に効率よく伝達するための機能を果たす。
【０１１８】
ピエゾ抵抗体３０８1、ピエゾ抵抗体３０８2は、それぞれ実施の形態１において説明した各ピエゾ抵抗体と同様に、屈曲部３０１ｅ、屈曲部３０１ｄにおける撓み量の変化を検出するものである。
【０１１９】
導電膜３０９は、可動部３０１ｆの表面であって、かつ間隙３０１ｃに沿うように帯状に薄膜形成されており、ピエゾ抵抗体３０８1とピエゾ抵抗体３０８2との間を接続する配線としての役目を果たしている。ここで、導電膜３０９の一端部とピエゾ抵抗体３０８1の他端部とは、メタルコンタクト部３１１を介して電気的に接続されているとともに、導電膜３０９の他端部とピエゾ抵抗体３０８2の他端部とは、メタルコンタクト部３１０を介して電気的に接続されている。
【０１２０】
導電膜３１２は、屈曲部３０１ｄ近傍からヒータ積層部３０１ａを経由して支持部３０１までの表面に薄膜形成されており、配線としての役目をしている。この導電膜３１２の他端部３１２ｂは、メタルコンタクト部３１４を介してピエゾ抵抗体３０８2の一端部に電気的に接続されている。ここで、上記導電膜３１２とヒータ部３０２1との間には図示しない絶縁層が形成されており、この絶縁層により、導電膜３１２とヒータ部３０２1との間の絶縁が確保されている。
【０１２１】
一方、固定部３０１ｂにおいて、ヒータ部３０２2は、固定部３０１ｂの表面に略波状に薄膜形成されている。ただし、このヒータ部３０２2は、電気的にいずれの箇所にも接続されておらず、実際には、使用されない。これは、マイクロプローブ３００の左右の重量バランスを考慮したものである。
【０１２２】
導電膜３１３は、屈曲部３０１ｅ近傍から固定部３０１ｂを経由して支持部３０１までの表面に薄膜形成されており、配線としての役目を果たしている。この導電膜３１３の他端部３１３ｂは、メタルコンタクト部３１５を介して、ピエゾ抵抗体３０８1の一端部に電気的に接続されている。
【０１２３】
また、上記導電膜３１３の一端部３１３ａおよび導電膜３１２の一端部３１２ａは、図１に示す測定部１６に接続されている。さらに、図８に示すマイクロプローブ３００においては、低分解能用探針３０１ｉと高分解能用探針３０１ｋとを結ぶ線分が、屈曲部３０１ｅと屈曲部３０１ｄとを結ぶ線分に対して所定角度を持つようにして形成されている。これは、実施の形態２において述べたように、後述する屈曲部３０１ｅを回転軸として可動部３０１ｆが回転したときの回転角度を大きくするためである。
【０１２４】
上述した実施の形態３によるマイクロプローブ３００およびそれを用いた走査型プローブ装置３０の動作については、実施の形態２と同様であるので、ここではそれらの説明を省略する。ただし、実施の形態３においては、ヒータオフ状態で、可動部３０１ｆが図９に実線で示すように屈曲部３０１ｅを回転軸とした回転が行われない状態となり、ヒータオン状態で、同図に２点鎖線で示すように可動部３０１ｆのメタルコンタクト部３１０近傍部分においてマイナスｚ軸方向に、ヒータ積層部３０１ａの屈曲による力が作用することにより、可動部３０１ｆが屈曲部３０１ｅを回転軸とした回転が行われた状態となる。
【０１２５】
すなわち、ヒータオン状態では、可動部３０１ｆが回転することにより、図９に２点鎖線で示すように高分解能用探針３０１ｋが試料表面１１ａから離間するとともに、低分解能用探針３０１ｉが試料表面１１ａに近接して、この低分解能用探針３０１ｉによる低分解能・広領域測定モードが有効となる。
【０１２６】
以上に説明した実施の形態３に係るマイクロプローブ３００においては、可動部３０１ｆの形状を略台形状としたが、図１０に示すようにその部分を長方形状とすることもできる。図１０に示すマイクロプローブ４００においては、可動部４０１ｆ、低分解能用角部４０１ａ、高分解能用角部４０１ｃ、低分解能用探針４０１ｂ、高分解能用探針４０１ｄがそれぞれ順に、図８に示した可動部３０１ｆ、低分解能用角部３０１ｈ、高分解能用角部３０１ｊ、低分解能用探針３０１ｉ、高分解能用探針３０１ｋに相当し、その他の部分においては同機能を有し、図８と同一符号を付しているため、ここではそれらの説明を省略する。また、このマイクロプローブ４００を用いた走査型プローブ装置４０においては、図１に示すマイクロプローブ１００に代えて、マイクロプローブ４００が用いられる。
【０１２７】
さらに、可動片４０１の形状が異なり、かつヒータ積層部３０１ａと固定部３０１ｂにおいて、支持部３０１から突出した方向の長さ（長手方向）が互いに異なるようにすることもできる。図１１は、この場合のマイクロプローブ５００の構成を示す平面図である。
【０１２８】
図１１において、可動部５０１ｆ、低分解能用角部５０１ｈ、高分解能用角部５０１ｊ、低分解能用探針５０１ｉ、高分解能用探針５０１ｋ、導電膜５０９、メタルコンタクト部５１０および５１１、屈曲部５０１ｄおよび５０１ｅ、ピエゾ抵抗体５０８1と５０８2、ヒータ積層部５０１ａ、固定部５０１ｂがそれぞれ順に、図１０に示した可動部４０１ｆ、低分解能用角部４０１ａ、高分解能用角部４０１ｃ、低分解能用探針４０１ｂ、高分解能用探針４０１ｄ、導電膜３０９、メタルコンタクト部３１０および３１１、屈曲部３０１ｄおよび３０１ｅ、ピエゾ抵抗体３０８1および３０８2、ヒータ積層部３０１ａ、固定部３０１ｂに相当し、その他の部分においては同機能を有し、図８と同一符号を付しているため、ここではそれらの説明を省略する。
【０１２９】
特に、上記固定部５０１ｂは、長手方向長さがヒータ積層部５０１ａに比べて長い略板形状をしており、可動部５０１ｆは、略板形状とされており、同図右下部分に切り欠きされた切欠部５０１ｌが設けられている。また、低分解能用探針５０１ｉと高分解能用探針５０１ｊとを結ぶ線分が、屈曲部５０１ｅおよび屈曲部５０１ｄとを結ぶ線分に対して所定角度を持つようにして形成されている。これは、屈曲部５０１ｅを回転軸として可動部５０１ｆが回転したときの回転角度を大きくするためである。
【０１３０】
なお、この実施の形態３によるマイクロプローブ３００を用いた走査型プローブ装置３０においては、図１に示すマイクロプローブ１００に代えて、マイクロプローブ３００が用いられる。
【０１３１】
以上に説明したように、上述した実施の形態３によるマイクロプローブ３００（４００、５００）およびそれを用いた走査型プローブ装置３０（４０、５０）によれば、低分解能用探針３０１ｉ（４０１ｂ、５０１ｉ）および高分解能用探針３０１ｋ（４０１ｄ、５０１ｊ）による可動部３０１ｆ（４０１ｆ、５０１ｆ）の撓み量をピエゾ抵抗体３０８1（５０８1）およびピエゾ抵抗体３０８2（５０８2）の各抵抗値に基づいて検出するように構成したので、従来の光学的に撓み量を検出する構成に比して、構成を簡単にすることができるとともに、試料表面１１ａの測定精度を向上させることができる。
【０１３２】
また、上述した実施の形態３によるマイクロプローブ３００（４００、５００）およびそれを用いた走査型プローブ装置３０（４０、５０）によれば、低分解能用探針３０１ｉ（４０１ｂ、５０１ｉ）および高分解能用探針３０１ｋ（４０１ｄ、５０１ｊ）を有する可動部３０１ｆ（４０１ｆ、５０１ｆ）と、可動部３０１ｆ（４０１ｆ、５０１ｆ）の撓み量を検出するピエゾ抵抗体３０８1（５０８1）およびピエゾ抵抗体３０８2（５０８2）とを一体に構成したので、従来のような撓み量を検出するための光学的構成要素が不要となることから、測定毎のアライメント調整を不要にすることができる。
【０１３３】
以上図面を参照して、本発明の実施の形態１、２および３によるマイクロプローブ１００、２００、３００、４００および５００について詳述してきたが、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっても本発明に含まれる。
【０１３４】
例えば、上述した実施の形態１〜３においては、アルミニウム膜２０３（図６参照）、アルミニウム膜３０７（図８、１０および１１参照）を用いた例について説明したが、このアルミニウムに代えて、銅やニッケルを用いてもよい。
【０１３５】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１または請求項２にかかるマイクロプローブによれば、第１および第２のカンチレバー部または第１および第２のレバー部の撓み量をピエゾ抵抗体の抵抗値に基づいて検出するように構成したので、従来の光学的に撓み量を検出する構成に比して、光学的構成要素を使用していない分だけ、構成を簡単にすることができるとともに、試料表面の測定精度を向上させることができるという効果を奏する。
【０１３６】
また、請求項１または請求項２にかかるマイクロプローブによれば、第１および第２のカンチレバー部または第１および第２のレバー部と、撓み量を検出するピエゾ抵抗体とを一体にする構成としたので、従来のような撓み量を検出するための光学的構成要素が不要となることから、測定毎のアライメント調整を不要にすることができるという効果を奏する。
【０１３７】
請求項３にかかるマイクロプローブによれば、第１および第２のカンチレバー部の撓み量を第１および第２のピエゾ抵抗体の抵抗値に基づいて検出するように構成したので、従来の光学的に撓み量を検出する構成に比して、光学的構成要素を使用していない分だけ、構成を簡単にすることができるとともに、試料表面の測定精度を向上させることができるという効果を奏する。
【０１３８】
また、請求項３にかかるマイクロプローブによれば、第１の先鋭度を有する探針と第２の先鋭度を有する探針とを結ぶ線分が、第１の屈曲部と第２の屈曲部とを結ぶ線分に対して所定角度をなしているので、可動部が第２の屈曲部を回転軸として回転したときのその回転量を多くして探針の効率的な切り換えが可能になるという効果を奏する。
【０１３９】
請求項４にかかるマイクロプローブによれば、ピエゾ抵抗体に電流を流すことによって生じる抵抗熱を加熱手段として利用しているので、加熱手段の駆動が電気的に行え、このマイクロプローブのレバー部の屈曲を容易に制御することができるという効果を奏する。
【０１４０】
請求項５に記載の走査型プローブ装置によれば、請求項１〜４のいずれか一つのマイクロプローブを使用し、そのマイクロプローブに設けられた加熱手段を駆動する駆動手段によって試料の観測目的に応じた探針を選択することが可能となり、マイクロプローブの煩雑な交換作業を削減させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１、２、３、４および５に係るマイクロプローブ１００、２００、３００、４００および５００、およびそれらに各々用いられる走査型プローブ装置１０、２０，３０、４０および５０の構成を示す図である。
【図２】実施の形態１に係るマイクロプローブ１００の構成を示す拡大平面図である。
【図３】図２に示すＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図４】（ａ）は、本発明の実施の形態１に係るマイクロプローブ１００が、第１の探針１１１ｇで試料表面１１ａを走査している状態を示す側面図である。
（ｂ）は、本発明の実施の形態１に係るマイクロプローブ１００が、第２の探針１３０ｅで試料表面１１ａを走査している状態を示す側面図である。
【図５】（ａ）は、本発明の実施の形態１に係るマイクロプローブ１００の構成を示す拡大平面図である。
（ｂ）は、本発明の実施の形態１に係るマイクロプローブ１００の構成を示す側面図で、第２の探針１３０ｅで試料表面を走査している状態を示す図である。
【図６】実施の形態２に係るマイクロプローブ２００の構成を示す平面図である。
【図７】実施の形態２に係るマイクロプローブ２００の動作を説明する側面図である。
【図８】実施の形態３に係るマイクロプローブ３００の構成を示す平面図である。
【図９】実施の形態３に係るマイクロプローブ３００の動作を説明する側面図である。
【図１０】実施の形態３に係るマイクロプローブ４００の構成を示す平面図である。
【図１１】実施の形態３によるマイクロプローブ５００の構成を示す平面図である。
【図１２】従来のマイクロプローブ１およびそれを用いた走査型プローブ装置の要部の構成を示す斜視図である。
【図１３】従来のマイクロプローブ１の動作を説明する側面図である。
【符号の説明】
１０，２０，３０，４０，５０  走査型プローブ装置
１１  試料
１１ａ  試料表面
１３  制御部
１４  探針選択スイッチ
１５  ヒータ駆動部
１６  測定部
１００，２００、３００、４００、５００  マイクロプローブ
１０１，２０１，３０１，５０１  支持部
１１０，２０１ｍ  低分解能用カンチレバー部
１１１ａ，１１１ｂ，２０１ｆ，３０１ａ，５０１ａ  ヒータ積層部
１１１ｃ，１１１ｄ，１３０ａ，１３０ａ，２０１ｉ，２０１ｊ，３０１ｄ，３０１ｅ，５０１ｄ，５０１ｅ  屈曲部
１１１ｅ，１３０ｃ，２０１ｋ，３０１ｆ，４０１，５０１ｆ  可動部
１１１ｇ，２０１ｎ，３０１ｉ，４０１ｂ，５０１ｈ  低分解能用探針
１１２1，１１２2，２０２，３０２1，３０２2  ヒータ部
１２２1，１２２2，１３１，１３２，２０４1，２０４2，３０８1，３０８2  ピエゾ抵抗体
１３０，２０１ｏ  高分解能用カンチレバー部
１３０ｅ，２０１ｐ，３０１ｋ，４０１ｄ，５０１ｊ  高分解能用探針
２０３，３０７  アルミニウム膜
２０１ｅ，３０１ｂ，５０１ｂ  固定部
３０１ｇ  斜辺部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003785018.tif 000008
【図８】
0003785018.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0003785018.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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