(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平型半導体素子とヒートシンクとを交互に積層した積層体の両端を支持する加圧支持体の少なくともいずれか一方に、加圧軸心を中心として回転する回転体を介して前記積層体を積層方向に沿って加圧する加圧手段と、この加圧手段による積層方向の加圧力を表示する加圧力表示手段とを有し、前記加圧手段による積層方向の加圧力は、積層方向に沿って刻まれた第１の加圧目盛と、前記回転体の外周に沿って刻まれた第２の加圧目盛による組合せ目盛によって表示されることを特徴とする平型半導体素子用スタック。
【請求項２】
加圧力表示手段は、加圧手段によって直接加圧される第１の加圧目盛を有する上部押圧体と、上部押圧体の加圧方向の動きを付勢部材を介して積層体に伝える下部押圧体と、付勢部材の圧縮方向への移動が可能で、付勢方向への移動を阻止するよう下部押圧体を支持すると共に、前記上部押圧体のねじ部に回転自在に螺合された第２の加圧目盛を有する回転体とから成ることを特徴とする請求項１記載の平型半導体素子用スタック。
【請求項３】
加圧力表示手段は、加圧支持体に固定支持された第１の加圧目盛を有する上部押圧体と、その上部押圧体とで付勢部材を挟持する下部押圧体と、付勢部材の圧縮方向への移動が可能で、付勢方向への移動を阻止するよう下部押圧体を支持すると共に、前記上部押圧体のねじ部に回転自在に螺合された第２の加圧目盛を有する回転体と、上部押圧体及び付勢部材を貫通し、積層体加圧用の先端部が突出すると共に下部押圧体に螺合された加圧ボルトとから成ることを特徴とする請求項１記載の平型半導体素子用スタック。
【請求項４】
加圧力表示手段は、加圧手段によって直接加圧される第１の加圧目盛を有する上部押圧体と、上部押圧体の加圧方向の動きを付勢部材を介して積層体に伝える下部押圧体と、付勢部材の圧縮方向への移動が可能で、付勢方向への移動を阻止するよう上部押圧体を支持すると共に、前記下部押圧体のねじ部に回転自在に螺合された第２の加圧目盛を有する回転体と、積層体に接触作用すると共に、下部押圧体が一体に嵌合固着されたひだ付きの絶縁スペーサとから成ることを特徴とする請求項１記載の平型半導体素子用スタック。
【請求項５】
平型半導体素子とヒートシンクとを交互に積層した積層体の両端をスタッドボルトによって固定支持された加圧支持体で支持し、その加圧支持体の少なくともいずれか一方を、上部支持板と下部支持板とで形成し、上部支持板と下部支持板の間で、スタッドボルトの貫通によって支持され、スタッドボルトのねじ部に螺合された加圧ナットにより加圧力が与えられる加圧力表示手段を配置し、加圧力表示手段は、上部支持板と接触し合う第１の加圧目盛を有する上部押圧体と、下部支持板と接触し合う下部押圧体と、上部押圧体と下部押圧体の間に設けられ、上部押圧体と下部押圧体に付勢力を与える付勢部材と、付勢部材の圧縮方向への移動が可能で、付勢方向への移動を阻止するよう下部押圧体を支持すると共に、上部押圧体のねじ部に回転自在に螺合された第２の加圧目盛を有する回転体とから成る一方、下部支持板に、積層体加圧用の加圧突起部を設けたことを特徴とする平型半導体素子用スタック。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、平型半導体素子用スタックに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体変換装置は大容量化（高電圧化）の傾向にあり、それに伴い多数個の平型半導体素子が用いられるようになってきている。半導体変換装置は複数個の平型半導体素子と、その平型半導体素子を冷却するためのヒートシンクを交互に積層し、弾性的な押圧力を負荷する加圧機構部、及びそれらを支持するフレーム等から構成してなる平型半導体素子用スタックを半導体変換装置の回路構成要素として多数使用している。
【０００３】
平型半導体素子用スタックは、例えば、図１９に示すように平型半導体素子１０１と冷却用のヒートシンク１０３とを交互に積層した積層体１０５の少なくとも一方に、積層体１０５を積層方向に沿って加圧する付勢ばね１０７を設ける。一方、それらを、フレームを構成する上下の加圧支持体１０９，１１１と、スタッドボルト１１３とによって固定保持する構造となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このように構成された平型半導体素子用スタックにおいて、積層体１０５に、加圧力を加える方法に２つある。１つは、スタッドボルト１１３に螺合した上位側の上下一対のナット１１５，１１７の内、下側のナット１１７を緩めておき、図示しないプレス機により所定の加圧力Ｆを上部支持体１０９に加え、この状態で上側のナット１１５を締付けて固定し、プレス機を取り去ることで所定の加圧力を与えることが可能となる。他の１つは、下側のナット１１７を緩めておき、上側のナット１１５を規定の締付けトルクで直接加圧するものであるが、平型半導体素子用スタックは数トンという単位の高荷重で加圧して使用する。
【０００５】
加圧力が不足すると、接触抵抗が大きくなり発熱量が増大する。反対に加圧力が過大になると素子の性能が低下する可能性がある等、最適な加圧力が要求される。
【０００６】
従来、加圧力はボルトの締付けトルクやばねの変位量を測定することで確認しているが、測定に測定機器を用いるため、測定作業が面倒であること、また、一定時間経過後の加圧力を定期的に確認する場合、測定機器を用いて測定するため、加圧力の維持管理が面倒となる。
【０００７】
特に近年は、平型半導体素子は、大容量化にともない直径が大きくなり、加圧力も直径の２乗倍で増大していることなどから、確実に加圧でき、その加圧力の値を直接目で確認できることが求められるようになってきている。
【０００８】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたもので、確実に加圧できると共に、その加圧力を直接目で確認できるようにした平型半導体素子用スタックを提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、この発明の請求項１によれば、平型半導体素子とヒートシンクとを交互に積層した積層体の両端を支持する加圧支持体の少なくともいずれか一方に、加圧軸心を中心として回転する回転体を介して前記積層体を積層方向に沿って加圧する加圧手段と、この加圧手段による積層方向の加圧力を表示する加圧力表示手段とを有し、前記加圧手段による積層方向の加圧力は、積層方向に沿って刻まれた第１の加圧目盛と、前記回転体の外周に沿って刻まれた第２の加圧目盛による組合せ目盛によって表示されることを特徴とする。
【００１０】
これにより、加圧手段による積層方向の加圧力は、積層方向に刻まれた第１の加圧目盛によって、例えば、トン単位の加圧力を表示する。また、回転体に刻まれた第２の加圧目盛によってｋｇ単位を表示を行うことが可能となり、ｋｇ単位までの加圧力の値を目で直接確認できる。
【００１１】
また、目による定期的な加圧力のチェックが可能となる。
【００１２】
また、この発明の請求項２によれば、加圧力表示手段を、加圧手段によって直接加圧される第１の加圧目盛を有する上部押圧体と、上部押圧体の加圧方向の動きを付勢部材を介して積層体に伝える下部押圧体と、付勢部材の圧縮方向へ移動可能で、付勢方向への移動を阻止するよう下部押圧体を支持すると共に、前記上部押圧体のねじ部に回転自在に螺合された第２の加圧目盛を有する回転体で構成する。
【００１３】
これにより、目による加圧力の確認が直接できる加圧力表示手段は、回転体が上部押圧体のねじ部に螺合されることで、回転体と上部押圧体が一体になると共に、回転体の内部に付勢部材及び下部押圧体が組込まれたユニット構造となる。したがって、組付けが容易になると共に、部品管理工数の面でも大変好ましいものとなる。
【００１４】
また、この発明の請求項３によれば、加圧力表示手段を、加圧支持体に固定支持された第１の加圧目盛を有する上部押圧体と、その上部押圧体とで付勢部材を挟持する下部押圧体と、付勢部材の圧縮方向への移動が可能で、付勢方向への移動を阻止するよう下部押圧体を支持すると共に、前記上部押圧体のねじ部に回転自在に螺合された第２の加圧目盛を有する回転体と、上部押圧体及び付勢部材を貫通し、積層体加圧用の先端部が突出するよう下部押圧体に螺合した加圧ボルトとで構成する。
【００１５】
これにより、目による加圧力の確認が直接できる加圧力表示手段を、ユニット構造にできると共に、加圧ボルトを回転させることで、積層体を確実に加圧することができる。
【００１６】
また、この発明の請求項４によれば、加圧力表示手段を、加圧手段によって直接加圧される第１の加圧目盛を有する上部押圧体と、上部押圧体の加圧方向の動きを付勢部材を介して積層体に伝える下部押圧体と、付勢部材の圧縮方向への移動が可能で、付勢方向への移動を阻止するよう上部押圧体を支持すると共に、前記下部押圧体のねじ部に回転自在に螺合された第２の加圧目盛を有する回転体と、積層体に接触作用すると共に、下部押圧体が一体に嵌合固着されたひだ付きの絶縁スペーサとで構成する。
【００１７】
これにより、目による加圧力の確認が直接できる加圧力表示手段を、絶縁スペーサ付きのユニットにできるため、組付け作業が容易となる。しかも、ひだ部によって絶縁面となる表面の沿面距離が拡大し、より確実な絶縁が期待できる。
【００１８】
また、この発明の請求項５によれば、平型半導体素子とヒートシンクとを交互に積層した積層体の両端をスタッドボルトによって固定支持された加圧支持体で支持し、その加圧支持体の少なくともいずれか一方を、上部支持板と下部支持板とで形成し、上部支持板と下部支持板の間で、スタッドボルトの貫通によって支持され、スタッドボルトのねじ部に螺合された加圧ナットにより加圧力が与えられる加圧力表示手段を配置し、加圧力表示手段は、上部支持板と接触し合う第１の加圧目盛を有する上部押圧体と、下部支持板と接触し合う下部押圧体と、上部押圧体と下部押圧体の間に設けられ、上部押圧体と下部押圧体に付勢力を与える付勢部材と、付勢部材の圧縮方向への移動が可能で、付勢方向への移動を阻止するよう下部押圧体を支持すると共に、上部押圧体のねじ部に回転自在に螺合された第２の加圧目盛を有する回転体とから成る一方、下部支持板に、積層体加圧用の加圧突起部を設ける。
【００１９】
これにより、スタッドボルトの加圧ナットを締め付けることで、下部支持板が下降し、加圧力表示手段、下部支持板、加圧突起部を介して積層体を加圧するため、目による加圧力の確認が直接できると共に、加圧力表示手段の確実で安定した取付け状態が得られる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図５の図面を参照しながらこの発明の第１の実施形態について説明する。
【００２１】
図１において、１は平型半導体素子用スタック３の積層体、５はフレームをそれぞれ示している。
【００２２】
フレーム５は、上下一対の板状の加圧支持体７，９と、各加圧支持体７と加圧支持体９とを結合する左右一対のスタッドボルト１１，１１から成り、スタッドボルト１１の上下両端のねじ部１１ａは加圧支持体７，９を貫通している。貫通したねじ部１１ａには加圧支持体７，９を上下から挟みつけるように一対の加圧ナット１３，１５がそれぞれ螺合している。
【００２３】
なお、スタッドボルト１１は加圧支持体７，９の４個所に配置する構造としてもよい。
【００２４】
積層体１は、平型半導体素子１７と平型半導体素子１７を冷却するヒートシンク１９とを交互に積層し、その両端に電気回路接続端子となる導体２１と、その導体２１の外側に絶縁スペーサ２３がそれぞれ配置されている。下位側となる一方の絶縁スペーサ２３は、下方の加圧支持体９に支持され、上位側となる他方の絶縁スペーサ２３は、上方の加圧支持体７に螺合された加圧ボルト２５と加圧ボルト２５によって加圧力が与えられる加圧力表示手段２７を介して支持されている。
【００２５】
加圧力表示手段２７は、図２に示すように上下の上部押圧体２９及び下部押圧体３１と、上部押圧体２９及び下部押圧体３１の間に配置され付勢力を与える付勢部材３３と、上部押圧体２９のねじ部２９ａに螺合された回転体３５とでユニットを構成している。
【００２６】
上部押圧体２９は、上面中央部位に加圧力が加わると常に中央部位へ向けて加圧力が作用するよう自動調芯作用を有する球面状の凹部３７が設けられ、凹部３７には加圧ボルト２５の先端部３９が作用している。
【００２７】
下部押圧体４１は、付勢部材３３と共に回転体３５の内部に配置され、外周にはフランジ部３１を有し、フランジ部４１は開口孔４５が設けられた回転体３５の底部に支持されている。下部押圧体３１の下面中央部位には球面状の凸部４７が設けられ、球面状の凸部４７は回転体３５の開口孔４５から下方へ突出し、前記絶縁スペーサ２３の上面と接触している。
【００２８】
付勢部材３３は、トン単位の加圧力で圧縮するばね材でできた皿ばねとなっていて、一端は上部押圧体２９と、他端は下部押圧体３１とそれぞれ接触している。この場合、付勢部材３３は皿ばねではなくコイルばねであってもよい。また、材質にステンレス等を用いることで耐侵性のあるばねになると共に、非磁性材料であるため電磁誘導による過熱が生じにくくなる。
【００２９】
回転体３５は、上方が開放された円筒部３５ａと底部３５ｂとから成り、底部３５ｂに前記開口孔４５が設けられている。円筒部３５ａの上方開放側の内側にはねじ部が設けられ、前記上部押圧体２９の外周に設けられたねじ部２５ａと螺合している。
【００３０】
加圧ボルト２５は、頭部４９が加圧支持体７より上方へ突出し、ねじ部５１が加圧支持体７のねじ孔５３に螺合し、先端部３９が加圧支持体７より下方へ突出して前記上部押圧体７の凹部３７に作用している。
【００３１】
一方、上部押圧体２９には第１の加圧目盛５５が、回転体３５には第２の加圧目盛５７がそれぞれ設けられている。
【００３２】
第１の加圧目盛５５は加圧方向（図１矢印）に対して直交するよう設けられている。
【００３３】
第２の加圧目盛５７は、加圧方向と平行に回転体３５の外周面に沿って設けられている。この実施形態では、加圧ボルト２５を下方へねじ込むことで、付勢部材３３が圧縮し、フランジ部４１と底部３５ｂとの間に隙間Ｇができる。隙間Ｇが何ｍｍあるかを測定すれば、付勢部材３３の加圧力−変位特性から、ばね変位＝隙間として加圧力が求められる。
【００３４】
具体的には、回転体３５を手で回転し、ねじ部２９ａのねじピッチに応じて回転体３５がねじ込まれる量を回転方向の変位として表示する。１回転ごとの加圧力増加分を、上部押圧体２９に目盛る。また、１回転での加圧力増加分を回転体３５の目盛りとして表示することで、細かく加圧力を測定することができる。
【００３５】
例えば、１トンで１ｍｍ変位する付勢部材３３の場合、回転体３５のねじ部のピッチを１ｍｍとすると、上部押圧体２９の目盛を１ｍｍ間隔として数トン分の目盛を設ける。回転体３５には、図４に示すように回転角４５度間隔に２５０ｋｇの目盛を表示する。この時の０．５ｍｍまでの変位量と回転角度と加圧力の関係を図５に示す。
【００３６】
したがって、付勢部材３３が、例えば０．５ｍｍ圧縮されると、隙間Ｇができるから、その隙間Ｇがゼロとなるまで回転すると、回転体３５の回転角度は１８０度となり、加圧力は５００ｋｇということになる。同様に０．１ｍｍの圧縮では、回転体３５は３６度の回転となり、加圧力は５０ｋｇとなる。
【００３７】
このため、例えば、１．５ｍｍ圧縮されると、１トンと５００ｋｇの加圧力となり、ｋｇ単位まで正確に目で確認することが可能となる。
【００３８】
この場合、カラーバー表示で規定の加圧力範囲であることを表示するようにしてもよい。
【００３９】
このように構成された平型半導体素子用スタック３によれば、加圧ボルト２５及び回転体３５の作動によって、積層体１に対して所定の加圧力を加えることができる。この時の加圧力は、加圧力表示手段２７の第１の加圧目盛５５と第２の加圧目盛５７とをみることで、ｋｇ単位まで目で直接確認することができる。また、所定時間経過後の確認作業も各加圧目盛５５，５７を見るだけで容易に行なえ、煩わしさがなくなる。
【００４０】
一方、加圧力表示手段２７は一体のユニット構造となるため、組付けが容易になると共に、部品点数も少なくて済むメリットが得られる。
【００４１】
また、回転体３５は、付勢部材３３のばね材と同じ熱膨張率を持つ材料で作ることが望ましい。
【００４２】
これにより、平型半導体素子１７の発熱や使用環境による温度変化で付勢部材３３の熱膨張や収縮が生じても、回転体３５も同様に膨張・収縮するので、温度変化の影響を受けることなく正確な加圧目盛５７の表示が得られる。
【００４３】
図６は第２の実施形態を示したものである。
【００４４】
即ち、加圧ボルト２５を、中央部の加圧ボルト２５の外に、左右両サイドに２つ加圧ボルト２５を追加配置し、各加圧ボルト２５の先端部３９を上部押圧体２９の上面に作用させるものである。この場合、各加圧ボルト２５の先端部３９が作用する上部押圧体２９の上面には、球面状の凹部３７を設けるようにすることが望ましい。
【００４５】
なお、他の構成要素は第１の実施形態と同一のため同一符号を符して詳細な説明を省略する。
【００４６】
したがって、第２の実施形態によれば、加圧力を目で直接確認できることは無論として、３本の加圧ボルト２５で加圧するため、１本あたりの加圧分担が少なくて済むようになるため、手動による加圧が容易となる。また、大きな加圧力を与えることができる。
【００４７】
図７は第３の実施形態を示したものである。
【００４８】
即ち、第１の加圧目盛５５と第２の加圧目盛５７とを取付けねじ５９によって取付位置が自由に変更できるように着脱可能な目盛板６１に設けるようにしたものである。
【００４９】
なお、他の構成要素は第１の実施形態と同一のため同一符号を符して詳細な説明を省略する。
【００５０】
したがって、第３の実施形態によれば、使用する付勢部材３３のばね特性にあわせて、無負荷時の第１の加圧目盛５５を目盛った目盛板６１と第２の加圧目盛５７を目盛った目盛板６１を、ゼロ点に正しく合わせるこができるため、加圧力を正確に測定することができる。この場合、目盛板６１を接着したり、目盛を印刷したシールを貼りつけても同じ効果が得られる。
【００５１】
図８と図９は、第４の実施形態を示したものである。
【００５２】
即ち、上部押圧体２９と下部押圧体３１の間に配置する付勢部材３３を複数、この実施形態では３角形状に３個所配置する一方、前記付勢部材３３と対応する下部押圧体３１の下面に、球面状の凸部６３を３個所配置した構造とするものである。
【００５３】
なお、他の構成要素は第１の実施形態と同一のため、同一符号を符して詳細な説明を省略する。
【００５４】
したがって、第４の実施形態によれば、積層体１を全領域にわたって加圧力の分布を均等にすることができる。
【００５５】
図１０と図１１は第５の実施形態を示したものである。
【００５６】
即ち、上部押圧体２９を上位側の加圧支持体７に固定ボルト６５によって固定支持する一方、加圧ボルト２５を上位側の加圧支持体７、上部押圧体３７、付勢部材３３とを遊びを有して貫通し、ねじ部５１を下部押圧体３１のねじ孔６５に螺合させる。下部押圧体３１から下方へ突出した加圧ボルト２５の先端部３９を絶縁スペーサ２３の上面に作用させる構造としたものである。
【００５７】
なお、他の構成要素は第１の実施形態と同一のため、同一符号を符して詳細な説明を省略する。
【００５８】
したがって、第５の実施形態によれば、加圧力を目で直接確認できることは無論として、上部押圧体３７は上位側の加圧支持体７に直接固定支持されているため、加圧力表示手段２７の確実な支持状態を確保することが可能となる。これにより、例えば、横向きとして使用した場合でも安定した加圧力が得られる。
【００５９】
この場合、図１２、図１３に示すように、付勢部材３３及び加圧ボルト２５を三角形状に３個所配置し、下部押圧体３１から下方へ突出した加圧ボルト２５の先端部３９を、加圧体６７の上面に作用させる一方、加圧体６７の下面に設けた球状の凸部６９を絶縁スペーサ２３の上面中央部位に作用させる構造とするものである。
【００６０】
なお、加圧体６７を用いずに直接加圧ボルト２５の先端部３９を絶縁スペーサ２３の上面に作用させるようにしてもよい。
【００６１】
これにより、前記効果に加えて、１本あたりの加圧分担が少なくなるため、手動操作による加圧が容易になると共に、大きな加圧を加えることができる。
【００６２】
図１４は第６の実施形態を示したものである。
【００６３】
即ち、上部押圧体７１の外周にフランジ部７３を設け、上面に球面状の凹部７４が設けられた上半部を回転体７５の開口部７６から上方へ突出する一方、回転体７５の内側ねじ部を、下部押圧体７７のねじ部７８に螺合している。上部押圧体７１と下部押圧体７７の間には皿ばねで作られた付勢部材７９が配置されている。下部押圧体７７の底部は、ひだ８１で設けられた絶縁スペーサ８３と一体に嵌合することで、加圧力表示手段２７を１つのユニット構造としたものである。
【００６４】
なお、他の構成要素は第１の実施形態と同一のため同一符号を符して詳細な説明を省略する。
【００６５】
したがって、第６の実施形態によれば、加圧力を目で直接確認できることは無論として、絶縁スペーサ８３と加圧力表示手段２７が一体のユニット構造にできるため、組付けが容易になると共に部品管理工数の面でも大変好ましいものとなる。
【００６６】
しかも、ひだ８１によって絶縁面となる表面の沿面距離が拡大し、確実な絶縁が期待できる。
【００６７】
図１５は第７の実施形態を示したものである。
【００６８】
即ち、上位側の加圧支持体７の開口孔８５に、フランジ部８７を有する加圧部材８９を上から臨ませ、フランジ部８７と加圧支持体７との間に所定の隙間を有して取付けボルト９０によって進退自在に取付ける。
【００６９】
加圧部材８９には加圧ナット２５のねじ部５１を螺合し、加圧部材８９から下方へ突出した先端部３９を上部押圧体２９の上面中央部位に作用させる構造とするものである。
【００７０】
なお、他の構成要素は第１の実施形態と同一のため同一符号を符して詳細な説明を省略する。
【００７１】
したがって、第７の実施形態によれば、加圧力表示手段２７により加圧力を目で直接確認できることは無論として、加圧ボルト２５と外側の取付けボルト９０とによって加圧することができるため、高い加圧力を与えることができる。また、１本あたりのボルトの分担荷重が少なくて済むため、手動操作による加圧が容易に行なえる。
【００７２】
図１６は第８の実施形態を示したものである。
【００７３】
即ち、上位側の加圧支持体７の開口孔８５に、フランジ部９１を有する加圧ロッド９２を臨ませ、フランジ部９１と加圧支持体７との間に所定の隙間を有して複数の取付けボルト９３により進退自在に取付ける。
【００７４】
加圧ロッド９２の先端部は、開口孔８５を貫通し、上部押圧体２９の上面中央部位に作用させる構造とするものである。
【００７５】
なお、他の構成要素は第１の実施形態と同一のため同一符号を符して詳細な説明を省略する。
【００７６】
したがって、第８の実施形態によれば、加圧力表示手段２７により加圧力を目で直接確認できることは無論として複数の取付けボルト９３を締付けることによって、加圧ロッド９２は下降し、上部押圧体２９、付勢部材３３、下部押圧体３１を介して積層体１を加圧する。この時、加圧ロッド９２に加わる負荷を複数の取付けボルト９３で分担するため手動操作による加圧が容易に行なえると共に、高い加圧力を与えることができる。
【００７７】
図１７と図１８は第９の実施形態を示したものである。
【００７８】
即ち、上部加圧体７を、上部加圧板９４と下部加圧板９５とで形成し、上部加圧板９４と下部加圧板９５の間に上部押圧体２９、付勢部材３３、下部押圧体３１、回転体３５から成る加圧力表示手段２７を左右に配置する。上部押圧体２９は上部加圧板９４と、下部押圧体３１は下部加圧板９５とそれぞれ接触作用し、それら中心部位をスタッドボルト１１で貫通している。上部加圧板９４より上方へ突出したスタッドボルト１１のねじ部１１ａには加圧ナット９６が螺合している。
【００７９】
一方、下部加圧板９５の中央部位下面には、半球状に形成された積層体加圧用の加圧突起部９７が設けられている。
【００８０】
なお、他の構成要素は第１の実施形態と同一のため、同一符号を符して詳細な説明を省略する。
【００８１】
したがって、第９の実施形態によれば、スタッドボルト１１の加圧ナット９６を締付けることで、下部支持板９４が下降し、加圧力表示手段２７、下部支持板９５、加圧突起部９７を介して積層体１を加圧するため、目による加圧力の確認が直接できると共に、加圧力表示手段２７の確実で、安定した取付け状態が得られる。
【００８２】
【発明の効果】
以上、説明したように、この発明の平型半導体素子用スタックによれば、例えば、トン単位からｋｇ単位まで積層体を確実に加圧することができると共に、その加圧力を目で直接確認することができる。また、手動操作により容易に加圧することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明にかかる平型半導体素子用スタック全体の概要説明図。
【図２】加圧力表示手段の概要断面図。
【図３】加圧力表示手段の動作図。
【図４】第２の加圧目盛の説明図。
【図５】変位量に対する回転角と加圧力を示した説明図。
【図６】第２の実施形態を示す平型半導体素子用スタックの要部の概要説明図。
【図７】第３の実施形態を示す平型半導体素子用スタックの要部の概要説明図。
【図８】第４の実施形態を示す平型半導体素子用スタックの加圧力表示手段の概要平面図。
【図９】図８の要部の概要切断面図。
【図１０】第５の実施形態を示す平型半導体素子用スタックの要部の概要平面図。
【図１１】図１０の一部分を切断した要部の概要側面図。
【図１２】第５の実施形態の変形例を示した図１０と同様の概要平面図。
【図１３】第５の実施形態を変形例を示した図１１と同様の要部の概要側面図。
【図１４】第６の実施形態を示す加圧力表示手段の概要切断面図。
【図１５】第７の実施形態を示す平型半導体素子用スタックの概要側面図。
【図１６】第８の実施形態を示す平型半導体素子用スタックの概要側面図。
【図１７】第９の実施形態を示す平型半導体素子用スタックの概要平面図。
【図１８】図１７の一部分を切断した要部の概要側面図。
【図１９】従来の平型半導体素子用スタック全体の概要説明図。
【符号の説明】
１  積層体
７，９  加圧支持体
１７  平型半導体素子
１９  ヒートシンク
２５  加圧手段（加圧ボルト）
２７  加圧力表示手段
５５  第１の加圧目盛
５７  第２の加圧目盛
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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