(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）基材の一面に第１の接着剤層を形成して接着剤フィルム（ａ）を作成する工程、
（２）基材の一面に第２の接着剤層を形成した接着剤フィルム（ｂ）を作成する工程、
（３）前記接着剤フィルム（ａ）または接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（４）前記工程（３）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）の接着剤層面または前記工程（３）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｂ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなり、前記工程（１）における基材または前記工程（２）における基材のいずれかが剥離性フィルムであることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項２】
（１）基材の一面に第１の接着剤層を形成して接着剤フィルム（ａ）を作成する工程、
（２）前記接着剤フィルム（ａ）の接着剤層または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（３）前記工程（２）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）の接着剤層表面または前記工程（２）において有機溶剤残留接着層を形成しない単層接着剤フィルム（ｂ）の表面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項３】
（１）接着性を有する単層接着剤フィルム（ａ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（２）前記有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）または（ｂ）の表面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項４】
（１）基材の一面に第１の接着剤層を形成して接着剤フィルム（ａ）を作成する工程、
（２）基材の一面に第２の接着剤層を形成した接着剤フィルム（ｂ）を作成する工程、
（３）前記接着剤フィルム（ａ）または接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（４）前記工程（３）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）の接着剤層面または前記工程（３）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｂ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着し、一方の基材を剥離して接着剤フィルム（ｄ）を作成する工程、
（５）剥離性フィルムからなる基材の一面に第３の接着剤層を形成した接着剤フィルム（ｅ）を作成する工程、
（６）前記接着剤フィルム（ｄ）または接着剤フィルム（ｅ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｆ）を作成する工程、
（７）前記工程（６）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｄ）の接着剤層面または前記工程（６）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｅ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｆ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項５】
（１）基材の一面に第１の接着剤層を形成して接着剤フィルム（ａ）を作成する工程、
（２）基材の一面に第２の接着剤層を形成した接着剤フィルム（ｂ）を作成する工程、
（３）前記接着剤フィルム（ａ）または（ｂ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（４）前記有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）または（ｂ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着し、一方の基材を剥離して接着剤フィルム（ｄ）を作成する工程、
（５）前記接着剤フィルム（ｄ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｅ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｆ）を作成する工程、
（６）前記有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｄ）または（ｅ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｆ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項６】
（１）基材の一面に第１の接着剤層を形成して接着剤フィルム（ａ）を作成する工程、
（２）前記接着剤フィルム（ａ）の接着剤層または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（３）前記工程（２）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）の接着剤層面または前記工程（２）において有機溶剤残留接着層を形成しない単層接着剤フィルム（ｂ）の表面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着して接着剤フィルム（ｄ）を作成する工程、
（４）前記接着剤フィルム（ｄ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｅ）のいずれか一方の接着表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｆ）を作成する工程、
（５）前記工程（４）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｄ）の接着表面または前記工程（４）において有機溶剤残留接着層を形成しない単層接着剤フィルム（ｅ）の表面と接着剤フィルム（ｆ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項７】
（１）接着性を有する単層接着剤フィルム（ａ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（２）前記有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）または（ｂ）の表面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程、
（３）前記接着剤フィルム（ｃ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｄ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｅ）を作成する工程、
（４）前記有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｃ）または（ｄ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｅ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項８】
（１）接着性を有する単層接着剤フィルム（ａ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（２）前記工程（１）において有機溶剤残留接着層を形成しない単層接着剤フィルム（ａ）の表面または前記工程（１）において有機溶剤残留接着層を形成しない単層接着剤フィルム（ｂ）の表面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程、
（３）基材の一面に接着剤層を形成した接着剤フィルム（ｄ）を作成する工程、
（４）前記工程（２）で重ね合せて得た接着剤フィルムまたは接着剤フィルム（ｄ）のいずれか一方の接着表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｅ）を作成する工程、
（５）前記工程（４）において有機溶剤残留接着層を形成しない工程（２）で重ね合せて得た接着剤フィルムの表面または前記工程（４）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｄ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｅ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項９】
前記基材が剥離処理を施したポリエチレンテレフタレートフィルムであることを特徴とする請求項１、２、４、５、６または８記載の電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項１０】
前記接着性を有する単層接着剤フィルムが射出成形によりなる単層接着剤および／またはポリイミドフィルムからなる単層接着剤であることを特徴とする請求項２、３、５、６、７または８記載の電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項１１】
前記有機溶剤を残留させた有機溶剤可溶性接着剤層に残留する有機溶剤量が５〜４０重量％の範囲内であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７または８記載の電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項１２】
前記有機溶剤を残留させた有機溶剤可溶性接着剤層の乾燥後の厚さが０．５〜５μｍ以下であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７または８記載の電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項１３】
前記第１の接着剤層、第２の接着剤層および接着性を有する単層接着剤フィルムのうち、いずれか２つにより接着テープを形成する樹脂のガラス転移温度が、２０℃以上の差異を有することを特徴とする請求項１、２または３記載の電子部品用接着テープの製造方法。
【請求項１４】
前記第１の接着剤層、第２の接着剤層および接着性を有する単層接着剤フィルムのうちいずれか３つにより接着テープを形成し、３つの中間層となる樹脂のガラス転移温度が最も高いことを特徴とする請求項４、５、６、７または８記載の電子部品用接着テープの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、半導体装置を構成するリードフレーム周辺の部材間、例えば、リードピン、半導体チップ搭載用基板、放熱板、半導体チップ自身等の接着に使用するための電子部品用接着テープの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、樹脂封止型半導体装置内において使用される接着テープには、リードフレーム固定用テープ、ＴＡＢテープ等がある。例えば、リードフレーム固定用テープは、リードフレームのリードピンを固定することにより、リードフレーム自体および半導体アッセンブリ工程全体の生産性向上に資するものとして使用されている。このリードフレーム固定用テープは、耐熱性フィルムに接着剤を薄層塗工して製造されているが、近年、半導体装置が高性能化するのに伴い、高信頼性が要求される接着剤多積層型の接着テープが望まれている。従来技術による接着剤多積層型接着テープの製造方法は、基材に第１の接着剤層を塗布、乾燥した後、第２の接着剤層を塗布、乾燥することにより製造されてきた。しかしながら、従来の塗工製造方法では、接着剤層の数だけ塗工工程が必用で塗工設備、生産コスト面で大きな問題となっていた。また、接着剤をフィルム化してフィルム同士を圧着して貼り合わせる製造方法もあるが接着剤のガラス転移温度が高い場合には、圧着貼り合わせ工程での温度が高温になり、接着剤が酸化劣化する問題を有している。そのため、不活性ガス中で圧着する製造方法が提案されているが特殊な圧着貼り合わせ装置が必用となり、生産設備、生産コスト面で問題となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者は、従来技術における上記問題点に鑑みてなされたものである。本発明は、ガラス転移温度が高い接着剤でも、フィルム化した接着剤を比較的低温で、汎用の圧着貼り合わせ装置を使用して、安価に製造することができる電子部品用接着テープの製造方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１のものは、
（１）基材の一面に第１の接着剤層を形成して接着剤フィルム（ａ）を作成する工程、
（２）基材の一面に第２の接着剤層を形成した接着剤フィルム（ｂ）を作成する工程、
（３）前記接着剤フィルム（ａ）または接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（４）前記工程（３）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）の接着剤層面または前記工程（３）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｂ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなり、前記工程（１）における基材または前記工程（２）における基材のいずれかが剥離性フィルムであることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法である。
本発明の第２のものは、
（１）基材の一面に第１の接着剤層を形成して接着剤フィルム（ａ）を作成する工程、
（２）前記接着剤フィルム（ａ）の接着剤層または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（３）前記工程（２）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）の接着剤層表面または前記工程（２）において有機溶剤残留接着層を形成しない単層接着剤フィルム（ｂ）の表面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法である。
本発明の第３のものは、
（１）接着性を有する単層接着剤フィルム（ａ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（２）前記有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）または（ｂ）の表面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法である。
本発明の第４のものは、
（１）基材の一面に第１の接着剤層を形成して接着剤フィルム（ａ）を作成する工程、
（２）基材の一面に第２の接着剤層を形成した接着剤フィルム（ｂ）を作成する工程、
（３）前記接着剤フィルム（ａ）または接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（４）前記工程（３）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）の接着剤層面または前記工程（３）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｂ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着し、一方の基材を剥離して接着剤フィルム（ｄ）を作成する工程、
（５）剥離性フィルムからなる基材の一面に第３の接着剤層を形成した接着剤フィルム（ｅ）を作成する工程、
（６）前記接着剤フィルム（ｄ）または接着剤フィルム（ｅ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｆ）を作成する工程、
（７）前記工程（６）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｄ）の接着剤層面または前記工程（６）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｅ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｆ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法である。
本発明の第５のものは、
（１）基材の一面に第１の接着剤層を形成して接着剤フィルム（ａ）を作成する工程、
（２）基材の一面に第２の接着剤層を形成した接着剤フィルム（ｂ）を作成する工程、
（３）前記接着剤フィルム（ａ）または（ｂ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（４）前記有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）または（ｂ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着し、一方の基材を剥離して接着剤フィルム（ｄ）を作成する工程、
（５）前記接着剤フィルム（ｄ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｅ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｆ）を作成する工程、
（６）前記有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｄ）または（ｅ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｆ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法である。
本発明の第６のものは、
（１）基材の一面に第１の接着剤層を形成して接着剤フィルム（ａ）を作成する工程、
（２）前記接着剤フィルム（ａ）の接着剤層または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（３）前記工程（２）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）の接着剤層面または前記工程（２）において有機溶剤残留接着層を形成しない単層接着剤フィルム（ｂ）の表面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着して接着剤フィルム（ｄ）を作成する工程、
（４）前記接着剤フィルム（ｄ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｅ）のいずれか一方の接着表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｆ）を作成する工程、
（５）前記工程（４）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｄ）の接着表面または前記工程（４）において有機溶剤残留接着層を形成しない単層接着剤フィルム（ｅ）の表面と接着剤フィルム（ｆ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法である。
本発明の第７のものは、
（１）接着性を有する単層接着剤フィルム（ａ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（２）前記有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ａ）または（ｂ）の表面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程、
（３）前記接着剤フィルム（ｃ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｄ）のいずれか一方の接着剤層表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｅ）を作成する工程、
（４）前記有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｃ）または（ｄ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｅ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法である。
本発明の第８のものは、
（１）接着性を有する単層接着剤フィルム（ａ）または接着性を有する単層接着剤フィルム（ｂ）のいずれか一方の表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｃ）を作成する工程、
（２）前記工程（１）において有機溶剤残留接着層を形成しない単層接着剤フィルム（ａ）の表面または前記工程（１）において有機溶剤残留接着層を形成しない単層接着剤フィルム（ｂ）の表面と接着剤フィルム（ｃ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程、
（３）基材の一面に接着剤層を形成した接着剤フィルム（ｄ）を作成する工程、
（４）前記工程（２）で重ね合せて得た接着剤フィルムまたは接着剤フィルム（ｄ）のいずれか一方の接着表面に、有機溶剤可溶性接着剤からなる塗布液を塗布、乾燥して、有機溶剤残留接着層を形成して接着剤フィルム（ｅ）を作成する工程、
（５）前記工程（４）において有機溶剤残留接着層を形成しない工程（２）で重ね合せて得た接着剤フィルムの表面または前記工程（４）において有機溶剤残留接着層を形成しない接着剤フィルム（ｄ）の接着剤層面と接着剤フィルム（ｅ）の有機溶剤残留接着層とを対向するよう重ね合わせて圧着する工程からなることを特徴とする電子部品用接着テープの製造方法である。
【０００５】
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の製造工程に使用する接着剤フィルムは、剥離性のフィルム等の基材に接着剤と有機溶剤からなる塗布液を塗布、乾燥して得られる接着剤フィルムである。また、使用する基材には、剥離処理を施したポリエチレンテレフタレートからなる剥離性フィルム、ポリイミド等からなる耐熱性フィルム等がある。
接着性を有する単層接着剤フィルムには、射出成形等によりフィルム化した接着剤フィルムあるいは熱可塑性ポリイミドフィルム等がある。熱可塑性ポリイミドフィルムは、例えば三井東圧化学社から商品名：ラークＴＰＩ、宇部興産社から商品名：ユーピレックス、東レ社からカプトン等が上市されている。
【０００６】
本発明の製造方法に使用する有機溶剤可溶性接着剤は、有機溶剤に溶解することが必要で、該有機溶剤可溶性接着剤層を構成する樹脂の例としては、ポリアミド樹脂、ポリアセタール、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、熱可塑性ポリエステル、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン、非晶質ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、液晶ポリエステル、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリアリルエーテルニトリル、ポリベンゾイミダゾール等がある。
また、本発明の製造方法に使用する接着剤フィルムおよび単層接着剤フィルムを構成する樹脂の例としては上記したものが使用できる。
【０００７】
前記した少なくとも２つの接着剤層を、有機溶剤残留接着層を形成しないで熱圧着する場合、圧着貼り合わせ装置の温度を、該接着剤層を構成する樹脂のガラス転移温度より１００〜１５０℃高くする必要がある。該接着剤層を構成する樹脂のガラス転移温度が１５０℃以上であると、圧着貼り合わせ時の高温により接着剤層が酸化劣化し易いため、該接着剤層を構成する樹脂のガラス転移温度が１５０℃以上の場合は本発明の製造方法を使用することが好ましい。
本発明は、該第１の接着剤層と第２の接着剤層とを、あるいはポリイミドフィルムと該接着剤層とを直接圧着しないで、有機溶剤残留接着層を介して圧着するため前記温度より低い温度で圧着することを可能にするものである。
また、圧着する少なくとも２つの接着剤層を構成する樹脂のガラス転移温度が異なる場合、圧着貼り合わせ装置の温度をガラス転移温度の高い接着剤層を構成する樹脂に合わせる必要がある。前記理由、すなわち圧着時が高温になることにより、接着剤層を構成する樹脂が酸化劣化し易いため本発明の製造方法が好ましい。特に、圧着する接着剤のガラス転移温度差が２０℃以上ある場合は、本発明の製造方法がより好ましい。
また、圧着前の１つの接着剤層の乾燥後の厚さは１０〜１００μｍが好ましく、さらに好ましくは１０〜４０μｍである。１０μｍより薄いと電気的信頼性が低下し易い、１００μｍより厚いと圧着時あるいは接着テープ打ち抜き時に接着剤のはみ出し易い問題が発生する。塗工により形成された該接着剤層は、残留する有機溶剤量を１重量％以下になるまで乾燥して用いることが好ましい。本願における「乾燥後の厚さ」は残留する有機溶剤量が１重量％以下の時の厚さを意味する。
なお、接着剤のガラス転移温度は示差走査熱量計（ＤＳＣ）により、窒素雰囲気中で１０℃／ｍｉｎの昇温条件にて測定し、吸熱開始温度を意味する。
【０００８】
本発明に使用される前記有機溶剤可溶性接着剤層を溶解させる有機溶剤は、接着剤層を構成する樹脂の化学的性質によって異なるため、目的とする接着剤の種類により有機溶剤を適宜選択する必要がある。本発明に好ましく使用される有機溶剤の例としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、スルホラン、ヘキサメチルリン酸トリアミド、１，３−ジメチル−２−イミダゾリドン、ヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、アセトン、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、モノグライム、ジグライム、メチルセロソルブ、セロソルブアセテート、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、酢酸メチル、酢酸エチル、アセトニトリル、塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、ジクロロエタン、トリクロロエタン、等がある。
【０００９】
接着剤層上あるいはポリイミドフィルム上に、有機溶剤可溶性接着剤を塗布する方法としては、グラビアコーター、リバースコーター、ロータリースクリーン、スピンコーター、ダイコーター、コンマコーター、ボトムコーター、ナイフコーター、エアーコーター、ロールコーター、メタルベルトコーター、ワイヤーバーコーター等の方法があり、これらを適宜選択して使用する。
前記方法で塗布した有機溶剤可溶性接着剤層を乾燥機等で半乾燥し、有機溶剤残留接着層を形成させる。有機溶剤残留接着層に残留させる有機溶剤量は、５〜４０重量％が好ましい。残留する有機溶剤量が５重量％未満では、有機溶剤可溶性接着剤層表面の粘着性が低いため圧着性が不良になり、圧着時の温度を下げることができない。残留する有機溶剤量が４０重量％を超えると、圧着時の有機溶剤の滲みだし、発泡し易くなるため好ましくない。
また、該有機溶剤残留接着層は乾燥後の厚さが０．５〜５μｍが好ましい。５μｍより厚いと残留させた有機溶剤が発泡しやすくある。０．５μｍ未満では圧着性が不良になり、圧着時の温度を下げることができない。
【００１０】
前記接着剤を３層積層させた接着剤層を形成させる場合には、３層の中間となる層のガラス転移温度が最も高くなることが好ましい。
また、前記接着剤を３層以上積層させた接着剤層を形成させるには、本発明の第１〜８の製造方法に記載された接着剤層の圧着を繰り返してもよい。
また、ガラス転移温度が異なる接着剤を３層以上積層する場合、全ての接着剤層の接着剤を構成する樹脂のガラス転移温度が異なっていてもよいし、積層の連続する一部が同一の接着剤であってもかまわない。
【００１１】
該第１の接着剤フィルムと第２の接着剤フィルムとを、あるいは接着剤フィルムと接着性を有する単層接着剤フィルム等を圧着するにはラミネートロール等汎用の圧着貼り合わせ装置が使用できる。
圧着温度は接着剤層が空気中の酸素によって酸化しない温度域、例えば２５〜１５０℃の範囲が好ましく使用される。
また、圧着貼り合わせ後、有機溶剤を除去、乾燥させるために、真空乾燥、オーブン乾燥、遠赤外線乾燥等を使用することができるが、接着剤が酸化しない温度で乾燥させることが好ましい。
図１に本発明の製造方法による電子部品用接着テープの一例の断面図を示した。第１の接着剤層１の一面に第２の接着剤層と同一組成である有機溶剤残留接着層２を形成した後、第２の接着剤層３と有機溶剤残留接着層２とを向かい合わせて圧着する。圧着、乾燥して有機溶剤を揮散させた有機溶剤可溶性接着剤層４を含む２層の接着剤層を有する電子部品用接着テープを作製するものである。
【００１２】
以下、本発明を実施例に基づいてより詳細に説明する。
【実施例】
実施例１［第１の発明］
ガラス転移温度２３０℃のポリアミドイミドのＮ−メチル−２−ピロリドン（以下、ＮＭＰと略す。）溶液（東洋紡績社製ＡＴ８０２０：濃度２５重量％）を、乾燥後の厚さが２０μｍになるよう厚さ３８μｍの片面剥離処理した剥離性ポリエチレンテレフタレートフィルム（以下、剥離性フィルムと略す。）の処理面に塗布して、熱風循環型乾燥機中で１８０℃５分間乾燥して残留溶剤量１重量％以下の第１の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。一方、これとは別に、同様にして残留溶剤量１重量％以下の第２の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
次に、該第１の接着剤層面に上記ポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有する第１の接着剤層フィルムを作製した。
上記で得られた残留溶剤量１重量％以下の第２の接着剤層と該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、汎用の圧着貼り合わせ装置（大成ラミネーター社製ファーストラミネーター）を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着し、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下の２層の接着剤層を有する本発明の製造方法による接着テープを得た。
【００１３】
実施例２
実施例１の有機溶剤可溶性接着剤の乾燥温度を１００℃に変更して、残留溶剤量を６重量％にした以外は、実施例１と同様にして残留溶剤量が１重量％以下で２層の接着剤層を有する本発明の製造方法による電子部品用接着テープを得た。
【００１４】
実施例３
実施例１の有機溶剤可溶性接着剤の乾燥温度を６０℃に変更して、残留溶剤量を２０重量％にした以外は、実施例１と同様にして残留溶剤量が１重量％以下で２層の接着剤層を有する本発明の製造方法による電子部品用接着テープを得た。
【００１５】
実施例４
実施例１の有機溶剤可溶性接着剤の乾燥後の厚さを５μｍにした以外は、実施例１と同様にして残留溶剤量が１重量％以下で２層の接着剤層を有する本発明の製造方法による電子部品用接着テープを得た。
【００１６】
実施例５
実施例１で使用したポリアミドイミドの代わりにガラス転移温度２８０℃のポリアミドイミドのＮＭＰ溶液（東洋紡績社製ＮＸ−１００：濃度２５％）を使用した以外は、実施例１と同様にして残留溶剤量が１重量％以下で２層の接着剤層を有する本発明の製造方法による電子部品用接着テープを得た。
【００１７】
実施例６
実施例１で使用したポリアミドイミドの代わりにガラス転移温度３００℃のポリアミドイミドのＮＭＰ溶液（東洋紡績社製Ｎ−８０２０：濃度２５％）を使用した以外は、実施例１と同様にして残留溶剤量が１重量％以下で２層の接着剤層を有する本発明の製造方法による電子部品用接着テープを得た。
【００１８】
実施例７
実施例１で使用したポリアミドイミドの代わりにガラス転移温度２２５℃のポリエーテルスルホンのジメチルホルムアミド溶液（住友化学工業社製ビクトリックスＰＥＳ：濃度３０％）を使用した以外は、実施例１と同様にして残留溶剤量が１重量％以下で２層の接着剤層を有する本発明の製造方法による電子部品用接着テープを得た。
【００１９】
実施例８［第１の発明］
実施例１で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２０μｍになるよう実施例１で使用した剥離性フィルムに塗布して、熱風循環型乾燥機中で１８０℃５分間乾燥して残留溶剤量１重量％以下の第１の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
一方、これとは別に、実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を上記と同様にして残留溶剤量１重量％以下の第２の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
次に、該第１の接着剤層面に実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有する第１の接着剤層フィルムを作製した。
上記で得られた残留溶剤量１重量％以下の第２の接着剤層と該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着し、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下の２層の接着剤層を有する本発明の製造方法による接着テープを得た。
【００２０】
実施例９［第２の発明］
ガラス転移温度が２３０℃で厚さ２０μｍの熱可塑性ポリイミドからなる単層接着剤フィルム（三井東圧化学社製商品名ラークＴＰＩ）の一面に、実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を有するポリイミド単層接着剤フィルムを作製した。
一方、これとは別に実施例５で使用したガラス転移温度２８０℃のポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２０μｍになるよう実施例１で使用した厚さ３８μｍの剥離性フィルムの処理面に塗布して、熱風循環型乾燥機中で１８０℃５分間乾燥して残留溶剤量１重量％以下の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
上記接着剤フィルムと該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着し、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して接着性を有するポリイミドフィルム表面に残留溶剤量１重量％以下の接着剤層を有する本発明の製造方法による接着テープを得た。
【００２１】
実施例１０［第３の発明］
実施例９で使用した熱可塑性ポリイミドからなる単層接着剤フィルムの一面に、実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤可溶性接着剤層を有するポリイミド単層接着剤フィルムを作製した。
一方、これとは別にガラス転移温度２８０℃のポリアミドイミドを厚さが２０μｍになるよう射出成形して接着性を有する単層接着剤フィルムを作製した。
上記単層接着剤フィルムと該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着し、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して接着性を有するポリイミドフィルム表面に残留溶剤量１重量％以下の接着剤層を有する本発明の製造方法による接着テープを得た。
【００２２】
実施例１１［第４の発明］
実施例１で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２０μｍになるよう実施例１で使用した剥離性フィルムに塗布して、熱風循環型乾燥機中で１８０℃５分間乾燥して残留溶剤量１重量％以下の第１の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
一方、これとは別に、実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を上記と同様にして残留溶剤量１重量％以下の第２の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
次に、該第１の接着剤層面に実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有する第１の接着剤層フィルムを作製した。
上記で得られた残留溶剤量１重量％以下の第２の接着剤層と該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着して第２の接着剤層の剥離性フィルムを剥離した後、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下の２層の接着剤層を有する接着剤フィルムを得た。
また、別に前記第１の接着剤層を有する接着剤フィルム作製と同様にして残留溶剤量１重量％以下の第３の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
次に、該第３の接着剤層面に実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有する第３の接着剤フィルムを作製した。
上記で得られた残留溶剤量１重量％以下の２層の接着剤層を有する接着剤フィルムの接着剤層面と該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着した後、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下で本発明の製造方法による接着テープを作製した。
【００２３】
実施例１２［第５の発明］
実施例１で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２０μｍになるよう実施例１で使用した剥離性フィルムに塗布して、熱風循環型乾燥機中で１８０℃５分間乾燥して残留溶剤量１重量％以下の第１の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
一方、これとは別に、実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を上記と同様にして残留溶剤量１重量％以下の第２の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
次に、該第１の接着剤層面に実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有する第１の接着剤層フィルムを作製した。
上記で得られた残留溶剤量１重量％以下の第２の接着剤層と該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着して第２の接着剤層の剥離性フィルムを剥離した後、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下の２層の接着剤層を有する接着剤フィルムを得た。
また、別にガラス転移温度２３０℃のポリアミドイミドを厚さが２０μｍになるよう射出成形して接着性を有する単層接着剤フィルムを作製した。
次に、該単層接着剤フィルム表面に実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有する単層接着剤フィルムを作製した。
上記で得られた残留溶剤量１重量％以下の２層の接着剤層を有する接着剤フィルムの接着剤層面と該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着した後、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下で本発明の製造方法による接着テープを作製した。
【００２４】
実施例１３［第６の発明］
実施例１で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２０μｍになるよう実施例１で使用した剥離性フィルムに塗布して、熱風循環型乾燥機中で１８０℃５分間乾燥して残留溶剤量１重量％以下の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
次に、実施例９で使用したポリイミドからなる単層接着剤フィルム表面に実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有するポリイミド単層接着剤フィルムを作製した。
上記で得られた残留溶剤量１重量％以下の接着剤フィルムの接着剤層と該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着した後、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下の２層の接着剤層を有する接着剤フィルムを得た。
また、別にガラス転移温度２３０℃のポリアミドイミドを厚さが２０μｍになるよう射出成形して接着性を有する単層接着剤フィルムを作製した。
次に、該２層接着剤フィルムのポリイミド接着剤層表面に実施例１で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有する単層接着剤フィルムを作製した。
上記で得られた単層接着剤フィルムと該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着した後、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下で本発明の製造方法による接着テープを作製した。
【００２５】
実施例１４［第７の発明］
ガラス転移温度２３０℃のポリアミドイミドを厚さが２０μｍになるよう射出成形して接着性を有する単層接着剤フィルムを作製した。
次に、実施例９で使用したポリイミドからなる単層接着剤フィルム表面に実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有するポリイミド単層接着剤フィルムを作製した。
上記で得られた単層接着剤フィルムの接着剤層と該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着した後、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下の２層の接着剤層を有する接着剤フィルムを得た。
また、前記と同様にしてガラス転移温度２３０℃のポリアミドイミドを射出成形して接着性を有する単層接着剤フィルムを作製した。
次に、該２層の接着剤フィルムのポリイミド表面に実施例１で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有する単層接着剤フィルムを作製した。
上記で得られた単層接着剤フィルムと該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着した後、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下で本発明の製造方法による接着テープを作製した。
【００２６】
実施例１５［第８の発明］
ガラス転移温度２３０℃のポリアミドイミドを厚さが２０μｍになるよう射出成形して接着性を有する単層接着剤フィルムを作製した。
次に、実施例９で使用したポリイミドからなる単層接着剤フィルム表面に実施例５で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有するポリイミド単層接着剤フィルムを作製した。
上記で得られた単層接着剤フィルムの接着剤層と該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着した後、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下の２層の接着剤層を有する接着剤フィルムを得た。
また、実施例１で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２０μｍになるよう実施例１で使用した剥離性フィルムに塗布して、熱風循環型乾燥機中で１８０℃５分間乾燥して残留溶剤量１重量％以下の接着剤層を有する接着剤フィルムを作製した。
次に、該２層の接着剤フィルム表面に実施例１で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２μｍになるようリバースコーターを用いて塗布し、熱風循環型乾燥機中で８０℃３分間乾燥して残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を表面に有する接着剤フィルムを作製した。
上記で得られた残留溶剤量１重量％以下の接着剤フィルムのポリイミドからなる接着剤層面と該残留溶剤量１０重量％の有機溶剤残留接着層を向かい合うように重ね、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて１００℃に加熱した一対の加熱ロール間をロール速度１ｍ／ｍｉｎ．で通過させて圧着した後、熱風循環型乾燥機中で１８０℃２分間乾燥して、残留溶剤量１重量％以下で本発明の製造方法による接着テープを作製した。
【００２７】
比較例１
実施例１で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２０μｍになるよう実施例１で使用した厚さ３８μｍの剥離性フィルムの処理面に塗布して、熱風循環型乾燥機中で１８０℃５分間乾燥して残留有機溶剤量１重量％以下の第１の接着剤フィルムを作製した。同様にして第２の接着剤フィルムを作製した。
次に、上記塗布フィルムの第１および第２の接着剤層同士を対向するよう重ね合わせ、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて実施例１同条件で一対の加熱ロール間を通過させ、貼り合わせを試みた。
【００２８】
比較例２
実施例１で使用したポリアミドイミドのＮＭＰ溶液を、乾燥後の厚さが２０μｍになるよう実施例１で使用した厚さ３８μｍの剥離性フィルムの処理面に塗布して、熱風循環型乾燥機中で１８０℃５分間乾燥して残留有機溶剤量１重量％以下の接着剤フィルムを作製した。同様にして第２の接着剤フィルムを作製した。
次に、上記塗布フィルムの第１および第２の接着剤層同士を対向するよう重ね合わせ、実施例１で使用した汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて加熱ロール温度を２５０℃にした以外は実施例１同条件で一対の加熱ロール間を通過させ、貼り合わせを試みた。
【００２９】
比較例３
実施例１の有機溶剤可溶性接着剤の乾燥温度を１２０℃に変更して、残留溶剤量を２重量％にした以外は、実施例１と同様にして２層の接着剤層を有する接着テープを得た。
【００３０】
上記実施例、比較例の方法で接着剤層を貼り合わせた結果、実施例１〜１５は貼り合わせることができて電子部品用接着テープが得られたが、比較例１〜３は貼り合わせることができなかった。
【００３１】
（電子部品用接着テープとしての実用特性）
（１）接着テープの強度評価
実施例１〜１５の接着テープを２０ｍｍ×２０ｍｍの小片にカットし、それに１０ｍｍ幅の銅箔を３００℃１秒で、銅箔と接着剤が酸化しない条件で貼り付けた後、室温での９０゜ピール強度を測定した。その結果、実施例１〜１５の接着テープは、全て５００ｇ／１０ｍｍ以上であり、本発明の接着テープの接着強度が強いことが確認された。
（２）接着テープを使用した半導体パッケージの信頼性試験
実施例１〜１５で得られた接着テープを２０ｍｍ×２０ｍｍの小片にカットし、リードフレームを３００℃１秒の条件で接着して、半導体パッケージを組み立てた。これらの半導体パッケージに対して、５Ｖ印加・１２１℃・２ａｔｍ・１００％ＲＨの条件でＰＣＢＴ（Ｐｕｒｅｓｓｕｒ  Ｃｏｏｋｅｒ  ＢｉａｓｅｄＴｅｓｔ）試験を行った。その結果、実施例１〜１５の接着テープを使用した半導体パッケージは１０００時間後でもショートが発生しなかった。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の製造方法は、最小限の塗工設備、汎用の圧着貼り合わせ装置を用いて、高ガラス転移温度の接着剤でも、低温度で接着剤が２層以上積層した電子部品用接着テープを安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の製造方法による電子部品用接着テープの一例の断面図である。
【符号の簡単な説明】
１・・・第１の接着剤層、  ２・・・有機溶剤残留接着層、
３・・・第２の接着剤層、  ４・・・有機溶剤可溶性接着剤層
【図１】
0003817326.tif 000002