(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工工程フローに従い順次処理されて製品化されるワークを、前記各加工工程での処理前および処理後に一時保管するための複数の自動倉庫の棚を管理する装置において、
前記加工工程フローに基づき、前記ワーク毎に加工の進行を管理する進捗管理手段と、
前記ワーク毎に各加工工程での処理開始予定時刻を演算する処理開始予定時刻演算手段と、
処理を終えた前記ワークが前記自動倉庫に入庫されたことに基づき、次の加工工程への搬出を要求する搬送要求発生手段と、
前記進捗管理手段、前記処理開始予定時刻演算手段および前記搬送要求発生手段からの情報に基づいて得た前記搬送要求の発生時刻、搬送元、搬出先、および搬出先加工工程での処理開始予定時刻などの管理情報を前記ワーク毎に記憶する搬送要求記憶手段と、
前記各自動倉庫の最大棚数、空き棚数または使用中の棚数、その他、棚管理上必要な定数を記憶する定数記憶手段と、
前記搬送要求記憶手段に記憶された前記搬送要求発生時刻、搬出先、処理開始予定時刻および前記定数記憶手段に記憶された定数に基づき搬送優先順位を判定する判定手段と
を具備してなる自動倉庫の棚管理装置。
【請求項２】
前記判定手段は、前記搬送要求発生時刻により前記搬送優先順位を判定することを特徴とする請求項１記載の自動倉庫の棚管理装置。
【請求項３】
前記判定手段は、前記処理開始予定時刻順に前記搬送優先順位を決定し、その処理開始予定時刻が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した時間以上先のワークについては、搬送を保留することを特徴とする請求項１または２記載の自動倉庫の棚管理装置。
【請求項４】
前記判定手段は、前記ワークの搬送先の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、搬送優先順位決定の対象から外すことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。
【請求項５】
前記判定手段は、前記ワークの搬送元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、優先順位を上げることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。
【請求項６】
前記判定手段は、前記ワークの搬送先の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下で、且つ前記ワークの搬送元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、前記搬送先自動倉庫以外の自動倉庫へ回避搬送することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。
【請求項７】
前記判定手段は、前記回避搬送先の自動倉庫を、前記複数の自動倉庫のうち、最も空き棚数の多い自動倉庫とすることを特徴とする請求項６記載の自動倉庫の棚管理装置。
【請求項８】
前記搬送要求記憶手段は、前記管理情報の他に、優先度判定基準の等級別に複数のグループに分けるための情報を記憶することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。
【請求項９】
前記定数記憶手段は、前記搬送元の自動倉庫が満杯に近いか否かを判定するために用いる定数と、前記搬送先の自動倉庫が満杯に近いか否かを判定するために用いる定数とを区別して記憶することを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の自動倉庫の棚管理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークを加工工程フローに従って順次処理して製品化する生産システムにおいて、各加工工程での処理前および処理後にワークを保管するための自動倉庫の棚管理装置に係り、特に自動倉庫が満杯になることのないように管理する構成に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体装置の製造工場にあっては、多数の処理装置を類似の工程毎にまとめて複数の製造ラインを構成し、各製造ラインには自動倉庫を設置し、ウエハ（ワーク）を複数カセットに収納し、そのウエハを加工工程フローに従ってカセット単位で自動倉庫を経由して各加工工程に対応した処理装置に順次自動搬送するシステムが採用されている。
【０００３】
図６はこの種の自動搬送システムの一例を説明するためのウエハプロセス工場の概略構成図である。同図に示すように、工場内中央には各製造ライン１に対応させて自動倉庫２が並設されており、各自動倉庫２には製造ライン毎に設けられた天井架設型の工程内搬送路３が連結され、更に各自動倉庫２は同じく天井架設型の工程間搬送路４により連結されている。そして、それら搬送路３，４には、天井走行型無人搬送車（図示せず）が設けられている。
【０００４】
上記工程内搬送路３は、一つの製造ラインに配設された複数の処理装置５の相互間、或いは処理装置５と自動倉庫２の相互間でワーク（ウエハ）をカセット単位（一般に１カセットを１ロットという）で移動させるためのものである。また、工程間搬送路４は、複数の自動倉庫２相互間でカセットを移動させるためのものである。自動倉庫２は、図５の概略構成図に示すように、多数の保管棚６とカセット入出庫口７とカセット移動機構８を備えると共に、上記工程内搬送路３に連結された工程内搬送移載口９と、工程間搬送路４に連結された工程間搬送移載口１０とを備えている。
【０００５】
上記の自動搬送システムにおけるカセットの動きは次の通りである。
▲１▼まず、ワーク投入時点において、或る自動倉庫２の入出庫口７に入庫されたカセットは、最初に処理されるべき第１の工程に対応する処理装置５が選択され、その処理装置５を有した製造ラインの自動倉庫２に工程間搬送路４により搬送され、そして、その自動倉庫２の保管棚６に一旦格納される。このとき、カセットは、工程間搬送路４により自動倉庫２の工程間搬送移載口１０に搬入され、その後、カセット移動機構８により工程間搬送移載口１０から保管棚６に移動される。
【０００６】
▲２▼自動倉庫２の保管棚６に格納されたカセットは、その後、カセット移動機構８により保管棚６から工程内搬送移載口９に移動され、製造ライン内の第１の工程に対応する処理装置５へ工程内搬送路３により搬送されて処理される。
▲３▼処理を終えたカセットは工程内搬送路３により自動倉庫２の工程内移載口９に搬入され、カセット移動機構８により保管棚６に移動される。
▲４▼次いで、処理後のカセットは、第２の工程に対応する処理装置５を備えた製造ラインの自動倉庫２に搬送するために、まず、カセット移動機構８により保管棚６から工程間搬送移載口１０に移動され、その後、工程間搬送路４により次工程の自動倉庫２へと搬送される。
上記の▲１▼〜▲４▼のような一連の動作を繰り返して最終の加工工程まで処理が進められる。つまり、この自動搬送システムでは、カセットは各加工工程に対し、各加工工程に応じた自動倉庫２を介して自動搬送されるものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述のような自動搬送システムでは、搬送すべきカセットが発生する都度、搬送を行うものであるから、各自動倉庫が満杯の状態になる場合がある。すると、一つの製造ライン内に複数ある処理装置のうち、一部の処理装置で処理するカセットばかりが自動倉庫を満たしている場合、残りの処理装置で処理するカセットが発生しても、すでに満杯状態にあるその自動倉庫には搬送できない。この結果、処理装置は空いているが、カセットが運ばれて来ないという事態が生じ、処理装置の可動効率が極めて悪くなる。
【０００８】
また、納期の短い、すなわち優先順位の高いワークが収納されたカセットを搬送したくとも、すでに別のワークを収納したカセットで自動倉庫が満杯状態になっている場合には、その自動倉庫には搬送できないので、納期に応じた処理ができなくなる、といった問題を生ずる。その上、或る製造ラインの自動倉庫が満杯状態になると、その自動倉庫を搬送先とするカセットは、その自動倉庫には搬送されず、このため、カセットは前工程である搬送元の自動倉庫に滞留し、搬送元の自動倉庫も満杯状態になる。このようにして満杯状態の自動倉庫が連鎖的に増殖するという不具合を生ずる。
【０００９】
このような問題を解決するものとして、例えば、特開平２−１２７３０３号公報に開示された技術がある。これは、格納する製品の品種と加工工程の組み合わせに対して格納制限数を設定し、その格納制限数に達した製品の、次工程への搬出を保留するようにして処理効率の向上を図る、というものである。
【００１０】
ところが、半導体装置の製造にあっては、十数工程、或いは数十工程、最近では３００工程を越える複雑な加工工程を経るものも出現してきており、このような多数の工程を持つ製造工場には、数百種、或いはそれ以上の多種多様な半導体装置を製造するために、多数のカセットが流れている。しかも、新製品が毎日のように発生しており、また、同時に生産中止になる製品、増産或いは減産になる製品も毎日のように発生しており、工場内の生産製品構成は日々変化している。
【００１１】
上述のような事情のある半導体装置の製造において、上記公報の方法では、格納する製品の品種数と加工工程の組み合わせ数が棚数よりも多い場合には、上記の問題は解消できない。仮に、自動倉庫の棚数が格納製品の品種数と加工工程の組み合わせ数より多く設けるにしても、製品毎に格納上限の設定を行うために自動倉庫の棚数をバランス良く全製品に分配することは、製品数が多いこと、新製品の発生が頻繁であること、製品構成の変化が激しいことなどからして、限界がある。
【００１２】
更に、搬送優先順位について考慮がないので、直ぐには処理しない、すなわち優先度の低いワークが先に搬送されて自動倉庫が満杯状態になると、後から優先順位の高いワークを搬送する必要が生じてもそのときには搬送先の自動倉庫が満杯状態にあって搬送できないという問題は未解決のまま残される。
【００１３】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的は、ワークの搬送を優先度の高いものから順に搬送することができ、また、ワークの品種数や加工工程数が多くても、自動倉庫を満杯状態とならないように管理することができる自動倉庫の棚管理装置を提供するにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、
加工工程フローに従い順次処理されて製品化されるワークを、前記各加工工程での処理前および処理後に一時保管するための複数の自動倉庫の棚を管理する装置において、
前記加工工程フローに基づき、前記ワーク毎に加工の進行を管理する進捗管理手段と、
前記ワーク毎に各加工工程での処理開始予定時刻を演算する処理開始予定時刻演算手段と、
処理を終えた前記ワークが前記自動倉庫に入庫されたことに基づき、次の加工工程への搬出を要求する搬送要求発生手段と、
前記進捗管理手段、前記処理開始予定時刻演算手段および前記搬送要求発生手段からの情報に基づいて得た前記搬送要求の発生時刻、搬送元、搬出先、および搬出先加工工程での処理開始予定時刻などの管理情報を前記ワーク毎に記憶する搬送要求記憶手段と、
前記各自動倉庫の最大棚数、空き棚数または使用中の棚数、その他、棚管理上必要な定数を記憶する定数記憶手段と、、
前記搬送要求記憶手段に記憶された前記搬送要求発生時刻、搬出先、処理開始予定時刻および前記定数記憶手段に記憶された定数に基づき搬送優先順位を判定する判定手段とを具備する構成としたものである（請求項１）。
【００１５】
この構成によれば、ワークを次工程へ搬送する搬送要求が発生した場合、判定手段によって搬送の優先順位が演算され、その優先順に従って搬送される。このため、優先順位の高いワークほど速く次工程の自動倉庫に到着するので、満杯状態になる前に搬入することができる。このため、自動倉庫の棚数がワークの品種数と加工工程数との組み合わせ数よりも少なくても、優先順位の高いワークを次工程の自動倉庫に搬送できなくなるという不具合の発生を極力防止できるものである。
【００１６】
この場合、本発明では、前記判定手段は、前記搬送要求発生時刻により前記搬送優先順位を判定するように構成しても良い（請求項２）。
このような構成とすれば、処理が終了したら直ぐに前工程の自動倉庫から次工程の自動倉庫に搬送できるので、先入れ先出し管理を容易に行なうことができ、優先度等級の高いワークについて優先順位を決定するに好都合となる。
【００１７】
また、本発明では、前記判定手段は、前記処理開始予定時刻順に前記搬送優先順位を決定し、その処理開始予定時刻が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した時間以上先のワークについては、搬送を保留するように構成しても良い（請求項３）。
この構成によれば、ワークは一定の優先順位ロジックに基づいて決定された処理開始予定時刻の順番で搬送されるので、優先順位の高いものから順に搬送することができる。処理開始予定時刻が一定時間以上先のワークは搬送されないので、例えば処理に３日を要するワークが滞留し自動倉庫が満杯状態になりそうな場合でも、例えば２４時間先までの処理予定分のワークだけをその自動倉庫に搬送するように設定することにより、自動倉庫が容易に満杯状態にならないようにすることができる。
【００１８】
また、本発明では、前記判定手段は、前記ワークの搬送先の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、搬送優先順位決定の対象から外すように構成することができる（請求項４）。
この構成によれば、搬送先の自動倉庫が満杯状態になる少し前に、搬送を止めることができ、緊急の搬送が必要な場合のために空き棚を確保しておくことができる。
【００１９】
本発明では、前記判定手段は、前記ワークの搬送元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、優先順位を上げるように構成することができる（請求項５）。
この構成によれば、搬送元の自動倉庫が満杯状態に近付いてきたとき、搬送優先順位が低いために搬送を一時保留していたワークを搬出することができるので、搬送元の自動倉庫内の空き棚数を増やすことができる。
【００２０】
また、本発明では、前記判定手段は、前記ワークの搬送先の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下で、且つ前記ワークの搬送元の自動倉庫の空き棚数が前記定数記憶手段に記憶された定数に基づいて演算した数以下のとき、前記搬送先自動倉庫以外の自動倉庫へ回避搬送する構成とすることができる（請求項６）。
この構成によれば、搬送元および搬送先の双方の自動倉庫が満杯状態に近い場合には、第３の自動倉庫へワークを移送することができ、搬送元および搬送先の自動倉庫の空き棚数を確保でき、満杯状態になることを防止できる。
【００２１】
更に本発明では、前記判定手段は、前記回避搬送先の自動倉庫を、前記複数の自動倉庫のうち、最も空き棚数の多い自動倉庫とする構成としても良い（請求項７）。
この構成によれば、回避搬送先の自動倉庫が満杯状態になる可能性を最も低くすることができ、また、自動倉庫間の空き棚数を平準化することができる。
【００２２】
また、本発明では、前記搬送要求記憶手段は、前記管理情報の他に、優先度判定基準の等級別に複数のグループに分けるための情報を記憶する構成とすることができる（請求項８）。
例えば半導体装置の製造において、実際の製品となるウエハを格納したカセットの他に、処理装置の処理状態を管理するためのモニタウエハを格納したモニタカセットがある。このモニタカセットは、処理開始予定時刻に関係なく最優先で搬送する必要がある。また、処理装置で処理が終了し、一旦自動倉庫に格納されたタイミングで発生する次工程への搬送とは別に、作業者が画面操作によって特定のカセットを手元の自動倉庫へ自動搬送することがあるが、この場合にも、可及的速やかに搬送される必要がある。このような比較的即時性を必要とされる搬送要求を、搬送優先順位判定を必要とする搬送要求と区別し、それぞれのグループから選択した搬送を交互に実行することでき即時性の要求される搬送を遅滞なく実行することができる。
【００２３】
また、本発明では、前記定数記憶手段は、前記搬送元の自動倉庫が満杯に近いか否かを判定するために用いる定数と、前記搬送先の自動倉庫が満杯に近いか否かを判定するために用いる定数とを区別して記憶する構成とすることができる（請求項９）。
【００２４】
この構成によれば、搬送元が満杯かどうかの判定に用いる定数と搬送先が満杯かどうかの判定に用いる定数とを分けて設定可能とすることで、例えば、自動倉庫内の余分なワークを搬出するどうかの満杯判定と、他からワークの受入れを行なうかどうかの満杯判定とを分けることができる。この結果、余分なワークの搬出が常に行なわれる状態に保ちつつ、必要なワークの搬入は受けるという制御を行なうことができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。この実施例は、半導体の製造工場において、各製造ライン毎に設けられた複数の自動倉庫を管理する場合に適用したものである。なお、半導体装置の製造工場において、その製造ライン、各製造ラインを構成する複数の処理装置、各製造ライン毎に設けられた複数の自動倉庫の構成、工程内搬送路、工程間搬送路などについては、図５および図６に基づいて先の従来の技術の項で説明したので、再度の説明は省略する。
【００２６】
図４は１台または複数台のコンピュータにより構成される自動倉庫の棚管理装置１１をブロックにて示す。同図において、搬送制御手段としての搬送制御装置１２は、各製造ライン１に設置された自動倉庫２のカセット移動機構８、各製造ライン１の工程内搬送路３を走行する工程内搬送機１３、自動倉庫２の相互間に設けられた工程間搬送路４を走行する工程間搬送機１４を制御する。
【００２７】
前工程での処理を終了したカセットは、工程間搬送機１４により次工程の処理装置５を備えた製造ライン１の自動倉庫２の工程間搬送移載口１０に搬送される。次工程の自動倉庫２の工程間搬送移載口１０に搬入されたカセットは、カセット移動機構８によって工程間搬送移載口１０から空き保管棚６に移動されて一時保管される。保管棚６に保管されたカセットは、次工程に対応する処理装置５が空いたとき、カセット移動機構８によって保管棚６から工程内搬送移載口９に移動され、工程内搬送機１３によって工程内搬送移載口９から次工程に相応する処理装置５に搬送される。処理を終えたカセットは、再び、工程内搬送機１３によってその処理装置５から自動倉庫２の工程内搬送移載口９に搬送される。
【００２８】
その後、カセットは、カセット移動機構８によって工程内搬送移載口９から空き保管棚６に移動されて保管され、そして保管棚６に保管された処理済みのカセットは、次工程への搬送指示があった時点でカセット移動機構８により保管棚６から工程間搬送移載口１０に移動され、工程間搬送機１４により次工程に相応する処理装置５を備えた製造ライン１の自動倉庫２へと搬送される。
【００２９】
このように各カセットは、加工工程順に製造ラインに搬入されるが、その加工の進捗度は、進捗管理手段としての進捗管理装置１５によって把握され管理される。この進捗管理装置１５による進捗度の把握は次のようにして行なわれる。  すなわち、製造ラインでの処理を終了したカセットが工程内搬送機１３により自動倉庫２に搬入されると、搬送制御装置１２は、処理終了後のカセットが入庫された自動倉庫２のＩＤ、処理を終了したカセットのＩＤなどの情報を搬送指示制御装置１６を介して進捗管理装置１５に送信する。進捗管理装置１５は、各カセット毎に加工工程フロー、各加工工程での加工仕様および納期、納期との関係で定められる特急処理の要否などを記憶した工程仕様記憶装置１７から加工工程順のデータを得て、受信したカセットＩＤおよび自動倉庫ＩＤなどから、どのカセットがどの工程を終了したかを判別し、カセット毎に処理を終了した加工工程、次の加工工程などの進捗状況を進捗記憶装置１８に記憶させる。
【００３０】
進捗管理装置１５には、処理開始予定時刻演算手段としての処理開始予定時刻演算装置２０を備えたスケジューラ２１が接続されている。このスケジューラ２１は、カセットの処理が終了し、或いは、工程仕様記憶装置１７に新たなカセットが投入されると、工程仕様記憶装置１７に記憶されている加工工程フローや加工仕様、進捗記憶装置１８に記憶されている進捗度に基づいて、全てのカセットについて、製造される半導体装置の納期と残り工程の正味加工時間とから、カセット毎に優先順を決め、各加工工程での処理開始予定時刻を割り当てる。
【００３１】
スケジューラ２１により演算された各カセットについての各加工工程の処理開始時刻は、進捗管理装置１５に送信され、進捗管理装置１５は、各カセット毎にそのＩＤ、次工程の処理装置５、その処理装置５が設置されている製造ライン１、その製造ラインの自動倉庫２のＩＤなどを進捗記憶装置１５に記憶させる。
【００３２】
処理装置５での処理を終了したカセットが工程内搬送機１３により自動倉庫２に搬入されると、搬送制御装置１２は、前述のようにカセットのＩＤ、自動倉庫２のＩＤなどの情報を搬送指示制御装置１６を介して進捗管理装置１５に送信すると共に、そのカセットの次の搬送先を問い合わせる搬送要求を搬送指示制御装置１６を介して進捗管理装置１５に送信する。従って、搬送制御装置１２は、搬出要求発生手段としての機能を有する。
【００３３】
進捗管理装置１５は、上記の搬送要求に対し、進捗記憶装置１８からそのカセットについて、処理を終了した製造ラインの自動倉庫２すなわち搬送元の自動倉庫ＩＤ、次の加工工程に対応する処理装置５を備えた製造ライン１の自動倉庫２すなわち搬送先の自動倉庫ＩＤ、次の加工工程での処理開始予定時刻、納期との関係での特急処理の要否とを読み出し、これを搬送指示制御装置１６に返信する。すると、搬送指示制御装置１６は、進捗管理装置１５から送信されてきた内容を、カセットＩＤ、搬送要求発生時刻と共に管理情報として搬送要求記憶手段としての搬送要求記憶装置２２にテーブル化して記憶させる。なお、図３は、搬送要求記憶装置２２に記憶される内容を模式的に示す。
【００３４】
そして、搬送指示制御装置１６は、搬送優先順位を判定する判定手段として機能し、搬送要求記憶装置２２に記憶されている搬送要求発生済みカセットについて、優先順位を定め、搬送制御装置１２に対してその優先順位で搬送するよう指示を出力する。
【００３５】
上記搬送指示制御装置１６による搬送の優先順位の判定は、処理開始予定時刻、定数記憶装置２３に記憶された自動倉庫２の状況、各種の定数に基づいて行なわれる。上記定数記憶装置２３には、模式的に示す図２のように、自動倉庫２毎に、自動倉庫２の最大棚数、使用中の棚数の他、搬送元が満杯かどうかの判定に用いる定数ＦＵＹＯ、搬送先が満杯かどうかの判定に用いる定数ＴＵＹＯ、空き棚として確保すべき棚数を定めた定数ＡＫＩ、搬送先の自動倉庫での最大待ち時間を定めた定数ＡＲＩの各定数である。
【００３６】
次に上記構成において、カセットの搬送優先順位を定める場合の制御内容を図１に示すフローチャートをも参照しながら説明する。搬送指示制御装置１６は、搬送要求記憶装置２２にアクセスして搬送要求のあったカセットのうち、処理開始予定時刻の最も早いカセットを選択してその搬送要求内容を読み出す（ステップＳ１）。今、図３に示すように、搬送要求記憶装置２２に、搬送要求が発せられた５つのカセットの管理情報が記憶されているとすると、搬送指示制御装置１６は、ステップＳ１で、ＩＤ（Ｓ００２１）のカセットの処理開始予定時刻が最も早いので、同（Ｓ００２１）のカセットを選択するのである。
【００３７】
次いで搬送要求指示制御装置１６は、ステップＳ１で選択したカセットの搬送先の自動倉庫２が満杯に近い状態であるか否かを判断する（ステップＳ２）。この判断のために、搬送要求指示制御装置１６は、定数記憶装置２３にアクセスし、搬送先の自動倉庫２の最大棚数、使用中棚数および定数ＡＫＩを読み出し、そして、搬送先の自動倉庫２の現在の空き棚数が定数ＡＫＩ未満であるか否かにより、搬送先の自動倉庫２が満杯に近い状態であるか否かを判断するのである。
【００３８】
例えば、ＩＤ（Ｓ００２１）のカセットの搬送先は、ＩＤ（ＳＴＯ６）の自動倉庫２であるが、図２から、この自動倉庫２の最大棚数は１６０、使用中棚数１５０、定数ＡＫＩは１０であるから、空き棚数は定数ＡＫＩと同数となり、従ってステップＳ２では「ＮＯ」すなわち未だ満杯ではないと判断し、次のステップＳ３に移行する。
【００３９】
ステップＳ３において、搬送指示制御装置１６は、ステップＳ１で選択したカセットの処理開始予定時刻が現在時刻に定数ＡＲＩを加算した時刻以内であるか否かを判断する。処理開始予定時刻が現在時刻に定数ＡＲＩを加算した時刻以内であるときには、搬送指示制御装置１６は、ステップＳ３で「ＹＥＳ」と判断し、ステップＳ４に移行する。
【００４０】
例えば、ＩＤ（Ｓ００２１）のカセットの処理開始予定時刻は、１９９７年１２月１日午前３時１２分であるが、今、現在時刻が１９９７年１１月３０日午後１１時５分とすると、搬送先であるＩＤ（ＳＴＯ６）の自動倉庫２の定数ＡＲＩは８であるから、現在時刻に定数ＡＲＩを加算した時刻は、１９９７年１２月１日午前７時５分となり、処理開始予定時刻よりも遅いので、搬送指示制御装置１６は、ステップＳ３で「ＹＥＳ」と判断する。
【００４１】
ステップＳ３で「ＹＥＳ」となり、ステップＳ４に移行すると、搬送指示制御装置１６は、ステップＳ１で選択したカセットを搬送する旨の指示を搬送制御装置１２に出力すると共に、そのカセットについて搬送要求記憶装置２２に記憶されている搬送要求情報を消去し、ステップＳ１に戻る。そして、搬送制御装置１２は、搬送する旨の指示を受けたカセットを、既に優先順位を定められて搬送制御装置１２が有する優先順位記憶部に記憶されているカセット群の後となるように順位を定めて該優先順位記憶部に記憶する。なお、搬送指示制御装置１６は、搬送指示をしたカセットの管理情報については、搬送要求記憶装置２２から消去するようになっている。
【００４２】
ステップＳ４で搬送指示を出力した後、搬送指示制御装置１６は、搬送要求記憶装置２２に記憶されているカセットの全てについて搬送の可否の判定をしたか否かを判断し、未判定のカセットが有る場合には、最初のステップＳ１に戻る。なお、搬送先の自動倉庫２の空き棚数が定数ＡＫＩ未満である場合には、搬送要求指示制御装置１６は、ステップＳ２で「ＹＥＳ」と判断し、ステップＳ１に戻る。また、カセットの処理開始予定時刻が現在時刻に定数ＡＲＩを加算した時刻以内でない場合には、搬送要求指示制御装置１６は、ステップＳ３で「ＮＯ」と判断し、ステップＳ１に戻る。
【００４３】
以上のような搬送可否の判定を、搬送要求記憶装置２２に記憶されている全てのカセットについて実行すると、搬送指示制御装置１６は、ステップＳ５で「ＹＥＳ」と判断し、次のステップＳ６に移行する。この段階で、搬送指示がなされたカセットは、その搬送指示が出された順に搬送順位が定められたこととなる。
【００４４】
この後、搬送指示制御装置１６は、ステップＳ６に移行し、定数記憶装置２３の記憶内容に基づき、空き棚数が定数ＦＵＹＯに定数ＡＫＩを加えた数以下の自動倉庫２があるか否かを判断し、有れば「ＹＥＳ」と判断して次のステップＳ７に移行する。ステップＳ７では、搬送指示制御装置１６は、ステップＳ６で空き棚数が定数ＦＵＹＯに定数ＡＫＩを加えた数以下と判断した自動倉庫２に保管されているカセットのうちに、搬送できるカセットがあるか否か、すなわち搬送要求記憶装置２２に搬送要求があったとして記憶されているカセットが有るか否かを判断する。搬送できるカセットが有れば、搬送指示制御装置１６は、ステップＳ７で「ＹＥＳ」となり、次のステップＳ８でそのカセットについて搬送指示を搬送制御装置１２に送信する。そして、搬送制御装置１２は、ステップＳ８での搬送指示があったとき、そのカセットを優先順位記憶部に記憶されているカセット群の後となるように順位を定めて該優先順位記憶部に記憶する。
【００４５】
なお、搬送指示制御装置１６は、ステップＳ６で空き棚数が定数ＦＵＹＯに定数ＡＫＩを加えた数以下の自動倉庫２がない（「ＮＯ」）と判断した場合、ステップＳ８でその自動倉庫２に搬送できるカセットがない（「ＮＯ」）と判断した場合、ステップＳ９に移行する。
【００４６】
ステップＳ９では、搬送指示制御装置１６は、実際にカセットを搬送する際に、そのカセットの搬送先の自動倉庫２の空き保管棚数が定数ＴＵＹＯに定数ＡＫＩを加えた数以下であるか否かを判断する。空き保管棚数が定数ＴＵＹＯに定数ＡＫＩを加えた数を越えているとき、搬送指示制御装置１６は、「ＮＯ」と判断し、搬送先の自動倉庫２へ搬送する旨の指令を搬送制御装置１２に発する。これにより、搬送制御装置１２は、工程間搬送機１４を駆動してカセットを搬送元の自動倉庫２から本来の搬送先（次工程）の自動倉庫２へと搬送し、最初のステップＳ１に戻る。また、空き保管棚数が定数ＴＵＹＯに定数ＡＫＩを加えた数以下のときには、搬送指示制御装置１６は、搬送先の自動倉庫２ではなく、空き保管棚数の最も多い自動倉庫２へカセットを搬送し、ステップＳ１に戻る。
【００４７】
ところで、上述のステップＳ１からステップＳ４までの段階では、工程間搬送機１４によって搬送される順位は、搬送要求発生時刻の早い順ではなく、基本的には処理開始予定時刻の早い順に定められる。このとき、処理開始予定時刻が早くても、搬送先の自動倉庫２が満杯に近い状態にあったり（ステップＳ２で「ＹＥＳ」）、搬送先の自動倉庫２で待機する時間が長過ぎる（ステップＳ３で「ＮＯ」）場合には、搬送順位の決定対象から外される。
【００４８】
このように処理開始予定時刻が早いカセットほど、搬送優先順位が高いので、優先度の高いカセットほど早く搬送できるので、次工程の自動倉庫２が満杯状態になる前に該自動倉庫２へ搬送することができる。
【００４９】
また、搬送先の自動倉庫２が満杯に近い状態にある場合には、その搬送先に搬送されるカセットを搬送優先順位の決定対象から外す（搬送を保留）ので、搬送先の自動倉庫２が満杯状態となる少し前の状態で、その自動倉庫２へのカセットの搬入を止めることができ、緊急の搬送が必要な場合のために保管棚６を空けておくことができる。
【００５０】
更に、搬送先での待機時間が長過ぎるカセットについては、搬送順位の決定対象から外す（搬送を保留）ので、処理開始予定時刻の遅いカセットまで搬送先の自動倉庫２に搬送してしまうことがなくなり、該搬送先自動倉庫２が早期に満杯状態となる機会を少なくすることができる。
【００５１】
一方、ステップＳ６からステップＳ８までの段階では、搬送元の自動倉庫としての立場で、満杯に近い状態の自動倉庫２があった場合（ステップＳ６で「ＹＥＳ」）、その自動倉庫２で次工程への搬送待ちの状態にあるカセットは、ステップＳ１〜ステップＳ４で処理開始予定時刻の早い順に定められたカセット群の後の順位で搬送順が定められる。
【００５２】
このように、ステップＳ１〜ステップＳ４の段階で、搬送先の自動倉庫２が満杯に近い状態にあったり、搬送先での待機時間が長過ぎるとして優先順位決定の対象から外されたカセットであっても、現在保管されている自動倉庫２が満杯に高い状態になると、優先順位決定の対象とされ、すなわち優先順位が上げられ、やがて次工程へと搬送されるようになるので、満杯となる前に自動倉庫２の空の棚数を増やすことができ、他の自動倉庫２からのカセットの搬入を受け入れることができるようになる。
【００５３】
そして、優先順位が決められたカセットは、本来の搬送先とされた次工程の自動倉庫２が満杯に近い状態にある場合には（ステップＳ９で「ＹＥＳ」）、搬送先の自動倉庫２以外で空き棚数に余裕のある自動倉庫のうち、空き棚数が最も多い自動倉庫２に搬入される（回避搬送）ので、回避搬送先の自動倉庫２が満杯状態になる可能性を低くしながら、自動倉庫２間での空き棚数を平準化できる。  この回避搬送されたカセットは、その回避先自動倉庫２で一時保留され、本来の搬送先自動倉庫２の空き保管棚６の数が増えてきたら、その自動倉庫２に搬送される。
【００５４】
なお、本発明は上記し且つ図面に示す実施例に限定されるものではなく、以下のような拡張或いは変更が可能である。
カセットを搬送する場合、そのカセットの搬送先の自動倉庫２の空き棚数が定数ＴＵＹＯに定数ＡＫＩを加えた数以下で、しかも、そのカセットの搬送元の自動倉庫２の空き棚数が定数ＦＵＹＯに定数ＡＫＩを加えた数以下のときに、そのカセットを第３の自動倉庫に回避搬送するように構成しても良い。このようにすれば、搬送元および搬送先の自動倉庫の空き棚数を確保して満杯状態になることを防止できる。
【００５５】
また、搬送先の自動倉庫の満杯状態を判定するための定数ＴＵＹＯと搬送元の自動倉庫の満杯状態を判定するための定数ＦＵＹＯとを異ならせておけば、一つの自動倉庫において、余分のカセットを搬出するかどうかの満杯判定と、外からカセットを受け入れるかどうかの満杯判定とを、別の基準で行うことができる。特に、ＦＵＹＯ＞ＴＵＹＯと設定すれば、余分のカセットを搬出しながら、必要なカセットは受け入れるという制御が可能となる。
【００５６】
緊急処理の要請の高いカセットについては、図３に示すように管理情報に優先度判定基準の等級を示す情報として「特急フラグ」を設け、この特急フラグが「１」にセットされているカセットについては、搬送要求の発生時刻順に優先的に搬送するようにしても良い。
【００５７】
半導体装置の製造において、自動搬送が必要なカセットには、通常の製品化されるウエハの他に、処理装置５の処理状態を管理するためのモニタウエハがある。このモニタウエハを格納したカセットは、処理開始予定時刻に関係なく、優先的な搬送が必要なものである。また、通常の搬送要求発生タイミングとは別に、作業者が画面操作によって特定のカセットを一つの自動倉庫２から手元の自動倉庫２に自動搬送することがある。このような比較的即時性が必要とされる搬送要求については、優先度判定基準の等級を高くして、他の搬送優先順位を決定する必要のある搬送要求とは区別し、通常の搬送要求グループと交互に搬送するように構成しても良い。
定数記憶装置２３は使用中棚数ではなく、空き棚数を直接記憶するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すもので、搬送優先順位の判定内容のフローチャート
【図２】自動倉庫の使用状態および定数テーブルの内容を示す概念図
【図３】搬送要求の管理情報テーブルの内容を示す概念図
【図４】棚管理装置を示すブロック図
【図５】自動倉庫の概略的な構成図
【図６】自動搬送システムの概略的な構成図
【符号の説明】
図中、２は自動倉庫、５は処理装置、６は保管棚、８はカセット移動機構、１２は搬送制御装置（搬送要求発生手段）、１３は工程内搬送機、１４は工程間搬送機、１５は進捗管理装置（進捗管理手段）、１６は搬送指示制御装置（判定手段）、１８は進捗記憶装置、２０は処理開始予定時刻演算装置（処理開始予定時刻演算手段）、２１はスケジューラ、２２は搬送要求記憶装置（搬送要求記憶手段）、２３は定数記憶装置（定数記憶手段）である。
【図１】
0003832082.tif 000002
【図２】
0003832082.tif 000003
【図３】
0003832082.tif 000004
【図４】
0003832082.tif 000005
【図５】
0003832082.tif 000006
【図６】
0003832082.tif 000007