(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状の記録媒体を回転するモータを固定するベースと、前記記録媒体を搭載する搭載面を有し前記モータに回転されるターンテーブルと、このターンテーブルに設けられた磁石と、前記搭載面に所定の間隔を有して対向配置されて前記記録媒体駆動時に前記記録媒体と共に回転するコレットと、前記ベースを移動させることにより前記ターンテーブルを前記コレットに近づけるロード動作と前記ターンテーブルを前記コレットから遠ざけるアンロード動作とを行うベース駆動部と、前記ロード動作時に前記磁石に吸引されて前記コレットを押圧して前記記録媒体を前記搭載面に保持する複数の磁性部材と、前記アンロード時に前記ターンテーブルの移動に伴って前記複数の磁性部材による前記コレットへの押圧を異なるタイミングで解除する押圧解除手段とを備えたことを特徴とするディスク状記録媒体のチャッキング装置。
【請求項２】
押圧解除手段は前記アンロード時に前記ターンテーブルの移動に伴って前記複数の磁性部材各々がコレットから離間する方向に異なるタイミングで当接して前記複数の磁性部材による前記コレットへの押圧を解除することを特徴とする請求項１に記載のディスク状記録媒体のチャッキング装置。
【請求項３】
複数の磁性部材はモータの回転軸の軸芯に対称に配置されると共に一端部が磁石部に吸引されて前記一端部と他端部との間でコレットを押圧し、押圧解除手段は前記複数の磁性部材が前記コレットから離間する方向に異なるタイミングで前記他端部に当接することを特徴とする請求項２に記載のチャッキング装置。
【請求項４】
押圧解除手段は複数の磁性部材が前記コレットから離間する方向に異なるタイミングで前記複数の磁性部材の他端部に当接する当接面を設けられると共に前記当接面の延長面はターンテーブルの搭載面の延長面と互いに交差することを特徴とする請求項３に記載のチャッキング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばディスク状記録媒体である光ディスクに情報を記録又は記録した情報を再生する光ディスク装置に用いられる光ディスクのチャッキング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図８は従来のチャッキング装置を示す説明図であり、図８（ａ）は光ディスクのチャッキング前の状態を示す説明図、図８（ｂ）は光ディスクのチャッキング時の状態を示す説明図、図８（ｃ）は光ディスクのチャッキング後の状態を示す説明図である。
図８において、３０は記録媒体である光ディスク、３０ａは光ディスク３０に設けられた中心孔、３１はトレイであり、光ディスク３０を着脱するための搬出位置（不図示）と図８（ａ）に示す搬入位置とに光ディスク３０を運搬する。３２は光ディスク３０を回転するスピンドルモータ、３２ａはスピンドルモータ３２の回転軸、３３は回転軸３２ａに設けられたターンテーブル、３４はターンテーブルに設けられた永久磁石、３５は光ディスク３０をチャッキング（保持）するコレット、３５ａはコレット３５に設けられた鍔部、３５ｂはコレット３５に設けられた磁性部材であり、永久磁石３４に吸引されてコレット３５を押圧し光ディスク３０をターンテーブル３３に押圧する。３６はコレット３５を遊動可能に保持するコレット保持部であり、チャッキング解除時にはコレット３５の鍔部３５ａを支持してコレット３５を光ディスク３５から離間する。３７はコレット保持部３６を設けたフレームであり、光ディスク装置本体（不図示）に設けられている。３８はスピンドルモータ３２を固定するベース、３９はベース３８を駆動するベース駆動モータであり、ベース３８を矢示Ａ方向に移動してターンテーブル３３をコレット３５に近づけるロード動作と矢示Ｂ方向に移動してターンテーブル３３をコレット３５から遠ざけるアンロード動作とを行う。４０はチャッキング装置であり、上述の符号３１〜３９を付した構成を含む。
【０００３】
次に動作を図により説明する。まずチャッキング動作について説明する。光ディスク３０の搬出位置にてトレイ３１に光ディスク３０を載せ、操作部（不図示）により搬入を指示すると、トレイ３１は光ディスク３０を搬入位置に配置する。又、光ディスク３０がトレイ３１により搬入位置に配置されると、ベース駆動モータ３９がベース３８を駆動してロード動作を行いターンテーブル３３をコレット３５に近づける。この際、ターンテーブル３３の移動に伴って永久磁石３が中心孔３０ａに挿入すると共にターンテーブル３３が光ディスク３０を載置する。又、磁性部材３５ｂと永久磁石３４との間の吸引力により磁性部材３５ｂはコレット３５をターンテーブル３３側に押圧し、図８（ｂ）に示すようにコレット３５が光ディスク３０をターンテーブル３３に押圧してチャッキングする。その後、モータ３９はさらにベース３８を駆動して、図８（ｃ）に示すようにコレット３５をコレット保持部３６から離間し、光ディスク３０を回転するディスク駆動位置に達してロード動作が終了する。
【０００４】
次にチャッキング解除動作について説明する。図８（ｃ）に示すように光ディスク３０がディスク駆動位置に配置された状態から、操作部（不図示）により光ディスク３０の搬出を指示すると、モータ３９はベース３８を駆動してアンロード動作を行いターンテーブル３３をコレット３５から遠ざける。この際、磁性部材３５ｂが永久磁石３４に吸引されているのでコレット３５はターンテーブル３３の移動に伴って矢示Ｂ方向に移動する。やがて、図８（ｂ）に示すようにコレット保持部３６が鍔部３５ａに当接してコレット３５の矢示Ｂ方向への移動を妨げる。しかしながら、ベース駆動モータ３９は磁性部材３５ｂと永久磁石３４との間の吸引力に打ち勝つ駆動力でアンロード動作をするので、コレット保持部３６に保持されたコレット３５は光ディスク３０から離間（磁性部材３５ｂを永久磁石３４から離間）し、コレット３５による光ディスク３０の押圧を解除する。図８（ａ）に示すようにチャッキングが解除されて光ディスク３０がトレイ３１上に搭載された状態でアンロード動作が終了する。この後、トレイ３１が自動的に搬出位置に移動して光ディスク３０の着脱が可能となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来のチャッキング装置３９は以上のように構成されているので、アンロード動作時の押圧解除動作において、ベース駆動モータ３９は、コレット３５が光ディスク３０をターンテーブル３３に押圧する押圧力を生じさせる永久磁石３４と磁性部材３５ｂとの間の吸引力に打ち勝ってベース３８を移動させなければならない。コレット３５が光ディスク３０を押圧する押圧力は、光ディスク３０の重量及び回転数等を考慮して設定されるものであり、光ディスク３０をより高速に回転させる場合、押圧力もそれに比例して増加しなければならない。
近年、光ディスク装置の処理能力の高速化に伴い、光ディスク３０の回転数を高くすることが要望されているが、これは押圧力を増加させることになる。したがって、押圧解除動作において、その増加した押圧力に打ち勝つようにベース駆動モータ３９の駆動力を増加させなければならず、ベース駆動モータ３９の大型化、消費電力の増加を招くという問題があった。
【０００６】
この発明は以上のような問題を解消するためになされたもので、この発明の目的は、ベースを駆動するベース駆動モータの駆動力を増加することなく、光ディスクの高速回転化に伴い増加する押圧力を解除できるディスク状記録媒体のチャッキング装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明によるディスク状記録媒体のチャッキング装置は、ディスク状の記録媒体を回転するモータを固定するベースと、前記記録媒体を搭載する搭載面を有し前記モータに回転されるターンテーブルと、このターンテーブルに設けられた磁石と、前記搭載面に所定の間隔を有して対向配置されて前記記録媒体駆動時に前記記録媒体と共に回転するコレットと、前記ベースを移動させることにより前記ターンテーブルを前記コレットに近づけるロード動作と前記ターンテーブルを前記コレットから遠ざけるアンロード動作とを行うベース駆動部と、前記ロード動作時に前記磁石に吸引されて前記コレットを押圧して前記記録媒体を前記搭載面に保持する複数の磁性部材と、前記アンロード時に前記ターンテーブルの移動に伴って前記複数の磁性部材による前記コレットへの押圧を異なるタイミングで解除する押圧解除手段とを備えたものである。
【０００８】
さらに、次の発明によるディスク状記録媒体のチャッキング装置は、押圧解除手段は前記アンロード時に前記ターンテーブルの移動に伴って前記複数の磁性部材各々がコレットから離間する方向に異なるタイミングで当接して前記複数の磁性部材による前記コレットへの押圧を解除するものである。
【０００９】
さらに、次の発明によるディスク状記録媒体のチャッキング装置は、複数の磁性部材はモータの回転軸の軸芯に対称に配置されると共に一端部が磁石部に吸引されて前記一端部と他端部との間でコレットを押圧し、押圧解除手段は前記複数の磁性部材が前記コレットから離間する方向に異なるタイミングで前記他端部に当接するものである。
【００１０】
さらに、次の発明によるディスク状記録媒体のチャッキング装置は、押圧解除手段は複数の磁性部材が前記コレットから離間する方向に異なるタイミングで前記複数の磁性部材の他端部に当接する当接面を設けられると共に前記当接面の延長面はターンテーブルの搭載面の延長面と互いに交差するものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
この発明のディスク状記録媒体のチャッキング装置の一実施の形態について説明する。図１は実施の形態１によるディスク状記録媒体のチャッキング装置を示す説明図である。図２は図１に示すＶ部拡大図、図３は図２に示す矢示Ｖ１から見たの磁性部材の平面図、図４は図１に示す押圧解除手段の説明図である。
図１において、図８と同一符号は同一又は相当部分を示し説明を省略する。１はトレイであり、光ディスク３０を着脱する搬出位置（不図示）と搬入位置とに光ディスク３０を運搬する。２は光ディスク３０を回転するスピンドルモータ、２ａはスピンドルモータ２の回転軸、３は回転軸２ａに設けられたターンテーブルであり、搭載面３ａに光ディスク３０を搭載する。４はターンテーブル３に設けられた永久磁石であり、ターンテーブル３の中心部に設けられた円筒部３ｂ内に接着剤等により接着して設けられる。
【００１２】
また、５はコレットであり、光ディスク３０の駆動時に光ディスク３０と共に回転する。５ａはコレット５に設けられた鍔部、６は永久磁石４に吸引されてコレット５を押圧する被吸引部であり、図３に示すように複数の磁性部材６ａ１〜６ａ４より形成される。７はフレームであり装置本体（不図示）に固着されている。８はコレット保持部であり、一端部がフレーム７に固着された円筒部８ａと中央にせん設された孔部８ｂを有する底部８ｃとにより形成される。
また、８ｄはコレット保持部８の底部８ｃに固着された押圧解除部であり、被吸引部６を形成する複数の磁性部材６ａ１〜６ａ４に異なるタイミングで当接して被吸引部６によるコレット５への押圧力を分割して押圧を解除する。９はスピンドルモータ２を固定するベース、１０はベース駆動モータであり、ベース９を矢示Ａ方向に移動してターンテーブル３をコレット５に近づけるロード動作と矢示Ｂ方向に移動してターンテーブル３をコレット５から遠ざけるアンロード動作とを駆動する。１１はディスク状記録媒体のチャッキング装置であり、上述の符号１〜１０を付した構成を含む。
【００１３】
図２において、永久磁石４はその断面図から分かるようにすり鉢状に形成されている。５ｂはコレット５に設けられた円筒状の押圧部であり、ロード動作時にはその円筒内に永久磁石４が挿入され、その光ディスク３０側対向面により光ディスク３０を押圧する。５ｃは押圧部５ｂの鍔部５ａ側対向面から垂直に立設して鍔部５ａと押圧部５ｂとを連結する支柱部であり、図３に示すように押圧部５ｂの鍔部５ａ側対向面に均等に配置した支柱５ｃ１〜５ｃ４より形成する。５ｄは被押圧箇所であり、コレット５はこの被押圧箇所５ｄを介して被吸引部６により押圧される。この被押圧箇所５ｄは押圧部５ｂの鍔部５ａ側対向面側の内周面を面取りして形成する。
【００１４】
図３において、被吸引部６を形成する磁性部材６ａ１〜６ａ４は、スピンドルモータ２の回転軸２ａの軸芯に対して対称に配置される。又、磁性部材６ａ〜１６ａ４は各々ほぼ９０度にひらいた扇状に形成され、各々扇の根元側となる一端部６ａ１ａ〜６ａ４ａを永久磁石４上に配置し、扇の外周側となる他端部６ａ１ｂ〜６ａ４ｂを押圧部５ｂの外周よりも外側に突出して配置する。６ａ１ｃ〜６ａ４ｃは各々磁性部材６ａ１〜６ａ４に設けられた貫通孔であり各々支柱部５ｃ１〜５ｃ４を挿通する。
なお、図２に示すコレット５の鍔部５ａは磁性部材６ａ１〜６ａ４の貫通孔６ａ１ｃ〜６ａ４ｃに支柱５ｃ１〜５ｃ４を挿通した後に支柱５ｃ１〜５ｃ４に接着剤等で固定している。
【００１５】
図４において、８ｄ１は円筒状の押圧解除部８ｄに設けられ他端部６ａ１ｂ〜６ａ４ｂに当設する当接面である。当接面８ｄ１は、その面の延長面がターンテーブル３の搭載面３ａの延長面と互いに交差するように円筒状の押圧解除部８ｄのフレーム７側対向面に設けられている。即ち、コレット保持部８の底部８ｃに対して傾きをもって形成され、アンロード動作時に磁性部材６ａ１〜６ａ４の他端部６ａ１ｂ〜６ａ４ｂに異なるタイミングで当接する。ｈ１〜３は底部８ｃから当設面８ｄ１までの高さであり、ｈ１＞ｈ２＞ｈ３の関係にある。便宜上、最大高さｈ１、中間高さｈ２、最少高さｈ３と称する。
【００１６】
次に動作を図により説明する。図５はチャッキング動作を示す説明図であり、図５（ａ）は光ディスク３０のチャッキング前の状態を示す説明図、図５（ｂ）、（ｃ）はロード動作中又はアンロード動作中を示す説明図、図５（ｄ）は光ディスク３０をチャッキングした後の状態を示す説明図である。図６は押圧解除部７ｃの動作の詳細を示す説明図であり、図６（ａ）は図５（ｂ）に示すＣ部拡大図、図６（ｂ）は図５（ｃ）に示すＤ部拡大図である。図５、図６において、図１乃至図４と同一符号は同一又は相当部分を示し説明を省略する。図６（ａ）において、θは磁性部材６ａ１の一端部６ａ１ａと永久磁石４とが形成する角度、図６（ｂ）において、θ１は磁性部材６ａ１の一端部６ａ１ａと永久磁石４とが形成する角度である。ここで、θ＞θ１である。
まずチャッキング動作について説明する。光ディスク３０を着脱する搬出位置にて光ディスク３０をトレイ１に搭載し、操作部（不図示）を介して光ディスク３０の搬入を指示すると、トレイ１は図５（ａ）に示すように光ディスク３０を搬入位置（ターンテーブル３とコレット５との間）に配置する。この搬入位置に光ディスク３０が配置されると、ベース駆動モータ１０がベース９を駆動してロード動作を行いターンテーブル３を矢示Ａ方向に移動する。この際、ターンテーブル３の搭載面３ａに光ディスク３０が搭載されると共に永久磁石４が光ディスク３０の中心孔３０ａに挿入される。
【００１７】
また、このロード動作に伴う被吸引部６のコレット５への押圧動作を磁性部材６ａ１により詳細に説明する。ロード動作時にはターンテーブル３の矢示Ａ方向への移動に伴って、図６（ａ）に示す磁性部材６ａ１の他端部６ａ１ｂが押圧解除部８ｄの当接面８ｄ１に当接支持されて磁性部材６ａ１がコレット５から離間した状態から、図６（ｂ）に示す他端部６ａ１ｂが当接面８ｄ１と離間することにより一端部６ａ１ａが永久磁石４に吸引されて、磁性部材６ａ１の一端部６ａ１ａと他端部６ａ１ｂの間が被押圧箇所５ｄに当接してコレット５をターンテーブル３の搭載面３ａ側に押圧した状態に移行する。
【００１８】
なお、他の磁性部材６ａ２〜６ａ４（不図示）も磁性部材６ａ１と同様に動作する。但し、当接面７ｃ１の傾斜に応じて当接面８ｄ１と磁性部材６ａ１〜６ａ４とが離間するタイミングは異なる。当接面８ｄ１と磁性部材６ａ１〜６ａ４が全て離間して図５（ｄ）に示すように、磁性部材６ａ１〜６ａ４はコレット５を介して光ディスク３０をターンテーブル３の搭載面３ａに押圧して保持する。
ベース駆動モータ１０は、さらにベース９を駆動してターンテーブル３を図５（ｄ）に示すディスク駆動位置に配置してロード動作を終了する。この後、スピンドルモータ２の回転に伴い光ディスク３０及びコレット５並びに被吸引部６を形成する磁性部材６ａ１〜６ａ４が回転する。
【００１９】
次にチャッキング解除動作について説明する。操作部を介して光ディスク３０の搬出を指示すると、ベース駆動モータ１０はベース９を駆動してアンロード動作を行いターンテーブル３を矢示Ｂ方向に移動する。この際、コレット５は磁性部材６ａ１〜６ａ４により押圧されているのでターンテーブル３の移動に伴い矢示Ｂ方向に移動する。
図５（ｃ）に示すように、アンロード動作中に押圧解除部８ｄと被吸引部６が当接すると、押圧解除部８ｄにより被吸引部６の矢示Ｂ方向への移動を阻止しようとするが、ベース駆動モータ１０は被吸引部６と永久磁石４との間の吸引力、即ち被吸引部６がコレット５を押圧する押圧力を生じさせる力に打ち勝つ駆動力でターンテーブル３を矢示Ｂ方向に移動する。
【００２０】
図５（ｂ）から図５（ａ）に至るアンロード動作に伴う押圧解除部７ｃの押圧解除動作を磁性部材６ａ１により詳細に説明する。なお、説明の都合上、アンロード動作時に、当接面８ｄ１は、その最大高さｈ１となる部分で磁性部材６ａ３（図３に示す）に当接し、その中間高さｈ２となる部分で磁性部材６ａ２、６ａ４に当接し、その最少高さｈ３となる部分で磁性部材６ａ１に当接する場合について説明する。
アンロード動作時にはターンテーブル３の矢示Ｂ方向への移動に伴って、図６（ｂ）に示すように、磁性部材６ａ１の一端部６ａ１ａは永久磁石４に吸引され角度θ１を形成して、かつ他端部６ａ１ｂが当接面８ｄ１と当接していない。次に、ターンテーブル３が矢示Ｂ方向に移動すると一端部６ａ１ａと他端部６ａ１ｂとの間でコレット５をターンテーブル３の搭載面３ａ側に押圧している状態から、図６（ａ）に示すように、最少高さｈ３部分の当接面８ｄ１は、性部材６ａ１の他端部６ａ１ｂに磁性部材６ａ１をコレット５から離間する方向に当接し、一端部６ａ１ａと永久磁石４が角度θ１から角度θとなるようにして磁性部材６ａ１によるコレット５への押圧を解除した状態に移行する。
【００２１】
なお、不図示であるが、アンロード動作時に磁性部材６ａ３は、その一端部６ａ３ａが磁性部材６ａ１、６ａ２、６ａ４に先立って当接面８ｄ１の最大高さｈ１部分に当接されてコレット５への押圧を磁性部材６ａ１、６ａ２、６ａ４に先立って解除されている。また、同様に不図示であるが、アンロード動作時に磁性部材６ａ２、６ａ４は、その一端部６ａ２、６ａ４が磁性部材６ａ１に先立って当接面８ｄ１の中間高さｈ２に当接されてコレット５への押圧を磁性部材６ａ１に先立って解除されている。
即ち、当接面８ｄ１はその傾斜により磁性部材６ａ１〜６ａ４の他端部６ａ１ｂ〜６ａ４ｂに当接するタイミングが異なるので、磁性部材６ａ１〜６ａ４によるコレット５への押圧を異なるタイミングで解除できる。
【００２２】
したがって、アンロード動作において被吸引部６によるコレット５の押圧を解除するためにベース駆動モータ１０に要求される駆動力は、磁性部材６ａ１〜６ａ４の押圧力を一度に全て解除する場合に比べて少なくて済む。したがって、ベース駆動モータ１０を小型化、省電力化を図ることができると共にベース駆動モータ１０の駆動力を大きくしなくても光ディスク３０の高速回転化に伴って増加する押圧力を容易に解除することができる。
【００２３】
上述のように、図５（ａ）に示す光ディスク３０のチャッキングが異なったタイミングで解除され、光ディスク３０がトレイ１上に搭載された状態にてアンロード動作が終了する。この後、トレイ１が自動的に光ディスク３０を搬出位置に運搬する。
【００２４】
なお、上述の構成では磁性部材６ａ２、６ａ４は同じタイミングでコレット５への押圧を解除する例を説明したが、当接面８ｄ１の形状をスロープ状に変えることにより磁性部材６ａ２、６ａ４によるコレット５への押圧を異なるタイミングで解除することができる。図７は他の態様の押圧解除部８ｄの例を示す説明図である。図７において、図４と同一符号は同一又は相当部分を示し説明を省略する。８ｄ２はスロープ状に傾きをもって形成した当接面である。
したがって、この当接面８ｄ２を有する押圧解除部８ｄを用いた場合も上述の当接面８ｄ１の場合と同様に、当接面８ｄ２は磁性部材６ａ１〜６ａ４各々の他端部６ａ１ｂ〜６ａ４ｂに異なるタイミングで当接して磁性部材６ａ１〜６ａ４によるコレット５への押圧を異なるタイミングで解除する。
したがって、当接面８ｄ２を有する押圧解除部８ｄを用いた場合も上述の当接面８ｄ１を用いた場合と同様の効果を得ることができる。
さらに、当接面８ｄ２はスロープ状なので他端部６ａ１ｂ〜６ａ４ｂに当接するタイミング差がより大きくなり、磁性部材６ａ１〜６ａ４によるコレット５への押圧を解除する駆動力を磁性部材６ａ１〜６ａ４個々に押圧を解除する駆動力に近づけることができる。
なお、この実施の形態では被吸引部６を４つの磁性部材６ａ１〜６ａ４に分割した例を示したが、永久磁石４との吸引力との関係で２以上の複数の数に分割できることは言うまでもない。
【００２５】
【発明の効果】
この発明によるディスク状記録媒体のチャッキング装置によれば、記録媒体を回転するモータを固定するベースと、記録媒体を搭載する搭載面を有しモータに回転されるターンテーブルと、このターンテーブルに設けられた磁石と、搭載面に所定の間隔を有して対向配置されて記録媒体駆動時に記録媒体と共に回転するコレットと、ベースを移動させることによりターンテーブルをコレットに近づけるロード動作とターンテーブルをコレットから遠ざけるアンロード動作とを行うベース駆動部と、ロード動作時に磁石に吸引されてコレットを押圧して記録媒体を搭載面に保持する複数の磁性部材と、アンロード時にターンテーブルの移動に伴って複数の磁性部材によるコレットへの押圧を異なるタイミングで解除する押圧解除手段とを備えたので、押圧解除手段により複数の磁性部材のコレットへの押圧をアンロード時のターンテーブルの移動に伴って異なるタイミングで解除することができ、アンロード動作を行うベース駆動部のベース駆動部の駆動力を大きくしなくても記録媒体の高速回転化に伴って増加する押圧力を容易に解除できる。
【００２６】
さらに、次の発明によるディスク状記録媒体のチャッキング装置によれば、押圧解除手段はアンロード時にターンテーブルの移動に伴って複数の磁性部材各々がコレットから離間する方向に異なるタイミングで当接して複数の磁性部材によるコレットへの押圧を解除するので、複数の磁性部材によるコレットへの押圧を容易に解除できる。
【００２７】
さらに、次の発明によるディスク状記録媒体のチャッキング装置によれば、複数の磁性部材はモータの回転軸の軸芯に対称に配置されると共に一端部が磁石部に吸引されて一端部と他端部との間でコレットを押圧し、押圧解除手段は複数の磁性部材がコレットから離間する方向に異なるタイミングで他端部に当接するので、複数の磁性部材は安定してコレットを押圧できると共に容易にその押圧力を容易に解除できる。
【００２８】
さらに、次の発明によるディスク状記録媒体のチャッキング装置によれば、押圧解除手段は複数の磁性部材がコレットから離間する方向に異なるタイミングで複数の磁性部材の他端部に当接する当接面を設けられると共に当接面の延長面はターンテーブルの搭載面の延長面と互いに交差するので、簡単な構成で複数の磁性部材によるコレットへの押圧をより容易に解除できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１を示すチャッキング装置の説明図である。
【図２】  図１に示すＶ部詳細図である。
【図３】  図３に示す矢示Ｖ１からの磁性部材の平面図である。
【図４】  図１に示す押圧解除部を示す説明図である。
【図５】  図５（ａ）はチャッキング前の状態を示す説明図、図５（ｂ）及び（ｃ）はロード動作中又はアンロード動作中の状態を示す説明図、図５（ｄ）はチャキング後の状態を示す説明図である。
【図６】  図６（ａ）は図５（ｂ）に示すＥ部の拡大図、図６（ｂ）は図５（Ｃ）に示すＦ部拡大図である。
【図７】  他の態様の押圧解除部の例を示す説明図である。
【図８】  図８（ａ）はチャッキング前の状態を示す説明図、図８（ｂ）はチャッキング時の状態を示す説明図、図８（ｃ）はチャッキング後の状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１  トレイ、  ２  スピンドルモータ、  ３  ターンテーブル、  ４  永久磁石、  ５  コレット、  ５ａ  鍔部、  ５ｂ  押圧部、  ５ｃ  支柱部、  ５ｄ押圧箇所、  ６  被吸引部、  ６ａ１〜６ａ４  磁性部材、  ７  フレーム、８  コレット保持部、  ８ｄ  押圧解除部、  ８ｄ１  当接面、  ８ｄ２  当接面、  ９  ベース、  １０  ベース駆動モータ、  １１  チャッキング装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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