(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査システムにおいて、
所定温度の気体を生成し送風する気体生成手段と、
前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発振器を収容する被測定物収納手段と、
前記圧電発振器の温度を測定し出力する温度検出手段と、
前記圧電発振器の周波数を測定し出力する周波数測定手段と、
前記周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前 記圧電発振器の良否を判定する判定手段と
を備え、
前記判定手段は、
前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲内に４つ以上の前記所定温度を設け、前記４つの所定温度における連続する３つの温度間隔において、第１の温度間隔における周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、
前記第１及び前記第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手段と、
前記平均値と第２の算出手段で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較手段とを備え、
前記温度範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
ことを特徴とする圧電発振器の検査システム。
【請求項２】
温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査システムにおいて、
所定の時点において所定温度の気体を生成し送風する気体生成手段と、
前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発振器を収容する被測定物収納手段と、
前記圧電発振器の周波数を測定し出力する周波数測定手段と、
前記周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定手段と
を備え、
前記判定手段は、
前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲に相当する時間範囲内に４つ以上の前記所定の時点を設け、前記４つの所定の時点における連続する３つの時間間隔において、第１の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の時間間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、
前記第１及び前記第３の時間間隔の間に位置する第２の時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手段と、
前記平均値と第２の算出手段で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較手段とを備え、
前記時間範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
ことを特徴とする圧電発振器の検査システム。
【請求項３】
前記圧電発振器はＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器である
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電発振器の検査システム。
【請求項４】
温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査方法において、
所定温度の気体を生成し送風する送風工程と、
前記圧電発振器の温度を測定する温度測定工程と、
前記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、
前記周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定工程と
を備え、
前記判定工程は、
前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲内に４つ以上の前記所定温度を設け、前記４つの所定温度における連続する３つの温度間隔において、第１の温度間隔における周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、
前記第１及び前記第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、
前記平均値と第２の算出工程で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、
前記温度範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
ことを特徴とする圧電発振器の検査方法。
【請求項５】
温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査方法において、
所定の時点における所定温度の気体を生成し送風する送風工程と、
前記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、
前記周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定工程と
を備え、
前記判定工程は、
前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲に相当する時間範囲内に４つ以上の前記所定の時点を設け、前記４つの所定の時点における連続する３つの時間間隔において、第１の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の時間間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、
前記第１及び前記第３の時間間隔の間に位置する第２の時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、
前記平均値と第２の算出工程で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、
前記時間範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定する
ことを特徴とする圧電発振器の検査方法。
【請求項６】
前記圧電発振器はＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器である
ことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の圧電発振器の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電発振器の検査システム及び検査方法に関し、特に、ＡＴカット型水晶振動子に代表される圧電振動子を搭載した水晶発振器において、この水晶発振器特有の現象である周波数温度特性の不連続現象を検出する圧電発振器の検査システム及びその検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
現在、数多くある水晶発振器の中で、最も汎用性の高い発振器はＡＴカット型水晶振動子を用いた水晶発振器であり、民生用通信機器のクロック信号の発振源として用いられている。近年、特に、民生用機器として携帯電話が広く普及し、様々な環境、例えば寒冷地帯から熱帯地方まで広範囲な地域で使用されている。この様な広範囲な環境条件において、携帯電話に用いられている水晶発振器の周波数温度特性が良好であることが重要である。
【０００３】
これらの水晶発振器に用いられる水晶振動子には、有限な大きさであることから、通常厚みすべり振動を主振動とする振動以外に、この主振動の周波数の近傍にスプリアス振動が存在する。従って、この水晶発振器を設計するに際しては、この厚みすべり振動とそのスプリアス振動とが結合していない寸法範囲内で、水晶振動子を収容するパッケージの大きさ等を考慮して水晶振動子の寸法の加工精度範囲が決められる。
【０００４】
しかしながら、ＡＴカット型水晶振動子の加工ばらつきや他の要因で主振動とスプリアス振動が結合しやすく、図１２に示すような周波数温度特性の不連続現象（以下、ＤＩＰ現象とよぶ）が発生する。又、このＤＩＰ現象は作られたＡＴカット型水晶振動子によりその発生温度が異なり、これを用いた水晶発振器を搭載した民生用通信機器に悪い影響を与える。このため、この水晶発振器のＤＩＰ現象を検出するＤＩＰ検査が必要となる。
【０００５】
このＤＩＰ検査は、恒温槽内に水晶発振器を収容し、測定温度サイクル内における周波数温度特性を求め、ＤＩＰ現象の有無を判定するものである。ＤＩＰ現象の有無を判定する方法として、実測した周波数温度特性に近似できる数学上の数式（以下、近似式と呼ぶ）と比較する方法があった。この場合、正確な周波数温度特性を得る必要があるため、恒温槽内の温度を一定時間安定させた後周波数測定を行っていた。そして、前述した近似式の値と実測した周波数温度特性の値との差が０．３ｐｐｍ／℃以上となった場合にＤＩＰ現象が存在すると判定していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この周波数を実測して求める周波数温度特性の規格として、携帯電話機の例において、上記したような０．３ｐｐｍ／℃という規格があることが知られている。
そして、この規格を満足するＤＩＰ現象が発生しても、ＤＩＰ現象と判別しにくい周波数温度特性を持った水晶発振器の場合、例えば、高温側や低温側のような温度変化の大きい温度領域で、周波数温度特性を近似する近似式の値と実測値の差で表わされる周波数偏差が０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さなＤＩＰ現象は近似計算誤差として許容され、ＤＩＰ現象として正確に判定できないという課題があった。
【０００７】
又、周波数温度特性に近似する近似式を用いるに当たり正確な周波数温度特性を測定するために、恒温槽内の温度を一定時間安定させることが必要であり、この待ち時間が無視できないという課題があった。又、ＡＴカット型水晶振動子を用いた温度補償型水晶発振器の場合、その周波数温度特性は凹凸が多いことから、前述したような近似式を求めることが困難で、ＤＩＰ現象を正確に判定することができないという課題があった。
【０００８】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、周波数温度特性を近似する近似式の値と実測値との差で表わされる周波数偏差が０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さなＤＩＰ現象でも正確に検出でき、高精度品としてさらなる品質向上が図れる圧電発振器の検査システム及び検査方法を得ることを目的とする。
【０００９】
又、前述した近似式と比較する必要性から、恒温槽内の温度を一定時間安定させるための無視できない待ち時間をなくすことのできる圧電発振器の検査システム及び検査方法を得ることを目的とする。又、複雑な周波数温度特性を有する温度補償型水晶発振器において、ＤＩＰ現象を正確に判定し良否判定ができる圧電発振器の検査システム及び検査方法を得ることをも目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の圧電発振器の検査システムは、温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査システムにおいて、所定温度の気体を生成し送風する気体生成手段と、前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発振器を収容する被測定物収納手段と、前記圧電発振器の温度を測定し出力する温度検出手段と、前記圧電発振器の周波数を測定し出力する周波数測定手段と、前記周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定手段とを備え、前記判定手段は、前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲内に４つ以上の前記所定温度を設け、前記４つの所定温度における連続する３つの温度間隔において、第１の温度間隔における周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、前記第１及び前記第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手段と、前記平均値と第２の算出手段で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較手段とを備え、前記温度範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定することを特徴とする。
【００１１】
上記構成によれば、周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて圧電発振器の良否を判定する判定手段を備えているので、周波数温度特性を近似する近似式の値と周波数偏差の実測値の差で表わされる周波数偏差０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さな不連続現象であっても、正確かつ容易にＤＩＰ現象として判定でき、その検出率を高めることができるという効果を有する。
【００１３】
また、上記構成によれば、第１の温度間隔における周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、前記第１及び前記第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手段と、第１の算出手段により得られた平均値と第２の算出手段により得られた傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較手段とを備え、この絶対値が所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定するので、変化量の小さい領域では正確に圧電発振器のＤＩＰ現象の有無を判定できるとともに、変化量の大きい領域ではＤＩＰ現象の有無について誤判定することを防止できるという効果を有する。
【００１４】
請求項２に記載の圧電発振器の検査システムは、温度を可変して、所定の周波 数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査システムにおいて、所定の時点において所定温度の気体を生成し送風する気体生成手段と、前記所定温度の気体環境に置かれた前記圧電発振器を収容する被測定物収納手段と、前記圧電発振器の周波数を測定し出力する周波数測定手段と、前記周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定手段とを備え、前記判定手段は、前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲に相当する時間範囲内に４つ以上の前記所定の時点を設け、前記４つの所定の時点における連続する３つの時間間隔において、第１の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の時間間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、前記第１及び前記第３の時間間隔の間に位置する第２の時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手段と、前記平均値と第２の算出手段で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較手段とを備え、前記時間範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定することを特徴とする。
【００１５】
上記構成によれば、所定の時点に送風した所定温度の気体環境での圧電発振器の周波数を測定し、得られた周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定するので、周波数温度特性を近似する近似式の値と周波数偏差の実測値の差で表わされる周波数偏差０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さな不連続現象であっても、正確かつ容易にＤＩＰ現象として判定でき、かつその検出率をさらに高めることができるとともに、温度を測定する温度測定手段を必要としない分圧電発振器の検査システムを簡素化できるという効果を有する。
【００１７】
また、上記構成によれば、第１の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の時間間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出手段と、第１及び第３の時間間隔の間に位置する第２の時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出手段と、第１の算出手段により得られた平均値と第２の算出手段により得られた傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較手段とを備え、この絶対値が所定の規格値よりも小さい場合、その圧電発振器を良品と判定するので、変化量の小さい領域では正確に圧電発振器のＤＩＰ現象の有無を判定できるとともに、変化量の大きい領域ではＤＩＰ現象の有無について誤判定することを防止できるという効果を有する。
【００１８】
請求項３に記載の圧電発振器の検査システムは請求項１又は請求項２の構成において、前記圧電発振器はＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器であることを特徴とする。
【００１９】
上記システムは、その周波数温度特性がＤＩＰ現象という不連続現象を持つ可能性があるＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型発水晶発振器に適用することが好ましい。
【００２０】
請求項４に記載の圧電発振器の検査方法は、温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査方法において、所定温度の気体を生成し送風する送風工程と、前記圧電発振器の温度を測定する温度測定工程と、前記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、前記周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定工程とを備え、前記判定工程は、前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲内に４つ以上の前記所定温度を設け、前記４つの所定温度における連続する３つの温度間隔において、第１の温度間隔における周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、前記第１及び前記第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、前記平均値と第２の算出工程で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、前記温度範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定することを特徴とする。
【００２１】
上記構成によれば、周波数偏差の所定温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて圧電発振器の良否を判定する判定工程を備えているので、周波数温度特性を近似する近似式の値と実測値との差で表わされる周波数偏差０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さな不連続現象であっても、正確かつ容易にＤＩＰ現象として判定でき、その検出率をさらに高めることができるという効果を有する。
【００２３】
また、上記構成によれば、第１の温度間隔における周波数偏差の傾きと第３の温度間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、第１及び第３の温度間隔の間に位置する第２の温度間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、第１の算出工程により得られた平均値と第２の算出工程により得られた傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、この絶対値が所定の規格値よりも小さい場合、その圧電発振器を良品と判定するので、変化量の小さい領域では正確に圧電発振器のＤＩＰ現象の有無を判定できるとともに、変化量の大きい領域ではＤＩＰ現象の有無について誤判定することを防止できるという効果を有する。
【００２４】
請求項５に記載の圧電発振器の検査方法は、温度を可変して、所定の周波数からの測定周波数のずれを示す周波数偏差の変化を表わす周波数温度特性を検査する圧電発振器の検査方法において、所定の時点における所定温度の気体を生成し送風する送風工程と、前記圧電発振器の周波数を測定する周波数測定工程と、前記周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて前記圧電発振器の良否を判定する判定工程とを備え、前記判定工程は、前記圧電発振器の良否を判定する温度範囲に相当する時間範囲内に４つ以上の前記所定の時点を設け、前記４つの所定の時点における連続する３つの時間間隔において、第１の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の時間間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、前記第１及び前記第３の時間間隔の間に位置する第２の時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、前記平均値と第２の算出工程で得た前記傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、前記時間範囲内において、前記絶対値が前記所定の規格値よりも小さい場合、前記圧電発振器を良品と判定することを特徴とする。
【００２５】
上記構成によれば、所定の時点に送風した所定温度の気体環境での圧電発振器の周波数を測定し、得られた周波数偏差の所定時間範囲内における複数の周波数偏差の傾きを用いて圧電発振器の良否を判定するので、周波数温度特性を近似する近似式の値と周波数偏差の実測値の差で表わされる周波数偏差０．１ｐｐｍ／℃ほどの小さな不連続現象であっても、正確かつ容易にＤＩＰ現象として判定でき、かつその検出率をさらに高めることができるとともに、温度を測定する温度測定工程を必要としない分圧電発振器の検査方法を簡略化できるという効果を有する。
【００２７】
また、上記構成によれば、第１の時間間隔における周波数偏差の傾きと第３の時間間隔における周波数偏差の傾きとの平均値を算出する第１の算出工程と、第１及び第３の時間間隔の間に位置する第２の時間間隔における周波数偏差の傾きを算出する第２の算出工程と、第１の算出工程により得られた平均値と第２の算出工程により得られた傾きとの差の絶対値を所定の規格値と比較する比較工程とを備え、この絶対値が所定の規格値よりも小さい場合、その圧電発振器を良品と判定するので、変化量の小さい領域では正確に圧電発振器のＤＩＰ現象の有無を判定できるとともに、変化量の大きい領域ではＤＩＰ現象の有無について誤判定することを防止できるという効果を有する。
【００２８】
請求項６に記載の圧電発振器の検査方法は請求項４又は請求項５において、前記圧電発振器が、ＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器であることを特徴とする。
【００２９】
上記検査方法は、その周波数温度特性がＤＩＰ現象という不連続現象を持つ可能性のあるＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型発水晶発振器に適用することが好ましい。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（１）  第１の実施形態
（１−１）  第１の実施形態の原理
まず、第１の実施形態に係る原理について説明する。
【００３１】
本発明による第１の実施形態は、所定の温度範囲内における複数の周波数偏差の傾きに基づいて算出した周波数偏差と所定の周波数偏差の規格値とを比較して得られた結果により、ＤＩＰ現象の有無を判断し、水晶発振器の良否を判断するというものである。即ち、複数の周波数偏差の傾き、具体的には、連続する３つの傾きに基づく周波数偏差が所定の温度範囲内において前述の規格値以下である場合、測定した周波数温度特性は連続性を有しているとして、この水晶発振器はＤＩＰ現象が無いと判断できるということに基づくものである。
【００３２】
（１−２）  第１の実施形態の構成
図１は、第１の実施形態による圧電発振器の検査システム１の概観を示す図であり、図２は、この検査システムの機能を説明したブロック図である。
【００３３】
尚、この第１の実施形態において、圧電発振器としてＡＴカット型水晶振動子を搭載した水晶発振器を実施例として説明する。
【００３４】
図１において、本発明に係る第１の実施形態による圧電発振器の検査システム１は、パーソナルコンピューター２、連続温調器３、気体送風器４、被測定物収納箱５、温度検出部６、周波数測定部７から構成される。
【００３５】
図２は、図１における各構成品間の接続及び入出力信号を明確にした機能ブロック図である。図１のパーソナルコンピューター２を機能的な名称である制御部２０として置き換えた以外は図１と同一である。
【００３６】
図２において、第１の実施形態による圧電発振器の検査システム１ａは、圧電発振器の検査システム１ａ全体を制御する制御部２０（判定手段）、制御部２０の制御により指定された温度サイクル範囲内の気体を生成する連続温調器３（気体生成手段）、連続温調器３で生成された気体を送風するための気体送風器４（気体生成手段）、気体送風器４により送風された環境下に置かれた複数の水晶発振器を収容する被測定物収納箱５（被測定物収納手段）、制御部２０の制御により、被測定物収納箱５に収容された水晶発振器の周波数を測定しこれを出力する周波数測定部６（周波数測定手段）、被測定物収納箱５内に収容された水晶発振器の周辺温度を温度センサにより実測し、この実測値を出力する温度検出部７（温度検出手段）、公称周波数（所定の周波数）からの測定周波数のずれを表わす周波数偏差の傾きに基づいて水晶発振器の良否を判定する前述した制御部２０から構成される。
【００３７】
図３は、パーソナルコンピューター２に代表される制御部２０の機能の構成を示すブロック図である。
【００３８】
図３において、制御部２０は、制御部２０内の機能ブロック全体を制御するマイクロプロセッサ２１と、周波数偏差の傾きを求め、この３つの傾きに基づいた周波数偏差を算出し、算出したこの周波数偏差と所定の周波数偏差の規格値とを比較し、良否を判定するデータ処理部２２（第１および第２の算出手段、比較手段）と、実測した周辺温度における水晶発振器の周波数偏差、この周波数偏差の傾き、そして、この傾きを複数用いて算出した周波数偏差を格納するメモリ２３と、周波数測定部６からの周波数測定データ、温度検出部７からの実測した温度データ、マイクロプロセッサ２１からの制御信号等の入出力を行う入出力部２４と、そして、これらのブロックを相互に接続するデータバス２５とから構成される。
【００３９】
（１−３）  第１の実施形態における動作
次に、第１の実施形態による圧電発振器の検査システムの動作及び検査手順について説明する。
【００４０】
図４及び図５は、第１の実施形態による圧電発振器の検査システム１ａにおいて、制御部２０が行う水晶発振器の検査手順（ＤＩＰ判定手順）を示すフローチャート図である。
【００４１】
図２乃至図４に基づいて、まず制御部２０の制御により行う周波数の測定及び周波数偏差を求める動作について説明する。ここで、この周波数偏差の検査は−３５℃〜１００℃まで行うものと仮定する。尚、説明上、測定温度サイクル範囲は−３５℃〜１００℃と仮定したが、この範囲に限定されず自由に設定することが可能である。
【００４２】
周波数測定に際しては、−３５℃の気体を生成し被測定物収納箱５内へ送風してこの温度状態を一定時間持続し、安定させた後、所定温度の気体を送風し、所定の温度測定ステップで被測定物収納箱５内の測定すべき温度環境を作り出す。そして、−３５℃からその所定温度ステップ毎に周波数の測定を行う。説明上、測定は低温側から開始する場合について取り扱っているが、低温側、高温側のいずれから行っても良い。また、気体は空気もしくは窒素等の不活性ガスを用いることができるが、測定温度範囲において安定な気体でければならない。
【００４３】
又、ＤＩＰ現象を正確に検出するために、所定の温度測定ステップは適正な値である必要があり、その詳細については後述する。尚、測定温度範囲と温度測定ステップとから測定数ｎ０を設定する。
【００４４】
測定開始に当たり、被測定物収納箱５内部温度を測定開始温度以下に保持する。この場合、測定開始温度は−３５℃であるので、−４０℃以下に設定するのが望ましい。
【００４５】
次に、水晶発振器を搭載した量産用基板を被測定物収納箱５に収容し、パーソナルコンピューター２に対して温度サイクル範囲等の測定条件を入力する。測定条件を入力した制御部２０は、連続温調器３を動作させるため、測定開始番号ｎ＝０の設定（ステップＳＴ１）及び被測定物収納箱５内の温度として設定温度ｔ（０）＝−３５℃を指定する。そして、連続温調器３は、指定された最初の被測定物収納箱５内の温度ｔ（０）になる気体温度及び風量等を設定し（ステップＳＴ２）指定した温度の気体を生成した後、気体送風器４を介して、その気体を被測定物収納箱５に送風する（送風工程）。
【００４６】
制御部２０は、温度センサが実測した水晶発振器の周辺温度の実測値を温度検出部６から入出力部２４を介して入力し（温度測定工程）、設定温度ｔ（０）に達しているかどうか判定する（ステップＳＴ３）。この設定温度ｔ（０）に達していない場合は（ステップＳＴ３  Ｎｏ）、制御部２０は設定温度となるよう気体の温度，風量等について再度連続温調器３を制御する（ステップＳＴ２に戻る）。
【００４７】
又、この設定温度ｔ（０）に達している場合は（ステップＳＴ３  Ｙｅｓ）、制御部２０は実測した周波数を周波数測定部７から図３に示す入出力部２４を介して入力し（周波数測定工程）、周波数偏差ｆ（０）を求めて設定温度ｔ（０）とともにメモリ２３に格納する（ステップＳＴ４）。さらに、設定温度が最終の測定温度ｔ（ｎ）＝１００℃で、これに対応する測定番号ｎ＝ｎ０−１であるかどうかを判定する（ステップＳＴ５）。この最終の測定番号ｎ＝ｎ０−１でない場合（ステップＳＴ５  Ｎｏ）は、制御部２０は、測定番号ｎを１だけ加算して（ステップＳＴ６）温度の設定ｔ（ｎ）（スッテプＳＴ２）に戻り、その測定番号に該当する次の温度ｔ（ｎ）より高く、かつ後述する適性な測定温度ステップで、次の測定温度の温度ｔ（ｎ＋１）を設定し、上述した手順を繰り返す（ステップＳＴ２〜ＳＴ６）。
【００４８】
この最終の測定番号ｎ＝ｎ０−１である場合は（ステップＳＴ５  Ｙｅｓ）、周波数の実測を終了し、実測した周波数から求めた周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）及びこの複数の傾きに基づいた周波数偏差ｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］を後述する計算式により求める。
【００４９】
ここで、図６及び式を参照して、上述した周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）及びこの複数の傾きに基づいた周波数偏差ｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］を求める計算式について説明する。
【００５０】
周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）は、以下の式（１）により算出される。
【００５１】
【数１】
0003731551.tif 000002
【００５２】
上記の式（１）で示された周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）は、隣接する２つの測定点間の周波数偏差ｆ（ｎ＋１）及びｆ（ｎ）の差並びに温度ｔ（ｎ＋１）及びｔ（ｎ）の温度差との比で表わされる。即ち、単位温度当たりの周波数偏差の変化量を表わしている。
【００５３】
又、複数の上記した傾きに基づいた周波数偏差ｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］は、以下の式（２）で算出される。
【００５４】
【数２】
0003731551.tif 000003
【００５５】
上記の式（２）は、図６に示すように、隣接する３つの傾きｆ′（ｎ），ｆ′（ｎ＋１），ｆ′（ｎ＋２）により表わされ、第１の周波数偏差の傾きｆ′（ｎ）と第３の周波数偏差の傾きｆ′（ｎ＋２）の平均値と第２の周波数偏差の傾きｆ′（ｎ＋１）との差の絶対値で表わされた周波数偏差である。又、図６に示すように、第１の傾きｆ′（ｎ）と第３の傾きｆ′（ｎ＋２）は、第２の傾きｆ′（ｎ＋１）の前後に位置する周波数偏差の傾きである。又、この式（２）から得られた周波数偏差ｄｉｐ値は、温度を可変し周波数偏差の変化を表した周波数温度特性の連続性を保証するもので、この値が小さければ連続性を、大きければ不連続であることを表わしている。
【００５６】
上記の式（１）の計算結果を１つ又はこれを２つ用いてその差により製品の良否を判定することもできる。一方、上記の式（２）は上記の式（１）の計算結果を３つ用いているが、これは、以下の理由によるものである。式（１）の計算結果を２つ用いた場合は、周波数偏差の変化が急激に変化する温度範囲において、その２つの傾きの差が大きくなりＤＩＰ現象と誤判定してしまうのを防止するためである。従って、上記の式（１）の計算結果を３つ用いることにより、周波数偏差の変化量が大きい温度範囲において、ＤＩＰ現象と誤判定してしまうことを防止することができる。
【００５７】
ここで、周波数測定に際して、前述した測定温度ステップをどの程度の間隔に定めるのが適切か、ＤＩＰ現象の検出の可能性との関係でその限界値（適性値）について言及する。図７は、その測定温度ステップとＤＩＰ現象の発生温度範囲で式（２）より得たｄｉｐ値との関係を示した図であり、実験データに基づいたグラフである。図７において、実際のＤＩＰ現象の発生温度範囲で一定の測定温度ステップ、即ち、１℃ステップから１℃毎に５℃ステップまでの条件で上記の式（２）で求めた周波数偏差ｄｉｐ値のうち、「◆」は最小値を、又「●」は最大値をプロットしたものである。尚、取り扱ったサンプルデータは、ＤＩＰ現象が発生し始める変化点からのピーク値が０．３ｐｐｍで、その温度幅が３℃のＤＩＰ現象を有する水晶発振器により得たものである。
【００５８】
図７によれば、２℃の測定温度ステップまでは、その最小値と最大値はほとんど変わらないが、それ以上の測定温度ステップになると急激にその差が拡大しているのが認められる。そして、今、製品の判定基準を０．１ｐｐｍ／℃とすれば測定温度ステップは３℃が限界であり、それ以上になるとＤＩＰ現象の検出が困難と判断できる。
【００５９】
引き続いて、図５を参照して、周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）に基づいた周波数偏差ｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］を算出し、水晶発振器の良否を判定する手順（判定工程）について説明する。
【００６０】
図３に示す制御部２０内のマイクロプロセッサ２１は、図５の（Ａ）に示す計算開始を表わす計算番号ｎ＝０を指定し（ステップＳＴ７）、データ処理部２２を制御して、計算番号ｎ＝０に該当する周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（０）を、メモリ２３に格納されている周波数偏差ｆ（０），ｆ（１）及び測定温度ｔ（０），ｔ（１）を用いて上記した式（１）より算出し（ステップＳＴ８）、この値ｆ′（０）をメモリ２３に格納する。
【００６１】
そして、最後の周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ０−２）を算出したかどうか、即ち、計算番号ｎが最終番号（ｎ０−２）に達しているかどうかの判定を行う（ステップＳＴ９）。最終番号（ｎ０−２）に達していない場合（ステップＳＴ９  Ｎｏ）は、計算番号ｎを１だけ加算し（ステップＳＴ１０）周波数偏差の傾きを計算する工程（スッテプＳＴ８）に戻り、次の設定温度における周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）を式（１）により算出する上述した手順を繰り返す（ステップＳＴ８〜ＳＴ１０）。最終番号（ｎ０−２）に達している場合（ステップＳＴ９  Ｙｅｓ）は、マイクロプロセッサ２１は周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）の計算を終了する。
【００６２】
次に、図３に示すデータ処理部２２において、メモリ２３に格納されている３点の傾きｆ′（ｎ），ｆ′（ｎ＋１），ｆ′（ｎ＋２）に基づいた周波数偏差ｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］を計算番号ｎ＝０から１ステップ毎にｎ＝ｎ０−２までの値を用いて算出し（ステップＳＴ１１：第１及び第２の算出工程）、メモリ２３に格納する。マイクロプロセッサ２１は、算出したこれらすべてのｄｉｐ値［ｐｐｍ／℃］について所定の周波数偏差の規格値（判定基準）と比較し（比較工程）、この条件を満足しているかどうかを判定する（ステップＳＴ１２）。
【００６３】
マイクロプロセッサ２１は、所定の規格値と比較したすべての結果について満足していると判断した場合（ステップＳＴ１２  Ｙｅｓ）は、ＤＩＰ現象無しと判定し（ステップＳＴ１３）、その水晶発振器を良品とする。満足していない値が１つでも存在すると判断した場合（ステップＳＴ１２  Ｎｏ）はＤＩＰ現象有りと判定（ステップＳＴ１４）し、不良品とする。そして、次の水晶発振器を検査するため、図４に示す実測開始に戻り、上記した手順が繰り返される（ステップＳＴ１〜ステップＳＴ１４）。
【００６４】
（１−４）  第１の実施形態から得られる効果
以上説明した圧電発振器の検査システム及び検査方法によるＤＩＰ判定手順を用いた場合に得られる効果について説明する。
【００６５】
図８は、第１の実施形態によるＤＩＰ判定手順において、実測した周波数から得られた周波数偏差ｆ（ｎ）及び式（２）から算出した周波数偏差ｄｉｐ値を表わしたグラフである。
図８において、実線は周波数を実測して得られた周波数偏差ｆ（ｎ）を、又、点線は上記で示した式（２）で算出した周波数偏差ｄｉｐ値をプロットしたものである。このグラフは、ＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器の周波数温度特性を表わし、その実測値：実線が示すようにその曲線には凹凸がいくつか存在するのが見られる。
【００６６】
図８によれば、室温が３０℃〜４０℃の間でＤＩＰ現象と思われる現象が見られる。周波数温度特性の緩やかな温度範囲では、従来用いていた周波数温度特性を近似する近似式との差が０．１ｐｐｍ／℃程度のＤＩＰ現象の場合、近似計算誤差によるＤＩＰ現象の判別が困難である。しかしながら、図８に示す周波数偏差が緩やかな温度範囲において、本発明の式（２）による周波数偏差ｄｉｐ値は大きな不連続現象として表わされ、ＤＩＰ現象の有無の判断が微妙なＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器であっても、ＤＩＰ現象有りと明確に判定することができる。
【００６７】
一方、温度が７０℃〜１００℃の範囲で、周波数温度特性の変化量が大きくても、この式（２）から算出した周波数偏差ｄｉｐ値は±０．０５ｐｐｍ／℃以内にあり、周波数温度特性の連続性が保証されることになるので、この温度範囲ではＤＩＰ現象はないと明確に判定することができる。
【００６８】
以上、説明したように、第１の実施形態によれば、周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）、そして、その測定点が隣接する３つの傾きｆ′（ｎ），ｆ′（ｎ＋１），ｆ′（ｎ＋２）を用いて、ｆ′（ｎ）とｆ′（ｎ＋２）の平均値とｆ′（ｎ＋１）との差、即ち、式（２）で算出した周波数偏差ｄｉｐ値を求め周波数温度特性の連続性からＤＩＰ現象の有無を判定するようにしたので、従来許容していた水晶発振器もＤＩＰ現象ありと容易にかつ正しく判定でき、その結果、ＤＩＰ現象の検出率をさらに高めることができるという効果が得られる。
【００６９】
又、第１の実施形態によれば、式（２）で算出した周波数偏差ｄｉｐ値を求め、周波数温度特性の連続性からＤＩＰ現象の有無を判断するようにしたので、数学上の２次，３次曲線等に近似できる周波数温度特性であっても、従来の判定基準としてきたこれらの近似式を求める必要がなくなる。
【００７０】
又、前述した数学上の曲線に近似できないような凹凸のある複雑な周波数温度特性、例えばＡＴカット型水晶振動子を搭載した温度補償型水晶発振器のような周波数温度特性において、ＤＩＰ現象なのかあるいは連続的に周波数偏差が変化しているのかを容易に判定できる。
【００７１】
又、従来の正確な周波数温度特性の測定のために温度を一定時間安定させる必要がなくなり、周波数温度特性の測定時間の大幅な短縮を図ることができるという効果が得られる。
【００７２】
さらに、第１の実施形態によれば、周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）：式（１）及びこれを用いた周波数偏差ｄｉｐ値：式（２）は非常に簡単な計算式であり、それらを算出する時間が少なくてすむので、全体の測定時間にはほとんど影響を与えないという効果が得られる。
【００７３】
（２）  第２の実施形態
次に、本発明に係る第２の実施形態について説明する。
（２−１）  第２の実施形態における構成
まず、第２の実施形態における構成について説明する。
【００７４】
図９は、本発明の第２の実施形態による圧電発振器の検査システムの機能構成を示すブロック図である。図２と異なる点は、温度検出部７を除いた点にあり、他の機能ブロックについては同一であるのでその説明は省略する。又、第１の実施形態と同様に、圧電発振器としてＡＴカット型水晶振動子を搭載した水晶発振器を実施例として取り上げる。
【００７５】
（２−２）  第２の実施形態の原理
次に、第２の実施形態に係る原理について説明する。
【００７６】
本発明による第２の実施形態は、第１の実施形態における温度測定に代えて指定（又は、測定）時刻（所定の時点）と周波数偏差の変化量から式（２）により周波数偏差ｄｉｐ値を求めて、ＤＩＰ現象の有無を判定するというものである。この場合、測定時間の計時は図２に示すマイクロプロセッサ２１が行い、計時手段の役割を負う。
【００７７】
時間変化に対して温度変化が一定の関係を有していること、例えば直線的に、いわゆる正比例の関係で変化するように制御された気体により被測定物収納箱内の温度を設定する。この時間と温度の一定の関係（この場合、正比例の関係）があることを利用して、測定すべき温度範囲に相当する所定の測定時間範囲内で、設定した時間間隔で周波数を測定し、水晶発振器の周波数温度特性曲線を求める。この周波数温度特性曲線が第１の実施形態におけるものと異なる点は、温度に代えて時間軸で周波数偏差を表わした点にある。そして、求めたこの周波数温度特性を用い、式（１）から周波数偏差の傾きを得て、式（２）に基づく周波数偏差ｄｉｐ値を求めることでＤＩＰ現象の有無を判定するというものである。
【００７８】
尚、式（２）は、式（１）において温度ｔ（ｎ）を時刻Ｔ（ｎ）に置き換えることで、第１の実施形態と同様に扱うことができる。
【００７９】
（２−３）  第２の実施形態における動作
次に、動作について説明する。
【００８０】
図１０は、本発明の第２の実施形態における圧電発振器の検査システム１ｂにおいて、水晶発振器の検査手順（ＤＩＰ判定手順）を示すフローチャート図である。尚、既に説明した図５のローチャート図は、この第２の実施形態において、式（２）の周波数偏差ｄｉｐ値を求める場合にも使用される。
【００８１】
図１０に基づいて、制御部２０が行う周波数測定と周波数偏差を求める手順・動作について説明する。ここで、温度可変範囲を−３０℃〜９５℃までとした場合、温度と時間の関係が正比例の関係にあることを利用すると、この測定時間を、例えば、測定時間Ｔ０（例えば、１２０秒）を設定することで、その温度範囲における、時間軸をパラメータとする周波数温度特性曲線が得られる。尚、この測定時間Ｔ０は予め実験において検証された時間である。又、検査開始前において、本来求めるべき水晶発振器の周波数温度特性と第２の実施形態による測定方法で求めた周波数温度特性とのずれについて、水晶発振器の複数のサンプルにより測定して予め把握しておくものとする。
【００８２】
第１の実施形態と同様に、測定準備が終了すると、測定条件を入力した制御部２０は、図１に示す連続温調器３を動作させ、周波数の測定を開始するに当たり、低温側で、例えば、−３０℃において周波数が安定した時点を時間軸上で０とし、所定の高温、この場合９５℃に相当する測定時間Ｔ０（１２０秒）の間で周波数の測定を行う。尚、測定開始温度−３０℃に設定する手順については、第１の実施形態と同様である。
【００８３】
この周波数を測定する手順について、以下に、具体的に説明する。
【００８４】
まず、入力した測定数Ｎを指定し（ステップＳＴ２０）時間間隔Ｔ０／Ｎを求め、開始時の測定番号ｎ＝０を設定した後（ステップＳＴ２１）、この時間間隔（Ｔ０／Ｎ）×ｎ後における周波数を実測し周波数偏差ｆ（ｎ）を求め（ステップＳＴ２２）、この周波数偏差ｆ（ｎ）に対応する時刻Ｔ（ｎ）＝（Ｔ０／Ｎ）×ｎを設定する（ステップＳＴ２３）。そして、この時刻Ｔ（ｎ）の値が測定時間Ｔ０を超えているかどうかを判定し（ステップＳＴ２４）、測定時間Ｔ０を超えていない場合（ステップＳＴ２４，Ｎｏ）は測定番号ｎを１だけ加算して（ステップＳＴ２５）、上述した手順を繰り返す（ステップ２２〜ステップ２５）。又、超えている場合（ステップＳＴ２４，Ｙｅｓ）には、図５に示す、式（２）の周波数偏差ｄｉｐ値を求めるフローチャートへ移行する。
【００８５】
この場合、式（１）において第１の実施形態での測定温度ｔ（ｎ）を設定時刻Ｔ（ｎ）に置き換えればよく、計算手順に差異がないので図５に関する詳細な説明は省略する。
【００８６】
ここで、本発明による第２の実施形態において、前述した温度と時間の関係が所定の関係を維持していれば、被測定物収納箱５内の大きさ、測定すべき複数の水晶発振器の配置状態、連続温調器３から送付された気体の攪拌状態などに起因して、水晶発振器近傍の温度に遅れが発生しても良い。この場合、これに合わせて測定時間を設定することにより、必要とする規定の温度範囲を確保することができる。
【００８７】
また、温度と時間に関して所定の関係、この場合、正比例の関係にあるという前提で説明したが、これに関わらず、非線形の関係が混在していても良い。この場合、時間領域に応じてＤＩＰ現象の有無の判定基準を変えることで同様の手順で判定を行うことができる。
【００８８】
さらに、この第２の実施形態において、設定時刻Ｔ（ｎ）は、測定数Ｎと測定時間Ｔ０を予め指定して求めたが、制御部２０におけるタイマ機能を利用して実測した測定時刻（所定の時点）Ｔ（ｎ）を用いても良い。
【００８９】
（２−４）  第２の実施形態から得られる効果
次に、第２の実施形態で得られる効果について説明する。
【００９０】
この第２の実施形態から得られる効果は、上記した第１の実施形態と同じであり、さらに、以下に記載した効果が得られる。
【００９１】
図１１は、本発明の実施形態による周波数偏差を求めて得られたグラフであり、（ａ）は第２の実施形態による場合で設定時刻を、（ｂ）は第１の実施形態による場合で測定温度（この場合の測定温度ステップは２．５℃である。）をパラメータとした場合のそれぞれのグラフである。実線は、測定周波数から求めた周波数偏差であり、破線は数式（２）で算出した周波数偏差ｄｉｐ値である。尚、破線は計算値をさらに１０倍したものをグラフで表わしたものである。
【００９２】
この図１１から、（ａ）と（ｂ）のそれぞれのグラフにほぼ同一性が認められる。数式（２）で算出した周波数偏差ｄｉｐ値の設定時刻をパラメータとして、即ち、時間変化に対して温度の変化が直線的に変化することを利用して得られる、図１１（ａ）の破線で示したグラフによりＤＩＰ現象の有無を判定できるという効果が得られる。
【００９３】
又、温度と時間との所定の関係、及び所定の温度範囲を確保する測定時間を予め把握しておくので、直接温度を測定する必要がない。即ち、従来のように、被測定物収納箱内の温度が安定するまで待機する必要がないので、ＤＩＰ現象の検査工数を短縮することができ、水晶発振器の低コスト化が図れるという効果が得られる。
【００９４】
又、温度を測定する必要がないので温度検出部が不要となり、本発明の第２の実施形態における圧電発振器の検査システムが簡略化されるという効果が得られる。
【００９５】
又、この第２の実施形態における圧電発振器の検査システムでは、被測定物収納箱内の温度を可変させる温度範囲に相当する測定時間とこの範囲での測定数は、任意に設定することができる。この結果、その測定範囲において測定数を多く採ることで、測定時間間隔を細かくとることができ測定精度の向上を図ることができるという効果が得られる。
【００９６】
さらに、ＤＩＰ検査のみならず、通常の周波数温度特性が規格範囲以内か否かの検査にも、一定の条件下、例えば、設定温度の応答時間の遅れを考慮して測定時間範囲を任意に設定して、規格範囲以内か否かを判定することに、応用することができるという効果が得られる。
【００９７】
（３）変形例
上述した実施形態においては、周波数を実測して得られた周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）、これに基づいた周波数偏差ｄｉｐ値を求めるこれらの式（１）及び式（２）は、圧電振動子としてＡＴカット型水晶振動子を搭載した水晶発振器を本発明に適用する場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。即ち、連続する周波数温度特性を有する振動子、例えば、水晶振動子で言えば弾性表面波素子を用いた発振器や圧電振動子で言えばセラミック振動子やリチウムタンタレート、これらの圧電振動子を搭載した発振器や他の電子部品における不連続な周波数温度特性を持つという不良モードの検出に適用しても、同様の効果を得ることができる。
【００９８】
尚、圧電振動子を搭載した発振器に適用して説明したが、圧電振動子単独で上記した検査システム及びその検査方法として適用しても上記と同様の効果を奏する。
【００９９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、周波数を実測して得られた周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）、そして、この隣接する３つの周波数偏差の傾きを使用し、周波数温度特性の連続性を保証するか否かの目安となる周波数偏差ｄｉｐ値を算出し、ＤＩＰ現象の有無を判定しているので、従来小さなＤＩＰ現象と許容していた水晶発振器もＤＩＰ現象ありと正確に判定できＤＩＰ現象の高い検出率を得ることができる。又、周波数偏差の変化量が大きい温度領域においてはＤＩＰ現象として誤判定することを防止できる。
【０１００】
又、上記した測定温度に代えて指定時刻（又は測定時刻）を設定し、周波数温度特性の連続性を保証するか否かの目安となる周波数偏差ｄｉｐ値を求めて、ＤＩＰ現象の有無を判定することにより、上記と同様の効果が得られる。又、温度を測定する必要がないので温度検出部が不要となり、圧電発振器の検査システムが簡略化されとともに、温度を安定させるという時間を必要としないので検査工数が短縮され、水晶発振器の低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施形態による圧電発振器の検査システムの概観構成を示す概観図である。
【図２】  本発明の第１の実施形態による圧電発振器の検査システムの機能構成を示すブロック図である。
【図３】  本発明の第１の実施形態による制御部の機能構成を示すブロック図である。
【図４】  本発明の第１の実施形態による圧電発振器の検査システムにおいて制御部が行う水晶発振器の検査（測定）手順を示すフローチャート図である。
【図５】  本発明の第１の実施形態による圧電発振器の検査システムにおいて制御部が行う水晶発振器の判定手順を示すフローチャート図である。
【図６】  周波数偏差ｆ（ｎ）の傾きｆ′（ｎ）及びこの複数の傾きに基づいた周波数偏差ｄｉｐ値を説明する図である。
【図７】  測定温度の測定ステップとＤＩＰ検出の関係を示した図である。
【図８】  本発明の第１の実施形態による圧電発振器の検査方法による計算式から求めた周波数偏差ｄｉｐ値を表わしたグラフである。
【図９】  本発明の第２の実施形態による圧電発振器の検査システムの機能構成を示すブロック図である。
【図１０】  本発明の第２の実施形態による圧電発振器の検査システムにおいて制御部が行う水晶発振器の検査手順を示すフローチャート図である。
【図１１】  本発明の第２の実施形態により得られたグラフで、（ａ）は第２の実施形態による場合で設定時刻を、（ｂ）は第１の実施形態による場合で測定温度をパラメータとした場合の周波数偏差の傾きに基づくグラフである。
【図１２】  水晶発振器特有の現象であるＤＩＰ現象を説明する図である。
【符号の説明】
１  １ａ，１ｂ  圧電発振器の検査システム
２  パーソナルコンピューター
２０  制御部、        ２１  マイクロプロセッサ
２２  データ処理部    ２３  メモリ      ２４  入出力部
３  連続温調器
４  気体送風器
５  被測定物収納箱
６  温度検出部
７  周波数測定部
【図１】
0003731551.tif 000004
【図２】
0003731551.tif 000005
【図３】
0003731551.tif 000006
【図４】
0003731551.tif 000007
【図５】
0003731551.tif 000008
【図６】
0003731551.tif 000009
【図７】
0003731551.tif 000010
【図８】
0003731551.tif 000011
【図９】
0003731551.tif 000012
【図１０】
0003731551.tif 000013
【図１１】
0003731551.tif 000014
【図１２】
0003731551.tif 000015