(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平辺部、およびこの水平辺部の両端から垂直に延びる一対の垂直辺部が相互に固着され前記垂直辺部の下端部間が開放端となって全体的にコ字状をなすように形成された枠組み部材と、
一対の前記枠組み部材を前記水平辺部で連結し、前記開放端側が相互に開閉できるように支持するヒンジ部と、
弾性材により形成され、前記枠組み部材の垂直辺部における互いに対応する位置に基端部が固定されて先端同士が対向配置される、前記枠組み部材１個当たり少なくとも４個ずつのワーク挟み込み用爪と、をそなえ、
前記ワーク挟み込み用爪は、その先端部同士が平面接触し得るように構成され、かつその先端が基端部よりも上方を向いて固着された
ことを特徴とする箔保持装置。
【請求項２】
下記の薄箔保持装置（ａ）と吊り下げ治具装置（ｂ）とを組み合わせた吊り下げ式薄箔保持装置。
（ａ）水平辺部、この水平辺部の両側から垂直に延びる一対の垂直辺部が相互に固着されて前記垂直辺部の下端部間が開放端となって全体的にコ字状をなすように形成された一対の枠組み部材と、
一対の前記枠組み部材を前記水平辺部で連結し、前記開放端側が相互に開閉できるように支持するヒンジ部と、
弾性材により形成され、前記枠組み部材の垂直辺部における互いに対応する位置に基端部が固定されて先端同士が対向配置される前記枠組み部材１個当たりが少なくとも４個ずつのワーク挟み込み用爪と、
をそなえた薄箔保持装置。
（ｂ）前記薄箔保持装置における前記枠組み部材の前記水平辺部が嵌入する少なくとも１以上の水平溝を有する水平部材と、
この水平部材に固着され、前記水平部材を吊り下げる吊り部材と、
をそなえた吊り下げ治具装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、薄箔に洗浄などの処理を施すために保持する装置に係り、とくに薄箔を垂直状態に挟持して保持する薄箔保持装置、およびこの薄箔保持装置を吊り下げる吊り下げ治具を組み合わせた吊り下げ式薄箔保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば可撓性薄箔基板のような薄箔状ワークを洗浄する場合、その保持のためには次のような点に留意する必要がある。すなわち、（ａ）ワークの両面を一時に洗浄できること、（ｂ）洗浄には超音波を使用するため、ワークの表面には何も接触しない状態にしておけること、（ｃ）ワークを確実に保持できること、および（ｄ）生産量を考慮し、複数枚を同時に洗浄でき、洗浄から乾燥まで同一の保持構造で処理できること、である。
【０００３】
このようなワークを処理する既存の洗浄装置は、回路基板その他の加工部品などの洗浄用に製作されており、大別して次の２つに分けられる。その１は、洗浄槽が複数個に分かれており、網などで製作された篭が順に洗浄槽に抜き差しされていく構造のものである。その２は、ワークがコンベア上を横方向に搬送されて洗浄、乾燥各工程を流れていく機構を持つものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このうち前者つまり洗浄槽を持つものは、網状の箱やスリットを設けたラックなどのワークに合致した収納用具が必要である上に、可撓性基板を周囲のラック部材に接触させずに確実に保持する機構は現在まで存在せず、そのままでは十分な洗浄ができない。
【０００５】
他方、後者つまりコンベア搬送を行うものは、洗浄時に上方から噴射される洗浄液により薄箔自体が反り、うねりなどの変形をもたらすため、ワーク１つづつについて見ても全体的に均一に洗浄、乾燥することができない。また、搬送をローラによって行うため、ワークの下面に接する下ローラの存在により裏面の洗浄が不十分となるとともに、ローラによる汚れの転写および傷付きなどがあり、精密洗浄方法として適切ではない。
【０００６】
本発明は上述の点を考慮してなされたもので、薄箔状のワークをその両面をできるだけ露出させかつ平坦な状態で保持し得る薄箔保持装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的達成のため、本発明では、
請求項１記載の、水平辺部、およびこの水平辺部の両端から垂直に延びる一対の垂直辺部が相互に固着され前記垂直辺部の下端部間が開放端となって全体的にコ字状をなすように形成された枠組み部材と、一対の前記枠組み部材を前記水平辺部で連結し、前記開放端側が相互に開閉できるように支持するヒンジ部と、弾性材により形成され、前記枠組み部材の垂直辺部における互いに対応する位置に基端部が固定されて先端同士が対向配置される、前記枠組み部材１個当たり少なくとも４個ずつのワーク挟み込み用爪と、をそなえ、
前記ワーク挟み込み用爪は、その先端部同士が平面接触し得るように構成され、かつその先端が基端部よりも上方を向いて固着されたことを特徴とする箔保持装置、および
請求項２記載の、（ａ）水平辺部、この水平辺部の両側から垂直に延びる一対の垂直辺部が相互に固着されて前記垂直辺部の下端部間が開放端となって全体的にコ字状をなすように形成された一対の枠組み部材と、一対の前記枠組み部材を前記水平辺部で連結し、前記開放端側が相互に開閉できるように支持するヒンジ部と、弾性材により形成され、前記枠組み部材の垂直辺部における互いに対応する位置に基端部が固定されて先端同士が対向配置される前記枠組み部材１個当たりが少なくとも４個ずつのワーク挟み込み用爪と、をそなえた薄箔保持装置、（ｂ）前記薄箔保持装置における前記枠組み部材の前記水平辺部が嵌入する少なくとも１以上の水平溝を有する水平部材と、この水平部材に固着され、前記水平部材を吊り下げる吊り部材と、をそなえた吊り下げ治具装置、とを組み合わせた吊り下げ式薄箔保持装置、
を提供するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、本考案に係る薄箔保持装置の一実施例を示す正面図、右側面図および下面図である。この図に示すように、正面から見た形状が下向きのコ字状、つまり上部に水平辺がありその両側から垂直辺が垂下する形状で、開放部が下にある一対の枠組み部材１、２が、上部の水平辺部の両端寄りに設けられた２つのヒンジ３により相互に連結されており、枠組み部材１、２の下方開放端同士を開くことができる。
【０００９】
そして、一対の枠組み部材１、２の開放端寄り部分には、挟み込み用爪４が設けられる。この挟み込み用爪４は、たとえばステンレススティール、リン青銅、ベリリウム銅、各種エンジニアリングプラスティックなどの弾性材料により構成する。そして、挟み込み用爪４は、１つの枠組み部材当たり４個づつ設けられており、一対の枠組み部材１、２は互いに対応する位置に対向するように挟み込み用爪４を有する。挟み込み用爪４は、第１の枠組み部材１と第２の枠組み部材２とを閉じ合わせたときに、両部材１、２の挟み込み用爪４同士が丁度ピンセットのように作用して、その間に薄箔を挟み込むものである。枠組み部材１、２にはそれぞれ４個づつの挟み込み用爪４が設けられているから、両部材１、２を閉じ合わせると４個のピンセットが形成されることになる。この４個のピンセットにより、ワークである薄箔Ｘの４隅が保持される。
【００１０】
この４個のピンセットは、その先端が少し上向きになるように、各挟み込み用爪４が枠組み部材１、２に固定されている。こうして、洗浄液が挟み込み用爪４からワークＸに垂れ落ちないようにしている。また、挟み込み用爪４の各先端は、ワークに面接触するように基端部に対してある角度をなすよう斜めになっている。これにより、一対の枠組み部材１、２を閉じ合わせたとき、ワークＸは４個のピンセットの弾性を伴う保持作用によって平坦状態で確実に保持される。
【００１１】
処理すべきワークとしては、材料的には、厚さ数μｍないし数１０μｍの金属箔のみの場合、および金属箔の少なくとも一方の面に絶縁材層、さらには金属薄膜とか回路配線パターンまどが設けられていて可撓性を有するものであり、また寸法的には、概ね数１０ｍｍ角から数１００ｍｍ角程度のものである。
【００１２】
図２は、図１に示した保持装置に対するワークの装着の仕方を示したものである。この場合、第２の枠組み部材２を下にしてヒンジ３が右側になるように、保持装置を置く。したがって、第１および第２の枠組み部材１、２の開放端が図における左側になる。そして、上側にある第１の枠組み部材１の開放端を持ち上げて第２の枠組み部材２との間に角度を持った隙間を形成した状態とする。
【００１３】
次いで、第２の枠組み部材２における４個の挟み込み用爪４の上にワークＸを載せる。そして、第１の枠組み部材１を第２の枠組み部材２に向けて下降回動させ、さらに両枠部材１、２同士を閉じ合わせることにより、ワークＸを４個のピンセットによって確実に保持することができる。
【００１４】
図３（ａ）および（ｂ）は、図１および図２に示した実施例を複数個吊り下げて保持する治具を示したものである。この場合は、薄箔保持装置を４個吊り下げる構成となっており、そのために薄箔保持装置の水平辺が嵌入する４つの溝が設けられている。
【００１５】
すなわち、保持装置懸垂部１１には、薄箔保持装置の水平辺が嵌入する４個の溝１２が適宜間隔を開けて平行配置されており、重心部に吊り金具１３が設けられている。
【００１６】
図４（ａ）、（ｂ）は、図３に示した治具に薄箔保持装置を４個吊り下げた状態の左側面図および正面図である。図示のように、保持装置懸垂部１１に、４個の薄箔保持装置を懸垂させる。保持装置懸垂部１１の溝が適宜間隔を開けて設けられているから、薄箔保持装置同士は相互間に適度の隙間を保った状態で吊り下げれている。その状態で上方から洗浄液を放散すると、薄箔に対して洗浄液が万遍なく降りかかって各ワークにつき全面均一な洗浄ができる。
【００１７】
洗浄終了の後、各薄箔保持装置を保持装置懸垂部１１から引き外し、さらに図２により説明したように、第１および第２の枠組み部材１、２を押し開いて保持装置から薄箔Ｘを取り外す。
【００１８】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成したことにより、次のような効果を奏する。
【００１９】
まず請求項１記載の構成により、コ字状をなすように形成された一対の枠組み部材をヒンジ部により各水平辺部で連結し、開放端側が相互に開閉できるように支持し、各枠組み部材の垂直辺部における互いに対応する位置に挟み込み用爪を設けたため、一対の枠組み部材を開いて薄箔状のワークを挟み込み用爪位置に置き、両枠組み部材を互いに閉じることにより、ワークを確実に挟んで保持することができる。そして、一対の枠組み部材を再び開けば、ワークを簡単に取り出すことができる。
【００２３】
そして、請求項２記載の構成により、薄箔保持装置を吊り下げ治具装置に吊り下げてワークの処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】同図（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、本考案に係る薄箔保持装置の一実施例を示す正面図、右側面図および下面図。
【図２】図１に示した保持装置に対するワークの装着の仕方を示した説明図。
【図３】同図（ａ）および（ｂ）は、図１および図２に示した実施例を複数個吊り下げ保持する治具を示した左側面図および正面図。
【図４】同図（ａ）、（ｂ）は、図３に示した治具に薄箔保持装置を４個吊り下げた状態の左側面図および正面図。
【符号の説明】
１  第１の枠組み部材
２  第２の枠組み部材
３  ヒンジ
４  挟み込み用爪
１１  保持装置懸垂部
１２  溝
１３  吊り金具
Ｘ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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