(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のペンケースと、このペンケースの先端側に取り付けられ、中心軸線上にガイド孔を備えたガイドスリーブと、先細りテーパ状の先端部を備え、この先端部を突出した状態で、前記ガイドスリーブのガイド孔に軸方向摺動自在に支持されたロッドペンと、このロッドペンの基端側を、前記先端部がガイドスリーブに引き込む方向に付勢するリターンばねと、前記ペンケースの、前記ガイドスリーブと反対側の基端に取り付けられ、ペンケース内に圧縮気体を導入するための気体導管と、前記ペンケース内で、前記気体導管とロッドペンの基端との間に配置され、前記気体導管を介して導入される圧縮気体により、ペンケース軸方向に振動され、この振動を前記ロッドペンの基端に伝達して、これを軸線方向に振動させる振動素子組立体と、この振動素子組立体の基端近傍位置で、前記ペンケース内周に、振動素子組立体の基端方向への移動を阻止するように形成された段差部と、を有してなり、前記気体導管からの圧縮気体が前記振動素子組立体の基端と前記段差部との間の隙間を通って導入されるフィルム剥離振動ペン装置において、前記気体導管を、その先端が前記振動素子組立体の基端と接触して、これを前記隙間が最大となるように先端方向に押し込む長さとすると共に、気体導管を前記押し込み位置に固定する気体導管ロック手段と、前記振動素子組立体の基端と接触状態で、前記気体導管からペンケース内に圧縮気体を導入する連通手段と、を設けたことを特徴とするフィルム剥離用振動ペン装置。
【請求項２】
請求項１において、前記ガイドスリーブは、これに支持される前記ロッドペンの引き込み状態での先端から基端側に引き込んだ位置に、中心軸線と略直交する先端面と、前記ガイド孔と略平行に形成され、ガイドスリーブの基端側端面と前記先端面とを連通する連通孔と、前記先端面及びこの先端面から前記ロッドペンの先端近傍に至る空間を覆うと共に、ロッドペン先端の周囲に前記連通孔から前記空間を通る圧縮気体を排出する環状の排出口を形成するテーパ状カバー部と、を有することを特徴とするフィルム剥離用振動ペン装置。
【請求項３】
請求項１において、前記ガイドスリーブは、これに支持される前記ロッドペンの引き込み状態での先端部のテーパ面に略連続するテーパ先端面を備え、且つ、このテーパ先端面と基端側端面との間が中実の一体構造とされたことを特徴とするフィルム剥離用振動ペン装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線盤用基板、液晶表示パネル用基板、プラズマディスプレイ用基板等に例示される基板に張り付けられた保護フィルムを剥離する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のようなプリント配線基板は、次のような工程により製造されている。まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に感光性樹脂（ホトレジスト）層と、これを保護する透光性樹脂フィルム（保護フィルム）とからなる積層体をラミネーティングロールにより熱圧着する。次に配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通して前記感光性樹脂層を所定時間露光する。
【０００３】
次いで、透光性樹脂フィルムを剥離した後、露光されたホトレジスト層を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去し、所定の配線パターンを有するプリント配線基板が形成される。
【０００４】
前記プリント配線基板の製造工程において、前記保護フィルムを基板から自動的に剥離するフィルム剥離装置が種々提案されている。
【０００５】
このような、フィルム剥離装置により基板からフィルムを自動的に剥離させる際に、まず、フィルム先端の、剥離を開始させる部分を上下斜めに押圧したり、ニードル状部材で引掛けて起こしたりしている。
【０００６】
例えば、特公平６−３５５０号公報に開示されるように、バイブレータのケースを基板端部近傍の部材に固定しておき、基板に張り付けられている感光性樹脂層と透光性樹脂フィルムとからなる積層体フィルムの端部に、基板を搬送しつつバイブレータのロッドペンの振動を与えて叩くことにより、透光性樹脂フィルムの一部を感光性樹脂層から浮上させるものがある。このようなロッドペンの振動によって積層体フィルムの端部を叩く装置としては、図６に示されるようなフィルム剥離用振動ペン装置１がある。
【０００７】
このフィルム剥離用振動ペン装置１は、ロッドペン２の先端を軸方向に振動させることによって、基板３に張り付けられている積層体フィルム４の先端を叩きつつ、且つ、基板３を搬送方向に一定距離移動しつつ、該積層体フィルム４を基板３から剥離させるものである。
【０００８】
このとき、ロッドペンの中心軸線は、基板３に対して３０°〜６０°の角度で傾斜して接触するようにされている。
【０００９】
図６の符号１Ａはフィルム剥離用振動ペン装置１を基板搬送面近傍の部材に固定するためのホルダー、５は、基板３を搬送すると共に、ロッドペン２により積層体フィルム４を叩くとき、基板３をその反対方向から支えるためのバックアップローラを示す。又、符号６は基板３を搬送するための搬送ローラを示す。
【００１０】
前記フィルム剥離用振動ペン装置１は、具体的には、図７に示されるような構成となっている。
【００１１】
このフィルム剥離用振動ペン装置１は、筒状のペンケース７と、このペンケース７の先端側に取り付けられ、中心軸線上にガイド孔８Ａを備えたガイドスリーブ８と、このガイドスリーブ８のガイド孔８Ａに軸方向摺動自在に挿通され、先細りテーパ状の先端部２Ａを備えた前記ロッドペン２と、このロッドペン２の基端側のフランジ２Ｂを、前記先端部２Ａがガイドスリーブ８に引き込む方向に付勢するリターンばね９と、前記ペンケース７の、前記ガイドスリーブ８と反対側の基端に取り付けられ、ペンケース７内に圧縮空気を導入するための気体導管１０と、前記ペンケース７内で、前記気体導管１０とロッドペン２の基端との間に配置され、前記気体導管１０を介して導入される圧縮空気により、ペンケース７の軸方向に振動され、この振動を前記ロッドペン２の基端に伝達して、これを軸線方向に振動させる振動素子組立体１３と、を備えて構成されている。
【００１２】
前記ロッドペン２の基端のフランジ２Ｂは、前記ガイドスリーブ８の基端側に連続する第２ガイドスリーブ１２内に摺動自在に保持され、前記リターンばね９は、前記第２ガイドスリーブ１２の内側に形成されるばね室９Ａ内に配置されている。
【００１３】
前記振動素子組立体１３は、前記第２ガイドスリーブ１２及びフランジ２Ｂの基端側端面に隣接して配置された円筒状のピストンガイド１４と、このピストンガイド１４の基端側に連続して配置されたシリンダー１５と、前記ピストンガイド１４によって軸線方向に摺動自在に保持されたピストン１６と、前記シリンダー１５の基端側開口を閉じるように、これに取付けられることによって、前記ピストン１６の基端側端面１６Ａとの間に圧力室１７を形成する栓体１８とを備えて構成されている。
【００１４】
前記ピストン１６の基端側端部にはその先端側よりも大径の受圧部１６Ｂが形成され、この受圧部１６Ｂは前記シリンダー１５の内周に摺動自在に嵌合され、該受圧部１６Ｂの前後の差圧によってピストン１６がピストンガイド１４及びシリンダー１５の軸線方向に移動できるようにされている。
【００１５】
前記シリンダー１５の外周とペンケース７の内周との間には環状隙間１１が形成されていて、この環状隙間１１は前記シリンダー１５の先端側位置でこれを貫通して形成されたポート１５Ａを介して、シリンダー１５の内側と連通されるようになっている。
【００１６】
このポート１５Ａは、前記ピストン１６における受圧部１６Ｂよりも先端側位置となるように配置されている。
【００１７】
前記ピストン１６には、その軸方向中間位置に、該ピストン１６を直径方向に貫通する連通孔１６Ｃ及びこの連通孔１６Ｃからピストン１６の中心軸線上を通って前記基端側端面１６Ａに至る軸方向連通孔１６Ｄが形成されている。
【００１８】
前記ピストン１６の直径方向の連通孔１６Ｃは、該ピストン１６の先端面１６Ｅがシリンダー１５の先端面と同一位置にあるとき、ピストンの１６外側に形成された第２環状隙間１２Ａに連通するようにされている。
【００１９】
この第２環状隙間１２Ａの先端は、前記フランジ２Ｂにその軸線方向に形成された複数の逃げ孔２Ｃを介して前記ばね室９Ａに連通されている。
【００２０】
このばね室９Ａの先端側は、前記ガイドスリーブ８にこれを軸線方向に貫通して形成された排気孔１９を通って外部に連通され、フランジ２Ｂがばね室９Ａ内に入り込んだ圧縮空気を外部に逃がすようにされている。図７の符号１９Ａは排気孔１９の出口に配置されたＯリングであり、外部の空気が排気孔１９内に逆流しないようにするためのものである。
【００２１】
前記振動素子組立体１３における基端側端部を構成する栓体１８の外周角部の近傍には、ペンケース７の内周面に段差部７Ａが形成され、前記振動素子組立体１３の、振動ぺン基端方向への移動を規制するようにされている。
【００２２】
前記気体導管１０には、その中心軸線上に、ペンケース７内に圧縮空気を導入する気体導出孔１０Ａが形成され、ここからペンケース７内に導入された圧縮空気は、前記段差部７Ａと栓体１８との間の隙間を通って、前記シリンダー１５の外側の環状隙間１１に至るようにされている。
【００２３】
図７の符号１８Ａは、栓体１８の基端側端部に取付けられた緩衝部材であって、気体導管１０をそのおねじ部１０Ｂによりペンケース７の基端側からねじ込むとき、該緩衝部材１８Ａを介して振動素子組立体１３と接触するようにしたものである。又、図７の符号１０Ｃは気体導管１０の基端（図において右端）に形成されためねじを示す。このめねじ１０Ｃには圧縮空気供給管の供給端末（図示省略）が螺着されるようになっている。
【００２４】
前記フィルム剥離用振動ペン装置１を使用する場合は、前記気体導管１０をペンケース７から図７において右方向に移動するようにねじ戻し、気体導管１０の先端と前記緩衝部材１８Ａとの間に隙間を形成し、ここからペンケース７内に圧縮空気が導入されるようにする。このとき、気体導管１０のねじ戻し量によってペンケース７内に導入される圧縮空気の流量が決定される。
【００２５】
気体導管１０の気体導出孔１０Ａからペンケース７内に導入された圧縮空気は、段差部７Ａと栓体１８との間の隙間を通って、環状隙間１１に至り、シリンダー１５のポート１５Ａから該シリンダー１５内に入り、ピストン１６の受圧部１６Ｂを基端方向（図７において右方向）に押す。
【００２６】
従って、ピストン１６は基端方向に移動され、図７において２点鎖線で示される位置まで移動する。このとき、ポート１５Ａの位置に、前記ピストン１６の連通孔１６Ｃが位置され、該連通孔１６Ｃ及び軸方向連通孔１６Ｄを通ってピストン１６の基端側の圧力室１７内に圧縮空気が導かれる。
【００２７】
このため、ピストン１６は基端側端面１６Ａから圧力を受けて先端突出方向（図７において左方向）に押される。
【００２８】
ピストン１６の先端面１６Ｅが前記ピストンガイド１４の先端面よりも突出したとき、ピストン１６はロッドペン２の基端のフランジ２Ｂを衝撃的に押圧し、ロッドペン２をリターンばね９に抗して先端方向に突出させる。
【００２９】
ロッドペン２が突出される際に、ピストン１６の連通孔１６Ｃが、前記ポート１５Ａの位置を通り過ぎ、これによって圧力室１７に導入される圧縮空気が遮断され、更に、ピストン１６が先端方向に移動して連通孔１６Ｃが第２環状隙間１２Ａの位置に至ると、圧力室１７内の圧縮空気が軸方向連通孔１６Ｄ及び連通孔１６Ｃを経て、前記第２環状隙間１２Ａに流出する。
【００３０】
このため、ピストン１６を先端方向に押し出す圧力が低下し、ピストン１６は前記受圧部１６Ｂに係る圧力及びリターンばね９の復元によって基端方向に急速に押され、ロッドペン２が１６の位置に戻される。
【００３１】
前記第２環状隙間１２Ａ内に流入した圧縮空気は、フランジ２Ｂの逃げ孔２Ｃを通って、更にばね室９Ａを経て、排気孔１９から外部に放出される。
【００３２】
このような工程を経て繰返して、ロッドペン２を軸線方向に往復動させることによって先端部２Ａにより前記積層体フィルム４を叩くようにされている。
【００３３】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記従来のフィルム剥離用振動ペン装置１では、特に使用開始時に下記の理由によりロッドペン２が異常に大きく突出されて、これにより積層体フィル４が破損したりするという問題点があった。
【００３４】
前記リターンばね９はかなり強力であり、且つフランジ２Ｂを介して前記振動素子組立体１３におけるピストンガイド１４、シリンダー１５及び栓体１８を基端方向に常に強く押しているので、非使用状態では栓体１８が前記ペンケース内周の段差部７Ａに押圧された状態となっている。このとき、ロッドペン２の基端のフランジ２Ｂは、第２ガイドスリーブ１２の基端から前記栓体１８と段差７Ａとの隙間分だけ突出している。
【００３５】
フィルム剥離用振動ペン装置１の使用開始時に、気体導管１０から圧縮空気を導入すると、その圧力によって、振動素子組立体１３全体が先端方向に前記栓体１８と段差部７Ａ間の隙間分だけ急速に移動される。
【００３６】
このため、第２ガイドスリーブ１２の基端から突出しているフランジ２Ｂがピストンガイド１４によって前記突出分だけ衝撃的に押され、この結果、ペンロッド２は先端方向に大きく突出されてしまう。
【００３７】
この突出量は、前記栓体１８と段差部７Ａとの隙間に等しく、製造誤差あるいは組立誤差によってばらつきがあるが、通常は０．５ｍｍ程度である。
【００３８】
ところが、積層体フィルム４を剥離するために必要なペンロッド２の振幅は１００〜２００μｍであれば十分であり、過大なペンロッドの突出によって積層体フィルムが破損されてしまうという問題点を生じる。
【００３９】
これに対して、前記ガイドスリーブ８の、ペンケース７先端側へのねじ込み量を予め大きくしておいて、栓体１８が段差部７Ａに当接するまでガイドスリーブ８をねじ込めば良いとも考えられるが、このようにすると、ガイドスリーブ８を完全にペンケース７にねじ込めない場合がある。この場合、振動によってガイドスリーブ８のペンケース７へのねじ込みが緩んでしまい、ガイドスリーブ８あるいはペンロッド２の破損をもたらすという新たな問題点を生ずる。
【００４０】
又、通常、上記のようなフィルム剥離用振動ペン装置によって積層体フィルムを剥離させる場合、ペンロッドにより積層体フィルムを叩いて僅かに浮き上がったところに圧縮空気を吹き付けて大きくめくり上がせるのが望ましいが、別途のエアノズル等を設けなければならないという問題点がある。
【００４１】
更に、図６に示されるように、フィルム剥離用振動ペン装置１は、基板３に対して斜めに使うので、積層体フィルム４を剥離させる際の反力は、当然、ガイドスリーブ８に対して斜め方向に作用する。
【００４２】
従って、例えば図７の状態のままフィルム剥離用振動ペン装置１を斜めに使用した場合、図７において二点鎖線８Ｂで示される部分が破断されてしまうことがあるという問題点を生じる。
【００４３】
この発明は上記従来の問題点を考慮してなされたものであって、使用開始時におけるペンロッドの異常な突出を防止して、積層体フィルム等の破損を防止したフィルム剥離用振動ペン装置を提供することを目的とする。
【００４４】
又、別途のエアノズル等を設けることなく、装置に導入された圧縮空気によってフィルムを剥離させることができるようにしたフィルム剥離用振動ペン装置を提供することを目的とする。
【００４５】
更に又、ロッドペンを積層体フィルム及び基板に対して斜めに使用した場合でも、該ロッドペンを支持するガイドスリーブが破壊され難いようにしたフィルム剥離用振動ペン装置を提供することを目的とする。
【００４６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、請求項１のように、筒状のペンケースと、このペンケースの先端側に取り付けられ、中心軸線上にガイド孔を備えたガイドスリーブと、先細りテーパ状の先端部を備え、この先端部を突出した状態で、前記ガイドスリーブのガイド孔に軸方向摺動自在に支持されたロッドペンと、このロッドペンの基端側を、前記先端部がガイドスリーブに引き込む方向に付勢するリターンばねと、前記ペンケースの、前記ガイドスリーブと反対側の基端に取り付けられ、ペンケース内に圧縮気体を導入するための気体導管と、前記ペンケース内で、前記気体導管とロッドペンの基端との間に配置され、前記気体導管を介して導入される圧縮気体により、ペンケース軸方向に振動され、この振動を前記ロッドペンの基端に伝達して、これを軸線方向に振動させる振動素子組立体と、この振動素子組立体の基端近傍位置で、前記ペンケース内周に、振動素子組立体の基端方向への移動を阻止するように形成された段差部と、を有してなり、前記気体導管からの圧縮気体が前記振動素子組立体の基端と前記段差部との間の隙間を通って導入されるフィルム剥離振動ペン装置において、前記気体導管を、その先端が前記振動素子組立体の基端と接触して、これを前記隙間が最大となるように先端方向に押し込む長さとすると共に、気体導管を前記押し込み位置に固定する気体導管ロック手段と、前記振動素子組立体の基端と接触状態で、前記気体導管からペンケース内に圧縮気体を導入する連通手段と、を設けることにより、上記目的を達成するものである。
【００４７】
又、請求項２のように、前記ガイドスリーブは、これに支持される前記ロッドペンの引き込み状態での先端から基端側に引き込んだ位置に、中心軸線と略直交する先端面と、前記ガイド孔を略平行に形成され、ガイドスリーブの基端側端面と前記先端面とを連通する連通孔と、前記先端面及びこの先端面から前記ロッドペンの先端近傍に至る空間を覆うと共に、ロッドペン先端の周囲に前記連通孔から前記空間を通る圧縮気体を排出する環状の排出口を形成するテーパ状カバー部と、を有するようにしてもよい。
【００４８】
更に、請求項３のように、前記ガイドスリーブは、これに支持される前記ロッドペンの引き込み状態での先端部のテーパ面に略連続するテーパ先端面を備え、且つ、このテーパ先端面と基端側端面との間が中実の一体構造としてもよい。
【００４９】
この発明においては、振動素子組立体が気体導管によって、ロッドペンを定位置に押圧しているので、使用時に圧縮気体が導入されたときの振動素子組立体の先端方向の移動がなく、従ってこの移動によってロッドペンが異常に大きく突出されて、フィルムを破損することがない。
【００５０】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【００５１】
図１に示されるように、本発明の実施の形態の第１例に係るフィルム剥離用振動ペン装置２０は、筒状のペンケース２２と、このペンケース２２の先端側に取り付けられ、中心軸線上にガイド孔２７を備えたガイドスリーブ２６と、このガイドスリーブ２６のガイド孔２７に軸方向摺動自在に支持され、先細りテーパ状の先端部２５を備えたロッドペン２４と、このロッドペン２４の基端側のフランジ２４Ａを、前記先端部２５がガイドスリーブ２６に引き込む方向に付勢するリターンばね２８と、前記ペンケース２２の、前記ガイドスリーブ２６と反対側の基端に取り付けられ、ペンケース２２内に圧縮気体を導入するための気体導管３０と、前記ペンケース２２内で、前記気体導管３０とロッドペン２４のフランジ２４Ａとの間に配置され、前記気体導管３０を介して導入される圧縮気体により、ペンケース２２軸方向に振動され、この振動を前記ロッドペン２４のフランジ２４Ａに伝達して、これを軸線方向に振動させる振動素子組立体３２と、この振動素子組立体３２の基端近傍位置で、前記ペンケース２２内周に、振動素子組立体３２の基端方向への移動を阻止するように形成された段差部３４と、を有してなり、前記気体導管３０からの圧縮気体が前記振動素子組立体３２の基端と前記段差部３４との間の隙間を通って導入されるよう構成されている。
【００５２】
前記気体導管３０は、その先端が、前記振動素子組立体３２の基端と接触してこれを前記隙間が最大となるように先端方向に押し込む長さとされる共に、この気体導管３０を前記押し込み位置に固定する気体導管ロック手段としてのロックナット３０Ｂと、前記振動素子組立体３２の基端と接触状態で、前記気体導管３０の中心軸線上の気体導出孔３１からペンケース２２内に圧縮気体を導入する連通溝３６（図２（Ａ）参照）とを備えている。
【００５３】
前記振動素子組立体３２の構成及び作用は、図７に示される従来のフィルム剥離用振動ペン装置と同一の構成であり、ピストンガイド３２Ａ、シリンダー３２Ｂ、ポート３２Ｃ、圧力室３２Ｄ、栓体３２Ｅ、環状隙間３２Ｆ、及びピストン３３を備えている。又、ピストン３３は、基端側端面３３Ａ、受圧部３３Ｂ、連通孔３３Ｃ、軸方向連通孔３３Ｄ、先端面３３Ｅを備えている。又、気体導管３０の基端にはめねじ３０Ｃが形成されている。
【００５４】
前記振動素子組立体３２の作用は前記図７に示される従来の組立体１１と同様であるので、説明は省略する。
【００５５】
又、従来と同様に、第２ガイドスリーブ３８が設けられ、前記ガイドスリーブ２６には連通孔３７及びＯリング３７Ａが、フランジ２４Ａには逃し孔２４Ｂがそれぞれ設けられている。図１の符号２８Ａはリターンばね２８が収容されるばね室、２６Ａはガイドスリーブ２６に設けられ、これをペンケース２２の先端から螺合するためのおねじ、２６Ｂはガイドスリーブ２６をねじ込む際に、工具が係合される面取り部をそれぞれ示す。
【００５６】
図１に示されるフィルム剥離用振動ペン装置２０の組立に際しては、ペンケース２２の先端開口から前記振動素子組立体３２、第２ガイドスリーブ３８、ロッドペン２４、リターンばね２８をこの順で挿入し、更にガイドスリーブ２６をおねじ２６Ａにおいてペンケース２２に螺合し締め付け固定する。
【００５７】
このとき、振動素子組立体３２は、前記リターンばね２８のばね力によって、フランジ２４Ａを介して基端方向に押圧され、栓体３２Ｅが前記段差部３４に当接した状態となっている。
【００５８】
次に、前記気体導管３０を、そのおねじ部３０Ａによりペンケース２２のめねじに螺合させる。
【００５９】
気体導管３０は、その長さが、前記振動素子組立体３２を、前記栓体３２Ｅと段差部３４との隙間が最大となるべく押し込むことができるようにされているので、押し込み状態で、振動素子組立体３２は、そのピストンガイド３２Ａの先端が、前記第２ガイドスリーブ３８及びフランジ２４Ａの基端側と当接する位置にセットされ、フランジ２４Ａがガイドスリーブ３８の基端から突出することがない。
【００６０】
この状態で、前記ロックナット３０Ｂをおねじ部３０Ａに沿って螺進させ、気体導管３０をペンケース２２に強固に固定する。
【００６１】
このため、振動素子組立体３２は、そのピストンガイド３２Ａ及びシリンダ３２Ｂが軸方向に移動不能な状態でペンケース２２内に固定されることになる。
【００６２】
このフィルム剥離用振動ペン装置２０においては、気体導管３０に導入された圧縮空気等の圧縮気体は、気体導出孔３１及び連通溝３６を通ってペンケース２２内に流出し、更に前記栓体３２Ｅと段差部３４との間の隙間を通って、従来におけると同様に、ポート３２Ｃからシリンダー３２Ｂ内に入り込んで、ピストン３３を往復動させる。
【００６３】
このとき、前述のように、前記振動素子組立体３２は、ピストン３３を除き軸線方向に移動不能な状態で、気体導管３０によって押し付け固定されているので、装置の使用開始時に導入される圧縮気体によって振動素子組立体３２全体が先端方向に移動されることはない。
【００６４】
従って、ロッドペン２４が異常に大きく突出されて、積層体フィルム等を損傷することがない。
【００６５】
このような状態での前記ピストン３３の往復動によるロッドペン２４の振動幅はその軸線方向に１００〜２００μｍであり、安定したものとなる。
【００６６】
次に、図３に示される本発明の実施の形態の第２例について説明する。
【００６７】
この第２例に係るフィルム剥離用振動ペン装置４０は、そのガイドスリーブ４２の構成において、前記図１に示されるフィルム剥離用振動ペン装置２０と相違し、他の構成は同一であり、同一部分は図１におけると同一の符号を付して説明を省略する。
【００６８】
前記ガイドスリーブ４２は、これに支持される前記ロッドペン２４の引き込み状態での先端から基端側に引き込んだ位置に、中心軸線と略直交する先端面４４と、ガイド孔４３と略平行に形成され、ガイドスリーブ４２の基端側端面４５と前記先端面４４とを連通する連通孔４６と、前記先端面４４及びこの先端面４４から前記ロッドペン２４の先端近傍に至る空間４７を覆うと共に、ロッドペン２４先端の周囲に前記連通孔４６から前記空間４７を通る圧縮気体を排出する環状の排出口４８を形成するテーパ状カバー部５０とを備えている。
【００６９】
前記テーパ状カバー部５０及び前記ガイドスリーブ４２は、硬質材料、例えば焼入鋼等によって形成されている。
【００７０】
このフィルム剥離用振動ペン装置４０においては、連通孔４６から供給される空気が空間４７及びロッドペン２４周囲の環状の排出口４８から、該ロッドペン２４の外周に沿って軸方向に先端部２５に向けて噴出されるので、該先端部２５によって基板から浮き上がった積層体フィルムに確実に吹き付けられ、これによって積層体フィルムが容易に剥離される。
【００７１】
又、テーパ状カバー部５０及びガイドスリーブ４２は、焼入鋼等の硬質金属材料により構成されているので、ロッドペン２４を傾斜して使用した場合にも、その反力によって破損したりすることが少ない。
【００７２】
次に、図３に示される本発明の実施の形態の第３例に係るフィルム剥離用振動ペン装置６０について説明する。
【００７３】
このフィルム剥離用振動ペン装置６０は、上記実施形態の第１例及び第２例のフィルム剥離用振動ペン装置２０、４０に対して、ガイドスリーブの構成のみが相違している。
【００７４】
この実施の形態の第３例に係るフィルム剥離用振動ペン装置６０のガイドスリーブ６２は、これに支持される前記ロッドペン２４の引き込み状態での先端部２５のテーパ面２５Ａに略連続するテーパ先端面６３を備え、且つ、このテーパ先端面６３と反対側の基端側端面６４との間が中実の一体構造としたものである。
【００７５】
ここで、前記ガイド孔２７の内径とロッドペン２４の外径との間には僅かな隙間が形成され、この隙間から、前記圧力室３２Ｄからの圧縮気体がばね室２８Ａを通って吹き出されるようになっている。具体的には、ロッドペン２４の径が３ｍｍとしたときガイド孔２７の内径は３．０５ｍｍとする。
【００７６】
前記吹き出した圧縮気体はロッドペン２４の外周に沿って軸線方向に強く流れ、且つ先端部２５に到達するので、該先端部２５によって基板等から剥離されたフィルムの、僅かに剥離を開始した部分に吹き付けられ、これによってフィルムの剥離範囲が拡げられるという効果がある。
【００７７】
なお、図５に示されるように、前記ガイド孔２７に、その円周方向適宜間隔に軸線方向の気体噴出溝２７Ａを形成すると、圧縮気体の流れが集中され、より効率的にフィルムを剥離させることができる。又このとき、気体噴出溝２７Ａを、斜めに使用されるフィルム剥離用振動ペン装置２０における、フィルム側に設けることによって、更に圧縮気体流を集中させることができる。
【００７８】
又、この実施の形態の例に係るフィルム剥離用振動ペン装置６０においては、ロッドペン２４を案内するガイドスリーブ６２に、その先端側と基端側を連通する逃し孔等が形成されていないので、剛性が高く、ロッドペン２４を斜めに使用してもガイドスリーブ６２がその反力によって破損されたりすることが極めて少ない。
【００７９】
なお、上記実施の形態の各例において、気体導管３０は、おねじ部３０Ａ及びロックナット３０Ｂによって、ペンケース２２に変位不能に固定されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、他のロック手段によって気体導管３０を固定するようにしてもよい。
【００８０】
又、前記気体導管３０の連通溝３６は、図２（Ｂ）、（Ｃ）に示されるように、気体導管３０の端面でなく、軸方向途中位置で気体導出孔３１と外部とを連通させる連通孔３６Ａとしてもよい。
【００８１】
又、前記各実施の形態の例では、圧縮空気によりロッドペンを作動させているが、これは他の圧縮気体、例えば窒素ガス等を用いてもよい。
【００８２】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、ロッドペンの異常な突出を抑制し、積層体フィルムを損傷したりすることなく剥離することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の第１例に係るフィルム剥離用振動ペン装置を示す断面図
【図２】同フィルム剥離用振動ペン装置における気体導管の連通溝近傍を示す斜視図
【図３】同実施の形態の第２例に係るフィルム剥離用振動ペン装置を示す断面図
【図４】同実施の形態の第３例に係るフィルム剥離用振動ペン装置を示す断面図
【図５】同フィルム剥離用振動ペン装置におけるガイドスリーブの変形例を示す断面図
【図６】従来のフィルム剥離用振動ペン装置によりフィルムを剥離する過程を示す側面図
【図７】同従来のフィルム剥離用振動ペン装置を示す断面図
【符号の説明】
２０、４０、６０…フィルム剥離用振動ペン装置
２２…ペンケース
２４…ロッドペン
２４Ａ…フランジ
２５…先端部
２５Ａ…テーパ面
２６、４２、６２…ガイドスリーブ
２７、４３…ガイド孔
２８…リターンばね
３０…気体導管
３０Ａ…おねじ部
３０Ｂ…ロックナット
３１…気体導出孔
３２…組立体
３４…段差部
３６…連通溝
４４…先端面
４５、６４…基端側端面
４６…連通孔
４７…空間
４８…排出口
５０…テーパ状カバー部
６３…テーパ先端面
【図１】
0003833357.tif 000002
【図２】
0003833357.tif 000003
【図３】
0003833357.tif 000004
【図４】
0003833357.tif 000005
【図５】
0003833357.tif 000006
【図６】
0003833357.tif 000007
【図７】
0003833357.tif 000008