(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線照射窓に移動自在に取り付けられた平板状のビームマスクを備え、前記ビームマスクの移動により前記電子線照射窓から出射する電子線の照射幅を調節可能にされてなる電子線照射装置において、前記ビームマスクは内部に冷却水通路を有するとともに複数に分割され、各分割部で折れ曲がり可能にされてなることを特徴とする電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ビームマスクを設けた電子線照射装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子線を照射して被照射物を処理する場合、被照射物によっては電子線照射装置の照射幅より狭い一部に電子線の照射を行う場合がある。この場合、電子線照装置の電子線照射窓にビームマスクを取付け、このビームマスクを移動調節して電子線照射窓から出射される電子線の照射幅が調節される。図３はこのようなビームマスクを設けた電子線照射装置を用いた電子線照射処理装置の構成を示す図で、１は電子線照射装置、５は被照射物６を電子線照射位置に搬送するベルト等の搬送手段、７は電子線処理部を囲むように形成されたＸ線シールド板である。
【０００３】
電子線照射装置は周知のように、内部に電子源を備え電子源で発生された電子を加速、場合によっては走査し、電子線照射窓２から出射される。電子線照射窓２には窓箔が設けられていて、電子線照射装置の内部を真空状態に維持するようにされている。窓箔はその周囲縁部が窓箔押え板３により気密に取付けられている。そして、電子線照射窓２から出射される電子線の照射幅を調節するために窓箔押え板３にレールを形成し、このレールに移動自在にビームマスク４が支持されている。
【０００４】
ビームマスク４は、図４に示すように、中空とされその中空内部に複数の仕切り壁（図では３枚）４ｃがジグザグ状に形成され、ビームマスク４の側壁と仕切り壁４ｃおよび仕切り壁４ｃ間の空隙部に、仕切り壁４ｃに沿ってジグザグ状に冷却水が通流するようにし、電子線の照射による温度上昇を抑制するようにされている。ビームマスク４の側壁端部には内部の空隙部に連通する孔４ａ、４ｂが形成されていて、この孔４ａ、４ｂにフレキシブルチューブを接続し、孔４ａから冷却水を供給し、ビームマスク４の内部を通流した冷却水を孔４ｂから排出するようにされている。そしてこのビームマスク４が電子線照射窓２の長手方向の両側に配置されている。
【０００５】
このように構成された電子線照射装置１は、被照射物６の電子線照射範囲に応じてビームマスク４を移動して電子線照射窓２から出射する幅を調節し、被照射物６に所望の電子線照射が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、電子線照射装置１の定格の照射幅で被照射物６を照射する場合、ビームマスク４を収納するスペースが必要である。このスペースを確保するために電子線照射装置１とＸ線シールド板７の間隔Ｌ１を大きく設定されていて、Ｘ線シールド板７が必要以上に大きなものとなり、この種の電子線照射処理装置は極めて大型となっている。
【０００７】
本発明は、上記の実情に鑑みなされたもので、ビームマスクを設けた電子線照射処理装置の小型化が図れる電子線照射装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、電子線照射窓に移動自在に取り付けられた平板状のビームマスクを備え、前記ビームマスクの移動により前記電子線照射窓から出射する電子線の照射幅を調節可能にされてなる電子線照射装置において、前記ビームマスクは内部に冷却水通路を有するとともに複数に分割され、各分割部で折れ曲がり可能にされてなることを特徴とする電子線照射装置とすることによって達成される。
【０００９】
本発明の特徴によれば、電子線照射窓から出射する電子線の照射幅を調節するビームマスクは複数に分割さて折れ曲がり可能にされているので、電子線照射窓から外れるビームマスクを折り曲げて収納できる。したがって、電子線照射装置とＸ線シールド板の間隔を狭くすることができ、Ｘ線シールド板を小型化ができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明に係るビームマスクを設けた電子線照射装置を用いた電子線照射処理装置の構成図、図２は図１のビームマスクの構成を示す斜視図である。なお図３と同一の部分には同一の符号を付している。
【００１１】
図１において、８は電子線照射窓２から出射される電子線の照射幅を調節するために窓箔押え板３に形成された図示しないレールに移動自在に支持された平板状のビームマスクである。ビームマスク８は、小ブロック８ｅ、８ｆ、８ｇに分割（図示では両側のビームマスクのそれぞれは３枚に分割されている。）され、分割部に蝶番１０を取付けて各ブロック８ｅ、８ｆ、８ｇ毎に折り曲げ可能にして連結されている。
【００１２】
そして、ビームマスク８の各ブロック８ｅ、８ｆ、８ｇは、図２に示すように、中空とされその中空内部に仕切り壁８ｃが形成され、側壁と仕切り壁８ｃおよび仕切り壁８ｃ間の空隙部に、仕切り壁８ｃに沿って冷却水が通流するようにされている。ビームマスク８の各ブロック８ｅ、８ｆ、８ｇの側壁端部には内部の空隙部に連通する冷却水供給孔８ａおよび冷却水排出孔８ｂが形成されていて、各ブロックの分割部をまたいで冷却水供給孔８ａと冷却水排出孔８ｂとをフレキシブルチューブ９で接続されている。
【００１３】
ビームマスク８の最後端のブロック８ｅの冷却水供給孔８ａから冷却水が供給されると、その冷却水はブロック８ｅ内の仕切り壁８ｃに沿って流れ、冷却水排出孔８ｂから排出され、その冷却水はフレキシブルチューブ９を流れて次のブロック８ｆ内を流れ、以下順次ブロック８ｇ、ブロック８ｇ内で折り返してブロック８ｆ内、ブロック８ｅ内を流れてブロック８ｅの端部の冷却水排出孔８ｂから排出される。すなわち、各ブロック８ｅ、８ｆ、８ｇに供給される冷却水は、最後端に位置するブロック８ｅの一方の側面の後端側に位置する冷却水供給孔８ａから供給され、同位置に対向する他方の側面の冷却水排出孔８ｂから排出される。これによりビームマスク８に冷却水を供給するフレキシブルチューブがビームマスク８の移動を妨げないように、かつ該フレキシブルチューブの電子線の照射を受けないようにされている。
【００１４】
ビームマスク８の各ブロック８ｅ、８ｆ、８ｇの連結部は、各ブロック８ｅ、８ｆ、８ｇ間の隙間から電子線が漏れないようにするため、直線状に配列したとき合わせられるように凹凸（インロー構造）に形成されている。図示では連結する端部に段部を形成し、段部同士が重なるように形成されている。なお、例えば一方のブロックの端面に凹溝を形成し、他方のブロックの端面に該凹溝に嵌合する凸部を形成するようにしても良い。
【００１５】
以上のように構成された電子線照射装置１は、被照射物６の電子線照射範囲に応じて各ブロック８ｅ、８ｆ、８ｇを適宜直線状に配列して移動して電子線照射窓２から出射する幅を調節し、被照射物６に所望の電子線照射が行われ、電子線照射窓２から外れるブロック（未使用のブック）は蝶番１０により折り曲げて収納される。これにより電子線照射装置１とＸ線シールド板７との間隔Ｌ２を狭くすることができる。
【００１６】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、電子線照射装置のビームマスクが小ブロックに分割され、各分割部で折れ曲げ可能にされている。したがって、ビームマスク収納のためのスペースが小さくなり、Ｘ線シールドや装置全体を小型化することができる。またビームマスクは、同じように構成された小ブロックを連結するので、定格照射幅の違いやビームマスクの使用する幅が変化しても、それに対応して増減でき、これらの違い毎にビームマスクを製作する必要がなく、ビームマスクの製作コストの低減が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るビームマスクを設けた電子線照射装置を用いた電子線照射処理装置の構成図である。
【図２】図１のビームマスクの構成を示す斜視図である。。
【図３】従来のビームマスクを設けた電子線照射装置を用いた電子線照射処理装置の構成図である。
【図４】図３のビームマスクの構成を示す斜視図である。。
【符号の説明】
１    電子線照射装置
２    電子線出射窓
３    窓箔押え板
６    被照射物
７    Ｘ線シールド板
８    ビームマスク
８ａ  冷却水供給孔
８ｂ  冷却水排出孔
８ｃ  仕切り壁
８ｅ、８ｆ、８ｇ  ビームマスクのブロック
９    フレキシブルチューブ
１０  蝶番
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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