(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子の一端が固着結合され、電気機械変換素子を固定保持する固定部材と、
前記電気機械変換素子の他端に固着結合され、電気機械変換素子とともに変位する駆動部材と、
前記駆動部材に摩擦結合した被駆動部材と、
前記駆動部材の一端を前記電気機械変換素子の伸縮変位方向に可動に支持する支持部材とを備え、
前記電気機械変換素子に駆動パルスを印加して伸縮変位を発生させることにより駆動部材に速度の異なる往復振動を発生させ、該駆動部材に摩擦結合した被駆動部材を所定方向に移動させる電気機械変換素子を使用したアクチエ−タにおいて、
前記駆動部材の一端を前記支持部材に粘弾性を有する接着剤で接着したこと
を特徴とする電気機械変換素子を使用したアクチエ−タ。
【請求項２】
電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子の伸縮方向端部に固定結合された第１の部材及び第３の部材と、
前記第１の部材に摩擦結合した第２の部材とを備え、
前記電気機械変換素子に駆動パルスを印加して伸縮変位を発生させることにより第３の部材に対して第１の部材に速度の異なる往復振動を発生させ、前記第１の部材とこれに摩擦結合した第２の部材との間に相対変位を発生させ、第１の部材或いは第２の部材のいずれかを所定方向に移動させる電気機械変換素子を使用したアクチエ−タにおいて、
前記第１の部材の一端を該第１の部材を支持する支持部材に粘弾性を有する接着剤で接着したこと
を特徴とする電気機械変換素子を使用したアクチエ−タ。
【請求項３】
前記粘弾性を有する接着剤は、シリコンを主成分とする接着剤であることを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の電気機械変換素子を使用したアクチエ−タ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電気機械変換素子を使用したアクチエ−タに関し、例えば、ＸＹ駆動テ−ブル、カメラの撮影レンズ、オ−バ−ヘツドプロジエクタ−の投影レンズ、双眼鏡のレンズなどの駆動部等の精密機械装置一般の駆動に適した電気機械変換素子を使用したアクチエ−タに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＸＹ駆動テ−ブルや、カメラの撮影レンズの駆動などには、従来電気モ−タを使用したアクチエ−タが使用されてきたが、装置が大型になり、また磁界の発生やノイズの発生などの不都合が指摘されていた。そこで、このような種々の課題を解決する手段として、本出願人は、電気機械変換素子を使用したアクチエ−タ、即ち電気機械変換素子に固着結合された駆動部材に移動部材を摩擦結合させ、電気機械変換素子に鋸歯状波形の駆動パルスを印加して速度の異なる伸縮方向の変位を発生させ、駆動部材に摩擦結合された移動部材を所定の方向に移動させるアクチエ−タを提案してきた。
【０００３】
図９及び図１０は、上記電気機械変換素子を使用したアクチエ−タの一例で、図９はアクチエ−タを分解した状態を示す斜視図、図１０は組み立てた状態を示す斜視図である。
【０００４】
図９及び図１０において、アクチエ−タ１００は、保持部材１０１、電気機械変換素子の１つである圧電素子１１０、駆動軸１１１、スライダ１１２、その他の部材から構成される。
【０００５】
保持部材１０１は、全体が略円柱状に形成され、直径方向（図９で上下方向）に貫通する第１の穴１０２と第２の穴１０３が形成され、穴１０２と穴１０３との間の壁部１０４には駆動軸１１１を支承する軸受１０４ａが形成されている。また、保持部材１０１の端面であつて穴１０３の壁部１０５を構成する部分には、駆動軸１１１を支承する軸受１０５ａが形成されている。なお、保持部材の部分１０６は、このアクチエ−タを装置へ取り付けるための取付部である。
【０００６】
第１の穴１０２には圧電素子１１０が配置され、圧電素子１１０の一方の端は保持部材１０１の取付部１０６側の壁面に接着により固定され、圧電素子１１０の他方の端には駆動軸１１１が接着により固定される。駆動軸１１１は壁部１０４の軸受１０４ａと壁部１０５の軸受１０５ａとにより支持されるので、圧電素子１１０に厚み方向の伸縮変位が発生すると、圧電素子１１０に接着固定された駆動軸１１１は軸方向に往復移動することができる。
【０００７】
１１２はスライダで、保持部材１０１の穴１０３の中に配置され、穴１０３を構成する長手方向の内側壁面を回転止め兼ガイドとして、穴１０３の内部を円柱軸方向に移動可能に構成されている。なお、スライダ１１２の下側には、このアクチエ−タ１００により駆動される部材、例えば、レンズ装置であれば可動のレンズ鏡筒などを取り付ける取付部１１２ｃが設けられている。
【０００８】
スライダ１１２は、その本体部分に形成された穴１１２ａに駆動軸１１１が貫通し、駆動軸１１１が貫通している上部には開口部１１２ｂが形成され、駆動軸１１１の上半分が露出している。また、この開口部１１２ｂには駆動軸１１１の上半分に当接するパツド１１３が嵌挿され、パツド１１３には、その上部に突起１１３ａ、下面には駆動軸１１１の上半分に当接する溝１１３ｂが設けられている。パツド１１３の突起１１３ａが板ばね１１４により押し下げられることにより、パツド１１３の溝１１３ｂが駆動軸１１１に当接し、下向きの付勢力Ｆが与えられる。なお、１１５は板ばね１１４をスライダ１１２に固定するためのねじである。
【０００９】
この構成により、駆動軸１１１とパツド１１３及びスライダ１１２は適当な摩擦結合力で摩擦結合する。摩擦結合力を決定する付勢力Ｆの調整は、ねじ１１５の締め付け加減により調整することができる。
【００１０】
駆動軸１１１は、前記したとおり、壁部１０４の軸受１０４ａと壁部１０５の軸受１０５ａにより支持されており、圧電素子１１０の側と反対側の端部１１１ａは、軸受１０５ａの穴から僅かに突出している。
【００１１】
壁部１０４の外側には板ばね１１７がねじ１１８により固定されており、駆動軸１１１の端部１１１ａを軸方向に押圧している。押圧力はねじ１１８の締め加減で調整することができる。
【００１２】
次に、その動作を説明する。まず、圧電素子１１０に図１１の（ａ）に示すような緩やかな立上り部分と急速な立下り部分を持つ鋸歯状波駆動パルスを印加すると、駆動パルスの緩やかな立上り部分では、圧電素子１１０が緩やかに厚み方向に伸び変位し、圧電素子１１０に結合する駆動軸１１１も正方向（矢印ａ方向）に緩やかに変位する。このとき、駆動軸１１１に摩擦結合したスライダ１１２は摩擦結合力により駆動軸１１１と共に正方向に移動する。
【００１３】
駆動パルスの急速な立下り部分では、圧電素子１１０が急速に厚み方向に縮み変位し、圧電素子１１０に結合する駆動軸１１１も負方向（矢印ａと反対方向）に急速に変位する。このとき、駆動軸１１１に摩擦結合したスライダ１１２は慣性力により摩擦結合力に打ち勝つて実質的にその位置に留まり移動しない。圧電素子１１０に前記駆動パルスを連続的に印加することにより、駆動軸１１１に速度の異なる往復振動を発生させ、駆動軸１１１に摩擦結合したスライダ１１２を連続的に正方向に移動させることができる。
【００１４】
なお、ここでいう実質的とは、正方向とこれと反対方向のいずれにおいてもスライダ１１２と駆動軸１１１との間の摩擦結合面に滑りを生じつつ追動し、駆動時間の差によつて全体として矢印ａ方向に移動するものも含まれる。
【００１５】
スライダ１１２を先と反対方向（矢印ａと反対方向）に移動させるには、圧電素子１１０に印加する鋸歯状波駆動パルスの波形を変え、図１１の（ｂ）に示すような急速な立上り部分と緩やかな立下り部分からなる駆動パルスを印加すれば達成することができる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように、従来の電気機械変換素子を使用したアクチエ−タでは、圧電素子と保持部材及び電気機械変換素子と駆動軸とは接着により固定結合されている。このため、駆動の際に電気機械変換素子から伝達される振動により固定結合部の接着力が次第に低下し、固定結合部が剥がれる等の不都合が発生する可能性があつた。この対策として、従来のアクチエ−タでは、駆動軸の端部に板ばね（上記した従来例では板ばね１１７）を配置して駆動軸を電気機械変換素子の方向に付勢し、接着固定部が剥がれを防止していた。
【００１７】
しかしながら、上記した板ばねにより駆動軸を電気機械変換素子に向けて付勢する構成は、接着固定部の剥がれを防止するには効果があるにしても、電気機械変換素子に発生する速度の異なる伸縮変位を駆動軸に効率よく伝達することができないという不都合があることが判明した。
【００１８】
この発明は、上記課題を解決した電気機械変換素子を使用した駆動効率のよいアクチエ−タを提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
この発明は上記課題を解決するもので、請求項１の発明は、電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の一端が固着結合され、電気機械変換素子を固定保持する固定部材と、前記電気機械変換素子の他端に固着結合され、電気機械変換素子とともに変位する駆動部材と、前記駆動部材に摩擦結合した被駆動部材と、前記駆動部材の一端を前記電気機械変換素子の伸縮変位方向に可動に支持する支持部材とを備え、前記電気機械変換素子に駆動パルスを印加して伸縮変位を発生させることにより駆動部材に速度の異なる往復振動を発生させ、該駆動部材に摩擦結合した被駆動部材を所定方向に移動させる電気機械変換素子を使用したアクチエ−タにおいて、前記駆動部材の一端を前記支持部材に粘弾性を有する接着剤で接着したことを特徴とする。
【００２０】
請求項２の発明は、電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の伸縮方向端部に固定結合された第１の部材及び第３の部材と、前記第１の部材に摩擦結合した第２の部材とを備え、前記電気機械変換素子に駆動パルスを印加して伸縮変位を発生させることにより第３の部材に対して第１の部材に速度の異なる往復振動を発生させ、前記第１の部材とこれに摩擦結合した第２の部材との間に相対変位を発生させ、第１の部材或いは第２の部材のいずれかを所定方向に移動させる電気機械変換素子を使用したアクチエ−タにおいて、前記第１の部材の一端を該第１の部材を支持する支持部材に粘弾性を有する接着剤で接着したことを特徴とする。
【００２１】
そして、前記粘弾性を有する接着剤は、シリコンを主成分とする接着剤を使用することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について説明する。まず、第１の実施の形態について説明する。その基本的な構成は、先に図９及び図１０で説明した従来のアクチエ−タと同様であるが、駆動軸の端部の保持部分の構成が相違している。
【００２３】
図１は第１の実施の形態のアクチエ−タの構成を示す斜視図、図２はその要部の構成を示す断面図である。図１及び図２において、１０はアクチエ−タを示す。固定部材を構成する保持部材１１は、全体が略円柱状に形成され、直径方向（図１で上下方向）に貫通する第１の穴１２と第２の穴１３が形成され、穴１２と穴１３との間の壁部１４には、駆動部材を構成する駆動軸２１を支承する軸受１４ａが形成されている。また、保持部材１１の端面であつて穴１３の壁部１５を構成する部分には、駆動部材（駆動軸）を支持する支持部材である軸受１５ａが形成されている。なお、保持部材の部分１６はこのアクチエ−タを装置へ取り付けるための取付部である。
【００２４】
第１の穴１２には電気機械変換素子の１つである圧電素子２２が配置され、圧電素子２２の一方の端は保持部材１１の取付部１６側の壁面に接着により固定され、圧電素子２２の他方の端には駆動軸２１が接着により固定される。
【００２５】
図２に示すように、駆動軸２１は、壁部１４の軸受１４ａと壁部１５の軸受１５ａにより支持されており、駆動軸２１の軸受１５ａにより支持されている部分は、粘弾性を有する接着剤２８により軸受１５ａに接着されている。粘弾性を有する接着剤としては、例えばシリコンを主成分とする接着剤を使用することができる。
【００２６】
被駆動部材を構成するスライダ２３は、保持部材１１の穴１３の中に配置され、穴１３を構成する長手方向の壁面を回転止め兼ガイドとして、円柱軸の方向に移動可能となつている。スライダ２３は、その本体部分に形成された穴２３ａに駆動軸２１が貫通し、駆動軸２１が貫通している上部には開口部２３ｂが形成され、駆動軸２１の上半分が露出している。
【００２７】
また、この開口部２３ｂには駆動軸２１の上半分に当接するパツド２４が嵌挿され、パツド２４には、その上部に突起２４ａが設けられており、パツド２４の突起２４ａが板ばね２５により押し下げられ、パツド２４には駆動軸２１に当接する下向きの付勢力Ｆが与えられている。なお、２６は板ばね２５をスライダ２３に固定するねじである。
【００２８】
この構成により、駆動軸２１とパツド２４及びスライダ２３は適当な摩擦結合力で摩擦結合する。摩擦結合力を決定する付勢力Ｆの調整は、ねじ２６の締め付け加減により調整することができる。
【００２９】
次に、その動作を説明する。まず、圧電素子２２に緩やかな立上り部分と急速な立下り部分を持つ鋸歯状波駆動パルスを印加すると、駆動パルスの緩やかな立上り部分では、圧電素子２２が緩やかに厚み方向に伸び変位し、圧電素子２２に結合する駆動軸２１も正方向（矢印ａ方向）に緩やかに変位する。このとき、駆動軸２１に摩擦結合したスライダ２３は摩擦結合力により駆動軸２１と共に正方向に移動する。
【００３０】
駆動パルスの急速な立下り部分では、圧電素子２２が急速に厚み方向に縮み変位し、圧電素子２２に結合する駆動軸２１も負方向（矢印ａと反対方向）に急速に変位する。このとき、駆動軸２１に摩擦結合したスライダ２３は慣性力により摩擦結合力に打ち勝つて実質的にその位置に留まり移動しない。圧電素子２２に前記駆動パルスを連続的に印加することにより、駆動軸２１に速度の異なる往復振動を発生させ、駆動軸２１に摩擦結合したスライダ２３を連続的に正方向に移動させることができる。
【００３１】
なお、ここでいう実質的とは、正方向とこれと反対方向のいずれにおいてもスライダ２３と駆動軸２１との間の摩擦結合面に滑りを生じつつ追動し、駆動時間の差によつて全体として矢印ａ方向に移動するものも含まれる。
【００３２】
スライダ２３を先と反対方向（矢印ａと反対方向）に移動させるには、圧電素子２２に印加する鋸歯状波駆動パルスの波形を変え、急速な立上り部分と緩やかな立下り部分からなる駆動パルスを印加すれば達成することができる。
【００３３】
以上説明したアクチエ−タの構成及び動作は、駆動軸２１と軸受１５ａが粘弾性を有する接着剤２８により接着されている構成及び以下説明する動作以外は、図９、図１０で説明した従来のアクチエ−タの構成及び動作と変わらない。
【００３４】
次に、駆動軸２１の軸受１５ａの部分が、粘弾性を有する接着剤２８により軸受１５ａに接着されていることによる作用と動作を説明する。
【００３５】
圧電素子２２の厚み方向の伸縮変位による駆動軸２１に発生する速度の異なる往復振動は、軸受１５ａにおける接着剤２８の粘弾性があたかもバネとダッシュポッドから構成される緩衝機構のように作用し、駆動軸２１に発生する望ましくない高調波振動を吸収することができる。
【００３６】
図３の（ａ）及び（ｂ）は、圧電素子２２に印加される鋸歯状波駆動パルスの波形、及び駆動軸の変位を説明する図である。図３の（ａ）に示すような波形の鋸歯状波駆動パルスを圧電素子２２に印加したとき、従来技術で説明したように駆動軸の軸端を板ばねで押さえた構成では、図３の（ｂ）において鎖線Ｐで示すように、駆動軸に発生する高調波振動により駆動軸の変位に脈動が生じるほか、駆動軸の時間に対する伸び変位（立上り変位）の割合と縮み変位（立下り変位）の割合に大きな差異がないことが確かめられた。このことは、駆動軸に発生する往復振動の速度差が小さいことを意味するもので、速度差が小さいときは、駆動軸に摩擦結合されたスライダはその位置で往復振動するだけで所定方向へ殆ど移動しなくなつてしまい、駆動効率が低下してしまう。
【００３７】
これに対し、駆動軸の軸受部分を粘弾性を有する接着剤で接着した場合は、図３の（ｂ）において、実線Ｓで示すように駆動軸に発生する望ましくない高調波振動が吸収され、また、駆動軸の時間に対する伸び変位（立上り変位）の割合と縮み変位（立下り変位）の割合に大きな差ができることが確かめられた。このことは、駆動軸に発生する往復振動の速度差が大きいことを意味するもので、駆動軸に摩擦結合されたスライダを高速で所定方向へ移動させることができるのである。
【００３８】
図４は、圧電素子に印加される鋸歯状波駆動パルスの電圧とスライダの駆動速度の関係を説明する図である。図４において、鎖線Ｐは従来技術で説明したアクチエ−タの駆動電圧と駆動速度の関係を示すもので、駆動電圧が或る電圧以下ではスライダを駆動することができない。
【００３９】
これに対し、この発明の実施の形態のアクチエ−タでは、従来のものよりも低い駆動電圧で駆動できるばかりでなく、より低い駆動電圧で高速駆動ができ、駆動電圧に対する駆動速度の直線性も良く、サ−ボ制御に適した性能を備えていることが実験的に確かめられた。
【００４０】
次に、第２の実施の形態について説明する。第２の実施の形態は自走型のアクチエ−タである。まず、図５を参照してその駆動原理を説明する。図５において、質量ｍ1 の移動体３２及び質量ｍ2 の駆動摩擦部材３４が案内摩擦部材３１の上に移動可能に配置されている。移動体３２の一端には圧電素子３３の一端が接着固着され、圧電素子３３の他端は質量ｍ2 の駆動摩擦部材３４に接着固着されている。
【００４１】
移動体３２と案内摩擦部材３１との接触面の摩擦係数は十分に小さく、駆動摩擦部材３４と案内摩擦部材３１との接触面の摩擦係数はそれよりも大きく設定されており、また、移動体３２の質量ｍ1 は駆動摩擦部材３４の質量ｍ2 よりも大きい（ｍ1 ＞ｍ2 ）。
【００４２】
以上の構成において、図５の（ｄ）に示すような緩やかな立上り部と急速な立下り部の駆動パルスを圧電素子３３に印加すると、駆動パルスの緩やかな立上り部では圧電素子３３は緩やかに伸び、その加速度は小さいので、移動体３２は図で右方向（矢印ａ方向）に移動し、図５の（ａ）に示す状態から図５の（ｂ）に示す状態になる。
【００４３】
これは、駆動摩擦部材３４と案内摩擦部材３１との接触面の間の摩擦力が移動体３２の移動による慣性力よりも大きいから駆動摩擦部材３４が案内摩擦部材３１に対して滑ることなく静止状態を保つのであり、移動体３２は駆動摩擦部材３４から遠ざかる方向に移動する。
【００４４】
次に、駆動パルスの急速な立下り部では、圧電素子３３は急速に縮み、その加速度は大きいので、駆動摩擦部材３４は図で右方向（矢印ａ方向）に移動し、図５の（ｂ）に示す状態から図５の（ｃ）に示す状態になる。
【００４５】
これは、移動体３２の慣性力は駆動摩擦部材３４と案内摩擦部材３１との接触面の間の摩擦力よりも大きく、また、移動体３２の質量ｍ1 が駆動摩擦部材３４の質量ｍ2 よりも大きいから、移動体３２が実質的に移動しないからであり、駆動摩擦部材３４は移動体３２側に移動する。
【００４６】
この構成により、駆動摩擦部材３４は案内摩擦部材３１に沿つて移動するから、案内摩擦部材３１の長さを長くすることでアクチエ−タのストロ−クを長くすることができ、また、駆動速度が低下することなく、高速駆動が可能となる。
【００４７】
図６乃至図８は、第２の実施の形態の自走形のアクチエ−タの構成を説明する図である。図６はアクチエ−タ５０の構成を示す斜視図で、駆動ユニツト６０を外した状態を示す。また、図７は駆動ユニツト６０を本体に装着した状態の断面図、図８は駆動ユニツト６０の構成を示す斜視図である。
【００４８】
図６に示すように、アクチエ−タ５０は、基台５１、基台５１上に設けられた第２の部材を構成する案内部材５２及び５３、案内部材５２と５３とにより挟まれて配置される駆動ユニツト６０から構成される。案内部材５３には断面が略Ｖ字状の溝が形成され、案内部材５２と共に後述する駆動ユニツト６０の円筒体６６を挟持するように案内部材５２と５３は所定の間隔５５を隔てて配置されており、また、案内部材５３はばね５４により円筒体６６に向けて付勢されている。
【００４９】
駆動ユニツト６０は、図８に示すように、フレ−ム６１、フレ−ム６１上に一体的に形成された支持部材６２及び支持部材６３、圧電素子６４、駆動軸６５、及び円筒体６６から構成され、第１の部材を構成する駆動軸６５と円筒体６６は、その円筒体６６が第２の部材を構成する案内部材５２と５３に挟持される。圧電素子６４の一端は、第３の部材を構成するフレ−ム６１の側壁に接着固定され、圧電素子６４の他端には第１の部材である駆動軸６５が接着固定される。
【００５０】
また、駆動軸６５は支持部材６２及び支持部材６３により軸方向に移動可能に支持されており、駆動軸６５の支持部材６３により支持されている部分は、粘弾性を有する接着剤６８、例えばシリコンを主成分とする接着剤により接着されているが、圧電素子６４の厚み方向の伸縮によつては駆動軸６５及び円筒体６６は接着剤の粘弾性により軸方向に往復移動することができる。また、フレ−ム６１及び支持部材６３には、図示しない被駆動部材を固定する取付穴６１ａ、６３ａを備えている。
【００５１】
第１の部材を構成する駆動軸６５と円筒体６６は、第３の部材を構成するフレ−ム６１よりも質量が小さくなる（第１部材質量＜第３部材質量）ように構成されている。
【００５２】
この構成により、第２の部材を構成する案内部材５２、５３と第１の部材を構成する駆動ユニツト６０の円筒体６６とは適当な摩擦力で摩擦結合する。
【００５３】
なお、駆動ユニツト６０のフレ−ム６１、フレ−ム６１上に一体的に形成された支持部材６２及び支持部材６３は、基台５１や案内部材５２及び５３フレ−ム６１には接触せず、円筒体６６のみが支持部材６２及び支持部材６３に接触することで、浮いた状態で保持される。
【００５４】
次に、その動作を説明する。駆動ユニツト６０の円筒体６６を案内部材５２及び５３により挟持させ適当な摩擦力で摩擦結合させた状態で、圧電素子６４に図１１の（ａ）に示すような緩やかな立上り部分と急速な立下り部分を持つ鋸歯状波駆動パルスを印加すると、駆動パルスの緩やかな立上り部分では、圧電素子６４が緩やかに厚み方向に伸び変位するが、このとき円筒体６６と案内部材５２及び５３とは摩擦結合しているため、円筒体６６は案内部材５２及び５３に対して移動せず、フレ−ム６１が矢印ａ方向に移動する。
【００５５】
駆動パルスの急速な立下り部分では、圧電素子６４が急速に厚み方向に縮み変位を生ずる。このとき、フレ−ム６１がその位置に留まろうとする慣性力が円筒体６６と案内部材５２及び５３との摩擦結合力に打ち勝つので、円筒体６６と案内部材５２及び５３との間に滑りを生じ、フレ−ム６１は移動しない。
【００５６】
圧電素子６４に前記駆動パルスを連続的に印加することにより、フレ−ム６１、即ち駆動ユニツト６０を連続的に矢印ａ方向に移動させることができる。駆動ユニツト６０を先と反対方向（矢印ａと反対方向）に移動させるには、圧電素子６４に印加する鋸歯状波駆動パルスの波形を変え、図１１の（ｂ）に示すような急速な立上り部分と緩やかな立下り部分からなる駆動パルスを印加すればよい。
【００５７】
第２の実施の形態のアクチエ−タも、第１の実施の形態のアクチエ−タと同様に、駆動軸６５の支持部材６３により支持されている部分が粘弾性を有する接着剤６８により接着されている。
【００５８】
この構成により、第２の実施の形態のアクチエ−タも、圧電素子６４の厚み方向の伸縮変位による駆動軸６５に発生する速度の異なる往復振動は、支持部材６３における接着剤６８の粘弾性があたかもバネとダッシュポッドから構成される緩衝機構のように作用し、駆動軸６５に発生する望ましくない高調波振動を吸収することができる。これにより、従来のものよりも低い駆動電圧で駆動できるばかりでなく、より低い駆動電圧で高速駆動ができ、駆動電圧に対する駆動速度の直線性も良くなる。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明した通り、この発明の電気機械変換素子を使用したアクチエ−タは、電気機械変換素子に固着結合され、電気機械変換素子とともに変位する駆動部材又は第１の部材の端部を、これを支承する支持部材に粘弾性を有する接着剤で接着したことを特徴とするものである。
【００６０】
これにより、電気機械変換素子により駆動される駆動部材又は第１の部材に発生する望ましくない高調波振動が吸収され、駆動される部材を高速で所定方向へ移動させることができる。また、この発明によれば、従来のものよりも低い駆動電圧で駆動できるばかりでなく、より低い駆動電圧で高速駆動ができ、駆動電圧に対する駆動速度の直線性も良いなど優れた性能を備えたアクチエ−タを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施の形態のアクチエ−タの構成を示す斜視図。
【図２】図１に示すアクチエ−タの要部の構成を示す断面図。
【図３】圧電素子に印加される鋸歯状波駆動パルスの波形、及び駆動軸の変位を説明する図。
【図４】圧電素子に印加される鋸歯状波駆動パルスの電圧とスライダの駆動速度の関係を説明する図。
【図５】この発明の第２の実施の形態の駆動原理を説明する図。
【図６】第２の実施の形態のアクチエ−タの構成を示す斜視図。
【図７】図６に示すアクチエ−タの駆動ユニツトを本体に装着した状態の断面図。
【図８】図６に示すアクチエ−タの駆動ユニツトの構成を示す斜視図。
【図９】従来のアクチエ−タを構成部材に分解した斜視図。
【図１０】図９に示す従来のアクチエ−タの組み立て状態を示す斜視図。
【図１１】駆動パルスの波形を説明する図。
【符号の説明】
１０  アクチエ−タ
１１  保持部材
１２、１３  穴
１４、１５  壁部
１４ａ、１５ａ  軸受
２１  駆動軸
２２  圧電素子
２３  スライダ
２４  パツド
２８  粘弾性を有する接着剤
５０  アクチエ−タ
５１  基台
６０  駆動ユニツト
５２、５３  案内部材
６１  フレ−ム
６２、６３  支持部材
６４  圧電素子
６５  駆動軸
６６  円筒体
６８  粘弾性を有する接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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