(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
工作機械に使用する駆動装置（60、160 、260 、360 、460 、560 、660 、760 ）において、２本のボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）を対にして平行に配置し、それぞれのボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）の一方の端(26b、28b 、126b、128b、226b、228b)を、サドル（18）に対し固定配置された一方の軸受（30，32, 230，132）により回転支持し、それぞれのボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）の他方の端を、サドル（18）に対し固定配置された他方の軸受（31, 33，131，233）により回転支持し、それぞれのボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）にボールネジナット（44、46、144 、146 、244 、246 ）を一方の軸受（30，32，132，230）と他方の軸受（31, 33， 131， 233）との間で螺合させ、被駆動物（20、114 、120 、220 ）にボールネジナット取付部（42、142 、242 、342 、442 、542 ）を設け、ボールネジナット取付部（42、142 、242 、342 、442 、542 ）にボールネジナット（44、46、144 、146 、244 、246 ）を固定し、それぞれのボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）の相異なる側の端部(26b、28b 、126b、128b、226b、228b) にボールネジ駆動部モーター（38、40、138 、140 、238 、240 、338 、340 、438 、440 ）を軸受（30，32，132，230）の外側で直接又は伝達部を介して接続し、一対のボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）の両たわみ曲線（ｐ、ｑ、ｓ、ｔ、α、β）においてたわみが最大になろうとする所はボールネジ駆動部モーター（38、40、138 、140 、238 、240 、338 、340 、438 、440 ）側の軸受（30、32、132、230）の端面（30a、32a、132a、230a）の方に寄っており、ボールネジナット取付部（42、142、242、342、442、542）が位置する所がつねに１対のボールネジ（26、28、126、128、226、228）の両たわみ曲線（ｐ、ｑ、ｓ、ｔ、α、β）のたわみ方向の中間に位置して、位置決め誤差の平均化がなされていることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
一方のボールネジ（26、126 、226 ）におけるボールネジ駆動部モーター（38、138 、238 、338 、438 ）からボールネジナット（44、144 、244 ）までの距離と他方のボールネジ（28、128 、228 ）におけるボールネジ駆動部モーター（40、140 、240 、340 、440 ）からボールネジナット（46、146 、246 ）までの距離との和が常に一定となることを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械の駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ボールネジを用いた駆動装置を有する工作機械は、ボールネジを回転させるためのモーターとボールネジナットまでの距離が被駆動体の移動に伴って変化するものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ボールネジは、たわみを生じる。
【０００４】
また、ボールネジの位置によって、たわみが異なるという欠点があった。このため、誤差の補正が困難であった。
【０００５】
本発明は、位置決め誤差が平均化されて均一になる工作機械の駆動装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決手段の１つは、工作機械に使用する駆動装置（60、160 、260 、360 、460 、560 、660 、760 ）において、２本のボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）を対にして平行に配置し、それぞれのボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）の一方の端(26b、28b 、126b、128b、226b、228b)を、サドル（18）に対し固定配置された一方の軸受（30，32, 230，132）により回転支持し、それぞれのボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）の他方の端を、サドル（18）に対し固定配置された他方の軸受（31, 33，131，233）により回転支持し、それぞれのボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）にボールネジナット（44、46、144 、146 、244 、246 ）を一方の軸受（30，32，132，230）と他方の軸受（31, 33， 131， 233）との間で螺合させ、被駆動物（20、114 、120 、220 ）にボールネジナット取付部（42、142 、242 、342 、442 、542 ）を設け、ボールネジナット取付部（42、142 、242 、342 、442 、542 ）にボールネジナット（44、46、144 、146 、244 、246 ）を固定し、それぞれのボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）の相異なる側の端部(26b、28b 、126b、128b、226b、228b) にボールネジ駆動部モーター（38、40、138 、140 、238 、240 、338 、340 、438 、440 ）を軸受（30，32，132，230）の外側で直接又は伝達部を介して接続し、一対のボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）の両たわみ曲線（ｐ、ｑ、ｓ、ｔ、α、β）においてたわみが最大になろうとする所はボールネジ駆動部モーター（38、40、138 、140 、238 、240 、338 、340 、438 、440 ）側の軸受（30、32、132、230）の端面（30a、32a、132a、230a）の方に寄っており、ボールネジナット取付部（42、142、242、342、442、542）が位置する所がつねに１対のボールネジ（26、28、126、128、226、228）の両たわみ曲線（ｐ、ｑ、ｓ、ｔ、α、β）のたわみ方向の中間に位置して、位置決め誤差の平均化がなされていることを特徴とする駆動装置である。
【０００７】
本発明による工作機械の駆動装置は、ボールネジを相対するように配置し、被駆動物を動かそうとするものである。好ましい形態では、一方のボールネジ（26、126 、226 ）におけるボールネジ駆動部モーター（38、138 、238 、338 、438 ）からボールネジナット（44、144 、244 ）までの距離と他方のボールネジ（28、128 、228 ）におけるボールネジ駆動部モーター（40、140 、240 、340 、440 ）からボールネジナット（46、146 、246 ）までの距離との和が常に一定となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明は、ボールネジを相対配列した駆動装置を有する工作機械に関する。駆動装置において、複数のボールネジを平行に配置する。被駆動物にナット取付部を設ける。複数のボールネジナットをナット取付部に取り付ける。複数のボールネジ駆動部モーターからボールネジナットまでのそれぞれの距離の和が一定となるように、ボールネジ駆動部モーターを相対する位置に配置する。ボールネジナット駆動部モーターを回転させることにより、ボールネジナット、ナット取付部を介して被駆動体を駆動する。ボールネジ駆動部モーターからボールネジナットまでのそれぞれの距離の総和が一定で、ボールネジ駆動部モーターが相対するように位置しているので、位置決め誤差が平均化されて均一になる。
【０００９】
【実施例】
図１は、本発明の好適な実施例による駆動装置を使用したNC工作機械の概略を示す。
【００１０】
工作機械は、ベッド12、コラム14、スピンドルヘッド16、サドル18、テーブル20を備えている。スピンドルヘッド16はＺ方向に移動可能であり、サドル18はＹ方向に移動可能、テーブル20はＸ方向に移動可能である。
【００１１】
図２は、図１の工作機械のサドル18とテーブル20の斜視図を示す。サドル18にはボールネジ26、28の２本が相対するように平行に配置されている。ボールネジの一端は軸受30、32に回転支持され、軸受30、32は軸受取付部22、24にそれぞれ取り付けられている。ボールネジの他端は軸受31、33に回転支持され、軸受31、33は軸受取付部22、24にそれぞれ取り付けられている。軸受30、32には、伝達部34、36を介して、ボールネジ駆動部モーター38、40がそれぞれ設けられている。伝達部34、36は、ボールネジ駆動部モーター38、40の動力をボールネジに伝える働きをする。
【００１２】
図３は、ナット取付部42を示す図２の一部拡大斜視図である。ナット取付部42には、ボールネジナット44、46が固定されている。固定されたボールネジナット44、46は、ボールネジ26、28に螺合している。したがって、モーター38、40を駆動するとその動力は伝達部34、36に伝わり、ボールネジ26、28が回転し、ボールネジナット44、46を介してテーブル20をＸ方向に移動させることができる。
【００１３】
図４は、図３の駆動蔵置60を示している。ボールネジ26は、その端26b 、26a で軸受30、31により回転可能に支持されている。ボールネジ28は、その端28b 、28a で軸受32、33により回転可能に支持されている。ボールネジナット44、46はナット取付部42に固定されており、ボールネジナット44、46はナット取付部42と一体となって移動する。軸受30、32には、伝達部34、36を介してモーター38、40がそれぞれ設けられている。モーター38、40を駆動すると伝達部34、36を介してボールネジが回転し、取付部42が動くからテーブル20がＸ方向に移動できる。テーブル20に設けられたナット取付部42は、ボールネジナット44の端面44b が軸受31の端部31a の位置にくるところ、及び、ボールネジナット46の端面46b が軸受33の端部33a の位置にくるところまで移動できる。取り付け部42の移動に伴って、テーブル20は移動する。
【００１４】
図５は、図４の駆動装置の側面図である。テーブル20に設けられたナット取付部42は、ボールネジナット44、46に固定されている。
【００１５】
図６は、図４のボールネジ駆動部モーター38、40、軸受30、31、32、33、ボールネジナット44、46の間の距離関係を示している。Ａは、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジ駆動部モーター40の端部40a までの距離。Ｂは、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジナット44の端面44a までの距離。Ｃは、ボールネジナットの全長。Ｄは、ボールネジ駆動部モーター40の端部40a からボールネジナット46の端面46a までの距離である。また、ボールネジ駆動部モーター38、40はサドル18に固定されるから、Ａは一定にすることができる。Ｃも、ボールネジナットの全長であり、一定にできる。
【００１６】
ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジナット44の端面44a までの距離Ｂとボールネジ駆動部モーター40の端部40a からボールネジナット46の端面46a までの距離Ｄとの和は一定になるように配置できる。すなわち、Ｂ＋Ｄ＝Ａ−Ｃで、ＡとＣは一定だから、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジナット44の端面44a までの距離Ｂとボールネジ駆動部モーター40の端部40a からボールネジナット46の端面46a までの距離Ｄとの和Ｂ＋Ｄは一定にできる。ナット取付部42がボールネジ上のどの位置にきても、一定にできる。
【００１７】
図７は、図４のボールネジ28、26がたわむ様子を概略的に示している。曲線ｐは、ボールネジ28のたわみ曲線を概略的に示している。曲線ｑは、ボールネジ26のたわみ曲線を概略的に示している。なお、たわみ曲線ｐにおいてたわみが最大となる所は、駆動部モーター側の軸受32の端面32a の方に寄っている。同様に、たわみ曲線ｑにおいてたわみが最大となる所は、駆動部モーター側の軸受30の端面30a の方に寄っている。
【００１８】
ここで、ボールネジナット46、44が位置する所はそれぞれ曲線ｐ、ｑ上であり、かつ、ナット46、44はナット取付部42に一体的に固定できる。したがって、ナット取付部42が位置する所は、Ｚ方向において、曲線ｐ、ｑの中間の位置をとることができる。また、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジナット44の端面44a までの距離Ｂと、ボールネジ駆動部モーター40の端部40a からボールネジナット46の端面46a までの距離Ｄとの和Ｂ＋Ｄが、一定となるように配置できる。したがって、たわみがうまく調整され、ナット取付部42は曲線ｒで示される所に位置することになる。以上のようにして、ナット取付部42が位置する所を適切に調整できるため、位置決め誤差を平均化することができる。
【００１９】
次に、図１、図２を参照して使用方法の説明をする。
【００２０】
まず、ワークＷをテーブル20の上に載置し、サドル18をモーター52によりＹ方向に移動させ、前述のようにモーター38、40を駆動し、テーブル20をＸ方向に摺動面48、50上を移動させ位置決めをする。次に、モーター56を駆動してスピンドル58を回転させ、モーター54によりスピンドルヘッド16をＺ方向に移動させてワークＷを加工する。
【００２１】
ボールネジナット26、28は、自重とテーブル20からの荷重によってたわむ。ワークＷを様々に加工する間、位置決めは繰り返し行われる。ボールネジ26、28が最大にたわむ位置はボールネジ駆動部モーター38、40の方に寄っている。このようにして、ボールネジ26、28の位置によってたわみの大きさが大きく異なり、不均一な位置決め誤差が生じる。しかし、ボールネジ駆動部モーター38、40からボールネジナット44、46までのそれぞれの距離の和が一定となるようにボールネジ駆動部モーター38、40を相対するように配置されているから、位置決め誤差を平均化し均一にすることができる。したがって、位置決め誤差の補正が非常に容易になる。また、モーター38、40の２台、ボールネジ26、28の２本で駆動しているためボールネジ26、28の軽量化がはかれ、高速化が可能となっている。さらに、ボールネジ26、28の２本で動かすため、被駆動体の平行移動が容易となり、ＹＡＷ現象が防止されている。
【００２２】
次に、本発明の変形例の説明をする。
【００２３】
図８は、図４の駆動装置60の変形例である駆動装置160 を示している。図９は、図８のＶ‐Ｖ視図を示している。ボールネジナット44は端面44b が端面31a に近づく方に、ボールネジナット46は端面46b が端面33a に近づく方にＸ方向に少しずらされている。
【００２４】
図10は、図８のボールネジ駆動部モーター38、40、軸受30、31、32、33、ボールネジナット44、46の間の距離関係を示している。Ｅは、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジ駆動部モーター40の端部40a までの距離。Ｆは、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジナット44の端面44a までの距離。Ｇは、ボーネジナット46の端面46a からボーネジナット44の端面44a までの距離。Ｈは、ボールネジ駆動部モーター40の端部40a からボールネジナット46の端面46a までの距離。Ｉは、ボーネジナット46の端面46b からボーネジナット44の端面44a までの距離であり、端面46ａは端面32ａに距離Ｉより近くに接近することができないようになっている。同様に、端面44a も端面30ａに距離Ｉより近くに接近することができないようになっている。なお、ボールネジ駆動部モーター38、40はサドル18に固定され、Ｅは一定にすることができる。さらに、ボールネジナット44、46はナット取付部142 に固定されているため、Ｇ、Ｉは一定にすることができる。
【００２５】
距離Ｆと距離Ｈの和Ｆ＋Ｈは一定になるように配置されている。すなわち、Ｆ＋Ｈ＝Ｅ−Ｇで、ＥとＧは一定にすることができるから、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジナット44の端面44a までの距離Ｆとボールネジ駆動部モーター40の端部40a からボールネジナット46の端面46a までの距離Ｈの和Ｆ＋Ｈは一定にすることができる。ナット取付部142 がボールネジ26、28上のどの位置にきても、一定となるようにできる。
【００２６】
図11は、図８のボールネジ28、26がたわむ様子を概略的に示している。曲線ｓは、ボールネジ28のたわみ曲線を概略的に示している。曲線ｔは、ボールネジ26のたわみ曲線を概略的に示している。なお、たわみ曲線ｓにおいてたわみが最大となる所は、駆動部モーター側の軸受32の端面32a の方に寄っている。同様に、たわみ曲線ｔにおいてたわみが最大となる所は、駆動部モーター側の軸受30の端面30a の方に寄っている。
【００２７】
ここで、ボールネジナット46、44が位置する所はそれぞれ曲線ｓ、ｔ上である。かつ、ボールネジナット46、44は、ナット取付部142 に端面46ａと端面44ａの距離をＸ方向にＧだけずらして一体的に固定されている。したがって、ナット取付部142 が位置する所は、曲線ｐ、ｑを相対的に距離ＩだけＸ方向にずらしたＺ方向における曲線ｐ、ｑの中間の位置をとることができる。また、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジナット44の端面44a までの距離Ｆと、ボールネジ駆動部モーター40の端部40a からボールネジナット46の端面46a までの距離Ｈの和Ｆ＋Ｈは、一定となるように配置できる。したがって、たわみがうまく調整され、ナット取付部142 は曲線ｕで示される所に位置することができる。このように、ナット取付部142 のＺ方向の位置を適切に調整できるため、位置決め誤差を平均化することができる。この変形例では、特に、ボールネジナット44、46のずれを適宜調節することにより、最もたわみが大きい所に最もたわみが小さい所を重ねること等ができる。したがって、より望ましい位置決め誤差の平均化を達成できる。
【００２８】
図12は、図４の駆動装置60の他の変形例を示している。駆動装置260 においては、軸受31と軸受32、軸受30と軸受33がＸ方向にずらされている。したがって、取付部42は端面31ａと端面33ａの間を移動することができる。つまり、取付部42は、端面32ａ、端面33ａに一定以上近づかないようにできる。
【００２９】
図13は、図12のボールネジ駆動部モーター38、40、軸受30、31、32、33、ボールネジナット44、46の間の距離関係を示している。Ｉは、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジ駆動部モーター40の端部40a までの距離、Ｋは、ボールネジナットの全長である。また、ボールネジ駆動部モーター38、40はサドル18に固定され、Ｉは、一定にすることができる。Ｋも、ボールネジナットの全長であり、一定にできる。ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジナット44の端面44a までの距離Ｊと、ボールネジ駆動部モーター40の端部40a からボールネジナット46の端面46a までの距離Ｌとの和は、一定にすることができる。すなわち、Ｊ＋Ｌ＝Ｉ−Ｋ  であり、Ｉ、Ｋは一定にできるから、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジナット44の端面44a までの距離Ｊと、ボールネジ駆動部モーター40の端部40a からボールネジナット46の端面46a までの距離Ｌとの和Ｊ＋Ｌは、一定にすることができる。ナット取付部42がボールネジ26、28上のどの位置にきても、一定にすることができる。
【００３０】
図14は、図12のボールネジ28、26がたわむ様子を概略的に示している。曲線αは、ボールネジ28のたわみ曲線を概略的に示している。曲線βは、ボールネジ26のたわみ曲線を概略的に示している。なお、たわみ曲線αにおいてたわみが最大となる所は、駆動部モーター側の軸受32の端面32a の方に寄っている。同様に、たわみ曲線βにおいてたわみが最大となる所は、駆動部モーター側の軸受30の端面30a の方に寄っている。
【００３１】
ここで、ボールネジナット46、44が位置する所はそれぞれ曲線α、β上である。かつ、ボールネジナット46、44は、ナット取付部42に一体的に固定されている。また、軸受31と軸受32、軸受30と軸受33がずらされている。したがって、ナット取付部42が位置する所は、曲線ｐ、ｑをＸ方向に少しずらしたＺ方向における曲線ｐ、ｑの中間の位置をとることができる。また、ボールネジ駆動部モーター38の端部38a からボールネジナット44の端面44a までの距離Ｊと、ボールネジ駆動部モーター40の端部40a からボールネジナット46の端面46a までの距離Ｌの和Ｊ＋Ｌが、一定となるように配置できるから、たわみがうまく調整され、ナット取付部42は曲線γで示される所に位置することになる。以上のようにして、ナット取付部42のＺ方向における位置を適切に調整できるため、位置決め誤差を平均化することができる。この変形例では、特に、軸受31と軸受32、軸受30と軸受33の位置を適宜調節することにより、望ましい形の曲線γを得る等できる。したがって、より望ましい位置決め誤差の平均化を達成できる。
【００３２】
図15は、本発明の他の実施例を示している。
【００３３】
被駆動物であるコラム114 に、ナット取付部242 を介してボールネジ126 、128 、226 、228 とボールネジ駆動部モーター138 、140 、238 、240 が取り付けられている。駆動装置360 に複数本のボールネジ126 、128 、226 、228 を用いて、ボールネジ126 、128 、226 、228 の軽量化を図ることができる。したがって、複数のモーター138 、140 、238 、240 を用いてより高速にボールネジ126 、128 、226 、228 を回転させることができるため、高速化を実現できる。
【００３４】
図16は、図４の他の変形例である駆動装置360 を示している。ボールネジ26、28間の距離を少し離すようにして、ボールネジナット44、46はテーブル120 のナット取付部342 に固定できる。位置決め誤差の平均化を図ることに加えてＹＡＷ現象をより抑制したい場合、このようにすることによってＹＡＷ現象をより抑制することができる。
【００３５】
図17は、図４の他の変形例である駆動装置560 を示している。テーブル120 には、ナット取付部442 、542 が形成されている。ボールネジナット444 、446 は、ナット取付部442 に取り付けられている。ボールネジナット544 、546 は、ナット取付部542 に取り付けられている。ナット取付部442 、542 を縦方向に複数形成しているので、縦方向のＹＡＷ現象をより抑制することができる。もちろん、位置決め誤差の平均化もともに実現される。
【００３６】
本発明は、以上の実施例に限定されない。
【００３７】
ボールネジを回転する駆動力を伝達する伝達部は、前述の例以外にも種々のものが可能である。例えば、は、ギヤを用いたものでもよい。図18は、図４の他の変形例である駆動装置660 を示している。この変形例では、ギヤ62、66、64、68を用いてボールネジ駆動モーター338 、340 の駆動力をボールネジ26、28に伝えている。このようにしても、ボールネジ駆動モーター338 、340 を駆動させ、ボールネジ26、28を回転し、被駆動物20を動かすことができる。
【００３８】
さらに、ボールネジを回転する駆動力を伝達する伝達部は、ベルトを用いたものでもよい。図19は、図４の他の変形例である駆動装置760 を示している。この変形例では、プーリ70、72とベルト74を介してボールネジ駆動モーター440 の駆動力をボールネジ28に伝えている。このようにしても、ボールネジ駆動モーター438 、440 を駆動させ、ボールネジ26、28を回転し、被駆動物20を動かすことができる。
【００３９】
駆動対象物は、テーブル、コラムに限定されない。例えば、サドルを動かすものであっても良く、スピンドルを動かすものであってもよい。ボールネジ駆動によって動かせるものなら、どのようなものでもよい。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によれば、ボールネジ（26、28、126 、128 、226 、228 ）のたわみ曲線（ｐ、ｑ）においてたわみが最大になる所はボールネジ駆動部モーター（38、40、138 、140 、238 、240 、338 、340 、438 、440 ）側の軸受（30、32、132、230）の端面（30a、32a、132a、230a）の方に寄っており、ボールネジナット取付部（42、142、242、342、442、542）が位置する所が１対のボールネジ（26、28、126、128、226、228）のそれぞれのたわみ曲線（ｐ、ｑ）の中間の位置となることにより位置決め誤差が平均化されて均一になる。したがって、誤差の補正が非常に容易であり、高精度の製品を作ることができる。
【００４１】
複数のモーターや複数のボールネジで駆動すると、モーターやボールネジの軽量化がはかれ、高速化が可能となる。
【００４２】
複数のボールネジで動かすと、被駆動体の平行移動が容易となり、ＹＡＷ現象の防止となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好適な実施例によるNC工作機械の概略図。
【図２】図１の工作機械のサドルとテーブルの斜視図。
【図３】図２のナット取付部を示す拡大斜視図。
【図４】図３の駆動蔵置を示す図。
【図５】図４の駆動装置の側面図。
【図６】図４のボールネジ駆動部モーター、軸受、ボールネジナットの距離関係を示す図。
【図７】図４のボールネジがたわむ様子を概略的に示す図。
【図８】図４の駆動装置の変形例を示す図。
【図９】図８のＶ‐Ｖ視図。
【図１０】図８のボールネジ駆動部モーター、軸受、ボールネジナットの距離関係を示す図。
【図１１】図８のボールネジがたわむ様子を概略的に示す図。
【図１２】図４の駆動装置の他の変形例を示す図。
【図１３】図１２のボールネジ駆動部モーター、軸受、ボールネジナットの距離関係を示す図。
【図１４】図１２のボールネジがたわむ様子を概略的に示す図。
【図１５】複数本のボールネジとボールネジ駆動部モーターを有する駆動装置を示す図。
【図１６】ボールネジの間の距離を少し離した駆動装置を示す図。
【図１７】図４の駆動装置の他の変形例を示す図。
【図１８】駆動装置の変形例を示す。
【図１９】駆動装置のさらに他の変形例を示す。
【符号の説明】
Ｗ  ワーク
12  ベッド
14、114   コラム
16  スピンドルヘッド
18  サドル
20、120 、220   テーブル
22、24  軸受取付部
26、28、126 、128 、226 、228   ボールネジ
26a 、26b 、28a 、28b   ボールネジ端部
30、31、32、33、130 、131 、132 、133 、230 、231 、232 、233   軸受
30a 、31a 、32a 、33a   端面
34、36  伝導部
38、40、138 、140 、238 、240 、338 、340 、438 、440   ボールネジ駆動部モーター
38a 、40a   ボールネジナット駆動部モーター端部
42、142 、242 、342 、442 、542   ナット取付部
44、46、144 、146 、244 、246   ボールネジナット
44a 、44b 、46a 、46b   端面
48、50  摺動面
52、54、56  モーター
58  スピンドル
60、160 、260 、360 、460 、560 、660 、760   駆動装置
62、64、66、68  ギヤ
70、72  プーリ
74  ベルト
ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔ、ｕ  曲線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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