(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
黄色に変色した六方晶窒化硼素焼結体を窒化硼素製又は窒化硼素で内張りされた容器に入れ、Ｎ２体積分率８０％以上の非酸化性雰囲気中、温度１８００℃以上で熱処理することを特徴とする黄色に変色した六方晶窒化硼素焼結体の白色化方法。
【請求項２】
熱処理された六方晶窒化硼素焼結体のスピン濃度が１×１０１８個／ｇ未満、酸素含有量が０．５重量％以下であることを特徴とする請求項１に記載の白色化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、黄色に変色した六方晶窒化硼素焼結体の白色化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
六方晶窒化硼素焼結体（以下、「ｈＢＮ焼結体」という。）は、耐熱性、熱伝導性、潤滑性、離型性、耐食性などに優れているため、セラミックス焼成用セッター等として広く使用されている。ｈＢＮ焼結体がセッターとして用いられる理由の一つにその色調がある。すなわち、通常のｈＢＮ焼結体は、白色〜クリーム色を呈しているので、そのセッターと焼成されるセラミックスとの間に異物が混入していた場合、その異物の発見が容易となり、不良品の発生をあらかじめ防止することができるからである。
【０００３】
ｈＢＮ焼結体の白度は、そのＮ欠陥との関連で説明することができ、Ｎ欠陥が多いほど白度が低下する。Ｎ欠陥の数はごく僅かであるため直接定量することはできないが、Ｎ欠陥１個当たり３個の不対電子が生成するため、そのスピン濃度をＥＳＲで測定することによってＮ欠陥の多少を知ることができる。すなわち、スピン濃度が１×１０１８個／ｇを超えると黄色味を帯び、３×１０１８個／ｇ程度になると目視で認識できる程度に黄変する。
【０００４】
また一方、セッターの酸素含有量も重要であり、それの高いｈＢＮ焼結体を用いると、その酸素で構成されている液相成分が使用中に染みだし、焼成されるセラミックスとの離型性を悪化させたり、セラミックスの表面を変質させたりする等の悪影響を与える。
【０００５】
以上のことから、今日、セラミックス焼結分野においては、セッター用ｈＢＮ焼結体の更なる白度向上と酸素含有量低下の要求が高まっている。
【０００６】
しかしながら、従来のｈＢＮ焼結体は、ＨＰ（ホットプレス）焼結や常圧焼結等によって製造されており、その際、黒鉛製ダイスや黒鉛製ルツボ等の治具が使用されることが多いため、製造された段階における色調が黄色くなり、スピン濃度としては３×１０１８個／ｇ以上であることが多かった。また、酸素含有量についても、特にＨＰ焼結品では１％以上になることが大半であった。これらの特性では、上記要求を十分に満たし得ない。
【０００７】
また、製造された直後では白色であったｈＢＮ焼結体でも高温で炭素系蒸気に曝されると、Ｎ欠陥数が次第に増大し黄色度が高まってくる。例えば、黒鉛製容器中、温度１０００℃以上の条件で使用すると、目視で明らかに認識できる程度に黄変する。一旦黄色に変色したｈＢＮ焼結体は、もはや異物の発見が容易ではなく、不良品の発生をあらかじめ防止することが困難であり、セッターとしては不適切である。
【０００８】
従来、ｈＢＮ焼結体の高純度化技術、特に低酸素化技術については幾つかの提案があるが、白度向上化技術については見当たらない。例えば、高純度化技術として、（１）ｈＢＮ焼結体を１５００℃以上で高温加熱処理する、（２）真空度０．１Ｔｏｒｒ以下、温度１２００℃以上で高温真空処理する、（３）ＨＣｌ、ＨＦ、ＨＮＯ３、Ｈ２ＳＯ４等の酸溶液で処理する（何れも特開平４−６５３６６号公報）などがある。しかしながら、（１）、（２）の方法では、高純度化処理を行うことはできても、熱処理には通常安価な黒鉛製容器が使用されるため、ｈＢＮ焼結体はむしろ更に黄色に変色する。また、（３）の方法では、高温加熱処理を伴わないため、白度は低下しないがその向上も見られない。
【０００９】
また、熱分解によりＮＨ３ガスを発生するＮＨ２基含有化合物と共に、非酸化性雰囲気中に於いて加熱処理する（特開平８−８１２６８号公報）、超音波洗浄後に加熱処理する（特開平５−１９４０３９号公報）、加圧下で溶媒洗浄する（特開平６−２５６０６２号公報）などの高純度化技術も提案されているが、何れの技術も変色対策を伴うものではない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、黄色に変色したｈＢＮ焼結体を白色化することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、黄色に変色した六方晶窒化硼素焼結体を窒化硼素製又は窒化硼素で内張りされた容器に入れ、Ｎ２体積分率８０％以上の非酸化性雰囲気中、温度１８００℃以上で熱処理することを特徴とする黄色に変色した六方晶窒化硼素焼結体を白色化方法である。本発明においては、熱処理された（白色化された）六方晶窒化硼素焼結体のスピン濃度が１×１０１８個／ｇ未満、酸素含有量が０．５重量％以下であることが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について更に詳しく説明する。
【００１３】
本発明の方法で熱処理を受けたｈＢＮ焼結体は、上記セッターとしての要求特性を満たしたものとなり、スピン濃度１×１０１８個／ｇ未満、酸素含有量０．５重量％以下となる。ｈＢＮ焼結体のスピン濃度は、市販のＥＳＲ（電子スピン共鳴）分析装置（例えば、日本電子社製「ＪＥＳ−ＦＥ２ＸＧ」）を用いて測定することができる。また、酸素含有量は、市販の分析装置（例えば、堀場製作所製「ＥＭＧＡ−２８００」）を用いて測定することができる。
【００１４】
本発明の被熱処理物は、黄色に変色したｈＢＮ焼結体である。それがセッターであるときには白色化されて再利用が可能となる。また、高酸素含有物であれば、その酸素含有量を低減させることができる。
【００１５】
被熱処理物の熱処理は、窒化硼素製又は窒化硼素で内張りされた容器に入れ、Ｎ２体積分率８０％以上の非酸化性雰囲気を保持して行われる。熱処理容器を、窒化硼素製又は窒化硼素で内張りされた容器とすることによって、被熱処理物が変質しない、被熱処理物との離型性が損なわれない、熱処理中に色調に有害な炭素含有物質を発生しない、更には耐熱性が高いので繰り返し使用することができるなどの利点がある。熱処理容器が窒化硼素で内張りされた容器である場合、その基材は黒鉛でよい。
【００１６】
熱処理雰囲気を、Ｎ２体積分率８０％以上の非酸化性雰囲気とするには、窒化硼素製ガス供給管又は窒化硼素で内張りされたガス供給管を上記熱処理容器に連結し、Ｎ２体積分率８０％以上の非酸化性ガスを供給することによって行うことができる。非酸化性ガスのＮ２体積分率が８０％未満では、ｈＢＮ焼結体のスピン濃度を１×１０１８個／ｇ未満とすることができない。非酸化性ガスの窒素以外のガス成分としては、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス、水素、アンモニア等の炭素不含ガス等である。ガス供給管が窒化硼素で内張りされたガス供給管である場合、その基材は黒鉛でよい。
【００１７】
熱処理温度は、１８００℃以上にする必要がある。１８００℃未満の温度では、熱処理されたｈＢＮ焼結体のスピン濃度を１×１０１８個／ｇ未満とすることはできても、酸素含有量を０．５重量％以下にすることはできない。ちなみに、ｈＢＮ焼結体のスピン濃度を１×１０１８個／ｇ未満とするために必要な最低温度は８００℃程度である。
【００１８】
【実施例】
以下、実施例と比較例をあげて更に具体的に本発明を説明する。
【００１９】
実施例１〜３  比較例１〜３
被熱処理物として、窒化硼素粉末成形体を黒鉛製容器に入れ、Ａｒガス雰囲気中、温度１７００℃で加熱処理して製造された黄色のｈＢＮ焼結体を用いた。この被熱処理物のＥＳＲ測定によるスピン濃度は１×１０１９個／ｇであった。なお、ＥＳＲ測定時のマーカーにはＭｎ２＋を使用し、そのスピン量はＤＰＰＨ（２，２−ジフェニル−１−ピクリルヒドラジル）を用いて算出した。また、酸素含有量は０．８重量％であった。
【００２０】
この被熱処理物を窒化硼素製容器（但し、比較例２のみについては黒鉛製容器）に入れ、その容器に直結された窒化硼素製ガス供給管（但し、比較例２のみについては黒鉛製ガス供給管）から非酸化性ガスを導入しながら加熱処理した後、得られたｈＢＮ焼結体のスピン濃度と酸素含有量を測定した。それらの熱処理条件と測定結果を表１に示す。
【００２１】
【表１】
0003856571.tif 000002
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、黄色に変色したｈＢＮ焼結体が、高白度かつ低酸素含有量のｈＢＮ焼結体となる。本発明で得られたｈＢＮ焼結体は、セラミックス焼成用のセッター材として好適なものである。