(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
無人搬送車を、上部気密室と下部気密室の上下に両気密室間で空気が流通しないように分割し、上部気密室を搬送物収納室とし、側壁若しくは天井にフィルタ付ファンを設け、側面には開閉式のドアを備え、前記フィルタ付ファンにて床面から発生するダストが舞い上がらない位置からのクリーンエアを上部気密室内に供給して内部を正圧に保つようにするとともに、前記ドアが開状態の場合に前記フィルタ付ファンにて吸引されたクリーンエアをドアが開いた開口部より上部気密室外に排出するようにし、下部気密室内に駆動制御装置を収納し、下部気密室の上部には流入口を開口し、下部気密室の床面に排気口を形成し、内部に排気ファンを設け、該排気ファンにて床から上昇するダストを流入口から下部気密室内に吸引して床下の排気口から床面の走行路の近傍に形成したダウンフロー用の排気口に向けて排気することを特徴とする無人搬送車におけるダスト侵入防止装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、無人搬送車が走行するクリーンルーム内において、クリーン度を設定値以下に保持するようにした無人搬送車におけるダスト侵入防止装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来クリーンルーム内において走行する無人搬送車は、走行車輪が床面と接触して転動し走行する際、車輪と床面との接触にて床面からダストが発生する。このダストにて搬送物、その他クリーンルーム内が汚染されないようにするため、クリーンルーム内天井よりクリーンエアを床面に向かって噴射し、床面、特に走行路床面に設けた排気口より排気するダウンフローを形成している。然し、このダウンフローのみでは高クリーン度を保持することが困難であるため、ダウンフローと無人搬送車の搬送物収納室を走行車輪等を配設した搬送車下部室とを仕切りこの上部の搬送物収納室内を気密室とし、かつこの上部気密室の内部圧力を高めて、搬送物収納室へダストの侵入を防止する対策を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の無人搬送車におけるダスト侵入防止方法においては、搬送物の搬送時は気密室の気密は保持されるので、所定のクリーン度を保つことができる。しかし搬送物の移載作業のために、上部気密室の気密式のドアを開けると、気密室内部圧力が減少し、床面から発塵して上昇してくるダストがこの開口された上部気密室内に侵入し、ダスト進入防止効果が減少してしまうという問題点があった。
【０００４】
本発明は、上記従来の無人搬送車のダスト侵入防止装置の有する問題点を解決し、無人搬送車の車体下部に排気ファンを設けて床面から発生するダストを下部気密室内に吸引し走行路の近傍に設けた排気口よりダウンフローと共に排出してダストを正圧とした上部気密室の搬送物収納室内に侵入するのを防止すことができる無人搬送車におけるダスト侵入防止装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の無人搬送車におけるダスト侵入防止装置は、無人搬送車を、上部気密室と下部気密室の上下に両気密室間で空気が流通しないように分割し、上部気密室を搬送物収納室とし、側壁若しくは天井にフィルタ付ファンを設け、側面には開閉式のドアを備え、前記フィルタ付ファンにて床面から発生するダストが舞い上がらない位置からのクリーンエアを上部気密室内に供給して内部を正圧に保つようにするとともに、前記ドアが開状態の場合に前記フィルタ付ファンにて吸引されたクリーンエアをドアが開いた開口部より上部気密室外に排出するようにし、下部気密室内に駆動制御装置を収納し、下部気密室の上部には流入口を開口し、下部気密室の床面に排気口を形成し、内部に排気ファンを設け、該排気ファンにて床から上昇するダストを流入口から下部気密室内に吸引して床下の排気口から床面の走行路の近傍に形成したダウンフロー用の排気口に向けて排気することを特徴とする。
【０００６】
上記の構成からなる本発明の無人搬送車におけるダスト侵入防止装置においては、搬送物を収納するドアの開閉に関係なく常に上部気密室は正圧に保たれるので、発生ダストが上部気密室には侵入することがなく搬送物のクリーン度が保持されるとともに、下部気密室内にダストが発生しやすい駆動制御装置、車輪を備え、かつ該下部気密室を負圧としているので発生するダストもこの下部気密室内の負圧側に吸引されるため、上部気密室まで到達することがなく、上部気密室には侵入することがなく搬送物のクリーン度が保持される。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の無人搬送車におけるダスト侵入防止装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【０００８】
図１は、本発明における搬送物移載中の無人搬送車を示す平面図で、図２はその正面図を示す。図において１は、無人搬送車の本体で、この無人搬送車の本体１を上部気密室３と、下部気密室１０とに分ける。上部気密室３は搬送物収納室となり、所定の容積を有し、内部にカセット２を収納するものとすると共に、側壁若しくは天井にフィルタ付ファン４を設けると共に、側面には開閉式のドア６、７を備え、これによりこのフィルタ付ファン４の駆動にて床面から発生するダストが舞い上がらない位置からのクリーンエアを上部気密室内に供給して内部を正圧に保つようにする。
【０００９】
また、無人搬送車１の下部気密室１０内には、走行車輪Ｗ及び駆動装置Ｄ、制御装置Ｃ等の発塵し易い駆動制御装置を収納し、この外周部をカバー１２、１３にて囲み気密を保つようにすると共に、この下部気密室の上部には流入口１４、１５を開口し、下部気密室の床面に排気口１６を形成し、内部に排気ファン１１を設けてなる。この排気ファン１１は床面８の走行路の近傍に形成したダウンフロー用の排気口に向けて排気するようにする。これにより、車体下部の下部気密室内部は負圧になり、床から上昇するダストを流入口１４、１５から下部気密室内に吸引して床下の排気口１６から排出される。このため、気密室内へのダストの侵入を防止することが可能である。
【００１０】
従って上述の如く構成する無人搬送車におけるダスト侵入防止装置において、カセット２を移載するために無人搬送車の上部気密室のドア６、７を開状態とすると常時駆動のフィルタ付ファンにて吸引されたクリーンエアはドアが開いた開口部より気密室外に排出される。このカセット移載時も下部気密室内で常時駆動された排気用ファンにより、該室内が負圧となっているので発塵したダストはフィルタ付ファンより下方位置にある流入口より吸引され、床下へ排気されるため、ダストは飛散することなく床面下へ排気され、上部気密室内に流入することはない。
【００１１】
【発明の効果】
本発明の無人搬送車におけるダスト侵入防止装置によれば、無人搬送車において、移載作業中でも上部気密室内が正圧となっているので、該室へのダストが侵入することを防止する効果がある。
また、下部気密室は台車下部の駆動装置部よりの発塵も流入口より吸引して床下へ排気するのでダストが飛散することなく、発塵と同時に排気され、クリーンルーム内は設定クリーン度を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の無人搬送車におけるダスト侵入防止装置の実施例を示す平面図である。
【図２】  同正面図である。
【符号の説明】
１    無人搬送車
２    カセット
３    上部気密室
４    フィルタ付ファン
５    クリーンエア
６    ドア
７    ドア
８    走行床
９    ダスト
１０  下部気密室
１１  排気ファン
１２  カバー
１３  カバー
１４  流入口
１５  流入口
１６  床下排気口
【図１】
0003739132.tif 000002
【図２】
0003739132.tif 000003