(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されているとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバックプレートとを備えた軽量化ミラーの製造方法であって、
前記コアと前記バックプレートとの接着部を光学接着する工程と、その後少なくとも接着部を水素雰囲気中で加熱処理する工程とを含む軽量化ミラーの製造方法。
【請求項２】
鏡面に金属または誘電体多層膜の反射膜を蒸着装置内で形成する工程と、この蒸着装置内でコアおよびバックプレートを加熱処理する工程とを含む請求項１に記載の軽量化ミラーの製造方法。
【請求項３】
加熱処理は加熱手段を用いて接着部のみを加熱して行われる請求項１または２に記載の軽量化ミラーの製造方法。
【請求項４】
加熱手段は、接着部に付着され高周波を吸収する高周波吸収体に高周波を照射する高周波加熱器である請求項３に記載の軽量化ミラーの製造方法。
【請求項５】
加熱手段は、接着部に熱風を送る熱風ヒータである請求項３に記載の軽量化ミラーの製造方法。
【請求項６】
加熱手段は、接着部の付近でバックプレートに取り付けられたヒータである請求項３に記載の軽量化ミラーの製造方法。
【請求項７】
加熱手段は、接着部に付着されレーザ光を吸収するレーザ光吸収体にレーザ光を照射するレーザである請求項３に記載の軽量化ミラーの製造方法。
【請求項８】
表面にＬｉ2Ｏ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2系の結晶化ガラスで構成されたガラス材料を研磨して形成された鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形成された裏面が平坦なコアと、このコアの裏面に接着されているとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバックプレートとを備えた軽量化ミラーの製造方法であって、
前記コアの個々の穴を複数のプレート部で覆って前記バックプレートを構成し、前記コアと前記バックプレートとの接着部を光学接着する工程と、その後少なくとも接着部を、６８０℃〜８３０℃の加熱処理温度で加熱処理する工程とを含む軽量化ミラーの製造方法。
【請求項９】
鏡面に金属または誘電体多層膜の反射膜を蒸着装置内で形成する工程と、この蒸着装置内でコアおよびバックプレートを加熱処理する工程とを含む請求項８に記載の軽量化ミラーの製造方法。
【請求項１０】
加熱処理は加熱手段を用いて接着部のみを加熱して行われる請求項８に記載の軽量化ミラーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば人工衛星等の移動体に搭載される望遠鏡や光学センサないし光アンテナに使用する軽量化ミラー、その製造方法およびその検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７は従来の軽量化ミラーの例を示すもので、軽量化ミラーの片半分の斜視図である。
このドーナツ形状の軽量化ミラーは、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面１を有し裏面に三角形状の穴３が柱状のリブ部４を介して複数形成されたコア２と、このコア２の裏面に接着されているとともにガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されたバックプレート５とを備えている。バックプレート５には小孔７が形成されており、この小孔７は人工衛星搭載用の望遠鏡等に使用される際に、穴３内の残留空気が存在しないようにするものである。
【０００３】
この軽量化ミラーは、バックプレートがない小規模の軽量化ミラーと比較して、中規模の大きさの軽量化ミラーであり、移動体に搭載して被る荷重が大きいため、バックプレート５が必要であり、バックプレート５がコア２の裏面全面を覆ってコア２を補強している。そして、コア２に対してバックプレート５を取付ける方法として、例えば低融点のガラスを接着材として用いてコア２とバックプレート５とを接着させていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の軽量化ミラーでは、コア２に対してバックプレート５を例えば接着材である低融点ガラスを溶融、固化して、コア２とバックプレート５とを接着していたが、例えば接着材がコア２のリブ部４の表面の全域にわたって均一に行き渡らず、そのためコア２に対するバックプレート５の十分な接着強度が得られないという問題点があった。
また、バックプレート５のコア２に対する接着の良否を肉眼判定で行っているが、リブ部４の表面の全域に接着材が行き渡っているかどうかを肉眼で判定するのが難しいという問題点もあった。
【０００５】
また、従来の軽量化ミラーでは、直径６００ｍｍ程度より大型になると、一枚のバックプレート５をコア２に取付ける際に、接触して接着すべき面積が大きいため、バックプレート５およびコア２の何れも平面度と面平滑度の両方で厳しい加工精度が必要となり、加工が難しく、長時間の加工が必要で、製造コストが高くなってしまうという問題点もあった。
また、接触面全面を均一に接着させるのが難しいため不良品ができるリスクが高く、歩留が悪いという問題点もあった。
また、コア２の裏面全面に均一厚さの一枚のバックプレート５を取付けるので、強度剛性の観点で非効果的であり、過剰重量であるという問題点もあった。
【０００６】
この発明は、かかる問題点を解決することを課題とするものであって、コアに対するバックプレートの接着強度が十分で、かつコアに対するバックプレートの接着の良否の肉眼判定が容易な軽量化ミラーを提供することを目的とする。
また、軽量、高剛性で、歩留まりが高く、製造コストを低減できる軽量化ミラーを提供することを目的とする。
また、コアに対するバックプレートの接着強度が高く、かつコアに対するバックプレートの接着の良否の肉眼判定が容易な軽量化ミラーの製造方法を得ることを目的とする。
また、コアに対するバックプレートの接着状態を、真空、温度サイクルのもとで検査することができる軽量化ミラーの検査方法を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明の軽量化ミラーは、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されているとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバックプレートとを備え、前記コアと前記バックプレートとは、光学接着された軽量化ミラーであって、少なくとも前記コアと前記バックプレートとの接着部は加熱処理されている。
【０００８】
この発明の軽量化ミラーでは、バックプレートは、個々の穴を覆った複数のプレート部で構成されている。
【０００９】
この発明の軽量化ミラーでは、リブ部同士が交差する交差部には、小穴が形成されている。
【００１０】
この発明の軽量化ミラーでは、プレート部には穴内の空気を抜く小孔が形成されている。
【００１１】
この発明の軽量化ミラーの製造方法は、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されているとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバックプレートとを備えた軽量化ミラーの製造方法であって、前記コアと前記バックプレートとの接着部を光学接着する工程と、その後少なくとも接着部を加熱処理する工程とを含むものである。
【００１２】
この発明の軽量化ミラーの製造方法では、加熱処理は水素雰囲気中で行われる。
【００１３】
この発明の軽量化ミラーの製造方法では、鏡面に金属または誘電体多層膜の反射膜を蒸着装置内で形成する工程と、この蒸着装置内でコアおよびバックプレートを加熱処理する工程とを含む。
【００１４】
この発明の軽量化ミラーの製造方法では、加熱処理は加熱手段を用いて接着部のみを加熱して行われる。
【００１５】
この発明の軽量化ミラーの製造方法では、加熱手段は、接着部に付着され高周波を吸収する高周波吸収体に高周波を照射する高周波加熱器である。
【００１６】
この発明の軽量化ミラーの製造方法では、加熱手段は、接着部に熱風を送る熱風ヒータである。
【００１７】
この発明の軽量化ミラーの製造方法では、加熱手段は、接着部の付近でバックプレートに取り付けられたヒータである。
【００１８】
この発明の軽量化ミラーの製造方法では、加熱手段は、接着部に付着されレーザ光を吸収するレーザ光吸収体にレーザ光を照射するレーザである。
【００１９】
この発明の軽量化ミラーの製造方法では、ガラス材料はＬｉ2Ｏ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2系の結晶化ガラスで構成され、加熱処理温度は６８０℃〜８３０℃である。
【００２０】
この発明の軽量化ミラーの検査方法は、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されているとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバックプレートとを備えた軽量化ミラーの温度サイクル検査を行う軽量化ミラーの検査方法であって、光学接着された前記コアと前記バックプレートとを、鏡面に金属または誘電体多層膜の反射膜を形成する蒸着装置内で加熱処理した後、引き続き前記蒸着装置内を真空にしたまま、温度サイクルにより軽量化ミラーの温度サイクル検査を行うものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、この発明について説明するが、従来のものと同一部材、部位、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１の軽量化ミラーの片半分斜視図であり、ドーナツ形状の軽量化ミラーは、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面１を有し裏面に三角形状の穴３が柱状のリブ部４を介して複数形成されたコア２と、このコア２の裏面に光学接着されているとともにガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されたバックプレート１５とを備えている。リブ部４が交差する部位にはコア２の軽量化のために小孔８が形成されている。
【００２２】
バックプレート１５は、個々の穴３を覆った複数のプレート部６で構成されている。プレート部６は三角形状の個別の穴３の開口形状より大きい板状に形成されている。個々のプレート部６の大きさは、個々の穴３の寸法にリブ部４の幅寸法の半分以下の寸法を加えた大きさである。個々のプレート部６は、同一寸法であり、その周縁部がリブ部４の表面に接着されている。プレート部６には小孔７が形成されており、人工衛星搭載用望遠鏡などに使用される際にコア２とプレート部６との間に残留空気がないようになっている。
なお、コア２の裏面に施された穴３は三角形状であるが、詳細には各三角形の彫り込みの隅部にはドリル等のツールが回転加工した後に残る円弧状部位が残っている。また、この例の他に四角形状の彫り込みによるエッグクレート構造や、六角形状に彫り込むハニカム構造でもよいのは勿論である。
【００２３】
ところで、使用するガラス材料としては例えばクリアセラム(株式会社オハラの登録商標、２００１年製)等の低膨張ガラス材料が用いられている。このガラス材料はＬｉ2Ｏ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2系の結晶化ガラスで構成されている。
プレート部６をコア２に接着する方法として、プレート部６およびコア２の平面度を維持したままそれぞれの接触面を物理的に研磨して密着させるオプティカルコンタクト(光学接着)と呼ばれる方法で接着した後、プレート部６およびコア２を加熱処理して行っている。加熱処理は水素雰囲気中で行われている。そのときの加熱処理温度は６８０℃〜８３０℃である。
【００２４】
ここで光学接着の原理および加熱処理温度６８０℃〜８３０℃の条件設定の理由について説明する。ガラスまたは結晶を構成する原子同士、イオン同士または原子とイオンとが結合し、この結合が結晶またはガラス内部では連続している。しかし、結晶またはガラスの端面部分では、この結合の連続がとぎれて余っている接合の手、いわゆるダングリングボンドが形成されている。部品の接触面を物理的に研磨し、平面度をだし、接触面にあるダングリングボンド同士を近づけ、密着させることで、部品同士を接着するのが光学接着である。
【００２５】
光学接着の原理から、ダングリングボンドを活性化させることにより光学接着の接着強度を増加させることが可能である。この方法としては、加熱処理が採られるが、空気中で研磨を実施した場合はダングリングボンドに酸素が結合していることが多く、酸素を除去する目的で水素雰囲気中で加熱処理されている。
【００２６】
光学接着の原理から加熱処理時に温度が高いほど接着強度が上昇することはいうまでもない。しかし、例えばクリアセラムなどの低膨張ガラス材料は一般的に膨張率を小さくするため、結晶の部分とガラスの部分が混在したいわゆる半結晶状態になっている。コア２およびバックプレート１５の加熱時に、ガラス温度をある温度以上に上昇させてしまうと半結晶状態からほぼ全面が結晶の状態に変化し、膨張率が増加するという現象が生じる。
【００２７】
低膨張ガラスとしてクリアセラムの場合、この状態変化の温度が８３０℃付近にあることが分かっている。また、クリアセラム同士を光学接着後に加熱処理した場合６８０℃以上であれば、人工衛星搭載用望遠鏡などに使用して十分な接着強度が得られることが分かっている。このため、コア２およびバックプレート１５が低膨張性を維持しつつ、かつ互いの接着強度が十分確保されるためには、コア２およびバックプレート１５の加熱処理温度を６８０〜８３０℃に設定している。
【００２８】
上記構成の軽量化ミラーでは、コア２とバックプレート１５とが光学接着および加熱処理で接着されているので、光学接着だけの場合と比較して接着強度が向上する。
また、コア２とバックプレート１５との接着に接着材が介在してないので、コア２とバックプレート１５との間に空気等が介在した接着不良が起こりうる。このときには、接着部の屈折率が不連続となり、その様子を肉眼的に簡単に観察できるので、コア２およびバックプレート１５の接着の良否についての肉眼検査精度が向上する。
また、加熱処理の設定条件は、６８０〜８３０℃に設定してあるので、コア２およびバックプレート１５は低膨張性を維持しつつ、かつ人工衛星搭載用望遠鏡等に使用しても十分な接着強度が確保される。
【００２９】
また、バックプレート１５は、個々の穴３を覆った複数のプレート部６で構成されているので、一枚のバックプレート５を用いた従来のものと比較して、バックプレート１５の平面度および面平滑度の加工が容易となり、加工時間が短縮され、かつ取付作業の容易化、取付作業時間の短縮化が可能となる。また、軽量化ミラーの製品歩留まりも向上し、製造コストを低減することができる。
【００３０】
なお、加熱処理は、コア２およびバックプレート１５の全体を加熱してもよいが、実質的には加熱処理は接着部のみを行えばよい。
図２ないし図５は、接着部のみを加熱処理する加熱手段を示す構成図である。
図２は加熱手段として高周波加熱器２０が用いられている例である。プレート部６の周縁部に水である高周波吸収体２０を付着させ、プレート部６およびコア２に高周波を照射させることで、高周波吸収体２０に高周波が吸収され、プレート部６のコア２に対する接続部が局所的に加熱され、プレート部６のコア２に対する接着強度が向上する。
【００３１】
図３は加熱手段として熱風ヒータ２２が用いられている例である。この例では、プレート部６のコア２に対する接続部に熱風ヒータ２２からの温風２３を当てることで、接続部が局所的に加熱され、プレート部６のコア２に対する接着強度が向上している。
【００３２】
図４は加熱手段としてヒータ２４が用いられている例である。この例では、プレート部６のコア２に対する接続部の付近のプレート部６の上面にヒータ２４を貼り付け、ヒータ２４により、プレート部６のコア２に対する接続部を局所的に加熱することで、プレート部６のコア２に対する接着強度が向上している。
【００３３】
図５は加熱手段としてレーザ２９が用いられている例である。プレート部６の周縁部に水であるレーザ光吸収体２７を付着させ、このレーザ光吸収体２７にレーザ２４から光学系２５を通過したレーザ光２６が照射され、レーザ光吸収体２７が加熱され、プレート部６のコア２に対する接続部が局所的に加熱され、プレート部６のコア２に対する接着強度が向上している。
【００３４】
実施の形態２．
図６はこの発明の実施の形態２を示す構成図である。
鏡面１に金属または誘電体多層膜の反射膜を形成する蒸着装置３４は、ケース３５と、このケース３５内に設けられた蒸着源３２と、この蒸着源３２の前方に配置されたシャッタ３１と、ケース３５に接続されケース３５内を真空にする排気装置３３と、軽量化ミラーのバックプレート１５上に設けられたヒータ３０とを備えている。ケース３５の周囲には冷媒配管（図示せず）が設けられており、ケース３５内の雰囲気を冷媒配管を通る冷媒で冷却することで、ヒータ３０、蒸着源３２等から不純物がケース３５内に浮遊するのを防止している。
【００３５】
次に、この蒸着装置３４の取り扱いについて説明する。
先ず、所謂光学接着で各プレート部６がコア２に接着された軽量化ミラーをケース３５内に蒸着源３２に対向させた状態で載置する。このときには、排気装置３３の作動によりケース３５内は高真空度になっている。この後、ヒータ３０の通電によりバックプレート１５およびコア６を例えば７８０℃の温度になるまで加熱処理する。このときには、シャッタ３１は閉じられている。また、ケース３５の周囲の冷媒配管には冷媒が供給されてなく、ケース３５は冷媒で冷却されるようなことはない。
その後、シャッタ３１を開き、蒸着源３２からの蒸着物質を蒸発させて鏡面１にアルミ、銀等の金属または絶縁体多層膜による反射膜を形成する。このときも、反射膜の強度を高めるために、ヒータ３０の通電により、軽量化ミラーは加熱された状態で行われる。
【００３６】
加熱処理され、また反射膜が形成された軽量化ミラーは、引き続き温度サイクル検査に供される。それには、先ず、ヒータ３０の通電を遮断するとともに、ケース３５の周囲の冷媒配管に冷媒を供給してケース３５内の雰囲気を低温（例えば−５０℃）にする。この状態で軽量化ミラーを所定時間ケース３５内に載置した後、冷媒の供給を停止し、ヒータ３０を通電することで、ケース３５内の雰囲気を高温（例えば１２０℃）に設定する。
このような軽量化ミラーに要求される環境温度範囲で、ヒータ３０の通電の有無、および冷媒の供給の有無により、ケース３５内の温度変化を繰り返し行う。これにより、宇宙用望遠鏡等に要求される温度環境下での検査を低コスト、短期間で実施することが可能となる。
この方法によれば、加熱処理用の装置として蒸着装置３４を代用することができ、低コストで軽量化ミラーを製造できる。また、蒸着装置３４をそのまま温度サイクル検査に供することができ、温度サイクル検査用の装置をわざわざ用意する必要性はない。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の軽量化ミラーによれば、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されているとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバックプレートとを備え、前記コアと前記バックプレートとは、光学接着された軽量化ミラーであって、少なくとも前記コアと前記バックプレートとの接着部は加熱処理されているので、光学接着だけの場合と比較して接着強度が向上する。
また、コアとバックプレートとの間には接着材が介在せず、コアとバックプレートとの間に空気等が介在したときには、接着部の屈折率が不連続となり、その様子は肉眼的に簡単に観察できるので、接着の良否についての肉眼検査精度が向上する。
【００３８】
また、この発明の軽量化ミラーによれば、バックプレートは、個々の穴を覆った複数のプレート部で構成されているので、一枚のバックプレートを用いた従来のものと比較して、バックプレートの平面度および面平滑度の加工が容易となり、加工時間が短縮され、かつ取付作業の容易化、取付作業時間の短縮化が可能となる。また、軽量化ミラーの製品歩留まりも向上し、製造コストを低減することができる。
【００３９】
また、この発明の軽量化ミラーによれば、リブ部同士が交差する交差部には、小穴が形成されているので、コアを軽量化することができる。
【００４０】
また、この発明の軽量化ミラーによれば、プレート部には穴内の空気を抜く小孔が形成されているので、例えば人工衛星搭載用望遠鏡等に使用されたときに、穴内に空気が残留するようなことはない。
【００４１】
また、この発明の軽量化ミラーの製造方法によれば、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されているとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバックプレートとを備えた軽量化ミラーの製造方法であって、前記コアと前記バックプレートとの接着部を光学接着する工程と、その後少なくとも接着部を加熱処理する工程とを含むので、コアとバックプレートとの接着強度について、高い接着強度が容易に得られる。
【００４２】
また、この発明の軽量化ミラーの製造方法によれば、加熱処理は水素雰囲気中で行われるので、ダングリングボンドに酸素が結合するようなことはなく、コアとバックプレートとの接着強度について、高い接着強度が容易に得られる。
【００４３】
また、この発明の軽量化ミラーの製造方法によれば、鏡面に金属または誘電体多層膜の反射膜を蒸着装置内で形成する工程と、この蒸着装置内でコアおよびバックプレートを加熱処理する工程とを含むので、加熱処理用の特別の装置を製造することなく、既存の装置で加熱処理を行うことができる。
【００４４】
また、この発明の軽量化ミラーの製造方法によれば、加熱処理は加熱手段を用いて接着部のみを加熱して行われるので、省エネルギで、コアとバックプレートとの接着強度について、高い接着強度が得られる。また、加熱処理がコアおよびバックプレートの全体にわたって行われた場合と比較して、コアおよびバックプレートの低膨張性がより維持される。
【００４５】
また、この発明の軽量化ミラーの製造方法によれば、加熱手段は、接着部に付着され高周波を吸収する高周波吸収体に高周波を照射する高周波加熱器であるので、簡単な構造で接着部のみを加熱することができる。
【００４６】
また、この発明の軽量化ミラーの製造方法によれば、加熱手段は、接着部に熱風を送る熱風ヒータであるので、簡単な構造で接着部のみを加熱することができる。
【００４７】
また、この発明の軽量化ミラーの製造方法によれば、加熱手段は、接着部の付近でバックプレートに取り付けられたヒータであるので、簡単な構造で接着部のみを加熱することができる。
【００４８】
また、この発明の軽量化ミラーの製造方法によれば、加熱手段は、接着部に付着されレーザ光を吸収するレーザ光吸収体にレーザ光を照射するレーザであるので、簡単な構造で接着部のみを加熱することができる。
【００４９】
また、この発明の軽量化ミラーの製造方法によれば、ガラス材料はＬｉ2Ｏ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2系の結晶化ガラスで構成され、加熱処理温度は６８０℃〜８３０℃であるので、コアおよびバックプレートは低膨張性を維持しつつ、かつ例えば人工衛星搭載用望遠鏡等に使用しても十分な接着強度が確保される。
【００５０】
また、この発明の軽量化ミラーの検査方法によれば、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されているとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバックプレートとを備えた軽量化ミラーの温度サイクル検査を行う軽量化ミラーの検査方法であって、光学接着された前記コアと前記バックプレートとを、鏡面に金属または誘電体多層膜の反射膜を形成する蒸着装置内で加熱処理した後、引き続き前記蒸着装置内を真空にし、かつ温度サイクルにより軽量化ミラーの温度サイクル検査を行うので、既存の蒸着装置で加熱処理を行った後、同装置を用いて引き続き温度サイクル検査を行うことができ、軽量化ミラーの製造から検査まで、円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１の軽量化ミラーを示すもので、半分に切断した軽量化ミラーの斜視図である。
【図２】  加熱手段の例を示す構成図である。
【図３】  加熱手段の例を示す構成図である。
【図４】  加熱手段の例を示す構成図である。
【図５】  加熱手段の例を示す構成図である。
【図６】  軽量化ミラーの検査に用いられる蒸発装置の構成図である。
【図７】  従来の軽量化ミラーの片半分の斜視図である。
【符号の説明】
１  鏡面、２  コア、３  穴、４  リブ部、６  プレート部、７  小孔、８  小穴、１５  バックプレート、２０  高調波加熱器、２２  熱風ヒータ、２４  ヒータ、２９  レーザ、３０  ヒータ、３３  排気装置、３４  蒸着装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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