(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解液中において電気化学反応中の試験電極の状態を物理変化情報検出手段を用いて評価するために、前記試験電極に対して前記電解液中で前記電気化学反応を進行させるための電極反応状態評価用セルであって、
前記試験電極を配置するための配置部位を有しかつ前記電解液を貯留可能な開放型の貯留室と、前記貯留室に向けて形成された、前記電解液を出し入れするための液路とを備えたセル本体と、
前記セル本体に配置された、前記電解液中において前記試験電極に対して前記電気化学反応を進行させるための対向電極とを備え、
前記液路は、前記配置部位において前記電解液が流動するよう前記貯留室に対して前記電解液を出し入れ可能に設定されている、
電極反応状態評価用セル。
【請求項２】
前記液路は、前記配置部位と平行に前記電解液が流動するよう前記電解液を出し入れ可能に設定されている、請求項１に記載の電極反応状態評価用セル。
【請求項３】
前記液路は、前記配置部位に向けて前記電解液が流動するよう前記電解液を出し入れ可能に設定されている、請求項１に記載の電極反応状態評価用セル。
【請求項４】
前記液路は、前記貯留室内において、前記電解液が渦流を形成しながら流動するよう前記電解液を出し入れ可能に設定されている、請求項１に記載の電極反応状態評価用セル。
【請求項５】
電解液中において電気化学反応中の試験電極の状態を物理変化情報検出手段を用いて評価するために、前記試験電極に対して前記電解液中で前記電気化学反応を進行させるための電極反応状態評価用セルであって、
前記試験電極により液密に封口可能な開口を有し、かつ前記開口が前記試験電極により封口された際に前記電解液を貯留するための開放型の貯留室を形成可能なセル本体と、
前記セル本体に配置された、前記電解液中において前記試験電極に対して前記電気化学反応を進行させるための対向電極とを備え、
前記セル本体は、前記貯留室に向けて形成された、前記開口において前記電解液が流動し得るよう前記電解液を出し入れするための液路を有している、
電極反応状態評価用セル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、反応状態評価用セル、特に、電極反応状態評価用セルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電池、メッキあるいは電解などの電気化学反応を利用した技術分野において、電極の反応状態の研究・解析を実施するための方法として、サイクリックボルタモメトリー法や回転リングディスク電極法等の電気化学的手法が開発されている。ところが、この種の電気化学的手法は、電極の反応に付随して発生する電位（電圧）と電流との２次的なデータを利用して電極の反応状態を解析するものであるため、解析作業に高度の専門知識が要求されるものの、電極の表面において実際に進行している電気化学反応現象を視覚的に捉えることができない欠点がある。
【０００３】
このため、最近では、電気化学反応が進行中の電極の表面状態をリアルタイムで視覚的に評価するための装置、例えば、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）や走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）などの走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）類を応用した電気化学ＳＰＭ装置および走査型電気化学顕微鏡、並びに上記表面状態をグラフ形態で評価するためのその場Ｘ線回折装置等の各種装置が提案されている（例えば、特開平２−２８４０１５号公報、特開平５−２３２０８１号公報参照）。これらの装置を用いて電気化学反応中の電極の表面状態を観察する場合は、電解液中に評価対象であるサンプル電極（試験電極）と、その対極となる対向電極とを配置し、両電極の間に通電して電気化学反応を進行させる。そして、その状態において、試験電極の表面で探針、Ｘ線またはレーザー等の物理変化情報検出手段を走査させ、当該物理変化情報検出手段が電気化学反応により試験電極の表面状態が変化するに従って受ける物理的情報（例えばトンネル電流）を検出して画像処理し、電気化学反応中の試験電極における表面状態を視覚的に表現している。
【０００４】
ところで、上述のような観察時において、試験電極の電気化学反応は、試験電極をセルに装着して実施している。ここで用いられるセルは、通常、試験電極を配置するための配置部位を有しかつ電解液を貯留するための開放型の貯留室を備えたセル本体と、当該セル本体に配置された、電解液中において試験電極に対して電気化学反応を進行させるための対向電極とを主に備えている。このようなセルを用いて目的の電気化学反応を進行させる場合は、先ず、セル本体の配置部位に試験電極を配置し、その状態で貯留室内に電解液を注入する。そして、この状態で試験電極と対向電極との間に通電し、電気化学反応を進行させる。
【発明が解決しようとする課題】
上述のようなセルにおいて、電気化学反応が進行した場合、試験電極の表面には、電気化学反応の結果生じた気泡が付着する場合がある。特に、試験電極に対して比較的大きな電流を流した場合、試験電極の表面にはこのような気泡が付着し易い。この場合、物理変化情報検出手段として、試験電極表面を走査しながらトンネル電流や原子間力等の物理変化を検知可能な探針を用いると、当該探針の作動が気泡の影響を受け、試験電極表面における物理変化を正確に捉えることができず、電気化学反応中の試験電極の表面状態を観察するのが実質的に不可能になる。また、物理変化検出手段として、Ｘ線やレーザー光を活用したものを用いる場合、試験電極に付着した気泡により測定精度が低下する可能性がある。特に、試験電極に付着している気泡は、球面形状をしているため、そこに入射したＸ線やレーザー光を反射したり散乱したりし、測定誤差の原因となる。
【０００５】
本発明の目的は、電気化学反応中等の試験電極表面に付着した気泡を除去することができる、電解液を貯留するための開放型の貯留室を備えた電極反応状態評価用セルを実現することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る電極反応状態評価用セルは、電解液中において電気化学反応中の試験電極の状態を物理変化情報検出手段を用いて評価するために、試験電極に対して電解液中で電気化学反応を進行させるためのものであり、試験電極を配置するための配置部位を有しかつ電解液を貯留可能な開放型の貯留室、および貯留室に向けて形成されかつ電解液を出し入れするための液路を備えたセル本体と、セル本体に配置されかつ電解液中において試験電極に対して電気化学反応を進行させるための対向電極とを備えている。ここで、液路は、配置部位において電解液が流動するよう貯留室に対して電解液を出し入れ可能に設定されている。
【０００７】
このような電極反応状態評価用セルにおいて、セル本体の液路は、例えば、配置部位と平行に電解液が流動するよう電解液を出し入れ可能に設定されている。または、当該液路は、例えば、配置部位に向けて電解液が流動するよう電解液を出し入れ可能に設定されている。または、当該液路は、例えば、貯留室内において、電解液が渦流を形成しながら流動するよう電解液を出し入れ可能に設定されている。
【０００８】
本発明の他の見地に係る電極反応状態評価用セルは、同様に、電解液中において電気化学反応中の試験電極の状態を物理変化情報検出手段を用いて評価するために、試験電極に対して電解液中で電気化学反応を進行させるためのであり、試験電極により液密に封口可能な開口を有し、かつ当該開口が試験電極により封口された際に電解液を貯留するための開放型の貯留室を形成可能なセル本体と、セル本体に配置されかつ電解液中において試験電極に対して電気化学反応を進行させるための対向電極とを備えている。セル本体は、貯留室に向けて形成された、上記開口において電解液が流動し得るよう電解液を出し入れするための液路を有している。
【０００９】
【作用】
本発明の電極反応状態評価用セルを用いて試験電極の電気化学反応中の状態を評価する場合は、セル本体の配置部位に試験電極を配置し、貯留室内に電解液を貯留する。この状態で試験電極と対向電極との間に電流を流すと、電解液中において試験電極と対向電極との間で電気化学反応が進行することになるが、この際、試験電極に電気化学反応による気泡が付着した場合は、貯留室に対して液路を通じて電解液を出し入れする。ここで出し入れされた電解液は、試験電極の配置部位において流動し、試験電極に付着した気泡を除去する。
【００１０】
また、本発明の他の見地に係る電極反応状態評価用セルを用いて試験電極の電気化学反応中の状態を評価する場合は、セル本体の開口を試験電極により封口し、それにより形成される貯留室内に電解液を貯留する。この状態で試験電極と対向電極との間に電流を流すと、電解液中において試験電極と対向電極との間で電気化学反応が進行することになるが、この際、試験電極に電気化学反応等により生じた気泡が付着した場合は、貯留室に対して液路を通じて電解液を出し入れする。ここで出し入れされた電解液は、試験電極により封口された開口において流動し、試験電極に付着した気泡を除去する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１を参照して、本発明の電極反応状態評価用セルを用いた電気化学走査型原子間力顕微鏡装置（以下、“ＥＣ−ＡＦＭ装置”と称す）の概略構成を説明する。図において、ＥＣ−ＡＦＭ装置１は、当該ＥＣ−ＡＦＭ装置１に対して着脱可能でありかつ試験電極２を装着可能な電極反応状態評価用セル３と、検出装置４（物理変化情報検出手段の一例）と、電気化学制御装置５とを主に備えている。
【００１２】
図２および図３（図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図）を参照して、電極反応状態評価用セル３を説明する。なお、各図は、板状の試験電極２を装着した状態の電極反応状態評価用セル３を示している。図において、電極反応状態評価用セル３は、検出装置４の後述する探針部２０を内部に配置可能ないわゆる開放型セルであり、セル本体１０、対向電極１１および隔離膜１２を備えている。
【００１３】
セル本体１０は、通常、導電性を示さずかつ後述する評価方法において用いる電解液と反応しない材料、例えばＡＢＳ樹脂、ＰＰ樹脂またはガラス等の材料からなる直方体状の部材であり、上面および底面の中心部にそれぞれ開口１３ａ，１３ｂを有しかつ上下方向に貫通する円管状の貫通孔１３を備えている。この貫通孔１３は、セル本体１０の底面側の開口１３ｂ（配置部位の一例）の周囲において、耐食性の弾性材料からなるＯリング１４を備えており、Ｏリング１４に対して試験電極２を当接した場合、開口１３ｂが液密に封口され、電解液を貯留するための貯留室１５を形成し得る。
【００１４】
また、セル本体１０の１つの側面において、底面近傍には、貫通孔１３内に向けて水平に形成された、後述する参照電極２７（図１参照）を挿入するための電極挿入孔１６が形成されている。また、セル本体１０の他の側面において、底面近傍には、貫通孔１３内に向けて水平に形成された、電解液を出し入れするための液路１７が形成されている。
【００１５】
対向電極１１は、環状の帯状に形成されており、貫通孔１３の内周面において、底面側の開口１３ｂから一定の間隔ｄを維持しつつ、開口１３ｂと平行に配置されている。なお、対向電極１１の材質は、特に限定されるものではないが、通常、金属、金属酸化物および炭素のうちの１つ、特にこれらの多孔質体を用いて形成されているのが好ましい。
【００１６】
隔離膜１２は、イオン透過性を有する例えば不織布からなり、対向電極１１の内周面上に、すなわち、貫通孔１３により形成され得る貯留室１５内に向けた対抗電極１１の表面部分に配置されている。
【００１７】
検出装置４は、探針部２０、レーザーヘッド２１、受光器２２および制御装置２３を主に備えている。探針部２０は、電極反応状態評価用セル３の貫通孔１３（すなわち、貯留室１５）内に配置可能であり、カンチレバー２４と、その先端において下方に向けて（すなわち、開口１３ｂに向けて）装着されたプローブ２５とを備えている。カンチレバー２４は、バネ性を有する撓み性の部材であって移動装置２６により支持されており、この移動装置２６により、貫通孔１３内を３次元方向に自由に微動し得るように設定されている。一方、プローブ２５は、試験電極２の表面部分の原子間力を感知するためのセンサーであり、カンチレバー２４により支持されつつ、移動装置２６により、開口１３ｂを封口している試験電極２の表面部分上を走査し得る。
【００１８】
レーザーヘッド２１は、探針部２０のカンチレバー２４に向けてレーザー光を照射するためのものであり、電極反応状態評価用セル３の上方に配置されている。また、受光器２２は、カンチレバー２４において反射するレーザーヘッド２１からのレーザー光（反射レーザー光）を受光し、その際にカンチレバー２４の撓み量に従って生じる反射レーザー光の位置ずれを検出するためのものであり、電極反応状態評価用セル３の上方に配置されている。
【００１９】
制御装置２３は、カンチレバー２４の移動装置２６、レーザーヘッド２１および受光器２２に接続されており、これらの動作を制御すると共に、受光器２２により検出された反射レーザー光の位置ずれ情報を演算処理し、試験電極２の表面状態を画像で表示し得るように構成されている。
【００２０】
電気化学制御装置５は、試験電極２、電極反応状態評価用セル３に配置された対向電極１１および後述する参照電極２７に対して接続可能に設定されており、参照電極２７において測定される電位を基準として試験電極２および対向電極１１の電位を制御すると共に、両電極２，１１間に流れる電気化学電流を検出するためのものである。
【００２１】
次に、上述のＥＣ−ＡＦＭ装置１による、試験電極２の電気化学反応状態評価方法を説明する。
先ず、ＥＣ−ＡＦＭ装置１において、図１に示すように、電極反応状態評価用セル３を水平に配置し、そのセル本体１０の底部に装着されたＯリング１４に対して板状の試験電極２を当接して開口１３ｂを液密に封口する。この際、試験電極２は、図示しないクリップやボルト等を用いてセル本体１０に固定するのが好ましい。また、セル本体１０の電極挿入孔１６から貫通孔１３内に参照電極２７を挿入し、当該電極挿入孔１６を液密に封鎖する。なお、ここで用いられる参照電極は、電気化学分野で一般に用いられているものであり、特に限定されるものではないが、例えば、標準水素電極（ＲＨＥ）、飽和カロメル電極（ＳＣＥ）、水銀−塩化水銀電極および水銀−硫酸水銀電極などである。因みに、参照電極２７は、セル本体１０とは別に配置し、電極挿入孔１６内に満たした電解液に対して接続（液絡）してもよい。
【００２２】
このようにして試験電極２および参照電極２７が装着された電極反応状態評価用セル３は、試験電極２、対向電極１１および参照電極２７のそれぞれが電気化学制御装置５に接続される。
【００２３】
次に、開口１３ｂを試験電極２で封口することにより形成される、セル本体１０の貯留室１５内に、開口１３ａから電解液を注入する。この際、電解液は、対向電極１１の全体を浸漬できる程度に注入する。これにより、試験電極２と対向電極１１とは、電解液中において通電可能に対向することになる。
【００２４】
なお、検出装置４の探針部２０は、電解液が注入された貯留室１５内において、プローブ２５が試験電極２の表面に接触しないよう近接して配置する。
【００２５】
次に、電気化学制御装置５を作動させ、試験電極２と対向電極１１との間に通電する。これにより、試験電極２において、開口１３ｂを封口している部位（封口部位）では、電気化学反応が進行することになる。ここで、対向電極１１は、開口１３ｂから一定の間隔ｄを維持しながら環状に配置されており、その結果、試験電極２の封口部位の中心部から対向電極１１の環状の各部までの距離が等しくなるため、試験電極２の封口部位内の各部の電位分布や電流分布が概ね均一になり得る。このため、この電極反応状態評価用セル３では、試験電極２の封口部位全体において、略均一に電気化学反応を促進させることができる。
【００２６】
上述のような電気化学反応の進行中において検出装置４を作動させ、移動装置２６によりカンチレバー２４を微動させながらプローブ２５を試験電極２の封口部位で走査すると、プローブ２５は、電気化学反応により試験電極２の表面で生じている原子間力の変化に追従して微動し、カンチレバー２４を撓ませる。このときの撓み量は、カンチレバー２４により反射する、レーザーヘッド２１からの反射レーザー光の位置ずれ情報として受光器２２により検出される。制御装置２３は、受光器２２により検出された位置ずれ情報に基づいて所定の演算処理を実行し、試験電極２の表面で生じている電気化学反応状態をリアルタイムで画像として表示する。これにより、試験電極２の表面で生じている電気化学反応状態を観察、測定し、評価することができる。
【００２７】
上述のような電極反応状態評価方法において、試験電極２における電気化学反応が進行すると、試験電極２の表面において、電気化学反応により生じたガスによる気泡が付着する場合がある。この場合は、マイクロシリンジや注射器などを用い、液路１７から貯留室１５内に電解液を注入したり、貯留室１５から電解液の一部を吸引して取り出す。これにより、貯留室１５内の電解液は、図３に矢印で示すように開口１３ｂにおいて試験電極２と概ね並行に流動し、試験電極２の表面に付着した気泡を除去することができる。
【００２８】
従って、試験電極２の表面を走査中の探針部２０は、そのような気泡による影響を受けて誤動作するのが防止され、試験電極２の表面で進行中の電気化学反応により生じる物理変化情報（電極表面の形態変化情報、例えば原子間力の変化情報）を正確にかつ安定に検出してすることができる。
【００２９】
なお、電気化学反応の進行に伴い、対向電極１１においてガスが発生する場合もあるが、このガスは、対向電極１１の表面に配置された隔離膜１２により試験電極２方向への移動が阻止され得るので、試験電極２の表面に付着する可能性は小さい。
【００３０】
［他の実施の形態］
（１）上述の実施の形態に係る電極反応状態評価用セル３において、液路１７の形態は適宜変更されてもよい。例えば、図４（図３に相当する図：図３に相当する部位には同じ符号を付している）に示すように、液路１７は、セル本体１０の側面において、開口１３ｂに向けて下方に傾斜して形成されていてもよい。この場合、液路１７をから電解液を注入すると、電解液は、図４に矢印で示すように貯留室１５内において液路１７の傾斜方向の延長線上を流れ、開口１３ｂにおいて試験電極２の表面に行き当たるように流動する。この結果、試験電極２の表面に付着した気泡は、そのような電解液の流れにより除去され得る。
【００３１】
また、液路１７は、図５および図６（それぞれ図２および図３に相当する図：各図において、図２および図３に相当する部位には同じ符号を付している）に示すように、セル本体１０の底面近傍において、その側面から貫通孔１３の接線方向に水平に形成されていてもよい。この場合、液路１７を経由して電解液を出し入れすると、電解液は、貯留室１５内において貫通孔１３の内周面に沿って流れ、貯留室１５内の開口１３ｂ付近において、図５に矢印で示すように試験電極２の表面で流動する渦流を形成し得る。この結果、試験電極２の表面に付着した気泡は、そのような電解液の流れにより除去され得る。
【００３２】
なお、この場合の液路１７は、貫通孔１３の接線方向に水平に形成されていればよく、例えば図７（図５に相当する図：図５に相当する部位には同じ符号を付している）に示すように変形されていてもよい。
【００３３】
（２）上述の実施の形態に係る電極反応状態評価用セル３では、対向電極１１を貫通孔１３の内周面に環状に配置したが、対向電極１１は、セル本体１０に対して他の状態で配置されていてもよい。例えば、図８および図９（図８のＩＸ−ＩＸ断面図）に示すように（各図において、図２および図３に対応する部位には同じ符号を付している）、対向電極１１を４つの三角柱状の対向電極片１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄにより構成し、これらの対向電極片１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄを、それぞれセル本体１０の各隅角部において開口１３ｂ（配置部位）から均等な距離を隔てて配置すると共に相互に導電体１８を用いて接続し、液路１７をセル本体１０の１つの隅角部から貫通孔１３内に向けて水平に形成した場合も、本発明を同様に実施することができ、上述の実施の形態に係る電極反応状態評価用セル３の場合と同様の効果を達成することができる。この場合、隔離膜１２は、図８および図９に示すように、各対向電極片１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄの表面に個別に配置するのが好ましい。
【００３４】
（３）上述の各実施の形態に係る電極反応状態評価用セル３おいては、セル本体１０の底面に開口１３ｂを設け、当該開口１３ｂを封口するように試験電極２を装着するようにしているが、図１０（図３に相当する図：図３に相当する部位には同じ符号を付している）に示すように、セル本体１０を貯留室１５を有する有底の容器状に形成し、その底部に区画を設けて試験電極２を配置するための配置部位１０ａを形成してもよい。
【００３５】
この場合、配置部位１０ａを形成する区画の形状は、特に限定されるものではないが、配置部位１０ａに配置された試験電極２の各部における電位分布や電流分布が均一になるよう設定するのが好ましい。より具体的には、例えば、対向電極１１が上述のような環状の場合、配置部位１０ａはそれに対応した環状に形成するのが好ましい。なお、液路１７は、図１０に示す形態の他、上述の他の実施の形態の場合のような各種の形態に変更することができる。
【００３６】
（４）上述の実施の形態において、液路１７は、セル本体１０の外側の開口部分と貯留室１５側の開口部分とで口径が異なるように形成されていてもよく、この場合も同様の効果を達成することができる。
【００３７】
（５）上述の各実施の形態では、セル本体１０に１つの液路１７を形成し、当該液路１７を通じて電解液の一部を出し入れするように構成したが、セル本体１０に液路１７を２つ形成し、一方の液路１７を電解液の注入用、他方の液路１７を電解液の排出用として利用し、貯留室１５内において常時電解液が流動するよう構成した場合も本発明を同様に実施することができる。
【００３８】
（６）上述の実施の形態では、物理変化情報検出手段として、ＥＣ−ＡＭＦ装置用の検出装置を用いた場合を例に説明したが、物理変化情報検出手段として、他の手段、例えば、走査型トンネンル顕微鏡用の検出装置、走査型電気化学顕微鏡用の検出装置、Ｘ線回折用の検出装置、レーザー光を用いた検出装置などを利用することもできる。
【００３９】
【実施例】
上述の実施の形態に係る電極反応状態評価用セル３（図２および図３に示すもの）を上述の実施の形態で説明したＥＣ−ＡＭＦ装置１に適用し、また、参照電極２７として水銀−硫酸水銀電極を用い、電解液中における試験電極２の電極反応状態を評価した。なお、試験電極２には平板状の金属鉛を使用した。また、電解液として濃度が１５重量％の硫酸水溶液を用いた。
【００４０】
ここでは、先ず、試験電極２に対し、参照電極２７に対して−１，４００ｍＶの電位を３０分間印加し、試験電極２の表面を還元処理した。なお、ここで印加した電位は、希硫酸電解液中において、金属鉛電極の表面から水素ガスが発生する電位であるため、還元処理後の試験電極２の表面には、水素ガスの気泡が大量に付着していた。したがって、そのままの状態では、ＥＣ−ＡＭＦ装置１による電極反応状態の評価は不可能であった。
【００４１】
これに対し、貯留室１５内の電解液の一部を、マイクロシリンジを用いて液路１７から抜き取り、続いてそのまま再度液路１６から貯留室１５内に注入すると、開口１３ｂ部分で試験電極２と並行に電解液が流動し、試験電極２の表面に付着した気泡が除去された。この結果、試験電極２の表面は、ＥＣ−ＡＭＦ装置１による評価が可能な状態に設定された。
【００４２】
上述のようにして気泡が除去された試験電極２と対向電極１１との間に、参照電極２７に対して−１，２００ｍＶから−８００ｍＶの範囲まで５０ｍＶ／分の速度で電位を走査しながら通電し、その間に試験電極２の表面で生じる電気化学反応を調べた。この際、試験電極２は、電位が−９４０ｍＶ付近のときにおいて対向電極１１との間で約１０ｍＡの電流が流れ、反応していることが確認されたが、その反応前（走査電位が−９８３ｍＶ〜−９４０ｍＶの範囲）および反応後（走査電位が−９４０ｍＶ〜−８９７ｍＶの範囲）の両方において、それぞれ図１１および図１２に示すように、試験電極２表面での反応状態を高精度で視覚的に観察（評価）することができた。
【００４３】
【発明の効果】
本発明に係る電極反応状態評価用セルは、セル本体が上述のような液路を有しているため、電気化学反応中の試験電極の表面に付着した気泡を除去することができ、各種の物理変化情報検出手段を用いて電気化学反応中の試験電極の状態を正確に評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態に係る電極反応状態評価用セルが採用されたＥＣ−ＡＭＦ装置の概略構成図。
【図２】前記電極反応状態評価用セルの平面図。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図。
【図４】他の実施の形態に係る電極反応状態評価用セルの図３に相当する図。
【図５】さらに他の実施の形態に係る電極反応状態評価用セルの平面図。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ断面図。
【図７】さらに他の実施の形態に係る電極反応状態評価用セルの平面図。
【図８】さらに他の実施の形態に係る電極反応状態評価用セルの平面図。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ断面図。
【図１０】さらに他の実施の形態に係る電極反応状態評価用セルの図３に相当する図。
【図１１】実施例で評価した試験電極の反応前の電気化学走査型原子間力顕微鏡画像。
【図１２】実施例で評価した試験電極の反応後の電気化学走査型原子間力顕微鏡画像。
【符号の説明】
２  試験電極
３  電極反応状態評価用セル
４  検出装置
１０  セル本体
１０ａ  配置部位
１１  対向電極
１３ｂ  開口
１５  貯留室
１７  液路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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