(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体により湿潤する薄膜に当該薄膜を支持する支持膜を接着した薄膜接合体における薄膜に液体を塗布する液体塗布装置であって、
前記薄膜接合体を所定の方向となるように供給したとき、該薄膜接合体の支持膜側の面を吸引すると共に加熱しながら搬送する搬送手段と、
該搬送される前記薄膜接合体の薄膜側の一方の面に前記液体を塗布する塗布手段と
を備える液体塗布装置。
【請求項２】
前記塗布手段により塗布された前記薄膜接合体から前記支持膜を剥離する剥離手段を備える請求項１記載の液体塗布装置。
【請求項３】
前記搬送手段は、表面に複数の吸引孔を有し前記薄膜接合体を周回させて搬送するベルトと、該ベルトを加熱可能な加熱手段を有し該ベルトを支持すると共に該ベルトの複数の吸引孔に負圧を生じさせる支持部材とを備える請求項１または２記載の液体塗布装置。
【請求項４】
前記支持部材は、前記ベルトの両端に配置され、該ベルトを吸引して周回させる共に該吸引されたベルトの複数の吸引孔に負圧を生じさせる複数の吸引孔を有する２つの回転部材を備える請求項３記載の液体塗布装置。
【請求項５】
前記支持部材は、前記ベルトと接触し、該ベルトの周回に伴って回転する複数の転動体を備える請求項４記載の液体塗布装置。
【請求項６】
前記薄膜の塗布面への給気および排気を行なう給排気手段を備える請求項１ないし５いずれか記載の液体塗布装置。
【請求項７】
前記給排気手段は、前記搬送手段の位置を中心として前記塗布手段が配置された位置と対向する位置に配置されてなる請求項６記載の液体塗布装置。
【請求項８】
請求項２に係る請求項３ないし７いずれか記載の液体塗布装置であって、
前記所定の方向となるように供給した前記薄膜接合体への液体の塗布がなされた後に前記所定の方向とは逆の方向となるように前記薄膜複合体を表裏反転させて供給したとき、前記塗布手段により前記液体が塗布された薄膜の前記一方の面を吸引すると共に加熱しながら搬送する請求項１ないし７いずれか記載の搬送手段と同一の第２の搬送手段を備え、
前記剥離手段は、該第２の搬送手段により前記薄膜の前記一方の面が吸引された状態で前記支持膜を剥離する手段であり、
さらに、該剥離手段により支持膜が剥離された薄膜の前記一方の面とは逆の他方の面に前記液体を塗布する第２の塗布手段を備える液体塗布装置。
【請求項９】
請求項８記載の液体塗布装置であって、
前記搬送手段および前記第２の搬送手段は、略水平に対向して配置してなり、
該搬送手段と該第２の搬送手段との間に前記薄膜接合体を該搬送手段に供給する供給手段と、前記第２の搬送手段から搬送された前記薄膜を回収する回収手段とを備える液体塗布装置。
【請求項１０】
前記塗布手段は、前記液体を前記薄膜に噴霧して塗布する手段である請求項１ないし９いずれか記載の液体塗布装置。
【請求項１１】
前記液体は、触媒を担持するカーボン粉末を溶媒に分散してなる液体である請求項１ないし１０いずれか記載の液体塗布装置。
【請求項１２】
湿潤する薄膜に液体を塗布する液体塗布方法であって、
前記薄膜を支持する支持膜を該薄膜に接着する接着工程と、
該支持膜が接着された薄膜を該支持膜側から吸引すると共に加熱しながら搬送する搬送工程と、
前記支持膜と共に搬送される薄膜の一方の面に前記液体を塗布する塗布工程と、
該液体が塗布された前記薄膜と前記支持膜とを剥離する剥離工程と
を備える液体塗布方法。
【請求項１３】
請求項１２記載の液体塗布方法であって、
前記塗布工程により前記液体が塗布された前記薄膜の一方の面を吸引すると共に加熱しながら搬送する第２の搬送工程と、
該搬送される薄膜の他方の面に前記液体を塗布する第２の塗布工程と
を備える液体塗布方法。
【請求項１４】
前記剥離工程は、前記第２の搬送工程により前記薄膜の一方の面が吸引された状態で剥離する工程である請求項１３記載の液体塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体塗布装置に関し、詳しくは、液体により湿潤する薄膜を有する薄膜接合体および湿潤する膜に液体を塗布する液体塗布装置と液体塗布方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電極素材に塗布された触媒の厚みを均一にすると共に塗布された触媒を早期に乾燥させる装置が提案されている（例えば、特公平６−９０９２８号公報など）この装置では、触媒が塗布された電極素材を厚みの調整された加熱されていないローラに通して電極素材に塗布された触媒層の厚みを均一にし、これを触媒の乾燥に適した温度に加熱されたローラに通して加熱した後に、触媒の乾燥に適した温度に制御された乾燥機において乾燥させている。
【０００３】
また、湿潤状態でプロトン導電性を示す薄膜に触媒を溶媒に分散させて調整したインクを塗布する手法も提案されている（例えば、特表平５−５０７５８３号公報など）。この手法では、溶媒に触媒を分散させて調整したインクを直接薄膜に塗布し、加熱と吸引によりインクを乾燥させている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの装置では、薄膜の性能を低下させてしまう場合がある。湿潤する薄膜に液体を塗布し、この塗布により湿潤した薄膜を加熱して乾燥させると、薄膜の湿潤や乾燥によりその形状を変化させてしまう。薄膜の形状の変化、例えば、厚みの変化は薄膜の使用に対して大きな影響を与える。その一例として、燃料電池の電解質として用いられる湿潤状態でプロトン伝導性の薄膜に電極反応に用いられる触媒層を塗布する場合を考えると、電解質の厚みの不均一は燃料電池の性能の不均一を招くと共に、燃料電池そのものの性能に大きな影響を与えることが知られている。
【０００６】
本発明の液体塗布装置は、薄膜の液体塗布による変形をより少なくして薄膜の性能を維持することを目的の一つとする。また、本発明の液体塗布装置は、装置をコンパクトにすることを目的の一つとする。さらに、本発明の液体塗布装置は、薄膜の変形をより少なくしつつその両面に液体を塗布することを目的の一つとする。
【０００７】
本発明の液体塗布方法は、薄膜の液体塗布による変形をより少なくする方法を提供することを目的とする。また、本発明の液体塗布方法は、薄膜の変形をより少なくしつつその両面に液体を塗布する方法を提供することを目的の一つとする。
【０００８】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
本発明の液体塗布装置と液体塗布方法は、上述の目的の少なくとも一部を達成するために以下の手段を採った。
【００１３】
本発明の液体塗布装置は、
本発明の薄膜接合体における薄膜に液体を塗布する液体塗布装置であって、
前記薄膜接合体を所定の方向となるように供給したとき、該薄膜接合体の支持膜側の面を吸引すると共に加熱しながら搬送する搬送手段と、
該搬送される前記薄膜接合体の薄膜側の一方の面に前記液体を塗布する塗布手段と
を備えることを要旨とする。
【００１４】
この本発明の液体塗布装置では、薄膜接合体を所定の方向となるように供給したときに搬送手段が薄膜接合体の支持膜側の面を吸引すると共に加熱しながら搬送し、塗布手段が搬送手段により搬送される薄膜接合体の薄膜側の一方の面に液体を塗布する。薄膜は支持膜により支持されているから、湿潤しても変形をより少なくすることができる。また、支持膜を耐熱性を有する樹脂により形成すれば、湿潤した薄膜を加熱して乾燥させることとしてもその変形をより少なくすることができる。
【００１５】
こうした本発明の液体塗布装置において、前記塗布手段により塗布された前記薄膜接合体から前記支持膜を剥離する剥離手段を備えるものとすることもできる。こうすれば、薄膜接合体から液体塗布した薄膜を取り出すことができる。
【００１６】
また、本発明の液体塗布装置において、前記搬送手段は、表面に複数の吸引孔を有し前記薄膜接合体を周回させて搬送するベルトと、該ベルトを加熱可能な加熱手段を有し該ベルトを支持すると共に該ベルトの複数の吸引孔に負圧を生じさせる支持部材とを備えるものとすることもできる。この態様の本発明の液体塗布装置において、前記支持部材は、前記ベルトの両端に配置され、該ベルトを吸引して周回させる共に該吸引されたベルトの複数の吸引孔に負圧を生じさせる複数の吸引孔を有する２つの回転部材を備えるものとすることもできる。また、この態様の本発明の液体塗布装置において、前記支持部材は、前記ベルトと接触し、該ベルトの周回に伴って回転する複数の転動体を備えるものとすることもできる。こうすれば、より少ない動力で薄膜を搬送することができる。
【００１７】
さらに、本発明の液体塗布装置において、前記薄膜の塗布面への給気および排気を行なう給排気手段を備えるものとすることもできる。こうすれば、湿潤した薄膜を早期に乾燥させることができる。この態様の本発明の液体塗布装置において、前記給排気手段は、前記搬送手段の位置を中心として前記塗布手段が配置された位置と対向する位置に配置されてなるものとすることもできる。こうすれば、湿潤した薄膜を早期に乾燥することができると共に装置をよりコンパクトにすることができる。
【００１８】
剥離手段を備える態様の本発明の液体塗布装置において、前記所定の方向となるように供給した前記薄膜接合体への液体の塗布がなされた後に前記薄膜接合体を前記所定の方向とは逆の方向となるように前記薄膜複合体を表裏反転させて供給したとき、前記塗布手段により前記液体が塗布された薄膜の前記一方の面を吸引すると共に加熱しながら搬送する搬送手段と同一の第２の搬送手段を備え、前記剥離手段は、該第２の搬送手段により前記薄膜の前記一方の面が吸引された状態で前記支持膜を剥離する手段であり、さらに、該剥離手段により支持膜が剥離された薄膜の前記一方の面とは逆の他方の面に前記液体を塗布する第２の塗布手段を備えるものとすることもできる。こうすれば、薄膜の液体塗布による変形をより少なくしつつその両面に液体を塗布することができる。この態様の本発明の液体塗布装置において、前記搬送手段および前記第２の搬送手段は、略水平に対向して配置してなり、該搬送手段と該第２の搬送手段との間に前記薄膜接合体を該搬送手段に供給する供給手段と、前記第２の搬送手段から搬送された前記薄膜を回収する回収手段とを備えるものとすることもできる。こうすれば、装置をコンパクトにすることができる。
【００１９】
また、本発明の液体塗布装置において、前記塗布手段は、前記液体を前記薄膜に噴霧して塗布する手段であるものとすることもできる。
【００２０】
また、本発明の液体塗布装置において、前記液体は、触媒を担持するカーボン粉末を溶媒に分散してなる液体であるものとすることもできる。
【００２１】
本発明の液体塗布方法は、
湿潤する薄膜に液体を塗布する液体塗布方法であって、
前記薄膜を支持する支持膜を該薄膜に接着する接着工程と、
該支持膜が接着された薄膜を該支持膜側から吸引すると共に加熱しながら搬送する搬送工程と、
前記支持膜と共に搬送される薄膜の一方の面に前記液体を塗布する塗布工程と、
該液体が塗布された前記薄膜と前記支持膜とを剥離する剥離工程と
を備えることを要旨とする。
【００２２】
この本発明の液体塗布方法では、薄膜を支持する支持膜を薄膜に接着させ、この状態で薄膜を吸引加熱しながら搬送し、薄膜に液体を塗布した後、支持膜を剥離するから、液体塗布による変形がより少ない薄膜を製造することができる。
【００２３】
こうした本発明の液体塗布方法において、前記塗布工程により前記液体が塗布された前記薄膜の一方の面を吸引すると共に加熱しながら搬送する第２の搬送工程と、該搬送される薄膜の他方の面に前記液体を塗布する第２の塗布工程とを備えるものとすることもできる。こうすれば、薄膜に変形を生じさせることがなく両面に液体塗布された薄膜を製造することができる。
【００２４】
また、本発明の液体塗布方法において、前記剥離工程は、前記第２の搬送工程により前記薄膜の一方の面が吸引された状態で剥離する工程であるものとすることもできる。こうすれば、支持膜を剥離するときに薄膜を傷めることがない。
【００２５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を実施例を用いて説明する。図１は、本発明の一実施例である液体塗布装置１０の構成の概略を示す構成図であり、図２は、実施例の液体塗布装置１０が備える片面塗布装置２０の断面を模式的に示す断面図である。実施例の液体塗布装置１０は、図示するようにロール１２により供給された湿潤する薄膜２２および支持膜２３からなる２層の薄膜接合体２４の薄膜２２側の片面に触媒層２８（図２参照）を塗布により形成する片面塗布装置２０と、薄膜２２の片面に触媒層２８が形成された薄膜接合体２４から支持膜２３を剥離する支持膜剥離装置３０と、片面塗布装置２０の後段に配置され支持膜２３が剥離された薄膜２２の他面に触媒層２８を塗布により形成する片面塗布装置２０Ｂとを備える。片面塗布装置２０，２０Ｂにより両面に触媒層２８が形成された薄膜２２は、ロール１６により回収されるようになっている。なお、液体塗布装置１０には、薄膜接合体２４や薄膜２２が張られた状態で片面塗布装置２０，２０Ｂやロール１６に供給されるように若干のテンションをかけるテンションロール１３，１４，１５が設けられている。
【００２６】
薄膜２２は、実施例では湿潤状態で良好なプロトン導電性を示す高分子材料、例えば、パーフルオロスルホネートイオノマー（デュポン製の商品名「ナフィオン」）により厚さが１０〜３００μｍ程度に形成されたものを用いている。触媒層２８は、白金または白金と他の金属との合金からなる触媒を担持したカーボン粉末をエタノールに分散させて調整されたインク２７が塗布手段としての噴霧塗布機２６で薄膜２２に噴霧により塗布され乾燥されて形成される。こうした触媒層２８が両面に形成された薄膜２２は、固体高分子型燃料電池の発電層として用いられる。
【００２７】
支持膜２３は、耐熱性を有する樹脂、例えば、ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素系樹脂により薄膜２２の厚さと同程度の厚さに形成されたものを用いている。この支持膜２３と前述の薄膜２２とを重ねて当着させることにより、２層の薄膜接合体２４が形成される。この薄膜接合体２４を形成する際の薄膜２２と支持膜２３との接着の程度は、接着状態で支持膜２３と共に薄膜２２を搬送でき、インク２７の塗布後には薄膜２２を傷めることなく支持膜２３を剥離することができる程度に調整されている。
【００２８】
片面塗布装置２０は、図２に示すように薄膜接合体２４の支持膜２３側を保持した状態でＵ字状に周回させて搬送する搬送機４０と、搬送される薄膜接合体２４の薄膜２２側の片面にインク２７を噴霧により塗布する噴霧塗布機２６と、塗布されたインク２７の乾燥を促進する上側乾燥ダクト５０および下側乾燥ダクト５２とを備える。なお、実施例では、噴霧塗布機２６によるインク２７の塗布を４回に分けて行うように構成しており、噴霧塗布機２６とその塗布直後に設けられた上側乾燥ダクト５０とをセットとしたステーションが搬送方向に４つ連続して配置されて構成されている。勿論、インク２７の塗布は１回だけでもよく、２回、３回あるいは５回に分けてもよい。このとき、塗布に回数に応じてステーションの数が決定される。下側乾燥ダクト５２は、搬送機４０の位置を中心として噴霧塗布機２６の位置（図中上側）と対向した位置（図中下側）に配置されている。すなわち、下側乾燥ダクト５２は、噴霧塗布機２６の塗布後の搬送機４０によるＵ字の折り返しの位置から搬送方向へ延出した直線状のダクトとして形成されており、薄膜２２に塗布されたインク２７を完全に乾燥できるようになっている。
【００２９】
搬送機４０は、図２に示すように、全面に複数の細孔４４が形成された搬送ベルト４２と、搬送ベルト４２を支持する支持台６０と、搬送ベルト４２を移動させる搬送ベルト送りロール４６とを備える。
【００３０】
支持台６０には、中空の空室６２とこの空室６２から上面および下面に連通するエア吸入路６４とが形成されている。エア吸入路６４は、空室６２を図示しない吸引ブロワによって吸引することによって負圧になるようになっている。図３は、支持台６０の構造を説明する説明図である。図３に示すように支持台６０の上面および下面には、複数の転動体６７とこの転動体６７を回転自在に支持するころがり軸受６８とが設けられており、搬送ベルト４２が転動体６７の上面を低摩擦で移動できるようになっている。支持台６０と搬送ベルト４２とにより形成される空間は、エア吸入路６４と接続されており、負圧が導入されるようになっている。したがって、移動する搬送ベルト４２上に薄膜接合体２４を載置すれば、薄膜接合体２４は搬送ベルト４２に形成された複数の細孔４４により吸引されて移動するようになっている。
【００３１】
また、支持台６０には、ヒータ６６を備えており、搬送ベルト４２を加熱することができるようになっている。したがって、この加熱した搬送ベルト４２が薄膜２２を吸引することにより、湿潤した薄膜２２を乾燥できるようになっている。なお、ヒータ６６は、搬送ベルト４２の表面温度が薄膜２２の性能に影響を与えない範囲でインク２７を乾燥させるのに適した温度に調整されている。
【００３２】
図４は、搬送ベルト送りロール４６の構造を説明する説明図である。搬送ベルト送りロール４６は、図示するように、内部には円筒形状の空室４７が形成されており、外周面には空室４７から連通する吸引孔４８が形成されている。この吸引孔４８の口径は、搬送ベルト４２の細孔４４を包含するように大きく形成されている。この吸引孔４８に接続された空室４７を図示しない吸引ブロワにより吸引すれば、吸引孔４８に負圧が形成され、搬送ベルト４２を吸引すると共に細孔４４に負圧を形成させることができるようになっている。したがって、この状態で搬送ベルト送りロール４６を回転駆動させることにより薄膜接合体２４を吸引した状態で搬送ベルト４２を移動させることができる。このとき、支持台６０は、低摩擦で回転する転動体６７を介して搬送ベルト４２を支持するから、より少ない動力で搬送ベルト４２を移動させることができる。
【００３３】
片面塗布装置２０Ｂは、前段の片面塗布装置２０と同一のものとして構成されており、図１に示すように片面塗布装置２０と略水平に対向して配置されている。この片面塗布装置２０Ｂと片面塗布装置２０との間には、薄膜接合体２４を供給するロール１２および液体塗布された薄膜２２を回収するロール１６が配置されている。なお、片面塗布装置２０Ｂの個々の構成については、前段の片面塗布装置２０の構成と同一のものであるから同一の番号を付し、その説明は省略する。
【００３４】
支持膜剥離装置３０は、片面塗布装置２０Ｂの搬送ベルト４２の搬送開始付近に搬送ベルト４２とにより薄膜接合体２４を狭持するように設置され支持膜２３を剥離する支持膜剥離ロール３２と、剥離された支持膜２３を回収するロール３４とを備える。支持膜２３は搬送ベルト４２に吸引された状態で剥離されるから、剥離に伴って薄膜２２を傷めることがない。なお、支持膜剥離装置３０には、支持膜２３が張られた状態でロール３４に供給されるようにテンションロール３６が設けられている。こうした支持膜剥離装置３０は、片面塗布装置２０と片面塗布装置２０Ｂとの間に配置されている。
【００３５】
こうして構成された液体塗布装置１０のインク２７塗布の動作について説明する。まず、ロール１２から供給された薄膜２２と支持膜２３からなる２層の薄膜接合体２４は、支持膜２３側の面から片面塗布装置２０の搬送ベルト４２に吸引されて搬送が開始されると共に噴霧塗布機２６により薄膜２２の片面にインク２７が塗布される。このとき、薄膜２２は、インク２７により湿潤するがヒータ６６による搬送ベルト４２からの加熱や上側乾燥ダクト５０による給排気により、迅速に乾燥していく。４つの噴霧塗布機２６および上側乾燥ダクト５０によりインク２７の塗布と乾燥とが繰り返された後、Ｕ字に折り返され、折り返しの搬送がなされる。折り返しの搬送において、インク２７により湿潤した薄膜２２は下側乾燥ダクト５２の給排気により完全に乾燥される。こうして前段の片面塗布装置２０による塗布が行われると、次に、薄膜接合体２４の薄膜２２側の面（前段の片面塗布装置２０により塗布された面）が後段の片面塗布装置２０Ｂの搬送ベルト４２に吸引されて搬送が開始される。薄膜接合体２４の薄膜２２側の片面が吸引されると、片面塗布装置２０Ｂの搬送ベルト４２とにより狭持する支持膜剥離ロール３２により支持膜２３のみが薄膜接合体２４から剥がされる。支持膜２３が剥がされた後、薄膜２２の他面（支持膜２３が剥がされた面）に噴霧塗布機２６によりインク２７が塗布される。このとき、前段の片面塗布装置２０のときと同様に薄膜２２は、ヒータ６６や上側乾燥ダクト５０、下側乾燥ダクト５２により乾燥していく。こうして、薄膜２２の両面にインク２７が塗布され、触媒層２８が形成される。なお、片面塗布装置２０により薄膜２２の片面に形成された触媒層２８に、後段の片面塗布装置２０Ｂにより薄膜２２の他面に形成される触媒層２８が整合するように後段の片面塗布装置２０Ｂの噴霧塗布機２６によるインク２７の塗布のタイミングが調整されている。
【００３６】
以上説明した実施例の薄膜接合体２４によれば、湿潤する薄膜２２を支持する支持膜２３を薄膜２２に当着させるから、薄膜２２を湿潤させてもその変形をより少なくすることができる。しかも、支持膜２３は、耐熱性を有する樹脂により形成するから、湿潤した薄膜２２を加熱により乾燥させた場合でも薄膜２２の変形をより少なくすることができる。
【００３７】
実施例の液体塗布装置１０によれば、湿潤する薄膜２２を支持する支持膜２３を薄膜２２に当着させた状態でインク２７を塗布するから、湿潤する薄膜２２を変形させることなく、その両面に触媒層２８を形成することができる。しかも、支持膜２３は、耐熱性を有する樹脂により形成するから、湿潤した薄膜２２を加熱により乾燥させても薄膜２２の変形をより少なくすることができる。この結果、触媒層２８が両面に形成された薄膜２２を使用して高性能の燃料電池を構成することができる。また、薄膜接合体２４の薄膜２２の片面を塗布した後は、その片面を片面塗布装置２０Ｂの搬送ベルト４２に吸引した状態で支持膜２３を剥がすから、支持膜２３を剥がすときに薄膜２２を傷めることがない。
【００３８】
また、実施例の液体塗布装置１０によれば、片面塗布装置２０と後段の片面塗布装置２０Ｂとを略水平に対向して配置し、片面塗布装置２０と片面塗布装置２０Ｂとの間にロール１２および支持膜剥離装置３０、ロール１６を配置するから、装置をコンパクトにすることができる。
【００３９】
さらに、実施例の液体塗布装置１０によれば、片面塗布装置２０および片面塗布装置２０Ｂの搬送機４０の折り返しの搬送部分に下側乾燥ダクト５２を設けたから、インク２７塗布後の折り返しの搬送の過程で薄膜２２の塗布面をより迅速に乾燥させることができる。この結果、搬送機４０の搬送ベルト４２の長さを短縮することができ、装置をコンパクトにすることができる。
【００４０】
実施例の液体塗布装置１０では、薄膜２２の両面にインク２７の塗布するものとしたが、薄膜２２の片面にだけインク２７を塗布するものとしてもよい。この場合、後段の片面塗布装置２０Ｂのない構成とすればよいが、インク２７塗布後の薄膜接合体２４から薄膜２２と支持膜２３とを剥離させるときには、例えば、片面塗布装置２０Ｂの代わりに薄膜接合体２４を薄膜２２側を保持可能なロールなどを配置して薄膜２２側をこのロールにより保持した状態で支持膜剥離ロール３２により支持膜２３を剥がせばよい。勿論、支持膜２３を剥離しないものとしても差し支えない。
【００４１】
また、実施例の液体塗布装置１０では、片面塗布装置２０と後段の片面塗布装置２０Ｂとを略水平に対向して配置し、その間に支持膜剥離装置３０やロール１２，１６などを配置するものとしたが、搬送の過程で薄膜２２に負担がかからない配置であれば、如何なる配置としても構わない。液体塗布装置１１０の配置の一例を図５に示す。図５に示すように、後段の片面塗布装置１２０Ｂは、その搬送開始の方向と前段の片面塗布装置１２０の塗布後の折り返しの搬送方向とが一致するように若干下側に対向して配置されている。こうすれば、片面塗布装置１２０から片面塗布装置１２０Ｂへ搬送する過程で薄膜２２にかかる負担をより少なくすることができ、その変形をより少なくすることができる。
【００４２】
さらに、実施例の液体塗布装置１０では、薄膜２２と支持膜２３とを予め当着させた薄膜接合体２４をロール１２から片面塗布装置２０に供給するものとしたが、薄膜２２と支持膜２３とを別々に取り出し、両者を当着させて片面塗布装置２０に供給するものとしてもよい。
【００４３】
また、実施例の液体塗布装置１０では、上側乾燥ダクト５０および下側乾燥ダクト５２を備えるものとしたが、一方のみを備えるものとしてもよく、これらを備えないものとしてもよい。
【００４４】
また、実施例の液体塗布装置１０では、薄膜２２として燃料電池の電解質として用いる高分子材料により形成された膜を用い、薄膜２２に触媒層２８を形成するためのインク２７を塗布するものとしたが、薄膜２２であれば如何なる膜を用いるものとしてもよく、塗布するインク２７も如何なるインクを用いるものとしてもよい。
【００４５】
以上、本発明の実施の形態について実施例を用いて説明したが、本発明のこうした実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々なる形態で実施し得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例である液体塗布装置１０の構成の概略を示す構成図である。
【図２】  片面塗布装置２０の断面を模式的に示す断面図である。
【図３】  搬送機４０の支持台６０の一部の構造を説明する説明図である。
【図４】  搬送機４０の搬送ベルト送りロール４６の構造を説明する説明図である。
【図５】  変形例の液体塗布装置１１０の配置を例示する説明図である。
【符号の説明】
１０，１１０  液体塗布装置、１２，１６，３４，１１２，１１６  ロール、１３，１４，１５，３６  テンションロール、２０，２０Ｂ，１２０，１２０Ｂ片面塗布装置、２２  薄膜、２３  支持膜、２４  薄膜接合体、２６  噴霧塗布機、２７  インク、２８  触媒層、３０，１３０  支持膜剥離装置、３２  支持膜剥離ロール、４０  搬送機、４２  搬送ベルト、４４  細孔、４６  搬送ベルト送りロール、４７  空室、４８  吸引孔、５０  上側乾燥ダクト、５２  下側乾燥ダクト、６０  支持台、６２  空室、６４  エア吸入路、６６  ヒータ、６７  転動体、６８  ころがり軸受。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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