(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダウンフロー式のクリーンルーム内に、物品に対して所定の処理を行う物品処理装置と、複数の物品収納部を備える物品保管装置とが設けられ、
前記物品保管装置は、
前記物品処理装置における物品出し入れ用の物品移載部と前記各物品収納部との間での物品搬送を行う物品搬送手段を備えて構成され、且つ、前記物品処理装置における前記物品移載部の上方側に位置してその物品移載部に上下方向に重複する重複装置部分を備えて構成され、
前記各物品収納部の背面側箇所に背部側空気通風路が形成されるとともに、前記各物品収納部の前面側の前記物品搬送手段が配備される空間に前部側空気通風路が形成され、
クリーンルームの天井部から下向きに吹き出される清浄化されたエアーが、上部の空気取り入れ部から取り入れられて前記背部側空気通風路から前記各物品収納部の収納空間を通り前記前部側空気通風路内を下方側に向かって流動するように構成されているクリーンルーム用の物品保管設備であって、
前記物品保管装置における前記重複装置部分に、
前記空気取入れ部から取り入れられたエアーを前記背部側空気通風路からその重複装置部分における前記物品収納部の下方側に導く導風通路が形成されるとともに、その導風通路にて前記物品収納部の下方側に導かれたエアーを、前記物品処理装置に向けて下方側に吹き出し供給するエアー吹き出し部が形成されているクリーンルーム用の物品保管設備。
【請求項２】
前記エアー吹き出し部に、エアー吹き出し量を変更調整自在な風量調節手段が備えられている請求項１記載のクリーンルーム用の物品保管設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、液晶表示素子や半導体製品等の物品を塵埃の少ない清浄な環境において保管するための保管設備に関し、詳しくは、ダウンフロー式のクリーンルーム内に、物品に対して所定の処理を行う物品処理装置と、複数の物品収納部を備える物品保管装置とが設けられ、前記物品保管装置は、前記物品処理装置における物品出し入れ用の物品移載部と前記各物品収納部との間での物品搬送を行う物品搬送手段を備えて構成され、且つ、前記物品処理装置における前記物品移載部の上方側に位置してその物品移載部に上下方向に重複する重複装置部分を備えて構成され、前記各物品収納部の背面側箇所に背部側空気通風路が形成されるとともに、前記各物品収納部の前面側の前記物品搬送手段が配備される空間に前部側空気通風路が形成され、クリーンルームの天井部から下向きに吹き出される清浄化されたエアーが、上部の空気取り入れ部から取り入れられて前記背部側空気通風路から前記各物品収納部の収納空間を通り前記前部側空気通風路内を下方側に向かって流動するように構成されているクリーンルーム用の物品保管設備に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記構成の物品保管設備は、上記したような液晶表示素子や半導体製品等の物品を複数の物品収納部に対して搬入させたり、又、物品収納部に保管されている物品を外部に搬送させるために物品の搬送を行う物品搬送手段が備えられているので、この物品搬送手段の構成を有効利用して、物品に対して所定の処理を行うための物品処理装置に対する物品の搬送を行えるように物品処理装置を物品搬送手段に近づけた状態で設置して、搬送時間を短縮させて作業効率を向上させるようにしながら、しかも、物品処理装置の上方側空間をも収納空間として利用するために物品処理装置における前記物品移載部の上方側に位置してその物品移載部に上下方向に重複する重複装置部分を備えて構成され、設置スペースを有効利用して収納保管効率を向上させるようにしている（例えば、特開平１０−２９４３５１号公報参照）。
【０００３】
ところで、このような物品保管設備は、上記したような物品を塵埃の少ない清浄な環境において保管する必要があることから、天井部から空気清浄化フィルターを通して清浄化されたクリーンエアーを下方側に向けて吹き出し供給するダウンフロー式のクリーンルーム内に設置されることになり、収納棚の上方側に位置する天井部から吹き出し供給されるクリーンエアーは、上端部の空気取入れ部から取り入れられて、前記背部側空気通風路から各収納部の収納空間を通り前部側空気通風路内を下方側に向かって流動することになる。
【０００４】
そして、従来の物品保管設備においては、例えば、図８に示すように、物品保管装置Ｂにおける前記重複装置部分の下端部３０は閉塞状態に形成され、上端部の空気取入れ部１３から取り入れられたクリーンエアーは、その全量のものが物品収納部５の収納空間並びに前部側空気通風路Ｍを通して下方側に向かって流動するように構成されていた。その結果、前記重複装置部分の下方側に位置する物品処理装置の物品移載部１５には、天井面２からのクリーンエアーが供給されない状態となることから、物品処理装置Ａの上部側に、送風機と空気清浄化フィルターとを備えたファンフィルターユニットＦＵを備えて、物品搬送手段による物品処理装置に対する物品の搬出入箇所における清浄度を確保するようになっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来構成においては、前記物品処理装置に対する物品の出入り箇所における清浄度を確保することはできるものの、図８に示すように物品保管装置の横側箇所を下方に流動している天井部からのクリーンエアーが前記ファンフィルターユニットにて吸気されて、前記物品移載部の上方側に位置する角部（Ａ部）において、クリーンエアーの気流（ダウンフロー）が乱れて乱流となってしまうおそれがあり、その結果、他の装置の空気清浄度の維持に悪影響を与えるおそれがあった。
【０００６】
本発明はかかる点に着目してなされたものであり、その目的は、クリーンルームにおけるクリーンエアーの気流が乱れて他の装置の空気清浄度の維持に悪影響を与えるといった不利を回避させることが可能となるクリーンルーム用の物品保管設備を提供する点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１によれば、ダウンフロー式のクリーンルーム内に、物品に対して所定の処理を行う物品処理装置と、複数の物品収納部を備える物品保管装置とが設けられ、前記物品保管装置は、前記物品処理装置における物品出し入れ用の物品移載部と前記各物品収納部との間での物品搬送を行う物品搬送手段を備えて構成され、且つ、前記物品処理装置における前記物品移載部の上方側に位置してその物品移載部に上下方向に重複する重複装置部分を備えて構成され、前記各物品収納部の背面側箇所に背部側空気通風路が形成されるとともに、前記各物品収納部の前面側の前記物品搬送手段が配備される空間に前部側空気通風路が形成され、クリーンルームの天井部から下向きに吹き出される清浄化されたエアーが、上部の空気取り入れ部から取り入れられて前記背部側空気通風路から前記各物品収納部の収納空間を通り前記前部側空気通風路内を下方側に向かって流動するように構成されているクリーンルーム用の物品保管設備において、前記物品保管装置における前記重複装置部分に、前記空気取入れ部から取り入れられたエアーを前記背部側空気通風路からその重複装置部分における前記物品収納部の下方側に導く導風通路が形成されるとともに、その導風通路にて前記物品収納部の下方側に導かれたエアーを、前記物品処理装置に向けて下方側に吹き出し供給するエアー吹き出し部が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
すなわち、前記空気取入れ部から取り入れられた清浄化されたエアーが、前記導風通路によって背部側空気通風路からその重複装置部分における前記収納部の下方側に導かれて、その導風通路にて前記収納部の下方側に導かれたエアーが前記エアー吹き出し部から物品処理装置に向けて下方側に吹き出し供給されることになる。従って、この吹き出し供給される清浄化エアーによって物品搬送手段による物品処理装置に対する物品の搬出入箇所における清浄度を確保することが可能となる。そして、このように物品保管装置から清浄化されたエアーが吹き出し供給されることから、物品処理装置側に特別なファンフィルターユニットを設ける必要がなく、それだけ構成を簡素化させることが可能となる。しかも、このように物品処理装置側にファンフィルターユニットを設ける必要がないので、従来のように物品処理装置の上部箇所から強制的に空気を吸気する必要がないので、天井部からのクリーンエアーの気流が乱れを起こすおそれを少ないものにできる。
【０００９】
従って、クリーンルームにおけるクリーンエアーによる気流が乱れて他の装置の空気清浄度の維持に悪影響を与えるといった不利を回避させることが可能となるクリーンルーム用の物品保管設備を提供できるに至った。
【００１０】
請求項２によれば、請求項１において、前記エアー吹き出し部に、エアー吹き出し量を変更調整自在な風量調節手段が備えられていることを特徴とする。
【００１１】
すなわち、風量調節手段によって、エアー吹き出し部から下方に吹き出し供給されるエアー吹き出し量を変更調整することが可能となり、エアー吹き出し部からのエアーの流れ状態と、天井部から吹き出されるエアーの流れ状態とを極力同じ状態に合わせることにより、クリーンルーム内における気流の乱れをできるだけ少なくすることが可能となり、請求項１を実施するのに好適な手段が得られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るクリーンルーム用の物品保管設備について図面に基づいて説明する。
図１に、例えば、半導体製品や液晶表示素子等を保管するために塵埃の少ない清浄化された室内空間に設置される物品保管設備を示している。上記したような製品の仕掛かり品や製造途中での半製品等は、細かな粉塵等の塵埃の少ない環境にて保管する必要があるが、この物品保管設備は、このような物品を保管対象として、塵埃の少ない清浄化された空間にて物品を保管するようになっている。
【００１３】
この物品保管設備が設置される室はダウンフロー式のクリーンルームとして構成されている。つまり、クリーンルームＲ１の床部は、通気孔が多数形成されたメッシュ状のグレーティング床１に形成され、このグレーティング床１の下方側には、吸気用空間Ｑが形成される吸気ルームＲ２が設けられており、図１に示すように、クリーンルームＲ１内の空気が吸気ルームＲ２内の空間及び循環路Ｑを通して通風ファンＦによって吸気されるとともに、吸気された空気はクリーンルームＲ１の天井面２の上方側に形成された空気チャンバー室３を経由して、クリーンルームＲ１の天井面２に備えられた例えばＨＥＰＡフィルター等からなるエアーフィルター４を通して清浄化された後に、クリーンルームＲ１内に向けて下向きに吹き出し供給される構成となっている。従って、クリーンルームＲ１の空気が、上記したような経路を通して循環通風されて、常に清浄化された空気が天井面２から下方に吹き出される状態で供給されて清浄度の高い状態が維持できる構成となっている。
【００１４】
次に、図２〜図６を参照しながら物品保管設備の構成について説明する。
この物品保管設備は、物品に対して所定の処理を行う物品処理装置Ａと、複数の物品収納部５を備える物品保管装置Ｂとが設けられている。
詳述すると、前記物品保管装置Ｂは、上下方向並びに横方向に複数並列する状態で、物品Ｃを収納する複数の物品収納部５が設けられた一方の棚本体６と、上下に一列状態で横方向に複数並列する状態で複数の物品収納部５が設けられた他方の棚本体７とが、前後方向に所定間隔を隔てて並べて備えられ、それら一対の棚本体６，７の前後中間部に、複数の物品収納部５との間及び後述する物品搬出入用のコンベア装置８との間での物品搬送を行う物品搬送手段としてのスタッカークレーン９を配備して構成されている。
そして、この物品保管装置Ｂの横方向端部側個所に、外部に対して物品を搬出入するための物品搬出入部１０が設けられ、この物品搬出入部１０に、スタッカークレーン９から物品Ｃを受け取り外部に搬送させたり、外部から受け取った物品をスタッカークレーン９に受け渡すためのコンベア装置８が備えられている。前記スタッカークレーン９は、床部に設置された走行レール９ａ上を走行しながら上端部が天井部に設置された案内レール９ｂに沿って案内されて横方向に移動走行自在な移動台車９ｃに、複数の物品収納部５との間及び前記コンベア装置８との間での物品を移載させる移載装置９ｄを昇降自在に備えて構成されている。
【００１５】
前記各棚本体６，７は、それらが互いに向かう合う側、すなわち、スタッカークレーン９側を前面側とし、それと反対側を背面側として、前記各棚本体６，７夫々の背面側箇所には、棚本体６，７と外周部を閉塞状態で覆うカバー体１１との間に背部側空気通風路Ｌが夫々形成されており、又、前記各棚本体６，７夫々の前面側箇所には、スタッカークレーン９が配備される空間である前部側空気通風路Ｍが形成されている。
そして、前記各棚本体６，７の上端部及び前部側空気通風路Ｍの上端部は通風抑制体１２にて覆われて上下方向の通風が抑制される構成となっており、各背部側空気通風路Ｌの上端部に空気取り入れ部１３が形成されている。又、前記各物品収納部５の前面側はスタッカークレーン９により物品Ｃを出し入れするために開放状態となっており、前記各物品収納部５の背面側には、例えばスライド操作機構や揺動操作機構等の一般的な開口量調整手段により、そこを通過する空気の量すなわち通過空気量を調整可能な風量調整器１４が夫々設置されている。
【００１６】
そして、各棚本体６，７のうちの一方の棚本体７の下方側には、その棚本体７と上下方向に重複する状態で物品処理装置Ａが位置するように配置されて、この物品処理装置Ａにおける物品出し入れ用の物品移載部１５に対する物品の搬送作業が前記スタッカークレーン９を兼用して行われる構成となっている。つまり、棚本体７が、物品処理装置Ａにおける物品移載部１５の上方側に位置してその物品移載部１５に上下方向に重複する重複装置部分に対応することになる。
又、前記物品処理装置Ａは、物品収納部５の横並び方向に沿って並ぶ状態で複数並列配備されている。これらの複数の物品処理装置Ａは、具体的な処理内容については詳述はしないが、例えば、半導体製品や液晶表示素子を製造するための化学的な複数種の処理を順次行うような構成となっている。
【００１７】
そして、図６に示すように、クリーンルームＲ１の天井部２から下向きに吹き出される清浄化されたエアーが、上部の空気取り入れ部１３から取り入れられて背部側空気通風路Ｌから各物品収納部５の収納空間を通り前部側空気通風路Ｍ内を下方側に向かって流動するように構成され、且つ、物品保管装置Ｂにおける一方の棚本体７に、空気取り入れ部１３から取り入れられたエアーを背部側空気通風路Ｌからその棚本体７における物品収納部５の下方側に導く導風通路１６が形成されるとともに、その導風通路１６にて物品収納部５の下方側に導かれたエアーを物品処理装置Ａに向けて下方側に吹き出し供給するエアー吹き出し部１７が形成されている。
【００１８】
詳述すると、物品保管装置Ｂにおける物品処理装置Ａが上下に重複配備されていない棚本体６においては、物品収納部５が上下方向に４段並べて配備されており、背部側空気通風路Ｌが上端部の空気取り入れ部１３から装置下端部に近い位置まで連なる状態で形成されており、背部側空気通風路Ｌの下端部はエアーが下方側に流出しないように遮蔽板１８にて閉塞されている。又、前記スタッカークレーン９が配備される前部側空気通風路Ｍの下端部には下方に向けて空気が流出する空気流出部１９が形成されている。従って、クリーンルームＲ１の天井部２から下向きに吹き出される清浄化されたエアーが、上部の空気取り入れ部１３から取り入れられた後に背部側空気通風路Ｌから各物品収納部５の収納空間を通り、前部側空気通風路Ｍ内を下方側に向かって流動することになる。尚、このとき、前記各物品収納部５に対応させて設けられた前記風量調整器１４により、各物品収納部５の収納空間を通るエアーの通風量を略均等にさせるように調整することができる。
【００１９】
前記物品処理装置Ａが上下に重複配備される棚本体７には、複数の物品収納部５が横方向に一列で並ぶ状態で設けられ、背部側空気通風路Ｌはその一列の物品収納部５の背部側に形成されており、他方の棚本体６と同様に、クリーンルームＲ１の天井部２から下向きに吹き出される清浄化されたエアーが、上部の空気取り入れ部１３から取り入れられた後に背部側空気通風路Ｌから各物品収納部５の収納空間を通り、前部側空気通風路Ｍ内を下方側に向かって流動する構成となっている。又、図６に示すように、背部側空気通風路Ｌの下端部に連なるように、空気取り入れ部１３から取り入れられたエアーを背部側空気通風路Ｌからその棚本体７における物品収納部５の下方側に導く導風通路１６が形成されるとともに、その導風通路１６にて物品収納部５の下方側に導かれたエアーを、物品処理装置Ａに向けて下方側に吹き出し供給するエアー吹き出し部１７が形成されている。
【００２０】
このようにして、物品処理装置Ａの物品移載部１５に対して清浄化されたエアーを下向きに吹き出し供給することで、物品移載部１５における清浄度を確保するようにしている。
しかも、前記エアー吹き出し部１７には、エアー吹き出し量を変更調整自在な風量調節手段としての風量調整器２０が設置されている。この風量調整器２０は、詳述はしないが、前記各物品収納部５に備えられるものと同様に、スライド操作機構や揺動操作機構等の一般的な開口量調整手段により、そこを通過する空気の量、すなわち、通過空気量を変更調整可能な構成となっている。この風量調整器２０によってエアー吹き出し量を変更調整することで、クリーンルームＲ１の天井部２から下向きに吹き出されるエアー吹き出し量とほぼ同じ状態にすることが可能となり気流の乱れを起こすおそれを少ないものにできる。
【００２１】
〔別実施形態〕
以下、別実施形態を列記する。
【００２２】
（１）上記実施形態では、前記エアー吹き出し部に、エアー吹き出し量を変更調整自在な風量調節手段として、単に通過する空気の量を変更調整自在な風量調整器が備えられる構成としたが、このような構成に代えて、例えば、送風量を変更調整自在なモータ駆動式の送風機と空気清浄化フィルターとを備えたファンフィルターユニットを備えて、送風機による送風量を変更調整させるような構成としてもよく、又は、このような風量調節手段を設けることなく、常に一定量の吹き出し量にてエアーを吹き出し供給する構成としてもよい。
【００２３】
（２）上記実施形態では、前記物品処理装置における前記物品移載部に上下方向に重複する重複装置部分として、複数の物品収納部が横方向に１列状態で並ぶ構成を例示したが、このような構成に限らず、物品収納部が上下方向に複数段並ぶ状態で配置される構成としてもよい。
【００２４】
（３）上記実施形態では、前記各物品収納部の背部側に単に通過する空気の量を変更自在な風量調整器を備える構成としたが、このような構成に限らず、各物品収納部の背部側に、送風機と空気清浄化フィルターとを備えたファンフィルターユニットを夫々備えさせて、このファンフィルターユニットにて清浄化した空気を物品収納部の収納空間に強制的に通風させて前部側空気通風路内を下方側に向かって流動させる構成としてもよい。
【００２５】
（４）上記実施形態では、前記物品保管装置として、一対の棚本体６、７のうちのいずれか一方に、物品処理装置Ａを上下に重複配置する構成を例示したが、このような構成に限らず、図７に示すように、一対の棚本体６、７の夫々に物品処理装置Ａを上下に重複配置する構成としてもよい。
又、前記物品保管装置としては、前後一対の棚本体を設ける構成に限らず、物品処理装置を上下に重複配置する１つの棚本体だけを設ける構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】物品保管設備の設置状態を示す側面図
【図２】物品保管装置を示す平面図
【図３】物品保管装置を示す正面図
【図４】物品保管装置を示す後面図
【図５】物品保管装置の縦断側面図
【図６】通風状態を示す図
【図７】別実施形態の物品保管装置の縦断側面図
【図８】従来の物品保管設備の通風状態を示す図
【符号の説明】
２            天井部
５            物品収納部
９            物品搬送手段
１５          物品移載部
１６          導風通路
１７          エアー吹き出し部
２０          風量調節手段
Ａ            物品処理装置
Ｂ            物品保管装置
Ｌ            背部側空気通風路
Ｍ            前部側空気通風路
Ｒ１          クリーンルーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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