(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機顔料である着色剤（Ａ）および溶剤（Ｅ）の混合物をバインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）と混合したのち、４０℃以上８０℃以下の温度で、１０分以上９時間以下の保温処理を行うことを特徴とする着色感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項２】
有機顔料である着色剤（Ａ）および溶剤（Ｅ）の混合物における、有機顔料である着色剤（Ａ）の含有量が有機顔料である着色剤（Ａ）および溶剤（Ｅ）の合計量１００質量部あたり５質量部以上６０質量部以下である請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
有機顔料である着色剤（Ａ）の使用量が、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で５％以上６０％以下である請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
有機顔料である着色剤（Ａ）が黒色着色剤である請求項１〜３のいずれかに記載の製造方法。
【請求項５】
黒色着色剤がカーボンブラックである請求項４に記載の製造方法。
【請求項６】
バインダーポリマー（Ｂ）が、ビスフェノールフルオレン骨格を有する化合物である請求項１〜５のいずれかに記載の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の方法で着色感光性樹脂組成物を得、得られた着色感光性樹脂組成物をパターンニングすることを特徴とする着色パターンの形成方法。
【請求項８】
請求項７に記載の方法で着色パターンを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は着色感光性樹脂組成物の製造方法に関し、詳しくは長期間保存しても粘度が大きくならない着色感光性樹脂組成物の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
着色感光性樹脂組成物（カラーレジスト）は、着色剤を含有していて着色している感光性樹脂組成物（レジスト）であって、カラーフィルターを構成する着色パターンを形成するための原材料として有用である。ここで、カラーフィルターとは、例えばカラー液晶表示装置に組み込まれて表示画像をカラー化するために用いられたり、カラー固体撮像装置に組み込まれてカラー画像を得るために用いられるフィルターである。着色パターンとは、例えば色画素（５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ）、ブラックマトリックス（５ＢＭ）などであって、色画素は着色された透明な層であり、ブラックマトリックスは光を遮蔽する層である。これら色画素およびブラックマトリックスは通常、基板（２）上に形成されて、カラーフィルター（６）を構成する（図１）。色画素（５Ｒ、５Ｇ、５Ｒ）は透明で着色されているので、これを透過した光はそれぞれの色画素の色を呈する。また、ブラックマトリックス（５ＢＭ）は、光を遮蔽する層であるので、黒色に見える。着色パターン（５）は格子状（モザイク状）であったり（図１(a)）、線状である（図１(b)）。
【０００３】
着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルターを製造するには、例えば着色感光性樹脂組成物をパターンニングして着色パターンを形成すればよく、具体的には、例えば着色感光性樹脂組成物からなる層（１）を基板（２）の上に形成し（図２(a)）、該層（１）を露光した後（図２(b)）、現像すればよい。現像後、加熱してもよい。
【０００４】
着色感光性組成物としては、例えば着色剤、バインダーポリマー、光重合性化合物および光重合開始剤を含有するものが使用される。かかる着色感光性樹脂組成物は、例えばクリーンルームの中で着色剤および溶剤の混合物をバインダーポリマー、光重合性化合物、光重合開始剤と室温で混合する方法により製造される。クリーンルームの温度は通常、２３℃に設定されている。
【０００５】
かかる着色感光性樹脂組成物をパターンニングして形成される着色パターン（５）は、その厚みが薄いものが好ましい。厚みが薄くても充分に着色された着色パターンを得るためには、着色剤を高濃度で含有する着色感光性組成物を使用すればよい。
【０００６】
しかし、従来の製造方法によって着色剤を高濃度で含有する着色感光性樹脂組成物を製造すると、得られた着色感光性樹脂組成物の粘度が長期間保存する間に大きくなる場合があった。着色感光性樹脂組成物の粘度が大きいと、形成される着色パターンの厚みを薄くすることが困難となる傾向にある。
【０００７】
着色剤として、黒色着色剤を用いて得られる着色感光性樹脂組成物（以下、黒色着色感光性樹脂組成物ということがある。）を用いてブラックマトリックスを製造するには、例えば黒色着色感光性樹脂組成物をパターンニングして黒色着色パターンを形成すればよく、具体的には、例えば黒色着色感光性樹脂組成物からなる層（１）を基板（２）の上に形成し（図２(a)）、該層（１）を露光した後（図２(b)）、現像すればよい。現像後、加熱してもよい。
【０００８】
かくして、形成されるブラックマトリックス（５ＢＭ）は、その厚みが薄いものが好ましい。厚みが薄くても充分に着色されたブラックマトリックスを得るためには、黒色着色剤を高濃度で含有する黒色着色感光性組成物を使用すればよい。
【０００９】
しかし、従来の製造方法で黒色着色剤を高濃度で含有する黒色着色感光性樹脂組成物を製造すると、得られた黒色着色感光性樹脂組成物の粘度が長期間保存する間に大きくなる場合があった。黒色着色感光性樹脂組成物の粘度が大きいと、形成されるブラックマトリックス（５ＢＭ）の厚みを薄くすることが困難となる傾向にある。
【００１０】
また、従来の方法で製造した黒色着色感光性樹脂組成物を長期間保存すると、これを用いて得られるブラックマトリックス（５ＢＭ）のラインパターン再現性が保存前に比べて低下したり、現像マージンが保存前に比べて狭くなったりして、安定した品質のカラーフィルターを得ることが困難になる場合があった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明者は、高濃度で着色剤を含有しても、長期間保存する間に粘度が大きくならない着色感光性樹脂組成物の製造方法、また高濃度で黒色着色剤を含有しても、長期間保存する間に粘度が大きくならず、ラインパターン安定性や現像マージンが変化しない着色感光性樹脂組成物の製造方法を開発するべく鋭意検討した結果、着色剤および溶剤をバインダーポリマー、光重合性化合物および光重合開始剤と混合したのち、比較的高い温度で保温するという着色感光性樹脂組成物の製造方法は、上記の課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、（１）有機顔料である着色剤（Ａ）および溶剤（Ｅ）の混合物をバインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）と混合したのち、４０℃以上８０℃以下の温度で、１０分以上９時間以下の保温処理を行うことにより、保存に際しての粘度変化が少なくなるようにすることを特徴とする着色感光性樹脂組成物の製造方法を提供するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の製造方法に適用される有機顔料である着色剤（Ａ）として具体的には、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメント（Pigment）に分類されている化合物が挙げられる。具体的にはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７３、
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメンレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８、
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、
などが挙げられる。これらの有機顔料は、それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。
【００１４】
本発明の製造方法に適用される黒色顔料として、例えばカラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメント（Pigment）に分類されているものを挙げることができる。具体的には、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック３２などが挙げられる。
【００１５】
かかる黒色顔料としては、カーボンブラックが好ましく用いられる。カーボンブラックとしては、例えばファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック、ランプブラック等のいずれかの種類のものを用いることができるが、このうちファーネスブラックが好ましい。かかるカーボンブラックは、前述のカラーインデックスに記載のものでもよいし、記載のないものでもよい。
これらの黒色顔料は、それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。
【００１６】
有機顔料、例えば黒色有機顔料は必要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、あるいは不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理が施されていてもよい。
【００１７】
有機顔料である着色剤（Ａ）の使用量は、目的とする着色感光性樹脂組成物の揮発成分が揮発した後の固形分に対して質量分率で通常５％以上、好ましくは１０％以上であり、通常６０％以下、好ましくは５０％以下の範囲であるが有機顔料である着色剤（Ａ）の使用量が固形分に対して、例えば２０％以上、さらには３０％以上であっても、得られる着色感光性樹脂組成物は保存中における粘度の変化が少ない。
【００１８】
有機顔料である着色剤（Ａ）として、黒色着色剤を用いた場合も、その使用量は、上記と同様である。例えば、黒色着色剤として黒色顔料を用いる場合、該黒色顔料の使用量は黒色着色剤の全量に対して質量分率で通常５０％以上、好ましくは５５％以上である。
【００１９】
バインダーポリマー（Ｂ）は、有機顔料である着色剤（Ａ）を分散し得、着色感光性樹脂組成物層（１）に、現像において、その光線未照射領域（１１）を除去し、光線照射領域（１２）を残す機能を付与するポリマーが使用される。かかるバインダーポリマーとしては、例えばカルボキシル基を有する単量体単位からなるポリマーが好ましい。
【００２０】
カルボキシル基を有する単量体としては、例えば不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸などの分子中に１個以上のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられ、具体的にはアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などが挙げられる。かかる単量体は、炭素−炭素不飽和結合を有する化合物であり、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２１】
バインダーポリマーは、かかるカルボキシル基を有する単量体の単独重合体であってもよいが、該単量体と他の単量体との共重合体であることが好ましい。他の単量体としては、炭素−炭素不飽和結合を有し、カルボキシル基を有する単量体と共重合し得る単量体であり、具体的には、例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニル化合物、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ブチルアクリレート、ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル化合物、アミノエチルアクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル化合物、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル化合物、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル化合物、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリルなどのシアン化ビニル化合物、３−メチル−３−アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−アクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−アクリロキシエチルオキセタン、３−メチル−３−メタクリロキシエチルオキセタンのような不飽和カルボン酸オキセタンエステル化合物などが挙げられる。これらの単量体はそれぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。
【００２２】
かかる共重合体としては、例えば３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン／メチルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体などが挙げられる。かかる共重合体におけるカルボキシル基を有する単量体単位の含有量は質量分率で５％以上５０％以下、好ましくは１０％以上４０％以下程度である。
【００２３】
また、バインダーポリマーとして、例えば実質的に下記一般式（Ｉ）で表わされる化合物と多塩基酸またはその酸無水物とを反応させて得られる化合物などを用いることもできる。
0003832328.tif 000002
・・・・・（Ｉ）
（式中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、またはハロゲン原子である。Ｘは、単結合、−ＣＯ−、−ＳＯ2−、−Ｃ（ＣＦ3）2−、−Ｓｉ（ＣＨ3）2−、−ＣＨ2−、−Ｃ（ＣＨ3）2−、−Ｏ−、または
0003832328.tif 000003
で示される基である。
Ｒ3は、置換基を有しても良い炭素数１〜１０のアルキレン基を示す。該置換基は、水酸基、ハロゲン原子、水酸基を有しても良い炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、炭素数６〜１５のアリール基、炭素数７〜１５のアラルキル基、炭素数２〜１０のアルケニル基、または炭素数２〜１０のアシルオキシ基である。Ｒ4は、水素原子またはメチル基を示す。ｍは、０〜５の整数、ｎは、１〜１０の整数を示す。）
着色剤が黒色着色剤の場合には、バインダーポリマーとして、上記一般式（Ｉ）で表わされる化合物と多塩基酸またはその酸無水物とを反応させて得られる化合物を用いることが好ましく、さらにビスフェノールフルオレン骨格を有する化合物と多塩基酸またはその酸無水物とを反応させて得られる化合物を用いることが好ましい。
【００２４】
かかるバインダーポリマーは、有機顔料である着色剤（Ａ）が黒色着色剤以外の場合には、ポリスチレンを標準としてゲルパーミェーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）で求められる重量平均分子量（Ｍｗ）が１，０００〜４００，０００の範囲、さらには５，０００〜４００，０００の範囲、特に１０，０００〜３００，０００の範囲にあるのが好ましい。
有機顔料である着色剤（Ａ）が黒色着色剤の場合には、該重量平均分子量（Ｍｗ）が２，０００〜１３，０００の範囲にあるのが好ましい。
【００２５】
バインダーポリマー（Ｂ）の使用量は、着色感光性組成物の固形分に対して質量分率で通常５％以上、好ましくは２０％以上、通常９０％以下、好ましくは７０％以下程度の範囲である。
【００２６】
光重合性化合物（Ｃ）は、光を照射されることによって光重合開始剤（Ｄ）から発生した活性ラジカル、酸などによって重合し得る化合物であって、例えば重合性炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。かかる化合物は、単官能の光重合性化合物であってもよいし、２官能または３官能以上の多官能の光重合性化合物であってもよい。
【００２７】
単官能光重合性化合物としては、例えばノニルフェニルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、Ｎ−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
【００２８】
２官能光重合性化合物としては、例えば１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロキシエチル）エーテル、３−メチルペンタンジオールジアクリレート、３−メチルペンタンジオールジメタクリレートなどが挙げられる。
【００２９】
３官能以上の多官能光重合性化合物としては、例えばトリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。
【００３０】
かかる光重合性化合物はそれぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられるが、２官能以上の多官能光重合性化合物が好ましく用いられ、２種以上の光重合性化合物を用いる場合には１以上の多官能光重合性化合物を用いることが好ましい。
【００３１】
かかる光重合性化合物（Ｃ）の使用量は、バインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり通常は０．１質量部以上７０質量部以下、好ましくは１質量部以上６０質量部以下である。
【００３２】
光重合開始剤（Ｄ）は、光を照射されることによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生剤、酸を発生する酸発生剤などが挙げられ、例えば活性ラジカル発生剤としては、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤などが挙げられる。
【００３３】
アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えばジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられる。
【００３４】
ベンゾイン系光重合開始剤としては、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００３５】
ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えばベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００３６】
チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００３７】
トリアジン系光重合開始剤としては、例えば２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００３８】
活性ラジカル発生剤として、例えば２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００３９】
活性ラジカル発生剤として、市販のものを用いることもできる。市販の光重合開始剤としては、例えば商品名「Ｉｒｇａｃｕｒｅ−９０７」（アセトフェノン系光重合開始剤、ＣＩＢＡ−ＧＥＩＧＹ社製）などが挙げられる。
【００４０】
酸発生剤としては、例えば４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。
【００４１】
また、活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えばトリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。
【００４２】
これらの光重合開始剤はそれぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４３】
本発明の着色感光性組成物は、光重合開始助剤を含有していてもよい。光重合開始助剤は、光重合開始剤と組み合わせて、光重合開始剤（Ｄ）によって開始した光重合性化合物（Ｃ）の重合を促進するために用いられる化合物である。光重合開始助剤としては、例えばアミン系光重合開始助剤、アルコキシアントラセン系光重合開始助剤などが挙げられる。
【００４４】
アミン系光重合開始助剤としては、例えばトリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００４５】
アルコキシアントラセン系光重合開始助剤としては、例えば９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００４６】
光重合開始助剤として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤としては、例えば商品名「ＥＡＢ−Ｆ」（保土谷化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００４７】
かかる光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤１モルあたり通常１０モル以下、好ましくは０．０１モル以上５モル以下である。
【００４８】
光重合開始剤（Ｄ）および光重合開始助剤の使用量は、その合計量がバインダーポリマー（Ｂ）および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部に対して通常３質量部以上３０質量部以下、好ましくは５質量部以上２５質量部以下である。
【００４９】
溶剤（Ｅ）としては、通常の着色感光性組成物に用いられると同様の溶剤が用いられ、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル及びジエチレングリコールジブチルエーテルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類、
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート及びメトキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、
ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類、
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類、
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール類、
３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類、
γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類などが挙げられる。かかる溶剤は、それぞれ単独でまたは２種類以上を組み合わせて用いることができ、その使用量は、溶剤で希釈された状態の着色感光性組成物における含有量含有量が質量分率で通常５０％以上９０％以下、好ましくは６０％以上８５％以下となる程度である。
【００５０】
有機顔料である着色剤（Ａ）、例えば黒色着色剤および溶剤（Ｅ）の混合物は、かかる着色剤（Ａ）と溶剤（Ｅ）とを混合する方法によって得ることができる。かかる混合物において、有機顔料である着色剤（Ａ）はその種類によっては溶剤（Ｅ）に溶解することなく分散した状態となることもあるが、本発明の製造方法において該混合物は、有機顔料である着色剤（Ａ）が溶解することなく、溶剤（Ｅ）に分散された状態となっていてもよい。
【００５１】
有機顔料である着色剤（Ａ）、例えば黒色着色剤および溶剤（Ｅ）の混合物における有機顔料である着色剤（Ａ）の含有量は、有機顔料である着色剤（Ａ）および溶剤（Ｅ）の合計量１００質量部あたり通常５質量部以上、好ましくは１０質量部以上であり、通常６０質量部以下、好ましくは３０質量部以下である。
【００５２】
有機顔料である着色剤（Ａ）、例えば黒色着色剤および溶剤（Ｅ）の混合物は顔料分散剤を含有していてもよい。有機顔料である着色剤（Ａ）を用いる場合には、顔料分散剤を含有することによって、混合物において顔料を分散することができる。顔料分散剤としては、例えばポリエステル系高分子分散剤、アクリル系高分子分散剤、ポリウレタン系高分子分散剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤などが挙げられ、これらはそれぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。顔料分散剤を用いる場合、混合物におけるその含有量は、着色剤１質量部あたり通常０．０１質量部以上、好ましくは０．０５質量部以上であり、通常１質量部以下、好ましくは０．５質量部以下である。
有機顔料である着色剤（Ａ）および溶剤（Ｅ）の混合物は、バインダーポリマー（Ｂ）などを含有していてもよい。
【００５３】
本発明の製造方法では、かかる混合物をバインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）と混合する。混合する際の温度は、溶剤（Ｅ）が凝固しない温度、例えば０℃以上であればよく、２３℃またはそれ以下であってもよいが、２５℃以上、さらには３０℃以上、特に３５℃以上であることが好ましく、通常は８０℃以下、好ましくは６０℃以下、さらに好ましくは５０℃以下の温度である。混合に際しては、例えば黒色着色剤等の有機顔料である着色剤（Ａ）および溶剤（Ｅ）の混合物にバインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）を注加してもよいし、有機顔料である着色剤（Ａ）および溶剤（Ｅ）の混合物をバインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）の混合物に注加してもよい。混合は、通常、有機顔料である着色剤（Ａ）例えば黒色着色剤および溶剤（Ｅ）の混合物またはバインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）の混合物を攪拌しながら行なわれる。
【００５４】
混合に際して、有機顔料である着色剤（Ａ）例えば黒色着色剤および溶剤（Ｅ）の混合物は、さらに溶剤（Ｅ）と混合されてもよく、この場合、さらに混合される溶剤（Ｅ）は、例えばバインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）とあらかじめ混合される。
【００５５】
混合に際して、有機顔料である着色剤（Ａ）例えば黒色着色剤および溶剤（Ｅ）の混合物を、バインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）とともに、添加剤（Ｆ）と混合してもよい。添加剤としては、例えば充填剤、バインダーポリマー（Ｂ）以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などが挙げられる。
【００５６】
充填剤としては、例えばガラス、アルミナなどが挙げられる。
高分子化合物としては、例えばポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
界面活性剤としては、例えばノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤などが挙げられる。
密着促進剤としては、例えばビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００５７】
酸化防止剤としては、例えば２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールなどが挙げられる。
紫外線吸収剤としては、例えば２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
凝集防止剤としては、例えばポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００５８】
有機酸としては、例えばぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類、
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類、
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類、
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類、
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類、
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
【００５９】
有機アミノ化合物としては、例えばｎ―プロピルアミン、ｉ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｉ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノ（シクロ）アルキルアミン類、
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルｎ−プロピルアミン、エチルｎ−プロピルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジｉ−プロピルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジｉ−ブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミン、メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミンなどのジ（シクロ）アルキルアミン類、
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチルｎ−プロピルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、エチルジｎ−プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリｉ−プロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリｉ−ブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリｔ−ブチルアミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ−ヘキシルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのトリ（シクロ）アルキルアミン類、
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノール、４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノ（シクロ）アルカノールアミン類、
ジエタノールアミン、ジｎ−プロパノールアミン、ジｉ−プロパノールアミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジｉ−ブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−ヘキサノールアミン、ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジ（シクロ）アルカノールアミン類、
トリエタノールアミン、トリｎ−プロパノールアミン、トリｉ−プロパノールアミン、トリｎ−ブタノールアミン、トリｉ−ブタノールアミン、トリｎ−ペンタノールアミン、トリｎ−ヘキサノールアミン、トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリ（シクロ）アルカノールアミン類、
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノ（シクロ）アルカンジオール類、
１−アミノシクロペンタノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノール、１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類、
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類、
アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−ｉ−プロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類、
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類、
ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類、
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
【００６０】
硬化剤は、パターンニングにおける現像後の加熱処理によって着色パターンを硬化させてその機械的強度を向上するために用いられる。かかる硬化剤としては、例えば加熱されることによってバインダーポリマーのカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架橋させ得る化合物が挙げられ、バインダーポリマーを架橋させることにより着色パターンを硬化させる。また、加熱されることによってそれ単独で重合し得る化合物であってもよく、単独で重合することにより色画素等が硬化する。かかる化合物としては、例えばエポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。
【００６１】
エポキシ化合物としては、例えばビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【００６２】
オキセタン化合物としては、例えばカーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００６３】
本発明の着色感光性組成物は、例えば黒色着色感光性組成物は、硬化剤と共にエポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。かかる化合物としては、例えば多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
【００６４】
多価カルボン酸類としては、例えばフタル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類、
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類、
ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
【００６５】
多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類、
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、
無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類、
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
【００６６】
カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。かかるエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば商品名「アデカハードナーＥＨ−７００」（旭電化工業(株)）、商品名「リカシッドＨＨ」（新日本理化(株)）、商品名「ＭＨ−７００」（新日本理化(株)）などが挙げられる。
【００６７】
かかる硬化剤は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６８】
かかる添加剤（Ｆ）は、着色剤例えば黒色着色剤および溶剤の混合物に溶解した状態で混合され得るのであれば、あらかじめ該混合物に溶解されていてもよいが、通常は、あらかじめバインダーポリマー（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）などと混合される。
【００６９】
本発明の製造方法では、かくして混合した後の混合物を４０℃以上８０℃以下の保温温度で保温する。保温温度は混合温度と同じ温度であってもよいし、混合温度以上の温度であってもよい。保温時間は１０分以上９時間以下である。
【００７０】
かくして保温処理を行なうことによって、目的とする着色感光性樹脂組成物を得るが、該着色感光性樹脂組成物は、長期間保存しても粘度が大きくならないので、例えばカラーフィルターを構成する着色パターンを形成するための原料として有用である。着色パターンを形成するには、例えば本発明の着色感光性樹脂組成物をパターンニングすればよく、具体的には着色感光性樹脂組成物からなる層（１）を基板（２）の上に形成し（図２(a)）、該層（１）を露光したのち（図２(b)）、現像すればよい（図２(c)）。
【００７１】
とりわけ、着色剤として黒色着色剤を用いた場合に、得られる黒色着色感光性樹脂組成物は、長期間保存しても粘度が大きくならないので、例えばカラーフィルターを構成するブラックマトリックスを形成するための原料として有用である。ブラックマトリックスを形成するには、例えば本発明の黒色着色感光性樹脂組成物をパターンニングすればよく、具体的には着色感光性樹脂組成物からなる層（１）を基板（２）の上に形成し（図２(a)）、該層（１）を露光したのち（図２(b)）、現像すればよい（図２(c)）。
【００７２】
基板（２）としては、例えばガラス板、シリコンウェハー、プラスチック板などが挙げられる。基板としてシリコンウェハーなどを用いる場合、該シリコンウェハーの表面には電荷結合素子（ＣＣＤ）などが形成されていてもよい。
【００７３】
着色感光性樹脂組成物、例えば黒色着色感光性樹脂組成物からなる層（１）を基板（２）の上に形成するには、例えば溶剤で希釈された状態の着色感光性樹脂組成物を回転塗布法（スピンコート法）などにより基板上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を揮発させればよい。かくして、着色感光性樹脂組成物層（１）が形成されるが、該層は着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層であり、揮発分をほとんど含有していない。
【００７４】
次いで、着色感光性樹脂組成物層（１）を露光する。露光するには、例えばフォトマスク（３）を介して光線（４）を照射すればよい。光線（４）としては通常、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）などの紫外線が用いられる。光線は、フォトマスク（３）を介して照射されるが、ここでフォトマスクは、例えばガラス板（３１）の表面に光線を遮蔽する遮光層（３２）が設けられたものである。光線（４）は遮光層（３２）によって遮蔽される。ガラス板（３１）のうちの遮光層が設けられていない部分は光線が透過する透光部（３３）であって、この透光部（３３）のパターンに従って着色感光性樹脂組成物層（２）が露光される。光線の照射量は、用いた共重合体（Ｂ）の種類や含有量、着色剤（Ａ）の色や含有量、光重合性化合物（Ｃ）の種類や含有量、光重合開始剤（Ｄ）の種類や含有量などに応じて適宜選択される。
【００７５】
露光後、現像する。現像するには、例えば露光後の着色感光性樹脂組成物層を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、例えば炭酸ナトリム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化合物の水溶液が用いられる。
【００７６】
現像によって、着色感光性組成物層のうちの光線が照射されない光線未照射領域（１１）は除去される。その一方で光線が照射された光線照射領域（１２）は残って着色パターン（５）を構成する。
【００７７】
黒色着色感光性組成物層の場合、現像によって、黒色着色感光性組成物層のうちの光線が照射されない光線未照射領域（１１）は除去される。その一方で光線が照射された光線照射領域（１２）は残ってブラックマトリックス（５ＢＭ）を構成する。
【００７８】
現像後、通常は水洗し乾燥することにより、目的とする着色パターン（５）を得ることができるが、乾燥後、加熱処理をしてもよい。加熱処理をすることにより、形成された着色パターン（５）が硬化して、その機械的強度が向上する。着色感光性組成物として硬化剤を含有するものを用いた場合には、加熱処理によって着色パターン（５）の機械的強度をより向上できるので、好ましい。加熱温度は通常１８０℃以上であり、好ましくは２００℃以上２５０℃以下程度である。
【００７９】
着色感光性樹脂組成物に含まれる着色剤（Ａ）の色を替えて基板（２）の表面に着色感光性樹脂組成物層（１’）を再び形成し（図３(a)）、該層（１’）にフォトマスク（３）を介して光線（４）を照射して露光したのち（図３(b)）、現像することによって、さらに着色パターン（５’）を形成することができる。
着色感光性樹脂組成物に含まれる着色剤（Ａ）の色を替えながら上記操作を繰り返し行なうことによって（図４）、さらに着色パターン（５”）を形成することができ、目的とするカラーフィルター（６）を得る。
【００８０】
黒色着色感光性組成物層の場合、ブラックマトリックス（５ＢＭ）の形成された基板（２）の表面に、異なる着色感光性樹脂組成物層（１’）を再び形成し（図３(a)）、該層（１’）にフォトマスク（３）を介して光線（４）を照射して露光したのち（図３(b)）、現像することによって、着色パターン（５’）を形成することができる。着色感光性樹脂組成物の色を替えながら上記操作を繰り返し行なうことによって（図４）、さらに着色パターン（５”）を形成することができ、目的とするカラーフィルター（６）を得る。
【００８１】
かくして得られるカラーフィルター（６）は着色パターン（５）からなり、該着色パターン（５）は、着色感光性組成物が光線を照射されてなるものである。
【００８２】
【発明の効果】
本発明の製造方法によって得られる着色感光性樹脂組成物は、例えば黒色着色感光性樹脂組成物は、長期間保存しても粘度の変化が少ないので、製造後、長期間保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて形成された着色パターンの厚みは、製造直後の着色感光性樹脂組成物を用いて形成された着色パターンの厚みと同等であり、厚みの薄い着色パターンを容易に製造することができる。
また、本発明の製造方法によって得られる黒色着色感光性樹脂組成物は、長期間保存してもラインパターン再現性や現像マージンが低下しないので、安定した品質のカラーフィルターを得ることができる。
【００８３】
【実施例】
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００８４】
実施例１
（着色感光性樹脂組成物の製造）
４０℃で攪拌下に、顔料および溶剤の混合物〔顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６）４．９３質量部、顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０）２．３２質量部、ノニオン系界面活性剤２．１４質量部、メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体（メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で３：６、重量平均分子量（Ｍｗ）は３５０００）０．９２質量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３８．００質量部の混合物〕に
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との組成比はモル比（物質量比）で３：６、重量平均分子量（Ｍｗ）は３５０００〕４．０９質量部、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート５．０１質量部、
光重合開始剤（「Ｉｒｇａｃｕｒｅ−９０７」）１．２０質量部、
光重合開始助剤（「ＥＡＢ−Ｆ」）０．４０質量部および
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４０．９９質量部の混合物を１時間かけて滴下して加えた後、６０℃で３時間保温して、着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度をＲ型粘度計〔「ＶＩＳＣＯＭＥＴＥＲ  ＭＯＤＥＬ  ＲＥ１２０Ｌ  ＳＹＳＴＥＭ」（東機産業(株)製）、回転数５０ｒｐｍ、温度２３℃〕で測定したところ、５．５５ｍＰａ・ｓ（ミリパスカル秒）であった。
この着色感光性樹脂組成物の組成を表１に示す。
【００８５】
【表１】
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６                        ４．９３質量部
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０                      ２．３２質量部
メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体      ５．０１質量部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート              ５．０１質量部
光重合開始剤（「Ｉｒｇａｃｕｒｅ−９０７」）          １．２０質量部
光重合開始助剤（「ＥＡＢ−Ｆ」）                      ０．４０質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    ７８．９９質量部
ノニオン系顔料分散剤                                  ２．１４質量部
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【００８６】
（着色パターンの形成）
２３℃でガラス基板〔コーニング社製、「＃７０５９」〕（２）の表面上に上記で得た着色感光性組成物をスピンコート法によって塗布した後、１００℃で３分間乾燥して揮発分を揮発させて着色感光性組成物層（１）を形成した。２３℃に冷却後、形成された着色感光性組成物層（１）にフォトマスク（３）を介してｉ線（波長３６５ｎｍ）を照射した。ｉ線の光源には超高圧水銀ランプを用い、照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ2とした。フォトマスク（３）としては、線幅３μｍ、４μｍ、５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍおよび１００μｍの線状の色画素（５）を形成するためのフォトマスクを用いた。
次いで、現像液（質量分率で水酸化カリウムを０．０５％およびブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含む水溶液）に２３℃で浸漬して現像し、純水で洗浄したのち、２３０℃で２０分間加熱して、緑色画素（５）を形成した（図１(b)）。得られた緑色画素（５）の厚みは１．６μｍであった。
なお、目的とする形状で形成されている緑色画素（５Ｇ）の線幅の最小値（解像度）は２０μｍであり、その断面形状は基板側が上側よりも広い順テーパー状であった（図５(b)）。
【００８７】
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で１月保管した後、その粘度を測定したところ、５．５８ｍＰａ・ｓであった。また、１月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で３月保管した後、その粘度を測定したところ、５．６１ｍＰａ・ｓであった。また、３月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００８８】
実施例２
（着色感光性樹脂組成物の製造）
４０℃で攪拌下に、実施例１で用いたと同じメタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、光重合開始剤、光重合開始助剤およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物に、実施例１で用いたと同じ顔料および溶剤の混合物を１時間かけて滴下して加えて混合し、その後、６０℃で３時間保温して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例１と同様にして測定したところ、５．６２ｍＰａ・ｓであった。
【００８９】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、緑色画素を形成した。この緑色画素の厚みは１．６μｍであった。なお、解像度は２０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００９０】
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で１月保管した後、その粘度を測定したところ、５．６１ｍＰａ・ｓであった。また、１月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で３月保管した後、その粘度を測定したところ、５．６４ｍＰａ・ｓであった。また、３月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００９１】
実施例３
（着色感光性樹脂組成物の製造）
混合後、６０℃で０．５時間（３０分）保温する以外は、実施例２と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例１と同様にして測定したところ、５．５２ｍＰａ・ｓであった。
【００９２】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、緑色画素を形成した。この緑色画素の厚みは１．６μｍであった。なお、解像度は２０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００９３】
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で１月保管した後、その粘度を測定したところ、５．５７ｍＰａ・ｓであった。また、１月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で３月保管した後、その粘度を測定したところ、５．６１ｍＰａ・ｓであった。また、３月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００９４】
実施例４
（着色感光性樹脂組成物の製造）
混合後、６０℃で１時間保温する以外は、実施例２と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例１と同様にして測定したところ、５．５４ｍＰａ・ｓであった。
【００９５】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、緑色画素を形成した。この緑色画素の厚みは１．６μｍであった。なお、解像度は２０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００９６】
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で１月保管した後、その粘度を測定したところ、５．５７ｍＰａ・ｓであった。また、１月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で３月保管した後、その粘度を測定したところ、５．６１ｍＰａ・ｓであった。また、３月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００９７】
実施例５
（着色感光性樹脂組成物の製造）
混合後、４０℃で６時間保温する以外は、実施例２と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例１と同様にして測定したところ、５．５７ｍＰａ・ｓであった。
【００９８】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、緑色画素を形成した。この緑色画素の厚みは１．６μｍであった。なお、解像度は２０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００９９】
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で１月保管した後、その粘度を測定したところ、５．５９ｍＰａ・ｓであった。また、１月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で３月保管した後、その粘度を測定したところ、５．６４ｍＰａ・ｓであった。また、３月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１００】
実施例６
（着色感光性樹脂組成物の製造）
混合後、４０℃で６時間保温する以外は、実施例２と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例１と同様にして測定したところ、５．４９ｍＰａ・ｓであった。
【０１０１】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、緑色画素を形成した。この緑色画素の厚みは１．６μｍであった。なお、解像度は２０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１０２】
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で１月保管した後、その粘度を測定したところ、５．５２ｍＰａ・ｓであった。また、１月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で３月保管した後、その粘度を測定したところ、５．６２ｍＰａ・ｓであった。また、３月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１０３】
実施例７
（着色感光性樹脂組成物の製造）
混合後、５０℃で３時間保温する以外は、実施例２と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例１と同様にして測定したところ、５．４８ｍＰａ・ｓであった。
【０１０４】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、緑色画素を形成した。この緑色画素の厚みは１．６μｍであった。なお、解像度は２０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１０５】
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で１月保管した後、その粘度を測定したところ、５．５２ｍＰａ・ｓであった。また、１月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で３月保管した後、その粘度を測定したところ、５．６４ｍＰａ・ｓであった。また、３月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１０６】
実施例８
（着色感光性樹脂組成物の製造）
混合後、７０℃で３時間保温する以外は、実施例２と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例１と同様にして測定したところ、５．６２ｍＰａ・ｓであった。
【０１０７】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、緑色画素を形成した。この緑色画素の厚みは１．６μｍであった。なお、解像度は２０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１０８】
実施例９
（着色感光性樹脂組成物の製造）
混合温度を２５℃とする以外は、実施例２と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例１と同様にして測定したところ、５．３８ｍＰａ・ｓであった。
【０１０９】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、緑色画素を形成した。この緑色画素（５）の厚みは１．６μｍであった。なお、解像度は２０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１１０】
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で１月保管した後、その粘度を測定したところ、５．４８ｍＰａ・ｓであった。また、１月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で３月保管した後、その粘度を測定したところ、５．５８ｍＰａ・ｓであった。また、３月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１１１】
実施例１０
（着色感光性樹脂組成物の製造）
顔料および溶剤の混合物にメタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、光重合開始剤、光重合開始助剤およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物を加える際の温度を２３℃とし、混合後の保温時間を１時間とする以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例１と同様にして測定したところ、５．３４ｍＰａ・ｓであった。
【０１１２】
（着色パターンの形成）
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、緑色画素を形成した。この緑色画素の厚みは１．６μｍであった。なお、解像度は２０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１１３】
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で１月保管した後、その粘度を測定したところ、５．５０ｍＰａ・ｓであった。また、１月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で３月保管した後、その粘度を測定したところ、５．６２ｍＰａ・ｓであった。また、３月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１１４】
比較例１
（着色感光性樹脂組成物の製造）
２３℃で攪拌下に、実施例１で用いたと同じメタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、光重合開始剤、光重合開始助剤およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合物に、実施例１で用いたと同じ顔料および溶剤の混合物を加えて混合して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例１と同様にして測定したところ、５．２２ｍＰａ・ｓであった。
【０１１５】
（着色パターンの形成）
着色感光性樹脂組成物（Ｉ）に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、緑色画素を形成した。この緑色画素の厚みは１．５μｍであった。なお、解像度は２０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１１６】
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で１月保管した後、その粘度を測定したところ、５．６８ｍＰａ・ｓであった。また、１月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したところ、その厚みは１．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
上記で得た着色感光性樹脂組成物を２３℃で３月保管した後、その粘度を測定したところ、６．１２ｍＰａ・ｓであった。また、３月保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画素（５Ｇ）を形成したところ、その厚みは１．８μｍであり、その断面形状は基板側と上側とが等しい幅である矩形状（図５(a)）であった。
【０１１７】
上記実施例１〜実施例８および比較例１で得た着色感光性樹脂組成物の製造時における混合温度、保温温度、製造直後の粘度（η0）と１月保管した後の粘度（η1）との差（Δη1＝η1−η0）およびη0と３月保管した後の粘度（η3）との差（Δη3＝η3−η0）を表２にまとめて示す。
【０１１８】
【表２】
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
混合温度      保温温度    保温時間      Δη1      Δη3
（℃）        （℃）      （時間）    (mPa・s)    (mPa・s)
──────────────────────────────────
実施例１      ４０          ６０         ３        0.03       0.06
実施例２      ４０          ６０         ３       -0.01       0.02
実施例３      ４０          ６０         0.5       0.05       0.09
実施例４      ４０          ６０         １        0.03       0.07
実施例５      ４０          ６０         ６        0.02       0.07
実施例６      ４０          ４０         ６        0.03       0.13
実施例７      ４０          ５０         ３        0.04       0.16
実施例８      ４０          ７０         ３       -0.03       0.04
実施例９      ２５          ６０         ３        0.10       0.20
実施例10      ２３          ６０         １        0.16       0.28
比較例１      ２３           −          −        0.46       0.90
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【０１１９】
実施例１１
４０℃で攪拌下に、顔料および溶剤の混合物〔顔料（被覆カーボンブラック）４４質量部、分散剤１３質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５０質量部の混合物〕を
９，９’−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレンのエポキシアクリレート化合物とテトラヒドロ無水フタル酸の反応生成物〔重量平均分子量（Ｍｗ）は５０００〕２９質量部、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート９質量部、
光重合開始剤（２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン）５質量部、および
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１２４質量部の混合物に５分かけて加えた後、１時間かけて６０℃に昇温、次いで６０℃で１時間保温して、黒色着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度をＲ型粘度計〔「ＶＩＳＣＯＭＥＴＥＲ  ＭＯＤＥＬ  ＲＥ１２０Ｌ  ＳＹＳＴＥＭ」（東機産業（株）製）、回転数５０ｒｐｍ、温度２３℃〕で測定したところ、４．５７ｍＰａ・ｓ（ミリパスカル秒）であった。
【０１２０】
実施例１２
４０℃で攪拌下に、顔料および溶剤の混合物〔顔料（被覆カーボンブラック）４４質量部、分散剤１３質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５０質量部の混合物〕に
９，９‘−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレンのエポキシアクリレート化合物とテトラヒドロ無水フタル酸の反応生成物〔重量平均分子量（Ｍｗ）は５０００〕２９質量部、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート９質量部、
光重合開始剤（２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン）５質量部、および
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１２４質量部の混合物を１時間かけて滴下して加えた後、１時間かけて６０℃に昇温、次いで６０℃で１時間保温して、黒色着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度をＲ型粘度計で測定したところ、４．６３ｍＰａ・ｓ（ミリパスカル秒）であった。
【０１２１】
実施例１３
各物質の混合温度を４０℃から２０℃に、混合後の保温時間を１時間から７．５時間に、それぞれ変える他は実施例１と同様にして、黒色着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度をＲ型粘度計で測定したところ、４．５４ｍＰａ・ｓ（ミリパスカル秒）であった。
【０１２２】
比較例２
各物質の混合温度を、４０℃から２０℃に、混合後の保温温度を６０℃から２０℃に変える他は実施例１と同様にして、黒色着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度をＲ型粘度計で測定したところ、５．０４ｍＰａ・ｓ（ミリパスカル秒）であった。
【０１２３】
比較例３
各物質の混合温度を、４０℃から２０℃に、混合後の保温温度を６０℃から２０℃に変える他は実施例２と同様にして、黒色着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度をＲ型粘度計で測定したところ、５．１０ｍＰａ・ｓ（ミリパスカル秒）であった。
（保管後の着色感光性樹脂組成物の評価）
上記実施例１１〜１３および比較例２〜３で得た着色感光性樹脂組成物を５℃で１ヶ月保管した後の粘度（η1）、および製造直後の粘度（η0）と１ヶ月保管した後の粘度との差（Δη1＝η1−η0）はそれぞれ表３に示す値となった。
【０１２４】
【表３】
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
混合温度      保温温度        η1     Δη1
（℃）        （℃）      (mPa・s)    (mPa・s)
──────────────────────────────────
実施例１１      ４０          ６０         4.79       0.22
実施例１２      ４０          ６０         4.88       0.25
実施例１３      ２０          ６０         4.71       0.17
比較例２        ２０          ２０        13.86       8.82
比較例３        ２０          ２０        13.65       7.95
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【０１２５】
実施例１４
上記実施例１１〜１３および比較例２〜３で得た着色感光性樹脂組成物、および上記実施例１１〜１３および比較例２〜３で得た着色感光性樹脂組成物を５℃で１ヶ月保管したものをそれぞれ、コーニング社製の＃７０５９ガラス基板上に膜厚が均一になるようにスピン塗布し、１００℃で３分間プリベークして乾燥させた。スピン塗付の条件は、ポストベーク後の塗布膜の光学濃度が３．６となるように回転数を設定した。次いでこの乾燥塗膜に、フォトマスクを介して超高圧水銀灯により６００ｍＪ／ｃｍの露光を行った後、ノニオン系界面活性剤を含む０．０５％水酸化カリウム水溶液に８０秒間浸漬して現像し、さらに２３０℃で２０分間の後硬化を施して、黒色画素（ブラックマトリックス）を作成した。得られた黒色画素サンプルについてラインパターン再現性、及び現像マージンについて評価を行った。ラインパターン再現性はパターニングされた１０μｍのラインアンドスペースパターンを倍率２，５００倍の反射型光学顕微鏡で観察し、判定した。現像マージンは再現する最小のパターン線幅の現像時間依存性により判定した。結果を表４に示した。
【０１２６】
【表４】
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
ラインパターン再現性*1                現像マージン*2
保管前  保管後            保管前                  保管後
90秒現像  150秒現像    90秒現像  150秒現像
────────────────────────────────────
実施例１１    ○      ○       ４μｍ     ７μｍ      ４μｍ    ７μｍ
実施例１２    ○      ○       ４μｍ     ８μｍ      ４μｍ    ８μｍ
実施例１３    ○      ○       ６μｍ     ８μｍ      ６μｍ    ８μｍ
比較例２      ○      ×       ４μｍ     ７μｍ      ７μｍ  ２０μｍ
比較例３      ○      ×       ４μｍ     ８μｍ      ７μｍ  ２０μｍ
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*1ラインパターン再現性  ○：欠け無し  ×：部分的に欠けが認められる
*2再現する最小パターン線幅
【０１２７】
実施例１５〜１８
各物質の混合温度と混合後の保温温度をそれぞれ表５に記載の温度に変える他は実施例１１と同様にして、黒色着色感光性樹脂組成物を得る。得られる着色感光性樹脂組成物の粘度は、長期間保存しても変化が少ない。
【０１２８】
【表５】
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混合温度      保温温度
（℃）        （℃）
────────────────────
実施例１５        ６０          ６０
実施例１６        ２０          ８０
実施例１７        ２５          ４０
実施例１８        ４０          ４０
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【０１２９】
実施例１９〜２２
各物質の混合温度と混合後の保温温度をそれぞれ表６に記載の温度に変える他は実施例１２と同様にして、黒色着色感光性樹脂組成物を得る。得られる着色感光性樹脂組成物の粘度は、長期間保存しても変化が少ない。
【０１３０】
【表６】
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混合温度      保温温度
（℃）        （℃）
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実施例１９    ６０          ６０
実施例２０    ２０          ８０
実施例２１    ２５          ４０
実施例２２    ４０          ４０
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【図面の簡単な説明】
【図１】  カラーフィルターの構造を示す斜視模式図である。
【図２】  着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成する工程を示す断面模式図である。
【図３】  着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成する工程を示す断面模式図である。
【図４】  着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを形成する工程を示す断面模式図である。
【図５】  着色パターンの断面形状を示す断面模式図である。
【符号の説明】
１  ：着色感光性樹脂組成物層
２  ：基板
３  ：フォトマスク                  ３１：ガラス板
３２：遮光層
３３：透光部
４  ：光線
５  ：着色パターン（色画素またはブラックマトリックス）
５’：着色パターン（色画素またはブラックマトリックス）
５”：着色パターン（色画素またはブラックマトリックス）
５ＢＭ：ブラックマトリックス    ５Ｒ：赤色画素
５Ｇ：緑色画素
５Ｂ：青色画素
６  ：カラーフィルター
【図１】
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【図２】
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【図３】
0003832328.tif 000006
【図４】
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【図５】
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