(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸気発生槽と、該蒸気発生槽に対して凝縮器を介して接続する減圧機構と、前記蒸気発生槽で発生した洗浄剤蒸気が蒸気供給経路を介して供給される洗浄槽と、該洗浄槽に接続して該洗浄槽内に溜まった洗浄液を排出するための洗浄液排出経路と、前記凝縮器を介さずに前記洗浄槽内を真空引き可能な真空引き機構と、前記蒸気供給経路の途中位置で、前記蒸気発生槽が前記洗浄槽に接続した状態と前記凝縮器の方に接続した状態との切り換えを行い、前記洗浄槽が前記凝縮器の方に接続する状態への切り換えが不能な三方コックとを有することを特徴とする蒸気洗浄装置。
【請求項２】
請求項１において、前記洗浄液排出経路には、冷却器を介して液送機構が接続し、
前記真空引き機構は、前記冷却器を介さずに前記洗浄槽内を真空引き可能であることを特徴とする蒸気洗浄装置。
【請求項３】
請求項１において、前記洗浄液排出経路には、ドレン液受器を介して液送機構が接続していることを特徴とする蒸気洗浄装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記洗浄剤は、シリコン系洗浄剤、炭化水素系洗浄剤、およびアルコール系洗浄剤からなる群から選ばれた１種または２種以上の沸点が１００℃から２００℃までの範囲にある高沸点溶剤であることを特徴とする蒸気洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品、機械部品、プリント配線基板などのワークを洗浄するための蒸気洗浄装置に関するものである。さらに詳しくは、高沸点の洗浄剤の使用に適した蒸気洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子部品、機械部品、プリント配線基板などのワークを洗浄するための洗浄剤としては、フッ素系や塩素系の有機溶剤が用いられている。しかし、かかるハロゲン系有機溶剤は環境や生体に悪影響があるとして使用の全廃が予定されている。そこで、ハロゲン系有機溶剤に代えて、シリコン系、炭化水素系、あるいはアルコール系などの高沸点の溶剤が洗浄剤として用いられつつあるが、これらの洗浄剤は沸点が１００℃から２００℃もあるため、それを用いて常圧下で蒸気洗浄を行おうとすると、蒸気温度が高いので、ワークの熱変形や熱変質などの問題が発生する。
【０００３】
そこで、前記のような高沸点溶剤を用いたときの洗浄方法として減圧下で蒸気洗浄が注目されている。そのための洗浄装置としては、従来、図３に示す構成を有するものがある。この蒸気洗浄装置には、蒸気発生槽２Ｂと、この蒸気発生槽２Ｂに対して凝縮器３Ｂを介して接続する減圧機構４Ｂと、蒸気発生槽２Ｂで発生した洗浄剤蒸気が蒸気供給経路５Ｂを介して供給される洗浄槽６Ｂと、この洗浄槽６Ｂに凝縮器８Ｂを介して接続する真空引き機構１０Ｂとが構成されている。従って、蒸気発生槽２Ｂでは減圧機構４Ｂによって減圧下で洗浄剤蒸気を発生させる一方、真空引き機構１０Ｂで洗浄槽６Ｂを減圧し、蒸気発生槽２Ｂから洗浄剤蒸気を蒸気供給経路５Ｂを介して洗浄槽６Ｂ内に導入すれば、ワークを洗浄剤蒸気で洗浄できる。このように、洗浄剤蒸気をあくまで減圧下で発生させるので、常圧下での蒸気洗浄と比較して洗浄剤およびワークを低い温度で扱うことができる。しかも、減圧下で洗浄剤を扱うので、蒸気洗浄装置から洗浄剤が漏れないという利点もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の蒸気洗浄装置では、洗浄槽６Ｂ内に洗浄液が凝縮すると、それを液状のままでは排出することができないため、洗浄槽６Ｂ内でワークを乾燥させる際には真空引き機構１０Ｂによって洗浄槽６Ｂ内を真空引きし、長い時間をかけて洗浄槽６Ｂ内の洗浄液を蒸気として排出せざるを得ない。また、真空引き機構１０Ｂは凝縮器８Ｂを介して洗浄槽６Ｂ内を真空引きするため、凝縮器６に洗浄液が溜まると、真空引き機構１０Ｂでいくら洗浄槽６Ｂ内を真空にしようにも、凝縮器８に溜まった洗浄液が蒸気となって排出されるまで洗浄槽６Ｂ内の真空度が上がらない。それ故、従来の蒸気洗浄装置では、洗浄槽６Ｂ内でワークを乾燥させるには長時間を要するという問題点がある。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、蒸気洗浄を行った洗浄槽内でワークの乾燥を短時間で行うことのできる蒸気洗浄装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係る蒸気洗浄装置では、蒸気発生槽と、該蒸気発生槽に対して凝縮器を介して接続する減圧機構と、前記蒸気発生槽で発生した洗浄剤蒸気が蒸気供給経路を介して供給される洗浄槽と、該洗浄槽に接続して該洗浄槽内に溜まった洗浄液を排出するための洗浄液排出経路と、前記凝縮器を介さずに前記洗浄槽内を真空引き可能な真空引き機構と、前記蒸気供給経路の途中位置で、前記蒸気発生槽が前記洗浄槽に接続した状態と前記凝縮器の方に接続した状態との切り換えを行い、前記洗浄槽が前記凝縮器の方に接続する状態への切り換えが不能な三方コックとを有することを特徴とする。本発明では、洗浄槽内に溜まった洗浄液を排出するための洗浄液排出経路が構成されているため、蒸気洗浄が終わった後に、洗浄槽内で凝縮した洗浄液を液状のままで排出することができる。それ故、本発明によれば、蒸気洗浄を行った洗浄槽内でのワークに対する真空乾燥を短時間に行うことができる。また、蒸気発生槽が洗浄槽に接続した状態と凝縮器に接続した状態との切り換えを行い、洗浄槽が凝縮器の方に接続する状態への切り換えが不能な三方コックを用いたため、操作ミスがあっても洗浄槽と凝縮器とが接続する状態があり得ないので、凝縮器に溜まっていた洗浄液が洗浄槽内のワークを濡らすということがない。
【０００７】
本発明において、前記洗浄液排出経路には、冷却器を介して液送機構が接続し、前記真空引き機構は、前記冷却器を介さずに前記洗浄槽内を真空引き可能であることが好ましい。このように構成すると、蒸気洗浄が終わった後に、洗浄槽内で凝縮した洗浄液を液送機構により洗浄液排出経路を介して液状のままで排出することができる。また、洗浄槽に対しては冷却器を介さずに真空引き可能な真空引き機構が構成されているため、冷却器に洗浄液が溜まっていても、真空引き機構は洗浄槽内を直接、真空引きするので、蒸気洗浄を行った洗浄槽内でワークの乾燥を短時間で行うことができる。また、本発明では、前記洗浄液排出経路には、ドレン液受器を介して液送機構が接続していることが好ましい。
【０００８】
このように、本発明に係る蒸気洗浄装置は、減圧下で溶剤蒸気を発生させるので、洗浄剤およびワークを低い温度で扱うことができるとともに、減圧下で洗浄剤を扱うので、蒸気洗浄装置から洗浄剤が漏れないという利点に加えて、蒸気洗浄を行った洗浄槽内でワークの乾燥を短時間で行うことができることから、シリコン系洗浄剤、炭化水素系洗浄剤、またはアルコール系洗浄など、沸点が１００℃から２００℃までの範囲にある高沸点の溶剤を洗浄剤として用いるのに適している。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１１】
（蒸気洗浄装置１の基本的な構成）
図１は、本発明を適用した蒸気洗浄装置１の基本的な構成を示すブロック図である。
【００１２】
図１に示すように、本形態を適用した蒸気洗浄装置１は、蒸気発生槽２Ａと、この蒸気発生槽２Ａに対して凝縮器３Ａを介して接続する減圧機構４Ａと、蒸気発生槽２Ａで発生した洗浄剤蒸気が蒸気供給経路５Ａを介して供給される洗浄槽６Ａと、該洗浄槽６Ａに接続して該洗浄槽６Ａ内に溜まった洗浄液を排出するための洗浄液排出経路７Ａと、この洗浄液排出経路７Ａに冷却器８Ａを介して接続する液送機構９Ａと、洗浄槽６Ａ内を冷却器８Ａを介さずに真空引き可能な真空引き機構１０Ａとが構成されている。また、本形態の蒸気洗浄装置１には、蒸気発生槽２Ａが洗浄槽６Ａに蒸気供給経路５Ａを介して接続した状態と凝縮器３Ａの方に接続した状態との切り換えを行う切換機構１１Ａとして、蒸気供給経路５Ａの途中位置で、蒸気発生槽２Ａが洗浄槽６Ａに蒸気供給経路５Ａを介して接続した状態と凝縮器３Ａの方に接続した状態との切り換えを行い、洗浄槽６Ａが凝縮器３Ａの方に接続する状態への切り換えが不能な三方コック１１が用いられている。
【００１３】
このように構成した蒸気洗浄装置１では、蒸気発生槽２Ａにおいて、そこに貯留した洗浄液を加熱しながら槽内を減圧機構４Ａにより減圧し、洗浄剤蒸気を発生させる。このとき、蒸気発生槽２Ａから発生した洗浄剤蒸気は凝縮器３Ａでトラップされ、減圧機構４Ａには到達しない。一方、洗浄槽６Ａではそこにワークを入れた後、バルブＡＶ９を開にし、真空引き機構１０Ａにより洗浄槽６Ａ内を減圧状態にする。この状態で、三方コック１１を操作して、蒸気発生槽２Ａが洗浄槽６Ａに蒸気供給経路５Ａを介して接続する状態とした後、バルブＡＶ５を開にし、蒸気発生槽２Ａの洗浄剤蒸気を洗浄槽６Ａ内に導入する。
【００１４】
その結果、洗浄槽６Ａ内では洗浄剤蒸気がワークに触れてワークを洗浄し、凝縮する。このとき凝縮した洗浄剤を洗浄液排出経路７Ａを介して冷却器８Ａに排出しながらワークを洗浄する。
【００１５】
このようにして洗浄を終えた後は、それまでは開状態にあったバルブＡＶ５、ＡＶ７を閉にし、洗浄槽６Ａと蒸気発生槽２Ａおよび冷却器８Ａとを遮断した後、冷却器８Ａ内を真空開放し、冷却器８Ａ内に溜まった洗浄液を液送機構９Ａによって冷却器８Ａから排出する。
【００１６】
併せて、バルブＡＶ５、ＡＶ７が閉にされて洗浄槽６Ａが蒸気発生槽２Ａおよび冷却器８Ａと遮断された後には、真空引き機構１０Ａによって洗浄槽６Ａ内を直接、真空引きする。そして、ワークに付着した洗浄液を乾燥、除去する。
【００１７】
このように、本形態の蒸気洗浄装置１では、洗浄槽６Ａ内で洗浄剤蒸気でワークを洗浄し、この時にワークに触れて凝縮した洗浄剤を冷却器８Ａ内に排出しながら洗浄を行うため、洗浄槽６Ａ内には洗浄剤がほとんど残らない。また、洗浄後、洗浄槽６Ａが蒸気発生槽２Ａおよび冷却器８Ａと完全に遮断された後、冷却器８Ａから液送機構９Ａにより洗浄液が排出されるとともに、ワークを真空乾燥する際、真空引き機構１０Ａは、洗浄槽６Ａに対して冷却器８Ａを介さずに接続しているため、冷却器８Ａ内に洗浄液が溜まっていても、真空引き機構１０Ａは洗浄槽６Ａ内を直接、真空引きする。それ故、本発明によれば、蒸気洗浄を行った洗浄槽６Ａ内でワークの乾燥を短時間で行うことができる。また、本形態に係る蒸気洗浄装置１は、減圧下で溶剤蒸気を発生させるので、洗浄剤およびワークを低い温度で扱うことができるとともに、減圧下で洗浄剤を扱うので、蒸気洗浄装置１から洗浄剤が漏れない。よって、シリコン系洗浄剤、炭化水素系洗浄剤、またはアルコール系洗浄など、沸点が１００℃から２００℃までの範囲にある高沸点の溶剤を洗浄剤として用いるのに適している。
【００１８】
また、本形態では、蒸気発生槽２Ａが洗浄槽６Ａに接続した状態と凝縮器３Ａの方に接続した状態との切り換えを行うのに、洗浄槽６Ａと凝縮器３Ａの方とが接続する状態への切り換えが不能な三方コック１１を用いている。このため、操作ミスがあっても洗浄槽６Ａと凝縮器３Ａとが接続する状態があり得ないので、凝縮器３Ａに溜まっていた洗浄液が洗浄槽６Ａに入ってワークを濡らすということがない。
【００１９】
【実施例】
図２は、本発明を適用した蒸気洗浄装置の実施例を示す説明図である。この図において、実線、点線、一点鎖線、および二点鎖線で表してあるのは、それぞれ、洗浄液系統（洗浄剤蒸気系統）、熱媒油系統、排気系統、および冷却水系統である。また、蒸気洗浄装置１には手動ボールバルブ、エアー駆動自動ボールバルブ、真空ポンプ、液送ポンプ、ストレーナ、温度センサなどが構成されているので、主要なものについては個々、説明するが、機能が自明のものについてはそれぞれに符合ＧＶ、ＡＶ、ＶＰ、Ｐ、ＳＴ、ＴＨを付してその説明を省略する。
【００２０】
図２において、本例の蒸気洗浄装置１には、熱媒油器５０から熱媒送液用ポンプ５１で熱媒油が供給、循環される加熱コイルを内蔵の真空再生器２（蒸気発生槽２Ａ）と、この真空再生器２に対して二次熱交換器３（凝縮器３Ａ）を介して接続する第１の液封式の真空ポンプ４（減圧機構４Ａ）とが構成され、真空再生器２内では、そこに貯留されている洗浄液から減圧下で洗浄剤蒸気を発生させる。洗浄剤としては、シリコン系洗浄剤、炭化水素系洗浄剤、またはアルコール系洗浄など、沸点が１００℃から２００℃までの範囲にある高沸点の溶剤などである。真空再生器２は、その内部圧力が真空計２０１および真空圧力スイッチ２０２で監視される。洗浄剤はリサイクルしながら使用されるため、真空再生器２は蒸気洗浄の際に洗浄剤蒸気を発生させるための蒸気発生槽２Ａとして用いられるだけでなく、使用済みの洗浄剤を再生する蒸留器としても用いられる。従って、真空再生器２の底部分には廃液管２０３が接続され、再生を行った際に残った残滓は、廃液送液用ポンプ２０４によって廃液器２０５に送られる。
【００２１】
蒸気発生槽２Ａの上面部には蒸気供給管５（蒸気供給経路５Ａ）が接続されている。この蒸気供給管５は、先端が蒸気洗浄・乾燥槽６（洗浄槽６Ａ）に接続され、蒸気発生槽２Ａ内で発生させた洗浄剤蒸気を蒸気洗浄・乾燥槽６内に供給する。
【００２２】
蒸気供給管５の途中位置には三方コック１１（切換機構１１Ａ）を介して減圧管２１が接続され、この減圧管２１は一時熱交換器３１を経て前記の二次熱交換器３および第１の液封式の真空ポンプ４に接続されている。三方コック１１は、真空再生器２が蒸気洗浄・乾燥槽６に蒸気供給管５を介して接続した状態と二次熱交換器３の方に接続した状態との切り換えを行い、蒸気洗浄・乾燥槽６が二次熱交換器３の方に接続する状態への切り換えは不能である。
【００２３】
一次熱交換器３１は、使用済みの洗浄液を一時的に貯留しておくバッファ槽４１から真空再生器２への洗浄液の補給管４２の途中に介挿され、この補給管４２を通して真空再生器２に補給される洗浄液と、真空再生器２から減圧管２１を通って二次熱交換器３に向かう洗浄剤蒸気との間で熱交換を行う。従って、蒸気発生槽２Ａから減圧管２１を通ってきた洗浄剤蒸気は、一次熱交換器３１で冷却された後、二次熱交換器３で完全に凝縮し、再生液タンク４３に貯留されることになる。なお、再生液タンク４３には、本例の蒸気洗浄装置１に付随する浸漬洗浄槽（図示せず。）や超音波洗浄槽（図示せず。）などで使用された処理済みの洗浄液も第２の液封式の真空ポンプ４４によって送られてくる。また、再生液タンク４３でオーバーフローした洗浄液は前記の浸漬・超音波蒸気洗浄槽で使用された後、再生処理が行われ、しかる後にバッファ槽４１に回収される。このバッファ槽４１には必要に応じて新液の補給も行われる。
【００２４】
本例では、蒸気洗浄・乾燥槽６の底部分に洗浄液排出管７（洗浄液排出経路７Ａ）が接続され、この洗浄液排出管７の途中位置にはドレイン液受器８（冷却器８Ａ）、バルブＡＶ１６、および液送ポンプ９（液送機構９Ａ）が介挿されている。この洗浄液排出管７を通る洗浄液は、蒸気洗浄・乾燥槽６内で凝縮した使用済の洗浄液であり、回収管７１を通して前記のバッファ槽４１に回収される。
【００２５】
蒸気洗浄・乾燥槽６に対しては真空引き用配管７２が接続され、この真空引き用配管７２の途中位置には、蒸気洗浄・乾燥槽６内を前記のドレイン液受器８を介さずに真空引きするブースタポンプ１６および第３の液封式の真空ポンプ１７からなる２段の真空引き機構１０Ａが構成されている。なお、真空引き配管７２と減圧管２１とは第１の連結管７３で接続されているので、それに介挿されているバルブＡＶ１０、ＡＶ１５を開とすれば、第１の液封式の真空ポンプ４をも用いて、蒸気洗浄・乾燥槽６内を前記のドレイン液受器８を介さずに真空引きすることもできる。このように、２つの液封式の真空ポンプ４、１７で蒸気洗浄・乾燥槽６の真空引きをする際でも、三方コック１１は、蒸気洗浄・乾燥槽６を二次熱交換器３および液封式の真空ポンプ４、１７の方に接続することがないので、蒸気洗浄・乾燥槽６の真空引きが二次熱交換器３を介して行われることはない。すなわち、本例ではいずれの場合でも、蒸気洗浄・乾燥槽６内の真空引きは、ドレイン液受器８や二次熱交換器３を介さずに行うのである。
【００２６】
ブースタポンプ１６および第３の液封式の真空ポンプ１７はいずれも、洗浄を終えた後、蒸気洗浄・乾燥槽６内でワークを真空乾燥するためのもので、蒸気洗浄・乾燥槽６内から蒸気として引いた洗浄液は再生液タンク４３内に貯留される。なお、蒸気洗浄・乾燥槽６では真空計６０１および真空圧力スイッチ６０２によって真空度の監視が行われる。
【００２７】
バッファ槽４１に対しては排気管４７が接続され、この排気管４７には排気ブロア４８および防火ダンパ４９が構成されている。再生液タンク４３にも排気管４７が接続され、この排気管４７には排気ブロア４８との間にミストトラップ４６も構成されている。
【００２８】
このように構成した本例の蒸気洗浄装置１では、真空再生器２において、そこに貯留した洗浄液を加熱しながら槽内を第１の液封式の真空ポンプ４により減圧し、洗浄剤蒸気を発生する。一方、蒸気洗浄・乾燥槽６内にはワークを入れた後、バルブＡＶ９を開にし、ブースタポンプ１６および第３の液封式の真空ポンプ１７により蒸気洗浄・乾燥槽６内を減圧状態にする。この状態で、三方コック１１を操作して、真空再生器２が蒸気洗浄・乾燥槽６に蒸気供給管５を介して接続する状態とした後、バルブＡＶ５を開にし、真空再生器２の洗浄剤蒸気を蒸気洗浄・乾燥槽６内に導入する。
【００２９】
その結果、蒸気洗浄・乾燥槽６内では洗浄剤蒸気がワークに触れてワークを洗浄し、凝縮する。このときバルブＡＶ６、ＡＶ７を開にし、凝縮した洗浄剤を洗浄液排出管７を介してドレン液受器８に排出しながらワークを洗浄する。
【００３０】
このようにして洗浄を終えた後は、バルブＡＶ５、ＡＶ６、ＡＶ７を閉にし、かつ、三方コック１１を操作して真空再生器２が二次熱交換器３および第１の液封式の真空ポンプ４の側に接続する状態に切り換えて、蒸気洗浄・乾燥槽６をドレン液受器８および真空再生器２と遮断した後、ドレン液受器８内を真空開放し、ドレン液受器８内に溜まった洗浄液を液送ポンプ９によってドレン液受器８から排出する。
【００３１】
また、バルブＡＶ５、ＡＶ６、ＡＶ７が閉にされて蒸気洗浄・乾燥槽６がドレン液受器８および真空再生器２と遮断された後、ブースタポンプ１６および第３の液封式の真空ポンプ１７からなる２段の真空引き機構１０Ａによって蒸気洗浄・乾燥槽６内を直接、真空引きする。そして、ワークに付着した洗浄液を乾燥、除去する。
【００３２】
このように、本例の蒸気洗浄装置１では、蒸気洗浄・乾燥槽６内で洗浄剤蒸気でワークを洗浄し、この時にワークに触れて凝縮した洗浄剤をドレン液受器８に排出しながら洗浄を行うため、蒸気洗浄・乾燥槽６内には洗浄剤がほとんど残らない。また、洗浄後、蒸気洗浄・乾燥槽６が真空再生器２やドレン液受器８と完全に遮断された後、ドレン液受器８から液送ポンプ９により洗浄液が排出される一方、ワークを真空乾燥する際には、真空引き機構１０Ａが蒸気洗浄・乾燥槽６に対してドレン液受器８を介さずに接続しているため、ドレン液受器８内に洗浄液が溜まっていても、真空引き機構１０Ａは蒸気洗浄・乾燥槽６内を直接、真空引きする。それ故、本例によれば、蒸気洗浄を行った蒸気洗浄・乾燥槽６内でワークの乾燥を短時間で行うことができる。また、本例に係る蒸気洗浄装置１は、減圧下で溶剤蒸気を発生させるので、洗浄剤およびワークを低い温度で扱うことができるとともに、減圧下で洗浄剤を扱うので、蒸気洗浄装置１から洗浄剤が漏れない。よって、シリコン系洗浄剤、炭化水素系洗浄剤、またはアルコール系洗浄など、沸点が１００℃から２００℃までの範囲にある高沸点の溶剤を洗浄剤として用いるのに適している。
【００３３】
しかも、三方コック１１で操作ミスがあっても蒸気洗浄・乾燥槽６と二次熱交換器３の方とが接続ことがあり得ないので、二次熱交換器３の方に溜まっていた洗浄液が蒸気洗浄・乾燥槽６内のワークを濡らすということがない。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る蒸気洗浄装置では、洗浄槽内に溜まった洗浄液を液送機構によって洗浄液排出経路および冷却器を通して洗浄槽内に凝縮した洗浄液を排出することができる。また、ワークを真空乾燥させるための真空引き機構は、洗浄槽に対して冷却器を介さずに接続しているため、冷却器に洗浄液が溜まっていても、真空引き機構は洗浄槽内を直接、真空引きする。それ故、本発明によれば、蒸気洗浄を行った洗浄槽内でワークの乾燥を短時間で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した蒸気洗浄装置の構成を示す説明図である。
【図２】本発明の実施例に係る蒸気洗浄装置の構成を示す説明図である。
【図３】従来の蒸気洗浄装置の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
１      蒸気洗浄装置
２      真空再生器
２Ａ    蒸気発生槽
３      二次熱交換器
３Ａ    凝縮器
４      第１の液封式の真空ポンプ
４Ａ    減圧機構４
５      蒸気供給管
５Ａ    蒸気供給経路
６      蒸気洗浄・乾燥槽
６Ａ    洗浄槽
７    洗浄液排出管
７Ａ  洗浄液排出経路
８    ドレイン液受器
８Ａ  冷却器
９    液送ポンプ
９Ａ  液送機構
１０Ａ  真空引き機構
１１    三方コック
１１Ａ  切換機構
１６  ブースタポンプ
１７  第３の液封式の真空ポンプ
２１    減圧管
７２  真空引き用配管
【図１】
0003856526.tif 000002
【図２】
0003856526.tif 000003
【図３】
0003856526.tif 000004