(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
行選択用信号線、当該行選択用信号線と交差してマトリックス状に配置されている列信号線、当該行選択用信号線を順次に駆動選択する第１の選択回路、当該列信号線を順次に選択する第２の選択回路、当該行選択用信号線と当該列信号線との各交差部近傍に設けられ、当該両信号線に接続された光電変換素子セルとから構成され且つ当該光電変換素子セルからの光電変換信号が当該列信号線に出力されるように構成されている固体撮像装置であって、当該列信号線と当該第２の選択回路との間で、１つの行選択用信号線が選択されている場合に当該行選択用信号線に接続された複数個の当該光電変換素子セルが持つ個々の電流情報を当該各列信号線を介して読み出し、それを当該列信号線毎に且つ同時に電圧値に変換して電圧情報とする複数個の電流−電圧変換手段と、当該電流−電圧変換手段から得られた当該電圧情報を記憶する複数個の電圧情報記憶手段とが設けられていると共に、当該各電圧情報記憶手段と当該第２の選択回路との間には、更に、当該各電圧情報記憶手段に記憶されている当該電圧情報を当該第２の選択回路の制御を受けて、共通の出力手段に選択的に伝達する為、当該各電圧情報記憶手段のそれぞれとインピーダンス変換手段或いはバッファー手段を介して接続されている第１のスイッチ手段とが設けられている構成を有しており、然も１の当該行選択信号線が選択され、列信号線が順次にスキャンされて、当該各列信号線に設けられた当該各電圧情報記憶手段から当該電圧情報が順次読み出されるに際し、当該最初の列信号線に対する当該電圧情報記憶手段から当該電圧情報を読み出すに要する時間を、他の列信号線に対する当該電圧情報記憶手段から当該電圧情報を読み出すに要する時間よりも長くなる様に制御する制御手段が設けられている事を特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
当該第１のスイッチ手段は、当該所定の列信号線を順次に駆動選択する当該第２の選択回路から出力される駆動選択信号により駆動制御されるものである事を特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
当該複数個の電流−電圧変換手段のそれぞれを共通に選択し、当該電流−電圧変換手段の電圧情報を当該電圧情報記憶手段に記憶させる選択信号線が、該第２の選択回路とは別に設けられている事を特徴とする請求項１又は２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
当該電流−電圧変換手段と当該電圧情報記憶手段との間に、更に当該共通の選択信号線により個々の電流−電圧変換手段を共通に選択し、当該電流−電圧変換手段の電圧情報を当該電圧情報記憶手段に記憶させる第２のスイッチ手段が設けられている事を特徴とする請求項３に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
当該第１のスイッチ手段は、１の当該行選択信号線が選択され且つ当該選択が有効である時間内に、当該各列信号線毎に設けられた当該複数個の電圧情報記憶手段のそれぞれから、順次に当該電圧情報を共通の出力手段に伝達する様に構成された電圧情報出力手段を構成する事を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の固体撮像装置。
【請求項６】
１の当該行選択信号線が選択され、当該列信号線が順次にスキャンされて、各列信号線に設けられた各当該電圧情報記憶手段から当該電圧情報が順次読み出されるに際し、当該１の行選択信号線に関する全ての電圧情報記憶手段からの当該電圧情報の読み出しが全て終了する以前に次の行選択信号線を選択する様に制御する制御手段が設けられている事を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の固体撮像装置。
【請求項７】
当該１の行選択信号線が選択され、他方の当該列信号線が順次にスキャンされて、当該列信号線に設けられた各電圧情報記憶手段から当該電圧情報が順次読み出されるに際し、当該選択された選択信号線が活性化された期間内に、少なくとも列信号線群に於ける最初にスキャンされる列信号線に対する当該電圧情報記憶手段を駆動させる様に制御する制御手段が設けられている事を特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は撮像装置、更に詳しくはＭＯＳ型固体撮像装置に於ける、マトリックス状に配列された光電変換素子から照射された光量を読み出す回路と、その読み出し方法に特徴があり、特に詳しくは、高速に光電変換素子からの照射された光量を読み出す必要のある、視角センサー、高速撮影用カメラ等に用いるのに適したＭＯＳ型固体撮像装置と、その駆動方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
第５図は従来のＭＯＳ型固体撮像装置の回路図である。また第６図は、第５図に示すＭＯＳ型固体撮像装置の、マトリックス状に配列された光電変換素子からの照射された光量を読み出すための信号タイミング図である。
まず第５図を用いて、従来のＭＯＳ型固体撮像装置の回路について説明する。
【０００３】
図５に示す従来のＭＯＳ型固体撮像装置は、マトリックス状に配列されたｍ行、ｎ列の光電変換素子１１（ｉ，ｊ）（ｉ＝１，２，…ｍ、ｊ＝１，２，…ｎ）と、これらの光電変換素子１１（ｉ，ｊ）のそれぞれに、第１のエンハンスメント型ｎチャンネルＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）（ｉ＝１，２，…ｍ、ｊ＝１，２，…ｎ）のソースが接続されている。
【０００４】
この第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，Ｊ）のそれぞれのゲート端子は、第１の信号線１５（ｉ) （ｉ＝１，２，…ｍ）によって１行ごとに共通接続され、各第１の信号線１５（ｉ）は垂直シフトレジスタ回路１７に接続されている。また、第１ＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）のそれぞれのドレイン端子は、第２の信号線１９（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）によって、１列ごとに共通接続されている。さらに第２の信号線１９（ｊ）は、それぞれ、第２のエンハンスメント型ｎチャンネルＭＯＳトランジスタ２１（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）のソースに接続し、この第２のＭＯＳトランジスタ２１（ｊ）のドレインは全て共通の、第３の信号線２３に接続している。
【０００５】
第２のＭＯＳトランジスタ２１（ｊ）のそれぞれのゲート端子は、第４の接続線２５（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）を介して水平シフトレジスタ回路２７に接続している。第３の信号線２３は、信号増幅器２９の入力と、読み出し用負荷抵抗３０の一端と接続し、読み出し用負荷抵抗３０のもう一端は、定電圧ＶＭの電源３３と接続する。信号増幅器２９の出力は、出力信号線３５に接続している。
【０００６】
次に、第５図を用いてこのＭＯＳ型固体撮像装置に照射された光量を読み出す動作について説明する。
まず、このＭＯＳ型固体撮像装置に照射された光量を読み出す前に各光電変換素子１１（ｉ，ｊ）と、各第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）のソース接続点の電位は、定電圧ＶＭに固定されている。この状態で、光が照射されると、各光電変換素子１１（ｉ，ｊ）内に光の量に比例した光電流が生じ、このため各第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）のソースの電位が光の量に比例して定電圧ＶＭより下がる。
【０００７】
次に、垂直シフトレジスタ回路１７により、第１の信号線１５（１）〜１５（ｍ）のうち、ｉ＝１のみに正電圧を加えると、ｎ個の第１のＭＯＳトランジスタ１３（１，１）〜１３（１，ｎ）がＯＮして導通するため、ｎ個の第１のＭＯＳトランジスタ１３（１，１）〜１３（１，ｎ）のソース電位が、それぞれｎ本の第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）に現れる。
【０００８】
次に、水平シフトレジスタ回路２７により、ｎ個の第４の接続線２５（１）〜２５（ｎ）に順番に正電圧パルスを与えると、ｎ個の第２のＭＯＳトランジスタ２１（１）〜２１（ｎ）が順番にＯＮからＯＦＦの動作を行い、ｎ個の第１のＭＯＳトランジスタ１３（１，１）〜１３（１，ｎ）のソース電位は、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）より、第２のＭＯＳトランジスタ２１（１）〜２１（ｎ）を介して順番に第３の信号線２３に現れる。
【０００９】
このとき、第３の信号線２３には読み出し用負荷抵抗３０を介して、定電圧ＶＭの電源３３と接続しているので、光の照射によって降下した電圧に比例した電流が流れ込む。この電流は、読み出し用負荷抵抗３０にて電圧変換され、第３の信号線２３に接続されている信号増幅器２９により増幅され、出力信号線３５へ出力される。このようにして各光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ）に照射された光量を電圧値として知ることができる。
【００１０】
次に、垂直シフトレジスタ回路１７により、第１の信号線１５（１）〜１５（ｎ）のうち、ｉ＝２のみに正電圧を加えてｎ個の第１のＭＯＳトランジスタ１３（２，１）〜１３（２，ｎ）を導通させて、上記の手順を繰り返すことにより、ｎ個の光電変換素子１１（２，１）〜１１（２，ｎ）に照射された光量を知ることができる。このように、垂直トランジスタ回路１７から順次にｍ個の正電圧のパルスを第１の信号線１５（ｉ）へ出力し、このそれぞれのパルスが正電圧の間に、水平シフトレジスタ回路２７より、順次にｎ個の正電圧のパルスを出力することで、すべての光電変換素子１１（１，１）〜１１（ｍ，ｎ）に照射された光量を知ることができる。
【００１１】
第６図は、上述の光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ）に照射された光量を読み出す場合の動作タイミングを説明する図である。
上述した動作を第６図を用いて説明する。垂直シフトレジスタ回路１７より、パルス幅Ｔｖ３７の正電位パルスが第１の信号線１５（１）に出力される。
この第１の信号線１５（１）がハイレベルであるＴｖ３７の期間に、水平シフトレジスタ回路２７より、周期Ｗｈ４０の時間でロウレベルからハイレベルになり、再びロウレベルへと変化する正電位パルス幅Ｔｈ３９のパルスが、第４の信号線２５（１）〜２５（ｎ）に順次出力される。
【００１２】
信号増幅回路２９の入力である第３の信号線２３には、各第４の信号線２５（１）〜２５（ｎ）がハイレベルになってから、Ｔａ４１時間後に各光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ）に流れ込んだ電流量に比例する電圧があらわれる。そして信号増幅回路２９の出力信号線３５に出力され、光電変換素子に照射された光量を読み出しする。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のＭＯＳ型固体撮像装置は上述したように構成されて、光電変換素子に照射された光量を読み出しており、光電変換素子１１（ｉ，ｊ）に照射された光量に比例した電流が、第２のＭＯＳトランジスタ２１（ｉ）が順次オンすることにより、読み出し用負荷抵抗３０と順次接続されて電圧変換される。
【００１４】
つまり、１個の光電変換素子１１（ｉ，ｊ）の光量に比例した電流が電圧変換される読み出しスピードをＴａ４１とすると、１行の光電変換素子１１（ｉ，１）〜１１（ｉ，ｎ）の、光量に比例した電流が電圧変換される読み出し時間は、Ｔａ４１×ｎ時間となる。
つまり、ＭＯＳ型固体撮像装置の全光電変換素子１１（１，１）〜１１（ｍ，ｎ）に照射された光量を読み出す時間は、（Ｔａ４１×ｎ）×ｍ時間以上必要となる。
ここで、Ｔａ４１＜Ｔｈ３９となるように設定しなければならないので、全光電変換素子１１（１，１）〜１１（ｍ，ｎ）に照射された光量を読み出す時間は、（Ｔｈ３９×ｎ）×ｍ時間以上必要となる。
【００１５】
Ｔａ４１は、第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）のオン抵抗が高いために、時間が長くなり、このためＭＯＳ型固体撮像装置すべての光電変換素子１１（ｉ，１）〜１１（ｉ，ｎ）に照射された光量を読み出すには、非常に時間がかかるという問題があった。
【００１６】
そこで、本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を改良し、固体撮像装置、特にはＭＯＳ型固体撮像装置に於けるすべての光電変換素子に照射された光量を、高速にかつ正確に読み出すことができる固体撮像装置、特にはＭＯＳ型固体撮像装置を提供するものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記した目的を達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用するものである。即ち、本発明に係る当該固体撮像装置の第１の態様としては、行選択用信号線、当該行選択用信号線と交差してマトリックス状に配置されている列信号線、当該行選択用信号線を順次に選択する第１の選択回路、当該列信号線を順次に駆動選択する第２の選択回路、当該行選択用信号線と当該列信号線との各交差部近傍に設けられ、当該両信号線に接続された光電変換素子セルとから構成され且つ当該光電変換素子セルからの光電変換信号が当該列信号線に出力されるように構成されている固体撮像装置であって、当該列信号線と当該第２の選択回路との間で、１つの行選択用信号線が選択されている場合に当該行選択用信号線に接続された複数個の当該光電変換素子セルが持つ個々の電流情報を当該各列信号線を介して読み出し、それを当該列信号線毎に且つ同時に電圧値に変換して電圧情報とする複数個の電流−電圧変換手段と、当該電流−電圧変換手段から得られた当該電圧情報を記憶する複数個の電圧情報記憶手段とが設けられていると共に、当該各電圧情報記憶手段と当該第２の選択回路との間には、更に、当該各電圧情報記憶手段に記憶されている当該電圧情報を当該第２の選択回路の制御を受けて、共通の出力手段に選択的に伝達する為、当該各電圧情報記憶手段のそれぞれとインピーダンス変換手段或いはバッファー手段を介して接続されている第１のスイッチ手段とが設けられている構成を有しており、然も１の当該行選択信号線が選択され、列信号線が順次にスキャンされて、当該各列信号線に設けられた当該各電圧情報記憶手段から当該電圧情報が順次読み出されるに際し、当該最初の列信号線に対する当該電圧情報記憶手段から当該電圧情報を読み出すに要する時間を、他の列信号線に対する当該電圧情報記憶手段から当該電圧情報を読み出すに要する時間よりも長くなる様に制御する制御手段が設けられている固体撮像装置である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明に係る固体撮像装置は、上記した様な技術構成を採用しているので、選択された特定の信号線である行信号線に接続された複数個の光電変換素子セルに発生した電流値のそれぞれを列信号線毎に個別に且つ同時的に電圧値に変換して、一旦所定の電圧情報記憶手段に記憶させておくものであり、更に当該電圧情報記憶手段に記憶されている当該列信号線毎の光電変換素子セルに関する電圧値情報を、当該行信号線が活性化されている間に、当該列信号線を順次スキャンする事によって各列信号線毎に設けられた該電圧情報記憶手段からその記憶された電圧情報を個別に且つ順番に読みだして、共通の出力手段に伝達する様に構成されている。
【００１９】
従って、本発明に於いては、従来複数個の各光電変換素子セルの電圧情報を個別に検出していたのに対して、当該複数個の各光電変換素子セルの電圧情報を同時に検出しえるので、その分検出に要する時間を大幅に短縮する事が可能となる。
【００２０】
又、一旦検出された当該各光電変換素子セルの電圧情報は、一旦電圧情報記憶手段に記憶させておくので、次の行信号を選択し、それに接続されている光電変換素子セルの電圧値を検出する操作に大幅な自由度が与えられる事になるので、例えば、１の行信号線に対する当該光電変換素子セルの電圧情報を当該電圧情報記憶手段から読み出している間に、次の行信号線に対する当該光電変換素子セルの電流値情報を電圧値情報に変換する操作を前倒しに実行させる事も可能となる。
【００２１】
【実施例】
以下に、本発明に係る固体撮像装置の一具体例の構成を図面を参照しながら詳細に説明する。
即ち、図１は、本発明に係る固体撮像装置の一具体例の構成を示すダイアグラムであり、図中、第１の信号線１５、当該第１の信号線１５と交差してマトリックス状に配置されている第２の信号線１９、当該第１の信号線１５を順次に駆動選択する第１の選択回路１７、当該第２の信号線１９を順次に駆動選択する第２の選択回路２７、当該第１の信号線１５と第２の信号線１９との各交差部Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３・・・・近傍に設けられ、当該両信号線１５、１９に接続された光電変換素子セルＣ１、Ｃ２、Ｃ３・・・とから構成された固体撮像装置１００であって、当該第１及び第２の信号線１５、１９の何れか一方の信号線と当該信号線を駆動する所定の当該選択回路１７又は２７との間に、当該各信号線毎に、電圧検出手段５０及び当該検出された電圧情報を共通の出力手段３５に選択的に伝達する第１のスイッチ手段５１とが設けられている固体撮像装置１００が示されていいる。
【００２２】
本発明に於いては、当該電圧検出手段として機能する電流−電圧変換手段５０及び当該第１のスイッチ手段５１との間に、更に当該検出された電圧情報を一時的に記憶しておく電圧情報記憶手段５２が設けられている事が望ましい。
更に、本発明に係る当該固体撮像装置１００に於て、当該第１のスイッチ手段５１は、当該所定の信号線、例えば、図１に於いては列信号線として示されている信号線１９を順次に駆動選択する該選択回路２７からの出力信号により駆動制御されるものである事が望ましい。
【００２３】
又、本発明に係る当該固体撮像装置１００に於いては、当該電流−電圧変換手段５０と該電圧情報記憶手段５２との間に、更に共通の駆動信号により駆動される第２のスイッチ手段５３が設けられている事が望ましい。
【００２４】
一方、本発明に於ける当該固体撮像装置１００に使用されている当該電圧情報記憶手段５２は、適宜のインピーダンス変換手段或いはバッファー手段、若しくは波形整形手段等が併設されている事が望ましく、具体的には、当該第１のスイッチ手段５１と該電圧情報記憶手段５２との間にインピーダンス変換手段或いはバッファー手段５４が設けられている事が好ましい。
【００２５】
つまり、本発明に於けるより具体的な態様に於いては、当該固体撮像装置１００に於いては、当該電圧検出手段５０、第２のスイッチ手段５３、電圧情報記憶手段５２、第１のスイッチ手段５１とがこの順で直列に配置されたものであり、更に、当該電流−電圧変換手段５０の一端部が、当該各信号線、図１の例では信号線１９の端部に接続されており、且つ当該第１のスイッチ手段５１の出力端部が該共通の出力手段３５に接続されている共通の信号線２３にそれぞれ接続されているものである。
【００２６】
又、本具体例に於いては、当該第１のスイッチ手段５１の制御端子が当該信号線群を順次選択駆動する選択回路、図１の具体例では、第２の選択回路２７に設けられた制御信号出力端子部Ｓ１、Ｓ２・・・と接続されているものである。
【００２７】
本発明に於ける当該電圧検出手段５０は、例えば、他端部が共通の定電圧源３３に接続されている抵抗体３０で構成されているものであり、その一端部が当該信号線に接続されている。
【００２８】
従って、本発明に於ける当該抵抗体３０は、それぞれの信号線、つまり列信号線１９に個別に接続されている光電変換素子セルＣ１、Ｃ２・・・の電流値を個別に然も同時に電圧値に変換する事が可能である。
【００２９】
更に、本具体例に於いては、当該変換された当該光電変換素子セルの電圧情報を当該電流−電圧変換手段５０に接続されている当該第２のスイッチ手段５３を共通の選択信号選択的４７によって同時に駆動活性化させる事によって、当該変換された電圧情報を当該それぞれの対応する電圧情報記憶手段５２に同時に格納保持させておく事が可能であるので、後述する様な読出し時間を短縮し又、読出し速度を早めることが可能となる。
【００３０】
本発明に於いて使用される当該電圧情報記憶手段５２としては、例えば図１に示されている様に、他端部が接地されている容量４３を使用する事が可能であるが、本発明に於いては、容量４３のみに限定されるものではない。
【００３１】
更に、本発明に於いて使用される第１と第２のスイッチ手段５１と５２は、何れも例えば、ＭＯＳＦＥＴトランジスタ２１で構成されているものであり、第１のスイッチ手段５１は、そのゲート電極２５が第２の選択開路２７の制御信号出力端子Ｓ１、Ｓ２、・・・・Ｓｎに接続され、そのソース端子がインピーダンス手段或いはバッファー手段４５を介して該電圧情報記憶手段５２と接続され、そのドレイン端子が共通の信号選択的２３を介して共通の出力手段３５に接続されている。
【００３２】
一方、第２のスイッチ手段５３は、そのゲート端子３１が当該第１及び第２の選択回路１７、２７とは独立に設けられた共通の選択信号線４７と接続され、そのソース端子が当該電流・電圧変換手段５０と接続され、そのドレイン端子が該電圧情報記憶手段５２に接続されている。
【００３３】
又、本発明に係る当該固体撮像装置１００に於いて使用される当該光電変換素子セルＣは、少なくとも一つの光電変換素子１１と少なくとも一つのトランジスタ１３で構成されている事が望ましい。
【００３４】
図１に示す具体例に於いては、当該光電変換素子セルＣは、パッシブ型の固体撮像装置を構成している例を示したものであるが、本発明に於ける当該固体撮像装置に使用される当該光電変換素子セルＣとしては、図８に示される様な、アクティブ型の固体撮像装置を構成する場合でも良く、係る場合には、当該光電変換素子セルＣは、少なくとも一つの光電変換素子１１と複数個のトランジスタで構成される事になる。
【００３５】
本発明に於ける当該固体撮像装置１００に於いて使用される当該トランジスタは、ＭＯＳＦＥＴトランジスタである事が望ましい。
【００３６】
上記に説明した本発明に係る固体撮像装置１００のより具体的な構成としては、例えば、以下の様になる。
即ち、第１の信号線１５、当該第１の信号線１５と交差してマトリックス状に配置されている第２の信号線１９、当該第１の信号線１５を順次に駆動選択する第１の選択回路１７、当該第２の信号線１９を順次に駆動選択する第２の選択回路２７、当該第１の信号線１５と第２の信号線１９との各交差部Ｐ近傍に設けられ、当該両信号線１５、１９に接続された光電変換素子セルＣとから構成された固体撮像装置１００であって、当該第１の信号線１５が行信号線であり、当該第２の信号線１９が列信号線である場合に於て、当該１の行信号線１５が選択された場合に、当該行信号線１５に接続された該複数個の光電変換素子セルＣの電流情報を、それぞれの列信号線１９を介して、当該列信号線１９毎に且つ同時に電圧情報に変換する電流−電圧変換手段５０と、その結果得られた電圧情報を記憶する電圧情報記憶手段５２とが設けられている固体撮像装置１００である。
更に当該固体撮像装置１００に於いて、当該複数個の電流−電圧変換手段５０を共通に駆動する選択信号線４７が、該第１の選択回路１７及び第２の選択回路２７とは別に設けられているものである。
【００３７】
又、本具体例に於いては、当該所定の行信号１５が有効である時間内に、当該各列信号線１９毎に設けられた当該複数個の電圧情報記憶手段５０のそれぞれから、順次に当該電圧情報を共通の出力手段３５に伝達する様に構成された、第１のスイッチング手段を構成している電圧情報出力手段５１が設けられているものである。
【００３８】
一方、本具体例に於ける当該電圧情報出力手段５１は、該第２の選択回路２７から出力される駆動選択信号により駆動される第１のスイッチング手段で構成されているものである。
【００３９】
更に、本具体例に於いては、１の行信号線１５が選択され、列信号線１９が順次にスキャンされて、各列信号線１９に設けられた各電圧情報記憶手段５２から当該電圧情報が順次読み出されるに際し、当該１の行信号線１５に関する全ての電圧情報記憶手段５２からの当該電圧情報の読み出しが全て終了する以前に次の行信号線１５を選択する様に制御する制御手段６０が設けられている事が好ましい。
【００４０】
又、本具体例に於いては、１の信号線１５が選択され、他方の信号線１９が順次にスキャンされて、当該他方の信号線１９に設けられた各電圧情報記憶手段５２から当該電圧情報が順次読み出されるに際し、当該選択信号線４７が活性化された期間Ｗｈ５４内に、少なくとも他方の信号線群１９に於ける最初にスキャンされる信号線１９（１）に対する第１のスイッチ手段５１（１）を駆動させる様に制御する制御手段６１が設けられている事が好ましい。
又、本具体例に於いては、１の行信号線１５が選択され、列信号線１９が順次にスキャンされて、各列信号線１９に設けられた各電圧情報記憶手段５２から当該電圧情報が順次読み出されるに際し、当該最初の列信号線１９に対する電圧情報記憶手段５２から当該電圧情報を読み出すに要する時間を、他の列信号線１９に対する電圧情報記憶手段５２から当該電圧情報を読み出すに要する時間よりも長くなる様に制御する制御手段６２が設けられている事も望ましい。
【００４１】
本発明に係る固体撮像装置１００のより詳細な具体例としては、以下に示す様な態様となる。
即ち、マトリックス状に配列された少なくとも１つの光電変換素子１１と少なくとも一つのＭＯＳトランジスタ１３から構成された光電変換素子セルＣと、この光電変換素子セルＣを選択するために、光電変換素子セルＣを構成する１つのＭＯＳトランジスタ１３のゲートが、各行ごとに共通に接続した第１の信号線１５と、この第１の信号線１５に選択信号を出力する選択回路１７と、各光電変換素子セルＣからの出力信号が列毎に共通に接続された第２の信号線１９と、この列毎に共通に接続された第２の信号線１９には、列毎にそれぞれ読み出し用負荷抵抗３０と、ＭＯＳトランジスタ３１で構成された第２のスイッチ回路５３とが接続し、この列毎の読み出し用負荷抵抗３０のもう一端はすべてある定電圧源３３に接続し、この列毎の第２のスイッチ回路５３を構成するＭＯＳトランジスタのゲート３１は全て共通に選択信号線４７へ接続し、各列毎の第２のスイッチ回路５３のもう一端には、各列毎に１つのコンデンサ４３と、１つのインピーダンス変換回路４５が接続し、この列毎に接続されたコンデンサ４３のもう一端は全て接地し、この列毎に接続されたインピーダンス変換回路４５の出力には、ＭＯＳトランジスタ２１で構成された第１のスイッチ回路５１が接続し、この列毎の第１のスイッチ回路５１を構成するＭＯＳトランジスタ２１のゲート２５はそれぞれ、この列毎の第１のスイッチ回路５１を選択する選択回路２７に接続し、この列毎の第１のスイッチ回路５１のもう一端は全て共通に接続して信号増幅回路２９を介して任意の出力手段に接続した出力信号線３５に接続される構成を特徴とするＭＯＳ型固体撮像装置である。
【００４２】
以下に上記した本発明に係る当該固体撮像装置１００の構成とその動作について図１乃至図４及び図７を参照しながら更に詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例であるＭＯＳ型固体撮像装置の一例を示す回路図である。図７は、本発明の回路駆動方法の、概要を説明するためのフローチャート図である。
また図２、図３、図４は、図１の回路の駆動方法を詳細に説明するための動作タイミングを示す図である。まず、図１を用いて回路の構成について説明する。
【００４３】
本発明のＭＯＳ型固体撮像装置１００は、マトリックス状に配列されたｍ行、ｎ列の光電変換素子１１（ｉ，ｊ）（ｉ＝１，２，…ｍ、ｊ＝１，２，…ｎ）と、これらの光電変換素子１１（ｉ，ｊ）のそれぞれに、第１のエンハンスメント型ｎチャンネルＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）（ｉ＝１，２，…ｍ、ｊ＝１，２，…ｎ）のソースが接続されている。
【００４４】
この第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）のそれぞれのゲート端子は、第１の信号線１５（ｉ）（ｉ＝１，２，…ｍ）によって、１行ごとに共通接続され、各第１の信号線１５（ｉ）は垂直シフトレジスタ回路１７に接続されている。また、第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）のそれぞれのドレイン端子は、第２の信号線１９（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）によって、１列ごとに共通接続している。
【００４５】
さらに第２の信号線１９（ｊ）のそれぞれには、第３のエンハンスメント型ｎチャンネルＭＯＳトランジスタ３１（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）のソースと、読み出し用負荷抵抗３０（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）の一端が接続している。さらに全ての読み出し用負荷抵抗３０（ｊ）のもう一端は、定電圧ＶＭの電源３３と接続する。
【００４６】
そしてｎ個の第３のＭＯＳトランジスタ３１（ｊ）のゲート端子は選択信号線４７によって全て共通に接続されている。そしてｎ個の、第３のＭＯＳトランジスタ３１（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）のドレインは、それぞれインピーダンス変換回路４５（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）の入力と、コンデンサ４３（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）の一端に接続している。そしてｎ個の全てのコンデンサ４３（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）のもう一端は、全てグランドレベルに接地している。
【００４７】
さらにｎ個のインピーダンス変換回路４５（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）の出力はそれぞれ、第２のエンハンスメント型ｎチャンネルＭＯＳトランジスタ２１（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）のソースと接続している。この第２のＭＯＳトランジスタ２１（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）のそれぞれのゲート端子は、第４の信号線２５（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）を介して水平シフトレジスタ回路２７に接続している。
【００４８】
さらに第２のＭＯＳトランジスタ２１（ｊ）（ｊ＝１，２，…ｎ）のそれぞれのドレイン端子は、第３の信号線２３にて全て共通に接続され、信号増幅器２９の入力に接続している。そして信号増幅器２９の出力は、出力信号線３５に接続している。
【００４９】
ここでインピーダンス変換回路４５(ｉ)は、とくに増幅作用は必要なく、低インピーダンス出力を提供すればよく、一般的なバッファ回路で、例えば、エンハンスメント型ｎチャンネルトランジスタとデプレッション型ｎチャンネルトランジスタを直列に接続した、一般的なソースフォロワ構成の様なバッファ回路でよい。また信号増幅回路２９はアナログ増幅作用があればよく、一般的なアナログ増幅器であるＯＰアンプ回路等を用いればよい。
【００５０】
また第２のＭＯＳトランジスタ２１(ｊ) (ｊ＝１，２，…ｎ)、第３のＭＯＳトランジスタ３１(ｊ) (ｊ＝１，２，…ｎ)は、単なるスイッチであり、エンハンスメント型ｐチャンネルＭＯＳトランジスタとエンハンスメント型ｎチャンネルＭＯＳトランジスタを組み合わせた一般的なトランスミッションゲート回路等のスイッチ回路でもよい。
【００５１】
また本発明の説明で用いたＭＯＳ型固体撮像装置の光電変換素子セルは、光電変換素子１１（ｉ，ｊ）と、第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）から構成される、一般的なパッシブ方式であるが、本発明のＭＯＳ型固体撮像装置でもちいる光電変換素子セルは、１つの光電変換素子と１つ以上のＭＯＳトランジスタで構成される各光電変換セルに増幅器をそなえた、アクティブ方式の光電変換セルでもよい。
【００５２】
次に図７の、本発明である回路駆動方法の概要を説明するためのフローチャート図をもちいて、駆動方法の概要を説明する。
まず、ステップ（５７）に於いて、各光電変換セルの「読み出しが開始」スタートし、ステップ（５９）に於いて、水平シフトレジスタ、垂直シフトレジスタ設定の「初期値設定ｉ＝０，ｊ＝０にセット」が行われる。
次に、ステップ（６１）に於いて、「垂直シフトレジスタ回路により、ｉ行目を選択」を行ない、ステップ（６３）に於いて、さらに「選択信号をＯＮしてデータをコンデンサへ充電」を行う。
そしてステップ（６５）に於いて、「水平シフトレジスタ回路より、ｊ列を選択」を行い、ステップ（６７）に於いて、「出力信号線にデータ出力」が行われる。次いでステップ（６９）に進んで、「ｉとｊの値をチェック、全て読み出したか」の判断を行い、まだ全部読み出していない場合には、即ちステップ（６９）でＮＯの場合には、ステップ（７１）に於いて「ｊ＝ｊ＋１」を行って、ステップ（６５）に戻り、再び「水平シフトレジスタ回路より、ｊ列を選択」の動作と、ステップ（７３）に於いて「ｉ＝ｉ＋１」を行って、ステップ（６１）に戻り、再び「垂直シフトレジスタ回路により、ｉ行目を選択」を行なう。
ステップ（６９）に於いて全ての光電変換セルの読み出しが終了した場合は、即ちＹＥＳの場合には、ステップ（７５）に進んで「読み出し終了」となり、当該ルーチンが終了する。
【００５３】
次に、図１と図２を用いて、このＭＯＳ型固体撮像装置回路の読みだし駆動方法について、さらに詳細に説明する。
まず、固体撮像装置から光電変換素子１１（１，１）〜１１（ｍ，ｎ）に照射された光量を読み出す前に、各光電変換素子１１（１，１）〜１１（ｍ，ｎ）と第１のＭＯＳトランジスタ１３（１，１）〜１３（ｍ，ｎ）のソース接続点の電位は、定電圧ＶＭに固定しておく。
【００５４】
この状態で、光が照射されると、各光電変換素子１１（ｉ，ｊ）内に光の量に比例した光電流が生じ、このため第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）のソースの電位が、光の量に比例して定電圧ＶＭより下がる。
【００５５】
次に、垂直シフトレジスタ回路１７により、第１の信号線１５（１）〜１５（ｍ）のうちの、ｉ＝１である第１の信号線１５（１）に正電圧のパルスを印加すると、ｎ個の第１のＭＯＳトランジスタ１３（１，１）〜１３（１，ｎ）がＯＮし導通するため、ｎ個の第１のＭＯＳトランジスタ１３（１，１) 〜１３（１，ｎ）のソース電位が、ｎ本の第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）にいっせいに現れる。
【００５６】
第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）には、それぞれ読み出し用負荷抵抗３０（１）〜３０（ｎ）の一端が接続してあり、この各読み出し用負荷抵抗３０のもう一端には、定電圧ＶＭの電源３３が接続しているので、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）には、光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ）の、光の照射によって降下した電圧に比例した電流が流れ込む。
そして、この電流は読み出し用負荷抵抗３０（１）〜３０（ｎ）にて電圧変換され、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）には各光電変換素子１１（１，１）〜１１（ｍ，ｎ）の光の照射に比例した電位があらわれる。
【００５７】
次に、選択信号線４７に正電圧のパルスを印加して、第３のＭＯＳトランジスタ３１（１) 〜３１（ｎ) をいっせいにＯＮさせて導通し、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）を、第３のＭＯＳトランジスタ３１（１）〜３１（ｎ）を介してコンデンサ４３（１）〜４３（ｎ）の一端と、インピーダンス変換回路４５（１）〜４５（ｎ）に接続させる。これにより、コンデンサ４３（１）〜４３（ｎ）は、それぞれ第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）の電位に充電される。
【００５８】
そこで、選択信号線４７のパルスを接地レベルに切換え、第３のＭＯＳトランジスタ３１（１）〜３１（ｎ）をいっせいにＯＦＦさせて、コンデンサ４３（１）〜４３（ｎ）の一端と、第３の信号線１９（１）〜１９（ｎ）を切り離す。
コンデンサ４３（１）〜４３（ｎ）はインピーダンス変換回路４５（１）〜４５（ｎ）の入力に接続しているので、コンデンサ４１（１）〜４１（ｎ）に充電された電位はそれぞれインピーダンス変換回路４５（１）〜４５（ｎ）の出力を介して、第２のＭＯＳトランジスタ２１（１）〜２１（ｎ）のソースに出力される。
【００５９】
ここで、水平シフトレジスタ回路２７により、ｎ本の第４の接続線２５（１）〜２５（ｎ）に順番に正電圧のパルスを印加すると、ｎ個の第２のＭＯＳトランジスタ２１（１）〜２１（ｎ）が順番にＯＮからＯＦＦの動作を行い、インピーダンス変換回路４３（１）〜４３（ｎ）の出力が順次に、信号増幅器２９の入力である第３の信号線２３に入力され、信号増幅器２９により増幅され、出力信号線３５へ出力される。
このようにして各光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ）に照射された光量を電圧値として知ることができる。
【００６０】
次に、垂直シフトレジスタ回路１７により、第１の信号線１５（ｉ）（ｉ＝１〜ｍ）のうちの、ｉ＝２に正電圧のパルスを印加してｎ個の第１のＭＯＳトランジスタ１３（２，１）〜１３（２，ｎ）を導通させて、上記の手順を繰り返すことにより、ｎ個の光電変換素子１１（２，１）〜１１（２，ｎ）に照射された光量を知ることができる。
【００６１】
このように、垂直トランジスタ回路１７から順次正電圧のパルスを第１の信号線１５（ｉ）へ印加するのと同時に、選択信号線４７にも正電圧のパルスを印加し、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）にあらわれた電圧を、コンデンサ４１（１）〜４１（ｎ）に充電し、コンデンサ４１（１）〜４１（ｎ）の充電が終了して後、コンデンサ４１（１）〜４１（ｎ）と第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）を、選択信号線４７のパルスレベルを接地することにより切り離し、その後、水平シフトレジスタ回路２７より、順次正電圧のパルスを印加することで、すべての光電変換素子１１（ｉ，ｊ）（ｉ＝１，２，…ｍ、ｊ＝１，２，…ｎ) に照射された光量を知ることができる。
【００６２】
次に本発明の光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ）に照射された光量を読み出す際の回路動作タイミングについて、第２図の動作タイミング図を用いて詳細に説明する。
まず、垂直トランジスタ回路１７より、正電位のパルスが、パルス幅Ｔｖ５５にて第１の信号線１５（１）に出力される。この第１の信号線１５（１）がハイレベルの期間Ｔｖ５５に、選択信号線４７はパルス幅Ｔｄ４９の期間だけハイレベルとなる。
【００６３】
この第１の信号線１５(１)がハイレベルになることにより、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）には、Ｔａ４１時間後に各光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ）に流れ込んだ電流量に比例する電圧が現れ、さらに選択信号線４７がハイレベルになることにより、この電圧はそれぞれコンデンサ４３（１）〜４３（ｎ）に充電される。
【００６４】
次に水平シフトレジスタ回路２７より、Ｗｈ５４時間の内に、パルス幅Ｔｈ５３の正電位パルスがｎ個、信号線２５（１）〜２５（ｎ）に順次出力される。
【００６５】
信号増幅回路２９の入力である第３の信号線２３には、水平シフトレジスタ回路２７からの各信号線２５（１）〜２５（ｎ）がハイレベルになってから、Ｔｂ５１時間後にインピーダンス変換回路４３（１）〜４３（ｎ）の出力電圧が出力される。そして信号増幅回路２９により増幅され、出力信号線３５に出力される。
【００６６】
ここでＴａ４１は、第１の信号線１５（ｉ）により、第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）がＯＮしてから、光電変換素子１１（ｉ，ｊ）に流れ込んだ電流量に比例する電圧が第２の信号線１９（ｉ）に現れるまでの時間である。
また一方、Ｔｂ５１は、第４の信号線２５（ｉ）により、第２のＭＯＳトランジスタ２１（ｉ）がＯＮしてから、インピーダンス変換回路４５（ｉ）の出力が第３の信号線２３に出力するまでの時間である。
【００６７】
Ｔａ４１は、第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）のオン抵抗が高いために時間が長いが、選択した１行の各光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ)に流れ込んだ電流量を読み出すには、第１の信号線１５（１）に一回だけ、Ｔａ４１より長いＴｖ５５のハイレベルパルスを出力し、この期間内に選択信号線４７へＴｄ４９の期間ハイレベルにするパルスを出力すればよい。
【００６８】
また一方、インピーダンス変換回路４５（１）〜４５（ｎ）の出力インピーダンスは低くいので、第３の信号線２３に現れるインピーダンス変換回路４５（１）〜４５（ｎ）の出力信号は、第４のＭＯＳトランジスタ２５（１）〜２５（ｎ)がＯＮすると、Ｔｂ５１時間ですばやく、第３の信号線２３に出力される。
【００６９】
したがってＴａ４１＞＞Ｔｂ５１であり、Ｔｄ４９＞＞Ｔｈ５３とすることができる。従って、全各光電変換素子を読み出すには、（Ｔｄ４９＋（Ｔｈ５３×ｎ））×ｍ  時間以上必要となる。
Ｔｈ５３は、従来のＭＯＳ型固体撮像装置における光電変換素子読みだし動作タイミングを説明する第６図のＴｈ３９と比較すると、Ｔｈ３９＞＞Ｔｈ５３であるので、本発明により、全光電変換素子に照射された光量を読み出す時間は非常に短くなる。
【００７０】
次に、第３図にしめす動作タイミングを用いて、本発明の固体撮像装置１００に於ける他の駆動方法の具体例を説明する。
つまり、本具体例は、上記した具体例に対して、さらに高速に全光電変換素子に照射された光量を読み出す方法である。
まず、垂直トランジスタ回路１７より、正電位のパルス幅Ｔｖ５７が第１の信号線１５（１）に出力される。この第１の信号線１５（１）がハイレベルの期間Ｔｖ５７に、選択信号線４７はパルス幅Ｗｈ５４の期間だけハイレベルとなる。
【００７１】
この第１の信号線１５（１）がハイレベルになることにより、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）には、Ｔａ４１時間後に各光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ）に流れ込んだ電流量に比例する電圧が現れ、さらに選択信号線４７をハイレベルにすることにより、この電圧はコンデンサ４３（１）〜４３（ｎ)に充電される。
このとき、選択信号線４７をハイレベルにするのと同じサイクルより、水平シフトレジスタ回路２７より、パルス幅Ｔｈ５３の正電位パルスを、Ｗｈ５４時間間隔にて、第４の信号線２５（１）〜２５（ｎ）に順次出力する。
【００７２】
この期間のうちで、第４の信号線２５（１）がロウレベルからハイレベルになって再びロウレベルとなるＴｈ５３の期間のみ、選択信号線４７はハイレベルとなり、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）に現れた各光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ）に流れ込んだ電流量に比例する電圧が、コンデンサ４３（１）〜４３（ｎ）に充電されると同時に、インピーダンス変換回路４５（１）〜４５（ｎ）に入力される。
【００７３】
そして、選択信号線４７がロウレベルになると同時に、第１の信号線１５（１）はロウレベルとなり、第１のＭＯＳトランジスタ１３（１）〜１３（ｎ）はＯＦＦし、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）は、読み出し用負荷抵抗３０（１）〜３０（ｎ）を介して定電圧電源３３に充電される。
【００７４】
さらに水平シフトレジスタ回路２７より、パルス幅Ｔｈ５３の正電位パルスが、第４の信号線２５（１）〜２５（ｎ）に順次出力されることにより、信号増幅回路２９の入力である第３の信号線２３には、水平シフトレジスタ回路２７からの第４の各信号線２５（１）〜２５（ｎ）がハイレベルになってから、Ｔｂ５１時間後にインピーダンス変換回路４３（１）〜４３（ｎ）の出力電圧が現れる。そして信号増幅回路２９の出力信号線３５に出力される。
【００７５】
ここで、水平シフトレジスタ回路２７より、ｎ個目のパルスが第４の信号線２５(ｎ)に出力される前に、第１の信号線１５（２）がハイレベルとなり、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）には、Ｔａ４１時間後に各光電変換素子１１（２，１）〜１１（２，ｎ）に流れ込んだ電流量に比例する電圧が現れる。
【００７６】
そして、水平シフトレジスタ回路２７より、ｎ個目のパルスが第４の信号線２５（ｎ）に出力された後でも、継続して水平シフトレジスタ回路２７よりパルス幅Ｔｈ５３の正電位パルスを、Ｗｈ５４時間間隔にて、第４の信号線２５（１）〜２５（ｎ）に順次出力する。
【００７７】
そしてこの期間のうち、第４の信号線２５（１）がロウレベルからハイレベルになって再びロウレベルとなるＴｈ５３の期間のみ、選択信号線４７はハイレベルとなり、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）に現れた、各光電変換素子１１（２，１）〜１１（２，ｎ）に流れ込んだ電流量に比例する電圧が、コンデンサ４３（１）〜４３（ｎ）に充電されると同時に、インピーダンス変換回路４５（１）〜４５（ｎ）に入力され、第４の信号線２５（１）〜２５（ｎ）に順次出力されるパルスによって、信号増幅回路２９の入力である第３の信号線２３に出力される。
【００７８】
ここでＴａ４１は、第１の信号線１５（ｉ）により、第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，１）〜１３（ｉ，ｎ）がＯＮしてから、光電変換素子１１（ｉ，１）〜１１（ｉ，ｎ）に流れ込んだ電流量に比例する電圧が、第２の信号線１９（１）〜１９（ｎ）に現れるまでの時間である。
【００７９】
また一方、Ｔｂ５１は、第４の信号線２５（１）〜２５（ｎ）により、第２のＭＯＳトランジスタ２１（１）〜２１（ｎ）がＯＮしてから、インピーダンス変換回路４５（１）〜４５（ｎ）の出力が第３の信号線２３に出力するまでの時間である。
【００８０】
Ｔａ４１は、第１のＭＯＳトランジスタ１３（ｉ，ｊ）のオン抵抗が高いために時間が長いが、１行の各光電変換素子１１（ｉ，１）〜１１（ｉ，ｎ）に流れ込んだ電流量を読み出すには、選択信号線４７に一回だけ、コンデンサ４３（１）〜４３（ｎ）を充電するのに必用な時間Ｗｈ５４の期間ハイレベルにするパルスを出力すればよく、さらにこのパルスは、第４の信号線２５（１）〜２５（ｎ）に印加する２５（１）パルスと同じタイミングで出力するために、各光電変換素子１１（ｉ，１）〜１１（ｉ，ｎ）の流れ込んだ電流量を読み出す行がｉ＋１と変わった場合でも、第４の信号線２５（１）〜２５（ｎ）は連続して出力することができる。
【００８１】
また一方、インピーダンス変換回路４５（１）〜４５（ｎ）の出力インピーダンスは低くいので、第３の信号線２３に現れるインピーダンス変換回路４５（１）〜４５（ｎ）の出力信号は、第４のＭＯＳトランジスタ２５（１）〜２５（ｎ）がＯＮするとＴｂ５１時間で非常にすばやく、第３の信号線２３に出力される。したがってＴａ４１＞＞Ｔｂ５１となる。全各光電変換素子に照射された光量を読み出すには、
Ｔａ４１＋（Ｔｈ５３×ｎ）×ｍ以上必要となる。
【００８２】
Ｔｈ５３は、従来のＭＯＳ型固体撮像装置における光電変換素子読みだし動作タイミングを説明する第６図のＴｈ３９と比較すると、
Ｔｈ３９＞＞Ｔｈ５３であるので、本発明により、全光電変換素子に照射された光量を読み出す時間は非常に短くなる。
【００８３】
上述した第３図に示す読出しタイミングにおいて、選択信号線４７がパルス幅Ｗｈ５４の期間だけハイレベルとなり、各光電変換素子１１（１，１）〜１１（１，ｎ）に流れ込んだ電流量に比例した電圧が各列の第３のトランジスタ３１（１）〜３１（ｎ）を介して、コンデンサ４３（１）〜４３（ｎ）へ同時に充電される。
すなわち列の読み出し時間は、第２の信号線１９（１）のみコンデンサ４３への充電時間が必要となる。つまり充電は全列同時に行われるので、このコンデンサ４３への充電時間は第２の信号線１９（２）〜１９（ｎ）では不要となる。
【００８４】
従って、第４図に示すように、Ｗｈ５４−１とＴｈ５３−１のみ、コンデンサ４３（１）への充電時間のために長く、あとのＷｈ５４とＴｈ５３は、Ｗｈ５４−１、Ｔｈ５３−１より短くできる。この読み出し方法の本発明により、全光電変換素子に照射された光量を読み出す時間はさらに短くなる。
【００８５】
上記した説明より明らかな様に、本発明に係る当該固体撮像装置の駆動制御方法としては幾つかの具体例があり、それを要約すると例えば、第１の態様としては、第１の信号線１５、当該第１の信号線１５と交差してマトリックス状に配置されている第２の信号線１９、当該第１の信号線１５を順次に駆動選択する第１の選択回路１７、当該第２の信号線１９を順次に駆動選択する第２の選択回路２７、当該第１の信号線１５と第２の信号線１９との各交差部Ｐ近傍に設けられ、当該両信号線に接続された光電変換素子セルＣとから構成された固体撮像装置１００に於て、当該何れかの信号線１５又は１９が選択された場合に、当該信号線に接続された該複数個の光電変換素子セルＣの電流情報を、他方の信号線１９又は１５のそれぞれを介して、当該他の信号線毎に且つ同時に電流−電圧変換手段５０を介して電圧情報に変換する工程と、その結果得られた電圧情報を当該他の信号線毎に設けられた電圧情報記憶手段５２に記憶する工程とから構成されている固体撮像装置の駆動方法である。
【００８６】
係る具体例に於いて、当該複数個の電流−電圧変換手段５０を、当該第１若しくは第２の選択回路１７、２７とは別に設けられている選択信号線４７によって、同時に駆動させる事が望ましい。
又、本具体例に於いては、当該１の信号線、例えば信号線１５の信号が有効である時間内に、当該他の信号線例えば１９毎に設けられた当該複数個の電圧情報記憶手段５２のそれぞれから、順次に当該電圧情報を共通の出力手段３５に伝達する電圧情報出力工程を含んでいる事も望ましい。
【００８７】
更に、本具体例に於いては、当該電圧情報出力工程は、該第２の選択回路２７から出力される駆動選択信号により実行されるものである。
本発明に於ける他の具体例に於いては、例えば、当該１の信号線１５（１）が選択され、他方の信号線１９が順次にスキャンされて、当該他方の信号線１９に設けられた各電圧情報記憶手段５２から当該電圧情報が順次読み出されるに際し、当該１の信号線１５に関する全ての電圧情報記憶手段５２からの当該電圧情報の読み出しが全て終了する以前に次の信号線１５（２）を選択する様に制御する事も望ましい。
【００８８】
つまり、本具体例は、図３のタイミングチャートから明らかな様に、例えば、信号線１５（１）が選択され、当該選択線４７が活性化されて、当該電流−電圧変換手段５０により得られた電圧値を当該電圧情報記憶手段５２に記憶させた後、当該電圧情報記憶手段５２に格納された電圧情報を当該第１のスイッチ回路５１を出力パルスＴｈ５３を順次出力して、電圧情報記憶手段５２を構成するコンデンサ４３（１）から４３（ｎ）迄順次読み出すに際し、最後のコンデンサ４３（ｎ）の電圧情報が、当該第２の選択回路２７から出力されるパルス２５（ｎ）により読み出される以前に、第１の信号線の次の信号線１５（２）が活性化され、従って、その時点から当該信号線１５（２）に接続される各光電変換素子セルＣの電圧値が読み出される事になる。
【００８９】
又、本発明に於ける別の具体例としては、１の信号線１５が選択され、他方の信号線１９が順次にスキャンされて、当該他方の信号線１９に設けられた各電圧情報記憶手段５２から当該電圧情報が順次読み出されるに際し、当該選択信号線４７が活性化された期間内に、少なくとも他方の信号線１９群に於ける最初にスキャンされる信号線１９（１）に対する電圧情報記憶手段４３（１）を駆動させる様に制御するものである。
【００９０】
つまり、図３に示す様に、当該信号線４７が活性化された期間内に、当該信号線１９（１）に接続されている電圧情報記憶手段５２を構成するコンデンサ４３（１）の電圧情報が、当該第２の選択回路２７から出力されるパルス２５（１）により当該第２のスイッチ手段５１を駆動して当該電圧情報を読み出す事が可能となる。
【００９１】
更に、本発明に係る他の具体例としては、１の信号線１５が選択され、他方の信号線１９が順次にスキャンされて、当該他方の信号線１９に設けられた各電圧情報記憶手段５２から当該電圧情報が順次読み出されるに際し、当該他方の信号線１９に於ける最初に選択された当該信号線１９（１）に対する電圧情報記憶手段４３（１）から当該電圧情報を読み出すに要する時間Ｔｈ５３−１を、別の当該信号線１９に対する電圧情報記憶手段４３（２）〜４３（ｎ）から当該電圧情報を読み出すに要する時間Ｔｈ５３−２からＴｈ５３−ｎ１よりも長くなる様に制御するものである。
【００９２】
上記した本発明に係る固体撮像装置の駆動制御方法のより詳細な具体例としては、以下に示す様な構成が考えられる。
即ち、マトリックス状に配列された１つの光電変換素子を含み１つ以上のＭＯＳトランジスタから構成された光電変換素子セルと、この光電変換素子セルを選択するために、光電変換素子セルを構成する１つのＭＯＳトランジスタのゲートが、各行ごとに共通に接続した第１の信号線と、この第１の信号線に選択信号を出力する選択回路と、各光電変換素子セルからの出力信号が列毎に共通に接続された第２の信号線と、この列毎に共通に接続された第２の信号線には、列毎にそれぞれ読み出し用負荷抵抗と、ＭＯＳトランジスタで構成された第１のスイッチ回路とが接続し、この列毎の読み出し用負荷抵抗のもう一端はすべてある定電圧源に接続し、この列毎の第１のスイッチ回路を構成するＭＯＳトランジスタのゲートは全て共通に選択信号線へ接続し、各列毎の第１のスイッチ回路のもう一端には、各列毎に１つのコンデンサと、１つのインピーダンス変換回路が接続し、この列毎に接続されたコンデンサのもう一端は全て接地し、この列毎に接続されたインピーダンス変換回路の出力には、ＭＯＳトランジスタで構成された第２のスイッチ回路が接続し、この列毎の第２のスイッチ回路を構成するＭＯＳトランジスタのゲートはそれぞれ、この列毎の第２のスイッチ回路を選択する選択回路に接続し、この列毎の第２のスイッチ回路のもう一端は全て共通に接続して信号増幅回路へ接続され、この信号増幅回路の出力は、出力信号線に接続される構成を特徴とするＭＯＳ型固体撮像装置の駆動方法であって、まずマトリックス状に配列された、ある１行の光電変換素子セルを、各行ごとに共通に接続した第１の信号線にて選択し、さらに各列に接続している第１のスイッチ回路を選択信号にて全て同時にＯＮし、次に各列の第２のスイッチ回路を順次選択することにより、選択された光電変換素子に照射された光量を順次読み出しするＭＯＳ型固体撮像装置の駆動方法である。
【００９３】
又、別の具体例としては、マトリックス状に配列された１つの光電変換素子を含み１つ以上のＭＯＳトランジスタから構成された光電変換素子セルと、この光電変換素子セルを選択するために、光電変換素子セルを構成する１つのＭＯＳトランジスタのゲートが、各行ごとに共通に接続した第１の信号線と、この第１の信号線に選択信号を出力する選択回路と、各光電変換素子セルからの出力信号が列毎に共通に接続された第２の信号線と、この列毎に共通に接続された第２の信号線には、列毎にそれぞれ読み出し用負荷抵抗と、ＭＯＳトランジスタで構成された第１のスイッチ回路とが接続し、この列毎の読み出し用負荷抵抗のもう一端はすべてある定電圧源に接続し、この列毎の第１のスイッチ回路を構成するＭＯＳトランジスタのゲートは全て共通に選択信号線へ接続し、各列毎の第１のスイッチ回路のもう一端には、各列毎に１つのコンデンサと、１つのインピーダンス変換回路が接続し、この列毎に接続されたコンデンサのもう一端は全て接地し、この列毎に接続されたインピーダンス変換回路の出力には、ＭＯＳトランジスタで構成された第２のスイッチ回路が接続し、この列毎の第２のスイッチ回路を構成するＭＯＳトランジスタのゲートはそれぞれ、この列毎の第２のスイッチ回路を選択する選択回路に接続し、この列毎の第２のスイッチ回路のもう一端は全て共通に接続して信号増幅回路へ接続され、この信号増幅回路の出力は、出力信号線に接続される構成を特徴とするＭＯＳ型固体撮像装置の駆動方法であって、まずマトリックス状に配列された、ある１行の光電変換素子セルを、各行ごとに共通に接続した第１の信号線にて選択し、さらに各列に接続した第１のスイッチ回路を選択信号にて全て同時にＯＮし、次に各列の第２のスイッチ回路を順次選択することにより、第１の信号線にて選択された行の光電変換素子に入射した光の照射量を読み出している最中に、次の行の光電変換素子セルを選択する第１の信号線を選択し、次の行の光電変換素子セルからの出力信号を各列の第２の信号線に出力することにより、第１の信号線により選択している行から、次の選択する行に移行する際にも、第２のスイッチ回路を連続して順次選択することにより、光電変換素子に照射された光量を読み出しするＭＯＳ型固体撮像装置の駆動方法である。
【００９４】
又、更に別の具体例としては、マトリックス状に配列された１つの光電変換素子を含み１つ以上のＭＯＳトランジスタから構成された光電変換素子セルと、この光電変換素子セルを選択するために、光電変換素子セルを構成する１つのＭＯＳトランジスタのゲートが、各行ごとに共通に接続した第１の信号線と、この第１の信号線に選択信号を出力する選択回路と、各光電変換素子セルからの出力信号が列毎に共通に接続された第２の信号線と、この列毎に共通に接続された第２の信号線には、列毎にそれぞれ読み出し用負荷抵抗と、ＭＯＳトランジスタで構成された第１のスイッチ回路とが接続し、この列毎の読み出し用負荷抵抗のもう一端はすべてある定電圧源に接続し、この列毎の第１のスイッチ回路を構成するＭＯＳトランジスタのゲートは全て共通に選択信号線へ接続し、各列毎の第１のスイッチ回路のもう一端には、各列毎に１つのコンデンサと、１つのインピーダンス変換回路が接続し、この列毎に接続されたコンデンサのもう一端は全て接地し、この列毎に接続されたインピーダンス変換回路の出力には、ＭＯＳトランジスタで構成された第２のスイッチ回路が接続し、この列毎の第２のスイッチ回路を構成するＭＯＳトランジスタのゲートはそれぞれ、この列毎の第２のスイッチ回路を選択する選択回路に接続し、この列毎の第２のスイッチ回路のもう一端は全て共通に接続して信号増幅回路へ接続され、この信号増幅回路の出力は、出力信号線に接続される構成を特徴とするＭＯＳ型固体撮像装置の駆動方法であって、まずマトリックス状に配列されたある１行の光電変換素子セルを、各行ごとに共通に接続した第１の信号線にて選択し、さらに各列に接続した第１のスイッチ回路を選択信号にて全て同時にＯＮし、次に各列の第２のスイッチ回路を順次選択するときに、最初に選択される列の選択時間だけ、他の列が選択される選択時間より長く設定することにより、光電変換素子に照射された光量を読み出しするＭＯＳ型固体撮像装置の駆動方法である。
【００９５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る固体撮像装置及び固体撮像装置の駆動制御方法に於いては、光電変換素子に照射された光量を高速に読み出すことができるものであり、更には、読み出しタイミングを変えることにより、さらに光電変換素子に照射された光量を高速に読み出すことができるものであります。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のＭＯＳ型固体撮像装置の回路図である。
【図２】図２は、本発明のＭＯＳ型固体撮像装置の駆動方法を説明するパターン図。
【図３】図３は、本発明のＭＯＳ型固体撮像装置の駆動方法を説明するパターン図。
【図４】図４は、本発明のＭＯＳ型固体撮像装置の駆動方法を説明するパターン図。
【図５】図５は、従来のＭＯＳ型固体撮像装置の回路図。
【図６】図６は、従来のＭＯＳ型固体撮像装置の動作を説明するパターン図。
【図７】図７は、本発明であるＭＯＳ型固体撮像装置の駆動方法の概要を説明するフローチャート図。
【図８】図８は、本発明に係るＭＯＳ型固体撮像装置に使用されるアクティブ型の撮像装置の構成例を示す図である。
【符号の説明】
１１（１，１) 〜１１（ｍ，ｎ）…光電変換素子
１３（１，１) 〜１３（ｍ，ｎ) …第１のＭＯＳトランジスタ
１５（１）〜１５（ｍ）…第１の信号線
１７…垂直シフトレジスタ回路
１９（１）〜１９（ｎ）…第２の信号線
２１（１）〜２１（ｎ）…第２のＭＯＳトランジスタ
２３…第３の信号線
２５（１）〜２５（ｎ）…第４の信号線
２７…水平シフトレジスタ回路
２９…信号増幅回路
３０…読み出し用負荷抵抗
３１（１）〜３１（ｎ）…第３のＭＯＳトランジスタ
３３…低電圧電源
３５…出力信号線
３７…パルス幅Ｔｖ
３９…パルス幅Ｔｈ
４０…パルス幅Ｗｈ
４１…パルス幅Ｔａ
４３（１）〜４３（ｎ）…コンデンサ
４５（１）〜４５（ｎ）…インピーダンス変換回路
４７…選択信号線
４９…パルス幅Ｔｄ
５１…パルス幅Ｔｂ
５３…パルス幅Ｔｈ
５４…パルス幅Ｗｈ
５５…パルス幅Ｔｖ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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