(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧力室を有するキャビティプレートと、当該キャビティプレートに接着取り付けされた圧電素子とからなるインクジェットプリンタのヘッドの製造方法であって、
前記キャビティプレートに、一つの表面に前記複数の圧力室を開口して形成し、
前記圧電素子は、
前記複数の圧力室にわたる大きさの、圧電材料からなる複数のシート状部材を形成する工程と、
前記シート状部材に電極パターンを形成する工程と、
前記電極パターンが形成されたシート状部材を積層する工程と、
前記積層されたシート状部材を、表面が平面状の支持部材に、前記キャビティプレートの前記表面と接着される前記シート状部材の表面を当接させて載置する工程と、
前記載置されたシート状部材を焼結する工程とを経て製作され、
前記載置する工程の前後から、前記焼結する工程の前には、前記焼結後における前記シート状部材の前記表面における凹凸の高低差が３０μｍ以下となるように、前記支持部材表面及び前記シート状部材表面における異物の付着を防止する工程が設けられており、
前記圧電素子を前記キャビティプレートに、前記シート状部材の前記表面を前記キャビティプレートの前記前面に接触させて接着したことを特徴とするインクジェットプリンタのヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記載置する工程の前後から、前記焼結する工程の前には、焼結後における前記シート状部材の前記表面における凹凸が５ｍｍ２の領域で３０μｍ以下となるように、前記支持部材表面及び前記シート状部材表面における異物の付着を防止する工程が設けられていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記シート状部材を形成する工程にて、少なくとも前記キャビティプレートと接着される前記シート状部材の厚さは、３０μｍ以下に設定されていることを特徴とする請求項１または２記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記キャビティプレートは、複数枚の金属プレートのうち、最外層に積層される金属プレートに前記複数の圧力室を穿設し、その複数枚の金属プレートを積層して形成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電式のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタに用いられているインクジェットプリンタヘッドにおいて、キャビティの圧力室に隣接して設けられた圧電素子を用いて、この圧電素子に電圧を印加することで圧力室の容積を小さくしてインクをオリフィスから噴射させて印刷を行う圧電式インクジェットプリンタヘッドが知られている。
【０００３】
この圧電式インクジェットプリンタヘッドでは、シート状の圧電セラミック層上に、スクリーン印刷により内部電極層を印刷すると共に、各圧電セラミック層及び電極層を設けていないセラミックス層等を交互に積層してプレスして焼成し、焼成後、別途接着剤等を用いて変形拘束材を接着して製造していた。
【０００４】
更に、以上のようにして製造したアクチュエータとしての圧電素子と、圧力室を形成するキャビティとを接着することにより、圧電式インクジェットプリンタヘッドを製造していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の方法では、前記焼成後に圧電素子の前記キャビティとの接着面に凹凸が形成されてしまうため、そのままではキャビティとの接着の際に接着不良を起こすという問題があった。
【０００６】
従って、従来においては、焼成後に、圧電素子の前記接着面に対して研磨等を行う処理を行う工程が不可欠であり、作業効率及びコストの点から問題になっていた。
【０００７】
本発明は、前記問題に鑑みてなされたもので、焼成後の研磨工程を省略することのできるインクジェットプリンタのヘッドの製造方法を提供することを課題としている。
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法は、前記課題を解決するために、複数の圧力室を有するキャビティプレートと、当該キャビティプレートに接着取り付けされた圧電素子とからなるインクジェットプリンタのヘッドの製造方法であって、前記キャビティプレートに、一つの表面に前記複数の圧力室を開口して形成し、前記圧電素子は、前記複数の圧力室にわたる大きさの、圧電材料からなる複数のシート状部材を形成する工程と、前記シート状部材に電極パターンを形成する工程と、前記電極パターンが形成されたシート状部材を積層する工程と、前記積層されたシート状部材を、表面が平面状の支持部材に、前記キャビティプレートの前記表面と接着される前記シート状部材の表面を当接させて載置する工程と、前記載置されたシート状部材を焼結する工程とを経て製作され、前記載置する工程の前後から、前記焼結する工程の前には、前記焼結後における前記シート状部材の前記表面における凹凸の高低差が３０μｍ以下となるように、前記支持部材表面及び前記シート状部材表面における異物の付着を防止する工程が設けられており、前記圧電素子を前記キャビティプレートに、前記シート状部材の前記表面を前記キャビティプレートの前記前面に接触させて接着したことを特徴とする。
請求項１記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法によれば、まず、圧電材料からなるシート状部材を形成する。次に、このシート状部材に電極パターンを形成する。そして、この電極パターンが形成されたシート状部材を積層し、更に、この積層されたシート状部材を、表面が平面状の支持部材に、前記キャビティプレートの前記表面と接着される前記シート状部材の表面を当接させて載置する。次に、このように載置されたシート状部材を焼結する。このような製造工程において、前記載置する工程の前後から、前記焼結する工程の前には、前記焼結後における前記シート状部材の前記表面における凹凸の高低差が３０μｍ以下となるように、前記支持部材表面及び前記シート状部材表面における異物の付着を防止する処理が行われる。そして、前記圧電素子を前記キャビティプレートに、前記シート状部材の前記表面を前記キャビティプレートの前記前面に接触させて接着する。従って、前記焼結後においても、前記シート状部材の前記表面における凹凸の高低差は３０μｍ以下となり、圧電素子と圧力室を形成するキャビティプレートとを接着取り付けする場合でも、圧電素子を研磨する必要がなく、そのまま接着取り付けすることが出来る。このように、凹凸の高低差が極めて微小であるため、研磨工程を省略することが出来る。その結果、作業効率を向上させ、また、製造コストを低減する。
【００１６】
請求項２記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法は、前記課題を解決するために、請求項１記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法において、前記載置する工程の前後から、前記焼結する工程の前には、焼結後における前記シート状部材の前記表面における凹凸が５ｍｍ２の領域で３０μｍ以下となるように、前記支持部材表面及び前記シート状部材表面における異物の付着を防止する工程が設けられていることを特徴とする。
【００１７】
請求項２記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法によれば、前記シート状部材を、表面が平面状の前記支持部材に載置する工程の前後から、前記載置されたシート状部材を焼結する工程の前には、焼結後における前記シート状部材の前記表面における凹凸が５ｍｍ２の領域で３０μｍ以下となるように、前記支持部材表面及び前記シート状部材表面における異物の付着を防止する処理が行われる。従って、５ｍｍ２という微小領域において平均をとった場合でも、凹凸の高低差が３０μｍ以下と微小であるため、圧電素子と圧力室を形成するキャビティプレートとを接着取り付けする場合でも、圧電素子を研磨する必要がなく、そのまま接着取り付けすることが出来る。このように、凹凸の高低差が極めて微小であるため、研磨工程を省略することが出来る。その結果、作業効率を向上させ、また、製造コストを低減する。
【００１８】
請求項３記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法は、前記課題を解決するために、請求項１または２記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法において、前記シート状部材を形成する工程にて、少なくとも前記キャビティプレートと接着される前記シート状部材の厚さは、３０μｍ以下に設定されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項３記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法によれば、前記シート状部材を形成する工程にて、少なくとも前記キャビティプレートと接着される前記シート状部の厚さは、３０μｍ以下に設定されている。従って、このようなシート状部材を複数枚積層した場合でも全体の厚さは非常に薄く、研磨することは困難である。しかし、上述したように、シート状部材の接着面における凹凸の高低差は、３０μｍ以下と微小であるため、当該接着面を研磨する必要がなく、そのまま接着取り付けすることが出来る。従って、以上のように薄いシート状部材を焼結する場合でも、接着面の凹凸が極めて小さい圧電素子を容易に製造することが出来る。
請求項４記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法は、前記課題を解決するために、請求項１から３のいずれかに記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法において、前記キャビティプレートは、複数枚の金属プレートのうち、最外層に積層される金属プレートに前記複数の圧力室を穿設し、その複数枚の金属プレートを積層して形成されることを特徴とする。
請求項４記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法によれば、前記キャビティプレートは、複数枚の金属プレートのうち、最外層に積層される金属プレートに前記複数の圧力室を穿設し、その複数枚の金属プレートを積層して形成される。従って、圧電素子と、複数の圧力室が穿設されたキャビティプレートとを接着取り付けする場合でも、圧電素子を研磨する必要がなく、そのまま接着取り付けすることが出来る。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて説明する。以下の説明は、圧電式インクジェットヘッドに対して本発明を適用した場合の実施形態である。
【００２１】
記録媒体に沿って走行する公知のキャリッジ（図示せず）に搭載される本体フレーム１は、図３に示すように、上面開放の略箱状に形成されており、その上方から４つのインクカートリッジ（図示せず）を着脱自在に装着できる搭載部３を有し、該搭載部３の一側部位３ａには、各インクカートリッジのインク放出部（図示せず）に接続できるインク供給通路４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが本体フレーム１の底板５の下面まで連通している。なお、この搭載部３の一側部位３ａの上面には、各インクカートリッジのインク放出部（図示せず）と密接できるようにしたゴム製等のパッキング（図示せず）が配置されている。
【００２２】
底板５は、搭載部３から一段下に突出するようにして水平状に形成され、図１及び図２並びに図４に示すように、該底板５の下面側には、後述するフロントヘッドユニット６を２つ並列させて配置するための２つの支持部８を段付き状に形成する。該各支持部８には、ＵＶ接着剤にて固定するための複数の空所９ａ、９ｂが上下に貫通するように形成されている。
【００２３】
図５は、フロントヘッドユニット６の斜視図を示すものである。図６は、フロントヘッドユニットの断面図を示すものである。フロントヘッドユニット６は、図５及び図６に示すように、複数枚の積層型のキャビティプレート１０と、該キャビティプレート１０に対して接着剤または接着シートを介して接着・積層されるプレート型の圧電アクチュエータ２０と、その上面に外部機器との電気的接続のために、フレキシブルフラットケーブル４０が接着剤にて重ね接合されて構成されており、最下層のキャビティプレート１０の下面側に開口されたノズル１５から下向きにインクが吐出する。
【００２４】
図７は、キャビティプレート１０の分解斜視図を示すものである。図８は、キャビティプレート１０の分解拡大斜視図を示すものである。キャビティプレート１０は、図８に示すように、ノズルプレート１１、２枚のマニホールドプレート１２、スペーサプレート１３、ペースプレート１４の５枚の薄い金属板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構造である。本実施形態では、これらの各プレート１１〜１４は、４２％ニッケル合金鋼板（４２合金）製で、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有している。なお、これらの各プレート１１〜１４は、金属に限らず、例えば、樹脂により形成してもよい。
【００２５】
ノズルプレート１１には、微小径（本実施形態では、２５μｍ程度）の複数のインク吐出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１における長手方向の中心線１１ａ、１１ｂに沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列で穿設されている。２枚のマニホールドプレート１２に対するノズルプレート１１及びスペーサプレート１３の積層により密閉される構造になっている。
【００２６】
また、ベースプレート１４には、図８に示すように、長手方向の中心線１４ａ、１４ｂに対して直交する方向に延びる細幅の複数の圧力室１６が千鳥状配列で穿設されている。また、ベースプレート１４には、各圧力室１６と接続される絞り部１６ｄが穿設されている。さらに当該絞り部１６ｄと接続されるインク供給孔１６ｂが穿設されている。各インク供給孔１６ｂは、スペーサプレート１３における左右両側部位に穿設されたインク供給孔１８を介して、マニホールドプレート１２における共通圧力室１２ａに連通している。ここで、各絞り部１６ｄにおけるインクが流れる方向と直交する断面積は、各圧力室１６における当該断面積より小さい構造となっている。これは、絞り部１６ｄの断面積を小さくすることにより、流路抵抗を増すためである。
【００２７】
各圧力室１６の一端部１６ａは、ノズルプレート１１における千鳥状配列のノズル１５に、スペーサプレート１３及び２枚のマニホールドプレート１２に同じく千鳥状配列で穿設されている微小径の貫通孔１７を通って、各圧力室１６に対応するノズル１５に至ることとなる。
【００２８】
図９は、圧電アクチュエータ２０の分解拡大斜視図を示すものである。圧電アクチュエータ２０は、図９に示すように、３枚のセラミックスシート２１、２２、２３とを積層した構造である。最下段のシート２１の上面には、キャビティプレート１０における各圧力室１６毎に対応した細幅の複数の駆動電極２４が、千鳥状配列で設けられている。また、各駆動電極２４の一端部２４ａは、圧電アクチュエータ２０の表裏面２０ａ、２０ｂと直交する左右側面２０ｃに露出するように形成されている。
【００２９】
次段のシート２２の上面には、複数の圧力室１６に対して共通のコモン電極２５が、設けられている。コモン電極２５の一端部２５ａも、各駆動電極２４の一端部２４ａと同様、左右側面２０ｃに露出するように形成されている。
【００３０】
最上段のシート２３の上面には、各駆動電極２４の各々に対する表面電極２６と、コモン電極２５に対する表面電極２７とが、左右側面２０ｃに沿って並ぶように設けられている。
【００３１】
また、左右側面２０ｃには、各駆動電極２４の一端部２４ａに第１の凹み溝３０が、コモン電極２５の一端部２５ａに第２の凹み溝３１が、それぞれ積層方向に延びるように設けられている。各第１の凹み溝３０内には、図６に示すように、各駆動電極２４と各表面電極２６とを電気的に接続する側面電極３２が、第２の凹み溝３１内には、コモン電極２５と表面電極２７とを電気的に接続する側面電極３３が、それぞれ形成されている。なお、符号２８及び２９の電極は、捨てパターンの電極である。
【００３２】
各駆動電極２４に対応する位置とコモン電極２５とに挟まれた圧電シート２２の各領域は、分極処理されて圧電特性が付与され、各圧力室１６に対応した圧力発生部となる。
【００３３】
以上のような構成のキャビティプレート１０と圧電アクチュエータ２０とは、キャビティプレート１０における各圧力室１６と、圧電アクチュエータ２０における駆動電極２４とが対応するように積層される。また、圧電アクチュエータ２０における上側の表面２０ａには、フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示せず）が、各表面電極２６、２７に電気的に接合される。
【００３４】
このような構成において、圧電アクチュエータ２０における各駆動電極２４のうち任意の駆動電極２４と、コモン電極２５との間に電圧を印加することにより、圧電シート２２のうち電圧を印加した駆動電極２４の部分、即ち、圧力発生部に、圧電効果による積層方向の歪みが発生する。そして、この歪みによる圧力にて、各駆動電極２４に対応する圧力室１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６内のインクが、ノズル１５から液滴状に吐出して、所定の印字が行われる。
【００３５】
ここで、前記圧電アクチュエータ２０の製造方法について説明する。まず、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（ＰｂＴｉＯ３・ＰｂＺｒＯ３））系のセラミック粉末、バインダ、溶剤を混合する。
【００３６】
次に、前記混合液を、プラスチックフィルム上に、ドクターブレード法を用いて所定の厚さに塗布し、３枚のセラミックスシート２１、２２、２３からなるグリーンシートを形成する。
【００３７】
さらに、前記グリーンシートの駆動電極２４等の電極となる部分に、金属材料をスクリーン印刷により印刷する。
【００３８】
そして、このようにして形成したグリーンシートを積層し、加熱プレスし、グリーンシートの積層ブロックを得る。
【００３９】
次に、積層ブロックを所定の温度で加熱することにより、バインダーを焼き飛ばした後、焼成炉により所定の温度で焼成する。
【００４０】
そして、ブロックを所定の大きさに切断し、個々の圧電アクチュエータ２０を得る。
【００４１】
次に、個々の圧電アクチュエータ２０に側面電極３２、３３を印刷し、焼成炉を用いて前記側面電極３２、３３の焼付を行う。
【００４２】
そして、電極２４、２５に高電圧を印加することで、両電極間のセラミックスシート２１の分極処理を行う。
【００４３】
このようにして、本実施形態の圧電式インクジェットヘッドに用いられる圧電アクチュエータ２０が製造される。
【００４４】
以上のような製造方法によれば、２５０μｍ以下という微細な電極幅を有する圧電アクチュエータ２０を得ることが出来る。
【００４５】
特に、本実施形態においては、圧電アクチュエータ２０のキャビティプレート１０との接着面は、当該接着面に形成される凹凸の高低差が、５ｍｍ２の領域で３０μｍ以下とする平面度に設定されている。
【００４６】
従って、本実施形態の圧電アクチュエータ２０と、キャビティプレート１０とを接着する際には、従来行っていた前記接着面の研磨工程を省略することが出来、焼成体である圧電アクチュエータ２０をそのまま用いてキャビティプレート１０との接着処理を行うことが出来るので、圧電アクチュエータ２０の製造工程における作業効率を向上させることが出来、また、コストを低減することが出来る。
【００４７】
本実施形態では、グリーンシートを形成するプラスチックフィルムの面、加熱プレス装置のプレス面、及び脱バインダー・焼成工程の際に積層ブロックを載せる台の面は、凹凸の高低差が５ｍｍ２の領域で３０μｍ以下とする平面度に設定されている。具体的には、それらの面に材料を載せる前に、異物を除去する作業を行う。
【００４８】
このように各工程において異物除去処理を行った結果、異物が前記ブロックに付着した状態で焼成されることがなく、ブロックには、凹凸が殆ど存在しない。
【００４９】
より詳細には、当該接着面に形成される凹凸は、凸の高さが１０μｍ以下、凹の深さが２０μｍ以下であり、高低差は、５ｍｍ２の領域で３０μｍ以下となっている。
【００５０】
図１０及び図１１に、上述した工程に従って焼結した後、個々の圧電アクチュエータ２０毎にカットし、端面電極を印刷する前の製品について、表面形状を測定したデータについて説明する。
【００５１】
図１０（Ａ）は、圧電アクチュエータ２０の１サンプルの表面を、８×２６＝２０８のメッシュに区切り、各メッシュの傾きを３次元的に表した図である。図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）に示すＯＤＤ側から３次元の表面形状データを見た図である。
【００５２】
また、図１１（Ａ）は、図１０（Ａ）における短辺側の８メッシュの傾きを、図１０（Ａ）における手前側から奥側へに向かって８メッシュ毎に折れ線グラフとして表した図である。また、図１１（Ｂ）は、図１０（Ａ）における長編側の２６メッシュの傾きを、図１０（Ａ）におけるＥＶＥＮ側からＯＤＤ側へに向かって２６メッシュ毎に折れ線グラフとして表した図である。
【００５３】
図１０及び図１１から明らかなように、本実施形態の方法により製造した圧電アクチュエータ２０は、５ｍｍ２の領域で、凸の高さ及びが１０μｍ以下、凹の深さも１０μｍ以下であり、その高低差は、２０μｍ以下となっている。
【００５４】
従って、このような圧電アクチュエータ２０と、キャビティプレート１０とを接着する際には、圧電アクチュエータ２０の接着面を研磨することなく、そのまま焼成体である圧電アクチュエータ２０をキャビティプレート１０に接着することが出来るので、圧電アクチュエータ２０の製造工程における作業効率を向上させることが出来、また、コストを低減することが出来る。
【００５５】
【００５６】
【００５７】
【００５８】
【発明の効果】
請求項１記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法によれば、積層されたシート状部材を、表面が平面状の支持部材に、前記キャビティプレートの前記表面と接着される前記シート状部材の表面を当接させて載置する工程の前後から、前記載置されたシート状部材を焼結する工程の前には、前記焼結後における前記シート状部材の前記キャビティプレートとの接着面における凹凸の高低差が３０μｍ以下となるように、前記支持部材表面及び前記シート状部材表面における異物の付着を防止する工程が設けられている。そして、前記圧電素子を前記キャビティプレートに、前記シート状部材の前記表面を前記キャビティプレートの前記前面に接触させて接着する。その結果、焼結後においても、前記シート状部材の前記キャビティプレートとの接着面における凹凸の高低差は３０μｍ以下となり、圧電素子と圧力室を形成するキャビティプレートとを接着取り付けする場合でも、圧電素子を研磨する必要がなく、そのまま接着取り付けすることが出来る。このように、凹凸の高低差が極めて微小であるため、研磨工程を省略することが出来る。その結果、作業効率を向上させ、また、製造コストを低減することが出来る。
【００５９】
請求項２記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法によれば、前記載置する工程の前後から、前記焼結する工程の前には、焼結後における前記シート状部材の前記表面における凹凸が５ｍｍ２の領域で３０μｍ以下となるように、前記支持部材表面及び前記シート状部材表面における異物の付着を防止する工程が設けられているので、５ｍｍ２という微小領域において平均をとった場合でも、凹凸の高低差が３０μｍ以下と微小であるため、圧電素子と圧力室を形成するキャビティプレートとを接着取り付けする場合でも、圧電素子を研磨する必要がなく、そのまま接着取り付けすることが出来る。このように、凹凸の高低差が極めて微小であるため、研磨工程を省略することが出来る。その結果、作業効率を向上させ、また、製造コストを低減することが出来る。
【００６０】
請求項３記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法によれば、前記シート状部材を形成する工程にて、少なくとも前記キャビティプレートと接着される前記シート状部材の厚さは、３０μｍ以下に設定されているので、このようなシート状部材を複数枚積層した場合でも全体の厚さは非常に薄く、研磨することは困難である。しかし、上述したように、シート状部材の接着面における凹凸の高低差は、３０μｍ以下と微小であるため、当該接着面を研磨する必要がなく、そのまま接着取り付けすることが出来る。従って、以上のように薄いシート状部材を焼結する場合でも、接着面の凹凸が極めて小さい圧電素子を容易に製造することが出来る。
請求項４記載のインクジェットプリンタのヘッドの製造方法によれば、前記キャビティプレートは、複数枚の金属プレートのうち、最外層に積層される金属プレートに前記複数の圧力室を穿設し、その複数枚の金属プレートを積層して形成される。従って、圧電素子と、複数の圧力室が穿設されたキャビティプレートとを接着取り付けする場合でも、圧電素子を研磨する必要がなく、そのまま接着取り付けすることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態における圧電式インクジェットヘッドのノズル側を上にした斜視図である。
【図２】  図１の圧電式インクジェットヘッドの部品の分解斜視図である。
【図３】  図１の圧電式インクジェットヘッドを上方から見た部品の分解斜視図である。
【図４】  図１の圧電式インクジェットヘッドの本体フレームの底板を下面側から見た下面図である。
【図５】  図１の圧電式インクジェットヘッドにおけるフロントヘッドユニットの斜視図である。
【図６】  図１の圧電式インクジェットヘッドにおけるフロントヘッドユニットの断面図である。
【図７】  図１の圧電式インクジェットヘッドにおけるキャビティプレートの分解斜視図を示すものである。
【図８】  図１の圧電式インクジェットヘッドにおけるキャビティプレートの分解拡大斜視図を示すものである。
【図９】  図１の圧電式インクジェットヘッドにおける圧電アクチュエータの分解拡大斜視図を示すものである。
【図１０】  （Ａ）は、圧電アクチュエータの１サンプルの表面を８×２６の２０８のメッシュに区切り、各メッシュの傾きを３次元的に表した図、（Ｂ）は、（Ａ）に示すＯＤＤ側から３次元の表面形状データを見た図である。
【図１１】  （Ａ）は、図１０（Ａ）における短辺側の８メッシュの傾きを、図１０（Ａ）における手前側から奥側へに向かって８メッシュ毎に折れ線グラフとして表した図、（Ｂ）は、図１０（Ａ）における長編側の２６メッシュの傾きを、図１０（Ａ）におけるＥＶＥＮ側からＯＤＤ側へに向かって２６メッシュ毎に折れ線グラフとして表した図である。
【符号の説明】
２０  圧電アクチュエータ
２１、２２  圧電シート
２３  絶縁シート
２４  駆動電極
２５  コモン電極
２６、２７  表面電極
３０、３１  凹み溝
３２、３３  側面電極
１１２  プレス機
１１５  セッター
１１６  焼成炉
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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