(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を照射して形成される陰影に対応して光電変換により発生する電子像を拡大し、電子線検出素子により観察するようにしたＸ線顕微鏡において、該Ｘ線顕微鏡の電子イメージ拡大機構に対向する位置に電子銃を備え、該電子銃と該電子イメージ拡大機構の前面に設置される試料ホルダーの間に電界シールドを有する電子通路を形成して、該電子銃から電子ビームを放出し、前記電子線検出素子に投影された電子像に基づいて該電子ビームの走行軸を前記電子イメージ拡大機構の中心軸に合致するように位置調整することにより、前記試料ホルダーの中心軸位置を前記電子ビーム走行軸に合わせることを特徴とする、Ｘ線顕微鏡の性能試験方法。
【請求項２】
さらに、前記試料ホルダーの中心軸上に電子線Ｘ線変換膜を設置し定位置に試料スライドをセットして、前記電子銃から電子ビームを発射させ、該電子ビームをＸ線に変換させて該試料スライドに照射し、該試料スライドで発生する電子像を前記電子イメージ拡大機構で拡大して電子線検出素子で測定することにより、拡大倍率と解像度を評価するようにしたことを特徴とする請求項１記載の性能試験方法。
【請求項３】
Ｘ線顕微鏡の試料室の電子イメージ拡大機構に対向する背面に電子銃を備え、該電子銃の電子ビーム通路を囲う保護管であって電界シールドを有し少なくとも一部が可撓性を持ち先端に前記電子イメージ拡大機構の前面に設置される試料ホルダーに係合して固定する係合具を有し該試料ホルダーに脱着可能な保護管を備えることを特徴とした、Ｘ線を照射して形成される陰影に対応して光電変換により発生する電子像を拡大し電子線検出素子により観察するようにしたＸ線顕微鏡における性能試験装置であって、性能試験時には該保護管を該試料ホルダーに装着して、前記電子銃から電子ビームを放出し前記電子線検出素子に投影された電子像に基づいて前記電子銃から放出する電子ビームの走行軸を前記電子イメージ拡大機構の中心軸に合致するように位置調整することにより、前記試料ホルダーの中心軸位置を前記電子ビーム走行軸に合わせる性能試験装置。
【請求項４】
さらに、前記試料ホルダーの中心軸上に電子線Ｘ線変換膜を設置するジグを備えることを特徴とし、性能試験時には定位置に試料スライドをセットして、前記電子ビームをＸ線に変換して該試料スライドに照射し発生した電子像を前記電子イメージ拡大機構で拡大して電子線検出素子で測定することにより、拡大倍率と解像度を評価することができるようにしたことを特徴とする請求項３記載の性能試験装置。
【請求項５】
前記電子銃の直ぐ下流位置に磁界レンズによるコンデンサレンズと偏向コイルを備えることを特徴とする請求項３または４記載の性能試験装置。
【請求項６】
前記保護管は、導電性材料からできた２個以上の管を入れ子型に組立てたものであることを特徴とする請求項３から５のいずれかに記載の性能試験装置。
【請求項７】
前記保護管は、少なくとも一部の管が可撓性を有することを特徴とする請求項３から５のいずれかに記載の性能試験装置。
【請求項８】
前記電子銃と前記試料室を区切る位置に電子通路を遮断すると共に電子銃側を真空に吸引することができるセパレートバルブを設置することを特徴とする請求項３から７のいずれかに記載の性能試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線を照射して形成される陰影に対応して発生する電子線を観察するようにしたＸ線顕微鏡において電子イメージ拡大機構の調整と性能試験を行う方法とそれに用いる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、Ｘ線顕微鏡は、波長が短く透過力の強いＸ線を光源として物体の形状や内部微細構造等の情報を得ることができる。しかし、フレネル・ゾーンプレートや斜入射ミラーなど像を拡大するためのＸ線結像素子は収束力が小さくレンズとしての焦点距離が長くなるため装置が大きくなり像拡大率を調整することが困難であること、集光効率が悪いため放射光のような強力なＸ線光源が必要であることなどの問題があった。
【０００３】
そこで、本願出願人は既に特願２００１−２３５６７８などにより、光電変換面に試料を密着させて背後からＸ線を照射し光電変換面から発生する電子を引き出し拡大して電子検出素子面に結像させて可視像として提示する新しい形式のＸ線顕微鏡装置を開示している。
開示されたＸ線顕微鏡は、図８の原理説明図および図９の装置断面図に示すように、光電変換膜の裏面に試料を近接して配置してＸ線を照射し、試料を透過したＸ線を光電変換素子により電子に変換し、光電変換面とアノードの間に電界を生じさせて光電変換面表面に発生した電子を引出して加速し、電磁コイルを用いた電子イメージ拡大装置により拡大して蛍光面やＣＣＤ素子面など電子線検出素子面に投影して、可視像化するものである。
【０００４】
Ｘ線は装置外部に設けられたレーザ発生装置で放射されるレーザ光を導いて透明窓から試料室内に設けられたＸ線ターゲットに照射して発生させる。
発生するＸ線は、適宜なフィルタを通して波長選択した上で試料に照射する。ターゲット位置はターゲット移動回転機構により調整することができる。Ｘ線ターゲットはレーザ光を照射した部分が消耗するので、適宜回転移動することにより新しい部分がレーザ光に当たるようにする。
また、試料の位置は試料移動機構により調整することができる。
【０００５】
開示装置は、収束力の弱いＸ線光学系を利用するものと異なり、十分収束力のある電子イメージ拡大装置を使用するため装置全体が小型になり、試料を光電変換面に密着してセットするのでぼけのないＸ線透過像を得ることができる。
また、開示装置では試料を透過したＸ線を光電変換素子で電子に変換するので、観察対象の部位やＸ線波長によるＸ線吸収能の差を反映した濃淡画像を作成することができ、また軟Ｘ線による観察も可能である。このため、取得するＸ線像の情報量が格段に増大し、生体試料の観察を行うこともできるようになった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記新規のＸ線顕微鏡では、Ｘ線像を電子像に変換し、高圧静電界を作用させてこの電子像から電子を引出し加速して、対物レンズと投射レンズを組合わせた電子イメージ拡大機構により拡大して検出面に投影する。
イメージの拡大は電子流に対する磁界の作用によるため、拡大機構の性能確認のためには電子を使う必要がある。このＸ線顕微鏡では、Ｘ線を光電変換面に照射して電子に変換するが、像の拡大率が極めて高く、またＸ線は目に見える形で把握することが難しく、しかも細いビーム状に成形することができないので、光電変換面を介在させた状態で電子イメージ拡大機構のアライメントを行うことは極めて困難であった。
【０００７】
また、Ｘ線を発生させるために自由電子レーザ装置など強力なレーザ光発生装置を運転しなければならないので、製造工程や製造場所における性能試験工程、設置場所における組立て調整工程や保全作業などにおいて、高性能レーザ光発生装置を同時に運転しなければならないことの不便は大きいものがある。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、上記開示されたＸ線を照射して形成される陰影に対応して発生する電子線を観察するようにした新規のＸ線顕微鏡において、光軸調整と拡大倍率や解像度などの性能評価試験を簡単に行う方法とそれに用いる機構を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記開示された新規のＸ線顕微鏡における上記課題を解決するため、本発明の性能試験方法は、Ｘ線顕微鏡の電子イメージ拡大機構に対向する位置に電子銃を備え、電子銃と試料ホルダーの間に電界シールドを施した電子通路を形成して、電子銃から放出される電子ビームの走行軸を電子イメージ拡大機構の中心軸に合致するように調整し、試料ホルダーの中心軸位置を電子ビーム走行軸に合わせることを特徴とする。
【０００９】
さらに、上記方法により電子イメージ拡大機構のアライメントを取った後で、試料ホルダーの中心軸上に電子線Ｘ線変換膜を設置し定位置に試料スライドをセットして、電子銃から発射される電子ビームをＸ線に変換して試料スライドに照射し、試料スライドで発生する電子を引出して加速し、電子イメージ拡大機構に入射させて電子線検出素子で測定することにより、拡大倍率と解像度を計測することができる。
電子銃は、電子イメージ拡大機構としてはほぼ同じ構造を有する電子顕微鏡に用いられるものと同じ形式のものを利用することができるので、新たに設計製作する必要はない。
【００１０】
本発明の性能試験方法では、電子銃から放射される電子ビームを用いて電子イメージ拡大機構のアライメントを行うため、電子線検出素子に投影された電子ビームの強度分布を観察することにより、電子ビームの軸が電子イメージ拡大機構の電子線走行軸に一致するように位置調整することが簡単にできる。こうして確定した電子ビーム軌道に試料ホルダーの中心軸を合わせて試料スライドをセットすれば、測定対象試料を電磁レンズで構成されるイメージ拡大機構の光軸位置に配置することができる。
【００１１】
電子ビームの軸位置は、走行路中にビームセンサを挿入して確認することができる。
なお、試料室内には試料ホルダーをカソードとして利用するために外部の電源から高電圧を供給する電線が配置されるので、電子ビームに対する電場の影響を抑えるため、電子通路は導電体で囲んで電界シールドを施すことが好ましい。
【００１２】
本発明の性能試験方法では、さらに、試料ホルダーの試料スライドより上流位置に金膜などの電子線Ｘ線変換素子を配置し、電子銃からの電子ビームを照射してＸ線を発生させ、このＸ線を光電変換面に照射させて電子を発生させ、この電子を電子イメージ拡大機構で拡大して電子線検出素子で検出することにより、実際に使用する形態に近い状態で電子イメージ拡大機構の実物と像の関係を測定することができる。
【００１３】
試料スライドの中央位置に、大きさの決まった標準サンプルを固定して測定すれば、電子線検出素子で鮮明な像を得られるように位置調整することにより正しい実物位置を知ることができ、また、得られた像の大きさから拡大倍率を、像の鮮明さから解像度を評価することができる。
なお、電子イメージ拡大機構の倍率は大きいため、光軸から少しずれただけでも基準サンプルを見つけだして位置修正することが難しい。しかし、予め電子ビームを用いて確定した光軸位置にターゲットを配置するようにすれば、比較的容易にターゲット位置調整を行うことができる。
【００１４】
また、本発明の性能試験装置は、Ｘ線を照射して形成される陰影に対応して発生する電子像を拡大して観察するようにしたＸ線顕微鏡において、試料室の電子イメージ拡大機構に対向する背面に電子銃を備え、電子銃の電子ビーム通路を囲う保護管を備えることを特徴とする。保護管は、電界シールドを有し少なくとも一部が可撓性を持ち先端に電子イメージ拡大機構の前面に設置される試料ホルダーに係合して固定する係合具を有して、試料ホルダーに対して脱着可能になっている。
【００１５】
なお、保護管の一部はバネ部材あるいは蛇腹機構など可撓性を有する構造にすることが好ましい。電子通路の少なくとも一部を可撓性を持った筒体で形成すると、容易に試料ホルダーを電子ビーム軸の位置に調整することができる。
保護管の先端は、試料ホルダーの中心軸孔に嵌入して固定されたボスの外径に嵌合して固定されるようにする。
なお、このボスは中心軸に沿って電子が走行する孔が貫通していて、試料ホルダーに挿入する先端に、金膜を固定するジグを備えている。また、Ｘ線ターゲットを設置するときは試料ホルダーから引き抜くことができる。
【００１６】
性能試験時には保護管を試料ホルダーに装着して、電子銃から放出する電子ビームの走行軸を電子イメージ拡大機構の中心軸に合致するように調整して、試料ステージにより試料ホルダーの中心軸位置を電子ビーム走行軸に合わせることができる。
さらに、試料ホルダーの中心軸上に電子線Ｘ線変換膜を設置するジグを備えることが好ましい。性能試験時には、定位置に試料スライドをセットして、電子ビームを発生させ、電子線Ｘ線変換膜でＸ線に変換して試料スライドに照射し、発生した電子像を電子イメージ拡大機構で拡大して電子線検出素子で測定することにより、拡大倍率と解像度を評価することができる。
【００１７】
なお、電子銃の直ぐ下流位置に磁界レンズによるコンデンサレンズと偏向コイルを備えて、電流調整により、電子ビームを細化して質を向上させ走行軸を調整して電子イメージ拡大機構の光軸に一致させるようにすることが好ましい。
顕微鏡による観察には、試料ホルダーの入り口付近にＸ線ターゲットを配置し、このターゲットに装置外から案内されるレーザ光を照射してＸ線を発生させ、これを試料に照射して光電変換面上にＸ線の影を形成し、発生する電子像を観測する。このため、試料観測時には、電子銃で発生する電子ビームを覆う保護管を除去して、代わりにＸ線発生装置を配置する必要がある。
そこで、電子通路の保護管は、導電性材料からできた管をいくつか入れ子型に組立てて、不要時には試料室内で小さく畳んでおけるようにすることが好ましい。保護管が入れ子になっている場合は、不要なときには畳んだだけで簡単に、Ｘ線ターゲットなど必要な部品をセットすることができる。
【００１８】
なお、電子銃と試料室を区切る位置に電子通路を遮断すると共に電子銃側を真空に吸引することができるセパレートバルブを設置して、試料室を開放するときに遮蔽して電子銃の真空を維持し、試料室を真空にするときには電子銃と一緒にセパレートバルブの方からも電子通路の気体を排気できるようにすることが好ましい。
電子銃の内部は高真空に保持する必要があるため、一旦真空を破ると使用できる状態にするために極めて長い時間が掛かる。このため、通路を遮断して電子銃内の真空を維持できるようにすることは、立ち上げに必要な時間を節約して稼働率を向上させる利益がある。
また、電子通路となる保護管は細く長いため真空化するために時間が掛かるが、セパレートバルブの排気口に試料室の真空排気系を接続して保護管の根元から真空引きすることにより保護管内部を迅速に高真空化することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下実施例を用いて本発明を詳細に説明する。
本実施例のＸ線顕微鏡性能試験方法と装置は、光電変換面に試料を密着させて背後からＸ線を照射し、光電変換膜中に発生する電子を引き出し拡大して電子検出素子面に結像させて可視像として提示するようにしたＸ線顕微鏡装置に適用する。
図１は、本実施例のＸ線顕微鏡性能試験装置部分を示す断面図、図２は性能試験におけるアライメント方法を説明するブロック図、図３と図４は性能試験装置に使用する部品を説明する断面図である。
【００２０】
本発明の対象とするＸ線顕微鏡装置は、電子イメージ拡大機構１の前面に試料スライドの光電変換面から電子を引き出して加速する電界を形成する電子加速空間２を有する。
電子加速空間２は試料ホルダー３と試料ホルダーを囲うアノード電極４により形成され、試料ホルダー３を陰極として−１５〜−２０ｋＶの負電圧を印加し、陰極に対向するアノード４をアース極として電子加速空間２内に電界を形成する。
アノード４の裏側に近接して電磁コイル５のポールピース６，７を配置し、電子加速空間２内に対物レンズの磁界を形成する。図２にも示すように、対物レンズの下流にはさらに投射レンズが配置され、拡大された電子イメージは電子検出素子面に結像して可視化され、観察者に提供される。
【００２１】
試料は、試料ホルダー３のアノード４に対向する先端に取り付けられる。
Ｘ線顕微鏡は、試料交換をするための空間として試料室１０を備え、試料交換時には投射レンズ以降の空間を遮蔽して真空を維持した状態で、試料室１０の蓋１１を開け大気開放して試料ステージ８から試料ホルダー３を外し、観察済みの試料を取り外して新しい試料スライドを取り付けた試料ホルダー３を試料ステージ８に戻して蓋１１を閉め、試料室１０を真空に引いてからＸ線を照射して拡大画像を観察する。
【００２２】
本実施例の性能試験装置は、試料室１０の電子イメージ拡大機構１と対向する端面にセパレートバルブ３０を挟んで電子銃２０を取り付けたものである。
電子銃２０は、陰極２１とウェーネルト２２、陽極２３を備え、高真空下でウェーネルト２２に−２５ｋＶまでの負電圧を印加して陰極２１に発生する熱電子を加速しビームとして放射できるようになっている。
電子銃２０から放射された電子ビームは、セパレートバルブ３０の開口と電子通路を通って試料ホルダー３に入射する。
【００２３】
セパレートバルブ３０の直ぐ下流の位置にコンデンサレンズ２４が設けられ、さらに１対の軸調偏向コイル２５が設けられている。
コンデンサレンズ２４は、電子通路の周りを囲むように設けられた電磁コイル２６のヨークの一部を環状に切断してポールピースを介装した部分に形成され、電子通路内の電子ビームを細化しビームの質を向上させる。また、軸調偏向コイル２５は、電子ビームの走行方向を２次元的に調整するものである。
さらに、電子銃２０自体の位置は、筐体の外に軸が交わるように設けられている微動つまみ２７を操作することにより、軸に垂直な面内で調整することができる。
【００２４】
軸調偏向コイル２５の下流には、伸縮可能な入れ子型保護管４０が設けられていて、電子通路を保護する筒体を試料ホルダー３まで延伸できるようになっている。
入れ子型保護管４０は、図３に例示するように、複数の筒体が重なって互いに鈎部で係合して固定するようになっている。
たとえば、図３の断面図に示したものは、３個の導電性筒体からなる。一番太い第１筒体４１は先端に内側に曲がった鈎部を備える。第２筒体４２は第１筒体の内側に収納されるようになっていて、根元に第１筒体の鈎部に係合する外側に曲がった鈎部を備え、先端に内側に曲がった鈎部を備える。
【００２５】
また、第３筒体４３は弦巻バネで構成された可撓性筒体で、第２筒体の内側に収納されるようになっていて、根元と先端にバネを固定するピース４４．４５を備え、根元のピース４４に第２筒体先端の鈎部に係合する外側に曲がった鈎部を備え、先端のピース４５に試料ホルダー３に嵌入して固定されるマウスピース４６の先端に固定するチャック機構を備える。
マウスピース４６と試料ホルダー３の内壁の間には、案内ピース４７が介装されている。
【００２６】
なお、セパレートバルブ３０は、図４に概念図として表示したように、電子銃２０に開口する穴３１と下流の電子通路に開口する穴３２と真空配管に接続する排気口３３が設けられた筐体に弁体３４を組込んだ装置である。
弁体３４は駆動機３５に駆動される弁軸３６によって中心軸に向って往復動する。
弁体３４は側部にピンを備え、弁軸３６の先端に設けた枠体３７の側帯に斜めに設けられた長穴３８に嵌合するようになっている。
【００２７】
弁体３４が弁軸３６により中心軸方向に押出されて、ストッパーに当ると、その後はピンが長穴３８に案内されて中心軸に沿って移動し、試料室１０に繋がる開口３１を塞ぐことができる。弁体３４が開口３１の弁座に当接する部分にはＯリング３９が設けられていて、高い気密を維持することができる。
このように、セパレートバルブ３０は、簡単な機構を用いて駆動機３５で弁軸３６を往復動させるだけで電子通路を開閉し、閉鎖時には電子銃内空間を気密に封鎖することができる。
【００２８】
Ｘ線顕微鏡装置の性能試験中など電子銃を稼動させているときは、弁体３４は図中点線で示すように中心軸位置から後退して電子通路を開通させる。また、試料室１０を開放するときは、弁体３４を中心軸位置に押出して試料室側の開口３１を塞ぐことにより、電子銃内の真空が低下することを防ぐ。なお、Ｘ線顕微鏡を使用しているときは電子銃２０を使用しないが、電子銃内の真空が低下すると次に使用するときに真空にするための時間が無駄に必要となるので、セパレートバルブ３０を閉止して電子銃内の真空を維持しておくことが好ましい。
【００２９】
さらに、電子銃２０を使用しようとするときは、セパレートバルブ３０を閉めたまま真空引きして下流側の電子通路内を十分排気し、ほぼ同圧になってからセパレートバルブ３０を開放するようにする。電子通路は狭隘なので真空にするため時間がかかりがちであるが、セパレートバルブ３０から排気すると細管の根元から直接的に排気するため比較的短時間で効率よく真空化することができる。
【００３０】
本実施例の性能試験装置を用いてＸ線顕微鏡のアライメントを行うときは、図２に示すように、試料スライドを取り外した状態で、電子銃２０から発射される電子線を対物レンズや投射レンズで構成される電子イメージ拡大機構１に直接入射させるようにして、ビーム位置センサを用いて電子銃からの電子ビームを試料ホルダー３の孔を通って電子イメージ拡大機構１の軸に合わせる。
電子銃２０の軸合わせは、コンデンサレンズ２４や軸調偏向コイル２５、さらに微動つまみ２７により行うことができる。
【００３１】
電子イメージ拡大機構１のアライメントがよければ、画像観察部の光軸位置に最も強い電子分布が観察される。予定される位置に最強点が無いときは、各要素の光軸を修正して電子イメージ拡大機構全体の光軸調整を行う。
【００３２】
電子加速空間に強い電界を生成させる場合は、試料ホルダー３に−１５〜−２０ｋＶ程度の強い負電圧を印加するため、電源供給電線が配置される試料室１０の内には強い電界が形成され、電子線がこの電界に晒されると軌道が乱れることになる。
本実施例の性能試験装置では、電子銃２０から放射される電子の軌道に電界シールドをかけているため、電子ビームは直線を保持して正確に電子イメージ拡大機構に到達する。
【００３３】
次に、電子イメージ拡大機構の軸方向の調整を行いＸ線顕微鏡としての拡大倍率や解像度を評価するために、試料のセット位置を確定しなければならない。このため、Ｘ線顕微鏡は実地の測定時と同様に試料位置から電子線が発生するようにする必要がある。
そこで、本実施例の性能試験方法は、図５に示すように、軌道中に電子線Ｘ線変換素子を置き基準試料を試料ホルダーにセットして、電子銃２０から放出される電子線を電子線Ｘ線変換素子によりＸ線に変換して基準試料に照射し、発生する電子を加速し拡大して画像観察部に投射させて、Ｘ線顕微鏡の性能評価を行えるようにする。
【００３４】
本実施例の性能試験装置は、図６の要部断面図に示すように、試料ホルダー３の中心軸孔に案内ピース４７を挿入し、案内ピース４７にマウスピース４６を挿入して、このマウスピース４６の尻に入れ子型保護管の第３筒体４３の先端側バネ固定ピース４５を止めるようになっている。
さらに、このマウスピース４６の奥側の先端部に金膜などの電子線Ｘ線変換膜５０を装着することができるようになっている。
図７は、電子線Ｘ線変換膜５０の装着部分を拡大して示した図である。
マウスピース４６の先端部には凹みが形成されていて、電子線Ｘ線変換膜５０を挿入して、中央に穴の開いた栓４９で押さえられるようになっている。
【００３５】
なお、試料ホルダー３は試料ステージ８に脱着可能で、導電性物質で形成された挿入孔壁９を介して負電圧が供給されるとカソードとなる。
また、電子線Ｘ線変換膜５０はマウスピース４６と案内ピース４７を介して筐体アースに接続されていて電子銃２０の電位に対して高い電位に保持されるため、電子銃２０から発射される電子線が衝突しやすくＸ線発生効率が高い。なお、負電位に保持される試料ホルダー３に対して電気的接触をしないようにするため、案内ピース４７は絶縁性物質で構成されている。案内ピース４７の側面には軸方向に排気溝４８を設けて、試料ホルダー３内部の排気を促進するようにしてある。
【００３６】
性能試験を行うときは、試料ホルダー３先端に基準試料を載せた光電変換面６０をセットしてカソードを兼ねるキャップ６１で止め、さらに電子線Ｘ線変換素子５０をマウスピース４６の先端に配置し、カソード６１とアノード４の間に電圧を掛けて電子加速用電界を形成し、対物レンズと投射レンズで構成される電子イメージ拡大機構１を稼動させる。
【００３７】
その上で、電子銃２０を作動させると、電子ビームがＸ線に変換して、基準試料に照射し光電変換面６０から電子を放出させるので、放出された電子を電子加速空間２で加速して電子イメージ拡大機構１で拡大して画像観察部に投射する。主として試料６０の軸方向位置を調整して、画像観察部に鮮明な基準試料の画像が形成されるようにすると、電子加速空間２の作用を含めた電子イメージ拡大機構１の位置調整が完了する。適正な位置が定まったら、試料ホルダー３の全長を適合する値に決めて、試料ホルダー３の本体と先端部のネジ咬合を固定する止めナット６２を締め込んで固定することにより、目的の試料を実地に測定する時の再現性を確保することができる。
さらに、画像観察部で取得する画像のサイズを基準試料の大きさと比較することにより拡大倍率を正確に知ることができ、画像の鮮明さから解像度を評価することができる。
【００３８】
なお、本実施例では、電子銃から放射される電子ビームを入れ子型保護管で電界シールドしたが、単に脱着可能な保護管など別の形式のシールド方法を用いてもよい。
また、電子銃と試料室を仕切るセパレートバルブに真空配管を接続して狭隘な電子通路を効率よく排気できるようにしたが、このような工夫が無くても電子線を使って簡便に性能試験をすることができることはいうまでもない。
なお、試料ホルダーを電子加速空間に対して調整可能に固定するために筐体壁に固定された試料ステージを使用しているが、たとえば試料室内に３次元的に位置の調整をすることができるような移動機構を備えるなど、他の手段により位置調整するようにしてもよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明のＸ線顕微鏡性能試験方法および装置を用いれば、Ｘ線を照射して形成される電子像を観察するようにしたＸ線顕微鏡の製造現場および使用現場において、より簡便に電子イメージ拡大機構部分の調整および性能評価をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例のＸ線顕微鏡性能試験装置部分を示す断面図である。
【図２】本実施例の性能試験におけるアライメント方法を説明するブロック図である。
【図３】本実施例に使用する入れ子型保護管の断面図である。
【図４】本実施例に使用するセパレートバルブの断面図である。
【図５】本実施例の性能試験における性能評価方法を説明するブロック図である。
【図６】本実施例のＸ線顕微鏡性能試験装置の要部断面図である。
【図７】本実施例における電子線Ｘ線変換膜装着部分の拡大断面図である。
【図８】本発明を適用する新規なＸ線顕微鏡の構成を説明する概念図である。
【図９】本発明を適用する新規なＸ線顕微鏡の構造を説明する断面図である。
【符号の説明】
１  電子イメージ拡大機構
２  電子加速空間
３  試料ホルダー
４  アノード電極
５  電磁コイル
６，７  ポールピース
８  試料ステージ
９  導電性挿入孔壁
１０  試料室
１１  蓋
２０  電子銃
２１  陰極
２２  ウェーネルト
２３  陽極
２４  コンデンサレンズ
２５  軸調偏向コイル
２６  電磁コイル
２７  微動つまみ
３０  セパレートバルブ
３１  電子銃側開口
３２  電子通路側開口
３３  排気口
３４  弁体
３５  駆動機
３６  弁軸
３７  枠体
３８  長穴
３９  Ｏリング
４０  入れ子型保護管
４１  第１筒体
４２  第２筒体
４３  第３筒体
４４，４５  バネ固定用ピース
４６  マウスピース
４７  案内ピース
４８  排気溝
４９  栓
５０  電子線Ｘ線変換膜
６０  光電変換面
６１  キャップ
【図１】
0003799496.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0003799496.tif 000007
【図７】
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【図８】
0003799496.tif 000009
【図９】
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