(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク板載置台の基盤上に、各々の載置面がそれぞれ異なった大きさのマスク板の周辺部の少なくとも一部を支持することによりマスク板を載置出来るように各載置面間に内向きの複数の段差を設けた段差体を設け、且つ、最も上の載置面と最も下の載置面の間に亘りマスク板の厚さが検出可能な光学的センサーを設けたマスク板載置台。
【請求項２】
前記段差体は、互いに離れた４つの部分に分かれており、２つずつ互いに段差面が向き合っている請求項１記載のマスク板載置台。
【請求項３】
前記光学的センサーは、載置面に垂直な方向にライン状に発光するの発光体とライン状の光を受光出来る受光体とを備えた請求項１乃至２記載のマスク板載置台。
【請求項４】
前記発光体と受光体がマスク板を挟んで相対する様に配置されている請求項３記載のマスク板載置台。
【請求項５】
該発光体から発せられ、マスク板の側面で反射した光が受光体で受光出来るように、発光体と受光体が配置されている請求項３記載のマスク板載置台。
【請求項６】
前記発光体と受光体は、段差面が向き合っている方向に沿って相対する様に配置されている請求項３記載のマスク板載置台
【請求項７】
前記発光体と受光体は基盤に取り付けられている請求項３〜６の何れかに記載のマスク板載置台。
【請求項８】
マスク板載置台の基盤上に、各々の載置面がそれぞれ異なった大きさのマスク板の周辺部の少なくとも一部を支持することによりマスク板を載置出来るように各載置面間に内向きの複数の段差を設けた段差体を設け、且つ、最も上の載置面と最も下の載置面の間に亘りマスク板の厚さが検出可能な光学的センサーが設けられており、該光学的センサーは、載置面に垂直な方向にライン状に発光する発光体とライン状の光を受光出来る受光体を備えたマスク板載置台と、前記各載置面を厚さに対して大きさが決まっている各種マスク板各々の専用載置面とし、各載置面に所定種類のマスク板が所定の状態で置かれた時に、マスク板の厚さを感知する受光体の受光域に対応するデータが記憶されており、実際に載置されたマスク板の厚さを感知した受光体の受光域に対応するが前記記憶した受光体の受光域に対応するデータに無い場合、実際に載置されたマスク板は問題あるマスク板と判断するように成した制御装置とを備えたマスク板判別装置。
【請求項９】
予め、各種マスク板の厚さを感知する受光体の受光域に対応するデータと対応させてマスク板の種類を特定するデータがテーブル化して記憶されており、実際に載置されたマスク板の厚さを感知した受光体の受光域に対応するデータを前記テーブルのデータに照らし合わせ、対応するマスク板の種類を特定するようにした請求項８記載のマスク板判別装置。
【請求項１０】
マスク板の大きさでマスク板を特定するようにした請求項９記載のマスク板判別装置。
【請求項１１】
前記発光体と受光体が基盤に取り付けられている請求項８記載のマスク板判別装置。
【請求項１２】
前記発光体と受光体がマスク板を挟んで相対する様に配置されている請求項８記載のマスク板判別装置。
【請求項１３】
該発光体から発せられ、マスク板の側面で反射した光が受光体で受光出来るように、発光体と受光体が配置されている請求項８記載のマスク板判別装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は、載置したマスク板の厚さが検出可能なマスク板載置台及びその様なマスク板載置台を備えたマスク板判別装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造においては、ガラス等の基板上にレジストを塗布したマスク板上に電子ビーム等のエネルギービームによりパターンを描き（マスク描画と称す）、その後、エッチング等の処理を行ってマスク原板を作製し、該マスク原板を転写装置にセットし、光等のエネルギービームによりシリコンウエハ等の半導体基板上にＩＣパターンを作成している。
【０００３】
図１はマスク描画用電子ビーム描画装置の１概略例を示したものである。
【０００４】
図中１はマスク板が多数貯蔵されたマスク板貯蔵庫で、昇降機構２により昇降可能に成っている。
【０００５】
３は該マスク板貯蔵庫１に貯蔵されたマスク板をアーム４に載せ、マスク板載置台５にセットするマスク板搬送機構である。該マスク板搬送機構は、アーム４の動きを駆動するアーム駆動機構６と、アーム４の昇降・回転を駆動する昇降・回転機構７から成る。
【０００６】
前記マスク板載置台５は、マスク板の厚さ等を検出するものである。
【０００７】
８は該マスク板載置台に載置されたマスク板をアーム９に載せ、予備室１０内に設置されたアライメントテーブル１１にセットするマスク板搬送機構である。該マスク板搬送機構は、アーム９の動きを駆動するアーム駆動機構１２と、アーム９の昇降・回転を駆動する昇降・回転機構１３から成る。
【０００８】
前記アライメントテーブル１１はマスク板の位置合わせを行うもので、その為に、アライメント機構１４が備えられている。
【０００９】
このアライメントテーブル１１でアライメントされたマスク板は、予備室１０内に設けられた前記マスク板搬送機構３，８と同じ様な構成のマスク板搬送機構（図示せず）により、描画室１５内の設けられたステージ１６上にセットされる。
【００１０】
該ステージ１６上には、電子銃，集束レンズ，偏向器等が備えられた電子光学系鏡筒２３が設けられており、電子銃から発生された電子ビームをステージ上にセットされたマスク板上に集束し、描くべきパターンデータに基づいて該集束された電子ビームでマスク板上の任意の領域を走査したり出来るようになっている。
【００１１】
尚、図中１７，１８はゲート弁、１９，２０は排気弁、２１，２２は真空ポンプである。
【００１２】
この様な装置においては、マスク板貯蔵庫１のマスク板をアーム駆動機構６のアーム４に載せ、マスク板載置台５の上にセットする。マスク板載置台５では、セットされたマスク板の厚さを検出する。
【００１３】
該マスク板はアーム駆動機構８のアーム９に載せられ、リークされ、ゲート弁１７が開けられた予備室１０内のアライメントテーブル１１上にセットされる。この時、ゲート弁１８は閉じている。
【００１４】
アーム駆動機構８のアーム９が予備室１０から予備室外の元の位置に戻った後、ゲート弁１７は閉められ、予備排気室内は真空ポンプ２１により高真空に排気される。そして、アライメントテーブル１１上にセットされたマスク板はアライメント機構１４によりアライメントされる。
【００１５】
その後、ゲート弁１８が開き、該アライメントされたマスク板は、予備室内に設けられているアーム駆動機構（図示せず）のアーム（図示せず）により描画室１５のステージ１６上に載せられる。
【００１６】
そして、ゲート弁１８が閉じられ、ステージ上に載置されたマスク板上の所定の箇所に電子ビーム照射によりパターンが描かれる。
【００１７】
さて、前記マスク板載置台５ではマスク板の厚さが検出され、更に、この厚さに基づいてマスク板の大きさがコンピューター（図示せず）により求められ、マスク板載置台５に載置されたマスク板の大きさがモニター（図示せず）に表示されるようになっている。このマスク板載置台５でのマスク板の厚さの検出は次のアライメントの工程に対し重要な工程となる。
【００１８】
即ち、アライメントテーブル１１にマスク板が載せられる時、そのマスク板の大きさに基づいたマスク板支持の為の調整が行われる。従って、マスク板をアライメントテーブル１１に載せる前に実際に送られて来るマスク板の大きさを知る必要がある。
【００１９】
又、マスク板載置台５にマスク板が傾いて載置された場合や装置の仕様に合わない大きさのマスク板が載置された場合には、アライメント操作に支障をきたすので、マスク板をアライメントテーブル１１に載せる前に実際に送られて来るマスク板の厚さ知る必要がある。
【００２０】
この様なマスク板載置台は次の様な構成になっている。
【００２１】
図２はマスク板載置台の概略を示したもので、斜めから見た図である。図３はこの様なマスク板載置台を備えたマスク板判別装置の概略を示したもので、マスク板載置台については、図２に示すマスク板載置台のＡ−Ａ断面を示している。図中２５はベースで、この上の４つ角に四角柱状の支持柱２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄが立てられている。
【００２２】
これらの支持柱２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄの上部は、一段の段差を有する構造になっており、２６ａと２６ｂの各々の段差面、２６ｃと２６ｄの各々の段差面がそれぞれ向かい合っている。又、これらの支持柱は、前記向かい合っている支持柱を結ぶラインに沿って移動可能に成されている。尚、各支持柱の下段の上面がマスク板の支持面を成している。
【００２３】
支持柱２６ａと２６ｃの間には、ベース２５に垂直な方向に多数の発光素子がライン状に配列された発光体２７が設けられ、支持柱２６ｂと２６ｄの間には、ベース２５に垂直な方向に多数の受光素子が前記多数の発光素子と相対するようにライン状に配列された受光体２８が設けられている。
【００２４】
この様な構造のマスク板載置台において、マスク板を載せたマスク板搬送機構３のアーム４は、アーム駆動機構６により前記支持柱２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄの中心の真上に移動する。次に、昇降回転機構７により下方へ移動することにより、マスク板Ｍ０は各支持柱の支持面（下段の上面）に載る。この後、オペレーターは肉眼にて、マスク板Ｍ０の各エッジと各支持柱２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄの支持面の段差面（背もたれ面）との隙間をチェックし、該隙間が殆ど無くなるように、各支持柱２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを移動させ、マスク板Ｍ０の支持の不安定さを無くする。
【００２５】
この様に安定した支持状態において、図４に示す様に、受光体２８の各受光素子が検出していた発光体２７の各発光素子からの光の一部が、受光体２８と発光体２７の間に入ったマスク板Ｍ０により遮断される。この遮断により、受光しなくなった受光素子の数に対応した長さ（例えば、Ｌｂ）がマスク板Ｍ０の厚さに対応する。
【００２６】
受光体２８からの信号（長さＬｂに対応した信号）はコンピューター２９に送られる。
【００２７】
該コンピューターは受光体２８からの信号（不受光受光素子の長さＬｂに対応した信号）からマスク板Ｍ０の厚さ（例えば、ｔｂ）に対応した信号を算出しする。該コンピューターには、マスク板の厚さに対応するデータと、該厚さに対応するデータに対応するマスク板の大きさに対応するデータとがテーブル化（例．図５）されており、コンピューターはこのテーブルのデータに照らし合わせて、マスク板載置台５に実際に載置されたマスク板Ｍ０の大きさ（例えば、Ｓｂ×Ｓｂ）をモニター３０に表示させる。
【００２８】
この時、アライメントテーブル１１においては、このマスク板の大きさに基づいたマスク板支持の為の調整が行われる。
【００２９】
そして、このマスク板は、前記した様に、アライメントテーブル１１へ載せられ、ここで位置合わせされる。
【００３０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、次の様な問題がある。
【００３１】
何らかの原因で、マスク板Ｍｏがマスク板載置台に、例えば、図６の（ａ）に示す様に傾いて載せられた場合、受光しない受光素子の数に対応した長さがＬｂ′となり、マスク板の実際の厚さ（例えば、ｔｂ）に対応した長さＬらとはならない。この様な場合、コンピューター２９はテーブル化した厚さデータに長さＬｂ′に対応するデータが無いので、モニター３０に、送られて来たマスク板は異常であることを表示させる。オペレーターはこの表示により、このマスク板がマスク板駆動機構８のアーム９によりアライメントテーブル１１上へ送られないように、一時、マスク板駆動機構８の動作を停止させる。
【００３２】
しかし、コンピューターが算出した厚さ、即ち、不受光受光素子の数に対応した長さＬｂ′に対応した厚さが、コンピューター２９にテーブル化されている厚さデータのどれか（ｔａかｔｃ）に一致した場合、マスク板の実際の大きさ（Ｓｂ×Ｓｂ）とは異なった大きさが認識されてしまい、アライメントテーブル１１においては、認識されたマスク板の大きさに基づいたマスク板支持の為の調整が行われるので、該アライメントテーブル１１でのアライメント操作に支障をきたすことになる。
【００３３】
又、マスク板載置台５に載せられたマスク板が、コンピューター２９にテーブル化されている厚さデータの一つに一致する厚さであっても、実際の大きさが装置の仕様に合わない大きさのものであった場合も、同様に、アライメントテーブル１１でのアライメント操作に支障をきたすことになる。
【００３４】
本発明は、この様な問題点を解決する為になされたもので、新規なマスク板支持台及びマスク板判別装置を提供することを目的とする。
【００３５】
【課題を解決するための手段】
本発明に基づくマスク板支持台は、マスク板載置台の基盤上に、各々の載置面がそれぞれ異なった大きさのマスク板の周辺部の少なくとも一部を支持することによりマスク板を載置出来るように各載置面間に内向きの複数の段差を設けた段差体を設け、且つ、最も上の載置面と最も下の載置面の間に亘りマスク板の厚さが検出可能な光学的センサーを設けたことを特徴とする。
本発明に基づくマスク板判別装置は、マスク板載置台の基盤上に、各々の載置面がそれぞれ異なった大きさのマスク板の周辺部の少なくとも一部を支持することによりマスク板を載置出来るように各載置面間に内向きの複数の段差を設けた段差体を設け、且つ、最も上の載置面と最も下の載置面の間に亘りマスク板の厚さが検出可能な光学的センサーが設けられており、該光学的センサーは、載置面に垂直な方向にライン状に発光する発光体とライン状の光を受光出来る受光体を備えたマスク板載置台と、前記各載置面を厚さに対して大きさが決まっている各種マスク板各々の専用載置面とし、各載置面に所定種類のマスク板が所定の状態で置かれた時に、マスク板の厚さを感知する受光体の受光域に対応するデータが記憶されており、実際に載置されたマスク板の厚さを感知した受光体の受光域に対応するが前記記憶した受光体の受光域に対応するデータに無い場合、実際に載置されたマスク板は問題あるマスク板と判断するように成した制御装置とを備えたことを特徴とする。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の態様の形態を詳細に説明する。
【００３７】
図７は本発明の一例として示したマスク板載置台の概略を示したもので、斜めから見た図である。図８はこの様なマスク板載置台を備えたマスク板判別装置の概略を示したもので、マスク板載置台については、図７に示すマスク板載置台のＢ−Ｂ断面を示している。
図中３５はベースで、この上の４つ角に四角柱状の支持柱３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄが立てられている。
【００３８】
これらの支持柱３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄの上部は、複数段の段差（この例では三段の段差）を持つ構造になっており、３６ａと３６ｂの各々の段差面側、３６ｃと３６ｄの各々の段差面側がそれぞれ向かい合っている。尚、各支持柱の各段の上面、即ち、各支持柱の上から１段目の上面（３６ａ１，３６ｂ１，３６ｃ１，３６ｄ１）、２段目の上面（３６ａ２，３６ｂ２，３６ｃ２，３６ｄ２）、３段目の上面（３６ａ３，３６ｂ３，３６ｃ３，３６ｄ３）がそれぞれ各種専用のマスク板（装置の仕様に合う所定の厚さと大きさが組になったマスク板）の支持面を成している。
【００３９】
支持柱３６ａと３６ｃの間には、ベース３５に垂直な方向に多数の発光素子がライン状に配列された発光体３７が設けられ、支持柱３６ｂと３６ｄの間には、ベース３５に垂直な方向に多数の受光素子が前記多数の発光素子と相対するようにライン状に配列された受光体３８が設けられている。
【００４０】
尚、発光体３７と受光体３８はベース３５に取り付けても良いし、ベース３５から独立させて設けてもよい。
【００４１】
前記受光体３８はからの信号はコンピューター３９に送られる。該コンピューターは受光体３８からの信号に基づいて、マスク板載置台に載ったマスク板の大きさの認識、或いは、載ったマスク板が異常なマスク板（傾いて載っているマスク板、或いは装置の仕様にない大きさのマスク板）かどうかの判別を行い、認識値若しくは判別内容をモニター４０に表示させる。
【００４２】
この様なマスク板の大きさの認識若しくは異常マスク板か否かの判別は、予めコンピューターに記憶されているテーブルの参照に基づいて行われる。
【００４３】
図９はそのテーブル化された内容の一例を示したもので、三種類の不受光受光素子範囲と、各範囲に対応するマスク板の大きさが対応付けられている。即ち、厚さＴａで大きさＳａ×Ｓａのマスク板Ｍａが専用載置面（上から１段目の載置面３６ａ１，３６ｂ１，３６ｃ１，３６ｄ１）に載せられた時に、受光素子のＨｍ１〜Ｈｍ２が受光しない、厚さＴｂで大きさＳｂ×Ｓｂのマスク板Ｍｂが専用載置面（上から２段目の載置面３６ａ２，３６ｂ２，３６ｃ２，３６ｄ２）に載せられた時に、受光素子のＨｎ１〜Ｈｎ２が受光しない、厚さＴｃで大きさＳｃ×Ｓｃのマスク板Ｍｃが専用載置面（上から３段目の載置面３６ａ３，３６ｂ３，３６ｃ３，３６ｄ３）に載せられた時に、受光素子のＨｏ１〜Ｈｏ２が受光しないことを、予め実験等で確かめ、これらのデータを元にして、図９に示す様にテーブルを作成し、コンピューター３９に記憶させる。尚、Ｈｍ１〜Ｈｍ２の不受光素子範囲（長さ）が厚さＴａに、Ｈｎ１〜Ｈｎ２の不受光素子範囲（長さ）が厚さＴｂに、Ｈｏ１〜Ｈｏ２の不受光素子範囲（長さ）が厚さＴｃにそれぞれ対応している。
【００４４】
尚、発光体３７と受光体３８はベース３５に取り付けても良いし、独立させて設けてもよい。
【００４５】
この様な構造のマスク板載置台を図１に示す様なマスク描画用電子ビーム描画装置に使用した場合、マスク板を載せたマスク板搬送機構３のアーム４は、アーム駆動機構６により前記支持柱３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄの中心の真上に移動する。
【００４６】
次に、昇降回転機構７により下方へ移動することにより、マスク板ＭＱは各支持柱の何れかの載置面に載る。
【００４７】
尚、アーム４のマスク板載置面には、載せるマスク板の大きさに応じた載置箇所があり、通常、マスク板貯蔵庫１からマスク板を載せる時に、載せるマスク板の大きさに応じた載置箇所にマスク板が載せられるようになっている。又、アーム４をそのまま下降させれば、そのマスク板の大きさに応じた専用の載置面にマスク板が載るように、アーム４は、アーム駆動機構６により前記支持柱３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄの中心の真上に移動させられる様に成っている。
【００４８】
例えば、この時、アーム４に載せられているマスク板ＭＱが厚さｔｂで大きさがＳｂ×Ｓｂであったったとすると、アーム４が下降すると、図８に示す様に、Ｍｂの専用載置面（上から２段目の載置面３６ａ２，３６ｂ２，３６ｃ２，３６ｄ２）に載せられことに成る。
【００４９】
この状態においては、図１０に示す様に、受光体３８の各受光素子が検出していた発光体３７の各発光素子からの光の一部が、受光体３８と発光体３７の間に入ったマスク板ＭＱにより遮断される。この遮断により、受光素子Ｈｎ１〜Ｈｎ２が受光しなくなり、コンピューター３９は、受光体３８からの信号によりマスク板ＭＱの厚さがＴｂであることを算出する。同時に、テーブルを参照し、不受光受光素子がＨｎ１〜Ｈｎ２であることから、載置したマスク板ＭＱは厚さＴｂで大きさがＳｂ×Ｓｂのマスク板と判断し、モニター４０にマスク板の大きさ（種類Ｍｂでも良い）を表示させると共に、アライメントテーブル調整機構（図示せず）とアライメント機構１４にマスク板の大きさデータを送る。
【００５０】
従って、アライメントテーブル１１においては、このマスク板に基づいたマスク板支持のための調整等が行われる。そして、このマスク板は、前記した様に、アライメントテーブル１１へ載せられ、位置合わせされる。
【００５１】
一方、前記アーム４が下降した時に、何らかの理由で、該アームに載置されていたマスク板ＭＱがマスク板載置台に、Ｍｂの専用載置面（上から２段目の載置面３６ａ２，３６ｂ２，３６ｃ２，３６ｄ２）に正確に載らず、例えば、図１１の（ａ）に示す様に、一方の片側が２段目の載置面３６ｂ２，３６ｄ２に載り、他の片側が上から１段目の載置面３６ａ１，３６ｃ１に載ってしまった場合（即ち、傾いて載せられた場合）、不受光受光素子が図１１の（ｂ）に示す様に、Ｈｎ２〜Ｈｎ３とになったとする。
【００５２】
該受光体３８からの信号（不受光受光素子がＨｎ２〜Ｈｎ３であるを示す信号）を受けたコンピューター３９は、テーブル内を参照し、Ｈｎ２〜Ｈｎ３が不受光受光素子範囲に無いことを確認する。
【００５３】
この結果、コンピューター３９はマスク板載置台に載せられたマスク板ＭＱは、異常なマスク板と判定し、モニター４０に異常なマスク板である旨表示させると共に、マスク板搬送機構８に一時停止信号を送る。
【００５４】
尚、この時、不受光受光素子Ｈｎ２〜Ｈｎ３から算出したマスク板の厚さがＴａかＴＣの何れかに一致したとしても、コンピューター３９は不受光受光素子範囲で見ているので、即ち、検出した不受光受光素子範囲がテーブルのデータにあるか否かを判断しているので、マスク板が傾いて載せられた場合には、必ずマスク板搬送機構８が一時停止する。
【００５５】
又、マスク板載置台の何れかの載置面に傾くことなくマスク板が載せられた場合であっても、厚さと大きさの組み合わせが規定のものでなければ、異常なマスク板として判断される。
【００５６】
何故ならば、マスク板の大きさがテーブル中にあるデータ（例えば、Ｓａ×Ｓａ）であっても、厚さがその大きさと組になっているデータ（Ｔａ）でなければ、そのマスクは一段目の載置面に載せられ、不受光受光素子範囲がＨｍ１〜Ｈｍ２  にならない。
【００５７】
又、マスク板の厚さがテーブル中にあるデータ（例えば、ＴＣ）であっても、大きさがその厚さと組になっているデータ（Ｓｃ×Ｓｃ）でなければ、三段目の載置面に載せられず、不受光受光素子範囲がＨｏ１〜Ｈｏ２とならない。
【００５８】
尚、発光体３７はライン状に多数並べられた発光素子から成したが、１本のライン状の発光素子から成しても良い。
【００５９】
又、発光体３７と受光体３８をマクス板を挟んで相対するように配置させたが、マスク板に対して発光体３７と受光体３８を同じ側に置き、発光体３７から発した光の内、マスク板の側面で反射した光を受光体で受光し、受光した受光素子数に基づいてマスク板の厚さを検出するように成しても良い。
【００６０】
尚、前記例では、電子ビーム描画装置で使用されるマスク板載置台について説明したが、イオンビーム描画装置若しくはレーザー描画装置等で使用されるマスク板載置台、或いは、大型試料を観察若しくは検査するような走査型電子顕微鏡等に使用されるマスク板載置台等についても本発明は応用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  マスク描画用電子ビーム描画装置の１概略例を示している。
【図２】  マスク板載置台の概略を示している。
【図３】  図２のＡ−Ａ′断面図である。
【図４】  マスク板の厚さを検出する説明に使用した図である。
【図５】  コンピューターに記憶されたテーブルの内容の一例を示す。
【図６】  マスク載置台にマスク板が傾斜して載置された様子を示す。
【図７】  本発明の一例として示したマスク板載置台の概略を示したもので、斜めから見た図である。
【図８】  図７に示す様なマスク板載置台を備えたマスク板判別装置の概略を示したものである。
【図９】  本発明のマスク板判別装置の一部を成すコンピューターに記憶されたテーブルの内容の一例を示す。。
【図１０】  本発明のマクス載置台の各専用載置面に専用のマクス板が載置された場合の不受光受光素子の範囲を示したものである。
【図１１】  本発明のマスク載置台にマスク板が傾斜して載置された様子を示す。
【番号の説明】
１…マクス板貯蔵庫
２…昇降機構
３…描画室
４…アーム
５…マスク板載置台
６…アーム駆動機構
７…昇降・回転機構
８…マスク板搬送機構
９…アーム
１０…予備室
１１…アライメントテーブル
１２…アーム駆動機構
１３…昇降・回転機構
１４…フライ麺と機構
１５…描画室
１６…ステージ
１７，１８…ゲート弁
１９，２０…排気弁
２１，２２…真空ポンプ
２３…電子光学系鏡筒
２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ…支持柱
２７…発光体
２８…受光体
２９…コンピユーター
３０…モニター
ＭＯ，ＭＱ…マスク板
３６ａ，３６ｂ，３６ｃ，３６ｄ…支持柱
３６ａ１，３６ｂ１，３６ｃ１，３６ｄ１…第１載置面
３６ａ２，３６ｂ２，３６ｃ２，３６ｄ２…第２載置面
３６ａ３，３６ｂ３，３６ｃ３，３６ｄ３…第３載置面
３７…発光体
３８…受光体
３９…コンピユーター
４０…モニター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003808362.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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