(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を透過可能な素材からなる磁気記録媒体と、
前記光を乱反射可能乃至反射率が周囲と異なる第一のマーカと、前記第一のマーカ位置まで光が粗動するのを補助する第二のマーカを、前記磁気記録媒体の記録面に対向して配置可能なスライダ面上に有する磁気ヘッドと、
前記第二のマーカは、光が移動する基準となる一方向に直線状かつ延長上に前記第一のマーカが配置されるように設けられる第一線状部と、
前記一方向と直交する方向に、秩序のある間隔にしたがって複数設けられてなる第二線状部とからなり、
前記磁気記録媒体を挟んで磁気ヘッドとは反対側から前記光を照射可能な光ピックアップとを具備し、
前記第一のマーカの乱反射乃至異なる反射率によって、前記光と前記磁気ヘッドとを位置合わせする光アシスト磁気記録装置。
【請求項２】
前記複数設けられてなる第二線状部が等間隔で設けられてなる請求項１記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項３】
前記複数設けられてなる第二線状部が前記第一のマーカに近づくにつれて、互いの間隔が一定の割合で漸次短くなっている請求項１記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項４】
前記第一線状部，前記第二線状部のいずれかが点線で構成される請求項１乃至請求項３記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項５】
前記第二のマーカは、光が移動する基準となる一方向に直線状かつ延長上に前記第一のマーカが配置されるように設けられる第一線状部からなる請求項１記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項６】
前記第一線状部が点線で構成される請求項５記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項７】
前記第二線状部は秩序を有して漸増乃至漸減する周期をもつジグザグからなる請求項１乃至請求項４記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項８】
前記周期が一定であることを特徴とする請求項６記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項９】
前記第一線状部をなす点線の実線部の長さは前記第一のマーカから離れるにしたがって一定の割合で拡がる請求項６記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項１０】
前記第一線状部は、前記第一のマーカから離れるにしたがって一定の割合で幅が拡がる前記請求項５、６、８，９いずれかに記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項１１】
前記第一のマーカ，前記第二のマーカの少なくとも一方は、Ａｌ（アルミニウム），Ａｇ（銀），Ｐｔ（白金）のうちいずれか少なくとも一つの元素を含んでなり、反射率を周囲に較べて高くした請求項１乃至請求項１０記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項１２】
前記第一のマーカ，前記第二のマーカの少なくとも一方は、
前記スライダ面に設けられた凹或いは凸からなる請求項１乃至１０記載の光アシスト磁気記録装置。
【請求項１３】
磁気記録媒体に接近して磁気記録情報を読取・書込する磁気ヘッド上に設けられて位置合わせ照準となるマーカーに対し、光ピックアップから照射する光を位置合わせするにあたり、前記光の反射が特異的になるように設けられた粗動用マーカーにより前記位置合わせを誘導するように構成され、
前記粗動用マーカーは直線状の複数のマーカーから構成され、その延長上に前記位置合わせ照準となるマーカーが設けられてなる背骨部と、
該背骨部と直行して複数の直線状部が並列に構成される肋骨部とからなる
光アシスト磁気記録装置の読取・書込ヘッドの駆動方法。
【請求項１４】
前記スライダ面に光が照射した後、先ず前記肋骨部と交差する方向に走査して前記肋骨部の位置を探知する工程と、次いで、前記肋骨部に平行な方向に走査して前記背骨部の位置を探知する工程とを有して行う請求項１３記載の光アシスト磁気記録装置の読取・書込ヘッドの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パーソナルコンピュータ、ワークステーション等の情報通信分野において幅広く記憶装置の主流となっている磁気記録装置に関する。さらに詳しくは、いっそう大容量の磁気記録装置を現在の大きさで実現可能にする光アシスト磁気記録装置技術に関する。
【０００２】
近年、情報通信の急速な発達によって、磁気記録装置の大容量化、小型化が高く求められており、狭い磁気記録媒体面に記録密度をいっそう高め、なおかつそのような超高記録密度の記録情報を正確に読み出す技術の確立が随時求められている。このような背景から登場した光アシスト磁気記録装置は、従来の磁気ディスク装置の大容量化のネックとなっていた磁気ヘッドの記録能力に応じた媒体の保磁力限界を記録時の集光加熱により改善しようとしたものである。すなわち、磁気記録時に、媒体記録面を加熱することで磁気記録媒体の保磁力を低減させて記録を容易にし、なおかつデータストレージ時には高い保磁力で記録を保持できるものである。本発明は、このような磁気ヘッドと光ピックアップとが互いに磁気ディスクを挟んで対向配置される光アシスト磁気記録装置において、微細化したヘッドとピックアップとの正確な位置合わせを可能にする技術に関する。
【０００３】
【従来の技術】
光アシスト磁気記録装置は、例えば、図１に示すように、磁気記録媒体となる磁気ディスク基板の表面に対して磁気ヘッドのスライダ面が近接し、それによって磁気ヘッドに設けられた磁気センサが磁気ディスク基板表面の磁化情報を読み取る構成に加え、同じ磁気ヘッドを支持するために設けられた支持ばねに沿って光ファイバが設けられて磁気ヘッドに向けて光が届いて、磁気ディスク基板に対して光が照射され、それによって基板表面の加熱を局所的に行うことができる構成が提案されている。
【０００４】
ところが、このような技術は、磁気記録密度がそれほど高まっていない場合には使用することができても、磁気記録密度が高くなってくると使用することは不可能となる。すなわち、従来の場合であれば、磁気ヘッドそのものの端に光ファイバが寄り添って設けられるとしても、磁気ヘッドのスライダ面における磁気センサと光スポットの位置のずれ量よりも一つの磁気記録情報が磁気記録面内に占める面積、所謂トラックピッチは相対的に大きいため問題にはならない。しかし、微細化してトラックピッチが磁気センサと光スポットの位置ずれ量よりも小さくなってくると、磁気記録部位自体を狙って光で加熱しなければならないわけなので、この方法では光アシストの意味をなさなくなってしまう。
【０００５】
そこで、別の方法として、記録媒体自体を透明素材によって構成して、光スポットの照射を磁気ヘッドとは反対側から行うことも考えられるが、磁気ヘッドのスライダ面に有って半導体デバイス並といわれるほどまで微細化した磁気センサに対して光スポットを効率的に位置合わせするのは決して容易なことではない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、高密度記録の需要を背景に、光スポットはサブミクロンオーダーにも達するほど微細化しており、磁気ヘッドのスライダ面に設けられた磁気センサも同様に微細化している。読み取りにしたがって、これらが相対的に位置ずれしたのでは記録エラーは免れず、遅れなく正確に磁気センサと光スポットとを位置合わせする技術の確立が課題として見いだされた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような課題に対して、本発明では、例えば以下の構成を手段とする。
（１）光を透過可能な素材からなる磁気記録媒体と、前記光を乱反射可能乃至反射率が周囲と異なる第一のマーカと、前記第一のマーカ位置まで光が粗動するのを補助する第二のマーカを、前記磁気記録媒体の記録面に対向して配置可能なスライダ面上に有する磁気ヘッドと、前記第二のマーカは、光が移動する基準となる一方向に直線状かつ延長上に前記第一のマーカが配置されるように設けられる第一線状部と、前記一方向と直交する方向に、秩序のある間隔にしたがって複数設けられてなる第二線状部とからなり、前記磁気記録媒体を挟んで磁気ヘッドとは反対側から前記光を照射可能な光ピックアップとを具備し、前記第一のマーカの乱反射乃至異なる反射率によって、前記光と前記磁気ヘッドとを位置合わせする光アシスト磁気記録装置。
（２）前記複数設けられてなる第二線状部が等間隔で設けられてなる前記（１）記載の光アシスト磁気記録装置。
（３）前記複数設けられてなる第二線状部が前記第一のマーカに近づくにつれて、互いの間隔が一定の割合で漸次短くなっている前記（１）記載の光アシスト磁気記録装置。
（４）前記第一線状部，前記第二線状部のいずれかが点線で構成される前記（１）乃至（３）記載の光アシスト磁気記録装置。
（５）前記第二のマーカは、光が移動する基準となる一方向に直線状かつ延長上に前記第一のマーカが配置されるように設けられる第一線状部からなる前記（１）記載の光アシスト磁気記録装置。
（６）前記第一線状部が点線で構成される前記（５）記載の光アシスト磁気記録装置。
（７）前記第二線状部は秩序を有して漸増乃至漸減する周期をもつジグザグからなる前記（１）乃至（４）記載の光アシスト磁気記録装置。
（８）前記周期が一定であることを特徴とする前記（６）記載の光アシスト磁気記録装置。
（９）前記第一線状部をなす点線の実線部の長さは前記第一のマーカから離れるにしたがって一定の割合で拡がる前記（６）記載の光アシスト磁気記録装置。
（１０）前記第一線状部は、前記第一のマーカから離れるにしたがって一定の割合で幅が拡がる前記（５）、（６）、（８），（９）いずれかに記載の光アシスト磁気記録装置。
（１１）前記第一のマーカ，前記第二のマーカの少なくとも一方は、Ａｌ（アルミニウム），Ａｇ（銀），Ｐｔ（白金）のうちいずれか少なくとも一つの元素を含んでなり、反射率を周囲に較べて高くした前記（１）乃至（１０）記載の光アシスト磁気記録装置。
（１２）前記第一のマーカ，前記第二のマーカの少なくとも一方は、前記スライダ面に設けられた凹或いは凸からなる前記（１）乃至（１０）記載の光アシスト磁気記録装置。
（１３）磁気記録媒体に接近して磁気記録情報を読取・書込する磁気ヘッド上に設けられて位置合わせ照準となるマーカーに対し、光ピックアップから照射する光を位置合わせするにあたり、前記光の反射が特異的になるように設けられた粗動用マーカーにより前記位置合わせを誘導するように構成され、前記粗動用マーカーは直線状の複数のマーカーから構成され、その延長上に前記位置合わせ照準となるマーカーが設けられてなる背骨部と、該背骨部と直行して複数の直線状部が並列に構成される肋骨部とからなる光アシスト磁気記録装置の読取・書込ヘッドの駆動方法。
（１４）前記スライダ面に光が照射した後、先ず前記肋骨部と交差する方向に走査して前記肋骨部の位置を探知する工程と、次いで、前記肋骨部に平行な方向に走査して前記背骨部の位置を探知する工程とを有して行う前記（１３）記載の光アシスト磁気記録装置の読取・書込ヘッドの駆動方法。
【０００８】
要するに、上記の課題に対処するための手段として、本発明では、磁気ヘッドの記録再生素子部の近傍に、周囲に比較して光学的に特異な特性を有するマーカを設け、そのマーカに対して光スポットをリアルタイムでトラッキングできるようにした。マーカとしては、例えば（ア）周囲と異なる反射率の薄膜、（イ）周囲に比べ際立った凹凸が考えられる。（ア）の例としては、スライダ素材よりも反射率の高いAl、Pt、Ag等の金属薄膜。また、（イ）の例としては、ＦＩＢ（集束イオンビーム）やＲＩＥ（リアクティブ・イオン・エッチング）などにより加工された溝や高出力のレーザーにより加熱溶融して形成した突起（レーザーバンプ）がある。磁気ヘッドスライダ面からの反射光を受光できる位置に設置された光ピックアップにフォトダイオード等の受光素子を設けておき、この受光素子により反射光強度の変化をモニターできる。この強度変化をもとに対物レンズを駆動することでフォーカシングする。上述のマーカを採用することにより、サブミクロンオーダーの分解能で反射光強度の変化を読み込むことで光スポットの位置をマーカに一致させることができ、もって記録時に媒体上の記録部の加熱が安定的に可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
[第一の実施形態]
図３は、本発明の第一の実施形態に則した光アシスト磁気記録装置の構成図であり、図１は、本発明の第一の実施形態に則した光アシスト磁気記録装置の磁気ヘッド（要部拡大）の模式平面図であり、さらに図２は、本発明の第一の実施形態に則した光アシスト磁気記録装置の磁気ヘッドスライダの模式平面図である。これらを参照しながら、本発明の第一の実施形態について以下説明する。
図１および図３参照。
【００１０】
図１に示される磁気ヘッドのディスク表面と対向する表面は、図２に示されるように縦が１．２ｍｍとごく小さい平面構造を有する磁気ヘッドスライダをなしており、それがアームに取り付けられて、高速回転するディスク表面上をわずかに浮上することで、磁気センサ１が磁気ティスク面から情報を読み取る構成になっている。しかし、実際に磁気情報の読み取りを直接担う磁気ヘッドは、図２の磁気ヘッドスライダ平面内のごく一部に作り付けられ、拡大すれば、図１に示されるような構造をしている。図１に示された磁気ヘッドは、横幅がせいぜい２００μｍ程度の非常に狭い領域に作り付けられており、その中の一部に記録再生素子が細い線状に設けられている。
【００１１】
本発明が目的とする位置合わせは、この記録再生素子を目標として行われるものであるが、まともにレーザースポットが記録再生素子に照射することはできれば避けたい。短時間ではあってもレーザーのエネルギーによって記録再生素子が劣化する可能性があるためである。そこで、記録再生素子のごく近傍に別途マーカを設けておき、これを位置合わせの照準として利用することで、記録再生素子へのレーザースポットの長い時間の照射を避ける。
図４参照。
【００１２】
図４は、本発明の第一の実施形態に則した磁気ヘッドスライダ（反射率差型マーカ）の断面図である。この例では、磁気ヘッドスライダ面は、金属素材から構成するのが大抵であるが、マーカ２は、例えば光の反射率を著しく高めるような光沢のある素材、例えばアルミニウムや金のような金属を蒸着等して被着形成すれば良い。このためには、一旦磁気ヘッドスライダ面にフォトレジストを被膜して、このフォトレジストに対して公知のフォトリソグラフィー手法を用い、パターニングして所望の領域にだけ窓を設けたマスクとする。そして、このマスクを用いて所望の領域をドライエッチング方法により選択除去して凹部を設ける。続いて、この凹部を含めて磁気ヘッドスライダの全面にスパッタリングによってアルミニウムを被着形成する。次いで、磁気ヘッドスライダ面をＣＭＰ（化学機械的研磨）技術によって不要なアルミニウムを研磨除去することで、凹部にだけアルミニウム層を残すことができ、図4に示されるような要部断面を有したマーカ2が形成できる。
再び図2参照。
【００１３】
再び、本発明の一実施例に則した光アシスト磁気記録装置の磁気ヘッドスライダの模式平面図である図2を参照して、その構成を説明する。磁気センサを構成する記録再生素子1の近傍に設けられ、光を位置合わせする際の指標となるマーカ2に対し、いきなり光スポットを走査してその位置を探すのは非常に困難で、正確に位置を捉えるのに時間を要してしまい効率的ではない。そこで、本発明では、マーカ2に対して、その位置へと光スポットを誘うための粗動用マーカ3を別に設ける。光スポットがスライダ面を走査する際には、基本的に互いに直交する二方向、すなわちｘ軸方向とそれに対して直交するｙ軸方向に光スポットのスライダ面に対する相対的位置をずらせながら位置を判断することになるが、そのような場合には、光が移動する方向に合わせて線状に粗動用マーカ3を設けておけば、マーカ2に対して近い位置にあるか遠い位置にあるか判断は容易となり、マーカ2を迷わずに探すことができる。
【００１４】
それでは、マーカ2を捜し当てるまでの手順の一例を続いて図11を参照しつつ詳しく説明する。
図11参照。
【００１５】
図11は、本発明の第一の実施形態に則した位置合わせ手順の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。
【００１６】
粗動用マーカ3は、マーカ2へと延伸する背骨部3ａと、背骨部3ａと直交する複数の線状部が互いに平行に設けられる肋骨部3ｂとからなる。例えば位置Ａに最初に光スポットが照射されたと場合を考えると、位置Ａからの光の反射が少ないことから位置Ａにはマーカが何も存在しないことが判断できる。そこで、光スポットをまず上下に振ってみる。例えば、光スポットを上に振れば、位置Ｂにおいて、光の反射が極大となり、ここにマーカの存在を確認できる。一方下に振った場合には、位置Ｃにおいて、光の反射が極大となり、ここにマーカの存在を確認できる。ここまでのアルゴリズムにより、位置Ａは肋骨部３ｂをなす線状部相互間に在ることがわかる。
【００１７】
次に、さきほどマーカを振った上下とは直交する方向、すなわち図面上の左右方向に光スポットを移動させてみる。こうして、位置Ｄに光スポットがさしかかった際には光の反射は極大になり、このことによって、位置Ｄが背骨部３ｂ上に在ることが判断できる。そうして、位置Ｄから光スポットを上下方向にだけ振ってみると、マーカ２に到達でき、正確にマーカ２に位置合わせできるという仕組みである。
【００１８】
この粗動用マーカ３の構成にはさまざまな変形が考えられるが、光スポットが二軸方向を基本として走査することを前提とすれば、粗動用マーカ３は、マーカ２からある特定の方向に延びる線状部とそれと直交する方向に延びる線状部とからなるものとすれば、簡易的かつ効率的である。
再び図３参照。
図３は、本発明の一実施例に則した光アシスト磁気記録装置の構成図である。図３中、ディスク5は、前述の光スポットが透過できるように透明素材からなり、表面には極薄い磁気素材が被膜され磁気記録層51をなす。回転するディスク5の磁気記録層51面のごく近傍を磁気ヘッド6が浮上して磁気記録情報を読み取る構成である。一方、光ピックアップ7は、ディスク5の反対に配置され、ディスク5を透過して、磁気ヘッド6と位置合わせしながら、磁気記録層51面に対して小さい光スポットを当てて局所的に加熱するよう構成する。非常に狭い領域に対して集光することが必要なので、光スポットにはコヒーレントレーザが好ましい。この光ピックアップ7の仕様は以下のとおりである。
【００１９】
光ピックアップ7を走査した際に反射光強度の変化を捉える。そのような反射光強度変化に対応するＦＥ（フォーカスエラー）信号を作り、ＦＥ（フォーカスエラー）信号に基づいてスライダ面61に存在する粗動用マーカ（図示しない）を先ず探る。前述のアルゴリズムにしたがって、さらに走査を続け、ＦＥ（フォーカスエラー）信号の変化にしたがって、対物レンズを駆動しトラッキングする。詳しくは、光ピックアップ7を動かして反射光強度の変化を捉えると、それに対応したＦＥ信号を先ず生成する。このＦＥ信号はアンプで増幅された後、サーボ回路に転送される。信号はまた制御回路にも転送され、必要に応じてサーボ回路からＸＹＺステージを移動させることでゴニオ上の光ピックアップの微動を促す。同時に、書き込み等の必要が生じた場合にだけ制御回路からレーザー（ＬＤ）点灯回路に信号を送り、ＬＤ点灯回路にて生成したＬＤ信号を光ピックアップに転送してレーザーを点灯させ、磁気記録層51表面をスポット加熱する。
図7, 図8, 図9, 図10参照。
【００２０】
図7は、従来技術による記録再生時の出力のトラックプロファイル（その1）を示す図であり、本発明のようなトラッキングを行わずに記録した情報を再生した際の出力のトラックプロファイルを、位置合わせした直後に観察したものである。図8は、従来技術による記録再生時の出力のトラックプロファイル（その2）を示す図であり、図７と同様の出力のトラックプロファイルを、位置合わせした後１時間経過後に観察したものである。図9は、本発明の第一の実施形態に則した記録再生時の出力のトラックプロファイル（その1）を示す図であり、上記のトラッキングを施して記録した情報を再生した際の出力のトラックプロファイルを、位置合わせした直後に観察したものである。図10は、図９と同様の出力のトラックプロファイル（その2）を示す図であり、上記のトラッキングを施して記録した情報を再生した際の出力のトラックプロファイルを、位置合わせした後１時間経過後に観察したものである。図7乃至図10のそれぞれにおいて、横軸に記録位置中央から左右へ位置のずれを取り、縦軸に信号強度（mＶ）を取って、記録位置に対する信号強度変化を表している。図7乃至図10の各図中、横軸に記録位置中央から左右へ位置のずれを取り、縦軸に信号強度（mＶ）を取って、記録位置に対する信号強度変化を表している。
【００２１】
ここで、位置合わせ直後のトラックプロファイルを示す本発明による図9と従来技術による図7とを対比してみると、両者のトラックプロファイルは一致し、位置合わせ直後には両者間で変化がない。しかし、位置合わせから1時間経過後のトラックプロファイルを示す本発明による図10と従来技術による図8とを対比してみると、両者のトラックプロファイルには著しい違いがある。すなわち、位置合わせから1時間経過した後に、本発明のようなトラッキングを採用していない従来技術(図8参照)によれば、記録位置の周辺における記録情報の信号強度はかなり弱くなってしまっているが、本発明のトラッキングを採用した場合(図10参照)によれば、信号強度は、位置合わせ直後から殆ど変化しておらず、経時的に信号強度が弱まってしまう問題は解消できたことが理解できる。
【００２２】
次に、以下では順次異なる実施形態の説明を行ってゆくが、いずれもマーカの構成を違えた点を主な特徴として説明し、その他の構成は基本的に前述の第一の実施形態の場合を準用する。
[第二の実施形態]
図5参照。
【００２３】
別のマーカの構成として、上述のアルミニウム等金属被着形成に代えて、マーカ２部分に凹凸を設けておくことも効果的である。図5は、本発明の第二の実施形態に則した磁気ヘッドスライダ(凹凸型マーカ)の断面図である。
【００２４】
例えば、この部分を周知のドライエッチング方法でくぼませておいても良いし、逆に所望の部分だけを残して周囲をドライエッチング方法で除去することで、周囲よりも高く凸部を形成しておいても良い。
【００２５】
マーカ以外はすべて実施例1と同じとした。この凹凸は例えばＦＩＢ（集束イオンビーム）法やＲＩＥ（リアクティブ・イオン・エッチング）法を採用することができる。ＲＩＥ（リアクティブ・イオン・エッチング）方法を採用する場合であれば、先ず磁気ヘッドスライダとなる材料の全面にフォトレジストをスピンコート塗布して被膜形成する。その後、マスクを用いてフォトレジストに対して選択的に露光光を照射する公知のフォトリソグラフィー手法を用いる。その後、現像工程を経て磁気ヘッドスライダ面に残ったフォトレジストをマスクとして用い、磁気ヘッドスライダ面に直にエッチャントガスを作用させるＲＩＥ（リアクティブ・イオン・エッチング）法にて磁気ヘッドスライダ面を選択的にエッチングして除去する。こうしてできる凹凸は、ウエットエッチングのように等方性エッチングで形成しても良いが、ＲＩＥ（リアクティブ・イオン・エッチング）のように異方性エッチングにより形成されると、溝の角部において反射光変化が急峻になるため、検出に好都合である。
[第三の実施形態]
図6参照。
【００２６】
次に、マーカにレーザー加熱により形成した凹凸（レーザーバンプ）を利用した例を説明する。図6は、本発明の第三の実施形態に則した磁気ヘッドスライダ（レーザーバンプ型マーカ）の断面図である。
【００２７】
図示したようなレーザーバンプ型マーカは、先ず磁気ヘッドスライダとなる部材面の所望位置（例えば幅0.5μm）に対しレーザースポットを一定時間照射させて表面を加熱溶融する。こうして平面な磁気ヘッドスライダ面に部分的に凹凸を設け、マーカとして使用するものである。この方法によれば、磁気ヘッドスライダ面に簡単にマーカを作成することができるという点で好ましい。
【００２８】
以上、第一乃至第三の実施形態を例として本発明を説明した。ところで、本発明には未だ種々変形例が考えられるので、以下で説明しておく。
【００２９】
例えば、図２，図１１の例では、粗動用マーカーの肋骨部は互いに等間隔に配置されるが、これをマーカーに近づくほどに間隔を短くする等、間隔を違えることもできる。このような例について図１２を参照しつつ説明する。
図１２参照。
【００３０】
図１２は、本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第一の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。肋骨部の間隔をマーカーに近いほど漸次狭くしてゆけば、光を走査する際に、隣接する肋骨部間の距離を計ることで、マーカーまでの距離を知りうることとなって、マーカー探索を効率的に行えるという付随的効果がある。
【００３１】
図１２中、レーザースポットが最初Ａの位置に在るとすると、図面の縦方向（上下）に先ずレーザーを走査してみると、Ｂ，Ｃの位置に肋骨部を発見することができる。その後、Ｂ，Ｃ間の距離を計れば、マーカーまでの大まかな縦方向（上下方向）間隔が把握できる。Ａの位置から粗動用マーカーを左右に振ってみると、背骨部を発見することができるが、この後、マーカーまでは先に算出した距離にしたがって一気にマーカーにまでたどりつくことができる。
図１３参照。
【００３２】
図１３は、本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第二の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。この例では、粗動用マーカーは全て点線状に光反射材を配置することによって構成されているが、レーザースポットの走査手順は実質的に図１１の場合と変わらない。すなわち、当初のレーザースポットの位置がＡだとすれば、先ずＡから図面上下方向に少し走査してみる。すると、位置Ｂ，位置Ｃにおいてはそれぞれ肋骨部が存在することが把握でき、それによって当初の位置Ａは肋骨部間に存在することが認識できる。そこで、次に位置Ａから左右方向へレーザースポットを振ってみる。すると、次に位置Ｄで背骨部を見つけることができ、その後、背骨部をたどってマーカーに至ることができる。粗動用マーカーの、特に肋骨部を点線化した場合に、肋骨部相互の間でマーカーの存在する位置とマーカーの無い位置とを互い違いに配置することや、少しづつマーカーに近づくにつれて配置を代え、単に同じ点線が並列配置されるのとは違う特色を出せば、位置Ａからの上下走査の段階で、マーカーまでの距離の概略，マーカーまでの遠近を把握することもできる。さらに、肋骨部や背骨部を直線状にしておくのではなく、点を直線状に配置して代えることもできる。この場合に、粗動用マーカーの肋骨部は全て点を直線配置し、中央の背骨部に向かって左右両側から、次第に点間距離を縮めてゆく配置の仕方をしておけば、光を走査してゆく最中に、隣接する点間距離を計ることで、背骨部までの距離を知りうることとなって、背骨部の探索を効率的に行えるという付随的効果がある。このことについては、図１４を参照しつつ説明する。
図１４参照。
【００３３】
図１４は、本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第三の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。図１４の例では、最初にレーザースポットが位置Ａに当たったとすると、先ず上下方向にレーザースポットを走査してみる。こうして、位置Ｂ，位置Ｃのそれぞれにおいて肋骨部の存在を検知でき、位置Ａは肋骨部の間に存在することを認識できる。次いで、Ａからレーザースポットを左右方向に振ってみて、Ｄにおいて背骨部を検知でき、そこからマーカーまでは背骨部をたどってゆけば到達可能であり、以上の手順は概ねこれまでの例と同じである。しかし、背骨部と交差したＢ，Ｃにおいて、わずかに左右方向にスポットを振ってみると、点線の幅を計る事が出来、それによって肋骨部までの距離を探ることができる。すなわち、例えば位置Ｂにおいて左右にわずかにレーザースポットを走査した際に点と点との間の距離を知る。これが長ければ肋骨部までは遠いが、短ければ肋骨部までは近い。一定の割合で肋骨部の点線間距離が背骨部に向かって漸減するように構成しておけば、距離を計った時点で一気に肋骨部までの距離を計測でき、マーカーにたどりつくまでの工程時間を短縮できるという付随的効果がある。
図１５参照。
【００３４】
図１５は、本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第四の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。図１５の例では、背骨部だけが点線状になっている点で図１４の例とは異なる。この例でもこれまでの例と同じく、最初に位置Ａに当たったレーザースポットを走査してマーカーまで近づける手順は基本的に同じである。しかしながら、位置Ｄを検知して以降、背骨部表面を走査してゆくと点線間距離を検知できるため、マーカーまでの距離を直ちに知る事が出来、特に、マーカーまでの距離が長く、かつマーカーと背骨部との材質を実質等価なものに仕上げて反射具合が同じ場合には、マーカー位置合わせまでの工程時間短縮に、非常に有利である。
【００３５】
さらに、肋骨部を上記の点線からなる代わりに、わずかにジグザグ状にしておくことも良い。この場合、ジグザグの周期を例えば中央の背骨部に近づくにつれて次第に短周期にしておけば、光を走査してゆく最中に、隣接するジグザグの辺との間の距離を計ることで、背骨部までの距離を知りうることとなって、背骨部の探索を効率的に行えるという上記同様の効果が得られる。このような例について、図１６を引用して説明する。
図１６参照。
【００３６】
図１６は、本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第五の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。位置Ａに最初に当たったレーザースポットは、先ず上下方向に走査してジグザグ状をなす肋骨部との交差点を探す。こうして位置Ｂ，Ｃが検知されると、位置Ａは、肋骨部相互の間に位置していることが認識できる。この後、位置Ａから左右方向にレーザースポットを走査する。ジグザグ部分を背骨部と誤認しないためには、ジグザグの周期に比べて十分広く左右方向へ走査する必要が出てくるが、左右への走査の後に、位置Ｄを捉えて背骨部として検知する。この後、マーカーへとたどる手順はこれまでの例と同様である。
【００３７】
さらに、簡易的な工程で粗動用マーカーを設けたいということであれば、肋骨部を一切無くしてしまい、背骨部だけとすることもできる。すなわち、位置合わせの目標となるマーカーに対して光の走査方向に平行に配置した１本の粗動用マーカーだけ設けておくことでも、マーカーの探索は一応行える。また、背骨部の幅を次第にマーカーに近づくにつれて狭めてゆき、背骨部の幅からマーカーまでの距離を計ることができるようにすれば、粗動用マーカーの形成容易にして、マーカーの探索を効率的に行えるという効果が得られる。このような例について、図１７に基づいて説明する。
図１７参照。
【００３８】
図１７は、本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第六の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。マーカーにレーザースポットを合わせる手順は、例えば下記のようである。最初に位置Ａにレーザースポットが照射した場合には、位置Ａから先ず左右方向に十分な幅だけレーザースポットを走査してみる。こうして、大きい反射が得られた位置Ｂに背骨部が存在すると認識できる。点線の幅をあまり拡げてしまい、レーザースポット径よりも大きくしてしまった場合、レーザースポットを左右方向に走査する際に、点線部（背骨部がない）部分でレーザースポットが背骨部をすり抜けてしまい、背骨部を認識できないという問題が生じるので、背骨部パターンと隣接する背骨部パターンとの距離をレーザースポット径に比べて十分に狭く構成しておく必要があるだろう。乱反射すれば十分背骨部パターンと背骨部パターンとの間（点線部）と認識できるはずなので、レーザースポット径に比べてかなり狭くても良い。
図１８参照。
【００３９】
図１８は、本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第七の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。この例では、唯一の背骨部を線対称として左右にマーカーから拡がるように肋骨部が直線状に二本形成され、全体で粗動用マーカーとして構成される。図１８の場合では、位置Ａに当たったレーザースポットは、左右方向に十分幅広く走査され、先ずＣ，Ｄ，Ｂを順次検知する。こうして、中間点Ｄが背骨部と認識できるが、同時にＣ〜Ｄ間，Ｄ〜Ｂ間の距離から、位置Ｄからマーカーまでの距離を知ることができ、一気にＤからマーカーまで粗い走査が可能になり、粗動用マーカーの構成が簡便にもかかわらず、レーザースポットのマーカーへの位置合わせが短時間で容易に行えるという付随的効果がある。
図１９参照。
【００４０】
図１９は、本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第八の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。この例では、背骨部がマーカーから離れるにしたがって漸次幅広になるようにして、背骨部にこれまでの例にある肋骨部の機能をも併せ持たせた点が特徴的である。この例では、最初にレーザースポットが位置Ａに在るとすると、位置Ａから先ず左右方向に走査してみる。この際に、Ｃ，Ｂで反射率の変曲点が存在することから、位置Ｃ，Ｂを背骨部の端部と見なすことができる。この際、位置Ｃ〜Ｂ間の距離を計測して、マーカーまでの距離を知る事が出来る。Ｂ，Ｃの中間点から上下方向に走査してマーカーへとたどり着くことができるが、このＢ．Ｃの中間点からマーカーへの道程で、走査するレーザースポットに位置ずれが生じたことをも検知でき、位置ズレが酷い場合でも、マーカー発見を効率的に行える。先の走査の場合に、背骨部からレーザースポットが外れたとすれば、反射率は変わるが、その場合、外れた位置において、レーザースポットを一旦左右方向に振ってみれば良い。こうして、当該位置における背骨部の幅を認識できれば、背骨部の幅方向の中点を探ることができて、位置ズレを容易に補正できることになる。
【００４１】
以上が、本発明の複数の実施形態に基づく説明であるが、ここで、本発明の種々の例について、概略をまとめておく。
（１）光を透過可能な素材からなる磁気記録媒体と、前記光を乱反射可能乃至反射率が周囲と異なる第一のマーカを、前記磁気記録媒体の記録面に対向して配置可能なスライダ面上に有する磁気ヘッドと、前記磁気記録媒体を挟んで磁気ヘッドとは反対側から前記光を照射可能な光ピックアップとを具備し、前記第一のマーカの乱反射乃至異なる反射率によって、前記光と前記磁気ヘッドとを位置合わせする光アシスト磁気記録装置。
（２）前記第一のマーカ位置まで光が粗動するのを補助する第二のマーカを、前記スライダ面上に有する前記（１）記載の光アシスト磁気記録装置。
（３）前記第二のマーカは、光が移動する基準となる方向に直線状に、かつ延長上に前記第一のマーカが配置されるように設けられてなる前記（２）記載の光アシスト磁気記録装置。
（４）前記第二のマーカは、光が移動する基準となる一方向に直線状かつ延長上に前記第一のマーカが配置されるように設けられる第一線状部と、前記一方向と直交する方向に、秩序のある間隔にしたがって複数設けられてなる第二線状部とからなる前記（２）記載の光アシスト磁気記録装置。
（５）前記複数設けられてなる第二線状部が等間隔で設けられてなる前記（４）記載の光アシスト磁気記録装置。
（６）前記複数設けられてなる第二線状部が前記第一のマーカに近づくにつれて、互いの間隔が一定の割合で漸次短くなってゆくように前記（４）記載の光アシスト磁気記録装置。
（７）前記第一線状部，前記第二線状部のいずれかが点線で構成される前記（４）乃至（６）記載の光アシスト磁気記録装置。
（８）前記第二のマーカは、光が移動する基準となる一方向に直線状かつ延長上に前記第一のマーカが配置されるように設けられる第一線状部からなる前記（２）記載の光アシスト磁気記録装置。
（９）前記第一線状部が点線で構成される前記（８）記載の光アシスト磁気記録装置。
（10）前記第二線状部は秩序を有して漸増乃至漸減する周期をもつジグザグからなる前記（４）乃至（７）記載の光アシスト磁気記録装置。
（11）前記周期が一定であることを特徴とする前記（９）記載の光アシスト磁気記録装置。
（12）前記第一線状部をなす点線の実線部の長さは前記第一のマーカから離れるにしたがって一定の割合で拡がる前記（９）記載の光アシスト磁気記録装置。
（13）前記第一線状部は、前記第一のマーカから離れるにしたがって一定の割合で幅が拡がる前記（８）（９）（11）（12）いずれかに記載の光アシスト磁気記録装置。
（14）前記第一のマーカ，前記第二のマーカの少なくとも一方は、Ａｌ（アルミニウム），Ａｇ（銀），Ｐｔ（白金）のうちいずれか少なくとも一つの元素を含んでなり、反射率を周囲に較べて高くした前記（１）乃至（13）記載の光アシスト磁気記録装置。
（15）前記第一のマーカ，前記第二のマーカの少なくとも一方は、前記スライダ面に設けられた凹或いは凸からなる前記（１）乃至（13）記載の光アシスト磁気記録装置。
（16）前記第一のマーカ，前記第二のマーカは、高エネルギー線照射により加熱して形成される凸部とする前記（15）記載の光アシスト磁気記録装置。
（17）磁気記録媒体に接近して磁気記録情報を読取・書込する磁気ヘッド上に設けられて位置合わせ照準となるマーカーに対し、光ピックアップから照射する光を位置合わせするにあたり、前記光の反射が特異的になるように設けられた粗動用マーカーにより前記位置合わせを誘導するように構成した光アシスト磁気記録装置の読取・書込ヘッドの駆動方法。
（18）前記粗動用マーカーは直線状に構成され、その延長上に前記位置合わせ照準となるマーカーが設けられてなる前記（17）記載の光アシスト磁気記録装置の読取・書込ヘッドの駆動方法。
（19）前記粗動用マーカーは直線状の複数のマーカーから構成され、その延長上に前記位置合わせ照準となるマーカーが設けられてなる背骨部と、該背骨部と直行して複数の直線状部が並列に構成される肋骨部とからなる前記（17）記載の光アシスト磁気記録装置の読取・書込ヘッドの駆動方法。
（20）前記スライダ面に光が照射した後、先ず前記肋骨部と交差する方向に走査して前記肋骨部の位置を探知する工程と、次いで、前記肋骨部に平行な方向に走査して前記背骨部の位置を探知する工程とを有して行う前記（19）記載の光アシスト磁気記録装置の読取・書込ヘッドの駆動方法。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、簡易的な構成ながらも、従来技術に準じてトラッキングしない光アシスト磁気記録装置に問題となる記録情報の薄れ、出力低下が解消できることとなって、光アシスト方式によるいっそう確実な微細磁気記録が行える。記録時に媒体上の記録部を安定加熱できるので、十分な再生出力を得ることができ、ひいては、超高密度記録可能なハードディスク装置を安定的に記録・再生動作可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施形態に則した光アシスト磁気記録装置の構成図である。
【図２】本発明の第一の実施形態に則した光アシスト磁気記録装置の磁気ヘッド(要部拡大)の模式平面図である。
【図３】本発明の第一の実施形態に則した光アシスト磁気記録装置の磁気ヘッドスライダの模式平面図である。
【図４】本発明の第一の実施形態に則した磁気ヘッドスライダ（反射率差型マーカ）の断面図である。
【図５】本発明の第二の実施形態に則した磁気ヘッドスライダ（凹凸型マーカ）の断面図である。
【図６】本発明の第三の実施形態に則した磁気ヘッドスライダ（レーザーバンプ型マーカ）の断面図である。
【図７】従来技術による記録再生時の出力のトラックプロファイル（その１）を示す図である。
【図８】従来技術による記録再生時の出力のトラックプロファイル（その２）を示す図である。
【図９】本発明の第一の実施形態に則した記録再生時の出力のトラックプロファイル（その１）を示す図である。
【図１０】本発明の第一の実施形態に則した記録再生時の出力のトラックプロファイル（その２）を示す図である。
【図１１】本発明の第一の実施形態に則した位置合わせ手順の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。
【図１２】本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第一の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。
【図１３】本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第二の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。
【図１４】本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第三の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。
【図１５】本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第四の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。
【図１６】本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第五の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。
【図１７】本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第六の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。
【図１８】本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第七の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。
【図１９】本発明の実施形態にかかわる粗動用マーカー（第八の変形例）の説明図（磁気ヘッドスライダの拡大平面図）である。
【符号の説明】
１１  上部磁極層
１２  ライトポール
１３  磁壁
１４  六角磁区
１５  三角磁区
２１  Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板
２２  Ａｌ2 Ｏ3膜
２３  下部磁極層
２４  ライトギャップ層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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