(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
前記ベースとは別体に前記ベースに立設された一対の支柱と、
前記各支柱に１つずつ結合して片持ち支持され、直列に配置された一対のトーションバーと、
前記一対のトーションバーに結合して両トーションバー間で支持され、水平方向に対する前記ベースの傾きに応じて前記ベースに対する空隙を変更可能なマスと、
前記ベースと前記マスとの間の静電容量を検出する静電容量検出手段と、
前記ベースと前記マスとの間で静電引力を発生させる静電引力発生手段とを備え、
前記一対の支柱と前記一対のトーションバーと前記マスとは、一体形成されており、前記マスは、その左右の中心を支点として支持されており、前記静電容量検出手段は、前記支点の左右の一方における前記ベースと前記マスとの間の静電容量を検出する第１の静電容量検出手段と、前記支点の左右の他方における前記ベースと前記マスとの間の静電容量を検出する第２の静電容量検出手段とであり、前記静電引力発生手段は、前記支点の左右の前記一方における前記ベースと前記マスとの間に静電引力を発生させる第１の静電引力発生手段と、前記支点の左右の前記他方における前記ベースと前記マスとの間に静電引力を発生させる第２の静電引力発生手段とであり、
前記第１，２の静電容量検出手段は、前記ベース側に設けられた静電容量用電極と、前記ベース側の静電容量用電極に対向して前記マス側に設けられた静電容量用電極とを備え、前記第１，２の静電引力発生手段は、前記ベース側に設けられた静電引力用電極と、前記ベース側の静電引力用電極に対向して前記マス側に設けられた静電引力用電極とを備え、
前記ベース側に設けられた前記静電容量用電極と、前記ベース側に設けられた静電引力用電極とは、前記ベースの上面に設けられており、前記マス側に設けられた前記静電容量用電極と、前記マス側に設けられた静電引力用電極とは、前記マスの下面に設けられている傾斜検出装置。
【請求項２】
前記静電容量検出手段によって検出される静電容量を所定値に維持するように前記静電引力発生手段における静電引力発生状態を制御する制御手段を備えている請求項１に記載の傾斜検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、傾斜検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
傾斜を検出する装置としては、静電容量を電気信号に変換する静電容量検出型の装置がある。この種の傾斜検出装置としては、機械機構又は特開平５−１７２５７１号公報に開示されるような流体機構を検出部に用いた装置が一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これらの装置の体積は、数ｃｍ3〜百数十ｃｍ3程度である。機械機構を用いた傾斜検出装置では、これを小型化しようとすると、摩擦や摩耗の影響が大きくなり、検出精度が低下する。そのため、機械機構を用いた傾斜検出装置の小型化は困難である。流体機構を用いた傾斜検出装置では、これを小型化しようとすると、流体の表面張力の影響が大きくなり、検出精度が低下する。そのため、流体機構を用いた傾斜検出装置の小型化も困難である。
【０００４】
本発明は、検出精度の低下をもたらすことなく傾斜検出装置の小型化を図ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明では、ベースと、前記ベースとは別体に前記ベースに立設された一対の支柱と、前記各支柱に１つずつ結合して片持ち支持され、直列に配置された一対のトーションバーと、前記一対のトーションバーに結合して両トーションバー間で支持され、水平方向に対する前記ベースの傾きに応じて前記ベースに対する空隙を変更可能なマスと、前記ベースと前記マスとの間の静電容量を検出する静電容量検出手段と、
前記ベースと前記マスとの間で静電引力を発生させる静電引力発生手段とを備えた傾斜検出装置を構成し、前記一対の支柱と前記一対のトーションバーと前記マスとは、一体形成されており、前記マスは、その左右の中心を支点として支持されており、前記静電容量検出手段は、前記支点の左右の一方における前記ベースと前記マスとの間の静電容量を検出する第１の静電容量検出手段と、前記支点の左右の他方における前記ベースと前記マスとの間の静電容量を検出する第２の静電容量検出手段とであり、前記静電引力発生手段は、前記支点の左右の前記一方における前記ベースと前記マスとの間に静電引力を発生させる第１の静電引力発生手段と、前記支点の左右の前記他方における前記ベースと前記マスとの間に静電引力を発生させる第２の静電引力発生手段とであり、前記第１，２の静電容量検出手段は、前記ベース側に設けられた静電容量用電極と、前記ベース側の静電容量用電極に対向して前記マス側に設けられた静電容量用電極とを備え、前記第１，２の静電引力発生手段は、前記ベース側に設けられた静電引力用電極と、前記ベース側の静電引力用電極に対向して前記マス側に設けられた静電引力用電極とを備え、前記ベース側に設けられた前記静電容量用電極と、前記ベース側に設けられた静電引力用電極とは、前記ベースの上面に設けられており、前記マス側に設けられた前記静電容量用電極と、前記マス側に設けられた静電引力用電極とは、前記マスの下面に設けられている。
【０００６】
マスとベースとの間の空隙の大きさは、水平方向に対するベースの傾き角度の大きさに応じて変わる。水平方向に対するベースの傾き角度が零のときの前記空隙に対応する静電容量は一定値に決まっている。ベースが水平方向に対して傾いているとき、静電容量検出手段によって検出される静電容量が前記一定値の静電容量となるように、静電引力を発生させると、ベースが水平方向に対して傾いている場合にも、マスとベースとの間の空隙は、ベースが水平方向に対して傾いていないときの空隙と同じになる。水平方向に対するベースの傾き角度は、静電引力発生手段によって発生させた静電引力の大きさから把握できる。
【０００７】
マスは、弾性結合によってベースに支持されているため、摩擦や摩耗の発生する箇所がない。そのため、摩擦や摩耗に起因する検出精度の低下は生じない。静電引力発生手段によって発生させた静電引力によって前記空隙を維持できるため、前記空隙を小さくすることができる。
【０００９】
ベースが水平方向に対して傾くと、マスは、直列配置されたトーションバーを中心にして回動する付勢力を重力から得る。そのため、前記空隙が増減しようとするが、静電引力の発生によって前記回動を阻止して前記空隙の大きさを変えないようにすることができる。
【００１１】
第１の静電容量発生手段によって静電引力を発生させると、第１の静電引力発生手段側のベースとマスとの間の空隙が減少し、第１の静電容量検出手段によって検出される静電容量が増加する。第２の静電容量発生手段によって静電引力を発生させると、第２の静電引力発生手段側のベースとマスとの間の空隙が減少し、第２の静電容量検出手段によって検出される静電容量が増加する。
【００１２】
請求項２の発明では、請求項１において、前記静電容量検出手段によって検出される静電容量を所定値に維持するように前記静電引力発生手段における静電引力発生状態を制御する制御手段を備えた傾斜検出装置を構成した。
【００１３】
ベースが水平方向に対して傾いていないときの前記空隙における静電容量の値を前記所定値とすれば、制御手段は、前記空隙の大きさが変わらないように静電引力の発生を制御する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した第１の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明する。
【００１５】
図１及び図２は、傾斜角度を検出するための検出素子１０を示す。検出素子１０を構成する平板形状のベース１１の上面１１１は、絶縁膜３５によって形成されており、ベース１１の上面１１１には一対の支柱１２，１３が立設されている。ベース１１は、導電性を有するシリコン製であり、絶縁膜３５は、二酸化シリコン製又は窒化シリコン製である。一対の支柱１２，１３の対向面にはトーションバー１４，１５が対向するように突設されている。支柱１２，１３に片持ち支持されたトーションバー１４，１５の突端には角柱形状のマス１６が結合されている。マス１６は、一対のトーションバーに１４，１５に結合して両トーションバー１４，１５間で支持されている。本実施の形態では、図２においてトーションバー１４，１５の左側をマス１６の左側、トーションバー１４，１５の右側をマス１６の右側と定義する。マス１６とトーションバー１４，１５との結合位置は、マス１６の左右の中心であり、マス１６は、その左右の中心を支点として支持されている。
【００１６】
支柱１２，１３、トーションバー１４，１５及びマス１６は、シリコンによって一体形成されている。マス１６は、図２に鎖線で示すように、トーションバー１４，１５を中心にしてベース１１の上面１１１に対して相対傾動可能である。
【００１７】
ベース１１が図１及び図２の実線で示す水平状態にあるときには、ベース１１の上面１１１とマス１６の下面１６１とは、平行になっている。ベース１１の上面１１１には一対の静電容量用電極１７，１８と一対の静電引力用電極１９，２０とが並設されている。静電容量用電極１７，１８及び静電引力用電極１９，２０は、マス１６の下面１６１に対して上下方向にて対向している。電極１７〜２０は、アルミニウム製である。静電容量用電極１７，１８及び静電引力用電極１９，２０には電位付与部１７１，１８１，１９１，２０１が一体形成されている。マス１６は、電極１７〜２０に対応する共通電極として利用される。マス１６に対する電位付与は、支柱１２を介して行われ、電位付与部１７１〜２０１にはマス１６に対する付与電位とは逆の電位が付与される。
【００１８】
図３は、傾斜検出装置の電気ブロック図を示す。第１の静電容量検出手段２５は、静電容量用電極１７とマス１６とを含んでおり、第２の静電容量検出手段２６は、静電容量用電極１８とマス１６とを含んでいる。制御手段２７は、比較手段２８と電圧演算手段２９と傾斜角度演算手段３０とからなる。第１の静電引力発生手段３２は、静電引力用電極１９とマス１６とを含んでおり、第２の静電引力発生手段３３は、静電引力用電極２０とマス１６とを含んでいる。電圧演算手段２９は、電圧印加対象（第１の静電引力発生手段３２又は第２の静電引力発生手段３３）の情報及び電圧指令値を駆動回路３１に指令する。駆動回路３１は、電圧指令値の電圧を電圧印加対象に印加する。
【００１９】
第１の静電容量検出手段２５は、静電容量用電極１７とマス１６の下面１６１との空隙距離ｄ１（図２に図示）に応じた静電容量を検出する。第２の静電容量検出手段２６は、静電容量用電極１８とマス１６の下面１６１との空隙距離ｄ２（図２に図示）に応じた静電容量を検出する。第１の静電容量検出手段２５によって得られた静電容量検出情報、及び第２の静電容量検出手段２６によって得られた静電容量検出情報は、比較手段２８へ送られる。
【００２０】
比較手段２８は、第１の静電容量検出手段２５によって得られた静電容量Ｃ１と、第２の静電容量検出手段２６によって得られた静電容量Ｃ２との大小関係を比較する。Ｃ１＞Ｃ２の場合、比較手段２８は、Ｃ１＝Ｃ２となるように第２の静電引力発生手段３３に対する電圧印加を指令する。電圧演算手段２９は、この指令に基づいて電圧指令値を演算すると共に、第２の静電引力発生手段３３に対する電圧指令値の印加を駆動回路３１に指令する。駆動回路３１は、電圧指令値の電圧を第２の静電引力発生手段３３に印加する。この電圧印加では、支柱１２と電位付与部２０１とに対して互いに逆電位が付与され、電圧指令値の大きさに応じた静電引力が静電引力用電極２０とマス１６との間に発生される。静電引力用電極２０とマス１６との間に発生した静電引力は、静電引力用電極２０とマス１６の下面１６１との間の空隙距離を減少させる。この空隙距離の減少が上面１１１と下面１６１とを平行にする場合、Ｃ１＝Ｃ２をもたらす。
【００２１】
又、電圧演算手段２９は、演算した電圧指令値を傾斜角度演算手段３０に出力する。傾斜角度演算手段３０は、電圧指令値に基づいてベース１１の傾斜角度θ（図５に図示）を演算する。
【００２２】
Ｃ１＜Ｃ２の場合、比較手段２８は、Ｃ１＝Ｃ２となるように第１の静電引力発生手段３２に対する電圧印加を指令する。電圧演算手段２９は、この指令に基づいて電圧指令値を演算すると共に、第１の静電引力発生手段３２に対する電圧指令値の印加を駆動回路３１に指令する。駆動回路３１は、電圧指令値の電圧を第１の静電引力発生手段３２に印加する。この電圧印加では、支柱１２と電位付与部１９１とに対して互いに逆電位が付与され、電圧指令値の大きさに応じた静電引力が静電引力用電極１９とマス１６との間に発生される。静電引力用電極１９とマス１６との間に発生した静電引力は、静電引力用電極１９とマス１６の下面１６１との間の空隙距離を減少させる。この空隙距離の減少が上面１１１と下面１６１とを平行にする場合、Ｃ１＝Ｃ２をもたらす。
【００２３】
又、電圧演算手段２９は、演算した電圧指令値を傾斜角度演算手段３０に出力する。傾斜角度演算手段３０は、電圧指令値に基づいてベース１１の傾斜角度θを演算する。
【００２４】
傾斜角度θの演算は、次式（１）に基づいて行われる。
Ｖ＝４ｃｄ（ρｇ／３εｂ）1/2×（ｓｉｎθ）1/2・・・（１）
式（１）におけるＶは、第１の静電引力発生手段３２又は第２の静電引力発生手段３３に印加される電圧を表す。ｃは、マス１６の厚みの半分を表し、ｄは、マス１６の下面１６１とベース１１の上面１１１とが平行なときの下面１６１と上面１１１との間隔距離を表す。ｂは、マス１６の左右の長さ８ｂの１／８を表す。ρは、マス１６の密度を表し、ｇは重力加速度を表す。εは、空気の誘電率を表し、θは、水平面Ｈに対するベース１１の傾斜角度を表す。
【００２５】
式（１）は、以下のようにして求められる。
マス１６が図２の実線位置にあるときは、上面１１１と下面１６１とが平行な状態にあり、Ｃ１＝Ｃ２である。図５の状態においては、マス１６は、重力によってトーションバー１４，１５を中心にして右回動する付勢力を与えられる。そのため、静電引力用電極１９とマス１６との間及び静電引力用電極２０とマス１６との間に静電引力が発生していないとすると、マス１６は、トーションバー１４，１５のばね力に抗して軸線Ｔの周りに右回動して変位する。この変位位置は、上面１１１と下面１６１とが平行にならない位置であり、Ｃ１≠Ｃ２となる。上面１１１と下面１６１とを平行にするには、静電引力用電極１９，２０のうちの一方の静電引力用電極とマス１６との間に前記付勢力を相殺するための静電引力を発生させればよい。図５の場合には、静電引力用電極１９とマス１６との間に静電引力を発生すればよい。
【００２６】
前記付勢力を相殺するための静電引力をＦｅとし、マス１６の重力をＦｇとすると、次式（２）のモーメントの釣り合い式が成り立つ。
Ｆｇ×ｓｉｎθ×ｃ＝Ｆｅ×ｃｏｓα×Ｌ・・・（２）
式（２）におけるｃは、軸線Ｔの位置Ｏと、マス１６の重心Ｍとの距離を表す。αは、重心Ｍと引力作用中心位置Ｅとを結ぶ線Ｋと、マス１６の下面１６１とのなす角度を表す。Ｌは、重心Ｍと引力作用中心位置Ｅとの距離を表す。
【００２７】
重力Ｆｇは、ａ×８ｂ×２ｃ×ρ×ｇで表され、静電引力Ｆｅは、（１／２）×（ε×ａ×２ｂ／ｄ２）×Ｖ2で表される。ａ×２ｂは、静電引力用電極１９（図４における斜線部分）の面積を表す。又、Ｌは、〔（２ｃ）2＋（３ｂ）2〕1/2で表される。従って、式（２）は、次式（３）となる。
【００２８】
0003837355.tif 000002
ｃｏｓα＝３ｂ／〔（２ｃ）2＋（３ｂ）2〕1/2となるので、式（３）は次式（４）となる。
【００２９】
１６ａｂｃ2×ρｇ×ｓｉｎθ＝（３ε×ａｂ2／ｄ2）×Ｖ2・・・（４）
式（４）から式（１）が得られる。
Ｃ１＝Ｃ２の場合、比較手段２８は、電圧演算手段２９における現状の電圧指令値の出力の維持を電圧演算手段２９に指令する。傾斜角度θが０°の場合、静電容量用電極１７とマス１６との間の空隙距離と、静電容量用電極１８とマス１６との間の空隙距離とは等しく、Ｃ１＝Ｃ２である。この場合には、第１の静電引力発生手段３２及び第２の静電引力発生手段３３のいずれに対しても電圧印加は行われない。
【００３０】
第１の実施の形態では以下の効果が得られる。
（１−１）マス１６は、トーションバー１４，１５を用いた支柱１２，１３に対する弾性結合によってベース１１に支持されているため、摩擦や摩耗の発生する箇所がない。そのため、摩擦や摩耗に起因する傾斜角度検出の精度の低下は生じない。又、摩擦や摩耗の発生する箇所がない構成は、傾斜検出装置の信頼性を向上すると共に、長寿命化に有利である。
【００３１】
（１−２）ベース１１の上面１１１とマス１６の下面１６１との間の空隙が確保されないと、傾斜角度θの検出ができない。上面１１１と下面１６１とは、第１の静電引力発生手段３２又は第２の静電引力発生手段３３によって発生させた静電引力によって平行状態に維持できる。即ち、上面１１１と下面１６１との間の空隙は、静電引力によって維持できるため、上面１１１と下面１６１との間の空隙を小さくすることができる。前記空隙のコンパクト化は、傾斜検出装置の小型化に寄与する。
【００３２】
（１−３）制御手段２７は、第１の静電容量検出手段２５及び第２の静電容量検出手段２６によって検出される静電容量を同一とするように、第１の静電引力発生手段３２及び第２の静電引力発生手段３３における静電引力発生状態を制御する。前記同一の静電容量は、ベース１１の上面１１１とマス１６の下面１６１とが平行な状態のときの静電容量Ｃｏであり、このときの静電容量Ｃｏは不変である。即ち、制御手段２７は、第１の静電容量検出手段２５及び第２の静電容量検出手段２６によって検出される静電容量Ｃ１，Ｃ２が所定の静電容量Ｃｏとなるように、静電引力の発生を制御している。第１の静電容量検出手段２５及び第２の静電容量検出手段２６によって検出される静電容量Ｃ１，Ｃ２が一致するように静電引力の発生を制御する構成は、傾斜角度θを検出する上で簡便である。
【００３３】
（１−４）ベース１１、支柱１２，１３、トーションバー１４，１５及びマス１６は、半導体の微細加工技術を用いることによって数十μｍ〜数百μｍの大きさ単位で製作可能である。そうすると、本発明の傾斜検出装置は、既存の傾斜検出装置に比べて体積を数百分の１から数万分の１の大きさに小さくできる。
【００３４】
（１−５）ベース１１、支柱１２，１３、トーションバー１４，１５及びマス１６の材質であるシリコンの密度ρは、２３００ｋｇ／ｍ3である。誘電率εは、８．８５４×１０-12、重力加速ｇは９．８ｍ／ｓ2であるので、式（１）における印加電圧Ｖは、約３．７ｓｉｎθ1/2である。傾斜角度θの検出に必要な印加電圧Ｖは、数ボルト程度であるため、集積回路との電気的な適合性が良い。このような適合性は、傾斜検出装置全体の集積回路化を可能にする。
【００３５】
（１−６）支柱１２，１３、トーションバー１４，１５及びマス１６を一体形成した構成は、傾斜検出装置の製作の容易化に寄与する。
次に、図６乃至図８の第２の実施の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
【００３６】
第２の実施の形態における検出素子１０Ａでは、ベース１１Ａ、支柱１２Ａ，１３Ａ、トーションバー１４Ａ，１５Ａ及びマス１６Ａは、絶縁樹脂によって一体形成されている。マス１６Ａは、図７に鎖線で示すように、トーションバー１４Ａ，１５Ａを中心にしてベース１１Ａの上面１１１に対して相対傾動可能である。
【００３７】
ベース１１Ａが図６及び図７の実線で示す水平状態にあるときには、ベース１１Ａの上面１１１とマス１６Ａの下面１６１とは、平行になっている。ベース１１Ａの上面１１１には一対の静電容量用電極１７，１８と一対の静電引力用電極１９，２０とが並設されている。マス１６Ａの下面１６１には一対の静電容量用電極２１，２２と一対の静電引力用電極２３，２４とが並設されている。静電容量用電極１７，１８と静電容量用電極２１，２２とは、上下方向にて対向しており、静電引力用電極１９，２０と静電引力用電極２３，２４とは、上下方向にて対向している。電極１７〜２４は、アルミニウム製である。
【００３８】
図８は、傾斜検出装置の電気ブロック図を示す。第１の静電容量検出手段２５Ａは、静電容量用電極１７，２１を含んでおり、第２の静電容量検出手段２６Ａは、静電容量用電極１８，２２を含んでいる。制御手段２７は、比較手段２８と電圧演算手段２９と傾斜角度演算手段３０とからなる。第１の静電引力発生手段３２Ａは、静電引力用電極１９，２３を含んでおり、第２の静電引力発生手段３３Ａは、静電引力用電極２０，２４を含んでいる。電圧演算手段２９は、電圧印加対象（第１の静電引力発生手段３２Ａ又は第２の静電引力発生手段３３Ａ）の情報及び電圧指令値を駆動回路３１に指令する。駆動回路３１は、電圧指令値の電圧を電圧印加対象に印加する。
【００３９】
第１の静電容量検出手段２５Ａは、静電容量用電極１７，２１の空隙距離ｄ１（図７に図示）に応じた静電容量を検出する。第２の静電容量検出手段２６Ａは、静電容量用電極１８，２２の空隙距離ｄ２（図７に図示）に応じた静電容量を検出する。第１の静電容量検出手段２５Ａによって得られた静電容量検出情報、及び第２の静電容量検出手段２６Ａによって得られた静電容量検出情報は、比較手段２８へ送られる。
【００４０】
比較手段２８は、第１の静電容量検出手段２５Ａによって得られた静電容量Ｃ１と、第２の静電容量検出手段２６Ａによって得られた静電容量Ｃ２との大小関係を比較する。Ｃ１＞Ｃ２の場合、比較手段２８は、Ｃ１＝Ｃ２となるように第２の静電引力発生手段３３Ａに対する電圧印加を指令する。電圧演算手段２９は、この指令に基づいて電圧指令値を演算すると共に、第２の静電引力発生手段３３Ａに対する電圧指令値の印加を駆動回路３１に指令する。駆動回路３１は、電圧指令値の電圧を第２の静電引力発生手段３３Ａに印加する。この電圧印加は、静電引力用電極２０，２４の間に電圧指令値の大きさに応じた静電引力を発生させる。静電引力用電極２０，２４の間に発生した静電引力は、静電引力用電極２０，２４の間の空隙距離を減少させる。この空隙距離の減少が上面１１１と下面１６１とを平行にする場合、Ｃ１＝Ｃ２をもたらす。
【００４１】
又、電圧演算手段２９は、演算した電圧指令値を傾斜角度演算手段３０に出力する。傾斜角度演算手段３０は、電圧指令値に基づいてベース１１Ａの傾斜角度θ（図５に図示）を演算する。
【００４２】
Ｃ１＜Ｃ２の場合、比較手段２８は、Ｃ１＝Ｃ２となるように第１の静電引力発生手段３２Ａに対する電圧印加を指令する。電圧演算手段２９は、この指令に基づいて電圧指令値を演算すると共に、第１の静電引力発生手段３２Ａに対する電圧指令値の印加を駆動回路３１に指令する。駆動回路３１は、電圧指令値の電圧を第１の静電引力発生手段３２Ａに印加する。この電圧印加は、静電引力用電極１９，２３の間に電圧指令値の大きさに応じた静電引力を発生させる。静電引力用電極１９，２３の間に発生した静電引力は、静電引力用電極１９，２３の間の空隙距離を減少させる。この空隙距離の減少が上面１１１と下面１６１とを平行にする場合、Ｃ１＝Ｃ２をもたらす。
【００４３】
又、電圧演算手段２９は、演算した電圧指令値を傾斜角度演算手段３０に出力する。傾斜角度演算手段３０は、電圧指令値に基づいてベース１１Ａの傾斜角度θを演算する。
【００４４】
傾斜角度θの演算は、前記した式（１）に基づいて行われる。
Ｃ１＝Ｃ２の場合、比較手段２８は、電圧演算手段２９における現状の電圧指令値の出力の維持を電圧演算手段２９に指令する。傾斜角度θが０°の場合、静電容量用電極１７，２１の間の空隙距離と、静電容量用電極１８，２２の間の空隙距離とは等しく、Ｃ１＝Ｃ２である。この場合には、第１の静電引力発生手段３２Ａ及び第２の静電引力発生手段３３Ａのいずれに対しても電圧印加は行われない。
【００４５】
第２の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様の効果が得られる。
次に、図９及び図１０の第３の実施の形態を説明する。第２の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
【００４６】
第３の実施の形態における検出素子１０Ｂでは、トーションバー１４Ｂ，１５Ｂがマス１６の下面１６１と面一となる位置に配設されている。第３の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様の効果が得られる。
【００５０】
本発明では以下のような実施の形態も可能である。
【００５１】
（１）第１の実施の形態において、マス１６側に静電容量用電極と静電引力用電極とを設け、ベース１１側を前記静電容量用電極と静電引力用電極とに対応する共通電極とすること。
【００５３】
〔１〕請求項２において、前記制御手段は、静電引力発生手段によって発生させた静電引力から水平方向に対する前記ベースの傾き角度を演算する演算手段を備えている傾斜検出装置。
【００５６】
【発明の効果】
本発明では、弾性結合によってベースに支持されたマスに対して静電引力を作用させる静電引力発生手段を備えた傾斜検出装置を構成したので、検出精度の低下をもたらすことなく傾斜検出装置の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態を示す斜視図。
【図２】正断面図。
【図３】傾斜検出装置の電気ブロック図。
【図４】マスの斜視図。
【図５】傾斜角度と印加電圧との関係を説明するための簡略図。
【図６】第２の実施の形態を示す斜視図。
【図７】正断面図。
【図８】傾斜検出装置の電気ブロック図。
【図９】第３の実施の形態を示す斜視図。
【図１０】正断面図。
【符号の説明】
１１，１１Ａ…ベース。１６，１６Ａ…マス。１２，１３，１２Ａ，１３Ａ…支柱。１４，１５，１４Ａ，１５Ａ，１４Ｂ，１５Ｂ…トーションバー。２５，２５Ａ…第１の静電容量検出手段。２６，２６Ａ…第２の静電容量検出手段。２７…制御手段。３２，３２Ａ…第１の静電引力発生手段。３３，３３Ａ…第２の静電引力発生手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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