(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器内の充填物の充填レベルを検出する装置であって、
ダイヤフラム（５）に固定されている振動ユニット（２）を有し、該振動ユニット（２）は前記容器内で所定の充填レベルの高さに取り付けられており、
送信／受信ユニット（６）を有し、該送信／受信ユニット（６）は前記ダイヤフラム及び前記振動ユニット（２）を所定の送信周波数でもって励振させ、前記振動ユニット（２）の振動を受け取り、
送信ユニットを制御する制御ユニットと、受信ユニットからの受信信号を評価する評価ユニットとが１つのユニットの中にまとめて形成されている制御／評価ユニット（１０）を有し、該制御／評価ユニット（１０）は前記充填物の所定の充填レベルに対応する前記振動ユニット（２）の振動周波数に達すると直ぐに充填物の所定の充填レベルに達したことを検出する、容器内の充填物の充填レベルを検出する装置において、
前記送信／受信ユニット（６）はディスク状の圧電素子（１５）であり、該圧電素子（１５）の第１の面（１６）には電極構造（２４）が形成されており、
該電極構造（２４）は２つの送信電極（２０，２１）及び２つの受信電極（１８，１９）を有し、第１の送信電極（２０）は第２の送信電極（２１）と点対称に対向して配置されており、第１の受信電極（１８）は第２の受信電極（１９）と点対称に対向して配置されており、前記送信／受信ユニット（６）の前記送信電極（２０，２１）と前記受信電極（１８，１９）とが同形であり、
前記第１の送信電極（２０）と前記第２の送信電極（２１）は異なる極性を有し、前記第１の受信電極（１８）と前記第２の受信電極（１９）は異なる極性を有し、
差動増幅器（２３）が設けられており、該差動増幅器（２３）の入力側には２つの前記受信電極（１８，１９）から取り出される電気信号が印加され、
前記制御／評価ユニット（１０）には記憶ユニット（１１）が設けられており、該記憶ユニット（１１）には周波数設定値が格納されていることを特徴とする、容器内の充填物の充填レベルを検出する装置。
【請求項２】
前記送信電極（２０、２１）及び前記受信電極（１８、１９）は９０°の扇形の形状を有する、請求項１記載の容器内の充填レベルを検出する装置。
【請求項３】
送信信号が供給されるインバータ（２２）が設けられており、該インバータ（２２）で反転された出力信号は一方の送信電極（２１）に供給され、他方の送信電極（２０）には前記インバータ（２２）の入力側の送信信号が反転されずに供給されるようにした、請求項１記載の容器内の充填レベルを検出する装置。
【請求項４】
前記圧電素子（１５）には、電極構造（２４）が形成されている第１の面（１６）とは反対側の第２の面（１７）上に導電層（２９）が設けられている、請求項１から６までのいずれか１項記載の容器内の充填レベルを検出する装置。
【請求項５】
前記電極構造（２４）を備えた前記圧電素子（１５）の前記第１の面（１６）上に接続電極（２８）が設けられており、該接続電極（２８）は前記圧電素子（１５）の第２の面（１７）上のアース電極を形成する導電層（２９）と接続されている、請求項４記載の容器内の充填レベルを検出する装置。
【請求項６】
容器内の充填物の濃度を検出する装置であって、
ダイヤフラム（５）に固定されている振動ユニット（２）を有し、該振動ユニット（２）は前記容器内で所定の浸漬深さまで充填物に浸漬して取り付けられており、
送信／受信ユニット（６）を有し、該送信／受信ユニット（６）は前記ダイヤフラム及び前記振動ユニット（２）を所定の送信周波数でもって励振させ、前記振動ユニット（２）の振動を受け取り、
送信ユニットを制御する制御ユニットと、受信ユニットからの受信信号を評価する評価ユニットとが１つのユニットの中にまとめて形成されている制御／評価ユニット（１０）を有し、該制御／評価ユニット（１０）は前記充填物の所定の濃度に対応する前記振動ユニット（２）の振動周波数に達すると直ぐに充填物の所定の濃度に達したことを検出する、容器内の充填物の濃度を検出する装置において、
前記送信／受信ユニット（６）はディスク状の圧電素子（１５）であり、該圧電素子（１５）の第１の面（１６）には電極構造（２４）が形成されており、
該電極構造（２４）は２つの送信電極（２０，２１）及び２つの受信電極（１８，１９）を有し、第１の送信電極（２０）は第２の送信電極（２１）と点対称に対向して配置されており、第１の受信電極（１８）は第２の受信電極（１９）と点対称に対向して配置されており、前記送信／受信ユニット（６）の前記送信電極（２０，２１）と前記受信電極（１８，１９）とが同形であり、
前記第１の送信電極（２０）と前記第２の送信電極（２１）は異なる極性を有し、前記第１の受信電極（１８）と前記第２の受信電極（１９）は異なる極性を有し、
差動増幅器（２３）が設けられており、該差動増幅器（２３）の入力側には２つの前記受信電極（１８，１９）から取り出される電気信号が印加され、
前記制御／評価ユニット（１０）には記憶ユニット（１１）が設けられており、該記憶ユニット（１１）には周波数設定値が格納されていることを特徴とする、容器内の充填物の濃度を検出する装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、容器内の充填物の充填レベルを検出する装置において、所定の充填レベルの高さに取り付けられているダイヤフラムに固定された振動ユニットと、ダイヤフラム及び振動ユニットに所定の励振周波数でもって振動を励起させ、振動ユニットの振動を受け取る送信／受信ユニットと、所定の周波数変化が生じると直ぐに所定の充填レベルへの到達を検出する制御／評価ユニットとが設けられている、容器内の充填物の充填レベルを検出する装置に関する。
さらに本発明は、容器内の充填物の濃度を検出する装置において、一定の浸漬深さまで媒体に浸漬して取り付けられているダイヤフラムに固定された振動ユニットと、ダイヤフラム及び振動ユニットに所定の励振周波数でもって振動を励起させ、振動ユニットの振動を受け取る送信／受信ユニットと、振動ユニットの振動周波数に基づいて媒体の濃度を検出する制御／評価ユニットとが設けられている、容器内の充填物の濃度を検出する装置に関する。
【０００２】
容器内の充填物の充填レベルを検出するための、少なくとも１つの振動素子を備えた装置、いわゆる振動検出器が既に公知となっている。振動素子は通常の場合、ダイヤフラムに固定されている少なくとも１つの振動ロッドである。ダイヤフラムは電気機械的な変換器、例えば圧電素子によって振動が励起される。ダイヤフラムの振動に基づいて、このダイヤフラムに固定された振動素子も振動する。
【０００３】
充填レベル測定装置として構成された振動検出器は、振動周波数及び振動振幅が振動素子の媒体によるその都度の被覆状態に依存するという作用を利用する。振動素子は空気中では自由に且つ減衰せずに振動できるが、振動素子が部分的または完全に充填物の中に浸漬されると直ぐに周波数及び振幅は変化する。したがって所定の周波数変化に基づいて（通常は周波数が測定される）、容器内の充填物が所定の充填レベルに達したことを一義的に決定することができる。充填レベル測定装置は殊に過充填に対する安全装置として、またはポンプの漏れに対する保護を目的として使用される。
【０００４】
それに加え振動素子の振動の減衰は、充填物のその都度の濃度によっても影響される。したがって振動素子の被覆度が一定であれば、媒体の濃度との関数的な関係が生じるので、振動検出器は充填レベルの検出にも濃度検出にも非常に適している。実際には、容器内の充填物の充填レベルまたは濃度を検出するためにダイヤフラムの振動が受け取られ、少なくとも１つの圧電素子を用いて電気的な受信信号へと変換される。電気的な受信信号は引き続き評価電子機構によって評価される。充填レベルを検出する場合には、評価電子機構は振動素子の振動周波数及び／又は振動振幅を監視し、測定値が所定の基準値を下回るまたは上回ると直ぐに、状態「センサは覆われている」ないし「センサは覆われていない」を通知する。操作者には光学的及び／又は音響的なやり方で相応に通知することができる。
【０００５】
EP 0 985 916 A1から送信／受信ユニットの殊に有利な変形が公知となっており、この送信／受信ユニットを介して一方では振動検出器のダイヤフラムは振動が励起され、またこの送信／受信ユニットを介して他方ではダイヤフラムの振動が受け取られ、電気信号に変換される。送信電極及び受信電極はそれぞれ実質的に半円の形状を有し、またこれらの電極はディスク状の圧電素子の同一の面上に配置されている。圧電素子自体は均等に分極されており、また円形の断面を有する。送信電極と受信電極はダイヤフラム平面における軸について対称的に配置されている。ここで軸は圧電素子の円形平面の直径に対応する。
【０００６】
圧電素子は、電極構造を備えるこの圧電素子の面とは反対側の面上に、ほぼ面全体にアース電極を備える。ダイヤフラム及び振動検出器のケーシングが導電性である場合には、アース電極をダイヤフラムを介してケーシングと電気的に接触させれば十分である。安全技術的な理由からダイヤフラムないしケーシングと圧電素子との間に導電的な接続を生じさせることが許されない場合には、ダイヤフラムと圧電素子との間に絶縁層が配置されている。この場合アース電極は、電極構造を備えた圧電素子の面上に配置されている接続電極を介して接地される。
【０００７】
本発明の課題は、振動検出器の送信／受信ユニットを、障害信号の影響が最小となるように改善することである。
【０００８】
この課題は、請求項１記載の発明に関しては、送信／受信ユニットはディスク状の圧電素子であり、この圧電素子の第１の面には電極構造が形成されており、この電極構造は２つの送信電極及び２つの受信電極を有し、第１の送信電極は第２の送信電極と点対称に対向して配置されており、第１の受信電極は第２の受信電極と点対称に対向して配置されており、送信／受信ユニットの送信電極と受信電極とが同形であり、第１の送信電極と第２の送信電極は異なる極性を有し、第１の受信電極と第２の受信電極は異なる極性を有し、差動増幅器が設けられており、この差動増幅器の入力側には２つの受信電極から取り出される電気信号が印加され、制御／評価ユニットには記憶ユニットが設けられており、この記憶ユニットには周波数設定値が格納されていることによって解決される。
またこの課題は、請求項６記載の発明に関しては、送信／受信ユニットはディスク状の圧電素子であり、この圧電素子の第１の面には電極構造が形成されており、この電極構造は２つの送信電極及び２つの受信電極を有し、第１の送信電極は第２の送信電極と点対称に対向して配置されており、第１の受信電極は第２の受信電極と点対称に対向して配置されており、送信／受信ユニットの送信電極と受信電極とが同形であり、第１の送信電極と第２の送信電極は異なる極性を有し、第１の受信電極と第２の受信電極は異なる極性を有し、差動増幅器が設けられており、この差動増幅器の入力側には２つの受信電極から取り出される電気信号が印加され、制御／評価ユニットには記憶ユニットが設けられており、この記憶ユニットには周波数設定値が格納されていることによって解決される。
【０００９】
本発明の解決策は同様に多くの利点をもたらす。
１．圧電性のディスクを送信／受信ユニットとして使用することにより、振動検出器における相応の所要面積を少なく見積もることができる。
２．ディスク状である圧電性の送信／受信ユニットは比較的容易に製造することができる。
３．送信電極及び受信電極が点対称に配置されているので、両方の電極組に関する接続を問題なく交換することができる。したがって電極が誤ってコンタクト接続されることは排除されている。
４．電気的なコンタクト接続を簡単なやり方で一方の面から例えばリフロー法によって行うことができる。何故ならば、送信／受信ユニットの電極及びこれと対になる電極とが圧電素子の同一面に配置されているからである。
【００１０】
本発明の装置の有利な実施形態によれば、送信／受信ユニットの送信電極及び／又は受信電極は実質的に同形である。このことは、電極構造の対称的な構成から生じる前述の利点に関して殊に有利である。
【００１１】
さらに本発明による装置の有利な実施形態では、送信電極及び／又は受信電極が９０°の扇形の形状を有することが提案される。
【００１２】
本発明による有利な変形によれば、第１の送信電極と第２の送信電極ないし第１の受信電極と第２の受信電極は異なる極性を有する。有利にはインバータが使用され、このインバータは送信ユニットの２つの送信電極のうちの一方に印加される送信信号を反転させる。さらには本発明の装置の有利な実施形態によれば差動増幅器が設けられており、この差動増幅器の入力側には２つの受信電極において取り出された受信信号が印加される。この構成によって、同相成分の障害、例えばハムまたは外部の振動に対する障害を実質的に消去することができる。従来公知の装置においては同相成分の障害は、電極内に導電分離を設けることによって排除されていた。本発明の解決策では導電分離に必要とされるトランスを完全に無くすことができ、このことは製造コストを大幅に削減することになる。
【００１３】
本発明の装置の１つの実施形態によれば、送信／受信ユニットの送信電極及び受信電極は同様に極性付けられており、２つの送信電極及び２つの受信電極は相互に点対称に配置されている。外部の振動に起因する可能性がある障害信号は消去される。何故ならばこれらの障害信号は値的には同一であるが、しかしながら逆の符号を有するからである。
【００１４】
さらには本発明の装置の前述の２つの変形に関しては、圧電素子には電極構造を備える第１の面とは反対側の第２の面上に導電層が設けられている。
【００１５】
製造を容易にするために、殊に送信／受信ユニットを例えばリフロー法による１つの作業ステップでコンタクト接続できるようにするために、電極構造を備える圧電素子の面上には接続電極が設けられており、この接続電極は少なくとも１つの領域において、圧電素子の第２の面上のアース電極を形成する導電層と接続されている。
【００１６】
本発明の装置の有利な実施形態では、コンタクト電極がストリップの形状に構成されており、また電極構造を備える圧電素子の面を有利には同一面積に二分する。
【００１７】
本発明を以下図面に基づき詳細に説明する。ここで図１は、本発明の装置の概略図である。図２ａは、本発明の装置の第１の実施形態による、電極構造を備えた圧電素子の第１の面の平面図である。図２ｂは、図２ａに図示した圧電素子の側面図である。図２ｃは、本発明の装置の第１の実施形態による、圧電素子の第２の面の平面図である。図３は、本発明の装置の第１の実施形態による有利な電極構造の平面図である。図４は、図２から図３に図示した本発明の装置の実施形態の電気的なコンタクト接続の概略図である。図５ａは、本発明の装置の第２の実施形態による、電極構造を備えた圧電素子の第１の面の平面図である。図５ｂは、本発明の装置の第２の実施形態による、導電層を備えた圧電素子の第２の面の平面図である。図６は、図５ａ及び図５ｂに図示した本発明の装置の第２の実施形態のブロック回路図である。
【００１８】
図１には、容器内の充填物の充填レベルを検出するための本発明の装置１が概略図に示されている（この図１においては容器及び充填物は別個には図示していない）。図１に図示した装置は、既に説明したように、容器内の充填物の充填レベルを検出する以外に、容器内の充填物の濃度を検出するためにも適している。充填レベルを検出する場合には、振動ユニット２が検出される限界充填レベルに達したときにのみ充填物に浸漬する、または浸漬しない。この振動ユニット２は濃度ρを検出するためには継続的に所定の浸漬深さまで充填物に浸漬されている必要がある。容器は例えばタンクであるが、しかしながら充填物が流れるパイプであってもよい。
【００１９】
装置１は実質的に円筒状のケーシングを有する。ケーシングの外周面にはねじ７が形成されている。ねじ７は装置１を所定の充填レベルの高さに固定するために使用され、容器の相応の開口部に配置されている。勿論、他の形式で固定することもでき、例えばフランジを用いて固定することができる。
【００２０】
振動検出器１のケーシングには、容器へと突出する端部領域においてダイヤフラム５が設けられており、このダイヤフラム５はその端部領域においてケーシングに懸架されている。ダイヤフラム５には容器へと突出する振動ユニット２が固定されている。図示した事例では振動ユニット２は音叉の形状であり、すなわちダイヤフラム５に固定されており且つ容器へと突出する、相互に間隔をおいた２つの振動ロッド３、４を有する。
【００２１】
ダイヤフラム５は送信／受信ユニット６によって振動される。この際送信ユニットはダイヤフラム５を所定の送信周波数でもって励振させ、受信ユニットは振動ユニット２の応答信号を受信する。本発明の送信／受信ユニット６を、後続の図面に関連させて更に詳細に説明する。ダイヤフラム５の振動に基づいて振動ユニット２も振動するが、この際振動ユニット２が充填物と接触し、充填物中に浸漬して結合しているか、振動ユニット２が自由に且つ充填物と接触せずに振動できるかによって振動周波数は異なる。
【００２２】
圧電素子は分極方向に印加される電圧差に依存してその厚さが変化する。交流電圧が印加される場合には、厚さは発振的に変化する。すなわち厚さが増大すると圧電素子の直径は減少し、厚さが減少すると圧電素子の直径も相応に増大する。
【００２３】
圧電素子１５のこの振動特性に基づいて、電圧差はケーシングに懸架されているダイヤフラム５を撓ませる。ダイヤフラム５上に配置されている振動ユニット２の振動ロッド３、４は、ダイヤフラム５の振動に基づいて長手軸を中心として反対方向に振動する。
【００２４】
電気的な受信信号はデータ線８、９を介して制御／評価ユニット１０に転送される。送信信号を制御する制御ユニットと受信信号を評価する１つのユニットにまとめられているこの制御／評価ユニット１０には、目標値がファイルされている記憶ユニット１１が配属されている。所定の充填レベルまたは所定の濃度への到達が、操作者に図示した事例においては出力ユニット１４を介して通知される。さらに図１においては、振動検出器１と距離を置いて配置された制御監視部１２を確認できる。制御／評価ユニット１０と制御監視部１２は相互にデータ線１３を介して通信する。有利には通信は、伝送の雑音余裕度が高いためにディジタル形式で行われる。勿論本発明の解決手段を小型のセンサに統合することもできる。
【００２５】
図２ａは、本発明の装置の第１の変形による、電極構造２４を備えた圧電素子１５の第１の面の平面図である。図２ｂには、図２ａに示した圧電素子１５の側面図が図示されており、また図２ｃには圧電素子１５の相応の第２の面１７の平面図が図示されている。圧電素子１５の第１の面１６には、４つの電極１８、１９、２０、２１から構成されている電極構造２４が配置されている。電極１８、１９、２０、２１は図示した事例では４つの９０°の扇形であり、それぞれ２つの電極１８、１９；２０、２１は円の中心点について点対称に対置されている。点対称に対置されている２つの電極は送信電極２０、２１を形成し、残りの２つの電極は受信電極１８、１９を表す。
【００２６】
上記において既に言及したように、圧電素子１５の第２の面１７には金属性の層２９が設けられており、この金属性の層２９はアース電極の機能を担う。アース電極は圧電素子のダイヤフラム５側と反対側の面上にある。振動検出器または濃度センサ１のケーシング及びダイヤフラム５が導電性材料から構成されており、且つアース電位にある場合には、導電層２９を導電的に、例えば導電性の接着剤を用いてダイヤフラム５と接着するかまたはダイヤフラム５とはんだ付けするだけで十分である。
【００２７】
図３及び図４の記述と関連して、圧電素子１５の有利な形態を説明する。この形態は、安全技術的な理由から圧電素子１５とダイヤフラム５ないし振動検出器１のケーシングとの間の導電的な接続が許されない場合か、ダイヤフラムまたは振動検出器１のケーシングが非導電性の材料から構成されている場合に常に使用される。必要に応じて、EP 0 985 916 A1に記載されているように、ダイヤフラム５とアース電極との間に、例えばステアタイトから成るディスク状の誘電性の層が配置される。
【００２８】
図３には、２つの送信電極２０、２１及び２つの受信電極１８、１９を備えた有利な電極構造２４が図示されている。電極１８、１９、２０、２１は均等に分極されている。点対称に対向して配置されているそれぞれ２つの電極１８、１９；２０、２１は送信電極２０、２１と受信電極１８、１９を形成する。電極構造２４の点対称の特性に基づき、送信電極２０、２１及び受信電極１８、１９を問題なく交換することができる。この状態は図３においては、結びつけられた線Ｅ／ＳないしＳ／Ｅによって象徴的に表されている。電極の同様の極性を有する特別な電極構造に基づいて、外部の振動によって惹起される同相成分の障害が自動的に除去される。
【００２９】
図４は、図２及び図３に示した本発明の装置の実施形態の電気的なコンタクト接続を概略的に図示している。コンタクト接続のこの方式は、もちろん圧電素子１５における本発明の電極構造２４の第２の実施形態にも適している。導体路（心線）２５、２６、２７を介して、図３ないし図６に図示した電極構造２４の個々の電極１８、１９、２０、２１のコンタクト接続が達成される。有利には導体路２５、２６、２７は所謂フレックスジャンパ（Flexjumper）に統合されている。フレックスジャンパは、個々の導体路を相互に接続するフレキシブルなバンドである。このようなフレックスジャンパの構成は、前述のEP 0 985 916に公開されている。
【００３０】
図３及び図４に図示した構成はアース電極を送信電極及び受信電極１８、１９、２０、２１と同様に圧電素子１５の第１の面１６上でコンタクト接続することができる。第１の面１６におけるコンタクト接続は接続電極２８を介して行われ、この接続電極２８は図示した事例では円の直径上にある幅の広い電極として示されており、また圧電素子１５の円筒状の外周面を越えて、圧電素子１５の第２の面上の導電層２９と電気的にコンタクト接続される。これによって、必要とされる全てのコンタクト接続をリフロー法による１つの作業ステップのみで実現することができ、このことは勿論時間とコストを大幅に節約することになる。
【００３１】
図５ａには、本発明の送信／受信ユニット６の第２の実施形態による、電極構造２４を備えた第１の面の平面図が図示されている。圧電素子１５の左側にある２つの電極１９、２０は、圧電素子１５の右側にある２つの電極１８、２１とは異なる極性を有する。
【００３２】
図５ｂには、本発明の装置の第２の実施形態による、導電層２９を備えた圧電素子１５の第２の面の平面図が図示されている。既に上述したように、導電層２９を導電性のダイヤフラム５及び導電性のケーシングを介して直接的に接地することができる。しかしながら導電層２９は、電極構造２４を備えた圧電素子１５の第１の面１６上の接続電極２９を介してアース電位につながっていてもよい。
【００３３】
図６は、本発明の装置（図５ａ、図５ｂ）ないし本発明の送信／受信ユニットの第２の実施形態のブロック回路図である。インバータ２２によって反転された送信信号は送信電極２１に印加される。反転されない送信信号は送信電極２０に印加される。したがって２つの送信電極２０、２１には、値的には同一であるが逆の符号を有する送信信号が印加される。例えばハム及び／又は外部の振動によって惹起される同相成分障害（図面においては障害成分という添字で表されている）が生じる場合には、受信電極１８において信号Ｅ１＝＋ΔＥ＋σが取り出され、また受信電極１９においては信号Ｅ２＝−ΔＥ＋σが取り出される。２つの信号は差動増幅器２３の入力側に供給され、この差動増幅器２３の出力側は同相成分障害が消去された信号Ｅ＝Ｅ１−Ｅ２＝＋２ΔＥを供給する。したがって本発明の装置、殊に本発明の送信／受信ユニットを用いることにより、点対称に配置された２つの電極１８、１９；２０、２１にそれぞれ同方向に作用する障害を非常に簡単且つ効果的なやり方及び方法で除去することができる。
【００３４】
本発明の装置の第１の変形のための帰還結合回路のブロック図は周知である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による装置の概略図である。
【図２】  圧電素子の概略図である。
【図３】  本発明による装置の第１の実施形態による有利な電極構造の平面図である。
【図４】  図２及び図３に図示した本発明による装置の実施形態の電気的な接触接続の概略図である。
【図５】  圧電素子の概略図である。
【図６】  図５ａ及び図５ｂに図示した本発明による装置の第２の実施形態のブロック回路図である。
【符号の説明】
１  振動検出器ないし濃度センサ、  ２  振動ユニット、  ３、４  振動ロッド、  ５  ダイヤフラム、  ６  送信／受信ユニット、  ７  ねじ、  ８、９  データ線、  １０  制御／評価ユニット、  １１  記憶ユニット、  １２  制御部、  １３  データ線、  １４  出力ユニット、  １５  圧電素子、  １６  圧電素子の第１の面、  １７  圧電素子の第２の面、  １８、１９  受信電極、  ２０、２１  送信電極、  ２２  インバータ、  ２３  差動増幅器、  ２４  電極構造、  ２５  第１の導体路、  ２６  第２の導体路、  ２７  第３の導体路、  ２８  接続電極、  ２９  導電層
【図１】
0003806352.tif 000002
【図２ａ】
0003806352.tif 000003
【図２ｂ】
0003806352.tif 000004
【図２ｃ】
0003806352.tif 000005
【図３】
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【図４】
0003806352.tif 000007
【図５ａ】
0003806352.tif 000008
【図５ｂ】
0003806352.tif 000009
【図６】
0003806352.tif 000010