(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面処理される基材を解いて他のチャンバに移送させる従動ローラー、及び表面処理された基材を巻き取る駆動ローラーを具備する移送チャンバと、
前記移送チャンバの従動ローラーから導入される基材を電極として使用し、該基材に対向する少なくとも１つの対向電極を設置して、直流放電プラズマにより前記基材の表面をプラズマ重合処理する蒸着チャンバと、
前記基材と電気的に接続されて該基材に高電圧を印加する高電圧供給部と、
前記蒸着チャンバを真空に維持するためのポンピング手段と、
反応性ガス及び非反応性ガスを前記蒸着チャンバ内に導入するガス供給部と、
を備え、
前記蒸着チャンバ内の対向電極は、表面処理される基材の走行方向に沿って上下両側に設置されることを特徴とする直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項２】
前記移送チャンバは、
表面処理される基材を解いて他のチャンバに移送させる従動ローラーが設置された従動チャンバと、
前記蒸着チャンバにより表面処理された基材を巻き取る駆動ローラーが設置された駆動チャンバと、
を包含して構成されることを特徴とする請求項１記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項３】
非反応性ガスが流入され、重合処理された基材に追加的に重合処理を行なうための後処理チャンバがさらに包含されることを特徴とする請求項１記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項４】
前記蒸着チャンバ内の基材は高電圧が印加されてアノードとして作用し、前記対向電極はカソードとして作用することを特徴とする請求項１記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項５】
前記基材と高電圧供給部との電気的接続は、前記従動ローラーにパワーを印加することで、該従動ローラーに接する基材にパワーを印加させるようにしてなされることを特徴とする請求項１記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項６】
前記高電圧供給部と基材との間の電気的経路と重合処理装置の本体とを電気的に絶縁させるための絶縁手段をさらに包含することを特徴とする請求項１記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項７】
前記絶縁手段は、前記従動ローラーがチャンバ内で支持される部分に位置され、前記従動ローラーとチャンバとを絶縁させる絶縁部材をさらに包含することを特徴とする請求項６記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項８】
前記従動ローラーを介して基材にパワーを印加させ、電気的経路と重合処理装置の本体とを絶縁させるために、
前記移送チャンバは、該移送チャンバの外部から前記従動ローラーに回転力を提供する駆動部と、該駆動部に直接連結されて該駆動部の回転力を伝達する第１駆動軸と、基材が巻回されているローラーと前記第１駆動軸とが噛合して連結される第２駆動軸と、該第２駆動軸を軸支して該第２駆動軸に加えられる基材の荷重を移送チャンバの底部に伝達する各軸支持部と、前記第１駆動軸と第２駆動軸間に挿入されてそれら駆動軸間を絶縁させる絶縁カップリングと、により構成され、
前記軸支持部は、前記第２駆動軸の端部が挿入されて回転自在にさせるベアリングと、該ベアリングが設置されるブロックと、該ブロックの一方側に設置されて高電圧供給部の電源が接続されるコネクターと、前記ブロックを下部で支持して、前記第２駆動軸に加えられる荷重をチャンバの底部に伝達する支持体と、前記ブロックと支持体との間に挿入されて電気的に絶縁させる絶縁部材と、により構成されることを特徴とする請求項１および５〜７のいずれか一項に記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項９】
前記基材と高電圧供給部との電気的接続は、前記駆動ローラーにパワーを印加することで、該駆動ローラーに接する基材にパワーを印加させるようにしてなされることを特徴とする請求項１記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項１０】
前記絶縁手段は、前記駆動ローラーがチャンバ内で支持される部分に位置されて、前記駆動ローラーとチャンバとを絶縁させる絶縁部材をさらに包含することを特徴とする請求項６記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項１１】
前記駆動ローラーを介して基材にパワーを印加させ、電気的経路と重合処理装置の本体とを絶縁させるために、
前記移送チャンバは、該移送チャンバの外部から前記駆動ローラーに回転力を提供する駆動部と、該駆動部に直接連結されて該駆動部の回転力を伝達する第１駆動軸と、基材が巻回されているローラーと前記第１駆動軸とが噛合して連結される第２駆動軸と、該第２駆動軸を軸支して該第２駆動軸に加えられる基材の荷重を移送チャンバの底部に伝達する各軸支持部と、前記第１駆動軸と第２駆動軸間に挿入されてそれら駆動軸間を絶縁させる絶縁カップリングと、により構成され、
前記軸支持部は、前記第２駆動軸の端部が挿入されて回転自在にさせるベアリングと、該ベアリングが設置されるブロックと、該ブロックの一方側に設置されて高電圧供給部の電源が接続されるコネクターと、前記ブロックを下部で支持して、前記第２駆動軸に加えられる荷重をチャンバの底部に伝達する支持体と、前記ブロックと支持体との間に挿入されて電気的に絶縁させる絶縁部材と、により構成されることを特徴とする請求項１および９〜１０のいずれか一項に記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項１２】
前記基材と高電圧供給部との電気的接続は、移送チャンバ内で移送される基材と接触して基材の移送軌跡を一定に維持させ、基材が垂れないように張力を与えるアイドルローラーにパワーを印加することで、該アイドルローラーに接する基材にパワーを印加させるようにしてなされることを特徴とする請求項１記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【請求項１３】
前記アイドルローラーを介して基材にパワーを印加させ、電気的経路と重合処理装置の本体とを絶縁させるために、
前記移送チャンバは、アイドルローラー及び該アイドルローラーを支持してアイドルローラーに加えられる基材の荷重を移送チャンバの底部に伝達する軸支持部を備え、
前記軸支持部は、前記アイドルローラーの端部の軸が挿入されて回転自在にさせるベアリングと、該ベアリングが設置されるブロックと、該ブロックの一方側に設置されて高電圧供給部の電源が接続されるコネクターと、前記ブロックを下部で支持して、前記アイドルローラーに加えられる荷重をチャンバの底部に伝達する支持体と、前記ブロックと支持体との間に挿入されて電気的に絶縁させる絶縁部材と、により構成されることを特徴とする請求項１２に記載の直流電源プラズマ重合連続処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
〔技術分野〕
本発明は、直流電源プラズマ重合連続処理装置に係るもので、詳しくは、金属の表面処理に用いられて基材の表面を改質するか、または、新しい膜質を形成させることで基材の有用性を倍加し得る、直流電源プラズマ重合連続処理装置に関するものである。
【０００２】
〔背景技術〕
一般に、放電によるプラズマを利用して金属板などの基材表面を処理すると、硬度及び耐摩耗性などに優れた被覆層が形成され、このように被覆層の形成された製品は、磁気ディスク、光ディスク、超硬質工具などに使用される。更に、鋼鉄板の表面に形成された塗装膜にプラズマ処理を行うと、硬質化されて耐久性及び耐蝕性に優れた塗装鋼板が得られる。
【０００３】
一方、プラズマ重合処理の連続作業が可能になると生産性が向上される。帯型（band-type）の基材に用いられる樹脂膜、織布、不織布などの絶縁材料に対しては、プラズマ重合処理の連続化が比較的簡単であるため、既に多様な装置が提案されている（日本公開特許公報昭58-120859号、昭61-21105号及び平2-103206号）。
【０００４】
然し、基材の帯型金属材を非接地電位に維持しながら高周波放電によるプラズマ重合処理を行う場合は、連続作業が困難である。その理由は、金属材は導電性を有するため、放電電圧がプラズマ重合処理装置の電極部分だけに印加されず、金属材及び金属材に接触する金属製部品にも印加されるからである。よって、金属材を非接地電位に維持しながら高周波放電により連続的にプラズマ重合処理を行う場合、金属の導電性に起因して異常放電が発生されて、装置内汚染を惹起する。また、不安定放電のため、重合処理される金属材表面の被覆層が粉末化（powderization）されるか、剥離（peeling  off）される等の欠陥が生じやすく、被覆層が劣化（degeneration）されて、その結果、製品の特性を低下させる。
【０００５】
これとは反対に、接地電位を維持しながら連続的にプラズマ重合処理を行うことは可能である。即ち、帯型金属材を接地電位に維持して連続的に移送させながらプラズマ処理を行うことである。然し、接地電位を維持する場合は、プラズマ重合処理された基材に対して非接地電位を印加したときに得られる耐摩耗性などの蒸着特性を得ることができない。
【０００６】
このような従来のプラズマ重合処理装置の一例として日本公開特許公報平6-136506号には、前記非接地電位を維持しながら異常放電、不安定放電などを抑制することで帯型基材を連続的にプラズマ重合処理し得るように案出したプラズマ重合処理装置が開示され、この装置は、特定の圧力雰囲気下でプラズマ放電が発生するようにして、電極部だけに放電電圧が印加されるように構成されている。
【０００７】
詳しく説明すると、従来のプラズマ重合処理装置においては、図1に示したように、従動ローラー11と、駆動ローラー12と、1対のテンションローラー13、14と、支持具15が配置された移送チャンバ10と、基材に対する蒸着が行われる蒸着チャンバ20と、該蒸着チャンバ20内に設置されたローラー状の電極21及び該ローラー状の電極21に対向して配置された対向電極22と、前記移送チャンバ10と蒸着チャンバ20間に具備された絶縁性の遮蔽板30と、該遮蔽板30に形成され、前記移送チャンバ10と蒸着チャンバ20間の圧力差を維持させる2個の差圧シール31、32と、前記移送チャンバ10及び蒸着チャンバ20の圧力雰囲気をそれぞれ制御する真空ポンプ17、18と、前記蒸着チャンバ20に原料ガスを注入するガス注入口23と、前記移送チャンバ10及び蒸着チャンバ20にそれぞれ連結された各排気口16、24と、を備えて構成されている。
【０００８】
重合処理される帯型の金属基材1は、移送チャンバ10内の従動ローラー11から移送されて一方側の差圧シール31を経由して蒸着チャンバ20に導入された後、ローラー状の電極21に移動して対向電極22の附近を通過した後、他方側の差圧シール32を経由して前記移送チャンバ10内の駆動ローラー12に移送される。前記装置は、移送チャンバ10から蒸着チャンバ20に移送される帯型の金属基材1に、高周波放電によるプラズマ重合処理を行い、その後、前記帯型の金属基材1を前記移送チャンバ10に戻す過程で、前記蒸着チャンバ20の圧力雰囲気はグロー（glow）放電雰囲気にし、前記移送チャンバ10の圧力雰囲気は前記蒸着チャンバ20よりも低い非グロー放電雰囲気にすることを特徴とする。
【０００９】
プラズマ放電は、放電の種類に対応して特定の圧力雰囲気下で発生する傾向がある。例えば、プラズマ重合反応は、一般に、10-3〜10torrの圧力雰囲気であるときに発生しやすく、前記圧力雰囲気から外れると、グロー放電は発生され難い。従って、帯型の導電性金属材を重合処理する場合においても、移送チャンバ領域と蒸着チャンバ領域とを区分し、差圧シールを利用してそれぞれの領域を相異する圧力雰囲気に維持して、例えば、蒸着チャンバでは10-3〜10torrの圧力雰囲気にし、移送チャンバでは前記範囲以外の圧力雰囲気にすると、蒸着チャンバではグロー放電が発生するが、移送チャンバではグロー放電が発生しないので、異常放電を抑制することができると記載されている。
【００１０】
従って、上述したように各チャンバの圧力雰囲気を相異するようにすることで、基材全体では放電が行われず蒸着チャンバ内でだけ放電が行われるようにして、非接地電位に維持した帯型の金属基材に対しても、電極部以外の金属材における予測不可能な放電が防止されて、優れた膜質を有する被覆層が形成される。
【００１１】
然るに、このような従来のプラズマ重合装置においては、高周波放電によりプラズマ反応が発生する蒸着チャンバ内に、放電電極としてローラー状の電極と、対向電極として折曲された形状の対向電極と、が配設され、蒸着される基材の一表面が前記ローラー電極に接触され、この場合、プラズマ反応が旺盛に行われるローラー電極と対向電極間の基材は、対向電極側に対向された表面にだけ蒸着が行われるため、他の表面を蒸着するためにはプラズマ処理作業をもう一度行うべきであり、極めて面倒であるという不都合な点があった。
【００１２】
且つ、従来のプラズマ重合装置においては、高周波電源を使用して放電するため、電極として用いられる基材に（＋）、（−）電源が交互に印加され、この時、基材が（−）である場合、グロー放電雰囲気下に存在すると、対向電極の位置とは拘わらず、基材の全体部分から放電が発生する傾向がある。その理由は、放電は低い電位部分から電子が飛出してくることから開始されるからであると判断される。
【００１３】
また、従来のプラズマ重合装置においては、放電が対向電極が位置する部分だけで発生されるように、移送チャンバと蒸着チャンバ間に差圧シールを形成し、移送チャンバと蒸着チャンバとの雰囲気を相互に異なるように、即ち、移送チャンバは非放電雰囲気にしているが、この場合、基材全体から放電が発生することを防止するために各チャンバ間を密閉させるための装置を追加すべきで、区分されたそれぞれのチャンバを決まった圧力にするためには別途の真空ポンプが必要になり、結局、必要部品が増加して、コストが上昇するという不都合な点があった。
【００１４】
一方、蒸着チャンバ内の電極は一般に所定領域を有するが、この場合、電極領域の外縁部で反応ガスの炭化が発生し、このような炭化によって蒸着が不均一に形成されて、プラズマ重合処理される製品の均一性が低下するという不都合な点があった。
【００１５】
〔発明の開示〕
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたもので、基材に電圧を印加しても重合処理装置の本体とは絶縁されるようにして、装置駆動時の安全性を確保し得る、直流電源プラズマ重合連続処理装置を提供することを目的とする。
【００１６】
そして、本発明の他の目的は、チャンバ間を差圧シールなどで密閉させることなく、対向電極部分だけで放電が発生するようにして高品質の膜を蒸着することができると共に、基材の両表面を同一条件下で一回でプラズマ重合処理を行い得る、直流電源プラズマ重合連続処理装置を提供しようとする。
【００１７】
このような目的を達成するため、本発明に係る直流電源プラズマ重合連続処理装置においては、表面処理される基材を解いて他のチャンバに移送させる従動ローラー及び表面処理された基材を巻き取る駆動ローラーを具備する移送チャンバと、前記移送チャンバの従動ローラーから導入される基材を電極として使用し、該基材に対向する別途の対向電極を設置して、直流放電プラズマにより前記基材の表面をプラズマ重合処理する蒸着チャンバと、前記基材と電気的に接続されて該基材に高電圧を印加する高電圧供給部と、前記高電圧供給部と基材との間の電気的経路と重合処理装置の本体とを電気的に絶縁させる絶縁手段と、前記蒸着チャンバを真空に維持するためのポンピング手段と、反応性ガス及び非反応性ガスを蒸着チャンバ内に導入するガス供給部と、を備えて構成されることを特徴とする。
【００１８】
前記蒸着チャンバ内の基材は、パワーが印加されてアノード電極（または、カソード電極）として作用され、好ましくは、基材がアノード電極に、前記対向電極がカソード電極に、作用するようにパワーを印加する。
【００１９】
前記移送チャンバは、表面処理される基材を解いて他のチャンバに移送させる従動ローラーが設置された従動チャンバと、前記蒸着チャンバにより表面処理された基材を巻き取る駆動ローラーが設置された駆動チャンバと、を包含して構成される。
【００２０】
前記移送チャンバと蒸着チャンバ間には、表面処理されるべき、または表面処理された基材が自由に移動できる連通口が形成される。
【００２１】
本発明において、高電圧供給部によって印加されるパワーは基材に印加され、好ましくは、従動ローラーまたは駆動ローラーにパワーを印加することで、基材自体を電極の一つとして使用するようになる。この場合、従動ローラーまたは駆動ローラーがチャンバ内で支持される部分に、従動ローラー側または駆動ローラー側とチャンバ側間を絶縁させる絶縁部材を追加包含することができる。且つ、パワーを移送チャンバ内のアイドルローラーに印加して、該アイドルローラーに接する基材を電極として使用することもできる。
【００２２】
〔好適な実施形態を実施するための形態〕
以下、本発明の実施の形態に対し、図面を用いて説明する。
【００２３】
本発明に係る直流電源プラズマ重合連続処理装置の第1実施形態においては、図2に示したように、基材1を解いて蒸着チャンバ20に移送させる従動ローラー11と、重合処理された前記基材1を巻き取る駆動ローラー12と、前記従動ローラー11及び駆動ローラー12が配置される移送チャンバ10と、前記基材1に対して蒸着が行われる蒸着チャンバ20と、該蒸着チャンバ20内に設置されるカソード電極22と、前記移送チャンバ10と蒸着チャンバ20間に設置されるチャンバ壁34と、前記基材1が自在に移動できるように前記チャンバ壁34に穿孔形成された連通口33と、前記蒸着チャンバ20の圧力を制御するための真空ポンプ（未図示）と、前記蒸着チャンバ20に原料ガスを注入するためのガス注入口23及び前記蒸着チャンバ20に連結された排気口24と、により構成されている。
【００２４】
ここで、前記従動ローラー11に直流電源40を印加することによって蒸着されるべき前記基材1自体がアノード電極として用いられ、前記蒸着チャンバ20内のカソード電極22は蒸着されるべき前記基材1の両側に位置する。
【００２５】
また、前記従動ローラー11には直流電源40が印加され、よって、前記従動ローラー11に巻回された帯型（band-type）の基材1に直流電源が印加されたまま前記蒸着チャンバ20に移送される。
【００２６】
そして、反応ガスが注入された前記蒸着チャンバ20内で前記基材1と対向する前記カソード電極22との間で放電が行われることで、前記基材1の表面にプラズマ重合処理による膜蒸着が行われる。
【００２７】
このとき、前記基材1自体をアノード電極として使用し、対向する前記カソード電極22は前記蒸着チャンバ20内だけに位置するので、放電領域も前記蒸着チャンバ20内に制限され、従って、前記移送チャンバ10及び蒸着チャンバ20を密閉させるか、または、相互に相異する圧力雰囲気にするために、別途の真空ポンプを設置する必要がない。
【００２８】
且つ、前記カソード電極22は、前記蒸着チャンバ20内の蒸着されるべき前記基材1の両側に位置されるため、該基材1の両表面で同様な放電が発生してプラズマ重合処理が同時に行われる。
【００２９】
一方、前記移送チャンバ10と蒸着チャンバ20間に設置されて、前記基材1の移動を自在に行わせる前記連通口33が形成された前記チャンバ壁34は、前記蒸着チャンバ20内での蒸着過程で発生する汚染物質（例えば、炭化された反応ガス等）が前記移送チャンバ10に拡散されて前記基材1を汚染させることを效果的に遮断すると同時に、該基材1の各チャンバ10、20間の移動を円滑にさせる役割をする。
【００３０】
そして、本発明に係る直流電源プラズマ重合連続処理装置の第2実施形態においては、図3に示したように、基材1を解いて蒸着チャンバ20に移送させる従動ローラー11と、該従動ローラー11から移送される前記基材1に対する蒸着が行われる蒸着チャンバ20と、該蒸着チャンバ20により重合処理された前記基材1を巻き取る駆動ローラー12と、前記蒸着チャンバ20内に設置されたカソード電極22と、前記従動ローラー11が位置される従動チャンバ36と蒸着チャンバ20との間及び前記蒸着チャンバ20と前記駆動ローラー12が位置される駆動チャンバ38との間にそれぞれ設置されるチャンバ壁34と、前記基材1が自在に移動できるように前記チャンバ壁34にそれぞれ形成される連通口33と、前記蒸着チャンバ20の圧力を制御するための真空ポンプ（未図示）と、前記蒸着チャンバ20に原料ガスを注入するためのガス注入口23及び前記蒸着チャンバ20に連結された排気口24と、により構成されている。
【００３１】
このように構成された本発明に係る直流電源プラズマ重合連続処理装置の第2実施形態においては、前記従動ローラー11に直流電源40が印加され、パワーが印加されることによりアノードとして用いられる前記基材1の両側にカソード電極22が位置する点では、前記第1実施形態と同様であるが、前記従動ローラー11は従動チャンバ36に配置され、前記駆動ローラー12は駆動チャンバ38に配置されて、前記従動チャンバ36、蒸着チャンバ20及び駆動チャンバ38が順に連結して配置され、従って、前記チャンバ壁34が前記従動チャンバ36と蒸着チャンバ20間及び前記蒸着チャンバ20と駆動チャンバ38間にそれぞれ設置されている点では相異する。
【００３２】
このような配置は、前記蒸着チャンバ20内におけるカソード電極22と基材1との対向面積を最大化することが可能で、連続作業において前記基材1に与える張力を抑えて作業の進行を円滑にすることが可能で、前記従動チャンバ36と駆動チャンバ38とがそれぞれ分離されているので、駆動チャンバに別途追加の装置を設置することが容易になる。また、従動チャンバ、蒸着チャンバ及び駆動チャンバのそれぞれに対して相互に相違する仕方で制御することも可能であるので、重合処理される基材の生産性を最大化することができる。
【００３３】
ここで、基材1にパワーを印加する例として、従動チャンバ36内の従動ローラー11にパワーを印加することで、作業中帯型の基材1が切断されるか、または、ローラーから基材1が外れるようなことが発生した場合は、蒸着チャンバ20及び駆動チャンバ38では電源が自動的に遮断されるので、感電や装置に電気的衝撃が加えられることを防止することができる。
【００３４】
そして、前記第2実施形態の変形例として、図4に示したように、蒸着チャンバ20内の各カソード電極22a、22b、22c、22dを蒸着される基材1の両側に2個ずつ設置することもできる。このような電極構造は、電極領域の外縁から主に発生する炭化によって電極が汚染され、よって、蒸着が不均一になってプラズマ重合処理される製品の均一性が低下することを防止して、放電領域の全体に亘って炭化が均一に発生するようにして製品の信頼度を向上させることができる。その他の変形例として、電極の個数を複数個設置することもできる。また、上述した電極構造を、図1に示した直流電源プラズマ重合連続処理装置にも適用することができる。
【００３５】
図4において、各電極22a、22b、22c、22dにそれぞれ抵抗41が接続されているが、それら抵抗41は、各電極での電流及び電圧の変動を防止して、安定したプラズマ発生を可能にする役割をする。
【００３６】
ここで、基材にパワーを印加する別の方法として、アイドルローラー（idle  roller）にパワーを印加する方法について、図5A〜5Cに基づいて説明する。
【００３７】
アイドルローラーは、移送チャンバの内部の従動ローラーに隣接して位置されて、移送される基材と接触して基材の移送軌跡を一定に維持させ、基材が垂れないように張力を与える。図5Aは、アイドルローラー51に基材1が接した状態を示した平面図で、図5Bは、移送チャンバ内のアイドルローラーに電源を印加する方法を示した模式図、図5Cは、アイドルローラー51を軸支する軸支持部を示した断面図、である。前記軸支持部は、前記アイドルローラーの端部の軸52が挿入されて回転自在にさせるベアリング53と、該ベアリングが設置されるブロック54と、該ブロック54の一方側に設置されて高電圧供給部の電源が接続されるコネクター57と、前記ブロック54を下部で支持して、前記アイドルローラーに加えられる荷重をチャンバの底部に伝達させる支持体56と、前記ブロック54と支持体56間に挿入されて電気的に絶縁させる絶縁部材55と、により構成されて、アイドルローラーに加えられる基材の荷重を移送チャンバの底部に伝達する役割をする。即ち、前記ブロック54のコネクター57に電源を接続するとアイドルローラー51にパワーが印加され、その結果、アイドルローラーに接した基材1が電極として作用する。従って、絶縁部材を除いた前記軸支持部の各構成要素及び前記アイドルローラーは金属材質を使用すべきである。
【００３８】
基材にパワーを印加する時、従動ローラー（または駆動ローラー）は移送チャンバとは絶縁させるべきで、その絶縁方法の一例を図6に示した。
【００３９】
移送チャンバ60Bは、該移送チャンバ60Bの外部から従動ローラー64に回転力を提供する駆動部60Aと、該駆動部60Aに直接連結されて該駆動部60Aの回転力を伝達する第1駆動軸61と、基材が巻回されているローラー64と前記第1駆動軸61とが噛合して連結される第2駆動軸62と、該第2駆動軸62を軸支して該第2駆動軸62に加えられる基材の荷重を移送チャンバ60Bの底部に伝達する各軸支持部63a、63bと、前記第1駆動軸61と第2駆動軸62間に挿入されて両駆動軸61、62間を絶縁させる絶縁カップリング66と、により構成され、前記駆動部60Aと反対側の第2駆動軸62とはチャンバ壁80により離隔されている。ここで、前記駆動部60Aは、モータ71及び減速器70を包含して構成される。
【００４０】
図中、未説明符号69はロータリーフィードスルー（rotary  feedthrough）、67はスプライン（spline）、68はチェーンをそれぞれ示す。
【００４１】
なお、前記軸支持部は、図5Cに示したものと同一の構造とすることが可能であり、即ち、前記第2駆動軸62の端部が挿入されて回転自在とされるベアリング53と、該ベアリング53が設置されるブロック54と、該ブロック54の一方側に高電圧供給部の電源が接続されるコネクター57と、前記ブロック54を下部で支持して前記第2駆動軸62に加えられる荷重をチャンバの底部に伝達させる支持体56と、前記ブロック54と支持体56間に挿入されて電気的に絶縁させる絶縁部材55と、により構成される。
【００４２】
従って、従動ローラー64の一方側は離隔され、他方側は絶縁カップリング66により前記駆動部60Aに連結され、前記各軸支持部63a、63bにはそれぞれ絶縁部材55が挿入されるので、前記従動ローラー64は全体的にチャンバと絶縁されることになる。このような絶縁方法は、駆動ローラーに対しても同様に適用することができる。
【００４３】
一方、従動ローラー（または駆動ローラー）にパワーを印加する場合、前記軸支持部のベアリングが設置されるブロックにパワーを印加して、前述された方法と同様にして従動ローラー（または駆動ローラー）をチャンバと絶縁させる。
【００４４】
以上説明したように、本発明に係る直流電源プラズマ重合連続処理装置においては、移送チャンバと蒸着チャンバ間を差圧シールなどにより密閉させなくても対向電極部分だけで放電が発生するようにして高品質の膜を蒸着することが可能で、基材の両表面を同一条件下で一度にプラズマ重合処理して製品の生産性を向上し得るという効果がある。
【００４５】
且つ、電極を複数個設置するため、電極上の炭化が放電領域全体に亘って均一に発生して、均一な膜蒸着が可能になるという効果がある。
【００４６】
また、基材自体を電極、好ましくは、アノード電極として使用するため、重合処理効果を向上させることが可能で、基材にパワーを印加する方法も工程条件によって多様に選択することができる。
【００４７】
従って、本発明に係る直流電源プラズマ重合連続処理装置を適用すると、一層効率的に良質のプラズマ重合処理された膜を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来のプラズマ重合連続処理装置を示した断面模式図である。
【図２】  本発明に係る直流電源プラズマ重合連続処理装置の第1の実施形態を示した断面模式図である。
【図３】  本発明に係る直流電源プラズマ重合連続処理装置の第2の実施形態を示した断面模式図である。
【図４】  本発明に係る直流電源プラズマ重合連続処理装置の他の実施形態を示した断面模式図で、2つの電極が、図3に示される装置における基材の両側に設置されている。
【図５Ａ】  移送チャンバ内のアイドルローラーに基材が接した模様を示した平面図である。
【図５Ｂ】  移送チャンバ内のアイドルローラーに電源を印加する方法を示した模式図である。
【図５Ｃ】  アイドルローラーを支持する軸支持部を示した断面図である。
【図６】  移送チャンバ内の従動ローラー（または駆動ローラー）を示した平面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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