(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
原材料中及び製造工程で混入する燐及び硼素の量の和を０．００４ｗｔ％以下（零を含まず）で、且つ硼素の量を０．００２ｗｔ％以下（零を含まず）、燐の量を０．００２ｗｔ％以下の特定量に精製してフェライト材料を製造し、該材料の焼成に際し、９００℃から焼成温度までの昇温部の雰囲気の酸素分圧を１５％以下（零を含まず）にし、且つ、焼成温度を１２５０℃以上，１４００℃以下にすることを特徴とするソフトフェライトの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のソフトフェライト材料を製造するに際し、主成分がＭｎＯ換算で３０〜４１mol%の酸化マンガンとＺｎＯ換算で６〜１６mol%の酸化亜鉛と残りが酸化鉄であり、ＳｉＯ2 換算で０．００５〜０．０２５wt% の珪素とＣａＯ換算で０．０２〜０．１５wt% のカルシウムを含み、さらにＮｂ2 Ｏ5 換算で０．０６wt% 以下（零を含まず）のニオブ，Ｖ2 Ｏ5 換算で０．０８wt% 以下（零を含まず）のバナジウム，ＺｒＯ2 換算で０．０７wt% 以下（零を含まず）のジルコニウム，ＳｎＯ2 換算で０．４wt% 以下の（零を含まず）のスズ及びＴｉＯ2 換算で０．３wt% 以下（零を含まず）のチタンの１種以上を含み、その成分元素または添加物の一部または全部を溶液で混合し噴霧焙焼によって製造することを特徴とするソフトフェライトの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
近年、エレクトロニクス機器の普及に伴って益々機器の小型化，軽量化の要求が激しくなって来ている。特に重量的にも、容積的にも主要部分を占める電源の小型化が標的となっているが、この対応のため、電力変換部の周波数を上げて処理する所謂「高周波電源方式」が急激に増加して来ている。この用途に使われるフェライト磁性体は高周波且つ強磁場中で動作させるので、一般の用途のものに比べて電力損失が著しく大きくなってしまう。
【０００２】
本発明は、この高周波電力損失を低減し、小型化可能な高周波電源用ソフトフェライトの製造方法に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】
従来、この種の高透磁率，低損失磁性材料の製造にあっては漠然と出発原料物質の中に含まれる不純物が極めて低いものを使用しなければならないとされている。特に、添加微量成分によって特性改善を計る場合には、これら微量添加成分に比べて十分低い不純物の原材料を選択しなければならない状況になってきている。然し、この純度の高い原料の選択のみで所要の特性改善を計ると当然コスト高を招き、場合によっては製品の実用性を失わせることにもなる。
【０００４】
その対策として、例えばマンガン亜鉛系フェライトにとってＣａＯやＳｉＯ2 は代表的不純物であると同時に、後述の通り低損失化の添加物としても有効でよく活用されるので、補正可能量であれば許容されることが知られている。又、燐の相当量の添加・含有，若しくは工程での混入が「組成成分のみの原因」でフェライトの特性に漠然と影響することも知られている。
【０００５】
例えば、特開平２−３０６６０号公報には副成分の燐の量が０．００１wt% より少ない場合結晶粒径が小さく、また、０．００７wt% より多い場合には大きくなるため、電力損失が大きくなって不適当であると記述され、その特許請求の範囲にも明確に「燐を０．００１〜０．００７wt% 」と記載されている。即ち、燐の含有量の範囲が低損失酸化物磁性材料の必須要件として明示されている。なお、この燐を含む添加物の量等は予め原料に含まれているものを分析し考慮していると付記されている。
【０００６】
特開平４−９２８２２号公報によれば、燐の添加量は従来０．００８wt% 〜０．０１５wt% を添加すると、最終焼結温度を２０℃下げる効果があって、産業に与える影響としては炉の寿命と熱エネルギーの改善に貢献してきたが、「燐の添加量を制限」する事によって損失も小さくする事ができたと記載されている。その実施例中では、燐を０．００３３wt% 含ませる事によってコアー損失を小さくする事ができると説明している。又、燐の含有率と損失の関係を確認するための実施例では燐の添加量の水準が０．００１２〜０．０１wt% （効果を示すグラフは第１図）の範囲で行われ効果の損失測定は１６KHz で行なわれている。
【０００７】
従って、これらの先行技術の思想は焼結温度を下げるため相当量の燐（０．００１２wt% 以上）を含ませることにあるが、０．００５wt% 以下に押えればコア損失も低く押えられる範囲であり、本願出願前に公開されている前述の特開平２−３０６６０号公報の特許請求の範囲でも燐の量を０．００１〜０．００７wt% と制限したと同質の論理に基づくもので、燐の量が０．００２wt% 以下という添加量又は存在量の少い事と焼成条件との相互作用による効果については「認識されていない」と理解される。原料中の硼素・燐について何等の吟味又は説明のない事も「相当量含ませ得る事」を前提としていることを示唆している。
【０００８】
特開平５−２１７７３３号公報には、（２５KHz-２００mt−１００℃）に於ける磁心損失を５５KW/m3 以下とするには燐の量を原料中に含有するものを含めて０．００１wt% 以下にすることが必要であると記載されている。然しながら、成分，副成分以外の製造條件（焼結温度が低く過ぎると）が不適切であれば燐が０．００１wt% 以下のものでも、燐が０．００１wt% 以上のものより悪くなる場合もある事も示唆されており、再現性の條件が欠けている事を自認している。
【０００９】
更に、特開平６−１４０２３１号公報ではソフトフェライト中の燐の含有量が０．００３wt% 以下、即ち０〜０．００３wt% に規制する事が望ましく、同実施例１ではサンプルNo１中の燐の総計は０．００３wt% 未満であったとし、サンプルNo２〜４９も同様であったと記述されている。この先行技術に於ては燐のみ且その存在のみが量には関係なく、漠然と焼結フェライトに影響がある事を示唆しているのに過ぎない。従って燐が０〜０．００３wt% の範囲で副成分と影響し合う事はないと理解されている。
【００１０】
発明が解決しようとする課題として先行技術を比較把握するには低損失材料の測定周波数は極めて重要であり、２０KHz 前後と１００KHz 前後では同一の材料でも全て逆の損失値を示す場合があるからである。即ち、同一の成分組成であっても結晶成長状態，粒界・結晶内の酸化度合によって電気的特性が異るという事である。
【００１１】
また、マンガン亜鉛系フェライトの特性改善とコスト改善のために、従来の一般的課題とされていた不純物の混入防止、組成成分の均一化，粒子の微細化焼結等の効果を期待した主成分・副成分の溶液混合・噴霧焙焼法等も数多く開示されている。例えば、特開平３−１１６８０３号では従来の酸化物混合法の既知の添加物Ｓｉ，Ｃａ，Ｈｆを噴霧法で行えばＨｆが粒界のみならず、フェライト中に固溶するためにより高抵抗の粒子ができて電力損失が低下するとしている。
【００１２】
特開平４−１２５０４号では、Ｍｎ−Ｚｎフェライトの噴霧焙焼前にＳｉ，Ｃａの副成分を同時に溶解添加すると、工程全体が簡略化されて特性が若干改善されるとしている。
【００１３】
特開平４−１９２３１０号では、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトにＢｉを０．０５wt% 以下を添加してＨｉｇｈμ材を得るのに際し、ＢｉまたはＢｉ塩の化合物を溶解混合して噴霧焙焼すると組成が均一で且つ結晶粒が均一で粒径が大きくなり、空孔も少ないものが得られてμｉ特性が大幅に改善されるとしている。
【００１４】
更に、特開平４−３０７９０３号ではソフトフェライトにＳｉ，Ｃａ，Ｚｒの添加を噴霧焙焼法で行うと損失特性の大幅な改善がされるとしている。然し、何れの先行技術も添加成分を噴霧焙焼で主成分と同時に行えば組成が均一で且組織が均一な微細粒子となるが、添加物の効果は同傾向で従来法に比べて稍改善されるか、焼結條件が若干ズレる程度で全く予想されないような結果は少い。
【００１５】
特開平３−１６３８０２には酸化燐／又は酸化硼素０．０１wt% 以下（好ましくは０．００００５wt% 以上）の範囲、特開平３−２２３１１９には酸化燐／又は酸化硼素０．００３wt% 以下（好ましくは０．０００１wt% 以上）とされているが何れも微量の添加によって鉄損の低減をもたらす有用成分と明示されているが添加量の増加によって鉄損が減少する傾向は殆ど見受けられないのみならず上限値に比べ好ましいとする燐の添加量，０．００００５wt% 、０．０００１wt% は検出精度に照らしても殆ど含まれてないと表現してよい値であり燐の添加量が直に鉄損の減少に影響しているとは判断し得ず、他の必須主要因も存在している事を示唆している先行技術であり、本出願はまさにこの必須要件を見出したものである。
【００１６】
以上に述べた先行技術をまとめるとＭｎ−Ｚｎ系フェライトのコア損失を低減させるためには特開平２−３０６０号，特開平４−９２８２２号，特開平５−２１７７３３号で燐の含有量を適切な範囲に添加することが提案され、更に燐と同様の効果を示す硼素の添加について特開平３−１６３８０２及び特開平３−２２３１１９で単独又は複合で微量添加する事も提案されているが、本発明は、フェライトコアの損失を確実に再現性良く低減させるためには、燐・硼素の含有量を制御するだけでは足りず、フェライトと原材料中及び製造工程で混入する燐及び硼素の各々の量と合計量を一定量以下の特定量に制御し、さらに昇温時より酸素量の制御を含めた焼成條件の調整を行う事が必須である事を究明したものである。又特開平３−１１６８０３号，特開平４−１２５０４号，特開平４−１９２３１０号では主成分，副成分，添加物の溶液混合，噴霧焙焼法等が試みられているが従来法に比べ添加物，不純物制御効果は同傾向を示し、改善効果が稍強調されるに過ぎないか、又は製造條件が若干ズレる程度である。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、電源装置を小型軽量化するには前述の如く処理周波数を上げた方が有利である。しかし、実際にはいろいろな制約があって５００KHz 程度が実現できる範囲と考えられている。従来、この種のフェライトとしてマンガン，亜鉛と酸化鉄等を主体とするものが好適とされている。また、副成分，添加物，製造條件等を検討改善することから、この要望に対応してきているが、弱磁界の損失と異って比較的強い磁界中で動作するものであるため、一般の用途に比べて高周波で且磁気損失が著しく増大するところに最大の問題があり、此の視点に合せたアプローチが必要になって来る。
【００１８】
従って、主成分は従来既知のマンガン亜鉛系であってもヒステリシス損に関係する飽和磁束密度Ｂｓ，及びＢｓと残留磁束密度Ｂｒとの差であるΔＢが大きく、且渦電流損に関係する比抵抗が大きい事が必要である。更に、電力消費を考えると動作温度範囲で一番変化量が少い，即ち、常温附近ではパワーロスの温度係数が負である方が望ましいというフェライトとしては特殊な特性が要求されているのである。
【００１９】
この様に高性能化を追求しなければならなくなればなる程、製品バラツキを小さくする要求は当然高まるにも拘らず、産業上の要請はコストの上昇を最小限しか許さず、均一で安定した製造手段の究明により要求を満足しなければならなくなる。従って、従来のように主として組成成分の特定だけで調整バランシングするだけでは到底十分な目標特性，コストの製品が得られないため、視点を変えると同時に多面的に交絡的要件の研究解明が必要となった。
【００２０】
本発明は、フェライトの原材料中及び製造工程で混入する燐及び硼素を特定量に制御し、更に、焼成を適正な條件で行うことによりフェライトのコア損失を低減させるソフトフェライトの製造方法を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係るソフトフェライトの製造方法においては、原材料中及び製造工程で混入する燐及び硼素の量の和を０．００４ｗｔ％以下（零を含まず）で、且つ硼素の量を０．００２ｗｔ％以下（零を含まず）、燐の量を０．００２ｗｔ％以下の特定量に精製してフェライト材料を製造し、該材料の焼成に際し、９００℃から焼成温度までの昇温部の雰囲気の酸素分圧を１５％  以下（零を含まず）にし、且つ、焼成温度を１２５０℃以上，１４００℃以下にするようにされている。又好ましくは上記の硼素と燐の和を０．００３５ｗｔ％  以下（零を含まず）で、且つ硼素の量を０．００２ｗｔ％  以下（零を含まず）、燐の量を０．００１５ｗｔ％  以下、更に好ましくは硼素と燐の量の和を０．００２５ｗｔ％  以下（零を含まず）で、且つ硼素の量を０．００１５ｗｔ％  以下（零を含まず）、燐の量を０．００１ｗｔ％  以下とするのが望ましい。
【００２２】
本発明の請求項２に係るフェライトの製造方法において原材料中及び製造工程で混入する燐及び硼素の量の和を０．００４wt% 以下（零を含まず）で且つ、硼素の量を０．００２wt% 以下（零を含まず）で、且つ、燐の量を０．００２wt% 以下にすると共に、主成分がＭｎＯ換算で３０〜４１mol%の酸化マンガンと、ＺｎＯ換算で６〜１６mol%の酸化亜鉛と、残りが酸化鉄であり、ＳｉＯ2 換算で０．００５〜０．０２５wt% の珪素とＣａＯ換算で０．０２〜０．１５wt% のカルシウムを含み、更に、Ｎｂ2 Ｏ5 換算で０．０６wt% 以下（零を含まず）のニオブ，Ｖ2 Ｏ5 換算で０．０８wt% 以下（零を含まず）のバナジウム，ＺｒＯ2 換算で０．０７wt% 以下（零を含まず）のジルコニウム，ＳｎＯ2 換算で０．４wt% 以下の（零を含まず）のスズ及びＴｉＯ2 換算で０．３wt% 以下（零を含まず）のチタンの１種以上を含み、その成分元素または添加物の一部または全部を溶液で混合し、噴霧焙焼によってフェライトを製造するようにされている。
【００２３】
【作用】
本発明の請求項１に係るソフトフェライトの製造方法によれば、軟磁性フェライトの高周波高磁束密度における低磁心損失の得られる製造條件の許容領域が燐及び硼素の量の増加に従って狭くなるので原材料中及び製造工程で混入する燐及び硼素の量の和を０．００４ｗｔ％  以下（零を含まず）で、且つ硼素の量を０．００２ｗｔ％  以下（零を含まず）、燐の量を０．００２ｗｔ％  以下の特定量に精製してフェライト材料を製造し、該材料の焼成に際し、９００℃から焼成温度までの昇温部の雰囲気の酸素分圧を１５％  以下（零を含まず）にし、且つ、焼成温度を１２５０℃以上，１４００℃以下にすることにより製造工程領域が拡大出来てより再現性良く、高周波，高磁束密度に於て低損失な軟磁性フェライトが得られる。
【００２４】
本発明の請求項２に係るソフトフェライトの製造方法によれば、マンガン亜鉛系フェライトの内、比較的高透磁率で且高周波，高磁束密度に於ける損失が低い材料が安定に得られる。
【００２５】
【実施例】
本発明は一見すると、従来技術の「微量成分組成によるフェライト特性の改善」と受取られ易いが、前述の如く「１００KHz 以上に於ける低損失，強磁界に於ける低損失」という新しく、且つ、難しい課題に対して多面的な究明から導き出されたものである。
【００２６】
その具体的手段は「結晶粒子を急激に成長させる微量不純物の量を低く押える（或る量を超える場合には精製する）」と共に、「結晶化の初期，即ち、焼結昇温時から酸素分圧を低くする」というプロセスを採る事によって実現したものである。特に、重要なことは１００KHz 以上の高周波に於ける損失を低下させるには結晶成長が終了した後では効果的に作用しない事に着目したことである。
【００２７】
以下、この手段について詳しく説明すると、一般に高性能フェライトを製造するには高純度主成分原料を用い微量組成物，添加物により結晶の構造を制御しているが、出発原料中の不純物が少い方が良いからといって全ての不純物が少いものを選択すれば、品質コストのバランスが取れないから産業上利用できないものになってしまう。此のためには後述するようにＳｉ，Ｃａの様な粒界酸化調整のための成分は添加量も比較的多量であり、或程度含まれていても含有量を考慮して添加し、焼結全体として結晶状態を調整することにより解決出来る。
【００２８】
然し、本発明の如く超高品質の低損失材料を目標とするには此等の添加物の1/10〜1/100 という極々微量の燐，硼素の存否が課題を解決出来なくするので、此の二成分については特に低含有量の原材料を選択し且補正する事により課題解決効果のバラツキを抑えるようにされている。
【００２９】
燐，硼素は微量でも焼結特性を急激に変化させる成分であり、フェライト主成分と反応して液相を形成するので、一般には不均質な微細結晶構造を形成してしまい、磁気特性を劣化させるものと考えられる。従って、高透磁率で高周波に於て低損失の磁気特性を得るにはこの二成分の含有量が少い原料ソースを積極的に選択する事が必要で、特定量を越すと他の副成分・添加成分・焼結條件との相互作用を利用出来る領域が得られなくなる。
【００３０】
本発明によれば各成分が単独の場合、燐については０．００２wt% ，硼素については０．００２wt% で、二成分が共存する場合は０．００４wt% 以上になると相互作用を失う，即ち、添加物を含め他の製造要件を変化させても磁気特性を調整不可能な程急激な結晶成長を促す限界量である事が判明した。従って、課題解決のためには主成分原料を選択するに際し、少くとも硼素については０．００２wt% 以下（零を含まず）、燐については０．００２wt% 以下、共存する場合は合計で０．００４wt% 以下（零を含まず）のものを選び、コンタミ量を考慮して上記限度量以下の特定量に調整する。又好ましくは上記の硼素と燐の和を０．００３５wt% 以下（零を含まず）で、且つ硼素の量を０．００２wt% 以下（零を含まず）、燐の量を０．００１５wt% 以下、更に好ましくは硼素と燐の量の和を０．００２５wt% 以下（零を含まず）で、且つ硼素の量を０．００１５wt% 以下（零を含まず）、燐の量を０．００１wt% 以下とするのが望ましい。
【００３１】
又、前述の通り、この二成分以外にもいろいろな不純物が含まれる可能性があり、種類と量によっては微細構造が変化するので特性調整又は改良成分として逆に作用する場合も多い。特に、高性能を得るためには前述の如く一般に不純物の許容量が少いがマンガン亜鉛系フェライトにとってＣａＯやＳｉＯ2 は代表的不純物であると同時に調整添加物としても知られている。
【００３２】
一般に、ＣａＯの量が増加すると低周波のμｉは漸次低下し、高周波のμｉは上昇するが０．０２５wt% よりは低下するという適当な範囲をもっている。また、ＣａＯが粒界に偏析して酸化し低損失化に寄与して改善されていると考えられる。ＳｉＯ2 についても同様に偏析が観測されるが何れも多量に過ぎると異常成長が起って比抵抗が低くなり改善効果が少くなる。従って、原料中の量を含めＣａＯが０．２５wt% 以下、ＳｉＯ2 が０．０２wt% 以下の範囲で目標特性に応じ添加量を調整することが望ましいことが知られているが、此等の調整効果が得られる領域と度合は前記燐と硼素の含有量及び焼成條件が前提となっている事が明かとなったのである。
【００３３】
又、ＣａＯ，ＳｉＯ2 の最低量は原料中の含有量と調整目的によって定まる。ＳｉＯ2 ，ＣａＯが粒界に偏析していると焼成雰囲気，特に酸素量に影響を受け易いが、粒界のみを酸化させると粒界の比抵抗を高くする事ができる事が知られている。然し、此の点についても燐と硼素が前記限界値を越すと、云いかえれば急激に結晶が成長し過ぎると従来技術では到達できない程低損失を得る手段である「昇温時の酸素量による特性改善効果を期待出来なくなってしまう」という新しい知見を得たものである。
【００３４】
又、粒界自体の厚さ、結晶粒子間の距離も磁気特性には関係が深いが部分的に大き過ぎても劣化するので上記Ｓｉ，Ｃａ等の粒界形成物質は分散した状態で加える必要があり、必要によっては主成分と同時に噴霧焼結する事によってより好ましい成果が得られた。更に、高周波電源用フェライト分野に必要とされる特性は基本としてＢｓが高く、しかもΔＢが大きい、つまりＢｒが低いものが必要である事は当然で、主体的には高飽和磁束密度で高透磁率を兼ね得る主成分領域を選択する必要がある。
【００３５】
このことから、ＭｎＯの換算で３０〜４１mol%の酸化マンガン，ＺｎＯ換算で６〜１６mol%の酸化亜鉛、残りが酸化鉄である範囲が好適である。この範囲外では、コア損失が増大し、さらにコア損失の極小温度が６０℃以下になったり、キュリー温度が２００℃以下になったり、または初透磁率が低下したり、残留磁束密度（Ｂｒ）が増大したりする。更に、微調整バランシング添加物として前記ＳｉＯ2 ，ＣａＯの外Ｎｂ2 Ｏ5 換算で０．０６wt% 以下のニオブ，Ｖ2 Ｏ5 換算で０．０８wt% 以下のバナジウム，ＺｒＯ2 換算で０．０７wt% 以下のジルコニューム，ＳｎＯ2 換算で０．４wt% 以下のスズ，及びＴｉＯ2 換算で０．３wt% 以下のチタンの一種以上を添加して調整する。Ｎｂ2 Ｏ5 が０．０６wt% を越えるとき、コア損失が増大し、初透磁率が低下した。Ｖ2 Ｏ5 が０．０８wt% を越えるとき、コア損失が増大し、初透磁率が低下した。ＺｒＯ2 が０．０７wt% を越えるとき、コア損失が増大し、初透磁率が低下した。ＳｎＯ2 が０．４wt% を越えるとき、コア損失の極小温度が６０℃以下となった。ＴｉＯ2 が０．３wt% を越えるとき、コア損失の極小温度が６０℃以下となった。又此の種の出発原料の選定に当っては、本発明の添加物を含む組成成分の管理と補正は勿論Ｓｒ，Ｂａを始めとする、その他の不純分も合計で０．０５wt% 以下に押える事が作用効果を減少させないために望ましい。
【００３６】
急激なフェライト結晶化促進成分である燐，硼素が極めて少い出発原料物質を選定すると共に、コンタミ量を考慮して補正するか、必要によっては脱燐，脱硼素工程を設け、完成品の燐の含有量を０．００２wt% 以下、硼素を０．００２wt% 以下（零を含まず）、共存の場合は合計０．００４wt% 以下（零を含まず）となる様に調整プロセスを設ける。又好ましくは上記の硼素と燐の和を０．００３５wt% 以下（零を含まず）で、且つ硼素の量を０．００２wt% 以下（零を含まず）、燐の量を０．００１５wt% 以下、更に好ましくは硼素と燐の量の和を０．００２５wt% 以下（零を含まず）で、且つ硼素の量を０．００１５wt% 以下（零を含まず）、燐の量を０．００１wt% 以下とするのが望ましい。その調整プロセスでフェライト結晶の急成長を押えた上で、焼結昇温中に低酸素分圧にする事により高周波損失が少く且所望の特性に調整する微量添加物成分，即ち、Ｃａ，Ｓｉ，Ｎｂ，Ｖ，Ｓｎ，Ｔｉ等が有効で且安定に作用する製造條件の領域が広くなる事が判明した。
【００３７】
此の結晶成長を急激に促進させる硼素と燐も前述の限界量以下にすれば、一時粒子径の選択によって約３０％程度のコア損失のピークを改善出来るし、溶液混合する等、原料粒子間のコンタクトを大きくする事による改善効果も期待出来る上、第３図に示す様に特に昇温部（９００℃から焼結温度まで）の低酸素分圧によるコアー損失の改善効果、第２図に示す様に焼成温度（１２５０℃以上１４００℃以下）の範囲で上記添加物の効果が有効且安定に引出せる事が明かとなった。
【００３８】
此等の作用効果は課題が一見類似している所から先行技術と同一視され易いが、電力として制御出来る原子エネルギーと爆弾としての原子エネルギーの如く、結晶成長の程度を制御する前提條件として燐と硼素が限界量として作用している。従って、先行技術が開示しているものとは全て逆の傾向を示す場合、例えば前述の昇温中の酸素量と燐の関係等、も出て来る。これは組成成分が定まれば直に電気・磁気的特性が定まるという一般化学物質と異るのは混合体の一種である固溶体本来の性質からであろう。基本組成・成分と結晶化促進成分、特性調整成分の内、特に強力結晶化促進成分である硼素・燐を低く押えた事が安定で且多量に（工程品質能力Ｃｐを大きく出来る）供給出来る製造條件が設定し得る事になったと考えられる。
【００３９】
従って、これは硼素・燐の「添加（量）による作用効果」に起因する特性改善効果と云う従来の技術思想とは異り、「急激結晶促進成分の少い領域で安定化して改善要因間の相互作用を課題に究明」した結果、一見同様に見えるが固溶体特有の新しい知見が得られたものである。前述の先行技術間等で、理解出来ない請求範囲及び詳細な説明の相違はこの事を裏付けるものである。又、此等の作用は成分組織の一部又は全部を溶液にて混合し、更に噴霧焙焼して混合の均一化を計っても組成成分及び添加量による基本的作用効果の傾向は変らず、若干の製造條件の調整によって高周波電源材料としての最適値を得る事が出来る事は変らない。
【００４０】
【実施例１】
燐及び硼素含有量の異なるＦｅＣｌ2 及びＭｎＣｌ2 を混合した溶液を、酸化焙焼して得た酸化鉄及び酸化マンガンの混合物に、亜鉛フェライト（ＺｎＦｅ2 Ｏ4 ）と、ＳｉＯ2 ，ＣａＣＯ3 ，Ｎｂ2 Ｏ5 及びＶ2 Ｏ5 を添加して混合・粉砕を行いＭｎＺｎフェライト材料を作成した。
これらのフェライト材料に、バインダーを加えてトロイダル形状に加圧成型し、空気と窒素ガスを混合した雰囲気中で本焼成した。
以上のようにして得られたフェライトコアのコア損失を図１，図２及び図３に示す。燐及び硼素含有量の少ない試料、昇温部の酸素分圧の低い焼成条件でコア損失が低減した。
【００４１】
【実施例２】
ＦｅＣｌ2 及びＭｎＣｌ2 を混合した溶液を、酸化焙焼して得た酸化鉄及び酸化マンガンの混合物に、亜鉛フェライト（ＺｎＦｅ2 Ｏ4 ）と、ＳｉＯ2 ，ＣａＣＯ3 ，Ｎｂ2 Ｏ5 ，Ｖ2 Ｏ5 ，ＳｎＯ2 及びＴｉＯ2 を添加して混合・粉砕を行い、表１に示すＮｏ．１〜９の試料を作成した。
これらの試料に、バインダーを加えてトロイダル形状に加圧成型し、空気と窒素ガスを混合した雰囲気中で１３２０℃で４時間本焼成した。
以上のようにして得られたフェライトコアのコア損失を表１に示す。燐及び硼素含有量が少なくて（燐・硼素各々が０．０００５wt% ）、且つＮｂ2 Ｏ5 ，Ｖ2 Ｏ5 ，ＺｒＯ2 ，ＳｎＯ2 及びＴｉＯ2 の１種以上を含有する試料でコア損失が低減した。
【００４２】
【実施例３】
ＦｅＣｌ2 及びＭｎＣｌ2 を混合した溶液に、Ｓｉ，Ｃａ，Ｎｂ，Ｚｒ及びＳｎを塩化物か、または可溶性の形態で添加した後に、酸化焙焼して酸化鉄及び酸化マンガンの混合物を得た。これに亜鉛フェライト（ＺｎＦｅ2 Ｏ4 ）を混合して粉砕を行い、表１に示すＮｏ．１０の試料を作成した。
この試料に、バインダーを加えてトロイダル形状に加圧成型し、空気と窒素ガスを混合した雰囲気中で１３２０℃で４時間本焼成した。
【００４３】
以上のようにして得られたフェライトコアのコア損失を表１に示す。焙焼後に微量成分を添加したＮｏ．９の試料に比べて、Ｎｏ．１０の試料でコア損失がさらに低減した。
【００４４】
【表１】
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【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、硼素と燐の含有量及びコンタミ量を含めて各々０．００２０wt% ，０．００２０wt% 以下，和として０．００４wt% 以下（零を含まず）に押え、Ｆｅ2 Ｏ3 ，ＭｎＯ，及びＺｎＯを主成分とし副成分としてＳｉＯ2 換算で０．００５〜０．０２５wt% のＳｉ，ＣａＯ換算で０．０２〜０．１５wt% のＣａを含み、添加物としてＮｂ2 Ｏ5 換算で０．０５wt% 以下の  ，Ｖ2 Ｏ5 換算で０．０５wt% 以下のＶ，ＳｎＯ2 換算で０．４wt% 以下のＳｎ及びＴｉＯ2 換算で０．３wt% 以下のＴｉの１種以上を添加することによって小型軽量な高周波電源を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】フェライト中の燐及び硼素含有量によるコアの損失の変化を示すグラフである。
【図２】燐含有量及び焼成温度によるコア損失の変化を示すグラフである。
【図３】燐含有量及び焼成昇温部の酸素分圧によるコア損失の変化を示すグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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