(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ガスが導入される被測定ガス室と基準ガスが導入される基準ガス室とを有し，かつ固体電解質体と該固体電解質体に設けられた測定電極と基準電極とよりなると共に上記測定電極は被測定ガス室と対面するよう配置され，上記基準電極は基準ガス室と対面するよう配置されている検出セルとを有する本体部と，
上記本体部の片側面に一体的に積層されると共に上記検出セルを加熱するよう構成されたヒータ部とよりなるガスセンサ素子において，
上記ヒータ部は，発熱体及び該発熱体に電力を供給するよう構成された高電圧側リード部と低電圧側リード部とが設けられたヒータ基板と，該ヒータ基板を被覆する被覆基板とよりなり，
上記発熱体は上記ヒータ基板における本体部と対面する側の面のみに配置されており，上記高電圧側リード部は上記ヒータ基板における本体部と対面する側の面とは反対側の面に配置されていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２】
上記被覆基板は，上記ヒータ基板と上記本体部との間に設けられていることを特徴とする請求項１記載のガスセンサ素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，内燃機関の排気系等に設置し，排ガス中のＮＯｘガス濃度等を検出することができるガスセンサ素子に関する。
【０００２】
【従来技術】
自動車からの排ガスによる大気汚染は現代社会に深刻な問題を引き起こしており，排ガス中の公害物質に対する浄化基準法規が年々厳しくなっている。そのためガソリン及びディーゼルエンジンに対する燃焼制御と触媒コンバータによる排出物の低減検討が進められている。
【０００３】
米国ＯＢＤ−ＩＩ規制では，排ガスをクリーンにするために用いる触媒が適切であるかどうか判定する機能を燃焼制御系等に備えることを要求している。
これに対しては，従来，２本のＯ2センサを用いたモニタシステムが導入されている。しかしながら，この方法は公害物質の直接的な検出に基づく方法ではないため，正確に排ガス中の公害物質の総量を検出することは困難である。
仮に，燃焼制御系や触媒モニタにてＮＯｘ（例えば，ＮＯ，ＮＯ2等）濃度の直接検出が可能となれば，公害物質のより正確な検出が可能であり，排ガスの浄化について非常に効果的である。
【０００４】
このようにＮＯｘ濃度を測定するためのセンサ素子として，従来，図１３に示すごとき構造の素子が提案されている（特開平８−２７１４７６号）。
上記ガスセンサ素子９は，被測定ガスである排ガスが第１拡散律速通路１０８を通じて導入される第１被測定ガス室１０６と，該第１被測定ガス室１０６より第２拡散律速通路１０９を経て被測定ガスが導入される第２被測定ガス室１０７と，基準ガスが導入される基準ガス室１０３を有する。
【０００５】
そして，上記第１被測定ガス室１０６内の酸素ガス濃度を制御するよう構成されたポンプセル３と，上記第１被測定ガス室１０６において被測定ガス中の酸素ガス濃度を測定する酸素センサセル４と，上記第２被測定ガス室１０７において被測定ガス中のＮＯｘガス濃度を測定する検出セル２とよりなる。
そして，このガスセンサ素子９において，ＮＯｘガス濃度の検出は検出セル２に接続された図示を略した電流計にて検知される電流の値から測定できる（後述する実施形態例２参照）。
【０００６】
そして，上記ガスセンサ素子９において，固体電解質体１３の第１及び第２被測定ガス室１０６，１０７や基準ガス室１０３と対面する面とは反対側の面１３２に対し，ヒータ部９５が積層配置されている。上記ヒータ部９５は検出セル２等の温度を一定に保持するために設けてある。これはガスセンサ素子９は素子の温度が活性温度以上に達しなければ，ガス濃度を検知することができないためである。
【０００７】
上記ヒータ部９５は発熱体９５３と該発熱体９５３に通電するための２本のリード部９５４とが設けられたヒータ基板９５１と，該ヒータ基板９５１を覆う被覆基板９５２とより構成されている。
【０００８】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記ガスセンサ素子９の第１被測定ガス室１０６，第２被測定ガス室１０７は固体電解質体１１〜１３によって構成されており，更に固体電解質体１３に対し，上記検出セル２，酸素センサセル４を構成する各電極２１，２２，４１が配置されている。
【０００９】
そして，固体電解質体１３とヒータ部５における発熱体９５３，リード部９５４との間の絶縁は薄い被覆基板９５２によって取られているが，ガスセンサ素子９の温度が高温となった場合には，発熱体９５３やリード部９５４に流れる電流が被覆基板９５２を通じて固体電解質体１３に洩れ出し，上記電流計にて検出する電流の値がＮＯｘガス濃度に対応した値からずれてしまうおそれがある。
【００１０】
この漏れ電流の大きさはガスセンサ素子９の温度に左右されるため，温度によるＮＯｘガス濃度検出のバラツキが大となるという問題が生じていた。
なお，このような問題はＮＯｘガスを測定する以外のガスセンサ素子であって，図１３と同様の構造を持つガスセンサ素子における共通の問題である。
【００１１】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，ヒータ部からの洩れ電流が少なく，温度によるガス濃度の測定精度が殆ど変わらないガスセンサ素子を提供しようとするものである。
【００１２】
【課題の解決手段】
請求項１に記載の発明は，被測定ガスが導入される被測定ガス室と基準ガスが導入される基準ガス室とを有し，かつ固体電解質体と該固体電解質体に設けられた測定電極と基準電極とよりなると共に上記測定電極は被測定ガス室と対面するよう配置され，上記基準電極は基準ガス室と対面するよう配置されている検出セルとを有する本体部と，
上記本体部の片側面に一体的に積層されると共に上記検出セルを加熱するよう構成されたヒータ部とよりなるガスセンサ素子において，
上記ヒータ部は，発熱体及び該発熱体に電力を供給するよう構成された高電圧側リード部と低電圧側リード部とが設けられたヒータ基板と，該ヒータ基板を被覆する被覆基板とよりなり，
上記発熱体は上記ヒータ基板における本体部と対面する側の面のみに配置されており，上記高電圧側リード部は上記ヒータ基板における本体部と対面する側の面とは反対側の面に配置されていることを特徴とするガスセンサ素子にある。
また，上記被覆基板は，上記ヒータ基板と上記本体部との間に設けられていることが好ましい。
【００１３】
上記ヒータ部における発熱体は電力を供給することにより発熱するため，上記高電圧側リード部と上記低電圧側リード部とが電源に接続されているが，電源の高電位側に接続されるのが高電圧側リード部で，低電位側に接続されるのが低電圧側リード部となる。
【００１４】
次に，本発明の作用につき説明する。
本発明において最も注目すべきことは，上記発熱体は上記ヒータ基板における本体部と対面する側の面に配置されており，上記高電圧側リード部は上記ヒータ基板における本体部と対面する側の面とは反対側の面に設けることである。
【００１５】
これにより，ヒータ部における高電圧側リード部を本体部における検出セルより遠ざけることができるため，ヒータ部と検出セルとの間の絶縁性を高めることができる。従って，ヒータ部における発熱体や高電圧側リード部から検出セルへの洩れ電流を抑制することができ，温度に依存せず，精度の高いガス濃度の検出を行うことができる。
そして，発熱して本体部における検出セルを加熱するヒータ部は上記ヒータ基板における本体部と対面する側の面に配置されているため，効率的に検出セルを加熱することができる。
【００１６】
以上，本発明によれば，ヒータ部からの洩れ電流が少なく，温度によるガス濃度の測定精度が殆ど変わらないガスセンサ素子を提供することができる。
【００１７】
なお，本発明にかかるガスセンサ素子において，検出セルにおける測定電極の種類を変更することで各種の特定ガス濃度を測定できる素子とすることができる。
例えば，ＮＯｘに対して活性な電極を使用することでＮＯｘセンサ素子を得ることができる。つまり，ＮＯｘが接触することで該ＮＯｘを窒素イオンと酸素イオンとに分解する作用を有するような物質にて測定電極を構成することで，ＮＯｘセンサ素子を得ることができる。
【００１８】
こうすることで，分解された酸素イオンが固体電解質体を流通するイオン電流となるが，この電流値を測定すればＮＯｘ濃度に比例する値を得ることができる。よってＮＯｘセンサ素子として機能するのである。
それ以外には，Ｏ2，ＣＯ，ＨＣ等の濃度を測定する素子とすることができる。また，内燃機関の排気系に設置するような空燃比センサ素子とすることもできる。
【００１９】
また，上記本体部は，固体電解質体と該固体電解質体に設けられた一対のポンプ電極より構成され，該ポンプ電極の一方は被測定ガス室と対面するよう配置されたポンプセルを有することが好ましい（実施形態例１参照）。
【００２０】
ポンプセルは通電することにより酸素ポンピング作用を発揮するセルであり，ポンプセルのポンプ電極は被測定ガス室に対面しているため，被測定ガス室の酸素ガスをポンピングすることができる。従って，適当な電圧をポンプセルに加えることで被測定ガス室の酸素ガス濃度を一定とすることができる。または，酸素ガスを非常に少なくし，酸素ガスによる影響を排除することができる。
【００２１】
このため，より精度よく酸素ガス以外の，ＮＯｘ，ＣＯ，ＨＣ等の各種ガス濃度を測定することができる。
この場合，ポンプセルで第１被測定ガス室と対面するポンプ電極は検出セルで濃度測定を行う特定ガスに対し不活性である物質より構成することが好ましい。これにより，ポンプ電極での特定ガスの消費が防止できるため，正確に被測定ガス中の特定ガス濃度を測定することができる。
【００２２】
また，上記被測定ガス室は第１被測定ガス室と第２被測定ガス室とに別れており，第１被測定ガス室には第１拡散律速通路を通じて外部から被測定ガスが導入され，また，第１被測定ガス室と第２被測定ガス室との間は第２拡散律速通路により被測定ガスが流通可能となるように構成されており，上記本体部は，固体電解質体と該固体電解質体に設けられた測定電極と基準電極とよりなると共に上記測定電極は第１被測定ガス室と対面するよう配置され，上記基準電極は基準ガス室と対面するよう配置された酸素センサセルを有することが好ましい（実施形態例２参照）。
【００２３】
これにより，酸素センサセルでの酸素ガス濃度の測定値を基にポンプセルを制御することができるため，第１被測定ガス室の酸素ガス濃度を一定の値に保持することができる。そのため，酸素ガス濃度の影響を受けることなく第２被測定ガス室で検出セルによる特定のガス濃度を測定ができるような素子を得ることができる。
この場合，酸素センサセルで第１被測定ガス室と対面する測定電極は検出セルで濃度測定を行う特定ガスに対し不活性である物質より構成することが好ましい。
これにより，酸素センサセルでの特定ガスの消費が防止できるため，正確に被測定ガス中の特定ガス濃度を測定することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
実施形態例１
本発明の実施形態例にかかるガスセンサ素子につき，図１〜図１１を用いて説明する。なお，本例のガスセンサ素子は，排ガス中のＮＯｘガス濃度を測定可能なＮＯｘセンサ素子である。
図１に示すごとく，本例のガスセンサ素子１は，被測定ガスが導入される被測定ガス室１０１と基準ガスが導入される基準ガス室１０３とを有し，かつ固体電解質体１３と該固体電解質体１３に設けられた測定電極２１と基準電極２２とよりなると共に上記測定電極２１は被測定ガス室１０１と対面するよう配置され，上記基準電極２２は基準ガス室１０３と対面するよう配置されている検出セル２とを有する本体部１０と，上記本体部１０の片側面に一体的に積層されると共に上記検出セル２を加熱するよう構成されたヒータ部５とよりなる。
【００２５】
上記ヒータ部５は，図２に示すごとく，発熱体５０及び該発熱体５０に電力を供給するよう構成された高電圧側リード部５５１と低電圧側リード部５５２とが設けられたヒータ基板５１と，該ヒータ基板５１を被覆する被覆基板５２とよりなり，上記高電圧側リード部５５１は上記ヒータ基板５１における本体部１０と対面する側の面５１１とは反対側の面５１２に配置されている。
【００２６】
以下，詳細に説明する。
本例のガスセンサ素子１は，図１，図４に示すごとく，本体部１０とヒータ部５とよりなる。
上記本体部１０は固体電解質体１１，１２，１３と絶縁基板１４とよりなる。固体電解質体１１には一対のポンプ電極３１，３２よりなるポンプセル３が設けてあり，上記ポンプ電極３２は被測定ガス室１０１と対面している。
固体電解質体１１，１２，１３により囲まれた空間部に多孔質体を充填することで被測定ガス室１０１が構成されている。
この多孔質体は，被測定ガスをある拡散抵抗のもとで被測定ガス室１０１に導入し，検出セル２にかかる測定電極２１の近傍まで拡散させるために設けてある。
【００２７】
また，上記固体電解質体１３には測定電極２１と基準電極２２とが設けてあり，これらによって検出セル２が構成されている。
上記検出セル２における測定電極２１は白金よりなる電極であり，検出セル２に電力を与えることで，該測定電極２１はＮＯｘを分解して窒素イオンと酸素イオンを生成し，該酸素イオンを基準ガス室１０３に対しポンピングすることができる。つまり，測定電極２１はＮＯｘに対して活性な電極である。
また，上記基準電極２２も白金より構成されているが，金−白金電極で構成することもできる。
【００２８】
また，上記ポンプセル３における一対のポンプ電極３１，３２はＮＯｘを分解しない金−白金電極よりなる。
ポンプセル３は，適当な電力を与えることで，被測定ガス室１０１から基準ガス室１０３へ，またはその逆方向へ，酸素イオンをポンピングすることができる。
【００２９】
また，図３，図４に示すごとく，ポンプセル３のポンプ電極３１には，電力印加用のリード部３１１及び端子部３１２が設けてある。ポンプセル３のもう一つのポンプ電極３２には，電力印加用のリード部３２１及び端子部３２２，３２３が設けてある。端子部３２２と端子部３２３との間はスルーホール１１０にて導通が取られている。
【００３０】
また，図４に示すごとく，検出セル２の測定電極２１にはリード部２１１及び端子部２１２が設けてあり，この端子部２１２はスルーホール１２０，１１０によって，上記端子部３２３に接続されている。
また，上記検出セル２の基準電極２２についてもリード部２２１及び端子部２２２が設けてあり，この端子部２２２はスルーホール１３０を通じて端子部２２３に接続され，またスルーホール１２０，１１０を通じて端子部２２４に接続されている。
【００３１】
また，固体電解質体１３に対し，絶縁基板１４を介してヒータ部５が積層されている。そして，固体電解質体１３，絶縁基板１４，ヒータ部５により囲まれた空間部が基準ガス室１０３となる。
【００３２】
図２に示すごとく，上記ヒータ部５はヒータ基板５１と該ヒータ基板５１に設置されたＰｔを含む発熱体５０，高電圧側及び低電圧側リード部５５１，５５２とよりなり，ヒータ基板５１は被覆基板５２により被覆されている。
【００３３】
そして，発熱体５０はヒータ基板５１の本体部１０の側と対面した面５１１に設けてある。また，アルミナよりなるネガパターン５９も共に面５１１に設けてある。
低電圧側リード部５５２は上記発熱体５０と一体的に構成され，同じく面５１１に設けてある。
上記高電圧側リード部５５１は，本体部１０の側とは反対側の反対面５１２に設けてある。そして，高電圧側リード部５５１と発熱体５０との間はヒータ基板５１の一方の面５１１から反対面５１２に通じる２つのスルーホール５１０によって電気的な導通が取られている。
また，高電圧側リード部５５１保護または絶縁のために，高電圧側リード部５５１の外側には被覆基板または絶縁層を設けてもよい。
【００３４】
また，図示を略したヒータ部用電源のアース極に接続される端子部５５３が反対面５１２に設けてある。この端子部５５３は低電圧側リード部５５２と２つのスルーホール５２０によって導通がとられている。また，図示を略したヒータ部用電源の高電位側からの導線は上記高電圧側リード部５５１に対し接続される。
【００３５】
そして，上記ヒータ部５において，ヒータ部用電源から電圧を印加することにより，電流はヒータ部５の各部を高電圧側リード部５５１，スルーホール５１０，発熱体５０，低電圧側リード部５５２，スルーホール５２０，端子部５５３の順に流れる。
【００３６】
よって，発熱体５０における電位は，図２に示すａ部，ｄ部よりもｂ部，ｃ部のほうが高くなる。そして，図４，図５に示すごとく，検出セル２における測定電極２１と発熱体５０における電位の低いａ部，ｄ部との距離が，発熱体５０における電位の高いｂ部，ｃ部との距離よりも短くなるように，上記測定電極２１を固体電解質体１３に対しレイアウトする。
すなわち，図５に示すごとく，ｃ部とｂ部とを隣接させ，これらの外方にａ部やｄ部が配置されるような発熱体５０となし，ｃ部とｂ部との真上に測定電極２１がくるようにレイアウトするのである。
【００３７】
また，図１に示すごとく，本例のガスセンサ素子１において，検出セル２には回路２５が接続され，ポンプセル３には回路３５が接続されている。
回路２５は定電圧電源２５３と電流計２５１と該電流計２５１の値からＮＯｘガス濃度を算出するＮＯｘガス濃度測定器２５５が接続されている。
また，回路３５には可変電源３５３と電流計３５１と電流計３５１の値から可変電源の電圧値を制御するための制御器３５６が設けてある。
【００３８】
次に，本例のガスセンサ素子１の製造方法について説明する。
まず，固体電解質体１１，１２，１３用のジルコニア生シートの作製につき説明する。
６モル％のイットリアと９４モル％のジルコニアとよりなる平均粒径が０．５μｍのイットリア部分安定化ジルコニア１００部（重量部以下回じ），α−アルミナ１部，ＰＶＢ（ポリビニルブチラール）５部，ＤＢＰ（ディブチルフタレート）１０部，エタノール１０部，トルエン１０部よりなるセラミック混合物を準備した。
次いで，上記セラミック混合物をボールミル中で混合し，得られたスラリーをドクターブレード法にて乾燥厚みが０．３ｍｍであるシート成形体に成形した。
【００３９】
上記シート成形体を５×７０ｍｍの長方形に切断し，ポンプセル３のポンプ電極３２用の印刷部を１〜１０ｗｔ％のＡｕ添加Ｐｔペーストを用いて印刷形成した。一方，ポンプ電極３２と対向する位置に設けたポンプ電極３２，該ポンプ電極３１，３２に接続される各リード部等となる印刷部をＰｔペーストを用いてスクリーン印刷にて形成した。これが固体電解質体１１用の生シートとなる。
【００４０】
また，上記シート成形体を５×７０ｍｍの長方形に切断し，先端がコの字になるよう２×１５ｍｍの空間部を設けた。これが固体電解質体１２用の生シートとなる。そして，上記空間部が被測定ガス室１０１となる。
【００４１】
また，上記シート成形体を５×７０ｍｍの長方形に切断し，測定電極２１用の印刷部を０〜１０ｗｔ％Ｐｄ添加Ｐｔペーストを用いて印刷形成した。一方，上記測定電極２１，上記基準電極２２に接続される各リード部等となる印刷部をＰｔペーストを用いてスクリーン印刷にて形成した。これが固体電解質体１３用の生シートとなる。
【００４２】
次に，絶縁基板１４，ヒータ基板５１，被覆基板５２用のアルミナ生シートの作製につき説明する。
平均粒径０．３μｍのα−アルミナ９８部，６モル％イットリア部分安定化ジルコニア３部，ＰＶＢ１０部，ＤＢＰ１０部，エタノール３０部，トルエン３０部よりなるセラミック混合物を準備した。
次いで，このセラミック混合物をボールミル中にで混合し，得られたスラリーをドクターブレード法にて乾燥厚みが０．３ｍｍとなるシート成形体に成形した。
【００４３】
上記シート成形体を５×７０ｍｍの長方形に切断し，先端が閉じたコの字となるように２×６５ｍｍの空間部を設けた。これが絶縁基板１４用の生シートとなる。そして，上記空間部が基準ガス室１０３となる。
【００４４】
また，上記シート成形体を５×７０ｍｍの長方形に切断し，９０ｗｔ％のＰｔと１０ｗｔ％のアルミナが含まれるぺーストを用いて，発熱体５０や該発熱体５０に通電するためのリード部５５１，５５２等を構成する印刷部をスクリーン印刷法により形成した。これがヒータ基板５１用の生シートとなる。
また，被覆基板５２用の生シートを上記シート成形体を５×７ｍｍで切断して，作製した。
【００４５】
次に，ネガパターン５９用の生シートの作製につき説明する。
上記絶縁基板１４，ヒータ基板５１，被覆基板５２と同一のアルミナを用い，バインダーとしてＰＶＢ１０部，可塑剤としてＤＢＰ５部，消泡剤としてスパン１部，溶剤としてテレピネオール５０部，アルミナ粉１００部を混合し，三本ロールに２０回通すことでアルミナペーストを作製する。
【００４６】
そして，上記ペーストを用いて，ネガパターン５９をスクリーン印刷法により形成し，これを乾燥することで作製した。
【００４７】
次に，上記被測定ガス室１０１に充填した多孔質体用のペーストについて説明する。
バインダーとしてＰＶＢ１０部，可塑剤としてＤＢＰ５部，消泡剤としてスパン１部，溶剤としてテレピネオール５０部，アルミナ粉１００部を混合し，三本ロールに２０回通すことでアルミナペーストを作製した。
【００４８】
そして，上記各生シートを積層して積層体を構成する。この方法について説明する。
まず，図４に示すごとく，固体電解質体１２用の生シートと固体電解質体１３用の生シートとを８０度にて熱圧着して積層する。次いで，上記アルミナペーストをスクリーン印刷法にて固体電解質体１２の空間に充填し，被測定ガス室１０１となる部分を作製する。
その後，残りの生シートを図１，図４に示す通り，順次積層圧着して積層体を得た。
以上の方法で得られた積層体を大気中１５００℃にて１時間で焼成した。
これにより，本例にかかるガスセンサ素子１を得た。
【００４９】
次に，本例にかかるガスセンサ素子１の性能について，比較試料と共に測定した。
試料１となるガスセンサ素子は上述の図１〜図５に記載して，上述した素子である。比較試料Ｃ１となる素子は，図６，図７に示すごときガスセンサ素子８９であり，本体部１０における各電極２１，２２，３１，３２の位置，面積，幅，長さ，また被測定ガス室１０１の構成，大きさ，基準ガス室１０３の大きさ等を同じとした素子である。
【００５０】
そして，ガスセンサ素子８９のヒータ部８は，図６に示すごとく，固体電解質体よりなる基板８１に対し基板８５で覆った発熱体８０と高電圧側リード部８０１及び低電圧側リード部８０２とを埋設した構造を有している。
【００５１】
つまり，図７に示すごとく，上記ヒータ部８において，固体電解質体よりなる基板８１に対し，絶縁基板８２が積層され，該絶縁基板８２において本体部１０と対面する側の面８２１には，発熱体８０と該発熱体８０に対し一体的に形成された高電圧側リード部８０１と低電圧側リード部８０２とが設けてある。
【００５２】
また，上記絶縁基板８２と対面する側と反対側の面には図示を略した定電圧電源と接続された導線を接続するための端子部８０３，８０４が設けてある。
この端子部８０３，８０４と上記高電圧側リード部８０１と低電圧側リード部８０２との導通は絶縁基板８２と基板８１とを貫通するスルーホール８２０，８１０により取られている。
そして，上記絶縁基板８２には絶縁体（アルミナ）よりなるネガパターン８３が積層され，ヒータ部８０やネガパターン８３に対し絶縁基板８４が積層され，更に固体電解質体よりなる基板８５が積層されている。
その他は試料１と同様の構成，材料よりなる。
【００５３】
このようにして得られた試料１と比較試料Ｃ１とを以下の条件下にて，ＮＯｘに対する特性やヒータ部からの洩れ電流について評価した。
試料１，比較試料Ｃ１にかかるガスセンサ素子を用い，想定される使用環境下で各試料を作動させ，その静特性について評価した。
その条件は，被測定ガスの温度を４００℃，使用した被測定ガスの組成は，０〜２０００ｐｐｍのＮＯを含み，酸素ガスが５％，その他が窒素ガスよりなる。また，ヒータ部に通電して，ガスセンサ素子の温度をほぼ７５０℃に保持した状態で測定を行った。
以上の測定により得られた結果をＮＯ濃度を横軸に，ガスセンサ素子の出力となる電流計２５１（図１参照）における電流値を縦軸として，図８に記載した。
【００５４】
また，上記と同様の測定を，被測定ガスのガス温度４００℃，使用した被測定ガスの組成は，１０００ｐｐｍのＮＯを含み，酸素ガスが５％，その他が窒素ガスよりなる。また，ヒータ部に通電して，ガスセンサ素子の温度をそれぞれ６５０℃，７００℃，７５０℃，８００℃に保持して測定を行った。この測定結果について，ＮＯ濃度を横軸に，ガスセンサ素子の出力となる電流計２５１（図１参照）における電流値を縦軸として，図９に記載した。
【００５５】
図８に示すごとく，比較試料Ｃ１のガスセンサ素子では，漏れ電流の影響により，本例にかかる試料１のガスセンサ素子よりもセンサ出力が高くなっていることが分かった。
【００５６】
また，図９に示すごとく，比較試料Ｃ１のガスセンサ素子では，漏れ電流の影響により，等しいＮＯガス濃度の被測定ガスを用いても，ガスセンサ素子の温度が変化することでセンサ出力が変化することが分かった。
よって，比較試料Ｃ１と比べて本例にかかる試料１はヒータ部と本体部との間の絶縁性が高く，ヒータ部からの漏れ電流が抑制されるため，より正確なＮＯ濃度の測定が可能であることが分かった。
【００５７】
本例の作用効果について，説明する。
本例のガスセンサ素子１は，ヒータ基板５１に配置する高電圧側リード部５５１をガスセンサ素子１の本体部１０と対面する側の面５１１とは反対側の面５１２に設けてある。これにより，ヒータ部５１における高電圧側リード部５５１を本体部１０における検出セル２より遠ざけることができるため，ヒータ部５と検出セル２との間の絶縁性を高めることができる。
【００５８】
従って，ヒータ部５における発熱体５０や高電圧側リード部５５１から検出セル２への洩れ電流を抑制することができ，温度に依存せず，精度高くガス濃度の検出を行うことができる（図８，図９参照）。
そして，発熱して本体部１０における検出セル２を加熱するヒータ部５は上記ヒータ基板５１における本体部１０と対面する側の面５１１に配置されているため，効率的に検出セル２を加熱することができる。
【００５９】
以上，本例によれば，ヒータ部からの洩れ電流が少なく，温度によるガス濃度の測定精度が殆ど変わらないガスセンサ素子を提供することができる。
【００６０】
また，本例にかかるガスセンサ素子１における発熱体５０，高電圧側リード部５５１，低電圧側リード部５５２の形状は，図２に示す形状以外に，例えば図１０（ａ）〜（ｄ），図１１（ａ）〜（ｃ）に列挙するような様々な形状とすることができる。
【００６１】
図１０は発熱体５０の形状を細く，ジグザグの形状を描くように構成することで，発熱体５０の長さをより長くして，より高温を発することができるように構成した例である。
図１１の（ａ）や（ｃ）は発熱体５０の本数を増やして，より高温を発することができるように構成した例である。
【００６２】
図１１の（ｂ）は発熱体の高電圧側リード部５５１を発熱体５０の中央に集中させ，この高電圧側リード部５５１と測定電極との距離をより大きくとり，より漏れ電流を抑制できるように構成した例である。
以上にかかるいずれの発熱体５０を有するガスセンサ素子１についても，本例と同様の作用効果を得ることができる。
【００６３】
実施形態例２
本例は，図１２に示すごとく，ＮＯｘ濃度を測定する検出セル２と，第１被測定ガス室１０６の酸素ガス濃度を一定に保持するポンプセル３と，第１被測定ガス室１０６の酸素ガス濃度を測定する酸素センサセル４とを有するガスセンサ素子１である。
【００６４】
図１２に示すごとく，本例のガスセンサ素子１は，固体電解質体１１〜１３等からなる本体部１０と，ヒータ部５とよりなる。
本体部１０には，上記固体電解質体１１〜１３によって，第１被測定ガス室１０６，第２被測定ガス室１０７，基準ガス室１０３が形成されており，第１被測定ガス室１０６は固体電解質体１１に設けられた第１拡散律速通路１０８より被測定ガスが導入され，第２被測定ガス室１０７は第１被測定ガス室１０６より第２拡散律速通路１０９を通じて被測定ガスが導入されることとなる。
【００６５】
そして，上記ポンプセル３は上記固体電解質体１１と該固体電解質体１１に設けられた一対のポンプ電極３１と第１被測定ガス室１０６に面するポンプ電極３２とよりなる。また，ポンプ電極３２はＮＯｘ不活性なＰｔ−Ａｕ電極である。また，上記検出セル２は，上記固体電解質体１３と第２被測定ガス室１０７に面して設けられた測定電極２１と，基準ガス室１０３に面して設けられた基準電極２２とよりなる。また，測定電極２１はＮＯｘ活性なＰｔ電極である。
【００６６】
また，上記酸素センサセル４は，固体電解質体１３と第１被測定ガス室１０６に面して設けられた測定電極４１と，基準ガス室１０３に面して設けられた基準電極２２とよりなる。なお，検出セル２と酸素センサセル４とは基準電極２２を共有している。また，測定電極４１はＮＯｘ不活性なＰｔ−Ａｕ電極である。
【００６７】
そして，検出セル２と酸素センサセル４は共に回路２６に接続されており，この回路２６には，検出セル２における測定電極２１と基準電極２２との間を流れる電流を測定する電流計２６１と，酸素センサセル４における測定電極４１と基準電極２２との間の電圧を測定する電圧計２６２と，これら両セル２，４に対し電力を供給する定電圧電源２６３が設けてある。
【００６８】
また，上記ポンプセル３は回路３６に接続され，この回路３６には可変電源３６３が設けてある。また，この可変電源３６３の電圧は上記電圧計２６２の値と連動して作動するよう構成されている。
【００６９】
そして，ガスセンサ素子１における本体部１０には発熱部５が設けてあり，この発熱部５は実施形態例１にかかる図２に示すごとき構造を有している。
その他は実施形態例１と同様である。
【００７０】
本例のガスセンサ素子１０は，検出セル２と酸素センサセル２に対し通電し，検出セル２に流れる電流値を電流計２６１で測定することでＮＯｘ濃度を測定する。そして，電圧計２６２で酸素センサセル４にかかる電圧を測定することで第１測定ガス室１０６での酸素ガス濃度が分かる。よって，この値を基に図示を略したフィードバック回路を利用して可変電源３６３によるポンプセル３に対する印加電圧を制御する。
【００７１】
ポンプセル３は印加電圧の寡多によって酸素ガスのポンピング量が定まるため，上記酸素センサセル４と上記ポンプセル３とにより第１被測定ガス室１０６の酸素ガス濃度を一定とすることができる。従って，第１被測定ガス室１０６からの被測定ガスが流れ込む第２被測定ガス室１０７の酸素ガス濃度は略一定となる。
【００７２】
そして，検出セル２では測定電極２１においてＮＯｘを酸素イオンと窒素イオンとに分解し，また酸素が酸素イオンに分解される。分解された酸素イオンによるイオン電流が回路２６の電流計２６１での電流値と比例する。
本例のガスセンサ素子１では，酸素ガス由来の酸素イオン量が一定となるため，正確なＮＯｘ濃度を測定することができる。
その他は実施形態例１と同様である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態例１における，ガスセンサ素子の断面説明図。
【図２】実施形態例１における，ガスセンサ素子におけるヒータ部の斜視展開図。
【図３】実施形態例１における，ガスセンサ素子の平面図。
【図４】実施形態例１における，ガスセンサ素子の斜視展開図。
【図５】図４に示す平面Ａにおいて切断した，ガスセンサ素子の断面説明図。
【図６】実施形態例１における，比較試料Ｃ１にかかるガスセンサ素子の断面説明図。
【図７】実施形態例１における，比較試料Ｃ１にかかるガスセンサ素子のヒータ部の斜視展開図。
【図８】実施形態例１における，試料１，比較試料Ｃ１にかかる被測定ガス中のＮＯ濃度とガスセンサ素子の出力との関係を示す説明図。
【図９】実施形態例１における，試料１，比較試料Ｃ１にかかるガスセンサ素子の温度とガスセンサ素子の出力との関係を示す説明図。
【図１０】実施形態例１における，さまざまな形状を有するヒータ部，高電圧側リード部，低電圧側リード部とを示す説明図。
【図１１】実施形態例１における，さまざまな形状を有するヒータ部，高電圧側リード部，低電圧側リード部とを示す説明図。
【図１２】実施形態例２における，検出セル，酸素センサセル，ポンプセルを有するガスセンサ素子の説明図。
【図１３】従来のガスセンサ素子の説明図。
【符号の説明】
１．．．ガスセンサ素子，
１０．．．本体部，
１１，１２，１３．．．固体電解質体，
１０１．．．被測定ガス室，
１０３．．．基準ガス室，
２．．．検出セル，
３．．．ポンプセル，
５．．．ヒータ部，
５０．．．発熱体，
５１．．．ヒータ基板，
５１２．．．反対面，
５２．．．被覆基板
５５１．．．高電圧側リード部，
５５２．．．低電圧側リード部，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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