(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレーム（１０）と、それぞれがプラットフォーム（６０）を含む複数のビン（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄ、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ）とを含む、半導体チップを保持するトレイ（１）であって、
各プラットフォームは、それぞれ１組のビームによって、前記フレームに結合され、
それぞれの１組のビームは、対として構成され、各対のビームは、一方の端部で直角に結合されており、この１対のビームの一方は、一方の端部において前記フレームに結合され、この１対のビームの他方は、一方の端部において前記プラットフォームに結合され、
各ビームは、屈曲性の運動を提供する手段を含み、
それによって、各プラットフォームが、複数の自由度をもって、前記フレームに対して運動することを許容することを特徴とするトレイ。
【請求項２】
前記屈曲性の運動を提供する手段は、複数の交差した砂時計形ヒンジ（３１ａ、４１ａ、３１ｂ、４１ｂ、３２ａ、４２ａ、３２ｂ、４２ｂ、３３ａ、４３ａ、３３ｂ、４３ｂ、３４ａ、４４ａ、３４ｂ、４４ｂ）を備えており、
前記交差した砂時計形ヒンジの１つが、前記ビームの前記端部のそれぞれに設けられている、請求項１記載のトレイ。
【請求項３】
それぞれの交差した砂時計形ヒンジは、１対のヒンジから構成され、各対におけるヒンジは直交方向の屈曲を許容する、請求項２記載のトレイ。
【請求項４】
各対におけるそれぞれのヒンジは前記ビームの対向する側面に凹部を有する、請求項３記載のトレイ。
【請求項５】
前記屈曲性の運動を提供する手段は、複数のヒンジ（３１ａ、４１ａ、４１ｂ、４２ａ、３２ｂ、４２ｂ、３３ａ、４３ａ、４３ｂ、４４ａ、３４ｂ、４４ｂ）と、複数の曲線状のビーム（１２２ｃ）とを備えており、
第１の対のヒンジは、前記プラットフォームと前記フレームとに結合された前記ビームの端部のそれぞれに設けられ、それぞれの第１の対におけるヒンジは、直交方向の屈曲を許容し、
第２の対のヒンジとそれぞれの曲線状のビームとは、直角に結合されているビームの端部に設けられ、それぞれの曲線状のビームは、それぞれの第２の対におけるヒンジの間にあって、直交方向の屈曲を許容する、請求項１記載のトレイ。
【請求項６】
前記屈曲性の運動を提供する手段は、ウエスト（１４０ａ、１４０ｂ、１４０ｃ、１４０ｄ）を有する複数のテーパ状の砂時計形部分（１２１、１２２、１２３、１２４）を備えている、請求項１記載のトレイ。
【請求項７】
前記複数のビンは、少なくとも３２個のビンから構成される、請求項１記載のトレイ。
【請求項８】
それぞれのプラットフォームは、前記複数の組のビームの中の２つによって前記フレームに結合されている、請求項１記載のトレイ。
【請求項９】
前記フレームと、前記プラットフォームと、前記それぞれの組のビームとは、一体的に成形されている、請求項１記載のトレイ。
【発明の詳細な説明】
本発明は、広くは、半導体集積回路チップの製造に関し、更に詳しくは、製造過程の各ステップの間に、集積回路チップを保持するのに用いられるトレイに関する。
半導体集積回路チップ（「チップ」）を製造する際には、チップは、トレイ内に配置される。それぞれのトレイは、多くのチップを保持し、それらのチップが、マシンによって同時に移送又は処理されることが可能になる。例えば、自動テスト・システムは、それ自体が３２個のチップを同時にテストすることを可能にする３２個のテスト・サイトを有する。テスタ上の３２個のテスト・サイトに整列（位置合わせ、アライメント、align）された３２個のビン（bin）を有するトレイが、テスト実施の間、チップを保持するのに用いられる。
トレイのこれらのビンは、ほぼ同一であり、処理されている特定のタイプのチップを保持するように構成されている。例えば、ビンは、チップのリード線を、テスト・システムの接触器（contactors）に一致する位置に整列させる。それぞれのビンには、ポスト（post）も含まれている。ポストは、ビンにおけるチップを整列させる、又は、ビンをテスト・システムに整列させるのに用いることができる。
トレイは、プラスチックから成形され、それによって、低コストかつ軽量とすることができる。しかし、成形されたプラスチック部品は、位置的な公差に関して劣っているのが一般的である。公差は、大きな部品であるほど、悪化する。従って、比較的大きな部品であるトレイは、特に、位置的な公差が劣っている。公差が劣っていることが問題であるのは、チップに接触しなければならない作業サイトに対して、チップが正しい位置でトレイ内に保持されないからである。例えば、公差が大きすぎると、トレイのある部分に置かれたチップは作業サイトに対し適切に整列されているかもしれないが、別の部分にあるチップはそうではない可能性がある。
この問題を回避するための１つのアプローチが、O'Conner他への米国特許第5,131,535号に記載されている。この米国特許には、ビンがプラスチック・タイプの材料から別個に作られているトレイが記載されている。しかし、ビンは、同じサイズの成形プラスチック部品よりも優れた位置的公差を有する金属フレームの中に挿入される。この米国特許には、ビンが、トレイの表面に対して垂直方向に上下に移動し、テスト・サイトに対するビンの高さの差を僅かに調整することが記載されている。これらの調整は、一度にテストされるすべてのチップがテスト・サイトと接触することを確実にするのに役立つ。
このトレイ設計は、トレイの表面に垂直な方向（Ｚ方向）の不正確さだけが訂正される。また、この設計は、トレイの表面全体の位置的な精度を提供するのに、コストのかかる金属フレームに依存している。
別のトレイ設計では、プラスチック製のフレームとビンとの両方を有している。プラスチックのフレームは、グリッドを構成し、１つのグリッド・セルがそれぞれのビンに対応する。グリッド・セルは、ビンよりも大きく、それにより、ビンは、セルの内部でスライドして移動することができる。この運動により、トレイの表面に平行な方向（Ｘ−Ｙ方向）の不正確な位置的な公差が訂正される。
これらのアプローチのそれぞれは、位置決めの不正確さを、限定された方向についてだけ、補償している。先のものではＺ方向だけであるし、後のものではＸ−Ｙ方向だけである。完全に自由度６を有するビンのコンプライアンス（順応性）を与えるようなトレイを提供することが望ましい。
また、これらのアプローチのそれぞれでは、それぞれのビンが別個であるために、トレイが多数の部品から構成されることが必要となる。コストを考慮すると、複雑な構成は望ましくない。構成要素の数を減らすことが望まれる。
我々は、プラスチック・フレーム内部でスライドするビンを有するトレイに伴ういくつかの短所を見いだした。半導体部品からのモールド・フラッシング（mold flashing）が、時には、チップから落下し、スライドを邪魔することがある。また、プラスチック・フレームを成形する際に、モールド・フラッシングが、その上をビンがスライドするトラック内に残存することがある。モールド・フラッシングは、ビンとトラックとの間に摩擦を生じさせる。この摩擦により、部品が摩耗し、又は、ビンがフレーム内で望むようにスライドすることが妨げられる可能性がある。ビンが適切にスライドしない場合には、チップは、処理される際に、適切に整列されないことになる。これは、チップが処理装置内で詰まってしまうことの原因となり得る。この詰まり（jams）は、極めて望ましくない。というのは、それによって、製造工程を停止させることが必要になり、よって、かなりのコストを要するからである。
スライドするビンを有するトレイを用いることに伴う別の短所は、トレイが反ったり（warp）屈曲したり（flex）する場合には、ビンとフレームとの間の摩擦が変化することである。これにより、ビンの応答特性が変化し、又は、極端な場合には、詰まりを引き起こす可能性もある。
Ｘ−Ｙ平面においてスライドするビンを有するトレイを用いることに伴う更に別の問題点は、このようなトレイは、トレイを水平に維持した状態でチップを処理する装置と共に用いる場合にのみ、適しているということである。装置によっては、トレイを垂直方向に保持した状態でチップを処理することがある。スライドするビンを有するトレイが垂直方向に保持されると、すべてのビンに、セルの中心で始動する場合よりも、はるかに大きな調整を行うことを強制しなければならない。チップを作業サイトに整列させるのに必要な調整が大きければ大きいほど、摩耗や詰まりが生じる可能性は高くなる。
以下により詳細に説明するように、我々は、屈曲性ベアリング（flexural bearings）を用いた改良トレイによって、これらの問題点を解決した。屈曲性ベアリングは、光学的アライメント（位置合わせ、整列）システムや駆動システムにおける結合要素などの、別の応用例において用いられてきている。しかし、屈曲性ベアリングは、一般に、自由度が２のシステムである。いくつかの希な例では、屈曲性ベアリングは、コイル状のスプリングやベロー（bellows）などの形状を有し軸継手（shaft coupling）を形成する場合には、自由度５を与えるのに用いられることもある。これらの設計は、参考文献であるAlexander H. Slocum, Precision Machine Design, Prentice Hall, Englewood Cliffs, NJ 1992, ISDN0-13-719972-4において論じられている。この文献は、本出願において援用する。
発明の概要
以上の背景を鑑み、低コストのチップ・トレイを提供することが、本発明の目的である。
更に、トレイにおけるそれぞれのチップに対して独立に、自由度６までのコンプライアンスを有するチップ・トレイを提供することもまた、本発明の目的である。
更に、自己中心化（センタリング）チップ支持プラットフォームを有するチップ・トレイを提供することも、本発明の目的である。
以上の目的及びそれ以外の目的は、一連の屈曲性ベアリングを介してフレームに結合されたビンを有するチップ・トレイにおいて、達成される。好適実施例においては、フレームと、ビンと、屈曲性ベアリングとは、プラスチックから一体的に成形される。
【図面の簡単な説明】
本発明は、以下のより詳細な説明と次の添付の図面とを参照することによって、よりよく理解することができる。
図１は、本発明によるチップ・トレイの図である。
図２は、図１のチップ・トレイにおけるビンの１つの拡大図である。
図３は、図２のビンの別の実施例の図である。
図４は、図２のビンの第２の別の実施例の図である。
好適実施例の説明
図１は、３２個のチップを保持できるチップ・トレイを示している。このトレイには、４つのビンが８列あり、これらは、２ａ…２ｄ、３ａ…３ｄ、４ａ…４ｄ、５ａ…５ｄ、６ａ…６ｄ、７ａ…７ｄ、８ａ…８ｄ、９ａ…９ｄという参照番号が付されている。これらのビンは、トレイの複数の部分に取り付けられており、それによって、ビンの間にグリッド１０が形成されている。
トレイ１は、好適実施例では、プラスチックから成形されている。半導体保持デバイスにおいて通常用いられるタイプのロー・スタティック（low static）なプラスチックが好適である。好ましくは、トレイの全体とすべてのビンとは、１回の操作で一体的に成形（モールド）される。ビンの数と構成とは本発明にとって重要ではなく、半導体処理工程によって決定される。また、トレイ１は、半導体処理工程の間の保持及び操作が可能な構造を有している。この構造に関しては、従来技術と同様であり、図面には明示的に示されていない。
ビン２ａ…２ｄ、３ａ…３ｄ、４ａ…４ｄ、５ａ…５ｄ、６ａ…６ｄ、７ａ…７ｄ、８ａ…８ｄ、９ａ…９ｄのそれぞれは、この好適実施例では、同一である。図２には、ビン２ａがより詳細に示されている。ビン２ａは、チップ（図示せず）をプラットフォーム６０上で保持している。プラットフォーム６０の特定の形状と外形とは、トレイ１（図１）に保持されるチップのタイプによって決定される。
ここに図解されている実施例では、プラットフォーム６０は、ガイド５０ａによって分離されたスロット５０ｂを含む。スロット５０ｂは、チップのリード線を受け入れる。
中央のホール９０により、プラットフォーム６０上でのチップへの背面のアクセスが可能になる。このアクセスは、テスト実施又は処理工程の間に、制御されたエアをチップ（図示せず）上に吹き付けることなどに用いられる。
ポスト８０、８１、８２は、チップ（図示せず）をプラットフォーム６０上で整列させる（位置合わせする）のに用いられる。このようなポストは、チップがキャリア・タイプのリード・フレームを有しているときに、有用である。ポスト８０、８１、８２は、リード・フレームのホールを通過し、チップを位置決めする。
ポスト８０、８１、８２はまた、自動テスト装置上のテスト・サイト又はトレイ１（図１）のチップ（図示せず）が配置されるそれ以外の半導体処理装置上の作業サイトに対して、プラットフォーム６０を、位置決めするのにも用いられる。例えば、これらは、プラットフォーム６０上のチップ（図示せず）を、ハンドラの接触器のタスク・サイトの中に誘導するのに用いられる。
スロット５０ｂと、ポスト８０、８１、８２と、中央ホール９０とを含むプラットフォーム６０は、従来技術と同様である。プラットフォーム６０は、トレイ１（図１）に取り付けられている態様が、従来技術とは異なっている。特に、プラットフォーム６０は、トレイ１のフレーム１０に、自由度を６まで許容する屈曲性ベアリング・システムを介して、取り付けられている。ビン２ａ…２ｄ、３ａ…３ｄ、４ａ…４ｄ、５ａ…５ｄ、６ａ…６ｄ、７ａ…７ｄ、８ａ…８ｄ、９ａ…９ｄは、それぞれが、同様のベアリング・システムを介して結合されたプラットフォーム６０を含む。これらの屈曲性ベアリング・システムにより、ビンのそれぞれにおけるプラットフォームが、６までの自由度を有しながら独立に動くことが可能となる。従って、トレイ１の製造過程における不正確さや作業サイトの位置決めの不正確さとがあっても、トレイが多数の作業サイトに与えられるときに、トレイにおけるチップ（図示せず）のすべてが、それぞれの作業サイトに対して適切に位置合わせされることになる。
この好適実施例では、ビン２ａに対する屈曲性（可撓性）ベアリング・システムは、４つのビーム２１、２２、２３、２４を含んでいる。各ビームは、それぞれの端部において、少なくとも自由度２の屈曲（曲げ）が可能である屈曲性ベアリングを含み、それによって、プラットフォーム６０の運動に関して完全な自由度６を得る。ビームは対になっており、それぞれの対における各ビームの一方の端部は、屈曲性ベアリングを通じて直角に接続されている。特に、ビーム２１及び２２が第１の対を形成し、ビーム２３及び２４が第２の対を形成する。それぞれの対において、一方のビームの他方の端部はフレーム１０に接続され、他方のビームの残りの端部は、プラットフォーム６０に接続されている。図２では、ビーム２１及び２３は、フレーム１０に接続されている。ビーム２２及び２４は、プラットフォーム６０に接続されている。
図２の実施例において用いられている屈曲性ベアリングは、直角の２つのヒンジ３１ａ及び４１ａ、３１ｂ及び４１ｂ、３２ａ及び４２ａ，３２ｂ及び４２ｂ、３３ａ及び４３ａ、３３ｂ及び４３ｂ、３４ａ及び４４ａ、３４ｂ及び４４ｂから構成されている。図２の実施例では、それぞれのヒンジは、対称的な窪み（indentations）をビームの対向する側部に形成することによって形成される。結果的に得られるヒンジは、「砂時計（hour glasses）」のような形状をしている。それぞれの屈曲性ベアリングにおけるヒンジは直角をしているので、結果的なベアリングは、「交差した砂時計（crossed hour glasses）」の形状を有している。
図２に図解されている屈曲性ベアリング・システムは、比較的単純な要素から作られている。このシステムは、屈曲を可能にする少数の窪み（切れ込み）を有するビームから構成されている。しかし、結果的に得られる屈曲性ベアリング・アセンブリ・システムは、極めて複雑である。それぞれの屈曲性ベアリングは、本質的に、フック継手（Hooke's joint）である。４つのビームと屈曲性ベアリングとは、協動して機能し、プラットフォーム６０が自由度６で移動することを可能にする。このシステムは、フレーム１０に対して「浮遊する（float）」ことができる。従って、それぞれのビンにおけるそれぞれのチップを、ポスト８０、８１、８２を位置決めすることによって、それぞれの作業サイトに整列させることができる。
ビーム２１、２２、２３、２４は、可能な限りの最大限度まで、プラットフォーム６０のそれぞれの側部の長さに沿って延びている。ビームは、その剛性（スチフネス）を可能な限り最小化し、プラットフォーム６０が「浮遊する」容易さを最大にするように作成されることが好ましい。
自由度６は、ビーム２２及び２４に平行なＸ方向と、ビーム２１及び２３に平行なＹ方向とを有するデカルト座標系を定めることによって、見ることができる。すると、Ｚ方向は、プラットフォーム６０の表面と垂直となる。
ヒンジ３１ａ、３１ｂ、３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂ、３４ａ、３４ｂは、同じ方向又は対向する方向に屈曲させることができ、Ｘ−Ｙ平面内の並進（平行移動）や回転の任意の組合せを可能とする。例えば、Ｘ方向への並進運動の間は、ヒンジ３１ａ及び３３ａは、同じ方向に屈曲する。Ｘ−Ｙ平面内の回転の間には、これらのヒンジは、対向する方向に屈曲する。
ヒンジ４１ａ、４１ｂ、４２ｂ、４３ａ、４３ｂ、４４ａ、４４ｂは、Ｚ方向の並進やＸ軸又はＹ軸のどちらかの回りの回転を可能にするように屈曲する。例えば、ヒンジ４２ａ及び４４ａは、Ｚ方向の並進のために、対向する方向に屈曲する。これらのヒンジは、Ｙ軸の回りの回転のためには、同じ方向に屈曲する。同様に、ヒンジ４１ａ及び４３ａは、Ｚ方向の並進の間は、対向する方向に屈曲するが、Ｘ軸の回りの回転のためには、同じ方向に屈曲する。
ビーム２１は、ビーム２３と平行に作用して、本質的に４つのバーのリンク仕掛け（リンケージ：linkage）を形成するが、これは、ビーム２３が、一方の端部において直交する砂時計形ヒンジ３３ｂ及び４３ｂを、他方の端部において同様に３３ａ及び４３ａを有することによる。ビーム２１及び２３の両方により、Ｘ方向の運動が可能になる。ビーム２１及び２３はカンチレバー式のビームであり、その剛性を最小化する（これが望ましい）ために、これらのビームの端部は、ガイドされた状態であってはならず、軸方向に束縛されていてはならず、従って、屈曲性ビーム２２及び２４を介して、プラットフォーム６０に結合されている。ビーム２１の端部は、ビーム２２の端部に結合されているが、屈曲性ビーム２２のこの端部は、直交砂時計形ヒンジ３２ａ及び４２ａを有している。ビーム２２の他方の端部は、直交砂時計形ヒンジ３２ｂ及び４２ｂによって、プラットフォーム６０に取り付けられている。ビーム２２が、ビーム２１の先端（tip）の所望の運動を制約せずに、ビーム２１をプラットフォーム６０に接続し、それによって、剛性を最小化する（これが、屈曲性のあるベアリングの運動には望ましい）のと全く同じように、ビーム２１は、ビーム２２に対しても同じことをする。砂時計形のヒンジ３１ｂ、４１ｂ、３２ａ、４２ａのすべてが集まって、屈曲剛性を最小化し運動の範囲を最大化するビーム２１及び２２の先端部の間のモーメントの移動を妨げるように作用する。同様にして、ビーム２４は、直交屈曲性ヒンジ３４ｂ、４４ｂ、３４ａ、４４ａによって、その端部において支持されている。更に、同様に、ビーム２２及び２４は、４つのバーのリンケージとして協動し、Ｙ方向の運動を与える。ビーム２４及び２３は、相互の先端部を、所望の運動方向に制限することなく、誘導し、プラットフォーム６０とフレーム１０との間の接続を与える。
望ましくないピッチ又はヨー抵抗を生じさせずにＺ方向の運動を達成するには、ビーム２１及び２２は、可撓性の直交対として機能し、一方のビームの屈曲によって、他方のビームに投影された長さと勾配とが変化し、ほぼ制約のない垂直方向の運動が可能となる。同様に、ビーム２４及び２３も協動して機能する。やはり、直交する砂時計形の屈曲性ベアリング・ヒンジが、接続を与えるヒンジのそれぞれの端部に対し、２つの方向における可撓性を与える。
回転に関する自由度を与えるには、ビームは、再び、直交対として機能し、一方のビームが他方のビームの端部を制約することなく誘導する。例えば、Ｚ軸の回りの右手の法則の回転によれば、ビーム２３の先端部は、負のＸ方向に偏向しなければならない。砂時計３３ｂ及び３４ｂは、ビーム２３の端部のＸ方向の運動を誘導し、それをプラットフォーム６０に伝えるが、その際に、ビーム２３の端部における勾配を制限しない。それによって、ビーム２３を曲げるのに要求される力を最小化する。同様にして、ビーム２１は、正のＸ方向に曲がり、その先端部の運動は、ビーム２２によって、構造６０に伝えられる。この結果は、Ｚ軸の回りの回転におけるコンプライアンスである。ビームの端部の間の運動を最小化する屈曲性のある結合された接続部を有するビームの対を用いることにより、可撓性と運動の範囲とが増加する。
Ｙ軸の回りの角度コンプライアンスのために、ビーム２３及び２４の端部は、正のＺ方向に移動する。また、ビームの端部の勾配とＹ及びＸ方向の僅かな偏向成分とは、制限されないが、これは、相互のビームの間の一方から他方への接続の可撓性に起因する。同様に、ビーム２２及び２１の端部は、負のＺ方向に偏向するが、これらの相互に接続された端部は、ビームの直交的な可撓性によって制約されない。
Ｙ軸の回りの角度コンプライアンスのために、ビーム２４の砂時計形の屈曲３４ｂ及び４４ｂは、正のＺ方向に移動し、砂時計形の屈曲４４ａ及び３４ａは、負のＺ方向に屈曲し移動する。更に、直交的に接続されたビーム２３の偏向によって、Ｘ軸の回りの回転の場合のように、いくらかの可撓性が得られる。また、ビーム２２及び２１は、同様の態様で、システムとして協動して機能し、負のＺ方向に移動する。
ビーム２１、２２、２３、２４は、フレーム１０の中の公称の中央位置で、プラットフォーム６０を保持する。プラットフォーム６０は、トレイ１の向きとは無関係に、この位置に保持される。これが可能であることにより、トレイ１は、チップをテスト実施のために垂直位置に保持するハンドラと共に用いることに非常に適することになる。
また、プラットフォーム６０は、フレーム１０の上でスライドすることなく、「浮遊する」ことに注意すべきである。従って、フレーム１０上に成形フラッシングが存在する場合でも、動かなくなることはない。本発明によるトレイは、同様に、フレーム上のゴミの堆積にも、影響されない。別の効果として、トレイ１の反り（warping）や屈曲（flexing）も、トレイ６０の応答特性を変化させない。従って、結果として得られるトレイは、極度に堅牢である。
以上では、１つの実施例を説明したが、多数の別の実施例や改変が可能である。例えば、トレイ１は、プラスチック成形によるものであると説明した。しかし、別の材料から作ることもできる。また、シートからのスタンピング（stamping）や、ミリング（milling）によってなど、別の方法で作ることもできる。
低コストの製造方法提供されるために、一体的な成形が好ましいが、必須ではない。屈曲部（flexures）を含むビンは、個別に作成し、金属又はプラスチックで作られたフレームの中に配置することもできる。
図３は、いくつかの屈曲性ベアリングのための別の構成を示している。ヒンジ３４ａ及び３３ｂの代わりに、単一の薄い曲線状の（湾曲した）ビーム１２２ｃが用いられている。同様に、ヒンジ３１ｂ及び３２ａの代わりには、単一の薄い曲線状のビーム１２１ｃが用いられている。ビーム１２１ｃ及び１２２ｃは、ビーム２１、２２、２３、２４に対して、同じ相対的な屈曲運動を提供する。
図４は、更に別の実施例を示している。図４では、ビーム２１、２２、２３、２４の代わりに、ビーム１２１、１２２、１２３、１２４が用いられていることを示している。ビーム１２１、１２２、１２３、１２４は、砂時計形の部分にウエスト（waist）１４０ａ、１４０ｂ、１４０ｃ、１４０ｄを与えることにより、テーパ状にしている。ビーム１２１及び１２２は、屈曲部１３１によって接続されている。ビーム１２３及び１２４は、屈曲１３２によって接続されている。ビーム１２１、１２２、１２３、１２４は、それぞれ、２次元的に、ウエスト１４０ａ、１４０ｂ、１４０ｃ、１４０ｄの中がテーパ状となっている。従って、これらは、図２に示されているヒンジ対と同じ方向に屈曲することができる。しかし、長いテーパ状の部分は、より一様な応力を生じさせる。
薄く一定の断面を有するビームを用いることもできる。薄いビームは、状況によっては、要求される屈曲コンプライアンスを与える。しかし、そのようなビームでは、運動の範囲は限定される。
更に、ビームが、プラットフォーム６０の長さに沿った方向に延びることは必要ではない。ただし、一般的に、ビームは、長いほど、より大きな運動範囲を提供するし、ビームをプラットフォーム６０のエッジと平行に走らせることによって、よりコンパクトな構造を作ることはできる。しかし、プラットフォーム６０を、コイル・スプリングにより類似する構造を介して複数の点でフレーム１０に取り付けることができる。このようなコイル状のスプリング・タイプの構造は、接合部に屈曲性ベアリングを用いたジグザグ状のビームを用いて作成することができる。
他のタイプの屈曲部を用いることができることは理解すべきである。例えば、弾性ダイアフラム、ツイスト状のフラット・バー・リンク、回転ベロー（rollong bellows）、それ以外の膜及びスプリング状の構造を用いて、プラットフォーム６０に、自由度６までを与えることができる。これらのシステムは、どれでも、応力偏向解析の分野の当業者であれば、剛性及び応力が最小となるように最適化することができる。
別の修正の例として、いくつかの従来技術によるトレイは、僅かに自由度２を有するチップ・ビンへのコンプライアンスを与えることを理解すべきである。望むのであれば、ヒンジの半分を除去することができる。例えば、Ｘ−Ｙ平面でのコンプライアンスだけが必要であるのならば、ヒンジ４１ａ、４１ｂ、４２ａ、４２ｂ、４３ａ、４３ｂ、４４ａ、４４ｂを除去することができる。
また、本発明による屈曲性ベアリング・システムは、ビーム対２１及び２２、２３及び２４を含むことに注意すべきである。それぞれの対におけるビームは、直角に結合されており、剛性を減少させ、運動範囲を拡大させている。本発明の効果のいくつかは、ビーム２１及び２３を屈曲性ベアリングを用いてプラットフォーム６０に結合されている場合でも、達成することができる。
従って、本発明は、請求の範囲における請求項の趣旨と範囲とによってのみ限定されるべきである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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