(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク、研磨材及び水などからなるマスを投入可能な略有底筒状の槽本体と、槽本体の開口部を閉止可能な蓋とを備えるバレル槽と、
前記バレル槽に設けられるとともに前記バレル槽内外の空気の出入りを制御する開閉手段と、
前記開閉手段に接続可能とされるとともに研磨作業を行う前の段階でバレル槽内を減圧可能な減圧装置とから構成されており、
前記開閉手段は、前記バレル槽に開設された取付孔内に嵌着されるとともに、常には弾性的に閉塞される差込孔を有する弾性部材を備え、この差込孔内には、前記減圧装置に接続可能な差込針が差込可能とされていることを特徴とするバレル研磨装置。
【請求項２】
前記弾性部材の差込孔に対して前記差込針が差し込まれる差込位置と、抜き取られる抜取位置との間を移動させるための移動機構が備えられていることを特徴とする請求項１記載のバレル研磨装置。
【請求項３】
ワーク、研磨材及び水などからなるマスを投入可能な略有底筒状の槽本体と、槽本体の開口部を閉止可能な蓋とを備えるものにおいて、
前記槽本体または前記蓋には、バレル槽内外の空気の出入りを制御する開閉手段が設けられ、さらにこの開閉手段には、研磨作業を行う前の段階でバレル槽内を減圧可能な減圧装置が接続可能とされる被接続部が設けられており、
前記開閉手段は、常には弾性的に閉塞されるとともに前記減圧装置に接続可能な差込針が差込可能とされることで前記被接続部を構成する差込孔を有し、且つ前記槽本体または前記蓋に開設された取付孔内に嵌着される弾性部材を備えていることを特徴とするバレル槽。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、バレル研磨装置及びバレル槽に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ワークに形成されたバリを取るにあたっては、バレル槽内にワークと研磨石と水とからなるマスを投入してから密閉し、そのバレル槽を回転させることで内部のマスを撹拌してワークと研磨石とを衝合させることでワークを研磨する方法が知られている。この研磨過程では、ワークや研磨石の摩擦などによって摩擦熱が発生するので、マスやバレル槽内の空気が暖められる。そして、研磨作業を長時間連続して行うと、マスやバレル槽内の空気が８０℃〜１００℃程度の高温に達することがある。この温度上昇に伴い、密閉されたバレル槽の内部空間の圧力が上昇するため、研磨作業後に作業者がバレル槽の蓋を開けると、高温のスラッジ（ワークや研磨石の摩耗粉を含んだ水）が外部に噴き出すことがあり、安全面で問題があった。
【０００３】
この問題に対処すべく、バレル槽を密閉しない方式のものが実公昭４５−２６８７４号や特公昭４８−２４７９５号などにより提案されており、具体的には、バレル槽の端面に常に外部に連通するガス抜き管を設けるようにしている。しかしながら、このものは、研磨過程であってもガス抜き管が外部に連通しているため、撹拌によりバレル槽内を激しく運動するスラッジがガス抜き管に侵入して外部に漏れ出す可能性があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、バレル槽に弁を設けることで適切に内部圧力を逃がす方式のものが特公昭５４−４３２３９号などにより提案されている。このものは、バレル槽に開設した孔部内に弁を設けて、この弁を所定の駆動手段により開閉させることで、研磨過程ではバレル槽を密閉し、研磨後にはバレル槽の密閉状態を開放できるようになっている。これにより、研磨過程でのスラッジの噴出を防ぐことができるとともに、作業者が内圧の高まった状態のバレル槽の蓋を開ける必要がなくなるので安全面の問題も解消される。
【０００５】
しかしながら、このものでも研磨過程においてバレル槽の内部空間の圧力が外部の気圧よりも高くなるという問題点は解消されていない。すなわち、研磨後に弁が開くと同時に内圧が開放されるので、スラッジが噴き出して弁や孔部に付着したり、外部に漏れ出すことがあった。このため、メンテナンスを頻繁に行わなければならないなどといった問題が生じることになる。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、研磨後にバレル槽を開放したときにマスが噴き出すのを抑制することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明に係るバレル研磨装置は、ワーク、研磨材及び水などからなるマスを投入可能な略有底筒状の槽本体と、槽本体の開口部を閉止可能な蓋とを備えるバレル槽と、前記バレル槽に設けられるとともに前記バレル槽内外の空気の出入りを制御する開閉手段と、前記開閉手段に接続可能とされるとともに研磨作業を行う前の段階でバレル槽内を減圧可能な減圧装置とから構成されており、前記開閉手段は、前記バレル槽に開設された取付孔内に嵌着されるとともに、常には弾性的に閉塞される差込孔を有する弾性部材を備え、この差込孔内には、前記減圧装置に接続可能な差込針が差込可能とされているところに特徴を有する。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記弾性部材の差込孔に対して前記差込針が差し込まれる差込位置と、抜き取られる抜取位置との間を移動させるための移動機構が備えられているところに特徴を有する。
【００１０】
請求項３の発明に係るバレル槽は、ワーク、研磨材及び水などからなるマスを投入可能な略有底筒状の槽本体と、槽本体の開口部を閉止可能な蓋とを備えるものにおいて、前記槽本体または前記蓋には、バレル槽内外の空気の出入りを制御する開閉手段が設けられ、さらにこの開閉手段には、研磨作業を行う前の段階でバレル槽内を減圧可能な減圧装置が接続可能とされる被接続部が設けられており、前記開閉手段は、常には弾性的に閉塞されるとともに前記減圧装置に接続可能な差込針が差込可能とされることで前記被接続部を構成する差込孔を有し、且つ前記槽本体または前記蓋に開設された取付孔内に嵌着される弾性部材を備えているところに特徴を有する。
【００１２】
【発明の作用及び効果】
＜請求項１の発明＞
槽本体内にマスを投入した後、蓋を槽本体に装着して開口部を閉止する。バレル槽に設けた開閉手段に対して減圧装置を接続するとともに開閉手段によりバレル槽内外の空気の出入りを許容した状態で減圧装置を稼働させてバレル槽内を減圧する。その後、開閉手段によりバレル槽内外の空気の出入りを規制してバレル槽内を密閉した状態でマスを撹拌することでワークを研磨する。この研磨過程では、摩擦熱が生じるためバレル槽内の空気が暖められ、それに伴ってバレル槽内の圧力が上昇する。ところが、予めバレル槽内が減圧されているから、研磨作業が終了した後に開閉手段により空気の出入りを許容したとき若しくは蓋を取り外したときにバレル槽内のマスが外部に噴き出すのを抑制することができる。
バレル槽内を減圧するには、差込針に減圧装置を接続するとともにその差込針を弾性部材の差込孔内に差し込んで減圧装置を稼働することで行う。減圧が完了したら、減圧装置を停止させ、差込針を差込孔から抜き取ると、差込孔が弾性的に閉塞されるから、バレル槽内が減圧状態のまま密閉される。
弾性部材により開閉手段を構成しているので、例えば開閉手段としてバルブ装置のような機械部品を使用した場合と比較して安価で済む。また槽本体または蓋の取付孔内に弾性部材を嵌着しているので、上記バルブ装置が外部に配されるのと比較して、バレル槽の構造を簡単にすることができる。
【００１５】
＜請求項２の発明＞
差込針を弾性部材の差込孔に対して差し込む作業及び抜き取る作業を移動機構により自動的に行うことができるので、作業効率が良好となる。
【００１６】
＜請求項３の発明＞
槽本体内にマスを投入した後、蓋を槽本体に装着して開口部を閉止する。槽本体または蓋に設けた開閉手段の被接続部に減圧装置を接続するとともに開閉手段によりバレル槽内外の空気の出入りを許容した状態で減圧装置を稼働させてバレル槽内を減圧する。その後、開閉手段によりバレル槽内外の空気の出入りを規制してバレル槽内を密閉した状態でマスを撹拌することでワークを研磨する。この研磨過程では、摩擦熱が生じるためバレル槽内の空気が暖められ、それに伴ってバレル槽内の圧力が上昇する。ところが、予めバレル槽内が減圧されているから、研磨作業が終了した後に開閉手段により空気の出入りを許容したとき若しくは蓋を取り外したときにバレル槽内のマスが外部に噴き出すのを抑制することができる。
バレル槽内を減圧するには、差込針に減圧装置を接続するとともにその差込針を弾性部材の差込孔内に差し込んで減圧装置を稼働することで行う。減圧が完了したら、減圧装置を停止させ、差込針を差込孔から抜き取ると、差込孔が弾性的に閉塞されるから、バレル槽内が減圧状態のまま密閉される。
弾性部材により開閉手段を構成しているので、例えば開閉手段としてバルブ装置のような機械部品を使用した場合と比較して安価で済む。また槽本体または蓋の取付孔内に弾性部材を嵌着しているので、上記バルブ装置が外部に配されるのと比較して、バレル槽の構造を簡単にすることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
＜参考例＞
参考例を図１ないし図７によって説明する。参考例に示すバレル研磨装置は、大まかには、図３に示すように、バレル槽１０と、バレル槽１０に設けられるバルブ装置２０と、バルブ装置２０に対して接続可能な減圧装置３０とから構成される。
【００１８】
バレル槽１０は、上面が開口された有底円筒状をなす槽本体１１と、槽本体１１の上面の開口部１２に装着されることで開口部１２を閉止する円盤状の蓋１３とを有している。蓋１３を取り外した状態で槽本体１１内には、ワーク、研磨石（研磨材）及び水とからなるマスＭが開口部１２を通して投入できるようになっている。槽本体１１の内周には、ウレタン樹脂などのライニング１１ａが施されている。槽本体１１の外周には、バレル槽１０を後述するバレル研磨機４０に対して積み降ろす際に使用するロボット（図示せず）が側方から掴むことができるように溝１４が形成されている。蓋１３は、下部に対して上部が縮径された略円盤状の蓋本体１５と、蓋本体１５の下面側に施されたウレタン樹脂などのライニング１５ａと、蓋本体１５の上面にボルトにより固定された固定板１６とにより構成される。固定板１６の上面の中心位置には、バレル研磨機４０のストッパ５８を当接させるための凹部１７が形成されている。なお、槽本体１１の開口部１２に蓋１３を装着した状態では、両者１１，１３に設けられたライニング１１ａ，１５ａ同士が密着することで、開口部１２をシール可能となっている。
【００１９】
そして、蓋１３には、バレル槽１０内外の空気の出入りを制御するためのバルブ装置２０が一体に設けられている。このバルブ装置２０は、蓋１３を上下に貫通する管２１と、その管２１の外端に設けられるとともに機械的に管２１を閉塞または開放可能な弁体２２とを有している。槽本体１１に蓋１３を装着した状態で弁体２２を開くと、管２１を通してバレル槽１０内外の空気の出入りが許容され、弁体２２を閉じると、バレル槽１０内外の空気の出入りが規制されて、バレル槽１０内が気密状態に密閉されるようになっている。この弁体２２のバレル槽１０側とは反対側の端部には、次述する減圧装置３０が接続可能な被接続部２２ａが設けられている。またバルブ装置２０は、蓋１３の中心位置から径方向外側にずれた位置で、且つバレル槽１０がバレル研磨機４０にセットされたときにストッパ５８などと干渉しないような位置に配設されている。なお図１及び図２においては、バルブ装置２０の図示は省略するものとする。
【００２０】
減圧装置３０は、管３１によって連絡された真空ポンプ３２と、逆止弁３３と、圧力センサ３４とを有しており、管３１の先端部がバルブ装置２０の弁体２２の被接続部２２ａに対して接続可能な接続部３１ａとなっている。逆止弁３３は、管３１の接続部３１ａと真空ポンプ３２との間に配されることで、真空ポンプ３２側からの空気の逆流を規制している。そして、管３１の接続部３１ａを弁体２２の被接続部２２ａに接続し、且つ弁体２２を開いた状態で真空ポンプ３２を稼働させることで、バレル槽１０内の空気を吸引して、バレル槽１０内を減圧できるようになっている（図４）。圧力センサ３４は、減圧過程で空気の吸引に伴う圧力の低下を検出するためのものであって、管３１の接続部３１ａと逆止弁３３との間に配されている。この圧力センサ３４からは、バレル槽１０内の圧力が所定の目的値に達したときに信号が発せられるようになっており、この信号に基づいて真空ポンプ３２の運転が停止されるか、弁体２２が閉じられるようになっている。なお、圧力センサ３４に設定する目的値は、研磨作業終了後におけるバレル槽１０内の圧力が外部の大気圧よりも小さくなるような数値となっている。具体的に目的値を求めるには、まずバレル槽１０内の空気の温度について研磨前の数値を測定するとともに研磨後の数値を想定または実測することでそれぞれ特定し、その一方でバレル槽１０内の圧力について研磨後の所望の値（大気圧よりも小さい値）を決定する。そして、研磨前後でバレル槽１０の内部空間の体積は変化しないので、上記３つの数値からボイルシャルルの法則によって研磨前に減圧すべき目的値を導くことができる。なお研磨後の温度は、ワークの大きさや形状、研磨時間などの条件によって変化するので、条件を変えて研磨するときはその条件に合わせて特定するようにすればよい。
【００２１】
続いて、研磨工程を説明する。研磨作業を行う前の段階では、槽本体１１から蓋１３を取り外した状態で開口部１２を通して槽本体１１内にマスＭを投入し、その後、図３に示すように、槽本体１１に蓋１３を装着して開口部１２を閉止する。続いて、バルブ装置２０の弁体２２の被接続部２２ａに減圧装置３０の管３１の接続部３１ａを接続するとともに弁体２２を開いておく。この状態で真空ポンプ３２の運転を開始すると、図４に示すように、バレル槽１０内の空気がバルブ装置２０を通って真空ポンプ３２側へ吸引されて、次第にバレル槽１０内の圧力が減少していく。そして、バレル槽１０内の圧力が、予め圧力センサ３４に設定しておいた目的値まで減少したところで、圧力センサ３４から発せられる信号によって真空ポンプ３２の運転が停止される。その後、図５に示すように、バルブ装置２０の弁体２２を閉じてバレル槽１０の内部空間を密閉して減圧状態に維持しつつ、図６に示すように、管３１の接続部３１ａを弁体２２の被接続部２２ａから取り外すことで減圧装置３０をバルブ装置２０から切り離す。なお、真空ポンプ３２の運転を停止する前に弁体２２を閉じるようにしてもよい。引き続いて、減圧状態に保たれたバレル槽１０をバレル研磨機４０にセットして研磨作業を行う。
【００２２】
ここで、バレル研磨機４０の構成の概略を説明する。バレル研磨機４０は、図１及び図２に示すように、大まかには、フレーム４１の右端に駆動源であるモータ４２が設けられ、その左側に４つのバレル槽１０が回転可能な状態でセットされるようになっている。フレーム４１には、軸受４３が固定されるとともにその軸受４３には、軸線を上下方向に向けた公転軸４４が回転可能に支持されている。この公転軸４４には、モータ４２の駆動力が、駆動プーリ４５、減速機構４６、駆動ベルト４７、公転用プーリ４８を介して伝達される。公転軸４４の上端には、円盤状をなす公転ターレット４９が一体回転し得るように固定されている。公転ターレット４９には、同心円周上に９０°間隔を空けて４つの自転軸５０が相対回転可能に支持されている。自転軸５０の下端には、自転用プーリ５１が設けられ、この自転用プーリ５１と公転軸４４の軸受４３に設けられた固定プーリ５２との間に自転用ベルト５３が掛け回されており、かかる機構により公転ターレット４９と一体に公転する自転軸５０が公転ターレット４９上において自転するようになっている。
【００２３】
各自転軸５０の上端には、略円筒状のシリンダ５４が固定されるとともに、このシリンダ５４内にはピストン５５が上下方向に移動可能な状態で設けられている。そして、このピストン５５の上端に設けられた載置板５６上にバレル槽１０が載置可能とされている。載置板５６の上面には、バレル槽１０の底部を嵌合可能な位置決め凹部５７が設けられ、バレル槽１０を径方向（水平方向）に遊動規制できる。このピストン５５は、図示しない空気圧回路によって作動流体（加圧空気）をシリンダ５４内に供給するなどしてその上下動が制御される。また、自転軸５０には、門型をなすストッパ５８が一体回転し得るように設けられている。ストッパ５８のうち自転軸５０に対して同心をなす部分には、バレル槽１０の蓋１３の凹部１７に上方から嵌合可能なピン状の受け部材５９が設けられ、これによりバレル槽１０をピストン５５との間で保持できるようになっている。
【００２４】
そして、研磨作業を行うには、既述したように内部空間が減圧された状態のバレル槽１０をロボットによってバレル研磨機４０の載置板５６上に載置する。その後、空気圧回路によりシリンダ５４内に作動流体を供給することで、ピストン５５が上昇する。そしてストッパ５８の受け部材５９が蓋１３の凹部１７に嵌合する位置に達したところで、その上昇が停止されるとともにバレル槽１０が自転軸５０と同心位置に位置決め保持される。この状態でモータ４２を駆動して公転ターレット４９を回転させるとともに、その回転する公転ターレット４９上において各自転軸５０を回転させる。このとき、ピストン５５、バレル槽１０及びストッパ５８が自転軸５０と一体となって回転し、この回転によって生じる遠心力により、バレル槽１０内のマスＭが撹拌され、ワークが研磨石によって研磨される。この研磨過程では、ワークや研磨石の摩擦などにより摩擦熱が発生し、この摩擦熱によりマスＭ及びバレル槽１０内の空気が暖められる。マスＭ及びバレル槽１０内の空気の温度は、研磨作業が進行するとともに経時的に上昇し、これに伴ってバレル槽１０内の圧力も経時的に上昇するものの、その値は外部の大気圧よりも低くなっている。
【００２５】
一定時間の研磨が完了すると、モータ４２が停止されるとともに空気圧回路によりシリンダ５４内から作動流体が流出されることで、ピストン５５がバレル槽１０と共に下降し、受け部材５９と蓋１３との間に上下方向の隙間が空けられる。その後、ロボットによりバレル槽１０をバレル研磨機４０から降ろして、バレル槽１０内のマスＭを取り出す作業を行う。ここで、研磨後におけるバレル槽１０内では、空気やマスＭの温度が８０℃〜１００℃程度の高温に達しているとともに、その内圧が研磨前と比較すると上昇しているものの、予め減圧しているので外部の大気圧よりも低くなっている。従って、この状態で蓋１３を取り外そうとしても、バレル槽１０内の内圧が低いため外れ難くなっており、また研磨後に相当の時間が経過してから蓋１３を取り外そうとしたときはマスＭ及びバレル槽１０内の空気が冷えて内圧がさらに低下するため、蓋１３が一層外れ難くなっているので、それに先だってバルブ装置２０の弁体２２を開くようにする。すると、図７に示すように、外部の空気がバルブ装置２０を通ってバレル槽１０内に流入することで、バレル槽１０内が大気圧になる。これにより、蓋１３の取り外しを容易に行うことができるので、蓋１３を取り外した後にマスＭを取り出す作業を行う。
【００２６】
ところで、研磨後にバルブ装置２０の弁体２２を開いたとき、空気は、外部からバレル槽１０内に向かって流れ込むので、空気の流動に伴ってバレル槽１０内のマスＭが外部に噴き出すようなことがない。むしろ、研磨過程においてバルブ装置２０のうち蓋１３に配された管２１内にスラッジ（ワークや研磨石の摩耗粉を含んだ水）が侵入して付着している可能性があり、その付着したスラッジが外部からバレル槽１０内に流入する空気によってバレル槽１０内に吹き飛ばされるので、スラッジが付着堆積してバルブ装置２０に詰まりが生じるような事態を回避することができるという効果が得られる。
【００２７】
以上説明したように本参考例によれば、密閉したバレル槽１０内を減圧装置３０により減圧した後に研磨作業を行うようにしているから、研磨過程で生じる摩擦熱によりバレル槽１０内の圧力が上昇したとしても、予め減圧しているので、研磨作業が終了した後にバレル槽１０を開放したときにバレル槽１０内のマスＭが噴き出すのを抑制することができる。しかも、バレル槽１０内を減圧する際に設定する目的値は、研磨後のバレル槽１０内の圧力が大気圧よりも低くなるような値となっているから、研磨後にバレル槽１０を開放したときにマスＭが外部に噴き出すのを確実に防ぐことができる。
【００２８】
＜第１実施形態＞
本発明の第１実施形態を図８ないし図１０によって説明する。この第１実施形態では、上記参考例の開閉手段であるバルブ装置に代えて弾性部材６０を備え、差込針７０を移動させるための移動機構８０を備えたものを示す。
【００２９】
弾性部材６０は、図８に示すように、蓋本体１５の中心位置に上下に開口して設けられた取付孔６２内に嵌着されるとともに、その上方にボルト締めされる固定板１６によって抜け止め保持されている。弾性部材６０は、ゴム製とされ、略円柱状に形成されるとともにその中心位置には、上下に貫通する差込孔６１（特許請求の範囲に記載した被接続部に相当）が形成されており、この差込孔６１は、常には弾性的に閉塞されている。これにより取付孔６２が常には気密状態に保たれ、バレル槽１０内外の空気の出入りが規制されるようになっている。この差込孔６１内には、次述する差込針７０が上下方向に沿って差し込み可能とされている。また蓋１３の固定板１６及びライニング１５ａには、差込針７０の挿通を許容する挿通孔６３，６４が上下に貫通形成されている。なお、この弾性部材６０は、ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３のデュロメータ硬さタイプＡで１５〜４５の硬度を有している。
【００３０】
差込針７０は、注射針のような形態のものであって、先細り状をなす上下に細長い略筒状に形成されるとともにその上端部と下端部とが開口されている。従って、この差込針７０が弾性部材６０の差込孔６１内に差し込まれると、差込針７０を通してバレル槽１０内外の空気の出入りが許容されるようになっている。この差込針７０の上端部の開口部分には、減圧装置３０の管３１の接続部３１ａが接続可能な接続受け部７０ａが開口して設けられている。そしてこの差込針７０は、続いて説明する移動機構８０の支持板８１に固定されている。
【００３１】
移動機構８０は、差込針７０を弾性部材６０の差込孔６１に差し込んだり、抜き取ったりする作業を自動的に行うためのものであって、差込針７０を貫通させた状態で固定する支持板８１と、支持板８１に連結されるとともに上下方向に沿って移動可能なピストン８２と、ピストン８２を収容するシリンダ８３と、シリンダ８３の上下端部に管８４により接続されるとともにシリンダ８３内に供給する作動流体を制御するための切替弁８５とから構成されている。すなわち、切替弁８５によりシリンダ８３の下端側に作動流体を供給することで、ピストン８２及び支持板８１が蓋１３よりも上方に持ち上げられ、これにより差込針７０は、弾性部材６０の差込孔６１から抜き取られた抜取位置に保持される。一方、切替弁８５によりシリンダ８３の上端側に作動流体を供給することで、図９に示すように、ピストン８２が下降されて支持板８１が蓋１３の上面に当接されるとともに差込針７０が弾性部材６０の差込孔６１内に差し込まれた差込位置に保持される。
【００３２】
バレル槽１０内を減圧するあたっては、図８に示すように、減圧装置３０の管３１の接続部３１ａを差込針７０の接続受け部７０ａに接続しつつ、差込針７０が弾性部材６０の差込孔６１の真上位置になるようにバレル槽１０を配置してから、切替弁８５を作動させてシリンダ８３の上端側に作動流体を供給する。すると、ピストン８２、支持板８１及び差込針７０が共に下方へ変位されるのに伴って差込針７０が差込孔６１を弾性的に拡開させつつ進入し、支持板８１が蓋１３の上面に当接したところで作動流体の供給が停止され、図９に示すように、差込針７０が差込孔６１内に差し込まれてその下端の開口部分がバレル槽１０内に臨んだ差込位置に達する。このとき差込針７０の外周に弾性部材６０が密着する。
【００３３】
この状態で真空ポンプ３２を稼働させると、バレル槽１０内の空気が差込針７０を通して真空ポンプ３２側に吸引されることで、バレル槽１０内が減圧される。バレル槽１０内の圧力が所定の目的値まで低減されたら、圧力センサ３４から発せられる信号により真空ポンプ３２の運転が停止される。その後、切替弁８５を作動させてシリンダ８３の下端側に作動流体を供給することで、ピストン８２、支持板８１及び差込針７０が上方へ変位され、差込針７０が差込孔６１から完全に抜き取られた抜取位置に達したところで作動流体の供給が停止される（図８）。差込孔６１から差込針７０が抜き取られるのに伴い、弾性部材６０が弾性復元することで差込孔６１は再び閉塞されるので、バレル槽１０内が減圧された状態で密閉維持される。このようにして減圧したバレル槽１０を上記参考例と同様にバレル研磨機４０（図１及び図２参照）にセットして研磨作業を行う。なおこの研磨過程においても常に弾性部材６０の差込孔６１が弾性的に閉塞しているから、スラッジが差込孔６１の内壁面に付着するようなことが防がれる。
【００３４】
研磨後、バレル研磨機４０から降ろしたバレル槽１０を移動機構８０まで運ぶとともに弾性部材６０の差込孔６１が差込針７０の真下位置になる位置に配置する。このとき、差込針７０から減圧装置３０を切り離すことで、差込針７０の接続受け部７０ａを外部に開放しておく。そして、切替弁８５を作動させてシリンダ８３の上端側に作動流体を供給することで、図１０に示すように、差込針７０が弾性部材６０の差込孔６１内に差し込まれて差込位置に達するとともに、矢線に示すように外部の空気が差込針７０の接続受け部７０ａからバレル槽１０内に流入してバレル槽１０内が大気圧になる。
【００３５】
以上説明したように本実施形態によれば、弾性部材６０により開閉手段を構成するようにしたから、上記した参考例のように機械部品であるバルブ装置を用いる場合と比較して安価で済む。また弾性部材６０が蓋１３の取付孔６２内に嵌着されることで蓋１３に内蔵されているので、参考例のバルブ装置が蓋１３の外部に配されるのと比較して、出っ張りがなくバレル槽１０の構造を簡単にすることができる。
【００３６】
さらには、弾性部材６０の差込孔６１に対して差込針７０を差し込んだり、抜き取ったりする作業を移動機構８０により自動的に行うようにしたから、作業効率が良好となる。
なお、その他の構造、作用及び効果は上記した参考例と同様であるため重複する説明は省略する。
【００３７】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００３８】
（１）上記した実施形態では、バレル槽内を減圧する際に研磨作業後のバレル槽内の圧力が大気圧よりも低くなるような数値まで減圧する設定とした場合を示したが、研磨後のバレル槽の圧力が大気圧と同じになるように減圧時の目的値を設定してもよい。その場合は、研磨後の蓋の取り外し作業性が良好となる。また、研磨後におけるバレル槽内の圧力が大気圧よりも多少大きくなったとしても、研磨前の段階で減圧した分だけ研磨後の内圧を低くすることができ、マスの噴き出しを抑制できるという効果が得られるのであるから、そのようなものも本発明に含まれる。
【００３９】
（２）上記した実施形態では、開閉手段であるバルブ装置や弾性部材をバレル槽の蓋に設けるようにしたものを示したが、開閉手段をバレル槽の槽本体に設けるようにしてもよい。特に弾性部材を槽本体に設けるには、槽本体に取付孔を穿設してそこに弾性部材を嵌着するようにすればよい。
（３）上記した実施形態では、バレル槽がバレル研磨機に対して積み降ろし可能とされるものを示したが、バレル槽がバレル研磨機に固定されるものも本発明に含まれる。
（４）上記した実施形態では、研磨後にバレル槽の密閉状態を解除するにあたって移動機構を用いて差込針を差込孔に差し込むようにした場合を示したが、移動機構から切り離した差込針を手作業で差込孔に差し込んでもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  参考例に係るバレル研磨機の部分切欠正面図
【図２】バレル研磨機の平面図
【図３】バレル槽の断面図及びバルブ装置から減圧装置を切り離した状態を示す流体回路図
【図４】バレル槽の断面図及びバルブ装置に減圧装置を接続して減圧している状態を示す流体回路図
【図５】バレル槽の断面図及び減圧が完了してバルブ装置を閉じた状態を示す流体回路図
【図６】バレル槽の断面図及び閉じたバルブ装置から減圧装置を切り離した状態を示す流体回路図
【図７】バレル槽の断面図及び研磨作業終了後にバルブ装置を開いた状態を示す流体回路図
【図８】  本発明の第１実施形態に係るバレル槽の断面図及び減圧装置を接続した差込針が移動機構により抜取位置に配された状態を示す流体回路図
【図９】バレル槽の断面図及び差込針が移動機構により差込位置に配されて減圧している状態を示す流体回路図
【図１０】バレル槽の断面図及び研磨作業終了後に減圧装置から切り離した差込針が移動機構により差込位置に配された状態を示す流体回路図
【符号の説明】
１０…バレル槽
１１…槽本体
１２…開口部
１３…蓋
３０…減圧装置
６０…弾性部材（開閉手段）
６１…差込孔（被接続部）
６２…取付孔
７０…差込針
８０…移動機構
Ｍ…マス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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