(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、その光源からの光を分光して必要な波長の光を取り出す分光器と、その分光器で取り出された光を偏光する第１偏光子と、第１試料に磁場を印加する磁場印加手段と、その第１試料を透過ないしその第１試料で反射した光を偏光する第２偏光子と、その第２偏光子を通過した光の強度を検出する光検出器とを備えた光−磁気光学効果測定装置において、
その光源は極短波長帯域の光を放射するランプを含み、
その分光器はレンズおよび／またはプリズムを含まず、
その光源から光検出器に至る光路を容器内に収容し、その光路の途中には第２試料が設置可能になっており、
その光検出器は、前記第１試料を透過ないし前記第１試料で反射した光の強度を検出する位置と、前記第２試料を透過ないし前記第２試料で反射した光の強度を検出する位置との間で移動可能に設けられていることを特徴とする光−磁気光学効果測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光−磁気光学効果測定装置に関し、光−磁気光学効果（すなわちファラデー効果および／またはカー効果）を測定するための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｖｏｌ．３２（１９９３）ｐｐ．９８９〜９９５に、今日知られている最も新しい光−磁気光学効果測定装置が紹介されている。この装置では、光源からの光を分光器に入射して必要な波長の光を取り出す。取り出された光は第１偏光子によって直線偏光にされたあと試料に照射される。ここで試料には電磁石によって磁場が印加されている。
ここで光−磁気光学効果としては、ファラデー効果とカー効果とが知られている。ファラデー効果を測定する場合には試料を透過した光を観察し、カー効果を測定する場合には試料で反射した光を観察する。いずれの場合にも、試料を透過ないし試料で反射した光をさらに第２偏光子に通過させ、その後に光の強度（光強度）を検出する。この測定手法は、クロス−ニコル法，ファラデーセル法，回転検光子法，円偏光変調法等について共通である。
【０００３】
近年、光−磁気光学効果を利用した超高密度記憶技術では、その記憶密度を向上させるために、ますます短波長の光が利用される傾向にある。そのため、極短波長帯域において光−磁気光学効果を測定する技術の実現が切望されている。
上記論文に記載された装置では、短波長光での測定が可能となるように改良されている。当該装置を用いれば、２１０ｎｍ前後までの波長について測定することができるが、極短波長帯域である２００ｎｍ以下の領域では測定することができない。
その理由は、光源としてキセノンランプを用いているためである。このキセノンランプは２００ｎｍ以下での光強度が著しく弱く、キセノンランプを利用する限り２００ｎｍ以下の領域で測定することができない。それならば、より短波長側に発光波長帯域をもつ重水素ランプを利用することが考えられる。しかるに重水素ランプを光源とする測定装置はいまだ実現されていない。
【０００４】
重水素ランプは２５０ｎｍ以下に発光波長帯域を有するものの、その光強度が弱い。そのため、うまく工夫しないと必要なＳ／Ｎ比が確保できず、信頼できる測定が実現されない。また、２００ｎｍ以下の光は大気やレンズ等によって著しく減衰するため、測定をより困難にしている。すなわち、２００ｎｍ以下の波長で測定できるようにするためには単に重水素ランプを用いればよいというものでなく、必要なＳ／Ｎ比を得ることができるためのブレークスルーを必要とする。そこで、本出願人らは、特願平８−９６８８７号（未公開）において、初めて重水素ランプを用いて必要なＳ／Ｎ比が確保できる装置を開示して実現した。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、極短波長帯域において光−磁気光学効果の測定を行う場合、対象となる試料の光学定数をあらかじめ測定しておく必要がある。この光学定数の測定は屈折率や消光係数を求めるため、試料に照射する光の角度が光−磁気光学効果の測定の場合とは異なる。すなわち、試料に入射する入射光と、その試料の法線（以下「試料法線」と呼ぶ。）とのなす角度は、光学定数の測定ではほぼ４５°であるのに対して、光−磁気光学効果の測定ではほぼ３°である。しかも、光学定数の測定を精度よく行うには、光軸精度を極めて高精度にしておく必要がある。また、光軸が不適切な場合には軸合わせに相当の時間を要するため、全体の測定時間が長くなる。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、光−磁気光学効果の測定とともに、光学定数の測定を行えるようにした光−磁気光学効果測定装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、光源と、その光源からの光を分光して必要な波長の光を取り出す分光器と、その分光器で取り出された光を偏光する第１偏光子と、第１試料に磁場を印加する磁場印加手段と、その第１試料を透過ないしその第１試料で反射した光を偏光する第２偏光子と、その第２偏光子を通過した光の強度を検出する光検出器とを備えた光−磁気光学効果測定装置において、その光源は極短波長帯域の光を放射するランプを含み、その分光器はレンズおよび／またはプリズムを含まず、その光源から光検出器に至る光路を容器内に収容し、その光路の途中には第２試料が設置可能になっており、その光検出器は、前記第１試料を透過ないし前記第１試料で反射した光の強度を検出する位置と、前記第２試料を透過ないし前記第２試料で反射した光の強度を検出する位置との間で移動可能に設けられていることを特徴とする。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、光学定数の測定を行うには、光路の途中に第２試料を設置し、その第２試料を透過ないし第２試料で反射した光の強度を検出する位置に光検出器を移動させればよい。また、光−磁気光学効果の測定を行うには、第２試料の設置を外し、第１試料を透過ないし第１試料で反射した光の強度を検出する位置に光検出器を移動させればよい。こうして、光学定数の測定と、光−磁気光学効果の測定とを切り換えて行うことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。この実施の形態では、光−磁気光学効果の測定ではカー効果を測定する場合について説明する。ここで、図１には、光−磁気光学効果測定装置の全体レイアウトを平面図で示す。図２では、図２（Ａ）に分光器の構成を、図２（Ｂ）にフィルタの詳細をそれぞれ示す。図３には、光学系ボックスの構成を平面図で示す。図４，図６には、図３のＡ−Ａ断面図をそれぞれ示す。図５には光学定数の測定における光路を、図７には光−磁気光学効果の測定における光路をそれぞれ示す。なお、これらの図面において、同一の要素には同一の符号を付している。
【０００９】
まず、図１において、光−磁気光学効果測定装置は、光源としての重水素ランプ１０２，キセノンランプ１０８、分光器１２０、光学系ボックスとしての容器１６６、試料１７６を設置する容器１７０等によって構成されている。
重水素ランプ１０２は容器１０６に設けられており、２５０ｎｍ以下の短波長光を含む光（すなわち極短波長帯域の光）を放射する。重水素ランプ１０２から放射された光は容器１０６の凹面反射鏡で反射集光され、分光器１２０に入射される。この凹面反射鏡は、石英の表面を研磨した研磨面に白金（Ｐｔ）をコートし、さらにこの上にＡｌ−ＭｇＦ２をコートして製作されている。この場合、石英に代えて炭化珪素（ＳｉＣ）としてもよく、白金に代えて金（Ａｕ）としてもよい。こうして表面処理された凹面反射鏡は、重水素ランプ１０２が放射する光のうち光強度が低い波長１６０ｎｍにおいて最もよく反射する。具体的に波長１６０ｎｍにおける反射率は８４〜８６％である。なお、後述する各反射鏡や凹面反射鏡にも同様の表面処理が施されており、短波長光を高効率で反射する。
【００１０】
容器１０６内には酸素吸収剤１０３が置かれる。この酸素吸収剤１０３には、例えば鉄粉を用いる。酸素吸収剤１０３は鉄粉に限らず、酸素を選択的に吸収する能力を有する他の物質を用いてもよい。他の物質としては、加熱処理した還元銅等がある。こうした鉄粉や還元銅等は加熱処理などによって再生されるので、容易にリサイクルすることができる。そのため、製造コストや維持コストを低く抑えることができる。なお、酸素吸収剤１０３が置かれる位置やその個数は、容器１０６の容量や必要とされる酸素量によって変わり、適切な位置や個数が選択される。こうした酸素吸収剤１０３に関する内容は、後述する他の酸素吸収剤についても同様である。
また、容器１０６には、重水素ランプの設置等によって当初は空気が入っている。しかし、空気中の酸素を酸素吸収剤１０３に吸収させながら、電磁弁２００を開閉制御して窒素を供給することにより窒素雰囲気に置き換える。そのため、重水素ランプ１０２から分光器１２０までの光路は酸素をほとんど含まない雰囲気中に置かれることになる。したがって、重水素ランプ１０２から発生する２５０ｎｍ以下の短波長光はあまり減衰することなく分光器１２０に入射される。さらに、微量の窒素が容器１０６内に常に送り込まれるため、容器１０６は高い気密性を必要としない。容器１０６内は減圧する必要がないため、簡単な構造のカバーで足りる。なお、容器１０６の態様は他の容器についても同様である。
【００１１】
一方、キセノンランプ１０８は、重水素ランプよりも長波長側に発光波長帯域を有している。発光波長帯域（具体的には波長３００ｎｍ以上）の光は酸素によって減衰することがほとんどないので、キセノンランプ１０８は容器外に設けられている。キセノンランプ１０８から放射された光は凹面反射鏡１１０で反射集光され、さらに反射鏡１１２で反射されて分光器１２０に入射される。
【００１２】
次に、分光器１２０の構成について、図２を参照しながら説明する。まず、図２（Ａ）において、分光器１２０は、第１入射スリット１２１、第２入射スリット１２２、出射スリット１４０、切換ミラー１２３、回転台１２８、凹面反射鏡１２６，１３６、反射鏡１３８等によって構成されている。これらの部材等はいずれも容器（モノクロメータ）１４２内に設けられている。
上述した重水素ランプ１０２とキセノンランプ１０８との発光波長帯域はオーパーラップしている。波長３００ｎｍ以下では第２入射スリット１２２を介して入射される重水素ランプ１０２の光を用い、波長３００ｎｍ以上では第１入射スリット１２１を介して入射されるキセノンランプ１０８の光を用いる。そのため、ステップモータ１２３ｍによって切換ミラー１２３を実線で示す位置と破線で示す位置との間で矢印Ｄ３方向のように切り換えて、重水素ランプ１０２からの光とキセノンランプ１０８からの光とのいずれかを選択する。図２（Ａ）に示す例では、重水素ランプ１０２からの光を選択している状態を示す。
【００１３】
こうしていずれか一方の入射スリットからの光を切換ミラー１２３によって反射させ、凹面反射鏡１２６に導く。この切換ミラー１２３は、ハンドル１２３ａによって手動でも切換可能となっている。なお、ステップモータ１２３ｍ等の各ステップモータは、コンピュータによって動作が制御される。
第１入射スリット１２１と第２入射スリット１２２とのいずれかから入射された光は切換ミラー１２３で反射され、さらに凹面反射鏡１２６で反射されて回折格子１３０，１３２，１３４のうちのいずれかに入射される。３枚の回折格子１３０，１３２，１３４は、回転台１２８の上に平面視で三角形をなすように置かれている。回転台１２８は、矢印Ｄ２に示すように正逆回転し、いずれか１枚の回折格子を選択的に使用することができる。図２（Ａ）に示す例では、回折格子１３４が使用位置に置かれている状態を示す。この回転台１２８は、ステップモータ１２８ｍとウォームギヤ１２９とによって回転される。
【００１４】
回折格子１３０は最も格子間距離が短く、波長４００ｎｍ以下の分光に用いられる。回折格子１３４は最も格子間距離が長く、波長８００ｎｍ以上の分光に用いられる。回折格子１３２は中間の格子間距離を有し、波長４００ｎｍ〜８００ｎｍの分光に用いられる。
ステップモータ１２８ｍは使用する回折格子を選択するほか、選択された回折格子の反射角度を微調整して凹面反射鏡１３６に向けて反射される光の波長を切り換えるために用いられる。いずれか一つの回折格子の角度調整によって選ばれた波長の光は、凹面反射鏡１３６と反射鏡１３８で反射され、さらに出射スリット１４０に集光される。こうして測定に必要な波長の光を分光器１２０から取り出すことができる。
【００１５】
出射スリット１４０の直後（すなわち容器１６６側）には、回折格子から同一角度に反射される光のうち、高次の次数を持つ回折光を除去するためのフィルタ１４４が設置されている。このフィルタ１４４は、図２（Ｂ）に示すように、軸１４４ｘを中心に回転する円板に６個の貫通孔が設けられ、そのうち５個の貫通孔に特定波長をカットするフィルタ板が組み込まれている。各フィルタ板のカットする波長帯域特性は相互に異っており、使用する波長に合わせて使用するフィルタ板が切り換えられる。貫通孔１４４ａにはフィルタ板が組み込まれておらず、光は素通りする。貫通孔１４４ａないしフィルタ板１４４ｂ〜１４４ｆは、フィルタ用モータ１４４ｍとその回転軸１４５とによって切り換えられる。
なお、容器１４２には容器１０６と同様に酸素吸収剤１３３が置かれる。そのため、容器１０６と同様に、当初は空気が入っていても、最終的には窒素雰囲気に置き換えられる。したがって、第１入射スリット１２１または第２入射スリット１２２から出射スリット１４０までの光路は酸素をほとんど含まない雰囲気中に置かれることになり、２５０ｎｍ以下の短波長光はあまり減衰することなく光学系ボックスに入射される。
【００１６】
図１に戻って、分光器１２０内を誘導された光は、光学系ボックスとしての容器１６６に導かれる。この容器１６６の構成について、図３，図４を参照しながら説明する。なお、図４では見やすくするために、図３に示す部材のうち一部の部材について示す。
図３において、容器１６６内には、凹面反射鏡１４６，反射鏡１４８，偏光子（第１偏光子）１５０，検光子（第２偏光子）１５６，凹面反射鏡１５８，ダイオード（光検出器）１６０，光電子増幅管（光検出器）１６２，保持装置３０２等が設けられている。容器１６６は、通路２１０によって分光器１２０と、通路２１２によって容器１７０とそれぞれ接続されている。また、容器１６６は、支柱４００，４０４，４１０に対してそれぞれ固定ネジ４０２，４０６，４０８によって固定されている。
【００１７】
分光器１２０とフィルタ１４４とで選ばれた特定波長の光は、凹面反射鏡１４６と反射鏡１４８とによって集光および反射され、偏光子１５０，光弾性変調器１５２，絞り１５４を経て、試料１７６または試料３００に向けられる。ここで、試料１７６は第１試料に相当し、試料３００は第２試料に相当する。
凹面反射鏡１４６は、入射した光を試料１７６または試料３００の表面に集光する。反射鏡１４８は、水平軸と垂直軸のまわりに回転可能となっており、試料１７６からの反射光が凹面反射鏡１５８に入射されるように角度が調整される。このため、反射鏡１４８には水平モータと垂直モータとが取り付けられている。これらの水平モータと垂直モータとはいずれもステップモータである。
偏光子１５０は通過する光を直線偏光する。その直線偏光波は光弾性変調器１５２を通過する。光弾性変調器１５２はコンピュータによって制御され、所定周波数（例えば５０ＫＨｚ）で振動するピエゾ素子を内蔵している。そのピエゾ素子の振動方向は、直線偏光波に対して反時計方向にほぼ４５°傾けられている。この直線偏光波は、それから時計方向にほぼ４５°傾いた面内の波と、反時計方向にほぼ４５°傾いた波との合成であると考えられる。光弾性変調器１５２は、振動方向の波の位相を変え、それに直角方向の波の位相を変えない。振動方向の波の位相は、所定周波数で遅れたり進んだりする。すなわち光弾性変調器１５２を通った光は円偏光に変調され、その変調周波数は上記の例では５０ＫＨｚとなる。絞り１５４は通過する光を絞り込む。
【００１８】
保持装置３０２は、光学定数の測定を行うために試料３００を保持するための装置である。この保持装置３０２は、図４に示すように保持部材３０２ａと移動部材３０２ｂとを備えている。保持部材３０２ａは試料３００を押さえ付けて保持する。移動部材３０２ｂは、ステップモータ等によって上下方向（矢印Ｄ４方向）に移動可能になっている。すなわち、移動部材３０２ｂは、図４に示す位置（測定位置）と、図６に示す位置（待避位置）との間で移動する。移動部材３０２ｂは移動するが、移動後の静止状態における保持装置３０２の光軸精度は極めて高精度である。
【００１９】
なお、容器１６６には容器１０６と同様に酸素吸収剤１５３が置かれる。そのため、容器１０６と同様に、当初は空気が入っていても電磁弁２０２を開閉制御することによりパイプ２０８を通じて窒素を供給し、最終的には窒素雰囲気に置き換えられる。このとき、容器１６６内の酸素が酸素吸収剤１５３に吸収されると、容器１６６内の圧力が低下して外部の空気が入り易くなる。これを防止するため、通路２０６に調整タンク２０４を接続する。この調整タンク２０４は伸縮自在になっており、調整タンク２０４内の圧力をほぼ一定に維持する。そのため、容器１６６内の圧力が低下すると調整タンク２０４が縮み、容器１６６内の圧力が上昇すると調整タンク２０４が膨らんで、容器１６６および調整タンク２０４内の圧力がほぼ一定に維持される。したがって、出射スリット１４０から通路２１０を経てダイオード１６０または光電子増幅管１６２に達するまでの光路は酸素をほとんど含まない雰囲気中に置かれる。こうして２５０ｎｍ以下の短波長光の減衰を防止することができる。
【００２０】
本発明の光−磁気光学効果測定装置では、光学定数の測定と、光−磁気光学効果（カー効果）の測定とを切り換えて行うことができる。これを実現するために、試料１７６または試料３００を反射した光を検出する検出装置が移動可能に設けられている。
この検出装置は、検光子１５６，凹面反射鏡１５８，光電子増幅管１６２，ダイオード（例えばゲルマニウムダイオード）１６０等によって構成されている。検光子１５６はステップモータによって面内で回転可能となっており、校正時に回転された後でゼロ角度に調整される。光電子増幅管１６２は短波長の検出に用いられ、ダイオード１６０は長波長の検出に用いられる。凹面反射鏡１５８はステップモータによって回転可能になっており、反射光を光電子増幅管１６２とダイオード１６０とのいずれか一方に向けて集光する。
【００２１】
また、上記検出装置は、図４に示すように、アーム３０４に設けられたベース３１０に設置されている。アーム３０４はブラケット３０６に接続されており、その外周部に車輪３１２を有している。このブラケット３０６はステップモータ３０８の回転軸と接続されており、ステップモータ３０８の回転に伴って回転する。そのため、図３に示すように、実線で示す位置と二点鎖線で示す位置との間で、検出装置をブラケット３０６（すなわちステップモータ３０８）を中心とする円弧上を移動させることができる。こうして実線で示す位置に検出装置を移動させれば光−磁気光学効果（カー効果）の測定を行うことができ、二点鎖線で示す位置に検出装置を移動させれば光学定数の測定を行うことができる。
【００２２】
再び図１に戻って、分光器１２０とフィルタ１４４とによって波長が選ばれ、偏光子１５０と光弾性変調器１５２とで所定周波数によって円偏光された光は、絞り１５４を通過した後に、容器１７０内の試料１７６に入射される。
この試料１７６は試料ホルダ１７４に収容されており、試料ホルダ１７４には短波長光を吸収しない材質（溶融石英）で形成された光透過窓が設けられている。試料ホルダ１７４には、液体窒素を断熱膨張させて試料を冷却する冷却装置と、試料を加熱するヒータが組み込まれており、試料温度を８０〜６００°Ｋの範囲で可変としている。また試料ホルダ１７４の内部は不活性ガスで満たされており、試料１７６を加熱する時にその試料１７６の酸化を防止する。また試料ホルダ１７４は孔あきの電磁石１７２の中にセットされ、試料１７６に対して２０ＫＯｅまでの磁場を印加することが可能となっている。試料１７６と電磁石１７２とは容器１７０内に収容される。容器１７０も容器１０６と同様に酸素吸収剤１７３が内部に置かれている。当初は空気が入っているが、容器１６６から通路２１０を通じて送られる窒素によって窒素雰囲気に置き換えられる。
【００２３】
上記のように構成された光−磁気光学効果測定装置において、光学定数の測定と、光−磁気光学効果（カー効果）の測定とは次のようにして行われる。
まず、光学定数の測定を行う場合について説明する。この測定では保持装置３０２に保持された試料３００に特定波長の光を照射させる必要がある。そのため、上述した検出装置（すなわち検光子１５６，凹面反射鏡１５８，ダイオード１６０，光電子増幅管１６２）を図３における二点鎖線で示す位置に移動させるとともに、保持装置３０２の移動部材３０２ｂを図４に示す位置（測定位置）に移動させる必要がある。こうして検出装置と移動部材３０２ｂとをそれぞれの所定位置に移動させた状態を図５に示す。
【００２４】
この配置では、分光器１２０から誘導された光は通路２１０を通り、反射鏡１４８，凹面反射鏡１４６，偏光子１５０，光弾性変調器１５２，絞り１５４の順に導かれ、試料３００に入射される。その入射光と試料３００の法線とのなす角度は、ほぼ４５°である。そして、試料３００で反射した反射光は検光子１５６を通り、凹面反射鏡１５８によって反射されて、ダイオード１６０または光電子増幅管１６２に導かれる。こうして形成される光路を図５では太線で示す。なお、具体的な測定手法は周知であるので、その説明を省略する。
この場合、入射光と反射光のための光学系の全体が１つの容器１６６内に収容され、その容器１６６に酸素が存在しない状態で測定が行われる。
【００２５】
次に、光−磁気光学効果（カー効果）の測定を行う場合について説明する。この測定では容器１７０内に設置された試料１７６に特定波長の光を照射させる必要がある。そのため、検出装置を図３における実線で示す位置に移動させるとともに、保持装置３０２の移動部材３０２ｂを図６に示す位置（待避位置）に移動させる必要がある。こうして検出装置と移動部材３０２ｂとをそれぞれの所定位置に移動させた状態を図７に示す。
【００２６】
この配置では、分光器１２０から誘導された光は通路２１０を通り、反射鏡１４８，凹面反射鏡１４６，偏光子１５０，光弾性変調器１５２，絞り１５４の順に導かれ、さらに通路２１２を経て容器１７０内の試料１７６に入射される。その入射光と試料１７６の法線とのなす角度は、ほぼ３°である。このように角度をほぼ３°にすることにより、カー効果の測定精度を５／１０００度以上の精度に保つことができる。そして、試料１７６で反射した反射光は検光子１５６を通り、凹面反射鏡１５８によって反射されて、ダイオード１６０または光電子増幅管１６２に導かれる。検光子１５６は、光弾性変調器１５２で変調された偏波を通し、変調されない偏波を通さない角度（ゼロ角度）を基準に用いられる。こうして形成される光路を図７では太線で示す。
この場合も光学定数の測定と同様に、入射光と反射光のための光学系の全体が容器１６６および容器１７０内に収容され、その容器１６６および容器１７０に酸素が存在しない状態で測定が行われる。なお、具体的な測定手法は、上記特願平８−９６８８７号で開示した内容と同様であるので、その説明を省略する。
【００２７】
上記実施の形態によれば、図１に示すように、重水素ランプ１０２（光源）からダイオード１６０または光電子増幅管１６２（光検出器）に至る光路を容器１０６，１４２，１６６，１７０内に収容し、その光路の途中には試料３００（第２試料）が設置可能になっている。また、ダイオード１６０または光電子増幅管１６２は、試料１７６（第１試料）で反射した光の強度を検出する位置（図７参照）と、試料３００で反射した光の強度を検出する位置（図５参照）との間で移動可能に設けられている。そのため、光学定数の測定を行うには、光路の途中には試料３００を設置し、その試料３００で反射した光の強度を検出する位置（図７に示す位置）にダイオード１６０または光電子増幅管１６２を移動させればよい。また、光−磁気光学効果の測定を行うには、試料３００の設置を外し、試料１７６で反射した光の強度を検出する位置（図５に示す位置）に光検出器を移動させればよい。こうして、光−磁気光学効果の測定と、光学定数の測定と切り換えて行うことができる。また、静止時における保持装置３０２の光軸精度は極めて高精度であるので、軸合わせする必要がない。そのため、軸合わせに要する時間がなくなり、全体の測定時間を短縮することができる。
【００２８】
〔他の実施の形態〕
上述した光−磁気光学効果測定装置において、他の部分の構造，形状，大きさ，材質，個数，配置および動作条件等については、上記実施の形態に限定されるものでない。例えば、上記実施の形態を応用した次の各形態を実施することもできる。
【００２９】
（１）上記実施の形態では、ダイオード１６０または光電子増幅管１６２を、試料１７６で反射した光の強度を検出する位置と、試料３００で反射した光の強度を検出する位置との間で移動可能に設けた。この形態に代えて、次のような形態とすることも可能である。
ａ）試料１７６で透過した光の強度を検出する位置と、試料３００で反射した光の強度を検出する位置との間で移動可能に設ける形態にする。試料１７６で透過した光の強度を検出する位置に移動させた場合には、光−磁気光学効果（ファラデー効果）を測定することができる。
ｂ）試料１７６で反射した光の強度を検出する位置と、試料３００で透過した光の強度を検出する位置との間で移動可能に設ける形態にする。
ｃ）試料１７６で透過した光の強度を検出する位置と、試料３００で透過した光の強度を検出する位置との間で移動可能に設ける形態にする。
これらの形態であって、実施の形態と同様に、光−磁気光学効果の測定と、光学定数の測定と切り換えて行うことができる。
【００３０】
（２）上記実施の形態では、いずれも光検出器（すなわちダイオード１６０または光電子増幅管１６２）を移動可能に設けた。この形態に代えて、光学定数の測定を行う位置と、光−磁気光学効果の測定を行う位置との両方に光検出器をそれぞれ設けてもよい。この場合には、測定の種類に応じて光検出器を切り換えて測定を行う。こうすれば、光検出器を移動させる必要がなくなり、光学定数の測定と光−磁気光学効果の測定とを素早く行うことができる。
【００３１】
【発明の効果】
本発明によれば、光−磁気光学効果の測定と、光学定数の測定と切り換えて行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  光−磁気光学効果測定装置における全体レイアウトを示す平面図である。
【図２】  分光器とフィルタの詳細図である。
【図３】  光学系ボックスの構成を示す平面図である。
【図４】  光学定数の測定における図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】  光学定数の測定における光路光路を示す図である。
【図６】  光−磁気光学効果の測定における図３のＡ−Ａ断面図である。
【図７】  光−磁気光学効果の測定における光路を示す図である。
【符号の説明】
１０２  重水素ランプ
１０３，１３３，１５３  酸素吸収剤
１０６，１４２，１６６，１６６ａ，１７０  容器
１０８  キセノンランプ
１２０  分光器
１３０，１３２，１３４  回折格子
１４４  フィルタ
１５０  偏光子（第１偏光子）
１５２  光弾性変調器
１７２  電磁石
１７６  試料（第１試料，試料）
１５６  検光子（第２偏光子）
１６０  ダイオード（光検出器）
１６２  光電子増幅管（光検出器）
２００，２０２  電磁弁
２０４  調整タンク
２１０，２０６，２１２，２１４  通路
３００  試料（第２試料）
３０２  保持装置
３０４  アーム
３０６  ブラケット
３０８  モータ
３１０  ベース
３１２  車輪
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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