(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
室と室とを仕切る壁に形成された孔に取り付けられ、前記孔を介して圧力の高い室から低い室へ流れる空気量を制御して、室と室との差圧を一定に保持する差圧保持ダンパにおいて、
前記孔に傾斜して形成されるとともに、開口部を有する開口枠と、
前記開口枠に対して直交方向に配置されるとともに、その先端部が前記開口枠の斜め上側に配置されるシャフトと、
前記シャフトが挿通される挿通孔を中央部に有し、該挿通孔を介して前記シャフトに摺動自在に取り付けられるとともに、前記シャフトに摺動することによって前記開口部を開閉する可動板と、
前記可動板に取り付けられ、該可動板が前記開口部を閉める方向に付勢するウエイトと、
前記シャフトの先端部にその上端部が固定されるとともに、下端が開口した筒状のシリンダと、
前記シリンダの内部に摺動自在に設けられたピストンと、
前記ピストン及び前記可動板に連結されるとともに、前記シャフトが挿通される筒状のピストンロッドと、を備え、
前記シリンダの上面部には、前記シリンダ内の空気が流出入する通気孔と、
前記可動板が閉じる方向に空気を流すリード弁を有する通気孔と、が設けられることを特徴とする差圧保持ダンパ。
【請求項２】
室と室とを仕切る壁に形成された孔に取り付けられ、前記孔を介して圧力の高い室から低い室へ流れる空気量を制御して、室と室との差圧を一定に保持する差圧保持ダンパにおいて、
前記孔に傾斜して形成されるとともに、開口部を有する開口枠と、
前記開口枠に対して直交方向に配置されるとともに、その先端部が前記開口枠の斜め上側に配置されるシャフトと、
前記シャフトが挿通される挿通孔を中央部に有し、該挿通孔を介して前記シャフトに摺動自在に取り付けられるとともに、前記シャフトに摺動することによって前記開口部を開閉する可動板と、
前記可動板に取り付けられ、該可動板が前記開口部を閉める方向に付勢するウエイトと、
前記シャフトとの摺動部を介して前記ウエイトと一体に設けられ、上端が開口されたシリンダと、
前記シャフトの先端に固定されるとともに、前記シリンダの内面に対して、その外周面が環状の隙間を有する固定リングと、を備えたことを特徴とする差圧保持ダンパ。
【請求項３】
前記室と室とを仕切る壁に形成された孔を覆うようにして、圧力の高い室の壁面にＨＥＰＡフィルタを設置したことを特徴とする請求項１又は２に記載の差圧保持ダンパ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は差圧保持ダンパに係り、特に有害ガスや細菌等を扱うために常に室内を負圧にする必要がある施設や、半導体工場や食品工場などのように周囲の汚染空気の流入を防ぐために常に室内を正圧にする必要がある施設に設置される差圧保持ダンパに関する。
【０００２】
【従来の技術】
差圧保持ダンパは、たとえばスウィング型の場合、ヒンジによって揺動自在に支持された可動板を揺動（開閉）させることにより、圧力の高い方から低い方へ流れる空気量を制御して、室と室との差圧を一定に保持するようにしている。また、スライド型の場合は、シャフトに沿ってスライド自在に支持された可動板をスライド（開閉）させることにより、圧力の高い方から低い方へ流れる空気量を制御して、室と室との差圧を一定に保持するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の差圧保持ダンパは、可動板の開閉時にパカパカと音が鳴り、静粛性が悪いという欠点があった。また、頻繁に開閉が行われるため、室内の圧力が変動し、所望の圧力にならないという欠点があった。
【０００４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、静粛性に優れ、圧力変動を抑止できる差圧保持ダンパを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、前記目的を達成するために、室と室とを仕切る壁に形成された孔に取り付けられ、前記孔を介して圧力の高い室から低い室へ流れる空気量を制御して、室と室との差圧を一定に保持する差圧保持ダンパにおいて、前記孔に傾斜して形成されるとともに、開口部を有する開口枠と、前記開口枠に対して直交方向に配置されるとともに、その先端部が前記開口枠の斜め上側に配置されるシャフトと、前記シャフトが挿通される挿通孔を中央部に有し、該挿通孔を介して前記シャフトに摺動自在に取り付けられるとともに、前記シャフトに摺動することによって前記開口部を開閉する可動板と、前記可動板に取り付けられ、該可動板が前記開口部を閉める方向に付勢するウエイトと、前記シャフトの先端部にその上端部が固定されるとともに、下端が開口した筒状のシリンダと、前記シリンダの内部に摺動自在に設けられたピストンと、前記ピストン及び前記可動板に連結されるとともに、前記シャフトが挿通される筒状のピストンロッドと、を備え、前記シリンダの上面部には、前記シリンダ内の空気が流出入する通気孔と、前記可動板が閉じる方向に空気を流すリード弁を有する通気孔と、が設けられることを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２記載の発明は、前記目的を達成するために、室と室とを仕切る壁に形成された孔に取り付けられ、前記孔を介して圧力の高い室から低い室へ流れる空気量を制御して、室と室との差圧を一定に保持する差圧保持ダンパにおいて、前記孔に傾斜して形成されるとともに、開口部を有する開口枠と、前記開口枠に対して直交方向に配置されるとともに、その先端部が前記開口枠の斜め上側に配置されるシャフトと、前記シャフトが挿通される挿通孔を中央部に有し、該挿通孔を介して前記シャフトに摺動自在に取り付けられるとともに、前記シャフトに摺動することによって前記開口部を開閉する可動板と、前記可動板に取り付けられ、該可動板が前記開口部を閉める方向に付勢するウエイトと、前記シャフトとの摺動部を介して前記ウエイトと一体に設けられ、上端が開口されたシリンダと、前記シャフトの先端に固定されるとともに、前記シリンダの内面に対して、その外周面が環状の隙間を有する固定リングと、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明に係る差圧保持ダンパの好ましい実施の形態について詳説する。
【００１０】
図１は、本発明に係る差圧保持ダンパの第１の実施の形態の構成を示す側面断面図である。同図に示すように、差圧保持ダンパ１０は、室（低圧側）１２Ａと室（高圧側）１２Ｂとを仕切る壁１４に孔１６を穿孔して取り付けられる。この差圧保持ダンパ１０は、いわゆるスライド型の差圧保持ダンパであって、本体フレーム１８、シャフト２２、可動板２０及びエアシリンダ２４から構成されている。
【００１１】
本体フレーム１８は、支持枠２６と、その支持枠２６の内側に形成された開口枠２８とから構成されている。支持枠２６は、矩形状に形成されており、この支持枠２６を壁１４に穿孔した孔１６に嵌め込んで、本体フレーム１８を壁１４に取り付ける。開口枠２８は、支持枠２６の内側に所定角度傾斜して形成されており、その中央部には円形状の開口部２８Ａが形成されている。空気はこの開口部２８Ａを介して高圧側の室１２Ｂから低圧側の室１２Ａに流入する。
【００１２】
シャフト２２は、開口部２８Ａの中央位置にリブ３０を介して垂直に取り付けられている。このリブ３０は、開口部２８Ａを横断するようにして開口枠２８に一体形成されている。
【００１３】
可動板２０は、椀形に形成されており、その中央部には挿通孔２２Ａが形成されている。可動板２０は、この挿通孔２２Ａを介してシャフト２２に摺動自在に挿通されており、この可動板２０がシャフト２２に沿って摺動することにより、開口部２８Ａが開閉する。また、この可動板２０の裏面中央部にはリング状に形成されたウェイト３２が取り付けられており、このウェイト３２によって可動板２０が開口部２８Ａを閉める方向に付勢される。
【００１４】
エアシリンダ２４は、シリンダ３４、ピストン３６及びピストンロッド３８から構成されている。シリンダ３４は下端部が開口した筒状に形成されており、その上端部がシャフト２２の先端部に固定されている。また、このシリンダ３４の上面部には小径の通気孔３４Ａが形成されており、この通気孔３４Ａを介してシリンダ内の空気が流出入する。ピストン３６は、リング状に形成されており、シャフト２２に挿通されるとともに、シリンダ３４の内部を摺動自在に設けられている。ピストンロッド３８は筒状に形成され、シャフト２２に挿通されている。そして、その上端部がピストン３６に連結されるとともに、下端部が可動板２０に連結されている。
【００１５】
前記のごとく構成された第１の実施の形態の差圧保持ダンパ１０の作用は次のとおりである。
【００１６】
低圧側の室１２Ａと高圧側の室１２Ｂとの差圧は一定に保たれており、この差圧のバランスが崩れると、高圧側の気流がウェイト３２の重さに抗して可動板２０を押し上げ、開口部２８Ａから低圧側に流入する。そして、差圧の調整が図れると、可動板２０はウェイト３２の自重によってシャフト２２に沿ってスライドし、開口部２８Ａを閉める。
【００１７】
ここで、前記のごとく可動板２０が動くと、可動板２０に連結されたピストン３６がシリンダ３４内を摺動する。そして、このピストン３６がシリンダ３４内を摺動することにより、シリンダ３４内の空気が小径の通気孔３４Ａから流出入し、これが減衰作用となって、可動板２０の振動が抑制される。
【００１８】
この結果、可動板２０が頻繁に開閉して、可動板２０の開閉音が頻繁に発することがなくなるとともに、可動板２０の開閉に伴う圧力変動を抑止できる。
【００１９】
なお、上記構成の場合、たとえば低圧側の室１２Ａの圧力が急激に高くなったような場合には、直ちに開口部２８Ａが閉まらずに、室１２Ａ側の空気が室１２Ｂに流出するおそれがある。これを防止するために、図２に示すように、シリンダ３４の上面に第２の通気孔３４Ｂを形成し、該通気孔３４Ｂにリード弁４０を設置することが好ましい。これにより、室１２Ａの圧力が急激に上昇したような場合であっても、可動板２０が直ちに閉じるので、室１２Ａの汚染空気が室１２Ｂ内に流出することはない。
【００２０】
図３は、本発明に係る差圧保持ダンパの第２の実施の形態の構成を示す側面断面図である。
【００２１】
第２の実施の形態の差圧保持ダンパ５０は、可動板２０の減衰機構が上述した第１の実施の形態のものと相違している。なお以下の説明では、この減衰機構の構成についてのみ説明し、他の構成については上述した第１の実施の形態と同一符号を付して説明は省略する。
【００２２】
図３に示すように、第２の実施の形態の差圧保持ダンパ５０は、減衰機構としてスプリング５２とＯリング５４とを使用している。スプリング５２は、シャフト２２に挿通されており、その上端部がシャフト２２の先端部に固着されたブラケット５６に固定されている。一方、Ｏリング５４は、シャフト２２に挿通されており、可動板２０とスプリング５２との間に配置されている。
【００２３】
前記のごとく構成された第２の実施の形態の差圧保持ダンパ５０によれば、可動板２０が振動した場合であっても、その振動はスプリング５２で吸収され、Ｏリング５４の滑り抵抗によって減衰するので、可動板２０の振動を効果的に抑止できる。これにより、可動板２０が頻繁に開閉して、可動板２０の開閉音が頻繁に発することがなくなるとともに、可動板２０の開閉に伴う圧力変動を抑止できる。
【００２４】
図４は、本発明に係る差圧保持ダンパの第３の実施の形態の構成を示す側面断面図である。なお、上述した第１の実施の形態の差圧保持ダンパ１０と同一部材には同一符号が付されている。
【００２５】
第３の実施の形態の差圧保持ダンパ６０は、空気の流入口にＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter−高性能微粒子フィルタ）６２が設置されている。このＨＥＰＡフィルタ６２は、取付フレーム６４に装着されており、壁１４に形成された孔１６を覆うようにして、高圧側の室１２Ｂの壁面に取り付けられている。
【００２６】
前記のごとく構成された第３の実施の形態の差圧保持ダンパ６０によれば、低圧側の室１２Ａの圧力が急激に上昇し、汚染空気が高圧側の室１２Ｂ内に流出した場合であっても、汚染粒子は１２Ｂ内に流入する際にＨＥＰＡフィルタ６２で捕捉されるため、高圧側の室１２Ｂが汚染されることはない。また、平常時においても、高圧側の室１２Ｂから低圧側の室１２Ａに流入する空気は、ＨＥＰＡフィルタ６２を通過した空気が流入するため、低圧側の室１２Ａが汚染されることもない。
【００２７】
なお、本実施の形態の差圧保持ダンパ６０では、減衰機構が設けられていないが、上述した第１、第２の実施の形態で説明した減衰機構を設けてもよい。
【００２８】
図５は、本発明に係る差圧保持ダンパの第４の実施の形態の構成を示す側面断面図である。なお、上述した第３の実施の形態の差圧保持ダンパ６０と同一部材には同一符号が付されている。
【００２９】
第４の実施の形態の差圧保持ダンパ７０は、圧力の逃げ機構が備えられている点で上述した第３の実施の形態の差圧保持ダンパ６０と異なっている。なお以下の説明では、この圧力の逃げ機構の説明についてのみ行い、他の構成の説明については上述した第３の実施の形態の差圧保持ダンパ６０と同一の符号を付して省略する。
【００３０】
図５に示すように、第４の実施の形態の差圧保持ダンパ７０は、開口部２８Ａの径が可動板２０の径よりも大径に形成されている。そして、その開口部２８Ａの周縁にはゴムリング７２が取り付けられている。このゴムリング７２は、開口部２８Ａの内側に張り出して取り付けられており、可動板２０は、平常時このゴムリング７２に係止されて、開口部２８Ａを閉じている。また、リブ３０は門型に形成されており、可動板２０がゴムリング７２を通過した場合は、開口枠２８の裏面側に移動できるようにされている。
【００３１】
前記のごとく構成された第４の実施の形態の差圧保持ダンパ７０の作用は次のとおりである。
【００３２】
平常時、室１２Ａと室１２Ｂとの差圧変動が無い状態では、可動板２０は開口部２８Ａの内側に張り出したゴムリング７２に係止されて、開口部２８Ａを閉じている。そして、室１２Ａと室１２Ｂとの差圧に変動が生じた場合は、高圧側の気流がウェイト３２の重さに抗して可動板２０を押し上げ、開口部２８Ａから低圧側の室１２Ａに流入して、差圧の調整が図られる。
【００３３】
ここで、たとえば低圧側の室１２Ａ内で爆発が起こり、室１２Ａ内の圧力が急激に上昇したとする。この場合、室１２Ａ内の圧力によって可動板２０が押し下げられ、ゴムリング７２を押し退けて可動板２０がゴムリング７２の裏側（室１２Ｂ側）に移動する。そして、この可動板２０が、ゴムリング７２の裏側に移動することにより、可動板２０と開口枠２８との間に流路が形成され、この流路を介して室１２Ａ内の空気が逃げる。これにより、室１２Ａが損壊するのを防止できる。
【００３４】
また、この際、室１２Ａから流出する空気に細菌等が混入している場合であっても、これらの汚染粒子は室１２Ｂに流入する際にＨＥＰＡフィルタ６２で捕捉されるため、高圧側の室１２Ｂが汚染されることはない。
【００３５】
このように第４の実施の形態の差圧保持ダンパ７０によれば、低圧側の室１２Ａ内で爆発、あるいは制御系の故障などで室１２Ａ内の圧力が異常に高くなったような場合であっても、圧力を逃がすことができるので、室１２Ａの損壊を効果的に防止することができる。また、圧力を逃がす際も流出させる空気に対してＨＥＰＡフィルタ６２を通過させているので、汚染空気の流出も防止することができる。
【００３６】
図６は、本発明に係る差圧保持ダンパの第５の実施の形態の構成を示す側面断面図である。この差圧保持ダンパ８０は、いわゆるスウィング型の差圧保持ダンパであって、本体フレーム８２、可動板８４及びエアシリンダ８６から構成されている。なお、室（低圧側）１２Ａと室（高圧側）１２Ｂとを仕切る壁１４に孔１６を穿孔して取り付ける点は、上述したスライド型の差圧保持ダンパと同じである。
【００３７】
本体フレーム８２は、支持枠８８と、その支持枠８８の内側に形成された開口枠９０とから構成されている。支持枠８８は矩形状に形成されており、この支持枠８８を壁１４に穿孔した孔１６に嵌め込んで、本体フレーム８２を壁１４に取り付ける。一方、開口枠９０は、支持枠８８の内側に垂直に形成されており、その中央やや下寄りの位置には円形状の開口部９０Ａが形成されている。空気はこの開口部９０Ａを介して高圧側の室１２Ｂから低圧側の室１２Ａに流入する。
【００３８】
可動板８４は、矩形の板状に形成されている。この可動板８４の上端部近傍両側面部には一対の回転軸８４Ａ、８４Ａが固着されている。この回転軸８４Ａ、８４Ａは、支持枠８８の内側面上端部近傍に配設された一対の軸受９２、９２に軸支されており、可動板８４は、この回転軸８４Ａ、８４Ａを中心に揺動する。そして、この可動板８４が揺動することにより、開口部９０Ａが開閉する。
【００３９】
また、この可動板８４の表面部には、ロッド９４が垂直に立設されており、ロッド９４にはウェイト９６が取り付けられている。可動板８４は、このウェイト９６の重さによって開口部９０Ａを閉じる方向に付勢される。
【００４０】
エアシリンダ８６は、シリンダ９８、ピストン１００及びピストンロッド１０２によって構成されている。シリンダ９８は下端部が開口した筒状に形成されている。このシリンダ９８の上端部は、室１２Ｂ側の壁面に固着された支持アーム１０４の先端部にピン１０６を介して支持されている。また、このシリンダ９８の上面部には小径の通気孔９８Ａが形成されており、この通気孔９８Ａを介してシリンダ内の空気が流出する。ピストン１００は、リング状に形成されており、シリンダ９８内を摺動自在に設けられている。ピストンロッド１０２は、その基端部がピストン１００に連結されるとともに、その下端部が可動板８４の裏面下部に取り付けられたブラケット１０８にピン１１０を介して連結されている。
【００４１】
前記のごとく構成された第５の実施の形態の差圧保持ダンパ８０の作用は次のとおりである。
【００４２】
低圧側の室１２Ａと高圧側の室１２Ｂとの差圧は一定に保たれており、この差圧のバランスが崩れると、高圧側の気流がウェイト９６の重さに抗して可動板８４を押し上げ、開口部９０Ａから低圧側に流入する。そして、差圧の調整が図れると、可動板８４はウェイト９６の自重によって開口部９０Ａを閉じる。
【００４３】
ここで、前記のごとく可動板８４が動くと、可動板８４に連結されたピストン１００がシリンダ９８内を摺動する。そして、このピストン１００がシリンダ９８内を摺動することにより、シリンダ９８内の空気が小径の通気孔９８Ａから流出入し、これが減衰作用となって、可動板８４の振動が抑制される。この結果、可動板８４が頻繁に開閉して、可動板８４の開閉音が頻繁に発することがなくなるとともに、可動板８４の開閉に伴う圧力変動を抑止できる。
【００４４】
なお、上記構成の場合、たとえば低圧側の室１２Ａの圧力が急激に高くなったような場合には、直ちに開口部９０Ａが閉まらずに、室１２Ａ側の空気が室１２Ｂに流出するおそれがある。これを防止するために、シリンダ９８の上面に第２の通気孔を形成し、該通気孔にリード弁を設置してもよい（図２参照）。これにより、急激な圧力変動を生じた場合であっても直ちに可動板８４が閉じ、汚染空気の流出を防止できる。
【００４５】
図７は、本発明に係る差圧保持ダンパの第６の実施の形態の構成を示す側面断面図である。
【００４６】
第６の実施の形態の差圧保持ダンパ１２０は、可動板８４の減衰機構が上述した第５の実施の形態の差圧保持ダンパ８０と異なっている。したがって、以下の説明においては、この減衰機構の構成についてのみ説明し、他の構成の説明については上述した第５の実施の形態の差圧保持ダンパ８０と同一の符号を付して省略する。
【００４７】
図７に示すように、第６の実施の形態の差圧保持ダンパ８０は、減衰機構としてスプリング１２２とＯリング１２４とを使用している。
【００４８】
スプリング１２２は、可動板８４の表面下部に立設された円弧状のシャフト１２６に挿通されており、その上端部がブッシュ１２８に固定されている。ブッシュ１２８は、支持アーム１３０の先端部に一体形成されており、該支持アーム１３０は、室１２Ａ側の壁面に固定されている。前記シャフト１２６は、可動板８４の揺動に伴い、このブッシュ１２８の内部を摺動する。
【００４９】
一方、Ｏリング１２４は、シャフト１２６に挿通されており、可動板８４とスプリング１２２との間に配置されている。
【００５０】
前記のごとく構成された第６の実施の形態の差圧保持ダンパ１２０によれば、可動板８４が振動した場合であっても、その振動はスプリング１２２で吸収され、Ｏリング１２４の滑り抵抗によって減衰するので、可動板８４の振動を効果的に抑止できる。これにより、可動板８４が頻繁に開閉して、可動板８４の開閉音が頻繁に発することがなくなるとともに、可動板８４の開閉に伴う圧力変動を抑止できる。
【００５１】
図８は、本発明に係る差圧保持ダンパの第７の実施の形態の構成を示す側面断面図である。なお、上述した第５の実施の形態の差圧保持ダンパ８０と同一部材には同一符号が付されている。
【００５２】
第７の実施の形態の差圧保持ダンパ１３０は、空気の流入口にＨＥＰＡフィルタ１３２が設置されている。このＨＥＰＡフィルタ１３２は、取付フレーム１３４に装着されており、壁１４に形成された孔１６を覆うようにして、高圧側の室１２Ｂの壁面に取り付けられている。
【００５３】
前記のごとく構成された第７の実施の形態の差圧保持ダンパ１３０によれば、急激な圧力変動によって低圧側の室１２Ａの汚染空気が高圧側の室１２Ｂ内に流出した場合であっても、細菌等の汚染粒子はＨＥＰＡフィルタ１３２で捕捉されるため、高圧側の室１２Ｂが汚染されることはない。また、平常時においても、高圧側の室１２Ｂから低圧側の室１２Ａに流入する空気は、ＨＥＰＡフィルタ１３２を通過した空気が流入するため、低圧側の室１２Ａが汚染されることもない。
【００５４】
なお、本実施の形態の差圧保持ダンパ１３０では、減衰機構が設けられていないが、上述した第５、第６の実施の形態で説明した減衰機構を設けてもよい。
【００５５】
図９は、本発明に係る差圧保持ダンパの第８の実施の形態の構成を示す側面断面図である。この差圧ダンパ１４０は、可動板２０の減衰機構が前述した第１の実施の形態のものと相違している。以下の説明では、この減衰機構についてのみ説明し、他の部分については前述した第１の実施の形態と同一の符号を付して説明は省略する。
【００５６】
図９に示すように、可動板２０の外側中央部にはシャフト２２が貫通するようにリング状のウェイト１４２が形成されており、このウェイト３２によって可動板２０が開口部２８Ａを閉める方向に付勢される。また、このウェイト１４２にはベアリング１４６を具備した摺動部１４８を介してシリンダ１４４が一体に設けられている。
【００５７】
シャフト２２の先端には固定リング１５０が固定されており、この固定リングの外周面と前記シリンダ１４４の内面との間には、細い環状の隙間１５２が形成されている。
【００５８】
前記の構成において、可動板２０が動くと、可動板２０と一体化しているシリンダ１４４も同一方向に移動する。このシリンダの移動の際にシリンダ１４４内の空気が前記環状の隙間１５２から流出入し、この時の空気の通風抵抗が減衰作用となって、可動板２０の振動が抑制される。この結果、可動板２０の開閉音が頻繁に発することを防止することができ、可動板２０の開閉に伴う圧力変動も抑制できる。
【００５９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、減衰手段を設けることにより、可動板の振動を抑制でき、これにより可動板の開閉に伴う音の発生を抑止できる。また、空気の流入部にＨＥＰＡフィルタを設置することにより、たとえば、室内の圧力が急激に変化し、汚染空気が室外に流出、あるいは室内に流入しようとした場合であっても、ＨＥＰＡフィルタによりこれを阻止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る差圧保持ダンパの第１の実施の形態の構成を示す側面断面図
【図２】本発明に係る差圧保持ダンパの他の実施の形態の構成を示す側面断面図
【図３】本発明に係る差圧保持ダンパの第２の実施の形態の構成を示す側面断面図
【図４】本発明に係る差圧保持ダンパの第３の実施の形態の構成を示す側面断面図
【図５】本発明に係る差圧保持ダンパの第４の実施の形態の構成を示す側面断面図
【図６】本発明に係る差圧保持ダンパの第５の実施の形態の構成を示す側面断面図
【図７】本発明に係る差圧保持ダンパの第６の実施の形態の構成を示す側面断面図
【図８】本発明に係る差圧保持ダンパの第７の実施の形態の構成を示す側面断面図
【図９】本発明に係る差圧保持ダンパの第８の実施の形態の構成を示す側面断面図
【符号の説明】
１０、５０、６０、７０、８０、１２０、１３０…差圧保持ダンパ、１２Ａ…室（低圧側）、１２Ｂ…室（高圧側）、１４…壁、１８、８２…本体フレーム、２２…シャフト、２０、８４…可動板、２４、８６…エアシリンダ、２８Ａ、９０Ａ…開口部、３２、９６、１４２…ウェイト、３４、９８、１４４…シリンダ、３４Ａ、９８Ａ…通気孔、３６、１００…ピストン、３８、１０２…ピストンロッド、４０…リード弁、５２、１２２…スプリング、５４、１２４…Ｏリング、６２、１３２…ＨＥＰＡフィルタ、７２…ゴムリング
【図１】
0003799469.tif 000002
【図２】
0003799469.tif 000003
【図３】
0003799469.tif 000004
【図４】
0003799469.tif 000005
【図５】
0003799469.tif 000006
【図６】
0003799469.tif 000007
【図７】
0003799469.tif 000008
【図８】
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【図９】
0003799469.tif 000010