(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒子からなるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ2／ｇの純度９９．９９％以上のαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末に対して１０重量％以下（０を含まず）のＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ2／ｇの微粒アルミナ（ただし、αアルミナの比表面積が微粒アルミナの比表面積より小さくなるように両アルミナを選択する。）、さらに焼結助剤を添加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気あるいは真空中の条件下で１６００〜１９００℃の範囲で焼結することを特徴とする透光性アルミナ焼結体の製造方法。
【請求項２】
実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒子からなるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ2／ｇの純度９９．９９％以上のαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末に対して１０重量％以下（０を含まず）のＢＥＴ比表面積が１４〜１２０ｍ2／ｇの微粒アルミナ、さらに焼結助剤を添加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気あるいは真空中の条件下で１６００〜１９００℃の範囲で焼結することを特徴とする透光性アルミナ焼結体の製造方法。
【請求項３】
焼結助剤がマグネシウム化合物である請求項１または２記載の透光性アルミナ焼結体の製造方法。
【請求項４】
焼結助剤がマグネシウム化合物に加えさらに、元素周期率表の金属元素３Ａ族化合物および４Ａ族化合物から選ばれる１種類以上である請求項１〜３のいずれかに記載の透光性アルミナ焼結体の製造方法。
【請求項５】
マグネシウム化合物の添加量がアルミナ総量に対して、酸化物換算で１０ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ未満である請求項３または４記載の透光性アルミナ焼結体の製造方法。
【請求項６】
実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒子からなるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ2／ｇの純度９９．９９％以上のαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末に対して１０重量％以下（０を含まず）のＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ2／ｇの微粒アルミナ（ただし、αアルミナの比表面積が微粒アルミナの比表面積より小さくなるように両アルミナを選択する。）、さらにアルミナ総量に対して、酸化物換算で１０ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ未満のマグネシウム、あるいはさらに酸化物換算で１０００ｐｐｍ以下の元素周期率表の金属元素３Ａ族元素および４Ａ族元素から選ばれる１種類以上を添加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気あるいは真空中の条件下において１６００〜１９００℃の範囲で焼結して得られる透光性アルミナ焼結体の製造方法。
【請求項７】
αアルミナに対して、０．５〜７重量％の微粒アルミナ（ただし、αアルミナの比表面積が微粒アルミナの比表面積より小さくなるように両アルミナを選択する。）を添加する請求項１〜６のいずれかに記載の透光性アルミナ焼結体の製造方法。
【請求項８】
（１）請求項１〜７のいずれかに記載の混合粉末と、水あるいは有機溶媒、有機バインダー、可塑剤、分散剤、離型剤を混合し、スラリーを調整する工程、（２）該スラリーを用いて成形する工程、（３）該成形体を大気中で５００〜１５００℃の範囲で焼成した後、常圧水素雰囲気あるいは真空中の条件下で１６００℃〜１９００℃の範囲で焼結する工程、を含む請求項１〜７のいずれかに記載の透光性アルミナ焼結体の製造方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の方法で得られる焼結体組織の平均粒径が２０〜５０μｍで、肉厚０．８５ｍｍを通過する６００ｎｍの波長光の直線透過率が５０〜７０％の多結晶アルミナ。
【請求項１０】
請求項９記載の多結晶アルミナを用いるランプ用発光管。
【請求項１１】
請求項９記載の多結晶アルミナを用いる半導体製造装置用部材。
【請求項１２】
請求項９記載の多結晶アルミナを用いるバイオセラミックス部材。
【請求項１３】
請求項９記載の多結晶アルミナを用いる装飾品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、直線透過率が高い透光性アルミナ焼結体およびその製造方法に関し、主にナトリウム放電ランプあるいはメタルハライドランプ用の発光管として、またはマイクロ波照射窓、ドライエッチャーチャンバー、搬送ハンド、真空チャック等の半導体製造装置部材、高温装置の測温窓等として、あるいは視覚的に透明感が要求される人工歯や、皿、カップ等の装飾品として、好適な透光性アルミナ焼結体の製造方法を提供することにある。
【０００２】
【従来の技術】
ナトリウム放電管等の用途においては、管を形成するアルミナ焼結体の透光性の向上がナトリウム放電ランプの輝度あるいは視認性に関係し商品価値を大きく左右する要因であることから、高透光性アルミナが要求され、従来より数々の検討がおこなわれている。
（ｉ）原料粉末；透光性アルミナの原料粉末はアルミニウム以外の元素化合物量、特に可視光を吸収する元素が少ないことが重要である。市販の原料としてはアルミニウムミョウバンの熱分解によって得られる純度９９．９％以上の高純度アルミナ粉末が最も広く用いられている。また有機アルミニウムの加水分解によって得られる高純度アルミナ粉末も使われている。これらの粉末はＢＥＴ比表面積が５〜５０ｍ2／ｇでレーザー回折散乱法による粒度分布の平均粒子径が０．５〜２．０μｍであり比較的広い粒度分布を有している。通常これらの粉末に水等の溶媒、焼結助剤、有機バインダーを添加しスプレードライヤーにより造粒する。あるいはニーダーによりコンパウンドとする。
【０００３】
（ii）焼結助剤；焼結助剤の検討は特に広く検討されている。アルミナの焼結には酸化マグネシウムを用いるのが最も一般的で、０．５重量％までの酸化マグネシウムを添加して水素雰囲気中で１７５０〜１９００℃の範囲で焼成する技術が知られている（米国特許第３０２６２１０号明細書）。酸化マグネシウムは、焼結過程においてポアの消滅と異常粒成長を抑制し均一な結晶粒子を構成する効果を有する。しかし酸化マグネシウムの存在により焼結体粒径は小さくなる、あるいはアルミナ粒界にスピネル相を形成するために透光性が低下することが広く知られている。
こうした問題に対し、酸化マグネシウムに加え、酸化ランタンをはじめとする希元素酸化物等を添加し、スピネル相の屈折率をアルミナに近づけて透光性を向上させる技術が知られている。しかしながらこの方法ではアルミニウムよりも重い微量成分を均一に分散させることが難しく、結果として焼結体組織が不均一になりやすいことや、これらの微量成分が光を吸収するために全光線透過率が低下することが問題であった。また酸化マグネシウムに加え、さらにアルミナの結晶成長を促進する効果のある酸化カルシウムを添加し、焼結体組織を大きくすることによって透光性を高める技術も知られている（特公昭５４−１４８００８号公報）。しかし組織の拡大とともに、機械的強度が低下するといった問題があった。また高純度アルミナ微粉末に酸化マグネシウムの他に酸化ジルコニウムと酸化ハフニウムを添加することによりアルミナ中への酸化マグネシウムの溶解度を促進させる方法も知られている（特公昭５９−６８３１号公報）。
【０００４】
（iii）製造工程；成形方法としてはプレス成形、押し出し成形が広く用いられ通常は中空管形状や平板状に成形されている。そして該成形体はまず有機添加物を除去するために空気中５００〜１５００℃の範囲で焼成される。さらに必要に応じて加工された後、水素あるいは水素・窒素混合ガス等の常圧還元雰囲気あるいは真空中１６００〜１９００℃の範囲で焼結される。また、１４００〜１５００℃の範囲で焼結することにより焼結体粒径を小さくし焼結体強度を高めるとともに、透光性を発現させるために熱間静水圧プレス（ＨＩＰ）を用いる技術も知られている（再公表特許  国際公開番号ＷＯ９５−０６６２２）。この方法によれば酸化マグネシウムを添加しない透光性アルミナが作製できるが、▲１▼原料中もしくは仮焼体中の微量の不純物により著しく透光性が左右されるためにキレート剤による洗浄をおこなう必要があること、▲２▼添加物として高価な遷移金属元素酸化物が必要であること、▲３▼製造工程において大掛かりな高圧設備を必要とするＨＩＰが必要であり、工程が複雑でコストが高くなること、などの問題がある。
【０００５】
従来の高純度アルミナ粉末は一次粒子径が不定形状であり分散性が良くないために広い粒度分布であり、粗大粒子の空隙を微粒が充填するような成形体は作製できない。また従来の高純度アルミナ粉末は微粒子同士が凝集していたり、粗大粒子が不均一に存在しているため、焼結速度が不均一で粗大なポアが数多く残存する。数μｍ以上の粗大なポアは焼結助剤の最適化だけでは除去することが難しく、最終的な焼結体の直線透過率にも限界があった。
高い透光性を得るためには、酸化マグネシウムに加え、例えば酸化ルテニウムあるいは酸化ランタンなどを添加し、粒界のスピネル相の屈折率をアルミナに近づけ、透光性を向上させる技術が知られている。しかしながらこの方法ではアルミニウムよりも重い微量成分をマトリックスに均一に分散させることが難しく、結果として焼結体組織が不均一になりやすいことや、これらの微量成分が光を吸収するために全光線透過率が低下することが問題であった。
また酸化マグネシウム以外にアルミナの結晶成長を促進する効果のある酸化カルシウムを添加し、焼結体組織を大きくすることによって透光性を高める技術も知られている。しかし組織の拡大とともに、機械的強度が低下するといった問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来と同等の結晶体組織を維持しつつ、従来よりも高い透光性を有する多結晶アルミナ焼結体を常圧還元雰囲気〜真空中で焼結することにより提供することを目的とし、詳細には該焼結体組織の平均粒径が２０〜５０μｍで、肉厚０．８５ｍｍを通過する６００ｎｍの波長光の直線透過率が５０〜７０％の多結晶アルミナを提供することにあり、それによってナトリウム放電ランプあるいはメタルハライドランプ用の発光管として、またはマイクロ波照射窓等の半導体製造装置部材として好適なアルミナ焼結体の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、ある特定の実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒子からなる、αアルミナ粉末に対して１０重量％以下のＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ2／ｇの微粒アルミナを添加し、さらに焼結助剤を添加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気〜真空中の条件下で１６００〜１９００℃の範囲で焼結することにより、目的の透光性アルミナ焼結体が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は下記の（１）〜（５）を提供する。
【０００８】
（１）実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒子からなるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ2／ｇの純度９９．９９％以上のαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末に対して１０重量％以下（０を含まず）のＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ2／ｇの微粒アルミナ（ただし、αアルミナの比表面積が微粒アルミナの比表面積より小さくなるように両アルミナを選択する。）、さらに焼結助剤を添加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気あるいは真空中の条件下で１６００〜１９００℃の範囲で焼結することを特徴とする透光性アルミナ焼結体の製造方法。
（２）実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒子からなるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ2／ｇの純度９９．９９％以上のαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末に対して１０重量％以下（０を含まず）のＢＥＴ比表面積が１４〜１２０ｍ2／ｇの微粒アルミナ、さらに焼結助剤を添加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気あるいは真空中の条件下で１６００〜１９００℃の範囲で焼結することを特徴とする透光性アルミナ焼結体の製造方法。
（３）実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒子からなるＢＥＴ比表面積１〜７ｍ2／ｇの純度９９．９９％以上のαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末に対して１０重量％以下（０を含まず）のＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ2／ｇの微粒アルミナ（ただし、αアルミナの比表面積が微粒アルミナの比表面積より小さくなるように両アルミナを選択する。）、さらにアルミナ総量に対して、酸化物換算で１０ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ未満のマグネシウム、あるいはさらに酸化物換算で１０００ｐｐｍ以下の元素周期率表の金属元素３Ａ族元素および４Ａ族元素から選ばれる１種類以上を添加した混合粉末を、成形し、常圧水素雰囲気あるいは真空中の条件下において１６００〜１９００℃の範囲で焼結して得られる透光性アルミナ焼結体の製造方法。
（４）（I）上記（１）〜（３）のいずれかの混合粉末と、水あるいは有機溶媒、有機バインダー、可塑剤、分散剤、離型剤を混合し、スラリーを調整する工程、（II）該スラリーを用いて成形する工程、（III）該成形体を大気中で５００〜１５００℃の範囲で焼成した後、常圧水素雰囲気あるいは真空中の条件下で１６００℃〜１９００℃の範囲で焼結する工程、を含む上記（１）〜（３）のいずれかの透光性アルミナ焼結体の製造方法。
（５）上記（１）〜（４）のいずれかに記載の方法で得られる焼結体組織の平均粒径が２０〜５０μｍで、肉厚０．８５ｍｍを通過する６００ｎｍの波長光の直線透過率が５０〜７０％の多結晶アルミナ。前記多結晶アルミナを用いる各種ランプ用発光管または半導体製造装置用部材またはバイオセラミックス部材または装飾品。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明のアルミナ原料として用いることのできるアルミナ原料、すなわち、実質的に破砕面を有さない、多面体一次粒子からなる、ＢＥＴ比表面積１〜７ｍ2／ｇのαアルミナ粉末は、その原料に遷移アルミナまたは熱処理により遷移アルミナとなるアルミナ粉末を、塩化水素を含有する雰囲気ガス中にて焼成することにより得られるαアルミナ粉末を挙げることができ、特開平６−１９１８３３号公報あるいは特開平６−１９１８３６号公報等に記載のαアルミナの単結晶粒子よりなるアルミナ純度が９９．９９％以上の高純度であるアルミナ粉末の製法に準じて得られる。
【００１０】
本発明のアルミナ原料として、例えば、住友化学工業（株）製のスミコランダムのＡＡ０３（１次粒径０．３μm）、ＡＡ０４（一次粒径０．４μm）、ＡＡ０５（一次粒径０．５μm）、ＡＡ０７（一次粒径０．７μm）が挙げられる。これらの純度はすべて９９．９９ｗｔ％以上である。
【００１１】
この本発明に用いるαアルミナは、純度が９９．９９％以上の高純度であることに加え、一次粒子が均質で内部に欠陥を有さず、多面体形状の、Ｄ／Ｈ比が０．５以上３．０以下の粒子で、一次粒子同士が凝集していない単一粒子粉末を原料とすると、粒度分布がシャープなために成形体中の粒子配列が均一であり粒子間の空隙サイズが均一である。
【００１２】
【作用】
本発明に用いるαアルミナは分散性が良好であるため、  ＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ2／ｇの微粒アルミナが均一に混合されて、αアルミナ粒子間の空隙を充填することが出来るため、成形体中に粗大なポアが少なく、焼結後に残存するポア数が少なく、またポアも小さくなるため、高い透光性が得られる。顆粒にした場合は添加した微粒アルミナが顆粒表面に偏析するが、これにより顆粒表面のバインダー等の有機物の偏析が抑制され、また成形体の脱脂後の空隙は微粒アルミナで充填されるため、残存する粗大なポアが少なく、高い透光性の焼結体が作製できる。
【００１３】
本発明の主原料とするアルミナ粒子はＢＥＴ比表面積が１〜７ｍ2／ｇであるが、ＢＥＴ比表面積が１ｍ2／ｇ未満では成形体中のポア径が０．１５μｍを越えるものが存在する為、焼結中に除去できない。また緻密化するための焼結温度が１９００℃以上が必要であるため好ましくない。またＢＥＴ比表面積が７ｍ2／ｇを越えると粒子同士が凝集するため、粒度分布がブロードとなり、粗大なポアの残存や酸化マグネシウム等の焼結助剤の偏析、ＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ2／ｇの微粒アルミナの偏析の原因となり、局所的な粒成長が生じ、ポアが残存するため好ましくない。さらには純度が９９．９９％未満では不純物が光を吸収するため透光性が低下する、あるいは不純物による局所的な異常粒成長が進行しポアが残存するため好ましくない。
【００１４】
上記のＢＥＴ比表面積が１〜７ｍ2／ｇのαアルミナ粉末は純度９９．９９％以上のものであるが、原料中に含まれている０．０１重量％未満のアルミニウム以外の元素の酸化物あるいは塩類、または１０００℃以下の焼成により原料中より除去できる１重量部未満の水、有機物、ハロゲンは本発明のアルミナ焼結体の特徴を損うものではなく、許容されるものである。
【００１５】
上記のＢＥＴ比表面積が１〜７ｍ2／ｇのαアルミナ粉末は、αアルミナの六方格子面に平行な最大粒子径をＤ、六方細密格子面に垂直な粒子径をＨとした場合に、Ｄ／Ｈ比が０．５以上２．０未満であるαアルミナ粒子からなり、該αアルミナ粒子の数平均粒径が０．０１μｍ以上１．０μｍ以下であり、累積粒度分布の微粒側からの累積１０％、累積９０％の粒径をそれぞれＤ１０、Ｄ９０としたときにＤ９０／Ｄ１０の値が１０以下の粒度分布を有する粉末が好ましい。
【００１６】
次に、本発明のアルミナ焼結体の製造方法について説明する。
本発明では、まず上記ＢＥＴ比表面積が１〜７ｍ2／ｇのαアルミナ粉末に、該アルミナ粉末に対して１０重量％以下（０を含まず）、好ましくは０．５〜７重量％、さらに好ましくは２〜５重量％のＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ2／ｇの微粒アルミナ、酸化マグネシウム等の焼結助剤あるいはさらに酸化ジルコニウムを添加した混合粉末に、溶媒、有機バインダー、可塑剤、分散剤を混合し、スラリーを調整する。次に該スラリーを用いて成形し、必要に応じ該成形体を大気中で５００〜１５００℃の範囲で焼成した後、得られた成形体を常圧水素雰囲気あるいは真空中の条件下で１６００〜１９００℃の範囲で焼結して目的とするアルミナ焼結体を製造する。
【００１７】
本発明において添加するＢＥＴ比表面積が５〜２００ｍ2／ｇの微粒アルミナは必ずしもα相でなくとも良い。好ましくは１４〜１２０ｍ2／ｇであり、例えば、大明化学社製のＴＭ―ＤＡＲ（ＢＥＴ比表面積１４．４ｍ2／ｇ）やデグッサ社製のＡｌ２Ｏ３−ｃ（ＢＥＴ比表面積１１０ｍ2／ｇ）を挙げることができる。また特に高純度な微粒アルミナとして住友化学工業社製のＡＫＰ−３０（ＢＥＴ比表面積６．８ｍ2／ｇ）を挙げることができるが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１８】
焼結助剤としては、マグネシウム化合物に加えさらに、元素周期率表の金属元素３Ａ族化合物および４Ａ族化合物から選ばれる１種類以上を混合する。化合物としては、酸化物、硝酸塩、酢酸塩、水酸化物、塩化物等が挙げられるが、大気中での焼結時、１２００℃以下で酸化物になる化合物であればよくこれに限定されない。具体的には、マグネシウム、スカンジウム、イットリウム、ジルコニウム、ハフニウム、ランタンが挙げられる。焼結助剤としては、特にマグネシウム化合物およびジルコニウム化合物が好ましく、さらには酸化マグネシウムおよび酸化ジルコニウムが好ましい。これらは、大気中での焼結時に酸化物となり焼結助剤として効果を発現する。通常、該アルミナ粉末に焼結助剤を酸化物換算で総計１０ｐｐｍ以上１０００ｐｐｍ以下、好ましくは１０ｐｐｍ以上３００ｐｐｍ未満添加する。また、用途により高純度の焼結体、例えば、９９．９９ｗｔ％以上が必要な場合、該アルミナ粉末に焼結助剤を酸化物換算で１０〜１００ｐｐｍ、さらには、１０〜５０ｐｐｍ添加することが好ましい。
これらの焼結助剤が密度を上げる機構としては、明らかではないが粒界に異相として存在し粒界の成長を抑制、ポアが除外されやすくなる、また、液相を形成、それを通じてポアが除外されやすくなる等が考えられる。
【００１９】
焼結助剤として添加するマグネシウムは加水分解あるいは焼成中に酸化物となるマグネシウム源であればどんなものでも使用することが出来るが、最も好適なものとして硝酸マグネシウムを挙げることが出来る。同様に、添加するジルコニウムは加水分解あるいは焼成中に酸化物となるジルコニウム源であればどんなものでも使用することができるが、最も好適なものとしてオキシ塩化ジルコニウムを挙げることができる。
【００２０】
有機バインダーとしては、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、各種アクリル系ポリマー、メチルセルロース、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルブチラール系、各種ワックス、各種多糖類を用いることができるが本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２１】
溶媒としては使用するバインダーの種類や成形方法によって異なるが、スプレードライヤーにより顆粒を製造する場合に用いる、ポリビニルアルコールでは水が主に用いられる。処方によっては各種有機溶媒も用いることができる。
【００２２】
分散剤としては、溶媒が水の場合は主にポリアクリル酸アンモニウム塩［例えば商品名；ＳＮ−Ｄ５４６８、サンノプコ（株）品］が用いられる。また有機溶媒の場合にはオレイン酸エチル、ソルビタンモノオレート、ソルビンタントリオレート、ポリカルボン酸系等が用いられるが、特に本発明で原料とするアルミナ原料粉末には、ポリエステル系［商品名；テキサホール３０１２、サンノプコ（株）品］が好ましいが、これらに限定されるものではない。併用する有機バインダーによっては、分散剤を用いない方が粘度の低いスラリーが作製できる。
【００２３】
可塑剤は用いる有機バインダーによって異なるが、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチエレングリコール、グリセリン、ポリグリセリン、各種エステル系等が用いられる。特に有機溶媒を用いる場合には、ジブチルフタレート、フタル酸ジエチルヘキシル等が用いられるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２４】
本発明において、その他の添加剤として、離型剤や凝集剤やｐＨ調整剤を添加することもできるが、アルミナ以外の溶媒や添加物中にアルミニウム以外の無機不純物がないことが重要である。
【００２５】
次にスラリーの作製法および成形法について説明すると、まず前記アルミナ原料粉末、溶媒、分散剤を適量配合し、機械的な撹拌混合を行う。このときにボールミルによる混合は広く一般におこなわれていることであるが、本発明において原料とするアルミナ粉末は、凝集が少なく粒子形状ならびに粒子径が揃った粉末であるため、超音波槽を用いて外部より超音波を照射する、あるいは超音波ホモジナイザーにより超音波を照射することによって、溶媒中で容易に分散し、均一なスラリーとなることが特徴である。セラミックスボール等のメディアを使用しない分散方法は、アルミニウム以外の酸化物あるいは塩類の混入を避ける意味で好ましい。超音波は槽容量４０リットルの場合、１０キロヘルツ以上好ましくは２５キロヘルツ以上の照射能力が望ましい。撹拌混合時間は該スラリーの容量によって異なるが、例えばスラリー量が１０リットルの場合、３０分以上おこなうことが望ましい。このように原料粉末を充分に分散させた後、有機バインダーを混合する。この混合は、例えばスラリー量が１０リットルの場合、１時間以上おこなうことが望ましい。
【００２６】
前記のように調整したスラリーを減圧下において、脱泡してもよい。また各種消泡剤を用いてもよい。またその後の成形方法によって、各種ｐＨ調整剤や凝集剤の添加により粘度を５０〜１００００センチポイズとしてもよい。たとえばスプレードライヤーによる造粒では球形の顆粒を作製するために、アルミナスラリーの粘度は塩酸水溶液やアンモニア水等によるｐＨ調整で、３００〜４００センチポイズに調整することが好ましい。さらには静置沈降や遠心分離やロータリーエバポレーター等による減圧濃縮等により、スラリー中のアルミナ濃度を高めることもできる。
【００２７】
本発明において、成形方法としては、前記スラリーを用いて、スリップキャスト法、遠心キャスト成形法、押出し成形法等慣用の方法を用いることができる。また前記スラリーをスプレードライ等により顆粒状とした後、プレス成形や冷間静水圧プレス成形することができる。
【００２８】
冷間静水圧プレス成形の場合、前記スラリーをスプレードライ等により顆粒状とし、この顆粒を５０〜５００Ｋｇ／ｃｍ2、好ましくは２００〜３００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で一軸プレス成形した後、冷間静水圧プレス成形機にて０．５〜３ｔ／ｃｍ2、好ましくは１．０〜１．５ｔ／ｃｍ2で等方的に加圧し、得られた成形体を所定の形状に加工する。
【００２９】
上記の成形法で得られた成形体は、５００〜１５００℃の範囲で１時間以上、好ましくは９００〜１２００℃の範囲で３時間以上焼成し、脱脂する。その後、常圧還元雰囲気あるいは真空中で温度範囲が１６００〜１９００℃、好ましくは１７５０〜１８５０℃、さらに好ましくは１７８０〜１８２０℃で焼結して目的とするアルミナ焼結体を製造する。焼成温度が１６００℃より低いと充分緻密化せず、また、１９００℃よりも高い温度で焼成すると、焼結体粒径が大きくなり、ポアが残存したり焼結体の機械的強度が低下するため好ましくない。
【００３０】
本発明の焼結体組織の平均粒径は２０〜５０μｍであり、肉厚０．８５ｍｍを通過する６００ｎｍの波長光の直線透過率は５０〜７０％の多結晶アルミナである。本発明の焼結体はこれにより、例えば乾式成形後に水素雰囲気中で焼結する等の通常の方法により作製することにより、ナトリウム放電ランプあるいはメタルハライドランプ用の発光管として、またマイクロ波照射窓等の半導体製造装置部材、高温装置の測温窓等として、あるいは視覚的に透明感が要求される人工歯や、皿、カップ等の装飾品として、好適に用いることができる。
【００３１】
【実施例】
次に本発明の実施例を挙げ、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３２】
なお本発明に於ける各種の測定は次のようにしておこなった。
（１）ＢＥＴ比表面積の測定
島津製作所フローソーブ２３００により測定した。
（２）直線透過率の測定
両面をダイヤモンドスラリーを用いて鏡面研磨した厚み０．８５ｍｍの円形ペレットを島津製作所ＵＶ−１２００を使用し波長６００ｎｍの透過率（スリット径０．５５ｍｍ）を測定した。
アルミナ透光体の焼結体組織の観察
（２）で透過率測定に使用したペレットを空気中１６５０℃で１時間焼成し、該表面を光学顕微鏡（株式会社ニコン：Ｔ−３００）を使用して倍率５０倍の写真を撮影した。その写真から切片法により組織粒径を計測した。
【００３３】
なお、比較例には、純度９９．９９％ではあるが、破砕面を有する多面体形状ではないアルミナ粉末として、住友化学工業（株）製のＡＫＰ−２０（ＢＥＴ比表面積；４．２ｍ2／ｇ）を用いた。
【００３４】
実施例１
実質的に破砕面を有さないαアルミナとして、住友化学工業株式会社製αアルミナ粉末（商品名スミコランダムＡＡ０４）を用いた。該アルミナ粉末は８〜２０面を有する多面体粒子よりなり、Ｄ／Ｈは１であった。ＢＥＴ比表面積は３．５ｍ2／ｇであった。この粉末のレーザー回折散乱法による平均粒径は０．５２μｍであった。ＡＡ０４粉末；４７５０ｇ、水（溶媒）；３１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物（試薬特級）；６．４ｇ（全アルミナ粉末に対し、酸化マグネシウムとして２００ｐｐｍ）、分散剤ポリカルボン酸アンモニウム４０重量％水溶液（（株）サンノプコ品；商品名ＳＮ−Ｄ５４６８）；１２５ｇ、さらにＢＥＴ比表面積１１０ｍ2／ｇの微粒アルミナ（デグッサ社品；商品名Ａｌ２Ｏ３−ｃ）；２５０ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーとしてポリビニルアルコール（（株）クラレ品；商品名ＰＶＡ−２０５Ｃ）の１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００（試薬特級）を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。
このスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した後、水素中（露点０℃）１８００℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は５４％であった。焼結体組織の平均粒径は３６μｍであった。
【００３５】
実施例２
実施例１に記載のＡＡ０４粉末；４９００ｇ、水；３１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；６．４ｇ、分散剤ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５ｇ、さらにＢＥＴ比表面積１４．４ｍ2／ｇの微粒アルミナ（大明化学社品；商品名ＴＭ−ＤＡＲ）；１００ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーとしてＰＶＡ２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。
このスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより１．０ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した後、水素中１８００℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は５２％であった。焼結体組織の平均粒径は４０μｍであった。
【００３６】
実施例３
実施例１に記載のＡＡ０４粉末；４９００ｇ、水；３１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；４．８ｇ、オキシ塩化ジルコニウム；３．９ｇ（全アルミナ粉末に対し、酸化ジルコニウムとして３００ｐｐｍ）、分散剤ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５ｇ、さらにＢＥＴ比表面積１４．４ｍ2／ｇの微粒アルミナ（大明化学社品；商品名ＴＭ−ＤＡＲ）；１００ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーとしてＰＶＡ２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。
このスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した後、水素中（露点；０℃）１８２０℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は６３％であった。焼結体組織の平均粒径は４０μｍであった。
【００３７】
実施例４
実質的に破砕面を有さないαアルミナとして、住友化学工業株式会社製αアルミナ粉末（商品名スミコランダムＡＡ０７）を用いた。該アルミナ粉末は８〜２０面を有する多面体粒子よりなり、Ｄ／Ｈは１であった。ＢＥＴ比表面積は２．８ｍ2／ｇであった。この粉末のレーザー回折散乱法による平均粒径は０．７８μｍであった。ＡＡ０７粉末；４９００ｇ、水（溶媒）；３１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；６．４ｇ、分散剤ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５ｇ、さらにＴＭ−ＤＡＲ；１００ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーとしてＰＶＡ−２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。
このスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した後、水素中（露点０℃）１８２０℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は５５％であった。焼結体組織の平均粒径は３８μｍであった。
【００３８】
実施例５
実施例１のＡＡ０４粉末；４９００ｇ、水（溶媒）；３１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；６．４ｇ、分散剤ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５ｇ、さらにＢＥＴ比表面積６．８ｍ2／ｇの微粒アルミナ（住友化学社品；商品名ＡＫＰ−３０）；１００ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーとしてＰＶＡ−２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。
このスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５ｗｔ％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した後、水素中（露点０℃）１８２０℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は５１％であった。焼結体組織の平均粒径は３５μｍであった。
【００３９】
実施例６
実施例３の円柱成形体を大気中９００℃で３時間焼成した後、真空中（１０-2ｔｏｒｒ）１８００℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は５３％であった。焼結体組織の平均粒径は４４μｍであった。
【００４０】
実施例７
実施例１のＡＡ０４粉末；９８ｇ、エタノール（溶媒）；１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物（試薬特級）；０．０９６ｇ（全アルミナ粉末に対し、酸化マグネシウムとして１５０ｐｐｍ）、オキシ塩化ジルコニウム；０．０７８ｇ（全アルミナ粉末に対し、酸化ジルコニウムとして３００ｐｐｍ）、さらにＴＭ−ＤＡＲ；２ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後ロータリーエバポレーターにより、エタノールを除去し、得られたケーキを１５０℃で熱風乾燥した。乾燥物を乳鉢で解砕し、アルミナ粉末を得た。
この粉末を油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより０．７ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成した後、水素中（露点０℃）１８２０℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は６５％であった。焼結体組織の平均粒径は３６μｍであった。
【００４１】
実施例８
実質的に破砕面を有さないαアルミナとして、住友化学工業株式会社製αアルミナ粉末（商品名スミコランダムＡＡ０3）を用いた。該アルミナ粉末は８〜２０面を有する多面体粒子よりなり、Ｄ／Ｈは１であった。ＢＥＴ比表面積は４．５ｍ2／ｇであった。この粉末のレーザー回折散乱法による平均粒径は０．４５μｍであった。ＡＡ０３粉末；４９００ｇ、水（溶媒）；３１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；４．８ｇ、オキシ塩化ジルコニウム；３．９ｇ、分散剤ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５ｇ、さらにＴＭ−ＤＡＲ；１００ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーとしてＰＶＡ−２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。
このスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した後、水素中（露点０℃）１８００℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は５８％であった。焼結体組織の平均粒径は４０μｍであった。
【００４２】
比較例１
実施例１のＡＡ０４粉末；５０００ｇ、水（溶媒）；３１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；６．４ｇ、分散剤ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５ｇ、を超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーとしてＰＶＡ−２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。
このスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した後、水素中（露点０℃）１８２０℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は４２％であった。焼結体組織の平均粒径は３５μｍであった。
【００４３】
比較例２
比較例１の円柱成形体を大気中９００℃で３時間焼成した後、真空中（10ー2ｔｏｒｒ）１８００℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は４０％であった。焼結体組織の平均粒径は４０μｍであった。
【００４４】
比較例３
実施例１のＡＡ０４粉末；５０００ｇ、水（溶媒）；３１００ｇ、硝酸マグネシウム六水和物；４．８ｇ、オキシ塩化ジルコニウム；３．９ｇ、分散剤ＳＮ−Ｄ５４６８；１２５ｇ、を超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後有機バインダーとしてＰＶＡ−２０５Ｃの１０重量％溶液を１０００ｇと、可塑剤としてポリエチレングリコール＃４００を１０ｇ添加し、６０分間撹拌混合してスラリーを調製した。
このスラリーを、スプレードライヤーにより噴霧乾燥し顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．３ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスにより１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；５ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成し、有機バインダーを除去した後、水素中（露点０℃）１８２０℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は４５％であった。焼結体組織の平均粒径は３８μｍであった。
【００４５】
比較例４
本比較例４では、純度９９．９９％のアルミナ原料粉末（住友化学工業（株）商品名；ＡＫＰ−２０）を使用した。このアルミナ粉末の一次粒子は多面体形状ではない不定形粒子であり、Ｄ／Ｈが２より大きかった。またこの粒子のＢＥＴ比表面積は４．２ｍ2／ｇであった。この粉末のレーザー回折散乱法による平均粒子径は０．５４μｍであった。
ＡＫＰ−２０粉末；５０００ｇ、水；３１００ｇ、硝酸マグネシウム６水和物；６．４ｇ（全アルミナ粉末に対し、酸化マグネシウムとして２００ｐｐｍ）、さらにＢＥＴ比表面積１１０ｍ2／ｇの微粒アルミナ（デグッサ社品；商品名Ａｌ２Ｏ３−ｃ）；２５０ｇを添加し、超音波を照射しながら３０分間撹拌混合をおこなった。この後さらに有機バインダーとしてＰＶＡ２０５ｃの１０重量％溶液を１０００ｇ、可塑剤としてポリエチレングリコール（重合度４００）を１０ｇを添加し、６０分間攪拌混合してスラリーを調製した。
このスラリーをスプレードライヤーにより噴霧乾燥し、顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．７ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスで１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；１０ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成した後、水素中（露点；０℃）にて１８２０℃で４時間焼成した。
得られた焼結体は白濁しており透光性は得られなかった。焼結体組織の平均粒径は３５μｍであった。焼結体中には１μmを越えるポアが多数残存していた。また５０μmを越える粗大な組織も観察された。
【００４６】
比較例５
比較例４のＡＫＰ−２０粉末；５０００ｇ、水；３１００ｇ、硝酸マグネシウム６水和物；６．４ｇ、さらにＢＥＴ比表面積１４．４ｍ2／ｇの微粒アルミナ（大明化学社品；商品名ＴＭ−ＤＡＲ）；１００ｇを超音波を照射しながら３０分間撹拌混合をおこなった。その後鉄球入りプラスチックボールをメディアとして３時間ボールミルをおこなった。この後さらに有機バインダーとしてＰＶＡ２０５ｃの１０重量％溶液を１０００ｇ、可塑剤としてポリエチレングリコール（重合度４００）を１０ｇを同時に添加し、３時間ボールミルをおこないスラリーを調製した。
このスラリーをスプレードライヤーにより噴霧乾燥し、顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．７ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスで１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；１０ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中１２００℃で３時間焼成した後、水素中（露点；０℃）にて１８２０℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は１０％であった。焼結体組織の平均粒径は３５μｍであった。
【００４７】
比較例６
比較例１のＡＫＰ−２０；４９００ｇ、水（溶媒）；５０００ｇ、硝酸マグネシウム６水和物；４．８ｇ、オキシ塩化ジルコニウム；３．９ｇ、さらにＢＥＴ比表面積１４．４ｍ2／ｇの微粒アルミナ（ＴＭ−ＤＡＲ）；１００ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後鉄球入りプラスチックボールをメディアとして、３時間ボールミルをおこなった。この後さらに有機バインダーとしてＰＶＡ２０５ｃの１０重量％溶液を１０００ｇ、可塑剤としてポリエチレングリコール（重合度４００）を１０ｇを同時に添加し、３時間ボールミルをおこないスラリーを調製した。
このスラリーをスプレードライヤーにより噴霧乾燥し、顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．７ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスで１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；１０ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成した後、水素中（露点；０℃）にて１８２０℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は１５％であり、焼結体組織は３８μmであった。
【００４８】
比較例７
比較例６の円柱成形体を大気中９００℃で３時間焼成した後、真空中（１０
ー2ｔｏｒｒ  ）１８００℃で４時間焼成した。
得られた焼結体は白濁しており透光性は得られなかった。この焼結体の組織は４０μmであった。焼結体中には１μmを越えるポアが多数残存していた。また５０μmを越える粗大な組織も観察された。
【００４９】
比較例８
比較例１のＡＫＰ−２０；４９００ｇ、水（溶媒）；５０００ｇ、硝酸マグネシウム６水和物；６．４ｇ、さらにＢＥＴ比表面積６．８ｍ2／ｇの微粒アルミナ（ＡＫＰ−３０）；１００ｇを超音波を照射しながら、３０分間撹拌混合をおこなった。その後鉄球入りプラスチックボールをメディアとして、３時間ボールミルをおこなった。この後さらに有機バインダーとしてＰＶＡ２０５ｃの１０重量％溶液を１０００ｇ、可塑剤としてポリエチレングリコール（重合度４００）を１０ｇを同時に添加し、３時間ボールミルをおこないスラリーを調製した。
このスラリーをスプレードライヤーにより噴霧乾燥し、顆粒を作製した。この顆粒を含水率０．５重量％に調湿した後、金型に充填し、油圧式一軸プレス成形機で０．７ｔ／ｃｍ2の荷重で、さらに冷間静水圧プレスで１．５ｔ／ｃｍ2の荷重で、直径；２０ｍｍ、高さ；１０ｍｍの円柱成形体を作製した。次にこの成形体を大気中９００℃で３時間焼成した後、水素中（露点；０℃）にて１８２０℃で４時間焼成した。
得られた焼結体の透過率は１０％であり、焼結体組織の平均粒径は３５μmであった。
【００５０】
以上、実施例１〜８と比較例１、２、３をみると、破砕面を有さない多面体一次粒子からなるαアルミナ粉末に微粒アルミナを添加すると焼結体の直線透過率が向上することがわかる。実施例１〜８と比較例４〜８をみると、破砕面を有し、多面体一次粒子ではないαアルミナ粉末に微粒アルミナを混合しても、焼結体の直線透過率は向上せず、逆に低下する傾向にあることがわかる。
以上の結果を下表に示す。
【００５１】
【表１】
0003783445.tif 000002
【００５２】
【発明の効果】
本発明の製造方法により、直線透過率が高い透光性アルミナ焼結体を取得でき、該アルミナ焼結体は、主にナトリウム放電ランプあるいはメタルハライドランプ用の発光管として、または半導体製造装置部材、高温装置の測温窓等に用いることができる。