(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の剥離テープ上にシート片が仮貼付されて複数並べられているシート連続体から、前記シート片をシリコンウェハに貼付けるシート貼付装置であって、
前記剥離テープを送る送り機構と、
前記シート連続体のシート片貼付け面を外側として、所定角度以上前記シート連続体を屈曲させることにより、前記シート片を前記剥離テープから剥離させる剥離部と、
前記シリコンウェハを保持し、前記シート連続体の送り方向に沿った方向に移動可能な保持テーブルと、
前記保持テーブルを駆動するテーブル駆動部と、
前記剥離部により剥離中の前記シート片の先端位置が所定位置に達したことを検出するシート片検出部と、
前記シート片の先端付近を前記剥離テープから剥離した後、前記剥離テープ上に戻しながら前記シート片検出部により前記シート片の先端を検出した位置に基づいて、前記保持テーブル上に保持された前記シリコンウェハの位置に対して前記シート片の位置を合わせるように、前記送り機構と前記テーブル駆動部を駆動し、前記シート片を前記シリコンウェハに貼付けるように制御を行う制御部と、
を備え、
前記シート片は、前記シリコンウェハの外形形状に略一致した外形形状であり、
前記シート片検出部は、前記保持テーブルに対して固定されていること、
を特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
請求項１に記載のシート貼付装置において、
前記剥離部に接近して配置され、前記剥離部により剥離された前記シート片を前記保持テーブル上の前記シリコンウェハに対して圧着する方向に移動可能な圧着ローラと、
前記圧着ローラを駆動する圧着ローラ駆動部と、
を備え、
前記制御部は、前記シート片を前記シリコンウェハに貼付けるときに、所定位置で前記圧着ローラ駆動部を駆動して前記圧着ローラを圧着方向に移動すること、
を特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のシート貼付装置において、
前記シート連続体を巻いた連続体ロールを取り付ける供給部と、
前記シート連続体から前記シート片を剥離した後の剥離テープを巻き取る回収部と、
を備え、
前記供給部及び前記回収部は、前記送り機構の送り方向に直交する方向における前記剥離テープの位置を規制する直交位置規制部を有すること、
を特徴とするシート貼付装置。
【請求項４】
請求項３に記載のシート貼付装置において、
前記直交位置規制部は、前記供給部及び前記回収部の巻枠に設けられる鍔であること、
を特徴とするシート貼付装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のシート貼付装置において、
前記保持テーブルは、前記送り機構の送り方向に直交する方向における前記シリコンウェハの位置を調整する直交位置調整部を有すること、
を特徴とするシート貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート片を被貼付物に対して正確に位置決めして貼付けるシート貼付装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造分野において、例えば、シリコンウェハ上に保護シートなどを貼付ける場合に、帯状の保護シートをシリコンウェハに対応した形状に切断すると共に、貼付ける貼付け装置が使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の貼付け装置では、シートの切断を毎回行うので、貼付工程に時間が掛り、効率が悪かった。したがって、予めシリコンウェハの形状に切り取られたシート片を貼付ける貼付け装置が望まれていた。
一方、従来から、ラベル片を複数並べて有するラベル連続体から、ラベル片を一枚ずつ剥離して、被貼付物に対して自動的に貼付けるラベル貼付装置が使用されている。
しかし、従来のラベル貼付け装置と同様な貼付装置を半導体製造に適用しようとすると、貼付精度が悪く、使用することができないか、精度よく貼付けるように、シート片を剥離後に吸着保持して、位置決め後に貼付ける等、貼付け装置が複雑になり、却って効率が悪かったり、貼付け装置自体の価格が高くなるという問題があった。
【０００４】
本発明の課題は、シート連続体に並べて配置されたシート片を被貼付物に対して正確に位置決めして貼付けるシート貼付装置を簡単かつ安価に提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
【０００７】
請求項１の発明は、帯状の剥離テープ（３１）上にシート片（３２）が仮貼付されて複数並べられているシート連続体（３０）から、前記シート片をシリコンウェハ（１）に貼付けるシート貼付装置であって、前記剥離テープを送る送り機構（１３，１７，５１，５２，５３）と、  前記シート連続体のシート片貼付け面を外側として、所定角度以上前記シート連続体を屈曲させることにより、前記シート片を前記剥離テープから剥離させる剥離部（１６）と、前記シリコンウェハを保持し、前記シート連続体の送り方向に沿った方向に移動可能な保持テーブル（２１）と、前記保持テーブルを駆動するテーブル駆動部（５４）と、前記剥離部により剥離中の前記シート片の先端位置が所定位置に達したことを検出するシート片検出部（２２）と、前記シート片の先端付近を前記剥離テープから剥離した後、前記剥離テープ上に戻しながら前記シート片検出部により前記シート片の先端を検出した位置に基づいて、前記保持テーブル上に保持された前記シリコンウェハの位置に対して前記シート片の位置を合わせるように、前記送り機構と前記テーブル駆動部を駆動し、前記シート片を前記シリコンウェハに貼付けるように制御を行う制御部と、を備え、前記シート片は、前記シリコンウェハの外形形状に略一致した外形形状であり、前記シート片検出部は、前記保持テーブルに対して固定されていること、を特徴とするシート貼付装置である。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載のシート貼付装置において、前記剥離部（１６）に接近して配置され、前記剥離部により剥離された前記シート片（３２）を前記保持テーブル上の前記シリコンウェハに対して圧着する方向に移動可能な圧着ローラ（１５）と、前記圧着ローラを駆動する圧着ローラ駆動部（５４）と、を備え、前記制御部（５０）は、前記シート片を前記シリコンウェハに貼付けるときに、所定位置で前記圧着ローラ駆動部を駆動して前記圧着ローラを圧着方向に移動すること、を特徴とするシート貼付装置である。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載のシート貼付装置において、前記シート連続体（３０）を巻いた連続体ロールを取り付ける供給部（１１）と、前記シート連続体から前記シート片（３２）を剥離した後の剥離テープ（３１）を巻き取る回収部（１９）と、を備え、前記供給部及び前記回収部は、前記送り機構の送り方向に直交する方向における前記剥離テープの位置を規制する直交位置規制部を有すること、を特徴とするシート貼付装置である。
【００１３】
請求項４の発明は、請求項３に記載のシート貼付装置において、前記直交位置規制部は、前記供給部（１１）及び前記回収部（１９）の巻枠に設けられる鍔であること、を特徴とするシート貼付装置である。
【００１４】
請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のシート貼付装置において、前記保持テーブル（２１）は、前記送り機構（１３，１７，５１，５２，５３）の送り方向に直交する方向における前記シリコンウェハ（１）の位置を調整する直交位置調整部を有すること、を特徴とするシート貼付装置である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照しながら、本発明の実施の形態について、更に詳しく説明する。
図１は、本発明によるシート貼付装置の実施形態を示す図である。
図２は、本実施形態におけるシート貼付装置のブロック図である。
本実施形態におけるシート貼付装置は、供給部１１，ニップ部１２，１８，ブレーキローラ１３，アイドルローラ１４，圧着ローラ１５，剥離部１６，送りローラ１７，回収部１９，保持テーブル２１，シート片検出部２２を備え、シート連続体３０からシート片２１をシリコンウェハ１に貼付ける装置である。
【００１７】
供給部１１は、シート連続体３０を巻いた連続体ロールを取り付ける巻枠となる部分である。供給部１１は、シート連続体３０を引き出すと、その引き出し力により回転するが、不用意に回転しないように、所定の回転負荷が掛けられている。また、供給部１１は、連続体ロールの回転軸に平行な方向における位置を規制する直交位置規制部として、両端に鍔が設けられている。
【００１８】
ここで、シート連続体３０について説明する。
図３は、シート連続体３０を説明する図である。図３（ａ）は、シート連続体３０の一部を拡大した斜視図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）中のＤＤ’断面を示す図である。
シート連続体３０は、剥離テープ３１の上にシート片３２が順次並べて設けられている帯状の部材である。
剥離テープ３１は、厚さ略５０μｍのポリエステルシートであって、いわゆるセパレータの役割を果たし、ラベル連続体における台紙に相当する。
【００１９】
シート片３２は、本実施形態におけるシート貼付装置によりシリコンウェハ１に貼り付けられるシートであり、シリコンウェハ１に貼付けられた後に、パーティクル除去シートとして使用する。
パーティクル除去シートとは、半導体製造行程中に、このパーティクル除去シートを貼付けたクリーニング用シリコンウェハを流すことにより、シリコンウェハの搬送路及び作業台等の表面に付着しているパーティクル（塵埃）を除去するシートである。
【００２０】
シート片３２は、剥離シート３２ａ，第１粘着材層３２ｂ，ベースシート３２ｃ，第２粘着材層３２ｄにより形成されている。
剥離シート３２ａは、第１粘着材層３２ｂを保護する厚さ略４０μｍのシートであり、シート片３２がシリコンウェハ１に貼付けられた後、半導体製造行程をクリーニングするときに剥離される。
第１粘着材層３２ｂは、半導体製造行程をクリーニングするときに最も外側の表面となる厚さ略３０μｍの層であり、この層の粘着力により、パーティクルの除去を行う。
ベースシート３２ｃは、シート片３２の土台となる厚さ略２５μｍのシートである。
第２粘着材層３２ｄは、シート片３２をシリコンウェハ１に貼付けるために必要な層であるとともに、剥離テープ３１に対してシート片２１を貼付けておく役割も有している。第２粘着材層３２ｄは、厚さ略４０μｍとなっている。
【００２１】
図１及び図２に戻って、ニップ部１２，１８は、それぞれシート連続体３０，剥離テープ３１をブレーキローラ１３，送りローラ１７に押しつけて、ブレーキローラ１３，送りローラ１７の動きとシート連続体３０，剥離テープ３１の動きとを滑ることなく対応させる部分である。ニップ部１２，１８は、回転中心にあるタイヨウ部１２ａ，１８ａと、タイヨウ部１２ａ，１８ａを中心として揺動可能であって、自らも回転自在なニップローラ１２ｃ，１８ｃと、ニップローラ１２ｃ，１８ｃに対して内蔵したばねにより付勢力を与えつつ、タイヨウ部１２ａ，１８ａ及びニップローラ１２ｃ，１８ｃを接続する腕部１２ｂ，１８ｂを有している。
【００２２】
ブレーキローラ１３は、後述の送りローラ１７が、剥離テープ３１（シート連続体３０）を図１中の矢印Ａにより示した送り方向（以下、順送り方向とし、この逆の方向を、逆送り方向とする）に駆動するときに、所定のブレーキを掛けるローラである。このブレーキローラ１３により、ブレーキを掛けることにより、ブレーキローラ１３〜送りローラ１７間における剥離テープ３１に所定の張力を与え、シート片３２の剥離が確実に行われるようになる。
ブレーキローラ１３は、ワンウェイクラッチ５３を介して伝達ベルト５２に接続されている。また、接続ベルト５２は、シート駆動モータ５１に接続されており、シート駆動モータ５１が順送り方向に駆動すると、伝達ベルト５２も回転する。しかし、ワンウェイクラッチ５３は、順送り方向の駆動力をブレーキローラ１３に伝えないようになっているので、順送り方向の駆動の場合には、ブレーキローラ１３は、シート連続体３０に対してブレーキ力のみを作用させる。この逆に、逆送り方向に駆動される場合には、シート駆動モータ５１からの駆動力が伝達ベルト５２及びワンウェイクラッチ５３を介してブレーキローラ１３に伝えられ、シート連続体３０を逆送り方向に駆動する。
【００２３】
アイドルローラ１４は、シート連続体３０の表裏を反転させて、後述の剥離部１６におけるシート連続体３０の向きを合わせるためのローラである。
【００２４】
圧着ローラ１５は、剥離テープ３１から剥離したシート片３２をシリコンウェハ１に対して圧着して貼付けるローラであり、圧着ローラ駆動部５５により、図１中のＹ方向に上昇及び下降駆動される。なお、圧着ローラ１５自体は、回転自在である。
【００２５】
剥離部１６は、シート連続体３０のシート片３２が貼付けられている側を外側として急角度で屈曲させることにより、シート片３２を剥離テープ３１から剥離させる部分である。
【００２６】
送りローラ１７は、シート駆動モータ５１に接続されており、剥離テープ３１を順送り方向，逆送り方向それぞれに駆動することができるローラである。
シート駆動モータ５１は、制御部５０によりパルス制御されるステッピングモータである。また、シート駆動モータ５１は、電力が供給されていないときに回転位置を保持するために、電力が供給されていないときには、ブレーキを掛け、電力を供給するとブレーキを解除する負作動ブレーキを有している。
【００２７】
回収部１９は、回収部駆動部５６により駆動されて、シート片３２が剥離された剥離テープ３１を回収する部分である。
また、回収部１９には、供給部１１と同様に、連続体ロールの回転軸に平行な方向における位置を規制する直交位置規制部として、両端に鍔が設けられている。
【００２８】
保持テーブル２１は、不図示の吸引装置によりシリコンウェハ１をエア吸引して吸着保持する土台である。保持テーブル２１は、テーブル駆動部５４により図１中のＸ方向に駆動される。また、保持テーブル２１は、Ｘ方向に直交する方向であって、図１の紙面奥方向におけるシリコンウェハ１のシート片３２に対する相対位置を調整するために、ねじ送り機構を利用した直交位置調整部を備えている。先に述べた供給部１１及び回収部１９に設けられた直交位置規制部である鍔により、シート連続体３０の位置は規制されているが、最終的な微調整は、この保持テーブル２１に設けられた直交位置調整部により行われる。
更に、保持テーブル２１は、原点位置（図１において破線により示した位置であり、シリコンウェハ１のセットを行う位置）を検出する不図示のテーブル原点検出部により原点位置が検出されるようになっている。
【００２９】
シート片検出部２２は、剥離されながら送られてくるシート片３２の先端位置を、光学的に非接触で検出するセンサであり、保持テーブル２１に固定されている。具体的には、フォトリフレクタを使用している。
【００３０】
次に、本実施形態におけるシート貼付装置の動作について説明する。
本実施形態におけるシート貼付装置は、制御部５０により制御されるが、テーブル駆動部５４が有するステッピングモータが１パルス駆動したときに保持テーブル２１が移動する量と、シート駆動モータ５１が１パルス駆動したときにシート連続体３０が移動する量とが、等しくなるようになっている。具体的には、両モータが１パルス駆動すると、保持テーブル２１及びシート連続体３０は、０．０１ｍｍ移動するようになっている。このようにすることにより、制御部５０が行う制御動作を簡単にしている。
図４は、本実施形態におけるシート貼付装置のタイミングチャートである。
ｔ０において、電源が投入されると、テーブル原点検出部から原点信号が出力されるまで（図１において、保持テーブル２１を破線により示した位置まで）、テーブル駆動部５４が保持テーブル２１を＋Ｘ方向又は−Ｘ方向に移動させる。
なお、保持テーブル２１の位置は、公知の絶対位置センサ（不図示）により得られているので、この情報にしたがい、原点に向けて移動を行う。
また、圧着ローラ１５は、上昇位置に保持される。
【００３１】
ｔ１において、原点信号がテーブル原点検出部から出力されたのち、作業者がシリコンウェハ１を保持テーブル２１の所定の位置にセットする。
ｔ２において、作業者が不図示のエア吸引スイッチをＯＮすることにより、保持テーブル２１のエア吸引を開始する
【００３２】
ｔ３において、作業者が、不図示のスタートスイッチをＯＮすると、テーブル駆動部５４が保持テーブル２１を−Ｘ方向に移動させる。この駆動は、保持テーブル２１に固定されたシート片検出部２２が、シート片３２の剥離を検出する位置（図１において、保持テーブル２１を実線により示した位置）まで行われ（ｔ３〜ｔ５）、その制御は、所定のパルス数Ｐ１だけテーブル駆動部５４の不図示のステッピングモータを駆動することにより行われる。なお、ｔ４は、スタートスイッチがＯＮされた後、スタートスイッチからのＯＮ信号が終了する時点である。
【００３３】
ｔ５において、保持テーブル２１が所定位置まで移動を終えると、シート駆動モータ５１が順送り方向に回転を開始し、シート連続体３０を順送り方向に送る。このとき、シート駆動モータ５１に設けられている負作動ブレーキも同時にＯＮされて、シート駆動モータ５１のブレーキを解除する。なお、シート駆動モータ５１が駆動するときには、常に負作動ブレーキがＯＮされるので、以下の説明では、この部分の説明を省略する。シート駆動モータ５１が順送り方向に回転を行うと、伝達ベルト５２も順送り方向に駆動されるが、ワンウェイクラッチ５３が設けられているので、駆動力は、ブレーキローラ１３に伝わらない。
また、回収部駆動部５６も駆動を開始して、剥離テープ３１が弛まないように巻き取る。
更に、ｔ５において、シート片検出部２２によるシート片３２の検出を開始する。
【００３４】
ここで、ｔ５〜ｔ６におけるシート連続体３０の状態について説明する。
図５は、ｔ５〜ｔ６におけるシート連続体３０の状態を説明する図である。
シート駆動モータ５１が順送り方向に駆動されると、ブレーキローラ１３と送りローラ１７との間において、シート連続体３０は、張力が与えられた状態で順送り方向に送られていく。このとき、剥離部１６において、シート連続体３０のシート片３２が貼付けられている側を外側として急角度で屈曲させることにより、シート片３２が剥離テープ３１から剥離する。このときに剥離したシート片３２の先端をシート片検出部２２によって検出し、その位置を基準として、シート片３２をシリコンウェハ１に貼付けることができれば、連続的に貼付作業を続けることができ、望ましい。
【００３５】
しかし、シート連続体３０が剥離部１６を通過するときに、シート片３２も剥離テープ３１に引張られて屈曲し、ある程度屈曲した後に剥離するという動作を繰り返しながら、剥離が行われる。したがって、シート片３２は、真っ直ぐには進まずに、図５の破線に示すように、主にＹ方向に振れながら＋Ｘ方向に進む。
シート片３２が振れながら進むので、シート片３２の先端位置をシート片検出部２２によって検出しても、正確な位置を検出することができず、不正確な位置に基づいてシート片３２をシリコンウェハ１に貼付けると、貼りずれが生じてしまう。
そこで、本実施形態では、以下に説明するｔ６〜ｔ１１において行う動作により、シート片３２の先端位置を正確に検出するように、制御部５０が制御を行う。
【００３６】
ｔ６において、シート片検出部２２がシート片３２を検出すると、シート駆動モータ５１及び回収部駆動部５６の駆動を停止する。
ｔ７において、シート駆動モータ５１は、逆送り方向に駆動を開始し、送りローラ１７を逆送り方向に駆動する。シート駆動モータ５１が、逆送り方向に駆動すると、伝達ベルト５２を介して駆動力がワンウェイクラッチ５３に伝わる。ワンウェイクラッチ５３は、逆送り方向の駆動力については、ブレーキローラ１３に伝えるので、ブレーキローラ１３は、逆送り方向に回転駆動を行う。ブレーキローラ１３と送りローラ１７とは、外周上の駆動速度が等しくなるように、伝達ベルト５２が掛けられる不図示のベルト車の減速比が設定されているので、シート連続体３０は、逆送り方向に滑らかに駆動される。この逆送り方向の駆動量に相当する制御パルス数Ｐ３は、本実施形態では、先のｔ５〜ｔ６において行われた順送り方向の駆動時に駆動されたパルス数Ｐ２と同じとした。なお、Ｐ３は、Ｐ２と等しくする必要はなく、シート片３２の先端がシート片検出部２２の検出領域から確実に退避する量であればよい。
【００３７】
ｔ８において、逆送り方向の駆動量が、パルス数Ｐ３に達すると、シート駆動モータ５１の回転を停止する。
ｔ９において、再び、シート駆動モータ５１を順送り方向に駆動する。また、回収部駆動部５６も、巻取り駆動を行う。
ｔ１０において、シート片検出部２２によりシート片３２の先端が再び検出されると、シート駆動モータ５１及び回収部駆動部５６の駆動を停止する。
ｔ９〜ｔ１０において行われる順送り方向の駆動時には、先に行ったｔ５〜ｔ６の動作により既に剥離されているシート片３２が送り出されてくるだけであり、シート片３２は、図５の実線で示したように真っ直ぐに送られてくる。したがって、ｔ１０において検出されるシート片３２の先端位置は、正確な位置となる。
【００３８】
ｔ１１において、テーブル駆動部５４は、シート片３２の先端位置とシリコンウェハ１の先端位置とが一致する位置まで、保持テーブル２１を＋Ｘ方向に移動する。先のｔ１０において、シート片検出部２２の検出位置にシート片３２の先端が位置しており、また、保持テーブル２１上には、シリコンウェハ１が正確に位置決めされて保持されている。よって、図５におけるＬ５に相当するパルス数Ｐ４だけ保持テーブル２１を移動することにより、シート片３２の先端位置とシリコンウェハ１の先端位置が一致する。更に、これ以降は、シート片検出部２２による検出が不要であるので、ｔ１１以降は、シート片検出部２２による検出を行わない。
【００３９】
ｔ１２において、保持テーブル２１がパルス数Ｐ４だけ移動した位置に到達すると、テーブル駆動部５４の駆動を停止すると共に、圧着ローラ駆動部５５が圧着ローラ１５を下降させて、シート片３２の先端とシリコンウェハ１の先端を圧着する。
ｔ１３において、テーブル駆動部５４により保持テーブル２１を＋Ｘ方向に駆動開始すると共に、シート駆動モータ５１も順送り方向の駆動を開始する。また、回収部駆動部５６も巻取り駆動を開始する。
なお、圧着ローラ１５の下降には、多少の時間が必要なので、ｔ１３までは、ｔ１２から所定の待ち時間を設けており、本実施形態では、２秒とした。
【００４０】
ｔ１３〜ｔ１４において、順次貼付を行う。
ｔ１４において、テーブル駆動部５４シート駆動モータ５１を所定パルス数Ｐ５だけ駆動することにより、所定量保持テーブル２１及びシート連続体３０が移動したら、貼付終了として、テーブル駆動部５４，シート駆動モータ５１，回収部駆動部５６の全てを停止する。また、圧着ローラ駆動部５５により、圧着ローラを上昇させる。
ｔ１５において、テーブル駆動部５４により保持テーブル２１を＋Ｘ方向に駆動して、テーブル原点検出部により原点検出信号が出力された時点（ｔ１６）で、エア吸引をＯＦＦして、貼付動作を終了する。
なお、下降時と同様に、圧着ローラ１５の下降には、多少の時間が必要なので、ｔ１５までは、ｔ１４から所定の待ち時間を設けてあり、動作を確実にするために本実施形態では、２秒とした。
ｔ１６において、貼付動作が終了したら、作業者は、シート片３２が貼付けられたシリコンウェハ１を保持テーブル２１から外して、全ての貼付作業が終了する。
【００４１】
本実施形態によれば、シート片３２を一度剥離した後、逆送り方向に駆動して、再度順送り方向の駆動を行いながら、シート片３２の先端位置を検出するので、簡単な構成であっても、シート片３２の先端位置を正確に検出することができる。
【００４２】
（変形形態）
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
例えば、本実施形態において、シート片３２を一度剥離した後、逆送り方向に駆動して、再度順送り方向の駆動を行いながら、シート片３２の先端位置を検出する例を示したが、これに限らず、例えば、シート片３２を剥離しながらシート片３２の先端位置を検出した後、逆送り方向に駆動しながら、シート片３２が検出されなくなる位置を得て、この位置を基準としてもよい。
また、本実施形態において、シート片３２は、パーティクル除去シートであって、これをシリコンウェハ１に貼付ける例を示したが、これに限らず、例えば、シリコンウェハに保護シートを貼付ける場合に適用してもよいし、半導体製造の分野に限らず、シート連続体からシート片を正確に貼付る場合であればよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、本発明によれば、以下の効果を得られる。
【００４５】
（１）シート片の先端付近を剥離テープから剥離した後、剥離テープ上に戻しながらシート片検出部によりシート片の先端を検出した位置に基づいて、シート片を被貼付物に貼付けるように制御を行うので、剥離時の悪影響を受けずに、シート片の先端位置を正確に検出することができ、精度よく貼付を行うことができる。
【００４７】
（２）剥離部は、シート連続体のシート片貼付け面を外側として、所定角度以上シート連続体を屈曲させることにより、シート片を剥離テープから剥離させるので、簡単な構成とすることができ、装置を安価にすることができる。
【００４８】
（３）シート片を被貼付物に貼付けるときに、保持テーブル上に保持された被貼付物の位置に対してシート片の位置を合わせるように、送り機構とテーブル駆動部を駆動し、所定位置で圧着ローラ駆動部を駆動して圧着ローラを圧着方向に移動するので、精度よく貼付を行うことができる。
【００４９】
（４）シート片検出部は、保持テーブルに対して固定されているので、シート片検出部と保持テーブルとの間の寸法誤差が積算することなく、より精度よく貼付を行うことができる。
【００５０】
（５）供給部及び回収部は、送り機構の送り方向に直交する方向における剥離テープの位置を規制する直交位置規制部を有するので、剥離テープの送り方向に直交する方向の位置を正確に保つことができる。
【００５１】
（６）直交位置規制部は、供給部及び回収部の巻枠に設けられる鍔であるので、簡単な構成とすることができ、装置を安価にすることができる。
【００５２】
（７）保持テーブルは、送り機構の送り方向に直交する方向における被貼付物の位置を調整する直交位置調整部を有するので、送り方向に直交する方向の貼付も精度よく行うことができる。
【００５３】
（８）被貼付物は、シリコンウェハであり、シートは、シリコンウェハの外形形状に略一致した外形形状であるので、高精度の貼付が必要な半導体製造の分野において、特に有効に活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるシート貼付装置の実施形態を示す図である。
【図２】本実施形態におけるシート貼付装置のブロック図である。
【図３】シート連続体３０を説明する図である。
【図４】本実施形態におけるシート貼付装置のタイミングチャートである。
【図５】ｔ５〜ｔ６におけるシート連続体３０の状態を説明する図である。
【符号の説明】
１  シリコンウェハ
１１  供給部
１２，１８  ニップ部
１３  ブレーキローラ
１４  アイドルローラ
１５  圧着ローラ
１６  剥離部
１７  送りローラ
１９  回収部
２１  保持テーブル
２２  シート片検出部
３０  シート連続体
３１  剥離テープ
３２  シート片
５０  制御部
５１  シート駆動モータ
５２  伝達ベルト
５３  ワンウェイクラッチ
５４  テーブル駆動部
５５  圧着ローラ駆動部
５６  回収部駆動部
【図１】
0003835596.tif 000002
【図２】
0003835596.tif 000003
【図３】
0003835596.tif 000004
【図４】
0003835596.tif 000005
【図５】
0003835596.tif 000006