(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吹出用開口部を吹出空気浄化用フィルタの装着部とする吹出チャンバの形成体に、その吹出チャンバへ吹出用空気を取り入れてその取り入れ空気を前記吹出用開口部から吹き出させる吹出用ファンを組み付け装備してある清浄空気吹出ユニットであって、
下面開口部を前記吹出空気浄化用フィルタの装着部とするボックス状体を複数設け、これら複数のボックス状体を互いの下面開口部の独立を保って互いに近接させた状態で一体に連結するとともに、これらボックス状体どうしの対向面間にボックス状体の内部空間どうしを連通する連通路をわたらせ、
前記連通路により連通させた複数のボックス状体の一連の内部空間を前記吹出チャンバとし、且つ、複数のボックス状体の夫々の前記下面開口部を前記吹出用開口部として、複数のボックス状体の連結体により前記吹出チャンバの形成体を構成してある清浄空気吹出ユニット。
【請求項２】
前記ボックス状体の夫々に、それらの内部空間へ吹出用空気を取り入れる前記吹出用ファンを個別に組み付け装備してある請求項１記載の清浄空気吹出ユニット。
【請求項３】
前記連通路をわたらせた前記ボックス状体の夫々を上面視方形の直方体形状に構成するとともに、前記吹出用ファンとして軸流式ファンを、ファン軸心方向がボックス状体の天井部上面の対角線方向に沿う斜め配置でボックス状体夫々の天井部上面に組み付けてある請求項２記載の清浄空気吹出ユニット。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の清浄空気吹出ユニットを浄化対象室の天井部に並設して、これら清浄空気吹出ユニットの前記吹出用開口部から室内の各領域へ清浄空気を吹き出す構成としてあるクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体部品に代表される種々の電子部品の製造の為の空間や、薬品・食品の製造の為の空間など、清浄を要する空間の形成に用いる清浄空気吹出ユニットに関し、詳しくは、吹出用開口部を吹出空気浄化用フィルタの装着部とする吹出チャンバの形成体に、その吹出チャンバへ吹出用空気を取り入れてその取り入れ空気を吹出用開口部から吹き出させる吹出用ファンを組み付け装備してある清浄空気吹出ユニット、並びに、この清浄空気吹出ユニットを用いたクリーンルームに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、清浄空気吹出ユニットを用いた設備としては、特開平３−２６３５３４号公報に見られるように、浄化対象室の天井部に清浄空気吹出ユニットを並設する構成において、室内における人を検出する人検出センサを天井面の複数箇所に分散させて配備するとともに、これら複数の人検出センサからの信号を集中的に入力して、その信号に基づき各清浄空気吹出ユニットを統括的に遠隔制御する統括制御器を設け、これにより、これら人検出センサの検出情報に基づき、統括制御器による遠隔制御で、人の存在位置に対応する清浄空気吹出ユニットのファン送風量（すなわち、清浄空気の吹出風量）を、その清浄空気吹出ユニットが人の存在位置に対し非対応のときよりも増大させるようにして、人不存の際のファン送風量の低減により省エネを図りながら、人からの発塵による汚染を防止するようにしたものがある。
【０００３】
また、特開平４−３０６４３９号公報に見られるように、個別制御器付きの清浄空気吹出ユニットを浄化対象室の天井部に並設する構成において、室内設置の製造ラインに、ライン上の処理物を検出する処理物検出センサを複数箇所に分散させて配備するとともに、これら処理物検出センサから各センサの検出位置に対応する清浄空気吹出ユニットの個別制御器へ各別に信号入力するようにし、これにより、これら処理物検出センサの検出情報に基づき、個別制御器による制御で、ライン上処理物の存在位置に対応する清浄空気吹出ユニットのファン送風量を、その清浄空気吹出ユニットが処理物の存在位置に対し非対応のときよりも増大させるようにして、前記形式と同様、処理物不存の際のファン送風量の低減により省エネを図りながら、処理物周りを所要の清浄度に維持するようにしたものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前者の従来形式では、複数の人検出センサと統括制御器とを結ぶ信号ラインの施設、及び、その統括制御器と複数の清浄空気吹出ユニットとを結ぶ信号ラインの施設が必要で、信号ラインの施設が大掛かりで複雑となるため、全体としての設備コストが高く付き、また、設備施工が煩雑で施工能率が悪い問題があった。
【０００５】
一方、後者の従来形式では、統括制御器と複数の清浄空気吹出ユニットとを結ぶ信号ラインの施設が不要になることから、信号ラインの施設はある程度簡略になるものの、複数の処理物検出センサと複数の清浄空気吹出ユニットとを各別に結ぶ信号ラインの施設は必要であり、この点で、やはり上記と同様の問題があった。
【０００６】
また、いずれの従来形式にしても、清浄空気吹出ユニットの設置施工に加え、これとは別に人検出センサや処理物検出センサの設置施工を要するため、この点からも設備施工が煩雑で施工能率が悪い問題があった。
【０００７】
以上の実情に対し、本発明の第１の課題は、ユニットの吹出用開口部が対向する担当領域に発塵体や清浄雰囲気必要体が存在するとき、清浄空気吹出ユニットのファン送風量を自動的に増大させる形式を採ることにおいて、そのユニット施設設備の設備コストを安価にでき、また、設備施工を容易にし得る清浄空気吹出ユニットを提供する点ある。
【０００８】
また、本発明の第２の課題は、発塵体や清浄雰囲気必要体の室内移動に対し、その対象体存在位置への清浄空気の吹出風量を自動的に増大させる形式を採ることにおいて、設備コストが安価で設備施工が容易なクリーンルームを提供する点にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
発塵体又は清浄雰囲気必要体を対象体として、前記吹出用開口部を対向させるユニット担当領域での対象体の存否を検出する対象体検出センサと、この対象体検出センサの検出情報に基づき、前記ユニット担当領域に対象体が存在するとき、前記吹出用ファンの送風量を、前記ユニット担当領域に対象体が不存のときよりも増大させるユニット個別制御器とを、前記吹出用ファンとともに前記吹出チャンバの形成体に組み付け装備してあれば、吹出用開口部が対向するユニット担当領域に対象体が存在するとき、対象体検出センサの検出情報に基づき、吹出用ファンの送風量をユニット個別制御器により増大させて、ユニット担当領域への清浄空気の吹出風量を増大させるから、発塵体を対象体とする場合においては、発塵体からの発生塵埃を増量の吹き出し清浄空気により効果的に掃塵して、発塵体からの発生塵埃による汚染を防止でき、また、清浄雰囲気必要体を対象体とする場合においては、増量の吹き出し清浄空気により清浄雰囲気必要体の周りを所要の清浄度に確実に維持することができる。
【００１０】
また、ユニット担当領域に対象体が不存のときには、吹出用ファンの送風量を減少させるから、ユニット担当領域における対象体の存否にかかわらず、吹出用ファンを一定の大きな送風量で運転するに比べ、ファン消費動力を節減して省エネを効果的に実現できる。
【００１１】
そして、ユニット構造ついては、吹出用開口部を吹出空気浄化用フィルタの装着部とする吹出チャンバの形成体（換言すれば、清浄空気吹出ユニットのユニット基体）に、上記の対象体検出センサ及びユニット個別制御器を吹出用ファンとともに組み付け装備してあるから、先述の従来形式の如き、対象体検出センサとしての人検出センサと別置の統括制御器とを結ぶ信号ラインの施設や、清浄空気吹出ユニットと別置の統括制御器とを結ぶ信号ラインの施設、あるいはまた、清浄空気吹出ユニットと対象体検出センサとしての別置の処理物検出センサとを結ぶ信号ラインの施設を不要にでき、これにより、ユニット担当領域に発塵体や清浄雰囲気必要体が存在するとき、清浄空気吹出ユニットのファン送風量を自動的に増大させる形式を採ることにおいて、そのユニット施設設備の設備コストを安価にでき、また、設備施工を容易にして施工能率を向上できる。
【００１２】
また、複数の清浄空気吹出ユニットを設置する場合、上記の如き信号ラインが不要になることに伴い、ユニット施設設備の施工において、いずれの対象体検出センサといずれの清浄空気吹出ユニットとを対応付けるかの対応付けの設定作業が不要になり、この点からも設備施工を容易にすることができる。
【００１３】
前記の対象体検出センサ及びユニット個別制御器を、ユニット設置予定箇所へのユニット設置以前の段階（例えば、ユニットの工場製作段階）から、吹出用ファンとともに吹出チャンバの形成体に予め組み付け装備してあれば、ユニット設置予定箇所への清浄空気吹出ユニットの設置施工だけで、対象体検出センサ及びユニット個別制御器の設置施工も一挙に完了でき、設備施工を一層容易に能率良く行うことができる。
【００１４】
前記の対象体検出センサとして、ユニット担当領域での人の存否を検出する人検出センサを装備してあるから、ユニット担当領域に人が存在するとき、そのユニット担当領域への清浄空気の吹出風量を人不存のときよりも増大させて、人から発生塵埃を増量の吹き出し清浄空気により効果的に掃塵でき、これにより、一般にクリーンルームなどでは人が最大の発塵源となることに対し、前記の如くファン消費動力の節減による省エネを実現しながら、人からの発塵による汚染を効果的に防止できる。
【００１５】
前記の吹出用ファンとして、共通の吹出チャンバに対し吹出用空気を並列的に取り入れる複数のファンを装備してあるから、一台の吹出用ファンだけでユニットの吹出風量を賄うに比べ、複数の小型のファンを水平方向に分散させた状態でユニットに組み付け装備する形態を採って、清浄空気吹出ユニットを高さ寸法が小さいコンパクトなものにすることができ、これにより、ユニットの必要設置スペースを小さくして省スペース化を実現できるとともに、スペースが限られた室天井部などへのユニット設置を容易にすることができる。
【００１６】
また、複数の吹出用ファンを用いながらも、これら複数のファンにより取り入れた吹出用空気は、共通の吹出チャンバで均圧化して吹出用開口部から吹出空気浄化用フィルタを介しムラ無く均一に吹き出すことができ、これにより、上記の如き設置スペース上の効果を得ながらも、ユニット担当領域に対する浄化機能を高く維持することができる。
【００１７】
そして、このユニット構造によれば、ユニットにおける吹出用開口部の面積を大きくして、一つの清浄空気吹出ユニットの担当領域を面積的にある程度大きなものにする場合に特に有利となる。
【００１８】
なお、複数の吹出用ファンをユニットに装備する上記構造において、ユニット担当領域における対象体の存否に応じファン送風量を増減調整するには、複数の吹出用ファンの運転台数を変更してユニットとしてのファン送風量を増減調整する方式、あるいは、複数の吹出用ファンの一部ないし全部の回転数を変更してユニットとしてのファン送風量を増減調整する方式、あるいはまた、これら方式を組み合わせた方式のいずれを採用してもよい。
【００１９】
〔１〕請求項１記載の発明では、下面開口部を前記吹出空気浄化用フィルタの装着部とするボックス状体を複数設け、これら複数のボックス状体を互いの下面開口部の独立を保って互いに近接させた状態で一体に連結するとともに、これらボックス状体どうしの対向面間にボックス状体の内部空間どうしを連通する連通路をわたらせ、前記連通路により連通させた複数のボックス状体の一連の内部空間を前記吹出チャンバとし、且つ、複数のボックス状体の夫々の前記下面開口部を前記吹出用開口部として、複数のボックス状体の連結体により前記吹出チャンバの形成体を構成してあるから、吹出チャンバを形成する各々のボックス状体が小型なものとなって、同容量の吹出チャンバを一つの大型のボックス状体で形成するに比べ、軽量・薄肉の安価な形成材を用いながらも個々のボックス状体の強度を高く確保でき、これにより、ユニット全体の強度を高く確保しながら清浄空気吹出ユニットの製作コストを安価にすることができる。
【００２０】
また、複数のボックス状体により吹出チャンバを形成する構造としながらも、連通路により連通させた一連のボックス状体内部空間を吹出チャンバにするから、吹出用ファンによる取り入れ空気は、一連のボックス状体内部空間で均圧化してボックス状体各々の下面開口部から吹出空気浄化用フィルタを介しムラ無く均一に吹き出すことができ、これにより、ユニット担当領域に対する浄化機能を高く維持することができる。
【００２１】
そして、このユニット構造によれば、ユニットにおける吹出用開口部の面積を大きくして、一つの清浄空気吹出ユニットの担当領域を面積的にある程度大きなものにする場合に特に有利となる。
【００２２】
〔２〕請求項２記載の発明では、前記ボックス状体の夫々に、それらの内部空間へ吹出用空気を取り入れる吹出用ファンを個別に組み付け装備してあるから、前述の如く各々を小型なものとして高い強度を確保したボックス状体の夫々により複数の吹出用ファンの支持を分担する形態で、各吹出用ファンを高い支持強度で支持でき、これにより、軽量・薄肉の安価な形成材を用いて製作コストを安価にしながらも、清浄空気吹出ユニットの全体としての強度を一層高く確保することができる。
【００２３】
また、このユニット構造であれば、清浄空気吹出ユニットの製作にあたり、他のボックス状体との連結の前のボックス状体に吹出用ファンを組み付けたファン・ボックス組の複数を個別に製作して、これら製作したファン・ボックス組どうしを連通路形成を伴いながら一体に連結するといった分業形態を採ることもでき、この製作形態を採ることにより、吹出チャンバを一つの大型のボックス状体で形成する構成において、この大型のボックス状体に対し複数の吹出用ファンを順次に組み付ける製作形態に比べ、手順良くユニットを製作できて、清浄空気吹出ユニットの製作能率を向上し得るとともに、その製作コストを安価にすることができる。
【００２４】
〔３〕請求項３記載の発明では、前記連通路をわたらせた前記ボックス状体の夫々を上面視方形の直方体形状に構成するとともに、前記吹出用ファンとして軸流式ファンを、ファン軸心方向がボックス状体の天井部上面の対角線方向に沿う斜め配置でボックス状体夫々の天井部上面に組み付けてある。
なお、ユニット担当領域を散水領域とするスプリンクラーを、ユニット設置予定箇所へのユニット設置以前の段階（例えば、ユニットの工場製作段階）から吹出チャンバの形成体に予め組み付け装備してあれば、ユニット設置予定箇所への清浄空気吹出ユニットの設置施工だけで、スプリンクラーの設置施工も一挙に完了でき、設備施工を一層容易に能率良く行うことができる。
【００２５】
〔４〕請求項４記載の発明では、請求項１〜３のいずれか１項に記載の清浄空気吹出ユニットを浄化対象室の天井部に並設して、これら清浄空気吹出ユニットの前記吹出用開口部から室内の各領域へ清浄空気を吹き出す構成としてあるクリーンルームを構成する。
なお、前記の対象体検出センサ及びユニット個別制御器を装備した清浄空気吹出ユニットを浄化対象室の天井部に並設して、これら清浄空気吹出ユニットの吹出用開口部から室内の各領域へ清浄空気を吹き出す構成にすれば、前記対象体の室内移動に対し、天井部に並設の清浄空気吹出ユニットのうち、対象体の存在位置に対応する清浄空気吹出ユニットのファン送風量（すなわち、清浄空気の吹出風量）を自動的に増大させて、その対象体の存在領域に対する浄化機能を高めることができ、これにより、発塵体を対象体とする場合では、発塵体の室内移動に対し、その発塵体からの発生塵埃による室内汚染を効果的に防止でき、また、清浄雰囲気必要体を対象体とする場合では、清浄雰囲気必要体の室内移動に対し、その清浄雰囲気必要体の周りを所要の清浄度に確実に維持することができる。
【００２６】
また、天井部に並設の清浄空気吹出ユニットのうち、対象体の存在位置に対し非対応の清浄空気吹出ユニットについては、ファン送風量の増大を実施せず、さらに、対象体の移動で、対象体に対し対応する状態から非対応の状態に変わった清浄空気吹出ユニットについては、ファン送風量を減少復帰させるから、クリーンルームの全体としてファン消費動力を大きく低減できて省エネを効果的に達成できる。
【００２７】
そして、天井部に並設する個々の清浄空気吹出ユニットが、対象体検出センサ及びユニット個別制御器を吹出用ファンとともに、ユニット基体としての吹出チャンバ形成体に組み付け装備したものであって、先述の如き信号ラインの施設が不要であることから、発塵体や清浄雰囲気必要体の室内移動に対し、その対象体存在位置への清浄空気の吹出風量を自動的に増大させる形式を採ることにおいて、設備コストが安価で設備施工が容易なクリーンルームとすることができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１はクリーンルームの全体構成を示し、吹出用ファン１と吹出空気浄化用フィルタ２とを備える清浄空気吹出ユニット３を、図２に示す如き行列配置で浄化対象室４の天井部に密に並設し、天井裏の給気チャンバ５から各々の吹出用ファン１により清浄空気吹出ユニット３夫々の吹出チャンバ６内に取り入れた吹出用空気を吹出空気浄化用フィルタ２で浄化して、この清浄空気を各清浄空気吹出ユニット３から下向きの層流状態で浄化対象室４の室内に吹き出す。
【００２９】
７は床下の還気チャンバ、８は還気チャンバへの室内空気の排出を許す多孔状の通気床、９は還気チャンバ７に排出される室内空気を天井裏の給気チャンバ５に戻す還気風路、１０は給気チャンバ５に戻す空気を冷却ないし加熱して、給気チャンバ５−浄化対象室４−還気チャンバ７−還気風路９にわたる空気循環に伴い浄化対象室４を所定の温度状態に調整する温調コイルであり、給気チャンバ５−浄化対象室４−還気チャンバ７−還気風路９にわたる空気循環は、各清浄空気吹出ユニット３に装備した吹出用ファン１の送風能力をもって行う。
【００３０】
１１は室内換気用の外気を取り入れる外気風路、１２は取り入れ外気に対し前処理的に除塵処理、及び、温度や湿度の調整処理を加える外調機、１３は浄化対象室４の室内ないしは還気チャンバ７内のうち取り入れ外気の導入部よりも上流側の部分から取り入れ外気量に相当する量の空気を排気風路１４を介して外部に排出する排気ファンである。
【００３１】
清浄空気吹出ユニット３は、図３及び図４に示すように、各々の下面開口部（すなわち、吹出用開口部）を吹出空気浄化用フィルタ２の装着部とする同一直方体形状（本例では上面視方形の直方体形状）の２つのボックス状体１５ａ，１５ｂ（つまり、２つのボックス状体１５ａ，１５ｂの夫々に下面開口部が備えられている。）を互いの吹出用開口部の独立を保って互いに近接させた状態で一体連結するとともに、これらボックス状体１５ａ，１５ｂの対向面間にわたらせた連通路１６により、ボックス状体１５ａ，１５ｂの内部空間どうしを連通させた基体構造としてあり、これにより、これらボックス状体１５ａ，１５ｂの連結体（連結ボックス状体１５ａ，１５ｂ）を吹出チャンバ形成体として、上記連通路１６により連通させた一連のボックス状体内部空間を各ユニット３の吹出チャンバ６にしてある。
【００３２】
そして、この吹出チャンバ構造に対し、吹出用ファン１として同仕様の２台の軸流式ファン１ａ，１ｂを各ボックス状体１５ａ，１５ｂの方形状の天板部（すなわち、天井部）上面にファン軸心方向が天井部上面の対角線方向に沿う斜め配置で各別に組み付け装備し、これらファン１ａ，１ｂのファン吐出口を２つのボックス状体１５ａ，１５ｂに対し各別に風路接続してある。
【００３３】
すなわち、このユニット構造により、上記一連のボックス状体内部空間を２台の吹出用ファン１ａ，１ｂに対する共通の吹出チャンバ６にして、２台の吹出用ファン１ａ，１ｂをともに運転するとき、及び、１台のみを運転するときのいずれにおいても、これら吹出用ファン１ａ，１ｂによる取り入れ空気を、上記共通の吹出チャンバ６内で均圧化（静圧化）して、２つのボックス状体１５ａ，１５ｂ夫々の吹出用開口部から均一に吹き出させる。
【００３４】
また、各清浄空気吹出ユニット３は、室内において自身の吹出用開口部が対向する領域を担当領域とするのに対し、人を対象体としてユニット担当領域における人の存否を検出する対象体検出センサＫとしての人検出センサ１７、及び、この人検出センサ１７の検出情報に基づき、他の清浄空気吹出ユニット３とは独立して、自身のユニット担当領域に人が存在するとき２台の吹出用ファン１ａ，１ｂをともに運転してユニットとしてのファン送風量を自動的に増大させ、かつ、自身のユニット担当領域に人が不存のとき２台の吹出用ファン１ａ，１ｂのうち一方の運転を停止してユニットとしてのファン送風量を自動的に減少復帰させるユニット個別制御器１８を、吹出チャンバ形成体（換言すればユニット基体）としての前記の連結ボックス状体１５ａ，１５ｂに組み付け装備した構造としてある。
【００３５】
つまり、この清浄空気吹出ユニット３を浄化対象室４の天井部に並設することにより、各清浄空気吹出ユニット３に組み付け装備した人検出センサ１７の検出情報に基づき、清浄空気吹出ユニット３のうち人の存在位置に対応する清浄空気吹出ユニット３（すなわち、自身の担当領域に人が存在するユニット）のファン送風量を、その清浄空気吹出ユニット３が人の存在位置に対し非対応のとき（すなわち、自身の担当領域に人が存在しないとき）よりも自動的に増大させる。
【００３６】
そして、このことにより、担当領域に人が不存の清浄空気吹出ユニット３については、人の発塵の無い状態で所要の清浄度を維持するに足りるだけの小風量の清浄空気を２つのボックス状体１５ａ，１５ｂ夫々の吹出開口部から均一に吹き出させて、また、担当領域に人が存在する清浄空気吹出ユニット３については、人の発塵に対し所要の清浄度を維持するのに必要な大風量の清浄空気を２つのボックス状体１５ａ，１５ｂ夫々の吹出開口部から均一に吹き出させて、浄化対象室４の室内各領域の清浄度を常に所要値に維持しながら、人が不存の領域に必要以上の風量の清浄空気を無駄に吹き出すことを回避して、ファン消費動力の低減による省エネを図ってある。
【００３７】
人検出センサ１７には、人が発する赤外線（換言すれば熱線）の検知によりユニット担当領域における人の存在を検出する赤外線センサを採用してあり、また、吹出用ファン１ａ，１ｂには軸流ファンを採用してある。
【００３８】
各清浄空気吹出ユニット３において、１９は吹出用ファン１ａ，１ｂに対する防振架台、２０は吹出用ファン１ａ，１ｂの吐出側風路に介装した消音器、２１は防振継手、２２は吹出用ファン１ａ，１ｂの吸入側風路に介装した消音器、２３は天井裏給気チャンバ５からの空気取入口２４に装備したチャッキダンパであり、このチャッキダンパ２３は対応の吹出用ファン１ａ，１ｂが運転状態にあるときには、その吸引圧力により自動的に開いて空気取入口２４からの空気取り入れを許容し、これに対し、対応の吹出用ファン１ａ，１ｂが運転停止状態にあるときには重力作用で自動的に閉じて空気取入口２４を閉塞し、これにより、２台の吹出用ファン１ａ，１ｂのうち一方のみを運転する状態において、運転停止側の吹出用ファン１ａ，１ｂに対応の空気取入口２４から空気が逆流吐出することを防止する。
【００３９】
また、２５は吹出チャンバ６を形成する２つのボックス状体１５ａ，１５ｂ夫々の吹出用開口部において８個ずつの吹出空気浄化用フィルタ２（例えば、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ）を保持するフィルタ保持枠、２６はユニット担当領域を散水領域とするスプリンクラー、２７は照明器具であり、各清浄空気吹出ユニット３は、その工場製作段階で吹出用ファン１ａ，１ｂ、及び、それに対する接続器具とともに、前記の人検出センサ１７、ユニット個別制御器１８、フィルタ保持枠２５、スプリンクラー２６及びそれに対する端末接続管２８などを、吹出チャンバ形成体としての連結ボックス状体１５ａ，１５ｂに予め組み付け装備した状態で工場出荷して、浄化対象室４の天井部に設置施工するものとしてあり、これにより、クリーンルームの設備施工を容易にして、その施工能率を高めるようにしてある。
【００４０】
〔別の実施形態〕
次に別の実施形態を列記する。
前述の実施形態では、人を対象体として、ユニット担当領域に人が存在するとき清浄空気吹出ユニット３のファン送風量を増大させるようにしたが、対象体は人以外の発塵体、あるいは、製造品などの清浄雰囲気必要体であってもよい。
【００４１】
対象体の存否を検出する対象体検出センサＫには、対象体に応じて種々の検出方式のものを採用でき、例えば人を対象体とする場合、前記の人検出センサ１７として、赤外線センサに代え、超音波放射に対し人からの反射超音波を検知してユニット担当領域の人を検出する超音波センサを採用してもよい。
【００４２】
前述の実施形態では、清浄空気吹出ユニット３に複数台の吹出用ファン１（２台に限らず、３台以上であってもよい）を装備して、これらファン１ａ，１ｂの運転台数制御により、清浄空気吹出ユニット３のユニットとしてのファン送風量（すなわち、ユニットとしての清浄空気の吹出風量）を増減調整するようにしたが、これに代え、清浄空気吹出ユニット３に装備した１台ないし複数台の吹出用ファン１に対する回転数制御によりユニットとしてのファン送風量を増減調整する方式や、これら運転台数制御と回転数制御とを組み合わせた方式を採用してもよい。
【００４３】
前述の実施形態では、清浄空気吹出ユニット３における吹出チャンバ６を、互いに連通させた複数のボックス状体１５ａ，１５ｂの２個により形成していたが、２個に限らず３個以上であってもよい。
【００４４】
吹出用ファン１は軸流ファンに限定されるものではなく、例えば、多翼ファンや後ろ向きファン、あるいはまた、翼型ファンやクロスラインファンを用いるなど、吹出用ファン１には種々の形式のファンを採用できる。
【００４５】
なお、本発明による清浄空気吹出ユニットは、各種分野における種々の用途の清浄空間の形成に使用でき、また、本発明によるクリーンルームも種々の用途に使用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンルームの側面図
【図２】クリーンルームの平面図
【図３】清浄空気吹出ユニットの一部を破断した部分側面図
【図４】清浄空気吹出ユニットの一部を切り欠いた全体斜視図
【符号の説明】
２                      吹出空気浄化用フィルタ
６                      吹出チャンバ
１                      吹出用ファン
Ｋ                      対象体検出センサ
１８                    ユニット個別制御器
【図１】
0003835883.tif 000002
【図２】
0003835883.tif 000003
【図３】
0003835883.tif 000004
【図４】
0003835883.tif 000005