(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸心を中心とした回転円経路上に、複数の荷受け部が設けられた回転棚を備え、
前記回転棚の回転軸心に平行状の移載軸心の周りで回転自在に設けられるとともに、前記回転円経路に接線状に重合される移載円経路上で作用自在に構成される移載作用部を設けた移載手段を備え、
前記移載円経路上に、荷受け部が設けられた固定棚を備え、
前記回転棚および固定棚の各荷受け部は、板枠状で、上下ならびに外側に開放される凹所が形成され、
前記移載作用部に、前記移載作用部が前記回転棚または固定棚の前記荷受け部に正対した状態で、移載作用部が突出動されたときに、前記荷受け部の凹所の一方の先端部を検出する検出手段を、この移載作用部が荷に対して作用する位置決め手段を使用して着脱自在に取り付け、
前記各荷受け部に対して前記移載作用部を移動させ、その移動開始位置から前記検出手段が前記荷受け部の凹所の一方の先端部を検出して動作するまでの移動距離を測定することにより、前記移載作用部が前記荷に作用する移動距離を学習すること
を特徴とする荷保管設備。
【請求項２】
前記回転棚と固定棚には荷受け部群が上下複数段に設けられ、前記移載手段は、前記回転棚や固定棚の上下複数段に対応して作用可能に構成されていること
を特徴とする請求項１に記載の荷保管設備。
【請求項３】
前記回転棚と移載手段と固定棚とは、クリーン雰囲気内に配設されていること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載の荷保管設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえばクリーンルーム内にて荷の保管を行うのに採用される荷保管設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の荷保管設備に保管される荷として、ウェハや液晶パネルが差し込まれ収納されるカセット（容器）がある。このカセットを収納する棚の各荷受け部には、カセットの位置決めを行うピンを設け、カセットにこのピンに嵌合する孔部を設けて、荷保管設備の移載装置によるカセットの移載時に、位置ずれや衝突により内部のウェハや液晶パネルに無用な外力や振動を与えないようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように各荷受け部に位置決めピンを設けた棚の構成とすると、荷受け部によっては、荷受け部に対して同じ移動距離（移載のための出退距離）でカセットを移動させても、位置決めピンにカセットの孔部を嵌合できない状況が発生した。この原因としては、カセットの重みにより棚が撓み、棚の上下段と中段の荷受け部では位置決めピンの位置が微妙にずれるためだと考えられる。そこで、稼動を開始する前に、調整員が、各段のそれぞれの荷受け部に対して、カセツトを移動させる移載装置の移動距離を調整している。
【０００４】
しかし、この調整には多くの時間と労力を必要とするという問題があり、また調整員によりその調整にバラツキがでる恐れがあった。
そこで本発明は、荷（カセット）の移載手段を移動させる距離を自動で効率よく調整できる荷保管設備を提供することを目的としたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明の請求項１記載の荷保管設備は、回転軸心を中心とした回転円経路上に、複数の荷受け部が設けられた回転棚を備え、前記回転棚の回転軸心に平行状の移載軸心の周りで回転自在に設けられるとともに、前記回転円経路に接線状に重合される移載円経路上で作用自在に構成される移載作用部を設けた移載手段を備え、前記移載円経路上に、荷受け部が設けられた固定棚を備え、前記回転棚および固定棚の各荷受け部は、板枠状で、上下ならびに外側に開放される凹所が形成され、前記移載作用部に、前記移載作用部が前記回転棚または固定棚の前記荷受け部に正対した状態で、移載作用部が突出動されたときに、前記荷受け部の凹所の一方の先端部を検出する検出手段を、この移載作用部が荷に対して作用する位置決め手段を使用して着脱自在に取り付け、前記各荷受け部に対して前記移載作用部を移動させ、その移動開始位置から前記検出手段が前記荷受け部の凹所の一方の先端部を検出して動作するまでの移動距離を測定することにより、前記移載作用部が前記荷に作用する移動距離を学習することを特徴とするものである。
【０００６】
この構成によれば、各荷受け部に対して、移載作用部の各荷受け部への移動開始位置から検出手段が荷受け部の凹所の一方の先端部を検出して動作するまでの移動距離を測定することにより、移載作用部が荷に作用する移動距離が学習される。よって、各荷受け部において位置決めピンが微妙にずれても、この学習結果により荷を支障なく移載を行うことができ、また従来のように稼動を開始する前に、調整員が、各荷受け部それぞれに対して、移載作用部の移動距離を調整する必要がなくなり、自動で効率よく調整でき、また調整にバラツキがでる恐れを回避することができる。
また検出手段が移載作用部が荷に対して作用する位置決め手段を使用して着脱自在に取り付けられることにより、検出手段の移載作用部への取り付けが容易となり、作業効率が改善される。また回転棚を回転棚軸心の周りに回転させて、回転円経路と移載円経路との重合部分に目的とする荷受け部を位置させることで、この荷受け部に対して、移載手段により荷の出し入れを行える。また、移載手段の移載作用部を移載手段軸心の周りに回転させることで、固定棚に対して、移載手段により荷の出し入れを行える。
【００１１】
また請求項２に記載の発明は、上記請求項１に記載の発明であって、回転棚には荷受け部群が上下複数段に設けられ、固定棚には荷支持部が上下複数段に設けられ、移載手段は、回転棚や固定棚の上下複数段に対応して作用可能に構成されていることを特徴としたものである。
【００１２】
この構成によれば、上下高さを最大限に利用して、回転棚と固定棚とにより保管量を増加し得る。
また請求項３に記載の発明は、上記請求項１または請求項２に記載の発明であって、回転棚と移載手段と固定棚とは、クリーン雰囲気内に配設されていることを特徴としたものである。
【００１３】
この構成によれば、回転棚や固定棚においては、充分なクリーン雰囲気で荷の保管を行える。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の第１の実施の形態を、図１〜図１０に基づいて説明する。
図１〜図３において、クリーンルーム１は、たとえば天井２側からクリーンエアＡが噴出され、床３の下側に排出されるダウンフロー方式とされている。そしてクリーンルーム１内に荷保管設備１０が設置されている。ここで荷保管設備１０は、矩形箱状の囲壁体１１と、この囲壁体１１内に配設された回転棚２１、移載手段５１、固定棚１０１などにより構成されている。
【００１５】
前記囲壁体１１は、枠組体１２と、この枠組体１２の外側で下半分に取り付けられた下部外板１３と、枠組体１２の外側で上半分に取り付けられた上部外板１４などにより構成されている。その際に、下部外板１３や上部外板１４の少なくとも一部、主として上部外板１４には樹脂製などの透明板が使用され、以て外から、囲壁体１１内の荷保管室（荷保管空間）１５の状況を把握し得るように構成されている。さらに、前記囲壁体１１の少なくとも一箇所の角部でかつ上下方向の設定範囲、たとえば上部外板１４が配設される上下方向の設定範囲でかつ４つの角部はカット部１６に形成されている。
【００１６】
上記構成からなる囲壁体１１は上下が開放されており、これにより天井２側からクリーンエアＡが囲壁体１１内で通過されることによって、この囲壁体１１内の荷保管室１５はクリーン雰囲気とされている。なお囲壁体１１は、枠組体１２の下部に設けられた脚体１７を介して床３上に配設されている。
【００１７】
図１、図３〜図５において、前記荷保管室１５内の一側寄りの位置には前記回転棚２１が配設されている。この回転棚２１は、縦方向の回転棚軸心２２の周りで回転自在に設けられるとともに、前記回転棚軸心２２を中心とした回転円経路２３上に複数の荷受け部（棚の荷受け部の一例）３２が設けられている。
【００１８】
すなわち、床３上にはベースプレート２４が配設され、このベースプレート２４上には、前記回転棚軸心２２を中心とした円状のＬＭガイド手段２５を介して円板状の回転体２６が設けられている。この回転体２６の中央部分からは、前記回転棚軸心２２上に位置される状態で６角筒状の縦軸体２７が立設され、この縦軸体２７の上端には閉塞板２７Ａが設けられている。そして閉塞板２７Ａの中央部分から立設された縦ピン２８が、前記囲壁体１１の上部に設けられた支持プレート１８に軸受装置２９を介して遊転自在に支持されている。
【００１９】
前記縦軸体２７の上下方向の複数箇所には、６角状の環状板３０が外嵌して配設され、これら環状板３０は複数の取付け部材３１などを介して縦軸体２７に連結されている。各環状板３０の周方向の６箇所（複数箇所）に前記荷受け部３２が配設され、これら荷受け部３２は板枠状であって、その基端が連結具３３を介して環状板３０側に連結されることで、横外方へ突出される状態で環状板３０側に片持ち状で支持されている。
【００２０】
そして荷受け部３２には、上下ならびに遊端（外側）に開放される凹所３４が形成されるとともに、この凹所３４の周辺の３箇所（単数個所または複数箇所）からは位置決めピン３５が立設されている。また、荷受け部３２の基端部分には在荷検出手段の一部を構成する反射ミラー３６が、遊端部分にはレベル検出手段の一部を構成する反射テープ３７がそれぞれその鏡面を後述する移載手段５１の移載軸心５２に向けて設けられている。
【００２１】
前記回転棚２１を回転させる回転棚駆動手段４１が設けられている。すなわち、前記ベースプレート２４の隅部には回転駆動部４２が設けられ、この回転駆動部４２からの下向きの駆動軸４３には駆動ギヤ４４が設けられている。そして前記回転体２６の周縁にはリングギヤ４５が設けられ、このリングギヤ４５に前記駆動ギヤ４４が常時噛合されている。ここで回転駆動部４２は、ＡＣサーボモータや減速機などからなり、前記駆動軸４３を正逆に駆動すべく構成されている。
【００２２】
したがって、回転棚駆動手段４１の回転駆動部４２により駆動軸４３を正逆に駆動させることで、駆動ギヤ４４やリングギヤ４５などを介して回転棚２１を、回転棚軸心２２の周りで正逆に回転し得る。その際に回転棚２１は、最大で１８０°の回転が行われるように構成されている。以上の２２〜４５などにより回転棚２１の一例が構成される。
【００２３】
図１、図３、図６〜図８において、前記荷保管室１５内の他側寄りの位置には前記移載手段５１が配設されている。この移載手段５１の移載作用部８１は、前記回転棚軸心２２に平行状の移載軸心５２の周りで回転自在に設けられるとともに、前記回転円経路２３に接線状に重合される移載円経路５３上で作用自在に構成されている。
【００２４】
すなわち、床３上にはベース枠５４が設けられ、このベース枠５４からポスト体５５が立設されるとともに、このポスト体５５の前面側にはガイドレール５６が設けられている。ここでポスト体５５は、左右一対の側部材５５Ａと、これら側部材５５Ａの内側面間に設けられた後部材５５Ｂと、この後部材５５Ｂの前面側に設けられた前部材５５Ｃとからなり、これら前部材５５Ｃの前面側に、前記ガイドレール５６がそれぞれ設けられている。そしてポスト体５５の上端には上枠５７が設けられ、また前部材５５Ｃにはそれぞれカバー体５８が設けられている。
【００２５】
前記ガイドレール５６に被ガイド体５９を介して昇降自在（ＬＭガイド）に案内される昇降部６０が設けられるとともに、この昇降部６０に連動された昇降駆動手段６１が設けられている。すなわち昇降部６０は、前記被ガイド体５９側に連結された縦方向部材６０Ａと、この縦方向部材６０Ａの下端から前方へと連設された横方向部材６０Ｂとにより、側面視でＬ字状に形成されている。
【００２６】
前記昇降駆動手段６１は、前記ベース枠５４内に配設された駆動輪体６２と、前記上枠５７の部分に配設された従動輪体６３と、両輪体６２，６３間に巻回される回動体（タイミングベルトなど）６４と、前記駆動輪体６２の近くに配設された案内輪体６５と、前記駆動輪体６２に連動された回転駆動部６６などにより構成されている。ここで各輪体６２，６３，６５は左右一対であり、そして回動体６４も左右一対に配設されている。
【００２７】
その際に各回動体６４は、駆動輪体６２に巻回される下位回動部６４Ａと、従動輪体６３に巻回される上位回動部６４Ｂとからなる。そして、ポスト体５５の前面側に位置されるそれぞれの遊端は前記被ガイド体５９側に連結され、また後面側に位置されるそれぞれの遊端間は張力調整具６７を介して連結されている。前記回転駆動部６６は、正逆駆動可能なＡＣサーボモータや減速機などから構成され、その駆動軸６８に一対の駆動輪体６２が取り付けられ、さらにパルスエンコーダ６６Ａ（図１１）が取り付けられている。
【００２８】
前記昇降部６０の横方向部材６０Ｂ上には、前記移載軸心５２の周りで回転自在な回転体７０が設けられ、その際に回転体７０の中央部分から垂設された縦軸７１が横方向部材６０Ｂ側の軸受７２に回転自在に支持されている。そして前記縦軸７１に連動された回転駆動手段７３が設けられている。
【００２９】
すなわち回転駆動手段７３は、前記縦方向部材６０Ａから横方向部材６０Ｂに亘って設けられた回転駆動部７４と、その下向きの駆動軸７５に取り付けられた駆動輪体７６と、前記縦軸７１に取り付けられた従動輪体７７と、両輪体７６，７７間に巻回された無端回動体（タイミングベルトなど）７８と、前記横方向部材６０Ｂ内に配設された複数の案内輪体７９などにより構成されている。ここで前記回転駆動部７４は、正逆駆動可能なステッピングモータなどから構成されている。また従動輪体７７には、回転体７０、すなわち移載作用部８１の向きを検出するために、回転棚２１の荷受け部３２、および後述する４方向の固定棚１０１の荷支持部１０３の向きを向いて定位置検出板８０が固定され、回転棚２１の荷受け部３２の向きの定位置検出板８０を検出するＨＰセンサ８０Ａ、固定棚１０１の荷支持部１０３の各定位置検出板８０を検出する定位置センサ８０Ｂが設けられている。
【００３０】
前記移載作用部８１はフォーク形式であって、前記回転体７０に対して前後方向（横方向）に出退自在に配設され、以て前記移載軸心５２の周りで回転自在に設けられる。すなわち移載作用部８１は、前後方向の支持板８１Ａと、この支持板８１Ａの中間部分から立設されたずれ規制板８１Ｂなどにより構成されている。そして、前記ずれ規制板８１Ｂよりも前方において、支持板８１Ａ上の複数箇所からは位置決めピン８２が立設されている。
【００３１】
前記回転体７０上には、左右一対のレール材８３が前後方向に配設されるとともに、これらレール材８３間でかつ左右方向の中央部分には前後方向のガイド体８４が設けられている。そして、前記支持板８１Ａの後端で下面側には、前記ガイド体８４に外嵌されてＬＭガイドを構成する被ガイド体８５が設けられている。またずれ規制板８１Ｂに、上記反射ミラー３６と反射テープ３７を検出する光電スイッチ８９が設けられている。
【００３２】
前記移載作用部８１を前後方向に出退させる出退駆動手段９０が設けられている。すなわち出退駆動手段９０は、ガイド体８４に沿って配設された螺子軸９１と、前記移載作用部８１の下面側に設けられかつ前記螺子軸９１に螺合されるナット体９２と、前記回転体７０上に搭載されかつ前記螺子軸９１にベルト連動機構９３を介して連動された回転駆動部９４などにより構成されている。ここで回転駆動部９４は、正逆駆動可能なステッピングモータなどから構成されている。また移載作用部８１が最も引き込まれた状態（引限状態）にあることを検出するＨＰセンサ９５（図１１）が設けられている。
【００３３】
なお前記移載作用部８１の支持板８１Ａは、前記荷受け部３２の凹所３４に対して昇降自在に構成されている。そして前記ポスト体５５の部分には、被ガイド体５９側の昇降を許しかつ両カバー体５８間の隙間を閉塞可能な防塵ベルト８７が設けられ、また回転体７０の部分には、移載作用部８１の前後動を許しかつガイド体８４の上方を閉塞可能な防塵ベルト８８が設けられている。
【００３４】
以上の５２〜９５などにより移載手段５１の一例が構成される。そして移載手段５１の移載作用部８１は、前記回転棚軸心２２に平行状の移載軸心５２の周りで回転自在に設けられるとともに、前記回転円経路２３に接線状に重合される移載円経路５３上で作用自在に構成されることになる。
【００３５】
図１、図３、図９、図１０において、前記固定棚１０１は、前記荷保管室１５内の他側寄りの位置でかつ前記移載円経路５３上の４箇所（単数箇所または複数箇所）に設けられている。すなわち囲壁体１１内において、枠組体１２側の上下方向の複数箇所には横方向のフラットバー１０２が連結され、そして各フラットバー１０２には荷支持部（棚の荷受け部の一例）１０３が設けられている。これら荷支持部１０３は板枠状であって、その基端が連結具１０４を介してフラットバー１０２側に連結され、以て横前方へ突出される状態でフラットバー１０２側に片持ち状で支持されている。
【００３６】
そして荷支持部１０３には、上下ならびに遊端（外側）に開放される凹所１０５が形成されるとともに、この凹所１０５の周辺の３箇所（単数個所または複数箇所）からは位置決めピン１０６が立設されている。なお、前記凹所１０５に対して前記移載作用部８１の支持板８１Ａが昇降自在に構成されている。以上の１０２〜１０６などにより固定棚１０１の一例が構成される。
【００３７】
また、荷支持部１０３の基端部分には在荷検出手段の一部を構成する反射ミラー１０７が、遊端部分にはレベル検出手段の一部を構成する反射テープ１０８がそれぞれその鏡面を移載手段５１の移載軸心５２に向けて設けられている。これら反射ミラー１０７と反射テープ１０８はそれぞれ上記光電スイッチ８９により検出される。
【００３８】
図１〜図３、図９において、前記固定棚１０１側には、入庫用荷扱い部１１１と出庫用荷扱い部１１６とが設けられている。すなわち、囲壁体１１における他側の下部外板１３には入庫用貫通部１１２と出庫用貫通部１１７とが形成され、これら貫通部１１２，１１７を通して囲壁体１１の内外に亘る状態で前記荷扱い部１１１，１１６が設けられている。
【００３９】
そして荷扱い部１１１，１１６の内端部分は、最も他側寄りの位置に配設された固定棚１０１内に突入状で位置されている。その際に、荷扱い部１１１，１１６の内端部分は、平面視において屈曲されたのち、固定棚１０１内に真後ろから突入状となり、この突入のために固定棚１０１は、上下の所定段数において荷支持部１０３などが除去されている。
【００４０】
前記荷扱い部１１１，１１６の内端部分は、荷支持部１０３と同様に形成されて移載手段５１が作用可能とされ、そして同様の内部位置決めピン１１３，１１８が設けられている。また前記荷扱い部１１１，１１６の外端部分にも、同様の外部位置決めピン１１４，１１９が設けられている。なお、荷扱い部１１１，１１６の部分には、昇降可能なベルトコンベヤ装置などの搬送手段（図示せず。）が配設されている。また荷扱い部１１１，１１６の遊端部分にはレベル検出手段の一部を構成する反射テープ１０８がそれぞれその鏡面を移載手段５１の移載軸心５２に向けて設けられている。これら反射テープ１０８はそれぞれ上記光電スイッチ８９により検出される。
【００４１】
上述したように、囲壁体１１内には回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とが設けられ、これら回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、回転円経路２３と移載円経路５３との両方とも単数として配設されている。そして固定棚１０１は、前記移載円経路５３上の４箇所（複数箇所）に設けられている。
【００４２】
また、回転棚２１には荷受け部３２群が上下複数段に設けられ、固定棚１０１には荷支持部１０３が上下複数段に設けられている。さらに移載手段５１は、回転棚２１や固定棚１０１の上下複数段に対応して作用可能に構成されている。そして回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、クリーン雰囲気が保たれた囲壁体１１内に配設されている。なおカセット（荷の一例）１２０の下面側には、前記位置決めピン３５，８２，１０６，１１３，１１４，１１８，１１９群の嵌合を許す嵌合部１２１が、凹入長孔状に形成されている。
【００４３】
以下に、上記した第１の実施の形態における作用を説明する。
クリーンルーム１では、天井２側から噴出させたクリーンエアＡを床３の下側に排出させることで、ダウンフロー方式によりクリーン雰囲気を保っている。また、天井２側からのクリーンエアＡの一部を、クリーンルーム１内に設置した荷保管設備１０の囲壁体１１内にダウンフローさせることで、この囲壁体１１内もクリーン雰囲気を保っている。
【００４４】
このようなクリーンルーム１でカセット１２０を荷保管設備１０に入庫して保管するに、まず入庫しようとするカセット１２０を入庫用荷扱い部１１１の外端部分に載置させ、その嵌合部１２１を外部位置決めピン１１４に嵌合させる。その際にカセット１２０は、人手操作や入庫装置により供給される。この入庫用荷扱い部１１１の外端部分に載置させたカセット１２０を搬送手段により搬送し、入庫用貫通部１１２を通して入庫用荷扱い部１１１の内端部分に位置させ、その嵌合部１２１を内部位置決めピン１１３に嵌合させる。
【００４５】
次いで、入庫用荷扱い部１１１の内端部分に位置させたカセット１２０を、移載手段５１により受け取る。その際に図６の実線に示すように、空の移載作用部８１を回転体７０内に退入動させた状態で、この移載作用部８１の回転と昇降とを、同時状にまたはいずれかを先行して相前後して行う。
【００４６】
すなわち移載作用部８１の回転は、回転駆動手段７３における回転駆動部７４を正逆に駆動させ、駆動軸７５を介して駆動輪体７６を正逆に回転させる。これにより、無端回動体７８や従動輪体７７を介して縦軸７１を正逆に回転させ得、以て回転体７０を介して移載作用部８１を、移載軸心５２の周りに正逆に回転させ得る。
【００４７】
また移載作用部８１の昇降は、昇降駆動手段６１における回転駆動部６６を正逆に駆動させ、駆動軸６８を介して駆動輪体６２を正逆に回転させる。これにより、回動体６４を正逆に回動させ得、以て被ガイド体５９や昇降部６０を介して移載作用部８１を昇降し得る。
【００４８】
このようにして移載作用部８１を回転ならびに昇降させることで、この移載作用部８１を、入庫用荷扱い部１１１の内端部分に対して、少し下方のレベルで対抗し得る。
【００４９】
次いで、移載作用部８１を突出動させる。すなわち、出退駆動手段９０における回転駆動部９４を駆動させ、ベルト連動機構９３を介して螺子軸９１を回転させる。これにより、ナット体９２が螺合移動することになって移載作用部８１を突出動させ得、その際に移載作用部８１は、ガイド体８４により被ガイド体８５を案内することで、図６の仮想線で示すように直線状に突出動し得る。この突出動によって移載作用部８１を、入庫用荷扱い部１１１の内端部分に載置させたカセット１２０の下方に位置し得る。
【００５０】
この状態で、前述したような昇降駆動手段６１の動作により、昇降部６０などを介して移載作用部８１を少し上昇させる。すると、移載作用部８１が入庫用荷扱い部１１１の内端部分の凹所を通って上昇し、以て入庫用荷扱い部１１１の内端部分に載置させたカセット１２０を持ち上げ得、その際に位置決めピン８２を嵌合部１２１に嵌合させる。そして出退駆動手段９０を前述とは逆作動させて、移載作用部８１を退入動させることにより、カセット１２０を回転体７０の上方に位置し得る。
【００５１】
次いで、前述と同様に移載作用部８１を回転させるとともに、必要に応じて昇降させることで、カセット１２０を目的とする固定棚１０１の目的とする荷支持部１０３に対抗し得る。このとき移載作用部８１は、荷支持部１０３よりも少し上方に位置している。
【００５２】
そして、前述と同様にして移載作用部８１を突出動させることで、カセット１２０を荷支持部１０３の上方に位置し得、次いで移載作用部８１を少し下降動させることで、カセット１２０を荷支持部１０３上に載置し得る。その際に嵌合部１２１を位置決めピン１０６に嵌合させ、その後に移載作用部８１を退入動させる。これにより、入庫用荷扱い部１１１の内端部分に位置させていたカセツト１２０を固定棚１０１に対して入庫し得る。すなわち、入庫用荷扱い部１１１に供給したカセット１２０を、移載円経路５３上に設けられた固定棚１０１の荷支持部１０３に入庫させる入庫作業を終了する。
【００５３】
また、入庫用荷扱い部１１１の内端部分に位置させたカセット１２０は、回転棚２１にも入庫し得る。すなわち、前述したように入庫用荷扱い部１１１の内端部分に位置させたカセット１２０を、移載手段５１により受け取る作業中に、回転棚２１を先行して回転し準備させる。
【００５４】
この回転棚２１の回転は、回転棚駆動手段４１における回転駆動部４２を正逆に駆動させ、駆動軸４３を介して駆動ギヤ４４を正逆に回転させる。これにより、リングギヤ４５を正逆に回動させ得、以て縦軸体２７などを介して荷受け部３２群を回転棚軸心２２の周りに回転し得る。その際に、荷受け部３２群は回転円経路２３上で回転移動し、そして、目的とする荷受け部３２が移載円経路５３に接線状に重合した位置に達したときに、その回転を停止させる。
【００５５】
なお回転棚２１の回転は、前述した重合位置に対して目的とする荷受け部３２の回転距離が短い方に、最大で１８０°に正または逆に行われ、以て迅速にかつ能率的に回転し得る。また、移載手段５１により受け取る作業中に、回転棚２１を先行して回転し準備させることで、全体の稼動能率を向上し得る。なお、目的とする荷受け部３２が最初から重合位置にあるときには、回転棚２１の回転は行われない。
【００５６】
このように、目的とする荷受け部３２を重合位置に停止させたのち、前述と同様に移載手段５１を作用させることで、移載作用部８１で支持していたカセット１２０を、図１、図５で示すように荷受け部３２上に載置し得る。その際に嵌合部１２１を位置決めピン３５に嵌合させる。これにより、入庫用荷扱い部１１１の内端部分に位置させていたカセット１２０を、回転棚２１の目的とする荷受け部３２上に載置し得、以て入庫用荷扱い部１１１に供給したカセット１２０の回転棚２１に対する入庫作業を終了する。
【００５７】
なお、固定棚１０１に保管しているカセット１２０も、移載手段５１の作動や回転棚２１の回転により、同様にして回転棚２１に移して保管し得る。その際に、固定棚１０１のカセット１２０を移載手段５１により受け取る作業中に、回転棚２１を先行して回転し準備させることで、全体の稼動能率を向上し得る。その際に、目的とする荷受け部３２が最初から重合位置にあるときには、回転棚２１の回転は行われない。
【００５８】
前記移載手段５１を上述とは逆に動作させることによって、カセット１２０の出庫作業を行える。すなわち、回転棚２１の目的とする荷受け部３２上に載置してあるカセット１２０を、出庫用荷扱い部１１６の内端部分に位置させ得、また目的とする固定棚１０１の目的とする荷支持部１０３に上に載置してあるカセット１２０を、出庫用荷扱い部１１６の内端部分に位置させ得る。そして、出庫用荷扱い部１１６の内端部分に位置させたカセット１２０を搬送手段により搬送し、出庫用貫通部１１７を通して出庫用荷扱い部１１６の外端部分に位置させることで、出庫作業を終了する。
【００５９】
なお、回転棚２１に保管しているカセット１２０も、移載手段５１の作動や回転棚２１の回転により、同様にして固定棚１０１に移して（出庫して）保管し得る。
【００６０】
上述したような各動作において、カセット１２０の嵌合部１２１が位置決めピン３５，８２，１０６，１１３，１１４，１１８，１１９に嵌合することで、回転中の遠心力などによってカセット１２０が互いに衝突したり、カセツト１２０が位置ずれしたり脱落することを防止し得る。
【００６１】
上述したように移載手段５１は、移載作用部８１を移載軸心５２の周りに回転させるだけで走行移動などは行わないことから、走行移動などのための占有スペースは不要となり、回転棚２１と固定棚１０１とを含めた全体をコンパクトに構成し得る。
【００６２】
しかも、回転棚２１と固定棚１０１とにより保管量を増加し得るとともに、走行構成のない移載手段５１は移載作用部８１を床近くまで下降し得ることで、それに合わせて、回転棚２１の荷受け部３２による保管レベルと固定棚１０１の荷支持部１０３による保管レベルとを床近くまで下げ得、以て保管量をより増加し得る。したがって、クリーンルーム１のようなクリーン空間をできるだけ狭くしたい場所に容易にかつ好適に採用し得る。
【００６３】
なお、囲壁体１１内にはクリーンエアＡがダウンフロー方式により流れていることで、回転棚２１や移載手段５１などで発生した塵埃を、その流れに乗せて迅速に除去し得る。したがって荷保管室１５においては、充分なクリーン雰囲気（クリーン度）でカセット１２０の保管を行える。
【００６４】
上記カセット１２０の移載（入出庫）を行う目的の回転棚２１の荷受け部３２、固定棚１０１の荷支持部１０３、入庫用荷扱い部１１１、および出庫用荷扱い部１１６に対する、上記移載作用部８１の回転と昇降と出退は、これら各部３２，１０３，１１１，１１６の位置、すなわち回転角度、下降限からの昇降距離、および出退距離を予め学習して行われる。この学習は、コンピュータからなる学習装置１２３により設計時の設定値を補正することによって行われる。この学習装置１２３のブロック図を図１１に示す。
【００６５】
昇降駆動手段６１の回転駆動部６６のパルスエンコーダ６６Ａから出力されるパルスをカウントすることにより移載作用部８１の昇降距離を求める昇降距離検出部１２４が設けられ、
さらに昇降駆動手段６１の回転駆動部６６を駆動して移載作用部８１を昇降させ、光電スイッチ８９が各部の反射テープ３７，１０８により動作したとき昇降距離検出部１２４により求められる移載作用部８１の昇降距離を記憶し、また回転駆動手段７３の回転駆動部７４をパルス駆動して移載作用部８１を回転させ、ＨＰセンサ８０Ａが動作している状態から回転駆動部７４へ出力されたパルスの数をカウントしながら、定位置センサ８０Ｂと光電スイッチ８９が動作したとき前記パルス数の差を記憶することにより、移載作用部８１の周囲の各部３２，１０３，１１１，１１６の位置｛回転角度（回転駆動部７４へ出力するパルスの数）、下降限からの昇降距離；以下ＸＹテーブルと称す｝を求めるＸＹ学習部１２７が設けられ、
移載作用部８１の周囲の各部３２，１０３，１１１，１１６への移載作用部８１の出退距離を求めるＺ学習部１２８（詳細は後述する）が設けられている。
【００６６】
上記移載作用部８１の出退距離の学習は、図１２に示すように、移載作用部８１上にこの移載作用部８１の位置決めピン８２を利用して固定するフォークティーチング用ユニット１３１を使用して行う。
【００６７】
フォークティーチング用ユニット１３１には、移載作用部８１が各部３２，１０３，１１１，１１６に正対した状態で、移載作用部８１が突出動されたときに、荷受け部３２の凹所３４または荷支持部１０３の凹所１０５の一方の先端部（荷受け部の所定位置の一例）３４Ａ，１０５Ａにより光軸が遮断されることにより、この先端部３４Ａ，１０５Ａを検出する光電スイッチ（検出手段の一例）１３２が設けられている。なおフォークティーチング用ユニット１３１には位置決めピン（位置決め手段の一例）８２に合わせて孔部１３３が設けられており、孔部１３３に差し込まれ、位置決めピン８２と孔部１３３を固定する治具１３４により着脱自在に取付けられる。
【００６８】
Ｚ学習部１２８による移載作用部８１の出退の際の出退距離（移動距離）の学習方法について説明する。
まず、移載作用部８１上にこの移載作用部８１の位置決めピン８２を使用して治具１３４によりフォークティーチング用ユニット１３１を固定する。
【００６９】
続いて上記ＸＹ学習部１２７により求められたＸＹテーブルに基づいて昇降駆動手段６１の回転駆動部６６と回転駆動手段７３の回転駆動部７４を駆動して移載作用部８１を各部３２，１０３，１１１，１１６に正対させる。
【００７０】
続いてＨＰセンサ９５が動作している状態で、すなわち移動開始位置から出退駆動手段９０の回転駆動部９４をパルス駆動して移載作用部８１を突出動させ（移動させ）、光電スイッチ１３２が動作したときの出力パルスの数、すなわち移動距離（先端部３４Ａ，１０５Ａを検出するまでの距離）を測定し、その移動距離Ｑ（図１２）を記憶する。
【００７１】
続いてこの移動距離Ｑに先端部３４Ａ，１０５Ａから凹所３４，１０５の所定位置（カセット１２０の卸し,掬い位置）まで予め設定された距離Ｐ（図１２）を加算して出退距離（移動距離）を求める。
【００７２】
上記方法により、移載作用部８１の周囲の各部３２，１０３，１１１，１１６への移載作用部８１の出退距離が求められる。なお、学習後、フォークティーチング用ユニット１３１は移載作用部８１より取り外される。
【００７３】
このように、各部３２，１０３，１１１，１１６の位置、すなわち回転角度、下降限からの昇降距離、および出退距離を予め学習して実際の移載動作を実行することにより、カセット１２０の重みにより回転棚２１や固定棚１０１が撓み、これら棚２１，１０１の上下段と中段の荷受け部３２、荷支持部１０３において位置決めピン３５，１０６が微妙にずれても、支障なく移載を行うことができ、また従来のように稼動を開始する前に、調整員が、各段のそれぞれの荷受け部３２、荷支持部１０３に対して、カセツト１２０を移動させる出退距離を調整する必要がなくなり、自動で効率よく調整でき、また調整にバラツキがでる恐れを回避することができる。
【００７４】
また移載作用部８１上にこの移載作用部８１の位置決めピン８２を使用して治具１３４によりフォークティーチング用ユニット１３１が固定されることにより、ユニット１３１の移載作用部８１への取り付けを容易に行うことができ、作業効率を改善することができる。
【００７５】
次に、本発明の第２〜第５の実施の形態を、図１３に基づいて説明する。
すなわち、図１３の（ａ）は第２の実施の形態を示し、回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、回転円経路２３が２つ（複数）で移載円経路５３が１つ（単数）として配設されている。
【００７６】
また、図１３の（ｂ）は第３の実施の形態を示し、回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、回転円経路２３が３つ（複数）で移載円経路５３が１つ（単数）として配設されている。
【００７７】
そして、図１３の（ｃ）は第４の実施の形態を示し、回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、回転円経路２３が１つ（単数）で移載円経路５３が２つ（複数）として配設されている。
【００７８】
さらに、図１３の（ｄ）は第５の実施の形態を示し、回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、回転円経路２３と移載円経路５３との両方とも２つ（複数）として配設されている。
【００７９】
なお、上記した第１〜第５の実施の形態では、移載手段５１として、回転体７０を移載軸心５２の周りに回転自在とした形式が示されているが、これは、移載作用部８１も含めて移載手段５１の全体を、たとえばポスト体５５の部分に位置される移載軸心の周りに回転自在とした形式などであってもよい。
【００８０】
また上記した第１〜第５の実施の形態では、移載円経路５３上の複数箇所に固定棚１０１が設けられているが、これは単数箇所に固定棚１０１が設けられた形式であってもよい。
【００８１】
また上記した第１〜第５の実施の形態では、回転棚２１は正逆に回転自在であり、最大で１８０°の回転が行われるように構成されているが、これは正逆の回転が１８０°以上で行われる形式や、回転が一方向のみに行われる形式などであってもよい。
【００８２】
また上記した第１〜第５の実施の形態では、固定棚１０１に対する移載手段５１の作業中に、回転棚２１が先行して準備されるように構成されているが、これは固定棚１０１に対する移載手段５１の作業が終了した後に、回転棚２１が準備される形式などであってもよい。
【００８３】
また上記した第１〜第５の実施の形態では、回転棚２１から最も離れた２個の固定棚１０１に対応して、入庫用荷扱い部１１１と出庫用荷扱い部１１６とが設けられているが、これは回転棚２１に接近した固定棚１０１と最も離れた２個の固定棚１０１とに対応して、入庫用荷扱い部１１１と出庫用荷扱い部１１６とが設けられた形式であってもよい。この場合には、両側に振り分けて２組の入庫用荷扱い部１１１と出庫用荷扱い部１１６とを設けることもできる。
【００８４】
次に、本発明の第６の実施の形態を、図１４に基づいて説明する。
すなわち、上記第１〜第５の実施の形態では、荷保管設備は回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１を備えているが、図１４に示す、第６の実施の形態の荷保管設備１４０は回転棚２１を備えてなく、多数の上記凹所１０５が形成された荷支持部１０３からなる前後一対の固定棚１０１’と、上記移載作用部８１を有する移載手段５１’が備えられている。また移載手段５１’は、前後一対の固定棚１０１’の通路内に配設されかつ通路長さのほぼ全長の長さに形成された昇降自在な昇降体１４１と、この昇降体１４１側に支持案内されて通路長さの方向（横方向）に往復移動自在な移動体１４２と、この移動体１４２に設けられ、前後方向に移動して荷支持部１０３に対して作用しカセット１２０の移載を行う前記移載作用部８１などにより構成されている。
【００８５】
このような荷保管設備１４０の移載作用部８１の出退距離の学習を、第１の実施の形態と同様に、上記図１２に示すフォークティーチング用ユニット１３１を使用して行うことにより、第１の実施の形態と同様に、固定棚１０１’の上下段と中段の荷支持部１０３において位置決めピン１０６が微妙にずれても、支障なく移載を行うことができ、また従来のように稼動を開始する前に、調整員が、各段のそれぞれの荷支持部１０３に対して、カセツト１２０を移動させる出退距離を調整する必要がなくなり、自動で効率よく調整でき、また調整にバラツキがでる恐れを回避することができる。
【００８６】
なお、上記した第１〜第６の実施の形態では、移載作用部８１をカセット１２０の底面に作用させる形式が示されているが、これはカセット１２０の側部や上部から側方に突出させた被係止部に下方から係止させる形式などであってもよい。
【００８７】
また上記した第１〜第６の実施の形態では、荷としてカセット１２０が示されているが、これは他の物品でもよく、またパレットを取り扱う形式などであってもよい。
【００８８】
また上記した第１〜第６の実施の形態では、フォークティーチング用ユニット１３１に、荷受け部３２の凹所３４または荷支持部１０３の凹所１０５の一方の先端部３４Ａ，１０５Ａを検出する手段として光電スイッチ１３２を設けているが、光電スイッチに限ることはなく、近接スイッチなど他の検出手段を設けてもよい。またこのフォークティーチング用ユニット１３１を使用して移載作用部８１の出退（移動）距離の測定を行う方法は、スタッカークレーンを使用した自動倉庫においてもそのフォークの出退距離を測定する方法として使用することができる。
【００８９】
また上記した第１〜第６の実施の形態では、回転棚２１、移載手段５１，５１’、固定棚１０１，１０１’がクリーン雰囲気内に配設されているが、これは大気雰囲気内に配設された形式などであってもよい。
【００９０】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、学習により移載作用部の移動距離を予め求めることにより、棚の各荷受け部において位置決めピンが微妙にずれても、支障なく移載を行うことができ、また従来のように稼動を開始する前に、調整員が、各荷受け部それぞれに対して、移載作用部が荷に作用する移動距離を調整する必要がなくなり、自動で効率よく調整でき、また調整にバラツキがでる恐れを回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示し、荷保管設備の横断平面図である。
【図２】同荷保管設備の外観斜視図である。
【図３】同荷保管設備の縦断側面図である。
【図４】同荷保管設備における回転棚の下部の一部切り欠き側面図である。
【図５】同荷保管設備における回転棚の上部の一部切り欠き側面図である。
【図６】同荷保管設備における移載手段の下部の一部切り欠き側面図である。
【図７】同荷保管設備における移載手段の上部の一部切り欠き側面図である。
【図８】同荷保管設備における移載手段の一部切り欠き平面図である。
【図９】同荷保管設備における固定棚の側面図である。
【図１０】同荷保管設備における固定棚の平面図である。
【図１１】同荷保管設備における学習装置のブロック図である。
【図１２】同荷保管設備における移載作用部の学習のためのユニットの取り付け図である。
【図１３】本発明の第２〜第５の実施の形態を示し、（ａ）は第２の実施の形態を示す概略平面図、（ｂ）は第３の実施の形態を示す概略平面図、（ｃ）は第４の実施の形態を示す概略平面図、（ｄ）は第５の実施の形態を示す概略平面図である。
【図１４】本発明の第６の実施の形態を示す荷保管設備の一部切欠斜視図である。
【符号の説明】
１    クリーンルーム
１０    荷保管設備
１５    荷保管室（荷保管空間）
２１    回転棚
２２    回転棚軸心
２３    回転円経路
３２    荷受け部
３４    凹所
３５    位置決めピン
３６，１０７  反射ミラー
３７，１０８  反射テープ
４１    回転棚駆動手段
４２    回転駆動部
５１，５１’    移載手段
５２    移載軸心
５３    移載円経路
６０    昇降部
６１    昇降駆動手段
６６    回転駆動部
７０    回転体
７３    回転駆動手段
７４    回転駆動部
８０Ａ，９５  ＨＰセンサ
８０Ｂ  定位置センサ
８１    移載作用部
８９，１３２    光電スイッチ
９０    出退駆動手段
９４    回転駆動部
１０１，１０１’  固定棚
１０３  荷支持部
１０５  凹所
１１１  入庫用荷扱い部
１１６  出庫用荷扱い部
１２０  カセット（荷）
１２３  学習装置
１３１  フォークティーチング用ユニット
Ａ    クリーンエア
【図１】
0003832292.tif 000002
【図２】
0003832292.tif 000003
【図３】
0003832292.tif 000004
【図４】
0003832292.tif 000005
【図５】
0003832292.tif 000006
【図６】
0003832292.tif 000007
【図７】
0003832292.tif 000008
【図８】
0003832292.tif 000009
【図９】
0003832292.tif 000010
【図１０】
0003832292.tif 000011
【図１１】
0003832292.tif 000012
【図１２】
0003832292.tif 000013
【図１３】
0003832292.tif 000014
【図１４】
0003832292.tif 000015