(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状の光源ランプを備え、
各々、当該光源ランプと平行な軸の周りに回動可能に配置された２つのシャッタ翼よりなるシャッタと、当該シャッタ翼の各々を閉位置と開位置との間で回動させて駆動するシャッタ翼駆動手段とにより構成され、シャッタが閉状態にあるときには光源ランプからの光を遮光し、シャッタが開状態にあるときには当該シャッタ翼の各々の内面における反射ミラーにより光源ランプからの光を反射して照射するシャッタ機構を有する光照射装置において、
シャッタが開状態にあるときには、各々のシャッタ翼における反射ミラーが光源ランプに対して対称となると共に、シャッタが閉状態にあるときには、各々のシャッタ翼の先端部が互いに重なり合うよう、各々のシャッタ翼の回動中心軸は、一方のシャッタ翼における回動中心軸から光反射面までの距離をｈａ、他方のシャッタ翼における回動中心軸から光反射面までの距離をｈｂとするとき、ｈｂ＞ｈａの関係を満足し、開状態にあるときの反射ミラーの対称軸に対して非対称となる位置に配置され、各々のシャッタ翼の先端部の回動半径が互いに異なっていることを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
シャッタ翼駆動手段は、１８０゜の角度範囲で回動する回動リンクに一端が回転自在に連結された連接棒と、この連接棒の他端に回転自在に連結された揺動アームと、この揺動アームに固定的に連結されたシャッタ翼とを含むリンク機構よりなり、  上記回動リンクは両方のシャッタ翼駆動手段の間で共有され、
当該回動リンクの回転運動を揺動運動に変換してシャッタ翼に伝達することにより、当該シャッタ翼を回動中心軸の周りに回動させるものであることを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シャッタ機構を有する光照射装置に関し、詳しくは、閉状態においては遮光シャッタとして機能し、開状態においては反射ミラーとして機能するシャッタ機構を有する光照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
紫外光を照射する光源ランプを備えた光照射装置を用いて、例えば被処理物における保護膜、接着剤、塗料、インキ、フォトレジスト等に対して紫外光を照射することにより、硬化、乾燥、溶融あるいは軟化処理等を行うことが各分野で幅広く行われている。ここで、紫外光を照射する光源ランプとしては、短時間で被処理物の処理を行うことができることから、出力が大きい、例えば棒状の高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等の放電ランプが好適に使用されている。
【０００３】
このような光照射装置において、光源ランプが短いサイクルで繰り返して点灯または消灯させることができない場合、当該光源ランプと同等またはそれ以上の長さを有するシャッタと、これを駆動する駆動手段とからなるシャッタ装置が設けられ、被処理物に対して紫外光を照射しない場合には、シャッタが閉状態とされ、被処理物に対して紫外光を照射する場合には、シャッタが開状態とされて使用される。かかるシャッタ装置においては、シャッタが閉状態にあるときに、光源ランプからの光が漏れないことが必要である。
【０００４】
光照射装置に用いられるシャッタ装置については、従来から種々の構成のものが提案されており、例えば実公平６−１２８２６号公報には、各々が光源ランプに平行な軸の周りに回動可能とされた状態で、光源ランプに対して対称に配置された２つの長板状ミラーからなるシャッタと、長板状ミラーの各々に設けられた駆動機構とにより構成され、シャッタが開状態にあるときに反射鏡の機能を発揮し、シャッタが閉状態にあるときに遮光シャッタの機能を発揮する光照射器のシャッタ装置が開示されている。
このシャッタ装置においては、長板状ミラーの各々の先端部に、各々、形状が異なる遮光片部が設けられており、シャッタが閉状態にあるときに、各々の長板状ミラーの遮光片部を重ね合わせられた状態となることにより、漏光が防止される構成とされている。
【０００５】
しかしながら、このようなシャッタ装置においては、遮光片部を設けることにより、長板状ミラーの構造が複雑になると共に、遮光片部の形状が各々の長板状ミラーで異なるので、２つの長板状ミラーについて同一のものを用いることができず、結局、製造コストが高くなり、有利に製造することができない。
【０００６】
一方、シャッタを開状態から閉状態に移行させる場合には、シャッタが閉状態にあるときの漏光を防止しながら、しかも各々の長板状ミラーの遮光片部どうしが衝突することを防止するために、シャッタ部材をある程度高い位置精度で停止させることが要求される。
【０００７】
このような要求に対して、例えば特許第３０３１８４３号公報には、回動可能とされた２つのシャッタ部材からなるシャッタを備え、一方のシャッタ部材の回動軸が駆動モータに連結されると共に、他方のシャッタ部材の回動軸が例えばセクタ歯車を介して一方のシャッタ部材の回動軸に連結され、従動側となる他方のシャッタ部材の回動軸の回動範囲を規制する一対のストッパが設けられたシャッタ装置が開示されている。
このシャッタ装置によれば、従動側のシャッタ部材に取り付けられたセクタ歯車がストッパに衝突することにより、シャッタが開状態または閉状態における所定の位置にシャッタ部材を停止させることができる。
【０００８】
しかしながら、このようなシャッタ装置においては、シャッタ部材は、等速度で回転される駆動モータの回転速度で駆動されるため、シャッタの開閉動作のたびに、シャッタ部材のセクタ歯車が、駆動モータの回転速度でストッパに衝突することになり、セクタ歯車がストッパに衝突する際の衝撃がそのままシャッタ部材に伝達される。これにより、特に、シャッタ部材の内面に設ける反射ミラーがガラス板に誘電体膜を蒸着し紫外光のみを反射するように製作したコールドミラーである場合に、破損するおそれがある。
【０００９】
また、最近は、紫外光照射量の正確な制御やスループットの向上という観点から、シャッタの開動作または閉動作を、例えば０．１〜０．３秒間という短時間のうちに完了することが求められるようになってきた。このような場合には、駆動モータの回転速度を速くすればよいが、回転速度の増加に伴って上記セクタ歯車がストッパに衝突して停止する際にシャッタ部材に伝達される衝撃も大きくなるため、シャッタ部材における反射ミラーが破損しやすくなる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、２つのシャッタ翼からなるシャッタを備えたシャッタ機構を有し、シャッタ翼に特別な遮光用部材を設けることがなくても、シャッタが閉状態にあるときに光源ランプからの光を確実に遮光することができ、しかもシャッタが開状態にあるときに光源ランプからの光を反射して、被処理物の処理を行うことができる光照射装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、シャッタ翼を停止する際の衝撃がないまたは極めて小さい光照射装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の光照射装置は、棒状の光源ランプを備え、
各々、当該光源ランプと平行な軸の周りに回動可能に配置された２つのシャッタ翼よりなるシャッタと、当該シャッタ翼の各々を閉位置と開位置との間で回動させて駆動するシャッタ翼駆動手段とにより構成され、シャッタが閉状態にあるときには光源ランプからの光を遮光し、シャッタが開状態にあるときには当該シャッタ翼の各々の内面における反射ミラーにより光源ランプからの光を反射して照射するシャッタ機構を有する光照射装置において、
シャッタが開状態にあるときには、各々のシャッタ翼における反射ミラーが光源ランプに対して対称となると共に、シャッタが閉状態にあるときには、各々のシャッタ翼の先端部が互いに重なり合うよう、各々のシャッタ翼の回動中心軸は、一方のシャッタ翼における回動中心軸から光反射面までの距離をｈａ、他方のシャッタ翼における回動中心軸から光反射面までの距離をｈｂとするとき、ｈｂ＞ｈａの関係を満足し、開状態にあるときの反射ミラーの対称軸に対して非対称となる位置に配置され、各々のシャッタ翼の先端部の回動半径が互いに異なっていることを特徴とする。
【００１２】
本発明の光照射装置においては、シャッタ翼駆動手段は、１８０゜の角度範囲で回動する回動リンクに一端が回転自在に連結された連接棒と、この連接棒の他端に回転自在に連結された揺動アームと、この揺動アームに固定的に連結されたシャッタ翼とを含むリンク機構よりなり、
上記回動リンクは両方のシャッタ翼駆動手段の間で共有され、
当該回動リンクの回転運動を揺動運動に変換してシャッタ翼に伝達することにより、当該シャッタ翼を回動中心軸の周りに回動させるものであることを特徴とする。
【００１３】
【作用】
上記の構成によれば、各々のシャッタ翼の先端部の回動半径が互いに異なるので、シャッタの開閉動作において、各々のシャッタ翼を同時に回動させた場合であっても、各々のシャッタ翼の先端部が互いに干渉することがない状態を容易に実現することができると共に、シャッタが閉状態にあるときには、２つのシャッタ翼の先端部が互いに重なり合うので、特別な遮光用部材を用いずに、シャッタ翼のみで漏光を確実に防止することができる。
【００１４】
また、シャッタ翼駆動手段が、上記のような構成のものであることにより、回動リンクの回動角度が１８０゜に接近するにつれて、各々のシャッタ翼は、その駆動速度が次第に減速されて停止するので、停止時における衝撃が０または極めて小さいものとなり、シャッタ翼における反射ミラー等が破損することを確実に防止することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明について詳細に説明する。
図１および図２は、本発明の光照射装置の構成の一例を概略的に示す説明用断面図であり、シャッタが開状態にある場合、およびシャッタが閉状態にある場合の光源ランプに垂直な断面をそれぞれ示している。
この光照射装置１０は、下方に開口する光照射口１２を有し、仕切り板１３により上下に区画された上部室１１Ａおよび下部室１１Ｂを形成するランプハウス１１を備えており、下部室１１Ｂにおける中央部の上方位置には、棒状の光源ランプ１５が光照射口１２に対して平行（紙面に対して垂直な方向）に伸びる状態で配置されている。
図において、光照射口１２には、石英窓１２Ａが設けられているが、これは必須の構成要件ではない。
【００１６】
この光照射装置１０には、光源ランプ１５の長さと同等またはそれ以上の長さを有し、光反射面を有する２つのシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂからなるシャッタと、これらのシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの各々を閉位置と開位置との間で回動させて駆動するシャッタ翼駆動手段２２Ａ、２２Ｂとからなるシャッタ機構２０が設けられており、シャッタが閉状態にあるときには、光源ランプ１５からの光を遮光するシャッタ機能を有し、シャッタが開状態にあるときには、光源ランプ１５からの光を反射して光照射口１２に向かって照射する反射機能を有する。ここに、シャッタについて「開状態」とは、図１に示すように、２つのシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂが共に開位置にある状態をいい、「閉状態」とは、図２に示すように、２つのシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂが共に閉位置にある状態をいう。
【００１７】
２つのシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂは、シャッタが開状態にあるときに、全体が例えば樋状となるよう、光源ランプ１５に対して各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂにおける光反射面が対称に配置されており、各々、光源ランプと平行な回動中心軸２３Ａ、２３Ｂの周りに回動可能とされている。
【００１８】
各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの内面における光反射面は、紫外光のみを反射するように設計された、例えばチタニア（ＴｉＯ2 ）の薄層とシリカ（ＳｉＯ2 ）の薄層とが石英板に交互に積層されてなる誘電体多層蒸着膜により形成されている。
【００１９】
一方のシャッタ翼２１Ａの回動中心軸２３Ａと、他方のシャッタ翼２１Ｂの回動中心軸２３Ｂとは、シャッタが開状態にあるときの光反射面の対称軸Ｓに対して非対称となる位置に配置される。これにより、図２に示すように、シャッタが閉状態にあるときに、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの先端部が上下方向に互いに重なり合う状態となる。
図示の例では、他方のシャッタ翼２１Ｂにおける回動中心軸２３Ｂを通る直線Ｄが他方のシャッタ翼２１Ｂの光反射面と直交する点をＰとするとき、他方のシャッタ翼２１Ｂにおける回動中心軸２３Ｂが、直線Ｄの方向に、一方のシャッタ翼２１Ａの回動中心軸２３Ａと対称の位置より外方に変位された状態とされている。すなわち、一方のシャッタ翼２１Ａにおける回動中心軸２３Ａから点Ｑにおける光反射面までの距離をｈａ、他方のシャッタ翼２１Ｂにおける回動中心軸２３Ｂから点Ｐにおける光反射面までの距離をｈｂとするとき、ｈｂ＞ｈａの関係を満足している。ここに、一方のシャッタ翼２１Ａの光反射面上の点Ｑは、他方のシャッタ翼２１Ｂの光反射面上の点Ｐと同様にして設定されたものである。
【００２０】
一方のシャッタ翼２１Ａを回動させるためのシャッタ翼駆動手段２２Ａは、ランプハウス１１における上部室１１Ａに設置された、例えば駆動モータやロータリアクチュエータなどからなる駆動源（図３における３５）と、この駆動源の回転軸３６に取り付けられた、１８０゜の角度範囲において往復回動する回動リンクである円板２５と、この円板２５に一端が回転自在に連結された連接棒２６Ａと、この連接棒２６Ａの他端に回転自在に連結された揺動アーム２７Ａとにより構成されており、揺動アーム２７Ａに固定的に一方のシャッタ翼２１Ａが連結されて４節リンク機構を形成している。
また、他方のシャッタ翼２１Ｂを回動させるためのシャッタ翼駆動手段２２Ｂについても同様の構成とされており、同一の部材は、Ａの代わりにＢを用いた符号で示されている。
【００２１】
円板２５は、両方のシャッタ翼駆動手段２２Ａ、２２Ｂの間で共有されているが、図３に示すように、各々のシャッタ翼駆動手段２２Ａ、２２Ｂにおける連接棒２６Ａ、２６Ｂは、円板２５に対して垂直な方向（図において右方）に互いに異なるレベル位置で支持されており、両者が干渉することはない。
また、円板２５と連接棒２６Ａとの連結点の位置は、図４に示すように、円板２５の１８０゜の回動運動による、連接棒２６Ａと揺動アーム２７Ａとの連結点２９の揺動角度αが、回動中心軸２３Ａに対して９０゜以下となるよう設定されていることが好ましい。また、他方のシャッタ翼２１Ｂについても同様である。これにより、シャッタ翼２１Ａ、２１Ｂを停止させるときの衝撃を確実に低減させることができると共に、シャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの各々が上記揺動角度αだけ回動することにより、シャッタを開状態から閉状態に、または閉状態から開状態に移行させることができる。
【００２２】
円板２５には、その外周縁より半径方向外方に突出する棒状または平板状の突起部３０が設けられていると共に、一対のストッパ３１、３１が円板２５の回動中心軸（駆動源の回転軸３６）に対するなす角度が１８０゜となる状態、すなわちストッパ３１、３１のレベル位置が円板２５の回動中心軸とほぼ一致する状態で配置されており、突起部３０がストッパ３１に衝突することにより円板２５の回動範囲が規制される構成とされている。
【００２３】
以下、上記の光照射装置１０の動作について説明する。
図１に示すように、シャッタが開状態にあるときには、光源ランプ１５からの光は、光源ランプ１５から直接または各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの光反射面により反射されて、光照射口１２を通過して照射される。
然るに、シャッタが開状態にあるときには、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂにおける光反射面によって、光源ランプ１５から照射される光のうち、光照射口１２方向以外の光が反射されて光照射口１２から照射されるので、光源ランプ１５からの光の利用率を高くすることができると共に、２つのシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂにおける光反射面が、光源ランプ１５に対して対称に配置されているので、均一な照度分布で光を照射することができる。
【００２４】
シャッタを開状態（図１）から閉状態（図２）に移行させる場合には、まず、駆動モータ３５が作動されることにより円板２５が駆動モータ３５の回転軸３６を中心として等速度で１８０゜の角度範囲にわたって回動され、これに伴って、各々の揺動アーム２７Ａ、２７Ｂがそれぞれの連接棒２６Ａ、２６Ｂを介して駆動されて、その一端部が各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの回動中心軸２３Ａ、２３Ｂを中心として９０゜揺動され、これに伴い、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂがそれぞれの回動中心軸２３Ａ、２３Ｂを中心として開位置から閉位置へと回動される。
【００２５】
各々の揺動アーム２６Ａ、２６Ｂには、円板２５の１８０゜の等速円運動が９０゜以下の円弧運動に変換されて伝達され、その駆動速度が円板２５の回動角度に応じて変化しながら駆動する。これにより、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂが、その駆動速度を変化させながら回動される。
具体的には、円板２５の回動角度が０゜から９０゜に達するまで、すなわち各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂがそれぞれの開位置から開位置と閉位置との中間の位置に達するまでの間は、円板２５の回動角度が大きくなるに従って揺動アーム２６Ａ、２６Ｂおよびシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの駆動速度が速くなり、円板２５の回動角度が９０゜に達した時点でこれらの駆動速度が最速となる。
【００２６】
そして、円板２５の回動角度が９０゜を超えると、回動角度が大きくなるに従って揺動アーム２６Ａ、２６Ｂおよびシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの駆動速度が次第に遅くなり、回動角度が１８０゜に達した時点、すなわち円板２５の突起部３０がストッパ３１に衝突した時点で、これらの駆動速度が０になり、図２に示すように、所定の閉位置において各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの先端部が上下方向に互いに重なり合う状態で停止する。
【００２７】
また、シャッタを閉状態から開状態に移行する場合には、駆動モータ３５を上記の移行動作の場合と逆方向に駆動させればよく、シャッタを開状態から閉状態に移行する場合と同様に、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂは、それぞれ駆動速度を変化させながら所定の開位置まで駆動される。
【００２８】
上記の光照射装置１０によれば、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの先端部の回動半径が互いに異なるので、シャッタの開閉動作において、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂを同時に回動させても、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの先端部が互いに干渉することがない状態を容易に実現することができると共に、シャッタが閉状態にあるときには、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの先端部が互いに重なり合うので、シャッタ翼２１Ａ、２１Ｂのみで漏光を確実に防止することができる。その結果、従来例における遮光片部のような特別な遮光用部材が不要となるので、シャッタ機構２０の構造の簡素化を図ることができると共に、２つのシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの基本構造の共通化などを図ることができ、構成部品数および製造工程数を減少させ、シャッタ機構２０を有する光照射装置を有利に製造することができる。
【００２９】
また、円板２５を駆動させると、各々の揺動アーム２７Ａ、２７Ｂの先端部がそれぞれのシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの回動中心軸２３Ａ、２３Ｂを中心とする円弧軌道上を加減速されて駆動されるので、揺動アーム２７Ａ、２７Ｂに連結された各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂは、その駆動速度を変化させながらそれぞれの回動中心軸２３Ａ、２３Ｂを中心として回動され、駆動速度が徐々に減速されて最終的に停止するので、シャッタ停止時に各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂに加えられる衝撃をなくすことができ、破損等の不具合が生じることを防止することができると共に、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの移動量が、円板２５の回動角度範囲の大きさに応じて規制されるので、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂを高い位置精度で停止させることができる。
従って、シャッタの開動作または閉動作を短時間で行うために、駆動モータ等の回転速度を速くしても、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの内面における反射ミラー等が破損することを確実に防止することができる。
【００３０】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明においては、種々の変更を加えることができる。
例えば、各々のシャッタ翼の回動中心軸をシャッタが開状態にあるときの反射ミラーの対称軸に対して非対称に配置する手段としては、図５に示すように、一方のシャッタ翼２１Ａの回動中心軸２３Ａのレベル位置（図５における上下方向の位置）を、他方のシャッタ翼２１Ｂの回動中心軸２３Ｂのレベル位置より上方に変位させてもよい。同図において、Ｈは変位量を示す。
【００３１】
また、シャッタ翼の形状は上記の実施例のものに限定されるものではなく、図６に示すように、平板状のものを用いることができる。そして、図６に示す実施例においても、図５に示す実施例と同様に、一方のシャッタ翼２１Ａの回動中心軸２３Ａのレベル位置（図における上下方向の位置）が、他方のシャッタ翼２１Ｂの回動中心軸２３Ｂのレベル位置よりもＨだけ上方に変位しているので、各々のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの先端部の回動半径の大きさが互いに異なり、両方のシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂが同時に回動しても、シャッタ翼２１Ａ、２１Ｂの先端どうしは干渉することはなく、シャッタが閉状態となったときに、各々のシャッタ翼の先端部が衝突することもなく互いに重なり合う状態で停止する。図６において、４０は補助反射ミラーである。
【００３２】
上記実施例では、２つのシャッタ翼２１Ａ、２１Ｂを１つの駆動源３５によって駆動させたが、１つのシャッタ翼に対して１つの駆動源を設ける構成としてもよい。ただし、この場合には、２つのシャッタ翼が同期して駆動するよう駆動源の動作を制御する必要がある。
また、シャッタ翼駆動機構を構成する個々のリンク（機械要素）は、上記実施例のものに限定されるものではない。例えば回動リンクとして、円板の代わりに棒状部材や平板状部材などを用いることもできる。この場合には、一端部に駆動モータ等の回転軸を連結し、他端部に連接棒を回動可能に連結すればよい。
さらに、揺動アームとシャッタ翼の２つのリンク（機械要素）が一体に形成されたものであってもよく、この場合には、回動運動の中心軸となる位置を固定して配置すればよい。
【００３３】
以上において、本発明の光照射装置は、被処理物における保護膜、接着剤、塗料、インキ、フォトレジスト等の硬化、乾燥、溶融あるいは軟化処理等を行うための処理装置として好適に用いることができる。
【００３４】
【発明の効果】
本発明の光照射装置によれば、２つのシャッタ翼の先端部の回動半径が互いに異なるので、シャッタの開閉動作において、各々のシャッタ翼を同時に回動させても、各々のシャッタ翼の先端部が互いに干渉することがない状態を容易に実現できると共に、シャッタが閉状態にあるときには、２つのシャッタ翼の先端部が互いに重なり合うので、特別な遮光用部材を用いずに、シャッタ翼のみで漏光を確実に防止することができる。
その結果、従来例における遮光片部のような特別な遮光用部材が不要となるので、シャッタ機構の構造の簡素化、構成部品数および製造工程数の減少、２つのシャッタ翼の基本構造の共通化などを図ることができ、シャッタ機構を有する光照射装置を有利に製造することができる。
【００３５】
本発明の光照射装置によれば、回動リンクの回動角度が１８０゜に接近するにつれて、各々のシャッタ翼は、その駆動速度が次第に減速されて停止されるので、停止時における衝撃が０または極めて小さいものとなり、シャッタ翼における反射ミラー等が破損することを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の光照射装置の構成の一例を概略的に示す説明図であり、シャッタ機構が開状態にある場合を示す。
【図２】図１の光照射装置において、シャッタ機構が閉状態にある場合を示す説明図である。
【図３】図１の光照射装置における、回動リンクと連接棒との連結部分を示す説明図である。
【図４】円板および揺動アームの各々の運動の相関関係を示す説明図である。
【図５】本発明の光照射装置の構成の他の例を概略的に示す説明図である。
【図６】本発明の光照射装置の構成の更に他の例を概略的に示す説明図である。
【符号の説明】
１０  光照射装置
１１  ランプハウス
１１Ａ  上部室
１１Ｂ  下部室
１２  光照射口
１２Ａ  出射窓
１３  仕切り板
１５  光源ランプ
２０  シャッタ機構
２１Ａ、２１Ｂ  シャッタ翼
２２Ａ、２２Ｂ  シャッタ翼駆動手段
２３Ａ、２３Ｂ  回動中心軸
Ｓ  光反射面の対称軸
２５  円板
２６Ａ、２６Ｂ  連接棒
２７Ａ、２７Ｂ  揺動アーム
２９  連接棒と揺動アームとの連結点
３０  突起部
３１  ストッパ
３５  駆動源
３６  回転軸
４０  補助反射ミラー
【図１】
0003832230.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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