(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧空気を高圧流通路を介してノズル孔部からデイヒューザ孔部内に噴出させることにより、ノズル孔部とデイヒューザ孔部との間に設けた吸気室内の空気を吸引し、吸気室に連通して設けられた負圧流通路内に負圧を発生させると共に、吸気室と負圧流通路内との間に封止弁を設け、この封止弁の作動によって負圧流通路の封止口をふさいで負圧維持が図れるように形成し、更には前記負圧流通路内に発生した負圧を、当該負圧流通路内の封止弁よりも反吸気室側に破壊流通路を介して高圧空気を流入させることによって負圧破壊するように構成した負圧発生装置において、
封止弁を、封止口の方向に移動自在な封止本体と、この封止本体から封止口の方向に移動自在な封止移動体と、封止移動体の先端に固定されて封止口をふさぐシール部とから形成していると共に、
封止本体は、反封止口方向に付勢して形成され、
封止移動体は、封止口方向に付勢して形成され、
負圧発生時には、圧力差によって封止移動体を反封止口側に移動させることによって吸気室と負圧流通路とを連通させ、
負圧維持時には、封止移動体を封止口側に付勢移動せることによってシール部によって封止口をふさぐことで吸気室と負圧流通路とを閉塞し、
負圧破壊時には、負圧維持時の状態から、封止本体を封止口方向に移動させることによって、封止本体で封止移動体を封止口に押しつけると共に、破壊流通路から高圧空気を負圧流通路中に流入させるように形成したことを特徴とする負圧発生装置。
【請求項２】
高圧流通路と破壊流通路との間に、両流通路の開閉を行う破壊電磁弁を設け、かつ封止本体の反封止口側の面積を封止口の面積よりも大きくなるように形成し、更に前記破壊電磁弁の作動によって、高圧空気を負圧流通路中に流入させると共に、封止本体の反封止口側に流入させて、封止本体を封止口側に移動可能に形成したことを特徴とする請求項１記載の負圧発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は負圧発生装置、更に詳しくはいったん発生させた負圧状態を維持することが容易なだけでなく、その負圧状態を破壊するための負圧破壊が確実に行える負圧発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ワークを吸着して保持したり、あるいは移動させたりするために負圧発生装置に連通させた吸着パッドを用いた負圧吸着装置が、実用に供されてきた。
このような負圧吸着装置は、一般的にはワークを吸着できれば足りるものである。ただ、負圧吸着装置の中で、工場の組み立てラインや、あるいは工業ロボットに用いられる負圧吸着装置もある。このような負圧吸着装置では、一定時間ごとにワークが供給されてくるために、ワークを確実に吸着できるだけでなく、吸着したワークをあらかじめ定めた時間の間に吸着解除する必要があった。更に、負圧を形成するために高圧空気が必要とされることから、高圧空気の発生の節約のために、いったん発生した負圧を、高圧空気の供給なしに維持できることも望まれていた。
【０００３】
そのため、従来から、負圧維持及び負圧破壊が容易に行える負圧発生装置が提供されていた。
このような負圧発生装置としては、たとえば、同一出願人が出願した特開昭５８−９９３９３号公報記載の発明があった。
この発明は、高圧空気を高圧流通路を介してノズル孔部からデイヒューザ孔部内に噴出させることにより、ノズル孔部とデイヒューザ孔部との間に設けた吸気室内の空気を吸引し、吸気室に連通して設けられた負圧流通路内に負圧を発生させると共に、吸気室と負圧流通路内との間に封止弁を設け、この封止弁の作動によって負圧流通路の封止口をふさいで負圧維持が図れるように形成し、更には前記負圧流通路内に発生した負圧を、当該負圧流通路内の封止弁よりも反吸気室側に破壊流通路を介して高圧空気を流入させることによって負圧破壊するように構成した負圧発生装置に関するものである。
【０００４】
そしてここで、封止弁は、吸気室から負圧流通路側にスプリングで押圧され、常態においては封止口をふさぐように形成されているものである。
このような従来の負圧発生装置では、高圧流通路に高圧空気を吹き込むと、この高圧空気がノズル孔部からデイヒューザ部に至る間に、吸気室内の空気を吸引し、吸気室に連通して設けられた負圧流通路内に負圧を発生させることとなる。
【０００５】
なおこの時、封止弁は、スプリングの弾発力に抗して、負圧状態となっている吸気室方向に吸引移動されるので、封止口が解放され、吸気室に連通して設けられた負圧流通路内を負圧にするものである。
したがって、この負圧流通路に吸着パッドを連通させると、吸着パッド中が負圧状態となり、この吸着パッドにワークが吸着できるものである。
【０００６】
このようにしてワークを吸着した後、高圧流通路への高圧空気の吹き込みを停止すると、吸気室で負圧が発生しないので、吸気室内と負圧流通路内とが同一圧力となるか、むしろ逆にデイヒューザ部から外気が吸気室内に侵入するので、吸気室内の方が負圧流通路内よりも高圧となってしまう。
このとき、封止弁がスプリングの弾発力によって封止口をふさぎ、吸気室と負圧流通路とが連通しない状態となるので、負圧流通路に連通している吸着パッドは負圧状態を維持し、ワークを吸着したままの状態となる。
【０００７】
このように負圧状態を維持している時に、負圧破壊を行うためには、破壊流通路を介して高圧空気を、封止口よりも反吸気室側の負圧流通路に流入させることによって、この負圧流通路に連通している吸着パッド中の負圧状態を解除し、吸着パッドからワークを解放するものである。
なおこの負圧破壊を行う際には、負圧流通路を含む吸着パッドまでの体積、あらかじめ与えた負圧状態、ワークの重量等によって、流入させる高圧空気の量が異なってくるものである。
【０００８】
このような従来の負圧発生装置では、負圧状態の維持をスプリングによって封止口に押しつけた封止弁によって行っているために、負圧状態を維持することが極めて容易に行えるものである。
ただ、この封止弁は、スプリングの弾発力に抗して、負圧状態となっている吸気室方向に吸引移動されるものであることから、スプリングをあまり強いものとすることができないこととなっていた。
【０００９】
したがって、負圧破壊を行うために、高圧空気を封止口よりも反吸気室側の負圧流通路に流入させると、この高圧空気によって封止弁がおされ、封止口が開いてしまうこともあった。
このようになってしまうと、負圧破壊を行うための高圧空気のすべてを負圧破壊のために利用することができないこととなってしまっていた。また更に、このとき負圧破壊のために流入させる高圧空気は、各種条件により流入量が異なることとなっていた。
【００１０】
一方、このような負圧吸着装置の中で、工場の組み立てラインや、あるいは工業ロボットに用いられる負圧吸着装置については、一定時間ごとにワークが供給されてくるために、ワークを確実に吸着できるだけでなく、吸着したワークをあらかじめ定めた時間の間に吸着解除する必要があった。
しかしながら前述した従来例のように、高圧空気を封止口よりも反吸気室側の負圧流通路に流入させて負圧破壊を行うこととし、かつ封止口をスプリングの弾発力で押している封止弁でふさいでいると、流入させる高圧空気の一部が吸気室側に流れ、あらかじめ設定したタイミングで負圧破壊が行えないこととなっていた。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明のうち請求項１記載の発明は、従来と同様に負圧維持を行う封止弁を用いるものの、封止弁を封止口の方向に移動自在な封止本体と、この封止本体から封止口の方向に移動自在な封止移動体と、封止移動体の先端に固定されて封止口をふさぐシール部とから形成し、負圧破壊時には封止本体によって封止移動体を封止口方向に押しつけることによって、高圧空気の吸気室側への侵入がなく、あらかじめ設定した高圧空気量のみによって負圧破壊が行える負圧発生装置を提供することを目的としたものである。
【００１２】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明の目的に加えて、封止本体によって封止移動体を封止口方向に押しつけることを、負圧破壊のための破壊電磁弁を用いて、高圧空気を封止本体の反封止口側に流入させて、封止本体を封止口側に移動可能させるように形成することによって、負圧破壊のための電磁弁の作動で、負圧破壊と、高圧空気の吸気室側への侵入防止とを図った負圧発生装置を提供すること目的としたものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明のうちで請求項１記載の発明は、高圧空気を高圧流通路を介してノズル孔部からデイヒューザ孔部内に噴出させることにより、ノズル孔部とデイヒューザ孔部との間に設けた吸気室内の空気を吸引し、吸気室に連通して設けられた負圧流通路内に負圧を発生させると共に、吸気室と負圧流通路内との間に封止弁を設け、この封止弁の作動によって負圧流通路の封止口をふさいで負圧維持が図れるように形成し、更には前記負圧流通路内に発生した負圧を、当該負圧流通路内の封止弁よりも反吸気室側に破壊流通路を介して高圧空気を流入させることによって負圧破壊するように構成した負圧発生装置において、封止弁を、封止口の方向に移動自在な封止本体と、この封止本体から封止口の方向に移動自在な封止移動体と、封止移動体の先端に固定されて封止口をふさぐシール部とから形成していると共に、封止本体は、反封止口方向に付勢して形成され、封止移動体は、封止口方向に付勢して形成され、負圧発生時には、圧力差によって封止移動体を反封止口側に移動させることによって吸気室と負圧流通路とを連通させ、負圧維持時には、封止移動体を封止口側に付勢移動せることによってシール部によって封止口をふさぐことで吸気室と負圧流通路とを閉塞し、負圧破壊時には、負圧維持時の状態から、封止本体を封止口方向に移動させることによって、封止本体で封止移動体を封止口に押しつけると共に、破壊流通路から高圧空気を負圧流通路中に流入させるように形成したことを特徴とする。
【００１４】
また請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の構成に加えて、高圧流通路と破壊流通路との間に、両流通路の開閉を行う破壊電磁弁を設け、かつ封止本体の反封止口側の面積を封止口の面積よりも大きくなるように形成し、更に前記破壊電磁弁の作動によって、高圧空気を負圧流通路中に流入させると共に、封止本体の反封止口側に流入させて、封止本体を封止口側に移動可能に形成したことを特徴とする。
【００１５】
【作用】
請求項１記載の発明では、高圧流通路に高圧空気を吹き込むと、この高圧空気がノズル孔部からデイヒューザ部に至る間に、吸気室内の空気を吸引し、吸気室に連通して設けられた負圧流通路内に負圧を発生させることとなる。
なおこの時、封止弁のうち封止本体は、反封止口方向に付勢された状態となっている。更に、封止移動体は、封止口方向に付勢されているものの、負圧状態となっている吸気室方向に吸引移動されるので、封止口が解放され、吸気室に連通して設けられた負圧流通路内を負圧にするものである。
【００１６】
したがって、この負圧流通路に吸着パッドを連通させると、吸着パッド中が負圧状態となり、この吸着パッドにワークが吸着できるものである。
このようにしてワークを吸着した後、高圧流通路への高圧空気の吹き込みを停止すると、吸気室で負圧が発生しないので、吸気室内と負圧流通路内とが同一圧力となるか、むしろ逆にデイヒューザ部から外気が吸気室内に侵入するので、吸気室内の方が負圧流通路内よりも高圧となってしまう。
【００１７】
このときには、封止弁のうち封止本体は、反封止口方向に付勢された状態のままとなっている。また封止移動体は、封止口方向に付勢されているので、先端のシール部によって封止口をふさぐこととなる。したがって、吸気室と負圧流通路とが連通しない状態となるので、負圧流通路に連通している吸着パッドは負圧状態を維持し、ワークを吸着したままの状態となる。
【００１８】
このように負圧状態を維持している時に、負圧破壊を行うためには、破壊流通路を介して高圧空気を、封止口よりも反吸気室側の負圧流通路に流入させると共に、封止本体を封止口方向に移動させることによって、封止本体で封止移動体を封止口に押しつけるものである。したがって、封止移動体の先端のシール部が封止口をふさぎ、かつ封止移動体が封止本体によって封止口に押しつけられているので、高圧空気が封止体の移動によって吸気室側に流入することなく、負圧流通路に連通している吸着パッド中の負圧状態を解除し、吸着パッドからワークを解放するものである。
【００１９】
ここで、封止本体の移動は、電磁弁等によって行わせることもできるが、請求項２に記載したように、負圧破壊を行わせるための破壊電磁弁の作動によって行わせることもできる。
このように形成すると、負圧破壊のための電磁弁の作動で、負圧破壊と、高圧空気の吸気室側への侵入防止とが図れるものである。
【００２０】
【実施例】
以下、本発明の実施例を、図示例と共に説明する。
図１、図２、図３は、いずれも本発明にかかわる負圧発生装置をしめした断面であり、図１は負圧発生時の位置関係を示した断面図、図２は負圧維持時の位置関係を示した断面図、図３は負圧破壊時の位置関係を示した断面図である。
【００２１】
まず最初に、全体の構成を図１に従って説明する。
この負圧発生装置は、高圧空気を高圧流通路１０を介してノズル孔部２０からデイヒューザ孔部２１内に噴出させることにより、ノズル孔部２０とデイヒューザ孔部２１との間に設けた吸気室３０内の空気を吸引し、吸気室３０に連通して設けられた負圧流通路１１内に負圧を発生させると共に、吸気室３０と負圧流通路１１内との間に封止弁４０を設け、この封止弁４０の作動によって負圧流通路１１の封止口１２をふさいで負圧維持が図れるように形成し、更には前記負圧流通路１１内に発生した負圧を、当該負圧流通路１１内の封止弁４０よりも反吸気室３０側に破壊流通路１３を介して高圧空気を流入させることによって負圧破壊するように構成したものである。
【００２２】
更に詳しく説明すると、負圧発生装置の一方側に設けられた高圧空気導入口５０から、高圧流通路１０が始まっている。
この高圧流通路１０は、破壊用マスターバルブ６０及び発生用マスターバルブ６１を介して、ノズル孔部２０に連通しているものである。またこのノズル孔部２０には、若干の間隙を有してデイヒューザ孔部２１が臨んでおり、更にデイヒューザ孔部２１の外部にはサイレンサ２２が取りつけられている。なお、ノズル孔部２０とデイヒューザ孔部２１との間隙部分が、吸気室３０となっているものである。
【００２３】
なお前記封止弁４０と負圧流通路１１の端部である吸引口５１との間には、フィルタ５２が設けてあると共に、吸引口５１付近には、真空スイッチ５３が設けてある。
ここで、前記高圧空気導入口５０と破壊用マスターバルブ６０との間の高圧流通路１０からは、操作分岐路１４が設けられ、負圧を発生させるための発生電磁弁５４及び負圧破壊を行うための破壊電磁弁５５に連通させてある。
【００２４】
更に、破壊用マスターバルブ６０は、高圧流通路１０と破壊流通路１３との間の破壊口１５の開閉によって、高圧流通路１０にある高圧空気を、破壊流通路１３に送るか否かを制御するものであって、破壊用マスターバルブ６０の一方を破壊電磁弁５５側に連通させ、他方側を破壊流通路１３に連通させてある。この破壊用マスターバルブ６０を更に詳しく説明すると、破壊用マスターバルブ６０は、高圧流通路１０の流通方向に直角となる方向に移動可能となっており、かつ破壊電磁弁５５側の面積の方が高圧流通路１０側の面積よりも大きい面積で高圧空気と接しているものである。また、この破壊用マスターバルブ６０の反破壊電磁弁５５側は、破壊口１５の破壊流通路１３側に達しており、この破壊口１５を破壊流通路１３側から開閉するようになっている。更に、この破壊用マスターバルブ６０の破壊流通路１３側には、破壊用マスターバルブ６０全体を破壊電磁弁５５側に付勢している破壊バルブスプリング６２が設けてある。
【００２５】
そして、この破壊用マスターバルブ６０が破壊電磁弁５５側に位置している時には、破壊用マスターバルブ６０によって破壊口１５をふさぎ、高圧流通路１０の高圧空気が破壊流通路１３に流れることを防止しており、逆に反破壊電磁弁５５側に位置している時は、破壊口１５が開くことによって高圧流通路１０側の圧力によって高圧空気が破壊流通路１３に流れるようになっている。そしてこのような制御が、破壊電磁弁５５によって行われれるものである。
【００２６】
具体的に、破壊電磁弁５５がＯＦＦの時には、操作分岐路１４にある高圧空気を閉塞し、破壊用マスターバルブ６０方向に達しないようにしてある。したがって破壊用マスターバルブ６０は、破壊バルブスプリング６２及び高圧流通路１０中の高圧空気によって破壊電磁弁５５側に押されているので、破壊口１５がふさがれ、その結果、高圧流通路１０中の高圧空気が破壊流通路１３中に流入しないようになっている。
【００２７】
逆に、破壊電磁弁５５がＯＮの時には、操作分岐路１４にある高圧空気を破壊用マスターバルブ６０の背面に送り込んでいる。すると、破壊用マスターバルブ６０は、破壊電磁弁５５側の面積の方が高圧流通路１０側の面積よりも大きい面積となっているので、高圧空気の圧力によって、反破壊電磁弁５５側に移動することとなる。するとこの破壊用マスターバルブ６０の移動に伴って破壊口１５が開き、高圧流通路１０中の高圧空気が破壊流通路１３に流入するものである。
【００２８】
なお、破壊口１５の先の破壊流通路１３には、破壊流量調整つまみ６３が設けてあり、破壊流通路１３に流入する高圧空気の量が調整できるようになっている。
一方、発生用マスターバルブ６１は、高圧流通路１０とノズル孔部２０との間の発生口１６の開閉によって、高圧流通路１０にある高圧空気を、ノズル孔部２０に送るか否かを制御するものであって、発生用マスターバルブ６１の一方を発生電磁弁５４側に連通させ、他方側をノズル孔部２０側に連通させてある。この発生用マスターバルブ６１を更に詳しく説明すると、発生用マスターバルブ６１は、高圧流通路１０の流通方向に一致となる方向に移動可能となっており、かつ発生電磁弁５４側の面積の方が高圧流通路１０側の面積よりも大きい面積で高圧空気と接しているものである。また、この発生用マスターバルブ６１の反発生電磁弁５４側は、発生口１６のノズル孔部２０側に達しており、この発生口１６をノズル孔部２０側から開閉するようになっている。
【００２９】
そして、この発生用マスターバルブ６１が発生電磁弁５４側に位置している時には、発生用マスターバルブ６１によって発生口１６をふさぎ、高圧流通路１０の高圧空気がノズル孔部２０に流れることを防止しており、逆に反発生電磁弁５４側に位置している時は、発生口１６が開くことによって高圧流通路１０側の圧力によって高圧空気がノズル孔部２０に流れるようになっている。そしてこのような制御が、発生電磁弁５４によって行われれるものである。
【００３０】
具体的には、発生電磁弁５４がＯＮの時には、操作分岐路１４にある高圧空気を発生用マスターバルブ６１の背面に送り込んでいる。すると、発生用マスターバルブ６１は、発生電磁弁５４側の面積の方が高圧流通路１０側の面積よりも大きい面積となっているので、高圧空気の圧力によって、反発生電磁弁５４側に移動することとなる。するとこの発生用マスターバルブ６１の移動に伴って発生口１６が開き、高圧流通路１０中の高圧空気がノズル孔部２０に流入するものである。
【００３１】
逆に、発生電磁弁５４がＯＦＦの時には、操作分岐路１４にある高圧空気を閉塞し、発生用マスターバルブ６１方向に達しないようにしてある。したがって発生用マスターバルブ６１は、高圧流通路１０中の高圧空気によって発生電磁弁５４側に押されているので、発生口１６がふさがれ、その結果、高圧流通路１０中の高圧空気がノズル孔部２０中に流入しないようになっている。
【００３２】
次に、本発明で用いている封止弁４０について説明する。
ここでは、封止弁４０を、封止口１２の方向に移動自在な封止本体４１と、この封止本体４１から封止口１２の方向に移動自在な封止移動体４２と、封止移動体４２の先端に固定されて封止口１２をふさぐシール部４３とから形成している。
【００３３】
そして、封止本体４１は、本体スプリング４４によって反封止口１２方向に付勢して形成されている。更に、この封止本体４１の反封止口１２側には封止背空間４５が形成され、この封止背空間４５が、押圧流通路１７によって破壊電磁弁５５に連通している。また封止本体４１の反封止口１２側の面積である封止背空間４５の面積を封止口１２の面積よりも大きくなるように形成してある。そして、破壊電磁弁５５がＯＦＦの時には操作分岐路１４と押圧流通路１７は閉塞されているものの、破壊電磁弁５５がＯＮになった時には、前述したように、破壊用マスターバルブ６０が移動して高圧流通路１０が破壊流通路１３に連通すると共に、操作分岐路１４と押圧流通路１７とが連通することとなる。したがって、高圧流通路１０の高圧空気が操作分岐路１４、押圧流通路１７を介して封止背空間４５に至ることとなり、この高圧空気の圧力で封止本体４１は、本体スプリング４４の弾発力に抗して、封止口１２側に押されることとなる。
【００３４】
一方、封止移動体４２は、移動体スプリング４６によって封止口１２方向に付勢して形成されている。
次に、本発明にかかわる負圧発生装置の作動について説明する。
まず最初に、破壊電磁弁５５及び発生電磁弁５４が共にＯＦＦの状態、すなわち作動前の状態から説明する。この状態は、図２に示した負圧維持時の位置関係を示した断面図と同一状態なので、この図を元に説明する。
【００３５】
まずこの状態で、高圧空気導入口５０を図示しない高圧空気源に連結し、かつ吸引口５１に図示しない吸着パッドを連結する。
そして、この状態から、高圧空気導入口５０に高圧空気を供給する。
するとその高圧空気は、高圧流通路１０から、操作分岐路１４を経て、破壊電磁弁５５及び発生電磁弁５４に至っているものである。またここで、高圧流通路１０中の高圧空気によって、破壊用マスターバルブ６０は破壊電磁弁５５方向に押され、破壊用マスターバルブ６０によって破壊口１５をふさいでいるものである。更に、発生用マスターバルブ６１も発生電磁弁５４側に押され、発生用マスターバルブ６１によって発生口１６がふさがれているものである。また封止弁４０は、本体スプリング４４の弾発力によって封止本体４１が反封止口１２側に位置し、移動体スプリング４６の弾発力によって封止移動体４２が封止口１２側に位置しているものである。
【００３６】
したがってこの状態では、高圧空気が、高圧流通路１０及び操作分岐路１４のみにあることとなる。また封止弁４０は、封止移動体４２先端のシール部４３によって封止口１２をふさいでいるものである。
次に、この状態から、図１に示したように、発生電磁弁５４のみをＯＮさせる。
【００３７】
すると、高圧流通路１０に連通している操作分岐路１４と発生用マスターバルブ６１の発生電磁弁５４側とが連通し、発生用マスターバルブ６１の高圧流通路１０側と発生電磁弁５４側とが同一圧力となる。
すると、発生用マスターバルブ６１は、発生電磁弁５４側の面積の方が高圧流通路１０側の面積よりも大きい面積となっているので、高圧空気の圧力によって、反発生電磁弁５４側に移動することとなる。するとこの発生用マスターバルブ６１の移動に伴って発生口１６が開き、高圧流通路１０中の高圧空気がノズル孔部２０に流入するものである。
【００３８】
このノズル孔部２０に流入した高圧空気は、ついでデイヒューザ孔部２１に至り、やがてサイレンサ２２を介して空中に放出される。ただ、ノズル孔部２０からデイヒューザ孔部２１に至る間に、吸気室３０の空気を吸引して、吸気室３０を負圧にすることとなる。このようにして吸気室３０が負圧になると、吸気室３０と負圧流通路１１との間に圧力差が生じ、やがて封止移動体４２が移動体スプリング４６の弾発力に抗して反封止口１２方向に吸引され、封止口１２を解放することとなる。
【００３９】
その結果、負圧流通路１１までが負圧状態となり、負圧流通路１１の吸引口５１に連結された吸着パッドが負圧状態となってワークの吸着が可能となるものである。
このようにしてワークを吸着した後、再び発生電磁弁５４をＯＦＦにする。
すると、図２に示したような状態となる。
【００４０】
すなわち、発生電磁弁５４がＯＦＦになることによって、高圧流通路１０から、操作分岐路１４を経て発生電磁弁５４に至っている高圧空気が、発生用マスターバルブ６１の発生電磁弁５４までには至らないこととなる。すると、この発生用マスターバルブ６１は、高圧流通路１０の高圧空気の圧力によって発生電磁弁５４側に押されることとなる。したがって、発生用マスターバルブ６１によって発生口１６がふさがれ、高圧空気がノズル孔部２０に至らないこととなっている。
【００４１】
更にこのとき、封止弁４０は、吸気室３０で負圧が発生しないので、吸気室３０内と負圧流通路１１内とが同一圧力となるか、むしろ逆にデイヒューザ孔部２１から外気が吸気室３０内に侵入するので、吸気室３０内の方が負圧流通路１１内よりも高圧となってしまう。
このときには、封止弁４０のうち封止本体４１は、本体スプリング４４によって反封止口１２方向に付勢された状態のままとなっている。また封止移動体４２は、移動体スプリング４６によって封止口１２方向に付勢されているので、先端のシール部４３によって封止口１２をふさぐこととなる。したがって、吸気室３０と負圧流通路１１とが連通しない状態となるので、負圧流通路１１に連通している吸着パッドは負圧状態を維持し、ワークを吸着したままの状態となる。
【００４２】
したがってこの状態では、高圧空気が、高圧流通路１０及び操作分岐路１４にあることとなる。また封止弁４０は、封止移動体４２先端のシール部４３によって封止口１２をふさいでいるために、負圧空気は封止口１２から負圧流通路１１を経て吸着パッドに至る間に存在することとなる。
なおこのように、いったんワークを負圧吸着した後に、その負圧状態を維持したままでワークを吸着保持できるようにすると、消費する高圧空気の量の節約が図れる。
【００４３】
このような、負圧吸着と負圧維持とは、真空スイッチ５３によって行うものである。すなわち、ワークを負圧吸着した後、この真空スイッチ５３によって一定の真空度に達したことが確認されると、発生電磁弁５４をＯＦＦにして負圧維持を図り、高圧空気の量を節約するものである。またこのように発生電磁弁５４をＯＦＦにして負圧維持を図っている時に、徐々に負圧空気が抜けることによってあらかじめ設定した真空度以下となってしまったことを、真空スイッチ５３が検出した時には、再び発生電磁弁５４をＯＮにして、負圧発生を行うものである。
【００４４】
このように負圧状態を維持している時に、負圧破壊を行うためには、図３に示したように、発生電磁弁５４をＯＦＦの状態としたままで、破壊電磁弁５５をＯＮさせることとなる。
すると、操作分岐路１４に達している高圧空気が、破壊電磁弁５５のＯＮ操作に伴って、破壊用マスターバルブ６０及び封止弁４０を移動させることとなる。
【００４５】
すなわち、破壊用マスターバルブ６０の移動は、破壊電磁弁５５のＯＮ操作に伴って、操作分岐路１４にある高圧空気を破壊用マスターバルブ６０の背面に送り込む。すると、破壊用マスターバルブ６０は、破壊電磁弁５５側の面積の方が高圧流通路１０側の面積よりも大きい面積となっているので、高圧空気の圧力によって、反破壊電磁弁５５側に移動することとなる。するとこの破壊用マスターバルブ６０の移動に伴って破壊口１５が開き、高圧流通路１０中の高圧空気が破壊流通路１３に流入することとなる。
【００４６】
またここで、破壊流通路１３に流入する高圧空気の量は、破壊口１５の先の破壊流通路１３に設けられている破壊流量調整つまみ６３によって調整することが可能である。
またこのような破壊用マスターバルブ６０の移動と同時に、破壊電磁弁５５のＯＮ操作に伴って、操作分岐路１４と押圧流通路１７とが連通することとなる。したがって、高圧流通路１０の高圧空気が操作分岐路１４、押圧流通路１７を介して封止背空間４５に至ることとなり、この高圧空気の圧力で封止本体４１は、本体スプリング４４の弾発力に抗して、封止口１２側に押されることとなる。
【００４７】
すると、この封止本体４１の封止口１２方向への移動によって、封止本体４１で封止移動体４２を封止口１２に押しつけることとなる。したがって、封止移動体４２の先端のシール部４３が封止口１２をふさぐように、封止移動体４２が封止本体４１によって封止口１２に押しつけられているものである。このとき、破壊流通路１３からの高圧空気が負圧流通路１１を介して封止移動体４２の反封止本体４１側にも作用しているものの、封止本体４１の反封止口１２側の面積である封止背空間４５の面積を封止口１２の面積よりも大きくなるように形成してあるので、封止本体４１が反封止口１２方向に移動することはない。
【００４８】
すなわちこの実施例では、負圧破壊を行おうとして破壊電磁弁５５をＯＮすると、破壊流通路１３に高圧空気が流入すると共に、封止口１２がふさがれることとなる。
したがって、負圧破壊用の高圧空気が吸気室３０に流入することがなく、あらかじめ設定した量の高圧空気によって、確実に負圧破壊ができ、ワークの解放が行えるものである。
【００４９】
またこのような封止本体４１の移動は、電磁弁等によって行わせることもできるが、この実施例のように、負圧破壊を行わせるための破壊電磁弁５５の作動によって行わせることもできる。
このように形成すると、負圧破壊のための電磁弁の作動で、負圧破壊と、高圧空気の吸気室３０側への侵入防止とが図れるものである。
【００５０】
更に、この実施例のように、封止本体４１の反封止口１２側の面積である封止背空間４５の面積を封止口１２の面積よりも大きくなるように形成し、高圧空気を使って移動させるようにすると、高圧空気の圧力に関係せず、高圧空気の吸気室３０側への侵入防止が図れるものである。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のうち請求項１記載の発明は、従来と同様に負圧維持を行う封止弁を用いるものの、封止弁を封止口の方向に移動自在な封止本体と、この封止本体から封止口の方向に移動自在な封止移動体と、封止移動体の先端に固定されて封止口をふさぐシール部とから形成し、負圧破壊時には封止本体によって封止移動体を封止口方向に押しつけることによって、高圧空気の吸気室側への侵入がなく、あらかじめ設定した高圧空気量のみによって負圧破壊が行えるものである。
【００５２】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明の効果に加えて、封止本体によって封止移動体を封止口方向に押しつけることを、負圧破壊のための破壊電磁弁を用いて、高圧空気を封止本体の反封止口側に流入させて、封止本体を封止口側に移動可能させるように形成することによって、負圧破壊のための電磁弁の作動で、負圧破壊と、高圧空気の吸気室側への侵入防止とを図ったものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】負圧発生時の位置関係を示した断面図である。
【図２】負圧維持時の位置関係を示した断面図である。
【図３】負圧破壊時の位置関係を示した断面図である。
【符号の説明】
１０  高圧流通路                    １１  負圧流通路
１２  封止口                        １３  破壊流通路
１４  操作分岐路                    １５  破壊口
１６  発生口                        １７  押圧流通路
２０  ノズル孔部                    ２１  デイヒューザ孔部
２２  サイレンサ
３０  吸気室
４０  封止弁                        ４１  封止本体
４２  封止移動体                    ４３  シール部
４４  本体スプリング                ４５  封止背空間
４６  移動体スプリング
５０  高圧空気導入口                ５１  吸引口
５２  フィルタ                      ５３  真空スイッチ
５４  発生電磁弁                    ５５  破壊電磁弁
６０  破壊用マスターバルブ          ６１  発生用マスターバルブ
６２  破壊バルブスプリング          ６３  破壊流量調整つまみ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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