(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷保管装置と荷処理装置とが設けられ、前記荷保管装置は、矩形箱状の囲壁体内に荷保管室が形成されるとともに、囲壁体の外板に荷入出部が形成され、前記荷処理装置は、囲壁体内に処理室が形成されるとともに、囲壁体の外板に荷入出部が形成され、これら荷保管装置や荷処理装置の荷入出部は、荷保管装置や荷処理装置の外板間に設けられた隔壁体によって区画形成されたクリーンルームに臨んで設けられ、荷保管装置と荷処理装置との間での荷の受け渡しが、クリーンルーム内で行われるように構成されていることを特徴とする荷取り扱い設備。
【請求項２】
クリーンルーム内には、荷保管装置と荷処理装置との間で荷の受け渡しを行う荷搬送手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の荷取り扱い設備。
【請求項３】
荷保管装置は、回転棚と、固定棚と、これら棚との間で荷を受け渡し自在な移載手段と、この移載手段により荷を受け渡し自在な入出庫手段とを有し、入出庫手段の外端が、荷入出部としてクリーンルーム内に位置されていることを特徴とする請求項１または２記載の荷取り扱い設備。
【請求項４】
回転棚は、縦方向の回転棚軸心の周りで回転自在に構成されるとともに、前記回転棚軸心を中心とした回転円経路上に複数の荷受け部が設けられ、移載手段は前記回転棚の側外方に位置され、その移載作用部が前記回転棚軸心に平行状の移載軸心の周りで回転自在に設けられるとともに、移載作用部は前記回転円経路に接線状に重合される移載円経路上で作用自在に構成され、この移載円経路上に荷支持部を有する固定棚が設けられ、前記荷受け部と荷支持部とはそれぞれ上下複数段に設けられるとともに、前記回転棚と固定棚との少なくとも一方には前記荷受け部や荷支持部を削除した空間部分が形成され、この空間部分を利用して入出庫手段が設けられていることを特徴とする請求項３記載の荷取り扱い設備。
【請求項５】
荷が、被処理物を収納可能なカセットであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の荷取り扱い設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば荷保管装置と荷処理装置との間で荷を移動させるのに採用される荷取り扱い設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の設備としては、たとえば特開平１０−２７９０２３号公報に見られる自動倉庫が提供されている。すなわち、この従来構成は、横方向に多数の格納位置を有する一対のラックが、間隔を置いて平行に配設されている。そして、間隔を走行経路として、一対のラック間に移載装置が設けられるとともに、走行経路の端部外方には、それぞれ回動ラックが設けられている。
【０００３】
前記移載装置は、一方のラックに設置された昇降レールに沿って走行する走行台車と、この走行台車に設けられたターンテーブルと、このターンテーブルに設けられたアームやハンドなどから構成されている。前記ラックには複数の移載ステーションが設けられ、そして各移載ステーションの上方には、天井走行車の走行レールが設けられている。
【０００４】
このような従来構成によると、昇降レールの昇降と、走行台車の走行と、ターンテーブルの回転と、ハンドの作動との組み合わせ動作によって、移載ステーションと、両ラックの格納位置と、回動ラックの棚板との間で物品の受け渡しが行える。その際に、回動ラックは適宜に回動される。また、走行レールを介しての走行によって移載ステーションの上方で停止させた天井走行車により、移載ステーションとの間で物品の受け渡しを行える。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記した従来構成によると、荷が塵埃などを嫌うものであったときには、自動倉庫の部分を含めて全体をクリーンルームに設けなければならず、したがって、設備費や運転費が高価になることなどから容易に採用できない。
【０００６】
さらに、保管量（格納量）を増加するためには、ラックなどの上下高さを高く形成するか、ラックを長く形成しなければならない。ここで、ラックなどを高く形成することは、建屋の規模などから制約を受けることになり、そしてクリーンルームのようなクリーン空間をできるだけ狭くしたい場所には容易に採用できない。また、ラックを長く形成することは、その分、占有スペースが拡大されることになって、クリーンルームのような場所には容易に採用できない。
【０００７】
そこで本発明の請求項１記載の発明は、荷保管装置と荷処理装置との間における荷の移動を、クリーンルームを利用して行えるものでありながら、設備費や運転費を低減し得る荷取り扱い設備を提供することを目的としたものである。
【０００８】
また請求項３、４記載の発明は、荷保管装置の全体をコンパクトに構成し得るものでありながら保管量を増加し得、しかも外部に対する荷の出し入れは保管量をさほど減少させることなく容易に行える荷取り扱い設備を提供することを目的としたものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するために、本発明の請求項１記載の荷取り扱い設備は、荷保管装置と荷処理装置とが設けられ、前記荷保管装置は、矩形箱状の囲壁体内に荷保管室が形成されるとともに、囲壁体の外板に荷入出部が形成され、前記荷処理装置は、囲壁体内に処理室が形成されるとともに、囲壁体の外板に荷入出部が形成され、これら荷保管装置や荷処理装置の荷入出部は、荷保管装置や荷処理装置の外板間に設けられた隔壁体によって区画形成されたクリーンルームに臨んで設けられ、荷保管装置と荷処理装置との間での荷の受け渡しが、クリーンルーム内で行われるように構成されていることを特徴としたものである。
【００１０】
したがって請求項１の発明によると、荷保管装置や荷処理装置を非クリーンルーム（大気室など）に設置し得るものでありながら、荷保管装置と荷処理装置との間における荷の移動はクリーンルームを利用して、充分なクリーン雰囲気で行える。また荷保管装置や荷処理装置の外板を兼用することで、クリーンルームを形成するための隔壁体の材料使用量を減少し得るとともに、相互に補強し合う構成にし得る。
【００１２】
そして本発明の請求項２記載の荷取り扱い設備は、上記した請求項１記載の構成において、クリーンルーム内には、荷保管装置と荷処理装置との間で荷の受け渡しを行う荷搬送手段が設けられていることを特徴としたものである。
【００１３】
したがって請求項２の発明によると、クリーンルーム内における荷保管装置と荷処理装置との間における荷の移動は、荷搬送手段によって容易にかつ自動的に行える。
【００１４】
さらに本発明の請求項３記載の荷取り扱い設備は、上記した請求項１または２記載の構成において、荷保管装置は、回転棚と、固定棚と、これら棚との間で荷を受け渡し自在な移載手段と、この移載手段により荷を受け渡し自在な入出庫手段とを有し、入出庫手段の外端が、荷入出部としてクリーンルーム内に位置されていることを特徴としたものである。
【００１５】
したがって請求項３の発明によると、回転棚を回転させることで、この回転棚に対して移載手段により荷の出し入れを行える。また、固定棚に対して移載手段により荷の出し入れを行える。さらに入出庫手段を作動させることで、クリーンルーム内の荷入出部と移載手段による荷受け渡し位置との間で荷を入出庫し得る。
【００１６】
しかも本発明の請求項４記載の荷取り扱い設備は、上記した請求項３記載の構成において、回転棚は、縦方向の回転棚軸心の周りで回転自在に構成されるとともに、前記回転棚軸心を中心とした回転円経路上に複数の荷受け部が設けられ、移載手段は前記回転棚の側外方に位置され、その移載作用部が前記回転棚軸心に平行状の移載軸心の周りで回転自在に設けられるとともに、移載作用部は前記回転円経路に接線状に重合される移載円経路上で作用自在に構成され、この移載円経路上に荷支持部を有する固定棚が設けられ、前記荷受け部と荷支持部とはそれぞれ上下複数段に設けられるとともに、前記回転棚と固定棚との少なくとも一方には前記荷受け部や荷支持部を削除した空間部分が形成され、この空間部分を利用して入出庫手段が設けられていることを特徴としたものである。
【００１７】
したがって請求項４の発明によると、回転棚を回転棚軸心の周りに回転させて、回転円経路と移載円経路との重合部分に目的とする荷受け部を位置させることで、この荷受け部に対して、移載手段により荷の出し入れを行える。また、移載手段の移載作用部を移載軸心の周りに回転させることで、固定棚の荷支持部に対して、移載手段により荷の出し入れを行える。そして、回転棚の荷受け部群や固定棚の荷支持部群によって、上下高さを最大限に利用して保管量を増加し得るものでありながら、荷受け部や荷支持部を削除して形成した空間部分を利用して配設した入出庫手段によって、荷の出し入れを行える。
【００１８】
また本発明の請求項５記載の荷取り扱い設備は、上記した請求項１〜４のいずれかに記載の構成において、荷が、被処理物を収納可能なカセットであることを特徴としたものである。
【００１９】
したがって請求項５の発明によると、荷保管装置での保管やクリーンルームでの受け渡しは、被処理物を収納したカセット単位で行える。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の第１の実施の形態を、図１〜図１６に基づいて説明する。
図３〜図５において、荷保管装置１０は、矩形箱状の囲壁体１１と、この囲壁体１１内に配設された回転棚２１、移載手段５１、固定棚１０１、ならびに囲壁体１１を貫通して配設された入出庫手段１１１ａ，１１１ｂなどにより構成されている。
【００２１】
前記囲壁体１１は、枠組体１２と、この枠組体１２の外側で下半分に取り付けられた下部外板１３と、枠組体１２の外側で上半分に取り付けられた上部外板１４と、枠組体１２の下側に取り付けられた床板１５と、枠組体１２の上側に取り付けられた天井板１６などにより密閉状に構成されている。その際に、下部外板１３や上部外板１４の少なくとも一部、主として上部外板１４には樹脂製などの透明板が使用され、以て、囲壁体１１内の荷保管室（荷保管空間）１７の状況を、透明板を透して外から把握し得るように構成されている。なお囲壁体１１は、前記床板１５の下面側に設けられた脚体１９を介して床２上に配設されている。
【００２２】
図４〜図７において、前記荷保管室１７内の一側寄りの位置には前記回転棚２１が配設されている。この回転棚２１は、縦方向の回転棚軸心２２の周りで回転自在に設けられるとともに、前記回転棚軸心２２を中心とした回転円経路２３上に複数の荷受け部３２が設けられている。
【００２３】
すなわち底板１５上には、前記回転棚軸心２２を中心とした円状のＬＭガイド手段２５を介して円板状の回転体２６が設けられている。この回転体２６の中央部分からは、前記回転棚軸心２２上に位置される状態で６角筒状の縦軸体２７が立設され、この縦軸体２７の上端には閉塞板２７Ａが設けられている。そして閉塞板２７Ａの中央部分から立設された縦ピン２８が、前記囲壁体１１の上部に設けられた支持プレート２０に対して、軸受装置２９を介して遊転自在に支持されている。
【００２４】
前記縦軸体２７の上下方向の複数箇所には、６角状の環状板３０が外嵌して配設され、これら環状板３０は複数の取付け部材３１などを介して縦軸体２７に連結されている。各環状板３０の周方向の６箇所（複数箇所）に前記荷受け部３２が配設され、これら荷受け部３２は板枠状であって、その基端が連結具３３を介して環状板３０側に連結されることで、横外方へ突出される状態で環状板３０側に片持ち状で支持されている。
【００２５】
そして荷受け部３２には、上下ならびに遊端（外側）に開放される凹所３４が形成されるとともに、この凹所３４の周辺の３箇所（単数個所または複数箇所）からは位置決めピン３５が立設されている。また、荷受け部３２の基端部分には在荷検出手段の一部を構成する反射ミラー３６が、遊端部分にはレベル検出手段の一部を構成する反射テープ３７がそれぞれ設けられている。
【００２６】
前記回転棚２１を回転させる回転棚駆動手段４１が設けられている。すなわち、前記底板１５の隅部には回転駆動部４２が設けられ、この回転駆動部４２からの下向きの駆動軸４３には駆動ギヤ４４が設けられている。そして前記回転体２６の周縁にはリングギヤ４５が設けられ、このリングギヤ４５に前記駆動ギヤ４４が常時噛合されている。ここで回転駆動部４２は、モータや減速機などからなり、前記駆動軸４３を正逆に駆動すべく構成されている。
【００２７】
したがって、回転棚駆動手段４１の回転駆動部４２により駆動軸４３を正逆に駆動させることで、駆動ギヤ４４やリングギヤ４５などを介して回転棚２１を、回転棚軸心２２の周りで正逆に回転し得る。その際に回転棚２１は、最大で１８０°の回転が行われるように構成されている。以上の２２〜４５などにより回転棚２１の一例が構成される。
【００２８】
図４、図５、図８〜図１０において、前記荷保管室１７内の他側寄りの位置には前記移載手段５１が配設されている。この移載手段５１の移載作用部８１は、前記回転棚軸心２２に平行状の移載軸心５２の周りで回転自在に設けられるとともに、前記回転円経路２３に接線状に重合される移載円経路５３上で作用自在に構成されている。
【００２９】
すなわち、底板１５上にはベース枠５４が設けられ、このベース枠５４からポスト体５５が立設されるとともに、このポスト体５５の前面側にはガイドレール５６が設けられている。ここでポスト体５５は、左右一対の側部材５５Ａと、これら側部材５５Ａの内側面間に設けられた後部材５５Ｂと、この後部材５５Ｂの前面側に設けられた前部材５５Ｃとからなり、これら前部材５５Ｃの前面側に、前記ガイドレール５６がそれぞれ設けられている。そしてポスト体５５の上端には上枠５７が設けられ、また前部材５５Ｃにはそれぞれカバー体５８が設けられている。
【００３０】
前記ガイドレール５６に被ガイド体５９を介して昇降自在（ＬＭガイド）に案内される昇降部６０が設けられるとともに、この昇降部６０に連動された昇降駆動手段６１が設けられている。すなわち昇降部６０は、前記被ガイド体５９側に連結された縦方向部材６０Ａと、この縦方向部材６０Ａの下端から前方へと連設された横方向部材６０Ｂとにより、側面視でＬ字状に形成されている。
【００３１】
前記昇降駆動手段６１は、前記ベース枠５４内に配設された駆動輪体６２と、前記上枠５７の部分に配設された従動輪体６３と、両輪体６２，６３間に巻回される回動体（タイミングベルトなど）６４と、前記駆動輪体６２の近くに配設された案内輪体６５と、前記駆動輪体６２に連動された回転駆動部６６などにより構成されている。ここで各輪体６２，６３，６５は左右一対であり、そして回動体６４も左右一対に配設されている。
【００３２】
その際に各回動体６４は、駆動輪体６２に巻回される下位回動部６４Ａと、従動輪体６３に巻回される上位回動部６４Ｂとからなる。そして、ポスト体５５の前面側に位置されるそれぞれの遊端は前記被ガイド体５９側に連結され、また後面側に位置されるそれぞれの遊端間は張力調整具６７を介して連結されている。前記回転駆動部６６は、正逆駆動可能なモータや減速機などから構成され、その駆動軸６８に一対の駆動輪体６２が取り付けられている。
【００３３】
前記昇降部６０の横方向部材６０Ｂ上には、前記移載軸心５２の周りで回転自在な回転体７０が設けられ、その際に回転体７０の中央部分から垂設された縦軸７１が横方向部材６０Ｂ側の軸受７２に回転自在に支持されている。そして前記縦軸７１に連動された回転駆動手段７３が設けられている。
【００３４】
すなわち回転駆動手段７３は、前記縦方向部材６０Ａから横方向部材６０Ｂに亘って設けられた回転駆動部７４と、その下向きの駆動軸７５に取り付けられた駆動輪体７６と、前記縦軸７１に取り付けられた従動輪体７７と、両輪体７６，７７間に巻回された無端回動体（タイミングベルトなど）７８と、前記横方向部材６０Ｂ内に配設された複数の案内輪体７９などにより構成されている。ここで前記回転駆動部７４は、正逆駆動可能なモータや減速機などから構成されている。
【００３５】
前記移載作用部８１はフォーク形式であって、前記回転体７０に対して前後方向（横方向）に出退自在に配設され、以て前記移載軸心５２の周りで回転自在に設けられる。すなわち移載作用部８１は、前後方向の支持板８１Ａと、この支持板８１Ａの中間部分から立設されたずれ規制板８１Ｂなどにより構成されている。そして、前記ずれ規制板８１Ｂよりも前方において、支持板８１Ａ上の複数箇所からは位置決めピン８２が立設されている。
【００３６】
前記回転体７０上には、左右一対のレール材８３が前後方向に配設されるとともに、これらレール材８３間でかつ左右方向の中央部分には前後方向のガイド体８４が設けられている。そして、前記支持板８１Ａの後端で下面側には、前記ガイド体８４に外嵌されてＬＭガイドを構成する被ガイド体８５が設けられている。
【００３７】
前記移載作用部８１を前後方向に出退させる出退駆動手段９０が設けられている。すなわち出退駆動手段９０は、ガイド体８４に沿って配設された螺子軸９１と、前記移載作用部８１の下面側に設けられかつ前記螺子軸９１に螺合されるナット体９２と、前記回転体７０上に搭載されかつ前記螺子軸９１にベルト連動機構９３を介して連動された回転駆動部９４などにより構成されている。ここで回転駆動部９４は、正逆駆動可能なモータや減速機などから構成されている。
【００３８】
なお前記移載作用部８１の支持板８１Ａは、前記荷受け部３２の凹所３４に対して昇降自在に構成されている。そして前記ポスト体５５の部分には、被ガイド体５９側の昇降を許しかつ両カバー体５８間の隙間を閉塞可能な防塵ベルト８７が設けられ、また回転体７０の部分には、移載作用部８１の前後動を許しかつガイド体８４の上方を閉塞可能な防塵ベルト８８が設けられている。
【００３９】
以上の５２〜９４などにより移載手段５１の一例が構成される。そして移載手段５１の移載作用部８１は、前記回転棚軸心２２に平行状の移載軸心５２の周りで回転自在に設けられるとともに、前記回転円経路２３に接線状に重合される移載円経路５３上で作用自在に構成されることになる。
【００４０】
図４、図５、図１１、図１２において、前記固定棚１０１は、前記荷保管室１７内の他側寄りの位置でかつ前記移載円経路５３上の４箇所（単数箇所または複数箇所）に設けられている。すなわち囲壁体１１内において、枠組体１２側の上下方向の複数箇所には横方向のフラットバー１０２が連結され、そして各フラットバー１０２には荷支持部１０３が設けられている。これら荷支持部１０３は板枠状であって、その基端が連結具１０４を介してフラットバー１０２側に連結され、以て横前方へ突出される状態でフラットバー１０２側に片持ち状で支持されている。
【００４１】
そして荷支持部１０３には、上下ならびに遊端（外側）に開放される凹所１０５が形成されるとともに、この凹所１０５の周辺の３箇所（単数個所または複数箇所）からは位置決めピン１０６が立設されている。なお、前記凹所１０５に対して前記移載作用部８１の支持板８１Ａが昇降自在に構成されている。以上の１０２〜１０６などにより固定棚１０１の一例が構成される。
【００４２】
図３〜図５、図１２〜図１６において、前記移載円経路５３上の４箇所に設けられた固定棚１０１のうちで、前記回転棚２１とは離れた側の２箇所（単数箇所または複数箇所）の固定棚１０１の下部には、下から３段分（下から複数段分）の荷支持部１０３を削除して空間部分１０７が形成されている。そして、これら空間部分１０７を利用して、前記移載手段５１との間で荷を受け渡し自在な入出庫手段が設けられている。その際に入出庫手段の入出庫方向は、回転棚軸心２２と移載軸心５２とを結んだ線１０９に対して平行状に設定されている。
【００４３】
すなわち、囲壁体１１における他側の下部外板１３には、両空間部分１０７に対向されてそれぞれ入庫用貫通部１１０ａと出庫用貫通部１１０ｂが形成され、これら貫通部１１０ａ，１１０ｂを通して囲壁体１１の内外に亘る状態で、入庫手段（入出庫手段）１１１ａと出庫手段（入出庫手段）１１１ｂとが設けられている。
【００４４】
ここで入庫手段１１１ａと出庫手段１１１ｂは同様な構成であって、囲壁体１１の内外に亘る箱枠状の本体１１２を有し、この本体１１２上の外端部分には一時受け体１１３が設けられている。この一時受け体１１３は一枚板状または分割板状であって、凹所や貫通などによって昇降作用部１１４が形成されるとともに、この昇降作用部１１４の周辺の３箇所（単数個所または複数箇所）からは位置決めピン１１５が立設されている。
【００４５】
前記本体１１２内には、ガイド体１１６に支持案内されて内外方向（前後方向）に移動自在な移動部材１１７と、この移動部材１１７を内外方向に移動させる移動装置１１８とが設けられている。
【００４６】
ここで移動装置１１８は、移動部材１１７側に設けられた駆動部（モータなど）１１９と、この駆動部１１９からの左右方向の出力軸１２０に取り付けられたタイミングプーリ１２１と、このタイミングプーリ１２１の上方で内外方向の２箇所において移動部材１１７側に遊転自在に設けられたガイドプーリ１２２と、これらタイミングプーリ１２１からガイドプーリ１２２に亘って掛けられたタイミングベルト１２３などによって構成されている。なおタイミングベルト１２３の両端は、前記本体１１２側の内外端部に固定１２４されている。
【００４７】
前記移動部材１１７には昇降装置１２５が設けられている。この昇降装置１２５は、移動部材１１７側に軸受１２６を介して回転自在に設けられた縦方向の螺子軸体１２７と、移動部材１１７側に設けられた正逆駆動自在な駆動部（モータなど）１２８と、この駆動部１２８からの下向きの出力軸１２９と前記螺子軸体１２７との間に設けられた無端連動機構１３０と、前記螺子軸体１２７に螺合されたナット体１３１と、このナット体１３１を昇降案内すべく移動部材１１７側との間に設けられたガイド機構１３２などにより構成されている。そしてナット体１３１側に昇降部材１３３が連結されている。
【００４８】
これら昇降部材１３３には旋回装置１３５が設けられている。この旋回装置１３５は、昇降部材１３３側に連結されたブラケット１３６と、このブラケット１３６側に軸受１３７を介して回転自在に設けられた縦方向の軸体１３８と、ブラケット１３６側に設けられた正逆駆動自在な駆動部（モータなど）１３９と、この駆動部１３９からの上向きの出力軸１４０と前記軸体１３８との間に設けられた無端連動機構１４１などにより構成されている。そして軸体１３８の上端に昇降体１４２が連結されている。ここで昇降体１４２は板状であり、前記一時受け体１１３の昇降作用部１１４に対して嵌合自在に構成されている。
【００４９】
なお、本体１１２上の内端部分で、所定の３箇所（単数個所または複数箇所）からは位置決めピン１４３が立設されている。前記本体１１２などは、貫通部１１０ａ，１１０ｂに対して直角状で通り、以て入庫手段１１１ａと出庫手段１１１ｂの入出庫方向１４５は、回転棚軸心２２と移載軸心５２とを結んだ線１０９に対して平行状に設定されている。以上の１１２〜１４５などにより入庫手段１１１ａや出庫手段１１１ｂの一例が構成される。
【００５０】
前記出庫手段１１１ｂにおける外端部の側方にはストレージ手段１５１が一体状に設けられている。すなわち、前記本体１１２に一体状とした箱枠状の本体１５２が、この本体１１２とによって平面視でＬ字状として配設されている。前記本体１５２上の遊端部分（出庫手段１１１ｂとは離れた側）には一時受け体１５３が設けられている。この一時受け体１５３は一枚板状であって、凹所によって昇降作用部１５４が形成されるとともに、この昇降作用部１５４の周辺の３箇所（単数個所または複数箇所）からは位置決めピン１５５が立設されている。
【００５１】
前記本体１５２内には、ガイド体１５６に支持案内されて左右方向に移動自在な移動部材１５７と、この移動部材１５７を内外方向に移動させる移動装置１５８とが設けられている。ここで移動装置１５８は前記移動装置１１８と同様であって、駆動部１５９、出力軸１６０、タイミングプーリ１６１、ガイドプーリ１６２、タイミングベルト１６３などによって構成されている。そしてタイミングベルト１６３の両端は、前記本体１５２側の端部に固定１６４されている。
【００５２】
前記移動部材１５７には昇降装置１６５が設けられている。この昇降装置１６５は前記昇降装置１２５と同様であって、軸受１６６、螺子軸体１６７、駆動部１６８、出力軸１６９、無端連動機構１７０、ナット体１７１、ガイド機構１７２などにより構成されている。そしてナット体１７１側に、昇降部材１７３を介して昇降体１７４が連結されている。ここで昇降体１７４は板状であり、前記一時受け体１１３，１５３の昇降作用部１１４，１５４に対して嵌合自在に構成されている。以上の１５２〜１７４などによりストレージ手段１５１の一例が構成される。
【００５３】
上述したように、囲壁体１１内には回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とが設けられ、これら回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、回転円経路２３と移載円経路５３との両方とも単数として配設されている。そして固定棚１０１は、前記移載円経路５３上の４箇所（複数箇所）に設けられている。
【００５４】
また、回転棚２１には荷受け部３２群が上下複数段に設けられ、固定棚１０１には荷支持部１０３が上下複数段に設けられている。さらに移載手段５１は、回転棚２１や固定棚１０１の上下複数段に対応して作用可能に構成されている。なおカセット（荷の一例）７の下面側には、前記位置決めピン３５，８２，１０６，１１５，１４３，１５５群の嵌合を許す嵌合部８が、凹入長孔状に形成されている。ここでカセット７は、被処理物（図示せず。）を収納可能に構成されている。
【００５５】
図１〜図３において、前記荷保管装置１０は、その入庫手段１１１ａと出庫手段１１１ｂとの外端部分によって、その下部外板（外板）１３の外方部分に荷入出部１４８が形成されている。かかる荷保管装置１０は、その荷入出部１４８が所定のスペースをおいて相対向された状態で一対が配設されている。そして両荷保管装置１０の側方には、所定間隔を置いた状態でそれぞれ複数の荷処理装置１８０が併設されている。ここで荷処理装置１８０は、荷保管装置１０に対して同方向に所定間隔を置いた状態で併設されており、以て荷処理装置１８０群は前述した所定のスペースをおいて相対向されることになる。
【００５６】
前記荷処理装置１８０は、囲壁体１８１内に処理室１８２が形成されており、この処理室１８２内には各種の処理手段（図示せず。）が設けられている。前記囲壁体１８１の前板となる外板１８３の外方部分に荷入出部１８４が形成され、この荷入出部１８４は、搬入装置１８５や搬出装置１８６などにより構成されている。
【００５７】
上述したように併設された荷保管装置１０と荷処理装置１８０群との外板１３，１４、１８３間などには隔壁体１８７が設けられている。そして隔壁体１８７などにより囲まれた域、すなわち前述した所定のスペースの箇所がクリーンルーム５に形成されている。これにより荷保管装置１０と荷処理装置１８０とは、その外板１３，１４、１８３が隔壁体１８７の一部に兼用されるとともに、この外板１３，１８３に形成された荷入出部１１８，１８４がクリーンルーム５に臨んで設けられることになる。
【００５８】
前記クリーンルーム５は、たとえば天井１側にフィルター３が設けられ、そして床２側に吸引用のグレーチング床（多孔板）４が設けられて構成されており、以てフィルター３を通してクリーンエアＡが噴出され、このクリーンエアＡがグレーチング床４を通して吸引されるダウンフロー方式とされている。これによりクリーンルーム５内はクリーン雰囲気とされている。
【００５９】
前記クリーンルーム５内には、荷保管装置１０と荷処理装置１８０との間でのカセット７の受け渡しを行う荷搬送手段１９１が設けられ、以てカセット７の受け渡しが、クリーンルーム５内で行われるように構成されている。
【００６０】
前記荷搬送手段１９１は、天井側のレール装置１９２と、このレール装置１９２に支持案内され自動走行自在な吊り走行形式の移動体１９３と、この移動体１９３の下部側に設けられた荷保持部１９４などにより構成されている。そして荷保持部１９４には、荷吊り装置１９５が昇降動自在に設けられている。ここで、荷搬送手段１９１による搬送経路１９６は、各荷入出部１１８，１８４の上方間を結ぶ状態で無端状に形成されている。
【００６１】
上記した荷保管装置１０、荷処理装置１８０、荷搬送手段１９１などからなる荷取り扱い設備２０１は、クリーンルーム５間が連絡用クリーンルーム２０２を介して連通された状態で、複数設けられている。そして荷取り扱い設備２０１間では、搬送経路１９６間が連絡経路２０３を介して連絡されている。
【００６２】
前記連絡経路２０３などの上方には、前記荷保管装置１０における上部外板１４の外側を通る上部搬送手段２１１が設けられている。すなわち上部搬送手段２１１は、天井側のレール装置２１２と、このレール装置２１２に支持案内され自動走行自在な移動体２１３と、この移動体２１３の上部側に設けられた荷支持部２１４などにより構成されている。ここで荷支持部２１４は、たとえばフォーク形式などからなる。
【００６３】
前記囲壁体１１の上部外板１４には、搬送手段２１１との間でカセット７の受け渡しを行うための荷通過部２１５が形成されている。すなわち、回転棚２１に近い側において、上部外板１４には荷通過部２１５が開口により形成されている。そして、荷通過部２１５を通して移動体２１３の荷支持部２１４がフォーク動されることで、目的とする荷受け部３２との間でカセット７を受け渡し自在に構成されている。
【００６４】
なお、荷通過部２１５の部分に、前記移動体２１３の荷支持部２１４との間でカセット７を受け渡し自在な、たとえばフォーク形式などからなる受け渡し手段が設けられた形式などであってもよい。さらには搬送手段２１１などが省略された形式などであってもよい。
【００６５】
以下に、上記した第１の実施の形態における作用を説明する。
クリーンルーム５や連絡用クリーンルーム２０２では、天井１側のフィルター３を通して噴出させたクリーンエアＡをグレーチング床４の下側に排出させることで、ダウンフロー方式によりクリーン雰囲気を保っている。このようなクリーンルーム５を利用して、カセット７を荷保管装置１０に入庫して保管するに、まず入庫しようとするカセット７を入庫手段１１１ａの始端部分（外端部分）に載置させる。
【００６６】
すなわち、荷搬送手段１９１の作動などによって、図１３のＥに示すように、入庫手段１１１ａにおける一時受け体１１３上に、入庫しようとするカセット７を載置させ、位置決めピン１１５に嵌合部８を嵌合させる。この前後に、下降しかつ正姿勢の昇降体１４２を昇降作用部１１４の下方に位置させている。
【００６７】
この状態で、まず昇降装置１２５の駆動部１２８を作動させ、無端連動機構１３０などを介して螺子軸体１２７を回転させる。すると、螺子軸体１２７の回転に伴ってナット体１３１が上昇し、昇降部材１３３を介して旋回装置１３５を上昇させ、以て旋回装置１３５側の軸体１３８に連結している昇降体１４２を上昇させる。この上昇する昇降体１４２は昇降作用部１１４を通り、図１４の仮想線に示すように、一時受け体１１３上のカセット７を持ち上げる。
【００６８】
次いで移動装置１１８の駆動部１１９を作動させ、タイミングベルト１２３が掛けられているタイミングプーリ１２１を駆動回転させることで、移動部材１１７をガイド体１１６に支持案内させながら入庫手段１１１ａの終端部分（内端部分）に向け移動させる。このとき、昇降装置１２５や旋回装置１３５を介して昇降体１４２も移動し、以てカセット７を、入庫用貫通部１１０ａを通して囲壁体１１内に搬送したのち、図１３のＦや図１４の実線に示すように終端部分で停止し得る。これによりカセット７を、図１１に示すように、固定棚１０１の下部に形成した空間部分１０７などに位置し得る。
【００６９】
そして、旋回装置１３５の駆動部１３９を作動させ、無端連動機構１４１などを介して軸体１３８を回転させ、以て図１３のＧに示すように、昇降体１４２を介してカセット７の向きを傾斜方向に変更させる。すなわちカセット７を、固定棚１０１の荷支持部１０３により支持し得る向きに変更させる。
【００７０】
次いで、昇降装置１２５の駆動部１２８を逆作動させ、無端連動機構１３０などを介して螺子軸体１２７を逆回転させる。すると、螺子軸体１２７の逆回転に伴ってナット体１３１が下降し、昇降部材１３３を介して旋回装置１３５を下降させることになって、旋回装置１３５側の軸体１３８に連結している昇降体１４２を下降させる。この下降する昇降体１４２は位置決めピン１４３間を通り、以てカセット７を、その嵌合部８を位置決めピン１４３に嵌合させた状態で本体１１２側に載置させる。
【００７１】
そして旋回装置１３５の駆動部１３９を逆作動させ、無端連動機構１４１などを介して軸体１３８を逆回転させ、以て昇降体１４２の向きを正姿勢に変更させる。次いで移動装置１１８の駆動部１１９を逆作動させ、タイミングベルト１２３が掛けられているタイミングプーリ１２１を逆に駆動回転させることで、移動部材１１７を入庫手段１１１ａの始端部分（外端部分）に向け移動させる。このとき、昇降装置１２５や旋回装置１３５を介して昇降体１４２も移動し、以て下降しかつ正姿勢の昇降体１４２を昇降作用部１１４の下方に位置させ、最初の状態に戻し得る。
【００７２】
次いで、入庫手段１１１ａの内端部分に位置させたカセット７を、移載手段５１により受け取る。その際に図８の実線に示すように、空の移載作用部８１を回転体７０内に退入動させた状態で、この移載作用部８１の回転と昇降とを、同時状にまたはいずれかを先行して相前後して行う。
【００７３】
すなわち移載作用部８１を回転させるに、回転駆動手段７３における回転駆動部７４を正逆に駆動させ、駆動軸７５を介して駆動輪体７６を正逆に回転させる。これにより、無端回動体７８や従動輪体７７を介して縦軸７１を正逆に回転させ得、以て回転体７０を介して移載作用部８１を、移載軸心５２の周りに正逆に回転させ得る。
【００７４】
また移載作用部８１を昇降させるに、昇降駆動手段６１における回転駆動部６６を正逆に駆動させ、駆動軸６８を介して駆動輪体６２を正逆に回転させる。これにより、回動体６４を正逆に回動させ得、以て被ガイド体５９や昇降部６０を介して移載作用部８１を昇降し得る。このようにして移載作用部８１を回転ならびに昇降させることで、この移載作用部８１を、入庫手段１１１ａの内端部分に対して、少し下方のレベルで対抗し得る。
【００７５】
次いで、移載作用部８１を突出動させる。すなわち、出退駆動手段９０における回転駆動部９４を駆動させ、ベルト連動機構９３を介して螺子軸９１を回転させる。これにより、ナット体９２が螺合移動することになって移載作用部８１を突出動させ得、その際に移載作用部８１は、ガイド体８４により被ガイド体８５を案内することで、図８の仮想線で示すように直線状に突出動し得る。この突出動によって移載作用部８１を、入庫手段１１１ａの内端部分に載置させたカセット７の下方に位置し得る。
【００７６】
この状態で、前述したような昇降駆動手段６１の動作により、昇降部６０などを介して移載作用部８１を少し上昇させる。すると、移載作用部８１が入庫手段１１１ａにおける本体１１２の内端部分を上昇し、以て入庫手段１１１ａの内端部分に位置させたカセット７を持ち上げ得、その際に位置決めピン８２を嵌合部８に嵌合させる。そして出退駆動手段９０を前述とは逆作動させて、移載作用部８１を退入動させることにより、カセット７を回転体７０の上方に位置し得る。
【００７７】
次いで、前述と同様に移載作用部８１を回転させるとともに、必要に応じて昇降させることで、カセット７を目的とする固定棚１０１の目的とする荷支持部１０３に対抗し得る。このとき移載作用部８１は、荷支持部１０３よりも少し上方に位置している。
【００７８】
そして、前述と同様にして移載作用部８１を突出動させることで、カセット７を荷支持部１０３の上方に位置し得、次いで移載作用部８１を少し下降動させることで、カセット７を荷支持部１０３上に載置し得る。その際に嵌合部８を位置決めピン１０６に嵌合させ、その後に移載作用部８１を退入動させる。これにより、入庫手段１１１ａの内端部分に位置させていたカセツト７を固定棚１０１に対して入庫し得る。すなわち、入庫手段１１１ａに供給したカセット７を、移載円経路５３上に設けられた固定棚１０１の荷支持部１０３に入庫させる入庫作業を終了する。
【００７９】
また、入庫手段１１１ａの内端部分に位置させたカセット７は、回転棚２１にも入庫し得る。すなわち、前述したように入庫手段１１１ａの内端部分に位置させたカセット７を、移載手段５１により受け取る作業中に、回転棚２１を先行して回転し準備させる。
【００８０】
この回転棚２１の回転は、回転棚駆動手段４１における回転駆動部４２を正逆に駆動させ、駆動軸４３を介して駆動ギヤ４４を正逆に回転させる。これにより、リングギヤ４５を正逆に回動させ得、以て縦軸体２７などを介して荷受け部３２群を回転棚軸心２２の周りに回転し得る。その際に、荷受け部３２群は回転円経路２３上で回転移動し、そして、目的とする荷受け部３２が移載円経路５３に接線状に重合した位置に達したときに、その回転を停止させる。
【００８１】
なお回転棚２１の回転は、前述した重合位置に対して目的とする荷受け部３２の回転距離が短い方に、最大で１８０°に正または逆に行われ、以て迅速にかつ能率的に回転し得る。また、移載手段５１により受け取る作業中に、回転棚２１を先行して回転し準備させることで、全体の稼動能率を向上し得る。なお、目的とする荷受け部３２が最初から重合位置にあるときには、回転棚２１の回転は行われない。
【００８２】
このように、目的とする荷受け部３２を重合位置に停止させたのち、前述と同様に移載手段５１を作用させることで、移載作用部８１で支持していたカセット７を、図４、図７で示すように荷受け部３２上に載置し得る。その際に嵌合部８を位置決めピン３５に嵌合させる。これにより、入庫手段１１１ａの内端部分に位置させていたカセット７を、回転棚２１の目的とする荷受け部３２上に載置し得、以て入庫手段１１１ａに供給したカセット７の回転棚２１に対する入庫作業を終了する。
【００８３】
なお、固定棚１０１に保管しているカセット７も、移載手段５１の作動や回転棚２１の回転により、同様にして回転棚２１に移して保管し得る。その際に、固定棚１０１のカセット７を移載手段５１により受け取る作業中に、回転棚２１を先行して回転し準備させることで、全体の稼動能率を向上し得る。なお、目的とする荷受け部３２が最初から重合位置にあるときには、回転棚２１の回転は行われない。
【００８４】
前記移載手段５１を上述とは逆に動作させることによって、カセット７の出庫作業を行える。すなわち、回転棚２１の目的とする荷受け部３２上に載置してあるカセット７を、出庫手段１１１ｂの始端部分（内端部分）に位置させ得、また目的とする固定棚１０１の目的とする荷支持部１０３に上に載置してあるカセット７を出庫手段１１１ｂの始端部分に位置させ得る。
【００８５】
つまり、まず移載手段５１の作動によって、図１３のＨで示すように、出庫手段１１１ｂにおける本体１１２の始端部分に、その嵌合部８を位置決めピン１４３に嵌合させた状態で載置させる。次いで出庫手段１１１ｂを、前述した入庫手段１１１ａとはほぼ逆に作動させる。すなわち、傾斜方向に向き変更させている昇降体１４２を上昇させてカセット７の持ち上げを行う。
【００８６】
そして図１３のＩで示すように、昇降体１４２の向きを正姿勢に変更させたのち、移動部材１１７をガイド体１１６に支持案内させながら出庫手段１１１ｂの終端部分（外端部分）に向け移動させる。このとき、昇降装置１２５や旋回装置１３５を介して昇降体１４２も移動し、以てカセット７を、出庫用貫通部１１０ｂを通して囲壁体１１外に搬送させたのち、図１３のＪで示すように、出庫手段１１１ｂの終端部分で停止させる。
【００８７】
次いで昇降体１４２を、一時受け体１１３の昇降作用部１１４を通して下降させ、以てカセット７を、その嵌合部８を位置決めピン１１５に嵌合させた状態で一時受け体１１３側に載置させる。このようにカセット７を、出庫手段１１１ｂの終端部分（外端部分）に位置させることで、出庫作業を終了する。
【００８８】
なお、回転棚２１に保管しているカセット７も、移載手段５１の作動や回転棚２１の回転などにより、同様にして固定棚１０１に移して（出庫して）保管し得る。
【００８９】
上述したようにして出庫手段１１１ｂの終端部分に出庫したカセット７は、ストレージ手段１５１によってストレージし得る。すなわち、移動部材１５７を出庫手段１１１ｂ側に移動させて、下降させている昇降体１７４を一時受け体１１３における昇降作用部１１４の下方に位置させる。そして昇降体１７４を上昇させて、図１５の仮想線で示すようにカセット７を持ち上げたのち、移動部材１５７を遊端部分側に移動させ、以て図１５の実線や図１６で示すように、カセット７を一時受け体１５３の上方に位置させる。
【００９０】
次いで昇降体１７４を、一時受け体１５３の昇降作用部１５４を通して下降させ、以てカセット７を、その嵌合部８を位置決めピン１５５に嵌合させた状態で一時受け体１５３側に載置させる。このようにカセット７を、ストレージ手段１５１の遊端部分に位置させることで、図１６のＫで示すようにストレージし得る。
【００９１】
上述したような各動作において、カセット７の嵌合部８が位置決めピン３５，８２，１０６，１１５，１４３，１５５に嵌合することで、回転中の遠心力などによってカセット７が互いに衝突したり、カセツト７が位置ずれしたり脱落することを防止し得る。
【００９２】
上述したように移載手段５１は、移載作用部８１を移載軸心５２の周りに回転させるだけで走行移動などは行わないことから、走行移動などのための占有スペースは不要となり、回転棚２１と固定棚１０１とを含めた全体をコンパクトに構成し得る。
【００９３】
しかも、回転棚２１と固定棚１０１とにより保管量を増加し得るとともに、走行構成のない移載手段５１は移載作用部８１を床近くまで下降し得ることで、それに合わせて、回転棚２１の荷受け部３２による保管レベルと固定棚１０１の荷支持部１０３による保管レベルとを床近くまで下げ得、以て保管量をより増加し得る。したがって、クリーンルームのようなクリーン空間をできるだけ狭くしたい場所に容易にかつ好適に採用し得る。
【００９４】
前述したように、出庫手段１１１ｂの終端部分に位置させることで、クリーンルーム５内の荷入出部１４８に出庫したカセット７、ならびにストレージ手段１５１でストレージしたカセット７は、荷搬送手段１９１により荷処理装置１８０に供給し得る。すなわち図１〜図４に示すように、荷搬送手段１９１の移動体１９３を搬送経路１９６上で移動させ、目的とする出庫手段１１１ｂの終端部分やストレージ手段１５１に位置しているカセット７の上方で停止させる。
【００９５】
次いで荷吊り装置１９５を下降動させてカセット７のクランプを行ったのち、荷吊り装置１９５を上昇動させてカセット７の持ち上げを行い、そして持ち上げたカセット７を荷保持部１９４によって保持する。この状態で、移動体１９３を搬送経路１９６上で移動させ、目的とする荷処理装置１８０の荷入出部１８４における搬入装置１８５の上方で停止させる。
【００９６】
次いで、荷保持部１９４による保持を解除したのち、荷吊り装置１９５を下降動させてカセット７を搬入装置１８５上に位置させる。そしてクランプ解除を行ったのち、荷吊り装置１９５を上昇動させる。これにより、クリーンルーム５内に設けられた荷搬送手段１９１によって、荷保管装置１０から荷処理装置１８０へカセット７を渡し得る。
【００９７】
このようにして搬入装置１８５の始端部分に位置させたカセット７は、この搬入装置１８５によって囲壁体１８１内、すなわち処理室１８２内へ搬入し得る。そして、カセット７内から被処理物を取り出して所期の処理を行ったのち、処理済みの被処理物を再びカセット７内に収納させる。次いでカセット７を搬出装置１８６の始端部分に位置させ、この搬出装置１８６によって囲壁体１８１外、すなわち荷入出部１８４における搬出装置１８６の終端部分に搬出させる。
【００９８】
そして搬出装置１８６の終端部分に位置しているカセット７を、前述したようにして移動体１９３側で支持したのち、搬送経路１９６上で搬送させる。この後にカセット７は、上述したように入庫手段１１１ａにおける一時受け体１１３上に載置させることで、荷保管装置１０に入庫し得る。あるいは、別の荷処理装置１８０に入れることで、複数工程（複数段階）の処理を行える。さらには、連絡経路２０３を利用することで、荷取り扱い設備２０１間でカセット７の受け渡しを行える。
【００９９】
なお、クリーンルーム５や連絡用クリーンルーム２０２においては、クリーンエアＡがダウンフロー方式により流れていることで、荷入出部１４８，１８４や荷搬送手段１９１などで発生した塵埃を、その流れに乗せて迅速に除去し得る。したがってクリーンルーム５や連絡用クリーンルーム２０２においては、充分なクリーン雰囲気（クリーン度）でカセット７の搬送などを行える。
【０１００】
次に荷保管装置１０の変形例である本発明の第２〜第６の実施の形態を、図１７、図１８に基づいて説明する。
すなわち、図１７の（ａ）は第２の実施の形態を示し、回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、回転円経路２３が２つ（複数）で移載円経路５３が１つ（単数）として配設されている。そして、両回転棚２１の回転棚軸心２２と移載手段５１の移載軸心５２が同じ線１０９上に位置されている。さらに入庫手段１１１ａと出庫手段１１１ｂとは回転棚２１の下部などに形成された空間部分に位置されている。
【０１０１】
また、図１７の（ｂ）は第３の実施の形態を示し、上述した第２の実施の形態の変形例で、一方の回転棚２１の回転棚軸心２２は、他方の回転棚２１の回転棚軸心２２と移載手段５１の移載軸心５２とを結ぶ線１０９から外れている。
【０１０２】
そして、図１７の（ｃ）は第４の実施の形態を示し、回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、回転円経路２３が３つ（複数）で移載円経路５３が１つ（単数）として配設されている。
【０１０３】
さらに、図１８の（ａ）は第５の実施の形態を示し、回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、回転円経路２３が１つ（単数）で移載円経路５３が２つ（複数）として配設されている。
【０１０４】
また、図１８の（ｂ）は第６の実施の形態を示し、回転棚２１と移載手段５１と固定棚１０１とは、回転円経路２３と移載円経路５３との両方とも２つ（複数）として配設されている。
【０１０５】
上記した実施の形態では、荷保管装置１０の外板１３，１４と荷処理装置１８０の外板１８３が隔壁体１８７に兼用されることでクリーンルーム５が形成されており、これによると隔壁体１８７の材料使用量を減少できて安価に構成できるとともに、相互に補強し合う構成にできる。
【０１０６】
上記した実施の形態では、荷保管装置１０と荷処理装置１８０との間でカセット７の受け渡しを行うために、天井側で自動走行形式の荷搬送手段１９１が設けられているが、荷搬送手段としては、床側で自動走行可能な台車形式や、床側で手押し走行可能な台車形式などであってもよい。さらに、荷搬送手段を省略して、クリーンルーム５内において人手操作によりカセット７の受け渡しを行ってもよい。
【０１０７】
上記した実施の形態では、移載手段５１の移載作用部８１が移載軸心５２の周りで回転自在に設けられた形式が示されているが、これは移載手段５１が非回転の形式などであってもよい。
【０１０８】
上記した実施の形態では、移載手段５１として、回転体７０を移載軸心５２の周りに回転自在とした形式が示されているが、これは移載作用部８１も含めて移載手段５１の全体を、たとえばポスト体５５の部分に位置される移載軸心の周りに回転自在とした形式などであってもよい。
【０１０９】
上記した実施の形態では、移載円経路５３上に固定棚１０１が設けられた形式が示されているが、これは固定棚１０１が省略された形式などであってもよい。上記した実施の形態では、移載手段５１として、その移載作用部８１をカセット７の底面に作用させる形式が示されているが、これはカセット７の側部や上部から側方に突出させた被係止部に下方から係止させる形式などであってもよい。
【０１１０】
上記した実施の形態では、移載円経路５３上の複数箇所に固定棚１０１が設けられているが、これは単数箇所に固定棚１０１が設けられた形式であってもよい。
【０１１１】
上記した実施の形態では、回転棚２１は正逆に回転自在であり、最大で１８０°の回転が行われるように構成されているが、これは正逆の回転が１８０°以上で行われる形式や、回転が一方向のみに行われる形式などであってもよい。
【０１１２】
上記した実施の形態では、固定棚１０１に対する移載手段５１の作業中に、回転棚２１が先行して準備されるように構成されているが、これは固定棚１０１に対する移載手段５１の作業が終了した後に、回転棚２１が準備される形式などであってもよい。
【０１１３】
上記した実施の形態では、荷としてカセット７が示されているが、これは他の物品でもよく、またパレットを取り扱う形式などであってもよい。
上記した実施の形態では、回転棚２１から最も離れた２個の固定棚１０１に対応して、入庫手段１１１ａと出庫手段１１１ｂとが設けられているが、これは回転棚２１に接近した固定棚１０１と最も離れた２個の固定棚１０１とに対応して、入庫手段１１１ａと出庫手段１１１ｂとが設けられた形式であってもよい。この場合には、両側に振り分けて２組の入庫手段１１１ａと出庫手段１１１ｂとを設けることもできる。
【０１１４】
上記した実施の形態では、入庫手段１１１ａと出庫手段１１１ｂとして昇降装置１２５や旋回装置１３５などからなる形式が示されているが、これはローラコンベヤを使用した形式、昇降可能なベルトコンベヤなどが配設された形式などであってもよい。
【０１１５】
上記した実施の形態では、出庫手段１１１ｂに連続される状態でストレージ手段１５１が配設された形式が示されているが、これは入庫手段１１１ａ側にもストレージ手段が配設された形式、ストレージ手段１５１が省略された形式などであってもよい。
【０１１６】
【発明の効果】
上記した本発明の請求項１によると、荷保管装置や荷処理装置を非クリーンルーム（大気室など）に設置できるものでありながら、荷保管装置と荷処理装置との間における荷の移動はクリーンルームを利用して、充分なクリーン雰囲気で行うことができる。これにより、全体をクリーンルームにする必要がなくて、設備費や運転費を低減でき、以て容易に採用できる。また荷保管装置や荷処理装置の外板を兼用することで、クリーンルームを形成するための隔壁体の材料使用量を減少できて安価に構成できるとともに、相互に補強し合う構成にできる。
【０１１７】
また上記した本発明の請求項２によると、クリーンルーム内における荷保管装置と荷処理装置との間における荷の移動は、荷搬送手段によって容易にかつ自動的に行うことができる。
【０１１８】
さらに上記した本発明の請求項３によると、回転棚を回転させることで、この回転棚に対して移載手段により荷の出し入れを行うことができる。また、固定棚に対して移載手段により荷の出し入れを行うことができる。さらに入出庫手段を作動させることで、クリーンルーム内の荷入出部と移載手段による荷受け渡し位置との間で荷を入出庫できる。したがって、荷保管装置の全体をコンパクトに構成できて、クリーンルームなどに容易に採用できるものでありながら、上下高さを最大限に利用して、回転棚と固定棚とにより保管量を増加できる。
【０１１９】
しかも上記した本発明の請求項４によると、回転棚を回転棚軸心の周りに回転させて、回転円経路と移載円経路との重合部分に目的とする荷受け部を位置させることで、この荷受け部に対して、移載手段により荷の出し入れを行うことができる。また、移載手段の移載作用部を移載軸心の周りに回転させることで、固定棚の荷支持部に対して、移載手段により荷の出し入れを行うことができる。
【０１２０】
このように移載手段は、移載作用部を回転させるだけで走行移動などは行わないことから、走行移動などのための占有スペースを不要にできて、回転棚と固定棚とを含めた全体をコンパクトに構成できる。しかも、回転棚と固定棚とにより保管量を増加できるとともに、走行構成のない移載手段は移載作用部を床近くまで下降できることで、それに合わせて回転棚と固定棚の保管レベルを下げることができて、保管量をより増加できることになる。したがって、クリーンルームのようなクリーン空間をできるだけ狭くしたい場所に容易にかつ好適に採用できる。
【０１２１】
しかも、回転棚の荷受け部群や固定棚の荷支持部群によって、上下高さを最大限に利用して保管量を増加し得るものでありながら、荷受け部や荷支持部を削除して形成した空間部分を利用して配設した入出庫手段によって、外部に対する荷の出し入れは、保管量をさほど減少させることなく常に円滑に行うことができる。
【０１２２】
また上記した本発明の請求項５によると、荷保管装置での保管やクリーンルームでの受け渡しは、被処理物を収納したカセット単位で行うことができ、以て被処理物に塵埃などが付着することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示し、荷取り扱い設備の斜視図である。
【図２】同荷取り扱い設備の平面図である。
【図３】同荷取り扱い設備における荷保管装置の外観斜視図である。
【図４】同荷取り扱い設備における荷保管装置の縦断側面図である。
【図５】同荷取り扱い設備における荷保管装置の横断平面図である。
【図６】同荷保管装置における回転棚の下部の一部切り欠き側面図である。
【図７】同荷保管装置における回転棚の上部の一部切り欠き側面図である。
【図８】同荷保管装置における移載手段の下部の一部切り欠き側面図である。
【図９】同荷保管装置における移載手段の上部の一部切り欠き側面図である。
【図１０】同荷保管装置における移載手段の一部切り欠き平面図である。
【図１１】同荷保管装置における固定棚の側面図である。
【図１２】同荷保管装置における固定棚の平面図である。
【図１３】同荷保管装置における入出庫手段部分の概略平面図である。
【図１４】同荷保管装置における入庫手段部分の一部切り欠き側面図である。
【図１５】同荷保管装置における出庫手段からストレージ手段部分の一部切り欠き正面図である。
【図１６】同荷保管装置におけるストレージ手段部分の一部切り欠き側面図である。
【図１７】本発明の第２〜第４の実施の形態を示し、（ａ）は第２の実施の形態を示す概略平面図、（ｂ）は第３の実施の形態を示す概略平面図、（ｃ）は第４の実施の形態を示す概略平面図である。
【図１８】本発明の第５、第６の実施の形態を示し、（ａ）は第５の実施の形態を示す概略平面図、（ｂ）は第６の実施の形態を示す概略平面図である。
【符号の説明】
３    フィルター
４    グレーチング床
５    クリーンルーム
７    カセット（荷）
８    嵌合部
１０    荷保管装置
１１    囲壁体
１３    下部外板
１４    上部外板
１７    荷保管室（荷保管空間）
２１    回転棚
２２    回転棚軸心
２３    回転円経路
２６    回転体
２７    縦軸体
３２    荷受け部
３４    凹所
３５    位置決めピン
４１    回転棚駆動手段
５１    移載手段
５２    移載軸心
５３    移載円経路
５５    ポスト体
６０    昇降部
６１    昇降駆動手段
７０    回転体
７３    回転駆動手段
８１    移載作用部
８２    位置決めピン
９０    出退駆動手段
１０１    固定棚
１０３    荷支持部
１０５    凹所
１０６    位置決めピン
１０７    空間部分
１０９    線
１１０ａ  入庫用貫通部
１１０ｂ  出庫用貫通部
１１１ａ  入庫手段（入出庫手段）
１１１ｂ  出庫手段（入出庫手段）
１１３    一時受け体
１１５    位置決めピン
１１７    移動部材
１１８    移動装置
１２５    昇降装置
１３３    昇降部材
１３５    旋回装置
１４２    昇降体
１４３    位置決めピン
１４５    入出庫方向
１４８    荷入出部
１５１    ストレージ手段
１５３    一時受け体
１５７    移動部材
１５８    移動装置
１６５    昇降装置
１７４    昇降体
１８０    荷処理装置
１８１    囲壁体
１８２    処理室
１８３    外板
１８４    荷入出部
１８５    搬入装置
１８６    搬出装置
１８７    隔壁体
１９１    荷搬送手段
１９３    移動体
１９６    搬送経路
２０１    荷取り扱い設備
２０２    連絡用クリーンルーム
２０３    連絡経路
２１１    上部搬送手段
２１３    移動体
Ａ    クリーンエア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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