(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニットであって、該フィルターユニットの本体は、縦型になされ、下端のみ開口の円筒状のフィルターメディアがボディの上面中央部に立設固定され、フィルターメディアの外側に同心に円筒状のハウジングがボディの上面外周部に立設固定され、フィルターメディアの内外と夫々連通するガス通路がボディに設けられ、ボディの外周に外ねじナットが装着されて成り、前記外ねじナットにて前記構成のフィルターユニットの本体が流路ブロックにねじ結合されていることを特徴とする集積化ガスパネル用フィルターユニット。
【請求項２】
請求項１記載の集積化ガスパネル用フィルターユニットに於いて、フィルターユニットの本体のボディと流路ブロックとの接合面にガス通路穴を有するガスケットが介在されてシールされていることを特徴とする集積化ガスパネル用フィルターユニット。
【請求項３】
請求項２記載の集積化ガスパネル用フィルターユニットに於いて、ガスケットが、ガス流入側のガス通路穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型のガスケット、又はガス通路穴を有するガスケット２個をリテーナで結合保持したものであることを特徴とする集積化ガスパネル用フィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用高純度ガス系のガス制御装置の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の集積化ガスパネルは、図５に示すようにパネル３０上にガス上流側からマスフローコントローラー３１、ブロックバルブ３２、バルブ３３、フィルター３４の順に取り付けられたガスライン３５が並列に多数配設されてぎっしり詰まっている。上記ガスライン３５の各部品は、定期交換部品であり、ぎっしり詰まった場所での脱着作業は非常に厄介で時間がかかる。特に横型のフィルター３４を取り外すには２ヵ所のねじ部３６、３７を緩め、さらにシール面を傷付けないようにする為、ガスライン３５を部分的に緩めなければならない。従って、フィルター１個を脱着するにガスライン１本を分解することとなり、復元時シール性を確保することが難しくなり、ユーザーが定期補修、交換等のメンテナンスを行うことは実際上できない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明は、フィルターユニットの本体の脱着を、ガスラインを分解することなく簡単にでき、またフィルターユニットの本体の結合部の緊密なシール性を確保できて、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にでき、その上コンパクトにできてガスラインでの省スペース化を図ることのできる集積化ガスパネル用フィルターユニットを提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するための本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットは、半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニットであって、該フィルターユニットの本体は、縦型になされ、下端のみ開口のフィルターメディアがボディの上面中央部に立設固定され、フィルターメディアを被うようにその外側に同心に円筒状のハウジングがボディの上面外周部に立設固定され、フィルターメディアの内外と夫々連通するガス通路がボディに設けられ、ボディの外周に外ねじネットが装着されて成り、前記外ねじナットにて前記構成のフィルターユニットの本体が流路ブロックにねじ結合されていることを特徴とするものである。
【０００５】
上記集積化ガスパネル用フィルターユニットに於いて、フィルターユニットの本体のボディと流路ブロックとの接合面は、ガス通路穴を有するガスケットが介在されてシールされていることが好ましい。
【０００６】
上記ガスケットは、ガス流入側のガス通路穴とガス流出側のガス通路穴を有する一体型のガスケットの場合と、ガス通路穴を有するガスケット２個をリテーナで結合保持した場合とがある。
【０００７】
上記のように構成された本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットは、本体のボディの外周に装着された外ねじナットにて流路ブロックにねじ結合されているので、外ねじナット１個を緩めたり、締めたりするだけで、流路ブロックからの本体の脱着が簡単にでき、従来のようにガスラインを分解する必要がない。また、本体のボディと流路ブロックとの接合面に介在したガスケットが、外ねじナット１個の締め付けにより均等に締め付けられるので、緊密なシール性を確保できる。さらに、フィルターユニットの本体が縦型でコンパクトとなるので、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットの実施形態を図１によって説明すると、１は半導体用高純度ガス系の集積化ガスパネルに於けるガスラインに使用されるフィルターユニットである。このフィルターユニット１の本体２は、縦型になされ、下端のみ開口のフィルターメディア３がボディ４の上面中央の突出部５上に立設固定され、フィルターメディア３を被うようにその外側に同心に円筒状のハウジング６がボディ４の上面外周部に立設固定され、ボディ４の中心部にフィルターメディア３内に連通するガス通路７が設けられ、ボディ４の半径方向にフィルターメディア３外に連通するガス通路８が設けられ、ボディ４の外周下部に鍔９が設けられ、この鍔９の上側の外周に外ねじナット１０が装着されている。
【０００９】
このように構成された本体２は、前記外ねじナット１０にてボディ４を流路ブロック１１の凹部１２内に締め込み装着し、ボディ４のガス通路７と流路ブロック１１のガス流入通路１３とを連通し、ボディ４のガス通路８と流路ブロック１１のガス流出通路１４とを連通している。この連通部分の相互の接合面１５、１６は長円形になされて凹凸嵌合され、この相互の接合面１５、１６の間に図２に示すように中央にガス流入側のガス通路穴１７とその両側にガス流出側のガス通路穴１８を有する長円形の一体型のガスケット１９が挟み付けられて、接合面１５、１６がシールされている。前記ガスケット１９のガス流出側のガス通路穴１８は２個の内、１個使用され、他の１個は捨穴となるが、装着時その方向を見定める必要がなく、また全面均等な締付力にて挟み付けることができると共に、長円形になされている為、回り止めの効果もある。
【００１０】
尚、上記ガスケット１９は、ガス流入用のガス通路穴１７とガス流出用のガス通路穴１８を有する一体型のものであるが、図３に示すようにガス通路穴２０を有するガスケット２１をＳ字型のリテーナ２２に２個結合保持したものであってもよい。その場合、接合面１５、１６の形状は２個のガスケット２１に相応する長円形になされる。
【００１１】
上記のように構成された実施形態の集積化ガスパネル用フィルターユニット１は、ガスが流路ブロック１１のガス流入通路１３から入り、ガスケット１９のガス通路穴１７、ボディ４のガス通路７を通って、フィルターメディア３の内側に入り、ここからフィルターメディア３を透過して、清浄化され、ハウジング６内を通ってボディ４のガス通路８、ガスケット１９のガス通路穴１８を通って、流路ブロック１１のガス流出通路１４から出ていく。かかる機能の集積化ガスパネル用フィルターユニットは、本体２がボディ４の外周に装着された外ねじナット１０にて流路ブロック１１にねじ結合されているので、図４に示すように専用工具２５にて外ねじナット１０を緩めたり、締めたりするだけで、流路ブロック１１からの本体２の脱着が簡単にでき、従来のようにガスラインを分解する必要がない。また、本体２のボディ４の接合面１５と流路ブロック１１の接合面１６との間に介在したガスケット１９が外ねじナット１０のみの締め付けにより均等に締め付けられるので、緊密なシール性を確保できる。さらに、フィルターユニット１の本体２が縦型で、コンパクトとなっているので、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
【００１２】
【発明の効果】
以上の説明で判るように本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットはフィルターユニットの本体の脱着を、ガスラインを分解することなく、外ねじナット１つを緩めたり、締めたりするだけで簡単にでき、またフィルターユニットの本体の結合部の緊密なシール性を確保でき、従って、ユーザーでも定期補修、交換等のメンテナンスを簡単にできる。その上、本発明のフィルターユニットは、本体が縦型でコンパクトとなっているので、ガスラインでの省スペース化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の集積化ガスパネル用フィルターユニットの一実施形態を示す縦断面図である。
【図２】図１のフィルターユニットに於けるガスケットを示す平面図である。
【図３】ガスケットの他の例を示す平面図である。
【図４】図１のフィルターユニットの本体を脱着する方法を示す図である。
【図５】従来の集積化ガスパネルに於けるガスラインを示す平面図である。
【符号の説明】
１  フィルターユニット
２  本体
３  フィルターメディア
４  ボディ
６  ハウジング
７、８  ガス通路
１０  外ねじナット
１１  流路ブロック
１３  ガス流入通路
１４  ガス流出通路
１５、１６  接合面
１７、１８  ガス通路穴
１９  一体型のガスケット
２０  ガス通路穴
２１  ガスケット
２２  リテーナ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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