(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理流体を用いた処理を施すための処理室と、
上記処理室内に処理流体を供給するための複数の導電性配管と、
各導電性配管間を接続する樹脂製の配管用継ぎ手と、
上記配管用継ぎ手により接続される各導電性配管間を電気的に導通させるための導通手段と、
上記処理室外に設けられ、上記導電性配管のうちの少なくとも１本をアースに接続する金属線とを含むことを特徴とする、基板処理装置。
【請求項２】
上記導通手段は、上記配管用継ぎ手を構成する樹脂材料に含有された導電性材料を含むことを特徴とする、請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
上記導通手段は、上記配管用継ぎ手の表面に導電性材料を用いて形成された導電層を含むことを特徴とする、請求項１または２記載の基板処理装置。
【請求項４】
上記導通手段は、上記配管用継ぎ手により接続される各導電性配管を、電気的に接続して導通させる配管導通用配線を含むことを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項５】
上記配管導通用配線は、導電性材料が混入された樹脂材料を用いて形成されていることを特徴とする、請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
上記導電性材料は、カーボンであることを特徴とする、請求項２、３および５のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項７】
上記処理流体は、有機系薬液の液体または気体であることを特徴とする、請求項１ないし６のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項８】
上記有機系薬液は、基板に付着している不要なポリマーを除去するためのものであることを特徴とする、請求項７記載の基板処理装置。
【請求項９】
上記導電性配管および上記配管用継ぎ手は、上記有機系薬液に対する耐性を有していることを特徴とする、請求項７または８記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、たとえば、有機系薬液を用いて基板を処理する基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）上に配線をパターン形成する工程では、ウエハ上にほぼ一様に形成された配線膜を選択的に除去するためのエッチング処理、このエッチング処理に使用したレジストパターンを除去するためのレジストアッシング処理の後に、レジストアッシング処理で除去されずにポリマーとなって残留したレジスト残渣を除去するためのポリマー除去処理が行われる。
【０００３】
ポリマー（レジスト残渣）は、アッシング処理において、ウエハ上に供給された反応性ガスとレジストパターンとの反応不良により生成されるものであり、有機化合物を主成分に含む有機溶剤系の薬液（ポリマー除去液）を用いて除去することができる。そこで、ポリマー除去処理のための装置では、たとえば、ウエハ上にポリマー除去液を供給するためのノズルが処理室内に備えられており、このノズルからアッシング処理後のウエハ上にポリマー除去液が供給されて、ウエハ上に残留しているポリマーが除去されるようになっている。
【０００４】
ポリマー除去液のような有機溶剤系の薬液を用いる場合、防爆対策が十分でなければならない。そのため、従来のポリマー除去処理のための装置では、図４に示すように、ポリマー除去液を処理室９１内のノズル９２に供給するための経路が、多数本の導電性配管９３を樹脂製の継ぎ手９４で接続して構成されており、各導電性配管９３を金属線９５でアースに接続することによって、導電性配管９３内をポリマー除去液が流通する際の摩擦帯電による発火が防止されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、多数本の導電性配管９３の個々をアースに接続する構成は、非常に煩雑であり、また、処理室内の導電性配管９３を金属線９５でアースに接続することは、金属線９５によるウエハの汚染（金属汚染）の問題を生じるおそれがあるため好ましくない。
そこで、この発明の目的は、金属線による基板の金属汚染の問題を生じることなく、複数の各導電性配管をアース電位に保持することができる、基板処理装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板に処理流体を用いた処理を施すための処理室（２１）と、上記処理室内に処理流体を供給するための複数の導電性配管（３）と、各導電性配管間を接続する樹脂製の配管用継ぎ手（１）と、上記配管用継ぎ手により接続される各導電性配管間を電気的に導通させるための導通手段（７）と、上記処理室外に設けられ、上記導電性配管のうちの少なくとも１本をアースに接続する金属線（５）とを含むことを特徴とする、基板処理装置である。
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
【０００７】
この発明の配管用継ぎ手で導電性配管を接続することにより、各導電性配管をアース電位に保持する必要がある場合に、導電性配管の個々をアース接続する必要をなくすことができる。よって、個々の導電性配管をアースに接続した構成と比べて、すべての導電性配管をアース電位に保持するための配線構造を簡素化でき、アース接続のための作業に要する手間を軽減することができる。また、処理室外にある導電性配管が金属線を介してアースに電気接続されている。したがって、処理室内で処理される基板が金属線による金属汚染を受けるおそれがなく、高品質な基板を提供することができる。
上記導通手段は、請求項２記載のように、上記配管用継ぎ手を構成する樹脂材料に含有された導電性材料であってもよいし、請求項３記載のように、上記配管用継ぎ手の表面に導電性材料を用いて形成された導電層であってもよい。
【０００８】
また、請求項４記載のように、上記導通手段は、上記配管用継ぎ手により接続される各導電性配管を、電気的に接続して導通させる配管導通用配線（７）であってもよく、この配管導通用配線は、請求項５記載のように、導電性材料が混入された樹脂材料を用いて形成されていてもよい。
さらに、請求項６記載のように、上記導電性材料は、カーボンであってもよい。
請求項７記載の発明は、上記処理流体は、有機系薬液の液体または気体であることを特徴とする、請求項１ないし６のいずれかに記載の基板処理装置である。
【０００９】
このように、処理流体が有機系薬液の液体または気体である場合には、導電性配管の帯電に起因した処理流体からの発火を防止することができる。
【００１０】
上記有機系薬液は、請求項８記載のように、基板に付着している不要なポリマーを除去するためのものであってもよい。
また、処理流体が有機系薬液の液体または気体である場合、請求項９記載のように、上記導電性配管および上記配管用継ぎ手は、上記有機系薬液に対する耐性を有していることが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置における配管構造を図解的に示す図である。配管用継ぎ手１は、たとえば、レジストアッシング処理後のウエハの表面に付着しているポリマー（レジスト残渣）を有機溶剤系のポリマー除去液を用いて除去するポリマー除去装置２に好適に用いられる。ポリマー除去装置２は、ウエハにポリマー除去液を用いた処理を施すための処理室２１と、この処理室２１内に配設されて、処理対象のウエハの表面にポリマー除去液を供給するためのノズル２２とを備えている。
【００１２】
ポリマー除去液としては、有機アルカリ液を含む液体、有機酸を含む液体、無機酸を含む液体、ふっ化アンモン系物質を含む液体のうちの少なくともいずれか１つが使用できる。そのうち、有機アルカリ液を含む液体としては、ＤＭＦ（ジメチルホルムアミド）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ヒドロキシルアミン、コリンのうちの少なくともいずれか１つを含む液体が挙げられる。また、有機酸を含む液体としては、クエン酸、蓚酸、イミノジ酸、および琥珀酸のうちの少なくともいずれか１つを含む液体が挙げられる。また、無機酸を含む液体としては、ふっ酸および燐酸のうちの少なくともいずれか１つを含む液体が挙げられる。その他、ポリマー除去液としては、１−メチル−２ピロリドン、テトラヒドロチオフェン１．１−ジオキシド、イソプロパノールアミン、モノエタノールアミン、２−（２アミノエトキシ）エタノール、カテコール、Ｎ−メチルピロリドン、アロマティックジオール、パーフレン、フェノールを含む液体などのうちの少なくともいずれか１つを含む液体があり、より具体的には、１−メチル−２ピロリドンとテトラヒドロチオフェン１．１−ジオキシドとイソプロパノールアミンとの混合液、ジメチルスルホキシドとモノエターノルアミンとの混合液、２−（２アミノエトキシ）エタノールとヒドロキシアミンとカテコールとの混合液、２−（２アミノエトキシ）エタノールとＮ−メチルピロリドンとの混合液、モノエタノールアミンと水とアロマティックジオールとの混合液、パーフレンとフェノールとの混合液などのうちの少なくともいずれか１つが挙げられる。その他、トリエタノールアミン、ペンタメチルジエチレントリアミンなどのアミン類、プロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルなどのうちの少なくともいずれか１つを含む液体が挙げられる。
【００１３】
図外のポリマー除去液供給源からノズル２２にポリマー除去液を供給するための配管（経路）は、多数本の導電性チューブ３を配管用継ぎ手１で接続することにより構成されている。導電性チューブ３は、たとえば、耐薬液性（ポリマー除去液に対する耐性）を有するＰＦＡ（パーフルオロアルコキシエチレン）樹脂製のチューブであって、導電性を持たせるために、その表面には、チューブの一端から他端に至る直線状のストライプ導電層がカーボン材料を用いて形成されている。また、配管用継ぎ手１は、導電性材料（導電性を付与するための材料）としてのカーボンを混入したＰＦＡ樹脂材料を用いて形成されていて、導電性を有しており、２本の導電性チューブ３を直列的に接続し、その接続した２本の導電性チューブ３を電気的に導通させることができる。
【００１４】
これにより、すべての導電性チューブ３は、配管用継ぎ手１を介して電気的に導通されているから、いずれか１本の導電性チューブ３をアースに接続すれば、ポリマー除去液供給源からノズル２２にポリマー除去液を供給するための配管をアース電位に保持することができ、その配管をポリマー処理液が流通する際の摩擦帯電による発火を防止することができる。また、１本の導電性チューブ３をアースに接続すればよいから、個々の導電性チューブ３をアースに接続した構成と比べて、アース接続のための配線構造が簡素であり、そのアース接続のための作業に要する手間が少なくすむ。
【００１５】
さらに、この実施形態では、ポリマー除去装置２外にある導電性チューブ３に金属製バンド４が巻着され、この金属製バンド４が金属線５を介してアースに電気接続されている。したがって、ポリマー除去装置２で処理されるウエハが金属線５による金属汚染を受けるおそれがなく、高品質なウエハを提供することができる。図２は、配管用継ぎ手１の構成を示す断面図である。配管用継ぎ手１は、継ぎ手本体１１と、この継ぎ手本体１１の両端にそれぞれ冠着される固定用ナット１２とを含む。
【００１６】
継ぎ手本体１１は、ポリマー除去液の流通方向（長手方向）の中央にフランジ部１１１を有する管状に形成されており、その内部は、両端にそれぞれ接続された導電性チューブ３を連通するための連通路１１２となっている。連通路１１２の両端部は、中央部よりも少し径が大きく形成されていて、それぞれ導電性チューブ３の先端を挿入できるようになっている。また、継ぎ手本体１１の両端部は、それぞれ外周面にねじ山を有するねじ部１１３となっている。
【００１７】
固定用ナット１２は、継ぎ手本体１１の連通路１１２内に先端が挿入された導電性チューブ３を継ぎ手本体１１に対して固定するためのもので、それぞれ継ぎ手本体１１のねじ部１１３に冠着可能なキャップ状に形成されている。具体的には、固定用ナット１２は、ねじ部１１３のねじ山に螺合するねじ溝が内周面に形成された筒状部１２１と、この筒状部１２１の一方端面を閉塞するように設けられていて、導電性チューブ３が中央に挿通された挿通部１２２とを有している。
【００１８】
導電性チューブ３の端部付近には、内周面にリング状のインナー３１が埋設されることにより突起部３２が形成されている。これに対応して、継ぎ手本体１１の両端面および固定用ナット１２の筒状部１２１の内面（筒状部１２１で囲まれた空間に臨む面）には、継ぎ手本体１１に固定用ナット１２が冠着された状態で突起部３２が嵌り込む溝部１２３を形成する凹部がそれぞれに形成されている。この構成により、固定用ナット１２に挿通された導電性チューブ３の先端を継ぎ手本体１１の連通路１１２内に挿入し、固定用ナット１２の筒状部１２１の内周面のねじ溝を継ぎ手本体１１のねじ山に螺合させて、固定用ナット１２を継ぎ手本体１１に冠着することにより、導電性チューブ３を継ぎ手本体１１に接続した状態で固定することができる。そして、継ぎ手本体１１の両端に導電性チューブ３を接続して固定用ナット１２で固定することにより、その２本の導電性チューブ３を、継ぎ手本体１１の連通路１１２を介して連通し、かつ、電気的に導通させた状態に接続することができる。
【００１９】
図３は、この発明の他の実施形態について説明するための図である。上記の実施形態では、導電性を有する樹脂製の配管用継ぎ手１で２本の導電性チューブ３を連結することにより、その２本の導電性チューブ３間の電気的な導通を確保しているが、この実施形態では、導電性を有しない樹脂製の配管用継ぎ手６で２本の導電性チューブ３を連結し、その連結した２本の導電性チューブ３に非金属製の導通用配線７を接続することにより、２本の導電性チューブ３間における電気的な導通が確保されている。
【００２０】
配管用継ぎ手６は、その成型材料であるＰＦＡ樹脂材料中に導電性材料を含有していない点以外は、上述の配管用継ぎ手１（図２参照）と同様な構成を有している。すなわち、配管用継ぎ手６は、継ぎ手本体６１と、この継ぎ手本体６１の両端にそれぞれ冠着される固定用ナット６２とを含む構成であり、継ぎ手本体６１および固定用ナット６２は、それぞれ配管用継ぎ手１の継ぎ手本体６１および固定用ナット６２と同様な形状に形成されている。
【００２１】
導通用配線７は、たとえば、耐薬液性を有する樹脂中に導電性材料としてのカーボンを混入することにより導電性が付与された材料を用いて形成されており、この導通用配線７と同じ材料を用いて形成されて、２本の導電性チューブ３にそれぞれ巻着された導電性樹脂バンド８に接続されている。耐薬液性を有する樹脂としては、たとえば、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＰＣＴＦＥ等のフッ素樹脂を例示することができる。なお、図３においては、導通用配線７は、中間部分が伸縮可能に設けられた成型品からなっているが、その他、導電性材料からなり可撓性のある紐状のものであってもよい。
【００２２】
この導通用配線７を用いて各導電性チューブ３間の電気的導通を確保した配管構造でも、上述した第１の実施形態の場合と同様に、いずれか１本の導電性チューブ３をアースに接続すれば、すべての導電性チューブ３をアース電位に保持することができ、導電性チューブ３内を有機溶剤系の薬液（ポリマー除去液など）が流通する際の摩擦帯電による発火を防止することができる。また、１本の導電性チューブ３をアースに接続すればよいから、個々の導電性チューブ３をアースに接続した構成と比べて、アース接続のための配線構造が簡素であり、そのアース接続のための作業に要する手間が少なくすむ。さらに、この実施形態に係る配管構造が基板処理装置に適用された場合には、導電性チューブ３のアース接続に起因するウエハの金属汚染を防止できる。さらには、導通用配線７が非金属性の材料を用いて形成されているから、この導通用配線７によるウエハの金属汚染を生じるおそれもない。
【００２３】
以上、この発明の２つの実施形態について説明したが、この発明は上記の各実施形態に限定されるものではない。たとえば、導通用配線７は、耐薬液性を有する樹脂材料を用いて形成された配線の表面に、導電性を有するカーボン材料を用いて、配線の一端から他端に至る導電層を形成した構成を有していてもよい。その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の一実施形態に係る基板処理装置における配管構造を図解的に示す図である。
【図２】  配管用継ぎ手の構成を示す断面図である。
【図３】  この発明の他の実施形態について説明するための図である。
【図４】  従来の基板処理装置（ポリマー除去処理のための装置）における配管構造を示す図である。
【符号の説明】
１      配管用継ぎ手
２      ポリマー除去装置
３      導電性チューブ
４      金属製バンド
５      金属線
６      配管用継ぎ手
７      導通用配線
８      導電性樹脂バンド
２１    処理室
【図１】
0003808790.tif 000002
【図２】
0003808790.tif 000003
【図３】
0003808790.tif 000004
【図４】
0003808790.tif 000005