(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークよりも外方に延伸する動圧溝パターンを有する非導電体製のシートの両面に、電極と、上記シート及び上記電極よりも径の小さい上記ワークとを密着させて、
上記ワークと上記電極とで両面が塞がれた上記動圧溝パターン内に上記電極側の供給口から電解液を流して、上記動圧溝パターン内を流動させて、上記動圧溝パターンの径方向外側の端部に位置する排出口から排出しながら上記電極に通電して、上記ワークに、壁面が傾斜しなくて断面が矩形になる動圧溝を形成することを特徴とする動圧軸受の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の動圧軸受の製造方法において、
上記電解液を、上記シートの中央穴を介して上記中央穴の周りに周方向に一定間隔をあけて配列している複数の溝穴を有する上記動圧溝パターン内に放射状に流すことを特徴とする動圧軸受の製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の動圧軸受の製造方法において、
上記ワークは貫通穴を中央部に有し、
上記電解液を、上記シートの中央穴の周りに周方向に一定間隔をあけて配列している複数の溝穴を有する上記動圧溝パターン内に、上記溝穴の径方向略中央部から供給し、上記中央穴を介して上記ワークの貫通穴と上記排出口とから排出することを特徴とする動圧軸受の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は動圧軸受の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、動圧軸受の製造方法としては、図３に示すように、動圧溝パターンを有する非導電体製シート３５を張り付けた電極３１をワーク３２に対して所定間隙を隔てて対向させた後、その電極３１とワーク３２との間の間げきに電解液３３を流しながら電極３１に通電して、シート３５で覆われていない電極露出部３１ａに対応する形状の動圧溝３４をワーク３２に形成するものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記動圧軸受の製造方法では、シート３５とワーク３２との間に間隙があるため、電流が放射状に発生しシート３５の先端面側に回り込んでしまい、動圧溝３４間の丘部３６の角部が溶出して、その丘部３６の断面形状が台形になってしまう。つまり、上記動圧溝３４は、断面台形状になってしまうという問題がある。
【０００４】
また、上記シート３５とワーク３２との距離のわずかな変化により、ワーク３２に形成される動圧溝の形状が変化してしまう。より詳しくは、上記シート３５とワーク３２との間の距離が設定値から少しでもずれると、ワーク３２に形成される動圧溝の幅や深さが変動し、ワーク３２において所望の動圧溝を得られない。したがって、上記シート３５とワーク３２との間の距離と、ワーク３２に形成される動圧溝の形状との関係を検討しつつ、さらに、シート３５とワーク３２との間の間隙に対してシビアな管理が必要になるという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、動圧溝の断面が台形になることがなくて、ワークに形成される動圧溝の形状と、シートの動圧溝パターンの形状とを一致させることができると共に、シートとワークとの間の間隙に対するシビアな管理を不要にできる動圧軸受の製造方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明の動圧軸受の製造方法は、ワークよりも外方に延伸する動圧溝パターンを有する非導電体製のシートの両面に、電極と、上記シート及び上記電極よりも径の小さい上記ワークとを密着させて、上記ワークと上記電極とで両面が塞がれた上記動圧溝パターン内に上記電極側の供給口から電解液を流して、上記動圧溝パターン内を流動させて、上記動圧溝パターンの径方向外側の端部に位置する排出口から排出しながら上記電極に通電して、上記ワークに、壁面が傾斜しなくて断面が矩形になる動圧溝を形成することを特徴としている。
【０００７】
上記請求項１の発明の動圧軸受の製造方法によれば、上記動圧溝パターンを有する非導電体製のシートの各端面に、ワークと電極とを夫々密着させる。そして、上記ワーク,電極およびシートで囲まれた動圧溝パターン内に電解液を流しながら電極に通電する。このとき、上記シートがワークに密着しているから、シートとワークとの間に電流が入り込まず、ワークにおいて動圧溝パターンに対応する部位のみが溶出する。つまり、動圧溝の壁面が傾斜することがなくて、動圧溝の断面が矩形になって、シートの動圧溝パターンと、ワークに形成される動圧溝の形状とを一致させることができる。
【０００８】
また、上記シートとワークとを密着させた状態で動圧溝を形成するから、シートとワークとの間の隙間に対するシビアな管理を不要にできる。
【０００９】
【００１０】
また、上記電解液を、電極側の供給口から動圧溝パターン内に流入させ、ワークの外縁から電解液を排出させるから、電解液をワークの外縁から容易に回収できると共に、新鮮な電解液が絶えず加工面に供給される。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の動圧軸受の製造方法を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００１２】
図１を参照して、本発明の実施の一形態の動圧軸受の製造方法を説明する。
【００１３】
この動圧軸受の製造方法では、図１に示す電極１を使用する。この電極１の先端面には、円板形状の非導電体製のシート５を張り付けている。上記シート５は、図２(平面図)に模式的に示すように、一方の端面から他方の端面まで貫通し、動圧溝パターン１０を形成する貫通穴７を有している。この貫通穴７は、シート５の中央を貫通する円形の中央穴７ａと、その中央穴７ａの周りに複数個形成されたＶ字形状の溝穴７ｂとからなっている。この溝穴７ｂは、周方向に一定間隔をあけて配列している。また、上記溝穴７ｂの径方向内側の端部は中央穴７ａに連なる一方、溝穴７ｂの径方向外側の端部は電解液の排出口１７になっている。このシート５が電極１の先端面を覆っていることで、動圧溝パターン１０に対応して、電極１の先端面の一部が露出し、電極露出部１ａ(図１に示す)になっている。逆に、上記シート５の動圧溝パターン１０に非対向の電極部分がシート５で覆われている。なお、図２では、上記貫通穴７からワーク２が露出している部分を斜線で示している。この図２から判るように、上記貫通穴７の径方向の大きさをワーク２の径方向の大きさよりも大きく設定している。また、図２において、上記溝穴７ｂは４つのみ図示して、他の溝穴７ｂの図示を省略している。
【００１４】
上記動圧軸受の製造方法は次のようにして行われる。
【００１５】
まず、図１に示すように、上記電極１のシート５をワーク２に密着させ、電極１とワーク２とがシート５の両面に夫々密着した状態にする。そして、上記電極１側の供給口８から電解液を矢印Ｉ方向に流す。すると、この電解液は貫通穴７の中央穴７ａから穴溝７ｂに向って放射状に流れて、電極１とワーク２とで両面が塞がれた動圧溝パターン１０内に供給される。この状態で、上記電極１に通電することで、動圧溝をワーク２に形成する。このとき、上記電解液は溝穴７ｂに導かれた後、溝穴７ｂの排出口１７から矢印Ｏ方向に排出されるので、加工面には、絶えず電解液が供給される。
【００１６】
このように、上記シート５がワーク２に対して隙間なく密着した状態であるから、ワーク２と電極１とで両面が塞がれた動圧溝パターン１０内に電解液を流しながら電極１に通電したときに、ワーク２とシート５との間に電流が侵入せず、ワーク２において電極露出部１ａに対向する部位のみが溶出する。つまり、上記動圧溝が断面台形状になることがなくて、動圧溝が断面矩形状になって、電極露出部１ａの形状(シート５の動圧溝パターン１０)と、ワーク２に形成される動圧溝の形状とを一致させることができる。また、上記動圧溝のエッジをシャープすることができる。
【００１７】
また、上記シート５が電極１およびワーク２に密着した状態で動圧溝を形成するから、シート５とワーク２との間に隙間がなく、シート５とワーク２との間の隙間を厳格に管理する必要がない。
【００１８】
また、上記電解液は排出口１７を介してワーク２の外縁から排出されているので、そこから電解液を容易に回収することができると共に、加工面に絶えず新鮮な電解液を供給することができる。
【００１９】
上記実施の形態では、上記電極１側の供給口８から電解液を動圧溝パターン１０内に供給し、ワーク２の外縁から電解液を排出していたが、逆に、電解液を溝穴７ｂの径方向外側の端部側から動圧溝パターン１０内に供給し、中央穴７ａを介して電極１側の供給口８から電解液を排出してもよい。この場合においても、上記電極１とワーク２とがシート５の両面に夫々密着した状態であることは言うまでもない。
【００２０】
また、例えば、上記ワーク２の中央部に貫通穴を設けて、電解液を溝穴７ｂの径方向外側の端部側から動圧溝パターン１０内に供給し、そのワーク２の中央部の貫通穴から電解液を排出してもよい。
【００２１】
また、上記電解液を溝穴７ｂの径方向略中央部側から動圧溝パターン１０内に供給し、ワーク２の中央部の貫通穴とワーク２の外縁とから電解液を排出してもよい。
【００２２】
【発明の効果】
以上より明らかなように、請求項１の発明の動圧軸受の製造方法は、シートの両面にワークと電極が密着した状態であるから、ワークと電極とで両面が塞がれた動圧溝パターン内に電解液を流しながら電極に通電したときに、シートとワークとの間に電流が流れず、ワークにおいて動圧溝パターンに対応する部位のみが溶出し、動圧溝の壁面が斜めにならず、動圧溝の断面が矩形になり、シートの動圧溝パターンと、ワークに形成される動圧溝の形状との整合を得ることができる。
【００２３】
また、上記シートをワークに対して隙間なく密着させた状態で動圧溝を形成するから、シートとワークとの間の隙間に対するシビアな管理が不要である。
【００２４】
また、上記電極側の供給口から動圧溝パターン内に供給された電解液は、ワークの外縁から排出されているので、そこから電解液を容易に回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は本発明の実施の一形態の動圧軸受の製造方法を説明するための図である。
【図２】  図２は上記動圧軸受の製造方法で使用するシートの模式的な平面図である。
【図３】  図３は従来の動圧軸受の製造方法を説明するための図である。
【符号の説明】
１    電極
１ａ  電極露出部
２    ワーク
５    シート
７    貫通穴
７ａ  中央穴
７ｂ  溝穴
８    供給口
１０  動圧溝パターン
【図１】
0003795729.tif 000002
【図２】
0003795729.tif 000003
【図３】
0003795729.tif 000004