(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アドレス電極をもつ背面基板の表面に誘電層を形成する段階と、
前記誘電層の表面に導電層及び光導電層を順次形成する段階と、
前記光導電層の表面を帯電せしめる段階と、
前記光導電層に静電潜像を形成し得るよう紫外線光を用い、所定パターンに露光せしめる段階と、
前記静電潜像の形成された光導電層を帯電されたトナー層に接触せしめることにより、前記静電潜像に液状トナーを付着する現像段階と、
前記静電潜像に付着されたトナーを乾燥せしめ、静電潜像以外の領域に残存するトナーを吸い込む段階と、
前記光導電層の表面帯電段階から前記トナーの乾燥及び吸込段階までの過程を相異なる組成の液状トナーを用い、３回繰り返す段階と、
隔壁の形成された背面基板を焼成せしめる段階と、
を有し、
前記３回にわたって繰り返される露光段階において、最初の露光段階はクロムパターンの形成されたマスクを用いて行われる一方、第二番目及び第三番目の露光時にはマスク無しに露光が行われる
ことを特徴とするプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項２】
前記誘電層の材料は、二酸化ケイ素を主成分とするシリケートを用い形成されたことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項３】
前記導電層は、アンモニウム塩の含まれたアルコール溶液を前記誘電層の表面にコートした後に乾燥したことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項４】
前記導電層は、１マイクロメートルの厚みで形成されることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項５】
前記光導電層は、フルオレン系のドナー、アントラキノン系のアセプター、ポリアクリレート系のバインダー及び、トルエンを含む組成物を前記導電層の表面にスピンコートした後に乾燥することにより形成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項６】
前記フルオレン系のドナー、アントラキノン系のアセプター、ポリアクリレート系のバインダーは、5:15:85の重量比にて組成されたことを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項７】
前記光導電層は、５乃至６マイクロメートルの厚みで形成されることを特徴とする請求項１または５に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項８】
前記最初の露光時にマスクは、前記光導電層の表面から略0.5ミリメートル以下に離れて配置されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項９】
前記現像段階は、電流が印加される電極の表面に層流状態で流動する液状トナーを前記静電潜像の形成された光導電層に接近せしめることにより、帯電された液状トナーを前記静電潜像に付着せしめることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項１０】
前記液状トナーが流動する電極と前記光導電層との間隔は略0.5乃至1mmに保たれることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項１１】
前記液状トナーは、金属酸化物の混合体のフリット及びバインダー並びに溶媒を含む組成物であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項１２】
前記液状トナーは、前記フリット及びバインダーをそれぞれ3:7の重量比で合わせ、また前記フリット及びバインダーの混合体を溶媒と1:20の重量比にて合わせたものであることを特徴とする請求項１１に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項１３】
前記バインダーは、ポリメタアクリル酸であり、前記溶媒はイソパラフィン液であることを特徴とする請求項１１または１２に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項１４】
前記液状トナーのフリットは、３回にわたった繰返し現像時ごとに相異なる金属酸化物成分を含み、最初に適用される液状トナーのフリットは酸化鉛、酸化マンガン及び酸化亜鉛を含み、第二に適用される液状トナーのフリットは酸化鉛、酸化銅、酸化マンガン及び酸化クロムを含み、第三に適用される液状トナーのフリットは酸化鉛、３酸化２硼素及び酸化アルミニウムを含むことを特徴とする請求項１１に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項１５】
前記最初に適用される液状トナーのフリットは、酸化鉛、酸化マンガン及び酸化亜鉛が30:40:30wt%で含まれることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項１６】
前記第二に適用される液状トナーのフリットは、酸化鉛、酸化銅、酸化マンガン及び酸化クロムが30:25:30:15wt%で含まれることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項１７】
前記第三に適用される液状トナーのフリットは、酸化鉛、３酸化２硼素及び酸化アルミニウムが35:25:40wt%で含まれることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法。
【請求項１８】
アドレス電極をもつ背面基板の表面に誘電層を形成する段階と、
前記誘電層の表面に導電層と光導電層とを順次形成する段階と、
前記光導電層の表面を帯電せしめる段階と、
前記光導電層に静電潜像を形成し得るように紫外線光を用い、所定パターンで露光せしめる段階と、
前記静電潜像の形成された光導電層を帯電された液状トナー層に接近せしめることにより、前記静電潜像に液状トナーを付着する現像段階と、
前記静電潜像に付着されたトナーを乾燥せしめ、静電潜像以外の領域に残存するトナーを吸い込む段階と、
前記光導電層の表面帯電段階から前記トナーの乾燥及び吸込段階までの過程を相異なる組成の液状トナーを用い、３回繰り返す段階と、
隔壁の形成された背面基板を焼成せしめる段階と、
により形成される隔壁を備え、
前記３回にわたって繰り返される露光段階において、最初の露光段階はクロムパターンの形成されたマスクを用いて行われる一方、第二番目及び第三番目の露光時にはマスク無しに露光が行われる
ことを特徴とするプラズマディスプレー装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法及び該隔壁を備えたプラズマディスプレー装置に係り、さらに詳細には、プラズマディスプレー装置に取り付けられた背面基板の隔壁を電子写真法（electrophotography）を通じて製造する方法、及び該方法により製造された隔壁を備えるプラズマディスプレー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、プラズマディスプレー装置は、ガス放電現象を用いて画像を表示するためのものであり、これは表示容量、輝度、コントラスト、残像、視野角など各種の表示能に優れ、CRTに代え得る表示パネルとして期待が寄せられている。
【０００３】
この種のプラズマディスプレー装置は、電極に印加される直流または交流電圧により電極間のガスで放電がおこり、これに伴う紫外線の放出により蛍光体を励起せしめ発光するようになっている。
【０００４】
プラズマディスプレー装置は、放電メカニズムにより交流型（AC型）と直流型（DC型）とに大別できる。
【０００５】
図７には、通常の交流型プラズマディスプレー装置の構造に関する概略的な分解斜視図が示してある。
【０００６】
図面を参照すれば、前面ガラス基板11と背面ガラス基板12との間に透明なディスプレー電極の第１電極13a及びアドレス電極の第２電極13bが形成される。第１電極13a及び第２電極13bは、前面ガラス基板11及び背面ガラス基板12の内表面にそれぞれストライプ状で形成され、基板11、12が組み合せられたとき相互直交する。前面ガラス基板11の内側面には誘電層14及び保護層15が順次積層される。一方、背面ガラス基板12には誘電層14'の上部表面に隔壁17が形成され、隔壁17間にはガス充填空間のセル19が形成される。セル19内にはアルゴンなどの不活性ガスが充填される。また、それぞれのセル19を形成する隔壁17の内側には所定部位に蛍光体18が塗布される。
【０００７】
以上のような構成を有するプラズマディスプレー装置の動作を概略的に説明すれば、まず、電極13a、13b間の放電を起こせるよういわゆるトリガー電圧（trigger  voltage）と呼ばれる高電圧が印加される。トリガー電圧により誘電層14に正イオンが蓄電されると、放電が起こる。トリガー電圧がスレショルド電圧（threshold  voltage）を上回ると、セル19内に充填されたアルゴンガスなどは放電によりプラズマ状態となり、電極13a、13b間において安定な放電状態が保てる。安定な放電状態では、放電光の内紫外線領域の光が蛍光体18に衝突して発光し、これによりセル19別に形成されるそれぞれの画素は画像をディスプレーできる。
【０００８】
図８は、ブレードコータに関する概略的な斜視図である。ブレードコータは、プラズマディスプレー装置の隔壁を従来技術の印刷法により製作するのに使用される装置の一つである。
【０００９】
図面を参照すれば、背面基板21には、既に以前の工程を通じてアドレス電極及び誘電層などが形成されている。背面基板21の上部表面には図示しないメッシュ（mesh）が取り付けられ、ブレード22は支持台23の下部に設けられている。支持台23は背面基板21の上部で水平に移動でき、このときブレード22は、背面基板21の上部でペースト状態の隔壁材料を押し当てながら水平方向に移動する。ブレード22は、メッシュの付いた背面基板21に対し、ペースト状態の隔壁材料を押し当てると共に、水平に移動することにより、隔壁材料を背面基板21の誘電層表面に均一に塗布する。
【００１０】
前述のような従来技術のプリント方法によるブレードコータを用いた隔壁の製造には以下のような問題点がある。
【００１１】
まず、ブレードコータによるプリント作業は、所定厚みの隔壁高さが形成されるまで数回繰り返されるが、このとき、それぞれのプリント作業後には毎回乾燥作業が行われる。最終的に完成される隔壁の高さが略200マイクロメートルの場合、プリント作業と乾燥作業は少なくとも10回以上繰り返さざるを得ない。これにより隔壁製造作業にかかる時間が長引き、例えば一枚の基板につき１時間以上が要される。この製造時間の延びは生産性の低下を招く。
【００１２】
また別の問題は、ブレードがペースト状態の隔壁材料を基板の表面に押し当てる時、基板に付いているメッシュがブレードの加圧力により変形されてしまうことにある。メッシュは隔壁のパターンを保つ働きを有するので、メッシュが変形されると、隔壁を設計上のパターン通りに製作し得なくなる。すなわち、最終に完成される隔壁の形態が歪むことがあり、これは画像の品質劣化につながる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、電子写真法によりプラズマディスプレー装置の隔壁を製造する新規な方法を提供することを目的とする。
【００１４】
また、本発明の他の目的は、電子写真法により製作された隔壁を備えるプラズマディスプレー装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明によれば、アドレス電極をもつ背面基板の表面に誘電層を形成する段階と、前記誘電層の表面に導電層及び光導電層を順次形成する段階と、前記光導電層の表面を帯電せしめる段階と、前記光導電層に静電潜像を形成し得るよう紫外線光を用い、所定パターンに露光せしめる段階と、前記静電潜像の形成された光導電層を帯電されたトナー層に接触せしめることにより、前記静電潜像に液状トナーを付着する現像段階と、前記静電潜像に付着されたトナーを乾燥せしめ、静電潜像以外の領域に残存するトナーを吸い込む段階と、前記光導電層の表面帯電段階から前記トナーの乾燥及び吸込段階までの過程を相異なる組成の液状トナーを用い、３回繰り返す段階と、隔壁の形成された背面基板を焼成せしめる段階とを有し、前記３回にわたって繰り返される露光段階において、最初の露光段階はクロムパターンの形成されたマスクを用いて行われる一方、第二番目及び第三番目の露光時にはマスク無しに露光が行われることを特徴とするプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法が提供される。
【００１６】
さらに、本発明の特徴によると、前記誘電層の材料は、二酸化ケイ素を主成分とするシリケートを用い形成される。
【００１７】
さらに、本発明の特徴によると、前記導電層は、アンモニウム塩の含まれたアルコール溶液を前記誘電層の表面にコートした後に乾燥せしめる。
【００１８】
さらに、本発明の特徴によると、前記導電層は、1マイクロメートルの厚みで形成される。
【００１９】
さらに、本発明の特徴によると、前記光導電層は、フルオレン系のドナー、アントラキノン系のアセプター、ポリアクリレート系のバインダー及び、トルエンを含む組成物を前記導電層の表面にスピンコートし、また乾燥することにより形成される。
【００２０】
さらに、本発明の特徴によると、前記フルオレン系のドナー、アントラキノン系のアセプター、ポリアクリレート系のバインダーは、5:15:85の重量比にて組成される。
【００２１】
さらに、本発明の特徴によると、前記光導電層は、５乃至６マイクロメートルの厚みで形成される。
【００２３】
さらに、本発明の特徴によると、前記最初の露光時にマスクは、前記光導電層の表面から略0.5ミリメートル以下に離れて配置される。
【００２４】
さらに、本発明の特徴によると、前記現像段階は、電流が印加される電極の表面に層流状態で流動する液状トナーを前記静電潜像の形成された光導電層に接近せしめることにより、帯電された液状トナーが前記静電潜像に付着される。
【００２５】
さらに、本発明の特徴によると、前記液状トナーが流動する電極と前記光導電層との間隔は略0.5乃至1mmに保たれる。
【００２６】
さらに、本発明の特徴によると、前記液状トナーは、金属酸化物の混合体のフリット及びバインダー並びに溶媒を含む組成物である。
【００２７】
さらに、本発明の特徴によると、前記液状トナーは、前記フリット及びバインダーをそれぞれ3:7の重量比で合わせ、また前記フリット及びバインダーの混合体を溶媒と1:20の重量比にて合わせたものである。
【００２８】
さらに、本発明の特徴によると、前記バインダーは、ポリメタアクリル酸であり、前記溶媒はイソパラフィン液である。
【００２９】
さらに、本発明の特徴によると、前記液状トナーのフリットは、３回にわたった繰返し現像時ごとに相異なる金属酸化物成分を含み、最初に適用される液状トナーのフリットは酸化鉛、酸化マンガン及び酸化亜鉛を含み、第二に適用される液状トナーのフリットは酸化鉛、酸化銅、酸化マンガン及び酸化クロムを含み、第三に適用される液状トナーのフリットは酸化鉛、３酸化２硼素及び酸化アルミニウムを含むものである。
【００３０】
さらに、本発明の特徴によると、前記最初に適用される液状トナーのフリットは、酸化鉛、酸化マンガン及び酸化亜鉛が30:40:30wt%で含まれる。
【００３１】
さらに、本発明の特徴によると、前記第二に適用される液状トナーのフリットは、酸化鉛、酸化銅、酸化マンガン及び酸化クロムが30:25:30:15wt%で含まれる。
【００３２】
さらに、本発明の特徴によると、前記第三に適用される液状トナーのフリットは、酸化鉛、３酸化２硼素及び酸化アルミニウムが35:25:40wt%で含まれる。
【００３３】
さらに、本発明によると、アドレス電極をもつ背面基板の表面に誘電層を形成する段階と、前記誘電層の表面に導電層と光導電層とを順次形成する段階と、前記光導電層の表面を帯電せしめる段階と、前記光導電層に静電潜像を形成し得るように紫外線光を用い、所定パターンで露光せしめる段階と、前記静電潜像の形成された光導電層を帯電された液状トナー層に接近せしめることにより、前記静電潜像に液状トナーを付着する現像段階と、前記静電潜像に付着されたトナーを乾燥せしめ、静電潜像以外の領域に残存するトナーを吸い込む段階と、前記光導電層の表面帯電段階から前記トナーの乾燥及び吸込段階までの過程を相異なる組成の液状トナーを用い、３回繰り返す段階と、隔壁の形成された背面基板を焼成せしめる段階とにより形成される隔壁を備え、前記３回にわたって繰り返される露光段階において、最初の露光段階はクロムパターンの形成されたマスクを用いて行われる一方、第二番目及び第三番目の露光時にはマスク無しに露光が行われることを特徴とするプラズマディスプレー装置が提供される。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面に基づいて本発明に係わるプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法及び該隔壁を備えたプラズマディスプレー装置の好適な実施の形態につき説明する。
【００３６】
図１は、本発明によりプラズマディスプレー装置を製造する方法を概略的に示すフローチャートである。
【００３７】
図面を参照すれば、本発明による方法は、アドレス電極の形成された背面基板に誘電層を形成する段階81と、誘電層の表面に導電層を形成する段階82と、導電層の上部に光導電層を形成する段階83と、前記光導電層の表面を帯電せしめる段階84と、前記帯電された光導電層を露光せしめる段階85と、露光により形成された静電潜像に液状トナーを接触せしめる現像段階86と、前記静電潜像に付着された液状トナーを乾燥すると同時に、静電潜像領域以外に残留するトナーを吸入排出せしめる吸入乾燥段階87と、上記帯電段階84から吸入乾燥段階87までの過程を相異なる特性をもつトナーを用いて繰り返す段階88と、以上のように形成された隔壁が誘電層に固定できるよう基板を焼成せしめる段階89とを含む。焼成段階89以降には、後工程90へ進む。それぞれの段階によるさらに詳細な内容は後述される。
【００３８】
図２は、本発明により電極及び誘電層の形成された背面基板の表面に導電層及び光導電層が形成されることを示す断面図である。
【００３９】
図面を参照すれば、背面基板91に形成されるアドレス電極92は、通常の方法により形成される。すなわち、写真食刻法によってITO材料の電極を背面基板91の内側表面に形成する。次に、背面基板91に誘電層93材料を全面にわたって塗布し、これを乾燥せしめる。誘電層93の材料は通常のスピンコート法やあるいは印刷方法により塗布できる。誘電層93は従来の技術において使用されたものと同様の材料を用いても良く、例えば、通常の２酸化ケイ素を主成分とするシリケートを用いて形成しても良い。
【００４０】
誘電層93の上部には導電層94及び光導電層95が順次積層される。導電層94はアンモニウム塩が含まれたアルコール溶液をスピンコート法により塗布し、また乾燥せしめることにより形成できる。好ましい導電層94の厚みは略１マイクロメートルである。
【００４１】
一方、光導電層95を形成するための溶液はフルオレン系のドナー、アントラキノン系のアセプター、ポリアクリレート系のバインダーを含む組成物をトルエン溶液と混合することにより製造できる。前記組成物の好ましい組成割合は、ドナー、アセプター及びバインダーの重量比が5:15:85である。光導電層95は、前記溶液をスピンコートした後に乾燥せしめることで形成され、スピンコート以降の光導電層95の厚みは略５乃至６マイクロメートルであることが好ましい。図２を参照して述べられた過程は図１の誘電層形成段階81、導電層コート段階82及び光導電層コート段階83に対応する。
【００４２】
図３は、光導電層の表面を帯電することを示す概略的な断面図である。
【００４３】
図面を参照すれば、光導電層95の全表面はタングステンワイヤーまたはスコロトロン99を用いプラス電気に帯電される。この時、導電層94は接地状態を保つ。この過程は図１において表面帯電段階84に当る。
【００４４】
図４は、マスクを用い、光導電層に所定パターンの静電潜像を形成する露光段階を説明するための概略的な断面図である。
【００４５】
図面を参照すれば、露光用マスク98は光導電層95の表面から所定距離離れている。マスク98はグラス97の表面にクロム材料でパターン96を形成することにより製作される。クロムパターン96は、以降に形成される隔壁のパターンと一致するものであって、露光用紫外線光を遮断する働きをする。図４において英字mはクロムパターン96の離隔距離を、英字nは光導電層95の表面からマスク98が離隔された距離をそれぞれ表す。好ましくは、nが0.5mm以下に保たれた状態で露光が行われる。マスク98を介して照射される光111は365ナノメートルの波長を有する紫外線光であることが好ましい。
【００４６】
以上のようにマスク98をかぶせた状態で紫外線光111を照射すると、クロムパターン96により紫外線光111が遮断される部分を除いた光導電層95の表面部分においてプラス電荷が排除されることにより、所定パターンの静電潜像が形成される。すなわち、図面において番号112で示す部分ではプラス電荷が排除されるが、これは誘電層93の表面で隔壁が形成されるべき部分と一致する。紫外線光111により排除された電荷は光導電層95の下部に形成された導電層94を通して排除される。すなわち、導電層94は露光過程において静電潜像を形成する際に電荷を排除するためのものである。図４を参照して説明された段階は図１において番号85で示す露光段階に当る。
【００４７】
図５は、静電潜像の形成された光導電層95の表面を液状トナーを用いて現像する段階を概略的に示す断面図である。
【００４８】
図面を参照すれば、液状トナー122は電流が印加される下部電極121の表面上に層流状に流動することにより、プラス電気に帯電される。静電潜像の形成された光導電層95と下部電極121とは所定間隔を保つ。移送装置（図示せず）により背面基板91は矢印125で示すように水平方向に移動可能であり、昇降装置（図示せず）により下部電極121は矢印126で示すように垂直方向に昇降可能である。実際の現像作用では基板91の光導電層95に向って下部電極121が上昇することにより、光導電層95と下部電極121との間に形成されたギャップに液状トナー122が満たされる状態となる。この時、光導電層95と下部電極121との間隔は略0.5乃至1mmに保たれることが好ましい。
【００４９】
以上述べたように、光導電層95に形成された静電潜像に層流流動する液状トナー122を接近せしめることにより、液状トナー122は静電潜像に付着される。この時に使用される液状トナーは一つ以上の金属酸化物を含むフリット材料、バインダー及び溶媒からなる組成物である。後述のように、液状トナーに含まれたフリット材料の金属酸化物の組成は３回にわたった繰返し的現像過程ごとに相異なるように選択される。最初の現像において用いられる液状トナーは金属酸化物の組成物のフリット及びバインダーをそれぞれ3:7の重量比で混合し、前記フリット及びバインダーの混合体をイソパラフィン溶媒と1:20の重量比にて混合したものである。前記バインダーはポリメタアクリル酸であることが好ましく、前記フリットは酸化鉛（PbO）、酸化マンガン（MnO）及び酸化亜鉛（ZnO）の割合が30:40:30wt%であることが好適である。図５に基づいて述べた現像段階は、図１の現像段階86に該当する。
【００５０】
現像が済んでからは、光導電層95に残留する液状トナーを吸入乾燥する過程が行われる。静電気力により光導電層95の静電潜像に付着された液状トナーは乾燥することで定着が行われるが、この時、静電潜像以外の領域に分散された液状トナーは真空により吸い込まれることで除去しなければならない。これは、図１において吸入乾燥段階87に当る。
【００５１】
改めて図１を参照すれば、帯電段階84から吸入乾燥段階87が前述した最初の過程を含み数回にわたって繰り返される。好ましくは３回にわたって繰り返される。すなわち、最初の現像及び吸入乾燥過程が済んでから、基板の表面を帯電せしめ、露光／現像を行い、吸入乾燥する過程が２回にわたってさらに繰り返される。
【００５２】
第二及び第三の表面帯電過程は図３に基づき説明された通りである。つまり、タングステンワイヤーまたはスコロトロン99を用い、光導電層95の表面を所定の電位に帯電せしめる。最初の現像段階において形成された隔壁を有する表面を帯電せしめると、電位の大きさは隔壁の上部表面が一番高く、次は隔壁の側面であり、隔壁の形成されない光導電層の表面の電位が一番低く形成される。
【００５３】
一方、第二及び第三の露光段階85は図４に示す最初の露光段階と同様にマスク98を用い行われても良いが、マスクなしに行われることも可能である。
【００５４】
図６は、第二及び第三の露光段階をマスクなしに行なうことを示す概略的な断面図である。
【００５５】
図面を参照すれば、以前の現像段階において形成された隔壁131を有する光導電層95の表面に紫外線光132を照射することが示してある。ここで、マスクなしに露光を行なっても隔壁131の表面に帯電された電荷は排除されず、隔壁131の形成されない光導電層95の表面の電荷のみ排除される。これは、以前に形成された隔壁材料自体が絶縁性を持つために、電荷が排除される通路がないからである。
【００５６】
３回にわたったそれぞれの現像過程において、液状トナーに含まれたフリットの組成は相異なっている。最初の現像過程で適用される液状トナーのフリット組成は前述の通りである。第二の現像過程で適用される液状トナーのフリット組成は酸化鉛（PbO）、酸化銅（CuO）、酸化マンガン（MnO）、酸化クロム（CrO）が30:25:30:15wt%の組成を有するものである。第三の現像過程で適用される液状トナーのフリットは酸化鉛（PbO）、三酸化二硼素（B2O3）、酸化アルミニウム（Al2O3）が35:25:40wt%の組成を有するものである。このように液状トナーのフリット組成を相異なるようにするのは、完成された隔壁が熱膨張により変形されるときにクラックが生じることを防ぐためである。
【００５７】
すなわち、隔壁の高さにより熱膨張変形の度合いが異なってくるため、相異なる熱膨張係数を持つフリットを適用することにより、高さによる熱膨張変形量の差分が受け入れられるようにするのである。
【００５８】
表面帯電から吸入乾燥までの過程が３回繰り返されてからは、焼成過程を経るようになっている。焼成（sintering）時に加わる熱は隔壁材料に含まれたバインダー物質及び誘電層の表面に形成された導電層94と光導電層95を全て除去する結果をもたらす。このとき、熱により隔壁のフリット成分が一部軟化することにより、前記隔壁は二酸化ケイ素を主成分として形成された誘電層に安定的に固定されうる。
【００５９】
前述の実施の形態では、光導電層の表面をプラス電気に帯電せしめ、隔壁の形成される位置に当る部分にクロムパターンを有するマスクを使用する方式を採用したものの、その逆の場合も可能である。つまり、光導電層の表面をマイナス電気に帯電せしめ、隔壁の形成されない位置にクロムパターンを有するマスクを用い、最初の露光を行えば同様の結果が得られる。
【００６０】
【発明の効果】
本発明に係るプラズマディスプレー装置の隔壁製造方法は、電子写真法により隔壁を製造していることから、隔壁の形状を歪めることなく、短時間内に作業が完了できるといった利点がある。
【００６１】
例えば、20インチの基板を有するプラズマディスプレー装置の隔壁を製造する場合、従来の繰返しプリント方法では１時間以上が要されるのにひきかえ、本発明の電子写真法では３分以内に隔壁形成が可能であった。
【００６２】
さらに、ストライプ状に形成される隔壁が設計上の位置から外れる離脱距離の歪み値を比較すると、従来技術では30マイクロメートル以上の歪み値を示すのに反し、本発明では５乃至７マイクロメートルの歪み値で隔壁が製造できた。
【００６３】
この製造時間の短縮と隔壁の歪みの減少は、生産性の向上と共に、製品の品質を向上することができる。
【００６４】
なお、本発明は添付した図面に示す一実施の形態に基づいて述べたが、これは単なる例示的なものに過ぎず、当該分野における通常の知識を有する者なら、これより各種の変形及び均等な他実施の形態が可能であることが理解できる。例えば、本発明はプラズマディスプレー装置の隔壁製造に限って述べたが、プラズマアドレス液晶表示装置（PALCD;plasma  addressed  liquid  crystal  display）にも使用できる。つまり、PALCD装置に付いた隔壁を形成するに際しても前述の方法をそのまま適用可能である。よって、本発明の真の保護範囲は特許請求の範囲の記載によって定まるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態によりプラズマディスプレー装置の隔壁を製造する方法を概略的に示すフローチャート。
【図２】図１に説明された実施の形態により背面基板に形成された導電層及び光導電層を示す概略的な断面図。
【図３】図１に説明された実施の形態により背面基板に形成された光導電層の表面が帯電されることを概略的に示す断面図。
【図４】図１に説明された実施の形態により帯電された背面基板の光導電層を紫外線光で露光せしめることを示す概略的な断面図。
【図５】図１に説明された実施の形態により静電潜像に液状トナーを付着せしめる現像過程を示す概略的な断面図。
【図６】図１に説明された実施の形態により以前の現像段階において形成された隔壁を有する光導電層の全面にわたって露光を行なうことを示す概略的な断面図。
【図７】通常のプラズマディスプレー装置の概略的な分解斜視図。
【図８】従来技術の繰返しプリント方法により隔壁を形成するブレードコータ（blade  coater）に関する概略的な斜視図。
【符合の説明】
91  背面基板
92  アドレス電極
93  誘電層
94  導電層
95  光導電層
96  クロムパターン
97  グラス
98  マスク
99  タングステンワイヤーまたはスコロトロン
111  紫外線光
121  下部電極
122  液状トナー
131  隔壁
132  紫外線光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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