(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
デイスク記憶媒体を支持する支持部と磁石とを備えたハブと、コイルを有し、前記ハブを回転可能に保持する固定部と、前記ハブと前記固定部との間に設けられた流体軸受とを有するデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法において、
前記固定部の固定シャフトに、前記流体軸受を介して前記ハブを取り付ける工程と、
前記コイルに電流を流し、前記ハブを回転しながら、前記支持部の前記デイスク記憶媒体を支持する面を研磨する工程とを有し、
前記研磨する工程は、
前記支持部の支持面の一部に切削部材を当てると共に、前記切削部材の加圧による前記ハブの倒れを防止するように、前記支持部の前記切削部材が当てられた位置において、前記支持面の反対側の面を加圧部材により加圧する工程であることを
特徴とするデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法。
【請求項２】
請求項１のデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法において、
前記研磨する工程は、前記支持面の反対側の面を転動体又は気体又は流体により加圧する工程であることを
特徴とするデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法。
【請求項３】
デイスク記憶媒体を支持する支持部と磁石とを備えたハブと、コイルを有し、前記ハブを回転可能に保持する固定部と、前記ハブと前記固定部との間に設けられた流体軸受とを有するデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法において、
前記固定部の固定シャフトに、前記流体軸受を介して前記ハブを取り付ける工程と、
前記コイルに電流を流し、前記ハブを回転しながら、前記支持部の前記デイスク記憶媒体を支持する面を研磨する工程とを有し、
前記研磨する工程は、
前記支持部の支持面の一部に切削部材を当てると共に、前記切削部材の加圧による前記ハブの倒れを防止するように、前記支持部の前記支持面の複数の他の部位を複数の加圧部材により加圧する工程であることを
特徴とするデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法。
【請求項４】
請求項３のデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法において、
前記取り付ける工程は、
前記デイスク記憶装置のベースに、前記固定シャフトを取り付ける工程と、
前記固定シャフトに、前記流体軸受を介して前記ハブを取り付ける工程とを有することを
特徴とするデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法。
【請求項５】
請求項３のデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法において、
前記研磨する工程は、前記支持面の他の部位を他の切削部材又は転動体又は気体又は流体により加圧する工程であることを
特徴とするデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法。
【請求項６】
請求項３のデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法において、
前記研磨する工程は、前記支持部の切削面の位置と、前記ベースの位置とを測定しながら、前記切削部材の切削量を制御する工程であることを
特徴とするデイスク記憶装置用スピンドルモータの製造方法。
【請求項７】
デイスク記憶媒体を支持する支持部と磁石とを備えたハブと、コイルを有し、前記ハブを回転可能に保持する固定部と、前記ハブと前記固定部との間に設けられた流体軸受とを有するデイスク記憶装置用スピンドルモータの研磨装置であって、
前記コイルに電流を流して、回転する前記ハブの前記デイスク記憶媒体を支持する面の一部を切削する切削部材と、
前記切削部材の加圧による前記ハブの倒れを防止するように、前記支持部の前記切削部材が当てられた位置において、前記支持面の反対側の面を加圧する加圧部材とを有することを
特徴とするデイスク記憶装置用スピンドルモータの研磨装置。
【請求項８】
デイスク記憶媒体を支持する支持部と磁石とを備えたハブと、コイルを有し、前記ハブを回転可能に保持する固定部と、前記ハブと前記固定部との間に設けられた流体軸受とを有するデイスク記憶装置用スピンドルモータの研磨装置であって、
前記コイルに電流を流して、回転する前記ハブの前記デイスク記憶媒体を支持する面の一部を切削する切削部材と、
前記切削部材の加圧による前記ハブの倒れを防止するように、前記支持部の前記支持面の複数の他の部位を加圧する複数の加圧部材とを有することを
特徴とするデイスク記憶装置用スピンドルモータの研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスク記憶媒体を回転するためのスピンドルモータの製造方法に関し、特に、ディスク記憶媒体の回転精度を向上するためのスピンドルモータの製造方法に関する。
【０００２】
近年、ディスク記憶装置には、記憶密度の増加が要求されている。このため、磁気ディスク装置には、磁気ディスクのトラック密度を狭くすることが、検討されている。しかしながら、ディスク媒体のトラック密度を狭くすると、ディスク媒体の回転ブレが、ヘッドの位置決め精度に影響を与える。このため、磁気ディスク媒体の回転ブレが少ないスピンドルモータが、求められている。
【０００３】
【従来の技術】
図１４は、磁気ディスク装置の説明図である。
【０００４】
図１４に示すように、複数枚の磁気ディスク２は、スピンドルモータ１に、支持されている。スピンドルモータ１は、磁気ディスク２を回転する。磁気ディスク２のデータを読み出し、データを書き込むために、磁気ヘッド４が設けられている。アクチュエータ３は、磁気ヘッド４を、磁気ディスク２のトラックに位置決めする。
【０００５】
磁気ディスク装置は、周知の通り、アクチュエータ３が、磁気ヘッド４を磁気ディスク２の所望のトラックに位置決めする。そして、磁気ヘッド４により、そのトラックのデータを読み出し又はそのトラックにデータを書き込む。
【０００６】
図１５は従来のスピンドルモータの断面図である。
【０００７】
磁気ディスク装置のベース８１には、固定シャフト８２の下端が取り付けられている。コア８９は、ベース８１に設けられている。コア８９には、コイル８８が巻き付けられている。
【０００８】
スリーブ８３は、一対のボールベアリング８５を介して固定シャフト８２に設けられる。スリーブ８３は、固定シャフト８２に対し、回転可能である。スリーブ８３には、その周囲にハブ８４が固定される。ハブ８４は、周囲に、磁気ディスクの支持部８４−１を有する。ハブ８４のディスク支持部８４−１の上面が、磁気ディスクの支持面である。ハブ８４の内面に、ヨーク８７と磁石８６とが、固定される。
【０００９】
このスピンドルモータは、ハブ８４に固定された磁石８６が、ベース８１に固定されたコイル８８に対向して、配置される。このため、コイル８８に電流を流すと、ハブ８４が、回転する。
【００１０】
図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）は、従来の組み立て方法の説明図である。
【００１１】
図１６（Ａ）に示すように、コイル８８を取り付けたベース８１に、固定シャフト８２を取り付ける。そして、固定シャフト８２に、スリーブ８３とハブ８４をボールベアリング８５を介して取り付ける。
【００１２】
この後、刃物９０をハブ８４のディスク支持部８４−１の上面（磁気ディスクの支持面）の一か所に加圧する。そして、ハブ８４を回転しながら、刃物９０により、ディスク支持部８４−１のディスク支持面を研磨する。
【００１３】
次に、図１６（Ｂ）に示すように、ハブ８４に磁気ディスク２を搭載する。この時、磁気ディスク２は、ハブ８４のディスク支持部８４−１に支持される。そして、磁気ディスク２のベース８１からの位置は、ディスク支持部８４−１の支持面の位置により、決定される。尚、９１は、磁気ディスク２の間隔をとるためのスペーサであり、９２は、磁気ディスク２を固定するためのキャップである。
【００１４】
図１６（Ｂ）の工程の後に、磁気ヘッド４を備えたアクチュエータ３がベース８１に取り付けられる。磁気ヘッド４の位置は、磁気ディスク２面の位置を基準とする。このため、磁気ディスク２のベース８１からの高さは、ミクロンオーダーで、精密に形成する必要がある。
【００１５】
ところで、図１６（Ａ）で示したスピンドルモータの組み立てにおいて、組み立て誤差が生じる。この組み立て誤差が生じると、ディスク支持部８４−１のディスク支持面のベース８１からの高さは、各スピンドルモータで異なる。このため、磁気ディスク２のベース８１からの高さが、各スピンドルモータで異なる。これにより、磁気ヘッドの磁気ディスク面からの浮上量が変化して、磁気ヘッドのリード及びライト特性に影響を与える。
【００１６】
この磁気ディスク２のベース８１からの高さを、各スピンドルモータで均一にするため、図１６（Ａ）に示すように、スピンドルモータの組み立て後に、ハブ８４のディスク支持部８４−１のディスク支持面を研磨していた。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
近年、磁気ディスクのトラック密度の向上が要請されている。トラック密度を高めると、磁気ディスクの回転ブレが、磁気ヘッドの位置決め精度に影響を与える。
【００１８】
従来は、軸受に、ボールベアリングを使用していた。ボールベアリングは、ボールの通過による内外輪の振動が発生する。即ち、ＲＲＯ（Repeatable Run Out) ／ＮＲＲＯ（Non Repeatable Run Out) が発生して、スピンドルモータの回転ブレを回避できない。
【００１９】
この回転ブレを防止するため、軸受に、流体軸受を使用することが、検討されている。流体軸受は、回転すると、圧力が発生する。そして、流体軸受は、重力、磁気力、外圧とがバランスするまで軸方向に浮上する。径方向には、調心作用が働く。この作用により、シャフトとスリーブ間の金属抵抗がなく、流体潤滑による回転が可能となる。この流体軸受を使用すると、非接触での回転が可能となり、スピンドルモータの回転ブレを小さくすることが可能である。
【００２０】
ところで、図１６（Ａ）で前述した従来の研磨方法では、ハブの１点を加圧していた。従来のボールベアリングを使用したスピンドルモータでは、ボールベアリングの剛性が高いため、ハブの傾きは生じなかった。このため、ディスク支持面を平坦に研磨することができた。
【００２１】
しかしながら、流体軸受は、ボールベアリングに比して、その剛性がはるかに低い。このため、従来の１点での加圧による研磨を行うと、ハブが傾き、ディスク支持部のディスク支持面が平坦に研磨されない。
【００２２】
このため、磁気ディスクを搭載した時に、搭載された磁気ディスクが平坦にならない。これにより、搭載された磁気ディスクのインナー側とアウター側でのベースからの高さが異なる。従って、磁気ディスクのインナー側とアウター側で、磁気ヘッドの浮上量が変化する。これにより、磁気ディスクのインナー側とアウター側で、磁気ヘッドのリード／ライト特性が変化するという問題が生じる。
【００２３】
本発明の目的は、流体軸受を使用して、ディスクの回転ブレを小さくするためのディスク記憶装置の製造方法を提供することにある。
【００２４】
本発明の他の目的は、流体軸受を使用しても、ハブのディスク支持面を平坦に加工することができるディスク記憶装置の製造方法を提供することにある。
【００２５】
本発明の更に他の目的は、流体軸受を使用しても、ディスクを平坦に支持することができるディスク記憶装置の製造方法を提供することにある。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
図１は本発明の原理図である。
【００２７】
本発明のディスク記憶装置用スピンドルモータは、ディスク記憶媒体を支持する支持部１２ー１と磁石１３とを備えたハブ１２と、コイル１４を有し、ハブ１２を回転可能に保持する固定部１０と、ハブ１２と固定部１０との間に設けられた流体軸受１１とを有する。
【００２８】
そして、その製造方法は、固定部の固定シャフトに、流体軸受１１を介してハブ１２を取り付ける。次に、コイルに電流を流し、ハブ１２を回転しながら、支持部１２−１の支持面１２−２を研磨する工程を有する。この研磨する工程は、支持部の支持面の一部に切削部材３０を当てると共に、切削部材３０の加圧によるハブ１２の倒れを防止するように、支持部の前記切削部材が当てられた位置において、前記支持面の反対側の面を加圧部材により加圧する工程、又は支持部の支持面の複数の他の部位を複数の加圧部材により加圧する工程である。
【００２９】
本発明は、研磨工程において、ハブ１２の支持部１２ー１の加圧位置を複数位置とした。即ち、切削部材３０により加圧するのみであると、ハブ１２が倒れた状態で研磨される。この倒れを防止するため、ハブ１２の支持部１２ー１の他の位置を、加圧部材３１により加圧する。
【００３０】
これにより、ハブ１２の軸受に、剛性の低い流体軸受１１を用いても、ハブ１２のディスク支持部１２ー１のディスク支持面１２ー２を研磨する時に、ディスク支持面を平坦に研磨することができる。このため、ハブ１２の軸受に、回転ブレが少ない流体軸受を用いても、ハブ１２にディスク媒体を平坦に支持することができる。従って、ディスク記憶媒体の回転ブレを防止するとともに、ディスク記憶媒体の位置精度を向上することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
図２は本発明の一実施の形態の磁気ディスク装置の斜視図、図３は本発明の一実施の形態の磁気ディスク装置の断面図である。
【００３２】
図２及び図３に示すように、ベース２０に、スピンドルモータ２３が設けられる。スピンドルモータ２３には、複数枚の磁気ディスク２２が、搭載される。スピンドルモータ２３は、磁気ディスク２２を回転する。ベース２０には、ロータリーアクチュエータ２４が、設けられる。ロータリーアクチュエータ２４の先端には、磁気ヘッド２５が設けられる。
【００３３】
ロータリーアクチュエータ２４は、磁気ヘッド２５を、磁気ディスク２２のトラックに位置決めする。磁気ヘッド２５は、磁気ディスク２２のトラックのデータを読み出し且つトラックにデータを書き込む。カバー２１は、磁気ディスク２２とロータリーアクチュエータ２４を覆うように、ベース２０上に設けられる。
【００３４】
図４は、図２及び図３のスピンドルモータの断面図、図５は、本発明の一実施の形態の研磨工程の説明図、図６は、図５における研磨時の上面図、図７は、本発明の一実施の形態におけるディスク搭載工程の説明図、図８は、本発明の比較例の説明図、図９は、本発明の比較例の磁気ディスク搭載時の説明図である。
【００３５】
図４に示すように、磁気ディスク装置のベース２０には、固定シャフト１０の下端が取り付けられている。コア１５は、ベース２０に設けられている。コア１５には、コイル１４が巻き付けられている。
【００３６】
スリーブ１７は、流体軸受１１を介して固定シャフト１０に設けられる。スリーブ１７は、固定シャフト１０に対し、回転可能である。スリーブ１７には、その周囲にハブ１２が固定される。ハブ１２は、周囲に、磁気ディスク２２の支持部１２−１を有する。ハブ１２のディスク支持部１２−１の上面１２ー２が、磁気ディスクの支持面である。ハブ１２の内面に、ヨーク１６と磁石１３とが、固定される。尚、１８は、スリーブ１７を押さえるためのキャップである。
【００３７】
このスピンドルモータは、ハブ１２に固定された磁石１３が、ベース２０に固定されたコイル１４に対向して、配置される。このため、コイル１４に電流を流すと、ハブ１２が、回転する。
【００３８】
この流体軸受１１は、回転すると、圧力が発生する。そして、流体軸受１１は、重力、磁気力、外圧とがバランスするまで軸方向に浮上する。径方向には、調心作用が働く。この作用により、シャフト１０とスリーブ１７間の金属抵抗がなく、流体潤滑による回転が可能となる。この流体軸受１１を使用すると、非接触での回転が可能となるため、スピンドルモータの回転ブレを小さくすることが可能である。
【００３９】
このスピンドルモータの組み立ては、次のようにして、行われる。コイル１４を取り付けたベース２０に、固定シャフト１０を取り付ける。固定シャフト１０に流体軸受１１を設ける。固定シャフト１０に、ハブ１２を取り付けたスリーブ１７を嵌め込む。更に、スリーブ１７に、キヤップ１８を嵌め込む。
【００４０】
このようにして、スピンドルモータが組み立てられた後、図５及び図６に示す研磨工程が行われる。図５において、研磨機の刃物３０は、刃物支持ブロック３２に固定されている。刃物支持ブロック３２は、送りねじ３５に係合している。送りねじ３５は、モータ３４により回転させられる。従って、モータ３４の回転により、刃物３０は、図の上下方向に移動する。
【００４１】
モータ３４は、モータ支持ブロック３３に支持されている。モータ支持ブロック３３は、送りねじ３６に係合している。送りねじ３６は、モータ３７により回転させられる。従って、モータ３７の回転により、刃物３０は、図の左右方向に移動する。モータ３７は、研磨機のアーム３８により支持されている。
【００４２】
従って、刃物３０は、ハブ１２のディスク支持部１２−１の上面（磁気ディスクの支持面）１２ー２の一か所を加圧する。
【００４３】
図６に示すように、刃物３０の位置からハブ１２の周方向に１８０度回転した位置には、加圧用の刃物３１ー１が設けられている。刃物３１ー１は、刃物支持ブロック４０に固定されている。刃物支持ブロック４０は、送りねじ４３に係合している。送りねじ４３は、モータ４２により回転させられる。従って、モータ４２の回転により、刃物３１ー１は、図の上下方向に移動する。
【００４４】
モータ４２は、モータ支持ブロック４１に支持されている。モータ支持ブロック４１は、送りねじ４４に係合している。送りねじ４４は、図示しないモータにより回転させられる。従って、このモータの回転により、刃物３１ー１は、図の左右方向に移動する。この図示しないモータは、図示しない研磨機のアームにより支持されている。
【００４５】
従って、刃物３１ー１は、ハブ１２のディスク支持部１２−１の上面（磁気ディスクの支持面）１２ー２の他のか所を加圧する。
【００４６】
次に、スピンドルモータのコイル１４に電流を流し、ハブ１２を回転させる。これにより、刃物３０により、ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面１２ー２が研磨される。
【００４７】
この時、図６に示すように、切削用の刃物３０が、ハブ１２のディスク支持面１２−２の一位置を加圧する。これとともに、加圧用の刃物３１−１が、この位置と１８０度ずれた位置を均等に加圧する。このため、ハブ１２は、均等に加圧される。従って、加圧時のハブ１２の倒れを防止することができる。これにより、ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面１２ー２を平坦に研磨することができる。
【００４８】
又、切削用の刃物３０の切削に加えて、加圧用の刃物３１−１も、ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面１２ー２を切削するため、研磨時間を短縮することができる。
【００４９】
切削量は、研磨機のモータ３５とモータ４２の送り量により、決定される。流体軸受１１は、前述の如く剛性が低いため、刃物３０、３１−１の加圧により、ハブ１２が、固定シャフト１１に対し、図の下方向に沈みこむ。この加圧による移動量を予め計測しておく。そして、送り量をこの計測された移動量分多くする。
【００５０】
これにより、剛性が低い流体軸受１１を用いたスピンドルモータを、加圧加工しても、ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面を、規定通りの高さに研磨することができる。
【００５１】
次に、図７に示すように、ハブ１２に磁気ディスク２２を搭載する。この時、磁気ディスク２２は、ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面１２ー２に支持される。尚、１９−１は、磁気ディスク２２の間隔をとるためのスペーサであり、１９−２は、磁気ディスク２２を固定するためのキャップである。
【００５２】
この工程の後に、磁気ヘッド２５を備えたアクチュエータ２４が、ベース２０に取り付けられる。
【００５３】
ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面１２ー２が、平坦に研磨されているため、磁気ディスク２２も平坦に搭載される。又、ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面１２ー２が、ベース２０に対し、規定の高さに研磨されているため、磁気ディスク２２の高さも、各磁気ディスク装置において一定となる。
【００５４】
これにより、ロータリアクチュエータ２４の各アームと、磁気ディスク２２との距離が一定となる。従って、アームに取り付けられた磁気ヘッド２５の浮上量が一定となり、リード／ライト特性の低下を防止することができる。
【００５５】
これに対し、図８（Ａ）に示すように、ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面１２ー２を、切削用の刃物３０のみで加圧する場合には、この加圧により、ハブ１２が傾く。この傾いた状態で、ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面１２ー２が、研磨された場合には、図８（Ｂ）に示すように、ディスク支持部１２−１のディスク支持面１２−２が斜めに、加工される。
【００５６】
そして、この斜めに形成されたディスク支持面１２−２に、磁気ディスク２２を搭載すると、図９に示すように、磁気ディスク２２も傾いて搭載される。即ち、磁気ディスク２２が、傘形状に搭載される。
【００５７】
このため、従来の一位置での加圧方法では、磁気ディスク２２とアームとの距離が、磁気ディスク２２のアウター位置とインナー位置とで異なる。これにより、磁気ヘッドの浮上量が、磁気ディスク２２のアウター位置とインナー位置で異なるため、磁気ヘッドのリード／ライト特性が、アウター位置とインナー位置で異なる。即ち、磁気ヘッドのリード／ライト特性の低下が生じる。
【００５８】
図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）は、本発明の第２の実施の形態を示すため、他の加圧手段の説明図である。
【００５９】
図１０（Ａ）に示すように、加圧手段として、先端にボール３１０を備える加圧棒３１−２を使用する。そして、ボール３１０をディスク支持部１２−１のディスク支持面に接触させて、ディスク支持面を加圧する。ディスク支持面に対し、ボール３１０が回転するため、加圧しても、ハブ１２の回転に対する抵抗を少なくすることができる。
【００６０】
図１０（Ｂ）は、加圧手段として、気体又は流体を吹きつける部材を用いる。気体又は流体の吹きつけにより、ディスク支持部１２−１のディスク支持面を加圧する。非接触で加圧できるため、加圧しても、ハブ１２の回転抵抗を少なくすることができる。
【００６１】
又、気体又は流体は、切削された加工粉を除去する機能も有する。更に、気体又は流体は、研磨されるハブ１２の温度上昇を抑える機能も有する。
【００６２】
図１１は、本発明の第３の実施の形態を示すための、他の加圧方法の説明図である。
【００６３】
図１１は、研磨時のスピンドルモータの上面を示す。図１１に示すように、ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面に対し、一位置で、刃物３０が加圧する。これに対し、２つの加圧位置に、加圧部材３１を設ける。第１の加圧部材３１は、刃物３０に対し、１２０度回転した位置に設ける。第２の加圧部材３１は、刃物３０に対し、２４０度回転した位置に設ける。
【００６４】
このようにすると、ハブ１２の倒れをより防止することができる。このように、加圧点を複数設けても良い。
【００６５】
図１２は、本発明の第４の実施の形態を示すための、他の研磨方法の説明図である。
【００６６】
図１２は、研磨時のスピンドルモータの断面を示す。図１２に示すように、ハブ１２のディスク支持部１２−１のディスク支持面１２ー２を、刃物３０が加圧する。ベース２０に穴２０−１を設け、加圧部材３１−２を挿入させる。そして、ディスク支持面１２−２と反対の面を、加圧部材３１−２が加圧する。
【００６７】
このようにしても、刃物３０の加圧によるハブ１２の倒れを防止できる。この場合には、加圧部材３１−２として、図８（Ａ）に示した加圧棒３１−２又は図８（Ｂ）に示した気体又は流体が望ましい。
【００６８】
図１３は、本発明の第５の実施の形態を示すための、他の研磨工程の説明図である。
【００６９】
図１３において、図５及び図８（Ａ）で示したものと同一のものは、同一の記号で示してある。第２のアーム４６には、加圧棒３１−２が設けられている。加圧棒３１−２は、アーム４６に設けられた板バネ４５により、ディスク支持面１２ー２を加圧する。
【００７０】
第一の変位センサー４７は、刃物支持ブロック３２に設けられる。そして、第一の変位センサー４７は、センサー４７からディスク支持面１２ー２への距離をＢを測定する。第二の変位センサー４８は、アーム３８に設けられる。そして、第二の変位センサー４８は、センサー４８からベース２０の基準面への距離をＡを測定する。
【００７１】
制御回路５０は、第一の変位センサー４７の検出距離Ｂから第二の変位センサー４８の検出距離Ａを引いた値が、一定値になるように、刃物送りモータ３４の送り量を制御する。
【００７２】
ディスク支持面１２ー２とベース２０の基準面との距離を測定しながら、制御回路５０が、刃物送りモータ３４を制御するため、ベース２０基準面からのディスク支持面１２ー２の高さを、正確にすることができる。
【００７３】
上述の実施の態様の他に、本発明は、次のような変形が可能である。
【００７４】
▲１▼前述の実施の態様では、加圧方法として、送りモータによるものと、バネによるもので説明したが、他の周知の方法を適用することができる。
【００７５】
▲２▼ディスク記憶装置を、磁気ディスク装置で説明したが、光ディスク装置、光磁気ディスク装置等を用いることもできる。
【００７６】
以上、本発明を実施の形態により説明したが、本発明の主旨の範囲内で種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【００７７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、次の効果を奏する。
【００７８】
研磨工程において、ハブ１２の支持部１２ー１の加圧位置を複数位置としたためハブ１２の軸受に、剛性の低い流体軸受１１を用いても、ディスク支持面を平坦に研磨することができる。このため、ハブ１２の軸受に、回転ブレが少ない流体軸受を用いても、ハブ１２にディスク媒体を平坦に支持することができる。
【００７９】
従って、ディスク記憶媒体の回転ブレを防止するとともに、ディスク記憶媒体の位置精度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理図である。
【図２】本発明の一実施の形態の磁気ディスク装置の斜視図である。
【図３】図２の実施の形態の磁気ディスク装置の断面図である。
【図４】図２の実施の形態のスピンドルモータの断面図である。
【図５】本発明の一実施の形態の研磨工程の説明図である。
【図６】図５の研磨時の上面図である。
【図７】本発明の一実施の形態のディスク搭載工程の説明図である。
【図８】本発明の比較例の説明図である。
【図９】本発明の比較例の磁気ディスク搭載時の説明図である。
【図１０】本発明の第二の実施の態様を示す他の加圧手段の説明図である。
【図１１】本発明の第三の実施の形態を示す他の加圧方法の説明図である。
【図１２】本発明の第四の実施の形態を示す他の研磨方法の説明図である。
【図１３】本発明の第五の実施の形態を示す他の研磨工程の説明図である。
【図１４】磁気ディスク装置の説明図である。
【図１５】従来のスピンドルモータの断面図である。
【図１６】従来技術の組み立て方法の説明図である。
【符号の説明】
１０  固定シャフト
１１  流体軸受
１２  ハブ
１２ー１  ディスク支持部
１２ー２  ディスク支持面
１３  磁石
１４  コイル
２０  ベース
２２  磁気ディスク
２３  スピンドルモータ
２４  アクチュエータ
２５  磁気ヘッド
３０  刃物
３１  加圧部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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