(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
恒温恒湿とする恒温室と、その外側に設けられて恒温室との間に空気流路を形成する箱状の外壁と、上記空気流路内に配設された冷却器とを備え、上記空気流路内に上記冷却器で冷却された冷気を自然対流で循環させて、恒温室の壁を冷却し、該壁からの輻射により恒温室内を冷房することを特徴とする輻射式空調システム。
【請求項２】
放熱側が空気流路内に突出され、吸熱側が恒温室の壁に埋設されたヒートパイプを備えたことを特徴とする請求項１記載の輻射式空調システム。
【請求項３】
恒温室と外壁とが免震装置を介して絶縁されていることを特徴とする請求項１または２記載の輻射式空調システム。
【請求項４】
恒温室を電子顕微鏡室、半導体実験室または除震台としたことを特徴とする請求項１、２または３記載の輻射式空調システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、恒温を保ちながら騒音や振動を遮断した研究施設等の分野、特に電子顕微鏡室、半導体実験室等で用いられる空調システム特に輻射式空調システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子顕微鏡室、半導体実験室等の恒温を保ちながら騒音や振動を遮断した恒温室においては、冷媒循環等による冷却装置により冷却した空気を、送風機等の搬送手段により供給していた。
一例として図３に示すように、恒温室ａは、冷媒循環装置、輻射パネル等による冷却装置ｂで冷却された低温空気ｇを、送風機等の搬送装置ｃにより、整流装置ｄを介してダクトｅから恒温室ａの吹出口ｆより恒温室ａ内へ吹き出し、恒温室ａ内を冷却して室温を一定（例えば、１時間に±１度以内の変動範囲）に保持している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の恒温室の空調においては、冷却装置ｂで発生する振動、搬送装置ｃの振動、低温空気ｇの流れの振動等が原因となって、振動、音が発生し、ダクトｅ等を伝わって恒温室ａに伝播して、恒温室ａに振動、騒音を発生するという問題があった。
特に、例えば電子顕微鏡室等のような振動を遮断する必要のある恒温室の場合に、ダクトｅ等を伝わって恒温室ａに伝播して、恒温室ａに振動が発生するという問題があった。
【０００４】
本発明の目的は、電子顕微鏡室、半導体実験室等に用いられ、室内に振動や騒音を発生させる恐れのない輻射式空調システムを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の輻射式空調システムは、恒温恒湿とする恒温室と、その外側に設けられて恒温室との間に空気流路を形成する箱状の外壁と、上記空気流路内に配設された冷却器とを備え、上記空気流路内に上記冷却器で冷却された冷気を自然対流で循環させて、恒温室の壁を冷却し、該壁からの輻射により恒温室内を冷房することにより、冷却器で冷気を作る際に、強制ファン等を用いておらず、自然循環で熱交換して恒温室の壁を冷却しており、また、恒温室内の冷却も輻射で行なうことにより、送風機等の搬送機器の振動や騒音が伝播する恐れがなく、恒温室内に振動や騒音を発生させることがないものである。
また、放熱側が空気流路内に突出され、吸熱側が恒温室の壁に埋設されたヒートパイプを備えたことにより、恒温室の壁を冷却する冷却効率を高めるとともに、恒温室内の冷却効果を高めることができ、空気流路の自然対流を促進することができる。
また、恒温室と外壁とが免震装置を介して絶縁されていることにより、恒温室内に振動や騒音を発生させることがないものである。
さらに、恒温室を電子顕微鏡室、半導体実験室または除震台とすることにより、高度に振動を嫌う施設の冷房を容易に行なうことができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１及び図２を参照して本発明の１実施例を説明する。
本発明を適用した恒温設備は、恒温恒湿とする恒温室１と、その外側に設けられて恒温室１との間に空気流路３を形成する箱状の外壁２と、空気流路３内に配設された冷却器４と、恒温室１の側壁１Ａに吸熱側の一端が埋設され、放熱側の他端が空気流路３内に突設されたヒートパイプ５と、恒温室１内に開口した外気導入管６と、外気導入管６に設けられた流量調整弁７と、恒温室１内に開口した排気管８と、排気管８に設けられた流量調整弁９と、空気流路３内に設けられて恒温室１を支持し、恒温室１と外壁２とを絶縁させる免震装置１０とを備えている。
【０００７】
運転時には、冷却器４がファン等を用いない自然通風による自然熱交換で空気流路３内の空気を冷却して冷気を作成し、この冷却器４で冷却された冷気が、自然対流により、空気流路３内を循環し（矢印Ｆ）、恒温室１全体の壁を冷却し、恒温室１全体の壁からの輻射により恒温室１内を冷却する。
なお、自然対流により冷気を循環させるから、冷却器４の設置場所を、図１に示す如く、空気流路３内の高い位置とすると良い。
【０００８】
また、空気流路３内の冷気の循環によりヒートパイプ５の放熱側から冷気に放熱し、恒温室１の側壁１Ａに埋設された吸熱側が側壁１Ａから吸熱してこれを冷却し、側壁１Ａからの輻射による冷却効率を向上させる。
なお、ヒートパイプ５の放熱側及び吸熱側の外周にフィンを設けることによって、放熱効率及び吸熱効率を高めることができる。
さらに、ヒートパイプ５の吸熱側を恒温室１の側壁１Ａに埋設せず、恒温室１内に露出させ、ヒートパイプ５の吸熱側から輻射冷却を行なっても良い。
【０００９】
なお、冷却器４は、低温の冷却媒体を循環させ、空気流路３内の空気との自然熱交換で該空気を冷却して冷気とするものであるが、冷却器４はペルチェ効果素子で構成しても良く、また、恒温室１の壁自体をペルチェ効果素子で形成して冷却器としても良いものである。
【００１０】
ここで、必要に応じて流量調整弁７，９の完全閉止を含む開度調節を行ない、外気導入管６から恒温室１内に外気または湿度を調整した空気を導入し、排気管８から恒温室１内の空気の排出を行なうことにより、湿度調整などの恒温室１内の雰囲気調整を行なう。
【００１１】
この構成によると、冷却器で冷気を作る際に、強制ファン等を用いておらず、自然循環で熱交換して恒温室の壁を冷却しており、また、恒温室内の冷却も輻射で行なうことにより、送風機等の搬送機器の振動や騒音が伝播する恐れがなく、恒温室内に振動や騒音を発生させることがないものである。
また、ヒートパイプを用いることにより、恒温室の壁を冷却する冷却効率を高めるとともに、恒温室内の冷却効果を高めることができ、空気流路の自然対流を促進することができる。
【００１２】
【実施例】
本発明を適用した電子顕微鏡室の設計例を示す。
恒温室寸法（縦×横×高さ）：１２ｍ×６ｍ×３ｍ
恒温室内温度及び湿度の条件：温度２４℃，湿度５０％
恒温室壁熱透過率          ：２kcal/m2 h
0003731333.tif 000002
【００１３】
0003731333.tif 000003
【００１４】
【発明の効果】
本発明は上述のとおり構成されているから以下に述べる効果を奏する。
恒温室と外壁との間に空気流路が形成され、空気流路内に配設された冷却器を備え、空気流路内に冷却器で冷却された冷気を自然対流で循環させて、恒温室の壁を冷却し、該壁からの輻射により恒温室内を冷房することにより、冷却器で冷気を作る際に、強制ファン等を用いておらず、自然循環で熱交換して恒温室の壁を冷却しており、また、恒温室内の冷却も輻射で行なうことにより、送風機等の搬送機器の振動や騒音が伝播する恐れがなく、恒温室内に振動や騒音を発生させることがないものである。
また、放熱側が空気流路内に突出され、吸熱側が恒温室の壁に埋設されたヒートパイプを備えたことにより、恒温室の壁を冷却する冷却効率を高めるとともに、恒温室内の冷却効果を高めることができ、空気流路の自然対流を促進することができる。
また、恒温室と外壁とが免震装置を介して絶縁されていることにより、恒温室内に振動や騒音を発生させることがないものである。
さらに、恒温室を電子顕微鏡室、半導体実験室または除震台とすることにより、高度に振動を嫌う施設の冷房を容易に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の輻射式空調システムの概略構成を示す断面図である。
【図２】  本発明の輻射式空調システムの概略構成を示す側断面図である。
【図３】  従来の空調システムの概略構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１  恒温室、２  外壁、３  空気流路、４  冷却器、５  ヒートパイプ
６  外気導入管、８  排気管、７，９  流量調整弁、１０  免震装置
【図１】
0003731333.tif 000004
【図２】
0003731333.tif 000005
【図３】
0003731333.tif 000006