(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基盤上に導電薄膜を形成し、該導電薄膜の対向する側部に一方のすだれ状電極及び他方のすだれ状電極を形成し、該一方のすだれ状電極に一方の入力端子及び出力端子のすだれ状電極を組み合わせ、前記他方のすだれ状電極に他方の入力端子及び出力端子のすだれ状電極を組み合わせ、前記一方の入力端子と出力端子の間の前記導電薄膜の上に設けた液体セルの一方の孔に一方の被検査液体を充填し、他方の入力端子と出力端子の間の導電薄膜に孔を開け、前記液体セルの他方の孔を前記導電薄膜の孔に合わせて装着し、前記液体セルの他方の孔に他方の被検査液体を充填し、前記一方及び他方の入力端子と出力端子の間に増幅器を装着し、該増幅器のそれぞれの出力端子に周波数カウンタを接続することを特徴とするインターデジタル変換器を使用した液体評価装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、被検査液体の粘性と電気特性を測定し、被検査液体を評価するインターデジタル変換器を使用した液体評価装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、銅版の表面に圧電薄膜を接着し、該圧電薄膜の対向する側部に一方のすだれ状電極及び他方のすだれ状電極を形成し、該一方のすだれ状電極に一方の入力端子及び出力端子のすだれ状電極をそれぞれ組み合わせ、前記他方のすだれ状電極に他方の入力端子及び出力端子のすだれ状電極をそれぞれ組み合わせ、前記一方の入力端子と出力端子の間の前記圧電薄膜の上に設けた液体セルの一方の孔に一方の非検査液体を充填し、他方の入力端子と出力端子の間の圧電薄膜に孔を開け、前記液体セルの他方の孔を前記圧電薄膜の孔に合わせて装着し、前記液体セルの他方の孔に他方の非検査液体を充填してなるインターデジタル変換器を使用して、それぞれの入力端子及び出力端子の間に伝搬する音速の差から液体の特性を検出する方法が提案されている（特開平７−３１８５４１号公報及び特開平７−３１８５４２号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなインターデジタル変換器を使用した液体特性を検出する方法では、伝搬する音速の差が液体の音響特性からくるものであるのか、電気特性からくるものであるのか明らかでなく、液体の評価はできないという欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、圧電基盤上に導電薄膜を接着し、該導電薄膜の対向する側部に一方のすだれ状電極及び他方のすだれ状電極を形成し、該一方のすだれ状電極に一方の入力端子及び出力端子のすだれ状電極を組み合わせ、前記他方のすだれ状電極に他方の入力端子及び出力端子のすだれ状電極を組み合わせ、前記一方の入力端子と出力端子の間の前記導電薄膜の上に設けた液体セルの一方の孔に一方の被検査液体を充填し、他方の入力端子と出力端子の間の導電薄膜に孔を開け、前記液体セルの他方の孔を前記導電薄膜の孔に合わせて装着し、前記液体セルの他方の孔に他方の被検査液体を充填し、前記一方及び他方の入力端子と出力端子の間に増幅器を装着し、該増幅器のそれぞれの出力端子に周波数カウンタを接続するものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明では、一方の入力端子と出力端子の間に増幅器を接続して自励発振をさせることによって、導電薄膜上を通過する超音波振動が被検査液体によって影響されることを自励発振の周波数で検出し、又、他方の入力端子と出力端子の間に設けた被検査液体は導電薄膜がないので、入力端子側の導電薄膜から電気信号として被検査液体を通過し、出力端子側の導電薄膜で音響信号に変換され、導電薄膜の間の電気信号が被検査液体で影響されるので、この電気特性を自励発振の周波数で検出するものである。
【０００６】
【実施例】
図１は本発明の１実施例のインターデジタル変換器を使用した液体評価装置の構成図、図２は図１のインターデジタル変換器の拡大図で、圧電基板１の上に導電薄膜２が装着され、この導電薄膜２の一方の対向する側にすだれ状電極２ａ、２ｂが形成され、又、導電薄膜２の他方の対向する側にすだれ状で２ｃ、２ｄが形成され、すだれ状電極２ａに一方の入力端子３のすだれ状電極３ａが組合わされ、すだれ電極２ｂに一方の出力端子４のすだれ状電極４ａが組合わされ、又、すだれ状電極２ｃに他方の入力端子５のすだれ状電極５ａが組合わされ、すだれ電極２ｄに他方の出力端子６のすだれ状電極６ａが組合わされている。
【０００７】
そして、圧電薄膜２の他方の入力端子５と出力端子６の間に四辺形の孔２ｅが形成され、孔７ａ、７ｂを設けたシリコンラバー７の孔７ａが圧電薄膜２の孔２ｅに一致するように装着され、その上に液体セル８の充填孔８ａ、８ｂがシリコンラバー７の孔７ａ、７ｂに一致するように装着されて、インターデジタル変換器９が構成されている。
【０００８】
このように構成されたインターデジタル変換器９の出力端子４、６を増幅器１０、１１の入力端子にそれぞれ接続し、増幅器１０、１１の出力端子をインターデジタル変換器９の入力端子３、５に接続するとともに、それぞれ周波数カウンタ１２、１３に接続されている。
【０００９】
このように構成した本実施例のインターデジタル変換器を使用した液体評価装置では、インターデジタル変換器９の一方の入力端子３と出力端子４の間に増幅器１０を接続して自励発振をさせると、圧電薄膜２より液体に伝播する超音波振動が液体セル８の充填孔８ａに充填された被検査液体によって影響されるので、この自励発振の周波数を周波数カウンタ１２で検出することにより、被検査液体の音響特性が検出される。
【００１０】
又、他方の入力端子５と出力端子６の間に設けた液体セル８の充填孔８ｂに充填した被検査液体は、導電薄膜２の孔２ｅの導電薄膜がない部分に入れられるので、入力端子５側の圧電基板を伝わる音波からは電界が被検査液体を通過し、出力端子６側の導電薄膜で音響信号に変換され、導電薄膜の間の電気信号が被検査液体で影響されるので、この自励発振の周波数を周波数カウンタ１３で検出することにより、被検査液体の電気特性が検出されるものである。
【００１１】
このように、本発明の実施例では、インターデジタル変換器９に設けた入力端子３、５と出力端子４、６の間に増幅器１０、１１を接続し、これらの増幅器１０、１１の出力端子に周波数カウンタ１２、１３を接続して、被検査液体の音響特性及び電気特性を自励発振の周波数で検出できるので、非常に作業性に優れ、構成も簡単であるという利点がある。
【００１２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のインターデジタル変換器を使用した液体評価装置では、インターデジタル変換器の入力及び出力端子に増幅器を接続し、増幅器の出力端子に周波数カウンタを接続した構成で、被検査液体の音響特性及び電気特性を検出できるので、構成が簡単で、作業性が良いという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の１実施例のインターデジタル変換器を使用した液体評価装置の構成図である。
【図２】  図１のインターデジタル変換器の拡大斜視図図である。
【符号の説明】
１                        圧電基板
２                        圧電薄膜
３、５                    出力端子
４、６                    出力端子
７                        シリコンラバー
８                        液体セル
９                        インターデジタル変換器
１０、１１                増幅器
１２、１３                周波数カウンタ
【図１】
0003771336.tif 000002
【図２】
0003771336.tif 000003