(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状被検査体の内部ヘガスを圧入するための加圧口を有する第１ブロックと、上記円筒状被検査体の被検査部を挿入配置するリーク検査室及び上記円筒状被検査体の外周面をシールするシール部とを有する第２ブロックと、上記リーク検査室に連通したリークテスタとを有してなる円筒状被検査体の気密検査装置であって、
上記第１ブロックは、上記第２ブロックの開口部に設けたシール部を押圧する押圧部を有し、
一方上記第２ブロックにおける上記シール部は、上記リーク検査室側に設けた環状のシール材である第１シール材と、上記第１ブロックの押圧部側に設けた環状のシール材である第２シール材と、両第１及び第２シール材の間に配設したスペーサとからなり，
また、上記スペーサは上記第１シール材に接する上段の段部と、上記第２シール材に接する下段の段部とを有し、
また上記第２ブロックは、上記押圧時に第１の間隙をつぶして上記スペーサの上階段面と接する当接面を有し、また上記スペーサは、上記押圧時に第２の間隙をつぶして上記第１ブロックの上記押圧部の当接面と当接する下階段面を有しており、
気密検査の際には、上記第１ブロックの押圧部によって、上記第２ブロックの第２シール材が押圧されたとき、上記第１の間隙をつぶした分だけ上記第１シール材が圧縮され、一方、上記第２の間隙をつぶした分だけ上記第２シール材が圧縮され、上記第１シール材及び第２シール材が、上記円筒状被検査体の外周面にそれぞれ密接するよう構成したことを特徴とする円筒状被検査体の気密検査装置。
【請求項２】
請求項１において、上記シール部は、上記第２シール材と上記押圧部との間に、プッシュロッドを有し、該プッシュロッドは上記第２シール材に接する段部を有することを特徴とする円筒状被検査体の気密検査装置。
【請求項３】
請求項１および請求項２において、上記押圧部と上記プッシュロッドのいずれか一方には、第３シール材が設けてあることを特徴とする円筒状被検査体の気密検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項において、上記円筒状被検査体は、片側閉塞形状であることを特徴とする円筒状被検査体の気密検査装置。
【請求項５】
円筒状被検査体の内部ヘガスを圧入するための加圧口を有する第１ブロックと、上記円筒状被検査体の被検査部を挿入配置するり一ク検査室及び上記円筒状被検査体の外周面をシールするシール部とを有する第２ブロックと、上記リーク検査室に連通したリークテスタとを有してなる円筒状被検査体の気密検査装置であって，
上記第１ブロックは、上記第２ブロックの開口部に設けたシール部を押圧する押圧部を有し、
一方上記第２ブロックにおける上記シール部は、上記リーク検査室側に設けた第１シール材と、上記押圧部側に設けた第２シール材と、両第１及び第２シール材の間に配設したスペーサと、上記円筒状被検査体の被検査部が位置する上記リーク検査室を挟んで上記第１シール材と反対側に設けた第４シール材と、両第１及び第４シール材の間に配設したリーク検査室用スペーサとからなり、
かつ、気密検査の際に、上記第１ブロックの押圧部によって、上記第２ブロックの第２シール材が押圧されたとき、上記第１シール材、第２シール材、及び第４シール材が、上記円筒状被検査体の外周面にそれぞれ密接するよう構成したことを特徴とする円筒状被検査体の気密検査装置。
【請求項６】
円筒状被検査体の一端を挿入配置すると共に該円筒状被検査体の内部を通じてガスを圧入するための凹所を有する第１ブロックと、上記円筒状被検査体の被検査部を挿入配置するリーク検査室及び上記円筒状被検査体の外周面をシールするシール部とを有する第２ブロックと、上記リーク検査室に連通したリークテスタとを有してなる円筒状被検査体の気密検査装置であって，
上記第１ブロックは、上記第２ブロックの開口部に設けたシール部を押圧する押圧部を有し、
一方上記第２ブロックにおける上記シール部は、上記リーク検査室側に設けた第１シール材と、上記押圧部側に設けた第２シール材と、両第１及び第２シール材の間に配設したスペーサと、上記円筒状被検査体の被検査部が位置する上記リーク検査室を挟んで上記第１シール材と反対側に設けた第４シール材と、両第１及び第４シール材の間に配設したリーク検査室用スペーサとからなり、
かつ、気密検査の際に、上記第１ブロックの押圧部によって、上記第２ブロックの第２シール材が押圧されたとき、上記第１シール材、第２シール材、及び第４シール材が、上記円筒状被検査体の外周面にそれぞれ密接するよう構成したことを特徴とする円筒状被検査体の気密検査装置。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか１項において、上記各シール材の形状は、環状であり、その内周にはシール用突起を有し、上面、下面、及び外周面は上記第１ブロック、及び第２ブロックによって押圧される拘束面を有していることを特徴とする円筒状被検査体の気密検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，円筒状被検査体と気密検査装置との間に，気密状態のリーク検査室を形成し，上記リーク検査室をシールするシール材に対して，検査時におけるガスの圧力がかからないように構成された，迅速で高精度の気密検査装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
円筒状被検査体の気密検査装置としては，例えば，図９に示すごとく，気密検査装置９と円筒状被検査体７との間に，一対のシール材９３１，９３２によって挟み込まれた気密状態のリーク検査室９４を形成し，該リーク検査室９４に流体を圧入し，上記リーク検査室９４に給水管９１０を介して連通したリークテスタ（図示略）を用いて，円筒状被検査体７の気密検査を行うものがある（特開昭５７−１３３３３号）。
【０００３】
上記リーク検査室９４は，シール部９３として，上記シール材９３１，９３２の他に，シール材９３３，９３４を有する。該シール材９３３，９３４は，それぞれ上記シール材９３１と９３２の外側に設けられたもので，２重シール構造を形成している。すなわち，上記シール材９３１と，その外側に配設されたシール材９３３は，そのいずれか一枚で上記リーク検査室９４の気密性を確保すればよく，残った一枚は予備的な機能を有する。上記シール材９３２と，その外側に配設されるシール材９３４についても，同様である。
【０００４】
上記気密検査装置９においては，上記リーク検査室９４は，一対のシール材９３１，９３２によって挟み込まれた空間である。そして，該リーク検査室９４には，検査時に流体を圧入する。
このとき，上記円筒状被検査体７が損傷等により微細孔傷等を有し，気密状態が保持できていない場合には，上記リーク検査室９４内の圧力が低下する。そこで，これをリークテスタにより検出して気密不良と判定する。
【０００５】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来の気密検査装置９においては，流体のテスト圧が上記シール材９３１，９３２にかかり，これらが上記流体のテスト圧によって変形することがある。
その結果，上記リーク検査室９４内の圧力変化を引き起こす。そして，上記シール材９３１，９３２の変形量は常に一定にはならない。そのため，上記検査にあたって，予めその変形に伴う圧力変化分を考慮できない。
【０００６】
それ故，上記シール材９３１，９３２の変形によって生じる圧力変化と，気密不良による圧力変化とを区別することができない。そのため，円筒状被検査体７に気密不良がない場合でも，上記リ−クテスタ９１３は上記シール材９３１，９３２の変形に伴う圧力変化を感知して，誤動作する。そのため，検査精度が低いという問題がある。
【０００７】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，迅速，かつ高精度の気密検査を行うことができる円筒状被検査体の気密検査装置を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題の解決手段】
請求項１の発明は、円筒状被検査体の内部ヘガスを圧入するための加圧口を有する第１ブロックと、上記円筒状被検査体の被検査部を挿入配置するリーク検査室及び上記円筒状被検査体の外周面をシールするシール部とを有する第２ブロックと、上記リーク検査室に連通したリークテスタとを有してなる円筒状被検査体の気密検査装置であって、
上記第１ブロックは、上記第２ブロックの開口部に設けたシール部を押圧する押圧部を有し、
一方上記第２ブロックにおける上記シール部は、上記リーク検査室側に設けた環状のシール材である第１シール材と、上記第１ブロックの押圧部側に設けた環状のシール材である第２シール材と、両第１及び第２シール材の間に配設したスペーサとからなり，
また、上記スペーサは上記第１シール材に接する上段の段部と、上記第２シール材に接する下段の段部とを有し、
また上記第２ブロックは、上記押圧時に第１の間隙をつぶして上記スペーサの上階段面と接する当接面を有し、また上記スペーサは、上記押圧時に第２の間隙をつぶして上記第１ブロックの上記押圧部の当接面と当接する下階段面を有しており、
気密検査の際には、上記第１ブロックの押圧部によって、上記第２ブロックの第２シール材が押圧されたとき、上記第１の間隙をつぶした分だけ上記第１シール材が圧縮され、一方、上記第２の間隙をつぶした分だけ上記第２シール材が圧縮され、上記第１シール材及び第２シール材が、上記円筒状被検査体の外周面にそれぞれ密接するよう構成したことを特徴とする円筒状被検査体の気密検査装置である。
【０００９】
本発明において最も注目すべきことは，第２ブロックにおけるシール部は，リーク検査室側に設けた第１シール材と，押圧部側に設けた第２シール材とからなり，気密検査の際に，上記第１シール材及び第２シール材が，円筒状被検査体の外周面にそれぞれ密接することにある。
【００１０】
次に，本発明の作用につき説明する。
本発明においては，気密検査の際に，上記第１ブロックの加圧口より高圧のガスを円筒状被検査体の内部に圧入する。このとき，上記円筒状被検査体にピンホール，割れ等の微細孔傷による気密不良があると，上記ガスがリーク検査室側へ漏れ出る。そのため，上記リーク検査室内の圧力が高くなる。そこで，この圧力変化をリークテスタにより検出して，上記気密不良，及びその大きさを検出する。
【００１１】
そして，上記気密検査にあたっては，上記リーク検査室を気密化しなければならない。そのため，まず，上記第１ブロックの加圧口に対して，円筒状被検査体の開口側を対向配置する。次いで，上記第１ブロックにより，上記円筒状被検査体の被検査部を，上記第２ブロックのリーク検査室に挿入する。そして，上記第２ブロックのシール部に対して，第１ブロックの押圧部を押圧する。
【００１２】
これに伴い，第２シール材が押圧されると共に，スペーサを介して第１シール材も押圧され，両シール材は円筒状被検査体の外周面に密接する。そのため，上記第１シール材よりも押圧部側に設けた第２シール材によって，上記円筒状被検査体と上記第１ブロックとの間が気密化される。一方，上記第１シール材によって，上記円筒状被検査体と上記第２ブロックとの間に形成される上記リーク検査室が気密化される。
そのため，上記検査用ガスが，第１シール材の方向へ流入することがない。それ故，上記第１シール材に対して，上記ガスのテスト圧が影響することはなく，上記リーク検査室の圧力も変動しない。
【００１３】
なお，上記円筒状被検査体に気密不良がある場合には，上記ガスは上記円筒状被検査体の気密不良部分から上記リーク検査室内に入る。しかし，上記のごとく，他からは上記リーク検査室内に上記ガスが流入することはない。
それ故，上記第１シール材に上記検査用ガスのテスト圧がかかり，上記第１シール材が変形することによって生じる圧力変化はなく，精度が高い気密検査を行うことができる。
【００１４】
また，本発明によれば，上記のごとく，第１ブロックの押圧部を第２ブロックのシール部に押圧することで，上記第１シール材，第２シール材を確実に上記円筒状被検査体の外周面に密接させることができる。また，上記円筒状被検査体のセットも容易であり，気密検査も上記のごとく円筒状被検査体の内部に高圧ガスを圧入することによって，容易に行うことができる。それ故，気密検査を迅速に行うことができる。
【００１５】
したがって，本発明によれば，迅速，かつ高精度の気密検査を行うことができる円筒状被検査体の気密検査装置を提供することができる。
【００１６】
次に，請求項２の発明のように，上記シール部は，上記第２シール材と上記押圧部との間に，プッシュロッドを有し，該プッシュロッドは上記第２シール材に接する段部を有することが好ましい。
この場合には，第２シール材をより確実に上記円筒状被検査体の外周面に密接させることができる。
【００１７】
次に，請求項３の発明のように，上記押圧部と上記プッシュロッドのいずれか一方には，第３シール材が設けてあることが好ましい。
この場合には，上記第３シール材が，上記押圧部と上記プッシュロッドとの間の気密性を，確実にすることができる。
【００１８】
次に，請求項４の発明のように，上記円筒状被検査体は，片側閉塞形状であることことが好ましい。
この場合には，上記閉塞状の部分を上記リーク検査室内に挿入することにより，容易に気密検査をすることができる。
【００１９】
次に，請求項５の発明は，円筒状被検査体の内部へガスを圧入するための加圧口を有する第１ブロックと，上記円筒状被検査体の被検査部を挿入配置するリーク検査室及び上記円筒状被検査体の外周面をシールするシール部とを有する第２ブロックと，上記リーク検査室に連通したリークテスタとを有してなる円筒状被検査体の気密検査装置であって，
上記第１ブロックは，上記第２ブロックの開口部に設けたシール部を押圧する押圧部を有し，
一方上記第２ブロックにおける上記シール部は，上記リーク検査室側に設けた第１シール材と，上記押圧部側に設けた第２シール材と，両第１及び第２シール材の間に配設したスペーサと，上記円筒状被検査体の被検査部が位置する上記リーク検査室を挟んで上記第１シール材と反対側に設けた第４シール材と，両第１及び第４シール材の間に配設したリーク検査室用スペーサとからなり，
かつ，気密検査の際に，上記第１ブロックの押圧部によって，上記第２ブロックの第２シール材が押圧されたとき，上記第１シール材，第２シール材，及び第４シール材が，上記円筒状被検査体の外周面にそれぞれ密接するよう構成したことを特徴とする円筒状被検査体の気密検査装置である。
【００２０】
本発明において最も注目すべきことは，上記円筒状被検査体の被検査部が位置する上記リーク検査室が，上記第１シール材と第４シール材との間に形成されており，また，両第１及び第４シール材の間にリーク検査室用スペーサを有していることにある。
【００２１】
次に，本発明の作用につき説明する。
本発明においても，上記請求項１の発明と同様に，気密検査の際に，上記第１ブロックの加圧口より高圧のガスを円筒状被検査体の内部に圧入する。このとき，上記円筒状被検査体にピンホール，割れ等の微細孔傷による気密不良があると，上記ガスがリーク検査室側へ漏れ出る。そのため，上記リーク検査室内の圧力が高くなる。そこで，この圧力変化をリークテスタにより検出して，上記気密不良，及びその大きさを検出する。
【００２２】
そして，上記気密検査にあたって，上記リーク検査室を気密化する際には，まず，上記円筒状被検査体を上記第２ブロックの挿入口から挿入し，上記第１ブロックの加圧口に対して，上記円筒状被検査体の開口側が対向する状態に配置する。このとき，上記円筒状被検査体の被検査部は，上記第１ブロックのリーク検査室に位置する。そして，上記第２ブロックのシール部に対して，第１ブロックの押圧部を押圧する。
【００２３】
これに伴い，第２シール材が押圧されると共に，スペーサを介して第１シール材も押圧され，さらにリーク検査室用スペーサを介して第４シール材も押圧され，これらのシール材は円筒状被検査体の外周面に密接する。
そのため，上記第１シール材よりも押圧部側に設けた第２シール材によって，上記円筒状被検査体と上記第１ブロックとの間が気密化される。一方，上記第１シール材と第４シール材によって，上記円筒状被検査体と上記第２ブロックとの間に形成される上記リーク検査室が気密化される。
【００２４】
そのため，請求項１の発明の場合と同様に，上記検査用ガスが，第１シール材の方向への流入することがなく，上記リーク検査室の圧力も変動しない。それ故，上記第１シール材，第４シール材が変形することもなく，精度の高い気密検査を行うことができる。
また，請求項１の発明の場合と同様に，迅速に気密検査を行うことができる。
【００２５】
また，上記第２ブロックには，上記円筒状被検査体を挿入する挿入口を設けてあるので，上記円筒状被検査体の長さが，上記第２ブロックの長さより長い場合にも気密検査を行うことができる。
【００２６】
次に，請求項６の発明は，上記第１ブロックが，上記円筒状被検査体の一端を挿入配置すると共に該円筒状被検査体の内部を通じてガスを圧入するための凹所を有することが請求項５の発明と異なる。
その他は，請求項５の発明と同様の構造である。
【００２７】
本発明において最も注目すべきことは，上記第１ブロックには，加圧口を設けていないことにある。
【００２８】
次に，本発明の作用につき説明する。
本発明においては，気密検査の際に，上記円筒状被検査体より上方の加圧口から高圧のガスを円筒状被検査体の内部に圧入する。
そして，上記気密検査にあたって，上記リーク検査室を気密化する際には，まず，上記円筒状被検査体を上記第２ブロックの挿入口から挿入し，上記第１ブロックの凹所に対して，上記円筒状被検査体の下方の開口部が対向する状態で配置する。そして，上記第２ブロックのシール部に対して，第１ブロックの押圧部を押圧する。これによって，請求項５と同様に，上記円筒状被検査体と上記第１ブロックとの間，及び上記リーク検査室が気密化される。
【００２９】
そのため，請求項５の発明の場合と同様に，精度の高い気密検査を行うことができる。また，迅速に気密検査を行うことができる。
その他，請求項５と同様の作用を得ることができる。
【００３０】
次に，請求項７の発明のように，上記各シール材の形状は，環状であり，その内周にはシール用突起を有し，上面，下面，及び外周面は上記第１ブロック，及び第２ブロックによって押圧される拘束面を有していることが好ましい。
この場合には，各シール材をより確実に上記円筒状被検査体の外周面に密接させ，気密性を確実にすることができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
実施形態例１
本発明の実施形態例にかかる円筒状被検査体の気密検査装置について，図１〜図４を用いて説明する。本例は，片側閉塞形状の円筒状被検査体を検査するための装置である。
【００３２】
図１に示すごとく，本例の円筒状被検査体の気密検査装置１は，片側閉塞形状の円筒状被検査体７の内部７１へガスを圧入するための加圧口１１０を有する第１ブロック１１と，上記円筒状被検査体７の被検査部７０を挿入配置するリーク検査室２及び上記円筒状被検査体７の外周面７４をシールするシール部３とを有する第２ブロック１２と，上記リーク検査室２に連通したリークテスタ１３を有している。
【００３３】
そして，上記第１ブロック１１は，図１に示すごとく，上記第２ブロック１２の開口部１２０に設けたシール部３を押圧する押圧部５を有している。また，該押圧部５には，上記シール部３に設けたプッシュロッド３６と接触する第３シール材３３が設けてある。なお，該第３シール材３３としては，Ｏリングを用いることができる。
【００３４】
一方上記第２ブロック１２における上記シール部３は，図１，図２に示すごとく，上記リーク検査室２側に設けた第１シール材３１と，上記押圧部５側に設けた第２シール材３２とを有する。また，両第１シール材３１及び第２シール材３２の間にスペーサ３５を配設し，上記第２シール材３２と上記押圧部５との間にプッシュロッド３６を配設する。
また，上記第２ブロック１２は，上記シール部３を支持する蓋１２７を有する。
【００３５】
また，気密検査の際には，図４に示すごとく，上記第１ブロック１１の押圧部５によって，上記第２ブロック１２の第２シール材３２が押圧されたとき，上記第１シール材３１及び第２シール材３２が，上記円筒状被検査体７の外周面７４にそれぞれ密接する。
【００３６】
そして，気密検査にあたっては，上記リーク検査室２を気密化しなければならない。そのため，まず，上記第１ブロック１１の加圧口１１０に対して，円筒状被検査体７の開口側を対向配置する。そして，上記第１ブロック１１を第２ブロック１２に向かって移動させる。このとき，上記円筒状被検査体７の被検査部７０は，上記第１ブロック１１のリーク検査室２に挿入された状態となる。その後，プッシュロッド３６に対して押圧部５を押圧する。
【００３７】
上記押圧によって，図４に示すごとく，上記第３シール材３３，プッシュロッド３６，第２シール材３２，スペーサ３５，第１シール材３１が押圧される。そして，上記第２シール材３２，第１シール材３１が上記円筒状被検査体７の外周に密接し，これらの間が気密化される。
【００３８】
また，上記第１シール材３１によって，上記円筒状被検査体７と上記第２ブロック１２との間で形成される上記リーク検査室２が気密化される。
この状態で，上記円筒状被検査体７の内部７１へ上記第１ブロック１１の加圧口１１０から検査用のガスを圧入し，気密検査を行う。
【００３９】
本例によれば，上記検査用のガスは上記第２シール材３２によって完全にシールされるので，上記検査用ガスが第１シール材３１の方向へ流入することはない。それ故，上記第１シール材３１に対して，上記ガスのテスト圧が影響することはなく，上記リーク検査室２の圧力も変動しない。
【００４０】
なお，上記円筒状被検査体７に気密不良がある場合には，上記ガスは上記円筒状被検査体７の気密不良部分から上記リーク検査室２内に入る。しかし，上記のごとく，他からは上記リーク検査室２内に上記ガスが流入することはない。
それ故，上記第１シール材３１に上記検査用ガスのテスト圧がかかり，上記第１シール材３１が変形することによって生じる圧力変化はなく，精度が高い気密検査を行うことができる。
【００４１】
また，本例によれば，上記のごとく，第１ブロック１１の押圧部５を第２ブロック１２のシール部３に押圧することで，上記第１シール材３１，第２シール材３２を確実に上記円筒状被検査体７の外周面７４に密接させることができる。また，上記円筒状被検査体７のセットも容易であり，気密検査も上記のごとく円筒状被検査体７の内部７１に高圧ガスを圧入することによって，容易に行うことができる。それ故，気密検査を迅速に行うことができる。
【００４２】
また，上記第１シール材３１と第２シール材３２は，シリコンゴム等のゴム材からなる環状のシール材であり，その断面はＤ字状である。また，上記押圧部５によって上記シール部３が押圧されていないときは，第１シール材３１，および第２シール材３２の内径は，円筒状被検査体７の外径よりも大きい。
そのため，上記円筒状被検査体７は上記第１シール材３１と第２シール材３２に，接触することなく挿入することができ，両シール材の磨耗を抑えることができる。
【００４３】
ところで，本例においては，図２に示すごとく，上記スペーサ３５は，押圧方向において，上下２つの段部３５１，３５２を有する。上側に設けた段部３５１の出っ張り高さをＨ１，下側に設けた段部３５２の段差厚みをＤ２とする。
一方，上記上側の段部３５１には上記第２ブロック１２の段部１２５が接し，下側の段部３５２には上記プッシュロッド３６の段部３６５が接する。上記第２ブロック１２に設けた段部１２５の段差厚みをＤ１，上記プッシュロッド３６に設けた段部３６５の出っ張り高さをＨ２とする。
【００４４】
そして，上記第２ブロック１２のシール部３に上記第１ブロック１１の押圧部５を押圧すると，上記第２ブロック１２の段差厚みＤ１と上記スペーサ３５の出っ張り高さＨ１との間に，上記段差厚みＤ１と出っ張り高さＨ１の差分の間隙Ｓ１（図示略）ができる。
また，上記スペーサ３５の段差厚みＤ２と上記プッシュロッド３６の出っ張り高さＨ２との間に，上記段差厚みＤ２と出っ張り高さＨ２の差分の間隙Ｓ２（図示略）ができる。
そして，上記第２ブロック１２と上記スペーサ３５との間に上記第１シール材３１を配設しており，上記スペーサ３５と上記プッシュロッド３６の間に上記第２シール材３２を配設している。
【００４５】
そこで，気密検査にあたって，上記押圧部５によってプッシュロッド３６を押圧するときには，スペーサ３５の上階段面３５１Ａと第２ブロック１２の当接面１２Ａとが当接し，また，上記スペーサ３５の下階段面３５２Ａとプッシュロッド３６の当接面３６Ａとが当接するまで押圧される。
それ故，上記第１シール材３１の厚みは上記間隙Ｓ１になるまで圧縮され，第２シール材３２の厚みは上記間隙Ｓ２になるまで圧縮される。したがって，上記第１シール材３１と第２シール材３２の変形量とは，互いに影響することなく，また常に一定量とすることができる。
【００４６】
次に，上記シール部３は，上記第２シール材３２と上記押圧部５との間に，プッシュロッド３６を有するため，第２シール材３２をより確実に上記円筒状被検査体７の外周面７４に密接させることができる。
また，上記押圧部５には，第３シール材３３が設けてあるため，上記第３シール材３３が，上記押圧部５と上記プッシュロッド３６との間の気密性を，確実にする。
【００４７】
実施形態例２
本発明の実施形態例にかかる円筒状被検査体の気密検査装置について，図５，図６を用いて説明する。本例は，貫通穴を有する筒状体である円筒状被検査体を検査するための装置である。
【００４８】
図５に示すごとく，本例の円筒状被検査体の気密検査装置１０は，上記筒状体の円筒状被検査体７２の内部７１へガスを圧入するための加圧口１１０を有する第１ブロック１１と，上記円筒状被検査体７２の被検査部７２０を挿入配置するリーク検査室２２及び上記円筒状被検査体７２の外周面７２４をシールするシール部３とを有する第２ブロック１２と，上記リーク検査室２２に連通したリークテスタ１３とを有している。
【００４９】
そして，上記第１ブロック１１は，上記第２ブロック１２の開口部１２０に設けたシール部３を押圧する押圧部５を有している。
一方上記第２ブロック１２における上記シール部３は，図５に示すごとく，上記リーク検査室２２側に設けた第１シール材３１と，上記押圧部５側に設けた第２シール材３２と，上記円筒状被検査体７２の被検査部７２０が位置する上記リーク検査室２２を挟んで上記第１シール材３１と反対側に設けた第４シール材３４とを有する。
【００５０】
また，上記シール部３は，両第１シール材３１及び第２シール材３２の間にスペーサ３５と，上記第１シール材３１及び第４シール材３４の間に配設したリーク検査室用スペーサ３７とからなる。該リーク検査室用スペーサ３７は，その外周部に第５シール材３３５を有する。なお，該第５シール材３３５は，Ｏリングである。
また，上記第２ブロック１２は上記円筒状被検査体７２を挿入する挿入口１２２を有する。
【００５１】
また，気密検査の際に，上記第１ブロック１１の押圧部５によって，上記第２ブロック１２の第２シール材３２が押圧されたとき，上記第１シール材３１，第２シール材３２，及び第４シール材３４が，上記円筒状被検査体７２の外周面７２４にそれぞれ密接する。
【００５２】
そして，気密検査にあたっては，上記リーク検査室２２を気密化しなければならない。そのため，まず，上記円筒状被検査体７２を上記第２ブロック１２の挿入口１２２から挿入し，上記第１ブロック１１の加圧口１１０に対して，下方の開口部７２９が対向する状態で配置する。このとき，上方の開口部７２６には，蓋６に設けたシール用ゴム材６７を密着固定し，上記円筒状被検査体７２と蓋６との間を気密化する。
このとき，上記円筒状被検査体７２の被検査部７２０は，上記第１ブロック１１のリーク検査室２２に位置する。そして，上記第１ブロック１１を第２ブロック１２に向かって移動させ，スペーサ３５に対して押圧部５を押圧する。
【００５３】
上記押圧によって，上記第２シール材３２，スペーサ３５，第１シール材３１，リーク検査室用スペーサ３７，第４シール材３４が押圧される。そして，上記第２シール材３２，第１シール材３１，及び第４シール材３４が上記円筒状被検査体７２の外周に密接する。
これにより，図５に示すごとく，上記第１シール材３１と第４シール材３４と第５シール材３３５，及び上記円筒状被検査体７２と上記リーク検査室用スペーサ３７との間で上記リーク検査室２２を形成し，これが気密化される。
この状態で，上記円筒状被検査体７２の内部７１へ，上記第１ブロック１１の加圧口１１０から検査用のガスを圧入し，気密検査を行う。
【００５４】
本例によれば，上記検査用のガスは，上記第２シール材３２によって完全にシールされるので，上記検査用のガスが第１シール材３１方向へ流入することはない。それ故，上記第１シール材３１，第４シール材３４に対して，上記ガスのテスト圧がかかることはない。
なお，上記円筒状被検査体７２に気密不良がある場合には，上記ガスは上記円筒状被検査体７２の気密不良部分から上記リーク検査室２２内に入る。しかし，他からは上記リーク検査室２２内に上記ガスが流入することはない。
【００５５】
それ故，実施形態例１と同様に，精度が高い気密検査を行うことができる。
また，本例によれば，上記円筒状被検査体７２のセットも容易であり，気密検査も上記のごとく円筒状被検査体７２の内部７１に高圧ガスを圧入することによって，容易に行うことができる。それ故，実施形態例１と同様に，気密検査を迅速に行うことができる。
【００５６】
また，上記第１シール材３１，第２シール材３２，第４シール材３４は，シリコンゴム等のゴム材からなる環状のシール材であり，その断面はＤ字状である。また，上記押圧部５によって上記シール部３が押圧されていないときは，上記各シール材の内径は，円筒状被検査体７２の外径よりも大きい。
そのため，上記円筒状被検査体７２は上記各シール材に，接触することなく挿入することができ，上記各シール材の磨耗を抑えることができる。
【００５７】
ところで，本例においては，図６に示すごとく，上記リーク検査室用スペーサ３７は，押圧方向において，上下２つの段部３７１，３７２を有する。上側に設けた段部３７１の出っ張り高さをｈ１，下側に設けた段部３７２の段差厚みをｄ２とする。また，上記スペーサ３５も，同様の段部３５１，３５２を有し，上側に設けた段部３５１の出っ張り高さをｈ２，下側に設けた段部３５２の段差厚みをｄ３とする。
【００５８】
そして，押圧時においては，上記リーク検査室用スペーサ３７に設けた下側の段部３７２には上記スペーサ３５の上側の段部３５１が接する。
一方，上記リーク検査室用スペーサ３７に設けた上側の段部３７１には上記第２ブロック１２の段部１２５が接し，上記スペーサ３５に設けた下側の段部３５２には上記第１ブロック１１の段部１１５が接する。上記第２ブロック１２に設けた段部１２５の段差厚みをｄ１，上記第１ブロック１１に設けた段部１１５（押圧部５）の出っ張り高さをｈ３とする。
【００５９】
上記第２ブロック１２のシール部３に上記第１ブロック１１の押圧部５を押圧すると，上記第２ブロック１２の段差厚みｄ１と上記リーク検査室用スペーサ３７の出っ張り高さｈ１との間に，上記段差厚みｄ１と出っ張り高さｈ１の差分の間隙ｓ１（図示略）ができる。
また，上記リーク検査室用スペーサ３７の段差厚みｄ２と上記スペーサ３５の出っ張り高さｈ２との間に，上記段差厚みｄ２と出っ張り高さｈ２の差分の間隙ｓ２（図示略）ができる。
また，上記スペーサ３５の段差厚みｄ３と上記第１ブロック１１の出っ張り高さｈ３との間に，上記段差厚みｄ３と出っ張り高さｈ３の差分の間隙ｓ３（図示略）ができる。
【００６０】
そして，図６に示すごとく，上記第２ブロック１２と上記リーク検査室用スペーサ３７との間に上記第４シール材３４を配設しており，上記リーク検査室用スペーサ３７と上記スペーサ３５との間に上記第１シール材３１を配設しており，上記スペーサ３５と上記第１ブロック１１との間に上記第２シール材３２を配設している。
【００６１】
そこで，気密検査にあたって，上記押圧部５によってプッシュロッド３６を押圧するときには，上記第２ブロック１２の当接面１２Ａとリーク検査室用スペーサ３７の上階段面３７１Ａとが当接し，上記リーク検査室用スペーサ３７の下階段面３７２Ａとスペーサ３５の上階段面３５１Ａとが当接し，また，上記スペーサ３５の下階段面３５２Ａと第１ブロック１１の当接面１１Ａとが当接するまで押圧される。
【００６２】
それ故，上記第４シール材３４の厚みは上記間隙ｓ１になるまで圧縮され，第１シール材３１の厚みは上記間隙ｓ２になるまで圧縮され，第２シール材３２の厚みは上記間隙ｓ３になるまで圧縮される。したがって，各シール材の変形量は，互いに影響することなく，また常に一定量とすることができる。
【００６３】
また，本例においては，上記第２ブロック１２は上記円筒状被検査体７２を挿入する挿入口１２２を有する。それ故，上記円筒状被検査体７２の長さが，上記第２ブロック１２の高さより長い場合にも，容易に気密検査を行うことができる。
【００６４】
実施形態例３
本発明の実施形態例にかかる円筒状被検査体の気密検査装置について，図７を用いて説明する。本例は，貫通穴を有する筒状体である円筒状被検査体を検査するための装置である。
【００６５】
本例は，図７に示すごとく，上記第１ブロック１１が，上記円筒状被検査体７２の下方の開口部７２９を挿入配置すると共に該円筒状被検査体７２の内部７１を通じてガスを圧入するための凹所１１９を有すること。一方，上記円筒状被検査体７２の上方の開口部７２６には，加圧口６０９を有する加圧ガス送入部６０を配設することが実施形態例２と異なる。
その他は，実施形態例２と同様の構造である。
【００６６】
本例においては，気密検査の際に，上記円筒状被検査体７２より上方に配設した加圧ガス送入部６０の加圧口６０９から高圧のガスを円筒状被検査体７２の内部７１に圧入する。
【００６７】
そして，上記気密検査にあたって，上記リーク検査室２２を気密化する際には，まず，上記円筒状被検査体７２を上記第２ブロック１２の挿入口１２２から挿入し，上記第１ブロック１１の凹所１１９に対して，上記円筒状被検査体７２の下方の開口部７２９が対向する状態で配置する。このとき，上方の開口部７２６には，加圧ガス送入部６０に設けたシール用ゴム材６７０を密着固定する。
【００６８】
そして，上記第２ブロック１２のシール部３に対して，第１ブロック１１の押圧部５を押圧する。これによって，実施形態例２と同様に，上記円筒状被検査体７２と上記第１ブロック１１との間，及び上記リーク検査室２２が気密化される。
【００６９】
そのため，実施形態例２と同様に，精度の高い気密検査を行うことができる。また，迅速に気密検査を行うことができる。
その他，実施形態例２と同様の作用を得ることができる。
【００７０】
実施形態例４
本例の気密検査装置について，図８を用いて説明する。
本例は，上記第１シール材３１，第２シール材３２，第４シール材３４の形状は，環状であり，その内周にはシール用突起３８を有し，上面，下面，及び外周面は上記第１ブロック１１，及び第２ブロック１２によって押圧される拘束面３９を有している。
なお，上記各シール材の材質は，シリコンゴム，ウレタンゴム等のゴム材である。
【００７１】
即ち，上記シール用突起３８の断面形状が，例えば，図８（Ａ）に示すごとく，円弧状である場合には，実施形態例１の第１，第２シール材，及び実施形態例２の第１，第２，第４シール材のごとく，シール材の断面はＤ字状となる。
【００７２】
また，上記シール用突起３８の断面形状としては，他にも，図８（Ｂ）に示すごとく，三角状である場合や，図８（Ｃ）に示すごとく，２段状である場合がある。
上記シール用突起３８の断面形状が三角状である場合には，シール材の製作が容易であり，２段状である場合には，シールの安定が速いという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態例１における気密検査装置に円筒状被検査体を挿入する時の説明図。
【図２】実施形態例１におけるシール部周辺の一部断面斜視図。
【図３】実施形態例１における円筒状被検査体の断面図。
【図４】実施形態例１における円筒状被検査体を検査する時の断面説明図。
【図５】実施形態例２における円筒状被検査体を検査する時の断面説明図。
【図６】実施形態例２におけるシール部周辺の断面説明図。
【図７】実施形態例３における円筒状被検査体を検査する時の断面説明図。
【図８】実施形態例４における各シール材の断面図。
【図９】従来例における気密検査装置の断面説明図。
【符号の説明】
１．．．円筒状被検査体の気密検査装置，
１１．．．第１ブロック，
１２．．．第２ブロック，
１３．．．リークテスタ，
２．．．リーク検査室，
３．．．シール部，
３１．．．第１シール材，
３２．．．第２シール材，
３３．．．第３シール材，
３４．．．第４シール材，
３３５．．．第５シール材，
３５．．．スペーサ，
３６．．．プッシュロッド，
３７．．．リーク検査室用スペーサ，
３８．．．シール用突起，
３９．．．拘束面，
５．．．押圧部，
７．．．円筒状被検査体，
７０．．．被検査部，
７１．．．内部，
７４．．．外周面，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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