(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部を有するファインアクチュエータ部、及び当該ファインアクチュエータ部と接合されると共に、所定の回転軸の回りに揺動可能に軸支されたホルダーアームを有するコースアクチュエータ部とから構成された磁気ヘッド位置決め機構であって、当該コースアクチュエータ部は、当該ホルダーアームを当該回転軸を中心としてシーク方向に揺動させる為の第１の駆動手段を有しており、一方、当該ファインアクチュエータ部には、当該コースアクチュエータ部に於ける該ホルダーアームの揺動運動とは独立的に当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる為の第２の駆動手段が設けられており、更には、当該ホルダーアームを挟んで当該ファインアクチュエータと対向する側に、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する振動を抑制する振動抑制手段が設けられ、当該振動抑制手段には、当該ファインアクチュエータ部に、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部に設けられている当該磁気ヘッド支持機構の揺動動作に同期して当該磁気ヘッド支持機構の揺動動作とは反対方向の揺動動作を独立的に行うための揺動補償部材が設けられていることを特徴とする磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項２】
当該コースアクチュエータ部に設けられている当該第１の駆動手段は、ボイスコイルモータである事を特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項３】
当該ファインアクチュエータ部に設けられている当該第２の駆動手段は、ボイスコイルモータ或いは圧電素子の何れかで構成されている事を特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項４】
当該ファインアクチュエータ部に於て、当該磁気ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構保持部に形成されたアクチュエータスプリング部との間に設けられた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部に接合されており、当該細幅状バネ部材を圧電素子によって変形させる様に構成されている事を特徴とする請求項３記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項５】
当該ファインアクチュエータ部に於て、当該磁気ヘッド支持機構を有する当該磁気ヘッド支持機構保持部が、コースアクチュエータ部のホルダアームの一部に旋回可能に保持されると共に当該磁気ヘッド支持機構保持部の端部にボイスコイルモータが設けられている事を特徴とする請求項３記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項６】
当該揺動補償部材は、当該磁気ヘッド支持機構と等価の質量を有している事を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項７】
当該揺動補償部材は、磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された揺動可能な磁気ヘッド支持機構で構成されている事を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項８】
当該揺動補償部材は、磁気ヘッドを搭載したスライダを支持する磁気ヘッド支持機構を含む磁気ヘッド支持機構保持部で構成されている事を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項９】
当該揺動補償部材は、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構或いは、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続される当該磁気ヘッド支持機構保持部に隣接して対向配置されるものである事を特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１０】
当該揺動補償部材は、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構成されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された磁気ヘッド支持機構保持部である事を特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１１】
当該揺動補償部材はダミー部材で構成されている事を特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１２】
当該揺動補償部材と、実際に情報を記録媒体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部とは、互いに反対の方向に同じ力で揺動する様に構成されている事を特徴とする請求項１乃至１１の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１３】
当該揺動補償部材が、実際に情報を記録媒体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部である事を特徴とする請求項１２記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１４】
当該揺動補償部材と、当該実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構成されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構保持部とは、当該コースアクチュエータ部を構成する当該ホルダアームの互いに対向する平面にそれぞれ設けられている事を特徴とする請求項１乃至１３の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１５】
当該ファインアクチュエータ部を保持する当該コースアクチュエータ部が複数個、多層状に積層されて構成されている事を特徴とする請求項１乃至１４の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１６】
当該複数個のコースアクチュエータ部は、当該それぞれのコースアクチュエータ部に於けるホルダアームに設けられている当該回転軸を受け入れるアームブロックに於いて同芯状に多層化積層されている事を特徴とする請求項１５記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１７】
当該多層化された磁気ヘッド位置決め機構に於いて、当該多層化された当該個々のコースアクチュエータ部に於ける両端部に位置する当該コースアクチュエータ部を構成するホルダアームの一面にはダミー部材が配置され、当該他面には、実際に情報を記録媒体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或いは当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部が配置されている事を特徴とする請求項１５又は１６に記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１８】
当該多層化された磁気ヘッド位置決め機構に於いて、当該多層化された当該個々のコースアクチュエータ部に於ける両端部を除く部位に配置されたホルダアームの両側面には、それぞれ実際に情報を記録媒体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或いは当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部が配置されている事を特徴とする請求項１５乃至１７の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構。
【請求項１９】
磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部を有するファインアクチュエータ部、及び当該ファインアクチュエータ部と接合されると共に、所定の回転軸の回りに揺動可能に軸支されたホルダーアームを有するコースアクチュエータ部とから構成された磁気ヘッド位置決め機構であって、当該コースアクチュエータ部は、当該ホルダーアームを当該回転軸を中心としてシーク方向に揺動させる為の第１の駆動手段を有しており、一方、当該ファインアクチュエータ部には、当該コースアクチュエータ部に於ける該ホルダーアームの揺動運動とは独立的に当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる為の第２の駆動手段が設けられている磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法に於いて、
当該ホルダーアームを挟んで当該ファインアクチュエータと対向する側に、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する振動を抑制する振動抑制手段が設けられ、
当該振動抑制手段には、当該ファインアクチュエータ部に、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部に設けられている当該磁気ヘッド支持機構の揺動動作に同期して当該磁気ヘッド支持機構の揺動動作とは反対方向の揺動動作を独立的に行う揺動補償部材が設けられ、当該揺動補償部材が当該磁気ヘッド支持機構による揺動に起因する当該コースアクチュエータ部のホルダアームに発生する反力を相殺するように構成したことを特徴とする磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２０】
当該コースアクチュエータ部に設けられている当該第１の駆動手段としてボイスコイルモータを使用する事を特徴とする請求項１９に記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２１】
当該ファインアクチュエータ部に設けられている当該第２の駆動手段としてボイスコイルモータ或いは圧電素子の何れかを使用する事を特徴とする請求項１９又は２０に記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２２】
当該ファインアクチュエータ部に於て、当該磁気ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構保持部に形成されたアクチュエータスプリング部に設けられた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部に接合されており、当該細幅状バネ部材を圧電素子に印加される電圧を制御することによって変形させ、当該磁気ヘッドをシーク方向に揺動させる事を特徴とする請求項１９乃至２１の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２３】
当該ファインアクチュエータ部に於て、当該磁気ヘッド支持機構を有する当該磁気ヘッド支持機構保持部が、コースアクチュエータ部のホルダアームの一部に旋回可能に保持されると共に当該磁気ヘッド支持機構保持部の端部にボイスコイルモータを当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーアームに設けた磁石手段と対向して設け、当該ボイスコイルモータに印加される電流を制御する事によって当該磁気ヘッドをシーク方向に揺動させる事を特徴とする請求項１９乃至２１の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２４】
当該ファインアクチュエータ部に設けられる当該振動抑制手段は、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部に対向して設けられ、且つ当該磁気ヘッド支持機構若しくは当該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有していることを特徴とする請求項１９乃至２３の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２５】
当該揺動補償部材と、当該実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構成されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構保持部とを、当該コースアクチュエータ部を構成する当該ホルダアームの互いに対向する平面にそれぞれ設ける事を特徴とする請求項１９乃至２４の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２６】
当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで当該磁気ヘッドと反対側に設けられた当該揺動補償部材を、当該第２の駆動手段と同一の構成を有する他の第２の駆動手段を駆動させて、当該磁気ヘッドを保持する当該磁気ヘッド支持機構、或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部の駆動方向とは逆向きに同じ力で駆動させる事を特徴とする請求項１９乃至２５の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２７】
当該揺動補償部材は、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構で構成されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された磁気ヘッド支持機構保持部で構成する事を特徴とする請求項１９乃至２６の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２８】
当該揺動補償部材は当該磁気ヘッド支持機構若しくは当該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有しているダミー部材で構成する事を特徴とする請求項１９乃至２６の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項２９】
当該ファインアクチュエータ部を保持する当該コースアクチュエータ部を複数個、当該それぞれのコースアクチュエータ部に於けるホルダアームに設けられている所定の回転軸を受け入れるアームブロックに於いて同芯状となる様に多層状に積層されて、且つ当該複数個のコースアクチュエータ部が一体的に揺動する様に構成する事を特徴とする請求項１９乃至２８の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３０】
当該多層状に積層された複数個のコースアクチュエータ部の内、両端部に配置されている当該コースアクチュエータ部に於ける当該振動抑制手段の該揺動補償部材は、当該磁気ヘッド支持機構若しくは当該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有しているダミー部材で構成する事を特徴とする請求項２９に記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３１】
当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部は、当該磁気ヘッド支持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリングと当該アクチュエータ・スプリングを駆動する第２の駆動手段としての２つの圧電素子を有してなり、当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への微小量変位は、当該２つの圧電素子に交互に電圧を印加することで当該２つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆動力によって実行されることを特徴とする請求項１９乃至３０の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３２】
当該ファインアクチュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第１の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制手段として機能する、第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有し、且つ実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第２の磁気ヘッド支持機構保持部とを設け、更に当該第１と第２の磁気ヘッド支持機構保持部に於いては、何れも当該磁気ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構保持部に形成されたアクチュエータスプリング部に設けられた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部に接合せしめ、当該第１と第２の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第２の駆動手段及び他の第２の駆動手段を構成する圧電素子に印加される電圧を制御することによって変形させ、当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる様に構成し、一方の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子に電圧を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を構成する当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続された第２の磁気ヘッド支持機構保持部に設けられた当該他の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子に、当該第２の駆動手段の圧電素子に印加された電圧とは逆位相の電圧を印加し、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させるように構成したことを特徴とする請求項１９乃至３１の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３３】
当該ファインアクチュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第１の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制手段として機能する、磁気ヘッド支持機構を含む第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有するダミー部材とを設け、更に当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に於ける磁気ヘッド支持機構保持部においては、何れも当該磁気ヘッド支持機構及び当該磁気ヘッド支持機構と等価の質量を有するダミーマスは、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構保持部に形成されたアクチュエータスプリング部に設けられた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部に接合せしめ、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第２の駆動手段及び他の第２の駆動手段を構成する圧電素子に印加される電圧を制御することによって変形させ、当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる様に構成し、一方の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子に電圧を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を構成する当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続された当該ダミー部材に設けられた当該他の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子に、当該第２の駆動手段の圧電素子に印加された電圧とは逆位相の電圧を印加し、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させるように構成したことを特徴とする請求項１９乃至３１の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３４】
当該ファインアクチュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、その一面に実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された第１の磁気ヘッド支持機構を有する第１の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該第１の磁気ヘッド支持機構の端部に第２の駆動手段を構成する第１のボイスコイルモータを設け、かつその他面には、当該振動抑制手段として機能する、第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有し、且つ実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された第２の磁気ヘッド支持機構と接続された第２の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該第２の磁気ヘッド支持機構の端部に他の第２の駆動手段を構成する第２のボイスコイルモータを設け、更に当該第１と第２の磁気ヘッド支持機構保持部に於いては、何れも当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への微小量変位は、当該ボイスコイルモータのコイルに任意の電流を印加することで当該ボイスコイルモータに電磁力を発生させ、当該電磁力によって当該それぞれの磁気ヘッド支持機構保持部を揺動させる様に構成し、一方の第２の駆動手段を構成する当該ボイスコイルモータに所定の電流を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を駆動し、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続された第２の磁気ヘッド支持機構保持部に設けられた当該他の第２の駆動手段を構成する当該ボイスコイルモータに、当該第２の駆動手段に印加された電流とは逆向きの電流を印加して、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させるように構成したことを特徴とする請求項１９乃至３１の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【請求項３５】
当該ファインアクチュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、その一面に実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を有する第１の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該磁気ヘッド支持機構の端部に第２の駆動手段を構成する第１のボイスコイルモータを設け、かつその他面には、当該振動抑制手段として機能する、当該磁気ヘッド支持機構を含む第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有するダミー部材を設け、当該ダミー部材の端部に、他の第２の駆動手段を構成する第２のボイスコイルモータを設け、更に当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部の当該磁気ヘッドのシーク方向への微小量変位は、当該第１のボイスコイルモータのコイルに任意の電流を印加することで当該ボイスコイルモータに電磁力を発生させ、当該電磁力によって当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を揺動させる様に構成し、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部の当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続された当該ダミー部材に設けられた当該他の第２の駆動手段を構成する当該第２のボイスコイルモータに、当該第２の駆動手段に印加された電流とは逆向きの電流を印加して、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させるように構成したことを特徴とする請求項１９乃至３１の何れかに記載の磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置あるいは光ディスク装置等のディスク装置における磁気ヘッド位置決め機構及びその駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスク装置の記録密度は、高ＢＰＩ（Bit Per Inch）化と高ＴＰＩ(Track Per Inch)化により年率６０％以上のペースで増加している。
高ＢＰＩ化のためには、ヘッド浮上量の低減やＭＲ（Magneto Resistive）ヘッドのようなセンシティビティの高い磁気ヘッドの採用、あるいは高効率な信号処理技術などが求められるが、高ＴＰＩ化実現のためには加えて磁気ヘッドの位置決め精度の改善が重要な技術課題となる。
【０００３】
例えば1 Ｇｂ／ｉｎ2 の記録密度の場合、トラック方向密度は８ｋＴＰＩ以下、トラックピッチにして３〜４μｍ程度であるが、１０Ｇｂ／ｉｎ2 以上の記録密度を達成するためにはトラック密度は２５ｋＴＰＩ以上、トラックピッチにして１μｍ以下となるため、磁気ヘッドの位置決め精度は（トラックピッチの１０％である）０．１μｍ以下が要求されるようになる。
【０００４】
図９及び図１０に磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッド位置決め機構（ポジショナ）の従来例を示す。
この磁気ヘッド位置決め機構は、磁気ヘッドを円弧形に回転駆動するロータリーアクチュエータ方式と呼ばれるもので、複数のホルダアーム１１と、可動コイル１２を備えたアームブロック（キャリッジ）１３とが回転軸受け部１４を中心に矢印Ａ（図９（ｂ）参照）の方向に回転可能となるように構成されている。
【０００５】
当該アームブロック１３のホルダアーム先端部には、磁気ヘッド１を搭載したスライダ２を支持する磁気ヘッド支持機構５（サスペンションまたはＨＧＡ：Head Gimbal Assembly）が接続されている（図１０（ａ）乃至（ｃ）参照）。
また、当該アームブロック１３の他端に設置された可動コイル１２は、外部固定磁気回路１５と組み合わされてＶＣＭ（Voice Coil Motor）を構成し、当該可動コイル１２に所定の駆動電流を印加することにより駆動力を発生して、当該磁気ヘッド支持機構５をシーク方向（図９（ｂ）の矢印Ａ）へ円弧軌道で回転駆動し、磁気ヘッド１を媒体上の目標トラックへ位置決めさせる。
【０００６】
ここでいう位置決め動作とは、磁気ヘッドを任意のトラック位置から目標のトラック位置へと移動させるシーク動作（トラッキング）と、磁気ヘッドを目標のトラック上に追従させておくフォロー動作（フォローイング）とに分けられる。
従来の磁気ヘッド位置決め機構は１つのＶＣＭで複数の磁気ヘッドを同時に駆動するため、位置決め精度とりわけフォローイングにおけるトラック追従精度が十分ではなく、前述のように１μｍ以下の狭トラックピッチが要求される高ＴＰＩの装置には対応できなくなりつつある。
【０００７】
そこで、ＶＣＭによるキャリッジ駆動とは独立して、各々の磁気ヘッドを個別に駆動させる２ステージアクチュエータの研究が進められている。この２ステージアクチュエータは個別に駆動させる部位によって大きく３種類に大別できる。すなわち磁気ヘッド部を個別駆動させるヘッド素子駆動方式（図１１（ａ））、スライダ部を個別駆動させるスライダ駆動方式（図１１（ｂ））、および磁気ヘッド支持機構（ＨＧＡ）部を個別駆動させるＨＧＡ駆動方式（図１２（ａ）乃至図１２（ｃ））である。
【０００８】
図１１（ａ）、（ｂ）に示すヘッド素子駆動方式は、マイクロマシーン技術を応用してスライダＡ１内に櫛歯構造を有する静電駆動型のリニアアクチュエータＡ２を埋め込んで磁気ヘッドＡ３を直接微小駆動するものであるが、加工難度が高いため歩留まりが悪く、また可動方向に衝撃が加わると容易に変位あるいは破壊してしまう欠点があり未だ実用化に至っていない。なお、図１１（ａ）においてＡ４は磁気ヘッド支持機構（サスペンション）である。
【０００９】
図１１（ｃ）に示すスライダ駆動方式は、シリコンマイクロジンバルＢ１とプレーナ型電磁駆動方式のピギーバック・マイクロアクチュエータＢ２を組み合わせた構造であるが、誘導磁界を発生させるコイルパターン層を厚く加工できないため十分な駆動力が得られないといった課題を抱えている。
最後に図１２乃至図１４に示すＨＧＡ駆動方式であるが、これはＨＧＡ駆動用アクチュエータの発生力が磁気ヘッドの加速度に比例するか変位に比例するかによって、力−加速度型（高コンプライアンス型：図１２及び図１３）と力−変位型（高スティッフネス型：図１４）の２種類に分けられる。
【００１０】
図１２及び図１３に示す力−加速度型（高コンプライアンス型）の２ステージアクチュエータは、本願出願人が既に出願している特願平９−２６０６８０号の明細書中に於て開示されている磁気ヘッド位置決め機構に関するものであって、当該磁気ヘッド位置決め機構に於いては、磁気ヘッド支持機構（サスペンション：以下、ＨＧＡと称する）５をアクチュエータスプリング８に接続し、アクチュエータスプリング８はホルダアーム１１に軸固定されている。
【００１１】
そして、このときホルダアーム１１とアクチュエータスプリング８との間には永久磁石１７と小形コイル１９およびヨーク１８とからなる小形ＶＣＭ２０が構築されており、トラック追従時には小形コイル１９に所定の電流を印加して電磁力を発生させてホルダアームに軸固定されたアクチュエータ・スプリング８を撓ませて磁気ヘッド支持機構５を微小回転駆動される様に構成されている。
【００１２】
一方、図１４に示す力−変位型（高スティッフネス型）の２ステージアクチュエータは、同じく、本願出願人が既に出願している特願平１０−３５５６９７号の明細書中に於て開示されている磁気ヘッド位置決め機構に関するものであって、当該磁気ヘッド位置決め機構に於いては、磁気ヘッド支持機構５をアクチュエータスプリング８に接続し、アクチュエータスプリング８はホルダアーム１１に完全固定されており、このとき図１５及び図１６に示す様に、アクチュエータスプリング８には一対の圧電素子１６が磁気ヘッド支持機構の長手中心軸に沿って平行に配置されており、トラック追従時には一対の圧電素子に所定の電圧を交互に印加して駆動力を発生させてホルダアームに固定されたアクチュエータスプリング８を撓ませて磁気ヘッド支持機構５を微小回転駆動させている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ＨＧＡ駆動方式の２ステージアクチュエータは、従来のＨＧＡに大きな変更を加えることなく容易に構築することが可能であるため、現在のところ最も実用化が近い高精度ヘッド位置決め機構として期待されている。
処で、図１７（ａ）は図１４で示した力−変位型（高スティッフネス型）の２ステージアクチュエータの解析モデルを示す。磁気ヘッド支持機構を接続したアクチュエータスプリングを１枚のみ単板のホルダアームに接続している。このモデルの周波数特性を図１７（ｂ）に示す。
【００１４】
図１７（ｂ）中の破線は上記２ステージアクチュエータを回転軸受け部においてＶＣＭ加振したときの周波数特性でありシーク動作中（トラッキング：コースアクチュエータ駆動時）の振動特性を示している。
また、図１７（ｂ）中の太線は、上記２ステージアクチュエータのファインアクチュエータ部（アクチュエータスプリング部）に設けた圧電素子（ＰＺＴ）のみを駆動させたときの周波数特性であり追従動作中（フォローイング：ファインアクチュエータ駆動時）の振動特性を示している。
【００１５】
一方、同図中の細線はファインアクチュエータ部のみのモデルを用いて、アクチュエータスプリングをホルダアーム接続位置において完全固定し圧電素子（ＰＺＴ）を駆動させたときの周波数特性であり、ファインアクチュエータ部単体の振動特性を示している。
ファインアクチュエータ部単体では８．２ｋＨｚに１つの共振ピークしか持たなかったモデル（図１７（ｂ）の細線）でも、ホルダアームに接続すると同じＰＺＴ駆動条件（トラック追従動作条件）でありながらＶＣＭ駆動時（シーク動作時：図１７（ｂ）の破線）と同様に▲１▼５．８ｋＨｚと▲２▼９．５ｋＨｚに２つの共振ピークを持つようになっているのがわかる（図１７（ｂ）の太線）。
【００１６】
これら２つの共振は、図１７（ｃ）に示すモードシェイプを見てもわかるように、▲１▼５．８ｋＨｚの共振がホルダアームの振動と連成したファインアクチュエータのスウェイ（Ｓｗａｙ）モード（以下、アーム連成スウェイモード）であり、▲２▼９．５ｋＨｚの共振がサスペンションの２次捻れ振動によるオフトラック・モードである。
【００１７】
キャリッジ・ブロック最上位および最下位のようにホルダアームにファインアクチュエータが１枚しか接続されていないモデルでは上記のような特性を示すが、キャリッジ・ブロック中位のようにホルダアームに上下２枚のファインアクチュエータが接続されるようなモデル（図１８（ａ）参照）ではさらに複雑な振動特性を示すようになる。
【００１８】
このときの周波数特性を図１８（ｂ）に示す。破線は同じくホルダアームの回転軸受け部においてＶＣＭ加振したときの周波数特性でありシーク動作中（トラッキング：コースアクチュエータ駆動時）の振動特性を示し、太線は上記２枚のファインアクチュエータのうち片方をＰＺＴ駆動させたときの周波数特性であり（任意の磁気ヘッドによる）追従動作中（フォローイング：ファインアクチュエータ駆動時）の振動特性を示している。
【００１９】
キャリッジ・ブロック中位のようにホルダアームに上下２枚のファインアクチュエータが接続されているような場合、トラック追従時の振動特性（ＰＺＴ駆動）は共振ピークが１つ増えて３つ（▲１▼ 5.1ｋＨｚ, ▲２▼ 8.1ｋＨｚ, ▲３▼ 9.6ｋＨｚ）現れるようになる。これら３つの共振は、図１５（ｃ）に示すモードシェイプを見てもわかるように、▲１▼５．８ｋＨｚの共振と▲３▼９．６ｋＨｚの共振は各々アーム連成スウェイモードとサスペンション２次捻れであるが、▲２▼８．１ｋＨｚの共振は上下２枚のサスペンションが交差するようなファインアクチュエータスウェイモードである。
【００２０】
アームアッセー・モデルにおいてＰＺＴ駆動時に現れるこれら２つもしくは３つの共振は、ＰＺＴによるＨＧＡ駆動力がホルダアーム先端部（ファインアクチュエータとの接続位置）において反力（以下、ＰＺＴ駆動反力）として作用し、これが加振源となってホルダアーム振動を励起するために引き起こされるものと考えられる（図１９及び図２０参照）。
【００２１】
トラック追従時（ＰＺＴ駆動時）において、ヘッド位置決め機構系の共振ピークが高周波（１０ｋＨｚ）と低周波（５ｋＨｚ）の２つに分かれて現れてくると、サーボの制御帯域を広く取れなくなるために位置決め精度は著しく悪化する。
また、キャリッジ・アーム中位の振動特性のように共振ピークが３つになってくるとノッチ・フィルターを３つ直列に配置する必要があり、これらの共振に近接した周波数に制御帯域を設定する場合にはその周波数帯域で著しく位相を遅らせることになるため、安定余裕が減少し実用的なコントローラの実装が困難になってくる。
【００２２】
その他、磁気ヘッド位置決め機構に関する公知例として特開平５−３４１７８７号公報、特許第２５２９３８０号明細書及び特許第２７１２５９９号明細書等が見られるが、係る公報には、２ステージアクチュエータを備えた磁気ヘッド位置決め機構に関して開示されているが、当該ファインアクチュエータ部のシーク動作に起因する当該コースアクチュエータ部に於ける加振現象を抑制する技術に関しては記載が見られない。
【００２３】
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を改良すべく構成されたものであり、その目的は、例えば、１０Ｇｂ／ｉｎ2 を越える高記録密度の磁気ディスク装置において、トラック密度２５ｋＴＰＩ以上の狭トラックピッチ（トラックピッチ１μｍ以下）においてもトラック追従可能で、かつサーボ帯域３ｋＨｚ以上を確保できるような、高速・高精度な磁気ヘッド位置決め機構およびその駆動方式を提供することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記した目的を達成する為、以下に示す様な基本的な技術構成を採用するものである。即ち、本発明の磁気ヘッド位置決め機構に係る態様としては、磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部を有するファインアクチュエータ部、及び当該ファインアクチュエータ部と接合されると共に、所定の回転軸の回りに揺動可能に軸支されたホルダーアームを有するコースアクチュエータ部とから構成された磁気ヘッド位置決め機構であって、当該コースアクチュエータ部は、当該ホルダーアームを当該回転軸を中心としてシーク方向に揺動させる為の第１の駆動手段を有しており、一方、当該ファインアクチュエータ部には、当該コースアクチュエータ部に於ける該ホルダーアームの揺動運動とは独立的に当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる為の第２の駆動手段が設けられており、更には、当該ホルダーアームを挟んで当該ファインアクチュエータと対向する側に、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する振動を抑制する振動抑制手段が設けられ、当該振動抑制手段には、当該ファインアクチュエータ部に、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部に設けられている当該磁気ヘッド支持機構の揺動動作に同期して当該磁気ヘッド支持機構の揺動動作とは反対方向の揺動動作を独立的に行うための揺動補償部材が設けられていることを特徴とするものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構及び磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法は、上記した様な技術構成を採用しているものであって、より具体的には、当該磁気ヘッド位置決め機構は、磁気ヘッド支持機構と２ステージアクチュエータを備え、当該磁気ヘッド支持機構は、磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成され、当該２ステージアクチュエータは、当該磁気ヘッド支持機構を磁気ヘッドのシーク方向に微小量変位させるファインアクチュエータ部と、当該複数のファインアクチュエータ部をＶＣＭにより当該磁気ヘッドのシーク方向に一括して変位させるコースアクチュエータ部とから構成され、当該ファインアクチュエータ部は、当該磁気ヘッド支持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリングと２つの圧電素子を有してなり、当該２つの圧電素子に交互に電圧を印加することで当該２つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該アクチュエータ・スプリング部を弾性的に撓ませることによって磁気ヘッドのシーク方向への微小駆動が行われる高スティッフネス型のＨＧＡ駆動方式、もしくは当該磁気ヘッド支持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリングと小形コイルおよびヨークを有してなり、ホルダアームに埋め込まれた永久磁石とで小形のＶＣＭを形成し、当該小形コイルに電流を印加することで当該小形ＶＣＭに電磁力を発生させ、当該アクチュエータ・スプリング部を弾性的に撓ませることによって磁気ヘッドのシーク方向への微小駆動が行われる高コンプライアンス型のＨＧＡ駆動方式で構成されており、またキャリッジ・ブロックの最上位と最下位においてはホルダアームを挟んで当該ＨＧＡ駆動方式のファインアクチュエータ部と対向する側に、当該磁気ヘッド支持機構の等価質量相当のダミー・マスを搭載したファインアクチュエータ部（ダミー・アクチュエータ）が接続されていることを特徴とするものである。
【００２６】
加えて、本発明に於ける当該磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法としてのより詳細な具体例としては、トラック追従時において、例えば当該コースアクチュエータ部とファインアクチュエータ部とから構成される磁気ヘッド位置決め機構ユニットが複数個並列的に且つ各磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於けるホルダーアームに設けられた、所定の回転軸に嵌合する開口部を形成するアームブロック部に於て互いに同心的に集積され且つ一体的に集合せしめられた磁気ヘッド位置決め機構を使用して、任意の磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於けるファインアクチュエータ部の設けられた磁気ヘッド支持機構保持部を用いてＨＧＡを駆動させる場合、当該アームブロックの中位に於ける当該磁気ヘッド位置決め機構ユニットにおいては、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続されたもう１枚の振動抑制手段として機能するが、実際に情報を当該記録媒体に書き込んだり、当該記録媒体から情報を読み出したりする事が可能な他の磁気ヘッド支持機構保持部を、当該任意のファインアクチュエータとは逆方向へ常時同じ力で（圧電素子（ＰＺＴ）駆動によるファインアクチュエータの場合には逆位相の電圧を、小形ＶＣＭ駆動によるファインアクチュエータの場合には逆方向の電流を印加して）駆動させ、同じく当該アームブロックに於ける両端部に配置された当該磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於けるホルダアームに接続された磁気ヘッド支持機構保持部を用いてＨＧＡを駆動させる場合には、ホルダアームを挟んで反対側に接続された当該ダミーマス搭載のダミー部材に於ける駆動手段をやはり当該磁気ヘッド支持機構保持部とは逆方向へ常時同じ力で（圧電素子（ＰＺＴ）駆動によるファインアクチュエータの場合には逆位相の電圧を、小形ＶＣＭ駆動によるファインアクチュエータの場合には逆方向の電流を印加して）駆動させることを特徴としているものである。
【００２７】
これにより、トラック追従時において任意のファインアクチュエータを駆動させたときにアクチュエータ・スプリングとホルダアームとの接続部に作用するＨＧＡ駆動反力は、上下２枚のファインアクチュエータ（キャリッジ中位）もしくは１枚のファインアクチュエータと１枚のダミー・アクチュエータ（キャリッジの両端部）の対向するＨＧＡ駆動反力によって互いに相殺され、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセルすることができるため、ＨＧＡ駆動時にホルダアーム振動に起因した共振を抑制することができ、高周波数帯域まで共振ピークのない良好な振動特性を得ることができるため、磁気ヘッドの高速・高精度なトラック追従動作（フォローイング）を行うことが可能になる。
【００２８】
【実施例】
以下に、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構及び磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法の一具体例の構成を図面を参照しながら詳細に説明する。
即ち、図１は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の一具体例の構成を説明する断面図及び平面図であり、図中、磁気ヘッド１を搭載したスライダ２を支持するように構成された磁気ヘッド支持機構５と当該磁気ヘッド支持機構５を保持する磁気ヘッド支持機構保持部３０を有するファインアクチュエータ部６、及び当該ファインアクチュエータ部６と接合されると共に、所定の回転軸３１の回りに揺動可能に軸支されたホルダーアーム１１を有するコースアクチュエータ部７とから構成された磁気ヘッド位置決め機構１００であって、当該コースアクチュエータ部７は、当該ホルダーアーム１１を当該回転軸３１を中心としてシーク方向に揺動させる為の第１の駆動手段１２を有しており、一方、当該ファインアクチュエータ部６には、当該コースアクチュエータ部７に於ける該ホルダーアーム１１の揺動運動とは独立的に当該磁気ヘッド１をシーク方向に微小量揺動させる為の第２の駆動手段１６が設けられており、更には、当該ファインアクチュエータ部６には、当該ファインアクチュエータ部６に於ける当該磁気ヘッド支持機構５の当該揺動運動に伴って、当該コースアクチュエータ部７の当該ホルダーアーム１１に発生する振動を抑制する振動抑制手段３２が設けられている磁気ヘッド位置決め機構１００が示されている。
【００２９】
本発明に於いては、当該振動抑制手段３２は、当該磁気ヘッド支持機構５の当該揺動運動に伴って、当該コースアクチュエータ部７の当該ホルダーアーム１１に発生する複数個の共振周波数を一つに制限し、且つ当該共振周波数をより高周波帯域側に移動させる機能を有するものである事が望ましい。
又、本発明に於ける当該コースアクチュエータ部７に設けられている当該第１の駆動手段１２は、ボイスコイルモータである事が望ましく、又当該ファインアクチュエータ部６に設けられている当該第２の駆動手段１６は、ボイスコイルモータ或いは圧電素子から選択された一つで構成されている事が望ましい。
【００３０】
次に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構の構成をより詳細に説明するならば、図１において、磁気ヘッド位置決め機構１００は、磁気ヘッド支持機構５と、ファインアクチュエータ部６およびコースアクチュエータ部７からなる２ステージアクチュエータとから構成されており、当該ファインアクチュエータ部６に於ては、当該磁気ヘッド支持機構５は、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に形成されたアクチュエータスプリング部８との間に設けられた細幅状バネ部材２７を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に接合されており、当該細幅状バネ部材２７を第２の駆動手段１６である例えば圧電素子１６０によって変形させる様に構成されている事が好ましい。
【００３１】
又、本具体例に於いては、当該磁気ヘッド支持機構保持部３０は、図中のホルダアームかしめ位置１０においてコースアクチュエータ部７を構成するホルダアーム１１に接続される。
また、複数のホルダアーム１１からなるアームブロック１３は、その一端に第１の駆動手段１２を構成する可動コイルを有し、図示せぬ外部固定磁気回路と組み合わされてボイスコイルモータＶＣＭを構築しコースアクチュエータ部７を形成している。
【００３２】
一方、当該磁気ヘッド支持機構５は、磁気ヘッド１を搭載した浮上型もしくは接触型のスライダ２と、それを支持するジンバルスプリング３ならびにスライダ２に押圧力を付与するためのロードビーム４から構成されている。
そして、スライダ２を図示せぬ記録媒体に対向する向きにして当該ファインアクチュエータ部６にサスペンションかしめ位置９において接続されている。
【００３３】
また当該ファインアクチュエータ部６に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に設けられているアクチュエータ・スプリング８は、サスペンションかしめ位置９とホルダアームかしめ位置１０との間において第２の駆動手段である一対の圧電素子１６０が当該アクチュエータ・スプリング８の長手方向の中心軸を挟んでその長手軸に沿う方向に平行に配置されている。
【００３４】
当該アクチュエータ・スプリング８にはＳＵＳ３０４などの靱性を有する材料を用い、当該サスペンションかしめ位置９と圧電素子１６０との間に細幅状のバネ部２７を有しており、当該一対の圧電素子１６０に交互に電圧を印加することにより、左右の圧電素子を交互に歪ませて当該バネ部２７を撓ませて磁気ヘッド支持機構５をシーク方向へ微小駆動させる。
【００３５】
本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構１００に於いては、当該磁気ヘッド位置決め機構ユニット一つで構成されていても良く、又図１（ａ）に示す様に、複数個の当該磁気ヘッド位置決め機構ユニットを当該アームブロック部に於て同心的に多層化、集合化して使用するもので有っても良い。
このとき、アームブロック１３を構成する複数個の磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於ける両端部の磁気ヘッド位置決め機構ユニットを除いた、磁気ヘッド位置決め機構ユニットの少なくとも一部の磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於けるホルダアーム１１には、図１（ａ）に示すように、ホルダアーム１１を間に挟んで一つの磁気ヘッド位置決め機構ユニットＨ２ともう１枚の磁気ヘッド位置決め機構ユニットＨ３とを上下に対向する形で同じように接続されている（図１（ａ）の中位アーム・アッセー２５参照）。
【００３６】
上述のように、図１に於ける任意の磁気ヘッド支持機構Ｈ２をシーク方向へ微小駆動させるときには、ホルダアーム１１を挟んで対向する側に接続したもう１枚の磁気ヘッド支持機構Ｈ３を上記一方の磁気ヘッド位置決め機構Ｈ２とは逆方向へ同じ加速度で駆動するように、当該アクチュエータスプリング８に取り付けた他の第２の駆動手段１６’を構成する一対の圧電素子１６０’に印加する電圧を、当該圧電素子１６０に対して互いに逆位相になるように制御する。
【００３７】
例えば、上部磁気ヘッド支持機構Ｈ２を保持するファインアクチュエータの一対の圧電素子１６０の右側の圧電素子に３００Ｖ、左側の圧電素子に０Ｖの電圧を印加したときには、対向する下部磁気ヘッド支持機構Ｈ３を保持するファインアクチュエータの同じく一対の圧電素子１６０’の右側の圧電素子に０Ｖ、左側の圧電素子に３００Ｖの電圧を印加するようにしておく。
【００３８】
これにより、トラック追従動作を行う任意の磁気ヘッド１をファインアクチュエータにより微小駆動させるときには、ホルダアーム１１を挟んで反対側に接続されたもう１枚のファインアクチュエータも常時逆方向へ同じ加速度（ＨＧＡ駆動力）で磁気ヘッドを駆動させることになる（図１（ｃ）および図１（ｄ）並びに図２（ｂ）および図２（ｃ）参照）。
【００３９】
このときファインアクチュエータ部のＨＧＡ（磁気ヘッド支持機構）駆動によってホルダアーム先端部のアクチュエータスプリング接続位置に作用するＨＧＡ駆動反力は、上下２枚のファインアクチュエータＨ２、Ｈ３（図１（ａ）の中位アーム・アッセー２５）を常時逆向きに等しい加速度（ＨＧＡ駆動力）で駆動させている場合には、互いのＨＧＡ駆動反力が相殺されるため、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセルすることができる。
【００４０】
したがって、図１７、図１８で説明したようなファインアクチュエータ部のＨＧＡ駆動反力が励起するホルダアーム振動を抑制することができるため、トラック追従時（ここではＰＺＴ駆動時）において現れていた３つの共振ピーク（図３（ａ）太線）を１つに抑えることができる（図３（ｂ）太線）。
上記具体例の説明から明らかな様に、本発明に於ける当該磁気ヘッド位置決め機構１００に於いては、当該振動抑制手段３２は、当該磁気ヘッド支持機構５による当該磁気ヘッド１の揺動に起因して当該コースアクチュエータ部７のホルダアーム１１に発生する反力を相殺する様な力を発生させる機能を有するものであれば、如何なる構成を有するもので有っても良い。
【００４１】
その具体例として、上記具体例では、当該振動抑制手段３２は、当該ファインアクチュエータ部６に、当該ファインアクチュエータ部６に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に設けられている当該磁気ヘッド支持機構５の揺動動作に同期して当該磁気ヘッド支持機構５の揺動動作とは反対方向の揺動動作を独立的に行う揺動補償部材３３を設けるものであり、当該揺動補償部材３３として、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構或いは、当該磁気ヘッド支持機構と接続される当該磁気ヘッド支持機構保持部、例えばＨ２に隣接して対向配置するものである。
【００４２】
当該揺動補償部材３３は、当該磁気ヘッド支持機構５或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部３０と等価の質量を有している事が望ましい。
更に、本発明に於いては、当該揺動補償部材３３は、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された揺動可能な磁気ヘッド支持機構、或いは当該磁気ヘッド支持機構と接合された磁気ヘッド支持機構保持部で構成されているもので有っても良く、当該磁気ヘッド支持機構若しくは当該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を持ったダミー部材で構成されるもので有っても良い。
【００４３】
次に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構１００の他の具体例を図４を参照しながら詳細に説明する。
つまり、本具体例に於いては、当該ファインアクチュエータ部６に設けられる当該振動抑制手段３２を構成する揺動補償部材３３としてダミー部材２２を使用するものである。
【００４４】
本具体例に於ける基本的な構成は、第１の具体例と同様であるので詳細な構成についての説明は省略し、当該第１の具体例の構成と異なる部分に付いて説明する。
即ち、図４（ａ）乃至図４（ｄ）は、本発明に係る当該第２の具体例の構成を説明する側面図および平面図である。
【００４５】
図４において、アームブロック１３の両端部にある磁気ヘッド位置決め機構ユニット２３と２４、つまり図中、最上位もしくは最下位のホルダアーム１１には、前記した第１の具体例で示したように磁気ヘッド支持機構５に含まれる磁気ヘッド支持機構Ｈ１又はＨ４を保持したファインアクチュエータ部６が図示せぬ記録媒体に対向する側に接続されており、一方前記ホルダアーム１１を挟んで反対側には、図４（ａ）に示す様に、前記磁気ヘッド支持機構Ｈ１又はＨ４の等価質量に相当する質量を備えたダミー部材２２（特にはＨ０またはＨ５）を搭載したもう１枚のファインアクチュエータであるダミー・アクチュエータ２１が接続され、最上位アーム・アッセー２３または最下位アーム・アッセー２４を形成している。
【００４６】
このとき前記ダミーマス２２は、前記磁気ヘッド支持機構の等価質量に等しくなるように設計されていれば材質や形状は特に規定されないが、キャリッジ実装を阻害しない程度の大きさ及び厚みであり、かつ余分な振動モードを励起しないような剛体であることが望ましい。
また前記ダミーマス２２を搭載する前記ダミー・アクチュエータ２１は、基本的に前記最上位もしくは最下位のホルダアームに接続される磁気ヘッド支持機構（Ｈ１もしくはＨ４）を保持するファインアクチュエータ部と同一にアクチュエータスプリング８および他の第２の駆動手段１６’としての一対の圧電素子１６０’から構成されるものである。
【００４７】
前記最上位もしくは最下位のホルダアームに接続された磁気ヘッド支持機構Ｈ１もしくはＨ４をシーク方向へ微小駆動させるときには、ホルダアームを挟んで対向する側に接続した前記ダミーマス２２、つまりＨ０もしくはＨ５を、上記磁気ヘッド支持機構Ｈ１もしくはＨ４とは逆方向へ同じ加速度で駆動するように、前記ダミー・アクチュエータ２１に取り付けた一対の圧電素子１６０’に印加する電圧を、当該磁気ヘッド支持機構Ｈ１もしくはＨ４を保持する各々のファインアクチュエータ部６における第２の駆動手段１６を構成する圧電素子１６０の駆動電圧とは逆位相になるように制御する。
【００４８】
例えば、上部磁気ヘッド支持機構Ｈ１を保持するファインアクチュエータの一対の圧電素子１６０の右側の圧電素子に３００Ｖ、左側の圧電素子に０Ｖの電圧を印加したときには、対向する側のダミー部材２２を保持するファインアクチュエータの同じく一対の圧電素子１６０’の右側の圧電素子に０Ｖ、左側の圧電素子に３００Ｖの電圧を印加するようにしておく。
【００４９】
これにより、図４（ｂ）乃至図４（ｄ）および図５（ｂ）乃至図５（ｃ）に示す様に、キャリッジ最上位もしくは最下位に接続された磁気ヘッドをファインアクチュエータにより微小駆動させてトラック追従動作を行うときには、ホルダアーム１１を挟んで反対側に接続されたダミー・アクチュエータ２１も常時逆方向へ同じ加速度（駆動力）でダミーマス２２を駆動させることになる。
【００５０】
このときキャリッジ最上位もしくは最下位のファインアクチュエータ部によるＨＧＡ（磁気ヘッド支持機構）駆動によって、当該アームブロック１３に積層された磁気ヘッド位置決め機構ユニットの内で両端部に配置されている磁気ヘッド位置決め機構ユニットのホルダアーム先端部のアクチュエータスプリング接続位置において作用するＨＧＡ駆動反力は、上下２枚のファインアクチュエータ（うち１枚はダミー・アクチュエータ）を互いに常時逆向きに等しい加速度（ＨＧＡ駆動力＝ダミーマス駆動力）で駆動させているため互いに相殺され、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセルすることができる。
【００５１】
したがって、図１７、図１８で説明したようなファインアクチュエータのＨＧＡ駆動反力が励起するホルダアーム振動を抑制することができるため、トラック追従時（ＰＺＴ駆動時）において現れていた図６（ａ）で示される２つの共振ピークを図６（ｂ）に示す様に、１つに抑えることができる。
次に、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構１００に付いての別の具体例に付いて図７を参照して詳細に説明する。
【００５２】
図７（ａ）乃至図７（ｄ）は、本発明に係る第３の具体例の構成を示す側面図および平面図である。
図７において、磁気ヘッド位置決め機構１００は、磁気ヘッド支持機構５と、ファインアクチュエータ部６およびコースアクチュエータ部７からなる２ステージアクチュエータとから構成されている。
【００５３】
ファインアクチュエータ部６は、アクチュエータ・スプリング８と小形ＶＣＭ２０から構成され、図中ホルダアームかしめ位置１０においてコースアクチュエータ部７を構成するホルダアーム１１に設けられた所定の回転軸に、回転揺動自在に嵌合し接続される。
また、複数のホルダアーム１１からなるアームブロック１３は、その一端に可動コイル１２を有し、図示せぬ外部固定磁気回路と組み合わされてＶＣＭを構築しコースアクチュエータ部７を形成している。
【００５４】
一方、前記したそれぞれの磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於ける磁気ヘッド支持機構５は、磁気ヘッド１を搭載した浮上型もしくは接触型のスライダ２と、それを支持するジンバルスプリング３ならびにスライダ２に押圧力を付与するためのロードビーム４から構成されており、前記スライダ２を図示せぬ記録媒体に対向する向きにして、前記ファインアクチュエータ部６にサスペンションかしめ位置９において接続されている。
【００５５】
また前記ファインアクチュエータ部６のアクチュエータ・スプリング８には、前記磁気ヘッド支持機構５とは反対側の端部において小形ＶＣＭ２０が配置され、さらに前記サスペンションかしめ位置９と前記小形ＶＣＭ２０との間にはバネ部２７を有しており、前記小形ＶＣＭに任意の電流を印加することにより電磁力を発生させて前記バネ部を撓ませることにより磁気ヘッド支持機構をシーク方向へ微小駆動させている。
【００５６】
このとき、アームブロック１３の中位のホルダアーム１１の何れにも、図７（ａ）に示すように、もう１枚のファインアクチュエータ部がホルダアームを間に挟んで上下に対向する形で同じように接続されている（図７（ａ）：中位アーム・アッセー２５）。
つまり、本具体例に於いては、当該中位アーム・アッセー２５を構成するそれぞれの磁気ヘッド位置決め機構ユニットに於ける当該ホルダーアーム１１の一方側には、実際に所定の記録媒体に対する、所定の情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続される当該磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ２、Ｈ４に設けると共に、当該ホルダーアーム１１の他方の側には、当該振動抑制手段３２の一例として実際に所定の記録媒体に対する、所定の情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続される当該磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ２、Ｈ４と同一の構成と等価の質量を有する部材を揺動補償部材３３として、隣接状に対向配置し且つ揺動自在に設けるものである。
【００５７】
上述のように任意の磁気ヘッド支持機構保持部３０、例えばＨ２をシーク方向へ  微小駆動させるときには、ホルダアーム１１を挟んで対向する側に接続したもう１枚の磁気ヘッド支持機構保持部３０、例えばＨ３を上記磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ２とは逆方向へ同じ加速度で駆動するように、前記アクチュエータスプリング８に取り付けた小形ボイスコイルモータＶＣＭ２０に印加する電流を、磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ２を駆動させる小形ボイスコイルモータＶＣＭの電流とは逆方向になるように制御する。
【００５８】
これにより、図７（ｂ）乃至図７（ｄ）に示す様に、トラック追従動作を行う任意の磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ２に於ける磁気ヘッド１をファインアクチュエータにより微小駆動させるときには、ホルダアーム１１を挟んで反対側に隣接して対向接続されたもう１枚の磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ３も常時逆方向へ同じ加速度（ＨＧＡ駆動力）で磁気ヘッド１を駆動させることになる。
【００５９】
このときファインアクチュエータ部のＨＧＡ（磁気ヘッド支持機構）駆動によってホルダアーム先端部のアクチュエータスプリング接続位置において作用するＨＧＡ駆動反力は、ホルダアームを挟んで対向する側のＨＧＡ駆動反力によって互いに相殺されるため、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセルすることができ、ＨＧＡ駆動反力に起因したホルダアーム振動を抑制することができるため、トラック追従時（小形ＶＣＭ駆動時）における振動特性を改善することができる。
【００６０】
又、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構１００について、更に別の具体例を図８を参照しながら詳細に説明する。
図８（ａ）および（ｄ）は、本発明に係磁気ヘッド位置決め機構１００の第４の具体例の構成を示す側面図および平面図である。
図８において、アームブロック１３の両端部、つまり最上位もしくは最下位のホルダアーム１１には、前記第１の具体例で示したように磁気ヘッド支持機構Ｈ１またはＨ６を保持したファインアクチュエータ６が図示されていない記録媒体に対向する側に接続されており、一方、当該ホルダアーム１１を挟んで反対側には、前記磁気ヘッド支持機構Ｈ１またはＨ６の等価質量に相当する質量を備えたダミーマス２２を搭載したもう１枚の磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ０またはＨ７が接続されている（図８（ａ）の最上位アーム・アッセー２３または最下位アーム・アッセー２４参照）。
【００６１】
前記最上位もしくは最下位のホルダアーム１１に接続された磁気ヘッド支持機構Ｈ１もしくはＨ６をシーク方向へ微小駆動させるときには、ホルダアーム１１を挟んで対向する側に接続した前記ダミーマス２２を保持する磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ０もしくはＨ７を上記磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ１もしくはＨ６とは逆方向へ同じ加速度で駆動するように、当該磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ０もしくはＨ７に設けられたダミーアクチュエータ２１に取り付けた他の第２の駆動手段１６’を構成する第２の小形ボイスコイルモータＶＣＭ２０’に印加する電流を、当該磁気ヘッド支持機構保持部Ｈ１もしくはＨ６のファインアクチュエータ部を構成する第２の駆動手段２０に相当する小形ボイスコイルモータＶＣＭ２０に印加する電流とは逆方向になるように制御する。
【００６２】
これにより、アームブロック最上位もしくは最下位の磁気ヘッドをファインアクチュエータ６により微小駆動させてトラック追従動作を行うときには、ホルダアーム１１を挟んで反対側に接続されたダミー・アクチュエータ２１も常時逆方向へ同じ加速度（駆動力）でダミーマスを駆動させることになり、図８（ｂ）及び図８（ｃ）に示すように、互いの駆動反力が相殺されてホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセルすることができる。
【００６３】
したがって、ＨＧＡ駆動反力に起因するホルダアーム振動を抑制することができるため、高周波数帯域まで共振ピークのない良好な振動特性を有する磁気ヘッド位置決め機構を提供することができる。
上記した各具体例から明らかな様に、本発明に於ける当該磁気ヘッド位置決め機構１００の好ましい具体例としては、当該多層化された磁気ヘッド位置決め機構に於いて、当該多層化された当該個々のコースアクチュエータ部に於ける両端部に位置する当該コースアクチュエータ部を構成するホルダアームの一面にはダミー部材が配置され、当該他面には、実際に情報を記録媒体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或いは当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部が配置されている磁気ヘッド位置決め機構であり、又他の好ましい具体例としては、当該多層化された磁気ヘッド位置決め機構に於いて、当該多層化された当該個々のコースアクチュエータ部に於ける両端部を除く部位に配置されたホルダアームの両側面には、それぞれ実際に情報を記録媒体に対し書込み或いは記録媒体から情報を読み出す操作を行う磁気ヘッドを有する当該磁気ヘッド支持機構或いは当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部が配置されている磁気ヘッド位置決め機構である。
【００６４】
一方、上記各具体例に於ける当該磁気ヘッド位置決め機構１００の操作方法の説明より明らかな通り、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法としては、磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と当該磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部を有するファインアクチュエータ部、及び当該ファインアクチュエータ部と接合されると共に、所定の回転軸の回りに揺動可能に軸支されたホルダーアームを有するコースアクチュエータ部とから構成された磁気ヘッド位置決め機構であって、当該コースアクチュエータ部は、当該ホルダーアームを当該回転軸を中心としてシーク方向に揺動させる為の第１の駆動手段を有しており、一方、当該ファインアクチュエータ部には、当該コースアクチュエータ部に於ける該ホルダーアームの揺動運動とは独立的に当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる為の第２の駆動手段が設けられている磁気ヘッド位置決め機構に於いて、当該ファインアクチュエータ部に振動抑制手段を設け、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する振動を抑制する様に構成されているものである。
【００６５】
上記した本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法に於いては、当該振動抑制手段を介して、当該磁気ヘッド支持機構の当該揺動運動に伴って、当該コースアクチュエータ部の当該ホルダーアームに発生する複数個の共振周波数を一つに制限し、且つ当該共振周波数をより高周波帯域側に移動する様に制御する様に制御が実行される事が望ましい。
【００６６】
又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法に於いては、当該コースアクチュエータ部７に設けられている当該第１の駆動手段１２としてボイスコイルモータを使用する事が望ましく、又、当該ファインアクチュエータ部６に設けられている当該第２の駆動手段１６としては、ボイスコイルモータ或いは圧電素子の何れかを使用する事が望ましい。
【００６７】
更に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法に於いては、当該ファインアクチュエータ部６に於て、当該磁気ヘッド支持機構５は、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に形成されたアクチュエータスプリング部８に設けられた細幅状バネ部材２７を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に接合されており、当該細幅状バネ部材２７を圧電素子１６０に印加される電圧を制御することによって変形させ、当該磁気ヘッド１をシーク方向に揺動させる様に制御するものである。
【００６８】
又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法に於いては、当該ファインアクチュエータ部６に於て、当該磁気ヘッド支持機構５を有する当該磁気ヘッド支持機構保持部３０が、コースアクチュエータ部７のホルダアーム１１の一部に旋回可能に保持されると共に当該磁気ヘッド支持機構保持部３０の端部にボイスコイルモータ２０を当該コースアクチュエータ部７の当該ホルダーアーム１１に設けた磁石手段３５と対向して設け、当該ボイスコイルモータ２０に印加される電流を制御する事によって当該磁気ヘッド１をシーク方向に揺動させる様に制御するものである。
【００６９】
より具体的には、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法に於て、当該振動抑制手段３２によって、当該磁気ヘッド支持機構５による揺動に起因して当該コースアクチュエータ部７のホルダアーム１１に発生する反力を相殺する様な力を当該コースアクチュエータ部７に発生させる様に構成するものであり、特には、当該ファインアクチュエータ部６に設けられる当該振動抑制手段３２を、当該ファインアクチュエータ部６に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部３０に対向して設けられ、且つ当該磁気ヘッド支持機構５若しくは当該磁気ヘッド支持機構保持部３０と等価の質量を有している揺動補償部材３３で構成し、当該揺動補償部材３３を当該磁気ヘッド支持機構５の揺動動作に同期して当該磁気ヘッド支持機構５の揺動動作とは反対方向に揺動動作を独立的に行わせるものである。
【００７０】
かかる構造に於て、当該揺動補償部材３３と当該実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構５或いは、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を保持する磁気ヘッド支持機構保持部３０とを、当該コースアクチュエータ部７を構成する当該ホルダアーム１１の互いに対向する平面にそれぞれ個別に設ける事が望ましい。
【００７１】
又、当該ホルダアーム１１を挟んで上下両面に接続された、当該実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッド１を搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構５、或いは実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を含む磁気ヘッド支持機構保持部５と当該揺動補償部材の内、当該磁気ヘッド支持機構５、或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部３０を当該ファインアクチュエータ部６に設けられている第２の駆動手段１６を駆動して、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアーム１１を挟んで反対側に接続された当該揺動補償部材３３を、当該第２の駆動手段１６と同一の構成を有する他の第２の駆動手段１６’を駆動させて、当該磁気ヘッド支持機構５、或いは当該磁気ヘッド支持機構保持部３０の駆動方向とは逆向きに常時同じ力で駆動させる様に構成する事が望ましい。
【００７２】
本発明に於いては、当該揺動補償部材３３は、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッド１を搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構５で構成されるか、或いは、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された磁気ヘッド支持機構保持部３０で構成し、当該揺動補償部材３３に於いても実際の情報の読み書きを実行出来る様にする事も望ましい。
【００７３】
一方、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構１００に於て、当該多層状に積層された複数個のコースアクチュエータ部７の内、両端部に配置されている当該コースアクチュエータ部に於ける当該振動抑制手段３２の該揺動補償部材３３は、当該磁気ヘッド支持機構５若しくは当該磁気ヘッド支持機構保持部３０と等価の質量を有しているダミー部材２２で構成する事が望ましい。
【００７４】
更に、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構１００は、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該磁気ヘッド支持機構保持部は、当該磁気ヘッド支持機構を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリングと当該アクチュエータ・スプリングを駆動する第２の駆動手段としての２つの圧電素子を有してなり、当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への微小量変位は、当該２つの圧電素子に交互に電圧を印加することで当該２つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆動力によって当該アクチュエータ・スプリング部を弾性的に撓ませることによって実行される様に構成されている磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。
【００７５】
又、本発明に係る当該、磁気ヘッド位置決め機構１００は、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該振動抑制手段を構成する当該揺動補償部材は、当該磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有する保持部材で構成すると共に、当該磁気ヘッド支持機構と等価の質量を有するダミー部材を支持する薄板状のアクチュエータ・スプリングと当該アクチュエータ・スプリングを駆動する他の第２の駆動手段としての２つの圧電素子を有してなり、当該ダミー部材のシーク方向への微小量変位は、当該２つの圧電素子に交互に電圧を印加することで当該２つの圧電素子に駆動力を発生させ、当該駆動力によって当該アクチュエータ・スプリング部を弾性的に撓ませることによって実行される様に構成されている磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。
【００７６】
一方、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構１００は、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第１の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制手段として機能する、第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有し、且つ実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第２の磁気ヘッド支持機構保持部とを設け、更に当該第１と第２の磁気ヘッド支持機構保持部に於いては、何れも当該磁気ヘッド支持機構は、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構保持部に形成されたアクチュエータスプリング部に設けられた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部に接合せしめ、当該第１と第２の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第２の駆動手段及び他の第２の駆動手段を構成する圧電素子に印加される電圧を制御することによって変形させ、当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる様に構成しておき、一方の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子に電圧を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を構成する当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続された第２の磁気ヘッド支持機構保持部に設けられた当該他の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子には、当該第２の駆動手段の圧電素子に印加された電圧とは逆位相の電圧を印加して、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。
【００７７】
又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構１００としては、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第１の磁気ヘッド支持機構保持部と、当該振動抑制手段として機能する、磁気ヘッド支持機構を含む第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有するダミー部材とを設け、更に当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に於ける磁気ヘッド支持機構保持部においては、何れも当該磁気ヘッド支持機構及び当該磁気ヘッド支持機構と等価の質量を有するダミーマスは、少なくとも当該磁気ヘッド支持機構保持部に形成されたアクチュエータスプリング部に設けられた細幅状バネ部材を介して当該磁気ヘッド支持機構保持部に接合せしめ、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に於ける当該各細幅状バネ部材をそれぞれ第２の駆動手段及び他の第２の駆動手段を構成する圧電素子に印加される電圧を制御することによって変形させ、当該磁気ヘッドをシーク方向に微小量揺動させる様に構成しておき、一方の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子に電圧を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を構成する当該磁気ヘッド支持機構を駆動し、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続された当該ダミー部材に設けられた当該他の第２の駆動手段を構成する当該圧電素子には、当該第２の駆動手段の圧電素子に印加された電圧とは逆位相の電圧を印加して、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する様に構成された磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。
【００７８】
又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構１００の他の具体例としては、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、その一面に実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を有する第１の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該コースアクチュエータ部のホルダアームの一部に旋回可能に保持されると共に当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部の端部に第２の駆動手段を構成する第１のボイスコイルモータを有する第１の磁気ヘッド支持機構保持部を設け、かつその他面には、当該振動抑制手段として機能する、第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有し、且つ実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構と接続された第２の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該コースアクチュエータ部のホルダアームの一部に旋回可能に保持されると共に当該第２の磁気ヘッド支持機構保持部の端部に他の第２の駆動手段を構成する第２のボイスコイルモータを有する第２の磁気ヘッド支持機構保持部を設け、更に当該第１と第２の磁気ヘッド支持機構保持部に於いては、何れも当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への微小量変位は、当該ボイスコイルモータのコイルに任意の電流を印加することで当該ボイスコイルモータに電磁力を発生させ、当該電磁力によって当該それぞれの磁気ヘッド支持機構保持部を揺動させる様に構成しておき、一方の第２の駆動手段を構成する当該ボイスコイルモータに所定の電流を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を駆動し、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続された第２の磁気ヘッド支持機構保持部に設けられた当該他の第２の駆動手段を構成する当該ボイスコイルモータには、当該第２の駆動手段に印加された電流とは逆向きの電流を印加して、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。
【００７９】
又、本発明に係る当該磁気ヘッド位置決め機構１００の別の具体例としては、当該ファインアクチュエータ部に於ける当該ホルダーアームを挟んで、その一面に実際に情報の読み書きに使用される当該磁気ヘッドを搭載したスライダを支持するように構成された磁気ヘッド支持機構を有する第１の磁気ヘッド支持機構保持部であって、当該コースアクチュエータ部のホルダアームの一部に旋回可能に保持されると共に当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部の端部に第２の駆動手段を構成する第１のボイスコイルモータを有する第１の磁気ヘッド支持機構保持部を設け、かつその他面には、当該振動抑制手段として機能する、当該磁気ヘッド支持機構を含む第１の磁気ヘッド支持機構保持部と等価の質量を有するダミー部材であって、当該コースアクチュエータ部のホルダアームの一部に旋回可能に保持されると共に当該ダミー部材の端部に、他の第２の駆動手段を構成する第２のボイスコイルモータを有するダミー部材とを設け、更に当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部と当該ダミー部材に於いては、何れも当該磁気ヘッド支持機構の当該磁気ヘッドのシーク方向への微小量変位は、当該ボイスコイルモータのコイルに任意の電流を印加することで当該ボイスコイルモータに電磁力を発生させ、当該電磁力によって当該それぞれの磁気ヘッド支持機構保持部を揺動させる様に構成しておき、一方の第２の駆動手段を構成する当該第１のボイスコイルモータに所定の電流を印加して当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部を駆動し、当該磁気ヘッドをシーク方向へ微小量変位させる場合、当該ホルダアームを挟んで反対側に接続された当該ダミー部材に設けられた当該他の第２の駆動手段を構成する当該ボイスコイルモータには、当該第２の駆動手段に印加された電流とは逆向きの電流を印加して、当該第１の磁気ヘッド支持機構保持部に於ける当該磁気ヘッド支持機構の揺動方向とは、逆方向に同じ駆動力を発生させる様に制御する磁気ヘッド位置決め機構の駆動方法である。
【００８０】
又、本発明に於ける当該磁気ヘッド位置決め機構１００に於いては、当該コースアクチュエータ部は、当該ファインアクチュエータ部を複数個支持し、当該コースアクチュエータ部による当該ファインアクチュエータ部の当該シーク方向への変位は、複数個の当該ファインアクチュエータ部を一括して行うように構成されていることが望ましい。
【００８１】
【発明の効果】
本発明の磁気ヘッド位置決め機構およびその駆動方法は、上記した様な技術構成を採用しているので、これにより、トラック追従時においてファインアクチュエータ部を駆動させたときにホルダアームとの接続部に作用するＨＧＡ駆動反力は、ホルダアームを挟んで対向する側に取り付けられたもう１枚のファインアクチュエータもしくはダミー・アクチュエータのＨＧＡ駆動反力によって相殺され、ホルダアーム先端部に作用する加振力をキャンセルすることができるため、ホルダアーム振動に起因した共振を抑制することができ、高周波数帯域まで共振ピークのない良好な振動特性を得ることができるため、磁気ヘッドの高速・高精度なトラック追従動作（フォローイング）を行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の第１の具体例の構成を示す図であり、図１（ａ）は側面図、図１（ｂ）〜図１（ｄ）は平面図である。
【図２】図２（ａ）〜図２（ｃ）は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の第１の具体例の構成を示す斜視図である。
【図３】図３（ａ）〜図３（ｂ）は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の第１の具体例における２ステージアクチュエータの周波数特性を示す特性線図である。
【図４】図４は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の第２の具体例の構成を示す図であり、図４（ａ）は側面図、図４（ｂ）〜図４（ｄ）は平面図である。
【図５】図５（ａ）〜図５（ｃ）は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の第２の具体例の構成を示す斜視図である。
【図６】図６（ａ）〜図６（ｂ）は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の第２の具体例における２ステージアクチュエータの周波数特性を示す特性線図である。
【図７】図７は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の第３の具体例の構成を示す図であり、図７（ａ）は側面図、図７（ｂ）〜図７（ｄ）は平面図である。
【図８】図８は、本発明に係る磁気ヘッド位置決め機構の第４の具体例の構成を示す図であり、図８（ａ）は側面図、図８（ｂ）〜図８（ｄ）は平面図である。
【図９】図９は、従来に於ける磁気ヘッド位置決め機構の構成例を示す平面図である。
【図１０】図１０は、従来に於ける磁気ヘッド位置決め機構の構成例を示す側面図及び斜視図である。
【図１１】図１１は、２ステージアクチュエータに関する従来例（ヘッド素子駆動方式およびスライダ駆動方式）を示す斜視図である。
【図１２】図１２は、２ステージアクチュエータの従来例（力−加速度型ＨＧＡ駆動方式）を示す平面図である。
【図１３】図１３は、２ステージアクチュエータの従来例（力−加速度型ＨＧＡ駆動方式）を示すものであり、図１３（ａ）はその側面図であり、又図１３（ｂ）は図１３（ａ）の拡大側面図である。
【図１４】図１４は、２ステージアクチュエータの従来例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）を示す図であり、図１４（ａ）は平面図、図１４（ｂ）は側面図および図１４（ｃ）はその拡大側面図である。
【図１５】図１５は、２ステージアクチュエータの従来例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）の動作を示す説明図である。
【図１６】図１６は、２ステージアクチュエータの従来例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）の動作を示す説明図である。
【図１７】図１７（ａ）は、２ステージアクチュエータの従来例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）の構成を示すアーム・アッセーモデル図であり、図１７（ｂ）は、２ステージアクチュエータの従来例に於ける振動特性を示す図であり、図１７（ｃ）は、モード・シェイプである。
【図１８】  図１８は、２ステージアクチュエータの従来例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）に於ける振動特性と構成を示す図であり、図１８（ａ）はアーム・アッセーモデル、図１８（ｂ）はその特性線図であり、又図１８（ｃ）はモード・シェイプである。
【図１９】図１９は、２ステージアクチュエータの従来例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）のアーム・アッセー時の振動要因を示した平面図である。
【図２０】図２０は、２ステージアクチュエータの従来例（力−変位型ＨＧＡ駆動方式）のアーム・アッセー時の振動要因を示した斜視図である。
【符号の説明】
１……磁気ヘッド、２……スライダ、３……ジンバルスプリング、４……ロードビーム、５……磁気ヘッド支持機構（サスペンション）、６……ファインアクチュエータ部、７……コースアクチュエータ部、８……アクチュエータスプリング、９……サスペンションかしめ位置、１０……ホルダアームかしめ位置、１１……ホルダアーム、１２……第１の駆動手段、可動コイル、１３……アームブロック、１４……回転軸受け部、１５……外部固定磁気回路、１６……第２の駆動手段、１６’……他の第２の駆動手段、１６０、１６０’……圧電素子、１７、３５……永久磁石、１８……ヨーク、１９……小形コイル、２０、２０’……小形ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）、２１……ダミー・アクチュエータ、２２……ダミーマス、２３……最上位アーム・アッセー、２４……最下位アーム・アッセー、２５……中位アーム・アッセー、２６……記録媒体、２７……バネ部、３０……磁気ヘッド支持機構保持部、３１……回転軸、３２……振動抑制手段、３３……揺動補償部材、１００……磁気ヘッド位置決め機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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