(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の電流密度分布を測定するための非接触の高感度検出器と、
前記測定対象物と前記高感度検出器の間隔を調整する間隔調整手段と、
前記高感度検出器を駆動する駆動装置と、
前記高感度検出器により測定した電流密度の位置情報と検出信号の測定データを記憶するデータ記録手段と、
導電率分布を算出するためのデータ処理手段と、を具備し、
電流が支配的に流れる方向に広く伸びる領域であり導電率が既知である参照領域と導電率を求める関心領域とを含む測定領域の電流密度分布を一つのみ測定することで導電率分布を求めることを特徴とする電気導電率推定装置。
【請求項２】
測定対象物の電位分布を測定するための非接触の高感度検出器と、
前記測定対象物と前記高感度検出器の間隔を調整する間隔調整手段と、
前記高感度検出器を駆動する駆動装置と、
前記高感度検出器により測定した電位の位置情報と検出信号の測定データを記憶するデータ記録手段と、
導電率分布を算出するためのデータ処理手段と、を具備し、
電流が支配的に流れる方向と広く交わる領域であり導電率が既知である参照領域と導電率を求める関心領域とを含む測定領域の電位分布を一つのみ測定することで導電率分布を求めることを特徴とする電気導電率推定装置。
【請求項３】
電流が支配的に流れる方向に広く伸びる領域であり導電率が既知である参照領域を設定する工程と、
前記参照領域と導電率を求める関心領域とを含む測定領域を設定する工程と
前記測定領域の電流密度分布を非接触の高感度検出器で一つのみ測定する工程と、
前記測定した電流密度の位置情報と検出信号の測定データをデータ記録手段に記憶させる工程と、
前記データ記憶手段に記録された測定データからデータ処理手段により導電率分布を求める工程と、からなる電気導電率推定方法。
【請求項４】
電流が支配的に流れる方向と広く交わる領域であり導電率が既知である参照領域を設定する工程と、
前記参照領域と導電率を求める関心領域とを含む測定領域を設定する工程と
前記測定領域の電位分布を非接触の高感度検出器で一つのみ測定する工程と、
前記測定した電位の位置情報と検出信号の測定データをデータ記録手段に記憶させる工程と、
前記データ記憶手段に記録された測定データからデータ処理手段により導電率分布を求める工程と、からなる電気導電率推定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、定量性のある非破壊検査技法及び装置、物質・材料特性評価技法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２に従来の技術による電気導電率推定装置の構成図を示す。
【０００３】
従来の方法は、図２の構成による電気インピーダンスCT法である。電流源１３によって対象物に積極的に電流を流し込み、それによって生じる電圧を電圧検出器１２によって物体表面の多数の点にて測定し、データ処理手段８で有限差分法や要素法等を用いてモデル化し、感度理論に基づいて物体内部の導電率を推定するというものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の方法では、外部から電流を強制的に流し込む必要が有り、高感度検出器も接触型を使用していたため、試料内部に既に電流場が存在した場合にその場を乱してしまうという問題が有った。また、試料の全体を有限差分法や要素法等でモデル化する必要が有り、未知試料の関心領域のみの測定から、その関心領域の電気導電率を推定することは困難であった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明では、高感度な磁気検出器や電磁波検出器や電荷センサーなどの非接触検出器で電流密度分布又は電位分布を測定し、その一方の測定値によって記述される一階の空間偏微分方程式を解くことによって、既に電流場がある場合でもそれを乱すこと無く、関心領域内において与えられた参照導電率に対する相対的な導電率空間分布を推定可能であること、更に、正則化された代数方程式を用いることによって、測定データに含まれるエラー（ノイズ）データや参照領域（導電率の参照値の与えられる領域）が狭くて位置が悪い場合においても関心領域内の一方の測定データのみから電気導電率を推定可能であることを特徴とする。
【０００６】
本発明の正則化された代数方程式は、以下に説明するように導出される。
【０００７】
測定された値によって記述される電気導電率に関する一階空間編微分方程式に対して、有限差分近似や有限要素法を用いて離散化する。ここでは有限差分法を適用した場合について述べる。有限差分法を適用した場合も同様の手順による。
【０００８】
関心領域の２つの独立した電流場に対する電流密度分布を(J1x(x,y),J1y(x,y))と(J2x(x,y),J2y(x,y))とすると、下記の一階偏微分方程式が成り立つ。
【０００９】
【数１】
0003785064.tif 000002
【００１０】
電流場が1つである場合は、一つの偏微分方程式のみが成立する。
【００１１】
尚、電位分布が測定される場合は、２つの独立した電位分布をそれぞれV1、V2とすると、電場はそれぞれE1=−∇V1、E2=−∇V2となり、下記の一階偏微分方程式が成り立つ。
【００１２】
【数２】
0003785064.tif 000003
【００１３】
初期条件は、次の「発明の実施の形態」にて詳述するが、一般的には、参照導電率は
【００１４】
【数３】
0003785064.tif 000004
【００１５】
という様に、ある領域内に与えられるが、二つの場が測定された場合には参照値は関心領域内の一点で与えられれば良い。
【００１６】
この様な一階空間偏微分方程式に対し、離散デカルト座標系（x，ｙ）〜（IΔｘ，JΔｙ）を使い有限差分近似を適用し、初期条件式３を代入することにより、
連立方程式
【００１７】
【数４】
0003785064.tif 000005
【００１８】
を得る。但し、ｓは未知導電率の空間分布を表すベクトル、Ｄは一階偏微分の有限差分近似定数からなる行列、Ｊおよびｊは各々電流密度分布から定まる行列およびその一階変微分値からなるベクトルである。
【００１９】
これを最小二乗法を用いて解くことになるが、Ｊ、ｊは電流密度およびその空間微分値に低域通過型フィルタをかけたもので決まるため、ＪＤの逆作用素はｊに含まれる高周波数帯のノイズを増幅させてしまう。つまり、ｓは不安定な結果となってしまう。そこで、いわゆる正則化を応用して再構成の安定化を図る。具体的には、正則化パラメータα１およびα２（正値）を用いて、
【００２０】
【数５】
0003785064.tif 000006
【００２１】
をｓに関して最小化する。但し、DsおよびDT  Dｓは各々未知導電率の空間分布の勾配およびラプラシアンである。DsおよびDT  Dｓは正定値であるため、e(s)は必ず一つの最小値を持つことになる。
式５のe(s)の最小化により、正則化された正規行列
【００２２】
【数６】
0003785064.tif 000007
【００２３】
が得られ、従って、解は
【００２４】
【数７】
0003785064.tif 000008
【００２５】
である。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下に請求項１〜３記載の発明に対応する実施の形態について説明する。
【００２７】
図１に本発明の第一の実施形態による計測装置の全体構成図を示す。本装置は計測対象物４の関心領域の電流密度分布や電位分布を測定するための高感度検出器１と走査機構３と、測定対象物４と高感度検出器１の間隔を調整する間隔調整手段１４と、計測対象物４に電流場を発生させる電流場発生手段５と、高感度検出器を駆動する駆動装置２と、それらをコントロールする計測制御手段６と測定データを記憶するデータ記録手段７と、測定データから導電率分布を推定するデータ処理手段８で構成される。
【００２８】
本発明では、電流密度分布又は電圧分布を非接触で測定するために、磁気センサーや静電容量センサー、電磁波センサー等を用いる。高感度検出器１は駆動装置２に接続し、これによって駆動される。
【００２９】
計測制御手段６とデータ記録手段７とデータ処理手段８は、一台の装置上で実現することも可能であり、或いは、複数の装置に分散させることも可能である。走査機構３と間隔調整手段１４の位置を逆にすることも可能である。
【００３０】
図４は、高感度検出器１の側に走査機構３と間隔調整手段１４を設けた実施例である。走査機構３と間隔調整手段１４の位置を逆にすることも可能である。
【００３１】
図５は、高感度検出器１側に第一の走査機構１０を設け、計測対象物４側に第二の走査機構１１を設けた実施例である。この実施例では、間隔調整手段１４を高感度検出器側１に設けているが、計測対象物４側でもかまわない。第一の走査機構１０と間隔調整手段１４の位置を逆にすることも可能である。
【００３２】
次に図３のフローチャートに従って、導電率分布を推定する方法について説明する。
【００３３】
まず、参照領域を適当に設定する。参照領域の設定は以下のように行う。
【００３４】
測定時に独立な電流場が２つ以上設定できる場合には、つまり、２つ以上の独立した電流密度分布又は電位分布が測定可能である場合には、参照領域として少なくとも1つの参照点を設定する。参照点は導電率が既知である点である。
【００３５】
測定時に電流場が1つしか設定できない場合には、電流密度分布の測定の場合は、電流が支配的に流れる方向に広く伸びるように参照領域を設定する。電位分布の測定の場合は、電流が支配的に流れる方向と広く交わるように参照領域を設定する。参照領域とは導電率が既知である領域である。
【００３６】
次に、設定した参照領域と関心領域を含むように測定領域を設定し、電流密度分布或いは電位分布を測定する。関心領域とは導電率分布を知りたい領域である。
【００３７】
測定は、２つの独立した電流密度分布を測定する場合次のように行う。
【００３８】
電流場発生装置を用いて、関心領域に第一の電流場を生じせしめ、第一の電流密度分布を測定する。続いて、第一の電流場とは独立の第二の電流場を生じせしめ、第二の電流密度分布を測定する。既に電流場が存在する場合は、その１つの場のみを推定し、参照領域を設定すればよい。測定は、計測制御手段によってセンサー駆動装置とＸＹＺステージをコントロールし、ＸＹＺステージでサンプルを走査しながら、位置情報と検出信号をデータ記録手段に入力する。
【００３９】
データ処理手段８において、測定データに対してノイズ除去のためのフィルタリングを行い、空間的に平滑化し、式４のJの係数を求める。それを元に、式７から関心領域の導電率分布ｓを求めることが出来る。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によれば、未知試料の関心領域の電気導電率を、関心領域のみの測定で得た１つの物理量の分布から求めることができる。特に、試料内部に既に電流場が存在した場合にはその場を乱すことなく容易に関心領域の電気導電率を推定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による計測装置の構成を示すブロック図である。
【図２】従来の技術による計測装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態による制御プログラムのフローチャートである。
【図４】本発明の一実施形態による計測装置の構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の一実施形態による計測装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１・・・高感度検出器
２・・・駆動装置
３・・・走査機構
４・・・計測対象物
５・・・電流場発生装置
６・・・計測制御手段
７・・・データ記録手段
８・・・データ処理手段
９・・・ハウジング
１０・・・第一の走査機構
１１・・・第二の走査機構
１２・・・電圧検出器
１３・・・電流源
１４・・・間隔調整手段
１５・・・試料設置台
【図１】
0003785064.tif 000009
【図２】
0003785064.tif 000010
【図３】
0003785064.tif 000011
【図４】
0003785064.tif 000012
【図５】
0003785064.tif 000013