(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
デオキシリボ核酸分子またはその集合体を構成材料の一部として含み、ソース電極部材、ドレイン電極部材およびゲート電極部材の３つの電極部材を有するトランジスタであって、前記３つの電極部材のうち少なくとも１つが、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体と当接し、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体が、キャリア輸送材料としての機能を果たすことを特徴とするトランジスタ。
【請求項２】
前記３つの電極部材が針状体からなり、かつ、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体に対して、その長手方向に前記ソース電極部材、前記ゲート電極部材および前記ドレイン電極部材の順で、各電極部材が当接してなることを特徴とする請求項１に記載のトランジスタ。
【請求項３】
前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体との当接部分における、前記ゲート電極部材の幅が、０．１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項２に記載のトランジスタ。
【請求項４】
前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体に対する、前記ソース電極部材の当接部分と、前記ドレイン電極部材の当接部分と、の間隙が、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項２または３に記載のトランジスタ。
【請求項５】
前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体の長さが、２ｎｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１に記載のトランジスタ。
【請求項６】
前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体が、分子数１０以内で、かつ繊維状もしくは束状であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１に記載のトランジスタ。
【請求項７】
単電子トンネリングトランジスタとしての機能を具備することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１に記載のトランジスタ。
【請求項８】
デオキシリボ核酸分子またはその集合体を構成材料の一部として含み、ソース電極部材、ドレイン電極部材およびゲート電極部材の３つの電極部材、並びにキャリア輸送材料を有するトランジスタであって、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体は、塊状となって前記ゲート電極部材と当接し、絶縁材料としての機能を有し、かつキャリア輸送材料に接触配置され、前記ゲート電極部材は、前記キャリア輸送材料とは非接触な状態で前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体と当接し、前記ソース電極部材および前記ドレイン電極部材は、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体を間に挟んで、前記キャリア輸送材料に当接してなることを特徴とするトランジスタ。
【請求項９】
前記キャリア輸送材料に対する、前記ソース電極部材の当接部分と、前記ドレイン電極部材の当接部分と、の間隙が、１ｎｍ以上１μｍ以下であることを特徴とする請求項８に記載のトランジスタ。
【請求項１０】
前記キャリア輸送材料が、カーボンナノチューブであることを特徴とする請求項８または９に記載のトランジスタ。
【請求項１１】
前記塊状のデオキシリボ核酸分子またはその集合体の厚さが、２ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項８または９に記載のトランジスタ。
【請求項１２】
前記デオキシリボ核酸分子、またはその集合体におけるデオキシリボ核酸分子を構成する塩基の数が、２個以上１０万個以下であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１に記載のトランジスタ。
【請求項１３】
前記ゲート電極が、カーボンナノチューブであることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１に記載のトランジスタ。
【請求項１４】
前記ソース電極および／または前記ドレイン電極が、カーボンナノチューブであることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１に記載のトランジスタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、トランジスタに関し、詳しくは、電子回路の極微小化に対応し得る極めて微小なトランジスタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、広く活用されているシリコンデバイスは、加工上、集積度に限界があり、シリコン電界効果トランジスタのゲート幅が１００ｎｍ以下になると、工業的な利用はきわめて困難とされている。また、原理的にも、ゲート幅が２０ｎｍ以下になると、トンネル現象等の影響で、動作が不安定になると考えられている。したがって、シリコン代わる電子デバイス材料として、カーボンナノチューブ、フラーレン等の機能分子そのものを用いる分子デバイスの開発が進められている。
【０００３】
一方、デオキシリボ核酸（以下、適宜「ＤＮＡ」と略すことがある。）等の機能も注目されている。デオキシリボ核酸は、アデニン、シトシン、グアニンおよびチミンの四種類の塩基の対とリン酸リボース鎖からなる二重螺旋構造をした物質である。天然のＤＮＡでは、太さは２ｎｍ程度であるが、伸ばした長さは数ｍにも及ぶ。ＤＮＡは、各種生物の細胞における核の内部に存在し、全ての遺伝情報はＤＮＡの塩基配列により記録されている。ＤＮＡの特異な化学構造は、ワトソンとクリックにより発見され、その後、ＤＮＡ配列の解読によるヒトゲノムや酵素発現等の解明が進められている。
【０００４】
かかるＤＮＡを電子デバイスの材料として用いることも検討されてきており、特に、ＤＮＡの電気伝導性が着目されている。
ＤＮＡを電子回路上で使用することが可能になれば、微細な回路の構成要素として、従来のシリコンデバイス回路を越える集積度を実現できると考えられている。しかしながら、これまでＤＮＡによるトランジスタの動作例は報告されていない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明は、ＤＮＡを構成材料として用いることにより、電子回路の極微小化に対応し得る極めて微小なトランジスタを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、以下の本発明により達成される。すなわち本発明は、デオキシリボ核酸分子またはその集合体を構成材料の一部として含み、ソース電極部材、ドレイン電極部材およびゲート電極部材の３つの電極部材を有するトランジスタであって、前記３つの電極部材のうち少なくとも１つが、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体と当接し、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体が、キャリア輸送材料としての機能を果たすことを特徴とするトランジスタである。
また、本発明は、デオキシリボ核酸分子またはその集合体を構成材料の一部として含み、ソース電極部材、ドレイン電極部材およびゲート電極部材の３つの電極部材、並びにキャリア輸送材料を有するトランジスタであって、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体は、塊状となって前記ゲート電極部材と当接し、絶縁材料としての機能を有し、かつキャリア輸送材料に接触配置され、前記ゲート電極部材は、前記キャリア輸送材料とは非接触な状態で前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体と当接し、前記ソース電極部材および前記ドレイン電極部材は、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体を間に挟んで、前記キャリア輸送材料に当接してなることを特徴とするトランジスタである。
【０００７】
以上の如き本発明のトランジスタは、デオキシリボ核酸分子またはその集合体が構成材料の一部として用いられるため、極めて微小なものとすることができ、電子回路の極微小化に対応し得るものとなる。
【０００８】
本発明のトランジスタとしては、前記デオキシリボ核酸分子（ＤＮＡ）またはその集合体が果たす機能により、以下の２つの態様が挙げられる。
▲１▼  前記ＤＮＡまたはその集合体が、キャリア輸送材料としての機能を果たすことを特徴とする態様。
▲２▼  前記ＤＮＡまたはその集合体が、塊状となって前記ゲート電極部材と当接し、かつ、絶縁材料としての機能を有することを特徴とする態様。
【０００９】
上記▲１▼の態様として具体的には、例えば、前記３つの電極部材が針状体からなり、かつ、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体に対して、その長手方向に前記ソース電極部材、前記ゲート電極部材および前記ドレイン電極部材の順で、各電極部材が当接してなることを特徴とする構成が挙げられる。
【００１０】
上記▲１▼の態様においては、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体との当接部分における、前記ゲート電極部材の幅が、０．１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましい。また、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体に対する、前記ソース電極部材の当接部分と、前記ドレイン電極部材の当接部分と、の間隙が、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましい。さらに、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体としては、その長さが、２ｎｍ以上１０μｍ以下であることが好ましく、分子数１０以内で、かつ繊維状もしくは束状であることが好ましい。
【００１１】
本発明の上記▲１▼の態様によれば、ＤＮＡを用いて、通常の電界効果トランジスタとして動作させることだけではなく、単電子トンネリングトランジスタとしても動作させることが可能となる。
【００１２】
一方、上記▲２▼の態様として具体的には、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体が、キャリア輸送材料に接触配置され、
前記ゲート電極部材が、前記キャリア輸送材料とは非接触な状態で前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体と当接し、
前記ソース電極部材および前記ドレイン電極部材が、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体を間に挟んで、前記キャリア輸送材料に当接してなることを特徴とする構成が挙げられる。
【００１３】
上記▲２▼の態様においては、前記キャリア輸送材料に対する、前記ソース電極部材の当接部分と、前記ドレイン電極部材の当接部分と、の間隙が、１ｎｍ以上１μｍ以下であることが好ましい。また、上記▲２▼の態様においては、前記キャリア輸送材料が、カーボンナノチューブであることが好ましい。さらに、上記▲２▼の態様において、前記塊状のデオキシリボ核酸分子またはその集合体の厚さとしては、２ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１４】
上記▲１▼の態様、上記▲２▼の態様のいずれにおいても、前記デオキシリボ核酸分子、またはその集合体におけるデオキシリボ核酸分子を構成する塩基の数としては、２個以上１０万個以下であることが好ましい。
また、上記▲１▼の態様、上記▲２▼の態様のいずれにおいても、、ＤＮＡは極めて微細であり、有効な電気配線を施すことが困難であるが、前記電極部材として、カーボンナノチューブを用いることとすれば、ＤＮＡに対して容易に電気配線を施すことができる。すなわち、前記ゲート電極としては、カーボンナノチューブであることが好ましく、前記ソース電極および／または前記ドレイン電極としては、カーボンナノチューブであることが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明は、デオキシリボ核酸分子またはその集合体を構成材料の一部として含み、ソース電極部材、ドレイン電極部材およびゲート電極部材の３つの電極部材を有し、かつ、該３つの電極部材のうち少なくとも１つが、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体と当接していることを特徴とするトランジスタである。以下、本発明を上記▲１▼の態様と、上記▲２▼の態様とに分けて、図面に則して詳細に説明する。
【００１６】
＜▲１▼の態様＞
本発明の▲１▼の態様は、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体が、キャリア輸送材料としての機能を果たすことを特徴とする。
図１に、本発明の▲１▼の態様の模式構成図を示す。図１において、２はデオキシリボ核酸分子またはその集合体（以下、デオキシリボ核酸分子の集合体を含めて、単に「ＤＮＡ」と表現する場合がある。）であり、これに（図面上左から）ソース電極部材４、ゲート電極部材６およびドレイン電極部材８の３つの電極部材が、この順で当接してトランジスタを構成する。
【００１７】
デオキシリボ核酸分子（ＤＮＡ）２としては、ＤＮＡ１つで構成されたものであってもよいし、それが２つ以上集まって構成された集合体であってもよい。ＤＮＡ２は、ＤＮＡ１つで構成されたものである場合には、繊維状であることが好ましく、ＤＮＡが２つ以上集まって構成された集合体である場合には、繊維状もしくは束状であることが好ましい。また、ＤＮＡ２は、その分子数が１０以内であることが好ましく、５以内であることがより好ましい。
【００１８】
ＤＮＡ２の長さとしては、２ｎｍ以上１０μｍ以下であることが好ましく、３ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることがより好ましい。特に、得られるトランジスタに、単電子トンネリングトランジスタとしての機能を具備させようとする場合には、ＤＮＡ２の長さは４ｎｍ以上１０ｎｍ以下であることが望ましい。
【００１９】
ＤＮＡは、既述の如く、アデニン、シトシン、グアニンおよびチミンの四種類の塩基の対とリン酸リボース鎖からなる二重螺旋構造をした物質である。▲１▼の態様において、かかる塩基の配列は特に限定されない。ただし、ＤＮＡ２におけるＤＮＡを構成する塩基の数としては、２個以上１０万個以下であることが好ましく、１０個以上３００個以下であることがより好ましい。
【００２０】
ＤＮＡ２としては、各種生物から抽出した天然由来のＤＮＡであってもよいし、化学的に合成されたものでも構わない。また、天然由来のものを切断、結合、改質、再配列、組替え等の操作を施して得られたＤＮＡであっても何ら問題ない。
【００２１】
天然由来のＤＮＡを用いる場合、かかるＤＮＡには一般にタンパク質等の不純物が含まれているため、ＤＮＡの精製を行うことが望まれる。ＤＮＡ精製の具体的な手法を、以下に例示する。ただし、以下の手法はあくまでも例示であり、各種条件（特に、具体的数値）や手順については、適宜変更を加えることができる。
【００２２】
まず、エタノールで不純物となるタンパク質を除去する。
次に、バッファー液（塩化ナトリウム：３００ミリモル／リットル、炭酸ナトリウム：１０ミリモル／リットル、ＥＤＴＡ：５ミリモル／リットル）で洗浄し、不純物を取り除く。ＤＮＡに、さらに高い純度を望む場合には、電気泳動法でＤＮＡを単離することが望ましい。
【００２３】
バッファー液で洗浄した後、濾過し、塩類を除去するために、エタノール水混合溶液（エタノール２０質量％、水８０質量％）に分散させる。エタノールは蒸留後、ポア径０．１μｍのフィルターで濾過したものを、水は超純水（抵抗値１８ＭΩ以上）を、それぞれ用いるのが好適である。このエタノール水混合溶液で２回ないし３回の不要塩類の除去を行い、ＤＮＡの濃度を０．０１％から０．１％に調整する。
【００２４】
以上のような不純物除去過程で、ＤＮＡ分子は凝集し塊状となりやすい。したがって、エタノール水混合溶液中で１日〜１０日の期間保持し、ＤＮＡ分子を展開させることが好ましい。このときの保持温度としては２℃以上１０℃以内であることが好ましい。例えば、７℃で保持した場合、７日前後でＤＮＡ分子は繊維状に完全に展開する。
【００２５】
ＤＮＡ２へのソース電極部材４、ゲート電極部材６およびドレイン電極部材８の当接順序としては、左右反転していても構わない。すなわち、本発明において「長手方向に前記ソース電極部材、前記ゲート電極部材および前記ドレイン電極部材の順で」といった場合には、長手方向のいずれか一方を基準として、上記順序であればよい。
【００２６】
ＤＮＡ２との当接部分におけるゲート電極部材６の幅としては、０．１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましく、０．５ｎｍ以上２０ｎｍ以下であることがより好ましく、１ｎｍ以上１５ｎｍであることがさらに好ましい。当該幅をこのように小さくすることで、ゲート電極部材６を挟んでその両側に配されるソース電極部材４およびドレイン電極部材８の、ＤＮＡ２に対する当接部分の間隙を、小さくすることができる。当該間隙を小さくすることが望ましい理由は、下記（１）に示す通りである。
【００２７】
本発明の▲１▼の態様において、ＤＮＡ２への電極配線は、図１に示すように導電性の微細線（針状体）を独自に接続させることが望ましい。以下にその理由を説明する。
ＤＮＡを電子デバイスとして用いる場合、以下の３つの点が問題となる。
【００２８】
（１）ＤＮＡは、その直径が２．３ｎｍと細いので、電流が流れにくく、電気抵抗が高くなり、ソース電極とドレイン電極との間をあまり大きくすると、デバイスとしての動作が望めない。したがって、ＤＮＡをキャリア輸送材料として用いたトランジスタを実現するためには、ソース電極とドレイン電極との間をできるだけ小さくすることが望まれる。本発明者らの研究によれば、ソース電極とドレイン電極との間を５０ｎｍ以下にすることで、ＤＮＡに０．１ｎＡ以上１０ｎＡ以下の電流を流すことができる。
【００２９】
（２）ＤＮＡと接続する各電極部材（特にソース電極部材およびドレイン電極部材）の材料として、ＤＮＡとオーム性接続ができるような無機材料はない。したがって、ＤＮＡとソース電極部材およびドレイン電極部材との当接部において、各電極部材の接触幅をそろえ、二つのほぼ等しいショットキー障壁を有するショットキー接続を行う必要がある。
【００３０】
（３）上記（１）に示すように、ソース電極とドレイン電極との間をできるだけ小さくする（例えば、上記の如く５０ｎｍ以下）ことが望まれるが、そのため、両者間に位置すべきゲート電極部材についても、電極幅をソース電極とドレイン電極との間よりも小さく形成する必要がある。
【００３１】
微細構造の電極を配線する方法としては、光露光法や電子ビーム露光法により露光し、レジスト現像した後、これに金属配線を行うのが一般的である。しかし、ＤＮＡのような有機物を用いる場合には、レジスト現像における有機溶剤は使用できない。また、光露光法では、紫外線の回折限界である１００ｎｍ以下の配線は不可能であり、電子ビーム露光法では１０ｎｍ以下の配線に電子線の干渉効果による技術的困難がある。
【００３２】
以上のことから、太さが２．３ｎｍのＤＮＡ分子に配線するには、基板上で露光技術により配線加工することは困難である。したがって、ＤＮＡ分子に配線するには、既述の如く導電性の微細線（針状体）を独自に接続させることが望ましい。
【００３３】
ソース電極部材４、ゲート電極部材６およびドレイン電極部材８（以下、これらをまとめて「各電極部材」という場合がある。）の材質としては、通常の金属導線、金、白金、銅、クロム、チタン等如何なるものでもよいが、ＤＮＡのように極めて微細な材料に配線を施す上で、カーボンナノチューブ（以下、単に「ナノチューブ」という場合がある。）を用いることが好ましい。
【００３４】
ナノチューブとは、炭素系材料であり、グラファイトが円筒形に閉じた構造の針状物質である。ナノチューブには、多重壁構造と単一壁構造の二種類が存在し、いずれも、半導体特性を示すものと導電体特性を示すものが確認されている。各電極部材に使用可能なナノチューブとしては、多重壁構造および単一壁構造のいずれでも構わない。ナノチューブは、直径が極めて小さいので、ＤＮＡのような微細線と接続するには好適である。ナノチューブは、アーク放電法、レーザーアブレーション法、化学気相成長法等で作製するのが一般的である。
【００３５】
各電極部材として使用するナノチューブの太さ（直径）としては、０．１ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましく、０．５ｎｍ以上２０ｎｍ以下であることがより好ましく、１ｎｍ以上１５ｎｍであることがさらに好ましい。特に、ゲート電極部材６としては、既述の如くその電極幅が狭いことが望まれることから、より細いナノチューブを用いることが好ましい。詳しくはソース電極部材４とドレイン電極部材８との間隙よりも小さいことが望ましく、例えば、当該間隙が１０ｎｍ以下の場合には、太さが０．５ｎｍ以上２ｎｍ以下である単一壁のナノチューブを用いることが望ましい。
【００３６】
ＤＮＡ２に対する、ソース電極部材４の当接部分と、ドレイン電極部材８の当接部分と、の間隙（以下、「ソース−ドレイン間距離」という場合がある。）としては、１００ｎｍ以下であることが好ましく、５０ｎｍ以下であることがより好ましく、両電極間に多くの電流を流す上で、より近い方が望ましい。しかし、ゲート電極部材６として極細の単一壁のナノチューブを用いたとしても、太さが０．５ｎｍ〜２ｎｍ程度であり、また、ＤＮＡの太さも２．３ｎｍなので、実質的には１ｎｍ以上とすることが好ましく、２ｎｍ以上とすることがより好ましい。
ソース−ドレイン間距離としては、通常は、５ｎｍ以上２０ｎｍ以下にすることが望ましく、電界効果トランジスタとして機能させるには、１５ｎｍ以上２０ｎｍ以下が最も望ましい。
【００３７】
本発明の▲１▼の態様では、ソース−ドレイン間距離をできる限り近づけることにより、通常の電界効果トランジスタではなく、クーロンブロッケイド現象による単電子トンネリングトランジスタとして機能し得るトランジスタを作製することもできる。ここで、単電子トンネリングトランジスタとは、クーロンブロッケイド現象によりスイッチング動作が可能なトランジスタである。単電子トンネリングトランジスタの等価回路を図２に示す。
【００３８】
３つの微小キャパシタ１０ａ，１０ｂ，１０ｃが、電荷の蓄積とトンネリングとを起こす構造になっている。すなわち、一個の電荷が微小キャパシタ１０ａ，１０ｂ，１０ｃに蓄積することで、トンネリング電流を制御するクーロンブロッケイド現象によって、クーロンアイランドを介して、ゲート電極Ｇからのゲート電圧により、ソース電極Ｓ−ドレイン電極Ｄ間を流れる電流が、キャリア輸送材料１２において制御され、スイッチングを示すような構造を持つ。
【００３９】
本発明の▲１▼の態様のトランジスタを単電子トンネリングトランジスタとして機能させる場合には、ソース−ドレイン間距離としては、１ｎｍ以上５０ｎｍ以下とすることが好ましく、２ｎｍ以上１０ｎｍ以下とすることがより好ましく、４ｎｍ以上８ｎｍ以下とすることがさらに好ましい。
【００４０】
単電子トンネリングトランジスタは、通常、温度による熱ゆらぎの影響で、常温での動作は難しいが、本発明による単電子トンネリングトランジスタは、例えば、ＤＮＡの構造に由来して形成される微小キャパシタが１ａＦ程度（ａ＝１０-18）なので、常温でも動作が可能である。
【００４１】
各電極部材とＤＮＡ２との当接角度としては、特に限定されるものではなく、図１に示す状態のようにＤＮＡ２の長手方向に交差（直交と、所定の角度を有する場合との双方を含む）する状態で当接させてもよいし、各電極部材の先端部がＤＮＡ２と接触する状態で当接させてもよいし、ＤＮＡ２の長手方向に添う状態で当接させてもよい。ただし、ゲート電極部材６は、ソース電極部材４およびドレイン電極部材８の、ＤＮＡ２に対する当接部分の間隙に配する必要があるため、ＤＮＡの長手方向に交差する状態で当接させるか、もしくは、その先端部がＤＮＡ２と接触する状態で当接させる。
【００４２】
各電極部材とＤＮＡ２との当接部分は、所望の手段により、あるいは、特別な手段を講ずることなく、接合される。特に、各電極部材としてナノチューブを用いた場合、ナノチューブとＤＮＡ２とを当接させると、ＤＮＡ２の表面状態が改質されると推測され、両者は強固に接合する。したがって、電極配線の容易さの観点からも、各電極部材としてはナノチューブを用いることが望ましい。
【００４３】
以上説明した図１に示す本発明の▲１▼の態様のトランジスタは、例えば適当な保持基板の表面にＤＮＡ２を保持させた上で、各電極部材を配線することで製造することができる。
ＤＮＡを保持し得る保持基板としては、ＤＮＡより電気抵抗値の高い絶縁性基板が用いられる。保持基板としては、例えば、超薄酸化シリコン膜シリコン基板、サファイヤ単結晶基板、あるいは、雲母基板等を挙げることができる。なかでも好適なのは、表面が原子レベルで平坦な、サファイヤ単結晶基板や雲母基板である。
【００４４】
ＤＮＡを保持し得る保持基板として、単結晶シリコン（１００）基板上に酸化シリコン膜を３．５ｎｍの厚さで成長させたものを例に挙げて、本発明の▲１▼の態様のトランジスタの製造例を以下に説明する。勿論、当該製造例は、あくまでも例示であり、本発明は、以下の製造例に限定されるものではない。
【００４５】
単結晶シリコン（１００）基板への酸化シリコン膜の成長は、超薄膜層を形成させるために、超高真空化学気相法で行う。成長の原料がモノシランと酸素ラジカルであり、成長時の真空度は２．６６×１０-6Ｐａ（２×１０-8Ｔｏｒｒ）とした。このとき、成長温度は４２０℃に設定し、成長速度は０．１２ｎｍ／ｓｅｃである。
【００４６】
得られた保持基板における酸化シリコン膜上に、既述のようにして展開させたＤＮＡ分子を載置し、その両側にナノチューブ等の針状体をソース電極部材およびドレイン電極部材として接続する。さらに、ＤＮＡ分子におけるソース電極部材およびドレイン電極部材の間にナノチューブ等の針状体をゲート電極として接続することで、本発明の▲１▼の態様のトランジスタが製造される。
【００４７】
＜▲２▼の態様＞
本発明の▲２▼の態様は、前記デオキシリボ核酸分子またはその集合体が、塊状となって前記ゲート電極部材と当接し、かつ、絶縁材料としての機能を有することを特徴とする。
【００４８】
図３に、本発明の▲２▼の態様の模式構成図を示す。図３において、２０はキャリア輸送材料であり、該キャリア輸送材料２０の上に塊状のデオキシリボ核酸分子（ＤＮＡ）２２が接触配置され、さらにキャリア輸送材料２０とは非接触な状態で、ＤＮＡ２２にゲート電極部材２６が当接し、ＤＮＡ２２の両端にはソース電極部材２４およびドレイン電極部材２８が、ゲート電極部材２６を挟んで当接してトランジスタを構成する。この場合、ＤＮＡ２２の存在により強い空乏層がキャリア輸送材料２０中に生じ、電界効果トランジスタとして機能する。
【００４９】
ＤＮＡ２２としては、本発明の▲１▼の態様と同様のものが用いられるが、塩基が多数配列された状態、あるいは、ＤＮＡの集合体で構成され、全体として塊状となっている。なお、ＤＮＡ２２の形状としては、キャリア輸送材料２０とは非接触な状態で、ＤＮＡ２２にゲート電極部材２６が当接し得る状態となる程度に塊状となっていれば問題ない。ＤＮＡ２２の厚さとしては、２ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましく、５ｎｍ以上３０ｎｍ以下であることがより好ましい。
【００５０】
キャリア輸送材料２０としては、ナノチューブ、シリコン、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、窒化ガリウム等を用いることができるが、ＤＮＡ２２の存在により強い空乏層が形成される点でナノチューブを用いることが望ましい。キャリア輸送材料２０として用いるナノチューブの大きさは、特に限定されないが、一般的に長さは５ｎｍ〜１０μｍの間から、太さ（直径）は０．５ｎｍ〜３０ｎｍの間から、それぞれ選択される。また、使用可能なナノチューブとしては、多重壁構造および単一壁構造のいずれでも構わない。
【００５１】
また、ゲート電極部材２６や、ソース電極部材２４およびドレイン電極部材２８にも、ナノチューブを用いることが望ましい。▲１▼の態様において説明したように、ナノチューブを各電極部材に用いることで、ＤＮＡを構成材料の一部として含む本態様のトランジスタにおいても電極配線を精密かつ容易に施すことができる。使用可能なナノチューブとしては、▲１▼の態様において説明したものと同様である。
【００５２】
ＤＮＡ２２との当接部分におけるゲート電極部材２６の幅としては、０．１ｎｍ以上１００ｎｍ以下とすることが望ましく、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下とすることがより望ましい。当該電極幅を上記範囲とすることで、ゲート下の電界強度が増加し、キャリア輸送部（ナノチューブ）中に反転層が生成され、スイッチング動作が期待できる。
【００５３】
キャリア輸送材料２０に対する、ソース電極部材２４の当接部分と、前記ドレイン電極部材の当接部分と、の間隙（ソース-ドレイン間距離）としては、１ｎｍ以上１μｍ以下であることが好ましく、５ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることがより好ましい。ソース-ドレイン間距離を上記範囲とすることで、ソース-ドレイン間の電流値が増加し、トランジスタ動作のＳＮ比が向上する。
【００５４】
各電極部材とＤＮＡ２２またはキャリア輸送材料２０との当接角度に関する考え方や、同当接部分の接合に関する考え方は、▲１▼の態様と同様である。
以上説明した図３に示す本発明の▲２▼の態様のトランジスタは、例えば適当な保持基板の表面にナノチューブ等のキャリア輸送材料２０を保持させ、これに塊状のＤＮＡ２２を接触配置した上で、各電極部材を配線することで製造することができる。
【００５５】
【実施例】
以下に本発明の実施例を示すが、本発明はこれらの例に制限されるものではない。
（実施例１）
本実施例では、天然のサケの精子から分離したＤＮＡを用いた。かかるＤＮＡからタンパク質等の不純物を除去するために、エタノール（９９．９質量％）１００ｍｌ中に、１０ｍｇのＤＮＡを分散させ、常温で撹拌を３０分間行い、ポア径１μｍのＰＴＦＥフィルターで濾過した。この操作を３回行い、次に、バッファー液（塩化ナトリウム３００ミリモル／リットル、炭酸ナトリウム１０ミリモル／リットル、ＥＤＴＡ５ミリモル／リットル）１００ｍｌ中に、タンパク質を除去した上記ＤＮＡを分散させた。バッファー液の調製には、超純水（抵抗値：１８．３ＭΩ）を用いた。常温で撹拌を３０分間行った後、ポア径１μｍのポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルターで濾過し、不純物を取り除いた。
【００５６】
次いで塩類を除去するために、ＤＮＡをエタノール水混合溶液（エタノール２０質量％、水８０質量％）に分散させた。ここで、エタノールは蒸留後、ポア径０．１μｍのフィルターで濾過したものを用いた。また、水は超純水（抵抗値：１８．３ＭΩ）を用いた。分散後、１０分間振とうし、遠心分離法で分離した（回転数３００ｒｐｍ、回転時間１時間）。この操作を３回行い、最終的にＤＮＡの濃度を０．０２質量％に調整した。
【００５７】
最後にＤＮＡ分子の凝集を解くために、エタノール水混合溶液（エタノール２０質量％、水８０質量％）中で１０℃で７日保持した（展開処理）。当該操作後、ＤＮＡ分子が繊維状に展開していることを確認した。このようにして得られた繊維状のＤＮＡから、１分子を抽出し、下記トランジスタの作製に供した。用いたＤＮＡ分子は、該分子を構成する塩基が約２００個であり、その径が２．３ｎｍであり、長さが６５ｎｍであった。
【００５８】
ＤＮＡを保持する保持基板として、単結晶シリコン（１００）基板上に酸化シリコン膜を３．５ｎｍの厚さで成長させたものを用いた。当該保持基板の具体的な製造方法は、既述の通りである。当該保持基板表面の酸化シリコン膜の上に前記ＤＮＡ分子を保持させた上で、ナノチューブを各電極部材として用いて配線を行った。なお、以下のナノチューブは、全てアーク放電法で作製したものである。
【００５９】
前記ＤＮＡ分子にナノチューブ配線の接続を行うために、Ｔｒｉｐｌｅ−ｐｒｏｂｅ  ａｔｏｍｉｃ  ｆｏｒｃｅ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ（以下、「Ｔ−ＡＦＭ」と省略する。）を用いた。Ｔ−ＡＦＭは、ＡＦＭ（ａｔｏｍｉｃ  ｆｏｒｃｅ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ；原子間力顕微鏡）を応用した装置であり、電気的に独立した３つのプローブを有し、ナノメートルオーダーの精度で試料の操作や電気測定が可能な装置である。本実施例においては、Ｔ−ＡＦＭにより、ナノチューブでできたプローブ（ナノチューブプローブ）をＤＮＡに接続し、さらに、電流電圧特性を測定した。具体的な操作は以下の通りである。
【００６０】
まず、目的のＤＮＡ分子をＴ−ＡＦＭで観察しながら場所を特定する。次に、ゲート電極部材となる単一壁のナノチューブ（直径１．５ｎｍ。すなわちゲート電極部材の電極幅が１．５ｎｍ。）をＴ−ＡＦＭで移動させながら、ＤＮＡ分子と交差させて当接させ、ゲート電極を形成する。さらに、ソース電極部材およびドレイン電極部材となる２本の多重壁ナノチューブ（直径８ｎｍ）を、両者の距離を所定の大きさに保ったまま、前記ＤＮＡ分子と前記ゲート電極部材との当接位置に近づける。このとき、２本の多重壁ナノチューブの距離は、そのままソース電極−ドレイン電極間距離となるが、本実施形態では２０ｎｍ、１０ｎｍ、５ｎｍの３種類とした。最後に、前記ＤＮＡ分子と前記ゲート電極部材との当接位置を挟む状態で、上記二本のナノチューブをＤＮＡ分子に当接させ、ソース電極およびドレイン電極を形成した。その後、Ｔ−ＡＦＭから、ソース電極部材およびドレイン電極部材となった２本の多重壁ナノチューブを切り離し、本実施例のトランジスタを作製した。
【００６１】
図４が、本実施例のトランジスタを観察したＡＦＭ像（写真）であり、図５はこれを模式化して表したものである。図４および図５に示すように、ＤＮＡにソース電極、ドレイン電極、ゲート電極が接続されていることがわかる。なお、図４および図５は、ソース電極−ドレイン電極間距離を２０ｎｍとしたトランジスタである。
【００６２】
得られたトランジスタについて、ゲート電極に電圧を印加して、ソース−ドレイン電流電圧特性を測定した。図６は、ゲート電圧を０Ｖ〜４Ｖ間で変化させた場合のソース−ドレイン電流電圧特性を示すグラフである。ここでは、ソース電極−ドレイン電極間距離が２０ｎｍのものを用い、測定は常温、乾燥窒素中で実施した。ゲート電圧を変化させると、電流電圧特性が変化し、スイッチング機能を有するトランジスタを構成していることがわかる。
【００６３】
また、得られたソース電極−ドレイン電極間距離の異なる３つのトランジスタについて、ソース−ドレイン電流電圧特性を測定した。図７は、各トランジスタのソース−ドレイン電流電圧特性を示すグラフである。このとき、ゲート電圧としては２Ｖで固定し、測定は常温、乾燥窒素中で実施した。
【００６４】
図７のグラフからわかるように、ソース電極−ドレイン電極間距離が２０ｎｍ、１０ｎｍ、５ｎｍと小さくなるにしたがって、電流値が増加することがわかる。また、ソース電極−ドレイン電極間距離が５ｎｍのトランジスタでは、図７のグラフに示される電流電圧特性からわかるように、ソース−ドレイン間電圧ＶDSが、０．２６Ｖ、０．３４Ｖ、０．４２Ｖおよび０．５０Ｖにおいて、クーロンブロッケイド現象が原因と見られるステップが確認できた。その結果、本実施例のトランジスタが、単電子トンネリングトランジスタとして動作していることが確認できた。
【００６５】
（実施例２および比較例１）
本実施例では、実施例１と同様のＤＮＡを用い、実施例１と同様の精製処理を施したが、最後の展開処理は省略し、ＤＮＡ分子の塊状の凝集体を下記トランジスタの作製に供した。該ＤＮＡ分子は、該分子を構成する塩基が平均で１万２千個であった。このＤＮＡを、ゲート電極部材に当接する絶縁材料として、使用したトランジスタを作製した。また、キャリア輸送材料には、ナノチューブを用いた。
【００６６】
ナノチューブは、アーク放電法で作製した多重壁ナノチューブ（長さ３μｍ、直径１０ｎｍ）を用い、これを実施例１と同様の保持基板表面の酸化シリコン膜の上に保持させた。このナノチューブの上に前記塊状のＤＮＡ分子を付着させた。
【００６７】
さらに、実施例１と同様Ｔ−ＡＦＭを用いて、各電極部材の配線を施した。具体的にはまず、Ｔ−ＡＦＭにより、ナノチューブの両端に、ソース電極部材およびドレイン電極部材となる２本の多重壁ナノチューブでできたプローブ（ナノチューブプローブ、直径１５ｎｍ）を当接させ、ソース電極およびドレイン電極を形成した。その後、Ｔ−ＡＦＭから、ソース電極部材およびドレイン電極部材となった２本の多重壁ナノチューブを切り離した。ソース電極とドレイン電極は、塊状のＤＮＡを挟む構造となっている。図８に、ナノチューブにソース電極とドレイン電極を配線した状態を観察したＡＦＭ像（写真）を示す。また、図９は、図８を模式化して表したものである。図８および図９に示すように、にソース電極、ドレイン電極が接続され、かつ、キャリア輸送材料としてのナノチューブに、塊状のＤＮＡが当接していることがわかる。
【００６８】
Ｔ−ＡＦＭのナノチューブＡＦＭプローブで、この塊状のＤＮＡの上に、ナノチューブを当接させて電極配線し、ゲート電極とした。ゲート電極部材となった前記ナノチューブをＡＦＭプローブから切り離し、実施例２のトランジスタを作製した。なお、比較のため、キャリア輸送材料としてのナノチューブにおける、塊状のＤＮＡ以外の部位に、ナノチューブを当接させて、比較例１のトランジスタを作製した。
【００６９】
得られたトランジスタについて、ゲート電極に電圧を印加して、ソース−ドレイン電流電圧特性を測定した。図１０が実施例２のトランジスタについて、図１１が比較例１のトランジスタについて、それぞれ、ゲート電圧を０Ｖ〜−５Ｖ間で変化させた場合のソース−ドレイン電流電圧特性を示すグラフである。
【００７０】
図１１に示すように、ナノチューブ上に直接ゲート電圧を印加した比較例１のトランジスタの場合には、電流の漏れが生じ、電流電圧特性は三極管特性を示し、ソース−ドレイン電流値の飽和が見られない。これに対し、ＤＮＡ上にゲート電圧を印加した実施例２のトランジスタの場合には、ソース−ドレイン電流値の飽和領域が存在し、ほぼ完全な電界効果トランジスタを構成することがわかる。このときのＤＮＡの厚さは、ＡＦＭ像から求めると、１５ｎｍであった。
【００７１】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、ＤＮＡを構成材料として用いることにより、電子回路の極微小化に対応し得る極めて微小なトランジスタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一態様を示す模式構成図である。
【図２】  本発明で達し得る単電子トンネリングトランジスタの等価回路である。
【図３】  本発明の他の一態様を示す模式構成図である。
【図４】  実施例１のトランジスタの観察したＡＦＭ像（写真）である。
【図５】  図４のＡＦＭ像（写真）を模式化して表した、図４の模式説明図である。
【図６】  実施例１のトランジスタについて、ゲート電圧を０Ｖ〜４Ｖ間で変化させた場合のソース−ドレイン電流電圧特性を示すグラフである。
【図７】  実施例１の各トランジスタのソース−ドレイン電流電圧特性を示すグラフである。
【図８】  実施例２のトランジスタを製造する過程において、ナノチューブにソース電極とドレイン電極を配線した状態を観察したＡＦＭ像（写真）である。
【図９】  図８のＡＦＭ像（写真）を模式化して表した、図８の模式説明図である。
【図１０】  実施例２のトランジスタについて、ゲート電圧を−１Ｖ〜−５Ｖ間で変化させた場合のソース−ドレイン電流電圧特性を示すグラフである。
【図１１】  比較例１のトランジスタについて、ゲート電圧を−１Ｖ〜−５Ｖ間で変化させた場合のソース−ドレイン電流電圧特性を示すグラフである。
【符号の説明】
２、２２  ＤＮＡ（デオキシリボ核酸分子またはその集合体）
４、２４  ソース電極部材
６、２６  ゲート電極部材
８、２８  ドレイン電極部材
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ  微小キャパシタ
１２、２０  キャリア輸送材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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