(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで、及び、減圧下で処理する真空処理室内の基板受け渡し位置で、基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、
傾斜安定角で起立させた基板の上下両端部を係合把持させる少なくとも一対の係合把持手段と、搬送台車により立設する支柱によって支持され、該係合把持手段の少なくとも一方を基板両端より離隔して開放する方向若しくは基板両端へ接近して把持させる上下方向に移動させるリンク機構と、台車と長手方向にほぼ平行に延在され、軸廻りに回動することによって前記リンク機構に駆動力を伝達するシャフト状の駆動伝達部材と、前記シャフト状の駆動伝達部材を軸廻りに回転させてリンク機構を上下方向に移動させる移動手段と、前記係合把持手段を基板係合位置で位置保持させる位置保持手段とからなる基板受渡し機構を、前記基板保持機構に組み込むとともに、
前記移動手段の駆動入力端を台車下方に垂下させ、搬送台車と分離して真空処理室の真空処理部外部に配置された駆動手段の出力端と前記移動手段の駆動入力端とが、前記受渡し位置で連結可能に構成し、
更に前記移動手段が、ウォームホィールとウォームギヤーとにより構成され、前記シャフト状の駆動伝達部材に同軸に固定されたウォームホィールがウォームギヤーと噛合し、該ウォームギヤーのシャフトが駆動入力端となって台車下方へ垂下されていることを特徴とする大型基板搬送装置。
【請求項２】
前記位置保持手段がリンク機構の係合把持手段側と支柱間に介装されたバネ付勢手段であって、該バネ付勢手段が、係合把持手段を介して基板を緊縛する方向に付勢されていることを特徴とする請求項１記載の大型基板搬送装置。
【請求項３】
大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで、及び、減圧下で処理する真空処理室内の基板受け渡し位置で、基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車のベース長手方向両側に立設する一対の支柱とを有し、該支柱に基板を傾斜安定角で起立保持させる基板保持機構を設けた大型基板搬送装置において、
前記基板保持機構に基板を基板受け取り対象への基板受け渡しと基板受け取り対象よりの基板受け取りを行う基板受渡し機構を組み込むとともに、
前記基板受け渡し機構が、前記夫々の支柱の上下方向位置に支持させ、前記傾斜安定角で起立させた状態の基板の上下両端部を把持するように形成された一対の係合把持手段と、前記支柱に支持され、前記係合把持手段の少なくとも一方を前記基板の上下両端より離隔する方向と接近する方向に揺動させて、係合把持手段による基板の把持と開放を行う一対のリンク機構と、前記台車のベース長手方向に沿って延在されるとともに、軸廻りに回動することによってその両端に連結した夫々のリンク機構に駆動力を伝達するシャフト状の駆動伝達部材と、前記シャフト状の駆動伝達部材に固定された嵌合突起を介して、軸廻りの回転力を付与する移動手段と、前記少なくとも一方の係合把持手段に基板を緊縛する方向に弾性力を付勢させて基板を安定把持させるバネ付勢手段とから構成され、
前記移動手段が、前記ベース上に取り付けられ、一端側を前記嵌合突起に嵌合された振り子状カムと該振り子状カムの他端側に位置する上下駆動軸からなり、該振り子状カムの上下方向の振り子運動により、前記シャフト状の駆動伝達部材を軸周りに回転させるように構成するとともに、該上下駆動軸の下端側を駆動入力端として台車のベース下方へ垂下させ、該台車と分離して真空処理室の真空処理部外部に配置された定量上下動を発生する駆動手段の出力端と前記移動手段の駆動入力端とが、前記基板受け取り対象の受渡し位置で連結可能に構成したことを特徴とする大型基板搬送装置。
【請求項４】
真空室内部と気密保持状態を維持するシール部を有する中間動力伝達手段を介して前記駆動手段の出力端を前記移動手段の駆動入力端に連結可能に構成するとともに、前記駆動手段が、真空処理部の真空室外部にあって、エアーシリンダーによりその出力端が定量上下動を発生する外部駆動源であり、前記中間動力伝達手段は、真空室壁に設けたシール手段を介して真空室内部より真空室外に延在させてなる上下動伝達軸機構であって、前記真空室外に延在させた端部が前記駆動手段の駆動出力端に接続可能に構成してなることを特徴とする請求項３記載の大型基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、プラズマＣＶＤ、スパッタリング、ドライエッチング等の処理を大型基板に施すための大型基板用真空処理装置に用いる大型基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年太陽電池などの製造を目的として、大型の基板を真空中でプラズマＣＶＤ、スパッタリング、ドライエッチング等の処理を均質・連続・大量に施す必要性が益々高まっている。本発明者等は今までに一連の関連技術の発明を出願、開示してきたが、真空処理装置の各部において解決すべき課題が多々あるなかで、特に大型脆性材質からなる基板を操作するところの基板搬送装置について特願平１１−３０１２７１にその発明の１つを出願した。
【０００３】
前記先願技術（非公知）の要点を図７及び図１０を参照しながら説明すると、トレイレス斜め基板搬送装置１０１において、該装置は基板Ｇを減圧下で処理する真空処理室１１０と、この真空処理室との間で基板を受け渡しする基板搬送台車１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃ、１０６Ｄと、この搬送台車上で基板を斜めに立て掛けて支持する基盤保持機構と、前記真空処理室に設けられた両面型の成膜ユニット１７１と、この成膜ユニットの両側にそれぞれ配置され、それぞれが前記成膜ユニットに対して可動である該ヒーター発熱面を覆うヒーターカバー１７３を有する一対のヒーターユニット１７２と、前記ヒーター発熱面と平面での平行関係を保ちながら前記ヒーターカバーを前記ヒーター発熱面に実質的に直交する方向に移動させ、前記ヒーターカバーを基板に密着させるヒーターカバー移動手段とを具備することを特徴とした。
【０００４】
そして前記先願技術（非公知）の搬送台車の基板保持機構を、その実施態様の一例である図８及び図９を参照しながら説明すると、搬送台車１０６Ａは台車本体１６１と、２本のアーム１６２と、一対の支持カム１６３と間歇回転駆動機構１６５と、一対の保持部材１６６と、一対のストッパ１６８とを備えている。台車本体１６１は図示しない進退駆動機構によりレール１０８Ａに噛み込み連結されており、レール上を進退可能になっている。
【０００５】
２本のアーム１６２は台車本体１６１の長手直交軸に対して約１０°傾斜するように台車本体１６１上に直立して設けられている。アーム１６２の相互間隔は基板Ｇの長辺より少し大きく、これら２本のアーム１６２の間に基板Ｇがもたせ掛けられるようになっている。
【０００６】
各アーム１６２の上部には保持部材１６６および揺動軸１６７が取り付けられ、各アーム１６２の下部には支持カム１６３および間歇回転駆動機構１６５が取り付けられている。上部保持部材１６６は揺動軸１６７周りに揺動可能に支持され、基板Ｇの支持カム１６３は基板Ｇの下部を支持し、回転軸１６４により間歇回転駆動機構１６５に連結されている。支持カム１６３は上面に凹所１６３ａを有する厚みのある板カムである。
【０００７】
間歇回転駆動機構１６５は例えばゼネバストップのような機構からなり、支持カム１６３を軸１６４の周りに所望角度だけ間歇的に回転させるようになっている。支持カム１６３は基板Ｇを保持搬送するときは図９の（ａ）に示すように凹所１６３ａで基板Ｇの下端に接触しているが、基板Ｇを真空処理室内のヒーターカバー１７３に受け渡すときは図９の（ｂ）に示すように凹所１６３ａから基板Ｇの下端が外れるように軸１６４周りに回転される。基板Ｇは受け渡し前後で落差ｈを生じているので、ヒーターカバー１７３は支持突起１７３ａが基板Ｇの下端より少し下方に位置するよう台車１０６Ａに接近するようになっている。
【０００８】
なお、ストッパ１６８は基板Ｇの側端部に当接するようにアーム１６２の適所に取り付けられ、これにより搬送中の基板Ｇが進行方向にずれるのを防止している。
【０００９】
さて前記先願技術（非公知）の搬送台車の基板保持機構においては、
支持カム１６３を軸１６４の周りに所望角度だけ間歇的に回転させる間歇回転駆動機構と上部保持部材１６６を揺動軸１６７周りに揺動させる揺動駆動機構が複雑となるばかりか、真空維持、真空室の大きさを極力コンパクトな設計にするなどの点、受け渡し動作の信頼性確保の点にも困難があり、駆動には大きな力が必要なことも問題であった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はこのような従来の問題点に鑑みなされたもので、大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで、及び、減圧下で処理する真空処理室内の基板受け渡し位置で、基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、真空室の真空維持が容易な、真空室の大きさを極力コンパクトにすることが可能な、基板受け渡し動作の信頼性の高い、駆動源の小さな基板受け渡し機構を前記基板保持機構に組み込んだ大型基板搬送装置の提供を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで、及び、減圧下で処理する真空処理室内の基板受け渡し位置で、基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、
傾斜安定角で起立させた基板の上下両端部を係合把持させる少なくとも一対の係合把持手段と、搬送台車により立設する支柱によって支持され、該係合把持手段の少なくとも一方を基板両端より離隔して開放する方向若しくは基板両端へ接近して把持させる上下方向に移動させるリンク機構と、台車と長手方向にほぼ平行に延在され、軸廻りに回動することによって前記リンク機構に駆動力を伝達するシャフト状の駆動伝達部材と、前記シャフト状の駆動伝達部材を軸廻りに回転させてリンク機構を上下方向に移動させる移動手段と、前記係合把持手段を基板係合位置で位置保持させる位置保持手段とからなる基板受渡し機構を、前記基板保持機構に組み込むとともに、
前記移動手段の駆動入力端を台車下方に垂下させ、搬送台車と分離して真空処理室の真空処理部外部に配置された駆動手段の出力端と前記移動手段の駆動入力端とが、前記受渡し位置で連結可能に構成し、
更に前記移動手段が、ウォームホィールとウォームギヤーとにより構成され、前記シャフト状の駆動伝達部材に同軸に固定されたウォームホィールがウォームギヤーと噛合し、該ウォームギヤーのシャフトが駆動入力端となって台車下方へ垂下されていることを特徴とする。
【００１２】
即ち、本発明の基板受け渡し機構を、基板保持機構に持っている搬送台車は、真空処理室外の基板受け渡しステージで基板を受け取って台車上に傾斜安定角度、例えば垂直軸に対して７°から１２°の傾斜角度で起立させた状態で、基板保持機構の係合把持手段により保持して、真空処理室内に移動する。この真空処理室内の基板受け渡し位置で、移動手段と共働して機能するリンク機構により係合把持手段が基板両端より離隔・開放される方向に移動し、基板を真空処理室の受け渡し対象へ、開放受け渡す。台車上で移動する際には、係合把持手段は位置保持手段で基板係合位置で位置保持され、移動等の振動で容易に脱落しないようになっている。そして真空処理が終了して、基板を真空処理室から取り出すときは、空の台車が基板真空処理室の受け渡し位置まで赴き、基板保持機構の係合把持手段は、前記の逆の動作で、受け取り対象に載置されている基板両端へ、接近・把持するに方向に移動し基板を確保し真空室より退去する。
【００１３】
本発明は更に、前記係合把持手段が、基板の上下両端側を開口させた係合爪で形成され、移動手段と共働して機能するリンク機構により一体的に連結されて、基板両端より離隔・開放若しくは接近・把持する上下方向に同時に揺動可能に構成された事を特徴とする。
【００１４】
即ち、把持手段は先ず基板の上下端をつかむ爪があって、その爪は例えばコの字型のように把持すべき基板の端側に開口し向いており、移動手段と共働する例えばリンク機構につながっていて、これにより揺動し基板の両端を掴んだり、放したりできるようになっている。
【００１５】
本発明は更に、前記位置保持手段がリンク機構の係合把持手段側と支柱間に介装されたバネ付勢手段であって、該バネ付勢手段が、係合把持手段を介して基板を緊縛する方向に付勢されていることを特徴とする。
【００１６】
即ち、把持手段の爪がリンク機構に設けられたバネの付勢力によって、上側の爪ならば下方に、下側の爪ならば上方に、基板を緊縛する方向に付勢される。
【００１７】
【００１８】
真空処理装置の真空処理室内には真空処理ユニット、ヒーターユニットなど真空処理に必要な要素を備える必要があるが、極力内容積を小さくして、真空手段の規模が大きくならないようにする必要がある。従って台車上の基板受け渡し機構を動作させる、駆動手段は真空室外において、真空室に進入する台車上には必須な部材のみを限定して装備し出来るだけコンパクトに構成する必要がある。
【００１９】
従って本発明では、真空室内部と気密保持状態を維持するシール部を有する中間動力伝達手段を介して前記駆動手段の出力端を前記移動手段の駆動入力端に連結可能に構成するとともに、前記駆動手段が、真空処理部の真空室外部にあって、エアーシリンダーによりその出力端が定量上下動を発生する外部駆動源であり、前記中間動力伝達手段は、真空室壁に設けたシール手段を介して真空室内部より真空室外に延在させてなる上下動伝達軸機構であって、前記真空室外に延在させた端部が前記駆動手段の駆動出力端に接続可能に構成してなる。
【００２０】
前記した駆動源が回転動力であると、シール機構や係合機構が複雑になるが、この上下動駆動源であれば、移動手段のリンク機構さえ工夫すれば、簡素な機構で動力伝達が可能である。即ち、シール手段は、例えば壁面貫通穴に設けたＯリングが壁面を貫通し上下するロッドを圧迫しつつ摺擦して機密を保ようにするだけでよい。
【００２１】
【００２２】
【００２３】
又本発明は、大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで、及び、減圧下で処理する真空処理室内の基板受け渡し位置で、基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車のベース長手方向両側に立設する一対の支柱とを有し、該支柱に基板を傾斜安定角で起立保持させる基板保持機構を設けた大型基板搬送装置において、
前記基板保持機構に基板を基板受け取り対象への基板受け渡しと基板受け取り対象よりの基板受け取りを行う基板受渡し機構を組み込むとともに、
前記基板受け渡し機構が、前記夫々の支柱の上下方向位置に支持させ、前記傾斜安定角で起立させた状態の基板の上下両端部を把持するように形成された一対の係合把持手段と、前記支柱に支持され、前記係合把持手段の少なくとも一方を前記基板の上下両端より離隔する方向と接近する方向に揺動させて、係合把持手段による基板の把持と開放を行う一対のリンク機構と、前記台車のベース長手方向に沿って延在されるとともに、軸廻りに回動することによってその両端に連結した夫々のリンク機構に駆動力を伝達するシャフト状の駆動伝達部材と、前記シャフト状の駆動伝達部材に固定された嵌合突起を介して、軸廻りの回転力を付与する移動手段と、前記少なくとも一方の係合把持手段に基板を緊縛する方向に弾性力を付勢させて基板を安定把持させるバネ付勢手段とから構成され、
前記移動手段が、前記ベース上に取り付けられ、一端側を前記嵌合突起に嵌合された振り子状カムと該振り子状カムの他端側に位置する上下駆動軸からなり、該振り子状カムの上下方向の振り子運動により、前記シャフト状の駆動伝達部材を軸周りに回転させるように構成するとともに、該上下駆動軸の下端側を駆動入力端として台車のベース下方へ垂下させ、該台車と分離して真空処理室の真空処理部外部に配置された定量上下動を発生する駆動手段の出力端と前記移動手段の駆動入力端とが、前記基板受け取り対象の受渡し位置で連結可能に構成したことを特徴とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を例示的に説明する。但し本実施の形態の製品の形状、寸法、材質、その相対配置等は特に特定的な記載がない限り本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
【００２５】
（実施例１）図１は本発明の基板保持機構を備えた搬送台車の一例の概要図である。該搬送台車は図示しない進退機構で同じく図示しないレール上を進退可能であって、前記したように真空処理室内の基板受け渡し位置と真空処理室外の基板受け渡しステージ間を往復できるようになっている。
【００２６】
同搬送台車は搬送台車ベース１１上に一対の搬送台車アーム１２を具え、該アームは基板を安定角度で保持するよう、例えば７°〜１２°、垂直からやや傾いて起立している。更に同アーム１２間には軸受け１６に支えられた基板支持爪駆動シャフト１８が動力伝達部材として回動可能に配置されている。基板支持爪駆動シャフト１８の両端にはカム１９が同軸に固定され、同シャフトの回動に伴って揺動するようになっている。
【００２７】
カム１９の揺動は上部支持爪駆動リンク１５Ａに伝えられ、次いで上部支持爪駆動リンク１５Ｂの搬送台車アーム１２上支点を中心としたシーソー状運動に変換され、上部支持爪駆動リンク１５Ｂの先端に、下部に開口して付けられたコの字状の上部基板支持爪１４を上方又は下方へと開閉する。同じくカム１９の揺動は同時に下部支持爪駆動リンク１５Ｃにも伝えられ、次いで下部支持爪駆動リンク１５Ｄの搬送台車アーム１２上支点を中心としたシーソー状運動に変換され、下部支持爪駆動リンク１５Ｄの先端に、上部に開口して付けられたコの字状の下部基板支持爪１３を上方又は下方へと開閉する。
【００２８】
支持爪駆動リンク１５Ａ及び１５Ｃは同一カム１９に取り付けられているので、下部、上部の爪は同時に開くときは開き、閉じるときには閉じるようになっており、かくなる基板保持機構は支持爪が開くとき基板を開放・受け渡し、支持爪が閉じるとき基板を把持・受け取るよう構成されている。
【００２９】
基板支持爪駆動シャフト１８の回動は、本発明の移動手段によってなされる。即ち該シャフトに同軸に固定されたウォームホィール１７がウォームギヤー１０と噛合し、該ウォームギヤー１０のシャフトが駆動入力端となって台車下方に垂下し、ここに外部より定量的回転駆動力を得て行われる。
【００３０】
（実施例２）図２は本発明の基板保持機構を備えた搬送台車の第二の例の概要図である。実施例１では上部基板支持爪が可動で、上下の支持爪が同時に開閉したが、本実施例ではコの字状の上部支持爪２０は下方開口方向に固定して、搬送台車アーム上端付近に取り付けた。その他は実施例１と同様に構成した。即ち、本実施例では下の爪の開閉のみで、基板の受け渡しができる保持機構の構成とした。これにより構造が簡素となり、信頼性が向上した。
【００３１】
（実施例３）図３は本発明の基板保持機構を備えた搬送台車の第三の例の概要図である。実施例２のリンク機構を動かす移動手段に変えて、本実施例の移動手段は次のように構成する。
【００３２】
即ち、搬送台車ベース１１上に設けられた振り子軸軸受け３５の振り子軸に振り子状カム３３を揺動自在に軸支し、該振り子状カムの一方端にはＵ字状切り込み部を設け、この切り込み部に、軸受け３６及び１６に支えられた基板支持爪駆動シャフト１８に固定された嵌合突起３１の突起３２を摺動自在に嵌合し、振り子状カムの他端に上下駆動軸３７を当接させ、該上下駆動軸３７を駆動入力端として台車下方に垂下させ、ここに外部より定量的上下動を与えて基板支持爪駆動シャフト１８の回動を行う。
【００３３】
（実施例４）図４は本発明の基板保持機構を備えた搬送台車の第四の例の概要図である。実施例３のリンク機構に位置保持手段としてバネ付勢手段４１を付加した例である。
【００３４】
即ち、リンク機構の下部基板支持爪駆動リンク１５Ｄのアーム１２への軸支点より下部基板支持爪１３側にバネ４１の一端を固定し、他端をアーム１２の適所に固定することにより、下部基板支持爪１３は上限位置まで引っ張られる。基板を保持するときは、カム１９の揺動で下部基板支持爪駆動リンク１５Ｃは下方に引かれるので、下部基板支持爪駆動リンク１５Ｄは軸支点を中心に反時計方向に回転移動し、下部基板支持爪１３は下方に動き把持機構は開いた状態となる。そこで、基板を受け取り把持した状態で、バネが伸びてバネの変位に応じた適度な付勢力が基板にかかるよう調節しておけば、台車の進退などで台車が振動しても、基板は安定して保持されている。
【００３５】
（実施例５）図５は本発明の移動手段が搬送台車と分離して真空室外部に設けられ、移動手段の駆動入力端に与えられる動力が回転力であって、リンク機構を動かす移動手段として、ウォームギヤー・ホィールを含む例である。
【００３６】
図５において、５０は基板搬送装置側に装着する部材である。５１は真空室下面に装着する部材である。
【００３７】
ウォームギヤー回転用モーター５６Ａの回転軸は上方に延在し、定量回転を与えるために、回転軸の回転量を検出するロータリーエンコーダー５７を備え、真空室と外部とを、直接接続せず動力を伝達することの出来る磁性流体シール５５によってベロース５４で覆われた室内のウォームギヤー回転軸５３につながっている。ウォームギヤー回転軸５３は室内で分断されており、モーター側の上端が駆動出力端となり、ギヤー側の下端が駆動入力端となり、以下に述べる嵌脱機構で分断軸端同士で嵌脱できるようになっている。
【００３８】
ウォームギヤー回転軸５３の嵌脱は、ウォームギヤー回転軸駆動入力端嵌脱モーター５６Ｂとロータリーエンコーダー５７によって定量回転するボールねじ５９があって、該ボールねじに螺合するウォームギヤー回転モーター部一体がＬＭガイドにスライドして定量的に上下して行われるようになっている。
【００３９】
（実施例６）図６は本発明の移動手段が搬送台車と分離して真空室外部に設けられ、移動手段の駆動入力端に与えられる動力が上下動力であって、リンク機構を動かす移動手段として、振り子状カムと嵌合突起を含む例である。
【００４０】
図６において、エアシリンダー６２および上下駆動軸３７の一部は真空室下面に装着され、基板支持爪駆動シャフト１８、嵌合突起３１、突起３２、振り子状カム３３、振り子軸３４、振り子軸軸受け３５、軸受け３６、上下駆動軸３７の一部などの部材は真空室内の搬送台車の台車ベース１１上に装着される。なおラック６１は搬送台車の進退機構の一部であり、図示していないピニオンと螺合して駆動され、真空室内外に進退可能となっている。
【００４１】
エアシリンダー６２のシリンダーロッドは上下駆動軸３７となって上方に延在し、定量上下動を与える。上下動軸は壁を貫いて室内にも延在し、壁と該軸は例えばＯリングでシールされ、気密下に上下に摺動できるようになっている。この場合駆動出力端と駆動入力端とは一体になっており、シリンダー６２の上下駆動力は駆動軸３７の最上端が振り子状カムの一端に当接して定量上下動を伝えることができるようになっている。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明により、大型基板を真空処理室外の基板受け渡しステージで、及び、減圧下で処理する真空処理室内の基板受け渡し位置で、基板を受け渡しさせる搬送台車と、この搬送台車上で基板を保持する基板保持機構とを具えた大型基板搬送装置において、真空室の真空維持が容易な、真空室の大きさを極力コンパクトにすることが可能な、基板受け渡し動作の信頼性の高い、駆動源の小さな基板受け渡し機構を前記基板保持機構に組み込んだ大型基板搬送装置の技術を確立できた。
【図面の簡単な説明】
【図１】  基板保持機構を備えた搬送台車の一例の概要図
【図２】  基板保持機構を備えた搬送台車の第二の例の概要図
【図３】  基板保持機構を備えた搬送台車の第三の例の概要図
【図４】  基板保持機構を備えた搬送台車の第四の例の概要図
【図５】  移動手段の駆動手段の一例の概要図
【図６】  移動手段の駆動手段の第二の例の概要図
【図７】  トレイレス斜め基板搬送装置概要図
【図８】  先願技術の基板搬送台車概要図
【図９】  先願技術の係合把持手段概要図
【図１０】  真空処理室の概要図
【符号の説明】
１０      ウォームギヤー
１１      搬送台車ベース
１２      搬送台車アーム
１３      下部基板支持爪
１４      上部基板支持爪
１５Ａ、Ｂ  上部基板支持爪駆動リンク
１５Ｃ、Ｄ  下部基板支持爪駆動リンク
１６      軸受け
１７      ウォームホィール
１８      基板支持爪駆動シャフト
１９      揺動カム
２０      上部基板支持固定爪
３１      嵌合突起
３２      突起
３３      振り子状カム
３４      振り子軸
３５      振り子軸軸受け
３６      軸受け
３７      上下駆動軸
４１      バネ（付勢手段）
５０      基板搬送台車装着部材
５１      真空室下面装着部材
５３      ウォームギヤー回転軸
５４      ベローズ
５５      磁性流体シール
５６Ａ    ウォームギヤー回転モーター
５６Ｂ    ウォームギヤー回転軸嵌脱モーター
５７      エンコーダー
５８      ＬＭガイド
５９      ボールネジ
６１      ラック
６２      エアシリンダー
１０１      トレイレス斜め基板搬送装置
１０６Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ  基板搬送台車
１０８Ａ  レール
１１０      真空処理室
１６１      台車本体
１６２      アーム
１６３      支持カム
１６３ａ    凹所
１６４      回転軸
１６５      間歇回転駆動機構
１６６      保持部材
１６７      揺動軸
１６８      ストッパー
１７１      真空処理ユニット
１７２      ヒーターユニット
１７３      ヒーターカバー
１７３ａ    支持突起
Ｇ          基板
ｈ          落差
【図１】
0003785038.tif 000002
【図２】
0003785038.tif 000003
【図３】
0003785038.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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