(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に２つの部材を配置する方法であって、
前記表面に対して第１の搬送手段を、この第１の搬送手段に設置された第１の認識手段が、前記表面上の第１のアラインメントマークを検出するように、位置づける工程と、
前記表面に対して第２の搬送手段を、この第２の搬送手段に設置された第２の認識手段が、前記表面上の第２のアラインメントマークを検出するように、位置づける工程と、
前記搬送手段の１つと前記表面とを、互いに対して、前記第１および第２の認識手段により検出されたときの、各々の前記第１および第２のアラインメントマークの位置に従って位置合わせする工程と、
前記表面に前記２つの部材の１つを、位置合わせされた搬送手段の手段により、配置する工程と、
前記搬送手段の他と前記表面とを、互いに対して、前記第１および第２の認識手段により検出されたときの、各々の前記第１および第２のアラインメントマークの位置に従って位置合わせする工程と、
前記表面に前記２つの部材の他を、位置合わせされた他の搬送手段の手段により、配置する工程とを具備する方法。
【請求項２】
前記表面に対して、前記第２の搬送手段を位置づける前に、前記第１の搬送手段を、前記表面から離れた位置に移動させる工程を、さらに具備する請求項１の方法。
【請求項３】
前記第１の搬送手段が前記離れた位置にある間に、前記第１の搬送手段により前記表面に配置される部材を取り出す工程を、さらに具備する請求項２の方法。
【請求項４】
前記１つの搬送手段を位置合わせする工程と、前記１つの部材を前記表面に配置する工程とは、前記第１の搬送手段が前記離れた位置にある間に、第２の搬送手段によって行われる請求項２の方法。
【請求項５】
前記第１の搬送手段が前記表面に対して位置合わせされる間に、前記第２の搬送手段によって前記１つの部材を取り出す工程を、さらに具備する請求項４の方法。
【請求項６】
前記１つの部材は、フラックスの小滴であり、かつ前記他の部材は、ソルダーボールである請求項１の方法。
【請求項７】
前記第１の搬送手段は、ボールを搬送するヘッドであり、かつ前記第２の搬送手段は、フラックスを搬送するヘッドである請求項６の方法。
【請求項８】
前記第１および第２の搬送手段の各々は、前記表面に対して、これらを位置づけるように第１の軸に沿って移動し、かつ前記認識手段は、前記第１の軸に直交する第２の軸に沿って移動し、
前記表面に対して、前記第１および第２の搬送手段を位置づける前に、前記認識手段を、これらそれぞれの第２の軸に沿って予め位置づけする工程を、さらに具備する請求項１の方法。
【請求項９】
フラックスの小滴およびソルダーボールをボール・グリッド・アレイ基板上に配置する方法であって、
前記基板に対してボールピックヘッドを、このボールピックヘッドに設置された第１の認識手段が、前記基板上の第１のアラインメントマークを検出するように、位置づける工程と、
前記ボールピックヘッドを前記基板から離れるように移動し、かつソルダーボールを取り出す工程と、
前記基板に対してフラックスピックヘッドを、このフラックスピックヘッドに設置された第２の認識手段が、前記基板上の第２のアラインメントマークを検出するように、位置づける工程と、
前記フラックスピックヘッドと前記表面とを、互いに対して、前記第１および第２の認識手段により検出されたときの、各々の前記第１および第２のアラインメントマークの位置に従って位置合わせする工程と、
前記表面にフラックスの小滴を、位置合わせされたフラックスピックヘッドの手段により、配置する工程と、
前記フラックスピックヘッドを前記基板から離れるように移動する工程と、
前記ボールピックヘッドと前記表面とを、互いに対して、前記第１および第２の認識手段により検出されたときの、各々の前記第１および第２のアラインメントマークの位置に従って位置合わせする工程と、
前記表面にソルダーボールを、位置合わせされたボールピックヘッドの手段により、配置する工程とを具備する方法。
【請求項１０】
前記ピックヘッドのそれぞれは、前記基板に対して、これらを位置づけるように第１の軸に沿って移動し、かつ前記認識手段は、前記第１の軸に直交する第２の軸に沿って移動し、
前記基板に対して、前記ピックヘッドを位置づける前に、前記認識手段を、これらそれぞれの第２の軸に沿って予め位置づけする工程を、さらに具備する請求項９の方法。
【請求項１１】
サイクル的に少なくとも２つの部材を複数の表面の各々に配置する方法であって、
各サイクルは、第１の位置に表面を、第１の搬送手段が前記第１の位置にある間に、移動する工程と、
前記第１の搬送手段に設置された第１の認識手段により前記表面上の第１のアラインメントマークを検出する工程と、
第２の位置に前記第１の搬送手段を移動する工程と、
第３の位置から前記第１の位置へ第２の搬送手段を移動する工程と、
前記第２の搬送手段に設置された第２の認識手段により前記表面上の第２のアラインメントマークを検出する工程と、
前記第１の位置で前記表面に対して前記第２の搬送手段を、前記第１および第２の認識手段により検出されたときの、各々の前記第１および第２のアラインメントマークの位置に従って位置合わせする工程と、
位置合わせされた第２の搬送手段の手段により前記表面上の前記２の部材の１つを配置する工程と、
前記第３の位置に前記第２の搬送手段を移動する工程と、
前記第１の位置に前記第１の搬送手段を移動し、かつ前記第１の位置で前記表面に対して前記第１の搬送手段を、前記第１および第２の認識手段により検出されたときの、各々の前記第１および第２のアラインメントマークの位置に従って位置合わせする工程と、
位置合わせされた第１の搬送手段の手段により前記表面上に前記２つの部材のその他を配置する工程と、
前記第１の位置から離れるように前記表面を移動する工程とを備えている方法。
【請求項１２】
各サイクルは、前記１つの部材を前記第２の搬送手段により、それが前記第３の位置にある間に、取り出す工程と、
前記他の部材を前記第１の搬送手段により、それが前記第２の位置にある間に、取り出す工程とを、さらに備えている請求項１１の方法。
【請求項１３】
前記１つの部材は、フラックスの小滴であり、かつ前記他の部材は、ソルダーボールである請求項１１の方法。
【請求項１４】
前記第１および第２の搬送手段の各々は、前記表面に対して、これらを位置づけるように第１の軸に沿って移動し、かつ前記認識手段は、前記第１の軸に直交する第２の軸に沿って移動し、
前記表面に対して、前記第１および第２の搬送手段を位置づける前に、前記認識手段を、これらそれぞれの第２の軸に沿って予め位置づけする工程を、さらに具備する請求項１１の方法。
【請求項１５】
２つの部材を表面に配置する装置であって、
（ａ）第１の搬送手段に設置された第１の認識手段と、
（ｂ）前記表面に対して第１の搬送手段を、第１の認識手段が前記表面上の第１のアラインメントマークを検出するように、位置づける手段と、
（ｃ）第２の搬送手段に設置された第２の認識手段と、
（ｄ）前記表面に対して第２の搬送手段を、第２の認識手段が前記表面上の第２のアラインメントマークを検出するように、位置づける手段と、
（ｅ）前記搬送手段の１つと前記表面とを、互いに対して、前記第１および第２の認識手段により検出されたときの、各々の前記第１および第２のアラインメントマークの位置に従って位置合わせする手段と、
（ｆ）前記搬送手段の他と前記表面とを、互いに対して、前記第１および第２の認識手段により検出されたときの、各々の前記第１および第２のアラインメントマークの位置に従って位置合わせする手段とを具備し、それにより位置合わせされた他の搬送手段は、前記表面上の前記２つの部材の他を配置し得る装置。
【請求項１６】
フラックスの小滴およびソルダーボールをボール・グリッド・アレイ基板上に配置する装置であって、
（ａ）ソルダーボールを取り出し、これを前記基板上に配置するように構成されたボールピックヘッドに設置された第１の認識手段と、
（ｂ）前記基板に対してボールピックヘッドを、第１の認識手段が前記基板上の第１のアラインメントマークを検出するように、位置づけする手段と、
（ｃ）フラックスの小滴を前記基板に配置するために構成されたフラックスピックヘッドに設置された第２の認識手段と、
（ｄ）前記基板に対してフラックスピックヘッドを、第２の認識手段が前記基板上の第２のアラインメントマークを検出するように、位置づけする手段と、
（ｅ）前記フラックスピックヘッドと前記基板とを、互いに対して、前記第１および第２の認識手段により検出されたときの、各々の前記第１および第２のアラインメントマークの位置に従って位置合わせする手段と、
（ｆ）前記ボールピックヘッドと前記基板とを、互いに対して、前記第１および第２の認識手段により検出されたときの、各々の前記第１および第２のアラインメントマークの位置に従って位置合わせする手段とを具備する装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面上に部材を配置するための装置並びに方法に関し、限定されるものではないが、集積回路部品の実装プロセスにおいて、ボール・グリッド・アレイ（ＢＧＡ）上に半田ボールやフラックス小滴を位置させる装置並びに方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
ＢＧＡ技術は、高密度のＩＣ部品を回路ボードに接続するために、近年では一般化してきている。フラックスが塗布されたソルダー（ろう材）ボールの規則正しいアレイが、ＩＣ部品のリード線が接続されるのに望まれるポイントの所で回路ボード上に載置される。そして、このＩＣ部品は、ボードに装着されて，部品のリード線とこれらリード線に接触されたソルダーボールとの間が接続される。
【０００３】
この目的を果たすために、ボール・グリップ・アレイでは、フラックスとソルダーボールとの小滴が、これらが所定のアレイ状に沈着される基板へと搬送されなければならない。一般の技術は、ボールピックヘッドを使用するようになっている。このボールピックヘッドは、ソルダーボールを基板へと搬送するために使用され、また、基板上で必要とされるようなアレイ形態でボールを支持し、そして、これらボールを基板上に沈着するように設計されている。本質的には、ソルダーボールが設けられるように意図された回路ボード上に全ての場所は、これに一致しなければならないこど重要である。なぜなら、ソルダーボールがあるべき所にないと、ＩＣ部品のリード線はボードに適切に接続されなくなり、全体の回路ボードが使用できなくなるためである。従来では、ボールピックヘッドは、ソルダーボールを受けるために回路ボード上のソルダーボールの所望の形態と同じアレイ状の形態に配置された複数の場所を有するように形成されている。また、これに対応するフラックスピックヘッドが、基板のフレイ状の場所にフラックスの小滴を滴下するために使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような技術は、一般的に有効ではあるけれども、現実の製造システムの状況のもとで、ソルダーボール並びにフラックスの小滴を位置させるための迅速かつ能率的な装置のデザインに対しては幾つかの問題点がある。このような装置は、ボールピックヘッドとフラックスピックヘッドとが基板の上方の所定の位置へと交互に移動されるように設計されなければならず、また、アレイのディメンション、特に、アレイ上のソルダーボール間の間隔が小さいので、正確なアラインメント技術が使用されなければならない。ＢＧＡ基板を上記場所間で搬送し、基板の上方でボールピックヘッドとフラックスピックヘッドとを正確にアラインメントさせるための製造プロセスでの必要性は、迅速で効率の良い装置の設計にとって問題である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係われば、
（ａ）表面を供給し、第１の方向に移動可能な手段と、
（ｂ）この表面に第１の部材を搬送するための第１の搬送手段と、
（ｃ）前記表面に第２の部材を搬送するための第２の搬送手段と、
（ｄ）前記搬送手段の少なくとも一方に設けられ、前記表面のアラインメントマークの位置を認識並びに検出するための手段と、
（ｅ）前記アラインメントマークの位置に応じて、前記表面に対して、前記第１並びに第２の搬送手段の位置を調節する手段とを具備し、前記第１並びに第２の搬送手段は、前記第１の方向で単一の位置に固定され、また、この第１の方向とは直交する第２の方向に互いに独立して第１並びに第２の搬送手段を移動させる手段が設けられている、表面に少なくとも２つの部材を配置するための装置が提供される。
【０００６】
本発明の好ましい実施の形態において、前記第１並びに第２の搬送手段は、前記表面の上方の位置へと、前記第２の方向に移動され、また、前記表面に直交する第３の方向に前記第１並びに第２の搬送手段を移動させるための手段が設けられている。好ましくは、前記搬送手段の各々は、認識手段を有し、また、前記第１の方向に前記搬送手段の各々に対して各認識手段を移動させるための手段が設けられている。前記各認識手段は、カメラで構成され得る。好ましくは、前記第１の方向での前記表面の位置を調節するための手段が設けられている。
【０００７】
前記搬送手段の各々は、搬送手段が位置される部材を受ける第１の位置と、搬送手段が前記表面の上方に位置される第２の位置との間で、第２の方向に移動するようになっている。前記搬送手段の各々は、所望の形態に配置される複数の部材を搬送するようになっている。この装置は、ＢＧＡ基板にフラックスの小滴とソルダーボールとを搬送するのに特に適している。
【０００８】
他の広い態様から見れば、本発明は、
（ａ）基板を供給並びに支持し、第１の方向に移動可能な手段と、
（ｂ）この基板にフラックスの小滴を搬送するための第１の搬送手段と、
（ｃ）前記基板にソルダーボールを搬送するための第２の搬送手段と、
（ｄ）前記搬送手段の少なくとも一方に設けられ、前記基板のアラインメントマークの位置を認識並びに検出するための手段と、
（ｅ）前記アラインメントマークの位置に応じて、前記基板に対して、前記第１並びに第２の搬送手段の位置を調節する手段とを具備し、前記第１並びに第２の搬送手段は、前記第１の方向で単一の位置に固定され、また、この第１の方向とは直交する第２の方向に互いに独立して第１並びに第２の搬送手段を移動させる手段が設けられており、さらに、
（ｆ）前記第１の方向に前記搬送手段の各々に対して各認識手段の位置を調節する手段を具備する、ボール・グリッド・アレイの基板にフラックスの小滴とソルダーボールとを配置するための装置が提供される。
【０００９】
さらなる広い態様から見れば、本発明は、
（ａ）受ける位置へと第１の方向に表面を供給する工程と、
（ｂ）前記第１の方向を横切る第２の方向に第１の搬送手段を移動させることにより、前記表面の上方に第１の部材を搬送する工程と、
（ｃ）前記第１の方向を横切る第２の方向に第２の搬送手段を移動させることにより、前記表面の上方に第２の部材を搬送する工程と、
（ｄ）前記表面のアラインメントマークの位置を認識並びに検出する工程と、
（ｅ）前記アラインメントマークの位置に応じて、前記表面に対して、前記第１並びに第２の搬送手段の位置を調節する工程と、
（ｆ）前記表面に直交する第３の方向に前記第１の搬送手段を移動させる工程と、
（ｇ）前記表面に直交する第３の方向に前記第２の搬送手段を移動させる工程と、を具備する表面に少なくとも２つの部材を位置させる方法を提供する。
【００１０】
好ましくは、前記搬送手段の位置は、第２の方向と、前記第３の方向に平行な軸を中心とする回転方向とで、必要に応じて調節される。また、前記表面の位置は、第１の方向で調節される。
【００１１】
好ましくは、前記工程（ｄ）は、前記搬送手段の少なくとも一方に設けられた認識手段によりなされる。
例えば、前記認識手段は、一方の搬送手段にの設けられ得る。そして、前記工程（ｄ）は、前記搬送手段に設けられた認識手段が前記表面の第１のアラインメントマークを認識するまで、前記第２の方向に搬送手段の一方を移動させ、さらに，この搬送手段を第２の方向に移動させ、そして、第２のアラインメントマークが認識されるまで、この搬送手段に対して第１の方向に認識手段を移動させることによりなされる。
【００１２】
代わって、前記認識手段は、両方の搬送手段に夫々設けられ得る。そして、前記工程（ｄ）は、前記第１の搬送手段に形成された認識手段を第１の方向に対して予め位置付け、この第１の搬送手段の認識手段が前記表面の第１のアラインメントマークを認識するまで、第１の搬送手段を第２の方向に移動させ、そして、第２の搬送手段に形成された認識手段を第１の方向に対して予め位置付け、この第２の搬送手段の認識手段が前記表面の第２のアラインメントマークを認識するまで、第２の搬送手段を第２の方向に移動させることにより、果たされる。
この方法は、ボール・グリッド・アレイの基板の上にフラックスの小滴とソルダーボールとを位置させるのに特に適している。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１には、本発明の好ましい実施の形態に係わる装置が示されている。この装置は、主要構成部材として、上にＢＧＡ基板２を支持するためのＢＧＡ基板支持体１と、ボールピックヘッド３と、フラックスピックヘッド４とを有する。この支持体１は、モータ５によってＸ軸に沿って駆動されるようになっており、この結果、ＢＧＡ基板２が、Ｘ軸に沿って移動され得る。このＸ軸は、ほぼ長方形のＢＧＡ基板２の長軸と一致する。
【００１４】
前記ボールピックヘッド３とフラックスピックヘッド４とは、前記Ｘ軸に直交するＹ軸に沿って延びた共通の横断部材６に装着されている。このＹ軸は、矩形のＢＧＡ基板２の横方向の短軸と一致する。これらヘッド３，４は、夫々のＹ軸モータによって、Ｙ軸の方向に前記横断部材６に沿って前後に移動され得る。ボールピックヘッドのＹ軸モータ７が図１に示され、また、フラックスピックヘッドのための対応するＹ軸モータ８が、図１には示されていないが、図２に示されている。
【００１５】
前記ボールピックヘッド３とフラックスピックヘッド４との両者は、また、夫々のＺ軸モータ９，１０によりＺ方向に移動されるようになっている。この結果、これらピックヘッド３，４は、ＢＧＡ基板２に対して上下に移動され得る。最後に、両ピックヘッド３，４は、また、夫々のΘ軸モータ１１，１２によりΘ軸を中心として回転されるようになっている。これらモータ１１，１２は、図１で矢印により示されるようにΘ軸を中心としてギア（図示せず）を介して、ピックヘッド３，４を回転させるように、駆動する。また、ボールピックヘッド３とフラックスピックヘッド４とは、ＢＧＡ基板２に向けられたカメラ１３，１４を夫々有する。これらカメラ１３，１４は、これらのピックヘッド３，４に対して、Ｘ軸に沿って移動するようになっている。これらカメラ１３，１４は、以下に説明されるようなアラインメント処理のために使用される。本発明の好ましい実施の形態の装置の動作が以下に説明される。
【００１６】
フラックス小滴とソルダーボールとをＢＧＡ基板２の上に位置させる前に、カメラ１３，１４は、この基板２の上方でピックヘッド３，４をアラインメントさせるアラインメント技術で使用される。これを果たす１つの方法が、図２並びに３に示されている。ＢＧＡ基板２には、この基板２の対角線上の対向する角部に１対のアラインメントマーク１５が設けられている。前記ピックヘッド３，４の一方が、このピックヘッドに設けられたカメラが基板２に設けられた一方のアラインメントマークを認識するような位置に移動される。そして、このカメラが第２のアラインメントマークを認識するまで、このカメラは、Ｘ軸に沿って移動すると共に、このピックヘッドは、Ｙ軸に沿って移動される。そして、カメラが両方のアラインメントマークを認識すると、基板の位置が計算され得、これらピックヘッドは、Ｙ並びにΘ軸での必要な調節をすることにより、基板に対してアラインメントされ得る。
【００１７】
上記とは異なるアラインメント技術は、カメラ集合体１３，１４が基板上の対応するアラインメントマークを認識できるように、ピックヘッド３，４の一方がＹ方向に移動し、これに対応したカメラ１３，１４がＸ方向に予め位置されることである。この第１のアラインメントマークの認識と同時もしくは後に、ピックヘッド３，４の他方が、これに対応したカメラが第２のアラインメントマークを認識するようにＸ方向に予め位置される状態で、Ｙ方向に移動される。このようにして、アラインメント処理は、各々が２つのアラインメントマークの各々を認識する、２つのピックヘッド３，４間で分けられている。２つのカメラ１３，１４からの情報に基づいて、ヘッドに対する基板の位置が計算され得る。この異なるアラインメント技術は、２つのカメラ１３，１４の移動時間並びに距離が、これらカメラがＸ方向に対して予め位置されているために、減じられる効果を有する。このＸ方向に対しての予めの位置付けは、同じ形式のＢＧＡ基板上のアラインメントマークの位置が、基板ごとに非常に近いために、可能である。
【００１８】
動作のシーケンスが図４ないし７を参照して以下に説明される。最初に図４を参照して、ボールピックヘッド３は、これに対応したカメラ１３がＢＧＡ基板の第１のアラインメントマークの直接上方に位置するようなＹ方向の所定位置に移動される。このボールピックヘッド３の移動の前に、ボールピックヘッド３のカメラ１３は、これが第１のアラインメントマークに対してＸ方向でアラインメントされているように、Ｘ方向に対して予め位置されている。かくして、このカメラ１３は、第１のアラインメントマークを認識し、このアラインメントマークの位置情報を制御装置（図示せず）に供給する。そして、ボールピックヘッド３は、ＢＧＡ基板２からボール供給ユニット２０へとＹ方向に移動される。このユニット２０で、ボールピックヘッド３は、この分野で知られている、かくしてここでは記載していない方法で、ソルダーボールの供給物を集める。
【００１９】
ボールピックヘッド３がボール供給ユニット２０からソルダーボールを集めている間に、フラックス小滴を支持しているフラックスピックヘッド４は、これのカメラ１４が第２のアラインメントマークの直接上方に位置されるように、ＢＧＡ基板２の直接上方に位置するようにＹ方向に移動される（図５）。このＹ方向の移動の前に、カメラ１４は、これが第２のアラインメントマークに対応するようにＸ軸上で予め位置付けられている。このようにして、第２のアラインメントマークが認識されると、この情報を制御装置に供給する。この結果、ボールピックヘッドのカメラ１３からの情報と一緒になって、基板の位置が決定され得、かくして、フラックスピックヘッド４の位置がＹ方向とΘ方向とで調節され得る。これにより基板支持体は、もし必要であればフラックスピックヘッド４が基板２の上方で適当なアラインメント状態となるようにＸ方向に調節され得る。そして、このフラックスピックヘッド４は、ＢＧＡ基板２の所望の位置にフラックスの小滴を堆積するようにＺ方向で下降される。
【００２０】
基板２へのフラックス小滴の堆積に続いて、フラックスピックヘッド４は、再び上昇され、そして、フラックスステーション２１に向かってＹ方向に基板２から離れるように移動される。そして、このステーションで、フラックスピックヘッド３は、さらなるＢＧＡ基板のための次のサイクルに先立って、さらなるフラックスの小滴を受ける。この間、図７に示されるように、ボールピックヘッド３は、Θ方向でのボールピックヘッドとＸ方向での基板支持体とのアラインメントにより予め得られたアラインメント情報を使用して、ＢＧＡ基板２に対してアラインメントされた位置へとボール供給ステーション２０からＹ方向に移動される。そして、このボールピックヘッド３はＺ方向で下降されてソルダーボールをＢＧＡ基板２上に堆積させる。
【００２１】
処理サイクルでの最終工程は、ボールピックヘッド３が再びＺ方向で上昇されることである。しかし、ボールピックヘッド３は、すぐにはここから離れるようには移動されない。代わって、基板２が、この基板に装着される部品の供給のためにさらなるステーションへとＸ方向に移動され、新たな基板２が、ソルダーボール並びにフラックスの小滴の供給のために準備できた場所に移動される。ボールピックヘッド３は、まだ、新たな基板２の上方となる位置にあるので、ボールピックヘッドは、これがソルダーボールの供給体を集めるようにＹ方向に移動される前に、カメラ１３を使用して最初のアラインメント処理がなされ得、再びサイクルが開始する。
【００２２】
【発明の効果】
本発明は、幾つかの効果を有するよに見られる。
第１に、フラックスとソルダーボールとの両方の搬送処理が、基板が単一の支持体の上に位置されている間に、なされ得る。この結果、２つの動作のための別々の支持体のためのコストがかからない。第２に、全処理サイクルは、フラックスとソルダーボールの両方の供給動作に対して、単一のアラインメント動作のみをすることにより、短くされ得る。第３に、両カメラは、アラインメント動作をするときに、Ｘ方向に動かされ得るので、両ピックヘッド自身が、Ｘ方向に移動する必要がない。このことは、これらカメラが、ピックヘッドよりもかなり軽いので、機構を簡単にできる。最後に、基板支持体は、２つのカメラから得られるアラインメント情報を使用して、位置的アラインメントを果たすときに、Ｘ方向に移動可能であるので、ピックヘッド自身は、位置的アラインメントを果たすためにＸ方向に移動可能とする必要がない。この結果、ピックヘッドの機構がさらに簡単になる。
【００２３】
本発明はＢＧＡ基板上にソルダーボールとフラックスの小滴を位置させるように参照して説明されたが、本発明は、これに限定されるものではなく、２セットの部材もしくは対象物が一表面に精度良く配置されなければならないどのような場合に、例えば、ＩＣ並びに他の部品をＢＧＡもしくは他の半導体パッケージに位置させるための表面装着システムにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係わる装置の斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す装置の平面図である。
【図３】図３は、図１に示す装置の側面図である。
【図４】図４は、ボールピックヘッドの移動を説明するための、図１に示す装置の平面図である。
【図５】図５は、フラックスピックヘッドの移動を説明するための、図１に示す装置の平面図である。
【図６】図６は、ボール・グリッド・アレイ基板の上方にフラックスピックヘッドが位置している状態を示す斜視図である。
【図７】図７は、図６と類似しているが、ボール・グリッド・アレイ基板の上方にボールピックヘッドが位置している状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…基板支持体、２…ＢＧＡ基板、３…ボールピックヘッド、４…フラックスピックヘッド、１３，１４…カメラ。
【図１】
0003771424.tif 000002
【図２】
0003771424.tif 000003
【図３】
0003771424.tif 000004
【図４】
0003771424.tif 000005
【図５】
0003771424.tif 000006
【図６】
0003771424.tif 000007
【図７】
0003771424.tif 000008