(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（イ）エア圧源に接続される共通通路と、この共通通路から分岐したワーク側分岐通路およびマスタ側分岐通路と、
（ロ）上記ワーク側，マスタ側の分岐通路にそれぞれ設けられた一対の開閉弁と、
（ハ）上記ワーク側の分岐通路において、上記開閉弁の下流側に接続されたワークカプセルと、
（ニ）上記開閉弁の下流側においてワーク側，マスタ側の分岐通路間の差圧を検出する差圧センサと、
（ホ）上記ワーク側，マスタ側の分岐通路において上記開閉弁の下流側にそれぞれ設けられた一対の容積変更手段と、
を備えたエアリークテスト装置を用いて、測定モードと判別値設定モードを実行し、
上記測定モードでは、漏れを検査すべきワークをワークカプセルに収容した状態で、エア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に一対の開閉弁を閉じ、この状態での差圧センサの検出差圧と微小漏れ判別値とを比較することによりワークの微小漏れの有無を判定し、次に一対の容積変更手段を動作させることによりワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を大漏れ判別値と比較することによりワークの大漏れの有無を判定し、
上記判別値設定モードでは、
（ｉ）ワークカプセルに漏れの無い良品ワークを収容して閉じた状態でエア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に上記一対の開閉弁を閉じ、次に一対の容積変更手段を動作させることによりワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を第１差圧データとして得、
（ii）ワークカプセルに大漏れが生じる不良品ワークを収容して閉じた状態でエア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に上記一対の開閉弁を閉じ、次に一対の容積変更手段を動作させることによりワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を第２差圧データとして得、
（iii）上記第１差圧データと第２差圧データとの間の値を上記大漏れ判別値として設定することを特徴とするエアリークテスト方法。
【請求項２】
上記マスタ側の分岐通路において上記開閉弁の下流側にマスタカプセルが接続されており、上記測定モードおよび判別値設定モードでは、このマスタカプセルに、共通の漏れの無い良品ワークをマスタ部材として収容することを特徴とする請求項１に記載のエアリークテスト方法。
【請求項３】
上記判別値設定モードでは、複数の良品ワークについて第１差圧データの平均値を得るととともに、複数の不良品ワークについて第２差圧データの平均値を得、これら平均値に基づいて上記大漏れ判別値を設定することを特徴とする請求項１または２に記載のエアリークテスト方法。
【請求項４】
上記大漏れ判別値と第１差圧データの平均値との差と、大漏れ判別値と第２差圧データの平均値との差が、所定比率となるように大漏れ判別値を設定することを特徴とする請求項３に記載のエアリークテスト方法。
【請求項５】
上記測定モードでワークの大漏れ無しと判定された場合の検出差圧を第１差圧データとし、ワークの大漏れ有りと判定された場合の検出差圧を第２差圧データとし、これら第１差圧データと第２差圧データに基づき、上記大漏れ判別値を更新することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のエアリークテスト方法。
【請求項６】
（イ）エア圧源に接続される共通通路と、この共通通路から分岐したワーク側分岐通路およびマスタ側分岐通路と、
（ロ）上記ワーク側，マスタ側の分岐通路にそれぞれ設けられた一対の開閉弁と、（ハ）上記ワーク側の分岐通路において、上記開閉弁の下流側に接続されたワークカプセルと、
（ニ）上記開閉弁の下流側においてワーク側，マスタ側の分岐通路間の差圧を検出する差圧センサと、
（ホ）上記ワーク側，マスタ側の分岐通路において上記開閉弁の下流側にそれぞれ設けられた一対の容積変更手段と、
（ヘ）測定モードにおいて、漏れを検査すべきワークをワークカプセルに収容した状態で、エア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に一対の開閉弁を閉じ、この状態での差圧センサの検出差圧と微小漏れ判別値とを比較することによりワークの微小漏れの有無を判定し、次に一対の容積変更手段を動作することにより、ワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を大漏れ判別値と比較することにより、ワークの大漏れの有無を判定する制御部と、
を備えたエアリークテスト装置において、
上記制御部はさらに判別値設定モードを実行し、この判別値設定モードでは、
（ｉ）ワークカプセルに漏れの無い良品ワークを収容して閉じた状態で、エア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に上記一対の開閉弁を閉じ、次に一対の容積変更手段を駆動することによりワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を第１差圧データとして得、
（ii）ワークカプセルに大漏れが生じる不良品ワークを収容して閉じた状態で、エア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に上記一対の開閉弁を閉じ、次に一対の容積変更手段を駆動することによりワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を第２差圧データとして得、
（iii）上記第１差圧データと第２差圧データとの間の値を上記大漏れ判別値として設定，記憶することを特徴とするエアリークテスト装置。
【請求項７】
さらに表示部を有し、上記制御部では、測定モードでの大漏れ検出の際の検出差圧から上記大漏れ判別値を差し引き、この値を表示部に表示することを特徴とする請求項６に記載のエアリークテスト装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、密封容器の洩れを検査するのに好適なエアリークテスト装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
密封容器、特に小容積の密封容器であるワークの洩れを高精度で検出する差圧式エアリークテスト装置では、エア通路が、エア圧源に接続される共通通路と、この共通通路から分岐したワーク側分岐通路およびマスタ側分岐通路とを備えている。上記ワーク側分岐通路の下流端には、洩れの有無を検査すべきワークを収納するワークカプセルが接続され、上記マスタ側分岐通路の下流端には、漏れの無い良品ワーク（検査すべきワークと設計上等しい製品、以下同じ）をマスタ部材として収容するマスタカプセルが接続されている。上記共通通路には三方弁が設けられ、上記ワーク側，マスタ側分岐通路にはそれぞれ開閉弁が設けられている。この開閉弁の下流側においてワーク側，マスタ側の分岐通路間の差圧が差圧センサで検出されるようになっている。
【０００３】
制御部は、測定モードにおいて、上記一対の開閉弁の開き状態で三方弁を駆動することにより、ワークカプセルとマスタカプセルにエア圧源のテスト圧を供給し、次に開閉弁を閉じ、この状態での差圧センサの検出差圧を判別値と比較することにより、ワークの漏れの有無を判定する。
【０００４】
上記装置では、ワークに微小な傷があって、エアが時間をかけてワーク内に入り込む場合には、微小漏れとして検出することができるが、大きな傷があった場合には、漏れ無しと判断してしまう。上記テスト圧を供給した時に一気にワーク内にテスト圧のエアが入り込み、その後で開閉弁を閉じた状態では、ワーク側閉鎖系の圧力が低下せず、差圧が生じないからである。
【０００５】
そこで、微小漏れ（微小な傷に対応する漏れ）のみならず大きな漏れ（大きな傷に対応する漏れ）をも検出する装置が開発されている。特開平１０−６２２９６号公報に開示された装置では、ワーク側、マスタ側の分岐通路の上記開閉弁より下流側に、それぞれ容積変更手段が設けられている。この装置では、第１開閉弁を閉じて検出差圧を微小漏れ判別値と比較することにより微小漏れの有無を判定した後に、容積変更手段を駆動させてワーク側，マスタ側の分岐通路の容積を等量変更させる。この状態での差圧センサの検出差圧を大漏れ判別値と比較することにより、ワークの大漏れの有無を判定する。ワーク側の閉鎖系とマスタ側の閉鎖系の容積は、容積変更前も、容積変更後も等しいため、ワークに大漏れが無ければ、差圧センサで検出される差圧はゼロである。ワークに大漏れがあれば、容積変更前にワーク内に入り込んだテスト圧に起因して、ワーク側とマスタ側で差圧が生じる。
【０００６】
上記装置では、容積変更前のワーク側、マスタ側の閉鎖系の容積が、容積変更前も容積変更後も等しいことが求められる。しかし、製造誤差等により、これらワーク側とマスタ側の閉鎖系の容積を高精度で一致させるのが困難であり、漏れ判定の信頼性を損なう可能性があった。
【０００７】
特開平８−７５５９２号公報のエアリークテスト装置では、制御部は、エアリークテストに先だって、補正値設定モードを実行するようになっている。すなわち、ワークカプセルとマスタカプセルに良品ワークを収容した状態で、容積変更手段を駆動してワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更させた後に、差圧を検出し、この検出差圧を補正値として記憶する。そして、それ以後のエアリークテストにおいて、容積変更後の検出差圧からこの補正値を差し引くことにより、ワーク側閉鎖系，マスタ側閉鎖系の容積差に影響されない差圧値を算出し、この差圧値を大漏れ判別値と比較することにより、大漏れ判定の精度を上げようとしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記特開平８−７５５９２号公報では、上記補正値を設定する他に、ワークに対応して上記大漏れ判別値をも設定しなければならず作業が煩雑であった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のエアリークテスト方法では、
（イ）エア圧源に接続される共通通路と、この共通通路から分岐したワーク側分岐通路およびマスタ側分岐通路と、
（ロ）上記ワーク側，マスタ側の分岐通路にそれぞれ設けられた一対の開閉弁と、
（ハ）上記ワーク側の分岐通路において、上記開閉弁の下流側に接続されたワークカプセルと、
（ニ）上記開閉弁の下流側においてワーク側，マスタ側の分岐通路間の差圧を検出する差圧センサと、
（ホ）上記ワーク側，マスタ側の分岐通路において上記開閉弁の下流側にそれぞれ設けられた一対の容積変更手段と、
を備えたエアリークテスト装置を用いて、測定モードと判別値設定モードを実行し、
上記測定モードでは、漏れを検査すべきワークをワークカプセルに収容した状態で、エア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に一対の開閉弁を閉じ、この状態での差圧センサの検出差圧と微小漏れ判別値とを比較することによりワークの微小漏れの有無を判定し、次に一対の容積変更手段を動作させることによりワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を大漏れ判別値と比較することによりワークの大漏れの有無を判定し、
上記判別値設定モードでは、
（ｉ）ワークカプセルに漏れの無い良品ワークを収容して閉じた状態でエア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に上記一対の開閉弁を閉じ、次に一対の容積変更手段を動作させることによりワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を第１差圧データとして得、
（ii）ワークカプセルに大漏れが生じる不良品ワークを収容して閉じた状態でエア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に上記一対の開閉弁を閉じ、次に一対の容積変更手段を動作させることによりワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を第２差圧データとして得、
（iii）上記第１差圧データと第２差圧データとの間の値を上記大漏れ判別値として設定することを特徴とする。
【００１０】
本発明方法によれば、判別値設定モードで得られた良品ワークの検出差圧（第１差圧データ）と、不良品ワークの検出差圧（第２差圧データ）には、ワーク側閉鎖系，マスタ側閉鎖系の容積誤差に起因した差圧分が含まれている。したがって、この第１，第２差圧データ間の値を大漏れ判別値として設定すれば、この大漏れ判別値にも上記容積誤差分に起因した差圧分が含まれることになる。測定モードでの検出差圧において容積誤差分に起因した差圧分は、この検出差圧を大漏れ検出と比較することにより相殺されるので、高精度の大漏れ検出を行うことができる。
また、上記のように大漏れ判別値は第１，第２差圧データの間の値として設定でき、設定作業を簡略化することができる。
【００１１】
好ましくは、上記マスタ側の分岐通路において上記開閉弁の下流側にマスタカプセルが接続されており、上記測定モードおよび判別値設定モードでは、このマスタカプセルに、共通の漏れの無い良品ワークをマスタ部材として収容する。これにより、マスタカプセルを設けることにより異なる種類のワークのリークテストにも簡単に対応することができる。また、マスタカプセルに収容されるマスタ部材として漏れの無い良品ワークを、測定モード，判別値設定モードに共通に用いるため、この良品ワークの外容積に誤差があっても、この誤差に起因する差圧分が測定モードでの検出差圧および大漏れ判別値の両者に含まれて相殺されるため、より高精度の大漏れ判定を行うことができる。
【００１２】
好ましくは、上記判別値設定モードでは、複数の良品ワークについて第１差圧データの平均値を得るととともに、複数の不良品ワークについて第２差圧データの平均値を得、これら平均値に基づき大漏れ判別値を設定する。これにより、この判別値設定モードで用いられる良品ワーク，不良品ワークの外容積の誤差の影響を排除して、大漏れ判別値を高精度で設定することができる。
【００１３】
より好ましくは、上記大漏れ判別値と第１差圧データの平均値との差と、大漏れ判別値と第２差圧データの平均値との差が、所定比率となるように大漏れ判別値を設定する。これにより、種々のワークの内容積に応じて大漏れ判別値を最適に設定することができる。
【００１４】
上記測定モードでワークの大漏れ無しと判定された場合の検出差圧を第１差圧データとし、ワークの大漏れ有りと判定された場合の検出差圧を第２差圧データとし、これら第１差圧データと第２差圧データに基づき、上記大漏れ判別値を更新する。これにより、ワーク側閉鎖系，マスタ側閉鎖系の容積の経時変化等を加味して大漏れ判別値を設定するので、より高精度の大漏れ判定を行うことができる。
【００１５】
さらに本発明の他の態様では、
（イ）エア圧源に接続される共通通路と、この共通通路から分岐したワーク側分岐通路およびマスタ側分岐通路と、
（ロ）上記ワーク側，マスタ側の分岐通路にそれぞれ設けられた一対の開閉弁と、（ハ）上記ワーク側の分岐通路において、上記開閉弁の下流側に接続されたワークカプセルと、
（ニ）上記開閉弁の下流側においてワーク側，マスタ側の分岐通路間の差圧を検出する差圧センサと、
（ホ）上記ワーク側，マスタ側の分岐通路において上記開閉弁の下流側にそれぞれ設けられた一対の容積変更手段と、
（ヘ）測定モードにおいて、漏れを検査すべきワークをワークカプセルに収容した状態で、エア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に一対の開閉弁を閉じ、この状態での差圧センサの検出差圧と微小漏れ判別値とを比較することによりワークの微小漏れの有無を判定し、次に一対の容積変更手段を動作することにより、ワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を大漏れ判別値と比較することにより、ワークの大漏れの有無を判定する制御部と、
を備えたエアリークテスト装置において、
上記制御部はさらに判別値設定モードを実行し、この判別値設定モードでは、
（ｉ）ワークカプセルに漏れの無い良品ワークを収容して閉じた状態で、エア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に上記一対の開閉弁を閉じ、次に一対の容積変更手段を駆動することによりワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を第１差圧データとして得、
（ii）ワークカプセルに大漏れが生じる不良品ワークを収容して閉じた状態で、エア圧源のテスト圧をワーク側，マスタ側の分岐通路に供給し、次に上記一対の開閉弁を閉じ、次に一対の容積変更手段を駆動することによりワーク側，マスタ側の閉鎖系の容積を等量変更し、この状態での差圧センサの検出差圧を第２差圧データとして得、
（iii）上記第１差圧データと第２差圧データとの間の値を上記大漏れ判別値として設定，記憶する。
【００１６】
本発明装置によれば、判別値設定モードで得られた良品ワークの検出差圧（第１差圧データ）と、不良品ワークの検出差圧（第２差圧データ）には、ワーク側閉鎖系，マスタ側閉鎖系の容積誤差に起因した差圧分が含まれている。したがって、この第１，第２差圧データ間の値を大漏れ判別値として設定すれば、この大漏れ判別値にも上記容積誤差分に起因した差圧分が含まれることになる。測定モードでの検出差圧において容積誤差分に起因した差圧分は、この検出差圧を大漏れ検出と比較することにより相殺されるので、高精度の大漏れ検出を行うことができる。
また、上記のように大漏れ判別値は第１，第２差圧データの間の値として設定でき、ワークに対応して設定せずに済むので作業を簡略化することができる。
【００１７】
本発明装置において、好ましくはさらに表示部を有し、上記制御部では、測定モードでの大漏れ検出の際の検出差圧から上記大漏れ判別値を差し引き、この値を表示部に表示する。作業者は、表示部に表示された差し引き値の極性に基づき、検査されるワークの大漏れの有無を確認することができる。このようにゼロ値を見掛けの大漏れ判別値として表示すれば、ワークの種類が変わっても見掛けの大漏れ判別値を変えなくて済む。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のエアリークテスト装置を図面を参照して説明する。図１に示す第１実施形態のエアリークテスト装置は、エア通路１０を備えている。このエア通路１０は、共通通路１１と、この共通通路１１の下流端に接続されたワーク側分岐通路１２ａとマスタ側分岐通路１２ｂとを有している。共通通路１１の上流端には圧縮エア源１が接続されている。また共通通路１１には、上流側から順にレギュレータ２、三方弁３が設けられている。上記圧縮エア源１とレギュレータ２とで、エア圧源９が構成されている。上記三方弁３は、一対の分岐通路１２ａ，１２ｂをエア圧源９に連通させるテスト圧供給位置と、エア圧源９から遮断して大気に開放させる大気開放位置のいずれかを選択するものであり、オフ状態では大気開放位置にある。
【００１９】
上記分岐通路１２ａ，１２ｂには常開の第１開閉弁４ａ，４ｂがそれぞれ設けられ、下流端には同形状，同容積のワークカプセル５ａ，マスタカプセル５ｂがそれぞれ接続されている。カプセル５ａ、５ｂは開閉可能となっており、検査すべきワークＷ，良品ワークからなるマスタ部材Ｍをそれぞれ密封状態で収容できるようになっている。
【００２０】
第１開閉弁４ａ，４ｂの下流側の分岐通路１２ａ，１２ｂ間には、導入通路１５ａ、１５ｂを介して差圧センサ６が接続されている。
【００２１】
また、第１開閉弁４ａの下流側におけるワーク側分岐通路１２ａには、容積変更手段２０ａが設けられている。この容積変更手段２０ａは、分岐通路１２ａに一端が接続された補助通路２１ａと、この補助通路２１ａの中途部に設けられた常開の第２開閉弁２２ａと、その他端（下流端）に接続された所定容積のタンク２３ａとを有している。同様にして、第１開閉弁４ｂの下流側におけるマスタ側分岐通路１２ｂには、補助通路２１ｂ，第２開閉弁２２ｂ，タンク２３ｂからなる容積変更手段２０ｂが設けられている。なお、一対のタンク２３ａ，２３ｂは同容積であり、例えばマスタ部材Ｍを収容した状態のマスタカプセル５ｂとほぼ同程度となっている。
【００２２】
上記第２開閉弁２２ａが閉じた状態（容積変更動作前の状態）でのワーク側閉鎖系の容積（すなわち、第１開閉弁４ａの下流側の分岐通路１２ａの容積と、ワークカプセル５ａの容積と、第２開閉弁２２ａの上流側の補助通路２１ａの容積とを合計した容積）と、第２開閉弁２２ｂが閉じた状態（容積変更動作前の状態）でのマスタ側閉鎖系の容積（すなわち、第１開閉弁４ｂの下流側の分岐通路１２ｂの容積と、ワークカプセル５ｂの容積と、第２開閉弁２２ｂの上流側の補助通路２１ｂの容積とを合計した容積）とは、設計上互いに等しい。
【００２３】
また、第２開閉弁２２ａが開いた状態（容積変更動作後の状態）でのワーク側閉鎖系の容積（すなわち上記容積変更動作前のワーク側閉鎖系の容積に、第２開閉弁２２ａの下流側の補助通路２１ａの容積とタンク２３ａの容積を加えた容積）と、第２開閉弁２２ｂが開いた状態（容積変更動作後の状態）でのマスタ側閉鎖系の容積（すなわち上記容積変更動作前のマスタ側閉鎖系の容積に、第２開閉弁２２ｂの下流側の補助通路２１ｂの容積とタンク２３ｂの容積を加えた容積）とは、設計上互いに等しい。
【００２４】
さらに、エアリークテスト装置は、上述した各種の弁３，４ａ，４ｂ，２２ａ，２２ｂおよびカプセル５ａ，５ｂを制御するための制御部５０と、表示部６０とを備えている。
【００２５】
次に、上記構成をなすエアリークテスト装置の作用（エアリークテスト方法）を説明する。まず、制御部５０で通常行われる測定モードについて説明する。ワークカプセル５ａは検査すべきワークＷを収容した状態で閉じられ、マスタカプセル５ｂは良品ワークであるマスタ部材Ｍを収容した状態で閉じられる。第１開閉弁４ａ，４ｂが開いた状態で、第２開閉弁２２ａ，２２ｂを閉じた後、三方弁３をオンして、エア圧源９のテスト圧を分岐通路１２ａ，１２ｂに供給する。この後、第１開閉弁４ａ，４ｂを閉じて差圧センサ６の検出差圧を所定時間監視する。この検出差圧がゼロのまま変化しないか微小漏れ判別値以下の場合には、微小漏れが無いと判断する。検出差圧が微小漏れ判別値を越えた場合には、微小漏れ有りと判断する。
【００２６】
本実施形態での上記微小漏れ判定の詳細を説明する。本実施形態では、検出差圧は、ワーク側閉鎖系の圧力がマスタ側閉鎖系の圧力より低い時にマイナス出力となり、高い時にプラス出力となる。ワークＷに微小漏れがある場合には、検出差圧はマイナス出力となる。制御部５０では、この検出差圧を反転させ、この反転値から上記微小漏れ判別値（プラスの極性を有する）を差し引き、この差し引き値がプラスの場合には微小漏れ有りと判断し、マイナスの場合には上記微小漏れ無しと判断する。
上記差し引き値は表示部６０にも数値表示され、検査者はこの表示部６０で表示された数値の極性で、微小漏れの有無を確認することができる。
なお、本実施形態では、検査者の確認を容易にするために上記演算を行ったが、単に同じ極性を有する検出差圧と微小漏れ判別値を比較して微小漏れを判定してもよい。
【００２７】
微小漏れ無しと判断した場合、制御部５０は第２開閉弁２２ａ，２２ｂを開く。ワーク側の第２開閉弁２２ａが開くと、ワーク側閉鎖系の圧力がタンク２３ａへ逃げる。すなわち、ワーク側の閉鎖系は、第２開閉弁２２ａが閉じた状態の容積Ｖｗから、第２開閉弁２２ａの下流側の補助通路２１ａとタンク２３ａの容積分ΔＶｗだけが増大し、これに伴い、ワーク側閉鎖系の圧力は上記圧力Ｐｔから圧力Ｐｗまで低下する。同様に、マスタ側の第２開閉弁２２ｂが開くと、マスタ側の閉鎖系は、第２開閉弁２２ｂが閉じた状態の容積Ｖｍから、第２開閉弁２２ｂの下流側の補助通路２１ｂとタンク２３ｂの容積分ΔＶｍだけ容積が増大し、これに伴い、マスタ側閉鎖系の圧力も圧力Ｐｔから圧力Ｐｍまで低下する。
【００２８】
上記のようにワーク側閉鎖系とマスタ側閉鎖系の容積を等量変更した後、差圧センサ６での検出差圧を大漏れ判別値と比較して大漏れの有無を判断する。ワークＷに大漏れがある場合には、ワークＷの内部は容積変更前に既にテスト圧となっているため、このワークＷの内容積分だけワーク側閉鎖系の内容積が実質的に増え、容積変更後の圧力低下がマスタ側閉鎖系に比べて小さい。この差圧が差圧センサ６で検出されるのである。検出差圧が大漏れ判別値未満の場合には大漏れ無しと判断し、大漏れ判別値を越えた場合には、大漏れ有りと判断する。
【００２９】
本実施形態における上記大漏れ判定の詳細を説明する。ワークＷに大漏れがある場合には、本実施形態では検出差圧はプラスの出力となる。制御部５０では、この検出差圧から上記大漏れ判別値（プラスの極性を有する）を差し引き、この差し引き値がプラスの場合には大漏れ有りと判断し、マイナスの場合には上記大漏れ無しと判断する。この差し引き値は表示部６０にも表示され、検査者はこの表示部６０で表示された数値の極性で、微小漏れの有無を容易に確認することができる。
【００３０】
制御部５０は、上記漏れ判断を終了した後、第１開閉弁４ａ，４ｂを開くとともに三方弁３を大気開放位置にすることにより、この三方弁３の下流側のエア通路１０を全て大気開放にする。
微小漏れや大漏れが無いと判断した時には、表示部６０のランプ等を制御して良品表示を行い、漏れがある場合には不良品表示を行う。
【００３１】
前述したように、上記ワーク側閉鎖系とマスタ側閉鎖系の容積が設計通りに等しく、ワークＷに大漏れが無い場合には、容積変更後の差圧はゼロとなるはずである。しかし、ワークＷに大漏れが無くても、上記ワーク側閉鎖系とマスタ側閉鎖系の容積変更前後の容積が製造誤差等により互いに異なっていると、検出差圧がゼロにならない。そこで、本実施形態では、大漏れ判別値の設定の仕方を工夫することにより、この誤差を克服している。
【００３２】
以下、制御部５０で実施される大漏れ判別値を設定するためのモードについて詳述する。この判別値設定モードは上述した測定モードに先だって実行される。まず、多数の漏れの無い良品ワークと多数の大漏れが生じる不良品ワークを用意する。これらワークの良品，不良品の識別は予め行われている。
【００３３】
用意したワーク毎に判別値設定モードを実行する。詳述すると、ワークＷをワークカプセル５ａに収容し、良品ワークとしてのマスタ部材Ｍをマスタカプセル５ｂに収容した状態で、制御部５０は、これらカプセル５ａ，５ｂを閉じ、その後、測定モードと同様にして弁３、４ａ，４ｂ，２２ａ，２２ｂを動作させる。詳述すると、第１開閉弁４ａ，４ｂを開いたままで第２開閉弁２２ａ，２２ｂを閉じ、この後で三方弁３をオンすることにより、エア圧源９のテスト圧を、分岐通路１２ａ，１２ｂを介してカプセル５ａ，５ｂに供給する。次に、第１開閉弁４ａ，４ｂを閉じることにより、第１開閉弁４ａ，４ｂの下流側の分岐通路１２ａ，１２ｂおよびカプセル５ａ，５ｂを閉鎖系にする。次に、第２開閉弁２２ａ，２２ｂを開いて、ワーク側閉鎖系とマスタ側閉鎖系の容積を変更する。
【００３４】
上記容積変更後に、差圧センサ６の検出差圧を読み込む。検出差圧を読み込んだ後は、弁４ａ，４ｂ，２２ａ，２２ｂを開き、弁３を大気開放して、１回分の判別値設定モードを終了する。
【００３５】
上記判別値設定モードを、ワークカプセル５ａに収容されるワークＷとして、多数の良品ワークについて繰り返し行うことにより、図２に示すように良品ワークについての検出差圧（以下、第１差圧データと称す）の分布が得られる。また、上記判別値設定モードを、ワークＷとして多数の不良品ワークについて繰り返し行うことにより、不良品ワークについての検出差圧（以下、第２差圧データと称す）の分布も得られる。
【００３６】
制御部５０では、これら第１，第２差圧データの分布の中心値Ｄ１，Ｄ２（平均値）を演算する。そして、大漏れ判別値Ｄｘと第１基準値Ｄ１との差Ａと、大漏れ判別値Ｄｘと第１基準値Ｄ２との差Ｂが、特定の比率（本実施形態ではＡ＜Ｂ）となるように、大漏れ判別値Ｄｘを設定し記憶する。そして、この大漏れ判別値Ｄｘを以後の測定モードで用いる。
【００３７】
上記のように、良品ワークの検出差圧と不良品ワークの検出差圧との間に大漏れ判別値Ｄｘを設定したので、この大漏れ判別値Ｄｘは測定モードでの大漏れ検査時の検出差圧と同様に、ワーク側，マスタ側の閉鎖系の内容積の誤差により生じる差圧分を含んでおり、この検出差圧と大漏れ判別値Ｄｘとを比較することにより、上記容積誤差に起因した差圧分を相殺でき、この誤差に起因した大漏れ判定の精度低下を回避できる。また、大漏れ判別値を、判別値設定モードにより設定でき、ワークに対応して独自に設定する手間を省くことができる。
【００３８】
また、本実施形態では、複数の良品ワークの検出差圧の平均値Ｄ１と複数の不良品ワークの検出差圧の平均値Ｄ２から、大漏れ判別値Ｄｘを演算しているので、これらワークの外容積の誤差に左右されずに、高精度に大漏れ判別値Ｄｘを設定することができる。しかも、マスタ部材Ｍとなる良品ワークは、これら複数回の判別値設定モードにおいて共通であり、その後の測定モードにもそのまま用いられるため、この良品ワークの外容積の誤差に左右されずに、高精度に大漏れ判別値Ｄｘを設定することができるとともに、高精度に大漏れ判定を行うことができる。
【００３９】
また、本実施形態では、大漏れ判別値Ｄｘと第１基準値Ｄ１との差Ａと、大漏れ判別値Ｄｘと第１基準値Ｄ２との差Ｂが、特定の比率（本実施形態ではＡ＜Ｂ）となるように、大漏れ判別値Ｄｘを設定するので、検査すべきワークの種類が変更されても、その内容積に応じて最適の大漏れ判別値Ｄｘを設定することができる。
【００４０】
測定モードに戻って説明を追加するが、上述したように測定モードでは、検出差圧を大漏れ判別値Ｄｘで差し引いた値（以下、表示差圧値）が、プラスの場合を不良品と判断し、マイナスの場合を良品と判断する。すなわち、見かけ上の大漏れ判別値（表示判別値）をゼロとしている。このようにゼロ値を見掛けの大漏れ判別値として表示すれば、ワークの種類が変わっても見掛けの大漏れ判別値を変えなくて済む。
図３に示すように、良品の場合の表示差圧値の平均値と表示判別値の差は、判別値設定モードの場合の差Ａとほぼ等しくなるはずである。同様に、不良品の場合の表示差圧値の平均値と表示判別値の差は、判別値設定モードの場合の差Ｂとほぼ等しくなるはずである。
【００４１】
上記測定モードにおいて、表示差圧値がマイナスの場合に良品と判断したが、閾値「−Ｔｈ」を下回る場合には、マスタ側閉鎖系の故障と判断する。例えばマスタ部材が破損して大漏れが生じる場合には、この閾値「―Ｔｈ」よりさらにＢだけ下回った値の近傍に表示差圧値が表れるはずである。上記閾値「―Ｔｈ」は、例えば上記差Ａの２倍に設定される。
【００４２】
次に、本発明の第２実施形態について図２を参照しながら説明する。この実施形態において、第１実施形態に対応する構成には図中同番号を付してその説明を省略する。また、制御部５０，表示部６０は、図示を省略する。第２実施形態は、第１実施形態におけるマスタカプセル５ｂの代わりに、密閉容器３０がマスタ側分岐通路１２ｂの下流端に接続されており、マスタ側分岐通路１２ｂは第１開閉弁４ｂの下流側で閉塞されている。この密閉容器３０は、上記ワークカプセル５ａの内容積からワークＷの外容積を差し引いた値とほぼ等しい内容積を有している。その結果、マスタ側の閉鎖系の容積はワーク側の閉鎖系の容積とほぼ等しくなる。ここで、「ほぼ等しく」は、設計上等しい場合のみならず、外容積が異なる複数種のワークをテストすることを想定して、許容範囲内で若干の差異がある場合も含む。なお、上記密閉容器３０の代わりに、分岐通路１２ｂの配管を延長させて下流端を閉じてもよい。
【００４３】
上記第２実施形態において、制御部５０で実行される測定モードおよび判別値設定モードは、第１実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【００４４】
上記第１，第２実施形態において、判別値設定モードで算出した判別値を、測定モードを繰り返す過程で、更新してもよい。例えば、測定モードで大漏れ無しの良品と判定される度にその検出差圧（第１差圧データ）を記憶し、大漏れ有りの不良品と判定される度にその検出差圧（第２差圧データ）を記憶し、これら第１，第２差圧データを判別値設定モードで演算した第１，第２差圧データまたは、前回の測定モードで更新した第１，第２差圧データに加味して、これら差圧データを更新し、これら差圧データに基づいて大漏れ判別値を更新する。この場合、移動平均，荷重平均，単純平均等で、上記差圧データを演算する。これにより、装置や環境の経時変化等に対応してより一層正確な大漏れ判別値を得ることができる。
【００４５】
上記第１，第２実施形態において、判別値設定モードでは、ワークの良品，不良品を予め認識せず、検出差圧の分布をワークの良品分布，不良品分布に識別し、これら分布に基づいて上記実施形態と同様にして大漏れ判別値を設定してもよい。この場合、判別値設定モードは測定モードと同様の制御を行ってもよい。また、始めから測定モードを多数回実行して、そのデータに基づき大漏れ判別値を設定してもよい。この場合、初期の測定モードが判別値設定モードとなる。
【００４６】
大漏れ判別値モードにおいて良品ワーク，不良品ワークについての差圧データは、分布を形成するほど多数でなくてもよい。例えば数個の良品ワーク，不良品について判別値設定モードを実行し、その検出差圧の単純平均から第１，第２の差圧データを得てもよい。さらに極端な例では、１個の良品ワーク，１個の不良品ワークについて判別値設定モードを実行して第１，第２の差圧データを得てもよい。データが少ない場合には、上述したように測定モードで大漏れ判別値を更新することにより、精度を高めることができる。
【００４７】
表示差圧値は、良品の場合にプラスとなり不良品の場合にマイナスとなってもよい。判別値設定モードにおいて、良品ワーク，不良品ワークの測定順序は逆でもよい。上記実施形態の容積変更手段は、容積を減少させ、分岐通路の圧力を高めるものでもよい。テスト圧は、負圧であってもよい。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、良品ワークと不良品ワークでの検出差圧から大漏れ判別値を得るようにしたので、ワーク側閉鎖系，マスタ側閉鎖系の容積誤差に拘わらず、高精度の大漏れ判定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【図２】判別値設定モードを実行している際の検出差圧のデータ分布を示す図である。
【図３】測定モードを実行している際の検出差圧のデータ分布を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【符号の説明】
４ａ，４ｂ  第１開閉弁（開閉弁）
５ａ  ワークカプセル
５ｂ  マスタカプセル
６  差圧センサ
９  エア圧源
１１  共通通路
１２ａ  ワーク側分岐通路
１２ｂ  マスタ側分岐通路
２０ａ，２０ｂ  容積変更手段
５０  制御部
６０  表示部
Ｗ  ワーク
Ｍ  マスタ部材（良品ワーク）
【図１】
0003771167.tif 000002
【図２】
0003771167.tif 000003
【図３】
0003771167.tif 000004
【図４】
0003771167.tif 000005