(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と、
前記振動子の振動運動の少なくとも一部を伝達され、所定の回転軸の回りに回転する回転部材と、
前記振動子を貫通し、前記回転部材を支持する軸部材と、
前記回転部材と一体に回転し、前記回転部材の回転運動を外部に伝達する出力取り出し部と
を備える振動アクチュエータにおいて、
前記出力取り出し部は、前記回転部材の前記振動子と接する面とは反対側に着脱可能に設けられ、外部から検出可能な電気的、磁気的又は光学的な特性が異なる２以上の領域が、周方向に配列されている
ことを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記軸部材は前記振動子に固定された固定軸であり、前記回転部材は前記固定軸に回転可能に支持され、かつ前記回転部材は前記固定軸に支持された加圧部材により前記振動子に加圧接触している
ことを特徴する振動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記２以上の領域は、前記出力取り出し部の、前記回転軸にほぼ垂直に交わる面に設けられている
ことを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記回転部材及び前記振動子が取付けられている前記固定軸に設置され、前記２以上の領域の位置を検出する検出部を有する
ことを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項５】
請求項３又は請求項４に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記固定軸には、前記振動子、前記回転部材、前記回転部材を前記振動子に加圧する加圧部材、及び前記検出部の順に各部材が取り付けられている
ことを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項３から請求項５までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記固定軸は、前記検出部が取り付けられる部位の径が、前記回転部材が取り付けられる部位の径より小さい
ことを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記２以上の領域の個数、形状又は前記特性は、周方向の位置により異なっている
ことを特徴とする振動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転部材を振動子の振動運動を用いて回転させる振動アクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
振動アクチュエータは、小型・高トルクを特徴とするアクチュエータであり、減速歯車輪列等を利用しなくても、直接駆動対象を駆動できることから、機構の簡素化により機器全体の小型化を図りたい小型機器の駆動源として使用することが提案されている。特開昭６０ー５１４７８号に開示された電子時計は、振動アクチュエータを時計の駆動源として利用することを提案した発明の例であり、開示された時計では、分針等の回転軸が直接振動アクチュエータにより回転駆動される。
ところで、振動アクチュエータでは、移動子が、振動している振動子と摩擦接触することにより回転駆動されるために、移動子の表面状態の不均一等を原因として、移動子の回転量・速度がその回転角により変化することがある。このような回転量等の変化は、分針の正確な位置決めにとって重大な障害となる。そこで、特開昭６０−５１４７８号に開示された電子時計では、振動アクチュエータの移動子に周方向に６０分割された電極パターンを設け、その電極パターンを用いて移動子の回転角を検出し、移動子の回転量のフィードバック制御を行うこととしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の振動アクチュエータでは、電極パターンを移動子表面に直接設けているので、検出可能な回転角の最小単位が振動アクチュエータごとに決まってしまう。例えば、前述した電子時計用の振動アクチュエータでは、用途を一分間に６度だけ回転する分針の駆動源に限定しているので、電極パターンは６度の角度を検出できるように設けられている。このために、その振動アクチュエータの用途は限定され、異なる回転速度の用途、例えば一分間に数十回転する用途がある場合には、その用途にあわせ、電極パターンのみが異なり、ほかの構造は同一の振動アクチュエータを別途生産しなければならないという問題があった。
【０００４】
一方、上記の問題を解決する方法として、移動子には電極パターンを設けず、別個独立に製造されたエンコーダを振動アクチュエータに取り付け、これにより移動子の回転量等を検出することも考えられる。しかし、完全に別部材であるエンコーダを取り付けることは、振動アクチュエータの大型化につながり、小型・高トルクという振動アクチュエータの特徴が失われるおそれがある。また、振動アクチュエータでは、電磁式のモータ等と異なり回転軸を有しいない構造のものが多く、モータの回転軸に取り付けられることを前提とするエンコーダの取り付けがそもそも困難であるという問題もある。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、用途に合わせて回転量、回転速度等の検出精度を変更可能な、小型の振動アクチュエータを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、請求項１の発明は、振動子と、前記振動子の振動運動の少なくとも一部を伝達され、所定の回転軸の回りに回転する回転部材と、前記振動子を貫通し、前記回転部材を支持する軸部材と、前記回転部材と一体に回転し、前記回転部材の回転運動を外部に伝達する出力取り出し部とを備える振動アクチュエータにおいて、前記出力取り出し部は、前記回転部材の前記振動子と接する面とは反対側に着脱可能に設けられ、外部から検出可能な電気的、磁気的又は光学的な特性が異なる２以上の領域が、周方向に配列されていることを特徴とする振動アクチュエータである。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、前記軸部材は前記振動子に固定された固定軸であり、前記回転部材は前記固定軸に回転可能に支持され、かつ前記回転部材は前記固定軸に支持された加圧部材により前記振動子に加圧接触していることを特徴する振動アクチュエータである。
請求項３の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、前記２以上の領域は、前記出力取り出し部の、前記回転軸にほぼ垂直に交わる面に設けられていることを特徴とする振動アクチュエータである。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記回転部材及び前記振動子が取付けられている前記固定軸に設置され、前記２以上の領域の位置を検出する検出部を有することを特徴とする振動アクチュエータである。
請求項５の発明は、請求項３又は請求項４に記載の振動アクチュエータにおいて、前記固定軸には、前記振動子、前記回転部材、前記回転部材を前記振動子に加圧する加圧部材、及び前記検出部の順に各部材が取り付けられている
ことを特徴とする振動アクチュエータ。
【０００９】
請求項６に係る発明は、請求項３から請求項５までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記固定軸は、前記検出部が取り付けられる部位の径が、前記回転部材が取り付けられる部位の径より小さいことを特徴とする振動アクチュエータである。
請求項７に係る発明は、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記２以上の領域の個数、形状又は前記特性は、周方向の位置により異なっていることを特徴とする振動アクチュエータである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照して、本発明に係る一実施形態について説明する。なお、以下の説明は、振動アクチュエータとして、超音波振動域を利用する超音波モータを例にとって行う。
【００１１】
図１は、本発明に係る超音波モータの実施形態を示す断面図である。図１に示されるように、本実施形態の超音波モータ１０は、主に移動子２０と固定子３０とから構成されている。
移動子２０は、固定子３０から駆動力を得て固定軸１２を回転軸として回転する厚肉の円環状又は円筒状の部材である。移動子２０は、移動子母材２２と、移動子母材２２の下面に備えられた摺動材２６とから構成されている。摺動材２６は、固定子３０の駆動面Ｄと接触し摺動する部材である。摺動材２６は、摺動特性を良好とするために、高分子材料等をその主成分としている。
【００１２】
一方、移動子母材２２は、ステンレス鋼、銅合金又はアルミニウム合金等からなる部材である。移動子母材２２の上端部は、ほかの部位より径が小さい小径部となっており、その小径部には、ギア２４が着脱可能に嵌合している。ギア２４は、移動子２０の回転出力を不図示の被駆動体の歯車に伝達するためのものであり、本発明に係る出力取り出し部に該当する部材である。
【００１３】
図２は、ギア２４が嵌合している移動子２０の上面図である。図に示されるように、ギア２４の上面には、メッキ等の方法により複数の線状部２４ｂが周方向に等間隔で設けられている。このように線状部２４ｂを設けているのは、ギア上面の光反射率を変化させることにより、全体で、周方向に配置されたエンコーダパターン得るためにである。また、このエンコーダパターンをギア２４の上面に設けるのは、エンコーダパターンを検出する検出器をギア２４の外周側ではなく、上面側に配置できるようにし、もって、超音波モータが径方向に大型化するのを防止するためである。
【００１４】
図１に見られるように、移動子２０は、ベアリング１８を介して固定軸１２に取り付けられている。ベアリング１８は、移動子２０の固定軸回りの回転を可能とするとともに、移動子２０を固定軸１２の所定の位置に位置決めする位置決め部材としての役割を果たしている。
【００１５】
固定軸１２は、移動子２０が取り付けられている位置より上側にねじ部１２ａを有し、このねじ部１２ａには、ナットなどの調整部材１４がねじ止めされている。また、調整部材１４と移動子２０との間には、皿バネ、コイルバネ又は板バネ等の加圧部材１６が配置されている。加圧部材１６は、移動子２０を固定子３０の方向へ加圧する。移動子２０は、この加圧部材１６から加圧力を受け、固定子３０の駆動面Ｄに加圧接触する。一方、調整部材１４は、ねじ止めされている位置を変化させることにより、加圧部材１６を適度に圧縮し、移動子２０へ加わる加圧力を調整する。
【００１６】
また、ねじ部１２ａには、調整部材１４等の加圧機構が取り付けられている位置より上部において、フォトセンサ４４が取り付けられている。フォトセンサ４４は、ギア表面からの光の反射量に基づいて、線状部２４ｂが測定点に位置するか、あるいは測定点を通過したかを検出する。フォトセンサ４４の出力は、不図示の回転量・速度演算装置に接続されている。当該演算装置は、フォトセンサ４４の出力信号及びギア２４の上面に設けられたエンコーダパターンの特性から移動子２０の回転量、回転速度等を求める。
なお、ねじ部１２ａの外径は、移動子２０が取り付けられている位置における固定軸１２の外径より細く設定されている。これは、固定軸１２への移動子、加圧機構及びフォトセンサ等の取り付けを容易とするためである。
【００１７】
固定子３０は、１次の縦振動と、２次の捩り振動を行うことにより駆動面Ｄに楕円運動を発生させる部材である。固定子３０は、厚肉の円筒状の形状を有し、その中空部に固定軸１２を通すことにより、固定軸１２に固定されている。固定子３０は、図３の分解図に示すように、電極板（５５〜５８）からなる層を圧電体（５１〜５４）からなる２つの層で挟んだものを、さらに弾性体３２及び３４とにより挟み込んだ構成をしている。なお、圧電素子、電極板及び弾性体は、互いに接着剤により接合されている。
【００１８】
図１に示すように、弾性体３２及び３４は、４つの大径部３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ及び３０Ｄと、３つの小径部３０ａ、３０ｂ及び３０ｃとを有する厚肉の円筒を縦に２分割した半円柱状の部材であり、鉄鋼、ステンレス鋼、リン青銅又はエンリバー材等の共振先鋭度が大きな金属材料からなる。小径部３０ａ及び３０ｃは、２次の捩り振動の節部を含む位置に、小径部３０ｂは、１次の縦振動の節部を含む位置に、それぞれ形成されている。このように、固定子３０を４つの大径部と３つの小径部とを有する形状とするのは、固定子３０に励振される縦振動と捩り振動の共振周波数をほぼ一致させ、固定子３０にいわゆる縮退を生じさせるためである。
【００１９】
固定子３０は、大径部３０Ａ及び３０Ｄのそれぞれに、圧電体（５１〜５４）の積層方向と平行な４つの貫通孔３０Ｅ〜３０Ｈを有する。貫通孔３０Ｅ〜３０Ｈには、それぞれボルト３６が挿入され、ナット３８により固定されている。これにより、弾性体３２及び３４は、圧電体（５１〜５４）を挟み込んだ状態で一体に組まれている。
【００２０】
また、固定子３０は、小径部３０ａに貫通孔３０Ｇを有する。貫通孔３０Ｇは、スプリングピン４０を通すための孔部である。スプリングピン４０は、固定子３０の貫通孔３０ａと、固定軸１２に設けられている貫通孔１２ｂとを貫通することにより、固定子３０を固定軸１２に固定し、固定軸１２の主軸方向に固定子３０を位置決めする部材である。
【００２１】
一方、固定軸１２は、長手方向の異なる２カ所に位置決め部材４２を配置されている。位置決め部材４２は、環状又は円筒状の部材であり、固定軸１２にその端面側からはめ込まれている。位置決め部材４２の外周面は、固定子３０の内周面に当たっており、これにより、固定子３０が径方向に位置決めされる。
【００２２】
前述したように、固定子３０を構成する２つの弾性体３２及び３４の間には、電極板（５５〜５８）からなる層と、圧電体（５１〜５４）からなる層とが配置されている。図３において、層Ｌａ１、Ｌａ３、Ｌａ４及びＬａ６の４つの層は、圧電体から構成される層であり、層Ｌａ２及びＬａ５は電極板からなる層である。
【００２３】
圧電体からなる層Ｌａ１は、同一平面上に配置された４つの圧電体から構成されている。４つの圧電体とは、駆動面Ｄに近いものから順に、捩り振動検出用圧電体５１、捩り振動用圧電体５２、縦振動用圧電体５３、縦振動検出用圧電体５４をいう。
捩り振動用圧電体５２は、圧電定数ｄ15を利用し、固定子３０に捩り振動を励振する圧電体である。ここで、捩り振動とは、中心軸Ａの回りに変位する振動をいう。捩り振動用圧電体５２は、中心軸Ａに平行な方向に分極されており板厚方向に電圧を印加されると、中心軸Ａに平行な方向へのせん断変形を行う。
捩り振動検出用圧電体５１は、圧電効果を利用して固定子３０に励振されている捩り振動を検出するためのものである。
【００２４】
縦振動用圧電体５３は、圧電定数ｄ31を利用し、固定子３０に縦振動を励振する圧電体である。ここで縦振動とは、中心軸Ａに平行な方向に変位する振動をいう。縦振動用圧電体５３は、板圧方向に分極されており、板厚方向に電圧を印加されると、その面方向の伸縮変形を行う。
縦振動検出用圧電体５４は、圧電効果を利用して固定子３０に励振されている縦振動を検出するためのものである。
【００２５】
層Ｌａ３は、層Ｌａ１と同一の構成をした層である。ただし、捩り振動用圧電体５２及び縦振動用圧電体５３の分極方向は、層Ｌａ１と層Ｌａ３では反対の方向となっている（図４中破線矢印を参照）。
一方、層Ｌａ１とＬａ３の間に配置されている層Ｌａ２は、４つの電極板、すなわち、捩り振動検出用電極板５５、捩り振動用電極板５６、縦振動用電極板５７、縦振動検出用電極板５８を同一平面上に配置したものである。
捩り振動用電極板５６は、層Ｌａ１及びＬａ３の捩り振動用圧電体５２の間に配置されており、これら２つ圧電体に駆動信号（周波電圧）を同時に印加するための電極板である。
【００２６】
同様に、縦振動用電極板５７は、２つの縦振動用圧電体５３の間に配置されており、それら圧電体に同時に駆動振動を印加するためのものである。
一方、捩り振動検出用電極板５５及び縦振動検出用電極板５８は、それぞれ２つの捩り振動検出用圧電体５１又は２つの縦振動検出用圧電体５４の間に配置され、それら圧電体に生じる電圧を検出可能としている。
なお、層Ｌａ４〜Ｌａ６は、固定子３０の中心軸Ａを中心に層Ｌａ１〜Ｌａ３を１８０度回転して得られるものであり、層Ｌａ１〜Ｌａ３と同一の構成を有するものである。よって、ここではその説明を省略する。
【００２７】
図４は、固定子３０における圧電体の配置と、固定子３０に励振される振動モードを示す説明図である。図４において、（ａ）は固定子３０の側面等を示す図、（ｂ）は固定子３０のＦＦ断面図、（ｃ）は固定子３０に励振される振動モードを示す図である。
図４（ｃ）に示されるように、固定子３０には、１次の縦振動と２次の捩り振動が励振される。また、図４（ａ）に示されるように、固定子３０の小径部３０ａ及び３０ｃは、捩り振動の節部の位置に設けられており、小径部３０ｂは、縦振動の節部の位置に設けられている。
【００２８】
一方、捩り振動用圧電体５２は、小径部３０ａを含む位置に、すなわち、捩り振動の２つの節部のうち駆動面Ｄに近い方を跨ぐように配置されている。また、縦振動用圧電体５３は、小径部３０ｂを含む位置に、すなわち、縦振動の節部を跨ぐように配置されている。このように、振動の節部を跨ぐように圧電体を配置するのは、節部において弾性体に力を作用させることにより、それぞれの振動を効率よく励振できるからである。
【００２９】
捩り振動用圧電体５２は、電極板５６に弾性体（３２、３４）の電位に対し正の電圧を印加すると、図４（ａ）において矢印で示すせん断変形が生じる。せん断変形の方向は、層Ｌａ１及びＬａ３の圧電体と、層Ｌａ４及びＬａ６の圧電体とで反対となっている。捩り振動用圧電体５２の上記せん断変形により、固定子３０は、図４（ｂ）において矢印ｍによって示す方向に捩られる。また、電極板５６に負の電圧を印加すると、圧電体５２のせん断変形の方向及び固定子３０の捩りの方向はそれぞれ逆となる。したがって、電極板５６に周波電圧を印加すると、固定子３０には、捩り振動が励振される。
【００３０】
一方、４つの縦振動用圧電体５３は、電極板５７に正の電圧を印加した場合に、図４（ａ）において矢印で示すように、すべて固定子３０の中心軸Ａと平行な方向に伸び変形をし、負の電圧を印加した場合には縮み変形をする。よって、電極板５７に周波電圧を印加すると、固定子３０に縦振動が励振される。
【００３１】
次に、本実施形態に係る超音波モータの動作について図５を用いて説明する。図５は、固定子３０の動作を模式的に示す説明図である。図中ωは、駆動周波数をｆとしたときの角周波数（ω＝２πｆ）を表す。
縦振動用圧電体５３と捩り振動用圧電体５２とに、互いに９０°の位相差のある駆動信号（周波電圧）を入力すると、固定子３０に発生する縦振動及び捩り振動の位相は９０°相違し、その駆動面Ｄには、これらの振動を合成した楕円運動が生じる。
【００３２】
具体的には、まず、時間ｔ＝０の時点で、捩り振動の変位は、左側に最大であり、縦振動の変位は零である。この状態では、移動子２０は加圧部材１６によって固定子３０の駆動面Ｄに接触している。
この状態から、ｔ＝０〜（４／４）×（π／ω）までは、捩り振動が左側の最大から右側の最大まで変位する。一方、縦振動は、零から上側の最大に変位し、再び零に戻る。したがって、固定子３０の駆動面Ｄは、移動子２０を押しながら右方向に回転し、移動子２０は駆動される。
【００３３】
次に、ｔ＝（４／４）×（π／ω）〜（８／４）×（π／ω）までは、捩り振動が右側の最大から左側の最大まで変位する。一方、縦振動は、零から下側の最大へ変位し再び零に戻る。このときに、移動子２０は、加圧部材１６により加圧されていても、加圧部材１６の固有振動数が超音波振動域より低いために、固定子の縮みに追従できない。したがって、固定子３０の駆動面Ｄは、移動子２０から離れながら左方向に回転子、移動子２０は駆動されない。
このように、本実施形態では、縦振動用圧電体５３と捩り振動用圧電体５２とに位相差が９０°の駆動信号を入力すると、駆動面Ｄに楕円運動が生じ、さらに駆動面Ｄの楕円運動の一部が移動子２０に伝達されるので、移動子２０が一定の方向に回転運動を行う。
【００３４】
以上説明したように、本実施形態では、移動子の回転量、回転速度等を、移動子に取り付けられたギアのエンコーダパターンと、固定軸に取り付けられたフォトセンサとを用いて検出することとしている。したがって、異なるエンコーダパターンが設けられているギアを移動子に取り付けることにより、超音波モータの利用態様に合わせて、回転速度等の検出分解能を簡単に変更でき、１つの超音波モータを多数の異なる用途に利用することができる。
【００３５】
（その他の実施形態）
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００３６】
１）  上記実施形態では、弾性体に１次の縦振動と２次の捩り振動とを励振する場合について説明したが、これは、縦振動、捩り振動のいずれについても、任意の次数のものを励振することであってもよい。
２）  上記実施形態では、弾性体に捩り振動又は縦振動を励振する振動発生源として圧電体を用いる場合を例に説明をしたが、これは、本発明において使用可能な振動発生源の種類を何ら制限する意味のものではない。振動発生源は、弾性体に所定の振動を与えることができるものであればよく、電気エネルギー、磁気エネルギー又は熱エネルギー等を機械的変位に変換することで弾性体を励振する素子（電歪素子、磁歪素子等）であってもよい。
３）  上記実施形態では、ギア２４の上面に、周方向に等間隔で線状部を設ける場合、つまり、エンコーダパターンがいわゆるインクリメンタルタイプである場合について説明したが、これは、エンコーダパターンがアブソリュートタイプとなるように線状部の間隔、個数、形状又はその反射率等の特性を周方向の位置に対応させて変化させることであってもよい。
また、エンコーダパターンは、光反射率の変化、つまり光学的特性の変化を利用するものに限らず、電気的又は磁気的特性の変化を利用するものであってもよい。
４）  上記実施形態では、出力取り出し部がギアである場合を例に説明をしたが、これは、カム等であってもよい。
【００３７】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、本発明によれば、以下のような種々の効果がある。
（１）出力取り出し部には、特性の異なる２以上の領域が周方向に配列されているので、移動子の回転量、回転速度等が容易に検出可能である。また、出力取り出し部は着脱可能であるので、上記領域の配置等が異なる出力取り出し部を回転部材に装着することにより、回転部材の回転量等の検出精度を容易に変更することができる。
【００３８】
（２）２以上の領域は、出力取り出し部の、回転軸にほぼ垂直に交わる面に設けられているので、それら領域の位置は、回転軸に平行な方向から検出することが可能であり、それら領域の位置を検出するための検出器を設置することにより、振動アクチュエータが径方向に大型化することを防止できる。
【００３９】
（３）出力取り出し部に設けられた２以上の領域の位置を検出する検出部をも有するので、単体で、回転部材の回転量、回転速度を検出可能な振動アクチュエータを提供することが可能となった。
（４）検出部は、回転部材及び振動子が取り付けられている固定軸に設置されているので、検出部の設置用に、新たな機構や部材を用意する必要はなく、検出部の設置により、振動アクチュエータの小型化が著しく損なわれることはない。
【００４０】
（５）固定軸には、振動子、回転部材、加圧部及び検出部の順に各部材が取り付けられているので、検出部を固定軸に着脱する際に、加圧部を着脱すること、あるいは、加圧部の発生する加圧力を再調整する必要がない。
（６）固定軸は、検出部が取り付けられる部位の径が、回転部材が取り付けられている部位の径より細いので、固定軸への回転部材等の取り付けが容易である。
（７）２以上の領域の個数、形状又は特性は、周方向の位置により異なっているので、その個数、形状又は特性を検出することにより、回転部材の絶対回転角が確認可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る超音波モータの実施形態を示す断面図である。
【図２】ギア２４が嵌合している移動子２０の上面図である。
【図３】振動子３０を示す分解斜視図である。
【図４】振動子３０における圧電体の配置と、振動子に励振される振動モードを示す説明図である。
【図５】振動子３０の動作を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
１０  超音波モータ
１２  固定軸
２０  移動子
２２  移動子母材
２４  ギア
２４ｂ  エンコーダパターン
２６  摺動材
３０  振動子
３２、３４  弾性体
４４  フォトセンサ
５１〜５４  圧電体
５５〜５８  電極板
【図１】
0003817825.tif 000002
【図２】
0003817825.tif 000003
【図３】
0003817825.tif 000004
【図４】
0003817825.tif 000005
【図５】
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