(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘性材料の貯留室を有し、貯留室に連通して粘性材料の吐出口が設けられ、貯留室に粘性材料を供給する粘性材料供給手段が連結され、貯留室内の粘性材料に吐出圧を付与する吐出圧調整手段が設けられ、弾性を有する２枚のブレードが下方に向けて互いに接近してその先端に吐出口を設けた塗布ユニットを用い、被塗布物に対応した開口を有するスクリーンマスクと塗布ユニットの吐出口とを接触させ、貯留室の粘性材料に吐出圧を付与しながら塗布ユニットとスクリーンマスクを相対移動させ、被塗布物をスクリーンマスクに位置決めするテーブル部によって支持された被塗布物に粘性材料を塗布する粘性材料塗布方法において、粘性材料供給手段にて貯留室に粘性材料を供給する粘性材料供給開始時には、前記テーブル部を前記スクリーンマスクの下面に当接させた後、吐出口とスクリーンマスクを押し付け、押し付けた状態で粘性材料の供給を開始し、粘性材料供給終了時には、吐出口とスクリーンマスクが当接する位置に塗布ユニットを位置させた後、前記テーブル部を下降させることを特徴とする粘性材料供給方法。
【請求項２】
粘性材料を貯留室に供給するときに、粘性材料が最終到達する位置近傍で圧力を検出して粘性材料の供給を制御することを特徴とする請求項１に記載の粘性材料供給方法。
【請求項３】
貯留室にその両端からそれぞれの粘性材料供給手段にて粘性材料を供給するとともに、貯留室の両端又はその近傍で圧力を検出し、両端の粘性材料供給手段による供給状態のモニタ及び供給制御を行うことを特徴とする請求項１記載の粘性材料供給方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、接着剤やクリーム半田や導電ペーストなどの粘性材料を回路基板等の被塗布物上にスクリーンマスクを介して所定パターンで塗布する塗布ユニットに粘性材料を供給する粘性材料供給方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の粘性材料塗布装置として、図１３（ａ）〜（ｅ）に示すように、接着剤やクリーム半田などの粘性材料４をスクリーンマスク５３を介して被塗布物５０である回路基板等のランド５１上に塗布するスクリーン印刷装置が一般的に知られている。
【０００３】
スクリーンマスク５３は被塗布物５０のランド５１に対応する所定パターンで配置された貫通穴からなる開口５２を有しており、（ａ）、（ｂ）に示すように、このスクリーンマスク５３に対して図示しないテーブル部により被塗布物５０を位置決めして接触させる。次に、（ｃ）に示すように、スクリーンマスク５３の一端に供給した粘性材料４をスキージ５４により所定方向に移動させることにより、開口５２内に粘性材料４を充填する。次に、（ｄ）に示すように、被塗布物５０をスクリーンマスク５３から離すことにより、（ｅ）に示すように、開口５２内の粘性材料４を被塗布物５０のランド５１上に転写させ、粘性材料４を被塗布物５０のランド５１上に塗布している。
【０００４】
また、特開平４−２８４２４９号公報においては、粘性材料を大気から遮断した状態で収容する閉鎖容器と、閉鎖容器と連通するとともにスクリーンマスクに実質的に密着する吐出口と、吐出口近傍で粘性材料の粘度を調整する攪拌ローラと、閉鎖容器内の粘性材料上に配置されたピストン上に気体圧を供給して粘性材料を押圧し、吐出口から粘性材料を吐出させる吐出圧供給手段とを備えた密閉タイプのスキージが開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来の粘性材料塗布装置では、スクリーンマスク５３上をスキージ５４を移動させて粘性材料４を開口５２に充填する方式であるため、また粘性材料４が常時空気に触れているため、粘性材料４の状態が変化し易く、安定した塗布ができなくなる恐れがあるという問題があり、またスキージ５４からはみ出した粘性材料４をスキージ５４内に掻き寄せなくてはならないという問題があった。
【０００６】
また、適正な塗布状態を得るために多くのノウハウがあって、熟練した技術者が必要であり、特に近年の開口５２のファインピッチ化に対処し、かつ高速化の要請も満足しながら適正に塗布するのは一層困難であるため、ますますノウハウと熟練を要するという問題があった。
【０００７】
一方、上記特開平４−２８４２４９号公報に開示された構成では、粘性材料４を掻き寄せる必要がなく、また粘性材料４が空気に触れず状態が変化することも抑制できるが、吐出口をスクリーンマスクに実質的に密着させるように位置決めしているだけであるため、ファインピッチ化や高速化に対応しながら粘性材料のはみ出しを防止するために強く密着させるようにすると、被塗布物５０がスクリーンマスクから離れる際にスクリーンマスクに変形を生じ、粘性材料の転写性を損なうという問題があり、逆にスクリーンマスクに変形が生じないように密着力を設定すると、ファインピッチ化や高速化に対応するように吐出圧を大きくすると、粘性材料がはみ出してしまうという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、粘性材料が常時空気に触れるのを防止して安定して塗布することができる塗布ユニットに、粘性材料がはみ出すことなく、かつスクリーンマスクが変形せずに、粘性材料を供給できる粘性材料供給方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の粘性材料供給方法は、粘性材料の貯留室を有し、貯留室に連通して粘性材料の吐出口が設けられ、貯留室に粘性材料を供給する粘性材料供給手段が連結され、貯留室内の粘性材料に吐出圧を付与する吐出圧調整手段が設けられ、弾性を有する２枚のブレードが下方に向けて互いに接近してその先端に吐出口を設けた塗布ユニットを用い、被塗布物に対応した開口を有するスクリーンマスクと塗布ユニットの吐出口とを接触させ、貯留室の粘性材料に吐出圧を付与しながら塗布ユニットとスクリーンマスクを相対移動させ、被塗布物をスクリーンマスクに位置決めするテーブル部によって支持された被塗布物に粘性材料を塗布する粘性材料塗布方法において、粘性材料供給手段にて貯留室に粘性材料を供給する粘性材料供給開始時には、前記テーブル部を前記スクリーンマスクの下面に当接させた後、吐出口とスクリーンマスクを押し付け、押し付けた状態で粘性材料の供給を開始し、粘性材料供給終了時には、吐出口とスクリーンマスクが当接する位置に塗布ユニットを位置させた後、前記テーブル部を下降させるものであり、貯留室内に粘性材料を貯留し、粘性材料が常時空気に触れることがなく、粘性材料の変質を防いで安定して塗布することができる塗布ユニット内に粘性材料を供給する際に、テーブル部を前記スクリーンマスクの下面に当接させた後、塗布ユニットの吐出口をスクリーンマスクに押し付けているので、スクリーンマスクを変形させずに粘性材料が漏れ出すのを確実に防止して粘性材料を供給することができる。
【００１１】
また、粘性材料を貯留室に供給するときに、粘性材料が最終到達する位置近傍で圧力を検出して粘性材料の供給を制御するのが好ましい。
【００１２】
また、貯留室にその両端からそれぞれの粘性材料供給手段にて粘性材料を供給するとともに、貯留室の両端又はその近傍で圧力を検出し、両端の粘性材料供給手段による供給状態のモニタ及び供給制御を行うこともできる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態の粘性材料塗布装置について、図１〜図９を参照して説明する。
【００２４】
粘性材料塗布装置の全体概略構成を示す図１において、被塗布物５０は搬送部５５ａにより装置内に搬送され、スクリーンマスク５３の下部に配置されているテーブル部５６に位置決め固定される。テーブル部５６は被塗布物５０をスクリーンマスク５３に当接させるための上下機構（図示せず）を有している。また、被塗布物５０とスクリーンマスク５３のＸ、Ｙ、θ方向の相対位置を合わせるためのＸ、Ｙ、θ位置決め機構（図示せず）が、テーブル部５６又はスクリーンマスク５３のどちらかに設けられている。
【００２５】
スクリーンマスク５３の上部には塗布ヘッド５７が配設されており、被塗布物５０をスクリーンマスク５３に当接させた後、塗布ヘッド５７をスクリーンマスク５３に押し付け、その状態で水平駆動手段５８にて移動させることにより被塗布物５０に粘性材料を塗布する。塗布終了後、被塗布物５０は搬送部５５ｂにより後工程に搬送される。
【００２６】
塗布ヘッド５７は、図２に示すように、材料供給部１、エア供給部２、塗布ユニット３から主構成されている。材料供給部１は、接着剤やクリーム半田等の粘性材料４がシリンジ状の収納タンク１ｂに収容されており、材料供給用の圧縮エアによってプランジャ１ａが作動して粘性材料４が加圧され、塗布ユニット３における粘性材料４の貯留室であるチャンバ３ａ内に粘性材料４が充満するように圧送される。
【００２７】
塗布ユニット３のチャンバ３ａと材料供給部１とはジョイント５によって連結されており、ジョイント５に設けられた供給通路５ａを通過して粘性材料４がチャンバ３ａ内に供給される。
【００２８】
チャンバ３ａの下部両側には、弾性を有する薄板からなる２枚のブレード６が、下方に向けて互いに接近してその先端間に１０ｍｍ程度の間隔があくようにブレード押え７によって取付けられており、２枚のブレード６間の開口により、粘性材料４を吐出する吐出口８が形成されている。ブレード６は、例えば０．１〜０．５ｍｍ程度の銅やステンレスや樹脂などの薄板にて構成されるが、特にポリイミドやポリアミド・イミド等の樹脂材料が好適である。
【００２９】
２枚のブレード６の両端にはストッパ９が配置されており、粘性材料４がチャンバ３ａから漏れるのを防いでおり、粘性材料４にかかる圧力によりストッパ９が外れないようにジョイント５により押さえられている。
【００３０】
チャンバ３ａの吐出口８とは反対側、即ちチャンバ３ａの上部には、吐出口８と対向させて、チャンバ３ａ内に一部が臨むように、くぼみを有したシートからなる袋１０がチャンバ３ａの長手方向に沿ってほぼ全長にわたって配設されており、チャンバ３ａとその上部を閉鎖するプレート３ｂとにより挟み込まれて固定されている。袋１０はエア供給部２からエアポート２ａを介してエアが供給及び排出されることにより、内部容積が増減するように構成されている。袋１０は、厚みが０．０３から１ｍｍ程度のウレタンエラストマーやポリエチレンやナイロン等の樹脂材にて構成され、より好ましい厚みは０．３から０．５ｍｍ程度である。ここで、袋１０の厚みは、供給されるエアの圧力にもよるが、薄すぎると破れる恐れがあり、また厚すぎると膨張収縮の応答性が悪くなる恐れがある。
【００３１】
チャンバ３ａ内に粘性材料を供給した後、袋１０にエアを供給すると、粘性材料４を所定の圧力で押すことができ、粘性材料４の塗布時の吐出圧を付与することができ、袋１０からエアを排出すると、瞬時に吐出圧を解除することができる。
【００３２】
なお、上記袋１０などから成る吐出圧調整手段はチャンバ３ａなどの貯留室の上方、又は吐出口８と反対側に配設するのが好適である。
【００３３】
袋１０のチャンバ３ａとプレート３ｂとで挟まれて固定されている部分において、袋１０の下面にエアを抜くためのエア抜きシート１１が配置されており、材料供給部１からチャンバ３ａ内に最初に粘性材料４が供給される際に、チャンバ３ａ内のエアがエア抜きシート１１から抜けるようになっている。
【００３４】
チャンバ３ａの中央は、袋１０が配設されず、この部分にチャンバ３ａ内の粘性材料４の圧力を検出するために圧力検出手段１２が設けられている。
【００３５】
次に、塗布ユニット３の動作について説明する。
【００３６】
チャンバ３ａに粘性材料４を供給する動作を、図３を参照して説明すると、塗布ユニット３内に粘性材料４がない初期状態で、まず塗布ユニット３を塗布ヘッド５７にセッティングした後、塗布ユニット３の吐出口８をスクリーンマスク５３に当接させる。次に、テーブル部５６をスクリーンマスク５３の下面に当接させてスクリーンマスク５３を支持した後、吐出口８をスクリーンマスク５３に押し付ける。この押し付け状態で材料供給部１から塗布ユニット３内に粘性材料４を供給することによって、チャンバ３ａ内に粘性材料４が充満しても粘性材料４がスクリーンマスク５３上にはみださないようにできる。
【００３７】
粘性材料４をチャンバ３ａ内に供給する際には袋１０を膨らませておき、チャンバ３ａ内に配置してある圧力検出手段１２により検出した粘性材料４の圧力が所定圧力に達すると、粘性材料４の供給を停止し、袋１０のエアを排出することにより、粘性材料４の供給によりチャンバ３ａ内にかかっている残圧を除去することができる。その後、吐出口８がスクリーンマスク５３に当接する位置に塗布ユニット３を上昇させる。これによってスクリーンマスク５３の変形を防止できる。次に、テーブル部５６を下降させ、被塗布物５０を搬入できる位置に位置決めする。粘性材料４の供給時に吐出口８をスクリーンマスク５３に押し付ける押し付け量は、粘性材料４の種類により材料供給部１の押し出し圧力が異なるので、０．５から２ｍｍ程度が好適である。
【００３８】
以上、チャンバ３ａ内に粘性材料４が無い状態での粘性材料４の供給について説明したが、塗布を繰り返し行うことによりチャンバ３ａ内の粘性材料４は減ってくるので、チャンバ３ａ内に粘性材料４を補充供給する必要があるが、この場合も同様にして粘性材料４を供給することができる。補充供給のタイミングとしては、予め塗布回数を粘性材料塗布装置の制御部に設定しておいても良いし、チャンバ３ａ内に設けてある圧力検出手段１２によりチャンバ３ａ内の圧力を検出し、塗布に必要な圧力の下限値に達した時に補充供給するようにしても良い。
【００３９】
次に、被塗布物５０に粘性材料４を塗布する塗布ユニット３の動作について、図４を参照して説明する。
【００４０】
被塗布物５０は搬送部５５ａにより搬送され、テーブル部５６に位置決め固定される。次に、テーブル部５６をスクリーンマスク５３の下面に当接させることにより、被塗布物５０をスクリーンマスク５３に当接させる。塗布ユニット３の吐出口８は、チャンバ３ａ内に粘性材料４を供給した後は常時スクリーンマスク５３に当接させた状態にあり、テーブル部５６がスクリーンマスク５３に当接した後に、吐出口８をスクリーンマスク５３に押し付ける。
【００４１】
この状態でエア供給部２から袋１０へエアを供給することにより、チャンバ３ａ内の粘性材料４に吐出圧をかけることができるとともに、粘性材料４がスクリーンマスク５３上にはみ出さないようにできる。また、このときチャンバ３ａ内に配置してある圧力検出手段１２により粘性材料４の圧力を検出し、検出した圧力が塗布に必要な所定圧力に達していることを確認しておくと、塗布不良を発生させないことができるので好適である。また、チャンバ３ａ内の上部でその長手方向略全長にわたって配設された可撓性のある袋１０にエア圧をかけて粘性材料４に吐出圧をかけるので、全体に均等にかつ応答性よく、高い精度で所定の吐出圧を付与することができる。
【００４２】
ここで、水平駆動手段５８により塗布ユニット３をスクリーンマスク５３上を移動させると、スクリーンマスク５３の開口５２に粘性材料４を充填することができる。全ての開口５２に粘性材料４を充填できるだけ塗布ユニット３を移動させた後、塗布ユニット３のスクリーンマスク５３に対する押し付けを解除して吐出口８がスクリーンマスク５３に当接した状態に復帰させ、その後テーブル部５６を下降させてスクリーンマスク５３から被塗布物５０を離すと、スクリーンマスク５３を変形させることなく、開口５２内に粘性材料４が被塗布物５０に転写不良を生じることなく転写される。その後、被塗布物５０は搬送部５５ｂにより後工程へ搬出される。
【００４３】
以上のように、粘性材料４を供給する時及び被塗布物５０に塗布する時など、塗布ユニット３を動作させるときは、塗布ユニット３をスクリーンマスク５３に押し付け、動作させていないときはスクリーンマスク５３に当接した状態にしている。スクリーンマスク５３に押し付けるのは、上述のようにチャンバ３ａ内から粘性材料４がはみ出し、スクリーンマスク５３上に漏らさないためであり、動作させていないときにスクリーンマスク５３に当接した状態にするのは、スクリーンマスク５３にダメージを与えないためと、テーブル部５６を下降させてスクリーンマスク５３から離す時にスクリーンマスク５３を変形させて粘性材料４の転写不良を発生するのを防ぐためである。これにより、塗布品質の安定化とスクリーンマスク５３の長寿命化を図ることができる。
【００４４】
次に、上記動作を行うための塗布ヘッド５７の詳細構成を、図５を参照して説明する。
【００４５】
塗布ユニット３は、ブロック１３を介してプレート１４に取付けられ、プレート１４はピン１５を介してその軸芯まわりに揺動自在にプレート１６に取付けられている。この取付構成は、スクリーンマスク５３と塗布ユニット３とは必ずしも平行に取付けられるわけではないので、吐出口８をスクリーンマスク５３に密着させるために好適である。但し、そのままでは塗布ユニット３が傾いたりして不安定なので、ストッパ１７がプレート１６の両端に設けられている。
【００４６】
プレート１６は、その両端に取付けられたシャフト１９がガイド１８にて上下移動自在に支持され、かつ上下駆動手段であるシリンダ２０にてスクリーンマスク５３に対して垂直方向に上下移動することができるように構成されている。シリンダ２０は上下の２位置しか位置決めすることができないので、ストローク調整用のストッパ部２１、２２を設けて、シリンダ２０のストロークを多段階に設定し、上記のように塗布ヘッド５７をスクリーンマスク５３に当接した状態と押し付けた状態に任意に位置決めできるように構成されている。また、このようにシリンダ２０を用いることにより、塗布ユニット３と従来のスキージとを交換して使用することもできる。
【００４７】
次に、ストッパ部２１、２２の構成を、図６を参照して説明する。（ａ）はストッパ部２１、（ｂ）はストッパ部２２を示している。両ストッパ部２１、２２は基本的に同一構成であり、図中では対応する構成要素に同一参照番号を付すとともに、その後にａ、ｂ、又はｃを付加して相違点の区別を行っており、以下の説明では必要のない限り、参照番号のみを付して説明する。ストッパ部２１、２２は、シリンダ２３と、ピン２４を支点として揺動自在で、その一端がシリンダ２３に連結され、他端に当たり面２６が形成されたＬ字状のレバー２５と、シャフト１９の先端部に当たり面２６に当接可能に取付けられたカムフォロア２７にて構成されている。レバー２５ａには当たり面２６ａが、レバー２５ｂには当たり面２６ｂ、２６ｃが形成されている。
【００４８】
次に、ストッパ部２１、２２の動作を図７を参照して説明する。（ａ）は粘性材料４を塗布ユニット３に供給するとき、（ｂ）は粘性材料４を塗布するとき、（ｃ）は吐出口８をスクリーンマスク５３に当接させるとき、（ｄ）は両ストッパ部２１、２２が共に位置決め作用を解除した位置決め開放位置にある状態で、従来のスキージを用いる時及び塗布ユニット３をスクリーンマスク５３に当接せずに上昇させる時を示している。
【００４９】
粘性材料４を塗布ユニット３に供給するときには、（ａ）に示すように、ストッパ部２１のシリンダ２３ａを先にオンさせた状態で、シリンダ２０にて塗布ユニット３を下降させ、カムフォロア２７ａをレバー２５ａの当たり面２６ａに当てる。その後、ストッパ部２２のシリンダ２３ｂをオンさせると、レバー２５ｂの当たり面２６ｂ、２６ｃがカムフォロア２７ｂの上下に対して適当な間隔があいた状態で対向位置する。この状態は、例えば吐出口８がスクリーンマスク５３に対して１ｍｍ押し付けられている状態である。
【００５０】
次に、粘性材料４を塗布するときには、（ｂ）に示すように、ストッパ部２１のシリンダ２３ａをオフさせてカムフォロア２７ａを当たり面２６ａから外し、ストッパ部２２のシリンダ２３ｂをオンさせたままで、シリンダ２０にて塗布ユニット３をさらに下降させ、カムフォロア２７ｂをレバー２５ｂの当たり面２６ｃに当てる。この状態は、例えば吐出口８がスクリーンマスク５３に対して２ｍｍ押し付けられている状態である。
【００５１】
次に、吐出口８がスクリーンマスク５３に当接した状態にするときには、（ｃ）に示すように、同様にストッパ部２１のシリンダ２３ａをオフさせ、ストッパ部２２のシリンダ２３ｂをオンさせたままで、シリンダ２０にて塗布ユニット３を上昇させ、カムフォロア２７ｂをレバー２５ｂの当たり面２６ｂに当てる。この状態は、吐出口８がスクリーンマスク５３に当接している状態である。
【００５２】
次に、塗布ユニット３を大きく上方に上昇させて待機させたり、従来のスキージ５４を用いる状態にするときには、（ｄ）に示すように、両ストッパ部２１、２２のシリンダ２３ａ、２３ｂをともにオフさせる。この状態は、シリンダ２０にて塗布ユニット３又はスキージ５４を任意に上下移動させることができる状態である。
【００５３】
このように、スキージ５４を使用する場合は、上下の位置決めをすることなくシリンダ２０の出力荷重のみで塗布を行った方が好適である。一方、塗布ユニット３で塗布する場合は、粘性材料４を塗布ユニット３内に貯留しているため、塗布により粘性材料４の量が変わるので、スクリーンマスク５３に対して上下方向の位置決めで塗布を行った方が好適である。
【００５４】
なお、図７では粘性材料４をチャンバ３ａ内に供給する時と、塗布する時で、塗布ユニット３の高さを変えたが、同じ高さで供給と塗布を行ってもよい。
【００５５】
また、図５で示したガイド１８及びシャフト１９とシリンダ２０とストッパ部２１、２２と同じものを、後ろ側にもう１セット設け、押し込みレバー２８を介して同じ動作を行い、塗布ユニット３をサポートすることにより、塗布ユニット３がスクリーンマスク５３を押す反力を受けることができて好適である。
【００５６】
なお、上記の構成では、シリンダ２０とストッパ部２１、２２で、塗布ユニット３の上下駆動及びストローク調整を行ったが、図示しないが、モータによって駆動及び位置決めを行うようにしても、同等の効果を得ることができる。
【００５７】
次に、材料供給部１からチャンバ３ａへ粘性材料４を供給するジョイント５の詳細について、図８を参照して説明する。
【００５８】
ジョイント５は、材料供給部１と塗布ユニット３とに連結されており、貫通形成された供給通路５ａを通じて粘性材料４をチャンバ３ａへ供給する。供給通路５ａは、材料供給部１から粘性材料４が入る粘性材料４の入口５ａ−１とチャンバ３ａに臨んで粘性材料４をチャンバ３ａに供給する出口５ａ−２を有している。材料供給部１の粘性材料４の出口は、直径約８ｍｍ程度であるので、入口５ａ−１もほぼ同じ大きさであるが、チャンバ３ａは粘性材料４を貯留するため断面が大きいので、出口５ａ−２も入口５ａ−１と同様の大きさ・形状であると、チャンバ３ａの端にある粘性材料４はチャンバ３ａの中央ヘ移動することが困難となる。そこで、図８に示すように、出口５ａ−２はできるだけ大きい方が好適である。ここで、材料供給部１は垂直方向に取付けているので、供給通路５ａは上下方向に曲率を有し、かつ入口５ａ−１から出口５ａ−２に向けて断面積が徐々に大きくなるとともにチャンバ３ａの幅寸法に近づくように幅広となる断面形状の曲面にて構成されている。このような構成により、粘性材料４が流動しやすく、供給するための力も小さくでき、供給する時間も短くすることができ、さらにチャンバ３ａの端の粘性材料４を確実に中央に移動させることができる。
【００５９】
また、チャンバ３ａの端から粘性材料４を供給することにより、順次新しい粘性材料４がチャンバ３ａ内に貯留されるので、チャンバ３ａの途中から供給するのに比べ、チャンバ３ａ内に古い粘性材料４が残らないため、塗布品質を安定させることができる。
【００６０】
また、ジョイント５内の供給通路５ａまたはチャンバ３ａ内をフッ素コート等にて表面処理すると、供給にかかる時間を多少であるが短縮することができて好適である。
【００６１】
以上の説明では、図２に示したように、塗布ユニット３の両端から粘性材料４を供給し、粘性材料４がチャンバ３ａ内で最終到達する中央に圧力検出手段１２を設け、チャンバ３ａ内が粘性材料４で満たされたことを検出するようにしたが、図９に示すように、チャンバ３ａ内の両端部又は両端のジョイント５の供給通路５ａにも圧力検出手段１２を配設し、両端の材料供給部１から供給される粘性材料４の各々の圧力を検出するようにしてもよい。このようにチャンバ３ａの両端での粘性材料４の供給圧力を検出することで、両端からの供給バランスを検出し、大きくバランスが崩れている場合に異常警告を行ったり、材料供給用のエア圧を調整したりすることが可能となる。また、異常検出時に両端の材料供給部１の内、異常の無かった方の材料供給部１からのみ粘性材料４を供給し、他方の圧力検出手段１２にてチャンバ３ａ内に粘性材料４が満たされたことを検出するようにしたり、あるいは異常のない状態でも、塗布ユニット３の移動方向に応じて交互にいずれか一方の材料供給部１から供給するようにすることができる。また、燃料供給を片側ずつ行い、一方の材料供給部１が空になったら他方の材料供給部１から供給するようにしたり、またいずれか一方の材料供給部１内の粘性材料４が空になった場合に他方の材料供給部１からのみ供給して稼働を継続するようにすることもでき、その際に圧力検出手段１２を材料供給部１が空になったときの判断手段とすることができる。
【００６２】
また、被塗布物５０が小さい場合には、塗布ユニット３も小さくて良く、その場合には、図１０（ａ）又は（ｂ）に示すように、塗布ユニット３の片側端から粘性材料４を供給するようにしてもよい。この場合、圧力検出手段１２は粘性材料４が最終到達する材料供給部１とは反対側端に設けるのがよい。図１０（ａ）ではチャンバ３ａの端部の上部に、図１０（ｂ）ではチャンバ３ａの端壁に圧力検出手段１２を配設している。
【００６３】
また、上記実施形態では、チャンバ３ａ内で粘性材料４を加圧する手段として、袋１０を用いたが、図１１（ａ）に示すように、チャンバ３ａにピストン等の加圧手段２９を臨ませて粘性材料４を加圧するようにしたり、図１１（ｂ）に示すように、チャンバ３ａの上部に粘性材料４を収納し、粘性材料４が通過できる貫通穴３０ａを有した容器３０を設け、シリンダ等による押し込み手段３１によりチャンバ３ａ内に粘性材料４を供給するとともに加圧するようにした構成でも、同様に安定して塗布を行うことができる。
【００６４】
また、以上の実施形態では、スクリーンマスク５３は移動させずに塗布ユニット３側を移動させる例についてのみ説明したが、逆に塗布ユニット３は移動させずに、スクリーンマスク５３や被塗布物５０を移動させるように構成しても、同様に作用してその効果を奏することができる。
【００６５】
また、以上の実施形態では、図１２（ａ）に示すように、スクリーンマスク５３の下面に被塗布物５０を配置し、塗布ユニット３から吐出した粘性材料４をスクリーンマスク５３の開口５２を通して被塗布物５０のランド５１上に塗布して印刷する例を示したが、本発明は、図１２（ｂ）に示すように、被塗布物５０に形成されている凹部又は貫通穴内に粘性材料４を充填塗布する場合にも適用でき、この場合も同様の効果を奏することができる。
【００６６】
【発明の効果】
本発明の粘性材料供給方法によれば、以上の説明から明らかなように、貯留室内に粘性材料を貯留し、粘性材料が常時空気に触れることがなく、粘性材料の変質を防いで安定して塗布することができる塗布ユニット内に粘性材料を供給する際に、テーブル部を前記スクリーンマスクの下面に当接させた後、塗布ユニットの吐出口をスクリーンマスクに押し付けて粘性材料を供給し、供給終了時には、吐出口とスクリーンマスクが当接する位置に塗布ユニットを位置させた後、前記テーブル部を下降させているので、スクリーンマスクを変形させずに粘性材料が漏れ出すのを確実に防止して粘性材料を供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の粘性材料塗布装置の一実施形態の全体構成を示す正面図である。
【図２】同実施形態の塗布ヘッドの構成を示し、（ａ）は縦断正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図３】同実施形態における供給動作フロー図である。
【図４】同実施形態における塗布動作フロー図である。
【図５】同実施形態の塗布ヘッドの構成を示す部分断面正面図である。
【図６】同実施形態の塗布ヘッドにおけるストッパ部の構成を示す側面図である。
【図７】同実施形態の塗布ヘッドにおけるストッパ部の動作説明図である。
【図８】同実施形態における粘性材料の供給経路を示す斜視図である。
【図９】同実施形態における圧力検出手段の配設状態の変形例を示す要部の縦断正面図である。
【図１０】同実施形態の他の変形例の全体構成を示す正面図である。
【図１１】本発明の粘性材料塗布装置のその他の各種実施形態の縦断側面図である。
【図１２】本発明の各実施形態の他の適用例の説明図である。
【図１３】従来例のスクリーン印刷方式の説明図である。
【符号の説明】
１  材料供給部（粘性材料供給手段）
２  エア供給部（吐出圧調整手段）
３  塗布ユニット
３ａ  チャンバ（貯留室）
４  粘性材料
５  ジョイント
５ａ  供給通路
６  ブレード
８  吐出口
９  ストッパ
１０  袋（吐出圧調整手段）
１２  圧力検出手段
２０  シリンダ（位置決め手段）
２１、２２  ストッパ部
２６ａ、２６ｂ、２６ｃ  当たり面
２７ａ、２７ｂ  カムフォロア
５０  被塗布物
５３  スクリーンマスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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