(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＢＥＴ比表面積が０．２〜４．０ｍ２／ｇである酸化亜鉛粉末と、酸化インジウム粉末とを混合し、次いでこの混合粉末を成形した後焼結することを特徴とする、酸化インジウム−酸化亜鉛系焼結体ターゲットの製造方法。
【請求項２】
４００℃〜８００℃で仮焼して得られた酸化亜鉛粉末と、酸化インジウム粉末とを混合し、次いでこの混合粉末を成形した後焼結することを特徴とする、酸化インジウム−酸化亜鉛系焼結体ターゲットの製造方法。
【請求項３】
前記焼結の際の焼結温度が１２００℃〜１４００℃である、請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
酸化亜鉛粉末を４００℃〜８００℃で仮焼して、ＢＥＴ比表面積が０．２〜４．０ｍ２／ｇである酸化亜鉛粉末を得た後、得られた酸化亜鉛粉末と酸化インジウム粉末とを混合し、次いでこの混合粉末をプレス成形後１２００℃〜１４００℃で焼結することを特徴とする、酸化インジウム−酸化亜鉛系焼結体ターゲットの製造方法。
【請求項５】
前記焼結工程において焼結温度にまで昇温する速度を３５０℃／時以上とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の製造方法。
【請求項６】
前記焼結により得られる焼結体が、酸化インジウムを５０重量％以上含んでなる、請求項１〜５のいずれか一項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透明導電膜形成用材料として用いられる酸化インジウム−酸化亜鉛系焼結体ターゲットの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、液相ディスプレイ装置（ＬＣＤ）を始めとする表示ディバイスには透明導電膜材料として酸化インジウム−酸化錫（ＩＴＯ）が広く用いられている。ＩＴＯ透明導電膜は、通常ＩＴＯ焼結体ターゲットを用いてスパッタ法で作製されている。このＩＴＯ膜は、低抵抗で透明性に優れ、エッチング性が良いなど優れた材料であるが、耐湿性が低いという問題を有していた。
【０００３】
この耐湿性を改善し、かつＩＴＯと同等の導電性と透明性を有する材料として酸化インジウム−酸化亜鉛系の材料の焼結体ターゲットおよびその製造方法が特開平６−２３４５６５号公報に提案されている。この特開平６−２３４５６５号公報に開示されている焼結体の製造方法は比較的小さい物品を対象としているが、実際の工業生産で用いられる焼結体ターゲットの大きさはこれよりはるかに大きい。
このような従来の製造方法で大型サイズ、例えば５インチ×１５インチ以上の焼結体を作製した場合、▲１▼十分に高密度な焼結体（相対密度９５％以上）が得られない、▲２▼焼結体の周辺部と中央部で色むらが発生する、などの問題が残されている。特に色むらのあるターゲットをスパッタに用いると、得られる膜の抵抗値にばらつきが生じるため、実際には焼結体の外側部分を研削して色むら部分を取り除いてからターゲットとして使用しているのが現状である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、大型サイズの焼結体を作製した場合でも相対密度９０％以上の高密度のものが得られ、かつ焼結体の周辺部と中央部の色むらの発生を抑制した酸化インジウム−酸化亜鉛系焼結体ターゲットの製造方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、下記の事項をその特徴としている。
▲１▼  酸化亜鉛粉末を４００℃〜８００℃で仮焼し、この仮焼した酸化亜鉛粉末と酸化インジウム粉末とを混合し、次いでこの混合粉末をプレス成形後１２００℃〜１４００℃で焼結する酸化インジウム−酸化亜鉛系焼結体ターゲットの製造方法。
▲２▼  仮焼後の酸化亜鉛粉末のＢＥＴ表面積が０．２〜４．０ｍ2 ／ｇである前記▲１▼に記載のターゲットの製造方法。
▲３▼  焼結工程において焼結温度にまで昇温する速度を３５０℃／時以上とする前記▲１▼および▲２▼に記載のターゲットの製造方法。
▲４▼  焼結体の組成が酸化インジウム５０重量％以上である前記▲１▼〜▲３▼に記載のターゲットの製造方法。
【０００６】
【発明の実施の態様】
以下に、本発明の製造方法を詳細に説明する。
まず、原料である酸化亜鉛（ＺｎＯ）と酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）の粉末を混合するに先立って、酸化亜鉛粉末のみを仮焼する。酸化亜鉛粉末を仮焼するねらいは、仮焼により粉末粒子を粒成長させ、粉体としての活性を低下させるためである。仮焼温度は４００〜８００℃、好ましくは４００〜６００℃が良い。仮焼温度が高くなると粒子の凝結が強くなり、その後の解砕がしにくくなるからである。仮焼時間は２時間以上が好ましい。
【０００７】
次いで、得られた酸化亜鉛仮焼粉末を酸化インジウムと混合する。混合方法としては、ボールミル等の公知の方法が採用される。酸化亜鉛と酸化インジウムの混合割合は公知の組成が適用できる。これらの粉末の混合中あるいは混合後に必要に応じてバインダーを添加し、次いで冷間静水圧（ＣＩＰ）等の手段によりプレス成形を行う。
【０００８】
さらに、得られた成型体を１２００℃〜１４００℃の温度で焼結する。これにより、相対密度が９０％以上の十分に高密度の焼結体ターゲットが得られる。焼結温度が１２００℃以下では焼結体は高密度とはならず、また１４００℃を越えるとＺｎＯが昇華して組成むらや組成ずれが生じる。焼結時間は２時間以上が好ましい。
次いで、焼結体は平面研削による面出し加工および色むら部分除去のための外周部切断の機械加工を経て製品ターゲットが得られる。
【０００９】
本発明のＩｎ２Ｏ３−ＺｎＯ系焼結体ターゲットの製造方法は、Ｉｎ２Ｏ３とＺｎＯの粉末を混合するに先立ちＺｎＯ粉末のみを仮焼することを特徴としている。ＺｎＯ粉末を仮焼するのは酸素の不定比性に起因すると予想される色むらを抑制するためである。即ち、酸化亜鉛は本来、酸素欠損型の不定比性を示すのでこれを仮焼することにより粉体としての活性を低下させ、酸素の出入りをしにくくするためである。酸化インジウムと混合した状態で仮焼を行うと酸化インジウム粉末の活性が一緒に低下してしまい、その後の焼結工程において十分に緻密化し難くなり、高密度の焼結体ターゲットが得られない。
【００１０】
仮焼後の酸化亜鉛はＢＥＴ表面積が０．２〜４．０ｍ2 ／ｇの範囲であれば色むらが効果的に抑制できる。
また、焼結工程において焼結温度にまで昇温する速度を３５０℃／時以上とすると十分な高密度（相対密度９５％以上）を得ることを確実にすることができ、特に８００℃〜焼結温度（１２００℃〜１４００℃）の間の昇温速度が重要である。
さらに、ターゲットの組成が酸化インジウム５０ｗｔ％以上の場合に、高密度化（相対密度で９５％以上）および色むら抑制の効果が特に著しく表われる。
【００１１】
【実施例】
以下に、本発明を実施例および比較例によりさらに説明する。
表１に示すように、酸化亜鉛粉末を各仮焼温度で２時間仮焼後、この酸化亜鉛の仮焼粉末と酸化インジウム粉末を各組成となるように混合し、ジルコニア（ＺｒＯ２）ボールを用いてボールミルで乾式で２４時間混合した。次いで、この混合物にバインダーとしてＰＶＡ水溶液を加え、５インチ×１５インチ×１８ｍｍ厚サイズの平板状に圧力８００ｋｇｆ／ｃｍ2 で金型を用いてプレス形成した。得られた成形体を焼結時間８時間、大気中で各種焼結条件で焼成した。
【００１２】
仮焼条件、焼結条件および各種試験結果を、表１に示す。色むらの判定については、研削加工により色むら部分を除去して色むらの無いターゲットを得るために除去しなければならない重量が、焼成直後の焼結体の重量に対して３０％を超えるものを×とし、３０％以内で済むものを○とした。
【００１３】
【表１】
0003734540.tif 000002
【００１４】
表１に示す試験結果から分るように、本発明の製造条件の範囲内である実施例１〜４の焼結体はいずれも密度は高く、色むらの発生程度も少ない。一方、仮焼温度およびＢＥＴ表面積が本発明の製造条件の範囲外である比較例１は色むらが発生し、また焼結温度が範囲外である比較例２は、密度が低い焼結体しか得られない。
【００１５】
【発明の効果】
本発明によれば、大型サイズの焼結体であっても均一でむらのない高密度のしかも色むらの少ないものが得られる。特に焼結体の周辺部と中央部との色むらの発生を抑制する事ができるため、従来の製品に比べ歩留りが著しく向上する。