(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化錫半導体からなる感ガス体を覆うようにアルミナゾルと酸化錫からなる混合物を塗布した後、約４００℃乃至９００℃で焼成してフィルタ層を形成することを特徴とする半導体式ガスセンサの製造方法。
【請求項２】
上記フィルタ層を形成する酸化錫には貴金属触媒を含有させることを特徴とする請求項１記載の半導体式ガスセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体式の可燃性ガスセンサや水蒸気センサ等のガスセンサの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のガスセンサは、ガスセンサを組み込む機器に使用されているシリコンや周囲雰囲気のＨ2 Ｓ、ＳＯ2 等による被毒により、センサ特性が変化し、実用上安定したガス検知を行うことができなくなるという問題点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このような問題点について鑑み、実使用時のセンサ特性の変化を抑えるため、予想される被毒物質を用いて予め特性をある程度変化させておく手法が用いられることがあるが、多様な状況が存在するため、予め被毒の程度に合わせて処理をコントロールすることは困難であり、その上効果としても被毒初期の大きな変化を抑えるだけに過ぎなかった。
【０００４】
本発明は上記問題点に鑑みて為されたもので、その目的とするところはＳｉ等の被毒物質、Ｈ2 Ｓ、ＳＯ2 等の被毒ガスに対する耐久性に優れた半導体式ガスセンサを得る半導体式ガスセンサの製造方法を提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１の発明では、酸化錫半導体からなる感ガス体を覆うようにアルミナゾルと酸化錫からなる混合物を塗布した後、約４００℃乃至９００℃で焼成してフィルタ層を形成することを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明では、請求項１の発明において、上記フィルタ層を形成する酸化錫には貴金属触媒を含有することを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
図１は平板−厚膜型センサを構成する本発明の一実施形態の構成を示しており、本実施形態は、厚さ０．３ｍｍで一辺の長さが２ｍｍの正方形のアルミナ基板１の裏面に図１（ｂ）に示すようにヒータ用の金電極２Ａ、２Ｂを形成してこれらの金電極２Ａ、２Ｂ間に図１（ｂ）に示すように酸化ルテニュームからなるヒータ３を形成し、表面にはスルホールにより裏面の金電極４Ａ’４Ｂ’に電気的に接続される金電極４Ａ，４Ｂを図１（ａ）に示すように形成している。そして各金電極４Ａ，４Ｂの間に亘るようにＳｎＯ2 又はＳｎＯ2 とアルミナからなる感ガス材料を塗布焼成する。
【００１０】
ここでＳｎＯ2 の調整について説明すると、まずＳｎＣｌ4 の水溶液をＮＨ3 で加水分解してスズ酸ゾルを得、この得たスズ酸ゾルを風乾燥後に空気中において例えば５００℃乃至８５０℃で１時間焼成し、ＳｎＯ2 を得る。このＳｎＯ2 に対して塩化パラジウムの塩酸溶液を含浸させ、例えば５００℃で空気中において１時間熱分解してＰｄを担持させる。ここでのＰｄの役割は感知対象ガスに対する素子の応答速度を改善するためのものであって、加えなくても良い。
【００１１】
またＰｄの代わりにＰｔ、Ｒｈ、Ａｕ等の貴金属やＷ，Ｍｏ等の遷移金属を用いることもできる。
而して上述のようにＰｄ或いはそれに代わる金属を担持させたＳｎＯ2 若しくはこれら金属を担持させないＳｎＯ2 に骨材として例えば１０００メッシュのアルミナを等量混合し、更に溶剤を加えてペースト状にした後、アルミナ基板１の金電極４Ａ．４Ｂの間に亘るように略同形状に塗布し、例えば約７００℃で２時間焼成するのである。この後有機シリカ化合物塗布をまず感ガス体６の表面に塗布した後空気中で例えば８００℃で１時間焼成する。
【００１２】
この焼成により金電極４Ａ，４Ｂの間に亘るように金属酸化物半導体たるＳｎＯ2 による感ガス体６が同一基板１上に形成されることになる。またこの形成後アルミナ基板１の裏面側の各電極２Ａ，２Ｂ及び４Ａ’，４Ｂ’にはリードワイヤー５を夫々接続して、これらリードワイヤー５により電線接続用端子及び出力用端子を構成する。
【００１３】
次いで、感ガス体６の表面を覆うようにフィルタ層７を形成する。
フィルタ層７の形成方法はフィルタ層７の材料と、アルミナゾルとを混合したものを感ガス体６を覆うように塗布し、空気中で約４００℃乃至約９００℃で１時間焼成する。
この焼成により図１（ｃ）に示すようにフィルタ層７で感ガス体６を覆った半導体式ガスセンサが完成することになる。
【００１４】
本発明に用いるフィルタ層７は酸化錫（ＳｎＯ２ ）と、アルミナゾルを基本的なフィルタ材料として用い、上記焼成によりアルミナゾルは無定型アルミナ、ベーマイトの内の二つの混合物となる。従って完成したフィルタ層７の組成は酸化錫と、無定型アルミナ、ベーマイトの二つの混合物とからなり、これらアルミナが存在することにより、被毒に対する耐久性を高め、且つ経時安定性、初期安定化時間の短縮等に対して優れた効果が得られることになる。
【００１５】
尚酸化錫に貴金属触媒を含有させ、その含有濃度と、感ガス体６の貴金属触媒或いは遷移金属触媒の濃度との間の関係を調整することにより、検知対象となるガスを選択することができる。
フィルタ層７の機械的に強度を高めるためにフィルタ材料にαーアルミナを骨材として加えても良い。
【００１６】
（実施例１）
本実施例のガスセンサはＰｄが１．５重量％入った感ガス体６をフィルタ層７で覆ったもので、フィルタ材料は酸化錫（ＳｎＯ2 ）をアルミナゾルに対して混合した混合物からなり、このフィルタ材料を感ガス体６を覆うように塗布して空気中で７００℃で１時間焼成することによりフィルタ層７を形成している。
【００１７】
（実施例２）
本実施例のガスセンサはＰｄが１．５重量％入った感ガス体６をフィルタ層７で覆ったもので、フィルタ材料は貴金属触媒であるＰｄ（ＳｎＯ２に対して０．１重量％）を担持した酸化錫（ＳｎＯ２）とアルミナゾルに混合した混合物からなり、このフィルタ材料を感ガス体６を覆うように塗布して空気中で７００℃で１時間焼成することによりフィルタ層７を形成している。
【００１８】
（実施例３）
本実施例のガスセンサはＰｄが１．５重量％入った感ガス体６をフィルタ層７で覆ったもので、フィルタ材料は貴金属触媒であるＰｄ（ＳｎＯ2 に対して０．２重量％）を担持した酸化錫（ＳｎＯ2 ）をアルミナゾルに混合したものを用い、このフィルタ材料を感ガス体６を覆うように塗布して空気中で７００℃で１時間焼成することによりフィルタ層７を形成している。
【００１９】
（実施例４）
本実施例のガスセンサはＰｄが１．５重量％入った感ガス体６をフィルタ層７で覆ったもので、フィルタ材料は貴金属触媒であるＰｄ（ＳｎＯ2 に対して０．５重量％）を担持した酸化錫（ＳｎＯ2 ）をアルミナゾルに混合したものを用い、このフィルタ材料を感ガス体６を覆うように塗布して空気中で７００℃で１時間焼成することによりフィルタ層７を形成している。
【００２０】
（実施例５）
本実施例のガスセンサはＰｄが１．５重量％入った感ガス体６をフィルタ層７で覆ったもので、フィルタ材料は貴金属触媒であるＰｄ（ＳｎＯ2 に対して１．５重量％）を担持した酸化錫（ＳｎＯ2 ）をアルミナゾルに混合したものを用い、このフィルタ材料を感ガス体６を覆うように塗布して空気中で７００℃で１時間焼成することによりフィルタ層７を形成している。
【００２１】
（実施例６）
本実施例のガスセンサはＰｄが１．５重量％入った感ガス体６をフィルタ層７で覆ったもので、フィルタ材料は貴金属触媒であるＰｄ（ＳｎＯ2 に対して３．０重量％）を担持した酸化錫（ＳｎＯ2 ）をアルミナゾルに混合したものを用い、このフィルタ材料を感ガス体６を覆うように塗布して空気中で７００℃で１時間焼成することによりフィルタ層７を形成している。
【００２２】
（実施例７）
本実施例のガスセンサはＰｄが１．５重量％入った感ガス体６をフィルタ層７で覆ったもので、フィルタ材料は貴金属触媒であるＰｄ（ＳｎＯ2 に対して５．０重量％）を担持した酸化錫（ＳｎＯ2 ）をアルミナゾルに対して混合したものを用い、このフィルタ材料を感ガス体６を覆うように塗布して空気中で７００℃で１時間焼成することによりフィルタ層７を形成している。
【００２３】
（実施例８）
本実施例のガスセンサはＰｄが１．５重量％入った感ガス体６をフィルタ層７で覆ったもので、フィルタ材料は貴金属触媒であるＰｄ（ＳｎＯ2 に対して３．０重量％）を担持した酸化錫（ＳｎＯ2 ）と骨材としてのα−アルミナ〔（α−Ａｌ2 Ｏ3 ）でＳｎＯ2 に対して５０重量％）〕とをアルミナゾルに混合したものを用い、このフィルタ材料を感ガス体６を覆うように塗布して空気中で７００℃で１時間焼成することによりフィルタ層７を形成している。
【００２４】
（実施例９）
本実施例のガスセンサはＰｄが１．５重量％入った感ガス体６をフィルタ層７で覆ったもので、フィルタ材料は酸化錫（ＳｎＯ2 ）と骨材としてのα−アルミナ〔（α−Ａｌ2 Ｏ3 ）でＳｎＯ2 に対して５０重量％）〕とをアルミナゾルに混合したものを用い、このフィルタ材料を感ガス体６を覆うように塗布して空気中で７００℃で１時間焼成することによりフィルタ層７を形成している。
【００２５】
（実施例１０）
本実施例のガスセンサはＰｄが１．５重量％入った感ガス体６をフィルタ層７で覆ったもので、フィルタ材料は貴金属触媒であるＰｄ（ＳｎＯ2 に対して０．２重量％）を担持した酸化錫（ＳｎＯ2 ）と骨材としてのα−アルミナ〔（α−Ａｌ2 Ｏ3 ）でＳｎＯ2 に対して５０重量％）〕とをアルミナゾルに混合したものを用い、このフィルタ材料を感ガス体６を覆うように塗布して空気中で７００℃で１時間焼成することによりフィルタ層７を形成している。
【００２６】
ここで上記各実施例１〜７とフィルタ無しのガスセンサの空気中の感ガス体６の両端抵抗Ｒ（ａｉｒ）に対する各ガス中（１０００ｐｐｍ）の両端抵抗Ｒ（ｇａｓ１０００ｐｐｍ）の割合で示される感度を測定したところ図２及び表１に示すような結果が得られた。
【００２７】
【表１】
0003795944.tif 000002
【００２８】
この測定結果からフィルタ層無しの場合水素、イソブタン、メタン等の感度が近似するとともにエタノール、水蒸気の感度が近似しており、水蒸気センサとしては雑ガスの感度が高く、またメタンセンサとしては水素と近似しており、誤動作し易いことが分かる。
これに対して実施例１ではエタノールの感度が水蒸気の感度よりもかなり低下しているため水蒸気センサとして用いることが可能となることが分かる。
【００２９】
また実施例２乃至実施例７のようにＰｄの量が増えるほど水素の感度及びエタノールの感度が低下していることが分かる。特に実施例５乃至実施例７の場合にはイソブタンの感度が低下するものの、水蒸気の感度に対してエタノールの感度が著しく低くなっているため水蒸気センサとして適していることが分かる。
そしてＰｄの重量％が感ガス体６のＰｄの重量％未満（実施例２乃至４）になると、イソブタンやメタンの感度は水素、エタノール、水蒸気の各感度に対して対して十分に高くなり、メタンガスやイソブタンを検知対象とした可燃性ガスセンサに適していることが分かる。
【００３０】
フィルタ層無しの基本例と、フィルタ層７を設けるものの３％のＰｄを担持したα−アルミナをシリカゾルに混合して焼結形成した比較例１と、フイルタ層を３．０重量％のＰｄを担持したＳｎＯ２をシリカゾルに混合して焼結形成した比較例２と、フイルタ層を３．０重量％のＰｄを担持したＳｎＯ２をα−アルミナに混合して焼結形成した比較例３と、上記実施例７と、実施例８と、実施例１と、実施例９との水蒸気感度〔Ｒ（４０℃，湿度９０％）／Ｒ（２０℃、湿度６５％）〕、エタノール感度〔Ｒ（ＥｔＯＨ ３００ｐｐｍ／Ｒ（ａｉｒ）〕を夫々測定してみたところ表２及び図３に示すような結果が得られた。
【００３１】
尚図３中Ａは基本例、Ｂは比較例１、Ｃは比較例２、Ｄは比較例３、Ｅは実施例７、Ｆは実施例８、Ｇは実施例１、Ｈは実施例９を夫々示す。
【００３２】
【表２】
0003795944.tif 000003
【００３３】
この結果から比較例１、比較例２はフィルタ層７を設けることによりエタノールの感度を低くすることができるものの水蒸気感度も低くなっている。
一方実施例７，８及び比較例３は共に水蒸気感度を高く保ち且つエタノールの感度を低くすることができ、これら三例が水蒸気センサとして適していることが分かる。
【００３４】
一方水蒸気センサとしての応答性（感ガス時の抵抗値Ｒと、非感知時の抵抗値Ｒ0 との比Ｒ／Ｒ0 ）を測定してみたところ、基本例、実施例７、比較例２は夫々図４（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すようになった。
この結果シリカゾルを材料に用いたフィルタ層７を形成した比較例２（図４（ｃ））は、基本例（図４（ａ））に比べて落ちているが、実施例７（図４（ｂ）は基本例に比べて応答性の低下は殆どない。尚図４中破線、実線は夫々非感知ガス時の抵抗値Ｒ0 が異なるセンサ例を示す。
【００３５】
従って実施例７では十分な応答性が確保されていることが分かる。尚実施例８について図示していないが実施例７と同様な結果が得られた。
更に夫々の例のセンサを１か月放置した後に使用状態としその時の感ガス体６の抵抗値が安定値の９０％に達するまでに要する時間を測定してみたところ、基本例では４．８分、比較例１では１．９分、比較例２では、１．７分、比較例３では０．３分、実施例７では０．３分、実施例８では０．３分、実施例１では０．６分、実施例９では０．５分の結果が得られ、この結果から比較例３、実施例７、８、１、９が初期安定化に優れていることが分かる。
【００３６】
次に本発明の技術課題である被毒試験（対Ｓｉ）について、各例をヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳ）の５０ｐｐｍ中１時間放置して行ない、試験前の感ガス体６の両端抵抗Ｒ（ａｉｒ）と、エタノールの感度〔Ｒ（ＥｔＯＨ  ３００ｐｐｍ）／Ｒ（ａｉｒ）〕とを測定したところ、表３及び図５（ａ）（ｂ）に示す結果が得られた。尚図５中Ａは基本例、Ｂは比較例１、Ｃは比較例２、Ｄは比較例３、Ｅは実施例７、Ｆは実施例８、Ｇは実施例１、Ｈは実施例９を夫々示す。また○は試験前を、●は試験後を夫々示す。
【００３７】
【表３】
0003795944.tif 000004
【００３８】
この結果から各実施例とも試験前と、試験後との感度の変化は殆どなく、被毒に対する耐久性に優れていることが分かる。
更に各例のエタノールの感度〔Ｒ（ＥｔＯＨ  ３００ｐｐｍ）／Ｒ（ａｉｒ）〕の経時変化を測定してみたところ、図６のような結果が得られた。尚図６中Ａは基本例、Ｂは比較例１、Ｃは比較例２、Ｄは比較例３、Ｅは実施例７、Ｆは実施例８、Ｇは実施例１、Ｈは実施例９を夫々示す。
【００３９】
この図６の結果から感度の経時変化は実施例７、８、９及び実施例１では殆どなく、経時安定性に優れていることが分かる。
以上の結果から、経時安定性、初期化安定時間、被毒に対する耐久性が共に優れているのは実施例７、８、９、１であり、しかも水蒸気に対して十分な感度が得られ且つエタノールの感度を低くすることができるもの、つまり水蒸気センサに適しているものは感ガス体６の貴金属触媒の量よりもフィルタ層７に含む貴金属触媒の量が多い実施例７、８であることが分かる。
【００４０】
次に可燃性ガスセンサ（メタンガスセンサ）の例について上記の水蒸気センサの場合と同様にフィルタ層無しの基本例（感ガス材料として１．５重量％のＰｄを入れたＳｎＯ2 を用いた）と、フィルタ層７を設けるもののフイルタ層７をＡｌ2 Ｏ3 と２．０重量％のＰｄとをシリカゾルに混合して焼結形成した比較例１’と、フイルタ層を２．０重量％のＰｄを担持したＳｎＯ2 をシリカゾルに混合して焼結形成した比較例２’と、フイルタ層７を２．０重量％のＰｄを担持しあＳｎＯ2 とα−アルミナに混合して焼結形成した比較例３’と、上記実施例３と、実施例１０と、実施例１、実施例９の各ガス感度を測定してみたところ、表４のような結果が得られた。
【００４１】
【表４】
0003795944.tif 000005
【００４２】
この結果から比較例１’乃至比較例３’、実施例３、実施例１０、実施例１、実施例９のようにフィルタ層７を設けた場合、メタンガスに対する選択性が向上していることが分かる。
また濃度勾配〔Ｒ（ＣＨ4   ３０００ｐｐｍ）／Ｒ（ＣＨ4   １０００ｐｐｍ）〕を測定してみたところ、基本例では０．６０、比較例１’では０．６１、比較例２’では０．６０、比較例３’では０．６０、実施例３では０．５６、実施例１０では０．５５、実施例１では０．５７、実施例９では０．５７という結果が得られた。この結果から基本例、比較例１’乃至比較例３’に比べて実施例３、実施例１０、実施例１、実施例９の検出精度が改善されていることが分かる。
【００４３】
また各例のセンサを一ヶ月放置した後使用状態にした時、抵抗値が安定値の９０％に達するまでに要する時間、つまり初期安定化時間を夫々測定してみたところ、基本例では２５秒、比較例１では２８秒、比較例２では２５秒、比較例３では１５秒、実施例３では１２秒、実施例１０では１３秒、実施例１では１２秒、実施例９では１１秒という結果が得られた。
【００４４】
この結果から実施例３、実施例１０、実施例１、実施例９共初期安定化時間が短いこと分かる。
更に本発明の技術課題である被毒試験（対Ｓｉ）について、各例をヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳ）の５０ｐｐｍ中１時間放置して行ない、試験前の空気中の感ガス体６の両端抵抗Ｒ（ａｉｒ）と、メタンガス中の感度Ｒ（ＣＨ4 ３０００ｐｐｍ）、メタンガスの濃度勾配〔Ｒ（ＣＨ4 ３０００ｐｐｍ）／Ｒ（ＣＨ4   ３０００ｐｐｍ）〕とを測定したところ、表５及び図７に示す結果が得られた。尚図７の○、●はＲ（ａｉｒ）の試験前、試験後の値を示し、△、▲はＲ（ＣＨ4   ３０００ｐｐｍ）の試験前、試験後の値を示す。又図７中Ａは基本例、Ｂは比較例１’、Ｃは比較例２’、Ｄは比較例３’、Ｅは実施例３、Ｆは実施例７、Ｇは実施例１、Ｈは実施例９を夫々示す。図８（ａ）（ｂ）、図９（ａ）（ｂ）は実施例３と、基本例の各ガスに対する濃度勾配の試験前（ａ）と、試験後（ｂ）の変化を示す。図８、９中のイはイソブタン、ロはメタン、ハは一酸化炭素、ニは水素、ハはエタノールを示す。
【００４５】
【表５】
0003795944.tif 000006
【００４６】
また基本例と、実施例３の各ガスに対する感度の連続通電経時特性を測定してみたところ図１０（ａ）（ｂ）のような結果が得られた。尚図１０中イは空気、ロはメタンガス（３０００ｐｐｍ）、ハはエタノール（１０００ｐｐｍ）、ニはイソブタン（１５００ｐｐｍ）、ホは水素（１０００ｐｐｍ）を示す。
以上の結果から、経時安定性、初期化安定時間、被毒に対する耐久性、濃度勾配増加による検出精度等について実施例３、７、１、９は基本例、比較例１乃至３に比べて優れていることが分かる。このように実施例３、７、１、９はメタンガスに対して十分な感度が得られて識別性が高く、メタンガスセンサとして優れている。
【００４７】
尚上記各実施例は平板厚膜型センサの構造を持つものであるが、図１１（ａ）（ｂ）に示すようにアルミナ管１０の内部にヒータ３を設け、アルミナ管１０の表面に感ガス体６を形成した管状厚膜型センサにおいて、感ガス体６の表面を覆うようにフィルタ層７を形成しても良い。また図１２（ａ）（ｂ）に示すように感ガス体６内にヒータ５を埋設した焼結型センサにおいて、感ガス体６の表面を覆うようにフィルタ層７を形成しても良い。
【００４８】
また実施例１乃至４、つまりフィルタ層７中の貴金属触媒濃度を感ガス体６中の貴金属触媒濃度未満の場合のガスセンサはメタンガスを対象とするデータしか挙げていないが、イソブタンにも十分な感度とメンタガスの場合と同様な効果が得られ、メンタガス用のガスセンサに特に限定されるものではない。
【００５１】
【発明の効果】
請求項１の発明は、酸化錫半導体からなる感ガス体を覆うようにアルミナゾルと酸化錫からなる混合物を塗布した後、約４００℃乃至９００℃で焼成してフィルタ層を形成するので、酸化錫及びアルミナゾルの働きにより被毒に対する耐久性が向上し、且つ経時安定性、初期安定時間の短縮に優れた半導体式ガスセンサを得ることができる。
【００５２】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、フィルタ層を形成する酸化錫には貴金属触媒を含有させるので、貴金属触媒濃度が金属触媒濃度以上であれば水蒸気に対する応答性も悪くない水蒸気センサが、また貴金属触媒濃度を金属触媒濃度未満であれば初期安定時間の短縮と濃度勾配増加による検出精度の改善が図れた可燃性ガスセンサに適した半導体式ガスセンサを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の一実施形態の半導体式ガスセンサの表面側の斜視図である。
（ｂ）は同上の半導体式ガスセンサの裏面側の斜視図である。
（ｃ）は同上の半導体式ガスセンサの側断面図である。
【図２】各実施例とフィルタ無しの基本例の各ガスに対する感度とＰｄ濃度との関係特性図である。
【図３】基本例、比較例、実施例の水蒸気及びエタノールの感度特性図である。
【図４】（ａ）は基本例の応答特性図である。
（ｂ）は一実施例の応答特性図である。
（ｃ）は同上の比較例の応答特性図である。
【図５】（ａ）は被毒試験前後の特性変化（対空気）の説明図である。
（ｂ）は被毒試験前後の特性変化（対エタノール）の説明図である。
【図６】基本例、比較例、実施例のエタノールに対する感度の経時安定特性説明図である。
【図７】基本例、比較例、実施例の被毒試験前後の特性変化（対空気、対メタン）の説明図である。
【図８】（ａ）は初期時の基本例の各種ガスに対する感度とガス濃度との関係説明図である。
（ｂ）は被毒試験後の基本例の各種ガスに対する感度とガス濃度との関係説明図である。
【図９】（ａ）は初期時の一実施例の各種ガスに対する感度とガス濃度との関係説明図である。
（ｂ）は被毒試験後の一実施例の各種ガスに対する感度とガス濃度との関係説明図である。
【図１０】（ａ）は基本例の連続通電特性説明図である。
（ｂ）は一実施例の連続通電特性説明図である。
【図１１】（ａ）は本発明の別の実施形態の半導体式ガスセンサの一部破断せる斜視図である。
（ｂ）は同上の半導体式ガスセンサの正面断面図である。
【図１２】本発明の他の実施形態の半導体式ガスセンサの側面断面図である。
【符号の説明】
１  アルミナ基板
２Ａ，２Ｂ  金電極
３  ヒータ
４Ａ，４Ｂ、４Ａ’，４Ｂ’  金電極
５  リードワイヤー
６  感ガス体
７  フィルタ層
【図１】
0003795944.tif 000007
【図２】
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【図３】
0003795944.tif 000009
【図４】
0003795944.tif 000010
【図５】
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【図６】
0003795944.tif 000012
【図７】
0003795944.tif 000013
【図８】
0003795944.tif 000014
【図９】
0003795944.tif 000015
【図１０】
0003795944.tif 000016
【図１１】
0003795944.tif 000017
【図１２】
0003795944.tif 000018