(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の隔壁によって仕切られた複数のインク室を有する流路部材と、上記各インク室内のインクを加圧するアクチュエータ部とからなるインクジェット記録ヘッドにおいて、上記アクチュエータ部は、圧電セラミック層、略全面共通電極、圧電セラミック層、上記各インク室上に位置するように配置された個別電極を順次複数層積層して一体化してなり、上記略全面共通電極と個別電極との間にある圧電セラミック層の厚み方向に分極処理を施した積層型圧電素子からなり、上記インク室に最も近い個別電極の幅を上記インク室の幅の６０％〜９０％とするとともに、他の個別電極の少なくとも一つの幅をインク室に最も近い個別電極の幅より大きくしたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、文字や画像の印刷に用いるインクジェット記録装置に搭載されるインクジェット記録へッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピューターの普及やマルチメディアの発達に伴って、情報を記録媒体に出カする記録装置として、インクジェット方式の記録装置の利用が急速に拡大している。
【０００３】
かかるインクジェット方式の記録装置には、インクジェット記録へッド（以下ヘッドと称す）が搭載されており、この種のヘッドには、インクが充填されたインク室内に加圧手段としてのヒーターを備え、ヒーターによりインクを加熱、沸騰させ、インク室内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔よりインク滴として吐出させるサーマルジェット方式と、インクが充填されるインク室の一部の壁を圧電素子によって屈曲変位させ、機械的にインク室内のインクを加圧し、インク吐出孔よりインク滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
このうち、圧電方式のインクジェット記録ヘッド４０としては、例えば、図３に示すように、複数の隔壁２２で仕切られた複数のインク室２１を有する流路部材２６と、各インク室２１内に充填されるインクを加圧するアクチュエータ部２７とから構成されたものがあった。
【０００５】
上記流路部材２６は、複数のスリットを並設した板状体２５と、複数のインク吐出孔２３及びインク供給孔（不図示）をそれぞれ備えるノズル板２４とからなり、ノズル板２４の各インク吐出孔２３及びインク供給孔と、板状体２５の各スリットとの位置合わせをした状態で貼り合わせることにより複数の溝を形成し、この溝をインク室２１とするとともに、溝底面にインク吐出孔２３とインク供給孔が開口するようになっていた。
【０００６】
また、アクチュエータ部２７は、圧電セラミック層２８ａ，２８ｂ，２８ｃ、略全面共通電極２９ａ，２９ｂ，２９ｃ、圧電セラミック層３０ａ，３０ｂ，３０ｃ、上記各インク室２１上に位置するように配置された個別電極３１ａ，３１ｂ，３１ｃとをこの順序でそれぞれ複数枚積層一体化してなり、上記略全面共通電極２９ａ，２９ｂ，２９ｃと個別電極３１ａ，３１ｂ，３１ｃとの間にある圧電セラミック層２８ｂ，２８ｃ，３０ａ，３０ｂ，３０ｃには厚み方向に分極処理を施した積層型圧電素子３２により形成され、各個別電極３１ａ，３１ｂ，３１ｃの幅は、積層方向において一定とし、かつインク室２１の幅と同等程度に形成されていた（特開平３−２７４１５９号公報参照）。
【０００７】
そして、このインクジェット記録ヘッド４０によりインク滴を吐出するには、不図示のインク供給孔よりインク室２１内にインクを充填した状態で、積層型圧電素子３２の個別電極３１ａ，３１ｂ，３１ｃと略全面共通電極２９ａ，２９ｂ，２９ｃとの間に電圧を印加して電界を発生させると、電界が作用する圧電セラミック層２８ｂ，２８ｃ，３０ａ，３０ｂ，３０ｃは積層方向に対して垂直な方向に伸縮しようとするのであるが、最下層の圧電セラミック層２８ａには電界が作用せず振動しないため、インク室２１上のアクチュエータ部２７は隔壁２２の拘束によって撓み振動を起こし、この撓み振動によってインク室２１内のインクを加圧し、インク吐出孔２３よりインク滴を吐出するようになっていた。
【０００８】
このように、アクチュエータ部２７として積層型圧電素子３２を用いたものは、大きな撓み振動を発生させることができるといった利点があった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、積層型圧電素子の振動を大きくするためには、圧電セラミック層を挟んで配置される電極の面積を大きくし、圧電セラミック層に大きな電界が作用するようにすれば良いのであるが、図３に示すインクジェット記録ヘッド４０のように、アクチュエータ部２７が隔壁２２と接合され、個別電極３１ａ，３１ｂ，３１ｃの幅がインク室２１の幅と同程度であると、十分に大きな撓み振動を発生させることができないといった課題があった。
【００１０】
即ち、隔壁２２との接合部より離れた位置にある圧電セラミック層２８ｂ，２８ｃ，３０ｂ，３０ｃは、その振動を隔壁２２によって阻害され難いものの、隔壁２２との接合部に近い圧電セラミック層３０ａは、その振動が隔壁２２によって拘束されるため、アクチュエータ部２７全体の撓み振動が小さくなっていた。
【００１１】
その結果、インク室２１内のインクを加圧する力が小さく、インク滴の吐出速度を高めることができなかった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は上記課題に鑑み、複数の隔壁によって仕切られた複数のインク室を有する流路部材と、上記各インク室内のインクを加圧するアクチュエータ部とからなるインクジェット記録ヘッドにおいて、上記アクチュエータ部を、圧電セラミック層、略全面共通電極、圧電セラミック層、上記各インク室上に位置するように配置された個別電極を順次複数層積層して一体化するとともに、上記略全面共通電極と個別電極との間にある圧電セラミック層の厚み方向に分極処理を施した積層型圧電素子により形成するとともに、上記インク室に最も近い個別電極の幅を上記インク室の幅の６０％〜９０％とし、かつ他の個別電極の少なくとも一つの幅をインク室に最も近い個別電極の幅より大きくしたことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００１４】
図１は本発明のインクジェット記録ヘッドの一例を示す一部を破断した斜視図である。
【００１５】
このインクジェット記録ヘッド２０（以下、ヘッド２０と称す）は、複数の隔壁２で仕切られた複数のインク室１を有する流路部材６と、各インク室１内に充填されるインクを加圧するアクチュエータ部７とからなる。
【００１６】
流路部材６は、複数のスリットを並設した板状体５と、複数のインク吐出孔３及びインク供給孔（不図示）をそれぞれ備えたノズル板４とからなり、ノズル板４の各インク吐出孔３及びインク供給孔と、板状体５の各スリットとの位置合わせをした状態で例えば接着にて貼り合わせることにより複数の溝を形成し、この溝をインク室１とするとともに、溝底面にインク吐出孔３とインク供給孔が開口するようにしてある。
【００１７】
ここで、流路部材６を構成するノズル板４の材質としては、特に限定するものではなく、樹脂、石英、ガラス、シリコン、金属、セラミックスを用いることができる。また、図１では一枚の板材からなるものを示したが、上記材質からなる板材を二層以上貼り合わせた積層体を用いても良く、この場合、インク室１側の板材には、比較的剛性の高い石英、ガラス、シリコン、金属、セラミックスを用い、インク吐出側の板材には、微小なインク吐出孔３を形成し易い樹脂を用いることが好ましい。
【００１８】
また、流路部材６を構成する板状体５の材質としては、ノズル板４と同様に樹脂、石英、ガラス、シリコン、金属、セラミックスを用いることができるが、アクチュエータ部７の振動により隔壁２が変形しないようにするため、適度な剛性を有する材質により形成することが好ましく、石英、ガラス、シリコン、金属、セラミックスのいずれか一種の材質を用いることが好ましい。
【００１９】
なお、図１では流路部材６としてノズル板４と板状体５を別々に形成して貼り合わせた例を示したが、樹脂、石英、ガラス、シリコン、金属、セラミックスのいずれか一種からなる板状体にインク室１となる溝を形成するとともに、溝底面にインク吐出孔３とインク供給孔を穿設した流路部材を用いることもできる。
【００２０】
一方、アクチュエータ部７は、圧電セラミック層８ａ，８ｂ，８ｃ、略全面共通電極９ａ，９ｂ，９ｃ、圧電セラミック層１０ａ，１０ｂ，１０ｃ、上記各インク室１上に位置するように配置された個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃとをこの順序で３層積層して一体化するとともに、上記略全面共通電極９ａ，９ｂ，９ｃと個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃとの間にある圧電セラミック層８ｂ，８ｃ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃには予め厚み方向に図１に示す矢印の如く分極処理を施した積層型圧電素子１２により形成してあり、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１をインク室１の幅Ｌの６０％〜９０％とするとともに、他の個別電極１１ｂ，１１ｃの幅Ｗ２，Ｗ３を、インク室１に最も近い個別電極１１ａより徐々に大きくなる（Ｗ１＜Ｗ２＜Ｗ３）ようにしてある。
【００２１】
そして、このヘッド２０によりインク滴を吐出するには、上記個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃと略全面共通電極９ａ，９ｂ，９ｃとの間に電圧を印加して電界を発生させると、電界が作用する部分の圧電セラミック層８ｂ，８ｃ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃは積層方向に対して垂直な方向に伸縮しようとするのに対し、電界が作用しない圧電セラミック層８ａは不活性部となって振動しないため、隔壁２の間（インク室１上にある）にあるアクチュエータ部７を積層方向に撓み振動させることができる。この時、本発明のヘッド２０によれば、インク室２に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１は、インク室１の幅Ｌよりも小さくし、かつ他の個別電極１１ｂ，１１ｃの幅Ｗ２，Ｗ３はインク室２に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１よりも大きくしてあることから、インク室１上のアクチュエータ部７の撓み振動を大きくすることができる。
【００２２】
即ち、アクチュエータ部７のインク室１側は、隔壁２によって拘束されていることから、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１をインク室１の幅Ｌに近似させると、個別電極１１ａと略全面共通電極９ａとの間にある圧電セラミック層１０ａの伸縮が隔壁２によって阻害され、かえって撓み量が小さくなるからで、本発明のようにインク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１をインク室１の幅Ｌより小さくして隔壁２までの距離を長くすれば、個別電極１１ａと略全面共通電極９ａとの間にある圧電セラミック層１０ａの伸縮量が若干減るものの、その振動が隔壁２によって拘束されるのを抑制することができ、結果として圧電セラミック層１０ａを撓み振動を大きくすることができる。
【００２３】
また、他の個別電極１１ｂ，１１ｃは、隔壁２との接合部から離れているため、圧電セラミック層８ｂ，８ｃ，１０ｂ，１０ｃの振動が隔壁２の拘束を受け難く、他の個別電極１１ｂ，１１ｃの幅Ｗ２，Ｗ３を、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１より大きくしてあることから、電界の大きさに見合った撓み振動を発生させることができる。
【００２４】
その結果、図３に示す従来のヘッド４０と比較して、インク室１上のアクチュエータ部７の撓み量を大きくすることができ、インク室１内のインクの加圧力を高めてインク滴の吐出速度を向上させることができる。
【００２５】
ただし、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１がインク室１の幅Ｌの６０％未満となると、個別電極１１ａと略全面共通電極９ａとの間にある圧電セラミック層１０ａの振動は隔壁２による拘束を受け難くなるものの、個別電極１１ａの幅Ｗ１が小さくなり過ぎるため、圧電セラミック層１０ａの伸縮量が小さくなり過ぎ、結果としてインク室１上のアクチュエータ部７の撓み量を大きくすることができない。
【００２６】
逆に、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１がインク室１の幅Ｌの９０％より大きくなると、個別電極１１ａの幅Ｗ１を小さくしたことによる効果が得られず、インク室１上のアクチュエータ部７の撓み量を十分に大きくすることができない。
【００２７】
その為、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１は、インク室１の幅Ｌの６０％〜９０％とすることが好ましい。
【００２８】
また、個別電極１１ａと略全面共通電極９ａとの間にある圧電セラミック層１０ａの振動が隔壁２の拘束を受けないようにするためには、圧電セラミック層８ａの厚みを厚くするなどしてアクチュエータ部７の撓み量を大きく低下させない範囲で隔壁２までの距離を長くすることが好ましい。
【００２９】
一方、インク室１に最も近い個別電極１１ａ以外の他の個別電極１１ｂ，１１ｃの幅Ｗ２，Ｗ３は大きい方が良いのであるが、あまり大きすぎると、隣の個別電極１１ｂ，１１ｃと接触したり、隣のインク室１へクロストークの影響を与えることになる。
【００３０】
その為、個別電極１１ｂ，１１ｃの幅Ｗ２，Ｗ３をインク室１の幅Ｌより大きくする場合、その突出量は隔壁２の幅Ｍの３０％以下に抑えることが良く、好ましくは１０％以下とすることが良い。
【００３１】
なお、図１では、インク室１上に位置する３つの個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃのうち、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１が最も小さく、かつインク室１の幅Ｌよりも小さくなるようにし、他の個別電極１１ｂ，１１ｃの幅はＷ２，Ｗ３は順に大きくなるようにした例を示したが、本発明はこのような構造だけに限らず、例えば、図２（ａ）に示すように、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１をインク室１の幅Ｌの６０％〜９０％とし、次の個別電極１１ｂの幅Ｗ２を個別電極１１ａの幅Ｗ１と同等とするとともに、インク室１より最も離れた個別電極１１ｃの幅Ｗ３を、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１より大きくしたもの、図２（ｂ）に示すように、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１をインク室１の幅Ｌの６０％〜９０％とし、次の個別電極１１ｂ及びインク室１より最も離れた個別電極１１ｃの幅Ｗ２，Ｗ３を、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１より大きくしたもの、図２（ｃ）に示すように、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１をインク室１の幅Ｌの６０％〜９０％とし、次の個別電極１１ｂをインク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１より大きくするとともに、インク室１より最も離れた個別電極１１ｃの幅Ｗ３を個別電極１１ａの幅Ｗ１より大きく、個別電極１１ｂの幅Ｗ２より小さくしたものなど、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１をインク室１の幅Ｌの６０％〜９０％とし、かつ他の個別電極１１ｂ，１１ｃの少なくとも一つの幅Ｗ２，Ｗ３をインク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１より大きくしたものであれば良い。
【００３２】
ただし、圧電セラミック層８ｂ，８ｃ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃの振動は、隔壁２との接合部に近いほど隔壁２の拘束を受けることになるため、好ましくは図１に示すように、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１をインク室１の幅Ｌの６０％〜９０％とし、他の個別電極１１ｂ，１１ｃは個別電極１１ａより離れるにしたがって徐々に大きくなるように配置したものが良い。
【００３３】
また、実施形態では積層型圧電素子１２を形成する個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃの数を３つとしたものを示したが、２つあるいは４つ以上でも構わない。ただし、コストやヘッド２０が大きくなることを考慮すると、８層程度までとしておくことが好ましい。
【００３４】
次に、本発明に係るインクジェット記録ヘッド２０の製造方法について説明する。
【００３５】
まず、流路部材６を製作するため、複数のスリットを備えた板状体５と、複数のインク吐出孔３及びインク供給孔を備えたノズル板４を用意する。
【００３６】
次に、板状体５のスリットとノズル板４のインク吐出孔３及びインク供給孔の位置合わせをした後、板状体５とノズル板４とを例えば接着等にて接合し、スリットの一方がノズル板４によって塞がれることにより形成される溝をインク室１とし、各溝を仕切る壁を隔壁２とするとともに、溝底面にはインク吐出孔３及びインク供給孔が開口した流路部材６を製作する。なお、板状体５とノズル板４とがセラミックスからなる場合、未焼成の板状体５と未焼成のノズル板４とを位置合わせをして貼り合わせた後、焼成することにより両者を一体化して流路部材６を形成することもできる。
【００３７】
一方、アクチュエータ部７を製作するには、未焼成の圧電セラミック層８ａ，８ｂ，８ｃ、略全面共通電極９ａ，９ｂ，９ｃ、未焼成の圧電セラミック層１０ａ，１０ｂ，１０ｃ、個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃをそれぞれこの順序で順次３層積層するのであるが、各個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃの幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３は、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１がインク室１の幅Ｌの６０％〜９０％で、かつ他の個別電極１１ｂ，１１ｃの少なくとも一つの幅Ｗ２，Ｗ３が個別電極１１ａの幅Ｗ１よりも大きくなるようにする。
【００３８】
しかる後、積層体を焼成した後、略全面共通電極９ａ，９ｂ，９ｃと個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃとの間の圧電セラミック層８ｂ，８ｃ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃに分極処理を施することにより製作する。
【００３９】
なお、圧電セラミック層８ａ，８ｂ，８ｃ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃを形成する材質としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ系）、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）等を主成分とする圧電セラミックスを用いることができる。
【００４０】
また、略全面共通電極９ａ，９ｂ，９ｃや個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃを形成する材質としては、圧電セラミック層８ａ，８ｂ，８ｃ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃの焼成温度に耐え得るものであれば良く、例えば、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｒｈ、Ａｕ、Ｎｉのうち１種以上を主成分とする導体を用いれば良い。
【００４１】
そして、得られたアクチュエータ部７の個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃがインク室１上に位置するとともに、個別電極１１ａがインク室１に最も近くなるように位置決めした後、アクチュエータ部７と流路部材６とを接着等にて貼り合わせることにより得ることができる。
【００４２】
以上、本発明の実施形態について示したが、本発明はこの実施形態だけに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で改良や変更されたものであっても構わない。
【００４３】
【実施例】
ここで、図１に示すインクジェット記録ヘッド２０に備えるアクチュエータ部７の各個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃの幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３を異ならせ、インク滴の吐出性能について調べる実験を行った。
【００４４】
アクチュエータ部７は、チタン酸ジルコン酸鉛を含むスラリーをロールコーター法にてシート状に形成して複数枚のグリーンシートを製作した後、金型を用いてグリーンシートを矩形状に打ち抜き、矩形状シートを複数枚用意した。
【００４５】
次に、三枚の矩形状シートの一方の主面に各略全面共通電極９ａ，９ｂ，９ｃとなる電極用ペーストを略全面に印刷するとともに、他方の主面に各個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃとなる電極用ペーストを印刷した。この時、各個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃの幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３は試料に応じて異ならせるとともに、上記電極用ペーストにＡｇ−Ｐｄを含むペーストを用いた。
【００４６】
そして、電極用ペーストを印刷した矩形状シートと、電極用ペーストを印刷していない矩形状シートとを順次積層して表１に示すような構造の積層体を製作した。なお、表１において、第１層とはインク室１の最も近くに配置される個別電極１１ａ、第２層とは個別電極１１ａの次にインク室１の近くに配置される個別電極１１ｂ、第３層とはインク室１より最も離れた位置に配置される個別電極１１ｃを示す。
【００４７】
しかる後、得られた積層体を１０００℃〜１２００℃の範囲で焼成した後、略全面共通電極９ａ，９ｂ，９ｃと個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃの間に電圧を印加してその間にある圧電セラミック層８ａ，８ｂ，８ｃ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃに分極処理を施すことによりアクチュエータ部７を作製した。なお、アクチュエータ部７を形成する各圧電セラミック層８ａ，８ｂ，８ｃ，１０ａ，１０ｂ，１０ｃの厚みは１５μｍ、略全面共通電極層９ａ，９ｂ，９ｃ及び個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃの厚みはそのバラツキ範囲が２〜５μｍとなるように設定した。
【００４８】
一方、流路部材６は、薄肉のステンレス板にインク室１となるスリットをエッチング法によって形成して板状体５を製作するとともに、別の薄肉ステンレス板にインク吐出孔３とインク供給孔（不図示）をエッチング法によって穿孔してノズル板４を製作した。そして、板状体５のスリットとノズル板４のインク吐出孔３及びインク供給孔との位置合わせを行った後、両者をエポキシ接着剤にて接着し、スリットとノズル板４とで形成される溝をインク室１とするとともに、各溝を仕切る壁を隔壁２とする流路部材６を製作した。なお、インク室１の幅Ｌは０．５ｍｍ、インク室１の長さは０．７ｍｍとなるように設定した。
【００４９】
しかる後、製作したアクチュエータ部７と流路部材６の位置合わせを行った後、エポキシ接着剤にて接着することにより実験用のインクジェット記録ヘッド２０を得た。
【００５０】
そして、得られた実験用のインクジェット記録ヘッド２０のインク室１内にインクを充填した後、アクチュエータ部７の略全面共通電極９ａ，９ｂ，９ｃと個別電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃの間に２０Ｖの電圧を周波数２０ＫＨｚで印加してアクチュエータ部７を駆動させ、インク吐出孔３より吐出されるインク滴の吐出速度を測定し評価した。
【００５１】
ただし、インク滴の吐出速度の測定は、高速度のストロボ撮影装置を有したカメラを用い、得られた画像を画像処理することにより得た。
【００５２】
結果は表１に示す通りである。
【００５３】
【表１】
0003842656.tif 000002
【００５４】
この結果、表１より判るように、インク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１をインク室１の幅Ｌの６０％〜９０％とし、かつ他の個別電極１１ｂ，１１ｃのうち少なくとも一つの幅Ｗ２、Ｗ３をインク室１に最も近い個別電極１１ａの幅Ｗ１より大きくしたことによりインク滴の吐出速度を大きくすることができる。
【００５５】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、複数の隔壁によって仕切られた複数のインク室を有する流路部材と、上記各インク室内のインクを加圧するアクチュエータ部とからなるインクジェット記録ヘッドにおいて、上記アクチュエータ部を、圧電セラミック層、略全面共通電極、圧電セラミック層、上記各インク室上に位置するように配置された個別電極を順次複数枚積層一体化してなり、上記略全面共通電極と個別電極との間にある圧電セラミック層の厚み方向に分極処理を施した積層型圧電素子により形成するとともに、上記インク室に最も近い個別電極の幅を上記インク室の幅の６０％〜９０％とし、かつ他の個別電極の少なくとも一つの幅をインク室に最も近い個別電極の幅より大きくしたことによって、アクチュエータ部の振動が隔壁によって拘束されるのを抑制することができるため、より大きな振動が得られ、インク室内のインクの加圧力を高めることができるため、インク滴の吐出速度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェット記録ヘッドの一例を示す一部を破断した斜視図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明のインクジェット記録ヘッドの他の例であるアクチュエータ部の個別電極配列状態を示す部分拡大断面図である。
【図３】従来のインクジェット記録ヘッドの一例を示す一部を破断した斜視図である。
【符号の説明】
１，２１  インク室
２，２２  隔壁
３，２３  インク吐出孔
４，２４  ノズル板
５，２５  板状体
６，２６  流路部材
７，２７  アクチュエータ部
８ａ，８，８ｃ，２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，  圧電セラミック層
９ａ，９ｂ，９ｃ，２９ａ，２９ｂ，２９ｃ  略全面共通電極
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ  圧電セラミック層
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ  個別電極
１２，３２  積層型圧電素子
２０，４０  インクジェット記録ヘッド
【図１】
0003842656.tif 000003
【図２】
0003842656.tif 000004
【図３】
0003842656.tif 000005