(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータ、ステータ及び排気通路部の温度を制御可能に形成する分子ポンプにおいて、パージガスをモータハウジングの内部に導入するためのパージガス導入手段を具備すると共に、ロータ駆動用モータにかかるガス負荷の大きさに応じて該パージガスの導入量を制御するように形成し、前記モータハウジングは、排気通路部からの熱伝導を遮断する構造に形成され、該排気通路部のプロセスガスを排出するための排出口部はポンプの筐体の排気孔部内に該排気孔部の内壁と間隙を存して断熱的に挿通した排気内側管からなると共に、該排気内側管には加熱用ヒータを設置したことを特徴とする分子ポンプ。
【請求項２】
ロータ、ステータ及び排気通路部の温度を制御可能に形成する分子ポンプにおいて、パージガスをモータハウジング内部に導入するためのパージガス導入手段を具備すると共に、ロータ駆動用モータにかかるガス負荷の大きさに応じて該パージガスの導入量を制御するように形成し、前記パージガス導入手段は、前記プロセスガスがロータ内部に漏洩しないように作動する第１ねじシールと、モータハウジング内部にあるパージガスがモータハウジング外部に漏洩しないように作動する第２ねじシールとを有し、前記第１ねじシールはＯリングを介して前記モータハウジングの外周部に摺動可能に外挿されてポンプの筐体に断熱的に係止されたねじ溝真空ポンプ部のステータに係着されていることを特徴とする分子ポンプ。
【請求項３】
ロータ、ステータ及び排気通路部の温度を制御可能に形成する分子ポンプにおいて、ロータ及びステータを予熱するための予熱用ガス導入手段を具備すると共に、ロータ駆動用モータにかかるガス負荷の大きさに応じて該予熱用ガスの導入量を制御するように形成し、前記ロータ及びステータを予熱するための予熱用ガス負荷又はプロセスガス負荷は、前記駆動用モータの回転速度から検出できるように形成され、該ロータ駆動用モータはブラシレスのＤＣモータとすると共に、該モータの最大電流値が流れるときの該モータの回転速度は該モータの定格回転速度の３０乃至７０％以下の範囲とし、それ以上の該モータの回転速度においては該モータへ供給される電流値が該モータの回転速度の増大と供に減少するように制御されていることを特徴とする分子ポンプ。
【請求項４】
ロータ、ステータ及び排気通路部の温度を制御可能に形成する分子ポンプにおいて、パージガスをモータハウジング内部に導入するためのパージガス導入手段を具備すると共に、ロータ駆動用モータにかかるガス負荷の大きさに応じて該パージガスの導入量を制御するように形成し、前記ガス負荷は、前記駆動用モータの回転速度から検出できるように形成し、該ロータ駆動用モータはブラシレスのＤＣモータとすると共に、該モータの最大電流値が流れるときの該モータの回転速度は該モータの定格回転速度の３０乃至７０％以下の範囲とし、それ以上の該モータの回転速度においては該モータへ供給される電流値が該モータの回転速度の増大と供に減少するように制御されていることを特徴とする分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は実験研究装置、分析計測装置、及び半導体製造工業における成膜分野等における工業用真空装置において、中真空から超高真空にわたる圧力範囲で使用される分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
分子ポンプにはターボ分子ポンプ、ねじ溝真空ポンプ、及びこれら２者が複合した複合分子ポンプがある。
【０００３】
従来エッチング装置、ＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition）装置等の成膜装置の排気用として使用されている複合分子ポンプの例として、図１０の如く吸気口ａと排気口ｂとを有する筐体ｃ内に、吸気口ａ側からターボ分子ポンプ部ｄ及びねじ溝真空ポンプ部ｅを順次配設したものが知られている。
【０００４】
尚、ｆはこれらターボ分子ポンプ部ｄ及びねじ溝真空ポンプ部ｅの共通ロータｇを固定した回転軸、ｈはモータ、ｉ及びｊはそれぞれジャーナル磁気軸受及びスラスト磁気軸受を示し、Ｘ矢印はプロセスガスの吸入方向を、又、Ｙ矢印はプロセスガスの排出方向を示す。
【０００５】
従来の分子ポンプをエッチング装置やＣＶＤ装置等の排気に使用した場合、プロセスガスが凝縮性を有するため、分子ポンプのロータやステータをはじめプロセスガスの接する部分に凝縮性気体が凝縮・堆積してロータをロックさせてしまう不具合があった。
【０００６】
そこで、分子ポンプの外周又は内部に設置したヒータによりポンプ部を加熱してロータ及びステータに凝縮性気体が凝縮・堆積するのを防止しようとした例（特開平３−２９００９２号公報）や、ねじ溝ポンプのステータを断熱材で支持してステータを自己昇温させて同上の凝縮・堆積の防止を図った例（特開平７−４３８４号公報）が知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
分子ポンプのロータ等はアルミ合金製のため、強度上の制約からロータの温度は１２０℃程度までとする必要があり、又、磁気軸受やモータ等の電気部品も高温を嫌うので、前記のヒータによりポンプ部を加熱する方法（特開平３−２９００９２号公報）は、ポンプ部の過熱によりポンプ寿命を劣化させたり、不具合を発生させたりする原因となる問題があった。
【０００８】
又、前記のステータを断熱材で支持して自己昇温させる方法（特開平７−４３８４号公報）も、大流量のプロセスガスが負荷として加わる時には、ポンプ部が過熱するという同上の問題があった。
【０００９】
更に又、このステータを自己昇温させる方法では、プロセスガス負荷が少な過ぎる場合とか、プロセス開始後数時間はステータ温度が充分に昇温せず、ポンプ部の流路に排気ガスの凝縮を起こす問題があった。
【００１０】
本発明はこれらの問題点を解消し、プロセスガス負荷の大小にかかわらずロータやステータや排気管等の排気ガスと接触する部分の温度を所定温度に保って凝縮を常時防止することができる分子ポンプを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成するべく、ロータ、ステータ及び排気通路部の温度を制御可能に形成する分子ポンプにおいて、パージガスをモータハウジングの内部に導入するためのパージガス導入手段を具備すると共に、ロータ駆動用モータにかかるガス負荷の大きさに応じて該パージガスの導入量を制御するように形成し、前記モータハウジングは、排気通路部からの熱伝導を遮断する構造に形成され、該排気通路部のプロセスガスを排出するための排出口部はポンプの筐体の排気孔部内に該排気孔部の内壁と間隙を存して断熱的に挿通した排気内側管からなると共に、該排気内側管には加熱用ヒータを設置したことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態として、複合分子ポンプに適用した例を図１の縦断面図により説明する。
【００１３】
プロセスガスは吸気口１から吸入され、ターボ分子ポンプ部２及びねじ溝真空ポンプ部３を経て排気口４より排出される。
【００１４】
５はこれらターボ分子ポンプ部２及びねじ溝真空ポンプ部３の共通のロータで、回転軸５ａに固定されており、アルミ合金製である。
【００１５】
ねじ溝真空ポンプ部３のステータ３ａは、断熱材製のリング３ｂ、３ｂを介して上部筐体６に係止されていると共に、ロータ５にあるねじ溝３ｃのねじ山部とは僅かな間隙を存して対向しており、又、該ステータ３ａの下端には第１ねじシール７が一部を密着して係着されている。
【００１６】
しかし、該ステータ３ａはその他の部分とは直接に接触をしていないので、該ステータ３ａは断熱的に支持されていることになる。
【００１７】
第１ねじシール７は外周部にねじ溝７ａを有すると共に内周部にＯリング７ｂを有し、該ねじ溝７ａはねじ山部をロータ５の内周部に僅かな間隙を存して対向させている。
【００１８】
該ねじ溝７ａは共通ロータ５の回転によりロータ内室５ｂの気体を下向き（排気内側管１２ａに通じる方向）に排気するように形成されている。
【００１９】
又、該第１ねじシール７は前記Ｏリング７ｂを介してモータハウジング８の外周部に摺動可能に外挿されている。
【００２０】
該第１ねじシール７はねじ溝７ａの作用によってねじ溝真空ポンプ部３より排出されるプロセスガスがロータ内室５ｂに漏洩してくるのを防止している。
【００２１】
９は第２ねじシールで、内周部にねじ溝９ａを有し、モータハウジング８の上端部に係止されていると共に、該ねじ溝９ａのねじ山部を共通ロータ５のボス部外周部に僅かな間隙を存して対向させている。
【００２２】
該ねじ溝９ａは、ロータ５の回転により、前記ロータ内室５ｂの気体を下向き（モータハウジング８の内部）に排気するように形成されいている。
【００２３】
１０はパージガス導入口で、該パージガス導入口１０より導入された窒素ガス等のパージガスは下部筐体内室１０ａ及びパージ穴１０ｂを通ってモータハウジング８内部を満たし、プロセスガスがモータハウジング８内部へ浸入するのを防止している。
【００２４】
該モータハウジング８内部のパージガスの圧力は前記第２ねじシール９のねじ溝９ａの圧縮作用によってロータ内室５ｂの圧力よりも高くなっている。このモータハウジング８の内部の圧力は該モータハウジング８と回転軸５ａとの間の熱伝達に大きな影響を与える。
【００２５】
即ち、
Ｑ  ：回転軸５ａからモータハウジング８に伝達される伝熱量
γ  ：パージガスの比熱比
Ｍ  ：パージガスの分子量
Ｒ  ：気体定数
Ｔ1 ：回転軸５ａの温度
Ｔ2 ：モータハウジング８に接しているモータステータ電磁石の温度
Ｐ  ：モータハウジング８内の圧力
とすると、数１に示す関係式が成立する。
【００２６】
【数１】
0003795979.tif 000002
【００２７】
このように、モータハウジング８内の圧力Ｐを高くすることによって、回転軸５ａとモータハウジング８間の伝熱量を増大させることができる。
【００２８】
モータハウジング８は空冷又は水冷された下部筐体１２を介して放熱し、一定温度に保たれている。一方、ロータ５は回転軸５ａを介しての熱伝達によって放熱しているので、プロセスガス負荷の増大によってロータ５の温度が上昇した場合には、回転軸５ａからモータハウジング８への熱伝達量Ｑを増やしてロータ５の過熱を防ぐ必要がある。
【００２９】
このため、プロセスガス負荷の増減に応じてモータハウジング８内のパージガス圧力を制御するようにしている。
【００３０】
尚、プロセスガス負荷の増減は、後述する駆動用モータ８ａの特性から、定格回転速度からの回転速度の変動値として検出されるので、回転速度検知器（図示せず）による検出値よりプロセスガス負荷の増減を知り、これによってパージガス導入口１０へのパージガス導入量を自動制御し、これに繋がる前記モータハウジング８内のパージガスの圧力を制御して、ロータ５の温度を所定値に保っている。
【００３１】
次に１１は予熱用ガス導入口を示す。
【００３２】
本実施の形態の複合分子ポンプにおいて、該予熱用ガス導入口１１はターボ分子ポンプ部２とねじ溝真空ポンプ部３の間に設けられている。
【００３３】
予熱用ガスには常温の窒素ガスなどが用いられ、プロセスの稼動を始める前の装置立上げ時に該予熱用ガス導入口１１から予熱用ガスを導入し、ねじ溝真空ポンプ部３におけるポンプ作用に伴う発熱によってステータ３ａ等の温度を昇温させておく。
【００３４】
又、長時間プロセスガス負荷がない場合（例えばプロセスを中断している時）にも、予熱用ガスの導入によりステータ３ａ等の温度を所定の高温に保つことができる。
【００３５】
尚、該ステータ３ａの温度を適切に保つためには、この予熱用ガスの導入量を制御する必要があり、この予熱用ガス導入量の制御は後述する駆動用モータ８ａの制御特性を用いて回転速度を検知して行っている。
【００３６】
尚、予熱用ガスの導入口部は、本実施の形態の複合分子ポンプの場合にはターボ分子ポンプ部２とねじ溝真空ポンプ部３の間に設けるとしたが、これは分子ポンプがターボ分子ポンプだけの場合にはロータ翼及びステータ翼の全段数のほぼ中央部に該導入口部を設ければよく、又、分子ポンプがねじ溝真空ポンプだけの場合にはステータのほぼ中央部に該導入口部を設ければよい。
【００３７】
ここで、本発明の特徴の１つである駆動用モータ８ａの特性について説明する。
【００３８】
回転軸５ａを駆動する駆動用モータ８ａはブラシレスのＤＣモータで、図２の実線で示す特性を持つように形成されている。
【００３９】
従来この種のモータの制御方法では、図２の点線で示す特性を持っていた。即ち、定格回転速度においてプロセスガス負荷が増大すると回転速度は僅かに低下するが、その低下の割合は最大電流値の時でも約１％程度と少ない。
【００４０】
この様なモータを分子ポンプ駆動用に用いると、プロセスガス負荷が増大した場合など、最大定格出力で連続運転中に分子ポンプのロータが過熱して１２０℃を超えてしまい、ロータの強度上極めて危険な状態になることが予想される。
【００４１】
又、このロータの過熱を避けるために、駆動用モータの最大定格出力がより小さな従来形のモータで従来の制御方法を用いた場合には、起動時に慣性モーメントの大きな前記ロータを定格回転速度にまで上昇するのに長時間を要するので、やはり不具合である。
【００４２】
これに対し、本発明の駆動用モータ８ａは、負荷の増大を入力電流値で検知し、それに応じてモータ回転速度を定格回転速度よりも低下させる制御を行っている。
【００４３】
即ち、定格回転速度の３０乃至７０％（５０％以上の範囲が好ましい）から駆動用モータ８ａへの供給電流値を低下させて、図２の実線で示すモータ入力電流・回転速度特性が得られるようにしている。
【００４４】
この制御により駆動用モータ８ａの最大出力は著しく低下し、過大なプロセスガス負荷が加えられた場合にはロータ５の回転速度が低下して該プロセスガス負荷によるモータの負荷が下がり、ロータ５等の過熱を防止することができる。又、回転速度を測定すればモータ入力電流が判るので、直ちにモータ出力即ちプロセスガス負荷の大きさを知ることができる。
【００４５】
又、駆動用モータ８ａの最大出力を低下させたために、ロータ５が定格回転速度まで上昇するのに従来よりも多少長い時間を要するようになるが、一般に分子ポンプでは定格回転速度の半分の回転速度でも装置立上げ時等の初期排気に充分な排気速度を有しているため、それ以後の定格回転速度までの回転速度の上昇に要する時間が多少増大しても実用上問題はない。
【００４６】
本発明の駆動用モータ８ａでは電流値と共に回転速度を情報としてコントローラへ取り込み、マイコンを用いて制御を行って回転速度に応じた電流がモータに流れるようにしているが、この制御のブロック図を図３に示す。又、従来の駆動用モータの制御のブロック図を図４に示す。
【００４７】
但し、Ｉ０は設定された最大電流値、Ｉは電流検出値、Ｎは回転速度検出値であり、又、Ｋ（Ｎ）はマイコンを用いた可変ゲインである。
【００４８】
尚、ねじ溝分子ポンプ部３から排気されるプロセスガス又は予熱ガス等は、排気内側管１２ａ及び１２ｂを経て排気口４より外部に排出されるが、これら排気内側管１２ａ、１２ｂから下部筐体１２へ熱が伝達するのを防ぐために、該下部筐体１２の排気孔部の内壁１２ｃと間隙を存してこれら排気内側管１２ａ、１２ｂを挿通させている。
【００４９】
又、排気内側管１２ｂの周囲に加熱用ヒータ１２ｄを設置して、プロセスガスが排気内側管１２ａ、１２ｂの排気通路内に凝縮・堆積するのを防止する構造としている。
【００５０】
次に、本発明の第１の実施の形態の作動、効果について説明する。
【００５１】
プロセスの稼動を始める前に分子ポンプのウォーミングアップをする。即ち、装置の立上げ時には、予熱用ガス導入口１１から窒素ガスなどの予熱用ガスをねじ溝ポンプ部３に導入し、ポンプ作用に伴う発熱によってステータ３ａ及びロータ５の温度を昇温させておき、然る後にプロセスガスに切り更えることにより、プロセスガスが流路に凝縮・堆積するのを防止している。
【００５２】
尚、この予熱ガスの導入は装置立上げ時だけに限らず、長時間プロセスガスの負荷の無い状態で装置を運転している場合にも同様に予熱ガスの導入を行って、ねじ溝ポンプ部のステータ３ａをはじめロータ５等を高温に保つことができる。
【００５３】
又、プロセスの稼動中はプロセスガス負荷の増減がロータ５の温度変動を引き起こすので、該プロセスガス負荷の増減を前記回転速度検知器により検出すると共にこの信号によりパージガスの供給量を制御することによりロータ５の温度をコントロールしている。
【００５４】
即ち、プロセスガス負荷が増加した時はパージガスの導入量を増やして下部筐体内室１０ａ及びモータハウジング８の内部の圧力を上昇させ、ロータ５から回転軸５ａを介してモータハウジング８への伝熱量を増加させてロータ５の温度が１２０℃以上に上昇するのを防ぎ、又、プロセス負荷が減少した時はパージガスの導入量を減らして前記伝熱量を減少させてロータ５の過度の温度低下を防止している。
【００５５】
これらの効果は、予熱用ガスの導入量の制御やパージガスの導入量の制御と共に、モータハウジング８及びステータ３ａの前記構造、第１ねじシール７及び第２ねじシール９の前記パージガス送出作用、及び駆動用モータ８ａに与えた前記特性等の総合作用により実現されている。
【００５６】
更に又、排気内側管１２ｂを加熱用ヒータ１２ｄによって１２０℃以上に加熱することにより、該排気内側管内にプロセスガスが凝縮・堆積することを防止している。
【００５７】
尚、この加熱用ヒータ１２ｄによる加熱は、分子ポンプと補助ポンプ間の補助配管を加熱するという従来から行われている方法が採用されている場合には、その熱伝導による加熱を利用するようにしてもよい。
【００５８】
又、本実施の形態では、分子ポンプを複合分子ポンプとしたが、これは分子ポンプがターボ分子ポンプだけの場合でも、又は分子ポンプがねじ溝真空ポンプだけの場合でも同様に実施することが可能である。
【００５９】
本発明の第２の実施の形態を図５乃至図９により説明する。
【００６０】
図５は本第２の実施の形態の縦断面図で、前述の第１の実施の形態と同じく複合分子ポンプに適用した例を示す。
【００６１】
本実施の形態では、パージガス供給手段と予熱用ガス供給手段とを兼用した供給手段を具備させた。
【００６２】
即ち、パージガス供給口１０の前に後述するガス流量切り替え機構１３を設置してパージガスと予熱用ガス各々に必要なガス流量を供給できるようにすると共に、前記第１ねじシール７の軸長をねじ溝真空ポンプ部３のステータ３ａの軸長と略同じ長さに形成した点が第１の実施の形態とは異なっている。
【００６３】
前記第１の実施の形態では、予熱用ガスがターボ分子ポンプ部２とねじ溝真空ポンプ部３の間の予熱用ガス導入口１１から導入するようにしていたのに対し、本第２の実施の形態では、パージガス導入口１０からモータハウジング８内に導入された予熱用ガスが第２ねじシール９のねじ溝９ａ及び第１ねじシール７のねじ溝７ａを経由してねじ溝真空ポンプ部３の流路の下流側に供給されるようにした。
【００６４】
パージガスも予熱用ガスも、共に窒素ガス等が使用される。
【００６５】
図６にガス流量切り替え機構の１例を示す。
【００６６】
高圧の窒素ガスライン１４に接続した該ガス流量切り替え機構１３は減圧弁１３ａ、パージガス用弁１３ｂを経て、パージガス用オリフィス１３ｃを有する第１管路と、予熱用ガス弁１３ｄ及び予熱ガス用オリフィス１３ｅを有する第２管路とに分岐するが、これら第１管路と第２管路は再び合流してパージガス導入口１０へと接続している。
【００６７】
次に本第２の実施の形態の作用及び効果について説明する。
【００６８】
パージガスは、プロセスガスがモータハウジング８の内部に浸入してくるのを防止する目的で該モータハウジング８内部へ供給されているが、その供給量は、標準的な例では１０SCCM程度である。
【００６９】
これに対し、予熱用ガスとしては約２００SCCM程度の供給量が必要となる。このため、パージガス用オリフフィス１３ｃと予熱ガス用オリフィス１３ｅとを別々に設けることにより、電磁弁の操作によって直ちにパージガスから予熱用ガスへと窒素ガス流量が切り替わるようにした。
【００７０】
図７はガス流量切り替え機構１３の配線図を示す。
【００７１】
ＰＢ1 を押すとＲ1 が励磁してＰＶが励磁され、パージガス用弁１３ｂが開き、パージガス用オリフィス１３ｃを通って１０SCCM程度の窒素ガスがモータハウジング８内部へ供給される。尚、パージガスの供給を停止する時はＰＢ2 を押してＲ1 を非励磁とすればよい。
【００７２】
又、Ｒ1 が励磁されている時、ＰＢ3 を押すことによりタイマーリレーＴが一定時間励磁され、更にＨＶが励磁されて予熱用ガス弁１３ｄが開き、流量２００SCCMの窒素ガスが予熱ガス用オリフィス１３ｅを通ってモータハウジング８内部へ供給される。
【００７３】
モータハウジング８内部へ供給されたこの窒素ガスは、第２ねじシール９のねじ溝９ａを経て第１ねじシール７のねじ溝７ａを通り、ねじ溝真空ポンプ部３の流路の下流側に放出される。この時、軸方向に長く形成された該ねじ溝７ａを窒素ガスが通過する際の摩擦熱により該第１ねじシール７とロータ５、及び該第１ねじシール７と密着して接続しているステータ３ａが昇温する。
【００７４】
又、ねじ溝真空ポンプ３自体も、その下流側に放出された窒素ガスに対するポンプ作用により発熱するので、ロータ５とステータ３ａは更に昇温して、短時間で予熱が行われる。
【００７５】
この予熱はロータ５を高速回転させた状態で行われ、一定時間Ｔだけ大流量の窒素ガスを供給して予熱を行うようにしたが、これを第１の実施の形態と比較すると、本実施の形態ではターボ分子ポンプ部２とねじ溝真空ポンプ部３の間に面倒な予熱用ガス導入口１１や予熱用ガス配管がなくて済み、又、予熱用ガスがねじ溝真空ポンプ部３の下流側に導入されるため、分子ポンプの上流側の吸気圧力が大きく上昇するという不具合も発生しない利点を有する。
【００７６】
因みに、ねじ溝真空ポンプ部３の下流側に予熱用ガスを導入した場合の複合分子ポンプの排気性能への影響について検討する。
【００７７】
図８は排気速度７００L/S クラスの複合分子ポンプの圧縮比曲線の一例である。補助ポンプ排気速度を標準的な値である１０００L/min とし、２００SCCMの窒素ガスをパージガス導入口１０より導入した場合、該複合分子ポンプの排気圧力は０．１５Torrとなる。
【００７８】
即ち、図８により、予熱ガス導入による圧力上昇分は、数２のとおりとなる。
【００７９】
【数２】
0003795979.tif 000003
【００８０】
この程度の吸気口圧力の上昇は、プロセス開始前のバックグランド圧力条件にとって全く問題とならない。
【００８１】
又、従来の外部ヒータによりねじ溝真空ポンプのステータを昇温させた場合と、本第２の実施の形態によりねじ溝真空ポンプ部３のステータ３ａを昇温させた場合との比較例を図９に示す。ステータ３ａをプロセスガスが凝着を起こさない温度の５５℃とするのに、ヒータ加熱型では２時間を要するのに対し、本第２の実施の形態による自己昇温型では、より短い時間で所要の温度に達することがわかる。
【００８２】
尚、本第２の実施の形態では、ガス流量切り替え機構１３をパージガス用オリフィス１３ｃ及び予熱ガス用オリフィス１３ｅ等からなるものとしたが、これは１台のマスフローコントローラで置き換えてもよい。
【００８３】
又、前記パージガス用オリフィス１３ｃの絞りを可変とし、前記回転軸５ａからモータハウジング８への伝熱量Ｑのコントロールを該パージガス用オリフィス１３ｃとの可変絞りによって行うようにしてもよい。
【００８４】
又、本実施の形態では分子ポンプを複合分子ポンプとしたが、これはねじ溝真空ポンプだけの場合でも同様に実施することが可能である。
【００８５】
【発明の効果】
このように本発明によれば、ポンプ部の外部又は内部にヒータを用いずに、自己昇温によって短時間でポンプ部を加熱して分子ポンプ内にプロセスガスが凝縮・堆積するのを防止すると共に、プロセスガスのガス負荷が急速に増大しても、ロータ部の温度上昇を安全な許容範囲内に保持することが可能な構造の分子ポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の複合分子ポンプの縦断面図である。
【図２】駆動用モータの特性を示す図である。
【図３】本発明の駆動用モータの制御のブロック図である。
【図４】従来の駆動用モータの制御のブロック図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態の複合分子ポンプの縦断面図である。
【図６】複合分子ポンプのパージガス導入口に接続したガス流量切り替え機構のシステム図である。
【図７】同上ガス流量切り替え機構の配線図である。
【図８】複合分子ポンプの圧縮曲線の１例を示すグラフである。
【図９】ねじ溝真空ポンプにおける外部ヒータ加熱型と自己昇温型の昇温時間の比較の１例を示すグラフである。
【図１０】従来の複合分子ポンプの縦断面図である。
【符号の説明】
３        ねじ溝真空ポンプ部
3a        ステータ
４        排気口
５        ロータ
６、12    筐体
７        第１ねじシール
7b        Ｏリング
８        モータハウジング
8a        駆動用モータ
９        第２ねじシール
10        パージガス導入口
11        予熱用ガス導入口
12a、12b   排気内側管
12c       排気孔部の内壁
12d       加熱用ヒータ
13        ガス流量切り替え機構
13c       パージガス用オリフィス
13e       予熱ガス用オリフィス
【図１】
0003795979.tif 000004
【図２】
0003795979.tif 000005
【図３】
0003795979.tif 000006
【図４】
0003795979.tif 000007
【図５】
0003795979.tif 000008
【図６】
0003795979.tif 000009
【図７】
0003795979.tif 000010
【図８】
0003795979.tif 000011
【図９】
0003795979.tif 000012
【図１０】
0003795979.tif 000013