(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気口と排気口を備え、対向して配置された一対のポンプロータを同期回転させてガスの吸入排気を行う真空ポンプにおいて、前記ポンプロータを駆動するモータは、ステータとモータロータとを備え、前記モータロータは前記ポンプロータと同一の軸上に固着され、前記モータロータの鉄心の内部には複数の永久磁石が、それぞれの磁極面が前記モータロータの半径方向を向くように前記モータロータの回転軸を中心に配置され、前記鉄心は、積層された複数の電磁鋼板から形成され、前記鉄心の外周上であって、かつ前記複数の永久磁石の磁極中心から前記半径方向にある位置において溶接されていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記電磁鋼板には、前記電磁鋼板の外周縁であって、かつ前記永久磁石の磁極の中心から前記半径方向にある位置において切欠き部が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記モータロータの外周面が保護膜で被覆されたことを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記永久磁石型モータが前記排気口側に配置されたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記ポンプロータは、前記ポンプロータの主軸部において軸受によって支持されており、前記軸受は、前記排気口側の端部から前記ポンプロータのロータ部までの所定の位置に配置され、前記軸受によって前記ロータ部が片持ち支持されていることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記鉄心は、前記鉄心の外周上であって、かつ前記複数の永久磁石のそれぞれの磁極中心から前記半径方向にある位置においてのみ、前記モータロータの回転軸と平行に溶接されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
【０００１】
本発明は真空ポンプに係り、特に半導体製造工程における真空チャンバ内のガスの排気などに好適に利用できる真空ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、一対のポンプロータが同期回転してガスの吸入排気を行う容積式と呼ばれる真空ポンプが知れられている。この容積式真空ポンプにはルーツ型やスクリュー型などのタイプがあり、半導体製造工程における真空チャンバ内のプロセスガスの排気などに広く用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
図６は従来のルーツ型容積式真空ポンプの一例を示す断面図であり、ケーシング内に３対のルーツ型ロータが収納された多段式ルーツ型真空ポンプである。ポンプロータ５１はロータ５１ａ，５１ｂ，５１ｃと主軸５１ｄとから構成されており、ロータ５１ａ，５１ｂ，５１ｃはケーシング５２内に配置され、主軸５１ｄは軸受５３により回転自在に支持されている。最も幅の大きいロータ５１ａの上方には吸気口５４が設けられ、最も幅の小さいロータ５１ｃの下方には排気口５５が設けられている。ポンプロータ５１の排気口側の軸端部にはモータＭが接続されており、吸気口側の軸端部には、一対の対向するポンプロータ５１を連係するタイミングギヤ５６が固着されている。
【０００４】
モータＭによって回転駆動された一対のポンプロータ５１は、タイミングギヤ５６を介して相互に同期反転し、各段のロータ５１ａ，５１ｂ，５１ｃによってガスが移送されてガスの排気が行われる。この多段式の真空ポンプにおいては、ポンプ運転中、吸気口側に配置されたロータ５１ａはあまり高温にならないが、各ロータ段間でガスの圧縮作用が働き、排気口側のロータ５１ｃは高温となる。
【０００５】
また、真空ポンプの駆動用モータとしては、一般的に誘導電動機が使用されている。モータロータ５７は、積層された電磁鋼板からなる鉄心５８を備え、この鉄心５８に設けられた溝には、二次導体としてロータバー（図示せず）が収納されている。そして、モータ運転時には、ステータ６０に発生する回転磁界によりこの二次導体に誘導電流が流れ、回転磁界及び誘導電流により回転トルクが発生してモータロータ５７が回転する。しかしながら、この二次導体に流れる誘導電流によりモータロータ５７が発熱し、モータ自体が高温となっていた。
【０００６】
このように、ガス圧縮により高温となる排気口側にモータを設置した場合に、モータロータ自体が発熱すると、モータが過度に高温となり、モータ効率が著しく低下してしまう。このため、排気口側にモータを設置する場合は、継手などを介して高温となるロータからある程度離間させてモータを接続する必要があり、ポンプの機械的損失が生じ、またポンプのコンパクト化を図ることができなかった。
【０００７】
一方、他の従来例には、駆動するモータとして、永久磁石がポンプロータに直接固着された二次電流の発生しないモータロータを使用して、比較的温度の低い吸気口側にモータを設置した真空ポンプがある。しかしながら、半導体製造工程に使用される腐食性ガスを吸入した場合には、このガスによって永久磁石が腐食され、磁力の低下や磁石の破損につながり、モータ故障の原因となっていた。また、モータ組立工程等で永久磁石が損傷を受けた場合、回転中に永久磁石が割れて磁石が飛散し、ポンプを停止させる場合があった。更に、突発的要因によりモータロータが高温となった場合に、磁石の機械的強度の低下や永久磁石を取り付けている接着剤の接着力が低下し、回転中の永久磁石が剥れてモータの故障につながるおそれもあった。
【０００８】
更に、吸気口側にモータを配置する構造の真空ポンプにおいては、吸気口側に軸受を設置することが必要となる。このように軸受を吸気口側に設置すると、軸受の潤滑に使用されるグリースの油分子が真空状態となる吸気口上流に逆拡散してしまうといった問題が生じていた。そして、このような逆拡散を防止するために軸封機構を設けることが必要となり、その結果、ポンプ構造の簡素化やコンパクト化を図ることが困難であった。このような問題は、スクリュー型等の他のタイプの容積式真空ポンプにおいても同様に生じている。
【０００９】
本発明は上述の事情に鑑みなされたもので、モータロータの発熱が極めて少なく、高温条件下でも安全に駆動することのできるモータを使用して、ポンプ運転の信頼性を向上させた真空ポンプを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の１態様は、吸気口と排気口を備え、対向して配置された一対のポンプロータを同期回転させてガスの吸入排気を行う真空ポンプにおいて、前記ポンプロータを駆動するモータは、ステータとモータロータとを備え、前記モータロータは前記ポンプロータと同一の軸上に固着され、前記モータロータの鉄心の内部には複数の永久磁石が、それぞれの磁極面が前記モータロータの半径方向を向くように前記モータロータの回転軸を中心に配置され、前記鉄心は、積層された複数の電磁鋼板から形成され、前記鉄心の外周上であって、かつ前記複数の永久磁石の磁極中心から前記半径方向にある位置において溶接されていることを特徴とする。
【００１１】
このように構成された本発明によれば、永久磁石の周囲は鉄心により囲まれているので、高温条件下で運転しても永久磁石の機械的強度を保持することができる。また、高温となって接着剤の接着力が低下したような場合でも、永久磁石の飛散を防止することも可能となる。更に、腐食性のガスを吸入した場合に、ガスがモータ内部に侵入しても、永久磁石は鉄心内部に埋設されているため、腐食性ガスとの接触面積が小さく、永久磁石の腐食を防止することができ、永久磁石の性能を維持させることが可能となる。
【００１３】
また、上記本発明によれば、この溶接箇所においては通過する磁束が少ないため、モータ運転時にステータから受ける磁束の変動によって生じる鉄心での渦電流の発生を低く抑えることができる。即ち、鉄心での発熱が微少になるとともに、渦電流損失を低減させてモータ効率を向上させることが可能となる。
【００１４】
本発明の他の１態様は、前記電磁鋼板には、前記電磁鋼板の外周縁であって、かつ前記永久磁石の磁極の中心から前記半径方向にある位置において切欠き部が設けられたことを特徴とする。
【００１５】
このように構成された本発明によれば、前記切欠き部によって前記鉄心の外周面には溝状の陥入部が形成される。そして、この陥入部において溶接すれば、前記鉄心の外周面の陥入した位置に溶接部が形成される。この溶接部においては、他のロータ外周面に比べてステータとの磁気ギャップが大きいため、この溶接部を通過する磁束は極めて少ない。その結果、鉄心での渦電流の発生を更に減少させ、鉄心での発熱を極めて低く抑えることができるとともに、渦電流損失を低減させることが可能となる。
【００１６】
本発明の他の１態様は、前記モータロータの外周面が保護膜で被覆されたことを特徴とする。
【００１７】
このように構成された本発明によれば、永久磁石や電磁鋼板が雰囲気中の湿気や腐食性ガスなどに接触することがなくなり、永久磁石等の錆びや腐食を防止することが可能となる。
【００１８】
本発明の他の１態様は、前記永久磁石型モータが前記排気口側に配置されたことを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の他の１態様は、前記ポンプロータは、前記ポンプロータの主軸部において軸受によって支持されており、前記軸受は、前記排気口側の端部から前記ポンプロータのロータ部までの所定の位置に配置され、前記軸受によって前記ロータ部が片持ち支持されていることを特徴とする。
【００２０】
このように構成された本発明によれば、ポンプロータを構成するロータ部を片持ち構造として吸気口側の軸受の配置を不要とすることができ、その結果、特段の軸封機構を設けることなく、軸受の潤滑に使用されるグリース等の油分子の逆拡散を解消することが可能となる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る真空ポンプの第１の実施形態について図面を参照して説明する。図１は本発明をスクリュー型容積式真空ポンプに適用した第１の実施形態を示す断面図である。
【００２２】
図１において、ポンプロータ１はロータ１ａと主軸１ｂとにより構成されており、ケーシング２内には対向する一対のロータ１ａが配置されている。ケーシング２の上方には吸気口３が設けられ、ケーシング２の下方には排気口４が設けられている。ポンプロータ１は、ロータ１ａ相互間及びケーシング２との間にわずかな隙間を保持しつつ回転するように軸受５によって支持されている。軸受５はポンプロータ１の吸気口側端部には配置されず、排気口側の主軸１ｂの端部付近と、ロータ１ａ付近とに配置されている。そして、ポンプロータ１はこれらの軸受５に支持されてロータ１ａが取り付けられているロータ部が片持ち構造となっている。
【００２３】
図１に示すように、モータＭは排気口側に配置され、モータロータ１１はポンプロータ１の主軸１ｂに直接固着されている。また、ポンプロータ１の主軸１ｂの排気口側端部にはタイミングギヤ６が取り付けられており、モータＭによって回転駆動された一対のポンプロータ１は、タイミングギヤ６によって相互に反転方向に同期回転するようになっている。
【００２４】
上述したように、モータＭを排気口側に配置したことにより、ポンプロータ１の吸気口側の軸受を不要とし、軸受の潤滑に用いられるグリース等の油分が吸気口上流側に逆拡散するといった問題を解消することができる。
【００２５】
次に、本実施形態に使用されるモータについて図２及び図３を参照して説明する。
図２は本実施形態におけるモータの横断面図であり、図３（ａ）は本実施形態における電磁鋼板の正面図であり、図３（ｂ）は本実施形態における鉄心の斜視図であり、図３（ｃ）は本実施形態における鉄心の溶接箇所を示す拡大断面図であり、図３（ｄ）は本実施形態におけるモータロータを構成する各部を示す分解斜視図である。
【００２６】
図２及び図３に示すように、本実施形態に使用されるモータＭは、鉄心１２に永久磁石１７が内設された永久磁石型モータである。図２において、主軸１ｂにモータロータ１１が直接固着されており、モータロータ１１の外周近傍にはステータ１３が周設されている。ステータ１３にはモータロータ１１を取り囲むように磁極歯１４が一体形成され、それぞれの磁極歯１４には巻線１５が巻回されている。
【００２７】
鉄心１２は、複数の薄板状の電磁鋼板１６が積層固着されて形成され、永久磁石１７を挿入するための磁石挿入穴１８が４箇所に設けられている。それぞれの磁石挿入穴１８は、永久磁石１７が挿入されたときに磁極面がモータロータ１１の半径方向と垂直になるように、主軸１ｂを中心に円周等配に形成されている。板状の永久磁石１７は、隣接する永久磁石１７の表裏面が交互に異磁極となるように、それぞれの磁石挿入穴１８に挿入され、接着剤（図示せず）によって固着されている。本実施形態においては４つの永久磁石１７が配置されており、内部に埋め込まれた永久磁石１７の磁束は、磁性体である電磁鋼板１６を介して、鉄心１２の外周に４磁極の磁束分布を形成している。そして、この永久磁石１７の磁束とステータ１３の作る回転磁界により駆動力を得てモータロータ１１が回転する。
【００２８】
このように、本実施形態で使用されるモータＭは、永久磁石１７が鉄心１２に内設された構造を持つため、モータロータ１１が高温となって永久磁石１７の機械的強度が低下し、または接着剤の接着力が低下した場合でも、回転中のモータロータ１１から永久磁石１７が外れて飛散することがなく、ポンプ運転の安全性を確保することが可能となる。
【００２９】
次に、本実施形態におけるモータを構成する各部について更に詳細に説明する。
図３（ａ）に示すように、それぞれの電磁鋼板１６には、磁石挿入穴１８を形成する４つの穴１９と凹状の切欠き部２０が設けられている。電磁鋼板１６は磁性体の素材から成形されており、打ち抜き加工により、磁石挿入穴１８を形成する４つの穴１９及び切欠き部２０が同時に形成される。この凹状の切欠き部２０の位置は、電磁鋼板１６を積層して鉄心１２を形成したときに、内部に配置される永久磁石１７の磁極面の中心からモータロータ１１の半径方向に延長した位置である。
【００３０】
図３（ｂ）に示すように、電磁鋼板１６に設けられた凹状の切欠き部２０によって鉄心１２の外周面には断面凹状の溶接溝２１が形成され、その位置は、上述したように、内設される永久磁石１７の磁極中心の半径方向延長線上である。そして、この溶接溝２１において溶接されて溶接部２２が形成され、積層された各電磁鋼板１６が固着される。
【００３１】
この溶接箇所においては、モータ運転時における磁束の変動が極めて少ないので、鉄心１２での渦電流の発生は微少であり、その結果、モータロータ１１での発熱が少なくなり、モータ効率を向上させることが可能となる。なお、本実施形態では溶接により各電磁鋼板１６を固着しているが、例えば、電磁鋼板として接着剤付電磁鋼板を用い、これらを積層した後に加熱して固着する方法などを用いてもよく、あるいは、積層後、鉄心に積層方向に貫通する穴をいくつか設け、この穴にかしめピンを挿入し、ピンをかしめて固着してもよい。
【００３２】
また、本実施形態においては、図３（ｄ）に示すように、鉄心１２の両端に、電磁鋼板１６と同形状の切欠き部が設けられた非磁性ステンレス製の側板２３が取り付けられている。この側板２３は、鉄心１２の内部に永久磁石１７が挿入された後、溶接により固着されている。また、本実施形態では、図示はしないが、上述のように構成されたモータロータ１１の外面全体に、エポキシの電着コーティングがなされている。
【００３３】
このように、永久磁石１７が挿入された鉄心１２の両端は側板２３によって保護されており、更にモータロータ１１の外面全体が保護膜によりコーティングされているので、永久磁石１７等が直接吸入ガスに晒されることがなく、錆や腐食を防止することが可能となる。なお、電着コーティングの他に通常の塗装により被膜する方法も可能であり、更にこれらの方法以外にも、保護膜として、めっきや熱収縮チューブ、樹脂などをモータロータ１１の外面全体に被覆することで耐腐食性を強化することも可能である。
【００３４】
図１及び図２に示すように、モータロータ１１とステータ１３との間には、モータロータ１１を取り囲むようにキャン２４が設けられている。モータＭの内部には、このキャン２４によってモータＭの内部空間が仕切られてステータ室とモータロータ室とが形成されている。これは、腐食性ガスなどを吸入した場合に、このガスがモータＭの内部に侵入して、巻線などのステータ部材が腐食してしまうことを防止するために設けられている。なお、キャン２４は樹脂により成形されており、キャン２４での渦電流損失による発熱を防止している。
【００３５】
ステータ１３の外周には、モータフレーム２５が設けられており、モータフレーム２５の内部には、ステータ１３の外周を囲む位置に渦巻き状の冷却水用パイプ２６が埋設されている。モータフレーム２５はアルミ材により成形されており、冷却用パイプ２６はアルミより融点の高いステンレスパイプを渦巻き状にして成形されている。そして、モータフレーム２５と冷却水用パイプ２６とは、モータフレーム２５の成形時に冷却水用パイプ２６を同時に鋳込んで一体的に成形されている。モータフレーム２５の内周面とステータ１３の外周面とは密着して嵌め合わされている。冷却水用パイプ２６の内部には、ポンプ外部に設けられた冷却水供給装置（図示せず）によって冷却水（図示せず）が供給されて循環している。
【００３６】
キャン２４とモータフレーム２５との間に形成されるステータ室には、熱伝導性材料２７が充填され、キャン２４とステータ１３及びモータフレーム２５は、この熱伝導性材料２７を介して一体的構造となっている。このようにステータ室に熱伝導性材料２７が充填されているため、モータロータ１１で発熱した熱は、キャン２４→熱伝導性材料２７→モータフレーム２５の順にそれぞれを伝熱媒体として伝熱され、外部に放熱されるとともに、モータフレーム２５において冷却される。なお、熱伝導性材料２７としては、例えば熱伝導性の良い樹脂であるシリコン系の樹脂が好適である。なお、キャンを設けずに、樹脂などの熱伝導性材料を、ステータの内周よりモータフレームの内壁まで充填し、巻線などのステータ部材を密閉してしまうことでステータとモータロータとを隔壁することもできる。
【００３７】
本実施形態のようなスクリュー型容積ポンプにおいては、吸気口３から吸入されたガスは、同期反転する一対のロータ１ａによって圧縮されながら排気口４に移送されるため、ポンプの排気口付近は高温となる。本実施形態においては、永久磁石１７が鉄心１２に内設されたタイプの永久磁石型モータを用いているため、高温となる排気口側にモータＭを設置することが可能となり、上述したように、吸気口側への軸受の設置を不要とすることが可能となる。
【００３８】
また、上述したように構成されたモータロータ１１においては、モータロータ１１自体の発熱が極めて少なく、仮に突発的要因によってモータロータ１１が高温となった場合でも、モータフレーム２５が冷却手段を備えているので過度な温度上昇を防ぐことができ、運転上の安全性が確保される。なお、本実施形態においては、モータフレーム２５の冷却水用パイプ２６に冷却水を循環させることによって冷却しているが、冷却用の気体を循環させて冷却してもよい。また、本実施形態では、本発明をスクリュー型のポンプロータに適用した場合を説明したが、ルーツ型やクロー型等の２軸型真空ポンプに適用することも可能である。
【００３９】
次に、本発明の第２の実施形態について図４及び図５を参照して説明する。
図４は本発明を多段ルーツ型容積式ポンプに適用した場合を示す断面図であり、図５は図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。なお、特に説明しない部分については第１の実施形態と同様に構成されているので説明を省略する。
【００４０】
図４に示すように、ポンプロータ３１は、ロータ３１ａ，３１ｂ，３１ｃ及び主軸３１ｄから構成され、幅の異なる３つのロータ３１ａ，３１ｂ，３１ｃがほぼ等間隔に離間して主軸３１ｄに固着されている。対向する一対のポンプロータ３１は軸受３３によって支持され、それぞれのロータ３１ａ，３１ｂ，３１ｃはケーシング３２内に収納されている。最も幅の大きいロータ３１ａの上方には吸気口３４が設けられており、最も幅の小さいロータ３１ｃの下方には排気口３５が設けられている。
【００４１】
図５において、対向するロータ３１ｂ相互間及びロータ３１ｂとケーシング３２との間には、わずかな隙間が形成されており、ロータ３１ｂは非接触で回転するように構成されている。対向する一対のロータ３１ｂは互いに反対方向に同期回転し、ロータ３１ｂとケーシング３２との間に形成される空間にガスが閉じ込められて排気側に移送される。そして、このようなガスの移送が連続して行われて、吸気口上流に接続される真空チャンバ内のガスの排気が達成される。なお、ロータ３１ａ及びロータ３１ｃにおいても同様に構成されている。
【００４２】
図４に示すように、モータロータ４１は、ポンプロータ３１の主軸３１ｄの吸気口側端部に取り付けられており、他方の端部にはタイミングギヤ３６が固着されている。ここで、軸受３３は排気口側の軸端部付近と、吸気口側のロータ３１ａの近傍に配置されており、モータロータ４１が取り付けられている主軸部は片持ち構造となっている。
【００４３】
本実施形態においては、モータＭは、高温になる排気口側には設置されず、比較的温度の低い吸気口側に設置されている。これに加えて、本実施形態で使用されるモータロータ４１は第１の実施形態と同じ構成であって発熱が極めて少ないモータロータであるため、真空ポンプとして熱的安定が図れ、効率の良い真空ポンプを得ることができる。
【００４４】
図４及び図５に示すように、本実施形態においても、モータロータ４１とステータ４２との間には、ステータ４２の内周を包囲するようにキャン４３が設けられている。これは、真空状態となる吸気口側にモータＭが配置されているため、キャン４３を設けることによって、ステータ側からの脱ガスが吸入側に侵入することを防止して、良好な真空状態の維持を可能としている。また、吸入された腐食性ガスとステータ４２の巻線４８とが反応することを防止している。
【００４５】
また、本実施形態においても第１の実施形態と同様に冷却水用パイプ４５を備えるモータフレーム４４が設けられており、モータ駆動用のドライバ４７はモータフレーム４４の外側に密着固定されている。上述した第１の実施形態と同様に、モータロータ４１で生じた熱は、キャン４３→熱伝導性材料４６→モータフレーム４４の順にそれぞれを伝熱媒体として外部に放熱されるため、モータロータ４１の冷却効果を一層高めることが可能となる。特に本実施形態では、モータロータ４１が取り付けられている部分は片持ち構造となっているので、キャン４３での受熱面積が拡大し、冷却効率が高められている。また同時に、発熱したドライバ４７もモータフレーム４４により冷却される。
【００４６】
また、ステータ室へ樹脂などの熱伝導性材料４６が充填されることにより、真空容器としてのキャン４３が補強され、仮にキャン４３が破損した場合においてもモータロータ室の真空状態の保持が可能である。更には、この熱伝導性材料４６がポンプ内部から伝播される騒音の緩衝材としても機能し、騒音を低減する効果をも奏する。
【００４７】
なお、本実施形態では、本発明をルーツ型のポンプロータに適用した場合を説明したが、スクリュー型やクロー型等の２軸型真空ポンプに適用することも可能である。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、次に列挙する効果を得ることができる。
（１）永久磁石は鉄心の内部に配設されているため、温度が上昇して永久磁石の強度低下や永久磁石を固着する接着剤の接着力の低下が生じた場合でも、永久磁石が膨張したり、永久磁石がモータロータから外れて飛散したりすることがなくなり、ポンプ運転の信頼性を向上させることが可能となる。
（２）永久磁石は鉄心によって保護されているので、ポンプ組立工程において永久磁石が損傷を受けることがなくなり、運転中の永久磁石の破損を防ぐことが可能となる。更には、ポンプ運転中に何らかの原因で永久磁石が破損した場合にも、永久磁石がモータロータ外部に飛散することがないので、良好なモータの回転駆動を維持することが可能となり、安全にポンプを運転することが可能となる。
（３）半導体製造工程で使用される腐食性のガスを排気する場合においても、モータロータの永久磁石は腐食性ガスと接触することがないため、永久磁石の腐食を防ぐことができ、また磁力の低下や破損なども防止することが可能となる。
（４）ポンプ排気口側にモータを設置することで、ポンプロータの吸気口側端部に軸受を持たない構造が可能となり、軸受に使用されるグリース等のオイルミストや蒸気が吸気口側に逆拡散するといった問題を解消することが可能となる。特にポンプに逆拡散防止のための複雑な軸封機構を設置する必要がなくなり、ポンプ構造を簡素かつコンパクトにすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態であるスクリュー型容積式真空ポンプの断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態におけるモータの横断面図である。
【図３】図３（ａ）は第１の実施形態における電磁鋼板の正面図であり、図３（ｂ）は第１の実施形態における鉄心の斜視図であり、図３（ｃ）は第１の実施形態における鉄心の溶接箇所を示す拡大断面図であり、図３（ｄ）は第１の実施形態におけるモータロータを構成する各部を示す分解斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施形態である多段ルーツ型容積式真空ポンプの断面図である。
【図５】図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図６】従来の実施例である多段ルーツ型容積式真空ポンプの断面図である。
【符号の説明】
１，３１，５１    ポンプロータ
２，３２，５２    ケーシング
３，３４，５４    吸気口
４，３５，５５    排気口
５，３３，５３    軸受
６，３６，５６    タイミングギヤ
１１，４１，５７  モータロータ
１２，５８        鉄心
１３，４２，６０  ステータ
１４        磁極歯
１５，４８        巻線
１６        電磁鋼板
１７        永久磁石
１８        磁石挿入穴
１９        磁石挿入穴形成穴
２０        凹状切欠き部
２１        溶接溝
２２        溶接部
２３        側板
２４，４３  キャン
２５，４４  モータフレーム
２６，４５  冷却水用パイプ
２７，４６  熱伝導性材料
４７        ドライバ
【図１】
0003856661.tif 000002
【図２】
0003856661.tif 000003
【図３】
0003856661.tif 000004
【図４】
0003856661.tif 000005
【図５】
0003856661.tif 000006
【図６】
0003856661.tif 000007