(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁箱と、
前記弁箱に取着された駆動部と、
前記駆動部に連結され、該駆動部の駆動作用下に軸線方向に沿って変位する弁ロッドと、
前記弁ロッドに係着されて該弁ロッドを介して前記弁箱の通路を開閉する弁ディスクと、
前記弁ディスクと前記弁ロッドとを着脱自在に接続する連結機構と、
を備え、
前記弁箱は、上部壁が着脱可能に設けられ、前記連結機構により前記弁ロッドに係着された前記弁ディスクを前記弁箱の上部から搬出入可能に設け、
前記連結機構は、前記弁ロッドに形成された取着部と、前記弁ディスクに形成され前記取着部が嵌挿された孔部と、前記取着部に形成された傾斜面と、前記孔部に装着され前記傾斜面および前記弁ディスクの内側面に係合する楔部材と、前記楔部材を前記取着部の凹部に装着するねじ部材とを有し、
前記ねじ部材を回動させ前記楔部材が前記弁ディスクの孔部に沿って下方向に変位することにより、楔作用によって前記弁ディスクが前記弁ロッドに係着され、
一方、前記ねじ部材を緩めて前記楔部材を上方向に変位させることにより、前記楔作用が解除され前記弁ディスクが前記弁ロッドから離脱可能に設けられることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項２】
請求項１記載のゲートバルブにおいて、
前記取着部は、前記弁ロッドの一側部の外周面を軸線方向および半径方向の外方に向かって切り欠いて形成された第１取付面と、前記第１取付面に対して略平行に形成された第２取付面と、前記第１および第２取付面に連通する軸線方向に沿った側壁面が断面略円弧状に形成された円弧面とを有することを特徴とするゲートバルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、集積回路（ＩＣ）やその部品等のワークを一方の真空処理室から他方の真空処理室に移送する移送通路、または、圧力流体、気体等の流入通路もしくは排気通路等を開閉することが可能なゲートバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、半導体ウェハや液晶基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行われており、前記通路には、それぞれ該通路を開閉するゲートバルブが設けられている。
【０００３】
この種のゲートバルブは、例えば、特許第２６１３１７号公報に開示されているように、シリンダの駆動作用下に変位する弁ロッドの直進運動によって弁ディスクが弁座の対向位置に到達した後に、前記弁ロッドの傾動運動によって前記弁ディスクが前記弁座に押し付けられて着座することにより、弁箱に形成された通路が閉塞されるように設けられている。
【０００４】
従来技術に係るゲートバルブ１は、図１０乃至図１２に示されるように、ワークを出し入れする通路２が形成された弁箱３と、前記弁箱３内に形成された弁座４に着座することにより前記通路２を閉塞する弁ディスク５と、前記弁ディスク５に連結されて上下動および傾動自在に設けられた弁ロッド６とを有する。
【０００５】
この場合、弁ディスク５は図示しないねじ部材により弁ロッド６に取着され、且つ弁座４の対向面には通路２を囲繞する溝にシール部材７が装着されている。
【０００６】
弁ロッド６の上部にはブロック８が連結され、前記ブロック８の両端面には、弁箱３に固着された一組のシリンダ９ａ、９ｂのシリンダチューブ１０の両側面に画成されたガイド溝１１に沿って変位する枢軸１２が固着されている。よって、前記ブロック８は、シリンダ９ａ、９ｂの作動により枢軸１２が係合するガイド溝１１の案内作用下に上下動および傾動可能に設けられている。
【０００７】
このため、ブロック８は、枢軸１２が係合するガイド溝１１の案内作用下に、引張ばね１３を介してヨーク１４と一体的に上下方向に沿って直進運動するとともに、前記ガイド溝１１の湾曲する下端部１１ａ（図１２参照）によって支持された枢軸１２を支点として矢印Ａ方向に傾動運動するように構成されている（図１０参照）。
【０００８】
従って、弁ディスク５は、枢軸１２を支点として矢印Ｂ方向に傾動して弁座４に着座することにより、通路２が気密に閉塞される。なお、参照符号１５は、断面菱形の板状カムを示しており、傾斜した前記板状カム１５が略水平に変位することにより、ブロック８がガイド溝１１の下端部１１ａを支点として矢印Ａ方向に傾動するように設けられている。
【０００９】
このため、従来技術に係るゲートバルブ１では、長年の使用により、弁ディスク５が弁座４に着座して通路２を閉塞した際に、シール機能の劣化によるシール部材７の交換もしくは半導体ウェハや液晶基板等の処理により弁座４、弁ディスク５等に付着した生成物を除去するために、ブロック８およびシリンダチューブ１０を弁箱３から取り外していた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、比較的重量物のブロックおよびシリンダチューブを弁箱に着脱する作業は、ゲートバルブが収納されている狭いチャンバー内で行われるために、前記ブロックおよびシリンダチューブを弁箱に着脱する際に多大な時間を要し、且つ着脱作業が煩雑であり保守点検作業の費用を低減することができないという不具合があった。
【００１１】
本発明は、前記の不具合を考慮してなされたもので、その目的は、ブロックおよびシリンダチューブを弁箱に着脱することなく、弁箱の上部壁を着脱自在に設け、該弁箱の上部より弁ディスクを弁ロッドに係着できるようにして、シール部材の交換もしくは生成物の除去を容易に行うことが可能なゲートバルブを提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、弁箱と、
前記弁箱に取着された駆動部と、
前記駆動部に連結され、該駆動部の駆動作用下に軸線方向に沿って変位する弁ロッドと、
前記弁ロッドに係着されて該弁ロッドを介して前記弁箱の通路を開閉する弁ディスクと、
前記弁ディスクと前記弁ロッドとを着脱自在に接続する連結機構と、
を備え、
前記弁箱は、上部壁が着脱可能に設けられ、前記連結機構により前記弁ロッドに係着された前記弁ディスクを前記弁箱の上部から搬出入可能に設け、
前記連結機構は、前記弁ロッドに形成された取着部と、前記弁ディスクに形成され前記取着部が嵌挿された孔部と、前記取着部に形成された傾斜面と、前記孔部に装着され前記傾斜面および前記弁ディスクの内側面に係合する楔部材と、前記楔部材を前記取着部の凹部に装着するねじ部材とを有し、
前記ねじ部材を回動させ前記楔部材が前記弁ディスクの孔部に沿って下方向に変位することにより、楔作用によって前記弁ディスクが前記弁ロッドに係着され、
一方、前記ねじ部材を緩めて前記楔部材を上方向に変位させることにより、前記楔作用が解除され前記弁ディスクが前記弁ロッドから離脱可能に設けられることを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、弁箱の上部壁が着脱可能に設けられ、該弁箱の上部から弁ディスクを搬出入して弁ロッドに着脱できるようにしたので、弁ロッドに対して弁ディスクの係着および離脱が容易になり、シール部材の交換もしくは弁座、弁ディスク等に付着した生成物の除去の作業を前記弁箱の外部で短時間で行うことができる。すなわち、弁ロッドに形成された取着部と、弁ディスクに形成され前記取着部が嵌挿された孔部と、前記取着部に形成された傾斜面と、前記傾斜面および前記弁ディスクの内側面に係合する楔部材と、前記楔部材を前記取着部の凹部に装着するねじ部材とによって連結機構を構成し、前記ねじ部材を回動させ前記楔部材を前記弁ディスクの孔部に沿って下方向に変位させることにより、楔作用によって前記弁ディスクが前記弁ロッドに係着され、一方、前記ねじ部材を緩めて前記楔部材を上方向に変位させることにより、前記楔作用が解除され前記弁ディスクを前記弁ロッドから容易に離脱させることができる。
【００１６】
さらに、前記取着部は、前記弁ロッドの一側部の外周面を軸線方向および半径方向の外方に向かって切り欠いて形成された第１取付面と、前記第１取付面に対して略平行に形成された第２取付面と、前記第１および第２取付面に連通する軸線方向に沿った側壁面が断面略円弧状に形成された円弧面とを設けると、前記弁ディスクおよび弁ロッドが相互に位置決めされるので、好適である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明に係るゲートバルブについて、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら、以下、詳細に説明する。
【００２０】
図１乃至図６は、本発明の参考例に係るゲートバルブ２０の構成を示す。
【００２１】
ゲートバルブ２０は、弁箱２２と、前記弁箱２２の下部に取着された駆動部２４と、前記駆動部２４の駆動作用下に上下方向に沿って変位するとともに、前記上下方向と略直交する方向に所定角度傾動する一組の弁ロッド２６ａ、２６ｂと、前記弁ロッド２６ａ、２６ｂの一端部に係着された略長方形状の弁ディスク２８と、前記弁ディスク２８を前記弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着する連結機構３０（図４参照）とを有する。前記弁ディスク２８には、通路３４を囲繞する溝に沿ってシール部材４０（図４参照）が装着され、前記シール部材４０によって弁ディスク２８が後述する弁座３８に着座した際の気密性が保持される。
【００２２】
弁箱２２は略直方体状に形成され、前部壁３２ａおよび後部壁３２ｂ（図４参照）に、図示しないワークを出し入れするための通路３４、３６が設けられ、且つ通路３４の内壁面に形成された弁座３８に弁ディスク２８が着座することにより、前記通路３４が気密に閉塞される。図１に示されるように、弁箱２２を形成する側部壁４２ａ、４２ｂの上端面には、ねじ部材４４により上部壁４６が着脱可能に設けられている。よって、弁箱２２の上部は、上部壁４６の着脱により開閉される。この場合、図１に示されるように、弁ロッド２６ａ、２６ｂは、弁箱２２の下部壁４８に形成された断面略円形状の貫通孔５０ａ、５０ｂに挿通されている。
【００２３】
連結機構３０（図４および図５参照）は、弁ロッド２６ａ、２６ｂに形成された断面略半円形状の取着部６０と、弁ディスク２８に形成され前記弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０が嵌着された孔部６２と、前記取着部６０に形成された溝（溝部）６４および６６と、一側部が前記溝６４に取着され、且つ他側部が前記溝６６内に係合する長尺状の板ばね部材６８とを有する。取着部６０は、弁ロッド２６ａ、２６ｂの一側部の外周面を軸心近傍まで軸線方向に沿って切り欠いて形成された取付面５２と、前記取付面５２に略直交する水平方向に沿って設けられた平面５４と、前記取付面５２および平面５４にそれぞれ略平行に形成された取付面５６および下面５８と、前記取付面５２および５６に連通する軸線方向に沿った側壁面を断面略円弧状に形成した円弧面５６ａとを有する。この場合、取付面５２と平面５４とは第１取付面を、取付面５６と下面５８とは第２取付面をそれぞれ構成する。
【００２４】
前記溝６４および６６は、取着部６０の取付面５６に軸線方向に沿って設けられ、且つ溝６４の深さは、溝６６よりも大きく形成され、前記溝６４と溝６６との接合面に段差が形成されている。
【００２５】
前記板ばね部材６８は、一側部が下面５８に当接してねじ部材７０を介して溝６６に取着され、他側部がねじ部材７０を支点にして溝６４内に係合できるように設けられている。
【００２６】
板ばね部材６８の中央部には、弁ディスク２８の孔部６２に形成された開口部７２に係合する凸部７４が設けられ、且つ他側部には傾斜部７６が設けられている。前記傾斜部７６は溝６４側に屈折して弁ディスク２８の孔部６２に設けられている。なお、傾斜部７６は、板ばね部材６８の他側部を溝６４内に係合させる際に、ねじ部材７０を支点にして該板ばね部材６８を押して傾動させる機能を有する。板ばね部材６８の凸部７４には、傾斜面８２ａ、８２ｂが設けられ、傾斜面８２ａの勾配は傾斜面８２ｂの勾配よりも小さく設定されている。この場合、傾斜面８２ａは、板ばね部材６８の凸部７４と弁ロッド２６ａ、２６ｂの開口部７２との係合を容易にし、傾斜面８２ｂは、前記開口部７２と凸部７４との係合を維持するように機能するものである。
【００２７】
このため、弁ディスク２８の孔部６２が弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に嵌挿されたときに、板ばね部材６８の凸部７４が弁ディスク２８の開口部７２に係合し、且つ該板ばね部材６８は弁ロッド２６ａ、２６ｂに設けられた溝６４、６６にガイドされ、板ばね部材６８の弾発力により平坦部が弁ディスク２８の内側面７８を押圧して弁ディスク２８が弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着される。
【００２８】
駆動部２４は、ねじ部材８４を介して弁箱２２に固定されたベースプレート８６と、前記ベースプレート８６に装着される有底筒状のケーシング８８と、前記ケーシング８８内に配設されたシリンダ機構９０とを有する。
【００２９】
ベースプレート８６には、貫通孔５０ａ、５０ｂの一端部に係合した鍔付ガイドリング９２が嵌着されており、前記鍔付ガイドリング９２の上面と弁箱２２の下部壁４８との間はシール部材９４により密封されている。鍔付ガイドリング９２の下面には、金属製のベローズ９６の上端が気密に接続され、前記ベローズ９６の下端はガイドリング９８の一側面に気密に接続されている。よって、弁ロッド２６ａ、２６ｂの下方の外周面は鍔付ガイドリング９２およびベローズ９６の内側に非接触状態を維持するように挿通され、ベローズ９６により弁ロッド２６ａ、２６ｂの下端と鍔付ガイドリング９２の上面との間が密封されている。
【００３０】
シリンダ機構９０は、両側面に軸線方向に沿って延在する面１００に段部１００ａ（図６参照）が形成され、図示しないねじ部材を介してベースプレート８６に一端部が固定されるシリンダチューブ１０２と、前記シリンダチューブ１０２内のシリンダ室１０４に摺動自在に装着されたピストン１０６と、一端部が前記ピストン１０６に連結されたピストンロッド１０８とを有する。
【００３１】
ピストン１０６の外周面には、該ピストン１０６によって二分割された上部側シリンダ室１０４ａと下部側シリンダ室１０４ｂとをそれぞれ気密に保持するピストンパッキン１１０が装着されている。
【００３２】
さらに、駆動部２４は、ロックナット１１２およびスペーサ１１４を介してピストンロッド１０８の他端部に固定されるレバー部材１１６と、前記レバー部材１１６と一体的に変位する伝動部材１１８とを有する。略平行に延在するレバー部材１１６の両側面には、該レバー部材１１６の両側面に略直交する水平方向に沿って所定長だけ突出する一組の突出片１２０ａ、１２０ｂが形成されている。突出片１２０ａ、１２０ｂには、後述するばね部材１３８の一端部が係着される略円形状の凹部１２２が形成されている。
【００３３】
レバー部材１１６の両側面には、軸線方向に沿って略長円状に切り欠かれた長孔１２４ａ、１２４ｂがそれぞれ形成され、前記長孔１２４ａ、１２４ｂには、ピン部材１２６を介して伝動部材１１８に固定されたローラ１２８が係合するように設けられている。
【００３４】
さらに、レバー部材１１６の両側面の上部側には、孔部（図示せず）を介して一組のピン部材１３０が嵌着され、前記ピン部材１３０の一端部は、伝動部材１１８の両側面に形成された係合用溝部１３２に係合するように設けられている。
【００３５】
伝動部材１１８の略平行に延在する両側面には、該伝動部材１１８の両側面に略直交する水平方向に沿って所定長だけ突出する一組のフランジ部１３４ａ、１３４ｂが形成されている。フランジ部１３４ａ、１３４ｂには、弁ロッド２６ａ、２６ｂの一端部が嵌挿され、前記弁ロッド２６ａ、２６ｂのねじ部に締結されるロックナット１３６を介して該弁ロッド２６ａ、２６ｂが伝動部材１１８に固定されている。
【００３６】
前記伝動部材１１８の一組のフランジ部１３４ａ、１３４ｂとレバー部材１１６の一組の突出片１２０ａ、１２０ｂとの間には、それぞればね部材１３８が介装され、前記ばね部材１３８の一端部は、フランジ部１３４ａ、１３４ｂに固定される弁ロッド２６ａ、２６ｂの一端部に係着され、前記ばね部材１３８の他端部は、突出片１２０ａ、１２０ｂの円形状の凹部１２２に係着されている。
【００３７】
また、係合用溝部１３２の下端部１３２ａにピン部材１３０が係合することにより、レバー部材１１６と伝動部材１１８とが、上下方向および前後方向（図２において左右方向）の位置ずれを防止し、且つ上下方向に沿って所定間隔離間した状態で位置決めされ、このように位置決めされた状態で一体的に上下動する。
【００３８】
そして、ピン部材１３０が係合用溝部１３２の下端部１３２ａから離脱して傾斜部１３２ｂ（図２参照）に沿って上昇することにより、弁ディスク２８が傾動可能となる。
【００３９】
さらにまた、二股に分岐された伝動部材１１８の上部には、一組の支点用ローラ１４０が回動自在に軸支され、前記支点用ローラ１４０はシリンダチューブ１０２の段部１００ａに非接触状態に設けられている。この場合、支点用ローラ１４０は伝動部材１１８の変位終端位置において、ベースプレート８６に設けた湾曲する凹部１４４に挿入され、前記凹部１４４に係合する支点用ローラ１４０を支点として弁ディスク２８、弁ロッド２６ａ、２６ｂおよび伝動部材１１８が所定角度θだけ傾動する（図３参照）。
【００４０】
伝動部材１１８の下部には、ピストンロッド１０８が挿通し断面長円状からなる長孔１４２が形成され、前記伝動部材１１８が傾動する際、前記ピストンロッド１０８が長孔１４２に沿って変位するように設けられている。
【００４１】
本発明の参考例に係るゲートバルブ２０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００４２】
なお、以下の説明では、ピストン１０６がシリンダ室１０４の最下端位置にあるとき、弁箱２２に形成された通路３４が弁ディスク２８によって閉塞されていない開成状態を初期位置としている。
【００４３】
初期位置では、ばね部材１３８の弾発力によってレバー部材１１６が下方側に押圧されているため、レバー部材１１６に固着されたピン部材１３０が伝動部材１１８の係合用溝部１３２の下端部１３２ａに保持された状態にある。また、初期位置では、レバー部材１１６の両側面に形成された長孔１２４ａ、１２４ｂの上部にローラ１２８が係合した状態にある。
【００４４】
初期位置において、圧力流体供給源（図示せず）から下部側シリンダ室１０４ｂに圧力流体を供給すると、ピストン１０６の上昇とともにピストンロッド１０８が上昇する。ピストンロッド１０８が上昇することにより、該ピストンロッド１０８とともにレバー部材１１６、伝動部材１１８、弁ロッド２６ａ、２６ｂおよび弁ディスク２８が一体的に上昇する。
【００４５】
この場合、レバー部材１１６は、ばね部材１３８の弾発力によって下方側に押圧された状態にあり、前記レバー部材１１６の両側面に固着された一組のピン部材１３０が伝動部材１１８の係合用溝部１３２の下端部１３２ａに保持されることにより、レバー部材１１６と伝動部材１１８とは、図２に示されるように、それぞれ上下方向および前後方向の位置ずれを防止した所定位置に位置決め保持された状態にある。
【００４６】
従って、レバー部材１１６および伝動部材１１８は、前記所定位置に位置決め保持された状態で一体的に上昇する。ピストンロッド１０８が上昇して伝動部材１１８の一端部がベースプレート８６に当接することにより前記伝動部材１１８は変位終端位置に到達し、弁ディスク２８は、通路３４の開口部に対峙した状態となる（図２参照）。その後、伝動部材１１８に設けられた支点用ローラ１４０はベースプレート８６に形成された湾曲する凹部１４４に係合される。
【００４７】
伝動部材１１８が変位終端位置に到達した後、ばね部材１３８の弾発力に抗してピストンロッド１０８をさらに上昇させることにより、レバー部材１１６のみが上昇する。その際に、伝動部材１１８は、レバー部材１１６の長孔１２４ａ、１２４ｂに対するローラ１２８の係合作用下に、支点用ローラ１４０を支点として所定角度θだけ傾動し、弁ディスク２８が弁座３８に着座することにより通路３４が閉塞される（図３参照）。なお、伝動部材１１８が支点用ローラ１４０を支点として傾動する際、レバー部材１１６の両側面に固着されたピン部材１３０は、伝動部材１１８の係合用溝部１３２の下端部１３２ａから離脱して傾斜部１３２ｂに沿って上昇する。
【００４８】
従って、弁ロッド２６ａ、２６ｂを介して伝動部材１１８に固着された弁ディスク２８は、伝動部材１１８が所定角度θだけ傾動することにより、通路３４から所定間隔離間して対峙した状態から通路３４側に略水平に変位する。この結果、弁ディスク２８に設けられたシール部材４０が弁座３８に着座して通路３４が閉塞される。
【００４９】
弁ディスク２８を弁座３８から離間させて通路３４を開成する場合には、図示しない切換弁の切換作用下に上部側シリンダ室１０４ａに圧力流体を供給することによりピストン１０６が下降し、ピストンロッド１０８、レバー部材１１６および伝動部材１１８が一体的に下降することにより、初期位置に復帰する。
【００５０】
次に、参考例に係るゲートバルブ２０において、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂから離脱して弁箱２２の上部より搬出する場合および弁ディスク２８を弁箱２２の上部から搬入して弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着する場合について説明する。
【００５１】
先ず、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂから離脱する場合には、ピストン１０６を上昇させて、伝動部材１１８の一端部がベースプレート８６に当接することにより前記伝動部材１１８が変位終端位置に到達し、弁ディスク２８を弁箱２２の通路３４の開口部に対峙した状態にする。
【００５２】
この状態で、弁箱２２の上部壁４６と側部壁４２ａ、４２ｂとを締結しているねじ部材４４を取り外し、前記弁箱２２の上部を開放する。
【００５３】
次いで、板ばね部材６８の傾斜部７６を介して該板ばね部材６８の他側部を溝６４内に係合させ、前記板ばね部材６８の凸部７４を弁ディスク２８の開口部７２から離脱させると、板ばね部材６８の弾発力による弁ディスク２８の内側面７８への押圧が解放される。その後、弁ディスク２８を引き上げると、該弁ディスク２８の孔部６２が弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０から離脱して弁箱２２の上部より搬出される。
【００５４】
次に、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着する場合は、弁ディスク２８を弁箱２２の上部より該弁箱２２に搬入し、弁ディスク２８の孔部６２を弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に嵌挿する。このため、板ばね部材６８の凸部７４が弁ディスク２８の開口部７２に係合され、且つ前記板ばね部材６８の弾発力により弁ディスク２８の内側面７８が押圧されて弁ディスク２８が弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着される。
【００５５】
この場合、弁ディスク２８の孔部６２が弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に嵌挿される際に、板ばね部材６８の傾斜部７６を介して該板ばね部材６８の他側部を溝６４内に係合させ、板ばね部材６８の凸部７４と弁ディスク２８の開口部７２との係合を解放すると、板ばね部材６８の弾発力による弁ディスク２８の内側面７８への押圧が軽減されて、弁ディスク２８の孔部６２を弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に容易に嵌挿することができる。
【００５６】
参考例に係るゲートバルブ２０では、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着もしくは離脱する場合に、板ばね部材６８の他側部を溝６４内に係合させて弁ディスク２８の開口部７２と板ばね部材６８の凸部７４とを容易に着脱することができる。
【００５７】
図７乃至図９は本発明の実施の形態に係るゲートバルブ１５０を示す。なお、図７乃至図９において、図１乃至図６に示された参考例に係るゲートバルブ２０の構成要素と同一の構成要素については同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００５８】
図８において、連結機構１５２は、弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に形成された傾斜面１５４と、前記弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に装着された楔部材１５６とを有する。前記傾斜面１５４は、弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０の端面部を軸心方向に沿って斜めに削成して設けられている。前記楔部材１５６は、底面１５４ａに螺合するねじ部材１５８を介して取着部６０の凹部１６６に取着されており、該楔部材１５６の一側部には、傾斜面１５４に係合する傾斜面１６０が設けられ、他側部には、弁ディスク２８の内側面７８に係合する接触面１６２が設けられている。
【００５９】
なお、楔部材１５６がねじ部材１５８を介して傾斜面１５４および１６０に沿って係合する際に、楔部材１５６に設けた孔１６４の孔径は前記ねじ部材１５８の軸径に対し大きく設けられている。
【００６０】
この場合、ねじ部材１５８を回動させると、楔部材１５６の傾斜面１６０および接触面１６２は、それぞれ取着部６０の傾斜面１５４、弁ディスク２８の内側面７８に非接触状態で傾斜面１５４および１６０に沿って変位する。楔部材１５６の傾斜面１６０および接触面１６２のそれぞれが取着部６０の傾斜面１５４、弁ディスク２８の内側面７８に接触して、さらに、ねじ部材１５８を介して楔部材１５６を変位させると、楔作用により楔部材１５６の傾斜面１６０および接触面１６２は、それぞれ取着部６０の傾斜面１５４、弁ディスク２８の内側面７８を押圧し、弁ディスク２８は弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着される。本発明の実施の形態に係るゲートバルブ１５０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作ならびに作用効果について説明する。
【００６１】
前記ゲートバルブ１５０において、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂから離脱して弁箱２２より搬出する場合、および弁ディスク２８を弁箱２２に搬入して弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着する場合について説明する。
【００６２】
弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂから離脱する場合は、ピストン１０６を上昇させて、伝動部材１１８の一端部がベースプレート８６に当接することにより前記伝動部材１１８は変位終端位置に到達し、弁ディスク２８を弁箱２２の通路３４の開口部に対峙した状態にする。
【００６３】
この状態で、弁箱２２の上部壁４６と側部壁４２ａ、４２ｂとを締結しているねじ部材４４を取り外し、弁箱２２の上部を開放する。
【００６４】
次いで、ねじ部材１５８を回動させて楔部材１５６を上方向に変位させると（図８参照）、前記楔部材１５６の変位により該楔部材１５６の傾斜面１６０および接触面１６２がそれぞれ取着部６０の傾斜面１５４、弁ディスク２８の内側面７８から離間して、弁ロッド２６ａ、２６ｂと弁ディスク２８との係着が解放される。そして、弁ディスク２８を引き上げると、該弁ディスク２８の孔部６２が弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０より離脱して弁箱２２の上部より搬出される。
【００６５】
次に、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着する場合は、弁ディスク２８を弁箱２２の上部より該弁箱２２に搬入し、弁ディスク２８の孔部６２を弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に嵌挿する。次いで、ねじ部材１５８を回動させると楔部材１５６は弁ディスク２８の孔部６２に沿って下方向に変位し（図８参照）、楔作用により楔部材１５６の傾斜面１６０および接触面１６２は、それぞれ取着部６０の傾斜面１５４、弁ディスク２８の内側面７８を押圧して弁ディスク２８が弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着される。
【００６６】
このように、本発明の実施の形態では、弁ロッド２６ａ、２６ｂに設けられた楔部材１５６の楔作用により弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂに対し容易に係着もしくは離脱することができる。
【００６７】
【発明の効果】
本発明によれば、弁箱の上部から弁ディスクを搬出入して弁ロッドに着脱できるようにしたので、弁ロッドに対して弁ディスクの係着および離脱が容易になり、シール部材の交換もしくは弁座、弁ディスク等に付着する生成物の除去作業を短時間で行うことができる。
【００６８】
また、シール部材の交換もしくは弁座、弁ディスク等に付着する生成物の除去作業が弁箱の外部で行われるので、弁座や弁ディスクを損傷することがなく、保守点検の費用を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の参考例に係るゲートバルブの概略構成を示す縦断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図３】図２に示す弁ロッドが角度θ傾動して弁ディスクが弁座に着座した状態を示す縦断面図である。
【図４】図２に示す取着部の要部縦断面図である。
【図５】図４に示す取着部の要部斜視図である。
【図６】図１に示すシリンダチューブの斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの概略構成を示す一部縦断面図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図９】図８に示す取着部の要部斜視図である。
【図１０】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図である。
【図１１】図１０に示すゲートバルブの軸線方向に沿った縦断面図である。
【図１２】図１１に示すシリンダチューブの斜視図である。
【符号の説明】
２０、１５０…ゲートバルブ      ２２…弁箱
２４…駆動部                    ２６ａ、２６ｂ…弁ロッド
２８…弁ディスク                ３０、１５２…連結機構
３４、３６…通路                ５２、５６…取付面
５６ａ…円弧面                  ５４…平面
５８…下面                      ６０…取着部
６２…孔部                      ６４、６６…溝
６８…板ばね部材                ７２…開口部
７４…凸部                      ７６…傾斜部
８６ａ、８６ｂ、１５４、１６０…傾斜面
１５６…楔部材                  １５８…ねじ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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