(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ本体の内部には嵌挿孔を軸方向へ貫通して設け、嵌挿孔にはピストンロッドを有するピストンを軸方向へ摺動自在に嵌挿して設け、嵌挿孔が開口するシリンダ本体の軸方向両端にはヘッド側蓋部材とロッド側蓋部材をそれぞれ固設して嵌挿孔の両端開口を閉塞して設け、ピストンロッドはロッド側蓋部材を貫通して外部に突出して設け、ヘッド側蓋部材とピストン間にはヘッド側室を区画形成すると共に、ロッド側蓋部材とピストン間にはロッド側室を区画形成し、ヘッド側室への圧力流体の流入を許容すると共にヘッド側室からの流体の流出を阻止するよう弁体を有して、パイロット流体の作用により弁体を押圧してヘッド側室からの流体の流出阻止を解除するパイロット操作逆止め弁をヘッド側蓋部材に備え、シリンダ本体にはロッド側室に流入する圧力流体の一部をパイロット操作逆止め弁のパイロット流体とするようロッド側室とパイロット操作逆止め弁間を連通するパイロット流路を穿設し、ピストンを第１ピストンロッドを有する第１ピストンと第２ピストンロッドを有する第２ピストンとを直列に配設して構成し、シリンダ本体の嵌挿孔を隔壁により軸方向に仕切って設け、嵌挿孔には隔壁の軸方向一方側に第１ピストンを嵌挿して設けると共に、隔壁の軸方向他方側に第２ピストンを嵌挿して設け、嵌挿孔の第１ピストンを嵌挿した側の一端開口をヘッド側蓋部材により閉塞して設けると共に、嵌挿孔の第２ピストンを嵌挿した側の他端開口をロッド側蓋部材により閉塞して設け、第１ピストンの第１ピストンロッドは隔壁を貫通して第２ピストンに当接して設け、第２ピストンの第２ピストンロッドはロッド側蓋部材を貫通して外方に突出して設け、ヘッド側室をヘッド側蓋部材と第１ピストン間に区画形成の第１ヘッド側室及び隔壁と第２ピストン間に区画形成の第２ヘッド側室から構成し、ロッド側室を隔壁と第１ピストン間に区画形成の第１ロッド側室及びロッド側蓋部材と第２ピストン間に区画形成の第２ロッド側室から構成し、第１ロッド側室と第２ヘッド側室間を連通してこの両室に圧力流体を流入したり両室から流体を流出したりして設け、ヘッド側蓋部材に備えたパイロット操作逆止め弁は第１ヘッド側室への圧力流体の流入を許容すると共に第１ヘッド側室からの流体の流出を阻止するよう弁体を有して、パイロット流体の作用により弁体を押圧して第１ヘッド側室からの流体の流出阻止を解除して設け、シリンダ本体に穿設のパイロット流路は第２ロッド側室に流入する圧力流体の一部をパイロット操作逆止め弁のパイロット流体とするよう第２ロッド側室とパイロット操作逆止め弁間を連通したことを特徴とする流体シリンダ。
【請求項２】
ヘッド側蓋部材に備えたパイロット操作逆止め弁は、弁体と弁体をパイロット流体の作用により押圧するパイロットピストンとを対向して直列状に設け、この直列状に設けた弁体とパイロットピストンをシリンダ本体の軸方向と略直交する方向に配設したことを特徴とする請求項１に記載の流体シリンダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パイロット操作逆止め弁を備えた流体シリンダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の流体シリンダは、図４及び図５に示す如き、シリンダ本体３４の内部に、嵌挿孔３５を軸方向に仕切る隔壁３６を設け、嵌挿孔３５には隔壁３６の軸方向一方側に第１ピストンロッド３７Ａを有する第１ピストン３７を軸方向へ摺動自在に嵌挿して設けると共に、隔壁３６の軸方向他方側に第２ピストンロッド３８Ａを有する第２ピストン３８を軸方向へ摺動自在に嵌挿して設け、シリンダ本体３４には、嵌挿孔３５の第１ピストン３７を嵌挿した側の一端開口を閉塞するヘッド側蓋部材３９と、嵌挿孔３５の第２ピストン３８を嵌挿した側の他端開口を閉塞するロッド側蓋部材４０をそれぞれ固設し、第１ピストンロッド３７Ａは隔壁３６を貫通して第２ピストン３８に当接して設けると共に、第２ピストンロッド３８Ａはロッド側蓋部材４０を貫通して外部に突出して設けている。
【０００３】
ヘッド側蓋部材３９と第１ピストン３７間には第１ヘッド側室４１を区画形成すると共に、第１ヘッド側室４１に対向してシリンダ本体３４の隔壁３６と第１ピストン３７間には第１ロッド側室４２を区画形成し、また、シリンダ本体３４の隔壁３６と第２ピストン３８間には第２ヘッド側室４３を区画形成すると共に、第２ヘッド側室４３に対向してロッド側蓋部材４０と第２ピストン３８間には第２ロッド側室４４を区画形成している。そして、第１ロッド側室４２と第２ヘッド側室４３との間は隔壁３６に穿設の連通路４５により連通して設け、この両室４２、４３に連通路４５へ一端を接続する配管４６を介して圧力流体を流入したり両室４２、４３から流体を配管４６を介して流出したりして設けている。
【０００４】
また、第１ヘッド側室４１に圧力流体を流入したり第１ヘッド側室４１の流体を排出するよう配管４７の一端を第１ヘッド側室４１に接続すると共に、第２ロッド側室４４に圧力流体を流入したり第２ロッド側室４４の流体を排出するよう配管４８の一端を第２ロッド側室４４に接続し、各配管４６、４７、４８はシリンダ本体３４の上部に有するマニホールド５０に他端を接続している。
【０００５】
そして、マニホールド５０には、第１ヘッド側室４１への圧力流体の流入を許容すると共に第１ヘッド側室４１からの流体の排出を阻止するよう弁体（図示せず）有して、パイロット流体の作用により弁体を押圧して第１ヘッド側室４１からの流体の流出阻止を解除するパイロット操作逆止め弁５１を備え、第２ロッド側室４４に流入する圧力流体の一部をパイロット流体とするよう配管４８とパイロット操作逆止め弁５１の間を連通するパイロット流路（図示せず）をマニホールド５０の内部に穿設している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、かかる従来の流体シリンダでは、パイロット操作逆止め弁５１を格別に備えると共に、パイロット操作逆止め弁５１のパイロット流路を穿設する部材として格別にマニホールド５０を有しなければならず、全体形状が大型化してしまった。
【０００７】
本発明は、パイロット操作逆止め弁を一体的に備え、かつ、パイロット操作逆止め弁のパイロット流路を穿設するための格別な部材を不要にしてコンパクト化を図る流体シリンダを提供することを課題としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の流体シリンダでは、シリンダ本体の内部には嵌挿孔を軸方向へ貫通して設け、嵌挿孔にはピストンロッドを有するピストンを軸方向へ摺動自在に嵌挿して設け、嵌挿孔が開口するシリンダ本体の軸方向両端にはヘッド側蓋部材とロッド側蓋部材をそれぞれ固設して嵌挿孔の両端開口を閉塞して設け、ピストンロッドはロッド側蓋部材を貫通して外部に突出して設け、ヘッド側蓋部材とピストン間にはヘッド側室を区画形成すると共に、ロッド側蓋部材とピストン間にはロッド側室を区画形成し、ヘッド側室への圧力流体の流入を許容すると共にヘッド側室からの流体の流出を阻止するよう弁体を有して、パイロット流体の作用により弁体を押圧してヘッド側室からの流体の流出阻止を解除するパイロット操作逆止め弁をヘッド側蓋部材に備え、シリンダ本体にはロッド側室に流入する圧力流体の一部をパイロット操作逆止め弁のパイロット流体とするようロッド側室とパイロット操作逆止め弁間を連通するパイロット流路を穿設し、ピストンを第１ピストンロッドを有する第１ピストンと第２ピストンロッドを有する第２ピストンとを直列に配設して構成し、シリンダ本体の嵌挿孔を隔壁により軸方向に仕切って設け、嵌挿孔には隔壁の軸方向一方側に第１ピストンを嵌挿して設けると共に、隔壁の軸方向他方側に第２ピストンを嵌挿して設け、嵌挿孔の第１ピストンを嵌挿した側の一端開口をヘッド側蓋部材により閉塞して設けると共に、嵌挿孔の第２ピストンを嵌挿した側の他端開口をロッド側蓋部材により閉塞して設け、第１ピストンの第１ピストンロッドは隔壁を貫通して第２ピストンに当接して設け、第２ピストンの第２ピストンロッドはロッド側蓋部材を貫通して外方に突出して設け、ヘッド側室をヘッド側蓋部材と第１ピストン間に区画形成の第１ヘッド側室及び隔壁と第２ピストン間に区画形成の第２ヘッド側室から構成し、ロッド側室を隔壁と第１ピストン間に区画形成の第１ロッド側室及びロッド側蓋部材と第２ピストン間に区画形成の第２ロッド側室から構成し、第１ロッド側室と第２ヘッド側室間を連通してこの両室に圧力流体を流入したり両室から流体を流出したりして設け、ヘッド側蓋部材に備えたパイロット操作逆止め弁は第１ヘッド側室への圧力流体の流入を許容すると共に第１ヘッド側室からの流体の流出を阻止するよう弁体を有して、パイロット流体の作用により弁体を押圧して第１ヘッド側室からの流体の流出阻止を解除して設け、シリンダ本体に穿設のパイロット流路は第２ロッド側室に流入する圧力流体の一部をパイロット操作逆止め弁のパイロット流体とするよう第２ロッド側室とパイロット操作逆止め弁間を連通して成る。
【０００９】
この場合、ヘッド側蓋部材に備えたパイロット操作逆止め弁は、弁体と弁体をパイロット流体の作用により押圧するパイロットピストンとを対向して直列状に設け、この直列状に設けた弁体とパイロットピストンをシリンダ本体の軸方向と略直交する方向に配設しても良い。
【００１０】
かかる本発明の構成において、第１ヘッド側室への圧力流体の流入を許容すると共に第１ヘッド側室からの流体の流出を阻止するよう弁体を有して、パイロット流体の作用により弁体を押圧して第１ヘッド側室からの流体の流出阻止を解除するパイロット操作逆止め弁は、ヘッド側蓋部材に備えており、かつ、パイロット操作逆止め弁のパイロット流路は、第２ロッド側室とパイロット操作逆止め弁間を連通してシリンダ本体に穿設している。このため、流体シリンダは、パイロット操作逆止め弁を一体的に備え、かつ、パイロット操作逆止め弁のパイロット流路を穿設するための格別な部材を不要にしてコンパクト化を図ることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２において、１は横置き配置したシリンダ本体で、その横断面の形状を四角形に形成し、内部に嵌挿孔２を軸方向へ貫通して設けている。３はシリンダ本体１内部に一体形成の隔壁で、嵌挿孔２を軸方向に仕切って設けている。４は第１ピストンロッド４Ａを有する第１ピストンで、隔壁３の軸方向一方側で嵌挿孔２に軸方向へ摺動自在に嵌挿して設けている。５は第２ピストンロッド５Ａを有する第２ピストンで、隔壁３の軸方向他方側で嵌挿孔２に軸方向へ摺動自在に嵌挿して設け、第１ピストン４と直列状に配設している。６はシリンダ本体１の軸方向一端に固設したヘッド側蓋材で、嵌挿孔２の第１ピストン４を嵌挿した側の一端開口を閉塞して設けている。７はシリンダ本体１の軸方向他端に押さえ部材７Ａを介して固設したロッド側蓋部材で、嵌挿孔２の第２ピストン５を嵌挿した側の他端開口を閉塞して設けている。８はシリンダ本体１にヘッド側蓋部材６とロッド側蓋部材７を固設する４本のボルト部材で、シリンダ本体１の四隅部分を軸方向に挿通してその両端をヘッド側蓋部材６と押さえ部材７Ａに止着して設けている。
【００１２】
第１ピストン４の第１ピストンロッド４Ａはその先端が隔壁３を貫通して第２ピストン５に当接して設けている。第２ピストン５の第２ピストンロッド５Ａはその先端がロッド側蓋部材７を気密に貫通して外部に突出して設けている。９はヘッド側蓋部材６と第１ピストン４間に区画形成の第１ヘッド側室、１０は隔壁３と第１ピストン４間に区画形成の第１ロッド側室、１１は隔壁３と第２ピストン５間に区画形成の第２ヘッド側室、１２はロッド側蓋部材７と第２ピストン５間に区画形成の第２ロッド側室である。１３は隔壁３に穿設の連通路で、第１ロッド側室１０と第２ヘッド側室１１間を連通して設けている。１４はシリンダ本体１に穿設の第１給排ポートで、連通路１３に接続し、第１ロッド側室１０と第２ヘッド側室１１とに圧力流体を供給したりこの両室１０、１１から流体を流出したりして設けている。１５はシリンダ本体１に穿設の第２給排ポートで、第２ロッド側室１２に接続し、第２ロッド側室１２に圧力流体を供給したり第２ロッド側室１２から流体を流出したりして設けている。
【００１３】
１６はヘッド側蓋部材６に備えたパイロット操作逆止め弁で、第１ヘッド側室９への圧力流体の流入を許容すると共に第１ヘッド側室９からの流体の流出を阻止するよう弁体１７を有して、パイロット流体の作用により弁体１７を押圧して第１ヘッド側室９からの流体の流出阻止を解除するよう弁体１７に対向してパイロットピストン１８を直列状に設けている。２０は弁体１７を摺動自在に嵌挿する段付き状の弁孔で、ヘッド側蓋部材６にシリンダ本体１の軸方向と略直交する方向に穿設し、その一端をヘッド側蓋部材６の下端に開口して設けている。２１は弁体２０が着座する弁座で、弁孔２０の段付き部に形成している。２２は弁体２０を弁座２１への着座方向に付勢するばねである。２３はパイロットピストン１８を摺動自在に嵌挿するパイロットピストン孔で、ヘッド側蓋部材６にシリンダ本体１の軸方向と略直交する方向に弁孔２０へ連設して穿設し、その一端をヘッド側蓋部材５の上端に開口して設けている。２４はヘッド側蓋部材６の下端に固設した下蓋部材で、弁孔２０の一端開口を閉塞して設けている。２５はヘッド側蓋部材６の上端に固設した上蓋部材で、パイロットピストン孔２３の一端開口を閉塞して設けている。
【００１４】
２６はヘッド側蓋部材６に穿設の連通路で、第１ヘッド側室９と弁孔２０間を連通している。２７はヘッド側蓋部材６に穿設の第３給排ポートで、パイロットピストン孔２３に接続し、弁孔２０、弁座２１、連通路２６を介して第１ヘッド側室９に連通している。パイロット操作逆止め弁１６の弁体１７は、第３給排ポート２７からの圧力流体の作用でばね２２力に抗して弁座２１から離脱して第１ヘッド側室９への圧力流体の流入を許容すると共に、第１ヘッド側室９からの流体の流出を弁座２１への着座で阻止して設けている。２８はパイロットピストン１８と上蓋部材２５間に区画形成のパイロット室で、パイロット流体を流入してパイロットピストン１８に作用したり流入したパイロット流体を流出してパイロットピストン１８への作用を解除したりして設けている。パイロットピストン１８は、パイロット室２８に流入したパイロット流体の作用で弁座２１に着座した弁体１７をばね２２力に抗して押圧して弁座２１から離脱させ第１ヘッド側室９からの流体の流出阻止を解除して設けている。２９はシリンダ本体１へ穿設のパイロット流路で、第２給排ポート１５から第２ロッド側室１２に流入する圧力流体の一部をパイロット操作逆止め弁１６のパイロット流体とするよう第２ヘッド側室１２とパイロット操作逆止め弁１６のパイロット室２８間を連通して設けている。
【００１５】
シリンダ本体１の上側には第１位置検出器３０と第２位置検出器３１とを配設し、両位置検出器３０、３１は第２ピストンロッド５Ａの外部に突出した先端と連結部材３２で連結し、第１位置検出器３０は第２ピストン５の隔壁３に当接する一方の作動端位置及びロッド側蓋部材７に当接する他方の作動端位置でそれぞれ位置信号を出力して設けている。また、第２位置検出器３１は第２ピストン５の作動中の位置を検出して位置信号を出力して設けている。
【００１６】
次にかかる構成の作動を説明する。
図１に示す、第２給排ポート１５と第３給排ポート２７とを中立位置では遮断し切換位置では圧力流体の供給源と流体を流出する低圧側とに切換連通する切換弁に接続し、この切換弁と格別に第１給排ポート１４を中立位置では遮断し切換位置では圧力流体の供給源と連通したり流体を排出する低圧側と連通したりする切換弁に接続する。
【００１７】
この切換弁を接続した状態で、第３給排ポート２７を圧力流体の供給源に切換連通すると共に、第２給排ポート１５を低圧側に切換連通し、また、第１給排ポート１４を遮断すると（低圧側に連通しても良い）、第３給排ポート２７に供給の圧力流体は、パイロットピストン孔２３を流れ、パイロット操作逆止め弁１６の弁体１７に作用して弁体１７をばね２２力に抗して弁座２１から離脱させ、弁孔２０、連通路２６を流れて第１ヘッド側室９に流入し、第１ピストン４は第１ピストンロッド４Ａで第２ピストン５を押圧しながら隔壁３に向けて軸方向に摺動し、この摺動で容積が減少する第１ロッド側室１０から流出する流体は、連通路１３を流れて第１ロッド側室１０の容積減少分だけ容積が増大する第２ヘッド側室１１に流入する。また、第１ピストンロッド４Ａで押圧される第２ピストン５はロッド側蓋部材７に向けて軸方向に摺動し、この摺動で容積が減少する第２ロッド側室１２の流体は第２給排ポート１５より低圧側に流出する。
【００１８】
そして、第１ピストン４が隔壁３に当接して停止すると、第２ピストン５はロッド側蓋部材７に当接する手前の中間位置で停止する。
【００１９】
両ピストン４、５が停止した状態で、第１ヘッド側室９の流体はパイロット操作逆止め弁１６の弁体１７が弁座２１に着座して流出を阻止され、第２ピストン５は中間位置での停止状態を良好に維持する。
【００２０】
第２ピストン５が中間位置で停止した状態で、第１給排ポート１４を圧力流体の供給源に連通すると、（このとき、第２給排ポート１５は切換弁により低圧側に切換連通している。）第１給排ポート１４に供給の圧力流体は連通路１３を流れて第１ロッド側室１０と第２ヘッド側室１１とに流入し、第２ピストン５は中間位置より第１ピストンロッド４Ａから離脱してロッド側蓋部材７に向けて軸方向に摺動し、この摺動で容積が減少する第２ロッド側室１２の流体は第２給排ポート１５より低圧側に流出する。このとき、第１ピストン４は、第１ヘッド側室９の流体がパイロット操作逆止め弁１６で流出を阻止されるので、隔壁３に当接して停止している状態を維持する。
【００２１】
そして、第２ピストン５がロッド側蓋部材７に当接した作動端位置で停止すると、第２給排ポート１５と第３給排ポート２７を遮断すると共に、第１給排ポート１４を遮断する。
【００２２】
第２ピストン５がロッド側蓋部材７に当接した作動端位置で、第２給排ポート１５を圧力流体の供給源に切換連通すると共に、第３給排ポート２７を低圧側に切換連通し、また、第１給排ポート１４を低圧側に切換連通すると、第２給排ポート１５に供給の圧力流体は第２ロッド側室１２に流入し、第２ピストン５は中間位置に向けて軸方向に摺動し、この摺動で容積が減少する第２ヘッド側室１１の流体は連通路１３より第１給排ポート１４を流れて低圧側に流出する。また、第２ロッド側室１２に流入した圧力流体の一部はパイロット流体としてパイロット流路２９を流れてパイロット操作逆止め弁１６のパイロット室２８に流入してパイロットピストン１８に作用し、パイロットピストン１８はパイロット流体の作用で弁体１７を押圧して弁座２１から離脱させ第１ヘッド側室９からの流体の流出阻止を解除する。軸方向に摺動する第２ピストン５が中間位置で第１ピストンロッド４Ａに当接すると、第１ピストン４を押圧しながら隔壁３に向けてさらに軸方向に摺動し、この摺動で容積が減少する第２ヘッド側室１２から流出する流体は、連通路１３を流れて第２ヘッド側室１２の容積減少分だけ容積が増大する第１ロッド側室１０に流入する。
【００２３】
また、第２ピストン５に押圧される第１ピストン４はヘッド側蓋部材６に向けて軸方向に摺動し、この摺動で容積が減少する第１ヘッド側室９の流体は、連通路２６、流出阻止を解除したパイロット操作逆止め弁１６を流れて第３給排ポート２７より低圧側に流出する。そして、第２ピストン５が隔壁３に、また、第１ピストン４がヘッド側蓋部材６にそれぞれ当接して停止する図１の状態に復帰すると、第２給排ポート１５と第３給排ポート２７を遮断すると共に、第１給排ポート１４を遮断する。なお、パイロットピストン１８による弁体１７の押圧は、次回の作動で第２給排ポート１５を低圧側に切換連通した際に、パイロット室２８のパイロット流体がパイロット流路２９を流れ第２ロッド側室１２を介して第２給排ポート１５より低圧側に流出することで、弁体１７及びパイロットピストン１８がばね２２力で付勢されて図１の状態に復帰することで解除される。
【００２４】
かかる作動で、パイロット操作逆止め弁１６はヘッド側部材６に備えており、かつ、パイロット操作逆止め弁１６のパイロット流路２９はシリンダ本体１に穿設しているため、流体シリンダはパイロット操作逆止め弁１６を一体的に備え、かつ、パイロット操作逆止め弁のパイロット流路を穿設するための格別な部材を不要にしてコンパクト化を図ることができる。また、ヘッド側蓋部材６に備えたパイロット操作逆止め弁１６は、直列状に対向して設けた弁体１７とパイロットピストン１８をシリンダ本体１の軸方向と略直交する方向に配設しているため、ヘッド側蓋部材６の軸方向長さの増長を抑制でき、流体シリンダを一層コンパクト化することができる。また、パイロット操作逆止め弁１６をヘッド側蓋部材６に備えているため、図３及び図４に示す従来の流体シリンダの如き、第１ヘッド側室４１とパイロット操作逆止め弁５１間を配管４７を介して連通しているものに比べ、第１ヘッド側室９とパイロット操作逆止め弁１６間を連通する連通路２６は短くでき、流体が圧縮性である場合でも、第１ピストン４が隔壁３に当接する第２ピストン５の中間位置で、第２ピストンロッド５Ａに負荷が第１ヘッド側室９の容積を減少する方向に作用しても、第１ヘッド側室９とパイロット操作逆止め弁１６間を短く連通できる分、流体の圧縮を軽減でき、この圧縮に伴う第２ピストン５の中間位置での位置変化を抑制することができる。
【００３１】
なお、図１及び図２に示す一実施形態では流体シリンダを横置き配置したが、流体シリンダを縦置き配置してもよいことは勿論である。
【００３２】
【発明の効果】
このように本発明は、請求項１に記載の流体シリンダでは、パイロット操作逆止め弁はヘッド側蓋部材に備えており、かつ、パイロット操作逆止め弁のパイロット流路はシリンダ本体に穿設しているため、流体シリンダはパイロット操作逆止め弁を一体的に備え、かつ、パイロット操作逆止め弁のパイロット流路を穿設するための格別な部材を不要にしてコンパク化を図ることができる。
【００３４】
また、請求項１に記載の流体シリンダでは、パイロット操作逆止め弁をヘッド側蓋部材に備えているため、第１ヘッド側室との間の連通を短いものにでき、流体が圧縮性である場合でも、第１ピストンが隔壁に当接する第２ピストンの中間位置で、第２ピストンロッドに負荷が第１ヘッド側室の容積を減少する方向に作用しても、第１ヘッド側室とパイロット操作逆止め弁間の連通が短い分、流体の圧縮を軽減でき、この圧縮に伴う第２ピストンの中間位置での位置変化を抑制することができる。
【００３５】
また、請求項２に記載の流体シリンダでは、ヘッド側蓋部材に備えたパイロット操作逆止め弁は、直列状に対向して設けた弁体とパイロットピストンをシリンダ本体の軸方向と略直交する方向に配設しているため、ヘッド側蓋部材の軸方向長さの増長を抑制できて、流体シリンダを一層コンパクト化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態を示した流体シリンダの縦断面図である。
【図２】  図１の線Ａ−Ａに沿った横断面図である。
【図３】 従来の流体シリンダの一部を断面で示した正面図である。
【図４】 図３の矢視Ｂから見た右側面図である。
【符号の説明】
１シリンダ本体
２嵌挿孔
３隔壁
４第１ピストン
４Ａ第１ピストンロッド
５第２ピストン
５Ａ第２ピストンロッド
６ヘッド側蓋部材
７ロッド側蓋部材
９第１ヘッド側室
１０第１ロッド側室
１１第２ヘッド側室
１２第２ロッド側室
１６パイロット操作逆止め弁
１７弁体
１８パイロットピストン
２９パイロット流路
【図１】
0003771979.tif 000002
【図２】
0003771979.tif 000003
【図３】
0003771979.tif 000004
【図４】
0003771979.tif 000005