(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って複数箇所で押圧することによって、上記ウエハを把持するウエハ把持手段と；
上記ウエハ把持手段を保持する環状部材と；
上記ウエハ把持手段が上記ウエハを把持した状態で、上記環状部材の中心を中心として、上記ウエハの平面上で上記環状部材を回動させることによって、上記ウエハを自転させるウエハ自転手段と；
を有し、
上記ウエハ把持手段は、
２つ以上の爪で構成されている第１群の爪と、上記第１群の爪とは異なる位置に設けられ、２つ以上の爪で構成されている第２群の爪とを具備し、
所定時点において上記第１群の爪が上記ウエハを把持し、上記所定時点とは異なる時点において、上記第１群の爪による上記ウエハの把持を解除するとともに上記第２群の爪によって上記ウエハを把持する手段であることを特徴とするウエハ目視検査装置。
【請求項２】
ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って複数箇所で押圧することによって、上記ウエハを把持するウエハ把持手段と；
上記ウエハ把持手段を保持する環状部材と；
上記ウエハ把持手段が上記ウエハを把持した状態で、上記環状部材の中心を中心として、上記ウエハの平面上で上記環状部材を回動させることによって、上記ウエハを自転させるウエハ自転手段と；
上記環状部材を載置するアームと；
鉛直線を中心に上記アームを回動させるアーム回動手段と；
を有し、
上記ウエハ把持手段は、
２つ以上の爪で構成されている第１群の爪と、上記第１群の爪とは異なる位置に設けられ、２つ以上の爪で構成されている第２群の爪とを具備し、
所定時点において上記第１群の爪が上記ウエハを把持し、上記所定時点とは異なる時点において、上記第１群の爪による上記ウエハの把持を解除するとともに上記第２群の爪によって上記ウエハを把持する手段であることを特徴とするウエハ目視検査装置。
【請求項３】
ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って複数箇所で押圧することによって、上記ウエハを把持するウエハ把持手段と；
上記ウエハ把持手段を保持する環状部材と；
上記環状部材の軸心と直交する直線を中心に上記環状部材を傾斜させる環状部材傾斜手段と；
を有し、
上記ウエハ把持手段は、
２つ以上の爪で構成されている第１群の爪と、上記第１群の爪とは異なる位置に設けられ、２つ以上の爪で構成されている第２群の爪とを具備し、
所定時点において上記第１群の爪が上記ウエハを把持し、上記所定時点とは異なる時点において、上記第１群の爪による上記ウエハの把持を解除するとともに上記第２群の爪によって上記ウエハを把持する手段であることを特徴とするウエハ目視検査装置。
【請求項４】
ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って複数箇所で押圧することによって、上記ウエハを把持するウエハ把持手段と；
上記ウエハ把持手段を保持する環状部材と；
上記ウエハ把持手段が上記ウエハを把持した状態で、上記環状部材の軸心と直交する直線を中心に上記環状部材を１８０度以上回動させることによって、上記ウエハの表裏を目視することが可能であるウエハ裏返し手段と；
を有し、
上記ウエハ把持手段は、
２つ以上の爪で構成されている第１群の爪と、上記第１群の爪とは異なる位置に設けられ、２つ以上の爪で構成されている第２群の爪とを具備し、
所定時点において上記第１群の爪が上記ウエハを把持し、上記所定時点とは異なる時点において、上記第１群の爪による上記ウエハの把持を解除するとともに上記第２群の爪によって上記ウエハを把持する手段であることを特徴とするウエハ目視検査装置。
【請求項５】
ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って押圧する２つ以上の爪で構成されている第１群の爪と；
ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って押圧する２つ以上の爪で構成され、上記第１群の爪とは異なる位置に設けられている第２群の爪と；
所定時点において、上記第１群の爪によって上記ウエハを把持させ、上記所定時点とは異なる時点において、上記第１群の爪による上記ウエハの把持を解除させるとともに上記第２群の爪によって上記ウエハを把持させる爪制御手段と；
を有することを特徴とするウエハ目視検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハを目視検査する装置に関する
【０００２】
【従来の技術】
従来のウエハ目視検査装置は、目視検査前のウエハがスタックに複数枚載置され、このスタックに載置されている複数枚のスタックのうちで任意の段に載置されているウエハをハンドが把持し、検査ステージに搬送し、この検査ステージにおいてそのウエハが検査者によって目視検査される。なお、上記従来例における検査ステージにおいて、ウエハを載置する台が皿状であり、この皿の上にウエハが載置される。
【０００３】
この搬送ステージでは、ウエハの表（おもて）面のみが目視検査され、上記ウエハの裏面を検査するには、ハンドによってウエハを載置し直す。つまり、ハンドがそのウエハを再び把持し、検査ステージの上方に移動し、ウエハの裏面が上に向くように、そのハンドがウエハを裏返し、この裏返し状態で、ウエハを検査ステージに再び載置する。すなわち、ハンドでウエハを持ち替える。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例において、ウエハの表面と裏面とを目視検査するためには、ハンドでウエハを持ち替える操作を実行する必要があり、このウエハの持ち替え操作を実行するために、ハンドによる搬送時間として約２０秒間を必要とし、したがって、迅速な目視検査を行うことができないという問題がある。また、ハンドによるウエハの持ち替え操作によって、ごみが発生し易いという問題があり、ウエハが破損する可能性があるという問題がある。
【０００５】
さらに、ハンドによるウエハの持ち替え操作を実現するには、目視検査装置を構成するユニットが増加し、このユニット増加によって、コストアップが生じるという問題がある。
【０００６】
また、上記実施例において、ウエハの傷、歪み、曇り等を目視で発見するためには、ウエハを照明する照明光の照射方向との関係で、検査者がその目の位置を常に変化させる必要があり、目視検査者にとって目視検査が煩雑であるという問題がある。
【０００７】
本発明は、ウエハの目視検査を迅速に実行することができるウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
また、本発明は、ウエハの目視検査時に、ウエハに付着するごみの発生量を少なくすることができ、付加機構（反転ハンド）によるウエハの破損の可能性がなく、安価なウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
さらに、本発明は、ウエハを照明する光源がどの位置に存在していても、また、光源からの光の照射方向がどのような方向であっても、検査者がその目の位置を変化させる必要がなく、目視検査者にとって目視検査が容易であるウエハ目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って複数箇所で押圧することによって、上記ウエハを把持するウエハ把持手段と、上記ウエハ把持手段を保持する環状部材と、上記ウエハ把持手段が上記ウエハを把持した状態で、上記環状部材の中心を中心として、上記ウエハの平面上で上記環状部材を回動させることによって、上記ウエハを自転させるウエハ自転手段とを有するウエハ目視検査装置である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って複数箇所で押圧することによって、上記ウエハを把持するウエハ把持手段と、上記ウエハ把持手段を保持する環状部材と、上記ウエハ把持手段が上記ウエハを把持した状態で、上記環状部材の中心を中心として、上記ウエハの平面上で上記環状部材を回動させることによって、上記ウエハを自転させるウエハ自転手段とを有するウエハ目視検査装置であり、上記ウエハ把持手段は、２つ以上の爪で構成されている第１群の爪と、上記第１群の爪とは異なる位置に設けられ、２つ以上の爪で構成されている第２群の爪とを具備し、所定時点において上記第１群の爪が上記ウエハを把持し、上記所定時点とは異なる時点において、上記第１群の爪による上記ウエハの把持を解除するとともに上記第２群の爪によって上記ウエハを把持する手段であるウエハ目視検査装置である。
【００１２】
ウエハ目視検査装置１００は、基台Ｂの上に、Ｙ軸ボールネジＢＮＹと、Ｙ軸ボールネジＢＮＹを駆動するＹ軸駆動モータＭＹと、２つのＹ軸ガイドＧＹとが設けられている。Ｙ軸駆動モータＭＹによって、Ｙ軸ボールネジＢＮＹ上をＹ軸用スライダＳＹが摺動し、このＹ軸用スライダＳＹに第１載置板Ｂ１が固定され、この第１載置板Ｂ１は、２つのＹ軸ガイドＧＹを摺動するものである。
【００１３】
第１載置板Ｂ１には、Ｘ軸ボールネジＢＮＸと、Ｘ軸ボールネジＢＮＸを駆動するＸ軸駆動モータＭＸと、２つのＸ軸ガイドＧＸとが設けられている。Ｘ軸駆動モータＭＸによって、Ｘ軸ボールネジＢＮＸ上をＸ軸用スライダＳＸが摺動し、このＸ軸用スライダＳＸに第２載置板Ｂ２が固定され、この第２載置板Ｂ２は、２つのＸ軸ガイドＧＸを摺動するものである。
【００１４】
第２載置板Ｂ２には、円板２０と、Ｕ字状のアームＡと、アーム回動モータＭＡと、ベルトＢＴ２とが設けられている。
【００１５】
円板２０は、第２載置板Ｂ２に軸支されている回転可能な円板であり、Ｕ字状のアームＡは、円板２０を介して第２載置板Ｂ２に設けられ、アーム回動モータＭＡは、鉛直線を中心にアームＡを回動させるモータである。また、円板２０は、ベルトＢＴＡを介して、アーム回動モータＭＡによって回転され、アーム回動モータＭＡによる回転力が円板２０に伝達される。
【００１６】
アームＡには、自転板ＳＢを内蔵するリングＲＧと、自転モータＭ１と、表裏反転モータＭ２とが設けられている。
【００１７】
自転板ＳＢは、ウエハＷを把持するとともに、ウエハＷの平面上で、駆動ローラＲを介して自転モータＭ１によって回転される環状部材である。
【００１８】
表裏反転モータＭ２は、自転板ＳＢの軸心と直交する直線を中心に自転板ＳＢを回動させるモータである。
【００１９】
また、ウエハ目視検査装置１００は、制御盤３０を有し、制御盤３０には、ウエハ目視検査装置１００の全体を制御する制御手段と、搬送開始スイッチＳＷと、自転スイッチＳＷ１と、表裏反転スイッチＳＷ２と、アーム回動スイッチＳＷＡと、Ｘ軸調整スイッチＳＷＸと、Ｙ軸調整スイッチＳＷＹとを有する。
【００２０】
搬送開始スイッチＳＷは、スタックに載置されている複数枚のウエハのうちの１枚をウエハ目視監査装置１００に搬送させるとき、または、ウエハ目視監査装置１００から、目視検査を終了したウエハを別のスタックにウエハを搬送させるときに押すスイッチである。
【００２１】
自転スイッチＳＷ１は、自転板ＳＢに保持されているウエハＷを自転させるときに押すスイッチである。表裏反転スイッチＳＷ２は、ウエハＷの俯角、仰角を所定角度だけ調整させる場合、または、ウエハＷの面を裏返すときに押すスイッチである。アーム回動スイッチＳＷＡは、鉛直線を中心にアームＡを回転させるときに押すスイッチである。
【００２２】
Ｘ軸調整スイッチＳＷＸ、Ｙ軸調整スイッチＳＷＹは、基台Ｂに対して、アームＡの位置を、それぞれＸ、Ｙ軸方向の位置を調整するときに押すスイッチである。
【００２３】
図２は、ウエハ目視検査装置１００を簡略化して示す斜視図である。
【００２４】
図２に示すウエハ目視検査装置１００において、後述のチャックを介して自転板ＳＢがウエハＷを挟み、この状態で、自転板ＳＢともにウエハＷを自転させることができ、また、自転板ＳＢを前傾、後傾または表裏反転させることができ、さらに、鉛直線を中心としてアームＡを回転することができる。
【００２５】
図３は、ウエハ目視検査装置１００において、チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３によってウエハＷが自転板ＳＢに固定されている状態を示す平面図である。
【００２６】
図４は、上記実施例において、チャックとウエハＷと自転板ＳＢとの関係を示す平面図であり、図４（１）は、ウエハ目視検査装置１００において、６つのチャックＣ１１〜Ｃ２３によってウエハＷが自転板ＳＢに固定されている状態を示す平面図であり、図４（２）は、ウエハ目視検査装置１００において、チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３によってウエハＷが自転板ＳＢに固定されている状態を示す平面図である。
【００２７】
自転板ＳＢは、所々太さが異なる環状の円板カムＣと、植設されているピン状の円板カムガイドＣＧ１、ＣＧ２、ＣＧ３と、突起Ｔ１１、Ｔ１２、、Ｔ１３、Ｔ２１、Ｔ２２、Ｔ２３（図では、符号Ｔ１２、Ｔ１３、Ｔ２１、Ｔ２２、Ｔ２３を省略してある）と、チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３、Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３とを有する。チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３、Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３は、それぞれ、突起Ｔ１１、Ｔ１２、、Ｔ１３、Ｔ２１、Ｔ２２、Ｔ２３に軸支されている。
【００２８】
円板カムＣは、図６に示すように、細径部ＣＮと、太径部ＣＦと、長穴Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３（図では、符号Ｈ２、Ｈ３を省略してある）とを有する。長穴Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３は、それぞれ円板カムガイドＣＧ１、ＣＧ２、ＣＧ３に遊嵌されている。なお、細径部ＣＮと太径部ＣＦとの組は、チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３、Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３と同じ数だけ設けられている。
【００２９】
また、チャックＣ１１は、Ｔ字状のチャックレバーＣＬ１１と、チャックレバー支点ＣＳ１１と、カムフォロワＣＦ１１と、チャックピースＣＰ１１とを有する。チャックレバー支点ＣＳ１１は、自転板ＳＢの突起Ｔ１１に軸支されている。なお、チャックＣ１２、Ｃ１３、Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３の構成は、チャックＣ１１における上記構成と同様である。
【００３０】
次に、上記実施例の動作について説明する。
【００３１】
まず、自転板ＳＢにウエハＷがセットされず（挟まれておらず）、アームＡの長手方向がＸ軸ボルトねじＢＮＸと平行にセットされ、自転板ＳＢが水平にセットされているとする。この場合、自転板ＳＢにおけるチャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３、Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３のそれぞれのチャックピースＣＰ１１、ＣＰ１２、ＣＰ１３、ＣＰ２１、ＣＰ２２、ＣＰ２３が自転板ＳＢの中央から遠ざかっている。
【００３２】
ここで、制御盤３０の搬送開始スイッチＳＷを押すと、図示しないハンドが、図示しないスタックからウエハＷを１枚挟み取り、自転板ＳＢの中央に搬送し、ウエハＷの中心位置と自転板ＳＢの中心位置とが一致したときに、ウエハＷが停止する。
【００３３】
そして、カムロックエアシリンダ１０がアームＡに固定され、カムロックエアシリンダ１０によって円板カムロックピン１１が円板カムＣの回動を阻止し、自転駆動モータＭ１が所定角度だけ回転し、駆動ローラＲを介して、自転板ＳＢが回動し、これによって、自転板ＳＢが円板カムＣに対して回動するので、チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３のチャックピースＣＰ１１、ＣＰ１２、ＣＰ１３が自転板ＳＢの中央に徐々に寄り、図３に示すように、チャックピースＣＰ１１、ＣＰ１２、ＣＰ１３がウエハＷを挟む。これとともに、上記ハンドによるウエハＷの把持を解除し、上記ハンドが目視検査の妨げにならない場所に退避する。
【００３４】
図５は、上記実施例において、チャックＣ１１、Ｃ１２によってウエハＷが挟まれる前の状態と、チャックＣ１１、Ｃ１２によってウエハＷが挟まれ、保持されている状態とを示す縦断面図である。
【００３５】
図５（２）に示すように、チャックＣ１１、Ｃ１２によってウエハＷが挟まれ、保持されている状態において、チャックＣ１１のチャックピースＣＰ１１とチャックＣ１２のチャックピースＣＰ１２とによって、ウエハＷの周面とその周面近傍のテーパ部とが挟まれる。実際には、図５に示していないチャックＣ１３のチャックピースＣＰ１３とを含めた３つのチャックピースによってウエハＷが挟まれ、保持される。なお、ねじＮ１１、Ｎ１２によって、チャックピースＣＰ１１、ＣＰ１２がチャックレバーＣＬ１１、ＣＬ１２に固定されている。
【００３６】
ここで、自転スイッチＳＷ１を押すと、これを押している間だけ、自転モータＭ１が徐々に回動し、駆動ローラＲを介して、自転板ＳＢが回動する。この場合、自転板ガイドローラＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４によって、自転板ＳＢが回転位置から脱落しないようにガイドされている。自転板ＳＢの回動に伴って、ウエハＷも徐々に回動する。
【００３７】
また、表裏反転スイッチＳＷ２を押すと、これを押している間だけ、自転板ＳＢが、自転板ＳＢの軸と直交する直線を中心として、徐々に前傾または後傾する。表裏反転スイッチＳＷ２は、２つ設けられ、そのうちの１つの表裏反転スイッチを押した場合と、残りの１つの表裏反転スイッチを押した場合とでは、ウエハＷが傾斜する方向が異なる。つまり、ウエハＷは、その前後に傾斜し、その仰角、俯角が変化する。なお、表裏反転スイッチＳＷ２を押し続けると、自転板ＳＢが水平に向いている状態から、鉛直方向に向き、引き続いて、水平に向き、自転板ＳＢの裏側が上に向く、つまり、ウエハＷの裏側が上に向く。
【００３８】
そして、アーム回動スイッチＳＷＡを押すと、これを押している間だけ、アーム回動モータＭＡが回動し、ベルトＢＴＡを介して円板２０が回動し、これと連動してアームＡが回動する。これによって、目視検査者から見て、ウエハＷの左右の向きが変化する。
【００３９】
なお、基台Ｂに対するウエハＷの中心位置を調整する場合には、Ｘ軸調整スイッチＳＷＸ、Ｙ軸調整スイッチＹを押すことによって、アームＡについて、それぞれ、Ｘ軸上の位置、Ｙ軸上の位置を所望の位置に調整することができる。
【００４０】
上記実施例によれば、ウエハＷの目視検査時に、ウエハＷを自転させることができ、また、ウエハＷを前傾、後傾させることができるので、ウエハＷを照明する光源がどの位置に存在していても、また、光源からの光の照射方向がどのような方向であっても、検査者がその目の位置を変化させる必要がなく、目視検査者にとって目視検査が容易である。
【００４１】
また、上記実施例によれば、ウエハＷの目視検査時に、検査ステージにおいて、ハンドを使用せずに、ウエハＷを裏返しすることができるので、ウエハＷを裏返しする時間が従来の半分程度の時間で足り、ウエハＷの目視検査を迅速に実行することができ、ウエハＷに付着するごみの発生量を少なくすることができ、ウエハＷの破損が少く、複雑は構成を必要としないので、ウエハＷ目視検査装置が安価である。
【００４２】
上記のように、ウエハＷがチャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３によって挟まれ、保持されている状態で、目視検査者が、ウエハＷの表面における傷、曇り、凹凸等の存否を視認した後に、持ち替えスイッチＳＷＣを押すと、ウエハＷの持ち替えが行われる。つまり、チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３によるウエハＷの保持を、チャックＣ２１、Ｃ２２、Ｃ２３による保持に切り替える。
【００４３】
図６は、上記実施例において、円板カムＣとチャックＣ１１とウエハＷとの関係と、チャックＣ１１の動作とを説明する図である。
【００４４】
円板カムＣは、自転板ＳＢと同心円上に設けられ、自転板ＳＢに対して所定のストローク（円板カムＣに設けられている長穴Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３の長さ）だけ回動するように自転板ＳＢに設けられ、チャックＣ１１〜Ｃ２３を制御する場合以外は、円板カムＣと自転板ＳＢとは共周りするものである。
【００４５】
そして、図６（１）に示すように、カムフォロワＣＦ１１が円板カムＣの細径部ＣＮと接触している場合には、チャックピースＣＰ１１がウエハＷの端面と接触している。その後、円板カムＣに対して、自転板ＳＢが図６中、時計方向に回動すると、図６（２）に示すように、カムフォロワＣＦ１１が円板カムＣの太径部ＣＦと接触し、この場合、チャックレバーＣＬ１１が、チャックレバー支点ＣＳ１１を中心として、図６中、時計方向に回動し、チャックピースＣＰ１１がウエハＷの端面から離れる。
【００４６】
図６（２）に示す状態から、円板カムＣに対して、自転板ＳＢが図６中、反時計方向に回動すると、図６（１）に示すように、カムフォロワＣＦ１１が円板カムＣの細径部ＣＮと接触し、この場合、チャックレバーＣＬ１１が、チャックレバー支点ＣＳ１１を中心として、図６中、反時計方向に回動し、チャックピースＣＰ１１がウエハＷの端面と接触する。
【００４７】
なお、チャックＣ１２、Ｃ１３、Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３の各動作も、チャックＣ１１における上記動作と同様である。
【００４８】
チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３によって、ウエハＷを挟み保持している状態と、チャックＣ２１、Ｃ２２、Ｃ２３によって、ウエハＷを挟み保持している状態との切り替えは、次のように行われる。
【００４９】
まず、図３に示すように、チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３によって、ウエハＷを挟み保持し、次に、図４（１）に示すように、６つのチャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３、Ｃ２１、Ｃ２２、Ｃ２３によって、ウエハＷを挟み保持し、その後、図４（２）に示すように、チャックＣ２１、Ｃ２２、Ｃ２３によって、ウエハＷを挟み保持する。なお、円板カムＣにおける細径部ＣＮと太径部ＣＦとの位置関係は、上記動作が実現されるような位置関係が設定されている。
【００５０】
上記のようにして、チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３によって、ウエハＷを挟み、保持している状態と、チャックＣ２１、Ｃ２２、Ｃ２３によって、ウエハＷを挟み、保持している状態とを切り替えるので、ウエハＷを保持しているチャックのチャックピースによって現在隠れているウエハＷの部分を、切り替えによって目視検査者が確実に視認することができる。
【００５１】
なお、チャックＣ１１〜Ｃ２３は、ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って複数箇所で押圧することによって、上記ウエハを把持するウエハ把持手段の例である。この場合、上記ウエハ把持手段は、２つ以上の爪で構成されている第１群の爪と、上記第１群の爪とは異なる位置に設けられ、２つ以上の爪で構成されている第２群の爪とを具備し、所定時点において上記第１群の爪が上記ウエハを把持し、上記所定時点とは異なる時点において、上記第１群の爪による上記ウエハの把持を解除するとともに上記第２群の爪によって上記ウエハを把持する手段である。
【００５２】
自転板ＳＢは、ウエハ把持手段を保持する環状部材の例である。
【００５３】
自転駆動モータＭ１と、駆動ローラＴとは、上記ウエハ把持手段が上記ウエハを把持した状態で、上記環状部材の中心を中心として、上記ウエハの平面上で上記環状部材を回動させることによって、上記ウエハを自転させるウエハ自転手段の例である。
【００５４】
アームＡは、上記環状部材を載置するアームの例である。アーム回動モータＭＡとベルトＢＴＡと円板２０とは、鉛直線を中心に上記アームを回動させるアーム回動手段の例である。
【００５５】
表裏反転モータＭ２とベルトＢＴ２とは、上記環状部材の軸心と直交する直線を中心に上記環状部材を傾斜させる環状部材傾斜手段の例であり、上記ウエハ把持手段が上記ウエハを把持した状態で、上記環状部材の軸心と直交する直線を中心に上記環状部材を１８０度以上回動させることによって、上記ウエハの表裏を目視することが可能であるウエハ裏返し手段の例でもある。
【００５６】
また、チャックピースＣＰ１１、ＣＰ１２、ＣＰ１３は、ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って押圧する２つ以上の爪で構成されている第１群の爪の例であり、チャックピースＣＰ２１、ＣＰ２２、ＣＰ２３は、ウエハの周面または上記周面の近傍を、上記ウエハの内部に向って押圧する２つ以上の爪で構成され、上記第１群の爪とは異なる位置に設けられている第２群の爪の例である。また、制御盤３０は、所定時点において、上記第１群の爪によって上記ウエハを把持させ、上記所定時点とは異なる時点において、上記第１群の爪による上記ウエハの把持を解除させるとともに上記第２群の爪によって上記ウエハを把持させる爪制御手段の例である。
【００５７】
なお、上記実施例において、フットプリント（装置の設置面積）を小さくすることができる。
【００５８】
【発明の効果】
本発明によれば、ウエハを回転しながら検査者がそのウエハを目視検査する場合、ウエハの回転によるパーティクルの発生がなく、したがって、ウエハの清浄状態を保ったまま、ウエハを検査することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であるウエハＷ目視検査装置１００を示す斜視図である。
【図２】ウエハＷ目視検査装置１００を簡略化して示す斜視図である。
【図３】ウエハ目視検査装置１００において、チャックＣ１１、Ｃ１２、Ｃ１３によってウエハＷが自転板ＳＢに固定されている状態を示す平面図である。
【図４】上記実施例において、チャックとウエハＷと自転板ＳＢとの関係を示す平面図である。
【図５】上記実施例において、チャックＣ１１、Ｃ１２によってウエハＷが挟まれ前の状態と、チャックＣ１１、Ｃ１２によってウエハＷが挟まれ、保持されている状態とを示す縦断面図である。
【図６】上記実施例において、円板カムＣとチャックＣ１１とウエハＷとの関係と、チャックＣ１１の動作を説明する図である。
【符号の説明】
１００…ウエハ目視検査装置、
Ｗ…ウエハ、
Ｂ…基台、
Ｂ１…第１載置台、
Ｂ２…第２載置台、
ＢＮＸ…Ｘ軸ボールネジ、
ＢＮＹ…Ｙ軸ボールネジ、
Ａ…アーム、
ＭＡ…アーム回動モータ、
ＳＢ…自転板、
Ｍ１…自転モータ、
Ｍ２…表裏反転モータ、
Ｃ…円板カム、
ＣＮ…細径部、
ＣＦ…太径部、
Ｃ１１〜Ｃ２３…チャック、
ＣＰ１１〜ＣＰ２３…チャックピース、
ＣＦ１１〜ＣＦ２３…カムフォロワ、
ＣＳ１１〜ＣＳ２３…チャックレバー支点。
【図１】
0003832982.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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