(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
・幾何学的縦方向軸線を決定する支承要素（１）と、
・前記支承要素（１）に対して可動のアーム（４９）および前記アーム（４９）に連結されたフィーラ（６７）を備えた可動アームセットと、
・回転軸線を限定し前記支承要素（１）に対する前記アーム（４９）の前記回転軸線回りの移動を生じるため前記アーム（４９）および前記支承要素（１）に連結された支点（７４）と、
・前記支承要素（１）に対する前記アーム（４９）の位置に依存して信号を発生するため前記アーム（４９）および前記支承要素（１）に連結されたトランスデューサ（１０５、１０７）とを含む機械部品の線形寸法検定用ヘッドにおいて、
前記支点（７４）は、前記アーム（４９）および前記支承要素（１）にそれぞれ連結され相互に実質的に平行に配置された２つのブロック（８１、８３）と、永久的に前記両方のブロック（８１、８３）にそれぞれ固着された第１薄板（７５）および少なくとも１つの第２薄板（７７）とを有する変形可能要素から成り、前記第１および第２薄板（７５、７７）が前記ブロック（８１、８３）に対してまた前記薄板（７５、７７）の他方に対して一定角度で配置されるように成された事を特徴とする機械部品の線形寸法検定用ヘッド。
【請求項２】
前記第１薄板（７５）と前記第２薄板（７７）は前記ブロック（８１、８３）と異なる素材で形成される事を特徴とする請求項１に記載のヘッド。
【請求項３】
前記両方のブロック（８１、８３）に対して永久的に固着されまた前記第１薄板（７５）および前記第１薄板（７７）のいずれか一方に対して共面を成す第３薄板（７９）を含む事を特徴とする請求項１または請求項２に記載のヘッド。
【請求項４】
前記第１薄板（７５）、第２薄板（７７）および第３薄板（７９）は前記ブロック（８１、８３）に対して永久的にダイカスト法によって固着される事を特徴とする請求項３に記載のヘッド。
【請求項５】
前記第１薄板（７５）、第２薄板（７７）および第３薄板（７９）は鋼から成り、また前記ブロック（８１、８３）は亜鉛合金から成る事を特徴とする請求項４に記載のヘッド。
【請求項６】
前記支承要素（１）は実質的に円筒形のシート（２１）を画成し、前記トランスデューサは、前記シート（２１）の中に収容された巻線（１０５）と、前記アーム（４９）に連結され前記アームと共に可動の鉄心（１０７）とを含む事を特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のヘッド。
【請求項７】
前記アーム（４９）と前記支承要素（１）との間に配置されまた前記アーム（４９）と前記支承要素（１）とに連結された戻しバネ（９５）を有する片寄らせ装置を含む事を特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のヘッド。
【請求項８】
前記戻しバネ（９５）の弾発力を設定する装置を含む事を特徴とする請求項７に記載のヘッド。
【請求項９】
前記可動アーム（４９）の両方向への移動を制限するための２つのリミッター・ストッパ装置を含む事を特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載のヘッド。
【請求項１０】
前記リミッター・ストッパ装置は前記アーム（４９）と協働するように前記支承要素（１）にネジ込まれたネジ（８５）と、前記支承要素（１）と協働するように前記アーム（４９）に連結されただぼ（９１）とを含む事を特徴とする請求項９に記載のヘッド。
【請求項１１】
前記リミッター・ストッパ装置（８５、９１）を設定する装置を含む事を特徴とする請求項１０に記載のヘッド。
【請求項１２】
前記可動アームを特定の不作動位置に後退させる後退装置（９８、１００、１０１）を含む事を特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載のヘッド。
【請求項１３】
前記後退装置は圧搾空気源（９２）を有する空気回路を含む事を特徴とする請求項１２に記載のヘッド。
【請求項１４】
前記後退装置はシリンダ（９８）、ピストン（１００）および圧縮バネ（１０１）を含む事を特徴とする請求項１３に記載のヘッド。
【請求項１５】
前記後退装置はベロー（１２１）を含み、前記ベローは支承要素（１）に固着された端部と、前記可動アーム（４９）と協働してこのアームを前記の特定の不作動位置まで押圧するように成された反対側自由端部とを有する事を特徴とする請求項１３に記載のヘッド。
【請求項１６】
前記ベロー（１２１）が前記空気回路に接続されまた延伸されてその前記自由端部を可動アーム（４９）と協働させるように成された事を特徴とする請求項１５に記載のヘッド。
【請求項１７】
前記後退装置はさらに、前記ベロー（１２１）に連結されてこのベローに圧縮推力を加えるように成された戻しバネ（１３５）を含む事を特徴とする請求項１６に記載のヘッド。
【請求項１８】
前記戻しバネ（１３５）がベロー（１２１）の外側面の折り目の中に挿入される事を特徴とする請求項１７に記載のヘッド。
【請求項１９】
前記ベロー（１２１）がプラスチックから成る事を特徴とする請求項１５乃至１８のいずれかに記載のヘッド。
【請求項２０】
前記ベロー（１２１）がポリウレタンから成る事を特徴とする請求項１９に記載のヘッド。
【請求項２１】
前記ベロー（１２１）が金属から成る事を特徴とする請求項１５乃至１８のいずれかに記載のヘッド。
【請求項２２】
前記ベロー（１２１）がゴムから成る事を特徴とする請求項１５乃至１８のいずれかに記載のヘッド。
【請求項２３】
・幾何学的縦方向軸線を決定する支承要素（１）と、
・前記支承要素（１）に対して可動のアーム（４９）および前記アーム（４９）に連結されたフィーラ（６７）を備えた可動アームセットと、
・前記アーム（４９）を前記支承要素（１）に対して制限された回転運動させるため、前記アーム（４９）および前記支承要素（１）に対して連結された支点（７４）と、
・前記支承要素（１）に対して連結され、前記可動アーム（４９）と協働してこのアーム（４９）を特定の不作動位置にもたらすように成された後退装置（１２１）と、
・前記支承要素（１）に対する前記アーム（４９）の位置に依存して信号を発生するため前記アーム（４９）および前記支承要素（１）に連結されたトランスデューサ（１０５、１０７）とを含む機械部品の線形寸法検定用ヘッドにおいて、
前記後退装置がベロー（１２１）を含み、前記ベローが前記支承要素（１）に固着された末端と、前記可動アーム（４９）と協働してこのアーム（４９）を前記の特定不作動位置にもたらすように成された反対側自由端部とを有する事を特徴とする機械部品の線形寸法検定用ヘッド。
【請求項２４】
前記後退装置が圧搾空気源（９３）を有する空気回路を含む事を特徴とする請求項２３に記載のヘッド。
【請求項２５】
前記ベロー（１２１）が前記空気回路に接続されまた延伸して前記自由端部を前記可動アーム（４９）と協働させるように成された事を特徴とする請求項２４に記載のヘッド。
【請求項２６】
前記後退装置はさらに、前記ベロー（１２１）に連結されてこのベローに圧縮推力を加えるように成された戻しバネ（１３５）を含む事を特徴とする請求項２５に記載のヘッド。
【請求項２７】
前記戻しバネ（１３５）がベロー（１２１）の外側面の折り目の中に挿入される事を特徴とする請求項２６に記載のヘッド。
【請求項２８】
前記ベロー（１２１）がプラスチックから成る事を特徴とする請求項２３乃至２７のいずれかに記載のヘッド。
【請求項２９】
前記ベロー（１２１）がポリウレタンから成る事を特徴とする請求項２８に記載のヘッド。
【請求項３０】
前記ベロー（１２１）が金属から成る事を特徴とする請求項２３乃至２７のいずれかに記載のヘッド。
【請求項３１】
前記ベロー（１２１）がゴムから成る事を特徴とする請求項２３乃至２７のいずれかに記載のヘッド。
【請求項３２】
寸法検定用ヘッドの中に使用される支点（７４）の製法において、
・第１物質から成る少なくとも２枚の薄板（７５、７７）を配置する段階と、
・第２物質から成る２つのブロック（８１、８３）を形成する段階と、
・単一の変形自在要素を達成するために前記薄板（７５、７７）を前記ブロック（８１、８３）に対して永久的に固着する段階とを含み、
この際に、前記薄板（７５、７７）が相互にまた前記ブロック（８１，８３）に対して一定角度で配置され、また前記ブロック（８１、８３）が相互に実質的に平行に配置される事を特徴とする方法。
【請求項３３】
前記薄板（７５、７７）を前記ブロック（８１、８３）に対して永久的に固着する段階はダイカスト工程を含む事を特徴とする請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
前記少なくとも２枚の薄板（７５、７７）をダイス型の中に挿入し、また前記２ブロック（８１、８３）を形成する段階と前記薄板（７５、７７）を前記ブロック（８１、８３）に永久的に固着する段階は前記の第２物質を溶融し溶融された第２物質を前記ダイス型の中に噴射する事を特徴とする請求項３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記薄板（７５、７７）は鋼から成り、また前記ブロック（８１、８３）は亜鉛合金から成る事を特徴とする請求項３３または請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
前記薄板（７７、７８）を前記ブロック（８１、８３）に永久的に固着する段階は溶接工程を含む事を特徴とする請求項３２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、幾何学的縦方向軸線を決定する支承要素と、前記支承要素に対して可動のアームおよび前記アームに連結されたフィーラを備えた可動アームセットと、回転軸線を定義しまたこの回転軸線回りに前記支承要素に対するアームの限定された回転運動を生じるため前記アームおよび前記支承要素に連結された支点と、前記支承要素に対する前記アームの位置に依存して信号を発生するため前記アームおよび前記支承要素に連結されたトランスデューサとを含む機械部品の線形寸法検定用ヘッドに関するものである。
また本発明は、幾何学的縦方向軸線を決定する支承要素と、前記支承要素に対して可動のアームおよび前記アームに連結されたフィーラを備えた可動アームセットと、回転軸線を定義しまたこの回転軸線回りに前記支承要素に対するアームの限定された回転運動を生じるため前記アームおよび前記支承要素に連結された支点と、前記支承要素に対して連結され、前記可動アームと協働してこのアームを特定の不作動位置にもたらすように成された後退装置と、前記支承要素に対する前記アームの位置に依存して信号を発生するため前記アームおよび前記支承要素に連結されたトランスデューサとを含む機械部品の線形寸法検定用ヘッドに関するものである。
発明の背景
工作機械での加工に際して工作台、転送ラインまたはいわゆるインプロセス加工中に機械部品を検査するため、種々の型のゲージヘッドまたは測定ヘッドが公知である。
公知のヘッドにおいては、可動アームを固定支持体に連結しアームの特に正確な移動を保証しなければならない支点は、素材除去作業、すなわち微妙なコストのかかる機械的加工を含む製造工程によって、またはアームの移動を生じるのに適した装置を一般に着脱自在の連結手段を介してアームと支持体との間に配置する事により、すなわち最高の精度を必要とし従って時間のコストのかかる方法によって製作される。
米国特許第３９４６４９２号に記載のような他の型のヘッドにおいては、フィーラアームを担持した非固定型フレーム部材が一対の相互に離間された平行板バネによって固定ベースに対して連結されて移動自在である。板バネはベースに対するフィーラアームの実質的に線形の平行移動を可能とするが、多くのインプロセス加工の場合のようにスペースの不足する場所での検定作業にはこの検定ヘッドは不適当である。前記米国特許に記載のヘッドは、他の構造フィーチャのうちでも特に後退／解除装置を含み、この装置は例えばベロー（第２図）とレバーバネを備え、このベローは一方において固定ベースに機械的に固着され、他方においてこのレバーバネに固着される。またレバーバネはヘッドの固定ケーシングに対して枢転自在に連結され、可動アームと一体を成す横方向脚およびこの脚に当接する片寄らせワイヤバネと協働する。不作動状態において非固定部材が後退させられるが、ベロー内部に真空を加えると、片寄ワイヤバネの動作が勝って、非固定部材が解除されるように、前記レバーとワイヤバネの寸法および形状を正確に決定しなければならない。
本発明の開示
本発明の目的は、高度の反復性および精度標準を満たし公知のヘッドよりもコンパクトで、柔軟性があり、低価格の機械部品線形寸法検定用ゲージヘッドまたは測定ヘッドを提供するにある。
この目的およびその他の目的は請求項１乃至２４のいずれかに記載のヘッドによって達成される。
本発明の他の目的は、ゲージヘッドまたは測定ヘッドの正確な支点を特に経済的に迅速確実に製作するにある。
この目的およびその他の目的は請求項３３による製造法によって達成される。
【図面の簡単な説明】
以下、本発明を図面に示す実施例について詳細に説明するが本発明はこれに限定されない。
第１図は本発明によるヘッドのケーシングの軸測投影図、
第２図は第１図に図示のヘッドの縦方向断面図、
第３図は第３図のＩＩＩ−ＩＩＩ線にそって矢印方向に見られる断面図、
第４図は第２図の矢印ＩＶ方向に見られるヘッドの平面図、
第５図は第２図の矢印Ｖ方向に見られるヘッドの下側面図、
第６図は第２図の矢印ＶＩ方向に見られるヘッドの正面図であって、カバー１０９、１４３、ガスケット１３７、１３９、スペーサ１４１およびフィーラ６７とその対応の支持体６６を除去した図、
第７図は第２図の矢印ＶＩＩ方向に見られるヘッドの背面図、
第８図は本発明によるヘッドの各要素の拡大軸測投影図、また
第９図は本発明の第２実施態様によるヘッドの縦方向断面図である。
本発明の最良の実施態様
第１図乃至第８図に図示のヘッド、さらに詳しくはゲージ・ヘッドは平行六面体の鋼ケーシング１を含み、このケーシングは支承要素を成し、縦方向幾何学的軸線を定義する。このケーシング１は６面３、５、７、９、１１および１３を画成する。
側面５と９は相互に平行でありまた実質的に平坦であり、背面７は前側面３に対して平行であり、下側面１３は上側面１１に対して平行である。
上側面１１は６ネジ孔２３と、凹部１５に達する開口３５を有する。
下側面１３はそれぞれ３シート１７、１９、２１を成す実質的に円筒形の３孔を有する。
正面３は４ネジ孔４６と１つの円筒形凹部４３とを有し、この円筒形凹部４３は、凹部１５に達する実質的に楕円形状の中心孔４５を備える。
背面７は４ネジ孔４７を有する。
可動アームセットはアーム４９を含み、このアームはケーシング１の中に部分的に挿入され、ケーシング１の幾何学的縦方向軸線に対して実質的に平行に配置されている。アーム４９は、ケーシング１の中に配置された第１先細端部５１と、縮小横断面を有する第２部分５３と、実質的に平行六面体の第３部分５５と、縮小横断面を有する第４部分５７と、ケーシング１の正面３に隣接して配置され２つのグルーブ６１、６３を備えた実質的に円筒形の第５部分５９と、ケーシング１の外部に配置されフィーラ６７の支持体６６を成す第６末端部分６５とを含む。
アーム４９の第１部分５１は３ネジ孔６８、７０および７１を有する。
アーム４９の第２部分５３はネジ孔７２と溝穴７６とを有する。
プレート７３が孔７２の中にネジ込まれたネジによって、ケーシング１に対して連結されている。
アーム４９の限定された回転を可能とする支点７４（第８図においても詳細に図示する）は、例えば亜鉛合金から成る２つのブロック８１、８３に対して永久的に固着された３枚の鋼薄板７５、７７、７９から成る変形自在の要素を含む。ダイスカストが、これらの相異なる素材から成る要素間の永久的連結を生じるための方法であるけれども、他の型の方法（例えば溶接）を予想する事ができる。
ブロック８１、８３に対して鋼薄板７５、７７、７９を永久的に固着するダイスカスト工程は薄板７５、７７、７９をダイス型の中に挿入し、その後このダイス型の中にブロック８１、８３を製造するのに必要な溶融物質を噴射する。このようにして、この物質が冷却した時に薄板はこの物質に固着した状態にとどまる。
支点が休止状態にある時、２つのブロック８１、８３は相互に実質的に平行であって、薄板７５、７７、７９がブロック８２、８３に対して例えば４５°の角度を成す。薄板７５と７９は実質的に共面であるが、薄板７７は他の２枚の薄板７５、７９に対して近似的に９０°の角度を成す。本質的に、一方において薄板７５、７９、他方において薄板７７は、アーム４９の回転軸線を代表する直線によって限定される面束の２つの面（例えば相互に直交する２面）の中に配置されている。
ブロック８１は２つのネジ８４（第３図）によってアーム３９の第３部分５５に対して連結されているが、ブロック８３は２つの他のネジ８６（第５図）によって、面１３に対応するケーシング１の内側面に連結されている。
支点７４は、アーム４９を、ケーシング１の幾何学的縦方向軸線に対して直交しまたケーシング１の上側面と下側面１１、１３に対して平行な軸線回りに限定された正確な回転運動を実施させる。これらの回転運動は例えば後述のようにして得られる機械的制限装置によって制限される。
アーム４９の孔（図示されていない）を通るネジ８５（第２図および第３図）がケーシング１の進入部分の中にネジ込まれている。アーム４９の第１部分５１がネジ８５のヘッドに当接する事により、アーム４９の上向き回転運動（第２図において逆時計方向運動）が制限される。アーム４９の第１部分５１のネジ孔７０の中にネジ込まれただぼ９１がケーシング１の面８７に当接するので、アーム４９の下向き回転運動（第２図において時計方向運動）が制限される。検定される機械部品の表面にフィーラ６７を押圧する弾発装置は戻しバネ９５を含み、このバネ９５はシート１９の中に挿入され、その一端がカバー９４に連結され、その他端が孔７１の中にネジ込まれた調節だぼ９７に対して連結されている。カバー９４は戻しバネ９５によって引張られてシート１９の凹部に当接させられてシート１９を密封する。
バネ９５とだぼ９７の間の連結は、だぼ９７に連結されたアイドルピン９６を含み、バネ９５の引張力を設定し（下記に詳述する）このバネ９５のねじれを防止する。この戻しバネ９５はアーム４９に対して時計方向回転モーメントを与えて、フィーラ６７を検定される機械部品に当接状態に保持する。
アーム４９を特定の非作動位置にもたらす空気作動式戻し装置は下記のように構成される。
シート１７の中に、シリンダ９８が配置されている。ピストン１００がこのシリンダ９８の中を摺動し、またこのピストン１００はガスケットを収容するための２つの円形シート９９と、アーム４９を溝穴７６と接触プレート７３の中を通すための末端部分とを含む。圧縮バネ１０１の両端がそれぞれピストン１００とケーシング１とに連結されている。カバー１０２が弾性リング１０３によってケーシング１に対して固着され、シート１７の凹部の中に部分的に収容されてこのシート１７を密封する。カバー１０２は、圧縮空気源９２を含む公知の空気回路から來る空気導入管９３と接続するための開口を有する。
類似の引き戻し装置を公知の油圧回路に接続して油圧的に作動させる事ができる。
誘導型の差動トランスデューサは巻線１０５と電磁物質から成る鉄心１０７とを含む。巻線１０５はシート２１中においてケーシング１に連結されている。ステム１０４がアーム４９のネジ孔６８の中にネジ込まれ、ケーシング１のシート２１の中に挿入されている。鉄心１０７がステム１０４の末端に連結されて、巻線１０５の中に配置され、アーム４９が移動する際にステム１０４と共に限定された移動、実質的に並進運動を成す。
カバー１１６は、ケーシング１の面１３に対してネジによって連結され、トランスデューサの巻線１０５に接続された電線を含むケーブル１１９（第５図）を通す開口（図示されていない）を有する。
カバー１０９は３孔１１１、１１３、１１５を有し、ケーシング１の面１１に対して、ネジ孔２３を通るネジによって連結される。
孔１１１から、アーム４９の上方行程の上限を設定するネジ８５にアクセスする事ができる。実際に、前述のようにアーム４９のリミッター・ストッパを成すこのネジ８５をネジ込みまたはネジ戻す事により、このネジ８５のヘッドを上下させる事ができる。
孔１１３は、アーム４９の下方行程の下限を設定するためにだぼ９１にアクセスする事を可能とする。実際に、だぼ９１を１方向または逆方向に回転させる事により、だぼ９１の他端をケーシング１の表面８７から離間させまたは近接させ、従ってだぼ９１がケーシング１の表面８７に接触するまでにアーム４９の成す行程を変動させる事ができる。
孔１１５は、バネ９５の引張力を設定するためにだぼ９７にアクセスする事を可能とする。実際に、回転する事なく並進するアイドルピン９６の存在により、バネ９５を捻る事なく伸張または短縮させ、このようにしてバネ９５がアーム４９に加える引張力を設定する事ができる。
カバー１０９とケーシング１との間に、カバーのグルーブの中に部分的に収容された円環形ガスケット（Ｏ−リング）１１７が配置されている。環状の第１可撓性密封ガスケット１３７の一端がアーム４９のグルーブ４１に連結され、他端がケーシング１の円形開口４３の中に画成されたグルーブ１４０に連結されている。第２可撓性密封ガスケット１３９の一端がアーム４９のグルーブ６３に連結され、他端がケーシング１のグルーブ１４０の中に連結されている。スペーサ１４１がグルーブ１４０の中に収容され２つのガスケット１３７と１３９の両端を分離している。ゴムから成る第１ガスケット１３７はトランスデューサの性能に影響するような異物からケーシング１の内部を防護する目的を有し、またファブリックの中にカレンダリングされたゴムから成る第２ガスケット１３９は第１ガスケット１３７を損傷する可能性のある削りくずからこの第１ガスケット１３７を防護する目的を有する。
カバー１４３はネジ孔４６の中にネジ込まれた４ネジによって面３に連結される。
ヘッドを支持体（図示されていない）に固着するために背面７の上に４孔４７が備えられ、実施されるべき検定操作の型によって２つのゲージヘッドを使用する必要のある場合には、この支持体に対して第２ヘッドを連結する事ができる。
ゲージヘッドは下記のように作動する。
公知のようにしてヘッドと被検工作物を相互に近接させる前に、このような運動中にフィーラ６７が工作物またはその他の障害物に衝突する事を防止するため、フィーラ６７が検定位置から離間している特定の不作動位置までアーム４９が送られる。そのため、空気源９２から空気をパイプ９３の中に流れさせる事によって後退装置を生かす。ピストン１００に対して空気の加える圧力がピストンをバネ１０１の弾発力に対抗して上方に上昇させ、ピストン１００は溝穴７６を通してプレート７３に当接し、アーム４９を（第２図において）逆時計方向に回転させ、アームの第１部分５１がネジ８５のヘッドに当接してアーム４９の不作動位置を確定するにいたる。
工作物が検定位置に配置された時、空気流を遮断しバネ１０１がピストン１００を再び下降させる事によって後退装置が死なされる。この時点において、バネ９５がアーム４９に加える引張力がフィーラ６７を押圧して被検工作物と接触させる。
フィーラ６７、従ってアーム４９のとる位置に従って、ステム１０４がシート２１の中で対応の特定位置をとり、従って鉄心１０７がトランスデューサの巻線１０５に対して対応の特定位置をとる。鉄心１０７と巻線１０５との相対位置に応答して、従って、さきに設定されたゼロ位置に対してフィーラ６７のとる位置に応答して、トランスデューサから発生された電気信号がケーブル１１９を通して記憶・処理ユニット（図示されていない）に送られ、このユニットが測定値をさきに記憶された呼び値と比較する。この記憶・処理ユニットはフィードバックのため工作機械のデジタル制御装置に接続される事ができる。
第９図は第１図乃至第７図のヘッドと実質的に類似のヘッドを示すが、シート１７の中に挿入されたべロー１２１を含む相異なる後退装置を有する。ベロー１２１はプラスチック物質、例えばポリウレタンから成るが、ゴムまたは金属で製造する事ができる。
ベロー１２１の末端はフランジ１２５によってシート１７の凹部の中に締付けられる。フランジ１２５は、第９図には図示されていないが公知の方法で、シート１７に対して例えばネジ込みによって固着される。フランジ１２５によるべロー１２１の締付けはシート１７を密封する。
ベロー１２１の反対側末端は閉鎖部分１２７を有し、この閉鎖部分は当接環状要素１２９を担持し、この環状要素はその自由面の中心区域において固定（例えば接着）される。環状要素１２９は円筒形シート１３３を有し、このシート１３３は、アーム４９と一体を成す突出円筒形要素１３４に対応する。
フランジ１２５は、圧搾空気源９２を含む公知の空気回路の導管に接続された通り孔を有する。
ベロー１２１の外側面の折り目の中に、戻しバネ１３５が挿入されている。
フランジ１２５の孔を通してベロー１２１の内部に圧搾空気を流入させる事によって後退運動が開始される。圧搾空気によって加えられる圧力が戻しバネ１３５の引張力に対抗してベロー１２１を伸張させ、環状要素１２９の円筒形シート１３３が円筒形要素１３４に係合するにいたる。ベロー１２１がアーム４９に加える推力がアーム４９を押圧してネジ８５のヘッドに当接させる。このようにして、フィーラ６７が検定位置から離脱させられて、アーム４９の不作動位置が決定される。
工作物が検定位置に配置される時、空気流を遮断する事によって後退装置が死なされ、ベロー１２１が戻しバネ１３５によって戻される。ベロー１２１中に存在する空気がフランジ１２５中の孔を通して空気回路の中に逆流する。
ベロー１２１が金属から成る場合、このベローはフランジ１２５に対して、例えば接着によって固着され、シート１７を密封するため「Ｏ−リング」が使用される。
戻しバネ１３５は第９図に図示のものと相違する形状および／または構造を有する事ができる。例えばバネ１３５はベローの内側面の折り目の中に配置され、または小直径のコイルを成してベロー１２１の中心にその内側面から離間して配置する事ができる。場合によっては、所要の後退量およびベロー１２１の素材に依存して、バネ１３５を省略する事ができる。
第９図に図示の後退装置は特に簡単で経済的な構造であって、実質的に無摩擦操作を保証し、これはヘッドの精度と全体的信頼度とを増進する。
本発明によるヘッドは機械部品の「インプロセス」寸法検定に使用する事ができ、言い替えれば、工作機械（例えば研削機械）での機械部品の加工中に使用する事ができるが、また他の用途、例えば機械加工後の部品の「ポスト・プロセス」検定にも使用する事ができる。
本明細書におけるゲージヘッドの説明と図解は絶対測定用測定機器についても、実質的にそのまま無変更で適用される。
例えば本発明のゲージヘッドをグルーブ付き部品の検定に使用する必要のある場合、アーム４９に対して必要な減衰作用を生じるため、ケーシング１の凹部１５にオイルを充填する事ができる。特にアーム４９のテーパ形端部５１と充填オイルとの協働作用により、適正な減衰効果が得られる。
変形自在要素７４から成る本発明のゲージヘッドに使用される支点は特に簡単で、コンパクトで、安価な構造である。
支点７４はアーム４９の最高に正確な移動を保証するのみならず、きわめて構造簡単であって、複動部品（アーム４９およびケーシング１）に対して簡単迅速に連結されうる。
変形要素７４の製造面も前述と相違する事ができる。例えば、薄板の数は２枚に減少させる事ができる（第８図において薄板７５、７７）。さらに２枚の薄板の一方が別の形状を有する事ができる。さらに詳しくは、２枚の共面薄板７５、７９の代わりに、薄板７７を通すための中心開口を備えた単一の薄板を使用する事ができる。薄板の配置そのものを代える事ができる。薄板の相対角度位置およびブロック８１、８３に対する配置は可変だからである。特定の用途においては、ブロック８１、８３に対して永久的に連結された２枚の相互に平行な薄板を含む支点も考えられる。
前述のゲージヘッドによる利点は、中間的支持体が存在せず、また各部品（支点、戻しバネ、トランスデューサ素子および制限装置）のケーシング１に対する直接的連結により、本発明のゲージヘッドが特別にコンパクトである事にある。本発明のゲージヘッドのレイアウトを最小限に成しうる可能性は、使用可能のスペースがしばしば制限される「インプロセス」用途において特に有利である。
本発明による（ゲージまたは測定）ヘッドは前述と異なるように構成する事ができる。例えば、後退を油圧装置または電磁装置または他の空気装置によって他の方法で実施する事ができる。また前述と異なる型のトランスデューサを使用し、また片寄らせ／機械的リミッターストッパを前述と相違するように構成しまた／あるいは配置する事ができる。
【図１】
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【図８】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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