(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースプレートの上面に、抵抗薄膜から成る複数個の発熱素子と、該発熱素子に電気的に接続される給電配線とを被着させ、これらをシリコン及び酸素を含む無機質材料から成る保護膜で被覆してなるヘッド基板上に、間に所定の間隙を形成するようにして天板を配設してなり、前記間隙に充填されるインクを前記発熱素子の発する熱エネルギーによってインク吐出孔より吐出させるサーマルインクジェットヘッドであって、
前記発熱素子にトリミングパルスを印加することにより、発熱素子の一部を保護膜中の酸素と反応させて発熱素子の表面に酸化膜を形成し、発熱素子の抵抗値を上昇させることで抵抗値を調整するようにしたことを特徴とするサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法。
【請求項２】
前記保護膜中の酸素含有量が２．０重量％〜１０．０重量％に設定されていることを特徴とする請求項１に記載のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法。
【請求項３】
前記給電配線の途中で、かつインクの充填領域外に設けられたトリミング用のパッドを介してトリミングパルスが発熱素子に印加されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録紙にインク滴を所定パターンに付着させて画像を記録するサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、記録紙に画像を記録するための記録デバイスとしてインクジェットヘッドが用いられている。
【０００３】
インクジェットヘッドの記録方式には、インク滴を記録紙に向けて吐出させるのに発熱素子の発する熱エネルギーを利用するものや圧電素子の変形を利用するもの、更には電磁波の照射に伴って発生する熱を利用するもの等があり、これらの中でも発熱素子の熱エネルギーを利用するサーマルジェットタイプのものは、発熱素子のパターニングが容易である上に、小さな面積の発熱素子であっても比較的大きな熱エネルギーを発生させることができることから、高密度記録への対応に適したものとして注目されている。
【０００４】
かかるサーマルジェットタイプのインクジェットヘッドとしては、図６に示す如く、アルミナセラミックスから成るベースプレート２２の上面に、直線状に配列された複数個の発熱素子２３と、該各発熱素子２３に接続される給電配線２４とを被着させ、これらをＳｉ3Ｎ4から成る保護膜２６で被覆してなるヘッド基板２１と、前記発熱素子２３と１対１に対応したインク吐出孔２８を有する天板２７とを、間に所定の間隙を形成するように配設するとともに該間隙にインク２９を充填した構造のものが知られており、記録紙Ｍを天板２７の外表面に沿ってインク吐出孔上に搬送しながら発熱素子２３を選択的に発熱させ、該発熱した熱エネルギーによってインク中に気泡Ａを発生させるとともに、この気泡発生時の圧力でもって発熱素子上のインク２９をインク吐出孔側へ押し上げ、インク２９の一部をインク吐出孔２８より記録紙Ｍに向かって吐出させることにより所定の画像が記録される。
【０００５】
尚、前記多数の発熱素子２３は、その膜厚や大きさが製造条件のバラツキ等に起因して個々に異なっており、各発熱素子２３の抵抗値が所望する目標抵抗値に対して大きくずれていることがある。このような場合、発熱素子２３を所望する温度で発熱させることができず、濃度むらの原因となることから、それを避けるべく、発熱素子２３の抵抗値を個々に測定するとともに該測定した抵抗値に基づいて補正データを作成し、この補正データを用いて発熱素子２３への印加電力を調整することにより、発熱素子２３を所望する温度で発熱させることが提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した印加電力の調整を行なう場合、補正データ格納用のメモリや複雑な補正回路、専用の電源回路等が別途、必要となり、インクジェットヘッドやそれが組み込まれるプリンタ本体の構成が大幅に複雑化する上、このような調整は印画ライン毎に行なわれることから、記録動作に長時間を要することとなり、記録速度の低下を招く欠点を有していた。
【０００７】
そこで、上記欠点を解消すべく、サーマルヘッドの分野で実用化されているパルストリミング法をインクジェットヘッドに適用し、各発熱素子２３の抵抗値を目標抵抗値に近づけることが検討されており、このパルストリミング法をインクジェットヘッドの抵抗値補正に用いることができれば、上述の欠点を招来することなく発熱素子２３を所望する温度で発熱させることができるものとして期待されている。
【０００８】
かかるパルストリミング法とは、パルス幅（通電時間）が短く、振幅（電圧値）が大きなトリミングパルスを発熱素子に印加すると発熱素子の結晶化が進むことで抵抗値が下降し、またパルス幅が長く、振幅が小さなトリミングパルスを発熱素子に印加すると発熱素子の一部が大気中の酸素等と激しく反応して酸化膜を形成することによって抵抗値が上昇するという特性を利用した発熱素子の抵抗値補正方法である。
【０００９】
しかしながら、上述したインクジェットヘッドの発熱素子２３はＳｉ3Ｎ4から成る保護膜２６で被覆されていることから、保護膜２６の形成後は発熱素子２３の周囲に酸素が存在しておらず、それ故、このようなインクジェットヘッドの発熱素子２３の抵抗値を上述のパルストリミング法により調整しようとしても、発熱素子２３の表面に所望する厚みの酸化膜を形成することが難しい。従って、発熱素子２３の抵抗値補正は抵抗値を下降する方向にしか行なうことができず、その場合、全ての発熱素子の中で最も小さな抵抗値の発熱素子を基準にして抵抗値補正を行なわなければならないことから、抵抗値が大きな発熱素子には、抵抗値を大幅に下降させるために大きなエネルギーのトリミングパルスが印加されることとなり、そのようなパルス印加時の発熱によって発熱素子２３そのものが熱損してしまうことがあった。
【００１０】
本発明は、上記欠点に鑑み案出されたものであり、その目的は、記録紙に濃度むらの少ない良好な画像を記録することができ、しかも構成を簡素に維持しつつ高速記録にも対応可能な高生産性のサーマルインクジェットヘッドを得ることができるサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法は、ベースプレートの上面に、抵抗薄膜から成る複数個の発熱素子と、該発熱素子に電気的に接続される給電配線とを被着させ、これらをシリコン及び酸素を含む無機質材料から成る保護膜で被覆してなるヘッド基板上に、間に所定の間隙を形成するようにして天板を配設してなり、前記間隙に充填されるインクを前記発熱素子の発する熱エネルギーによってインク吐出孔より吐出させるサーマルインクジェットヘッドであって、前記発熱素子にトリミングパルスを印加することにより、発熱素子の一部を保護膜中の酸素と反応させて発熱素子の表面に酸化膜を形成し、発熱素子の抵抗値を上昇させることで抵抗値を調整するようにしたことを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法は、前記保護膜中の酸素含有量が２．０重量％〜１０．０重量％に設定されていることを特徴とするものである。
【００１３】
更に、本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法は、前記給電配線の途中で、かつインクの充填領域外に設けられたトリミング用のパッドを介してトリミングパルスが発熱素子に印加されることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法によれば、パルストリミングで発熱素子の抵抗値補正を行なうようにしたことから、発熱素子を形成する際に発熱素子の膜厚や大きさにバラツキが生じたとしても、抵抗値を精度良く調整して発熱素子を所望の温度で発熱させることができる。従って、濃度むらの少ない鮮明な画像を形成することが可能な高性能のサーマルインクジェットヘッドが得られるようになる。
【００１５】
また、本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法によれば、発熱素子の抵抗値を調整することで、発熱素子を所望する温度で発熱させるようにしたことから、補正データを用いて印加電力を調整する場合に比し、補正データ格納用のメモリや複雑な補正回路、専用の電源回路等が不要で、サーマルインクジェットヘッドやそれが組み込まれるプリンタ本体の構成を簡素に維持できる上、記録動作中の補正処理なども一切不要であることから、高速記録に供することもできる。
【００１６】
更に、本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法によれば、トリミングパルスが印加される発熱素子はシリコン及び酸素を含む無機質材料からなる保護膜で被覆されているため、発熱素子の一部を保護膜中の酸素と反応させて発熱素子の表面に薄い酸化膜を形成することにより、発熱素子の抵抗値を上昇させることができるようになり、発熱素子の抵抗値を上下いずれにも補正することが可能となる。従って、抵抗値調整をする際に発熱素子へ印加するトリミングパルスのエネルギーの最大値が小さくなるように目標抵抗値を設定することができ、トリミングパルスの印加時に発熱素子が過度に高温となることに起因した発熱素子の熱損を有効に防止することが可能となる。
【００１７】
また更に、本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法によれば、保護膜中の酸素含有量を２．０重量％〜１０．０重量％に設定することにより、所定のトリミングパルスを印加したときの抵抗値の上昇度合いが適度な大きさになり、より細かな抵抗値調整が可能になるという利点もある。
【００１８】
更にまた、本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法によれば、前記給電配線の途中で、かつインクの充填領域外に設けられたトリミング用のパッドを介して発熱素子にトリミングパルスを印加することにより、サーマルインクジェットヘッドを組み立てた後であっても、トリミングパルスを発熱素子に印加する際に用いられるトリミング装置の探針（プローブ）を前記パッドに対し確実かつ容易に接触させてトリミングを行うことができるようになり、トリミングの作業性が良好となる利点もある。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施形態に係る抵抗値補正方法によって得られたサーマルインクジェットヘッドの分解斜視図、図２は図１のインクジェットヘッドの断面図であり、図中の１はヘッド基板、７は天板、９はインクである。
【００２０】
前記ヘッド基板１は、矩形状をなすように形成されたベースプレート２の上面に、直線状に配列した複数個の発熱素子３と、該発熱素子３に電気的に接続される給電配線４とを被着・形成し、これらを保護膜６で被覆した構造を有している。
【００２１】
前記ベースプレート２は、単結晶シリコン等の半導体材料、或いは、グレーズドアルミナセラミックス等の電気絶縁性材料によって形成されており、その上面で発熱素子３や給電配線４，保護膜６等を支持するための支持母材として機能する。
【００２２】
このようなベースプレート２は、例えば単結晶シリコンから成る場合、従来周知のチョコラルスキー法（引き上げ法）等を採用することによって単結晶シリコンのインゴット（塊）を形成し、これを所定厚みにスライスした上、外形加工することによって製作される。尚、この場合、ベースプレート２の表面には酸化シリコン（ＳｉＯ2）等の電気絶縁性材料から成る絶縁膜（図示せず）が例えば１μｍ〜３μｍの厚みに設けられ、このような絶縁膜によってベースプレート２を形成する単結晶シリコンを発熱素子３等から電気的に絶縁している。
【００２３】
また前記ベースプレート２の上面に設けられている複数個の発熱素子３は、例えば６００ｄｐｉ（dot per inch）の密度で主走査方向に直線状に配列されており、その各々がＴａＮやＴａＳｉＯ，ＴａＳｉＮＯ，ＴｉＳｉＯ，ＴｉＳｉＣＯ，ＮｂＳｉＯ等の電気抵抗材料から成る抵抗薄膜により形成されている。
【００２４】
前記発熱素子３は、それ自体が電気抵抗材料から成っているため、給電配線４等を介して電源電力が供給されると、ジュール発熱を起こし、インク９中で気泡Ａを発生させるのに必要な所定の熱エネルギーを発生する。
【００２５】
そして、これらの発熱素子３は、その抵抗値が後述するパルストリミング法によって所定の目標抵抗値となるように調整されており、これによって発熱抵抗体３は、所望する温度、例えば５５０℃で発熱するようになっている。
【００２６】
更に前記発熱素子３には、給電配線４が電気的に接続されている。
【００２７】
前記給電配線４は、先に述べた発熱素子３に電源電力を印加するためのものであり、その一端は後述するインク９の充填領域外まで導出され、該導出部で図示しないドライバーＩＣ等の端子に接続される。
【００２８】
また前記給電配線４は、各々の途中で、インク９の充填領域外に、配線４の線幅よりも大きな円形状もしくは四角形状のトリミング用のパッド５を有しており、これらのパッド５を発熱素子３の配列方向と平行な方向（主走査方向）に一列状に配列させている。
【００２９】
前記パッド５は、従来周知のパルストリミング法にて発熱素子３の電気抵抗値を調整する際、トリミングパルスを印加するトリミング装置の探針（プローブ）を接触させるためのもので、サーマルインクジェットヘッドを組み立てた後であってもトリミング作業を簡単に行うことができるように、天板７のエッジよりも外側に位置させてある。
【００３０】
尚、前記発熱素子３や給電配線４は、従来周知の薄膜形成技術、例えば、スパッタリング、フォトリソグラフィー、エッチング技術等によって形成される。具体的には、まずＴａＳｉＯ等の抵抗材料とアルミニウム等の金属材料を従来周知のスパッタリングによりベースプレート２の上面に順次被着させることによって抵抗薄膜及び金属薄膜から成る積層体を形成し、これを従来周知のフォトリソグラフィー及びエッチング技術にて微細加工することにより発熱素子３や給電配線４が所定形状にパターニングされ、また、前記パッド５は、従来周知の無電解メッキ法を採用することによりＮｉ及びＡｕを給電配線４の所定箇所に順次積層することによって形成される。
【００３１】
そして前記発熱素子３や給電配線４等を被覆する保護膜６は、インク９中に含まれているアルカリイオンや水分等が発熱素子３や給電配線４に接触してこれらを腐食したり、或いは、インク９中に含まれている染料の固まり等が発熱素子３の表面に付着するのを有効に防止するためのものであり、シリコン及び酸素を含む無機質材料、例えばＳｉＯ2やＳｉ-Ｏ-Ｎ，ガラス等によって０．２μｍ〜２．０μｍの厚みに形成される。
【００３２】
かかる保護膜６中の酸素は、パルストリミングにて発熱素子３の抵抗値を上昇させる際に、発熱素子３を形成する抵抗材料と結合して発熱素子３の表面に薄い酸化膜を形成する作用を為すものであり、その含有量は２．０重量％〜１０．０重量％に設定されている。
【００３３】
尚、前記保護膜６は、従来周知のスパッタリングや真空蒸着法，プラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）等を採用し、発熱素子３や給電配線４等の表面に前述の無機質材料を所定厚みに被着させることによって形成される。
【００３４】
また一方、上述したヘッド基板１上には、間に所定の間隙（例えば、２０μｍ〜３００μｍ）を形成するようにして天板７が配設される。
【００３５】
前記天板７は、発熱素子３と１対１に対応する複数個のインク吐出孔８を有し、その外形は副走査方向の寸法がヘッド基板１よりも小型となるように、具体的には、天板７の一端がパッド５の位置よりも発熱素子３側に位置するように配置されている。
【００３６】
かかる天板７は、インク吐出孔８が対応する発熱素子３の真上に位置するように配置されており、インクジェットヘッドの記録動作時、インク吐出孔８よりインク滴ｉを記録紙に向けて吐出するようになっている。
【００３７】
尚、前記天板７は、モリブデン等から成る金属製の板体、アルミナセラミックス等から成るセラミック製の板体、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂等の樹脂製の板体、或いは、上記の材料を組み合わせることによって形成され、例えばモリブデンから成る場合、モリブデンのインゴット（塊）を従来周知の金属加工法により板状に成形するとともに、該板体の所定箇所に従来周知のエッチング技術等を採用して孔あけを行い、直径１０μｍ〜１００μｍ程度のインク吐出孔８を多数、穿設することによって製作され、得られた天板７を図示しないスペーサを介してヘッド基板１上に載置・接着させることにより天板７がヘッド基板１上の所定位置に固定される。
【００３８】
そして前記ヘッド基板１と天板７との間隙に充填されるインク９としては、例えば水性染料インク等が好適に使用され、その粘度は、例えば０．３ｍＰａ・ｓ〜３．０ｍＰａ・ｓ（２５℃）に調整される。
【００３９】
このようなインク９は、図示しないインクタンクからヘッド基板１−天板７間の間隙に供給されるようになっており、前述した発熱素子３からの熱エネルギーによってインク９中に気泡Ａが発生すると、該気泡発生時の圧力によってインク９の一部がインク吐出孔８よりインク滴ｉとなって外部に吐出され、これらのインク滴ｉを天板７の外表面に沿って搬送される記録紙Ｍの表面に付着させることにより所定の画像が形成される。
【００４０】
次に上述したサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法について図３のフローチャートを用いて説明する。
【００４１】
（１）まず、従来周知の薄膜形成技術にてパターン形成された発熱素子３等を有するヘッド基板１と、インク吐出孔８を有する天板７とを、間に所定の間隙を形成するようにして対向配置させた上、この間隙にインク９を充填してサーマルインクジェットヘッドを組み立てる。
【００４２】
（２）次に、ヘッド基板１上の各発熱素子３の抵抗値を測定する。
【００４３】
抵抗値の測定は、トリミング用のパッド５に抵抗値測定装置の探針を接触させることにより行なわれる。
【００４４】
（３）次に、抵抗値調整の目標となる目標抵抗値に設定する。
【００４５】
このとき、目標抵抗値は、各発熱素子３の抵抗値変動幅が小さくなるように設定するのが良く、本形態においては、（２）の工程で得た発熱素子３の実際の抵抗値について平均値を求め、この平均値を目標抵抗値に設定する。
【００４６】
（４）次に、（３）の工程で設定した目標抵抗値より、（２）の工程で得た発熱素子３の実際の抵抗値を引いて両者の差を求め、両者の差を発熱素子３の実際の抵抗値を除して抵抗値補正幅（％）を算出し、かかる抵抗値補正幅より発熱素子３の抵抗値を目標抵抗値に近づけるのに最適な所定のトリミングパルスを選択する。
【００４７】
例えば、目標抵抗値が３０３Ω、実際の発熱素子３の抵抗値が３００Ωの場合、両者の差が３Ωであるため、抵抗値補正幅は１．０％となり、かかる抵抗値補正幅に対応するトリミングパルスのエネルギーを、“抵抗値補正幅”と“トリミングパルスのエネルギー”との関係を示す線図（図４(a),(b)）から求め、これに最も近いトリミングパルスを事前に準備された複数種のトリミングパルスの中から一つ選択する。
【００４８】
（５）そして、従来周知のパルストリミング法、具体的には、（３）の工程で選択したトリミングパルスを対応する発熱素子３に印加して電気抵抗値を下降もしくは上昇させることにより発熱素子３の電気抵抗値を調整する。
【００４９】
発熱素子３に対するトリミングパルスの印加は、先に述べた給電配線４のパッド５を介して行なわれ、かかるパッド５の表面に、図５に示す如くトリミング装置の探針１０を接触させ、この状態で、（３）の工程で選択した所定のトリミングパルスをトリミング装置より印加することにより発熱素子３の電気抵抗値が調整される。
【００５０】
このとき、上記パッド５はインク９の充填領域外に設けてあるため、サーマルインクジェットヘッドを組み立てた後であっても、トリミング装置の探針１０をパッド５に対し確実に接触させてトリミングを簡単に行うことができ、トリミングの作業性を良好となすことができる。
【００５１】
尚、パルストリミング法では、例えば、パルス幅が短く、振幅が大きなトリミングパルスを発熱素子３に印加することによって発熱素子３を形成する抵抗材料を結晶化せしめ、アニールすることによって抵抗値を下降させ、また一方、パルス幅が長く、振幅が小さなトリミングパルスを発熱素子３に印加することによって発熱素子３を形成する抵抗材料を保護膜６中の酸素と結合せしめ、表面に薄い酸化膜を形成することによって抵抗値を上昇させる。
【００５２】
このとき、保護膜中の酸素含有量は２．０重量％〜１０．０重量％に設定されていることから、抵抗値を上昇させる際の抵抗値変動量が適度な大きさになり、パルストリミング法によってより細かな抵抗値調整がしやすくなるという利点がある。
【００５３】
ここで、保護膜中の酸素含有量が２．０重量％よりも小さいと、抵抗値の上昇度合いが小さすぎて、抵抗値調整に長時間を要する不都合があり、一方、酸素含有量が１０．０重量％よりも大きいと、保護膜中にクラック等が発生したり、あるいは保護膜の密着強度が低下する傾向がある。従って、保護膜中の酸素含有量を２．０重量％〜１０．０重量％に設定しておくことが好ましい。
【００５４】
（７）そして、上述のトリミング作業を行なった後、発熱素子３の抵抗値を再度測定し、測定した抵抗値を目標抵抗値に十分に近づけることができていない場合は、抵抗値が許容範囲内に入るまで上述のトリミング作業を繰り返し行う。
【００５５】
このようにして発熱素子３の抵抗値を補正すれば、発熱素子３を形成する際に発熱素子３の膜厚や大きさにバラツキが生じたとしても、パルストリミングにて抵抗値を精度良く補正し、発熱素子３を所望の温度で発熱させることができる。従って、濃度むらの少ない鮮明な画像を形成することが可能な高性能のサーマルインクジェットヘッドが得られるようになる。
【００５６】
しかもこの場合、発熱素子３の抵抗値そのものを調整することで、発熱素子３を所望する温度で発熱させるようにしているため、補正データを用いて印加電力を調整する場合に比し、補正データ格納用のメモリや複雑な補正回路、専用の電源回路等が不要で、サーマルインクジェットヘッドやそれが組み込まれるプリンタ本体の構成を簡素に維持できる上、記録動作中の補正処理なども一切不要であることから、高速記録に供することもできる。
【００５７】
また上述した抵抗値補正方法によれば、トリミングパルスが印加される発熱素子３は、シリコン及び酸素を含む無機質材料からなる保護膜６で被覆されているため、発熱素子３の一部を保護膜中の酸素と反応させて発熱素子３の表面に薄い酸化膜を形成することにより、発熱素子３の抵抗値を上昇させることができるようになり、発熱素子３の抵抗値を上下いずれにも補正することが可能となる。従って、抵抗値調整をする際に発熱素子３へ印加するトリミングパルスのエネルギーの最大値が小さくなるように目標抵抗値を設定することができ、トリミングパルスの印加時に発熱素子３が過度に高温となることに起因した発熱素子３の熱損を有効に防止することが可能となる。
【００５８】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００５９】
例えば上述の実施形態において、ヘッド基板１と天板７の間に隣接する発熱素子３を隔てるための隔壁部材を介在させたり、或いは、このような隔壁部材を天板７と一体的に形成するようにしても構わない。
【００６０】
また上述の実施形態においては、天板７のインク吐出孔８を対応する発熱素子３の真上に位置させるようにしたが、これに代えて、インク吐出孔を発熱素子の真上よりずらして配置させたり、或いは、インク滴をヘッド基板のエッジより吐出させるエッジシュータタイプのサーマルインクジェットヘッドに本発明を適用しても良い。
【００６１】
更に上述の実施形態においては、トリミング用のパッド５を主走査方向に一列状に配置させるようにしたが、これに代えて、トリミング用のパッド５を主走査方向に千鳥状に配列させるようにしても良く、この場合、隣接するパッド間のスペースに余裕ができ、給電配線を従来周知の薄膜形成技術を採用することによって高密度に配列する場合であっても、隣合う給電配線、パッド間の電気的な短絡を有効に防止することができる利点もある。
【００６２】
【発明の効果】
本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法によれば、パルストリミングで発熱素子の抵抗値補正を行なうようにしたことから、発熱素子を形成する際に発熱素子の膜厚や大きさにバラツキが生じたとしても、抵抗値を精度良く調整して発熱素子を所望の温度で発熱させることができる。従って、濃度むらの少ない鮮明な画像を形成することが可能な高性能のサーマルインクジェットヘッドが得られるようになる。
【００６３】
また、本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法によれば、発熱素子の抵抗値を調整することで、発熱素子を所望する温度で発熱させるようにしたことから、補正データを用いて印加電力を調整する場合に比し、補正データ格納用のメモリや複雑な補正回路、専用の電源回路等が不要で、サーマルインクジェットヘッドやそれが組み込まれるプリンタ本体の構成を簡素に維持できる上、記録動作中の補正処理なども一切不要であることから、高速記録に供することもできる。
【００６４】
更に、本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法によれば、トリミングパルスが印加される発熱素子は、シリコン及び酸素を含む無機質材料からなる保護膜で被覆されているため、発熱素子の一部を保護膜中の酸素と反応させて発熱素子の表面に薄い酸化膜を形成することにより、発熱素子の抵抗値を上昇させることができるようになり、発熱素子の抵抗値を上下いずれにも補正することが可能となる。従って、抵抗値調整をする際に発熱素子へ印加するトリミングパルスのエネルギーの最大値が小さくなるように目標抵抗値を設定することができ、トリミングパルスの印加時に発熱素子が過度に高温となることに起因した発熱素子の熱損を有効に防止することが可能となる。
【００６５】
また更に、本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法によれば、保護膜中の酸素含有量を２．０重量％〜１０．０重量％に設定することにより、所定のトリミングパルスを印加したときの抵抗値の上昇度合いが適度な大きさになり、より細かな抵抗値調整が可能になるという利点もある。
【００６６】
更にまた、本発明のサーマルインクジェットヘッドの抵抗値補正方法によれば、前記給電配線の途中で、かつインクの充填領域外に設けられたトリミング用のパッドを介して発熱素子にトリミングパルスを印加することにより、サーマルインクジェットヘッドを組み立てた後であっても、トリミングパルスを発熱素子に印加する際に用いられるトリミング装置の探針を前記パッドに対し確実かつ容易に接触させてトリミングを行うことができるようになり、トリミングの作業性が良好となる利点もある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る抵抗値補正方法によって得られたサーマルインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る抵抗値補正方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】「抵抗値補正幅」と「トリミングパルスのエネルギー」との関係を示す線図であり、（ａ）は抵抗値を下降させる場合の線図、（ｂ）は抵抗値を上昇させる場合の線図である。
【図５】トリミング作業を説明するための断面図である。
【図６】従来のサーマルインクジェットヘッドの断面図である。
【符号の説明】
１・・・ヘッド基板、２・・・ベースプレート、３・・・発熱素子、４・・・給電配線、５・・・パッド、６・・・保護膜、７・・・天板、８・・・インク吐出孔、９・・・インク、１０・・・トリミング装置の探針、Ａ・・・気泡、ｉ・・・インク滴、Ｍ・・・記録紙
【図１】
0003771835.tif 000002
【図２】
0003771835.tif 000003
【図３】
0003771835.tif 000004
【図４】
0003771835.tif 000005
【図５】
0003771835.tif 000006
【図６】
0003771835.tif 000007