(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に設けられた特性測定用電極に電子部品の端子電極を当接させて電子部品の電気的特性を測定するための電気的特性測定治具であって、
基材と、
基材上に形成された特性測定用電極とを備え、
前記特性測定用電極が、基材に貼り合わされており、かつ厚みが２００μｍ以上、１０００μｍ以下の金属板を用いて構成されており、かつ前記特性測定用電極が複数設けられており、前記電子部品の複数の端子電極の厚みに応じて、前記複数の特性測定用電極を構成している金属板の厚みが異ならされていることを特徴とする、電気的特性測定治具。
【請求項２】
前記測定対象物である電子部品の一面に厚みの異なる複数の端子電極が形成されており、該電子部品を前記一面側から特性測定用電極が設けられている基材上に近接させた際に、端子電極と該端子電極に当接された特性測定用電極の厚みの合計が均一となるように、複数の特性測定用電極の厚みが異ならされている、請求項１に記載の電気的特性測定治具。
【請求項３】
前記電子部品の端子電極と、特性測定用電極との間に配置され、かつ厚み方向にのみ導電性を発現し得る異方導電ゴムをさらに備えることを特徴とする、請求項１または２に記載の電気的特性測定治具。
【請求項４】
請求項１または２に記載の電気的特性測定治具を用いた電子部品の電気的特性測定方法であって、
基材上の特性測定用電極に電子部品の端子電極を当接させ、基材上に設けられた特性測定用電極により電気的特性を測定する、電子部品の電気的特性測定方法。
【請求項５】
前記基材上に設けられた特性測定用電極上に異方導電ゴムを間に介して前記電子部品の端子電極を圧接させることを特徴とする、請求項４に記載の電子部品の電気的特性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の電気的特性を測定するための測定治具及び電子部品の特性測定方法に関し、より詳細には、電子部品の端子電極に当接される特性測定用電極の構造が改良された測定治具及び電子部品の測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子部品の製造後に良品を判別するために、電気的特性、例えば静電容量、電気抵抗などの測定が行われている。この種の電気的特性の測定に際し、図９に示す測定治具５１が用いられている。測定治具５１は、基板５２上に、全面に金属薄膜を形成した後、エッチングすることにより、電極欠落部５２ａを形成し、電極欠落部５２ａ内に測定のための電極５３，５４を形成した構造を有する。従って、電極５３，５４は、薄膜形成法により形成されているので、通常、５０μｍ以下の薄い金属膜により構成されている。
【０００３】
他方、電気的特性の測定に際しては、上記電極５３，５４に、電子部品５５の端子電極５６，５７が当接される。この場合、電極５３，５４の外側端に測定器が電気的に接続される。
【０００４】
また、電子部品５５の下面に形成されている端子電極の厚みにばらつきが存在する場合には、図９に示すような異方導電ゴム５８を電子部品５５と電極５３，５４との間に介在させることもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の測定治具５１では、電極５３，５４が薄膜形成法により形成されており、非常に薄いので、測定を繰り返すうちに摩耗しがちであった。そのため、電気的特性の測定を多数回繰り返すと、電子部品５５の端子電極５６，５７を電極５３，５４に安定に接触させることができなくなり、電気的特性を正確にかつ安定に測定することができなかった。
【０００６】
加えて、測定対象物である電子部品５５の下面に形成されている複数の端子電極の厚みが異なっていたり、半田等による盛り上がりが存在する場合には、異方導電ゴム５８を用いたとしても、電子部品の下面に形成されている端子電極を安定に電極５３，５４に接触させることができないことがあった。その結果、良品の電子部品が、誤って不良品と判別されたりすることがあった。
【０００７】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、電子部品の電気的特性を高精度にかつ安定に測定することができ、さらに長期間に渡り使用することができる、電気的特性測定治具及び電子部品の電気的特性測定方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基材上に設けられた特性測定用電極に電子部品の端子電極を当接させて電子部品の電気的特性を測定するための電気的特性測定治具であって、基材と、基材上に形成された特性測定用電極とを備え、前記特性測定用電極が、基材に貼り合わされており、かつ厚みが２００μｍ以上、１０００μｍ以下の金属板を用いて構成されており、かつ前記特性測定用電極が複数設けられており、前記電子部品の複数の端子電極の厚みに応じて、前記複数の特性測定用電極を構成している金属板の厚みが異ならされていることを特徴とする。
【００１０】
また、より好ましくは、測定対象物である電子部品の一面に厚みの異なる複数の端子電極が形成されており、該電子部品を前記一面側から特性測定用電極が設けられている基材上に近接させた際に、端子電極と該端子電極に当接された特性測定用電極の厚みの合計が均一となるように、複数の特性測定用電極の厚みが異ならされている。
【００１１】
本発明に係る電気的特性測定治具では、前記電子部品の端子電極と、特性測定用電極との間に配置され、かつ厚み方向にのみ導電性を発現し得る異方導電ゴムがさらに備えられていてもよい。
【００１２】
本発明に係る電子部品の電気的特性測定方法は、本発明に係る電気的測定治具を用いた方法であり、基材上の特性測定用電極に電子部品の端子電極を当接させ、基材上に設けられた特性測定用電極により電気的特性を測定することを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る電子部品の電気的特性測定方法では、好ましくは、前記基材上に設けられた特性測定用電極上に異方導電ゴムを間に介して前記電子部品の端子電極が圧接される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の電気的特性測定治具及び電子部品の電気的特性測定方法の具体的な実施例を説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施例に係る電気的特性測定治具を説明するための斜視図である。電気的特性測定治具１は、基材としての基板２と、基板２上に形成された特性測定用電極３〜８とを備える。ここで、基板２を構成する材料については、絶縁性を示す限り、特に限定されず、例えば絶縁性樹脂などを用いて構成することができる。また、本発明において、基材としては、板状のものに限定されず、ブロック状のものを用いてもよい。
【００１６】
本実施例の電気的特性測定治具１の特徴は、電気的特性測定用電極３〜８が、基板２の上面に金属板を貼り合わせることにより構成されていることにある。すなわち、厚みが２００μｍ以上、１０００μｍ以下の厚い金属板を貼り合わせることにより、特性測定用電極３〜８が構成されている。
【００１７】
この貼り合わせ方法については特に限定されないが、本実施例では、特性測定用電極３〜８が形成されている部分の下地に金属膜を形成しておき、該金属膜に対して半田等の導電性接合剤を用いて金属板が貼り合わされている。もっとも、接着剤を用いて金属板を基板２の上面に直接貼り合わせてもよい。
【００１８】
また、本実施例の電気的特性測定治具１では、上記特性測定用電極３〜８が形成された基板２の他に、異方導電ゴム９が用いられる。異方導電ゴム９は、厚み方向にのみ導電性を発現し、厚み方向と直交する方法には電気的絶縁性を確保し得る、適宜の材料で構成される。このような異方導電ゴム９の具体例としては、カーボンや金属粉末などが分散されたゴムや金属細線が埋設されたものが挙げられ、その場合には、厚み方向に圧縮応力を加えることによりカーボン粉末や金属粉末同士や金属細線が接触し、厚み方向において導電性が発現される。
【００１９】
本実施例の電気的特性測定治具を用いた電子部品の電気的特性測定方法を説明する。
測定に際しては、電気的特性測定治具１の電極３〜８の外側端を、図示しない測定装置に電気的に接続する。この電気的接続は、測定器のプローブなどを電極３〜８の外側端に物理的に接触させることにより行ない得る。
【００２０】
次に、基板２の上面に、異方導電ゴム９を配置し、その上面に電子部品１０を圧接させる。電子部品１０の下面には、図３に底面図で示すように、端子電極１１〜１６が形成されている。
【００２１】
電子部品１０を下面側から異方導電ゴム９の上面側に当接させかつ圧接することにより、端子電極１１〜１６が、特性測定用電極３〜８に電気的に接続される。この状態を図２に示す。なお、図２では、特性測定用電極３〜５の下地に金属膜３ａ〜５ａが積層されている状態が図示されている。もっとも、前述したように、金属膜３ａ〜５ａは必ずしも設けられずともよい。すなわち、金属膜３ａ〜５ａを形成せずに、金属板を直接基板２の上面に接着剤等を用いて貼り合わせて電極３〜８を構成してもよい。
【００２２】
本実施例の電気的特性測定方法では、上記のように、電気的特性測定治具１の上面に異方導電ゴム９を配置し、電子部品１０の下面を圧接するだけで、直ちに電極３〜８に接続された測定器により電気的特性を測定することができる。
【００２３】
しかも、特性測定用電極が、上記のように厚みの大きな金属板を用いて構成されているので、測定を繰り返したとしても摩耗し難い。よって、多数の電子部品１０の電気的特性を測定したとしても、最後まで電気的特性を安定にかつ高精度に測定することができる。
【００２４】
なお、本実施例では、異方導電ゴム９を用いたが、異方導電ゴム９は必ずしも用いられずともよく、その場合には、電子部品１０の下面の端子電極１１〜１６が、直接特性測定用電極３〜８の上面に当接される。
【００２５】
もっとも、好ましくは異方導電ゴム９を介在させることにより、該異方導電ゴム９のゴム弾性を利用して、端子電極１１〜１６を特性測定用電極３〜８により確実に接触させることができる。
【００２６】
図４（ａ）及び（ｂ）は、本発明の他の実施例の電気的特性測定治具により電気的特性が測定される電子部品の下面側から見た斜視図及び正面図である。
電子部品２１では、下面２１ａ上に、複数の端子電極２２，２３，２４〜２９が形成されている。ここで、端子電極２２，２３の厚みは、端子電極２４〜２９の厚みに比べて厚くされている。従って、図４（ｂ）に示されているように、電子部品２１の下面２１ａから下方への端子電極突出量が、端子電極２２，２３と、他の端子電極２４〜２９とで異ならされている。
【００２７】
第２の実施例の電気的特性測定治具は、上記のような電子部品２１の電気的特性の測定に好適に用いられるものである。
図５は、第２の実施例の電気的特性測定治具を示す斜視図である。電気的特性測定治具３１は、基材としての基板３２の上面３２ａ上に、特性測定用電極３３，３４，３５〜４０を形成した構造を有する。特性測定用電極３３〜４０は、いずれも、基板３２の上面３２ａ上に直接または間接に金属板を貼り合わせることにより構成されている。ここで「間接に」とは、第１の実施例と同様に、金属膜を下地層として形成した後、該金属膜層上に半田等により金属板を貼り合わせることを意味し、「直接に」とは、接着剤を用いて金属板を基板３２の上面３２ａに直接貼り合わせることを意味する。
【００２８】
第２の実施例の電気的特性測定治具３１では、特性測定用電極３３，３４の厚みが、残りの特性測定用電極３５〜４０の厚みよりも相対的に薄くされている。これは、電子部品２１を下面２１ａ側から電気的特性測定治具３１上に載置した場合に、端子電極２２〜２９を確実に特性測定用電極３３〜４０に接触させるためである。すなわち、本実施例では、特性測定用電極３３，３４の厚みと、特性測定用電極３３，３４に当接される端子電極２２，２３の厚みの和が、特性測定用電極３５〜４０の厚みと端子電極２４〜２９の電子部品２１の下面２１ａ上の厚みの和と等しくされている。
【００２９】
電気的特性の測定に際しては、電気的特性測定治具３１の上面に、電子部品２１を下面２１ａ側から載置する。この場合、電気的特性測定用電極３３〜４０の厚みが上記のように設定されているので、図６から明らかなように、電子部品３１が安定に載置されると共に、端子電極２２〜２９の下面が、特性測定用電極３３〜４０の上面と確実に接触される。従って、電子部品２１の電気的特性を安定にかつ高精度に測定することができる。
【００３０】
また、第１の実施例の場合と同様に、測定用電極３３〜４０は、金属板を用いて構成されているので、多数の電子部品２１の電気的特性の測定を行ったとしても、特性測定用電極３３〜４０の摩耗が生じ難い。
【００３１】
なお、第２の実施例においても、図７に示すように、特性測定用電極３３〜４０上に異方導電ゴム９を配置し、異方導電ゴム９の上面に電子部品２１を下面２１ａ側から圧接してもよい。
【００３２】
また、図１では、基板２上に、金属板を貼り合わせることにより電気的特性測定用電極３〜８が形成されていたが、図８に示すように、基板２の上面に電極膜３ｂ〜８ｂを形成し、該電極膜３ｂ〜８ｂに電気的に接続されるように金属板からなるように電気的特性測定用電極３〜８を貼り合わせてもよい。
【００３３】
【発明の効果】
本発明に係る電気的特性測定治具では、特性測定用電極が基材に貼り合わされており、かつ厚みが２００〜１０００μｍの厚みの金属板を用いて構成されているので、該特性測定用電極に電子部品の端子電極を当接させて電気的特性を測定する工程を繰り返したとしても、特性測定用電極の摩耗が生じ難い。従って、長期間に渡り使用することができ、かつ電子部品の電気的特性を安定にかつ高精度に測定し得る電気的特性測定治具を提供することができる。
【００３４】
また、上記特性測定用電極が複数設けられており、電子部品の複数の端子電極の厚みに応じて、複数の特性測定用電極を構成している金属板の厚みが異ならされているので、電子部品の端子電極の厚みが異なる場合であっても、電子部品の端子電極を特性測定用電極に安定に接触させることができる。
【００３５】
特に、測定対象物である電子部品の一面に厚みの異なる端子電極が形成されており、電子部品を上記一面側から特性測定用電極が設けられている基材上に近接させた際に、端子電極と特性測定用電極の厚みの合計が均一となるように複数の特性測定用電極の厚みが異ならされている場合には、電子部品の複数の端子電極を特性測定用電極により一層安定に接触させることができる。
【００３６】
また、端子電極と特性測定用電極との間に異方導電ゴムを配置した場合には、該異方導電ゴムを圧縮するように電子部品の端子電極と特性測定用電極とを近接させることにより、端子電極と特性測定用電極との電気的接続の安定性を高めることができる。
【００３７】
本発明に係る電気的特性測定方法では、本発明に係る電気的特性測定治具の特性測定用電極に電子部品の端子電極を当接させ、基材上に設けられた特性測定用電極により電気的特性が測定されるので、多数の電子部品の電気的特性を測定した場合であっても、特性測定用電極の摩耗が生じ難い。従って、長期間に渡り、多数の電子部品の電気的特性を安定にかつ高精度に測定することが可能となる。
【００３８】
本発明に係る電気的特性測定方法において、特性測定用電極上に異方導電ゴムを配置して電子部品の端子電極を特性測定用電極側に圧接させる場合には、異方導電ゴムの弾力性を利用して、端子電極と特性測定用電極との電気的接続をより確実なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例に係る電気的特性測定治具及び電気的特性測定方法を説明するための分解斜視図。
【図２】第１の実施例の電気的特性測定治具上に異方導電ゴムを介して電子部品を載置した状態を示す断面図。
【図３】図１に示した電子部品の底面図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第２の実施例で特性が測定される電子部品の底面側から見た斜視図及び正面図。
【図５】第２の実施例に係る電気的特性測定治具を示す斜視図。
【図６】第２の実施例を電気的特性測定治具上に電子部品の端子電極を接触させた状態を示す正面図。
【図７】第２の実施例の電気的特性測定治具上に異方導電ゴムを配置して電子部品を異方導電ゴム上に配置した状態を示す断面図。
【図８】第１の実施例の変形例に係る電気的特性測定治具を説明するための斜視図。
【図９】従来の電気的特性測定治具を示す斜視図。
【符号の説明】
１…電気的特性測定治具
２…基材としての基板
３〜８…特性測定用電極
９…異方導電ゴム
１０…電子部品
１１〜１６…端子電極
２１…電子部品
２２〜２９…端子電極
３１…電気的特性測定治具
３２…基材としての基板
３３〜４０…特性測定用電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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