(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＣＤガラスが積載されているＬＣＤガラスカセットを設備側に移送させるための移送手段と、
前記移送手段を駆動させるための駆動手段と、
前記駆動手段に所定電源を供給するための電源装置とが形成されている手動台車において、
前記電源装置は、前記設備側から前記手動台車側に電源を供給するための設備側電源供給手段と、
前記設備側電源供給手段と結合することにより前記駆動手段を駆動させるために、一対の導電性電極及び前記導電性電極を案内するための案内ピンとを、含む手動台車側電源印加手段とを含むことを特徴とするＬＣＤガラス移送用手動台車。
【請求項２】
前記設備側電源供給手段は、前記導電性電極と前記案内ピンの位置に対応して結合する電極結合溝であることを特徴とする請求項１記載のＬＣＤガラス移送手動台車。
【請求項３】
前記手動台車側電源印加手段は、前記設備側電源供給手段から供給された電源を変換させる電源変換部をさらに含むことを特徴とする請求項１記載のＬＣＤガラス移送手動台車。
【請求項４】
移送対象物が積載されている積載手段を設備側に移送させるための移送手段と、
前記移送手段を駆動させるための駆動手段と、
前記駆動手段に所定電源を供給するための電源装置とが形成されている手動台車において、
前記電源装置は、前記手動台車に設置され前記駆動手段に電源を印加するための手動台車側電源印加手段と、
前記手動台車側電源印加手段を案内するための案内手段と、
前記設備側に設置され前記案内手段を誘導して位置を制限する誘導手段と、
前記手動台車側電源印加手段に電源を供給するための設備側電源供給手段とを含み、
前記手動台車側電源印加手段は、前記手動台車に水平に付着された固定板と、前記固定板に一側端部が垂直に付着されたスライドバーと、前記スライドバーの他側端部に付着された支持板と、前記固定板と前記支持板の間で所定変位を持てスライド運動する電極ブロックとを含んで、前記電極ブロックの上側または下側のスライドバーにばねが介在されている
ことを特徴とする手動台車。
【請求項５】
前記電極ブロックには、一対の導電性電極が垂直に突出されて、前記導電性電極の間には非常に低い電気抵抗値を持つ電極誘導ピンが前記導電性電極より長く突出されていることを特徴とする請求項４記載の手動台車。
【請求項６】
前記設備側電源供給手段は、前記電極ブロックの導電性電極とはめあいされ前記導電性電極に電源を供給するための電源結合溝であることを特徴とする請求項４記載の手動台車。
【請求項７】
前記電極ブロックは、垂直変位発生手段により垂直変位が発生することを特徴とする請求項５または６に記載の手動台車。
【請求項８】
前記垂直変位発生手段は、一側が前記電極ブロックの上面にかけられて他側が前記手動台車の基底面に形成された第１ブラケットにヒンジ結合されている回動レバーと、前記回動レバーの上側にかけられ前記回動レバーを所定角度で回動させるフットレバーと、前記電極ブロックと前記支持板の間に介在されている弾性体とで形成されたことを特徴とする請求項７記載の手動台車。
【請求項９】
前記フットレバーは、フットレバーロッキング手段により前記フットレバーの変位を制限することを特徴とする請求項８記載の手動台車。
【請求項１０】
前記フットレバーロッキング手段にはフットレバーかけ突起が形成されていることを特徴とする請求項９記載の手動台車。
【請求項１１】
前記案内手段は回転可能な回転ローラと、前記回転ローラの位置を固定させるためのロッキングローラと、所定高さで突出されたロッキングピンとで形成されたことを特徴とする請求項４記載の手動台車。
【請求項１２】
前記誘導手段は、前記回転ローラが結合されるように形成された案内溝と、前記ロッキングローラが安着されるロッキングローラ溝と、前記ロッキングピンと結合されるロッキング溝とが形成されている設備側固定ブロックであることを特徴とする請求項４記載の手動台車。
【請求項１３】
前記ＬＣＤガラスカセットの一部分を導電性で形成して前記ＬＣＤガラスカセット及び前記手動台車の本体から発生する静電気を接地するための接地手段をさらに含むことを特徴とする請求項1記載のＬＣＤガラス移送用手動台車。
【請求項１４】
前記積載手段の一部分を導電性で形成して前記積載手段及び前記手動台車の本体から発生する静電気を接地するための接地手段をさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の手動台車。
【請求項１５】
手動台車に積載されているＬＣＤガラスカセットを製造設備側に移送させる移送手段と、
前記移送手段を駆動させる駆動手段に電源を供給する方法において、
前記手動合車の駆動手段と電気的に連結され電源の印加を受けるための手動台車側電源印加手段を前記製造設備側の電源供給手段の位置に整列させる段階と、
前記手動台車側電源印加手段に電源が供給されるように前記製造設備側電源供給手段と前記手動台車側電源印加手段とを結合する段階と、
前記製造設備側電源供給手段により供給された電源により前記駆動手段を駆動する段階とを含むことを特徴とするＬＣＤガラス移送用手動台車への電源供給方法。
【請求項１６】
前記手動台車側電源印加手段を前記製造設備側の電源供給手段の位置に整列させる段階には、前記手動台車側電源印加手段を前記製造設備側電源印加手段に固定させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１５記載のＬＣＤガラス手動台車への電源供給方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は手動台車及び手動台車への電源供給方法に係り、より詳細には、移送対象物（例えば、ウェハ（Ｗａｆｅｒ）、ＬＣＤガラス等）が多数積載されているカセット（Ｃａｓｓｅｔｔｅ）を製造設備に移送する時、このカセットを移送する手動台車の駆動電源を手動台車に内装された充電用バッテリ（Ｂａｔｔｅｒｙ）電源の代わりに外部の製造設備から供給を受けるようにした手動台車及び手動台車への電源供給方法に関するものでる。
【０００２】
【従来の技術】
公知のように、半導体の製造素子及び半導体の応用分野であるＬＣＤパネルを製造するためには非常に多様で反復的な工程が必要である。
例えば、ＬＣＤパネル（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）の母材料になる初期ＬＣＤガラス基板に付着された微細粉塵の除去工程である洗浄工程からＲＧＢレジスト（Ｒｅｄ  Ｇｒｅｅｎ  Ｂｌｕｅ  Ｒｅｓｉｓｔ）の塗布工程及び現像工程等の多様な工程を進行する各種設備を反復的に経て一個の完成されたＬＣＤパネルが生成される。
【０００３】
このように、計画されたプログラム（Ｐｒｏｇｒａｍ）により例外なしに連続的に進行される一括工程を短時間内に進行するためには予定されたプログラムにより製造設備間を往復しながらカセットのような作業対象物を移送する作業を進行するロボットのような移送装置が必要である。
【０００４】
しかし、前記のように一括的な作業順序を持つ工程では、プログラミングにより作業を進行するロボット等により移送作業を連続的に進行できるが、工程の特性上連続的な作業の進行ができない場合には、即ち、工程中の設備異常及び製造対象物の異常有無を検査するため任意で抽出されたテスト用サンプルをテスト設備に移送する工程及び製造設備で突発的な設備エラー等が発生した時には、予定されたプログラミングにより作動するロボットが使用できないようになる。
【０００５】
このような場合には、移送対象物が積載されているカセットを作業者が手動で移送するようになり、この時カセットの重さは約５０〜６０ｋｇ程度で重量物であるからカセットを移送するためには作業場では作業者により移送される手動台車（Ｍａｎｕａｌ  Ｇｕｉｄｅ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）が頻繁に使用される。
【０００６】
このような従来の手動台車を図７及び図８を参考して説明する。
図７及び図８は従来のＬＣＤガラスカセットを移送するＬＣＤガラスカセット運搬用手動台車の一実施例を簡略に示す概念図である。
図示されるように、従来のＬＣＤガラスカセット運搬用手動台車は、六面体形状の内部に空間が形成されている本体１７と、本体１７の上面に本体１７より薄く同一な形状になった積載フレーム（Ｆｒａｍｅ）２が設置されて、前記積載フレーム２の中央部分にはＬＣＤガラスカセット１より大きい断面及び所定深さを持つリセス（Ｒｅｃｅｓｓ）部２９が形成されている。
【０００７】
一方、リセス部２９の中央には所定面積の貫通孔３０が形成されて、本体１７にも前記リセス部２９の貫通孔３０と同一な大きさと形状にたった前記リセス部２９の貫通孔３０と連結される本体貫通孔３０ａが形成されている。
【０００８】
前記リセス部２９の貫通孔３０と本体１の貫通孔３０ａは同一な断面を持ち、前記貫通孔３０、３０ａにはリセス部２９から本体１７の底面までの長さを持つ上下に往復運動する移送軸９が挿入される。
【０００９】
また、前記移送軸９の両側端部の中で本体１７が外部に引出される上側端部にはＬＣＤカセット下敷台３か結合されて、下側端部は単純に本体１７の底面と接触されている。
【００１０】
したがって、前記貫通孔３０、３０ａにより移送軸９の上側端部は拘束されるが下側端部の連動は拘束されないから、移送軸９では上下往復運動だけが発生するように本体１７の所定部分に直四角形状で移送軸の断面と対応する案内孔１２が形成されている案内部材１１が付着されて、この案内孔１２には移送軸９が挿入される。
【００１１】
このように案内部材１１の案内孔１２と前記貫通孔３０、３０ａに挿入され両端の動きが上下往復運動だけで制限された移送軸９の表面には所定ピッチ（Ｐｉｔｃｈ）で切削された歯が形成されており、前記歯が形成された部分がラック（Ｒａｃｋ）部８を形成している。また、前記ラック部８の歯列には前記移送軸９が上下往復運動するようにピニオン（Ｐｉｎｉｏｎ）歯車７が結合されて、前記ピニオン歯車７は電動モータ５の軸と結合されて、前記ピニオン歯車７にはラック部８が所定位置で停止状態を維持するようにするためのピニオン歯車ロッキング／ロッキング（Ｌｏｃｋｉｎｇ）解体装置（図示せず）が設置されている。
【００１２】
また、前記電動モータ５に形成されている入力端子には充電用バッテリ１３が電気的に連結されて、前記充電用バッテリ１３には充電用バッテリ１３を随時で充電できるように具備された充電器１５が電気的に連結される。
【００１３】
前記充電器１５には外部電源と接続され外部電源を引くように電力ケーブルが連結されて、前記電源線の端部には外部電源と結合される結合電極が形成されている結合電極部（図示せず）が具備されている。
【００１４】
したがって、前記バッテリ１３Ｃは、所定電圧を持つ直流電源が出力されるから、通常、電動モータ５ほ直流電源により駆動されるＤＣモータ種類が使用される。
【００１５】
このような電動モータ（Ｍｏｔｏｒ）５を正回転及び逆回転させ移送軸を上下に往復運動させるために本体１７に設置されたハンドル（Ｈａｎｄｌｅ）１９には、調整ノブ（Ｋｎｏｂ）２１または操作パネルが設置されており、作業者が調整ノブ２１を操作することにより電動モータ５に供給される電極及び電力が調整される。
【００１６】
従来のＬＣＤガラスカセット運搬用手動台車の作用について図面を参照して説明すると次のようである。
まず、ＬＣＤガラスカセット運搬用手動台車に積載されているＬＣＤガラスカセット１をＬＣＤ製造設備に移載する時、充電器Ｌ１５によリ既充電されているバッテリ１３から電動モータ５に直流電源を供給するため作業者は調整ノブ２１を操作して電動モータ５を通電させる。
【００１７】
以後、電動モータ５が通電されると、電動モータ５の軸は所定方向に回転して、これによって電動モータ５の軸に結合されているピニオン歯車７も軸と同一な方向に回転するようになる。この時ピニオン歯車７の回転力は移送軸９のラック部８に伝達されて、ラック部８はピニオン歯車７の回転運動を直線連動に転換させ移送軸９を上方または下方に移送させる。
【００１８】
また、ラック部８は電動モータ５が通電されている間継続上方に移動されて、ＬＣＤカセットが一定高さまで積載されると作業者は再度調整ノブ２１を操作してその高さを制限する。この時、ピニオン歯車７の歯列にはラチェット（Ｒａｔｃｈｅｔ：図示せず）のようなピニオン歯車ロッキング／ロッキング解除部（図示せず）が結合されてピニオン歯車７は逆回転されなく停止状態になる。
【００１９】
この状態で後続作業であるカセットの移載及び積載作業が進行されＬＣＤガラスカセット１はＬＣＤ運般用手動台車からＬＣＤ生産設備に移載されるかまたはＬＣＤ生産設備からＬＣＤガラスカセット１に積載される。
【００２０】
図９は従来のＬＣＤガラスカセット運搬用手動台車の変形例を示す斜視図である。
図９を参考して従来のＬＣＤガラスカセット運搬用手動台車の変形例について説明する。
図示されるように、従来の変形された手動台車の内部にも前記のように充電器６５及び充電可能な充電用バッテリ６０が内装されている。
【００２１】
しかし、従来の変形手動台車は、ＬＣＤカセット下敷台３を上下に往復運動させるラック装置７とピニオン装置８の代わりに移送用垂直移送ねじ４０と結合された第１電動モータ５０を使用して前記ＬＣＤカセット下敷台７０を上下往復運動させる。
【００２２】
また、前記ＬＣＤカセット下敷台７０の内部に所定深さを持つリセス部７５を形成して、前記リセス部７５にＬＣＤガラスカセット８０を水平に移送させる水平移送ねじ７７と結合されている第２電動モータ（図示せず）を設置して、前記第２電動モータと前記バッテリ６０を電気的に連結する。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の手動台車は、ＬＣＤガラスカセットを上下在復運動可能にする電動モータの駆動電源として自体重量が重く充電するのに長時間が所要される再充電用バッテリを使用することにより、作業者は随時で再充電用バッテリの充電状態を点検しなければならなく、充電状態が不良である場合はＬＣＤカセット下敷台を上下移送させるための出力が充分に発生されないから円滑な作業の進行が、困難であった。
【００２４】
また、重いバッテリと、バッテリを再充電するための充電器とを手動台車の本体内部に搭載しているから、手動台車の重量を増加させ運行が困難であり、手動台車自体の生産費が高価になる等多様な問題点があった。
【００２５】
したがって、本発明は前記のような従来の問題点を解決すべく案出されたもので、その目的は手動台車に内装され電動モータを駆動させる電源を、再充電用バッテリから外部設備側で無限大に供給される電源で変更してバッテリと充電の内装が不必要にすることにより手動台車の重量を減少させて、バッテリの充電に所要される時間を短縮して手動台車の効率を増大させる手動台車及び手動台車への電源供給方法を提供することにある。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するための本発明の好ましい特徴によると、移送対象物が積載されている積載手段を設備側に移送させるための移送手段と、前記移送手段を駆動させるための駆動手段と、前記駆動手段に所定電源を供給するための電源装置とが形成されている手動台車において、前記電源装置は、前記設備側から前記手動台車側に電源を供給するための設備側電源供給手段と、前記手動台車の所定位置に形成され前記設備側電源供給手段と結合することにより前記駆動手段を駆動させる手動台車側電源印加手段とで構成される。
【００２７】
本発明の他の好ましい特徴によると、移送対象物が積載されている積載手段を設備側に移送させるための移送手段と、前記移送手段を駆動させるための駆動手段と、前記駆動手段に所定電源を供給するための電源装置とが形成されている手動台車において、前記電源装置は、前記手動台車の所定位置に設置され前記駆動手段に電源を印加するための手動台車側電源印加手段と、前記手動台車側電源印加手段を案内するための案内手段と、前記設備側に設置され前記案内手段を誘導して位置を制限する誘導手段と、前記手動台車側電源印加手段に電源を供給するための設備側電源供給手段とで形成される。
【００２８】
また、前記のような構成を持つ手動台車に電源を供給する方法は、手動台車に積載されているカセットを製造設備側に移送させる移送手段と前記移送手段を駆動させる駆動手段に電源を供給する方法において、前記手動台車の駆動手段と電気的に連結され電源の印加を受けるための手動台車側電源印加手段を前記製造設備側の電源供給手段の位置に整列させる段階と、前記手動台車側電源印加手段に電源が供給されるように前記製造設備側電源供給手段と前記手動台車側電源印加手段とを結合する段階と、前記製造設備側電源供給手段により供給された電源により前記駆動手段を駆動する段階とで行われる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明による手動台車について説明する。図１は本発明による第１実施例を示す斜視図である。
〈第１実施例〉
本発明によると、六面体形状の内部に空間が形成されている手動台車の導電性本体１１０の上面には所定面積を持つ開口部１１５が形成されて、前記開口部１１５には開口部１１５の面積より多少小さい直六面体形状になったＬＣＤガラスカセット１５０が安着されるように薄いカセット下敷台１２０が位置されている。
【００３０】
また、前記カセット下敷台１２０の底面の２個所にはカセット下敷台１２０が垂直方向に変位を持つように垂直移送ねじ１３０、１３０ａと羅合されており、二つの垂直移送ねじ１３０、１３０ａの中でいずれの一つは第１電動モータ１４０の軸に結合されている。
【００３１】
前記カセット下敷台１２０の底部に一つの垂直移送ねじを連結してカセット下敷台１２０を垂直方向に移送することもできるが、その場合、カセット下敷台１２０には一側に偏心が発生してカセット下敷台１２０が傾くおそれがあるから、通常、前記のように二つの垂直移送ねじ１３０、１３０ａを利用して、前記二つの垂直移送ねじ１３０、１３０ａの中で第１電動モータ１４０と結合された垂直移送ねじ１３０には動力を伝達するための駆動固定滑車（Ｐｕｌｌｅｙ）１３２が設置されている。
【００３２】
一方、前記駆動固定滑車１３２には動力を伝達するための高張力ベルト１３４がかかっており、前記高張力ベルト（Ｂｅｌｔ）１３４は他の垂直移送ねじ１３０ａの従動固定滑車１３６にかけて、前記第１電動モータ１４０が所定方向に回転すると、これによって従動固定滑車１３６の垂直移送ねじ１３０ａも回転して、カセット下敷台１２０を上下方向に移送させる。
【００３３】
このように一つの第１電動モータ１４０と二つの垂直移送ねじ１３０、１３０ａによって垂直変位を持つカセット下敷台１２０の上部面には所定深さを持つリセス部１２５が形成されて、前記リセス部１２５にはＬＣＤガラスカセット１５０を水平方向に移送させるための一対の水平移送ねじ１２７と第２電動モータ（図示せず）が結合設置されて、前記水平移送ねじ１２７にはＬＣＤガラスカセット１５０の底面を安着させる安着部１２９が羅合方式で水平移送ねじ１２７と結合されて、前記水平移送ねじ２７の回転方向により安着部１２９は前方または後方の水平変位を持つようになる。
【００３４】
また、図１に示すように、手動台車の所定位置には、垂直移送ねじ１３０、１３０ａにより垂直変位を発生させる第１電動モータ１４０と水平移送ねじ１２９に水平変位を発生させる第２電動モータに外部の電源が印加されるようにするため外部ＬＣＤ設備側から電源の印加を受けるための電源印加部１６０が形成されている。
【００３５】
前記電源印加部１６０は結合電極１６２と案内ピン１６４とで形成されて、この中で結合電極１６２は交流電源の入力を受けるため導電性の金属材質で一対が形成されて、案内ピン１６４は前記結合電極１６２の両側に形成され結合電極１６２の位置を決定してＬＣＤ設備側結合電極（図示せず）と結合された後、搖動が他の外力により前記結合電極１６２が破損されることを防止する役割をする。ここで案内ピン１６４は非常に低い固有抵抗を持っている。
【００３６】
前記のように、電源印加部１６０により印加された電源は、再度所定実効値を持つ交流電源を変圧する電源変圧部（図示せず）と、電圧降下された交流電源を直流に整流する整流部（図示せず）とを含んでいる電源装置（Ｐｏｗｏｒ  Ｓｕｐｐｌｙ）１６６と連結されている。
【００３７】
前記パワーサプライ１６６の電源出力端子の中で一つは、第１電動モータ１４０と第２電動モータ（図示せず）の電源入力端子と電力ケーブル（Ｐｏｗｅｒ  Ｃａｂｌｅ）を通して電気的に連結されて、他の電源出力端子は第１電動モータ１４０と第２電動モータを駆動させるモータ駆動部１７０及びモータ駆動部１７０に制御信号を発生させるコントロールユニット（Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｕｎｉｔ）１８０と連結されている。
【００３８】
また、前記コントロ‐ルユニット１８０は、作業者により選択された作業に該当するパルス（Ｐｕｌｓｅ）信号を発生させる調節パネルまたは調節ノブ１９０と電気的に連結されている。
【００３９】
このように多様な構成要素を含んでいる本体１１０の基底面には手動台車を任意の方向に移動可能にするキャスタ（Ｃａｓｔｅｒ）１０５が正方向に４個所形成されて、前記キャスタ１０５は弾性があるプラスチック（Ｐｌａｓｔｉｃ）系列を使用するかゴム系列を使用しても関係ない。
【００４０】
以下、図２〜図５を参照して本発明による手動台車の第２実施例について詳細に説明する。但し、前述の第１実施例と同一な構成要素に対する重複説明は省略する。
〈第２実施例〉
図２は手動台車の所定位置に設置された電源装置を示す部分切開斜視図であり、図３〜図５はこの電源装置をより詳細に示す図面である。
【００４１】
本発明の〈第２実施例〉による手動台車の電源装置は、大きくＬＣＤ設備側電源供給部と、手動台車の所定位置に設置された手動台車側電源印加部と、電源結合／解除装置とで構成されている。
【００４２】
図３に図示されるように、手動台車側電源印加部２１０は、手動台車の外側面下端の縁部に固定ねじ等により水平に結合される平板形上の固定板２１２と、前記固定板２１２の４角縁部に固定板２１２と垂直をなすように一側端部が付着されるスライドバー２１４と、前記スライドバー２１４の他側端部に付着された平板形状の支持板２１６と、前記固定板２１２と支持板２１６の間のスライドバー２１４に介在され設置される四角ブロック形状の電極ブロック２１８とで構成される。
【００４３】
また、前記電極ブロック２１８は前記スライドバー２１４により垂直上下方向に所定の変位を発生させるから、変位が発生した後（即ち、電極が結合すると）再度元位置に復帰（即ち、電極が分離された時点に戻るように）されるように、前記固定板２１２と電極ブロック２１８または電極ブロック２１８と支持板２１６の間には所定の弾性係数を持つばね２１９が介在され設置される。
【００４４】
ここで、電極ブロック２１８の底面には導電性材質になった所定長さを持つ円筒形状の二つの結合電極２１８ａが上方から下方に向って突出形成されている。
また、前記二つの結合電極２１８ａの間には、接地電極及び結合電極２１８ａを誘導して整列させる誘導作用をする結合電極２１８ａより長く突出された誘導ピン２１８ｂが形成されている。
【００４５】
この誘導ピン（Ｐｉｎ）２１８ｂの固有抵抗値は非常に小さく設定されているため、ＬＣＤガラスカセットに積載されたＬＣＤガラスの破損を発生させる静電気は手動台車の導電性本体２１０を通過した後、再度誘導ピン２１８ｂを通して手動台車の外部に出る。
【００４６】
このように構成された手動台車側電源印加部２１０が形成されている平面と同一な平面には、ブラケット（Ｂｒａｃｋｅｔ）２２０により支持される回動ローラ２２５が形成されており、前記回動ローラ（Ｒｏｌｌｅｒ）２２５から所定間隔が離隔された部分にはブラケット２３０により支持されるロッキングローラ２３３とロッキングピン２３６とが形成されている。
【００４７】
また、第１案内装置は、前記回動ローラ２２５とロッキングローラ２３３とロッキングピン２３６の３個の部材でなり、第１案内装置により手動台車側電源印加部２１０の結合位置が決定される。
【００４８】
このような手動台車側電源印加部２１０にはＬＣＤ設備側電源供給部２４０が結合されて、ＬＣＤ設備側電源供給部２４０には前記手動台車側電源印加部２１０の電極ブロック２１８に形成されている結合電極２１８ａと対応して挿入されるように電源が供給された結合溝２４５が形成されている。
【００４９】
また、前記のようなＬＣＤ設備側電源供給部２４０の一側には、前記第１案内装置の回動ローラ２２５と結合する回動ローラ案内ブロック２５０が形成されて、前記回動ローラ案内ブロック２５０には案内溝２５５が形成されて、他側にはロッキングブロック２６０が形成されて、前記ロッキングブロック２６０には第１案内装置のロッキングピン２３６と結合され前記回動ローラ２２５の動きを制限するロッキング溝２３６とロッキングローラ２３３と結合するロッキングローラ溝２６６とが形成されている。
【００５０】
前記回動ローラ案内ブロック２５０とロッキングブロック２６０は棒形状でＬＣＤ設備側に付着されている固定ブロック２７０に設置されて、前記固定ブロック２７０と回動７ローラ案内ブロック２５０とロッキングブロック２６０とは第２案内装置を形成している。
【００５１】
また、上述のＬＣＤ設備側電源供給部２４０と手動台車側電源印加部２１０が作業者の選択により結合され手動台車側電源印加部２１０に電源が供給されるように、手動台車の前記基底面には〈第２実施例〉で説明したような電源結合解除装置２８０が手動台車側電源印加部２１０と連関され形成されている。
【００５２】
図３及び図４は電源結合／解除装置を示す。
電源結合／解除装置２８０は、手動台車側電源印加部２１０の電極ブロック２１８が下方に押されるように電極ブロック２１８の上面に一側端部がかけられて、他側端部が手動台車の基底面に付着された押しレバーブラケット２８２にヒンジ（Ｈｉｎｇｅ）を媒介として結合されている押しレバー２８４と、所定長さを持つ棒形状になったその一側端部が手動台車の基底面に付着されたブラケット２８６とヒンジを媒介で回動可能に固定されて、その他側端部が手動台車の進行方向を基準で後方、即ち、後述の手動台車のハンドル（図示せず）が設置される面を貫通して突出されているフットレバー（Ｆｏｏｔ  Ｌｅｖｅｒ）２８８とで構成されている。
【００５３】
ここで、フットレバー２８８は作業者により上側から下側に押されて回動して、この時フットレバー２８８が押されて発生した回動変位角αに対応して押しレバー２８４が連動され押されて押しレバー２８４により電極ブロック２１８の結合電極２１８ａが結合溝２４５と結合されるように、フットレバー２８８は押しレバーー２８４より上側に位置してかけられて、押しレバー２８４とフットレバー２８８は相互交差されている。
【００５４】
前記フットレバー２８８が作業者により押された状態、即ち、電源が供給された状態を維持できるように、一側端部が突出された手動台車の側面にはフットレバー（Ｐｕｓｈ  Ｌｅｖｅｒ）かけ突起２８８ｂが形成されたフットレバーブラケット２８８ａが付着形成されて、作業者はフットレバー２８８をフットレバーかけ突起２８８ｂ側に移動させフットレバー２８８をロック状態に位置させることができる。
【００５５】
このように〈第１実施例〉、〈第２実施例〉には、共通的に外部ＬＣＤ設備から手動台車側の第１電動モータ１４０、第２電動モータ（図示せず）を駆動させる電源の印加を受けるための構成と二つの結合電極及び固有抵抗が非常に小さい誘導ピン２１８ｂとが形成されている手動台車側電源印加部２１０が形成されている。
【００５６】
この中で、前記誘導ピン２１８ｂは手動台車で発生する静電気を除去するため非常に重要であり、このように手動台車で発生した静電気を除去するため本発明ではカセット下敷台に安着されるＬＣＤガラスカセット１５０の一部または全部を導電性材質で構成する。
【００５７】
特に、大形ＬＣＤガラスを積載するＬＣＤガラスカセット１５０の場合、ＬＣＤガラスの自体荷重によりＬＣＤガラスの湾曲が発生するから、ＬＣＤガラスの中間部分を支持するＬＣＤガラスカセット支持台１５５が設置されて、前記ＬＣＤガラスカセット支持台１５５は導電性材質で形成されＬＣＤガラスの静電気はこのＬＣＤガラスカセット支持台１５５及び誘導ピン２１８ｂを通して接地される。
【００５８】
図６は本発明による手動台車に電源を印加する方法を示す順序図である。
図６を参照して本発明の手動台車の電源供給方法について説明すると次のようである。
まず、作業者は手動台車の本体の上面に安着されているＬＣＤガラスカセット１５０を移載及び積載するＬＣＤ製造設備側に移送する（Ｓ１）。
【００５９】
次、作業者はＬＣＤ製造設備にすでに設置されている固定ブロック２７０の第２案内装置の中で上述の回動ローラ案内ブロック２５０に、手動台車の側面に形成された第１案内装置の回動ローラ２２５を圧入して結合する。
【００６０】
このように回動ローラ案内ブロック２５０の誘導溝２５５に挿入された回動ローラ２２５はその結合状態が不安な状態であるから、再度第２案内装置のロッキングブロック２６０のロッキング溝２６３とロッキングローラ溝２６６に、第１案内装置のロッキンクローラ２３３とロッキングピン２３６を結合すると手動台車は回動ローラ案内ブロック２５０とロッキングブロック２６０と結合して安定された状態になる（Ｓ２）。
【００６１】
その後、手動台車が安定された状態になると、作業者は電源結合／解除装置２８０のフットレバー２８８を下方に押す。図４には前記フットレバー２８８の回動状態が図示されており、図面中鎖線はフットレバー２８８が押された状態を示し、実線はフットレバー２８８が押されなかった正常状態を示す。
【００６２】
次に、フットレバー２８８か押されると、フットレバー２８８が押された変位に対応して手動台車電源印加部２１０の電極ブロック２１８も押されて、電極ブロック２１８の結合電極２１９ａは第２案内装置の電極結合溝２４５に結合されＬＣＤ設備側電源が手動台車側に印加される（Ｓ３）。
【００６３】
このように結合電極２１８ａが電極結合溝２４５と結合されると、作業者はフットレバー２８８がフットレバーブラケット２８８ａのフットレバーかけ突起２８８ｂにかかて位置が固定されるようにフットレバー２８８を左側または右側に移動させる。
【００６４】
このような過程を経てＬＣＤ設備側電源は、手動台車の電源印加部２１０を通して前述の電源装置１６６を経て第１電動モータ１４０及び第２電動モータ（図示せず）を駆動可能にする電源に変換される。
【００６５】
前記変換された電源は、すぐ第１電動モータ１４０及び第２電動モータ（図示せず）と、第１電動モータ１４０及び第２電動モータを作業者の選択により制御するコントロールユニット１８０とコントロールユニット１８０により駆動パルスを発生させるモータ駆動部１７０と連結されて、その後作業者は、手動台車に設置されている調節ノブ１９０または操作パネルを操作する。
【００６６】
次に、調節ノブ１９０で発生した所定の信号が前記コントロールユニット１８０に入力されて前記コントロールユニット１８０により処理された後、発生した処理信号をモータ駆動部１７０に印加すると、モータ駆動部１７０は第１電動モータ１４０及び第２電動モータを駆動するための駆動信号を発生させる。
【００６７】
前記駆動信号によって第１電動モ‐タ１４０及び第２電動モータは駆動されて重量物であるＬＣＤガラスカセットは手動台車からＬＣＤ設備またはＬＣＤ設備から手動台車側に移送される（Ｓ４）。
【００６８】
【発明の効果】
以上のように、本発明によるＬＣＤガラスカセットを移送する移送装置である電動モータを駆動させる電源は、内装された充電用バッテリ及び充電器を使用しなく外部の無限電源の印加を受けこれを変換して使用することにより、手動台車の自体重量の減少されて、充電によるバッテリの内部エネルギー消耗による充電時間が必要なく、手動台車の効率を高める効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による手動台車の第１実施例を示す斜視図である。
【図２】  本発明による手動台車の第２実施例を示す斜視図である。
【図３】  本発明による手動台車の電源装置を示す斜視図である。
【図４】  本発明による電極結合／解除装置を示す側面図である。
【図５】  図４の正面図である。
【図６】  本発明による手動台車に電源を印加する方法を示す順序図である。
【図７】  従来のＬＣＤガラスカセット運搬用手動台車の一例を示す斜視図である。
【図８】  図７の断面を示す断面図である。
【図９】  従来のＬＣＤガラスカセット運搬用手動台車の変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１４０  電動モータ
２１０  手動台車側電源印加部
２１２  固定板
２１４  スライドバー
２１６  支持板
２１８  電極ブロック
２１８ａ  結合電極
２１８ｂ  誘導ピン
２４０  ＬＣＤ設備側電源供給部
２８０  電源結合／解除装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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