(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
細いワイヤが螺旋状に巻付けられ下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロッドバーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置されたニップローラとの間に、硬基板を挟んで送ることにより、硬基板の下面に塗布液を薄く均一に塗布する硬基板塗布装置に用いる硬基板搬送装置において、搬送路を挟んで対向し間隔を変更可能とした左右一対の側板と、硬基板の搬送方向に直交しかつ水平となるように前記側板に保持されて一定方向に同速で回転駆動される軸と、これらの平行な軸に保持されその一定外径の外周面が硬基板の両側縁の下面に転接する複数の搬送ローラと、硬基板の搬送方向に直交しかつほぼ垂直であって搬送路内側へ向かって弾性的に付勢されるように前記側板に保持された垂直な軸と、これら垂直な軸に保持されその外周面が硬基板の両側縁にほぼ水平に弾接する複数のガイドローラとを備え、前記ガイドローラは前記塗布液槽に対して硬基板の進入側および退出側にそれぞれ搬送方向に沿って複数個並設されていることを特徴とする硬基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板を用いた液晶表示板などの製造に用いられ、フォトレジストなどの塗布液を硬基板に薄く均一に塗布するための硬基板塗布装置に用いる硬基板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶板の製造工程の中には、ガラス基板などの硬基板にフォトレジストなどの塗布液を薄く均一な厚さに塗布する工程がある。例えばカラー液晶板の製造においては、透明電極を予め形成したガラス基板に、フォトレジストの機能を有する赤のカラ−モザイク液を均一に塗布した後、露光して赤に対応するカラ−モザイクを硬化させ、余分の液を除去することにより赤のカラーモザイクを形成している。そしてこれと同様な処理を緑、青、黒、透明などの他の色について繰り返している。このようにフォトレジストとなる塗布液を塗布する場合、この液は均一な厚さ（例えば１μ±３％程度）に厳密に管理して薄く塗布する必要がある。この塗布の厚さが不均一であると、光の透過率のむらが生じ、品質の低下を招くことになるからである。
【０００３】
従来はこの塗布のためにスピンコータが用いられていた。このスピンコータは回転させた基板の回転中心付近に塗布液を滴下し、この液を遠心力を利用して飛散させることにより塗布するものである。しかしこのスピンコータを用いる方法では基板の交換に手間取り作業能率が悪くなるばかりでなく、飛散して捨てられる液の量が増えることになる。このためコストアップになるという問題があった。
【０００４】
そこで水平に配設された上下一対のローラ間に基板を挟んで塗布する装置を用いることが考えられている。この装置は下のローラとなるマイクロロッドバーの下部を塗布液に浸漬し、このマイクロロッドバーとこの上方に位置するニップローラとの間に基板を挟んで送りながら、マイクロロッドバーにより基板の下面に塗布するものである。
【０００５】
ここにマイクロロッドバーは断面円形の金属ロッドの表面に細い金属ワイヤを密着するように巻き付けたもので、金属ワイヤ間の溝による毛細管現象を利用して液を塗布するものである。
【０００６】
このような塗布装置では、基板の両側に搬送方向と平行な非塗布部すなわち塗布液が塗布されない部分を形成し、この非塗布部に搬送ローラを下から転接させることによって硬基板を搬送している。ここに搬送ローラは、硬基板の左右方向（搬送方向に直交する方向）への位置ずれを防止することが必要である。
【０００７】
そこで従来は搬送ローラの外周に外径方向に突出するフランジを形成し、このフランジを硬基板の側縁に当接させていた。すなわち外周に段状に径を変化させた段付きプーリを用い、左右の段付きプーリの段部（フランジ）が硬基板の両側縁の位置変化を規制するものである。
【０００８】
【従来技術の問題点】
硬基板をマイクロロッドバーとニップローラとの間に挟んで送る際に、硬基板は僅かに左右へ振れることがある。このような硬基板の振れが発生すると、硬基板が段付きローラの段部（フランジ）に強く当たり、硬基板がこの段部と擦れて硬基板の送り速度が僅かに変動したり、硬基板の側縁がフランジにより削られて微細な粉末が周囲に拡散して塗布面の汚れ（コンタミネーション）を発生させたりする。また硬基板が搬送ローラの段部に乗り上げて搬送ラインより上方へ浮き上がることもあり得る。このような理由により、塗布面状の悪化を招くおそれがあった。
【０００９】
【発明の目的】
この発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、硬基板の塗布中に硬基板が僅かに振れた場合にも硬基板が搬送ローラに強く擦れることがなく、塗布面の汚れや塗布面状の悪化を招くおそれのない硬基板搬送装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【発明の構成】
本発明によればこの目的は、細いワイヤが螺旋状に巻付けられ下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロッドバーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置されたニップローラとの間に、硬基板を挟んで送ることにより、硬基板の下面に塗布液を薄く均一に塗布する硬基板塗布装置に用いる硬基板搬送装置において、搬送路を挟んで対向し間隔を変更可能とした左右一対の側板と、硬基板の搬送方向に直交しかつ水平となるように前記側板に保持されて一定方向に同速で回転駆動される軸と、これらの平行な軸に保持されその一定外径の外周面が硬基板の両側縁の下面に転接する複数の搬送ローラと、硬基板の搬送方向に直交しかつほぼ垂直であって搬送路内側へ向かって弾性的に付勢されるように前記側板に保持された垂直な軸と、これら垂直な軸に保持されその外周面が硬基板の両側縁にほぼ水平に弾接する複数のガイドローラとを備え、前記ガイドローラは前記塗布液槽に対して硬基板の進入側および退出側にそれぞれ搬送方向に沿って複数個並設されていることを特徴とする硬基板搬送装置、により達成される。
【００１１】
【実施態様】
図１は本発明の一実施例の全体配置図、図２はその塗布部付近の斜視図、図３は同じく平面図、図４はガイドローラとその保持器を示す平面図、図５は図４におけるＶ−Ｖ線断面図である。
【００１２】
図１〜３において、符号１０は液晶板のカラーフィルタに用いるガラス基板であり、硬基板となるものである。このガラス基板１０は例えば幅３００〜７００ｍｍ、長さ４００〜９００ｍｍ、厚さ０．７ｍｍのものである。
【００１３】
１２は塗布液槽、１４はマイクロロッドバーである。マイクロロッドバー１４は断面円形のロッドの表面に細い金属線（通常直径６０〜４００μｍ）を密着するように巻き付けたものであり、金属線間の溝による毛細管現象を利用して液を塗布するものである。マイクロロッドバー１４は塗布液槽１２の中に設けたバックアップ材１６に載った状態でモータ駆動される。
【００１４】
塗布液１８はマイクロロッドバー１４の下部が十分に浸るようにその液面が一定に管理されている。なおマイクロロッドバー１４の外径（直径）は約６〜１２ｍｍである。２０はニップローラであり、マイクロロッドバー１４の上方に所定間隙（クリヤランス）を保ちつつ回転自在に保持されている。
【００１５】
ガラス基板１０は、その左右両縁を後記する搬送ローラ２２に載せかつ後記ガイドローラ３２により左右への振れを規制した状態で図１〜３の左側から搬送され、その前縁がマイクロロッドバー１４とニップローラ２０の間に進入する。そしてそれ以後はニップローラ２０とマイクロロッドバー１４の回転により右側へ一定速度で送られ、その間にマイクロロッドバー１４よってガラス基板１０の下面に液が塗布されるものである。
【００１６】
マイクロロッドバー１４はその上部が液から露出するように水平に保持されている。またマイクロロッドバー１４の中間部分は図２に示したバックアップ部材１６により下方から支持されている。このバックアップ部材１６は、摺動性に優れた硬質の合成樹脂で作られ、その上面に長手方向に沿って形成された半円形の溝がマイクロロッドバー１４に下方から当接してマイクロロッドバー１４のたわみを防止するものである。なおこのバックアップ部材１６は塗布液槽１２に直接固定してもよいが、着脱を容易にするためにステンレスなどの金属材料に固定しておき、この金属材料を塗布液槽から着脱可能としたものでもよい（特公昭５８−４５８９号参照）。
【００１７】
マイクロロッドバー１４の一端（図１における奥側の端）は塗布液槽１２より後方へ突出し、この突出端は着脱自在な継手によって電動モータ（図示せず）に接続されている。この電動モータの回転は搬送ローラ２２にも伝えられガラス基板１０の送り速度が搬送ローラ２２の搬送速度と等速になるようにされる。前記ニップローラ２０の表面は導電性ゴムで作られ、マイクロロッドバー１４との間にガラス基板１０を挟んだ状態でガラス基板１０に所定の挟圧力を付与するように保持されている。
【００１８】
次に搬送装置を説明する。図において符号２２は搬送ローラであり、その外周面は一定外径で段状のフランジは無い。搬送ローラ２２は、搬送路を挟んで対向する左右一対の側板２４、２４に支持されている。すなわち側板２４、２４には、搬送方向に一定間隔をもって多数の軸２６が貫通して回転自在に保持され、各軸２６の搬送路内側の端に前記搬送ローラ２２が固定されている。
【００１９】
軸２６の他端すなわち側板２４の外側の端にはプーリ２８が固定されている。各プーリ２８にはベルト３０が巻掛けられ、図示しない電動モータにより各搬送ローラ２２は一定方向に同速で回転駆動される。なお側板２４、２４はその間隔が変更可能であり、ガラス基板１０の幅に対応して左右の搬送ローラ２２の間隔を適正にするように調整することができる。
【００２０】
側板２４、２４の対向面すなわち搬送路内側の面には、多数のガイドローラ３２を保持する保持器３４がそれぞれ固定されている。保持器３４は、搬送路に沿って長く作られ、垂直な軸回りに回転する小径のガイドローラ３２を、搬送ローラ２２の間からガラス基板１０を臨む位置に保持する。
【００２１】
この保持器３４は、次のように構成される。すなわち図５に示すように長いブロック材３６を上下一対の板材３８、３８で挟んで固着した三層構造を持つ。各板材３８、３８には、図４に示すように搬送ローラ２２の間に突出する突部４０が一体に形成されている。各板材３８、３８の突部４０、４０には、突出方向に長い長孔４２、４２が形成され、ここにガイドローラ３２の軸４４の両端が係入している。
【００２２】
この軸４４にはまた、ガイドローラ３２を遊転可能に挟む断面コ字状のスライド部材４６が係合している。スライド部材４６には、ガイドローラ３２の径方向へのびるロッド４８が固定されている。ロッド４８は、ブロック材３６に形成した搬送方向に直交する水平なばね装填孔５０内に挿入されている。このばね装填孔５０内には、このロッド４８をガイドローラ３２側へ突出させる方向に付勢するコイルばね５２が装填されている。
【００２３】
この結果ガイドローラ３２はこのコイルばね５２により搬送路内側へ向って弾性的に付勢される。ここにガイドローラ３２のストローク範囲は、長孔４２内で軸４４が遊動する範囲である。このようにガイドローラ３２を保持する保持器３４は、保持器３４の両端に位置するＬ字アングル材５４、５４によって側板２４に固定される。
【００２４】
ここにガイドローラ３２と搬送ローラ２２とは、図５に示すようにガラス基板１０の両縁を外側方および下方からそれぞれ支持する。すなわち搬送ローラ２２はガラス基板１０の側縁下面に約２ｍｍ幅で転接し、ガイドローラ３２は側縁に水平方向から弾接する。なお側板２４の位置は可変であるから、左右の側板２４、２４の間隔を調節することにより、ガイドローラ３２の圧力すなわちコイルばね５２の反発力を調節できる。
【００２５】
今ガラス基板１０がガイドローラ３２に左右の振れを規制されながら、搬送ローラ２２により送られ、塗布部に入る状態を考える。ガラス基板１０の前縁がマイクロロッドバー１４とニップローラ２０との間隙に入る際に、ガラス基板１０が左右に僅かに振れることがある。また塗布中には、マイクロロッドバー１４のワイヤが螺旋状に巻かれているために、ガラス基板１０との間の摩擦力によりガラス基板１０が僅かに左右に振れることがある。
【００２６】
このようにガラス基板１０が僅かに左右に振れると、ガイドローラ３２はコイルばね５２の作用によりガラス基板１０の側縁に密着しつつ進退出する。このためガラス基板１０の側縁に無理な力が作用せず、ガラス基板１０の側縁をガイドローラ２２が削ってガラス粉を周囲に拡散させたり、このガラス粉が塗布面に付着して塗布面状を悪化させるおそれがない。またガイドローラ３２には段部を設ける必要も無くガラス基板がこの段部に乗り上げることもないから、ガラス基板の浮き上がりによる塗布面状の悪化も生じない。
【００２７】
【発明の効果】
請求項１の発明は以上のように、硬基板の両側縁の下面に外周面が一定外径の搬送ローラを転接させて搬送する一方、ほぼ垂直であって搬送路内側へ向かって弾性的に付勢された軸に保持されたガイドローラを硬基板の進入側および退出側に搬送方向に沿って複数個並設し硬基板の両側縁に弾接させたものであるから、硬基板が塗布時に僅かに左右に振れてもガイドローラの進退出動によりこの振れを吸収することができる。
【００２８】
このため硬基板が左右に振れても搬送ローラと間で硬基板が強く擦られることがなくなる。この結果硬基板と搬送ローラとの擦れにより硬基板の側縁が削られたり、削られた硬基板の粉末が周囲に拡散するおそれが無くなり、特に塗布液を薄く均一に塗布する場合に塗布面の汚れや塗布面状の悪化を招くおそれがない。また搬送ローラを保持する軸と、ガイドローラを保持する軸は、共に間隔を変更可能とした側板に保持しているので、側板の間隔を硬基板の幅に対応して調節できると共に、側板の間隔を調節することによりガイドローラの硬基板に対する圧力を調節できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施態様の全体配置を示す正面図
【図２】その塗布部付近の斜視図
【図３】同じく平面図
【図４】ガイドローラとその保持器を示す平面図
【図５】図４におけるＶ−Ｖ線断面図
【符号の説明】
１０  硬基板
１２  塗布液槽
１４  マイクロロッドバー
２０  ニップローラ
２２  搬送ローラ
２４  側板
３２  ガイドローラ
３４  保持器
５２  コイルばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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