(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
繰り返し周波数ｆの第一の矩形波信号における矩形波のパルス幅の変化量で或る量Aを表し、該第一の矩形波信号を処理し、量Aの二乗値A2を表す二乗値信号を生成する二乗回路であり、
前記第一の矩形波信号の振幅の平均を表す第一の平均信号を生成する第一の平均手段と、
前記第一の平均信号と接地電圧などの一定値とを前記第一の矩形波信号に同期して交互に選択し、振幅が該第一の平均値と該一定値との差の値であり、パルス幅が該第一の矩形波信号のパルス幅である第二の矩形波信号を生成する選択手段と、
前記第二の矩形波信号の振幅の平均を表す第二の平均信号を生成し、該第二の平均信号の変化量を前記二乗値信号として出力する第二の平均手段と
を備えることを特徴とする二乗回路。
【請求項２】
前記第一の平均手段は、前記第一の矩形波信号を入力する第一の濾波器と、該第一の濾波器の出力を増幅又は減衰することにより前記第一の平均信号を生成する振幅調整回路とでなり、
前記第二の平均手段は、前記第二の矩形波信号を入力とする第二の濾波器である
ことを特徴とする請求項１に記載の二乗回路。
【請求項３】
加速度その他のベクトル量が入力されたときに、互いに直交するｎ軸（ｎは２又は３）に関する該ベクトル量の成分を感知し、ｎ軸それぞれの成分を出力するｎ軸センサから該ｎ軸それぞれの成分を受け、ｎ軸それぞれの成分の二乗和を生成する信号処理回路において、
請求項１又は２に記載のｎ個の二乗回路と、これらｎ個の二乗回路の出力である前記二乗信号を加算し前記二乗和として出力する加算器とを備え、
前記ｎ個の二乗回路は前記ｎ軸にそれぞれに対応して設けてあり、
前記各二乗回路は、前記第一の矩形波信号を生成するパルス幅変調器を備え、
各前記パルス幅変調器は、対応する前記軸の成分に応じて前記第一の矩形波信号のパルス幅を変調する
ことを特徴とする信号処理回路。
【請求項４】
矩形波信号であるクロック信号を出力するクロック回路を備え、
前記パルス幅変調器は、前記クロック信号を受け、対応する前記軸の成分でもって該クロック信号のパルス幅を変調することにより前記第一の矩形波信号を生成する
ことを特徴とする請求項３に記載の信号処理回路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ベクトル量（加速度など）が複数の基準軸を有する物理量センサ（加速度センサなど）に入力されたとき、複数の基準軸におけるベクトル量の成分の二乗和、ひいては該ベクトル量の大きさを演算する信号処理回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
力センサ、圧力センサ、加速度センサ、角加速度センサ、磁気センサ、光センサ、焦電センサなどの直交２軸を有する物理センサにおいて、センサの検出する物理量の方向に依らない絶対量が必要な場合、従来は直交２軸の二乗和の平方根を求めていたが、実現する回路は高価で複雑であった。一般的には二乗和の平方根を演算する回路は主として二乗回路と根を求める回路で構成される。二乗回路および根を求める回路でなる二乗和平方根回路は、環境の影響を受けにくくするため、よく整合のとれたトランジスタ対をそれぞれ必要とする。そこで、二乗和平方根回路は、回路構成が複雑で高価なものとしている。
【０００３】
例えば、集積回路で構成した二乗和平方根回路としては、図４のようなものが公表されている。図４はマグロウヒル社が昭和５８年に刊行した「演算増幅器」のＰ３２７−Ｐ３３２に記載されている演算増幅器の回路図である。図４においてＶ１＝Ｖ２とすることで二乗回路を構成することができる。図４の回路において電界効果トランジスタＱ１及びＱ２は、よく整合がとれの特性を有する必要がある。図４の例では最大誤差はフルスケールの４．４％と見積もられている。根を求める根生成回路は、除算器の出力を入力にフィードバックする回路でもって実現できる。このような回路構成の根生成回路における誤差の合計は、１０％程度になると思われる。
【０００４】
このように、従来の二乗和平方根回路は、複雑な回路である上に、精密な物理量測定には回路のさらなる調整を必要とし、簡単で安価な構成とはなり得ない。簡単で安価な構成で二乗和平方根を算出する方法として、特公昭５８−３４８６５に記載のものが提案されている。この二乗和平方根算出方法は、直交２軸の第一象現（０度から９０度）に注目して角度を３等分（０度、３０度、６０度）し、各々の角度のセンサ出力に補正処理を行うという方法である。具体的には、０度から３０度までの範囲では、０度向きのセンサ出力を適用する。６０度から９０度までの範囲では、９０度向きのセンサ出力を適用する。３０度から６０度までの範囲では、０度向きのセンサ出力と９０度向きのセンサ出力の和に係数としてＣＯＳ４５°＝０．７０７を乗じた値を適用する。この方法によれば誤差は７．６％と見積もられる。かかる公開発明においては３等分であったが、等分する角度を増加すれば更に誤差を少なくすることができる。また、この二乗和平方根算出方法は、比較的簡素な構成でかつ無調整で動作させることができる回路で実現できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、特公昭５８−３４８６５の方法は直交２軸の第一象現にのみ着目している。０度から３６０度の範囲におけるセンサ出力に対してその方法を適用する回路を実現するためには、直交２軸のセンサ出力の絶対値を求める絶対値回路を前置回路として設ける必要がある。絶対値回路が前置回路として必要であることから、特公昭５８−３４８６５の方法を０度から３６０度の範囲で適用する二乗和平方根算出回路は、簡素な構成では実現できず、低コスト化が困難であった。本発明は、以上の課題に鑑みて成されたものであり、０度から３６０度の範囲に対して感度を有する物理量センサに適用し、該物理量センサの複数の軸に関し検知されるベクトル量成分の二乗和を、簡素な構成で算出でき、ひいては安価に製造できる信号処理回路の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するための本発明が要旨とするところは、次の各項の発明に存する。
【０００７】
［１］繰り返し周波数ｆの第一の矩形波信号における矩形波のパルス幅の変化量で或る量Aを表し、該第一の矩形波信号を処理し、量Aの二乗値A2を表す二乗値信号を生成する二乗回路であり、
前記第一の矩形波信号の振幅の平均を表す第一の平均信号を生成する第一の平均手段と、
前記第一の平均信号と接地電圧などの一定値とを前記第一の矩形波信号に同期して交互に選択し、振幅が該第一の平均値と該一定値との差の値であり、パルス幅が該第一の矩形波信号のパルス幅である第二の矩形波信号を生成する選択手段と、
前記第二の矩形波信号の振幅の平均を表す第二の平均信号を生成し、該第二の平均信号の変化量を前記二乗値信号として出力する第二の平均手段と
を備えることを特徴とする二乗回路。
【０００８】
［２］前記第一の平均手段は、前記第一の矩形波信号を入力する第一の濾波器と、該第一の濾波器の出力を増幅又は減衰することにより前記第一の平均信号を生成する振幅調整回路とでなり、
前記第二の平均手段は、前記第二の矩形波信号を入力とする第二の濾波器である
ことを特徴とする前記［１］に記載の二乗回路。
【０００９】
［３］加速度その他のベクトル量が入力されたときに、互いに直交するｎ軸（ｎは２又は３）に関する該ベクトル量の成分を感知し、ｎ軸それぞれの成分を出力するｎ軸センサから該ｎ軸それぞれの成分を受け、ｎ軸それぞれの成分の二乗和を生成する信号処理回路において、
前記［１］又は［２］に記載のｎ個の二乗回路と、これらｎ個の二乗回路の出力である前記二乗信号を加算し前記二乗和として出力する加算器とを備え、
前記ｎ個の二乗回路は前記ｎ軸にそれぞれに対応して設けてあり、
前記各二乗回路は、前記第一の矩形波信号を生成するパルス幅変調器を備え、
各前記パルス幅変調器は、対応する前記軸の成分に応じて前記第一の矩形波信号のパルス幅を変調する
ことを特徴とする信号処理回路。
【００１０】
［４］矩形波信号であるクロック信号を出力するクロック回路を備え、
前記パルス幅変調器は、前記クロック信号を受け、対応する前記軸の成分でもって該クロック信号のパルス幅を変調することにより前記第一の矩形波信号を生成する
ことを特徴とする前記［３］に記載の信号処理回路。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の一実施の形態である信号処理回路を示す構成図である。ただし、図１にはこの信号処理回路を適用する物理量センサ１０が含まれている。物理量センサ１０は、加速度センサ等の容量検出型センサであり、直交するＸ軸及びＹ軸を感知軸としている。そこで、加速度などのベクトル量が物理量センサ１０に入力されると、物理量センサ１０はそのベクトル量のＸ軸成分xおよびＹ軸成分yを出力する。容量検出型センサは、入力ベクトル量のＸ軸成分xおよびＹ軸成分yを、容量の変化量に変換し、Ｘ軸センサ信号xおよびＹ軸センサ信号yとしてそれぞれ出力する。
【００１２】
Ｘ軸センサ信号xは第１のパルス幅変調器２０に伝達され、Ｙ軸センサ信号は第２のパルス幅変調器３０に伝達される。まず、Ｘ軸センサ信号xを処理する回路について説明する。クロック回路１１は、矩形波であるクロック信号を第１のパルス幅変調器２０及び第２のパルス幅変調器３０に出力する。第１のパルス幅変調器２０は、クロック回路１１の出力のクロック信号に同期するとともに、物理量センサ１０出力のＸ軸センサ信号xのレベルに応じパルス幅を変調したパルス幅変調信号を出力する。Ｘ軸センサ信号xは容量の変化であるから、第１のパルス幅変調器２０はその容量の変化に応じて入力クロック信号のパルス幅を変化させることにより、パルス幅変調信号を生成する。パルス幅変調信号は矩形波であり、前述の第一の矩形波信号に相当する。このパルス幅変調信号は、振幅が一定であり、パルス幅の変化量がＸ軸センサ信号xに対応している信号である。そこで、このパルス幅変調信号の平均値は、このパルス幅変調信号のパルス幅に比例する。そこで、パルス幅変調信号の平均値の変化量は、Ｘ軸センサ信号x（物理量センサ１０のX軸用容量要素における容量の変化）に対応している。
【００１３】
第１の濾波器２１は、入力されたパルス幅変調信号が有するクロック周波数付近の成分を濾波し、そのパルス幅変調信号を整流した直流信号を生成する。この直流信号の振幅はパルス幅変調信号の振幅の平均値を表している。第１の増幅器２２は、第１の濾波器２１から出力される直流信号を受け、その直流信号のレベルを増幅し、レベルを調整した直流信号を第１の切替器２３に供給する。第１の増幅器２２による直流信号のレベルの増幅は、第１のパルス幅変調器２０から出力され第１の切替器２３に導かれるパルス幅変調信号の平均値に等しいレベルに、入力直流信号のレベルを調整し、レベル調整をした直流信号を第１の切替器２３に供給するために行われる。そこで、第１の増幅器２２から出力される直流信号のレベルは、Ｘ軸センサ信号xを表している。第１の濾波器２１及び第１の増幅器２２でなる回路は、前述の第一の平均手段に相当する。
【００１４】
第１の切替器２３は、第１のパルス幅変調器２０から伝達されたパルス幅変調信号のレベルが高低する度に、第１の増幅器２２から出力された直流信号と接地電圧とを交互に選択し、出力する。そこで、第１の切替器２３の出力は矩形波信号である。この矩形波信号の振幅は、第１の増幅器２２から出力される直流レベルである。また、その矩形波信号のパルス幅は、第１のパルス幅変調器２０から伝達されたパルス幅変調信号のパルス幅である。そこで、第１の切替器２３から出力される矩形波信号では、振幅およびパルス幅が共にＸ軸センサ信号xを表す。第１の切替器２３は前述の第一の選択手段に相当する。また、第１の切替器２３の出力である矩形波信号は前述の第二の矩形波信号に相当する。第３の濾波器２４は、入力された矩形波信号が有するクロック周波数付近の成分を濾波し、その矩形波信号を整流した直流信号を生成する。この直流信号の振幅における変化量は、第３の濾波器２４に入力された矩形波信号の平均値を表している。そして、該直流信号の振幅の変化量はＸ軸センサ信号xの二乗x2を表している。
【００１５】
続いてＹ軸センサ信号の処理回路を説明する。Ｙ軸センサ信号の処理回路は基本的にはＸ軸センサ信号処理回路と同一の構成である。両処理回路の相違は、処理する信号が、Ｘ軸センサ信号処理回路ではＸ軸センサ信号xあったのに対し、Ｙ軸センサ信号処理回路ではＹ軸センサ信号yある点である。したがって、第２の切替器３３から出力される矩形波信号では、振幅およびパルス幅が共にＹ軸センサ信号yを表している。第４の濾波器３４から出力される直流信号は、加算器１２に入力される。第４の濾波器３４の出力は、直流信号であり、この直流信号の振幅における変化量は、第４の濾波器３４に入力された矩形波信号の平均値を表している。そして、該直流信号の振幅の変化量はY軸センサ信号yの二乗y2を表している。
【００１６】
加算器１２は、Ｘ軸センサ信号xの二乗x2を変化量で表す直流信号（第３の濾波器２４の出力）と、Y軸センサ信号yの二乗y2を変化量で表す直流信号（第４の濾波器３４の出力）とを加算し、Ｘ軸センサ信号xとY軸センサ信号yとの二乗和 x2＋y2を生成する。図１の回路の作用の詳細を図２を参照して次に詳しく説明する。
【００１７】
図１を参照して説明したように、第１の切替器２３および第２の切替器３３で切替処理をし、第３の濾波器２４及び第４の濾波器３４でこれら切替器の出力の矩形波信号に平均処理を施した。これら切替処理および平均処理により、第１のパルス幅変調器２０および第２のパルス幅変調器３０でそれぞれ生成されるパルス変調波信号のパルス幅の変化量の二乗が得られる作用を、図２に基づいて説明する。
【００１８】
図２は、センサ信号x,yを処理する図１の回路における各部信号のタイミング図を表す。図２−１は、クロック回路１１から出力されるクロック信号のタイミング図である。クロック信号はデューティ比５０％矩形波信号であり，そのクロック周期は１μＳである。クロック信号の振幅は５Vppであり、その低電位は接地電位である。図２−２は、容量の変化として物理量センサ１０から出力されるセンサ信号を表す。センサ信号x,yは容量の変化である。ここではセンサ信号xに替えて、容量の変化量aでもってセンサ信号xを表記している。同様に、センサ信号yに替えて、容量の変化量bでもってセンサ信号yを表記している。
【００１９】
物理量センサ１０から出力されるＸ軸センサ信号xおよびＹ軸センサ信号yは、Ｘ軸センサの容量変化がａ[ｐＦ]であり、Y軸センサの容量変化がｂ[ｐＦ]であるとする。図２−２では、Ｘ軸センサ信号xが基準の容量である５０[ｐＦ]からａ[ｐＦ]だけ減少したことを表している。
【００２０】
図１を参照して説明したように、Ｘ軸とＹ軸のセンサ信号の処理は加算器１２までは同一の内容であるから、以下の図（図２−３から図２−７まで）ではＸ軸のセンサ信号xの処理について説明する。図２−３に示すように、第１のパルス幅変調器２０は、第１のパルス幅変調器２０におけるパルス幅変調特性に従い、物理量センサ１０の出力である容量変化量ａ[ｐＦ]に対応する時間幅αだけ、クロック信号のパルス幅を変化させたパルス幅変調信号を生成する。図２−３では、クロック信号である矩形波の立ち上がり及び立下り時点にα／２時間だけ変化を与え、クロック信号よりα時間だけ狭いパルス幅のパルス幅変調信号を生成している。第１の濾波器２１は、パルス幅変調信号の振幅の平均を直流信号として出力するから、その直流信号のレベルはαに比例した値だけ減少する。第１の濾波器２１の出力である直流信号のレベルは、入力のパルス幅変調信号のデューティー比が５０％のとき、５Ｖdcの１／２よりやや低い値である。
【００２１】
図２−４は、第１の増幅器２２による増幅の度合いを表わしている。第１の増幅器２２の作用については、図１を参照して説明した。第１の増幅器２２は、第１の切替器２３に分岐入力された第１のパルス幅変調器２０からのパルス幅変調信号の平均電圧（５Vdcの１／２）と等しい電圧になるように、第１の濾波器２１の出力の直流信号を増幅する。第１のパルス幅変調器２０からのパルス幅変調信号では、連続する矩形波のパルス幅が全てαづつ減少している。そこで、矩形波であるパルス幅変調信号のＯＮ領域の面積を考えると、第１のパルス幅変調器２０から出力されるパルス幅変調信号の平均電圧５Ｖdcの１／２（基準電圧）からαだけ減少した値になることがわかる。従って図２−４は、第１の増幅器２２での増幅作用としては５Ｖdcの１／２からαだけ減少した値に調整されていることを示している。
【００２２】
図２−５は、第１の切替器２３での切替処理によって出力される矩形波信号を表している。即ち、第１のパルス幅変調器２０からはクロック信号よりαだけ狭いパルス幅のパルス幅変調信号が入力され、第１の切替器２３における切替処理のタイミングを与える。また、第１の増幅器２２からは基準電圧の５Vdcよりαだけ減じられた直流信号が第１の切替器２３に入力される。これらの信号入力に応じ、上述のタイミングで切替処理すると、図２−５にあるパルス幅、高さともにαだけ減じられた矩形波信号が生成されて出力される。この矩形波信号におけるパルス幅および振幅の変化量を考えると、第１の切替器２３から出力される矩形波信号の平均レベルは、第１のパルス幅変調器２０から伝達されたパルス変調信号におけるパルス幅の変化量αの二乗に相当することになる。
【００２３】
図２−６は、第３の濾波器２４で第１の切替器２３から伝達された矩形波信号を濾波した直流信号のレベル（第１の切替器２３から出力される矩形波信号の平均レベル）が電圧値５Vdc−α2であることを表している。
【００２４】
Ｙ軸のセンサ信号の処理については第２のパルス幅変調器３０において物理量センサ１０から出力された容量変化量ｂ[ｐＦ]に対して電圧変化量がβであるとすると上述の一連の処理が同様に行われ、第４の濾波器３４において直流信号のレベル５Vdc−β2が加算器１２に出力されることになる。図２−７は、加算器１２がＸ軸及びＹ軸に関する直流信号を加算した値である５Vdc−（α2＋β2）が出力されることを示す。但し、加算器１２が半導体集積回路製の論理回路でなるから、加算器１２における加算は、入力における固定値５Vdc成分からの変化分α2及びβ2について行われる。また、この論理回路の特性から、加算器１２の出力も固定値５Vdcから変化分（α2＋β2）を減じたレベルとなる。加算器１２の出力の変化分として、加算値を得ることができる。
【００２５】
以上の信号処理により、直交２軸のセンサ出力はα2＋β2 という物理量の方向に依らない絶対量の二乗値に変換される。次の処理では二乗値のまま使用することも、平方根回路を追加して根である√（α2＋β2）に変換して使用することも可能である。図１では直交２軸のセンサ出力の二乗値を濾波器を通して加算器で処理する構成を採ったが、比較的高速な加算器で加算してから濾波器を通す処理にしても図１の実施の形態と同様に物理量の方向に依らない絶対量の二乗値を得ることができる。また、容量検出型物理量センサの直交２軸のセンサ出力がパルス幅変調値として出力される場合、物理量センサのＸ軸、Ｙ軸のパルス幅変調出力と、これらを平均化した出力を切替器によりＯＮ、ＯＦＦすることで元の物理量センサの各軸の出力の二乗値を得ることができる。この値を図１で説明した濾波器で処理し、加算器で加算することで物理量の方向に依らない絶対量の二乗和を得ることができる。この構成によれば図１のように電圧信号に変換する構成ではないので誤差要因である素子数を減じることができ、切替器と加算器の誤差の合計分としても２％程度の誤差ですむことが判明している。以上で説明したセンサ出力の二乗値に変換する処理構成は直交２軸の物理量センサに限らず、直交３軸の物理量センサについても適用することができる。３軸の出力のそれぞれについてセンサ出力の二乗値に処理変換し、加算器によって３軸分の二乗和を演算させる構成を採ればよい。
【００２６】
図３は図１の構成をより具体的な素子によって表した回路構成図である。図１の物理量センサ１０に相当するものとして２軸容量検出型加速度計１００用いた場合を想定している。２軸容量検出型加速度計１００の直交２軸であるＸ軸およびＹ軸の容量はそれぞれの加速度の変化により、増加および減少する差動容量（単位ｐＦ）として２つの出力を有する。また、第１のパルス幅変調器２０と第２のパルス幅変調器３０に相当するものとして第１の排他的論理和素子部２００と第２の排他的論理和素子部３００が備えられる。
【００２７】
２軸容量検出型加速度計１００のＸ軸のセンサ出力が処理変換される流れについて説明する。まず、第１の排他的論理和素子部２００の内部構成について説明する。クロック回路１１から出力される矩形波は第１の排他的論理和素子部２００に分岐入力される。並列抵抗２０１から伸びたそれぞれの信号線にはＸ軸の正負２本のセンサ出力がそれぞれ合流し、排他的論理和素子２０２に結線される。この構成によってクロック回路１１の矩形波出力は２軸容量検出型加速度計１００のセンサ容量と並列抵抗２０１とによってパルス幅を変調され、更に排他的論理和素子２０２によって充放電波形として第１の濾波器２１０と第１の切替器２３０に分岐出力される。
【００２８】
第１の濾波器２１０は図１の第１の濾波器２１を具体的に表したものであり、抵抗２１１と接地コンデンサ２１２とから成る。作用は第１の濾波器２１と同様で、矩形波を濾波して直流状の電圧信号に変換し、第１の増幅器２２に伝達するものである。第１の増幅器２２は第１の切替器２３０に入力される電圧信号の平均電圧に等しくなるように第１の濾波器２１０からの直流信号を調整増幅し、第１の切替器２３０に入力する。第１の切替器２３０はＣ−ＭＯＳトランジスタでなる。図１で説明した切替作用によって第１のパルス幅変調器２００から出力された電圧信号の二乗に相当する直流信号を生成し、第２の濾波器２４０に出力する。第２の濾波器２４０は、図１の第３の濾波器２４を具体的に表したものであり、抵抗２４１と接地コンデンサ２４２とから成る。作用は第３の濾波器２４と同様で、矩形波を濾波して再び直流信号に変換し、加算器１２に伝達するものである。２軸容量検出型加速度計１００のＹ軸のセンサ出力が処理変換される流れは上述のＸ軸の処理の流れと全く同じである。第２の濾波器２４０から伝達された二乗処理済みの電圧信号と第４の濾波器３４０から伝達された二乗処理済みの電圧信号はともに加算器１２に伝達され、加算することで加速の方向に依らない加速度の絶対値の二乗和を得ることができる。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は、上述の実施の形態で説明したように、物理量センサの検出値によりパルス幅変調器を変調し、矩形波のパルス幅変調信号を生成し、矩形波のパルス幅の変化で検出値を表し、更に平均手段によりパルス幅変調信号の平均信号を生成し、選択手段によりパルス幅の変化分と振幅の変化分との積を生成することにより、物理量センサの検出値の二乗を得ている。更に物理量センサの複数の基準軸に沿う検出値のそれぞれについて上述の積に変換する処理を行い、最終的に全ての積を加算器で加算して二乗和を演算する構成を採っている。この構成により、物理量の方向に依らない絶対量の二乗値を出力することができ、０度から３６０度の範囲に対して感度を有することを仕様とする物理量センサに適用する信号処理回路において、安価かつ簡素な構成で、しかも高精度の演算をする信号処理回路を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る物理量センサを含む信号処理回路の構成図を表す。
【図２】図１の構成でセンサ信号を処理する際のタイミング図を表す。
【図３】図１の構成をより具体的な素子によって表した回路構成図である。
【図４】従来の二乗回路の一例であるマグロウヒル社が昭和５８年に刊行した「演算増幅器」のＰ３２７−Ｐ３３２に記載されている演算増幅器の回路図である。
【符号の説明】
１０…物理量センサ
１１…クロック回路
１２…加算器
２０…第１のパルス幅変調器
２１…第１の濾波器
２２…第１の増幅器
２３…第１の切替器
２４…第３の濾波器
３０…第２のパルス幅変調器
３０…第２のパルス幅変調器
３１…第２の濾波器
３２…第２の増幅器
３３…第２の切替器
３４…第４の濾波器
１００…２軸容量検出型加速度計
２００…第１の排他的論理和素子部
２０１…並列抵抗
２０２…排他的論理和素子
２１０…第１の濾波器
２１１…抵抗
２１２…接地コンデンサ
２３０…第１の切替器
２４０…第２の濾波器
２４１…抵抗
２４２…接地コンデンサ
３００…第２の排他的論理和素子部
３０１…並列抵抗
３０２…排他的論理和素子
３１０…第２の濾波器
３１１…抵抗
３１２…接地コンデンサ
３３０…第２の切替器
３４０…第４の濾波器
３４１…抵抗
３４２…接地コンデンサ
【図１】
0003747153.tif 000002
【図２】
0003747153.tif 000003
【図３】
0003747153.tif 000004
【図４】
0003747153.tif 000005