(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端が開口し且つ内面に誘電体層が形成されている筒状の接地電極及び接地電極の内側に空隙を介して配置され且つ内部に導入された冷却水によって冷却される両端閉止構造の筒状の高電圧電極からなるオゾン発生管と、両端が開口している筒状の胴部及び開口部を気密に塞ぐための２つの側板からなり且つ前記オゾン発生管を内蔵する１つの筐体と、前記筐体と前記接地電極との間に設けられ前記接地電極を冷却するための水ジャケットと、前記オゾン発生管に電力を供給する電源とを備え、前記筐体内に導入された酸素を含む原料ガスの放電によってオゾンを生成する両面冷却オゾナイザにおいて、
前記筐体に内蔵される１つの前記オゾン発生管と、このオゾン発生管の前記高電圧電極の両端に取り付けられて前記高電圧電極と前記電源とを接続し冷却水を導入あるいは排出し且つ先端部にネジを有する金属パイプと、この金属パイプの外周部に側板を貫通し且つ金属パイプを貫通させている絶縁部材とを備え、この絶縁部材から突出している前記金属パイプのネジをソケットで気密に締め込まれていることを特徴とする両面冷却オゾナイザ。
【請求項２】
前記金属パイプに少なくとも１つの環状溝を備え、且つその環状溝にＯリングを嵌め込まれていることを特徴とする請求項１に記載の両面冷却オゾナイザ。
【請求項３】
前記絶縁部材につばを備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の両面冷却オゾナイザ。
【請求項４】
前記電源の接地電位側に接続され、前記筐体に気密に貫通させられ、且つ前記接地電極に接触させられている導電性のネジを備えていることを特徴とする請求項１ないし３の何れかの項に記載の両面冷却オゾナイザ。
【請求項５】
前記水ジャケットの内部を、螺旋状の仕切り部材によって螺旋状に連続している空間に仕切っていることを特徴とする請求項１ないし４の何れかの項に記載の両面冷却オゾナイザ。
【請求項６】
前記筐体の軸方向が垂直になるように筐体を配置し、冷却水の入口を筐体の下部に、冷却水の出口を筐体の上部に設けていることを特徴とする請求項１ないし５の何れかの項に記載の両面冷却オゾナイザ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、水処理などに用いられるオゾンを生成するためのオゾナイザの内の、特に高濃度オゾンを発生できる両面冷却オゾナイザに関する。
【０００２】
【従来の技術】
オゾナイザは、オゾンのもつ殺菌・脱色・脱臭力を利用するために、水処理施設などにおいて広く使用されている。
図８は、本出願人が出願している特願平8-135608号に記載されている両面冷却オゾナイザの構成をモデル化して示したもので、（ａ）は全体の断面図、（ｂ）はオゾン発生管の一部を拡大して示す部分断面図である。
【０００３】
オゾナイザの筐体は、両端が開口している筒状をしたステンレス鋼からなる胴部１と、その両開口端部に締め付けられている２つステンレス鋼からなる側板21及び22とによって構成されている。２つの側板21及び22と胴部１とは気密に結合される必要があるため、両開口端部のそれぞれに平パッキン（図６では単にパッキン）81及び82を介して、図示していないネジなどの締め付け手段を用いて結合されている。胴部１の内面側には、多数のオゾン発生管を保持するための、少なくとも一対のステンレス鋼からなる支持板41及び42が互いに適当な間隔をおいて嵌め込まれている。胴部１の管壁には、側板21と側板21側の支持板41との中間の位置に、原料ガスを供給するためのガス入口11があり、反対側の側板22と側板22側の支持板42との中間の位置に、生成されたオゾンを含むガスを取り出すためのガス出口12がある。更に、２つの支持板41及び42の中間の位置に、冷却水を流入させるための冷却水入口13と、冷却水を排出する冷却水出口14とが、ほぼ対向して設けられている。通常は、冷却水入口13が下部に、冷却水出口14が上部に設けられる。また、胴部１の側板21に近い位置に、電圧導入端子72が装着されている。
【０００４】
支持板41及び42に支持されるオゾン発生管は、両端が開口している円筒状の接地側のステンレス鋼などからなる接地電極５と、接地電極５の内側にほぼ一定のギャップ長をもつ放電ギャップ56を介して配置されている高電圧電極６とで構成されている。接地電極５は、ステンレス鋼からなる金属管51と、この内面にライニング（金属管51の内側にガラス管を挿入し、内圧を加えた状態で誘導加熱によってガラスを軟化させ、金属管51の内面にガラス層を形成する技術）によって形成されたガラス誘電体層52とからなっている。高電圧電極６は両端を塞がれた円筒状に形成され、一端面に２本の冷却パイプが接続されている。この冷却パイプから冷却水が高電圧電極６内に流通されて高電圧電極６を冷却する。冷却水は胴部１の一端部の上下位置に設けられた１対のマニホールド95及び96から分岐されて絶縁チューブ97によりそれぞれの高電圧電極６の冷却パイプに供給されている。絶縁チューブ97が用いられるのは、高電圧電極６と胴部１とを電気的に絶縁するためであり、冷却水系にイオン交換器94が設置されているのは、冷却水の電気抵抗値を高く保って、冷却水による絶縁不良を発生させないためである。高電圧電極６の外面下部の両端付近には、放電ギャップ56を保持するための突起体61が溶接による肉盛りによって形成されている。このオゾン発生管は、支持板41及び42に形成されている貫通孔に嵌め込まれて支持板41及び42に支持されており、その接触部は、冷却水が漏れないように図示していないＯリングによってシールされている。
【０００５】
筐体、オゾン発生管などにステンレス鋼を使用しているのは、ステンレス鋼がオゾンの強い酸化作用に対して耐性を有するからである。
高周波電源73からオゾン発生管に供給される高周波電圧の一方は、胴部１に装着されている電圧導入端子72からリード線71を介して各オゾン発生管の高電圧電極６に供給される。高周波電源73の高周波電圧の他方は、接地電位点に接続され、同時に胴部１に接続されており、図示していないリード線を介して接地電極５に接続されている。
【０００６】
オゾン発生管の接地電極５を冷却する冷却水は、既述の高電圧電極６の冷却水と共通に熱交換器93で冷却されてポンプ92で加圧され、冷却配管91を通って冷却水入口13から水ジャケット３に供給されて接地電極５を冷却し、冷却水出口14から冷却配管91を通って熱交換器93に戻る。この冷却系は高電圧電極６の冷却をも兼ねているため、高純度水を使った水供給系となっており、既述のようにイオン交換器94を備えている。接地電極５の冷却には高抵抗の純水を必要とはしないが、冷却システムを簡素化するために純水を用いている。
【０００７】
このような両面冷却オゾナイザにおいて、ガス入口11から供給された酸素を含む原料ガス（空気あるいは酸素など）は、側板21側の接地電極５の開口部から放電ギャップ56に流入し、放電ギャップ56における無声放電によって酸素の一部がオゾン化され、オゾンを含むガスとなってガス出口12から取り出される。ガス出口12の後方には、図示していない圧力調整弁が装着されており、ガスの圧力値を例えば1.7 気圧に調節して、オゾンを含むガスを消費設備に供給する。
【０００８】
以上のような従来技術による両面冷却オゾナイザには、通常、数十本から数百本のオゾン発生管が装着されており、このようなオゾナイザは数十キログラム／時間のレベルの大量のオゾンを供給するのに適している。しかし、数十から数百グラム／時間という少量のオゾン供給で十分な用途に対しては、必要なオゾン発生管の数が１本から数本となり、１つの筐体に複数本を収納する方式のオゾナイザでは、かえって大型となり価格も高くなるという問題点をもっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の課題は、数十から数百グラム／時間という少量のオゾン供給に適する小型で安価な両面冷却オゾナイザを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、この発明においては、両端が開口し且つ内面に誘電体層が形成されている筒状の接地電極及び接地電極の内側に空隙を介して配置され且つ内部に導入された冷却水によって冷却される両端閉止構造の筒状の高電圧電極からなるオゾン発生管と、両端が開口している筒状の胴部及び開口部を気密に塞ぐための２つの側板からなり且つオゾン発生管を内蔵する1つの筐体と、筐体と接地電極との間に設けられ接地電極を冷却するための水ジャケットと、オゾン発生管に電力を供給する電源とを備え、筐体内に導入された酸素を含む原料ガスの放電によってオゾンを生成する両面冷却オゾナイザにおいて、筐体に内蔵される１つのオゾン発生管と、このオゾン発生管の高電圧電極の両端に取り付けられて高電圧電極と電源とを接続し冷却水を導入あるいは排出し且つ先端部にネジを有する金属パイプと、この金属パイプの外周部に側板を貫通し且つ金属パイプを貫通させている絶縁部材とを備え、この絶縁部材から突出している金属パイプのネジをソケットで気密に締め込まれている（請求項１の発明）。
【００１１】
１つのオゾン発生管を１つの筐体に収納するので、コンパクトな最適設計による標準化が可能であり、量産化ができる。１台で足りない場合には、必要に応じて複数台を並列に運転すればよい。また、高電圧電極への電圧導入用及び冷却水用の金属パイプが側板中央の側面に引き出されるので、オゾナイザの長さ方向の側面には接地電極用の冷却水の接続部のみが装着された構造となり、オゾナイザの太さが低減する。
【００１２】
請求項１の発明において、金属パイプに少なくとも１つの環状溝を備え、且つその環状溝にＯリングを嵌め込まれている（請求項２の発明）。このＯリングによって金属パイプと絶縁部材との気密シールが完全に確保される。請求項１あるいは請求項２の発明において、絶縁部材につばを備えている（請求項３の発明）。つばによって絶縁部材の沿面距離が大幅に大きくなり結露しても電気絶縁性を確保することが可能となる。
【００１３】
接地電極への接続手段として、電源の接地電位側に接続され、筐体に気密に貫通させられ、且つ接地電極に接触させられている導電性のネジを備えている（請求項４の発明）。筐体にネジを通して接地電極に接触させるので、接地電極の電位を完全に接地電位に保持することができる。水ジャケットの内部を、螺旋状の仕切り部材によって螺旋状に連続している空間に仕切っている（請求項５の発明）。螺旋状の仕切り部材によって冷却水が均一に循環し、かつ冷却水の流速が早くなる。筐体の軸方向が垂直になるように筐体を配置し、冷却水の入口を筐体の下部に、冷却水の出口を筐体の上部に設けている（請求項６の発明）。垂直配置で冷却水が下から上へ流されるので、冷却空間に気泡が残留することがなくなる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
この発明による両面冷却オゾナイザの実施の形態について、実施例を用いて説明する。この発明においても、基本的な構成は従来技術と同じであるので、従来技術と同じ機能をもつ部分については同じ符号を用いている。
〔第１の実施例〕
図１はこの発明による両面冷却オゾナイザの第１の実施例の構造を示す断面図であり、図２はその高電圧電極の接続部の構成を示す部分拡大断面図である。
【００１５】
まず、図１により全体の構成を説明する。
胴部1aと２つの側板21b 及び22b とで構成される筐体内には、接地電極５及び高電圧電極６からなる一組の電極が収納されており、これに加えて、高周波電源73と電気供給系、接地電極５及び高電圧電極６を冷却水で冷却する冷却系、及び原料ガスの供給系が一体となって、１本のオゾン発生管をもつ、いわゆる１本物の両面冷却オゾナイザが構成されている。
【００１６】
ステンレス鋼からなる円筒状の胴部1aは、その両端に、接地電極５が丁度嵌め込まれる大きさの孔をもつフランジを備えており、その長さは接地電極５の両端がフランジから幾らか突出する長さに設定されている。この孔に接地電極５が嵌め込まれ、その両端が幾らかずつ突出した状態で、フランジの外側に突出した接地電極５の両端部近傍に弗素ゴムからなるＯリング83及び84が嵌められ、外側から側板21a 及び22a が図示していないネジなどの締め付け手段によって締め付けられることにより、胴部1aと接地電極５とは気密に一体化されて両者の間に水ジャケット３が構成され、同時に胴部1aと側板21a 及び22a とが一体化される。
【００１７】
胴部1aの両端近くには、水ジャケット３に接地電極５を冷却するための冷却水を供給する冷却水入口13及び冷却水出口14が設けられている。通常、両者はほぼ対角の位置に設けられる。
側板21a 及び22a はステンレス鋼からなる。その中央部には、高電圧電極６へ高周波電圧と冷却水とを供給するための高電圧電極６の接続部材63及び64が、絶縁部材65及び66によってそれぞれ電気的に絶縁されて気密に貫通し、高電圧電極６を位置決めして保持・固定している。また、側板21a には原料ガスの供給口であるガス入口211 が設けられ、側板22a にはオゾン化されたガスを取り出すためのガス出口221 が設けられている。
【００１８】
なお、この実施例においては、側板21a 及び22a はステンレス鋼製であるが、弗素樹脂製とすることもできる。
接地電極５は、従来技術と同様に、ステンレス鋼からなる金属管51の内面に、ライニングによってガラス誘電体層52が形成されている。高電圧電極６はステンレス鋼からなり、両端に蓋のある円筒状をしており、接地電極５の内部に一様な放電ギャップ56を保持した状態で挿入されている。その両端の蓋の中央部にはそれぞれ上述の接続部材63及び64が溶接で取り付けられている。また、一様な放電ギャップ56を保持するために、高電圧電極６の下部には複数の突起体61が肉盛り溶接によって形成されている。
【００１９】
次に、図２を併用して、高電圧電極６の接続部材63近傍の構成方法について詳述する。
高電圧電極６の接続部材63及び64は、ステンレス鋼のパイプで作製され、その一端は高電圧電極６の側面の蓋の中央部の孔に位置合わせされてそれぞれ溶接されており、他端にはネジが形成されている。
【００２０】
接続部材63近傍の構成方法は以下の通りである。
(1) 接地電極５を胴部1aに両端を少しずつ突出させて挿入する。
(2) 接続部材63及び64付きの高電圧電極６を接地電極５内に挿入する。
(3) 側板21b 及び22b を胴部1aの両側に図示していないボルトで固定する。この際、接続部材63及び64は側板21b 及び22b のそれぞれの中央部に形成されている孔に挿通される。この固定の際に、Ｏリング83及び84によって側板21b 及び22b と胴部1aと接地電極５との間の気密シールが確保される。
(4) 接続部材63の外側に絶縁部材65を通し、接続部材64の外側に絶縁部材66を通し、絶縁部材65及び66を側板21b 及び22b に形成されているそれぞれのネジにねじ込んで固定する。この固定の際にＯリング85及び図示していない86によって側板21b と絶縁部材65及び側板22b と絶縁部材66のそれぞれの間の気密シールが確保される。
(5) 内面にネジが形成されているソケット98及び99を接続部材63及び64のそれぞれのネジにねじ込み、高電圧電極６を固定する。この際に、Ｏリング87及び図示していない88によって、絶縁部材65と接続部材63及び絶縁部材66と接続部材64のそれぞれの間の気密シールが確保される。
【００２１】
以上によって、図２に示す接続部材63近傍の構成が完成する。
絶縁部材65（または66）は弗素樹脂のような耐オゾン性と絶縁性とを備えた材料で作製される。その形状は接続部材63を囲う円筒状であるが、接続部材63に印加される高電圧に対する絶縁性を高めるために、大気側の面には沿面距離を長くする目的の溝が形成されている。また、側板21b との気密シールのためのＯリング用溝が側板21b との接触面に形成されている。
【００２２】
次いで、図５を用いて、接地電極５の接続部材の構成例とその組み立てについて詳述する。
接地電極５の接続部材は、ステンレス鋼からなるネジ78として作製される。このネジ78は、胴部1aに固定された側板21b の、金属板51の端部に対応する位置に形成されたネジ孔にねじ込まれて、金属板51の端部に接触させられ、ナット79により固定される。ネジ78は図示されていないリード線を介して高周波電源73の接地電位側に接続されている。このネジ78は例えばＭ４サイズといった小形のものでよく、このネジ78と側板21b との気密性は図示されていないシールテープにより確保される。
【００２３】
このような確実な接触構造を採用しているのは、以下のような不安定な接触に伴う問題点を避けるためである。
接地電極５は胴部1aのフランジに嵌め込まれているので、胴部1aのフランジに部分的に接触している。したがって、接地電極５は接地電位を保っているように考えられる。しかし、その接触状態は不安定な接触であり、接地電位が不安定となる。接地電位が不安定になると、放電状態も不安定になり、オゾン濃度を一定に保つことが困難になる。更に、最悪の場合には、接触部が発熱して溶融し、その結果、接地電極５が電位的に浮遊状態となり、放電が維持できなくなる。
【００２４】
図５においては、ネジ78は側板21b を貫通して接地電極５に接触させられているが、胴部1aを貫通して接地電極５に接触させることもできる。
両面冷却オゾナイザの場合には接地電極５だけではなく高電圧電極６も冷却するので、冷却水の抵抗値が高いことが必要であり、そのため冷却水系にはイオン交換器94が備えられている。実際の運転に際しては、初期に十分な高抵抗のイオン交換水にしておくと、冷却水を常時イオン交換器94に通す必要はなく、必要に応じて通すことで十分に必要な抵抗値を維持することができる。また、図１においては、イオン交換器94側とバイパスの両方にバルブを設けた場合を示しているが、バイパス側のバルブを省略して一部の水のみをイオン交換器94に流通してもその機能を十分に果たすことはできる。
【００２５】
〔第２の実施例〕
図３は第２の実施例を説明するための接続部材63a 近傍の構成を示す部分拡大断面図である。この実施例は接続部材と絶縁部材との間の気密シールをより確実にするためのものである。
第１の実施例との違いは、接続部材63a の絶縁部材65との接触面にＯリング89用のリング溝が形成され、この溝にＯリング89がはめ込まれて、接続部材63a と絶縁部材65との間が確実に気密シールされていることである。図２の構成の場合においては、放電中などに高電圧電極６の温度が上昇して、その寸法が膨張すると、接続部材63及びソケット98が一体で外側へ移動するので、Ｏリング87の締め付けが緩み、シール性能が低下する恐れがある。これに対して、図３のような接続部材63a と絶縁部材65との接触面でのＯリング89によるシールであれば、シール性能を確実に維持することができる。
【００２６】
なお、より万全を期すためにはＯリングの数を増やすと良い。
〔第３の実施例〕
図４は第３の実施例を説明するための絶縁部材65a 近傍の構成を示す部分拡大図である。この実施例は、図２におけるソケット98などの表面結露の場合における絶縁性能の確保を目的とするものである。
【００２７】
図２における絶縁部材65の溝にゴム板からなるつば651 をはめ込んでいる。つば651 は、例えば厚さ３mm、外側直径14cmのドーナツ状である。ソケット98の内部には高電圧電極６の冷却水が流れているので、冷却水温が低い場合にはソケット98の表面に結露することがあり、その水滴が絶縁部材65の表面に拡がると絶縁破壊を生ずる恐れがある。このような場合につば651 が水滴を逃がす部材として働き、絶縁部材に水滴が大きく拡がることを防止する。
【００２８】
〔第４の実施例〕
第４の実施例は、図８に示したような従来技術における水ジャケット３の冷却効率を向上させるために考案されたものである。
図６は、第４の実施例における水ジャケット3aの構成を示し、（ａ）は胴部1aの一部を破断した部分破断図、（ｂ）は部分断面図である。
【００２９】
この実施例における水ジャケット3aは、胴部1aと接地電極５とで囲まれている空間が螺旋状の連続する空間に仕切られた構造になっている。この仕切りは、接地電極５の外周に、例えば太さ３mmのステンレス鋼の針金31を例えば５cmのピッチで螺旋状に巻き付けて固定した後、胴部1aに挿入して形成される。
この針金31による仕切りによって、冷却水入口13から導入された冷却水が螺旋状に針金31に沿って電極全面に均一に循環し、しかも、流路面積が小さくなるため、その流速は仕切りのない場合に比べて大幅に増加する。その結果、接地電極５の冷却効率が大幅に向上する。
【００３０】
〔第５の実施例〕
第５の実施例は、水ジャケット３あるいは3aの冷却効率を向上させるために考案されたもので、オゾナイザの設置の向きに関する。
図７は第５の実施例を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
この実施例においては、オゾナイザの筐体の長さ方向が垂直に（縦向きに）配置される。従来技術のオゾナイザの場合には、多数のオゾン発生管を配置するために、それらの設置や保持が容易である横向き構造が採用されてきている。しかし、この発明の請求項１に記載の両面冷却オゾナイザのように、１つの筐体に１つのオゾン発生管を収容するオゾナイザの場合には、横向き構造の必要性が少なく、接地電極及び高電圧電極の冷却効率を高めて小形化できる図７に示した構成が有効となる。すなわち、接地電極は直接に側板に保持され、高電圧電極は絶縁部材などを介して側板に保持されているので、オゾナイザの筐体を縦向きにして架台100 に設置することができる。冷却水入口13及びソケット98を下側にし冷却水出口14及びソケット99を上側にして筐体を縦向きに配置することにより、冷却水は下から上に流され、内部に入った気泡は上に移動して冷却水と一緒に排出され、接地電極及び高電圧電極が全面にわたって効率良く冷却される。その結果、水ジャケット３を小さくすることができ、オゾナイザ全体を細くすることができる。
【００３１】
なお、配置が完全に垂直であることは必ずしも必要ではなく、少々の傾きは問題ではない。
【００３２】
【発明の効果】
この発明によれば、両面冷却オゾナイザにおいて、１つのオゾン発生管を１つの筐体に収納するので、コンパクトな最適設計による標準化が可能であり、量産化ができる。１台で足りない場合には、必要に応じて複数台を並列運転すればよい。したがって、数十から数百グラム／時間という少量のオゾン供給に適した小型で安価な両面冷却オゾナイザを提供することができる。
【００３３】
そして、高電圧電極の両端に取り付けられて高電圧電極と電源とを接続し冷却水を導入あるいは排出し且つ先端部にネジを有する金属パイプと、この金属パイプの外周部に側板を貫通し且つ金属パイプを貫通させている絶縁部材とを備え、絶縁部材から突出している金属パイプのネジをソケットで気密に締め込まれているので、マニホールド及び絶縁チューブが不要となり、オゾナイザの長さ方向の側面には接地電極用の冷却水の接続部のみが装着された構造となり、オゾナイザの太さが低減する。したがって、より安価でより小型の両面冷却オゾナイザを提供することができる（請求項１の発明）。
【００３４】
請求項１の発明において、金属パイプに少なくとも１つの環状溝を備え、且つその環状溝にＯリングを嵌め込まれているので、高電圧電極が熱膨張しても金属パイプと絶縁部材との気密シールが完全に確保される。したがって、安全性の高い両面冷却オゾナイザを提供することができる（請求項２の発明）。請求項１あるいは請求項２の発明において、絶縁部材につばを備えているので、絶縁部材の沿面距離が大幅に大きくなり結露しても電気絶縁性を確保することが可能となる。したがって、絶縁不良に伴う誤動作の心配の少ない両面冷却オゾナイザを提供することができる（請求項３の発明）。
【００３５】
接地電極への接続手段として、電源の接地電位側に接続され、筐体に気密に貫通させられ、かつ接地電極に接触させられている導電性のネジを備えているので、接地電極の電位を完全に接地電位に保持することができる。したがって、放電安定性に優れた両面冷却オゾナイザを提供することができる（請求項４の発明）。
【００３６】
水ジャケットの内部を、螺旋状の仕切り部材によって螺旋状に連続している空間に仕切っているので、冷却水が均一に循環し、かつ冷却水の流速が早くなる。したがって、接地電極の冷却効率が向上し、両面冷却オゾナイザの特性が安定する（請求項５の発明）。筐体の軸方向が垂直になるように筐体を配置し、冷却水の入口を筐体の下部に、冷却水の出口を筐体の上部に設けて、冷却水を下から上へ流すので、冷却空間に気泡が残留することがなくなる。したがって、接地電極の冷却効率を向上させることができる（請求項６の発明）。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による両面冷却オゾナイザの第１の実施例の構造を示す断面図
【図２】第１の実施例の接続部材近傍の構成を示す部分拡大断面図
【図３】第２の実施例の接続部材近傍の構成を示す部分拡大断面図
【図４】第３の実施例の絶縁部材近傍の構成を示す部分拡大図
【図５】第１の実施例の接地電極の接続部の構成を示す部分拡大断面図
【図６】第４の実施例の水ジャケットの構成を示し、（ａ）は胴部の一部破断図、（ｂ）は一部断面図
【図７】第５の実施例を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図
【図８】従来技術による両面冷却オゾナイザの構造を示し、（ａ）は全体の断面図、（ｂ）はオゾン発生管の一部を拡大して示す部分断面図
【符号の説明】
1, 1a 胴部
11  ガス入口              12  ガス出口
13  冷却水入口            14  冷却水出口
21, 22, 21b, 22b  側板
211 ガス入口              221 ガス出口
3, 3a 水ジャケット          31  針金
41, 42  支持板
5   接地電極
51  金属管                52  ガラス誘電体層
56  放電ギャップ
6   高電圧電極
61  突起体                65, 66  絶縁部材
63, 64, 63a, 64a  接続部材
71  リード線                72  電圧導入端子
73  高周波電源            78  ネジ
79  ナット
81, 82  パッキン
83, 84, 85, 86, 87, 88, 89, 90  Ｏリング
91  冷却配管                92  ポンプ
93  熱交換器              94  イオン交換器
95, 96  マニホールド      97  絶縁チューブ
98, 99  ソケット
100 架台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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