(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャックテーブルを有し、ダイシングに寄与する液体を供給しながらダイシングを遂行するダイシング装置の所要位置に前記ダイシングに寄与する液体が付着することによって漏液を感知する液体感知部材が配設されたダイシング装置であって、
該チャックテーブルは、一対のガイドレールにガイドされて切削方向に移動可能であり、該ガイドレールの内側に、及び／または、該ガイドレールの外側に、漏液したダイシングに寄与する液体を受け止めて流下させるように傾斜して形成した液体受け止め部と、該液体受け止め部が受け止めた漏液したダイシングに寄与する液体が流下する位置に配設した液体感知部材とを備えたダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加工時に液体を供給する加工装置において、漏液があってはならない部位に配設されて漏液を検出することができる漏液検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の漏液検出装置は、例えば、図５に示すような、半導体ウェーハのダイシングを行うダイシング装置２０に配設される。このダイシング装置２０において、例えば半導体ウェーハＷをダイシングする際は、保持テープＴを介してフレームＦに保持された半導体ウェーハＷをチャックテーブル２１に保持させる。そして、ジャバラ２１ａの伸縮を伴ってチャックテーブル２１をＸ軸方向に移動させて、アライメント手段２２によるパターンマッチング等の処理を介して切削位置のアライメントが行われた後、回転するブレード２３によって半導体ウェーハＷの所要位置がＸ軸方向に切削されてダイシングが遂行される。
【０００３】
ダイシングを行う際は、半導体ウェーハＷを冷却するための冷却液や、切削により生じた切削屑を含む冷却液を洗浄するための洗浄液等の液体が供給されるが、冷却液、洗浄液は、大量に供給され、しかもブレード２３の回転によって飛散するため、ダイシング装置内の本来液体が侵入してはならない部位にも液体が侵入することがあり得る。
【０００４】
液体が侵入してはならない部位に液体が侵入すると、それが原因となってダイシング装置２０の故障を引き起こすこともあることから、従来のダイシング装置においては、チャックテーブル２１の下部に、例えば図６に示すような漏液検出装置６０を配設している。
【０００５】
この漏液検出装置６０では、上部から侵入する切削液や洗浄液を液体受け止め部６１若しくは第二の液体受け止め部６２が受け止め、液体受け止め部６１と第二の液体受け止め部６２の任意の位置、例えば図６の例においては両端部に設けた液体感知部材６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂが、自身に液体が付着したことを感知することにより、液体が侵入してはならない部位に液体が侵入したこと、即ち、漏液したことを検出することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記液体受け止め部６１及び第二の液体受け止め部６２は水平に配設されているため、それぞれの内部に液体が侵入しても、その液体が液体感知部材６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂに付着しないこともあり、液体が侵入しているにもかかわらず、液体の侵入を検出できないことがある。また、検出できたとしても、検出するまでにある程度の時間がかかる場合もあり得る。このように、漏液を検出できない場合、若しくは検出が遅れた場合には、液体が侵入してはならない部位に液体が相当量侵入してしまい、装置の故障を引き起こす可能性がある。
【０００７】
従って、従来の漏液検出装置においては、液体の侵入をいち早く確実に検出することにより、装置の故障を未然に防止することに解決しなければならない課題を有している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための具体的手段として本発明は、チャックテーブルを有し、ダイシングに寄与する液体を供給しながらダイシングを遂行するダイシング装置の所要位置にダイシングに寄与する液体が付着することによって漏液を感知する液体感知部材が配設されたダイシング装置であって、該チャックテーブルは、一対のガイドレールにガイドされて切削方向に移動可能であり、ガイドレールの内側に、及び／または、ガイドレールの外側に、漏液したダイシングに寄与する液体を受け止めて流下させるように傾斜して形成した液体受け止め部と、該液体受け止め部が受け止めた漏液したダイシングに寄与する液体が流下する位置に配設した液体感知部材とを備えたダイシング装置を提供するものである。
【０００９】
このようなダイシング装置によれば、すべての侵入した液体が必ず液体受け止め部の下流側に流れるため、最終的に液体が溜まる位置に配設した液体感知部材によって確実かつ迅速に漏液を検出することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、従来の技術で説明したダイシング装置と共通する部位については同一の符号を付して説明することとする。
【００１１】
漏液検出装置１０は、図１のように構成され、例えば、図５に示したダイシング装置２０に組み込まれる。図１に示すように、ダイシング装置２０においては、パルスモータ２４の回転に伴って回転するボールネジ２５がＸ軸方向に配設されており、ボールネジ２５の回転に伴って、基台２６が一対のガイドレール２７にガイドされてＸ軸方向に移動可能となっている。
【００１２】
基台２６の上部にはチャックテーブル２１が固定され、その周囲には切削液や洗浄液等の液体が下方に流れ落ちるのを防止するためのウォーターカバー２８が配設されている。そして、ウォーターカバー２８のＸ軸方向の両端には、チャックテーブル２１及びウォーターカバー２８のＸ軸方向の移動に追従し、ジャバラガイド２９にガイドされて伸縮するジャバラ２１ａが配設されている。このジャバラ２１ａは、両端の固定プレート３１をダイシング装置２０の所定の位置に固定され、Ｘ軸方向の一定範囲内において伸縮し、装置内への漏液を防止している。また、ジャバラガイド２９の所要位置には、ジャバラ２１ａ上に溜まった液体を排水するための排水口３０を設けている。
【００１３】
一対のガイドレール２７は、双方とも起立して設けられているが、その下端の位置には高低差があり、下端同士は傾斜面によって架設されており、この傾斜面は液体受け止め部１２を形成している。そして、液体が流下する位置、例えば傾斜面の下端の内側には液体感知部材１３がガイドレール２７によって支持されてＸ軸方向に配設されている。
【００１４】
液体受け止め部１２には、液体受け止め部１２の傾斜面とほぼ同様の角度で傾斜した傾斜面を有する第二の液体受け止め部１５ａが連結されており、ガイドレール２７よりも外側に位置する下端、即ち液体が流下する位置には受け止め壁１６ａが立設され、受け止め壁１６ａに隣接して液体感知部材１７ａが配設されている。また、液体受け止め部１２には、第二の液体受け止め部１５ａとは逆の方向にも第三の液体受け止め部１５ｂが連結されており、この第三の液体受け止め部１５ｂの下端に立設された受け止め壁１６ｂに隣接して液体感知部材１７ｂが配設されている。
【００１５】
このように、チャックテーブル２１の下部に漏液検出装置１０が配設されたダイシング装置２０において、切削液や洗浄液のような液体を供給しながらダイシングを遂行したときに、ウォーターカバー２８による漏液防止では不十分で、例えば、液体の一部が液体受け止め部１２に侵入すると、侵入した液体は、傾斜面に沿って流下し、必ず液体感知部材１３に付着する。
【００１６】
また、液体受け止め部１２に液体が侵入しなかった場合でも、第二の液体受け止め部１５ａ若しくは第三の液体受け止め部１５ｂに侵入した場合には、侵入した液体がそれぞれの傾斜面に沿って流下し、液体感知部材１７ａまたは１７ｂに付着する。
【００１７】
液体感知部材１３，１７ａ、１７ｂは、例えば図７に示すように、それぞれが２つの端子ａ、ｂを有し、付着した液体Ｌを介して端子間が短絡するように構成されており、液体感知部材１３、１７ａ、１７ｂの何れかに液体が付着した場合には、短絡を検出し、直ちにブザー３２を鳴らす等してオペレータに対して警報を発することができ、漏液があったことをいち早く知らせることができる。
【００１８】
漏液検出装置は、図３に示すような研磨装置４０における下部領域４１に配設することもできる。図３の研磨装置４０においては、被研磨物がチャックテーブル４２に載置され、研磨手段４３を構成するスピンドル４４の先端にマウンタ４５を介して研磨砥石４６が装着されており、スピンドル４４は、上部に設けた駆動源４７によって駆動されて回転する。
【００１９】
また、図４に示すように、壁体４８の裏側頂部にはパルスモータ４９が配設されており、パルスモータ４９に駆動されて回転するボールネジ５０には、駆動部５１が螺合している。ボールネジ５０が回転すると、駆動部５１が上下動し、駆動部５１が上下動するのに伴い、駆動部５１と連結された研磨手段４３が一対のレール５２にガイドされて上下動する。また、駆動部５１の位置情報は、リニアスケール５３によって計測され、当該位置情報は、パルスモータ４９の駆動制御に供される。
【００２０】
研磨時は、駆動源４７に駆動されてスピンドル４４が回転すると共に、パルスモータ４９に駆動されて研磨手段４３が下降して被研磨物に対して適宜の押圧力が加えられる。そしてそのとき冷却液や洗浄液が供給される。
【００２１】
研磨装置４０においても、図４に示すように、チャックテーブル４２の下部に位置する下部領域４１内の傾斜面を有する液体受け止め部５５に液体が侵入すると、侵入した液体は、傾斜面に沿って流下して液体感知部材５６に必ず付着するため、漏液があったことを確実に検出することができる。
【００２２】
なお、図示していないが、研磨装置４０においても、ダイシング装置３０の場合と同様に、第二の液体受け止め部、第三の液体受け止め部を配設するようにしてもかまわない。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るダイシング装置では、すべての侵入した液体が必ず液体受け止め部の下流側に流れるので、液体が流下する位置、例えば最終的に液体が溜まる位置に配設した液体感知部材によって確実かつ迅速に漏液を検出することができ、ダイシング装置の故障を未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  漏液検出装置をダイシング装置のチャックテーブルの下部に配設した状態を示す略示的斜視図である。
【図２】  同漏液検出装置をダイシング装置の側面側からみた場合の説明図である。
【図３】  研磨装置の外観の一部を示す斜視図である。
【図４】  同研磨装置のチャックテーブルの下部に漏水検出手段を配設した状態を側面側からみた場合の説明図である。
【図５】  ダイシング装置の外観を示す斜視図である。
【図６】  同ダイシング装置に配設される従来の漏水検出手段の構成を示す説明図である。
【図７】  液体感知部材の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
１０……漏液検出装置  １２……液体受け止め部  １３……液体感知部材
１５ａ……第二の液体受け止め部  １５ｂ……第三の液体受け止め部
１６ａ、１６ｂ……受け止め壁  １７ａ、１７ｂ……液体感知部材
２０……ダイシング装置  ２１……チャックテーブル  ２１ａ……ジャバラ
２２……アライメント手段  ２３……ブレード  ２４……パルスモータ
２５……ボールネジ  ２６……基台  ２７……ガイドレール
２８……ウォーターカバー  ２９……ジャバラガイド  ３０……排水口
３１……固定プレート  ３２……ブザー
４０……研磨装置  ４１下部領域  ４２……チャックテーブル
４３……研磨手段  ４４……スピンドル  ４５……マウンタ  ４６……研磨砥石
４７……駆動源  ４８……壁体  ４９……パルスモータ  ５０……ボールネジ
５１……駆動部  ５２……レール  ５３……リニアスケール
５５……液体受け止め部  ５６……液体感知部材  ６０……漏液検出装置
６１……液体受け止め部  ６２……第二の液体受け止め部
６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂ……液体感知部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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