(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の流体制御機器(1)(2)(3)(4)(5)(6)が前後に直列状に配されてパネルに固定され左右側面に平面から見て凹凸がある流体制御装置において、流体制御機器(1)(2)(3)(4)(5)(6)を左右側面から加熱する加熱装置(10)が設けられており、加熱装置(10)は、流体制御装置左右両側の少なくとも一側に配されたテープヒータ(11)と、ねじ(17)によりパネルに固定される底壁(13)(19)(25)およびテープヒータ(11)を各流体制御機器(1)(2)(3)(4)(5)(6)に当接させる側壁(14)(20)(21)(22)(26)(27)よりなる複数個のブラケット(12)(18)(24)とよりなり、各ブラケット(12)(18)(14)の底壁(13)(19)(25)にねじ挿通用孔(16)(23)(28)があけられて、各ブラケット(12)(18)(14)が位置調整自在にパネルに取り付けられており、複数の流体制御機器(1)(2)(3)(4)(5)(6)のうち他の流体制御機器(2)(4)(6)の左右側面に対して凹となっている左右側面を有している流体制御機器(3)(5)に対し、ブラケット(12)(18)(24)の側壁(14)(20)(26)(27)がテープヒータ(11)に当接してこれを各流体制御機器(3)(5)の本体側面に押し付けていることを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
複数個のブラケット(12)(18)(24)のうち、少なくとも１つ(18)(24)は、各流体制御機器(1)(2)(3)(4)(5)の本体側面に平行となる側壁(20)(26)(27)に加えて、各流体制御機器(1)(2)(3)(4)(5)の本体側面に垂直となる側壁(21)(22)(26)(27)を有しており、他の流体制御機器(2)(4)(6)の左右側面に対して凹となっている左右側面を有している流体制御機器(3)(5)に対し、本体側面に平行となる側壁(14)(20)(26)(27)によってテープヒータ(11)が流体制御機器(3)(5)の本体側面に当接させられているとともに、本体側面に垂直となる側壁(21)(22)(26)(27)によってテープヒータ(11)が凹所の前後面に当接させられていることを特徴とする請求項１の流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、マスフローコントローラと開閉弁等とが組み合わされて構成される流体制御装置に関し、より詳しくは、結露防止および常温では液体である流体をガス化して流す際の再液化防止等のための加熱装置を備えた流体制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、マスフローコントローラ、開閉弁、減圧弁、圧力センサ等とが組み合わされて構成される流体制御装置で用いられる加熱装置としては、棒ヒータを用いたものとテープヒータを用いたものとが知られている。
【０００３】
流体制御装置の側面に平面から見て凹凸が多い場合には、流体制御装置側面にテープヒータを沿わせることが難しいため、例えば、図４に示すような棒ヒータ(44)が用いられている。これは、マスフローコントローラ(41)と開閉弁(42)との間および開閉弁(42)(43)同士の間に、垂直状の棒ヒータ(44)を適宜配置したものである。マスフローコントローラ(41)は、パネル(45)に上方取出し可能に取り付けられており、棒ヒータ(44)は、マスフローコントローラ(41)の上方取出しの妨げにならないように配置されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の棒ヒータタイプの流体制御装置用加熱装置では、棒ヒータが接している部分と接していない部分とで、加熱にムラが生じるという問題があった。
【０００５】
この発明の目的は、流体制御装置の側面に平面から見て凹凸が多い場合でも、均一な加熱が可能である流体制御装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明による流体制御装置は、複数の流体制御機器が前後に直列状に配されてパネルに固定され左右側面に平面から見て凹凸がある流体制御装置において、流体制御機器を左右側面から加熱する加熱装置が設けられており、加熱装置は、流体制御装置左右両側の少なくとも一側に配されたテープヒータと、ねじによりパネルに固定される底壁およびテープヒータを各流体制御機器に当接させる側壁よりなる複数個のブラケットとよりなり、各ブラケットの底壁にねじ挿通用孔があけられて、各ブラケットが位置調整自在にパネルに取り付けられており、複数の流体制御機器のうち他の流体制御機器の左右側面に対して凹となっている左右側面を有している流体制御機器に対し、ブラケットの側壁がテープヒータに当接してこれを各流体制御機器の本体側面に押し付けていることを特徴とするものである。
【０００７】
流体制御装置の側面に平面から見て凹凸がある場合に、テープヒータを各流体制御機器に沿わせるとともに、ブラケットの位置を調整し、ブラケットの側壁によりテープヒータを流体制御機器の凹面に当接させることができる。したがって、凹凸の影響を受けずに流体制御機器を均一に加熱することができる。
【０００８】
各ブラケットの底壁のねじ挿通用孔は、長孔であることが好ましい。
【０００９】
複数個のブラケットのうち、少なくとも１つは、各流体制御機器の本体側面に平行となる側壁に加えて、各流体制御機器の本体側面に垂直となる側壁を有しており、他の流体制御機器の左右側面に対して凹となっている左右側面を有している流体制御機器に対し、本体側面に平行となる側壁によってテープヒータが流体制御機器の本体側面に当接させられているとともに、本体側面に垂直となる側壁によってテープヒータが凹所の前後面に当接させられていることが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、前後・左右は、図３を基準とし、同図の右を前、左を後といい、左右は前方に向かっていうものとする。
【００１１】
図１は、この発明の流体制御装置の基本構成部分を示しており、同図に示すように、流体制御装置は、前後に直列状に配された流体制御器(1)と、これを加熱する加熱装置(10)とを備えており、加熱装置(10)は、これらの流体制御器(1) の本体(1a)を左右両側から挟むようにして配されたテープヒータ(11)と、テープヒータ(11)を流体制御器(1) の本体(1a)に当接させるブラケット(12)とよりなる。
【００１２】
ブラケット(12)は、垂直断面Ｌ形であり、前後に長い方形の底壁(13)と、底壁(13)の一方の縁部に立上がり状に設けられた方形の側壁(14)よりなる。側壁(14)は、テープヒータ(11)に当接して、これを流体制御器(1) の本体(1a)に押し付けており、底壁(13)がねじ(17)によりパネルに取り付けられている。底壁(13)には、左右に長い前後一対の長孔(16)が設けられている。テープヒータ(11)の上下幅は、流体制御器(1) の本体(1a)の上下幅よりも狭くなされている。ブラケット(12)の側壁(14)のテープヒータ(11)に当接する面の下端部には、テープヒータ(11)の下面を受けるヒータ高さ調整用突出部(15)が設けられており、これにより、テープヒータ(11)が流体制御器(1) の本体(1a)の上下の中央部分を加熱するようになされている。
【００１３】
図２は、ブラケットの変形例を示している。図２（ａ）のブラケット(18)は、前後に長い方形の底壁(19)と、底壁(19)の一方の縁部に立上がり状に設けられた第１側壁(20)と、底壁(19)の両端部に立上がり状に設けられた第２および第３側壁(21)(22)とよりなる。底壁(19)には、左右に長い前後一対の長孔(23)が設けられている。このブラケット(18)によると、後述するように、第１側壁(20)だけでなく、第２側壁(21)および第３側壁(21)の両方またはいずれか一方によってもテープヒータ(11)を流体制御器(2)(3)(4) の面に当接させることが可能となる。
【００１４】
また、図２（ｂ）のブラケット(24)は、略正方形の底壁(25)と、底壁(25)に立上がり状に設けられかつ互いに直角をなす２つの側壁(26)(27)とよりなる。底壁(25)には、前後に長い長孔(28)が１つ設けられている。このブラケット(24)によると、後述するように、２つの側壁(26)(27)によってテープヒータ(11)を流体制御器(4)(5)(6) の面に当接させることが可能となる。
【００１５】
図３には、図１、図２（ａ）および図２（ｂ）に示した３種類のブラケット(12)(18)(24)を組み合わせて使用した流体制御装置を示している。
【００１６】
同図に示す流体制御装置は、マスフローコントローラ(2) 、第１開閉弁(3) 、第２開閉弁(4) 、第３開閉弁(5) および逆止弁(6) がこの順に前から配置された右のラインと、右のラインから第１開閉弁(3) を除いた左のラインとよりなる。右のラインにおいては、マスフローコントローラ(2) の右面に対して第１開閉弁(3) 、第２開閉弁(4) および第３開閉弁(5) の右面が共に平面から見て凹となっており、また、第１開閉弁(3) および第３開閉弁(5) の左面が第２開閉弁(4) の左面に対して共に平面から見て凹となっている。左のラインにおいては、マスフローコントローラ(2) の右面に対して第２開閉弁(4) および第３開閉弁(5) の右面が共に平面から見て凹となっており、また、第３開閉弁(5) の左面が第２開閉弁(4) の左面に対して平面から見て凹となっている。
【００１７】
このような流体制御装置に対して、右のラインにおける第１開閉弁(3) および第２開閉弁(4) の右面には、図１に示した基本形のブラケット(12)を使用してテープヒータ(11)が当接されている。
【００１８】
右のラインにおける第１開閉弁(3) の左面には、図２（ａ）に示したブラケット(18)が使用されている。ブラケット(18)の前後長さは、第１開閉弁(3) の左面の前後長さよりもテープヒータ(11)の厚みの２倍分小さくされている。そして、テープヒータ(11)は、このブラケット(18)の第１側壁(20)により第１開閉弁(3) の左面に当接させられており、さらに、第２側壁(21)によりマスフローコントローラ(2) の後面の一部に、第３側壁(22)により第２開閉弁(4) の前面の一部にもそれぞれ当接させられている。
【００１９】
右のラインにおける第３開閉弁(5) の左面には、図２（ｂ）に示したブラケット(24)が２つ使用されている。前側のブラケット(24)は、前後に長い長孔(28)を利用して、第２開閉弁(4) の後面の一部にテープヒータ(11)を強く押し付けている。一方、後側のブラケット(24)は、前側のブラケット(24)を９０°回転させて使用したもので、その長孔(28)が左右に長い状態で使用されている。したがって、後側のブラケット(24)は、第３開閉弁(5) の左面にテープヒータ(11)を強く押し付けている。
【００２０】
左のラインにおける第２開閉弁(4) の右面には、図２（ａ）に示したブラケット(18)が使用されている。この場合に、テープヒータ(11)は、第１側壁(20)により第２開閉弁(4) の右面に当接させられるとともに、第２側壁(21)によりマスフローコントローラ(2) の後面の一部に当接させられており、第３側壁(22)はフリーの状態で使用されている。
【００２１】
左のラインにおける第３開閉弁(5) の左面は、右のラインにおける第３開閉弁(5) の左面と同様になされている。
【００２２】
上述のようにして、テープヒータは流体制御器の凸の側面および凹の側面だけでなく、凹所の前後面にも当接させることができるので、流体制御装置をほぼ均一に加熱することができ、しかもその加熱効率も良い。なお、マスフローコントローラ(2) は、パネルに上方取出し可能に取り付けられているが、上記加熱装置は、マスフローコントローラ(2) の上方取出しの妨げになるものではない。
【００２３】
図３においては、すべてのブラケット(12)(18)(24)を使用するようにしているが、すべてを使用する必要はなく、例えばいずれか一種類のブラケット(12)(18)(24)だけを使用してもよく、また、基本形のブラケット(12)と図２（ｂ）のブラケット(24)とだけを使用してもよい。また、テープヒータ(11)は、所望する温度によって、流体制御装置の左右両側面に配されることもあり、またいずれか一側面に配されることもある。ねじ挿通用孔(16)(23)(28)は、長孔に限られるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明による流体制御装置の要部を示す斜視図である。
【図２】  ブラケットの変形例を示す斜視図である。
【図３】  この発明による流体制御装置の一例を示す平面図である。
【図４】  従来の流体制御装置の要部を示す斜視図である。
【符号の説明】
(1)(2)(3)(4)(5)   流体制御機器
(11)              テープヒータ
(12)              ブラケット
(13)              底壁
(14)              側壁
(16)              ねじ挿通用長孔
(17)              ねじ
(18)              ブラケット
(19)              底壁
(20)(21)(22)      側壁
(23)              ねじ挿通用長孔
(24)              ブラケット
(25)              底壁
(26)(27)          側壁
(28)              ねじ挿通用長孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
0003785516.tif 000004
【図４】
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