(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転されるディスクと、
板状のアームと、該板状アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してある上向きのヘッドスライダとよりなる第1のアーム装置と、板状のアームと、該板状アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してある下向きのヘッドスライダとよりなる第２のアーム装置とが、該第1のアーム装置が上側、該第２のアーム装置が下側とされて、該第1のアーム装置の板状アームと該第２のアーム装置の板状アームとが重なり合わさって一体化されており、且つ、各板状アームの根元部側を挟んで固定されている構成であるアームモジュールと、
該アームモジュールのうち上記板状アームの根元部側を駆動するアクチュエータとを有する構成としたことを特徴とするディスク装置。
【請求項２】
回転されるディスクと、
板状でありその側縁に沿ってリブを有するアームと、該リブ付き板状アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してある上向きのヘッドスライダとよりなる第1のアーム装置と、板状でありその側縁に沿ってリブを有するアームと、該リブ付き板状のアームと、該板状アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してある下向きのヘッドスライダとよりなる第２のアーム装置とが、該第1のアーム装置が上側、該第２のアーム装置が下側とされて、該第1のアーム装置のリブ付き板状アームと該第２のアーム装置のリブ付き板状アームとが重なり合わさって一体化されており、且つ、各リブ付き板状アームの根元部側を挟んで固定されている構成であるアームモジュールと、
該アームモジュールのうち上記リブ付き板状アームの根元部側を駆動するアクチュエータとを有する構成としたことを特徴とするディスク装置。
【請求項３】
上記アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が固定されて一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項４】
上記アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が接着されて一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項５】
上記アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が両面テープ片によって接着されて一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項６】
上記アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が溶接されて一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項７】
上記アームモジュールは、上下に並んで複数有し、最下位置のアームモジュールを除いて各アームモジュールはレーザビームが通過する開口を、上側のアームモジュールの開口が下側のアームモジュールの開口より大きい関係で設けてあり、
各アームモジュールは、重なっている上記のアームの先端側同士が、それより上側のアームモジュールの開口を通ってきたレーザビームによって溶接されて一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項８】
上記アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側の側面側が溶接されて一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項９】
上記アームモジュールは、重なっている上記のアームが、一方のアームに形成してある凸部を他方のアームに形成してある開口内に圧入されて一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項１０】
上記アームモジュールは、重なっている上記のアームが、はとめ部材によって一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項１１】
上記アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が押し付け合って一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項１２】
上記アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その全長に亘って固定されて一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項１３】
上記アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が固定されて、且つ、根元部付近が固定されて一体化された構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項１４】
上記アームモジュールは、上記各アームがリード線配線用溝を有し、上記のアームが重なった状態で、各アームのリード線配線用溝が対向して、重なっている上記のアームの間にリード線用の配線路を設けてなる構成としたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のディスク装置。
【請求項１５】
板状のアームが重なっている構成のアームモジュールを有してなり、ディスク装置に組み込まれるヘッドサスペンション装置において、
上記アームモジュールは、
板状のアームと、該板状アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してある上向きのヘッドスライダとよりなる第1のアーム装置と、板状のアームと、該板状アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してある下向きのヘッドスライダとよりなる第２のアーム装置とが、該第1のアーム装置が上側、該第２のアーム装置が下側とされて、該第1のアーム装置の板状アームと該第２のアーム装置の板状アームとが重なり合わさって一体化されており、且つ、各板状アームの根元部側を挟んで固定されている構成であることを特徴とするヘッドサスペンション装置。
【請求項１６】
板状のアームが重なっている構成のアームモジュールを有してなり、ディスク装置に組み込まれるヘッドサスペンション装置において、
上記アームモジュールは、
板状でありその側縁に沿ってリブを有するアームと、該リブ付き板状アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してある上向きのヘッドスライダとよりなる第1のアーム装置と、板状でありその側縁に沿ってリブを有するアームと、該リブ付き板状のアームと、該板状アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してある下向きのヘッドスライダとよりなる第２のアーム装置とが、該第1のアーム装置が上側、該第２のアーム装置が下側とされて、該第1のアーム装置のリブ付き板状アームと該第２のアーム装置のリブ付き板状アームとが重なり合わさって一体化されており、且つ、各リブ付き板状アームの根元部側を挟んで固定されている構成であることを特徴とするヘッドサスペンション装置。
【請求項１７】
上記アームモジュールの重なっているアームは、請求項３乃至請求項１４のうちいずれか一項に記載のように固定してある構成としたことを特徴とする請求項１５又は請求項１６記載のヘッドサスペンション装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はディスク装置に係り、特に携帯用の小型のコンピュータに搭載される小型のディスク装置ディスク装置及びヘッドサスペンション装置に関する。
現在、携帯用の小型のコンピュータにあっては、薄型化、処理性能の向上、誤って落とした場合を考慮した耐衝撃の向上等が要求されている。携帯用の小型のコンピュータに搭載される２．５インチサイズの磁気ディスク装置についてみると、薄い構造であることは勿論、ＣＰＵ処理性能アップに伴って記憶容量が大容量であること、及び、誤って落とした場合にも、ヘッドスライダを支持しているアームが磁気ディスクに当たることが起きないようにして耐衝撃性に優れていることが要求されている。
【０００２】
磁気ディスクのサイズを変えずに記憶容量を増やすためには、記録トラックのピッチを狭くして記録トラックの数を増やす必要がある。記録トラックのピッチが現在の３μｍから例えば約１μｍへと狭くなると、ヘッドスライダの位置決め精度をナノオーダにまで向上させる必要がある。ヘッドスライダの位置決め精度を向上させるためには、ヘッドスライダを支持するアームのディスク面方向（ヘッドスライダのシークする方向）の振動の共振時における振幅を小さくする必要があり、このためには、アームの剛性を高めて、振動の共振点を高くする必要がある。
【０００３】
耐衝撃性を向上させるには、アームの剛性を高めて、アームの先端の磁気ディスクに近づく方向への撓みが小さくなるようにする必要がある。
【０００４】
【従来の技術】
従来の２．５インチサイズの磁気ディスク装置１０は、図２３（Ａ），（Ｂ）に示すように、ハウジング１１内に、２．５インチサイズの２枚の磁気ディスク１２−１，１２−２がモータ（図示せず）によって回転可能に組み込まれ、且つ、ヘッドサスペンション装置１３がアクチュエータ１４によって揺動されるように組み込まれた構成である。図２３（Ｂ）は、図２３（Ａ）中、Ｂ−Ｂ線に沿う断面を拡大して示す図である。
【０００５】
ヘッドサスペンション装置１３は、図２４（Ａ），（Ｂ）に示すように、スリーブ２０に、アーム２１−１、スペーサ２２−１、アーム２１−２、アーム２１−３、スペーサ２２−２、アーム２１−４がこの順で嵌合して積み重ねてあり、ねじ部材２３でもって固定され、且つ、スリーブ２０が、軸受２４−１，２４−２でもって固定の中心軸２５に揺動可能に組み込まれた構成である。
【０００６】
アーム２１−１〜２１−４の先端にはサスペンション２６−１〜２６−４が固定してあり、各サスペンション２６−１〜２６−４の先端にヘッドスライダ２７−１〜２７−４が固定してある。
アーム２１−１が磁気ディスク１２−２の下側、アーム２１−２とアーム２１−３とが磁気ディスク１２−１と磁気ディスク１２−２との間、アーム２１−４が磁気ディスク１２−１の上側に位置している。ヘッドスライダ２７−１が磁気ディスク１２−２の下面、ヘッドスライダ２７−２が磁気ディスク１２−２の上面、ヘッドスライダ２７−３が磁気ディスク１２−１の下面、ヘッドスライダ２７−４が磁気ディスク１２−１の上面に接している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のヘッドサスペンション装置１３のサスペンション及びヘッドスライダが付いている状態における各アーム２１−１〜２１−４の先端の部分の、磁気ディスク面内方向（ヘッドスライダのシーク方向）の振動周波数応答特性についてみる。
【０００８】
図４中、破線で示す線IIは、後述すると同じく試験を行った結果の、下側のアーム２１−１及び上側のアーム２１−４の先端の磁気ディスク面内方向（ヘッドスライダのシーク方向）の振動周波数応答特性を示す。ピークＰ２が現れる周波数はｆ２であり、ピークＰ２の振幅はＬ２である。
アーム２１−２の先端の磁気ディスク面内方向（ヘッドスライダのシーク方向）の振動周波数応答特性もアーム２１−３の先端の磁気ディスク面内方向（ヘッドスライダのシーク方向）の振動周波数応答特性も、図４中、破線で示す線IIと同じである。アーム２１−２とアーム２１−３とは単に重なり合っているだけであるからである。
【０００９】
周波数はｆ１はやや低く、振幅Ｌ１はやや高い。また、このことは、アームの磁気ディスクの面方向の振動の共振特性及び磁気ディスクの面に垂直の方向の振動の共振特性についても同じである。よって、ヘッドスライダの位置決め精度の向上を図ることは困難であり、記録トラックのピッチを狭くし記録トラックの数を増やして磁気ディスクの記憶容量を増やすことは困難であった。
【００１０】
また、アーム２１−２とアーム２１−３とは単に重なり合っているだけであるため、アームの寸法精度のばらつき、及び、組立てのばらつき等によって、磁気ディスク装置１０によって、アーム２１−２の先端の部分とアーム２１−３の先端の部分とは、図２５（Ａ）に示すように接触している場合や、図２５（Ｂ）に示すように離れており接触していない場合があった。２８は隙間を示す。このような組立て状態のばらつきは、ヘッドサスペンション装置１３の振動特性のばらつきとなり、シーク動作のためのサーボ回路は、サーボ系が発振しないよう安全を考慮した設計にしなければならず、この点でも、ヘッドスライダの位置決め精度を高くすることは困難であり、磁気ディスクの記憶容量を増やすことは困難であった。
【００１１】
次に、磁気ディスク装置１０を誤って落としたと仮定した場合について説明する。
磁気ディスク装置１０が床に落ちたときの衝撃により、各アーム２１−１〜２１−４の先端にはヘッドスライダ２７−１〜２７−４の重量に対応した力Ｆが作用する。
【００１２】
上側のアーム２１−４及び下側の２１−１は、図２６（Ａ）に示すように撓み、アーム２１−４、２１−１の先端の撓み量δ２である。
中間のアーム２１−２、アーム２１−３についても、各アーム２１−２、アーム２１−３毎に力Ｆが作用して、アーム２１−２、アーム２１−３は図２６（Ｂ）に示すように撓み、アーム２１−２、２１−３の先端の撓み量は、上記のアーム２１−４、２１−１の場合と同じくδ２である。
【００１３】
磁気ディスク装置１０を薄くするため、磁気ディスク１２−１，１２−２間の間隔ｇは約１．８ｍｍと狭く、アーム２１−１〜２１−４の先端と磁気ディスク１２−１，１２−２との間の隙間ａは約３００μｍと狭くなっており、アーム２１−１〜２１−４の厚さを厚くすることは困難であり、磁気ディスク装置１０の床への落ち方によっては、上記の撓み量δ２が大きくなって、各アーム２１−１〜２１−４の先端が磁気ディスク１２−１，１２−２の面に当たってしまう虞れがあった。
【００１４】
アーム２１−１〜２１−４の先端が磁気ディスク１２−１，１２−２の面に当たると、塵埃が発生して、ヘッドクラッシュが起きやすくなり、また、磁気ディスク１２−１，１２−２の面を傷付けてしまう。
また、磁気ディスク装置１０の床への落ち方によっては、図２６（Ｃ）に示すように、アーム２１−２とアーム２１−３が一旦拡がる方向に撓み、その後に狭まって叩き合う。このときにも塵埃が発生してしまう。
【００１５】
即ち、上記構成の磁気ディスク装置１０は、耐衝撃性の点でも問題があった。
なお、耐衝撃性を改善するためにアームの厚さを厚くすることが考えられる。しかし、このようにすると、中央のアームについては、一つのアームの上面と下面との両面にサスペンション及びヘッドスライダが付いた構成となり、試験用ディスクを相対的に走査させて信号の記録、再生を行う試験を行った結果、２つのヘッドスライダのうち１つが不良であった場合にも、そのアームはヘッドサスペンション装置に組み込むことが出来なくなって、ヘッドサスペンション装置の生産性が良くなくなってしまい、好ましくない。
【００１６】
そこで、本発明は、上記課題を解決したディスク装置及びヘッドサスペンション装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、
回転されるディスクと、
板状のアームと、該板状アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してある上向きのヘッドスライダとよりなる第1のアーム装置と、板状のアームと、該板状アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してある下向きのヘッドスライダとよりなる第２のアーム装置とが、該第1のアーム装置が上側、該第２のアーム装置が下側とされて、該第1のアーム装置の板状アームと該第２のアーム装置の板状アームとが重なり合わさって一体化されており、且つ、各板状アームの根元部側を挟んで固定されている構成であるアームモジュールと、
該アームモジュールのうち上記板状アームの根元部側を駆動するアクチュエータとを有する構成としたものである。
【００１８】
重なっているアームが固定されて一体化されているため、アームモジュールは、アームが重なっているだけの構成に比べて、剛性が高くなる。アームモジュールの剛性が高くなると、アームモジュールの振動の共振点を高くなって共振時における先端の振幅が小さく抑えられ、ヘッドスライダの位置決め精度が向上する。
【００１９】
また、重なっているアームが固定されて一体化されているため、組み立てた各アームモジュールの振動特性の間でのばらつきが従来の場合に比べて相当に少なくなって実質的に無くなる。よって、ヘッドスライダの位置決めを行うサーボ系の定数を確定させることが可能となり、組み立てたどのディスク装置においても、より帯域の高い位置決め動作が行われ、このことによっても、ヘッドスライダの位置決め精度が向上する。
【００２０】
また、アームモジュールの剛性が高くなると、衝撃を受けたときのアームの先端の磁気ディスクに近づく方向への撓みが小さくなり、アームの先端がディスクに当たることが起きにくくなり、ディスク装置内で塵埃が発生することが抑えられ、よって、ヘッドクラッシュの危険を避けることが可能となる。
請求項２の発明は、回転されるディスクと、
複数のアーム装置よりなり、各アーム装置は、板状のアームと、該アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してあるヘッドスライダとよりなる構成であり、各アーム装置の上記アームが重なって合わさっている構成であるアームモジュールと、
該アームモジュールのうち重なっている上記アームの根元部側を駆動するアクチュエータとを有し、
各アーム装置は、アームがその側縁に沿ってリブを有する構成であり、
且つ、上記アームモジュールは、各アーム装置の重なっているリブ付きのアームが固定されて一体化された構成としたものである。
【００２１】
各アームのリブはアームモジュールの剛性を高くする。
請求項３の発明は、アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が固定されて一体化された構成としたものである。
先端側同士を固定しただけであるため、全長に亘って固定する構成に比べて製造がし易い。
【００２２】
請求項４の発明は、アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が接着されて一体化された構成としたものである。
接着剤が粘性減衰作用を発揮して、アームモジュールの共振時の振幅を低くするように作用する。振幅が低くなると、その分ヘッドスライダの位置決め精度が向上する。
【００２３】
請求項５の発明は、アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が両面テープ片によって接着されて一体化された構成としたものである。
両面テープ片の大きさを管理することによって、アームの接着した部分が、接着剤を塗布した場合に比べて、画一的となり、特性のばらつきが少ない状態でアームモジュールを製造することが出来、且つ、アームモジュールを製造が容易である。また、両面テープ片のシートの部分及び上下の接着剤層の部分が、粘性減衰特性を呈し、よって、アームモジュールの共振時のピークの振幅が小さく抑えられる。よって、ヘッドスライダは精度良く位置決めされる。
【００２４】
請求項６の発明は、アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が溶接されて一体化された構成としたものである。
溶接によって、アームが、その先端側同士が堅固に固定される。
請求項７の発明は、アームモジュールは、上下に並んで複数有し、最下位置のアームモジュールを除いて各アームモジュールはレーザビームが通過する開口を、上側のアームモジュールの開口が下側のアームモジュールの開口より大きい関係で設けてあり、
各アームモジュールは、重なっている上記のアームの先端側同士が、それより上側のアームモジュールの開口を通ってきたレーザビームによって溶接されて一体化された構成としたものである。
【００２５】
アームモジュールが上下に並んで複数有する場合に、全部のアームをその根元部を固定した後で、先端部を溶接することが出来、よって、ヘッドサスペンション装置の組立てがし易い。また、アームモジュールが溶接した箇所に不要な応力がかかっていない状態となり、よって、ヘッドスライダの位置決め精度は損なわれない。
【００２６】
請求項８の発明は、アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側の側面側が溶接されて一体化された構成としたものである。
溶接がアームの側方から行われているため、アームを重ね、全部のアームの根元部側を固定した後に、アームの側方からレーザビームの照射等を行って、レーザスポット溶接を行っており、これによって、溶接部には不要な応力がかかっていず、よって、ヘッドスライダの位置決め精度は損なわれない。また、ヘッドサスペンション装置は作業性良く組立てられる。
【００２７】
請求項９の発明は、アームモジュールは、重なっている上記のアームが、一方のアームに形成してある凸部を他方のアームに形成してある開口内に圧入されて一体化された構成としたものである。
作業は圧入加工で済み、溶接等に比べて簡単に製造可能である。
請求項１０の発明は、アームモジュールは、重なっている上記のアームが、はとめ部材によって一体化された構成としたものである。
【００２８】
溶接等に比べて簡単に製造可能である。
請求項１１の発明は、アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が押し付け合って一体化された構成としたものである。
接着等は不要であり、製造がし易い。
請求項１２の発明は、アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その全長に亘って固定されて一体化された構成としたものである。
【００２９】
先端部分だけを固定した構成に比べて、アームモジュールの剛性が高くなる。
請求項１３の発明は、アームモジュールは、重なっている上記のアームが、その先端側同士が固定されて、且つ、根元部付近が固定されて一体化された構成としたものである。
根元部付近が固定された分、アームモジュールの剛性が高くなる。
【００３０】
請求項１４の発明は、アームモジュールは、上記各アームがリード線配線用溝を有し、上記のアームが重なった状態で、各アームのリード線配線用溝が対向して、重なっている上記のアームの間にリード線用の配線路を設けてなる構成としたものである。
アームの間のリード線用の配線路は、リード線がディスクと接触する危険を回避する。
請求項１５の発明は、板状のアームが重なっている構成のアームモジュールと、該アームモジュールの先端に支持されており、ディスクと対向するヘッドスライダとよりなり、ディスク装置に組み込まれるヘッドサスペンション装置において、
上記アームモジュールは、複数のアーム装置よりなり、各アーム装置は、板状のアームと、該アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してあるヘッドスライダとよりなる構成であり、複数のアーム装置は、各アーム装置の上記アームが重なって組み合わさっており、且つ、重なっている上記のアームが固定されて一体化された構成としたものである。
【００３１】
請求項１の発明と同じく、ヘッドスライダの位置決め精度が向上し、耐衝撃性が向上する。
請求項１６の発明は、板状のアームが重なっている構成のアームモジュールと、該アームモジュールの先端に支持されており、ディスクと対向するヘッドスライダとよりなり、ディスク装置に組み込まれるヘッドサスペンション装置において、
上記アームモジュールは、複数のアーム装置よりなり、各アーム装置は、板状のアームと、該アームの先端より延びているサスペンションと、該サスペンションの先端に支持してあるヘッドスライダとよりなる構成であり、複数のアーム装置は、各アーム装置の上記アームが重なって組み合わさっており、且つ、上記のアームがその側縁に沿ってリブを有する構成であり、該リブ付きののアームが重なって固定されて一体化された構成としたものである。
【００３２】
請求項２の発明と同じく、リブがある分、ヘッドスライダの位置決め精度が向上し、耐衝撃性が向上する。
請求項１７の発明は、アームモジュールは、請求項３乃至請求項１３のうちいずれか一項記載の構成である構成としたものである。
【００３３】
【発明の実施の形態】
〔第１実施例〕
本発明の第１実施例になる２．５インチサイズの磁気ディスク装置５０は、図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、ハウジング５１内に、２．５インチサイズの２枚の磁気ディスク５２−１，５２−２がモータ（図示せず）によって回転可能に組み込まれ、且つ、ヘッドサスペンション装置５３がアクチュエータ５４によって揺動されるように組み込まれた構成である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）中、Ｂ−Ｂ線に沿う断面を拡大して示す図である。
【００３４】
ヘッドサスペンション装置５３は、図１（Ｂ）及び図２に示すように、スリーブ６０に、アーム６１−１、アーム６１−２、スペーサ６２−１、アーム６１−３、アーム６１−４、スペーサ６２−２、アーム６１−５、アーム６１−６がこの順で嵌合して積み重ねてあり、スリーブ６０の上部にねじ止めされたねじ部材６３でもって固定され、且つ、スリーブ６０が、軸受６４−１，６４−２でもって固定の中心軸６５に揺動可能に組み込まれた構成である。
【００３５】
アーム６１−２〜６１−５の先端にはサスペンション６６−１〜６６−４が固定してあり、各サスペンション６６−１〜６６−４の先端にヘッドスライダ６７−１〜６７−４が固定してある。
アーム６１−１〜６１−６は、同じ部材であり、ステンレス製であり、厚さｔ１は約２００μｍと薄い。サスペンション６６−１〜６６−４は、同じ部材であり、ステンレス製であり、厚さｔ２は約２０μｍと更に薄い。ヘッドスライダ６７−１〜６７−４は所謂ピコスライダであり、一の端面に、薄膜成形によって形成された記録用のインダクタンスヘッドと再生用の磁気抵抗効果素子又は巨大磁気抵抗効果素子を利用したヘッドとを有するものである。磁気ディスク５２−１，５２−２間の間隔ｄは約１．８ｍｍと狭く、アーム６１−２〜６１−５の先端と磁気ディスク５２−１，５２−２との間の隙間ｂは約３００μｍと狭い。これによって、磁気ディスク装置５０は薄型となっている。
【００３６】
アーム６１−１とアーム６１−２とが磁気ディスク５２−２の下側、アーム６１−３とアーム６１−４とが磁気ディスク５２−１と磁気ディスク５２−２との間、アーム６１−５とアーム６１−６とが磁気ディスク５２−１の上側に位置している。ヘッドスライダ６７−１が磁気ディスク５２−２の下面、ヘッドスライダ６７−２が磁気ディスク５２−２の上面、ヘッドスライダ６７−３が磁気ディスク５２−１の下面、ヘッドスライダ６７−４が磁気ディスク５２−１の上面に接している。
【００３７】
アーム６１−１とアーム６１−２とは、根元部側を挟まれて固定され、先端部分を、図１（Ｂ）に拡大して示すように、接着剤６８−１によって接着されて、重なっている。これを、アームモジュール７０−１という。アーム６１−３とアーム６１−４とは、根元部側を挟まれて固定され、先端部分を、図１（Ｂ）に拡大して示すように、接着剤６８−２によって接着されて、重なっている。これを、アームモジュール７０−２と定義する。アーム６１−５とアーム６１−６とは、根元部側を挟まれて固定され、先端部分を、図１（Ｂ）に拡大して示すように、接着剤６８−３によって接着されて、重なっている。これを、アームモジュール７０−３という。図１（Ｂ）の部分拡大図においては、接着剤６８−１〜６８−３に厚みをもたせているけれども、これは図示の便宜上であり、実際には、接着剤６８−１〜６８−３の厚みは無視できる程度に薄く、重なっているアームの対向する面は突き当たっており、アームの間に隙間はない。６９−１〜６９−３は接着されている部分である。接着剤６８−１〜６８−３は、樹脂系のものであり、樹脂系のもののうち比較的流動性が高く、硬化後に剛性が比較的高いものである。
【００３８】
なお、先端側を完全に接着した後に根元部側を挟んで固定すると、二つのアーム間の位置ずれ等によって、根元部側を挟んで固定するときに重ね合わされた二つのアームに無用な内部応力が発生する虞がある。アームに無用な内部応力が発生していると、ヘッドスライダの位置決め精度に悪い影響を与える。そこで、上記の接着は、重ね合わされる二つのアームのうち一方のアームの先端部に接着剤を塗布しておき、二つのアームを重ね合わせ、根元部側を挟んで固定したのちに、先端側を加圧することによってなされている。根元部側を挟んで固定した状態で、重ね合わされた二つのアームに無用な内部応力が発生しないようにするためである。
【００３９】
次に、アームモジュール７０−１〜７０−３の機械的特性及び振動特性について説明する。
アームモジュール７０−２（７０−１，７０−３）は、根元部側を挟まれて固定された状態で重なっているアーム６１−３とアーム６１−４との先端部分が接着されている構成であるため、厚さｔ１の２倍の厚さのアームと同程度の剛性を有する。
【００４０】
ここで、図３に示すように、アームモジュール７０−２の先端に垂直方向に力（２×Ｆ）が作用した場合を考えてみる。力をＦの２倍としたのは、アームモジュール７０−２は２個のヘッドスライダ６７−２、６７−３を支持しているからである。アームモジュール７０−２は図３に示すように撓み、先端の撓み量はδ１である。撓み量δ１は、図２６に示す従来のアームの場合の撓み量δ２の約１／８に留まる。
【００４１】
また、アームモジュール７０−２（７０−１，７０−３）は、アーム６１−３とアーム６１−４との先端部分が接着されているため、アーム６１−３及びアーム６１−４の寸法精度のばらつき、及び、組立てのばらつき等があったとしても、アーム６１−３の先端の部分とアーム６１−４の先端の部分とは、必ず接触している状態となっている。
【００４２】
また、アームモジュール７０−１〜７０−３の先端の磁気ディスク面内方向（ヘッドスライダのシーク方向）の振動周波数応答特性を測定した。この測定は、ヘッドサスペンション装置５３を試験装置にセットし、前記のアクチュエータ５４に相当するアクチュエータにサイン波の駆動信号を加え、周波数を徐々に上げてゆき、アームモジュール７０−１〜７０−３の先端の磁気ディスク面内方向（ヘッドスライダのシーク方向）の振動の振幅を測定することによって行った。この試験によって、図４中、線Ｉで示す結果を得た。ピークＰ１が現れる周波数はｆ１であり、ピークＰ１の振幅はＬ１である。
【００４３】
ピークＰ１が現れる周波数はｆ１は、従来のアームの場合のピークが現れる周波数ｆ２より√２倍高い。これは、アームモジュール７０−２（７０−１，７０−３）が、厚さｔ１の２倍の厚さのアームと同程度の剛性を有するためである。ピークＰ１が現れる周波数はｆ１が従来のアームの場合の周波数はｆ２より高い分、ピークＰ１の振幅Ｌ１は、従来のアームの場合の振幅Ｌ２より低い。
【００４４】
ピークＰ１の振幅Ｌ１が低いのは、微視的に見た場合に、接着剤６８−２が粘性減衰効果を発揮するためでもある。
また、アームモジュール７０−１（７０−１，７０−３）の先端のシーク方向の振動の応答特性及ディスク面に垂直の方向の振動の応答特性も、従来のアームの場合に比べて、ピークが現れる周波数は高く、ピークの振幅は低い。
【００４５】
上記構成の磁気ディスク装置５０は、従来の磁気ディスク装置に比べて以下の特長を有する。
（１）記憶容量の大容量化を図ることが可能である。
これは、以下の理由によってヘッドスライダの位置決め精度が向上し、これによって、磁気ディスク上の記録トラックのピッチを狭くして記録トラックの数を増やして高密度記録を行うことが出来るからである。
【００４６】
以下にヘッドスライダの位置決め精度が向上する理由を挙げる。
▲１▼  アームモジュール７０−１〜７０−３の先端のアームモジュールの面の方向の振動の応答特性のピークＰ１の振幅Ｌ１が低い。
これは、第１には、アームモジュール７０−２（７０−１，７０−３）が、根元部側を挟まれて固定された状態で重なっているアーム６１−３とアーム６１−４との先端部分が接着されている構成であるからであり、第２には、接着剤６８−２が粘性減衰効果を発揮するからである。
【００４７】
▲２▼  アーム６１−３及びアーム６１−４の寸法精度のばらつき、及び、組立てのばらつき等があったとしても、アーム６１−３の先端の部分とアーム６１−４の先端の部分とは、必ず安定に接触している状態となっており、各アームモジュール７０−２、７０−１，７０−３は振動的特性のばらつきが無くなる。よって、アクチュエータ５４を駆動させてヘッドスライダを動かしてヘッドスライダの位置決めをするサーボ回路の定数の確定させることが出来、組み立てたどの磁気ディスク装置５０についても、より帯域の高い高精度な位置決めが可能となる。
【００４８】
（２）耐衝撃性に優れている。
アームモジュール７０−２（７０−１，７０−３）は、根元部側を挟まれて固定された状態で重なっているアーム６１−３とアーム６１−４との先端部分が接着されている構成であり、剛性が高く、先端に荷重が加わった場合の先端の撓み量が小さく、磁気ディスク装置５０を通常の高さから床に落とした場合の衝撃によっては、アームモジュール７０−２（７０−１，７０−３）の先端が磁気ディスク５２−１，５２−２の面に当たることが起きないからである。
【００４９】
（３）ヘッドクラッシュが発生しにくい。
高密度記録のためにヘッドスライダの浮上量を極く小さくする必要がある。ヘッドスライダの浮上量を極く小さくすると、ヘッドクラッシュが発生し易くなる。しかし、磁気ディスク装置５０に衝撃が加わった場合にも、アームモジュール７０−２（７０−１，７０−３）の先端が磁気ディスク５２−１，５２−２の面に当たることが起きず、また、アーム６１−３とアーム６１−４とが叩き合うことも起きず、よって、ヘッドクラッシュの原因となる塵埃の発生が防止される。よって、ヘッドクラッシュが発生しにくくなる。
【００５０】
なお、上記実施例では、重なっているアームの先端部分のみを接着した構成となっているけれども、アームの全長に亘って接着してもよい。
次に本発明の他の実施例について説明する。以下は、ヘッドサスペンション装置について説明する。
〔第２実施例〕
図５は本発明の第２実施例のヘッドサスペンション装置５３Ａを示す。ヘッドサスペンション装置５３Ａは、アームモジュール７０−１Ａ、７０−２Ａ，７０−３Ａを除いて、第２図に示すヘッドサスペンション装置５３と同じである。
【００５１】
アームモジュール７０−１Ａ、７０−２Ａ，７０−３Ａは、アーム６１−１〜アーム６１−６が、接着に代えて、先端部をレーザスポット溶接されて固定されている構成である。８０はレーザスポット溶接された部分を示す。
〔第３実施例〕
図６は本発明の第３実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｂを示す。ヘッドサスペンション装置５３Ｂは、ねじ部材６３を締めてアームの根元部側を固定したのちに、レーザスポット溶接が行えるようにしたものである。
【００５２】
アームモジュール７０−１Ｂについては、アーム６１−１、６１−２が、先端側のレーザスポット溶接部９０で固定されている。アームモジュール７０−２Ｂについては、アーム６１−３Ｂ、６１−４Ｂが、先端側のレーザスポット溶接部９１で固定されている。アームモジュール７０−３Ｂについては、アーム６１−５Ｂ、６１−６Ｂが、先端側のレーザスポット溶接部９２で固定されている。
【００５３】
アーム６１−３Ｂ、６１−４Ｂは、先端の同じ位置に第１の開口９３、９４を有する。アーム６１−５Ｂ、６１−６Ｂは、先端の同じ位置に第２の開口９５、９６を有する。第２の開口９５、９６は、第１の開口９３、９４より大きく、各アームの根元部側を固定して組み立てた状態で上側から見た場合に、第１の開口９３、９４を含み、且つ、第１の開口９３、９４よりもアームの先端側に拡がっている関係にある。
【００５４】
レーザスポット溶接は、ねじ部材６３を締めて全部のアームの根元部側を固定した後に、図３に示すように、３回に分けて行う。レーザスポット溶接部９０は、レーザビーム９７を、第２の開口９５、９６及び第１の開口９３、９４を通して、アーム６１−２上に照射させることにより形成される。レーザスポット溶接部９０は、ヘッドサスペンション装置５３Ｂの位置をずらして、レーザビームを、符号９７で示すように、第２の開口９５、９６及び第１の開口９３、９４を通して、アーム６１−２上に照射させることにより形成される。レーザスポット溶接部９１は、ヘッドサスペンション装置５３Ｂの位置をさらにずらして、レーザビームを、符号９８で示すように、第２の開口９５、９６を通して、アーム６１−４Ｂ上に照射させることにより形成される。レーザスポット溶接部９２は、レーザビームを、符号９９で示すように、アーム６１−６Ｂ上に照射させることにより形成される。
【００５５】
上記のようにねじ部材６３を締めて全部のアームの根元部側を固定した後にレーザスポット溶接を行っているため、レーザスポット溶接部９０、９１、９２には不要な応力がかかっていず、よって、ヘッドスライダの位置決め精度は損なわれない。また、ヘッドサスペンション装置５３Ｂは作業性良く組立てられる。
〔第４実施例〕
第４実施例及び次の第５、第６実施例は、上下のアームの先端側がばね力によって押し当たっているようにしたものである。
【００５６】
図８は本発明の第４実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｃを示す。ヘッドサスペンション装置５３Ｃは、アームを山形に折り曲げた形状とし、２つのアームを重ねて上下に凸となる形状に組み合わせ、ねじ部材６３を締めてアームの根元部側を固定してアームが弾性変形して平坦となるようにし、上下のアームの先端部同士がアーム自体に発生した弾性力Ｆ１によって押し当たるようにしたものである。
【００５７】
アームモジュール７０−２Ｃについてみるに、アーム６１−３Ｃ，６１−４Ｃは、１８０度に近い開き角αでもって山形に折り曲げられた形状を有する。アーム６１−３Ｃ，６１−４Ｃは、上下に凸となる形状に組み合わされ、ねじ部材６３を締めてアームの根元部側が押し付けられて固定されている。アーム６１−３Ｃ，６１−４Ｃは強制的に弾性変形されて平坦となり、アーム６１−３Ｃ，６１−４Ｃの先端部同士がアーム６１−３Ｃ，６１−４Ｃ自体に発生した弾性力Ｆ１でお互いに押しあって押し当たっている。弾性力ｆ１は数１００ｇｒである。
【００５８】
このアームモジュール７０−２Ｃは、アーム６１−３Ｃ，６１−４Ｃの先端部同士が準結合した状態にあるため、接着等せずに、アームの先端部同士が接着されている構成のものと同等の効果が得られる。
また、押し当たっているアーム６１−３Ｃ，６１−４Ｃの先端部同士は、相対運動に対しては擦れあい、ダンピング効果を発揮して振動のピークの振幅を下げる。
【００５９】
他のアームモジュール７０−１Ｃ、７０−３Ｃも、上記のアームモジュール７０−２Ｃと同じ構成である。
〔第５実施例〕
図９は本発明の第５実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｄを示す。ヘッドサスペンション装置５３Ｄは、上記第４実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｃの変形例的なものであり、アームをその先端の横側にばね片を有する形状とし、２つのアームを上下に重ねて、ばね片同士が当接しあうようにし、ねじ部材６３を締めてアームの根元部側を固定することによって、当接しあっているばね片が弾性変形して押しあった状態となるようにしたものである。
【００６０】
図１０（Ａ）、（Ｂ）を併せ参照して、アームモジュール７０−２Ｄについてみるに、アーム６１−３Ｄは、その先端の横側に、上方に小さい角度βで傾斜したばね片６１−３Ｄａを有し、アーム６１−４Ｄは、その先端の横側に、下方に小さい角度βで傾斜したばね片６１−４Ｄａを有する。アーム６１−３Ｄ、６１−４Ｄは、重ね合わされて、ばね片６１−３Ｄａ、６１−４Ｄａが対向する状態とされ、ねじ部材６３を締めて、アームの根元部側が押し付けられて固定されている。ばね片６１−３Ｄａ、６１−４Ｄａは、強制的に弾性変形されてアーム６１−３Ｄ、６１−４Ｄと平行とされ、ばね片６１−３Ｄａ、６１−４Ｄａ同士がそれ自体に発生した弾性力Ｆ２で押し当たっている。
【００６１】
このアームモジュール７０−２Ｄは、アーム６１−３Ｄ，６１−４Ｄの先端部のばね片６１−３Ｄａ、６１−４Ｄａ同士が準結合した状態にあるため、接着等せずに、アームの先端部同士が接着されている構成のものと同等の効果が得られる。
また、押し当たっているばね片６１−３Ｄａ、６１−４Ｄａ同士は、相対運動に対しては擦れあい、ダンピング効果を発揮して振動のピークの振幅を下げる。
【００６２】
また、この構成によれば、前記のアームモジュール７０−２Ｃに比べて、アームモジュール７０−２Ｄの先端の上下方向（アームモジュールの並び方向）の位置精度が高い。アーム６１−３Ｄ，６１−４Ｄは山形に曲げられていず、平面であるからである。２．５インチサイズの磁気ディスク装置が薄型となってきており、上下の磁気ディスク間の隙間は狭い。よって、アームモジュール７０−２Ｄの先端の上下方向（アームモジュールの並び方向）の位置精度が高いことは、薄型の磁気ディスク装置を組み立てをし易すくする上で有利である。
【００６３】
他のアームモジュール７０−１Ｄ、７０−３Ｄも、上記のアームモジュール７０−２Ｄと同じ構成である。
〔第６実施例〕
図１１は本発明の第６実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｅを示す。ヘッドサスペンション装置５３Ｅは、上記第５実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｄの変形例的なものであり、下側のアームを、その先端の横側に磁気ディスクの面方向に撓むばね片を有する形状とし、上側のアームの側端面と下側のアームのばね片とが磁気ディスクの面方向に押し当たるようにし、この状態でねじ部材６３を締めてアームの根元部側を固定してなるようにしたものである。即ち、上側のアームと下側のアームとが、磁気ディスクの面方向で押し当たっているようにしたものである。
【００６４】
図１２（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を併せ参照して、アームモジュール７０−２Ｅについてみるに、下側のアーム６１−３Ｅは、その先端の横側に、上方に立ち上げて折り曲げてある立ち上げ折曲片６１−３Ｅａと、この立ち上げ折曲片６１−３Ｅａからアーム６１−３Ｅの根元部の方向に且つアーム６１−３Ｅの中心側に延びているばね片６１−３Ｅｂとが形成してある。ばね片６１−３Ｅｂとアーム６１−３Ｅの側縁６１−３Ｅｃとの角度はγである。
【００６５】
上側のアーム６１−４Ｅと下側のアーム６１−３Ｅとは、図１２（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、上側のアーム６１−４Ｅの側縁６１−３Ｅａがばね片６１−３Ｅｂに押し当たり、ばね片６１−３Ｅｂを強制的に弾性変形させた状態で、ねじ部材６３を締めて根元部側を固定されている。ばね片６１−３Ｅｂ自体に発生した弾性力Ｆ３で、ばね片６１−３Ｅｂが上側のアーム６１−４Ｅの側縁６１−３Ｅａに押し当たっている。よって、上側のアーム６１−４Ｅと下側のアーム６１−３Ｅとは、磁気ディスクの面方向で押し当たっている。
【００６６】
このアームモジュール７０−２Ｅは、アーム６１−３Ｅ，６１−４Ｅの先端部において、ばね片６１−３Ｅｂと側縁６１−３Ｅａとが準結合した状態にあるため、接着等せずに、アームの先端部同士が接着されている構成のものと同等の効果が得られる。
また、押し当たっているばね片６１−３Ｅｂと側縁６１−３Ｅａとは、相対運動に対しては擦れあい、ダンピング効果を発揮して振動のピークの振幅を下げる。
【００６７】
また、この構成によれば、前記のアームモジュール７０−２Ｄ比べて、アームモジュール７０−２Ｅの先端の上下方向（アームモジュールの並び方向）の位置精度が高い。アーム６１−３Ｅ，６１−４Ｅは山形に曲げられていず、平面であるからであり、且つ、上側のアーム６１−４Ｅと下側のアーム６１−３Ｅと押し合っている方向が磁気ディスクの面方向に対して垂直の方向ではなく磁気ディスクの面方向であるからである。
【００６８】
他のアームモジュール７０−１Ｅ、７０−３Ｅも、上記のアームモジュール７０−２Ｅと同じ構成である。
〔第７実施例〕
第７実施例乃至第１０実施例は、溶接をアームの側方から行ったものである。第７実施例及び次の第８実施例は、上下のアームを一体化するためのレーザスポット溶接をアームの側方から行えるようにしたものであり、第９実施例及び第１０実施例は上下のアームを一体化するための隅肉溶接をアームの側方から行ったものである。
【００６９】
図１３は本発明の第７実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｆを示す。アームモジュール７０−２Ｆについてみるに、下側のアーム６１−３Ｆは、その一方の側縁の略全長に沿って上方に折り曲がっているリブ６１−３Ｆａを有し、上側のアーム６１−４Ｆは、その一方の側縁の略全長に沿って下方に折り曲がっているリブ６１−４Ｆａを有する。
【００７０】
上側のアーム６１−４Ｆと下側のアーム６１−３Ｆとは、根元部側にスペーサ１００を挟んで、リブ６１−３Ｆａが内側、リブ６１−４Ｆａが外側とされて重ねて組み合わされ、重なっているリブ６１−４Ｆａとリブ６１−３Ｆａとがレーザスポット溶接されて固定されている構成である。１０１はレーザスポット溶接された部分を示す。
【００７１】
このアームモジュール７０−２Ｆは、各アーム６１−３Ｆ、６１−４Ｆがリブ６１−３Ｆａ、６１−４Ｆａを有しているため、図２及び図５のリブのないアームが重なっている構成のアームモジュール７０−２、７０−２Ａ等に比べて、高い剛性を有する。
また、レーザスポット溶接がアームの側方から可能であるため、アーム６１−３Ｆ、６１−４Ｆを重ね、ねじ部材６３を締めて全部のアームの根元部側を固定した後に、レーザ１０２をアームの側方から照射してレーザスポット溶接を行っている。これによって、レーザスポット溶接部１０１には不要な応力がかかっていず、よって、ヘッドスライダの位置決め精度は損なわれない。また、ヘッドサスペンション装置５３Ｆは作業性良く組立てられる。
【００７２】
他のアームモジュール７０−１Ｆ、７０−３Ｆも、上記のアームモジュール７０−２Ｆと同じ構成である。
〔第８実施例〕
図１４は本発明の第８実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｇを示す。アームモジュール７０−２Ｇについてみるに、下側のアーム６１−３Ｇは、その一方の側縁の略全長に沿って下方に折り曲がっているリブ６１−３Ｇａを有し、上側のアーム６１−４Ｇは、その一方の側縁の略全長に沿って上方に折り曲がっているリブ６１−４Ｇａを有する。
【００７３】
上側のアーム６１−４Ｇと下側のアーム６１−３Ｇとは、重ねられ、リブ６１−４Ｇａとリブ６１−３Ｇａとが垂直面上に並んだ状態とされ、先端部分の側面側から連結板１１０を当てがわれ、連結板１１０とリブ６１−４Ｇａ、６１−３Ｇａとがレーザスポット溶接されおり、アーム６１−４Ｇとアーム６１−３Ｇとの先端側が連結板１１０によって連結されている構成である。１１１、１１２はレーザスポット溶接された部分を示す。
【００７４】
このアームモジュール７０−２Ｇは、各アーム６１−３Ｇ、６１−４Ｇがリブ６１−３Ｇａ、６１−４Ｇａを有しているため、図２及び図５のリブのないアームが重なっている構成のアームモジュール７０−２、７０−２Ａ等に比べて、高い剛性を有する。
また、レーザスポット溶接がアームの側方から可能であるため、アーム６１−３Ｆ、６１−４Ｆを重ね、ねじ部材６３を締めて全部のアームの根元部側を固定した後に、レーザ１１３，１１４をアームの側方から照射してレーザスポット溶接を行っている。これによって、レーザスポット溶接部１１１，１１２には不要な応力がかかっていず、よって、ヘッドスライダの位置決め精度は損なわれない。また、ヘッドサスペンション装置５３Ｇは作業性良く組立てられる。
【００７５】
また、重なっているアーム６１−３Ｇ、６１−４Ｇとの間には隙間がない。よって、アームモジュール７０−２Ｇは薄型化に適する。
他のアームモジュール７０−１Ｇ、７０−３Ｇも、上記のアームモジュール７０−２Ｇと同じ構成である。
〔第９実施例〕
図１５は本発明の第９実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｈを示す。アームモジュール７０−２Ｈについてみるに、下側のアーム６１−３Ｈは、その一方の側縁の略全長に沿って下方に折り曲がっているリブ６１−３Ｈａを有し、上側のアーム６１−４Ｈは、その一方の側縁の略全長に沿って上方に折り曲がっているリブ６１−４Ｈａを有する。上側のアーム６１−４Ｈと下側のアーム６１−３Ｈとは、重ねられ、リブ６１−４Ｈａとリブ６１−３Ｈａとが夫々の折れ曲がり部が突き合わされた状態とされ、リブ６１−４Ｈａ及びリブ６１−３Ｈａの突き合わされている折れ曲がり部間が、全長に亘って隅肉溶接によって接合されている構成である。１２０は隅肉溶接部分を示す。
【００７６】
このアームモジュール７０−２Ｈは、各アーム６１−３Ｈ、６１−４Ｈがリブ６１−３Ｈａ、６１−４Ｈａを有しているため、図２及び図５のリブのないアームが重なっている構成のアームモジュール７０−２、７０−２Ａ等に比べて、高い剛性を有する。
また、重なっているアーム６１−３Ｈ、６１−４Ｈとの間には隙間がない。よって、アームモジュール７０−２Ｈは薄型化に適する。
【００７７】
他のアームモジュール７０−１Ｈ、７０−３Ｈも、上記のアームモジュール７０−２Ｈと同じ構成である。
〔第１０実施例〕
図１６は本発明の第１０実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｉを示す。アームモジュール７０−２Ｉについてみるに、上側のアーム６１−４Ｉと下側のアーム６１−３Ｉとは、重ねられ、側面部分が、全長に亘って隅肉溶接によって接合されている構成である。１２１は隅肉溶接部分を示す。
【００７８】
他のアームモジュール７０−１Ｉ、７０−３Ｉも、上記のアームモジュール７０−２Ｉと同じ構成である。
〔第１１実施例〕
図１７は本発明の第１１実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｊを示す。アームモジュール７０−２Ｊについてみるに、下側のアーム６１−３Ｊは、先端部分に、矩形の開口６１−３Ｊａを有し、上側のアーム６１−４Ｊは、先端部分に、下方への切り起こし部６１−４Ｊａを有する。図１８（Ａ）、（Ｂ）を併せ参照するに、切り起こし部６１−４Ｊａは幅Ｗ１を有し、開口６１−３Ｊａは幅Ｗ２を有し、幅Ｗ１と幅Ｗ２とは、幅Ｗ１が幅Ｗ２より若干大きいように、即ち、Ｗ１＞Ｗ２と定めてある。
【００７９】
アーム６１−４Ｊとアーム６１−３Ｊとは、圧入治具を使用して、図１８（Ｃ）に示すように、切り起こし部６１−４Ｊａが変形されて開口６１−３Ｊａ内に押し込まれ圧入されて、先端側を固定されている。
この圧入作業は、アーム６１−４Ｊとアーム６１−３Ｊとをその根元部側をラフに組み合わせた状態で行う。
【００８０】
アームモジュール７０−２Ｊは溶接等に比べて簡単に製造可能である。
他のアームモジュール７０−１Ｊ、７０−３Ｊも、上記のアームモジュール７０−２Ｊと同じ構成である。
〔第１２実施例〕
図１９は本発明の第１２実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｋを示す。このヘッドサスペンション装置５３Ｋは、図１及び図２のヘッドサスペンション装置５３の変形例的なものである。アームモジュール７０−２Ｋについてみるに、下側のアーム６１−３Ｋと上側のアーム６１−４Ｋとの先端部分は、両面テープ片１３０によって接着してある。
【００８１】
両面テープ片１３０は、合成樹脂製のシート１３１の上面と下面とに接着剤層１３２、１３３を有する構成である。
接着剤を塗布してアームを接着する場合には、接着剤を塗布する作業が必要であり、塗布した接着剤の量にばらつきがでて、これによって、製造したアームモジュール間で特性がばらつきやすい。これに対して、両面テープ片１３０を利用して接着した場合には、両面テープ片１３０の大きさを管理することによって、アーム６１−３Ｋ、６１−４Ｋの接着した部分が画一的となり、特性のばらつきが少ない状態でアームモジュールを製造することが出来、且つ、アームモジュールを製造が容易である。
【００８２】
また、両面テープ片１３０のシート１３１の部分及び接着剤層１３２、１３３の部分が、粘性減衰特性を呈し、よって、アームモジュール７０−２Ｋの共振時のピークの振幅が小さく抑えられる。よって、ヘッドスライダは精度良く位置決めされる。
他のアームモジュール７０−１Ｋ、７０−３Ｋも、上記のアームモジュール７０−２Ｋと同じ構成である。
【００８３】
〔第１３実施例〕
図２０は本発明の第１３実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｌを示す。ヘッドサスペンション装置５３Ｌは、基部側にアームクランプ部材１４０を有する。このアームクランプ部材１４０は、アルミニウム製であり、櫛歯形状を有しており、重ねた二つのアームが圧入されて嵌まり込む大きさの凹部１４０ａを有する。
【００８４】
アームモジュール７０−２Ｌについてみるに、下側のアーム６１−３Ｌと上側のアーム６１−４Ｌとは、先端部分は接着剤１４１によって接着してあり、根元の部分は、ねじ部材６３を締めることによって締め付けられており、且つ、根元近くの部分をアームクランプ部材１４０の凹部１４０ａ内に圧入されている。
アーム６１−３Ｌ及びアーム６１−４Ｌが根元近くの部分をアームクランプ部材１４０によって固定されているため、アームモジュール７０−２Ｌは、図２及び図５のアームモジュール７０−２、７０−２Ａに比べて、高い剛性を有し、よって、アームモジュール７０−２Ｌの共振周波数が高くなり、共振時のピークの振幅が小さく抑えられる。よって、ヘッドスライダは精度良く位置決めされる。
【００８５】
他のアームモジュール７０−１Ｌ、７０−３Ｌも、上記のアームモジュール７０−２Ｌと同じ構成である。
〔第１４実施例〕
図２１は本発明の第１４実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｍを示す。アームモジュール７０−２Ｍは、下側のアーム６１−３Ｍと上側のアーム６１−４Ｍとは、先端部分が、孔６１−３Ｍａと孔６１−４Ｍａとを塑性変形されたはとめ部材１５０によって固定されて構成である。
【００８６】
他のアームモジュール７０−１Ｍ、７０−３Ｍも、上記のアームモジュール７０−２Ｍと同じ構成である。
〔第１５実施例〕
図２２は本発明の第１５実施例のヘッドサスペンション装置５３Ｎを示す。アームモジュール７０−２Ｎについてみてみる。下側のアーム６１−３Ｎと上側のアーム６１−４Ｎとの対向する面には、同じ位置に、リード線を配線するためのリード線配線用溝６１−３Ｎａ、６１−４Ｎａが形成してある。アーム６１−３Ｎとアーム６１−４Ｎとは、重なって、先端部分を接着されて一体とされており、リード線配線用溝６１−３Ｎａ、６１−４Ｎａが対向してなるリード線配線通路１６０が、アームモジュール７０−２Ｎの長手方向に延在して形成されており、ヘッドスライダから引き出されているリード線１６１がリード線配線通路１６０内に沿って配線されている。よって、リード線１６１が外部に露出して磁気ディスク等と接触してしまうことが起きない。
【００８７】
他のアームモジュール７０−１Ｎ、７０−３Ｎも、上記のアームモジュール７０−２Ｎと同じ構成である。
また、リード線に代えて帯状のフレキシブル配線を使用して、これをアームモジュールの上面を這わせてもよい。
〔変形例〕
本発明の磁気ディスク装置は、図１に示すように磁気ディスクが２．５インチサイズであり２枚組み込まれた構成に限定されるものではなく、磁気ディスクが３枚組み込まれた構成であってもよい。
【００８８】
また、アームモジュールは、２つのアームが重なった構造に限らず、３つのアームが重なった構造、又は４つのアームが重なった構造でもよい。
なお、磁気ヘッドスライダ８０等に代えて、光学ヘッドを搭載したヘッドスライダを適用することも可能である。この場合には、ディスクは光ディスクであり、ディスク装置は光ディスク装置である。
【００８９】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明は、重なっているアームが固定されて一体化されているため、アームモジュールは、アームが重なっているだけの構成に比べて、剛性が高くなる。アームモジュールの剛性が高くなると、アームモジュールの振動の共振点を高くなって共振時における先端の振幅が小さく抑えられ、ヘッドスライダの位置決め精度を向上させることが出来る。
【００９０】
また、重なっているアームが固定されて一体化されているため、組み立てた各アームモジュールの振動特性の間でのばらつきが従来の場合に比べて相当に少なくなって実質的に無くなる。よって、ヘッドスライダの位置決めを行うサーボ系の定数を確定させることが可能となり、組み立てたどのディスク装置においても、より帯域の高い位置決め動作が行われ、このことによっても、ヘッドスライダの位置決め精度を向上させることが出来る。
【００９１】
また、アームモジュールの剛性が高くなると、衝撃を受けたときのアームの先端の磁気ディスクに近づく方向への撓みが小さくなり、アームの先端がディスクに当たることが起きにくくなり、ディスク装置内で塵埃が発生することが抑えられ、よって、ヘッドスライダの低浮上化の下においてもヘッドクラッシュの危険を避けることが可能となる。
【００９２】
総合的に見てみるにに、耐衝撃性の改善と記憶容量の増大化を実現出来る。
請求項２の発明は、アームモジュールは、アームがその側縁に沿ってリブを有する構成であり、リブ付きのアームが重なって固定されて一体化された構成であるため、リブを設けた分、アームモジュールの剛性を高くすることが出来る。
請求項３の発明は、アーム先端側同士を固定しただけであるため、全長に亘って固定する構成に比べてアームモジュールが製造がし易い。
【００９３】
請求項４の発明は、アームモジュールは、重なっているアームが、その先端側同士が接着されて一体化された構成としたものであるため、接着剤が粘性減衰作用を発揮して、アームモジュールの共振時の振幅が低くなって、その分ヘッドスライダの位置決め精度をさせることが出来る。
請求項５の発明は、アームモジュールは、重なっているアームが、その先端側同士が両面テープ片によって接着されて一体化された構成としたものであるため、両面テープ片の大きさを管理することによって、アームの接着した部分が、接着剤を塗布した場合に比べて、画一的となり、特性のばらつきが少ない状態でアームモジュールを製造することが出来、且つ、アームモジュールを製造が容易である。また、両面テープ片のシートの部分及び上下の接着剤層の部分が、粘性減衰特性を呈し、よって、アームモジュールの共振時のピークの振幅が小さく抑えられる。よって、ヘッドスライダを精度良く位置決め出来る。
【００９４】
請求項６の発明は、アームモジュールは、重なっているアームが、その先端側同士が溶接されて一体化された構成としたものであるため、溶接によって、アームが、その先端側同士を堅固に固定させることが出来る。
請求項７の発明は、アームモジュールは、上下に並んで複数有し、最下位置のアームモジュールを除いて各アームモジュールはレーザビームが通過する開口を、上側のアームモジュールの開口が下側のアームモジュールの開口より大きい関係で設けてあり、各アームモジュールは、重なっている上記のアームの先端側同士が、それより上側のアームモジュールの開口を通ってきたレーザビームによって溶接されて一体化された構成としたものであるため、アームモジュールが上下に並んで複数有する場合に、全部のアームをその根元部を固定した後で、先端部を溶接することが出来、よって、ヘッドサスペンション装置の組立てがし易い。また、アームモジュールが溶接した箇所に不要な応力がかかっていない状態となり、よって、ヘッドスライダの位置決め精度が損なわれないようにすることが出来る。
【００９５】
請求項８の発明は、重なっているアームを一体化される溶接がアームの側方から行われている構成であるため、アームを重ね、全部のアームの根元部側を固定した後に、アームの側方からレーザビームの照射等を行って、レーザスポット溶接を行っており、これによって、溶接部には不要な応力がかかっていず、よって、ヘッドスライダの位置決め精度は損なわれない。また、ヘッドサスペンション装置は作業性良く組立てることが出来る。
【００９６】
請求項９の発明は、アームモジュールは、重なっているアームが、一方のアームに形成してある凸部を他方のアームに形成してある開口内に圧入されて一体化された構成としたものであるため、作業は圧入加工で済み、溶接等に比べて簡単に製造可能である。
請求項１０の発明は、アームモジュールは、重なっているアームが、はとめ部材によって一体化された構成としたものであるため、溶接等に比べて簡単に製造可能である。
【００９７】
請求項１１の発明は、アームモジュールは、重なっているアームが、その先端側同士が押し付け合って一体化された構成としたものであるため、接着等は不要であり、製造がし易い。
請求項１２の発明は、アームモジュールは、重なっているアームが、その全長に亘って固定されて一体化された構成としたものであるため、先端部分だけを固定した構成に比べて、アームモジュールの剛性が高く出来る。
【００９８】
請求項１３の発明は、アームモジュールは、重なっているアームが、その先端側同士が固定されて、且つ、根元部付近が固定されて一体化された構成としたものであるため、根元部付近が固定された分、アームモジュールの剛性を高くすることが出来る。
請求項１４の発明は、アームモジュールは、重なっているアームの間にリード線用の配線路を設けてなる構成としたものであるため、アームの間のリード線用の配線路は、リード線がディスクと接触する危険を回避することが出来る。
【００９９】
請求項１５の発明は、板状のアームが重なっている構成のアームモジュールと、該アームモジュールの先端に支持されており、ディスクと対向するヘッドスライダとよりなり、ディスク装置に組み込まれるヘッドサスペンション装置において、アームモジュールは、重なっている上記のアームが固定されて一体化された構成としたものであるため、請求項１の発明と同じく、ヘッドスライダの位置決め精度が向上し、耐衝撃性が向上するようにすることが出来る。
【０１００】
請求項１６の発明は、板状のアームが重なっている構成のアームモジュールと、該アームモジュールの先端に支持されており、ディスクと対向するヘッドスライダとよりなり、ディスク装置に組み込まれるヘッドサスペンション装置において、上記アームモジュールは、上記のアームがその側縁に沿ってリブを有する構成であり、該リブ付きののアームが重なって固定されて一体化された構成としたものであるため、請求項２の発明と同じく、リブがある分、ヘッドスライダの位置決め精度が向上し、耐衝撃性が向上するようにすることが出来る。
【０１０１】
請求項１７の発明は、アームモジュールは、請求項３乃至請求項１３のうちいずれか一項記載の構成である構成としたものであるため、ヘッドスライダの位置決め精度が向上し、耐衝撃性が向上し、且つ、製造し易いように出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例になる磁気ディスク装置を示す図である。
【図２】図１中のヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図３】アームモジュールの剛性を説明する図である。
【図４】アームモジュールの先端の振動周波数応答特性を示す図である。
【図５】本発明の第２実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図６】本発明の第３実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図７】図６中、各アームのレーザスポット溶接を説明する図である。
【図８】本発明の第４実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図９】本発明の第５実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図１０】図９中、アームモジュールの先端部を拡大して示す図である。
【図１１】本発明の第６実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図１２】図１１中、アームモジュールの先端部を拡大して示す図である。
【図１３】本発明の第７実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図１４】本発明の第８実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図１５】本発明の第９実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図１６】本発明の第１０実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図１７】本発明の第１１実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図１８】図１７中、上下アームの圧入固定部分を拡大して示す図である。
【図１９】本発明の第１２実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図２０】本発明の第１３実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図２１】本発明の第１４実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図２２】本発明の第１５実施例になるヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図２３】従来の磁気ディスク装置を示す図である。
【図２４】図２３中のヘッドサスペンション装置を示す図である。
【図２５】アーム先端部分の重なり状態を拡大して示す図である。
【図２６】図２３の磁気ディスク装置のアームの撓みを示す図である。
【符号の説明】
５０  ２．５インチサイズの磁気ディスク装置
５２−１，５２−２  磁気ディスク
５３，５３Ａ〜５３Ｎ  ヘッドサスペンション装置
６１−１〜６１−６  アーム
６３  ねじ部材
６６−１〜６６−４  サスペンション
６７−１〜６７−４  ヘッドスライダ
６８−１〜６８−３  接着剤
８０，９０，９１，９２，１０１，  レーザスポット溶接された部分
９３，９４  第１の開口
９５，９６  第２の開口
６１−３Ｄａ，６１−４Ｄａ、６１−Ｅｂ  ばね片
６１−３Ｆａ，６１−４Ｆａ，６１−３Ｇａ，６１−４Ｇａ，６１−３Ｈａ，６１−４Ｈａ  リブ
６１−４Ｊａ  切り起こし部
６１−３Ｊａ  開口
１２１  隅肉溶接部分
１３０  両面テープ片
１４０  アームクランプ部材
１５０  はとめ部材
１６０  リード線配線通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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