(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ほぼ筒状に形成された導電性を有するピン本体を備え、前記ピン本体の先端部を検査対象物に押し付けるとともに、前記ピン本体の中空部を通じて前記先端部側から外気を吸引することにより前記検査対象物を前記ピン本体の先端部に対して密着固定させる導電接触ピンにおいて、
前記ピン本体の中空部内に、一端が前記ピン本体の先端部と同一面に配置され他端にバキュームホースが接続される筒状のブッシュが挿通されているとともに、前記ピン本体の中空部の先端部側には、前記ブッシュの外径よりも大径の段部が形成されており、前記ブッシュと前記段部との間に、ゴム弾性体よりなる筒状の接触部材が前記ピン本体の先端部より突出するように固定されており、前記ピン本体の先端部を前記検査対象物に押し付ける際、前記接触部材が前記ピン本体の先端部よりも先に前記検査対象物に弾性的に接触することを特徴とする導電接触ピン。
【請求項２】
前記ピン本体の先端部側には、前記接触部材の弾性変形した部分を収容可能な溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の導電接触ピン。
【請求項３】
ほぼ筒状に形成された導電性を有するピン本体を備え、前記ピン本体の先端部を検査対象物に押し付けるとともに、前記ピン本体の中空部を通じて前記先端部側から外気を吸引することにより前記検査対象物を前記ピン本体の先端部に対して密着固定させる導電接触ピンにおいて、
前記ピン本体の中空部内に、一端が前記ピン本体の先端部と同一面に配置され他端にバキュームホースが接続される筒状のブッシュが挿通されているとともに、前記ピン本体の中空部の先端部側には、前記ブッシュの外径よりも大径の段部が形成されており、前記ブッシュと前記段部との間に、前記検査対象物に対する筒状の接触部材が付勢部材により前記ピン本体の先端部より突出するように設けられており、前記ピン本体の先端部を前記検査対象物に押し付ける際、前記接触部材が前記ピン本体の先端部よりも先に前記検査対象物に弾性的に接触することを特徴とする導電接触ピン。
【請求項４】
ほぼ筒状に形成された導電性を有するピン本体を備え、前記ピン本体の先端部を検査対象物に押し付けるとともに、前記ピン本体の中空部を通じて前記先端部側から外気を吸引することにより前記検査対象物を前記ピン本体の先端部に対して密着固定させる導電接触ピンにおいて、
前記ピン本体の中空部内に、一端に前記検査対象物に対する筒状の接触部材が設けられ他端にバキュームホースが接続される筒状のブッシュが軸方向に摺動可能に挿通されているとともに、前記ブッシュが付勢部材により前記一端側の前記接触部材が前記ピン本体の先端部よりも突出するように付勢されており、前記ピン本体の先端部を前記検査対象物に押し付ける際、前記接触部材が前記ピン本体の先端部よりも先に前記検査対象物に弾性的に接触することを特徴とする導電接触ピン。
【請求項５】
ほぼ筒状に形成された導電性を有するピン本体を備え、前記ピン本体の先端部を検査対象物に押し付けるとともに、前記ピン本体の中空部を通じて前記先端部側から外気を吸引することにより前記検査対象物を前記ピン本体の先端部に対して密着固定させる導電接触ピンにおいて、
前記ピン本体の先端部側の外周に、前記ピン本体の先端部を前記検査対象物に押し付ける際、前記ピン本体の先端部よりも先に前記検査対象物に対して弾性的に接触する筒状の接触部材が同軸的に設けられていることを特徴とする導電接触ピン。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は導電接触ピンに係り、さらに詳しく言えば、例えば薄膜トランジスタ等の導電性検査に好適な導電接触ピンに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図５には、例えば薄膜トランジスタ６０の導電性検査に用いられる従来例としての導電接触ピン５０が示されている。
この導電接触ピン５０は、段付き円筒状のピン本体５１と、ピン本体５１を軸線に沿って往復移動（図中上下方向）可能に支持するスリーブ５２とを含んで構成されている。ピン本体５１は、導電性を有する適宜な金属等により形成されていて、軸線に沿って中空部５３が設けられているとともに、小径部５１Ａの外周に環状のストッパ５４が嵌装されている。このピン本体５１は、基端部５１Ｂ（図中上方）にバキュームホース（図示せず）を接続することにより、先端部５１Ｃ（図中下方）から中空部５３を通じて外気を吸引可能とされている。
スリーブ５２は、ピン本体５１の小径部５１Ａが挿通可能な筒体とされ、当該スリーブ５２とピン本体５１の大径部５１Ｄとの間に介装された圧縮スプリング５５により、常態において導電接触ピン５０を最も延びた状態に維持する。
【０００３】
このような導電接触ピン５０は、スリーブ５２が図示しない検査機器の例えばピンボードに嵌合保持され、ピンボードを下降させることにより、ピン本体５１の先端部５１Ｃが薄膜トランジスタ６０に押し付けられる。
次に、この状態において、導電接触ピン５０は、図示しないリード線を介してピン本体５１に通電させることにより薄膜トランジスタ６０の導電性を検査するようになっている。
【０００４】
この際、導電接触ピン５０は、先端部５１Ｃ側から中空部５３を通じて外気を吸引することにより、先端部５１Ｃおよび薄膜トランジスタ６０の相対位置を維持する。
そして、導電性の検査を終えた後、外気の吸引を中断するとともにピンボードを上昇させ、これによりピン本体５１の先端部５１Ｃから薄膜トランジスタ６０６０を自重により取り外す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述した導電接触ピン５０では、薄膜トランジスタ６０を吸着するための部分と、薄膜トランジスタ６０の導電性を検査するための部分とを先端部５１Ｃが兼ねている関係上、先端部５１Ｃを平坦面に形成しておく必要がある。このため、この導電接触ピン５０は、薄膜トランジスタ６０の表面に塵や酸化物等が付着していると、先端部５１Ｃが薄膜トランジスタ６０に対して浮き上った状態となり、検査不良を生じ易る虞れがある。
【０００６】
また、前述した導電接触ピン５０では、導電性を検査する対象が薄膜トランジスタ６０のように軽量であると、導電性の検査を終えた後、外気の吸引を中断するとともにピンボードを上昇させても、自重によりピン本体５１から外れず、先端部５１Ａに密着したまま持ち上げられる虞れもある。
このため、従来では、ピンボードを上昇させるにあたって、中空部５３を通じて空気を外部に吐出（図中矢印参照）することによりピン本体５１から薄膜トランジスタ６０を取り外している。
しかしながら、これによれば、多数の薄膜トランジスタ６０を順次検査するにあたって、その都度排気動作が必要となるとともに、バキュームホースに接続されたコンプレッサの制御が複雑化し、検査効率を低くするという問題がある。
【０００７】
これらのような問題は、薄膜トランジスタの導電性検査に用いられる導電接触ピンにのみ生ずるものではなく、例えば各種電子部品や電子機器等の導電性検査を行う場合にも生じている。
本発明は、このような従来の問題を解決するためになされたもので、その目的は、導電性検査の検査不良を少なくできるとともに、検査効率を向上できる導電接触ピンを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、ほぼ筒状に形成された導電性を有するピン本体を備え、前記ピン本体の先端部を検査対象物に押し付けるとともに、前記ピン本体の中空部を通じて前記先端部側から外気を吸引することにより前記検査対象物を前記ピン本体の先端部に対して密着固定させる導電接触ピンにおいて、前記ピン本体の中空部内に、一端が前記ピン本体の先端部と同一面に配置され他端にバキュームホースが接続される筒状のブッシュが挿通されているとともに、前記ピン本体の中空部の先端部側には、前記ブッシュの外径よりも大径の段部が形成されており、前記ブッシュと前記段部との間に、ゴム弾性体よりなる筒状の接触部材が前記ピン本体の先端部より突出するように固定されており、前記ピン本体の先端部を前記検査対象物に押し付ける際、前記接触部材が前記ピン本体の先端部よりも先に前記検査対象物に弾性的に接触することを特徴としている。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、上記請求項１において、前記ピン本体の先端部側には、前記接触部材の弾性変形した部分を収容可能な溝が形成されていることを特徴としている。
【００１０】
また、前記目的を達成するため、請求項３に記載の発明は、ほぼ筒状に形成された導電性を有するピン本体を備え、前記ピン本体の先端部を検査対象物に押し付けるとともに、前記ピン本体の中空部を通じて前記先端部側から外気を吸引することにより前記検査対象物を前記ピン本体の先端部に対して密着固定させる導電接触ピンにおいて、前記ピン本体の中空部内に、一端が前記ピン本体の先端部と同一面に配置され他端にバキュームホースが接続される筒状のブッシュが挿通されているとともに、前記ピン本体の中空部の先端部側には、前記ブッシュの外径よりも大径の段部が形成されており、前記ブッシュと前記段部との間に、前記検査対象物に対する筒状の接触部材が付勢部材により前記ピン本体の先端部より突出するように設けられており、前記ピン本体の先端部を前記検査対象物に押し付ける際、前記接触部材が前記ピン本体の先端部よりも先に前記検査対象物に弾性的に接触することを特徴としている。
【００１１】
また、前記目的を達成するため、請求項４に記載の発明は、ほぼ筒状に形成された導電性を有するピン本体を備え、前記ピン本体の先端部を検査対象物に押し付けるとともに、前記ピン本体の中空部を通じて前記先端部側から外気を吸引することにより前記検査対象物を前記ピン本体の先端部に対して密着固定させる導電接触ピンにおいて、前記ピン本体の中空部内に、一端に前記検査対象物に対する筒状の接触部材が設けられ他端にバキュームホースが接続される筒状のブッシュが軸方向に摺動可能に挿通されているとともに、前記ブッシュが付勢部材により前記一端側の前記接触部材が前記ピン本体の先端部よりも突出するように付勢されており、前記ピン本体の先端部を前記検査対象物に押し付ける際、前記接触部材が前記ピン本体の先端部よりも先に前記検査対象物に弾性的に接触することを特徴としている。
【００１２】
また、前記目的を達成するため、請求項５に記載の発明は、ほぼ筒状に形成された導電性を有するピン本体を備え、前記ピン本体の先端部を検査対象物に押し付けるとともに、前記ピン本体の中空部を通じて前記先端部側から外気を吸引することにより前記検査対象物を前記ピン本体の先端部に対して密着固定させる導電接触ピンにおいて、前記ピン本体の先端部側の外周に、前記ピン本体の先端部を前記検査対象物に押し付ける際、前記ピン本体の先端部よりも先に前記検査対象物に対して弾性的に接触する筒状の接触部材が同軸的に設けられていることを特徴としている。
【００１３】
請求項１，３および４に記載の発明によれば、前記接触部材が前記中空部内に配置されているため、 接触部材が外部に露出せず、接触部材がピン本体の外側面に沿って配置されている場合に比較して埃や塵等の影響による動作不良を起こす虞れが少ないことになる。
【００１４】
また、請求項２に記載の発明によれば、弾性変形によりピン本体の先端部から接触部材が突没可能とされているため、例えばスプリング等の付勢手段が必要なく、構成部品を少数化できることになる。
【００１５】
そして、請求項３，４に記載の発明によれば、接触部材が付勢部材により付勢されるため、接触部材自体に弾性が必要なく、金属により形成できることになる。一般に、弾性を有する合成樹脂により所望の形状，大きさの部品を製作することは、その外形が小さくなるに従って困難となる。この発明において、例えばピン本体の最大直径を３ｍｍ程度に設定した場合、弾性を有する合成樹脂により接触部材を製作することは困難となり、部品コストが高くなる虞れがある。
【００１６】
これに対して、特に請求項３に記載した発明は、接触部材を金属により形成できるため、ピン本体を小型化しても、弾性を有する合成樹脂により接触部材を形成した場合に比較して部品コストが高くならないことになる。また、この発明においては、接触部材が金属製でよいため、経時変化による劣化が比較的生じ難く、動作不良を起こし難いことになる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。なお、以下に説明する各実施例において、既に図５において説明した部材については、図中に同一符号を付すことにより説明を簡略あるいは省略する。
図１には、本発明に係る第１実施例の導電接触ピン１０が示されている。本実施例の導電接触ピン１０は、検査対象物である薄膜トランジスタ６０の導通性検査に用いられるものであり、段付き円筒状のピン本体１１と、このピン本体１１を支持するスリーブ５２とを含んで構成されている。
【００１８】
ピン本体１１は、先端部１１Ｃにダイヤモンドカットが施されているとともに、軸線に沿って設けられた中空部１３にブッシュ１４が圧入されている。ブッシュ１４は、ピン本体１１の軸方向長さより大きな長手方向長さを有するとともに、一方の端面がピン本体１１の先端部１１Ｃ（ダイヤモンドカットの先端）に対して面一になるように配置されている。したがって、ピン本体１１は、ブッシュ１４における他方の端面がピン本体１１の基端１１Ｂ（図中上方）から突出し、このブッシュ１４に図示しないバキュームホースを接続できるようになっている。
この中空部１３は、ピン本体１１の先端部１１Ｃ側に段部１５が形成されていて、この段部１５とブッシュ１４との間に接触部材１６が挿入配置されている。
【００１９】
接触部材１６は、弾性を有するゴムにより段部１５とブッシュとの間に挿入可能な円筒状に形成されている。この接触部材１６は、軸方向長さが段部１５の軸方向長さよりも若干大きく設定されている。
したがって、接触部材１６は、一方の端面（図中下方）がピン本体１１の先端部１１Ｃ（図中下方）から突出部１６Ａが突出するように設けられている。
【００２０】
突出部１６Ａは、ピン本体１１の先端部１１Ｃが薄膜トランジスタ６０に押し付けられると、弾性により変形してピン本体１１の先端部１１Ｃに設けられた溝１７に収容される。
溝１７は、ブッシュ１４の外周面に形成された第２面取り部１４Ａと、段部１５の開口端縁に形成された第１面取り部１５Ａとにより構成されていて、段部１５の開口に沿ってリング状に設けられている。
【００２１】
このような導電接触ピン１０は、薄膜トランジスタの導電性を検査するにあたって、スリーブ５２を図中下方に移動させることにより、ピン本体１１の先端部１１Ｃを薄膜トランジスタ６０に押し付けると、接触部材１６の突出部１６Ａが弾性変形して溝１７に収容された状態で先端部１１Ｃが薄膜トランジスタ６０に当接する。
この際、溝１７に収容された突出部１６Ａは、初期形状を復元しようとするため、薄膜トランジスタ６０に対して圧接する。
【００２２】
この状態で中空部１３を通じて外気を吸引すると、ピン本体１１の先端部１１Ｃおよび薄膜トランジスタ６０の相対位置が維持される。
この際、ピン本体１１の先端部１１Ｃにダイヤモンドカットが施されているため、薄膜トランジスタ６０の表面に塵や酸化物等が付着していても、薄膜トランジスタに対してピン本体１１が確実に接触し、これにより導通性の検査不良が生じる虞れが少ない。
【００２３】
そして、本実施例においては、接触部材１６が円筒形状であるため、突出部１６Ａの端面が薄膜トランジスタ６０に対してリング状に圧接するため中空部１３の内外に気密性が得られ、これによりピン本体１１の先端部１１Ｃおよび薄膜トランジスタ６０の相対位置が確実に維持される。
導電性検査が完了した後、外気の吸引を中断すると、突出部１６Ａが初期形状を復元するために溝１７から突出し、これによりピン本体１１の先端部１１Ｃから薄膜トランジスタ６０が引き剥がされる。
【００２４】
以上のような第１実施例の導電接触ピン１０によれば、薄膜トランジスタ６０の導電性検査にあたって、中空部１３を通じて外気を吸引するため、従来と同様に、本体１１および薄膜トランジスタ６０の相対位置が維持される。
そして、本実施例の導電接触ピン１０によれば、薄膜トランジスタ６０の導電性を検査する個所として先端部１１Ｃが設けられている他に、薄膜トランジスタ６０を吸着する個所として接触部材１６が独立して設けられているため、従来の導電接触ピンのように先端部１１Ｃを平坦に形成しておく必要がなく、先端部１１Ｃに適宜ダイヤモンドカットを施しておくことができる。したがって、この導電接触ピン１０によれば、薄膜トランジスタ６０の表面に塵や酸化物等が付着していてもピン本体１１が確実に接触するため、導通性の検査不良が生じる虞れが少ない。
また、この導電接触ピン１０によれば、ピン本体１１の先端部１１Ｃから出没可能な接触部材１６を有しているため、導電性の検査後に本体１１を上昇させれば、接触部材１６の突出部１６Ａにより薄膜トランジスタ６０がピン本体１１の先端部１１Ｃから引き剥がされ、従来のように、ピン本体１１の上昇に伴って薄膜トランジスタ６０が先端部１１Ｃに密着したまま持ち上げられるという問題を解消できる。
【００２５】
また、導電接触ピン１０は、接触部材１６が筒形状であるため、中空部１３の内外に良好な気密性が得られ、これによりピン本体１１および薄膜トランジスタ６０の相対位置を確実に維持できる。
さらに、接触部材１６が中空部１３に挿入配置されているため、例えば接触部材１６がピン本体１１の外側面に沿って配置されている場合に比較して埃や塵等の影響による動作不良を起こす虞れが少ない。
また、接触部材１６が弾性を有するとともに、先端部１１Ｃに溝１７が形成されているため、例えばスプリング等の部品が必要なく、構成部品を少数化できる。
【００２６】
図２には、本発明に係る第２実施例の導電接触ピン２０が示されている。なお、以下に説明する実施例において、既に図１において説明した部材については、図中に同一符号を付すことにより説明を簡略あるいは省略する。
本実施例の導電接触ピン２０は、段部１５に接触部材２６と圧縮スプリング２７とが挿入配置されている。
接触部材２６は、適宜な金属等により形成され、前述した第１実施例の接触部材と同じ直径を有するとともに、軸方向長さが段部１５の軸方向長さよりも小さく設定されている。一方、圧縮スプリング２７は、接触部材２６の突出部２６Ａがピン本体１１の先端部１１Ｃから突出するように、軸方向長さが適宜設定されている。
【００２７】
このような導電接触ピン２０は、薄膜トランジスタの導電性を検査するにあたって、ピン本体１１の先端部１１Ｃを薄膜トランジスタ６０に押し付けると、接触部材２６が圧縮スプリング２７を圧縮させながらピン本体１１に対して近付く方向に移動し、これにより突出部２６Ａが段部１５内に収容される。
この際、接触部材２６は、圧縮スプリング２７に付勢されているため、突出部２６Ａが薄膜トランジスタ６０に対して圧接する。したがって、中空部１３を通じて外気を吸引すればピン本体１１の先端部１１Ｃおよび薄膜トランジスタ６０が密着して相対位置を維持する。
導電性検査が完了した後、外気の吸引を中断すると、突出部２６Ａが圧縮スプリング２７によりピン本体１１の先端部１１Ｃから突出し、これによりピン本体１１の先端部１１Ｃから薄膜トランジスタ６０が引き剥がされる。
【００２８】
以上のような第２実施例の導電接触ピン２０は、基本的に前述した第１実施例の導電接触ピンと同様に構成されているため、第１実施例の導電接触ピンと同様な作用効果が得られる。
そして、第２実施例の導電接触ピン２０は、接触部材２６が圧縮スプリング２７により付勢されているため、前述した第１実施例のように、接触部材に弾性が必要なく、適宜な金属により形成できる。
【００２９】
一般に、微小部品を金属により形成すると、弾性を有する合成樹脂により形成する場合に比較して、製造が容易になるとともに、精度が向上する。
したがって、この導電接触ピン２０は、例えばピン本体１１の最大直径を３ｍｍ程度に設定した場合にも、製造が容易になるとともに、工作精度および動作精度等が向上する。
【００３０】
図３には、本発明に係る第３実施例の導電接触ピン３０が示されている。本実施例の導電接触ピン３０は、ピン本体３１の先端部３１Ａにダイヤモンドカットが施されているとともに、基端部３１Ｂ側にブッシュ３４を摺動案内可能な案内部材５８が嵌入されている。
本実施例において、ブッシュ３４は、両端がピン本体３１の両端から突出するように配置されていて、基端側（図中上方）にストッパ５９が固定されているとともに、先端（図中下端）に接触部材３６が固定されている。
【００３１】
接触部材３６は、ブッシュ３４の先端を被覆可能に形成されていて、案内部材５８との間に設けられた圧縮スプリング３７により、ストッパ５９が案内部材５８に当接するまでブッシュ３４と一体的に下方に付勢されている。
【００３２】
以上のような第３実施例の導電接触ピン３０は、基本的に前述した第２実施例の導電接触ピンと同様に構成されているため、第２実施例の導電接触ピンと同様な作用効果が得られる。
そして、第３実施例の導電接触ピン３０は、案内部材５８をピン本体３１から取り外すことにより、ブッシュ３４，接触部材３６および圧縮スプリング３７を一体的にピン本体から取り外すことができる。
したがって、この導電接触ピン３０では、各部品の製造，組立および交換等を容易に行える。
【００３３】
なお、本発明は前述した各実施例に限定されるものではなく、本発明を達成できる範囲での改良，変形等は本発明に含まれるものである。
例えば、前述した各実施例において、接触部材は、中空部に挿入配置されることによりピン本体に対して入れ子状に連結されていたが、図４に示すように、ピン本体の外周面を覆うように配置することによりピン本体に連結してもよい。
【００３４】
すなわち、図４（Ａ）に示す導電接触ピン４０Ａは、弾性を有する接触部材１６がピン本体４１の外側面に沿って入れ子状に連結されている。この導電接触ピン４０Ａは、薄膜トランジスタ６０の導電性検査にあたって、接触部材１６の突出部１６Ａが弾性により拡開変形して薄膜トランジスタ６０に密着する。
なお、接触部材１６は、あらかじめ一端側をカール状に形成しておいてもよい。
【００３５】
一方、図４（Ｂ）に示す導電接触ピン４０Ｂは、金属製の接触部材２６が圧縮スプリング２７とともにピン本体４１の外側面に沿って入れ子状に連結されている。この導電接触ピン４０Ｂは、薄膜トランジスタ６０の導電性検査にあたって、接触部材２６の突出部２６Ａが圧縮スプリング２７を圧縮させながらピン本体４１に近付く方向に移動して薄膜トランジスタ６０に密着する。
以上のような導電接触ピン４０Ａ，４０Ｂでは、前述した各実施例と同様な効果が得られる上、中空部１３に段部を施す必要がないため既存のピン本体を流用でき、前述した各実施例に比較して製造コストを低減できるという効果がある。
【００３６】
また、ピン本体および接触部材が円筒状に形成されていたが、角筒状に形成してもよく、中空部を有する筒状であれば断面形状は任意である。
さらに、前述した各実施例において、ピン本体の先端部にダイヤモンドカットが施されていたが、本発明は先端部の形状をダイヤモンドカットに限定するものではなく、塵や酸化物等が表面に付着した検査対象物に対しても確実に接触可能であれば、先端部の形状を任意に選択可能である。
その他、前述した各実施例で示したピン本体，先端部，中空部，接触部材，溝，付勢部材の材質，形状，寸法，形態，数，配置個所，弾性の有無等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
【００３７】
【発明の効果】
本発明によれば、先端部にダイヤモンドカット等を施すことにより導電性の検査不良を少なくできるとともに、導電性の検査後に吸引を中断してピン本体を上昇させれば、検査対象物が自動的に先端部から押し剥がされる。また、接触部材が筒状に形成されているため、中空部の内外に良好な気密性が得られ、ピン本体の先端部および検査対象物の相対位置を確実に維持できる。さらに、請求項１ないし４に記載の発明によれば、接触部材が中空部に挿入配置されているため、埃や塵等の影響による動作不良を起こす虞れが少ない。
【００３８】
また、請求項１に記載した発明によれば、接触部材が弾性を有しているため、例えばスプリング等の付勢手段が必要なく、構成部品を少数化できる。そして、請求項３に記載した発明によれば、接触部材を金属により形成できるため、所望の形状および大きさを容易に得られるとともに、経時変化による劣化や動作不良が生じ難い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す断面図である。
【図２】本発明の第２実施例を示す断面図である。
【図３】本発明の第３実施例を示す断面図である。
【図４】本発明の変形例を示す部分拡大断面図である。
【図５】従来の導電接触ピンを示す断面図である。
【符号の説明】
１０，２０，３０，４０Ａ，４０Ｂ  導電接触ピン
１１，３１  ピン本体
１１Ｃ，３１Ｃ  先端部
１３，３３  中空部
１６，２６，３６  接触部材
１７  溝
２７，３７  付勢部材
６０  検査対象物である薄膜トランジスタ
【図１】
0003799113.tif 000002
【図２】
0003799113.tif 000003
【図３】
0003799113.tif 000004
【図４】
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【図５】
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