(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
補助格納容器を有する高純度化学製品用の貯蔵搬送装置において、
高純度化学製品用キャニスタを収納しているキャビネットと、
高純度化学製品を制御可能に供給するために、前記キャニスタと前記キャビネットの間で流体的に接続するための前記キャビネット内のマニフォールドと、
下流で使用するために前記キャニスタ及び前記キャビネットからの高純度化学製品の供給を制御する制御ユニットと、
前記キャニスタを前記キャビネットに積むこと及び前記キャニスタを前記キャビネットから降ろすことを可能とするための前記キャビネット内の閉鎖可能な開口部と、
前記開口部を閉鎖するための少なくとも一つのドアと、
前記開口部内にありかつ前記開口部の一部分を閉鎖するための液体を漏らさない補助格納容器用ドアであって、前記キャニスタに収納される高純度化学液体の全量を収納するように前記キャビネットに関する体積を規定するのに前記開口部の一部分が十分であるように前記補助格納容器用ドアが寸法決めされている、補助格納容器用ドアとを備えた、補助格納容器を有する高純度化学製品用の貯蔵搬送装置。
【請求項２】
前記補助格納容器用ドアは前記キャビネットにヒンジ接続されている請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記補助格納容器用ドアは、前記補助格納容器用ドアが閉鎖した時に前記キャビネットに対してシール係合するガスケットを有する請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記補助格納容器用ドアは、前記補助格納容器用ドアを前記キャビネット内の閉鎖位置に固定するファスナを有する請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記補助格納容器用ドアは、前記少なくとも一つのドアの内側にある請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記少なくとも一つのドアは、前記キャビネット内で前記開口部を完全に閉鎖する、ヒンジ接続された一対のドアである請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記ヒンジ接続された対のドアは、前記キャビネットに対して流体の漏れないシールを有する請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記キャビネットは、前記マニフォールドに接続されたキャニスタを有する請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記キャニスタは、２２０リットルまでの高純度化学製品のために寸法決めされている請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記キャビネットの床は、前記キャビネット内に前記キャニスタを積む又は前記キャビネットから前記キャニスタを降ろすためのヒンジ留めされた少なくとも一つの傾斜路を有する請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
ヒンジ留めされた傾斜路が二つある請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記キャビネットは、前記高純度化学製品の前記キャニスタについての信号を前記制御ユニットへ送るために前記キャビネットの床に取り付けられている計量装置を有する請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
前記キャビネットは、下流に排除するために前記キャビネットから高純度化学流体を除去するように前記キャビネットの上面内に流体排出導管を有する請求項１に記載の装置。
【請求項１４】
前記キャビネットは、前記マニフォールドへ接続された前記キャビネット内でキャニスタからの流体流れを止めるための締切弁を有する請求項１に記載の装置。
【請求項１５】
前記キャニスタの高純度化学液体量の１１０％の体積を前記開口部の一部分が収納するように、前記キャビネットに関する体積を規定するのに十分であるように前記補助格納容器用ドアが寸法決めされている請求項１に記載の装置。
【請求項１６】
キャビネット内でキャニスタに収納される高純度化学製品の全量を収納する方法において、
高純度化学製品を収納するキャビネットにキャニスタ用開口を設ける段階と、
少なくとも部分的に液体の物理状態で高純度化学製品を収納するキャニスタを設ける段階と、
前記開口部内にありかつ前記開口部の一部分を閉鎖するための液体を漏らさない補助格納容器用ドアであって、前記キャニスタの高純度化学液体量を収納するように前記キャビネットに関する体積を規定するのに前記開口部の一部分が十分であるように寸法決めされている補助格納容器用ドアを前記開口内に設ける段階と、
前記キャビネット内にある時に前記キャニスタから高純度化学製品が漏れた時に、前記補助格納容器用ドアを前記キャビネットに対する漏らさない係合によって、漏れた高純度化学液体を前記キャビネット内に保持する段階とを備えた、キャビネット内でキャニスタに収納される高純度化学製品の全量を収納する方法。
【請求項１７】
前記補助格納容器用ドアは、前記キャビネットと関連した前記キャニスタの高純度化学液体量の１１０％の体積を収納する請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
高純度液体が前記キャビティ内の前記キャニスタから漏れる時に信号が前記キャビネット上の制御ユニットに伝達される請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
前記補助格納容器用ドアはガスケットを使用して前記キャビネットに対して流体を漏らさないシールを形成する請求項１６に記載の方法。
【請求項２０】
前記補助格納容器用ドアは固定可能に前記キャビネットに対して閉鎖する請求項１６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子製造産業における高純度化学製品の貯蔵及び供給の分野に向けられている。
【０００２】
【従来の技術】
電子構成要素の製造において、製造工程に供給するため又は清浄するために種々の寸法のキャニスタ内に液体又は二つの相、液体又は蒸気の状態で種々の高純度化学製品を収納することが要求されることがしばしばある。
【０００３】
高純度化学製品用のこれらのキャニスタを一般に金属で作られているキャビネット内に収納し、供給などの種々の自動化された機構と、レベル信号と、キャニスタが空である又はほとんど空である時についての交換信号とを有することが産業の基準になっている。
【０００４】
高純度化学製品の多くが毒性があり、腐食性があり、又は環境的に管理されるので、不注意な蒸気放出又は液体放出を避けるために、キャビネット内で化学製品を収納することが重要である。歴史的には、家又は工場にわたる排除システムを有することによって不注意な蒸気放出が扱われている。しかしながら、故障したキャニスタから、又はキャビネット内でキャニスタと下流のマニフォールドの間の接続部から液体が放出する危険がある。
【０００５】
周縁の唇部又は側壁を有する種々のトレイ又は台車は、Victorアソシエーツ社などの、種々の漏れ液体を収納する業界において公知であり、０．０９ｍ３（２０ガロン）の液体を収納するリザーバを備えたホイール付きポリプロピレン容器の側面図を示している。リザーバ周りの補助格納容器について説明する。
【０００６】
流出用格納容器を有する種々のカートは、テラ(Terra)ユニバーサル社の広告で示されており、化学カートＡ〜Ｆを示している。
【０００７】
トランスフィル(Transfill)II−LRM用のシューマッハの広告は、１１０％の流出用格納容器が実現されるということを示している。この流出用格納容器が固定されたキャビネットと一体の流出用パンの使用によって実現される。
【０００８】
トランスフィル(Transfill)II−LRM用のシューマッハの広告は、短い側壁を有するキャスター付きトレイを使用し、部分的な補助格納容器を提供する。
【０００９】
米国特許第５９５０６９３号には、化学製品用の容器を保持している搬送カートを有するキャビネット（図３において３００）を示している。同特許の第６欄第５０行に示しているように、カートは、任意の流出物の大半を保持するために使用されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
この業界では、他の業界と共に電子産業の製造時に供給する高純度化学製品用のキャニスタを貯蔵するための安全で効率的な方法が長く求められてきた。種々の部分的な補助格納容器は、部分的な流出物を収納するために使用されてきた。種々のカート及びトレイがこのような用途について公知である。より重要な格納容器が教唆されているが、この格納容器は通常、損傷している容器を操作又は点検修理できないことを要求している、又は、一般の産業の標準のキャビネットが要求する高さよりも高い高さを要求している。電子製造の床面積が額面以上に高価であるので、この業界では、容器から流出した潜在的に重大な化学製品の流出物を収納し、その一方で、漏れた化学液体をさらに流出させることなくかつ容器を貯蔵するキャビネットの「足跡」を工場内で変えることなく、経済的な空間節約方法を長く求められてきた。
【００１１】
本発明は、従来技術の上記欠点を扱い、より詳細に以下に記載するように、キャビネットの高さを増加させることなくかつさらなるカート又はトレイを形成することなく完全な補助格納容器を提供することができる。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、補助格納容器を有する高純度化学製品用の貯蔵搬送装置において、高純度化学製品用キャニスタを収納しているキャビネットと、高純度化学製品を制御可能に供給するために、キャニスタとキャビネットの間で流体的に接続するためのキャビネット内のマニフォールドと、下流で使用するためにキャニスタ及びキャビネットからの高純度化学製品の供給を制御する制御ユニットと、キャニスタをキャビネットに積むこと及びキャニスタをキャビネットから降ろすことを可能とするためのキャビネット内の閉鎖可能な開口部と、開口部を閉鎖するための少なくとも一つのドアと、開口部内にありかつ開口部の一部分を閉鎖するための液体を漏らさない補助格納容器用ドアであって、キャニスタの高純度化学液体の量を収納するようにキャビネットに関する体積を規定するのに開口部の一部分が十分であるように補助格納容器用ドアが寸法決めされている、補助格納容器用ドアとを備えた、補助格納容器を有する高純度化学製品用の貯蔵搬送装置である。
【００１３】
本発明は、さらに、キャビネット内でキャニスタに収納される高純度化学製品の全量を収納する方法において、高純度化学製品を収納するキャビネットにキャニスタ用開口を設ける段階と、少なくとも部分的に液体の物理状態で高純度化学製品を収納するキャニスタを設ける段階と、開口部内にありかつ開口部の一部分を閉鎖するための液体を漏らさない補助格納容器用ドアであって、キャニスタの高純度化学液体量を収納するようにキャビネットに関する体積を規定するのに開口部の一部分が十分であるように寸法決めされている補助格納容器用ドアを開口内に設ける段階と、キャビネット内にある時にキャニスタから高純度化学製品が漏れた時に、補助格納容器用ドアをキャビネットに対する漏らさない係合によって、漏れた高純度化学液体をキャビネット内に保持する段階とを備えた、キャビネット内でキャニスタに収納される高純度化学製品の全量を収納する方法である。
【００１４】
本発明は、オルトケイ酸テトラエチル（ＴＥＯＳ）、アルキルシラン誘導体、ジクロロエチレン、トリメチルホウ酸エステル（ＴＭＢ）、トリメチル亜リン酸塩エステル（ＴＭＰＩ）、ホウ素−リン−シリコンガラス（ＢＰＳＧ）及び電子製造産業で使用されるその他の化学製品などの高純度化学製品を貯蔵する装置又はシステムである。
【００１５】
本発明は、電子製造工場又は他の化学原料消費操作に使用するためにキャニスタ内に収納されている化学製品を貯蔵しかつ自動又は手動で供給するために形成されたキャビネット内に貯蔵されているキャニスタ内に収納されている流出液体用補助格納容器を提供する。
【００１６】
好ましくは、本発明は、キャニスタの全液体量についての流出用補助格納容器を提供する。より好ましくは、本発明は、化学製品を収納しているキャニスタの量を超えるときに収納するための安全縁部を提供する。この安全縁部は、このようなキャニスタの液体量の１１０％の体積を格納することができる。
【００１７】
さらに、本発明は、キャニスタから化学液体が流出する時、操作者がキャビネットを開けて化学製品を漏らすことなく流出した状態の程度を評価することができ、操作者は、キャニスタを点検修理する、あるいは潜在的に回復又は除去するために流出した化学製品を処理することができる形状を提供する。
【００１８】
任意の補助格納容器において、一般に、キャニスタの交換を頻繁に又は体系的に行なうという観点から、化学製品用のキャニスタの通常の交換と干渉しない機構を提供することが重要であり、流出した液体の化学製品を補助的に格納する必要性が単発的かつ偶発的に生じる。
【００１９】
本発明は、液体を漏らさないシール状態で高純度化学製品の貯蔵供給キャビネットの下部を閉鎖するヒンジ留めされたドアを提供する。キャニスタが操作中に通常貯蔵されている場所であるキャビネットの内部へ操作できる通常のドアの他に、この液体を漏らさない補助格納容器用ドアがある。
【００２０】
補助格納容器用ドアは、液体を漏らさないようにキャビネットの正面のフレームに対してシールするガスケットを有する。固定装置を使用することによって、液体を漏らさないシール状態で補助格納容器用ドアを保持するように、シール係合が実現されている。ガスケットは、貯蔵される化学製品と両立可能な一般的なガスケット材料のいずれとしてもよく、テフロン（登録商標）製品、ポリ塩化ビニル材料、種々のポリブチレンゴム、カルレッツ（登録商標）材料、ケムラッツ（登録商標）材料、ビトン（登録商標）材料、ＥＰＤＭ（登録商標）材料、ネオプレン（登録商標）材料、アフラス（登録商標）材料、シリコーンゴムや類似のエラストマーを含みうる。固定機構は、ランニングボルト、ばね付勢ラッチなどを含む多数のラッチ機構のいずれかとすることができる。
【００２１】
補助格納容器用ドアは、キャビネットの通常のドアの内側に好ましくは収納されている。補助格納容器用ドアは、好ましくは、一つ以上のヒンジによって、キャビネットの正面のフレームの一方の側にヒンジ留めされているが、連続的な「ピアノ」ヒンジとして知られている方法、あるいは、スロット付きトラック又はボルト及びナット固定などの他の機構による固定によって、ドアをヒンジ留めすることも考えられる。
【００２２】
補助格納容器用ドアは、耐久性のある耐化学被覆又は塗装で塗装されうる一般に炭素鋼で作られている。あるいは、ドアは、１時間の燃焼速度などの現地の消防法を満たしうる任意の材料で作りうる。あるいは、ドアは３１６ステンレス鋼とすることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明は、図１に示される好適な実施例を参照してここに記載される。
【００２４】
テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）などの高純度化学製品用キャニスタ１６を収納するキャビネット１０が図１に示される。キャビネット１０は、側壁１２及び１４、床５０、上部２４、示されていない背壁を有している。キャビネット１０は、環境及び安全の理由のために高純度化学製品を収納するために、わずかに負の内圧と協働して外部に漏れないように比較的に気密性を有するように形成されている。キャビネット１０は、排気ダクト５６によって、電子製造工場などの工場内で一般に設けられている、ハウス排除システムへ好ましくは通風されている。このようなハウス排除システムは、工場内で生じる化学プロセスから流出する廃棄物全体を処理するように一般に設計されている。
【００２５】
キャビネット１０は、側壁１２と側壁１４と上面２４と底面５０とによって形成されている開口を有する。この開口は、（外部に漏れないように）比較的に気密性のあるドア２０及び２２によって閉鎖される。これらドア２０及び２２は、ヒンジによって側壁１２及び１４へ好ましくはヒンジ留めされており、このヒンジの一つがヒンジ５８として示されている。各ドアは固定機構６０を有する。この固定機構６０は、少なくともキャビネットの上面２４と係合し、好ましくは上面２４及び底面５０と適切なラッチ掛けで係合する。固定機構は図示しないドア２０の正面の外面上にある適切なラッチ、ノブ又はキーシリンダによって作動させられる。
【００２６】
キャニスタ１６は、フォークリフトを収納するスキッド５４上に取り付けられている。この取り付けは、二つのヒンジ留めされた傾斜路４６及び４８によって容易にされている。これら傾斜路により、キャニスタ１６をキャビネット１０内に積載する又はキャニスタ１６をキャビネット１０から降ろすのが容易になる。
【００２７】
キャニスタ１６は、部分的に示されているマニフォールド６６によってキャビネットへの高純度化学流体接続部に留められており、このマニフォールド６６は、一般に、キャニスタ１６からキャビネット１０へ高純度化学製品を制御可能に搬送し、かつ図示しないキャビネット１０から下流に搬送する機能を備えた、配列したパイプ及び弁を備えている。加圧ガス、浄化サイクル及び掃除口は、業界で一般に要求されているように、マニフォールド６６について考えられる。さらに、操作者が、停電時又は混乱状態の時にユニットを停止することができるように緊急停止スイッチ及び／又は弁６４が設けられている。スイッチ及び／又は弁６４は局所的な作動について考えられる。ドアが、キャビネット１０を開放することなく、操作者が容易に操作できるようになるように流体を漏らさないようにシールした状態で閉鎖される時、スイッチ及び／又は弁６４がドア２０を通って突出している。
【００２８】
キャビネット１０、マニフォールド６６及び装置への供給又は装置の停止の制御が制御ユニット１８によって維持されている。この制御ユニット１８はプロセスコントローラ、搭載計算機、又は、遠隔のコンピュータ又は操作者によって制御される基本電子機構としうる。適切なコントロール、スイッチ及びキーボードが、一般に、システム状態の電子ダイアグラム又は液晶ディスプレイと共に、制御ユニット１８の面上に取り付けられ、現在の処理の機能を示している。
【００２９】
キャニスタ１６内の高純度化学製品の量は、フロート、静電容量式又は光学式プローブの内部センサ、又は、超音波センサなどの外部センサなど、産業において任意の数の方法で決定されうるが、一般には風袋で重量が量られる。重量から高純度化学製品の量を決定するために、計量装置５２上にスキッド５４及びキャニスタ１６を取り付けることが好ましい。
【００３０】
キャビネット内の流出の検出は、電子的に監視され、写真光学センサ、ブルースターの角の写真光学センサ又はフロートレベルセンサなどの産業において一般的である感知装置によって、制御ユニット１８へ、又は、操作者又は中央コンピュータへ遠隔的に伝達される。
【００３１】
流出検出プローブは、水晶ロッドで組み立てられたＩＲダイオード／フォトトランジスターの対で作られている。
【００３２】
この構成要素は、光学端部が水晶ロッドの端部に面する状態で据え付けられる。水晶ロッドは、光電子機器が据え付けられた端部において、平坦な面を有する。
【００３３】
水晶ロッドの他端は円錐形状である。流出検出プローブは、円錐状端部が下に面した状態でキャビネットの底部に垂直に据え付けられている。
【００３４】
円錐状水晶部が乾燥している時、ＩＲダイオードは水晶ロッドに放射する。光波のほとんどが端部の内面からはね返り、水晶ロッドに戻り、フォトトランジスターが光に晒される。
【００３５】
これにより、フォトトランジスターをオンにし、電力をトランジスタのエミッタに与える。キャビネットのコントローラ上の比較回路は、背面配線板を通してフォトトランジスターのエミッタと電子装置筐体の底面上の円形コネクタとへ接続されている。
【００３６】
エミッタ上の電圧が比較器の他の入力時の基準電圧よりも大きい時に比較回路の出力は状態を変化させる。
【００３７】
液体が円錐状水晶端部にある時には水晶の屈折率が変化し、赤外光のほとんどが水晶ロッドから出て円錐形状端部を通過しうる。その結果、トランジスタはオフになり、比較回路への入力に電位差が与えられない。比較器は正面端部のプルダウンレジスタを有する。このレジスタはゼロ電圧入力を生じる。
【００３８】
補助格納容器用ドア２６は、一方の側面１４から他方の側面１２へキャビネット１０の開口の下部全体に延びている、ヒンジ留めされた一つのドアを備えている。相互作用する二つのドアを有することができるが、液体を漏らさないようにするためには一つのドアがより容易である。
【００３９】
ドア２６は「ピアノ」ヒンジ又は他の開放可能な機構によってキャビネットへ接続されることができるということが考えられるが、補助格納容器用ドア２６は、ヒンジ２８及び３０によって側面１４へヒンジ留めされている。ドア２６のヒンジ留めされていない端部は、ファスナとして作動する二つのラッチ４０及び４２が取り付けられている。これらラッチはキャビネットの側面１２と係合する。ラッチ４０及び４２は、操作者用ハンドル６２と係合している作動軸３８によって同時に作動させられる。
【００４０】
補助格納容器用ドア２６はシール縁部４４を有する。このシール縁部は、液体を漏らさないシール面を形成するように、キャビネット縁部３２、３４及び３６に対して変形するシリコンゴム材料のガスケットとしうる。
【００４１】
補助格納容器用ドアが側壁１２及び１４及び床５０に対して係合されている時、補助格納容器用ドアは、キャニスタ１６に貯蔵されている液体の全量を収納する、好ましくは安全のための余裕を与えるようにこのような量を超えても収納するのに十分な寸法のキャビネット１０の底部の体積を規定するような高さを有するように、補助格納容器用ドアは好ましくは寸法決められている。好ましくは、ドア２６は、最も大きなキャニスタ１６の定格容積の１１０％の体積を収納するように寸法決めされている。
【００４２】
キャニスタ１６は一般に３１６ステンレス鋼であるか、又は他の耐腐食金属である。キャニスタ１６は、アルミニウム、ガラス又はポリテトラフルオルエチレンで被覆されたプラスチックを含む任意の構成の容器とすることができる。
【００４３】
側壁１２及び１４、底面２４及び５０、ドア２０及び２２及び補助格納容器用ドア２６は、一般に、炭素鋼シート材料であるが、プラスチック、３１６ステンレス鋼又はアルミニウムとすることができる。
【００４４】
この装置は、一般に、電力が供給された又はハンドヘルドのフォークリフト又は、スキッド５４内で係合されているパレットジャッキによって、キャニスタ１６をキャビネット１０に積むことによって操作する。傾斜路４６及び４８は、閉鎖位置に上昇させられる又は上方に枢動させられる。補助格納容器用ドア２６は閉鎖されてラッチ掛けされる又は固定される。流体流れ用キャニスタ１６をマニフォールド６６に接続した後に、キャビネットのドア２０及び２２はさらに閉鎖されてラッチ掛けされる又は固定される。マニフォールド６６は、圧力ガス、バブリング、又は真空を提供し、制御ユニット１８に指令されると、キャニスタ１６からマニフォールド６６を通して工場の下流において使用するために高純度化学製品を供給する。混乱状態では、液状の高純度化学製品の量の全部又は一部分が、キャニスタ１６からキャビネット１０の基部へ漏れる。しかしながら、この液体は、補助格納容器用ドア２６によって収納されており、この補助格納容器用ドアは、キャビネット１０の正面フレームが開放した状態で液体を漏らさないシール状態にある。これにより、補助格納容器用ドア２６の表面のみが液体を漏らさないシールを形成するほどきつい寸法に設計されることができ、ドア２６のガスケット４４のみが液体と接触するために形成されうる。ドア２０及び２２はより厳しくなく形成されることができ、これらのシールの係合は、流体の係合と材料の両立のために形成する必要があるだけである。キャビネット１０の開口部の一部分のみをシールする補助格納容器用ドア２６を使用することによって、操作者はドア２０及び２２を開放することができ、キャビネットの内部の状態、及び、任意の混乱状態を点検し、漏れた液体の化学製品が工場の床に漏れることを恐れることなく、キャニスタ１６及びキャビネット１０を潜在的に点検修理する。ラッチ掛けされてヒンジ留めされた補助格納容器用ドアを使用することによって、このキャビネットにより、操作者が、補助格納容器の機構の性能を妥協することなく、キャビネットを容易に積む又は降ろしてキャニスタを交換することができる。操作の容易さ及び液体の流出の保護は、本発明によって扱われ、従来技術の貯蔵及び供給装置における問題を克服する。
【００４５】
本発明は、好適な実施例に関して記載されているが、本発明の完全な範囲は請求の範囲によって確定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好適な実施例の斜視図である。
【符号の説明】
１０…キャビネット
１６…キャニスタ
１８…制御ユニット
２０…ドア
２２…ドア
２６…補助格納容器用ドア
６６…マニフォールド
【図１】
0003785071.tif 000002