(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物にパルス光を投光する投光手段と、
前記投光手段で投光されたパルス光が前記対象物で反射されて戻ってくる反射光を受光する受光手段と、
前記受光手段の出力信号を増幅するｎ段接続のアンプと、
ｎ−１段目以前のアンプの出力信号が予め定めた第１の基準レベルに変化したタイミングを検出し、このタイミングを開始タイミングとする、予め定めた時間幅のゲート区間を設定するゲート区間設定手段と、
前記ゲート区間設定手段により設定されたゲート区間において、ｎ段目のアンプの出力信号が予め定めた第２の基準レベルに変化したタイミングをストップタイミングとして検出するストップタイミング検出手段と、
前記投光手段によるパルス光の投光タイミングと、前記ストップタイミング検出手段により検出された前記ストップタイミングと、に基づいて前記対象物までの距離を計測する計測手段と、を備えた距離測定装置。
【請求項２】
前記受光手段と前記ｎ段接続のアンプとの間に接続され、前記受光手段から出力される信号の単一周波数成分を通過させるバンドパスフィルタを備えた請求項１に記載の距離測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、外乱光や内部回路自身に基づいて発生するノイズの影響を受けにくい距離測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
対象物にパルス光を投光し、その反射光を受光するまでの飛行時間を計測することにより対象物までの距離を検出する距離測定装置では、受光信号をアンプで増幅してから信号処理を行う。しかし、アンプは、受光信号と共にノイズ成分をも同様に増幅してしまうために、強い外乱光が入射するとＳ／Ｎ（信号対雑音比）が著しく低下し、信号処理ができなくなってしまう。そこで、ノイズ検出量に応じてアンブの利得を自動的に調整するＡＧＣ回路（自動利得制御回路）を採用して、信号処理に必要なＳ／Ｎを確保することが実用化されている。
【０００３】
ＡＧＣ回路には、例えば、特開平５−３４４０６６号公報に示されるように、受光信号を増幅するアンプを固定したままその利得を変化させるものや、アンプを複数段接続し、ノイズ検出量に応じてアンプの接続段数を切り換えることによって利得を変化させるものがある。図１は後者の受光信号回路を示している。フォトダイオード１で受光した受光信号が３段に縦続されたアンプ２〜４で増幅され、２段目のアンプ３の出力と３段目のアンプ４の出力とが切替え回路５に入力する。ノイズ検出回路６は、外乱光のノイズを検出し、その検出量に応じて、アンプ３またはアンプ４の出力を選択する信号を切替え回路５に出力する。したがって、この回路では、ノイズ検出量に応じて、アンプの接続段数が自動的に切り替えられ、アンプ全体の利得が自動調整される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のＡＧＣ回路を採用した従来の回路構成では、ノイズ検出量に応じて利得を変えるために、アンプへの入力前の受光信号のレベルが一定であってもノイズ次第でアンプからの出力タイミングが変化してしまうことになる。このため、これを距離測定装置に採用した場合、利得の高低の変動がアンプ増幅後の受光信号の検出タイミングに影響を及ぼし、距離計測精度が低下するという問題がある。特に、図１に示す回路では、ノイズ検出量に応じてアンプの段数が変化するためにそれに伴う信号の遅延時間が変化するという問題がある。すなわち、光を使った距離測定装置では、１ｎｓの時間が１５ｃｍ程度に相当するが、アンプ１段の信号遅延時間はｎｓオーダーであるから、図１のアンプ４の通過有無によって、数１０ｃｍの距離誤差を生じてしまうことになる。特に、常に動いているターゲット、たとえば車両や人間等に対する距離計測を行おうとする時には、ターゲットの反射率が常に変化することになるために、ノイズ検出量も常に変化してしまい、これに伴ってアンプの接続段数を切り換えるようにすれば、距離計測結果は数１０ｃｍの範囲で常時変動してしまうこととなって、精度が著しく低下するという不都合がある。
【０００５】
この発明の目的は、アンプの段数を固定し、且つＡＧＣ回路を設けることなく高精度に距離を計測することのできる距離測定装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記の課題を解決するために次のように構成したものである。
（１）対象物にパルス光を投光する投光手段と、
前記投光手段で投光されたパルス光が前記対象物で反射されて戻ってくる反射光を受光する受光手段と、
前記受光手段の出力信号を増幅するｎ段接続のアンプと、
ｎ−１段目以前のアンプの出力信号が予め定めた第１の基準レベルに変化したタイミングを検出し、このタイミングを開始タイミングとする、予め定めた時間幅のゲート区間を設定するゲート区間設定手段と、
前記ゲート区間設定手段により設定されたゲート区間において、ｎ段目のアンプの出力信号が予め定めた第２の基準レベルに変化したタイミングをストップタイミングとして検出するストップタイミング検出手段と、
前記投光手段によるパルス光の投光タイミングと、前記ストップタイミング検出手段により検出された前記ストップタイミングと、に基づいて前記対象物までの距離を計測する計測手段と、を備えている。
【０００７】
この発明では、ｎ段接続（ｎは２以上の整数）のアンプを使用するが、ｎ段目のアンプの出力は、受光信号のレベルが飽和する程度となるように各アンプの利得を設定するのが好ましい。そのようにすると、ｎー１段目以前のアンプの出力信号を、ノイズ信号に対し受光信号のレベルが十分に大きい信号にできる。このような出力信号では、受光信号の区間を検出できるから、この受光信号の区間を検出できるｎ−１段目以前のアンプの出力信号に基づいて、ゲート区間を適性に設定することができる。そして、ストップタイミング検出手段が、このように適性に設定されたゲート区間において、ｎ段目のアンプの出力信号が予め定めた第２の基準レベルに変化したタイミングをストップタイミングとして検出するので、外乱光等によるノイズの影響を受けることなく、投光手段により投光されたパルス光が対象物で反射されて戻ってきた反射光を適性に検出できる。
また、ノイズの量にかかわらず、距離測定装置内において受光信号が通過する経路が一定であるので、反射光による受光信号の検出タイミングが変化しない。これにより、距離計測が高精度となる。
【００１３】
（２）前記受光手段と前記ｎ段接続のアンプとの間に接続され、前記受光手段から出力される信号の単一周波数成分を通過させるバンドパスフィルタを備えている。
【００１４】
バンドパスフィルタは、受光信号の単一周波数成分を通過させる。この単一周波数成分は、受光信号の基本波の周波数成分であることが好ましい。このようなフィルタを受光手段の後段に接続することで、正弦波信号またはそれに類似した信号を形成することができるから、その信号のゼロクロスタイミングを検出することで、距離測定に最適な受光信号パルスを形成することができる。
【００１６】
また、距離計測は、対象物に投光したパルス光の投光タイミングから受光信号パルスの受光タイミングまでの時間を計測するが、受光信号パルスを、バンドパスフィルタを通過させた場合、受光信号パルスの立ち上がりタイミング（受光信号パルスが正のパルスの時）は不安定であって、立ち下がりタイミング（受光信号パルスが正のパルスの時）は常にゼロクロスタイミングであるために安定である。そこで、この発明では、パルス光の投光タイミングから受光信号パルスの立ち下がりタイミングまでの時間を計測して距離計測を行う。なお、受光信号パルスを負のパルスとして処理する時には、立ち上がりタイミングまでの時間を計測する。この発明において、第２の基準レベルに変化するタイミングとは、受光信号パルスを正のパルスとして処理する場合は、受光信号パルスの立ち下がりタイミングを意味し、受光信号パルスを負のパルスとして処理する場合は、受光信号パルスの立ち上がりタイミングを意味する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図２は、この発明の実施形態である距離測定装置のブロック図である。
【００１８】
レーザダイオード（以下、ＬＤという）１０は、対象物１３に対してパルス光を投光する投光手段であって、投光ドライバ１１によって駆動される。パルス光の投光タイミングの信号は、積分回路１２に入力され、後述の、距離測定のスタート（開始）タイミング信号とされる。
【００１９】
対象物１３に投光されたパルス光に対する該対象物１３からの反射光は、フォトダイオード（以下、ＰＤという）１４に受光される。ＰＤ１４の出力信号は、バンドパスフィルタ（以下、ＢＰＦという）１５に入力し、ここで、受光パルスの基本波成分が抽出される。ＢＰＦ１５は、受光パルスの基本波成分の周波数だけを通過させるフィルタであって、このフィルタを通過した受光パルスはその基本波の振動信号となって出力される。ＢＰＦ１５の出力信号は、ｎ段のアンプ１６〜１８で増幅され、乗算回路２１でゲート信号形成回路２０から出力されたゲート信号と論理積されて立ち下がり検出回路２２に入力される。立ち下がり検出回路２２は、乗算回路２１から出力される受光信号パルスの立ち下がりタイミングを検出し、このタイミングの信号を、後述の、距離測定のエンドタイミング信号として積分回路１２に出力する。積分回路１２は、投光ドライバ１１から出力されるスタートタイミング信号から上記エンドタイミング信号までの時間だけ、所定の信号を積分することにより、その積分値に対応する距離を計測する。
【００２０】
前記ゲート信号形成回路２０は、ｎ−１段目のアンプ１７の出力信号と、ノイズ検出回路１９で検出したノイズ検出信号とに基づいてゲート信号を形成する。ノイズ検出回路１９は、ｎ段目のアンプ１８の出力からノイズを検出する。ゲート信号形成回路２０で形成されるゲート信号は、ｎ段目のアンプ１８の出力信号からノイズ信号を除去するゲート区間が設定されたものであり、これと、ｎ段目のアンプ１８の出力信号とを乗算回路２１で乗算（論理積）することで、受光信号パルスを形成する。
【００２１】
図３は、上記距離測定装置のより詳細なブロック図を示す。また、図４、図５、図６は、同距離測定装置の動作波形図である。なお、図４、図５、図６の信号波形と図３の信号位置との対応関係は、アルファベット小文字で示している。
【００２２】
図３において、図２のノイズ検出回路１９は、タイミング制御回路３０、ワンショットマルチ３１、乗算回路３２、ワンショットマルチ３３で構成される。また、ゲート信号形成回路２０は、コンパレータ３５、ワンショットマルチ３６、加算回路３７、乗算回路３８で構成される。また、図２の立ち下がり検出回路２２は、ワンショットマルチ２２及び乗算回路３９で構成される。
【００２３】
ＬＤ１０を駆動する投光ドライバ１１に対して、タイミング制御回路３０が投光クロックａを出力する。投光クロックａは、図６に示すように、投光周期Ｔの間隔で、出力される。投光ドライバ１１は、上記投光クロックａを受けると、ＬＤ１０を駆動してＬＤ１０にパルス光を投光させる。また、投光ドライバ１０は、上記投光クロックを受けると、上記投光クロックａを微分したスタートパルスｂを生成し、積分回路１２に出力する。スタートパルスｂは、投光を開始したタイミングを意味する。
【００２４】
対象物１３（図２参照）で反射されて戻ってくる反射光はＰＤ１４で受光され、ＰＤ１４の出力はＩ／Ｖ変換器４０で、電圧レベルの信号に変換される。この信号は、ＢＰＦ１５で基本波の振動信号に変換されて、ｎ段のアンプ群の最初のアンプ１６に入力される。
【００２５】
ｎ段のアンプ１６〜１８は、各アンプの利得が、ｎ−１段目のアンプ１７の出力で十分なＳ／Ｎを確保できるようにされ、且つ、ｎ段目のアンプ１８の利得が、信号増幅がやや飽和する程度になるように設定される。したがって、ｎ−１段目のアンプ１７の出力ｃと、ｎ段目のアンプ１８の出力ｄは、それぞれ、図４に示すようになる。図４において、信号Ｓ１は、ＰＤ１４から出力される信号がＢＰＦ１５を通過してさらにアンプ１６、１７で増幅された受光信号パルス（基本波信号）であり、ノイズ成分と十分に識別されうるＳ／Ｎが確保されている。また、信号Ｓ２は、アンプ１８で増幅された信号Ｓ１の前後にあるノイズ信号であり、信号Ｓ３は、アンプ１８で増幅された受光信号パルスである。この信号Ｓ３は、上記信号Ｓ１がｎ段目のアンプ１８で増幅されて飽和するためパルス信号となる。ノイズを示す信号Ｓ２は、外乱光から生じるノイズとアンプ等の回路自身の特性から出るノイズとが合成されたものである。
【００２６】
上記のｃ及びｄの信号波形中、信号Ｓ１及び信号Ｓ２に基づいてノイズ信号を除去するゲート区間が設定されるゲート信号が形成される。
【００２７】
コンパレタ３５は、ｎ−１段目のアンプ１７の出力を、一定の基準レベルと比較することによってパルス信号（信号ｅ）を形成する。図４に示すように、この一定の基準レベルは、パルス立ち上がり時においてはレベルαとし、立ち下がり時においてはレベルβ（＝０）とするヒステリシス特性を持たせる。立ち上がり時の基準レベルをαとすることによって、信号ｅがノイズによって立ち上がるのを防ぎ、ヒステリシス特性により、動作の安定を図っている。
【００２８】
コンパレータ４１は、ｎ段目のアンプ１８の飽和状態にある出力信号を、一定の基準レベルと比較することによってパルス信号を形成する。図４において、このコンパレータ４１の出力信号ｆは、信号Ｓ２に対応する部分において、ノイズパルスがランダムに表れている。
【００２９】
上記コンパレータ４１から出力される信号ｆは、乗算回路３２に入力され、タイミング制御回路３０からの出力信号ｇと乗算（論理積）される。信号ｇは、ＬＤ１０でパルス光を投光する前のノイズを検出するための信号である。この信号ｇは、所定の基準となるタイミングｔ１で立ち上がり、ｔ２で立ち下がる。ｔ２は、図６に示すように、受光信号パルスが検出され得る最短のタイミング、またはそれよりも早いタイミングに設定される。ここで受光信号パルスが検出され得る最短のタイミングとは、対象物１３が、距離測定装置の測定範囲の最短測定距離に存在する場合において、受光信号パルスが検出されるタイミングである。そして、ｔ１は、受光信号パルスが受光され得る最長のタイミング、またはそれよりも遅いタイミングに設定される。ここで、受光信号パルスが検出され得る最長のタイミングとは、対象物１３が、距離測定装置の測定範囲の最長測定距離に存在する場合において受光信号パルスが検出されるタイミングである。図６において、信号ｆの「短」で示す信号は、距離測定装置の測定範囲の最短測定距離に存在する場合において、パルス光を周期Ｔで投光したときの検出した受光信号パルスを示している。また、信号ｆの「長」で示す信号は、距離測定装置の測定範囲の最長測定距離に存在する場合において、パルス光を周期Ｔで投光したときの検出した受光信号パルスを示している。この２つのパルスの期間ＴＡは、距離測定対象となる対象物が存在しえる範囲と距離測定装置の配置位置に基づいて決定される。図４に示す例では、ｔ２はスタートパルスｂのタイミングにほぼ一致するように設定されている。このｔ２とｔ１の間隔は、約２μｓｅｃである。
【００３０】
上記乗算回路３２で、信号ｆと信号ｇを乗算することによって、信号ｈが得られる。すなわち、信号ｈは、受光信号の前後に位置するノイズ信号対応パルスを示す。
【００３１】
上記ワンショットマルチ３３は、乗算回路３２の出力があった時、５μｓｅｃのパルス幅の信号ｉを出力する。この信号ｉは、上記ノイズ信号対応パルスの最初のパルスによって形成されるため、図４に示すようになる。なお、信号ｉのパルス幅は十分に長い期間にしておくことが必要である。この例では、同パルス幅を、投光クロックａの周期に等しい５μｓｅｃにされている。
【００３２】
前記コンパレータ３５の出力は、ワンショットマルチ３６に入力され、所定のパルス幅の信号ｊが形成される。コンパレータ３５の出力信号ｅは、ｎ−１段目のアンプ１７の出力に基づいて形成されるパルス信号であり、ワンショットマルチ３６は、この信号ｅの立ち上がりから、一定のパルス幅の信号ｊを形成する。この信号ｊのパルス幅は、図４に示すように、信号ｄの受光信号パルスＳ３の１個のパルスが約２個分入る長さに設定される。
【００３３】
上記加算回路３７は、信号ｉと信号ｊを加算（論理和）して、信号ｋを形成する。図４に示すように、この信号ｋは、パルス幅Ｔ２において、信号ｄの受光信号パルスＳ３を通過させ、その前後の区間Ｔ１およびＴ３において、ノイズ信号を除去するゲート区間を備えている。
【００３４】
上記ノイズ検出回路１９内のワンショットマルチ３１は、スタートパルスｂより、一定のパルス幅の信号ｌ（エル）を形成する。この信号ｌ（エル）のパルス幅は、ほぼ１μｓｅｃに設定される。１μｓｅｃは、上記信号ｋのパルス幅Ｔ２を十分に含む長さである。
【００３５】
上記ゲート信号形成回路２０の乗算回路３８は、信号ｋと信号ｌ（エル）を乗算（論理積）して、信号ｍを形成する。この信号ｍは、受光信号パルスＳ３を受信するタイミングにより、図５のｍ１の実線で示すパルスになったり、ｍ２の点線で示すパルスになったりする等、時間軸上で変動する。この乗算回路３８の出力信号ｍが、ノイズ信号を除去するゲート区間の設定された最終的なゲート信号である。
【００３６】
上記乗算回路２１は、乗算回路３８の出力信号ｍとコンパレータ４１の出力信号ｆとを乗算（論理積）して、信号ｎを形成する。図５に示すように、信号ｎは、信号ｄにおいて、ノイズを示す信号Ｓ２が除去され、受光信号パルスＳ３だけが表れたものになっている。ワンショットマルチ２２は、この信号ｎの立ち下がりタイミングｔ５を検出する。そして、乗算回路３９は、ワンショットマルチ２２の出力信号ｏと信号ｎとを乗算（論理積）して、信号ｐを出力する。信号ｐはストップパルスとして上記積分回路１２に出力される。
【００３７】
ここで、ワンショットマルチ２２を設けることによって、信号ｎの立ち下がりタイミングｔ５を検出し、このタイミングをストップタイミングとしてストップパルスｐを積分回路１２に出力しているが、このタイミングｔ５は、信号ｄから明らかなように、受光パルス信号Ｓ３のゼロクロスタイミングである。したがって、このタイミングｔ５は受光信号のレベルに係わらず安定したタイミングとなり、距離計測の正確性を担保することができる。ストップパルスｐの立ち上がりタイミングは、信号ｃから形成される信号ｍによって、実際の信号よりも遅れが生じているため、距離計測を行う上において正確なものとはならない。なお、ストップパルスｐを負のパルスとして形成した時には、その立ち上がりタイミングがストップタイミングとなる。
【００３８】
このようにして、スタートパルスｂによるスタートタイミングとストップパルスｐによるストップタイミングとが形成され、積分回路１２において、それらのタイミング間において、所定の信号の積分が行われる。信号ｑは、積分回路１２の出力信号である。この信号ｑは、Ａ／Ｄ変換器４２でディジタル化され、演算回路４３に入力されて、所定の演算式により距離が求められる。なお、演算回路４３で実際に距離を求めるには、次の連立方程式からａ及びｂを求め、Ｌ＝ａＤ＋ｂの式によって、距離Ｌを求める。
【００３９】
Ｌ１＝ａＤ１＋ｂ
Ｌ２＝ａＤ２＋ｂ
すなわち、上記式において、任意の２点までの既知の距離Ｌ１、Ｌ２におけるディジタル値（Ａ／Ｄ変換器４２の出力値）Ｄ１、Ｄ２を取得する。この値を上記連立方程式に代入することによって、ａ及びｂの値を求める。なお、ＰＤ１４の出力信号から上記ＢＰＦ１５で基本波成分を抽出することによって、距離計測が正確になる理由について図７を参照して説明する。
【００４０】
図７に示すように、ＢＰＦ１５を使用せずに、受光信号のタイミングを検出しようとすれば、その立ち上がりタイミングは、受光信号のパワーが「大」の場合と「小」の場合とで異なってくるために、この時間差に相当する距離計測誤差が生じる。これに対し、この受光信号をＢＰＦ１５を通過させて、単一周波数成分の信号、すなわち基本波成分の信号を抽出すれば、受信信号のパワーが「大」であろうと「小」であろうと、ゼロクロス、を通過するタイミングは変わらない。
【００４１】
以上の理由から、アンプ１６に入力する信号をＢＰＦ１５で抽出した基本波成分とする。
【００４２】
本実施形態の距離測定装置では、ｎ段目のアンプの出力信号と、ｎ−１段目のアンプの出力信号の状態によって、ゲート信号ｋの形状が変わってくる。また、ｎ−１段目のアンプ１７の出力信号の状態と、ｎ段目のアンプ１８の出力信号の状態によっては距離計測ができない場合もある。
【００４３】
以下、このことについて図８及び図９を参照して説明する。図８は、ｎ−１段目のアンプ１７の出力信号の状態と、ｎ段目のアンプ１８の出力信号の状態と、距離計測の可能性の関係を示している。図において、「ｎ段目の信号」は、ｎ段目のアンプ１８の出力信号中の受光信号パルス（図４の信号Ｓ３）を意味し、「ｎ−１段目の信号」は、ｎ−１段目のアンプ１７の出力信号中の受光信号パルス（図４の信号Ｓ１）を意味する。また、「ｎ段目のノイズ」は、ｎ段目のアンプ１８の出力信号中のノイズ信号（図４の信号Ｓ２）を意味する。また、図中○は計測可能であることを示し、×は計測不可であることを示し、／は状態があり得ないことを示している。
【００４４】
図９は、図８の▲１▼〜▲８▼の状態の時のゲート信号ｋを示している。▲５▼及び▲６▼の状態は、あり得ない（ｎ−１段目の受光信号パルスがあって、ｎ段目の受光信号パルスがない、ことはあり得ない）ので、図９においては信号ｋを示していない。なお、▲３▼の状態は、計測不可となっているが、これは、図９に示すように、信号ｋが、受信信号の存在期間（図の中央部分）において“Ｌ”となっているからである。この期間で“Ｌ”となるのは、ｎー１段目の受光信号パルス（図４の信号Ｓ１）を検出出来ないため、信号ｅが形成されないためである。しかし、ｎ−１段目のアンプ１７で受光信号を検出できず、ｎ段目のアンプ１８で受光信号を検出できる状態は、受光信号がかなり低レベルである状態であるため、このような場合は距離測定できなくてもそれほど大きな問題とはならない。むしろ、ｎ−１段目のアンプ１７で、対象物に対応する受光信号パルスを十分なＳ／Ｎで検出できるよう、アンプ１６〜１７の利得が設定されているため、▲３▼の状態は略ありえない状態である。
【００４５】
一方、▲４▼の状態は、ノイズがほとんど検出されない状態であるため、受光信号パルスのレベルが低くても距離計測が可能である。したがって、▲４▼の状態では、ゲート信号ｋは”Ｈ”を維持する。また、▲７▼および▲８▼の状態は、検出可能なゲート信号が出力されるだけであって、ｎ段目のアンプ１８の出力に受光信号パルスが表れない状態である。この状態は、対象物のない状態であるから、実際には距離計測については考慮する必要がない。
【００４６】
以上、詳述したように、図３の乗算回路２１でゲート信号に乗算される受光信号パルスｆは、常に、ｎ段目（最終段）のアンプ１８の出力信号をコンパレータ４１を通して得られる信号であるため、受光信号パルスのＳ／Ｎの状況にかかわらず、積分回路１２で積分を停止するストップタイミングは一定である。このため、高精度な距離計測を行うことができる。
【００４７】
なお、本実施形態では、ＢＰＦ１５を用いて、受光パルスの基本波成分（単一周波数成分）を得るようにしたが、ゼロクロスタイミングの信号を得るには、微分回路を用いることも可能である。また、多少計測精度は低下するが、ＢＰＦ１５がなくても振動波形は表れるため、距離計測は可能である。また、ゲート信号を形成するのに、ｎ−１段目のアンプ１７の出力信号を利用したが、これ以前のアンプの出力信号を利用することも可能である。
【００４８】
【発明の効果】
この発明によれば、受信信号のレベルの大小に関わらず、信号処理は同じであるため、正確に対象物までの距離を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の受光信号回路の構成図
【図２】この発明の実施形態の距離測定装置のブロック図
【図３】上記距離測定装置のより詳細なブロック図
【図４】上記距離測定装置の動作波形図
【図５】上記距離測定装置の他の動作波形図
【図６】上記距離測定装置の他の動作波形図
【図７】ＢＰＦの動作を説明する図
【図８】受光信号とノイズの関係を示す図
【図９】ゲート信号の変化を示す図
【図１】
0003835219.tif 000002
【図２】
0003835219.tif 000003
【図３】
0003835219.tif 000004
【図４】
0003835219.tif 000005
【図５】
0003835219.tif 000006
【図６】
0003835219.tif 000007
【図７】
0003835219.tif 000008
【図８】
0003835219.tif 000009
【図９】
0003835219.tif 000010