(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストされるべき電子素子又は集積回路に順に接続される取り付けボードに対して電気的な接続を行うための、ほぼ平面内に配置されたコネクタを備えるテストヘッドを含む、電子回路テスタを調整するための調整ボードであって、その調整ボードが
誘電体基板と、
前記基板のそれぞれの領域に取り付けられる、開放、短絡、及び負荷を含む複数の標準調整器と、
前記調整ボードが前記取り付けボードの代わりに選択的に用いられる場合に、前記標準調整器を前記テストヘッドの前記コネクタに電気的に接続するための手段と、
前記標準調整器を前記テストヘッドのコネクタに電気的に接続するための手段によって電気的な接続が確立されるように、前記調整ボードを前記テストヘッドに取り付けるための手段と、及び
前記標準調整器を使用して、前記テスタの調整を行うため、前記調整ボード及びテストヘッドに設けられた、前記調整ボードの回転位置の順序を示すための手段とからなり、
これによって、前記テストヘッドのコネクタの平面に対して前記テスタが調整され得る、調整ボード。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気信号を印加し、かつ／又は測定することによって電子回路のテストを行うシステムに関し、より詳しくは、パッケージングされた素子又は集積回路、あるいはウエハ上の素子又は集積回路チップに電気信号を印加し、かつ印加された電気信号に対する素子又は集積回路の応答を測定する電子回路テストシステムに関する。特に、本発明の一実施例によれば、テスト・ヘッドの平面に対してテスタを調整するため、電子回路テスタのテスト・ヘッドに対して電気的接続を行うための調整ボードを提供する。本発明の一実施例による調整ボードは、実際のテスト時において、素子又は集積回路の応答に関する後続の測定精度を向上させ、高周波素子及び集積回路のテストを行うためのテスタのセット・アップ及び調整と、該テスタによる測定を容易にし、これによって信頼性を改善し、全体のスループットを向上させるのに特に適応する。
【０００２】
プログラム可能電子回路テスタは通常、電子素子と集積回路の製造段階において、製造された素子又は集積回路の性能をテストするために使用される。テストは素子又は集積回路が関連する設計仕様上の性能を満たしているかを確認するために行われる。素子又は集積回路をテストするため、電子回路テスタは電気信号又は一組の電気信号をテスト対象の素子又は集積回路に印加して、その応答（単数又は複数）を測定するようにプログラムされている。この電子回路テスタは、必ずしも完成しているパッケージングされた素子及び集積回路をテストするためだけに使用されるわけではなく、初期のウエハ処理から最終的なパッケージング処理までの素子又は集積回路の様々な製造段階におけるテストのために頻繁に使用される。
【０００３】
【従来の技術】
従来のプログラム可能電子回路テスタは一般的に参照番号10を付して図１に示されているようなものである。電子回路テスタ10は、ダクト14を通るケーブルによって、電子テスト及び測定を行う機器のラック（単数又は複数）16に電気的に接続されたテスト・ヘッド12を備え、そのラック16は、テスト・ヘッドとインタフェースされた素子又は集積回路に電気信号を印加するためのAC、DC電気信号発生器、及び例えば上記の印加された電気信号に対する応答（単数又は複数）を測定するためのオシロスコープ及びネットワーク解析器等の信号解析器を含む。図１に示すように、テスト・ヘッド12はダクト14内のケーブルに接続された負荷ボード18を介して素子又は集積回路にインタフェースし、次に取り付けボード20が負荷ボードに接続される。代替案としては、取り付けボード20のインストールの前に、電子回路テスタ10を調整するために調整ボードがテスト・ヘッド12に接続されることが望ましい。負荷ボード18の構成はアナログ又はディジタル電子回路のような、テストされる素子又は集積回路の種類に依存し、一方取り付けボード20の構成は通常、テストされる素子又は集積回路の種類に特有である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
図１に示すように、テスト・ヘッド12はドリー22に取り付けられる。電子回路テスタ10はパッケージングされた素子及び集積回路の双方、並びにウエハ上の素子又は集積回路をテストするために使用されうるので、テスト・ヘッド12は旋回式連結部材24によってドリー22に取り付けられることが好ましい。旋回式連結部材24によってテスト・ヘッド12は、適当な負荷ボード18及び調整ボード又は取り付けボード20がオペレータによって電子回路テスタ10のテスト・ヘッド上に取り付けられるように、ほぼ上向きの水平位置に位置付けられうる。調整が済むと、調整ボードの代わりに取り付けボード20が用いられ、テスト・ヘッド12は、例えばパッケージングされた素子又は集積回路をテストするために、取り付けボード20が材料ハンドラとインタフェースできるように垂直位置へ旋回されうる。最後に、テスト・ヘッド12はウエハ上の素子又は集積回路チップをテストするため、取り付けボード20がウエハとインタフェースできるように、下向きの水平位置へと旋回させることができる。
【０００５】
一般に、電子回路テスタ10の調整は、テスト・ヘッド12に組み込まれたコネクタに一続きに接続される各種標準調整器を用いて実施されてきた。これは退屈な手順である。更に、高周波同軸コネクタは比較的壊れやすく、こうしたコネクタの中央導体は、オペレータが注意していなければ、損傷を受ける可能性がある。
【０００６】
従って、テスタのセットアップ及び調整時に、電子回路テスタ10の調整を効率よく行うための調整器の構造を提供することが望ましい。更に、接続時に損傷を受けにくい比較的丈夫な調整器の構造を提供することが望ましい。こうした調整器の構造によって、容易に電子回路テスタ10のセットアップ及び調整が行えるようになる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の一実施例によって、電子回路テスタのテスト・ヘッドと相互接続されてテスタを調整するための調整ボードが提供される。本発明の一実施例による調整ボードは、開放、短絡、及び負荷のような標準調整器、及び少なくとも１つの標準検証器から構成される。代替案として、本発明の別の実施例による調整ボードはスルー接続によって構成される。この調整ボードはテスト・ヘッドに接続され、このテスト・ヘッドは、調整ボードの標準調整器、標準検証器、及び／又はスルー接続に電気信号又は１組の電気信号を加え、その応答（単数または複数）を測定するための手段となっている。調整には、標準調整器及び標準検証器を有する調整ボードと、スルー接続を有する標準調整器の両方を使用することが可能である。
【０００８】
本発明の一実施例によれば、テストされる電子素子又は集積回路に順に接続される取り付けボードと電気的な接続を行うための、ほぼ平面内に配置されたコネクタを有するテスト・ヘッドを含む電子回路テスタを調整するための調整ボードは、誘電体基板から構成される。例えば、この基板は、プリント回路基板材料とすることが可能である。調整ボードは更に、この基板に取り付けられた複数の標準調整器を備え、この標準調整器は基板のそれぞれの領域に取り付けられ、開放、短絡、及び負荷を含む。例えば負荷は、50オームの端子とすることが可能である。複数の標準調整器は、基板の３つの四分円のそれぞれに配置されるのが望ましい。調整ボードは更に、調整ボードが選択的に取り付けボードの代わりに用いられる場合、標準調整器をテスト・ヘッドのコネクタに電気的に接続するための手段を含む。調整ボードは更に、標準調整器をテスト・ヘッドのコネクタに電気的に接続するための手段によって電気的な接続が行われるように、調整ボードをテスト・ヘッドに取り付ける手段も含んでいる。最後に調整ボードは、標準調整器を利用してテスタの調整を行うため、調整ボード及びテスト・ヘッドに設けられた、調整ボードの回転位置の順序を示す手段を含んでいる。調整ボードは、テスタがテスト・ヘッドのコネクタの平面に対して調整されるように、示された回転位置に順に回転される。調整ボードは更に、基板に取り付けられた少なくとも１つの標準検証器を含むことが可能である。少なくとも１つの標準検証器は、基板の第４の四分円に取り付けられるのが望ましい。例えば、少なくとも１つの標準検証器は100オームの抵抗器とすることが可能である。
【０００９】
本発明の別の実施例によれば、テストされる電子素子又は集積回路に順に接続される取り付けボードに電気的に接続される、ほぼ平面内に位置するコネクタを有するテスト・ヘッドを含む電子回路テスタを調整するための調整ボードは、誘電体基板から構成される。例えば基板は、プリント回路基板材料とすることが可能である。調整ボードは更に、基板に取り付けられた複数のスルー接続を有し、このスルー接続は基板のそれぞれの領域を横断して取り付けられる。この調整ボードは更に、調整ボードが選択的に取り付けボードの代わりに用いられる場合、スルー接続をテスト・ヘッドのコネクタに電気的に接続するための手段を含む。調整ボードは更に、スルー接続をテスト・ヘッドのコネクタに電気的に接続するための手段によって電気的接続が確立されるように、調整ボードをテスト・ヘッドに取り付ける手段も含む。最後に、調整ボードは、スルー接続を使用してテスタの調整を行うため、調整ボード及びテスト・ヘッドに設けられた、調整ボードの回転位置の順序を示す手段を含んでいる。調整ボードは、テスタがテスト・ヘッドのコネクタの平面に対して調整されるように、示された回転位置に順に回転される。
【００１０】
本発明による調整ボードによって、電子回路テスタのセット・アップ及び調整時における信頼性及び効率が向上する。この結果、測定プロセスのスピードアップが実現される。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下で添付の図面に関して提供される好適実施例を説明することによって、当業者には、本発明の前述の課題と他の課題、特徴、及び付随する利点が、より一層理解され、認識される。
【００１２】
図２には、電子回路テスタの一部、即ち、テスト・ヘッド100、負荷ボード112、及び取り付けボード114が詳細に示されている。図２に示すように、テスト・ヘッド100は、テストされる電子素子又は集積回路128に順に接続される取り付けボード114に電気的に接続するためのコネクタ126を含む。例えば、テスト・ヘッドは、図２に示すように、20個のコネクタを含むことができる。テスト・ヘッド100のコネクタ126は、ほぼ平面130内に配置される。本発明の一実施例によれば、本明細書を通して符号116で示されている取り付けボードが、テスタのセット・アップ及び平面130に対する調整時に、電子回路テスタを調整するために、取り付けボード114の代わりに用いられる。
【００１３】
更に詳細に検討すると、調整ボード116は、図３に示すように誘電体基板132を含む。例えば基板132は、プリント回路基板材料とすることが可能である。
【００１４】
調整ボード116は更に、基板132に取り付けられた複数の標準調整器134を含んでいる。この標準調整器は、開放136、短絡138、及び負荷140を含む。例えば、負荷140は50オームの端子とすることが可能である。
【００１５】
図３に示すように、標準調整器134は、基板132のそれぞれの領域に取り付けられる。標準調整器は、基板132の３つの四分円142、144、及び146のそれぞれに配置されるのが望ましい。
【００１６】
図３に示すように、調整ボード116は更に、基板132に取り付けられた少なくとも１つの標準検証器147を含むことができる。この少なくとも１つの標準検証器147は、基板の第４の四分円148に取り付けられるのが望ましい。例えば、この少なくとも１つの標準検証器147は、100オームの抵抗器とすることが可能である。
【００１７】
調整ボード116は更に、調整ボードがテスト・ヘッドに取り付けられた取り付けボード114の代わりに選択的に用いられる場合、標準調整器134及び少なくとも１つの標準検証器147をテスト・ヘッド100のコネクタ126に電気的に接続するための手段を含む。標準調整器134及び少なくとも１つの標準検証器147は、電気的に盲結合コネクタ149に接続されることが好ましい。盲結合コネクタ149は、基板132の表面の一方に取り付けられた標準調整器134及び少なくとも１つの標準検証器147に接続し、テスト・ヘッド100のコネクタ126に相互接続するために、基板を通り、基板のもう一方の表面に達する。例えば、盲結合コネクタ149は、米国特許出願第316,984号と同じ日付で出願された、Julius K.Botka及びDavid R.VeteranによるBLIND MATE CONNECTOR FOR AN ELECTRONIC CIRCUIT TESTERと題する特許出願に開示された盲結合コネクタとすることが可能であり、前記出願における開示はここで参照することにより、本明細書に組み込まれる。
【００１８】
調整ボード116は又、標準調整器134及び少なくとも１つの標準検証器147をテスト・ヘッドのコネクタ126に電気的に接続するための手段によって、電気的接続が確立されるように、調整ボードをテスト・ヘッド100に取り付ける手段も含んでいる。例えば、テスト・ヘッド100は、複数のスロット150Aを有する、プル・ダウン／エジェクト・リング150を含むことが望ましい。調整ボード116は、調整ボードを回転させると盲結合コネクタ149がコネクタ126に向かって軸方向に移動し、調整ボードとテスト・ヘッド100が接続されるように、スロット150Aに内部で結合するピン152を含むことが望ましい。
【００１９】
最後に、調整ボード116は、標準調整器134及び少なくとも１つの標準検証器147を使用して電子回路テスタの調整を行うために、調整ボード116及びテスト・ヘッド100上に、調整ボード116の回転位置の順序を示す手段を含んでいる。図５に示すように、調整ボード116が、テスト・ヘッドのコネクタ126の平面130に対する電子回路テスタの調整が可能になるように、テスト・ヘッド100上の位置矢印162と合わせられる、表示された回転位置Ａ、Ｂ、Ｃ、及びＤに順に回転される。
【００２０】
本発明の別の実施例によれば、調整ボード116'は、図４に示すように誘電体基板132'を含む。例えば、基板132'はプリント回路基板材料とすることができる。調整ボード116'は更に、基板132'に取り付けられた複数のスルー接続160を含む。スルー接続160は、基板132'のそれぞれの領域を横切って取り付けられる。
【００２１】
調整ボード116'は更に、調整ボード116'が取り付けボード114の代わりに選択的に用いられる場合に、スルー接続160をテスト・ヘッド100のコネクタ126に電気的に接続するための手段を含んでいる。このスルー接続160は、前述のように、盲結合コネクタ149に電気的に接続されていることが望ましい。スルー接続160は、盲結合コネクタ149間に接続された同軸ケーブルとすることが可能である。
【００２２】
調整ボード116'は又、スルー接続160をテスト・ヘッド100のコネクタ126に電気的に接続するための手段によって電気的接続が確立されるように、調整ボード116'をテスト・ヘッド100に取り付ける手段も含む。例えば、テスト・ヘッド100は、複数のスロット150Aを有する、プル・ダウン／エジェクト・リング150を含むことが望ましい。調整ボード116'は、調整ボード116'を回転させると、盲結合コネクタ149がコネクタ126に向かって軸方向に移動し、調整ボード116'とテスト・ヘッド100が接続されるように、スロット150Aと内部で結合されるピン152を含むことが望ましい。
【００２３】
最後に、調整ボード116'は、スルー接続160を使用して電子回路テスタの調整を行うために、調整ボード116'及びテスト・ヘッド100上に、調整ボード116'の回転位置の順序を示す手段を含んでいる。図５に示すように、調整ボード116'が、テスト・ヘッドのコネクタ126の平面130に対して電子回路テスタが調整されるように、テスト・ヘッド100上の位置矢印162と合わせられる、表示された回転位置Ａ、Ｂ、Ｃ、及びＤに順に回転される。
【００２４】
操作時、調整ボード116は、テスト・ヘッド100にインストールされる。オペレータは電子回路テスタの調整モードを選択する。電子回路テスタは、調整ボード116が、図５に示す位置間で回転される際、どの標準調整器134及び標準検証器147がテスト・ヘッド100のコネクタ126に接続されているかを認識する。次に、調整ボード116'に取り替え、同様に調整が実施されうる。電子回路テスタは更に、テストされる素子又は集積回路128に関する後続の測定のエラー係数を計算することができる。電子回路テスタは又、少なくとも１つの標準検証器147における測定値にこのエラー係数を適用し、その結果とルック・アップ・テーブルに記憶されている値を比較し、標準検証器における訂正された測定値が、許容可能な調整を表す許容可能な公差内に含まれるか否かを判定することもできる。この調整が許容可能であれば、素子又は集積回路128の実際のテストのために、取り付けボード114が調整ボード116又は116'の代わりに用いられる。
【００２５】
上述の本発明の実施例には、様々な追加修正、変更、及び適応の余地があるものと理解され、認識される。本発明による調整ボードは、１つ以上のポートを有するテスト・ヘッドの調整を行うように構成されうる。又、本発明による調整ボード116は、例えば図３に示す四分円142、144、146、及び148に対する追加領域に、負荷のような追加標準調整器を含むように構成することも可能であり、調整ボードは、調整に関する回転の、対応する数を有することになる。以上の解説によって、高周波電気信号の測定を行う電子回路テスタが開示されたが、本発明の原理は、一般に、調整にも適用可能であり、この全てが、特許請求の範囲の趣旨、及び同等物の範囲内に包含される。
【００２６】
以下に本発明の実施態様を列挙する。
【００２７】
１．  テストされる電子素子又は集積回路に順に接続される取り付けボードに対して電気的な接続を行うための、ほぼ平面内に位置するコネクタを備えたテスト・ヘッドを含む、電子回路テスタを調整するための調整ボードであって、該調整ボードが
誘電体基板、
該基板のそれぞれの領域に取り付けられる、開放、短絡、及び負荷を含む複数の標準調整器、
該調整ボードが取り付けボードの代わりに選択的に用いられる場合に、該標準調整器をテスト・ヘッドのコネクタに電気的に接続するための手段、
該標準調整器をテスト・ヘッドのコネクタに電気的に接続するための手段によって電気的な接続が確立されるように、調整ボードをテスト・ヘッドに取り付けるための手段、及び
該標準調整器を使用して、テスタの調整を行うため、調整ボード及びテスト・ヘッドに設けられた、調整ボードの回転位置の順序を示す手段を含み、
これによって、テスト・ヘッドのコネクタの平面に対してテスタの調整を行うことが可能になることを特徴とする前記調整ボード。
【００２８】
２．  該基板がプリント回路基板材料であることを特徴とする、項番１に記載の調整ボード。
【００２９】
３．  複数の標準調整器が、３つのそれぞれの基板の四分円のそれぞれに配置されることを特徴とする、項番１に記載の調整ボード。
【００３０】
４．  負荷が50オームの端子であることを特徴とする、項番１に記載の調整ボード。
【００３１】
５．  基板に取り付けられた少なくとも１つの標準検証器を更に含むことを特徴とする、項番１に記載の調整ボード。
【００３２】
６．  基板の第４の四分円に取り付けられた少なくとも１つの標準検証器を更に含むことを特徴とする、項番３に記載の調整ボード。
【００３３】
７．  前記少なくとも１つの標準検証器が、100オームの抵抗器であることを特徴とする、項番５に記載の調整ボード。
【００３４】
８．  前記少なくとも１つの標準検証器が、100オームの抵抗器であることを特徴とする、項番６に記載の調整ボード。
【００３５】
９．  テストされる電子素子又は集積回路に順に接続される取り付けボードに対する電気的な接続を行うための、ほぼ平面内に位置するコネクタを有するテスト・ヘッドを含む、電子回路テスタを調整するための調整ボードであって、該調整ボードが
誘電体基板、
該基板のそれぞれの領域を横切って取り付けられた複数のスルー接続、
調整ボードが取り付けボードの代わりに選択的に用いられる場合に、スルー接続をテスト・ヘッドのコネクタに電気的に接続するための手段、
スルー接続をテスト・ヘッドのコネクタに電気的に接続するための手段によって電気的な接続が行われるように、調整ボードをテスト・ヘッドに取り付けるための手段、及び
スルー接続を使用して、テスタの調整を行うため、調整ボード及びテスト・ヘッド上に設けられた、調整ボードの回転位置の順序を示す手段を含み、
これによって、テスト・ヘッドのコネクタの平面に対してテスタの調整を行うことが可能になることを特徴とする前記調整ボード。
【００３６】
10．  該基板がプリント回路基板材料であることを特徴とする、項番９に記載の調整ボード。
【００３７】
【発明の効果】
本発明によって、テスタのセットアップ及び調整時に、電子回路テスタの調整を効率よく行うための調整器の構造が提供される。更に、接続時に損傷を受けにくい比較的丈夫な調整器の構造が提供されると同時に、容易に電子回路テスタのセットアップ及び調整が行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の電子回路テスタの等角図である。
【図２】本発明の一実施例による調整ボードを組み込んだ、図１に示す電子回路テスタにおけるテスト・ヘッド、負荷ボード、及び取り付けボードの分解図である。
【図３】本発明の一実施例による調整ボードの立面図である。
【図４】本発明の別の実施例による調整ボードの立面図である。
【図５】電子回路テスタのテスト・ヘッドに取り付けられた、図３又は図４に示された調整ボードの立面図である。
【符号の説明】
100  テスト・ヘッド
112  負荷ボード
114  取り付けボード
116  調整ボード
126  コネクタ
128  電子素子又は集積回路
132  基板
134  標準調整器
147  標準検証器
149  盲結合コネクタ
152  ピン
160  スルー接続
【図１】
0003734538.tif 000002
【図２】
0003734538.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003734538.tif 000005
【図５】
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