(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒体内に第一の詰物を有する第一のフィルタ手段と、筒体内に第二の詰物を有する第二のフィルタ手段とが、所定容積の捕捉チャンバ内に連通されて、配設され、圧縮空気を導入管路より該第一のフィルタ手段を通じて該捕捉チャンバ内に導くことにより、該圧縮空気中に存在する蒸気乃至は液状微粒子を凝縮乃至は合体せしめて、該圧縮空気より分離せしめる一方、かかる蒸気乃至は液状微粒子の分離された圧縮空気を、該捕捉チャンバより前記第二のフィルタ手段に導くようにすることによって、該圧縮空気中に残存する液状の粒子を該第二のフィルタ手段にて捕捉せしめ、更に該第二のフィルタ手段から送出される圧縮空気の流路上に、所定厚さの多孔構造の円筒状の通気壁部を有する、圧縮空気中の微生物を捕捉し得る目の細かいミストフィルタを設け、該通気壁部の一方の側から他方の側に圧縮空気を通過せしめることにより、該圧縮空気中に未だ残存する蒸気乃至は液状微粒子と共に、微生物を分離、捕捉せしめるようにした圧縮空気用フィルタ装置において、
仕切り部材と該仕切り部材の上部及び下部にそれぞれ配された上部ハウジング及び下部ハウジングとを備え、該下部ハウジング内に、前記第一及び第二のフィルタ手段が、該第一のフィルタ手段を中心部に位置するようにして同心的に配置せしめられる一方、前記上部ハウジング内には、前記ミストフィルタが、該上部ハウジング内の密閉空間を該ミストフィルタの外部と内部とに仕切るように、前記第一、第二のフィルタ手段と同心的に立設、配置せしめられ、更に、前記第二のフィルタ手段から送出された圧縮空気が、前記仕切り部材を貫通して設けられた通路を通じて、前記上部ハウジング内の前記ミストフィルタにて仕切られた外部空間に導かれ、そして該ミストフィルタの通気壁部をその径方向外側から内側に向って通過せしめられるようになっている構造を有し、且つ
前記ミストフィルタの通気壁部を、その径方向に重ね合わされた、少なくとも、抗菌剤を含有乃至は担持せしめたフィルタ繊維層と活性炭素繊維層とを含んで構成すると共に、該フィルタ繊維層を、それぞれ抗菌剤を含有乃至は担持せしめてなる合成繊維層とガラス繊維層とを含んで重ね合わせて構成し、且つ前記第二のフィルタ手段から送出された圧縮空気が、該フィルタ繊維層を通過し、更に前記活性炭素繊維層を通過せしめられるように構成したことを特徴とする圧縮空気用フィルタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は、圧縮空気用フィルタ装置に係り、特に微生物が効果的に殺菌され得ると共に、かかるフィルタを通過せしめられる圧縮空気が有利に脱臭され得る圧縮空気用フィルタ装置に関するものである。
【０００２】
【背景技術】
従来から、各種工場や医療分野及び原子力プラント等において用いられる種々の空気圧機器に対して圧縮空気を供給するための管路上には、通常、それら空気圧機器を保護したり、或いはそれら空気圧機器による作業の向上を図る目的で、圧縮空気用フィルタ装置が設けられ、該フィルタ装置によって、圧縮空気中に含まれる水分や油分等の除去が行なわれるようになっている。
【０００３】
そして、そのような圧縮空気用フィルタ装置の一種として、実開平４−１１０１１８号公報において、筒体内に第一の詰物を有する第一のフィルタ手段と、筒体内に第二の詰物を有する第二のフィルタ手段とが、所定容積の捕捉チャンバ内に連通されて、配設され、更に、前記第二のフィルタ手段の流路上後方に、所定厚さの多孔構造の円筒状の通気壁部を有するミストフィルタが設けられてなる構造の圧縮空気用フィルタ装置が提案されている。
【０００４】
すなわち、このようなフィルタ装置においては、圧縮空気を導入管路より第一のフィルタ手段を通じて該捕捉チャンバ内に導くことにより、該圧縮空気中に存在する蒸気乃至は液状微粒子が凝縮乃至は合体せしめられて、該圧縮空気より分離せしめられる一方、かかる蒸気乃至は液状微粒子の分離された圧縮空気を、該捕捉チャンバより前記第二のフィルタ手段を通じて圧縮空気の送出管路に導くようにすることによって、該圧縮空気中に残存する液状の粒子が該第二のフィルタ手段にて捕捉せしめられるようにして、かかる圧縮空気中の蒸気乃至は液状微粒子が効果的に低減され得るのであり、更にかかる第二のフィルタ手段を通過せしめられた圧縮空気中を、次いでミストフィルタを通過させることによって、未だ残存している液状微粒子及びオイルミストが、略完全に除去され得るようになっているのである。
【０００５】
ところで、一般に、医療、医薬品製造、食品製造或いは半導体製造等の分野、即ち微生物が存在していることが衛生上又は品質上の点から非常に不都合となるような分野において、圧縮空気用フィルタ装置が使用される場合には、前述の如き水分や油分の分離、除去作用のみだけでなく、それに加えて、微生物の除去作用をも有していることが要求されており、上記の如き圧縮空気用フィルタ装置においても、前記ミストフィルタに目の細かいフィルタを採用することにより、微生物の殆どを捕捉（除去）し得るように出来るのである。
【０００６】
しかしながら、このように圧縮空気用フィルタ装置の有するフィルタ作用によって捕捉される微生物は、フィルタ装置自体が、本質的に抗菌作用を有していないところから、容易に死滅しない。そして、そのような生存状態の微生物は、温度、湿度、栄養等の条件が、それら微生物が増殖するのに適した条件となると、前記フィルタ装置内において増殖することとなり、その結果、増殖した微生物が装置内のフィルタ手段に目詰まりすることにより、圧損が生じたり、ミストフィルタが破損して、前記フィルタ装置内で増殖した大量の微生物が流出したり、フィルタ装置の各フィルタ手段を交換する際に、作業環境中に増殖した微生物が飛散して、安全性が損なわれたりする等の問題が惹起されるのである。
【０００７】
さらに、従来のフィルタ装置では、カビの繁殖によりカビ臭が発生したり、またミストフィルタに捕捉されたオイルミストによって臭気が発生したりするのであるが、臭気を捕捉する手段がないために、かかるフィルタ装置を通過した圧縮空気が臭気を伴うという問題を有していたのである。
【０００８】
【解決課題】
ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景として為されたものであって、その解決課題とするところは、圧縮空気中の微生物を捕捉するだけでなく、その捕捉した微生物を効果的に死滅させ、以て微生物が増殖することに起因する種々の問題を有利に解消し得る圧縮空気用フィルタ装置を提供することにあり、またオイルミスト等から発生するの臭気を除去し得る圧縮空気用フィルタ装置を提供することにもある。
【０００９】
【解決手段】
そして、上記の課題を解決するため、本発明にあっては、筒体内に第一の詰物を有する第一のフィルタ手段と、筒体内に第二の詰物を有する第二のフィルタ手段とが、所定容積の捕捉チャンバ内に連通されて、配設され、圧縮空気を導入管路より該第一のフィルタ手段を通じて該捕捉チャンバ内に導くことにより、該圧縮空気中に存在する蒸気乃至は液状微粒子を凝縮乃至は合体せしめて、該圧縮空気より分離せしめる一方、かかる蒸気乃至は液状微粒子の分離された圧縮空気を、該捕捉チャンバより前記第二のフィルタ手段に導くようにすることによって、該圧縮空気中に残存する液状の粒子を該第二のフィルタ手段にて捕捉せしめ、更に該第二のフィルタ手段から送出される圧縮空気の流路上に、所定厚さの多孔構造の円筒状の通気壁部を有するミストフィルタを設け、該通気壁部の一方の側から他方の側に圧縮空気を通過せしめることにより、該圧縮空気中に未だ残存する蒸気乃至は液状微粒子を分離せしめるようにした圧縮空気用フィルタ装置において、前記ミストフィルタの通気壁部を、少なくとも、抗菌剤を含有乃至は担持せしめたフィルタ繊維層と活性炭素繊維層とを含んで構成したことを特徴とする圧縮空気用フィルタ装置を、その要旨とする。
【００１０】
また、本発明にあっては、前記フィルタ繊維層は、好ましくは、それぞれ抗菌剤を含有乃至は担持せしめてなる合成繊維布とガラス繊維層とを含んで構成され、且つ該フィルタ繊維層を通過せしめられた圧縮空気は、更に前記活性炭素繊維層を通過せしめられるように構成されている。
【００１１】
【実施例】
以下に、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の一具体例について、図面を参照しつつ、詳細に説明することとする。
【００１２】
先ず、図１には、本発明に従う構造とされた圧縮空気用フィルタ装置の一具体例が示されている。即ち、かかるフィルタ装置は、第一のフィルタ２、第二のフィルタ４及びドレン装置６が収容されている下部ハウジング８と、ミストフィルタ１０及び集気筒１２が収容されている上部ハウジング１４と、それら下部ハウジング８及び上部ハウジング１４の中間に位置するように配された、圧縮空気の導入通路１６及び送出通路１８を有する仕切り部材２０とからなる構成とされている。
【００１３】
より具体的には、仕切り部材２０は、略厚肉円板状を呈し、その外側面に互いに対称な位置において開口する、該仕切り部材２０の底面中央部に開口する下部開口部２２に連通する圧縮空気の導入通路１６と、仕切り部材２０の上面中央部に開口する上部開口部２４に連通する圧縮空気の送出通路１８とが、それぞれ、設けられてなる構成とされ、更に、その厚さ方向において上下に貫通する複数の中間通路２６が設けられて、後述する如き下部ハウジング８側から上部ハウジング１４側への圧縮空気の連通路とされている。
【００１４】
また、仕切り部材２０の上面側には、その中央部に、送出通路１８に連通する上部開口部２４を有するドレン受部２８及びそのテーパ状底面に開口するドレン流路３０が、仕切り部材２０の外周面上で、圧縮空気の導入通路１６及び送出通路１８の各開口部に対して所定角度ずれた位置において開口するように、設けられている。
【００１５】
そして、このような構成の仕切り部材２０の下部には、Ｏリング３２を介して有底円筒状の下部ハウジング８が、その開口部を当接するようにして配置されて、該仕切り部材２０の下端外周面上に係止ナット３４が螺着されることにより、該係止ナット３４と下部ハウジング８の開口部外周面上に形成されたフランジ部３６との係合により、仕切り部材２０と下部ハウジング８とが一体的に且つ気密に組み付けられている。これによって、仕切り部材２０の下方で、下部ハウジング８内に、該仕切り部材２０の圧縮空気導入通路１６を通じて圧縮空気が導かれる密閉空間が、形成されるのである。
【００１６】
さらに、この下部ハウジング８内の密閉空間において、その上部中心部には、円筒形状の第一のフィルタ２が、また、かかる第一のフィルタ２の外側に位置して、その外径より所定寸法大きな内径を有する円筒状の第二のフィルタ４が、略同心的にそれぞれ配置せしめられている。
【００１７】
すなわち、かかる第一のフィルタ２は、複数の通孔を有する円形の押え板３８を介して、仕切り部材２０の下部開口部２２の端部に螺着され、また第二のフィルタ４は、連通孔を有する円環状の押え板４０を介して、前記第一のフィルタ２の螺合端部よりも仕切り部材２０の厚さ方向内方に位置する、中間通路２６の下部段付部４２に当接するように配されることにより、第一のフィルタ２は、第二のフィルタ４よりも所定長さにおいて下方に突出した状態で配置されるのである。更に、それら第一及び第二のフィルタ２、４の下端には、第一、第二のフィルタ２、４の下部開口部に対応して複数の通孔が設けられていると共に、第一のフィルタ２に対応する部位が凹部４４として形成されてなる支持板４６が、第一のフィルタ２の端部に対して、該凹部４４に設けられたネジ部において螺合されており、これによって、第一及び第二のフィルタ２、４が仕切り部材２０に対して固着せしめられているのである。
【００１８】
なお、かかる第一のフィルタ２は、円筒状の筒体４７の内部において、ステンレス繊維等の金属繊維からなる網状体の巻回成形体が第一の詰物４８として充填され、かかる詰物４８を内部に収容した該筒体４７の軸方向上端に、押え板３８が嵌着されて、構成されており、一方、第二のフィルタ４は、前記第一のフィルタ２の筒体４７の外径よりも所定寸法大きな内径を有する内筒５０と、該内筒５０よりも所定寸法大径で且つ略同一の長さを有する外筒５２が同心的に配され、それら内筒５０と外筒５２との間の間隙内に、綿繊維からなる網状体の巻回物が第二の詰物５４として充填されてなる構造とされており、その上端部には、押え板４０が配設されている。
【００１９】
また、かかる第一、第二のフィルタ装置２、４と下部ハウジング８との間には、分離された水分や油分が収容される空間としての捕捉チャンバ５６が形成されており、該捕捉チャンバ５６を介して、第一のフィルタ２と第二のフィルタ４が連通せしめられている。そして、該捕捉チャンバ５６の下部には、ドレン装置６が収容配置せしめられており、これによって、該下部ハウジング８の内部空間において圧縮空気より分離された液状微粒子等の液状物が収容され、外部に排出される捕捉チャンバ５６が構成されている。なお、かかるドレン装置６としては、実公平５−４５３７１号公報に開示の如き構造のドレン装置が好適に採用されることとなるが、これに限定されることなく、他の公知の各種ドレン装置の何れもが採用され得るものである。
【００２０】
一方、仕切り部材２０の上部側には、有底円筒状の上部ハウジング１４が、その開口部がＯリング等を介して係合（螺合）せしめられることにより、仕切り部材２０に対して気密に取り付けられて、その内部に密閉空間が形成されており、そしてかかる密閉空間は、仕切り部材２０の中間通路２６によって、下部ハウジング８の密閉空間と連通せしめられている。
【００２１】
また、かかる上部ハウジング１４内の密閉空間には、所定厚さを有する円筒状の通気壁部と、上端部に嵌着されて、上部ハウジング１４に支持、固定される支持板５８とからなるミストフィルタ１０が、前記第一、第二のフィルタ２、４と略同心的に位置するように、該仕切り部材２０の上面中央部に設けられたドレン受部２８の外側部位に対して、Ｏリング６０等を介して液密に装着せしめられており、更にその下端面が支持板６２で支持された状態で立設されている。これにより、上部ハウジング１４内の密閉空間は、ミストフィルタ１０の外部と内部とに仕切られると共に、ミストフィルタ１０の外側空間６４は、仕切り部材２０の中間通路２６を通じて、該仕切り部材２０の下部に設けられている下部ハウジング８内の密閉空間に連通せしめられるのである。
【００２２】
ここにおいて、前記ミストフィルタ１０の円筒状の通気壁部は、詳細には、図２に示されるように、外側から順に、ステンレス鋼からなる多孔状のライナー材６６ａ、フィルタ繊維層６８、ステンレス鋼からなるメッシュ状のライナー材６６ｂ、活性炭素繊維層７０、ステンレス鋼からなるメッシュ状のライナー材６６ｃが重ね合わされて構成されており、更に前記フィルタ繊維層６８は、ガラス繊維層７２がポリエステル系合成繊維からなるポリエステル繊維層７４、７４に挟まれたなる構成とされている。しかも、前記フィルタ繊維層６８を構成するガラス繊維層７２やポリエステル繊維層７４、７４、更には活性炭素繊維層７０には、抗菌剤が含有乃至は保持せしめられ、その結果、ミストフィルタ１０に抗菌性が付与せしめられているのである。
【００２３】
具体的には、前記各繊維層に、所定の抗菌剤が、公知の手法、例えば化学的処理により固着せしめられたり、該繊維内部に練込みによって含有せしめられたり、薬液に含浸せしめられたりすること等により、付与されているのである。なお、ここでいう抗菌剤とは、真菌（カビ）や細菌等の微生物に対して抗菌性を有する公知の各種の化合物を意味するものであり、またそのような抗菌剤としては、銀ゼオライトの如き金属ゼオライト等の無機系抗菌剤、各種抗生物質、その他化学療法剤として知られている化合物等が、単独にて、或いは必要に応じて複数のものが組み合わされて、適宜用いられることとなる。
【００２４】
そして、かかるミストフィルタ１０の内側空間７６内において、その略中央部に位置するように、所定長さを有する薄肉円筒形状の集気筒１２が仕切り部材２０のドレン受部２８の中央に設けられている上部開口部２４内に液密に固定、立設されている。なお、かかる集気筒１２の長さとしては、ミストフィルタ１０を通じて外部から内部へ通過する圧縮空気と共に液状微粒子等の液状物が侵入しない程度の高さにおいて設けられることが好ましく、また該集気筒１２の径としては、ミストフィルタ１０の内周面との間に、該ミストフィルタ１０により分離される液状物を収容し得る充分な空間を形成し得る程度において、適宜に選定されることが望ましい。
【００２５】
従って、このような構造とされたフィルタ装置にあっては、先ず、仕切り部材２０の圧縮空気導入通路１６から供給された圧縮空気が、流通断面積の大きな第一のフィルタ２内に導かれることとなるが、該第一のフィルタ２内を通過せしめられる際に、断熱膨張作用によって、また第一の詰物４８の存在下に流通させられることによって、かかる圧縮空気中に含まれる水や油の蒸気乃至は液状微粒子は、小滴に凝縮乃至は合体され、また捕捉されることとなるのであり、そしてこの凝縮乃至は合体または捕捉された小滴（液体）は、流通圧縮空気によって、下部ハウジング８内の捕捉チャンバ５６内に運び込まれる。
【００２６】
そして、かかる収容空間５６内では、その流通断面積（空気流に対する容積）が、第一のフィルタ２よりも更に大きいところから、更に断熱膨張作用にて圧縮空気中の蒸気の凝縮が進行し、また合体が行なわれることに加えて、流入する圧縮空気の流速が低下せしめられる。これによって、該圧縮空気の空気流に乗せられた小滴状態の液体は効果的に分離され、重力によって落下せしめられて、ドレン装置６を介して外部に排出されるのである。
【００２７】
次いで、このように蒸気乃至は液状微粒子が凝縮や合体等によって除去された圧縮空気は、通路断面積の小さな第二のフィルタ４内に導かれることによって、残存する水分や油分が、該第二のフィルタ４の第二の詰物５４を通過する際に吸着、除去されることとなる。また、微粒子の一部もここで捕捉される。そして更に、該第二の詰物５４を通過せしめられた圧縮空気は、仕切り部材２０の中間通路２６を通じて、上部ハウジング１４内に導かれ、ミストフィルタ１０の通気壁部を外側から内側に向って通過することにより、該空気中に残存している液状粒子や微生物などの微粒子は該ミストフィルタ１０によって捕捉され、以て乾燥した圧縮空気が、ミストフィルタ１０の内側空間７６において上方にて開口する集気筒１２の内孔、仕切り部材２０の上部開口部２４、更には送出通路１８を通じて、送出管路に導かれることとなる。
【００２８】
なお、このようにしてミストフィルタ１０により捕捉された液状微粒子は、ミストフィルタ１０の内部を徐々に落下して、下部に滞留し、更にミストフィルタ１０の内側に押し出されて、仕切り部材２０の上面に設けられたドレン受部２８内に滞留すると、該ドレン受部２８の底部に開口するドレン流路３０を通じて、適宜に外部に排出されることとなる。
【００２９】
一方、圧縮空気に含まれる微生物は、微粒子と同様に、第二のフィルタ４でも、その一部が捕捉されるが、ここで捕捉されなかった微生物や、第二のフィルタ４で捕捉された後、再飛散させられた微生物は、最終的にミストフィルタ１０にまで運ばれることになる。そして、そのような微生物を含む圧縮空気が、ミストフィルタ１０を通過せしめられると、前記残存の液状微粒子と同様にして、かかるミストフィルタ１０において、殆どの微生物が捕捉されるのである。そして、このミストフィルタ１０で捕捉された微生物は、該ミストフィルタ１０を構成しているフィルタ繊維層６８や活性炭素繊維層７０に付与せしめられている抗菌剤の作用により、殺菌されることとなる。それ故に、かかるミストフィルタ１０においては、微生物が増殖することもなく、以て従来の圧縮空気用フィルタ装置において問題となった、目詰まりやカビ臭等の原因である微生物の増殖も有利に抑制せしめられ得るのである。
【００３０】
さらに、圧縮空気が、かかるミストフィルタ１０を構成する活性炭素繊維層７０を通過させられると、該活性炭素繊維層７０の脱臭作用により効果的に脱臭されるようになっているのであり、しかも、該活性炭素繊維層７０は、第一のフィルタ２、第二のフィルタ４、ミストフィルタ１０を構成するフィルタ繊維層６８よりも、下流側において設けられているため、より効果的に脱臭することが可能となるのである。
【００３１】
以上、本発明の実施例について詳細に説明してきたが、本発明は、そのような実施例の記載によって、何等の制約をも受けるものではないことは、言うまでもないところである。また、本発明には、上記の実施例の他にも、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加え得るものであることが、理解されるべきである。
【００３２】
例えば、前記実施例では、フィルタ繊維層６８を構成するものとして、ガラス繊維層７２が採用されているが、これに限定されるものでなく、本発明の目的を達成し得るもの、即ち微生物等の微細な粒子をも捕捉し得るものであるならば、この他に、軟質または硬質のウレタンフォーム、焼結樹脂等が用いられても、何等差し支えない。また、ポリエステル繊維層７４は、ガラス繊維層７２を挟み込んでガラス繊維の飛散を防止するために設けられるものであるから、ここで例示されたポリエステル系合成繊維だけに限られるものでなく、そのような目的を達成し得るものであるならば、如何なるものも、採用され得るのである。勿論、フィルタ繊維層６８がガラス繊維以外のものから構成される場合は、それらの材質によって、ポリエステル繊維層７４を無くした構成も採用され得るのである。更に、前記実施例においては、フィルタ繊維層６８及び活性炭素繊維層７０の両方に、抗菌剤を付与せしめているが、フィルタ繊維層６８において、全ての微生物が捕捉されて、活性炭素繊維層７０に微生物が到達することがないのであれば、活性炭素繊維層７０に抗菌剤を付与せしめなくても構わない。
【００３３】
また、前記実施例において、抗菌作用は、ミストフィルタ１０のみに付与されているが、必要に応じて、更に第一のフィルタ２や第二のフィルタ４にも抗菌作用を付与せしめるようにしてもよく、それにより、圧縮空気に含まれる微生物が、第一のフィルタ２や第二のフィルタ４で捕捉されたままの微生物が、それら第一、第二のフィルタ（２、４）上で増殖するということも効果的に抑制され得て、以て本発明の目的がより一層有利に達成され得るようになる。
【００３４】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に従う構造とされる圧縮空気用フィルタ装置にあっては、ミストフィルタが、少なくとも、抗菌剤を含有乃至は担持せしめてなるフィルタ繊維層と活性炭素繊維層から構成されているところから、フィルタ装置を通過せしめられる圧縮空気中の微生物が効果的に捕捉されると同時に、殺菌され得るのである。また、通過せしめられる際に、活性炭素繊維層で圧縮空気の臭気が吸着されることとなり、以て圧縮空気の脱臭が有利に為され得るのである。
【００３５】
すなわち、第一のフィルタ手段、第二のフィルタ手段において捕捉される微生物の割合は低く、これに加えて、それらのフィルタ手段に捕捉された微生物は、連続的に通過せしめられる圧縮空気の流れにより、再び飛散せしめられることとなるところから、本発明にあっては最終的に微生物が略完全に捕捉されるミストフィルタに抗菌剤を付与せしめ、以て効果的に抗菌作用が発揮され得るようにしているのである。
【００３６】
しかも、ミストフィルタには、抗菌性が付与されているのみでなく、活性炭素繊維層が設けられているところから、フィルタ装置を通過せしめられる圧縮空気は、効果的に脱臭され得ることとなるのである。そして、かかる活性炭素繊維層は、各フィルタ手段よりも、圧縮空気流路上の後方側に設けられることにより、その脱臭作用が有利に発揮され得るようになっているのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従う構造とされた圧縮空気用フィルタ装置の一具体例を示す断面説明図である。
【図２】図１に示されるフィルタ装置に用いられるミストフィルタを示す切欠説明図である。
【符号の説明】
２  第一のフィルタ                ４  第二のフィルタ
６  ドレン装置                    ８  下部ハウジング
１０  ミストフィルタ              １２  集気筒
１４  上部ハウジング              １６  圧縮空気導入通路
１８  圧縮空気送出通路            ２０  仕切り部材
２２  下部開口部                  ２４  上部開口部
２６  中間通路                    ５６  捕捉チャンバ
６４  外側空間                    ６６ａ、６６ｂ、６６ｃ  ライナー材
６８  フィルタ繊維層              ７０  活性炭素繊維層
７６  内側空間
【図１】
0003771289.tif 000002
【図２】
0003771289.tif 000003