(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアフィルムによって裏打ちされかつ一定間隔を置いて長手方向に分布する複数の領域に導体膜が印刷されるとともに前記導体膜の印刷と同時に位置決め用マークが印刷された、長尺のセラミックグリーンシートから、一定寸法の四角形のセラミックグリーンシートを切り出し、切り出された四角形の前記セラミックグリーンシートを積み重ねる、セラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法であって、
前記セラミックグリーンシート積み重ね機は、
前記キャリアフィルムによって裏打ちされた長尺の前記セラミックグリーンシートを、そのテンションを制御しながら、長手方向へ間欠的に搬送するための搬送機構と、
四角形の前記セラミックグリーンシートを切り出す位置にある前記位置決め用マークの位置を検出するためのカメラと、
前記カメラによる前記位置決め用マークの検出位置データに基づく演算結果に従って、四角形の前記セラミックグリーンシートを切り出す位置にある長尺の前記セラミックグリーンシートの位置を、前記セラミックグリーンシートの搬送方向と幅方向および回転方向の少なくとも一方との少なくとも２軸に関して補正するための補正機構と、
前記搬送機構による間欠的搬送における停止のタイミングで、長尺の前記セラミックグリーンシートから、一定寸法の四角形のセラミックグリーンシートを切り出すためのものであり、その下面が前記セラミックグリーンシートを真空吸引に基づき吸着する吸着面とされた切り出しヘッドと前記セラミックグリーンシートを介してこれに対向するように配置される切り出しテーブルとを有する、切り出し機構と、
前記切り出し機構によって切り出された四角形の前記セラミックグリーンシートを積み重ねるための積み重ね機構と
を備え、
前記搬送機構は、巻出しロールおよび巻取りロールとそれらの間に位置する複数対の位置決めロールとを有し、前記セラミックグリーンシートの、前記切り出しテーブル上に位置される部分の両端部は、前記複数対の位置決めロールに巻き掛けされ、
前記カメラが前記位置決め用マークを検出できる位置に長尺の前記セラミックグリーンシートをもたらすように、前記補正機構による前記セラミックグリーンシートの搬送方向に関する前回の補正量を加減算した量だけ前記搬送機構にフィードバックを行なった上で、次回の前記セラミックグリーンシートの間欠的搬送を行なう工程と、
前記カメラにより前記位置決めマークの位置を読み取った後、前記補正機構により前記セラミックグリーンシートの位置を搬送方向と幅方向および回転方向の少なくとも一方との少なくとも２軸に関して補正する工程と
を備えることを特徴とする、セラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法。
【請求項２】
前記セラミックグリーンシート積み重ね機は、前記切り出し機構の上流側において、導電性ペーストを前記セラミックグリーンシート上に印刷することによって前記導体膜を形成するための印刷機構と、前記導体膜を形成する前記導電性ペーストを乾燥するための乾燥機構とをさらに備える、請求項１に記載のセラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法。
【請求項３】
長尺の前記セラミックグリーンシート上の前記導体膜が形成された領域の先頭位置が、前記切り出し機構によって切り出されるべき四角形の前記セラミックグリーンシートの先頭位置に合致するように、長尺の前記セラミックグリーンシート上の前記導体膜が形成された領域の先頭位置を検出して、前記セラミックグリーンシートの位置を修正するように制御する工程をさらに備える、請求項１または２に記載のセラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を製造するために用いられるセラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法に関するもので、特に、セラミックグリーンシート積み重ね機における長尺のセラミックグリーンシートの間欠的な搬送に対する制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を製造するにあたって、セラミックグリーンシートを積み重ねる工程が実施される。図１１には、このような積み重ね工程において用いられる、この発明にとって興味ある従来のセラミックグリーンシート積み重ね機１の概略構成が示されている。
【０００３】
セラミックグリーンシート積み重ね機１は、キャリアフィルム（図示せず。）によって裏打ちされかつ一定間隔を置いて長手方向に分布する複数の領域に内部電極のような多数の導体膜（図示せず。）が印刷されるとともに導体膜の印刷と同時に位置決め用マーク（図示せず。）が印刷された、長尺のセラミックグリーンシート２を取り扱うものである。
【０００４】
セラミックグリーンシート積み重ね機１は、長尺のセラミックグリーンシート２を、矢印で示すように、長手方向へ一定ピッチで間欠的に搬送するための搬送機構を備えている。搬送機構は、巻出しロール３から巻取りロール４に至る搬送経路を与えている。巻出しロール３は、巻出しモータ５によって回転駆動され、巻取りロール４は、巻取りモータ６によって回転駆動される。これら巻出しモータ５および巻取りモータ６は、シート搬送コントローラ７によって制御される。
【０００５】
巻出しロール３から巻取りロール４に至る搬送経路の途中には、テンション制御部８が設けられる。テンション制御部８は、セラミックグリーンシート２のテンションを制御するためのもので、それぞれ、セラミックグリーンシート２を巻掛けする、第１および第２のガイドロール９および１０ならびにダンサーロール１１を備えている。第１のガイドロール９には、テンションセンサ１２が取り付けられる。ダンサーロール１１は、両方向矢印１３で示すように上下方向に移動可能に設けられ、ダンサーモータ１４によって駆動される。ダンサーモータ１４は、テンションセンサ１２によって検出されたテンションに応じて、テンションコントローラ１５によって制御され、それによって、セラミックグリーンシート２のテンションを一定に保つように制御する。
【０００６】
テンション制御部８の下流側には、切り出し機構１６が配置される。切り出し機構１６は、セラミックグリーンシート２を介して互いに対向するように配置される切り出しテーブル１７および切り出しヘッド１８を備えている。切り出し機構１６は、巻出しロール３および巻取りロール４を備える搬送機構による間欠的搬送における停止のタイミングで、長尺のセラミックグリーンシート２から、一定寸法の四角形のセラミックグリーンシート２を切り出すためのもので、切り出しヘッド１８には、図示しないが、四角形の各辺に沿うように配置された切断刃が設けられていて、切り出しヘッド１８は、切り出しテーブル１７に対して近接・離隔可能に設けられている。
【０００７】
切り出し機構１６によって切り出された四角形のセラミックグリーンシート２は、切り出しヘッド１８によって保持されながら、図示しない積み重ね機構にまで搬送され、この積み重ね機構において積み重ねられる。
【０００８】
切り出し機構１６に関連して、セラミックグリーンシート２上に印刷された位置決め用マークを撮影するためのカメラとしてのＣＣＤカメラ１９が設けられる。ＣＣＤカメラ１９は、切り出し機構１６の位置にある位置決め用マークの位置を検出するためのものである。
【０００９】
また、切り出し機構１６に関連して、位置決め用マークを読み取るためのマーク読取りセンサとしての光電センサ２０が設けられる。
【００１０】
また、切り出し機構１６に関連して、ＣＣＤカメラ１９による位置決め用マークの検出位置データに基づく演算結果に従って、切り出し機構１６の位置にある長尺のセラミックグリーンシート２の位置を補正するための補正機構２１が設けられる。
【００１１】
補正機構２１は、セラミックグリーンシート２の搬送方向すなわちＸ方向２２と幅方向すなわちＹ方向２３と回転方向すなわちθ方向２４との各補正を行なうもので、Ｘ方向２２の補正のためのＸ方向モータ２５、Ｙ方向２３の補正のためのＹ方向モータ２６およびθ方向２４の補正のためのθ方向モータ２７を備えている。
【００１２】
ＣＣＤカメラ１９による位置決め用マークの検出位置データは、切り出し位置コントローラ２８において演算され、この演算結果に従って、Ｘ方向モータ２５、Ｙ方向モータ２６およびθ方向モータ２７がそれぞれ駆動され、切り出しテーブル１７および切り出しヘッド１８の少なくとも一方に動作が与えられることによって、セラミックグリーンシート２の位置が補正される。
【００１３】
図１２は、セラミックグリーンシート積み重ね機１の動作を示すフロー図である。また、図１３は、巻取りロール４の動作を示す図である。
【００１４】
図１２を参照して、まず、ステップＳ１およびＳ２で示すように、巻出しロール３および巻取りロール４が回転し、セラミックグリーンシート２が搬送される。これら巻出しロール３および巻取りロール４は、それぞれ、間欠的に回転し、一定量回転した後に、回転を終了する（ステップＳ３）。図１３において、巻取りロール４のこの間欠的回転が、折れ線ａで示されている。
【００１５】
次に、巻取りロール４のみが低速で回転され（ステップＳ４）、位置決め用マークが光電センサ２０で構成されるマーク読取りセンサの光軸を遮断した時（ステップＳ５）、巻取りロール４が停止される（ステップＳ６）。この巻取りロール４の回転が、図１３において、折れ線ｂで示されている。
【００１６】
上述のように、セラミックグリーンシート２を搬送するにあたって、図１３に示すように、２段階の搬送を適用するのは次の理由による。
【００１７】
セラミックグリーンシート２に一定のテンションをかけた状態で搬送する場合、たとえばポリエチレンテレフタレート等からなるキャリアフィルムによって裏打ちされたセラミックグリーンシート２には伸びが生じるため、一定ピッチでセラミックグリーンシート２を間欠送りするだけでは、セラミックグリーンシート２を所望の位置で停止させることが困難である。よって、図１３において折れ線ａで示すように、間欠送りを行なった後、折れ線ｂで示すように、低速で再びセラミックグリーンシート２を送り、光電センサ２０によるマーク読取りセンサの光軸を遮断した時点でセラミックグリーンシート２を再び停止させるようにしている。これによって、セラミックグリーンシート２の停止精度を高めることができ、ひいては、セラミックグリーンシート２の積み重ね精度を高めることができる。
【００１８】
次に、ステップＳ７で示すように、ＣＣＤカメラ１９によって、位置決め用マークの位置が読み取られ、この検出位置データに基づく演算結果に従って、ステップＳ８、Ｓ９およびＳ１０で示すように、Ｘ方向２２、Ｙ方向２３およびθ方向２４の各補正が実施され、このように切り出し位置の補正が完了した時（ステップＳ１１）、切り出しおよび積み重ね処理が実施される（ステップＳ１２）。
【００１９】
その後、上述したステップＳ１〜Ｓ１２が所望の回数だけ繰り返され、それによって、積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を得るための所望の枚数のセラミックグリーンシート２が積み重ねられたグリーンシート積層体が得られる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したように、セラミックグリーンシート２の間欠的搬送にあたって、セラミックグリーンシート２の停止精度を高めるため、図１３に示すような２段階の搬送が適用され、しかも、間欠送りの後には低速での搬送が適用されるので、セラミックグリーンシート２の搬送に比較的長い時間を要し、セラミックグリーンシート積み重ね機１の高速化の障害となっている。
【００２１】
そこで、この発明の目的は、セラミックグリーンシートの停止精度すなわち積み重ね精度を維持しながら、上述したような問題を解決し得る、セラミックグリーンシート積み重ね機の制御方法を提供しようとすることである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る制御方法が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機は、キャリアフィルムによって裏打ちされかつ一定間隔を置いて長手方向に分布する複数の領域に導体膜が印刷されるとともに前記導体膜の印刷と同時に位置決め用マークが印刷された、長尺のセラミックグリーンシートから、一定寸法の四角形のセラミックグリーンシートを切り出し、切り出された四角形の前記セラミックグリーンシートを積み重ねるためのものであり、次のような構成を有している。
【００２３】
すなわち、セラミックグリーンシート積み重ね機は、キャリアフィルムによって裏打ちされた、長尺のセラミックグリーンシートを、そのテンションを制御しながら長手方向へ間欠的に搬送するための搬送機構を備えている。
【００２４】
また、このセラミックグリーンシート積み重ね機は、四角形のセラミックグリーンシートを切り出す位置にある位置決め用マークの位置を検出するためのカメラと、このカメラによる位置決め用マークの検出位置データに基づく演算結果に従って、四角形のセラミックグリーンシートを切り出す位置にある長尺のセラミックグリーンシートの位置を、セラミックグリーンシートの搬送方向と幅方向および回転方向の少なくとも一方との少なくとも２軸に関して補正するための補正機構とを備えている。
【００２５】
さらに、このセラミックグリーンシート積み重ね機は、搬送機構による間欠的搬送における停止のタイミングで、長尺のセラミックグリーンシートから、四角形のセラミックグリーンシートを切り出すためのものであり、その下面がセラミックグリーンシートを真空吸引に基づき吸着する吸着面とされた切り出しヘッドとセラミックグリーンシートを介してこれに対向するように配置される切り出しテーブルとを有する、切り出し機構と、切り出し機構によって切り出された四角形のセラミックグリーンシートを積み重ねるための積み重ね機構とを備えている。そして、前述の搬送機構は、巻出しロールおよび巻取りロールとそれらの間に位置する複数対の位置決めロールとを有し、セラミックグリーンシートの、切り出しテーブル上に位置される部分の両端部は、複数対の位置決めロールに巻き掛けされ、位置決め状態の安定化が図られる。
【００２６】
このような構成を有するセラミックグリーンシート積み重ね機において、この発明では、前述した技術的課題を解決するため、次のような制御方法が採用されることを特徴としている。
【００２７】
すなわち、この発明に係る制御方法は、カメラが位置決め用マークを検出できる位置に長尺のセラミックグリーンシートをもたらすように、上述した補正機構によるセラミックグリーンシートの搬送方向に関する前回の補正量を加減算した量だけ搬送機構にフィードバックを行なった上で、次回のセラミックグリーンシートの間欠的搬送を行なう工程と、カメラにより位置決めマークの位置を読み取った後、補正機構によりセラミックグリーンシートの位置を搬送方向と幅方向および回転方向の少なくとも一方との少なくとも２軸に関して補正する工程とを備えることを特徴としている。
【００２８】
この発明が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機は、切り出し機構の上流側において、導電性ペーストをセラミックグリーンシート上に印刷することによって導体膜を形成するための印刷機構と、この導体膜を形成する導電性ペーストを乾燥するための乾燥機構とをさらに備えていることが好ましい。
【００２９】
また、この発明に係る制御方法は、長尺のセラミックグリーンシート上の導体膜が形成された領域の先頭位置が、切り出し機構によって切り出されるべき四角形のセラミックグリーンシートの先頭位置に合致するように、長尺のセラミックグリーンシート上の導体膜が形成された領域の先頭位置を検出して、セラミックグリーンシートの位置を修正するように制御する工程をさらに備えていることが好ましい。
【００３０】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の一実施形態による制御方法が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機３１の概略構成を示している。なお、図１は、前述した図１１に対応するもので、図１において、図１１に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する詳細な説明は省略することがある。
【００３１】
セラミックグリーンシート積み重ね機３１は、図２にその一部を示すような長尺のセラミックグリーンシート２を取り扱うものである。セラミックグリーンシート２は、たとえばポリエチレンテレフタレートからなるキャリアフィルム（図示せず。）によって裏打ちされている。また、セラミックグリーンシート２の一方主面上には、一定間隔を置いて長手方向に分布する複数の領域に内部電極のような導体膜３２が印刷され、また、これら導体膜３２の印刷と同時に位置決め用マーク３３が印刷されている。
【００３２】
図１に示すように、セラミックグリーンシート積み重ね機３１は、図１１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機１の場合と同様、長尺のセラミックグリーンシート２を、矢印で示すように、長手方向へ間欠的に搬送するための搬送機構を備えていて、この搬送機構は、巻出しロール３、巻取りロール４、巻出しモータ５および巻取りモータ６を備えている。なお、巻出しモータ５および巻取りモータ６は、切り出し位置／シート搬送コントローラ３４によって制御される。
【００３３】
巻出しロール３から巻取りロール４に至る搬送経路の途中には、図１１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機１の場合と同様、テンション制御部８が設けられ、このテンション制御部８は、第１および第２のガイドロール９および１０、ダンサーロール１１、テンションセンサ１２、ダンサーモータ１４、ならびにテンションコントローラ１５を備えている。
【００３４】
テンション制御部８の下流側には、図１１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機１の場合と同様、切り出し機構１６が配置され、この切り出し機構１６は、切り出しテーブル１７および切り出しヘッド１８を備えている。
【００３５】
図３および図４には、切り出し機構１６が図示されている。
【００３６】
図３および図４に示すように、セラミックグリーンシート２の、切り出しテーブル１７上に位置される部分の両端部は、複数対の位置決めロール３５に巻掛けされ、それによって、セラミックグリーンシート２の位置決め状態の安定化が図られる。
【００３７】
また、図４には、切り出しヘッド１８が図示されている。切り出しヘッド１８には、長尺のセラミックグリーンシート２から、一定寸法の四角形のセラミックグリーンシート２を切り出すため、四角形の各辺に沿うように配置された切断刃３６が設けられている。切断刃３６は、図４において左側に示すように、切り出しヘッド１８の下面から突出可能に設けられている。切断刃３６のこの突出度合いは、セラミックグリーンシート２を完全に切断するが、キャリアフィルムを完全には切断しないように選ばれる。また、切り出しヘッド１８の下面は、セラミックグリーンシート２を真空吸引に基づき吸着する吸着面を与えている。
【００３８】
切り出し機構１６によって切り出された四角形のセラミックグリーンシート２は、切り出しヘッド１８によって保持されながら、図４において両方向矢印３７で示すように、積み重ね機構３８にまで繰り返し搬送される。積み重ね機構３８は、積み重ね金型３９を備え、この積み重ね金型３９内において、複数のセラミックグリーンシート２が積み重ねられる。
【００３９】
再び図１を参照して、切り出し機構１６に関連して、図１１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機１の場合と同様、セラミックグリーンシート２上に印刷された位置決め用マーク３３（図２参照）を撮影するためのカメラとしてのＣＣＤカメラ１９が設けられ、このＣＣＤカメラ１９によって、切り出し機構１６の位置にある位置決め用マーク３３の位置が検出される。このＣＣＤカメラ１９による位置決め用マーク３３の検出位置データは、前述した切り出し位置／シート搬送コントローラ３４に入力される。
【００４０】
また、切り出し機構１６に関連して、図１１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機１の場合と同様、ＣＣＤカメラ１９による位置決め用マーク３３の検出位置データに基づく演算結果に従って、切り出し機構１６の位置にある長尺のセラミックグリーンシート２の位置を補正するための補正機構２１が設けられる。
【００４１】
補正機構２１は、セラミックグリーンシート２の搬送方向すなわちＸ方向２２と幅方向すなわちＹ方向２３および回転方向すなわちθ方向２４の少なくとも一方との少なくとも２軸に関してセラミックグリーンシート２の位置を補正するためのものである。この実施形態では、補正機構２１は、Ｘ方向２２、Ｙ方向２３およびθ方向２４のすべてについて補正を行なうように構成されていて、Ｘ方向２２の補正のためのＸ方向モータ２５、Ｙ方向２３の補正のためのＹ方向モータ２６およびθ方向２４の補正のためのθ方向モータ２７を備えている。
【００４２】
ＣＣＤカメラ１９による位置決め用マーク３３の検出位置データは、切り出し位置／シート搬送コントローラ３４において演算され、この演算結果に従って、Ｘ方向モータ２５、Ｙ方向モータ２６およびθ方向モータ２７がそれぞれ駆動され、切り出しテーブル１７および切り出しヘッド１８の少なくとも一方に動作が与えられることによって、セラミックグリーンシート２の位置が補正される。
【００４３】
また、上述した補正機構２１によるＸ方向２２に関する補正量のデータは、切り出し位置／シート搬送コントローラ３４にストアされ、このＸ方向２２に関する補正量は、次回の搬送機構によるセラミックグリーンシート２の搬送量に加減算するようにフィードバックされる。
【００４４】
このようにして、Ｘ方向２２の補正量を、次回の搬送機構によるセラミックグリーンシート２のＸ方向２２の間欠的搬送において反映させることによって、図１３の折れ線ｂで示すような低速送りをしなくても、搬送機構による単なる間欠的搬送だけで、ＣＣＤカメラ１９により位置決めマーク３３を検出できる位置にセラミックグリーンシート２をもたらすことができる。
【００４５】
図５は、セラミックグリーンシート積み重ね機３１の動作を示すフロー図である。また、図６は、巻取りロール４の動作を示す図である。
【００４６】
図５を参照して、まず、ステップＳ２１およびＳ２２で示すように、巻出しロール３および巻取りロール４が回転し、セラミックグリーンシート２が搬送される。これら巻出しロール３および巻取りロール４は、それぞれ、間欠的に回転するが、巻出しロール３については、一定量回転した後に、回転を終了し、他方、巻取りロール４については、図６に示すように、前回の回転量に前回のＸ方向２２の補正量を加減算した量だけ回転した後に、回転を終了する（ステップＳ２３）。
【００４７】
次に、ステップＳ２４で示すように、ＣＣＤカメラ１９によって、位置決め用マーク３３の位置が読み取られ、この検出位置データに基づく演算結果に従って、ステップＳ２５、Ｓ２６およびＳ２７で示すように、Ｘ方向２２、Ｙ方向２３およびθ方向２４の各補正が実施され、このように切り出し位置の補正が完了した時（ステップＳ２８）、切り出しおよび積み重ね処理が実施される（ステップＳ２９）。
【００４８】
上述したステップＳ２５でのＸ方向２２の補正量は、次回のステップＳ２２における巻取りロール４の回転量に加減算されるようにフィードバックされる。
【００４９】
その後、上述したステップＳ２１〜Ｓ２９が所望の回数だけ繰り返され、それによって、積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を得るための所望の枚数のセラミックグリーンシート２が積み重ねられたグリーンシート積層体が得られる。
【００５０】
図７は、この発明の他の実施形態を説明するための印刷機構４１および乾燥機構４２を図解的に示す正面図である。
【００５１】
これら印刷機構４１および乾燥機構４２は、図１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機３１における巻出しロール３と切り出し機構１６との間、たとえば、図１において「Ａ」で示した部分に挿入される。
【００５２】
印刷機構４１は、導電性ペーストをセラミックグリーンシート２上に印刷することによって導体膜３２（図２参照）を形成するためのものである。なお、導体膜３２の印刷と同時に、位置決め用マーク３３が印刷されることは前述したとおりである。
【００５３】
印刷機構４１においては、たとえば、スクリーン印刷が適用される。そのため、印刷機構４１は、スクリーン４３、スキージ４４および印刷テーブル４５を備えている。
【００５４】
前述したセラミックグリーンシート２２の搬送は、切り出し機構１６における切り出し動作および積み重ね機構３８における積み重ね動作だけでなく、この印刷機構４１における印刷動作とも同期している。すなわち、印刷動作は、セラミックグリーンシート２の間欠的搬送における停止のタイミングで実施される。
【００５５】
乾燥機構４２は、乾燥炉４６を備え、乾燥炉４６内には、セラミックグリーンシート２を受ける乾燥テーブル４７およびセラミックグリーンシート２に対して温風を付与する温風吹出口４８を備えている。
【００５６】
上述のように、セラミックグリーンシート積み重ね機３１に印刷機構４１および乾燥機構４２を付加することにより、導体膜３２の印刷からセラミックグリーンシート２の積み重ねまでを１つの装置において連続的に実施することができ、そのため、面積生産性や材料収率等を向上させることができる。
【００５７】
図８ないし図１０は、この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、図８は図１に、図９は図２に、および図１０は図５にそれぞれ相当する図である。なお、図８および図９において、図１および図２に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５８】
この実施形態は、長尺のセラミックグリーンシート２上の導体膜３２が形成された領域の先頭位置が、切り出し機構１６によって切り出されるべき四角形のセラミックグリーンシート２の先頭位置に合致するように、長尺のセラミックグリーンシート２上の導体膜３２が形成された領域の先頭位置を検出して、セラミックグリーンシート２の位置を修正するように制御する工程をさらに備えることを特徴としている。
【００５９】
そのため、図９に示すように、セラミックグリーンシート２上には、先頭位置検出用マーク５０が形成される。この先頭位置検出用マーク５０は、位置決め用マーク３３と同様、導体膜３２の印刷と同時に印刷することによって形成される。なお、先頭位置検出用マーク５０を設けずに、たとえば、位置決め用マーク３３や導体膜３２自体を先頭位置検出用マークとして機能させてもよい。
【００６０】
また、この実施形態が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機３１ａには、図８に示すように、切り出し機構１６の直前に、先頭位置検出用マーク５０を検出するためのマーク読取りセンサ５１が設けられる。このマーク読取りセンサ５１は、切り出し機構１６に対して、１送りピッチないし２送りピッチ上流側に位置されることが好ましい。
【００６１】
マーク読取りセンサ５１は、次の（またはさらに次の）間欠的搬送によって、位置決め用マーク３３が切り出し機構１６に位置するＣＣＤカメラ１９の視野に入ればよいので、光電センサのような簡単なセンサであってもよく、また、予め定められた位置にある先頭位置検出用マーク５０を遮光するように取り付ければ十分であり、そのため、それほど高い精度は要求されない。
【００６２】
このように、マーク読取りセンサ５１によって先頭位置検出用マーク５０を検出して、セラミックグリーンシート２の位置を修正するように制御すれば、長尺のセラミックグリーンシート２上の導体膜３２が形成された領域の先頭位置が、切り出し機構１６によって切り出されるべき四角形のセラミックグリーンシート２の先頭位置に合致させる工程を自動化することができ、作業効率の一層の向上をもたらすことができる。
【００６３】
図８に示したセラミックグリーンシート積み重ね機３１ａの動作を、図１０に示したフロー図に従って説明する。
【００６４】
まず、ステップＳ３１およびＳ３２で示すように、巻出しロール３および巻取りロール４が回転し、セラミックグリーンシート２が搬送される。これら巻出しロール３および巻取りロール４は、それぞれ、間欠的に回転し、一定量回転した後に、回転を終了する（ステップＳ３３）。
【００６５】
上述したステップＳ３１〜Ｓ３３は、図示しないメインＣＰＵからの指示に従って、先頭位置検出用マーク５０が認識できる位置に達するまで繰り返される（ステップＳ３４）。
【００６６】
次に、ステップＳ３５およびＳ３６で示すように、巻出しロール３および巻取りロール４が再び回転され、先頭位置検出用マーク５０をマーク読取りセンサ５１が検出した時（ステップＳ３７）、巻出しロール３および巻取りロール４が停止される（ステップＳ３８）。このようにして、長尺のセラミックグリーンシート２上の導体膜３２が形成された領域の先頭位置が、切り出し機構１６によって切り出されるべき四角形のセラミックグリーンシート２の先頭位置に合致する状態が得られる。
【００６７】
以後、図５に示したステップＳ２１〜Ｓ２９と実質的に同様のステップが実施される。
【００６８】
すなわち、ステップＳ３９およびＳ４０で示すように、巻出しロール３および巻取りロール４が回転する。このとき、ステップＳ４１で示すように、巻出しロール３については、一定量回転した後に、回転を終了し、他方、巻取りロール４については、前回の回転量にＸ方向２２の補正量を加減算した回転量をもって回転した後に、回転を終了する。
【００６９】
次に、ステップＳ４２で示すように、ＣＣＤカメラ１９によって、位置決め用マーク３３の位置が読み取られ、この検出位置データに基づく演算結果に従って、ステップＳ４３、Ｓ４４およびＳ４５で示すように、Ｘ方向２２、Ｙ方向２３およびθ方向２４の各補正が実施され、このように切り出し位置の補正が完了したとき（ステップＳ４６）、切り出しおよび積み重ね処理が実施される（ステップＳ４７）。
【００７０】
上述したＸ方向２２の補正量は、次回のセラミックグリーンシート２の搬送量に反映されるように、次回の巻取りロール４の回転量にこの補正量が加減算されるようにフォードバックされる。
【００７１】
その後、上述したステップＳ３９〜Ｓ４７が所望の回数だけ繰り返され、それによって、所望の枚数のセラミックグリーンシート２が積み重ねられたグリーンシート積層体が得られる。
【００７２】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、セラミックグリーンシート積み重ね機に備える補正機構によるセラミックグリーンシートの搬送方向に関する補正量を、次回の搬送機構によるセラミックグリーンシートの搬送量に加減算するようにフィードバックする工程を備えているので、従来のように、２段階の搬送を適用し、かつ後段の搬送において低速送りを採用しなくても、搬送機構による単なる間欠的搬送だけで、カメラにより位置決めマークを検出できる位置にセラミックグリーンシートをもたらすことができる。
【００７３】
したがって、セラミックグリーンシートの停止精度ひいては積み重ね精度を実質的に低下させることなく、セラミックグリーンシートの搬送のための動作時間を短縮でき、それゆえ、セラミックグリーンシート積層体の生産性を向上させることができる。
【００７４】
この発明が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機が、切り出し機構の上流側において、導電性ペーストをセラミックグリーンシート上に印刷することによって導体膜を形成するための印刷機構と、導体膜を形成する導電性ペーストを乾燥するための乾燥機構とを備えていると、導体膜の印刷からセラミックグリーンシートの積み重ねまでの各工程を連続的に実施することができ、さらなる生産性の向上を期待することができる。
【００７５】
この発明において、長尺のセラミックグリーンシート上の導体膜が形成された領域の先頭位置が、切り出し機構によって切り出されるべき四角形のセラミックグリーンシートの先頭位置に合致するように、長尺のセラミックグリーンシート上の導体膜が形成された領域の先頭位置を検出して、セラミックグリーンシートの位置を修正するように制御する工程を採用すれば、長尺のセラミックグリーンシートの先頭出しの自動化を図ることができ、作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態による制御方法が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機３１の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機３１において取り扱われる長尺のセラミックグリーンシート２の一部を示す平面図である。
【図３】図１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機３１の切り出し機構１６に備える切り出しテーブル１７付近の構成を示す斜視図である。
【図４】図１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機３１に備える切り出し機構１６および積み重ね機構３８を図解的に示す正面図である。
【図５】図１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機３１の動作を示すフロー図である。
【図６】図１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機３１に備える巻取りロール４の動作を示す図である。
【図７】この発明の他の実施形態を説明するためのもので、印刷機構４１および乾燥機構４２を図解的に示す正面図である。
【図８】この発明のさらに他の実施形態を説明するためのもので、この実施形態による制御方法が適用されるセラミックグリーンシート積み重ね機３１ａの概略構成を示す図である。
【図９】図８に示したセラミックグリーンシート積み重ね機３１ａにおいて取り扱われる長尺のセラミックグリーンシート２の一部を示す平面図である。
【図１０】図８に示したセラミックグリーンシート積み重ね機３１ａの動作を示すフロー図である。
【図１１】この発明にとって興味ある従来のセラミックグリーンシート積み重ね機１の概略構成を示す図である。
【図１２】図１１に示したセラミックグリーンシート積み重ね機１の動作を示すフロー図である。
【図１３】図１１に示した巻取りロール４の動作を示す図である。
【符号の説明】
２  セラミックグリーンシート
３  巻出しロール
４  巻取りロール
５  巻出しモータ
６  巻取りモータ
８  テンション制御部
１６  切り出し機構
１９  ＣＣＤカメラ
２１  補正機構
２２  Ｘ方向
２３  Ｙ方向
２４  θ方向
２５  Ｘ方向モータ
２６  Ｙ方向モータ
２７  θ方向モータ
３１，３１ａ  セラミックグリーンシート積み重ね機
３２  導体膜
３３  位置決め用マーク
３４  切り出し位置／シート搬送コントローラ
３６  切断刃
３８  積み重ね機構
３９  積み重ね金型
４１  印刷機構
４２  乾燥機構
５０  先頭位置検出用マーク
５１  マーク読取りセンサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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