(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
突き合わせて固定されている２本のパイプの端面をショートアーク溶接法により全周溶接する際、パイプの開先に沿って少なくともパイプ円周の接線に直交する左右方向および上下方向にトーチの２次元ウィービングを行う自動溶接装置の左右アーク倣い補正方法であって、
溶接電圧からウィービングの１周期の左端および右端におけるアークショート発生回数を求め、
該求められた左端および右端のアークショート回数の差に基づいて、該差を相殺する方向に、当該差に応じた補正量だけトーチのウィービング中心をずらすようウィービングを制御することを特徴とするパイプ円周自動溶接装置の左右アーク倣い補正方法。
【請求項２】
前記トーチのウィービング中心をずらす方向は、左端および右端のアークショート回数の多い端の方向であることを特徴とする請求項１記載のパイプ円周自動溶接装置の左右アーク倣い補正方法。
【請求項３】
前記トーチのウィービング中心を１回にずらす補正量は、アークショート回数の差１回につき予め定められた量であることを特徴とする請求項１または２記載のパイプ円周自動溶接装置の左右アーク倣い補正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パイプ円周自動溶接方法および制御装置に係り、特に、ショートアーク溶接における左右倣い補正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガスパイプライン敷設工事の際には、突き合わせて固定されている２本のパイプの端面を全周溶接により接続する。この溶接を自動溶接により行う場合は、パイプにベルト状のガイドレールを巻き、このガイドレール上に溶接ヘッドを走らせＭＡＧ（メタル・アクティブ・ガス）法等により溶接している。
【０００３】
従来、アーク溶接には大別して、パルスアーク溶接とショートアーク溶接とがある。
【０００４】
パルスマグ溶接では、図１３（ａ）に示すようなパルス状の電流を用いる。その溶滴移行は、臨界電流より高く鋭いパルス電流によりワイヤ先端の溶滴にピンチ力が働き、パルスに同期して、好ましくは１パルス１溶滴の移行が行われる。
【０００５】
ショートアーク溶接では、図１３（ｂ）に示すようにその溶接電流は非パルス状の電流波形を有し、アークにより溶かされたワイヤ先端の溶滴が溶融池表面と接触して母材へ移行する”短絡移行”によって溶接が行われる。この場合、溶接電源には、通常、定電圧特性の電源が採用されているため、溶滴が短絡すると高い短絡電流が流れ、電磁ピンチ力により短絡部が細く絞られて、短絡が破れ、アークが再生する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
パルスアーク溶接は高電流による高溶着量の溶接が可能であるため、高速の溶接が可能である。しかし、低電流域では不安定となり、ビード形成の美観等を考慮してゆっくりとした溶接を行いたい場合には適さない。特に、裏波層、仕上げ層あるいは上向き姿勢等の溶接時には、パルスアーク溶接ではなく、ショートアーク溶接を用いたい場合がある。
【０００７】
このショートアーク溶接のアーク倣い、特に左右倣いの補正では、ウィービングの左右端の平均電流値の差に基づいて左右倣い補正を行うことを試したが、必ずしも良好な結果が得られなかった。この理由は必ずしも定かでないが、アークショート（短絡）の発生が平均電流値に影響を与えるからではないかと推測される。
【０００８】
そこで、本発明は、ショートアーク溶接におけるより適切な左右倣い補正を実現する方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明者等は、ショートアーク溶接において、ウィービングの左右のズレとアークショート（短絡）回数の関係を実験により調べた。その結果を図５に示す。同図から分かるように、ウィービング中心を開先中心に一致させた場合（Ｎｏ．１）、左右端および左右の短絡回数の有為な差はみられない。これに対し、ウィービング中心を開先中心から左へずらした場合（Ｎｏ．２）、左端および左の区間の短絡回数がそれぞれ右端および右の区間のそれより有意に少なくなっていることが分かる。同様に、ウィービング中心を開先中心から右へずらした場合（Ｎｏ．３，４，５）、右端および右の区間の短絡回数がそれぞれ左端および左の区間のそれより有意に少なくなっていることが分かる。
【００１０】
この理由は明確ではないが、本発明者等は、この実験結果に基づいて、アークショート回数に基づく左右倣い補正を行うことに想到した。
【００１１】
すなわち、本発明は、突き合わせて固定されている２本のパイプの端面をショートアーク溶接法により全周溶接する際、パイプの開先に沿って少なくともパイプ円周の接線に直交する左右方向および上下方向にトーチの２次元ウィービングを行う自動溶接装置の左右アーク倣い補正方法であって、溶接電圧からウィービングの１周期の左端および右端におけるアークショート発生回数を求め、該求められた左端および右端のアークショート回数の差に基づいて、該差を相殺する方向に、当該差に応じた補正量だけトーチのウィービング中心をずらすようウィービングを制御することを特徴とする。
【００１２】
前記トーチのウィービング中心をずらす方向は、左端および右端のアークショート回数の多い端の方向である。
【００１３】
前記トーチのウィービング中心を１回にずらす補正量は、例えば、アークショート回数の差１回につき予め定められた量である。
【００１４】
本発明によれば、ショートアーク溶接においてより正確な左右倣い補正を行うことが可能になる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。
【００１６】
図１により本発明の溶接装置の概略構成について述べる。パーソナルコンピュータ１は、自動溶接制御のためのＣＡＤデータ（パイプの外径、板厚、材質、開先形状などの設計値）を作成するためのものであり、作成されたデータはフレキシブルディスク（フロッピーディスク）１ａに記録される。制御装置２は、自動溶接の実質的な制御（電源およびトーチ位置等の制御）を行うためのものであり、ＣＡＤデータの格納されたフレキシブルディスク１ａからそのＣＡＤデータを読み込む。勿論、フレキシブルディスクによらず、周知のデータ通信によってデータ転送を行うようにしてもよい。制御装置２は、この読み込んだデータを用いて実際の溶接条件を設定し、設定された条件に対応して、後述するロジックテーブルに予め記録されたデータにより各種溶接パラメータを設定する。
【００１７】
さらに、この制御装置２では、設定された溶接パラメータを実際の溶接の制御に用いるＮＣ言語（数値制御用言語）に変換し、変換した言語を制御データとして制御データテーブルの形で内部のメモリに記録する。このメモリに記録された制御データを用いて、電源装置３、及び溶接ヘッド４を駆動制御する構成となっている。なお、制御装置２の主な制御項目は、溶接ヘッド４の溶接の電圧、電流、及びヘッド４に搭載された溶接トーチ８のパイプ開先９３（図９参照）に対するウィービング、溶接ヘッド４の移動速度等である。ヘッド４は、パイプ外周に巻き付けられたガイドレール１２上に、円周方向に移動可能に装着される。ヘッド４には、溶接トーチ８に対して溶接ワイヤを供給するワイヤ供給部６が搭載されている。
【００１８】
図２に、制御装置２および電源３の内部構成、ならびにこれらとヘッド４のトーチ８およびパイプ５との間の電気的な接続関係を示す。電源３からは、送電ケーブル（図示せず）を介して、ヘッド４のワイヤ７とパイプ５との間に溶接電圧が印加されるようになっている。これにより、ワイヤ７とパイプ５表面との間にアークが発生する。溶接用ワイヤ７は一定速度で送られ、アークにより溶かされて溶着金属となり、開先内で固まり母材５を接合する。
【００１９】
制御装置２は、予め定められた溶接条件および溶接パラメータが、ロジックテーブル（後述）としてテーブル形式で格納された溶接データベースを記憶したハードディスクのような記憶装置２０１を有する。これに対して、電流Ｉ、電圧Ｖ、ワイヤー径、ワイヤー銘柄等の各種の入力情報が与えられ、これらに応じた溶接用ＮＣ動作指令が運転プログラム２０３の形で得られる。この運転プログラム２０３はＣＰＵ２０５により実行される。ＣＰＵ２０５は溶接電源３に対する各種の指令を出力する機能、芯線速度情報の受信、電流／電圧波形計測等の機能を実現する。なお、ＣＰＵ動作時に利用されるメモリは図示しないがＣＰＵ２０５内または外部に含むものとする。溶接電源の各種指令には、指令電流値Ｉ１０、ベース電流値Ｉｂ、チャンネル選択情報、電流パルス幅ｔｐ、指令電圧値Ｖ10が、それぞれＤＡ変換器２１１、２１２、チャンネル選択部２１３、ＤＡ変換器２１４、２１５を介して電源３へ供給される。
【００２０】
なお、本例の装置は、パルスアーク溶接モードとショートアーク溶接モードを選択的に共用できるようにしたものであり、ショートアーク溶接モードで動作する場合には、ベース電流およびパルス幅の指令は不要である。また、電源３の溶接モードを切り替えるため、溶接モード切替指令ＭＯＤＥが電源３へ供給される。
【００２１】
後述するタコジェネレータＴＧの出力ＩｔｇはＡＤ変換器２１６を介してＣＰＵ２０５へ取り込まれる。制御装置２は、電源からの電流フィードバック（ＦＢ）波形Ｉｆｂおよび電圧フィードバック波形Ｖｆｂを受けて各種の波形パラメータを計測するパルス計測回路２１７を有する。このようなパルス計測回路２１７は、溶接電流波形および溶接電圧波形から各種のパラメータを実測して、アーク倣い補正等に利用するためのものであり、ショートアーク溶接モードにおいても、溶接電圧波形からアークショートの発生を検出するために用いる。
【００２２】
溶接電源３は、制御装置２からの電流指令３０１を増幅器３０３を介してワイヤ供給部６のモータＭへ供給する。モータＭの回転速度を検出するタコジェネレータＴＧの速度フィードバック信号は前述したように、制御装置２のＡＤ変換器２１６へ供給される。溶接電源３は、溶接モード切替指令ＭＯＤＥを受けて、パルス溶接モードとショートアーク溶接モードのいずれでも動作可能であり、電力制御部３０５１および制御ロジック部３０５２を含む制御部３０５を有する。この制御部３０５は、パルスアーク溶接モードにおいて、制御装置２からのベース電流Ｉｂ３０６、パルス電流Ｉｐ３０９、パルス幅ｔｐ、電圧指令３１１を受けて、これらの条件に合致するパルス出力をヘッドへ供給する。パルス電流Ｉｐ３０９は、制御装置２からのチャンネル選択情報３０７によりＲＯＭテーブル３０８内の複数のパルス電流設定値のうちの１つを選択したものである。ＲＯＭテーブル３０８は、図ではその出力としてパルス電流Ｉｐのみを示しているが、パルス電流Ｉｐおよびパルス幅ｔｐの組を出力する。パルス幅ｔｐ３１０は、ＲＯＭテーブル３０８から出力されるパルス幅ｔｐの微調整量を示す。また、電源３は、ショートアーク溶接モードにおいて、電圧指令３１１に応じた電圧出力をヘッドへ供給する。溶接電流フィードバック値ＳＩ10および溶接電圧フィードバック値ＳＶ10は、それぞれ電流メータ３１４および電圧メータ３１３でそれらの平均値が検出されるとともに、前述したパルス計測回路２１７へ供給される。
【００２３】
次に、図６及び図７により、本溶接装置で行う、トーチの２次元ウィービングの例を説明する。図６は、横軸を時間としてＹ軸位置およびＺ軸位置の変化を示したものであり、図７は、Ｘ軸方向に沿ってウィービング動作の移動経路を示したものである。ウィービング動作は、図のように、トーチをＹ軸およびＺ軸方向に所定の幅・周期で往復運動させ、トーチの軌跡を波状にするものである。この例では、前述のように、ウィービングの左端（Ｌ）、中央（Ｃ）、右端（Ｒ）で一時的に停止させている。図７の左右での斜めの移動時の速度と、水平移動時の速度とは別個に指定可能である。速度は、ワイヤ先端の移動軌跡に沿った速度（接線速度）で指定される。
【００２４】
図８は、ウィービングの指令軌跡と実際のトーチの移動の軌跡（サーボ軌跡）とを対比して示したものである。図の横軸は時間、縦軸はＹ軸方向位置を示す。図から分かるように、トーチの移動指令に対するサーボ機構の応答の遅延に起因して、サーボ軌跡は指令軌跡より遅れて追従している。図の例では、ウィービング幅（Ｙ軸方向の移動範囲）を、右端、右、中心、左、左端の５区間に分けて、後述する各種データのサンプリングを行っている。各区間の判定は、Ｙ軸エンコーダの出力に応じて、実際の機械的なトーチ位置を示すサーボ軌跡を基に行われる。各区間の境界には、誤差低減のために不感帯を設けてもよい。
【００２５】
後述するアーク倣い関連補正では、ウィービングの位置に応じて、左端・右端アークショート時間を求める。なお、アークショートとは、溶接ワイヤ（電極）と母材や溶融金属との間隔が短くなりすぎて、両者の間に短絡（ショート）が生じた状態のことである。
【００２６】
図９に、計測用回路２１１のハードウエア構成例を示す。
【００２７】
溶接用電源装置３は、溶接トーチ８に溶接電流を供給する。溶接電流／電圧計測用回路２１１は、電源装置３から溶接電流信号１３および溶接電圧信号３２を得て、それぞれフィルター１４および３３に入力する。なお、本明細書でいう「電圧信号」および「電流信号」は、それらの信号がそれぞれ溶接電圧を表わす信号および溶接電流を表す信号という意味であり、信号が電圧レベルおよび電流レベルで表されるという意味ではない。通常、これらの電圧信号および電流信号は電圧レベルで表される。
【００２８】
図１０に溶接電流／電圧信号の一例（フィルター入力）を示す。同図において（ａ）は電圧信号３２、（ｂ）は電流信号１３を示す。電圧信号３２は、所定周期の波形であり、高周波のノイズ成分１５が重畳している。また、この波形のベース電圧部分５１には、アークショートの発生を示す電圧低下波形部分５０が示されている。この電圧信号３２に対応する電流信号１３も、電圧信号３２と同様に高周波ノイズ成分１５を含んでいる。溶接電流信号１３には、高周波のノイズ成分１５が重畳しており、電圧信号３２の波形部分５０に対応した波形部分５２が示されている。フィルター１４および３３は、前述したように電源のパルス周波数よりも高いカットオフ周波数（例えば４ＫＨｚ）を有するものであり、高周波のノイズ成分１５を取り除き、溶接電流信号１６および溶接電圧信号３４を出力する。これにより、高周波ノイズによる電気的特性計測の誤動作を防止することができる。また、このようなカットオフ周波数のフィルターを用いることにより、電流信号１３および電圧信号３２の波形を維持することができ、後述する方法によりパルス単位の電気的特性の計測を可能とする。
【００２９】
図１１に、フィルター１４および３３により出力される溶接電流／電圧信号の一例を示す。同図において（ａ）は電圧信号、（ｂ）は電流信号を示す。フィルター１４、３３により電圧信号３２および電流信号１３からそれぞれの高周波のノイズ成分１５を取り除いたものが溶接電流信号１６、溶接電圧信号３４である。同図中、Ｉ１は電流信号のピーク値、Ｅ２は電圧信号のベース電圧、Ｔ１は電流信号（および電圧信号）のパルス幅、Ｔ２は電流信号（および電圧信号）のベース幅、Ｔ３は電圧信号（および電流信号）のアークショート幅（アークショート時間）、Ｔ４は電流信号（および電圧信号）の繰り返し周期、Ｈ１は電流信号１６に対するパルス幅及びベース幅計測用スレショルドレベル信号２２のレベル、Ｈ２は電圧信号３４に対するアークショート幅計測用スレショルドレベル信号３８のレベルである。
【００３０】
図９の計測用回路２１１中のピークホールド回路１７は、タイミング信号２０で決まる時間間隔毎に、フィルター１４から出力される溶接電流信号１６のピーク値を検出、保持する。このピーク値は、タイミング信号２０にしたがってＡ／Ｄ変換回路１８によりディジタル信号１９に変換される。なお、タイミング信号２０は、後述する割込回路２４による制御装置２への割込に応じて制御装置２が出力する。
【００３１】
コンパレータ２１は、制御装置２から与えられるスレショルドレベル信号２２と溶接電流信号１６とを比較し（図１１（ｂ）参照）、溶接電流信号１６がスレショルドレベル信号２２を越えた時に、その出力信号２３を低レベルとし、溶接電流信号１６がスレショルドレベル信号２２より小さくなった時に、出力信号２３を高レベルとする。割込回路２４は、出力信号２３の立ち下がりエッジで制御装置２へ割込信号を出力する。これにより、制御装置２は、溶接電流信号１３のパルス波形の立ち上がりを認識し、前述したタイミング信号２０を発生する。後述するように、これを高速ウィービング時におけるアーク中溶接線倣い制御等の処理のためのタイミングとして利用することができる。出力信号２３はカウンタ２５に入力され、反転回路２７による出力信号２３の反転信号はカウンタ３０に入力される。カウンタ２５は、出力信号２３が高レベルの期間（すなわち、電流信号１６がスレショルド信号２２より低レベルの期間）、イネーブルされ、制御装置２からのクロック信号４３を計数する。これによって、電流信号１６の時間Ｔ２が求められ、ベース幅２６として出力される。一方、カウンタ２５は、出力信号２３が低レベルの期間（すなわち、電流信号１６がスレショルド信号２２より高レベルの期間）、イネーブルされ、制御装置２からのクロック信号４４を計数する。これによって、電流信号１６の時間Ｔ１がもとまり、パルス幅３１として出力される。このパルス幅３１に基づいて、パルス訛りを防止することができる。パルス周期Ｔ４は、時間Ｔ１と時間Ｔ２の加算処理により求められる。あるいは指令値からパルス周期を求めることもできる。
【００３２】
コンパレータ３７は、制御装置２から与えられるアークショート用スレショルドレベル信号３８と電圧信号３４とを比較し（図１１（ａ）参照）、電圧信号３４がアークショート用スレショルドレベル信号３８より小さくなった時に、その出力信号３９を高レベルとし、電圧信号３４がスレショルドレベル信号３８を越えた時に、出力信号３９を低レベルとする。カウンタ４１は出力信号３９が高レベルの期間、制御装置２からのクロック信号４５を計数する。これによって、電圧信号３４の時間Ｔ３が求められ、アークショート幅４２として出力される。スレショルドレベル信号２２、アークショート用スレショルドレベル信号３８は、溶接作業条件の変化（パイプ径、鋼種等）に応じて、制御装置２により可変制御できる。なお、４６は電流／電圧計測用回路２１１と制御装置２との間の信号であり、前述した各種の信号を含む。
【００３３】
なお、高精度な計測を行うためには当然ながら、クロック信号４３、４４、４５としては、被計測対象の時間幅に比べて十分短い周期を有するものを用いる。
【００３４】
図１２は、図９に示した計測用回路２１１の各信号に関するタイミングの概要を示したものである。１６、３４はフィルター１４、３３の出力で、図１１に示したものと同じである。このフィルター１４から出力される電流信号１６の立ち上がりエッジでコンパレータ２１の出力信号２３が立ち下がり、これにより前述した割込回路２４が制御装置２に割込をかける。制御装置２はこれに応答してタイミング信号２０を発生する。このタイミング信号２０により、ピークホールド回路１７の出力がリセットされ、続いて、次のタイミング信号２０発生までの間、信号１６のピーク値を検出し保持する。この例では、ピーク値は信号１６のパルスの高レベルの値であり、これが次のタイミングパルス信号２０の発生まで保持される。コンパレータ２１の出力信号２３は、電流信号１６のベース幅時間Ｔ２の期間高レベルとなり、この期間が前述のようにカウンタ２５により計測される。反転回路２７の出力信号２８は出力信号２３を反転した波形であり、その高レベル期間が電流信号１６のパルス幅時間Ｔ１に相当する。この時間Ｔ１は、前述のようにカウンタ３０により計測される。コンパレータ３７の出力信号３９は、電圧信号３４のアークショート時間Ｔ３の間、高レベルとなり、この時間Ｔ３が前述したカウンタ４１により計測される。
【００３５】
なお、図示の例では、アークショート幅と、パルス幅・パルス周期の計測を同じ低域通過フィルターの出力で行ったが、パルス幅・周期の方を若干低いカットオフ周波数（例えば１ｋＨｚ）の別のフィルターを用いて、ノイズによる誤動作を低減するようにしてもよい。
【００３６】
次に、本発明によるショートアーク左右倣い補正について、以下に説明する。溶接電流、溶接電圧の計測に基づく各種データのサンプリングは、平均電流・電圧値計測処理／波形計測処理と、インターバルタイマ処理の２段階で行う。平均電流・電圧計測処理は、一定周期（例えば１ｍｓ）毎に起動される処理であり、前述した低いカットオフ周波数にて平滑化された電流電圧フィードバック値を読み出し、前記誤差を加味した値を求める。波形計測処理は、フィードバックパルス周期（計測されたパルス周期）毎に起動され、前述した溶接電流電圧波形に基づいて検出されたピーク電流・電圧値、パルス周期、ピークパルス幅、アークショート時間を読み出す。インターバルタイマ処理は、一定周期（例えば４ｍｓ）毎に起動され、波形計測処理より出力される電流・電圧・アークショート時間値を平均化する。このインターバルタイマ周期は、サーボ制御周期とも呼ぶ。また、ウィービング動作中は、ウィービング位置に応じて、右端、右、中、左、左端の各区間の各種平均値を求める。ウィービング動作中でない場合は、３２ｍｓ分（８個）のデータの平均化を行う。
【００３７】
但し、本実施の形態におけるショートアーク左右倣い補正においては、図４に示したような溶接電圧波形から検出したアークショート時間（短絡時間）の情報のみを用いる。
【００３８】
図３に、本実施の形態におけるショートアーク左右倣い補正の処理のフローチャートを示す。
【００３９】
この処理において、まず、溶接電圧３２の電圧波形測定に基づいてアークショート時間を測定する（３０１）。そこで、ウィービング１周期内の左端と右端の区間における各アークショートの発生回数（アークショート回数すなわち短絡回数）を求める（３０２）。具体的には、単位時間当たりの左端アークショート回数および右端ショートアーク回数を求める。この結果に基づいて、左右アーク倣い補正を行い（３０３）、その補正量を求める（３０４）。すなわち、左端アークショート回数および右端ショートアーク回数の差を算出し、この差が予め定めた閾値を超えた場合に、所定の量だけそれを相殺する側に、ウィービング中心位置をずらす操作を行う。より具体的には、短絡回数がより多い端の方向へウィービング中心位置をずらす。前述の実験結果によれば、開先壁により近い方の端でのアークショート回数が減少すると考えられるからである。一度にずらす補正量は、アークショート回数の差１回につき例えば１μｍないし２μｍである。
【００４０】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、システム構成および処理の具体的内容は例示であり、請求の範囲を逸脱することなく種々の変形・変更が可能である。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、ウィービングの左右端のアークショート発生回数の差に基づいてショートアーク左右倣い補正を行うようにしたので、より精度の高い左右倣い補正が行えるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るパイプ円周自動溶接装置の概略構成を示す構成図である。
【図２】図１に示した制御装置および溶接用電源の内部構成を示すブロック図である。
【図３】本発明によるショートアーク溶接における左右倣い制御のフローチャートである。
【図４】ショートアーク電圧波形を示す波形図である。
【図５】ショートアーク溶接モードにおける左右倣い実験の結果を示す説明図である。
【図６】図１の溶接装置で行われるウィービング動作におけるトーチ位置の時間的変化を示すタイミング図である。
【図７】図６のウィービング動作におけるトーチの軌跡の説明図である。
【図８】ウィービング動作における指令軌跡とサーボ軌跡の関係を示すタイミング図である。
【図９】図２に示したパルス計測回路２１７の構成例を示すブロック図である。
【図１０】図９のパルス計測回路２１７が測定する電圧信号及び電流信号を示す波形図である。
【図１１】図１０のフィルタリング後の電圧信号及び電流信号を示す波形図である。
【図１２】図９のパルス計測回路２１７の動作を説明するためのタイミング図である。
【図１３】パルスアーク溶接のパルス電流波形と、ショートアーク溶接のショートアーク電流波形とを示す波形図である。
【符号の説明】
１…コンピュータ、２…制御装置、３…電源装置、４…ヘッド、５…パイプ、６…ワイヤ供給部、７…ワイヤ、８…溶接トーチ、１２…ガイドレール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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