(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
無電解Ｎｉメッキ面のはんだ付けに使用する合金であり、０．１重量％〜３．０重量％のＣｕと０．０５重量％〜２．０重量％のＰｔと残部Ｓｎから成ることを特徴とするはんだ合金。
【請求項２】
無電解Ｎｉメッキ面のはんだ付けに使用する合金であり、０．１重量％〜３．０重量％のＣｕと０．０５重量％〜２．０重量％のＰｔと残部Ｓｎの合計１００重量部と０．３重量部以下のＰまたはＢとから成ることを特徴とするはんだ合金。
【請求項３】
Ｆｅを０．０３重量％以下、Ａｌを０．００５重量％以下、Ａｓを０．０３重量％以下、Ｃｄを０．００５重量％以下及びＰｂを０．１重量％以下の範囲で含有する請求項１または２記載のはんだ合金。
【請求項４】
無電解Ｎｉメッキ面を有する電子部品と該電子部品を実装する基板とを請求項１〜３何れか記載のはんだ合金により接合することを特徴とする電子部品の実装方法。
【請求項５】
電子部品がシリコンチップである請求項４記載の電子部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は無電解Ｎｉメッキ面の接合に使用するはんだ合金に関し、特にＩＣ等の電子部品の無電解Ｎｉメッキしたランドを回路基板に接合するのに有用なものである。
【０００２】
【従来の技術】
近来、電子機器の小型、薄型、軽量、多機能化は、ＰＨＳ、カ−ナビゲ−ションシステム、ビデオカメラ、ノ−トブックパソコン等のパ−ソナルユ−スにおいて顕著であり、これに伴い電子部品の小型化、複合化、高機能化、表面実装の高密度化が加速され、電子部品の実装技術の分野でＢＧＡ（ボ−ルグリッドアレイ）やＣＳＰ（チップサイズパッケ−ジ）の技術が開発されるに至った。
而して、電子回路板の発熱量の増加や使用条件の過酷化に対処するために、電子部品のはんだ付け部の熱疲労に対する信頼性の一層の向上が要求されている。
また、近来においては、環境保全の面からはんだの鉛フリ−化が要求され、各種のＳｎを主成分とする鉛フリ−はんだが開発されつつある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
周知の通り電子部品の実装技術の分野では、被接合面である電子部品の電極または回路基板の導体の酸化防止をＮｉメッキによって行うことがあり、このＮｉメッキには、無電解Ｎｉメッキが、電源が不要であり単にメッキ浴に素材を浸漬するだけで密着力に優れた均一厚さの均質な皮膜が得られる（アモルファス合金となるために膜厚の増大による結晶粒子の成長が発生せず、均一な表面が得られる）、メッキ膜の物性を浴条件によって調整し易く優れた物性の皮膜が得られる、微細なランド複雑な形状のランドでも容易にメッキできる等の有利性から汎用されている。
しかしながら、無電解Ｎｉメッキ面を従来の鉛フリ−はんだではんだ付けしても、充分な接合強度を得ることができない。例えば、錫−銀共晶はんだやアロイＨ合金はんだ（Ｃｕ０．５重量％，Ａｇ２．０重量％，Ｂｉ７．５重量％，残部Ｓｎ）による接合強度は、後述のＣｕ０．５重量％添加Ｓｎはんだによる接合強度の６０％にも達しない。
【０００４】
本発明者において、その原因を鋭意探究したところ、Ｎｉ膜の析出時、無電解Ｎｉメッキ浴の還元剤〔Ｎａ２Ｈ２ＰＯ２、ＫＨ２ＰＯ２、ＮａＢＨ４、（ＣＨ３）２ＮＨ・ＢＨ３〕中のＰやＢが析出Ｎｉ膜に共析され、これらのＰやＢがはんだ接合中に溶融はんだ内に移行して脆弱なＳｎの燐化物や硼化物が生成される結果であることが判明した。
そこで、本発明者は無電解Ｎｉメッキ面を優れた強度で接合できる鉛フリ−はんだを開発すべく鋭意検討し、Ｃｕを少量（０．１重量％〜３．０重量％程度）添加したＳｎでは、接合時にＣｕが接合界面近傍に集まってＳｎとの金属間化合物を生成してＳｎを拘束しＳｎの燐化物や硼化物の生成を阻害することが判明し、その接合強度を測定したところ前記した通り錫−銀共晶はんだやアロイＨ合金はんだによる接合強度に較べ一段と優れた強度であった。これは、Ｓｎの燐化物や硼化物の生成が阻止された結果であると推定される。
【０００５】
しかしながら、加熱エ−ジング試験を行ったところ接合強度の低下率が大きく、加熱エ−ジング試験後の引張りによる接合部の破断状態はニッケルメッキ面が露出する接合界面の破断であり、加熱エ−ジング試験によりはんだ付け接合界面の強度低下が凝固はんだ自体の強度低下よりも大になることが明らかになった。これは、加熱エ−ジング試験中に無電解Ｎｉメッキ膜からＰやＢが遊離しその無電解Ｎｉメッキ膜近傍のはんだ中に脆いＳｎの燐化物や硼化物が生成されたものと推定される。
【０００６】
上記Ｃｕの添加量は、例えば液相線温度の面から制約があり、Ｃｕの添加のみでは無電解Ｎｉメッキ面を優れた初期強度及び耐熱疲労強度で接合できる鉛フリ−はんだを得ることが至難であることが判明した。
【０００７】
本発明の目的は、無電解Ｎｉメッキ面を優れた初期強度及び耐熱疲労強度で接合できる鉛フリ−はんだを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るはんだ合金は、無電解Ｎｉメッキ面のはんだ付けに使用する合金であり、０．１重量％〜３．０重量％のＣｕと０．０５重量％〜２．０重量％のＰｔと残部Ｓｎから成ることを特徴とする構成、または、この構成の組成の合計１００重量部と０．３重量部以下のＰまたはＢとから成ることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る電子部品の実装方法は、無電解Ｎｉメッキ面を有する電子部品、特にシリコンチップと該電子部品を実装する基板とを上記はんだにより接合することを特徴とする構成である。
【００１０】
本発明に係るはんだ合金において、Ｓｎを主成分とする理由は、鉛フリ−はんだを得るためであり、０．１重量％〜３．０重量％のＣｕと０．０５重量％〜２．０重量％のＰｔを含有させる理由は、はんだ合金の融点（液相線温度）を電子部品のはんだ付けに適した温度（２２０℃〜２５０℃）にすると共に無電解Ｎｉメッキ面に対する初期接合強度及び長時間加熱後の接合強度（耐熱疲労性）を向上させるためである。
【００１１】
すなわち、無電解Ｎｉメッキ膜中に共析している無電解Ｎｉメッキ浴中の還元剤成分であるＰやＢが遊離して接合界面近傍にＳｎの燐化物や硼化物が生成されようとしても、接合時にはんだ合金中のＣｕが接合界面近傍に集まってＳｎとの金属間化合物を優先的に生成してＳｎを拘束するために、そのＳｎの燐化物や硼化物の生成が阻止される。この結果、接合界面近傍においてＳｎの燐化物や硼化物の生成が排除されてその部分がＳｎ−Ｃｕ金属間化合物で占められ、充分な接合強度が保証され、破断パタ−ンが無電解Ｎｉメッキ面の露出のないはんだ合金内部の破断となるのである。
Ｃｕの含有量を０．１重量％〜３．０重量％とする理由は、０．１重量％未満では接合強度が不充分となり、３．０重量％を越えるとはんだ合金の液相線温度が高くなり過ぎ回路基板や電子部品の熱的破損が招来されると共に上記Ｓｎ−Ｃｕ金属間化合物の生成量が過多となり、かえって接合強度が低下するからである。
【００１２】
しかしながら、長期加熱により接合部に長期熱負荷をかけると、上記Ｃｕの添加のみでは、破断パタ−ンが上記はんだ合金内部の破断から無電解Ｎｉメッキ面露出の接合界面破断に移行する。これは、無電解Ｎｉメッキ膜内の上記の共析ＰやＢが長期熱負荷により弾き出されて接合界面近傍に脆い燐化物や硼化物が生成される結果である。
【００１３】
而るに、Ｐｔにおいては、この長期熱負荷に基づく脆い燐化物や硼化物の生成を抑制してＣｕとの相乗作用により長時間加熱後の接合強度を充分に確保させ耐疲労性を向上させる。
すなわち、ＰｔはＳｎよりも接合界面近傍に遊離してくるＰやＢと優先的に結合してＰｔの燐化物や硼化物を生成し、その燐化物や硼化物がはんだ合金中に拡散されていくから、長期熱負荷時に弾き出されたＰやＢがＰｔと結合してＰｔの燐化物や硼化物となってはんだ合金中に拡散され凝固はんだの組織が比較的均質になる結果、無電解Ｎｉメッキ面露出の接合界面破断が回避される。そして、そのはんだ合金組織自体も充分な機械的強度を有するものとなり、長期熱負荷の接合強度も充分に維持され、良好な耐熱疲労性が保証される。
Ｐｔの含有量を０．０２重量％〜２．０重量％とする理由は、０．０２重量％未満では前記耐熱疲労性が不充分となり、２．０重量％を越えるとはんだ合金の液相線温度が高くなり過ぎ回路基板や電子部品の熱的破損が招来されると共にはんだの流動性低下が惹起されるからである。
【００１４】
本発明に係るはんだ合金において、ＰまたはＢを添加する理由は、ＰやＢを含有する無電解Ｎｉメッキ膜との接合前に、はんだ中に予めＳｎの燐化物や硼化物を生成分散させておき、はんだ付け時やその後の熱履歴の経過中に、無電解Ｎｉメッキ膜に含有されているＰやＢとの化合物が接合界面に生成するのを抑制して接合強度の低下を抑制することにあり、Ｓｎの燐化物や硼化物がＰ合金中に含有されていても、よく分散されており接合界面での集中生成にはならないから、接合界面での無電解Ｎｉメッキ面を露出しての破断防止に有効に寄与するのである。  ＰまたはＢの添加量を０．３重量部以下とする理由は、０．３重量部を越えると高価になるばかりか、はんだ合金の脆弱化が招来されるからである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明に係るはんだは、発明の作用効果を実質的に維持できる範囲内であれば、不純物を含んだ状態で使用することができる。
而して、ＪＩＳ Ｚ ３２８２−１９８６−表３に規定されているＡ級の化学成分に従い、Ｆｅを０．０３重量％以下、Ａｌを０．００５重量％以下、Ａｓを０．０３重量％以下、Ｃｄを０．００５重量％以下及びＰｂを０．１重量％以下の範囲で含有することが許容される。
【００１６】
本発明に係るはんだ合金は、無電解Ｎｉメッキ面のはんだ接合に使用され、その無電解Ｎｉメッキの還元剤としてＮａ２Ｈ２ＰＯ２、ＫＨ２ＰＯ２、ＮａＢＨ４、（ＣＨ３）２ＮＨ・ＢＨ３等が使用される。
【００１７】
本発明に係るはんだ合金の好適な使用例としては、はんだ合金をボ−ル（通常１０００〜１００μｍの直径）に成形し、ＢＧＡやＣＳＰ等の無電解Ｎｉメッキランド（直径は上記のボ−ル直径よりもやや小）にボ−ルをフラックスで付着させ、リフロ−によりはんだボ−ルを溶融させてバンプを形成することを例示できる。
このバンプ付きＢＧＡまたはＣＳＰを実装するには、回路基板にフラックスまたはソルダ−ペ−ストを印刷し、ＢＧＡまたはＣＳＰのバンプをこの印刷フラックス或いは印刷ソルダ−ペ−ストに仮固定し、リフロ−によりバンプを溶融させ、次いで冷却してはんだを凝固させ、これにて実装が終了される。
【００１８】
上記の外、シリコンチップ等の電子部品をフロ−はんだ付け法によって回路基板に実装する場合に使用するはんだ浴、電子部品をリフロ−はんだ付け法によって回路基板に実装する場合に使用するクリ−ムはんだのはんだ粉末の外、棒状はんだ、線状はんだ、リボン状はんだ、プリフォ−ム状はんだ、やに入りはんだとしても使用できる。
【００１９】
【実施例】
〔実施例１〕
次亜燐酸塩還元浴を使用してＢＧＡ（ランドピッチ１．５ｍｍ、ランド外径７００μｍ、ランド個数１５×１５）のランドに無電解Ｎｉメッキを施したものを被接合面とした。
はんだ合金には、Ｃｕ０．５重量％、Ｐｔ０．２重量％、残部Ｓｎを使用し（ただし、添加元素以外の不純物は、JIS−Z-3282に規定されたＡ級の範囲に属する）、このはんだで直径８００μｍのはんだボ−ルを調製し、このはんだボ−ルを上記ＢＧＡの無電解Ｎｉメッキランドにフラックスで付着させ、不活性雰囲気中、液相線温度＋５０℃の温度でリフロ−によりバンプを形成した。
この試料を１５０℃×１００時間でエ−ジングし、プッシュプルゲ−ジを用い引張り速度約１ｍｍ／sec、試験温度２５℃で引張り試験を行ったところ、初期引張り強度及びエ−ジング後引張り強度は表１の通りであった。
また、初期引張り試験での破断パタ−ン及びエ−ジング後引張り試験での引張り破断パタ−ンともに、無電解Ｎｉメッキ面の露出のないはんだ合金内部からの破断であった。
表１において、無電解Ｎｉメッキ面の露出のないはんだ合金内部からの破断を○で示し、無電解Ｎｉメッキ面の露出がある接合界面での破断を×で示している。
【００２０】
〔実施例２〜７〕
はんだ合金として、表１に示す組成のものを使用した以外、実施例１に同じとした。
実施例１と同様の条件でエ−ジングし、引張り試験を行ったところ、初期引張り強度及びエ−ジング後引張り強度は表１の通りであった。
また、初期引張り試験での破断パタ−ン及びエ−ジング後引張り試験での引張り破断パタ−ンともに、無電解Ｎｉメッキ面の露出のないはんだ合金内部からの破断であった。
【００２１】
〔比較例１〜４〕
はんだとして、表１に示す組成のものを使用した以外、実施例１に同じとした。
実施例１と同様の条件でエ−ジングし、引張り試験を行ったところ、初期引張り強度及びエ−ジング後引張り強度は表１の通りであった。
また、比較例１及び３では初期引張り試験での破断パタ−ン及びエ−ジング後引張り試験での引張り破断パタ−ンともに、全て接合界面からの破断であった。比較例２及び４では初期引張り試験での破断パタ−ンがはんだ合金内部からの破断であり、エ−ジング後引張り試験での引張り破断パタ−ンが接合界面からの破断であった。さらに、比較例５では初期引張り試験での破断パタ−ン及びエ−ジング後引張り試験での引張り破断ともにはんだ合金内部からの破断であった。
【００２２】
上記比較例１〜３のＳｎを主成分とする鉛フリ−はんだ合金では、接合界面の破断であり初期接合強度が低く、合金断面をＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ−）で観察したところ接合界面近傍にＳｎの燐化物が形成されていた。
比較例４の初期引張り試験直後の合金断面をＥＰＭＡで観察したところ、添加したＣｕが接合界面近傍に集まり、無電解Ｎｉメッキから遊離したＰとそのＣｕとの適度な金属間化合物の生成が認められた。しかし、エ−ジング後引張り試験直後の合金断面を観察したところ、接合界面近傍でのＰとＣｕとの金属間化合物量が著しく増大しており、これが接合界面での破壊原因と認められる。
また、比較例５の初期引張り試験直後の合金断面をＥＰＭＡで観察したところ、
Ｐｔが接合界面近傍に遊離してくるＰと優先的に結合してＰｔの燐化物を生成し、その燐化物がはんだ合金中に拡散されていることが認められ、この燐化物拡散合金組織が比較的均質なためにはんだ合金内部からの破断となったと推定される。エ−ジング後も、この均質性が維持されるも燐化物拡散量の増加が推定され、その結果、エ−ジング後の接合強度がエ−ジング前の６０％程度になり、エ−ジングによる強度低下が顕著になったものと推測される。
【００２３】
而るに、実施例１と比較例４及び５との対比から、本発明に係るはんだ合金ではＣｕとＰｔとの相乗効果により、エ−ジング後での接合強度の低下を充分に抑制でき、耐熱疲労性をよく向上できることが明らかである。
【００２４】
また、実施例１〜５から、０．１重量％〜３．０重量％のＣｕと０．０５重量％〜２．０重量％のＰｔと残部のＳｎから成る範囲であれば、初期接合強度の向上及び耐熱疲労性の向上効果が達成できることが明らかである。この範囲内では、はんだ合金の液相線温度を２２０℃〜２５０℃に維持でき、被接合物の耐熱衝撃保護を保証できる。
【００２５】
さらに、実施例１と実施例６及び７との対比から、Ｂ添加による一層の初期接合強度の向上及び耐熱疲労性の向上が得られることも明らかである。
【００２６】
〔実施例１’〕
硼酸塩還元浴を使用してＢＧＡ（ランドピッチ１．５ｍｍ、ランド外径７００μｍ、ランド個数１５×１５）のランドに無電解Ｎｉメッキを施したものを被接合面とした以外、実施例１に同じとした。
【００２７】
〔実施例２’〜５’〕
硼酸塩還元浴を使用してＢＧＡ（ランドピッチ１．５ｍｍ、ランド外径７００μｍ、ランド個数１５×１５）のランドに無電解Ｎｉメッキを施したものを被接合面とした以外、実施例２〜５に同じとした。
【００２８】
〔実施例６’及び７’〕
硼酸塩還元浴を使用してＢＧＡ（ランドピッチ１．５ｍｍ、ランド外径７００μｍ、ランド個数１５×１５）のランドに無電解Ｎｉメッキを施したものを被接合面とし、Ｐに代えＢを使用した以外、実施例６、７に同じとした。
【００２９】
〔比較例１’〜５’〕
硼酸塩還元浴を使用してＢＧＡ（ランドピッチ１．５ｍｍ、ランド外径７００μｍ、ランド個数１５×１５）のランドに無電解Ｎｉメッキを施したものを被接合面とした以外、比較例１〜５に同じとした。
【００３０】
表２は、これらの実施例及び比較例の初期引張り強度及びエ−ジング後引張り強度並びに初期引張り試験での破断パタ−ン及びエ−ジング後引張り試験での引張り破断パタ−ンを示し、本発明に係るはんだ合金によればＢが共析している無電解Ｎｉメッキ面に対しても、前記した初期接合強度の向上及び耐熱疲労性の向上効果が達成できることが明らかである。
【００３１】
【発明の効果】
本発明によれば、無電解Ｎｉメッキ面をそのメッキ膜にＰやＢが共析しているにもかかわらず、優れた初期接合強度、優れた耐熱疲労性を保証してはんだ接合でき、しかも、はんだ合金の液相線温度を２５０℃以下に抑えることができるから、例えば、ランドを無電解ＮｉメッキしたＢＧＡやＣＳＰをバンプ方式によりリフロ−法で良好に実装できる。
【表１】
0003833829.tif 000002
【表２】
0003833829.tif 000003