(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
画線がそれぞれ形成された第１の領域及び第２の領域が隣接するように配置された複数の組み合わせが目盛にそれぞれ対応して設けられ、
各々の前記組み合わせ毎に設定された前記第１の領域における画線幅Ａ（Ａは任意の数値）、非画線幅α（αは任意の数値）、目標画線面積率ｚ（ｚは０より大きく１未満の任意の数値）、対応する目盛の数値ｘとの間に、
α＋Ａ＝（Ａ＋ｘ）／ｚ
の関係が成り立ち、
各々の前記組み合わせ毎に設定された前記第２の領域における画線幅Ｂ（Ｂは任意の数値）、非画線幅β（βは任意の数値）、前記目標画線面積率ｚ、対応する目盛の数値ｘとの間に、
β＋Ｂ＝（Ｂ＋ｘ）／ｚ
の関係が成り立つことを特徴とする画線寸法測定用テストチャート。
【請求項２】
各々の前記組み合わせにおける前記第１の領域と前記第２の領域とは、一方が他方を囲むように配置されていることを特徴とする請求項１記載の画線寸法測定用テストチャート。
【請求項３】
前記第１の領域における画線面積率ｚ１がｚ１＝Ａ／（Ａ＋α）、前記第２の領域における画線面積率ｚ２がｚ２＝Ｂ／（Ｂ＋β）で表され、
前記目盛「０」に対応して設けられた前記第１の領域における画線面積率ｚ１と前記第２の領域における画線面積率ｚ２とが一致するように設定されていることを特徴とする請求項１又は２記載の画線寸法測定用テストチャート。
【請求項４】
画線が形成された第１の領域及び第２の領域が相互に隣接するように配置された組み合わせが目盛にそれぞれ対応して複数組設けられたテストチャートを作成する方法であって、
前記テストチャートのパラメータとして、
前記第１、第２の領域の寸法を設定するステップと、
前記組み合わせを並べる方向を設定するステップと、
前記組み合わせの数を設定するステップと、
前記組み合わせ毎に、それぞれの前記第１の領域における画線幅Ａ（Ａは任意の数値）、非画線幅α（αは任意の数値）、目標画線面積率ｚ（ｚは０〜１の間の任意の数値）と、それぞれの前記第１の領域の間の目盛ｘとを、関係式α＋Ａ＝（Ａ＋ｘ）／ｚを用いて設定し、またそれぞれの前記第２の領域における画線幅Ｂ（Ｂは任意の数値）、非画線幅β（βは任意の数値）、前記目標画線面積率ｚと、それぞれの前記第２の領域の間の目盛ｘとを、関係式β＋Ｂ＝（Ｂ＋ｘ）／ｚを用いて設定するステップと、
前記テストチャートを出力する出力媒体上における前記テストチャートの位置を設定するステップと、
を備えることを特徴とする画線寸法測定用テストチャートの作成方法。
【請求項５】
画線が形成された第１の領域及び第２の領域が相互に隣接するように配置された組み合わせが目盛にそれぞれ対応して複数組設けられたテストチャートを出力媒体上に画線出力装置に作成させる装置であって、
前記テストチャートのパラメータとして、前記第１、第２の領域の寸法、前記組み合わせを並べる方向、前記組み合わせの数、前記出力媒体上における前記テストチャートの位置、さらに、前記組み合わせ毎に、それぞれの前記第１の領域における画線幅Ａ（Ａは任意の数値）、非画線幅α（αは任意の数値）、目標画線面積率ｚ（ｚは０〜１の間の任意の数値）と、対応する目盛の数値ｘとを、関係式α＋Ａ＝（Ａ＋ｘ）／ｚを用いて設定し、またそれぞれの前記第２の領域における画線幅Ｂ（Ｂは任意の数値）、非画線幅β（βは任意の数値）、前記目標画線面積率ｚと、対応する目盛の数値ｘとを、関係式β＋Ｂ＝（Ｂ＋ｘ）／ｚを用いて設定する、パラメータ設定部と、
設定された前記パラメータに基づいて前記画線出力装置に前記テストチャートを出力させるため、前記パラメータを前記画線出力装置に与えるパラメータ供給部と、
を備えることを特徴とする画線寸法測定用テストチャートの作成装置。
【請求項６】
画線が形成された第１の領域及び第２の領域が相互に隣接するように配置された組み合わせが目盛にそれぞれ対応して複数組設けられたテストチャートを出力媒体上に画線出力装置によって出力させることにより、前記画線出力装置が出力する画線の寸法に関する品質管理を行う方法であって、
前記テストチャートにおけるパラメータとして、
前記第１、第２の領域の寸法を設定するステップと、
前記組み合わせを並べる方向を設定するステップと、
前記組み合わせの数を設定するステップと、
前記組み合わせ毎に、それぞれの前記第１の領域における画線幅Ａ（Ａは任意の数値）、非画線幅α（αは任意の数値）、目標画線面積率ｚ（ｚは０〜１の間の任意の数値）と、対応する目盛の数値ｘとを、関係式α＋Ａ＝（Ａ＋ｘ）／ｚを用いて設定し、またそれぞれの前記第２の領域における画線幅Ｂ（Ｂは任意の数値）、非画線幅β（βは任意の数値）、前記目標画線面積率ｚと、対応する目盛の数値ｘとを、関係式β＋Ｂ＝（Ｂ＋ｘ）／ｚを用いて設定するステップと、
前記テストチャートを出力する出力媒体上における前記テストチャートの位置を設定するステップと、
設定された前記パラメータに基づいて、前記画線出力装置から前記テストチャートを出力媒体上に出力させるステップと、
出力させた前記テストチャートを用いて、前記画線出力装置から出力する画線の寸法を調整するステップと、
を備えることを特徴とする画線寸法測定用テストチャートを用いた画線出力装置の品質管理方法。
【請求項７】
画線が形成された第１の領域及び第２の領域が相互に隣接するように配置された組み合わせが目盛にそれぞれ対応して複数組設けられたテストチャートを作成する方法をコンピュータを用いて実現するプログラムであって、
前記第１、第２の領域の寸法を設定するステップと、
前記組み合わせを並べる方向を設定するステップと、
前記組み合わせの数を設定するステップと、
前記組み合わせ毎に、それぞれの前記第１の領域における画線幅Ａ（Ａは任意の数値）、非画線幅α（αは任意の数値）、目標画線面積率ｚ（ｚは０〜１の間の任意の数値）と、対応する目盛の数値ｘとを、関係式α＋Ａ＝（Ａ＋ｘ）／ｚを用いて設定し、またそれぞれの前記第２の領域における画線幅Ｂ（Ｂは任意の数値）、非画線幅β（βは任意の数値）、前記目標画線面積率ｚと、対応する目盛の数値ｘとを、関係式β＋Ｂ＝（Ｂ＋ｘ）／ｚを用いて設定するステップと、
前記テストチャートを出力する出力媒体上における前記テストチャートの位置を設定するステップとを備える方法をコンピュータに実行させることを特徴とする画線寸法測定用テストチャートの作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画線寸法測定用テストチャート及びその作成方法、品質管理方法、並びに品質管理プログラムであって、特に製版用フイルム、刷版、印刷物、半導体集積回路、マイクロマシン等の加工物の表面に形成する微細な画線の幅の測定並びにその品質の管理に好適なものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、製版用フィルム、刷版、印刷物、半導体集積回路、マイクロマシン等の加工物の表面に、コンピュータ制御の出力装置を用いて画線を形成することが行われている。このような出力装置には、例えばイメージセッタやＣＴＰ（Computer To Plate）マシンと呼ばれる印刷用のレーザ露光機、あるいは半導体製造用の電子線リソグラフィ装置又はＸ線リソグラフィ装置等がある。これらの出力装置は、コンピュータにより作成された画像データを、感光材料の表面上に直接レーザ光線を照射することで焼き付るものである。レーザ露光機の出力解像度は、ほぼレーザのスポット径によって決定され、一般にスポット径の大きさに反比例する。
しかし、イメージセッタやＣＴＰマシン等の出力装置における出力解像度は必ずしも安定している訳ではなく、出力された画線を常に確認し、補正を加えて品質を安定させる必要がある。
【０００３】
画線を形成する出力媒体が紙や透明フイルム等から成る場合、画線の品質を評価する手法として、従来は以下のようなものが用いられていた。
第１の手法は画線寸法を測定するものであり、紙等の出力媒体上に描画した直線又は曲線の画線幅や網点(スクリーンセル)の大きさの計測を行う。
第２の手法は画線面積率を測定するものである。出力媒体の表面上に光を照射し光の吸収度を計測して反射濃度を求め、画線面積率を算出し、あるいは出力媒体の基材中に光を透過させて光の吸収度を計測し透過濃度を求めて画線面積率を算出する。従来は主にこのような手法を製品の用途によって選択し、画線の品質管理に用いていた。
【０００４】
ところで、出力媒体の材質が紙、透明フイルム、あるいは金属板等の如何に関わらず、画線の品質を評価し管理するためには、定量的な測定を行い数値として管理する必要がある。例えば、出力媒体上に描いた画線の幅が設定値より太くなっていた場合、それがどの程度太いのかを示す数値を得ない限り、品質の善し悪しの判断のみならず画線幅を補正するために出力装置の調整を行うことができない。
従来は、例えば顕微鏡を用いて画線を拡大し、ファインダ内に設けられた目盛を用いて画線の幅を目視により判読し、おおよその寸法を得ていた。
【０００５】
また画線寸法を目視によらず自動的に測定する方法としては、例えば本願と同一出願人による特願平１１−３０７０５４に開示された画線寸法測定装置がある。この測定装置は、出力媒体の表面に印刷され、一定の画線幅の画線群からなる二次元画像を読み取り、この二次元画像を画線寸法の算出に適した画像に調整し、この二次元画像をデジタル二値の画像データに変換し、この画像データにおける画線の連結成分の画像データを改善し、改善後の画像データから形状の特徴抽出を数値データとして作成し、この数値データから画線寸法を算出する、というものである。これにより、高精度な画線寸法の測定を実現している。
【０００６】
また、従来の測定方法には、テストチャートを用いて画線を評価するものがある。例えば、特開平１０−４７９４６号公報には、フォトマスクに形成するテストチャートとして、加工目標寸法を中心としその前後に一定の刻みでライン幅を変化させたラインパターンが加工目標寸法の２倍のピッチで配列された複数のパターン列を、それぞれ互いに隣合わせ、かつ加工目標寸法だけ前後にずらして配置した千鳥状のライン・スペースパターンを有するものが開示されている。
このようなテストチャートを描いたフォトマスクを用いて基板に微細加工を行い、基板に加工されたテストチャートのパターンを顕微鏡等で観察してラインとスペースパターンとの境界線が一致する点を読み取ることにより、仕上り寸法を判定する。
しかし、どのような測定方法であっても、従来は顕微鏡やコンピュータ等の補助具を用いる必要があった。よって、このような補助具を有しない環境、若しくは使用することができない環境である場合、あるいは瞬時かつ直感的に正確な測定をしなければならない場合において、品質を管理することができなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来は顕微鏡やコンピュータ等の補助具を用いない限り、画線幅の測定並びに品質管理を行うことができなかった。
本発明は上記事情に鑑み、補助具に依存することなく、作業者の目視によって容易かつ正確に画線寸法を測定し品質を管理することが可能な画線寸法測定用テストチャート及びその作成方法、品質管理方法、並びに品質管理プログラムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の画線寸法測定用テストチャートは、画線がそれぞれ形成された第１の領域及び第２の領域が隣接するように配置された複数の組み合わせが目盛にそれぞれ対応して設けられ、各々の前記組み合わせ毎に設定された前記第１の領域における画線幅Ａ（Ａは任意の数値）、非画線幅α（αは任意の数値）、目標画線面積率ｚ（ｚは０より大きく１未満の任意の数値）、対応する目盛の数値ｘとの間に、α＋Ａ＝（Ａ＋ｘ）／ｚの関係が成り立ち、各々の前記組み合わせ毎に設定された前記第２の領域における画線幅Ｂ（Ｂは任意の数値）、非画線幅β（βは任意の数値）、前記目標画線面積率ｚ、対応する目盛の数値ｘとの間に、β＋Ｂ＝（Ｂ＋ｘ）／ｚの関係が成り立つことを特徴とする。
【０００９】
本発明のテストチャート作成方法は、画線が形成された第１の領域及び第２の領域が相互に隣接するように配置された組み合わせが目盛にそれぞれ対応して複数組設けられたテストチャートを作成する方法であって、前記テストチャートのパラメータとして、前記第１、第２の領域の寸法を設定するステップと、前記組み合わせを並べる方向を設定するステップと、前記組み合わせの数を設定するステップと、前記組み合わせ毎に、それぞれの前記第１の領域における画線幅Ａ、非画線幅α、目標画線面積率ｚと、対応する目盛の数値ｘとを、関係式α＋Ａ＝（Ａ＋ｘ）／ｚを用いて設定し、またそれぞれの前記第２の領域における画線幅Ｂ、非画線幅β、前記目標画線面積率ｚと、対応する目盛の数値ｘとを、関係式β＋Ｂ＝（Ｂ＋ｘ）／ｚを用いて設定するステップと、前記テストチャートを出力する出力媒体上における前記テストチャートの位置を設定するステップとを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明のテストチャート作成装置は、画線が形成された第１の領域及び第２の領域が相互に隣接するように配置された組み合わせが目盛にそれぞれ対応して複数組設けられたテストチャートを出力媒体上に画線出力装置に作成させる装置であって、前記テストチャートのパラメータとして、前記第１、第２の領域の寸法、前記組み合わせを並べる方向、前記組み合わせの数、前記出力媒体上における前記テストチャートの位置、さらに、前記組み合わせ毎に、それぞれの前記第１の領域における画線幅Ａ、非画線幅α、目標画線面積率ｚと、対応する目盛の数値ｘとを、関係式α＋Ａ＝（Ａ＋ｘ）／ｚを用いて設定し、またそれぞれの前記第２の領域における画線幅Ｂ、非画線幅β、前記目標画線面積率ｚと、対応する目盛の数値ｘとを、関係式β＋Ｂ＝（Ｂ＋ｘ）／ｚを用いて設定する、パラメータ設定部と、設定された前記パラメータに基づいて前記画線出力装置に前記テストチャートを出力させるため、前記パラメータを前記画線出力装置に与えるパラメータ供給部とを備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の画線の品質に関する品質管理方法は、画線が形成された第１の領域及び第２の領域が相互に隣接するように配置された組み合わせが目盛にそれぞれ対応して複数組設けられたテストチャートを出力媒体上に画線出力装置によって出力させることにより、前記画線出力装置が出力する画線の寸法に関する品質管理を行う方法であって、前記テストチャートにおけるパラメータとして、前記第１、第２の領域の寸法を設定するステップと、前記組み合わせを並べる方向を設定するステップと、前記組み合わせの数を設定するステップと、前記組み合わせ毎に、それぞれの前記第１の領域における画線幅Ａ、非画線幅α、目標画線面積率ｚ、対応する目盛の数値ｘとを、関係式α＋Ａ＝（Ａ＋ｘ）／ｚを用いて設定し、またそれぞれの前記第２の領域における画線幅Ｂ、非画線幅β、前記目標画線面積率ｚと、それぞれの前記第２の領域の間の目盛ｘとを、関係式β＋Ｂ＝（Ｂ＋ｘ）／ｚを用いて設定するステップと、前記テストチャートを出力する出力媒体上における前記テストチャートの位置を設定するステップと、設定された前記パラメータに基づいて、前記画線出力装置から前記テストチャートを出力媒体上に出力させるステップと、出力させた前記テストチャートを用いて、前記画線出力装置から出力する画線の寸法を調整するステップとを備えることを特徴とする。
【００１２】
本発明のテストチャート作成用プログラムは、画線が形成された第１の領域及び第２の領域が相互に隣接するように配置された組み合わせが目盛にそれぞれ対応して複数組設けられたテストチャートを作成する方法をコンピュータを用いて実現するプログラムであって、前記第１、第２の領域の寸法を設定するステップと、前記組み合わせを並べる方向を設定するステップと、前記組み合わせの数を設定するステップと、前記組み合わせ毎に、それぞれの前記第１の領域における画線幅Ａ、非画線幅α、目標画線面積率ｚと、それぞれの前記第１の領域の間の目盛ｘとを、関係式α＋Ａ＝（Ａ＋ｘ）／ｚを用いて設定し、またそれぞれの前記第２の領域における画線幅Ｂ、非画線幅β、前記目標画線面積率ｚと、それぞれの前記第２の領域の間の目盛ｘとを、関係式β＋Ｂ＝（Ｂ＋ｘ）／ｚを用いて設定するステップと、前記テストチャートを出力する出力媒体上における前記テストチャートの位置を設定するステップとを備える方法をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１に、本実施の形態によるテストチャート１ａの構成を示す。このテストチャート１ａは、目盛部２と、画線部３ａとを有している。
画線部３ａでは、９組の画線要素ａ１及び画線要素ｂ１、ａ２及びｂ２、ａ３及びｂ３、…、ａ９及びｂ９がそれぞれ隣接するように配置されている。ここでは、画線要素ｂ１が画線要素ａ１を囲むように配置され、画線要素ｂ２が画線要素ａ２を囲むように配置され、…、画線要素ｂ９が画線要素ａ９を囲むように配置されている。それぞれの画線要素ａ１〜ａ９、ｂ１〜ｂ９における画線幅、非画線幅、画線面積率は、後述する図３に示されたように設定されている。
目盛部２では、それぞれの画線要素ａ１及びｂ１、ａ２及びｂ２、…、ａ９及びｂ９にそれぞれ対応させて、数値「−１０、−７．５、−５、−２．５、０、＋２．５、＋５、＋７．５、＋１０（μｍ）」が割り振られている。
ここで、テストチャート１ａを表現するデータの形式は、プリンタ等のいずれかの出力装置で出力可能なデータ形式であれば、ドローイングデータ、ビットマップデータのいずれであっても良く、またファイル形式はＴＩＦＦ、ＥＰＳ、ＤＸＦ、ＰＤＦ等、いずれの形式であってもよい。
【００１４】
画線要素の基本的な構成は図２に示されたようであり、万線状の画線要素ａと、万線状であって画線要素ａと画線幅、非線幅が異なる画線要素ｂとを構えている。
ここで、画線要素ａにおける画線幅Ａ、非画線幅α、画線面積率ｚ１、画線要素ｂにおける画線幅Ｂ、非画線幅β、画線面積率ｚ２、及び目標画線面積率ｚは、図３に示されるように設定されている。
画線要素ａにおける画線部Ａの幅は、同一目盛における画線要素ｂにおける画線部Ｂの幅の略半分にそれぞれ設定されている。即ち、画線要素ａと画線要素ｂのそれぞれの画線幅Ａ、Ｂの関係は、略１対２の関係にある。
同時に、画線要素ａの非画線幅αと画線要素ｂの非画線幅βとの関係も、略１対２の関係にある。これにより、画線要素ａの画線面積率と画線要素ｂの画線面積率は、略１対１となる。
尚、本実施の形態では、画線要素ａ及び画線要素ｂは、出力装置が走査する間隔と干渉することを避けるため、図２に示されたように画線要素ａ及び画線要素ｂとも水平に対し略４５度の角度を有する万線で構成している。しかし、画線の配置角度は何等限定するものではない。
【００１５】
画線要素ａ１〜ａ９と画線要素ｂ１〜ｂ９における画線幅、非画線幅、画線面積率が、図３に示されたように設定されているが、これは次のような意図による。
出力装置から出力された画線の幅が、設定した値からずれていた場合に、−１０μｍ〜＋１０μｍの範囲内で、何μｍずれているかを２．５μｍ間隔で知ることができる。即ち、各目盛毎に設けられた画線要素ａとｂの組み合わせ（以下、パッチと称する）のうち、最も濃度差が小さく見えるものにおける目盛を読み取ることにより、ずれを定量的に測定することができる。
このような測定が可能となるように、各画線要素ａ及びｂにおける画線幅及び非画線幅の数値は、次のような規則に従って設定される。
先ず、図３に示されたように、画線要素ａｉ（ｉは１〜９の整数）、ｂｉにおける目盛部２の数値をｘｉ、画線要素ａｉの画線幅をＡｉ、非画線幅をαｉ、目標画線面積率をｚ、画線要素ｂｉの画線幅をＢｉ、非画線幅をβｉとすると、以下の数式（１）、（２）に示された関係が成立する。
αｉ＋Ａｉ＝（Ａｉ＋ｘｉ）／ｚ            …  …              （１）
βｉ＋Ｂｉ＝（Ｂｉ＋ｘｉ）／ｚ            …  …              （２）
【００１６】
図３に示された設定値によると、目盛「０」における画線要素ａの画線幅Ａと非画線幅αは、共に３０μｍであり、画線面積率ｚ１（＝Ａ／（Ａ＋α））は５０％である。同様に、目盛「０」における画線要素ｂの画線幅Ｂと非画線幅βは、共に６０μｍであり、画線面積率は５０％である。
これにより、設定値通りに出力されたときのテストチャートは図１に示されるようであり、目盛「０」における画線要素ａ５及びｂ５は目視により略同一の濃度に見える。
これに対し、他の目盛におけるそれぞれのパッチは、「−２．５」、「−５」、「−７．５」、「−１０」におけるそれぞれの画線要素ａ４及びｂ４、ａ３及びｂ３、ａ２及びｂ２、ａ１及びｂ１へ向かうについて順に濃度の相違がより顕著になっていき、同様に「＋２．５」、「＋５」、「＋７．５」、「＋１０」におけるそれぞれの画線要素ａ６及びｂ６、ａ７及びｂ７、ａ８及びｂ８、ａ９及びｂ９へ向かうにつれて濃度の相違がより顕著になっていく。
このように、目視によって目盛「０」における画線要素ａ５及びｂ５のパッチが最も濃度差が小さいことが判明する。この結果、出力装置からの画線幅は目盛「０」が示すように設定値通りであり補正の必要がないことになる。
【００１７】
次に、他のレーザ露光フイルム出力装置にて出力したところ、図４に示されたようなテストチャート１ｂが得られたとする。このテストチャート１ｂにおける各目盛毎に設けられた画線要素ａ１及びｂ１、ａ２及びｂ２、…ａ９及びｂ９のパッチの相対的な濃度差に注目すると、画線要素ａ７及びｂ７（目盛「＋５μｍ」）の組み合せが最も濃度差が小さいことが容易かつ正確に判明する。
このときのそれぞれのパッチにおける画線要素の画線幅、非画線幅の数値を調べると、図５に示される関係にある。目盛「＋５μｍ」に対応した画線要素ａ７の画線幅ａ７、非画線幅α７の数値が共に３５μｍで一致し画線面積率が５０％であり、同様に画線要素ａ７の画線幅ａ７、非画線幅α７の数値が、共に７０μｍで一致し画線面積率が５０％となっている。このことから、出力された画線幅は設定値より５μｍ太いことがわかり、これを考慮して画線幅を調整すればよい。
【００１８】
また、さらに他のレーザ露光フイルム出力装置にて出力したところ、図６に示されたようなテストチャート１ｃが得られたとする。このテストチャート１ｃにおける各目盛毎に設けられた画線要素ａ１及びｂ１、ａ２及びｂ２、…ａ９及びｂ９のパッチの相対的な濃度差を見比べると、画線要素ａ３及びｂ３（目盛「−５μｍ」）の組み合せが最も濃度差が小さいことが瞬時かつ容易にわかる。
このときのそれぞれのパッチにおける画線要素の画線幅、非画線幅の数値を調べると、図７に示される関係にある。目盛「−５μｍ」に対応した画線要素ａ３の画線幅ａ３、非画線幅α３の数値が共に２５μｍで一致し画線面積率が５０％であり、同様に画線要素ａ３の画線幅ａ３、非画線幅α３の数値が、共に５０μｍで一致し画線面積率が５０％となっている。このことから、出力された画線幅は設定値より５μｍ細いことが判明し、容易に出力を調整することが可能である。
【００１９】
次に、本発明の実施の形態によるテストチャートの生成方法について図８を用いて説明する。
テストチャートを生成するためのプログラムＰが、コンピュータCの内部又は外部に配置されたメモリに格納される。コンピュータCがこのプログラムＰに従って動作し、コンピュータＣ内に、パラメータ設定部、パラメータ供給部が実現される。操作者が、モニタ画面を参照しながら、テストチャートの生成に必要なパラメータの設定をパラメータ設定部に対して行う。設定されたパラメータは、パラメータ設定部からパラメータ供給部に与えられ、出力装置Ｅに転送される。
出力装置Ｅにより、ビットマップ状のデータが生成されて、紙やシート等の出力媒体Ｆａ、Ｆｂ、Ｆｃの表面にテストチャート５ａ、５ｂ、５ｃが描かれる。
ここで出力装置Ｅには、図示されたプリンタＥａ、イメージセッタＥｂ、オンデマンド印刷機Ｅｃに限らず、ファクシミリ装置や複写機等、画線を何等かの媒体上に形成し得るものであれば、全ての装置が含まれる。
【００２０】
ここで、テストチャートを生成するプログラムについて、その処理手順をフローチャートとして示した図９、また操作者がモニタ画面を見ながら操作する際の画面の表示を示した図１０を用いて説明する。図１０に示されたように、画面には各パッチにおける画線要素ａ１〜ａ９、画線要素ｂ１〜ｂ９のそれぞれの寸法を示した寸法表示部１０、出力媒体上におけるパッチの配置を示した配置表示部１２、各パラメータの入力を行うためのパラメータ入力部１４が表示される。
【００２１】
図９に示されたように、先ずステップＳ１０として、画面のパラメータ設定部１４の項目（１）において、出力装置Ｅにおける出力解像度の選択を行う。出力解像度として、例えば１０１６０、５０８０、２５４０ｄｐｉ等の既存の値が格納されており、操作者は画面のパラメータ表示部１４に表示された（１）出力解像度の欄に表示された複数の値からポインティングデバイス等を用いて選択を行う。
【００２２】
ステップＳ１２として、画面のパラメータ設定部１４の項目（２）として、各パッチの寸法の設定を行う。各パッチには、上述したように二つの画線要素ａ及び画線要素ｂが存在するが、ここでは画線要素ｂが画線要素ａを囲むように配置されている。そこで、画線要素ｂの外形寸法Ｗ×Ｈを設定することで、画線要素ａの外形寸法が適当な値になるように自動的に設定しているが、画線要素ａの寸法も任意の値に設定できるようにしてもよい。
【００２３】
また、本実施の形態では画線要素ａ及びｂが共に四角形であり、画線要素ｂが画線要素ａを囲むように配置されている。しかしこれに限らず、図１１（ａ）に示されたように画線要素ａが画線要素ｂを囲むように配置されていてもよく、あるいは図１１（ｂ）、（ｃ）のように画線要素ａ及びｂが横方向又は縦方向に隣接して配置されていてもよい。これらの場合には、それぞれ図１１（ａ）〜（ｃ）に図示されたように、画線要素ａ、ｂの寸法Ｗ１×Ｈ１、Ｗ２×Ｈ２、Ｗ３×Ｈ３を設定すればよい。また、図１１（ｄ）、（ｅ）  に示されたように、画線要素ａ、ｂが共に円形の形状を有し、いずれか一方が他方を囲むように配置されていてもよく、この場合は囲んでいる方の画線要素の直径寸法φを設定すればよい。
【００２４】
ステップＳ１４において、画面のパラメータ設定部１４の項目（３）として、複数のパッチを並べる際の方向を選択する。具体的には、例えば図１に示されたような横方向、あるいは縦方向を選択する。
【００２５】
ステップＳ１６において、画面におけるパラメータ設定部１４の項目（４）として、パッチの数を設定する。図１に示された例では、目盛「０」を中心として負の方向及び正の方向に４個ずつ、合計で９個設定されている。測定の範囲を広げる場合、あるいは目盛を細かく設定して測定精度を高める必要がある場合には、パッチの数をより多く設定すればよい。
【００２６】
ステップＳ１８において、パッチの数を示すｉの初期値として、例えば「１」を設定する。
【００２７】
ステップＳ２０において、各パッチのパラメータとして、目盛ｘｉ、画線要素ａにおける画線幅Ａｉ、非画線幅αｉ、画線要素ｂにおける画線幅Ｂｉ、非画線幅βｉ、さらに目標画線面積率ｚの設定を行う。ここで、αｉ、βｉは、上述した式（１）及び（２）を用いて算出する。
【００２８】
ステップＳ２４において、Ｎ個の全てのパッチに対してαｉ、βｉを求めたか否かを判定し、求めていない場合はステップＳ２６へ移行してｉの値を「１」増加し、ステップＳ２０からステップＳ２４までの上記処理を繰り返す。全てのパッチのαｉ、βｉを求めた場合は、ステップＳ２８へ移行する。
【００２９】
ステップＳ２８において、画面におけるパラメータ設定部１４の項目（５）として、出力媒体上におけるパッチの位置を設定する。画面における配置部１２に示されたように、出力媒体上のパッチの位置には、例えば上部、下部、左部、右部が考えられる。これは、出力媒体の中心部には本来出力させるべき印刷ドキュメントを配置する関係上、その四隅のいずれかを選択することによる。しかし、パッチの位置はこれに限らず、印刷ドキュメントと異なる出力媒体上に印刷する場合等ではパッチを中央に配置してもよく、用途に応じて任意の位置に設定することができる。このパッチの位置の設定が終了すると、全ての処理が終わる。
以上のような本実施の形態の方法によれば、共通のプログラムＰを用いて、通信ネットワーク等を介して接続された複数の出力装置からそれぞれテストチャートを出力させ、それぞれの出力装置毎に画線幅の測定及び出力値の調整を行うことが可能である。
【００３０】
例えば、図１２に示されたように、ＬＡＮ（Local Area Network）やインターネット等の各種通信ネットワークＣＮを用いて品質管理システムを構築することができる。１つのテストチャート作成用プログラムＰをホストコンピュータＨの記憶部に格納する。ホストコンピュータＨに通信ネットワークＣＮを介して接続された複数のコンピュータ端末Ｃ１〜Ｃ４において、プログラムＰをダウンロードする。
そして、コンピュータ端末Ｃ１〜Ｃ４のそれぞれの記憶部に蓄えられたプログラムＰを用いてパラメータの設定を行い、それぞれのコンピュータ端末Ｃ１〜Ｃ４に接続された出力装置Ｅ１〜Ｅ４に設定したパラメータを転送し、出力媒体Ｆ１〜Ｆ４の表面上にテストチャートを出力させる。それぞれの出力媒体Ｆ１〜Ｆ４に描かれたテストチャートを作業者が目視確認することで、出力装置Ｅ１〜Ｅ４から出力された画線の測定値と設定値との間のずれを測定し、得られた結果に基づいて出力値を調整することで、画線寸法の品質管理を行うことができる。
【００３１】
このように、本実施の形態によれば、インターネット等の通信ネットワークに接続された複数のコンピュータ端末にテストチャート作成用プログラムを電子配信し、それぞれの端末に接続された出力装置からテストチャートを出力させることにより、複数の出力装置に対して統一された基準で画線幅を管理することが可能であり、品質の向上並びにコスト低減に寄与することができる。
【００３２】
また上記実施の形態におけるテストチャート作成用プログラムを、プリンタやファクシミリ、複写機等の印刷部にプリンタドライバの一部として内蔵させ、あるいはコンピュータのオペレーティングシステムの一部に内蔵させ、必要な時に随時テストチャートを出力させて品質管理に用いることもできる。
上述した実施の形態は一例であり、本発明を限定するものではない。例えば、上記実施の形態では、画線要素ａとｂとを９組、即ち９画線水準に設定している。しかし、これに限らず、出力媒体の解像度に応じて８画線水準以下、あるいは１０画線水準以上に設定してもよい。
【００３３】
また、上記実施の形態では、最小画線幅（画線要素ａの画線幅Ａ）を３０μmとしているが、出力媒体の解像度に応じて任意の値に設定することができる。目安としては、出力媒体の解像度が１０１６０ピクセル／インチである場合、１ピクセルは約２．５μｍである。この場合、テストチャートに設定する最小画線幅は、約２．５μmの１０倍である２５μｍ以上であることが望ましい。但し、最小画線幅は出力装置や出力媒体の安定度に依存するため、必ずしも１０倍である必要はない。
【００３４】
また、図３に示したテストチャートに設定された値に限らず、上記（１）、（２）式の関係を満たすものであれば、他の値に設定することができる。
例えば、図１３に示されたテストチャートの各パラメータは、目盛ｘの間隔、画線要素ａにおける画線幅Ａ、非画線幅α及び画線面積率ｚ１が、図３に示されたものと同一である。しかし、画線要素ｂにおける画線幅Ｂ、非画線幅β、画線面積率ｚ２は、図３に示されたものと異なる値に設定されている。より詳細には、画線要素ｂにおける画線幅Ｂが全て６０μｍで統一されており、非画線幅β、画線面積率ｚ２が上記（２）式を満たすようにそれぞれ設定されている。
図１４に示されたパラメータは、目盛ｘの間隔が図３に示されたものと同様に等間隔に設定されており、また目標画線面積率ｚが同様に５０％で固定されている。しかし、他の値、即ち画線要素ａにおける画線幅Ａ、非画線幅α、画線面積率ｚ１、画線要素ｂにおける画線幅Ｂ、非画線幅β、画線面積率ｚ２の数値は、上記（１）、（２）式を用いて規則性を持たせることなく設定されている。
図１５に示されたパラメータは、目盛ｘの値が「０」、「±２」、「±６」、「±８」、「±１０」というように非等間隔に設定されている。また、目標画線面積率ｚの値も一定でなくさらに非等間隔に設定されている。そして、他の数値も規則性を持たせることなく、上記（１）、（２）式を用いて設定されている。
図１６に示されたパラメータは、目盛ｘの値が非等間隔であり、目標画線面積率ｚは一定値「５０％」で固定されている。他の数値は、この場合も規則性なく、上記（１）、（２）式を満たすように設定されている。
上述したいずれのパラメータを用いて構成されたテストチャートであっても、図３に示されたテストチャートと同様に、画線要素ａとｂの濃度差が相対的に最も小さいものの目盛を読み取ることで、設定値と出力値とのずれを定量的に求めることができる。
【００３５】
【発明の効果】
本発明の画線寸法測定用テストチャート及びその作成方法並びにその作成装置、画線出力装置の品質管理方法、並びにテストチャート作成用プログラムによれば、顕微鏡等の補助具を用いること無く、目視によって容易かつ高精度に設定値と実際の出力値とのずれを測定することが可能であるため、作業者の個人差や作業状況等がもたらす測定精度のばらつきを低減し、読み取り精度及び再現性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に従って作成されたテストチャートの一例を示す説明図。
【図２】同テストチャートの一要素を拡大した説明図。
【図３】同テストチャートにおける画線幅、非画線幅、画線面積率、目標画線面積率の設定値の一例を示した説明図。
【図４】上記実施の形態に従って作成されたテストチャートの一例を示す説明図。
【図５】図４に示されたテストチャートにおける画線幅、非画線幅、画線面積率、目標画線面積率の数値を示した説明図。
【図６】上記実施の形態に従って作成されたテストチャートの一例を示す説明図。
【図７】図６に示されたテストチャートにおける画線幅、非画線幅、画線面積率、目標画線面積率の数値を示した説明図。
【図８】上記実施の形態によるテストチャートを画線出力装置に出力させるときの構成を示した説明図。
【図９】同実施の形態によるテストチャートを作成するプログラムにおける処理の手順を示したフローチャート。
【図１０】同プログラムによりテストチャートのパラメータを設定するときのモニタ画面の表示内容の一例を示した説明図。
【図１１】同プログラムにおいて、各パッチにおける画線要素ａ及びｂの配置例を示した説明図。
【図１２】上記実施の形態によるテストチャートを用いた画線出力装置の品質管理を通信ネットワークを用いて行う場合における構成を示した構成図。
【図１３】同テストチャートにおける画線幅、非画線幅、画線面積率、目標画線面積率の設定値の一例を示した説明図。
【図１４】同テストチャートにおける画線幅、非画線幅、画線面積率、目標画線面積率の設定値の他の例を示した説明図。
【図１５】同テストチャートにおける画線幅、非画線幅、画線面積率、目標画線面積率の設定値のさらに他の例を示した説明図。
【図１６】同テストチャートにおける画線幅、非画線幅、画線面積率、目標画線面積率の設定値のさらに他の例を示した説明図。
【符号の説明】
１ａ、１ｂ、１ｃ  テストチャート
２  目盛部
３ａ、３ｂ、３ｃ  画線部
ａ１〜ａ９、ｂ１〜ｂ９  画線要素
１０  寸法表示部
１２  配置表示部
１４  パラメータ入力部
Ｐ  テストチャート作成プログラム
Ｃ  コンピュータ
Ｅ、Ｅ１〜Ｅ４  出力装置
Ｅａ  プリンタ
Ｅｂ  イメージセッタ
Ｅｃ  オンデマンド印刷機
Ｆａ〜Ｆｃ、Ｆ１〜Ｆ４  出力媒体
５ａ〜５ｃ  テストチャート
Ｈ  ホストコンピュータ
ＣＮ  通信ネットワーク
Ｃ１〜Ｃ４  コンピュータ端末
【図１】
0003799409.tif 000002
【図２】
0003799409.tif 000003
【図３】
0003799409.tif 000004
【図４】
0003799409.tif 000005
【図５】
0003799409.tif 000006
【図６】
0003799409.tif 000007
【図７】
0003799409.tif 000008
【図８】
0003799409.tif 000009
【図９】
0003799409.tif 000010
【図１０】
0003799409.tif 000011
【図１１】
0003799409.tif 000012
【図１２】
0003799409.tif 000013
【図１３】
0003799409.tif 000014
【図１４】
0003799409.tif 000015
【図１５】
0003799409.tif 000016
【図１６】
0003799409.tif 000017