(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
渦電流測定方式によりテストピースの焼入硬化層深さを非破壊測定し、これにより表面硬化処理部品の焼入硬化層深さを検査する焼入硬化層深さの非破壊検査方法において、
テストピースの温度・形状と前記渦電流測定方式で測定されるパラメータとの間で比例関係を示す相関関係からテストピースの温度・形状に対する前記パラメータの補正式をあらかじめ作成しておき、検査時にテストピースの温度・形状を測定し、これらの測定値により検査時の前記パラメータの測定値を前記補正式を用いて補正し、この補正したパラメータの値に基づいて焼入硬化層深さを検出することを特徴とし、
前記パラメータは、テストピースおよびマスタピースを用いる渦電流測定方式における、テストピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとマスタピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとの合成ベクトルと、同一特性のテストピース側およびマスタピース側の誘導コイルに印加した誘導電圧ベクトルとの間の位相差であることを特徴とする焼入硬化層深さの非破壊検査方法。
【請求項２】
渦電流測定方式によりテストピースの焼入硬化層深さを非破壊測定し、これにより表面硬化処理部品の焼入硬化層深さを検査する焼入硬化層深さの非破壊検査方法において、
テストピースの温度・形状と前記渦電流測定方式で測定されるパラメータとの間で比例関係を示す相関関係からテストピースの温度・形状に対する前記パラメータの補正式をあらかじめ作成しておき、検査時にテストピースの温度・形状を測定し、これらの測定値により検査時の前記パラメータの測定値を前記補正式を用いて補正し、この補正したパラメータの値に基づいて焼入硬化層深さを検出することを特徴とし、
前記パラメータは、テストピースおよびマスタピースを用いる渦電流測定方式における、同一特性のテストピース側およびマスタピース側の誘導コイルに誘導電圧を印加したときのテストピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとマスタピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとの合成ベクトルの大きさまたはその成分であることを特徴とする焼入硬化層深さの非破壊検査方法。
【請求項３】
渦電流測定方式によりテストピースの焼入硬化層深さを非破壊測定し、これにより表面硬化処理部品の焼入硬化層深さを検査する焼入硬化層深さの非破壊検査装置において、
渦電流測定方式により前記テストピースの焼入硬化層深さに関係するパラメータを測定する非破壊測定手段と、
前記テストピースの温度を測定する温度測定手段と、
前記テストピースの形状を測定する形状測定手段と、
あらかじめ作成しておいたテストピースの温度・形状に対して比例関係を示す前記非破壊測定手段の出力の補正式を記憶する第１記憶手段と、
あらかじめ求めておいた前記パラメータと焼入硬化層深さとの関係を記憶する第２記憶手段と、
前記第１記憶手段に記憶されている補正式を用いて、前記非破壊測定手段の出力を前記温度検出手段および前記形状測定手段の測定値により補正する補正手段と、
前記補正手段からの出力により、前記第２記憶手段に記憶されている前記パラメータと焼入硬化層深さの関係から前記テストピースの焼入硬化層深さを算出する算出手段と、を有し、
前記パラメータは、テストピースおよびマスタピースを用いる渦電流測定方式における、テストピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとマスタピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとの合成ベクトルと、同一特性のテストピース側およびマスタピース側の誘導コイルに印加した誘導電圧ベクトルとの間の位相差、または、同一特性のテストピース側およびマスタピース側の誘導コイルに誘導電圧を印加したときのテストピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとマスタピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとの合成ベクトルの大きさまたはその成分であることを特徴とする焼入硬化層深さの非破壊検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば浸炭焼入や高周波焼入などによって焼入硬化層を形成した部材の焼入硬化層深さを渦電流測定方式により部材を破壊することなく測定し、検査する焼入硬化層深さの非破壊検査方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
歯車やシャフトなどの機械部品に浸炭焼入や高周波焼入などの表面硬化処理を施して焼入硬化層を形成し、強度、疲労強度、耐摩耗性などを向上させることが従来から広く行われている。そして、表面硬化処理部品の品質管理を図るため、形成された焼入硬化層の深さを測定し、検査することが一般的に行われている。このような焼入硬化層深さの検査に際して部品を破壊することなく焼入硬化層深さを測定する方法としては、渦電流測定方式と呼ばれる非破壊の測定方法が広く知られている。
【０００３】
渦電流測定方式は、二つのコイル、すなわち誘導コイルおよび被誘導コイルをテストピース（部品）のシャフト部分に挿通した状態で、一方の誘導コイルに交流の誘導電圧を印加したときに他方の被誘導コイルに発生する被誘導電圧を測定することによって焼入硬化層の深さを求める方法である。この渦電流測定方式には、テストピース以外に同一形状のマスタピースを使用するかどうか、焼入硬化層深さの変動によって影響されるパラメータのうちどのパラメータに着目するかなどによっていろいろなバリエーションがある。
【０００４】
たとえば、テストピースと同一形状のマスタピースを用い、同一特性のテストピース側誘導コイルおよびマスタピース側誘導コイルに誘導電圧を印加したときのテストピース側被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとマスタピース側被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとの合成ベクトルの大きさをパラメータとして測定することによって測定精度を向上させたものがある。
【０００５】
また、より一層の測定精度の向上を図るべく、テストピース用とマスタピース用のそれぞれの被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルの合成ベクトルと誘導電圧ベクトルとの位相差をパラメータとして測定することにより、当該位相差と焼入硬化層深さの間の高度の相関関係を利用して焼入硬化層深さを検出するようにした技術も開発されている（特開平６−２７１９２６号公報参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した渦電流式非破壊測定方法にあっては、被誘導コイルに発生する被誘導電圧は、検査対象である焼入硬化層深さの状態のみでなく、テストピースの温度や形状（たとえば、軸径と軸長）によっても変化するため、測定誤差の発生は避けられない。量産ラインにおいては部品の形状がある幅でばらつくことは避けられず、それをなくすことはきわめて困難である。また、温度を管理するためには冷却装置を設けたり長時間放冷することが必要となるが、いずれも生産性を損なうため、実際の採用は難しい。こうした事情は、マスタピースの使用の有無やパラメータのとり方いかんにかかわらず大なり小なり同じである。したがって、渦電流測定方式による焼入硬化層深さの非破壊検査においては、テストピースの温度や形状の影響を補償して焼入硬化層深さを正確に検出できる非破壊検査方法の確立が、焼入硬化層深さの検査精度の向上、ひいては表面硬化処理部品の品質保証の万全化にとって重要な課題となっている。
【０００７】
本発明は、表面硬化処理部品の品質管理における上記課題に着目してなされたものであり、渦電流測定方式による測定結果（パラメータ測定値）をテストピースの温度や形状により補正して焼入硬化層深さを正確に検出することができる焼入硬化層深さの非破壊検査方法およびそれを自動化した装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、渦電流測定方式によりテストピースの焼入硬化層深さを非破壊測定し、これにより表面硬化処理部品の焼入硬化層深さを検査する焼入硬化層深さの非破壊検査方法において、テストピースの温度・形状と前記渦電流測定方式で測定されるパラメータとの間で比例関係を示す相関関係からテストピースの温度・形状に対する前記パラメータの補正式をあらかじめ作成しておき、検査時にテストピースの温度・形状を測定し、これらの測定値により検査時の前記パラメータの測定値を前記補正式を用いて補正し、この補正したパラメータの値に基づいて焼入硬化層深さを検出することを特徴とし、前記パラメータは、テストピースおよびマスタピースを用いる渦電流測定方式における、テストピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとマスタピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとの合成ベクトルと、同一特性のテストピース側およびマスタピース側の誘導コイルに印加した誘導電圧ベクトルとの間の位相差であることを特徴とする。
【０００９】
本発明の原理は次のとおりである。
図１は、渦電流測定方式におけるある測定周波数での誘導電圧ベクトルＵおよび被誘導電圧ベクトルＶをベクトル平面上に表わしたものであり、ここでは誘導電圧ベクトルＵの方向をＸ軸として表示してある。なお、θは誘導電圧ベクトルＵと被誘導電圧ベクトルＶとの位相差である。
【００１０】
同一の焼入硬化層深さのテストピースについて、非破壊測定の結果（パラメータ測定値）に対する内乱要因の項目としてテストピースの温度や形状（たとえば、軸径と軸長）を変化させたときの被誘導電圧ベクトルＶの終点Ａの変化について調べたところ、テストピースの温度や形状（軸径と軸長）が変化すると各項目のそれぞれの変化に対して被誘導電圧ベクトルＶの終点Ａは一定の方向に直線的に変化し、その変化量は高度の比例関係にあることがわかった。たとえば、図２の概略図に示すように、テストピースの温度・形状のうちある一つの項目を基準値から順次変化させると、それに伴って被誘導電圧ベクトルＶの終点Ａは基準となる終点Ａ0 から順次Ａ0 →Ａ1 →Ａ2 →Ａ3 →…というように一定の方向に直線的に変化する。
【００１１】
そして、渦電流測定方式で測定されるパラメータは被誘導電圧ベクトルＶ（合成ベクトルである場合を含む。）に関係するものであり、たとえば、誘導電圧ベクトルＵとの位相差θ、被誘導電圧ベクトルＶの大きさまたはその成分（Ｘ成分またはＹ成分）などが用いられる。これらのパラメータは原則として被誘導電圧ベクトルＶの終点Ａの位置と一対一の対応関係にある。
【００１２】
したがって、テストピースの温度・形状と非破壊測定結果（パラメータ測定値）との相関関係（比例関係）を求め、この相関関係からテストピースの温度・形状に対するパラメータの補正値算出式（補正式）をあらかじめ作成しておけば、その補正式を用いて非破壊測定結果（パラメータ測定値）に対して温度・形状補正を行うことにより、非破壊測定の測定結果の精度を向上させることができ、これにより焼入硬化層深さをきわめて正確に算出することが可能になる。
【００１３】
本発明は、上記のように非破壊測定結果（パラメータ測定値）に対するテストピースの温度・形状の影響を補償するものであるため、いかなる渦電流測定方式にも適用可能である。つまり、非破壊測定するパラメータのいかんを問わず適用可能である。なお、パラメータに基づいて検出される焼入硬化層深さの精度は、焼入硬化層深さとの相関関係が高いパラメータを使用するほど高くなることはもちろんである。
【００１４】
前記パラメータは、テストピースおよびマスタピースを用いる渦電流測定方式における、テストピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとマスタピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとの合成ベクトルと、同一特性のテストピース側およびマスタピース側の誘導コイルに印加した誘導電圧ベクトルとの間の位相差である。
【００１５】
前記位相差と焼入硬化層深さとの間に高度の相関関係があるため、測定された位相差を補正することにより、焼入硬化層深さが最も正確に測定されることになる。
【００１６】
また、請求項２記載の発明は、渦電流測定方式によりテストピースの焼入硬化層深さを非破壊測定し、これにより表面硬化処理部品の焼入硬化層深さを検査する焼入硬化層深さの非破壊検査方法において、テストピースの温度・形状と前記渦電流測定方式で測定されるパラメータとの間で比例関係を示す相関関係からテストピースの温度・形状に対する前記パラメータの補正式をあらかじめ作成しておき、検査時にテストピースの温度・形状を測定し、これらの測定値により検査時の前記パラメータの測定値を前記補正式を用いて補正し、この補正したパラメータの値に基づいて焼入硬化層深さを検出することを特徴とし、前記パラメータは、テストピースおよびマスタピースを用いる渦電流測定方式における、同一特性のテストピース側およびマスタピース側の誘導コイルに誘導電圧を印加したときのテストピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとマスタピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとの合成ベクトルの大きさまたはその成分であることを特徴とする。
【００１８】
請求項３記載の発明は、渦電流測定方式によりテストピースの焼入硬化層深さを非破壊測定し、これにより表面硬化処理部品の焼入硬化層深さを検査する焼入硬化層深さの非破壊検査装置において、渦電流測定方式により前記テストピースの焼入硬化層深さに関係するパラメータを測定する非破壊測定手段と、前記テストピースの温度を測定する温度測定手段と、前記テストピースの形状を測定する形状測定手段と、あらかじめ作成しておいたテストピースの温度・形状に対して比例関係を示す前記非破壊測定手段の出力の補正式を記憶する第１記憶手段と、あらかじめ求めておいた前記パラメータと焼入硬化層深さとの関係を記憶する第２記憶手段と、前記第１記憶手段に記憶されている補正式を用いて、前記非破壊測定手段の出力を前記温度検出手段および前記形状測定手段の測定値により補正する補正手段と、前記補正手段からの出力により、前記第２記憶手段に記憶されている前記パラメータと焼入硬化層深さの関係から前記テストピースの焼入硬化層深さを算出する算出手段と、を有し、前記パラメータは、テストピースおよびマスタピースを用いる渦電流測定方式における、テストピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとマスタピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとの合成ベクトルと、同一特性のテストピース側およびマスタピース側の誘導コイルに印加した誘導電圧ベクトルとの間の位相差、または、同一特性のテストピース側およびマスタピース側の誘導コイルに誘導電圧を印加したときのテストピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとマスタピース側の被誘導コイルに発生する被誘導電圧ベクトルとの合成ベクトルの大きさまたはその成分であることを特徴とする。
【００１９】
このように構成された本発明の非破壊検査装置にあっては、実際の非破壊検査時、非破壊測定手段はテストピースの焼入硬化層深さに関係するパラメータを測定し、温度測定手段はテストピースの温度を測定し、形状測定手段はテストピースの形状を測定する。これらの測定結果は補正手段に与えられる。補正手段は、第１記憶手段に記憶されている補正式を用いて、非破壊測定手段の出力を温度検出手段および形状測定手段の測定値により補正し、結果を算出手段に出力する。そして、算出手段は、補正手段からの出力により、第２記憶手段に記憶されている前記パラメータと焼入硬化層深さの関係からテストピースの焼入硬化層深さを算出する。すなわち、パラメータの測定、テストピースの温度・形状の測定、およびこれらの測定結果からのパラメータの補正値演算、ならびに補正されたパラメータからの焼入硬化層深さの算出を自動化したので、本発明に係る上記方法を利用した高精度のオンライン非破壊検査システムが構築され、焼入硬化層深さをオンラインで高精度に非破壊検査することが可能になる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図３は本発明の焼入硬化層深さの非破壊検査装置の構成の一例を示す概略図である。ここでは、等速ドライブシャフトアウタレースをテストピース（部品）として焼入硬化層深さを検査する場合を例にとって説明する。
【００２１】
この装置は、マスタピースを使用する渦電流測定方式によりテストピースの焼入硬化層深さを非破壊検査するものであって、検査対象となるテストピース（部品）１と同一形状のマスタピース２を用い、テストピース用の誘導コイル３とこれに同軸に配設された被誘導コイル４と、テストピース用誘導コイル３と同一特性を有しコイルの巻き方向が異なるマスタピース用の誘導コイル５とこれに同軸に配設されるとともにテストピース用被誘導コイル４と同一特性の被誘導コイル６とを備えている。非破壊測定時、テストピース１はこれの硬化処理部分が誘導コイル３と被誘導コイル４に挿通されるようにそれぞれのコイル３、４に装着される。また、マスタピース２はこれのテストピース１の硬化処理位置に相当する部分が誘導コイル５と被誘導コイル６に挿通された状態となっている。上記四つのコイル３、４、５、６は検査装置本体７に接続されている。検査装置本体７は、直列に接続されたテストピース用およびマスタピース用のそれぞれの誘導コイル３、５に所定の誘導電圧を印加し、これによりテストピース用の被誘導コイル４およびマスタピース用の被誘導コイル６にそれぞれ発生する被誘導電圧を入力し、入力した二つの電圧ベクトルを合成し、この合成ベクトルから所定のパラメータを測定する機能を有している。前記パラメータは、合成ベクトルＶと誘導電圧ベクトルＵとの位相差θ、合成ベクトルＶの大きさ、合成ベクトルＶのＸ成分またはＹ成分のどれでもよいが、測定精度の点からは前記位相差θをパラメータとすることが好ましい（図１参照）。検査装置本体７で測定されたパラメータの値は非破壊測定出力Ｑとして後述する演算装置に与えられる。なお、非破壊測定手段は四つのコイル３、４、５、６と検査装置本体７とで構成されている。
【００２２】
また、本発明では、テストピース１の温度や形状の影響を補償するため、検査装置本体７の測定結果（非破壊測定出力Ｑ）を補正するようにしているが、ここでは、補正項目としてテストピース１の温度、形状として軸径と軸長を設定し、これら三つの項目（温度、軸径、軸長）について測定し、補正を行うようにしている。すなわち、本装置は、さらに、テストピース１の温度を測定する温度測定装置８と、テストピース１の軸径を測定する軸径測定装置９と、テストピース１の軸長を測定する軸長測定装置１０とを有している。温度測定装置８、軸径測定装置９、および軸長測定装置１０は検査装置本体７と共に演算装置１１に接続されている。温度測定装置８は温度計８ａに接続されており、温度計８ａからの信号を処理してテストピース１の温度Ｔを測定し、結果を演算装置１１に与える。また、軸径測定装置９および軸長測定装置１０はそれぞれ測定部９ａ、１０ａからの信号を処理してテストピース１の軸径Ｄおよび軸長Ｌを測定し、結果を演算装置１１に出力する。温度の測定は非破壊測定と同じステーションで行われるが、軸径の測定と軸長の測定は非破壊測定のステーションとは別のステーションで行われる。なお、温度測定手段は温度測定装置８と温度計８ａ、形状測定手段は軸径測定装置９と軸長測定装置１０とそれらの測定部９ａ、１０ａとでそれぞれ構成されている。
【００２３】
演算装置１１は、第１記憶手段、第２記憶手段、補正手段、および算出手段として機能するものであって、パソコンなどから構成されている。本発明では、上記したように、テストピース１の温度・形状（軸径と軸長）に対する検査装置本体７の出力（パラメータ）の補正式と、検査装置本体７の出力（パラメータ）と焼入硬化層深さとの関係とをあらかじめそれぞれ作成しておくが、これらの情報は演算装置１１の所定のメモリに格納されている。補正式の具体例については後述する。演算装置１１は、入力した温度、軸径、軸長の各測定値Ｔ、Ｄ、Ｌから、メモリに記憶されているあらかじめ作成しておいた補正式を用いて、検査装置本体７の出力（非破壊測定出力Ｑ）に対する各項目ごとの補正量を算出し、それらを加算することによって非破壊測定出力Ｑ（パラメータ測定値）を補正する。そして、補正後のパラメータ値に基づいて、メモリに記憶されているあらかじめ求めておいたパラメータと焼入硬化層深さとの関係からテストピース１の焼入硬化層深さを算出し、焼入硬化層深さの最終判定を行い、検査結果を外部に出力する。
【００２４】
図４〜図６はそれぞれ補正式の具体例を示す説明図である。ここでは、簡単化のため、パラメータとしての非破壊測定出力Ｑとして前記合成ベクトルＶの終点ＡのＸ座標（Ｘ成分）を用いる場合を示してある。なお、誘導コイル３、４に印加する誘導電圧の周波数は、たとえば、３２Ｈｚとしている。
【００２５】
図４は被誘導電圧の合成ベクトルＶの温度による終点Ａの変化を示しており、温度が２０℃の場合を基準とすると、測定温度がＴ℃のときにおける非破壊測定出力Ｑ（合成ベクトルＶのＸ成分）の補正量ＺT は、たとえば、
ＺT ＝５０（Ｔ−２０）
＝５０Ｔ−１００
で与えられる。
【００２６】
図５は被誘導電圧の合成ベクトルＶの軸径による終点Ａの変化を示しており、軸径が２９．９mmの場合を基準とすると、軸径の測定値がＤmmのときにおける非破壊測定出力Ｑ（合成ベクトルＶのＸ成分）の補正量ＺD は、たとえば、
ＺD ＝−２８７（Ｄ−２９．９）
＝−２８７Ｄ＋８５８１
で与えられる。
【００２７】
図６は被誘導電圧の合成ベクトルＶの軸長による終点Ａの変化を示しており、軸長が１０９．７mmの場合を基準とすると、軸長の測定値がＬmmのときにおける非破壊測定出力Ｑ（合成ベクトルＶのＸ成分）の補正量ＺL は、たとえば、
ＺL ＝−１９（Ｌ−１０９．７）
＝−１９Ｌ＋２０８４
で与えられる。
【００２８】
図７は上記の構成を有する装置における検査結果判定までの処理の流れを示すフローチャートである。
まず、非破壊測定のステーションとは別のステーションにテストピース１を載置し、軸径測定装置９と軸長測定装置１０によってテストピース１の軸径Ｄと軸長Ｌをそれぞれ測定し、結果を演算装置１１に出力する。軸径と軸長の測定が終了すると、テストピース１は非破壊測定のステーションに移載され、二つのコイル３、４に挿通して装着される。この状態で、温度計８ａを含む温度測定装置８によってテストピース１の温度Ｔを測定し、結果を演算装置１１に出力する。また、検査装置本体７によってテストピース１を非破壊測定し、二つの被誘導電圧の合成ベクトルＶから所定のパラメータＱを測定し、結果を演算装置１１に出力する。その後、演算装置１１は、入力した温度、軸径、軸長の各測定値Ｔ、Ｄ、Ｌから、メモリに記憶されている各項目ごとの補正式（たとえば、図４〜図６参照）を用いて、検査装置本体７の出力（非破壊測定出力Ｑ）に対する補正値ＺT 、ＺD 、ＺL を各項目ごとにそれぞれ算出し、求めた補正値ＺT 、ＺD 、ＺL を非破壊測定出力Ｑ（パラメータ測定値）に加算して非破壊測定出力Ｑを補正し、補正された非破壊測定出力Ｑ′を得る。それから、補正後の非破壊測定出力Ｑ′に基づいて、メモリに記憶されているパラメータと焼入硬化層深さの関係からテストピース１の焼入硬化層深さを算出し、この算出結果により最終判定を行い、検査結果を外部に出力する。
【００２９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、テストピースの温度・形状に対して比例関係を示すパラメータの補正式をあらかじめ作成しておき、検査時にテストピースの温度・形状を測定し、これにより前記補正式を用いて検査時のパラメータの測定値に対して温度・形状補正を行うようにしたので、非破壊測定の精度を上げることができ、焼入硬化層深さをきわめて正確に検査することが可能になる。また、温度や形状の管理を必要とせず冷却装置などを必要としないため、コストの低減や生産性の向上が図られる。さらに、位相差と焼入硬化層深さとの間に高度の相関関係があるため、測定された位相差を補正することにより、焼入硬化層深さが最も正確に測定できる。
【００３１】
また、パラメータの測定、テストピースの温度・形状の測定、およびこれらの測定結果からのパラメータの補正値演算、ならびに補正されたパラメータからの焼入硬化層深さの算出を自動化したので、焼入硬化層深さをオンラインで高精度に非破壊検査することが可能になり、また、省人化のメリットも得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  渦電流測定方式における誘導電圧ベクトルと被誘導電圧ベクトルとの関係を示すベクトル平面図
【図２】  テストピースの温度・形状のある一つの項目を変化させたときの被誘導電圧ベクトルの終点の変化の様子を示す概略図
【図３】  本発明に係る焼入硬化層深さの非破壊検査装置の構成の一例を示す概略図
【図４】  被誘導電圧の合成ベクトルの温度による終点変化を示す概略図
【図５】  被誘導電圧の合成ベクトルの軸径による終点変化を示す概略図
【図６】  被誘導電圧の合成ベクトルの軸長による終点変化を示す概略図
【図７】  検査結果判定までの処理の流れを示すフローチャート
【符号の説明】
１…テストピース
２…マスタピース
３、５…誘導コイル（非破壊測定手段）
４、６…被誘導コイル（非破壊測定手段）
７…検査装置本体（非破壊測定手段）
８…温度測定装置（温度測定手段）
８ａ…温度計（温度測定手段）
９…軸径測定装置（形状測定手段）
１０…軸長測定装置（形状測定手段）
１１…演算装置（第１記憶手段、第２記憶手段、補正手段、算出手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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