(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド支持体と磁気ヘッドとを含み、該磁気ヘッドの取出電極が前記ヘッド支持体の端部電極に導電可能に接続される磁気ヘッド装置の製造方法であって、
金属接続片を前記取出電極にワイヤボンディングすると共に、ワイヤボンディング用線材の部分を切断して前記金属接続片に線状突出部を形成し、
前記線状突出部が前記端部電極から浮いた状態で対向するように前記ヘッド支持体及び前記磁気ヘッドを配置し、
導電性接合材を、前記線状突出部の上から前記端部電極上に供給し、該線状突出部及び該端部電極の双方に接着させる、
磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項２】
ヘッド支持体と磁気ヘッドとを含み、該磁気ヘッドの取出電極が前記ヘッド支持体の端部電極に導電可能に接続される磁気ヘッド装置の製造方法であって、
金属接続片を前記端部電極にワイヤボンディングすると共に、ワイヤボンディング用線材の部分を切断して前記金属接続片に線状突出部を形成し、
前記線状突出部が前記取出電極から浮いた状態で対向するように前記ヘッド支持体及び前記磁気ヘッドを配置し、
導電性接合材を、前記線状突出部の上から前記取出電極上に供給し、該線状突出部及び該取出電極の双方に接着させる、
磁気ヘッド装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
浮上型磁気ディスク装置において、磁気ヘッド支持構造は、磁気ヘッドをジンバルに取り付けたヘッド．ジンバル組立体（Head Gimbal Assembly、以下ＨＧＡと称する）、ＨＧＡをアームに取り付けたヘッド．アーム組立体（Head Arm Assembly、以下ＨＡＡと称する）、及び、複数のＨＡＡをスタックしたヘッド．スタック組立体（Head Stack Assembly、以下ＨＳＡと称する）の３つの態様に分けられる。
【０００３】
上述したＨＧＡ、ＨＡＡ及びＨＳＡを得る場合、従来は、ＨＧＡの部分に磁気ヘッドを取り付けた後、磁気ヘッドの取出電極と、タブテープ等で構成された可撓性リード線の金属接続片との間を、金ボールボンディグ等によって接続していた。この後、ＨＧＡ、ＨＡＡ及びＨＳＡの状態で、磁気ヘッドの特性、例えば書き込み特性、及び、再生特性等の測定が行われる。
【０００４】
しかし、従来の金ボールボンディングの場合、ヘッド支持体及び磁気ヘッドの取り付け面を基準にして、その斜め方向からの押圧力が磁気ヘッドに加わるので、磁気ヘッドが取り付け面に対して傾斜してしまい、ピッチ角及びロール角等の静止姿勢角、更には、荷重が、修正できない領域まで変化してしまうことがあった。
【０００５】
斜め押圧力は、ヘッド支持体にも加わるので、ヘッド支持体に機械的歪み、または、変形を生じ、静止姿勢角の変動、荷重の変動などを招くという問題もあった。ヘッド支持体に機械的歪みが生じた場合、磁気ヘッドがその影響を受け、空気ベアリング面（ＡＢＳ面）がクラウン状に変化してしまうことがある。このようなＡＢＳ面の変形は、ヘッドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、それに起因する磁気記録破壊の原因となる。
【０００６】
磁気ヘッド装置に上述したような問題点があった場合、そのままでは出荷できないことは当然である。そのような場合、不良品扱いにすることは、磁気ヘッドを取り付けた高価なＨＧＡ、ＨＡＡ及びＨＳＡの廃棄及び組立コストを無にすることを意味し、大きな損失となる。
【０００７】
別の従来技術として、最近、磁気ヘッドの取出電極と、タブテープ等で構成されたリード線との間を半田によって接続する技術が提案されている。例えば、特開平７ー３２０４３４号公報は、この範疇に入るスライダ．サスペンション．アセンブリの製造方法を開示している。この先行技術では、各終端パッド及び各コンタクト．パッドに、半田バンプを形成し、半田バンプを平坦化する。次に、終端パッドがコンタクト．パッドと、適切に位置合わせされるように、スライダをサスペンションに取り付ける。次に、半田バンプを加熱して、終端パッドとコンタクトパッドのバンプとをリフローさせて電気的に接続する。
【０００８】
この先行技術では、終端パッドとコンタクトパッドに、半田バンプを形成しなければならないので、スライダ及び可撓性リード線の両者において、半田バンプを形成するための半田蒸着、半田めっきまたは半田印刷等の工程を付加する必要があり、工程数の増加、及び、コストアップを招く。
【０００９】
また、半田だけによる接合であるために、半田接合条件によっては、サスペンションに対するスライダの接合強度が不充分になることもある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、磁気ヘッド装置の組立工程において、静止姿勢角及び荷重の変動を回避し得る磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置を提供することである。
【００１１】
本発明のもう一つの課題は、磁気ヘッド装置の組立工程において、スライダ形状の変化を回避し得る磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するため、本発明は、２つの態様に係る磁気ヘッドを開示する。第１の態様に係る磁気ヘッド装置は、ヘッド支持体と、磁気ヘッドとを含む。
【００１３】
前記ヘッド支持体は、ヘッド取り付け部と、絶縁された配線とを有し、前記配線の端部電極が前記ヘッド取り付け部の付近に露出している。
【００１４】
前記磁気ヘッドは、スライダと、取出電極と、金属接続片とを含んでいる。前記取出電極は、前記スライダの側端面に備えられる。前記金属接続片は、線状突出部を有し、前記取出電極に付着され、前記線状突出部が、前記スライダの前記端面から突出する。
【００１５】
前記磁気ヘッドは、前記スライダが前記ヘッド支持体の前記ヘッド取り付け部に固定され、前記金属接続片の前記線状突出部が前記ヘッド支持体の前記配線の端部電極に、導電接合材によって接続される。
【００１６】
ここで、本発明に係る磁気ヘッド装置において、磁気ヘッドは、金属接続片を備えており、金属接続片は、線状突出部を有し、スライダの側端面に備えられた取出電極に付着されている。
【００１７】
この接合構造によれば、金属接続片の線状突出部と、端部電極とを導電性接合材により接続する際、線状突出部の上から端部電極に導電性接合材を供給すればよいから、磁気ヘッドに対し、ヘッド支持体及び磁気ヘッドの取り付け面を基準にして、その斜め方向から押圧力が加わるのを回避することができる。従って、スライダがヘッド支持体から浮き上がるのを回避し、ピッチ角及びロール角の変化を最小にすことができる。
【００１８】
同様の理由により、ヘッド支持体に機械的歪みが生じるのを抑制できるので、ヘッド支持体の機械的歪みによる静止姿勢角の変動、荷重の変動を最小にすることができる。ヘッド支持体の機械的歪みを最小にすることができるので、磁気ヘッドのＡＢＳ面がクラウン状に変化するのを回避できる。従って、ＡＢＳ面の変形に起因するヘッドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、及び、磁気記録破壊を回避できる。
【００１９】
第２の態様に係る磁気ヘッド装置は、ヘッド支持体と、磁気ヘッドと、可撓性配線基板とを含む。前記ヘッド支持体は、ヘッド取り付け部を有する。前記磁気ヘッドは、スライダと、取出電極とを含み、前記取出電極が前記スライダの側端面に備えられ、前記スライダが前記ヘッド支持体の前記ヘッド取り付け部に固定されている。
【００２０】
前記可撓性配線基板は、絶縁フィルムと、配線と、金属接続片とを含む。前記絶縁フィルムは、可撓性を有する。前記配線は、前記絶縁フィルムの内部に埋設され、端部が前記絶縁フィルムの一面から外部に露出している。
【００２１】
前記金属接続片は、線状突出部を有し、前記端部に付着され、前記線状突出部が前記絶縁フィルムの前記一面から突出している。
【００２２】
前記可撓性配線基板は、前記ヘッド支持体に付着され、前記金属接続片の前記線状突出部が、前記磁気ヘッドの前記取出電極に、導電接合材によって接続されている。
【００２３】
上述したように、第２の態様に係る磁気ヘッド装置において、可撓性配線基板は、金属接続片を備えており、金属接続片は、線状突出部を有し、前記金属接続片の前記線状突出部が前記磁気ヘッドの前記取出電極に、導電接合材によって接続される。
【００２４】
この接合構造によっても、磁気ヘッドに対し、の斜め方向からの押圧力が加わるのを回避することができる。このため、スライダがヘッド支持体から浮き上がるのを回避し、ピッチ角及びロール角の変化を最小にすことができる。
【００２５】
同様の理由により、ヘッド支持体に機械的歪みが生じるのを抑制できるので、ヘッド支持体の機械的歪みによる静止姿勢角の変動、荷重の変動を最小にすることができる。ヘッド支持体の機械的歪みを最小にすることができるので、磁気ヘッドのＡＢＳ面がクラウン状に変化するのを回避できる。従って、ＡＢＳ面の変形に起因するヘッドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、及び、磁気記録破壊を回避できる。
【００２６】
本発明の他の目的、構成及び利点については、添付図面を参照して、更に具体的に説明する。図は、単なる例示に過ぎない。
【００２７】
【発明の実施の形態】
図１は第１の態様に係る磁気ヘッド装置の斜視図、図２は図１に示した磁気ヘッド装置のヘッド取り付け部分における拡大部分断面図である。図示された磁気ヘッド装置は、ＨＧＡであり、ヘッド支持体１の上に、ＦＰＣ３を接着し、ＦＰＣ３を接着した側において、ヘッド支持体１上に磁気ヘッド４を接着してある。
【００２８】
ヘッド支持体１は、ロードビーム１１と、可撓体１２とを含む。ロードビーム１１は、中央を通る長手方向軸線の自由端近傍に突起部１１１（図２参照）を有する。図示されたロードビーム１１は、幅方向の両側に折り曲げ部１１８を有しており、この折り曲げ部１１８により、剛性を増加させてある。また、ロードビーム１１は、突起部１１１（図２参照）とは反対側の端部に位置決め用孔１１２を有する。ロードビーム１１は、種々の構造、形状をとることができ、図示実施例には限定されない。例えば、ロードビーム１１には、記録媒体（図示しない）に対する磁気ヘッド４の追従性を向上させるための孔、または、全体の弾性を増すための孔等が設けられることがある。
【００２９】
可撓体１２は薄いバネ板材で構成され、一方の面がロードビーム１１の突起部１１１を有する側の面に取り付けられ、突起部１１１から押圧荷重を受けている。可撓体１２は、ロードビーム１１の突起部１１１を有する側に、カシメ等の手段により貼り合わされている。カシメの代わりに、スポット溶着等の手段を用いられることもある。
【００３０】
更に、可撓体１２は、ヘッド取り付け部となる舌状部１２０を有する。舌状部１２０は、一端が可撓体１２の横枠部１２１に結合されている。可撓体１２の横枠部１２１は両端が外枠部１２３、１２４に連なっている。外枠部１２３、１２４と舌状部１２０との間には、溝１２２が形成されている。舌状部１２０の一面には、ＦＰＣ３及び磁気ヘッド４が接着して取り付けられている。舌状部１２０の他面には、突起部１１１の先端が接触しており、これにより、ヘッド取り付け部となる舌状部１２０は、直交２軸の周りの２自由度、即ち、ピッチ及びロールの２つの自由度を有するようになる。
【００３１】
ＦＰＣ３は、極めて薄い絶縁フィルム３１の内部に、必要な配線３２を埋設したものである。ＦＰＣ３は、ヘッド支持体１の磁気ヘッド取り付け面側に接着されている。配線３２は絶縁フィルム３１の長手方向の両端において、外部に露出され、一端側では、外部接続用の端部電極３３を構成し、他端側では、磁気ヘッド４の取出電極２１に接続される端部電極３０を構成する。図示されたＦＰＣ３は、舌状部１２０に重なる枠部３５と、舌状部１２０の一部を露出させる切欠部３４とを有している。
【００３２】
ヘッド支持体１としては、図示されたＦＰＣ３を貼り付ける構造の外、例えば、フォトリソグラフィ等の適用により、配線パターンを、ヘッド支持体１の表面に直接に形成した配線一体型ヘッド支持体を用いることもできる。
【００３３】
図３は図１、２に図示された磁気ヘッドの斜視図である。図示された磁気ヘッドは、スライダ２と、取出電極２１と、金属接続片６とを含む。スライダ２の内部には、誘導型電磁変換素子９２、及び、磁気抵抗効果を利用した素子９（以下ＭＲ素子と称する）が備えられている。
【００３４】
スライダ２は、媒体対向面側に、溝２７７によって隔てられた２つのレール２７３、２７４を有し、レールの表面がＡＢＳ面２７１、２７２として利用される。レール２７３、２７４は２本に限らない。１〜３本のレールを有することがあり、レールを持たない平面となることもある。また、浮上特性改善等のために、媒体対向面に種々の幾何学的形状が付されることもある。何れのタイプのスライダ２であっても、本発明の適用が可能である。更に、スライダ２は、レールの表面に、例えば８〜１０ｎｍ程度の膜厚を有するＤＬＣ等の保護膜を備えることもあり、このような場合は保護膜の表面がＡＢＳ面２７１、２７２となる。
【００３５】
空気流出方向（磁気ディスク回転方向）Ｆ１に関して、空気流出端側にある側端面２３には、誘導型電磁変換素子９２及びＭＲ素子９３に接続された取出電極２１が設けられている。実施例では、誘導型電磁変換素子９２のための２つの取出電極２１と、ＭＲ素子９３のための２つの取出電極２１とを備える。
【００３６】
金属接続片６は、取出電極２１に付着されている。この金属接続片６は、線状突出部６２を有しており、線状突出部６２はスライダ２の側端面２３から突出している。金属接続片６は、一般には、ワイヤボンディグ線材、具体的には、Ａｕ等のワイヤボンディング線材でなる。
【００３７】
金属接続片６は、ワイヤボンディング方法を適用して、取出電極２１にワイヤボンディングを実行した後、線材を溶着部よりも少し上で切断して得られる。金属接続片６の基部６１はワイヤボンディングされたときの溶着部であり、線状突出部６２の線径は、ワイヤボンディグ用線材の線径で与えられる。その長さＬ１は任意に設定できる。一般的には、２００μｍ程度の長さＬ１を有する。
【００３８】
磁気ヘッド４は、舌状部１２０の一面上において、枠部３５及び切欠部３４の上に配置され、接着剤５３によって、可撓体１２の舌状部１２０に接着されている。磁気ヘッド４は、取り付け側とは反対側の表面が、ＡＢＳ面２７１、２７２となる。
【００３９】
金属接続片６の線状突出部６２は、磁気ヘッド４の取出電極２１に溶着等の手段によって付着され、更に、導電性接合材６０により、ＦＰＣ３に備えられた端部電極３０と接続されている。導電性接合材６０は、はんだ、または、導電性接着剤によって構成される。導電性接着剤は、基本的には、有機樹脂接着成分と導電成分とを混合したもので、各種のものが既に知られているので、その中から適当なものを選択し、使用することができる。図２の図示では、導電性接合材６０は、ＦＰＣ３に備えられた端部電極３０の上に盛られ、その上部領域内に金属接続片６の線状突出部６２を位置させて接合してある。
【００４０】
上述したように、本発明に係る磁気ヘッド装置において、磁気ヘッド４は、金属接続片６を備えており、金属接続片６は、線状突出部６２を有し、スライダ２の側端面に備えられた取出電極３０に付着されている。
【００４１】
この接合構造によれば、金属接続片６の線状突出部６２と、端部電極３０とを導電性接合材６０により接続する際、線状突出部６２の上から端部電極３０に導電性接合材６０を供給すればよいから、磁気ヘッド４に対し、その斜め方向から押圧力が加わるのを回避することができる。従って、スライダ２がヘッド支持体１から浮き上がるのを回避し、ピッチ角及びロール角の変化を最小にすことができる。
【００４２】
同様の理由により、ヘッド支持体１に機械的歪みが生じるのを抑制できるので、ヘッド支持体１の機械的歪みによる静止姿勢角の変動、荷重の変動を最小にすることができる。ヘッド支持体１の機械的歪みを最小にすることができるので、磁気ヘッド４のＡＢＳ面２７１、２７２がクラウン状に変化するのを回避できる。従って、ＡＢＳ面２７１、２７２の変形に起因するヘッドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、及び、磁気記録破壊を回避できる。
【００４３】
図４は図３に示した磁気ヘッドの拡大断面図である。図において、寸法は誇張されている。図において、誘導型電磁変換素子９２は書き込み素子であり、ＭＲ素子９３は読み取り素子である。誘導型電磁変換素子９２及びＭＲ素子９３は、レール２７３、２７４の一方または両者の空気流出端ＴＲの側に備えられている。誘導型電磁変換素子９２及びＭＲ素子９３は、スライダ２に備えられ、電磁変換のための端部がＡＢＳ面２７１、２７２と近接した位置にある。スライダ２はAl2O3ーTiC等でなる基体９１５の表面にAl2O3、SiO2等の無機絶縁膜９１６を設けたセラミック構造体である。
【００４４】
誘導型電磁変換素子９２は、第１の磁性膜９２１、第２の磁性膜９２２、コイル膜９２３、アルミナ等でなるギャップ膜９２４、絶縁膜９２５及び保護膜９２６などを有している。
【００４５】
第１の磁性膜９２１及び第２の磁性膜９２２の先端部は微小厚みのギャップ膜９２４を隔てて対向するポール端となっており、ポール端において書き込みを行なう。第１及び第２の磁性膜９２１、９２２は、単膜であってもよいし、複膜膜構造であってもよい。第１及び第２の磁性膜９２１、９２２の複膜膜化は、例えば、特性改善を目的として行われることがある。ポール端の構造に関しても、トラック幅の狭小化、記録能力の向上等の観点から、種々の改良、及び、提案がなされている。本発明においては、これまで提案された何れのポール構造も採用できる。ギャップ膜９２４は非磁性金属膜またはアルミナ等の無機絶縁膜によって構成される。
【００４６】
第２の磁性膜９２２は、更に、第１の磁性膜９２１との間にインナーギャップを保って、ＡＢＳ面２７１、２７２の後方に延び、後方結合部９４２において第２の磁性膜９２２に結合されている。これにより、第１の磁性膜９２１、第２の磁性膜９２２及びギャップ膜９２４を巡る薄膜磁気回路が完結する。
【００４７】
コイル膜９２３は、第１及び第２の磁性膜９２１、９２２の間に挟まれ、後方結合部９４２の周りを渦巻き状に回る。コイル膜９２３の両端は、取出電極２１に導通されている（図３参照）。コイル膜９２３の巻数および膜数は任意である。
【００４８】
絶縁膜９２５は、有機絶縁樹脂膜またはセラミック膜で構成する。セラミック膜の代表例は、Al2O3膜またはSiO2膜である。絶縁膜９２５の内部にはコイル膜９２３が埋設されている。絶縁膜９２５は第１及び第２の磁性膜９２１、９２２の間のインナーギャップの内部に充填されている。絶縁膜９２５の表面には第２の磁性膜９２２が備えられている。
【００４９】
保護膜９２６は、誘導型電磁変換素子９２の全体を覆っている。保護膜９２６はAl2O3またはSiO2等の無機絶縁材料で構成されている。
【００５０】
ＭＲ素子９３は、これまで、種々の膜構造のものが提案され、実用に供されている。例えばパーマロイ等による異方性磁気抵抗効果素子を用いたもの、スピンバルブ膜構造もしくはペロブスカイト型磁性体等の巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）効果膜を用いたもの、強磁性トンネル接合効果素子等がある。本発明において、何れのタイプであってもよい。ＭＲ素子９３は、第１のシールド膜９３１と、第１の磁性膜９２１として兼用された第２のシールド膜９２１との間において、絶縁膜７１の内部に配置されている。絶縁膜７１はアルミナ等によって構成されている。ＭＲ素子９３は取出電極２１に接続されている（図３参照）。第２のシールド膜は第１の磁性膜９２１とは別であってもよい。
【００５１】
図５は第１の態様に係る磁気ヘッド装置の別の実施例を示す部分断面図である。図において、図２に現れた構成部分と同一の構成部分については、同一の参照符号を付してある。この実施例では、導電性接合材６０は、ＦＰＣ３に備えられた端部電極３０と、磁気ヘッド４の取出電極２１とを、金属接続片６の線状突出部６２を核にして、直接に接合している。
【００５２】
図６〜図１１は、図３及び図４に図示した磁気ヘッドにおいて、金属接続片６を溶着するために用いられるワイヤボンディグ装置、及び、その操作方法を示している。
【００５３】
まず、図６を参照すると、ワイヤボンディング装置は、スパークトーチ体８０とキャピラリツール８３とを含む。スパークトーチ体８０は、基体８０１と、絶縁被覆８０３とを含む。基体８０１は、例えば銅等の電気抵抗の低い金属体でなり、一部にスパーク電極部８０５を有している。絶縁被覆８０３は、電磁波吸収性絶縁被覆でなり、スパーク電極部８０５を除く基体８０１の表面を覆っている。
【００５４】
キャピラリツール８３は、金属ワイヤ８２を保持し、保持された金属ワイヤ８２の先端がスパークトーチ体８０のスパーク電極部８０５と対向する位置に配置されている。金属ワイヤ８２は、ワイヤ供給部８１１から供給される。金属ワイヤ８２は、ＡｕワイヤまたはＡｌワイヤ等、従来より知られているものを用いることができる。
【００５５】
更に、ワイヤボンディング装置は、高電圧電源装置８５と、金属ワイヤ固定手段８７１、８７２と、ケーブル線８９１〜８９３とを含む。高電圧電源装置８５は金属ワイヤ８２の先端とスパークトーチ体８０のスパーク電極部８０５との間にスパークを発生させるのに十分な直流高電圧を発生する。高電圧電源装置８５の高電位側（＋）には、電源投入スイッチ８４が挿入されている。
【００５６】
金属ワイヤ固定手段８７１、８７２は、金属ワイヤ８２の中間部を固定し、または固定を解除するものであって、金属ワイヤ８２を固定したとき金属ワイヤ８２に電気的に導通する。この金属ワイヤ固定手段８７１、８７２は、キャピラリツール８３よりも前にあって、金属ワイヤ８２をキャピラリツール８３に供給する。
【００５７】
ケーブル線８９１〜８９３は、金属ワイヤ固定手段８７１、８７２と、金属ワイヤ８２と、スパークトーチ体８０とを電気的に直列に接続する電気回路を構成する。金属ワイヤ固定手段８７１、８７２は、ケーブル線８９２を介して高電圧電源装置８５の高電位側（＋）に接続され、更に、ケーブル線８９３を介して接地されている。スパークトーチ体８０は、ケーブル線８９１を介して高電圧電源装置８５の低電位側（−）に接続されている。
【００５８】
図示されたワイヤボンディング装置は、更に、超音波励振手段８６を含む。超音波励振手段８６はキャピラリツール８３を励振する。
【００５９】
スパークトーチ体８０の下方であって、キャピラリツール８３と対向する位置には、予め、磁気ヘッド４を搭載した支持体（ワーク）８８が配置されている。スパークトーチ体８０が退避動作をした場合、ワーク８８に搭載された磁気ヘッド４が、キャピラリツール８３と対向するようになる。
【００６０】
図６のワイヤボンディング装置の操作に当っては、キャピラリツール８３内を通って導かれた金属ワイヤ８２の先端を、スパークトーチ体８０のスパーク電極部８０５と、微小間隔を隔てて対向させる。
【００６１】
そして、図７に示すように、金属ワイヤ固定手段８７１、８７２によって金属ワイヤ８２の中間部を挟持し、金属ワイヤ８２を固定するとともに、電気的に導通させる。この状態で、図８に示すように、電源投入スイッチ８４をオンにし、金属ワイヤ８２の先端とスパークトーチ体８０のスパーク電極部８０５との間に高電圧（直流電圧）を印加する。これによって、金属ワイヤ８２の先端とスパークトーチ体８０のスパーク電極部８０５との間にスパークが発生し、スパークの熱によって、金属ワイヤ８２の先端部が溶融し、金属ボール８２１が形成される。
【００６２】
次に、図９に示すように、電源投入スイッチ８４をオフにし、スパークトーチ体８０を、キャピラリツール８３との対向位置から、矢印ａ１で示す方向に退避させる。
【００６３】
次に、図１０に示すように、キャピラリツール８３を矢印ｂ１で示す方向に下降させ、ワーク８８に搭載された磁気ヘッド４の取出電極２１に、金属ワイヤ８２の先端に形成された金属ボール８２１を押し付ける。
【００６４】
そして、超音波励振手段８６により、キャピラリツール８３を超音波によって励振し、金属ワイヤ８２の先端に形成された金属ボール８２１を、取出電極２１に溶着する。
【００６５】
次に、図１１に示すように、金属ワイヤ８２を適当な長さを残して切断し、線状突出部６２を有する金属接続片６を形成する。これにより、図３に示した磁気ヘッドが得られる。この後、キャピラリツール８３を矢印ｂ２の方向に移動させ、図６のもとの位置に戻る。
【００６６】
図６〜図１１の例では、磁気ヘッド４の単品に金属ワイヤ８２をボンディングする工程を示したが、多数の磁気ヘッドを整列したヘッド集合体または磁気ヘッドウエハ等に対しても、同様の金属ワイヤ８２によるボンディング工程を施すことができる。
【００６７】
図１２は第２の態様に係る磁気ヘッド装置の部分断面図である。図において、図２に現れた構成部分と同一の構成部分については、同一の参照符号を付してある。図示された磁気ヘッド装置は、ＨＧＡであり、ヘッド支持体１の上に、ＦＰＣ３を接着し、ＦＰＣ３を接着した側において、ヘッド支持体１上に磁気ヘッド４を接着してある。ヘッド支持体１は、ヘッド取り付け部となる舌状片１２０を有する。磁気ヘッド４と、取出電極２１とを含む。取出電極２１は磁気ヘッド４の空気流出端側の側端面２３に備えられている。磁気ヘッド４はヘッド支持体１のヘッド取り付け部となる舌状片１２０に固定されている。
【００６８】
図１３は図１２の磁気ヘッド装置に含まれるＦＰＣ３の拡大斜視図である。ＦＰＣ３は、絶縁フィルム３１と、配線３２とを含む。絶縁フィルム３１は可撓性を有する。配線３２は、絶縁フィルム３１の内部に埋設され、両端が絶縁フィルム３１の一面から外部に露出し、端部電極３０、３３を構成する。
【００６９】
この実施例の特徴は、ＦＰＣ３が金属接続片６を有することである。金属接続片６は、線状突出部６２を有し、基部６１が端部電極３０に溶着等の手段によって付着されている。線状突出部６２は、基部６１から延び絶縁フィルム３１の一面から突出する。金属接続片６は、ＡｕまたはＡｌ等のワイヤボンディング線材でなる。
【００７０】
金属接続片６は、図６〜図１１に図示したワイヤボンディング方法の適用により、端部電極３０にワイヤボンディングを実行し、線材を溶着部よりも少し上で切断して得られる。金属接続片６の基部６１はワイヤボンディングされたときの溶着部であり、線状突出部６２の線径は、ワイヤボンディグ用線材の線径で与えられる。その長さＬ１は、例えば、２００μｍ程度である。
【００７１】
端部電極３０に溶着等の手段によって付着された金属接続片６の線状突出部６２は、導電性接合材６０により、磁気ヘッド４に備えられた取出電極２１と接続されている。図１２の図示では、導電性接合材６０は、磁気ヘッド４の取出電極２１と、ＦＰＣ３に備えられた端部電極３０とを、金属接続片６の線状突出部６２を核にして、直接に接合している。
【００７２】
上述した第２の態様に係る磁気ヘッド装置において、ＦＰＣ３は、金属接続片６を備えており、金属接続片６は、線状突出部６２を有し、スライダ２の側端面に備えられた取出電極３０に付着されている。
【００７３】
この接合構造によれば、磁気ヘッド４の取出電極２１と、ＦＰＣ３の端部電極３０とを導電性接合材６０により接続する際、線状突出部６２の上から端部電極３０に導電性接合材６０を供給すればよいから、磁気ヘッド４に対し、その斜め方向から押圧力が加わるのを回避することができる。従って、スライダ２がヘッド支持体１から浮き上がるのを回避し、ピッチ角及びロール角の変化を最小にすことができる。
【００７４】
同様の理由により、ヘッド支持体１に機械的歪みが生じるのを抑制できるので、ヘッド支持体１の機械的歪みによる静止姿勢角の変動、荷重の変動を最小にすることができる。ヘッド支持体１の機械的歪みを最小にすることができるので、磁気ヘッド４のＡＢＳ面２７１、２７２がクラウン状に変化するのを回避できる。従って、ＡＢＳ面２７１、２７２の変形に起因するヘッドクラッシュ、磁気ディスクの損傷、及び、磁気記録破壊を回避できる。
【００７５】
図１４は第２の態様に係る磁気ヘッド装置の更に別の実施例を示す部分断面図である。図において、図１３に現れた構成部分と同一の構成部分については、同一の参照符号を付してある。図１４の実施例では、導電性接合材６０は、磁気ヘッド４の取出電極２１の上に盛られ、その端部領域内に金属接続片６の線状突出部６２を位置させて接合してある。
【００７６】
本発明は、上述したＨＧＡへの適用の他、ＨＡＡ及びＨＳＡについても適用可能である。図１５はＨＡＡの正面図、図１６は図１５に図示されたＨＡＡの側面図である。図示されたＨＡＡは、ヘッド支持体１と、磁気ヘッド４と、腕片５１とを含む。腕片５１は、適当な非磁性金属材料、例えば、アルミ合金等を用いて一体成形されている。腕片５１には、取り付け孔５２が備えられている。取り付け孔５２は、磁気ディスク装置に含まれる位置決め装置に取り付けるために用いられる。ヘッド支持体１は、一端が腕片５１に、例えばボール接続構造等によって固定されている。ヘッド支持体１は、ロードビーム１１と、可撓体１２とを含む。磁気ヘッド４及びＦＰＣ３は、先に説明した組み合わせ構造により、ヘッド支持体１に組み合わされている。
【００７７】
図１７は本発明に係るＨＳＡの正面図、図１８は図１７に図示されたＨＳＡの側面図である。図示されたＨＳＡは、ヘッド支持体１と、磁気ヘッド４と、ブロック５とを含む。ブロック５は、複数の腕片５１を有する。複数の腕片５１は間隔Ｄ１を隔てて順次に配列されている。腕片５１は、基体５０の外周面に突出して設けられている。基体５０及び腕片５１は適当な非磁性金属材料、例えば、アルミ合金等を用いて一体成形されている。図示実施例では、腕片５１は２本であるが、その個数は増加できる。
【００７８】
基体５０には、腕片５１の配列方向に平行な取り付け孔５２が設けられている。取り付け孔５２は、磁気ディスク装置に含まれる位置決め装置に取り付けるために用いられる。更に、基体５０には、コイル支持部５３及びボイスコイル５４が備えられている。
【００７９】
ヘッド支持体１は、腕片５１のそれぞれ毎に備えられ、一端が腕片５１に、例えばボール接続構造等によって固定されている。ヘッド支持体１は、ロードビーム１１と、可撓体１２とを含む。図示実施例では、ヘッド支持体１は、腕片５１の片面にのみ設けられているが、腕片５１が３枚以上備えられている場合は、腕片５１の両面に備えられることが多い。
【００８０】
磁気ヘッド４及びＦＰＣ３は、ヘッド支持体１のそれぞれ毎に、その他端側に取り付けられている。磁気ヘッド４及びＦＰＣ３は、先に説明した組み合わせ構造により、ヘッド支持体１のそれぞれに組み合わされている。
【００８１】
図１９は本発明に係る磁気記録再生装置の平面図である。図示された磁気記録再生装置は、磁気ヘッド装置７１と、磁気ディスク７２とを含む。磁気ヘッド装置７１は図３及び図４に示したもの、または、図１６及び図１７に示したものである。磁気ヘッド装置７１は、ヘッド支持体１の一端が位置決め装置７３によって支持され、かつ、駆動される。磁気ヘッド装置７１の磁気ヘッド４は、ヘッド支持体１によって支持され、磁気ディスク７２の磁気記録面と対向するように配置される。磁気ヘッド装置７１としては、先に述べた各実施例のものが全て使用可能である。
【００８２】
磁気ディスク７２が、図示しない駆動装置により、矢印Ｆ１の方向に回転駆動されると、磁気ヘッド４が、微小浮上量で、磁気ディスク７２の面から浮上する。駆動方式としては、ロータリー．アクチュエータ方式が一般的であるが、リニアアクチュエータ方式を採用してもよい。図１９はロータリー．アクチュエータ方式を示し、ヘッド支持体１の先端部に取り付けられた磁気ヘッド４が、磁気ディスク７２の径方向Ｃ１、Ｃ２に駆動される。そして、ヘッド支持体１を回転駆動する位置決め装置７３により、磁気ヘッド４が、磁気ディスク７２上の所定のトラック位置に位置決めされる。
【００８３】
以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。
【００８４】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、次のような効果を得ることができる。
（ａ）磁気ヘッド装置の組立工程において、静止姿勢角及び荷重の変動を回避し得る磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置を提供することができる。
（ｂ）磁気ヘッド装置の組立工程において、スライダ形状の変化を回避し得る磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の態様に係る磁気ヘッド装置の斜視図である。
【図２】図１に示した磁気ヘッド装置のヘッド取り付け部分における拡大部分断面図である。
【図３】図１、２に図示された磁気ヘッドの斜視図である。
【図４】図３に示した磁気ヘッドの拡大断面図である。
【図５】本発明に係る磁気ヘッド装置の別の実施例を示す部分断面図である。
【図６】図３及び図４に図示した磁気ヘッドを得るために供されるワイヤボンディグ装置を示している。
【図７】図６に示したワイヤボンディグ装置の操作を説明する図である。
【図８】図７に示した操作の次の操作を説明する図である。
【図９】図８に示した操作の次の操作を説明する図である。
【図１０】図９に示した操作の次の操作を説明する図である。
【図１１】図１０に示した操作の次の操作を説明する図である。
【図１２】第２の態様に係る磁気ヘッド装置の部分断面図である。
【図１３】図１２の磁気ヘッド装置に含まれるＦＰＣ３の拡大斜視図である。
【図１４】第２の態様に係る磁気ヘッド装置の更に別の実施例を示す部分断面図である。
【図１５】ＨＡＡの正面図である。
【図１６】図１５に図示されたＨＡＡの側面図である。
【図１７】本発明に係るＨＳＡの正面図である。
【図１８】図１７に図示されたＨＳＡの側面図である。
【図１９】本発明に係る磁気記録再生装置の平面図である。
【符号の説明】
１                        ヘッド支持体
２                        スライダ
３                        ＦＰＣ
４                        磁気ヘッド
６                        金属接続片
６１                      基部
６２                      線状突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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