(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚肉材から形成された半導体チップ搭載部と、前記半導体チップ搭載部を支持するとともに外部リードとして機能する薄板材から形成された支持リードと、前記支持リードに並んで設けた外部リードを有するリードフレームにおいて、
前記半導体チップ搭載部の前記支持リードが連結する一辺側に沿って辺内に前記支持リードの幅より幅広い広幅貫通口が形成され、且つ該広幅貫通口の中間部から前記支持リードとの連結側の辺端に向けて支持リードの幅より幅広に開口し、該広幅貫通口から辺端の開口の内に前記支持リードの先端部に形成した該リード幅より幅広の嵌合部をかしめて前記半導体チップ搭載部が連結され、
前記支持リードの半導体チップ搭載部との連結箇所より出た該支持リード幅より幅広のリード先端部が曲げ加工され半導体チップ搭載面を支持リードの延長線より下方に、或いは支持リードの下部に一端が位置している
ことを特徴とするリードフレーム。
【請求項２】
厚肉材から形成された半導体チップ搭載部と、前記半導体チップ搭載部を支持するとともに外部リードとして機能する薄板材から形成された支持リードと、前記支持リードに並んで設けた外部リードを有するリードフレームにおいて、
前記半導体チツプ搭載部の前記支持リードが連結する一辺側に沿って辺内に、搭載する半導体チップの幅と同等又は該幅より長い貫通口が形成され、且つ該貫通口の中間部から前記支持リードが連結する一辺側の辺端に向けて前記支持リードの幅より幅広に開口し、前記貫通口から辺端の開口の内に前記支持リードの先端部に形成したリードの幅より幅広の嵌合部が半導体チップ搭載面より没するように嵌合して半導体チップ搭載部と支持リードを連結するとともに前記貫通口の上面を半導体チツプ搭載面の溝とした
ことを特徴とするリードフレーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は高出力トランジスタ用のリードフレームに関する。
【０００２】
【従来の技術】
高出力トランジスタ用のリードフレームは、半導体チップを載置する搭載部は放熱性にすぐれていることが重要のため厚肉材から形成され、一方、前記半導体チップ搭載部を支持するとともに外部リードとなる支持リード、及び、外部リードは別途装置との接続が容易に行え、且つ、成形性がすぐれることを要請されるので薄肉材より形成される。
【０００３】
従来、前記高出力トランジスタ用のリードフレームは異厚材を材料として製造されたものがある。これでは半導体チップ搭載部、支持リード、及び外部リードが同一材から形成されるので、比較的容易に製造されるが、異厚材は高価であり、どうしてもコスト高になる問題がある。
【０００４】
他の技術として、半導体チップ搭載部は厚肉材から形成し、支持リードと外部リードは別途材料の薄肉材から形成し、前記支持リードと半導体チップ搭載部をかしめ連結したものがある。
【０００５】
前記かしめ連結したリードフレームは、半導体チップ搭載部の一辺の端部に支持リードの幅と同等な幅の溝を形成し、該溝に前記支持リードの先端部を嵌め込み連結している。これではコストを低下させることができ、また、半導体チップ搭載部には放熱性に優れた最適な材料を、一方、支持リード、及び外部リードには加工性やワイヤーボンディング性に優れた材料をそれぞれ選択できる等の作用効果があるが、次ぎのような問題がある。
【０００６】
【この発明が解決しようとする課題】
前記従来のかしめ連結したリードフレームでは、前記外部リードが半導体チップ搭載部の前記溝に嵌め込んだ箇所に隙間やガタを生じやすく、連結不良のものがあり信頼性を低下する。また、前記連結された半導体チップ搭載部が傾くものがあり、外部放熱板との面接触性に問題がある。
【０００７】
さらに、前記かしめ連結の強度が低いことから支持リードを深い曲げ加工するのが難しく、当該支持リードと半導体チップ搭載部との水平面内での位置差を大きくつけられない。このため例えば高集積度の厚みの厚い半導体チップを搭載できない等の問題がある。
【０００８】
本発明はコストの低減ができ、且つ厚肉材で放熱性にも富む半導体チップ搭載部と、薄肉材の支持リードのかしめ連結が強固で、該支持リードに深い押し曲げ加工を施すことができ、半導体チップ搭載部との位置差を大きくつけられ、高集積度の半導体チップを搭載でき、また、ボンディグワイヤーの長さを短縮できるリードフレームを得ることを目的とする。
【０００９】
また、半導体チップ搭載部へのダイボンディングの際の接着材がリード側への漏れ出を阻止するリードフレームを得ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の要旨は、厚肉材から形成された半導体チップ搭載部と、前記半導体チップ搭載部を支持するとともに外部リードとして機能する薄板材から形成された支持リードと、前記支持リードに並んで設けた外部リードを有するリードフレームにおいて、前記半導体チップ搭載部の前記支持リードが連結する一辺側に沿って辺内に前記支持リードの幅より幅広い広幅貫通口が形成され、且つ該広幅貫通口の中間部から前記支持リードとの連結側の辺端に向けて支持リードの幅より幅広に開口し、該広幅貫通口から辺端の開口の内に前記支持リードの先端部に形成した該リード幅より幅広の嵌合部をかしめて前記半導体チップ搭載部が連結され、前記支持リードの半導体チッブ搭載部との連結箇所より出た該支持リード幅より幅広のリード先端部が曲げ加工され半導体チッブ搭載面を支持リードの延長線より下方に、或いは支持リードの下部に一端が位置していることを特徴とするリードフレームにある。
【００１１】
他の要旨は、前記厚肉材の半導体チツプ搭載部の前記支持リードが連結する一辺側に沿って辺内に、搭載する半導体チップの幅と同等又は該幅より長い貫通口が形成され、且つ該貫通口の中間部から前記支持リードが連結する一辺側の辺端に向けて前記支持リードの幅より幅広に開口し、前記貫通口から辺端の開口の内に前記支持リードの先端部に形成したリードの幅より幅広の嵌合部が半導体チップ搭載面より没するように嵌合して半導体チップ搭載部と支持リードを連結するとともに前記貫通口の上面を半導体チツプ搭載面の溝としたことを特徴とするリードフレームにある。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の１実施例について図面を参照して説明する。
図面において、１は半導体チップ搭載部で、板厚の厚い厚肉材から形成され、放熱性に優れた材料、例えば銅、銅合金等が用いられている。該半導体チップ搭載部１は半導体チップを搭載した以外の箇所は放熱フィンとして機能する。
【００１３】
２は前記半導体チップ搭載部１の一辺側に沿って辺内に形成された広幅貫通口で、上面から下面に貫通し支持リード３の幅より格段に広く搭載する半導体チップの幅と同等以上の幅に開口されている。該広幅貫通口２は図１に示すように平面視して広幅最大より減少する中間部２ａから支持リード３が連結する一辺側の辺端１aに向って支持リード３の幅より広幅に開口している。なお、開口とは半導体チップ搭載部１の一部を切欠き、または貫通することである。
半導体チップ搭載部１に形成した前記広幅貫通口２から辺端１aの開口２ｂに、支持リード３の先端部に該リード幅より幅広く形成した嵌合部３aがかしめられ、半導体チツプ搭載部１と支持リード３が前記幅広の嵌合部３aと前記幅広貫通口２との広い接触により強固に、且つ、姿勢よく連結している。
【００１４】
前記支持リード３は薄肉材から形成されたもので、加工性にも優れた材料、例えば銅薄板から製造されていて、該支持リード３は半導体チップ搭載部１を支持するとともに外部リードとしても機能する。４は支持リード３に並んで形成された外部リードである。
【００１５】
前記支持リード３は半導体チップ搭載部１とかしめ連結された箇所より出ている部分が曲げ加工され、半導体チップ搭載部１を図２に示すように支持リード３の延長線より下方に位置させている。支持リード３は前記のように半導体チップ搭載部１と強固に連結し、且つ、曲げ加工を受ける半導体チップ搭載部１に連結しているリード先端部は幅広であるので、曲げ加工が姿勢よくなされ半導体チップ搭載部１が傾くことなく水平に位置される。
【００１６】
また、支持リード３は前記のように半導体チップ搭載部１と強固に連結しているから、深い押し曲げ加工ができ図３に示すように半導体チップ搭載部１を一層下方に位置させることができ、厚みの厚い高集積度の半導体チップ５を搭載することが可能である。
【００１７】
また、支持リード３は前記のように強固に連結しているから、図４に示しているように連結している半導体チップ搭載部１の一端が当該支持リード３の下部に位置するように横Ｕ字状に曲げ加工を行うことができ、半導体チップ５とのボンディングワイヤー６を短くすることができる。
【００１８】
次に、実施例２において、半導体チップ搭載部１と支持リード３のかしめ連結部の形態を変えたものについて図５、図６を参照して述べる。
半導体チップ搭載部１の一辺側に沿って辺内に、搭載する半導体チップ５の幅と同等幅、又は前記幅より長い細長の貫通口７を形成している。また、前記貫通口７の中間部から辺端に向かって支持リード３のリード幅より幅広く開口している。
【００１９】
前記貫通口７と図５、６に示されるように支持リード３が連結する一辺側の辺端１aの開口内に、支持リード３の先端部に形成したリード幅より幅の広い嵌合部３ａが没してかしめられ、半導体チップ搭載部１と支持リード３が連結している。前記嵌合部３ａが没している貫通口７の上面は図６に示すように半導体チップ搭載面の溝１ｂになっている。
【００２０】
前記半導体チップ搭載部１に連結した支持リード３は前記のような曲げ加工が施されて所望形状となされ、半導体チップ搭載部１に半導体チップ５をダイボンディングするため接着材が塗布される。該接着材は半導体チップ搭載領域から支持リード３側へ流出しようとするが、前記溝１ｂが半導体チップ搭載部１の支持リード３連結側に半導体チップ５の幅と同等の幅、又はそれ以上の幅に形成されているので、接着材が支持リード３側への流出するのを防止するとともに、半導体チップ５のダイボンディングの信頼性が向上する。
【００２１】
前記半導体チップ搭載部１の一辺側に形成の広幅貫通口２の形状は、前記実施例１、２に限らず、支持リード３の幅より幅広であれば、図７のようなＵ字状８等の任意の形状にできる。
【００２２】
【発明の効果】
本発明は、厚肉材の半導体チップ搭載部の一辺側に沿って辺内に支持リードの幅より広幅貫通口が形成され、且つ、該広幅貫通口の中間部から辺端に向かって支持リード幅より広幅に開口され、該広幅貫通口から辺端の開口にかけて支持リードの先端部に形成したリード幅より広い嵌合部がかしめられて連結しているので、該半導体チップ搭載部と支持リードの連結は強固であり、さらに、半導体チップ搭載部を支持したリード先端部はリード幅が広いので、傾くことなく曲げ加工がなされ半導体チップ搭載部は水平度が優れ、別途の放熱板に全面密接して取り付けることができる。
また、支持リードは深い曲げ加工ができので、厚みの厚い高集積度の半導体チップを搭載することができ、また、搭載した半導体チップとのボンディングワイヤーの長さを短くできる効果がある。さらに樹脂封止した際の樹脂が支持リードの深い曲げ成形された部分にも入るので密着性が向上する。
【００２３】
本発明の請求項２の発明によると、前記厚肉材の半導体チップ搭載部の一辺側に沿って辺内に、搭載する半導体チップの幅と同等又は該幅より長く貫通口が形成され、且つ該貫通口の中間部から辺端に向けて前記支持リードの幅より幅広く開口し、前記貫通口から開口の内に、前記支持リードの先端部に形成した嵌合部を没するように嵌合して連結するとともに、前記貫通口を溝としているので、半導体チップをダイボンディングする際の接着材がリード側への流出が防がれ、ダイボンディングの信頼性が向上する等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例におけるリードフレームを示す図。
【図２】本発明の１実施例におけるリードフレームの作用効果を説明するための図。
【図３】本発明の１実施例におけるリードフレームの作用効果を説明するための図。
【図４】本発明の１実施例におけるリードフレームの作用効果を説明するための図。
【図５】本発明の実施例２におけるリードフレームを示す図。
【図６】本発明の実施例２による図５のＸーＸ方向のリードフレーム側断面を示す図。
【図７】本発明のリードフレームにおいて半導体チップ搭載部と支持リードのかしめ連結箇所の他の例を示す図。
【符号の説明】
１  半導体チップ搭載部
２  広幅貫通口
３  支持リード
３ａ  嵌合部
４  外部リード
５  半導体チップ
６  ボンディングワイヤー
７  貫通口
８  Ｕ字状
【図１】
0003833464.tif 000002
【図２】
0003833464.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
0003833464.tif 000006
【図６】
0003833464.tif 000007
【図７】
0003833464.tif 000008