(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダと、このスライダのトレーリング側に設けられた磁気記録用、あるいは、再生用、又は前記磁気記録用及び前記再生用の素子部とを有する磁気ヘッドにおいて、
前記スライダの記録媒体との対向面には段差が形成され、前記段差を介して前記対向面側において最も高い位置にあり、記録媒体上の空気流からの浮上力を受けるＡＢＳ面が形成され、前記ＡＢＳ面は、前記トレーリング側であって、前記スライダの幅方向の中央部分に形成され、前記ＡＢＳ面からは前記素子部のギャップ部が現れており、前記ＡＢＳ面の前記スライダの幅方向の両側には、前記ＡＢＳ面よりも高さの低いエアグルーブが形成され、
前記スライダの前記対向面の側縁部には、少なくともトレーリング側に向けて前記側縁部から徐々に離れる湾曲面が設けられており、
前記湾曲面は、前記ＡＢＳ面にまで及ばないように前記エアグルーブ内に形成されていることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
前記湾曲面は、前記素子部に達しない深さに形成されている請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
前記記録媒体との対向面のトレーリング側、あるいはリーディング側、又は前記トレーリング側及び前記リーディング側の角部には、前記湾曲面と連続するＲ面が形成されている請求項１または２に記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
スライダと、このスライダのトレーリング側端面に設けられた磁気記録用、あるいは、再生用、又は前記磁気記録用及び前記再生用の素子部とを有する磁気ヘッドの製造方法において、
トレーリング側端面に複数の素子部が形成されたスライダバーを形成し、各素子部間であって前記スライダバーの記録媒体との対向面に、溝部を形成する第１工程と、
前記溝部の幅寸法よりも大きい径を有するワイヤを、一定の張力によって張り、前記スライダバーの溝部の両側縁部に、ワイヤを押し付ける際に、前記スライダバーの溝部とワイヤとの相対位置を傾けて、少なくとも前記スライダバーのトレーリング側の溝部の両側角部に、前記ワイヤを押し付ける第２工程と、
前記溝部の形成方向に沿って、前記ワイヤと前記溝部とを摺動させ、前記溝部の両側縁部に、前記トレーリング側にかけて徐々に削り量が多くなる湾曲面を形成する第３工程と、
前記スライダバーを、前記溝部で切断する第４工程と、
を有し、
前記第１工程と第２工程の間に、前記溝部間の各記録媒体との対向面に、段差を介して前記対向面側において最も高い位置にあり、記録媒体上の空気流からの浮上力を受けるＡＢＳ面を、前記トレーリング側であって、各対向面の幅方向の中央部分に形成し、このとき前記ＡＢＳ面から前記素子部のギャップ部が現れる工程を含み、
前記第３工程にて、前記湾曲面を、前記ＡＢＳ面にまで及ばないように、前記ＡＢＳ面の幅方向の両側に形成された前記ＡＢＳ面よりも高さの低いエアグルーブ内に形成することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項５】
上記第２工程に代えて、
前記溝部の幅寸法よりも大きい径を有するワイヤを、一定の張力によって張り、前記スライダバーに形成された溝部の両側縁部を前記ワイヤに押し付け、前記ワイヤを前記溝部から離れる方向へ山なりに撓ませる工程と、
さらに上記第３工程に代えて、
前記溝部の形成方向に沿って、前記ワイヤと前記溝部とを摺動させ、前記溝部の両側縁部に、トレーリング側およびリーディング側にかけて徐々に削り量が多くなる湾曲面を形成する工程と、
を有する請求項４記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記ワイヤは、周囲にダイヤモンド砥粒がコーティングされたものを使用する請求項４又は５に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記ワイヤを前記溝部の両側縁部に当接させた状態を前記ワイヤの断面で見たときに、前記ワイヤの中心から前記両側縁部との当接点へ延びる線と、前記ワイヤの中心から前記溝部内に延びる垂線と、が成す角度が３０〜５０度の範囲となるように、前記ワイヤの直径が選択される請求項４ないし６のいずれかに記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項８】
トレーリング側端面に形成された複数の素子部と、各素子部間であって記録媒体との対向面に形成された溝部とを有するスライダバーを保持する保持部材と、
前記溝部の幅寸法よりも大きな径を有するワイヤが、前記溝部の間隔の整数倍の間隔で複数条が平行となるように張られているワイヤガイド部材と、
前記複数条のワイヤがそれぞれ前記スライダバーの溝部に押し付けられた状態で、前記保持部材と前記ワイヤガイド部材の少なくとも一方を前記溝部の形成方向に沿って往復移動させて、前記溝部の両側縁部に面取り加工を施して湾曲面を形成する駆動手段と、
前記保持部材と前記ワイヤガイド部材の少なくとも一方を前記溝部の並び方向へ移動させて、前記ワイヤにより面取り加工する溝部を更新していく送り手段とが設けられており、
前記保持部材を駆動して前記溝部の両側縁部を前記ワイヤに押し付け、このとき前記スライダバーの溝部とワイヤとの相対位置を傾けて、少なくとも前記スライダバーのトレーリング側の溝部の両側角部に、前記ワイヤを押し付け、
前記駆動手段により、前記溝部間の各記録媒体との対向面の前記トレーリング側であって、各対向面の幅方向の中央部分に位置し、さらに前記素子部のギャップ部が現れるＡＢＳ面にまで前記湾曲面が及ばないように、前記湾曲面を、前記ＡＢＳ面の両側に形成された前記ＡＢＳ面よりも高さの低いエアグルーブ内に形成することを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばハードディスク装置などに搭載されるスライダを備えた磁気ヘッドに係り、特にスライダバーが形成された段階で、スライダの記録媒体との対向面の側縁部となる部分に、容易にしかも適性な面取り加工を施すことができ、記録媒体が受ける損傷を低減させることが可能な磁気ヘッド及びその製造方法、ならびに前記磁気ヘッドの製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１１は、ハードディスク装置などに搭載される従来の磁気ヘッドを記録媒体との対向面を上向きにして示した斜視図である。
【０００３】
この磁気ヘッドでは、記録媒体の移動方向に対して上流側Ａがリーディング側と呼ばれ、下流側Ｂが、トレーリング側と呼ばれている。
【０００４】
図１１に示す符号１はセラミック材料などにより形成されたスライダであり、前記スライダ１のトレーリング側端面Ｂには、磁気記録及び／又は再生用の薄膜素子部６が設けられている。
【０００５】
図１１に示すように、前記スライダ１の記録媒体との対向面には、エアグルーブ２が形成され、前記エアグルーブ２を囲むようにしてＡＢＳ面３が形成されている。このＡＢＳ面３はクラウン形成されている。
【０００６】
図１１に示す磁気ヘッドの製造方法は、まずスライダ１の母材となる円形状の基板上に、複数の薄膜素子部６を形成した後、前記基板を直方形状に切断し、いわゆるスライダバーを形成する。このスライダバーのトレーリング側端面には、一列に並んで複数の薄膜素子部６が形成された状態となっている。
【０００７】
そして、前記スライダバーの記録媒体との対向面に、前記薄膜素子部６と同じ数だけのエアグルーブ２及びＡＢＳ面３を形成する。その後に、各薄膜素子部６間から前記スライダバーを切断すると、図１１に示すような個々の磁気ヘッドの形成が完成する。
【０００８】
図１１に示す磁気ヘッドは、ロードビーム（図示しない）の先端に固定されたフレキシャ（図示しない）に支持され、板ばねにより形成されたロードビームの弾性力により、記録媒体に付勢されている。
【０００９】
この磁気ヘッドは、いわゆるＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）方式、あるいはランプロード方式のハードディスク装置などに使用される。
【００１０】
磁気ヘッドの浮上姿勢では、リーディング側Ａがトレーリング側Ｂよりも記録媒体上に高く持ち上がる傾斜した浮上姿勢となる。この浮上姿勢にて、図１１に示す薄膜素子部６により記録媒体に記録信号が書込まれたり、あるいは記録媒体からの磁気信号が検出される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで図１１に示す従来の磁気ヘッドでは、スライダ１の記録媒体との対向面における角部及び側縁部１ａが角張っており、磁気ヘッドが記録媒体に接触した際などに、前記記録媒体が損傷を受け易いといった問題があった。このため、従来では図１１に示すスライダ１を製造後、前記スライダ１の角部及び側縁部１ａを例えば機械加工などによって面取りしていた。
【００１２】
しかしながらスライダ１を製造した後に、個々のスライダ１に対して面取り加工を施さなければならないとすると、チップ化されたスライダ１に面取り加工を施すのは非常に困難であり、よって加工作業が非常に煩雑化し、スライダ１の製造効率を低下させる原因となる。
【００１３】
そこで、複数のスライダ１が一体になって形成された状態、つまりスライダバーの状態のときに、前記面取り加工を行うようにすることも可能である。
【００１４】
図１２は、スライダバーの状態を示す部分斜視図である。
図１２に示すように、前記スライダバー７のトレーリング側端面Ｂには、複数の薄膜素子部６が形成されている。そして前記スライダバー７の記録媒体との対向面８には、図１１に示すようなエアグルーブ２及びＡＢＳ面３の加工が施されており、さらに各薄膜素子部６間には、一定の深さを有する溝部９が形成されている。
【００１５】
従来では、例えば各溝部９の両側縁部９ａを除いて、スライダバー７の各対向面８を所定の大きさのマスクで覆い、その後砥粒を噴きつけて、各側縁部９ａを削るブラスト方式などによって、面取り加工を施していた。
【００１６】
しかしながら、この方法によると、砥粒の噴き付けによって、前記側縁部９ａに占める結晶粒子が脱粒しやすくなり、特に記録媒体上に、磁気ヘッドを走行させている際に、粒子が脱粒すると、この粒子が記録媒体上に落下し、これによって、前記記録媒体を傷つけてしまうといった問題があった。またこのブラスト方式では、高価な設備が必要になるといった問題もあった。
【００１７】
さらに、前記面取り加工では、対向面８の四方の角部が鋭角のままとなったり、あるいはこの角部にバリが残るなどし、この角部により記録媒体に損傷を与えやすいものとなる。
【００１８】
またスライダバー７の状態で各側縁部９ａを、ダイサを使用して研削し面取り加工をする方法もあるが、研削加工の際にスライダバーのセッティング精度が、そのまま加工精度になってしまい、セッティング精度や寸法のばらつきを十分に吸収できず、すべての側縁部９ａに均一な面取り加工を施すことが困難である。
【００１９】
本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、特にスライダバーの状態にて、各スライダの側縁部に容易にしかも均一な面取り加工を施すことができ、さらには対向面の角部をＲ形状に形成できるようにして、記録媒体に与える損傷を低減させることが可能な磁気ヘッド及びその製造方法、ならびに前記磁気ヘッドの製造装置を提供することを目的としている。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、スライダと、このスライダのトレーリング側に設けられた磁気記録用、あるいは、再生用、又は前記磁気記録用及び前記再生用の素子部とを有する磁気ヘッドにおいて、
前記スライダの記録媒体との対向面には段差が形成され、前記段差を介して前記対向面側において最も高い位置にあり、記録媒体上の空気流からの浮上力を受けるＡＢＳ面が形成され、前記ＡＢＳ面は、前記トレーリング側であって、前記スライダの幅方向の中央部分に形成され、前記ＡＢＳ面からは前記素子部のギャップ部が現れており、前記ＡＢＳ面の前記スライダの幅方向の両側には、前記ＡＢＳ面よりも高さの低いエアグルーブが形成され、
前記スライダの前記対向面の側縁部には、少なくともトレーリング側に向けて前記側縁部から徐々に離れる湾曲面が設けられており、
前記湾曲面は、前記ＡＢＳ面にまで及ばないように前記エアグルーブ内に形成されていることを特徴とするものである。
【００２１】
本発明では、上記のように、スライダの記録媒体との対向面の側縁部に、トレーリング側に向けて前記側縁部から徐々に離れるように沿って形成された湾曲面を設けることで、前記対向面の角部及び側縁部の角張った部分が除去され、記録媒体への損傷を抑制することができる。
記録媒体との対向面に形成されるＡＢＳ面上の面積及び形状等は、磁気ヘッドの記録媒体上での浮上特性に大きな影響を与えるものであり、従って、前記ＡＢＳ面が、湾曲面の形成によって削り取られ面積が変化すると、記録媒体と磁気ヘッドとの間に流れる空気抵抗が変化し、記録媒体上での前記磁気ヘッドの浮上特性が悪化するといった問題が発生する。
そこで本発明では、スライダの側縁部に形成されるべき湾曲面を、記録媒体との対向面上に形成されたＡＢＳ面にまで及ばない領域内で形成することにより、ＡＢＳ面の面積及び形状が、湾曲面の形成前・形成後で変化しないようにし、浮上特性の安定化を図ることができる。
また本発明では、前記湾曲面は、少なくともトレーリング側に向けて形成されている。リーディング側に比べトレーリング側の方が、記録媒体に接触しやすから、前記トレーリング側に湾曲面を形成することで、記録媒体への損傷を効果的に抑制することができる。特にランプロード方式の磁気ヘッドには最適な構造となる。
【００２７】
上記構成は、本発明における一実施形態の磁気ヘッドの構造を表しており、上記構成では、記録媒体との対向面に形成されるＡＢＳ面は、スライダの幅方向の中央部分に形成されている。
【００２８】
このようにＡＢＳ面が、幅方向の中央部分に形成されることで、前記ＡＢＳ面の両側から、スライダの側縁部までには、比較的広い間隔が空いているので、前記湾曲面を、前記ＡＢＳ面の幅方向の両側で且つ前記ＡＢＳ面の形成されていない領域に、容易にしかも適性な形状で形成することが可能である。
【００３０】
さらに発明では、前記湾曲面は、前記素子部に達しない深さに形成されていることが好ましい。また前記記録媒体との対向面のトレーリング側、あるいはリーディング側、又は前記トレーリング側及び前記リーディング側の角部には、前記湾曲面と連続するＲ面が形成されていることが好ましい。
【００３１】
また本発明は、スライダと、このスライダのトレーリング側端面に設けられた磁気記録用、あるいは、再生用、又は前記磁気記録用及び前記再生用の素子部とを有する磁気ヘッドの製造方法において、
トレーリング側端面に複数の素子部が形成されたスライダバーを形成し、各素子部間であって前記スライダバーの記録媒体との対向面に、溝部を形成する第１工程と、
前記溝部の幅寸法よりも大きい径を有するワイヤを、一定の張力によって張り、前記スライダバーの溝部の両側縁部に、ワイヤを押し付ける際に、前記スライダバーの溝部とワイヤとの相対位置を傾けて、少なくとも前記スライダバーのトレーリング側の溝部の両側角部に、前記ワイヤを押し付ける第２工程と、
前記溝部の形成方向に沿って、前記ワイヤと前記溝部とを摺動させ、前記溝部の両側縁部に、前記トレーリング側にかけて徐々に削り量が多くなる湾曲面を形成する第３工程と、
前記スライダバーを、前記溝部で切断する第４工程と、
を有し、
前記第１工程と第２工程の間に、前記溝部間の各記録媒体との対向面に、段差を介して前記対向面側において最も高い位置にあり、記録媒体上の空気流からの浮上力を受けるＡＢＳ面を、前記トレーリング側であって、各対向面の幅方向の中央部分に形成し、このとき前記ＡＢＳ面から前記素子部のギャップ部が現れる工程を含み、
前記第３工程にて、前記湾曲面を、前記ＡＢＳ面にまで及ばないように、前記ＡＢＳ面の幅方向の両側に形成された前記ＡＢＳ面よりも高さの低いエアグルーブ内に形成することを特徴とするものである。
【００３２】
あるいは、上記第２工程に代えて、
前記溝部の幅寸法よりも大きい径を有するワイヤを、一定の張力によって張り、前記スライダバーに形成された溝部の両側縁部を前記ワイヤに押し付け、前記ワイヤを前記溝部から離れる方向へ山なりに撓ませる工程と、
さらに上記第３工程に代えて、
前記溝部の形成方向に沿って、前記ワイヤと前記溝部とを摺動させ、前記溝部の両側縁部に、トレーリング側およびリーディング側にかけて徐々に削り量が多くなる湾曲面を形成する工程と、
を有していてもよい。
【００３５】
なお上記において、前記ワイヤは、周囲にダイヤモンド砥粒がコーティングされたものを使用することが好ましい。
【００３６】
また本発明では、前記ワイヤを前記溝部の両側縁部に当接させた状態を前記ワイヤの断面で見たときに、前記ワイヤの中心から前記両側縁部との当接点へ延びる線と、前記ワイヤの中心から前記溝部内に延びる垂線と、が成す角度が３０〜５０度の範囲となるように、前記ワイヤの直径が選択されることが好ましい。
【００３７】
さらに本発明における磁気ヘッドの製造装置は、
トレーリング側端面に形成された複数の素子部と、各素子部間であって記録媒体との対向面に形成された溝部とを有するスライダバーを保持する保持部材と、
前記溝部の幅寸法よりも大きな径を有するワイヤが、前記溝部の間隔の整数倍の間隔で複数条が平行となるように張られているワイヤガイド部材と、
前記複数条のワイヤがそれぞれ前記スライダバーの溝部に押し付けられた状態で、前記保持部材と前記ワイヤガイド部材の少なくとも一方を前記溝部の形成方向に沿って往復移動させて、前記溝部の両側縁部に面取り加工を施して湾曲面を形成する駆動手段と、
前記保持部材と前記ワイヤガイド部材の少なくとも一方を前記溝部の並び方向へ移動させて、前記ワイヤにより面取り加工する溝部を更新していく送り手段とが設けられており、
前記保持部材を駆動して前記溝部の両側縁部を前記ワイヤに押し付け、このとき前記スライダバーの溝部とワイヤとの相対位置を傾けて、少なくとも前記スライダバーのトレーリング側の溝部の両側角部に、前記ワイヤを押し付け、
前記駆動手段により、前記溝部間の各記録媒体との対向面の前記トレーリング側であって、各対向面の幅方向の中央部分に位置し、さらに前記素子部のギャップ部が現れるＡＢＳ面にまで前記湾曲面が及ばないように、前記湾曲面を、前記ＡＢＳ面の両側に形成された前記ＡＢＳ面よりも高さの低いエアグルーブ内に形成することを特徴とするものである。
【００３８】
本発明者は、スライダバーの状態で、各スライダの記録媒体との対向面の側縁部に対し、容易にしかも均一な面取り加工を施すことが可能な方法を見出したのである。従来においてもスライダバーの状態で、例えばダイサを用いて面取り加工を施す方法があったが、この場合、セッティング精度や寸法のばらつきを十分に吸収できず、各側縁部に対し均一な面取り加工を施すことができないといった問題があった。
【００３９】
本発明では、まず複数の薄膜素子部が形成されたスライダバーの記録媒体との対向面に、各薄膜素子部間に複数の溝部を形成する。
【００４０】
次に、前記溝部の幅よりも大きい径を有するワイヤを用意し、このワイヤを一定の張力によって張り、前記スライダバーの溝部の記録媒体との対向面の両側縁部を、前記ワイヤに押し付けるのである。これにより例えば前記ワイヤは、前記溝部から離れる方向へ山なりに撓み、この状態で、例えばスライダバーをワイヤ上で往復摺動させる。ワイヤとの摩擦により、前記スライダバーに形成された溝部の両側角部が優先的に削り取られ、徐々に前記溝部の中央方向にかけて両側縁部が削り取られていく。このように本発明では、最も記録媒体と接触しやすい角部が優先的に削り取られていくことで、前記溝部の記録媒体との対向面の側縁部のうち、その中心よりもトレーリング側端面及びリーディング側端面にかけて削り量は多くなり、前記側縁部には湾曲面が形成されることになる。
【００４１】
本発明によれば、製品化されたスライダの記録媒体との対向面の角部は、より多く削りとられてＲ形状で形成されており、これにより記録媒体と接触した場合に、特に前記記録媒体を損傷させやすかった前記角部が、記録媒体に接触しても、前記記録媒体は従来に比べて損傷を受け得ない状態にすることが可能である。
【００４２】
以上のように本発明では、ワイヤを使用し、前記ワイヤとの摩擦を利用して、スライダバーの状態で面取り加工を行うことができるものであるから、従来に比べて面取り加工の形成時間を短縮、加工工程を簡略化でき、さらにダイサによる面取り加工に比べて均一な面取り加工を施すことができ、しかも面取り加工の装置を安価に製造できる。さらに面取り加工時における加工ストレスも小さいことから、従来におけるブラスト方式の場合のように、面取り加工面から粒子の脱粒が起こることが無く、前記面取り加工面における損傷の発生も従来に比べて低減させることができる。
【００４３】
【発明の実施の形態】
図１は、ハードディスクなどに搭載される磁気ヘッド（参考例）を記録媒体との対向面を上向きにして示した斜視図である。
【００４４】
図１に示した磁気ヘッドのスライダ１０は、アルミナ・チタンカーバイト、またはＡｌ2Ｏ3（アルミナ）などのセラミック材料や金属膜により形成されており、記録媒体との対向面１１にエアグルーブ（溝部）１２が形成され、さらに前記エアグルーブ１２を囲むようにしてレール部（段差部）１３が形成されている。前記レール部１３の表面１３ａは、対向面１１側において、最も高い位置に形成された面であり、この表面１３ａは、ＡＢＳ面と呼ばれ、クラウン形成されていることが好ましい。
【００４５】
前記ＡＢＳ面１３ａは、記録媒体（図示しない）が回転したときに、スライダ１０と記録媒体との間の空気流により浮上力を受ける部分であり、エアグルーブ１２は、スライダ１０に対して負圧を与える部分である。
【００４６】
図１に示すように、スライダ１のトレーリング側端面Ｂ（端部）には、薄膜素子部１４が設けられている。この薄膜素子部１４は例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）などのセラミック材料による保護膜２４で覆われている。
【００４７】
前記薄膜素子部１４は、再生用ヘッドとしてのＭＲヘッドおよび／または記録用ヘッドとしてのインダクティブヘッドとで形成された薄膜磁気素子１５と、この薄膜磁気素子１５内に形成されているコイル層あるいは電極層と導通接続される電極部１６とで構成されている。
【００４８】
図１に示すように、薄膜磁気素子１５が形成されている対向面１１上にはＡＢＳ面１３ａが形成されており、このＡＢＳ面１３ａから、前記薄膜磁気素子１５のギャップ部Ｇが現れている。
【００４９】
次に、スライダ１０の側面形状について以下に説明する。
【００５０】
図１に示すように、記録媒体との対向面１１の側縁部１７には面取り加工が施され湾曲面１９が形成されている。前記湾曲面１９は、点線で示す部分（右側の側縁部１７参照）、すなわち面取り加工前のスライダ１０側縁部からリーディング側端面Ａ及びトレーリング側端面Ｂに向けて前記側縁部から徐々に離れるように沿って形成されている。
【００５１】
前記側縁部１７は、後に詳述する方法により削り取られ、その削り量は、点線で示すように、その中心部分Ｃから、リーディング側端面Ａ及びトレーリング側端面Ｂに向けて徐々に多くなっており、これにより前記側縁部１７には、湾曲面１９が形成されている。また前記側縁部１７が湾曲面１９で形成されることから、記録媒体との対向面１１の４つの角部１８には、前記湾曲面１９と連続するＲ面が形成される。
【００５２】
前述したように、スライダ１０のトレーリング側端面Ｂには、薄膜素子部１４が形成されているが、本発明では、前記湾曲面１９がトレーリング側端面Ｂまで延びて形成される場合、前記湾曲面１９は、前記薄膜素子部１４に達しないように形成されている必要がある。
【００５３】
前記トレーリング側端面Ｂにおける削り量を多くすることは、側縁部１７に湾曲面１９を形成でき、よって対向面１１における角部１８をＲ形状にできるので、記録媒体への損傷を低減できる観点からすれば好ましいが、トレーリング側端面Ｂにて薄膜素子部１４までもが削れて湾曲面１９が形成されると、前記薄膜素子部１４が破壊されてしまうので、前記トレーリング側端面Ｂにおける削り量を、薄膜素子部１４にまで達しない程度に調整する必要性がある。
【００５４】
また図１に示すように、スライダ１０の側面２０には、段差部３４が形成されているが、この段差部３４は後述する製造方法で説明するように、スライダバーから各スライダ１０を切断することにより形成されるものである。なお、この段差部３４が形成されないようにすることも可能である。
【００５５】
また図１に示すスライダ１０では、側縁部１７に形成される湾曲面１９が、リーディング側端面Ａ及びトレーリング側端面Ｂにかけて形成されているが、前記湾曲面１９は、リーディング側端面Ａあるいはトレーリング側端面Ｂのどちらか一方にかけて形成されるようにしてもよい。
【００５６】
また特に磁気ヘッドがランプロード方式で使用される場合には、前記湾曲面１９は、少なくともトレーリング側Ｂにのみ形成されていることが好ましい。
【００５７】
図２は、本発明の実施形態の磁気ヘッドを記録媒体との対向面を上向きにして示した斜視図である。
【００５８】
図１に示す磁気ヘッドのスライダ１０と、図２に示す磁気ヘッドのスライダ１０とを比較すると、記録媒体との対向面１１の形状と湾曲面１９の形成位置が異なっている。
【００５９】
図２に示すスライダ１０では、記録媒体との対向面１１に、例えばＡＢＳ面１３ａが四角形状にされた３つの段差部１３が部分的に形成されている。
【００６０】
そしてこの段差部１３の回りを取り囲むようにしてエアグルーブ（溝部）１２が形成されている。
【００６１】
図２に示すように、記録媒体との対向面１１上に形成された３つのＡＢＳ面１３ａのうち、１つのＡＢＳ面１３ａは、スライダ１０の幅方向の中央部分に形成され、しかもトレーリング側端面Ｂ寄りに形成されている。そして残りの２つのＡＢＳ面１３ａは、リーディング側端面Ａ寄りに形成され、しかも前記２つのＡＢＳ面１３ａは、互いにスライダ１０の側縁部１７側に寄って形成されている。
【００６２】
このため図２に示すように、トレーリング側端面Ｂの中央部分に形成されたＡＢＳ面１３ａの両側から、スライダ１０の両側縁部１７までには、比較的広い間隔Ｔ４が空いている。これに対し、リーディング側端面Ａ寄りに形成された２つのＡＢＳ面１３ａとスライダ１０の側縁部１７までには、前記間隔Ｔ４に比べて狭い間隔Ｔ３しか空いていない。
【００６３】
ところで、上述したように、前記ＡＢＳ面１３ａは、記録媒体（図示しない）が回転したときに、スライダ１０と記録媒体との間の空気流により浮上力を受ける部分であり、前記ＡＢＳ面１３ａの面積や形状等により、記録媒体上でのスライダ１０の浮上距離および浮上姿勢が制御される。
【００６４】
このためＡＢＳ面１３ａの面積や形状は、予め設計の段階で決められているが、仮にスライダ１０の側縁部１７に形成される湾曲面１９が、前記ＡＢＳ面１３ａにまで及んで形成され、前記ＡＢＳ面１３ａの一部が削り取られると、前記ＡＢＳ面１３ａの面積及び形状が変化し、スライダ１０の浮上特性に影響を与えることになる。
【００６５】
従って本発明では、スライダ１０の記録媒体との対向面１１に形成されるＡＢＳ面１３ａにまで及ばない領域内、すなわち前記ＡＢＳ面１３ａの回りを取り囲むエアグルーブ（溝部）１２の領域内で湾曲面１９が形成されるようにすることが好ましい。これによりスライダ１０の浮上特性の安定化を図ることができる。
【００６６】
図２に示す実施例では、前述したように、スライダ１０のリーディング側端面Ａには、スライダ１０の側縁部１７側寄りに２つのＡＢＳ面１３ａが形成されており、前記ＡＢＳ面１３ａからスライダ１０の側縁部１７までには、僅かな間隔Ｔ３しか空いていない。
【００６７】
このため、前記スライダ１０の側縁部１７に対し、リーディング側端面Ａに向けて湾曲面１９を形成すると、前記間隔Ｔ３の部分のエアグルーブ（溝部）１２のみならず、さらにＡＢＳ面１３ａまでが、前記湾曲面１９の形成によって削られる可能性が高く、従って図２に示す実施例では、スライダ１０の側縁部１７に形成される湾曲面１９は、リーディング側端面Ａにかけて形成されていない。
【００６８】
また前記リーディング側端面Ａの角部１８，１８と、前記リーディング側端面Ａ寄りに形成された２つのＡＢＳ面１３ａとの間にも、僅かな間隔しか空いていないので、仮に記録媒体上で前記スライダ１０が傾いたとしても、前記角部１８は記録媒体に接触しにくく、よって前記角部１８がそのまま鋭角状のまま残されたとしても、記録媒体への損傷が増大することはほとんどない。
【００６９】
一方、トレーリング側端面Ｂ寄りには、スライダ１０の幅方向の中央部分にＡＢＳ面１３ａが形成されているので、前記ＡＢＳ面１３ａとスライダ１０の側縁部１７との間には、比較的広い間隔Ｔ４が空いており、従ってスライダ１０の側縁部１７に対し、トレーリング側端面Ｂに向けて湾曲面１９を形成しても、前記湾曲面１９の形成によって、スライダ１０の中央部分に形成されたＡＢＳ面１３ａが削られる可能性は低い。
【００７０】
よって本発明では図２に示すように、湾曲面１９をトレーリング側Ｂに向けてのみ形成しており、図２に示す実施例では、湾曲面１９の形成によってＡＢＳ面１３ａが削られておらず、浮上特性の安定した磁気ヘッドを製造することが可能である。
【００７１】
また図２に示すように、スライダ１０のトレーリング側端面Ｂには、薄膜素子部１４が形成されており、この薄膜素子部１４は、例えばアルミナなどの金属膜等よりなる保護膜２４で覆われている。
【００７２】
前記薄膜素子部１４は、ＭＲヘッドおよび／または記録用のインダクティブヘッドとで形成された薄膜磁気素子１５と、この薄膜磁気素子１５と導通接続される電極部１６とで構成されており、図２に示すように、前記薄膜磁気素子１５は、トレーリング側端面Ｂのほぼ中心付近に形成されている。
【００７３】
前記薄膜磁気素子１５上の対向面１１には、前述したスライダ１０の幅方向の中央部分に形成されたＡＢＳ面１３ａが位置しており、前記薄膜磁気素子１５のギャップ部Ｇが、前記ＡＢＳ面１３ａから現れている。
【００７４】
なおこの実施例においても図１に示すスライダ１０と同様に、スライダ１０の側縁部１７に形成された前記湾曲面１９は、前記スライダ１０のトレーリング側端面Ｂにおいて、前記薄膜素子部１４にまで達しない深さに形成されていることが好ましく、また前記湾曲面１９の形成により、前記記録媒体との対向面１１の角部１８には、前記湾曲面１９と連続するＲ面が形成されていることが好ましい。
【００７５】
なお図２に示す実施例では、スライダ１０の幅方向の中央部分であって、トレーリング側端面Ｂ寄りにＡＢＳ面１３ａを形成し、前記ＡＢＳ面１３ａの幅方向の両側で且つ前記ＡＢＳ面１３ａが形成されていない領域に湾曲面１９を形成しているが、このような形状は、磁気ヘッドがランプロード方式で使用される場合に、特に最適な設計となっている。
【００７６】
ランプロード方式の場合、磁気ヘッドは、ロード／アンロード時にトレーリング側Ｂから記録媒体に接近し、リーディング側端面Ａから離れるように設計されるため、リーディング側端面Ａの角部１８等が記録媒体に接触する確率は、極めて低いのに比べ、トレーリング側端面Ｂの角部１８等が、記録媒体に接触する確率は、高くなっている。
【００７７】
このため図２に示すように、スライダ１０の記録媒体との対向面１１に対し、トレーリング側端面Ｂ寄りのスライダ幅方向の中央部分にＡＢＳ面１３ａを形成し、前記ＡＢＳ面１３aの幅方向の両側に位置する側縁部１７に、前記ＡＢＳ面１３ａにまで及ばない領域内で、湾曲面１９を形成することにより、記録媒体への損傷をより低減させることが可能になっている。
【００７８】
ただし本発明では、図２に示すスライダ１０の形状に限定するものではない。すなわちスライダ１０の幅方向の中央部分であり、且つリーディング側端面Ａ寄りに、ＡＢＳ面１３ａを形成し、前記ＡＢＳ面１３ａの幅方向の両側に位置する側縁部１７に湾曲面１９を形成してよいし、あるいはスライダ１０の幅方向の中央部分であって、リーディング側端面Ａ及びトレーリング側端面Ｂの双方に、ＡＢＳ面１３ａを形成し、前記リーディング側端面Ａ及びトレーリング側端面Ｂに向けて、スライダ１０の側縁部１７に湾曲面１９を形成してもよい。
【００７９】
またＡＢＳ面１３ａの形状についても、図２に示すように四角形状でなくてよく、どのような形状であってもかまわない。
【００８０】
さらに図１（参考例）または図２に示す実施例では、対向面１１上に、浮上力を与えるＡＢＳ面１３ａと、負圧を与えるエアグルーブ１２とが形成されているが、さらに前記ＡＢＳ面１３ａの高さ位置と、エアグルーブ１２の高さ位置との間の高さ位置を有する段差部が形成されていてもかまわない。
【００８１】
この場合、前記段差部にまで、スライダ１０の側縁部１７に形成される湾曲面１９が形成されていてもかまわないし、あるいは前記段差部にまで及ばないように、エアグルーブ１２の部分にのみ前記湾曲面１９が形成されていてもかまわない。
【００８２】
以上のように本発明では、スライダ１０の記録媒体との対向面１１の側縁部１７には、その中心からリーディング側端面Ａおよび／またはトレーリング側端面Ｂにかけて徐々に削り量が多くなるようにして形成された湾曲面１９が設けられている。
【００８３】
この湾曲面１９の形成により、スライダ１０と記録媒体とが接触した際における記録媒体への損傷を適正に防止でき、特に本発明にあっては、スライダ１０の記録媒体との対向面１１の角部１８をＲ形状に形成できるので、従来最も記録媒体へ損傷を与え易かった角部１８が記録媒体へ接触しても、前記記録媒体の損傷を従来に比べて低減させることが可能である。
【００８４】
また本発明では、記録媒体との対向面１１上に形成されたＡＢＳ面１３ａにまで及ばない対向面１１の領域内で、湾曲面１９を形成することが好ましく、これにより、浮上特性の安定化を図ることができる。
【００８５】
次に本発明におけるスライダ１０の製造方法について以下に図３ないし図６を参照しながら説明する。
【００８６】
まず図３に示すように、複数のスライダ１０が一列に一体となって形成されたスライダバー２１を形成し、このスライダバー２１のトレーリング側端面Ｂに設けられた各薄膜素子部１４間であって、記録媒体との対向面１１に、溝部２２を形成する。この溝部２２の形成によって形成された側縁部２２ａが、各スライダ１０の側縁部となる部分である。
【００８７】
次に前記溝部２２の幅寸法よりも大きい径を有するワイヤを用意する。このワイヤは例えばピアノ線であり、本発明では前記ワイヤの周囲全体にダイヤモンド砥粒がコーティングされていることが好ましい。
【００８８】
図４に示すようにダイヤモンド砥粒がコーティングされたワイヤ２３は、その径Ｔ２が、溝部２２の幅寸法Ｔ１よりも大きくなっているが、さらに本発明では、図４に示すように、前記ワイヤ２３を前記溝部２２の記録媒体との対向面１１の両側縁部２２ａに当接させた際、前記ワイヤ２３の断面で見たときに、前記ワイヤ２３の中心Ｄから前記両側縁部２２ａとの当接点へ延びる線と、前記ワイヤの中心Ｄから前記溝部２２内に延びる垂線と、が成す角度が３０〜５０度の範囲となるように、前記ワイヤ２３の直径が選択されることが好ましい。最も好ましいのは、前記角度θが４５度となるような径Ｔ２を有するワイヤ２３を選択することである。
【００８９】
前記角度θが３０度から５０度の範囲内にならない径Ｔ２を有するワイヤ２３を選択した場合、すなわち前記角度θが３０度よりも小さい、あるいは５０度よりも大きい場合には、後述する工程で説明するように、前記ワイヤ２３との摩擦によって削れる前記側縁部２２ａの部分のうち、記録媒体との対向面１１側における削り量と、側面２０側における削り量とが大きく異なってしまい、製品化されたスライダ１０の側縁部１７に、図１に示すような適切な形状の湾曲面１９を形成できない虞があるからである。
【００９０】
本発明では前記ワイヤ２３を一定の張力によって張った後、図５に示すように、スライダバー２１に形成された溝部２２の両側縁部２２ａを、ワイヤ２３に押し付ける。これによって前記ワイヤ２３は、前記溝部２２から離れる方向へ山なりに撓む。
【００９１】
このようにワイヤ２３に、スライダバー２１の溝部２２の部分を押し付けた状態で、本発明では図５に示すように、溝部２２の形成方向（Ｘ方向）に沿って、スライダバー２１あるいはワイヤ２３を往復摺動させる。この摺動により、ワイヤ２３との摩擦で、前記スライダバー２１の溝部２２の側縁部２２ａが削られる。
【００９２】
本発明では、前記ワイヤ２３がスライダバー２１に押し付けられ、図５に示すように撓んだ状態で面取り加工が施されるので、スライダバー２１の各側縁部２２ａのうち、前記ワイヤ２３と必ず接触した状態にある角部から削れていき、徐々に前記角部から前記側縁部２２ａの中心にかけて削れていく。逆に言えば、前記側縁部２２ａの中心から角部にかけて削り量が多くなり、図６に示すように、スライダバー２１の各側縁部２２ａには、湾曲面１９が形成される。
【００９３】
そして本発明では、図６に示すようにスライダバー２１を、各溝部２２から一点鎖線で示すように切断すると、図１に示すような磁気ヘッドを複数個同時に得ることが可能である。
【００９４】
なお図６に示すように、最も図示左側におけるスライダ１０には、そのトレーリング側端面Ｂに、薄膜素子部１４が形成されていないが、これは、前記スライダ１０の左側縁部２１ａを、図５に示すワイヤ２３によって面取り加工できないので、前記スライダ１０は製品化されることはなく、したがって前記スライダ１０に薄膜素子部１４が形成されていないのである。
【００９５】
また図６に示す溝部２２から切断した際に、図１に示す製品化されたスライダ１０の側面２０には段差部３４が形成されるが、例えばスライダ１０が記録媒体上で浮上あるいは摺動している際に、強い衝撃を受けて傾いたとしても、前記段差部３４は、記録媒体との対向面１１から離れた位置にあるので、記録媒体と接触しにくく、記録媒体への損傷を増大させる原因となることはない。なお、前記段差部３４が形成されないように、各溝部２２からの切断を行ってもよい。
【００９６】
次に図７及び図８を参照しながら、本発明における他のスライダ１０の製造方法について説明する。
【００９７】
まず図３に示す各薄膜素子部１４間に溝部２２が形成された細長形状のスライダバー２１を形成し、例えばピアノ線にダイヤモンドがコーティングされたワイヤ２３を用意する。
【００９８】
なお前記ワイヤ２３を、前記溝部２２の記録媒体との対向面１１の両側縁部２２ａに当接させた際、前記ワイヤ２３の断面で見たときに、前記ワイヤ２３の中心Ｄから前記両側縁部２２ａとの当接点へ延びる線と、前記ワイヤの中心Ｄから前記溝部２２内に延びる垂線と、が成す角度が３０〜５０度の範囲となるように、前記ワイヤ２３の直径が選択されることが好ましい（図４参照）。最も好ましいのは、前記角度θが４５度となるような径Ｔ２を有するワイヤ２３を選択することである。
【００９９】
次に前記ワイヤ２３を一定の張力で張った後、図７に示すように、例えば前記ワイヤ２３を、溝部２２の形成方向に対して傾けて、スライダバー２１に形成された溝部２２の、例えばトレーリング側端面Ｂの両側縁部２２ａにのみ、前記ワイヤ２３を押し付ける。
【０１００】
これにより、トレーリング側の両側縁部２２ａの角部にのみ、ワイヤ２３が押し付けられた状態になり、この状態で前記スライダバー２１あるいはワイヤ２３を、溝部２２の形成方向（Ｘ方向）に沿って、往復摺動させる。この摺動により、前記ワイヤ２３との摩擦で、前記トレーリング側端面Ｂにおける両側縁部２２ａの角部から優先的に削られていき、徐々に前記角部から前記側縁部２２ａの中心にかけて削られていく。
【０１０１】
そして図８に示すように、スライダバー２１のトレーリング側端面Ｂの両側縁部２２ａにのみ湾曲面１９が形成された状態となっている。
【０１０２】
なお、図７に示す工程の際に、スライダバー２１のリーディング側端面Ａの両側縁部２２ａにのみワイヤ２３を押し付けて、前記リーディング側端面Ａの両側縁部２２ａにのみ湾曲面１９が形成されるようにしてもかまわない。
【０１０３】
そして図８に示すようにスライダバー２１を、各溝部２２から一点鎖線で示すように切断すると、図２に示すような磁気ヘッドを複数個同時に得ることが可能である。
【０１０４】
図７及び図８に示す製造方法によれば、ワイヤ２３と溝部２２との相対角度、ワイヤ２３の押し込み量、さらには前記ワイヤ２３の張力等を変更することで、部分的に所定形状の湾曲面１９を形成でき、また部分的に大きな形状の湾曲面１９を形成することが可能である。
【０１０５】
なお記録媒体との対向面１１に形成されるＡＢＳ面１３ａ（図１，２参照）は、イオンミリング等によって形成されるものであり、本発明では、前記ＡＢＳ面１３ａの形成を、どの工程の時に行うかは自由である。
【０１０６】
例えば図３に示すスライダバー２１を形成後、前記スライダバー２１の側縁部２２ａに湾曲面１９を形成する前に、ＡＢＳ面１３ａの形成を行ってもよいし、あるいは、スライダバー２１の側縁部２２ａに湾曲面１９を形成した後に、ＡＢＳ面１３ａを形成してもよい。あるいは、前記スライダバー２１から複数のスライダ１０に切断された後、個々のスライダ１０に対してＡＢＳ面１３ａの形成を行ってもかまわない。
【０１０７】
またＡＢＳ面１３ａの形状は、どのような形状であってもかまわない。ただし本発明では、前記湾曲面１９を、ＡＢＳ面１３ａに及ばない領域に形成することが好ましい。
【０１０８】
また前記ＡＢＳ面１３ａを、スライダの幅方向の中央部分に形成した場合には、前記ＡＢＳ面１３ａの両側に位置する側縁部２２ａに湾曲面１９を形成することが好ましい。
【０１０９】
以上のように本発明によれば、複数のスライダが一体形成されたスライダバー２１の状態で、各スライダの側縁部となる溝部２２の複数の側縁部２２ａに対し、同時に面取り加工を施すことができるので、従来のように、各スライダごとに面取り加工を施す場合に比べ、面取り加工の工程を簡略化でき、また面取り加工の時間を短縮できる。
【０１１０】
さらに本発明では、面取り加工を、ダイヤモンド砥粒のコーティングされたワイヤを使用し、このワイヤとの摩擦によって行う比較的簡単なものであるので、面取り加工を容易に行うことができ、また面取り加工に用いる装置も安価に製造可能である。また前記ワイヤとの摩擦によって面取り加工を施すので、面取り加工の施される側縁部２２ａにおける加工ストレスを小さくでき、図６に示す湾曲面１９に外傷などは発生しにくい。さらに前記ワイヤのスライダバー２１に対する押し込み量や、前記ワイヤとスライダバー２１との相対位置、またはワイヤの張力等を変えることで、スライダバー２１の側縁部２２ａに形成される湾曲面１９を所定の形状に形成でき、しかも前記湾曲面１９の形状を容易に変更することが可能である。
【０１１１】
また面取り加工は、ダイヤモンド砥粒のコーティングされたワイヤを使用する以外に、例えば砥粒を含んだスラリーを、ピアノ線のみで構成されるワイヤと、スライダバーの側縁部２２ａとの間に流し込み、前記ワイヤとの摩擦で行う方法などで行ってもよい。ただし、この場合であると、後にスライダバーに付着したスラリーを洗浄する必要性があるなど、面取り工程に時間がかかり、ダイヤモンド砥粒のコーティングされたワイヤを使用する場合に比べると好ましくないと考えられる。
【０１１２】
次に本発明における磁気ヘッドの製造装置について説明する。
【０１１３】
図９は本発明における製造装置の部分平面図、図１０は、図９に示す製造装置の部分正面図である。
【０１１４】
図９に示す製造装置２５は、図３に示すスライダバー２１に形成された溝部２２の側縁部２２ａに対し、図６あるいは図８に示すような湾曲面１９を形成する工程に用いられるものである。
【０１１５】
前記製造装置２５には、ワイヤガイド板２９，３０が並列に設けられており、このワイヤガイド板２９，３０上には、複数個の円形状のピン３１が設置されている。ワイヤ２７の一端は、ワイヤガイド板３０上で固定部材２８によって固定されており、ワイヤ２７が複数のピン３１の外周に沿って架け渡され、前記ワイヤ２７の他端が、ワイヤガイド板３０上で固定部材３２によって固定されている。前記ワイヤ２７は、ダイヤモンド砥粒がコーティングされたものであり、しかも前記ワイヤ２７の径は、スライダバー２１に形成された溝部２２の幅寸法よりも大きいものである。
【０１１６】
前記ワイヤ２７を架け渡した状態で、例えばワイヤガイド板２９を図示Ｘ１方向（図示左方向）に動かし、これによって、前記ワイヤ２７には一定の張力がかかった状態になる。
【０１１７】
このように前記ワイヤ２７が、ワイヤガイド板２９上に形成された複数のピン３１に架け渡されたことにより、ワイヤガイド板２９，３０間においては、複数条のワイヤ２７ａ〜２７ｈがそれぞれ平行に張られた状態になっている。
【０１１８】
また、スライダバー２１の記録媒体との対向面１１には、図２に示すように、複数の溝部２２が形成されているが、前記ワイヤガイド板２９，３０間に張られた各ワイヤ２７ａ〜２７ｈの間隔は、前記溝部２２の間隔の整数倍となっている。
【０１１９】
前記スライダバー２１は、記録媒体との対向面１１に形成された溝部２２側が、ワイヤ２７ａ〜２７ｈに対向するように、保持部材３３によって保持される。
【０１２０】
また前記保持部材３３には、駆動手段（図示しない）が設けられており、この駆動手段によって、前記保持部材３３が図１０に示すようにＺ方向に駆動し、前記保持部材３３に設置されたスライダバー２１の溝部２２の側縁部２２ａの部分が、ワイヤ２７ａ〜２７ｈに押し付けられる。
【０１２１】
この場合、図１に示すようにスライダ１０のリーディング側端面Ａ及びトレーリング側端面Ｂの双方に向けて湾曲面１９を形成したい場合には、スライダバー２１に形成された溝部と、ワイヤ２７ａ〜２７ｈとの相対位置を平行にしておき、また図２に示すように、スライダ１０のリーディング側端面Ａあるいはトレーリング側端面Ｂのどちらか一方にのみ向けて湾曲面１９を形成したい場合には、例えば保持部材３３を斜めに傾けて、スライダバー２１の溝部とワイヤ２７ａ〜２７ｈとの相対位置を傾けておく。
【０１２２】
スライダバー２１の溝部２２の部分がワイヤ２７ａ〜２７ｈに押し付けられると、前記ワイヤ２７ａ〜２７ｈは、前記溝部２２から離れる方向に撓む。
【０１２３】
そして図９に示すように、前記溝部２２の形成方向（Ｘ１−Ｘ２）に沿って、保持部材３３と共にスライダバー２１が往復摺動させられ、これによって、ワイヤ２７ａ〜２７ｈに押し付けられた部分の溝部２２の側縁部２２ａには、湾曲面１９の形成による面取り加工が施される。
【０１２４】
さらに前述したように、各ワイヤ２７ａ〜２７ｈの間隔は、溝部２２の間隔の整数倍ごとに張られた状態にあるので、本発明における製造装置２５には、未だ面取り加工の施されていないスライダバー２１の溝部２２を面取り加工するために、スライダバー２１をワイヤ２７ａ〜２７ｈから離した状態で図示Ｙ方向に一溝部２２分だけスライドさせて、面取り加工の施されていない溝部２２をワイヤ２７ａ〜２７ｈ上に対向させる送り手段（図示しない）が設けられている。
【０１２５】
送り手段によって送られた後は、再び前述した駆動手段を駆動させて、前記スライダバー２１をワイヤ２７ａ〜２７ｈに押し付けて面取り加工を施す。このように送り手段及び駆動手段を繰返し動作させることによって、スライダバー２１に形成された全ての溝部２２に対し面取り加工を施す。前記繰返し動作は、１回でもよいし、また複数回往復させることによって行なわれてもよい。
【０１２６】
本発明における製造装置２５は、比較的簡単な機構部を設けることにより製造できるものであり、従来のようにブラスト方式による面取り加工装置などに比べ安価に製造可能である。
【０１２７】
また前述したように、前記製造装置２５では、スライダバー２１に形成された溝部２２の数分だけワイヤ２７ａ〜２７ｈを設けるものではなく、一定の溝部２２間ごとにワイヤ２７ａ〜２７ｈを張り、送り手段によってスライダバー２１をスライドさせることにより、前記スライダバー２１に形成された全ての溝部を面取り加工できるものである。なおスライダバー２１に形成される溝部２２と同数のワイヤを張ってもかまわない。さらに、ワイヤガイド板２９，３０側を摺動させて面取り加工を施してもよい。
【０１２８】
なお実施例における磁気ヘッドは、スライダの側縁部に薄膜素子部が設けられたものであるが、本発明では、バルクタイプの素子部がスライダに設けられた磁気ヘッドについても適用可能である。
【０１２９】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、スライダの記録媒体との対向面の側縁部に、その中心からトレーリング側端面および／またはーディング側端面にかけて削り量が多くなるように湾曲面を形成でき、また特に記録媒体と接触しやすかった記録媒体との対向面の角部をＲ形成できるので、従来に比べて記録媒体への損傷を低減させることが可能である。
【０１３０】
また前記湾曲面を、少なくともトレーリング側に形成することで、特にランプロード方式の磁気ヘッドの場合には、記録媒体への損傷を効果的に低減させることができる。
【０１３１】
またスライダの記録媒体との対向面にはＡＢＳ面が形成されており、本発明では、前記スライダの側縁部に形成される湾曲面を、前記ＡＢＳ面にまで及ばない対向面の領域内で形成することにより、浮上特性の安定化を図ることができる。
【０１３２】
また本発明における製造方法では、複数のスライダが一体形成されたスライダバーの状態で、面取り加工を施すことができるので、従来のように、各スライダごとに面取り加工を施す場合に比べ、面取り加工の工程を簡略化でき、また面取り加工の時間を短縮できる。
【０１３３】
さらに本発明では、面取り加工を、ダイヤモンド砥粒のコーティングされたワイヤを使用し、このワイヤとの摩擦によって行う比較的簡単なものであるので、面取り加工を容易に行うことができ、また従来のようにダイサを用いる場合に比べ、均一な面取り加工を施すことができ、さらに面取り加工に用いる装置も安価に製造可能である。また前記ワイヤとの摩擦によって面取り加工を施すので、面取り加工の施される部分（側縁部）における加工ストレスを小さくでき、形成される湾曲面に外傷などが発生しにくい。
【図面の簡単な説明】
【図１】ハードディスクなどに搭載される磁気ヘッド（参考例）を記録媒体との対向面を上向きにして示した斜視図、
【図２】ハードディスクなどに搭載される本発明の実施形態の磁気ヘッドを記録媒体との対向面を上向きにして示した斜視図、
【図３】本発明における磁気ヘッドの製造工程を示すスライダバーの部分斜視図、
【図４】図３に示す製造工程の次の工程であり、スライダー及びワイヤの部分正面図、
【図５】図４に示す製造工程の次の工程であり、スライダバーに形成された溝部にワイヤを当接させた際の部分拡大斜視図、
【図６】図５に示す製造工程の次の工程であり、面取り加工が施された状態を示すスライダバーの部分斜視図、
【図７】本発明における磁気ヘッドの他の製造工程を示すスライダバーの部分斜視図、
【図８】図７に示す製造工程の次の工程であり、面取り加工が施された状態のスライダバーの部分斜視図、
【図９】本発明における磁気ヘッドの製造装置の部分平面図、
【図１０】本発明における磁気ヘッドの製造装置の部分正面図、
【図１１】ハードディスクなどに搭載される従来の磁気ヘッドを記録媒体との対向面を上向きにして示した斜視図、
【図１２】面取り加工を施す際のスライダーの部分斜視図、
【符号の説明】
１０  スライダ
１１  記録媒体との対向面
１３  レール部（段差部）
１３ａ  ＡＢＳ面
１４  薄膜素子部
１７  （スライダの）側縁部
１８  （記録媒体との対向面の）角部
１９  湾曲面
２１  スライダバー
２２  溝部
２２ａ  （溝部の）側縁部
２３、２７、２７ａ〜２７ｈ  ワイヤ
２５  製造装置
３３  保持部材
【図１】
0003774333.tif 000002
【図２】
0003774333.tif 000003
【図３】
0003774333.tif 000004
【図４】
0003774333.tif 000005
【図５】
0003774333.tif 000006
【図６】
0003774333.tif 000007
【図７】
0003774333.tif 000008
【図８】
0003774333.tif 000009
【図９】
0003774333.tif 000010
【図１０】
0003774333.tif 000011
【図１１】
0003774333.tif 000012
【図１２】
0003774333.tif 000013