(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング内に形成されたシリンダと、
該シリンダ内を往復動可能に配設された可動体と、
中央部に軸孔を持つとともに、外周縁側のリング状部分で形成され前記ハウジング内で固定された外周固定部と、該軸孔周囲の中央縁側のリング状部分で形成され前記可動体に固定された内周固定部と、前記外周固定部と前記内周固定部とを連結する腕部とを備え、前記軸孔に前記可動体が挿通されて該可動体を支持する導電性のフレクシャベアリングと、
前記フレクシャベアリングの前記外周固定部に面当りして取り付けられた第１給電体と、
前記フレクシャベアリングの前記内周固定部に面当りして取り付けられた第２給電体と、
永久磁石及びコイルを備え該コイルに交番電流を通電することにより発生する推力に基づいて前記可動体を往復駆動する駆動系と、
前記コイルに交番電流を供給する電源と、
前記電源から供給された交番電流を前記第１給電体、前記フレクシャベアリング、前記第２給電体を経て前記コイルに通電する電流リード系と
を備えたリニアモータ圧縮機。
【請求項２】
請求項１において、
前記導電性のフレクシャベアリングは、鉄鋼、ステンレス鋼を含む鉄基金属で形成されることを特徴とするリニアモータ圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はリニアモータ圧縮機に関するものである、特に、リニアモータ圧縮機内部の可動体をフレクシャベアリングで支持するリニアモータ圧縮機に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
リニアモータ圧縮機は、シリンダ内を直動駆動する可動体が往復し、シリンダ内壁と可動体とで画成された作動空間内の作動流体を該可動体の往復動により圧縮し、外部に供給するものである。この種のリニアモータ圧縮機は、その作動空間内圧が可動体の往復動に伴って周期的に変動しているので、この作動空間をスターリング冷凍機の圧縮空間として利用したり、リニアモータ圧縮機をパルス管冷凍機の圧力変動源として利用することができる。
【０００３】
可動体は一般的にシリンダ内を往復するピストン及びピストンの背面に連通したピストンロッドを含む。そして、この可動体の直動を補償するため、ピストンロッド回りにフレクシャベアリングを取り付け、可動体をピストンロッドの軸方向には移動可能であるが径方向には移動不能であるように構成する。また、可動体を往復駆動する駆動系としてのリニアモータは、永久磁石及びコイルよりなり、コイルに交番電流を通電して電磁力を発生させ、この電磁力により可動体を駆動させる方式が一般的である。
【０００４】
可動体をその軸方向に移動可能に支持するフレクシャベアリングの構造として、実用新案登録第２５１８６７１号公報に記載されたものがある。これは、図１０、図１１に示すように、フレクシャベアリング１０１を、外周部１０１ａ、内周部１０１ｂ、及び該外周部と内周部とを結合する３本以上の腕部分１０１ｃを含んだベリリウム銅等の電気的良導体で構成している。また、電流供給源である気密端子１０２からはリード線１０３ａが延在し、このリード線１０３の端部はフレクシャベアリング１０１の外周部分Ａに固定されている。一方、フレクシャベアリング１０１の内周部分Ｂにはリード線１０３ｂの一端が固定され、このリード線１０３ｂの他端は可動コイル１０４に固定されている。
【０００５】
そして、気密端子１０２から電流を供給すると、電流はリード線１０３ａを通ってフレクシャベアリング１０１の外周に達し、該フレクシャベアリングの外周から腕部を経て内周に伝達され、さらにリード線１０３ｂを通って可動コイル１０４に到達する。このようにして、フレクシャベアリングをリニアモータの電流リードとして利用するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術においては、リード線はフレクシャベアリングに直接固定されており、その接触面積はわずかであることから、フレクシャベアリングを電流リードとして利用した場合に十分に電流を伝達させることができず、リニアモータの駆動不良を起こす恐れがある。このためリニアモータ圧縮機の信頼性に欠けるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、リニアモータ圧縮機の信頼性を向上させることを技術的課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記した技術的課題を解決するためになされた請求項１の発明は、
ハウジング内に形成されたシリンダと、
該シリンダ内を往復動可能に配設された可動体と、
中央部に軸孔を持つとともに、外周縁側のリング状部分で形成され前記ハウジング内で固定された外周固定部と、該軸孔周囲の中央縁側のリング状部分で形成され前記可動体に固定された内周固定部と、前記外周固定部と前記内周固定部とを連結する腕部とを備え、前記軸孔に前記可動体が挿通されて該可動体を支持する導電性のフレクシャベアリングと、
前記フレクシャベアリングの前記外周固定部に面当りして取り付けられた第１給電体と、
前記フレクシャベアリングの前記内周固定部に面当りして取り付けられた第２給電体と、
永久磁石及びコイルを備え該コイルに交番電流を通電することにより発生する推力に基づいて前記可動体を往復駆動する駆動系と、
前記コイルに交番電流を供給する電源と、
前記電源から供給された交番電流を前記第１給電体、前記フレクシャベアリング、前記第２給電体を経て前記コイルに通電する電流リード系と
を備えたリニアモータ圧縮機としたことである。
【０００９】
上記発明によれば、中央部に形成された軸孔に可動体を挿通して該可動体を支持する導電性のフレクシャベアリングは、外周縁側のリング状部分が外周固定部としてハウジングに固定され、軸孔周囲の中央縁側のリング状部分が内周固定部として可動体に固定され、外周固定部と内周固定部とは腕部により連結された構成である。このようなフレクシャベアリングには、その外周固定部に面当りした第１給電体が、またその内周固定部に面当りした第２給電体が取り付けられている。そして、電源から供給される交番電流は、電流リード系により、第１給電体、フレクシャベアリング、第２給電体を経て可動体を駆動する駆動系のコイルに通電されるものである。
【００１０】
このように、電流リード系は、電源から供給される交番電流を、第１給電体、フレクシャベアリング、第２給電体を経てコイルに通電するので、電源から供給される交番電流はフレクシャベアリングの外周固定部に面当りした第１給電体により通電面積が拡大されて該外周固定部に伝達され、外周固定部から腕部、腕部から内周固定部へと電流が通電される。内周固定部からの電流は該内周固定部に面当りして拡大された通電面積をもつ第２給電体に受け渡され、該第２給電体よりコイルに通電されるものである。
【００１１】
従って、フレクシャベアリングを駆動系への通電経路として利用する際に、第１給電体により通電面積が拡大されてフレクシャベアリングに電流が受け渡されるとともに、フレクシャベアリングからの電流は第２給電体により通電面積が拡大されて該第２給電体に受け取られるので、十分に電流が伝達され、リニアモータ圧縮機への通電不良により駆動不良を起こすことはなく、リニアモータ圧縮機の信頼性を向上させることができるものである。
【００１２】
第１給電体は、フレクシャベアリングの内周固定部に面当りして通電面積を拡大するものであれば良いが、好ましくは、フレクシャベアリングの内周固定部全面に面当りしたリング状のものが良い。内周固定部全面に面当りすることで、通電面積を最も大きく取れる。同様に、第２給電体は、フレクシャベアリングの外周固定部に面当りして通電面積を拡大するものであれば良いが、好ましくは、フレクシャベアリングの外周固定部全面に面当りしたリング状のものが良い。外周固定部全面に面当りすることで、通電面積を最も大きく取れるものである。
【００１３】
また、フレクシャベアリングを積層方向に複数個配列し、複数のフレクシャベアリングで可動体を支持する場合は、各フレクシャベアリング間に第１及び第２給電体を介装させることにより、各フレクシャベアリングの接触を避けるためのスペーサとしての役割も共用できるものである。
【００１４】
第１及び第２給電体の材質としては、鉄鋼、真鍮、ベリリウム銅又はリン青銅等の銅系材料が挙げられるが、好ましくは銅系材料を材質として選択するのが良い。このような材質にすることにより、給電体自身でフレクシャベアリングを保持することができるとともに、高い通電性で確実に電流を伝達することができるものである。
【００１５】
また、請求項１の発明により上記技術的課題を解決するに当り、請求項２の発明のように、前記導電性フレクシャベアリングは、鉄鋼、ステンレス鋼を含む鉄基金属で形成されることが好ましい。
【００１６】
フレクシャベアリングの材質としては、鉄鋼、ステンレス鋼以外にリン青銅、ベリリウム銅等の導電性の材料が挙げられるが、安価でかつ疲労強度が高い鉄鋼、ステンレス鋼等の鉄基金属を用いて導電性フレクシャベアリングを形成することにより、請求項１の作用効果に加え、リニアモータ圧縮機を安価に製造できるとともに、その耐久性も向上させることができるものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
図１は、本例におけるリニアモータ圧縮機を利用するスターリング冷凍機の断面図である。図において、スターリング冷凍機１００は、リニアモータ圧縮機１と、膨張部５０と、リニアモータ圧縮機１と冷凍発生部５１とを連結する作動ガス通路８を備えるものである。
【００１９】
リニアモータ圧縮機１は、ハウジング２と、可動体３、３’と、フレクシャベアリング群４１、４２、４３、４４と、駆動系としてのリニアモータ５、５’とを備えるものである。
【００２０】
ハウジング２は、略円筒形状に形成されており、その図示略中央部には、円筒状のシリンダ内空間が形成されたシリンダ部２１が形成されている。また、その図示右側部はシリンダ内空間に連通した第１収容空間Ａを内部に形成する第１ハウジング部２２とされ、その図示左側部はシリンダ内空間に連通した第２収容空間Ｂを内部に形成する第２ハウジング部２３とされている。また、シリンダ部２１の外周にはフィン２４が形成され、リニアモータ圧縮機１の駆動により発生する熱を外部に放出できるようにされている。
【００２１】
可動体３は、シリンダ部２１のシリンダ内空間の図示右寄りに配置されるピストン３１、ピストン３１の背面３１ａに連結して第１収容空間Ａ内に延設されたピストンロッド３２、ピストンロッド３２の外周から径方向に延びた円板部３３ａ及び該円板部３３ａの外周端から略直角に折れ曲がってピストンロッド３２の軸方向に延びた円筒部３３ｂとを備えたフランジ３３とよりなる。また同様に、可動体３’は、シリンダ部２１のシリンダ内空間の図示左寄りに配置されるピストン３１’、ピストン３１’の背面３１’ａに連結して第２収容空間Ｂ内に延設されたピストンロッド３２’、ピストンロッド３２’の外周から径方向に延びた円板部３３’ａ及び該円板部３３’ａの外周端から略直角に折れ曲がってピストンロッド３２’の軸方向に延びた円筒部３３’ｂとを備えたフランジ３３’とよりなる。
【００２２】
ピストン３１とピストン３１’とは、シリンダ内空間でその前面３１ｂと３１’ｂとが対面しており、シリンダ内空間の壁面を構成するシリンダ内壁２１ａと、ピストン前面３１ｂ、３１’ｂとで圧縮空間Ｃを画成している。そして、両ピストン３１、３１’が対向してシリンダ内空間を往復動するものである。このような方式の圧縮機は、一般に、対向型リニアモータ圧縮機と称されている。
【００２３】
第１ハウジング部２２内に形成される第１収容空間Ａの内壁面にはヨーク６が固定されている。このヨーク６は、第１収容空間Ａの内壁面に当接して配設されたリング状の外周リング部６ａと、外周リング部６ａとピストンロッド３２との間に配設されたリング状の内周リング部６ｂと、外周リング部６ａと内周リング部６ｂとを連結する連結部６ｃとよりなる。
【００２４】
同様に、第２ハウジング部２３内に形成される第２収容空間Ｂの内壁面にはヨーク６’が固定されている。このヨーク６’は、第２収容空間Ｂの内壁面に当接して配設されたリング状の外周リング部６’ａと、外周リング部６’ａとピストンロッド３２’との間に配設されたリング状の内周リング部６’ｂと、外周リング部６’ａと内周リング部６’ｂとを連結する連結部６’ｃとよりなる。
【００２５】
ヨーク６の外周リング部６ａと内周リング部６ｂとの間にはリング状空間Ｄが形成されており、このリング状空間Ｄ内に可動体３を往復駆動する駆動系５が配設されている。駆動系５は、外周リング部６ａの内周壁面に埋め込まれた状態で固定保持されたリング状永久磁石５ａと、フランジ３３のコイル支持部３３ｂの先端からリング状空間Ｄ内に延設した部分に巻回されたコイル５ｂとよりなる。そして、リング状永久磁石５ａの内周面は、コイル５ｂの外周側に所定の隙間を保って対面した状態とされているものである。
【００２６】
同様に、ヨーク６’の外周リング部６’ａと内周リング部６’ｂとの間にはリング状空間Ｅが形成されており、このリング状空間Ｅ内に可動体３’を往復駆動する駆動系５’が配設されている。駆動系５’は、外周リング部６’ａの内周壁面に埋め込まれた状態で固定保持されたリング状永久磁石５ａ’と、可動体３’のコイル支持部３３’ｂの先端からリング状空間Ｅ内に延設した部分に巻回されたコイル５’ｂとよりなる。そして、リング状永久磁石５’ａの内周面は、コイル５’ｂの外周側に所定の隙間を保って対面した状態とされているものである。
【００２７】
ピストンロッド３２の図示右側寄りには、フレクシャベアリング群４１が、図示左側寄りにはフレクシャベアリング群４２が配設されている。同様に、ピストンロッド３３の図示右側寄りにはフレクシャベアリング群４３が、図示左側寄りにはフレクシャベアリング群４４が配設されている。このフレクシャベアリング群はピストンロッド３２及び３２’をその軸方向には移動可能であるがその他の方向には移動不能であるように支持するものである。
【００２８】
圧縮空間Ｃには、作動ガス通路８の通路内空間が連通している。この作動ガス通路８は、一端がシリンダ部２１のシリンダ内壁２１ａに開口し、他端が膨張部５０に連通するものであり、圧縮空間Ｃ内の作動ガスと膨張部５０とを連通するためのものである。
【００２９】
膨張部５０は、膨張シリンダ５１と、該膨張シリンダ５１内を往復動可能な可動体５２と、膨張シリンダ５１の図示右側寄りの外周に配設され発生する熱を外部に放出するためのフィン５３と、該フィン５３から連続的に形成され膨張シリンダ５１のシリンダ内空間に図示右側から連通する第３収容空間Ｆを内部に画成するハウジング５４と、可動体５２を往復駆動させるための駆動部５５とを備えるものである。
【００３０】
可動体５２は、膨張シリンダ５１内に収容され該膨張シリンダ内を往復する膨張ピストン５２ａと、膨張ピストン５２ａの内部に収容され熱を貯える機能を果たす蓄冷器５２ｂと、膨張ピストン５２ａの背面部に連結して第３収容空間Ｆに延設したピストンロッド５２ｃと、ピストンロッド５２ｃの後端部から径方向に円板状に延設されたフランジ５２ｄとよりなり、ピストンロッド５２ｃの後端とハウジング５４の内壁とに連結したスプリング５６により弾性的に支持されているものである。
【００３１】
駆動部５５は、フランジ５２ｄに固定され該フランジ５２ｄの外周縁より前方に突出して配置されたコイル５５ａと、ハウジング５４と一体に形成され第３収容空間Ｆ内に延在したリング状のヨーク部５４ａの外周に固定されたリング状の永久磁石５５ｂとよりなる。そして、永久磁石５５ｂの外周面はコイル５５ａの内周面と所定の隙間を保って対面しているものである。
【００３２】
蓄冷器５２ｂは、銅等の低温比熱が大きい材質がメッシュ状に形成されたものが複数枚積層されており、蓄冷器５２ｂ内の作動ガスはメッシュの間隙を通ってその一端から他端に連通できるよう構成されている。
【００３３】
一端が圧縮空間Ｃに開口した作動通路８は、その他端が膨張シリンダ５１に形成されたリング状の孔部５１ａに開口している。また、膨張ピストン５２ａには第１連通路５７及び第２連通路５８が形成されており、第１連通路５７の一端は蓄冷器５２ｂの一端（高温端）に連絡し、第１連通路５７の他端はスプリング５６の自然長状態において膨張シリンダ５１の凹部５１ａの略中央に面するようにされている。一方、第２連通路５８の一端は蓄冷器５２ｂの他端（低温端）に連絡し、第２連通路５８の他端は膨張ピストン５２ａと膨張シリンダ５１とで画成された膨張空間Ｇに開口している。従って、圧縮空間Ｃ内の作動ガスは、該圧縮空間Ｃから作動通路８内の通路内空間、膨張シリンダ５１の孔部５１ａ、第１連通路５７、蓄冷器５２ｂ、第２連通路５８を通って膨張空間Ｇと連通しているものである。
【００３４】
また、膨張空間Ｇにはコールドヘッド５９が接触しており、このコールドヘッド５９と図示せぬ被冷却体が熱的に接触することで被冷却体が冷却される。このコールドヘッド５９及び膨張シリンダ５１は、内部が真空状態とされた真空槽６０内に収容されているものである。
【００３５】
各フレクシャベアリング群４１、４２、４３、４４は、図２に示す形状のフレクシャベアリング４を複数枚平行に配置して構成され、フレクシャベアリング群４１、４２により可動体３を軸方向（ピストンロッド３２の軸方向）には往復動可能であるがそれ以外の方向には移動不能であるように可動体３を支持するものであり、フレクシャベアリング４３、４４により可動体３’を軸方向（ピストンロッド３２’の軸方向）には往復動可能であるがそれ以外の方向には移動不能であるように可動体３’を支持するものである。
【００３６】
図２に示すように、フレクシャベアリング４は円板状に形成されており、その中央部に軸孔７が形成されている。また、フレクシャベアリング４は、その外周縁Ｈと図示点線Ｉとで囲まれた外周縁側のリング状部分で形成される外周固定部４ａと、その内周縁Ｊと図示点線Ｋとで囲まれた中央縁側のリング状部分で形成される内周固定部４ｂと、外周固定部４ａと内周固定部４ｂとを連結する３本の腕部４ｃで構成されるものである。外周固定部４ａには、フレクシャベアリング４をヨーク６または６’に固定するための外周固定孔４ｄが径方向に所定の間隔を経て複数個形成され、内周固定部４ｂには、フレクシャベアリング４をピストンロッド３２または３２’に固定するための内周固定孔４ｅが径方向に所定の間隔を経て複数個形成されている。
【００３７】
３本の腕部４ｃは、３本のスリット４ｆにより仕切られている。このスリット４ｆは、その一端が外周固定部４ａに形成され、該一端から中心方向に延びるとともに次第に径方向に延び、渦巻き状に徐々に曲率半径を小さくしながら内周固定部４ｂに近づき、内周固定部４ｂにほぼ直角に進入し、該内周固定部４ｂにその他端が形成されているものである。このような形状のスリットが等間隔に３本形成され、各スリット間の部分が腕部４ｃとされている。従って、各腕部の形状も、スリットの形状と同じような、略渦巻き状に形成されるものである。
【００３８】
上記構成のフレクシャベアリングにおいて、外周固定部４ａに相対的に内周固定部４ｂが軸方向（図２の紙面と鉛直方向）に往復動した場合、各腕部が撓むことにより内周固定部４ｂが軸方向に移動することを許容するものである。
【００３９】
上記説明のフレクシャベアリング４の中央に形成された軸孔７には、図１に示すピストンロッド３２または３２’が挿通され、これによりピストンロッド３２または３２’は、軸方向の移動が可能であるが、これ以外の方向には移動不能となるように支持されるものである。
【００４０】
図３は、図１におけるリニアモータ圧縮機の第１収容空間Ａ内の拡大断面図、図９は図３におけるフレクシャベアリング群４１付近の拡大断面図である。尚、第２収容空間Ｂ内の構成は、第１収容空間Ａ内の構成を対称配置した構成であり、個々の構成は夫々同一であるので、以下に説明する第１収容空間Ａ内の構成を援用し、その説明を省略する。図において、フレクシャベアリング群４１は、図２に示すフレクシャベアリング４を８枚積層状態で配列したものである。各フレクシャベアリング４−１〜４−８は、その中心部に形成された軸孔７の中心が同一軸上となるように配列され、該軸孔７にピストンロッド３２が挿通されている。また、各フレクシャベアリングに形成された外周固定孔４ｄ及び内周固定孔４ｅはそれぞれ対面しており、外周固定孔４ｄ及び内周固定孔４ｅに取り付け用のネジ等が挿通されるように配置されている。
【００４１】
フレクシャベアリング４−１、４−２、４−３、４−４、４−５、４−６の図示右側には、外周側リングスペーサ９−１、９−２、９−３、９−４、９−５、９−６、及び、内周側リングスペーサ１０−１、１０−２、１０−３、１０−４、１０−５、１０−６が配設されている。
【００４２】
外周側リングスペーサ９−１〜９−６は、図４に示す外周側リングスペーサ９と同一形状である。この外周側リングスペーサ９は、径方向に等間隔で複数の外周固定孔９ａが形成されている。図２と図４を比較してわかるように、外周側リングスペーサ９は、フレクシャベアリング４の外周固定部４ａとほぼ同一形状とされ、外周固定孔（９ａ、４ｄ）の形成位置も同一としてある。
【００４３】
このような形状の外周側リングスペーサ９−１〜９−６を、各フレクシャベアリング４−１〜４−６の外周固定部４ａに図示右側から当接させ、外周固定孔（４ｄ、９ａ）へのネジの挿通を確保した状態で配置している。
【００４４】
内周側リングスペーサ１０−１〜１０−６は、図５に示す内周側リングスペーサ１０と同一形状である。この内周側リングスペーサ１０は、径方向に等間隔で複数の内周固定孔１０ａが形成されている。図２と図５を比較してわかるように、内周側リングスペーサ１０は、フレクシャベアリング４の内周固定部４ｂとほぼ同一形状とされ、内周固定孔（１０ａ、４ｅ）の形成位置も同一としてある。
【００４５】
このような形状の内周側リングスペーサ１０−１〜１０−６を、各フレクシャベアリングの内周固定部４ｂに当接させ、内周固定孔（４ｅ、１０ａ）へのネジの挿通を確保した状態で配置しているものである。
【００４６】
フレクシャベアリング４−７の図示右側には、導電体で形成された外周側第１導電リングスペーサ１１−１及び内周側第１導電リングスペーサ１２−１が配設されている。
【００４７】
外周側第１導電リングスペーサ１１−１は、図６に示す外周側導電リングスペーサ１１と同一形状である。この外周側導電リングスペーサ１１は、径方向に等間隔で複数の外周固定孔１１ａ及び１つの電流リード孔１１ｂが形成されている。図２と図６を比較してわかるように、外周側導電リングスペーサ１１は、フレクシャベアリング４の外周固定部４ａとほぼ同一形状とされ、電流リード孔１１ｂを除く外周固定孔（９ａ、４ｄ）の形成位置も同一としてある。また、外周側導電リングスペーサ１１の外周固定孔１１ａとフレクシャベアリング４の外周固定孔４ｄとを対面させて配置させた際、外周導電縁リングスペーサ１１の電流リード孔１１ｂは、フレクシャベアリング４の１つの外周固定孔４ｄと対面するように配置形成されているものである。
【００４８】
内周側導電リングスペーサ１２−１は、図７に示す内周導電縁リングスペーサ１２と同一形状である。この内周側導電リングスペーサ１２は、径方向に等間隔で複数の内周固定孔１２ａ及び１つの電流リード孔１２ｂが形成されている。図２と図７を比較してわかるように、内周側導電リングスペーサ１２は、フレクシャベアリング４の内周固定部４ｂとほぼ同一形状とされ、電流リード孔１２ｂを除く内周固定孔（１２ａ、４ｅ）の形成位置も同一としてある。また、内周導電リングスペーサ１２の内周固定孔１２ａとフレクシャベアリング４の内周固定孔４ｅとを対面させて配置させた際、内周側導電リングスペーサ１２の電流リード孔１２ｂは、フレクシャベアリング４の１つの内周固定孔４ｅと対面するように配置形成されているものである。
【００４９】
外周側第１導電リングスペーサ１１−１は、図９に示すように、フレクシャベアリング４−７の外周固定部に図示右側から面当りして当接し、外周固定孔４ｄ、９ａ、１１ａへのネジの挿通を確保した状態で配置されている。また、内周側第１導電リングスペーサ１２−１は、フレクシャベアリング４−７の内周固定部に図示右側から面当りして当接し、内周固定孔４ｅ、１０ａ、１２ａへのネジの挿通を確保した状態で配置されているものである。尚、図３、図９においては、外周側第１導電リングスペーサ１１−１及び、内周側第１導電リングスペーサ１２−１は、それぞれ電流リード孔１１ｂ及び１２ｂの断面を示してあるため、これらの孔へのネジの挿通はできないように見えるが、フレクシャベアリング群４１付近の構成を示す図８に示すように、その他の外周固定孔１１ａ及び内周固定孔１２ａの断面から見た場合は、ネジの挿通が確保されているものである。
【００５０】
また、外周側第１導電リングスペーサ１１−１とフレクシャベアリング４−６との間には、図４に示す外周側リングスペーサ９と同一形状面を持ちかつ絶縁体で形成された外周側絶縁リングスペーサ９−７が、内周側導電リングスペーサ１２−１とフレクシャベアリング４−６との間には図５に示す内周側リングスペーサ１０と同一形状面を持ちかつ絶縁体で形成された内周側絶縁リングスペーサ１０−７が介装されて、各導電リングスペーサがフレクシャベアリング４−６に導通しないようにされているものである。
【００５１】
フレクシャベアリング４−８の図示右側には、導電体で形成され上記外周側第１導電リングスペーサ１１−１と同一形状の外周側第２導電リングスペーサ１１−２、及び、導電体で形成され上記内周側導電リングスペーサ１２−１と同一形状の内周側第２導電リングスペーサ１２−２が配設されている。外周側導電リングスペーサ１１−２は、フレクシャベアリング４−８の外周固定部４ａに図示右側から面当りして当接し、外周固定孔４ｄへのネジの挿通を確保した状態で配置されている。内周側第２導電リングスペーサ１２−２は、フレクシャベアリング４−８の内周固定部４ｂに図示右側から面当りして当接し、内周固定孔４ｅへのネジの挿通を確保した状態で配置されているものである。また、外周側第２導電リングスペーサ１１−２とフレクシャベアリング４−７との間には、図４に示す外周側リングスペーサ９と同形でかつ絶縁体で形成された外周側絶縁リングスペーサ９−８が、内周側導電リングスペーサ１２−２とフレクシャベアリング４−７との間には、図５に示す内周側リングスペーサ１０と同形でかつ絶縁体で形成された内周側絶縁リングスペーサ１０−８が介装されて、各導電リングスペーサがフレクシャベアリング４−７に導通しないようにされているものである。また、フレクシャベアリング４−８の図示左側には、図４に示す外周側リングスペーサ９と同形でかつ絶縁体で形成された外周側絶縁リングスペーサ９−９及び、図５に示す内周側リングスペーサ１０と同形でかつ絶縁体で形成された内周側絶縁リングスペーサ１０−９が配置している。
【００５２】
また、図３、図９より明らかなように、外周側導電リングスペーサ１１−１と１１−２のそれぞれの電流リード孔は、互いに対面しないように別の位置に配置される。同様に、内周側導電リングスペーサ１２−１と１２−２のそれぞれの電流リード孔は、互いに対面しないように別の位置に配置されるものである。
【００５３】
フレクシャベアリング群４２も、フレクシャベアリング群４１と同様に図２に示すフレクシャベアリング４を８枚積層状態で配列したものである。各フレクシャベアリング４−９〜４−１６は、その中心部に形成された軸孔の中心が同一軸上となるように配列され、該軸孔にピストンロッド３２が挿通されている。また、各フレクシャベアリングに形成された外周固定孔及び内周固定孔はそれぞれ対向しており、外周固定孔及び内周固定孔に取り付け用のネジ等が挿通されるように配置されている。
【００５４】
ヨーク６の外周リング部６ａには、その軸方向に貫通した凹部６１ａが径方向に複数形成されている。この凹部６１ａの図示右側端はフレクシャベアリング群４１の各フレクシャベアリングの外周固定部に形成された外周固定孔に対面している。従って、ネジ等の固定手段をフレクシャベアリング群４１の図示右側から外周固定孔内に差し込み、固定することによって、各フレクシャベアリングの外周固定部が各リングスペーサに挟持されるとともにヨーク６の外周リング部６ａに固定される。一方凹部６１ａの図示左側端はフレクシャベアリング群４２の各フレクシャベアリングの外周固定部に形成された外周固定孔に対面している。従って、ネジ等の固定手段をフレクシャベアリング群４２の図示左側から外周固定孔内に差し込み、固定することによって、各フレクシャベアリングの外周固定部が各リングスペーサに挟持されるとともにヨーク６の外周リング部６ａに固定されるものである。
【００５５】
ピストンロッド３２は、図より明らかなように、フレクシャベアリング群４１に挿通される第１の挿通部３２ａと、該第１の挿通部３２ａから連続されるとともに該第１の挿通部３２ａよりも径が大きくされた第１のフランジ部３２ｂと、フレクシャベアリング群４２に挿通される第２の挿通部３２ｃと、該第２の挿通部３２ｃから連続されるとともに該第２の挿通部３２ｃよりも径が大きくされた第２のフランジ部３２ｄと、第１のフランジ部３２ｂと第２のフランジ部３２ｄとを連結する連結部３２ｅとを備えるものである。尚、第１のフランジ部３２ｂ及び第２のフランジ部３２ｄの径は、フレクシャベアリングの内周固定部の径とほぼ同じ程度とする。
【００５６】
第１のフランジ部３２ｂは、フレクシャベアリング群４１と対面する側の面に開口した軸方向凹部が複数本形成されている。この軸方向凹部は、各フレクシャベアリングの内周固定部に形成された内周固定孔４ｅと対面する位置に複数本形成されている。そして、複数本の軸方向凹部のうち、内周側第２導電リングスペーサ１２−２の電流リード孔１２ｂに対面する軸方向凹部が第１通路１３に、内周側第１導電リングスペーサ１２−１の電流リード孔１２ｂに対面する軸方向凹部が第４通路１６とされるものである。
【００５７】
第１のフランジ部３２ｂにはさらに第２通路１４及び第３通路１５の周側面から形成されている。図より明らかなように、第２通路１４は第１通路１３と、第３通路１５は第４通路１６と、それぞれ該第１のフランジ部３２ｂの内部で連通しているものである。
【００５８】
交番電流を供給する電源１７には、２つの出力端がある。このうちの一方の出力端１７ａには、第１電線１８ａの一端が連結している。第１電線１８ａの他端は、図に示すようにフレクシャベアリング群４１のフレクシャベアリング４−１〜４−７、外周側リングスペーサ９−１〜９−６、外周側第１導電リングスペーサ１１−１に形成された外周固定孔（４ｄ、９ａ、１１ａ）を通って外周側第２導電リングスペーサ１１−２にはんだ等により電気的に連結されるものである。ここで、第１電線１８ａは、それが挿通するフレクシャベアリング４−１〜４−７、外周側リングスペーサ９−１〜９−６、外周側絶縁リングスペーサ９−７〜９−８、外周側第１導電リングスペーサ１１−１に複数設けられた外周固定孔（４ｄ、９ａ、１１ａ）のうち、外周側第２導電リングスペーサ１１−２に形成された電流リード孔１１ｂに対面する外周固定孔を通り、さらに該電流リード孔１１ｂを通ったところではんだ等により外周側第２導電リングスペーサ１１−２に電気的に接続されるものである。
【００５９】
交番電流を供給する電源の他方の出力端１７ｂは、第４電線１８ｄの一端が連結している。第４電線１８ｄの他端は、図に示すようにフレクシャベアリング群４１のフレクシャベアリング４−１〜４−６、外周側リングスペーサ９−１〜９−６及び外周側絶縁リングスペーサ９−７に形成された外周固定孔（４ｄ、９ａ）を通って外周側第１導電リングスペーサ１１−１にはんだ等により電気的に連結されるものである。ここで、第４電線１８ｄは、それが挿通するフレクシャベアリング４−１〜４−６、各リングスペーサ９−１〜９−７に複数設けられた外周固定孔（４ｄ、９ａ）のうち、外周側第１導電リングスペーサ１１−１に形成された電流リード孔１１ｂに対面する外周固定孔を通り、さらに該電流リード孔１１ｂを通ったところではんだ等により外周側第１導電リングスペーサ１１−１に電気的に接続されるものである。
【００６０】
内周側第２導電リングスペーサ１２−２には、該リングスペーサ１２−２の電流リード孔１２ｂの部分ではんだ等により第２電線１８ｂの一端が電気的に接続されている。この第２電線１８ｂは、該リングスペーサ１２−２の電流リード孔１２ｂから該リード孔１２ｂに対面するフレクシャベアリング４−８及び内周側絶縁リングスペーサ１０−９の内周固定孔（４ｅ、１０ａ）を通り、さらに第１フランジ部３２ｂの第１通路１３、第２通路１４を経てコイル５ｂの一方端にその他端から電気的に連結されている。
【００６１】
内周側第１導電リングスペーサ１２−１には、該リングスペーサ１２−１の電流リード孔１２ｂの部分ではんだ等により第３電線１８ｃの一端が電気的に接続されている。この第３電線１８ｃは、該リングスペーサ１２−１の電流リード孔１２ｂから該リード孔１２ｂに対面するフレクシャベアリング４−７、４−８、内周側絶縁リングスペーサ１０−８、１０−９の内周固定孔（４ｅ、１０ａ）を通り、さらに第４通路１６、第３通路１５を経てコイル５ｂの他方端にその他端から電気的に連結されているものである。
【００６２】
尚、本例において、各外周側リングスペーサ、各内周側リングスペーサはアルミナ等のセラミックで、各外周側絶縁リングスペーサ、各内周側絶縁リングスペーサはステンレス鋼で作製した。また、各外周側導電リングスペーサ、各内周側導電リングスペーサは、銅を材質として作製した。また、各フレクシャベアリングはステンレス鋼製のものを使用した。
【００６３】
上記構成のリニアモータ圧縮機１を備えるスターリング冷凍機１００において、電源１７から交番電流がコイル５ｂに印加されると、電磁誘導によりコイル５ｂ回りにその向きが周期的に逆となる磁界が発生する。この発生磁界は永久磁石５ａにより形成される磁界と干渉し、可動体３をその軸方向に往復させる推力となる。このようにして推力を得た可動体３は往復動を行うので、シリンダ内空間に収納されたピストン３１も該シリンダ内で往復動を行う。
【００６４】
また、膨張部５０側のコイル５５ａにも交番電流が印加される。これにより可動体５２が推力を得て往復動するので、膨張シリンダ５１内の膨張ピストン５２ａも該膨張シリンダ５１内で往復動する。
【００６５】
対向しているピストン３１とピストン３１’とは互いに同周期及び同位相で往復動する。即ち、ピストン３１が図示左側に最も移動して往復上死点に達したときにはピストン３１’は図示右側に最も移動して往復上死点に達し、ピストン３１が図示右側に最も移動して往復下死点に達したときにはピストン３１’は図示左側に最も移動して往復下死点に達している。
【００６６】
シリンダ空間内のピストン３１及びピストン３１’の往復動作よりも、膨張シリンダ５１内の膨張ピストン５２ａの往復動作を９０°位相早く動作させることにより、作動空間内の作動ガスはスターリングサイクルを取り、膨張空間Ｇ内で断熱膨張して冷凍を発生するとともに膨張空間Ｇ内の熱は汲み上げられて蓄冷器５２ｂの高温端からフィン５３を経て外部に放出される。膨張空間Ｇで発生した冷凍はコールドヘッド５９に伝達され、該コールドヘッド５９に熱的に接触している図示せぬ被冷却体が冷却されるものである。
【００６７】
次に、上記のごとく作動しているスターリング冷凍機１００において、リニアモータ圧縮機１に供給される交番電流の電流経路について説明する。
【００６８】
交番電流の電流経路は、電源１７からコイル５ｂに流れる第１の電流リード系１９ａと、コイル５ｂ内を流れる経路と、コイル５ｂから電源１７に流れる第２の電流リード系１９ｂとに分かれる。本例において、第１の電流リード系１９ａと第２の電流リード系１９ｂとを総称して電流リード系１９とする。
【００６９】
まず、第１の電流リード系１９ａについて説明する。
【００７０】
電源１７から供給される電流は、一方の出力端１７ａから第１電線１８ａを流れ、該第１電線１８ａの端部からその端部にはんだにより連結された外周側第２導電リングスペーサ１１−２に伝達される。外周側第２導電リングスペーサ１１−２は図６に示すような形状面を持ち、この面がフレクシャベアリング４−８の外周固定部４ａに面当りしているので、この面当りした面により通電面積が拡大されてフレクシャベアリング４−８の外周固定部４ａに電流が受け渡される。
【００７１】
電流はさらにフレクシャベアリング４−８の外周固定部４ａから腕部４ｃ、腕部４ｃから内周固定部４ｂに伝達される。内周固定部４ｂには内周側第２導電リングスペーサ１２−２が当接している。内周側第２導電リングスペーサ１２−２は図７に示すような形状面を持ち、この面がフレクシャベアリング４−８の内周固定部４ｂに面当りして当接しているので、この面当りした面により通電面積が拡大された該内周側第２導電リングスペーサ１２−２に電流が伝達される。
【００７２】
上記のようにして伝達された電流は、さらに内周側第２導電リングスペーサ１２−２の電流リード孔１２ｂの部分ではんだ等により電気的に接合された第２電線１８ｂに伝達される。第２電線１８ｂは、第１フランジ部３２ｂに形成された第１通路１３及び第２通路１４を経てコイル５ｂの一端に接続されているので、該第２電線１８ｂからコイル５ｂの一端５ｃに電流が入るものである。
【００７３】
以上が第１の電流リード系１９ａの構成である。即ち、第１の電流リード系１９ａは、第１電線１８ａと、外周側第２導電リングスペーサ１１−２と、フレクシャベアリング４−８と、内周側第２導電リングスペーサ１２−２と、第２電線１８ｂで構成されるものである。
【００７４】
第１の電流リード系１９ａからコイル５ｂに入った電流は、該コイル５ｂ内を流れる。コイル５ｂ内を電流が流れることによりコイル５回りに誘導磁界が発生する。この誘導磁界とコイル５ｂの外周側に配置した永久磁石５ａの発する磁界が干渉し、コイル５ｂが連結された可動体３はコイル５ｂの軸方向に向かって力を受ける。この場合、交番電流が印加されるので、この発生力は可動体３の往復駆動力となり、その結果、可動体３が往復駆動するものである。
【００７５】
コイル５ｂ内を流れた電流は、コイル５ｂの他端５ｄから第２の電流リード系１９ｂに流れる。以下に第２の電流リード系１９ｂについて説明する。
【００７６】
コイル５ｂ内を流れた電流は該コイル５ｂの他端に連結された第３電線１８ｃに伝達される。第３電線１８ｃは、第１フランジ部３２ｂに形成された第３通路１５及び第４通路１６、フレクシャベアリング４−７、４−８、内周側絶縁リングスペーサ１０−８、１０−９、内周側第２導電リングスペーサ１２−２の内周固定孔を通り、内周側第１導電リングスペーサ１２−１の電流リード孔１２ｂにはんだ等により固定されて該内周側第１導電リングスペーサ１２−１に電気的に接続されているので、電流は第３電線１８ｃから内周側第１導電リングスペーサ１２−１に受け渡される。
【００７７】
内周側第１導電リングスペーサ１２−１は図７に示すような形状面を持ち、この面がフレクシャベアリング４−７の内周固定部４ｂに面当りして当接しているので、この面当りした面により通電面積が拡大されてフレクシャベアリング４−７の内周固定部４ｂに電流が伝達される。
【００７８】
フレクシャベアリング４−７では、電流は、内周固定部４ｂから腕部４ｃ、腕部４ｃから外周固定部４ａへと伝達される。この外周固定部４ａには、外周側第１導電リングスペーサ１１−１が当接している。外周側第１導電リングスペーサ１１−１は図６に示すような形状面を持ち、この面がフレクシャベアリング４−７の外周固定部４ａに面当りしているので、この面当りした面により通電面積が拡大されて外周側第１導電リングスペーサ１１−１に電流が受け渡される。
【００７９】
外周側第１導電リングスペーサ１１−１は、その電流リード孔１１ｂの部分ではんだ等により第４電線１８ｄに電気的に連結している。従って、電流ははんだを介して第４電線１８ｄに伝達される。そして、第４電線１８ｄから電源１７の他方の出力端１７ｂに電流が帰還するものである。
【００８０】
以上が第２の電流リード系１９ｂの構成である。即ち、第２の電流リード系１９ｂは、第３電線１８ｃと、内周側第１導電リングスペーサ１２−１と、フレクシャベアリング４−７と、外周側第１導電リングスペーサ１１−１と、４２電線１８ｄで構成されるものである。
【００８１】
尚、電源１７からの電流は交番電流であるので、上記に示した電流経路と、上記経路とは逆の経路との２種類の経路を周期的に流れるものである。
【００８２】
上記の如く作動するリニアモータ圧縮機１においては、可動体３に第２電線１８ｂ及び第３電線１８ｃのそれぞれの両端部が固定されているので、可動体３の往復中にはこれらの第２電線１８ｂ及び第３電線１８ｃも往復し、それ自体が動く動作（電線の一端に対して他端が相対的に動く動作）は行わない。従って、電線の耐久性を懸念する必要がなく、電線の長寿命化を図ることができるものである。
【００８３】
以上説明したように、本例によれば、
ハウジング２内に形成されたシリンダ部２１と、
シリンダ部２１に形成されたシリンダ内空間を往復動可能に配設されたピストン３１を備える可動体３と、
中央部に軸孔７を持つとともに、外周縁側のリング状部分で形成されハウジング２の内壁に当接して固定されたヨーク６に固定された外周固定部４ａと、該軸孔７周囲の中央縁側のリング状部分で形成され可動体３のピストンロッド３２に固定された内周固定部４ｂと、外周固定部４ａと内周固定部４ｂとを連結する腕部４ｃとを備え、軸孔７に可動体３のピストンロッド３２が挿通されて該可動体３を支持する導電性のフレクシャベアリング４、４−１〜４−１６と、
フレクシャベアリング４−８の外周固定部４ａに面当りして取り付けられた第１給電体としての外周側第２導電リングスペーサ１１−２、又は、フレクシャベアリング４−７の外周固定部４ａに面当りして取り付けられた第１給電体としての外周側第１導電リングスペーサ１１−１と、
フレクシャベアリング４−８の内周固定部４ｂに面当りして取り付けられた第２給電体としての内周側第２導電リングスペーサ１２−２、又は、フレクシャベアリング４−７の内周固定部４ｂに面当りして取り付けられた第２給電体としての内周側第１導電リングスペーサ１２−１と、
永久磁石５ａ及びコイル５ｂを備え該コイル５ｂに交番電流を通電することにより発生する推力に基づいて可動体３を往復駆動する駆動系５と、
コイル５ｂに交番電流を供給する電源１７と、
電源１７から供給された交番電流を外周側第２導電リングスペーサ１１−２（外周側第１導電リングスペーサ１１−１）、フレクシャベアリング４−８（フレクシャベアリング４−７）、内周側第２導電リングスペーサ１２−２（内周側第１導電リングスペーサ１２−１）を経てコイル５ｂに通電する電流リード系１９とを備えたリニアモータ圧縮機としたので、電源から供給される交番電流は、外周側第２導電リングスペーサ１１−２（外周側第１導電リングスペーサ１１−１）、フレクシャベアリング４−８（フレクシャベアリング４−７）、内周側第２導電リングスペーサ１２−２（内周側第１導電リングスペーサ１２−１）を経てコイルに通電するので、電源１７から供給される交番電流はフレクシャベアリング４−８（フレクシャベアリング４−７）の外周固定部４ａに面当りした外周側第２導電リングスペーサ１１−２（外周側第１導電リングスペーサ１１−１）により通電面積が拡大されて該外周固定部４ａに伝達され、外周固定部４ａから腕部４ｃ、腕部４ｃからフレクシャベアリング４−８（フレクシャベアリング４−７）の内周固定部４ｂへと電流が通電される。内周固定部４ｂからの電流は該内周固定部４ｂに面当りして拡大された通電面積をもつ内周側第２導電リングスペーサ１２−２（内周側第１導電リングスペーサ１２−１）に受け渡され、該内周側第２導電リングスペーサ１２−２（内周側第１導電リングスペーサ１２−１）よりコイル５ｂに通電される。
【００８４】
このように、フレクシャベアリング４−８（フレクシャベアリング４−７）を駆動系への通電経路として利用する際に、第１給電体としての外周側導電リングスペーサ１１−２（外周側導電リングスペーサ１１−１）により通電面積が拡大されてフレクシャベアリング４−８（フレクシャベアリング４−７）に電流が受け渡されるとともに、フレクシャベアリング４−８（フレクシャベアリング４−７）からの電流は第２給電体としての内周側第２導電リングスペーサ１２−２（内周側第１導電リングスペーサ１２−１）により通電面積が拡大されて該内周側第２導電リングスペーサ１２−２（内周側第１導電リングスペーサ１２−１）に受け取られるので、十分に電流が伝達され、リニアモータ圧縮機の駆動不良を起こすことはなく、リニアモータ圧縮機の信頼性を向上させることができるものである。
【００８５】
また、可動体３は、積層状態で複数枚配列したフレクシャベアリング群４１及び４２により軸方向移動可能に支持されている。そして、第１給電体としての外周側第１リングスペーサ１１−１及び外周側第２リングスペーサ１１−２、第２給電体としての内周側第１リングスペーサ１２−１、内周側第２リングスペーサ１２−２は、各フレクシャベアリングの接触を避けるためのスペーサとしての役割をも果たしている。このため給電体の多機能化が図れ、装置のコンパクト化に寄与するものである。
【００８６】
また、電源１７と、第１の電流リード系１９ａと、コイル５ｂと、第２の電流リード系１９ｂとで電流回路を構成し、第１の電流リード系１９ａと第２の電流リード系１９ｂとのいずれもが、フレクシャベアリング群４１内のフレクシャベアリング（フレクシャベアリング４−８及び４−７）を利用している。このため電源１７に連結された第１電線１８ａと第４電線１８ｄは、同じ方向からフレクシャベアリング群４１内を挿通させることができ、余分な配線をなくすことができるものである。
【００８７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、フレクシャベアリングを駆動系への通電経路として利用する際に、第１給電体により通電面積が拡大されてフレクシャベアリングに電流が受け渡されるとともに、フレクシャベアリングからの電流は第２給電体により通電面積が拡大されて該第２給電体に受け取られるので、十分に電流が伝達され、リニアモータ圧縮機への通電不良により駆動不良を起こすことはなく、リニアモータ圧縮機の信頼性を向上させることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態例における、リニアモータ圧縮機を使用したスターリング冷凍機の断面図である。
【図２】本発明の実施形態例におけるフレクシャベアリングの平面図である。
【図３】本発明の実施形態例におけるリニアモータ圧縮機の第１収容空間付近の構成を示す拡大断面図である。
【図４】本発明の実施形態例における外周側絶縁リングスペーサの平面図である。
【図５】本発明の実施形態例における内周側絶縁リングスペーサの平面図である。
【図６】本発明の実施形態例における外周側導電リングスペーサの平面図である。
【図７】本発明の実施形態例における内周側導電リングスペーサの平面図である。
【図８】本発明の実施形態例におけるフレクシャベアリング群４１付近の構成を示す図であり、外周固定部及び内周固定部の固定状態を示す図である。
【図９】図３におけるフレクシャベアリング群４１付近の構成の拡大図である。
【図１０】従来技術におけるリニアモータ圧縮機を示す図である。
【図１１】従来技術におけるフレクシャベアリングの平面図である。
【符号の説明】
１・・・リニアモータ圧縮機
２・・・ハウジング、２１・・・シリンダ部、２２・・・第１ハウジング部、２３・・・第２ハウジング部
３、３’・・・可動体、３１、３１’・・・ピストン、３２、３２’・・・ピストンロッド、３３、３３’・・・フランジ部
４、４−１、４−２、４−３、４−４、４−５、４−６、４−７（電流リード系）、４−８（電流リード系）、４−９、４−１０、４−１１、４−１２、４−１３、４−１４、４−１５、４−１６・・・フレクシャベアリング、４ａ・・・外周固定部、４ｂ・・・内周固定部、４ｃ・・・腕部、４ｄ・・・外周固定孔、４ｅ・・・内周固定孔、４ｆ・・・スリット
４１、４２、４３、４４・・・フレクシャベアリング群
５，５’・・・駆動系、５ａ、５’ａ・・・永久磁石、５ｂ、５’ｂ・・・コイル
６・・・ヨーク
７・・・軸孔
８・・・作動ガス通路
９・・・外周側リングスペーサ、９ａ・・・外周固定孔
１０・・・内周側リングスペーサ、１０ａ・・・内周固定孔
１１・・・外周側導電リングスペーサ、１１ａ・・・外周固定孔、１１ｂ・・・電流リード孔
１１−１・・・外周側第１導電リングスペーサ（第１給電体）
１１−２・・・外周側第２導電リングスペーサ（第１給電体）
１２・・・内周側導電リングスペーサ、１２ａ・・・内周固定孔、１２ｂ・・・電流リード孔
１２−１・・・内周側第１導電リングスペーサ（第２給電体）
１２−２・・・内周側第２導電リングスペーサ（第２給電体）
１３・・・第１通路
１４・・・第２通路
１５・・・第３通路
１６・・・第４通路
１７・・・電源、１７ａ・・・一方の出力端、１７ｂ・・・他方の出力端
１８ａ・・・第１電線（電流リード系）、１８ｂ・・・第２電線（電流リード系）、１８ｃ・・・第３電線（電流リード系）、１８ｄ・・・第４電線（電流リード系）
１９・・・電流リード系、１９ａ・・・第１の電流リード系、１９ｂ・・・第２の電流リード系
５０・・・膨張部
５１・・・膨張シリンダ
５２・・・可動体
５４・・・ハウジング
５５・・・駆動系
１００・・・スターリング冷凍機
Ｃ・・・圧縮空間、Ｇ・・・膨張空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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