(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像情報を担持した記録用の電磁波の照射により前記画像情報に応じた電荷を発生する記録用光導電層と、前記電荷を静電潜像として蓄積する蓄電部と、読取用の電磁波の照射により電荷を発生する、ａ−Ｓｅを主成分とする読取用光導電層とが積層されてなり、前記蓄電部に前記静電潜像の画素毎に電気的に非接触な状態で設けられ前記蓄電部に蓄積された電荷を前記画素毎に同電位化する導電部材を有し、前記読取用光導電層における電荷の発生により前記静電潜像が読み取られる画像記録媒体の製造方法において、
磁性を有し前記導電部材の形状に応じた開口が形成された導電部材蒸着用マスクを、磁石の磁力により前記読取用光導電層を介して前記蓄電部に固定して蒸着により前記導電部材を形成することを特徴とする画像記録媒体製造方法。
【請求項２】
画像情報を担持した記録用の電磁波の照射により前記画像情報に応じた電荷を発生する、ａ−Ｓｅを主成分とする記録用光導電層と、前記電荷を静電潜像として蓄積する蓄電部とが積層されてなり、前記蓄電部に前記静電潜像の画素毎に電気的に非接触な状態で設けられ前記蓄電部に蓄積された電荷を前記画素毎に同電位化する導電部材を有する画像記録媒体の製造方法において、
磁性を有し前記導電部材の形状に応じた開口が形成された導電部材蒸着用マスクを、磁石の磁力により前記記録用光導電層を介して前記蓄電部に固定して蒸着により前記導電部材を形成することを特徴とする画像記録媒体製造方法。
【請求項３】
画像情報を担持した記録用の電磁波の照射により前記画像情報に応じた電荷を発生する記録用光導電層と、前記電荷を静電潜像として蓄積する蓄電部と、読取用の電磁波の照射により電荷を発生する、ａ−Ｓｅを主成分とする読取用光導電層とが積層されてなり、前記蓄電部に前記静電潜像の画素毎に電気的に非接触な状態で設けられ前記蓄電部に蓄積された電荷を前記画素毎に同電位化する導電部材を有し、前記読取用光導電層における電荷の発生により前記静電潜像が読み取られる画像記録媒体であって、
前記導電部材が、請求項１に記載の画像記録媒体製造方法によって形成されたものであることを特徴とする画像記録媒体。
【請求項４】
画像情報を担持した記録用の電磁波の照射により前記画像情報に応じた電荷を発生する、ａ−Ｓｅを主成分とする記録用光導電層と、前記電荷を静電潜像として蓄積する蓄電部とが積層されてなり、前記蓄電部に前記静電潜像の画素毎に電気的に非接触な状態で設けられ前記蓄電部に蓄積された電荷を前記画素毎に同電位化する導電部材を有する画像記録媒体であって、
前記導電部材が、請求項２に記載の画像記録媒体製造方法によって形成されたものであることを特徴とする画像記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録用の電磁波の照射により発生した電荷を蓄電部に静電潜像として蓄積する画像記録媒体であって、該蓄電部に静電潜像の画素毎の電荷を同電位化する導電部材を有する放射線画像記録媒体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、照射された記録用の電磁波に応じた量の電荷を潜像電荷として蓄積する蓄電部を有する画像記録媒体として、例えば、医療用放射線撮影等において、Ｘ線等の放射線に感応するセレン板等の光導電体を有する放射線画像記録媒体を感光体として用い、該放射線画像記録媒体にＸ線を照射し、照射された放射線の線量に応じた量の電荷を放射線画像記録媒体内の蓄電部に蓄積せしめることにより、放射線画像情報を静電潜像として記録すると共に、レーザビームあるいはライン光で放射線画像情報が記録された放射線画像記録媒体を走査することにより、前記放射線画像記録媒体から放射線画像情報を読み取る方法が知られている（例えば、米国特許第４５３５４６８号明細書等）。上記放射線画像記録媒体を利用することにより被験者の受ける被爆線量の減少、診断性能の向上等を図ることができる。
【０００３】
また、上記電荷を蓄電部に効率よく蓄積させるために、マイクロプレート（微小導電部材）や異方性導電層を設けた検出器も提案されている（例えば、米国特許第５１６６５２４号明細書、同第４５３５４６８号明細書、同第３０６９５５１号明細書、特開平９−５９０６号公報、特開平６−２１７３２２号公報等）。
【０００４】
そして、本出願人は特開２０００−２８４０５７号公報において、放射線画像記録媒体における画素単位での電荷の蓄積および読取りを簡易かつ効率よく行なうことができ、読み取られる放射線画像の鮮鋭度を向上することができる放射線画像記録媒体を提案している。特開平２０００−２８４０５７号公報記載の放射線画像記録媒体は、画像情報を担持した記録用の電磁波を透過する第１の電極層と、記録用の電磁波の照射により導電性を呈する記録用光導電層と、潜像電荷に対しては略絶縁体として作用し、且つ潜像電荷と逆極性の輸送電荷に対しては略導電体として作用する電荷輸送層と、読取用の電磁波の照射により導電性を呈する読取用光導電層と、読取用の電磁波を透過する第２の電極層とをこの順に積層してなるものであり、記録用光導電層と電荷輸送層との界面に形成される蓄電部に多数の方形のマイクロプレートが画素毎に離散して設けられたものである。
【０００５】
ここで、上記特開平２０００−２８４０５７号公報記載の放射線画像記録媒体におけるマイクロプレートは、通常、ガラス基板上に第２の電極層、読取用光導電層および電荷輸送層をこの順で形成した後、電荷輸送層における読取用光導電層と接する面と反対側の面上に金や銀などからならる薄膜を形成し、該薄膜をホトエッチングすることにより形成される。また、電荷輸送層を設けない場合には、読取用光導電層を形成した後、読取用光導電層における第２の電極層と接する面と反対側の面上に上記薄膜が形成される。
【０００６】
また、マイクロプレートは、ガラス基板上に第１の電極層および記録用光導電層をこの順で形成した後に、上記薄膜を形成し、ホトエッチングを施すことによっても形成することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように電荷輸送層、読取用光導電層または記録用光導電層の表面に薄膜を形成し、該薄膜にホトエッチングを施してマイクロプレートを形成するようにしたのでは、電荷輸送層、読取用光導電層または記録用光導電層はａ−Ｓｅを主成分とするため、ホトエッチングの際のベーク過程による加熱や酸やアルカリなどのエッチング溶剤により変質してしまうという問題が生じる。
【０００８】
また、マイクロプレートの形状に開口された蒸着マスクを用い、蒸着によりマイクロプレートを形成することもできるが、蒸着マスクの厚さが薄いので蒸着マスク全体を固定するのが困難である。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ａ−Ｓeを主成分とする電荷輸送層、読取用光導電層または記録用光導電層などの変質を生じることなく上記のようなマイクロプレートを形成することができる画像記録媒体製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の画像記録媒体製造方法は、画像情報を担持した記録用の電磁波の照射により画像情報に応じた電荷を発生する記録用光導電層と、上記電荷を静電潜像として蓄積する蓄電部と、読取用の電磁波の照射により電荷を発生する読取用光導電層とが積層されてなり、蓄電部に静電潜像の画素毎に電気的に非接触な状態で設けられ蓄電部に蓄積された電荷を画素毎に同電位化する導電部材を有し、読取用光導電層における電荷の発生により静電潜像が読み取られる画像記録媒体の製造方法において、磁性を有し導電部材の形状に応じた開口が形成された導電部材蒸着用マスクを、磁石の磁力により読取用光導電層を介して蓄電部に固定して蒸着により導電部材を形成することを特徴とする。
【００１１】
ここで、上記「蓄電部」とは、例えば、記録用光導電層と読取用光導電層との界面、また、記録用光導電層と読取用光導電層の間に電荷輸送層を設ける形態とした場合には、記録用光導電層と電荷輸送層との界面などを意味する。
【００１２】
また、上記「導電部材」が「画素毎に」設けられているとは、蓄電部に蓄積された電荷を画素毎に同電位化させ、読出時にその電荷を画素中央部に集中させることができるように、各画素に、好ましくは１つの導電部材が設けられることを意味する。
【００１３】
また、「画素毎に電気的に非接触な状態で設けられ」とは、各導電部材が、他の画素との間では、離散した状態、つまり、接続されないフローティング状態で配設され、また記録過程や読取過程においても、オープンに保たれるように配設されていることを意味する。なお、１画素に対して複数の導電部材を設ける場合には、１画素分の部材間を電気的に接続することが望ましい。
【００１４】
また、上記各「導電部材」のサイズは、画素ピッチと略同一に設定してもよいし、例えば１／２以下にすると共に、画素中央部に配置することにより、潜像電荷を画素中央部に集中させるようにしてもよい。導電部材のサイズとは、例えば、円形状の導電部材の場合には直径であり、方形状の導電部材の場合には各辺の長さである。なお、導電部材の形状は、円形、方形等どのような形状であってもよい。
【００１５】
また、上記「導電部材蒸着用マスク」の材料としては磁性を有し、上記「蒸着用支持体」に磁力により引き寄せられ、上記「蓄電部」に固定できるものであれば如何なるものでもよいが、例えば、ＳＵＳ４３０（ＪＩＳ規格名）などステンレス材料を用いることができる。
【００１６】
また、上記「読取用光導電層を介して」とは、読取用光導電層を間に挟んでという意味であり、上記「導電部材蒸着用マスクを、磁石の磁力により読取用光導電層を介して蓄電部に固定する」とは、読取用光導電層に対して上記導電部材が設けられる側とは反対側の方からの磁石の磁力により上記導電部材用蒸着マスクを固定することを意味する。
【００１７】
また、上記「蒸着」とは、例えば抵抗蒸着法などを意味する。
【００１８】
なお、上記第１の画像記録媒体製造方法は、上記読取用光導電層を形成し、上記導電部材を形成した後、上記記録用光導電層を形成することを前提とした画像記録媒体製造方法である。
【００１９】
本発明の第２の画像記録媒体製造方法は、画像情報を担持した記録用の電磁波の照射により画像情報に応じた電荷を発生する記録用光導電層と、上記電荷を静電潜像として蓄積する蓄電部とが積層されてなり、蓄電部に静電潜像の画素毎に電気的に非接触な状態で設けられ蓄電部に蓄積された電荷を画素毎に同電位化する導電部材を有する画像記録媒体の製造方法において、磁性を有し導電部材の形状に応じた開口が形成された導電部材蒸着用マスクを、磁石の磁力により記録用光導電層を介して蓄電部に固定して蒸着により導電部材を形成することを特徴とする。
【００２０】
ここで、上記「蓄電部」とは、例えば、上記画像記録媒体が読取用光導電層を設けた形態の場合には記録用光導電層と読取用光導電層との界面、さらに記録用光導電層と読取用光導電層の間に電荷輸送層を設ける形態とした場合には、記録用光導電層と電荷輸送層との界面などを意味する。
【００２１】
また、上記「記録用光導電層を介して」とは、記録用光導電層を間に挟んでという意味であり、上記「導電部材蒸着用マスクを、磁石の磁力により記録用光導電層を介して蓄電部に固定する」とは、記録用光導電層に対して上記導電部材が設けられる側とは反対側の方からの磁石の磁力により上記導電部材用蒸着マスクを固定することを意味する。
【００２２】
なお、上記第２の画像記録媒体製造方法は、上記記録用光導電層を形成した後、上記導電部材を形成することを前提とした画像記録媒体製造方法である。
【００２３】
【発明の効果】
本発明の第１の画像記録媒体製造方法は、磁性を有し導電部材の形状に応じた開口が形成された導電部材蒸着用マスクを、磁石の磁力により読取用光導電層を介して蓄電部に固定して蒸着により導電部材を形成するようにしたので、ａ−Ｓeを主成分とする電荷輸送層、読取用光導電層などの変質を生じることなく導電部材を形成することができるとともに、導電部材の蒸着の際の導電部材蒸着用マスクの固定を容易に行なうことができる。
【００２４】
本発明の第２の画像記録媒体製造方法によれば、磁性を有し導電部材の形状に応じた開口が形成された導電部材蒸着用マスクを、磁石の磁力により記録用光導電層を介して蓄電部に固定して蒸着により導電部材を形成するようにしたので、ａ−Ｓeを主成分とする記録用光導電層などの変質を生じることなく導電部材を形成することができるとともに、導電部材の蒸着の際の導電部材蒸着用マスクの固定を容易に行なうことができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００２６】
図１は本発明による画像記録媒体製造方法の一実施形態により製造された放射線画像記録媒体の概略構成を示す図であり、図１（Ａ）は斜視図、図１（Ｂ）はＱ矢指部のＸＺ断面図、図１（Ｃ）はＰ矢指部のＸＹ断面図である。
【００２７】
上記放射線画像記録媒体１０は、被写体を透過したＸ線等の記録用の放射線（以下記録光という）に対して透過性を有する第１の電極層１１、記録光の照射を受けることにより導電性を呈する記録用光導電層１２、潜像電荷に対しては略絶縁体として作用し、且つ潜像電荷と逆極性の輸送電荷に対しては略導電体として作用する電荷輸送層１３、読取光の照射を受けることにより導電性を呈する読取用光導電層１４、読取光に対して透過性を有する第２の電極層１５を、この順に積層してなるものである。記録用光導電層１２と電荷輸送層１３の略界面に蓄電部１９が形成され、記録際に記録用光導電層１２内で発生した正負の電荷対の内の負電荷が潜像電荷として蓄電部１９に蓄積される。なお、上記各層は基板上に形成されるが、図１においては基板は図示省略している。
【００２８】
第２の電極層１５の電極は、多数のエレメント（線状電極）１６ａをストライプ状に配列したストライプ電極１６として形成されている。
【００２９】
記録用光導電層１２と電荷輸送層１３との界面である蓄電部１９には、多数の方形のマイクロプレート１８が間隔を置いて設けられている。各マイクロプレート１８は、それぞれストライプ電極１６の各エレメント１６ａの真上に長手方向に画素ピッチで配設されている。また、各マイクロプレート１８は、離散した状態、つまり、何処にも接続されないフローティング状態とされている。
【００３０】
マイクロプレート１８は、金、銀、アルミニウム、銅、クロム、チタン、白金等の単一金属や酸化インジウム等の合金で作ることができる。
【００３１】
図１に示す放射線画像記録媒体１０に放射線画像を記録する際には、まず第１の電極層１１とストライプ電極１６との間に直流電圧を印加し、両電極を帯電させる。これにより放射線画像記録媒体１０内の第１の電極層１１と各エレメント１６ａとの間に、エレメント１６ａをＵ字の凹部とするＵ字状の電界が形成される。次に記録光を不図示の被写体に爆射し、被写体を透過した記録光、すなわち被写体の放射線画像を担持する放射線を放射線画像記録媒体１０の第１の電極層１１側から照射する。すると、放射線画像記録媒体１０の記録用光導電層１２内で正負の電荷対が発生し、そのうちの負電荷が上記電界分布により記録用光導電層１２と電荷輸送層１３との界面の蓄電部１９に蓄積される。蓄電部１９には、上記のようにマイクロプレート１８が配設されているので、上記負電荷はこのマイクロプレート１８に補足され、マイクロプレート１８により同電位化される。このマイクロプレート１８に蓄積される負電荷の量は照射された放射線量に略比例するので、この負電荷の蓄積により放射線画像が放射線固体検出器に記録されたことになる。一方、記録用光導電層１２内で発生した正の電荷は第１の電極層１１に引き寄せられて、電源３３から注入された負電荷と電荷再結合し消滅する。
【００３２】
そして、次に、上記直流電圧の印加を停止し、第１の電極層１１と第２の電極層１５とを短絡して電荷の再配列を行なった後、上記放射線画像記録媒体１０の第２の電極層に読取光を照射すると、この読取光は第２の電極層を透過して読取用光導電層１４に照射され、読取用光導電層１４において電荷対が発生し、この電荷対のうち正の電荷は電荷輸送層１３を通過して蓄電部１９のマイクロプレート１８に蓄積された負の電荷と結合し、負の電荷は第２の電極層１５に帯電された正電荷と再結合することによって放電が生じる。この放電により第１の電極層１１と第２の電極層１５との間で発生した電圧変化を電流検出アンプなどで電流変化として検出することにより放射線画像に応じた画像信号を得ることができる。
【００３３】
次に、本実施形態の放射線画像記録媒体製造方法により上記マイクロプレート１８を形成する方法について説明する。本実施形態においては、マイクロプレート１８は抵抗加熱蒸着法により形成される。
【００３４】
具体的には、図２に示すように、基板１７上に第２の電極層１５、読取用光導電層１４および電荷輸送層１３をこの順に形成した後、これを所定の固定手段（図示省略）により蒸着用支持体２０に固定する。所定の固定手段は蒸着用支持体２０に設けてもよいし、別個に設けるようにしてもよい。また、蒸着用支持体２０は磁石から形成されたものである。そして、磁性を有しマイクロプレート１８の形状に応じた開口が形成されたマイクロプレート蒸着用マスク３０を、蒸着用支持体２０の磁力により読取用光導電層１４および電荷輸送層１３を介して蓄電部１９（電荷輸送層１３における読取用光導電層１４と接する面とは反対の面上）に固定する。このときマイクロプレート蒸着用マスク３０は電荷輸送層１４と密着した状態で固定されているものとする。そして、下方に設置された坩堝４０内の例えばＡｕを加熱して蒸発させることによりマイクロプレート蒸着用マスク３０の開口の形状に応じたマイクロプレート１８が形成される。
【００３５】
図３に上記マイクロプレート蒸着用マスク３０の概略構成図を示す。マイクロプレート蒸着用マスク３０は、磁性を有するステンレス材料（例えばＳＵＳ４３０（ＪＩＳ規格名））からなる平板にマイクロプレート１８の形状に応じた開口３０ａを設けることにより形成される。上記開口３０aはY方向およびZ方向に画素ピッチで配設され、各開口３０ａは円形であり、その直径は１００μｍ程度であることが望ましい。
【００３６】
上記実施形態の放射線画像記録媒体製造方法によれば、磁性を有しマイクロプレート１８の形状に応じた開口３０ａが形成されたマイクロプレート蒸着用マスク３０を、磁石により形成された蒸着用支持体２０の磁力により読取用光導電層１４および電荷輸送層１３を介して蓄電部１９に固定して蒸着によりマイクロプレート１８を形成するようにしたので、ａ−Ｓeを主成分とする電荷輸送層１３の変質を生じることなくマイクロプレート１８を形成することができるとともに、マイクロプレート蒸着用マスク３０の固定を容易に行なうことができる。
【００３７】
また、上記実施形態では、基板１７上に第２の電極層１５、読取用光導電層１４および電荷輸送層１３をこの順に形成した後、マイクロプレート蒸着用マスク３０を蒸着用支持体２０の磁力により第２の電極層１５、読取用光導電層１４および電荷輸送層１３を介して蓄電部１９に固定し、抵抗加熱蒸着法によりマイクロプレート１８を形成するようにしたが、これに限らず、図４に示すように、基板１７上に第１の電極層１１、記録光導電層１３をこの順に形成した後、マイクロプレート蒸着用マスク３０を蒸着用支持体２０の磁力により第１の電極層１１および記録用光導電層１２を介して蓄電部１９（記録用光導電層１２における第１の電極層１１と接する面とは反対の面上）に固定し、抵抗加熱蒸着法によりマクロプレート１８を形成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の画像記録媒体製造方法の一実施形態により製造された放射線画像記録媒体の斜視図（Ａ）、Ｑ矢指部のＸＺ断面図（Ｂ）、Ｐ矢指部のＸＹ断面図（Ｃ）
【図２】図１に示す放射線画像記録媒体において、マイクロプレートを形成する過程を説明する図
【図３】マイクロプレート蒸着用マスクの一形態を示す図
【図４】図１に示す放射線画像記録媒体において、マイクロプレートを形成するその他の過程を説明する図
【符号の説明】
１０    放射線画像記録媒体
１１    第１の電極層
１２    記録用光導電層
１３    電荷輸送層
１４    読取用光導電層
１５    第２の電極層
１６    第１ストライプ電極
１６ａ      エレメント（線状電極）
１７    基板
１８    マイクロプレート
１９    蓄電部
２０    蒸着用支持体
３０    マイクロプレート蒸着用マスク
３０ａ    開口
４０    坩堝
【図１】
0003775586.tif 000002
【図２】
0003775586.tif 000003
【図３】
0003775586.tif 000004
【図４】
0003775586.tif 000005