(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気側が等方圧加圧装置の高圧容器（２）に接続された高圧圧縮機（８）と、この高圧圧縮機（８）の吸気側に接続された複数のガスボンベ（１９）（２０）と、前記高圧圧縮機（８）の吸気側を前記高圧容器（２）に連通させる差圧配管（１０）とを備え、この差圧配管（１０）で互いに連通される前記高圧容器（２）とガスボンベ（１９）（２０）との内部圧力差により、このガスボンベ（１９）からの圧媒ガスを前記高圧圧縮機（８）を通さずに前記高圧容器（２）内に直送する差圧充填と、同高圧容器（２）からの圧媒ガスを前記ガスボンベ（２０）に回収する差圧回収とを行うようにした等方圧加圧装置のガス集合装置において、
前記複数のガスボンベ（１９）（２０）は、前記差圧充填に用いる供給用ガスボンベ（１９）と、前記差圧回収に用いる回収用ガスボンベ（２０）とに区分されており、
前記回収用ガスボンベ（２０）から前記供給用ガスボンベ（１９）に圧媒ガスを強制的に移送するボンベ用圧縮機（２１）が設けられていることを特徴とする等方圧加圧装置のガス集合装置。
【請求項２】
ボンベ用圧縮機（２１）は高圧圧縮機（８）よりも加圧能力の低い低圧仕様の圧縮機よりなる請求項１に記載の等方圧加圧装置のガス集合装置。
【請求項３】
回収用ガスボンベ（２０）に接続された回収配管（２５）に新ガス供給用の補助ガスボンベ（２８）が接続され、供給用ガスボンベ（１９）に接続された供給配管（２２）に大気排出用の排気管（２９）が設けられている請求項１又は２に記載の等方圧加圧装置のガス集合装置。
【請求項４】
差圧回収に用いる回収用ガスボンベ（２０）は内圧の異なる複数のボンベ（２０Ｈ）（２０Ｌ）よりなり、その差圧回収時に圧力の高い方のボンベ（２０Ｈ）から順に圧媒ガスを回収させるようにした請求項１〜３のいずれかに記載の等方圧加圧装置のガス集合装置。
【請求項５】
高圧容器（２）に圧媒ガスを供給して等方圧加圧処理を行うに当たり、高圧圧縮機（８）で加圧する前に前記高圧容器（２）とガスボンベ（１９）との内部圧力差によって圧媒ガスを高圧容器（２）内に供給する差圧充填を行うとともに、高圧容器（２）から等方圧加圧処理後の圧媒ガスを回収するに当たり、前記高圧容器（２）とガスボンベ（２０）との内部圧力差によって当該高圧容器（２）から圧媒ガスを回収する差圧回収とを行うようにした等方圧加圧装置のガス充填及び回収方法において、
前記ガスボンベ（１９）（２０）として、差圧充填のためのより高圧の供給用ガスボンベ（１９）と、差圧回収のためのより低圧の回収用ガスボンベ（２０）とを用意しておき、
前記差圧充填時には、前記供給用ガスボンベ（１９）の圧媒ガスを前記高圧容器（２）に供給し、前記差圧回収時には、前記高圧容器（２）からの圧媒ガスを前記回収用ガスボンベ（２０）に回収することを特徴とする等方圧加圧装置のガス充填及び回収方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、等方圧加圧装置のガス集合装置とガス充填及び回収方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、圧媒ガスとして不活性ガスを用いる熱間等方圧加圧（以下、ＨＩＰと略記する。）装置では、高圧容器への圧媒ガスの供給と同容器からの圧媒ガスの回収とをガスボンベとの内部圧力差（差圧）によって行うガス集合装置が設けられている。
【０００３】
図６は、上記ガス集合装置の一般的な配管例を示しており、このガス集合装置は、排気側が高圧容器に接続された同容器を強制加圧するための高圧圧縮機と、この高圧圧縮機の吸気側に接続されたガスボンベと、高圧圧縮機の吸気側を高圧容器に連通させる差圧配管とを備えている。
そして、このガス集合装置では、ＨＩＰ処理を行うに際しては、高圧圧縮機で高圧容器を強制的に加圧する前に、ガスボンベからの圧媒ガスを差圧管路を介して高圧圧縮機を通さずに高圧容器に直送することにより差圧充填を行うとともに、ＨＩＰ処理後のガス回収に際しては、高圧容器からの圧媒ガスを差圧管路を介してガスボンベに回収する差圧回収とを行うことができる。
【０００４】
なお、図６の配管例では、差圧回収で回収しきれないガスは高圧圧縮機で強制回収することもでき、不要になったガスは排気管から大気中に放出できるようになっている。
そして、上記のような差圧による充填及び回収運転では、通常、圧力の異なる複数のガスボンベを設置するとともに、差圧充填時には圧力レベルの低い方のボンベから順に高圧容器に接続し、差圧回収時には圧力レベルの高い方のボンベから順に高圧容器に接続することにより、ガスボンベの圧力の有効利用を図っている（例えば、特開平８−３１３１６７号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の技術では、専らガスボンベの圧力の有効利用を図るために、差圧充填時には低圧のガスボンベから昇圧順に開弁し、差圧回収時には高圧のガスボンベから降圧順に開弁しているので、差圧充填の初期段階においては高圧のガスボンベを使用する場合に比べて時間がかかるとともに、差圧回収の初期段階においては高圧のボンベグループを使用する場合に比べて時間がかかることになる。このため、差圧による充填及び回収の作業時間が長くなり、このため、ＨＩＰ処理のサイクルタイムも長くなるという欠点がある。
【０００６】
また、ガスボンベの切り換えタイミングを高圧容器側の圧力とガスボンベ側の圧力がバランスした時に設定しているので、ガスボンベの切り換えを行うごとにバランス圧付近で長時間を要し、この点も差圧による充填及び回収の作業時間を長くする原因となっている。
一方、従来では、差圧回収の後に行う強制回収はＨＩＰ処理用の高圧圧縮機で高圧容器内の圧媒ガスを吸気してガスボンベに戻すことにより行っているが、このＨＩＰ処理用の高圧圧縮機は１０００ｋｇ／ｃｍ2 以上の能力を有する高圧仕様であるため、ピストンパッキンの摩耗防止のために同ピストンの速度を余り上げられず、このため、当該強制回収にも比較的長い時間が必要であった。
【０００７】
本発明は、このような実情に鑑み、高圧容器に圧媒ガスを供給して充填しかつそこからガスを回収する等方圧加圧装置のガス集合装置において、少なくともその差圧充填及び差圧回収を従来より短時間で行えるようにして、等方圧加圧処理のサイクルタイムを短縮化することを第一の目的とする。
また、圧縮機を用いて圧縮ガスの回収を行う強制回収についても短時間で行えるようにして、等方圧加圧処理のサイクルタイムをより短縮化することを第二の目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明は、次の技術的手段を講じた。
すなわち、本発明は、ガスボンベからの圧縮ガスを高圧圧縮機を通さずに高圧容器内に直送する差圧充填と、高圧容器からの圧縮ガスをガスボンベに回収する差圧回収とを行うようにした等方圧加圧装置のガス集合装置において、複数のガスボンベを、差圧充填に用いる供給用ガスボンベと、差圧回収に用いる回収用ガスボンベとに区分するとともに、その回収用ガスボンベから供給用ガスボンベに圧縮ガスを強制的に移送するボンベ用圧縮機を設けたものである（請求項１）。
【０００９】
この場合、例えば、等方圧加圧装置の運転中や準備作業中に、ボンベ用圧縮機を作動させることにより、供給用ガスボンベがより高圧でかつ回収用ガスボンベがより低圧となるようそれらのガスボンベの内部圧力を設定できる。
このため、差圧充填時には、より高圧に設定されている供給用ガスボンベの圧縮ガスを高圧容器に供給することによって、差圧による充填時間が短縮されるとともに、差圧回収時には、高圧容器からの圧媒ガスをより低圧に設定されている回収用ガスボンベに回収することによって、差圧による回収時間が短縮されることになる（請求項５）。
【００１０】
上記の本発明において、ボンベ用圧縮機は高圧容器内の材料を加圧処理（例えば、ＨＩＰ処理）するものではなく、回収用ガスボンベから供給用ガスボンベにガスを強制的に移送するものであるから、高圧圧縮機よりも加圧能力の低い低圧仕様の圧縮機（例えば、１５０ｋｇ／ｃｍ2 以下のもの）を採用することができ（請求項２）、この場合、圧縮機による強制回収の作業時間も短縮できるようになる。
【００１１】
すなわち、本発明によれば、差圧回収時において、ボンベ用圧縮機を作動しながら高圧容器からの圧縮ガスを回収用ガスボンベに回収することで、従来では高圧圧縮機で行っていた強制回収を当該低圧仕様のボンベ用圧縮機で行える。
この場合、ボンベ用圧縮機は加圧処理用の高圧仕様ではなく低圧仕様のものが採用されていて、かかる低圧仕様の圧縮機は、ピストンパッキンの摩耗の心配が少ないことから、高圧仕様のものよりもピストン速度を上げて圧縮ガスの吐出量を大きく設定できるので、強制回収の作業時間も短縮することができる。
【００１２】
一方、上記の本発明において、回収用ガスボンベに接続された回収配管に新ガス供給用の補助ガスボンベを接続し、供給用ガスボンベに接続された供給配管に大気排出用の排気管を設けることもできる（請求項３）。
この場合、供給用ガスボンベ内の古いガスを排気管で排出したあと、補助ガスボンベの新ガスを回収用ガスボンベからボンベ用圧縮機で供給用ガスボンベに供給することにより、ガス交換作業を高圧容器の運転状態とは無関係に何時でも行えるようになり、当該等方圧加圧装置の作業能率を向上することができる。
【００１３】
更に、本発明は、差圧回収に用いる回収用ガスボンベを内圧の異なる複数のボンベより構成し、その差圧回収時に圧力の高い方のボンベから順にガスを回収させることを推奨する（請求項４）。
このようにすれば、特開平８−３１３１６７号公報の場合と同じように、差圧回収時において内圧の異なるすべてのガスボンベで差圧回収できるので、差圧回収時におけるガスボンベの圧力を有効に活用できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
図１〜図４は、本発明の第一の実施形態を示している。
図１に示すように、ＨＩＰ装置の高圧容器２には、ＨＩＰ処理時にこの容器２の内部を不活性ガス等の圧媒ガスで加圧し、かつ、ＨＩＰ処理後にこの容器２からガスを回収するためのガス加圧回収装置（高圧発生装置）３が接続されている。
【００１５】
このガス加圧回収装置３は、ＨＩＰ処理時に高圧容器２を例えば１０００ｋｇ／ｃｍ2 以上に加圧するための高圧ユニット４と、この高圧ユニット４側に圧媒ガスを供給しかつ同ユニット４側から圧媒ガスを回収するためのガス集合装置５と、高圧容器２内を真空引きするための真空ポンプよりなる真空ユニット６（図２及び図３参照）と、これらのユニット４，５，６内の配管経路に設けられている各開閉弁や圧縮機を制御する制御ユニット７と、を備えている。
【００１６】
このうち、高圧ユニット４は、ガス集合装置５からの圧縮ガスを高圧圧縮機８を通して高圧容器２へ供給するための強制配管９と、ガス集合装置５と高圧容器２とを高圧圧縮機８を通さずに連通すべくその強制配管９に並列に接続された差圧配管１０と、を備えている。
すなわち、高圧圧縮機８を途中に有する強制配管９は、その排気側が高圧容器２に接続され、かつ、吸気側がガス集合装置５の後述する各ガスボンベ１９，２０にそれぞれ接続されており、差圧配管１０は、高圧圧縮機８の吸気側と排気側とを短絡的に連通させるように接続されている。
【００１７】
強制配管９の排気側には、高圧容器２内の圧力を計測するための容器圧力計１１と第一高圧開閉弁１２及び第二高圧開閉弁１３が直列に設けられ、差圧配管１０の途中には、差圧開閉弁１４と流量調整弁１５が直列に設けられている。また、強制配管９と差圧配管１０とは、第一及び第二高圧開閉弁１２，１３の間と差圧開閉弁１４と流量調整弁１５との間を結ぶバイパス管１６で接続されていて、強制配管９の第一及び第二高圧開閉弁１２，１３の間には、高圧排気弁１７を有する高圧排気管１８が接続されている。
【００１８】
一方、ガス集合装置５は、差圧加圧時に圧媒ガスを供給するための供給用ガスボンベ１９と、差圧回収時に圧媒ガスを回収するための回収用ガスボンベ２０と、この回収用ガスボンベ２０内の圧媒ガスを供給用ガスボンベ１９側へ移送するためのボンベ用圧縮機２１と、を備えている。
供給用ガスボンベ１９と回収用ガスボンベ２０とは、それぞれ各４本ずつのボンベ本体１９ａ〜１９ｄ，２０ａ〜２０ｄよりなるボンベ群で構成されている。これらのボンベ群よりなる両ガスボンベ１９，２０のうち、供給用ガスボンベ１９を構成する各ボンベ本体１９ａ〜１９ｄは一本の供給配管２２に連通され、この供給配管２２は高圧圧縮機８の吸気側（前記強制管路９と差圧管路１０との交差点Ａ）に接続されている。
【００１９】
また、この供給配管２２の途中には、当該供給用ガスボンベ１９の内圧を計測するための供給ボンベ圧力計２３と、同ボンベ１９からの圧媒ガスの供給を入り切りする供給ボンベ開閉弁２４が設けられている。
他方、回収用ガスボンベ２０を構成する各ボンベ本体２０ａ〜２０ｄは一本の回収配管２５に連通され、この回収配管２５も前記交差点Ａに接続されている。この回収配管２５の途中には、当該回収用ガスボンベ２０の内圧を計測するための回収ボンベ圧力計２６と、同ボンベ２０への圧媒ガスの回収を入り切りする回収ボンベ開閉弁２７が設けられている。
【００２０】
ボンベ用圧縮機２１は、その吸気側が回収配管２５の開閉弁２７よりもボンベ本体２０ａ〜２０ｄ側の部分に接続され、排気側が供給配管２２の開閉弁２４よりもボンベ本体２０ａ〜２０ｄ側の部分に接続されている。
このボンベ用圧縮機２１は、回収用ガスボンベ２０から供給用ガスボンベ１９に圧媒ガスを移送するためのものであるから、前記高圧圧縮機８よりも加圧能力の低い低圧仕様のものが採用されており、本実施形態では、液体アルゴンや液体窒素（不活性ガス）を封入するガスボンベの通常常用圧力の１５０ｋｇ／ｃｍ2 のものを採用した。
【００２１】
また、回収配管２５には、同じく四本のボンベ本体２８ａ〜２８ｄ群よりなる新ガス供給用の補助ガスボンベ２８が手動開閉弁２８Ａを介して接続されており、他方、供給配管２２には、供給用ガスボンベ１９内の不要の圧媒ガスを外部に放出すべく、ボンベ排気弁２９を有する大気排出用のボンベ排気管３０が接続されている。
【００２２】
制御ユニット７は、プロコン又はマイコン等のコンピュータよりなり、容器圧力計１１や各ボンベ圧力計２３，２６からの計測信号に基づき、前記各開閉弁の開閉制御と各圧縮機の作動又は停止を行う。
すなわち、この制御ユニット７は、容器圧力計１１の計測値ＰＧ１、供給ボンベ圧力計２３の計測値ＰＧ２及び回収ボンベ圧力計の計測値ＰＧ３を受信して所定の設定値と比較演算する演算部３１と、この演算部３１での演算結果や外部からの運転モードの設定に基づき、各圧縮機８，２１を作動又は停止させたり、各開閉弁１２，１３，１４，１７，２４，２７を選択的に開閉する指令を発する駆動部３２と、を備えている。
【００２３】
以下、図２及び図３に基づいて、上記制御ユニット７による当該ガス集合装置３の各運転時における動作とその作用を説明する。
（１）  置換運転（図２（ａ））
高圧容器２内の大気を圧媒ガスに置換する置換運転を行う場合には、図２（ａ）に示すように、制御ユニット７の駆動部３２により、真空ユニット６の真空開閉弁６Ａ、差圧開閉弁１４及び供給ボンベ開閉弁２４が開かれ、その他の開閉弁１２，１３，１７，２７は閉じられる。
【００２４】
この場合、高圧容器２内の大気が真空ユニット６で排出された後、真空開閉弁６Ａを閉め差圧開閉弁１４を開けることにより、供給用ガスボンベ１９からの圧媒ガスが差圧管路１０を介して高圧容器１２に流れ、その後、高圧排気弁１７を開けて大気開放する。そして、これを繰り返すことにより、ガスの置換運転が行われる。
（２）  差圧充填運転（図２（ｂ））
高圧容器２内がガス置換されたことが検出されると、差圧充填運転に移行する。
【００２５】
この運転のときは、図２（ｂ）に示すように、制御ユニット７の駆動部３２は、第一高圧開閉弁１２、差圧開閉弁１４及び供給ボンベ開閉弁２４を開き、その他の開閉弁６Ａ，１３，１７，２７を閉じる。このため、供給用ガスボンベ１９内の圧媒ガスが供給配管２２及び差圧管路１０を介して高圧容器２に供給され、差圧によるガス送気が行われる。
【００２６】
このさい、制御ユニット７の演算部３１において供給用ガスボンベ１９の圧力（ＰＧ２）が所定値よりも下がったことが確認されると、駆動部３２は、ボンベ用圧縮機２１を作動させる。これにより、回収用ガスボンベ２０から供給用ガスボンベ１９へ圧媒ガスが移送され、回収用ガスボンベ２０の圧力が低下すると同時に供給用ガスボンベ１９の圧力が上昇する。
【００２７】
また、供給用ガスボンベ１９の内部圧力の上限値は１５０ｋｇ／ｃｍ2 に設定されており、ＰＧ２がこの値に達すると、ボンベ用圧縮機２１が停止される。
このように、差圧充填運転において、ボンベ用圧縮機２１によって常に高圧に設定された供給用ガスボン１９ベの圧媒ガスが高圧容器２に供給されるので、特に加圧初期における圧媒ガスの供給速度が高められ、差圧充填の作業時間が短縮される。
（３）  加圧運転（図３（ａ））
その後、演算部３１において高圧容器２の圧力ＰＧ１が供給用ガスボンベ１９の圧力ＰＧ２と同じになったこと（ＰＧ１＝ＰＧ２）が確認されると、加圧運転に移行する。
【００２８】
この運転のときは、図３（ａ）に示すように、制御ユニット７の駆動部３２は、第一及び第二高圧開閉弁１２，１３と供給ボンベ開閉弁２４を開き、その他の開閉弁６Ａ，１４，１７，２７を閉じる。このため、供給用ガスボンベ１９内の圧媒ガスは供給配管２２から強制配管９に至り、高圧圧縮機８を通して高圧容器２に供給され、同圧縮機８による強制加圧が行われる。
【００２９】
また、高圧容器２の圧力（ＰＧ１）が所定の圧力に達すると、制御ユニット７の駆動部３２は、高圧圧縮機８を停止させ、第一及び第二高圧開閉弁１２，１３を閉じる。
（４）  差圧回収運転及び強制回収運転（図３（ｂ））
その後、高圧容器２によるＨＩＰ処理が終わると、圧媒ガスの温度が十分低下たところで、差圧回収運転に移行する。
【００３０】
この運転のときは、図３（ｂ）に示すように、制御ユニット７の駆動部３２は、第一高圧開閉弁１２、差圧開閉弁１４及び回収ボンベ開閉弁２７を開き、その他の開閉弁６Ａ，１３，１７，２４を閉じる。このため、高圧容器２からの圧媒ガスは、差圧配管１０から回収配管２５を通って回収用ガスボンベ２０に回収される。
【００３１】
この場合、回収用ガスボンベ２０は、前記差圧回収運転の際に、圧媒ガスが抜き出されて内圧ＰＧ３が低く設定されているので、特に回収初期における圧媒ガスの回収速度が高められ、差圧回収の作業時間が短縮される。
また、このガス回収に当たり、供給用ガスボンベ１９の内圧ＰＧ２が１５０ｋｇ／ｃｍ2 に達しておらず、同ボンベ１９の容量に余裕がある場合には、ボンベ用圧縮機２１を作動させて回収用ガスボンベ２０に回収された圧媒ガスを供給用ガスボンベ１９にすぐに移送することにより、ボンベ用圧縮機２１による強制回収運転を行うこともできる。
【００３２】
そして、この場合の強制回収は、ピストン速度を高めても問題のない低圧仕様のボンベ用圧縮機２１で行うので、従来のように（図６参照）高圧圧縮機８で強制回収するよりもその回収を短時間で行うことができる。
（５）  ガス交換ないしガス補充作業（図４）
ＨＩＰ運転中におけるガス加圧回収方法は以上の通りであるが、本実施形態では、高圧圧縮機８とは別にガス集合装置５内にボンベ用圧縮機２１を設けているので、ＨＩＰ処理品の積み込み及び積み卸し時等の高圧容器２が開放しているときや、高圧容器２の圧力保持及び降温待ちのときに、ガス集合装置５単独で圧媒ガスの交換ないし補充作業を行え、この点もＨＩＰ処理のサイクルタイム低減に役立っている。
【００３３】
すなわち、従来（図６）のＨＩＰ装置では、圧縮機が高圧ユニットにしか設けられておらず、当該装置の配管系統内における圧媒ガスの強制移送は高圧圧縮機で行わざるを得なかったので、例えば、新ガスへの交換作業を行うには、ＨＩＰ処理後に古いガスを回収せずに排気弁１８から大気放出し、次のＨＩＰ処理の時に新たに接続した補助ガスボンベからの新ガスを高圧圧縮機で高圧容器内に強制移送し、その後、新ガスを差圧回収することでガス交換を行う必要がある。
【００３４】
このように、従来では、新ガスをいったん高圧容器２に入れて同容器２を利用しないと圧媒ガスの交換や補充が行えなかったので、その交換ないし補充のための作業時間がＨＩＰ処理のサイクルタイムに直接影響していた。
この点、本実施形態では、図４に示すように、ボンベ排気弁２９を開けて供給用ガスボンベ１９内の古い圧媒ガスを大気開放したあと、補助ガスボンベ２８の手動開閉弁２４を開けてボンベ用圧縮機２１を作動することにより、補助ガスボンベ２８内の新ガスが回収用ガスボンベ２０から供給用ガスボンベ１９に供給されてガス交換が行える。
【００３５】
そして、かかるガス交換は、ＨＩＰ装置の圧力保持ないし降温中や高圧容器２が開放しているとき等、ＨＩＰの処理サイクルに関係なく行えるので、当該ＨＩＰ装置の作業効率がより向上される。
図５は、本発明の第二の実施形態を示している。
【００３６】
この実施形態では、差圧回収に用いる回収用ガスボンベ２０が内圧の異なる複数のボンベ２０Ｈ，２０Ｌよりなり、差圧回収時に、圧力の高い方のボンベ２０Ｈから順に圧媒ガスを回収させるようにしており、このため、この各回収用ガスボンベ２０Ｈ，２０Ｌには、それらの内圧を計測する圧力計２６Ｈ，２６Ｌがそれぞれ設けられている。
【００３７】
この実施形態では、差圧回収時には、まず、圧媒ガスはより高圧の回収用ガスボンベ２０Ｈに回収され、そのガスボンベ２０Ｈの内圧ＰＧ３が高圧容器２の内圧ＰＧ１とバランスすると、回収先がより低圧の回収用ガスボンベ２０Ｌに切り換えられる。
従って、本実施形態によれば、差圧回収時において内圧の異なるすべての回収用ガスボンベ２０Ｈ，２０Ｌに圧媒ガスを差圧回収できるので、差圧回収時におけるガスボンベの圧力を有効に活用できる。
【００３８】
なお、その他の配管構造及び作用は、第一実施形態と同様であるので、図面に同一符号を付して詳細な説明を省略する。
なお、本発明は、上記した各実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲は冒頭の特許請求の範囲により定まり、その意味に含まれるすべての変形例を包含する。
【００３９】
例えば、各ガスボンベ１９，２０，２８を構成するボンベ本体の本数は一本以上であれば足り、図例のような四本一組のものでなくもよい。また、当該ガス加圧回収装置内の各開閉弁は、制御ユニット７ではなく単に手動で操作することにしてもよい。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、高圧容器の差圧充填及び差圧回収、並びに場合によっては高圧容器の強制回収を従来より短時間で行え、等方圧加圧処理のサイクルタイムをより短縮化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施形態を示す、ＨＩＰ装置の配管系統図である。
【図２】（ａ）は置換運転時の開閉弁の状態を概略的に示す配管系統図、（ｂ）は差圧加圧運転時の開閉弁の状態を概略的に示す配管系統図である。
【図３】（ａ）は強制加圧運転時の開閉弁の状態を概略的に示す配管系統図、（ｂ）は差圧回収運転及び強制回収運転時の開閉弁の状態を概略的に示す配管系統図である。
【図４】ガス交換を行う場合の開閉弁の状態を概略的に示す配管系統図である。
【図５】本発明の第二の実施形態を示す、ＨＩＰ装置の配管系統図である。
【図６】従来のＨＩＰ装置の配管系統図である。
【符号の説明】
２      高圧容器
３      ガス加圧回収装置
４      高圧ユニット
５      ガス集合装置
６      真空ユニット
７      制御ユニット
８      高圧圧縮機
９      強制配管
１０      差圧配管
１９      供給用ガスボンベ
２０      回収用ガスボンベ
２１      ボンベ用圧縮機
２２      供給配管
２５      回収配管
２８      補助ガスボンベ
２９      ボンベ排気管
【図１】
0003774016.tif 000002
【図２】
0003774016.tif 000003
【図３】
0003774016.tif 000004
【図４】
0003774016.tif 000005
【図５】
0003774016.tif 000006
【図６】
0003774016.tif 000007