(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
排ガスの導入口および排出口の間に並列に接続されそれぞれ排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器および非加熱式排オゾン分解器、
上記両排オゾン分解器のいずれか一方を選択して上記導入口および排出口の間に連通させる切換手段、
および上記切換手段を制御して、定常運転時には上記加熱式排オゾン分解器を選択し、上記加熱式排オゾン分解器を通過する上記排ガスの温度が所定の分解温度以下に低下した場合の運転時には上記非加熱式排オゾン分解器を選択する制御手段とを備えたことを特徴とする排オゾン処理装置。
【請求項２】
排ガスの導入口および排出口の間に並列に接続されそれぞれ排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器および非加熱式排オゾン分解器、
上記両排オゾン分解器のいずれか一方を選択して上記導入口および排出口の間に連通させる切換手段、
および上記切換手段を制御して、運転開始時には上記加熱式排オゾン分解器を選択し、定常運転時には上記非加熱式排オゾン分解器を選択する制御手段を備えたことを特徴とする排オゾン処理装置。
【請求項３】
排ガスの導入口および排出口の間に接続され排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器、
上記加熱式排オゾン分解器と直列に接続され並列に分岐する一対の分岐路、
上記分岐路のいずれか一方に接続され排ガス中の排オゾンを分解する非加熱式排オゾン分解器、
上記分岐路のいずれか一方を選択して上記加熱式排オゾン分解器と直列に連通させる切換手段、
および上記切換手段を制御して、定常運転時には上記分岐路の他方を選択して上記加熱式排オゾン分解器を運転し、上記加熱式排オゾン分解器を通過する上記排ガスの温度が所定の分解温度以下に低下した場合の運転時には上記分岐路の一方を選択して上記非加熱式排オゾン分解器を運転させる制御手段を備えたことを特徴とする排オゾン処理装置。
【請求項４】
排ガスの導入口および排出口の間に接続され排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器、
上記加熱式排オゾン分解器と直列に接続され並列に分岐する一対の分岐路、
上記分岐路のいずれか一方に接続され排ガス中の排オゾンを分解する非加熱式排オゾン分解器、
上記分岐路のいずれか一方を選択して上記加熱式排オゾン分解器と直列に連通させる切換手段、
上記切換手段を制御して、運転開始時には上記分岐路の他方を選択して上記加熱式排オゾン分解器を運転し、定常運転時には上記分岐路の一方を選択して上記非加熱式排オゾン分解器を運転する制御手段を備えたことを特徴とする排オゾン処理装置。
【請求項５】
非加熱式排オゾン分解器は、触媒分解器であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の排オゾン処理装置。
【請求項６】
非加熱式排オゾン分解器は、薬液洗浄分解器であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の排オゾン処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば紙パルプのオゾン漂白処理装置等から排出される未反応オゾンを含有した排ガスを処理する排オゾン処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図５は例えば特開平９−７５６６６号公報等に記載された従来の加熱分解式の排オゾン処理装置の構成を示すブロック図である。
図において、１はオゾン漂白処理装置（図示せず）から排出される未反応オゾンを含有した排ガスを導入する導入口、２はこの導入口１に接続された入口弁、３は導入された排ガスを所定の温度に加熱するヒータで、例えばサイリスタレギュレータ等の電源装置４により作動されている。５はヒータ３によって加熱された排ガス中の未反応オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器、６はこの加熱式排オゾン分解器５の出口近傍に設けられ、通過する排ガスの温度を検出する温度検出器である。
【０００３】
７はヒータ３の入口側に接続され加熱式排オゾン分解器５から排出される高温の排ガスにより、導入口１から導入される排ガスを予熱する第１の熱回収器、８はこの第１の熱回収器７を通過した高温の排ガスを冷却水により冷却する第２の熱回収器、９はこの第２の熱回収器８の出口側に接続され、排ガスに流速を与えるための増圧ファン、１０は第２の熱回収器８と増圧ファン９の間を外気と連通させる通気弁、１１は増圧ファン９の出口側に出口弁１２を介して設けられ、排ガスを排出するための排出口、１３は増圧ファン９と出口弁１２の間から分岐し、第１の熱回収器７の入口側に接続される流通路、１４はこの流通路１３中に接続されるバイパス弁である。
【０００４】
次に、上記のように構成される従来の排オゾン処理装置の動作を図に基づいて説明する。
まず、入口弁２および出口弁１２をそれぞれ閉、通気弁１０およびバイパス弁１４をそれぞれ開の状態にして、増圧ファン９の運転を開始するとともに、電源装置４を運転することによりヒータ３を動作させる。すると、通気弁１０を介して導入される外気は、増圧ファン９の働きにより流通路１３→第１の熱回収器７→ヒータ３→加熱式排オゾン分解器５→第１の熱回収器７→第２の熱回収器８の順に循環され、温度検出器６で検出される温度が規定値以上（通常、オゾン分解に必要な３５０℃以上）となるまでこの運転が継続される。
【０００５】
次いで、温度検出器６で検出される温度が規定値以上になると、通気弁１０およびバイパス弁１４をそれぞれ閉、入口弁２および出口弁１２をそれぞれ開の状態とし、オゾン漂白処理装置から排出される排ガス（この段階では、オゾン漂白処理装置は動作しておらず、排ガス中に未反応オゾンは含まれていない）を導入し、さらに運転が継続されて排オゾン処理装置の運転が順調と確認された段階で、オゾン漂白処理装置が運転を開始する。以後、排ガス中に含まれる未反応オゾンは加熱式排オゾン分解器５内で順次分解され、人体に害を及ぼさないレベルの状態となって排出口１１より外気中に排出される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の排オゾン処理装置は以上のように構成され、ヒータ３により排ガスの温度を規定値以上に保持して、加熱式排オゾン分解器５内で排ガス中に含まれる未反応オゾンを分解するようにしているので、万一、排オゾン処理装置が故障してヒータ３が停止すると、排ガスの温度が規定値以下に低下して、加熱式排オゾン分解器５内での分解が十分でなくなり、人体に有害な未反応オゾンが排出される恐れがあるため、安全上、オゾン漂白装置を停止、ひいては抄紙プラント全体を停止することも必要となり、信頼性が低下するという問題点があり、又、排オゾン処理装置を運転している間、ヒータ３を動作させておかなければならず、多くのエネルギーを必要とするという問題点があった。
【０００７】
この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、信頼性の向上および省エネ運転が可能な排オゾン処理装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明の請求項１に係る排オゾン処理装置は、排ガスの導入口および排出口の間に並列に接続されそれぞれ排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器および非加熱式排オゾン分解器、
両排オゾン分解器のいずれか一方を選択して導入口および排出口の間に連通させる切換手段、
および切換手段を制御して、定常運転時には加熱式排オゾン分解器を選択し、加熱式排オゾン分解器を通過する排ガスの温度が所定の分解温度以下に低下した場合の運転時には非加熱式排オゾン分解器を選択する制御手段とを備えたものである。
【０００９】
又、この発明の請求項２に係る排オゾン処理装置は、排ガスの導入口および排出口の間に並列に接続されそれぞれ排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器および非加熱式排オゾン分解器、
両排オゾン分解器のいずれか一方を選択して導入口および排出口の間に連通させる切換手段、
および切換手段を制御して、運転開始時には加熱式排オゾン分解器を選択し、定常運転時には非加熱式排オゾン分解器を選択する制御手段を備えたものである。
【００１０】
又、この発明の請求項３に係る排オゾン処理装置は、排ガスの導入口および排出口の間に接続され排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器、
加熱式排オゾン分解器と直列に接続され並列に分岐する一対の分岐路、
分岐路のいずれか一方に接続され排ガス中の排オゾンを分解する非加熱式排オゾン分解器、
分岐路のいずれか一方を選択して加熱式排オゾン分解器と直列に連通させる切換手段、
および切換手段を制御して、定常運転時には分岐路の他方を選択して加熱式排オゾン分解器を運転し、加熱式排オゾン分解器を通過する排ガスの温度が所定の分解温度以下に低下した場合の運転時には分岐路の一方を選択して非加熱式排オゾン分解器を運転させる制御手段を備えたものである。
【００１１】
又、この発明の請求項４に係る排オゾン処理装置は、排ガスの導入口および排出口の間に接続され排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器、
加熱式排オゾン分解器と直列に接続され並列に分岐する一対の分岐路、
分岐路のいずれか一方に接続され排ガス中の排オゾンを分解する非加熱式排オゾン分解器、
分岐路のいずれか一方を選択して加熱式排オゾン分解器と直列に連通させる切換手段、
切換手段を制御して、運転開始時には分岐路の他方を選択して加熱式排オゾン分解器を運転し、定常運転時には分岐路の一方を選択して非加熱式排オゾン分解器を運転する制御手段を備えたものである。
【００１２】
又、この発明の請求項５に係る排オゾン処理装置は、請求項１ないし４のいずれかにおいて、非加熱式排オゾン分解器として、触媒分解器を用いたものである。
【００１３】
又、この発明の請求項６に係る排オゾン処理装置は、請求項１ないし４のいずれかにおいて、非加熱式排オゾン分解器として、薬液洗浄分解器を用いたものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１における排オゾン処理装置の構成を示すブロック図である。
図において、２１はオゾン漂白処理装置（図示せず）から排出される未反応オゾンを含有した排ガスを導入する導入口、２２はこの導入口２１に接続された入口弁、２３は導入された排ガスを所定の温度に加熱するヒータで、例えばサイリスタレギュレータ等の電源装置２４により作動されている。２５はヒータ２３によって加熱された排ガス中の未反応オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器、２６はこの加熱式排オゾン分解器２５の出口近傍に設けられ、通過する排ガスの温度を検出する温度検出器である。
【００１５】
２７はヒータ２３の入口側に接続され加熱式排オゾン分解器２５から排出される高温の排ガスにより、導入口２１から導入される排ガスを予熱する第１の熱回収器、２８はこの第１の熱回収器２７を通過した高温の排ガスを冷却水により冷却する第２の熱回収器、２９はこの第２の熱回収器２８の出口側に接続され、排ガスに流速を与えるための増圧ファン、３０は第２の熱回収器２８と増圧ファン２９の間を外気と連通させる通気弁、３１は増圧ファン２９の出口側に出口弁３２を介して設けられ、排ガスを排出するための排出口、３３は増圧ファン２９と出口弁３２の間から分岐し、第１の熱回収器２７の入口側に接続される流通路、３４はこの流通路３３中に接続されるバイパス弁である。
【００１６】
３５は入口弁２２の出口側の分岐点３５ａから分岐し、第２の熱回収器２８の出口側に接続される分岐路、３６はこの分岐路３５の分岐点３５ａと第１の熱回収器２７との間に接続される第１の切換弁、３７は分岐路３５の分岐点３５ａの近傍に接続される第２の切換弁で、第１の切換弁３６と共に切換手段を構成している。３８は第２の切換弁３７の出口側に接続され、排ガス中の未反応オゾンを分解する非加熱式排オゾン分解器としての触媒分解器である。
【００１７】
３９は切換手段としての第１および第２の切換弁３６、３７を制御する制御手段で、定常運転時には第１の切換弁３６を開放し、加熱式排オゾン分解器２５を導入口２１および排出口３１の間に連通させ、温度検出器２６で検出される加熱式排オゾン分解器２５を通過する排ガスの温度が規定値、すなわち所定の分解温度以下に低下した場合の運転時には第２の切換弁３７を開放し、触媒分解器３８を導入口２１および排出口３１の間に連通させる。
【００１８】
次に、上記のように構成される実施の形態１における排オゾン処理装置の動作を図に基づいて説明する。
まず、入口弁２２および出口弁３２をそれぞれ閉、通気弁３０およびバイパス弁３４をそれぞれ開の状態にするとともに、制御手段３９の制御により第１の切換弁３６を開、第２の切換弁３７を閉の状態にして、増圧ファン２９の運転を開始するとともに、電源装置２４を運転することによりヒータ２３を動作させる。すると、通気弁３０を介して導入される外気は、増圧ファン２９の働きにより流通路３３→第１の熱回収器２７→ヒータ２３→加熱式排オゾン分解器２５→第１の熱回収器２７→第２の熱回収器２８の順に循環され、温度検出器２６で検出される温度が規定値以上（通常、オゾン分解に必要な３５０℃以上）となるまで運転が継続される。
【００１９】
次いで、温度検出器２６で検出される温度が規定値以上になると、通気弁３０およびバイパス弁３４をそれぞれ閉、入口弁２２および出口弁３２をそれぞれ開の状態とし、オゾン漂白装置から排出される排ガス（この段階では、オゾン漂白装置は動作しておらず、排ガス中の未反応オゾンは含まれていない）を導入し、さらに運転が継続されて排オゾン処理装置の運転が順調と確認された段階で、オゾン漂白装置が運転を開始する。以後、排ガス中に含まれる未反応オゾンは加熱式排オゾン分解器２５内で順次分解され、人体に害を及ぼさないレベルの状態となって排出口３１より外気中に排出される。
【００２０】
そして、上記運転中に何らかの理由で、温度検出器２６で検出される加熱式排オゾン分解器２５を通過する排ガスの温度が規定値以下に低下した場合、制御手段３９は第１の切換弁３６を閉止するとともに第２の切換弁３７を開放する。すると、今まで加熱式排オゾン分解器２５側を流れていた排ガスは、非加熱式排オゾン分解器としての触媒分解器３８側に流れを変え、排ガス中に含まれる未反応オゾンは触媒分解器３８内で順次分解され、人体に害を及ぼさないレベルの状態となって排出口３１より外気中に排出される。
【００２１】
このように上記実施の形態１によれば、制御手段３９により、定常運転時には第１の切換弁３６側を開放して、加熱式排オゾン分解器２５で排ガス中に含まれる未反応オゾンの分解を行い、又、加熱式排オゾン分解器２５を通過する排ガスの温度が規定値以下に低下した場合は、第１の切換弁３６を閉止するとともに第２の切換弁３７側を開放して、触媒分解器３８で排オゾン中に含まれる未反応オゾンの分解を行うようにしているので、ヒータ２３の停止等により排ガスの温度が規定値以下に低下しても、人体に有害な未反応オゾンが外気中に排出される心配も無くなり、信頼性の向上を図ることができる。
【００２２】
又、非加熱式排オゾン分解器として触媒分解器３８を用いているので、構成が簡単でスペースをとらず小形化が可能となり、さらに又、上記はしていないが非加熱式排オゾン分解器として薬液洗浄分解器を用いれば、触媒の取り替え等の作業が不要となり、メンテナンスが容易になる。
【００２３】
実施の形態２．
図２はこの発明の実施の形態２における排オゾン処理装置の構成を示すブロック図である。
図において、２１ないし３８は上記実施の形態１におけると同様なので同一符号を付して説明を省略する。
４０は切換手段としての第１および第２の切換弁３６、３７を制御する制御手段で、運転開始時には第１の切換弁３６を開放し、加熱式排オゾン分解器２５を導入口２１および排出口３１間に連通させて運転し、定常運転時には第２の切換弁３７を開放し、触媒分解器３８を導入口２１および排出口３１の間に連通させる。
【００２４】
次に、上記のように構成される実施の形態２における排オゾン処理装置の動作を図に基づいて説明する。
まず、上記実施の形態１におけると同様に、入口弁２２および出口弁３２をそれぞれ閉、通気弁３０およびバイパス弁３４をそれぞれ開の状態にするとともに、制御手段４０の制御により第１の切換弁３６を開、第２の切換弁３７を閉の状態にして、増圧ファン２９の運転を開始するとともに、電源装置２４を運転することによりヒータ２３を動作させる。すると、通気弁３０を介して導入される外気は、増圧ファン２９の働きにより流通路３３→第１の熱回収器２７→ヒータ２３→加熱式排オゾン分解器２５→第１の熱回収器２７→第２の熱回収器２８の順に循環され、温度検出器２６で検出される温度が規定値以上（通常、オゾン分解に必要な３５０℃以上）となるまで運転が継続される。
【００２５】
次いで、温度検出器２６で検出される温度が規定値以上になると、通気弁３０およびバイパス弁３４をそれぞれ閉、入口弁２２および出口弁３２をそれぞれ開の状態とし、オゾン漂白装置から排出される排ガス（この段階では、オゾン漂白装置は動作しておらず、排ガス中の未反応オゾンは含まれていない）を導入し、さらに運転が継続されて排オゾン処理装置の運転が順調と確認された段階で、オゾン漂白装置が運転を開始する。そして、運転開始時には、排ガス中に含まれる濃度の高い未反応オゾンは加熱式排オゾン分解器２５内で順次分解され、人体に害を及ぼさないレベルの状態となって排出口３１より外気中に排出される。
【００２６】
その後、所定の時間が経過して排ガス中に含まれる未反応オゾンの濃度が低くなり定常運転になると、制御手段４０は第１の切換弁３６を閉止するとともに第２の切換弁３７を開放する。すると、今まで加熱式排オゾン分解器２５側を流れていた排ガスは、非加熱式排オゾン分解器としての触媒分解器３８側に流れを変え、排ガス中に含まれる濃度の低い未反応オゾンは触媒分解器３８内で順次分解され、人体に害を及ぼさないレベルの状態となって排出口３１より外気中に排出される。
【００２７】
このように上記実施の形態２によれば、制御手段４０の制御により、切換手段としての第１および第２の切換弁３６、３７を切り換えて、排ガス中に含まれる未反応オゾンの濃度が高い運転開始時には加熱式排オゾン分解器２５で、又、未反応オゾンの濃度の低い定常運転時には触媒分解器３８でそれぞれ分解するようにしているので、ヒータ２３の動作時間を大幅に短縮することができるため省エネ運転が可能になり、又、触媒分解器３８の容量を下げることができるため、コストの低減が可能になる。
【００２８】
実施の形態３．
図３はこの発明の実施の形態３における排オゾン処理装置の構成を示すブロック図である。
図において、２１ないし３１、３３、３４は上記各実施の形態１、２におけると同様なので同一符号を付して説明を省略する。４１、４２は増圧ファン２９の出口側から分岐し、排出口３１に接続される第１および第２の分岐路、４３、４４は第１および第２の分岐路４１、４２中にそれぞれ接続される切換手段としての第１および第２の切換弁である。
【００２９】
４５は第２の分岐路４２の第２の切換弁４４の出口側に接続され、排ガス中の未反応オゾンを分解する非加熱式排オゾン分解器としての触媒分解器、４６は第１および第２の切換弁４３、４４を制御する制御手段で、定常運転時には第１の切換弁４３を開放し、第１の分岐路４１を介して加熱式排オゾン分解器２５を導入口２１および排出口３１の間に連通させ、温度検出器２６で検出される加熱式排オゾン分解器２５を通過する排ガスの温度が規定値以下に低下した場合の運転時には第２の切換弁４４を開放し、触媒分解器４５を導入口２１および排出口３１の間に連通させる。
【００３０】
次に、上記のように構成される実施の形態３における排オゾン処理装置の動作を図に基づいて説明する。
まず、入口弁２２、第１および第２の切換弁４３、４４を閉、通気弁３０およびバイパス弁３４をそれぞれ開の状態にして、増圧ファン２９の運転を開始するとともに、電源装置２４を運転することによりヒータ２３を動作させる。すると、通気弁３０を介して導入される外気は、増圧ファン２９の働きにより流通路３３→第１の熱回収器２７→ヒータ２３→加熱式排オゾン分解器２５→第１の熱回収器２７→第２の熱回収器２８の順に循環され、温度検出器２６で検出される温度が規定値以上（通常、オゾン分解に必要な３５０℃以上）となるまで運転が継続される。
【００３１】
次いで、温度検出器２６で検出される温度が規定値以上になると、通気弁３０およびバイパス弁３４をそれぞれ閉、入口弁２２および第１の切換弁４３をそれぞれ開の状態とし、オゾン漂白装置から排出される排ガス（この段階では、オゾン漂白装置は動作しておらず、排ガス中の未反応オゾンは含まれていない）を導入し、さらに運転が継続されて排オゾン処理装置の運転が順調と確認された段階で、オゾン漂白装置が運転を開始する。以後、排ガス中に含まれる未反応オゾンは加熱式排オゾン分解器２５内で順次分解され、人体に害を及ぼさないレベルの状態となって排出口３１より外気中に排出される。
【００３２】
そして、上記運転中に何らかの理由で、温度検出器２６で検出される加熱式排オゾン分解器２５を通過する排ガスの温度が規定値以下に低下した場合、制御手段４６はヒータ２３を停止し第１の切換弁４３を閉止するとともに第２の切換弁４４を開放する。すると、今まで第１の分岐路４１側を流れていた排ガスは、第２の分岐路４２を介して非加熱式排オゾン分解器としての触媒分解器４５側に流れを変え、排ガス中に含まれる未反応オゾンは触媒分解器４５内で順次分解され、人体に害を及ぼさないレベルの状態となって排出口３１より外気中に排出される。
【００３３】
このように上記実施の形態３によれば、制御手段４６により、定常運転時には第１の切換弁４３側を開放して、加熱式排オゾン分解器２５で排ガス中に含まれる未反応オゾンの分解を行い、又、加熱式排オゾン分解器２５を通過する排ガスの温度が規定値以下に低下した場合は、第１の切換弁４３を閉止するとともに第２の切換弁４４側を開放して、触媒分解器４５で排オゾン中に含まれる未反応オゾンの分解を行うようにしているので、ヒータ２３の停止等により排ガスの温度が規定値以下に低下しても、人体に有害な未反応オゾンが外気中に排出される心配も無くなり、信頼性の向上を図ることができる。
【００３４】
実施の形態４．
図４はこの発明の実施の形態４における排オゾン処理装置の構成を示すブロック図である。
図において、２１ないし３１、３３、３４、４１ないし４５は上記実施の形態３におけると同様なので同一符号を付して説明を省略する。
４７は第１および第２の切換弁４３、４４を制御する制御手段で、運転開始時には第１の切換弁４３側を開放し、加熱式排オゾン分解器２５を導入口２１および排出口３１間に連通させて運転し、定常運転時には第２の切換弁側を開放し、触媒分解器４５を導入口２１および排出口３１の間に連通させて運転する。
【００３５】
このように構成される実施の形態４における排オゾン処理装置も、上記実施の形態３におけると同様に動作するが、制御手段４７の制御により、切換手段としての第１および第２の切換弁４３、４４を切り換えて、排ガス中に含まれる未反応オゾンの濃度が高い運転開始時には加熱式排オゾン分解器２５で、又、未反応オゾンの濃度の低い定常運転時には触媒分解器４５でそれぞれ分解するようにしているので、ヒータ２３の動作時間を大幅に短縮することができるため省エネ運転が可能になり、又、触媒分解器４５の容量を下げることができるため、コストの低減が可能になる。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、この発明の請求項１によれば、排ガスの導入口および排出口の間に並列に接続されそれぞれ排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器および非加熱式排オゾン分解器、
両排オゾン分解器のいずれか一方を選択して導入口および排出口の間に連通させる切換手段、
および切換手段を制御して、定常運転時には加熱式排オゾン分解器を選択し、加熱式排オゾン分解器を通過する排ガスの温度が所定の分解温度以下に低下した場合の運転時には非加熱式排オゾン分解器を選択する制御手段とを備えたので、信頼性の向上を図ることが可能な排オゾン処理装置を提供することができる。
【００３７】
又、この発明の請求項２によれば、排ガスの導入口および排出口の間に並列に接続されそれぞれ排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器および非加熱式排オゾン分解器、
両排オゾン分解器のいずれか一方を選択して導入口および排出口の間に連通させる切換手段、
および切換手段を制御して、運転開始時には加熱式排オゾン分解器を選択し、定常運転時には非加熱式排オゾン分解器を選択する制御手段を備えたので、省エネ運転およびコストの低減が可能な排オゾン処理装置を提供することができる。
【００３８】
又、この発明の請求項３によれば、排ガスの導入口および排出口の間に接続され排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器、
加熱式排オゾン分解器と直列に接続され並列に分岐する一対の分岐路、
分岐路のいずれか一方に接続され排ガス中の排オゾンを分解する非加熱式排オゾン分解器、
分岐路のいずれか一方を選択して加熱式排オゾン分解器と直列に連通させる切換手段、
および切換手段を制御して、定常運転時には分岐路の他方を選択して加熱式排オゾン分解器を運転し、加熱式排オゾン分解器を通過する排ガスの温度が所定の分解温度以下に低下した場合の運転時には分岐路の一方を選択して非加熱式排オゾン分解器を運転させる制御手段を備えたので、信頼性の向上を図ることが可能な排オゾン処理装置を提供することができる。
【００３９】
又、この発明の請求項４によれば、排ガスの導入口および排出口の間に接続され排ガス中の排オゾンを分解する加熱式排オゾン分解器、
加熱式排オゾン分解器と直列に接続され並列に分岐する一対の分岐路、
分岐路のいずれか一方に接続され排ガス中の排オゾンを分解する非加熱式排オゾン分解器、
分岐路のいずれか一方を選択して加熱式排オゾン分解器と直列に連通させる切換手段、
切換手段を制御して、運転開始時には分岐路の他方を選択して加熱式排オゾン分解器を運転し、定常運転時には分岐路の一方を選択して非加熱式排オゾン分解器を運転する制御手段を備えたので、省エネ運転およびコストの低減が可能な排オゾン処理装置を提供することができる。
【００４０】
又、この発明の請求項５によれば、請求項１ないし４のいずれかにおいて、非加熱式排オゾン分解器として、触媒分解器を用いたので、小形化が可能な排オゾン処理装置を提供することができる。
【００４１】
又、この発明の請求項６によれば、請求項１ないし４のいずれかにおいて、非加熱式排オゾン分解器として、薬液洗浄分解器を用いたので、メンテナンスの容易な排オゾン処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１における排オゾン処理装置の構成を示すブロック図である。
【図２】  この発明の実施の形態２における排オゾン処理装置の構成を示すブロック図である。
【図３】  この発明の実施の形態３における排オゾン処理装置の構成を示すブロック図である。
【図４】  この発明の実施の形態４における排オゾン処理装置の構成を示すブロック図である。
【図５】  従来の排オゾン処理装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
２１  導入口、２５  加熱式排オゾン分解器、３１  排出口、
３６，４３  第１の切換弁（切換手段）、
３７，４４  第２の切換弁（切換手段）、３８，４５  触媒分解器、
３９，４０，４６，４７  制御手段、４１  第１の分岐路、
４２  第２の分岐路。
【図１】
0003779626.tif 000002
【図２】
0003779626.tif 000003
【図３】
0003779626.tif 000004
【図４】
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【図５】
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