(57)【要約】  装置全体を小型化することができる駆動装置を提供する。ミラー（２）が、内側トーションバー（２０）を介して回動フレーム（３）によって回動可能に支持され、回動フレーム（３）が、外側トーションバー（３０）を介してベース部（４）によって回動可能に支持される。磁気素子（５Ａ、５Ｂ）が回動フレーム（３）に設けられていることで、ミラー（２）とヨーク部（７Ａ、７Ｂ）の端部（７４、７５）とが干渉しにくく、磁気素子（５Ａ、５Ｂ）と端部（７４、７５）とを近接配置することによって装置全体を小型化することができる。
2020110746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１被駆動部と、
第１軸部を介して前記第１被駆動部を回動可能に支持する第２被駆動部と、
第２軸部を介して前記第２被駆動部を回動可能に支持するベース部と、
前記第２被駆動部に設けられる磁気素子と、
一対の端部を有し、当該端部に発生する磁界を前記磁気素子に作用させることで前記第２被駆動部を介して前記第１被駆動部を回動させるヨーク部と、を備え、
前記ヨーク部は、前記一対の端部の間に、前記ベース部が延在する基準面を挟むことを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記第１被駆動部の回動の振角は、前記第２被駆動部の回動の振角よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記磁気素子は、前記第２被駆動部のうち前記ベース部に対する最近接部に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記磁気素子は、前記第２被駆動部のうち、前記第２軸部の軸方向における中央部に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記第１被駆動部は、円板状または楕円板状に形成され、
前記磁気素子は、前記第２被駆動部のうち、前記ベース部と前記第１被駆動部との最近接部に対し、前記第１軸部の軸方向においてずれた位置に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記最近接部に対応する位置において、前記ベース部と前記第１被駆動部との対向方向における前記第２被駆動部の幅が、他の部分よりも小さくなっていることを特徴とする請求項５に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記磁気素子は、前記第２被駆動部に対し、前記第２軸部の軸方向と交差する方向の両側それぞれに配置されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項８】
コイル部をさらに備え、
前記コイル部を形成する配線部は、前記ベース部に沿うとともに前記第２軸部の軸方向に延在する軸方向延在部を有し、
前記ヨーク部は、前記基準面の両側および前記第２被駆動部の反対側から前記軸方向延在部を囲むとともに、前記第２被駆動部側において開口した開環状に形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記第１軸部および前記第２軸部は、同軸上に配置されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１０】
コイル部と、
非磁性体材料によって構成されるとともに前記ベース部が接合される台座と、をさらに備え、
前記コイル部が、前記台座上または前記台座内に配置されることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項１１】
可動部と、
軸部を介して前記可動部を回動可能に支持するベース部と、
前記可動部に設けられる磁気素子と、
コイル部を含み、前記コイル部が発生する磁界を前記磁気素子に作用させることで前記可動部を回動させる駆動手段と、を備え、
前記コイル部は、前記ベース部に沿って延びる配線により形成されていることを特徴とする駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、枠体に対し、一対の梁部によって可動板を回転可能に支持するとともに、可動板の裏面に固定した永久磁石の近傍にヨークの端部を設けることにより、可動板を回転させる磁気力型駆動装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載された磁気力型駆動装置では、導通によってヨークの端部に磁極が現れるようにするためのコイルが、可動板から板厚方向に離間した位置においてヨークに巻回される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２０８３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された駆動装置では、可動板が回動した際に干渉が生じないように、可動板から板厚方向に十分離間した位置でコイルをヨークに巻回すことから、装置全体が板厚方向に大型化しやすいという不都合があった。【０００５】
したがって、本発明の課題は、装置全体を小型化することができる駆動装置を提供することが一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した課題を解決し目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の駆動装置は、第１被駆動部と、第１軸部を介して前記第１被駆動部を回動可能に支持する第２被駆動部と、第２軸部を介して前記第２被駆動部を回動可能に支持するベース部と、前記第２被駆動部に設けられる磁気素子と、一対の端部を有し、当該端部に発生する磁界を前記磁気素子に作用させることで、前記第２被駆動部を介して前記第１被駆動部を回動させるヨーク部と、を備え、前記ヨーク部は、前記一対の端部の間に、前記ベース部が延在する基準面を挟むことを特徴としている。また、請求項１１に記載の本発明の駆動装置は、可動部と、軸部を介して前記可動部を回動可能に支持するベース部と、前記可動部に設けられる磁気素子と、コイル部を含み、前記コイル部が発生する磁界を前記磁気素子に作用させることで前記可動部を回動させる駆動手段と、を備え、前記コイル部は、前記ベース部に沿って延びる配線により形成されていることを特徴としている。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の第１実施例に係る駆動装置を示す斜視図である。
【図２】前記駆動装置の上面側を示す斜視図である。
【図３】前記駆動装置の下面側を示す斜視図である。
【図４】前記駆動装置のヨーク部および磁気素子を示す斜視図である。
【図５】本発明の第２実施例に係る駆動装置を示す斜視図である。
【図６】前記駆動装置の下面側を示す斜視図である。
【図７】前記駆動装置の要部を示す斜視図である。
【図８】本発明の第３実施例に係る駆動装置を示す斜視図である。
【図９】前記駆動装置の下面側を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態を説明する。本発明の実施形態に係る駆動装置は、第１被駆動部と、第１軸部を介して第１被駆動部を回動可能に支持する第２被駆動部と、第２軸部を介して第２被駆動部を回動可能に支持するベース部と、第２被駆動部に設けられる磁気素子と、一対の端部を有し、この端部に発生する磁界を磁気素子に作用させることで、第２被駆動部を介して第１被駆動部を回動させるヨーク部と、を備える。ヨーク部は、一対の端部の間に、ベース部が延在する基準面を挟む。
【０００９】
磁気素子が第２被駆動部に設けられていることで、第１被駆動部とヨーク部の端部とが干渉しにくく、磁気素子とヨーク部の端部とを近接配置することによって装置全体を小型化することができる。また、磁気素子とヨーク部の端部とを近接配置することによって駆動力を大きくし、第１被駆動部の振角を大きくしても、第１被駆動部とヨーク部の端部とが干渉しにくい。このとき、ヨーク部の端部に、第１被駆動部の共振周波数に応じた周波数の磁界を発生させれば、第１被駆動部の振角を大きくすることができる一方で、第２被駆動部の振角を小さくすることができ、第２被駆動部とヨーク部の端部との干渉を抑制することができる。このように、大きな駆動力を得つつ部品同士の干渉を抑制することができ、第１被駆動部の振角を大きくすることができる。
【００１０】
尚、磁気素子とヨークの端部とは、第１軸部（又は第２軸部）の軸方向において、互いに対応した位置に配置されていればよい。大きな駆動力を得るためには、これらの軸方向位置が一致していることが好ましいが、例えば他の部品の配置等の都合上、軸方向において互いに多少ずれて配置されていてもよい。
【００１１】
磁気素子は、第２被駆動部のうちベース部に対する最近接部に配置されていることが好ましい。これにより、ヨーク部の端部に発生した磁界を磁気素子に作用させやすくなり、大きな駆動力を得ることができる。
【００１２】
磁気素子は、第２被駆動部のうち、第２軸部の軸方向における中央部に配置されていることが好ましい。これにより、第２被駆動部を駆動する際に、第２軸部を軸方向とする回動に対して捩れ等の動作が発生しにくい。
【００１３】
第１被駆動部は、円板状または楕円板状に形成され、磁気素子は、第２被駆動部のうち、ベース部と第１被駆動部との最近接部に対し、第１軸部の軸方向においてずれた位置に配置されてもよい。これにより、最近接部において第１被駆動部をベース部に近接させやすく、第１被駆動部を大面積化しやすい。
【００１４】
さらに、最近接部に対応する位置において、ベース部と第１被駆動部との対向方向における第２被駆動部の幅が、他の部分よりも小さくなっていてもよい。これにより、第１被駆動部をミラーとする場合、最近接部において、第２被駆動部によって光が遮られてしまうことを抑制することができる。
【００１５】
磁気素子は、第２被駆動部に対し、第２軸部の軸方向と交差する方向の両側それぞれに配置されていることが好ましい。これにより、交差する方向の両側から第２被駆動部に対して駆動力を加えることができる。
【００１６】
駆動装置は、コイル部をさらに備え、コイル部を形成する配線部は、ベース部に沿うとともに第２軸部の軸方向に延在する軸方向延在部を有し、ヨーク部は、基準面の両側および第２被駆動部の反対側から軸方向延在部を囲むとともに、第２被駆動部側において開口した開環状に形成されていることが好ましい。これにより、軸方向延在部に電流が流れた際、ヨーク部に磁力線が集中し、開環した第２被駆動部側において磁気素子に磁界を作用させやすくすることができる。
【００１７】
第１軸部および第２軸部は、同軸上に配置されていることが好ましい。これにより、第２被駆動部に加えられた駆動力を第１被駆動部に伝達させやすくすることができる。
【００１８】
駆動装置は、コイル部と、非磁性体材料によって構成されるとともにベース部が接合される台座と、をさらに備え、コイル部が、台座上または台座内に配置されることが好ましい。これにより、コイル部を台座上または台座内に配置することで駆動装置全体を小型化することができる。
【００１９】
本発明の他の実施形態に係る駆動装置は、可動部と、軸部を介して可動部を回動可能に支持するベース部と、可動部に設けられる磁気素子と、コイル部を含み、コイル部が発生する磁界を磁気素子に作用させることで可動部を回動させる駆動手段と、を備える。コイル部は、ベース部に沿って延びる配線により形成されている。
【００２０】
コイル部が、ベース部に沿って延びる配線により構成されていることで、コイル部をベース部に対して並べて配置する構成と比較して、駆動装置全体を小型化することができる。
【実施例】
【００２１】
以下、本発明の各実施例について具体的に説明する。尚、第２、３実施例においては、第１実施例で説明する構成部材と同じ構成部材及び同様な機能を有する構成部材には、第１実施例と同じ符号を付すとともに説明を省略する。【００２２】
［第１実施例］
本実施例の駆動装置１Ａは、図１〜３に示すように、第１被駆動部としてのミラー２と、第２被駆動部としての回動フレーム３と、ベース部４と、２つの磁気素子５Ａ、５Ｂと、コイル部６と、２つのヨーク部７Ａ、７Ｂと、台座８と、第１軸部としての内側トーションバー２０と、第２軸部としての外側トーションバー３０と、を備えた光偏向器である。駆動装置１Ａは、例えば車両に搭載されて赤外線等の光を送受信することで他車両や設置物等との距離を検出する検出装置に用いられる。【００２３】
本実施例では、内側トーションバー２０と外側トーションバー３０とが同軸上に配置されており、これらの延在方向（軸方向）をＸ方向とし、ミラー２の板厚方向をＺ方向とする。Ｘ方向およびＺ方向の両方に直交する方向をＹ方向とし、即ち、ミラー２がＸＹ平面に沿って延在しているものとする。【００２４】
ミラー２は、Ｘ方向を長手方向とする楕円板状に形成され、表面２１が鏡面加工されて反射面となっている。ミラー２のＸ方向における両端部には、内側トーションバー２０が接続されている。【００２５】
回動フレーム３は、Ｚ方向から見て、Ｘ方向を長手方向とする楕円環状に形成され、ミラー２を囲むようにＸＹ平面に沿って延在する。回動フレーム３のＸ方向における両端部には、内側に内側トーションバー２０が接続され、外側に外側トーションバー３０が接続されている。即ち、ミラー２は、内側トーションバー２０を介して、回動フレーム３によって回動可能に支持されている。【００２６】
ベース部４は、Ｚ方向から見て、Ｘ方向を長手方向とする長方形枠状に形成され、回動フレーム３を囲むようにＸＹ平面に沿って延在する。ベース部４のＸ方向における両端部かつＹ方向における中央部には、内側に外側トーションバー３０が接続されている。即ち、回動フレーム３は、外側トーションバー３０を介して、ベース部４によって回動可能に支持されている。ここで、ベース部４が延在する面を基準面Ｓ１とする。基準面Ｓ１は、ＸＹ平面に沿っており、ミラー２および回動フレーム３も、基準面Ｓ１に沿って延在する。【００２７】
上記のようなミラー２と回動フレーム３と内側トーションバー２０とが可動部を構成し、可動部は、外側トーションバー３０を介して、ベース部４によって回動可能に支持されている。【００２８】
磁気素子５Ａ、５Ｂは、板状に形成された永久磁石であって、それぞれ、回動フレーム３の下面（表面２１と反対側の面）のうちＸ方向における中央部３１、３２に配置されている。即ち、２つの磁気素子５Ａ、５Ｂは、回動フレーム３に対してＹ方向の両側それぞれに配置されている。楕円形状の回動フレーム３は、中央部３１、３２においてベース部４と最も近接しており、中央部３１、３２が最近接部となる。磁気素子５Ａ、５Ｂは、図４にも示すように、磁極（Ｎ極及びＳ極）がＹ方向に並んでいる。【００２９】
コイル部６は、ベース部４に沿って延びる配線６１によって形成されている。即ち、配線６１が、Ｘ方向を長手方向とする長方形状に巻回されることによって、コイル部６が構成される。尚、ベース部４に沿って巻回される配線６１の巻数は、第２被駆動部に加えるべき駆動力、ベース部４上のスペース、配線６１の許容電流などの各種条件に応じて適宜設定する。本実施例では、コイル部６は、ベース部４の下面４２に設けられているものとするが、上面４１に設けられていてもよいし、上面４１と下面４２の両方に設けられてもよい。尚、ベース部４の上面４１とは、ミラー２の表面（反射面）２１と同じ側を向いた面である。【００３０】
配線６１の両端には、適宜な電源が接続され、必要に応じて電力が供給されるようになっている。即ち、配線６１の両端には、ミラー２の共振周波数に応じた周波数の電圧が印加され、磁界が発生するようになっている。配線６１は、Ｘ方向に沿って延びる軸方向延在部６１１、６１２を有する。【００３１】
ヨーク部７Ａ、７Ｂは、例えば鉄等の強磁性体金属によって構成され、磁気素子５Ａ、５Ｂのそれぞれに対応するように、軸方向延在部６１１、６１２のそれぞれを囲むように配置されている。即ち、ヨーク部７Ａ、７Ｂは、Ｙ方向において磁気素子５Ａ、５Ｂのそれぞれと対向する（Ｙ方向から見てこれらが重なる）ように配置されている。【００３２】
ヨーク部７Ａ、７Ｂは、それぞれ、軸方向延在部６１１、６１２のＺ方向上側（表面２１側）においてＸＹ平面に沿って延びる第１延在部７１と、軸方向延在部６１１、６１２のＺ方向下側においてＸＹ平面に沿って延びる第２延在部７２と、軸方向延在部６１１、６１２の外側（回動フレーム３の反対側）においてＺＸ平面に沿って延びて第１延在部７１と第２延在部７２とを連結する連結部７３と、を備える。【００３３】
即ち、ヨーク部７Ａ、７Ｂは、基準面Ｓ１の両側および回動フレーム３の反対側から軸方向延在部６１１、６１２を囲むとともに、回動フレーム３側において開口した開環状に形成されている。また、本実施例では、ヨーク部７Ａ、７Ｂによってベース部４も囲まれるものとする。また、第１延在部７１の内側端部および第２延在部７２の内側端部が、ヨーク部７Ａ、７Ｂの一対の端部７４、７５となる。Ｚ方向において、一対の端部７４、７５の間に、基準面Ｓ１が挟まれる。【００３４】
上記のようなコイル部６とヨーク部７Ａ、７Ｂとが、磁界を磁気素子５Ａ、５Ｂに作用させることで可動部を回動させる駆動手段として機能する。【００３５】
台座８は、ベース部４が固定され、ベース部４を支持するものであって、その上面（ベース部４側の面）には、コイル部６を収容するための凹部（収容部）が形成されている。即ち、コイル部６が台座８内に配置される。尚、ベース部４の下面（台座８側の面）に、コイル部６を収容可能な凹部（収容部）を形成してもよい。【００３６】
ここで、ミラー２および回動フレーム３に加えられる駆動力の詳細について説明する。コイル部６に電流が流れて磁界が発生すると、ヨーク部７Ａ、７Ｂ内を磁力線が通過しようとする。これにより、一対の端部７４、７５の一方から他方に向かって（Ｚ方向に沿って）磁力線が通過しようとする。また、磁気素子５Ａ、５Ｂは、磁極がＹ方向に並んでいる。【００３７】
これらの磁気的な相互作用により、磁気素子５Ａ、５Ｂが設けられるとともにＸ方向に沿った外側トーションバー３０によって支持された回動フレーム３には、Ｘ方向を軸方向として回動させるような駆動力が作用する。尚、磁気素子５Ａに生じる駆動力と、磁気素子５Ｂに生じる駆動力と、は回転の向きが同じとなっている。【００３８】
コイル部６に流れる電流は、ミラー２の共振周波数に応じた周波数を有するため、回動フレーム３は、駆動力が加わっても大きく回動しないようになっている。このとき、ミラー２の共振周波数と、回動フレーム３の共振周波数と、は互いに異なっていることが好ましく、一方の共振周波数が他方の共振周波数の整数倍とはなっていないことがより好ましい。【００３９】
回動フレーム３の回動が内側トーションバー２０を介してミラー２に伝達されると、この回動の周波数とミラー２の共振周波数とが略一致することから、ミラー２が回動フレーム３よりも大きく回動する。このように、回動フレーム３に加えられた駆動力は、ミラー２まで伝達される。【００４０】
上記の構成により、磁気素子５Ａ、５Ｂが回動フレーム３に設けられていることで、ミラー２とヨーク部７Ａ、７Ｂの端部７４、７５とが干渉しにくく、磁気素子５Ａ、５Ｂと端部７４、７５とを近接配置することによって装置全体を小型化することができる。【００４１】
また、磁気素子５Ａ、５Ｂが回動フレーム３に設けられていることで、磁気素子５Ａ、５Ｂとヨーク部７Ａ、７Ｂの端部７４、７５とを近接配置することによって駆動力を大きくし、ミラー２の振角を大きくしても、ミラー２と端部７４、７５とが干渉しにくい。このとき、端部７４、７５に、ミラー２の共振周波数に応じた周波数の磁界を発生させることにより、ミラー２の振角を大きくすることができる一方で、回動フレーム３の振角をミラー２の振角よりも小さくすることができ、ミラー２と７４、７５との干渉を抑制することができる。このように、大きな駆動力を得つつ部品同士の干渉を抑制することができ、ミラー２の振角を大きくすることができる。【００４２】
また、磁気素子５Ａ、５Ｂが、回動フレーム３のうちベース部４に最も近接した中央部３１、３２に配置されていることで、ヨーク部７Ａ、７Ｂの端部７４、７５に発生した磁界を磁気素子５Ａ、５Ｂに作用させやすくなり、大きな駆動力を得ることができ、ミラー２の振角を大きくすることができる。【００４３】
また、磁気素子５Ａ、５Ｂが、回動フレーム３のうちＸ方向における中央部３１、３２に配置されていることで、回動フレーム３を駆動する際に、外側トーションバー３０を軸方向とする回動に対して捩れ等の動作が発生しにくい。【００４４】
また、２つの磁気素子５Ａ、５Ｂが、回動フレーム３に対してＹ方向の両側それぞれに配置されていることで、Ｙ方向の両側から回動フレーム３を駆動することができる。【００４５】
また、ヨーク部７Ａ、７Ｂが、コイル部６の軸方向延在部６１１、６１２を囲むとともに回動フレーム３側において開口した開環状に形成されていることで、軸方向延在部６１１、６１２に電流が流れた際、ヨーク部７Ａ、７Ｂに磁力線が集中し、開環した回動フレーム３側において磁気素子５Ａ、５Ｂに磁界を作用させやすくすることができる。【００４６】
また、内側トーションバー２０と外側トーションバー３０とが同軸上に配置されていることで、回動フレーム３に加えられた駆動力をミラー２に伝達させやすくすることができる。【００４７】
また、コイル部６が台座８上に配置されていることで、駆動装置１Ａ全体を小型化することができる。【００４８】
また、コイル部６が、ベース部４に沿って延びる配線６１により構成されていることで、コイル部をベース部に対して並べて配置する構成と比較して、駆動装置１Ａ全体を小型化することができる。【００４９】
［第２実施例］
本実施例の駆動装置１Ｂは、図５、６に示すように、第１被駆動部としてのミラー２と、第２被駆動部としての回動フレーム３Ｂと、ベース部４Ｂと、４つの磁気素子５Ｃ〜５Ｆと、コイル部６Ｂと、４つのヨーク部７Ｃ〜７Ｆと、台座と、第１軸部としての内側トーションバー２０と、第２軸部としての外側トーションバー３０と、を備えた光偏向器である。尚、図５、６では台座の図示を省略しているが、駆動装置１Ｂの台座は、第１実施例の駆動装置１Ａの台座８と同様のものである。本実施例においても、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、第１実施例と同様とする。【００５０】
回動フレーム３Ｂは、Ｚ方向から見て、Ｘ方向の両端部に頂点を有する六角形環状に形成され、ミラー２を囲むようにＸＹ平面に沿って延在する。即ち、回動フレーム３Ｂは、Ｘ方向においてミラー２に近づきつつＹ方向においてベース部４Ｂに近づくように延在する４本の傾斜部３３〜３６と、Ｘ方向に沿って延びる平行部３７、３８と、を有する。【００５１】
傾斜部３３と傾斜部３４との交点が、Ｘ方向における回動フレーム３Ｂの一方の端部となり、内側に内側トーションバー２０が接続され、外側に外側トーションバー３０が接続される。また、傾斜部３５と傾斜部３６との交点が、Ｘ方向における回動フレーム３Ｂの他方の端部となり、内側に内側トーションバー２０が接続され、外側に外側トーションバー３０が接続される。【００５２】
平行部３７は、傾斜部３３と傾斜部３５とを連結するように延び、平行部３８は、傾斜部３４と傾斜部３６とを連結するように延びている。平行部３７、３８は、図７にも示すように、ミラー２のうちベース部４Ｂに最も近接した最近接部２２、２３のそれぞれから遠ざかるように、Ｙ方向外側（ミラー２とは反対側）に向かう凸部３７１、３８１を有している。【００５３】
また、平行部３７、３８の幅（Ｙ方向寸法）は、傾斜部３３〜３６の幅よりも小さくなっている。即ち、回動フレーム３Ｂは、最近接部２２、２３に対応する位置において、他の部分よりも幅が小さくなっている。【００５４】
ベース部４Ｂは、凸部３７１、３８１に対応した凸部４３を有しており、即ち、凸部４３においてミラー２から遠ざかるように形成されている。また、コイル部６Ｂは、ベース部４Ｂに沿っており、同様に凸部を有している。【００５５】
磁気素子５Ｃ〜５Ｆは、傾斜部３３〜３６と平行部３７、３８との交点部３９１〜３９４それぞれに配置されている。交点部３９１〜３９４は、最近接部２２、２３に対してＸ方向においてずれている。【００５６】
ヨーク部７Ｃ〜７Ｆは、磁気素子５Ｃ〜５Ｆのそれぞれに対応し、ベース部４Ｂの凸部４３を避けるように配置されている。尚、ヨーク部７Ｃ〜７Ｆの形状は、第１実施例においけるヨーク部７Ａ、７Ｂの形状と同様である。【００５７】
上記の構成により、第１実施例と同様に、磁気素子５Ｃ〜５Ｆが回動フレーム３Ｂに設けられていることで、装置全体を小型化することができるとともに、ミラー２の振角を大きくすることができる。また、コイル部６Ｂが、ベース部４Ｂに沿って延びる配線６１により構成されていることで、駆動装置１Ｂ全体を小型化することができる。【００５８】
また、磁気素子５Ｃ〜５Ｆが、最近接部２２、２３に対してＸ方向においてずれて配置されていることで、最近接部２２、２３においてミラー２をベース部４Ｂに近接させやすく、ミラー２を大面積化しやすい。【００５９】
また、回動フレーム３Ｂが、ミラー２とは反対側に向かう凸部３７１、３８１を有しており、平行部３７、３８の幅が、傾斜部３３〜３６の幅よりも小さくなっていることで、最近接部２２、２３において、ミラー２に向かう光Ｌが回動フレーム３Ｂによって遮られてしまうことを抑制することができる。【００６０】
［第３実施例］
本実施例の駆動装置１Ｃは、図８、９に示すように、ミラー２と、ベース部４と、２つの磁気素子５Ａ、５Ｂと、コイル部６と、２つのヨーク部７Ａ、７Ｂと、台座と、トーションバー４０と、を備えた光偏向器である。即ち、駆動装置１Ｃは、第１実施例の駆動装置１Ａから回動フレーム３および内側トーションバー２０が省略され、ミラー２がトーションバー４０を介してベース部４によって回動可能に支持されたものである。また、磁気素子５Ａ、５Ｂは、ミラー２の下面のうち最近接部２２、２３に配置されている。尚、図８、９では台座の図示を省略しているが、駆動装置１Ｃの台座は、第１実施例の駆動装置１Ａの台座８と同様のものである。本実施例においても、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、第１実施例と同様とする。【００６１】
上記の構成により、第１実施例と同様に、コイル部６が、ベース部４に沿って延びる配線６１により構成されていることで、駆動装置１Ｃ全体を小型化することができる。また、磁気素子５Ａ、５Ｂが、ミラー２の最近接部２２、２３に配置されていることで、ヨーク部７Ａ、７Ｂの端部に発生した磁界を磁気素子５Ａ、５Ｂに作用させやすくなり、大きな駆動力を得ることができ、被駆動部の振角を大きくすることができる。【００６２】
なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、本発明の目的が達成できる他の構成等を含み、以下に示すような変形等も本発明に含まれる。【００６３】
例えば、前記第１〜第３実施例では、ミラー２が楕円板状であるものとしたが、第１被駆動部としてのミラーは、例えば円板状や多角形板状等の他の形状であってもよく、用途に応じた適宜な形状を有していればよい。【００６４】
また、前記第１〜第３実施例では、ヨーク部７Ａ〜７Ｆが、コイル部の軸方向延在部を囲むとともに回動フレーム側において開口した開環状であるものとしたが、ヨーク部は、コイル部が生じた磁界によって磁束が通過するように構成されたものであればよく、その形状や配置は上記に限定されない。【００６５】
また、前記第１〜第３実施例では、ミラー２に対してＹ方向の両側に磁気素子が配置されているものとしたが、磁気素子は、ミラー２に対してＹ方向片側にのみ配置されていてもよい。このとき、ヨークもミラー２に対してＹ方向片側にのみ配置されていればよい。【００６６】
また、前記第１実施例及び前記第２実施例では、内側トーションバー２０と外側トーションバー３０とが同軸上に配置されているものとしたが、内側トーションバー２０の延在方向と外側トーションバー３０の延在方向とは交差していてもよい。即ち、回動フレーム３、３Ｂが回動した際に、この回動がミラー２に伝達されるようにトーションバーが配置されていればよい。【００６７】
また、前記第３実施例では、磁気素子５Ａ、５Ｂがミラー２の最近接部２２、２３に配置されているものとしたが、磁気素子５Ａ、５Ｂは、ミラー２の最近接部２２、２３に対してＸ方向にずれた位置に配置されていてもよい。【００６８】
その他、本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施例に関して特に図示され、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施例に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部、もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６９】
１Ａ〜１Ｃ            駆動装置
２                    ミラー（第１被駆動部）
２２、２３            最近接部
３、３Ｂ              回動フレーム（第２被駆動部）
３１、３２            中央部（最近接部）
４、４Ｂ              ベース部
５Ａ〜５Ｆ            磁気素子
６、６Ｂ              コイル部
６１                  配線
６１１、６１２        軸方向延在部
７Ａ〜７Ｆ            ヨーク部
８                    台座
２０                  内側トーションバー（第１軸部）
３０                  外側トーションバー（第２軸部）
４０                  トーションバー（軸部）
Ｓ１                  基準面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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