(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルを構成する２枚の基板間に介在して両基板を支持する液晶パネル用スペーサーの形成方法において、
（１）該基板の少なくとも一方に配向膜を形成する工程、
（２）該配向膜に配向処理を行う工程、
（３）該配向処理を施した配向膜を形成した該基板に、可撓性支持体上に少なくとも露光時に実質的に酸素を遮断する有機高分子層、その上に水系現像液で現像可能な光重合性樹脂層を設けた感光性シートをラミネートする工程、
（４）該ラミネートされた光重合性樹脂層にパターン露光して硬化させる工程、（５）現像により未露光部を除去する工程、
を含むことを特徴とする液晶パネル用スペーサーの形成方法。
【請求項２】
該ラミネートされた光重合性樹脂層にパターン露光する工程において、該ラミネートされた光重合性樹脂層の、画素電極上に位置していない部分及び／又はカラーフィルターを構成するブラックマトリックス上に位置している部分に対応する少なくとも一部にパターン露光することを特徴とする請求項１に記載の液晶パネル用スペーサーの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、液晶パネルを構成する２枚の基板間に介在して両基板を支持する液晶パネル用スペーサーの形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルは、画素電極、薄膜トランジスタ、ＭＩＭ形成素子及びマトリクス配線等を備える下側基板と、電極やカラーフイルター等を備える上側基板とを対向させ、両基板間に液晶を封入して構成されている。そして、従来は液晶層の厚さを決定するために、いずれかの基板上（両方の基板の場合も有る）に透明で、円筒状もしくは粒状の微少なスペーサーを散布し、このスペーサーを挟み込んで両方の基板を張り合わせていた。
【０００３】
しかしながら、この方法によると、下側基板の凸部（ＴＦＴ、ＭＩＭ型素子、電極配線部等）上に散布された少数のスペーサーのみが上側基板に当たるため、この少数のスペーサーにより支持される部分に荷重が集中し、素子や電極に損害を与えることがあつた。
【０００４】
スペーサーにより支持される部分に集中する荷重の軽減を図るために、スペーサーの散布密度を上げることも考えられるが、この場合には、表示部にも多数のスペーサーが散布されるためにコントラストが低下するという問題があつた。
【０００５】
これらの問題を解決する方法として、特開平３−８９３２０号公報には、画素電極を備えた基板上に、紫外線硬化型の樹脂を塗布し、画素電極上に位置していない部分を硬化させ、その後、未硬化部分を除去して、スペーサーを形成する方法が開示されている。この方法によれば、素子や配線の破壊が防止され、更にコントラストの高い液晶パネルを得ることができる。
【０００６】
しかしながら、この方法には、
（１）配向処理を行った配向膜上にスペーサーを形成した場合、紫外線硬化型樹脂の塗布工程でその溶剤により配向処理を破壊してしまう、
（２）塗布、乾燥と工程に時間がかかり、通常さらに保護層を設けて露光時の酸素の影響による感度低下を防止し、画線の再現性の悪化を避け、製造得率の低下の防ぐ必要がある、
等の問題点がある。
【０００７】
特開平２−２１０３２９号公報にはフォトポリマーシートを配向膜を形成した基板に張り付け、パターン露光、現像によりスペーサードットを形成し、その後、配向処理を行う方法が開示されている。この方法では、スペーサードットの形成後に配向処理を行うので、配向処理時に形成したスペーサードットの脱落やスペーサードット周囲の配向膜面に十分な配向処理ができないという不都合が発生していた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、
（１）配向膜の十分な配向能を維持し、（２）荷重の集中が無く、かつ（３）画線の再現性に優れたスペーサーを簡便な工程で形成する方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の目的は、液晶パネルを構成する２枚の基板間に介在して両基板を支持する液晶パネル用スペーサーの形成方法において、
（１）該基板の少なくとも一方に配向膜を形成する工程、
（２）該配向膜に配向処理を行う工程、
（３）該配向処理を施した配向膜を形成した該基板に、可撓性支持体上に少なくとも露光時に実質的に酸素を遮断する有機高分子層、その上に水系現像液で現像可能な光重合性樹脂層を設けた感光性シートをラミネートする工程、
（４）必要に応じて該可撓性支持体を剥離して、該ラミネートされた光重合性樹脂層にパターン露光して硬化させる工程、
（５）可撓性支持体を除去した状態で現像を行い、未露光部を除去する工程、
を含むことを特徴とする液晶パネル用スペーサーの形成方法により達成された。
【００１０】
本発明の第２の目的は、上記該ラミネートされた光重合性樹脂層にパターン露光させる工程において、該ラミネートされた光重合性樹脂層の、画素電極上に位置していない部分及び／又はカラーフィルターを構成するブラックマトリックス上に位置している部分に対応する少なくとも一部にパターン露光し、現像することにより、当該位置にのみスペーサーを形成することを特徴とする液晶パネル用スペーサーの形成方法により達成された。
以下に、本発明を詳細に説明する。
【００１１】
本発明に用いられる液晶パネルを構成する基板としては、公知の種々の材料を挙げることができる。具体的には、ガラス基板、プラスチック基板等が挙げられる。
【００１２】
本発明に用いられる配向膜としては、公知の種々の材料が挙げられ、具体的にはポリイミド系の材料が挙げられる。
【００１３】
本発明に用いられる配向処理の方法としては、公知の種々の方法が挙げられ、具体的には、ラビング法等が挙げられる。
【００１４】
感光性シート材料に使用する可撓性支持体としては、可撓性のあるプラスチツクフイルムを使用することができ、中では、厚さ２０〜２００μｍのポリエチレンテレフタレートフイルムが特に好ましい。
【００１５】
実質的に酸素を遮断する水溶性樹脂層としては、特公昭５６−４０８２４号公報中に記載されている種々の材料を使用することができる。
【００１６】
光重合性感光層としては、特公昭５６−４０８２４号公報、特願平２−２３５３６２号明細書及びその中で引用されている公報に記載された、種々の光重合性組成物を使用することができる。
この感光層中には、必要に応じて顔料等を添加しても良い。
【００１７】
更に、必要に応じて、光重合性層上に保護用のカバーフイルムを設けても良く、支持体と水溶性有機高分子層の間に下塗層を設けても良い。
以下、実施例に基づき、本発明を更に詳細に説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【００１８】
【実施例】
実施例１
特開平３−８９３２０号公報を参考にして、ゲート電極、画素電極、ソース電極、絶縁膜、ドレイン電極、パッシベーション膜、および配向膜を形成したガラス基板を作成した。その後、上記配向膜にラビングによる配向処理を行った。
一方、下記構成の感光性シートを作成した。７５μｍのポリエチレンテレフタレートフイルム上に、乾燥膜厚１．５μｍになるように、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ２０５：クラレ（株）製）を塗布した。
その上に、下記処方の感光液を乾燥膜厚７．０μｍになるように塗布した。
【００１９】
0003782127.tif 000002
【００２０】
更にその上に、カバーフイルムとして、１２μｍのポリプロピレンフイルムをラミネートした。
【００２１】
この感光性シートを用いて、以下の様にしてスペーサーを作成した。
上記感光性シート材料のカバーフイルムを剥し、下側基板のパツシベーシヨン膜上に、大成ラミネータ社製ラミネータ（ＶＰ−ＩＩ型）を用い、加熱温度１１０℃、ローラー圧力２ｋｇ／ｃｍ、搬送速度０．３ｍ／分で感光層をラミネートし、ポリエチレンテレフタレートフイルムを剥離して、平滑な感光層を設けた。次いで、ゲート電極とドレイン電極の交差部分に、直径３０μｍのマスクを介してパターン露光し、その後、ｐＨ１０．８のアルカリ水溶液で現像して未露光部を除去した。この様にして作成されたパターンは、スペーサーとして間隔の精度が高く、強度も十分であり、且つ加重を集中させないために十分な面積を有するものであつた。さらに、その後、上記基板を用いて液晶表示パネルを作成したところ、配向不良による表示不良は発生しなかった。
【００２２】
比較例１
特開平３−８９３２０号公報を参考にして、ゲート電極、画素電極、ソース電極、絶縁膜、ドレイン電極、パッシベーション膜、および配向膜を形成したガラス基板を作成した。その後、上記配向膜にラビングによる配向処理を行った。
その後、実施例１の感光液を乾燥後の膜厚が７．０μｍとなるように直接配向膜上に塗布し、さらにポリビニルアルコール（ＰＶＡ２０５：クラレ（株）製）を塗布した。その後、実施例１と同様な露光−現像を行い、スペーサーパターンを作成した。上記基板を用いて液晶表示パネルを作成したところ、感光液塗布時に配向処理を破壊してしまったため、配向不良による表示不良が発生した。
【００２３】
比較例２
特開平３−８９３２０号公報を参考にして、ゲート電極、画素電極、ソース電極、絶縁膜、ドレイン電極、パッシベーション膜、および配向膜を形成したガラス基板を作成した。その後、実施例１と同様にスペーサーパターンを作成した。その後上記配向膜にラビングによる配向処理を行った。その際に、一部スペーサードットの脱落が認められた。上記基板を用いて液晶表示パネルを作成したところ、スペーサードットの脱落により一部セルギャップの均一性が乱れ、表示不良が発生した。また、スペーサードット周囲は十分な配向処理が出来ないため、配向不良による表示不良が発生した。
【００２４】
【発明の効果】
本発明の方法によれば、配向膜の配向能を充分に維持し、かつ、スペーサーの一部に加重を集中させることがなく、素子や電極等の破壊防止、コントラストの低下防止を達成することができる。