(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
数値制御による各駆動手段によりＸ，Ｙ，Ｚ方向への任意の移動とＺ軸を任意に回動する吸着ノズルによって、矩形の電子部品を、該電子部品の上部平面部を吸着保持させて供給部から取り出し、実装部において位置決めされたプリント基板上の所定位置に装着する電子部品装着装置にあって、
前記電子部品装着装置の本体の適所においてＸ方向またはＹ方向にわたるように設けたガイドと、
このガイドに係合させて走行手段により移動自在に設けられかつ前記電子部品を挟んで対をなすように設けられ、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の側端面に対して投光し、その測定光を受光する一対基のレーザ変位センサと、
このレーザ変位センサの走行位置を認識して、あらかじめ入力されている吸着角度値および吸着位置値に対する、前記吸着ノズルによる電子部品の吸着位置の角度ズレ量および、前記電子部品自体の中心位置とのＸ方向，Ｙ方向の位置ズレ量を求めて、前記入力値と比較演算して適正な補正値を得る制御手段とを備えさせたことを特徴とする電子部品装着装置。
【請求項２】
数値制御による各駆動手段によりＸ，Ｙ，Ｚ方向への任意の移動とＺ軸を任意に回動する吸着ノズルによって、矩形の電子部品を、該電子部品の上部平面部を吸着保持させて供給部から取り出し、実装部において位置決めされたプリント基板上の所定位置に装着する電子部品装着装置にあって、
前記装着装置の本体の適所に前記電子部品を挟んで対をなすように固定され、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の側端面に対して投光し、その測定光を受光する一対基のレーザ変位センサと、
前記吸着ノズルのＸ方向またはＹ方向の駆動手段の制御部の信号およびレーザ変位センサからの信号を受けて、あらかじめ入力されている吸着角度値および吸着位置値に対する、前記吸着ノズルによる電子部品の吸着位置の角度ズレ量および、前記電子部品自体の中心位置とのＸ方向，Ｙ方向の位置ズレ量を求めて、前記入力値と比較演算して適正な補正値を得る制御手段とを備えさせ、
前記吸着ノズルによって保持された電子部品が前記レーザ変位センサに対して走行することにより観測されることを特徴とする電子部品装着装置。
【請求項３】
ガイドに係合させて走行手段により移動するレーザ変位センサは、吸着ノズルの装着ヘッドへ取り付けたことを特徴とする請求項１記載の電子部品実装装置。
【請求項４】
レーザ変位センサは、吸着ノズルにより吸着された電子部品の側部に対しての距離を調整させる調整手段を備えさせたことを特徴とする請求項１，２または３記載の電子部品装着装置。
【請求項５】
一対基のレーザ変位センサが移動自在に係合するガイドは、電子部品の側部を挟んでその両側に、測定光の照射位置となる一対の直線部と、これら直線部の端部を結ぶ接続部とからなることを特徴とする請求項１記載の電子部品実装装置。
【請求項６】
数値制御による各駆動手段によりＸ，Ｙ，Ｚ方向への任意の移動とＺ軸を任意に回動する吸着ノズルによって、矩形の電子部品を、該電子部品の上部平面部を吸着保持させて供給部から取り出し、実装部において位置決めされたプリント基板上の所定位置に装着する電子部品装着装置にあって、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の両側方において、その両側または一側へ直線状に走行する一対基のレーザ変位センサを配設し、このレーザ変位センサが移動しつつ、前記電子部品端部に対して複数の発光に対するその受光を行なうことで得られる数値をもとに、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の吸着姿勢を判別して、この電子部品の姿勢を、あらかじめ定められた数値となるように補正した後、プリント基板へ装着することを特徴とする電子部品装着方法。
【請求項７】
レーザ変位センサの走行速度を可変とさせたことを特徴とする請求項６記載の電子部品装着方法。
【請求項８】
数値制御による各駆動手段によりＸ，Ｙ，Ｚ方向への任意の移動とＺ軸を任意に回動する吸着ノズルによって、矩形の電子部品を、該電子部品の上部平面部を吸着保持させて供給部から取り出し、実装部において位置決めされたプリント基板上の所定位置に装着する電子部品装着装置にあって、前記吸着ノズルによって保持された電子部品が装着装置本体の適所に位置したときの、該電子部品の両側方において、その両側または一側へ対応するように一対基のレーザ変位センサを固定し、前記吸着ノズルによって保持された電子部品が移動しつつ、前記電子部品端部に対して複数の発光に対するその受光を行なうことで得られる数値をもとに、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の吸着姿勢を判別して、この電子部品の姿勢を、あらかじめ定められた数値となるように補正した後、プリント基板へ装着することを特徴とする電子部品装着方法。
【請求項９】
レーザ変位センサによるレーザ変位センサから電子部品までの距離の測定にあって、電子部品を吸着させた吸着ノズルの走行速度を可変とさせたことを特徴とする請求項８記載の電子部品装着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、電子部品の組立や装着する業界等において用いる電子部品装着装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板へチップ部品やＩＣ部品等の電子部品の組立や装着する業界等において、装着ヘッドの吸着ノズルに吸着された電子部品は、プリント基板上の定められた位置へ正確に搭載するために、その搭載前に、あらかじめその吸着位置の計測がなされる。
【０００３】
また、電子部品装着を行なう実装機は、図３０に示すように、Ｘ軸とＹ軸，Ｚ軸とを任意に移動し得る装着ヘッド８０へ、吸着ノズル８１をＺ軸方向θを中心として回転自在に取り付けてある。
【０００４】
このとき、前記したように正確な部品搭載を行なうためには、該電子部品８２は、この電子部品８２の中心８２ａと吸着ノズル８１の中心８１ａとが一致し、かつ、Ｚ軸を中心とした回転方向θが０度であることが搭載の条件となる（図３１参照）。
【０００５】
この電子部品８２の吸着位置の計測作業は、図３０に示すように、発光部８３と受光部８４とからなるレーザ判別センサ８５を、実装機の適所に取り付けて、このレーザ判別センサ８５のレーザ帯８６を発光部８３から電子部品８２に照射し、その影を受光部８４において受光することで、後記する工程を経て、Ｘ軸方向とＹ軸方向およびＺ軸を中心とした回転方向θが計測される。
【０００６】
この計測によって得られた計測値は制御部において座標で求められるものであって、あらかじめ制御部に入力しておいたデータに基づいて比較演算されるもので、例えば、図３０に示すように、吸着ノズル８１に吸着された電子部品８２の計測された座標値が、吸着ノズル中心８１ａの設定座標に対して、（Ｘｎ，Ｙｎ）および吸着角度が（θｎ）であった場合、直ちに、Ｘ軸方向とＹ軸方向およびＺ軸を中心とした回転方向θの補正が行なわれて、その後実装に向かう。
【０００７】
しかしながら、この電子部品計測は、レーザ判別センサにより発生される平行なレーザ帯と、搭載される電子部品の一辺が平行に接触するまで、吸着ノズルの移動と回転動作が行なわれるもので、矩形の電子部品の四辺に対しては、次に、１８０度電子部品を回転させて同様の操作を行ない、更に、電子部品を９０度づつ回転させて再び同様な計測を行なう動作を繰り返すので、この計測のための予備時間が大幅に費やされ、電子部品搭載のためのタクト時間が掛かる問題点を有するものであった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記した問題点を解決するためになされたもので、吸着ノズルによって保持された電子部品の側方において、その両側または一側へ直線状に走行するレーザ変位センサを配設し、このレーザ変位センサが移動しつつ、電子部品端部に対して複数の発光に対するその受光を行なうことで得られる数値をもとに、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の吸着姿勢を判別して、この電子部品の姿勢を、あらかじめ定められた数値となるように補正した後、プリント基板へ装着することにより、吸着ノズルに吸着保持させた電子部品の吸着姿勢や位置の計測を可及的に短く行なって、全体の搭載作動時間を短縮することができる電子部品装着装置およびその方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記した目的を達成するための本発明の手段は、数値制御による各駆動手段によりＸ，Ｙ，Ｚ方向への任意の移動とＺ軸を任意に回動する吸着ノズルによって、矩形の電子部品を、該電子部品の上部平面部を吸着保持させて供給部から取り出し、実装部において位置決めされたプリント基板上の所定位置に装着する電子部品装着装置にあって、前記電子部品装着装置の本体の適所においてＸ方向またはＹ方向にわたるように設けたガイドと、このガイドに係合させて走行手段により移動自在に設けられかつ前記電子部品を挟んで対をなすように設けられ、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の側端面に対して投光し、その測定光を受光する一対基のレーザ変位センサと、このレーザ変位センサの走行位置を認識して、あらかじめ入力されている吸着角度値および吸着位置値に対する、前記吸着ノズルによる電子部品の吸着位置の角度ズレ量および、前記電子部品自体の中心位置とのＸ方向，Ｙ方向の位置ズレ量を求めて、前記入力値と比較演算して適正な補正値を得る制御手段と、を備えさせた電子部品装着装置の構成にある。
【００１０】
また、数値制御による各駆動手段によりＸ，Ｙ，Ｚ方向への任意の移動とＺ軸を任意に回動する吸着ノズルによって、矩形の電子部品を、該電子部品の上部平面部を吸着保持させて供給部から取り出し、実装部において位置決めされたプリント基板上の所定位置に装着する電子部品装着装置にあって、前記装着装置の本体の適所に前記電子部品を挟んで対をなすように固定され、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の側端面に対して投光し、その測定光を受光する一対基のレーザ変位センサと、前記吸着ノズルのＸ方向またはＹ方向の駆動手段の制御部の信号およびレーザ変位センサからの信号を受けて、あらかじめ入力されている吸着角度値および吸着位置値に対する、前記吸着ノズルによる電子部品の吸着位置の角度ズレ量および、前記電子部品自体の中心位置とのＸ方向，Ｙ方向の位置ズレ量を求めて、前記入力値と比較演算して適正な補正値を得る制御手段とを備えさせ、前記吸着ノズルによって保持された電子部品が、前記レーザ変位センサに対して走行することにより観測される電子部品装着装置の構成にある。
【００１２】
ガイドに係合させて走行手段により移動するレーザ変位センサは、吸着ノズルの装着ヘッドへ取り付ける。
【００１３】
レーザ変位センサは、吸着ノズルにより吸着された電子部品の側部に対しての距離を調整させる調整手段を備えさせる。
【００１４】
一対基のレーザ変位センサが移動自在に係合するガイドは、電子部品の側部を挟んでその両側に、測定光の照射位置となる一対の直線部と、これら直線部の端部を結ぶ接続部とからなる。
【００１５】
そして、数値制御による各駆動手段によりＸ，Ｙ，Ｚ方向への任意の移動とＺ軸を任意に回動する吸着ノズルによって、矩形の電子部品を、該電子部品の上部平面部を吸着保持させて供給部から取り出し、実装部において位置決めされたプリント基板上の所定位置に装着する電子部品装着装置にあって、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の両側方において、その両側または一側へ直線状に走行する一対基のレーザ変位センサを配設し、このレーザ変位センサが移動しつつ、前記電子部品端部に対して複数の発光に対するその受光を行なうことで得られる数値をもとに、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の吸着姿勢を判別して、この電子部品の姿勢を、あらかじめ定められた数値となるように補正した後、プリント基板へ装着する電子部品装着方法にある。
【００１６】
レーザ変位センサの走行速度を可変とさせる。
【００１７】
また、数値制御による各駆動手段によりＸ，Ｙ，Ｚ方向への任意の移動とＺ軸を任意に回動する吸着ノズルによって、矩形の電子部品を、該電子部品の上部平面部を吸着保持させて供給部から取り出し、実装部において位置決めされたプリント基板上の所定位置に装着する電子部品装着装置にあって、前記吸着ノズルによって保持された電子部品が装着装置本体の適所に位置したときの、該電子部品の両側方において、その両側または一側へ対応するように一対基のレーザ変位センサを固定し、前記吸着ノズルによって保持された電子部品が移動しつつ、前記電子部品端部に対して複数の発光に対するその受光を行なうことで得られる数値をもとに、前記吸着ノズルによって保持された電子部品の吸着姿勢を判別して、この電子部品の姿勢を、あらかじめ定められた数値となるように補正した後、プリント基板へ装着する電子部品装着方法にある。
【００１８】
レーザ変位センサによるレーザ変位センサから電子部品までの距離の測定にあって、電子部品を吸着させた吸着ノズルの走行速度を可変とさせる。
【００１９】
【実施例】
次に本発明に関する電子部品装着装置およびその方法の実施の一例を図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１〜図３においてＷは、チップ部品やＩＣ部品等の電子部品ｂを、本体１の適所に設けた供給部ｍより受け取って実装部ｎへ移送し、プリント基板ｃ上の所定位置の複数適所へ装着する電子部品装着装置である。
【００２１】
概略の構成は、進退手段２により駆動されてＹ軸方向（前後方向）へ移動する進退体３と、該進退体３に設けて移動手段４により駆動されてＸ軸方向（左右方向）へ移動する可動体５と、この可動体５へ一個または複数個を取り付けた装着ヘッド６とにより基本的に構成される。
【００２２】
そして、この装着ヘッド６には、電子部品ｂの上面を吸着保持する吸着ノズル７を昇降手段８により昇降自在に係合させ、かつ、回転手段９によりＺ軸（縦軸）方向を中心として回転自在としてあるもので、前記した進退手段２や移動手段４，昇降手段８および回転手段９は、制御手段１０と接続した数値制御可能なサーボモータ等により高精度で位置決め等がなされるように作動される。
【００２３】
この電子部品装着装置Ｗによる電子部品搭載前には、装着ヘッド６の吸着ノズル７に吸着された電子部品ｂが、プリント基板ｃ上の定められた位置へ正確に搭載されるために、あらかじめ、その吸着位置や姿勢の計測がなされて数値化されるもので、レーザ変位センサ１１と、制御手段１０とにより行なわれる。
【００２４】
そして、本発明実施例においては、
Ａ．レーザ変位センサ１１が走行する場合、（図２参照）
Ｂ．レーザ変位センサ１１が固定される場合、（図３参照）
また、これらレーザ変位センサ１１が、
前記Ａ．可動式の場合、
Ａ１．電子部品ｂの一側端面に対して一対基設ける、（図２（ａ）参照）
Ａ２（参考例）．電子部品ｂの両側端面に対して単基設ける、（図２（ｂ）参照）
前記Ｂ．固定式の場合、
Ｂ１．電子部品ｂの一側端面に対して一対基設ける、（図３（ａ）参照）
Ｂ２（参考例）．電子部品ｂの両側端面に対して単基設ける、（図３（ｂ）参照）
更に、可動体５へ吸着ノズルを有する装着ヘッド６を、
Ａ１−１，Ａ２−１（参考例），Ｂ１−１，Ｂ２−１．単数個設ける、
Ａ１−２，Ａ２−２（参考例），Ｂ１−２，Ｂ２−２．複数個設ける。
【００２５】
等のような測定方法例が挙げられる（詳細な構成パターンは後記する【表１】参照）。
【００２６】
また、前記したレーザ変位センサ１１は、吸着ノズル７によって保持された電子部品ｂの側端面に対して投光し、その反射光である測定光を受光することで、対象電子部品ｂから拡散反射した光線の一部が、対象電子部品ｂまでの距離に応じて受光側の位置検出素子（図示せず）上に光スポットを作り、この変化を検出することで電子部品ｂまでの距離が測定される。
【００２７】
そして、前記したＡ．レーザ変位センサ１１が可動する場合には、電子部品装着装置Ｗの本体１の適所においてＸ方向またはＹ方向にわたるように設けたガイド１３へ、数値制御可能なサーボモータ等による走行手段１４によって移動自在に係合してある。
【００２８】
また、レーザ変位センサ１１には、吸着ノズル７により吸着された電子部品ｂの側部に対しての距離を適宜調整させる調整手段Ｒを備えることもあるもので、レーザ変位センサ１１の作動距離が測定範囲内に収まるように構成する。
【００２９】
その構成は、例えば、図２に示すように、ガイド１３の下側に螺軸２０を螺合させて、この螺軸２０をサーボモータ等の数値制御可能な調整部材２１の作動により、レーザ変位センサ１１を電子部品ｂの端縁に対して進退させる。
【００３０】
この進退作動は、図２（ａ）に示すように、両センサ１１を吸着ノズル７中心に対して相対的に調整したり、図２（ｂ）に示すように、一個のセンサ１１、または、図２９に示すように、両センサ１１を個別に動作調整する。
【００３１】
更にまた、このレーザ変位センサ１１は吸着ノズル７の装着ヘッド６へ取り付けることもできるもので、該レーザ変位センサ１１が装着ヘッド６の移動と同調して一体的に移動する。
【００３２】
そして、その構成は、装着ヘッド６を支承している可動体５の適所に、電子部品ｂの搭載に支障のない箇所において支持体２５を取り付け、この支持体２５へガイド１３に沿って走行するレーザ変位センサ１１を載置してある。
【００３３】
この例にあっては、電子部品ｂの計測と搭載のための実装部ｎへの移動を平行して行なえるためタクト時間の短縮が図れる。
【００３４】
前記した制御手段１０は、ガイド１３に沿って走行するこのレーザ変位センサ１１からの信号を受けて、該レーザ変位センサ１１の走行位置を認識して、例えば、サーボモータ等による走行手段１４からのエンコーダフィードバック値を演算処理し、あらかじめ入力されている吸着角度値および吸着位置値に対する、吸着ノズル７による電子部品ｂの吸着位置の角度ズレ量および、電子部品ｂ自体の中心位置とのＸ方向，Ｙ方向の位置ズレ量を求めて、前記入力値と比較演算して適正な補正値を得る。
【００３５】
次に、前記のように構成される本発明に係る装置および方法の一実施例を各パ
【００３６】
ターン構成に沿って、その各系統を下記【表１】に示し、その作用を順次説明する。
【００３７】
【表１】
0003813701.tif 000002
【００３８】
（実施例Ａ１ａ−１）
レーザ変位センサ１１が走行し、かつ、該レーザ変位センサ１１が一対設けられ、また、単体の装着ヘッド６の場合の作用を説明する。
【００３９】
図２（ａ）に示すように、電子部品装着装置Ｗにおける本体１の適所の測定部ｒに装着ヘッド６が移動して、その吸着ノズル７の電子部品ｂが対応すると、該吸着ノズル７を挟んでその両側に、図４に示すように、一対のレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂが位置するもので、両センサ１１ａ，１１ｂは同期スタートで、かつ、同速度により走行される。
【００４０】
また、この一対のレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂは、図４に示すように、出発原点ＡおよびＥ’においては、所定間隔の出発点のズレを設けて相互のセンサ１１ａ，１１ｂのレーザ光の干渉を受けないようにしてある。
【００４１】
まず、Ａ点を原点として□ＡＤＨＥをＸ−Ｙ座標系に設定されたものとして、レーザ変位センサ１１ａが点Ａから点Ｄ’まで走行する間に、電子部品ｂの側端面において，決められた距離Ｌ１での変位ｈ１と、電子部品ｂにおける点ａの座標（ｘ１，ｙ１）が検出される。
【００４２】
同時に、レーザ変位センサ１１ｂが点Ｅ’から点Ｈまで走行する間に、電子部品ｂの側端面において，決められた距離Ｌ２での変位ｈ２と、電子部品ｂにおける点ｂの座標（ｘ２，ｙ２）が検出される。
【００４３】
このとき、電子部品ｂにおける点ｄも検出されるが、電子部品ｂにおける点ｂ戸の座標と重なって誤差を生じやすいので、両センサ１１ａ，１１ｂによる検出座標を点ａおよびｂのみとする。
【００４４】
また、電子部品ｂの振れている角度の補正量θは、
0003813701.tif 000003
により求められる。
【００４５】
Ｘ軸方向の補正量△ｘおよびＹ方向への補正量△ｙは、以下の演算によって求められる。
【００４６】
点Ｗｃの座標（ｘＣ，ｙＣ）は点ＷＧの座標（ｘＧ，ｙＧ）をθ回転した座標であるので、
ｘＣ＝ｘＧｃｏｓθ−ｙＧｓｉｎθ                    ・・・▲２▼
ｙＣ＝ｘＧｓｉｎθ＋ｙＧｃｏｓθ                    ・・・▲３▼
となる。
【００４７】
また、
ｘＧ＝１／２（ｘ１＋ｘ２）                          ・・・▲４▼
ｙＧ＝１／２（ｙ１＋ｙ２）                          ・・・▲５▼
▲４▼と▲５▼を▲２▼へ代入することにより、
ｘＣ＝１／２｛（ｘ１＋ｘ２）ｃｏｓθ−（ｙ１＋ｙ２）ｓｉｎθ｝・・▲６▼
ｙＣ＝１／２｛（ｘ１＋ｘ２）ｓｉｎθ＋（ｙ１＋ｙ２）ｃｏｓθ｝・・▲７▼
したがって、吸着ノズル７の位置に対する△ｘ，△ｙは、
△ｘ＝ｘＮ−１／２｛（ｘ１＋ｘ２）ｃｏｓθ−（ｙ１＋ｙ２）ｓｉｎθ｝
△ｙ＝ｙＮ−１／２｛（ｘ１＋ｘ２）ｓｉｎθ＋（ｙ１＋ｙ２）ｃｏｓθ｝
と求められる。
【００４８】
なお、点ｃと点ｄの座標を検出し、△ｘ，△ｙを求めて、△ｘ，△ｙとの平均値を各補正量としてもかまわない。
【００４９】
この実施例によれば、従来のタクト時間と比べて大幅な時間短縮を図ることができると共に、θがより正確に求められ、しかも、θ，△ｘ，△ｙが同時にかつ迅速に求められる。
【００５０】
この実施例においてレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂが点ＡからＤ’および点Ｅ’からＨへと移動する一工程が終了すれば、両センサ１１ａ，１１ｂは再び各Ａ点，Ｅ’点へ復帰して次の計測に備える場合と、両センサ１１ａ，１１ｂが各Ｄ’点，Ｈ点に到達したとき停止し、その状態から、各Ａ点，Ｅ’点へ戻る次の新たな計測工程を行なってもよい。
【００５１】
（実施例Ａ１ａ−２）
図５に示すように、ガイド１３，１３に沿って走行するレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂが一対設けられ、可動体５に複数個の装着ヘッド６の吸着ノズル７が取り付けられた例にあっては、複数個の装着ヘッド６の吸着ノズル７にそれぞれ吸着保持させた複数個の電子部品ｂを一度に計測して、それぞれの電子部品ｂの補正量（θ，△ｘ，△ｙ）を一度に求めることもできる。
【００５２】
この場合、□ＡＤＱＮ，□ＤＧＴＱ，□ＧＪＷＴ，□ＪＭＺＷをそれぞれＸ−Ｙ座標系として設定し、それぞれの電子部品ｂに対して第一実施例と同様の方法で補正量（θ，△ｘ，△ｙ）が求められる。
【００５３】
この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られる。
【００５４】
（実施例Ａ１ｂ−１）
図６に示すように、単数個の電子部品ｂの計測の場合、レーザ変位センサ１１ａが点Ａから点Ｄへ向かって、また、レーザ変位センサ１１ｂが点Ｈから点Ｅへ向かって走行する、いわゆる相対的な逆走行であっても、同様に電子部品ｂの補正量（θ，△ｘ，△ｙ）が求められる。
【００５５】
この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られる。
【００５６】
（実施例Ａ１ｂ−２）
図７に示すように、複数個の電子部品ｂの計測の場合、レーザ変位センサ１１ａが点Ａから点Ｍへ向かって、また、レーザ変位センサ１１ｂが点Ｚから点Ｎへ向かって走行する、いわゆる相対的な逆走行であっても、同様に電子部品ｂの補正量（θ，△ｘ，△ｙ）が求められる。
【００５７】
この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られる。
【００５８】
（実施例Ａ１ａ−１−ｄ）
レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの走行による計測と、吸着ノズル７の回転との併用によって補正することができる。
【００５９】
図８において吸着ノズル７のセンタＮｃの位置を既知の位置（例えば、□ＡＤＨＥの中心位置）に設定されたものとして、レーザ変位センサ１１ａが点Ａから点Ｄ’まで走行する間に、決められた距離Ｌ１での変位ｈ１を検出し、
θ１＝ｔａｎ-1ｈ１／Ｌ１
により、θ１を求め、
同時に、レーザ変位センサ１１ｂが点Ｅから点Ｈまで走行する間に、決められた距離Ｌ２での変位ｈ２を検出し、
θ２＝ｔａｎ-1ｈ２／Ｌ２
により、θ２を求め、正式な角度の補正量として、
0003813701.tif 000004
が求められる。
【００６０】
次に、吸着ノズル７を上記で求めたθ（角度の補正量）分回転させ、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの走行方向と電子部品ｂのレーザ照射面とが平行となるようにする。
【００６１】
なお、この動作において、電子部品ｂの四隅のエッジの座標を求め、それぞれの値の平均値から算出されていることを考慮すれば、必ずしも電子部品ｂの一辺と、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの走行方向が正確な平行状態でなくてもよい。
【００６２】
レーザ変位センサ１１ａが点Ｄ’から点Ａまで走行する間に、ｘ２１，ｙ２１，ｙ１１およびｘ１１が測定され、同時に、レーザ変位センサ１１ｂが点Ｈから点Ｅ’まで走行する間に、ｘ２２，ｙ２２，ｙ１２およびｘ１２が測定され、正式なＸ軸方向の補正量として、
0003813701.tif 000005
と、
正式なＹ軸方向の補正量として、
0003813701.tif 000006
とが求められる。
【００６３】
このように、簡単な演算により、一層正確で速く補正量を求めることができることとなるもので、この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られる。
【００６４】
（実施例Ａ１ａ−２−ｄ）
図９に示すように、ガイド１３，１３に沿って走行するレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂが一対設けられ、可動体５に複数個の装着ヘッド６の吸着ノズル７が取り付けられた構成例にあっては、前記した実施例Ａ１ａ−１−ｄに倣って複数個の装着ヘッド６の吸着ノズル７にそれぞれ吸着保持させた複数個の電子部品ｂを一度に計測して、それぞれの電子部品ｂの補正量（θ，△ｘ，△ｙ）を一度に求めることもできる。
【００６５】
この場合、吸着ノズル７のセンタＮｃ１，Ｎｃ２，Ｎｃ３およびＮｃ４の位置をそれぞれ既知の位置（例えば、□ＡＤＱＮ，□ＤＧＴＱ，□ＧＪＷＴおよび□ＪＭＺＷの中心位置）に設定し、それぞれの電子部品ｂに対して前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の方法で補正量（θ，△ｘ，△ｙ）が求められる。
【００６６】
この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られる。
【００６７】
（実施例Ａ１ｂ−ｃ−１）
図１０に示すように、一対のレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂが固定状態にある電子部品ｂの両側端部の左右から相対的に、直線状のガイド１３，１３に沿って略同時に走行し、かつ、この直線状のガイド１３，１３の端部を結んだ接続部１３ａ，１３ｂにより、一対のレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂがその走行路を変更して測定する例の方法を説明する。
【００６８】
レーザ変位センサ１１ａが点ＡからＢ，Ｃおよび点Ｄまで走行し、更に、接続部１３ａを走行して点Ｅに達する電子部品ｂの周囲を半回周する間に、また同時に、レーザ変位センサ１１ｂが点ＥからＦ，Ｇおよび点Ｈまで走行し、更に、接続部１３ｂを走行して点Ａに達する電子部品ｂの周囲を半回周する間に、補正量（θ，△ｘ，△ｙ）が求められるもので、演算の方法は、前記した実施例Ａ１ａ−１の場合と同様に行なわれる。
【００６９】
この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られると共に、タクト時間の短縮に伴って、装着装置の振動や装置の耐久性等の面で好結果が得られる。
【００７０】
（参考例Ａ２−ｃ−１）
ここで、一個のレーザ変位センサ１１ａによって測定を行う場合の参考例を図１１によって説明する。
図１１に示すように、吸着ノズル７に吸着保持された電子部品ｂの周囲を、一個のレーザ変位センサ１１ａのみを用いて周回させ、測定を行なうこともできるもので、この例は、点Ａにおいて待機するレーザ変位センサ１１ａが、点ＡからＢ，Ｃおよび点Ｄまで走行し、更に、接続部１３ａを走行して点Ｅに達すると、連続して点ＥからＦ，Ｇおよび点Ｈまで走行し、更に、接続部１３ｂを走行して点Ａに達する電子部品ｂの周囲を全回周する間に、補正量（θ，△ｘ，△ｙ）が求められるもので、演算の方法は、前記した実施例Ａ１ａ−１の場合と同様に行なわれる。
【００７２】
（実施例Ａ１ｂ−ｃ−２）
図１２に示すように、ガイド１３，１３に沿って走行するレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂが一対設けられ、可動体５に複数個の装着ヘッド６に対してそれぞれ吸着ノズル７が取り付けられた例にあっては、複数個の装着ヘッド６の吸着ノズル７にそれぞれ吸着保持させた複数個の電子部品ｂを一度に計測して、それぞれの電子部品ｂの補正量（θ，△ｘ，△ｙ）を一度に求めることもできる。
【００７３】
この場合、レーザ変位センサ１１ａが点ＡからＢ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈ，Ｉ，Ｊ，Ｋ，Ｌおよび点Ｍまで走行し、更に、接続部１３ａを走行して点Ｎに達する複数個並んだ電子部品ｂの一ブロックの一側周囲を半回周する間に、また同時に、レーザ変位センサ１１ｂが点ＮからＯ，Ｐ，Ｑ，Ｒ，Ｓ，Ｔ，Ｕ，Ｖ，Ｗ，Ｘ，Ｙおよび点Ｚまで走行し、更に、接続部１３ｂを走行して点Ａに達する複数個並んだ電子部品ｂの一ブロックの一側周囲を半回周する間に、補正量（θ，△ｘ，△ｙ）が求められるもので、演算の方法は、前記した実施例Ａ１ａ−１の場合と同様に行なわれる。
【００７４】
この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られる。
【００７５】
（参考例Ａ２−ｃ−２）
ここで、複数個の装着ヘッド６を有する装置において一個のレーザ変位センサ１１ａによって測定を行う場合の参考例を図１３によって説明する。
図１３に示すように、吸着ノズル７に吸着保持された電子部品ｂの周囲を、一個のレーザ変位センサ１１ａのみを用いて周回させ、測定を行なうこともできるもので、この例は、点Ａにおいて待機するレーザ変位センサ１１ａが、点ＡからＢ，Ｃ，Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈ，Ｉ，Ｊ，Ｋ，Ｌおよび点Ｍまで走行する。
【００７６】
更に、接続部１３ａを走行して点Ｎに達すると、連続して点ＮからＯ，Ｐ，Ｑ，Ｒ，Ｓ，Ｔ，Ｕ，Ｖ，Ｗ，Ｘ，Ｙおよび点Ｚまで走行し、更に、接続部１３ｂを走行して点Ａに達する電子部品ｂの周囲を全回周する間に、補正量（θ，△ｘ，△ｙ）が求められるもので、演算の方法は、前記した実施例Ａ１ａ−１の場合と同様に行なわれる。
【００７８】
（実施例Ａ１ｂ−ｃ−１−ｄ）
図１４に示すように、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの走行による計測と、吸着ノズル７の回転との併用によって補正することができる。
【００７９】
吸着ノズル７のセンタＮｃの位置を既知の位置（例えば、□ＡＤＥＨの中心位置）に設定されたものとして、レーザ変位センサ１１ａが点ＡからＢ，Ｃおよび点Ｄまで走行し、更に、接続部１３ａを走行して点Ｅに達する電子部品ｂの周囲を半回周する間に、同時に、レーザ変位センサ１１ｂが点ＥからＦ，Ｇおよび点Ｈまで走行し、更に、接続部１３ｂを走行して点Ａに達する電子部品ｂの周囲を半回周する間に、まず、角度の補正量θを求める。
【００８０】
θ＝１／２（ｔａｎ-1ｈ１／Ｌ１＋ｔａｎ-1ｈ２／Ｌ２）
次に、上記で求めたθ（角度の補正量）分吸着ノズル７を回転させ、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの走行方向と電子部品ｂのレーザ照射面とが平行となるようにする。
【００８１】
そして、レーザ変位センサ１１ａが点ＥからＦ，Ｇおよび点Ｈまで走行し、更に、接続部１３ｂを走行して点Ａに達する達する電子部品ｂの周囲を半回周する間に、同時に、レーザ変位センサ１１ｂが点ＡからＢ，Ｃおよび点Ｄまで走行して、更に、接続部１３ａを走行して点Ｅに電子部品ｂの周囲を半回周することにより、ｘ２２，ｙ２２，ｙ１２，ｘ１２，ｘ１１，ｙ２１，ｘ２１が測定され、Ｘ軸方向の補正量△ｘとして、
△ｘ＝１／４｛（ｘ２１＋ｘ２２）−（ｘ１１＋ｘ１２）｝
と、
Ｘ軸方向の補正量△ｙとして、
△ｙ＝１／４｛（ｙ２２＋ｙ１２）−（ｙ２１＋ｙ１１）｝
とが求められる。
【００８２】
この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られる。
【００８３】
（実施例Ａ１ｂ−ｃ−２−ｄ）
図１５に示すように、ガイド１３，１３に沿って走行するレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂがその左右方向において相対的に一対配設されていて、可動体５に複数個の装着ヘッド６の吸着ノズル７が取り付けられた構成例であって、前記した例Ａ１ｂ−ｃ−１−ｄに倣って複数個の装着ヘッド６の吸着ノズル７にそれぞれ吸着保持させた複数個の電子部品ｂを一度に計測して、それぞれの電子部品ｂの補正量（θ，△ｘ，△ｙ）を一度に求めることもできる。
【００８４】
この場合、吸着ノズル７センタＮｃ１，Ｎｃ２，Ｎｃ３およびＮｃ４の位置をそれぞれ既知の位置（例えば、□ＡＤＱＮ，□ＤＧＴＱ，□ＧＪＷＴおよび□ＪＭＺＷの中心位置）に設定し、それぞれの電子部品ｂに対して補正量（θ，△ｘ，△ｙ）が求められる。
【００８５】
すなわち、レーザ変位センサ１１ａが点ＡからＢ，Ｃ，Ｄ・・・点Ｍ，Ｎと電子部品ｂの周囲を半周を走行し、レーザ変位センサ１１ｂが点ＮからＯ，Ｐ，Ｑ・・・点Ｙ，Ｚと電子部品ｂの周囲を半周を走行することにより、まず、角度の補正量θ１，θ２，θ３，θ４が求められる。
【００８６】
次に、各吸着ノズル７をそれぞれ上記で求めた角度の補正量θ１，θ２，θ３，θ４分回転させ、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの走行方向と電子部品ｂのレーザ照射面とが平行となるようにする。
【００８７】
レーザ変位センサ１１ａが点ＮからＯ，Ｐ，Ｑ・・・点Ｙ，Ｚと電子部品ｂの周囲を半周を走行し、レーザ変位センサ１１ｂが点ＡからＢ，Ｃ，Ｄ・・・点Ｍ，Ｎと電子部品ｂの周囲を半周を走行することにより、ｘ１１，ｙ１１，ｙ２１，ｘ３１，ｙ３１，ｙ４１，ｘ４１，・・・ｙ１２，ｘ１２が測定され、各電子部品ｂのＸ軸方向の補正量△ｘと、Ｙ軸方向の補正量△ｙとが求められる。
【００８８】
この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られる。
【００８９】
ここで、図１４および図１５に示した装置において一個のレーザ変位センサ１１ａによって測定を行う場合の参考例を図１７および図１８によって説明する。
（参考例Ａ２−ｃ−１−ｄ）
図１７に示すように、一個のレーザ変位センサ１１ａの走行による計測と、吸着ノズル７の回転との併用によって補正することができる。
【００９０】
吸着ノズル７のセンタＮｃの位置を既知の位置（例えば、□ＡＤＥＨの中心位置）に設定されたものとして、レーザ変位センサ１１ａが点ＡからＢ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇおよび点Ｈまで電子部品ｂの周囲を一回周を走行することにより、まず、角度の補正量θを求める。
【００９１】
θ＝１／２（ｔａｎ-1ｈ１／Ｌ１＋ｔａｎ-1ｈ２／Ｌ２）
次に、上記で求めたθ（角度の補正量）分吸着ノズル７を回転させ、レーザ変位センサ１１ａの走行方向と電子部品ｂのレーザ照射面とが平行となるようにする。
【００９２】
そして、レーザ変位センサ１１ａが、更に、点ＡからＢ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇおよび点Ｈまで電子部品ｂの周囲を一回周を走行することにより、ｘ１１，ｙ１１，ｙ２１，ｘ２１，ｘ２２，ｙ２２，ｙ１２およびｘ２１が測定され、
Ｘ軸方向の補正量△ｘとして、
△ｘ＝１／４｛（ｘ２１＋ｘ２２）−（ｘ１１＋ｘ１２）｝
と、
Ｙ軸方向の補正量△ｙとして、
△ｙ＝１／４｛（ｙ２２＋ｙ１２）−（ｙ２１＋ｙ１１）｝
とが求められる。
【００９４】
（参考例Ａ２−ｃ−２−ｄ）
図１８に示すように、ガイド１３，１３に沿って走行する一個のレーザ変位センサ１１ａが配設されていて、可動体５に複数個の装着ヘッド６の吸着ノズル７が取り付けられた構成例であって、前記した例Ａ２−ｃ−１−ｄに倣って複数個の装着ヘッド６の吸着ノズル７にそれぞれ吸着保持させた複数個の電子部品ｂを一度に計測して、それぞれの電子部品ｂの補正量（θ，△ｘ，△ｙ）を一度に求めることができる。
【００９５】
この場合、吸着ノズル７のセンタＮｃ１，Ｎｃ２，Ｎｃ３およびＮｃ４の位置をそれぞれ既知の位置（例えば、□ＡＤＷＺ，□ＤＧＴＷ，□ＧＪＱＴおよび□ＪＭＮＱの中心位置）に設定し、それぞれの電子部品ｂに対して補正量（θ，△ｘ，△ｙ）が求められる。
【００９６】
すなわち、レーザ変位センサ１１ａが点ＡからＢ，Ｃ，Ｄ・・・Ｍ，Ｎおよび点ＮからＯ，Ｐ，Ｑ・・・点Ｙ，Ｚと電子部品ｂの周囲を一周を走行することにより、まず、角度の補正量θ１，θ２，θ３，θ４が求められる。
【００９７】
0003813701.tif 000007
のようになる。
【００９８】
次に、各吸着ノズル７をそれぞれ上記で求めた角度の補正量θ１，θ２，θ３，θ４分回転させ、レーザ変位センサ１１ａの走行方向と電子部品ｂのレーザ照射面とが平行となるようにする。
【００９９】
レーザ変位センサ１１ａが、更に、点ＡからＢ，Ｃ，Ｄ・・・Ｍ，Ｎおよび点ＮからＯ，Ｐ，Ｑ・・・点Ｙ，Ｚと電子部品ｂの周囲を一周を走行することにより、ｘ１１，ｙ１１，ｙ２１，ｘ２１，ｘ３１，ｙ３１，ｙ４１，ｘ４１，・・・ｙ１２，ｘ１２が測定され、各電子部品ｂのＸ軸方向の補正量△ｘと、Ｙ軸方向の補正量△ｙとが求められる。
【０１０１】
（実施例Ｂ１−１−１）
図２０および図２１に示すように、Ａ点を原点として□ＡＣＤＦをＸ−Ｙ座標系に設定されたものとして、一対のレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂを該座標系の既知の場所に取り付ける。
【０１０２】
また、該一対のレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの間を、該座標系の既知の直線コースにしたがって電子部品ｂは走行するものとする。
【０１０３】
電子部品ｂは吸着ノズル７のセンタの位置が、Ｎｃ０からＮｃ１，Ｎｃ２，Ｎｃ３，Ｎｃ４そしてＮｃ５と移動するにしたがって、ｂ０からｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４そしてｂ５と移動する。
【０１０４】
その間に、レーザ変位センサ１１ａによって、電子部品ｂの辺ａｂに関し、決められた距離Ｌ１での変位ｈ１と、点ａ’の座標（ｘ１，ｙ１）が検出され、同時にレーザ変位センサ１１ｂによって電子部品ｂの辺ｃｄに関し、決められた距離Ｌ２での変位ｈ２と、点ｃ’の座標（ｘ３，ｙ３）が検出される。
【０１０５】
このときの、角度の補正量θは、
0003813701.tif 000008
により求められる。
【０１０６】
Ｘ軸方向の補正量△ｘは、
△ｘ＝ｘＮ−１／２｛（ｘ１＋ｘ２）ｃｏｓθ−（ｙ１＋ｙ２）ｓｉｎθ｝
Ｙ軸方向の補正量△ｙは、
△ｙ＝ｙＮ−１／２｛（ｘ１＋ｘ２）ｓｉｎθ＋（ｙ１＋ｙ２）ｃｏｓθ｝
となり、実施例Ａ１ａ−１と同様の方法で演算される。
【０１０７】
更に、点ｂ’と点ｄ’の座標を検出し、△ｘ，△ｙを求め、上記で求めた△ｘ，△ｙとの平均値を各補正量としてもかまわない。
【０１０８】
なお、図２０において、電子部品ｂの四隅のエッジａ，ｂ，ｃ，ｄの座標を互いに相対的に測定することができ、それぞれの測定時の座標を、ａ’（ｘ１，ｙ１），ｂ’（ｘ２，ｙ２），ｃ’（ｘ３，ｙ３），ｂ’（ｘ４，ｙ４）とし、図２１のように、（Ｎｃの位置をＢＥの中間点として）まとめることができる。
【０１０９】
また、この実施例においては、図示してないが、複数個の吸着ノズル７に吸着された矩形電子部品ｂの場合も、前記した同様の方法によって各補正値を求めることができる。
【０１１０】
この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られるものであり、しかも、レーザ変位センサ固定式は、計測系の構造を簡単に製作できて安価となる。
【０１１１】
（実施例Ｂ１−１−ｄ−２）
図２２および図２３に示すように、Ａ点を原点として□ＡＣＤＦをＸ−Ｙ座標系に設定されたものとして、一対のレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂを該座標系の既知の場所に取り付ける。
【０１１２】
また、該一対のレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの間を、該座標系の既知の直線コースにしたがって電子部品ｂは走行するものとする。
【０１１３】
電子部品ｂが、ｂ０からｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４そしてｂ５と走行するとき、前記した実施例Ａ１ａ−１−ｄにおいて示す場合と同様にまず角度の補正量θを求める。
【０１１４】
0003813701.tif 000009
となる。
【０１１５】
次に、各吸着ノズル７を、Ｎｃ５において上記で求めた角度の補正量θ分回転させ、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂが位置するＡＣ，ＤＦと電子部品ｂのレーザ照射面とが平行となるようにする。
【０１１６】
電子部品ｂが、ｂ０からｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４そしてｂ５と走行するとき、レーザ変位センサ１１ａによりａ’（ｘ１，ｙ１），ｂ’（ｘ２，ｙ２）の座標が、また、レーザ変位センサ１１ｂによってｃ’（ｘ３，ｙ３），ｄ’（ｘ４，ｙ４）の座標が検出される。
【０１１７】
図２３（ａ）に示すように、電子部品ｂの四隅のエッジａ，ｂ，ｃ，ｄの座標を互いに相対的に測定することができ、吸着ノズル７のセンタＮｃの位置をＢＥの中間点として、図２３（ｂ）のように、まとめることができる。
【０１１８】
そして、Ｘ軸方向の補正量として、
0003813701.tif 000010
と、
正式なＹ軸方向の補正量として、
0003813701.tif 000011
とが求められる。
【０１１９】
また、この実施例においては、図示してないが、複数個の吸着ノズル７に吸着された矩形電子部品ｂの場合も、前記した同様の方法によって各補正値を求めることができる。
【０１２０】
この実施例によれば、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様の効果が得られるものであり、しかも、レーザ変位センサ固定式は、計測系の構造を簡単に製作できて安価となる。
【０１２１】
ここで、図２０〜図２２に示した装置において一個のレーザ変位センサ１１ａによって測定を行う場合の参考例を図２４〜図２７によって説明する。
（参考例Ａ２−１−ｄ）
図２４および図２５に示すように、Ａ点を原点として□ＡＣＤＦをＸ−Ｙ座標系に設定されたものとして、一個のレーザ変位センサ１１ａが点Ａから点Ｃまで走行する間、決められた距離Ｌ１での変位ｈ１と、点ｂの座標（ｘ１，ｙ１）が検出される（図２４（ａ）参照）。
【０１２２】
次に、レーザ変位センサ１１ａがＣ点で静止している間に、吸着ノズル７に吸着された電子部品ｂが吸着ノズル７のセンタＮｃを中心に１８０度回転される（図２４（ｂ）参照）。
【０１２３】
このとき、点ｂの座標（ｘ１，ｙ１）は吸着ノズル７のセンタＮｃの座標（ｘＮ，ｙＮ）を中心に１８０度回転させて、ｂ’の座標（ｘ’１，ｙ’１）になっており、ｂ’の座標（ｘ’１，ｙ’１）も簡単に算出できる。
【０１２４】
したがって、実施例Ａ１ａ−１と同様に、角度の補正量θは、
0003813701.tif 000012
により求められる。
【０１２５】
Ｘ軸方向の補正量△ｘは、
0003813701.tif 000013
Ｙ軸方向の補正量△ｙは、
0003813701.tif 000014
と求めることができる。
【０１２６】
更に、点ａ’と点ｃ’の座標を検出し、△ｘ，△ｙを求め、上記で求めた△ｘ，△ｙとの平均値を各補正量としてもかまわない。
【０１２８】
（参考例Ｂ２−１−ｄ−２）
図２６および図２７に示すように、Ａ点を原点として□ＡＣＤＦをＸ−Ｙ座標系に設定されたものとして、一個のレーザ変位センサ１１ａを該座標系の既知の場所に取り付ける。
【０１２９】
また、該一対のレーザ変位センサ１１ａの近くを、該座標系の既知の直線コースにしたがって電子部品ｂは走行するものとする。
【０１３０】
吸着ノズル７に吸着された電子部品ｂが、ｂ０からｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４そしてｂ５と走行する間に、決められた距離Ｌ１での変位ｈ１と、点ｂの座標（ｘ１，ｙ１）が検出される（図２６（ａ）参照）。
【０１３１】
次に、電子部品ｂ２が、その吸着ノズル７のセンタＮｃ２を中心に１８０度回転される（図２６（ｂ）参照）。
【０１３２】
更に、該電子部品ｂがｂ３からｂ４，ｂ５と走行する間に、決められた距離Ｌ２での変位ｈ２と、点ｄ’の座標（ｘ’２，ｙ’２）が検出される（図２７（ａ）参照）。
【０１３３】
このとき，点ｂの座標（ｘ１，ｙ１）は、吸着ノズル７のセンタＮｃの座標（ｘＮ，ｙＮ）を中心に１８０度回転させて、ｂ’の座標（ｘ’１，ｙ’１）になっており、ｂ’の座標（ｘ’１，ｙ’１）も簡単に算出できる。
【０１３４】
したがって、前記した実施例Ａ１ａ−１と同様に、
角度の補正量θは、
0003813701.tif 000015
により求められる。
【０１３５】
Ｘ軸方向の補正量△ｘは、
0003813701.tif 000016
Ｙ軸方向の補正量△ｙは、
0003813701.tif 000017
と求めることができる。
【０１３６】
更に、点ａ’と点ｃ’の座標を検出し、△ｘ，△ｙを求め、上記で求めた△ｘ，△ｙとの平均値を各補正量としてもかまわない。
【０１３８】
なお、本発明実施例にあって、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの走行速度および電子部品ｂを吸着させた吸着ノズル７の走行速度を可変とさせることができるもので、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの走行速度を可変とさせるときは、走行手段１４を制御手段１０を介して希望する速度に制御させる。
【０１３９】
また、吸着ノズル７の走行速度を可変とさせるときは、装着ヘッド６を支承させている可動体５の移動手段４を制御手段１０を介して希望する速度に制御させる。
【０１４０】
この調整は、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂによる電子部品ｂの計測は、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂまたは吸着ノズル７の走行速度が低速である程測定精度が向上するが、その分タクト時間が延長される不都合があるもので、測定精度とタクト時間が短縮される条件が満足される良好な点を選定する。
【０１４１】
この操作は、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂがレーザビームを電子部品ｂに照射するとき（レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂから電子部品ｂまでの距離をそれぞれ連続的に測定するとき）、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂから電子部品ｂまでの距離を認識できる範囲までレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの走行速度を下げなければならない（認識できる範囲でなければならない。）。
【０１４２】
したがって、前記したように、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂまたは吸着ノズル７の走行速度を可変とさせることにより、図２８に示すように（レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂの走行速度制御の場合）、正確にレーザ変位センサ１１ａ，１１ｂから電子部品ｂまでの距離を測定でき、かつ、レーザビームを電子部品ｂに照射しないときは、レーザ変位センサ１１ａ，１１ｂまたは吸着ノズル７の走行速度を増速させて、より迅速で正確に電子部品ｂの搭載作業ができる。
【０１４３】
【発明の効果】
前述したように本発明の電子部品装着装置およびその方法は、あらかじめ定められたＸ−Ｙ座標系の中で、吸着ノズルの吸着された電子部品は固定された状態で、一対基のレーザ変位センサが単純な移動によって、より簡単な演算により、電子部品の回転方向の角度量やＸ軸方向およびＹ軸方向の座標ズレに対する補正量が求められる。
【０１４４】
この補正量θ，△ｘおよび△ｙはそれぞれ正負の値で求められ、補正方向が明確となって、電子部品の搭載タクトタイムが大幅に減少して、高能率の電子部品装着が可能となる。
【０１４５】
また、補正量θは、電子部品の複数の辺の平均傾き量として補正量を求めているので、より精度の高い計測値となる。
【０１４６】
装着ヘッド部にレーザ変位センサを取り付けた構造のものは、電子部品の吸着からプリント基板への搭載までの間に測定でき、一層のタクト時間の短縮を図ることができる。
【０１４７】
また、測定にあって、電子部品を吸着している吸着ノズルを所定角度に回転させて測定することで、計測精度が一層向上する。
等の格別な効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に関する電子部品装着方法を採用した電子部品装着装置の一実施例の概略を示す平面図である。
【図２】  図１における電子部品とレーザ変位センサとの関係状態を示す拡大側面図で、レーザ変位センサが走行する例を示す。
【図３】  図１における電子部品とレーザ変位センサとの関係状態を示す拡大側面図で、レーザ変位センサが走行する例を示す。
【図４】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ａ１ａ−１を示す説明図である。
【図５】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ａ１ａ−２を示す説明図である。
【図６】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ａ１ｂ−１を示す説明図である。
【図７】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ａ１ｂ−２を示す説明図である。
【図８】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ａ１ａ−１−ｄを示す説明図である。
【図９】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ａ１ａ−２−ｄを示す説明図である。
【図１０】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ａ１ｂ−ｃ−１を示す説明図である。
【図１１】  図１における本発明の電子部品装着方法の参考例Ａ２−ｃ−１を示す説明図である。
【図１２】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ａ１ｂ−ｃ−２を示す説明図である。
【図１３】  図１における本発明の電子部品装着方法の参考例Ａ２−ｃ−２を示す説明図である。
【図１４】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ａ１ｂ−ｃ−１−ｄを示す説明図である。
【図１５】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ａ１ｂ−ｃ−２−ｄを示す説明図である。
【図１６】  図１５（ｃ）における拡大詳細図である。
【図１７】  図１における本発明の電子部品装着方法の参考例Ａ２−ｃ−１−ｄを示す説明図である。
【図１８】  図１における本発明の電子部品装着方法の参考例Ａ２−ｃ−２−ｄを示す説明図である。
【図１９】  図１８（ｃ）の拡大詳細図である。
【図２０】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ｂ１−１−１を示す説明図である。
【図２１】  図２０における座標の詳細説明図である。
【図２２】  図１における本発明の電子部品装着方法の実施例Ｂ１−１−ｄ−２を示す説明図である。
【図２３】  図２２における電子部品の走行状態を示す説明図である。
【図２４】  図１における本発明の電子部品装着方法の参考例Ａ２−１−ｄを示す説明図である。
【図２５】  図２４におけるレーザ変位センサの走行状態を示す説明図である。
【図２６】  図１における本発明の電子部品装着方法の参考例Ｂ２−１−ｄ−２を示す説明図である。
【図２７】  図２６におけるレーザ変位センサの走行状態を示す説明図である。
【図２８】  図１における電子部品装着方法にあって、レーザ変位センサの走行速度制御を示す説明図である。
【図２９】  図１におけるレーザ変位センサの他の取付例を示す側面図である。
【図３０】  従来の装置による電子部品の実装状態を示す説明図である。
【図３１】  図３０における電子部品の吸着状態を示す説明図である。
【符号の説明】
Ｗ…電子部品装着装置、ｂ…電子部品、ｃ…プリント基板、ｍ…供給部、ｎ…実装部、６…装着ヘッド、７…吸着ノズル、１０…制御手段、１１…レーザ変位センサ、１３…ガイド、１３ａ，１３ｂ…接続部、１４…走行手段、Ｒ…調整手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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