(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶接板同士を位置決めして載置し得る二次元方向移動可能な下ユニットと該下ユニット上方の対応位置で上下動し得る上ユニットと該上ユニット上方に位置するレーザ・ガンとを含んでなり、前記上ユニットの降下で前記各溶接板の少なくとも溶接領域が密着するように構成されたレーザスポット溶接装置であって、
前記上ユニットは、前記レーザ・ガンから射出するレーザ光を妨げないすり鉢状のレーザ入射孔を有して構成され、
前記上ユニットが、前記レーザ入射孔の下側の開口近傍に不活性ガスを供給するガス供給手段を具えており、
前記ガス供給手段が、前記上ユニットに設けられた給気ポートと、該給気ポートの流気孔に繋がる直状で延長線上に溶接点が位置する方向に前記上ユニットを貫通して形成された微細孔と、で構成されていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。
【請求項２】
溶接板同士を位置決めして載置し得る二次元方向移動可能な下ユニットと該下ユニット上方の対応位置で上下動し得る上ユニットと該上ユニット上方に位置するレーザ・ガンとを含んでなり、前記上ユニットの降下で前記各溶接板の少なくとも溶接領域が密着するように構成されたレーザスポット溶接装置であって、
前記上ユニットは、前記レーザ・ガンから射出するレーザ光を妨げないすり鉢状のレーザ入射孔を有して構成され、
前記上ユニットが、前記レーザ入射孔の下側の開口近傍に不活性ガスを供給するガス供給手段を具えており、
前記ガス供給手段が、前記上ユニットに設けられた給気ポートと、該給気ポートの流気孔に繋がる直状の微細孔とで構成され、
前記微細孔が、延長線上にスポット溶接点が位置するような方向に前記上ユニットを貫通して形成されていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。
【請求項３】
溶接板同士を位置決めして載置し得る二次元方向移動可能な下ユニットと該下ユニット上方の対応位置で上下動し得る上ユニットと該上ユニット上方に位置するレーザ・ガンとを含んでなり、前記上ユニットの降下で前記各溶接板の少なくとも溶接領域が密着するように構成されたレーザスポット溶接装置であって、
前記上ユニットは、板状体の片面に前記レーザ・ガンから射出するレーザ光を妨げないすり鉢状のレーザ入射孔を形成する先細状突起が設けられたレーザ入射ブロックと、
前記板状体を蓋板とする有底箱形で、周壁の１箇所に給気ポートを有すると共に底板に前記先細状突起の先端領域を隙間を保って嵌入させるすり鉢状レーザ入射孔が形成されているユニット筐体とからなり、
前記給気ポートから供給される不活性ガスが、前記先細状突起先端領域の前記隙間に流れるように構成されていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は積み重ねた薄肉材を密着固定してレーザ溶接するレーザスポット溶接装置の構成に係わり、特に溶接時に上記薄肉材から発生する微細粉等塵埃の溶接材表面や薄肉材固定具表面等への付着を抑制して溶接工程以後の作業性向上による生産性向上を図ったレーザスポット溶接装置に関する。
【０００２】
一般に板材同士をスポット溶接するには該各板材を確実に密着させる必要があり、例えば厚さがμｍオーダの如く極めて薄い薄肉材同士をレーザでスポット溶接する場合では該各薄肉材が反り易いことから該各薄肉材をレーザ入射孔を持った固定具で挟み込んで相互間を密着させるように構成されたレーザスポット溶接装置を使用するようにしているが、溶接時に上記薄肉材から発生する微細粉等塵埃が溶接材表面や上記固定具表面等に付着して爾後の工程に支障を来すことからその対応が強く望まれている。
【０００３】
【従来の技術】
図１９は対象とする薄肉材を例示説明する図であり、図２０は従来のレーザスポット溶接装置を説明する概略図、図２１は図２０の下ユニットを説明する図、図２２は図２０の上ユニットを説明する図、図２３は溶接時の状態と問題点を説明する図である。
【０００４】
対象とする薄肉材がＨＤＤ（Hard Disk Driver) 装置におけるサスペンションアーム用部材Ｓである場合を例とする図１９で、（ａ）は溶接後の完成状態を示し、（ｂ）は溶接前の個々の部材を示している。
【０００５】
図でサスペンションアーム用部材Ｓは、いずれも厚さ“ｔ”が約３０μｍのＳＵＳ（ステンレス不錆鋼）板からなる台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 とを複数（図では５）箇所でレーザスポット溶接してなるものである。
【０００６】
そしてこの場合のサスペンションアーム用部材Ｓは、（ｂ）で示す如く、例えば上記台板Ｓ1 上の所定位置に上記アーム板Ｓ2 を矢印ａのように載置した上で、両者を密着させた状態のまま各溶接ポイントp1〜p5を順次スポット溶接して構成するようにしている。
【０００７】
かかるサスペンションアーム用部材Ｓ形成用のレーザスポット溶接装置を説明する図２０で、（ａ）は溶接前の状態を、（ｂ）は溶接時の状態を示している。
【０００８】
従来のレーザスポット溶接装置１は、図示されない基盤に固定されたＸ−Ｙステージ１１と、該Ｘ−Ｙステージ上に固定された下ユニット１２と、該下ユニットに立設された複数（図では４個）のガイドポール１２２をガイドとして該下ユニットに対して上下動する上ユニット１３と、該上ユニットの上方所定位置に配設されたレーザ・ガン１４とを含んで構成されている。
【０００９】
ここで理解し易くするため、上記下ユニット１２と上ユニット１３を図２１と図２２で先に説明する。
【００１０】
下ユニットを説明する図２１で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は平面図、（Ｃ）は（ｂ）を矢印ｂ〜ｂで切断視した側面図である。
【００１１】
図で下ユニット１２は、被溶接部材を位置決めするベース板１２１と該ベース板の四隅に立設された上記ガイドポール１２２とからなる。
【００１２】
そしてこの場合の上記ベース板１２１は、その片面（図では上面）に、図１９で説明した前記台板Ｓ1 をその周辺で位置決めできる第１の凹の段差面１２１ａと、該第１の凹の段差面で位置決めされた上記台板Ｓ1 上に載置させる前記アーム板Ｓ2 を該台板Ｓ1 から飛び出す領域の周辺で位置決めできる第２の凹の段差面１２１ｂとが段差形成面１２１ｃを具えて形成されているものである。
【００１３】
そして上記第１の凹の段差面１２１ａの上面１２１ｄからの深さ“ｂ1 ”は上記台板Ｓ1 の厚さ“ｔ”の２倍すなわち“２ｔ”より僅かに浅く、また上記第２の凹の段差面１２１ａの上面１２１ｄからの深さ“ｂ2 ”は上記アーム板Ｓ2 の厚さ“ｔ”にほぼ対応するように形成されている。
【００１４】
従って図２０の（ａ）で示すように、上記台板Ｓ1 を矢印ａ1 の如く第１の凹の段差面１２１ａに載置してから上記アーム板板Ｓ2 を矢印ａ2 の如く第２の凹の段差面１２１ｂに載置すると、該アーム板板Ｓ2 の表面を上記上面１２１ｄより僅かに突出させることができる。
【００１５】
なお、上記第１の凹の段差面１２１ａの前記各溶接ポイントp1〜p5と対応するそれぞれの位置には微細孔１２１ｅが設けられているが、該各微細孔１２１ｅは前記台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 とを溶接したときの該台板Ｓ1 の上記第１の凹の段差面に対する接合を抑制するためのものである。
【００１６】
一方上記上ユニットを説明する図２２で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図、（ｄ）は（ｂ）の矢印ｃ〜ｃでの正面断面図である。
【００１７】
図で平面視サイズが前記した下ユニット１２とほぼ同じ大きさを有する有底箱形の上ユニット１３は、その周壁の前記ガイドポール１２２と対応するそれぞれの位置には該ガイドポールに対応する摺動孔１３ａが貫通して形成されていると共に、上記周壁の一箇所には該周壁を貫通する流気孔１３ｂに繋がる給気ポート１３ｃが設けられている。
【００１８】
更に底板１３ｄの領域には、上記上ユニット１３をその摺動孔１３ａと前記ガイドポール１２２との嵌合で下ユニット１２に位置決めしたときの前記各溶接ポイントP1〜P5と対応するそれぞれの位置に、すり鉢状に形成されたレーザ入射孔１３ｅが設けられている。
【００１９】
そこで、上記摺動孔１３ａとガイドポール１２２との嵌合で下ユニット１２に位置決めされている上記上ユニット１３を降下させることで図２０の（ｂ）に示す状態にすることができるが、上述した如く前記アーム板Ｓ2 の表面が下ユニット１２のアーム板１２１の上面１２１ｄより僅かに突出しているので、上ユニット１３の下面１３ｆが上記アーム板Ｓ2 の表面を押圧することとなり、結果的に該アーム板Ｓ2 の台板Ｓ1 に対する密着を実現することができる。
【００２０】
なおこの時点で、上記上ユニット１３上方の所定位置に前述したレーザ・ガン１４が位置している。
【００２１】
従って、上記給気ポート１３ｃからアシストガスとしての窒素ガス (N2）の如き不活性ガスを例えば４リットル／分程度の流量で供給して上記上ユニット１３の周壁内部を該不活性ガスで充満させながら、図示されない制御部に繋がる前記Ｘ−Ｙステージ１１の作動で上記下ユニット１２を上ユニット１３と共に二次元方向に移動させ、例えば上記レーザ・ガン１４の軸に上記溶接ポイントP1の位置を合致させた状態で所要のレーザ光Ｌを該レーザ・ガン１４から射出させて該溶接ポイントP1をスポット溶接するが、上述したように上記アーム板Ｓ2 と台板Ｓ1 とが密着しているので両者間の確実な溶接を実現することができる。
【００２２】
次いで、上記同様のプロセスを溶接ポイントP2〜P5のそれぞれについても繰り返すことで、所要のサスペンションアーム用部材Ｓを図１９の（ａ）に示すように得ることができる。
【００２３】
溶接時の状態を問題点と共に説明する図２３は、図２０における溶接装置を矢印ｄ〜ｄで断面視して示したものであり、（ａ）は溶接時の状態を、（ｂ）と（ｃ）は問題点をそれぞれ示している。
【００２４】
図の（ａ）で、台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 は下ユニットにおけるベース板１２１の第１の段差面１２１ａと上ユニット１３における下面１３ｆとに挟まれて密着した状態にある。
【００２５】
そして、台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 間の溶接ポイントP1上方の所定位置に位置するレーザ・ガン１４からのレーザ光Ｌは、レーザ入射孔１３ｅを通って上記溶接ポイントP1に焦点を結ぶようになっている。
【００２６】
なお、この状態で図２１で説明した微細孔１２１ｅが上記レーザ入射孔１３ｅひいては溶接ポイントP1の下方に対応して位置しているので、レーザ・ガン１４からのレーザ光Ｌで上記台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 とを確実にスポット溶接することができる。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし通常の上記スポット溶接では、上述したように上ユニットの周壁内部が不活性ガスで被われているものの、被溶接材としての前記ＳＵＳ中に含まれるカーボン（Ｃ）や鉄（Fe4), ニッケル，クローム等の低融点部分が、図（ｂ）に示す如く、溶接時の発熱によって微細化した粉末Ｐとなって発生して上記レーザ入射孔１３ｅの側壁に付着するが、この微細粉や塵埃は爾後の溶接品質を低下させることとなる。
【００２８】
更に、溶接後のサスペンションアーム用部材Ｓを取り出すために上記上ユニット１３を下ユニット１２から開離させると、図（ｃ）に示す如く、上記粉末Ｐがレーザ入射孔１３ｅから脱落してサスペンションアーム用部材Ｓ上に付着するが、該サスペンションアーム用部材Ｓに付着した該粉末ＰはＨＤＤ内部で塵埃となる。
【００２９】
従って従来のレーザスポット溶接装置では、溶接工程が終了する度に上ユニットを取り外して洗浄する必要があり、また溶接が終了した被溶接部材すなわちサスペンションアーム用部材Ｓも洗浄する必要があることから、溶接工程としての生産性向上を期待することができないと言う問題があった。
【００３０】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、溶接板同士を位置決めして載置し得る二次元方向移動可能な下ユニットと該下ユニット上方の対応位置で上下動し得る上ユニットと該上ユニット上方に位置するレーザ・ガンとを含んでなり、前記上ユニットの降下で前記各溶接板の少なくとも溶接領域が密着するように構成されたレーザスポット溶接装置であって、前記上ユニットは、前記レーザ・ガンから射出するレーザ光を妨げないすり鉢状のレーザ入射孔を有して構成され、前記上ユニットが、前記レーザ入射孔の下側の開口近傍に不活性ガスを供給するガス供給手段を具えており、前記ガス供給手段が、前記上ユニットに設けられた給気ポートと、該給気ポートの流気孔に繋がる直状で延長線上に溶接点が位置する方向に前記上ユニットを貫通して形成された微細孔と、で構成されているレーザスポット溶接装置によって解決される。
【００３１】
また、溶接板同士を位置決めして載置し得る二次元方向移動可能な下ユニットと該下ユニット上方の対応位置で上下動し得る上ユニットと該上ユニット上方に位置するレーザ・ガンとを含んでなり、前記上ユニットの降下で前記各溶接板の少なくとも溶接領域が密着するように構成されたレーザスポット溶接装置であって、前記上ユニットは、板状体の片面に前記レーザ・ガンから射出するレーザ光を妨げないすり鉢状のレーザ入射孔を形成する先細状突起が設けられたレーザ入射ブロックと、前記板状体を蓋板とする有底箱形で、周壁の１箇所に給気ポートを有すると共に底板に前記先細状突起の先端領域を隙間を保って嵌入させるすり鉢状レーザ入射孔が形成されているユニット筐体とからなり、前記給気ポートから供給される不活性ガスが、前記先細状突起先端領域の前記隙間に流れるように構成されているレーザスポット溶接装置によって解決される。
【００３２】
一般に微細粉や塵埃はその発生箇所や付着箇所にガス体を強制的に吹き付けることで飛散させることができる。
【００３３】
そこで本発明では、上述した粉末Ｐの発生箇所や付着領域に不活性ガスが吹き付けられるようにレーザスポット溶接装置を構成している。
【００３４】
このことは、上記粉末Ｐが少なくとも溶接領域の近傍からなくせることから上ユニットや被溶接部材の洗浄が不要になることを意味する。
【００３５】
従って、溶接工程における生産性向上が期待できるレーザスポット溶接装置を実現することができる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明になるレーザスポット溶接装置の構成を説明する図であり、図２は図１の上ユニットを説明する図、図３は図２のユニット筐体を説明する図、図４は図２の給気ブロックを説明する図、図５は図１のレーザスポット溶接装置での作用・効果を説明する図、図６は図１のレーザスポット溶接装置の応用例を説明する図、図７は図６のユニット筐体を説明する図、図８は図６のレーザスポット溶接装置での作用・効果を説明する図である。
【００３７】
また図９は本発明になる第二のレーザスポット溶接装置の構成を説明する図であり、図１０は図９の上ユニットを説明する図、図１１は図１０のユニット筐体を説明する図、図１２は図１０のレーザ入射ブロックを説明する図、図１３は図９のレーザスポット溶接装置での作用・効果を説明する図、図１４は図１１のレーザ入射ブロックの応用例を説明する図、図１５は図１１のレーザ入射ブロックでの作用・効果を説明する図である。
【００３８】
更に、図１６は図２で説明した上ユニットの応用例を説明する図であり、図１７は図１６のユニット筐体を説明する図、図１８は図１６の上ユニットでの作用・効果を説明する図である。
【００３９】
なお図では、いずれも図２０で説明したレーザスポット溶接装置に本発明を適用させる場合を例としているので、図１９乃至図２２と同じ対象部材や部位には同一の記号を付して表わすと共に重複する説明についてはそれを省略する。
【００４０】
本発明になるレーザスポット溶接装置を説明する図１で（ａ）は溶接前の状態を、（ｂ）は溶接時の状態を示している。
【００４１】
図でレーザスポット溶接装置２は、図示されない基盤に固定された前記Ｘ−Ｙステージ１１と、該Ｘ−Ｙステージ上に固定された前記下ユニット１２と、該下ユニットに立設された４個のガイドポール１２２をガイドとして該下ユニットに対して上下動する本発明に係わる上ユニット２１と、該上ユニットの上方所定位置に配設された前記レーザ・ガン１４とを含んで構成されている。
【００４２】
そしてこの場合の上記上ユニットを抽出した図２で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は一部断面視した正面図である。
【００４３】
図２で本発明に係わる上ユニット２１は、平面視サイズが図２２で説明した前記上ユニット１３にほぼ対応する大きさに形成されたユニット筐体２１１と、該ユニット筐体の周面をカバーするように平面視が“ロ”字形に形成された給気ブロック２１２とからなるものであるが、図２０の場合と同様に上記ユニット筐体２１１と給気ブロック２１２を図３と図４で先に説明する。
【００４４】
上記ユニット筐体のみを抽出して示した図３で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は（ｂ）を一部断面視した側面図、（ｄ）は（ｂ）を矢印ｅ〜ｅで切断した正面図、（ｅ）は正面図である。
【００４５】
すなわち図３でこの場合のユニット筐体２１１は、平面視サイズが前記下ユニット１２とほぼ同じ大きさを有する有底箱形に形成されているものであり、その周壁には前記ガイドポール１２２と同じ位置に前記ガイドポールに対応する摺動孔１３ａが設けられ、また底板１３ｄの領域には上記上ユニット１３と同じ位置にすり鉢状のレーザ入射孔１３ｅが設けられていることは上記下ユニット１２の場合と同様である。
【００４６】
そしてユニット筐体２１１の上記下ユニット１２と異なる点は、該下ユニット１２に設けられている前記給気ポート１３ｂを削除した上で、周壁それぞれの外面底板側に外側に突出するフランジ２１１ａを設けると共に、周壁外面の少なくとも上記レーザ入射孔１３ｅ形成領域が取り囲める範囲に流気道を形成するための凹溝２１１ｂを設け更に該凹溝２１１ｂと上記各レーザ入射孔１３ｅそれぞれのレーザ出射孔すなわち前記下面１３ｆ近傍とを、当該領域を抽出して拡大視した円内図に示す如く、例えば径が 0.2ｍｍ程度の直状の微細孔２１１ｃで繋ぐことで、上記凹溝２１１ｂに位置する気体を各レーザ入射孔１３ｅそれぞれのレーザ出射孔近傍に噴出可能にしたことである。
【００４７】
なお上記微細孔２１１ｃは、その中心軸が例えば図２３で説明したレーザ光Ｌのスポット位置“ P1 ”を含むその近傍を向くようになっているが、その形成は例えば通常の微細ドリルによる穿孔技術や孔径を段階的に減少させる穿孔技術等によって容易である。
【００４８】
一方上記給気ブロック２１２を説明する図４で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は（ｂ）を一部断面視した側面図、（ｄ）は（ｂ）を矢印ｆ〜ｆで切断した正面図である。
【００４９】
すなわち図４で平面視が“ロ”字形をなす給気ブロック２１２は、その内法が上記ユニット筐体２１１における周壁外面に対応するように形成され、またその高さ“ｈ1 ”が該ユニット筐体２１１の上記フランジ２１１ａを除く周壁高さ“ｈ2 ”に対応するように形成されていると共に、その周壁には外側に突出する１個の給気ポート２１２ａが周壁を貫通する流気孔２１２ｂを具えて設けられているものである。
【００５０】
なお上記給気ポート２１２ａは、図３で説明したユニット筐体２１１における凹溝２１１ｂの形成域に位置するようになっている。
【００５１】
そこで、上記給気ブロック２１２を前記ユニット筐体２１１に嵌め込むように装着することで上ユニット２１を図２で示すように構成することができるが、この状態でユニット筐体２１１の上記凹溝２１１ｂが給気ブロックト２１２の周壁内面でおおわれている。
【００５２】
従って図１の（ａ）における下ユニット１２に前述したように台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 とを載置した上で、該下ユニット１２のガイドポール１２２と上記ユニット筐体２１１の摺動孔１３ａとの嵌合で上記上ユニット２１を降下させることで、図１の（ｂ）に示す状態にすることができるが、該アーム板Ｓ2 の台板Ｓ1 に対する密着が実現していることは前記レーザスポット溶接装置１の場合と同様である。
【００５３】
従って、以下前述した如く図示されない制御部に繋がるＸ−Ｙステージ１１の作動で上記下ユニット１２を上ユニット２１と共に二次元方向に移動させながら、図（ｂ）に示す如く、レーザ・ガン１４からレーザ光Ｌを射出させることで所要のサスペンションアーム用部材Ｓを得ることができる。
【００５４】
かかる構成になるレーザスポット溶接装置２での作用と効果を説明する図５で、（ａ）は溶接前の状態を、（ｂ）は溶接時の状態をそれぞれ示している。
【００５５】
図の（ａ）で、前述したレーザＬを射出する前の段階で前記給気ブロック２１２の給気ポート２１２ａから例えば前述した不活性ガスＧを例えば前述した所要の流量で供給すると、該不活性ガスＧは前記ユニット筐体２１１に設けた凹溝２１１ｂと上記給気ブロック２１２の周壁内面とで形成される空間領域２１１ｂ′を充満した後、上記ユニット筐体２１１に設けた複数（図では５個）の前記微細孔２１１ｃを通って該各微細孔に対応するそれぞれの前記レーザ入射孔１３ｅに矢印ｇ1 の如く噴出する。
【００５６】
この場合、上記微細孔２１１ｃは前述した如くその中心軸が前記スポット位置を含む近傍を向いているので、該微細孔２１１ｃから噴出する不活性ガスＧはスポット位置で跳ね返されてからレーザ入射孔の壁面に沿って放散する。
【００５７】
そこで図（ｂ）に示される如くレーザ・ガン１４から所定のレーザ光Ｌを射出することで前記台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 とをスポット溶接することができるが、この溶接時に該アーム板Ｓ2 から発生する前記粉末Ｐは上述した不活性ガスＧの流れにそのまま乗って放散させられるので、溶接位置やその近傍に上記粉末Ｐ等を付着させることなく確実なスポット溶接が実現できるレーザスポット溶接装置２を構成することができる。
【００５８】
なおかかる構成になるレーザスポット溶接装置では、上記給気ポート２１２ａから不活性ガスＧを所要の圧力で供給するだけてユニット筐体２１１の総てのレーザ入射孔とそれに対応する総ての溶接位置に不活性ガスＧが吹き付けられることから、結果的に不活性ガスＧの供給だけで総てのレーザ入射孔と溶接位置に付着している異物等が除去できるメリットがある。
【００５９】
上記レーザスポット溶接装置２の応用例を上ユニットの領域を抽出して説明する図６で、（ａ）は上ユニットとしての全体斜視図であり、（ｂ）は平面図、（ｃ）は一部断面視した正面図である。
【００６０】
図で上記上ユニット２５は、外部形状が前記ユニット筐体２１１と等しいユニット筐体２５１と、前記給気ブロック２１２とからなるものである。
【００６１】
そしてこの場合の上記上ユニット２５の前記上ユニット２１との違いは、前記上ユニット２１ひいては前記ュニット筐体２１１の各レーザ入射孔１３ｅのそれぞれに設ける従来の微細孔２１１ｃの他に、図（ｂ）における矢印のように該微細孔２１１ｃに対して傾けた微細孔２５１ａを追加した点である。
【００６２】
ここで前記同様に上記上ユニットの詳細を図７で先に説明するが、（ａ）は全体斜視図を、（ｂ）は平面図、（ｃ）は側面図、（ｄ）は（ｃ）を図３同様のｅ〜ｅで切断視した正面図である。
【００６３】
図でこの場合のユニット筐体２５１は、図３で説明したユニット筐体２１１における各微細孔２１１ｃそれぞれの近傍に、該微細孔２１１ｃと同じ径で凹溝２１１ｂ内の離れた位置から同じレーザ入射孔内の微細孔２１１ｃの開口近傍に到達するように例えば図（ｂ）のレーザ入射孔近傍を透視的に見て拡大視した円内図（ｅ）に示す如く相互に交叉する直状の微細孔２５１ａを追加して形成したものであるが、該微細孔２５１ａの中心軸は例えば出射側の開口近傍を拡大視した円内図（ｆ）に示すようにレーザ光Ｌのスポット位置を含むその近傍を外れて該レーザ入射孔１３ｅの壁面に向かうように形成されている。
【００６４】
なお該微細孔２５１ａも上記微細孔２１１ｃと同様に通常の微細ドリルや孔径を段階的に減少させることで容易に形成することができる。
【００６５】
そこで前記給気ブロック２１２を、前記ユニット筐体２１１の場合と同様に上記ユニット筐体２５１に嵌め込むように装着することで所要の上ユニット２５を図６で示すように構成することができるが、かかる上ユニット２５では各レーザ入射孔１３ｅのそれぞれに上記微細孔２１１ｃの開口と微細孔２５１ａの開口とが共に現出する。
【００６６】
従って図１における上ユニット２１を上記上ユニット２５に置き換えることで応用例としてのレーザスポット溶接装置を構成することができる。
【００６７】
かかる構成になる上ユニット２５を具えたレーザスポット溶接装置での作用と効果を説明する図８で、（ａ）は図５（ａ）同様の断面図であり、（ｂ1,ｂ2 ）は不活性ガス給気時の状態を、（ｃ）はレーザ射出時の状態をそれぞれ示したものである。
【００６８】
図８の（ａ）で、ユニット筐体２５１の前記凹溝２１１ｂが給気ブロック２１２の周壁内面で被われており、また前記下ユニット１２に台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 とを載置した状態で該下ユニット１２のガイドポールと上記ユニット筐体２５１の摺動孔１３ａとの嵌合で上記上ユニット２５を降下させることで該アーム板Ｓ2 の台板Ｓ1 に対する密着が実現していることは前記レーザスポット溶接装置１の場合と同様である。
【００６９】
そこで、レーザＬを射出する前の段階で前記給気ブロック２１２の給気ポート２１２ａから前記不活性ガスＧを所要の圧力で供給すると、該不活性ガスＧが前述したように空間領域２１１ｂ′を介して前記微細孔２１１ｃと微細孔２５１ａを通ってレーザ入射孔１３ｅに噴出する。
【００７０】
この場合、微細孔２１１ｃから噴出する不活性ガスＧは図（ｂ1 ）に示す如くスポット位置で跳ね返されてレーザ入射孔の壁面に沿って放散するｇ1 になることは前述した通りである。
【００７１】
一方、微細孔２５１ａから噴出する不活性ガスＧは図（ｂ2 ）に示す如くレーザ入射孔の壁面にぶつかってから該壁面を撫ぜながら螺旋状に回転するｇ2 になって放散するが、円内図（ｂ2 ′）は上記不活性ガスＧの流れｇ2 を斜視して示した図である。
【００７２】
そこで図（ｃ）に示す如く、レーザ・ガン１４から所定のレーザ光Ｌを射出することで前記台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 とをスポット溶接することができるが、この溶接時に該アーム板Ｓ2 から発生する前記粉末Ｐが上述した不活性ガスＧの流れｇ1 とｇ2 にそのまま乗せられて放散するので、溶接位置やその近傍に上記粉末Ｐ等を付着させることなく確実なスポット溶接が実現できるレーザスポット溶接装置を構成することができる。
【００７３】
なおかかる上ユニットを具えたレーザスポット溶接装置では、上記給気ポート２１２ａから供給される不活性ガスＧが上記ｇ1 とｇ2 の経路を経ることから、図１で説明したレーザスポット溶接装置２における場合よりも効果的に粉末Ｐの除去が実現できるメリットがある。
【００７４】
なお上記不活性ガスＧの流れは該ガスを供給している間は継続して発生しているので、上記粉末Ｐの除去の確実化を図ることができる。
【００７５】
本発明になる第二のレーザスポット溶接装置を説明する図９で、（ａ）は溶接前の状態を、（ｂ）は溶接時の状態を示している。
【００７６】
図でレーザスポット溶接装置３は、図示されない基盤に固定された前記Ｘ−Ｙステージ１１と、該Ｘ−Ｙステージ上に固定された前記下ユニット１２と、該下ユニットに立設された４個のガイドポール１２２をガイドとして該下ユニットに対して上下動する本発明に係わる上ユニット３１と、該上ユニットの上方所定位置に配設された前記レーザ・ガン１４とを含んで構成されている。
【００７７】
そしてこの場合の上記上ユニットを抽出した図１０で、（ａ）は一部を断面視した全体斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は一部断面視した正面図、（ｃ′）は（ｃ）を部分的に拡大した図である。
【００７８】
図１０で本発明に係わる上記上ユニット３１は、平面視サイズが前記ユニット筐体２１１にほぼ対応する大きさに形成されたユニット筐体３１１と、該ユニット筐体３１１に対して着脱容易に位置決め固定されるレーザ入射ブロック３１２とで構成されるものであるが、ここで前記同様に上記ユニット筐体２３１と上記レーザ入射ブロック３１２とを図１１と図１２で先に説明する。
【００７９】
上記ユニット筐体のみを抽出して示した図１１で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は（ｂ）を一部断面視した側面図、（ｄ）は（ｂ）を矢印ｊ〜ｊで切断した正面図である。
【００８０】
すなわち図１１でこの場合のユニット筐体３１１は、前述したように平面視サイズが前記ユニット筐体２１１にほぼ対応する同じ大きさの有底箱形に形成されているものであり、その周壁の前記ガイドポールと対応する位置に該ガイドポール用の摺動孔１３ａが設けられ、また底板１３ｄの領域に上記ユニット筐体２１１における場合と同じレーザ入射孔１３ｅが設けられていることは上記ユニット筐体２１１の場合と同様である。
【００８１】
そして上記ユニット筐体３１１の前記ユニット筐体２１１と異なる点は、該ユニット筐体２１１に設けられている凹溝２１１ｂとそれに繋がる微細孔２１１ｃとをなくすと共に、周壁３１１ａの１箇所に前記給気ブロック２１２に設けた給気ポート２１２ａ同様に上記周壁３１１ａを貫通する流気孔３１１ｂを具えた給気ポート３１１ｃを設けた点である。
【００８２】
なお、上記周壁３１１ａ内側の開口周辺には、後述するレーザ入射ブロック３１２を位置決めするための凹の段差面３１１ｄが設けられている。
【００８３】
一方上記レーザ入射ブロック３１２を説明する図１２で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は（ｂ）を矢印ｋ〜ｋで切断視した側面図、（ｄ）は（ｂ）を矢印ｋ′〜ｋ′で切断視した正面図である。
【００８４】
図でレーザ入射ブロック３１２は、上記凹の段差面３１１ｄへの嵌合によるねじ止め等の手段で上記ユニット筐体３１１に着脱自在に位置決めして装着される板状体３１２ａに、レーザ入射孔３１２ｂを形成するための先細状突起３１２ｃを上記レーザ入射孔１３ｅと対応するそれぞれの位置に設けたものである。
【００８５】
そしてこの場合の上記先細状突起３１２ｃは、該レーザ入射ブロック３１２をその板状体３１２ａの領域で上記ユニット筐体３１１に位置決めして装着した状態で、該先細状突起の先端領域のみが上記レーザ入射孔１３ｅに対して例えば０．２ｍｍ程度の僅かな隙間を保って入り込むような外形に形成され、且つ上記板状体３１２ａ′から先端までの長さ“ｉ1 ”は上記ユニット筐体３１１における凹の段差面３１１ｄから下面１３ｆまでの隔たり“ｉ2 ”よりも僅かに小さくなるように設定されている。
【００８６】
なお上記レーザ入射孔３１２ｂは、前記レーザ・ガン１４からのレーザ光Ｌ  Ａ妨げない範囲で可能な限り細く形成されている。
【００８７】
そこで、該レーザ入射ブロック３１２を上記ユニット筐体３１１に上述したように位置決めして装着することで、所要の上ユニット３１を図１０に示すように構成することができる。
【００８８】
かかる上ユニット３１では、給気ポート３１１ｃから前述した不活性ガスＧを供給すると、上記先細状突起３１２ｃの先端近傍を抽出して拡大視した円内図（ｄ）に示す如く、上記流気孔３１１ｂを経由する不活性ガスＧを該先細状突起周辺のドット領域Ｄ1 から上記レーザ入射孔１３ｅと該先細状突起外面との間を通って上記レーザ入射孔３１２ｂの先端領域Ｄ2 に導くことができる。
【００８９】
このように構成された上ユニット３１を具えたレーザスポット溶接装置としての作用・効果を説明する図１３で、（ａ）は不活性ガスＧの給気時の状態を、（ｂ）は流れを示す図であり、（ｂ）はレーザ射出時の状態をそれぞれ示したものである。
【００９０】
すなわち図１３の（ａ）で、ユニット筐体３１１における周壁３１１ａの内側は上記レーザ入射ブロック３１２で被われており、また前記下ユニット１２に載置された状態の台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 とが上記ユニット筐体３１１の降下で押圧されているので該アーム板Ｓ2 の台板Ｓ1 に対する密着が実現していることは前記レーザスポット溶接装置１の場合と同様である。
【００９１】
そこでユニット筐体３１１の給気ポート３１１ｃから前記不活性ガスＧを供給すると、図１０で説明したドット領域Ｄ1 を経由して先細状突起３１２ｃの先端のドット領域Ｄ2 に到達する不活性ガスＧは上記アーム板Ｓ2 に遮られて行き場がないことから、上記先細状突起内のレーザ入射孔３１２ｂに侵入して矢印ｇ3 の如く上方に放散されるが、このことは該レーザ入射孔３１２ｂの開口が上記不活性ガスＧの吸い出し口になることを示している。
【００９２】
従って、上記アーム板Ｓ2 の表面やその近傍に位置する異物等も一緒に除去することができる。
【００９３】
そこで（ｂ）に示す如く、レーザ・ガン１４から所定のレーザＬを射出して上記アーム板Ｓ2 と台板Ｓ1 をスポット溶接するが、この溶接時に発生する前記粉末Ｐも上記不活性ガスＧの流れに乗ることから容易に除去することができる。
【００９４】
なお上記不活性ガスＧの流れは該ガスを供給している間は継続して発生しているので、上記異物や粉末Ｐの除去の確実化が図れることは前記レーザスポット溶接装置２の場合と同様である。
【００９５】
更に、かかるレーザスポット溶接装置３ではレーザ入射ブロック３１２が取外し容易なるため、該レーザ入射ブロックに付着した異物や粉末Ｐ等の洗浄による除去も容易になるメリットがある。
【００９６】
上述したレーザ入射ブロックの応用例を示す図１４で、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は先細状突起先端部を拡大視した図、（ｄ）は（ｃ）を下側から見た図である。
【００９７】
図でこの場合のレーザ入射ブロック３１５は外観および大きさと形状が前記レーザ入射ブロック３１２と同じであるが、先細状突起３１２ｃの領域に複数（図では４個）の微細孔３１５ａを追加して設けたものである。
【００９８】
そしてこの場合の該各微細孔３１５ａは、先細状突起３１２ｃの外側面で先端から離れた位置を前記ガスＧの該微細孔３１５ａへの入射口（起点とする）ｒ1 とし、該起点ｒ1 からレーザ入射孔３１２ｂ先端側の接線方向に該先細状突起の壁面を貫通する位置を該ガスＧの該微細孔３１５ａからの噴出口（終点とする）ｒ2 までを直状に穿孔したものである。
【００９９】
なお図では上記微細孔３１５ａを４個としているので、該微細孔の軌跡を先細状突起先端側すなわち下側から透して見ると、図（ｄ）に示す如くほぼ四角形になる。
【０１００】
なおこの場合の上記微細孔３１５ａの穿孔も、前述した微細ドリルや段階的な縮径技術等によって容易に実現することができる。
【０１０１】
かかるレーザ入射ブロック３１５を前記レーザ入射ブロック３１２に代えてレーザスポット溶接装置を構成したときの作用と効果を当該領域を拡大して示した図１５で、（ａ）は不活性ガス供給時の該ガスの流れ状態を、（ｂ）は（ａ）をレーザ射出側すなわち上側から見たときの状態を、（ｃ）はレーザ射出時の粉末Ｐの流れ状態を、それぞれ示したものである。
【０１０２】
図の（ａ）で、給気ポート３１１ｃから不活性ガスＧを供給すると、該ガスＧは前述したように前記ドット領域Ｄ1 を充満した後、該ドット領域Ｄ1 から前記ドット領域Ｄ2 に流れてレーザ入射孔３１２ｂの開口に吸い込まれて放散される前記流れｇ1 と、前記ドット領域Ｄ1 から上記微細孔３１５ａを経由してレーザ入射孔３１２ｂ内に入って以降該レーザ入射孔の壁面に沿って螺旋状に回転して放散される前記流れｇ3 に類似した流れｇ4 とになる。
【０１０３】
そして特にこの場合の後者の流れｇ4 は、上記レーザ入射孔３１２ｂをレーザ射出側すなわち上側から見た図（ｂ）に示す如く、４個の微細孔３１５ａのいずれもがレーザ入射孔壁面に対して同じ方向に傾いて形成されているため、それぞれの上記終点ｒ2 から噴出するガスＧが円周を描くように流れることになり、結果的に図６で説明したユニット筐体２５１の場合よりも強力である。
【０１０４】
そこで、レーザ・ガン１４からレーザを射出して上記台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 とを溶接するが、この際に発生する前記粉末Ｐは図（ｃ）に示す如く、上記ガスＧの流れｇ1 によってレーザ入射孔３１２ｂの開口を吸い込み口としてレーザ入射孔３１２ｂに入った後、上記ガスＧの流れｇ4 によって強力に回転させられて放散させられるので、上記粉末Ｐの確実な除去を実現することができる。
【０１０５】
なお、かかるレーザ入射ブロック３１５を具えたレーザスポット溶接装置では、上記ガスＧの流れｇ1 とｇ4 が該ガスＧを供給している限り継続されるので、被溶接部材の表面やレーザ入射孔の壁面とその近傍等に付着している異物や塵埃も効率的且つ強力に除去できるメリットがある。
【０１０６】
また、上記レーザ入射ブロックとしての着脱が可能なることから、洗浄の容易化が実現できることは前記レーザ入射ブロック３１２と同様である。
【０１０７】
本発明になる第三の実施例を図１における上ユニット２１に適用させる場合を例として説明する図１６で、（ａ）は上ユニットを一部断面視して示した図であり、（ｂ）は平面図、（ｃ）は一部断面視した正面図である。
【０１０８】
図でこの場合の上ユニット４１は、本発明に係わるユニット筐体４１１と、図４で説明した給気ブロック２１２とで構成されるものである。
【０１０９】
そしてこの場合の上記ユニット筐体４１１は、全体斜視図（ａ）と平面図（ｂ）と正面図（ｃ）とで示した図１７に示す如く、図３で説明したユニット筐体２１１における周壁内側のレーザ入射孔を含む全面に、例えば厚さ 0.2μm 程度のテフロン樹脂コーティング膜からなる微細粉付着膜４１１ａを追加して被着形成したものである。
【０１１０】
従って、上記ユニット筐体４１１に前記給気ブロック２１２を前述したように装着することで所要の上ユニット４１を図１６で示すように構成することができる。
【０１１１】
なお、上記テフロン樹脂コーティング膜は前記スポット溶接時に発生する前記粉末Ｐや異物，塵埃等を容易に付着させる性質を具えていると共に該テフロン樹脂コーティング膜４１１ａは通常のプラズマによる洗浄で容易に除去できるものである。
【０１１２】
図１で説明したレーザスポット溶接装置２における上ユニット２１を上記上ユニット４１に置き換えて構成したレーザスポット溶接装置としての作用と効果を説明する図１８で、（ａ）は前記不活性ガスＧを気要求した状態を、（ｂ）は溶接時の状態をそれぞれ示したものである。
【０１１３】
図の（ａ）で、給気ブロック２１２の給気ポート２１２ａから上記ガスＧを供給すると、前記空間領域２１１ｂ′に充満した該ガスＧが前述したように微細孔２１１ｃを通ってレーザ入射孔１３ｅに噴出するが、このガスＧによって飛散する異物や塵埃は外部に飛散するものを除いて上記テフロン樹脂コーティング膜４１１ａに付着する。
【０１１４】
そこで図（ｂ）に示す如く、レーザ・ガン１４からレーザ光Ｌを射出させて前記台板Ｓ1 とアーム板Ｓ2 を溶接するが、その溶接時に発生する前記粉末Ｐが前記微細孔２１１ｃを通るガスＧによって飛散することから上記異物や塵埃と同様に上記テフロン樹脂コーティング膜４１１ａに付着する。
【０１１５】
従って、溶接工程終了後のユニット筐体４１１としての洗浄の容易化を実現することができる。
【０１１６】
なお、上記のテフロン樹脂コーティング膜４１１ａを前述したユニット筐体２５１やレーザ入射ブロック３１２，３１５等に被着形成させることで更なる効果が得られるメリットがある。
【０１１７】
（付記１）  溶接板同士を位置決めして載置し得る二次元方向移動可能な下ユニットと該下ユニット上方の対応位置で上下動し得る上ユニットと該上ユニット上方に位置するレーザ・ガンとを含んでなり、前記上ユニットの降下で前記各溶接板の少なくとも溶接領域が密着するように構成されたレーザスポット溶接装置であって、
前記上ユニットは、前記レーザ・ガンから射出するレーザ光を妨げないすり鉢状のレーザ入射孔を有して構成され、
前記上ユニットが、前記レーザ入射孔の下側の開口近傍に不活性ガスを供給するガス供給手段を具えていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。
（付記２）  付記１記載のガス供給手段が、前記上ユニットに設けられた給気ポートと、該給気ポートの流気孔に繋がる直状で延長線上に溶接点が位置する方向に前記上ユニットを貫通して形成された微細孔と、で構成されていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。
（付記３）  付記１記載のガス供給手段が、前記上ユニットに設けられた給気ポートと、該給気ポートの流気孔に繋がる直状の微細孔とで構成され、
前記微細孔が、延長線上にスポット溶接点が位置するような方向に前記上ユニットを貫通して形成されていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。
（付記４）  付記１記載のガス供給手段が、付記２記載の微細孔と、前記給気ポートの流気孔に繋がる直状で延長線がスポット溶接点近傍に向かう方向に前記上ユニットを貫通して形成された微細孔と、で構成されていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。
【０１１８】
（付記５）  付記１記載の上ユニットが、少なくとも前記レーザ入射孔の内面を含むレーザ入射孔形成面に微細粉付着膜を具えていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。
【０１１９】
（付記６）  溶接板同士を位置決めして載置し得る二次元方向移動可能な下ユニットと該下ユニット上方の対応位置で上下動し得る上ユニットと該上ユニット上方に位置するレーザ・ガンとを含んでなり、前記上ユニットの降下で前記各溶接板の少なくとも溶接領域が密着するように構成されたレーザスポット溶接装置であって、
前記上ユニットは、板状体の片面に前記レーザ・ガンから射出するレーザ光を妨げないすり鉢状のレーザ入射孔を形成する先細状突起が設けられたレーザ入射ブロックと、
前記板状体を蓋板とする有底箱形で、周壁の１箇所に給気ポートを有すると共に底板に前記先細状突起の先端領域を隙間を保って嵌入させるすり鉢状レーザ入射孔が形成されているユニット筐体とからなり、
前記給気ポートから供給される不活性ガスが、前記先細状突起先端領域の前記隙間に流れるように構成されていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。（付記７）  付記６記載の先細状突起が、前記先細状突起の外側からレーザ入射孔下側の開口近傍に到る直状の１個の微細孔を具えていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。
【０１２０】
（付記８）  付記６記載の先細状突起が、前記先細状突起の外側からレーザ入射孔下側の開口近傍の該開口接線方向に向かう複数の微細孔を具えていることを特徴とするレーザスポット溶接装置。
【０１２１】
【発明の効果】
上述の如く本発明により、溶接時に上記薄肉材から発生する微細粉等塵埃の溶接材表面や薄肉材固定具表面等への付着を抑制して溶接工程以後の作業性向上による生産性向上を図ったレーザスポット溶接装置を提供することができる。
【０１２２】
なお本発明の説明では前述した微細粉付着膜がテフロン樹脂コーティング膜である場合を例としているが、上ユニットへの形成と除去が容易で且つ前記粉末Ｐや異物・塵埃等が付着させられるものであれば如何なる微細粉付着膜でも同じ効果が得られることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明になるレーザスポット溶接装置の構成を説明する図。
【図２】  図１の上ユニットを説明する図。
【図３】  図２のユニット筐体を説明する図。
【図４】  図２の給気ブロックを説明する図。
【図５】  図１のレーザスポット溶接装置での作用・効果を説明する図。
【図６】  図１のレーザスポット溶接装置の応用例を説明する図。
【図７】  図６のユニット筐体を説明する図。
【図８】  図６のレーザスポット溶接装置での作用・効果を説明する図。
【図９】  本発明になる第二のレーザスポット溶接装置の構成を説明する図。
【図１０】  図９の上ユニットを説明する図。
【図１１】  図１０のユニット筐体を説明する図。
【図１２】  図１０のレーザ入射ブロックを説明する図。
【図１３】  図９のレーザスポット溶接装置での作用・効果を説明する図。
【図１４】  図１１のレーザ入射ブロックの応用例を説明する図。
【図１５】  図１１のレーザ入射ブロックでの作用・効果を説明する図。
【図１６】  図２で説明した上ユニットの応用例を説明する図。
【図１７】  図１６のユニット筐体を説明する図。
【図１８】  図１６の上ユニットでの作用・効果を説明する図。
【図１９】  対象とする薄肉材を例示説明する図。
【図２０】  従来のレーザスポット溶接装置を説明する概略図。
【図２１】  図２０の下ユニットを説明する図。
【図２２】  図２０の上ユニットを説明する図。
【図２３】  溶接時の状態と問題点を説明する図。
【符号の説明】
２，３，４      レーザスポット溶接装置
１１        Ｘ−Ｙステージ
１２        下ユニット
１３ａ      摺動孔
１３ｄ      底板
１３ｅ      レーザ入射孔
１３ｆ      下面
１４        レーザ・ガン
２１，２５，３１、４１        上ユニット
１２１      ベース板
１２２      ガイドポール
２１１      ユニット筐体
２１１ａ    フランジ
２１１ｂ    凹溝
２１１ｂ′  空間領域
２１１ｃ    微細孔
２１２      給気ブロック
２１２ａ    給気ポート
２１２ｂ    流気孔
２５１      ユニット筐体
２５１ａ    微細孔
３１１      ユニット筐体
３１１ａ    周壁
３１１ｂ    流気孔
３１１ｃ    給気ポート
３１１ｄ    凹の段差面
３１２      レーザ入射ブロック
３１２ａ    板状体
３１２ｂ    レーザ入射孔
３１２ｃ    先細状突起
３１２ｃ′  外面
３１５      レーザ入射ブロック
３１５ａ    微細孔
４１１      ユニット筐体
４１１ａ    微細粉付着膜
【図１】
0003812300.tif 000002
【図２】
0003812300.tif 000003
【図３】
0003812300.tif 000004
【図４】
0003812300.tif 000005
【図５】
0003812300.tif 000006
【図６】
0003812300.tif 000007
【図７】
0003812300.tif 000008
【図８】
0003812300.tif 000009
【図９】
0003812300.tif 000010
【図１０】
0003812300.tif 000011
【図１１】
0003812300.tif 000012
【図１２】
0003812300.tif 000013
【図１３】
0003812300.tif 000014
【図１４】
0003812300.tif 000015
【図１５】
0003812300.tif 000016
【図１６】
0003812300.tif 000017
【図１７】
0003812300.tif 000018
【図１８】
0003812300.tif 000019
【図１９】
0003812300.tif 000020
【図２０】
0003812300.tif 000021
【図２１】
0003812300.tif 000022
【図２２】
0003812300.tif 000023
【図２３】
0003812300.tif 000024