(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支柱の根元の周囲を支柱から距離を隔てて囲んでコンクリートを打ち込む空間を形成するように設けられた導体より成る根巻枠と、この根巻枠と支柱との間に打ち込まれた根巻コンクリートとを備え、根巻枠の内側と支柱とが導体棒で電気的に接続されて成ることを特徴とするクリーンルームの支柱根巻。
【請求項２】
支柱と床面の表面と根巻コンクリートの上面とに導電処理が施されており、導電処理された支柱の表面と床面の表面とが、導電処理された根巻コンクリートの上面及び導体の根巻枠を介して導通するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの支柱根巻。
【請求項３】
根巻枠の床側には、外側に突出して床側に傾斜する傾斜部が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のクリーンルームの支柱根巻。
【請求項４】
根巻コンクリートの上面は、支柱側から根巻枠側にかけて下方に傾斜するように形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のクリーンルームの支柱根巻。
【請求項５】
ガス発散の少ない導電性塗料等により上記導電処理が施されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のクリーンルームの支柱根巻。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造等に使用されるクリーンルームの支柱根巻に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場等のクリーンルームにおいては、床下エリアの床より設けられた鉄骨支柱でプロセスエリアの床を支えるようにしており、鉄骨支柱の根元側には根巻が設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のクリーンルームの根巻は、鉄骨支柱と導通されておらず、鉄骨支柱表面に帯電した電流をアースに逃しにくい。このため、鉄骨支柱の表面に電荷が溜りやすいので、半導体製造等においてトラブルの原因となるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係るクリーンルームの支柱根巻は、支柱の根元の周囲を支柱から距離を隔てて囲んでコンクリートを打ち込む空間を形成するように設けられた導体より成る根巻枠と、この根巻枠と支柱との間に打ち込まれた根巻コンクリートとを備え、根巻枠の内側と支柱とが導体棒で電気的に接続されて成る。
請求項２は、支柱と床面の表面と根巻コンクリートの上面とに導電処理が施されており、導電処理された支柱の表面と床面の表面とが、導電処理された根巻コンクリートの上面及び導体の根巻枠を介して導通するように構成した。
請求項３は、根巻枠の床側に、外側に突出して床側に傾斜する傾斜部を設けた。
請求項４は、根巻コンクリートの上面を、支柱側から根巻枠側にかけて下方に傾斜するように形成した。
請求項５は、ガス発散の少ない導電性塗料等により上記導電処理を施した。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づき説明する。まず、本実施の形態による根巻を採用する半導体製造工場のクリーンルームの概要を図４に基づいて説明する。クリーンルームは３層構造となっている。即ち、半導体製造や検査などに必要な精密機器が設置されるプロセスエリア１０と、床下エリア２０と、天井エリア３０とを備える。プロセスエリア１０の床は有孔床（グレーチング）１１となっており、プロセスエリア１０の天井は有孔天井１２となっている。天井エリア３０には、空調機３１と空気洗浄フィルタ３２が設けられている。プロセスエリア１０の横には空気循環空間１０Ａが設けられ、これにより、空気が空気洗浄フィルタ３２で浄化されて、矢示のように各エリア１０，２０，３０を循環する構造となっている。また、出入口４０と外部との間にはエアーシャワーが装備された前室が設けられており、クリーンルームへの入室者は前室で空気洗浄を行なった後にクリーンルーム内に入る。前室は、クリーンルーム側のドア４０ａと外部側のドアとで密閉空間となる。尚、４１は空気循環空間１０Ａとプロセスエリア１０との間の出入口、４１ａはこの出入口４１のドア、４２は鉄骨支柱、４３、４４は耐火被覆梁、４５は二重サッシュ窓、４６は廊下、４７は配線を収納する配線ピットである。尚、１は支柱根巻である。
【０００６】
次に、クリーンルームの支柱根巻１について図１〜図３に基づいて説明する。尚、図１は中心線Ｃを基準に右側に断面図、左側に正面図を表している。
支柱根巻１の施工方法は、まず、鉄骨支柱４２の根元の周囲を鉄骨支柱４２から距離を隔てて囲むように、ガルバリウム鋼板より成る根巻枠２を形成し、この根巻枠２をコンクリート床３に固定する。次に、根巻枠２の内面２ａと鉄骨支柱４２とを導体棒４で接続する。この接続は溶接等により行なって導体棒４を介して根巻枠２の内面２ａと鉄骨支柱４２とを電気的に接続させる。つまり、溶接等の手段で接触抵抗を介在させない電気導体的接続を行なう。そして、根巻枠２の内側に鉄筋を組み、根巻枠２と鉄骨支柱４２との間にコンクリートを打ち込むことにより支柱根巻１が形成される。尚、コンクリートが固まる前に、左官作業により、支柱根巻１の上部側が鉄骨支柱４２側から根巻枠２側にかけて下方に傾斜するようにコンクリートをならしておく。その後、放置して根巻コンクリート５が固まる。これにより、根巻コンクリート５の上面５ａは、鉄骨支柱４２側から根巻枠２側にかけて下方に傾斜するように形成される。尚、鉄骨支柱４２の表面には予めガス発散の少ない亜鉛メッキや導電性塗料等による導電処理層６を形成しておく。また、根巻コンクリート５の上面５ａにはガス発散の少ない導電性塗料を塗って導電処理層７を形成し、導電処理層７を介して根巻枠２の上端１ｔ側と鉄骨支柱４２の表面の導電処理層６とを導通させる。根巻枠２のコンクリート床３側には、図２に示すように、外側に突出してコンクリート床３側に傾斜する傾斜部８を備え、この傾斜部８より延長する固定部８ａがコンクリートビス９でコンクリート床３に固定される。そして、コンクリート床３の表面にはガス発散の少ない導電性塗料を塗って導電処理層５０を形成し、根巻枠２と導通させる。
【０００７】
以上の構成によれば、鉄骨支柱４２の表面の導電処理層６とコンクリート床３の表面の導電処理層５０とが、根巻コンクリート５の上面５ａに施された導電処理層７及び根巻枠２を介して導通するように構成されているので、例えば、上記コンクリートビス９にリード線をつないでアースすれば、鉄骨支柱４２，支柱根巻１，コンクリート床３の表面が均一電位となるので、鉄骨支柱４２，支柱根巻１，コンクリート床３の表面に帯電した帯電電流をアースに素早く逃がすことができ、帯電防止効果の優れた鉄骨支柱，支柱根巻，床が得られる。尚、鉄骨支柱，根巻，床の表面が導通していない場合は、鉄骨支柱，根巻，床の表面が均一電位とならないので、本実施の形態に比べて、鉄骨支柱，根巻，床の表面に帯電した帯電電流をアースに素早く逃がすことができず、本実施の形態のような帯電防止効果の優れた鉄骨支柱，根巻，床は得られない。
また、さらに導体棒４で鉄骨支柱４２と根巻枠２とを電気的に接続して確実に導通させているので、導電処理層７を介した導通が不完全でも上記効果が得られる。
また、静電気による埃の付着も防止でき、クリーンルームの埃汚染を少なくできる。
また、傾斜状に形成された根巻コンクリート５の上面５ａや、根巻枠２の床側に設けた傾斜部８を備えていない場合は、根巻枠下端と床との境目や鉄骨支柱と根巻コンクリートとの境目に埃たまりが生じ易く、また、清掃作業もやりにくくなるが、本実施の形態では、傾斜状に形成された根巻コンクリート５の上面５ａや根巻枠２の下端側に設けた傾斜部８を備えているので、根巻枠２の下端とコンクリート床３との間や鉄骨支柱４２と根巻コンクリート５との間に埃たまりが生じにくく、また、清掃作業も容易となる。
また、以上の帯電防止及び埃防止構造により、静電気スパークによる有機物反応により生じるガスの発生も防止でき、クリーンルーム内のガス汚染を少なくできる。
また、根巻コンクリート５の上面５ａ及びコンクリート床３の表面の導電処理層７，５０をガス発散の少ない導電性塗料を用いて形成しているので、導電処理層７，５０からのガス発散、及びコンクリートからのガス発生を抑えることができ、半導体製造においてトラブルの原因となるガスを抑えることができる。即ち、クリーンルームのガス汚染を少なくできる。
【０００８】
尚、図３に示すように、コンクリート床３の表面に導電性塩化ビニルシート５２等を貼り、傾斜部８を構成する導電性の巾木部材６０を、根巻枠２と導電性塩化ビニルシート５２とにビス９０で固定して根巻枠２と導電性塩化ビニルシート５２を導通させるようにしてもよい。尚、巾木部材６０もガルバリウム鋼板で形成することが望ましい。また、導電性塩化ビニルシート５２及び根巻枠２と巾木部材６０の境界部分にはガス発散の少ないシーリング剤８０でシーリング処理を施すことが望ましい。
【０００９】
また、上記では鉄骨支柱４２に適用する根巻について説明したが、本発明の根巻はコンクリート支柱にも適用できる。
【００１０】
【発明の効果】
本発明の請求項１の根巻によれば、導体棒で根巻枠と支柱とを電気的に接続したので、クリーンルームの支柱の帯電防止効果を高めることが可能となる。
請求項２によれば、支柱表面と根巻表面と床表面とを導通させたので、支柱，根巻，床の帯電防止効果を高めることが可能となる。
請求項３によれば、傾斜状に形成された根巻コンクリートの上面により、支柱と根巻コンクリートとの間に埃たまりが生じにくく、クリーンルームの埃汚染を少なくでき、また、清掃作業も容易となる。
請求項４によれば、根巻枠の床側に設けた傾斜部により、根巻枠下端と床とのの間に埃たまりが生じにくく、クリーンルームの埃汚染を少なくでき、また、清掃作業も容易となる。
請求項５によれば、クリーンルームのガス汚染を少なくできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態によるクリーンルームの根巻の一部断面正面図。
【図２】  実施の形態による根巻の床側の傾斜部の構造を示す断面図。
【図３】  実施の形態による根巻の床側の傾斜部の他の構造を示す断面図。
【図４】  実施の形態による根巻を採用するクリーンルームの概要を示す断面図。
【符号の説明】
１  根巻、２  根巻枠、３  コンクリート床、４  導体棒、５  根巻コンクリート、５ａ  根巻コンクリートの上面、６，７，５０  導電処理層、８  傾斜部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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