(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を水平移動する搬送装置に被洗浄物を垂直方向に取付けるローデング工程と、被洗浄物を水平移動させながら、温・熱風により予備加熱を行って汚染物を軟化させる予備加熱工程と、シャワー噴射ノズルから洗浄液を水平移動する被洗浄物に噴射すると共に、反射側からも洗浄液を噴出して被洗浄物の姿勢の崩れを防止しつつ洗浄を行う第１シャワー洗浄工程と、被洗浄物を洗浄液中に浸漬させてその浸漬中に多数の洗浄液噴射ノズルから洗浄液を噴射して洗浄を促進せしめ、反射側の多数のバックアップ噴出口からも洗浄液を噴出して被洗浄物の移動姿勢の崩れを防止しつつ更に超音波振動を印加して洗浄を行う洗浄工程と、シャワー噴射ノズルと対向するバックアップ噴射口とから洗浄液を噴出する第２シャワー洗浄工程と、送風により液切りを行う液切り工程と、リンス水で被洗浄物のリンスを行う第１シャワーリンス工程と、前記洗浄工程と同様手段にてリンス水でリンスを行うリンス工程と、第１シャワーリンス工程と同様手段の第２シャワーリンス工程と、液切り工程と、第１シャワーリンス工程と同様なシャワーリンス工程と、液切り工程と、温・熱風にて被洗浄物を乾燥させる乾燥工程とからなるシート状被洗浄物の洗浄方法。
【請求項２】
対向する温・熱風導壁の内部に温・熱風発生装置を設置し、温・熱風導壁の上部開口部の両側に被洗浄物を通過させる保熱壁を設けて予備加熱又は乾燥を行うことを特徴とする洗浄方法に用いる予備過熱装置。
【請求項３】
垂直方向に数個の洗浄液を噴射する洗浄液噴剤ノズルを水平方向に複数個設置し、水平方向にバックアップ噴射口を複数個設けたバックアップガイドを設けて被洗浄物の裏表面から洗浄液を噴出させることを特徴とするシャワー装置。
【請求項４】
洗浄液を充満し被洗浄物を浸漬させる浸漬洗浄槽を外層の内部に設置し、浸漬洗浄槽の内部に被洗浄物へ洗浄液を噴射する洗浄液ノズルを水平方向に複数個設けた噴射液導配管を設け、対向位置に被洗浄物へ洗浄液を噴出するバックアップ液噴出口を水平方向に複数個設けたバックアップ液導配管を設けたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
浸漬洗浄槽内に超音波振動子を設置したことを特徴とする請求項４記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はシート或いはシート状に形成された電子部品（以下被洗浄物という）の洗浄方法及びそれに用いる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
シート或はシート状に形成された被洗浄物は、ネット状の搬送コンベアー上に裸のまま或は固定治具に装着し、水平に並べて搬送しながら上面或いは上下面から洗浄液をシャワーして洗浄するか、複数個が収容出来るカゴ等に投入して洗浄液に浸漬し揺動を与えたりしながら行うバッチ式と言われる方法で主に洗浄していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ネット状の搬送コンベアー方式では、その構造から洗浄液はシャワーに頼るしか無く、シャワーを強力にすると被洗浄物が脱落したりダメージを受けるので、特別な固定治具等が必要であった。
【０００４】
又、複雑な形状をした被洗浄物は上記するシャワーだけでは洗浄効果が薄く、更に固定治具を使用すると固定治具の影ができ、一層洗浄効果が疎外され、完全洗浄が出来ないという問題があった。
【０００５】
又、シャワーにより効率的な洗浄を行う為には、複雑な形状をした被洗浄物であればあるほど、必要箇所に狙いを定めて集中的に洗浄液を放射することが必要であるが、ネット状の搬送コンベアー方式では、被洗浄物が蛇行したり、下面からの洗浄液の放射ではネットが邪魔をして、必要箇所に正確に放射出来ないという問題があった。
【０００６】
又、バッチ式においては、揺動による洗浄が主であり、たとえシャワーをしたり超音波を印加しても被洗浄物同志、或いはカゴの影等により長時間の洗浄が必要となってしまうが、被洗浄物である電子部品はその性格上、長時間超音波を放射する事が出来ないものもあり、この制約によって完全洗浄が出来ないという問題もあった。
【０００７】
又、ネット状の搬送コンベアー方式においても、バッチ式においても洗浄後の液切れが悪く、特殊な洗浄液を使用する場合は液の持ち出しが多く、ランニングコストが高くなるとともに、完全乾燥が出来にくく、乾燥に長時間を要するという問題があった。
【０００８】
さらに、バッチ式は言うに及ばず、ネット状の搬送コンベアー方式に於いても裸のまま、或いは固定治具による搬送の為、被洗浄物の簡単で正確な着脱が難しく、自動化、インライン化が困難であるという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決する為に、従来方式に変わる搬送方法により、多様な洗浄方式が採用出来、洗浄効果が良好で、液切れが良く、ランニングコストを低減して、しかも自動化・インライン化が容易な洗浄方法と装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記課題を解決するために、水平移動する搬送装置に被洗浄物を垂直方向に取付けるローデング工程と、被洗浄物を水平移動させながら温・熱風により予備加熱を行って汚染物を軟化させる予備加熱工程と、シャワー噴射ノズルから洗浄液を水平移動する被洗浄物に噴射すると共に反射側からも洗浄液を噴出して被洗浄物の姿勢の崩れを防止しつつ洗浄を行う第１シャワー洗浄工程と、被洗浄物を洗浄液中に浸漬させ、その浸漬中に多数の洗浄液噴射ノズルから洗浄液を噴射し洗浄を促進せしめ、反射側の多数のバックアップ噴出口からも洗浄液を噴出して被洗浄物の移動姿勢の崩れを防止しつつ、更に超音波振動を印加して洗浄を行う洗浄工程と、シャワー噴射ノズルと対向するバックアップ噴射口とから洗浄液を噴出する第２シャワー洗浄工程と、送風により液切りを行う液切り工程と、リンス水で被洗浄物のリンスを行う第１シャワーリンス工程と、前記洗浄工程と同様手段にてリンス水でリンスを行うリンス工程と、第１シャワーリンス工程と同様手段の第２シャワーリンス工程と、液切り工程と、第１シャワーリンス工程と同様なシャワーリンス工程と、液切り工程と、温・熱風にて被洗浄物を乾燥させる乾燥工程とによってシート状被洗浄物の洗浄を行う様にした。
【００１１】
又、対向する温・熱風導壁の内部に温・熱風発生装置を設置し、温・熱風導壁の上部開口部の両側に被洗浄物を通過させる保熱壁を設けて予備加熱又は乾燥を行う様にした。
【００１２】
更に、垂直方向に数個の洗浄液を噴射する洗浄液噴射ノズルを水平方向に複数個設置し、水平方向にバックアップ噴射口を複数個設けたバックアップガイドを設けて被洗浄物の裏表面から洗浄液を噴出させる様にした。
【００１３】
更に又、洗浄液を充満させ被洗浄物を浸漬させる浸漬洗浄槽を外層の内部に設置し、浸漬洗浄槽の内部に被洗浄物に洗浄液を噴射する洗浄液ノズルを水平方向に複数個設けた噴射液導配管を設け、対向位置に被洗浄物に洗浄液を噴出するバックアップ液噴出口を水平方向に複数個設け、浸漬洗浄槽内に超音波振動子を設置して洗浄装置を構成する様にした。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
まず、本発明の洗浄手段に用いる搬送装置１を説明すると、搬送装置１は被洗浄物２を搬送する移動装置３と被洗浄物２を保持する保持装置４とから構成されている。
【００１５】
保持装置４は方形をした取付板５に被洗浄物２を支持するための保持部材６を複数列に取付けるスリット７，８，９を垂直方向の３箇所に設けている。保持部材６はコイルスプリングで形成し、巻状部１０の一部を中央のスリット８に挿入し、上端の係持部１１を上側のスリット７に挿入して取付板５の反対面に係止し、下端の挾持部１２を下側のスリット９に挿入して反対側に係止する。
【００１６】
なお、中央のスリット８は保持部材６の巻状に合せて傾斜させ、上下のスリット７，９は垂直線上ではなく位置をずらせることにより、上下の係止部１１と挾持部１２とを一直線上に位置させる。
又、挾持部１２の下端は取付板５の下端に設けた下方を開放した幅広の挾持用スリット１３内に位置するようになっている。
そして、２枚の取付板５の上端を１枚のワーク受けベース１４に２本のボルト１５，１５で夫々固定している。
【００１７】
一方、移動装置３はローラチェーン１６で構成し、図示を省略したスプロケットホイルを駆動させることにより、移動できるようになっている。
そして、ローラチェーン１６は隣り合うローラ１７，１７（図１，図３参照）をリンクプレート１８，１８´で挾持し、リンクピン１９で連結する。そして、他方の隣り合うローラ１７，１７はリンクプレート１８，１８´にリンクプレート２０，２０´を重ねるようにして連結する。この際、下側に位置するリングプレート２０´の連結部を除いて下方にＬ字形を形成するように突出させて固定部２１を形成する。
【００１８】
又、前記ワーク受ベース１４を中央上端２箇所において取付ピン２２，２２を介して一つの固定部２１に固定する。即ち、図２に示すように、２個のボルト２３，２３で取付ピン２２，２２にワーク受ベース１４を固定する。
一方、固定部２１の反ワーク受ベース１４側に２個の軸２４，２４を位置させ、軸２４，２４に夫々座金２を介してボルト２６を挿通し、このボルト２６，２６を夫々固定部２１に挿通して先端を取付ピン２２，２２に螺合することにより、ワーク受ベース１４を固定部２１に固定する。
尚、軸２４，２４の外側にはローラ２７を嵌合することにより、ローラ２７が自由に回転するように形成している。
【００１９】
又、前記ワーク受ベース１４を固定した固定部２１の両側に位置した固定部２１，２１のボルト２３，２３側にガイドピン２８，２８を突設し、ガイドピン２８，２８の先端に小径の突出部２９，２９を設け、ワーク受ベース１４の両側に、嵌入溝３０，３０を水平に設けて突出部２９，２９を嵌入して（図４参照）ワーク受ベース１４を固定するようになっている。
尚、ガイドピン２８，２８はローラチェーン３がスプロケットホイル（図示省略）と噛み合って回転する際に、ワーク受ベース１４から離れて、ワーク受ベース１４に曲り等の変形を起こさないようにしている。
又、被洗浄物２は取付板５と保持部材６の挾持部１２との間に挾持され、垂直状体で移動するようになっている。
【００２０】
次に、被洗浄物２を洗浄する洗浄装置３１を図５，図６に基いて説明する。大きな外槽３２の内部には浸漬洗浄槽３３を設置する。この浸漬洗浄槽３３は被洗浄物２の進行方向の前後壁に夫々開口部３４，３４を設けて、洗浄液を充満させている。
そして、浸漬洗浄槽３３の内部両側に洗浄液供給ノズル３５，３５を設け、浸漬洗浄液供給口３６，３６から夫々洗浄液を浸漬洗浄槽３３内に供給するようになっている。
【００２１】
又、浸漬洗浄槽３３の内部で被洗浄物２の進行方向に沿う一方に、噴射液導配管３７を設け、両端を洗浄噴射液供給口３８，３８に連結する立上り管３９，３９に接続して、洗浄液を供給するようになっている。そして、噴射液導配管３７に多数の洗浄液ノズル４０，４０，…を被洗浄物２に向かって開口している。
【００２２】
又、立上り管３９と対向する位置に、バックアップガイド４１を設置する。バックアップガイド１４は両側をブラケット４２，４２で支持され、内部に液孔４３を水平に設け、液孔４３に連通するバックアップ液噴出口４４，４４，…を多数被洗浄物２に向って開口している。
そして、上下の液孔４３の両端部に上下の液孔４３，４３に連通する導入孔４５，４５を設けて夫々バックアップ液導配管４６，４６及びバックアップ供給口４７，４７と連通させ、バックアップ液噴射口５９，５９，…からバックアップ液を被洗浄物２に向かって噴射させるようになってる。
尚、図６中４８，４８は液孔４３，４３の両端を密閉する盲栓である。
【００２３】
又、浸漬洗浄槽３３の内部には両側に超音波振動子４９，４９を設置して洗浄液に超音波振動を印加するようになっている。
又、図６中５０は外槽３２の蓋である。
【００２４】
次に、シャワー装置５１を図７に基いて説明する。外槽３２の内部に被洗浄物２の進行方向に沿って複数本のシャワー液導配管５２を垂直に設置し、底壁５３に設けた各シャワー液供給口５４に連通させる。そして、各シャワー液導配管５２の上部に被洗浄物２側に向って開口するシャワー噴射ノズル５５，５５，５５を垂直方向の３個所に設ける。
【００２５】
又、各シャワー液配管５２の対向位置には洗浄装置３１に用いたバックアップ手段を設けている。即ち、シャワー噴射ノズル５５，…と対向する位置に、被洗浄物２の進行方向に向かって細長いバックアップガイド５６を、その両側に位置したブラケット５７で底壁５３に設置している。このバックアップガイド５６は上下に液孔５８，５８を水平に設け、被洗浄物２に向ってバックアップ液を噴射するバックアップ液噴出口５９，５９を多数開口している。
【００２６】
又、上下の液孔５８，５８には両側に設けたバックアップ液導配管６０と連通する導入孔６１を設け、バックアップ液導配管６０を底壁５３に取付けたバックアップ液供給口６２と連通させて前記バックアップ液噴出口５９，５９，…から被洗浄物２に向ってバックアップ液を噴射するようになっている。
【００２７】
次に、予備加熱装置６３を図８に基いて説明すると、外槽３２の外側にベース６４を設け、このベース６４の下面に支え板６５を固定してベース６４を貫通している温・熱風発生器６６を支持している。
この温・熱風発生器６６はベース６４に固定したカバー６７の内部に位置し、カバー６７の内部両側に導入孔６８を開口するように温・熱風導壁６９，６９を対向して設け、温・熱風導壁６９，６９の上面に被洗浄物２を覆うように保熱壁７０，７０を対向して設けている。
又、温・熱風発生器６６の近傍に位置する温度センサー７１を、カバー６９及び温・熱風発生器６６を貫通させて取付けている。
【００２８】
前記装置を用いて洗浄を行う方法について説明すると、図９に示すローデング工程７２において、保持部材６の挾持部１２と取付板５との間に空間を設け、その間に被洗浄物２の上端を挿入し、各保持部材６の挾持部１２と取付板５とで、保持部材６の巻状部１０による弾発力で被洗浄物２を懸垂状態で挾持する。
尚、１枚の被洗浄物２は図１に示すように２枚の取付板５，５で保持されている。
そして、取付完了後に搬送装置１を連続的に或は間欠的に水平移動させて予備加熱工程を行う予備加熱装置６３に送る。
【００２９】
この予備加熱装置６３において、図示を省略した送風機から送られる空気を温・熱風発生器６６により温風或は熱風に変換し、温度センサー７１により好適な温度に調節し、熱風等を保熱壁７０，７０内に送って被洗浄物２を加熱する。
この予備加熱装置６３においては、例えば、フラックスのように加熱後の冷却や経時により固化する性質をもつ汚染物を軟化させて次工程の第１シャワー洗浄工程に送る。
【００３０】
第１シャワー洗浄工程においてはシャワー装置５１により洗浄される。即ち、図７に示すように、移動する被洗浄物２にシャワー液噴射ノズル５５，５５，…から洗浄液を噴射して前の工程において軟化した汚染物を洗浄除去すると同時に、複雑な形状や狭隙部分を持つ被洗浄物２を荒洗浄する。
この洗浄の際に、バックアップ液噴出口５９，５９，…からシャワー液と同質の液を噴出させてバックアップすることにより、被洗浄物２がシャワー液の噴出による衝撃で姿勢が崩れるのを防止して円滑に通過させるようになっている。
尚、前記洗浄液には洗浄効果を促進するために種々の界面活性剤が混入されている。
【００３１】
荒洗浄を行った被洗浄物２は浸漬、超音波噴射洗浄を行う洗浄工程に送られる。この洗浄工程においては図５，図６に示す洗浄装置３１を用いる。
被洗浄物２は搬送装置１の連続又は間欠移動により浸漬洗浄槽３３内を通過する際に、洗浄液中に浸漬させる。この浸漬洗浄槽３３内においては、多数の洗浄液ノズル４０，４０，…から洗浄液を被洗浄物２に噴射して洗浄を行う。この際に、バックアップ液噴出口４４，４４，…から洗浄液を噴出させて、洗浄液ノズル４０，４０，…から洗浄液を噴出させて、洗浄液ノズル４０，４０，…から洗浄液の衝撃により被洗浄物２の姿勢が崩れないようにして円滑に移動させながら洗浄を行う。
【００３２】
又、超音波振動子４９，４９の超音波振動によって洗浄効果をなお一層向上させる。そして洗浄を行った洗浄液は開口部３３からオーバーフローして外槽３２に流れ、図示を省略した貯液槽に回収され、循環使用される。
【００３３】
次の第２シャワー工程においては、前記シャワー装置５１と同様な装置を用い、同じ作用即ち、シャワー液噴射ノズル５５，５５…から洗浄液を噴射し、バックアップ液噴射口５９，５９，…から噴出した洗浄液により、衝撃による被洗浄物２の姿勢の崩れを防止しつつ、被洗浄物２の洗浄しにくい部分を集中的に洗浄する。
【００３４】
更に、被洗浄物は次工程の液切り工程７３に送られ、図示を省略した送風機による送風又は圧縮空気の噴射等により液切りを行う。
【００３５】
液切り後は、第１シャワーリンス工程に送られる。この工程においては、シャワー装置５１と同様なシャワーリンス装置５１´（図７参照）が用いられ、このシャワーリンスに使用するリンス水は昇温された水、好ましくは純水が用いられている。このリンス水を、シャワー噴射ノズル５５，５５…から被洗浄物２に向って噴射してリンスを行う。この際にバックアップ噴出口５９，５９，…からリンス水を被洗浄物２に向って噴射し、被洗浄物２が垂直姿勢を崩すのを防止し、被洗浄物２に垂直移動を円滑に行わせながらリンスするようになっている。
【００３６】
その後、次のリンス工程であるリンス装置３１´に送られる。リンス装置３１´は図５，図６に示す洗浄装置３１と同様な装置なので、洗浄装置３１を用いて説明する。
このリンス装置３１´においては、リンス水を充満させた浸漬洗浄槽３３内に被洗浄物２を連続又は間欠的に移動させ、リンス水中を移動させる際に、多数の洗浄液ノズル４０，４０，…からリンス水を噴射してリンスを促進する。この際にバックアップ液噴出口４４，４４，…からリンス水を噴出して被洗浄物２の姿勢が崩れるのを防止する。
又、超音波振動子４９，４９を作動させてリンス水に超音波振動を与えてリンス効果の向上を図っている。
【００３７】
その後、被洗浄物２を洗浄装置３１と同様な構成による第２シャワーリンス工程である第２シャワーリンス装置５１´に送ってシャワーリンスを行い、液切り工程７３´にて送風により液切りを行い、次の仕上げシャワーリンス工程５１´に送る。
【００３８】
仕上げシャワーリンス工程５１″においてはシャワー装置５１と同様なシャワーリンス装置５１″を用い、シャワー噴射ノズル５５，５５，…から昇温された水、好ましくは純水であるリンス水を噴射して被洗浄物２に付着している洗浄液液を洗い流してリンスを行う。
この際、バックアップ噴射口５９，５９，…からリンス水を被洗浄物２の対向位置に噴出させて、被洗浄物２の移動姿勢の崩れを防止している。
【００３９】
次に、次工程の液切り工程７３″に送って送風にて被洗浄物２に付着しているリンス水の液切りを行い、次の乾燥装置６３´に送る。
【００４０】
乾燥装置６３´は前記予備加熱装置６３と同様な装置なので、この予備加熱装置６３（図８参照）を用いて説明する。
被洗浄物２は対向する保熱壁７０，７０間を通過し、その間に温・熱風発生器６６で発生した温・熱風が吹付けられて乾燥し、次工程のアンローディング工程７４に送られる。
【００４１】
アンローディング工程においては、各保持部材６の挾持部１２を開いて取付板５との間に間隙を形成して被洗浄物２を除去し、所定の位置へ移動させ、洗浄を完了する。
【００４２】
【発明の効果】
本発明は前記のような構成、作用を有するから、予備加熱装置には、例えばフラックス等の固化した汚染物を加熱することにより軟化させ、洗浄液の噴射による洗浄効果を高めて短時間で完全洗浄を行なうための補助手段として有効である。
【００４３】
又、シャワー装置はシャワー噴射ノズルから垂直状態にある被洗浄物に洗浄液を噴射するので、噴射の影となる部分はほとんどなく、必要個所に狙いを定めて洗浄液を噴射して洗浄効果を高めることができる。
【００４４】
又、噴射による洗浄の際に、反射側から洗浄液を噴出して被洗浄物の姿勢の崩れを防止しているの垂直状態を保持しつつ洗浄を行うことができる。
【００４５】
洗浄装置においては、被洗浄物を洗浄液中に浸漬させ、その状態において洗浄液をノズルから噴射し、更に反対側から洗浄液を噴出させて姿勢の崩れを防止するとともに洗浄効果を促進させ、更に超音波振動を与えることにより、更に洗浄効果を促進させることができる。
【００４６】
更に又、シャワー工程、洗浄工程等の全ての工程を水平移動する搬送装置に、被洗浄物は垂直状態で保持されているので、挾持部分以外には遮蔽物がなく、洗浄液及びリンス水等を全ての箇所に噴射することができるので短時間で効率的な洗浄を行うことができる、等すぐれた効果を有し、極めて実用的なものである。
【００４７】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る搬送装置の正面図
【図２】その一部を切欠いた側面図。
【図３】その平面図。
【図４】取付板とガイドピンとの関係を示す側面図。
【図５】洗浄装置の一部を切欠いた平面図。
【図６】その縦側面図。
【図７】シャワー装置の一部を切断した側面図。
【図８】予備加熱装置の縦断面図。
【図９】洗浄方法の工程を示す模式図。
【符号の説明】
１            搬送装置
２            被洗浄物
３            移動装置
４            保持装置
５            取付板
６            保持部材
７            スリット
８            スリット
９            スリット
１０            巻状部
１１            係止部
１２            挾持部
１３            挾持用スリツト
１４            ワーク受けベース
１５            ボルト
１６            ローラチェーン
１７            ローラ
１８            リンクプレート
１８´          リンクプレート
１９            リンクピン
２０            リンクプレート
２０´          リンクプレート
２１            固定部
２２            取付ピン
２３            ボルト
２４            軸
２５            座金
２６            ボルト
２７            ローラ
２８            ガイドピン
２９            突出部
３０            嵌入溝
３１            洗浄装置
３２            外槽
３３            浸漬洗浄槽
３４            開口部
３５            洗浄液供給ノズル
３６            浸漬洗浄液供給口
３７            噴射液導配管
３８            洗浄噴射液供給口
３９            立上り管
４０            洗浄液ノズル
４１            バックアップガイド
４２            ブラケット
４３            液孔
４４            バックアップ液噴射口
４５            導入孔
４６            バックアップ液導配管
４７            バックアップ液供給口
４８            盲栓
４９            超音波振動子
５０            蓋
５１            シャワー装置
５１´          シャワーリンス装置
５１″          シャワーリンス装置
５２            シャワー液導配管
５３            底壁
５４            シャワー液供給口
５５            シャワー噴射ノズル
５６            バックアップガイド
５７            ブラケット
５８            液孔
５９            バックアップ液噴出口
６０            バックアップ液導配管
６１            導入孔
６２            バックアップ液供給口
６３            予備加熱装置
６３´          乾燥装置
６４            ベース
６５            支え板
６６            カバー
６７            導入孔
６９            温・熱風導壁
７０            保熱壁
７１            温度センサー
７２            ローデング工程
７３            液切り工程
７３´          液切り工程
７３″          液切り工程
７４            アンローデング工程
【図１】
0003813298.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
0003813298.tif 000005
【図５】
0003813298.tif 000006
【図６】
0003813298.tif 000007
【図７】
0003813298.tif 000008
【図８】
0003813298.tif 000009
【図９】
0003813298.tif 000010