(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準抵抗部分と、抵抗素子と前記抵抗素子と並列に接続された前記抵抗素子をトリミングする為のヒューズとからなる抵抗部と、を有し、前記基準抵抗部分の周囲に、前記抵抗素子が前記基準抵抗部分に隣接するように抵抗値の大きい前記抵抗素子から順番に、上下左右あるいは左右上下に並べて配置されていることを特徴とする抵抗回路。
【請求項２】
基準抵抗部分と、定まった抵抗値を有する抵抗を組み合わせた抵抗素子と前記抵抗素子と並列に接続された前記抵抗素子をトリミングする為のヒューズとからなる抵抗部と、を有し、前記基準抵抗部分の周囲に、前記抵抗素子が前記基準抵抗部分に隣接するように抵抗値の大きい前記抵抗素子から順番に、上下左右あるいは左右上下に並べて配置されていることを特徴とする抵抗回路。
【請求項３】
基準抵抗部分と、定まった抵抗値を有する抵抗を組み合わせた抵抗素子と前記抵抗素子と並列に接続された前記抵抗素子をトリミングする為のヒューズとからなる抵抗部と、を有し、前記基準抵抗部分の周囲に、均等に分割された前記抵抗素子が前記基準抵抗部分に隣接するように抵抗値の大きい前記抵抗素子から順番に、上下左右あるいは左右上下に並べて配置されていることを特徴とする抵抗回路。
【請求項４】
前記抵抗体はポリシリコンより形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか1項に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路に用いる抵抗回路、特に分圧回路部作成のためのレイアウト配置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路に用いる図２のような端子Aと端子Cとの電圧を分割する分圧回路部分は、図２のように基準抵抗部分Ｒｒｅｆと所望の値を調整できる数個の要素からなる抵抗部、この所望の抵抗値を決定するために用いる抵抗部数個と同数のトリミングできるヒューズで構成されている。ここで、端子AC間の電圧をV、端子ＡＢ間の電圧をＶＡＢ、端子ＡＢ間にある基準抵抗部の抵抗をＲｒｅｆ、端子BC間の電圧をＶＢＣ、端子ＢＣ間の抵抗をRBCとすると、端子AC間を分圧した電圧ＶＡＢとＶＢＣはそれぞれ次式で表される。
【０００３】
ＶＡＢ＝Ｖ・Ｒｒｅｆ／（Ｒｒｅｆ＋ＲＢＣ）
ＶＢＣ＝Ｖ・ＲＢＣ／（Ｒｒｅｆ＋ＲＢＣ）
と表される。AC端子間電圧VはＶＡＢ対ＶＢＣと分圧されるので上式よりABとBC間の電圧は、抵抗比Ｒｒｅｆ対RBCで分圧することが可能である。所望の値を要求する端子BC間の抵抗値は以下のとおりである。一般に抵抗のトリミングでは、端子BC間の抵抗値をある所望の値に合わせ込む。ここでは、トリミング素子F1〜F4が直列に接続されており、各トリミング素子と並列に抵抗R1〜R4が接続されている。ここで、トリミング素子F1,F2,F3,F4の抵抗値をそれぞれRF1,RF2,RF3,RF4とする。トリミング素子F1と抵抗R1の並列抵抗値をRF1//R１とすれば、端子BC間の抵抗値は（RF1//R１）＋（RF2//R2）＋（RF3//R3）＋（RF4//R4）で与えられる。また一般的にトリミング素子F1〜F4の抵抗値RF1〜RF4は、抵抗R1〜R4の抵抗値に比べて無視できるほど小さい。従ってトリミング素子をカットしない状態では端子BC間の抵抗値は、RF1＋RF2＋RF3＋RF4となる。ここで、トリミング素子F1をカットすると端子BC間の抵抗はR1＋RF2＋RF3+RF4となるが、R1に比較してRF2,RF3,RF4は無視できるほど小さいので端子BC間の抵抗値は、ほぼR1となる。
【０００４】
また、トリミング素子のF1とF2をカットすれば端子BC間の抵抗値はR1+R2+RF3+RF4となるが、R1＋R2に比較してRF3＋RF4は無視できるほど小さいので端子BC間の抵抗値はR1＋R2となる。従って、トリミング素子F1〜F4を任意にカットすることで端子BC間の抵抗値を所望の値に調節することが可能である。以上述べた分圧回路の作成過程におけるレイアウトパターン配置は考慮されていない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
半導体集積回路の抵抗部分は、トランジスタ、高抵抗ポリシリコン、拡散などで作られている。ここでは一例として高抵抗ポリシリコンで示す。高抵抗ポリシリコンはイオン注入によって作製し、抵抗値は抵抗素子の面積で設定することができるが、イオン注入には不均一性があり、この不均一性がチップの面内バラツキとして現れるので、面内全体に高精度で均一な抵抗値を実現することは困難である。
【０００６】
分圧回路は基準抵抗部と所望の値の抵抗部との抵抗比で決定されるが、従来のようにレイアウト配置を考慮しないで基準抵抗部と所望の値の抵抗部分がチップ内で離れて配置された場合、大きな抵抗値誤差を生む要因であった。このイオン注入の不均一性による抵抗値の面内バラツキの影響が抵抗比誤差として現れてくるので、高精度な分圧回路の実現が困難である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は半導体集積回路に用いる分圧回路のレイアウトパターン配置において、基準抵抗部分の周囲に抵抗値の一番大きい要素から順番に並べて配置することを特徴とするものである。
【０００８】
即ち、抵抗回路は、基準抵抗部分と、抵抗素子と前記抵抗素子と並列に接続された前記抵抗素子をトリミングする為のヒューズとからなる抵抗部と、を有し、前記基準抵抗部分の周囲に、前記抵抗素子が前記基準抵抗部分に隣接するように抵抗値の大きい前記抵抗素子から順番に並べて配置されている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の分圧回路に用いる抵抗素子のレイアウトパターン配置は、基準抵抗の周囲に抵抗値の大きい要素から並べて配置したものである。
【００１０】
【実施例】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１(a)は本発明第１の実施例の抵抗素子のレイアウトパターン配置である。基準抵抗の左右に、所望の値を調整できる数個の要素から成る抵抗部分のうち値の一番大きい要素から順番で並べて配置する。図１(a)〜(f)においてＲｒｅｆは基準抵抗部、R1、R2、R3、R4は図２における回路図の端子BC間の抵抗要素である。端子BC間の抵抗要素の大小関係はR1≦R2≦R3≦R4である。
【００１１】
図２の回路図に対応した抵抗素子の実際のレイアウトパターンを図３に示す。ここでは一例として高抵抗ポリシリコンで示している。図３において高抵抗ポリシリコン１は金属配線２で配線しており、コンタクト３で高抵抗ポリシリコンと金属配線を接続している。
【００１２】
高抵抗ポリシリコンの長さＬ及び高抵抗ポリシリコンの幅Ｗで決められる面積によって抵抗素子の抵抗値は設定される。設定された任意の抵抗値Rを持った図３（ａ）のような１本の高抵抗ポリシリコン抵抗素子を、例えば、金属配線で任意の本数を直列または並列に接続して所望の抵抗値を作ることができる。例えば、図３（ｂ）は任意の抵抗Rを直列に２本つないでおり抵抗値R2となる。図３（ｃ）は直列に４本つないでおり抵抗値R4となる。また、図３（ｄ）は任意の抵抗Rを並列につないでおり抵抗値R/２となる。図３（ｄ）は並列に４本つないでおり抵抗値はR/４となる。ここで、金属配線の抵抗値は高抵抗ポリシリコンの抵抗値に比べて無視できるほど小さい。
【００１３】
このように作られた各抵抗要素に並列にトリミング素子が金属配線で接続されており、分圧回路が図２の回路図ように構成されている。
図１（ｂ）、（ｃ）は、本発明第２の実施例で、抵抗素子のレイアウトパターン配置である。
基準抵抗部分の周囲に抵抗値の一番大きい要素から上下左右及び左右上下順番に並べて配置することを特徴とする。
【００１４】
図１（d）は本発明第３の実施例で、抵抗素子のレイアウトパターン配置である。基準抵抗部分の周囲に所望の値を調整できる数個の異なる値を持つ要素からなる抵抗部を均等に分割したものを抵抗値の一番大きい要素から上下左右順番に並べて配置することを特徴とする。
【００１５】
例えば、各抵抗値を４・Ｒｒｅｆ＝４・Ｒ１＝２・Ｒ２＝４／３・Ｒ３＝Ｒ４とする。さらにレイアウトパターン配置においてＲｒｅｆとR1を図３（ａ）、又は図３（ｄ）を２つ直列に接続したものと考えると、Ｒ２は図３（ｂ）、R3は図３(a)と図３(b)の直列接続、R4は図３(c)にそれぞれ対応している。また、図３(a)のような基準としてある高抵抗ポリシリコン１本を金属配線で接続し図３(b)〜(e)のように希望の抵抗を作っているので、図３（ｂ）〜（ｅ）は高抵抗ポリシリコンが離れたところに分割配置されていても金属配線で接続することで希望の抵抗を作ることが可能である。
【００１６】
図１（ｅ），（ｆ）は本発明第４の実施例で、抵抗素子のレイアウトパターン配置である。基準抵抗部分の周囲に所望の値を調整できる数個の異なる値を持つ要素からなる抵抗部を均等に分割したものを抵抗値の一番大きい要素から上下左右及び左右上下順番に並べて配置することを特徴とする。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果がある。基準抵抗と基準抵抗からの比で決定される所望の抵抗値との比が精度良く作ることができる。これにより、不良発生率が減少されコスト削減につながる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の分圧回路における抵抗部全体のレイアウトパターン配置図である。
【図２】図１に示したレイアウトパターン配置に対する分圧回路全体の回路図である。
【図３】図１に示した抵抗部分の実際のレイアウトパターン図の例である。
【符号の説明】
１  高抵抗ポリシリコン
２  金属配線
３  コンタクト
L  高抵抗ポリシリコンの長さ
Ｗ  高抵抗ポリシリコンの幅
【図１】
0003787591.tif 000002
【図２】
0003787591.tif 000003
【図３】
0003787591.tif 000004