(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料板の厚さ方向に対向する両表面近くに、その厚さ方向とほぼ直交する面方向に間隔をおいた複数の分極用電極を形成する工程と、
前記圧電材料板に形成された前記分極用電極に電圧を印加することにより、前記圧電材料板を、前記面方向にほぼ平行に分極する工程と、
前記圧電材料板の分極後に、前記圧電材料板を前記圧電材料板の片側または両側から研磨して前記分極用電極の少なくとも一部を除去する工程と、
前記分極用電極の少なくとも一部を除去する工程の後に、前記圧電材料板の両表面に前記圧電材料板の前記分極部分に対して電界をかけるための駆動用電極を形成する工程と
を備えることを特徴とする圧電トランスデューサの製造方法。
【請求項２】
前記駆動用電極は、前記分極部分を挟む位置の前記圧電材料板の両表面に形成することを特徴とする請求項１に記載の圧電トランスデューサの製造方法。
【請求項３】
前記駆動用電極は、前記分極用電極を除去した部分を含む前記圧電材料板の両表面に形成することを特徴とする請求項２に記載の圧電トランスデューサの製造方法。
【請求項４】
前記圧電材料板を構成する複数のシート状材料を形成する工程と、その複数のシート状材料を積層する工程と、その積層体を焼成する工程とをさらに備え、
前記分極用電極を形成する工程は、前記複数のシート状材料のうち前記圧電材料板の表面近くに位置するシート状材料に形成するものであることを特徴とする請求項１に記載の圧電トランスデューサの製造方法。
【請求項５】
前記積層する工程は、前記分極用電極を形成したシート状材料の外側にさらにシート状材料を積層する工程を含み、
前記分極用電極の除去工程は、前記外側に積層したシート状材料を前記分極用電極とともに除去することを特徴とする請求項４に記載の圧電トランスデューサの製造方法。
【請求項６】
前記分極用電極を除去する工程は、すべての前記分極用電極を除去することを特徴とする請求項１に記載の圧電トランスデューサの製造方法。
【請求項７】
前記分極用電極を除去する工程は、前記圧電材料板の一方の表面近くの前記分極用電極を除去し、他方の表面近くの前記分極用電極を残すことを特徴とする請求項１に記載の圧電トランスデューサの製造方法。
【請求項８】
圧電材料板が複数の液室について共通に用いられ、前記圧電材料板の厚さ方向の変形を利用して前記複数の液室のそれぞれの容積を変化させることにより前記液室内の液体を噴射する液滴噴射装置の製造方法において、
前記圧電材料板の各液室に対応する位置において厚さ方向に対向する両表面近くに、その厚さ方向とほぼ直交する面方向に間隔をおいた複数の分極用電極を形成する工程と、
前記圧電材料板に形成された前記分極用電極に電圧を印加することにより、前記圧電材料板を、前記面方向にほぼ平行に分極する工程と、
前記圧電材料板の分極後に、前記圧電材料板を前記圧電材料板の片側または両側から研磨して前記分極用電極の少なくとも一部を除去する工程と、
前記分極用電極の少なくとも一部を除去する工程の後に、前記圧電材料板の両表面に前記圧電材料板の前記分極部分に対して電界をかけるための駆動用電極を前記液室に対応する位置に形成する工程と
を備えることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。
【請求項９】
前記圧電材料板の一方の表面近くの分極用電極は、前記液室の中央に対応する位置に形成することを特徴とする請求項８に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項１０】
前記圧電材料板の他方の表面近くの分極用電極は、前記液室の外周に対応する位置に形成することを特徴とする請求項９に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電トランスデューサおよび液滴噴射装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットタイプのプリンタに用いられるインクジェットヘッドとして、圧電トランスデューサを用いたものが知られている。このようなインクジェットヘッドでは、インク液室を覆う壁部に圧電材料からなる板状の部材（圧電材料板）を使用する。この圧電材料板に駆動電圧を印加することにより上記壁部を変形させ、インク液室内のインク圧力を変動させる。これにより、インク液室に連続するノズルからインクを吐出するものである。
【０００３】
このような圧電材料板を駆動変形させるモードとして、通常、ダイレクトモードと、シェアーモードとがある。ダイレクトモードでは、駆動電圧の印加にともなう駆動電界の方向は圧電材料板の分極方向に沿った方向であり、圧電材料板の分極方向に沿った伸縮変形を利用する。シェアーモードでは、上記駆動電界の方向と圧電材料板の分極方向とが略直交し、圧電材料板のせん断方向の変形を利用する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
これらのモードのうち、とくにシェアモードでは通常、各インク液室に対して繰り返しパターンとなるように分極の向きが頻繁に変化する構成が採用される。このため、分極工程が煩雑なものとなりがちである。また、分極工程を容易なものとするため、分極に利用する電極をあらかじめ圧電材料板内に形成しておく方法も考えられるが、この場合には、圧電材料板内の電極によりインク液室間のクロストークの原因となる可能性がある。
【０００５】
本発明は、分極工程が煩雑とならず、しかも性能面での悪影響を与えることがない圧電トランスデューサおよび液滴噴射装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の圧電トランスデューサの製造方法は、圧電材料板の厚さ方向に対向する両表面近くに、その厚さ方向とほぼ直交する面方向に間隔をおいた複数の分極用電極を形成する工程と、前記圧電材料板に形成された前記分極用電極に電圧を印加することにより、前記圧電材料板を、前記面方向にほぼ平行に分極する工程と、前記圧電材料板の分極後に、前記圧電材料板を前記圧電材料板の片側または両側から研磨して前記分極用電極の少なくとも一部を除去する工程と、前記分極用電極の少なくとも一部を除去する工程の後に、前記圧電材料板の両表面に前記圧電材料板の前記分極部分に対して電界をかけるための駆動用電極を形成する工程とを備えることを特徴とする。
【０００７】
この圧電トランスデューサによれば、圧電材料板の表面近くに形成した分極用電極により圧電材料板の分極を行った後に、圧電材料板に対し研磨加工を施すことで分極用電極を除去し、その後、駆動用電極を形成するので、分極工程が煩雑とならず、しかも駆動用電極から駆動用の電界を印加したとき分極用電極によるクロストークのない圧電トランスデューサを得ることができる。
【０００８】
また、前記駆動用電極は、前記分極部分を挟む位置の前記圧電材料板の両表面に形成することで、効果的に圧電材料板を変形させることができる位置に駆動用電極を形成できる。さらにその際、駆動用電極は、前記分極用電極を除去した部分を含む前記圧電材料板の両表面に形成することで、一層効果的に圧電材料板を変形させることができるようになる。
【０００９】
また、前記圧電材料板を構成する複数のシート状材料を形成する工程と、その複数のシート状材料を積層する工程と、その積層体を焼成する工程とをさらに備え、前記分極用電極を形成する工程は、前記複数のシート状材料のうち前記圧電材料板の表面近くに位置するシート状材料に形成することで、圧電材料板および分極用電極の製作を容易にすることができる。さらにこの際に、前記積層する工程は、前記分極用電極を形成したシート状材料の外側にさらにシート状材料を積層する工程を含み、前記分極用電極の除去工程は、前記外側に積層したシート状材料を前記分極用電極とともに除去することで、分極工程において、外部への放電をなくし効率よく分極することができる。
【００１０】
なお、分極用電極を除去する工程は、すべての前記分極用電極を除去するようにしてもよいが、前記圧電材料板の一方の表面近くの前記分極用電極を除去し、他方の表面近くの前記分極用電極を残すようにしてもよい。
【００１１】
また、本発明の液滴噴射装置の製造方法は、圧電材料板が複数の液室について共通に用いられ、前記圧電材料板の厚さ方向の変形を利用して前記複数の液室のそれぞれの容積を変化させることにより前記液室内の液体を噴射するものにおいて、前記圧電材料板の各液室に対応する位置において厚さ方向に対向する両表面近くに、その厚さ方向とほぼ直交する面方向に間隔をおいた複数の分極用電極を形成する工程と、前記圧電材料板に形成された前記分極用電極に電圧を印加することにより、前記圧電材料板を、前記面方向にほぼ平行に分極する工程と、前記圧電材料板の分極後に、前記圧電材料板を前記圧電材料板の片側または両側から研磨して前記分極用電極の少なくとも一部を除去する工程と、前記分極用電極の少なくとも一部を除去する工程の後に、前記圧電材料板の両表面に前記圧電材料板の前記分極部分に対して電界をかけるための駆動用電極を前記液室に対応する位置に形成する工程とを備えることを特徴とする。
【００１２】
この製造方法によれば、圧電材料板の表面近くに各液室に対応して形成した分極用電極により圧電材料板の分極を行った後に、圧電材料板に対し研磨加工を施すことで分極用電極を除去し、その後、駆動用電極を形成するので、各液室ごとに分極部分を形成でき、しかも分極工程が煩雑とならず、駆動用電極から駆動用の電界を印加したとき分極用電極によるクロストークのない液滴噴射装置を得ることができる。
【００１３】
好ましくは、前記圧電材料板の一方の表面近くの分極用電極は、前記液室の中央に対応する位置に形成することで、液室に対して圧電材料板を有効に変形させ、効率のよい液噴射をすることができる。
【００１４】
さらに、前記圧電材料板の他方の表面近くの分極用電極は、前記液室の外周に対応する位置に形成することで、液室に対応する圧電材料板の広い面を有効に変形させ、一層効率のよい液噴射をすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
−第１の実施形態−
以下、図１〜図１０を参照して、本発明の圧電トランスデューサおよび液滴噴射装置の製造方法をインクジェットヘッドに適用した第１の実施形態について説明する。
【００１６】
図１に示すように、インクジェットヘッド２００は、圧電トランスデューサ１００と液室形成ユニット２２０とで構成され、液室形成ユニット２２０は、液室プレート６と、スペーサプレート７と、ノズル８を有するノズルプレート９とで構成されている。
【００１７】
インクを収容する液室５は、液室プレート６に穿設した開口の上下を圧電トランスデューサ１００とスペーサプレート７とで覆って作られ、図４に示すように、複数行、複数列をなして平面状に配列され、隣接する液室５とは隔壁５１で隔てられている。液室５の長さ方向の一端は、スペーサプレート７に穿設した連通孔７１を介してノズルプレート９のノズル８に連通し、他端は、図示しないインク供給源に連通している。液室５は、例えば幅（図において左右方向）０．３７５ｍｍ、長さ（図において紙面と直交する方向）２．０００ｍｍの大きさで、図において左右方向に０．５０８ｍｍのピッチ（５０ＤＰＩ）で形成されている。
【００１８】
圧電トランスデューサ１００は、チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）のセラミックス材料からなる圧電材料板１からなる。さらに、圧電材料板１は、複数のシート状の圧電セラミックス層１ａ〜１ｄを積層して構成され、その圧電材料板１の液室側の表面（図１において下面）上に第１の駆動用電極２と、液室５と反対側の表面（図１において上面）上に第２の駆動用電極３とが形成されている。第１の駆動用電極２は、圧電材料板１下面全体に沿って延び各液室５に共通に設けられる。第２の駆動用電極３は各液室５に対応して設けられ、各液室５の形状にほぼ対応した形状に形成される。圧電セラミックス層１ａ〜１ｄの１層の厚みは０．０１５ｍｍである。第１および第２の駆動用電極２，３はＡｇ−Ｐｄ系の金属材料からなり、厚みは約０．００２ｍｍである。
【００１９】
図１において圧電材料板１の内部に描かれた矢印Ａは、圧電材料板１の分極方向を示す。圧電材料板１は各液室５の中央部分から両側の隔壁５１に向かう方向につまり中央部分に対して対称に分極されている。それぞれの分極方向は、圧電材料板１の上面および下面に沿う方向でかつ厚み方向に対して傾いているが、圧電材料板１の面方向の成分を有する。第１の駆動用電極２と第２の駆動用電極３は、この各液室５に対応する２つの分極部分を上下から挟むように対向している。つまり、圧電材料板１の各液室５に対応する部分が、後述するように変形する部分すなわち動作部分を構成する。
【００２０】
第１の駆動用電極２と第２の駆動用電極３は、この各分極部分のみに対応して分割して設けられててもよいが、上記のように第１の駆動用電極２はすべて連続して、第２の駆動用電極３は同時に電圧を印加する単位つまり液室ごとに形成することが製造上好ましい。
【００２１】
次に、図１〜図３を参照して、液滴を噴射する動作について説明する。図１に示すように、最初に液室５の内部にインクを充填する。このとき、第１の駆動用電極２および第２の駆動用電極３はいずれもグランドＧＮＤ（０Ｖ）に接続されている。次に、図２に示すように、第１の駆動用電極２をグランドＧＮＤに接続したまま、液滴を噴射しようとする液室５の第２の駆動用電極３に正の駆動電圧（例えば２０Ｖ〜３０Ｖ）を印加する。このとき、第１の駆動用電極２および第２の駆動用電極３の間に発生する電界Ｅの向きと、圧電材料板１の分極方向Ａとがほぼ直交しているため、液室５に対応する２つの分極部分はそれぞれシェアモードで変形する。つまり、両分極部分は、それぞれ隔壁５１の上方部分をほぼ支点とし、かつ液室５の中央を挟んで対称にそれぞれ平行四辺形状に変形して、第２の駆動用電極３が形成された圧電材料板１の領域が圧電材料板１の面方向に対して直交する方向、すなわち図２において上方に膨らむように移動し、液室５の容積が増加する。この状態を、このとき生じた圧力波の液室５内での片道伝播時間Ｔだけ維持する。この容積の増加によって、図示しないインク供給源から液室５にインクが供給される。なお、上記片道伝播時間Ｔは液室５内の圧力波が、液室５の長手方向（図中、紙面に垂直な方向）に伝播するのに必要な時間であり、液室５の長さＬとこの液室５内部のインク中での音速ａによりＴ＝Ｌ／ａと決まる。
【００２２】
圧力波の伝播理論によると、上記の電圧の印加からほぼＴ時間がたつと液室５内の圧力が逆転し、正の圧力に転じるが、このタイミングに合わせてに第１の駆動用電極２をグランドＧＮＤに接続したまま第２の駆動用電極３の電位をグランドＧＮＤ（０Ｖ）に戻すと、圧電材料板１の形状が図１と同様の変形前の状態に戻り、液室５内のインクに圧力が加えられる。そのとき、前記正に転じた圧力と、圧電材料板１が変形前の状態に戻ることにより発生した圧力とが加え合わされ、比較的高い圧力が液室５に連通するノズル８付近の部分に生じて、図３に示すように、液室５内のインクがノズル８からインク滴１０として噴射される。
【００２３】
次に、図５〜図９を参照して、上記インクジェットヘッドの製造方法について説明する。
【００２４】
図５に示すように、上記の圧電材料板１を構成する４枚のセラミックス材料のグリーンシート１ａ〜１ｄの上下面にさらに１枚ずつのグリーンシート１ｅ，１ｆが積層され、上記の圧電材料板１を構成する部分と追加したグリーンシート１ｅ，１ｆの間には、第１の分極用電極１１および第２の分極用電極１２がそれぞれ形成される。
【００２５】
具体的には、図６に示すように、上から２番目のグリーンシート１ａに、第１の分極用電極１１として、各液室５の中央部分に対応する張出し部１１ａと、各張出し部１１ａを互いに接続するとともに、第１の分極用電極１１をグリーンシート１ａの端部まで引き出す引出部１１ｂとを、導電性ペースト材料を使用してスクリーン印刷または導電材料の蒸着により形成する。最下層のグリーンシート１ｆに、第２の分極用電極１２を、隔壁５１と対応する位置に、各液室５に対応した部分を開口１２ａとして除いて、グリーンシート１ａの端部に引き出す引出部１２ｂとともに上記のようにスクリーン印刷または蒸着により形成する。第１の分極用電極１１および第２の分極用電極１２はいずれもＡｇ−Ｐｄ系の金属材料からなり、厚みは約０．００２ｍｍである。
【００２６】
これらの分極用電極１１，１２を形成したグリーンシート１ａ，１ｆを、電極のない他のグリーンシート１ｅ、１ｂ，１ｃ，１ｄとともに積層して焼成し、一体化する。なお、図６には、第２の分極用電極１２の開口１２ａと、第１の分極用電極１１との位置関係を示す。
【００２７】
次に、上記の圧電トランスデューサを、１３０℃程度のシリコンオイルなどの絶縁オイルが満たされた図示しないオイルバス中に浸し、引出部１２ｂを介して第２の分極用電極１２をグランドＧＮＤ（０Ｖ）に接続し、引出部１１ｂを介して第１の分極用電極１１に正の分極用電圧を印加して、張出し部１１ａと第２の分極用電極１２との間には、圧電材料板の面方向および厚み方向に対して斜め方向に２．５ｋV/mm程度の電界を発生させる。図５に示すように、圧電材料板１はこの電界方向にしたがった方向（矢印Ａ）に分極される。
【００２８】
その後、図８に示すように、圧電材料板１を両面から研磨し、第１の分極用電極１１および第２の分極用電極１２を含むシート１ｅ，１ｆ部分を取り除く。圧電材料板１には研磨面１Ａおよび研磨面１Ｂが形成される。次に、図９に示すように、圧電材料板１の研磨面１Ｂ全体にわたって第１の駆動用電極２を、圧電材料板の研磨面１Ａの液室５に対応した分極位置に第２の駆動用電極３を、それぞれ上記のようにスクリーン印刷または蒸着により形成する。
【００２９】
そして、上記のように形成された圧電材料板１と、あらかじめ積層した液室プレート６、スペーサプレート７およびノズルプレート９からなる液室ユニット２２０とを、第２の駆動用電極３および分極部分が液室５に対応するように、接合することにより、インクジェットヘッド２００が作製される。
【００３０】
上記のように、第１の実施の形態のインクジェットヘッド２００では、第１の分極用電極１１および第２の分極用電極１２を各液室５に対して共通のパターンとして形成しておき、第１の分極用電極１１および第２の分極用電極１２を利用して、圧電材料板１の分極を行っている。このため、複雑な操作を要することなく、各液室について同時に分極を行うことができる。また、圧電材料板１の分極後に、圧電材料板１に対し研磨加工を施すことにより、第１の分極用電極１１および第２の分極用電極１２を除去している。このため、圧電トランスデューサ１００の駆動に際して、内部に残っている分極用の電極を介して駆動電界が漏れるなどして所定の液室５の駆動が他の液室に与える影響（クロストーク）を排除することができる。
【００３１】
また、上記のように圧電材料板１の面方向および厚み方向に対して傾斜して分極しているので、圧電材料板１の両表面近くに分極用電極１１，１２を、圧電材料板１の厚さ方向に互いに重ならないようにして傾斜方向に対向配置して分極を行うことができる。そして、駆動用電極２，３を圧電材料板の両面に対向配置することで、傾斜した分極方向に対して実質的に直交する電界をかけ、少ない電極数で効率よく変形させることができる。
【００３２】
なお、圧電材料板１を分極するための第１の分極用電極１１および第２の分極用電極１２を、上記実施の形態のように、セラミックス材料の積層体の内部に形成することで、分極時の放電を少なくして効率よく分極することができるが、外部に形成あるいは外表面に接触させることで分極を行うこともできる。また、第１の分極用電極１１と第２の分極用電極１２に印加する分極用の直流電圧の向きを逆にして分極方向を逆にし、あるいは駆動用電極２，３の位置を上下逆に入れ替えて駆動電圧の向きを逆にすることで、圧電材料板１を液室５の容積を減少させるように変形してインクを噴射することも可能である。
【００３３】
−第２の実施形態−
以下、図１０〜図１１を参照して、本発明の第２の実施の形態について説明する。なお、前記第１の実施の形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【００３４】
図１０に示すように、第２の実施の形態の圧電トランスデューサ１０２は、圧電材料板２１の内部に、分極に用いた第２の分極用電極１２を残して完成品としている。その他の部分の構成は第１の実施の形態と同じである。このように、第２の分極用電極１２を除去していないが、電極１２は各液室５の周囲に位置付けられているため、クロストークに関して大きな影響を与えることなく、前記第１の実施の形態と同様に動作することができる。
【００３５】
第２の実施の形態のインクジェットヘッドの動作は、第１の実施の形態と同様に、第１の駆動用電極２をグランドＧＮＤ（０Ｖ）に接続しておき、インクを噴射しようとする液室に対応する第２の駆動用電極３に正の駆動電圧を印加する。これにより、第１の駆動用電極２および第２の駆動用電極３の間に発生する電界の向きと、圧電材料板２１の両分極方向とが略直交しているため、圧電材料板２１はシェアモードで変形、すなわち両分極部分は液室５のほぼ中央を挟んで対称にそれぞれ平行四辺形状に変形する。この状態は図示しないが、図２と同様である。そして、第２の駆動用電極２３の電位をグランドＧＮＤ（０Ｖ）に戻すと、圧電材料板２１の形状が図１０と同様の状態に戻り、液室２５から所定量のインク１０が噴射される。
【００３６】
第２の実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法は、第１の実施の形態とほぼ同じであり、第１の分極用電極１１および第２の分極用電極１２を形成したグリーンシート１ａ，１ｆを、電極のない他のグリーンシート１ｅ、１ｂ，１ｃ，１ｄとともに積層して焼成し、図５の積層体と同じものを製作する。そして、第２の分極用電極１２および第１の分極用電極１１間に上記のように直流電圧を印加し、圧電材料板２１の各動作部分を傾斜方向に分極する。第２の実施の形態では、図１１に示すように圧電材料板２１を上面から研磨し、第１の分極用電極１１を含むシート１ｅ部分を取り除き、第２の分極用電極１２を含むシート１ｆ部分を残す。そして、図９と同様に、圧電材料板２１の上面および下面に、第１の駆動用電極２、第２の駆動用電極３をそれぞれ形成する。
【００３７】
−インクジェットプリンタ−
以下、図１２を参照して、上記インクジェットヘッドを搭載したインクジェットプリンタについて説明する。
【００３８】
図１２に示すプラテン１１０は、軸１１２によりフレーム１１３に回転可能に取り付けられており、モータ１１４によって駆動される。プラテン１１０には紙１１１がセットされており、プラテン１１０に対向してインクジェットヘッド２００が設けられている。インクジェットヘッド２００は、インク供給装置１１６とともにキャリッジ１１８上に載置されている。キャリッジ１１８はプラテン１１０の軸線に平行に配設された２本のガイドロッド１２０に摺動可能に支持されるとともに、一対のプーリ１２２に巻き掛けられたタイミングベルト１２４が結合させられている。そして、一方のプーリ１２２がモータ１２３によって回転させられ、タイミングベルト１２４が送られることによりキャリッジ１１８ヘプラテン１１０に沿って移動させられる。
【００３９】
なお、上記各実施形態においては、圧電材料板はシェアーモードで駆動されていたが、内部電極の配列のしかたによってはダイレクトモードでも駆動しうる。すなわち、図１において、第１の電極２を、第１の液室プレート６の隔壁５１の上面に相当する位置にのみ設け、第２の電極３の幅を狭くすることにより、駆動電界と分極との交差角は小さくなり、ダイレクトモードで動作する。
【００４０】
また、本発明の液滴噴射装置は、インクジェットプリンタへの適用に限定されず、各種印字装置や各種塗布装置に対しても適用できる。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、圧電材料板の表面近くに形成した分極用電極により圧電材料板の分極を行った後に、圧電材料板に対し研磨加工を施すことで分極用電極を除去し、その後、駆動用電極を形成するので、分極工程が煩雑とならず、しかも駆動用電極から駆動用の電界を印加したとき分極用電極によるクロストークのない圧電トランスデューサおよび液滴噴射装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の液滴噴射装置を示す断面図で、図４のＸ−Ｘ線位置の断面に相当する。
【図２】上記第１の実施の形態の液滴噴射装置の動作状態を説明する断面図である。
【図３】上記第１の実施の形態の液滴噴射装置の動作状態を説明する断面図である。
【図４】上記第１の実施の形態の液滴噴射装置の液室の配置状態を説明する平面図である。
【図５】上記第１の実施の形態の液滴噴射装置に係る圧電トランスデューサの製造工程を示す断面図である。
【図６】上記第１の実施の形態の液滴噴射装置に係る圧電トランスデューサの製造工程を示す図で、グリーンシートの１つの平面図である。
【図７】上記第１の実施の形態の液滴噴射装置に係る圧電トランスデューサの製造工程を示す図で、グリーンシートの他の１つの平面図である。
【図８】上記第１の実施の形態の液滴噴射装置に係る圧電トランスデューサの製造工程を示す断面図である。
【図９】上記第１の実施の形態の液滴噴射装置に係る圧電トランスデューサの製造工程を示す断面図である。
【図１０】上記第２の実施の形態の液滴噴射装置を示す断面図である。
【図１１】上記第２の実施の形態の液滴噴射装置に係る圧電トランスデューサの製造工程を示す図で、グリーンシートの１つの平面図である。
【図１２】インクジェットプリンタの要部を示す斜視図。
【符号の説明】
１    圧電材料板
１ａ〜１ｆ  グリーンシート（シート状材料）
１Ａ  研磨面
１Ｂ  研磨面
２、３    駆動用電極
１１、１２  分極用電極
【図１】
0003775323.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0003775323.tif 000007
【図７】
0003775323.tif 000008
【図８】
0003775323.tif 000009
【図９】
0003775323.tif 000010
【図１０】
0003775323.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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