(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ストローク付与装置の先端に取り付けられデバイスを着脱するハンドラーのピックアップ装置において、
一端にデバイスが着脱される筒状の吸着パッドと、
この吸着パッドの他端に一端が接続され中空部を有するピストンと、
このピストンが一端側に内蔵され他端が前記ストローク付与装置に接続されるシリンダーと、
このシリンダーに取付けられ前記ピストンが所定ストローク摺動するように規制するストッパーと、
前記ピストンに一端が接続され他端が前記シリンダーに接続されたインナースプリングと、
前記吸着パッドのデバイス吸着側を覆って設けられた導電性のリングと、
このリングに一端が接続され他端が前記シリンダーの他端に接続されたアウタースプリングと
を具備したことを特徴とするハンドラーのピックアップ装置。
【請求項２】
前記ピストンに一端が接続され他端が前記シリンダーの他端に摺動可能なように軸支される筒状のピストンロッド
を具備したこと
を特徴とする請求項１記載のハンドラーのピックアップ装置。
【請求項３】
前記ピストンロッドの前記軸支部分にベアリングが使用されたこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載のハンドラーのピックアップ装置。
【請求項４】
前記ストッパーとしてベアリングが使用されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のハンドラーのピックアップ装置。
【請求項５】
前記吸着パッドが弾性体で構成されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載のハンドラーのピックアップ装置。
【請求項６】
前記弾性体がゴム材で構成されたこと
を特徴とする請求項５記載のハンドラーのピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、デバイスに破壊等のダメージを与える恐れが少ないハンドラーのピックアップ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図４は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、水平ハンドラーに使用された例で、ストローク付与装置の先端に取り付けられた例についての要部構成説明図である。
【０００３】
水平方向のＸ軸及びＹ軸に任意に動くことが出来るローダ、又はアンローダと呼ばれているＩＣを搬送するユニットの先端は、図４に示す如く、ストローク付与装置Ａと、ストローク付与装置Ａの先端に取付けられたピックアップ装置とよりなる。
【０００４】
ストローク付与装置Ａは、シリンダーＡ１、ピストンロッドＡ２、リニアガイドＡ３、ガイドＡ４、ブロックＡ５、ピックアップ装置１よりなる。
ピックアップ装置１に対向して配置されたプレートＢのポケットＢ１に、搬送対象のＩＣ（記号Ｃで示す）が収まっている。
【０００５】
ここで、搬送動作時には、搬送対象のＩＣの真上に、ストローク付与装置Ａに取り付けられたピックアップ装置１が来るように制御される。
次に、シリンダーＡ１が動作して、ピックアップ装置１の下面が、ＩＣに軽く接するまでピストンロッド Ａ１，ガイドＡ４，ブロックＡ５、ピックアップ装置１が下がる。
【０００６】
次に、ピックアップ装置１の内部が真空圧に引かれ、ＩＣはピックアップ装置１に吸着される。
その後、シリンダーＡ１が動作して、ピックアップ装置１に吸着されたＩＣは、前記ストローク分上げられる。
【０００７】
ほぼ同時に、ストローク付与装置Ａは、搬送先の空のポケットＢ２上に来るように制御される。
その後、シリンダーＡ１が動作して、ストローク分、ピストンロッドＡ２、ガイドＡ４、ブロックＡ５、ピックアップ装置１（ＩＣ付き）が下がる。
【０００８】
次に、ピックアップ装置１の内部が真空圧から大気圧に開放され、吸着されたＩＣはピックアップ装置１から離れ、ポケットＢ２に収納される。
今度は、別のポケットＢ３にあるＩＣに就いて、同上の動作が順次繰り返される。
【０００９】
ここで、ピックアップ装置１は、図５に示す如く、本体のボス１１に、スリーブ１２（金属又はプラスチック）とパッド１３（ゴム）が付いており、パッド１３の先端には金属製のリング１４が付いている。
【００１０】
通常は、リング１４はピックアップ装置が下降したとき、ＩＣの上面に軽く接する。
リング１４とスリーブ１２の間隙を、以後「バッファストロークF」と呼ぶことにする。  この場合は、バッファストロークＦは０．３ｍｍである。
【００１１】
バッファストロークＦがあるので、パッド１３は、ゴムの弾力性力により、軽い力でパッド１３が上がって、スリーブ１２に接する（ぶつかる）ことが出来る。
ピックアップ装置１の内部が真空圧で引かれると、リング１４とＩＣの隙間が無くなり、吸引されて、ＩＣがリング１４と共にバッファストロークＦ分上がり、リング１４はスリーブ１２に接触した状態になる。
【００１２】
この時、もしも、リング１４に静電気が帯電していても、静電気を上記の接触でハンドラーの本体側に逃がすことが出来る。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような装置においては、
１）ＩＣとピックアップ装置１の距離が、何らかの原因で短くなった場合、上記バッファストロークＦ（この場合は、０．３ｍｍ）内であれば、ＩＣには過大な力が掛かることはないが、これを超えると、ピストンロッドＡ１、ブロックＡ５、ピックアップ装置１の全質量が衝撃力となり、ＩＣに過大な衝撃力を与えてＩＣを破壊してしまう恐れがある。
【００１４】
２）バッファストロークＦが大きければ上記問題を吸収出来るが、図５の構造（ゴムパッド１３で決まる）では、せいぜい０．３〜０．５mm程度であり、十分ではない。
【００１５】
３）リング１４の帯電を逃がすために、スリーブ１２は普通、金属製であるので緩衝性は全くない。
もしも、導電性の樹脂を採用しても、緩衝性能は十分とは言えない。
【００１６】
４）上記１〜３項により、ＩＣがポケットＢ１に乗り上げて、十数度斜めになって配置された場合には、吸着できないことは勿論、１項で述べたようにＩＣを大きな衝撃力で破壊することになる。
【００１７】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、デバイスに破壊等のダメージを与える恐れが少ないハンドラーのピックアップ装置を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項１のハンドラーのピックアップ装置においては、
ストローク付与装置の先端に取り付けられデバイスを着脱するハンドラーのピックアップ装置において、一端にデバイスが着脱される筒状の吸着パッドと、この吸着パッドの他端に一端が接続され中空部を有するピストンと、このピストンが一端側に内蔵され他端が前記ストローク付与装置に接続されるシリンダーと、このシリンダーに取付けられ前記ピストンが所定ストローク摺動するように規制するストッパーと、前記ピストンに一端が接続され他端が前記シリンダーに接続されたインナースプリングと、前記吸着パッドのデバイス吸着側を覆って設けられた導電性のリングと、このリングに一端が接続され他端が前記シリンダーの他端に接続されたアウタースプリングとを具備したことを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項２においては、請求項１記載のハンドラーのピックアップ装置において、
前記ピストンに一端が接続され他端が前記シリンダーの他端に摺動可能なように軸支される筒状のピストンロッドを具備したことを特徴とする。
【００２０】
本発明の請求項３においては、請求項１又は請求項２記載のハンドラーのピックアップ装置において、
前記ピストンロッドの前記軸支部分にベアリングが使用されたことを特徴とする。
【００２１】
本発明の請求項４においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載のハンドラーのピックアップ装置において、
前記ストッパーとしてベアリングが使用されたことを特徴とする。
を特徴とする。
【００２２】
本発明の請求項５においては、請求項１乃至請求項４の何れかに記載のハンドラーのピックアップ装置において、
前記吸着パッドが弾性体で構成されたことを特徴とする。
【００２３】
本発明の請求項６においては、請求項５記載のハンドラーのピックアップ装置において、
前記弾性体がゴム材で構成されたことを特徴とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図５と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図５と相違部分のみ説明する。
【００２５】
図において、吸着パッド１３は、一端にデバイスが着脱され、筒状を成す。
この場合は、吸着パッド１３は、弾性体のゴム材よりなる。
ピストン２１は、吸着パッド１３の他端に一端が接続され、中空部２１１を有する。
【００２６】
シリンダー２２は、ピストン２１が一端側に内蔵され、他端がストローク付与装置Ａに接続される。
ストッパー２３は、シリンダー２２に取付けられ、ピストン２１が所定ストローク摺動するように規制する。
【００２７】
この場合は、ストッパー２３は、メタルベアリングが使用され、ピストン２１が所定ストローク摺動するように規制すると共に、ピストン２１が滑らかに摺動するようにピストン２１を支持する。
【００２８】
ストッパー２４は、シリンダー２２のストッパー２３が取り付けられている側と反対側に設けられている。
インナースプリング２５は、ピストン２１に一端が接続され、他端がストッパー２４に接続されている。
【００２９】
リング１４は、吸着パッド１３のデバイス吸着側を覆って設けられ、導電性を有する。  アウタースプリング２６は、リング１４に一端が接続され、他端がシリンダー２２の他端に接続されている。
【００３０】
以上の構成において、シリンダーＡ１が動作すると、ピストンロッド Ａ２、ガイドＡ４、ブロックＡ５、図１のピックアップ装置２０が下がる。
この時、当初の距離、この場合は、１０mmに加えて、１．３mm多く下がるとすると。
【００３１】
言い換えると、シリンダー２２の位置に対して、相対的に、リング１４は１．３mm、吸着パッド１３、ピストン２１は１．０mm分上がることになる。
つまり、新規に設けられた緩衝機構（ピストン２１、シリンダー２２等）が働いて、図５従来例より１．０mm（最大で１．５mm）多いバッファストロークＧ（最大で１．８mm）が、ＩＣに掛かる衝撃力を緩和することになる。
【００３２】
即ち、図４従来例では、ピストンロッドＡ２，ガイドＡ４，ブロックＡ５、ピックアップ装置１の全部の質量：Ｍが、衝撃エネルギーに係わることになる。
一方、図１実施例では、単に、ピストン２１、吸着パッド１３、リング１４のみの質量：ｍが衝撃エネルギーに係わることになるになる。
【００３３】
従って、衝撃エネルギー比はＭ：ｍとなって大幅に低減することが可能である。
この場合は、約２５：１である。
次に、ピックアップ装置２０の内部が真空圧で引かれ、ＩＣはピックアップ装置２０のリング１４に吸着される。
【００３４】
次に、シリンダーＡ１が動作して、ピックアップ装置２０に吸着されたＩＣ．は、前記ストローク分上げられる。
ほぼ同時に、ストローク付与装置Ａは搬送先の、空のポケットＢ２上に来るように制御される。
【００３５】
次に、シリンダーＡ１が動作し、ストローク分、ピストンロッドＡ２、ガイドＡ４，ブロックＡ５，ピックアップ装置２０（ＩＣ付き）が下がる。
【００３６】
次に、ピックアップ装置２０の内部が真空圧から大気圧に開放され、ピストン２１、吸着パッド１３、リング１４は、バッファストロークＧ分下がり、吸着されたＩＣはピックアップ装置２０から離れ、ポケットＢ２に収納される。
今度は、別のポケットＢ３にあるＩＣに就いて、同上の動作が順次繰り返される。
【００３７】
この結果、
（１）デバイス吸着の際に移動する装置部分の全部の質量ではなく、先端の小さな質量部分である吸着パッド１３とリング１４とピストン２１のみが所用のバッファストローク内で引っ込むことが出来るため、ディバイスに作用する衝撃力として小さく出来、デバイスに破壊等のダメージを与える恐れが少ないハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００３８】
（２）インナースプリング２５が設けられたので、ピストンのストローク動作を確実に出来るハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００３９】
（３）デバイスが吸着された際に、導電性のリング１４とアウタースプリング２６とによって、静電気の除電が確実に出来るハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００４０】
（４）アウタースプリング２６は、除電コンタクトのための部品として使用されるので、比較的弱い力のばねを使用することが出来る。
【００４１】
従って、吸着されるディバイスが、ポケットＢ１に乗り上げて十数度傾いた場合でも、その可撓性により、傾いたリング１４が、ディバイスの傾きにならい接するので、ディバイスに破壊等のダメージを与えることが少なく、吸着することが出来るハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００４２】
（５）ストッパー２３として、メタルベアリングが使用されたので、ピストン２１が所定ストローク摺動するように規制出来ると共に、ピストン２１の摺動動作が滑らかなハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００４３】
（６）吸着パッド１３が弾性体で構成されたので、更に、デバイスに破壊等のダメージを与える恐れが無いハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００４４】
（７）弾性体１３がゴム材で構成されたので、ゴム材は市場性が有り安価に入手出来るので、安価なハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００４５】
図２は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例において、ピストンロッド３１は、ピストン２１に一端が接続され、他端がシリンダー２２の他端に摺動可能なように軸支され、筒状を成す。
この場合は、ピストンロッド３１の軸支部分３２にメタルベアリングが使用されている。
【００４６】
この結果、
（１）ピストンロッドが設けられたので、シリンダーの動作が確実安定なハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００４７】
（２）ベアリングが使用されたので、ピストンロッドの軸支動作が滑らかなハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００４８】
図３は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
本実施例においては、アウタースプリング２６は、一端がシリンダー２２の他端に接続され、他端がリング１４とバッファストロークＦ分の隙間を保ち自由端を構成している。
【００４９】
ストローク付与装置Ａに、ピックアップ装置２０を組み立てる際に、バッファストロークＦ分を考慮して、組み立て調整できるようにしたものである。
図５従来例との互換性を考慮したものである。
【００５０】
なお、インナースプリング２５は、ピストン２１の下降動作を補助する弱い力のばねであるので、自重落下等により動作が確実な場合は、必ずしも必要としない。
【００５１】
また、アウタースプリング２６は、これによるリング１４との静電気に対する導通が不要な場合は、必ずしも必要としない。
また、ストッパー２３、軸支部分３２は、シリンダー２２と別部品である必要はなく、シリンダー２２の一部が、これらの機能を果たすようにした一体構造でも良い。
【００５２】
なお、前述の実施例においては、ＩＣの吸着用として説明したが、これに限る事は無く、吸着対象として、ＩＣ以外のあらゆるディバイスに就いても用いることが出来る事は勿論である。
【００５３】
本実施例では、装置の吸着方向を,上下方向として説明したが、例えば、水平方向でも良く、要するに、吸着方向は上下方向に限る事はないのは勿論である。
また、ピストン２１は、円筒状に限る事は無いことは勿論である。
【００５４】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
デバイス吸着の際に移動する装置部分の全部の質量ではなく、先端の小さな質量部分である吸着パッドとリングとピストンのみが所用のバッファストローク内で引っ込むことが出来るため、ディバイスに作用する衝撃力として小さく出来、デバイスに破壊等のダメージを与える恐れが少ないハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００５６】
インナースプリングが設けられたので、ピストンのストローク動作を確実に出来るハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００５７】
デバイスが吸着された際に、導電性のリングとアウタースプリングとによって、静電気の除電が確実に出来るハンドラーのピックアップ装置が得られる。
アウタースプリングは、除電コンタクトのための部品として使用されるので、比較的弱い力のばねを使用することが出来る。
【００５８】
従って、吸着されるディバイスが、ポケットに乗り上げて十数度傾いた場合でも、その可撓性により、傾いたリングが、ディバイスの傾きにならい接するので、ディバイスに破壊等のダメージを与えることが少なく、吸着することが出来るハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００５９】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある
ピストンロッドが設けられたので、シリンダーの動作が確実安定なハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００６０】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
ベアリングが使用されたので、ピストンロッドの軸支動作が滑らかなハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００６１】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
ストッパーとして、メタルベアリングが使用されたので、ピストンが所定ストローク摺動するように規制出来ると共に、ピストンの摺動動作が滑らかなハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００６２】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
吸着パッドが弾性体で構成されたので、更に、デバイスに破壊等のダメージを与える恐れが無いハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００６３】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
弾性体がゴム材で構成されたので、ゴム材は市場性が有り安価に入手出来るので、安価なハンドラーのピックアップ装置が得られる。
【００６４】
従って、本発明によれば、デバイスに破壊等のダメージを与える恐れが少ないハンドラーのピックアップ装置を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】  本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】  本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】  従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【図５】  図４の要部詳細説明図である。
【符号の説明】
１      ピックアップ装置
１１    本体のボス
１２    スリーブ
１３    吸着パッド
１４    リング
２０    ピックアップ装置
２１    ピストン
２１１  中空部
２２    シリンダー
２３    ストッパー
２４    ストッパー
２５    インナースプリング
２６    アウタースプリング
３０    ピックアップ装置
３１    ピストンロッド
３２    軸支部分
４０    ピックアップ装置
Ａ      ストローク付与装置
Ａ１    シリンダー
Ａ２    ピストンロッド
Ａ３    リニアガイド
Ａ４    ガイド
Ａ５    ブロック
Ｂ      プレート
Ｂ１    ポケット
Ｂ２    ポケット
Ｂ３    ポケット
Ｃ      ＩＣ
Ｆ      バッファストローク
Ｇ      バッファストローク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003812708.tif 000006