(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハースを縦横に切断する方法において、所定大きさのウェハース板を一辺と平行に切断して短冊状ウェハース片とし、ついで各短冊状ウェハース片の相互間隔を、所定間隔に調節した後、長辺に直角方向から切断してウェハース片とし、各ウェハース片の上面に夫々パッドを当接し、前記パッドを下部を減圧吸引する位置へ水平移動させ、各ウェハース片の相互間隔を夫々所定間隔に調節することを特徴としたウェハース等の切断整列方法。
【請求項２】
ウェハースを載置すべき多孔板の上方へ、切断されたウェハース片に当接支持すべき複数のパッドを昇降可能に設置し、前記多孔板の下面に減圧手段を付設して切断屑等の吸着排除装置とし、前記パッドには、相互間隔を拡大又は縮小すべき制御手段を付設したことを特徴とするウェハース等の切断整列装置。
【請求項３】
減圧手段は、ウェハースの全下面を覆う大きさの被覆匣と、該被覆匣をブロアーの吸引口に連結する排気ホースと、排気中に含まれた固形物を分離すべき濾過手段を結合させたことを特徴とする請求項２記載のウェハース等の切断整列装置。
【請求項４】
制御手段は、パッドの相互間隔を拡大又は縮小する平行移動手段としたことを特徴とする請求項２記載のウェハース等の切断整列装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ウェハースのような比較的耐力の小さい食品板を小片に切断すると共に、各小片を整然と整列させることを目的としたウェハース等の切断整列方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来ウェハース等を所定位置に並べるには、人手又は整列機を用いて整列していた。
【０００３】
【発明により解決すべき課題】
前記従来の技術において、人手による場合には、重労働になるのみならず能率の向上がむつかしい問題点があった。
【０００４】
また整列機を使用する場合においては、多数列一様に整列させることがむつかしいのみならず、表裏を設ける場合には、正確な選別が困難であり、かつ取扱い工程が増加する毎に破損の機会が増加して歩留りを悪化させる問題点があった。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】
然るにこの発明は、大きいウェハース板を縦横に切断すると共に、各ウェハース片を夫々パッドに当接支持したまま、前後、左右に動かしてウェハース片の間隔を拡げるので、そのまま所定の位置に移動し、モールドと対応させることができると共に、吸着によりモールドまで運んでセットできるように、所定の位置に整然と配列することに成功したのである。
【０００６】
即ち方法の発明は、ウェハースを縦横に切断する方法において、所定大きさのウェハース板を一辺と平行に切断して短冊状ウェハース片とし、ついで各短冊状ウェハース片の相互間隔を、所定間隔に調節した後、長辺に直角方向から切断してウェハース片とし、各ウェハース片の上面に夫々パッドを当接し、前記パッドを下部を減圧吸引する位置へ水平移動させ、各ウェハース片の相互間隔を夫々所定間隔に調節することを特徴としたウェハース等の切断整列方法である。
【０００７】
また装置の発明は、ウェハースを載置すべき多孔板の上方へ、切断されたウェハース片に当接支持すべき複数のパッドを昇降可能に設置し、前記多孔板の下面に減圧手段を付設して切断屑等の吸着排除装置とし、前記パッドには、相互間隔を拡大又は縮小すべき制御手段を付設したことを特徴とするウェハース等の切断整列装置である。次に減圧手段は、ウェハースの全下面を覆う大きさの被覆匣と、該被覆匣をブロアーの吸引口に連結する排気ホースと、排気中に含まれた固形物を分離すべき濾過手段を結合させたことを特徴とするものであり、制御手段は、パッドの相互間隔を拡大又は縮小する平行移動手段としたことを特徴とするものである。
【０００８】
この発明における多孔板は、ステンレス板に、直径３〜１０ｍｍの透孔を前後左右３〜１０ｍｍ間隔で穿設したもので、透孔から切断屑を排除できることは勿論、ウェハースは多孔板上を摺動するので、滑り易く、その移動中に損傷、破損するおそれはない。
【０００９】
またウェハースにはパッドを当接し、又は吸着板で吸着したまま移動する。吸着板で吸着する場合には吸着圧力を検出すれば、吸着の有無を容易に検出することができる。即ち全吸着板にウェハースを吸着した場合と、一部の吸着板のみにウェハースを吸着した場合とでは減圧吸着力（減圧度）が異なる。そこで減圧度を予め測定し、その数値を制御系に記憶させておけば、減圧度の比較により、全ウェハース吸着済か、一部未吸着があるかを容易に検知することができる。
【００１０】
この発明おいて、ウェハース片をモールドにセットする時には、各ウェハース片に夫々吸着板の吸着嘴を吸着させるので、ウェハース片は相互間隔を規制されたまま運ばれ、モールド内へ正しくセットされる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
この発明は、ウェハース板を縦横に切断してウェハース片とし、このウェハース片上に夫々パッド又は吸着板を当接すると共に、ウェハース片の下部は多孔板を介して減圧して、切断屑を吸引排除し、前記パッドの相互間隔を調整して、各ウェハース片の相互間隔を調整するウェハースの切断整列方法である。
【００１２】
またウェハースを載置すべき多孔板の上方へ、切断されたウェハース片に当接すべき複数のパッドを昇降可能に設置し、前記多孔板の下面に減圧手段を付設して、前記パッドは、相互間隔を拡大、又は縮小すべき制御手段を付設したウェハース等の切断整列装置である。
【００１３】
【実施例１】
この発明の実施例を図１、図２（ａ）（ｂ）について説明する。所定大きさのウェハース板１を矢示６のように移動し乍ら、進行方向と平行に切断して短冊状ウェハース片２とし、ついで矢示７のように移動して、各短冊状ウェハース片２の間隔を調整した後、矢示８のように方向変換すると共に、進行方向と平行に切断して、ウェハース片３、３を成形し、更に矢示９のように移動して、ウェハース片３、３の相互間隔を調整して必要な配置を確保させる（図２（ａ）（ｂ））。このように相互間隔を調整したままモールド上へ矢示１０のように移動し、吸着力を消去すれば、各モールド内へウェハース片３を１個宛供給することができる。前記実施例において、ウェハース板１、ウェハース片２、３は共に多孔板５上に載置され、多孔板５の下面の一部を匣体１３で被覆しているので、匣体１３の排気パイプ１４から矢示１２のように排気すれば、ウェハース板１をウェハース片２、３に切断する際に生じた切断屑を吸引除去することができる。従ってウェハース片３の下面は勿論、切断面の切断屑も除去されており、かつウェハース片３が機械振動等によって移動しない。そこで次工程以後において切断屑による問題を生じるおそれはない（例えば製品の品質低下、又は装置の故障の原因など）。図中１１は切断屑の濾過器である。
【００１４】
【実施例２】
図３、４、５の実施例は、ウェハース板１の切断と移行の実施装置である。即ち機台１５上にモールド１６を搬送する搬送装置１７を設け、この搬送装置１７と直角に、ウェハース片３、３の供給装置１８、１８を所定間隔で設置する。
【００１５】
前記供給装置１８は、機台１９上にウェハース板１の送給装置２０と、回転カッター２１と、短冊状ウェハース片２の間隔を拡げる間隔拡大装置２２を直列に設ける。ついで短冊状ウェハース片２を直角方向に移動した位置に回転カッター２３を設け、回転カッター２３に、ウェハース片３、３の間隔を拡大する装置２４を設置する。前記回転カッター２１、２３などの装置は、前記のように２セット並列設置され、同一の搬送装置１７に接続対応している。
【００１６】
前記実施例において、ウェハース板１は回転カッター２１により短冊状ウェハース片２となり、図３、６中矢示２５のように多孔板５上へ移動する。多孔板５上では、矩形に配置された多数の小孔群２８で切断屑などを吸着された後、短冊状ウェハース片２に対応する小孔群２６、２６上に配置されて吸着保持される。ついで短冊状ウェハース片２は、前記間隔を保ったまま矢示２７の方向へ摺動される（図６）。この場合に、その摺動路は、多孔板５の小孔穿設部２８上であるから、摺動摩擦は比較的少なく、かつ切断屑などの付着物は、多孔板５の下部の減圧によって除去される。
【００１７】
前記短冊状ウェハース片２は、回転カッター２３により（図３）、短冊状ウェハース片２と進行方向と平行に切断されて、ウェハース片３となる。このウェハース片３は最終形の小片であって、そのままモールド内へ給送される。
【００１８】
前記ウェハース片３は切断された後、交互間隔を拡げて多孔板５ａ上へ矢示２７ａのように運ばれる。この場合においても矩形状に配置された小孔群２９で切断屑を除去され乍ら、矢示３０のように各ウェハース片３毎に相互間隔を保って配列される。前記ウェハース片３に対応して小孔３１、３１が夫々穿設されているので、ウェハース片３のパッドが交替する際、ウェハース片３が移動するおそれはない。即ち減圧吸着によって正しい配列位置が保持される。前記したパッド（図示してない）は一定距離間を往復移動している。例えば回転カッター及び間隔拡大部では同一のパッドを使用し、次工程では吸着板を使用する。同様にウェハース板１の移送と、短冊状ウェハース片２の切断、間隔調整などは別のパッドを用いる。
【００１９】
【実施例３】
図１０は、パッドの取付板５２を固定し、その一側に取付板５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄを並列し、他側に５２ｅ、５２ｆ、５２ｇ、５２ｈを並列し、夫々共通の案内杆５３、５３ａに摺動自在に案内させると共に、各取付板５２・・・５２ｈの端縁にストッパー５４と、掛止突起５５を有する調整片５６を固定し、前記取付板５２ｄと、５２ｈには、エアシリンダ５７、５８のロッド５９、６０の先端を固定し、エアシリンダ５７、５８は、枠体６１の枠杆６２、６３に固定したものである。
【００２０】
この実施例は、ロッド５９、６０を矢示６４又は６５の方向へ出入させることにより、取付板５２ｄ、５２ｈを同方向へ移動させ、調整片５６のストッパー５４と、掛止突起５５とによって各取付板の間隔を拡大し、又は縮小することができる。この実施例の場合には中央部で二分するのでロッドのストロークを小さくすることができる。前記実施例において、取付板５２、５２ａ・・・等を離接すれば、当然のこと乍らパッド３９も離接し（図１１では案内杆５３、５３ａと平行な方向）ウェハース片２、３の間隔を調整することができる。
【００２１】
【実施例４】
次に図１２に基づき、ウェハース片３の間隔調整の実施例を説明する。各ウェハース片３に当接するパッド３９の取付板４０、４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４０ｅは、案内杆４３に摺動自在に取付けられ、各取付板４０、４０の両端部には、ストッパー４２と、掛止突片４１ａを有する調整片４１とが、互に遊嵌されている。即ち一方の調整片４１の凹入部へ他方の掛止突片４１ａを突入させ、調整片４１の摺動間隔を規制している。前記案内杆４３と枠杆４３ａとには連結杆４４、４４ａが固定され、一方連結杆４４にエアシリンダ４５を固定し、エアシリンダ４５のロッド４６端に、連結具４９を介して端側の取付板４０を固定している。図中３２、３３、３３は取付軸、３４、３５はウェハース片３の規制板である。
【００２２】
前記実施例において、エアシリンダ４５に加圧エアを給送して、ロッド４６を矢示４７の方向へ引き込めると、取付板４０も矢示５０の方向へ移動するので、取付板４０の端縁に固定した調整片４１も同方向へ移動する。そこで取付板４０のストッパー４２が、取付板４０ａの掛止突片４１ａに当接するまで移動する。そこでストッパー４２が取付板４０ａの掛止突片４１ａに当接すると、その掛止によって取付板４０ａを矢示５０の方向へ移動させるので、取付板４０ａのストッパー４２が、取付板４０ｂの掛止突片４１ａに当接するまで矢示５０の方向へ移動する。前記のようにして取付板４０、４０ａ、４０ｂは、ストッパー４２と、掛止突片４１ａの移動距離だけの間隔がとられることになる。
【００２３】
前記に反し、ロッド４６を矢示４８の方向へ移動させると、前記掛止突片４１ａとストッパー４２は矢示５１の方向へ移動し、最終当板４０ｅは、連結板４４ａに固定されているので、各取付板４０、４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄは、旧位置にもどる。従って短冊状ウェハース片を切断された状態から、等間隔の状態に間隔を拡げて次工程へ送り、取付板は旧位置に戻ると共に、当初の間隔を拡げる前の状態にもどり並列される。
【００２４】
【発明の効果】
この発明は、ウェハース板を縦横に切断してウェハース片を容易に得ることができると共に、各ウェハース片の間隔を所定間隔に、正確に規制するので、そのま々モールドへ正しい供給できる効果がある。また装置はウェハース板を切断する為に、回転カッターを直角に配置したので、進行中に縦横の切断ができると共に、移動路へ多孔板を敷設したので、円滑な移動と、吸着による位置の確保ができると共に、切断屑などを合理的に排除し得る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例のブロック図。
【図２】（ａ）同じくウェハース板の切断、ついでウェハース片の間隔調整を示す概念図。
（ｂ）ウェハース片と多孔板の関係を示す説明図。
【図３】この発明の実施装置の平面図。
【図４】同じく一部正面図。
【図５】同じく一部側面図。
【図６】同じく短冊状ウェハース片を通過させる多孔板の一部を省略した拡大平面図。
【図７】同じく減圧吸着を示す拡大断面図。
【図８】同じくウェハース片を通過させる多孔板の一部を省略した拡大平面図。
【図９】同じく短冊状ウェハース片の間隔調整装置の一部を破切した拡大平面図。
【図１０】同じく一部を破切した側面図。
【図１１】同じくウェハース片の間隔調整装置の一部を破切し、一部を省略した拡大平面図。
【図１２】同じく一部を破切した側面図。
【図１３】同じく一部を省略し、一部を破切した正面図。
【符号の説明】
１  ウェハース板
２  短冊状ウェハース片
３  ウェハース片
４  吸着板
５  多孔板
１１  濾過器
１３  匣体
１４  排気パイプ
１５  機台
１６  モールド
１７  搬送装置
１８  供給装置
１９  機台
２０  送給装置
２１、２３  回転カッター
２２、２４  間隔拡大装置
２６、２９  小孔群
２８  小孔群
３１  小孔
３２、３３  取付軸
３４、３５  規制板
３８、３９  パッド
４０、４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４０ｅ  パッド取付板
４１  調整片
４２  ストッパー
４３  案内杆
４３ａ  枠杆
４４、４４ａ  連結杆
４５  エアシリンダ
４６  ロッド
４９  連結具
５２、５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ、５２ｅ、５２ｆ、５２ｇ、５２ｈ  取付板
５３、５３ａ  案内杆
５４  ストッパー
５５  掛止突起
５６  調整片
５７、５８  エアシリンダ
５９、６０  ロッド
６１  枠体
６２、６３  枠杆
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003763046.tif 000008
【図８】
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【図９】
0003763046.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
0003763046.tif 000012
【図１２】
0003763046.tif 000013
【図１３】
0003763046.tif 000014