(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱可塑性樹脂をチューブ状フィルムに押出し、押出したチューブ状フィルムを薄肉にしてスリーブ状のチューブ状フィルムにして折り畳むチューブ状フィルム製造装置と、スリーブ状に折り畳んだ熱可塑性樹脂フィルムの表裏のフィルムの外面側に、フィルムを重ね合わせるフィルム重ね合わせ装置と、フィルムが表裏に重ね合わされたチューブ状の積層フィルムの両端を流れ方向に沿ってシールすると共に、幅方向に沿ってシールし、幅方向に切断する包装袋製造装置と、を備えたことを特徴とするクリーン包装袋の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、電子部品、特に塵や埃を嫌う半導体製品、磁気ディスク、シリコンウェハ等の包装に好適なクリーン包装袋（袋の内面に付着する塵や埃を無くした包装袋）の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、塵や埃を嫌う半導体製品等の包装に使用されるフィルムや包装袋は、クリーンルーム内で製造されることが一般的であった。また、使用する基材フィルムに保護フィルムを積層した積層フィルムを作製しておき、使用直前に保護フィルムを剥離することにより、基材フィルムの内容物包装面に塵や埃が付着しないようにした方法も提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの方法は製造コストが高くなるという問題がある。また、保護フィルムを剥離させる方法は、保護フィルムの廃棄の点で無駄である。
【０００４】
本発明は、電子部品等の包装に使用される包装袋に関する以上のような問題点に着目してなされたもので、クリーンルーム内で製造することなく、また、保護フィルム等を使用せずに、クリーン包装が可能なクリーン包装袋の製造装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の発明は、熱可塑性樹脂をチューブ状フィルムに押出し、押出したチュー
ブ状フィルムを薄肉にしてスリーブ状のチューブ状フィルムにして折り畳むチューブ状フィルム製造装置と、スリーブ状に折り畳んだ熱可塑性樹脂フィルムの表裏のフィルムの外面側に、フィルムを重ね合わせるフィルム重ね合わせ装置と、フィルムが表裏に重ね合わされたチューブ状の積層フィルムの両端を流れ方向に沿ってシールすると共に、幅方向に沿ってシールし、幅方向に切断する包装袋製造装置と、を備えたことを特徴とするクリーン包装袋の製造装置である。
【０００６】
【作用】
上記のように本発明によれば、インフレーション法によりフィルム化されたチューブ状フィルムを製造後、直ぐにスリーブ状に２つ折りするため、その内面には塵や埃は付着せず、内面がクリーンな状態で維持されており、このチューブ状フィルムの相対する面の外側面に、フィルムを重ねた二重フィルム状チューブ、の一方向開口を開口辺とし、三方向を熱封緘辺として密封したので、包装袋の内容物包装面には塵や埃は付着していない。
【０００７】
また、本発明のクリーン包装袋の製造装置によれば、チューブ状フィルムでのクリーンな内面が包装袋になってもそのまま維持できるので、内容物包装面に塵や埃が付着することがないし、クリーンな包装袋が容易に製造できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下実施例により本発明を詳細に説明する。
図１は本発明のクリーン包装袋を製造する製造装置の一例を示す模式説明図で、大別してチューブ状フィルム製造装置１１とフィルム重ね合わせ装置１２と包装袋製造装置１３の３つから構成されている。
【０００９】
チューブ状フィルム製造装置１１は、一般的に使用されているインフレーション方式のチューブ状フィルム製造装置であり、その構造は、例えば、図１に示すように、押出機の出口にリングダイ１１１が取り付けてあり、溶融した熱可塑性樹脂をマンドレルの側壁を通して、リングダイからチューブ状に押し出し、冷却ゾーンを通した後、チューブ内に一定量の圧縮ガス１１２（本発明においては、窒素ガス等の不活性ガスを使用する）を入れ、圧力でチューブが膨張して薄いチューブ状フィルム１が作製され、その後、ニップロール１１３を通り、２つに折り畳まれたチューブ状フィルムとするものである。
【００１０】
使用する熱可塑性樹脂は、インフレーション加工適性と熱シール適性を有する樹脂であることが必要で、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンコポリマー等のポリオレフィン系樹脂が好ましく使用できる。
また、フィルムは単層フィルムだけでなく、多層共押出機を用いた多層フィルムとしても良い。この場合にあっても、最内層の樹脂には添加剤を添加せずに、被包装物への汚染を避けるようにする。
【００１１】
フィルム重ね合わせ装置１２は、２つ折りしたチューブ状フィルム１の表裏のフィルムの外側面に、別に用意したフィルム２を重ね合わせる装置で、図１に示すように、チューブ状フィルム製造装置１１とインラインで設けても良いし、チューブ状フィルム製造装置とはオフラインに設けても良い。この場合は、チューブ状フィルム製造装置により製造したチューブ状フィルムを巻き取り、次工程で巻き出して行う。
【００１２】
使用するフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）や他のポリエステル系樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ポリカーボネート、ナイロン（Ｎｙ）等の一般的に用いられる延伸された、または未延伸の樹脂フィルム、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリアクリロニトリル等のガスバリヤー性に優れた樹脂フィルム、アルミニウム箔（Ａｌ）等の金属箔、金属や金属酸化物、無機酸化物ないしは無機化合物の薄膜層等を、単独で、あるいは目的に応じて複数積層したものが使用可能である。
【００１３】
より具体的には、Ａｌ／ＰＥＴ、Ａｌ／Ｎｙ／ＰＥＴ、Ａｌ／Ｎｙ／無機化合物の薄膜を真空蒸着法等の方法により蒸着したＰＥＴ（ＶＭＰＥＴ）等の構成が例示できる。
【００１４】
包装袋製造装置１３は、フィルムが表裏に重ね合わされたチューブ状の積層フィルム１から、一辺の開口部を残して３辺を熱封緘すると共に、所望の寸法に裁断して本発明のクリーン包装袋３とする装置で、チューブ状フィルムの流れ方向に沿って熱封緘する流れ方向シール部１３１、チューブ状フィルムの流れ方向の両端を所定幅に切断する流れ方向カッター１３２、チューブ状フィルムの幅方向に沿って熱封緘する幅方向シール部１３３、チューブ状フィルムを所定長さに幅方向に切断する幅方向カッター１３４等が順次設備されている。
【００１５】
包装袋製造装置１３も、図１に示すように、フィルム重ね合わせ装置とインラインで設けても良いし、フィルム重ね合わせ装置とはオフラインに設けても良い。
【００１６】
次に、クリーン包装袋の製造方法について説明する。
先ず、溶融したポリエチレン等のポリオレフィン系樹脂が、マンドレルの側壁を通して、リングダイ１１１からチューブ状に押出されてくる。冷却ゾーンを通した後、チューブ内に一定量の圧縮された不活性ガスである清浄な窒素ガス１１２を入れると、圧力によりチューブが膨張して、厚さが２０〜１００μｍ程度のチューブ状フィルム１が作製される。このチューブ状フィルム１はニップロール１１３を通り、２つに折り畳まれたチューブ状フィルム１となる。
【００１７】
２つに折り畳まれたチューブ状フィルム１の内面側は、高温状態から密閉されたまま冷却され、清浄な窒素ガスを吹き付けられた状態にあるため、いわゆるクリーンな状態に保たれている。
【００１８】
別に、Ａｌ／Ｎｙ／ＰＥＴ等のガスバリヤー性を有するか、または有しない単体フィルムまたは多層フィルムからなるフィルム２を準備しておく。
【００１９】
次に、フィルム重ね合わせ装置１２を用いて、２つに折り畳まれたチューブ状フィルム１の表裏のフィルムの外側面と、フィルム（Ａｌ／Ｎｙ／ＰＥＴ構成の多層フィルムであればこの多層フィルムのＡｌ面）２とを重ね合わせる。
この際、チューブ状フィルム１の両端は、フィルム２の両端から若干はみださせた状態で積層する。
【００２０】
フィルムが表裏に重ね合わせられたチューブ状の積層フィルムは、次の、包装袋製造装置１３によって、最初に、流れ方向シール部１３１で、重ね合わせられた表裏のフィルムの最内面同士を熱封緘すると共に、両端にはみだしているチューブ状フィルムの折り畳み部分を流れ方向カッター１３２で裁断し、後刻クリーン包装袋として集積する際に幅が均一になるようにしておく。
【００２１】
つぎに、所望長さをおいて、幅方向シール部１３３で、重ね合わせられた表裏のフィルムの最内面同士を熱封緘すると共に、該シール面を幅方向カッター１３４で裁断し、一方の開口辺を除いて三方が熱シールされた一定寸法のクリーン包装袋３が製袋できる（図３参照）。
【００２２】
【実施例】
以下に本発明の実施例をさらに具体的に説明する。
〈実施例１〉
先ず、添加剤未添加の低密度ポリエチレン樹脂（ＬＤＰＥ）を上述のチューブ状フィルム製造装置のホッパー１１４から挿入し、熱溶融し、押出機の出口に取り付けたリングダイ１１１から、溶融したポリエチレン樹脂をチューブ状に押し出し、冷却ゾーンを通した後、チューブ内に一定量の圧縮窒素ガスを入れ、圧力でチューブが膨張して薄いチューブ状フィルムとする。このチューブ状フィルムは、ニップロール１１３を通して２つに折り畳まれた厚み８０μｍのチューブ状フィルム１を作製する（図１参照）。
【００２３】
別に、ポリエステル樹脂系接着剤を用いてドライラミネーション法により、ＬＤＰＥ（２０μｍ厚）／Ａｌ（９μｍ厚）／Ｎｙ（２５μｍ厚）／ＶＭＰＥＴ（１２μｍ厚）構成のフィルム２を作製しておく。
【００２４】
２つに折り畳まれた厚み８０μｍのチューブ状フィルム１の表裏のフィルムの外側面に、バリヤー性フィルム２のＬＤＰＥ面をフィルム重ね合わせ装置１２により積層する（図１参照）。
この際、チューブ状フィルムの流れ方向の両端はフィルムの端縁から数ｍｍ〜数ｃｍ程度はみ出した状態で積層されている。
【００２５】
次に、フィルムが表裏に積層されたチューブ状の積層フィルムは、包装袋製造装置１３を用いて、最初に、流れ方向シール部１３１で、積層された表裏のフィルムの最内面同士を流れ方向に適宜の幅で熱封緘すると共に、両端にはみ出しているチューブ状フィルムの折り畳み部分を流れ方向カッター１３２で裁断し（図２参照）、ついで、適宜の間隔毎に幅方向シール部１３３で、積層された表裏のフィルムの最内面同士を熱封緘すると共に、該シール面と未シール面の境界近傍を幅方向カッター１３４で裁断し、開口された一辺４を除いて三方が熱封緘５されたクリーン包装袋３が製袋された（図１、図３参照）。
【００２６】
但し、フィルム重ね合わせ装置は、フィルム積層装置の接着剤塗布部、乾燥部等は使用せず、つまり、チューブ状フィルムとフィルムとを積層する際、全面貼り合わせを行わず、製袋加工による熱封緘部分５のみがチューブ状フィルムとフィルムの接着部となる二重袋となるような包装袋を作製した（図２参照）。
【００２７】
〈比較例１〉
チューブ状フィルム製造装置を用いたポリエチレンフィルムの代わりに、実施例１と同じグレードのＬＤＰＥを、通常の作業環境でインフレーション後スリットした厚み８０μｍのＰＥフィルムを２本準備し、フィルム重ね合わせ装置１２の代わりに、接着剤塗布部、乾燥部、貼合部等から構成されるフィルム積層装置を用いて、準備した２本の厚み８０μｍのＰＥフィルムの外側に、別に準備したポリエステル樹脂系接着剤を用いてドライラミネーション法により作製した、Ａｌ（９μｍ厚）／Ｎｙ（２５μｍ厚）／ＶＭＰＥＴ（１２μｍ厚）構成のフィルム２のＡｌ面をポリエステル樹脂系接着剤を用いて積層して積層フィルムとし、実施例１と同じ包装袋製造装置を用いて実施例１と同寸法の包装袋を作製した。
【００２８】
このようにして作製した実施例１、比較例１の２種類の包装袋中に付着している粒子濃度を下記する方法により測定した。その結果を表１に示す。
粒子濃度測定方法  ‥  各袋の中に純水１リットルを充填し、包装袋の内面を洗浄後、この純水中の直径０．５μｍ以上の付着粒子を粒子濃度として液中パーティクルカウンターで測定した（測定単位；ケ／ミリリットル）。
【００２９】
【表１】
0003744222.tif 000002
【００３０】
この結果から、実施例１の包装袋は、クリーンな状態に保たれていることが分かる。
【００３１】
【発明の効果】
上記のように本発明によれば、２つのフィルムを積層する際、内面シーラントとの積層加工において、内面シーラントを外気に曝さないチューブ状態で行うことにより、塵埃のコンタミネーションを防止することができる。
従来の保護フィルムを剥離させてクリーン性を発現する方法よりも製造コストが安価で、かつ、保護フィルムの廃棄の面でも有効である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のクリーン包装袋を製造する製造装置の一実施例を示す模式説明図である。
【図２】  本発明のクリーン包装袋の製造装置を用いて作製したクリーン包装袋の一実施例を示す断面説明図である。
【図３】  本発明のクリーン包装袋の製造装置を用いて作製したクリーン包装袋の一実施例を示す平面説明図である。
【符号の説明】
１‥‥チューブ状フィルム
２‥‥フィルム
３‥‥クリーン包装袋
４‥‥開口された一辺、開口辺
５‥‥熱封緘辺、熱封緘部
１１‥‥チューブ状フィルム製造装置
１２‥‥フィルム重ね合わせ装置
１３‥‥包装袋製造装置
１１１‥‥リングダイ
１１２‥‥圧縮ガス
１１３‥‥ニップロール
１１４‥‥ホッパー
１３１‥‥流れ方向シール部
１３２‥‥流れ方向カッター
１３３‥‥幅方向シール部
１３４‥‥幅方向カッター
【図１】
0003744222.tif 000003
【図２】
0003744222.tif 000004
【図３】
0003744222.tif 000005