(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
近接して配置されている測定対象部位としての第一の部位及び第二の部位の拡大像を形成して両部位の間の距離を測定する測距装置であって、
前記第一の部位及び前記第二の部位を照明する観察対象部位照明光学系と、
参照部位としての第三の部位を照明する参照部位照明光学系と、
前記第一の部位及び前記第二の部位からの光と、前記第三の部位からの光とを合波する合波手段と、
前記第一の部位及び前記第三の部位の像が結像される第一の結像部と、
前記第二の部位及び前記第三の部位の像が結像される第二の結像部と、
前記第一の部位、前記第二の部位及び前記第三の部位の像を自動的に認識した後、前記第一の部位と前記第三の部位との間の第一の距離と前記第二の部位と前記第三の部位との間の第二の距離とを測定するとともに、前記第一の距離と前記第二の距離との差から、前記第一の部位と前記第二の部位との距離を算出する画像処理部と
を具備することを特徴とする測距装置。
【請求項２】
前記第一の部位からの光の前記第一の結像部への結像に対して適性露光量を与える機構と、
前記第二の部位からの光の前記第二の結像部への結像に対して適性露光量を与える機構と、
前記第三の部位からの光の前記第一の結像部への結像に対して適性露光量を与える機構と、
前記第三の部位からの光の前記第二の結像部への結像に対して適性露光量を与える機構と
を具備することを特徴とする請求項１記載の測距装置。
【請求項３】
前記第三の部位を照明する輝度可変の参照部位照明光源と、
該光源からの照明光を偏光させる第一の偏光板と、
前記合波手段からの光を前記第一の結像部及び前記第二の結像部に向けて２方向に分割する機構と、
該機構により分割された一方の合波光の通路上に配置された第二の偏光板と
を具備することを特徴とする請求項２記載の測距装置。
【請求項４】
前記第三の部位が、相対的に位置関係の安定な参照部位Ａと参照部位Ｂとを有し、
前記参照部位Ａを照明する輝度可変の光源、及び該光源とは別個の、前記参照部位Ｂを照明する輝度可変の光源を具備することを特徴とする請求項２記載の測距装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、近接して配置された二つの測定対象部位の拡大像を形成して、画像処理により２部位間の距離を測定する装置に関する。特には、きわめて高精度で、測定対象部位や測定装置の位置変動（ドリフト）に影響されることなく再現性良く距離を測定することのできる測距装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は、第一の従来例に係る測距装置の構成を模式的に示す図である。
この測距装置は、例えば半導体ウェハ２３上に形成されている下地層のような第一の物体２５と、該物体の上に積層された現像済のフォトレジスト層のような第二の物体２７の中心のズレを検査するため、それらの物体の側辺である第一の部位２５ａと第二の部位２７ａとの間の距離を測定するものである。
【０００３】
この従来例の測距装置は、照明用の光源１１を有する。光源１１から発した照明光１３は、光源１１と同軸上に配置されているコンデンサレンズ１５を通って適当な照明倍率に調整される。コンデンサレンズ１５を出た照明光は、コンデンサレンズ１５の軸と、対物レンズ２１や結像レンズ３３の軸とが交差する点に置かれているハーフミラー１７に当って下方に偏向され（照明光１９）、ハーフミラー１７の下方に置かれている対物レンズ２１を通過して上記第一の物体２５及び第二の物体２７を照明する。通常この種の測距装置においては、照明の均一性を保つために、照明光学系の配置をいわゆるケーラー照明とすることが多い。なお、第一の物体２５及び第二の物体２７は、対物レンズ２１の光軸付近に、図示せぬウェハステージによって位置決めされる。
【０００４】
第一の物体２５及び第二の物体２７に当てられた光は反射して（反射光１９）、対物レンズ２１及び、ハーフミラー１７を通過し（反射光２０１）、さらに同レンズ２１と同軸で上方に配置された結像レンズ３３を通過して、さらに上方に配置された結像手段としてのＣＣＤカメラ２０３の光電変換面に達する。この対物レンズ２１及び結像レンズ３３によって、第一の物体２５及び第二の物体２７の拡大像がＣＣＤカメラ２０３に結像する。そして、第一の部位像２５ａ′と第二の部位像２７ａ′を、ＣＣＤカメラ２０３からの画像信号を処理する画像処理制御部２０５で自動認識し、両像の間隔を測定する。同間隔を光学系の拡大率で割れば実際の第一の部位２５ａと第二の部位２７ａの間の距離を測定できる。
【０００５】
しかしながら、上記２つの物体２５、２７が、光軸方向に光学系の焦点深度を超えた段差を有する場合は、同時に第一の部位２５ａと第二の部位２７ａとをＣＣＤカメラ２０３上に結像させることはできない。その場合、レンズ２１や３３もしくはＣＣＤカメラ２０３の位置をズラして光学系を異なる状態に調整して両部位の像を結像させる。つまり、時刻ｔ1 で第一の物体２５フォーカスを合わせて第一の部位２５ａの像の位置を測定し、時刻ｔ2 で第二の物体２７フォーカスを合わせて第二の部位２７ａの像の位置を測定し、両位置間の間隔を求めていた。
【０００６】
また、第一の物体２５と第二の物体２７の光反射特性が大きく異なる場合にも、ＣＣＤカメラの感度のレンジの制約から、同時に第一の物体２５の像と第二の物体２７の像をＣＣＤカメラ２０３で観察することはできない。その場合には、上述のフォーカス調整の替りに光源１１の輝度やＣＣＤカメラ２０３の露光時間を変えて、異なる時刻で第一の部位２５ａと第二の部位２７ａの位置を測定していた。
【０００７】
図７は、第二の従来例に係る測距装置の構成を模式的に示す図である。
図７において、図６と同じ符号で示されている部品・部位は図６と同じ物を示し（以下同様）、説明を省略する。
図７の測距装置が図６の測距装置と異なるのは、結像レンズ３３の上方に、反射光２０１を２方向に分割するハーフミラー３５、及び、分割された反射光２１１、２１３を受ける２台のＣＣＤカメラ（第一のＣＣＤカメラ３９、第二のＣＣＤカメラ４７）を有することである。すなわち、ハーフミラー３５を通過した光２１１は上方に進んで第一のＣＣＤカメラ３９に入射し、ハーフミラー３５で横方向に反射された光２１３は第二のＣＣＤカメラ４７に入射する。
【０００８】
図７の測距装置では、いずれかのＣＣＤカメラ３９、４７の光軸方向の位置を調整することにより、フォーカスを変えて、同時に、第一の物体２５の像を第一のＣＣＤカメラ３９に、第二の物体の像を第二のＣＣＤカメラ４７に結像させることができる。そして、予め分っている基準座標（ＣＣＤ座標）における第一の部位２５ａと第二の部位２７ａの像の位置を測定して両位置の間隔を測定する。このとき、光源１１の輝度、第一のＣＣＤカメラ３９の露光時間、及び第二のＣＣＤカメラ４７の露光時間の３者のうちの２者を独立に調整することにより、ＣＣＤカメラ３９、４７の露光量を適切にすることができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の各従来技術にはそれぞれ以下の問題点があった。
（１）図６の第一の従来例では、フォーカス変更や露光量変更の時間だけ第一の部位と第二の部位を位置測定する時刻が異なるため、その間の測定対象物体や測距装置の意図せぬ移動（ドリフト）が誤差要因となり、測定の精度あるいは再現性が悪化する。このドリフトは、例えばＸ・Ｙステージ上に載置されているウェハの移動速度で１００〜２００nm/minに達する場合があり到底無視しえぬものである。
【００１０】
（２）図７の第二の従来例では、第一の物体と第二の物体の同時測定が可能ではあるが、２台のＣＣＤカメラ３９、４７の位置を基準に測定するため、両者の位置移動の安定性が測定値の安定性に反映するという問題点があった。つまり、第一のＣＣＤカメラ３９と第二のＣＣＤカメラ４７の光軸直角方向の位置変動の差の値が、測定誤差となる。
【００１１】
本発明は、きわめて高精度で、測定対象部位や測定装置のドリフトに影響されることなく再現性良く距離を測定することのできる測距装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の測距装置は、近接して配置されている測定対象部位としての第一の部位及び第二の部位の拡大像を形成して両部位の間の距離を測定する測距装置であって、前記第一の部位及び前記第二の部位を照明する観察対象部位照明光学系と、参照部位としての第三の部位を照明する参照部位照明光学系と、前記第一の部位及び前記第二の部位からの光と、前記第三の部位からの光とを合波する合波手段と、前記第一の部位及び前記第三の部位の像が結像される第一の結像部と、前記第二の部位及び前記第三の部位の像が結像される第二の結像部と、前記第一の部位、前記第二の部位及び前記第三の部位の像を自動的に認識した後、前記第一の部位と前記第三の部位との間の第一の距離と前記第二の部位と前記第三の部位との間の第二の距離とを測定するとともに、前記第一の距離と前記第二の距離との差から、前記第一の部位と前記第二の部位との距離を算出する画像処理部とを具備することを特徴とする。
【００１３】
すなわち、ＣＣＤカメラ等の結像部を基準とするのではなく、１個の第三の部位（あるいは相対位置変動の可能性の小さい複数の第三の部位）を基準として第一の部位と第二の部位の位置を測定することとした。したがって、結像部相互間の位置変動に影響されることなく、測定対象部位を同時に測定することができ、誤差の少ない距離測定を行うことができる。なお、両結像部における露光量の調整は、光源の輝度、ＣＣＤカメラ変換手段の露光時間、偏光板等を組み合わせて適当に行うことができる。また、両結像部におけるフォーカスの調整は、ＣＣＤカメラの光軸平行方向位置の調整や結像光学系のレンズの移動等によって行うことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
図１は、本発明の１実施例に係る測距装置の構成を模式的に示す図である。
図２は、図１の測距装置のＣＣＤカメラの画像を模式的に示す図である。（Ａ）は第一のＣＣＤカメラの画像を、（Ｂ）は第二のＣＣＤカメラの画像を示す。
図３は、図１の測距装置の第二の偏光板を示す正面図である。
【００１５】
この実施例の測距装置は、第一の部位２５ａ及び第二の部位２７ａを照明する観察対象部位照明光学系（光源１１、コンデンサレンズ１５等）と、第三の部位６１ａを照明する参照部位照明光学系（光源５１、コンデンサレンズ５５等）を備える。また、第一の部位２５ａ及び第二の部位２７ａからの光（反射光又は透過光）の作る像を拡大する拡大結像光学系（対物レンズ２１、結像レンズ３３等）を備える。さらに、第一の部位２５ａ及び第二の部位２７ａからの光と、第三の部位６１ａからの光とを合波する手段（ハーフミラー１７）と、第一の部位２５ａ及び第三の部位６１ａの像を結像する第一の結像手段（ＣＣＤカメラ３９）と、第二の部位２７ａ及び第三の部位６１ａの像を結像する第二の結像手段（ＣＣＤカメラ４７）とを備える。また、第一の部位２５ａからの光の第一の結像手段３９への結像に対して適正露光量を与える手段（輝度可変光源１１）と、第二の部位２７ａからの光の第二の結像手段４７への結像に対して適正露光量を与える手段（露光時間可変ＣＣＤカメラ４７）と、第三の部位６１ａからの光の第一の結像手段３９への結像に対して適正露光量を与える手段（露光時間可変ＣＣＤカメラ３９）と、第三の部位６１ａからの光の第二の結像手段４７への結像に対して適正露光量を与える手段（偏光板５７及び４３）を具備する。
【００１６】
この測距装置は、例えば半導体ウェハ２３上に形成されている下地層のような第一の物体２５と、該物体の上に積層された現像済のフォトレジスト層のような第二の物体２７の中心のズレを検査するため、それらの物体の側辺である第一の部位２５ａと第二の部位２７ａとの間の距離を測定するものである。
【００１７】
この測距装置は、照明用の光源１１を有する。光源１１から発した照明光１３は、光源１１と同軸上に配置されているコンデンサレンズ１５を通って適当な照明倍率に調整される。コンデンサレンズ１５を出た照明光は、コンデンサレンズ１５の軸と、対物レンズ２１や結像レンズ３３の軸とが交差する点に置かれているハーフミラー１７に当って下方に偏向され（照明光１９）、ハーフミラー１７の下方に置かれている対物レンズ２１を通過して上記第一の物体２５及び第二の物体２７を照明する。この種の測距装置においては、照明の均一性を保つために、照明光学系の配置をいわゆるケーラー照明を採用している。なお、第一の物体２５及び第二の物体２７は、対物レンズ２１の光軸付近に、図示せぬウェハステージによって位置決めされる。
【００１８】
第一の物体２５及び第二の物体２７に当てられた光は反射して（反射光１９）、対物レンズ２１及び、ハーフミラー１７を通過し（反射光３１）、さらに同レンズ２１と同軸で上方に配置された結像レンズ３３を通過する。その後、さらに上方に配置されたハーフミラー３５において分割され、同ミラー３５を通過した光３７は、上方の第一のＣＣＤカメラ３９の光電変換面に達する。
【００１９】
一方、ハーフミラー３５で左方向に反射された光４１は、同光４１の中心線とほぼ同軸に配置された第二の偏光板４３を通過し、第二の偏光板４３の左側に隣接してほぼ同軸に配置されている第二のＣＣＤカメラ４７に入射する。
この第二の偏光板４３には、図３に示すように、中央部に円形の全透過部７３、及び、周辺部にリング状の偏光部７１が設けられている。ここで、第二の物体２７からの反射光は主に中央の全透過部７３を通るように設定されているので、後述する偏光板の回転によって第二の物体の像の露光量が影響を受けないようになっている。後述する第三の物体６１からの透過光は主に偏光部７１を通って第二のＣＣＤカメラ４７に入射する。
なお、ハーフミラー３５は、第二の物体２７の調光を第二のＣＣＤカメラ４７の露光時間の調整で可能にするために反射率が透過率よりも大のものを選択して、第二のＣＣＤカメラ４７への入射光量を第一のＣＣＤカメラ３９への入射光量より多くしている。
【００２０】
一方、第一の光源１１に対してハーフミラー１７を中心とする反対側には、第三の物体６１や第二の光源５１が配置されている。第二の光源５１から発せられた照明光５３は、光源５１と同軸上に配置されているコンデンサレンズ５５を通って適当な照明倍率に調整される。コンデンサレンズ５５を出た照明光は、コンデンサレンズ５５と同軸上に配置されている第一の偏光板５７に入射し、偏光照明光５９となる。この照明光５９は、第一の偏光板５７と同軸上に配置されている第三の物体６１に入射する。第三の物体６１は適当な透光性のある物であり、その一部が参照部位６１ａとなっている。
【００２１】
第三の物体６１を通過した光６３は、図の左方向に進んでハーフミラー１７に当り、上方に反射される。この時、第三の部位６１ａからの光（参照部位光）は、ハーフミラー１７の下から上に透過する第一の物体及び第二の物体からの反射光１９（観察対象部位光）と合波され、合波光３１となって上方に進む。この合波光３１は、上述のように、結像レンズ３３を通り、ハーフミラー３５によって分割され、分割された光はそれぞれ第一のＣＣＤカメラ３９と第二のＣＣＤカメラ４７に入射する。そして、参照部位６１ａの像が第一のＣＣＤカメラ３９及び第二のＣＣＤカメラ４７に結像する。
【００２２】
図１の測距装置におけるフォーカス合わせについて説明する。
まず、第一の物体２５については、対物レンズ２１と結像レンズ３３の位置を調整し、さらに必要なら第一のＣＣＤカメラ３９の位置を上下に調整してフォーカスを合わせる。第二の物体２７については、第二のＣＣＤカメラ４７の位置を左右に調整してフォーカスを合わせる。第三の物体６１については、ちょうどフォーカスの合う位置に配置しておく。なお、第三の物体６１からの光は、対物レンズ２１を通過せず、焦点深度の深い光学系を介してＣＣＤカメラ４７、３９に入射するため、両カメラの双方に合焦することができる。
【００２３】
次に露光量調整について説明する。
まず、第一の物体２５の第一のＣＣＤカメラ３９に対する露光量は、第一の光源１１の輝度で調整できる。なお、第一のＣＣＤカメラ３９の露光時間で調整することもできるが、その場合第一のＣＣＤカメラ３９の露光時間が長くなりすぎると測定速度などに悪影響がある場合があり、注意する必要がある。
【００２４】
次に、第二の物体２７の第二のＣＣＤカメラ４７に対する露光量は、第二のＣＣＤカメラ４７の露光時間で調整できる。
次に、第三の物体６１の第一のＣＣＤカメラ３９に対する露光量は、第二の光源５１の輝度で調整できる。
【００２５】
最後に、第三の物体６１の第二のＣＣＤカメラ４７に対する露光量調整は、第一の偏光板５７と第二の偏光板４３との回動角度調整によって行う。２枚偏光板は、それらの偏光角度を平行に位置させると光をほぼ１００％通すが、角度を食い違わせていくと次第に通す光量が減少して、９０°交差させるとほとんど光を通さない。この原理により、第二のＣＣＤカメラ４７への第三の物体６１の露光量のみを独立に調整することができる。
【００２６】
図２は、上記構成の結果としてＣＣＤカメラに結像した像を示す。第一のＣＣＤカメラには図２（Ａ）のように、第一の物体の像２５′や第一の部位の像２５ａ′及び第三の部位の像６１ａ′が、フォーカス及び露光量共に良好な状態で結像している。また、第二のＣＣＤカメラには、図２（Ｂ）のように、第二の物体の像２７′や第二の部位の像２７ａ′及び第三の部位の像６１ａ′が、フォーカス及び露光量共に良好な状態で結像している。
【００２７】
この第一のＣＣＤカメラ及び第二のＣＣＤカメラの画像信号が画像処理制御部５０に送られて処理される。すなわち、まず第一の部位２５ａ、第二の部位２７ａ及び第三の部位６１ａの像を自動認識する。次に、第三の部位の像６１ａ′と第一の部位の像２５ａ′（両像は第一の部位２５ａの把技？手段により略平行線となるように調整しておく）の距離Ａ−Ｃを算出する。同様に、第三の部位の像６１ａ′と第二の部位の像２７ａ′の距離Ｂ−Ｃを算出する。
次に、（Ａ−Ｃ）−（Ｂ−Ｃ）＝Ａ−Ｂにより第一の部位の像２５ａ′と第二の部位の像２７ａ′との距離を算出し、これを像の拡大倍率で割って実際の第一の部位２５ａと第二の部位２７ａとの間の距離を算出する。なお、第一のＣＣＤカメラと第二のＣＣＤカメラでわずかに倍率が異なるが、それによる距離の差は予め補正しておく。上述の画像自動認識や距離自動算出のための具体的な画像処理技術は、一般的に用いられている正規化相関アルゴリズムやソフトウェアにて構成できる。
【００２８】
本実施例によれば、第一の物体２５や第二の物体２７あるいはウェハ２３全体の位置変動や、ＣＣＤカメラ３９、４７の位置変動に影響されることなく、フォーカス及び露光量ともに良好な画像が同時に得られ、２部位間の距離測定を良好な再現性の元で行うことができる。なお、本発明の基本原理は、２部位間の距離測定の他に、２部位間の角度測定や２部位間の高さの測定にも応用しうるものである。また、偏光板による露光量調整は、制御及び構成が簡単という利点がある。
【００２９】
図４は、本発明の他の１実施例に係る測距装置の構成を模式的に示す図である。
図５は、図４の測距装置のＣＣＤカメラの画像を模式的に示す図である。（Ａ）は第一のＣＣＤカメラの画像を、（Ｂ）は第二のＣＣＤカメラの画像を示す。この実施例の測距装置の特徴は、第三の物体１０７が折れ曲がり形状（アングル型）をしており、その両端部に２カ所の参照部位Ａ１０７ａと参照部位Ｂ１０７ｂが設けられており、両部位を別個に照明する光源（第二の光源５１と第三の光源１０１）が設けられていることである。その替り、図１の実施例のような偏光板は設けられていない。
【００３０】
第三の光源１０１は、輝度可変な光源である。光源１０１から発した照明光１０３は、光源１０１と同軸上に配置されているコンデンサレンズ１０５を通って、適当な照明倍率に調整される。コンデンサレンズ１０５を出た照明光は、第三の物体１０７の参照部位Ａ１０７ａ付近に当たり、同物体１０７を通過する。その光は、その後、コンデンサレンズ１０５の軸と、第二の光源５１やコンデンサレンズ５５の軸とが交差する点に置かれているハーフミラー１０９に当って左方に偏向される。
一方、第二の光源５１からの光５３は、第三の物体１０７の参照部位Ｂ１０７ｂ付近に当たり、同物体１０７を通過する。その光は、その後、ハーフミラー１０９を通過して左に進む。
このように両参照部位１０７ａ及び１０７ｂを透過した光は、両照明光軸の交差点に配置されているハーフミラー１０９で合波される。その後は図１の実施例と同様にハーフミラー１７によって測定対象部位からの反射光と合波され、最終的には第一のＣＣＤカメラ３９と第二のＣＣＤカメラ４７に、図５に示すように参照部位１０７ａ及び１０７ｂの像が結像する。そして、その後の信号処理は図１の実施例におけるのと同様に行われる。
【００３１】
この実施例では、参照部位の露光量調整は、第二の光源５１と第三の光源１０３を独立に輝度調整することにより行う。この方が、図１の実施例の偏光板を利用するものと比べて、可動部がないので寿命が長いという利点がある。
【００３２】
ところで、参照部位Ａ１０７ａと参照部位Ｂ１０７ｂとの位置関係は厳密に規定されており、また第三の物体１０７の剛性や低熱膨張性（材質：特殊ガラス）も確保されているので、測定光学系中において両参照部位は安定した同一の参照部位と見なすことができる。なお、測定演算を簡便に行うという点をさらに改善するために、第一のＣＣＤカメラ３９と画像処理制御部５０の間にスキャンコンバータを挿入して、図５（Ａ）の画像に対して図５（Ｂ）の画像を９０°回転させることも好ましい。
【００３３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、被測定物体の位置変動や、画像形成装置の位置変動に影響されることなく、フォーカス及び露光量ともに良好な画像が同時に得られ、２部位間の距離測定を良好な再現性のもとで行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例に係る測距装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】図１の測距装置のＣＣＤカメラの画像を模式的に示す図である。（Ａ）は第一のＣＣＤカメラの画像を、（Ｂ）は第二のＣＣＤカメラの画像を示す。
【図３】図１の測距装置の第二の偏光板を示す正面図である。
【図４】本発明の他の１実施例に係る測距装置の構成を模式的に示す図である。
【図５】図４の測距装置のＣＣＤカメラの画像を模式的に示す図である。（Ａ）は第一のＣＣＤカメラの画像を、（Ｂ）は第二のＣＣＤカメラの画像を示す。
【図６】第一の従来例に係る測距装置の構成を模式的に示す図である。
【図７】第二の従来例に係る測距装置の構成を模式的に示す図である。
【符号の説明】
１１  第一の光源                １３  照明光
１５  コンデンサレンズ          １７  ハーフミラー
１９  照明光、観察対象部位光    ２１  対物レンズ
２３  ウェハ                    ２５  第一の物体
２５′  第一の物体の像          ２５ａ′  第一の部位２５ａの像
２７  第二の物体                ２７′  第二の物体の像
２７ａ  第二の部位２７ａ        ２７ａ′  第二の部位２７ａの像
３１  合波光                    ３３  結像レンズ
３５  ハーフミラー              ３７  分割された合波光
３９  第一のＣＣＤカメラ        ４１  分割された合波光
４３  第二の偏光板              ４７  第二のＣＣＤカメラ
５０  画像処理制御部            ５１  第二の光源
５３  照明光                    ５５  コンデンサレンズ
５７  第一の偏光板              ５９  偏光照明光
６１  第三の物体                ６１ａ  第三の部位
６１ａ′  第三の部位の像        ６３  参照部位光
７１  偏光部（ハッチング）      ７３  全透過部
１０１  第三の光源              １０３  照明光
１０５  コンデンサレンズ        １０７  第三の物体
１０７ａ  参照部位Ａ            １０７ｂ  参照部位Ｂ
１０９  ハーフミラー
【図１】
0003778230.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003778230.tif 000008