(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クランクシャフトの回転を吸気弁又は排気弁を開閉させるカムシャフトに伝達する回転伝達機構に配置される弁開閉時期制御装置であって、カムシャフトと相対回転可能にカムシャフトの外周に取り付けられ、内周部に複数の流体室を形成する仕切壁を備えたハウジングと、
前記カムシャフトに取り付けられ、前記流体室を進角室と遅角室とに区画するベーンと、
前記進角室または前記遅角室の一方へ流体を給排する第１の流体通路と、
前記進角室または前記遅角室の他方へ流体を給排する第２の流体通路と、
前記ハウジングまたは前記カムシャフトの一方に設けられた退避孔と、前記ハウジングまたは前記カムシャフトの他方に設けられた受容孔と、前記退避孔に摺動自在に配置され、前記ハウジングと前記カムシャフトとが所望の位相となったときに一部が受容孔に係合可能なノックピンとからなる位相保持機構と、
前記ノックピンの前記受容孔への係合を解除するための流体を給排する第３の流体通路とからなる弁開閉時期制御装置において、
前記第３の流体通路は前記ハウジングと前記カムシャフトとが所望の位相となったときにのみ前記受容孔に連通し、
前記ノックピンを前記受容孔側に付勢する流体を給排する第４の流体通路を備え、該第４の流体通路は前記ハウジングと前記カムシャフトとが所望の位相となったときにのみ前記退避孔に連通することを特徴とする弁開閉時期制御装置。
【請求項２】
前記第３の流体通路の一部が、前記退避孔を設けた前記ハウジングまたは前記カムシャフトの一方に形成されていることを特徴とする請求項１記載の弁開閉時期制御装置。
【請求項３】
前記第３の流体通路は、前記第１の流体通路または前記第２の流体通路と連通していることを特徴とする請求項１または請求項２記載の弁開閉時期制御装置。
【請求項４】
前記第４の流体通路の一部が、前記受容孔を設けた前記ハウジングまたは前記カムシャフトの一方に形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の弁開閉時期制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内燃機関のクランクプーリからの回転力がタイミングプーリを介して伝達されるカムシャフトとタイミングプーリとの間で運転状態に応じた位相の可変を行う内燃機関用の弁開閉時期制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明に関する従来技術として、例えば本願出願人が既に出願した特願平８−２０２２８８号がある。この従来技術の弁開閉時期制御装置を図８，９により説明すると、図８に示すように弁開閉時期制御装置１２はＤＯＨＣエンジンに搭載されている。シリンダヘッド１４には、回転可能に支持された排気バルブを開閉させるための排気側カムシャフト１６と、同じく回転可能に支持された吸気バルブを開閉させるための吸気側カムシャフト１８とが取り付けられている。排気側カムシャフト１６と吸気側カムシャフト１８には相対回転不能に取り付けられたギヤ２０，２２がそれぞれ取り付けられており、ギヤ２０とギヤ２２とが噛み合うことによって排気側カムシャフト１６と吸気側カムシャフト１８が一体で回転する。吸気側カムシャフト１８の端部にはボルト２４によってタイミングプーリ２６が相対回転不能に取り付けられており、吸気側カムシャフト１８は図示しないクランクシャフトの回転を図示しないタイミングベルトを介してタイミングプ─リ２６に伝達されることによって回転する。弁開閉時期制御装置１２はギヤ２０に隣接して吸気側カムシャフト１８に取り付けられている。
【０００３】
図９に示すように、吸気側カムシャフト１６の外表面には内部ロータ２８が相対回転不能に取り付けられており、内部ロータ２８の外周部には５枚のベーン３０が取り付けられている。それぞれのベーン３０は、内部ロータ２８の外側に配置されるリング形状のハウジング３２の内周側に形成した流体室３４内に配置している。流体室３４は、ベーン３０によって進角室３６と遅角室３８とに区画している。遅角室３６と遅角室３８とは、ＥＣＵ３９の信号により作動する油圧制御バルブ４０により制御されるオイルがそれぞれ進角油路４２および遅角油路４４を介して供給または排出させるようになっている。カムシャフト１６とハウジング３２との位相は、進角室３６と遅角室３８との油圧差によってベーン３０を回転させて流体室３４の範囲で相対回転させることができる。
【０００４】
一方、内部ロータ２８には受容孔４６が形成され、ハウジング３２には退避孔４８が形成されており、受容孔４６と退避孔４８とは略同一断面で、カムシャフト１６とハウジング３２との位相がベーン３０が遅角室３８の容積を最大にする位置（最遅角位置）で対向する。受容孔４６には進角油路４２から分岐した油路５２が連通し進角油路４２のオイルが供給または排出させるようになっており、退避孔４８にはノックピン５０が配置しており、ノックピン５０の背面には退避孔４８に隣接する遅角室３８と連通する油路５４が形成され遅角油路４４のオイルが供給または排出させるようになっている。図９に示すようにノックピン５０は、カムシャフト１６とハウジング３２との位相が最遅角位置となると、油路５４を介して退避孔４８に流入する遅角室３８のオイルによって受容孔４６に係合するように摺動する。なお、ノックピン５０の係合を解除する場合には、油圧制御バルブ４０を切り換えて、進角油路４２にオイルを供給すると油路５２を介して受容孔４６にオイルが供給されてノックピン５０を退避孔４８に退けるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来技術の弁開閉時期制御装置においては、ノックピン５０の摺動方向の両端に進角油路４２および遅角油路４４のオイルを作用させているので、図１０，図１１に示すようなノックピン５０の係合を解除した状態においてオイルの脈動がノックピン５０に伝達し、ノックピン５０と、内部ロータ２８の外周面または退避孔４６を閉鎖している蓋５６との間で打音を発生する。詳しくは、吸気側カムシャフト１６が吸気バルブを開閉させ、排気側カムシャフト１８が排気バルブを作動させることにより、吸気側カムシャフト１６および排気側カムシャフト１８にはトルクの変動が発生し、このトルクの変動は進角室３６と遅角室３８に伝達することによりベーン３０は微小変動を繰り返す。このベーン３０の微小変動は、進角室３６と遅角室３８との内部のオイル量を変化させるのでオイルの脈動が発生する。このオイルの脈動は、ノックピン５０に伝達し、ノックピン５０の摺動方向にクリアランスがあることによりノックピン５０を摺動方向に微小振動させる。このとき、ノックピン５０の内周側が内部ロータ２８と当接し、ノックピン５０の外周側が蓋５６に当接するので、この当接による打音が発生する。
【０００６】
本発明は、上記の従来技術の問題点を解決した弁開閉時期制御装置を開示するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記した課題を解決するために請求項１の発明において講じた手段は、クランクシャフトの回転を吸気弁又は排気弁を開閉させるカムシャフトに伝達する回転伝達機構に配置される弁開閉時期制御装置であって、カムシャフトと相対回転可能にカムシャフトの外周に取り付けられ、内周部に複数の流体室を形成する仕切壁を備えたハウジングと、カムシャフトに取り付けられ、流体室を進角室と遅角室とに区画するベーンと、進角室または遅角室の一方へ流体を給排する第１の流体通路と、進角室または遅角室の他方へ流体を給排する第２の流体通路と、ハウジングまたはカムシャフトの一方に設けられた退避孔と、ハウジングまたはカムシャフトの他方に設けられた受容孔と、退避孔に摺動自在に配置され、ハウジングとカムシャフトとが所望の位相となったときに一部が受容孔に係合可能なノックピンとからなる位相保持機構と、ノックピンの受容孔への係合を解除するための流体を給排する第３の流体通路とからなる弁開閉時期制御装置において、第３の流体通路はハウジングとカムシャフトとが所望の位相となったときにのみ受容孔に連通し、ノックピンを受容孔側に付勢する流体を給排する第４の流体通路を備え、第４の流体通路はハウジングとカムシャフトとが所望の位相となったときにのみ退避孔に連通するようにしたことである。従って、受容孔からノックピンを排出させるための流体を供給する第３の流体通路が所望の位相、すなわち受容孔と退避孔とが対向したときにのみ連通させることが可能となり、ノックピンに退避孔に収容されている状態においては第３の流体通路からの油圧が作用することがなく、オイルの脈動がノックピンに伝達することを防止することが可能となる。また、流体圧によりノックピンを受容孔に付勢するタイプにおいても、脈動による影響を排除することが可能となる。
【０００８】
請求項２の発明において講じた手段は、第３の流体通路の一部が、退避孔を設けたハウジングまたはカムシャフトの一方に形成されている構成としたことである。従って、第３の流体通路を相対回転を行うハウジングとカムシャフトの双方に部分的に形成することで、ハウジングとカムシャフトとが所望の位置となったときにのみ受容孔に連通する構成が簡単に形成することが可能となる。
【０００９】
請求項３の発明において講じた手段は、第３の流体通路は、第１の流体通路または第２の流体通路と連通する構成としたことである。従って、ノックピンを排出するための流体を供給するための通路を別個に設ける必要がなくなることにより、カムシャフトの加工工数を低減することが可能となる。
【００１１】
請求項４の発明において講じた手段は、第４の流体通路の一部が、受容孔を設けたハウジングまたはカムシャフトの一方に形成されている構成としたことである。従って、第４の流体通路を相対回転を行うハウジングとカムシャフトの双方に部分的に形成することで、ハウジングとカムシャフトとが所望の位置となったときにのみ受容孔に連通する構成が簡単に形成することが可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１３】
図１は、弁開閉時期制御装置の構成図を示している。図１に示されるように、エンジン６０は駆動力を出力するクランクシャフト６２、図示しない吸気弁を開閉駆動するカム（図示しない）を取り付けた吸気側カムシャフト６４および図示しない排気弁を開閉駆動するカム（図示しない）を取り付けた排気側カムシャフト６６を備えている。これらのシャフトには、それぞれタイミングプーリ６８、７０、７２が取り付けられており、ゴム材又は樹脂材よりなるタイミングベルト７４によってクランクシャフト６２の回転が吸気側カムシャフト６４および排気側カムシャフト６６に伝達される。また、これらのシャフトの回転位置は、それぞれ回転角センサ７６、７８、８０によって常時検出され、その検出信号はＥＣＵ８２に入力されている。なお、ＥＣＵ８２には、図示しないスロットル開度信号やエンジン６０の回転数信号、エンジン６０の水温信号などが入力されている。ＥＣＵ８２は、これらの信号を処理して油圧制御バルブ８４に制御電流を出力する。
【００１４】
油圧制御バルブ８４は、弁開閉時期制御装置８６への油圧の供給および排出を制御するもので、後述するようにクランクシャフト６２と吸気側カムシャフト６４、排気側カムシャフト６６との位相変更に合わせて油圧ポンプ８８からのオイルを弁開閉時期制御装置８６に供給し、弁開閉時期制御装置８６のオイルをドレン通路９０を介して排出する。
【００１５】
図２は、エンジンのシリンダーヘッド９２に摺動自在に取り付けた吸気側カムシャフト６４（以下、単にカムシャフト６４という）用タイミングプーリ７０の内周に弁開閉時期制御装置８６を取り付けた様子を示す断面図である。図３は図２のＢ−Ｂ断面を示している。なお、図２は、図３のＣ−Ｃ断面を示している。図４は、図３のＤ−Ｄ断面を示している。
【００１６】
図２、図３に示すように、カムシャフト６４の端部には中空ボルト９４により内部ロータ９６が相対回転不能に取り付けられている。一方、タイミングプーリ７０の内側にはボルト９８によって、外板１００、内板１０２、ハウジング１０４が相対回転不能に取り付けられている。外板１００の内周端１０１は、ネジ切りが施してあり外蓋１０６を締め付けることによって、中空ボルト９４と所定の隙間を確保し、外板１００の内周端１０１を水密的に封鎖している。内板１０２の内周端１０３は、カムシャフト６４の側面を摺動自在に覆っている。
【００１７】
図３に示すように、内部ロータ９６には５枚のベーン１０８がそれぞれカムシャフト６４の径方向に保持されており、ベーン１０８の内周端には図２に示すように板バネ１１０がそれぞれ配置しており、ベーン１０８を外周側へ付勢している。環状の形状をしたハウジング１０４の内周側には、仕切壁１１２によって区画された５つの油圧室１１４（流体室）を内部ロータ９６の外周壁との間に形成しており、それぞれの油圧室１１４はベーン１０８によって進角室１１６と遅角室１１８とに区画されている。なお、タイミングプーリ７０は、図３に矢印で示すように時計の回転方向に回転する。また、ハウジング１０４には径方向に延在する退避孔１２０が形成されており、退避孔１２０内には内部ロータ９６の外周壁に形成した受容孔１２２に係合可能なノックピン１２４が収容されている。この実施の形態においては、弁開閉時期制御装置８６が最遅角位置のときにノックピン１２４が係合するように、受容孔１２２を位置決めされている。退避孔１２０の外周側端は蓋１２６で水密的に封鎖されている。蓋１２６とノックピン１２４との間にはスプリング１２８が配置されており、ノックピン１２４を内部ロータ９６側へ付勢している。
【００１８】
この弁開閉時期制御装置８６は、進角室１１６と遅角室１１８とに供給される油圧差によってベーン１０８が油圧室１１４の範囲で回転することによって、タイミングプーリ７０とカムシャフト６４との位相を変換するものである。ここで、進角室１１６と遅角室１１８とに供給する油圧の通路について説明する。油圧制御バルブ８４（図１参照）と進角室１１６との間の油圧通路（進角油路）は、カムシャフト６４の外周に形成した第１リング溝１３０、カムシャフト６４の軸方向に延在する外側孔１３２、内部ロータ９６の略径方向に延在する第１溝１３４とから構成される。図１に示す油圧制御バルブ８４と遅角室１１８との間の油圧通路（遅角油路）は、カムシャフト６４の外周に形成した第２リング溝１３６、カムシャフト６４の中央に軸方向に延在する中央孔１３８、中空ボルトの中空部１４０、中空ボルト１４０の頭部空間１４２、内部ロータ９６の略径方向に延在する第２溝１４４とから構成される。
【００１９】
カムシャフト６４の軸方向に延在する外側孔１３２と受容孔１２２との間には、この間を連通する第３孔１４６が形成されている。この第３孔１４６は、図４に示すように内部ロータ９６に形成される第１の部分１４７と、内板１０２に形成される第２の部分１４８とから構成されている。内板１０２に形成される第２の部分１４８は、図２と図４を比較すると明確なように、内板１０２の内周端１０３およびカムシャフト６４の先端を切削して形成されており、ハウジング１０４と内部ロータ９６との位相がノックピン１２４が受容孔１２２に係合できる位相となったときのみ内部ロータ９６に形成される第１の部分１４７と連通する。また、第３孔１４６は、ノックピン１２４を退避孔１２０に排出すると、連通路１５０を介して進角室１１６ａと連通できる。連通路１５０は、ハウジング１０４の内周側壁に形成され、退避孔１２０と隣接する進角室１１６ａとの間を連通している。なお、連通孔１５０に代えて別個に第１溝１３４を形成することも可能であり、別個に第１溝１３４を形成することによりベーン１０８を介して内部ロータ９６の回転トルクを大きくすることができる。
【００２０】
図３に示すように、ノックピン１２４の外周側のスプリング１２８が配置された背面室１５２と中空ボルト１４０の頭部空間１４２との間には、この間を連通する第４溝１５４が設けられている。第４溝１５４は、内部ロータ９６の軸方向端面にに形成される第１の部分１５５と、ハウジング１０４の軸方向端面にに形成される第２の部分１５６とから構成され、第１の部分１５５と第２の部分１５６とは、第３孔１４６と同様にハウジング１０４と内部ロータ９６との位相がノックピン１２４が受容孔１２２に係合できる位相となったときのみ連通するようになっている。
【００２１】
次に、以上の構成からなる弁開閉時期制御装置の作動について説明する。
【００２２】
図３に示す最遅角位置から進角させる場合、すなわち、タイミングプーリ７０の回転よりもカムシャフト６４の回転を進角させる場合には、油圧制御バルブ８４を作動させて進角油路を介して進角室１１６にオイルを供給するとともに、遅角油路を介して遅角室１１８のオイルを排出する。このとき、先ず、進角油路と連通する第３溝１４６にもオイルが供給され、背面室１５２のオイルも遅角油路と連通する第４溝１５４を介して排出されるので、ノックピン１２４が図５に示すように受容孔１２２から排出され、退避孔１２０内に収容される。従って、ハウジング１０４と内部ロータ９６との位相変換が可能となる。次に、図６に示すように、オイルが供給される進角室１１６の油圧と、オイルが排出される遅角室１１８の油圧との油圧差によって、ベーン１０８がタイミングプーリ７０の回転方向（時計の回転方向）へ回転する。このベーン１０８の回転に伴ってハウジング１０４と内部ロータ９６との位相が進角する。
【００２３】
なお、図６に示した状態になると、第３孔１４６および第４溝１５４は、それぞれの第１の部分１４７、１５５と第２の部分１４８、１５６とが連通しないので、カムシャフト６４に図示しない吸気バルブの作動に伴うトルク変動の力が加わることにより、ベーン１０８の位置が変動して進角室１１６と遅角室１１８の内部のオイル圧が変動しても、このオイルの変動（脈動）はノックピン１２４に伝わらない。従って、ノックピン１２４はスプリング１２８によって内部ロータ９６側に付勢された状態で保持できるので、ノックピン１２４が摺動方向に移動して打音を発生することがない。
【００２４】
一方、図６に示した状態又は最進角位置から、タイミングプーリ７０の回転よりもカムシャフト６４の回転を遅角させる場合には、油圧制御バルブ８４を切り替えて進角油路からオイルを排出し、遅角油路にオイルを供給することで、進角させる場合の逆の作動となり遅角させることができる。当然のことながら、図５に示した最遅角位置まで遅角させると、第３孔１４６および第４溝１５４が通路形成され、第４溝を介して背面室１５２に供給されたオイルの油圧とスプリング１２８の付勢力によってノックピン１２４が受容穴１２２に係合する。
【００２５】
上記の実施の形態の変形例として、図７に示すように退避孔１２０を内部ロータ９６に形成してノックピン１０４を収容し、受容孔１２２をハウジング１０４に形成することも可能である。
【００２６】
また、上記の実施の形態においては、第３孔１４６および第４溝１５４のそれぞれが、第１の部分１４７、１５５と第２の部分１４８、１５６とに分割して構成され、ノックピン１２４が係合できる位相となったときにのみ連通するようになっているが、第３孔１４６または第４溝１５４の一方にのみ第１の部分と第２の部分とに分割構成されていればオイルの脈動によるノックピン１２４の打音を防止することができる。例えば、第３孔１４６を第１溝１３４と同じく、位相に関係なく常に外側溝１３２と連通するように構成し、第４溝１５４のみを第１の部分１５５と第２の部分１５６とに分割して構成する。第４溝のみをこのような構成とすることにより、図６に示す位相となった場合には、背面室１５２および第２の部分１５６の内部のオイルが排出される通路が遮断されるので、万一第３孔１４６からオイルの脈動が伝達しノックピン１２４を蓋１２６側に押し上げる力が作用しても、背面室１５２内のオイルがダンパとして作用し、ノックピン１２４の摺動を抑えることができ、打音の発生を防止することができる。
【００２７】
更に、上記の実施の形態では、ゴム材又は樹脂材よりなるタイミングベルト７４をタイミングプーリ７０に作用させていることにより、タイミングベルト７４が確実にタイミングプーリ７０と係合させるために、タイミングプーリ７０に弁開閉時期制御装置８６のオイルを付着させることができない。しかしながら、タイミングベルト７４を鎖又はチェーンあるいはギヤよりなる伝達機構を用いてクランクシャフト６２の回転を伝達し、更に第３孔１４６からノックピン１２４の摺動面を染み込んで背面室１５２へ回り込んだオイルを蓋１２６に設ける排出孔を介して外部に放出するタイプの弁開閉時期制御装置も開発されている。本発明は、このようなタイプの弁開閉時期制御装置の第３孔にも適用することができる。
【００２８】
更に、上記の実施の形態においては、吸気カムシャフト６４に弁開閉時期制御装置８６を取り付けているが、排気カムシャフト６６に弁開閉時期制御装置８６を取付けてもまったく同様な効果が得られるものである。また、従来技術を説明した図８に示すような吸気カムシャフト６４又は排気カムシャフト６６の一方にタイミングプーリを取付けて、吸気カムシャフト６４と排気カムシャフト６６との間をギヤで伝達して回転を伝達するタイプの弁開閉時期制御装置にも適用してもまったく同様な効果が得られるものである。
【００２９】
更に、本実施の実施の形態においては、第３孔１４６に進角油路のオイルを導いて、ノックピン１２４を受容孔１２２から排出するようにしているが、本発明は第３孔１４６に遅角油路のオイルを導くタイプに適用することも可能である。この場合には、連通路１５０を介して第３孔１４６と進角室１１６ａとを連通することなく、進角室１１６ａに別個に第１溝１３４を形成する必要がある。
【００３０】
【発明の効果】
上記した請求項１の発明によれば、第３の流体通路をハウジングとカムシャフトとが所望の位相となったときにのみ受容孔に連通するようにしたので、受容孔からノックピンを排出させるための流体をハウジングとカムシャフトとが所望の位相、すなわち受容孔と退避孔とが対向したときにのみ連通させることが可能となり、ノックピンが退避孔に収容されている状態においては第３の流体通路からの油圧が作用することがなく、オイルの脈動がノックピンに伝達することを防止することができる。従って、オイルの脈動によりノックピンが退避孔内を摺動して発生する打音の問題を解消することができる。
また、ノックピンを受容孔側に付勢する流体を給排する第４の流体通路を備え、第４の流体通路はハウジングとカムシャフトとが所望の位相となったときにのみ退避孔に連通する構成としたので、流体圧によりノックピンを受容孔に付勢するタイプにおいても、脈動による影響を排除することができる。
【００３１】
請求項２の発明によれば、第３の流体通路の一部を退避孔を設けたハウジングまたはカムシャフトの一方に形成されている構成としたので、第３の流体通路を相対回転を行うハウジングとカムシャフトの双方に部分的に形成することができ、ハウジングとカムシャフトとが所望の位置となったときにのみ受容孔に連通する構成が簡単に形成することができる。
【００３２】
請求項３の発明によれば、第３の流体通路を第１の流体通路または第２の流体通路と連通する構成としたので、ノックピンを排出するための流体を供給するための通路を別個に設ける必要がなくなり、カムシャフトの加工工数を低減することができる。
【００３４】
請求項４の発明によれば、第４の流体通路の一部を受容孔を設けたハウジングまたはカムシャフトの一方に形成されている構成としたので、第４の流体通路を相対回転を行うハウジングとカムシャフトの双方に部分的に形成することで、ハウジングとカムシャフトとが所望の位置となったときにのみ受容孔に連通する構成が簡単に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の弁開閉時期制御装置をエンジンに取り付けたときの概要を示したものである。
【図２】本発明の実施の形態である弁開閉時期制御装置の断面を示したものである。
【図３】図２のＢ−Ｂ断面図を示したものである。
【図４】図３のＤ−Ｄ断面図を示したものである。
【図５】本発明の弁開閉時期制御装置の作動を説明する図３に対応する図面であり、ノックピンが受容孔から排出された様子を示す図面である。
【図６】本発明の弁開閉時期制御装置の作動を説明する図３に対応する図面であり、進角側に位相が変換した様子を示す図面である。
【図７】本発明の実施の形態である弁開閉時期制御装置の変形例を示す図面である。
【図８】従来技術の弁開閉時期制御装置の取付けの様子を示す図面である。
【図９】図８のＡ−Ａ断面図を示したものである。
【図１０】従来技術の弁開閉時期制御装置の作動を説明する図９に対応する図面である。
【図１１】従来技術の弁開閉時期制御装置の作動を説明する図９に対応する図面である。
【符号の説明】
６２・・・クランクシャフト
６４、６６・・・カムシャフト
８６・・・弁開閉時期制御装置
１０４・・・ハウジングと、
１０８・・・ベーン
１１２・・・仕切壁
１１４・・・油圧室（流体室）
１１６・・・進角室
１１８・・・遅角室
１２０・・・退避孔
１２２・・・受容孔
１２４・・・ノックピン
１３４・・・第１溝（第１の流体通路）
１４４・・・第２溝（第２の流体通路）
１４６・・・第３孔（第３の流体通路）
１５４・・・第４溝（第４の流体通路）
【図１】
0003812691.tif 000002
【図２】
0003812691.tif 000003
【図３】
0003812691.tif 000004
【図４】
0003812691.tif 000005
【図５】
0003812691.tif 000006
【図６】
0003812691.tif 000007
【図７】
0003812691.tif 000008
【図８】
0003812691.tif 000009
【図９】
0003812691.tif 000010
【図１０】
0003812691.tif 000011
【図１１】
0003812691.tif 000012