(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
分散媒に測定対象粒子を分散させてなる測定対象試料に光を照射し、測定対象試料からの散乱光の強度分布を検出して、これを基に演算することにより、測定対象粒子の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、分散媒を循環させるためのポンプと、測定対象粒子の凝集を分離させるための超音波発振器と、前記ポンプを間欠動作させた後、ポンプを止めた状態で超音波を照射して、分散媒に含まれる気泡の結合および排出を促し、その後さらに前記ポンプを回転させて分散媒を循環させた状態で超音波を照射して超音波脱泡処理を前記超音波発振器に行わせる処理部とを備えたことを特徴とする粒径分布測定装置。
【請求項２】
分散媒に測定対象粒子を分散させてなる測定対象試料に光を照射し、測定対象試料からの散乱光の強度分布を検出して、これを基に演算することにより、測定対象粒子の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、分散媒に含まれる気泡の除去を行なう脱泡処理を実行した後に散乱光強度を測定し、この散乱光強度に基づいて前記脱泡処理の繰り返しの必要性を判断する機能を有することを特徴とする粒径分布測定装置。
【請求項３】
気泡を含まない分散媒に光を照射したときの散乱光強度を比較値として予め記憶し、実際測定に供する分散媒に光を照射したときの散乱光強度と前記比較値とを比較して脱泡処理の繰り返しの必要性を判断して、実際測定に供する分散媒の散乱光強度が前記比較値に対して許容範囲内になるまで脱泡処理を繰り返す請求項２に記載の粒径分布測定装置。
【請求項４】
前記脱泡処理が、測定対象粒子の凝集を分離するための超音波を照射する超音波発振器を用いて分散媒に含まれる気泡の結合を促して、これを除去させる超音波脱泡処理を含む請求項２または３に記載の粒径分布測定装置。
【請求項５】
分散媒に測定対象粒子を分散させてなる測定対象試料に光を照射し、測定対象試料からの散乱光の強度分布を検出して、これを基に演算することにより、測定対象粒子の粒径分布を求める粒径分布測定装置における脱泡方法であって、分散媒によるブランク測定を行う前に、分散媒に含まれる気泡を除去する脱泡処理を行った後に、散乱光強度を測定し、この散乱光強度に基づいて前記脱泡処理の繰り返しが必要であるかどうか判断することにより、脱泡処理を繰り返すことを特徴とする粒径分布測定装置の脱泡方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はサンプル液中に混入している気泡を除去するための粒径分布測定装置および粒径分布測定装置の脱泡方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、循環系に充填した分散媒に測定対象粒子を投入して測定対象試料を生成した後に、この測定対象試料を循環させながら光を照射し、測定対象試料からの散乱光の強度分布を検出して、検出された散乱光の強度分布を基に演算することにより、測定対象粒子の粒径分布を求める粒径分布測定装置がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の装置では、循環系に分散媒を注入し循環用ポンプでフローセルに分散媒を供給するときに、分散媒中に気泡が混入し、この気泡もフローセル内に導入してしまうことがあった。このような場合、不安定な気泡によって光の散乱や屈折が生じるので、測定値に誤差が生じたり、測定不能になることもあった。なお、本明細書における「気泡」とは、測定対象粒子とほゞ同程度またはこれより小さい泡から測定対象粒子よりも十分に大きい空気の塊の全てを含むものである。
【０００４】
とりわけ、粒径の細かい測定対象粒子の凝集を防ぐために、分散媒にヘキサメタリン酸ナトリウムなどの界面活性剤を添加して分散媒の表面張力を減少させたときには、気泡が壊れにくくなり、分散媒を循環系に充填させるべく前記循環用ポンプを動作させると、多量の気泡が分散媒に混入していた。そして、測定対象粒子を含まないブランク測定を行うときには含まれていた気泡が、測定対象粒子を含む測定時においては気泡同士が結合してその径が大きくなったり、フローセル外に排出されて、その状態が変化することがあった。
【０００５】
つまり、循環系に気泡が残るとブランク測定時に気泡からの散乱光によってブランク値が上がり、サンプル測定時にこの気泡が自然崩壊することになり、気泡から生じていた散乱光強度が変化することにより、粒子からの正確な散乱光を得ることができず、正確な粒径分布を得られないことがあった。
【０００６】
そこで、操作者は、循環系に分散媒を注入した後に循環系内の気泡が排除されるように、循環系に気泡がなくなるまで十分の時間を待つことや、循環用ポンプの動作をある程度の時間動作した後に停止するなどして間欠的に行う泡抜き操作を行なうことがあった。ところが、この泡抜き操作は、操作者の経験に頼って行われるものであるから再現性が悪く、操作者の経験によって測定結果に大きな差が生じていた。
【０００７】
本発明はこのような実情を考慮に入れてなされたものであって、レーザ回折／散乱式粒径分布測定装置において、循環系に溜まった気泡を確実に除去し、正確な測定を行うことができる粒径分布測定装置および粒径分布測定装置の脱泡方法を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の課題を解決するための手段を以下のように構成している。
すなわち、第１発明の粒径分布測定装置は、分散媒に測定対象粒子を分散させてなる測定対象試料に光を照射し、測定対象試料からの散乱光の強度分布を検出して、これを基に演算することにより、測定対象粒子の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、分散媒を循環させるためのポンプと、測定対象粒子の凝集を分離させるための超音波発振器と、前記ポンプを間欠動作させた後、ポンプを止めた状態で超音波を照射して、分散媒に含まれる気泡の結合および排出を促し、その後さらに前記ポンプを回転させて分散媒を循環させた状態で超音波を照射して超音波脱泡処理を前記超音波発振器に行わせる処理部とを備えたことを特徴としている。
【０００９】
したがって、前記超音波脱泡処理は気泡を効果的に結合してこれを排除できるので、界面活性剤を混入した分散媒であっても、この分散媒に含まれる気泡を短時間で排出することができ、気泡の影響のない粒径分布測定を容易に行うことができる。
第１発明では、ポンプの間欠動作の後、前記ポンプを止めた状態と回転させた状態とで超音波脱泡処理を行うので、分散媒に含まれる種々の大きさの気泡を迅速に取り除くことができる。すなわち、ポンプを間欠的（循環系を１周するのに必要な時間またはこれより長い時間で動作し、また停止するように）に動作させることにより、循環系を流れる分散媒の流量を変化させて、大きな気泡および空気の塊を速やかに排出することができる。また、ポンプを止めた状態で超音波発振器を用いて超音波を照射するので、分散媒に含まれる小さな気泡を結合させることができ、これにより、前記ポンプによる排出では排出できなかった小さな気泡を結合させて、排出しやすい比較的大きな気泡に成長させることができる。そして、その後さらに、ポンプを回転させながら前記超音波発振器を用いて分散媒に含まれる隠れた気泡の結合を促すことにより、結合して大きくなった気泡を容易に排出することができる。
【００１０】
また、第２発明の粒径分布測定装置は、分散媒に測定対象粒子を分散させてなる測定対象試料に光を照射し、測定対象試料からの散乱光の強度分布を検出して、これを基に演算することにより、測定対象粒子の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、分散媒に含まれる気泡の除去を行なう脱泡処理を実行した後に散乱光強度を測定し、この散乱光強度に基づいて前記脱泡処理の繰り返しの必要性を判断する機能を有することを特徴としている。
【００１１】
したがって、前記脱泡処理の繰り返し回数は粒径分布測定に用いられる散乱光強度に基づいて判断されるので、操作者が目視によって判断する場合に比べて、粒径分布測定に悪影響がない程度の気泡であるかどうかをより的確に判断できる。加えて、判断基準がいつも同じであるから操作者の経験に関係なく、確実に脱泡処理を行って、誰でもどんな分散媒を用いても再現性のよい測定を行うことができる。
【００１２】
気泡を含まない分散媒に光を照射したときの散乱光強度を比較値として予め記憶し、実際測定に供する分散媒に光を照射したときの散乱光強度と前記比較値とを比較して脱泡処理の繰り返しの必要性を判断して、実際測定に供する分散媒の散乱光強度が前記比較値に対して許容範囲内になるまで脱泡処理を繰り返す場合には、気泡の混入が所定の許容範囲内になるまで自動的に脱泡処理を繰り返すための的確な判断を行うことができる。
【００１３】
前記脱泡処理が、凝集した測定対象粒子の多重結合を分離するための超音波を照射する超音波発振器を用いて分散媒に含まれる気泡の結合を促して、これを除去させる超音波脱泡処理を含む場合には、この超音波脱泡処理によって気泡を効果的に結合してこれを排除でき、かつ、この超音波脱泡処理を必要最小限繰り返すので、界面活性剤を混入した分散媒であっても、この分散媒に含まれる気泡をより短時間で排出することができ、気泡の影響のない粒径分布測定を迅速かつ容易に行うことができる。
【００１４】
【００１５】
【００１６】
第３発明の粒径分布測定装置の脱泡方法は、分散媒に測定対象粒子を分散させてなる測定対象試料に光を照射し、測定対象試料からの散乱光の強度分布を検出して、これを基に演算することにより、測定対象粒子の粒径分布を求める粒径分布測定装置における脱泡方法であって、分散媒によるブランク測定を行う前に、分散媒に含まれる気泡を除去する脱泡処理を行った後に、散乱光強度を測定し、この散乱光強度に基づいて前記脱泡処理の繰り返しが必要であるかどうか判断することにより、脱泡処理を繰り返すことを特徴としている。
【００１７】
前記粒径分布測定装置および粒径分布測定装置の脱泡方法は、全てソフトウェアのシーケンスによって脱泡を行うので、新たなハードウェア上の構成を必要としておらず、製造コストを抑えることができる。なお、分散媒を循環させるためのポンプはその速度を自在に調節できることが望ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の粒径分布測定装置１の好ましい実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図１において、２は粒径分布測定装置１の測定部、３はこの測定部２に接続されて測定結果を出力する演算処理部（処理部）である。
【００１９】
４は測定対象粒子Ｓを純水などの分散媒に混合攪拌するための液溜め部、５はこの液溜め部４の下端部に形成された遠心ポンプ、６はこの遠心ポンプ５を回転させるモータ、７は前記液溜め部４の下端部においてポンプ５の吐き出し部側と吸い込み部側にそれぞれ基端および終端を連通連結する循環流路、８はこの循環流路７中に設けたフローセル、９は循環路８中に設けた超音波発振器、１０は循環流路７内にある液体（測定対象試料など）を排出するための電磁弁である。また、前記各部４〜１０は前記測定対象試料Ｓ’を循環させる循環系１１を構成する。
【００２０】
一方、１２はＨｅ−Ｎｅレーザ光源、１３は光源１２からのレーザ光の径を拡大するビーム拡大器、１４は前記フローセル８内の測定対象試料Ｓ’による散乱光を検出する複数チャンネルの検出器である。したがって、前記各部８，１２〜１４は光学系１５を構成する。
【００２１】
また、１６は演算処理部３との通信を行って演算処理部３からのコマンドを受信し測定部２全体の制御を行なうと共に、測定結果を演算処理部３に対して出力するＣＰＵ、１７はこのＣＰＵ１６によって実行可能である簡単なプログラムＰなどを記録してなる記憶部である。
【００２２】
演算処理部３は測定部２に対して適切コマンドを出力して得られた測定結果を解析することにより測定対象粒子Ｓの粒径分布を求め、この粒径分布を表示部３ａに出力する。また、操作者からの指示に応じて循環系１１を適切に制御する為のコマンドを出力したり、求められた測定結果や粒径分布などを図外のプリンタなどに出力したり、任意の記録媒体に記録する。
【００２３】
前記液溜め部４は循環系１１内に充填する分散媒Ｌｑや測定対象粒子Ｓさらには界面活性剤Ｔｗのような分散促進薬の投入口を有し、これらを混合することによって測定対象試料Ｓ’を生成するように構成している。また、本例の場合はこの液溜め部４の下端部に遠心ポンプ５を形成し、このポンプ５をモータ６によって回転させることで測定対象試料Ｓ’を循環流路７内に充填させると共にこれを循環させる。前記モータ６は、例えば１５段階で回転速度を可変とするものである。しかしながら、本発明は液溜め部４、ポンプ５およびモータ６の構成を限定するものではない。
【００２４】
セル８は測定対象試料Ｓ’を循環させながら、前記Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源１２からのレーザ光Ｌがセル８内の測定対象試料Ｓ’を透過するようにガラスなどの光透過材料で構成されたフローセルである。
【００２５】
超音波発振器９は循環流路７内の適宜の位置に取り付けられて、測定対象試料Ｓ’に超音波を照射することにより、この測定対象試料Ｓ’に分散する測定対象粒子Ｓの凝集を防止するものであるが、本発明ではこの超音波発振器９を用いて分散媒Ｌｑに含まれる気泡の結合を促して、この気泡の排出（本発明における、気泡の排出は分散媒Ｌｑに混入している泡や空気層の排出を意味しており、以下、脱泡するという）を行なうものである。
【００２６】
前記レーザ光源１２はＨｅ−Ｎｅレーザに限られるものではなく、タングステンランプなどその他の光源であっても、２つ以上の光源を用いるものであってもよい。とりわけ、タングステンランプはより小さい粒子径であっても測定可能であるから、タングステンランプとＨｅ−Ｎｅレーザを両方用いることにより、広い粒径範囲を測定することが可能となる。
【００２７】
前記検出器１４はレーザ光Ｌの進行方向の前方に形成されたリングディテクタ１４ａと、レーザ光Ｌの進行方向に対して側方から後方に形成された複数の検出器１４ｂとを有している。したがって、レーザ光Ｌの進行方向に対して前方から後方まで角度ごとに散乱光Ｌｓの光量を検出することができる。（以下の説明において各散乱角度ごとの光量の検出値を検出器１４のチャンネルごとの出力として表わす）
【００２８】
前記ＣＰＵ１６は好ましくは省エネルギーを達成するワンチップマイクロコンピュータであり、前記ポンプ５のモータ６を回動させたり、超音波発振器９を動作させると共に、各検出器１４からの信号を入力するための各種プログラムＰを記憶部１７から読み出してこれを実行するものである。
【００２９】
前記粒径分布測定装置１を用いて測定対象粒子Ｓの粒径分布測定を行なう場合、まず、ブランク測定に先立って少なくとも水などの分散媒Ｌｑを循環系１１内に充填させて、気泡の存在しない状態で散乱光Ｌｓの光量（散乱光強度）をチャンネルごとに検出し、このときの光の散乱光強度を比較値として予め記憶しておく。
【００３０】
なお、このとき用いる分散媒Ｌｑは測定対象粒子Ｓを分散させる分散媒Ｌｑと同じものであることが望ましく、測定対象粒子Ｓの粒径分布測定に界面活性剤Ｔｗを用いる場合には、比較値として記憶するときの分散媒Ｌｑにも界面活性剤Ｔｗを混合しておくことが望ましい。この比較値の測定および記憶は測定対象試料Ｓの粒径分布測定に先立って行われるものであり、粒径分布測定装置１の製造時に行われ、また、好ましくは定期的に行われるものである。
【００３１】
測定対象粒子Ｓの粒径分布測定を行うときには、分散媒Ｌｑと界面活性剤Ｔｗを液溜め部４に投入し、ポンプ５を駆動して、循環系に界面活性剤Ｔｗ入りの分散媒Ｌｑを充填させる。このとき、図示は省略するが、演算処理部３側の粒径分布測定装置用のソフトウェアでは、表示部３ａ上の測定を行なう測定画面において、画面の適宜の位置に「泡抜き」ボタンを表示している。そして、操作者がこの泡抜きボタンを操作することによって、演算処理部３から測定部２に泡抜きコマンドが出力される。
【００３２】
なお、本例のように測定部２を制御するための基本的なプログラムＰが測定部２側の記憶部１７に記憶されており、これが測定部２側のＣＰＵ１６によって実行されるように構成しているので、演算処理部３側の負担を小さくすることができ、演算処理部３は散乱光強度の解析に集中することが可能であるが、本発明はこの点を限定するものではない。すなわち、測定部２側のＣＰＵ１６はより基本的な動作のみを制御し、演算処理部３がこのプログラムＰを実行して一つずつのコマンドを測定部２に指示してもよい。
【００３３】
何れにしても、粒径分布測定装置１によって実行されるプログラムＰには一連の脱泡処理の手順が指示されているので、ＣＰＵ１６は循環系１１を動かすポンプ５および循環系１１内に設けられた超音波発振器９のＯＮ／ＯＦＦおよび強弱調節を、あらかじめ定められたシーケンスに基づいて行なうことができる。
【００３４】
図２は前記プログラムＰによって指示される一連の脱泡処理の例を示す図である。以下、図２を図１と共に用いて、このプログラムＰの動作を説明する。
【００３５】
まず、Ｓ１はポンプ５の回転を断続的にＯＮ／ＯＦＦさせる処理を行なうステップである。より詳細には、分散媒Ｌｑが循環流路７内を一周できる程度かそれより長い所定の時間として、例えば約１秒程度ポンプ５を駆動した後に、液溜め部４のように上部が開放している部分の下部に位置する気泡が浮力によって排出される所定の時間として、約１秒程度ポンプ５を止める。
【００３６】
したがって、前記ポンプ５の間欠動作により、循環流路７内の入り組んだ部分に溜まっている大きな空気を液溜め部４などの上端が開放している部分から脱気する。ここで、ポンプ５を断続的にＯＮ／ＯＦＦさせることにより、循環流路７内を流れる分散媒Ｌｑの流速に変化を付けることができ、これによって循環流路７の内周面に幾らかの凹凸があっても比較的大きな空気溜まりを効果的に脱泡することができる。
【００３７】
Ｓ２は一旦ポンプ５を止めて、前記超音波発振器９を用いて超音波を照射するステップである。すなわち、本来は測定対象粒子Ｓの凝集を解消するために設けられた超音波発振器９を測定対象粒子Ｓが入っていない分散媒Ｌｑに対して照射することにより、分散媒Ｌｑに混入した気泡の結合を促すことができる。したがって、比較的大きくなった気泡は短時間で浮力によって上昇し、液溜め部４などから排出される。
【００３８】
また、超音波の照射は循環流路７内の全ての部分に対して一度に行うことができ、循環流路７内の比較的入り組んだ部分に位置する気泡についてもこれをおびき出すようにして、その排出を促すことができる。
【００３９】
Ｓ３はポンプ５を低速回転させて、分散媒Ｌｑをゆっくりと循環させた状態で超音波を照射するステップである。より詳細には、ポンプ５の回転速度を１５段階で表現すると２〜３段階程度の回転速度（通常回転速度の１０〜２０％程度）で回転させながら、超音波を照射しつづけることにより、超音波の作用によって細かい気泡が結合して比較的大きく成長した気泡を容易に排出することができる。
【００４０】
ここで、ポンプ５を低速回転させながら超音波を照射することにより、分散媒Ｌｑが循環系１１をゆっくり巡回させながら、大きく成長した気泡を液溜め部４などの上端が開放している部分から脱気できる。ポンプ５の回転速度は液溜め部４などの上端が開放している部分の形状と、分散媒Ｌｑの粘度、前記ステップＳ１の脱泡処理では排出できない気泡の大きさによって決まる気泡の浮力の大きさなどによって定められる。
【００４１】
Ｓ４は前記ステップＳ１〜Ｓ３に示した一連の脱泡処理のシーケンスが終了した時点で実行されるものであり、セル８にレーザ光Ｌを照射して、その散乱光情報を調べるステップである。
【００４２】
Ｓ５は上述した一連の脱泡処理によって十分の泡抜きが達成できたかどうかを確認するステップである。すなわち、散乱光検出器１４のうち、一連の脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３が一通り終了した時点での散乱光強度が、気泡による散乱光Ｌｓの影響を受けやすい特定のチャンネルにおいて、前記比較値として予め記憶しておいた散乱光強度（泡の無い状態での散乱光強度）に比べて例えば１０％などの一定の割合以上高い場合、一連の脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３をさらに継続させる。
【００４３】
すなわち、本発明の粒径分布測定装置１は、分散媒Ｌｑに含まれる気泡の除去を行なう脱泡処理を実行した後に散乱光強度を測定し、この散乱光強度に基づいて前記脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３の効果や分散媒Ｌｑに含まれる気泡の量を確認し、繰り返しの必要性を判断する機能を有しているので、常に一定の基準で脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３をおこなうことができる。つまり、再現性が良くなる。
【００４４】
また、前記ステップＳ１におけるポンプ５の間欠動作の間隔や、ステップＳ２における超音波の照射時間や、ステップＳ３におけるポンプ５を低速回転させながら超音波を照射する時間およびポンプ５の回転速度を循環系１１の形状や分散媒Ｌｑの粘度や界面活性剤Ｔｗによる気泡の壊れにくさ（表面張力の低下率）などに合わせて最適に設定することにより、一連の脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３にかかる時間を最小限に抑えることができる。すなわち、効果的な脱泡処理を必要最小限の時間で行うことができる。
【００４５】
加えて、図２には詳述していないが、前記一連の脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３を所定回数以上繰り返した後に測定される散乱光強度が、前記比較値に比べて所定値以上高い場合には、その散乱が気泡によるものではなくセルの汚れなどによるものであるから、アラームや表示部３ａに対する表示などによってエラー信号を出力して、操作者に異常を通知する。
【００４６】
なお、本例ではステップＳ５において泡抜きが十分であるかどうかを判断するために、気泡による散乱光を受けやすい特定のチャンネルにおける散乱光強度を予め記憶しておいた比較値と比較する例を示しているが、本発明はこの点を限定するものではない。すなわち、ステップＳ４では、複数のチャンネルにおける散乱光強度の合算値を求め、その合算値を前記比較値の同一チャンネルにおける合算値との比較により、泡抜きが妥当な程度行われたかどうかを判断するようにしてもよい。
【００４７】
さらには、一連の脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３を行なう前における散乱光強度と、脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３を行った後の散乱光強度を比較するようにしてもよい。この場合、前記ステップＳ５では、脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３によって減少する気泡の量を確認でき、さらなる脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３を実行するかどうかの判断の基準とすることもでき、脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３が効果的であるかどうかも判断することができる。
【００４８】
何れにしても、本発明の粒径分布測定装置１はブランク測定を行う前に、前記一連の脱泡処理Ｓ１〜Ｓ３を必要最小限の回数だけ行なうことにより、循環系から気泡を除去することができ、循環系に泡が残ると、ブランク測定時に泡からの散乱光によって、ブランク値が上がり、サンプル測定時にこの泡が自動崩壊することにより、泡からの散乱光強度が減るといった事態が生じることを防ぐことができる。すなわち、特に界面活性剤Ｔｗを用いた場合のように気泡の発生が生じやすい分散媒Ｌｑであっても、極めて容易に粒子からの正確な散乱光Ｌｓを測定することができる。
【００４９】
粒径分布測定に問題となる気泡による影響は、粒径分布の演算に用いる散乱光Ｌｓの測定値を基に判断することが適しており、この散乱光強度に気泡による影響が現れていないことにより、粒径分布測定に適する程度、気泡の影響がないことを確認することができる。
【００５０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の粒径分布測定装置および粒径分布測定装置の脱泡方法によれば、分散媒に含まれる気泡を効果的に脱泡して、気泡による散乱光の発生を無くし、粒子による散乱光を正確に測定することができる。とりわけ、循環系に残される気泡による影響をソフトウェアで判断して脱泡処理を繰り返すことにより、誰がどんな分散媒を用いて行っても高精度の粒径分布測定を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の粒径分布測定装置の好ましい一例を示す構成説明図である。
【図２】  本発明の粒径分布測定装置の脱泡方法の一例を示す図である。
【符号の説明】
１…粒径分布測定装置、９…超音波発振器、Ｌｑ…分散媒、Ｓ…測定対象粒子、Ｓ’…測定対象試料、Ｓ１〜Ｓ３…脱泡処理、Ｓ２，Ｓ３…超音波脱泡処理、Ｐ（Ｓ４，Ｓ５）…繰り返しの必要性を判断する機能、Ｌ…レーザ光、Ｌｓ…散乱光。
【図１】
0003845309.tif 000002
【図２】
0003845309.tif 000003