(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パージガスが供給されるガス供給口と、複数のバッフル板が所定の間隔で配列されたパージ室とを備える加熱炉において、
前記パージ室の天板に、隣り合う２つの前記バッフル板の間へパージガスを吹き出すための複数の吹き出し孔を設けるとともに、
前記吹き出し孔の上方空間を閉塞部材により気密に閉塞し、かつその閉塞部材に前記ガス供給口を気密に接続して、そのガス供給口から各吹き出し孔にパージガスを分散供給するためのガス供給空間を形成したことを特徴とする加熱炉。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハやプリント回路基板のはんだリフロー等の熱処理に使用される加熱炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハやプリント回路基板などのはんだリフローや、その他の熱処理に使用されるコンベア炉等のトンネル型連続加熱炉では、例えば図２（ａ）及び（ｂ）に示すような簡単な構成のパージ室５０を炉の入出口に設けて余分なコストをかけることなく外気と炉内との雰囲気を遮断する。図において、この従来の加熱炉では、図示しないガス供給源に接続されるガス供給口５１がパージ室５０の上部に設けられており、Ｎ2ガス等のパージガスが上記ガス供給口５１からパージ室５０に供給される。また、このパージ室５０の内部には、複数のバッフル板５２を支持したバッフルサポート５３が着脱可能に取り付けられている。尚、図２（ａ）及び（ｂ）では、図面の簡略化のために、１枚のバッフル板５２のみ図示している。
【０００３】
上記バッフルサポート５３は、例えば金属薄板の両端部を折り曲げ加工することにより形成されたものである。このバッフルサポート５３は、パージ室５０の内部に固定された断面Ｌ字状のレール部材５４に沿ってスライド可能に取り付けられており、メンテナンス時等にバッフル板５２をパージ室５０から一括して引き出せるようになっている。また、バッフルサポート５３の各側端部５３ａには、上記複数のバッフル板５２を所定の間隔で配列するために、複数の取付孔５３ｂが設けられている。これらの取付孔５３ｂに各バッフル板５２の係合端５２ａが挿通されることにより、バッフルサポート５３は複数のバッフル板５２を所定の間隔で支持している。また、このバッフルサポート５３の平板部５３ｃには、隣り合う２つのバッフル板５２の間にパージガスを吹き出すための複数の吹き出し孔５３ｄが設けられている。
【０００４】
上記バッフルサポート５３によって、パージ室５０の内部に、ガス供給口５１からのパージガスを複数の各吹き出し孔５３ｄに分散供給するためのガス供給空間Ｐが形成される。このガス供給空間Ｐは、バッフルサポート５３の前方及び後方側に設けられたメクラ板（図示せず）によって区画されるものであり、パージガスはガス供給空間Ｐから図２（ｂ）の矢印で示すように各吹き出し孔５３ｄを通り、バッフル板５２に沿ってパージ室５０の下方に導入され、外気が当該パージ室５０の内部に流入するのを阻止する。尚、ガス供給空間Ｐの内部では、バッフルサポート５３をレール部材５４上で円滑にスライド移動させ、かつ上記係合端５２ａとの干渉を避けるために、その係合端５２ａとレール部材５４との間に隙間を設けている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の加熱炉では、ガス供給空間Ｐの内部において、係合端５２ａとレール部材５４との間の上記隙間、取付孔５３ｂと係合端５２ａとの隙間や、上記メクラ板とバッフルサポート５３あるいは側端部５３ａとレール部材５４との各当接部での微少な隙間にパージガスが流れるのを避けられず、そのためパージガスの流れに乱れが生じたり、充分な下向きの流速が得られず、パージガスによる外気と炉内との遮断効果を向上するのが難しいという問題があった。
【０００６】
上記のような従来の問題点に鑑み、本発明は、簡単な構成で吹き出し孔からバッフル板の間にパージガスを効率よく均一に供給することができ、よって低コストでパージガスによる外気と炉内との遮断効果を向上することができる加熱炉を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、パージガスが供給されるガス供給口と、複数のバッフル板が所定の間隔で配列されたパージ室とを備える加熱炉において、
前記パージ室の天板に、隣り合う２つの前記バッフル板の間へパージガスを吹き出すための複数の吹き出し孔を設けるとともに、
前記吹き出し孔の上方空間を閉塞部材により気密に閉塞し、かつその閉塞部材に前記ガス供給口を気密に接続して、そのガス供給口から各吹き出し孔にパージガスを分散供給するためのガス供給空間を形成したことを特徴とするものである（請求項１）。
【０００８】
上記のように構成された加熱炉によれば、上記吹き出し孔をパージ室の天板に設け、その上方のガス供給空間を閉塞部材により密閉しているので、簡単な構成でガス供給口からのパージガスを外部に漏らすことなく、上記ガス供給空間を通して吹き出し孔からバッフル板の間にパージガスを効率よく均一に供給することができる。しかも、ガス供給空間をパージ室の上方に形成したことにより、パージ室の容積を小さくすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の加熱炉の好ましい実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ本発明の一実施形態による加熱炉のパージ室の要部構成を示す欠裁斜視図及び断面図である。図において、本実施形態の加熱炉では、パージ室１と、このパージ室１の上方に設けられたガス供給空間２とを備えている。上記パージ室１の内部には、左右一対の支持部材３が着脱可能に取り付けられており、この支持部材３にはＮ2ガス等のパージガスを下方にガイドするための複数のバッフル板４が支持されている。尚、図１（ａ）及び（ｂ）では、図面の簡略化のために、１枚のバッフル板４のみ図示している。また、半導体ウェハやプリント回路基板などの被処理物は、バッフル板４の下方に設けられたコンベア（図示せず）によって搬送されている。
【００１０】
また、パージ室１の天板１ａには、隣り合う２つのバッフル板４の間へパージガスを吹き出すための複数の吹き出し孔１ｂが設けられている。この吹き出し孔１ｂは幅方向に沿って直線上に配列された複数個を一列として長手方向に複数列配列されている。また、これらの吹き出し孔１ｂの上方空間を閉塞部材５で気密に閉塞することにより、上記のガス供給空間２が形成されている。具体的には、このガス供給空間２は、上記の吹き出し孔１ｂを覆うように、一方が開口した箱体状の閉塞部材５の側壁５ａを、例えば溶接により天板１ａに固定することで形成されている。また、閉塞部材５の他方側の底板５ｂには、ガス供給口７が気密に接続されており、図示を省略したガス供給源からのパージガスがガス供給口７を通ってガス供給空間２の内部に導入されて各吹き出し孔１ｂに分散供給される。尚、上記の説明以外に、コーキング材やパッキンを用いて、閉塞部材５を天板１ａに気密に取り付けてガス供給空間２を形成してもよい。
【００１１】
上記の各支持部材３は、例えば断面Ｌ字状の金属部材により構成されたものであり、パージ室１の内部に固定された断面Ｌ字状のレール部材６に沿ってスライド可能に取り付けられている。また、各支持部材３には、上記複数のバッフル板４を所定の間隔で配列するために、複数の取付孔３ａが設けられている。これらの取付孔３ａに各バッフル板４の係合端４ａが挿通されることにより、支持部材３は各バッフル板４を支持している。これにより、パージガスはガス供給空間２から図１（ｂ）の矢印で示すように各吹き出し孔１ｂを通り、バッフル板４に沿ってパージ室１の下方に導入され、外気が当該パージ室１の内部に流入するのを阻止することができる。
【００１２】
上記のように構成された本実施形態の加熱炉では、ガス供給空間２が天板１ａに設けられた上記の吹き出し孔１ｂの上方空間を閉塞部材５により気密に閉塞し、かつその閉塞部材５にガス供給口７を気密に接続することによって形成されているので、ガス供給口７からのパージガスを外部に漏らすことなく、当該ガス供給空間２を通して吹き出し孔１ｂからバッフル板４の間にパージガスを均一に効率よく供給することができる。したがって、パージガスによる外気と炉内との遮断効果を向上することができ、炉内の雰囲気を容易に安定させることができる。さらに、パージ室１の外部にガス供給空間２を形成しているので、上述の従来例のものと比べて、パージ室１の容積を小さくすることができ、パージガスの消費量を減らすことができる。また、上述の従来例のものと異なり、ガス供給空間２を区画するためのメクラ板を設ける必要がないので、組立やメンテナンス時等においてパージ室１に対して支持部材３及びバッフル板４を容易に着脱することができる。
【００１３】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明の加熱炉によれば、上記ガス供給空間によってガス供給口からのパージガスを外部に漏らすことなく、吹き出し孔からバッフル板の間にパージガスを効率よく均一に供給することができるので、簡単な構成で余分なコストをかけることなくパージガスによる外気と炉内との遮断効果を向上することができ、炉内の雰囲気を容易に安定させることができる。しかも、上述の従来例のものと異なり、ガス供給空間をパージ室と別個に形成しているので、パージ室の容積を小さくすることができ、パージガスの消費量を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ本発明の一実施形態による加熱炉のパージ室の要部構成を示す欠裁斜視図及び断面図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ従来の加熱炉のパージ室の要部構成を示す欠裁斜視図及び断面図である。
【符号の説明】
１      パージ室
１ａ    天板
１ｂ    吹き出し孔
２      ガス供給空間
４      バッフル板
５      閉塞部材
７      ガス供給口
【図１】
0003779553.tif 000002
【図２】
0003779553.tif 000003