(57)【要約】  検査装置は、第１画像生成部と、再構成部と、特定部と、除去部と、を備える。前記第１画像生成部は、被検査物とＸ線撮影に用いたＸ線照射部及び前記Ｘ線検出部との位置関係が異なる複数枚の２次元Ｘ線撮影画像を生成する。前記再構成部は、複数枚の前記２次元Ｘ線撮影画像それぞれを深さが異なる複数の断層に投影した画像を生成し、その後、その生成した画像それぞれを前記投影画像に再構成する。前記特定部は、複数枚の前記投影画像それぞれを異物の位置を特定した二値化投影画像に変換する。前記除去部は、同じ深さの断層に投影された画像から得られる複数枚の前記二値化投影画像同士を比較し、比較結果に基づいて異物の位置特定の誤検出部分を除去する。
2020209312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物をＸ線撮影の対象とし、２次元Ｘ線撮影画像を前記Ｘ線撮影に用いたＸ線検出部の検出結果に基づき生成する第１画像生成部と、
前記２次元Ｘ線撮影画像を前記Ｘ線検出部の位置を除く所定の位置に設定される断層に投影した画像を生成し、その後、その生成した画像を２次元画像である投影画像に再構成する再構成部と、
前記投影画像に基づき異物の位置を特定する特定部と、
除去部と、
を備え、
前記第１画像生成部は、前記被検査物と前記Ｘ線撮影に用いたＸ線照射部及び前記Ｘ線検出部との位置関係が異なる複数枚の前記２次元Ｘ線撮影画像を生成し、
前記再構成部は、複数枚の前記２次元Ｘ線撮影画像それぞれを深さが異なる複数の断層に投影した画像を生成し、その後、その生成した画像それぞれを前記投影画像に再構成し、
前記特定部は、複数枚の前記投影画像それぞれを異物の位置を特定した二値化投影画像に変換し、
前記除去部は、同じ深さの断層に投影された画像から得られる複数枚の前記二値化投影画像同士を比較し、比較結果に基づいて異物の位置特定の誤検出部分を除去することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記特定部は、過去に検査された前記被検査物の前記投影画像により学習した人工知能を用いて、異物の位置を特定する請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記特定部によって特定された異物の位置を２次元表示する画像を生成する第２画像生成部を備える請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記特定部によって特定された異物の位置を３次元表示する画像を生成する第２画像生成部を備える請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項５】
前記特定部は、
前記投影画像を所定の領域毎に分割する分割部と、
前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、
を備え、
着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上小さい場合に、
前記着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で最大となる第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向他方側に並ぶ第２設定数のピクセル内で最大となる第２輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で最大となる第３輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第２方向他方側に並ぶ第４設定数のピクセル内で最大となる第４輝度値を算出し、
所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、
前記所定の条件は、
（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第１閾値以下になるという第１条件、
（ｂ）前記第３輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第４輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第２閾値以下になるという第２条件、
（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、
のうちのいずれか一つである請求項１〜４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記特定部は、
被検査物のＸ線撮影に基づく画像を所定の領域毎に分割する分割部と、
前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、
を備え、
着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上小さい場合に、
前記着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が大きく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向他方側に並ぶ第２設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が大きく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第２輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が大きく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第３輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第２方向他方側に並ぶ第４設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が大きく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第４輝度値を算出し、
所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、
前記所定の条件は、
（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第１閾値以下になるという第１条件、
（ｂ）前記第３輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第４輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第２閾値以下になるという第２条件、
（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、
のうちのいずれか一つである請求項１〜４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記特定部は、
被検査物のＸ線撮影に基づく画像を所定の領域毎に分割する分割部と、
前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、
を備え、
着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上小さい場合に、
前記着目ピクセルの第１方向一方側に前記着目ピクセルから第１所定位置離れて並ぶ第１設定数のピクセル及び前記着目ピクセルの第１方向他方側に第２所定位置離れて並ぶ第２設定数のピクセルの平均輝度値である第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に前記着目ピクセルから第３所定位置離れて並ぶ第３設定数のピクセル及び前記着目ピクセルの第２方向他方側に前記着目ピクセルから第４所定位置離れて並ぶ第４設定数のピクセルの平均輝度値である第２輝度値を算出し、
所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、
前記所定の条件は、
（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合が第１閾値以下になるという第１条件、
（ｂ）前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合が第２閾値以下になるという第２条件、
（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、
のうちのいずれか一つである請求項１〜４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記特定部は、
被検査物のＸ線撮影に基づく画像を所定の領域毎に分割する分割部と、
前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、
を備え、
着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上大きい場合に、
前記着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で最小となる第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向他方側に並ぶ第２設定数のピクセル内で最小となる第２輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で最小となる第３輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第２方向他方側に並ぶ第４設定数のピクセル内で最小となる第４輝度値を算出し、
所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、
前記所定の条件は、
（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第１閾値以上になるという第１条件、
（ｂ）前記第３輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第４輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第２閾値以上になるという第２条件、
（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、
のうちのいずれか一つである請求項１〜４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項９】
前記特定部は、
被検査物のＸ線撮影に基づく画像を所定の領域毎に分割する分割部と、
前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、
を備え、
着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上大きい場合に、
前記着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が小さく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向他方側に並ぶ第２設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が小さく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第２輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が小さく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第３輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第２方向他方側に並ぶ第４設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が小さく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第４輝度値を算出し、
所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、
前記所定の条件は、
（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第１閾値以上になるという第１条件、
（ｂ）前記第３輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第４輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第２閾値以上になるという第２条件、
（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、
のうちのいずれか一つである請求項１〜４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記特定部は、
被検査物のＸ線撮影に基づく画像を所定の領域毎に分割する分割部と、
前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、
を備え、
着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上大きい場合に、
前記着目ピクセルの第１方向一方側に前記着目ピクセルから第１所定位置離れて並ぶ第１設定数のピクセル及び前記着目ピクセルの第１方向他方側に第２所定位置離れて並ぶ第２設定数のピクセルの平均輝度値である第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に前記着目ピクセルから第３所定位置離れて並ぶ第３設定数のピクセル及び前記着目ピクセルの第２方向他方側に前記着目ピクセルから第４所定位置離れて並ぶ第４設定数のピクセルの平均輝度値である第２輝度値を算出し、
所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、
前記所定の条件は、
（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合が第１閾値以上になるという第１条件、
（ｂ）前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合が第２閾値以上になるという第２条件、
（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、
のうちのいずれか一つである請求項１〜４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１１】
Ｘ線照射部及びＸ線検出部を備えるＸ線撮影装置を用いた検査方法であって、
前記Ｘ線撮影装置によって被検査物をＸ線撮影して得られる２次元Ｘ線撮影画像を記憶する記憶ステップと、
前記２次元Ｘ線撮影画像を前記Ｘ線検出部の位置を除く所定の位置に設定される断層に投影した画像を生成し、その後、その生成した画像を２次元画像である投影画像に再構成する再構成ステップと、
前記投影画像に基づき異物の位置を特定する特定ステップと、
除去ステップと、
を備え、
前記記憶ステップにおいて、前記被検査物と前記Ｘ線撮影に用いたＸ線照射部及び前記Ｘ線検出部との位置関係が異なる複数枚の前記２次元Ｘ線撮影画像が記憶され、
前記再構成ステップにおいて、複数枚の前記２次元Ｘ線撮影画像それぞれを深さが異なる複数の断層に投影した画像が生成され、その後、その生成された画像それぞれが前記投影画像に再構成され、
前記特定ステップにおいて、複数枚の前記投影画像それぞれが異物の位置を特定した二値化投影画像に変換され、
前記除去ステップにおいて、同じ深さの断層に投影された画像から得られる複数枚の前記二値化投影画像同士が比較され、比較結果に基づいて異物の位置特定の誤検出部分が除去されることを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物に含まれ得る異物を検出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検査物に含まれ得る異物を検出する検査装置が種々開発されている。例えば、特許文献１で開示されている検査装置は、被検査物のＸ線透過画像から強調線を検出し、その強調線に基づき異物を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１５６６４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、被検査物と異物とのＸ線減弱の差が小さい場合、強調線の検出が困難であり、その結果、異物の検出精度が低くなるという問題が発生する。なお、被検査物と異物とのＸ線減弱の差が小さい場合としては、例えば、被検査物が魚の身であり、異物が小骨である場合等が挙げられる。【０００５】
本発明は、上記の状況に鑑み、異物の検出精度が高い検査装置及び検査方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために本発明に係る検査装置は、被検査物をＸ線撮影の対象とし、２次元Ｘ線撮影画像を前記Ｘ線撮影に用いたＸ線検出部の検出結果に基づき生成する第１画像生成部と、前記２次元Ｘ線撮影画像を前記Ｘ線検出部の位置を除く所定の位置に設定される断層に投影した画像を生成し、その後、その生成した画像を２次元画像である投影画像に再構成する再構成部と、前記投影画像に基づき異物の位置を特定する特定部と、除去部と、を備え、前記第１画像生成部は、前記被検査物と前記Ｘ線撮影に用いたＸ線照射部及び前記Ｘ線検出部との位置関係が異なる複数枚の前記２次元Ｘ線撮影画像を生成し、前記再構成部は、複数枚の前記２次元Ｘ線撮影画像それぞれを深さが異なる複数の断層に投影した画像を生成し、その後、その生成した画像それぞれを前記投影画像に再構成し、前記特定部は、複数枚の前記投影画像それぞれを異物の位置を特定した二値化投影画像に変換し、前記除去部は、同じ深さの断層に投影された画像から得られる複数枚の前記二値化投影画像同士を比較し、比較結果に基づいて異物の位置特定の誤検出部分を除去する構成（第１の構成）とする。【０００７】
上記第１の構成の検査装置において、前記特定部は、過去に検査された前記被検査物の前記投影画像により学習した人工知能を用いて、異物の位置を特定する構成（第２の構成）であってもよい。【０００８】
上記第１又は第２の構成の検査装置において、前記特定部によって特定された異物の位置を２次元表示する画像を生成する第２画像生成部を備える構成（第３の構成）であってもよい。【０００９】
上記第１又は第２の構成の検査装置において、前記特定部によって特定された異物の位置を３次元表示する画像を生成する第２画像生成部を備える構成（第４の構成）であってもよい。【００１０】
上記第１〜第４いずれかの構成の検査装置において、前記特定部は、前記投影画像を所定の領域毎に分割する分割部と、前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、を備え、着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上小さい場合に、前記着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で最大となる第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向他方側に並ぶ第２設定数のピクセル内で最大となる第２輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で最大となる第３輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第２方向他方側に並ぶ第４設定数のピクセル内で最大となる第４輝度値を算出し、所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、前記所定の条件は、（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第１閾値以下になるという第１条件、（ｂ）前記第３輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第４輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第２閾値以下になるという第２条件、（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、のうちのいずれか一つである構成（第５の構成）であってもよい。【００１１】
上記第１〜第４いずれかの構成の検査装置において、前記特定部は、被検査物のＸ線撮影に基づく画像を所定の領域毎に分割する分割部と、前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、を備え、着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上小さい場合に、前記着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が大きく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向他方側に並ぶ第２設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が大きく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第２輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が大きく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第３輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第２方向他方側に並ぶ第４設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が大きく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第４輝度値を算出し、所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、前記所定の条件は、（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第１閾値以下になるという第１条件、（ｂ）前記第３輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第４輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第２閾値以下になるという第２条件、（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、のうちのいずれか一つである構成（第６の構成）であってもよい。【００１２】
上記第１〜第４いずれかの構成の検査装置において、前記特定部は、被検査物のＸ線撮影に基づく画像を所定の領域毎に分割する分割部と、前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、を備え、着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上小さい場合に、前記着目ピクセルの第１方向一方側に前記着目ピクセルから第１所定位置離れて並ぶ第１設定数のピクセル及び前記着目ピクセルの第１方向他方側に第２所定位置離れて並ぶ第２設定数のピクセルの平均輝度値である第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に前記着目ピクセルから第３所定位置離れて並ぶ第３設定数のピクセル及び前記着目ピクセルの第２方向他方側に前記着目ピクセルから第４所定位置離れて並ぶ第４設定数のピクセルの平均輝度値である第２輝度値を算出し、所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、前記所定の条件は、（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合が第１閾値以下になるという第１条件、（ｂ）前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合が第２閾値以下になるという第２条件、（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、のうちのいずれか一つである構成（第７の構成）であってもよい。【００１３】
上記第１〜第４いずれかの構成の検査装置において、前記特定部は、被検査物のＸ線撮影に基づく画像を所定の領域毎に分割する分割部と、前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、を備え、着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上大きい場合に、前記着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で最小となる第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向他方側に並ぶ第２設定数のピクセル内で最小となる第２輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で最小となる第３輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第２方向他方側に並ぶ第４設定数のピクセル内で最小となる第４輝度値を算出し、所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、前記所定の条件は、（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第１閾値以上になるという第１条件、（ｂ）前記第３輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第４輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第２閾値以上になるという第２条件、（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、のうちのいずれか一つである構成（第８の構成）であってもよい。【００１４】
上記第１〜第４いずれかの構成の検査装置において、前記特定部は、被検査物のＸ線撮影に基づく画像を所定の領域毎に分割する分割部と、前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、を備え、着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上大きい場合に、前記着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が小さく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向他方側に並ぶ第２設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が小さく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第２輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が小さく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第３輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第２方向他方側に並ぶ第４設定数のピクセル内で前記着目ピクセルより輝度値が小さく且つ前記着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値又は前記着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値である第４輝度値を算出し、所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、前記所定の条件は、（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第１閾値以上になるという第１条件、（ｂ）前記第３輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合及び前記第４輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合がそれぞれ第２閾値以上になるという第２条件、（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、のうちのいずれか一つである構成（第９の構成）であってもよい。【００１５】
上記第１〜第４いずれかの構成の検査装置において、前記特定部は、被検査物のＸ線撮影に基づく画像を所定の領域毎に分割する分割部と、前記所定の領域それぞれにおける平均輝度値を算出する算出部と、を備え、着目ピクセルの輝度値が、前記着目ピクセルの属する前記所定の領域における前記平均輝度値よりも所定値以上大きい場合に、前記着目ピクセルの第１方向一方側に前記着目ピクセルから第１所定位置離れて並ぶ第１設定数のピクセル及び前記着目ピクセルの第１方向他方側に第２所定位置離れて並ぶ第２設定数のピクセルの平均輝度値である第１輝度値を算出し、前記着目ピクセルの第１方向と異なる方向である第２方向一方側に前記着目ピクセルから第３所定位置離れて並ぶ第３設定数のピクセル及び前記着目ピクセルの第２方向他方側に前記着目ピクセルから第４所定位置離れて並ぶ第４設定数のピクセルの平均輝度値である第２輝度値を算出し、所定の条件が成立すれば、前記着目ピクセルを異物の位置として特定し、前記所定の条件は、（ａ）前記第１輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合が第１閾値以上になるという第１条件、（ｂ）前記第２輝度値に対する前記着目ピクセルの輝度値の割合が第２閾値以上になるという第２条件、（ｃ）前記第１条件及び前記第２条件、のうちのいずれか一つである構成（第１０の構成）であってもよい。【００１６】
上記目的を達成するために本発明に係る検査方法は、Ｘ線照射部及びＸ線検出部を備えるＸ線撮影装置を用いた検査方法であって、前記Ｘ線撮影装置によって被検査物をＸ線撮影して得られる２次元Ｘ線撮影画像を記憶する記憶ステップと、前記２次元Ｘ線撮影画像を前記Ｘ線検出部の位置を除く所定の位置に設定される断層に投影した画像を生成し、その後、その生成した画像を２次元画像である投影画像に再構成する再構成ステップと、前記投影画像に基づき異物の位置を特定する特定ステップと、除去ステップと、を備え、前記記憶ステップにおいて、前記被検査物と前記Ｘ線撮影に用いたＸ線照射部及び前記Ｘ線検出部との位置関係が異なる複数枚の前記２次元Ｘ線撮影画像が記憶され、前記再構成ステップにおいて、複数枚の前記２次元Ｘ線撮影画像それぞれを深さが異なる複数の断層に投影した画像が生成され、その後、その生成された画像それぞれが前記投影画像に再構成され、前記特定ステップにおいて、複数枚の前記投影画像それぞれが異物の位置を特定した二値化投影画像に変換され、前記除去ステップにおいて、同じ深さの断層に投影された画像から得られる複数枚の前記二値化投影画像同士が比較され、比較結果に基づいて異物の位置特定の誤検出部分が除去される構成（第１１の構成）とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によると、異物の検出精度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置の概略構成を示す図
【図２】本発明の一実施形態に係る検査装置の概略動作を示すフローチャート
【図３】投影画像を再構成する処理の一例を示すフローチャート
【図４】系の座標変換を示す図
【図５Ａ】Ｘ線検出部の検出面の一部であるピクセル群と四つのボクセルとの位置関係の一例を示す斜視図
【図５Ｂ】図５Ａで示した位置関係を示す上面図
【図６Ａ】Ｘ線検出部の検出面の一部であるピクセル群と一つのボクセルとの位置関係の一例を示す斜視図
【図６Ｂ】図６Ａで示した位置関係を示す上面図
【図７】Ｘ線入射方向に対するボクセルの厚みを示す図
【図８Ａ】ボクセルを近似する斜四角柱の一例を示す図
【図８Ｂ】ボクセル内に形成される長方形を示す斜視図
【図９】ボクセルを近似する斜四角柱の他の例を示す図
【図１０】ボクセルを近似する斜四角柱の他の例を示す図
【図１１】ボクセルを近似する斜四角柱の他の例を示す図
【図１２】ボクセルを近似する斜四角柱の他の例を示す図
【図１３】ボクセルを透過するＸ線がＸ線検出部の検出面に対してＺ軸方向に斜めに入射する場合の一例を示す図
【図１４】各投影画像について異物の位置を特定する処理の一例を示すフローチャート
【図１５】複数の断層上の高さ方向が所定の位置であるボクセルを便宜上断層毎に真っ直ぐ一列に並べた図
【図１６】位置補正の一例を示すフローチャート
【図１７】検査装置の第１変形例を示す図
【図１８】検査装置の第２変形例を示す図
【図１９】検査装置の第２変形例を示す図
【図２０】検査装置の第３変形例を示す図
【図２１】検査装置の第３変形例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施形態について図面を参照して以下に説明する。本明細書においては、言葉の定義として、Ｘ線検出部の位置を除く所定の位置に設定される断層で生成される２次元画像において、そのＸ軸方向、Ｙ軸方向の内少なくともいずれか一方に関して２次元Ｘ線撮影画像を平行移動しているだけで長さが変化しない場合においても、便宜上、２次元画像は、２次元Ｘ線撮影画像を断層に「投影」した画像を生成し、その後、その生成した画像を再構成する処理によって得られるものとし、その２次元画像を「投影画像」とよぶことにする。
【００２０】
＜１．検査装置の概略構成＞
図１は、本発明の一実施形態に係る検査装置の概略構成を示す図である。図１に示す検査装置１００は、第１Ｘ線照射部１Ａと、第２Ｘ線照射部１Ｂと、第１Ｘ線検出部２Ａと、第２Ｘ線検出部２Ｂと、ベルトコンベア３と、ＣＰＵ４と、ＲＯＭ５と、ＲＡＭ６と、ＶＲＡＭ７と、表示部８と、ＨＤＤ９と、入力部１０と、を備える。なお、本実施形態では、画像を処理する画像処理装置がＣＰＵ４、ＲＯＭ５、ＲＡＭ６、及びＨＤＤ９によって構成されている。
【００２１】
第１Ｘ線照射部１Ａ及び第２Ｘ線照射部１Ｂはそれぞれ、被検査物Ｔ１にＸ線を照射する。第１Ｘ線照射部１Ａから照射されるＸ線及び第２Ｘ線照射部１Ｂから照射されるＸ線はそれぞれ、Ｙ軸に沿って延びるファンビーム形状、より詳細にはナローファンビーム形状である。なお、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第２Ｘ線照射部１Ｂを共通化して単一のＸ線照射部にしてもよい。当該単一のＸ線照射部から照射されるＸ線は、ワイドファンビーム形状又はコーンビーム形状にすればよい。
【００２２】
第１Ｘ線照射部１Ａから第１Ｘ線検出部２Ａに照射されるＸ線の照射方向と、第２Ｘ線照射部１Ｂから第２Ｘ線検出部２Ｂに照射されるＸ線の照射方向とは互いに異なる。本実施形態では、第１Ｘ線照射部１Ａから第１Ｘ線検出部２Ａに照射されるＸ線の照射方向はＸ軸とＹ軸に直交する方向であり、第２Ｘ線照射部１Ｂから第２Ｘ線検出部２Ｂに照射されるＸ線の照射方向はＸ軸とＹ軸に直交する方向から傾いた方向である。
【００２３】
第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂはそれぞれ、入射するＸ線に応じたデジタル量の電気信号を一定のフレームレートで出力する。第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂはそれぞれ、Ｙ軸に沿って延びるラインセンサである。なお、検査装置１００はトモシンセシス法を採用しているため、第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂはそれぞれ、Ｘ軸方向にも複数のＸ線検出素子を有する。第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂはそれぞれ、所定のフレームレートで入射Ｘ線を、当該Ｘ線の量に応じたデジタル電気量の画像データとして収集することができる。以下、この収集データを「フレームデータ」（２次元Ｘ線撮影画像の一例）という。なお、第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂを共通化して単一のＸ線検出部にしてもよい。ただし、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第２Ｘ線照射部１Ｂを共通化する場合には、第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂを共通化しない。
【００２４】
ベルトコンベア３は、第１Ｘ線照射部１Ａと第１Ｘ線検出部２Ａの対及び第２Ｘ線照射部１Ｂと第２Ｘ線検出部２Ｂの対に対して、ベルト上に載置された被検査物Ｔ１をＸ軸の負側に向かって移動させる。つまり、ベルトコンベア３の構成部品であるベルトの長手方向はＸ軸に沿っており、ベルトコンベア３の構成部品であるベルトの幅方向はＹ軸に沿っている。なお、本実施形態では、第１Ｘ線照射部１Ａと第１Ｘ線検出部２Ａの対及び第２Ｘ線照射部１Ｂと第２Ｘ線検出部２Ｂの対に対して、被検査物Ｔ１をＸ軸の負側に向かって移動させる第１移動機構（ベルトコンベア３）を用いたが、第１移動機構の代わりに第１Ｘ線照射部１Ａと第１Ｘ線検出部２Ａの対及び第２Ｘ線照射部１Ｂと第２Ｘ線検出部２Ｂの対を、被検査物Ｔ１に対してＸ軸の正側に向かって移動させる第２移動機構を用いてもよい。
【００２５】
ＣＰＵ４は、ＲＯＭ５やＨＤＤ９に格納されているプログラム及びデータに従って検査装置１００全体を制御する。ＲＯＭ５は固定的なプログラムやデータを記録する。ＲＡＭ６は作業メモリを提供する。ＣＰＵは、ＨＤＤ９に格納されたプログラムに従って画像を生成する機能を果たすように動作する。つまり、ＣＰＵ４１は画像を生成する画像生成部を兼ねる。
【００２６】
ＶＲＡＭ７は画像データを一時的に記憶する。表示部８はＶＲＡＭ７に記憶された画像データに基づいて画像を表示する。
【００２７】
ＨＤＤ９は、Ｘ線撮影動作を制御するための撮影制御プログラム、再構成画像を生成するための画像再構成処理プログラム、異物の位置を特定するための異物位置特定処理プログラム、位置補正プログラム等の各種プログラム、各種プログラムを実行する際に用いられる各種パラメータの設定値や画像データ等の各種データを記憶する。
【００２８】
入力部１０は、例えばキーボード、ポインティングデバイス等であって、ユーザ操作の内容を入力する。
【００２９】
＜２．検査装置の概略動作＞
検査装置１００の概略動作を図２のフローチャートに従い説明する。まず始めに検査装置１００はＸ線撮影を行う（ステップＳ１）。具体的には、ベルトコンベア３が被検査物Ｔ１を移動させている間に、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第２Ｘ線照射部１ＢからＸ線が曝射される。第１Ｘ線照射部１Ａから照射されたＸ線は被検査物Ｔ１の撮影領域を透過して第１Ｘ線検出部２Ａに入射し、第２Ｘ線照射部１Ｂから照射されたＸ線は被検査物Ｔ１の撮影領域を透過して第２Ｘ線検出部２Ｂに入射する。第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂは、前述したように、所定のフレームレートで入射Ｘ線を検出し、対応するデジタル電気量の２次元のデジタルデータをフレーム単位で順次出力する。このフレームデータは、ＨＤＤ９に保管される。
【００３０】
次に、検査装置１００はＸ線検出部２Ａ及び２Ｂの位置を除く所定の位置に設定される断層に投影して得られる投影画像を生成する（ステップＳ２）。具体的には、検査装置１００は、フレームデータをＸ線検出部２Ａ及び２Ｂの位置を除く所定の位置に設定される６０層の各断層に投影した画像を生成し、その後、その生成した画像を２次元画像（投影画像）に再構成する。フレームデータを或る１つの断層に投影して１つの投影画像を得る方法としては、例えば、上記フレームデータを上記或る１つの断層の深さ方向中心面（１つの断層面）に投影して上記１つの投影画像を得る方法、上記フレームデータを上記或る１つの断層の深さ方向最上面（１つの断層面）に投影して上記１つの投影画像を得る方法、上記フレームデータを上記或る１つの断層の深さ方向最下面（１つの断層面）に投影して上記１つの投影画像を得る方法、上記フレームデータを上記或る１つの断層に含まれる複数の断層面それぞれに投影して得られる複数の投影画像を合成処理（例えば単純平均処理、加重平均処理等）して上記１つの投影画像を得る方法等を挙げることができる。本実施形態では、Ｘ線検出部２Ａ及び２Ｂの位置を除く所定の位置に設定される各断層に投影して得られる投影画像は、トモシンセシスの原理に基づいて得られる各断層における投影画像である。本実施形態では、Ｘ軸及びＹ軸に垂直な方向を断層の深さ方向とし、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第２Ｘ線照射部１Ｂ側から第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂ側に０．５ｍｍピッチでＸ線検出部２Ａ及び２Ｂの位置を除く所定の位置に６０層の断層を設定している。なお、本実施形態では、Ｘ線検出部２Ａ及び２Ｂの位置を除く所定の位置は被検査物Ｔ１の位置を含むが、本発明はこれに限定されない。
【００３１】
第１Ｘ線照射部１Ａ及び第１Ｘ線検出部２Ａに由来する６０層の投影画像は、ＨＤＤ９に保管される。同様に、第２Ｘ線照射部１Ｂ及び第２Ｘ線検出部２Ｂに由来する６０層の投影画像も、ＨＤＤ９に保管される。
【００３２】
次に、検査装置１００は各投影画像について異物の位置を特定する（ステップＳ３）。異物の位置を特定する手法の詳細については後述する。各投影画像について異物の位置を特定することによって、単純なＸ線透過画像等のＸ線画像について異物の位置を特定する場合と比較して、異物の検出精度を高くすることができる。異物位置の特定結果は、例えば、異物の位置と異物でない位置とを異なる輝度値で示す二値化画像とすることができる。
【００３３】
次に、検査装置１００は異物の位置特定の誤検出部分を除去する（ステップＳ４）。具体的には、検査装置１００は、同じ深さの第１Ｘ線照射部１Ａ及び第１Ｘ線検出部２Ａに由来する投影画像と第２Ｘ線照射部１Ｂ及び第２Ｘ線検出部２Ｂに由来する投影画像について、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第１Ｘ線検出部２Ａに由来する投影画像に基づき特定した異物の位置と第２Ｘ線照射部１Ｂ及び第２Ｘ線検出部２Ｂに由来する投影画像に基づき特定した異物の位置とを比較し、比較結果に基づいて異物の位置特定の誤検出部分を除去する。より具体的には、検査装置１００は、上記の比較により、両方の投影画像において異物の位置であると特定されたピクセルのみを異物の位置として採用し、片方の投影画像のみにおいて異物の位置であると特定されたピクセルを異物の位置として採用しない。ステップＳ４の処理は、処理対象である断層に存在する異物はＸ線の照射角度が異なっていても両方の投影画像の同じ座標位置で検出されるのに対して、処理対象である断層に存在しない異物等がＸ線の照射方向に投影された場合には両方の投影画像の互いに異なる座標位置で検出されることを利用した誤検出部分除去処理である。検査装置１００は、この誤検出部分除去処理を全ての断層において実行する。
【００３４】
次に、検査装置１００は位置補正を行う（ステップＳ５）。位置補正の詳細については後述する。
【００３５】
最後に、検査装置１００は、出力画像を生成し、その出力画像を表示部８に表示する（ステップＳ６）。出力画像としては、例えば、誤検出部分除去処理及び位置補正が反映された異物の位置を示す各投影画像を全て足し合わせて得られる画像、つまり異物の位置を２次元表示する画像を挙げることができる。出力画像の他の例としては、誤検出部分除去処理及び位置補正が反映された異物の位置を示す各投影画像を積層して得られる画像、つまり異物の位置を３次元表示する画像を挙げることができる。
【００３６】
＜３．投影画像＞
前述したステップＳ２の処理、すなわちフレームデータを断層に投影した画像を生成し、その後、その生成した画像を投影画像に再構成する処理の一例を図３のフローチャートに従い説明する。
【００３７】
ＣＰＵ４は、まず、ディフェクト登録データを読み込み、ディフェクトテーブルを作成する(ステップＳ１１）。
【００３８】
次に、ＣＰＵ４は、濃度補正用画像を読み込み、濃度補正データを作成する（ステップＳ１２）。なお、ステップＳ１１及びＳ１２は本実施形態と異なり、ステップＳ１より先に実行されてもよい。
【００３９】
ＣＰＵ４は、投影データ（フレームデータ）を読み込み（ステップＳ１３）、投影データに対して、ディフェクト補正及び濃度補正を行う（ステップＳ１４）。
【００４０】
ステップＳ１３で読み込んだ各投影データにおいては、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第１Ｘ線検出部２Ａに由来する投影データに関しては第１Ｘ線照射部１Ａから曝射されたＸ線が透過するボクセルについてのみ計算をすればよく、第２Ｘ線照射部１Ｂ及び第２Ｘ線検出部２Ｂに由来する投影データに関しては第２Ｘ線照射部１Ｂから曝射されたＸ線が透過するボクセルについてのみ計算をすればよい。各投影データにおいては、Ｘ線が透過するボクセルの範囲が狭いので、Ｘ線が透過するボクセルについてのみ計算を行うようにすることで、計算時聞を短縮することができる。したがって、ＣＰＵ４は、フレームデータごとに、各断層において計算するボクセルの範囲を被検査物Ｔ１のサイズに応じてあらかじめ設定しておけばよい。
【００４１】
次に、ＣＰＵ４は、再構成領域を占める各ボクセル頂点の実際の位置座標を算出する(ステップＳ１５）。
【００４２】
続いて、ＣＰＵ４は、ステップＳ１３のデータ収集処理で得られた投影データをフレーム毎に順次読み込む(ステップＳ１６）。１回のステップＳ１６の処理では、１フレームの投影データが読み込まれる。
【００４３】
次に、ＣＰＵ４は、投影データとフィルタ関数を畳み込み積分する(ステップＳ１７）。
【００４４】
その後、ＣＰＵ４は、計算を簡単化するため、畳み込み積分の算出結果毎に、図４に示す座標系になるように系の座標変換を行う(ステップＳ１８）。具体的には、第２Ｘ線照射部１Ｂ及び第２Ｘ線検出部２Ｂに由来する畳み込み積分の算出結果に関して、第２Ｘ線照射部１Ｂが原点、第２Ｘ線検出部２Ｂの中心位置がＺ軸上の正方向になるように、第２Ｘ線照射部１Ｂ、再構成領域Ｒ１、及び第２Ｘ線検出部２Ｂからなる系の回転移動と並行移動を行う。ここで、Ｚ軸はＸ軸とＹ軸とに直交する軸であり、第１Ｘ線照射部１Ａから第１Ｘ線検出部２Ａに向かう方向がＺ軸の正方向である。なお、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第１Ｘ線検出部２Ａに由来する畳み込み積分の算出結果に関しては、元から図４に示す座標系であるため、系の座標変換を行わない。
【００４５】
次に、ステップＳ１９においてＣＰＵ４が実行するＦＢＰ（Filtered  Back  Projection）法を用いた再構成計算について図５Ａ〜図１３を参照して説明する。以下の説明において、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第２Ｘ線照射部１Ｂを区別する必要がない場合にはそれらをＸ線照射部１と称し、第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂを区別する必要がない場合にはそれらをＸ線検出部２と称する。
【００４６】
まず、Ｘ線検出部２の検出面の或るピクセルに着目し、Ｘ線照射部１からのＸ線がその着目ピクセルに入射する場合を考える。
【００４７】
着目ピクセルに入射するＸ線は被写体を透過する際に減弱し、Ｘ線検出部２に取り込まれるＸ線が減少する。つまり、複数のボクセルによって構成される図４に示す再構成領域Ｒ１を設定すると、着目ピクセルには、ボクセルを透過したＸ線が入射し、そのＸ線が透過したボクセルの分だけＸ線が減弱して着目ピクセルの輝度値に反映されることになる。
【００４８】
着目ピクセルに入射するＸ線が断層内の複数のボクセルの一部分を透過する場合は、各ボクセルのＸ線が透過した部分の体積比に応じてＸ線が減弱し、その減弱度合いが着目ピクセルの輝度値に反映される。
【００４９】
つまり、着目ピクセルに入射するＸ線が透過した各ボクセルは、各ボクセルのＸ線が透過した部分の体積比の割合で着目ピクセルの輝度値に寄与している。逆に考えれば、着目ピクセルの輝度値を、着目ピクセルに入射するＸ線が透過した各ボクセルのＸ線が透過した部分の体積比で分割すると、各分割値は、各ボクセルのＸ線が透過した部分のＸ線減弱に対応する。
【００５０】
図５Ａは、Ｘ線検出部２の検出面の一部であるピクセル群ＰＸＧとボクセルＶＸ１〜ＶＸ４との位置関係の一例を示す斜視図である。図５Ｂは、図５Ａで示した位置関係を示す上面図である。ピクセル群ＰＸＧはピクセルＰＸ１〜ＰＸ１６によって構成されている。図５Ａ及び図５Ｂに示す位置関係において、着目ピクセルをピクセルＰＸ１１とすると、ボクセルＶＸ１〜ＶＸ４が着目ピクセルに入射するＸ線が透過したボクセルとなる。
【００５１】
一方、着目ピクセルに反映されるＸ線減弱すなわち着目ピクセルの輝度値は、着目ピクセルの輝度値と、着目ピクセルに入射するＸ線が透過した全ボクセルのＸ線が透過した部分の総体積に対する当該全ボクセル中の或る一つボクセルのＸ線が透過した部分の体積の割合との乗算値を、当該全ボクセル中の個々のボクセルに関して和をとったものになっている。したがって、或るボクセルに着目した場合、その着目ボクセルを透過するＸ線は複数のピクセルに入射するため、着目ボクセルにおけるＸ線減弱の影響が、各ピクセルに対応する体積比に応じて各ピクセルに与えられることになる。つまり、各ピクセルに対して、影響を受けたＸ線減弱の内、着目ボクセルがそのピクセルに与える影響の比（体積比）と、輝度値との乗算値をとり、その乗算値をピクセルについて積分することで、着目ボクセル全体のＸ線減弱を求めることができる。すなわち、着目ボクセルへの逆投影が得られることになる。
【００５２】
図６Ａは、Ｘ線検出部２の検出面の一部であるピクセル群ＰＸＧとボクセルＶＸ１との位置関係の一例を示す斜視図である。図６Ｂは、図６Ａで示した位置関係を示す上面図である。図６Ａ及び図６Ｂに示す位置関係において、着目ボクセルをボクセルＶＸ１とすると、着目ボクセルＶＸ１全体のＸ線減弱は、（１）ピクセルＰＸ５の輝度値と、着目ボクセルＶＸ１の体積に対する着目ボクセルＶＸ１のピクセルＰＸ５に入射するＸ線が透過した部分の体積の割合との乗算値、（２）ピクセルＰＸ６の輝度値と、着目ボクセルＶＸ１の体積に対する着目ボクセルＶＸ１のピクセルＰＸ６に入射するＸ線が透過した部分の体積の割合との乗算値、（３）ピクセルＰＸ７の輝度値と、着目ボクセルＶＸ１の体積に対する着目ボクセルＶＸ１のピクセルＰＸ７に入射するＸ線が透過した部分の体積の割合との乗算値、（４）ピクセルＰＸ９の輝度値と、着目ボクセルＶＸ１の体積に対する着目ボクセルＶＸ１のピクセルＰＸ９に入射するＸ線が透過した部分の体積の割合との乗算値、（５）ピクセルＰＸ１０の輝度値と、着目ボクセルＶＸ１の体積に対する着目ボクセルＶＸ１のピクセルＰＸ１０に入射するＸ線が透過した部分の体積の割合との乗算値、及び（６）ピクセルＰＸ１１の輝度値と、着目ボクセルＶＸ１の体積に対する着目ボクセルＶＸ１のピクセルＰＸ１１に入射するＸ線が透過した部分の体積の割合との乗算値、の和となる。
【００５３】
具体的には、ボクセルを透過するＸ線は直進するので、各ボクセルについて、Ｘ線検出部２の検出面をＸ線入射方向でボクセル位置まで投影させる。逆に、各ボクセルについて、ボクセルをＸ線入射方向でＸ線検出部２の検出面の位置まで投影させてもよい。
【００５４】
直方体であるボクセルのいずれの構成面もＸ線入射方向に対して垂直でない場合、例えば図７に示すようにＸ線入射方向に対するボクセルの厚みがボクセルＶＸ１内で一様ではないので、ピクセルによってはボクセルの薄い部分を透過したＸ線が入射される場合もあり、これを厳密に計算すると、逆投影の計算時間が膨大になる。
【００５５】
そこで、本実施形態では、直方体のボクセルを、直方体のボクセルと同一の体積であってＸ線入射方向に対する厚みが一様な斜四角柱に近似して、逆投影を行う。当該斜四角柱は、Ｘ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面を、両方又は片方のみ各対向構成面を含む平面上で平行移動させることによって、２つの底面とし、直方体のボクセルと同一の体積であってＸ線入射方向に対する厚みを一様とした形状である。このような近似を行っても投影画像の画質には殆ど影響しない。
【００５６】
図８Ａは、ボクセルＶＸ１を近似する斜四角柱の一例を示す図である。図８Ａに示す斜四角柱ＯＰ１は、長方形ＲＴ２及びＲＴ３を底面とし、Ｘ線入射方向に対する厚みを一様とした形状である。長方形ＲＴ１は、図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１の構成面のうち、Ｘ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面に含まれる辺以外の着目ボクセルＶＸ１の各辺の中点を頂点とする長方形である。着目ボクセルＶＸ１内に形成される長方形ＲＴ１を斜視図で示すと、図８Ｂのようになる。長方形ＲＴ２は、図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１の構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面のＸ線検出部２に近い方をそのＸ線検出部２に近い方の対向構成面を含む平面上で平行移動させたものである。長方形ＲＴ３は、図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１の構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面のＸ線検出部２に遠い方をそのＸ線検出部２に遠い方の対向構成面を含む平面上で平行移動させたものである。そして、長方形ＲＴ１〜ＲＴ３の各外周はＸ線入射方向から見て一致している。
【００５７】
着目ボクセルを図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１とすると、着目ボクセルＶＸ１全体のＸ線減弱は、（１）ピクセルＰＸ５の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ５に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（２）ピクセルＰＸ６の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ６に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（３）ピクセルＰＸ７の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ７に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（４）ピクセルＰＸ９の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ９に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（５）ピクセルＰＸ１０の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ１０に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（６）ピクセルＰＸ１１の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ１１に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、の和となる。長方形ＲＴ１の各頂点の座標は、着目ボクセルＶＸ１の各頂点の座標から算出することができる。また、上記の各面積は、長方形ＲＴ１のＸ座標およびＺ座標と、Ｘ線検出部２の検出面に形成されているピクセルの各格子点のＸ座標およびＹ座標とから算出することができる。
【００５８】
長方形ＲＴ１は、上述した通り、着目ボクセルＶＸ１の構成面のうち、Ｘ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面に含まれる辺以外の着目ボクセルＶＸ１の各辺の中点を頂点とする長方形である。これにより、Ｘ線検出部２の検出面に平行な方向に関して、斜四角柱ＯＰ１が、着目ボクセルＶＸ１に対して偏ることを防止することができ、近似による投影画像の画質への影響を最小化することができる。ただし、着目ボクセルＶＸ１を近似する斜四角柱の位置設定は、本実施形態の設定に限定されるものではない。例えば、Ｘ線検出部２の検出面に平行な方向に関して、斜四角柱ＯＰ１が、着目ボクセルＶＸ１に対して偏ることがあまり問題にならない場合には、着目ボクセルＶＸ１を近似する斜四角柱を、図９に示す斜四角柱ＯＰ２、図１０に示す斜四角柱ＯＰ３、図１１に示す斜四角柱ＯＰ４、図１２に示す斜四角柱ＯＰ５などにしてもよい。
【００５９】
図９に示す近似を行う場合、着目ボクセルを図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１とすると、着目ボクセルＶＸ１全体のＸ線減弱は、（１）ピクセルＰＸ５の輝度値と、長方形ＲＴ４の面積に対する長方形ＲＴ４のピクセルＰＸ５に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（２）ピクセルＰＸ６の輝度値と、長方形ＲＴ４の面積に対する長方形ＲＴ４のピクセルＰＸ６に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（３）ピクセルＰＸ７の輝度値と、長方形ＲＴ４の面積に対する長方形ＲＴ４のピクセルＰＸ７に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（４）ピクセルＰＸ９の輝度値と、長方形ＲＴ４の面積に対する長方形ＲＴ４のピクセルＰＸ９に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（５）ピクセルＰＸ１０の輝度値と、長方形ＲＴ４の面積に対する長方形ＲＴ４のピクセルＰＸ１０に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（６）ピクセルＰＸ１１の輝度値と、長方形ＲＴ４の面積に対する長方形ＲＴ４のピクセルＰＸ１１に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、の和となる。なお、長方形ＲＴ４は、図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１の構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面のＸ線検出部２に遠い方である。
【００６０】
図１０に示す近似を行う場合、着目ボクセルを図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１とすると、着目ボクセルＶＸ１全体のＸ線減弱は、（１）ピクセルＰＸ５の輝度値と、長方形ＲＴ５の面積に対する長方形ＲＴ５のピクセルＰＸ５に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（２）ピクセルＰＸ６の輝度値と、長方形ＲＴ５の面積に対する長方形ＲＴ５のピクセルＰＸ６に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（３）ピクセルＰＸ７の輝度値と、長方形ＲＴ５の面積に対する長方形ＲＴ５のピクセルＰＸ７に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（４）ピクセルＰＸ９の輝度値と、長方形ＲＴ５の面積に対する長方形ＲＴ５のピクセルＰＸ９に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（５）ピクセルＰＸ１０の輝度値と、長方形ＲＴ５の面積に対する長方形ＲＴ５のピクセルＰＸ１０に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（６）ピクセルＰＸ１１の輝度値と、長方形ＲＴ５の面積に対する長方形ＲＴ５のピクセルＰＸ１１に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、の和となる。なお、長方形ＲＴ５は、図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１の構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面のＸ線検出部２に近い方である。
【００６１】
図１１に示す近似を行う場合、着目ボクセルを図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１とすると、着目ボクセルＶＸ１全体のＸ線減弱は、（１）ピクセルＰＸ５の輝度値と、長方形ＲＴ６の面積に対する長方形ＲＴ６のピクセルＰＸ５に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（２）ピクセルＰＸ６の輝度値と、長方形ＲＴ６の面積に対する長方形ＲＴ６のピクセルＰＸ６に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（３）ピクセルＰＸ７の輝度値と、長方形ＲＴ６の面積に対する長方形ＲＴ６のピクセルＰＸ７に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（４）ピクセルＰＸ９の輝度値と、長方形ＲＴ６の面積に対する長方形ＲＴ６のピクセルＰＸ９に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（５）ピクセルＰＸ１０の輝度値と、長方形ＲＴ６の面積に対する長方形ＲＴ６のピクセルＰＸ１０に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（６）ピクセルＰＸ１１の輝度値と、長方形ＲＴ６の面積に対する長方形ＲＴ６のピクセルＰＸ１１に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、の和となる。なお、長方形ＲＴ６は、図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１の構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面に含まれる辺以外の着目ボクセルＶＸ１の各辺をＸ線検出部２に遠い方から１：２で分割する分割点を頂点とする長方形である。
【００６２】
図１２に示す近似を行う場合、着目ボクセルを図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１とすると、着目ボクセルＶＸ１全体のＸ線減弱は、（１）ピクセルＰＸ５の輝度値と、長方形ＲＴ７の面積に対する長方形ＲＴ７のピクセルＰＸ５に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（２）ピクセルＰＸ６の輝度値と、長方形ＲＴ７の面積に対する長方形ＲＴ７のピクセルＰＸ６に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（３）ピクセルＰＸ７の輝度値と、長方形ＲＴ７の面積に対する長方形ＲＴ７のピクセルＰＸ７に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（４）ピクセルＰＸ９の輝度値と、長方形ＲＴ７の面積に対する長方形ＲＴ７のピクセルＰＸ９に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（５）ピクセルＰＸ１０の輝度値と、長方形ＲＴ７の面積に対する長方形ＲＴ７のピクセルＰＸ１０に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（６）ピクセルＰＸ１１の輝度値と、長方形ＲＴ７の面積に対する長方形ＲＴ７のピクセルＰＸ１１に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、の和となる。なお、長方形ＲＴ７は、図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１の構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面に含まれる辺以外の着目ボクセルＶＸ１の各辺をＸ線検出部２に遠い方から２：１で分割する分割点を頂点とする長方形である。
【００６３】
ステップＳ１において縦長のＸ線細隙ビームがＸ線照射部１から照射されるため、Ｘ線照射部１から照射されるＸ線のＸ軸方向（＝Ｘ線検出部２の横方向）の広がりは小さく、Ｘ線照射部１から照射されるＸ線のＹ軸方向（＝Ｘ線検出部の縦方向）の広がりは大きい。したがって、Ｘ軸方向（＝Ｘ線検出部２の横方向）に関しては、着目ボクセルの位置に係わらず、上記において説明した図７〜図１２のように、Ｘ線入射方向をＸ線検出部２の検出面に対して垂直として扱うことができるが、Ｙ軸方向（＝Ｘ線検出部２の縦方向）に関しては、Ｘ線入射方向を一律にＸ線検出部２の検出面に対して垂直として扱うことができず、着目ボクセルの位置がＹ軸方向に関して原点から離れているほど着目ボクセルを透過するＸ線はＸ線検出部２の検出面に対してＹ軸方向に斜めに入射する。ここで、着目ボクセルを透過するＸ線がＸ線検出部２の検出面に対してＹ軸方向に斜めに入射する場合の逆投影について図１３を参照して説明する。図１３は、着目ボクセルＶＸ１を透過するＸ線がＸ線検出部２の検出面に対してＹ軸方向に斜めに入射する場合の一例を示す図である。図１３においても、図７〜図１２と同様に、直方体のボクセル（例えば図１３における着目ボクセルＶＸ１）を、直方体のボクセルと同一の体積であってＸ線入射方向に対する厚みが一様な斜四角柱（例えば図１３における斜四角柱ＯＰ６）に近似して、逆投影を行う。当該斜四角柱は、Ｘ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面を、両方又は片方のみ各対向構成面を含む平面上で平行移動させることによって、２つの底面とし、直方体のボクセルと同一の体積であってＸ線入射方向に対する厚みを一様とした形状である。
【００６４】
図１３に示す近似を行う場合、着目ボクセルを図６Ａ及び図６Ｂに示すボクセルＶＸ１とすると、着目ボクセルＶＸ１全体のＸ線減弱は、（１）ピクセルＰＸ５の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ５に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（２）ピクセルＰＸ６の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ６に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（３）ピクセルＰＸ７の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ７に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（４）ピクセルＰＸ９の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ９に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（５）ピクセルＰＸ１０の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ１０に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、（６）ピクセルＰＸ１１の輝度値と、長方形ＲＴ１の面積に対する長方形ＲＴ１のピクセルＰＸ１１に入射するＸ線が透過した部分の面積の割合との乗算値、の和となる。なお、長方形ＲＴ１は、上述した通り、着目ボクセルＶＸ１の構成面のうち、Ｘ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面に含まれる辺以外の着目ボクセルＶＸ１の各辺の中点を頂点とする長方形である。
【００６５】
上記の説明では、着目ボクセルのいずれの構成面もＸ線検出部２の検出面と平行でない場合と、着目ボクセルを透過するＸ線の入射方向がＸ線検出部２の検出面に対して垂直でない場合とを分け、両者とも同様の近似を行うことができることを示したが、着目ボクセルのいずれの構成面もＸ線検出部２の検出面と平行でなく且つ着目ボクセルを透過するＸ線の入射方向がＸ線検出部２の検出面に対して垂直でない場合にも同様の近似を行うことができる。
【００６６】
図６Ａ及び図６ＢではボクセルＶＸ１のみを図示しているが、再構成領域Ｒ１の全ボクセルについて、同様の逆投影を行うようにする。なお、再構成の計算において、図４に示すＸ軸およびＺ軸とそれらに直交するＹ軸によって定義される直交座標系を用いてもよく、動径ｒ、第１の偏角θ、および第２の偏角φによって定義される極座標系を用いてもよい。極座標系を用いる場合、Ｘ線照射部１の中心（Ｘ線源）から一つのボクセルまでの距離を動径ｒとする。また、Ｘ線照射部１の中心（Ｘ線源）から一つのボクセルの端から端までの撮影に必要な縦方向の画角θ１は微小であるので、sinθ１をθ１に近似することができる。同様に、Ｘ線照射部１の中心（Ｘ線源）から一つのボクセルの端から端までの撮影に必要な横方向の画角φ１は微小であるので、sinφ１をφ１に近似することができる。
【００６７】
なお、ボクセルの形状は直方体であるが、直方体には縦、横、高さの長さがすべて等しい特殊な一例である立方体も含まれる。同様に、ボクセルの構成面、及び、当該構成面に平行なボクセルの断面の各形状は長方形であるが、長方形には縦、横の長さが等しい特殊な一例である正方形も含まれる。また、着目ボクセルの構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が辺で存在する二対の対向構成面がある場合には、一対の対向構成面のみを着目ボクセルの構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面として選択するとよい。また、着目ボクセルの構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が点で存在する三対の対向構成面がある場合には、一対の対向構成面のみを着目ボクセルの構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面として選択するとよい。
【００６８】
再構成領域Ｒ１の全ボクセルについて逆投影の計算が完了すると、ステップＳ１９におけるＦＢＰ法を用いた再構成計算が完了する。その後、ＣＰＵ４は、フレームデータが終了したか否か判断し(ステップＳ２０）、終了していない場合にはステップＳ１６に戻り、前述の動作を繰り返す。
【００６９】
一方、各ボクセルをＸ線が透過した回数(ｎ)は、被検査物Ｔ１とＸ線の照射領域との相対位置によって異なるので、ＣＰＵ４は、その回数を計算過程で算出しておき（ステップＳ２１）、最終結果をｎで分割する（ステップＳ２２）。
【００７０】
＜４．異物の位置特定＞
前述したステップＳ３の処理、すなわち各投影画像について異物の位置を特定する処理の一例を図１４のフローチャートに従い説明する。
【００７１】
ＣＰＵ４は、まず、投影画像を所定の領域（例えば、１６ピクセル×１６ピクセルの領域）毎に分割する  (ステップＳ３１）。投影画像において所定の領域で埋まらない部分が出る場合には、投影画像の端の部分は検査対象から外し、所定の領域群が投影画像の中央に位置するように、所定の領域群の位置を設定してもよい。
【００７２】
次に、ＣＰＵ４は、所定の領域それぞれにおける平均輝度値Ｌ１を算出する(ステップＳ３２）。
【００７３】
その後、ＣＰＵ４は、着目ピクセルの輝度値Ｌ２が、その着目ピクセルの属する所定の領域における平均輝度値Ｌ１よりも所定値Ｖ１以上小さいか否かを判定する（ステップＳ３３）。所定値Ｖ１としては、例えば着目ピクセルの属する所定の領域内の各ピクセルの輝度値の標準偏差を挙げることができる。
【００７４】
着目ピクセルの輝度値Ｌ２が、その着目ピクセルの属する所定の領域における平均輝度値Ｌ１よりも所定値Ｖ１以上小さいと判定されなかった場合（ステップＳ３３のＮＯ）、ＣＰＵ４は、着目ピクセルを異物の位置として特定しない。
【００７５】
一方、着目ピクセルの輝度値Ｌ２が、その着目ピクセルの属する所定の領域における平均輝度値Ｌ１よりも所定値Ｖ１以上小さいと判定された場合（ステップＳ３３のＹＥＳ）、ステップＳ３４に移行する。
【００７６】
ステップＳ３４において、ＣＰＵ４は、着目ピクセルの横方向負側に並ぶ第１設定数のピクセル内で最大となる第１輝度値を算出し、着目ピクセルの横方向正側に並ぶ第２設定数のピクセル内で最大となる第２輝度値を算出し、着目ピクセルの縦方向負側に並ぶ第３設定数のピクセル内で最大となる第３輝度値を算出し、着目ピクセルの縦方向正側に並ぶ第４設定数のピクセル内で最大となる第４輝度値を算出する。第１設定数〜第４設定数は全て同じ値であってもよく、２種類以上４種類以下の異なる値であってもよい。なお、所定の領域が投影画像の端に位置し、第１設定数〜第４設定数の少なくとも１つを確保することができない場合は、確保可能なピクセル数で対応し、全く確保できない場合はそのピクセルは検査対象から外す。
【００７７】
次に、ＣＰＵ４は、第１輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合及び第２輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合がそれぞれ閾値ＴＨ１以下であるか否かを判定する（ステップＳ３５）。
【００７８】
第１輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合及び第２輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合がそれぞれ閾値ＴＨ１以下であると判定された場合（ステップＳ３５のＹＥＳ）、後述するステップＳ３７に移行する。
【００７９】
一方、第１輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合及び第２輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合がそれぞれ閾値ＴＨ１以下であると判定されなかった場合（ステップＳ３５のＮＯ）、ステップＳ３６に移行する。
【００８０】
ステップＳ３６では、ＣＰＵ４は、第３輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合及び第４輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合がそれぞれ閾値ＴＨ１以下であるか否かを判定する（ステップＳ３６）。なお、本実施形態では、ステップＳ３５で用いる閾値とステップＳ３６で用いる閾値とを同じ値にしたが、互いに異なる値にしてもよい。また、本実施形態とは異なり、ステップＳ３５において、第１輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合が閾値ＴＨ１以下であるか否かのみを判定してもよい。逆に、ステップＳ３５において、第２輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合が閾値ＴＨ１以下であるか否かのみを判定してもよい。ステップＳ３６についても同様の変形を行ってもよい。ステップＳ３６において、第３輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合が閾値ＴＨ１以下であるか否かのみを判定してもよい。逆に、ステップＳ３６において、第４輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合が閾値ＴＨ１以下であるか否かのみを判定してもよい。
【００８１】
第３輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合及び第４輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合がそれぞれ閾値ＴＨ１以下であると判定された場合（ステップＳ３６のＹＥＳ）、後述するステップＳ３７に移行する。
【００８２】
一方、第３輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合及び第４輝度値に対する着目ピクセルの輝度値Ｌ２の割合がそれぞれ閾値ＴＨ１以下であると判定されなかった場合（ステップＳ３６のＮＯ）、ＣＰＵ４は、着目ピクセルを異物の位置として特定しない。なお、すぐに着目ピクセルを異物の位置として特定しないことを確定させるのではなく、所定の領域の大きさ及び閾値ＴＨ１の値を変えてステップＳ３５に戻り、ステップＳ３５又はステップＳ３６からステップＳ３７に移行できるかを試行してもよい。なお、所定の領域の大きさ及び閾値ＴＨ１の値の変更は１回に限らず、２回以上であってもよい。
【００８３】
ステップＳ３７では、ＣＰＵ４は、着目ピクセルを異物の位置として特定する。
【００８４】
そして、所定の領域に属する全てのピクセルを１つずつ順次「着目ピクセル」として、ステップＳ３３以降の処理を繰り返す。さらに、全ての所定の領域を１つ１つずつ順次「着目ピクセルが属する所定の領域」として、ステップＳ３２以降の処理を繰り返す。
【００８５】
図１４のフローチャートによると、所定の領域すなわち微小領域において、微小領域全体の輝度特性に基づいて異物の位置を特定しているため、異物の検出精度を高くすることができる。
【００８６】
なお、被検査物Ｔ１としては、例えば「魚」を挙げることができる。被検査物Ｔ１が「魚」である場合、異物は「小骨」である。図１４のフローチャートの処理は、異物の減弱係数が被検査物Ｔ１（ただし、異物を除く）の減弱係数より大きい場合に適用することができる。ただし、投影画像が白黒反転させた画像である場合には、図１４のフローチャートの処理において、「小さい」を「大きい」に置き換え、「最大」を「最小」に置き換え、「閾値ＴＨ１以下」を「閾値ＴＨ１以上」に置き換えるとよい。
【００８７】
異物の減弱係数が被検査物Ｔ１（ただし、異物を除く）の減弱係数より小さい場合には、図１４のフローチャートの処理をそのまま適用するのではなく、図１４のフローチャートの処理において、「小さい」を「大きい」に置き換え、「最大」を「最小」に置き換え、「閾値ＴＨ１以下」を「閾値ＴＨ１以上」に置き換えるとよい。ただし、投影画像が白黒反転させた画像である場合には図１４のフローチャートの処理をそのまま適用すればよい。
【００８８】
＜５．位置補正＞
再構成計算後の各投影画像は、Ｘ線源から被検査物Ｔ１を見たときの断層への投影であるので、照射角度が異なれば、投影される被検査物Ｔ１の位置はずれてくる。このずれを補正するために、ＣＰＵ４は前述した通り位置補正を行う（ステップＳ５）。
【００８９】
具体的には、図１５に示すように、補正基準として用いる任意の断層以外の或る断層上のボクセルの輝度を補正基準として用いる任意の断層に投影したときの、補正基準として用いる任意の断層上でのボクセルの輝度に基づいて、再構成計算後の投影画像各々の横方向および縦方向の長さを一致させるための位置補正を行う。
【００９０】
補正基準として用いる任意の断層以外の或る断層上のボクセルの輝度の補正基準として用いる任意の断層への投影は、本来なら各フレームで全てのピクセルについてＸ線の透過経路を調べて計算すべきであるが、Ｘ線検出部２の幅（＝Ｘ線検出部２の横方向の長さ）が非常に狭く（例えば６４ピクセル）、隣り合うフレーム間の変化も小さいので、或る断層の特定のボクセルを透過するＸ線の経路は隣り合うフレーム間でほぼ変化しないと仮定し、各フレームについてＸ線検出部２の中心に入射するＸ線の透過経路のみを考慮して計算している。
【００９１】
以下、補正基準として用いる任意の断層（以下、基準断層layと称する）上の高さ方向（＝Ｘ線検出部２の縦方向）が所定の位置であるボクセル及び二つの或る断層j=j1、j2上の高さ方向が所定の位置であるボクセルを便宜上断層毎に真っ直ぐ一列に並べた図１５を参照して、位置補正について詳説する。
【００９２】
基準断層lay以外の或る断層j=a上のボクセルi=bの輝度を基準断層layに投影したときに、その投影した輝度が基準断層lay上のボクセルi=c上にくるのであれば、基本的にはその投影した輝度を位置補正後における或る断層j=a上のボクセルi=cの輝度として扱う。a、b、cはそれぞれ任意の自然数である。そして、１本のフレームのＸ線が、断層及び高さ方向が同一である複数のボクセルを透過する場合は、１本のフレームのＸ線が、中間面（＝Ｘ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面に含まれる辺以外のボクセルの各辺の中点を頂点とする長方形。図１５中の点線を参照。）を透過したボクセルのみを、１本のフレームのＸ線が透過したボクセルとする。
【００９３】
つまり、或るフレームにおいて、基準断層lay以外の或る断層j=a上のＸ線が透過する１個のボクセルi=bが基準断層lay上のボクセルi=cに１対１で対応している場合（図１５に示すパターンI）は、基準断層layに投影した輝度を位置補正後における或る断層j=a上のボクセルi=cの輝度として扱う。また、１対１対応でなくても、基準断層lay上の１個のボクセルを通過するＸ線のフレームが１本である場合（図１５に示すパターンI’）も同様に、或るフレームにおいて、基準断層lay以外の或る断層j=a上のＸ線が透過する１個のボクセルi=bが基準断層lay上のボクセルi=cにくるのであれば、その投影した輝度を位置補正後における或る断層j=a上のボクセルi=cの輝度として扱う。
【００９４】
しかし、複数本のフレームのＸ線が基準断層lay上の１個のボクセルを透過する場合（図１５に示すパターンII）、基準断層lay上のボクセルをどのフレームのＸ線も透過しない場合（図１５に示すパターンIII）は、輝度値を調整する必要がある。
【００９５】
高さ方向に関しても考え方は同様である。
【００９６】
上述した考え方に沿ったステップＳ５の位置補正の一例を図１６に示すフローチャートを参照して説明する。
【００９７】
図１６に示す位置補正の一例ではまず初めに、ＣＰＵ４は、再構成領域Ｒ１の各断層のボクセル数をＨＤＤ９から読み込む（ステップＳ４１）。
【００９８】
次に、ＣＰＵ４は、ステップＳ２２で算出した再構成計算後の各ボクセルの輝度値cal(i,j,k)のデータをＨＤＤ９から読み込む（ステップＳ４２）。iは対象ボクセルの図１に示すＸ軸方向の座標（位置）を特定するための変数であり、jは対象ボクセルの図１に示すＹ軸方向の座標（位置）を特定するための変数であり、kは対象ボクセルが属する断層を特定するための変数である。
【００９９】
次に、ＣＰＵ４は、フレーム毎及び断層毎にＸ線検出部２の中心に入射するＸ線が透過するボクセルの座標をＨＤＤ９から読み込むとともに、各断層のＹ軸方向が最大となるボクセルを通るＸ線源とＸ線検出部２を結ぶ各線分のＹ軸方向距離の比をＨＤＤ９から読み込む（ステップＳ４３）。
【０１００】
次に、ＣＰＵ４は、ステップＳ４３の読み込み結果を用いて、基準断層lay上のＸ軸座標iのボクセルを透過するN(i)個のフレームの内n(i)番目のＸ線が透過する、或る断層kのボクセルのＸ軸座標ii(i,  k,  n(i))を、各フレームおよび各断層について計算する（ステップＳ４４）。
【０１０１】
次に、ＣＰＵ４は、ステップＳ４３の読み込み結果を用いて、基準断層lay上のＹ軸座標kのボクセルを透過するH(j)個のフレームの内h(j)番目のＸ線が透過する、或る断層kのボクセルのＹ軸座標kk(k,  k,  h(j))を、各フレームおよび各断層について計算する（ステップＳ４５）。
【０１０２】
次に、ＣＰＵ４は、ボクセルのＸ軸座標i、Ｙ軸座標j、n(i)、h(j)のループで断層kのボクセルの輝度値を基準断層layに投影したときの輝度値datawa(i,j,k)を、断層k上の点(ii,jj,k)の輝度値cal(ii,jj,k)から計算する（ステップＳ４６）。
【０１０３】
N(i)≠０かつH(j)  ≠０の場合、すなわちi、jともにパターンIまたはパターンIIに該当する場合、輝度値datawa(i,j,k)は下記の（１）式で表される。
【数１】
2020209312.tif 000003
【０１０４】
N(i)≠０かつH(j)＝０の場合、すなわちiはパターンIまたはパターンIIに該当し、jはパターンIIIに該当する場合、輝度値datawa(i,j,k)は下記の（２）式で表される。
【数２】
2020209312.tif 000004
【０１０５】
N(i)＝０かつH(j)  ≠０の場合、すなわちiはパターンIIIに該当し、jはパターンIまたはパターンIIに該当する場合、輝度値datawa(i,j,k)は下記の（３）式で表される。
【数３】
2020209312.tif 000005
【０１０６】
N(i)＝０かつH(j)  ＝０の場合、すなわちi、jともにパターンIIIに該当する場合、輝度値datawa(i,j,k)は下記の（４）式で表される。
【数４】
2020209312.tif 000006
【０１０７】
ただし、上記の（３）式および（４）式中のi1、i2は、基準断層lay上のボクセルのＸ軸座標iに対応するフレームがない場合（n(i)＝０）において、その前後のフレームのn(i)＞０を満たすiに対応する断層k上のＸ軸座標iiであり、i1≦i2を満たす。上記の（２）式および（４）式中のj1、j2もＹ軸方向について同様に考える。また、i1、i2、j1、j2で示される各座標位置の少なくとも一つが投影画像を形成する領域から外れる場合は、輝度値datawa(i,j,k)を０にする。
【０１０８】
ここでi1＋１＜i2の場合を考えると、パターンIIIのときに、基準断層layよりもボクセル数が多い断層（例えば図１５に示す断層k=k2）上にフレームのＸ線が透過していないボクセル（例えば図１５に示すボクセル）が存在することになるが、このボクセルの輝度値を使用しないというのは望ましくない。したがって、この場合は、次のような処理を行うことが望ましい。
【０１０９】
i1＝ii(i−Δ1,k,N(i−Δ1))、i2＝ii(i＋Δ2,k,N(i＋Δ1))とし、基準断層lay上のＸ軸座標iに対応する断層k上のＸ軸座標を下記の（５）式で表される実数ikとする。ここで、Δ1＋Δ2−１は基準断層lay上のフレームのＸ線が透過しない連続したボクセルの個数である。
【数５】
2020209312.tif 000007
j1、j2もＹ軸方向について同様に考える。そして、i1＋１＜i2及び／又はj1＋１＜j2の場合は、上記（２）式の代わりに下記（６）式を用い、上記（３）式の代わりに下記（７）式を用い、上記（４）式の代わりに下記（８）式を用いるようにする。ただし、下記（６）式〜（８）式中のflr(x)は実数x以下となる整数のうち最大の整数を表している。
【数６】
2020209312.tif 000008
【０１１０】
上述した輝度値datawa(i,j,k)の計算が完了すると、図１６に示す位置補正処理（ステップＳ５の処理の一例）が完了する。
【０１１１】
以上のように、本実施形態では、ＦＢＰ法を用いた再構成計算において、再構成領域を構成する直方体のボクセルへの逆投影を行う代わりに、再構成領域を構成する直方体のボクセルの構成面のうちＸ線入射方向から見て重複する領域が存在する一対の対向構成面の一方、又は、当該対向構成面に平行な当該ボクセルの断面への逆投影を行うので、逆投影の計算時間を大幅に短縮することができる。したがって、ＦＢＰ法を用いて少ない再構成計算量で投影画像を再構成することができる。
【０１１２】
さらに、本実施形態では、再構成計算後の各投影画像を横方向、縦方向それぞれで一律に拡大あるいは縮小して位置補正を行うのではなく、補正基準として用いる任意の断層以外の或る断層上のボクセルの輝度を補正基準として用いる任意の断層に投影したときの、補正基準として用いる任意の断層上でのボクセルの輝度に基づいて位置補正を行う。これにより、ＦＢＰ法を用いた再構成計算後の各投影画像を歪みの発生を抑えて位置補正することができる。
【０１１３】
また、上述した実施形態では、位置補正によって再構成計算後の各投影画像の横方向および縦方向の長さを一致させたが、再構成計算後の各投影画像の横方向の長さが異なることがあまり問題にならない場合には、位置補正によって再構成計算後の各投影画像の縦方向のみの長さを一致させてもよく、再構成計算後の各投影画像の縦方向の長さが異なることがあまり問題にならない場合には、位置補正によって再構成計算後の各投影画像の横方向のみの長さを一致させてもよい。
【０１１４】
また、上述した実施形態では、位置補正によって再構成計算後の各投影画像の横方向および縦方向の長さを一致させたが、位置補正によって再構成計算後の各投影画像の横方向および縦方向の長さを略一致させてもよい。つまり、例えば、複数層の投影画像同士を比較して断層深さによる被検査物Ｔ１の様子を比較する場合等に不便にならない程度で、位置補正後において再構成計算後の各投影画像の横方向および縦方向の長さに差があってもよい。
【０１１５】
＜６．その他＞
上述した実施形態では、ステップＳ４の誤検出部分除去処理を実行したが、ステップＳ４の誤検出部分除去処理を実行しなくても異物の検出精度が要求される仕様を満たすのであれば、ステップＳ４の誤検出部分除去処理を省略してもよい。ステップＳ４の誤検出部分除去処理を省略する場合、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第１Ｘ線検出部２Ａの対、或いは、第２Ｘ線照射部１Ｂ及び第２Ｘ線検出部２Ｂの対のいずれかを検査装置１００から取り除くとよい。
【０１１６】
上述した実施形態では、ステップＳ４の誤検出部分除去処理において、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第１Ｘ線検出部２Ａに由来する投影画像に基づき特定した異物の位置と第２Ｘ線照射部１Ｂ及び第２Ｘ線検出部２Ｂに由来する投影画像に基づき特定した異物の位置とが比較され、比較結果に基づいて異物の位置特定の誤検出部分が除去されたが、この誤検出部分除去処理はあくまで一例である。
【０１１７】
したがって、Ｘ線の照射方向がそれぞれ異なる第１〜第ｍ（ｍは３以上の自然数）Ｘ線照射部と、第１〜第ｍＸ線検出部とを検査装置１００に設け、第ｋ（ｋはｍ以下の任意の自然数）Ｘ線照射部から照射され被検査物Ｔ１を透過したＸ線が第ｋＸ線検出部に入射するようにしてもよい。この場合、第ｋＸ線照射部から照射されるＸ線によって得られる投影画像である第ｋ投影画像に基づき異物の位置が特定され、同じ深さの投影画像について、第１〜第ｍ投影画像それぞれに基づき特定した異物の位置同士が比較され、比較結果に基づいて異物の位置特定の誤検出部分が除去されるようにすればよい。
【０１１８】
上述した実施形態では、ステップＳ３４において、ＣＰＵ４は、着目ピクセルの横方向負側に並ぶ第１設定数のピクセル内で最大となる第１輝度値を算出し、着目ピクセルの横方向正側に並ぶ第２設定数のピクセル内で最大となる第２輝度値を算出し、着目ピクセルの縦方向負側に並ぶ第３設定数のピクセル内で最大となる第３輝度値を算出し、着目ピクセルの縦方向正側に並ぶ第４設定数のピクセル内で最大となる第４輝度値を算出したが、この算出処理はあくまで一例である。すなわち、上記の「横方向負側」、「横方向正側」、「縦方向負側」、及び「縦方向正側」はそれぞれ、「第１方向一方側」、「第１方向他方側」、「第２方向一方側」、及び「第２方向他方側」に一般化することができる。なお、第１方向と第２方向とは互い異なる方向である。第１方向と第２方向とは直交していなくてもよい。
【０１１９】
また、第１輝度値を、着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で最大となる輝度値ではなく、着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で着目ピクセルより輝度値が大きく且つ着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値とし、第２〜第４輝度値についても同様の置換を行ってもよい。すなわち、第２輝度値を、着目ピクセルの第１方向他方側に並ぶ第２設定数のピクセル内で最大となる輝度値ではなく、着目ピクセルの第１方向他方側に並ぶ第２設定数のピクセル内で着目ピクセルより輝度値が大きく且つ着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値とする。また、第３輝度値を、着目ピクセルの第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で最大となる輝度値ではなく、着目ピクセルの第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で着目ピクセルより輝度値が大きく且つ着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値とする。また、第４輝度値を、着目ピクセルの第２方向他方側に並ぶ第４設定数のピクセル内で最大となる輝度値ではなく、着目ピクセルの第２方向他方側に並ぶ第４設定数のピクセル内で着目ピクセルより輝度値が大きく且つ着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値とする。上記の置換を行った場合も、上述した実施形態と同様に、微小領域全体の輝度特性に基づいて異物の位置を特定しているため、異物の検出精度を高くすることができる。ただし、上記の置換を行った場合において、異物の減弱係数が被検査物Ｔ１（ただし、異物を除く）の減弱係数より小さい画像について適用するときには、ステップＳ３３の処理において「小さい」を「大きい」に置き換え、ステップＳ３４を置換した処理において「大きい」を「小さい」に置き換え、「閾値ＴＨ１以下」を「閾値ＴＨ１以上」に置き換えるとよい。また、上記の「着目ピクセルからできるだけ離れているピクセルの輝度値」の代わりに「着目ピクセルからできるだけ近いピクセルの輝度値」としてもよい。
【０１２０】
また、第１輝度値を、着目ピクセルの第１方向一方側に並ぶ第１設定数のピクセル内で最大となる輝度値ではなく、着目ピクセルの第１方向一方側に着目ピクセルから第１所定位置離れて並ぶ第１設定数のピクセル（例えば着目ピクセルから３ピクセル離れて並ぶ４つのピクセルである場合、着目ピクセルから第１方向一方側に３つ目〜６つ目に並んでいるピクセル）及び着目ピクセルの第１方向他方側に着目ピクセルから第２所定位置離れて並ぶ第２設定数のピクセルの平均輝度値とする。そして、ステップＳ３４〜Ｓ３６において、第２輝度値に関する処理を行わないようにする。また、第３輝度値を、着目ピクセルの第２方向一方側に並ぶ第３設定数のピクセル内で最大となる輝度値ではなく、着目ピクセルの第２方向一方側に着目ピクセルから第３所定位置離れて並ぶ第３設定数のピクセル及び着目ピクセルの第２方向他方側に着目ピクセルから第４所定位置離れて並ぶ第４設定数のピクセルの平均輝度値（請求項８における「第２輝度値」に相当）とする。そして、ステップＳ３４〜Ｓ３６において、第４輝度値に関する処理を行わないようにする。上記の置換を行った場合も、上述した実施形態と同様に、微小領域全体の輝度特性に基づいて異物の位置を特定しているため、異物の検出精度を高くすることができる。ただし、上記の置換を行った場合において、異物の減弱係数が被検査物Ｔ１（ただし、異物を除く）の減弱係数より小さい画像について適用するときには、ステップＳ３３の処理において「小さい」を「大きい」に置き換え、ステップＳ３４を置換した処理において「閾値ＴＨ１以下」を「閾値ＴＨ１以上」に置き換えるとよい。
【０１２１】
ＣＰＵ４は、過去に検査された被検査物Ｔ１の投影画像により学習した人工知能を用いて異物の位置を特定してもよい。人工知能を用いることにより、異物の検出精度をより一層高めることができる。人工知能の設けられる場所は特に限定されない。例えばＣＰＵ４に人工知能を設けてもよい。また例えば検査装置１００が通信ネットワークを介してアクセス可能なクラウド上に人工知能を設けてもよい。
【０１２２】
上述した実施形態とは異なり、ステップＳ４とステップＳ５との実行順序を入れ替え、ステップＳ６において、位置補正及び誤検出部分除去処理が反映された異物の位置を示す各投影画像を全て足し合わせて得られる画像、つまり異物の位置を２次元表示する画像を出力画像として生成してもよい。この場合、ステップＳ３において、必ずしも投影画像ごとに異物の位置を特定する必要はなく、複数の投影画像ごとに異物の位置を特定してもよい。
【０１２３】
上述した実施形態とは異なり、ステップＳ３の直後にステップＳ５を実行し、位置補正終了後に照射角度ごとに全断層の異物の位置を足し合わせ、全断層の異物の位置を足し合わせた後の照射角度ごとのデータについてステップＳ４を実行し、ステップＳ６において、位置補正及び誤検出部分除去処理が反映された異物の位置を示す各投影画像を全て足し合わせて得られる画像、つまり異物の位置を２次元表示する画像を出力画像として生成してもよい。この場合、ステップＳ３において、必ずしも投影画像ごとに異物の位置を特定する必要はなく、複数の投影画像ごとに異物の位置を特定してもよい。
【０１２４】
上述した実施形態では、Ｘ線検出部２Ａ及び２Ｂの位置を除く所定の位置に設定される各断層に投影して得られる投影画像は、トモシンセシスの原理に基づいて得られる各断層における投影画像であるが、これはあくまで例示である。すなわち、Ｘ線検出部２Ａ及び２Ｂの位置を除く所定の位置に設定される各断層に投影して得られる投影画像は、トモシンセシスの原理に基づいて得られる各断層における投影画像でなくてもよい。トモシンセシス法を採用しない場合、１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂをそれぞれ単一ラインのラインセンサにしてもよい。１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂがそれぞれ単一ラインである場合は、ラインセンサの画素サイズと１フレームあたりの被検査物の移動量とを一致させる。
【０１２５】
なお、検査装置１００の構造上の制約により、第１Ｘ線検出部２Ａと第２Ｘ線検出部２Ｂとを同じ高さに配置できない場合がある。この場合、第１Ｘ線検出部２ＡのＺ軸方向位置と第２Ｘ線検出部２ＢのＺ軸方向位置とが異なり、被検査物Ｔ１の同じ位置を通過したＸ線が入射するピクセルが第１Ｘ線検出部２Ａと第２Ｘ線検出部２Ｂとでずれる。したがって、このずれを考慮して、Ｙ軸方向において、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第１Ｘ線検出部２Ａに由来する投影画像のピクセルに該当する、第２Ｘ線照射部１Ｂ及び第２Ｘ線検出部２Ｂに由来する投影画像のピクセルを特定すればよい。
【０１２６】
上述した実施形態のように画素データ（ラインセンサで得られるデータ）を単純に並べること又は単純に積算することで撮影画像（２次元のデジタルデータ）を生成するのではなく、独自の画像処理に基づいて撮影画像を生成してもよい。独自の画像処理に基づいて撮影画像を生成する場合、被検査物Ｔ１の移動速度をラインセンサの画素サイズに必ずしも合わせる必要はない。
【０１２７】
また、ラインセンサである第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂの代わりに、図１７に示すように二次元検出器２Ｃを用いてもよい。二次元検出器２Ｃの斜線領域（図１７参照）の検出結果を用いることで、二次元検出器２Ｃを擬似的な２つのラインセンサとすることができる。なお、図１７に示す構成においても、図１に示す構成と同様に、第１Ｘ線照射部１Ａ及び第２Ｘ線照射部１Ｂを共通化して単一のＸ線照射部にしてもよい。
【０１２８】
また、単一の二次元検出器２Ｃの代わりに複数の二次元検出器を用い、複数の二次元検出器それぞれの一部領域の検出結果を用いることで、複数の二次元検出器を擬似的な複数のラインセンサとすることができる。
【０１２９】
また、単一の二次元検出器２Ｃの代わりに単一のラインセンサを用い、単一の二次元検出器２Ｃの場合と同様に単一のラインセンサの複数領域の検出結果を用いることで、単一のラインセンサを擬似的な複数のラインセンサとすることができる。なお、単一のラインセンサは、Ｙ軸方向に沿って延びる複数のラインを有するラインセンサである。
【０１３０】
また、ラインセンサである第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂの代わりに、図１８及び図１９に示すように二次元検出器２Ｄ及び２Ｅを用いてもよい。図１８及び図１９に示す検査装置１００は、例えば次のような動作を行うとよい。第２Ｘ線照射部１Ｂ及び二次元検出器２Ｅによる撮影が可能な位置に被検査物Ｔ１をベルトコンベア３の駆動により移動させ、その後ベルトコンベア３を停止させ、第２Ｘ線照射部１Ｂ及び二次元検出器２Ｅによる撮影が可能な位置に被検査物Ｔ１を静止させる（図１８参照）。図１８に示す静止状態において、第２Ｘ線照射部１Ｂ及び二次元検出器２Ｅによって被検査物Ｔ１を１ショット撮影する。それから、第１Ｘ線照射部１Ａ及び二次元検出器２Ｄによる撮影が可能な位置に被検査物Ｔ１をベルトコンベア３の駆動により移動させ、その後ベルトコンベア３を停止させ、第１Ｘ線照射部１Ａ及び二次元検出器２Ｄによる撮影が可能な位置に被検査物Ｔ１を静止させる（図１９参照）。図１９に示す静止状態において、第１Ｘ線照射部１Ａ及び二次元検出器２Ｄによって被検査物Ｔ１を１ショット撮影する。
【０１３１】
また、第１Ｘ線照射部１Ａ、第２Ｘ線照射部１Ｂ、並びにラインセンサである第１Ｘ線検出部２Ａ及び第２Ｘ線検出部２Ｂの代わりに、図２０及び図２１に示すようにＸ線照射部１Ｃ並びに二次元検出器２Ｆを用いてもよい。図２０及び図２１に示す検査装置１００は、例えば次のような動作を行うとよい。被検査物Ｔ１を第１の所定位置までベルトコンベア３の駆動により移動させる。このとき被検査物Ｔ１の移動に連動して二次元検出器２Ｆも不図示の移動機構により移動させる。その後ベルトコンベア３及び不図示の移動機構を停止させ、被検査物Ｔ１を第１の所定位置に静止させ、二次元検出器２Ｆを第１の所定位置に対応する位置に静止させる（図２０参照）。図２０に示す静止状態において、Ｘ線照射部１Ｃ及び二次元検出器２Ｆによって被検査物Ｔ１を１ショット撮影する。それから、被検査物Ｔ１を第２の所定位置までベルトコンベア３の駆動により移動させる。このとき被検査物Ｔ１の移動に連動して二次元検出器２Ｆも不図示の移動機構により移動させる。その後ベルトコンベア３及び不図示の移動機構を停止させ、被検査物Ｔ１を第２の所定位置に静止させ、二次元検出器２Ｆを第２の所定位置に対応する位置に静止させる（図２１参照）。図２１に示す静止状態において、Ｘ線照射部１Ｃ及び二次元検出器２Ｆによって被検査物Ｔ１を１ショット撮影する。
【０１３２】
以上の説明では、被検査物Ｔ１とＸ線撮影に用いたＸ線照射部との位置関係がＸ軸方向においてのみ異なる複数枚の２次元Ｘ線撮影画像が生成されたが、被検査物Ｔ１とＸ線撮影に用いたＸ線照射部との位置関係がＹ軸方向においてのみ異なる複数枚の２次元Ｘ線撮影画像が生成されてもよく、被検査物Ｔ１とＸ線撮影に用いたＸ線照射部との位置関係がＸ軸方向、Ｙ軸方向の両方において異なる複数枚の２次元Ｘ線撮影画像が生成されてもよい。
【０１３３】
なお、Ｘ線検出部としてラインセンサを使用する場合、Ｘ線の照射領域ごとにフレームデータを或る１つの断層に投影し、再構成して生成される各２次元画像を「２次元Ｘ線撮影画像」とみなして以後の処理を行う構成の検査装置も本発明に含まれるものとする。
【符号の説明】
【０１３４】
１  Ｘ線照射部
１Ａ  第１Ｘ線照射部
１Ｂ  第２Ｘ線照射部
２  Ｘ線検出部
２Ａ  第１Ｘ線検出部
２Ｂ  第２Ｘ線検出部
３  ベルトコンベア
４  ＣＰＵ
５  ＲＯＭ
６  ＲＡＭ
７  ＶＲＡＭ
８  表示部
９  ＨＤＤ
１０  入力部
１００  検査装置
【図１】
2020209312.tif 000009
【図２】
2020209312.tif 000010
【図３】
2020209312.tif 000011
【図４】
2020209312.tif 000012
【図５Ａ】
2020209312.tif 000013
【図５Ｂ】
2020209312.tif 000014
【図６Ａ】
2020209312.tif 000015
【図６Ｂ】
2020209312.tif 000016
【図７】
2020209312.tif 000017
【図８Ａ】
2020209312.tif 000018
【図８Ｂ】
2020209312.tif 000019
【図９】
2020209312.tif 000020
【図１０】
2020209312.tif 000021
【図１１】
2020209312.tif 000022
【図１２】
2020209312.tif 000023
【図１３】
2020209312.tif 000024
【図１４】
2020209312.tif 000025
【図１５】
2020209312.tif 000026
【図１６】
2020209312.tif 000027
【図１７】
2020209312.tif 000028
【図１８】
2020209312.tif 000029
【図１９】
2020209312.tif 000030
【図２０】
2020209312.tif 000031
【図２１】
2020209312.tif 000032
【国際調査報告】
2020209312.tif 000033
2020209312.tif 000034
2020209312.tif 000035
2020209312.tif 000036