(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の面積を有する台と、
前記台上に位置し、ウェハの側面が上部に向くようにカセットが装着され、前記ウェハを回転させるウェハ回転機と、
前記ウェハ回転機が装着され、前記ウェハ回転機を前記ウェハの中心軸方向に沿って運動させるステージと、
前記台の一側の角に形成され所定の高さを有する垂直支持台と、
前記垂直支持台に移送手段を媒介に設けられ前記垂直支持台をガイドレールとして上下運動する水平支持台と、
前記水平支持台の所定の地点に位置し、ウェハの側面を照明する照明手段と、
前記水平支持台に前記照明手段と隣接して位置し、前記照明手段から照明を受け、回転するウェハの側面画像情報を獲得するカメラと、
前記カメラから側面の画像情報の転送を受けてウェハ側面の不良の有無を比較判断する画像情報処理プログラムが内蔵され、装備全体を調整するコンピュータとを備え、
前記水平支持台には、前記カメラと前記照明手段の間に位置し、前記カセットに内在された前記ウェハを認識するセンサが設けられることを特徴とするウェハ検査装置。
【請求項２】
前記ウェハ回転機の下部の中央には長さの方向に沿って所定のギア溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ検査装置。
【請求項３】
前記ギア溝の両側に所定の距離離隔されて前記ウェハ回転機の運動を支持するガイド溝が長さの方向に沿って形成されていることを特徴とする請求項２に記載のウェハ検査装置。
【請求項４】
前記ステージ上部には前記ギア溝と結合して回転することで前記ウェハ回転機を運動させるギア棒が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ検査装置。
【請求項５】
前記ステージの内部には前記ギア棒の端部に形成された歯と歯車に連結されて回転力を伝達するモーターが内蔵されていることを特徴とする請求項４に記載のウェハ検査装置。
【請求項６】
前記ステージ上部には前記ギア棒の両側に所定の距離離隔されて前記ウェハ回転機の運動を支持するガイド溝と結合される突出部位が長さの方向に沿って形成されていることを特徴とする請求項５に記載のウェハ検査装置。
【請求項７】
前記水平支持台には外部から入ってくる光を防止し、ウェハと対向する部分が開放され、上部に前記照明手段と前記カメラが貫通して所定の部分が内在されるボックス形態のシルディングケースがさらに形成されていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ検査装置。
【請求項８】
前記垂直支持台の表面には歯が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ検査装置。
【請求項９】
前記移送手段は、動力によって前記垂直支持台に沿って運動可能であることを特徴とする請求項１に記載のウェハ検査装置。
【請求項１０】
前記移送手段は、電気的信号によって作動するモーターと前記モーターに連結されて前記垂直支持台の歯に沿って運動する歯車を有することを特徴とする請求項９に記載のウェハ検査装置。
【請求項１１】
前記垂直支持台の一側には、前記移送手段を動力によって動かし前記水平支持台の高さを調節するスイッチが設けられることを特徴とする請求項８に記載のウェハ検査装置。
【請求項１２】
前記垂直支持台には、前記水平支持台の高さを制限するストッパが形成されていることを特徴とする請求項８に記載のウェハ検査装置。
【請求項１３】
前記センサは、前記シルディングケースの内部に設けられることを特徴とする請求項７に記載のウェハ検査装置。
【請求項１４】
前記垂直支持台の上端部には進行されるウェハの数、工程状況及び装備の動作の状態を示す表示装置が設けられることを特徴とする請求項１に記載のウェハ検査装置。
【請求項１５】
前記表示装置は進行されるウェハの数、工程状況を示す液晶表示器と装備の作動状態をそれぞれ異なる色を有するランプで表すシグナルタワーを有することを特徴とする請求項１４に記載のウェハ検査装置。
【請求項１６】
所定の面積を有する台と、
前記台上に位置し、ウェハの側面が上部に向くようにカセットが装着され、そのウェハを回転させるウェハ回転機と、
前記台の一側の角に形成され所定の高さを有する垂直支持台と、
前記垂直支持台に第１移送手段を媒介に取り付けられ前記垂直支持台をガイドレールとして上下運動する水平支持台と、
前記水平支持台をガイドレールとして前記ウェハの中心軸方向に沿って運動する第２移送手段と、
前記第２移送手段の一側に取り付けられ、前記ウェハの側面を照明する照明手段と、
前記第２移送手段に前記照明手段と対向して取り付けられ、前記照明手段から照明を受けながら回転するウェハの側面画像情報を獲得するカメラと、
前記カメラから側面画像情報の転送を受けて前記ウェハ側面の不良の有無を比較判断する画像情報処理プログラムが内蔵され、装備全体を調整するコンピュータとを備え、
前記第２移送手段には、前記カメラと前記照明手段の間に位置し、前記カセットに内在された前記ウェハを認識するセンサが設けられることを特徴とするウェハ検査装置。
【請求項１７】
前記第２移送手段には、外部から入ってくる光を防止し、ウェハと対向する部分が開放され、上部に前記照明手段とカメラが貫通して所定の部分が内在されるボックス形態のシルディングケースがさらに形成されていることを特徴とする請求項１６に記載のウェハ検査装置。
【請求項１８】
前記垂直支持台及び水平支持台の表面には歯が形成されていることを特徴とする請求項１６に記載のウェハ検査装置。
【請求項１９】
前記第１移送手段及び第２移送手段は、電気的信号によって作動するモーターと前記モーターに連結されそれぞれ前記垂直支持台及び前記水平支持台の歯に沿って動く歯車を有することを特徴とする請求項１６に記載のウェハ検査装置。
【請求項２０】
前記垂直支持台の一側には前記第１移送手段を動力によって動かし、前記水平支持台の高さを調節するスイッチが取り付けられていることを特徴とする請求項１６に記載のウェハ検査装置。
【請求項２１】
前記垂直支持台には前記水平支持台の高さを制限するストッパが形成されていることを特徴とする請求項１６に記載のウェハ検査装置。
【請求項２２】
前記センサは、前記シルディングケースの内部に設けられることを特徴とする請求項１７に記載のウェハ検査装置。
【請求項２３】
前記垂直支持台の上端部には進行されるウェハの数、工程状況及び装備の作動状態を示す表示装置が設けられることを特徴とする請求項１６に記載のウェハ検査装置。
【請求項２４】
前記表示装置は進行されるウェハの数、工程状況を示す液晶表示器と、装備の作動状態をそれぞれ異なる色を有するランプで示すシグナルタワーを有することを特徴とする請求項２３に記載のウェハ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体素子製造用装備に関するもので、より詳しくはウェハの側面の不良状態を検査することができるウェハ検査装置及びこれを利用したウェハの検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
通常、半導体素子は、蒸着工程、写真工程、エッチング工程及びイオン注入工程等の工程を遂行してなる。即ち、半導体素子は、半導体基板として使用されるウェハ上に多結晶膜、酸化膜、窒化膜及び金属膜等のようないくつかの層の薄膜を蒸着した後、写真工程、エッチング工程及びイオン注入工程等を反復的に遂行して素子パターンを形成させて完成する。
【０００３】
このため、工程を遂行しながらウェハはいくつかの半導体装備を通過し、それぞれの工程によって装備内での工程条件、即ち工程温度及びチャックに固定される方法等が異なる。従って、工程を遂行しながらウェハの側面の部分は熱、物理的圧力及び接触等によって損傷される場合が頻繁に発生した。側面が損傷されたウェハが含まれた状態で後続工程を進行すると、後続工程時に側面の損傷された部分はストレスが集中してウェハが破損する場合があった。工程中、ウェハの破損は製造設備の汚染と周辺ウェハも汚染させて製造工程に悪影響を与えるため、工程進行以前のウェハの側面を綿密に検査しなければならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、現在ウェハの側面の検査は特別な装置がなく、作業者が任意にカセット内の何枚かのウェハを選別してツウィザ（Tweezer）でウェハを持ち上げ肉眼で検査する。しかし、肉眼検査は個人的な偏差等で検査が円滑に行われず、また何枚かのウェハの検査では信頼性を持つことができず、工程中にウェハが破損されるという危険があるという問題があった。
【０００５】
本発明はこの問題を解決するためになされたものであって、工程進行以前にウェハのフラットゾーンを整列すると同時にウェハの側面の状態を全体検査し側面が不良であるウェハを選別して除去することにより、工程進行中のウェハの破損を防止し、製造装備と正常であるウェハ以外のウェハが汚染されることを防ぐことで半導体素子の生産収率を向上させるウェハ検査装置及びこれを利用したウェハ検査方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１記載のウェハ検査装置によると、所定の面積を有する台と、台上に位置し、ウェハの側面が上部に向くようにカセットが装着され、ウェハを回転させるウェハ回転機と、ウェハ回転機が装着され、ウェハ回転機をウェハの中心軸方向に沿って運動させるステージと、台の一側の角に形成され所定の高さを有する垂直支持台と、垂直支持台に移送手段を媒介に設けられ垂直支持台をガイドレールとして上下運動する水平支持台と、水平支持台の所定の地点に位置し、ウェハの側面を照明する照明手段と、水平支持台に照明手段と隣接して位置し、照明手段から照明を受け、回転するウェハの側面画像情報を獲得するカメラと、カメラから側面の画像情報の転送を受けてウェハ側面の不良の有無を比較判断する画像情報処理プログラムが内蔵され、装備全体を調整するコンピュータを備え、水平支持台には、カメラと照明手段の間に位置し、カセットに内在されたウェハを認識するセンサが設けられる。
【０００９】
本発明の請求項２記載のウェハ検査装置によると、ウェハ回転機の下部の中央には長さの方向に沿って所定のギア溝が形成されている。
本発明の請求項３記載のウェハ検査装置によると、ギア溝の両側に所定の距離離隔されてウェハ回転機の運動を支持するガイド溝が長さの方向に沿って形成されている。
本発明の請求項４記載のウェハ検査装置によると、ステージ上部にはギア溝と結合して回転することでウェハ回転機を運動させるギア棒が形成されている。
本発明の請求項５記載のウェハ検査装置によると、ステージの内部にはギア棒の端部に形成された歯と歯車に連結されて回転力を伝達するモーターが内蔵されている。
【００１０】
本発明の請求項６記載のウェハ検査装置によると、ステージ上部にはギア棒の両側に所定の距離離隔されてウェハ回転機の運動を支持するガイド溝と結合される突出部位が長さの方向に沿って形成されている。
本発明の請求項７記載のウェハ検査装置によると、水平支持台には外部から入ってくる光を防止し、ウェハと対向する部分が開放され、上部に照明手段とカメラが貫通して所定の部分が内在されるボックス形態のシルディングケース（Shilding Case）がさらに形成されている。
本発明の請求項８記載のウェハ検査装置によると、垂直支持台の表面には歯が形成されている。
本発明の請求項９記載のウェハ検査装置によると、移送手段は、動力によって垂直支持台に沿って運動可能である。
本発明の請求項１０記載のウェハ検査装置によると、移送手段は、電気的信号によって作動するモーターとモーターに連結されて垂直支持台の歯に沿って運動する歯車を有する。
本発明の請求項１１記載のウェハ検査装置によると、垂直支持台の一側には、移送手段を動力によって動かし水平支持台の高さを調節するスイッチが設けられる。
【００１１】
本発明の請求項１２記載のウェハ検査装置によると、垂直支持台には、水平支持台の高さを制限するストッパが形成されている。
本発明の請求項１３記載のウェハ検査装置によると、センサは、シルディングケースの内部に設けられる。
本発明の請求項１４記載のウェハ検査装置によると、垂直支持台の上端部には進行されるウェハの数、工程状況及び装備の動作の状態を示す表示装置が設けられる。
本発明の請求項１５記載のウェハ検査装置によると、表示装置は進行されるウェハの数、工程状況を示す液晶表示器と装備の作動状態をそれぞれ異なる色を有するランプで表すシグナルタワーを有する。
【００１２】
本発明の請求項１６記載のウェハ検査装置によると、所定の面積を有する台と、台上に位置し、ウェハの側面が上部に向くようにカセットが装着され、ウェハを回転させるウェハ回転機と、台の一側の角に形成され所定の高さを有する垂直支持台と、垂直支持台に第１移送手段を媒介に取り付けられ垂直支持台をガイドレールとして上下運動する水平支持台と、水平支持台をガイドレールとしてウェハの中心軸方向に沿って運動する第２移送手段と、第２移送手段の一側に取り付けられ、ウェハの側面を照明する照明手段と、第２移送手段に照明手段と対向して取り付けられ、照明手段から照明を受けながら回転するウェハの側面画像情報を獲得するカメラと、カメラから側面画像情報の転送を受けてウェハ側面の不良の有無を比較判断する画像情報処理プログラムが内蔵され、装備全体を調整するコンピュータとを備え、第２移送手段には、カメラと照明手段の間に位置し、カセットに内在されたウェハを認識するセンサが設けられる。
【００１３】
本発明の請求項１７記載のウェハ検査装置によると、第２移送手段には、外部から入ってくる光を防止し、ウェハと対向する部分が開放され、上部に照明手段とカメラが貫通して所定の部分が内在されるボックス形態のシルディングケースがさらに形成されている。
本発明の請求項１８記載のウェハ検査装置によると、垂直支持台及び水平支持台の表面には歯が形成されている。
本発明の請求項１９記載のウェハ検査装置によると、第１移送手段及び第２移送手段は、電気的信号によって作動するモーターとモーターに連結されそれぞれ垂直支持台及び水平支持台の歯に沿って動く歯車を有する。
本発明の請求項２０記載のウェハ検査装置によると、垂直支持台の一側には第１移送手段を動力によって動かし、水平支持台の高さを調節するスイッチが取り付けられている。
【００１４】
本発明の請求項２１記載のウェハ検査装置によると、垂直支持台には水平支持台の高さを制限するストッパが形成されている。
本発明の請求項２２記載のウェハ検査装置によると、センサは、シルディングケースの内部に設けられる。
本発明の請求項２３記載のウェハ検査装置によると、垂直支持台の上端部には進行されるウェハの数、工程状況及び装備の作動状態を示す表示装置が設けられる。
本発明の請求項２４記載のウェハ検査装置によると、表示装置は進行されるウェハの数、工程状況を示す液晶表示器と、装備の作動状態をそれぞれ異なる色を有するランプで示すシグナルタワーを有する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な複数の実施例を添付した図面を参照に詳しく説明する。
図１を参照すると、本発明の実施例によるウェハ検査装置は駆動源によってウェハを回転させるウェハ回転機２、ウェハ回転機２によって回転するウェハの側面を照明する照明手段４と、照明手段４によって照明を受けるウェハの側面画像情報を獲得するカメラ６を含めて構成される画像情報獲得手段７、及び正常であるウェハの側面画像情報が内蔵されており、カメラ６と連結されて側面画像情報の転送を受けて正常であるウェハの側面画像情報と比較してウェハ側面の不良の有無を判断する比較判断手段８として画像情報処理プログラムが内蔵されているコンピュータを含めてなる。
【００１８】
照明手段４は、半導体レーザーが好ましく、コンピュータには比較判断結果を文書として出力させる出力機１０が連結されている。
ウェハ回転機２の代わりにウェハが連続して３６０°回転することができるウェハフラットゾーン整列器（Ｆｌａｔｚｏｎｅ Ａｌｉｇｎｅｒ）を使用することができる。
カメラ６は自動フォーカシングズームレンズを有するＣＣＤカメラで、コンピュータは検査装備全体を調整する。
【００１９】
（第１実施例）
図２及び図３を参照すると、第１実施例としての本発明によるウェハの検査装備１は所定の面積を有する台１２、台１２上に位置しウェハ１４の側面が上部に向くようにカセット１６が装着されウェハ１４を回転させるウェハ回転機２、ウェハ回転機２が装着されウェハ回転機２をウェハ１４の中心軸方向に沿って運動させるステージ１８、台１２の一側の角に形成されて所定の高さを有する垂直支持台２０、垂直支持台２０に移送手段２２を媒介に設けられ垂直支持台２０をガイドレールとして上下運動する水平支持台２４、水平支持台２４の所定の地点に位置しウェハ１４の側面を照明する照明手段としての半導体レーザー４ａ、水平支持台２４に半導体レーザー４aと隣接に位置し半導体レーザー４ａから照明を受けて回転するウェハ１４の側面画像情報を獲得するカメラとしてＣＣＤカメラ６ａ、及びＣＣＤカメラ６ａから側面画像情報の転送を受けてウェハ１４の側面の不良の有無を比較判断する比較判断手段としての画像情報処理プログラムが内蔵され装備全体を調整するコンピュータ８ａを備える。
【００２０】
ウェハ回転機２は、立方体形状の胴体２１１、胴体２１１の端部に長さの方向に向かいあって形成されている壁体２１２、壁体２１２に所定の間隔を維持し、同一の高さで長さの方向に形成され、カセット１６が安着される支持棒２１３、壁体２１２に支持棒２１３の下に所定の間隔を維持しながら同一の高さに形成され、駆動円（図示しない）の駆動によって回転運動を遂行するローラー棒２１４及びウェハ回転機２の駆動を制御する制御部２１５を有する。ウェハ回転機２の代わりにウェハが連続して３６０°回転するようにすることができるウェハフラットゾーン整列器を使用することができる。
【００２１】
ウェハ回転機２の下部の中央には長さの方向に沿って所定のギア溝２１６が形成され得るし、ギア溝２１６の両側に所定の距離分、離隔されてウェハ回転機２の運動を支持するガイド溝２１７が長さ方向に沿って形成されている。
ステージ１８の上部にはウェハ回転機２のギア溝２１６と結合して回転することで、ウェハ回転機２をウェハ１４の中心軸の方向に運動させるギア棒１８１が形成され、ステージ１８の内部にはギア棒１８１の端部に形成された歯１８１ａと歯車１８２に連結されて回転力を伝達するモーター（図示しない）が内蔵されている。また、ギア棒１８１の両側に所定の距離分、離隔されてウェハ回転機２の運動を支持するガイド溝２１７と結合されるガイド１８３が長さ方向に沿って形成されている。ウェハ回転機２の下部構造とステージ１８の上部構造は、同一効果を得るために変形して使用することができることは自明である。
【００２２】
水平支持台２４には外部から入ってくる光を防止し、ウェハ１４と対向する部分が開放され、上部に半導体レーザー４ａとＣＣＤカメラ６ａが貫通して所定の部分が内在されるボックス形態のシルディングケース２６がさらに形成される。従って、外部の光がウェハ１４の側面を当てることで、発生する反射を防止してＣＣＤカメラ６ａがより正確なウェハの側面画像情報を得ることができる。
垂直支持台２０の表面には歯２０ａが形成されており、水平支持台２４の移送手段２２が動力によって垂直支持台２０の沿って運動する。即ち、移送手段２２には電気的信号によって作動するモーター（図示しない）とモーターに連結されて垂直支持台２０の歯２０ａに沿って動く歯車（図示しない）が内在されており、垂直支持台２０を上下運動する。また、垂直支持台２０の一側には移送手段２２を動力によって動かして水平支持台２４の高さを調節するスイッチ２８が取り付けられ、カセット１６をウェハ回転機２に装着時、水平支持台２４を上昇させて効率的にカセット１６をステージ１８に装着させることができる。垂直支持台２０には水平支持台２４の高さを制限するストッパ３０が形成されており、水平支持台２４が下がりすぎでシルディングケース２６とウェハ１４が衝突してウェハ１４が破損されるのを防止した。
【００２３】
ＣＣＤカメラ６ａは、ＣＣＤカメラ６ａとウェハ１４の側面との距離にあう最上のフォーカシングをして、明確な側面画像情報を得ることができるように自動フォーカシングズームレンズで構成され、照明手段で半導体レーザー４ａは特定ウェハ１４の側面のみを効果的に照明するために使用する。
水平支持台２４には、ＣＣＤカメラ６ａと半導体レーザー４ａの間に位置し、シルディングケース２６の内部に形成されてカセット１６に内在されたウェハ１４の個数及びウェハ１４が内在されたカセット１６のスロットを認識するセンサ３２が取り付けられている。即ち、センサ３２は最初カセット１６がウェハ回転機２に安着され、ステージ１８の駆動によってウェハ回転機２の運動時、ウェハ１４をスキャンすることでカセット１６に内在したウェハ１４の個数とウェハ１４が内在したカセット１６のスロットを認識する。
【００２４】
比較判断手段であるコンピュータ８ａには比較判断結果を文書で出力させる出力機１０が連結されて、出力された文書を通じて側面が不良であるウェハを確認することができる。
垂直支持台２０の上端部には進行されるウェハの数及び装置の動作状態を示す表示装置３４が取り付けられ、工程状況を表す液晶表示器３４ａと装備の動作状態をそれぞれ異なる色を有するランプで示すシグナルタワー３４ｂを有する。従って、ウェハ検査装置１から遠距離でもシグナルタワー３４ｂのランプの色を観察することでウェハ検査装置１の動作状態を確認することができる。
【００２５】
（第２実施例）
図４を参照すると、第１実施例と実質的に同一の構成要素は同一の符号を付し説明を省略した。ただし、同一機能はするが構成の変更で相関関係が変わる場合には他の番号を記入して説明した。
本発明の第２実施例によるウェハ検査装置１１は所定の面積を有する台１２、台１２上に位置しウェハ１４の側面が上部に向くようにカセット１６が装着されウェハ１４を回転させるウェハ回転機２、台１２の一側の角に形成されて所定の高さを有する垂直支持台２０、垂直支持台２０に第１移送手段４０を媒介に設けられ垂直支持台２０をガイドレールにして上下運動する水平支持台２４、水平支持台２４をガイドレールにして運動する第２移送手段４２、第２移送手段４２の一側に設けられウェハ１４の側面を照明する照明手段としての半導体レーザー４ａ、第２移送手段４２に半導体レーザー４ａと対向して取り付けられ半導体レーザー４ａから照明を受けて回転するウェハ１４の側面画像情報を獲得するカメラとしてのＣＣＤカメラ６ａ、及びＣＣＤカメラ６ａから側面画像情報の転送を受けてウェハ１４の側面の不良有無を比較判断する比較判断手段であって画像情報処理プログラムが内蔵し装備全体を調整するコンピュータ８ａを備える。
【００２６】
第２移送手段４２には外部から入ってくる光を防止し、ウェハ１４と対向する部分が開放され、上部に半導体レーザー４ａとＣＣＤカメラ６ａが貫通して所定の部分が内在されるボックス形態のシルディングケース２６が形成される。
垂直支持台２０と水平支持台２４の表面には歯が形成され、第１移送手段４０及び第２移送手段４２は電気的信号によって作動するモーター（図示しない）とモーターに連結されてそれぞれ垂直支持台２０及び水平支持台２４の歯に沿って動く歯車（図示しない）を含む。
垂直支持台２０の一側には第１移送手段４０を動力によって動かし水平支持台２４の高さを調節するスイッチ２８が取り付けられ、垂直支持台２０には水平支持台２４の高さを制限するストッパ３０が形成されている。
第２移送手段４２には半導体レーザー４ａとカメラ６の間に位置し、シルディングケース２６内部に形成されてカセット１６に内在されたウェハ１４の個数とウェハ１４が位置するスロットを認識するセンサ３２が形成されている。即ち、センサ３２は最初カセット１６がウェハ回転機２に安着され、第２移送手段４２がウェハ１４をスキャンすることでカセット１６に内在したウェハ１４の個数とウェハ１４が位置するカセット１６のスロットを認識する。
【００２７】
上述の第１実施例及び第２実施例で、垂直支持台２０を一つに形成したが、同一大きさを有する垂直支持台２０を相互向かい合うように形成させて水平支持台２４の連結状態等模様を変形させることができるというのは自明なことである。また、第１実施例及び第２実施例でのウェハ回転機２は単にウェハ１４を回転させる機能をするが、ウェハ回転機２の代わりにウェハが連続して３６０°回転するようにするウェハフラットゾーン整列器を設置して使用することにより、工程進行前にウェハを整列すると同時にウェハの側面の不良も検査することができる。
図５を参照すると、本発明によるウェハの検査方法は、まず検査するウェハ１４が内在されたカセット１６をウェハ回転機２上に装着する段階Ｓ２で、水平支持台２４の高さ調節用スイッチ２８を利用して水平支持台２８を上昇させてカセット１６をウェハ１４の側面が上部に向くようにウェハ回転機２上に載せた後、水平支持台２４をストッパ３０まで下降させる。
継続して、ウェハ１４をスキャンし画像情報獲得手段を整列させウェハの検査を準備する段階Ｓ４で、ステージ１８を駆動させウェハ回転機２をウェハ１４の中心軸の方向にスキャンしセンサ３２がカセット１６内のウェハの個数及びウェハがどのスロットに位置しているのかをセンシングしウェハ回転機２を移動させて検査する最初のウェハの側面と半導体レーザー４ａと自動フォーカシングズームレンズを有するＣＣＤカメラ６ａを整列させる。
【００２８】
第１実施例では、ステージ１８をウェハ１４の中心軸方向に運動させて水平支持台２４の半導体レーザー４ａとＣＣＤカメラ６ａの間に設けられているセンサ３２がウェハ１４をスキャンするようにし、カセット１６に内在するウェハの個数及び検査するウェハがどのスロットに位置しているかを認識する。第２実施例では、第２移送手段４２が水平支持台２４に沿って運動して第２移送手段４２に取り付けられているセンサ３２がウェハをスキャンしてカセット１６に内在するウェハの個数及び検査するウェハがどのスロットに位置しているかを認識する。それで、第１実施例ではウェハ回転機２を移動させて最初検査するウェハの側面上に半導体レーザー４ａとＣＣＤカメラ６ａを整列させるし、第２実施例では第２移送手段４２が移動して最初検査するウェハの側面上に半導体レーザー４ａとＣＣＤカメラ６ａを整列させる。
【００２９】
続いて、検査するウェハを回転させながら、画像情報獲得手段がウェハの側面画像情報を獲得する段階Ｓ６で、第１実施例ではウェハ回転機２がウェハ１４を回転すると同時に半導体レーザー４ａがウェハの側面を照明しながら、ＣＣＤカメラ６ａがウェハ１４の側面画像情報を獲得する。ＣＣＤカメラ６ａが一枚のウェハの側面画像情報を獲得すると、ステージ１８がウェハ回転機２を移動させて後続して検査するウェハと半導体レーザー４ａ及びＣＣＤカメラ６ａを整列させて側面画像情報を獲得する。過程を反復的に遂行することでカセット１６内の全てのウェハ１４の側面画像情報を獲得する。
【００３０】
第２実施例ではウェハ回転機２によってウェハ１４が回転すると同時に第２移送手段４２がそれぞれのウェハに移動して半導体レーザー４ａがウェハ側面を照明しながらＣＣＤカメラ６ａがウェハの側面画像情報を獲得する。
継続して画像情報獲得手段が獲得したウェハの側面画像情報を正常のウェハ側面画像情報と比較判断して正常であるかどうかを比較判断する段階Ｓ８で、ＣＣＤカメラ６ａが側面画像情報を画像情報処理プログラムが内蔵されたコンピュータ８ａに転送してそれぞれのウェハの側面画像情報を正常のウェハ側面画像情報と比較して不良の有無を判断する。比較判断は、各ウェハの側面の部分の各地点の明るさを比較して判断する。即ち、ウェハの側面に不良がある地点は正常である地点と光の反射量が異なるので画像での明るさが周囲より暗く表れる。
続いて、比較判断による結果を出力する段階Ｓ１０で、画像情報処理プログラムを利用して各ウェハの側面画像情報を比較判断した各ウェハの側面不良を示す結果をモニタに出力する。コンピュータ８ａには分析結果を出力する出力機１０が連結されており文書として確認することができる。
継続して、側面の部分が不良であるウェハを除去した後、後続工程を継続して進行する。
【００３１】
従って、製造装備にウェハが投入される前にウェハの検査装備１、１１を使用してウェハの側面を検査することで、従来の肉眼検査による個人的な偏差を防止して側面の部分に不良が発生したウェハを効率的に除去して工程進行中に熱膨張及びストレスによって側面の部分が損傷されたウェハが破損されることを防止することができる。
また、ウェハ回転機２の代わりにウェハのフラットゾーン整列機を使用することでウェハを整列させると同時に側面の部分に不良が発生したウェハを除去することができる。
【００３２】
【発明の効果】
上述のように、本発明によると、工程進行中、ウェハが破損されることを未然に防止し、製造装備及び正常であるウェハが汚染されることを最小化して半導体素子製造工程の生産性を向上させる効果がある。
以上で本発明は記載された具体例に対してのみ詳しく説明されたが、本発明の技術思想範囲内で多様な変形及び修正が可能であることは当業者にとって明白なことであり、このような変形及び修正が添付された特許請求の範囲に属することは当然なことである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるウェハ検査装置を概略的に示すブロック図である。
【図２】本発明によるウェハ検査装置の第１実施例を概略的に示す斜視図である。
【図３】図２Ａのウェハ回転機及びステージを示す模式図である。
【図４】本発明によるウェハ検査装置の第２実施例を概略的に示す斜視図である。
【図５】本発明によるウェハ検査方法を示す工程順序図である。
【符号の説明】
１、１１  ウェハ検査装置
２  ウェハ回転機
４  照明手段
４ａ  半導体レーザー
６  カメラ
６ａ  ＣＣＤカメラ
７  画像情報獲得手段
８  比較判断手段
８ａ  コンピュータ
１０  出力機
１２  台
１４  ウェハ
１６  カセット
１８  ステージ
２０  垂直支持台
２０ａ  歯
２２  移送手段
２４  水平支持台
２６  シルディングケース
２８  スイッチ
３０  ストッパ
３２  センサ
３４  表示装置
３４ａ  液晶表示器
３４ｂ  シグナルタワー
４０  第１移送手段
４２  第２移送手段
１８１  ギア棒
１８１ａ  歯
１８２  歯車
１８３  ガイド
２１１  胴体
２１２  壁体
２１３  支持棒
２１４  ローラー棒
２１５  制御部
２１６  ギア溝
２１７  ガイド溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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