(57)【要約】  ガラスパネルユニットの製造方法は、組立工程と、設定工程と、区別工程と、設置工程とを含む。前記組立工程は、組立て品（１００）を用意する工程である。前記設定工程は、周壁（４１０）の外周縁に沿って、複数の保持具設置領域（６１）を設定する工程である。前記区別工程は、スリット（６１０）と周壁（４１０）とが隣り合っていない第１領域（６１１）と、スリット（６１０）と周壁（４１０）とが隣り合っている第２領域（６１２）とを区別する工程である。前記設置工程は、第２領域（６１２）に保持具（６２）を設置させず、第１領域（６１１）に保持具（６２）を設置する工程である。
2019239846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
組立工程と、設定工程と、区別工程と、設置工程とを含み、
前記組立工程は、組立て品を用意する工程であり、
前記組立て品は、
第１ガラス板と、
前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、
前記第１ガラス板と前記第２ガラス板との間にある枠状の周壁と、
前記第１ガラス板と前記第２ガラス板と前記周壁とで囲まれた内部空間と、
前記内部空間を第１空間と第２空間とに仕切る仕切りと、
前記第２空間と外部空間とをつなぐ排気口と、
前記排気口を介して前記第１空間を排気させるための通気路と、
を備え、
前記通気路は、前記周壁の内周縁と接し、かつ前記周壁と前記仕切りとの間に介在するスリットを有し、
前記設定工程は、前記周壁の外周縁に沿って、複数の保持具設置領域を設定する工程であり、
前記区別工程は、前記複数の保持具設置領域のうち、前記スリットと前記周壁とが隣り合っていない第１領域と、前記スリットと前記周壁とが隣り合っている第２領域とを区別する工程であり、
前記設置工程は、前記第２領域に保持具を設置させず、前記第１領域に前記保持具を設置する工程である、
ガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項２】
前記設定工程において、前記複数の保持具設置領域は、前記周壁の一辺において等間隔に離間させて設定される、
請求項１に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項３】
第１領域は、前記周壁の外周縁に沿って複数ある、
請求項１又は２に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項４】
前記保持具は、複数の前記第１領域の全てに設置される、
請求項３に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項５】
排気工程と、封止工程とを更に含み、
前記排気工程は、前記通気路と前記第２空間と前記排気口とを介して前記第１空間を排気する工程であり、
前記封止工程は、前記仕切りを変形させて前記通気路を塞いで前記内部空間を前記第１空間と前記第２空間とに気密に分離する隔壁を形成する工程である、
請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項６】
除去工程を更に含み、
前記除去工程は、前記第２空間を有する部分を除去することで、前記第１空間を有する部分であるガラスパネルユニットを得る工程である、
請求項５に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ガラスパネルユニットの製造方法に関する。より詳細には、本開示は、窓等に好適なガラスパネルユニットを製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、一対のガラスパネルの間に真空空間が形成されたガラスパネルユニットを製造する方法を開示している。この製造方法では、第１ガラス基板、及び第２ガラス基板（一対のガラス基板）が枠体（周壁）を介して対向するように配置され、この後、枠体が加熱されて溶融することで、第１ガラス基板と第２ガラス基板とが気密に接合される。このとき、第１及び第２ガラス基板と枠体とで囲まれた内部空間が仕切りで第１空間と第２空間とに仕切られている。そして、第１空間は、排気工程中に第２空間を通じて排気されることで、真空空間として形成される。【０００３】
しかし、特許文献１のような製造方法の場合、第１ガラス基板、及び第２ガラス基板の位置ずれを生じにくくさせるため、周壁の溶融前から、周壁の外周縁に沿って複数の保持具が設けられていると考えられる。この場合、第１空間と第２空間とをつなぐ通気路（スリット）の位置に保持具が設置されてしまう傾向がある。このような態様では、排気工程前に、保持具によりスリットが小さくなりやすい。これにより、排気工程中に、第１空間が十分に排気されにくい傾向がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−１０８７９９号公報
【発明の概要】
【０００５】
本開示の目的は、保持具の設置後にスリットを小さくさせにくくさせるガラスパネルユニットの製造方法を提供することである。
【０００６】
本開示の一態様に係るガラスパネルユニットの製造方法は、組立工程と、設定工程と、区別工程と、設置工程とを含む。前記組立工程は、組立て品を用意する工程である。前記組立て品は、第１ガラス板と、第２ガラス板と、周壁と、内部空間と、仕切りと、排気口と、通気路と、を備える。前記第２ガラス板は、前記第１ガラス板に対向する。前記周壁は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板との間にある。前記周壁は、枠状である。前記内部空間は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板と前記周壁とで囲まれている。前記仕切りは、前記内部空間を第１空間と第２空間とに仕切る。前記排気口は、前記第２空間と外部空間とをつなぐ。前記通気路は、前記排気口を介して前記第１空間を排気させるためのものである。前記通気路は、スリットを有する。前記スリットは、前記周壁の内周縁と接し、かつ前記周壁と前記仕切りとの間に介在する。前記設定工程は、前記周壁の外周縁に沿って、複数の保持具設置領域を設定する工程である。前記区別工程は、前記複数の保持具設置領域のうち、前記スリットと前記周壁とが隣り合っていない第１領域と、前記スリットと前記周壁とが隣り合っている第２領域とを区別する工程である。前記設置工程は、前記第２領域に保持具を設置させず、前記第１領域に前記保持具を設置する工程である。
【０００７】
本開示によれば、保持具の設置後にスリットを小さくさせにくくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、一実施形態に係るガラスパネルユニットの組立て品の平面図である。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】図３は、上記実施形態に係るガラスパネルユニットの仕掛り品の平面図である。
【図４】図４は、図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図５】図５は、上記実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法における組立工程の説明図である。
【図６】図６は、上記製造方法における設定工程及び区別工程の説明図である。
【図７】図７は、上記製造方法における設置工程の説明図である。
【図８】図８は、上記製造方法における封止工程後の途中段階の説明図である。
【図９】図９は、上記製造方法における除去工程の説明図である。
【図１０】図１０は、上記製造方法における除去工程の説明図である。
【図１１】図１１は、上記製造方法で製造されたガラスパネルユニットの部分断面図である。
【図１２】図１２は、上記製造方法で製造されたガラスパネルユニットの部分断面図である。
【図１３】図１３は、上記製造方法で製造されたガラスパネルユニットの部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
１．実施形態
１．１．概要
以下の実施形態は、ガラスパネルユニットの製造方法に関し、特に、断熱用のガラスパネルユニットの製造方法に関する。
【００１０】
図１及び図２は、本実施形態に係るガラスパネルユニットの組立て品（以下、単に「組立て品」ともいう）１００を示す。組立て品１００は、１以上のガラスパネルユニット（本実施形態では、図９に示すガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆ）１０を製造するために利用される。
【００１１】
組立て品１００は、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０（仕切り４２０ａ〜４２０ｊ）と、排気口７００と、通気路６００と、を備える。第２ガラス板３００は、第１ガラス板２００に対向する。周壁４１０は、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００との間にある。周壁４１０は、枠状である。内部空間５００は、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１０で囲まれている。仕切り４２０は、内部空間５００を第１空間５１０（第１空間５１０ａ〜５１０ｆ）と第２空間５２０（第２空間５２０ａ，５２０ｂ）とに仕切る。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ。通気路６００は、排気口７００を介して第１空間５１０を排気するためのものである。通気路６００は、スリット６１０を有する。スリット６１０は、周壁４１０の内周縁と接し、かつ周壁４１０と仕切り４２０との間に介在する。
【００１２】
この組立て品１００では、排気口７００を介して第１空間５１０ｃを排気する際に、第２空間５２０ｂを、排気路の一部として利用できる。そのため、排気を効率よく行える。
【００１３】
１．２．構成
以下、本実施形態に係る組立て品１００について詳細に説明する。組立て品１００は、複数のガラスパネルユニット１０を製造するために利用される。例えば、組立て品１００は、図９のような６つのガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆを製造するために利用される。
【００１４】
ガラスパネルユニット１０（１０Ａ〜１０Ｆ）は、真空断熱ガラスユニットである。真空断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種であって、一対のガラスパネル間に真空空間を有している。各ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆは、図９に示すように、一対のガラスパネル（第１及び第２ガラスパネル）２０，３０と、枠体４０と、を備える。また、各ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆは、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、枠体４０とで囲まれた空間（真空空間）５０（５０ａ〜５０ｆ（図３参照））を有する。更に、各ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆは、真空空間５０内に、ガス吸着体６０と、複数のピラー（スペーサ）７０と、を備える。なお、図９から明らかなように、ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆはいずれも平面視において四角形状であるが、大きさ及び形状が必ずしも同じではない。
【００１５】
第１ガラスパネル２０は、第２ガラスパネル３０と同形状である。第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０とは、いずれも矩形の平板状である。第１及び第２ガラスパネル２０，３０の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。なお、第１及び第２ガラスパネル２０，３０のうち少なくとも一方のガラスパネルの表面には、コーティングが設けられていてもよい。コーティングの例としては、透明な赤外線反射膜が挙げられる。なお、コーティングは、赤外線反射膜に限定されず、所望の物理特性を有する膜であってもよい。
【００１６】
枠体４０は、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０との間にあり、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを気密に接合する。これによって、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、枠体４０とで囲まれた空間が形成される。そして、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、枠体４０とで囲まれた空間は真空空間５０となっている。枠体４０は、熱接着剤（封着材）で形成されている。言い換えれば、枠体４０は、硬化した熱接着剤である。熱接着剤は、例えば、ガラスフリットである。ガラスフリットの例としては、低融点ガラスフリットが挙げられる。低融点ガラスフリットの例としては、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットが挙げられる。枠体４０は、第１及び第２ガラスパネル２０，３０と同様の多角形（本実施形態では四角形）の枠状である。枠体４０は、第１及び第２ガラスパネル２０，３０の外周に沿って形成されている。また、熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、例えば、低融点金属や、ホットメルト接着材などであってもよい。
【００１７】
ガス吸着体６０は、真空空間５０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、長尺の平板状であり、第２ガラスパネル３０に配置されている。ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、例えば、枠体４０を形成する熱接着剤が加熱された際に、熱接着剤から放出されるガスである。ガス吸着体６０は、ゲッタを有する。ゲッタは、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。ゲッタは、例えば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子を放出する性質を有している。そのため、蒸発型ゲッタの吸着能力が低下しても、蒸発型ゲッタを活性化温度以上に加熱することで、蒸発型ゲッタの吸着能力を回復させることができる。蒸発型ゲッタは、例えば、ゼオライトまたはイオン交換されたゼオライト（例えば、銅イオン交換されたゼオライト）である。ガス吸着体６０は、このゲッタの粉体を備えている。具体的には、ガス吸着体６０は、ゲッタの粉体を含む液体（例えばゲッタの粉体を液体に分散して得られた分散液や、ゲッタの粉体を液体に溶解させて得られた溶液）を塗布して固形化することにより形成される。この場合、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、真空空間５０が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。
【００１８】
複数のピラー７０は、真空空間５０内に配置されている。複数のピラー７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間の間隔を所定間隔に維持するために用いられる。つまり、複数のピラー７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間の距離を所望の値に維持するために使用される。なお、ピラー７０の大きさ、ピラー７０の数、ピラー７０の間隔、ピラー７０の配置パターンは、適宜選択することができる。各ピラー７０は、上記所定間隔とほぼ等しい高さを有する円柱状である。例えば、ピラー７０は、直径が１ｍｍ、高さが１００μｍである。なお、各ピラー７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。
【００１９】
組立て品１００は、図１及び図２に示すように、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０（４２０ａ〜４２０ｊ）と、複数の通気路６００と、排気口７００と、を備える。また、組立て品１００は、複数のガス吸着体６０と、複数のピラー（スペーサ）７０と、を備える。
【００２０】
第１ガラス板（第１ガラス基板）２００は、第１ガラスパネル２０の基礎となる部材であり、第１ガラスパネル２０と同じ材料で形成されている。第２ガラス板（第２ガラス基板）３００は、第２ガラスパネル３０の基礎となる部材であり、第２ガラスパネル３０と同じ材料で形成されている。第１及び第２ガラス板２００，３００は同形状である。第１及び第２ガラス板２００，３００はいずれも多角形（本実施形態では長方形）の板状である。本実施形態では、第１ガラス板２００は、ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆの第１ガラスパネル２０を形成可能な大きさであり、第２ガラス板３００は、ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆの第２ガラスパネル３０を形成可能な大きさである。
【００２１】
周壁４１０は、封着材（第１封着材）で形成されている。第１封着材は、例えば、熱接着剤を含む。熱接着剤は、例えば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、例えば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットの例としては、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットが挙げられる。また、第１封着材は、芯材を含む。芯材は、枠体４０の高さを規定するために用いられる。芯材は、例えば、球状のガラスビーズである。ガラスビーズの径は、枠体４０の高さに応じて選択される。このような芯材は、熱接着剤に所定の割合で分散される。一例としては、直径５０〜３００μｍのガラスビーズが、熱接着剤に対して０．０１〜１ｗｔ％（体積比で０．０３〜３％）で含まれている。
【００２２】
周壁４１０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との間にある。周壁４１０は、図１に示すように、枠状である。特に、周壁４１０は、矩形の枠状である。周壁４１０は、第１及び第２ガラス板２００，３００の外周に沿って形成されている。周壁４１０は、第１辺〜第４辺４１０ａ，４１０ｂ，４１０ｃ，４１０ｄを有する。第１及び第２辺４１０ａ，４１０ｂは、第１及び第２ガラス板２００，３００の幅方向（図１の上下方向）に沿って伸びる。第３及び第４辺４１０ｃ，４１０ｄは、第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向（図１の左右方向）に沿って伸びる。周壁４１０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合するためのものである。これにより、組立て品１００では、周壁４１０と第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とで囲まれた内部空間５００が形成される。
【００２３】
仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、いずれも封着材（第２封着材）で形成されている。第２封着材は、例えば、熱接着剤を含む。熱接着剤は、例えば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、例えば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットの例としては、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットが挙げられる。本実施形態では、仕切り４２０ａ〜４２０ｊの熱接着剤は、周壁４１０と同じ熱接着剤である。よって、仕切り４２０ａ〜４２０ｊと周壁４１０とは同じ軟化点を有している。また、第２封着材は、第１封着材と同じ芯材を含む。第２封着材においても、芯材は、熱接着剤に所定の割合で分散される。一例としては、直径５０〜３００μｍのガラスビーズが、熱接着剤に対して０．０１〜１ｗｔ％（体積比で０．０３〜３％）で含まれている。
【００２４】
内部空間５００は、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１０で囲まれた空間である。
【００２５】
仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、内部空間５００を第１空間５１０ａ〜５１０ｆと第２空間５２０ａ，５２０ｂとに仕切る。組立て品１００では、第１空間５１０ａ〜５１０ｆは後に排気される空間（排気空間）であり、第２空間５２０ａ，５２０ｂは、第１空間５１０の排気に使用される空間である。
【００２６】
図１に示すように、仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、周壁４１０で囲まれた領域内にある。そして、仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、いずれも周壁４１０より低い。そのため、図２に示すように、仕切り４２０ａ〜４２０ｊよりも周壁４１０が先に第１及び第２ガラス板２００，３００の両方に接する。図２の例では、仕切り４２０ａ〜４２０ｊが第２ガラス板３００に形成されているから、第１ガラス板２００とは離間している。そのため、第１及び第２ガラス板２００，３００の少なくとも一方に反りがあって、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との間隔が周辺部よりも中央部で狭くなった場合でも、仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、第１及び第２ガラス板２００，３００の両方に接触しにくい。したがって、周壁４１０が第１及び第２ガラス板２００，３００の両方と接触することは、仕切り４２０ａ〜４２０ｊによって阻害される可能性を低減できる。これは、第１及び第２ガラス板２００，３００間の接合不良の発生の低減につながる。したがって、歩留まりの向上が図れる。
【００２７】
より詳細には、仕切り４２０ｂ，４２０ｃは、第１及び第２ガラス板２００，３００の幅方向（図１の上下方向）に沿って延びる長尺状であり、当該幅方向に沿って間隔を空けて一列に並んでいる。また、仕切り４２０ｂ，４２０ｃは、第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向（図１の左右方向）の第１端側（図１の右側）に位置し、周壁４１０の第１辺４１０ａから間隔を空けて配置されている。
【００２８】
仕切り４２０ｅ，４２０ｆは、第１及び第２ガラス板２００，３００の幅方向に沿って延びる長尺状であり、当該幅方向に沿って間隔を空けて一列に並んでいる。また、仕切り４２０ｅ，４２０ｆは、仕切り４２０ｂ，４２０ｃよりも第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向の第２端側（図１の左側）に位置する。また、仕切り４２０ｅ，４２０ｆは、それぞれ、仕切り４２０ｂ，４２０ｃと第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向において対向する。
【００２９】
仕切り４２０ｈ，４２０ｉは、第１及び第２ガラス板２００，３００の幅方向に沿って延びる長尺状であり、当該幅方向に沿って間隔を空けて一列に並んでいる。また、仕切り４２０ｈ，４２０ｉは、仕切り４２０ｅ，４２０ｆよりも第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向の第２端側（図１の左側）に位置する。また、仕切り４２０ｈ，４２０ｉは、それぞれ、仕切り４２０ｅ，４２０ｆと第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向において対向する。
【００３０】
仕切り４２０ａ，４２０ｄ，４２０ｇ，４２０ｊは、第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向に沿って延びる長尺状であり、当該長さ方向に沿って間隔を空けて一列に並んでいる。仕切り４２０ａは、その第１端（図１の左端）が仕切り４２０ｂ，４２０ｃ間にあり、その第２端（図１の左端）が通気路６００を介して周壁４１０の第１辺４１０ａと隣り合っている。仕切り４２０ｄは、その第１端（図１の右端）が仕切り４２０ｂ，４２０ｃ間にあり、その第２端（図１の左端）が仕切り４２０ｅ，４２０ｆ間にある。仕切り４２０ｇは、その第１端（図１の右端）が仕切り４２０ｅ，４２０ｆ間にあり、その第２端（図１の左端）が仕切り４２０ｈ，４２０ｉ間にある。仕切り４２０ｊは、その第１端（図１の右端）が仕切り４２０ｈ，４２０ｉ間にあり、その第２端（図１の左端）が通気路６００を介して周壁４１０の第２辺４１０ｂと隣り合っている。
【００３１】
組立て品１００では、第１空間５１０ａは、周壁４１０の第２及び第３辺４１０ｂ，４１０ｃと、仕切り４２０ｈ，４２０ｉ，４２０ｊとで囲まれる空間である。第１空間５１０ｂは、周壁４１０の第３辺４１０ｃと、仕切り４２０ｅ，４２０ｇ，４２０ｈとで囲まれる空間である。第１空間５１０ｃは、周壁４１０の第３辺４１０ｃと、仕切り４２０ｂ，４２０ｄ，４２０ｅとで囲まれる空間である。第１空間５１０ｄは、周壁４１０の第２及び第４辺４１０ｂ，４１０ｄと、仕切り４２０ｉ，４２０ｊとで囲まれる空間である。第１空間５１０ｅは、周壁４１０の第４辺４１０ｄと、仕切り４２０ｆ，４２０ｅ，４２０ｉとで囲まれる空間である。第１空間５１０ｆは、周壁４１０の第４辺４１０ｄと、仕切り４２０ｃ，４２０ｄ，４２０ｆとで囲まれる空間である。第２空間５２０ａは、周壁４１０の第１及び第４辺４１０ａ，４１０ｄと、仕切り４２０ａ，４２０ｃとで囲まれる空間である。第２空間５２０ｂは、周壁４１０の第１及び第３辺４１０ａ，４１０ｃと、仕切り４２０ａ，４２０ｂとで囲まれる空間である。
【００３２】
ここで、ガス吸着体６０は、図１に示すように、第１空間５１０ａ〜５１０ｆの各々に配置されている。一方、複数のピラー７０は、図１に示すように、内部空間５００の全体（第１空間５１０ａ〜５１０ｆ及び第２空間５２０ａ，５２０ｂの各々）に配置されている。
【００３３】
複数の通気路６００は、排気口７００を介して第１空間（排気空間）５１０ａ〜５１０ｆを排気するために用いられる。複数の通気路６００を介して、第１空間５１０ａ〜５１０ｆは、第２空間５２０ａ，５２０ｂに（直接的又は間接的に）つながれる。本実施形態では、仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、互いに接触しないように配置されている。そして、仕切り４２０ａ〜４２０ｊ間の隙間の各々が、通気路６００を構成している。各通気路６００は、仕切り４２０ａ〜４２０ｊを一旦溶融させて変形させることで閉塞される。これによって、少なくとも第１空間５１０ａ〜５１０ｆ同士を互いに（気密に）分離するとともに、第１空間５１０ａ〜５１０ｆを第２空間５２０ａ，５２０ｂから（気密に）分離する（図３参照）。
【００３４】
排気口７００は、第２空間５２０ａ，５２０ｂと外部空間とをつなぐ。特に、排気口７００は、第２空間５２０ａと外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、第２空間５２０ａ，５２０ｂ及び通気路６００を利用して第１空間５１０ａ〜５１０ｆを排気するために用いられる。したがって、通気路６００と第２空間５２０ａ，５２０ｂと排気口７００とは、第１空間５１０ａ〜５１０ｆを排気するための排気路を構成する。排気口７００は、第２空間５２０ａと外部空間とをつなぐように第２ガラス板３００に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２ガラス板３００の角部分にある。
【００３５】
本実施形態では、第２空間５２０ａは、排気口７００に直接的につながった通気空間である。第２空間５２０ｂは、排気口７００には直接的にはつながっていないが、第１空間５１０ｃと第２空間５２０ａとをつなぐ連結空間を構成する。
【００３６】
複数の通気路６００は、複数のスリット６１０を有する。複数のスリット６１０は、周壁４１０の内周縁と接し、かつ周壁４１０と仕切り４２０ａ〜４２０ｊとの間に介在する。複数のスリット６１０は、第１空間５１０ｃ，５１０ｆと第２空間５２０ａ，５２０とをつなぐ複数（本実施形態では、２つ）の第１スリット６１０ａを含む。また、複数のスリット６１０は、第２空間５２０ａ、５２０ｂを互いにつなぐ第２スリット６１０ｂを含む。ここで、第２スリット６１０ｂの幅は、第１スリット６１０ａの各々より大きい。これによって、排気口７００を介して第１空間５１０ａ〜５１０ｆを排気する際に、第２空間５２０ｂを、排気路の一部として利用できる。そのため、排気を効率よく行える。特に、後述する第２溶融工程（封止工程）にて仕切り４２０ａ〜４２０ｊを変形させて通気路６００を閉じる際に、第１スリット６１０ａが全て閉じる前に第２スリット６１０ｂが閉じてしまう可能性を低減できる。そのため、第１空間５１０ｃが十分に排気される前に、第１空間５１０ｃが第２空間５２０ａから分離されてしまう可能性を低減できる。したがって、歩留まりの向上が図れる。
【００３７】
１．３  製造方法
次に、組立て品１００を用いた、ガラスパネルユニット１０（１０Ａ〜１０Ｆ）の製造方法について図３〜図１０を参照して説明する。ガラスパネルユニット１０の製造方法は、準備工程と、除去工程とを含む。
【００３８】
準備工程は、図３及び図４に示すガラスパネルユニットの仕掛り品（以下、単に「仕掛り品」ともいう）１１０を用意する工程である。仕掛り品１１０は、組立て品１００から形成される。
【００３９】
仕掛り品１１０は、図３及び図４に示されるように、一対のガラス板（第１及び第２ガラス板）２００，３００と、周壁４１と、隔壁４２ａ〜４２ｄと、を備える。また、仕掛り品１１０は、真空空間５０ａ〜５０ｆと、第２空間５２０ａ，５２０ｂとを有する。更に、仕掛り品１１０は、各真空空間５０ａ〜５０ｆ内に、ガス吸着体６０と、複数のピラー（スペーサ）７０と、を備える。更に、仕掛り品１１０は、排気口７００を備える。
【００４０】
周壁４１は、第１及び第２ガラス板２００，３００間にあり、第１及び第２ガラス板２００，３００同士を気密に接合する。周壁４１は、組立て品１００の周壁４１０を一旦溶融し再度固化することで形成されている。仕掛り品１１０の周壁４１は、組立て品１００の周壁４１０と同様に、枠状である。特に、周壁４１は、第１〜第４辺４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄを有する。第１及び第２辺４１ａ，４１ｂは、第１及び第２ガラス板２００，３００の幅方向（図３の上下方向）に沿って伸びる。第３及び第４辺４１ｃ，４１ｄは、第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向（図３の左右方向）に沿って伸びる。
【００４１】
隔壁４２ａ〜４２ｄは、真空空間５０ａ〜５０ｆ及び第２空間５２０ａ，５２０ｂを相互に（空間的に）分離する。隔壁４２ａ〜４２ｄは、仕切り４２０ａ〜４２０ｊから形成される。より詳細には、隔壁４２ａは、第１及び第２ガラス板２００，３００の幅方向に延びる直線状であり、周壁４１の第３及び第４辺４１ｃ，４１ｄ同士を一体に連結する。隔壁４２ｂは、第１及び第２ガラス板２００，３００の幅方向に延びる直線状であり、周壁４１の第３及び第４辺４１ｃ，４１ｄ同士を一体に連結する。このような隔壁４２ｂは、第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向において、隔壁４２ａに対向する。隔壁４２ｃは、第１及び第２ガラス板２００，３００の幅方向に延びる直線状であり、周壁４１の第３及び第４辺４１ｃ，４１ｄ同士を一体に連結する。このような隔壁４２ｃは、第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向において、隔壁４２ｂに対向する。隔壁４２ｄは、第１及び第２ガラス板２００，３００の長さ方向に延びる直線状であり、周壁４１の第１及び第２辺４１ａ，４１ｂ同士を一体に連結する。このような隔壁４２ｄは、隔壁４２ａ〜４２ｃと交差している。
【００４２】
隔壁４２ａは、仕切り４２０ａ，４２０ｂ，４２０ｃ，４２０ｄの変形により形成される。隔壁４２ｂは、仕切り４２０ｄ，４２０ｅ，４２０ｆ，４２０ｇの変形により形成される。隔壁４２ｃは、仕切り４２０ｇ，４２０ｈ，４２０ｉ，４２０ｊの変形により形成される。隔壁４２ｄは、仕切り４２０ａ〜４２０ｊの変形により形成される。
【００４３】
真空空間５０ａ〜５０ｆは、第２空間５２０ａ，５２０ｂ及び排気口７００を介して第１空間５１０ａ〜５１０ｆを排気することで形成される。換言すれば、真空空間５０ａ〜５０ｆは、真空度が所定値以下の第１空間５１０ａ〜５１０ｆである。所定値は、例えば、０．１Ｐａである。真空空間５０ａ〜５０ｆは、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００と周壁４１と隔壁４２ａ〜４２ｄとで完全に密閉されているから、第２空間５２０ａ，５２０ｂ及び排気口７００から分離されている。
【００４４】
仕掛り品１１０では、真空空間５０ａ（第１空間５１０ａ）は、周壁４１の第２及び第３辺４１ｂ，４１ｃと、隔壁４２ｃ，４２ｄとで囲まれる空間である。真空空間５０ｂ（第１空間５１０ｂ）は、周壁４１の第３辺４１ｃと、隔壁４２ｂ，４２ｃ，４２ｄとで囲まれる空間である。真空空間５０ｃ（第１空間５１０ｃ）は、周壁４１の第３辺４１ｃと、隔壁４２ａ，４２ｂ，４２ｄとで囲まれる空間である。真空空間５０ｄ（第１空間５１０ｄ）は、周壁４１の第２及び第４辺４１ｂ，４１ｄと、隔壁４２ｃ，４２ｄとで囲まれる空間である。真空空間５０ｅ（第１空間５１０ｅ）は、周壁４１の第４辺４１ｄと、隔壁４２ｂ，４２ｃ，４２ｄとで囲まれる空間である。真空空間５０ｆ（第１空間５１０ｆ）は、周壁４１０の第４辺４１ｄと、隔壁４２ａ，４２ｂ，４２ｄとで囲まれる空間である。
【００４５】
このように、周壁４１及び隔壁４２ａ〜４２ｄは、真空空間５０ａ〜５０ｆをそれぞれ囲う複数の枠体４０を一体に含んでいる（例えば、図９参照）。つまり、周壁４１及び隔壁４２ａ〜４２ｄにおいて各真空空間５０ａ〜５０ｆを囲う部分が枠体４０を構成する。
【００４６】
準備工程は、上述した仕掛り品１１０を用意するための工程であり、組立工程と、設定工程と、区別工程と、設置工程と、第１溶融工程と、排気工程と、第２溶融工程とを含む。
【００４７】
組立工程は、組立て品１００を用意する工程である。つまり、組立工程では、例えば、図５のように、第２ガラス板３００に周壁４１０、仕切り４２０ａ〜４２０ｊ、内部空間５００、通気路６００、排気口７００、複数のガス吸着体６０、及び複数のピラー７０を形成する。その後、第２ガラス板３００と対向させるようにして第１ガラス板２００を配置させ、第１ガラス板２００を周壁４１０に接触させる。これにより、図１のような組立て品１００が形成される。
【００４８】
周壁４１０は、その材料（第１封着材）をディスペンサ等の任意の塗布装置で第１及び第２ガラス板２００，３００の一方に塗布することにより、形成される。
【００４９】
各仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、その材料（第２封着材）をディスペンサ等の任意の塗布装置で第１及び第２ガラス板２００，３００の一方に塗布することにより、形成される。
【００５０】
組立工程中、排気口７００を形成する工程（排気口形成工程）が行われてもよい。排気口７００は、例えば、第２ガラス板２００に形成される。排気口形成工程後、必要に応じて、第１及び第２ガラス板２００，３００を洗浄する。また、排気口形成工程は、周壁４１０及び仕切り４２０ａ〜４２０ｊを形成する前に行われてもよい。
【００５１】
組立工程では、予め複数のピラー７０が用意されている。そして、チップマウンタなどを利用して、複数のピラー７０を、第２ガラス板３００の所定位置に配置する。ここで、ピラー７０は、仕切り４２０ａ〜４２０ｊより低くしている。なお、複数のピラー７０は、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のピラー７０は、光硬化性材料などを用いて形成される。あるいは、複数のピラー７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。
【００５２】
ガス吸着体６０は、ディスペンサなどを利用して、ゲッタの粉体が分散された溶液を第２ガラス板３００の所定位置に塗布し、乾燥させることで、形成される。
【００５３】
上述した組立工程によって、組立て品１００が得られる。そして、組立工程の後には、設定工程と、区別工程と、設置工程と、第１溶融工程（接合工程）と、排気工程と、第２溶融工程（封止工程）とが実行される。
【００５４】
設定工程は、周壁４１０の外周縁に沿って、複数の保持具設置領域６１を設定する工程である。図６の例では、保持具設置領域６１は、２２か所に設定されている。保持具設置領域６１は、スリット６１０とは無関係に、設置工程（後述の保持具６２の設置）前に設定される領域である。保持具設置領域６１は、図６のように、周壁４１０の一辺に対して等間隔に離間されている。この場合、保持具設置領域６１の位置設定を効率よくできる。複数の保持具設置領域６１は、各保持具設置領域６１の位置を定める治具などを利用して、第１及び第２ガラス板２００，３００の一方の外面に設定される。
【００５５】
より具体的には、第１辺４１０ａにおいて、複数の保持具設置領域６１は、所定の間隔（第１所定間隔）ｄ１で等間隔に離間して設定されている。第２辺４１０ｂにおいて、複数の保持具設置領域６１は、所定の間隔（第２所定間隔）ｄ２で等間隔に離間して設定されている。第３辺４１０ｃにおいて、複数の保持具設置領域６１は、所定の間隔（第３所定間隔）ｄ３で等間隔に離間して設定されている。第４辺４１０ｄにおいて、複数の保持具設置領域６１は、所定の間隔（第４所定間隔）ｄ４で等間隔に離間して設定されている。この場合、第１辺４１０ａ〜第４辺４１０ｄの各々で、複数の保持具設置領域６１が等間隔で離間して設定されていれば、第１所定間隔ｄ１〜第４所定間隔ｄ４は、同じであってもよく、又は異なっていてもよい。
【００５６】
設定工程後、区別工程が行われる。
【００５７】
区別工程は、複数の保持具設置領域６１のうち、第１領域６１１と、第２領域６１２とを区別する工程である（図６及び図７参照）。第２領域６１２は、スリット６１０と仕切り４２０とが隣り合う領域である。また、第１領域６１１は、スリット６１０と仕切り４２０とが隣り合わない領域である。このような第１領域６１１は、周壁４１０の外周縁に沿って複数（図６の例では、１６か所）ある。より詳細には、第１領域６１１は、ピラー７０又はガス吸着体６０と、周壁４１０とが隣り合う領域である。この場合、ピラー７０又はガス吸着体６０と周壁４１０とが隣り合うと共に、周壁４１０とスリット６１０とが隣り合う領域は、第２領域６１２とする。区別工程後、設置工程が行われる。
【００５８】
設置工程は、第２領域６１２に保持具６２を設置させず、第１領域６１１に保持具６２を設置させる工程である。保持具６２は、第１溶融工程と、排気工程と、第２溶融工程において耐久性のある材料から形成されている。保持具６２の材料は、例えば、金属である。保持具６２は、その挟力を第１及び第２ガラス板２００，３００の両外面に与える構造を有する。保持具６２は、バネ機構６２ａを備える。保持具６２の挟力は、バネ機構６２ａで生じる。バネ機構２ａの例は、板バネ、及びコイルバネを含む。保持具６２の例は、クリップを含む。保持具６２を第２領域６１２に設置させなくすることで、設置工程中又はその後の工程で、スリット６１０を小さくさせにくくできる。従って、排気工程中の排気を効率よくできる。
【００５９】
保持具６２を第１領域６１１に設置させるにあたって、保持具６２は第１領域６１１の全てに設置されていてもよい。また、第１領域６１１のうち、保持具６２が設置されている第１領域と、保持具６２が設置されていない第１領域とがあってもよい。
【００６０】
本実施形態では、設置工程後、第１溶融工程と、排気工程と、第２溶融工程とが実行される。
【００６１】
第１溶融工程は、周壁４１０を一旦溶融させて周壁４１０で第１及び第２ガラス板２００，３００同士を気密に接合する工程である。具体的には、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００は、溶融炉内に配置され、第１溶融温度で所定時間（第１溶融時間）だけ加熱される。第１溶融温度及び第１溶融時間は、周壁４１０によって第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とが気密に接合されるが、仕切り４２０ａ〜４２０ｊによって通気路６００が塞がれることがないように、設定される。つまり、第１溶融温度の下限は、周壁４１０の軟化点であるが、第１溶融温度の上限は、仕切り４２０ａ〜４２０ｊによって通気路６００が塞がれることがないように設定される。例えば、周壁４１０及び仕切り４２０ａ〜４２０ｊの軟化点が４３４℃である場合、第１溶融温度は、４４０℃に設定される。また、第１溶融時間は、例えば、１０分である。また、第１溶融工程では、周壁４１０が軟化するため、周壁４１０自体は第１ガラス板２００を支えなくなり、第１ガラス板２００は仕切り４２０ａ〜４２０ｊで支持される。
【００６２】
排気工程は、通気路６００と第２空間５２０ａ，５２０ｂと排気口７００とを介して第１空間５１０ａ〜５１０ｆを排気して第１空間５１０ａ〜５１０ｆを真空空間５０（５０ａ〜５０ｆ）とする工程である。換言すれば、真空空間５０ａ〜５０ｆは、それぞれ、真空状態となった第１空間５１０ａ〜５１０ｆである。排気は、例えば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、図７に示されるように、排気管８３０と、シールヘッド８４０と、により組立て品１００に接続される。排気管８３０は、例えば、排気管８３０の内部と排気口７００とが連通するように第２ガラス板３００に接合される。そして、排気管８３０にシールヘッド８４０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。第１溶融工程と排気工程と第２溶融工程とは、組立て品１００を溶融炉内に配置したまま行われる。そのため、排気管８３０は、少なくとも第１溶融工程の前に、第２ガラス板３００に接合される。
【００６３】
排気工程では、第２溶融工程の開始前までに、排気温度以上で所定時間（排気時間）は、通気路６００と第２空間５２０ａ，５２０ｂと排気口７００とを介して第１空間５１０ａ〜５１０ｆを排気する。排気温度は、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度（例えば、３５０℃）より高く、かつ、仕切り４２０ａ〜４２０ｊの軟化点（例えば４３４℃）より低く設定される。例えば、排気温度は、３９０℃である。このようにすれば、仕切り４２０ａ〜４２０ｊは変形しない。また、ガス吸着体６０のゲッタが活性化し、ゲッタが吸着していた分子（ガス）がゲッタから放出される。そして、ゲッタから放出された分子（つまりガス）は、第１空間５１０ａ〜５１０ｆ、通気路６００、第２空間５２０ａ，５２０ｂ、及び排気口７００を通じて排出される。したがって、排気工程では、ガス吸着体６０の吸着能力が回復する。排気時間は、所望の真空度（例えば、０．１Ｐａ以下の真空度）の真空空間５０ａ〜５０ｆが得られるように設定される。例えば、排気時間は、１２０分に設定される。
【００６４】
第２溶融工程は、仕切り４２０ａ〜４２０ｊを変形させて通気路６００を塞ぐことで隔壁４２ａ〜４２ｄを形成して仕掛り品１１０を得る工程である。また、第２溶融工程では、通気路６００が塞がれることで、真空空間５０ａ〜５０ｆをそれぞれ囲む複数の枠体４０が形成される。これによって、図３、図４及び図８に示すように、内部空間５００を第１空間５１０ａ〜５１０ｆ（真空空間５０ａ〜５０ｆ）と第２空間５２０ａ，５２０ｂとに気密に分離する隔壁４２ａ〜４２ｄが形成される。換言すれば、第２溶融工程は、仕切り４２０ａ〜４２０ｊを変形させて通気路６００を塞いで内部空間５００を第１空間５１０ａ〜５１０ｆと第２空間５２０ａ，５２０ｂとに気密に分離する隔壁４２ａ〜４２ｄを形成する工程である。なお、第２溶融工程では、仕切り４２０ａ〜４２０ｊが軟化するため、仕切り４２０ａ〜４２０ｊ自体は第１ガラス板２００を支えなくなり、第１ガラス板２００はピラー７０で支持される。
【００６５】
より詳細には、仕切り４２０ａ〜４２０ｊの軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）で仕切り４２０ａ〜４２０ｊを一旦溶融させることで、仕切り４２０ａ〜４２０ｊを変形させる。具体的には、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００は、溶融炉内で、第２溶融温度で所定時間（第２溶融時間）だけ加熱される。第２溶融温度及び第２溶融時間は、仕切り４２０ａ〜４２０ｊが軟化し、通気路６００が塞がれるように設定される。第２溶融温度の下限は、仕切り４２０ａ〜４２０ｊの軟化点（例えば４３４℃）である。例えば、第２溶融温度は、４６０℃に設定される。また、第２溶融時間は、例えば、３０分である。
【００６６】
第２溶融工程でも、内部空間５００の排気を継続している。つまり、第２溶融工程では、第２溶融温度で、通気路６００と第２空間５２０ａ，５２０ｂと排気口７００とを介して第１空間５１０ａ〜５１０ｆを排気しながら、仕切り４２０ａ〜４２０ｊを変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２ａ〜４２ｄを形成する。これによって、第２溶融工程中に、真空空間５０ａ〜５０ｆの真空度が悪化することがさらに防止される。ただし、第２溶融工程では、必ずしも、内部空間５００の排気を継続する必要はない。また、第２溶融工程は、仕切り４２０ａ〜４２０ｊを変形させて、少なくとも、複数の通気路６００のうち第２スリット６１０ｂ以外の通気路６００を塞ぐ工程であってよい。つまり、第２スリット６１０ｂは必ずしも塞がれる必要はない。ただし、第２スリット６１０ｂも他の通気路６００とともに塞いでよい。
【００６７】
上述した準備工程によって、図３、図４及び図８に示す仕掛り品１１０が得られる。仕掛り品１１０では、第１溶融工程及び第２溶融工程で周壁４１０及び仕切り４２０ａ〜４２０ｊが一旦溶融される。そのため、第１及び第２ガラス板２００，３００間の間隔は、周壁４１０ではなく、ピラー７０によって規定される。つまり、周壁４１０は溶融時に第１及び第２ガラス板２００，３００間で圧縮されて、周壁４１０よりも低く幅が広い周壁４１が形成される。すなわち、周壁４１は、封止工程（第２溶融工程）によって変形された周壁４１０である。この周壁４１の各辺４１ａ〜４１ｄは、周壁４１０の各辺４１０ａ〜４１０ｄより低く、周壁４１の各辺４１ａ〜４１ｄは、周壁４１０の各辺４１０ａ〜４１０ｄより幅が広い。同様に、仕切り４２０ａ〜４２０ｊは溶融時に第１及び第２ガラス板２００，３００間で圧縮されて、隔壁４２ａ〜４２ｄが形成される。すなわち、隔壁４２（４２ａ〜４２ｄ）は、封止工程（第２溶融工程）によって変形された仕切り４２０（４２０ａ〜４２０ｊ）である。この隔壁４２ａ〜４２ｄは、仕切り４２０ａ〜４２０ｊより低く、隔壁４２ａ〜４２ｄは、仕切り４２０ａ〜４２０ｊより幅が広い。また、仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、封止工程後の周壁４１０（つまり、周壁４１）よりも隔壁４２ａ〜４２ｄの幅が大きくなるように形成される。また、仕切り４２０ａ〜４２０ｊと周壁４１０とは高さが異なっているが、第１封着材及び第２封着材には同じ芯材を分散させている。そのため、仕切り４２０ａ〜４２０ｊと周壁４１０から形成される周壁４１と隔壁４２ａ〜４２ｄとは同じ高さを有することになる。これによって、均一な高さの枠体４０が得られる。
【００６８】
除去工程は、準備工程の後に実行される。除去工程は、仕掛り品１１０からガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆを得る工程である。除去工程は、第２空間５２０ａを有する部分１１Ａ及び第２空間５２０ｂを有する部分１１Ｂを除去することで、第１空間５１０ａ〜５１０ｆ（真空空間５０ａ〜５０ｆ）を有する部分であるガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆを得る工程である。つまり、除去工程では、仕掛り品１１０を切断してガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆに分離する。仕掛り品１１０では、ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆが一体に形成されているから、仕掛り品１１０を切断することによって、ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆを相互に分離する。
【００６９】
一例としては、図３に示すように、仕掛り品１１０（特に、第１及び第２ガラス板２００，３００）を、隔壁４２ａ〜４２ｄにそれぞれ沿った切断線９１０，９２０，９３０，９４０に沿って切断する。なお、切断線９１０，９２０，９３０，９４０は、隔壁４２ａ〜４２ｄの中心線を通る。つまり、隔壁４２ａ〜４２ｄの各々は、幅方向において２分される。ここで、隔壁４２ａ〜４２ｄは、仕切り４２０ａ〜４２０ｊにより形成されており、仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、周壁４１０の各辺４１０ａ〜４１０ｄよりも幅が広い。したがって、隔壁４２ａ〜４２ｄも、周壁４１０の各辺４１０ａ〜４１０ｄよりも幅が広い。したがって、仕掛り品１１０を隔壁４２ａ〜４２ｄに沿って切断する作業が容易に行えるようになる。特に、隔壁４２ａ〜４２ｄの切断時に隔壁４２ａ〜４２ｄが破損して、真空空間５０ａ〜５０ｆが外部空間とつながって真空度が悪化する可能性を低減できる。これによって、歩留まりの向上が図れる。また、隔壁４２ａ〜４２ｄの幅が、周壁４１の各辺４１ａ〜４１ｄの幅の２倍になっている。そのため、枠体４０が周壁４１の一部を含む場合でも、枠体４０の各辺の幅が等しくなる。そのため、枠体４０全体としての強度の向上が図れる。
【００７０】
また、本実施形態では、複数のスペーサ７０が、内部空間５００の全体（第１空間５１０ａ〜５１０ｆ及び第２空間５２０ａ，５２０ｂの各々）に配置されている。そのため、仕掛り品１１０の切断時に第１及び第２ガラス板２００，３００にかかる応力を複数のスペーサで分散して均一にでき、第１及び第２ガラス板２００，３００の破損や切断不良の発生を低減できる。
【００７１】
仕掛り品１１０の切断には、図１０に示すように、カッターホイール８５０が用いられる。図１０は、切断線９１０に沿って仕掛り品１１０を切断する例を示している。カッターホイール８５０を用いて切断を行った場合には、切断面に、リブマーク８６０が確認される。図１０では、第１ガラス板２００側から仕掛り品１１０の切断を行っているため、仕掛り品１１０の切断面において、第１ガラス板２００における第２ガラス板３００とは反対側に、リブマーク８６０が生じる。逆に、第２ガラス板３００側から仕掛り品１１０の切断を行った場合は、仕掛り品１１０の切断面において、第２ガラス板３００における第１ガラス板２００とは反対側に、リブマーク８６０が生じる。つまり、ガラスパネルユニット１０の複数の側面の少なくとも一つが切断面であって、リブマーク８６０があれば、ガラスパネルユニット１０が仕掛り品１１０から分離されたものである。ここで、ガラスパネルユニット１０の側面が切断面かどうかは、枠体４０の外側面の形状を確認することで判断でき得る。ガラスパネルユニット１０の側面が切断面である場合には、図１１に示すように、枠体４０の外側面が平坦な面となっている。特に、この平坦な面は、第１及び第２ガラスパネル２０，３０の側面と同一平面上にあるように見える。一方、ガラスパネルユニット１０の側面が切断面ではない場合には、図１２及び図１３に示すように、枠体４０の外側面は凸面となっている可能性が高い。この場合には、枠体４０の外側面は、図１２に示すように、第１及び第２ガラスパネル２０，３０の側面からガラスパネルユニット１０の内側に凹んでいることがある。逆に、枠体４０の外側面は、図１３に示すように、第１及び第２ガラスパネル２０，３０の側面からガラスパネルユニット１０の外側に突出していることもある。したがって、上記製造方法により得られたガラスパネルユニット１０は、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、第１及び第２ガラスパネル２０，３０間にあり第１及び第２ガラスパネル２０，３０を気密に接合する枠体４０とを備える。そして、枠体４０の外側面の少なくとも一部が平坦な面となっている。特に、ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆでは、枠体４０は、外側面が凸面である第１部位４０ａ（図１８及び図１９参照）と、外側面が平坦な面である第２部位４０ｂ（図１７参照）とを含む。ここで、第１部位４０ａは、周壁４１に対応する部位である。第２部位４０ｂは、隔壁４２に対応する部位である（図９参照）。第１部位４０ａと第２部位４０ｂとの幅は等しい。ただし、第１部位４０ａと第２部位４０ｂとの幅は厳密な意味で一致している必要はなく、人の目で見て一致していると認識できる程度であってよい。
【００７２】
上述した除去工程によって、図９に示すように、仕掛り品１１０から、ガラスパネルユニット１０Ａ〜１０Ｆが得られる。このとき、第２空間５２０ａ，５２０ｂを含む部分１１（１１Ａ，１１Ｂ）が得られるが、これらは使用されない。
【００７３】
２．変形例
本開示の実施形態は、上記実施形態に限定されない。上記実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下に、上記実施形態の変形例を列挙する。
【００７４】
上記実施形態では、ガラスパネルユニット１０は矩形状であるが、ガラスパネルユニット１０は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１ガラスパネル２０、第２ガラスパネル３０、及び枠体４０は、矩形状ではなく、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。なお、第１ガラス板２００、第２ガラス板３００、周壁４１０、及び仕切り４２０のそれぞれの形状は、上記実施形態の形状に限定されず、所望の形状のガラスパネルユニット１０が得られるような形状であればよい。なお、ガラスパネルユニット１０の形状や大きさは、ガラスパネルユニット１０の用途に応じて決定される。
【００７５】
第１及び第２ガラスパネル２０，３０は同じ平面形状及び平面サイズを有していなくてもよいし、同じ厚みを有していなくてもよい。また、第１及び第２ガラスパネル２０，３０は同じ材料で形成されていなくてもよい。これらの点は、第１及び第２ガラス板２００，３００についても同様である。
【００７６】
枠体４０は、第１及び第２ガラスパネル２０，３０と同じ平面形状を有していなくてもよい。同様に、周壁４１，４１０は、第１及び第２ガラス板２００，３００と同じ平面形状を有していなくてもよい。
【００７７】
周壁４１０（周壁４１）の第１封着材と仕切り４２０ａ〜４２０ｊ（隔壁４２ａ〜４２ｄ）の第２封着材とは、必ずしも同じ芯材を含んでいる必要はなく、異なる芯材を含んでいてもよい。また、第１封着材は、熱接着剤のみを含んでいてもよいし、第２封着材も、熱接着剤のみを含んでいてもよい。
【００７８】
仕切り４２０は、必ずしも複数の仕切り４２０ａ〜４２０ｊでなくてもよい。すなわち、組立て品１００は、１以上の仕切り４２０を備える。
【００７９】
仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、周壁４１０より必ずしも低い必要はない。仕切り４２０ａ〜４２０ｊの高さは、周壁４１０の高さ（第１辺４１０ａ〜第４辺４１０ｄの高さ）以上であってもよいし、以下であってもよい。
【００８０】
仕切り４２０ａ〜４２０ｊは、周壁４１０より必ずしも幅が大きい必要はない。また、仕切り４２０ａ〜４２０ｊの幅が、周壁４１０の幅（第１辺４１０ａ〜第４辺４１０ｄの幅）以上であってもよいし、以下でもよい。また、隔壁４２ａ〜４２ｄは、周壁４１より必ずしも幅が大きい必要はない。また、隔壁４２ａ〜４２ｄの幅が、周壁４１の幅（第１辺４１ａ〜第４辺４１ｄの幅）以上であってもよいし、以下でもよい。
【００８１】
また、組立て品１００では、周壁４１０は第１及び第２ガラス板２００，３００間にあるだけでこれらを接合していない。しかしながら、組立て品１００の段階で、周壁４１０が第１及び第２ガラス板２００，３００同士を接合していてもよい。要するに、組立て品１００では、周壁４１０は第１及び第２ガラス板２００，３００間にあればよく、これらを接合していることは必須ではない。
【００８２】
また、上記実施形態では、内部空間５００は、複数の第１空間５１０ａ〜５１０ｆと複数の第２空間５２０ａ，５２０ｂとに仕切られている。ただし、内部空間５００は、仕切りによって、１以上の第１空間と１以上の第２空間とに仕切られていてもよい。
【００８３】
上記実施形態では、周壁４１０、ガス吸着体６０、及び仕切り４２０ａ〜４２０ｊの加熱に溶融炉を利用している。しかしながら、加熱は、適宜の加熱手段で行うことができる。加熱手段は、例えば、レーザや、熱源に接続された伝熱板などである。
【００８４】
上記実施形態では、組立て品１００は複数の通気路６００を有しているが、通気路６００の数は１以上であってもよい。通気路６００の数が１つの場合、通気路６００はスリット６１０（６１０ａ）である。
【００８５】
上記実施形態では、排気口７００は、第２ガラス板３００に形成されている。しかし、排気口７００は、第１ガラス板２００に形成されていてもよいし、周壁４１０（周壁４１）に形成されていてもよい。要するに、排気口７００は、第２空間５２０ａ，５２０ｂと外部空間とをつなぐように形成されていればよい。
【００８６】
上記実施形態では、ガス吸着体６０のゲッタは蒸発型ゲッタであるが、ゲッタは非蒸発型ゲッタであってもよい。
【００８７】
上記実施形態では、ガス吸着体６０は、長尺の平板状であるが、他の形状であってもよい。また、ガス吸着体６０は、必ずしも真空空間５０の端にある必要はない。また、上記実施形態では、ガス吸着体６０は、ゲッタの粉体を含む液体（例えばゲッタの粉体を液体に分散して得られた分散液や、ゲッタの粉体を液体に溶解させて得られた溶液）を塗布することにより形成される。しかしながら、ガス吸着体６０は、基板と、基板に固着されたゲッタと、を備えていてもよい。このようなガス吸着体６０は、ゲッタの粉末を含む液体に基板を浸漬し、乾燥することで得ることができる。なお、基板は、所望の形状であってよく、例えば、長尺の矩形状である。あるいは、ガス吸着体６０は、第２ガラス板３００の表面に全体的あるいは部分的に形成された膜であってもよい。このようなガス吸着体６０は、第２ガラス板３００の表面をゲッタの粉末を含む液体でコーティングすることで得ることができる。あるいは、ガス吸着体６０は、ピラー７０に含まれていてもよい。例えば、ピラー７０を、ゲッタを含む材料で形成すれば、ガス吸着体６０を含むピラー７０を得ることができる。あるいは、ガス吸着体６０は、ゲッタで形成された固形物であってもよい。
【００８８】
上記実施形態では、複数のスペーサ７０が、内部空間５００の全体（第１空間５１０ａ〜５１０ｆ及び第２空間５２０ａ，５２０ｂの各々）に配置されているが、第２空間５２０ａ，５２０ｂにピラー７０を配置することは必須ではない。また、ガラスパネルユニット１０は複数のピラー７０を備えているが、ガラスパネルユニット１０は、一つのピラー７０を備えていてもよい。あるいは、ガラスパネルユニット１０は、ピラー７０を備えていなくてもよい。
【００８９】
上記実施形態では、保持具設置領域６１が周壁４１０の一辺に対して等間隔に離間されているが、保持具設置領域６１は等間隔に離間されていなくてもよい。すなわち、隣り合う保持具設置領域６１の間隔は一定でなくてもよい。また、保持具設置領域６１の設定位置及び数は、組立て品１００の形状、及び大きさに応じて、任意に変更できる。
【００９０】
上記実施形態では、区別工程は設定工程の後に行われているが、区別工程は設定工程の途中から行われてもよい。
【００９１】
上記実施形態では、第１空間（５１０ａ〜５１０ｆ）を真空空間（５０ａ〜５０ｆ）としているが、真空空間（５０ａ〜５０ｆ）の代わりに、減圧空間としてもよい。減圧空間は、減圧状態となった第１空間（５１０ａ〜５１０ｆ）である。減圧状態とは、圧力が大気圧より低い状態であればよい。
【００９２】
３．態様
上記実施形態及び変形例から明らかなように、本開示は、下記の態様を含む。以下では、実施形態との対応関係を明示するためだけに、符号を括弧付きで付している。
【００９３】
第１態様は、ガラスパネルユニットの製造方法であって、組立工程と、設定工程と、区別工程と、設置工程とを含む。前記組立工程は、組立て品（１００）を用意する工程である。組立て品（１００）は、第１ガラス板（２００）と、第２ガラス板（３００）と、周壁（４１０）と、内部空間（５００）と、仕切り（４２０）と、排気口（７００）と、通気路（６００）と、を備える。第２ガラス板（３００）は、第１ガラス板（２００）に対向する。周壁（４１０）は、第１ガラス板（２００）と第２ガラス板（３００）との間にある。周壁（４１０）は、枠状である。内部空間（５００）は、第１ガラス板（２００）と第２ガラス板（３００）と周壁（４１０）とで囲まれている。仕切り（４２０）は、内部空間（５００）を第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とに仕切る。排気口（７００）は、第２空間（５２０）と外部空間とをつなぐ。通気路（６００）は、排気口（７００）を介して第１空間（５１０）を排気させるためのものである。通気路（６００）は、スリット（６１０）を有する。スリット（６１０）は、周壁（４１０）の内周縁と接し、かつ周壁（４１０）と仕切り（４２０）との間に介在する。前記設定工程は、周壁（４１０）の外周縁に沿って、複数の保持具設置領域（６１）を設定する工程である。前記区別工程は、複数の保持具設置領域（６１）のうち、スリット（６１０）と周壁（４１０）とが隣り合っていない第１領域（６１１）と、スリット（６１０）と周壁（４１０）とが隣り合っている第２領域（６１２）とを区別する工程である。前記設置工程は、第２領域（６１２）に保持具（６２）を設置させず、第１領域（６１１）に保持具（６２）を設置する工程である。
【００９４】
第１態様によれば、保持具（６２）の設置後にスリット（６１０）を小さくさせにくくすることができる。
【００９５】
第２態様は、第１態様のガラスパネルユニットの製造方法であって、前記設定工程において、複数の保持具設置領域（６１）は、周壁（４１０）の一辺において等間隔に離間させて設定される。
【００９６】
第２態様によれば、保持具設置領域（６１）の位置設定を効率よくできる。
【００９７】
第３態様は、第１又は第２態様のガラスパネルユニットの製造方法であって、第１領域（６１１）は、周壁（４１０）の外周縁に沿って複数ある。
【００９８】
第３態様によれば、保持具（６２）の設置後にスリット（６１０）を小さくさせにくくすることができる。
【００９９】
第４態様は、第３態様のガラスパネルユニットの製造方法であって、保持具（６２）は、複数の第１領域（６１１）の全てに設置される。
【０１００】
第４態様によれば、保持具（６２）の設置後にスリット（６１０）を小さくさせにくくすることができる。
【０１０１】
第５態様は、第１〜第４態様のうちのいずれか１つのガラスパネルユニットの製造方法であって、排気工程と、封止工程とを更に含む。前記排気工程は、通気路（６００）と第２空間（５２０）と排気口（７００）とを介して第１空間（５１０）を排気する工程である。前記封止工程は、仕切り（４２０）を変形させて通気路（６００）を塞いで内部空間（５００）を第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とに気密に分離する隔壁（４１）を形成する工程である。
【０１０２】
第５態様によれば、排気を効率よく行える。
【０１０３】
第６態様は、第５態様のガラスパネルユニットの製造方法であって、除去工程を更に含む。前記除去工程は、第２空間（５２０）を有する部分（１１）を除去することで、第１空間（５１０）を有する部分であるガラスパネルユニット（１０）を得る工程である。
【０１０４】
第６態様によれば、排気口（７００）のないガラスパネルユニット（１０）が得られる。
【符号の説明】
【０１０５】
１００  ガラスパネルユニットの組立て品
２００  第１ガラス板
３００  第２ガラス板
４１０  周壁
４２０  仕切り
５００  内部空間
５１０  第１空間
５２０  第２空間
６００  通気路
６１０  スリット
６１    保持具設置領域
６１１  第１領域
６１２  第２領域
６２    保持具
７００  排気口
１０    ガラスパネルユニット
１１    部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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