(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
側面及び下面を備える室温ブロックと、第１の室温端部及び該第１の室温端部とは反対側の第１の低温端部を備え前記室温ブロックの下面に前記第１の室温端部が保持されたパルス管と、第２の室温端部及び該第２の室温端部とは反対側の第２の低温端部を備え前記室温ブロックの側面に前記第２の室温端部が保持された蓄冷器と、前記蓄冷器の前記第２の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段と、前記パルス管の前記第１の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段と、前記パルス管の前記第１の低温端部と前記蓄冷器の前記第２の低温端部とを連結する連結管と、前記蓄冷器の前記第２の低温端部に取り付けられたコールドヘッドとを具備するパルス管冷凍機。
【請求項２】
前記室温ブロックには前記側面から前記下面を貫通する貫通孔が形成され、前記連結管は前記貫通孔を通過して前記第１の低温端部と前記第２の低温端部とを連結することを特徴とする請求項１に記載のパルス管冷凍機。
【請求項３】
下面を備える室温プレートと、第１の室温端部及び該第１の室温端部とは反対側の第１の低温端部を備え前記室温プレートの下面に前記第１の室温端部が保持されたパルス管と、第２の室温端部及び該第２の室温端部とは反対側の第２の低温端部を備え該第２の低温端部が前記パルス管の前記第１の低温端部に連通した蓄冷器と、前記蓄冷器の前記第２の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段と、前記パルス管の前記第１の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段と、前記パルス管の前記第１の低温端部と前記蓄冷器の前記第２の低温端部との間に介在されるとともに側方に延在されたコールドヘッドとを有するパルス管冷凍機。
【請求項４】
上面を備える室温プレートと、第１の室温端部及び該第１の室温端部とは反対側の第１の低温端部を備えたパルス管と、第２の室温端部及び該第２の室温端部とは反対側の第２の低温端部を備え前記室温プレートの上面に前記第２の室温端部が保持されるとともに前記パルス管の前記第１の低温端部に前記第２の低温端部が連通した蓄冷器と、前記蓄冷器の前記第２の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段と、前記パルス管の前記第１の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段と、前記パルス管の前記第１の低温端部と前記蓄冷器の前記第２の低温端部との間に介在されるとともに側方に延在されたコールドヘッドとを有するパルス管冷凍機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はパルス管冷凍機に関し、特に、各種装置に横方向からパルス管冷凍機を取り付ける際においても冷凍効率が維持できるパルス管冷凍機の構造に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
パルス管冷凍機は、簡単な構造でかつ寒冷発生部での振動が小さいことを特徴とするものである。このようなパルス管冷凍機の従来構成を図６に示す。図において、パルス管冷凍機１０４は、第１の室温端部４ａ及び該第１の室温端部４ａとは反対側の第１の低温端部４ｂを備えたパルス管４と、第２の室温端部２ａ及び該第２の室温端部２ａとは反対側の第２の低温端部２ｂを備えパルス管４の第１の低温端部４ｂに第２の低温端部２ｂが連通した蓄冷器２と、蓄冷器２の第２の室温端部２ａに連通し系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段８と、パルス管４の第１の室温端部４ａに連通し系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を調節する位相制御手段９と、蓄冷器２の第２の低温端部２ｂとパルス管４の第１の低温端部４ｂとを覆い寒冷を被冷却体に伝達するためのコールドヘッド３とを備えるものである。そして、蓄冷器２の第２の室温端部２ａとパルス管４の第１の室温端部４ａは、上面１ａ及び下面１ｂを備えた円板状の室温プレート１の上面１ａまたは下面１ｂのどちらか一方面に共に保持されて（図では、室温ブロック１の下面１ｂに両室温端部２ａ、４ａが保持されたものを示す。）、蓄冷器２とパルス管４とが平行に並んで構成されているものである。
【０００３】
上記のようなパルス管冷凍機１０４を、被冷却体を備えた装置、例えば被冷却体としての液体窒素温度域の輻射シールドを備えた超電導マグネット組み込み液体ヘリウムクライオスタット等に取り付ける際に、装置の他の部品の配置構成や、冷凍機の設置可能スペース、ユーザの都合等により、装置に対してさまざまな方向からの取り付けが要求される。近年では、装置に対して上下方向からの取り付けのみならず、横方向からの取り付けも要求される。
【０００４】
図７は、従来のパルス管冷凍機１０４を装置に対して横方向から挿入して取り付ける方式を示す図である。図によると、パルス管冷凍機１０４は、装置内の断熱真空槽７２の横面から該断熱真空槽７２内に取り付けられ、室温ブロック１はその下面１ｂを側面とし、断熱真空槽内部と外部とを気密的に遮断する側面蓋として断熱真空槽７２の側面に配置している。このため、室温ブロック１の下面１ｂに各室温端部２ａ、４ａが保持された蓄冷器２及びパルス管４が断熱真空槽７２内に側面から格納され、蓄冷器２、パルス管４の各低温端部２ｂ、４ｂを覆うコールドヘッド３が被冷却体１５にその側面から当接するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように従来のパルス管冷凍機を装置に横から取り付けた場合、パルス管が水平に配置される。このようにパルス管が水平に配置された状態でパルス管冷凍機を運転すると、パルス管低温端部付近に発生する密度の大きい低温の作動ガスが、自然対流によりパルス管内側面の鉛直下方部に沿うように室温端部の方向へ流れ出し、パルス管の軸直角向（図に示す向きで、パルス管の軸心に対して直角な方向）に温度分布が生じる。パルス管の軸直角方向の温度分布は、内部の作動ガスの流れ及びパルス管の軸方向の温度分布を乱し、パルス管冷凍機の冷凍能力を大きく低下する要因となる。従って、従来のパルス管冷凍機では、装置の横方向から挿入して被冷却体を冷却する用途には冷凍能力の点からその使用が困難であるという問題がある。
【０００６】
故に、本発明は、上記実情に鑑みなされたものであり、装置の横から取り付けた場合においても冷凍能力が維持できるパルス管冷凍機とすることを技術的課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記技術的課題を解決するためになされた請求項１の発明は、
側面及び下面を備える室温ブロックと、第１の室温端部及び該第１の室温端部とは反対側の第１の低温端部を備え前記室温ブロックの下面に前記第１の室温端部が保持されたパルス管と、第２の室温端部及び該第２の室温端部とは反対側の第２の低温端部を備え前記室温ブロックの側面に前記第２の室温端部が保持された蓄冷器と、前記蓄冷器の前記第２の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段と、前記パルス管の前記第１の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段と、前記パルス管の前記第１の低温端部と前記蓄冷器の前記第２の低温端部とを連結する連結管と、前記蓄冷器の前記第２の低温端部に取り付けられたコールドヘッドとを具備するパルス管冷凍機としたことである。
【０００８】
上記発明によれば、パルス管冷凍機は、第１の室温端部及び第１の低温端部を備えるパルス管、第２の室温端部及び第２の低温端部を備える蓄冷器、パルス管冷凍機系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段、パルス管冷凍機系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段、パルス管の第１の低温端部と蓄冷器の第２の低温端部とを連結する連結管、蓄冷器の第２の低温端部に取り付けられたコールドヘッド、及び室温ブロックを備え、圧力振動手段、蓄冷器、連結管、パルス管、位相制御手段をこの順で接続して運転することにより作動流体を断熱膨張させ、パルス管の第１の低温端部にて寒冷を発生する。この寒冷は連結管により蓄冷器の第２の低温端部に伝達され、第２の低温端部に取り付けられたコールドヘッドを冷却するものである。また、室温ブロックは側面及び下面を備え、その下面にパルス管の第１の室温端部を保持するとともにその側面に蓄冷器の第２の室温端部を保持しているものである。
【０００９】
本発明は、上記構成のため、パルス管冷凍機を運転した場合、パルス管内の作動ガスの温度は、第１の室温端部とは反対側の第１の低温端部で降下する。ここで、パルス管の第１の室温端部は室温ブロックの下面に保持されているので、パルス管は、その第１の室温端部から第１の低温端部に向かって下方に延びて形成されていることになり、第１の低温端部は第１の室温端部よりも低いところに位置することになる。このようにパルス管内において、より温度の低い第１の低温端部がより温度の高い第１の室温端部よりも低く位置されるので、パルス管内において自然対流が起こることはない。従って、従来のように自然対流による冷凍能力の低下を招くこともないものである。
【００１０】
また、蓄冷器の第２の室温端部は室温ブロックの側面に保持されているので、蓄冷器は、その第２の室温端部から第２の低温端部に向かって側方に延びて形成されていることになる。そして、被冷却体と当接して冷凍を伝達させるコールドヘッドは蓄冷器の低温端部側に取り付けられている。このように側方に延びた蓄冷器の第２の低温端部にコールドヘッドが取り付けられているので、コールドヘッドがパルス管冷凍機の側方から突出して位置することになり、室温ブロックの側面を取り付け面としてパルス管冷凍機を装置の横から取り付け、装置内部の被冷却体をコールドヘッドに当接させて冷却することが可能となる。この場合、パルス管は、その室温端部が低温端部よりも上方に位置するので、パルス管内で自然対流が発生することはないものである。
【００１１】
このように、請求項１の発明は、装置の横から取り付けることができ、このように装置の横から取り付けた場合においてもパルス管内で自然対流は起こらず、冷凍能力を維持することができるものである。
【００１２】
また、上記技術的課題を解決するにあたり、請求項２において講じた発明のように、
前記室温ブロックには前記側面から前記下面を貫通する貫通孔が形成され、前記連結管は前記貫通孔を通過して前記第１の低温端部と前記第２の低温端部とを連結することを特徴とする請求項１に記載のパルス管冷凍機とすることが好ましい。
【００１３】
上記発明によれば、室温ブロックにはその側面から下面を貫通する貫通孔が形成され、パルス管の低温端部と蓄冷器の低温端部とを連結する連結管は、この貫通孔を通過して両低温端部を連結する構成である。
【００１４】
室温ブロックから下方に延びて形成されたパルス管の第１の低温端部と室温ブロックから側方に延びて形成された蓄冷器の第２の低温端部とを、連結管により最短距離で連結すると、パルス管と蓄冷器と連結管との幾何学的な関係が、３者をそれぞれ辺とした直角三角形形状の関係となる。この場合、連結管の長さが最短となることから連結管内の死容積空間を極小とすることができ、冷凍能力をさらに向上する上でのメリットとなるが、パルス管冷凍機自体の占有空間が増加するので、パルス管冷凍機を装置に取り付ける上でのスペース上の不利益を生じるというデメリットもある。これに対して請求項２の発明は、連結管を室温ブロックに形成された貫通孔を経由する配置構成としたので、パルス管冷凍機自体の占有空間を最小とすることができ、パルス管冷凍機を装置に取り付ける上でのスペース上の利益が得られるものである。
【００１５】
また、上記技術的課題を解決するためになされた請求項３の発明は、
下面を備える室温プレートと、第１の室温端部及び該第１の室温端部とは反対側の第１の低温端部を備え前記室温プレートの下面に前記第１の室温端部が保持されたパルス管と、第２の室温端部及び該第２の室温端部とは反対側の第２の低温端部を備え該第２の低温端部が前記パルス管の前記第１の低温端部に連通した蓄冷器と、前記蓄冷器の前記第２の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段と、前記パルス管の前記第１の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段と、前記パルス管の前記第１の低温端部と前記蓄冷器の前記第２の低温端部との間に介在されるとともに側方に延在されたコールドヘッドとを有するパルス管冷凍機としたことである。
【００１６】
上記発明によれば、パルス管冷凍機は、第１の室温端部及び第１の低温端部を備えるパルス管、第２の室温端部及び第２の低温端部を備える蓄冷器、パルス管冷凍機系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段、パルス管冷凍機系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段、パルス管の第１の低温端部と蓄冷器の第２の低温端部との間に介在されるとともに側方に延在したコールドヘッド、及び室温プレートを備え、圧力振動手段、蓄冷器、パルス管、位相制御手段をこの順で接続して運転することにより作動流体を断熱膨張させ、パルス管の低温端部にて寒冷を発生するものである。また、室温プレートは下面を備え、その下面にパルス管の第１の室温端部を保持しているものである。
【００１７】
請求項３の発明は上記構成に示すように、コールドヘッドがパルス管の第１の低温端部と蓄冷器の第２の低温端との間に介在されるとともに側方に延在しているので、コールドヘッドがパルス管冷凍機の側方から突出して位置することになる。従って、パルス管の第１の低温端を下方に向けたままパルス管冷凍機を装置の横から取り付けた場合、コールドヘッドが装置の横から延びて被冷却体に当接する。このときパルス管は、その室温端部が低温端部よりも上方に位置するので、パルス管内で自然対流が発生することはないものである。
【００１８】
このように、請求項３の発明は、装置の横から取り付けた場合においても冷凍能力を維持することができるものである。
【００１９】
また、上記技術的課題を解決するためになされた請求項４の発明は、
上面を備える室温プレートと、第１の室温端部及び該第１の室温端部とは反対側の第１の低温端部を備えたパルス管と、第２の室温端部及び該第２の室温端部とは反対側の第２の低温端部を備え前記室温プレートの上面に前記第２の室温端部が保持されるとともに前記パルス管の前記第１の低温端部に前記第２の低温端部が連通した蓄冷器と、前記蓄冷器の前記第２の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段と、前記パルス管の前記第１の室温端部に連通し系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段と、前記パルス管の前記第１の低温端部と前記蓄冷器の前記第２の低温端部との間に介在されるとともに側方に延在されたコールドヘッドとを有するパルス管冷凍機としたことである。
【００２０】
上記発明によれば、パルス管冷凍機は、第１の室温端部及び第１の低温端部を備えるパルス管、第２の室温端部及び第２の低温端部を備える蓄冷器、パルス管冷凍機系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段、パルス管冷凍機系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段、パルス管の第１の低温端部と蓄冷器の第２の低温端部との間に介在されるとともに側方に延在したコールドヘッド、及び室温プレートを備え、圧力振動手段、蓄冷器、パルス管、位相制御手段をこの順で接続して運転することにより作動流体を断熱膨張させ、パルス管の低温端部にて寒冷を発生するものである。また、室温プレートは上面を備え、その上面に蓄冷器の第２の室温端部を保持しているものである。
【００２１】
請求項４の発明は上記構成に示すように、コールドヘッドがパルス管の第１の低温端部と蓄冷器の第２の低温端との間に介在されるとともに側方に延在しているので、コールドヘッドがパルス管冷凍機の側方から突出して位置することになる。従って、パルス管の第１の低温端を下方に向けたままパルス管冷凍機を装置の横から取り付けた場合、コールドヘッドが装置の横から延びて被冷却体に当接する。このときパルス管は、その室温端部が低温端部よりも上方に位置するので、パルス管内で自然対流が発生することはないものである。
【００２２】
このように、請求項４の発明は、装置の横から取り付けた場合においても冷凍能力を維持することができるものである。
【００２３】
【実施の形態】
以下、本発明を実施の形態により具体的に説明する。
【００２４】
（第１実施形態例）
図１、図２は、本発明の第１実施形態例におけるパルス管冷凍機を示す図であり、図１はコールドヘッドが側方に位置したパルス管冷凍機の構成断面図、図２は図１に示すパルス管冷凍機を被冷却装置に横から取り付けたときの状態を示す図である。
【００２５】
図１において、パルス管冷凍機１０１は、室温ブロック１、蓄冷器２、コールドヘッド３、パルス管４、連結管５、圧力振動手段８、位相制御手段９とを主な構成とするものである。
【００２６】
室温ブロック１は、直方体形状の銅、黄銅、ステンレス鋼等で形成されている。この室温ブロック１の図示右側面１ａには蓄冷器取付用凹部１ｃが形成されているとともに、その下面１ｂにはパルス管取付用凹部１ｄが形成されている。また、室温ブロック１の内部には、パルス管通路１ｅ及び蓄冷器通路１ｆが形成されている。パルス管通路１ｅの一端はパルス管用凹部１ｄの底面に開口するとともに、その他端は室温ブロック１の図示左側面１ａ’に開口している。蓄冷器通路１ｆの一端は蓄冷器用凹部１ｃの底面に開口するとともに、その他端は室温ブロック１の側面１ａ’に開口している。さらに室温ブロック１には、その右側面１ａと下面１ｂとを貫通する貫通孔１ｇが形成されているものである。また、符号１ｈは、室温ブロック１の右側面に形成されたフランジ部である。
【００２７】
尚、本例においては、室温ブロック１として直方体形状のものを使用したが、一方の側面（本例の場合には右側面１ａ）と下面（本例の場合は下面１ｂ）をもつものであれば、特にこれに限ることはない。室温ブロックの他の例として、円柱状のブロックを用意し、その一端面を側面とし、周面の一部を切り欠いて下面としたものが考えられる。
【００２８】
パルス管４は、第１の室温端部４ａ及び該第１の室温端部４ａとは反対側の第１の低温端部４ｂを備えた円筒状の空洞管で形成され、それぞれの端部４ａ、４ｂには整流器４１、４２が取り付けられている。そして、このパルス管４は、その第１の室温端部４ａ側が室温ブロック１の下面１ｂに形成されたパルス管用凹部１ｄに嵌め込まれた状態で該室温ブロック１に保持され、第１の室温端部４ａから第１の低温端部４ｂに向かって下方に延びているものである。
【００２９】
蓄冷器２は、第２の室温端部２ａ及び該第２の室温端部２ａとは反対側の第２の低温端部２ｂを備えた円筒状管として形成され、その内部には、ステンレス鋼メッシュ等の蓄冷材が積層されて充填されている。また、パルス管同様それぞれの端部２ａ、２ｂには整流器２１、２２が取り付けられている。そして、この蓄冷器２は、第２の室温端部２ａ側が室温ブロック１の右側面１ａに形成された蓄冷器用凹部１ｃに嵌め込まれた状態で該室温ブロック１に保持されているものである。
【００３０】
室温ブロック１内に形成された蓄冷器通路１ｆは、前述のように、その一端が蓄冷器用凹部１ｃに連通するとともに、その他端が室温ブロック１の左側面１ａ’に開口している。この側面開口部１ｆ’には、圧力振動手段連結管１１の一端が連通している。そして、圧力振動手段連結管１１の他端には、圧力振動手段８が連結しているものである。
【００３１】
本例において、圧力振動手段８は、吸入口８１ａから低圧の作動ガスを吸入し、内部で作動ガスを圧縮して吐出口８１ｂから高圧の作動ガスを吐出するコンプレッサ８１、コンプレッサ８１の吐出口８１ｂにその一端が連結された高圧通路８２、高圧通路８２の途中に介装された高圧開閉弁８３、コンプレッサ８１の吸入口８１ａにその一端が連結された低圧通路８４、低圧通路８４の途中に介装された低圧開閉弁８５を主構成とし、高圧通路８２の他端と低圧通路８４の他端とが合流して圧力振動源連結管１１に連通しているものである。また、高圧開閉弁８３と低圧開閉弁８５とは排他的に開閉するように制御されており、高圧開閉弁８３が開成して低圧開閉弁８５が閉成したときは高圧通路８２と圧力振動手段連結管１１が連通状態となり、高圧開閉弁８３が閉成して低圧開閉弁８５が開成したときは低圧通路８４と圧力振動手段連結管１１が連通状態となるものである。
【００３２】
室温ブロック１内に形成されたパルス管通路１ｅは、前述のように、その一端がパルス管用凹部１ｄに連通するとともに、その他端が室温ブロック１の側面に開口している。この側面開口部１ｅ’には、位相制御手段連結管１２の一端が連通している。そして、位相制御手段連結管１２の他端には、位相制御手段９が連結しているものである。
【００３３】
本例において、位相制御手段９は、所定の圧力に維持された容量が非常に大きいバッファタンク９１と、バッファタンク９１内空間にその一端が連通したバッファ連結管９２と、位相制御手段連結管１２とバッファ連結管９２との間に介装されたオリフィス９３とを主構成とする。そして、パルス管４内空間とバッファタンク９１内空間の圧力差により内部の作動ガスが両者を行き来する際に、オリフィス９３により作動ガスに流動抵抗を与えることで、作動ガスの圧力変動と位置変動に位相差を与え、またこの位相差が寒冷を発生するための最適位相差となるように位相制御するものである。
【００３４】
パルス管４の第１の低温端部４ｂと、蓄冷器２の第２の低温部２ｂとは、連結管５で連結されている。この連結管５の外径は、室温ブロック１に形成された貫通孔１ｇの径よりも小さくされており、連結管５はこの貫通孔１ｇを通過して両低温端部４ｂ、２ｂを連結している。また、連結管５は、室温ブロック１に接触しないように貫通孔１ｇを通過させてある。この貫通孔１ｇの部分で室温ブロック１と連結管５が接触していると、室温ブロック１の熱が連結管５に伝達され、冷凍効率を著しく低下させるからである。
【００３５】
また、蓄冷器２の第２の低温端部２ｂには、コールドヘッド３が被せられてある。このコールドヘッド３は、被冷却体に当接してパルス管冷凍機１０１で発生する寒冷を被冷却体に伝達させるものであり、本例では熱伝達を良好にするために熱伝導度の大きな銅で構成されている。このようにコールドヘッド３を蓄冷器２の第２の低温端部２ｂに被せる構成により、コールドヘッド３１はパルス管冷凍機１０１の側方に突出した位置に配置されることになる。
【００３６】
尚、室温ブロック１の下面１ｂには、真空断熱ケース６１が取り付けられている。この真空断熱ケース６１は、パルス管４、室温ブロック１に形成された貫通孔１ｇの下面１ｂでの開口部分、及び連結管５を内包しており、この内包空間内は被冷却装置に取り付けられ真空状態とされて外部からの伝熱を遮断するようにされているものである。
【００３７】
上記構成のパルス管冷凍機１０１において、以下にその作動について説明する。
【００３８】
圧力振動手段８のコンプレッサ８１が駆動するとともに高圧開閉弁８３及び低圧開閉弁８５が排他的に開閉動作を繰り返すと、パルス管冷凍機系内（圧力振動手段連結通路１ｆ、蓄冷器２、連結管５、パルス管４、位相制御手段連結通路１ｅ内）の作動ガスが圧力変動を受ける。このときパルス管冷凍機系内の作動ガスと位相制御手段９のバッファタンク９１内の作動ガスが互いに行き来するが、オリフィス９３により一定の流動抵抗が生じるので、パルス管冷凍機系内の作動ガスの圧力変動と位置変動とに位相差が生じる。この位相差をオリフィス９３の絞り量等により最適に制御することで、第１の低温端４ｂ付近で作動ガスを断熱膨張させ、寒冷を発生する。この第１の低温端４ｂ付近で発生した寒冷は、連結管５によって蓄冷器２の第２の低温端２ｂにも送られ、第２の低温端２ｂに取り付けられたコールドヘッド３が冷却されるものである。
【００３９】
図２は、上記構成及び作動のパルス管冷凍機１０１を、被冷却体を内部に収容する装置に取り付けた状態を示す図である。図において、７１は装置内の断熱真空槽、１０は断熱真空槽内の被冷却体である。尚、パルス管冷凍機自体の構成は、図１に示す構成と同一であるのでその説明を省略する。図に示すように、断熱真空槽７１は、その側面にパルス管冷凍機取付用の穴部７１ａが形成されており、穴部７１ａの外縁には鍔部７１ｂが形成されている。この鍔部７１ｂに室温ブロック１のフランジ部１ｈを突き合わせることにより穴部７１ａに室温ブロック１の右側面１ａを取り付け、シールパッキン７３で気密性を確保した上で、図示せぬボルト等の締結手段により室温ブロック１と真空断熱槽７１とを強固に組付けてある。このように組付け、被冷却装置内を真空引きすることにより、蓄冷器２、連結管５、コールドヘッド３、パルス管４等が真空断熱されるとともに、コールドヘッド３が断熱真空槽７１内の被冷却体１５に当接して被冷却体１５を冷却するものである。
【００４０】
また、図より明らかなように、パルス管４の第１の低温端部４ｂは、第１の室温端部４ａよりも低い位置にある。このようにパルス管４内において温度の低い低温端部４ｂがより温度の高い室温端部４ａよりも低い位置にあるので、パルス管４内で自然対流が起こることがなく、自然対流による熱移動がパルス管冷凍機１０１の冷凍能力を低下させることもなく、パルス管冷凍機１０１を装置の横から取り付けた場合にもその冷凍能力を維持できるものである。
【００４１】
以上のように、本例によれば、パルス管冷凍機１０１は、右側面１ａ及び下面１ｂを備える室温ブロック１と、第１の室温端部４ａ及び該第１の室温端部４ａとは反対側の第１の低温端部４ｂを備え室温ブロック１の下面１ｂに第１の室温端部４ａが保持されたパルス管４と、第２の室温端部２ａ及び該第２の室温端部２ａとは反対側の第２の低温端部２ｂを備え室温ブロック１の右側面１ａに第２の室温端部２ａが保持された蓄冷器２と、蓄冷器２の第２の室温端部２ａに連通し系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段８と、パルス管４の第１の室温端部４ａに連通し系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段９と、パルス管４の第１の低温端部４ｂと蓄冷器２の第２の低温端部２ｂとを連結する連結管３と、蓄冷器２の第２の低温端部２ｂに取り付けられたコールドヘッド３とを具備するものとした。
【００４２】
上記構成に示されるように、パルス管４の第１の室温端部４ａは室温ブロック１の下面１ｂに保持されているので、パルス管４は、その第１の室温端部４ａから第１の低温端部４ｂに向かって下方に延びて形成されていることになり、第１の低温端部４ｂは第１の室温端部４ａよりも低いところに位置することになる。このように、パルス管４内において、より温度の温度の低い低温端部４ｂがより温度の高い室温端部４ａよりも低く位置されるので、パルス管４内において自然対流が起こることはない。従って、従来のように自然対流による冷凍能力の低下を招くこともなく、冷凍能力を維持できるものである。
【００４３】
また、蓄冷器２の第２の室温端部２ａは室温ブロック１の右側面１ａに保持されているので、蓄冷器２は、その第２の室温端部２ａから第２の低温端部２ｂに向かって側方に延びて形成されていることになる。そして、被冷却体１５と当接して冷凍を伝達させるコールドヘッド３は蓄冷器２の第２の低温端部２ｂ側に取り付けられている。このように側方に延びた蓄冷器２の第２の低温端部２ｂにコールドヘッド３が取り付けられているので、コールドヘッド３がパルス管冷凍機１０１の側方から突出して位置することになり、室温ブロック１の右側面１ａを取り付け面としてパルス管冷凍機１０１を装置の横から取り付け、装置内部の被冷却体１５をコールドヘッド３に当接させて冷却することが可能となる。この場合、パルス管４は、その室温端部４ａが低温端部４ｂよりも上方に位置するので、パルス管４内で自然対流が発生することはないものである。
【００４４】
このように、本例によれば、パルス管冷凍機を装置の横から取り付けることができ、このように装置の横から取り付けた場合においてもパルス管内で自然対流は起こらず、冷凍能力を維持することができるものである。
【００４５】
また、室温ブロック１にはその右側面１ａから下面１ｂを貫通する貫通孔１ｇが形成され、連結管５は貫通孔１ｇを通過して第１の低温端部４ｂと第２の低温端部２ｂとを連結している。このため装置に取り付ける際にパルス管冷凍機自体の占有空間を最小とすることができ、パルス管冷凍機を装置に取り付ける上でのスペース上の利益が得られるものである。
【００４６】
（第２実施形態例）
図３、図４は、本発明の第２実施形態例におけるパルス管冷凍機を示す図であり、図３はコールドヘッドが側方に突出したパルス管冷凍機の構成断面図、図４は図３に示すパルス管冷凍機を被冷却装置に横から取り付けたときの状態を示す図である。尚、各図において、第１実施形態例に示したものと同一部分については同一符号を付してある。
【００４７】
図３において、パルス管冷凍機１０２は、室温プレート１０、パルス管４、蓄冷器２、蓄冷器連結管１３、圧力振動手段８、位相制御手段９、コールドヘッド３１を主な構成とするものである。
【００４８】
室温プレート１０は、上面１０ａ及び下面１０ｂを備えた円板状の銅、黄銅、ステンレス鋼等で形成されている。この室温プレート１０の下面１０ｂにはパルス管取付用凹部１０ｄが形成されている。また、室温プレート１０の内部には、パルス管通路１０ｅ及び蓄冷器通路１０ｆが形成されている。パルス管通路１０ｅの一端はパルス管用凹部１０ｄの底面に開口するとともに、その他端は室温プレート１０の側周面に開口している。蓄冷器通路１０ｆの一端は室温ブロック１０の下面１０ｂに開口して蓄冷器連結管１３に連結しているするとともに、その他端は室温プレート１０の側周面に開口しているものである。
【００４９】
パルス管４は、第１の室温端部４ａ及び該第１の室温端部４ａとは反対側の第１の低温端部４ｂを備えた円筒状の空洞管で形成され、第１の室温端部４ａには整流器４１が取り付けられている。そして、このパルス管４は、第１の室温端部側４ａが室温プレート１０のパルス管用凹部１０ｄに嵌め込まれた状態で該室温プレート１０に保持されているものである。
【００５０】
蓄冷器２は、第２の室温端部２ａ及び該第２の室温端部２ａとは反対側の第２の低温端部２ｂを備えた円筒状管として形成され、その内部には、ステンレス鋼メッシュ等の蓄冷材が積層されて充填されている。また、第２の室温端部２ａには整流器２１が取り付けられている。そして、この蓄冷器２は、その第２の低温端部２ｂがパルス管４の第１の低温端部４ｂに連通しているものである。
【００５１】
また、パルス管４の第１の低温端部４ｂと蓄冷器２の第２の低温端部２ｂとの間には、コールドヘッド３１が介在されている。このコールドヘッド３１は、第１の低温端部４ｂと第２の低温端部２ｂとの間に介在されて低温端部４ｂで発生する寒冷を受け取る部分である介在部３１ａと、介在部３１ａから連続して側方に延在された延在部３１ｂとから構成されている。このような構成のコールドヘッド３１は、本例では熱伝達を良好にするために熱伝導度の大きな銅で一体に形成されているものである。尚、本例においては、介在部３１ａと延在部３１ｂとを一体部材で構成したが、これらは別部材であってもよい。
【００５２】
また、介在部３１ａには、その図示上面にパルス管保持用凹部３１１が、その図示下面に蓄冷器保持用凹部３１２が形成されるとともに、その内部に両凹部３１１、３１２を連通する通路３１３が形成されている。パルス管保持用凹部３１１にはパルス管４の第１の低温端部４ｂが保持され、蓄冷器保持用凹部３１２には蓄冷器２の第２の低温端部２ｂが保持される。そして、介在部３１ａの内部に形成された通路３１３によりパルス管４の第１の低温端部４ｂと蓄冷器２の第２の低温端部２ｂとが連通されているものである。
【００５３】
室温プレート１０内に形成された蓄冷器通路１０ｆは、前述のようにその一端が室温プレート１０の下面１０ｂに開口して蓄冷器連結管１３に開口するとともに、その他端は室温プレート１０の側周面に開口している。この側周面開口部１０ｆ’には、圧力振動手段連結管１１の一端が連通している。そして、圧力振動手段連結管１１の他端には、圧力振動手段８が連結しているものである。尚、本例における圧力振動手段８は、第１実施形態例において示したものと同一であるので、その説明を省略する。
【００５４】
室温プレート１０内に形成されたパルス管通路１０ｅは、前述のように、その一端が室温プレート１０の下面１０ｂに形成されたパルス管用凹部１０ｄの底面に開口しているとともに、その他端が室温プレート１０の側周面に開口している。この側周面開口部１０ｅ’には、位相制御手段連結管１２の一端が連通している。そして、位相制御手段連結管１２の他端には、位相制御手段９が連結しているものである。尚、本例における位相制御手段９は、第１実施形態例において示したものと同一であるので、その説明を省略する。
【００５５】
蓄冷器連結管１３は、前述のようにその一端が蓄冷器通路１０ｅの室温プレート１０の下面開口部に連通しているとともに、その他端は蓄冷器２の第２の室温端部２ａに連通している。従って、蓄冷器２の第２の室温端部２ａは、蓄冷器連結管１３、蓄冷器通路１０ｆ、圧力振動手段連結管１１を介して圧力振動手段８に連通しているものである。
【００５６】
室温プレート１０の下面１０ｂには、真空断熱ケース６２が固定されている。この真空断熱ケース６２は室温プレート１０の下面１０ｂから下方に延びてその最下面が閉塞された円筒状に形成され、パルス管４、蓄冷器２、蓄冷器連結管１３を内包している。また、その円筒軸方向のほぼ中間部分には側方に向けて開口した開口円部６２３が形成されている。この開口円部６２３の縁部には側方に突き出された突き出し部６２１が形成され、突き出し部６２１の先端部にはリング状のフランジ部６２２が形成されている。そして、開口円部６２３からは、コールドヘッド３１の延在部３１ｂが介在部３１ａから延在され、該延在部３１ｂの先端はフランジ部６２２よりも側方に突き出している。このフランジ部３１ｂが取り付け面として後述するように装置に取り付けられて真空断熱ケース６２の内包空間内が真空状態とされ、外部からの伝熱を遮断するようにされているものである。
【００５７】
上記構成のパルス管冷凍機１０２において、以下にその作動について説明する。
【００５８】
圧力振動手段８が駆動すると、パルス管冷凍機系内（圧力振動手段連結通路１１、蓄冷器連結管１３、蓄冷器２、パルス管４、位相制御手段連結通路１２内）の作動ガスが圧力変動を受ける。このとき位相制御手段９によりパルス管冷凍機系内の作動ガスの圧力変動と位置変動とに位相差が生じる。この位相差が位相制御手段９により最適に制御され、第１の低温端４ｂ付近で作動ガスを断熱膨張させ、寒冷を発生するものである。
【００５９】
図４は、上記構成及び作動のパルス管冷凍機１０２を、被冷却体を内部に収容する装置に取り付けた状態を示す図である。図において、７１は装置内の断熱真空槽、１０は断熱真空槽７１内の被冷却体である。尚、パルス管冷凍機自体の構成は、図３に示す構成と同一であるのでその説明を省略する。図に示すように、断熱真空槽７１は、その側面にパルス管冷凍機取付用の穴部７１ａが形成されており、穴部７１ａの外縁には鍔部７１ｂが形成されている。この鍔部７１ｂに図に示すように真空断熱ケース６２のフランジ部６２２を取り付け、シールパッキン７３で気密性を確保した上で、図示せぬボルト等の締結手段により真空断熱ケース６２と真空断熱槽７１とを強固に組付けてある。このように組付け、被冷却装置内を真空引きすることにより、パルス管冷凍機１０３が真空断熱されるとともに、フランジ部６２２より側方に突出したコールドヘッド３１の延在部３１ｂが断熱真空槽７１内の被冷却体１５に横から当接して被冷却体１５を冷却するものである。
【００６０】
また、図より明らかなように、パルス管４の第１の低温端部４ｂは、第１の室温端部４ａよりも低い位置にある。このようにパルス管４内において温度の低い第１の低温端部４ｂがより温度の高い第１の室温端部４ａよりも低い位置にあるので、パルス管４内で自然対流が起こることがなく、自然対流による熱移動がパルス管冷凍機１０３の冷凍効率を低下させることもないものである。
【００６１】
以上のように、本例によれば、パルス管冷凍機１０２は、下面１０ｂを備える室温プレート１０と、第１の室温端部４ａ及び該第１の室温端部４ａとは反対側の第１の低温端部４ｂを備え室温プレート１０の下面１０ｂに第１の室温端部４ａが保持されたパルス管４と、第２の室温端部２ａ及び該第２の室温端部２ａとは反対側の第２の低温端部２ｂを備え該第２の低温端部２ｂがパルス管４の第１の低温端部４ｂに連通した蓄冷器２と、蓄冷器２の第２の室温端部２ａに連通し系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段８と、パルス管４の第１の室温端部４ａに連通し系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段９と、パルス管４の第１の低温端部４ｂと蓄冷器２の第２の低温端部２ｂとの間に介在されるとともに側方に延在されたコールドヘッド３１とを有するものとした。
【００６２】
上記構成に示されるように、パルス管４の第１の室温端部４ａは室温プレート１０の下面１０ｂに保持されているので、パルス管４は、その第１の室温端部４ａから第１の低温端部４ｂに向かって下方に延びて形成されていることになり、第１の低温端部４ｂは第１の室温端部４ａよりも低いところに位置することになる。このように、パルス管４内において、より温度の温度の低い低温端部４ｂがより温度の高い室温端部４ａよりも低く位置されるので、パルス管４内において自然対流が起こることはない。従って、従来のように自然対流による冷凍効率の低下を招くこともなく、冷凍能力を維持できるものである。
【００６３】
また、コールドヘッド３１がパルス管４の第１の低温端部４ｂと蓄冷器２の第２の低温端２ｂとの間に介在されるとともに側方に延在しているので、コールドヘッド３１がパルス管冷凍機１０２の側方から突出して位置することになる。従って、パルス管４の第１の低温端４ｂを下方に向けたままパルス管冷凍機１０２を装置の横から取り付けた場合、コールドヘッド３１が装置の横から延びて被冷却体１５に当接する。このときパルス管４は、その室温端部４ａが低温端部４ｂよりも上方に位置するので、パルス管内で自然対流が発生することはないものである。
【００６４】
このように、本例に示すパルス管冷凍機１０２は、装置の横から取り付けた場合においても冷凍効率を維持することができるものである。
【００６５】
また、パルス管冷凍機１０２には、室温プレート１０の下面１０ｂに固定されるとともにパルス管４、蓄冷器２、蓄冷器連結管１３を内包する真空断熱ケース６２が取り付けられている。また、真空断熱ケース６２にはその側面に開口円部６２３が形成さている。この開口円部６２３からはコールドヘッド３１の延在部３１ｂが突出するとともに、その縁にはフランジ部６２２が形成されている。そして、このフランジ部６２２を装置への取り付け部として装置の横から取り付けている。このように真空断熱ケース６２のフランジ部６２２を装置の取り付け部としてパルス管冷凍機１０２を装置の横から取り付け可能にするとともに装置内にコールドヘッド３１のみを組み込む構造としたので、パルス管４や蓄冷器２、室温プレート１０まで装置内に横から取り付けるものと比較して、装置側の取り付け口を小さくすることができ、装置内部のスペースを有効利用することができるものである。
【００６６】
（第３実施形態例）
図５は、本発明の第３実施形態例におけるパルス管冷凍機を示す図であり、上記第２実施形態例とは異なった構造でコールドヘッドを側方に突出させたパルス管冷凍機の構成断面図である。尚、各図において、第１及び第２実施形態例に示したものと同一部分については同一符号を付してある。
【００６７】
図５において、パルス管冷凍機１０３は、室温プレート１０、パルス管４、蓄冷器２、パルス管連結管１４、圧力振動手段８、位相制御手段９、コールドヘッド３１を主な構成とするものである。
【００６８】
室温プレート１０は、上面１０ａ及び下面１０ｂを備えた円板状の銅、黄銅、ステンレス鋼等で形成されている。この室温プレート１０の上面１０ａには蓄冷器取付用凹部１０ｃが形成されている。また、室温プレート１０の内部には、パルス管通路１０ｅ及び蓄冷器通路１０ｆが形成されている。蓄冷器通路１０ｆの一端は蓄冷器用凹部１０ｃの底面に開口するとともに、その他端は室温プレート１０の側周面に開口している。パルス管通路１０ｅの一端は室温ブロック１０の上面１０ａに開口してパルス管連結管１４に連結しているするとともに、その他端は室温プレート１０の側周面に開口しているものである。
【００６９】
蓄冷器２は、第２の室温端部２ａ及び該第２の室温端部２ａとは反対側の第２の低温端部２ｂを備えた円筒状管として形成され、その内部には、ステンレス鋼メッシュ等の蓄冷材が積層されて充填されている。第２の室温端部２ａには整流器２１が取り付けられている。そして、この蓄冷器２は、第２の室温端部側２ａが室温プレート１０の蓄冷器用凹部１０ｃに嵌め込まれた状態で該室温プレート１０に保持されているものである。
【００７０】
パルス管４は、第１の室温端部４ａ及び該第１の室温端部４ａとは反対側の第１の低温端部４ｂを備えた円筒状の空洞管で形成され、第１の室温端部４ａには整流器４１が取り付けられている。そして、このパルス管４は、その第１の低温端部４ｂが蓄冷器２の第２の低温端部２ｂに連通し、その第１の室温端部４ａはパルス管連結管１４に連結されているものである。
【００７１】
また、パルス管４の第１の低温端部４ｂと蓄冷器２の第２の低温端部２ｂとの間には、コールドヘッド３１が介在されている。このコールドヘッド３１は、第１の低温端部４ｂと第２の低温端部２ｂとの間に介在されて低温端部４ｂで発生する寒冷を受け取る部分である介在部３１ａと、介在部３１ａから連続して側方に延在された延在部３１ｂとから構成されている。このような構成のコールドヘッド３１は、本例では熱伝達を良好にするために熱伝導度の大きな銅で一体に形成されているものである。尚、本例においては、介在部３１ａと延在部３１ｂとを一体部材で構成したが、これらは別部材であってもよい。
【００７２】
また、介在部３１ａには、その図示上面にパルス管保持用凹部３１１が、その図示下面に蓄冷器保持用凹部３１２が形成されるとともに、その内部に両凹部３１１、３１２を連通する通路３１３が形成されている。パルス管保持用凹部３１１にはパルス管４の第１の低温端部４ｂが保持され、蓄冷器保持用凹部３１２には蓄冷器２の第２の低温端部２ｂが保持される。そして、介在部３１ａの内部に形成された通路３１３によりパルス管４の第１の低温端部４ｂと蓄冷器２の第２の低温端部２ｂとが連通されているものである。
【００７３】
室温プレート１０内に形成された蓄冷器通路１０ｆは、前述のように、その一端が室温プレート１０の上面１０ａに形成された蓄冷器用凹部１０ｃの底面に開口しているとともに、その他端は室温プレート１０の側周面に開口している。この側周面開口部１０ｆ’には、圧力振動手段連結管１１の一端が連通している。そして、圧力振動手段連結管１１の他端には、圧力振動手段８が連結しているものである。尚、本例における圧力振動手段８は、第１実施形態例において示したものと同一であるので、その説明を省略する。
【００７４】
室温プレート１０内に形成されたパルス管通路１０ｅは、前述のようにその一端が室温プレート１０の上面１０ａに開口してパルス管連結管１４に開口するとともに、その他端が室温プレート１０の側周面に開口している。この側周面開口部１０ｅ’には、位相制御手段連結管１２の一端が連通している。そして、位相制御手段連結管１２の他端には、位相制御手段９が連結しているものである。尚、本例における位相制御手段９は、第１実施形態例において示したものと同一であるので、その説明を省略する。
【００７５】
パルス管連結管１４は、前述のようにその一端がパルス管通路１０ｅの室温プレート１０の上面開口部に連通しているとともに、その他端はパルス管４の第１の室温端部４ａに連通している。従って、パルス管４の第１の室温端部４ａは、パルス管連結管１４、パルス管通路１０ｅ、位相制御手段連結管１２を介して位相制御手段９に連通しているものである。
【００７６】
室温プレート１０の上面１０ａには、真空断熱ケース６３が固定されている。この真空断熱ケース６３は室温プレート１０の上面１０ａから上方に延びてその最上面が閉塞された円筒状に形成され、パルス管４、蓄冷器２、パルス管連結管１４を内包している。また、その円筒軸方向のほぼ中間部分には側方に向けて開口した開口円部６３３が形成されている。この開口円部６３３の縁部には側方に突き出された突き出し部６３１が形成され、突き出し部６３１の先端部にはリング状のフランジ部６３２が形成されている。そして、開口円部６３３からは、コールドヘッド３１の延在部３１ｂが介在部３１ａから延在され、該延在部３１ｂの先端はフランジ部６３２よりも側方に突き出している。このフランジ部６３２が取り付け面として後述するように装置に取り付けられて真空断熱ケース６３の内包空間内が真空状態とされ、外部からの伝熱を遮断するようにされているものである。
【００７７】
上記構成のパルス管冷凍機１０３において、以下にその作動について説明する。
【００７８】
圧力振動手段８が駆動すると、パルス管冷凍機系内（圧力振動手段連結通路１１、パルス管連結管１４、蓄冷器２、パルス管４、位相制御手段連結通路１２内）の作動ガスが圧力変動を受ける。このとき位相制御手段９によりパルス管冷凍機系内の作動ガスの圧力変動と位置変動とに位相差が生じる。この位相差が位相制御手段９により最適に制御され、第１の低温端４ｂ付近で作動ガスを断熱膨張させ、寒冷を発生するものである。
【００７９】
上記構成及び作動のパルス管冷凍機１０３の装置への取り付け部分は、真空断熱ケース６３のフランジ部６３２である。これは、上記第２実施形態例で説明したパルス管冷凍機１０２の装置への取り付け部（真空断熱ケース６２のフランジ部６２２）と同一形状であるので、被冷却体を内部に収容する装置への取り付け状態は、図４に示すものと同一状態となる。従って、装置への取り付けの図示は省略する。
【００８０】
以上のように、本例によれば、パルス管冷凍機１０３は、上面１０ａを備える室温プレート１０と、第１の室温端部４ａ及び該第１の室温端部４ａとは反対側の第１の低温端部４ｂを備えたパルス管４と、第２の室温端部２ａ及び該第２の室温端部２ａとは反対側の第２の低温端部２ｂを備え室温プレート１０の上面１０ａに第２の室温端部２ａが保持されるとともにパルス管４の第１の低温端部４ｂに第２の低温端部２ｂが連通した蓄冷器２と、蓄冷器２の第２の室温端部２ａに連通し系内の作動ガスの圧力を振動させる圧力振動手段８と、パルス管４の第１の室温端部４ａに連通し系内の作動ガスの圧力変動と位置変動との位相差を制御する位相制御手段９と、パルス管４の第１の低温端部４ｂと蓄冷器２の第２の低温端部２ｂとの間に介在されるとともに側方に延在されたコールドヘッド３１とを有するものとした。
【００８１】
上記構成に示されるように、蓄冷器２の第２の室温端部２ａは室温プレート１０の上面１０ｂに保持され、パルス管４はその第１の低温端部４ｂが蓄冷器２の第２の低温端部２ｂに連通しているので、パルス管４は、その第１の低温端部４ｂから第１の室温端部４ａに向かって上方に延びて形成されていることになり、第１の低温端部４ｂは第１の室温端部４ａよりも低いところに位置することになる。このように、パルス管４内において、より温度の温度の低い低温端部４ｂがより温度の高い室温端部４ａよりも低く位置されるので、パルス管４内において自然対流が起こることはない。従って、従来のように自然対流による冷凍効率の低下を招くこともなく、冷凍能力を維持できるものである。
【００８２】
また、コールドヘッド３１がパルス管４の第１の低温端部４ｂと蓄冷器２の第２の低温端２ｂとの間に介在されるとともに側方に延在しているので、コールドヘッド３１がパルス管冷凍機１０３の側方から突出して位置することになる。従って、パルス管４の第１の室温端４ａを上方に向けたままパルス管冷凍機１０３を装置の横から取り付けた場合、コールドヘッド３１が装置の横から延びて被冷却体１５に当接する。このときパルス管４は、その室温端部４ａが低温端部４ｂよりも上方に位置するので、パルス管内で自然対流が発生することはないものである。
【００８３】
このように、本例に示すパルス管冷凍機１０３は、装置の横から取り付けた場合においても冷凍効率を維持することができるものである。
【００８４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、装置の横から取付可能であり、また横から取り付けた場合においても冷凍能力が維持できるパルス管冷凍機とすることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態例における、パルス管冷凍機の部分断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態例における、パルス管冷凍機を被冷却装置に横から取り付けたときの状態を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態例における、パルス管冷凍機の部分断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態例における、パルス管冷凍機を被冷却装置に横から取り付けたときの状態を示す図である。
【図５】本発明の第３実施形態例における、パルス管冷凍機の部分断面図である。
【図６】従来技術におけるパルス管冷凍機の部分断面図である。
【図７】図５に示すパルス管冷凍機を被冷却装置の横から取り付けた状態を示す図である。
【符号の説明】
１・・・室温ブロック、１ａ・・・側面、１ｂ・・・下面、１ｇ・・・貫通孔
２・・・蓄冷器
２ａ・・・第２の室温端部、２ｂ・・・第２の低温端部
３、３１・・・コールドヘッド
３１ａ・・・介在部、３１ｂ・・・延在部
４・・・パルス管
４ａ・・・第１の室温端部、４ｂ・・・第１の低温端部
５・・・連結管
８・・・圧力振動手段
９・・・位相制御手段
１０・・・室温プレート、１０ａ・・・上面、１０ｂ・・・下面
【図１】
0003812160.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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