(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚のウェハーからなるロットを保管するストッカと、
前記ロットの処理を行う複数の処理装置と、
前記ストッカ及び前記複数の処理装置の間を移動して前記ロットの授受を行う自動搬送車と、
前記自動搬送車から前記ロットのうち検査待ちのロットだけが搬送される受け渡し装置と、
前記複数の処理装置、前記自動搬送車、及び前記受け渡し装置を制御する管理コンピュータと、
前記ロットの検査を行う検査装置と、
前記受け渡し装置に載置された前記ロットを、前記受け渡し装置から前記検査装置へ搬送する第１の経路と、
前記検査装置で検査された前記ロットを、前記受け渡し装置を介さずに前記検査装置から前記ストッカへ搬送する第２の経路と、
を有することを特徴とするロットの搬送システム。
【請求項２】
請求項１記載の搬送システムにおいて、
前記受け渡し装置は、前記受け渡し装置に載置された前記ロットに関する情報を表示する表示器を具備することを特徴とするロットの搬送システム。
【請求項３】
請求項１又は２いずれか記載の搬送システムにおいて、
前記受け渡し装置は、前記受け渡し装置に載置された前記ロットを特定する情報を入力する手段を具備することを特徴とするロットの搬送システム。
【請求項４】
請求項１〜３いずれか記載の搬送システムにおいて、
前記受け渡し装置は、前記ロットを同時に複数載置できるバッファを具備することを特徴とするロットの搬送システム。
【請求項５】
複数枚のウェハーからなるロットを保管するストッカと、前記ロットの処理を行う複数の処理装置と、前記ストッカ及び前記複数の処理装置の間を移動して前記ロットの授受を行う自動搬送車と、前記自動搬送車から前記ロットを受け取る受け渡し装置と、前記複数の処理装置、前記自動搬送車、及び前記受け渡し装置を制御する管理コンピュータと、前記ロットの検査を行う検査装置とを備えた搬送システムを使用することで行うロットの搬送方法において、
前記自動搬送車に載置された前記ロットのうち検査待ちのロットだけを、前記自動搬送車から前記受け渡し装置へ搬送する工程と、
前記受け渡し装置に載置された前記ロットを、前記受け渡し装置から前記検査装置へ搬送し、前記検査装置で前記ロットを検査する工程と、
前記検査装置で検査された前記ロットを、前記検査装置から前記ストッカへ、前記受け渡し装置を介さずに搬送する工程とを有することを特徴とするロットの搬送方法。
【請求項６】
請求項５記載のロットの搬送方法において、
前記管理コンピュータは、前記ロットの各工程毎の情報を有した工程情報テーブルに基づいて、前記複数の処理装置、前記自動搬送車、及び前記受け渡し装置を制御することを特徴とするロットの搬送方法。
【請求項７】
請求項５又は６いずれか記載のロットの搬送方法において、
前記管理コンピュータは、前記複数の処理装置及び前記受け渡し装置についての状況を管理する装置管理情報テーブルに基づいて、前記複数の処理装置、前記自動搬送車、及び前記受け渡し装置を制御することを特徴とするロットの搬送方法。
【請求項８】
請求項６又は７いずれか記載のロットの搬送方法において、
前記搬送システムの前記受け渡し装置は、前記受け渡し装置に載置された前記ロットに関する情報を表示する表示器を備えており、
さらに、前記受け渡し装置に載置された前記ロットに関する情報を前記表示器で表示する工程を有することを特徴とするロットの搬送方法。
【請求項９】
請求項６〜８いずれか記載のロットの搬送方法において、
前記搬送システムの前記受け渡し装置は、前記受け渡し装置に載置された前記ロットを特定する情報を入力する手段を備えており、
さらに、前記受け渡し装置に載置された前記ロットに関する情報を、前記受け渡し装置に入力する工程を有することを特徴とするロットの搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体前処理工程等の連続処理工程の搬送システム及びその制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１１は、従来の半導体前処理工程内の搬送システムの構成の一例を示したものである。図に示すように、この搬送システムは、仕掛かり管理コンピュータ１０と、工程内の処理エリア１２内にそれぞれ配置された、仕掛かり管理コンピュータ端末１１、処理（検査を含む）しようとするロットを一時保管するストッカ１、複数の処理装置７，９、各処理装置間を移動する工程内自動搬送車５、及び検査装置８より構成されている。
仕掛かり管理コンピュータ１０は、図８に示すような、各工程毎の情報を有した工程情報テーブルと、図９に示すような、各処理装置についての状況を管理する情報を有した装置情報テーブルとを備えている。工程情報テーブルは、処理工程毎に、処理可能装置と処理条件の情報を持つ。また、装置情報テーブルは、処理装置毎に、それを使用できるかどうかを示す使用可否フラグ、その位置を示す所属ベイ番号、及びロットを受け入れることができる場所を示す搬送可バッファ番号の各情報をもつ。
次に、この従来の搬送システムの動作を説明する。
【０００３】
ストッカ１にある処理前の複数枚のウェハーからなるロットは、仕掛かり管理コンピュータ１０の判断と指令で、工程内自動搬送車５により、ストッカ１から処理装置７、９へ搬送されて処理される。さらに、処理された後のロットの流れを、図１０のフローチャートに従って説明する。一つの処理工程が終了したロットは（Ｓ１）、仕掛かり管理コンピュータ１０によって、次工程の処理可能装置を探し（Ｓ２）、その処理可能装置にロットが搬入可能なバッファが有るかどうか判断して（Ｓ４，Ｓ５）、次工程の装置を搬送先に決定する（Ｓ６）。すると、仕掛かり管理コンピュータ１０は、工程内自動搬送車５に搬送指示を出し（Ｓ８）、ロットを指示された処理装置まで運ぶ。しかしながら、検査装置８には処理可能装置は含まれていないので、次工程が検査の場合に、ロットは常にストッカ１に搬送先が決定され（Ｓ７）、ストッカ１に収納されている。
検査の作業者は、端末１１で、ストッカ１内にある検査待ちの複数ロットの中から次に検査するロットを選択し、ストッカ１からの出庫操作を行う。そして、ストッカ１よりロットを取り出し、検査装置８で検査を行い、合格したロットは再度ストッカ１に戻し、不合格したロットは救済措置あるいは廃棄するための保管庫に運ぶという作業を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の搬送システムでは、処理装置での処理が終了した検査待ちのロットは、必ずストッカに搬送されるので、次のような問題があった。
（１）検査の作業者は端末機でストッカ内の在庫ロットを検索し、検索表示されたロットの中から次工程が検査のロットを探し、さらにそれらの中から次に検査すべきロットを選択するという、ストッカからの出庫操作をしなければならず、その端末機での操作が必要であった。この操作をなくすため、次の工程が検査のロットが工程内入出庫口から入庫されたならば、自動的に作業者入出庫口にそれを出庫する方法も考えられるが、作業者出庫口はロットを１個づつ取り出す構造になっているため、検査待ちの特急ロットがある場合でもそれをすぐに取り出すことができないという、副次的な問題が発生して有効ではなかった。
（２）ストッカの作業者出庫口は検査作業者だけでなく、処理装置担当の作業者も利用することもあり、ロットを取り違える可能性があった。
本発明は、これらの課題を解決するためになされたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るロットの搬送システムは、複数枚のウェハーからなるロットを保管するストッカと、前記ロットの処理を行う複数の処理装置と、前記ストッカ及び前記複数の処理装置の間を移動して前記ロットの授受を行う自動搬送車と、前記自動搬送車から前記ロットのうち検査待ちのロットだけが搬送される受け渡し装置と、前記複数の処理装置、前記自動搬送車、及び前記受け渡し装置を制御する管理コンピュータと、前記ロットの検査を行う検査装置と、前記受け渡し装置に載置された前記ロットを、前記受け渡し装置から前記検査装置へ搬送する第１の経路と、前記検査装置で検査された前記ロットを、前記受け渡し装置を介さずに前記検査装置から前記ストッカへ搬送する第２の経路とを有する。
【０００６】
本発明に係るロットの搬送方法は、複数枚のウェハーからなるロットを保管するストッカと、前記ロットの処理を行う複数の処理装置と、前記ストッカ及び前記複数の処理装置の間を移動して前記ロットの授受を行う自動搬送車と、前記自動搬送車から前記ロットを受け取る受け渡し装置と、前記複数の処理装置、前記自動搬送車、及び前記受け渡し装置を制御する管理コンピュータと、前記ロットの検査を行う検査装置とを備えた搬送システムを使用することで行うロットの搬送方法において、前記自動搬送車に載置された前記ロットのうち検査待ちのロットだけを、前記自動搬送車から前記受け渡し装置へ搬送する工程と、前記受け渡し装置に載置された前記ロットを、前記受け渡し装置から前記検査装置へ搬送し、前記検査装置で前記ロットを検査する工程と、前記検査装置で検査された前記ロットを、前記検査装置から前記ストッカへ、前記受け渡し装置を介さずに搬送する工程とを有する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
実施の形態１
図１は本発明の搬送システムの各装置の配置を示す構成図、図２は本発明で用いる受け渡し装置の外観図である。図１からわかるように、本発明の搬送システムは、従来のシステムの検査装置８の近傍に、工程内自動搬送車５との間でロットの授受を行うことができる受け渡し装置２０を追加したものである。各機器及び装置は通信ケーブルまたは無線装置により、ロットの処理工程を制御する仕掛かり管理コンピュータ１０と接続されて、データの送受を行っている。
仕掛かり管理コンピュータ１０は、従来例と同様に、工程情報テーブルと装置情報テーブルを備えているが、装置情報テーブルには、図９の内容に、さらに受け渡し装置を特定する受け渡し装置ＩＤの情報が追加されている。
【００１２】
受け渡し装置２０は、図２に示すように、ロットが納められたカセット１９を同時に複数載置できるバッファ２２ａ〜２２ｈ、工程内自動搬送車５側から作業者側ヘカセットを移動させるためのスライドテーブル２３、カセット１９のロット情報を表示する表示器２４、及びロットを特定するＩＤを入力するバーコードリーダ２５を備えている。受け渡し装置２０は、さらに、図３のブロック構成図に示すように、仕掛かり管理コンピュータ１０とデータの送受を行うインターフェース３１、仕掛かり管理コンピュータ１０からのデータに基づいて表示器２４にロット情報を表示させる処理をするとともに、バーコードリーダ２５からの入力を処理して仕掛かり管理コンピュータ１０へ送るロット情報入出力処理部３２、仕掛かり管理コンピュータ１０からのデータに基づいてスライドテーブル２３を動作させるスライドテーブル制御部３３及びスライドテーブル駆動機構３４を備える。
【００１３】
次に、図４の制御フローに従って、この搬送システムの動作を説明する。
ストッカ１にある処理前の複数枚のウェハーからなるロットは、仕掛かり管理コンピュータ１０の判断と指令で、工程内自動搬送車５により、ストッカ１から処理装置７，９へ搬送される。
一つの工程の処理終了（Ｓ１１）後、次工程の工程情報テーブルから処理可能な装置を探す（Ｓ１２、Ｓ１３）。Ｓ１３において、処理可能装置がないと判断すると、ストッカ１を搬送先に決定するが（Ｓ２０）、処理可能装置があれば、その処理可能装置の装置情報テーブルのベイ番号と、ロットが現在位置している処理装置の装置情報テーブルのベイ番号を比較する（Ｓ１４）。それが、違っていれば、Ｓ１２の処理に戻り、ベイ番号が一致するときは、その処理可能装置の装置情報テーブルから受け渡し装置ＩＤの有無を判断し（Ｓ１５）、さらに、その受け渡し装置の装置情報テーブルからロットが搬入可能なバッファがあるかどうか判断する（Ｓ１６）。搬入可能なバッファがあると、受け渡し装置２０を搬送先に決定し（Ｓ１７）、工程内自動搬送車５に搬送指示を出し（Ｓ２１）、工程内自動搬送車は対象ロットを受け渡し装置２０へ搬送する。なお、Ｓ１５で受け渡し装置ＩＤがないと判断すると、処理可能装置に搬送可能なバッファがあるかどうか判断処理し（Ｓ１８）、搬送可能なバッファがあれば、次工程の処理可能装置を搬送先に決定し（Ｓ１９）、工程内自動搬送車５に搬送指示を出す（Ｓ２１）。
【００１４】
受け渡し装置２０には、ロットが収納されたカセットを複数個置くことができる。工程内自動搬送車５が受け渡し装置２０のバッファ２２ａ〜２２ｈの上下及び横の移動機構を備えたスライドテーブル２３にカセット１９を置くと、スライドテーブル２３の動作により作業者側にカセット１９が移動し、受け渡し装置２０の表示器２４は、図５に示すようにロットＩＤ・工程ＩＤ・作業優先度などのロット情報を表示する。作業者はそれらのデータを確認し、次に検査すべきものとして優先度の高いロット、手前にある早く処理されたロットの順序でロットを選択し、カセット１９を任意のバッファから取り出して、検査作業を実施する。検査結果は端末で確認入力され、合格であれば、ストッカ１に入庫し、不合格であれば別の保管庫に入れる。
【００１５】
従って、検査作業のために作業者が端末からストッカ１内にあるロット検索し、選択する必要がなくなり、操作性向上の効果が期待できる。また、検査待ちのロットだけが受け渡し装置に搬送されるので、検査作業者が検査待ち以外のロットと検査待ちロットと取り違えるミスをなくすという効果も有する。
【００１６】
実施の形態２
ストッカ１がトラブルで使用できない場合には、この受け渡し装置２０をストッカの代りに使うこともできる。
すなわち、前の工程から、運ばれてきたロットのカセットを、作業者は、ストッカ１ではなくて、受け渡し装置２０の作業者側のバッファ２２ａ〜２２ｈのいずれかに置く。ここで、そのカセットのロットＩＤを、バーコードリーダ２５を使って受け渡し装置２０に入力する。受け渡し装置２０は、ロットＩＤを仕掛かり管理コンピュータ１０に通知することにより、対応する工程ＩＤなどのロット情報を仕掛かり管理コンピュータ１０から受信して、例えば、図６に示すように表示器２４に表示する。作業者の確認キー押下により、受け渡し装置２０は、そのカセットをスライドテーブル２３で工程内自動搬送車５側のバッファ上に移動させ、同時にそのロットＩＤの搬出要求を仕掛かり管理コンピュータ１０に通知する。仕掛かり管理コンピュータ１０は、そのロットについて、次の工程処理のための搬送先を決定し、工程内自動搬送車５へ搬送指示を通知し、工程内自動搬送車５がそのロットを目的の処理装置に搬送する。
また、全ての処理が終了したロットは、ストッカ１のトラブルを確認している仕掛かり管理コンピュータ１０の判断により、受け渡し装置２０に搬送され、先に説明したような検査工程に入る。
【００１７】
このように、ストッカ１がトラブルで停止したときでも、前工程からのロットを、受け渡し装置２０にセットすることにより、工程内自動搬送車５を利用した搬送を継続できるようになり、搬送システムの駆動率向上が期待できる。
また、受け渡し装置で、ロット情報を確認できるようにしたので、ロットの取り違えミス防止も図ることができる。
【００１８】
実施の形態３
さらに、別の搬送システムの搬送制御方法を、図７の動作フローチャートに基づいて説明する。なお、ストッカ１にある処理前の複数枚のウェハーからなるロットが、仕掛かり管理コンピュータ１０の判断と指令で、工程内自動搬送車５により、ストッカ１から処理装置７，９へ搬送され、一つの処理が終了する（Ｓ３１）までの工程は、実施の形態１と同じである。
ロットが現在位置する処理装置についての装置情報テーブルから、受け渡し装置ＩＤを読み（Ｓ３２）、受け渡し装置２０の有無を判断する（Ｓ３３）。ここで、受け渡し装置２０がないと判断すると、図９で説明したと同様の搬送制御フローに進む（Ｓ３７〜Ｓ４２）。一方、受け渡し装置ＩＤがあれば、その受け渡し装置の装置情報テーブルからロットを搬入可能なバッファがあるかどうか判断し（Ｓ３４）、バッファないときは、図９で説明したと同様の搬送制御フローに進む（Ｓ３４）。搬入可能なバッファがあるときは、そのロットの搬送先として、受け渡し装置２０の当該バッファを決定する（Ｓ３５）。これにより、工程内自動搬送車５に搬送指示が出され（Ｓ３６）、ロットが受け渡し装置２０に搬送される。その後の受け渡し装置２０の動作は、既に説明したとおりである。
【００１９】
上記各実施の形態では、半導体工場の搬送システムの例を用いて説明したが、本発明は、半導体の製造以外の処理装置と検査装置で連続処理するような製造ラインでも用いることができる。
【００２０】
【発明の効果】
本発明によれば、検査作業のために作業者が端末からストッカ内にあるロット検索し、選択する必要がなくなり、操作性向上の効果が期待できる。
また、検査待ちのロットだけが受け渡し装置に搬送されるので、検査作業者が検査待ち以外のロットと検査待ちロットと取り違えるミスをなくすという効果も有する。
また、ストッカがトラブルで停止したときでも、前工程からのロットを、受け渡し装置にセットすることにより、工程内自動搬送車を利用した搬送を継続できるようになり、搬送システムの駆動率向上が期待できる。
さらに、受け渡し装置に表示器を備え、ロット情報を確認できるようにしたので、ロットの取り違えミス防止も図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の半導体前処理工程内の搬送システムの構成図である。
【図２】本発明で使用する受け渡し装置の外観図である。
【図３】本発明で使用する受け渡し装置のブロック図である。
【図４】本発明による搬送システムの制御方法を示すフローチャートである。
【図５】受け渡し装置の表示器におけるロット情報表示画面の例示図である。
【図６】受け渡し装置の表示器におけるロットＩＤ入力画面の例示図である。
【図７】本発明による搬送システムの他の制御方法を示すフローチャートである。
【図８】仕掛かり管理コンピュータに記録される工程情報テーブルの例示図である。
【図９】仕掛かり管理コンピュータに記録される装置情報テーブルの例示図である。
【図１０】従来の搬送システムの制御方法を示すフローチャートである。
【図１１】従来の半導体前処理工程内の搬送システムの構成図である。
【符号の説明】
１  ストッカ
５  工程内自動搬送車
７  処理装置Ａ
８  検査装置
９  処理装置Ｂ
２０  受け渡し装置
２２ａ〜２２ｈ  バッファ
２３  スライドテーブル
２４  表示器
２５  バーコードリーダ
【図１】
0003774836.tif 000002
【図２】
0003774836.tif 000003
【図３】
0003774836.tif 000004
【図４】
0003774836.tif 000005
【図５】
0003774836.tif 000006
【図６】
0003774836.tif 000007
【図７】
0003774836.tif 000008
【図８】
0003774836.tif 000009
【図９】
0003774836.tif 000010
【図１０】
0003774836.tif 000011
【図１１】
0003774836.tif 000012