(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動を発生する振動子と、
前記振動子に加圧接触し、前記振動により前記振動子との間で相対運動を行う相対運動部材とを有し、
前記振動子の前記相対運動部材との接触面と、前記相対運動部材の前記振動子との接触面のうち少なくとも一方は、表面が研磨加工によって形成されて、前記研磨加工を行った結果生じる複数の筋状の傷を有し、前記傷は方向が不規則に分布し、かつ中心線平均粗さが、０．０５μｍ以上１．０μｍ以下であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載の振動アクチュエータにおいて、
前記弾性体は、形状が略直方体状であることを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１から請求項２記載の振動アクチュエータにおいて、
前記振動は、振動のモードが異なる二つの振動であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から請求項３記載の振動アクチュエータにおいて、
前記振動は、縦振動及び屈曲振動であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項５】
請求項４記載の振動アクチュエータにおいて、
前記縦振動の振動方向は、前記相対運動の運動方向と平行な方向であり、前記屈曲振動の振動方向は、前記縦振動の振動方向と交差する方向であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１記載の振動アクチュエータにおいて、
前記振動子は円筒型であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から請求項６記載の振動アクチュエータにおいて、
前記振動は超音波の振動域を利用していること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項８】
振動を発生する振動子と、
前記振動子に加圧接触し、前記振動により前記振動子との間で相対運動を行う相対運動部材とを有し、
前記振動子の前記相対運動部材との接触面と、前記相対運動部材の前記振動子との接触面のうち少なくとも一方は、表面が研磨加工によって形成されて、前記研磨加工を行った結果生じる複数の筋状の傷を有し、前記傷は形状が不規則な円弧状に形成され、かつ中心線平均粗さが、０．０５μｍ以上１．０μｍ以下であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項９】
請求項８記載の振動アクチュエータにおいて、
前記弾性体は、形状が略直方体状であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項８から請求項９記載の振動アクチュエータにおいて、
前記振動は、振動のモードが異なる二つの振動であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１１】
請求項８から請求項１０記載の振動アクチュエータにおいて、
前記振動は、縦振動及び屈曲振動であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１１記載の振動アクチュエータにおいて、
前記縦振動の振動方向は、前記相対運動の運動方向と平行な方向であり、前記屈曲振動の振動方向は、前記縦振動の振動方向と交差する方向であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１３】
請求項１記載の振動アクチュエータにおいて、
前記振動子は円筒型であること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１４】
請求項１から請求項６記載の振動アクチュエータにおいて、
前記振動は超音波の振動域を利用していること
を特徴とする振動アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動アクチュエータに関し、より具体的には、電気機械変換素子により弾性体を励振し、複数の振動を調和的に発生させることにより弾性体の表面に楕円運動を生じさせ、弾性体に加圧接触する相対運動部材との間で相対運動を発生する振動アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
弾性体に少なくとも２つの電気機械変換素子を接合し、これらの電気機械変換素子にそれぞれ駆動信号である交流電圧を印加することにより、弾性体に複数の振動を調和的に発生させて、弾性体の表面に楕円運動を発生させる振動アクチュエータが知られている。
このような振動アクチュエータとしては、「光ピックアップ移動を目的とした圧電リニア・モータ」（富川義朗氏他：第５回電磁力関連のダイナミックシンポジウム講演論文集）により、その構成及び負荷特性が詳細に説明されている。
【０００３】
図４は、このような振動アクチュエータ１の構成を示す説明図であって、図４（ａ）は上面図，図４（ｂ）は正面図，図４（ｃ）は右側面図，図４（ｄ）は底面図である。図４（ｄ）においては、摩擦材５ａ，５ｂは一部を取り除いた状態で示す。
この振動アクチュエータ１は、略直方体状であって一方の平面に突起状に駆動力取出部２ａ，２ｂが形成された弾性体２（ステンレス鋼，アルミ合金等の金属材料又はプラスチック材料等の弾性材料により構成される。）と、駆動力取出部２ａ，２ｂを介して図示しない加圧機構により弾性体１に加圧接触する相対運動部材３とにより構成される。駆動力取出部２ａ，２ｂは、後述するように、弾性体２に発生する４次の屈曲振動の腹位置の２か所に形成される。
【０００４】
弾性体２の他方の平面には、矩形薄板状の電気機械変換素子である圧電体４ａ，４ｂ，４ｐ，４ｐ’が装着される。
圧電体４ａ，４ｂは駆動用の圧電体である。圧電体４ａ，４ｂには電気的に位相が９０°異なる交流電圧が印加される。
圧電体４ｐ，４ｐ’は、弾性体２に発生する振動状態を検出するための機械電気変換素子である圧電体である。
これらの圧電体４ａ，４ｂ，４ｐ，４ｐ’には図示しないリード線が半田付けされており、各リード線は同じく図示しない制御回路に接続される。
【０００５】
圧電体４ａ，４ｂにそれぞれ図示しない駆動電圧発生装置から駆動信号である交流電圧を印加することにより、弾性体２に１次の縦振動及び４次の屈曲振動が調和的に発生する。
発生した縦振動及び屈曲振動は合成されて、駆動力取出部２ａ，２ｂの端面に弾性体長手方向に関する楕円状変位を発生する。
楕円状変位は、駆動力取出部２ａ，２ｂを介して弾性体２に加圧接触する相対運動部材３に対して相対運動を生じる。
この相対運動を外部に取り出して推力として利用する。
【０００６】
このような振動アクチュエータ１では、１次の縦振動及び４次の屈曲振動それぞれの固有振動数は、互いに非常に近い値又は同じ値になるように設計される。そのため、圧電体４ａ，４ｂそれぞれに、２つの固有振動数に近い周波数の交流電圧を印加することにより、１次の縦振動及び４次の屈曲振動を調和的に発生させることができる。
【０００７】
ここで、突起状に形成された駆動力取出部２ａ，２ｂの端面は、弾性体２との駆動面であるため、その全面に、相対運動部材３との駆動抵抗を低減するための摩擦材５ａ，５ｂが貼り付けられる。
摩擦材５ａ，５ｂは、樹脂材や金属材等からなるシート材を、例えばエポキシ樹脂系接着剤により駆動力取出部２ａ，２ｂの端面に接着することにより、形成される。なお、摩擦材５ａ，５ｂの素材としては、有機材料（ポリエーテルニトリル等）や無機材料（無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層等）を用いることも可能である。
【０００８】
一方、摩擦材５ａ，５ｂが接触する相手材である相対運動部材３の表面は、これまで、鏡面ラップ加工を行うことにより平滑な金属面（中心線平均粗さＲａが０．０１μｍ以下）に仕上げていた。これは、弾性体２と相対運動部材３との接触状態を安定させて振動アクチュエータ１の駆動効率を高めるためには、接触面の平滑度ができるだけ高くして均一な接触を保つことが有利であると考えられていたからである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
一般的に、振動アクチュエータ１では、弾性体２，相対運動部材３それぞれの接触面の摩擦係数μが高いと、駆動力を上げることができる。
しかし、弾性体２及び相対運動部材３の間にある摩擦材５ａ，５ｂの耐摩耗性が高いと、弾性体２や相対運動部材３は、通常、鉄系，ステンレス鋼系ないしはアルミニウム合金系等の弾性率の大きな材料により構成されているため、それぞれの接触面を摩滅させてしまう。
このため、駆動初期における制御が困難となり、また、摩耗粉が発生するためその使用場所が著しく限定されてしまう。さらに、それぞれの接触面における摩滅により発生する凹凸がさらに摩耗を促進し、振動アクチュエータ１の寿命を極めて短くしてしまう。
【００１０】
また、振動アクチュエータ１の特徴の一つとして静粛性があるが、本発明者らの検討によれば、相対運動部材３の表面に鏡面ラップ加工を行うと、滑り音が発生することがあった。これは、振動アクチュエータ１の静粛性を損なう重要な課題である。
鏡面ラップ加工を行う代わりに切削加工を行うことも考えられる。しかし、本発明者らの検討によれば、切削加工では表面に大きなうねり成分が残存して平滑度が不足するため、摩擦材の接触状態が不安定になり相対運動部材３の駆動が不安定になってしまう。
【００１１】
さらに、振動アクチュエータ１の駆動に伴って摩擦材５ａ，５ｂが摩耗する。そのため、切削加工を行った接触面ではその表面に摩耗粉が堆積し、振動アクチュエータの駆動が停止したり、一時停止後の再起動が困難になってしまう。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意研究を行った結果、弾性体及び相対運動部材それぞれの接触面の一方に、中心線平均粗さが最大となる方向に関する中心線平均粗さＲａが０．０５μｍ以上１．０μｍ以下であって、相対運動方向に垂直でない方向を主成分とする研磨条痕を形成することにより、長寿命で、極めて摩耗量が少なく、摩耗粉の堆積・移着に伴う振動アクチュエータの異常停止が発生せず、騒音が発生せず、駆動力が大きく、安定した駆動を行う振動アクチュエータが得られることを、新規に知見した。本発明者らは、この知見に基づいてさらに検討を重ねた結果、本発明を完成した。
【００１４】
請求項１の発明は、振動を発生する振動子と、前記振動子に加圧接触し、前記振動により前記振動子との間で相対運動を行う相対運動部材とを有し、前記振動子の前記相対運動部材との接触面と、前記相対運動部材の前記振動子との接触面のうち少なくとも一方は、表面が研磨加工によって形成されて、前記研磨加工を行った結果生じる複数の筋状の傷を有し、前記傷は方向が不規則に分布し、かつ中心線平均粗さが、０．０５μｍ以上１．０μｍ以下であることを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載された振動アクチュエータにおいて、前記弾性体は、形状が略直方体状であることを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１から請求項２に記載された振動アクチュエータにおいて、前記振動は、振動のモードが異なる二つの振動であることを特徴とする。
請求項４の発明は、請求項１から請求項３に記載された振動アクチュエータにおいて、前記振動は、縦振動及び屈曲振動であることを特徴とする。
請求項５の発明は、請求項４に記載された振動アクチュエータにおいて、前記縦振動の振動方向は、前記相対運動の運動方向と平行な方向であり、前記屈曲振動の振動方向は、前記縦振動の振動方向と交差する方向であることを特徴とする。
請求項６の発明は、請求項１に記載された振動アクチュエータにおいて、前記振動子は円筒型であることを特徴とする。
請求項７の発明は、請求項１から請求項６に記載された振動アクチュエータにおいて、前記振動は超音波の振動域を利用していることを特徴とする。
【００１５】
請求項８の発明は、振動を発生する振動子と、前記振動子に加圧接触し、前記振動により前記振動子との間で相対運動を行う相対運動部材とを有し、前記振動子の前記相対運動部材との接触面と、前記相対運動部材の前記振動子との接触面のうち少なくとも一方は、表面が研磨加工によって形成されて、前記研磨加工を行った結果生じる複数の筋状の傷を有し、前記傷は形状が不規則な円弧状に形
成され、かつ中心線平均粗さが、０．０５μｍ以上１．０μｍ以下であることを特徴とする。
請求項９の発明は、請求項８に記載された振動アクチュエータにおいて、前記弾性体は、形状が略直方体状であることを特徴とする。
請求項１０の発明は、請求項８から請求項９に記載された振動アクチュエータにおいて、前記振動は、振動のモードが異なる二つの振動であることを特徴とする。
請求項１１の発明は、請求項８から請求項１０に記載された振動アクチュエータにおいて、前記振動は、縦振動及び屈曲振動であることを特徴とする。
請求項１２の発明は、請求項１１に記載された振動アクチュエータにおいて、前記縦振動の振動方向は、前記相対運動の運動方向と平行な方向であり、前記屈曲振動の振動方向は、前記縦振動の振動方向と交差する方向であることを特徴とする。
請求項１３の発明は、請求項８から請求項１２に記載された振動アクチュエータにおいて、前記振動子は円筒型であることを特徴とする。
請求項１４の発明は、請求項８から請求項１３に記載された振動アクチュエータにおいて、前記振動は超音波の振動域を利用していることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、以降の各実施形態の説明は、振動アクチュエータとして超音波の振動域を利用する超音波アクチュエータを例にとって、行う。
図１は、第１実施形態の超音波アクチュエータ１１の説明図である。図１（ａ）は振動アクチュエータ１１の正面図である。図１（ｂ）は振動アクチュエータ１１の側面図である。図１（ｃ）は相対運動部材３の弾性体２との接触面３ａの４態様を示す拡大図である。
なお、本実施形態の超音波アクチュエータ１１が図４に示す振動アクチュエータ１と相違するのは，摩擦材５ａ〜５ｄの装着位置と相対運動部材３の接触面３ａの状態だけである。
【００１７】
本実施形態において、摩擦材５ａ〜５ｄを弾性体２の幅方向全面でなく、幅方向両端部側にだけ形成したのは、弾性体２の幅方向について振幅が両端部側と中心部側とで大きく異なるためである。そのため、振幅の差が極めて少ない両端部側にだけ摩擦材５ａ〜５ｄを設置した。
なお、本実施形態では、公知の摩擦材として、ＰＴＦＥをマトリックスとする樹脂にガラス繊維及び二流化モリブデンを混入した材料（商品名：ポリフロン；ダイキン工業（株））を用いた。
そこで、本実施形態の説明では、相対運動部材３の接触面３ａの説明だけを行うこととし、図４に示す振動アクチュエータ１と同一の部分は同一の図中符号を付すことにより、重複する説明を省略する。
【００１８】
本実施形態では、相対運動部材３の弾性体２との接触面３ａに、相対運動の方向に対して垂直でない方向を主成分とする研磨条痕が存在する。このような研磨条痕は、相対運動部材３の接触面３ａを、例えば砥粒等により研磨加工する過程で現れる条痕である。
図１（ｃ）には、不規則方向研磨条痕７，斜目研磨条痕８，不規則円弧状研磨条痕９，縦目研磨条痕１０を示すが、これらはいずれも本発明における研磨条痕に包含される。すなわち、研磨条痕が相対運動の方向に対して垂直でない方向を主成分とするものである。
【００１９】
研磨条痕が相対運動の方向に対して垂直な方向を主成分とすると、この研磨条痕に摩耗粉が堆積し、超音波アクチュエータ１１が早期に異常停止してしまう。これに対し、本実施形態によれば、研磨条痕は、相対運動方向に対して垂直でない方向に形成されるため、摩耗粉が研磨条痕に一旦堆積しても次々に発生する摩耗粉により、堆積した摩耗粉が押し出される。そのため、摩擦材５ａ〜５ｄとの接触部には摩耗粉は堆積しない。したがって、摩耗粉の堆積に起因する異常停止が解消される。
なお、弾性体２に対して相対運動部材３が往復移動するような場合には、縦目研磨条痕１０では、往復部に摩耗粉が堆積し、比較的早期に異常停止する可能性がある。このような場合には不規則方向研磨条痕７，斜目研磨条痕８又は不規則円弧状研磨条痕９を形成することが望ましい。
【００２０】
本実施形態における研磨条痕が形成された接触面３ａの中心線平均粗さＲａが最大となる方向に関する中心線線平均粗さＲａは、０．０５μｍ以上１．０μｍ以下が望ましい。中心線平均粗さＲａが０．０５μｍ未満になると滑り音が発生し易くなる。一方、中心線平均粗さＲａが１．０μｍ超になると、摩擦材５ａ〜５ｄの接触状態が不安定になり相対運動部材３の駆動が不安定になり易い。
【００２１】
このように、本実施形態の超音波アクチュエータ１１によれば、
▲１▼  駆動時に摩擦材５ａ〜５ｄ及び接触面３ａが摩滅することにより発生する摩耗量が少なく、長時間安定した性能を維持できること、
▲２▼  摩擦材５ａ〜５ｄの相対運動部材３に対する捕捉力が向上し、駆動力が増加すること、
▲３▼  駆動時に摩擦材５ａ〜５ｄからの滑り音が発生しないこと、
▲４▼  長期間にわたって安定して駆動されること、及び
▲５▼  摩耗粉の堆積による異常停止の発生が顕著に抑制されること
という効果が得られる。
【００２２】
（第２実施形態）
図２は、第２実施形態の超音波アクチュエータ１１−１の説明図であって、図２（ａ）は上面図，図２（ｂ）は正面図，図２（ｃ）は側面図，図２（ｄ）は底面図である。
本実施形態の超音波アクチュエータ１１−１が第１実施形態の超音波アクチュエータ１１と相違するのは、摩擦材の装着位置である。
本実施形態では、駆動力取出部２ａ，２ｂの底面のうち、弾性体幅方向の中心位置に略正方形の摩擦材５ａ，５ｂを貼り付けた。この位置に摩擦材５ａ，５ｂを貼り付けることにより、弾性体２と摩擦材５ａ，５ｂとの加圧状態が安定する。
【００２３】
【実施例】
（第１実施例）
さらに、本発明を実施例を参照しながら詳細に説明する。
図１において、弾性体２としてステンレス鋼材（ＳＵＳ３０４）を選び、図示する形状を製作した後、ポリフロン（ガラス繊維：１５ｗｔ％，二硫化モリブデン：５ｗｔ％含有ＰＴＦＥ；ダイキン工業（株））を用いて摩擦材５ａ〜５ｄを所定の形状に作成した。
摩擦材５ａ〜５ｄの弾性体２の駆動力取出部２ａ，２ｂへの装着は、エポキシ系接着剤を用いて行った。
【００２４】
一方、相対運動部材３としては、ステンレス鋼材（ＳＵＳ３０４）の表面に、ハイプレスプレート銅盤（日本エンギス社；旧名称ケメット銅）とダイヤ９μｍ砥粒を用いて、ランダムに多方向に研磨することにより、不規則方向研磨条痕を形成したものを用いた。
【００２５】
このように構成された超音波アクチュエータ１１を、圧電体４ａ，４ｂに駆動電圧を印加して振動を発生させて駆動させたところ、以下に列記する５項目が満足された。
（１）駆動時に摩擦材５ａ，５ｂ及び接触面３ａが摩擦することにより発生する摩耗量が極めて少なく、長時間安定した性能を維持できること。
（２）摩擦材５ａ，５ｂの接触面３ａに対する捕捉力が向上し、駆動力が増加すること。
（３）駆動時に摩擦材５ａ，５ｂから滑り音が発生しないこと。
（４）駆動が長期間にわたって安定すること。
（５）摩耗粉の堆積による異常停止が発生しないこと。
以上の結果から、本実施例の超音波アクチュエータ１１は、実用上の問題が全くなく、十分な実用性を備えることが確認された。
【００２６】
（第２実施例）
第１実施例と全く同様に構成された弾性体２に対し、図３に示す８種類の接触面を有する相対運動部材３を組み合わせて、性能評価を行った。
▲１▼  不規則方向研磨条痕（中心線平均粗さＲａ＝０．０９μｍ、ハイプレスプレート銅盤＋ダイヤ砥粒９μｍ）
▲２▼  斜目研磨条痕（中心線平均粗さＲａ＝０．０９μｍ、ハイプレスプレート銅盤＋ダイヤ砥粒９μｍ）
▲３▼  不規則円弧状研磨条痕（中心線平均粗さＲａ＝０．０９μｍ、ハイプレスプレート銅盤＋ダイヤ砥粒９μｍ）
▲４▼  縦目研磨条痕（中心線平均粗さＲａ＝０．０９μｍ、ハイプレスプレート銅盤＋ダイヤ砥粒９μｍ）
▲５▼  横目研磨条痕（中心線平均粗さＲａ＝０．０９μｍ、ハイプレスプレート銅盤＋ダイヤ砥粒９μｍ）
▲６▼  砂かけラップ（中心線平均粗さＲａ＝０．０９μｍ、鋳鉄錠盤及び砂砥粒（約９μｍ）使用）
▲７▼  鏡面ラップ（中心線平均粗さＲａ＝０．０１μｍ、ハイプレスプレート銅盤及びダイヤ砥粒（１／４μｍ）使用）
▲８▼  切削仕上げ（中心線平均粗さＲａ＝０．５μｍ、フライス盤使用）
このようにして得られた８種の超音波アクチュエータについて、下記の試験条件で、圧電体に駆動電圧を印加することにより振動を発生させ、駆動面（レール表面）上にて駆動させ、連続駆動を行った。そして、連続駆動開始から摩耗粉堆積による停止発生までに要する時間を測定した。結果を表１にまとめて示す。
【００２７】
〔試験条件〕
接触面圧：３０g/平方ミリメートル
駆動速度：２０００cm/min
駆動時間：１０００hr
【００２８】
【表１】
0003744111.tif 000002
【００２９】
▲１▼不規則方向研磨条痕，▲２▼斜目研磨条痕，▲３▼不規則円弧状研磨条痕及び▲４▼縦目研磨条痕では、駆動時間が１０００時間に達しても摩耗粉の堆積に起因する異常停止は発生しなかった。
これに対し、▲５▼横目研磨条痕では、条痕に摩耗粉が堆積し、５２３時間経過時点で異常停止が発生した。
▲６▼砂かけラップでは、駆動開始直後から摩耗粉の目詰まりが発生し、１５時間経過時点で異常停止が発生した。
▲７▼鏡面ラップでは、モータ折返し地点に摩耗粉が堆積して障害物となり、３０時間で異常停止が発生した。
さらに、▲８▼切削では、その中心線平均粗さＲａが弾性体の駆動力取出部において発生している楕円運動の振幅よりも過剰に大きいため、駆動することができなかった。
【００３０】
表１に示す結果から、本発明例である▲１▼不規則方向研磨条痕〜▲４▼縦目研磨条痕と、▲５▼横目研磨条痕とが、連続駆動時間の目標値である５００時間を越えることがわかる。
そこで、▲１▼不規則方向研磨条痕〜▲５▼横目研磨条痕について、２５０時間経過時点における摩擦材厚さ（μｍ），無負荷時速度（mm/sec）及び駆動力（gf）を測定した。結果を表２にまとめて示す。
【００３１】
【表２】
0003744111.tif 000003
【００３２】
表２から、本発明例である▲１▼不規則方向研磨条痕〜▲４▼縦目研磨条痕は、２５０時間経過時点における摩擦材厚さ（μｍ），無負荷時速度（mm/sec）及び駆動力（gf）がいずれも目標値を越えており、十分に実用に供することができる。
これに対し、▲５▼横目研磨条痕は、２５０時間経過時点における駆動力（gf）が、発生した摩耗粉の目詰まりにより著しく低下しており、超音波アクチュエータとしては妥当でないことがわかる。
【００３３】
（第３実施例）
第１実施例及び第２実施例と全く同様に構成された弾性体２に対し、表３に示す各種の加工方法により▲１▼不規則方向研磨条痕を形成された相対運動部材３を組み合わせて、性能評価（１０時間経過後の駆動力（gf）の測定）を行った。試験条件及び試験結果を表３にまとめて示す。尚、試料Ｂ−１及びＢ−２の加工にはハイプレスプレート錫盤（日本エンギス社；旧名称ケメット錫）を用いた。
【００３４】
【表３】
0003744111.tif 000004
【００３５】
表３から分かるように、いずれも各試料は１０時間経過後の駆動力（gf）が目標値を越えており、実用性を有するが、特に中心線平均粗さＲａが０．０５μｍ以上の範囲にある試料Ｂ−２，Ｃ−１，及びＣ−２が１０時間経過後の駆動力（gf）の低下量が少なく極めて望ましいことがわかる。
【００３６】
（第４実施例）
第１実施例から第３実施例と全く同様に構成された弾性体２に対し、表４に示す中心線平均粗さの▲４▼縦目研磨条痕で加工された相対運動部材を組み合わせて、性能評価（２０分経過後の起動推力（gf）及び無負荷時速度（mm/sec. ）の測定）を行った。試験条件及び試験結果を表４にまとめて示す。
【００３７】
【表４】
0003744111.tif 000005
【００３８】
表４から分かるように、本発明の範囲内である中心線平均粗さが０．０５μｍから１．００μｍの各試料は、２０分経過後もいずれも高い起動推力と無負荷時速度を保っている。これに対し、本発明の範囲外である中心線平均粗さが０. ０４μｍの試料及び１．１０μｍの試料は、２０分経過後の駆動推力及び無負荷時速度が著しく低下している。以上の結果より中心線平均粗さは０．０５μｍから１．００μｍが望ましい。
【００３９】
（第５実施例）
第１実施例から第４実施例と全く同様に構成された弾性体２に対し、表５に示す中心線平均粗さの▲１▼不規則方向研磨条痕で加工された相対運動部材を組み合わせて、性能評価（２０分経過後の起動推力（gf）及び無負荷時速度（mm/sec. ）の測定）を行った。試験条件及び試験結果を表５にまとめて示す。
【００４０】
【表５】
0003744111.tif 000006
【００４１】
表５から分かるように、本発明の範囲内である中心線平均粗さが０．０５μｍから１．００μｍの各試料は、２０分経過後もいずれも高い起動推力と無負荷時速度を保っている。これに対し、本発明の範囲外である中心線平均粗さが０. ０４μｍの試料及び１．１０μｍの試料は、２０分経過後の駆動推力及び無負荷時速度が著しく低下している。以上の結果より中心線平均粗さは０．０５μｍから１．００μｍが望ましい。
【００４２】
（第６実施例）
第１実施例から第５実施例と全く同様に構成された弾性体２に対し、表６に示す中心線平均粗さの▲３▼不規則円弧状研磨条痕で加工された相対運動部材を組み合わせて、性能評価（２０分経過後の起動推力（gf）及び無負荷時速度（mm/sec. ）の測定）を行った。試験条件及び試験結果を表６にまとめて示す。
【００４３】
【表６】
0003744111.tif 000007
【００４４】
表６から分かるように、本発明の範囲内である中心線平均粗さが０．０５μｍから１．００μｍの各試料は、２０分経過後もいずれも高い起動推力と無負荷時速度を保っている。これに対し、本発明の範囲外である中心線平均粗さが０. ０４μｍの試料及び１．１０μｍの試料は、２０分経過後の駆動推力及び無負荷時速度が著しく低下している。以上の結果より中心線平均粗さは０．０５μｍから１．００μｍが望ましい。
【００４５】
（変形形態）
上述した各実施形態及び各実施例では、弾性体に樹脂製の摩擦材を接合するとともに相対運動部材の接触面に研磨条痕を形成するようにしたが、本発明にかかる振動アクチュエータはこのような態様に限定されるものではなく、相対運動部材に摩擦材を接合するとともに弾性体の接触面に研磨条痕を形成するようにしてもよい。
また、各実施形態及び各実施例では、略直方体状の弾性体を用いたが、本発明はこのような態様に限定されるものでなく、例えば、円筒型や角棒型等の種々の形態の弾性体に対して適用することが可能である。同様に、相対運動部材についても形状的な限定は何等必要でない。
【００４６】
また、各実施形態及び各実施例では、電気機械変換素子として圧電体を用いたが、本発明にかかる振動アクチュエータはこのような態様に限定されるものでなく、電気エネルギーを機械的変位に変換することができるものであれば、等しく適用することが可能である。例えば、圧電体以外に電歪素子を例示することができる。
さらに、各実施形態及び各実施例では、振動アクチュエータとして超音波の振動域を利用した超音波アクチュエータを例にとったが、本発明にかかる振動アクチュエータはこのような態様に限定されるものではなく、他の振動域を利用する振動アクチュエータについて等しく適用することが可能である。
【００４７】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、弾性体及び相対運動部材それぞれの接触面の一方に、請求項１、請求項９又は請求項１５のような傷を形成することで、長寿命で、極めて摩耗量が少なく、摩耗粉の移着に伴う振動アクチュエータの異常停止が発生せず、騒音が発生せず、駆動力が大きく、安定した駆動を行う振動アクチュエータを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の超音波アクチュエータの説明図であり、図１（ａ）は正面図，図１（ｂ）は側面図，図１（ｃ）は相対運動部材の弾性体との接触面の４態様を示す拡大図である。
【図２】第２実施形態の超音波アクチュエータの説明図であって、図２（ａ）は上面図，図２（ｂ）は正面図，図２（ｃ）は側面図，図２（ｄ）は底面図である。
【図３】第２実施例で試料として用いた８種類の相対運動部材それぞれの表面状態を示す説明図である。
【図４】従来の振動アクチュエータの構成を示す説明図であって、図４（ａ）は上面図，図４（ｂ）は正面図，図４（ｃ）は右側面図，図４（ｄ）は底面図である。
【符号の説明】
２  弾性体
２ａ，２ｂ  駆動力取出部
３  相対運動部材
３ａ  接触面
４ａ，４ｂ  駆動用圧電体（電気機械変換素子）
４ｐ，４ｐ’  振動モニタ用圧電体
５ａ〜５ｄ  摩擦材
７  不規則方向研磨条痕（研磨条痕）
８  斜目研磨条痕（研磨条痕）
９  不規則円弧状研磨条痕（研磨条痕）
１０  縦目研磨条痕（研磨条痕）
１１  超音波アクチュエータ（振動アクチュエータ）
【図１】
0003744111.tif 000008
【図２】
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【図３】
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【図４】
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