(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するノズルと、そのノズルに連通する圧力発生室と、その圧力発生室へインクタンクからのインクを供給する共通インク室と、前記圧力発生室と前記共通インク室との間に位置し、複数の微細穴からなるリストリクタと、前記圧力発生室の一壁面を成す振動板と、その振動板に当接して前記圧力発生室を加圧する圧電素子とを有するインクジェットヘッドにおいて、
前記リストリクタは前記振動板の板面と対向してほぼ平行に設置される薄板に複数の微細穴が形成されたものであって、かつ前記微細穴の形成領域の平面積が前記振動板の平面積に対し３０％以上であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記ノズルにおけるイナータンスをＭｎ、流体抵抗をＲｎ、リストリクタ部におけるイナータンスをＭｒ、流体抵抗をＲｒとした場合において、ａ＝Ｍｒ／Ｍｎ、ｂ＝Ｒｒ／Ｒｎとした場合に、ａを０．５＜ａ＜２．０、ｂを４．０＜ｂ＜１６．０の範囲とするリストリクタの個数Ｎの最大値をｎ、最小値をｎ’とした場合に、ｎ／ｎ’＝２〜３とすることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記リストリクタを構成する部材が、共通インク室と、圧力発生室の一面を兼ねることを特徴とする請求項１または２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、フィルム状の感光性樹脂を積層して構成したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、金属製の薄板を積層して構成したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、シリコンや水晶などの単結晶材料をエッチングして一体成形したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
インクを吐出するノズルと、そのノズルに連通する圧力発生室と、その圧力発生室へインクタンクからのインクを供給する共通インク室と、前記圧力発生室と前記共通インク室との間に位置し、複数の微細穴からなるリストリクタと、前記圧力発生室の一壁面を成す振動板と、その振動板に当接して前記圧力発生室を加圧する圧電素子とを有するインクジェットヘッドを用いたインクジェット記録装置において、
前記リストリクタは前記振動板の板面と対向してほぼ平行に設置される薄板に複数の微細穴が形成されたものであって、かつ前記微細穴の形成領域の平面積が前記振動板の平面積に対し３０％以上であることを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項８】
前記ノズルにおけるイナータンスをＭｎ、流体抵抗をＲｎ、リストリクタ部におけるイナータンスをＭｒ、流体抵抗をＲｒとした場合において、ａ＝Ｍｒ／Ｍｎ、ｂ＝Ｒｒ／Ｒｎとした場合に、ａを０．５＜ａ＜２．０、ｂを４．０＜ｂ＜１６．０の範囲とするリストリクタの個数Ｎの最大値をｎ、最小値をｎ’とした場合に、ｎ／ｎ’＝２〜３とすることを特徴とする請求項７記載のインクジェット記録装置。
【請求項９】
前記リストリクタを構成する部材が、共通インク室と、圧力発生室の一面を兼ねることを特徴とする請求項７または８記載のインクジェット記録装置。
【請求項１０】
前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、フィルム状の感光性樹脂を積層して構成したことを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、金属製の薄板を積層して構成したことを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１２】
前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、シリコンや水晶などの単結晶材料をエッチングして一体成形したことを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ノズルからインク滴を吐出して記録媒体に文字等の記録像を書き込むインクジェット式記録ヘッドおよびこれを用いた記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェット式記録装置は、ノズル開口部からインク滴を吐出させて紙などの記録媒体に文字や画像を印刷するものである。近年、より高速、高品質な印字を行うインクジェット式印刷装置が求められている。そのような印刷装置を実現するには、実装密度の向上や高周波駆動可能なインクジェットヘッドを必要とする。高周波駆動可能なヘッドを構成する技術は種々提案されている。例えば、ヘッド寸法等によって定義されるヘルムホルツ周波数を大きくして、ヘッドを構成する技術などが提案されている。
【０００３】
また、特開平０８−２９０５７１号公報に、ノズル開口部とインクが供給されるリストリクタ部、其々のイナータンスの関係を規定することで高周波駆動可能な方法が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、単にイナータンスのみの関係を維持するだけでは、例えば、インク室を膨張収縮させてインク滴を吐出させる場合の駆動波形において、膨張或いは収縮させる工程の時間が短い場合などにインク室の膨張工程後の慣性によるインクの流入が遅れたりして、最悪の場合、吐出不良を引き起こす。また、インクの流入を確保するために膨張保持する時間を長くすると、駆動波形全体が長くなり、周波数応答時間に限界が生じてしまう。
【０００５】
また、インクを高周波で吐出する際に、インク滴の飛翔速度が大きく変動してしまっていた。これは、直前に吐出されたインク滴のメニスカスの残留振動が大きいことによるものであり、場合によっては吐出不能となることもあった。
【０００６】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは高周波でも吐出可能なインクジェットヘッドを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明では、インクを吐出するノズルと、そのノズルに連通する圧力発生室と、その圧力発生室へインクタンクからのインクを供給する共通インク室と、前記圧力発生室と前記共通インク室との間に位置し、複数の微細穴からなるリストリクタと、前記圧力発生室の一壁面を成す振動板と、その振動板に当接して前記圧力発生室を加圧する圧電素子とを有するインクジェットヘッドにおいて、前記リストリクタは前記振動板の板面と対向してほぼ平行に設置される薄板に複数の微細穴が形成されたものであって、かつ前記微細穴の形成領域の平面積が前記振動板の平面積に対し３０％以上であることを特徴とする。
【００１０】
また、前記ノズルにおけるイナータンスをＭｎ、流体抵抗をＲｎ、リストリクタ部におけるイナータンスをＭｒ、流体抵抗Ｒｒをとした場合において、ａ＝Ｍｒ／Ｍｎ、ｂ＝Ｒｒ／Ｒｎ、とした場合に、ａを：０．５＜ａ＜２．０、ｂを：４．０＜ｂ＜１６．０の範囲とするリストリクタの個数Ｎ、の最大値をｎ、最小値をｎ'とした場合に、ｎ／ｎ'＝２〜３とすることを特徴とする。
【００１１】
また、前記リストリクタを構成する部材が、共通インク室と、圧力発生室の一面とを兼ねることを特徴とする。
【００１２】
また、前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、フィルム状の感光性樹脂を積層して構成したことを特徴とする。
【００１３】
また、前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、金属製の薄板を積層して構成したことを特徴とする。
【００１４】
また、前記ノズル、圧力発生室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、シリコンや水晶などの単結晶材料をエッチングして一体形成したことを特徴とする。
【００１５】
更に、上記のインクジェットヘッドを適用した記録装置であることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図９に、一般的なシリアル方式インクジェット記録装置について説明する。
【００１７】
図９は、インクジェット記録装置の正面図であり、斜線部は断面を表す。
【００１８】
後に詳述するインクジェットヘッド１０１と、そのインクジェットヘッド１０１にインクを供給するインクカートリッジ１０２を搭載した記録ユニット１０３は、ガイドシャフト１０４に対して摺動自在に支持されると共に、動力伝達部材１０５に連結されており、駆動源６によりガイドシャフト１０４に沿って往復運動する。
【００１９】
一方、被記録物１０７はインクジェットヘッド１０１のノズル面１０８と対向し、記録ユニット１０３の移動方向に直交する方向に搬送ローラ１０９によって搬送される。被記録物１０７にはインクジェットヘッド１０１のノズル１１０より記録信号に応じてインクが噴射され、画像が形成される。
【００２０】
記録領域外に設けられた１１１は、複数のノズル１を有するノズル面１０８をキャッピングするゴムなどの弾性体からなるキャップ部材である。非記録時には、記録ユニット１０３がキャップ部材１１１の上方まで移動し、キャップ部材１１１が図示していない動力源によりノズル面１０８をキャッピングする。多くの場合、キャップ内にはインク吸引の際の吸引容易化、キャップ内雰囲気湿潤化等のため、インク吸収シート１１２が備えられている。
【００２１】
また、キャップ部材１１１には底面に２本のチューブ１１３，１１４が連結しており、チューブ１１３は大気開放弁１１５と繋がっている。チューブ１１４は吸引ポンプ１１６を介してキャップ内に負圧を供給でき、大気開放弁１１５を閉じることでインクジェットヘッド１０１内のインクを吸引し、大気開放弁１１５を開放することでキャップ内の空間１１７に溜まったインクを吸引する。吸引されたインクは、チューブ１１４の先端に設けられた排インク室１１８に排出される。
【００２２】
このような記録装置に搭載されるインクジェットヘッドについて、以下に、本発明の一例を図面に基づいて詳細に説明する。また、本例では、シリアル方式記録装置について記載しているが、ヘッドが固定されたラインヘッド方式の記録装置であっても同様に適用可能である。
【００２３】
次に、本発明の実施の形態について説明する。
【００２４】
図１は本発明の一例となるインクジェットヘッドを示す断面図であり、図２は従来技術によるインクジェットヘッドを示す断面図である。
【００２５】
図１および図２に、インクを吐出するノズル１と、インクを供給する共通インク室２とに連通する圧力発生室３と、圧力発生室３の一壁面を成す振動板４と、振動板を動かす圧電振動子５とを有し、圧力発生室３と共通インク室２との間にインク滴吐出後のメニスカスの残留振動を減衰させる為の抵抗を発生させるリストリクタ６が配設されている。なお、共通インク室へのインク流路は図示していないが、従来と同様、共通インク室の一部にインクタンクからのインクを注入可能な穴を設け、インクを充填する。
【００２６】
前記共通インク室２は、図１０中の破線で示すように、圧力発生室３のほぼ直下の領域にまで存在している。図２において、共通インク室２内にラストチャンスフィルタ７が配設され、リストリクタ６とは独立して構成されている。
【００２７】
本発明の一例の圧力発生室３は、従来技術と比較し、イナータンスＭを大きくすることなく、流体抵抗Ｒを大きく出来る特徴を有する。このような特徴が必要となる理由は次のようにして分かる。
【００２８】
高い動作周波数を達成する為には、下記式で定義されるヘルムホルツ共振周波数ｆを高くする必要がある。
ｆ＝１／２π×√｛（Ｍｎ＋Ｍｒ）／（（Ｃｃ＋Ｃｄ）（ＭｎｘＭｒ））｝…（１）
ここで、Ｃｃは圧力発生室内のインクに関するコンプライアンス、Ｃｄは圧力発生室の各壁に関するコンプライアンス、Ｍｎはノズルのイナータンス、Ｍｒはリストリクタのイナータンスである。この式から、Ｍｎ、Ｍｒが大きくなると、ｆは小さくなることが分かる。
【００２９】
一方、リストリクタの流体抵抗Ｒｎの大きい方が、インク滴吐出後のメニスカスの残留振動が小さい。これは、音響モデルにおける集中定数回路より算出される振動の時定数（≒減衰時間）は、τ＝２ｘ（Ｍ／Ｒ）で表されることからも容易に分かる。メニスカスの残留振動が大きいと、その次に吐出されるインク滴の飛翔速度等の特性が変動し、場合によっては吐出不能となる。特性変動をおさえ、吐出不能を防ぐ為には、メニスカスの残留振動が十分に減衰するまで待って、次発を吐出する必要がある。従って、高周波数駆動の為には、インク滴吐出後のメニスカスの残留振動を小さくする、ひいてはリストリクタの流体抵抗Ｒｎを大きくすることが必要となる。
【００３０】
しかし、従来技術では、流体抵抗Ｒを大きくすると、イナータンスＭも大きくなる、例えば、円筒流路の場合、直径ｄ、単位長さあたり流路のイナータンスＭと流体抵抗Ｒは次の式で表される。
Ｍ＝ρ／（π×ｄ＾２）×４／３…（２）
Ｒ＝１２８×μ／（π×ｄ＾４）…（３）
ρはインクの密度、μはインクの粘度である。式（２）、（３）から半径を小さくして流体抵抗Ｒを大きくすると、イナータンスＭも大きくなることが分かる。本発明のヘッドによれば、イナータンスＭをあまり大きくすることなく、流体抵抗Ｒを大きくすることが出来る。
【００３１】
ノズル部のイナータンスＭｎとリストリクタ部のイナータンスＭｒを、
ａ＝Ｍｒ／Ｍｎ…（４）
とし、また、ノズル部の流体抵抗Ｒｎとリストリクタ部の流体抵抗Ｒｒにおいても同様に、
ｂ＝Ｒｒ／Ｒｎ…（５）
とした場合に、実験的にａ、ｂはそれぞれ、
０．５＜ａ＜２．０…（６）
４．０＜ｂ＜１６．０…（７）
が望ましいことが分かっている。
【００３２】
ここで、定数成分をそれぞれＡ，Ｂとおけば式（２）、（３）はそれぞれ、
Ｍ＝Ａ×（１／ｄ）＾２…（８）
Ｒ＝Ｂ×（１／ｄ）＾４…（９）
と表されるから、ノズルの直径をｄｎ、リストリクタ部の直径をｄｒとすると、ノズルのイナータンスＭｎ、流体抵抗Ｒｎ、リストリクタのイナータンスＭｒ、流体抵抗Ｒｒはそれぞれ、
Ｍｎ＝Ａ×（１／ｄｎ）＾２…（１０）
Ｍｒ＝Ａ×（１／ｄｒ）＾２…（１１）
Ｒｎ＝Ｂ×（１／ｄｎ）＾４…（１２）
Ｒｒ＝Ｂ×（１／ｄｒ）＾４…（１３）
となり、
（１）、（１０）、（１２）式、（２）、（１１）、（１３）式より、それぞれ、
ａ＝（ｄｎ／ｄｒ）＾２…（１４）
ｂ＝（ｄｎ／ｄｒ）＾４…（１５）
の関係式が導かれる。
【００３３】
図３に、Ｘ軸にｄｒ、左Ｙ軸にａ、右Ｙ軸にｂをとり、一例としてｄｎを３０μｍとした場合のａ、ｂを示す。この範囲を図から（４）、（５）式の範囲を読みとると、０．５＜ａ＜２．０の範囲は２１＜ｄｒ＜３０、４．０＜ｂ＜１６．０の範囲は１５＜ｄｒ＜２１となり、（４）、（５）式を両立させるｄｒは存在しない。
【００３４】
ここで、リストリクタ数を並列に増加させた場合を図７、８に示すような等価回路に置き換えて考えると、合成抵抗Ｒは、
１／Ｒ＝１／Ｒ１＋１／Ｒ２＋１／Ｒ３＋…＋１／Ｒｎ…（１６）
で表され、
Ｒ１＝Ｒ２＝Ｒ３＝…＝Ｒｎ…（１７）
とすると、式（１６）（１７）から、
Ｒ＝Ｒｎ／ｎ…（１８）
となるから、リストリクタ数を並列に増加させた場合のＭｒ'、Ｒｒ'は、個数をＮとするとそれぞれ、
Ｍｒ'＝Ｍｒ／Ｎ…（１９）
Ｒｒ'＝Ｒｒ／Ｎ…（２０）
で表される。
（１），（１０），（１９）式、（２），（１１），（２０）式からａ，ｂは、それぞれ、
ａ＝（ｄｎ／ｄｒ）＾２／Ｎ…（２１）
ｂ＝（ｄｎ／ｄｒ）＾４／Ｎ…（２２）
の関係式が導かれる。
【００３５】
図４に、リストリクタ数を増加させた場合のａ，ｂを示す。下表１に図４から読みとった（４），（５）の成立するｄｒ範囲及び共有範囲を示す。
【００３６】
【表１】
0003821221.tif 000002
【００３７】
表からも読み取れる様に、リストリクタ数Ｎを変化させることによって任意の共有範囲を採ることが出来ることが分かる。
【００３８】
一方、インクジェットヘッドにおいては、従来から異物混入による詰まりの発生が報告されており、インク供給部のフィルタは重要視されてきた。この為、インクジェットヘッド内部にラストチャンスフィルタを設けることなどが提案されていると共に、
κ＝ｄｒ／ｄｎ…（２３）
とした場合のκは１／２以下、望ましくは１／３以下が理想とされている。
【００３９】
図５にＸ軸に個数Ｎ、左Ｙ軸にａ、右Ｙ軸にｂをとり、ｄｒをそれぞれ、１５μｍ，１０μｍ，７．５μｍとした場合のａ，ｂを示す。この場合の（４），（５）の成立する本数Ｎ範囲及び共有範囲を下表２に示す。
【００４０】
【表２】
0003821221.tif 000003
【００４１】
以上のことから、仮に本例におけるｄｎが３０μｍとした場合、ｄｒ＝７．５μｍ、Ｎ＝３０本とすることによって、式（４），（５）を共に満たすことが出来ることが分かる。更には、Ｎ＝１６でも式（４），（５）を共に満たすことが出来ることから、式（４），（５）共にを満たすことが出来るＮの最大値をｎ、最小値をｎ'とした場合、リストリクタをラストチャンスフィルタとして兼用した場合でも、Ｎ'＝ｎ−ｎ'＝３０−１６＝１４に相当するまでの範囲でのリストリクタの詰まりを許容することが出来ることが分かる。
【００４２】
つまり、リストリクタの径ｄｒを小さくすることで、共有可能なリストリクタ本数を増やすことが可能となり、フィルター機能としてより効果を発揮することが可能となる。
【００４３】
ここで、従来技術として、特許公報第２７２７１９６号では、インク加圧室の直前部分（上流側）に複数の通路口を有するインクジェット記録装置のヘッド構成が開示されているが、複数の通路口を設けられる領域は、加圧室の順方向の流路幅に限られ、その本数も４〜９本と少ない。また、インク吐出口であるノズルとの流体抵抗のバランスを考えているので、前記通路口に異物が付着するとそのバランスが早い段階で崩れてしまい、吐出不良を起こす原因となってしまう。また、加圧室を形成する流路に対し、フィルターを兼ねた通路口を配置することは容易でなく、流路形成部材と一体で形成することができないため、製造コストが大幅に増加してしまう。
【００４４】
図６に、Ｘ軸にｄｒ、Ｙ軸にリストリクタの個数Ｎをとり、ｄｎを３０μｍとした場合の、式（４），（５）を満たすａ，ｂの範囲及び共有範囲を示す。図６からも分かる様に、ａ，ｂは２乗曲線、４乗曲線となる為、ある点で交差し、ｎ／ｎ'は極大値を採り、実用範囲としてはｎ／ｎ'＝２〜３が望ましい。
【００４５】
また、本例においてはノズル、リストリクタ共に円筒流路として論じているが、矩形流路やその他の形状においても、相当直径を考えた場合は本例と同様に考えることが出来る。
【００４６】
また、本例においては、単位長さあたりの流路について論じているが、ノズルに対して、リストリクタの長さを小さくした場合も同様で、その為Ｎ、ひいてはＮ'を大きくすることが出来、より優位となる。
【００４７】
また、本例においては、リストリクタ部を薄膜構造とし、振動板と対向し圧力発生室のほぼ直下の従来デットスペースであった部分を共通インク室として利用することが出来、ヘッドの小型化が可能となると共に、ノズルの高密度実装に対しても有利である。
【００４８】
さらに、其々の振動板に対向する範囲に配設されたリストリクタの微細穴の開けられている範囲は、振動板に対向する部分に対し、全面であっても、一部であっても構わない。そして、微細穴の加工性を考えると、その微細穴の範囲は振動板に対向する範囲の３０％以上であることが望ましい。また、３０％付近から急激にリストリクタの本数に対するフィルタ機能として発揮するリストリクタの本数を増やすことができ、リストリクタの目詰まり等による不吐出に対する信頼性が向上する。
【００４９】
また、本例においては、ノズル、圧力発生室、リストリクタ、共通インク室、振動板を形成する流路形成部を、薄板を積層して形成し、その部材としてシリコンや水晶などの単結晶材料を用いて、エッチングして一体形成することで安価なヘッドを提供することができる。また、単結晶材料に替えて、フィルム状の感光性樹脂や、金属製の薄板を用いて積層して流路形成部を形成しても良い。形成方法はさまざまであるが、一例として、図に示すように複数のノズルを有するノズルプレートと、共通インク室の大部分及び圧力発生室の一部を構成する第１チャンバープレートと、リストリクタプレートと、圧力発生室の大部分および共通インク室の一部を形成する第２チャンバープレートと、振動板を形成するダイアフラムプレートと、振動板の範囲を定義するサポートプレートとを順に積層することで流路形成部が形成される。ここで、より安価に製作するために、フィルム状の感光性樹脂や、金属製の薄板、或いはシリコンや水晶などの単結晶材料を用いて、其々を組わせて形成しても良いことは、当然のことである。
【００５０】
また、本例においては、リストリクタは振動板とほぼ平行に設置したが、振動板に対し斜めであっても構わない。振動板と平行に設置することで、リストリクタの微細穴は同一の大きさで良く、更に平行である場合、積層状の板に微細穴を設ければよく、加工性及び設置性に優れる。そして、従来の振動板と垂直に設ける構成に比べ、より表面積を広くすることが可能となる。
【００５１】
また、斜めに設置した場合は、それぞれの微細穴がリストリクタのどの部分に相当するかにより、微細穴の開口大きさを段階的に変更する必要があるものの、より表面積を稼ぐことが可能となる。
【００５２】
また、図１ではリストリクタがある部分は一平面としたが、圧力発生室と共通インク室とを隔てる壁全体に微細穴を適宜設けてもよい。この場合、微細穴の大きさについて別途検討する必要があるものの、振動板と平行な面のみに微細穴を設ける場合よりも、より大きくリストリクタの表面積をとることが可能となる。
【００５３】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、振動板と対向する位置に複数の微細穴からなるインク供給口なるリストリクタと、そのリストリクタを介して、複数のノズルへインクを供給する共通インク室を設け、複数のノズルを有するノズルプレートにより封止されている構成とすることで、従来の振動板と垂直に設ける構成に比べ、より表面積を広くでき、共通インク室から圧力発生室へのインクの流入が円滑になる。
【００５４】
また、リストリクタを振動板と平行に設置することにより、積層板への微細穴加工で済み、また、従来の振動板と垂直に設ける構成に比べ、より表面積を広くすることが可能となる。
【００５５】
また、微細穴の設けられている面積は、リストリクタの全面積の３０％以上とすることにより、リストリクタ及びフィルタ機能としての性能が向上する。
【００５６】
また、リストリクタが共通インク室と圧力発生室との間の一面となることにより、新たに別部材を設ける必要がなく、安価に製造可能となる。
【００５７】
また、シリコンウェハーなどの単結晶材料をエッチングにより一体で加工することで、高精度な加工を実現できるので吐出特性の安定化及び製作コストが少なくて済み安価で信頼性の高いインクジェット記録ヘッド及び記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一例のインクジェットヘッドを示す断面図である。
【図２】  従来技術によるインクジェットヘッドを示す断面図である。
【図３】  ｄｎを３０μｍとした場合のａ、ｂのグラフである。
【図４】  リストリクタ数Ｎを増加させた場合のａ、ｂのグラフである。
【図５】  ｄｒを１５μｍ、１０μｍ、７．５μｍとした場合のａ、ｂのグラフである。
【図６】  ｄｒを変化させた場合のリストリクタ数Ｎのグラフである。
【図７】  抵抗を並列に配置した回路図である。
【図８】  図７の等価回路図である。
【図９】  本発明となるインクジェット記録装置の一例を示す。
【図１０】  図１のＡ−Ａから見た平面図である。
【符号の説明】
１はノズル、２は共通インク室、３は圧力発生室、４は振動板、５は圧電振動子、６はリストリクタ、７はラストチャンスフィルタである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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