(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法であって、
光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持し、
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、
前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域を少なくとも一部に設けた領域の間で行うと共に、
摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせること
を特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項２】
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法であって、
光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持し、
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、
前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を上辺とし、該研磨領域の両側に設けた非研磨領域を斜辺とする台形状の、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、
摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせること
を特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項３】
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法であって、
光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持し、
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、
前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を傾斜させて配設して、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、
摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせること
を特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項４】
前記傾斜させた研磨領域が平面であることを特徴とする請求項３に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項５】
前記傾斜させた研磨領域が曲面であることを特徴とする請求項３に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項６】
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法であって、
光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持し、
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、
前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を含む領域を中央が凸である三角形状に形成し、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、
摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせること
を特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項７】
前記三角形状の一方の側の斜面を研磨領域とすることを特徴とする請求項６に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項８】
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法であって、
光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持し、
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、
前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を台形の上辺と斜辺に設けて、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、
摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせること
を特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項９】
前記往復動作は、第１の摺動方向における研磨量と第２の摺動方向における研磨量が等しいように複数回繰り返すことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項１０】
前記往復動作は、直線往復動作であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項１１】
前記往復動作前において光ファイバに弾性素材をコートする前置工程を有することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項１２】
前記研磨面は、前記往復動作の方向に対して所定の有限長を有することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項１３】
前記研磨面は、前記往復動作方向の形状が往復動作の中心に対して対称であることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法。
【請求項１４】
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工装置であって、
光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持する保持手段と、
光ファイバの先端を研磨する研磨面と、
光ファイバを研磨面に接触させる接触手段と、
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域を少なくとも一部に設けた領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせるように前記保持手段および研磨面の動作を制御する往復動作手段と
を特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項１５】
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工装置であって、
光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持する保持手段と、
光ファイバの先端を研磨する研磨面と、
光ファイバを研磨面に接触させる接触手段と、
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を上辺とし、該研磨領域の両側に設けた非研磨領域を斜辺とする台形状の、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせるように前記保持手段および研磨面の動作を制御する往復動作手段と
を特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項１６】
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工装置であって、
光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持手段と、
光ファイバの先端を研磨する研磨面と、
光ファイバを研磨面に接触させる接触手段と、
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を傾斜させて配設して、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせるように前記保持手段および研磨面の動作を制御する往復動作手段と
を特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項１７】
前記傾斜させた研磨領域が平面であることを特徴とする請求項１６に記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項１８】
前記傾斜させた研磨領域が曲面であることを特徴とする請求項１６に記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項１９】
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工装置であって、
光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持手段と、
光ファイバの先端を研磨する研磨面と、
光ファイバを研磨面に接触させる接触手段と、
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を含む領域を中央が凸である三角形状に形成し、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせるように前記保持手段および研磨面の動作を制御する往復動作手段と
を特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項２０】
前記三角形状の一方の側の斜面を研磨領域とすることを特徴とする請求項１９記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項２１】
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工装置であって、
光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持手段と、
光ファイバの先端を研磨する研磨面と、
光ファイバを研磨面に接触させる接触手段と、
光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、
前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を台形の上辺と斜辺に設けて、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、
摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせるように前記保持手段および研磨面の動作を制御する往復動作手段と
を特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項２２】
前記往復動作手段は、第１の摺動方向における研磨量と第２の摺動方向における研磨量が等しいように往復動作を複数回繰り返すように構成されていることを特徴とする請求項１４乃至２１のいずれか１項に記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項２３】
前記往復動作は、直線往復動作であることを特徴とする請求項１４乃至２２のいずれか１項に記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項２４】
前記光ファイバは、弾性素材をコートされたものであることを特徴とする請求項１４乃至２３のいずれか１項に記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項２５】
前記研磨面は、前記往復動作の方向に対して所定の有限長を有することを特徴とする請求項１４乃至２４のいずれか１項に記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【請求項２６】
前記研磨面は、前記往復動作方向の形状が往復動作の中心に対して対称であることを特徴とする請求項１４乃至２５のいずれか１項に記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバの先端を研磨して、この先端に例えば所定の半径を持ったシリンドリカルレンズ機能を有する楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法および加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
楔形レンズ光ファイバは、図６に示すように、光ファイバ１の先端を両面から斜めにカットして楔形に形成したテーパ面１１を有し、このテーパ面１１の重なった楔形の先端の楔稜線１２にＲが付けられたシリンドリカルレンズの機能を備えている。また、この楔稜線１２の中心にはファイバコア１３の端面が露出している。このように先端が構成される楔形レンズ光ファイバは、扁平な開口を有するレーザダイオードなどとの結合に有効である。
【０００３】
特に、長距離光ファイバ通信に必須であるファイバアンプの９８０ｎｍの波長の励起用レーザは、ＧａＡｓ系であるが、埋め込み構造が難しく、スポットサイズ変換が困難であり、９８０ｎｍの波長のレーザを出力するレーザダイオードは例えば図７に示すように水平方向に扁平な開口を有する。このレーザダイオードからの光の出射パターンは例えば縦方向が２７〜２８°、横方向が４〜６°のように縦方向と横方向でレーザ光の広がり角が大きく異なって、垂直方向に大きく広がり、高性能なファイバアンプのためには楔形レンズ光ファイバによる高効率な光結合が必須である。
【０００４】
しかしながら、この楔形レンズ光ファイバによる高効率結合には、レーザの開口が非常に薄いため楔形レンズ光ファイバの先端の半円筒面の半径として３〜６μｍという非常に小さい形状が必要となる。また、図６に示す楔形レンズ光ファイバを例にとると、楔稜線１２とファイバコア１３の中心のずれもサブミクロンの精度が必要となる。すなわち、両テーパ面１１は非常に高い対称性を有することが必要である。
【０００５】
このような高い精度の精密加工は、従来、回転工具に熟練者が光ファイバの先端を押圧して加工した後、形状測定器または光学特性測定器で計測して修正加工を施すという処理を繰り返して行い、これにより光ファイバの先端を所望の形状に加工している。
【０００６】
また、他の加工方法としては、光ファイバの先端を回転軸を有する多軸精密ステージに固定し、コンピュータで複雑な軌跡を精密に制御して所望の形状を加工するなどという方法も考えられる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の加工方法のうち、回転工具に熟練者が光ファイバの先端を押圧して加工した後、計測および修正加工を行う第１の方法では、一定の熟練を持つ技術者を必要とするとともに、時間がかかるという問題があり、最近のＷＡＮなどの急速な展開で光ファイバアンプを取り込もうとする動きの中で光ファイバアンプに用いられる楔形レンズ光ファイバに要望される低コスト大量生産には適さない。
【０００８】
また、光ファイバの先端を多軸精密ステージに固定し、コンピュータ制御を行う第２の方法では、非常に高価な装置を必要とするとともに、装置への光ファイバの設置および加工時の原点への設定などのような煩雑で高精度な操作が必要であるという問題があり、同様に低コスト大量生産には適さない。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、煩雑で高精度な処理や設定を必要とせず、また熟練も必要とせず、操作が簡単で安価な設備を用いて、低コストで大量生産に適する楔形レンズ光ファイバの加工方法および加工装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１記載の本発明は、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法であって、光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持し、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域を少なくとも一部に設けた領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせることを特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工方法であることを要旨とする。
【００１１】
請求項１記載の本発明にあっては、光ファイバの先端を研磨面に接触させて光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、第１の摺動方向および第２の摺動方向に研磨面上で摺動させる往復動作を研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に複数回繰り返し行って、光ファイバの先端を楔形に加工する際に、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離が変化して、光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するため、従来のように熟練を必要とせず、低コストで大量生産可能であるとともに、光ファイバの先端には対称性の高い非常に小さな半円筒形状の曲面を適確に形成でき、レーザダイオードとの高効率な結合が可能である高精度な楔形レンズ光ファイバを形成することができる。
請求項２記載の本発明は、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法であって、光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持し、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を上辺とし、該研磨領域の両側に設けた非研磨領域を斜辺とする台形状の、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせることを特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工方法であることを要旨とする。
請求項２記載の本発明にあっては、光ファイバ１は１回の加工においては研磨面の両端側の加工能力のない斜面から研磨面領域に進入し、研磨面を撓みながら通過した後、研磨面から斜面に離脱するようになっている。この結果、台形状の斜めに下がった部分の研磨面の両端側から研磨面に入る場合には、直線状の光ファイバ１をストレスなく滑らかに撓ませることが可能になるとともに、また両端側での伸びた位置での前進および後退の切り替えも容易にしている。
請求項３記載の本発明は、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法であって、光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持し、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を傾斜させて配設して、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせることを特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工方法であることを要旨とする。
請求項３記載の本発明にあっては、光ファイバの先端と研磨面との接触角は連続的に変化することができ、これにより光ファイバの先端の楔形状部の更に先の突端の稜線形成部は、曲面加工される。従って、この曲面加工を左右対称な斜面である例えば対称な「へ」の字状または凸形状に形成された研磨面を用いて光ファイバの先端に対して左右対称に行うことにより、対称性のある曲面、すなわち図６で説明するようなシリンドリカルレンズを形成することができる。
請求項４記載の本発明は、前記傾斜させた研磨領域が平面であることを特徴とする請求項３に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法であることを要旨とする。
請求項５記載の本発明は、前記傾斜させた研磨領域が曲面であることを特徴とする請求項３に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法であることを要旨とする。
請求項５￥１８記載の本発明にあっては、半円筒でない形状などのようなレンズ形状の精密制御も可能となり、更に高い結合特性も期待することができる。
請求項６記載の本発明は、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法であって、光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持し、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を含む領域を中央が凸である三角形状に形成し、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせることを特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工方法であることを要旨とする。
請求項６記載の本発明にあっては、光ファイバ１のテーパ状に加工された先端を鏡面仕上げ加工して、先端にＲ面を形成することができる。
請求項７記載の本発明は、前記三角形状の一方の側の斜面を研磨領域とすることを特徴とする請求項６に記載の楔形レンズ光ファイバの加工方法。であることを要旨とする。
請求項７記載の本発明にあっては、斜めシリンドリカルレンズの形成が可能とすることができる。
請求項８記載の本発明は、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工方法であって、光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持し、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を台形の上辺と斜辺に設けて、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせることを特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工方法であることを要旨とする。
請求項８記載の本発明にあっては、テーパ加工と先球加工を同時に行うことが可能とすることができる。
【００１２】
また、請求項９記載の本発明は、請求項１乃至８記載の発明において、前記往復動作が、第１の摺動方向における研磨量と第２の摺動方向における研磨量が等しいように複数回繰り返すことを要旨とする。
【００１３】
請求項９記載の本発明にあっては、往復動作を第１の摺動方向における研磨量と第２の摺動方向における研磨量が等しいように複数回繰り返すため、光ファイバの先端に対称性の高い小さな半円筒形状の曲面を適確に形成することができる。
【００１４】
更に、請求項１０記載の本発明は、請求項１または９記載の発明において、前記往復動作が、直線往復動作であることを要旨とする。
【００１７】
また、請求項１１記載の本発明は、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の発明において、前記往復動作前において光ファイバに弾性素材をコートする前置工程を有することを要旨とする。
【００１８】
更に、請求項１２記載の本発明は、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の発明において、前記研磨面が、前記往復動作の方向に対して所定の有限長を有することを要旨とする。
【００１９】
請求項１３記載の本発明は、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の発明において、前記研磨面の前記往復動作方向の形状が往復動作の中心に対して対称であることを要旨とする。
【００２１】
請求項１４記載の本発明は、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工装置であって、光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持する保持手段と、光ファイバの先端を研磨する研磨面と、光ファイバを研磨面に接触させる接触手段と、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域を少なくとも一部に設けた領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせるように前記保持手段および研磨面の動作を制御する往復動作手段とを特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工装置であることを要旨とする。
【００２２】
請求項１４記載の本発明にあっては、光ファイバの先端を研磨面に接触させて光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、第１の摺動方向および第２の摺動方向に研磨面上で摺動させる往復動作を研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に複数回繰り返し行って、光ファイバの先端を楔形に加工する際に、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離が変化して、光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するため、従来のように熟練を必要とせず、低コストで大量生産可能であるとともに、光ファイバの先端には対称性の高い非常に小さな半円筒形状の曲面を適確に形成でき、レーザダイオードとの高効率な結合が可能である高精度な楔形レンズ光ファイバを形成することができる。
請求項１５記載の本発明は、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工装置であって、光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持する保持手段と、光ファイバの先端を研磨する研磨面と、光ファイバを研磨面に接触させる接触手段と、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を上辺とし、該研磨領域の両側に設けた非研磨領域を斜辺とする台形状の、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせるように前記保持手段および研磨面の動作を制御する往復動作手段とを特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工装置であることを要旨とする。
請求項１５記載の本発明にあっては、光ファイバは１回の加工においては研磨面の両端側の加工能力のない斜面から研磨面領域に進入し、研磨面を撓みながら通過した後、研磨面から斜面に離脱するようになっている。この結果、台形状の斜めに下がった部分の研磨面の両端側から研磨面に入る場合には、直線状の光ファイバをストレスなく滑らかに撓ませることが可能になるとともに、また両端側での伸びた位置での前進および後退の切り替えも容易にしている。
請求項１６記載の本発明は、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工装置であって、光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持手段と、光ファイバの先端を研磨する研磨面と、光ファイバを研磨面に接触させる接触手段と、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を傾斜させて配設して、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせるように前記保持手段および研磨面の動作を制御する往復動作手段とを特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工装置であることを要旨とする。
請求項１６記載の本発明にあっては、光ファイバの先端と研磨面との接触角は連続的に変化することができ、これにより光ファイバ１の先端の楔形状部の更に先の突端の稜線形成部は、曲面加工される。従って、この曲面加工を左右対称な斜面である例えば対称な「へ」の字状または凸形状に形成された研磨面を用いて光ファイバの先端に対して左右対称に行うことにより、対称性のある曲面、すなわち図６で説明するようなシリンドリカルレンズを形成することができる。
請求項１７記載の本発明は、前記傾斜させた研磨領域が平面であることを特徴とする請求項１６に記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置であることを要旨とする。
請求項１８記載の本発明は、前記傾斜させた研磨領域が曲面であることを特徴とする請求項１６に記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置であることを要旨とする。
請求項１８記載の本発明にあっては、半円筒でない形状などのようなレンズ形状の精密制御も可能となり、更に高い結合特性も期待することができる。
請求項１９記載の本発明は、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工装置であって、光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持手段と、光ファイバの先端を研磨する研磨面と、光ファイバを研磨面に接触させる接触手段と、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を含む領域を中央が凸である三角形状に形成し、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせるように前記保持手段および研磨面の動作を制御する往復動作手段とを特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工装置であることを要旨とする。
請求項１９記載の本発明にあっては、光ファイバ１のテーパ状に加工された先端を鏡面仕上げ加工して、先端にＲ面を形成することができる。
請求項２０記載の本発明は、前記三角形状の一方の側の斜面を研磨領域とすることを特徴とする請求項１９記載の楔形レンズ光ファイバの加工装置であることを要旨とする。
請求項２０記載の本発明にあっては、斜めシリンドリカルレンズの形成が可能とすることができる。
請求項２１記載の本発明は、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨して、この先端を楔形に加工し楔形レンズ光ファイバを形成する楔形レンズ光ファイバの加工装置であって、光ファイバの先端が自由端となるように光ファイバを保持手段と、光ファイバの先端を研磨する研磨面と、光ファイバを研磨面に接触させる接触手段と、光ファイバの先端を研磨面に接触させて研磨面上を摺動させる動作を第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対方向の第２の摺動方向に複数回繰り返し行う往復動作を、 前記光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するように、前記光ファイバを研磨する研磨領域を台形の上辺と斜辺に設けて、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離を変化させる領域の間で行うと共に、摺動方向とは反対方向に光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に行わせるように前記保持手段および研磨面の動作を制御する往復動作手段とを特徴とする楔形レンズ光ファイバの加工装置であることを要旨とする。
請求項２１記載の本発明にあっては、テーパ加工と先球加工を同時に行うことが可能とすることができる。
【００２３】
請求項２２記載の本発明は、請求項２１記載の発明において、前記往復動作手段が、第１の摺動方向における研磨量と第２の摺動方向における研磨量が等しいように往復動作を複数回繰り返すように構成されていることを要旨とする。
【００２４】
請求項２２記載の本発明にあっては、往復動作を第１の摺動方向における研磨量と第２の摺動方向における研磨量が等しいように複数回繰り返すため、光ファイバの先端には対称性の高い小さな半円筒形状の曲面を適確に形成することができる。
【００２５】
また、請求項２３記載の本発明は、請求項１４または２２記載の発明において、前記往復動作が、直線往復動作であることを要旨とする。
【００２８】
請求項２４記載の本発明は、請求項１４乃至２３のいずれか１項に記載の発明において、前記光ファイバが、弾性素材をコートされたものであることを要旨とする。
【００２９】
また、請求項２５記載の本発明は、請求項１４乃至２４のいずれか１項に記載の発明において、前記研磨面が、前記往復動作の方向に対して所定の有限長を有することを要旨とする。
【００３０】
更に、請求項２６記載の本発明は、請求項１４乃至２５のいずれか１項に記載の発明において、前記研磨面の前記往復動作方向の形状が往復動作の中心に対して対称であることを要旨とする。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る楔形レンズ光ファイバの加工方法を説明するための図である。
【００３３】
同図に示す加工方法では、光ファイバ１をファイバ保持部２で垂直に保持し、このファイバ保持部２の下方に延出して垂れた光ファイバ１の先端を研磨フィルム３の研磨面３ａに接触させる。すなわち、光ファイバ１を研磨面３ａから所定の高さの所でファイバ保持部２により保持する。なお、この時、ファイバ保持部２の下方に延出した光ファイバ１の長さがファイバ保持部２と研磨面３ａとの間の距離よりも長いように設定し、これにより下方に垂れた光ファイバ１の先端が研磨面３ａにおいて図示のように撓むようにする。すなわち、光ファイバ１の先端を研磨面３ａに接触させながらファイバ保持部２を矢印２１で示す方向に移動させて光ファイバ１の先端を研磨面３ａに対して摺動させると、光ファイバ１の先端はこの摺動方向とは逆方向に撓むことになる。この光ファイバ１の先端が研磨面３ａにおいて撓む状態は、Ａ部として拡大して図１（ｂ）に示すように、接触角４を持って光ファイバ１の先端が研磨面３ａに対して撓むことになるが、この接触角４で光ファイバ１の先端の加工角度が決まることになる。
【００３４】
上述したように、光ファイバ１をファイバ保持部２で保持し、光ファイバ１の先端を研磨面３ａに接触させた後、矢印２１で示す方向にファイバ保持部２を移動させるかまたは研磨フィルム３を移動させることにより、すなわち矢印２１で示す方向にファイバ保持部２または研磨フィルム３を相対的に移動させることにより、光ファイバ１の先端を研磨面３ａ上で摺動させることができ、この摺動動作、すなわち光ファイバ１の先端を研磨面３ａ上で摺動させる動作を矢印２１で示すように第１の摺動方向および該第１の摺動方向と反対の第２の摺動方向に直線的に複数回繰り返し行う往復動作を、摺動方向とは反対方向に光ファイバ１の先端を研磨面３ａに接触させて撓ませながら、研磨面３ａと光ファイバ１の先端との間で相対的に行わせる。
【００３５】
このような往復動作においては、光ファイバ１の高い材料的および機械的質性および高い形状精度を利用することにより光ファイバ１の先端を所望の楔形状に高い精度で加工することができる。本実施形態で対象とするミクロ的な鏡面形状を得る研磨加工において加工精度は加工量と加工形状で決まるが、加工量は加工荷重と相対接触量（研磨面と被加工物との相対的な摺動距離）の積に比例して決まり、また加工形状はこの研磨量と、研磨面と被加工物の干渉におけるその干渉面とで決まる。従って、これらの量を精密に制御することにより精密加工を行うことができる。
【００３６】
また、光ファイバ１の先端を研磨面３ａ上で摺動させる往復動作では、光ファイバ１の先端が研磨面３ａに接触している加工点において光ファイバ１の先端の撓みにより研磨面３ａに対する押圧が発生し、これが加工荷重となる。この荷重は光ファイバ１が撓むことによる弾性によって発生するものであるが、上述したように光ファイバ１は材料的に均質で、形状精度が良好であるため、この弾性力を高い精度で制御再現させることができる。また、摺動距離は光ファイバ１が研磨面３ａを横切る長さで厳密に決まる。更に、光ファイバ１の先端の楔形状のテーパ角度（形状）は光ファイバ１の研磨面３ａへの接触角度で決まるが、この接触角度も撓み形状で厳密に制御可能である。このような原理に基づき本実施形態の光ファイバの先端の楔形状または楔レンズ形状の加工は精密に行うことができる。
【００３７】
前述したように、楔形レンズ光ファイバは先端の楔形状部の楔稜線とファイバコアの中心のずれもサブミクロンの精度が必要となり、楔形状部の両テーパ面は非常に高い対称性を有することが必要であるが、本実施形態の加工方法では、対称性が非常に良い楔形状加工を行うことが可能である。すなわち、図１で説明したように、光ファイバ１を研磨面３ａから所定の高さで垂直にファイバ保持部２で保持し、研磨フィルム３上でファイバ保持部２を垂直軸に対して回転させずに往復させる。図１において、右方向に矢印２１に沿って移動させる時には、図１において向かって光ファイバ１の先端の右側のテーパ面が加工され、逆の左方向に移動させる時には、光ファイバ１の先端の左側のテーパ面が加工されるというように左右対称に光ファイバ１の先端は同一の撓み形状を示すことがわかる。
【００３８】
また、１往復でそれぞれのテーパ面は同一の距離を加工面と相対運動する。すなわち、往復動作は第１の摺動方向における研磨量と第１の摺動方向と反対の第２の摺動方向における研磨量が等しいように複数回繰り返す。従って、１往復の加工で楔形状部の両テーパ面は同一の加工量、同一の形状に加工でき、極めて対称性の良い楔形状の加工が可能となる。通常、楔形状に到達するためには複数回の往復加工を行う。この場合、両テーパ面は逐次微小加工され、時間経過による加工状況の変化（例えば、加工による研磨面の能力低下）の影響も避けられる。
【００３９】
更に、図１に示すように、研磨フィルム３は、左右の両端部が斜め下方に下がって台形状に構成されていて、研磨面３ａは台形部分の上面のみに設けられ、この部分が研磨領域になっている。従って、往復押動において、光ファイバ１の先端が研磨フィルム３の台形部の上面の研磨面３ａから左右に外れて、斜めに下がった両端側に移動した場合には、光ファイバ１の先端は研磨面３ａに接触せず、真っ直ぐに伸びることができるようになっている。そして、このように真っ直ぐに伸びた状態から再度逆方向に移動して研磨面３ａに向かって進むと、この研磨面３ａに当たった所から光ファイバ１の先端は再度撓んで研磨面３ａに接触して研磨されることになる。そして、研磨面３ａに接触して移動している間は光ファイバ１の先端は研磨面３ａで撓みながら研磨されるが、研磨面３ａを通過して台形の斜めに下がった部分に移動すると、光ファイバ１の先端は研磨面３ａとの接触から解放されて自由になり、下方に真っ直ぐに伸びる。すなわち研磨面３ａは往復動作の方向に対して所定の有限長である。
【００４０】
このように、光ファイバ１は１回の加工においては研磨面３ａの両端側の加工能力のない斜面から研磨面３ａ領域に進入し、研磨面３ａを撓みながら通過した後、研磨面３ａから斜面に離脱するようになっている。この結果、台形状の斜めに下がった部分の研磨面３ａの両端側から研磨面３ａに入る場合には、直線状の光ファイバ１をストレスなく滑らかに撓ませることが可能になるとともに、また両端側での伸びた位置での前進および後退の切り替えも容易にしている。
【００４１】
次に、図２を参照して、本発明の他の実施形態に係る楔形レンズ光ファイバの加工方法について説明する。
【００４２】
本実施形態では、図２（ａ）に示すように、研磨面３ａを形成している研磨フィルム３は、光ファイバ１を固定的に保持しているファイバ保持部２に対して傾斜して配設され、これにより光ファイバ１を保持しているファイバ保持部２の位置、すなわちライン２３で示す位置と研磨面３ａとの間の距離は図で右になる程長くなるように連続的に変化している。
【００４３】
図２（ａ）において左側に位置する光ファイバ１の場合には、その光ファイバ１を保持しているファイバ保持部２と研磨面３ａとの間の距離が短くなっているため、ファイバ保持部２の下方に延出した光ファイバ１は先端が研磨面３ａに対して強く当たって大きく撓み、すなわち大きな押圧力で接触し、光ファイバ１の先端は図２（ｂ）に示すように深く傾斜し、接触角４は小さくなり、光ファイバ１の先端の楔形状部の更に先の突端の稜線形成部も中心から外れた部分が研磨面３ａに接触するようになっている。
【００４４】
これに対して、図２（ａ）において右側に位置する光ファイバ１の場合には、その光ファイバ１を保持しているファイバ保持部２と研磨面３ａとの間の距離が長くなっているため、ファイバ保持部２の下方に延出した光ファイバ１は先端が研磨面３ａに対して弱く当たって小さく撓み、すなわち小さな押圧力で接触し、光ファイバ１の先端は図２（ｃ）に示すように浅く傾斜し、接触角４は大きくなり、光ファイバ１の先端の楔形状部の更に先の突端の稜線形成部も中心部分が研磨面３ａに接触するようになっている。
【００４５】
従って、光ファイバ１をファイバ保持部２で保持して、図２（ａ）に示すように傾斜して配設された研磨面３ａに対して光ファイバ１の先端を摺動させることにより、光ファイバ１の先端と研磨面３ａとの接触角４は連続的に変化することができ、これにより光ファイバ１の先端の楔形状部の更に先の突端の稜線形成部は、曲面加工される。従って、この曲面加工を左右対称な斜面である例えば対称な「へ」の字状または凸形状に形成された研磨面３ａを用いて光ファイバ１の先端に対して左右対称に行うことにより、対称性のある曲面、すなわち図６で説明したようなシリンドリカルレンズを形成することができる。
【００４６】
なお、図２では、研磨面３ａを構成している斜面の形状は平面であるが、研磨面３ａを曲面状に形成することにより、半円筒でない形状などのようなレンズ形状の精密制御も可能となり、更に高い結合特性も期待することができる。
【００４７】
上述した実施形態では、光ファイバ１自体の精密さを利用して、加工前の光ファイバの精密な位置決めの必要がない経済的な加工装置で熟練技術と測定との組合せを必要とすることなく、簡単で高い精度の加工を経済的に可能としているものである。このような加工方法を同様に利用することにより、多数本の光ファイバを一括して加工することが可能な低コスト大量生産を実現することもできる。
【００４８】
次に、図３および図４を参照して、実際の加工工程について説明する。
【００４９】
まず、第１の加工工程は粗加工であり、この粗加工では、図３に示すように、図１と同様に両端側が斜め下方に下がって台形状に構成された研磨フィルム３を用いて、すなわち台形状の研磨フィルム３の上面の研磨面３ａを用いて、光ファイバ１の先端をテーパ加工する。このテーパ加工では、比較的粗い砥粒（例えば、粒径５μｍのアルミナ）の研磨面３ａで光ファイバ１の先端を高速加工し、テーパ面を光ファイバ１の先端に形成する。
【００５０】
次に、第２の仕上げ加工工程では、図４に示すように中心が三角形の頂点のように尖った例えば対称な「へ」の字形状の研磨フィルム３の例えば微細シリカ砥粒の研磨面３ａを用い、光ファイバ１のテーパ状に加工された先端を鏡面仕上げ加工して、先端にＲ面を形成する。
【００５１】
図５は、上述した第１および第２の加工工程で加工して得られた光ファイバ１の先端の形状を触針式形状測定器で測定した評価結果を示す図である。同図に示すように、光ファイバ１の先端として、ほぼ２．７μｍの先端Ｒが得られた。また、このＲ面は微細シリカ砥粒の使用により鏡面加工されたものとなっている。
【００５２】
上述したように、本実施形態の加工方法によれば、精密な楔形レンズ光ファイバの加工を実現することが可能であり、また粗加工と仕上げ加工の２工程を用いることにより、実用的な時間で加工することができた。また、複数本の光ファイバを保持して同時に一括加工した結果でもすべての光ファイバに同様な加工を行うことができ、多数本の光ファイバを一括して加工する量産性の実現も可能であることがわかった。更に、本実施形態の加工では、光ファイバの突き出し量、光ファイバの保持高さが数十μｍ程度異なっても光ファイバの撓み形状自体には大きな影響がなく、ほぼ同様な加工形状を得ることも確認した。なお、光ファイバは加工形状、加工条件により加工中の保護のために弾性力の小さい被覆光ファイバを用いることも考えられるが、この場合の被覆光ファイバとしては、メタルコート、カーボンコート、ポリマースキンコーテッド（ＰＳＣ）の光ファイバまたは通常のプライマリー被覆、更に別途被覆することも考えられる。すなわち、本実施形態では、上述した往復動作を行う前に、光ファイバ１に弾性素材をコートする前置工程を有するものである。
【００５３】
また、本発明の別の実施形態としては、研磨面としてテーパ加工と先球加工を同時に行うために、台形形状の全面に研磨剤を設けるもの、または研磨面自体はフラットにしておいて、ファイバ保持部を逆台形の軌跡で運動させる形態なども考えられる。光ファイバの先端のＲ部の加工において高い対称性を確保するためには、例えば図４に示した研磨面３ａの両側の斜面が左右対称であることが必要であるが、これは斜面が曲面である場合も同様である。
【００５４】
更に、加工形状のバリエーションとして、楔形レンズ光ファイバの加工を直交する２方向に対して行うことによって、擬似的な先球光ファイバ機能を持たせることが可能である。また、この際もう一方向の加工において光ファイバの先端の曲率半径を変えることも可能である。また、例えば図４において、研磨面３ａの片側の斜面に研磨剤を設けずに加工を行うことにより、斜めシリンドリカルレンズの形成も可能となる。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、光ファイバの先端を研磨面に接触させて光ファイバの先端を研磨面上で撓ませながら、第１の摺動方向および第２の摺動方向に研磨面上で摺動させる往復動作を研磨面と光ファイバの先端との間で相対的に複数回繰り返し行って、光ファイバの先端を楔形に加工するので、従来のように熟練を必要とせず、低コストで大量生産可能であるとともに、光ファイバの先端には対称性の高い非常に小さな半円筒形状の曲面を形成でき、レーザダイオードとの高効率な結合が可能である高精度な楔形レンズ光ファイバを形成することができる。
【００５６】
また、本発明によれば、往復動作を第１の摺動方向における研磨量と第２の摺動方向における研磨量が等しいように複数回繰り返すので、光ファイバの先端には対称性の高い小さな半円筒形状の曲面を適確に形成することができる。
【００５７】
更に、本発明によれば、光ファイバを保持する位置と研磨面との間の距離が変化して、光ファイバの先端と研磨面との接触の度合いが連続的に変化するので、光ファイバの先端に対称性の高い小さな半円筒形状の曲面を適確に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る楔形レンズ光ファイバの加工方法を説明するための図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係る楔形レンズ光ファイバの加工方法を説明するための図である。
【図３】図１および図２に示す実施形態の楔形レンズ光ファイバの加工方法を用いて説明する実際の加工工程における第１の粗加工工程を説明するための図である。
【図４】図１および図２に示す実施形態の楔形レンズ光ファイバの加工方法を用いて説明する実際の加工工程における図３に続く第２の仕上げ加工工程を説明するための図である。
【図５】図３および図４に示した第１および第２の加工工程で加工して得られた光ファイバの先端の形状を触針式形状測定器で測定した評価結果を示す図である。
【図６】楔形レンズ光ファイバの概観を示す斜視図である。
【図７】９８０ｎｍの波長のレーザダイオードからの光の出射の様子を示す図である。
【符号の説明】
１  光ファイバ
２  ファイバ保持部
３  研磨フィルム
３ａ  研磨面
４  接触角
１１  テーパ面
１２  楔稜線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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