(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体電解質層用のセラミックグリーンシートの一方の面に導電性ペーストからなる測定電極パターンを形成し、他方の面に導電性ペーストからなる基準電極パターンを形成する工程と、前記セラミックグリーンシートの前記一方の面上で、かつ、前記測定電極パターンの周囲に、セラミックスを主成分とし焼結助剤を含むペーストからなる被覆層パターンを形成する工程と、前記セラミックグリーンシート、前記測定電極パターン、前記基準電極パターン及び前記被覆層パターンを同時焼成して固体電解質層、測定電極、基準電極及び多孔質の被覆層を形成する工程と、前記測定電極及び被覆層を覆うように拡散律速層を形成する工程とを含む酸素センサの製造方法。
【請求項２】
前記測定電極パターンの周囲に、前記被覆層パターンを破線状に形成する請求項１記載の酸素センサの製造方法。
【請求項３】
前記固体電解質層がジルコニアを主成分とし、前記被覆層がアルミナを主成分とする請求項１または２記載の酸素センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車等の内燃機関における空気と燃料の比率を検知するための酸素センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
現在、自動車等の内燃機関においては、排出ガス中の酸素濃度を検出して、その検出値に基づいて内燃機関に供給する空気および燃料供給量を制御することにより、内燃機関からの有害物質、例えばＣＯ、ＨＣ、ＮＯｘを低減させる方法が採用されている。
【０００３】
このような酸素濃度を検出する酸素センサ素子として、図４に示すように酸素イオン導電性を有するジルコニア固体電解質の内部に空気室２８を有し、前記ジルコニア固体電解質の外表面にＰｔからなる測定電極２４を有し、該測定電極２４に対向する空気室側のジルコニア固体電解質表面に、Ｐｔからなる基準電極２５を有する固体電解質層２３と、さらに空気室２８および空気導入孔２９を挟んでセンサセルと対向する部分のジルコニア固体電解質２３と、空気室２８および空気導入孔２９の側壁となる固体電解質層３０とからなるセンサ基板２１と、セラミック絶縁体３１に挟まれた発熱体３２と電極引出部３４を埋設したヒータ基板２２とからなる酸素センサが提案されている（特開平１０−１３２７８０号公報参照）。測定電極２４の上には、拡散律速層３７が形成され、基準電極２５側が＋、測定電極２４側が−となるように０．４〜０．８Ｖ程度の電圧を印加することにより、排気ガス中の酸素濃度に見合った限界電流を検知するようになっていた。
【０００４】
この酸素センサは、排気ガスが空気過多な雰囲気であれば、排気ガス中から前記空気室２８へ酸素を汲み出すような動作をし、排気ガスが燃料過多であれば、排気ガス中と前記空気室２８との間の酸素濃度比により発生する起電力により、前記空気室２８から排気ガス中に酸素を汲み出すような動作をするようになっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、測定電極の上に形成する拡散律速層は、通常溶射により形成するが、ジルコニアからなる固体電解質の表面は非常に平滑になっており、溶射により形成する拡散律速層もしくは保護層は、その保持強度が非常に低く、実車の振動によりジルコニア固体電解質の表面の拡散律速層もしくは保護層が容易に剥離することが判った。
【０００６】
また、このように拡散律速層が部分的に剥離することにより、正確な空燃比を検知できなくなってしまうという問題があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の酸素センサの製造方法は、固体電解質層用のセラミックグリーンシートの一方の面に導電性ペーストからなる測定電極パターンを形成し、他方の面に導電性ペーストからなる基準電極パターンを形成する工程と、前記セラミックグリーンシートの前記一方の面上で、かつ、前記測定電極パターンの周囲に、セラミックスを主成分とし焼結助剤を含むペーストからなる被覆層パターンを形成する工程と、前記セラミックグリーンシート、前記測定電極パターン、前記基準電極パターン及び前記被覆層パターンを同時焼成して固体電解質層、測定電極、基準電極及び多孔質の被覆層を形成する工程と、前記測定電極及び被覆層を覆うように拡散律速層を形成する工程とを含むことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の製造方法では、前記測定電極パターンの周囲に、前記被覆層パターンを破線状に形成するのが好ましく、さらに、前記固体電解質層がジルコニアを主成分とし、前記被覆層がアルミナを主成分とするのがより好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の製造方法により得られる酸素センサ素子の一例を図1、２に示す。
【００１５】
この酸素センサ素子１は、ジルコニアからなる固定電解質層３とその対抗する表面に形成された測定電極４、基準電極５および電極引出部６電極パッド７と、前記基準電極５を覆うように形成されている空気室８およびそれに繋がり一端が開放された空気導入孔９と、これらの側壁となる固体電解質層１０と、前記固体電解質層３に対抗する位置し前記空気室８および空気導入孔９の蓋となる固体電解質層３とからなるセンサ素子１と、セラミック絶縁体１１中に発熱体１２を内蔵するヒータ素子１０とからなる。そして、センサ素子１とヒータ素子２は、該ヒーター素子２の発熱部が接触するように組付け固定されている。
【００１６】
また、測定電極４の周囲には粗面部として被覆層１６が形成され、該被覆層１６および測定電極４の表面に多孔質ジルコニア、スピネル溶射膜やアルミナ等からなる拡散律速層１７が形成されている。この拡散律速層１７は、排気ガスからの被毒に対する保護層としての役割と限界電流素子の拡散律速層１７としての役割を兼ねている。このような被覆層を形成することにより、拡散律速層および測定電極の保護層の、測定電極に対する密着強度を上げ、耐久性良好な拡散律速層および保護層を形成することが出来るようになる。
【００１７】
拡散律速層１７をセンサ基板１の測定電極４の周囲に強固に固着させるためには、センサ基板１表面の粗面部の表面粗さ（Ｒａ）を１．０μｍ以上とすることが好ましい。表面粗さ（Ｒａ）が１．０μｍ以下ではアンカー効果が弱くなるので好ましくない。焼結した固体電解質層３表面の表面粗さ（Ｒａ）は、０．２μｍ以下と非常に平滑になっている。また、測定電極４および基準電極５の表面粗さ（Ｒａ）は、２．０〜７．０μｍとなっているので、溶射による拡散律速層１７が固着しやすくなっているものと考えている。前記表面粗さ（Ｒａ）は、さらに好ましくは２．０μｍ以上とすることが良い。なお、本発明における表面粗さとは、算術平均粗さ（Ｒａ）のことである。
【００１８】
測定電極４周囲に形成する粗面部の表面粗さ（Ｒａ）を１μｍ以上とするためには、図１に示すように測定電極４の周囲に被覆層１６を形成しても良い。被覆層１６は、拡散律速層１７をセンサ基板１に固着させるためのアンカーとしての機能を果たす。測定電極４の表面多孔質になっているため拡散律速層１７がアンカー効果で強固に固着しているが、固体電解質層３の表面は非常に平滑にできているため拡散律速層１７の固着強度が低く、前記被覆層１６がないと使用中の熱サイクルで固体電解質層３の剥離し、一部測定電極４の表面からも部分的に剥離し、空燃比の測定が正確に検知できなくなる。
【００１９】
また、被覆層１６は、厚みを５〜２００μｍとすることが好ましい。厚み５μｍ以下では、表面粗さＲｍａｘが小さくなり十分なアンカー効果が期待できない。また、厚みが２００μｍを越えると、センサ基板１の反りに影響するので好ましくない。センサ基板１の反りが１００μｍを越えると、ヒータ基板２との接触が悪くなるため加熱時の昇温が遅くなるとともに、センサ基板１とヒータ基板２が片当たりすることになり、磨耗やクラックの発生の原因となるので好ましくない。
【００２０】
そして、被覆層１６は、測定電極４の外辺から１．５ｍｍ以内に形成することが好ましい。測定電極４の外辺から１．５ｍｍを越えて離れて形成すると、被覆層１６と測定電極４の間の部分が剥離してしまう場合があるからである。
【００２１】
また、被覆層１６は、アルミナセラミックスを主成分とするペーストを固体電解質層３の表面に塗布し、同時焼成することにより形成することが好ましい。この時、焼結が進むにつれアルミナセラミックス中に添加していた焼結助剤が固体電解質層３に拡散し、被覆層１６はアルミナが多孔質になってしまう。このような反応により、被覆層１６を固体電解質層３の表面に強固に固着させることができる。また、この多孔質構造を拡散律速層１７のアンカーとして利用することが、拡散律速層１７の固着強度を向上させ耐久性を向上させるために有効であることが判った。
【００２２】
また、被覆層１６の別の製法として、固体電解質層３の表面に固体電解質層３と同組成の原料に樹脂製のポア材を添加したペーストをプリント形成し、固体電解質層３と同時焼成して多孔質な被覆層１６としても構わない。この場合、同一組成であるため、被覆層１６は、固体電解質層３の表面に強固に固着させることができる。また、測定電極４の上にマスクを被せて測定電極４を保護しながらブラスト加工することにより、測定電極４周囲の固体電解質層３の表面粗さ（Ｒａ）が１μｍ以上となるようにしても構わない。
【００２３】
また、図３に示すように、被覆層１６が破線状に測定電極４を周回するように設置しても構わない。このような構成にするメリットとしては、固体電解質層３と被覆層１６の焼成収縮や熱膨張率の差による反りの発生を低減する効果がある。また、前記破線の形状については、実線部分の長さは１ｍｍ以上とし、そのピッチは１ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００２４】
また、基準電極４および測定電極４はＰｔ粉末に対し２０〜７０体積％のジルコニア粉末を添加して焼結させたものであり、いずれも多孔質の白金電極からなり、固体電解質−Ｐｔ−気相の三重点を多数形成すると共に、ガスが拡散しやすい構造となっている。また、添加したジルコニア粉末が固体電解質層３と焼結し電極を固体電解質層３に強固に固着させるようになっている。
【００２５】
一方、ヒータ基板２は、Ｗ、Ｍｏ、Ｒｅ等の高融点金属からなる発熱抵抗体１２、リード電極１４を絶縁層１１に挟みこんで密封した構造となっており、上記のセンサ基板１と同様に、平板形状を有している。また、発熱抵抗体１２は絶縁層１１の表面に形成した電極パッド１３に接続され、該電極パッド１３に通電することにより、発熱する構造となっている。発熱体１２の組成は、発熱容量と昇温速度により好適に選択すればよい。この場合、発熱抵抗体１２とリード部１４の抵抗比率は室温において、９：１〜７：３の範囲に制御することが好ましい。
【００２６】
次に、センサ基板１の作動について説明する。空燃比が空気過剰な場合は、測定電極４と基準電極５に印加した電圧による正の電流が流れるが、空燃比が燃料過多側になると測定電極４と基準電極５の間に空気室７と排気ガスの酸素濃度比に応じた起電力が発生し、該起電力が前記電圧より大きくなるため、空気室７側の空気を排気ガス中にポンピングするような電流が流れる。
【００２７】
そして、この酸素センサは、測定電極４がマイナス、基準電極５がプラスになるような電圧０．４〜０．８Ｖが印加され、排気ガス中の酸素を空気室８側にポンピングするようになっている。このとき、拡散律速層１７があることにより空燃比に比例した電流が流れ、この電流値を測定することにより空燃比を検知することができる。従来、ヒータ部をセンサ基板１中に内蔵させ、センサ基板１の加熱効率を高めることを目指して開発が進められてきたが、ここに来て、コスト優先の方向に転換しつつあり、高融点金属からなる発熱抵抗体１２を内蔵するヒータ素子２を別に組合せる方向が主流となりつつある。
【００２８】
また、本発明の他の実施形態として、ヒータ部をセンサ基板１に一体化することもできる。ヒータ部を内蔵するヒータ一体型の酸素センサとする場合は、発熱体１２の材質は、Ｐｔを主成分とするものにする。
【００２９】
一方、センサ基板１とヒータ基板２を組合せて使用するタイプの酸素センサ１のヒータ基板２は、上記のセンサ基板１と同じ平板形状を有し、アルミナを主成分とする絶縁層体１１中にＷ、Ｍｏ、Ｒｅ等からなる発熱抵抗体１２が埋設されている。本発明においては、センサ基板１を効率良く過熱するために、発熱抵抗体１２からセンサ基板１に接するヒータ基板２の表面までの距離としては２００〜６００μｍとすることが好ましい。前記距離が２００μｍより薄いとヒータ基板２の耐熱性が悪くなる。また、距離が６００μｍを超えるとヒータ基板２からセンサ基板１への熱の伝達が悪くなり、その結果センサ基板１のガス応答性が悪くなる。また、発熱抵抗体１２からセンサ基板１に接するヒータ基板２表面までの距離としては、特に３００〜４００μｍとすることが望ましい。
【００３０】
また、ヒータ基板２の厚みとして０．７〜２ｍｍ、特に１〜１．５ｍｍが強度の観点から好ましい。ヒータ基板２が０．７ｍｍより薄くなるとヒータ基板２の強度が低くなり、２ｍｍを超えるとヒータ基板２およびそれに隣接するセンサ基板１を加熱するため大きな電気量が必要になるため好ましくない。
【００３１】
また、ヒータ基板２に埋設された発熱抵抗体１２は、耐熱性と製造コストの関係からＷ、Ｍｏ、Ｒｅの一種以上から構成されることが望ましい。発熱抵抗体１２の構造としては、左右で折り返す構造と長手方向で折り返す構造のいずれも用いることが可能である。
【００３２】
次に、センサ基板２の構成エレメントについて説明する。
【００３３】
排気ガスと直接接する測定電極４表面には排気ガス中の被毒物質から電極を保護する役目と、もう一つは排気ガス中から測定電極４への酸素の拡散量を制御する目的で厚さ１０〜８００μｍ、気孔率が１０〜５０％のジルコニア、アルミナ、γ-アルミナおよびスピネル等からなるセラミック多孔質層からなる拡散律速層１７が設けられている。この拡散律速層１７の厚みが１０μｍより薄いか、あるいは気孔率が５０％を超えると、電極被毒物質Ｐ、Ｓｉ等が容易に電極に達して電極性能が悪くなる。それに対して、拡散律速層１７の厚みが８００μｍを超えるか、あるいは気孔率が１０％より小さくなるとガスの多孔質層中の拡散速度が遅くなり、電極のガス応答性が悪くなる。特に、気孔径にもよるが拡散律速層１７の厚みとしては特に１００〜５００μｍが優れる。また、拡散律速層１７は、大気中の限界電流値が３〜１０ｍＡ程度となるように拡散律速層１５の気孔径と厚みを制御すれば良い。
【００３４】
固体電解質層３の表面に被着形成される測定電極４と基準電極５、電極引出部６、電極パッド７は、いずれも白金、あるいは白金と、ロジウム、パラジウム、ルテニウムおよび金の群から選ばれる１種との合金が用いられる。また、センサ動作時の電極中の金属の粒成長を防止する目的と、応答性に係わる電極中に含まれる金属粒子と固体電解質と気体との、いわゆる３相界面の接点を増大する目的で、上述のセラミック固体電解質成分を１〜５０体積％、特に１０〜３０体積％の割合で上記電極中に混合してもよい。また、電極引出部６および電極パッド９については、添加する固体電解質成分が母材である固体電解質層３との密着強度を高める役割を果たす。
【００３５】
電極の形状としては、四角形でも楕円形でもよい。また、電極の厚みとしては、３〜２０μｍ、特に５〜１０μｍが好ましい。
【００３６】
次に、ヒータ基板２の作製法について説明する。
【００３７】
アルミナのグリーンシートはアルミナ粉末に、適宜、成形用有機バインダを添加してドクターブレード法や、押出成形や、静水圧成形（ラバープレス）あるいはプレス形成などの周知の方法により作製する。この際、アルミナ粉末としては、アルミナを主成分として、焼結性を改善する目的でＭｇ、Ｃａ、Ｓｉを総和で１〜１０重量％添加した粉末が好適に用いられる。また、Ｎａ、Ｋ等のアルカリ金属はマイグレーションして陰極側に濃縮され、周辺のセラミック絶縁体１２の融点を下げ、その他のアルカリ土類金属の濃縮を助長し、これらの金属元素を含有する酸化物の移動により陰極側のセラミック絶縁体１１にクラックが発生して電気絶縁性および発熱体１２の耐久性を悪くするため０．１重量％以下に制御する必要がある。
【００３８】
上記のグリーンシートの片面にＷ、Ｍｏ、Ｒｅ等を含有する導電性ペーストを用いてスラリーデッィプ法、あるいはスクリーン印刷、パット印刷、ロール転写で発熱抵抗体１２のパターン形成した後、アクリル樹脂や有機溶媒などの接着剤を介在させてグリ−ンシートを接着させるか、あるいはローラ等で圧力を加えながら機械的に接着することによりヒータ基板２の積層体を作製する。
【００３９】
ヒータ基板２の焼成は、発熱抵抗体１２の酸化を防止する観点から水素等を含有するフォーミング等の還元ガス雰囲気中、１４００℃〜１６５０℃の温度範囲で５〜１０時間行う。この際、焼成時のヒータ基板２の反りを抑制するため、錘として平滑なアルミナ等の基板を積層体の上に加重を加えるように置くことにより反り量を低減することが出来る。
【００４０】
次に、本発明のセンサ基板１の製造方法の一例を説明する。本発明の酸素センサ１のセンサ基板１は、図１に示すように上記のジルコニアグリーンシートからなる固体電解質層３の両面に、測定電極４および基準電極５を白金を含有する導電性ペーストを用いてスラリーデッィプ法、あるいはスクリーン印刷、パット印刷、ロール転写で形成し、この後、拡散律速層１７となるセラミック多孔質層を測定電極４の表面に形成した後、前記ジルコニアグリーンシートからなる固体電解質層３の基準電極５側の面に空気室８と空気導入孔９の側壁部となる固体電解質層１０を形成した後、さらに別の固体電解質層３を積層する。この際、積層は、アクリル樹脂や有機溶媒などの接着剤をグリーンシート間に介在させて接着させたり、あるいはローラ等で圧力を加えながら機械的に接着させたりすることにより行うことができる。焼成は、大気中または不活性ガス雰囲気中、１３００℃〜１５００℃の温度範囲で１〜１０時間行う。
【００４１】
この後、別体で作製したヒータ基板２と、上記のセンサ基板１を固定して酸素センサを作製する。
【００４２】
【実施例】
実施例１
図１に示す空燃比センサ素子を例にして、本発明の実施例を説明する。
【００４３】
市販のＳｉ、Ｍｇ、Ｃａの酸化物を５重量％含むアルミナ粉末と、Ｓｉを０．１重量％含む５モル％Ｙ2Ｏ3含有のジルコニア粉末と、８モル％のイットリアからなるジルコニア粉末を３０体積％含有する白金粉末と、Ｗ粉末をそれぞれ準備した。
【００４４】
まず、５モル％Ｙ2Ｏ3含有のジルコニア粉末にポリビニルアルコール溶液を添加して坏土を作製し、押出成形により焼結後厚みが０．４ｍｍになるようにジルコニアのグリーンシートを作製した。その後、該グリーンシートの両面にジルコニア粉末を含有する白金をスクリーン印刷して、測定電極４と基準電極５を作製した後、粗面部となる被覆層１６を測定電極４の外周から０．５ｍｍの位置に周回して形成し、さらに基準電極５側の主面に空気室７および空気導入孔８の側壁となるジルコニアのグリーンシートをアクリル系のバインダを含有する密着液を用いて密着し、さらに空気室７と空気導入孔８の蓋となるグリーンシートを密着して積層体を作製し、１４５０℃×２時間焼成してセンサ基板１を得た。
【００４５】
この時、被覆層１６に使用するアルミナの平均粒径を０．２〜２．０μｍの間で変量したものを用いた。また、被覆層１６用に調整したペーストの濃度と粘度を調整して、被覆層１６の表面粗さ（Ｒａ）を調整した。また、アルミナもしくはジルコニアからなる被覆層１６用のペースト中に平均粒径３０μｍのポア材を３０体積％添加して、これらのペーストの焼結後の表面粗さ（Ｒａ）を調整した試料も合わせて準備した。なお、被覆層１６の表面粗さ（Ｒａ）は、拡散律速層１７を形成する前に表面粗さ計で測定した。
【００４６】
その後、測定電極４および被覆層１６の上にスピネルからなる拡散律速層１７を厚み４００μｍ形成した。
【００４７】
一方、アルミナ粉末にポリビニルアルコール溶液を添加して坏土を作製し、厚みが焼成後０．１〜０．８ｍｍの厚みに成るように押出し成形で種々アルミナのグリーンシートを作製した。この後、グリーンシートにＷからなる発熱体１２を約４０μｍの厚みになるようスクリーン印刷で印刷した後、さらにアクリルの密着剤を用いてアルミナのグリーンシートを重ねて積層体を形成した後、１５００℃で１０時間水素を１０％含む窒素ガス中で焼結し、センサ基板１と同じ幅で厚みが１．５ｍｍのヒータ基板２を作製した。
【００４８】
この後、上記のセンサ基板１とヒータ基板２を係結して固定し、ヒータ基板２の加熱によりセンサ基板１の拡散律速層１７表面が１分間で１０００℃になるように加熱し、２分間で４０℃以下まで冷却するサイクルを５０００サイクル繰り返した後の拡散律速層１７の剥離の有無を各条件１０個づつ確認した。
【００４９】
剥離の有無は、市販のガムテープを拡散律速層１７の表面に貼り付けたのち剥ぐ剥離テストを３サイクル繰り返して、２０倍の双願を用いて剥離の有無を確認した。
【００５０】
結果を、表１に示した。
【００５１】
【表１】
0003793563.tif 000002
【００５２】
表１から判るように、被覆層１６の表面粗さ（Ｒａ）が１．０μｍ未満であるＮｏ．１、２は昇温テスト後の剥離テストにおいて、半数以上のものに拡散律速層１７の剥離が発生した。これに対し、被覆層１６の表面粗さ（Ｒａ）が１．０μｍ以上であるＮｏ．３〜７は、剥離は殆ど発生せず良好な性能を示した。Ｎｏ．３は、被覆層１６の上の拡散律速層１７の一部に剥離が見られたが、拡散律速性能に影響の出ないレベルであった。
【００５３】
実施例２
ここでは、被覆層１６の厚みと幅に対する拡散律速層１７の固着強度の変化を調査した。
【００５４】
試料は、実施例１と同様な方法で作製し、アルミナからなる被覆層１６の厚みを２〜２５０μｍの間で変量し、幅を０．２〜２．５ｍｍの間で変量した試料を準備した。
【００５５】
この後、上記のセンサ基板２とヒータ基板１０を係結して固定し、振動試験機に自由端長２０ｍｍとなるように各条件１０個づつセットし、振幅を１．０ｍｍに固定して０〜３０Ｇまで２０分間で上げ２０分間で下げる試験を１００サイクル実施し、市販のガムテープを拡散律速層１７の表面に貼り付けたのち剥ぐ剥離テストを３サイクル繰り返して、２０倍の双願を用いて剥離の有無を確認した。
【００５６】
また、センサ基板１の反りを表面粗さ計を用いて測定した。測定電極４の周囲について、１インチ長さ当たりの反り量を測定した。測定電極４部分については、その端部の段差により電極厚みを測定し反り量を修正した。反り量の判断基準は、２００μｍを越えるものはＮＧとし、２００μｍ以下のものはＯＫとした。
【００５７】
結果は、表２に示した。
【００５８】
【表２】
0003793563.tif 000003
【００５９】
表２の結果から判るように、被覆層１６の厚みが５μｍ未満であるＮｏ．１は、一部のサンプルに拡散律速層１７の剥離が発生した。また、被覆層１６の幅が０．５ｍｍ未満であるＮｏ．９にも一部のサンプルに剥離が発生した。また、被覆層１６の厚みが２００μｍを越えるＮｏ．８、および幅が２ｍｍを越えるＮｏ．１４は、センサ基板１に１００μｍ以上の反りが発生し、センサ基板１の一部にこれに対し、被覆層１６の厚みを５〜２００μｍとしたＮｏ．２〜７、１０〜１３、１５は、拡散律速層１７の剥離は発生しなかった。
【００６０】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明によれば、固体電解質基板の外表面における測定電極の周囲に粗面部が形成され、この粗面部と測定電極を覆うように拡散律速層が形成された酸素センサを得ることができるので、測定電極の表面に形成する拡散律速層の固着強度を高め、耐久性の良好な酸素センサを提供することができる。また、測定電極パターンの周囲に、被覆層パターンを破線状に形成するときには、固体電解質層と被覆層の焼成収縮や熱膨張率の差による反りの発生を低減する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の酸素センサの一例を示す展開斜視図である。
【図２】本発明の酸素センサの他の実施形態を示す平面図である。
【図３】本発明の酸素センサ他の実施形態を示す平面図である。
【図４】従来の酸素センサの他の例を示す展開斜視図である。
【符号の説明】
１  センサ基板
２  ヒータ基板
３  固体電解質層
４  測定電極
５  基準電極
６  リード電極
７  電極パッド
８  空気室
９  空気導入孔
１０  空気室側壁
１１  絶縁層
１２  発熱抵抗体
１３  電極パッド
１４  リード電極
１５  ビアホール
１６  被覆層
１７  拡散律速層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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