(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ基板をＸ方向に移動させつつ、基板下方に位置し、Ｙ方向に延在する光源から放射され、基板を通過した透過光を基板上方に位置し、Ｙ方向に並んだＣＣＤラインカメラにより撮影してＲＧＢ画素の色むら欠陥の検査を行うカラーフィルタ検査装置の基板保持機構であって、Ｘテーブル開口部周縁に設けられ、基板周縁部を吸着して支持する支持枠体と、光源の両側にＹ方向に各１列に並んで設けられ、基坂下面を支持する複数の支持ローラとを有してなり、支持ローラは開口部のＸ方向の周縁が接近したとき邪魔にならないように退避可能になっていることを特徴とするカラーフィルタ検査装置の基板保持機構。
【請求項２】
上記支持ローラは各列が一体的に昇降可能に支持されるとともに、各支持ローラはばねにより垂直方向に付勢されていて、支持ローラが開口部周縁に当接したとき、ばね力に抗して倒伏するようになっている請求項１記載のカラーフィルタ検査装置の基板保持機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はカラー表示の液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタの色むら欠陥の検査装置に係わり、特に基板保持機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ノート型ＰＣの普及にともない、カラー表示の液晶ディスプレイの生産が増えている。液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタはガラス基板上に、微細なＲＧＢ画素をマトリックス状に多数形成したものである。ディスプレイ画面の大型化と多面取化のためガラス基板のサイズが大型化している。また、ＲＧＢ画素の色むら検査は、従来目視による官能検査で行っていたが、パネルの大型化により目視検査が難しくなり、検査の自動化が求められている。
【０００３】
かかるカラーフィルタ検査装置として図４に示すものが知られている（月刊ディスプレイ '９７年３月号７０〜７２頁）。図において、ａは架台であり、ｂは架台の上に設けられた１対のレールｃ上をＸ方向（矢印ｇで示している。）に移動するＸテーブルであり、開口部ｄを有しており、開口部ｄの周縁部にカラーフィルタ基板の周縁部を載せて支持するようになっている。開口部ｄの周縁部には基板周縁部を真空で吸着する図示しない支持枠体が設けられている。
【０００４】
ｅは基板下方に位置し、Ｙ方向（矢印ｈで示している）に延在する光源である。ｆは光源ｅの上方に平行に設けられたラインセンサカメラで、Ｙ方向に並んだ複数のＣＣＤラインカメラを有しており、光源ｅから放射され、カラーフィルタ基板を通過した透過光を計測してＲＧＢ画素の色むらを検査する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
かかるカラーフィルタ検査装置において、ＣＣＤラインカメラの被写界深度は比較的小さく１００μｍ程度である。一方、カラーフィルタ基板のガラス板は０．７ｍｍ程度の厚さであるため周縁部で支持した場合の中央部の撓みが大きく、撓みが被写界深度より大きい場合には、画像がぼけてしまい正確な検査ができない。したがって基板の撓みをおさえるため、基板を周縁部以外でも支持する必要がある。
【０００６】
基板を透明で平坦なガラス板により支持するようにＸテーブルｂの開口部ｄにガラス板を嵌め込むことも考えられるが、支持のガラス板が検査の精度に影響を与えてしまう。
【０００７】
また格子状に組んだ支持部材により基板を支持するようにしてもよいが、支持部材の部分では検査ができないので、例えば４面取り用の検査装置では６面取の基板の検査をすることができないし、大型ディスプレイ画面用の場合には、必要な支持部材を配置することができない。
【０００８】
本発明は従来技術のかかる問題点に鑑み案出されたもので、大型のカラーフィルタ基板を検査するカラーフィルタ検査装置において、基板の撓み量を所要の値以内の精度におさえ、検査装置の高い検査分解能を維持することのできる基板保持機構を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明のカラーフィルタ検査装置の基板保持機構は、カラーフィルタ基板をＸ方向に移動させつつ、基板下方に位置し、Ｙ方向に延在する光源からの透過光を基板上方に位置し、Ｙ方向に並んだＣＣＤラインカメラにより計測してＲＧＢ画素の色むら欠陥の検査を行うカラーフィルタ検査装置の基板保持機構であって、Ｘテーブル開口部周縁に設けられ、基板周縁部を吸着して支持する支持枠体と、光源の両側にＹ方向に並んで２列に設けられ、基板下方を支持する複数の支持ローラとを有してなり、支持ローラは開口部周縁が接近したとき退避可能になっている。
【００１０】
上記支持ローラは各列が一体的に昇降可能に支持されるとともに、各支持ローラは、ばねにより垂直方向に付勢されていて、支持ローラが開口部周縁に当接したときばね力に抗して倒伏するようになっているのが好ましい。
【００１１】
次に本発明の作用を説明する。
基板下面を光源付近に設けられた支持ローラにより支持するようにしたので基板の撓み量はＣＣＤラインカメラの被写界深度以内の所要の値におさえることができ、高い検査分解能を維持することができる。また開口部のＸ方向の周縁が光源直近まで移動したとき支持ローラが開口部の周縁に当たらないように退避するので、基板の周縁付近まで検査することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の１実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１はカラーフィルタ検査装置の基板保持機構の平面図であり、図２は同じく正面図である。図３は支持ローラの詳細図であり、図３（Ａ）は正面断面図、図３（Ｂ）は側面図である。なお、これらの図において従来技術として、図４を用いてすでに説明済みのものと共通の部分については同一の符号を付しており、重複した説明は省略する。また、カラーフィルタ検査装置については図４を用いて説明済みなので、以下基板保持機構について詳細に説明する。
【００１３】
図１および図２において１０は基板保持機構である。１はカラーフィルタ基板である。基板１はＸテーブルｂの開口部ｄ上に配置され、周縁部が開口部ｄ周縁に設けられた支持枠体２で吸着して支持される。すなわち、支持枠体２には中央に溝２ａが設けられていて、溝２ａは外部の真空源とフレキシブルホース等を介して接続されているので、基板を支持枠体２上に載置すれば、吸着して支持する。
【００１４】
ｅは光源であり、Ｙ方向（矢印ｈで示す）に延在している。光源ｅのＸ方向（矢印ｇで示す）の両側には、Ｙ方向に各１列に並んで複数（本例では５個ずつ）の支持ローラ３が設けられており、図２に示すように基板１の下面を支持している。光源ｅと支持ローラ３とのＸ方向の水平距離は５０〜８０ｍｍ程度とするのが好ましい。また支持ローラ３の間隔は１００ｍｍ程度である。
【００１５】
カラーフィルタ基板１には周縁近傍までＲＧＢ画素が形成されているので、開口部ｄのＸ方向の周縁２ｂは光源ｅ近傍まで接近する必要がある。その際支持ローラ３は邪魔になるので退避する。
【００１６】
図２に示すように各支持ローラ３は昇降装置４により、一体的に昇降可能になっている。昇降装置４は支持ローラ３を載置した支持板４ａと、支持板４ａ下面の中央に接続されたエアシリンダ５と、支持板４ａの両端に設けられたボールスプライン４ｃと、ボールスプライン４ｃと係合し、支持板４ａをガイドするスプラインロッド４ｂとからなる。６はベースプレートである。７は支持板４ａの上限を規制するストッパである。
【００１７】
図３に示すように、支持ローラ３は垂直回転可能なアーム３ａにより支持されている。アーム３ａは、水平軸３ｂに固定されている。水平軸３ｂは、支持台３ｃに配設された軸受３ｄにより回転可能に支持されている。アーム３ａの下端には突起３ｇが突設されていて、ストッパ３ｆと当接したときアーム３ａは垂直位置になる。３ｅは捩りばねであり、各端が、それぞれ突起３ｇと支持台３ｃとに固定されており、アーム３ａを垂直方向に付勢している。
【００１８】
次に本実施形態の作用を説明する。
図１および図２に示すように、基板１は光源ｅの周囲に配置された１０個の支持ローラ３により周線部以外で支持されており、基板１の撓み量を３０μｍ以内におさえることができる。この値はＣＣＤラインカメラの被写界深度である１００μｍよりはるかに小さいので、高い分解能を維持することができる。
【００１９】
Ｘテーブルｂの開口部ｄのＸ方向の周縁２ｂが光源ｅに接近してくると、一方の列（図１では下方の列）の支持ローラ３が当たらないように退避するので、開口部ｄのＸ方向の周縁２ｂは光源ｅ近傍まで接近することができ、したがって、基板１は周縁付近まで検査することができる。
【００２０】
支持ローラ３の退避は次のように行われる。すなわち、Ｘテーブルｂの位置は常にモニタされており、Ｘ方向の周縁２ｂが図１における下側の列の支持ローラ３に接近してくると、信号が発信される。その信号は、図示しない操作盤を経由して、エアシリンダ５に指令を出し、ピストンロッド５ａが引き込み、支持板４ａが下降し、支持ローラ３の退避が完了する。
【００２１】
何らかの故障により、Ｘ方向の周縁２ｂが接近してきても支持ローラ３が下降しないことが考えられる。その場合のフェイルセーフ対策として、支持ローラ３は周縁２ｂに当接したとき倒伏するようになっている。すなわち、支持ローラ３は垂直面内で回転可能なアーム３ａにより支持されている。アーム３ａはストッパ３ｆと捩りばね３ｅとにより垂直位置に付勢されており、支持ローラ３がＸ方向の周縁２ｂに当接すると捩りばね３ｅの、ばね力に抗して光源ｅ側に倒伏する。
【００２２】
本発明は、以上述べた実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能である。例えばＸテーブル上にθテーブルを載せ、θテーブルを微調整してＸ方向とＲＧＢ画素の並び方向とを正確に一致させるようにしてもよい。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のカラーフィルタ検査装置の基板保持機構は、ＣＣＤラインカメラ下方の光源近傍で複数の支持ローラにより基板下面を支持するようにしたので、基板の撓み量をＣＣＤラインカメラの被写界深度以内におさえることができ、高い検査分解能を維持することができる。さらに、支持ローラを退避可能にしたので、基板の周縁近傍にあるＲＧＢ画素を検査することができるなどの優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカラーフィルタ検査装置の基板保持機構の平面図である。
【図２】同じく基板保持機構の正面図である。
【図３】支持ローラの詳細図であり、（Ａ）は正面断面図、（Ｂ）は側面図である。
【図４】カラーフィルタ検査装置の概要を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  基板
２  支持枠体
３  支持ローラ
１０  基板保持機構
ｂ  Ｘテーブル
ｄ  開口部
ｅ  光源
ｆ  ラインセンサカメラ
ｇ  Ｘ方向を示す矢印
ｈ  Ｙ方向を示す矢印
【図１】
0003744650.tif 000002
【図２】
0003744650.tif 000003
【図３】
0003744650.tif 000004
【図４】
0003744650.tif 000005