(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に搭載された半導体チップと、該半導体チップと熱的に接続されたリッドとを有する半導体装置の製造方法であって、
前記半導体チップの前記リッドの配設側に、該半導体チップの変形を抑制するスティフナーを配設する工程と、
加熱を行なうことにより、前記スティフナーが配設された半導体チップを前記基板に接合する工程と、
前記スティフナーが配設された半導体チップを前記基板に接合材を介して接合した後、前記スティフナーに前記リッドを接合する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記スティフナーの材料を、前記半導体チップと実質的に等しい熱膨張係数を有する材料としたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
バンプが配設された半導体チップと、
該半導体チップ上に第１の接合材を介して接合されており、前記半導体チップの変形を抑制するスティフナーと、
前記バンプを介して前記半導体チップが搭載される基板と、
該スティフナー上に第２の接合材を介して接合されるリッドとを有する半導体装置であって、
前記第１の接合材の融点をＴ１、前記バンプの融点をＴｂ、前記第２の接合材の融点をＴ２としたとき、各融点がＴ１＞Ｔｂ＞Ｔ２となるよう構成したことを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項３記載の半導体装置において、
前記スティフナーは、前記半導体チップと実質的に熱膨張係数が等しい材料であることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
マザーボード上に、請求項３または４記載の半導体装置を複数個配設したことを特徴とする半導体装置ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造方法及び半導体装置及び半導体装置ユニットに係り、特に半導体チップ上にリッドを配設した構造を有する半導体装置の製造方法及び半導体装置及び半導体装置ユニットに関する。
【０００２】
近年、半導体装置の高密度化に伴い、半導体チップの発熱量が増大する傾向にある。よって、半導体チップを効率よく冷却するために、半導体チップ上に冷却のためのリッドを設けることが行なわれている。
【０００３】
また、一方において半導体装置には高い信頼性が要求されている。よって、リッドを設けても、このリッドと半導体チップとの間で応力や剥離の発生のない、信頼性の高い半導体装置が望まれている。
【０００４】
【従来の技術】
従来から、基板上に半導体チップを搭載すると共に半導体チップの搭載面とは反対側の面に半田ボール等の外部接続端子を有した構造のＢＧＡ(Ball Grid Array)タイプの半導体装置が知られている。また、半導体チップの高速化及び高密度化に伴う発熱量の増大に対処するため、半導体チップの上部に放熱用のリッドを設けた半導体装置が提供されている。
【０００５】
図１及び図２は、この種の半導体装置の従来例を示している。図１に示す半導体装置１Ａは、多層構造とされた樹脂基板３の上面に半導体チップ２を搭載すると共に、基板３の下面には外部接続端子となるはんだボール４が配設されている。
【０００６】
半導体チップ２にはバンプ６が配設されており、半導体チップ２は基板３にフリップチップ接合される。また、半導体チップ２と基板３との接合強度を高めるため、半導体チップ２と基板３との間にはアンダーフィル材７が配設されている。
【０００７】
リッド５Ａは、例えば熱伝導率が高い金属により形成されている。従来、このリッド５Ａは半導体チップ２の上面に接合材８を用いて直接接合されていた。
【０００８】
一方、図２に示す半導体装置１Ｂは、中央部に突出部９を一体的に形成したリッド５Ｂを用いたことを特徴とするものである。このように、リッド５Ｂに突出部９を設けることにより、基板３とリッド５Ｂとの離間距離を大きくすることができるため、両者３，５Ｂの間にコンデンサー等の他の電子部品（図示せず）を配設することができる。
【０００９】
また、図２に示す半導体装置１Ｂでは、リッド５Ｂの支持を行なう枠体１０を基板３の外周位置に配設した構成としている。この枠体１０を設けることにより、リッド５Ｂは半導体チップ２ばかりではなく、枠体１０によっても支持されるため、半導体チップ２に印加される負荷を軽減することができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように、半導体装置１Ａ，１Ｂを構成する基板３は樹脂基板であり、また半導体チップ２はシリコン等の半導体材料により形成されているため、半導体チップ２と基板３の熱膨張率は異なっている。また、半導体チップ２を基板３にフリップチップ接合する際、バンプ６を溶融させるために加熱処理が行なわれる。このフリップチップ時の加熱により、半導体チップ２及び基板３にも熱印加がされる。よって、半導体チップ２と基板３の熱膨張率差に起因して、半導体チップ２には反りが発生する。
【００１１】
続いて、上記のように反りが発生した半導体チップ２に対し、リッド５Ａを接合するときに発生する問題点について、図３を参照しつつ説明する。前記したように、従来ではリッド５Ａを半導体チップ２に接合材８を介して直接接合する構成としていた。この接合材８としては、通常熱硬化性樹脂が用いられており、接合時にはキュア処理（加熱処理）が行なわれる。
【００１２】
このように、リッド５Ａの接合時にキュア処理が実施されると、半導体チップ２はフリップチップ接合時に発生した反りを解消するように変形する。具体的には、半導体チップ２は反った状態（図３に示す状態）から、同図に矢印Ａで示す一点鎖線の位置に向け変形しようとする。
【００１３】
接合材８は、半導体チップ２とリッド５Ａとの間に介在するため、半導体チップ２が上記変形を行なうことにより、外側部分に位置する接合材８（以下、外周接合部分８Ａという）には圧縮される力が作用する。また、内側部分に位置する接合材８（以下、内周接合部分８Ｂという）では、接合材８には伸長される力が作用する。
【００１４】
このように、半導体チップ２とリッド５Ａとの接合時において、接合材８内に異なる力が作用すると、これに起因して接合材８内に内部応力やボイド（空隙）が発生することがある。このように接合材８内に内部応力が発生すると、この内部応力発生位置にクラックが発生するおそれがある。
【００１５】
また、接合材８ないにボイドが発生すると、半導体装置１Ａを実装基板に実装する際、実装時加熱（はんだボール４を溶融させるための加熱）等により、接合材８に亀裂が生じたり、最悪の場合にはリッド５Ａが半導体チップ２から剥離したりするおそれがある。この問題点は、接合材８の厚さを厚くすることにより若干は改善されるが、これに伴い接合材８の熱伝導性が低下し、半導体チップ２に対する放熱効率性能が低下してしまう
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、半導体チップの放熱効率を高く維持しつつ、信頼性の向上も図りうる半導体装置の製造方法及び半導体装置及び半導体装置ユニットを提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１７】
請求項１記載の発明は、
基板上に搭載された半導体チップと、該半導体チップと熱的に接続されたリッドとを有する半導体装置の製造方法であって、
前記半導体チップの前記リッドの配設側に、該半導体チップの変形を抑制するスティフナーを配設する工程と、
加熱を行なうことにより、前記スティフナーが配設された半導体チップを前記基板に接合する工程と、
前記スティフナーが配設された半導体チップを前記基板に接合した後、接合材を介して前記スティフナーに前記リッドを接合する工程とを有することを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項２記載の発明は、
請求項１記載の半導体装置の製造方法において、
前記スティフナーの材料を、前記半導体チップと実質的に等しい熱膨張係数を有する材料としたことを特徴とするものである。
【００１９】
また、請求項３記載の発明は、
バンプが配設された半導体チップと、
該半導体チップ上に第１の接合材を介して接合されており、前記半導体チップの変形を抑制するスティフナーと、
前記バンプを介して前記半導体チップが搭載される基板と、
該スティフナー上に第２の接合材を介して接合されるリッドとを有する半導体装置であって、
前記第１の接合材の融点をＴ１、前記バンプの融点をＴｂ、前記第２の接合材の融点をＴ２としたとき、各融点がＴ１＞Ｔｂ＞Ｔ２となるよう構成したことを特徴とするものである。
【００２０】
また、請求項４記載の発明は、
請求項３記載の半導体装置において、
前記スティフナーは、前記半導体チップと実質的に熱膨張係数が等しい材料であることを特徴とするものである。
【００２１】
また、請求項５記載の発明は、
マザーボード上に、請求項３または４記載の半導体装置を複数個配設したことを特徴とするものである。
【００２２】
上記した各手段は、次のように作用する。
【００２３】
請求項１記載の発明によれば、半導体チップの変形を抑制するスティフナーが配設された半導体チップを基板に接合するため、この接合時に半導体チップに反りが発生することはない。よってリッドの接合時には、リッドは反りの発生してないスティフナーに接合されるため、リッドとスティフナーとの間に介在する接合材に内部応力やボイドが発生することはない。このため、リッドとスティフナーを確実に接合でき、製造される半導体装置の信頼性を高めることができる。
【００２４】
また、リッドとスティフナーとを接合する接合材に内部応力やボイドが発生しないため、接合材を薄くすることができる。これにより、接合材における熱伝達効率が向上するため、半導体チップで発生する熱をスティフナー及び接合材を介して効率よく放熱することができる。
【００２５】
また、請求項２及び請求項４記載の発明によれば、スティフナーの材料を半導体チップと実質的に等しい熱膨張係数を有する材料としたことにより、熱印加されてもスティフナーと半導体チップとの熱膨張差に起因してスティフナー，半導体チップ，或いはその双方に反り等の変形が発生することはない。よって、スティフナーとリッドとの接合を確実に行なうことができ、製造される半導体装置の信頼性を高めることができる。
【００２６】
また、請求項３記載の発明によれば、第１の接合材の融点Ｔ１と、バンプの融点Ｔｂと、第２の接合材の融点Ｔ２が、Ｔ１＞Ｔｂ＞Ｔ２となるよう設定されているため、リッドを第２の接合材を介してスティフナーに接合する際、第１の接合材及びバンプが溶融することはない。また、半導体チップを基板にバンプにより接合する際、第１の接合材が溶融することはない。このため、スティフナーが第１の接合材により確実に半導体チップに接合された状態で、半導体チップの基板への接合及びリッドの接合が行なわれるため、半導体チップに反り等の変形が発生することはなく、半導体装置の信頼性を高めることができる。
【００２７】
また、請求項５記載の発明によれば、マザーボード上に請求項３または４記載の半導体装置を複数個配設したことにより、放熱特性に優れると共に高い信頼性を有したマルチチップモジュールを実現することができる。
【００２８】
また、上記の各発明において、前記スティフナーに前記半導体チップの一部が挿入される凹部を形成することとしてもよい。これにより、半導体チップとスティフナーとの位置決めを容易に行なうことができると共に、半導体チップとスティフナーとの接合面積が増大するため、接合力を高めることができる。
【００２９】
また、上記の各発明において、スティフナーの角部に面取り部を形成することとしてもよい。これにより、応力集中が発生しやすい半導体チップの角部にスティフナーの面取り部が位置することとなり、この部位に位置する接合材に応力が集中されることを防止できる。よって、特に半導体チップ及びリッドの角部に位置する接合材にクラック等の損傷が発生することを抑制することができる。
【００３０】
また、上記の各発明において、スティフナーを複数のスティフナー層を積層する構成としてもよい。これにより、スティフナーの特性を各層毎に変化させることが可能となる。よって、例えば半導体チップ側に配設されるスティフナー層を半導体チップに近い特性のものを選定し、リッド側に配設されるスティフナー層をリッドに近い特性のものを選定することにより、半導体チップ及びリッドに対するスティフナーの接合性を高めることができると共に、反り等の変形の発生も抑制することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面と共に説明する。
【００３２】
図４は本発明の一実施例である半導体装置２０Ａを示しており、また図５は図４に示す半導体装置２０Ａを用いた半導体装置ユニット３０を示している。図４に示す半導体装置２０Ａは、大略すると半導体チップ２２，基板２３，リッド２５，及びスティフナー２８Ａ等により構成されている。
【００３３】
半導体チップ２２は高密度化された半導体チップであり、回路形成面（図中の下面）には多数のバンプ２６が形成されている。このバンプ２６は、本実施例でははんだを用いている。
【００３４】
基板２３は多層配線基板であり、よって複数の導体配線層が積層された構成とされている。各導体配線層は絶縁性樹脂をベース材に配線膜が形成された構成とされており、また各導体配線層間の電気的接続は層間配線（例えば、導体ビア）により電気的に接続されている。
【００３５】
また、基板２３の半導体チップを搭載する素子搭載面（図中の上面）にはバンプ接合パッドが形成されており、また素子搭載面と反対側の実装面（図中の下面）には外部接続用パッドが形成されている。半導体チップ２２に設けられたバンプ２６は、このバンプ接合パッドに接合される。また、外部接続端子となるはんだボール２４は、外部接続用パッドに接合される。この際、上記のように基板２３として複数の導体配線層が積層された多層配線基板を用いることにより、配線設計及びファンアウトの自由度が向上し、バンプ接合パッド（即ち、バンプ２６）の狭ピッチ化を図ることができる。
【００３６】
半導体チップ２２は、上記構成とされた基板２３にフリップチップ技術を用いて搭載される。これにより、半導体チップ２２と基板２３は電気的に接続される。
【００３７】
また、半導体チップ２２と基板２３との間にはアンダーフィル材２７が介装される。このアンダーフィル材２７は、バンプ２６に印加される応力を緩和させる機能を奏する。
【００３８】
半田ボール２４は、前記のように外部接続端子として機能するものであり、例えば転写法を用いて基板２３の外部接続用パッドに接合される。よって、半導体チップ１２は、基板２３を介してはんだボール２４と電気的に接続した構成となる。
【００３９】
リッド２５は、半導体チップ２２上に接合されたスティフナー２８Ａの更に上面に、第２の接合材２８Ｂを介して接合される。このリッド２５は、半導体チップ２２で発生し、スティフナー２８Ａを介して熱伝達されてくる熱を放熱する機能を奏するものであり、よって熱伝導性が高い金属材料（例えば、アルミニウム等）により形成されている。尚、本実施例ではリッド２５を板形状した例を示しているが、リッド２５にフィンを形成し更に放熱特性を高める構成としてもよい。
【００４０】
スティフナー２８Ａは、図４に示されるように、半導体チップ２２とリッド２５との間に介在する部材である。このスティフナー２８Ａは、セラミック材料（例えは、ＢＮ，ＳｉＣ，ＢｅＯ，ＡＬＮ等）、複合材（例えば、ＡＬＣ，ＣＷ等）、金属（例えば、Ｃｕ，Ｗ，Ｍｏ等）、その他の材料（例えば、Ｓｉ，ダイヤモンド等）により形成されている。このスティフナー２８Ａの材質は、半導体チップ２２と実質的に等しい熱膨張係数を有する材料を選定することが望ましい。
【００４１】
ここで、実質的に熱膨張係数が等しいとは次のように定義する。即ち、第１の接合材２９Ａを用いて半導体チップ２２とスティフナー２８Ａとを接合した際、半導体チップ２２とスティフナー２８Ａとの熱膨張係数差に起因して、半導体チップ２２及びスティフナー２８Ａの双方に反り等の変形が発生しない場合、これを「実質的に熱膨張係数が等しい」ということとする。
【００４２】
上記のように、スティフナー２８Ａの材料を半導体チップ２２実質的に等しい熱膨張係数を有する材料とすることにより、半導体チップ２２にスティフナー２８Ａが接合された後に熱印加されても、スティフナー２８Ａと半導体チップ２２の熱膨張差に起因し、半導体チップ２２，スティフナー２８Ａ，或いはその双方２２，２８に反り等の変形が発生するようなことはない。よって、スティフナー２８Ａとリッド２５の接合を確実に行なうことが可能（半導体チップ２２及びスティフナー２８Ａが変形していないため）となり、半導体装置２０Ａの信頼性を高めることができる。
【００４３】
また、図５に示すように、マザーボード３１上に半導体装置２０Ａを複数個配設して半導体装置ユニット３０を構成することにより、放熱特性に優れると共に高い信頼性を有したマルチチップモジュールを実現することができる。尚、図５において、コネクタ３２はマザーボード３１を外部装置と接続するためのコネクタである。
【００４４】
続いて、図４に示した半導体装置２０Ａの製造方法について説明する。図６は、半導体装置２０Ａの製造方法を製造手順に沿って示す図である。
【００４５】
半導体装置２０Ａを製造するには、先ず図６（Ａ）に示すように、半導体チップ２２に第１の接合材２９Ａを配設する。半導体チップ２２には、予めバンプ２６が配設されている。
【００４６】
このバンプ２６ははんだバンプであり、例えば転写法を用いて半導体チップ２２の電極に配設されている。また、第１の接合材２９Ａは、例えばエポキシ系樹脂或いは低融点金属（低融点はんだ等）である。尚、以下の説明において、バンプ２６を構成するはんだの融点をＴｂと示し、第１の接合材２９Ａの融点をＴ１示すこととする。
【００４７】
上記のように半導体チップ２２の背面に第１の接合材２９Ａが配設されると、続いて半導体チップ２２にスティフナー２８Ａが接合される。前記したように、スティフナー２８Ａは半導体チップ２２と実質的に等しい熱膨張係数を有しており、また半導体チップ２２に対して高い剛性を有している。このため、スティフナー２８Ａは半導体チップ２２を補強する補強材として機能する。
【００４８】
半導体チップ２２とスティフナー２８Ａの接合は、第１の接合材２９Ａを用いて行なわれる。このため、半導体チップ２２及びスティフナー２８Ａを溶融温度Ｔ１まで加熱処理し、これにより第１の接合材２９Ａを溶融して半導体チップ２２とスティフナー２８Ａとを接合する。図６（Ｂ）は、半導体チップ２２とスティフナー２８Ａが第１の接合材２９Ａにより接合した状態を示している。
【００４９】
半導体チップ２２とスティフナー２８Ａとの接合処理が終了すると、続いて半導体チップ２２を基板２３に接合する。この基板２３への半導体チップ２２の接合は、フリップチップ接合法を用いて行なわれる。
【００５０】
即ち、バンプ２６が溶融する温度Ｔｂまて加熱された環境下で、半導体チップ２２を基板２３にフェイスダウンボンディングする。この半導体チップ２２を基板２３に接合する際、半導体チップ２２はスティフナー２８Ａにより補強されている。即ち、スティフナー２８Ａは、半導体チップ２２よりも高い剛性を有している。
【００５１】
また、この剛性の強さは、半導体チップ２２を基板２３に接合する際、両者２２，２３の熱膨張差に起因して半導体チップ２２を変形させようとする力を阻止する強さとされている。図６（Ｃ）は、半導体チップ２２が基板２３に接合された状態を示している。同図に示されるように、半導体チップ２２を基板２３に接合しても、半導体チップ２２には反り等の変形が発生するようなことはない。
【００５２】
上記のように半導体チップ２２が基板２３に接合されると、半導体チップ２２と基板２３との間にバンプ２６を補強するアンダーフィル材２７が配設される。図６（Ｄ）は、アンダーフィル材２７が配設された状態を示している。
【００５３】
続いて、スティフナー２８Ａの上面には、リッド２５を接合するための第２の接合材２８Ｂが配設される。この第２の接合材２８Ｂとしては、例えばＡｇペーストを用いることができる。図６（Ｅ）は、スティフナー２８Ａの上面に第２の接合材２８Ｂを配設した状態を示している。尚、以下の説明において、この第２の接合材２８Ｂの融点をＴ２と示すこととする。
【００５４】
上記のようにスティフナー２８Ａ上に第２の接合材２８Ｂが配設されると、続いて第２の接合材２８Ｂを介してリッド２５がスティフナー２８Ｂに接合される。具体的には、第２の接合材２８Ｂが溶融する温度Ｔ２まて加熱された環境下で、リッド２５をスティフナー２８Ａに接合する。これにより、図６（Ｆ）に示すように、半導体装置２０Ａが製造される。
【００５５】
ここで、第１の接合材２９Ａの融点Ｔ１、第２の接合材２８Ｂの融点Ｔ２、及びバンプ２６の融点Ｔｂの関係に注目する。本実施例では、接合材２９Ａ，２９Ｂ及びバンプ２６の材料を適宜選定することにより、各融点がＴ１＞Ｔｂ＞Ｔ２の関係を持つよう構成している。
【００５６】
各融点Ｔ１，Ｔ２，Ｔｂを上記のように設定することにより、リッド２５を第２の接合材２８Ｂを介してスティフナー２８Ａに接合する際、第１の接合材２９Ａ及びバンプ２６が溶融するようなことはない。また、半導体チップ２２を基板２３にバンプ２６により接合する際、第１の接合材２９Ａが溶融することはない。
【００５７】
これにより、第１の接合材２９Ａによりスティフナー２８Ａが半導体チップ２２に確実に接合された状態で、換言すれば半導体チップ２２がスティフナー２８Ａにより確実に補強され変形の発生していない状態で、半導体チップ２２を基板２３に接合する処理、及びリッド２５をスティフナー２８Ａに接合する処理が行なわれる。このため、上記の各接合処理を確実に行なうことが可能となり、半導体装置２０Ａの信頼性を高めることができる。
【００５８】
また、上記したように本実施例では、半導体チップ２２の変形を抑制するスティフナー２８Ａが配設された状態で、半導体チップ２２を基板２３に接合する。このため、この基板２３への接合時に半導体チップ２２に反りが発生することはない。
【００５９】
よってリッド２５をスティフナー２８Ａに接合する時には、リッド２５は反りの発生してないスティフナー２８Ａ上に接合される。このため、この接合時において、リッド２５とスティフナー２８Ａとの間に介在する第２の接合材２８Ｂに内部応力やボイドが発生するようなことはない。従って、リッド２５とスティフナー２８Ａを確実に接合でき、半導体装置２０Ａの信頼性を高めることができる。
【００６０】
また、上記のように第２の接合材２８Ｂに内部応力やボイドが発生しないことにより、スティフナー２８Ｂを薄くすることが可能となる。これにより、スティフナー２８Ｂの熱伝達効率を高めることができ、よって半導体チップ２２で発生する熱をスティフナー２８Ａ及び第２の接合材２８Ｂを介して効率よく放熱することができる。
【００６１】
続いて、上記した半導体装置２０Ａの変形例について説明する。
図７乃至図１０は、上記した半導体装置２０Ａの変形例を示している。尚、各図において、図４乃至図６に示した構成と同一構成については同一符号を付してその説明を省略する。
【００６２】
図７は、第１変形例である半導体装置２０Ｂを示している。同図に示す半導体装置２０Ｂは、リッド２５の支持を行なう枠体３３を基板２３の外周位置に配設した構成としている。この枠体３３は、下面を接着剤３４Ａにより基板２３に接合され、上面を接着剤３４Ｂによりリッド２５に接合された構成とされている。
【００６３】
この枠体３３を設けることにより、リッド２５は半導体チップ２２ばかりではなく、枠体３３によっても支持されるため、半導体チップ２２に印加される負荷を軽減することができる。また、基板２３上の半導体チップ２２と枠体３３との間に、コンデンサー等の他の電子部品（図示せず）を配設することも可能となる。
【００６４】
また、図２を用いて説明した従来の半導体装置１Ｂと比較すると、半導体装置１Ｂではリッド５Ｂに一体的に突出部９を形成する必要があり、その形成が面倒であった。これに対し、本実施例ではスティフナー２８Ｂが突出部９と等価の機能を奏するため、リッド２５は突起部の無い平板状のものを用いることができる。このため、リッド２５に突起部を形成する必要はなく、よって半導体装置２０Ｂの製造を容易に行なうことができる。
【００６５】
図８は、第２実施例である半導体装置に設けられるスティフナー２８Ｂを拡大して示す図である。本変形例では、スティフナー２８Ｂに半導体チップ２２の上部の一部が挿入されるキャビティ部３５（凹部）を形成したことを特徴とするものである。スティフナー２８Ｂにキャビティ部３５を形成することにより、半導体チップ２２とスティフナー２８Ｂとを接合する際、両者２２，２８Ｂの位置決めを容易に行なうことができる。また、半導体チップ２２とスティフナー２８Ｂとの接合面積が増大するため、接合力を高めることができる。
【００６６】
図９は、第３実施例である半導体装置に設けられるスティフナー２８Ｂを拡大して示す平面図である。本変形例ではスティフナー２８Ｃの角部（四隅位置）に面取り部３６を形成したことを特徴とするものである。従って、スティフナー２８Ｃは平面視した状態で八角形状となる。
【００６７】
ところで、半導体チップ２２の角部は、平面視した状態で略直角となっているため、応力集中が発生しやすい。スティフナー２８Ｃに形成された面取り部３６は、上記のように応力集中が発生しやすい半導体チップ２２の角部と対応する位置に形成されている。
【００６８】
これにより、半導体チップ２２とスティフナー２８Ｃとの間に介在される第１の接合材２９Ａに応力が発生しても、これが半導体チップ２２の角部に集中することを防止できる。よって、特に半導体チップ２２の角部に対応する位置において、第１の接合材２９Ａにクラック等の損傷が発生することを防止することができる。
【００６９】
図１０は、第４実施例である半導体装置に設けられるスティフナー２８Ｄを拡大して示す図である。本変形例では、スティフナー２８Ｄを複数（本変形例では２層）のスティフナー層（以下、第１層３７,第２層３８という）を積層した構成とたことを特徴とするものである。
【００７０】
このように、スティフナー２８Ｄを第１層３７及び第２層３８により構成することにより、スティフナー２８Ｄの特性を各層毎に変化させることが可能となる。よって、例えば半導体チップ側に配設される第１層３７として半導体チップ２２に近い特性のものを選定し、リッド側に配設される第２層３８をリッド２５に近い特性のものを選定することが可能となる。これにより、半導体チップ２２及びリッド２５に対するスティフナー２８Ｄの接合性を高めることができ、よって半導体チップ２２及びリッド２５に反り等の変形が発生することを抑制することができる。
【００７１】
以上の説明に関し、更に以下の項を開示する。
【００７２】
（付記１）  基板上に搭載された半導体チップと、該半導体チップと熱的に接続されたリッドとを有する半導体装置の製造方法であって、
前記半導体チップの前記リッドの配設側に、該半導体チップの変形を抑制するスティフナーを配設する工程と、
加熱を行なうことにより、前記スティフナーが配設された半導体チップを前記基板に接合する工程と、
前記スティフナーが配設された半導体チップを前記基板に接合した後、接合材を介して前記スティフナーに前記リッドを接合する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
（付記２）  付記１記載の半導体装置の製造方法において、
前記スティフナーの材料を、前記半導体チップと実質的に等しい熱膨張係数を有する材料としたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
（付記３）  付記１または２記載の半導体装置の製造方法において、
前記スティフナーに前記半導体チップの一部が挿入される凹部を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００７３】
（付記４）  付記１乃至３のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記スティフナーの角部に面取り部を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００７４】
（付記５）  付記１乃至４のいずれか１項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記スティフナーを複数のスティフナー層を積層する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００７５】
（付記６）  バンプが配設された半導体チップと、
該半導体チップ上に第１の接合材を介して接合されており、前記半導体チップの変形を抑制するスティフナーと、
前記バンプを介して前記半導体チップが搭載される基板と、
該スティフナー上に第２の接合材を介して接合されるリッドとを有する半導体装置であって、
前記第１の接合材の融点をＴ１、前記バンプの融点をＴｂ、前記第２の接合材の融点をＴ２としたとき、各融点がＴ１＞Ｔｂ＞Ｔ２となるよう構成したことを特徴とする半導体装置。
（付記７）  付記６記載の半導体装置において、
前記スティフナーは、前記半導体チップと実質的に熱膨張係数が等しい材料であることを特徴とする半導体装置。
（付記８）  付記６または７記載の半導体装置において、
前記スティフナーは、前記半導体チップの一部が挿入される凹部を形成したことを特徴とする半導体装置。
【００７６】
（付記９）  付記６乃至８のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記スティフナーの角部に面取り部を形成したことを特徴とする半導体装置。
【００７７】
（付記１０）  付記６乃至９のいずれか１項に記載の半導体装置において、
前記スティフナーを複数のスティフナー層により構成したことを特徴とする半導体装置。
【００７８】
（付記１１）  マザーボード上に、付記６乃至１０のいずれか１項に記載の半導体装置を複数個配設したことを特徴とする半導体装置ユニット。
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、次に述べる種々の効果を実現することができる。
【００７９】
請求項１記載の発明によれば、リッドとスティフナーとの間に介在する接合材に内部応力やボイドが発生しないため、リッドとスティフナーを確実に接合でき、製造される半導体装置の信頼性を高めることができる。また、接合材を薄くできることにより接合材における熱伝達効率が向上し、よって半導体チップで発生する熱をスティフナー及び接合材を介して効率よく放熱することができる。
【００８０】
また、請求項２及び請求項４記載の発明によれば、熱印加されてもスティフナーと半導体チップとの熱膨張差に起因してスティフナー，半導体チップ，或いはその双方に反り等の変形が発生することはなく、よってスティフナーとリッドとの接合を確実に行なうことができ、製造される半導体装置の信頼性を高めることができる。
【００８１】
また、請求項３記載の発明によれば、スティフナーが第１の接合材により確実に半導体チップに接合された状態で、半導体チップの基板への接合及びリッドの接合が行なわれるため、半導体チップに反り等の変形が発生することはなく、半導体装置の信頼性を高めることができる。
【００８２】
また、請求項５記載の発明によれば、マザーボード上に請求項３または４記載の半導体装置を複数個配設したことにより、放熱特性に優れると共に高い信頼性を有したマルチチップモジュールを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の一例である半導体装置を示す図である（その１）。
【図２】従来の一例である半導体装置を示す図である（その２）。
【図３】従来の問題点を説明するための図である。
【図４】本発明の一実施例である半導体装置を示す図である。
【図５】本発明の一実施例である半導体装置を用いた半導体ユニットを示す図である。
【図６】本発明の一実施例である半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図７】図４に示す半導体装置の第１変形例を説明するための図である。
【図８】図４に示す半導体装置の第２変形例を説明するための図である。
【図９】図４に示す半導体装置の第３変形例を説明するための図である。
【図１０】図４に示す半導体装置の第４変形例を説明するための図である。
【符号の説明】
２０Ａ，２０Ｂ  半導体装置
２２  半導体チップ
２３  基板
２４  はんだボール
２５  リッド
２６  バンプ
２７  アンダーフィル材
２８Ａ〜２８Ｄ  スティフナー
２９Ａ，２９Ｂ  第１の接合材
３０  半導体装置ユニット
３１  マザーボード
３３  枠体
３５  キャビティ部
３６  面取り部
３７  第１層
３８  第２層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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