(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置基板に設けられた第１の端子電極列とフレキシブル配線板に設けられた第２の端子電極列とが、互いに電気的に接続されるように、前記表示装置基板と前記フレキシブル配線板とを、熱圧着するためのヒータヘッドと、
前記ヒータヘッドが前記表示装置基板と前記フレキシブル配線板を所定の荷重で押圧するように、前記ヒータヘッドを駆動するヒータヘッド駆動手段と、
熱圧着による前記第２の端子電極列の伸び量を制御するために、前記ヒータヘッド駆動手段によって前記ヒータヘッドが前記フレキシブル配線板に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整する、伸び量制御手段とを備えた、実装装置。
【請求項２】
前記第１の端子電極列の両側に設けられた基準パターンと前記第２の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターンとの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段と、
前記位置ずれ量に基づいて、前記第２の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出手段と、
前記第２の端子電極列の伸び量に基づいて、前記第１の端子電極列の伸び量と前記第２の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める、補正量導出手段とを備えた、請求項１に記載の実装装置。
【請求項３】
前記伸び量制御手段は、前記補正量をフィードバックすることで、制御を行なう手段である、請求項２に記載の実装装置。
【請求項４】
操作パラメータと前記第２の端子電極列の伸び量との関係に関するデータを保持するためのデータ保持手段を備え、前記伸び量制御手段は、前記補正量に基づいて、前記データ保持手段に保持されたデータから必要な制御方法を導出して、制御を行なう手段である、請求項２または３に記載の実装装置。
【請求項５】
表示装置基板に設けられた第１の端子電極列とフレキシブル配線板に設けられた第２の端子電極列とが、互いに電気的に接続されるように、前記表示装置基板と、前記フレキシブル配線板とを、ヒータヘッドによって熱圧着することによる実装方法であって、
前記ヒータヘッドが前記フレキシブル配線板に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を操作することによって、
熱圧着による前記第２の端子電極列の伸び量を制御する、実装方法。
【請求項６】
前記荷重変化量および前記到達時間の操作は、前記荷重変化量および前記到達時間を実質的に一定値にすることである、請求項５に記載の実装方法。
【請求項７】
前記荷重変化量および前記到達時間の操作は、前記伸び量が所望の値になるように定量制御することである、請求項５に記載の実装方法。
【請求項８】
前記第１の端子電極列の両側に設けられた基準パターンと前記第２の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターンとの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出工程と、
前記位置ずれ量に基づいて、前記第２の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出工程と、
前記第２の端子電極列の伸び量に基づいて、前記第１の端子電極列の伸び量と前記第２の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める補正量導出工程とを含み、
前記補正量をフィードバックすることで定量制御を行なう、請求項５に記載の実装方法。
【請求項９】
前記フレキシブル配線板と、前記ヒータヘッドとの相対的位置を仮に固定する仮圧着工程と、
前記仮圧着工程の後に行なう前記位置ずれ量検出工程と、
前記位置ずれ量検出工程の後に行なう本圧着工程とを含む、請求項８に記載の実装方法。
【請求項１０】
前記第１の端子電極列の両側に設けられた基準パターン同士の相対位置関係と、前記第２の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターン同士の相対位置関係とを求める相対位置検出工程と、
前記相対位置検出工程の後に行なう、前記フレキシブル配線板と、前記ヒータヘッドとの相対的位置を仮に固定する仮圧着工程と、
前記相対位置検出工程で得た情報に基づいて、前記第２の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出工程と、
前記第２の端子電極列の伸び量に基づいて、前記第１の端子電極列の伸び量と前記第２の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める補正量導出工程と、
前記仮圧着工程の後に行なう本圧着工程とを含む、請求項５に記載の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示装置基板にフレキシブル基板を実装する際の実装装置および実装方法に関する。この実装とは、具体的には、端子電極列同士を電気的に接続することである。たとえば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）液晶ディスプレイ装置の端子電極と、駆動用ＬＳＩ（Large Scale Integrated circuit）を実装したフレキシブル配線板であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）の端子電極とを接続する際に用いる実装装置および実装方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１０、図１１を参照して、従来における、液晶層１が封入された液晶表示装置２と、駆動用ＬＳＩを実装したフレキシブル配線板４との、接続方法について説明する。接続を行なうには、図１０に示すように、液晶表示装置２の端子電極３と、フレキシブル配線板４の端子電極５とが、接着剤６などにより熱圧着されていた。熱圧着は、シリンダ方式のヒータツール８を降下させて押しつけることによって行われていた。
【０００３】
熱圧着した状態の平面図を図１１に示す。一般に、熱圧着においては、フレキシブル配線板４が伸びることが知られている。図１１では、端子電極３と端子電極５とは、一直線上に重なり合っているように見えるが、端子電極列のうち端に位置する端子電極３と端子電極５との重なり合いを拡大すると、図１２に示すように、フレキシブル配線板４の伸び量に起因して、電極幅方向に位置ずれ量７だけずれた関係になる。
【０００４】
従来は、フレキシブル配線板４の伸び量を調整するために、作業者が顕微鏡などを用いて、位置ずれ量７を測定し、圧着温度、圧着圧力、圧着時間などのパラメータを変え、再度熱圧着を行なって位置ずれ量７を測定し、試行錯誤を繰返して、その都度、適当な条件を見出して、熱圧着を行なっていた。
【０００５】
特に、従来は、端子電極のピッチが大きく、フレキシブル配線板の伸び量を考慮する必要にはさほど迫られておらず、また、実際にフレキシブル配線板の伸び量を制御するために、何をどうすれば制御できるのかが判明していなかった。そのため、従来の装置において変更可能なパラメータとして、ヒータツールの下降速度を調整するためにエアの流量などを変更するなど、作業者の勘と経験を頼りに、材料やサイズの差異に伴う伸び量のずれを抑えこむこととしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
昨今のフレキシブル配線板の高精細化に伴い、端子電極のピッチが狭くなり、フレキシブル配線板の伸び量を正確に把握する必要が生じてきたため、従来の実装方法では対応しきれなくなってきている。
【０００７】
そもそも上述のような従来の技術においては、３つの問題点があった。
第一には、シリンダ方式のヒータツール８による圧着温度、圧着圧力、圧着時間の調整は、作業者の勘や経験に基づいてされており、フレキシブル配線板４の伸び量の必要調整量に対して最適な定量的調整ができていないことが挙げられる。また、作業者の熟練度にもよるが、一般に調整時間がかかり、短時間で調整を行なわなければならない場合には対応しきれない。
【０００８】
第二には、シリンダ方式のヒータツール８では、ストロークが長いため、シリンダ内部における圧力変動が大きく、対象物に加える荷重が安定しない。なお、荷重を圧着面積で割ったものが圧着圧力である。このことにより、伸び量がばらつき、端子電極３，５の位置ずれ不良を引き起こしていた。そのため、接続対象となる端子電極列の狭ピッチ化に十分対応することができなかった。
【０００９】
第三には、画像処理装置では、端子電極３，５間の位置ずれ量７の検出が不可能であったことから、位置ずれ量７の測定は、作業者が顕微鏡を用いて行なわざるを得ず、測定自体に時間がかかっていた。しかも、フレキシブル配線板の端子電極５は、一般的に、薬液によるエッチングによって形成されているため、図１３に示すように１本１本の端子電極５の断面が台形状になっており、たとえば人間がＡ，Ｂ，Ｃのうちどの位置を端子電極５の端と認識して測定するかによって数μｍの測定誤差が生じていた。また、圧着されている箇所と圧着されていない箇所とでは端子電極５の伸び量が異なることによっても、位置ずれ量７の測定結果にばらつきが発生していた。また、人手による顕微鏡での測定であるため、フレキシブル配線板４の端子電極列の両端の端子電極５の中心線同士の距離、すなわち、いわゆる「トータルピッチ」、などを即座に求めることができなかった。そのため、フィードバックを行なうことができず、伸び量のばらつきをリアルタイムに解消することができなかった。
【００１０】
そこで、本発明は、短時間でフレキシブル配線板の伸び量の検出および調整を可能とし、位置ずれ不良を防止できる実装装置および実装方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に基づく実装装置の一つの局面では、表示装置基板に設けられた第１の端子電極列とフレキシブル配線板に設けられた第２の端子電極列とが、互いに電気的に接続されるように、上記表示装置基板と上記フレキシブル配線板とを、熱圧着するためのヒータヘッドと、上記ヒータヘッドが上記表示装置基板と上記フレキシブル配線板を所定の荷重で押圧するように、上記ヒータヘッドを駆動するヒータヘッド駆動手段と、熱圧着による上記第２の端子電極列の伸び量を制御するために、上記ヒータヘッド駆動手段によって上記ヒータヘッドが上記フレキシブル配線板に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整する、伸び量制御手段とを備える。
【００１２】
上記構成を採用することにより、荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整することによって、フレキシブル配線板の伸び量を制御することができるため、従来、作業者の勘や経験に頼って測定していた伸び量のばらつきを解消することができる。したがって、位置ずれ不良を防止することができる。
【００１５】
上記発明において好ましくは、上記第１の端子電極列の両側に設けられた基準パターンと上記第２の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターンとの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段と、上記位置ずれ量に基づいて、上記第２の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出手段と、上記第２の端子電極列の伸び量に基づいて、上記第１の端子電極列の伸び量と上記第２の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める、補正量導出手段とを備える。
【００１６】
上記構成を採用することにより、補正量導出手段によって補正量を求めることができるため、従来、作業者の勘や経験に頼っていた場合に比べて、正確で、短時間に補正量を得ることができる。
【００１７】
上記発明において好ましくは、上記伸び量制御手段は、上記補正量をフィードバックすることで、制御を行なう手段である。この構成を採用することにより、従来のように作業者の勘や経験に基づいていた場合に比べて、実際のデータに基づいた補正ができるため、伸び量のばらつきに対して、正確かつリアルタイムでの対応が可能となる。
【００１８】
上記発明において好ましくは、操作パラメータと上記第２の端子電極列の伸び量との関係に関するデータを保持するためのデータ保持手段を備え、上記伸び量制御手段は、上記補正量に基づいて、上記データ保持手段に保持されたデータから必要な制御方法を導出して、制御を行なう手段である。この構成を採用することにより、速やかに必要な制御方法を導出し、制御することができる。また、保持するデータを充実させることによって、より優れた制御が行なえるようになる。
【００１９】
本発明に基づく実装方法の一つの局面においては、表示装置基板に設けられた第１の端子電極列とフレキシブル配線板に設けられた第２の端子電極列とが、互いに電気的に接続されるように、上記表示装置基板と、上記フレキシブル配線板とを、ヒータヘッドによって熱圧着することによる実装方法であって、上記ヒータヘッドが上記フレキシブル配線板に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を操作することによって、熱圧着による上記第２の端子電極列の伸び量を制御する。
【００２０】
上記方法を採用することにより、荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整することによって、フレキシブル配線板の伸び量を制御することができるため、従来、作業者の勘や経験に頼って測定していた伸び量のばらつきを解消することができる。したがって、位置ずれ不良を防止することができる。
【００２３】
上記発明において好ましくは、上記荷重変化量および上記到達時間の操作は、上記荷重変化量および上記到達時間を実質的に一定値にすることである。
。この構成を採用することにより、比較的単純な機構で、伸び量を安定させることができ、位置ずれ不良を低減することができる。
【００２４】
上記発明において好ましくは、上記荷重変化量および上記到達時間の操作は、上記伸び量が所望の値になるように定量制御することである。この構成を採用することにより、伸び量は定量制御によって所望の値に維持される。その結果、位置ずれ不良を低減することができる。
【００２５】
上記発明において好ましくは、上記第１の端子電極列の両側に設けられた基準パターンと上記第２の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターンとの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出工程と、上記位置ずれ量に基づいて、上記第２の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出工程と、上記第２の端子電極列の伸び量に基づいて、上記第１の端子電極列の伸び量と上記第２の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める補正量導出工程とを含み、上記補正量をフィードバックすることで定量制御を行なう。
【００２６】
上記構成を採用することにより、従来、作業者の勘や経験に頼って測定していた場合より迅速かつ客観的に補正量を求め、フィードバック制御を行なうことができる。そのため、生産ラインにおけるリアルタイムでの伸び量調整という要求にも問題なく対応することができる。
【００２７】
上記発明において好ましくは、上記フレキシブル配線板と、上記ヒータヘッドとの相対的位置を仮に固定する仮圧着工程と、上記仮圧着工程の後に行なう上記位置ずれ量検出工程と、上記位置ずれ量検出工程の後に行なう本圧着工程とを含む。この方法を採用することにより、仮圧着によって相対的位置を固定した状態で測定を行なうため、安定して測定を行なうことができる。そこから得た結果を本圧着に反映することができるため、より適正な圧着が可能となる。
【００２８】
上記発明において好ましくは、上記第１の端子電極列の両側に設けられた基準パターン同士の相対位置関係と、上記第２の端子電極列の両側に設けられた位置決めパターン同士の相対位置関係とを求める相対位置検出工程と、上記相対位置検出工程の後に行なう、上記フレキシブル配線板と、上記ヒータヘッドとの相対的位置を仮に固定する仮圧着工程と、上記相対位置検出工程で得た情報に基づいて、上記第２の端子電極列の伸び量を求める、伸び量導出工程と、上記第２の端子電極列の伸び量に基づいて、上記第１の端子電極列の伸び量と上記第２の端子電極列の伸び量との差である補正量を求める補正量導出工程と、上記仮圧着工程の後に行なう本圧着工程とを含む。この方法を採用することにより、仮圧着から本圧着までの間に測定作業を挿入できない場合でも、第２の端子電極列の伸び量を求めることができ、本圧着時には適正な制御を行なうことができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
（構成）
図１〜図３を参照して、本発明に基づく実施の形態１における実装装置について説明する。
【００３０】
この実装装置は、図３に示すように、熱圧着するためのヒータヘッド８０と、ヒータヘッド８０を駆動するためのヒータヘッド駆動手段としてのシリンダ２０とを備えている。さらに、この実装装置は、シリンダ２０によってヒータヘッド８０がフレキシブル配線板４（図１参照）に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整する、伸び量制御手段としての制御機構２１を備えている。これらの構成要素の働きについて詳しくは以下に述べる。
【００３１】
（実装のための動作）
この実装装置によって、図１に示すように、液晶層１を封入した液晶表示装置２の端子電極３と、フレキシブル配線板４の端子電極５とを熱圧着することによって、液晶表示装置２をフレキシブル配線板４に実装する。フレキシブル配線板４は、たとえば、ポリイミド製のベース基材に高密度で端子電極５が縞状に設けられたものである。図２では、端子電極５として、縞の両端の端子電極５１，５２のみを表示し、中間のものは図示省略している。フレキシブル配線板４の端子電極列の左右には、位置決めパターン１３１，１３２が設けられている。液晶表示装置２側には、端子電極列の左右には、基準位置パターン１４１，１４２が設けられている。基準位置パターン１４１，１４２間のピッチ１８は、フレキシブル配線板４の設計上既知である。なお、以下、「ピッチ」とは、中心間距離をいう。
【００３２】
位置決めパターン１３１，１３２と基準位置パターン１４１，１４２とは、圧着前の位置合わせのときに中心同士が一致していたとしても、熱圧着後には、フレキシブル配線板４の伸びに伴なってずれ、図２に示すように、中心同士のずれである相対位置ずれ量１５１，１５２を生じる。
【００３３】
図１に示すように、相対位置ずれ量１５１，１５２を、位置ずれ量検出手段としての伸び量検出ユニット２４に備えられた撮像装置１６（カメラなど）によって撮影し、画像処理装置１７で定量的に検出する。本圧着の前に仮圧着を行なう場合、この撮影および検出は、仮圧着前、仮圧着後のいずれの段階で行なってもよい。
【００３４】
図２に示す幾何学的関係において、伸び量検出ユニット２４で相対位置ずれ量１５１，１５２を定量的に検出し、伸び量導出手段を用いて演算処理を行ない、相対位置ずれ量１５１，１５２から、フレキシブル配線板４の左右の位置決めパターン間のピッチ１８の伸び率を導出する。伸び量導出手段は、たとえば、ＬＳＩ（Large Scale Integration）チップなどを組み合わせて、ＣＰＵ（Central Processing Unit）とメモリを備えた形にすることによって構成することができる。ただし、他の目的のために設けられたＣＰＵを兼用してもよい。
【００３５】
こうして伸び量導出手段によって得られた伸び率に基づいて、フレキシブル配線板４の両端の端子電極５１，５２間のピッチ１１の伸び量を算出する。ピッチ１１の伸び量に基づいて、補正量導出手段を用いて演算処理を行ない、予定した伸び量と実際の伸び量との差、すなわち、補正量を求めることができる。補正量は、端子電極３１，５１の中心線同士のずれ１９１と、端子電極３２，５２の中心線同士のずれ１９２との和として表される。補正量導出手段も、上述の伸び量導出手段と同様に、ＬＳＩチップなどによって構成することができる。
【００３６】
図３に、本実施の形態における実装装置の一部を示す。このヒータツールは、従来と同じくシリンダ方式であるが、ヒータヘッド８０を駆動するヒータ駆動手段としてのシリンダ２０へのエア圧、エア流量を電気的にフィードバック制御する制御機構２１を有する。制御機構２１は、シリンダ２０内の圧力変動を電気信号に変え、その信号を基にシリンダ２０への供給エア圧、供給エア流量を制御するものである。制御機構２１としては、市販のもの、たとえばＳＭＣ社製の電空レギュレータなどを用いることができる。制御機構２１による制御は、ヒータヘッド８０がフレキシブル配線板４に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整するものである。
【００３７】
（作用・効果）
本実施の形態における実装装置によれば、位置ずれ量検出手段としての撮像装置１６によって、相対位置ずれ量１５１，１５２を検出し、伸び量導出手段および補正量導出手段を用いて補正量を求めることができる。したがって、補正量の情報を伸び量制御手段に反映させることで、伸び量に対する対応を、従来に比べて格段に迅速に行なうことができる。
【００３８】
この実施の形態では、実装装置は、ヒータヘッド、ヒータヘッド駆動手段および伸び量制御手段のみならず、位置ずれ量検出手段、伸び量導出手段および補正量導出手段をも備えるものとして説明した。この場合、得られた補正量の情報をフィードバックして制御を行なうことが望ましい。
【００３９】
しかし、位置ずれ量検出手段、伸び量導出手段および補正量導出手段が備えられていなくとも、ヒータヘッド、ヒータヘッド駆動手段および伸び量制御手段を備えていれば、伸び量の制御を行ない、一定の効果を挙げることができる。
【００４０】
ただし、ここでいう伸び量制御手段は、シリンダ２０への供給エア圧、供給エア流量を制御することによって、ヒータヘッド８０がフレキシブル配線板４に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整するものである。押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を調整すれば、フレキシブル配線板４の伸び量を調整することができるからである。
【００４１】
あるいは、フィードバック制御を行なうことが困難である場合は、ヒータヘッド８０がフレキシブル配線板４に対して押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量および必要荷重への到達時間を実質的に一定値にすることとしても、伸び量はある程度一定値に維持することができるため、好ましい。
【００４２】
（実施の形態２）
（構成）
図１、図２、図４〜図６を参照して、本発明に基づく実施の形態２における実装装置について説明する。
【００４３】
この実装装置は、図４に示すように、熱圧着するためのヒータヘッド８０と、ヒータヘッド８０を駆動するためのヒータヘッド駆動手段としてのシリンダ２０およびモータ２２とを備えている。さらに、この実装装置は、シリンダ２０およびモータ２２によってヒータヘッド８０がフレキシブル配線板４（図１参照）に向かって進行する速度を調整する、伸び量制御手段としての制御機構２１を備えている。
【００４４】
（実装のための動作）
補正量を求めるまでの動作については、実施の形態１で説明したものと同じである。位置ずれ量検出手段、伸び量導出手段および補正量導出手段の有無についても実施の形態１で説明した内容と同様である。ただし、制御機構２１による制御は、ヒータヘッド８０がフレキシブル配線板４に向かって進行する速度を調整するものである。
【００４５】
（作用・効果）
ヒータヘッド駆動手段がモータ２２を含んでいるため、ヒータヘッド８０の進行速度を調整することができ、フレキシブル配線板４の伸び量を調整することができる。
【００４６】
また、ヒータヘッド駆動手段がモータ２２を含むということは、押圧を開始してからの単位時間当たりの荷重変化量をより大きくすることができる。図６に、フレキシブル配線板４の押圧を開始してからの短い時間における荷重の変化の様子を示す。モータ２２がない場合を曲線１２で示し、モータ２２がある場合を曲線２３で示す。フレキシブル配線板４は熱を加えられることによって伸びるが、圧力を加えておくことによって、伸びにくくなる。そこで、単位時間当たりの荷重変化量によって各値の圧力がかかっている時間を調整し、伸び量を制御する。
【００４７】
また、モータ２２を用いることは、ヒータヘッドの動きの再現性がよくなるため、フレキシブル配線板４に生じる伸び量も再現性が高まり、本実施の形態のみならず、実施の形態１を実施する上でも有利である。
【００４８】
本実施の形態における実装装置としては、熱圧着装置２５を、図５に示すように、伸び量検出ユニット２４と接続し、リアルタイムでフィードバック制御を行なうこととすれば、生産ラインにおいて、位置ずれ不良に迅速に対応することができ、好ましい。また、再現性も高いものとなる。
【００４９】
図５の構成において、熱圧着装置２５に代えて、実施の形態１における熱圧着装置を採用してもよい。
【００５０】
（実施の形態３）
図７を参照して、本発明に基づく実施の形態３における実装装置について説明する。本実施の形態では、仮圧着を行なう場合であって、かつ、撮影および検出を仮圧着後に行なう例を示す。「仮圧着」とは、液晶表示装置２とフレキシブル配線板４との最終的な圧着である「本圧着」の前に、一旦、液晶表示装置２とフレキシブル配線板４との間の相対位置関係を固定するために仮に圧着するものである。
【００５１】
図７に示すように、フレキシブル配線板４を液晶表示装置２に重ね合わせて仮圧着する。図７は、実施の形態１における図２と類似しているが、まだ仮圧着したのみであるので、フレキシブル配線板４は左右方向にはわずかしか熱膨張していない。
【００５２】
仮圧着した後に、位置決めパターン１３１，１３２と液晶表示装置２の基準位置パターン１４１，１４２との相対位置ずれ量３５１，３５２を、撮像装置１６を有する画像処理装置１７で検出する。検出された相対位置ずれ量３５１，３５２から、この後に行なう予定である本圧着において位置決めパターン１３１，１３２間のピッチ３８が伸びるべき伸び率（以下、「必要伸び率」という。）を導出する。この必要伸び率から、フレキシブル配線板４に並ぶ端子電極のうち両端の端子電極５１，５２間の現在の伸び量を導出し、設計値と現在の伸び量との差を端子電極５１，５２間のピッチの補正量として求める。
【００５３】
この実装装置においては、事前に確認したデータとして、端子電極５１，５２間のピッチの補正量のさまざまな値に対して、それぞれ図６のグラフのような必要荷重の立ち上げ曲線のデータが記憶されている。現時点で得られている端子電極５１，５２間のピッチの補正量に関して、このデータを参照し、必要であれば演算処理を行なって、ヒータヘッドをどのように制御すればよいかを求める。ヒータヘッドを制御し、端子電極５１，５２間のピッチの伸び量を定量的に制御する。
【００５４】
（実施の形態４）
図８、図９を参照して、本発明に基づく実施の形態４における実装装置について説明する。本実施の形態では、仮圧着を行なう場合であって、かつ、撮影および検出を仮圧着前に行なう例を示す。
【００５５】
図８は、仮圧着前の実装装置の使用状況を示す。液晶表示装置２とフレキシブル配線板４とは接近しているが、まだ重ね合わせられていない。この状態で、伸び量検出ユニット２４に設けられた撮像装置１６によって、液晶表示装置２の先端とフレキシブル配線板４の先端とを撮影する。得られる画像は、図９のようになる。画像処理装置１７によって、フレキシブル配線板４の位置決めパターン１３１，１３２を検出し、位置決めパターン１３１，１３２間のピッチ３８を求める。さらに、画像処理装置１７によって、液晶表示装置２の基準位置パターン１４１，１４２を検出し、基準位置パターン１４１，１４２間のピッチ３９を求める。ピッチ３８とピッチ３９との値から、この後に行なう予定である本圧着においてピッチ３８が伸びるべき伸び率（以下、「必要伸び率」という。）を導出する。以下の動作は、実施の形態３で説明したものと同様である。
【００５６】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【００５７】
【発明の効果】
本発明によれば、フレキシブル配線板の伸び量を制御することができるため、作業者の勘や経験に頼らなくとも、正確かつ迅速に伸び量の測定を行なうことができ、伸び量のばらつきを解消することができる。したがって、位置ずれ不良を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に基づく実施の形態１における実装の様子の説明図である。
【図２】  本発明に基づく実施の形態１における熱圧着された対象物の平面図である。
【図３】  本発明に基づく実施の形態１における熱圧着装置の概念図である。
【図４】  本発明に基づく実施の形態２における熱圧着装置の概念図である。
【図５】  本発明に基づく実施の形態２における実装装置の概念図である。
【図６】  本発明に基づく実施の形態２における実装装置を用いたときの荷重の変化を示すグラフである。
【図７】  本発明に基づく実施の形態３における仮圧着後の対象物の平面図である。
【図８】  本発明に基づく実施の形態４における熱圧着装置の概念図である。
【図９】  本発明に基づく実施の形態４における仮圧着前の対象物の平面図である。
【図１０】  従来技術に基づく実装の様子の説明図である。
【図１１】  従来技術に基づいて熱圧着された対象物の平面図である。
【図１２】  従来技術に基づいて熱圧着された端子電極の拡大図である。
【図１３】  端子電極の断面図である。
【符号の説明】
１  液晶層、２  液晶表示装置、３，３１，３２  （液晶表示装置の）端子電極、４  フレキシブル配線板、５，５１，５２  （フレキシブル配線板の）端子電極、６  接着剤、８  ヒータツール、１１，１８，３８，３９  ピッチ、１２，２３  曲線、１６  撮像装置、１７  画像処理装置、２０  シリンダ、２１  制御機構、２４  伸び量検出ユニット、８１  ヒータヘッド、１３１，１３２  位置決めパターン、１４１，１４２  基準位置パターン、１５１，１５２，３５１，３５２  相対位置ずれ量、１９１，１９２  ずれ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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