(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗されたフィルム基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該フィルム基板に付着している水滴を除去し、乾燥するフィルム基板の製造方法であって、前記フィルム基板は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の基板であって、該枚葉の基板が前記水切装置部内を前記乾燥装置部に向かって搬送されていく間に、該水切装置部内において、該基板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイフに対向して配設されている吸水ローラにより除去するフィルム基板の製造方法において、前記枚葉の基板を、該基板にあけられた前記穴の長手方向と搬送方向とが平行となるように搬送することを特徴とするフィルム基板の製造方法。
【請求項２】
水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗されたフィルム基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該フィルム基板に付着している水滴を除去し、乾燥するフィルム基板の製造方法であって、前記フィルム基板は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の基板であって、該枚葉の基板が前記水切装置部内を前記乾燥装置部に向かって搬送されていく間に、該水切装置部内において、該基板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイフに対向している配設された吸水ローラにより除去するフィルム基板の製造方法において、前記枚葉の基板を、該基板にあけられた前記穴の長手方向が該基板の搬送方向と直交する方向である場合において、前記基板の端面から前記穴までの距離が長い方の基板端面を先頭にして搬送することを特徴とするフィルム基板の製造方法。
【請求項３】
前記エアーナイフは少なくとも、前段エアーナイフと後段エアーナイフの２本以上を有し、前段エアーナイフの空気圧が後段エアーナイフの空気圧より強いことを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルム基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルム基板の製造方法に関し、より詳細には、フィルム基板におけるフィルム洗浄工程の次工程である水切り工程、つまり、フィルム洗浄後にフィルム基板上に付着している水滴を除去する水切り装置部の構成、及び、水切装置部内におけるフィルム基板の搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）、フィルム基板を用いた液晶パネルの（ＰＦ−ＬＣＤ）製造工程では、各製造工程において基板上に付着した油脂等の汚れ、及び、微細な塵埃を確実に除去するための洗浄工程が不可欠であり、洗浄後の乾燥を効率的に行い、且つ、洗浄液の残留によるウォ−タマ−クの発生を防止するため、乾燥前に基板の表裏面に付着した洗浄液を予め除去する、液切り工程が必要である。
【０００３】
上述のように、フィルム基板の製造においては、液切り工程（＝水切り工程）を必要とし、従来、この水切りをエアーナイフによって行っているが、エアーナイフにてフィルム基板に付着している水滴を除去する場合に、エア−の吹き出しユニット表面に結露による水滴が付着し、その水滴がフィルム基板上に落下し、焼成（乾燥）工程にて焼成（乾燥）されたフィルム基板にシミが発生してしまっていた。また、吹き出しユニット及び水切り装置部の外壁を安価で軽量に製作するため、材質を樹脂で製作しており、そのため、焼成（乾燥）装置部からの熱で吹き出しユニット及び水切り装置部の外壁が変形してしまうといった問題があった。
【０００５】
図４は、液晶表示装置の一例を説明するための断面構成図で、図中、１は液晶、２はスペーサ、３は透明電極、４は配向膜、５はシール、６はフィルム基板、７は偏光板で、図示のように、液晶表示装置においては、該液晶表示装置を駆動するための引き出し電極が必要であるため、互いの基板が対向しない部分が必要である。フィルム基板を用いた液晶表示装置においては、基板厚さが非常に薄く、かつ、可撓性を有するために、ガラス基板を用いた場合と違って、基板同士を重ねあわせた後に片側の基板だけをカットして引き出し電極部を形成することは非常に困難である。従って、フィルム基板には引き出し電極部に相当する対向側の基板部分を予め抜き型等で長方形に穴（図２，図３において、１０Ａにて示す）あけしておくことが一般的であり、面付け数に応じた複数個の穴が設けられている。
【０００６】
図５は、上述のごとき液晶表示装置を製造する製造装置における液切り工程装置部の正面構成図、図６は側面図、図７は液晶基板搬送ホイール部の側面図、図８は液晶基板搬送時の不具合を示す図で、図中、１０は枚葉の可撓性のフィルム基板、１１（１１ａ，１１ｂ）は吹き出しユニット（エアーナイフ）、１２は搬送ホイール、１３（１３ａ，１３ｂ）は吸水ローラ、１４は駆動ギア、１５（１５ａ，１５ｂ）はピンチローラ、１６（１６ａ，１６ｂ）は鍔ローラで、枚葉の可撓性フィルム基板１０は駆動ギア１４により一方向に回転駆動される複数の搬送ホイ−ル１２上に載置され、エア−ナイフ１１（１１ａ，１１ｂ）及び吸水ロ−ラ１３（１３ａ，１３ｂ）により構成される液切り部に搬送される。液切り部において、前記可撓性フィルム基板１０の上面側に付着している洗浄液はエア−ナイフ１１より噴出される空気噴出圧力により除去し、下面側に付着している洗浄液は前記エア−ナイフ１１と対向配置したＰＶＡあるいはＰＶＣ等の発泡材により形成された吸水ロ−ラ１３に前記可撓性フィルム基板１０を前記エア−ナイフ１１の空気噴出圧力により均一に押し付け、接触させることにより吸水除去する。
【０００７】
上述のごとき複数個の長方形の穴があけられた可撓性フィルム基板の洗浄，液切りにおいては、穴付近の基板表面、特に、洗浄時の進行方向に対して後方側に液残りが生じ易いという問題があった。これは、可撓性フィルム基板においては基板の剛性が低いために、エアーナイフのエアーが基板の穴部にあたったときに、基板のバタツキで液切りが不十分になるためである。
【０００８】
また、基板の穴が基板端面から近い場合には、エアーナイフのエアーによるバタツキが顕著であり、図８に示したように、基板１０の先頭１０′がエアーナイフや吸水ローラに引っかかってジャム，蛇行等の搬送異常を発生させることがあった。実際に、基板の面積を有効に活用するためにプレカット穴は基板端面ぎりぎりまで近づけることになる。さらに、液切りを確実に行うために２本以上のエアーナイフを配置した場合には、エアーナイフによって搬送速度が若干減速するために、後方で搬送の速度の差によって後方でたるみ１０″が発生し、搬送異常を起こすことがあった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
請求項１乃至３の発明は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の可撓性フィルム基板を連続して所定方向に搬送し、洗浄を行った後、フィルム基板の表裏面に付着した洗浄液を除去する液切り工程において、十分な液切り性を確保するとともに、ジャム，蛇行等の搬送異常の発生を防止し、フィルム基板を安定して搬送することのできる搬送方法を提供することを目的としてなされたものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗されたフィルム基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該フィルム基板に付着している水滴を除去し、乾燥するフィルム基板の製造方法であって、前記フィルム基板は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の基板であって、該枚葉の基板が前記水切装置部内を前記乾燥装置部に向かって搬送されていく間に、該水切装置部内において、該基板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイフに対向して配設されている吸水ローラにより除去するフィルム基板の製造方法において、前記枚葉の基板を、該基板にあけられた前記穴の長手方向と搬送方向とが平行となるように搬送することを特徴とし、もって、基板穴の長手方向と進行方向が平行となる配置で搬送することにより、フィルム基板のバタツキを少なくし、ジャム，蛇行等の搬送異常を防止し、基板穴の近くでも基板の両面の十分な液切れを可能としたものである。
【００１５】
請求項２の発明は、水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗されたフィルム基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該フィルム基板に付着している水滴を除去し、乾燥するフィルム基板の製造方法であって、前記フィルム基板は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の基板であって、該枚葉の基板が前記水切装置部内を前記乾燥装置部に向かって搬送されていく間に、該水切装置部内において、該基板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイフに対向している配設された吸水ローラにより除去するフィルム基板の製造方法において、前記枚葉の基板を、該基板にあけられた前記穴の長手方向が該基板の搬送方向と直交する方向である場合において、前記基板の端面から前記穴までの距離が長い方の基板端面を先頭にして搬送することを特徴とし、もって、フィルム基板のプレカット穴の長手方向が進行方向と直交する場合には、該基板の端面からプレカット穴までの距離が長い方の基板端面を先頭にして搬送するようにし、基板の先頭のバタツキが少なく、ジャム，蛇行等の搬送異常を防止することができようにしたものである。
【００１６】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記エアーナイフは少なくとも、前段エアーナイフと後段エアーナイフの２本以上を有し、前段エアーナイフの空気圧は後段エアーナイフの空気圧より強いことを特徴とし、もって、前段エアーナイフの空気圧と後段エアーナイフの空気圧を互いに独立して調整できるように配管し、かつ、前段エアーナイフの空気圧が後段エアーナイフの空気圧より常に強くなるようにし、これにより、前段エアーナイフによる搬送速度の減速よりも後段エアーナイフによる搬送速度の減速を少なくし、進行方向の先頭ほど搬送速度を大きくし、エアーナイフ間でのフィルム基板のたわみ，しわを発生させることなく、安定した搬送を実現できるようにしたものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明によるフィルム基板の製造方法が適用される液晶表示装置の製造装置の要部構成図で、図中、Ｉは洗浄装置部、IIは液（水）切り装置部、IIIは乾燥装置部で、液晶表示装置１０は、搬送ホイール１２によって洗浄装置部Ｉへ搬送され、洗浄装置部Ｉにおいて、スプレー２１より噴射される洗浄水（液）により水洗処理され、次いで、液切り装置部IIに搬送され、液切り装置部IIにおいて、エアー吹き出しユニット（エアーナイフ）１１ａ，１１ｂから噴射される乾燥空気によって液晶表示装置１０上の液滴が除去され、その後、乾燥装置部IIIへ送られるようになっている。
【００１８】
上述のように、液晶表示装置１０の製造工程において、従来、エアーナイフにて液晶表示基板に付着している水滴を除去する場合に、エア−の吹き出しユニットの表面に結露による水滴が付着し、その水滴が液晶表示基板上に落下し、乾燥装置部にて乾燥された時に、液晶表示基板にシミが発生してしまっていた。また、吹き出しユニット及び水切り装置部の外壁を安価で軽量に製作するため、これらの材質が樹脂で製作されており、そのため、乾燥装置部からの熱で吹き出しユニット及び水切り装置部の外壁が変形してしまう等の問題があった。
【００１９】
図１に示した例では、上述のごとき問題を解決するため、吹き出しユニット１１ａ，１１ｂの結露及び乾燥装置部IIIからの熱が水切り装置部IIへ流れ込むのを防止し、品質の安定した生産及び装置寿命の延命を可能とするため、洗浄装置部Ｉにてスプレー２１により水洗処理されたフィルム基板１０は搬送ホイール１２の駆動により水切り装置部IIへと搬送されてくる。水切り装置部IIの外壁及び乾燥空気の吹き出しユニット１１ａ，１１ｂは樹脂で製作されている。水切り装置部IIでは乾燥空気の吹き出しユニット１１ａ，１１ｂから吹き出されるナイフ状のエアーによりフィルム基板に付着している水滴を除去する。吹き出しユニット１１ｂには、乾燥装置部III側に設置してあるエアーノズル２２から該吹き出しユニットの乾燥装置側の側面に乾燥空気が吹き付けられている（矢印Ａ）。また、エアーノズル２２は吹き出しユニット１１ｂ以外に水切り装置部IIと乾燥装置部IIIとの間に垂直方向にエアーを吹き出すことでエアーによるカーテンを形成している（矢印Ｂ）。
【００２０】
上記構成及び動作で水切りされたフィルム基板１０は乾燥装置部IIIにて乾燥され次工程へと搬送される。この吹き出しユニットの外側に乾燥空気を吹き付けてる構造により、吹き出しユニット表面の結露の発生を抑えることができる。また、乾燥装置部に近い側の吹き出しユニット側面に乾燥空気を吹き付けることにより効率良く吹き出しユニット表面の結露発生を抑えることができる。更には、乾燥装置部と水切り装置部の間に乾燥空気によってエアーカーテンを設けることにより水切り装置部で使用している樹脂製のユニット（吹き出しユニット，水切り装置部外壁等）の変形を防止することができる。
【００２１】
図２は、本発明の実施例を説明するための図（液切り装置を通過するフィルム基板の進行方向を示す平面図）で、図５乃至図７で説明したように、枚葉の可撓性フィルム基板１０は、図示しない電動機等の駆動装置より、駆動ギア１４により搬送ホイ−ル１２を一方向に回転駆動することにより、該搬送ホイ−ル１２により順次液切り装置部IIに搬送される。液切り装置部IIは、前記可撓性フィルム基板１０の上面側に付着している洗浄液を除去するための空気流を噴出するエア−ナイフ１１ａ，１１ｂと、下面側に付着している洗浄液を除去するためＰＶＡあるいはＰＶＣ等の発泡材により形成された吸水ロ−ラ１３ａ，１３ｂとを一対で対向配置する。図２は、本発明によるフィルム基板１０の進行方向を示した平面図で、図示のように、フィルム基板１０のプレカット穴１０Ａの長手方向が進行方向と平行になっている。このように、フィルム基板の穴の長手方向と進行方向が平行となる配置で搬送することにより、フィルム基板のバタツキを少なくでき、ジャム，蛇行等の搬送異常を防止し、フィルム基板穴１０Ａの近くでもフィルム基板１０の両面の十分な液切れを行うことができる。
【００２２】
図３は、本発明の他の実施例を説明するための図（液切り装置を通過するフイルム基板１０の進行方向を示す平面図）で、引き出し電極が上下両側の基板にある液晶表示装置の場合には、上下両側の基板に長手方向が互いに直交するプレカット穴を設ける必要がある。また、基板内の面付け数を多くしたい場合などに、プレカット穴の長手方向と基板の進行方向が直交せざるを得ない場合もある。フィルム基板の形状は一般的には長方形であり、搬送系の幅の制約から基板の進行方向を９０度回転させて搬送することが困難な場合もある。このような場合には、図３に示したように、基板の進行方向を規定する。 すなわち、基板のプレカット穴１０Ａの長手方向が進行方向と直交する場合には、基板の端面からプレカット穴までの距離が長い方の基板端面を先頭にして搬送する。 基板端面までの距離は少なくともパネル１個の有効表示分に相当する距離は必ず確保されている。
【００２３】
図５乃至図７に示したフィルム基板の製造方法において、前記エアーナイフは少なくとも、前段エアーナイフ１１ａと後段エアーナイフ１１ｂの２本以上を配置し、前段エア−ナイフ１１ａと前段吸水ロ−ラ１３ａで構成される前段液切り部と、後段エア−ナイフ１１ｂと後段吸水ロ−ラ１３ｂで構成される後段液切り部の少なくとも２段以上により構成し、それぞれのエアーナイフ１１ａ，１１ｂの空気圧を互いに独立して調整できるように配管を独立して配置し、前段エアーナイフ１１ａの空気圧が後段エアーナイフ１１ｂの空気圧より常に強くなるようにしたものである。このようにすると、前段エアーナイフによる搬送速度の減速よりも後段エアーナイフによる搬送速度の減速が少ないので、進行方向の先頭ほど搬送速度が大きいことになり、エアーナイフ間でのフィルム基板のたわみ，しわを発生させることなく、安定した搬送を実現できる。
【００２７】
【発明の効果】
請求項１の発明は、水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗されたフィルム基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該フィルム基板に付着している水滴を除去し、乾燥するフィルム基板の製造方法であって、前記フィルム基板は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の基板であって、該枚葉の基板が前記水切装置部内を前記乾燥装置部に向かって搬送されていく間に、該水切装置部内において、該基板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイフに対向して配設されている吸水ローラにより除去するフィルム基板の製造方法において、前記枚葉の基板を、該基板にあけられた前記穴の長手方向と搬送方向とが平行となるように搬送するようにしたので、フィルム基板のバタツキを少なくでき、ジャム，蛇行等の搬送異常を防止し、基板穴の近くでも基板の両面の十分な液切れを行うことができる。
【００２８】
請求項２の発明は、水切装置部と乾燥装置部を連続して有し、水洗されたフィルム基板を前記水切装置部及び乾燥装置部を通して該フィルム基板に付着している水滴を除去し、乾燥するフィルム基板の製造方法であって、前記フィルム基板は、予め複数個の長方形の穴があけられた枚葉の基板であって、該枚葉の基板が前記水切装置部内を前記乾燥装置部に向かって搬送されていく間に、該水切装置部内において、該基板の上面側に付着している洗浄液をエアーナイフにより除去し、下面側に付着している洗浄液を前記エアーナイフに対向している配設された吸水ローラにより除去するフィルム基板の製造方法において、前記枚葉の基板を、該基板にあけられた前記穴の長手方向が該基板の搬送方向と直交する方向である場合において、前記基板の端面から前記穴までの距離が長い方の基板端面を先頭にして搬送するようにし、基板の先頭のバタツキが少なく、ジャム，蛇行等の搬送異常を防止することができ、しかも、基板端面までの距離は少なくともパネル１個の有効表示分に相当する距離を必ず確保しているので、容易に進行方向を選ぶことができるようにしたものである。
【００２９】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、エアーナイフは少なくとも、前段エアーナイフと後段エアーナイフの２本以上を有し、前段エア−ナイフと前段吸水ロ−ラで構成される前段液切り部と、後段エア−ナイフと後段吸水ロ−ラで構成される後段液切り部の少なくとも２段以上により構成し、それぞれのエアーナイフの空気圧は互いに独立して調整できるように配管を独立して配置し、前段エアーナイフの空気圧は後段エアーナイフの空気圧より常に強くなるようにしたので、前段エアーナイフによる搬送速度の減速よりも後段エアーナイフによる搬送速度の減速が少なく、従って、進行方向の先頭ほど搬送速度が大きいことになり、エアーナイフ間での基板のたわみ，しわを発生させることなく、安定した搬送を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明が適用される液晶表示装置の製造装置における洗浄装置部，液切り装置部，乾燥装置部の構成を示す図である。
【図２】  本発明における液切り装置部を通過するフィルム基板の進行方向を示す平面図である。
【図３】  本発明における液切り装置部を通過するフィルム基板の進行方向を示す平面図である。
【図４】  液晶表示装置の断面構成図である。
【図５】  本発明が適用される液切り装置部の正面図である。
【図６】  本発明が適用される液切り装置部の側面図である。
【図７】  本発明が適用されるフィルム基板搬送ホイール部の側面図である。
【図８】  従来方法によるフィルム液晶基板搬送時の不具合を説明するための正面図である。
【符号の説明】
１０…液晶表示装置、１０Ａ…プレカット穴、１１（１１ａ，１１ｂ）…吹き出しユニット（エアーナイフ）、１２…搬送ホイール、１３（１３ａ，１３ｂ）…吸水ローラ、１４…駆動ギア、１５（１５ａ，１５ｂ）…ピンチローラ、１６（１６ａ，１６ｂ）…鍔ローラ、２１…スプレーノズル、２２…乾燥エアー吹き出しノズル。
【図１】
0003763696.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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