(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１メインポート及び第２メインポートと、これら両メインポートを結ぶ流路と、該流路中に設けられた環状の弁座とを有する弁ケーシング、
前記弁ケーシングに連結されたシリンダー、
前記弁ケーシング内に設けられて前記弁座を開閉するポペット式の弁部材、
前記弁部材に先端部を連結され、基端部が前記シリンダーの内部まで延びる中空のロッド、
前記シリンダーの内部に摺動自在なるように配設されて前記ロッドの基端部に連結され、流体圧の作用により駆動されるピストン、
前記弁部材に取り付けられたヒーター及び温度センサー、
前記ピストンに取り付けられて該ピストンと一緒に変位する端子台、
前記シリンダーの端部に取り付けられたコネクター、
前記ヒーター及び温度センサーからそれぞれ延出し、ロッドの内部を貫通して先端が前記端子台に接続されたヒーター用一次導線及びセンサー用一次導線、
一端が前記端子台を介してヒーター用一次導線及びセンサー用一次導線にそれぞれ接続されると共に、他端が前記コネクターに接続され、中間に伸縮自在のスパイラル部を有するヒーター用二次導線及びセンサー用二次導線、
を有することを特徴とするヒーター付き真空バルブ。
【請求項２】
前記ヒーター用一次導線とセンサー用一次導線とが共通のチューブ内に挿入されることによりケーブル状の一次導線束が形成され、この一次導線束が前記ロッドの内部に挿通されており、また、前記ヒーター用二次導線とセンサー用二次導線とが共通のチューブ内に挿入されることによりケーブル状の二次導線束が形成され、この二次導線束に前記スパイラル部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項３】
前記シリンダーが、前記ピストンの前面側に操作ポートに通じる駆動側圧力室を有すると共に、ピストンの背面側に導線収容室を有し、この導線収容室内において前記端子台がピストンの背面に取り付けられ、前記シリンダーの端部には、前記導線収容室を区画する蓋体が取り付けられ、この蓋体に前記コネクターが取り付けられると共に中空部が設けられ、この中空部内に前記スパイラル部が収容されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空バルブ。
【請求項４】
前記導線収容室には、前記蓋体とピストンとの間にコイル状の復帰ばねが設けられ、この復帰ばねは、前記蓋体に中空部を取り囲むように形成された筒部の回りに設けられることにより、この筒部によって前記スパイラル部から隔離されていることを特徴とする請求項３に記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、理化学機械等において反応ガスなどの作動流体の供給に直接使用したり、このような反応ガスを使用する真空チャンバの減圧等に使用する真空バルブに関するものであり、更に詳しくは、前記作動流体からの生成物が弁部材等に付着するのをヒーターで防止するように構成した、ヒーター付きの真空バルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば半導体の製造装置においては、真空チャンバ内で行われるエッチングなどの化学処理に高温の反応ガスが使用され、その供給や真空チャンバの減圧等に真空バルブが用いられている。ところが、前記反応ガスは低温化すると生成物が析出し易く、その生成物が真空バルブの内部や弁部材などに付着して開閉精度を低下させるため、このような真空バルブにおいては、作動流体からの生成物の析出や弁部材等への付着を防止できるように構成されていることが重要である。
【０００３】
このため従来より、ケーシングや弁部材等をヒーターで加熱して生成物の付着を防止するようにしたヒーター付きの真空バルブが各種提案されている。例えば特許第３００５４４９号公報には、流路を開閉する弁部材に棒状のヒーターを取り付け、そのリード線を、該弁部材から延びる中空ロッドの内部を通してケーシングの外部に導出したものが開示されている。
【０００４】
ところがこのように、可動の弁部材にヒーターを取り付けて、そのリード線をロッドを通じてそのままケーシングの外部に導出すると、弁部材の動作に伴ってリード線も変位し、ケーシング内に引き込まれたりケーシング外に押し出されたりするため、このリード線がケーシングの導出孔の端部や他の部材等に引っ掛かったり、絡んだりし易く、それが弁部材の開閉の障害になり易い。前記ヒーターが温度センサーを有している場合には、ヒーター用と温度センサー用の複数のリード線が設けられるため、上述した問題が一層発生し易くなる。
【０００５】
また、前記リード線に伸縮自在のスパイラル部を設け、このスパイラル部の伸縮によって該リード線の変移を吸収させるようにすれば、上述したような問題を解消することができるが、このようなスパイラル部を設けると、その分リード線の長さが長くなって重量が増大し、その重量が弁部材の開閉動作に悪影響を及ぼすおそれがある。また、ロッドの内部に挿通されているリード線部分にこのようなスパイラル部を設けると、弁部材が開閉する度に該スパイラル部がロッドと擦り合い、リード線が傷付けられたり摩耗したりし易く、さらにその摺動抵抗が弁部材の開閉動作に悪影響を及ぼすことも考えられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の技術的課題は、流路を開閉する弁部材に作動流体からの生成物の析出を防止するためのヒーターを設けた真空バルブにおいて、該ヒーターから延びるリード線が弁部材の開閉の障害にならないようにすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するため、本発明のヒーター付き真空バルブは、第１メインポート及び第２メインポートと、これら両メインポートを結ぶ流路と、該流路中に設けられた環状の弁座とを有する弁ケーシング、前記弁ケーシングに連結されたシリンダー、前記弁ケーシング内に設けられて前記弁座を開閉するポペット式の弁部材、前記弁部材に先端部を連結され、基端部が前記シリンダーの内部まで延びるロッド、前記シリンダーの内部に摺動自在なるように配設されて前記ロッドの基端部に連結され、流体圧の作用により駆動されるピストン、前記弁部材に取り付けられたヒーター及び温度センサー、前記ピストンに取り付けられて該ピストンと一緒に変位する端子台、前記シリンダーに取り付けられたコネクター、前記ヒーター及び温度センサーからそれぞれ延出し、前記ロッドの内部を貫通して先端が前記端子台に接続されたヒーター用一次導線及びセンサー用一次導線、一端が前記端子台を介してヒーター用一次導線及びセンサー用一次導線にそれぞれ接続されると共に、他端が前記コネクターに接続され、中間に伸縮自在のスパイラル部を有するヒーター用二次導線及びセンサー用二次導線、を有することを特徴とするものである。
【０００８】
前記構成を有する本発明の真空バルブによれば、ヒーター用一次導線及びセンサー用一次導線を、直接シリンダの外部に引き出すことなく、ピストンに取り付けた端子台と、シリンダーに取り付けたコネクターと、それらの間に接続した二次導線とを介して外部に引き出すと共に、この二次導線に伸縮自在のスパイラル部を設け、弁部材の開閉に伴う前記一次導線の変位をこのスパイラル部の伸縮により吸収させるようにしたので、各導線がシリンダー内に引き込まれたりシリンダー外に押し出されたりすることがない。このため、各導線がシリンダーの導出孔の端部や他の部材等に引っ掛かったり絡んだりすることがなく、弁部材の開閉動作が安定する。また、弁部材と一緒に変位しない二次導線に前記スパイラル部を設けたので、この二次導線の重量が弁部材の開閉動作に悪影響を及ぼすことがなく、しかも、前記スパイラル部がロッドと擦り合うこともないため、導線が傷付けられたり摩耗したりすることもなく、さらに、それらの摺動抵抗が弁部材の開閉動作に悪影響を及ぼすことも全くない。
【０００９】
本発明の好ましい構成態様によれば、前記ヒーター用一次導線とセンサー用一次導線とが共通のチューブ内に挿入されることによりケーブル状の一次導線束が形成され、この一次導線束が前記ロッドの内部に挿通されており、また、前記ヒーター用二次導線とセンサー用二次導線とが共通のチューブ内に挿入されることによりケーブル状の二次導線束が形成され、この二次導線束に前記スパイラル部が形成されている。
【００１０】
この構成により、複数の導線が相互に係止したり絡まり合ったりすることをなくし、弁部材の開閉動作を一層安定させることができる。
【００１１】
本発明の具体的な構成態様によれば、前記シリンダーが、前記ピストンの前面側に操作ポートに通じる駆動側圧力室を有すると共に、ピストンの背面側に導線収容室を有し、この導線収容室内において前記端子台がピストンの背面に取り付けられ、前記シリンダーの端部には、前記導線収容室を区画する蓋体が取り付けられ、この蓋体に前記コネクターが取り付けられると共に中空部が設けられ、この中空部内に前記スパイラル部が収容されている。
【００１２】
また、前記導線収容室には、前記蓋体とピストンとの間にコイル状の復帰ばねが設けられ、この復帰ばねは、前記蓋体に中空部を取り囲むように形成された筒部の回りに設けられることにより、この筒部によって前記スパイラル部から隔離されている。
このように構成することにより、前記蓋体を有効に利用してコイルばねと各導線とを隔離し、それらの相互干渉を確実かつ効率良く防止することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係るヒーター付き真空バルブの好ましい一つの実施例を示すものである。この真空バルブ１は、半導体製造装置における真空チャンバの減圧に使用するのに適したもので、弁部材１３で流体流路１４を開閉するように構成された弁開閉部２と、前記弁部材１３を駆動するためのシリンダー操作部３と、これらの弁開閉部２とシリンダー操作部３との間に介設された断熱部４とを有していて、前記弁開閉部２には、第１〜第３の３組の加熱機構５，６，７が設けられている。
【００１４】
前記弁開閉部２は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などの素材で形成された四角柱状の弁ケーシング１０を有している。この弁ケーシング１０は、前記真空チャンバ及び真空ポンプの何れか一方に接続するための第１メインポート１１と、他方に接続するための第２メインポート１２とを、互いに９０度異なる向きに備えると共に、これら両メインポート１１，１２を結ぶ前記流路１４と、該流路１４中に設けられた円環状の弁座１５とを備えている。
【００１５】
前記弁ケーシング１０の内部には、弁座１５を開閉するポペット式の前記弁部材１３が設けられている。この弁部材１３は、円盤形をした基材１３ａの下面外周に、前記弁座１５に接離するゴム製のシール部材１３ｂを取り付けて形成したものである。この弁部材１３の背面中央部には、中空状をした駆動用のロッド１６の先端部が取り付けられ、このロッド１６の基端部は、弁ケーシング１０の端部の隔壁１７及び前記断熱部４を貫通して前記シリンダー操作部３まで延び、ピストン２１に連結されている。また、前記弁部材１３の背面と隔壁１７との間には、前記ロッド１６の回りを取り囲むように伸縮自在のベローズ１８が取り付けられている。
【００１６】
一方、前記シリンダー操作部３は、前記弁ケーシング１０の一端部に前記断熱部４を介して連結されたシリンダー２０を有している。このシリンダー２０の断熱部４側の端部は隔壁２０ａによって閉塞され、シリンダー２０の反対側の端部は蓋体２３によって閉じられており、該シリンダー２０内部には、前記ピストン２１がシール部材２２を介して摺動自在に収容されている。そして、前記隔壁２０ａの中央部を前記ロッド１６が、シール部材２８及びガイド部材２９を介して摺動自在に貫通し、ピストン２１にまで達している。
【００１７】
前記ピストン２１の前面側には、該ピストン２１と前記隔壁２０ａとの間に駆動側圧力室２４が形成されていて、この圧力室２４が、シリンダー２０の側面に設けられた操作ポート２５に接続されている。また、前記ピストン２０の背面側には、該ピストン２１と前記蓋体２３との間に復帰側圧力室２６が形成され、この圧力室２６内には、前記ピストン２０と蓋体２３との間にコイル状の復帰ばね２７が設けられている。
【００１８】
そして、前記操作ポート２５から圧縮空気等の圧力流体を圧力室２４内に供給すると、図１に示すように、復帰ばね２７を圧縮しながらピストン２１及びロッド１６が後退するため、該ロッド１６の先端の弁部材１３も後退して前記弁座１５を開放する。また、前記操作ポート２５を開放すると、図２に示すように、復帰ばね２７の弾発力により前記ピストン２１及びロッド１６が前進し、弁部材１３が弁座１５に着座して該弁座１５を閉鎖する。
【００１９】
前記第１加熱機構５は、前記弁部材１３に取り付けられている。即ち、この弁部材１３の前面には、閉弁時に前記弁座１５の内孔１５ａ内に位置して流路１４と面する部分に、一つ以上の第１ヒーター３１がねじ３２で着脱自在に取り付けられると共に、この第１ヒーター３１を覆うヒーターカバー３３が、ねじ３４で気密にかつ着脱自在に取り付けられている。この第１ヒーター３１には熱電対などからなる温度センサー３５が内蔵され、この温度センサー３５からの検出信号によって図示しないヒーター制御回路で、前記第１ヒーター３１の発熱温度がコントロールされるようになっている。
【００２０】
なお、前記第１ヒーター３１は、伝熱性に勝れた金属製の外皮内に、ニクロム線等の電気抵抗発熱体を電気絶縁状態で収容することにより形成することができるが、他の構成のものであっても良い。またその形状は、円板形や円環形、円弧形、渦巻形、あるいは直棒形などとすることができる。
【００２１】
前記第１ヒーター３１及び第１温度センサー３５からは、それぞれ複数のヒーター用一次導線３１ａ及びセンサー用一次導線３５ａが延出している。これらの一次導線３１ａ，３５ａは、弁部材１３の背面中央部の孔１３ｃから中空のロッド１６の内部に導入されたあと、このロッド１６を貫通して前記ピストン２１の背面側の復帰側圧力室２６内に導出され、それらの先端が、前記ピストン２１の背面に取り付けられて該ピストン２１と一緒に変位する端子台３７の所要の端子３７ａにそれぞれ接続されている。これらの各導線３１ａ，３５ａは、図３から分かるように、ガラスチューブなどの好ましくは可撓性を有する一つのチューブ３８内に挿通することにより、ケーブル状かつ直線状をした一次導線束３９としてまとめられ、この一次導線束３９の状態で前記ロッド１６の中空部内に挿通されている。しかし、前記各導線３１ａ，３５ａをこのようなチューブ３８に挿通させることなく、直接ロッド１６内に挿通させても良い。
【００２２】
前記シリンダー２０の一端には、前記蓋体２３の中央部に、図示しないヒーター制御回路からの外部導線４１を接続可能なコネクター４２が取り付けられ、このコネクター４２と前記端子台３７とに、複数のヒーター用二次導線３１ｂとセンサー用二次導線３５ｂとが接続されている。これらの二次導線３１ｂ，３５ｂは、前記ヒーター用一次導線３１ａ及びセンサー用一次導線３５ａとは別に形成されていて、それらの一端が前記端子台３７の各端子３７ａを介して前記各一次導線３１ａ，３５ａにそれぞれ接続されると共に、他端が前記コネクター４２に接続され、前記復帰側圧力室２６内においてこれらの一次導線３１ａ，３５ａと前記コネクター４２との間を中継するものである。従って前記復帰側圧力室２６は、二次導線用の収容室を兼ねるものである。
【００２３】
前記各二次導線３１ｂ，３５ｂは、一つの可撓性チューブ４３内に挿入されることによりケーブル状の二次導線束４４としてまとめられ、この二次導線束４４の中間部に伸縮自在のスパイラル部４４ａが設けられている。このスパイラル部４４ａは、前記蓋体２３の中央部に形成された中空部２３ａ内に収容され、この中空部２３ａ内において伸縮するようになっている。また、この蓋体２３の圧力室２６に臨む前端面には、前記中空部２３ａを取り囲む筒部２３ｂが形成され、この筒部２３ｂの外周を取り囲むように前記復帰ばね２７が配設されており、この筒部２３ｂによって該復帰ばね２７と前記二次導線束４４とが、相互に干渉し合わないように隔離されている。なお、前記各二次導線３１ｂ，３５ｂは、前記チューブ４３内に挿通することなく、そのまま設置することもできる。この場合には、これらの二次導線３１ｂ，３５ｂに直接スパイラル部４４ａが形成されることになる。
【００２４】
かくして、前記ヒーター用一次導線３１ａ及びセンサー用一次導線３５ａを直接シリンダー２０の外部に引き出すことなく、ピストン２１に取り付けた端子台３７と、シリンダー２０に取り付けたコネクター４２と、それらの間に接続した中継用の二次導線３１ｂ，３５ｂとを介して外部に引き出すと共に、これらの二次導線３１ｂ，３５ｂに伸縮自在のスパイラル部４４ａを設け、弁部材１３の開閉に伴う前記各一次導線３１ａ，３５ａの変位をこのスパイラル部４４ａの伸縮によって吸収させるようにしたので、前記各導線がシリンダー２０内に引き込まれたりシリンダー２０外に押し出されたりすることがなく、従って、各導線が導出孔や他の部材等に引っ掛かったり絡んだりすることがないため、弁部材１３の開閉動作が安定する。また、ロッド１６内に収容されていない二次導線３１ｂ，３５ｂに前記スパイラル部４４ａを設けたので、この二次導線３１ｂ，３５ｂの重量が弁部材１３の開閉動作に悪影響を及ぼすことがなく、しかも、前記スパイラル部４４ａがロッド１６と擦り合うこともないため、各導線３１ｂ，３５ｂやチューブ４３が傷付けられたり摩耗したりすることもなく、さらに、それらの摺動抵抗が弁部材１３の開閉動作に悪影響を及ぼすことも全くない。
【００２５】
ここで、前記端子台３７は、各導線の接続を確実かつ容易に行い得るものであればどのような構成のものであっても良いが、実施例に示されている端子台３７は、図４からも分かるように、ピストン２１にねじ４６で固定されるフランジ状の台座部３７ｂと、この台座部３７ｂの中央部から立ち上がった円柱状の接続部３７ｃと、この接続部３７ｃに放射状に形成された複数の前記端子３７ａとを有するもので、これらの各端子３７ａに前記各一次導線３１ａ，３５ａと二次導線３１ｂ，３５ｂとを接続する方式のものである。
【００２６】
また、前記弁部材１３は、前述したようにヒーター用一次導線３１ａ及びセンサー用一次導線３５ａを引き出すための孔１３ｃを設けた場合、この孔１３ｃによって弁部材１３の表裏面間の気密性が損なわれるおそれがある。このため該弁部材１３の前面には、前記ヒーターカバー４３が、この孔１３ｃや第１ヒーター３１及び温度センサー３５を気密に覆うように取り付けられ、このヒーターカバー４３により、前記第１ヒーター３１及び温度センサー３５が反応ガスと接触しないように保護されると共に、前記弁部材１３の表裏面間の気密性が良好に保たれている。
【００２７】
かくして弁部材１３の前面の反応ガスと接する部分に前記第１ヒーター３１を取り付けて、この接ガス面を直接加熱することにより、反応ガスの凝縮等による副生成物の付着を確実に防止することができる。しかも、前記第１ヒーター３１が弁部材１３の前面に取り付けられているため、故障や発熱量の変更等のために該第１ヒーター３１を交換する場合には、前記ヒーターカバー４３を取り外してその交換作業を容易に行うことができる。
【００２８】
また、前記第２加熱機構６は、弁ケーシング１０の外面に取り付けられ、以下のように構成されている。即ち、この第２加熱機構６は、前記弁ケーシング１０にその外周面全体を取り囲むように被着された角柱状の伝熱カバー５０を有している。この伝熱カバー５０は、アルミニウムのような熱伝導性に勝れた硬質の素材によってある程度の肉厚を有するように形成されていて、前記弁ケーシング１０の外面に密着した状態に取り付けられている。この伝熱カバー５０は、全体を一体に形成しても良いが、複数の部分、例えば弁ケーシング１０の四つの側面毎に分割されたものを組み合わせて形成しても良い。
【００２９】
前記伝熱カバー５０の肉厚内には、複数のヒーター孔３１が弁ケーシング１０の軸線と平行に穿設され、各ヒーター孔５１内に、棒状をなす第２ヒーター５２が一つずつ挿入されている。そして、これらの第２ヒーター５２からの熱が伝熱カバー５０を通じて均等に分散され、弁ケーシング１０全体に均等に伝わるようになっている。この第２ヒーター５２も温度センサー５３を有していて、これらの第２ヒーター５２及び温度センサー５３からの導線をケーブル状に束ねた導線束５４が外部に延出し、図示しないヒーター制御回路に接続される。
【００３０】
前記第２ヒーター５２の設置位置は、伝熱カバー５０の四隅であっても、各側面の中央部であっても良い。また、この第２ヒーター５２の数も四つに限定されるものではなく、三つ以下であっても、五つ以上であっても良く、加熱条件によっては一つだけ設けることもできる。
【００３１】
前記伝熱カバー５０の各側面の外側には、これらの各側面から外部への熱伝達を防止するための断熱カバー５７が被設されている。この断熱カバー５７は、シリコンゴムやフッ素ゴムあるいは発泡フッ素ゴム等からなる平板状をした断熱板５７ａの内側面に、前記伝熱カバー５０からの熱を拡散させる機能を持つ薄い熱拡散板５７ｂを取り付けることにより形成したもので、前記伝熱カバー５０の各側面に、スぺーサー５８を介在させることによって該伝熱カバー５０との間に一定の空隙５９を保った状態で、ねじ６０により固定されている。この場合、一部の断熱カバー５７のねじ６０は、その先端を前記第２ヒーター５２に当接させることにより、該第２ヒーター５２の固定用として兼用することが望ましい。
【００３２】
前記熱拡散板５７ｂは、アルミニウム等の伝熱性素材で形成することができるが、それ以外の素材であっても良い。また、前記断熱カバー５７は伝熱カバー５０の各側面に対応して四つに分かれていても、全体が一体であっても良い。
【００３３】
前記第２加熱機構６はこのような構成を有しているので、第２ヒーター５２からの発熱は、前記伝熱カバー５０を伝って該カバー全体に均等に分散し、弁ケーシング１０の外周面全体に均等に伝達されることになる。この結果、前記弁ケーシング１０がＳＵＳのような伝熱性が余り良くない素材で形成されていても、その外周面全体を、安価な棒状ヒーター５２により前記伝熱カバー５０を介して効率良く加熱することができる。
【００３４】
さらに前記第３加熱機構７は、前記弁ケーシング１０の内部のベローズ１８内にロッド１６に沿って配設された前記伝熱体６２と、この伝熱体６２に内蔵された一つ以上の第３ヒーター６３とを備えている。前記伝熱体６２は、アルミニウムのような伝熱性に優れた金属素材によって円筒状に形成され、前記ロッド１６の回りに微小なギャップを保って同心状に配設されたもので、その基端部を前記隔壁１７にボルトで固定することにより、弁ケーシング１０内の定位置に固定的に設置されている。この伝熱体６２の肉厚内には、一つ以上のヒーター孔６４が該伝熱体６２の中心軸線と平行に形成され、このヒーター孔６４内に棒状をした前記第３ヒーター６３が、前記ロッド１６と平行に内蔵されている。また、該伝熱体６２の先端部は環状の伝熱面６２ａとなっていて、この伝熱面６２ａは、図２のように閉弁位置まで前進している弁部材１３とは一定距離離間して相互に接触しないが、図１のように該弁部材１３が開弁により後退したときには、該弁部材１３の背面の環状の受熱面１３ｃと接触し合うようになっている。
【００３５】
前記第３ヒーター６３も温度センサー６５を有していて、これらの第３ヒーター６３及び温度センサー６５からの導線をケーブル状に束ねた導線束６６が、前記断熱部４の側面の孔４ｂから外部に導出されている。この場合、第３ヒーター６３は変移しないため、その導線束６６は撓ませたりコイル状に形成したりする必要はない。
【００３６】
前記第３加熱機構７は次のように機能する。即ち、図２に示すように、前記弁部材１３が弁座１５を閉鎖しているときは、該弁部材１３が伝熱体６２から一定距離だけ離間していて第３ヒーター６３からの熱がこの伝熱体６２を介して受熱面１３ｃに伝達されない。しかし、図１に示すように、前記弁部材１３が後退して弁座１５を開放すると、該弁部材１３の受熱面１３ｄが前記伝熱体６２の先端の伝熱面６２ａに当接し、前記第３ヒーター６３からの熱が伝熱体６２から伝達されて加熱される。このように、前記弁部材１３が開弁して大量の反応ガスと接触するようになったとき、この弁部材１３が第３ヒーター６３で直接加熱されるため、その加熱が非常に効果的で、副生成物の付着を確実に防止することができる。また、前記弁部材１３の開閉動作に伴うベ前記ベローズ１８の伸縮により、該ベローズ１８の内部が呼吸して一時的に温度降下を生じても、前記第３ヒーター６３により伝熱体６２を介して該ベローズ１８の内部が常に加熱されているため、その温度降下の幅は非常に小さく抑えられ、弁部材１３の高温加熱が可能になる。
【００３７】
更に、前記断熱部４は、複数の通気孔４ｂを有する円筒形の断熱部材４ａにより形成されていて、この断熱部材４ａが、前記弁ケーシング１０とシリンダー２０との間に前記ロッド１６を取り囲んで同心状に設置され、この断熱部材４ａの内部を流通するエアによって前記ロッド１６が冷却されるようになっている。即ち、前記第１ヒーター３１及び第３ヒーター６３からロッド１６に伝わった熱は、このロッド１６からピストン２１側にも流れていくが、その熱の大部分は断熱部４で放熱されることによって遮断され、ピストン２１には殆ど伝わらないようになっている。
【００３８】
なお、前記実施例では、真空バルブが第１〜第３の３つの加熱機構５〜７を備えているが、例えば第３加熱機構７を省略し、第１及び第２の加熱機構５及び６だけを備えることもできる。
また、前記復帰ばね２７は、図示したようにピストン２１の背後の復帰側圧力室２６内に設ける代わりに、ベローズ１８内において隔壁１７と弁部材１３との間に設けることもできる。
さらに、弁ケーシング１０の形状は四角柱状に限らず、円柱状やその他の形状をしたものがあり、このような場合には、第２加熱機構６における伝熱カバー６２や断熱カバー５７が、それらの形状に適合するように形成されることはいうまでもないことである。
【００３９】
【発明の効果】
本発明の真空バルブによれば、弁部材に設けたヒーター及び温度センサーから延びる一次導線を直接外部に引き出すことなく、二次導線を介して引き出すようにし、この二次導線にスパイラル部を設けて、弁部材の開閉に伴う前記一次導線の変位をこのスパイラル部の伸縮により吸収させることにより、従来の問題点を解消して弁部材の開閉動作を安定的に行わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す開弁状態での断面図である。
【図２】前記第１実施例の閉弁状態での断面図である。
【図３】一次導線束の断面図である。
【図４】端子台の斜視図である。
【符号の説明】
１      真空バルブ
１０      弁ケーシング
１１      第１メインポート
１２      第２メインポート
１３      弁部材
１４      流路
１５      弁座
１６      ロッド
２０      シリンダー
２１      ピストン
２３      蓋体
２３ａ      中空部
２３ｂ      筒部
２４      駆動側圧力室
２６      収容室
３１      ヒーター
３１ａ      一次導線
３１ｂ      二次導線
３５      温度センサー
３５ａ      一次導線
３５ｂ      二次導線
３７      端子台
３８      チューブ
３９      一次導線束
４２      コネクター
４３      チューブ
４４      二次導線束
４４ａ      スパイラル部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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