(57)【要約】  本開示は、ガラスパネルユニットを製造する際の煩雑性を軽減することを図る、ガラスパネルユニットを提供する。ガラスパネルユニット（１０）は、第１ガラス板（２０）と、第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）と、真空空間（５０）と、ガス吸着層（６０）と、を備える。ガス吸着層（６０）は、第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（３０）とのうち少なくとも一方を覆うようにして形成されている。ガス吸着層（６０）は、ゲッタ材を含有する。
2020017221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ガラス板と、
前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、
前記第１ガラス板と前記第２ガラス板との間にあり、前記第１及び第２ガラス板を気密に接合する枠体と、
前記第１ガラス板と前記第２ガラス板と前記枠体とで囲まれた真空空間と、
真空空間内にあり、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とのうち少なくとも一方を覆うようにして形成され、ゲッタ材を含有するガス吸着層と、
を備える、
ガラスパネルユニット。
【請求項２】
前記ゲッタ材は、銅イオン交換ゼオライトを含有する、
請求項１に記載のガラスパネルユニット。
【請求項３】
前記第１ガラス板は、その本体と、前記真空空間内にあり、前記本体を覆う赤外線反射膜とを備える、
請求項１又は２に記載のガラスパネルユニット。
【請求項４】
前記ガス吸着層は、前記第２ガラス板に形成されている、
請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラスパネルユニット。
【請求項５】
組立工程と、排気工程と、封止工程とを含み、
前記組立工程は、組立て品を用意する工程であり、
前記組立て品は、
第１ガラス板と、
前記第１ガラス板に対向する第２ガラス板と、
前記第１ガラス板と前記第２ガラス板との間にある枠状の周壁と、
前記第１ガラス板と、前記第２ガラス板と、前記周壁とで囲まれた内部空間と、
前記内部空間内にあり、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とのうち少なくとも一方に形成され、ゲッタ材を含有するガス吸着層と、
前記内部空間と外部空間とをつなぐ排気口とを備え、
前記排気工程は、前記排気口を介して前記内部空間を排気する工程であり、
前記封止工程は、前記内部空間のうちの所定空間を塞いで、前記所定空間と前記外部空間とを分離する工程であり、
前記組立工程は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とが互いに対向するように配置される前に、前記ガス吸着層を形成するガス吸着層形成工程を含み、
前記ガス吸着層形成工程中、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とのうち少なくとも一方を覆うようにして、前記ゲッタ材を含有する溶液を塗布して塗膜を形成し、前記塗膜を固形化させて前記ガス吸着層を形成する、
ガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項６】
前記排気工程中、前記内部空間を加熱しながら排気すると共に、前記ゲッタ材を活性化させる、
請求項５に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項７】
前記組立て品は、仕切りと、通気路と、を更に備え、
前記仕切りは、前記内部空間を、前記所定空間である第１空間と、第２空間とに仕切り、
前記通気路は、前記第１空間と前記第２空間とをつなぐ、
請求項５又は６に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項８】
前記封止工程中、加熱により前記仕切りを変形させて前記通気路を塞ぐ、
請求項７に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項９】
前記ガス吸着層は、前記第２ガラス板に形成される、
請求項５〜８のいずれか１項に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ガラスパネルユニット、及びガラスパネルユニットの製造方法に関する。より詳細には、本開示は、窓等に好適なガラスパネルユニット、及びガラスパネルユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ガラスパネルユニットを開示する。特許文献１のガラスパネルユニットは、第１ガラスパネルと、第２ガラスパネルと、枠体と、ガス吸着体とを備える。枠体は、第１及び第２ガラスパネルの間にある。ガス吸着体は、第１及び第２ガラスパネルと枠体とで囲まれた真空空間内にある。ガス吸着体は、ゲッタ粉末（ゲッタ材）を含有する。ガス吸着体は、長尺状である。【０００３】
特許文献１のようなガラスパネルユニットの場合、ガス吸着体を、窓枠等で隠すことができる位置に形成したり、目立ちにくい位置に形成したりすることが求められやすい。すなわち、ガス吸着体の位置が制限されやすいため、ガラスパネルユニットを製造する際に煩雑性が生じやすい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１６／０５１７６２号
【発明の概要】
【０００５】
本開示の課題は、真空空間内にゲッタ材があっても、ガラスパネルユニットを製造する際の煩雑性を軽減することを図る、ガラスパネルユニット、及びガラスパネルユニットの製造方法を提供することである。
【０００６】
本開示の一態様に係るガラスパネルユニットは、第１ガラス板と、第２ガラス板と、枠体と、真空空間と、ガス吸着層とを備える。第２ガラス板は、前記第１ガラス板に対向する。前記枠体は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板との間にあり、前記第１及び第２ガラス板を気密に接合する。前記真空空間は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板と前記枠体とで囲まれている。前記ガス吸着層は、真空空間内にある。前記ガス吸着層は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とのうち少なくとも一方を覆うようにして形成されている。前記ガス吸着層は、ゲッタ材を含有する。
【０００７】
本開示の一態様に係るガラスパネルユニットの製造方法は、組立工程と、排気工程と、封止工程とを含む。前記組立工程は、組立て品を用意する工程である。前記組立て品は、第１ガラス板と、第２ガラス板と、周壁と、内部空間と、ガス吸着層と、排気口と、を備える。前記第２ガラス板は、前記第１ガラス板に対向する。前記周壁は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板との間にある。前記周壁は、枠状である。前記内部空間は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板と前記周壁とで囲まれる。前記ガス吸着層は、前記内部空間内にある。前記ガス吸着層は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とのうち少なくとも一方に形成されている。前記ガス吸着層は、ゲッタ材を含有する。前記排気口は、前記内部空間と外部空間とをつなぐ。前記排気工程は、前記排気口を介して前記内部空間を排気する工程である。前記封止工程は、前記内部空間のうちの所定空間を塞いで、前記所定空間と前記外部空間とを分離する工程である。前記組立工程は、ガス吸着層形成工程を含む。前記ガス吸着層形成工程は、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とが互いに対向するように配置される前に、前記ガス吸着層を形成する工程である。前記ガス吸着層形成工程中、前記第１ガラス板と前記第２ガラス板とのうち少なくとも一方を覆うようにして、前記ゲッタ材を含有する溶液を塗布して塗膜を形成し、前記塗膜を固形化させて前記ガス吸着層を形成する。
【０００８】
本開示によれば、ガラスパネルユニットを製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、一実施形態に係るガラスパネルユニットの概略平面図である。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う概略断面図である。
【図３】図３Ａは、上記実施形態に係るガス吸着層を走査型電子顕微鏡で撮影した写真である。図３Ｂは、図３Ａのガス吸着層を走査型電子顕微鏡で更に拡大して撮影した写真である。
【図４】図４は、上記実施形態に係るガラスパネルユニットの仕掛り品の概略平面図である。
【図５】図５は、図４のＢ−Ｂ線に沿う概略断面図である。
【図６】図６は、上記実施形態に係るガラスパネルユニットの組立て品の概略平面図である。
【図７】図７は、上記実施形態に係るガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図８】図８は、上記製造方法の説明図である。
【図９】図９は、上記製造方法の説明図である。
【図１０】図１０は、上記製造方法の説明図である。
【図１１】図１１は、上記製造方法の説明図である。
【図１２】図１２は、上記製造方法の説明図である。
【図１３】図１３は、上記製造方法の説明図である。
【図１４】図１４は、上記製造方法の説明図である。
【図１５】図１５は、上記製造方法の説明図である。
【図１６】図１６Ａは、上記ガス吸着層の第１変形例の説明図である。図１６Ｂは、上記ガス吸着層の第２変形例の説明図である。図１６Ｃは、上記ガス吸着層の第３変形例の説明図である。
【図１７】図１７は、上記組立て品の変形例の説明図である。
【図１８】図１８は、上記ガラスパネルユニットの変形例の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示を実施するための形態を説明する。
【００１１】
１．実施形態
１．１  概要
図１及び図２は、一実施形態のガラスパネルユニット（ガラスパネルユニットの完成品）１０を示す。ガラスパネルユニット１０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０と、真空空間５０と、ガス吸着層６０と、を備える。第２ガラス板３０は、第１ガラス板２０に対向する。枠体４０は、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０との間にある。枠体４０は、第１及び第２ガラス板２０，３０を気密に接合する。真空空間５０は、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０と枠体４０とで囲まれている。ガス吸着層６０は、真空空間５０内にある。ガス吸着層６０は、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０とのうち少なくとも一方を覆うようにして形成されている。ガス吸着層６０は、ゲッタ材を含有する。
【００１２】
ガラスパネルユニット１０では、ガス吸着層６０は、真空空間５０内で、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０とのうち少なくとも一方を覆っている。これにより、ガス吸着層６０は、ガラスパネルユニット１０の外観で、目立ちにくくなる。従って、真空空間５０内にゲッタ材があっても、ゲッタ材をガス吸着層６０に含有させることで、ガラスパネルユニット１０を製造する際の煩雑性を軽減することが期待できる。
【００１３】
１．２  構成
以下、ガラスパネルユニット１０について更に詳細に説明する。本実施形態のガラスパネルユニット１０は、いわゆる真空断熱ガラスユニットである。真空断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種であって、一対のガラスパネル間に真空空間を有している。
【００１４】
ガラスパネルユニット１０は、図１及び図２に示すように、一対のガラス板（第１及び第２ガラス板）２０，３０と、枠体４０と、ガス吸着層６０と、を備える。また、ガラスパネルユニット１０は、第１及び第２ガラス板２０，３０と枠体４０とで囲まれた空間（真空空間）５０を有する。更に、ガラスパネルユニット１０は、真空空間５０内に、複数のピラー（スペーサ）７０と、を備える。
【００１５】
第１及び第２ガラス板２０，３０はいずれも矩形の平板状である。第１及び第２ガラス板２０，３０は同じ平面形状である。
【００１６】
第１ガラス板２０は、本体２３と、赤外線反射膜２２とを含む。赤外線反射膜２２は、真空空間５０内にあり、本体２３を覆う。赤外線反射膜２２は、本体２３と接触している。赤外線反射膜２２は、透光性を有するものの、赤外線を透過させにくい。このため、赤外線反射膜２２は、ガラスパネルユニット１０の断熱性を向上させることができる。赤外線反射膜２２は、例えば、金属製の薄膜である。赤外線反射膜２２は、例えば、銀を含有する。赤外線反射膜２２の一例は、Ｌｏｗ−Ｅ膜である。本体２３は、第１ガラス板２０の主な形状を構成するため、矩形の平板状である。本体２３の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。本体２３は、第２ガラス板３０と同形状である。
【００１７】
第２ガラス板３０の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。また、第２ガラス板３０は、第１面３０１と、第２面３０２とを有する。第１面３０１は、第２ガラス板３０において、真空空間５０側にある。第２面３０２は、第１面３０１に対して真空空間５０とは反対側にある。
【００１８】
枠体４０は、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０との間にあり、第１ガラス板２０と第２ガラス板３０とを気密に接合する。これによって、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０とで囲まれた空間が形成される。そして、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０とで囲まれた空間は真空空間５０となっている。枠体４０は、熱接着剤（封着材）で形成されている。言い換えれば、枠体４０は、硬化した熱接着剤である。熱接着剤は、例えば、ガラスフリットである。ガラスフリットの例としては、低融点ガラスフリットが挙げられる。低融点ガラスフリットの例としては、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットが挙げられる。枠体４０は、第１及び第２ガラス板２０，３０と同様の多角形（本実施形態では四角形）の枠状である。枠体４０は、第１及び第２ガラス板２０，３０の外周に沿って形成されている。また、熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、例えば、低融点金属や、ホットメルト接着材などであってもよい。
【００１９】
ガス吸着層６０は、真空空間５０内にある。具体的には、ガス吸着層６０は、第１面３０１のほぼ全面に形成されている。より具体的には、ガス吸着層６０は、第１面３０１のうち、枠体４０から所定の間隔で離間された領域を構成する表面全体に形成されている。特に、ガス吸着層６０の平面形状は、矩形である。また、ガス吸着層６０は、第２ガラス板３０と、各ピラー７０との間に介在している。そして、ガス吸着層６０は、第２ガラス板３０と接触している。ガス吸着層６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、例えば、枠体４０を形成する熱接着剤が加熱された際に、熱接着剤から放出されるガスである。
【００２０】
ガラスパネルユニット１０がガス吸着層６０を備えることで、真空空間５０が狭くても、真空空間５０中の不要なガスをガス吸着層６０で吸着させることができる。しかも、ガラスパネルユニット１０の外観でガス吸着層６０が目立ちにくくなるから、ガス吸着層６０の配置位置は、真空空間５０の形状や大きさ等により制限されにくくなる。これにより、ガラスパネルユニット１０を製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【００２１】
ガス吸着層６０は、ゲッタ材を含有する。ゲッタ材は、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。ゲッタ材は、例えば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子を放出する性質を有している。そのため、蒸発型ゲッタの吸着能力が低下しても、蒸発型ゲッタを活性化温度以上に加熱することで、蒸発型ゲッタの吸着能力を回復させることができる。蒸発型ゲッタは、例えば、ゼオライトまたは金属イオン交換されたゼオライト（例えば、銅イオン交換されたゼオライト）である。また、金属イオン交換されたゼオライトは、ゼオライト構造中に金属イオンを保持させた材料である。このため、金属イオン交換されたゼオライトは、ゼオライト構造中に金属イオンを保持させる前のゼオライトに関し、その具体的な種類を限定しない。
【００２２】
ガス吸着層６０に利用されるゲッタ材は、微粉末状（ゲッタ微粉末）である。ガス吸着層６０は、ゲッタ微粉末を含む液体（例えばゲッタ微粉末を液体に分散して得られた分散液）を塗布して固形化することにより形成される。ガス吸着層６０中、ゲッタ微粉末は凝集している（図３Ａ及び図３Ｂ参照）。ゲッタ微粉末の凝集物は、粒子状である。ゲッタ微粉末の凝集物は、任意の大きさを有する。ゲッタ微粉末を含む液体に超音波で分散させることで、凝集物の大きさが調整される。凝集物の大きさ、及びゲッタ微粉末を含む液体の塗布量を調製することにより、ガラスパネルユニット１０において、透明な外観、又はスリガラス状の外観を得ることができる。このため、ガラスパネルユニット１０の目的に応じた外観を得ることができる。凝集物の大きさは、例えば、粒子径で、２０μｍよりも大きい。この場合、ガス吸着層６０はガラスパネルユニット１０の透光性を低下させやすくでき、ガラスパネルユニット１０でスリガラス状の外観を得ることができる。また、凝集物の大きさは、例えば、粒子径で、２０μｍ以下である。この場合、ガラスパネルユニット１０で透明な外観が得やすくなる。凝集物の大きさは、粒子径で、１０μｍ以上であってもよい。凝集物の大きさは、走査型電子顕微鏡で測定される。ゲッタ微粉末は、楕円体状である。この楕円体状は、厳密な楕円体に限らず、厳密な楕円体を変形させた形状も含む。楕円体状のゲッタ微粉末は、長径と短径とを有する。ゲッタ微粉末の長径及び短径は、走査型電子顕微鏡で測定される。ゲッタ微粉末において、例えば、長径が１μｍであり、短径が０．５μｍである。
【００２３】
ガス吸着層６０を形成するための溶液は、ゲッタ微粉末に加えて、溶媒を含有する。この溶媒は、ガス吸着層６０を形成する際に、揮発して取り除かれる成分であってもよい。また、溶媒は、例えば、沸点が１００〜２００℃の範囲内の成分である。ガス吸着層６０の形成に利用される溶媒としては、例えば、イソプロピルアルコール等のアルコール、及び複数種のアルコールを混合させたアルコール混合液が挙げられる。
【００２４】
また、ゲッタ微粉末を含む液体の塗布量は、例えば、１ｍ２の被着体（具体的には、第１及び第２ガラス板２０，３０）に対して、０．２〜０．３ｇの範囲内である。ゲッタ微粉末を含む液体の比重が２である場合、０．３ｇの上記液体を１ｍ２の被着体に塗布されてなる塗膜の厚みは、０．１μｍである。なお、上記比重は、水の密度（１ｇ／ｃｍ３）との比である。
【００２５】
複数のピラー７０は、真空空間５０内に配置されている。複数のピラー７０は、第１及び第２ガラス板２０，３０間の間隔を所定間隔に維持するために用いられる。つまり、複数のピラー７０は、第１及び第２ガラス板２０，３０間の距離を所望の値に維持するために使用される。なお、ピラー７０の大きさ、ピラー７０の数、ピラー７０の間隔、ピラー７０の配置パターンは、適宜選択することができる。各ピラー７０は、上記所定間隔とほぼ等しい高さを有する円柱状である。例えば、ピラー７０は、直径が１ｍｍ、高さが１００μｍである。なお、各ピラー７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。
【００２６】
１．３  製造方法
次に、ガラスパネルユニット１０の製造方法について図４〜図１５を参照して説明する。ガラスパネルユニット１０の製造方法は、準備工程と、除去工程とを含む。
【００２７】
準備工程は、図４に示すガラスパネルユニットの仕掛り品１１０を用意する工程である。仕掛り品１１０は、図６に示すガラスパネルユニットの組立て品１００から形成される。
【００２８】
準備工程は、組立工程（図７〜図１２参照）と、第１溶融工程（図１３参照）と、排気工程（図１３参照）と、第２溶融工程（図１３参照）とを含む。
【００２９】
組立工程は、組立て品１００を用意する工程である。また、組立工程は、ガス吸着層形成工程（図７〜図８参照）を含む。
【００３０】
組立て品１００は、図６に示すように、一対のガラス板（第１及び第２ガラス板）２００，３００と、周壁４１０と、仕切り４２０と、を備える。また、組立て品１００は、第１及び第２ガラス板２００，３００と周壁４１０とで囲まれた内部空間５００を有する。更に、組立て品１００は、内部空間５００内に、ガス吸着層６０と、複数のピラー（スペーサ）７０と、を備える。更に、組立て品１００は、排気口７００を備える。
【００３１】
ガス吸着層形成工程は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とが互いに対向するように配置される前（後述の第６工程の前）に、ガス吸着層６０を形成する工程である。本実施形態では、図７及び図８に示すように、ガス吸着層形成工程中、ゲッタ微粉末と溶媒とを含有する溶液６２が塗布装置６３により、第２ガラス板３００の表面に塗布されて塗膜６１が形成される。例えば、塗布装置６３が、スプレーノズルを備える塗布装置である場合、溶液６２は、スプレーノズルからの噴霧により、第２ガラス板３００の表面に塗布されて塗膜６１が形成される。スプレーノズルを備える塗布装置の一例は、スプレーコータである。
【００３２】
塗膜６１を形成する際、第２ガラス板３００の外周から離間された領域を構成する表面全体に溶液６２が塗布される。そして、塗膜６１を固形化させることで、ガス吸着層６０が形成される。このようなガス吸着層６０は、平面視で矩形状に形成される。また、塗膜６１を固形化させる際、塗膜６１中の溶媒を揮発させて取り除く。これにより、ガス吸着層６０は、第２ガラス板３００において、周壁４１０と仕切り４２０とで囲まれた空間５１０に対応する表面を覆う（図６参照）。溶液６２に配合される溶媒としては、例えば、イソプロピルアルコール等のアルコール、及び複数種のアルコールを混合させたアルコール混合液が挙げられる。また、溶媒は、例えば、沸点が１００〜２００℃の範囲内の成分である。
【００３３】
空間５１０に対応する表面をガス吸着層６０が覆うことで、排気工程で空間５１０を排気して形成された真空空間５０が狭くても、真空空間５０中の不要なガスをガス吸着層６０で吸着させることができる。しかも、ガス吸着層６０が目立ちにくくなるから、ガス吸着層６０の配置位置は、真空空間５０の形状や大きさ等により制限されにくくなる。これにより、ガラスパネルユニット１０を製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【００３４】
本実施形態では、ガス吸着層形成工程の後、ガス吸着層６０の外周に沿って周壁４１０と仕切り４２０とが形成され、ピラー７０がガス吸着層６０の上に配置される。これにより、ピラー７０は、空間５１０内に配置される。
【００３５】
周壁４１０は、第１封着材（第１熱接着剤）を含む。周壁４１０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との間に配置される。周壁４１０は、図６に示すように、枠状である。特に、周壁４１０は、矩形の枠状である。周壁４１０は、第１及び第２ガラス板２００，３００の外周に沿って形成されている。これにより、組立て品１００では、周壁４１０と第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とで囲まれた内部空間５００が形成される。また、周壁４１０は、ガス吸着層６０の外周の外側にある。
【００３６】
仕切り４２０は、第２封着材（第２熱接着剤）を含む。仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。仕切り４２０は、ガス吸着層６０の外周のうち、排気口７００に近い一辺に沿って配置される。また、仕切り４２０は、内部空間５００を、所定空間（排気空間）５０１と、通気空間とに仕切る。具体的には、仕切り４２０は、所定空間５０１である第１空間５１０と、第２空間５２０とに仕切る。この場合、第２空間５２０は上記通気空間である。このため、第１空間５１０は後に排気される空間であり、第２空間５２０は第１空間５１０の排気に使用される空間である。仕切り４２０は、第１空間５１０が第２空間５２０よりも大きくなるように、第２ガラス板３００の中央よりも第２ガラス板３００の長さ方向（図４における左右方向）の第１端側（図４における右端側）に形成される。仕切り４２０は、第２ガラス板３００の幅方向（図４における上下方向）に沿う直線状である。ただし、仕切り４２０の長さ方向の両端は、周壁４１０とは接触していない。
【００３７】
通気路６００は、図６に示すように、内部空間５００内で第１空間５１０と第２空間５２０とをつなぐ。通気路６００は、第１通気路６１０と、第２通気路６２０と、を含む。第１通気路６１０は、仕切り４２０の第１端（図６の上端）と周壁４１０との間に介在する隙間である。第２通気路６２０は、仕切り４２０の第２端（図４の下端）と周壁４１０との間に介在する隙間である。
【００３８】
排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、第２空間５２０および通気路６００（第１通気路６１０及び第２通気路６２０）を介して第１空間５１０を排気するために用いられる。したがって、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とは、第１空間５１０を排気するための排気路を構成する。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐように第２ガラス板３００に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２ガラス板３００の角部分にある。
【００３９】
第１ガラス板（第１ガラス基板）２００は、第１ガラス板２０の基礎となる部材であり、第１ガラス板２０と同じ材料で形成されている。第２ガラス板（第２ガラス基板）３００は、第２ガラス板３０の基礎となる部材であり、第２ガラス板３０と同じ材料で形成されている。第１及び第２ガラス板２００，３００は同じ平面形状である。第１及び第２ガラス板２００，３００はいずれも多角形（本実施形態では長方形）の板状である。本実施形態では、第１ガラス板２００は、１枚の第１ガラス板２０を形成可能な大きさであり、第２ガラス板３００は、１枚の第２ガラス板３０を形成可能な大きさである。
【００４０】
第１ガラス板２００は、図５に示すように、本体２０３と、赤外線反射膜２２とを含む。赤外線反射膜２２は、内部空間５００内にあり、本体２０３を覆う。赤外線反射膜２２は、本体２０３と接触している。本体２０３は、第２ガラス板３００と同じ板状である。
【００４１】
組立工程は、組立て品１００を得るために、第１ガラス板２００、第２ガラス板３００、周壁４１０、仕切り４２０、内部空間５００、通気路６００、排気口７００、ガス吸着層６０、及び複数のピラー７０を形成する工程である。組立工程は、ガス吸着層形成工程に加えて、第１〜第５工程を有する。なお、第３〜第４工程の順番は、適宜変更してもよい。
【００４２】
第１工程は、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００を形成する工程（基板形成工程）である。例えば、第１工程では、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００を作製する。また、第１工程では、必要に応じて、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００を洗浄する。
【００４３】
第２工程は、排気口７００を形成する工程である。第２工程では、図６に示すように、第２ガラス板３００に、排気口７００を形成する。また、第２工程では、必要に応じて、第２ガラス板３００を洗浄する。本実施形態では、第２工程の後、ガス吸着層形成工程が行われる。そして、ガス吸着層形成工程の後、第３〜第５工程が行われる。
【００４４】
第３工程は、ピラー７０を形成する工程（ピラー形成工程）である。第３工程では、複数のピラー７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のピラー７０を、第２ガラス板３００の所定位置に配置する。なお、複数のピラー７０は、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のピラー７０は、光硬化性材料などを用いて形成される。あるいは、複数のピラー７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。
【００４５】
第４工程は、ガス吸着層６０の外周に沿って周壁４１０及び仕切り４２０を配置する工程（封着材配置工程）である。第５工程では、ディスペンサなどを利用して、ガス吸着層６０の外周の外側で第２ガラス板３００上に第１封着材を塗布し、その後第１封着材を乾燥させて周壁４１０を形成する（図９参照）。また、ディスペンサなどを利用して、ガス吸着層６０の外側で、かつガス吸着層６０の外周のうち、排気口７００に近い一辺に沿って第２封着材を第２ガラス板３００上に塗布する。その後第２封着材を乾燥させて仕切り４２０を形成する（図１０参照）。なお、第５工程では、第１及び第２封着材を乾燥させるとともに、仮焼成してもよい。例えば、第１及び第２封着材が塗布された第２ガラス板３００を４８０℃で２０分間加熱する。この場合、第１ガラス板２００を第２ガラス板３００と一緒に加熱してもよい。つまり、第１ガラス板２００を第２ガラス板３００と同じ条件（４８０℃で２０分間）で加熱してもよい。これにより、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００との反りの差を低減できる。
【００４６】
第１工程から第４工程が終了することで、図１０に示されるような、第２ガラス板３００が得られる。この第２ガラス板３００には、周壁４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着層６０及び複数のピラー７０が形成されている。本実施形態では、第１工程〜第４工程が終了してから第５工程が行われる。
【００４７】
第５工程は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを配置する工程（配置工程）である。第５工程では、図１１に示すように、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とは、互いに平行かつ対向するように配置される。
【００４８】
上述した組立工程によって、図１２に示す組立て品１００が得られる。そして、組立工程の後には、図１３に示すような、第１溶融工程（接合工程）と、排気工程と、第２溶融工程（封止工程）とが実行される。
【００４９】
第１溶融工程は、周壁４１０を一旦溶融させて周壁４１０で第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００とを気密に接合する工程である。具体的には、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００は、溶融炉内に配置され、第１溶融温度Ｔｍ１で所定時間（第１溶融時間）ｔｍ１だけ加熱される（図１３参照）。第１溶融温度Ｔｍ１は、第１封着材の第１軟化点以上、第２封着材の第２軟化点より低く設定される。これにより、仕切り４２０が変形して通気路６００が塞がれることがないようにしている。例えば、第１軟化点が４３４℃、第２軟化点が４５４℃である場合、第１溶融温度Ｔｍ１は、４４０℃に設定される。また、第１溶融時間ｔｍ１は、例えば、１０分である。
【００５０】
ここで、第１溶融温度Ｔｍ１は、第１軟化点よりも第２軟化点に近いほうが良い。この場合、仕切り４２０の変形を抑制しながらも、周壁４１０をより軟化させることができる。これにより、第１及び第２ガラス板２００，３００に反りがある場合でも、周壁４１０によって第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合しやすくなる。
【００５１】
排気工程は、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気して第１空間５１０を真空空間５０とする工程である。排気は、例えば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、図１２に示されるように、排気管８１０と、シールヘッド８２０と、により組立て品１００に接続される。排気管８１０は、例えば、排気管８１０の内部と排気口７００とが連通するように第２ガラス板３００に接合される。そして、排気管８１０にシールヘッド８２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。第１溶融工程と排気工程と第２溶融工程とは、組立て品１００を溶融炉内に配置したまま行われる。そのため、排気管８１０は、少なくとも第１溶融工程の前に、第２ガラス板３００に接合される。
【００５２】
排気工程では、第２溶融工程の開始前までに、排気温度Ｔｅ以上で所定時間（排気時間）ｔｅ以上、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する（図１３参照）。排気温度Ｔｅは、ガス吸着層６０のゲッタ材（ゲッタ微粉末）の活性化温度（例えば、３５０℃）より高く、かつ、第２封着材の第２軟化点（例えば４５４℃）より低く設定される。例えば、排気温度Ｔｅは、３９０℃である。このようにすれば、仕切り４２０は変形しない。また、ガス吸着層６０のゲッタ材が活性化し、ゲッタ材が吸着していた分子（ガス）がゲッタ材から放出される。そして、ゲッタ材から放出された分子（つまりガス）は、第１空間５１０、通気路６００、第２空間５２０、及び、排気口７００を通じて排出される。したがって、排気工程では、ガス吸着層６０の吸着能力が回復する。排気時間ｔｅは、所望の真空度（例えば、０．１Ｐａ以下の真空度）の真空空間５０が得られるように設定される。例えば、排気時間ｔｅは、１２０分に設定される。
【００５３】
第２溶融工程は、仕切り４２０を変形させて少なくとも通気路６００を塞ぐことで隔壁４２を形成して仕掛り品１１０を得る工程である。つまり、第２溶融工程では、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ。言い換えると、変形した仕切り４２０により第１空間５１０が塞がれて、第１空間５１０と第２空間５２０とが分離される。これにより、真空空間５０を囲む枠体４０が形成される（図１４参照）。本実施形態では、仕切り４２０の長さ方向の両端が周壁４１０に接触して一体となるように、仕切り４２０を変形させている。これによって、図４及び図１４に示すように、内部空間５００を第１空間５１０（真空空間５０）と第２空間５２０とに気密に分離する隔壁４２が形成される。より詳細には、第２封着材の第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で仕切り４２０を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させる。具体的には、第１ガラス板２００及び第２ガラス板３００は、溶融炉内で、第２溶融温度Ｔｍ２で所定時間（第２溶融時間）ｔｍ２だけ加熱される（図１３参照）。第２溶融温度Ｔｍ２及び第２溶融時間ｔｍ２は、仕切り４２０が軟化し、通気路６００が塞がれるように設定される。第２溶融温度Ｔｍ２の下限は、第２軟化点（例えば４５４℃）である。例えば、第２溶融温度Ｔｍ２は、４６０℃に設定される。また、第２溶融時間ｔｍ２は、例えば、３０分である。
【００５４】
本実施形態では、図１３に示すように、排気工程は、第１溶融工程の途中から開始され、第２溶融工程の終了とともに終了している。したがって、第１溶融工程においても、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０が排気される。そのため、組立て品１００の内外の圧力差が生じ、この圧力差によって、第１及び第２ガラス板２００，３００が互いに接近するように移動させられる。これによって、第１及び第２ガラス板２００，３００に反りがある場合でも、周壁４１０によって第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合しやすくなる。更に、第２溶融工程でも、排気工程を継続しているから、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０が排気されている。つまり、第２溶融工程では、第２溶融温度Ｔｍ２で、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気しながら、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成する。これによって、第２溶融工程中に、真空空間５０の真空度が悪化することがさらに防止される。ただし、第１溶融工程及び第２溶融工程では、必ずしも、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０を排気する必要はない。
【００５５】
上述の準備工程によって、図４に示す仕掛り品１１０が得られる。仕掛り品１１０は、図４及び図１４に示されるように、第１ガラス板２００と、第２ガラス板３００と、周壁４１０と、隔壁４２と、を備える。また、仕掛り品１１０は、真空空間５０と、第２空間５２０とを有する。更に、仕掛り品１１０は、真空空間５０内に、ガス吸着層６０と、複数のピラー（スペーサ）７０と、を備える。更に、仕掛り品１１０は、排気口７００を備える。
【００５６】
隔壁４２は、真空空間５０を第２空間５２０から（空間的に）分離する。言い換えれば、仕掛り品１１０の第２空間５２０は排気口７００を介して外部空間と（空間的に）繋がっているため、隔壁４２は、真空空間５０と外部空間とを分離する。そして、隔壁４２と周壁４１０とが、真空空間５０を囲む枠体４０を構成する。枠体４０は、真空空間５０を完全に囲むとともに、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００とを気密に接合する。
【００５７】
真空空間５０は、上記の通り、第２空間５２０及び排気口７００を介して第１空間５１０を排気することで形成される。換言すれば、真空空間５０は、真空度が所定値以下の第１空間５１０である。所定値は、たとえば、０．１Ｐａである。真空空間５０は、第１ガラス板２００と第２ガラス板３００と枠体４０とで完全に密閉されているから、第２空間５２０及び排気口７００から分離されている。
【００５８】
除去工程は、準備工程の後に実行される。除去工程は、図１５に示すように、仕掛り品１１０から第２空間５２０を有する部分１１を除去することで、真空空間５０を有する部分であるガラスパネルユニット１０を得る工程である。
【００５９】
ガラスパネルユニット１０は、上記の通り、第１ガラス板２０と、第２ガラス板３０と、枠体４０と、ガス吸着層６０と、複数のピラー７０と、を備える。第１ガラス板２０は、第１ガラス板２００のうち第１空間５１０（真空空間５０）に対応する部分であり、第２ガラス板３０は、第２ガラス板３００のうち第１空間５１０（真空空間５０）に対応する部分である。ガス吸着層６０は、第２ガラス板３００のうち、真空空間５０内で枠体４０から離間された領域を構成する表面全体を覆う。
【００６０】
一方、不要な部分１１は、第１ガラス板２００のうち第２空間５２０に対応する部分２１と、第２ガラス板３００のうち第２空間５２０に対応する部分３１と、を含む。更に、不要な部分１１は、周壁４１０のうち第２空間５２０に対応する部分４１１と、を含んでいる。なお、ガラスパネルユニット１０の製造コストを考慮すれば、不要な部分１１は小さいほうが好ましい。
【００６１】
除去工程では、具体的には、溶融炉から取り出された仕掛り品１１０は、図４に示される切断線９００に沿って切断され、真空空間５０を有する所定部分（ガラスパネルユニット）１０と、第２空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。なお、切断線９００の形状は、ガラスパネルユニット１０の形状によって定まる。ガラスパネルユニット１０は矩形状であるから、切断線９００は、隔壁４２の長さ方向に沿った直線となっている。特に、本実施形態では、切断線９００は、隔壁４２上を通る。具体的には、切断線９００は、隔壁４２の長さ方向に沿って隔壁４２の幅方向の中心を通る。つまり、除去工程では、隔壁４２は、その幅方向において二分され、一方がガラスパネルユニット１０の枠体４０の一部となり、他方が不要な部分１１とともに除去される。なお、切断線９００は、必ずしも隔壁４２上を通らなくてもよい。例えば、切断線９００が隔壁４２と排気口７００との間を通っていれば、排気口７００のないガラスパネルユニット１０が得られる。ただし、切断線９００が隔壁４２上にあれば、第１及び第２ガラス板２００，３００を隔壁４２とともに切断することができるから、仕掛り品１１０を切断する作業が容易になるという利点がある。
【００６２】
上述の、準備工程及び除去工程を経て、図１及び図２に示すガラスパネルユニット１０が得られる。
【００６３】
２．変形例
本開示の実施形態は、上記実施形態に限定されない。上記実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下に、上記実施形態の変形例を列挙する。
【００６４】
上記実施形態では、ガス吸着層６０は第２ガラス板３０に形成されているが、図１６Ａに示すように、ガス吸着層６０は、第１ガラス板２０のうちの真空空間５０に対応する表面を覆っていてもよい。具体的には、ガス吸着層６０は、真空空間５０内で赤外線反射膜２２を覆っていてもよい。このようなガス吸着層６０は、ガス吸着層形成工程において、第１ガラス板２００の外周から離間された領域を構成する表面全体に形成される。他の変形例では、ガス吸着層６０は、図１６Ｂに示すように、第２ガラス板３０のうちの真空空間５０に対応する表面と、ピラー７０とを覆っていてもよい。このようなガス吸着層６０は、第２ガラス板３０とピラー７０との間に介在していない。図１６Ｂのガス吸着層６０を形成するにあたって、ガス吸着層形成工程は、第３工程の後で、かつ第６工程の前に実行される。さらに他の変形例では、ガラスパネルユニット１０は、少なくとも２つのガス吸着層６０を備えてもよい。これらのガス吸着層６０は、図１６Ｃに示すように、第１ガラス板２０のうちの真空空間５０に対応する表面と、第２ガラス板３０のうちの真空空間５０に対応する表面とを覆う。この場合、第１ガラス板２０を覆うガス吸着層６０は、第１ガラス板２０とピラー７０との間に介在する。また、第２ガラス板３０を覆うガス吸着層６０は、第２ガラス板３０とピラー７０との間に介在する。図１６Ｃのガス吸着層６０は、ガス吸着層形成工程において、第１ガラス板２００の外周から離間された領域を構成する表面全体と、第２ガラス板３００の外周から離間された領域を構成する表面全体とに形成される。
【００６５】
上記実施形態では、排気工程は、第２溶融工程の終了とともに終了しているが、第１溶融工程の後に開始し、第２溶融工程の前に終了してもよい。ただし、排気工程を、第１溶融工程及び第２溶融工程と並行して実行すれば、上述した利点が得られる。
【００６６】
上記実施形態では、ガラスパネルユニット１０は矩形状であるが、ガラスパネルユニット１０は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１ガラス板２０、第２ガラス板３０、ガス吸着層６０、及び枠体４０は、矩形状ではなく、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。なお、第１ガラス板２００、第２ガラス板３００、周壁４１０、及び仕切り４２０のそれぞれの形状は、上記実施形態の形状に限定されず、所望の形状のガラスパネルユニット１０が得られるような形状であればよい。なお、ガラスパネルユニット１０の形状や大きさは、ガラスパネルユニット１０の用途に応じて決定される。
【００６７】
第１及び第２ガラス板２０，３０は同じ平面形状および平面サイズを有していなくてもよい。また、第１ガラス板２０の本体２３は、第２ガラス板３０と同じ厚みを有していなくてもよい。また、本体２３と、第２ガラス板３０とは同じ材料で形成されていなくてもよい。これらの点は、第１及び第２ガラス板２００，３００についても同様である。
【００６８】
周壁４１０は、第１及び第２ガラス板２００，３００と同じ平面形状を有していなくてもよい。
【００６９】
周壁４１０は、第１封着材に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。仕切り４２０（隔壁４２）は、第２封着材に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。
【００７０】
また、組立て品１００では、周壁４１０は第１及び第２ガラス板２００，３００の間にあるだけでこれらを接合していない。しかしながら、組立て品１００の段階で、周壁４１０が第１及び第２ガラス板２００，３００同士を接合していてもよい。要するに、組立て品１００では、周壁４１０は第１及び第２ガラス板２００，３００の間にあればよく、これらを接合していることは必須ではない。
【００７１】
また、上記実施形態では、仕切り４２０は、周壁４１０とは接触していない。これによって、仕切り４２０の両端と周壁４１０との隙間が、通気路６１０，６２０を形成している。ただし、仕切り４２０は、その両端の一方のみが周壁４１０に連結されていてもよく、この場合、仕切り４２０と周壁４１０との間に一つの通気路６００が形成され得る。あるいは、仕切り４２０は、その両端が周壁４１０に連結されていてもよい。この場合、通気路６００は、仕切り４２０に形成された貫通孔であってもよい。あるいは、通気路６００は、仕切り４２０と第１ガラス板２００との隙間であってもよい。あるいは、仕切り４２０は、間隔をあけて配置された２以上の仕切りで形成されていてもよい。この場合、通気路６００は、２以上の仕切りの間に介在する隙間であってもよい。
【００７２】
また、上記実施形態では、内部空間５００は、一つの第１空間５１０と一つの第２空間５２０とに仕切られている。ただし、内部空間５００は、仕切り４２０によって、１以上の第１空間５１０と１以上の第２空間５２０とに仕切られていてもよい。内部空間５００が２以上の第１空間５１０を有する場合、１つの仕掛り品１１０から２以上のガラスパネルユニット１０を得ることができる。
【００７３】
上記実施形態では、周壁４１０、ガス吸着層６０、及び仕切り４２０の加熱に溶融炉を利用している。しかしながら、加熱は、適宜の加熱手段で行うことができる。加熱手段は、たとえば、レーザや、熱源に接続された伝熱板などである。
【００７４】
上記実施形態では、通気路６００は２つの通気路６１０，６２０を備えているが、通気路６００は、一つの通気路だけで構成されていてもよいし、３以上の通気路で構成されていてもよい。また、通気路６００の形状は、特に限定されない。
【００７５】
上記実施形態では、組立て品１００は、仕切り４２０を備えている。しかし、組立て品１００は、仕切り４２０を備えなくてもよい（図１７参照）。この場合、ガス吸着層６０は、第２ガラス板３００のうち、内部空間５００に対応する表面のほぼ全てを覆う。このような変形例の組立て品１００を用いて、図１８に示すようなガラスパネルユニット１０が得られる。このガラスパネルユニット１０では、排気口７００は封止部４２１で塞がれている。ここで、第１ガラス板２０の大きさ、及び厚みは、第１ガラス板２００と同じであり、第２ガラス板３０の大きさ、及び厚みは、第２ガラス板３００と同じである。図１８のガラスパネルユニット１０を作製する場合、周壁４１０を溶融させてから、排気口７００を介して内部空間５００を排気させる。その後、排気口７００を封止部４２１で塞ぐことで、排気された内部空間５００を真空空間５０とする。すなわち、排気された内部空間５００の全部が所定空間５０１である。排気口７００を封止部４２１で塞ぐことで、所定空間５０１（真空空間５０）と外部空間とが分離される。また、排気口７００を塞ぐ際、封止工程は排気工程の終了時に開始される。封止工程では、例えば、排気管８１０を構成するガラスの熱溶着により、封止部４２１が形成される。
【００７６】
上記実施形態では、排気口７００は、第２ガラス板３００に形成されている。しかし、排気口７００は、第１ガラス板２００に形成されていてもよいし、周壁４１０のうちの第２空間５２０に対応する部分４１１に形成されていてもよい。要するに、排気口７００は、不要な部分１１に形成されていればよい。
【００７７】
上記実施形態では、ガス吸着層６０中のゲッタ材は蒸発型ゲッタであるが、ゲッタ材は非蒸発型ゲッタであってもよい。
【００７８】
上記実施形態では、第１空間５１０を真空空間５０としているが、真空空間５０の代わりに、減圧空間としてもよい。減圧空間は、減圧状態となった第１空間５１０である。減圧状態とは、圧力が大気圧より低い状態であればよい。
【００７９】
３．態様
上記実施形態及び変形例から明らかなように、本開示は、下記の態様を含む。以下では、実施形態との対応関係を明示するためだけに、符号を括弧付きで付している。
【００８０】
第１態様は、ガラスパネルユニット（１０）であって、第１ガラス板（２０）と、第２ガラス板（３０）と、枠体（４０）と、真空空間（５０）と、ガス吸着層（６０）と、を備える。第２ガラス板（３０）は、第１ガラス板（２０）に対向する。枠体（４０）は、第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（３０）との間にある。枠体（４０）は、第１及び第２ガラス板（２０，３０）を気密に接合する。真空空間（５０）は、第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（３０）と枠体（４０）とで囲まれる。ガス吸着層（６０）は、真空空間（５０）内にある。ガス吸着層（６０）は、第１ガラス板（２０）と第２ガラス板（３０）とのうち少なくとも一方を覆うようにして形成されている。ガス吸着層（６０）は、ゲッタ材を含有する。
【００８１】
第１態様によれば、ガラスパネルユニット（１０）を製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【００８２】
第２態様は、第１態様のガラスパネルユニット（１０）であって、前記ゲッタ材は、銅イオン交換ゼオライトを含有する。
【００８３】
第２態様によれば、ガラスパネルユニット（１０）を製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【００８４】
第３態様は、第１又は第２態様のガラスパネルユニット（１０）であって、第１ガラス板（２０）は、その本体（２３）と、赤外線反射膜（２２）とを備える。赤外線反射膜（２２）は、真空空間（５０）内にある。赤外線反射膜（２２）は、本体（２３）を覆う。
【００８５】
第３態様によれば、ガラスパネルユニット（１０）の断熱性を向上させることができる。
【００８６】
第４態様は、第１〜第３態様のうちのいずれか１つのガラスパネルユニット（１０）であって、ガス吸着層（６０）は、第２ガラス板（３０）に形成されている。
【００８７】
第４態様によれば、ガラスパネルユニット（１０）を製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【００８８】
第５態様は、ガラスパネルユニットの製造方法であって、組立工程と、排気工程と、封止工程とを含む。前記組立工程は、組立て品（１００）を用意する工程である。組立て品（１００）は、第１ガラス板（２００）と、第２ガラス板（３００）と、周壁（４１０）と、内部空間（５００）と、ガス吸着層（６０）と、排気口（７００）と、を備える。第２ガラス板（３００）は、第１ガラス板（２００）に対向する。周壁（４１０）は、第１ガラス板（２００）と第２ガラス板（３００）との間にある。周壁（４１０）は、枠状である。内部空間（５００）は、第１ガラス板（２００）と第２ガラス板（３００）と周壁（４１０）とで囲まれる。ガス吸着層（６０）は、内部空間（５００）内にある。ガス吸着層（６０）は、第１ガラス板（２００）と第２ガラス板（３００）とのうち少なくとも一方に形成されている。ガス吸着層（６０）は、ゲッタ材を含有する。排気口（７００）は、内部空間（５００）と外部空間とをつなぐ。前記排気工程は、排気口（７００）を介して内部空間（５００）を排気する工程である。前記封止工程は、内部空間（５００）のうちの所定空間（５０１）を塞いで、所定空間（５０１）と前記外部空間とを分離する工程である。前記組立工程は、ガス吸着層形成工程を含む。前記ガス吸着層形成工程は、第１ガラス板（２００）と第２ガラス板（３００）とが互いに対向するように配置される前に、前記ガス吸着層（６０）を形成する工程である。前記ガス吸着層形成工程中、塗膜（６１）が形成される。塗膜（６１）は、第１ガラス板（２００）と第２ガラス板（３００）とのうち少なくとも一方を覆うようにして、前記ゲッタ材を含有する溶液（６２）を塗布して形成される。塗膜（６１）を固形化させてガス吸着層（６０）を形成する。
【００８９】
第５態様によれば、ガラスパネルユニット（１０）を製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【００９０】
第６態様は、第５態様のガラスパネルユニットの製造方法であって、前記排気工程中、内部空間（５００）を加熱しながら排気すると共に、前記ゲッタ材を活性化させる。
【００９１】
第６態様によれば、ガラスパネルユニット（１０）を製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【００９２】
第７態様は、第５又は第６態様のガラスパネルユニットの製造方法であって、組立て品（１００）は、仕切り（４２０）と、通気路（６００）と、を更に備える。仕切り（４２０）は、内部空間（５００）を、所定空間（５０１）である第１空間（５１０）と、第２空間（５２０）とに仕切る。通気路（６００）は、第１空間（５１０）と第２空間（５２０）とをつなぐ。
【００９３】
第７態様によれば、ガラスパネルユニット（１０）を製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【００９４】
第８態様は、第７態様のガラスパネルユニットの製造方法であって、前記封止工程中、加熱により仕切り（４２０）を変形させて通気路（６００）を塞ぐ。
【００９５】
第８態様によれば、ガラスパネルユニット（１０）を製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【００９６】
第９態様は、第５〜第８態様のうちのいずれか１つのガラスパネルユニットの製造方法であって、ガス吸着層（６０）は、第２ガラス板（３００）に形成される。
【００９７】
第９態様によれば、ガラスパネルユニット（１０）を製造する際の煩雑性を軽減することができる。
【符号の説明】
【００９８】
１０  ガラスパネルユニット
１００  組立て品
１１０  仕掛り品
２０，３０  ガラス板
２００，３００  ガラス板
２２  赤外線反射膜
２３  本体
４０  枠体
４１０  周壁
４２０  仕切り
５０  真空空間
５００  内部空間
５０１  所定空間
５１０  第１空間
５２０  第２空間
６０  ガス吸着層
６１  塗膜
６２  溶液
６００  通気路
７００  排気口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【国際調査報告】
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