(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体出入ポートに連通するシリンダ室を有し、側面部に軸線方向に沿って延在する溝部が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
センサ装着用の長溝が形成され、前記溝部に沿って嵌挿され該溝部に保持される係止部が設けられたブロック体と、
前記長溝の所定位置に選択的に装着されるセンサと、
前記ブロック体に設けられ、該ブロック体を前記シリンダ本体の側面部の所定位置に固定する固定手段と、
を備え、
前記溝部は、前記シリンダ本体の相互に対向する一組の側面部に形成され、前記固定手段を介して前記シリンダ本体の一方の側面部の前記溝部に前記ブロック体を固定するとともに他方の側面部の前記溝部に流体出入ポートを閉塞する閉塞プレートを固定し、前記ブロック体と閉塞プレートは、相互に交換可能に設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、固定手段は、ブロック体に貫通形成されたねじ穴に螺入される押しねじ、またはボルトを介して緊締される固定ブロックを有することを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２記載のリニアアクチュエータにおいて、係止部はブロック体と一体的に形成され、またはブロック体と別個に設けられた固定ブロックに形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項２記載のリニアアクチュエータにおいて、押しねじには、流体出入ポートに連通する通路が形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、ブロック体の一側面は、スライドテーブルに付設された磁性体が臨むように切り欠いて形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、スライドテーブルをシリンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構が設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、スライドテーブルの一端部の中央に設けられ、前記スライドテーブルの変位量を調整する変位量調整手段を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載のリニアアクチュエータにおいて、スライドテーブル側またはシリンダ本体側のいずれの方向からも選択可能にシリンダ本体を他の部材に取り付ける取付手段を設けることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体出入ポートから圧力流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルを往復させるリニアアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ワーク等の搬送手段としてリニアアクチュエータが用いられている。このリニアアクチュエータは、シリンダ本体に沿ってスライドテーブルを直線状に往復運動させることにより、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送している。
【０００３】
従来技術に係るリニアアクチュエータ（実開平６−４７７０８号公報参照）を図１６および図１７に示す。この流体圧シリンダ１は、中央部に直線ころがり軸受２が膨出形成されたシリンダ本体３と、前記直線ころがり軸受２の案内作用下に直線状に往復動作するテーブル４とを有する。
【０００４】
前記テーブル４の一側面には永久磁石５が固着され、またシリンダ本体３の一側面には一組のねじ６ａ、６ｂを介してガイドレール７が締結される。前記ガイドレール７には軸線方向に沿って長溝８が形成され、前記長溝８の所定位置に装着された磁気近接スイッチ９によって永久磁石５の磁気作用を検知することにより、テーブル４の位置を検出している。
【０００５】
なお、前記ガイドレール７に近接するシリンダ本体３の一側面部には、管継手を螺入して配管用チューブを接続するための一組の流体圧供給ポート１０ａ、１０ｂ（一方は図示せず）が形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記の流体圧シリンダ１では、磁気近接スイッチ９が装着されるガイドレール７をねじ６ａ、６ｂによってシリンダ本体３の一側面部にねじ締結しているため、前記シリンダ本体３の側面部には前記ねじ６ａ、６ｂを螺入するためのねじ穴を形成する必要があり、前記ねじ穴を穿孔するためにシリンダ室の内壁面とシリンダ本体３の外壁面との間の肉厚Ｌ（図１７参照）を厚く形成しなければならない。この結果、シリンダ本体３の短手方向の幅Ｗを縮小することができないため、装置全体の小型・軽量化を図ることが不可能となる難点がある。
【０００７】
また、従来技術に係る流体圧シリンダ１では、シリンダ本体３の流体圧供給ポート１０ａ、１０ｂに対して配管用チューブを接続するための管継手を螺入する際、前記流体圧供給ポート１０ａ、１０ｂよりも外部側に突出するガイドレール７が障害となって配管作業が煩雑となる不都合がある。
【０００８】
本発明は、前記の不都合を克服するためになされたものであり、配管作業を簡便に行うことができるとともに、シリンダ本体の短手方向の幅を縮小して装置全体の小型・軽量化を図ることが可能なリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体出入ポートに連通するシリンダ室を有し、側面部に軸線方向に沿って延在する溝部が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライドテーブルと、
前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストンの変位作用下に前記スライドテーブルを往復動作させるシリンダ機構と、
センサ装着用の長溝が形成され、前記溝部に沿って嵌挿され該溝部に保持される係止部が設けられたブロック体と、
前記長溝の所定位置に選択的に装着されるセンサと、
前記ブロック体に設けられ、該ブロック体を前記シリンダ本体の側面部の所定位置に固定する固定手段と、
を備え、
前記溝部は、前記シリンダ本体の相互に対向する一組の側面部に形成され、前記固定手段を介して前記シリンダ本体の一方の側面部の前記溝部に前記ブロック体を固定するとともに他方の側面部の前記溝部に流体出入ポートを閉塞する閉塞プレートを固定し、前記ブロック体と閉塞プレートは、相互に交換可能に設けられることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、流体出入ポートから導入された圧力流体はシリンダ室に供給され、ピストンを所定方向に押圧する。前記ピストンの変位作用下にシリンダ本体の軸線方向に沿ってスライドテーブルが往復動作する。
【００１１】
また、本発明によれば、センサ装着用の長溝が形成されたブロック体をシリンダ本体に連結する際、シリンダ本体の側面部に形成された溝部に沿ってブロック体に設けられた係止部を嵌挿することにより、ブロック体をシリンダ本体に簡便に連結することができる。従って、ブロック体をねじ止めする必要がないため、シリンダ室の内壁面からシリンダ本体の外壁面までの肉厚を薄く形成することができ、シリンダ本体の短手方向の幅を縮小することが可能となる。さらに、本発明によれば、前記シリンダ本体の相互に対向する一組の側面部にそれぞれ溝部が形成され、固定手段を介して前記シリンダ本体の一方の側面部の前記溝部に前記ブロック体を固定するとともに他方の側面部の前記溝部に流体出入ポートを閉塞する閉塞プレートを固定することにより、前記ブロック体と閉塞プレートは、設置環境に対応して相互に交換することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１３】
図１において参照数字２０は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。このリニアアクチュエータ２０は、シリンダ本体２２と、前記シリンダ本体２２の長手方向に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル２４と、前記シリンダ本体２２の一方の側面部にねじ止めされるセンサ取付用レール（ブロック体）２６と、前記センサ取付用レール２６に対向するシリンダ本体２２の他方の側面部にねじ止めされるプレート（閉塞プレート）２７とを有する。
【００１４】
図１並びに図８に示されるように、前記シリンダ本体２２の上面部には、相互に対向する一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂが該シリンダ本体２２と一体的に膨出形成され、前記一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂには、複数のボールベアリング２９が転動して無限循環軌道を構成するボール循環穴３０ａ、３０ｂとボール転動溝３２ａ、３２ｂとが長手方向に沿ってそれぞれ形成される。
【００１５】
また、図５に示されるように、前記一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂ間の略中央部には一組のねじ３４を介して直方体状のストッパブロック３６が固設され、前記ストッパブロック３６に近接する部位には、軸線と略直交する方向に貫通する一組の取付用孔部４０ａ、４０ｂが形成される。
【００１６】
さらに、図６に示されるように、前記シリンダ本体２２の内部には軸線方向に沿って略平行に並設された一組の貫通孔４２ａ、４２ｂが形成され、前記貫通孔４２ａ、４２ｂ内には、略同一形状に形成され、外周面にシールリング４４およびダンパ４６が装着されたピストン４８と、前記ピストン４８に連結されたピストンロッド５０とがそれぞれ収装される。
【００１７】
各貫通孔４２ａ、４２ｂの一端部は、止め輪５２を介して装着されるエンドキャップ５４によって気密に閉塞され、前記貫通孔４２ａ、４２ｂの他端部は、ピストンロッド５０の外周面に摺接する環状凸部５６によって閉塞される。前記環状凸部５６から外部に露呈するピストンロッド５０は、止め輪を介してシリンダ本体２２に保持されたロッドパッキン５８およびカラー６０によってシールされる。
【００１８】
この場合、一組の貫通孔４２ａ、４２ｂをそれぞれ閉塞するエンドキャップ５４と環状凸部５６とによって、実質的に、第１シリンダ室６２ａ、６２ｂおよび第２シリンダ室６３ａ、６３ｂが形成され、前記第１シリンダ室６２ａ、６２ｂおよび第２シリンダ室６３ａ、６３ｂは、連通路６７ａ、６７ｂを介してそれぞれ連通するように形成される。
【００１９】
また、シリンダ本体２２の相互に対向する両側面には、一組の第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂおよび第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂが該シリンダ本体２２の軸線を対称軸としてそれぞれ線対称に配置され、前記第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂは第１シリンダ室６２ａ、６２ｂにそれぞれ連通し、第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂは第２シリンダ室６３ａ、６３ｂにそれぞれ連通するように形成されている。なお、前記ピストンロッド５０の先端部にはロックナット６６を介してフローティングブッシュ６８が連結される。
【００２０】
図７に示されるように、シリンダ本体２２の相互に対向する両側面部には、センサ取付用レール２６およびプレート２７を該シリンダ本体２２に装着するための一組の溝部６９ａ、６９ｂが形成され、前記一組の溝部６９ａ、６９ｂはそれぞれ線対称に形成される。
【００２１】
図１に示されるように、スライドテーブル２４は、一組のボルト７０ａ、７０ｂを介して断面略Ｌ字状に略直交してねじ締結されるテーブル７２とエンドプレート７４とから構成され、前記エンドプレート７４に形成された半円形状の孔部７６を介してフローティングブッシュ６８が保持される。なお、前記エンドプレート７４に形成された孔部内に図示しない緩衝部材が挿入され、前記緩衝部材はスライドテーブル２４の一方の変位終端位置においてエンドプレート７４がシリンダ本体２２の端面に当接する際に発生する衝撃を緩和する機能を営む。
【００２２】
前記テーブル７２には、４個のワーク保持用孔部８０ａ〜８０ｄと、シリンダ本体２２の取付用孔部４０ａ、４０ｂに対応し且つ連通する一組の通し穴８２ａ、８２ｂが形成される（図１並びに図３参照）。この場合、前記通し穴８２ａ、８２ｂを通じてテーブル７２の上面側から図示しないボルトを取付用孔部４０ａ、４０ｂに螺入してシリンダ本体２２を他の部材に取り付け、あるいはシリンダ本体２２の底面側からボルトを取付用孔部４０ａ、４０ｂに直接螺入して取り付けることが可能である（図５参照）。このように、作業者は、リニアアクチュエータ２０の取付方向を上方向または下方向のいずれかを選択することができる。
【００２３】
図７に示されるように、スライドテーブル２４の下面部には、長手方向に沿って延在する一組のガイド部８４ａ、８４ｂが一体的に膨出形成され、前記ガイド部８４ａ、８４ｂの対向する側面部には、ボール転動溝８６ａ、８６ｂが長手方向に沿って形成される。また、所定間隔離間する一組のガイド部８４ａ、８４ｂ間には、ストッパブロック３６の形状に対応し軸線方向に沿って所定長だけ延在する切欠部８８が形成される（図５並びに図７参照）。
【００２４】
図５に示されるように、前記切欠部８８の一端部には、スライドテーブル２４の変位量調整手段として機能するアジャスタボルト９０がロックナット９２を介して螺入され、前記アジャスタボルト９０の先端部には、例えば、ウレタン等のゴムからなる緩衝部材９４が装着される。
【００２５】
この場合、アジャスタボルト９０はスライドテーブル２４と一体的に変位し、緩衝部材９４がストッパブロック３６に当接することにより、スライドテーブル２４の移動量が規制される。また、前記アジャスタボルト９０および緩衝部材９４は、スライドテーブル２４の一端部の略中央に軸線方向に沿って設けられているため（図３並びに図５参照）、スライドテーブル２４が変位終端位置に到達する際に前記スライドテーブル２４に付与される偏荷重を減少させる機能を営む。この結果、スライドテーブル２４に載置される図示しないワークに対して偏荷重が伝達されることを阻止することができる。
【００２６】
スライドテーブル２４をシリンダ本体２２の軸線方向に沿って案内するガイド機構は、前記スライドテーブル２４の下面部に一体的に膨出形成され、両側面に相互に対向する一組のボール転動溝８６ａ、８６ｂが形成されたガイド部８４ａ、８４ｂと、前記ガイド部８４ａ、８４ｂの両側に所定距離離間しシリンダ本体２２の上面部に一体的に膨出形成され、ボール循環穴３０ａ、３０ｂとボール転動溝３２ａ、３２ｂとがそれぞれ形成された一対のガイドブロック２８ａ、２８ｂとを含む。前記ガイドブロック２８ａ、２８ｂの両端部には、カバー９６ａ、９６ｂおよび図示しないスクレーパがそれぞれねじ止めされる。
【００２７】
図２に示されるように、シリンダ本体２２の両側面部には、センサ取付用レール２６およびプレート２７がそれぞれ対向し且つ着脱自在に設けられる。前記センサ取付用レール２６の一方の側面には長手方向に沿って略平行な二条の長溝９８ａ、９８ｂが形成され、前記長溝９８ａ、９８ｂ内の所定部位には図示しないセンサが選択的に係着される。前記センサ取付用レール２６の他方の側面には、断面くの字状に切り欠かれた切欠部１００が長手方向に沿って形成される。前記切欠部１００を設けることにより、後述する磁性体を円滑に変位させることが可能となる。
【００２８】
前記センサ取付用レール２６およびプレート２７には、溝部６９ａ、６９ｂの断面形状に対応して幅広となる段部を有し、シリンダ本体２２に対して該センサ取付用レール２６およびプレート２７を保持する係止部１０２ａ、１０２ｂが長手方向に沿ってそれぞれ形成される。
【００２９】
この場合、前記係止部１０２ａ、１０２ｂを溝部６９ａ、６９ｂの一端部から挿入し前記溝部６９ａ、６９ｂに沿ってスライドさせることにより、前記センサ取付用レール２６およびプレート２７がシリンダ本体２２に簡便に装着され、あるいはシリンダ本体２２から簡便に取り外すことが可能となる。このように、センサ取付用レール２６およびプレート２７は、それぞれの溝部６９ａ、６９ｂに対して選択可能に装着されるとともに、相互に交換可能に形成される。
【００３０】
前記センサ取付用レール２６およびプレート２７には、それぞれ、図２並びに図６に示されるように、長手方向と略直交する方向に貫通し環状段部を有する一組のねじ穴１０４が所定間隔離間して形成され、各ねじ穴１０４には先端部が略テーパ状に形成された押しねじ（固定手段）１０６、１０８がそれぞれ螺入される。
【００３１】
センサ取付用レール２６に螺入される押しねじ１０６には、該押しねじ１０６の軸線方向に沿って貫通する通路１１０が形成され（図６参照）、前記通路１１０は、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（または第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）にそれぞれ連通するように形成される。また、プレート２７に螺入される押しねじ１０８は、第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ（または第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ）を閉塞する機能を営む。
【００３２】
前記押しねじ１０６、１０８の先端部には環状突起部１１２が形成され、前記環状突起部１１２を第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂまたは第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂに嵌挿することにより、センサ取付用レール２６およびプレート２７をシリンダ本体２２の側面部にそれぞれ位置決めして装着することができる。また、前記押しねじ１０６、１０８の環状突起部１１２には、その連結部位を気密に保持するために断面三角形状のＯリング１１４が装着される。なお、前記押しねじ１０６、１０８は、図２に示されるように、センサ取付用レール２６並びにプレート２７の内側から各ねじ穴１０４に螺入される。
【００３３】
図２並びに図４に示されるように、シリンダ本体２２の一側面部にはねじ１１６を介して金具１１８が締結され、前記金具１１８の一部を上下左右の四方向から折曲させた爪片１２０によって円柱状の磁性体１２２が保持される。この場合、前記磁性体１２２は、センサ取付用レール２６に形成された断面くの字状の切欠部１００に臨むように配設される。
【００３４】
本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００３５】
まず、作業者は、その選択によりシリンダ本体２２の一方の側面にセンサ取付用レール２６を装着し、該シリンダ本体２２の他方の側面にプレート２７を装着する。この場合、前記センサ取付用レール２６並びにプレート２７は、シリンダ本体２２の側面に同一形状に形成された一組の溝部６９ａ、６９ｂに沿って係止部１０２ａ、１０２ｂをスライドさせながら嵌挿することにより、シリンダ本体２２に簡便に装着することができる。
【００３６】
前記センサ取付用レール２６並びにプレート２７をシリンダ本体２２に装着する際、該センサ取付用レール２６並びにプレート２７の内側から一組の押しねじ１０６、１０８を螺入し（図２参照）、前記押しねじ１０６、１０８の先端部に形成された環状突起部１１２がそれぞれ第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂおよび第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂにそれぞれ嵌挿されることにより、前記センサ取付用レール２６並びにプレート２７がシリンダ本体２２の所定位置に位置決め保持される（図６参照）。
【００３７】
続いて、前記センサ取付用レール２６のねじ穴１０４に図示しない管継手を螺入する。その際、前記ねじ穴１０４の周囲には外部に突出して障害となるものが何ら存在しないため、従来技術と比較して簡便に管継手を装着することが可能となる。
【００３８】
このような準備作業を経た後、図示しない流体圧供給源から供給された圧力流体を押しねじ１０６の通路１１０を介して一方の第１流体出入ポート６４ｂに導入する。この場合、他方の第１流体出入ポート６４ａは、図示しない切換弁の操作下に大気開放状態にしておく。
【００３９】
前記圧力流体は、第１流体出入ポート６４ｂに連通する一方の第１シリンダ室６２ｂに供給され、ピストン４８を矢印Ｘ1 方向に押圧する（図６参照）。前記ピストン４８の押圧作用下にピストンロッド５０に係合するエンドプレート７４が矢印Ｘ1 方向に変位し、ボールベアリング２９の転動作用下に前記エンドプレート７４と一体的にスライドテーブル２４が変位する。
【００４０】
前記スライドテーブル２４が矢印Ｘ1 方向に向かって変位する過程において、該スライドテーブル２４に伴って変位するアジャスタボルト９０に装着された緩衝部材９４がストッパブロック３６に当接することにより変位終端位置に至る。この場合、ロックナット９２を緩めてアジャスタボルト９０のねじ込み量を調整することにより、スライドテーブル２４の変位量を増減変更することが可能である。
【００４１】
前記とは逆方向にスライドテーブル２４を変位させる場合には、他方の第１流体出入ポート６４ａに圧力流体を供給する。前記供給された圧力流体は他方の第１シリンダ室６２ａに導入され、ピストン４８を矢印Ｘ2 方向に向かって押圧する。前記ピストン４８の押圧作用下に、ピストンロッド５０に係合するエンドプレート７４を介してスライドテーブル２４が矢印Ｘ2 方向に変位し、エンドプレート７４に設けられた図示しない緩衝部材がシリンダ本体２２の端面に当接することにより変位終端位置に至る。
【００４２】
第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０では、センサ取付用レール２６をシリンダ本体２２にねじ止めすることがなく、前記シリンダ本体２２の溝部６９ａ（６９ｂ）にセンサ取付用レール２６の係止部１０２ａを前記溝部６９ａ（６９ｂ）に沿って嵌挿することにより、簡便に装着することができるとともに、第１および第２シリンダ室６２ｂ（６３ｂ）の内壁面とシリンダ本体２２の外壁面との肉厚Ｌ1 （図７参照）を従来技術と比較して薄く形成することができる。
【００４３】
このように、本実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０では、従来技術と比較して、第１および第２シリンダ室６２ｂ（６３ｂ）の内壁面とシリンダ本体２２の外壁面との肉厚Ｌ1 を薄く形成することによりシリンダ本体２２の短手方向の幅Ｗ1 を縮小することができ、この結果、装置全体の小型・軽量化を図ることが可能となる。
【００４４】
また、本実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０では、配管作業に際し、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ並びに第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂの周囲には外部に突出して障害となるものが何ら存在しないため、簡便に第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ並びに第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂに管継手を接続することができる。
【００４５】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０を図９〜図１２に示す。なお、以下の実施の形態において、同一の構成要素には同一の参照符号を付し、異なる構成要素についてのみ説明する。
【００４６】
第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０では、一端部に縮径したオリフィス１３２を有し、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）に連通する一組の第１ねじ穴１３４と、先端部にテーパ部１３６を有する押しねじ１３８が螺入される一組の第２ねじ穴１４０とをセンサ取付用レール１４２に設けている。
【００４７】
すなわち、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０では、押しねじ１０６に通路１１０を形成することにより、センサ取付用レール２６をシリンダ本体２２に固定する機能と第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）に圧力流体を供給する機能とを併用させているのに対し、第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０では、それぞれの機能を分離させている点で異なっている。
【００４８】
この場合、第１ねじ穴１３４には、流体圧供給源に連通するチューブを接続するための図示しない管継手が螺入され、一方、第２ねじ穴１４０には押しねじ１３８が螺入され、前記押しねじ１３８の螺入作用下にテーパ部１３６がシリンダ本体２２の外壁面を押圧することにより、センサ取付用レール１４２がシリンダ本体２２に位置決め保持される。
【００４９】
また、プレート１４４には、押しねじ１３８を螺入するためのねじ穴１４６が貫通形成され、前記ねじ穴１４６に沿って螺入される押しねじ１３８によって該プレート１４４がシリンダ本体２２の所定位置に位置決め保持される。
【００５０】
参照数字１４８はリング状のシールパッキンを示し、センサ取付用レール１４２の円形凹部１４９に装着されたシールパッキン１４８は、オリフィス１３２と第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）との連結部位を気密に保持する機能を営み、一方、プレート１４４の円形凹部１４９に装着されたシールパッキン１４８は、第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ（第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ）を気密に閉塞する機能を営む。
【００５１】
次に、本発明の第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０を図１３〜図１５に示す。
【００５２】
第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０では、一端部に縮径したオリフィス１５２を有し、第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ（第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ）に連通する一組のねじ穴１５４と、一組のボルト取付用孔部１５６とをセンサ取付用レール１５８に貫通形成するとともに、シリンダ本体２２の溝部６９ａ、６９ｂに沿って嵌挿される一組の固定ブロック１６０を別個に形成している。前記固定ブロック１６０には、溝部６９ａ、６９ｂの形状に対応し上下方向に沿って幅広となる係止部１６２が形成されている。
【００５３】
この場合、ボルト取付用孔部１５６を挿通させたボルト１６４によって一組の固定ブロック１６０を緊締することにより、センサ取付用レール１５８がシリンダ本体２２に位置決め保持される。
【００５４】
また、プレート１６６には、押しねじ１３８を螺入するためのねじ穴１６８が貫通形成され、前記ねじ穴１６８に沿って押しねじ１３８を螺入し、前記押しねじ１３８の先端部に係合するパッキン１７０によって第２流体出入ポート６５ａ、６５ｂ（第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ）が気密に閉塞される。
【００５５】
第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０および第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１５０では、押しねじおよびボルトをセンサ取付用レール１４２およびプレート１４４の外側から取着している点で第１の実施の態様に係るリニアクチュエータ２０と異なる。
【００５６】
なお、第２および第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータ１３０、１５０の作用効果は、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０と同様であるため、その詳細な説明を省略する。
【００５７】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００５８】
すなわち、シリンダ本体の短手方向の幅を縮小して装置全体の小型・軽量化を図ることができる。
【００５９】
また、流体出入ポートの周囲には外部に突出して障害となるものが何ら存在しないため、簡便に流体出入ポートに管継手を接続することができ、配管作業を簡便に行うことができる。
【００６０】
さらに、前記シリンダ本体を他の部材に取り付ける取付方向の自由度を増大させることができる。
【００６１】
さらにまた、変位量調整手段をスライドテーブルの一端部の中央に設けることにより、前記スライドテーブルの変位終端位置で発生する偏荷重を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図２】図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】図１に示すリニアアクチュエータの平面図である。
【図４】図１に示すリニアアクチュエータの側面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【図６】図１のＶＩ−ＶＩ線に沿った横断面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図１０】図９に示すリニアクチュエータの横断面図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線に沿った縦断面図である。
【図１２】図１０のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図１３】本発明の第３の実施の形態に係るリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図１４】図１３に示すリニアアクチュエータの横断面図である。
【図１５】図１４のＸＶ−ＸＶ線に沿った縦断面図である。
【図１６】従来技術に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図１７】図１６に示すリニアアクチュエータの側面図である。
【符号の説明】
２０、１３０、１５０…リニアアクチュエータ
２２…シリンダ本体                ２４…スライドテーブル
２６、１４２、１５８…センサ取付用レール
２７、１４４、１６６…プレート    ２８ａ、２８ｂ…ガイドブロック
３０ａ、３０ｂ…ボール循環穴      ３２ａ、３２ｂ…ボール転動溝
４０ａ、４０ｂ…取付用孔部        ４２ａ、４２ｂ…貫通孔
４８…ピストン                    ５０…ピストンロッド
６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ…シリンダ室
６４ａ、６４ｂ、６５ａ、６５ｂ…流体出入ポート
６９ａ、６９ｂ…溝部              ７２…テーブル
７４…エンドプレート              ９０…アジャスタボルト
９４…緩衝部材                    ９８ａ、９８ｂ…長溝
１００…切欠部                    １０２ａ、１０２ｂ、１６２…係止部
１０４、１３４、１４０、１４６、１５４、１６８…ねじ穴
１０６、１０８、１３８…押しねじ  １１０…通路
１１２…環状突起部                １１４…Ｏリング
１１８…金具                      １２０…爪片
１２２…磁性体                    １３２、１５２…オリフィス
１６０…固定ブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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