(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
並べて配置される複数枚の下側配線板と、この複数枚の下側配線板の上面間に亘って重ねて配置されるプリプレグと、各下側配線板と対応した位置においてプリプレグの上に並べて配置される複数枚の上側配線板が、この重ね合わせ状態でセットされる粗位置決め部と、上下に対応する下側配線板と上側配線板において、下側配線板に対して上側配線板を位置合わせする位置決め部と、各下側配線板と各上側配線板をそれぞれ局所的に加熱して、プリプレグに下側配線板と上側配線板を局所的に溶着して仮接着する溶着部とを備えると共に、位置決め部で位置決めして重ね合わされた下側配線板とプリプレグと上側配線板の積重ね物が載置される下側離型シートと、下側離型シートの上に載置された積重ね物の上に重ね合わされる上側離型シートと、下側離型シートの下方に上下動自在に配置され上動して下側離型シートを介して下側配線板を局所的に加熱して下側配線板とプリプレグとを局所的に溶着させる下側ヒータと、上側離型シートの上方に上下動自在に配置され下動して上側離型シートを介して上側配線板を局所的に加熱して上側配線板とプリプレグとを局所的に溶着させる上側ヒータとを具備して溶着部を形成し、上記上側離型シートは上下動されるものであり、上側離型シートが上動して下側離型シートと上側離型シートの間隔が広がった状態で、上記積重ね物は下側離型シートの上に載置されると共に、上側離型シートが下動して積重ね物が下側離型シートと上側離型シートの間に挟み込まれるようにして成ることを特徴とする多層配線板の製造装置。
【請求項２】
粗位置決め部に配置された下側配線板とプリプレグと上側配線板の積重ね物を上下からクランプすると共に位置決め部にこの積重ね物を移送し、且つ位置決め部に配置された下側配線板とプリプレグと上側配線板の積重ね物を上下からクランプすると共に溶着部にこの積重ね物を移送するクランプ移送装置を具備して成ることを特徴とする請求項１に記載の多層配線板の製造装置。
【請求項３】
下側配線板が上面に吸着固定自在に載置される吸着テーブルと、吸着テーブルの上に吸着固定された下側配線板を撮像する下側カメラと、上側配線板を撮像する上側カメラと、上側配線板を吸引して持ち上げると共に、下側カメラで撮像された下側配線板に対して上側カメラで撮像された上側配線板の位置を合わせるように、上側配線板を移動させる吸引位置合わせユニットとを具備して位置決め部を形成して成ることを特徴とする請求項１又は２に記載の多層配線板の製造装置。
【請求項４】
下側配線板と上側配線板にそれぞれ同位置において基準マークを設け、下側カメラで撮像された下側配線板の基準マークと上側カメラで撮像された上側配線板の基準マークが合うように、吸引位置合わせユニットで上側配線板を移動させて下側配線板に上側配線板を位置合わせするようにして成ることを特徴とする請求項３に記載の多層配線板の製造装置。
【請求項５】
上下に対向して配置される下側離型シートと上側離型シートをそれぞれ長尺帯状に形成すると共に同方向に送り移動駆動されるように形成し、溶着された下側配線板とプリプレグと上側配線板の積重ね物を下側離型シートと上側離型シートの間に挟んだ状態で下側離型シートと上側離型シートの送り移動によって溶着部から送り出すようにして成ることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の多層配線板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、配線板をプリプレグを介して積層して多層配線板を製造するにあたって、配線板とプリプレグとを予め接着して一体化するために用いる装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
多層配線板は、回路を設けて形成される複数枚の配線板をプリプレグを介して重ねると共に必要に応じてさらにその上下にプリプレグを介して銅箔等の金属箔を重ね、これをプレス機を用いて加熱加圧成形することによって、製造されている。
【０００３】
このようにして多層配線板を製造するにあたって、配線板の一枚当りの面積はプレス機のプレス盤の面積の数分の一程度である。そこでプリプレグを介して配線板を重ねた積重ね物を、一段当り横に複数組並べた状態でプレス機のプレス盤にセットし、この状態で加熱加圧成形を行なうようにすることが検討されている。このようにすることによって、一段当り複数組の積重ね物を一度で同時に成形することができ、多層配線板の生産性を高く得ることができるのである。
【０００４】
しかし、プリプレグを介して配線板を重ねた積重ね物を、横に複数組並べてプレス盤にセットすることは、多くの積重ね物を取り扱う必要があって、作業が煩雑になる。
【０００５】
そのために、本出願人は、複数組の積重ね物をプリプレグによって一体化して、複数組の積重ね物を一体のものとして取り扱うことができるようにすることを特願平１１−１８０２０２号等で提案している。すなわち、複数枚の配線板を横に並べて配置し、この複数枚の配線板を合わせた面積と同程度の面積に形成したプリプレグをこの配線板の上面間に亘るように重ね、さらにこの複数枚の各配線板に対応する位置においてプリプレグの上に他の複数枚の配線板を並べて配置し、そしてプリプレグの上下の各配線板を局所的に加熱することによって、プリプレグの下面と上面にそれぞれ各配線板を溶着して仮接着し、複数組の配線板を横に並べた状態でプリプレグを介して一体化することができるのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにプリプレグの下面と上面にそれぞれ複数枚ずつの配線板を溶着して仮接着するにあたって、上下に対応する配線板は正確に上下に位置合わせをした状態で仮接着する必要がある。すなわち上下の各配線板に設けた回路が正確に位置合わせされた状態で多層配線板を製造する必要があるのである。
【０００７】
しかし、複数組の上下の配線板を正確に位置合わせをして、この状態でプリプレグに各配線板を溶着して仮接着することは、作業が非常に煩雑なものになり、自動的に行なうことは困難なものであった。
【０００８】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、配線板の正確な位置合わせや、プリプレグへの配線板の溶着を自動的に行なうことが容易になる多層配線板の製造装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係る多層配線板の製造装置は、並べて配置される複数枚の下側配線板１と、この複数枚の下側配線板１の上面間に亘って重ねて配置されるプリプレグ２と、各下側配線板１と対応した位置においてプリプレグ２の上に並べて配置される複数枚の上側配線板３が、この重ね合わせ状態でセットされる粗位置決め部４と、上下に対応する下側配線板１と上側配線板３において、下側配線板１に対して上側配線板３を位置合わせする位置決め部５と、各下側配線板１と各上側配線板３をそれぞれ局所的に加熱して、プリプレグ２に下側配線板１と上側配線板３を局所的に溶着して仮接着する溶着部６とを備えると共に、位置決め部５で位置決めして重ね合わされた下側配線板１とプリプレグ２と上側配線板３の積重ね物７が載置される下側離型シート１４と、下側離型シート１４の上に載置された積重ね物７の上に重ね合わされる上側離型シート１５と、下側離型シート１４の下方に上下動自在に配置され上動して下側離型シート１４を介して下側配線板１を局所的に加熱することによって下側配線板１とプリプレグ２とを局所的に溶着させる下側ヒータ１６と、上側離型シート１５の上方に上下動自在に配置され下動して上側離型シート１５を介して上側配線板３を局所的に加熱することによって上側配線板３とプリプレグ２とを局所的に溶着させる上側ヒータ１７とを具備して溶着部６を形成し、上記上側離型シート１５は上下動されるものであり、上側離型シート１５が上動して下側離型シート１４と上側離型シート１５の間隔が広がった状態で、上記積重ね物７は下側離型シート１４の上に載置されると共に、上側離型シート１５が下動して積重ね物７が下側離型シート１４と上側離型シート１５の間に挟み込まれるようにして成ることを特徴とするものである。
【００１０】
また請求項２の発明は、請求項１において、粗位置決め部４に配置された下側配線板１とプリプレグ２と上側配線板３の積重ね物７を上下からクランプすると共に位置決め部５にこの積重ね物７を移送し、且つ位置決め部５に配置された下側配線板１とプリプレグ２と上側配線板３の積重ね物７を上下からクランプすると共に溶着部６にこの積重ね物７を移送するクランプ移送装置８を具備して成ることを特徴とするものである。
【００１１】
また請求項３の発明は、請求項１又は２において、下側配線板１が上面に吸着固定自在に載置される吸着テーブル９と、吸着テーブル９の上に吸着固定された下側配線板１を撮像する下側カメラ１０と、上側配線板３を撮像する上側カメラ１１と、上側配線板３を吸引して持ち上げると共に、下側カメラ１０で撮像された下側配線板１に対して上側カメラ１１で撮像された上側配線板３の位置を合わせるように、上側配線板３を移動させる吸引位置合わせユニット１２とを具備して位置決め部５を形成して成ることを特徴とするものである。
【００１２】
また請求項４の発明は、請求項３において、下側配線板１と上側配線板３にそれぞれ同位置において基準マーク１３を設け、下側カメラ１０で撮像された下側配線板１の基準マーク１３と上側カメラ１１で撮像された上側配線板３の基準マーク１３が合うように、吸引位置合わせユニット１２で上側配線板３を移動させて下側配線板１に上側配線板３を位置合わせするようにして成ることを特徴とするものである。
【００１４】
また請求項５の発明は、請求項１乃至４のいずれかにおいて、上下に対向して配置される下側離型シート１４と上側離型シート１５をそれぞれ長尺帯状に形成すると共に同方向に送り移動駆動されるように形成し、溶着された下側配線板１とプリプレグ２と上側配線板３の積重ね物７を下側離型シート１４と上側離型シート１５の間に挟んだ状態で下側離型シート１４と上側離型シート１５の送り移動によって溶着部６から送り出すようにして成ることを特徴とするものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【００１６】
配線板１，３は、樹脂積層板などの絶縁板の片面あるいは両面さらに内層に回路を設けて形成されるものであり、本発明では、下側に積層される下側配線板１と上側に積層される上側配線板３を用いるようにしてある。下側配線板１と上側配線板３はほぼ同じ大きさに形成されるものであり、この各配線板１，３の表面には、その端縁の個所において基準マーク１３が設けてある。図３は配線板１，３に設ける基準マーク１３の位置の一例を示すものであり、三ヶ所に基準マーク１３を設けることによって上下・左右の方向も認識できるようにしてある。この下側配線板１や上側配線板３の大きさによって、下側配線板１や上側配線板３を何枚並べるかが決まるが、本実施の形態では、図２（ａ）に示すように下側配線板１と上側配線板３はそれぞれ横一列に３枚を並べるようにしてある。
【００１７】
プリプレグ２はガラス布などの基材にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂液を含浸すると共に加熱・乾燥することによって、熱硬化性樹脂をＢステージ状態に半硬化させたものとして形成されるものである。このプリプレグ２は図２（ａ）のように、下側配線板１や上側配線板３を所要枚数並べた（本実施の形態では３枚を横一列）際の、下側配線板１あるいは上側配線板３を合計した大きさと略同じ大きさに形成するようにしてある。
【００１８】
図１は本発明の装置のレイアウトを示すものであり、左から粗位置決め部４、位置決め部５、溶着部６、取り出し部２１が一列に配置してある。粗位置決め部４から、位置決め部５、溶着部６に至る両側にはレール２２が設けてある。
【００１９】
粗位置決め部４は吸着テーブルなどの作業テーブル２３によって形成されるものであり、まず下側配線板１を作業テーブル２３の上に複数枚並べて載置し、次にこの下側配線板１の各上面に亘るようにプリプレグ２を重ねて載置し、さらにこのプリプレグ２の上に上側配線板３を複数枚並べて載置することによって、下側配線板１とプリプレグ２と上側配線板３からなる積重ね物７を粗位置決め部４の上にセットするようにしてある。ここで、複数枚の各上側配線板３は、図２（ｂ）に示すように、各下側配線板１と上下に対応した位置においてプリプレグ２の上に並べて配置されるものであり、下側配線板１に対して上側配線板３を粗位置決めしながら上側配線板３をプリプレグ２の上に載置するようにしてある。粗位置決め部４に下側配線板１、プリプレグ２、上側配線板３を載置する作業は、作業者の手作業で行なってもよく、ロボットを用いて行なっても良い。また下側配線板１に対する上側配線板３の粗位置決めは、±２ｍｍ程度の範囲で行なえばよく、作業者の目視確認やカメラの撮像の画像処理による確認で行なうことができる。
【００２０】
上記のようにして下側配線板１とプリプレグ２と上側配線板３を重ねた積重ね物７は、粗位置決め部４から位置決め部５へと移送される。このとき、下側配線板１に対する上側配線板３の粗位置決め状態がずれないように、クランプ移送装置８を用い、積重ね物７の両側端をクランプして、下側配線板１と上側配線板３をプリプレグ２を介して挟持固定した状態で移送するようにしてある。図４はクランプ移送装置８のクランプ具２５を示すものであって、側面形状がコ字形の保持具２６と、保持具２６の上片２７に設けたプランジャー２８と、プランジャー２８の作動で上下動される押え片２９とで形成してあり、保持具２６の下片３０と押え片２９との間にクランプすることができるようにしてある。このクランプ具２５はレール２２に沿って移動駆動されるようにしてあり、レール２２に沿ってクランプ具２５を移動駆動できるようにしたものとしてクランプ移送装置８が形成されるものである。そして、クランプ具２５で下側配線板１とプリプレグ２と上側配線板３からなる積重ね物７の両側端をクランプした状態で、レール２２に沿ってこの積重ね物７を送り、粗位置決め部４から位置決め部５へと移送するものである。
【００２１】
図５は位置決め部５を示すものであり、位置決め部５は吸着テーブル９と、吸引位置合わせユニット１２と、下側及び上側のカメラ１０，１１からなる。吸着テーブル９は上面に多数の吸引孔（図示省略）を設けて形成されるものであり、図５（ａ）及び図６に示すように、長手方向を３枚の下側配線板１を並べることができる長さに形成してある。吸着テーブル９の幅方向は下側配線板１の幅寸法より若干短めに形成形成してあり、両側端に垂れ防止板３２を所定間隔で側方へ突出して設けてある。クランプ移載装置８のクランプ具２５で側端縁をクランプした状態で位置決め部５へ移送された積重ね物７は吸着テーブル９の上に移送されるが、クランプ具２５に複数設けた下片３０が図６のように、たれ防止板３２の間に逃げることによって、積重ね物７を吸着テーブル９の上に載置することができるものである。積重ね物７の側端部は垂れ防止板３２で支持され、吸着テーブル９から垂れ下がることを防ぐようにしてある。このようにして積重ね物７が吸着テーブル９に載置されると吸着テーブル９の上面を真空吸引状態にし、各下側配線板１を吸着テーブル９の上面に吸着固定した後に、クランプ具２５によるクランプを解除するようにしてある。
【００２２】
吸引位置合わせユニット１２は図５（ｂ）に示すように、下面に多数の吸引孔（図示省略）を設けた吸引盤３３と、吸引盤３３を上下駆動させると共に吸引盤３３を吸着テーブル９の長手方向及びそれと直交する方向、さらに水平に回動させる方向、すなわちＸＹθ方向に移動駆動させる駆動機構部３４とからなるものである。吸引盤３３は上側配線板３よりやや小さい面積で形成されるものであり、図７に示すように、吸引盤３３の四辺にそれぞれ複数本の補助吸引パッド３５が外方へ突出して設けてある。補助吸引パッド３５はプランジャー３６によって上下動されるようになっている。
【００２３】
吸引位置合わせユニット１２は図５（ｂ）に示すように移動体３７の天井架材３８の下側に取り付けてある。移動体３７は両側の支柱３９の上端間に天井架材３８を架設して門型に形成されるものであり、各支柱３９の下端に走行具４０が設けてある。吸着テーブル９の両側方にその長手方向に沿ってガイドレール４１が設けてあり、走行具４０をこのガイドレール４１に走行駆動自在に取り付けることによって、吸着テーブル９を跨いだ状態で移動体３７を吸着テーブル９の長手方向に移動できるようにしてある。また移動体３７の両側の支柱３９にはそれぞれアーム４２ａによって上側カメラ１１が取り付けてあり、両側の各走行具４０にはアーム４２ｂによって下側カメラ１０が取り付けてある。上側カメラ１１はレンズを下向きにして、補助吸着パッド３５の間の位置において吸引盤３３の側方に配置してある。下側カメラ１０はレンズを上向きにして、吸着テーブル９の両側端の下側位置に配置してある。
【００２４】
そして初期の状態では、移動体３７は吸着テーブル９の粗位置決め部４側の端部位置に配置されており、上記のように、吸着テーブル９の上に載置された積重ね物７の下側配線板１を吸着固定すると共にクランプ具２５によるクランプを解除した後、吸引位置合わせユニット１２の吸引盤３３を下動させて吸引盤３３の下面に端部の上側配線板３を吸引すると共に吸引盤３３の四周からはみ出る上側配線板３の端縁部を補助吸着パッド３５で吸引し、次いで吸引盤３３を上動させることによって上側配線板３を持ち上げるようになっている。
【００２５】
このとき、吸着テーブル９の上に吸着固定されている下側配線板１の端縁部が、クランプ具２５が退避したあとの垂れ防止板３２間の隙間から下側カメラ１０で撮像されている。この映像を画像処理することによって、基準マーク１３から下側配線板１の重心を演算すると共にこの重心を原点としてＸ軸−Ｙ軸座標系が求められている。図８（ａ）に下側配線板１のＸ軸−Ｙ軸を一点鎖線で示す。また吸引盤３３で持ち上げた状態で上側配線板３の端縁部が補助吸着パッド３５の間から上側カメラ１１で撮像されている。この映像を画像処理することによって、基準マーク１３から上側配線板３の重心を演算すると共にこの重心を原点としてＸ軸−Ｙ軸座標系が求められている。図８（ｂ）に上側配線板３のＸ軸−Ｙ軸を一点鎖線で示す。そして吸引盤３３をＸＹθ方向に移動させて、下側配線板１のＸ軸−Ｙ軸及びその原点に、上側配線板３のＸ軸−Ｙ軸及びその原点を一致させることによって、下側配線板１に対して上側配線板３を正確に位置合わせすることができるものであり、この状態で吸引盤３３を下動させて上側配線板３をプリプレグ２の上に載置することによって、下側配線板１に対して正確に位置合わせした状態で上側配線板３を重ねることができるものである。この後、再度、下側配線板１と上側配線板３を下側カメラ１０と上側カメラ１１で撮像して、下側配線板１に上側配線板３が位置合わせされていることを確認した後、吸引盤３３による上側配線板３の吸引を解除する。
【００２６】
次に、吸引盤３３を上昇させた後、移動体３７を移動させて図５（ａ）に想像線で示すように、真中に配置されている上側配線板３を上記と同様にして下側配線板１に対して位置合わせをし、さらに溶着部６に近い側の端部に配置されている上側配線板３を上記と同様して下側配線板３に対して位置合わせをするようにしてあり、このようにして、３枚の上側配線板３を順に対応する下側配線板１に位置合わせすることができるものである。図２（ｃ）は位置決め部５において上側配線板３を下側配線板１に正確に位置合わせをする様子を示しており、±１０μｍ程度の精度で位置を合わせることができるものである。
【００２７】
上記のようにして位置決め部５で各上側配線板３が各下側配線板１に位置決めされると、下側配線板１とプリプレグ２と上側配線板３を重ねた積重ね物７は、位置決め部５から溶着部６へと移送される。このときも、下側配線板１に対する上側配線板３の位置決め状態がずれないように、積重ね物７の両側端をクランプ具２５でクランプして、クランプ移送装置８で溶着部６へ移送するようにしてある。
【００２８】
図９は溶着部６を示すものであり、上下に対向配置される下側離型シート１４及び上側離型シート１５と、下側離型シート１４の下方位置に配置される下側ヒータ１６と、上側離型シート１５の上方位置に配置される上側ヒータ１７と、さらに下側ヒータ１６の下方と上側ヒータ１７の上方にそれぞれ配置される脱臭用吸引ダクト４３から溶着部６を形成するようにしてある。
【００２９】
下側離型シート１４と上側離型シート１５はそれぞれテフロンシートなど、耐熱性を有し且つ溶融樹脂と接着しない長尺の帯状シートで形成してあり、巻き出しロール４４，４５に巻きつけた状態で使用し、巻き出しロール４４，４５から繰り出された下側離型シート１４や上側離型シート１５はそれぞれ巻き取りロール４６，４７に巻き取られるようになっている。ここで図１０に示すように、巻き出しロール４４，４５や巻き取りロール４６，４７の両端にはカラー５０が設けてあり、下側離型シート１４や上側離型シート１５を蛇行することなく送ることができるようにしてある。そして下側離型シート１４は巻き出しロール４４から繰り出された後、一対の下側送りロール４８間に掛け渡されて送られ、巻き取りロール４６に巻き取られるようになっており、また上側離型シート１５は巻き出しロール４５から繰り出された後、一対の上側送りロール４９間に掛け渡されて送られ、巻き取りロール４７に巻き取られるようになっており、下側離型シート１４が下側送りロール４８に掛け渡されている間と、上側離型シート１５が上側送りロール４９に掛け渡されている間において、下側離型シート１４と上側離型シート１５は上下に平行に対向すると共に同方向に送り移動されるようになっている。また上側離型シート１５は巻き出しロール４５、巻き取りロール４７、上側送りロール４９とともに上下動されるようになっている。
【００３０】
上側ヒータ１７は先端の加熱部を下向きにして、上側送りロール４９の間において、図９（ｂ）のように上側離型シート１５の両側部に沿って複数本配置してあり、上下動されるようにしてある。また下側ヒータ１６は先端の加熱部を上向きにして、下側送りロール４８の間において、同様に下側離型シート１４の両側部に沿って複数本配置してあり、上下動されるようにしてある。
【００３１】
初期の状態では、上側離型シート１５は上動した位置にあり、下側離型シート１４と上側離型シート１５の対向平行部分の間隔は広がった状態にある。この状態で、クランプ移載装置８のクランプ具２５で側端縁をクランプした積重ね物７を溶着部６に移送するものであり、積重ね物７は図１１（ａ）のように、下側離型シート１４の上に載置するようにして下側離型シート１４と上側離型シート１５の間に差し込まれる。ここで、下側離型シート１４や上側離型シート１５の幅は積重ね物７の幅よりも狭く形成してあり、積重ね物７を下側離型シート１４と上側離型シート１５の間に差し込んだ後も、図９（ｂ）に示すように下側離型シート１４と上側離型シート１５の側端からはみ出す積重ね物７の側端部をクランプ具２５でクランプしておくことができ、下側配線板１と上側配線板３の位置合わせがずれて狂うことを防ぐことができる。
【００３２】
次に上側離型シート１５が下動し、図１１（ｂ）のように積重ね物７が下側離型シート１４と上側離型シート１５の間に挟み込まれ、さらに下側ヒータ１６が上動すると共に上側ヒータ１７が下動し、下側ヒータ１６が下側離型シート１４を介して各下側配線板１に当接されると共に上側ヒータ１７が上側離型シート１５を介して各上側配線板３に当接され、下側配線板１や上側配線板３を局所的に加熱してこの個所で接するプリプレグ２を局所的に溶融させ、各下側配線板１をプリプレグ２の下面に局所的に溶着させて仮接着すると共に各上側配線板３をプリプレグ２の上面に局所的に溶着させて仮接着することができるものである。下側ヒータ１６や上側ヒータ１７は下側離型シート１４や上側離型シート１５を介して下側配線板１や上側配線板３に当接するものであり、下側配線板１や上側配線板３には直接接触しないので、下側ヒータ１６や上側ヒータ１７が溶融樹脂などで汚されることを防ぐことができるものである。またプリプレグ２の樹脂を溶融させる際に発生する臭いは脱臭用吸引ダクト４３で吸引して脱臭されるようになっている。
【００３３】
このように各下側配線板１や各上側配線板３をプリプレグ２に仮接着して一体化した後、図１１（ｃ）のように、上側ヒータ１７を上動させてから下側ヒータ１６を下動させる。この後に冷却用ドライエアーを溶着個所に吹き付けて冷却を行なうようになっている。ここまで、積重ね物７の側端部をクランプ具２５でクランプし続けているが、この段階でクランプ具２５によるクランプを解除する。クランプ具２５はレール２２に沿って粗位置決め部４の位置に復帰するようになっている。
【００３４】
この後、巻き出しロール４４，４５や巻き取りロール４６，４７が図１１（ｄ）のように回転駆動され、下側離型シート１４と上側離型シート１５がそれぞれ取り出し部２１の方向へ送られる。下側離型シート１４と上側離型シート１５が送られる際に、下側離型シート１４や上側離型シート１５に付着した樹脂はドクターブレード５２で掻き取られるようになっている。そしてプリプレグ２に下側配線板１や上側配線板３を仮接着させた積重ね物７は、下側送りロール４８間及び上側送りロール４９間で下側離型シート１４と上側離型シート１５の間に挟持されているので、下側離型シート１４と上側離型シート１５がそれぞれ取り出し部２１の方向へ送り移動されることによって、積重ね物７を溶着部６から取り出し部２１へと送り出すことができるものである。図１１（ｅ）のように積重ね物７が取り出し部２１に送り出されると、上側離型シート１５は上動し、次の積重ね物７を受け入れる体制になる。図２（ｃ）は溶着部６において上側配線板３と下側配線板１をプリプレグ２に溶着して仮接着する様子を示している。
【００３５】
尚、図１２は上側ヒータ１７の詳細構成を示すものであり、シリンダー５３から突出されるシリンダーロッド５４の先端にヒータ部５５が設けてあり、この下側に伝熱プレート５６が配置してある。伝熱プレート５６は真鍮などの熱伝導率が高い伝熱部５７の周囲に断熱部５８を設けて形成してあり、伝熱プレート５６の上面にはヒータ部５５がはまり込む嵌合凹部５９が凹設してある。６０は溶着後に冷却用ドライエアーを吹き付ける冷却ノズルである。このものにあって、伝熱プレート５６は積重ね物７の上側配線板２の上に載置されるものであり、シリンダー５３を作動させてシリンダーロッド５４を下動させ、ヒータ部５５を下降させて伝熱部５７の嵌合凹部５９にはめ込むと、ヒータ部５５で伝熱部５７が加熱され、伝熱部５７の下面に伝熱された熱で上側配線板３を加熱して溶着することができる。伝熱プレート５６の伝熱部５７以外の部分は断熱部５８となっており、断熱部５８にはヒータ部５５の熱は伝わらないので、伝熱部５７の部分だけで局所的に上側配線板３を加熱して溶着することができるものである。下側ヒータ１６についても、上下が逆である以外は、図１２のものと同じように形成してある。
【００３６】
取り出し部２１は図１１（ｅ）のようにコロコンベアなどで形成されるものであり、その上面に突出するように両側端部に位置決めピン６７が設けてあって、位置決めピン６７で両側端を位置決めされた状態で積重ね物７は取り出し部２１の上に送りこまれるようになっている。また図１３に示すように、取り出し部２１の一方の側方には第一プリプレグ搬入テーブル６２と第二プリプレグ搬入テーブル６３が、他方の側方には積載テーブル６４がそれぞれ配置してある。第一プリプレグ搬入テーブル６２にはプリプレグ６５が、第二プリプレグ搬入テーブル６３にはプリプレグ６６がそれぞれ積載してある。このプリプレグ６５，６６は相互に異なる組成の熱硬化性樹脂組成物を基材に含浸して形成されているものであり、前記のプリプレグ２と同じ寸法に形成してある。
【００３７】
そして、まず図１３に▲１▼矢印で示すように第一プリプレグ搬入テーブル６２に積載したプリプレグ６５を取り出して積載テーブル６４の上に載置し、次に▲２▼矢印で示すように第二プリプレグ搬入テーブル６３に積載したプリプレグ６６を取り出して積載テーブル６４上のプリプレグ６５の上に載置し、次に▲３▼矢印で示すように第二プリプレグ搬入テーブル６３に積載したプリプレグ６６を取り出して取り出し部２１上の積重ね物７の上に載置し、次に▲４▼矢印のように第一プリプレグ搬入テーブル６２に積載したプリプレグ６５を取り出して取り出し部２１上のプリプレグ６６の上に載置し、次に▲５▼矢印のように取り出し部２１上の積重ね物７の上にプリプレグ６５，６６を重ねたものを取り出して積載テーブル６４上のプリプレグ６６の上に載置するようになっている。このようにして、積載テーブル６４の上に、図２（ｅ）のような積重ね物７の上下の外層にプリプレグ６５，６６を重ねた外層プリプレグ積重ね物６８を得ることができる。外層プリプレグ積重ね物６８は積載テーブル６４の上に複数組重ねて積載されるが、積載位置を交互にずらして取り出し易くなるようにしてある。積載テーブル６４上から取り出された外層プリプレグ積重ね物６８は、必要に応じてその外側に銅箔などの金属箔等を重ねた後に、プレス機に搬入して加熱加圧成形し、多層配線板の製造に供される。
【００３８】
図１４はプリプレグ６５，６６や積重ね物７を重ねるためのホイスト６９を示すものであり、吸引パッド７０とクランプ爪７１が設けてある。プリプレグ６５，６６は吸引パッド７０で吸引して第一プリプレグ搬入テーブル６２や第二プリプレグ搬入テーブル６３から取り出し、積み重ねを行なうようにしてある。また取り出し部２１上の積重ね物７の上にプリプレグ６５，６６を重ねたものはくランプ爪７１でクランプして取り出し、積み重ねを行なうようにしてある。
【００３９】
【発明の効果】
上記のように請求項１の発明は、並べて配置される複数枚の下側配線板と、この複数枚の下側配線板の上面間に亘って重ねて配置されるプリプレグと、各下側配線板と対応した位置においてプリプレグの上に並べて配置される複数枚の上側配線板が、この重ね合わせ状態でセットされる粗位置決め部と、上下に対応する下側配線板と上側配線板において、下側配線板に対して上側配線板を位置合わせする位置決め部と、各下側配線板と各上側配線板をそれぞれ局所的に加熱して、プリプレグに下側配線板と上側配線板を局所的に溶着して仮接着する溶着部とを具備するので、粗位置決め部で複数枚の下側配線板に対してそれぞれ上側配線板を粗位置決めした後に、位置決め部で正確な位置合わせをすることができ、下側位置決め板に対する上側位置決め板の位置決めの操作が容易になると共に、このように位置合わせ決めを行なった後に溶着部で溶着してプリプレグに下側配線板や上側配線板を仮接着することができ、配線板の正確な位置合わせや、プリプレグへの配線板の溶着を自動的に行なうことが容易になるものである。
しかも位置決め部で位置決めして重ね合わされた下側配線板とプリプレグと上側配線板の積重ね物が載置される下側離型シートと、下側離型シートの上に載置された積重ね物の上に重ね合わされる上側離型シートと、下側離型シートの下方に上下動自在に配置され上動して下側離型シートを介して下側配線板を局所的に加熱して下側配線板とプリプレグとを局所的に溶着させる下側ヒータと、上側離型シートの上方に上下動自在に配置され下動して上側離型シートを介して上側配線板を局所的に加熱して上側配線板とプリプレグとを局所的に溶着させる上側ヒータとを具備して溶着部を形成するようにしたので、下側ヒータや上側ヒータは下側離型シートや上側離型シートを介して下側配線板や上側配線板に当接するものであり、下側ヒータや上側ヒータが下側配線板や上側配線板に直接接触して溶融樹脂などで汚されることを防ぐことができるものである。
【００４０】
また請求項２の発明は、粗位置決め部に配置された下側配線板とプリプレグと上側配線板の積重ね物を上下からクランプすると共に位置決め部にこの積重ね物を移送し、且つ位置決め部に配置された下側配線板とプリプレグと上側配線板の積重ね物を上下からクランプすると共に溶着部にこの積重ね物を移送するクランプ移送装置を具備するので、下側配線板に上側配線板を粗位置合わせした状態をクランプで保持して粗位置決め部から位置決め部へ移送することができると共に、下側配線板に上側配線板を位置合わせした状態をクランプで保持して位置決め部から溶着部へ移送することができ、移送の際に下側配線板に対する上側配線板の位置合わせがずれることを防止できるものである。
【００４１】
また請求項３の発明は、下側配線板が上面に吸着固定自在に載置される吸着テーブルと、吸着テーブルの上に吸着固定された下側配線板を撮像する下側カメラと、上側配線板を撮像する上側カメラと、上側配線板を吸引して持ち上げると共に、下側カメラで撮像された下側配線板に対して上側カメラで撮像された上側配線板の位置を合わせるように、上側配線板を移動させる吸引位置合わせユニットとを具備して位置決め部を形成したので、固定状態の下側配線板を下側カメラで撮像したデータに、吸引位置合わせユニットで持ち上げた上側配線板を上側かめらで撮像したデータを合わせるように、吸引位置合わせユニットで上側配線板を移動させることによって、高い精度で下側配線板に上側配線板を位置合わせをすることができるものである。
【００４２】
また請求項４の発明は、下側配線板と上側配線板にそれぞれ同位置において基準マークを設け、下側カメラで撮像された下側配線板の基準マークと上側カメラで撮像された上側配線板の基準マークが合うように、吸引位置合わせユニットで上側配線板を移動させて下側配線板に上側配線板を位置合わせするようにしたので、下側配線板の基準マークと上側配線板の基準マークを基準にして下側配線板に上側配線板を位置合わせをすることができ、高い精度で下側配線板に上側配線板を位置合わせをすることができるものである。
【００４４】
また請求項５の発明は、上下に対向して配置される下側離型シートと上側離型シートをそれぞれ長尺帯状に形成すると共に同方向に送り移動駆動されるように形成し、溶着された下側配線板とプリプレグと上側配線板の積重ね物を下側離型シートと上側離型シートの間に挟んだ状態で下側離型シートと上側離型シートの送り移動によって溶着部から送り出すようにしてあるので、下側離型シートと上側離型シートを利用して溶着後の積重ね物を溶着部から送り出すことができるものであり、積重ね物を搬送するための別途の装置が不要になるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示す概略平面図である。
【図２】（ａ）乃至（ｅ）は同上の各工程の様子を示す概略図である。
【図３】同上に用いる配線板の一例を示す平面図である。
【図４】同上のクランプ具の側面図である。
【図５】同上の位置決め部を示すものであり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図６】同上の吸着テーブルの平面図である。
【図７】同上の吸引位置合わせユニットを示すものであり、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
【図８】同上の配線板を示すものであり、（ａ）は下側配線板の平面図、（ｂ）は上側配線板の平面図である。
【図９】同上の溶着部を示すものであり、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
【図１０】同上の巻き出しロールや巻き取りロールを示す平面図である。
【図１１】同上の溶着部での溶着の手順を示すものであり、（ａ）乃至（ｅ）はそれぞれ正面図である。
【図１２】同上の上側ヒータを示す一部を断面とした正面図である。
【図１３】同上の取り出し部の部分の平面図である。
【図１４】同上のホイストの正面図である。
【符号の説明】
１  下側配線板
２  プリプレグ
３  上側配線板
４  粗位置決め部
５  位置決め部
６  溶着部
７  積重ね物
８  クランプ移送装置
９  吸着テーブル
１０  下側カメラ
１１  上側カメラ
１２  吸引位置合わせユニット
１３  基準マーク
１４  下側離型シート
１５  上側離型シート
１６  下側ヒータ
１７  上側ヒータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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