(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部に基板吸着部を有し、上方周面に段部を形成した中空の吸着パッドと、
前記基板吸着部の中央に形成され前記中空と連通する孔部と、
前記吸着パッドの中空内に間隙をもって挿入され、前記基板吸着部の裏面に接する側の端部に吸盤を一体に形成するとともに前記基板吸着部の孔部に連通する筒状に形成され、前記吸着パッドを弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材と、
前記基板吸着部より大きな孔部を有し、前記吸着パッドを所定範囲での動きを可能にして基板を載置する載置面に取付ける押え枠部と
を具備したことを特徴とする基板吸着部材。
【請求項２】
前記押え部材は、前記基板吸着部と対向する前記孔部の内周縁部に前記吸着パッドの振動を防止する弾性部材を設けたことを特徴とする請求項１記載の基板吸着部材。
【請求項３】
前記パッド支持部材は、基端部に周面の円周方向に前記パッド支持部材の外径より細い外径を有する溝部を形成し、前記パッド部材の変形により前記溝部間の両端部が当接することによりバネ定数を増加させることを特徴とする請求項１記載の基板吸着部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶パネル用の大型ガラス基板の検査工程に用いられる基板吸着部材および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近、液晶技術の進歩にともない、液晶パネルなどの表示素子も大型化され、これとともに、マスター基板と呼ばれるガラス基板の大型化も進んでいる。
このようなガラス基板は、その大きさに対して厚さが極めて薄く、たわみ易いものになっているが、かかるガラス基板についても、品質管理の上から顕微鏡などを使用した各種の検査が行われており、これら検査を検査装置の大型ステージ上に載置した状態で行うようになっている。
【０００３】
そこで、従来、特開平７−１８３３６６号公報に開示される大型ガラス基板のエア吸着方法が考えられている。図１１は、載置台１の表面に複数の方形の吸着溝２ａ〜２ｄを、載置台１の中心点Ｏに対して対称的に、適当な間隔をおいて形成し、これら複数の方形の吸着溝２ａ〜２ｄに対して、中心点Ｏに近い吸着溝２ａから遠い吸着溝２ｄの順で適当なタイムラグをなして順にエア吸着することにより、このように載置台１上に載置されるガラス基板３全面を、載置台１面に密着させ、安定に固定できるようにしたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このようなエア吸着方法によると、仮に、図１２に示すようにガラス基板３に反りがあって、ガラス基板３の周縁部分が載置台１面から僅かに浮き上がっているような場合、載置台１面とガラス基板３面が密着状態にならず、安定した基板検査ができないことがある。このため、エア吸着力を増して強引にガラス基板３面を密着させようとすると、吸着時の大きな吸引力により極めて薄く壊れやすいガラス基板３が破損してしまうおそれがあった。
【０００５】
また、最近の顕微鏡を使用した基板検査には、透過照明を使用して基板上の傷や埃を検出することが行われているが、上述した方法に適用される載置台１では、載置台１中央部分に穴部を形成していないことから、このような基板検査ができないという問題点もあった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、載置台への基板を確実に吸着でき、精度の高い安定した基板検査を実現できる基板吸着部材および装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板吸着部材は、上部に基板吸着部を有し、上方周面に段部を形成した中空の吸着パッドと、前記基板吸着部の中央に形成され前記中空と連通する孔部と、前記吸着パッドの中空内に間隙をもって挿入され、前記基板吸着部の裏面に接する側の端部に吸盤を一体に形成するとともに前記基板吸着部の孔部に連通する筒状に形成され、前記吸着パッドを弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材と、前記基板吸着部より大きな孔部を有し、前記吸着パッドを所定範囲での動きを可能にして基板を載置する載置面に取付ける押え枠部とを具備したことを特徴としている。
【０００８】
本発明の基板吸着装置は、薄い板状の基板を載置する載置台と、前記載置台上に配置され、エア吸着力を発生する基板吸着部を有する吸着パッドと、前記吸着パッドを支持するとともに、前記吸着パッドを前記載置台面より突出する方向に弾性力を作用させ、かつエア吸着力により前記基板吸着部材を収納する穴部内に引き込む方向に弾性力を作用させる吸着パッド支持部材と、前記吸着パッドの基板吸着部にエア吸着力を発生させるエア制御手段とを具備したことを特徴とする。
【０００９】
この結果、本発明の基板吸着部材によれば、基板吸着部を有する吸着パッドは、弾性部材のパッド支持部材による支持により、所定範囲で自由に動けるようになっているので、基板の動きに対してもパッド支持部材の変形により、吸着部を吸着でき、さらにパッド支持部材の弾性力により外れにくい状態で保持できる。
【００１０】
また、本発明の基板吸着部材によれば、基板吸着部に基板を吸着した状態で、吸着パッドが弾性部材に当接することにより、吸着パッドに対するバネ定数が急激に増加して基板側の振動を抑制することができる。
【００１１】
また、本発明の基板吸着装置によれば、吸着パッドを載置台面より上方に突出させ弾性的に支持することにより基板に反りが生じても基板にパッドが近接し、かつ吸着時に基板の傾きに添うように吸着パッドが変形して基板に密着するので、吸着部での吸着を確実に行うことができ、基板に関する検査を安定した状態で精度よく行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明が適用されるガラス基板を吸着保持する基板吸着装置の概略構成を示している。図において、１１はガラス基板１２を載置する載置台で、この載置台１１は、長方形の枠状をなしていて、この長方形の枠部分にガラス基板１２を載置するとともに、中央部分を透孔部に形成して、いわゆる中抜き載置台に構成している。
【００１３】
また、載置台１１には、複数の基板吸着部材１３を設けている。この場合、基板吸着部材１３は、載置台１１の長手方向の周縁に２個づつ、幅方向の周縁に２個づつの合計８個を配置している。
【００１４】
図２は、基板吸着部材１３の概略構成の断面図を示している。この場合、図２は、左右対称形状の中心面から半分だけを図示したものである。
図において、１４は合成樹脂などで形成される中空の吸着パッドで、この吸着パッド１４は、上方に吸着部１４１を有し、この吸着部１４１の中央部には、中空部に連通する穴部１４２を形成している。また、この吸着パッド１４の上方周面に、段部１４３を形成している。
【００１５】
吸着パッド１４の中空部に僅かな間隙１６を介して筒状のパッド支持部材１５を挿入している。このパッド支持部材１５は、ゴムなどの比較的柔らかく変形し易い弾性部材からなるもので、先端部に吸盤１５１を形成し、この吸盤１５１面を吸着パッド１４の吸着部１４１の裏面側に当接している。
【００１６】
そして、このような吸着パッド１４とパッド支持部材１５を有する基板吸着部材１３は、図３に示すように載置台１１の吸着パッド取付け部１１１に取付けられる。この場合、吸着パッド取付け部１１１は、溝部１１２を形成し、この溝部１１２の底面に穴部１１３を有していて、この溝部１１２にパッド支持部材１５を設けた吸着パッド１４を僅かな間隙１７を介して設けるとともに、溝部１１２底面の穴部１１３をパッド支持部材１５の中空部、吸盤１５１を介して吸着パッド１４の吸着部１４１中央部の穴部１４２に連通するようにしている。
【００１７】
そして、吸着パッド１４の先端部に、押え枠体１８の穴部１８１を挿通するとともに、この穴部１８１周縁部に吸着パッド１４の段部１４３を係合することで、吸着パッド１４の抜落ちを防止して載置台１１上に保持している。この場合、押え枠体１８の穴部１８１と吸着パッド１４の先端部との間にも僅かな間隙２２を形成して、吸着パッド１４の所定範囲での動きを可能にしている。また、押え枠体１８は、図示しないネジなどにより載置台１１に固定している。
【００１８】
そして、このような基板吸着部材１３を取付けた溝部１１２底面の穴部１１３に通気管１９を連通するとともに、電磁弁２０を介して真空ポンプ２１を接続し、この真空ポンプ２１でのエア引きによるエア駆動力によりパッド支持部材１５を介して吸着パッド１４の吸着部１４１にエア吸着力を得られるようにしている。
【００１９】
次に、このように構成した実施の形態の動作を説明する。
いま、ガラス基板１２の検査工程において、ガラス基板１２が、中抜きの載置台１１上に供給されるが、この時、ガラス基板１２の周縁部が載置台１１の長手方向および幅方向のそれぞれ周縁に設けられた基板吸着部材１３上に位置するようにしている。
【００２０】
そして、この状態から、真空ポンプ２１でエア引きが行われると、それぞれの基板吸着部材１３では、パッド支持部材１５を介して吸着パッド１４の吸着部１４１にエア吸着力が得られ、ガラス基板１２は、載置台１１上に吸着状態になって固定される。
【００２１】
ここで、ガラス基板１２面が全く平ならば、載置台１１面と平行が保たれるので、何ら問題ないが、仮に、ガラス基板１２に反りがあるような場合、載置台１１面と平行でなくなることがある。この場合、本発明の基板吸着部材１３では、吸着部１４１を有する吸着パッド１４は、その中空部に弾性部材のパッド支持部材１５で支持されており、ガラス基板１２の反りによる傾きに対応してパッド支持部材１５の変形により、吸着パッド１４が載置台１１の溝部１１２との間隙１７および押え枠体１８の穴部１８１と吸着パッド１４の先端部との間隙２２の範囲で自由に傾くようになっているので、ガラス基板１２の反り面に対して吸着パッド１４の吸着部１４１がガラス基板１２に対してほぼ平行になり、ガラス基板１２が良好に吸着され、さらにパッド支持部材１５の弾性力により吸着の外れにくい状態で保持される。
【００２２】
これにより、ガラス基板１２は、多少の反りがあるような場合も、載置台１１上の複数の基板吸着部材１３により確実に吸着して載置するようにできるので、反りによる焦点ズレや基板の振動ズレが防止でき、安定した状態でガラス基板１２の検査を実施することができる。しかも、吸着パッド１４が載置台１１上面より突出しているので、ガラス基板１２に反りが生じても常に吸着パッド１４にガラス基板１２が近接して良好な吸着力が作用する。また、ガラス基板１２を載置する載置台１１は、中央部分を透孔部に形成した、いわゆる中抜き載置台に構成しているので、透過照明を使用した傷や埃の検出にも適用することができる。
（第２の実施の形態）
ところで、第１の実施の形態では、吸着パッド１４を支持するパッド支持部材１５の変形により吸着パッド１４が載置台１１の溝部１１２との間隙１７の範囲で自由に傾くように構成しているが、パッド支持部材１５には、ゴムなどの比較的柔らかく変形し易い弾性部材を用いているため、仮に床面から振動が侵入したり、クリーンルーム内のダウンブローなどによりガラス基板１２に振動が伝わりたわみを生じたような場合、パッド支持部材１５が共振し、ガラス基板１２の振動を抑制することができなくおそれがある。特に、顕微鏡を使用した基板検査の場合に、ガラス基板１２の光軸方向の振動、たわみにより顕微鏡像にブレやボケなどが生じ易くなって、検査精度か低下してしまう。
【００２３】
そこで、この第２の実施の形態では、このようなパッド支持部材１５自身の振動を防止するようにしている。図４は、本発明の第２の実施の形態の概略構成を示すもので、図３と同一部分には、同符号を付している。
【００２４】
この場合、押え枠体１８の穴部１８１の吸着パッド１４の先端部と対向する周縁部に沿って弾性部材、例えばゴムブッシュ２３を設けている。この場合、ゴムブッシュ２３に代えて、ウレタンやシリコンなどの弾性部材を使用してもよい。
【００２５】
この場合、ゴムブッシュ２３と吸着パッド１４の先端部との間隙２２は、検査対称のガラス基板１２のたわみ易さなどを考慮して調整する。
このようにすると、ガラス基板１２の反りによる傾きに対応してパッド支持部材１５の変形により吸着パッド１４が傾いてガラス基板１２の反り面に吸着された状態で、ガラス基板１２に、床面からの振動やクリーンルーム内のダウンブローにより、たわみが生じたような場合、このたわみがある程度進むと吸着パッド１４の傾きも大きくなって、押え枠体１８の穴部１８１との間隙２２が狭まり、ついには吸着パッド１４の先端部がゴムブッシュ２３に当接して、その動きが制限される。
【００２６】
すると、この当接によりパッド支持部材１５のバネ成分に、ゴムブッシュ２３のバネ成分が並列結合され、この時点を境に吸着パッド１４に対するバネ定数は、図５に示すように急激に増加するようになるので、吸着部１４１に吸着しているガラス基板１２が振動しにくくなって、ガラス基板１２自身のたわみが抑制される。
【００２７】
このようにすれば、ガラス基板１２に振動が伝わるような場合でも、ガラス基板１２自身を振動しにくくして、ガラス基板１２のたわみを抑制するようにできるので、顕微鏡を使用した基板検査の場合に、顕微鏡像のブレやボケなどを確実に防止でき、精度の高い基板検査を行うことができる。
【００２８】
なお、パッド支持部材１５の弾性力とゴムブッシュ２３の弾性力のバランスを調整することにより、吸着パッド１４による吸着し易さと、ガラス基板１２の振動しにくさとのバランスを最良に設定することもできる。
（第３の実施の形態）
この第３の実施の形態では、第２の実施の形態で述べたゴムブッシュ２３の働きをパッド支持部材１５自身に持たせるようにしたものである。
【００２９】
この場合、図６（ａ）（ｂ）に示すようにゴムなどの比較的柔らかく変形し易い弾性部材からなる筒状のパッド支持部材１５は、先端部に吸盤１５１を形成し、基端部側の周面の円周方向に沿って幅の狭い溝部１５２を形成している。この場合、溝部１５２は、周面のある点から直線状に形成してもよい。
【００３０】
その他は、上述した図４と同様である。
この場合、ガラス基板１２に、たわみが生じたような場合、このたわみがある程度進むと、吸着パッド１４の傾きとともに、パッド支持部材１５の傾きも大きくなって、溝部１５２の幅が狭まり、ついには、溝部１５２を挟んだ両端部は、図６（ｂ）のように直接当接される。
【００３１】
すると、この溝部１５２両端部の当接により、パッド支持部材１５の溝部１５２部分でのバネ成分に、溝部１５２両端部の当接によるバネ成分が並列に結合されるようになって、この時点を境に吸着パッド１４のたわみ方向のバネ定数は、上述した図５に似た急激な増加特性が得られるので、この場合も第２の実施の形態と同様な効果が得られる。
【００３２】
また、ここでは、パッド支持部材１５に溝部１５２を形成するようにしているで、第２実施の形態と比べて加工箇所、部品点数を少なくでき、コスト的に有利にできる。
（第４の実施の形態）
図７は、本発明の第４の実施の形態の概略構成を示している。
【００３３】
この場合、基板載置台３１に段部３２１を有する穴部３２を形成し、この穴部３２の段部３２１に弾性を有するダイヤフラム３３を気密に取り付け、このダイヤフラム３３で仕切られた穴部３２下方を通気室３２２に形成している。
【００３４】
ダイヤフラム３３の中央部に連なる連通管３４を介して吸着パッド３５を取り付けている。この吸着パッド３５は、吸着部３５１を有し、この吸着部３５１の中央部に連通管３４を介して通気室３２２に連通する穴部３５２を形成している。また、吸着パッド３５は、ダイヤフラム３３に取り付けた状態で、載置台３１面より上方に位置するようになっている。
【００３５】
一方、穴部３２下方のを通気室３２２には、通気管３６を連通するとともに、電磁弁３７を介して真空ポンプ３８を接続し、この真空ポンプ３８でのエア引きによるエア駆動力により、吸着パッド３５の吸着部３５１にエア吸着力を得られるようにするとともに、さらに通気室３２２の排気をも可能にしている。
【００３６】
しかして、いま、図７（ａ）に示すように吸着パッド３５の吸着部３５１が載置台３１面より上方に位置している状態から、ガラス基板３９が載置された場合、吸着パッド３５の吸着部３５１は、ダイヤフラム３３の弾性により、図７（ｂ）に示すようにガラス基板３９に多少の反りが存在していても、ガラス基板３９面に添うように密着される。
【００３７】
この状態から、電磁弁３７を開くと、真空ポンプ３８から吸着パッド３５の吸部３５１までのエア通路が確保され、真空ポンプ３８でのエア引きにより吸着パッド３５の吸着部３５１へのガラス基板３９の吸着が成立する（図７（ｂ））。
【００３８】
さらに、真空ポンプ３８によりエア引きを行うと、通気室３２２内の気圧が低下し、図７（ｃ）に示すようにダイヤフラム３３が通気室３２２側にたわむ。これにより吸着パッド３５の吸着部３５１は、下方向に引き込まれるようになり、ガラス基板３９は、載置台３１面と面一の状態で固定される。
【００３９】
この場合、吸着部３５１の面積をＳ1 、ダイヤフラム３３の面積をＳ2 とし、真空ポンプ３８により、これら吸着部３５１およびダイヤフラム３３にかかる外気との差圧力をＰとすると、吸着部３５１に作用する吸着力はＳ1 ・Ｐで、ダイヤフラム３３に作用する引張り力は、Ｓ2 ・Ｐとなる。これにより、Ｓ1 ・Ｐ＜Ｓ2 ・Ｐとすると、ガラス基板３９を載置台３１面まで引き込んだとき、ガラス基板３９が吸着部３５１から外れるおそれがあるので、Ｓ1 ・Ｐ＞Ｓ2 ・Ｐになるように設定する必要がある。
【００４０】
これにより、ガラス基板３９に多少の反りなどがあっても、ガラス基板３９に対する吸着パッド３５の吸着部３５１の吸着を確実に行い、載置台３１上に固定するようにできるので、ガラス基板３９に関する検査を安定した状態で精度よく行うことができる。
【００４１】
また、吸着部３５１によりガラス基板３９を吸着した状態から、ダイヤフラム３３を通気室３２２側にたわませてガラス基板３９を載置台３１上に固定するようにしているが、このダイヤフラム３３のたわみの時点から吸着部３５１に対するダイヤフラム３３の弾性が急激に変化され、上述した図５に似た特性が得られるので、この場合も第２の実施の形態と同様な効果が得られる。
【００４２】
その後、電磁弁３７を閉じると、真空ポンプ３８から吸着パッド３５の吸着部３５１までのエア通路が遮断され、吸着部３５１によるガラス基板３９の吸着状態が解除される。次いで、ガラス基板３９を載置台３１から取り除くと、ダイヤフラム３３とともに吸着パッド３５も図７（ａ）の状態に自動復帰される。
【００４３】
なお、図８に示すように、載置台３１上に上述した図７の構成のものに、さらに複数の吸着溝４０を配置し、これら吸着溝４０に通気管３６１を連通するとともに、電磁弁３７１を介して真空ポンプ３８に接続するようにして、最初に電磁弁３７を開いて上述したようにガラス基板３９を載置台３１面まで引き込んだ後、電磁弁３７１を開いて吸着溝４０にエア吸着力を作用させるようにすれば、ガラス基板３９を効率的に吸着でき、より強固にガラス基板３９を固定することができる。
（第５の実施の形態）
図９は、本発明の第５の実施の形態の概略構成を示すもので、図７と同一部分には同符号を付している。
【００４４】
この場合、載置台３１の穴部３２中に吸着部３５１を有する吸着パッド３５をＯリング４１を介して上下動可能に設け、この吸着パッド３５下方の穴部３２を通気室３２２に形成している。そして、吸着部３５１中央部の穴部３５２を通気室３２２に連通している。
【００４５】
そして、通気室３２２には、圧縮バネ４２を設け、この圧縮バネ４２の弾性力により、吸着パッド３５を上方向に押し上げるようにしている。
しかして、この場合も、吸着パッド３５は、圧縮バネ４２の弾性力により載置台３１面より上方に位置されており、載置台３１上にガラス基板３９が載置されると、このガラス基板３９面に添うように密着される。この状態から、電磁弁３７を開くと、真空ポンプ３８から吸着パッド３５の吸着部３５１までのエア通路が確保され、真空ポンプ３８でのエア引きにより吸着パッド３５の吸着部３５１へのガラス基板３９の吸着が成立する。
【００４６】
この状態から、さらに真空ポンプ３８によりエア引きを行うと、通気室３２２内部が排気され、吸着パッド３５は、圧縮バネ４２の弾性力に抗して下方向に引き込まれるようになって、ガラス基板３９は、載置台３１面と面一の状態で固定される（図９）。
【００４７】
この場合、吸着部３５１の面積をＳ11、通気室３２２の断面積をＳ12とし、真空ポンプ３８により、これら吸着部３５１および通気室３２２にかかる外気との差圧力をＰとすると、吸着部３５１に作用する吸着力はＳ11・Ｐで、圧縮バネ４２に作用する引張り力は、Ｓ12・Ｐとなる。これにより、Ｓ11・Ｐ＜Ｓ12・Ｐとすると、ガラス基板３９を載置台３１面まで引き込んだとき、ガラス基板３９が吸着部３５１から外れるおそれがあるので、Ｓ11・Ｐ＞Ｓ12・Ｐになるように設定する必要がある。
【００４８】
このようにしても、第４の実施の形態と同様な効果を期待できる。
（第６の実施の形態）
図１０は、本発明の第６の実施の形態の概略構成を示すもので、図７と同一部分には同符号を付している。
【００４９】
この場合、載置台３１の穴部３２中に吸着パッド３５の吸着部３５１中央部の穴部３５２に連通するベローズ管４３を取り付け、このベローズ管４３に通気管３６を連通し、さらに電磁弁３７を介して真空ポンプ３８を接続している。また、この時のベローズ管４３の弾性により吸着パッド３５を上方向に押し上げるようにしている。
【００５０】
しかして、この場合も、吸着パッド３５は、ベローズ管４３の弾性力により載置台３１面より上方に位置されており、載置台３１上にガラス基板３９が載置されると、このガラス基板３９面に添うように密着される。この状態から、電磁弁３７を開くと、真空ポンプ３８から吸着パッド３５の吸着部３５１までのエア通路が確保され、真空ポンプ３８でのエア引きにより吸着パッド３５の吸着部３５１へのガラス基板３９の吸着が成立する。
【００５１】
この状態から、さらに真空ポンプ３８によりエア引きを行うと、ベローズ管４３内部が排気され、ベローズ管４３の圧縮方向の変形とともに、吸着パッド３５は、下方向に引き込まれるようになって、ガラス基板３９は、載置台３１面と面一の状態で固定される（図１０）。
【００５２】
この場合、吸着部３５１の面積をＳ21、ベローズ管４３の断面積をＳ22とし、真空ポンプ３８により、これら吸着部３５１およびベローズ管４３にかかる外気との差圧力をＰとすると、吸着部３５１に作用する吸着力はＳ21・Ｐで、ベローズ管４３に作用する引張り力は、Ｓ22・Ｐとなる。これにより、Ｓ21・Ｐ＜Ｓ22・Ｐとすると、ガラス基板３９を載置台３１面まで引き込んだとき、ガラス基板３９が吸着部３５１から外れるおそれがあるので、Ｓ21・Ｐ＞Ｓ22・Ｐになるように設定する必要がある。
【００５３】
このようにしても、第４の実施の形態と同様な効果を期待できる。
なお、上述した第１乃至第６の実施の形態では、一貫してガラス基板について述べたが、ウェハなどの大型基板吸着にも適用することができる。また、第４の実施の形態では、吸着パッドを固定するための押え枠体を載置台１１の上面に取り付けるようにしたが、吸着パッドだけが載置台上面より突出するように押え枠体を載置台に埋め込むこともできる。
【００５４】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、基板吸着部を有する吸着パッドは、弾性部材のパッド支持部材による支持により、所定範囲で自由に動けるようになっていて、基板の傾きに対してもパッド支持部材の変形により、吸着部を吸着でき、さらにパッド支持部材の弾性力により外れにくい状態で保持できるので、安定した状態での基板検査を実現できる。
【００５５】
また、基板吸着部に基板を吸着した状態で、弾性部材のバネ定数の急激な増加により基板の振動を抑制できるので、顕微鏡を使用した基板検査の場合に、顕微鏡像のブレや焦点ズレによるボケなどを確実に防止でき、精度の高い検査を行うことができる。
【００５６】
また、載置台上面より吸着パッドを突出させ、この吸着パッドを弾性的に支持することにより、基板に反りなどがあっても吸着部での吸着を確実に行うことができ、基板に関する検査を安定した状態で精度よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態に用いられる基板吸着部材の概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態に用いられる基板吸着部材の概略構成を示す図。
【図４】本発明の第２の実施の形態に用いられる基板吸着部材の概略構成を示す図。
【図５】第２の実施の形態を説明するための図。
【図６】本発明の第３の実施の形態に用いられる基板吸着部材を構成するパッド支持部材の概略構成を示す図。
【図７】本発明の第４実施の形態の概略構成を示す図。
【図８】第４実施の形態の概略構成を示す図。
【図９】本発明の第５実施の形態の概略構成を示す図。
【図１０】本発明の第６実施の形態の概略構成を示す図。
【図１１】従来の基板吸着装置の一例の概略構成を示す図。
【図１２】載置台上のガラス基板の状態を説明するための図。
【符号の説明】
１１…載置台、
１１１…吸着パッド取付け部、
１１２…溝部、
１１３…穴部、
１２…ガラス基板、
１３…基板吸着部材、
１４…吸着パッド、
１４１…吸着部、
１４２…穴部、
１４３…段部、
１５…パッド支持部材、
１５１…吸盤、
１５２…溝部、
１６…間隙、
１７…間隙、
１８…押え枠体、
１８１…穴部、
１９…通気管、
２０…電磁弁、
２１…真空ポンプ、
２２…間隙、
２３…ゴムブッシュ、
３１…載置台、
３２…穴部、
３２２…通気室、
３３…ダイヤフラム、
３４…連通管、
３５…吸着パッド、
３５１…吸着部、
３６…通気管、
３７…電磁弁、
３８…真空ポンプ、
３９…ガラス基板、
４１…Ｏリング、
４２…圧縮バネ、
４３…ベローズ管。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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