(57)【要約】  金属元素を主成分とし、鉄−コバルト系合金よりもスピンモーメントが大きい磁性合金材料を提供するために、鉄およびコバルトを主成分とし、白金、金およびイリジウムからなる群より選ばれる元素のうち少なくとも一種類の元素を含むことを特徴とする磁性合金材料とする。
2020110893.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉄およびコバルトを主成分とし、白金、金およびイリジウムからなる群より選ばれる元素のうち少なくとも一種類の元素を含むことを特徴とする磁性合金材料。
【請求項２】
コバルトの原子組成比率が１０原子パーセント以上９０原子パーセント以下であることを特徴とする請求項１に記載の磁性合金材料。
【請求項３】
６原子パーセント以下の白金が添加されていることを特徴とする請求項１または２に記載の磁性合金材料。
【請求項４】
４．４原子パーセント以下の金が添加されていることを特徴とする請求項１または２に記載の磁性合金材料。
【請求項５】
５．８原子パーセント以下のイリジウムが添加されていることを特徴とする請求項１または２に記載の磁性合金材料。
【請求項６】
白金、金およびイリジウムからなる群より選ばれる元素のうち少なくとも二種類の元素のそれぞれが０．１原子パーセント以上添加されていることを特徴とする請求項１または２に記載の磁性合金材料。
【請求項７】
０．１原子パーセント以上６原子パーセント以下の白金と、０．１原子パーセント以上５原子パーセント以下の金とが添加されていることを特徴とする請求項６に記載の磁性合金材料。
【請求項８】
０．１原子パーセント以上６原子パーセント以下の白金と、０．１原子パーセント以上６原子パーセント以下のイリジウムとが添加されていることを特徴とする請求項６に記載の磁性合金材料。
【請求項９】
０．１原子パーセント以上５原子パーセント以下の金と、０．１原子パーセント以上６原子パーセント以下のイリジウムとが添加されていることを特徴とする請求項６に記載の磁性合金材料。
【請求項１０】
０．１原子パーセント以上６原子パーセント以下の白金と、０．１原子パーセント以上５原子パーセント以下の金と、０．１原子パーセント以上６原子パーセント以下のイリジウムとが添加されていることを特徴とする請求項６に記載の磁性合金材料。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁性合金材料に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドやモーター、永久磁石など様々な用途に向けて、磁束密度や飽和磁化といった磁石の強さを決めるパラメータの一つであるスピンモーメントの大きな磁性合金材料の探索が進められている。【０００３】
非特許文献１には、スピンモーメントの大きな磁性合金材料として、鉄−コバルト系合金（以下、ＦｅＣｏ系合金とも呼ぶ）が開示されている。非特許文献１には、ＦｅＣｏ系合金のスピンモーメントは、鉄（Ｆｅ）とコバルト（Ｃｏ）の原子比率がおよそ０．７５：０．２５の場合に最大になると記載されている。【０００４】
特許文献１には、スピンモーメントの大きな磁性合金材料として、鉄−ネオジム−ボロン系合金（以下、ＮｄＦｅＢ系合金とも呼ぶ）が開示されている。【０００５】
特許文献２には、スピンモーメントの大きな磁性材料として、鉄−コバルト−パラジウム系合金（以下、ＦｅＣｏＰｄ系合金とも呼ぶ）が開示されている。【０００６】
特許文献３には、希土類元素のうちの１種以上からなる元素が４〜２０原子％含まれるＦｅＣｏ系合金が開示されている。【０００７】
特許文献４には、ＦｅおよびＣｏ以外の元素Ｍが添加されたＦｅＣｏＭ系合金を含む磁性めっき薄膜の製造方法について開示されている。【０００８】
特許文献５には、スピンモーメントの大きな磁性材料として、窒化鉄（以下、ＦｅＮ化合物相とも呼ぶ）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−１１７８５５号公報
【特許文献２】特開２００５−３４７６８８号公報
【特許文献３】特開２０００−１５０２１５号公報
【特許文献４】特開２００３−０３４８９１号公報
【特許文献５】特開２０１５−０１９０５０号公報
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】C. Takahashi, et al., “First-principles calculation of the Curie temperature Slater-Pauling curve,” J. Phys.: Condens. Matter 19, (2007) 365233 (6PP)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献１のＮｄＦｅＢ合金は、スピンモーメントが大きいだけではなく、保磁力も大きいため、永久磁石として様々な分野で応用されている。しかしながら、特許文献１のＮｄＦｅＢ系合金は、室温ではＦｅＣｏ系合金よりもスピンモーメントが小さい。【００１２】
特許文献２には、ＦｅＣｏ合金にパラジウム（Ｐｄ）を少量添加すると、ＦｅＣｏ系合金を超える大きな飽和磁化が得られると記載されている。しかしながら、飽和磁化とスピンモーメントの値はおおよそ比例傾向にはあるものの、実験で導出された飽和磁化の値と、第一原理計算で導出されたスピンモーメントの値とは、実験誤差等による影響で比例しない場合がある。【００１３】
また、特許文献３〜４によれば、スピンモーメントの大きな磁性材料が得られるものの、ＦｅとＣｏの組成比が０．７５：０．２５であるＦｅＣｏ系合金を超えるほどのスピンモーメントを有する磁性材料は得られない。【００１４】
特許文献５のＦｅＮ化合物相は、メスバウアースペクトルより、Ｆｅ16Ｎ2化合物相がＦｅ換算で７０原子パーセント（以下、原子％）以上９５原子％以下、Ｆｅ4Ｎ化合物相が５原子％以上３０原子％以下の場合に高い保磁力が得られる。しかしながら、特許文献５のＦｅＮ化合物相には、非金属である窒素（Ｎ）を含み、２００℃程度で相分離してしまうために焼結による成形ができず、製造や応用が難しいという問題点があった。【００１５】
本発明の目的は、上述した課題を解決し、金属元素を主成分とし、鉄−コバルト系合金よりもスピンモーメントを大きくすることが可能であり、製造しやすい磁性合金材料を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の一態様の磁性合金材料は、鉄およびコバルトを主成分とし、白金、金およびイリジウムからなる群より選ばれる元素のうち少なくとも一種類の元素を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、金属元素を主成分とし、鉄−コバルト系合金よりもスピンモーメントを大きくすることが可能であり、製造しやすい磁性合金材料を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１の実施形態に係る磁性合金材料の概念図である。
【図２】第１の実施形態に係る磁性合金材料のスピンモーメントをＫＫＲ−ＣＰＡ（Korringa Kohn Rostoker Coherent Potential Approximation）法によって計算した結果を示すグラフである。
【図３】第２の実施形態に係る磁性合金材料の概念図である。
【図４】第２の実施形態に係る磁性合金材料のスピンモーメントをＫＫＲ−ＣＰＡ法によって計算した結果を示すグラフである。
【図５】第３の実施形態に係る磁性合金材料の概念図である。、
【図６】第３の実施形態に係る磁性合金材料のスピンモーメントをＫＫＲ−ＣＰＡ法によって計算した結果を示すグラフである。
【図７】第４の実施形態に係る磁性合金材料の概念図である。、
【図８】第４の実施形態に係る磁性合金材料のスピンモーメントをＫＫＲ−ＣＰＡ法によって計算した結果を示すグラフである。
【図９】関連技術に係る磁性合金材料のスピンモーメントをＫＫＲ−ＣＰＡ法によって計算した結果を示すグラフである。
【図１０】関連技術に係る磁性合金材料のスピンモーメントをＫＫＲ−ＣＰＡ法によって計算した結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明を実施するための形態について図面を用いて説明する。ただし、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい限定がされているが、発明の範囲を以下に限定するものではない。なお、以下の実施形態の説明に用いる全図においては、特に理由がない限り、同様箇所には同一符号を付す。また、以下の実施形態において、同様の構成・動作に関しては繰り返しの説明を省略する場合がある。
【００２０】
以下に示す実施形態においては、磁性合金のスピンモーメントを計算する際に、第一原理計算手法の一つであるＫＫＲ−ＣＰＡ（Korringa Kohn Rostoker Coherent Potential Approximation）法を採用した。ＫＫＲ−ＣＰＡ法は、Ｇｒｅｅｎ関数をベースとする。以下に示す実施形態においては、具体的には、ＡｋａｉＫＫＲというソフトウェアを用いて合金のスピンモーメントを計算した結果を示す。ＡｋａｉＫＫＲは、密度汎関数法の局所密度近似または一般化勾配近似に基づいて第一原理電子状態を計算するソフトウェアである。
【００２１】
（第１の実施形態）
まず、第１の実施形態に係る磁性合金材料について図面を参照しながら説明する。本実施形態の磁性合金材料は、鉄−コバルト−白金系合金（以下、ＦｅＣｏＰｔ系合金）である。
【００２２】
図１は、本実施形態に係る磁性合金材料１０の概念図である。磁性合金材料１０は、鉄−コバルト系合金（以下、ＦｅＣｏ系合金）に白金（Ｐｔ）が添加された材料である。例えば、磁性合金材料１０には、０．１原子パーセント以上のＰｔが含まれる。
【００２３】
図２は、ＦｅＣｏＰｔ系合金（Ｆｅ0.75-0.5xＣｏ0.25-0.5xＰｔx）におけるＰｔの濃度（原子組成）とスピンモーメントとの関係を示すグラフである（０≦ｘ≦０．５）。図２の横軸は、ＦｅＣｏＰｔ系合金におけるＰｔの濃度ｘである。図２の縦軸は、ＦｅＣｏ系合金（Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25）のスピンモーメントで規格化されたＦｅＣｏＰｔ系合金（Ｆｅ0.75-0.5xＣｏ0.25-0.5xＰｔx）のスピンモーメントである。
【００２４】
図２のように、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｘ＝０）にＰｔが少量添加されたＦｅ0.75-0.5xＣｏ0.25-0.5xＰｔxのスピンモーメントは、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｘ＝０）よりも大きくなる。Ｆｅ0.75-0.5xＣｏ0.25-0.5xＰｔxは、Ｐｔの組成比が０＜ｘ＜０．０６の範囲でＦｅ0.75Ｃｏ0.25（ｘ＝０）よりもスピンモーメントが大きい。Ｆｅ0.75-0.5xＣｏ0.25-0.5xＰｔxのスピンモーメントは、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25に対するＰｔの組成比が０．００８（０．８原子パーセント)付近で最大になる。すなわち、ＦｅＣｏＰｔ系合金のうちスピンモーメントが最大になるのはＦｅ0.746Ｃｏ0.246Ｐｔ0.008である。
【００２５】
図２のグラフによると、磁性合金材料１０には、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｘ＝０）を母体とし、原子組成が０＜ｘ＜０．０６のＰｔを含むＦｅ0.75-0.5xＣｏ0.25-0.5xＰｔxが好ましい。特に、図２のグラフによると、磁性合金材料１０には、Ｆｅ0.746Ｃｏ0.246Ｐｔ0.008が最適である。なお、磁性合金材料１０に用いられるＦｅ0.75-0.5xＣｏ0.25-0.5xＰｔxの組成比は、ＦｅＣｏ系合金の熱的な物性に影響を与えない程度にＰｔが添加されるのであれば、上述のものに限定されない。また、磁性合金材料１０に用いられるＦｅ0.75-0.5xＣｏ0.25-0.5xＰｔxには、Ｐｔ以外の元素が含まれていてもよい。
【００２６】
本実施形態の磁性合金材料１０は、様々な手法を用いて製造できる。例えば、バルク型の磁性合金材料１０は、焼結法や、アーク溶解法などの手法を用いて製造できる。また、例えば、薄膜型の磁性合金材料１０は、スパッタ法や、蒸着法、パルスレーザー法などの手法を用いて製造できる。
【００２７】
以上のように、本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅおよびＣｏを主成分とするＦｅＣｏ系合金にＰｔが添加されていることを特徴とする。６原子パーセント以下のＰｔが添加されたＦｅＣｏＰｔ系合金は、ＦｅＣｏ系合金よりもスピンモーメントが大きい。
【００２８】
本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅＣｏ系合金に少量のＰｔが添加されることにより、ＦｅＣｏ系合金よりも大きなスピンモーメントを有する。本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅＣｏ系合金の熱的な物性に影響を与えない程度にＰｔが添加されるため、製造や応用においても実用的である。すなわち、本実施形態によれば、金属元素を主成分とし、ＦｅＣｏ系合金よりもスピンモーメントが大きく、製造しやすい磁性合金材料を提供することが可能となる。
【００２９】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係る磁性合金材料について図面を参照しながら説明する。本実施形態の磁性合金材料は、鉄−コバルト−金系合金（以下、ＦｅＣｏＡｕ系合金）である。本実施形態の磁性合金材料は、白金（Ｐｔ）の替わりに金（Ａｕ）を含む点において第１の実施形態の磁性合金材料とは異なる。
【００３０】
図３は、本実施形態に係る磁性合金材料２０の概念図である。磁性合金材料２０は、鉄−コバルト系合金（以下、ＦｅＣｏ系合金）に金（Ａｕ）が添加された材料である。例えば、磁性合金材料２０には、０．１原子パーセント以上のＡｕが含まれる。
【００３１】
図４は、ＦｅＣｏＡｕ系合金（Ｆｅ0.75-0.5yＣｏ0.25-0.5yＡｕy）におけるＡｕの濃度（原子組成）とスピンモーメントとの関係を示すグラフである（ｙは正の実数）。図４の横軸は、ＦｅＣｏＡｕ系合金におけるＡｕの濃度ｙである。図４の縦軸は、ＦｅＣｏ系合金（Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25）のスピンモーメントで規格化されたＦｅＣｏＡｕ系合金（Ｆｅ0.75-0.5ｙＣｏ0.25-0.5ｙＡｕy）のスピンモーメントである。
【００３２】
図４のように、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｙ＝０）にＡｕが少量添加されたＦｅ0.75-0.5yＣｏ0.25-0.5yＡｕyのスピンモーメントは、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｙ＝０）よりも大きくなる。Ｆｅ0.75-0.5yＣｏ0.25-0.5yＡｕyは、Ａｕの組成比が０＜ｙ＜０．０４４の範囲でＦｅ0.75Ｃｏ0.25（ｙ＝０）よりもスピンモーメントが大きい。Ｆｅ0.75-0.5yＣｏ0.25-0.5yＡｕyのスピンモーメントは、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25に対するＡｕの組成比が０．００８（０．８原子パーセント)付近で最大になる。すなわち、ＦｅＣｏＡｕ系合金のうちスピンモーメントが最大になるのはＦｅ0.746Ｃｏ0.246Ａｕ0.008である。
【００３３】
図４のグラフによると、磁性合金材料２０には、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｙ＝０）を母体とし、原子組成が０＜ｙ＜０．０４４のＡｕを含むＦｅ0.75-0.5yＣｏ0.25-0.5yＡｕyが好ましい。特に、図４のグラフによると、磁性合金材料２０には、Ｆｅ0.746Ｃｏ0.246Ａｕ0.008が最適である。なお、磁性合金材料２０に用いられるＦｅ0.75-0.5yＣｏ0.25-0.5yＡｕyの組成比は、ＦｅＣｏ系合金の熱的な物性に影響を与えない程度にＡｕが添加されるのであれば、上述のものに限定されない。また、磁性合金材料２０に用いられるＦｅ0.75-0.5yＣｏ0.25-0.5yＡｕyには、Ａｕ以外の元素が含まれていてもよい。
【００３４】
本実施形態の磁性合金材料２０は、様々な手法を用いて製造できる。例えば、バルク型の磁性合金材料２０は、焼結法や、アーク溶解法などの手法を用いて製造できる。また、例えば、薄膜型の磁性合金材料２０は、スパッタ法や、蒸着法、パルスレーザー法などの手法を用いて製造できる。
【００３５】
以上のように、本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅおよびＣｏを主成分とするＦｅＣｏ系合金にＡｕが添加されていることを特徴とする。４．４原子パーセント以下のＡｕが添加されたＦｅＣｏＡｕ系合金は、ＦｅＣｏ系合金よりもスピンモーメントが大きい。
【００３６】
本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅＣｏ系合金に少量のＡｕが添加されることにより、ＦｅＣｏ系合金よりも大きなスピンモーメントを有する。本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅＣｏ系合金の熱的な物性に影響を与えない程度にＡｕが添加されるため、製造や応用においても実用的である。すなわち、本実施形態によれば、金属元素を主成分とし、ＦｅＣｏ系合金よりもスピンモーメントが大きく、製造しやすい磁性合金材料を提供することが可能となる。
【００３７】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態に係る磁性合金材料について図面を参照しながら説明する。本実施形態の磁性合金材料は、鉄−コバルト−イリジウム系合金（以下、ＦｅＣｏＩｒ系合金）である。本実施形態の磁性合金材料は、白金（Ｐｔ）や金（Ａｕ）の替わりにイリジウム（Ｉｒ）を含む点において第１および第２の実施形態の磁性合金材料とは異なる。
【００３８】
図５は、本実施形態に係る磁性合金材料３０の概念図である。磁性合金材料３０は、鉄−コバルト系合金（以下、ＦｅＣｏ系合金）にイリジウム（Ｉｒ）が添加された材料である。例えば、磁性合金材料３０には、０．１原子パーセント以上のＩｒが含まれる。
【００３９】
図６は、ＦｅＣｏＩｒ系合金（Ｆｅ0.75-0.5zＣｏ0.25-0.5zＩｒz）におけるＩｒの濃度（原子組成）とスピンモーメントとの関係を示すグラフである（ｚは正の実数）。図６の横軸は、ＦｅＣｏＩｒ系合金におけるＩｒの濃度ｚである。図６の縦軸は、ＦｅＣｏ系合金（Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25）のスピンモーメントで規格化されたＦｅＣｏＩｒ系合金（Ｆｅ0.75-0.5zＣｏ0.25-0.5zＩｒz）のスピンモーメントである。
【００４０】
図６のように、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｚ＝０）にＩｒが少量添加されたＦｅ0.75-0.5zＣｏ0.25-0.5zＩｒzのスピンモーメントは、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｚ＝０）よりも大きくなる。Ｆｅ0.75-0.5zＣｏ0.25-0.5zＩｒzは、Ｉｒの組成比が０＜ｚ＜０．０５８の範囲でＦｅ0.75Ｃｏ0.25（ｚ＝０）よりもスピンモーメントが大きい。Ｆｅ0.75-0.5zＣｏ0.25-0.5zＩｒzのスピンモーメントは、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25に対するＩｒの組成比が０．０４２（４．２原子パーセント)付近で最大になる。すなわち、ＦｅＣｏＩｒ系合金のうちスピンモーメントが最大になるのはＦｅ0.729Ｃｏ0.229Ｉｒ0.042である。
【００４１】
図６のグラフによると、磁性合金材料３０には、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｚ＝０）を母体とし、原子組成が０＜ｚ＜０．０５８のＩｒを含むＦｅ0.75-0.5zＣｏ0.25-0.5zＩｒzが好ましい。特に、図６のグラフによると、磁性合金材料３０には、Ｆｅ0.729Ｃｏ0.229Ｉｒ0.042が最適である。なお、磁性合金材料３０に用いられるＦｅ0.75-0.5zＣｏ0.25-0.5zＩｒzの組成比は、ＦｅＣｏ系合金の熱的な物性に影響を与えない程度にＩｒが添加されるのであれば、上述のものに限定されない。また、磁性合金材料３０に用いられるＦｅ0.75-0.5zＣｏ0.25-0.5zＩｒzには、Ｉｒ以外の元素が含まれていてもよい。
【００４２】
本実施形態の磁性合金材料３０は、様々な手法を用いて製造できる。例えば、バルク型の磁性合金材料３０は、焼結法や、アーク溶解法などの手法を用いて製造できる。また、例えば、薄膜型の磁性合金材料３０は、スパッタ法や、蒸着法、パルスレーザー法などの手法を用いて製造できる。
【００４３】
以上のように、本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅおよびＣｏを主成分とするＦｅＣｏ系合金にＩｒが添加されていることを特徴とする。５．８原子パーセント以下のＩｒが添加されたＦｅＣｏＩｒ系合金は、ＦｅＣｏ系合金よりもスピンモーメントが大きい。
【００４４】
本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅＣｏ系合金に少量のＩｒが添加されることにより、ＦｅＣｏ系合金よりも大きなスピンモーメントを有する。本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅＣｏ系合金の熱的な物性に影響を与えない程度にＩｒが添加されるため、製造や応用においても実用的である。すなわち、本実施形態によれば、金属元素を主成分とし、ＦｅＣｏ系合金よりもスピンモーメントが大きく、製造しやすい磁性合金材料を提供することが可能となる。
【００４５】
（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態に係る磁性合金材料について図面を参照しながら説明する。本実施形態の磁性合金材料は、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）およびイリジウム（Ｉｒ）からなる群より選ばれる元素のうち少なくとも二種類の元素が鉄−コバルト系合金（以下、ＦｅＣｏ系合金）に添加された材料である。磁性合金材料４０には、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）およびイリジウム（Ｉｒ）からなる群より選ばれる元素のうち少なくとも二種類の元素のそれぞれを０．１原子パーセント以上含む。
【００４６】
図７は、本実施形態に係る磁性合金材料４０の概念図である。磁性合金材料４０は、鉄−コバルト系合金（以下、ＦｅＣｏ系合金）に白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）およびイリジウム（Ｉｒ）からなる群より選ばれる元素のうち少なくとも二種類の元素を添加した材料である。すなわち、磁性合金材料４０は、４元素で構成される４元系材料と、５元素で構成される５元系材料とに大別される。４元系材料は、ＦｅＣｏＰｔＩｒ系合金、ＦｅＣｏＰｔＡｕ系合金、およびＦｅＣｏＡｕＩｒ系合金のいずれかである。５元系材料は、ＦｅＣｏＡｕＰｔＩｒ系合金である。
【００４７】
図８は、ＦｅＣｏ系合金のスピンモーメントと、磁性合金材料４０の一例のスピンモーメントとを比較するためのグラフである。図８の縦軸は、ＦｅＣｏ系合金（Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25）のスピンモーメントで規格化された磁性合金材料４０のスピンモーメントである。図８には、４元系材料として、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25Ｐｔ0.02Ｉｒ0.04、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25Ｐｔ0.02Ａｕ0.02、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25Ａｕ0.02Ｉｒ0.04のスピンモーメントを例示する。また、図８には、５元系材料として、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25Ｐｔ0.02Ａｕ0.02Ｉｒ0.04のスピンモーメントを例示する。なお、図８に示す４元系材料および５元系材料に含まれる元素記号の後に付された数字は、それぞれの材料を構成する元素の比率を示すものである。
【００４８】
図８のように、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25Ｐｔ0.02Ｉｒ0.04、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25Ｐｔ0.02Ａｕ0.02、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25Ａｕ0.02Ｉｒ0.04、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25Ｐｔ0.02Ａｕ0.02Ｉｒ0.04のいずれも、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25よりスピンモーメントが大きい。なお、磁性合金材料４０に用いられる材料の組成比は、ＦｅＣｏ系合金の熱的な物性に影響を与えない程度にＰｔ、Ａｕ、およびＩｒの少なくともいずれかが添加されるのであれば、図８に示すものに限定されない。また、磁性合金材料４０には、Ｐｔ、ＡｕおよびＩｒ以外の元素が含まれていてもよい。
【００４９】
本実施形態の磁性合金材料４０は、様々な手法を用いて製造できる。例えば、バルク型の磁性合金材料４０は、焼結法や、アーク溶解法などの手法を用いて製造できる。また、例えば、薄膜型の磁性合金材料４０は、スパッタ法や、蒸着法、パルスレーザー法などの手法を用いて製造できる。
【００５０】
以上のように、本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅおよびＣｏを主成分とするＦｅＣｏ系合金に、Ｐｔ、ＡｕおよびＩｒからなる群より選ばれる元素のうち少なくとも二種類の元素がそれぞれ０．１原子パーセント以上添加されていることを特徴とする。
【００５１】
本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅＣｏ系合金に少量のＰｔ、ＡｕおよびＩｒからなる群より選ばれる元素のうち少なくとも二種類の元素が添加されることにより、ＦｅＣｏ系合金よりも大きなスピンモーメントを有する。本実施形態の磁性合金材料は、ＦｅＣｏ系合金の熱的な物性に影響を与えない程度に、Ｐｔ、ＡｕおよびＩｒからなる群より選ばれる元素のうち少なくとも二種類の元素が添加されるため、製造や応用においても実用的である。すなわち、本実施形態によれば、金属元素を主成分とし、鉄−コバルト系合金よりもスピンモーメントが大きく、製造しやすい磁性合金材料を提供することが可能となる。
【００５２】
以上が、第１〜第４の実施形態に係る磁性合金材料についての説明である。以上の各実施形態に係る磁性材料は、鉄およびコバルトを主成分とし、白金、金およびイリジウムからなる群より選ばれる元素のうち少なくとも一種類の元素を０．１原子パーセント以上含むことを特徴とする。白金、金およびイリジウムは、周期表において、第６周期の第９〜１１族の遷移金属（原子番号：７７〜７９）である。例えば、第１〜第４の実施形態に係る磁性合金材料は、コバルトの原子組成比率が１０原子パーセント以上９０原子パーセント以下である。また、例えば、第１〜第４の実施形態に係る磁性合金材料は、鉄とコバルトとの原子組成比が７５：２５であることが好適である。
【００５３】
（関連技術）
次に、関連技術に係る磁性合金材料について図面を参照しながら説明する。関連技術の磁性合金材料としては、鉄−コバルト系合金（以下、ＦｅＣｏ系合金）と、鉄−コバルト−パラジウム系合金（以下、ＦｅＣｏＰｄ系合金）とを挙げる。
【００５４】
図９は、ＦｅＣｏ系合金（Ｆｅ1-aＣｏa）のコバルト（Ｃｏ）の組成比（原子組成比）とスピンモーメントとの関係を示すグラフである（ａは正の実数）。図９の横軸は、ＦｅＣｏ系合金におけるＣｏの組成比ａである。図９の縦軸は、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25のスピンモーメントで規格化されたＦｅＣｏ系合金（Ｆｅ1-aＣｏa）のスピンモーメントである。図９のように、ＦｅＣｏ系合金（Ｆｅ1-aＣｏa）のスピンモーメントは、Ｃｏの組成比ａが０．２５で最大になる。
【００５５】
図１０は、ＦｅＣｏＰｄ系合金（Ｆｅ0.75-0.5bＣｏ0.25-0.5bＰｄb）のパラジウム（Ｐｄ）の濃度（原子組成）とスピンモーメントとの関係を示すグラフである（ｂは正の実数）。図１０の横軸は、ＦｅＣｏＰｄ系合金におけるＰｄの濃度ｂである。図１０の縦軸は、ＦｅＣｏ系合金（Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25）のスピンモーメントで規格化されたＦｅＣｏＰｄ系合金（Ｆｅ0.75-0.5bＣｏ0.25-0.5bＰｄb）のスピンモーメントである。
【００５６】
図１０のように、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｂ＝０）にＰｄが少量添加されたＦｅ0.75-0.5bＣｏ0.25-0.5bＰｄbのスピンモーメントは、Ｐｄの添加に伴って減少する傾向があり、Ｆｅ0.75Ｃｏ0.25（ｂ＝０）よりも大きくなることはない。図１０にみられるスピンモーメントの変換は、鉄（Ｆｅ）とコバルト（Ｃｏ）の比率を変化させても同様である。
【００５７】
特許文献２（特開２００５−３４７６８８号公報）には、ＦｅＣｏ系合金にＰｄを添加すると飽和磁化が増加すると記載されている。特許文献２では、ＰｄがＦｅＣｏ結晶の格子点を置換または格子間に侵入してＦｅＣｏ結晶格子を押し広げることにより電子状態が変化することに基づくスピンモーメントの増加によって飽和磁化が増加すると説明されている。しかしながら、図１０の結果を鑑みると、ＦｅＣｏ系合金にＰｄを添加してもスピンモーメントの増大はみられない。そのため、特許文献２における飽和磁化は、電子状態の変化に由来するスピンモーメントの増加によるものではなく、Ｐｄ添加による磁性合金の酸化抑制効果に由来するものであると推察される。
【００５８】
それに対し、第１〜第４の実施形態の磁性合金材料では、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）およびイリジウム（Ｉｒ）からなる群より選ばれる少なくとも一種類の元素をＦｅＣｏ系合金に添加することによりスピンモーメントが増加した。第１〜第４の実施形態の磁性合金材料におけるスピンモーメントの増加は、Ｐｔ、ＡｕおよびＩｒからなる群より選ばれる少なくとも一種類の元素をＦｅＣｏ系合金に添加することによって電子状態が変化したことによると推測される。
【００５９】
続いて、第１〜第４の実施形態に係る磁性合金材料の製造方法についていくつかの実施例を挙げて説明する。なお、以下に挙げる磁性合金材料の製造方法は概略的なものであり、材料の調製方法や、製造装置の使用方法について厳密に示すものではない。
【００６０】
（実施例１）
実施例１は、第１の実施形態に関する。実施例１は、バルク型のＦｅＣｏＰｔ系合金を焼結法によって作製した例である。
【００６１】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）および白金（Ｐｔ）の金属粉末を、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ｐｔ＝０．７４６:０．２４６:０．００８になるように混合し、乳鉢を使用して均等に混ぜ、混合粉末を調製した。
【００６２】
次に、真空引きした後にアルゴンガスを導入した焼結装置の内部において、調製した混合粉末を１００メガパスカルの圧力でプレス成型し、その後６００℃で焼結することによって焼結体を形成させた。
【００６３】
その後、その焼結体を所望の大きさにダイシングすることによって、所望の大きさのＦｅＣｏＰｔ系合金を作製した。
【００６４】
例えば、混合粉末を調整する際に、Ｆｅ、ＣｏおよびＰｔ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＰｔ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【００６５】
（実施例２）
実施例２は、第１の実施形態に関する。実施例２は、薄膜型のＦｅＣｏＰｔ系合金をスパッタ法によって作製した例である。
【００６６】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）および白金（Ｐｔ）のスパッタターゲットを用意し、アルゴンガス雰囲気下においてＦｅ、ＣｏおよびＰｔを同時にスパッタ（コスパッタとも呼ぶ）し、シリコン基板上にＦｅＣｏＰt系合金を成膜した。このとき、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ｐｔ＝０．７４６:０．２４６:０．００８となるようにスパッタ電力を調整した。
【００６７】
その後、ＦｅＣｏＰt系合金が成膜されたシリコン基板を、真空中にて６００℃でアニールを施すことによってＦｅＣｏＰｔ系合金の薄膜を作製した。
【００６８】
例えば、Ｆｅ、ＣｏおよびＰｔをコスパッタする際に、Ｆｅ、ＣｏおよびＰｔ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＰｔ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【００６９】
（実施例３）
実施例３は、第２の実施形態に関する。実施例３は、バルク型のＦｅＣｏＡｕ系合金を焼結法によって作製した例である。
【００７０】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）および金（Ａｕ）の金属粉末を、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ａｕ＝０．７４６:０．２４６:０．００８になるように混合し、乳鉢を使用して均等に混ぜ、混合粉末を調製した。
【００７１】
次に、真空引きした後にアルゴンガスを導入した焼結装置の内部において、調製した混合粉末を１００メガパスカルの圧力でプレス成型し、その後６００℃で焼結することによって焼結体を形成させた。
【００７２】
その後、その焼結体を所望の大きさにダイシングすることによって、所望の大きさのＦｅＣｏＡｕ系合金を作製した。
【００７３】
例えば、混合粉末を調整する際に、Ｆｅ、ＣｏおよびＡｕ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＡｕ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【００７４】
（実施例４）
実施例４は、第２の実施形態に関する。実施例４は、薄膜型のＦｅＣｏＡｕ系合金をスパッタ法によって作製した例である。
【００７５】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）および金（Ａｕ）のスパッタターゲットを用意し、アルゴンガス雰囲気下においてＦｅ、ＣｏおよびＡｕをコスパッタし、シリコン基板上にＦｅＣｏＡｕ系合金を成膜した。このとき、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ａｕ＝０．７４６:０．２４６:０．００８となるようにスパッタ電力を調整した。
【００７６】
その後、ＦｅＣｏＡｕ系合金が成膜されたシリコン基板を、真空中にて６００℃でアニールを施すことによってＦｅＣｏＡｕ系合金の薄膜を作製した。
【００７７】
例えば、Ｆｅ、ＣｏおよびＡｕをコスパッタする際に、Ｆｅ、ＣｏおよびＡｕ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＡｕ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【００７８】
（実施例５）
実施例５は、第３の実施形態に関する。実施例５は、バルク型のＦｅＣｏＩｒ系合金を焼結法によって作製した例である。
【００７９】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）およびイリジウム（Ｉｒ）の金属粉末を、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ｉｒ＝０．７２９:０．２２９:０．０４２になるように混合し、乳鉢を使用して均等に混ぜ、混合粉末を調製した。
【００８０】
次に、真空引きした後にアルゴンガスを導入した焼結装置の内部において、調製した混合粉末を１００メガパスカルの圧力でプレス成型し、その後６００℃で焼結することによって焼結体を形成させた。
【００８１】
その後、その焼結体を所望の大きさにダイシングすることによって、所望の大きさのＦｅＣｏＩｒ系合金を作製した。
【００８２】
例えば、混合粉末を調整する際に、Ｆｅ、ＣｏおよびＩｒ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＩｒ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【００８３】
（実施例６）
実施例６は、第３の実施形態に関する。実施例６は、薄膜型のＦｅＣｏＩｒ系合金をスパッタ法によって作製した例である。
【００８４】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）およびイリジウム（Ｉｒ）のスパッタターゲットを用意し、アルゴンガス雰囲気下においてＦｅ、ＣｏおよびＩｒをコスパッタし、シリコン基板上にＦｅＣｏＩｒ系合金を成膜した。このとき、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ｉｒ＝０．７２９:０．２２９:０．０４２となるようにスパッタ電力を調整した。
【００８５】
その後、ＦｅＣｏＩｒ系合金が成膜されたシリコン基板を、真空中にて６００℃でアニールを施すことによってＦｅＣｏＩｒ系合金の薄膜を作製した。
【００８６】
例えば、Ｆｅ、ＣｏおよびＩｒをコスパッタする際に、Ｆｅ、ＣｏおよびＩｒ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＩｒ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【００８７】
（実施例７）
実施例７は、第４の実施形態に関する。実施例７は、バルク型のＦｅＣｏＰｔＡｕ系合金を焼結法によって作製した例である。
【００８８】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、白金（Ｐｔ）および金（Ａｕ）の金属粉末を、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ｐｔ：Ａｕ＝０．７５:０．２５:０．０２:０．０４になるように混合し、乳鉢を使用して均等に混ぜ、混合粉末を調製した。
【００８９】
次に、真空引きした後にアルゴンガスを導入した焼結装置の内部において、調製した混合粉末を１００メガパスカルの圧力でプレス成型し、その後６００℃で焼結することによって焼結体を形成させた。
【００９０】
その後、その焼結体を所望の大きさにダイシングすることによって、所望の大きさのＦｅＣｏＰｔＡｕ系合金を作製した。
【００９１】
例えば、混合粉末を調整する際に、Ｆｅ、Ｃｏ、ＰｔおよびＡｕ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＰｔＡｕ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【００９２】
（実施例８）
実施例８は、第４の実施形態に関する。実施例８は、薄膜型のＦｅＣｏＰｔＡｕ系合金をスパッタ法によって作製した例である。
【００９３】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、白金（Ｐｔ）および金（Ａｕ）のスパッタターゲットを用意し、アルゴンガス雰囲気下でＦｅ、Ｃｏ、ＰｔおよびＡｕをコスパッタし、シリコン基板上にＦｅＣｏＰtＡｕ系合金を成膜した。このとき、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ｐｔ：Ａｕ＝０．７５:０．２５:０．０２:０．０２となるようにスパッタ電力を調整した。
【００９４】
その後、ＦｅＣｏＰtＡｕ系合金が成膜されたシリコン基板を、真空中にて６００℃でアニールを施すことによってＦｅＣｏＰtＡｕ系合金の薄膜を作製した。
【００９５】
例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、ＰｔおよびＡｕをコスパッタする際に、Ｆｅ、Ｃｏ、ＰｔおよびＡｕ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＰtＡｕ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【００９６】
（実施例９）
実施例９は、第４の実施形態に関する。実施例９は、バルク型のＦｅＣｏＰｔＩｒ系合金を焼結法によって作製した例である。
【００９７】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、白金（Ｐｔ）およびイリジウム（Ｉｒ）の金属粉末を、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ｐｔ：Ｉｒ＝０．７５:０．２５:０．０２:０．０４になるように混合し、乳鉢を使用して均等に混ぜ、混合粉末を調製した。
【００９８】
次に、真空引きした後にアルゴンガスを導入した焼結装置の内部において、調製した混合粉末を１００メガパスカルの圧力でプレス成型し、その後６００℃で焼結することによって焼結体を形成させた。
【００９９】
その後、その焼結体を所望の大きさにダイシングすることによって、所望の大きさのＦｅＣｏＰｔＩｒ系合金を作製した。
【０１００】
例えば、混合粉末を調整する際に、Ｆｅ、Ｃｏ、ＰｔおよびＩｒ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＰｔＩｒ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【０１０１】
（実施例１０）
実施例１０は、第４の実施形態に関する。実施例１０は、薄膜型のＦｅＣｏＰｔＩｒ系合金をスパッタ法によって作製した例である。
【０１０２】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、白金（Ｐｔ）およびイリジウム（Ｉｒ）のスパッタターゲットを用意し、アルゴンガス雰囲気下でＦｅ、Ｃｏ、ＰｔおよびＩｒをコスパッタし、シリコン基板上にＦｅＣｏＰtＩｒ系合金を成膜した。このとき、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ｐｔ：Ｉｒ＝０．７５:０．２５:０．０２:０．０４となるようにスパッタ電力を調整した。
【０１０３】
その後、ＦｅＣｏＰtＩｒ系合金が成膜されたシリコン基板を、真空中にて６００℃でアニールを施すことによってＦｅＣｏＰtＩｒ系合金の薄膜を作製した。
【０１０４】
例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、ＰｔおよびＩｒをコスパッタする際に、Ｆｅ、Ｃｏ、ＰｔおよびＩｒ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＰtＩｒ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【０１０５】
（実施例１１）
実施例１１は、第４の実施形態に関する。実施例１１は、バルク型のＦｅＣｏＡｕＩｒ系合金を焼結法によって作製した例である。
【０１０６】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、金（Ａｕ）およびイリジウム（Ｉｒ）の金属粉末を、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ａｕ：Ｉｒ＝０．７５:０．２５:０．０２:０．０４になるように混合し、乳鉢を使用して均等に混ぜ、混合粉末を調製した。
【０１０７】
次に、真空引きした後にアルゴンガスを導入した焼結装置の内部において、調製した混合粉末を１００メガパスカルの圧力でプレス成型し、その後６００℃で焼結することによって焼結体を形成させた。
【０１０８】
その後、その焼結体を所望の大きさにダイシングすることによって、所望の大きさのＦｅＣｏＡｕＩｒ系合金を作製した。
【０１０９】
例えば、混合粉末を調整する際に、Ｆｅ、Ｃｏ、ＡｕおよびＩｒ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＡｕＩｒ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【０１１０】
（実施例１２）
実施例１２は、第４の実施形態に関する。実施例１２は、薄膜型のＦｅＣｏＡｕＩｒ系合金をスパッタ法によって作製した例である。
【０１１１】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、金（Ａｕ）およびイリジウム（Ｉｒ）のスパッタターゲットを用意した。そして、アルゴンガス雰囲気下において、Ｆｅ、Ｃｏ、ＡｕおよびＩｒをコスパッタし、シリコン基板上にＦｅＣｏＡｕＩｒ系合金を成膜した。このとき、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ａｕ：Ｉｒ＝０．７５:０．２５:０．０２:０．０４となるようにスパッタ電力を調整した。
【０１１２】
その後、ＦｅＣｏＡｕＩｒ系合金が成膜されたシリコン基板を、真空中にて６００℃でアニールを施すことによってＦｅＣｏＡｕＩｒ系合金の薄膜を作製した。
【０１１３】
例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、ＡｕおよびＩｒをコスパッタする際に、Ｆｅ、Ｃｏ、ＡｕおよびＩｒ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＡｕＩｒ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【０１１４】
（実施例１３）
実施例１３は、第４の実施形態に関する。実施例１３は、バルク型のＦｅＣｏＰｔＡｕＩｒ系合金を焼結法によって作製した例である。
【０１１５】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）およびイリジウム（Ｉｒ）の金属粉末を、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ｐｔ：Ａｕ：Ｉｒ＝０．７５:０．２５:０．０２:０．０２：０．０４になるように混合した。そして、混合した金属粉末を、乳鉢を使用して均等に混ぜ、混合粉末を調製した。
【０１１６】
次に、真空引きした後にアルゴンガスを導入した焼結装置の内部において、調製した混合粉末を１００メガパスカルの圧力でプレス成型し、その後６００℃で焼結することによって焼結体を形成させた。
【０１１７】
その後、その焼結体を所望の大きさにダイシングすることによって、所望の大きさのＦｅＣｏＰｔＡｕＩｒ系合金を作製した。
【０１１８】
例えば、混合粉末を調整する際に、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｐｔ、ＡｕおよびＩｒ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＰｔＡｕＩｒ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【０１１９】
（実施例１４）
実施例１４は、第４の実施形態に関する。実施例１４は、薄膜型のＦｅＣｏＰｔＡｕＩｒ系合金をスパッタ法によって作製した例である。
【０１２０】
まず、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）およびイリジウム（Ｉｒ）のスパッタターゲットを用意した。そして、アルゴンガス雰囲気下において、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｐｔ、ＡｕおよびＩｒをコスパッタし、シリコン基板上にＦｅＣｏＡｕＩｒ系合金を成膜した。このとき、原子組成比がＦｅ:Ｃｏ:Ｐｔ：Ａｕ：Ｉｒ＝０．７５:０．２５:０．０２:０．０２：０．０４となるようにスパッタ電力を調整した。
【０１２１】
その後、ＦｅＣｏＰｔＡｕＩｒ系合金が成膜されたシリコン基板を、真空中にて６００℃でアニールを施すことによってＦｅＣｏＰｔＡｕＩｒ系合金の薄膜を作製した。
【０１２２】
例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｐｔ、ＡｕおよびＩｒをコスパッタする際に、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｐｔ、ＡｕおよびＩｒ以外の不純物元素を少量添加すれば、ＦｅＣｏＰｔＡｕＩｒ系合金の保磁力を変化させたり、強度（素子の安定性）を向上させたりすることができる。
【０１２３】
以上が、第１〜第４の実施形態に係る磁性合金材料の製造方法についての実施例１〜１４である。なお、上記の実施例１〜１４において、具体的な組成比や、焼結温度、アニール温度などのパラメータを記載しているが、それらは一例であって、第１〜第４の実施形態に係る磁性合金材料を製造する際のパラメータを限定するものではない。
【０１２４】
以上、実施形態を参照して本発明を説明してきたが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【０１２５】
この出願は、２０１８年１１月３０日に出願された日本出願特願２０１８−２２４５７１を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
【符号の説明】
【０１２６】
１０、２０、３０、４０    磁性合金材料
【図１】
2020110893.tif 000003
【図２】
2020110893.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2020110893.tif 000009
【図８】
2020110893.tif 000010
【図９】
2020110893.tif 000011
【図１０】
2020110893.tif 000012
【国際調査報告】
2020110893.tif 000013
2020110893.tif 000014
2020110893.tif 000015
2020110893.tif 000016