(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータを使用してウエハ上に平面的に配列された複数のチップを同時に視野に収めることが可能なチップ認識カメラの出力画像に基づいて探索エリア内の探索位置を移動させてウエハ上のチップを１行ずつつづら折り状に探索するチップ探索方法において、円形であり且つ径が互いに異なる複数の探索エリアが同心円状に予め設定されており、探索エリアの中心を探索開始点とし、探索位置を径方向に移動させ、探索位置がチップの探索に係る探索エリアの境界に達したときは、これが最大探索エリアであるか否かを判定し、その結果、最大探索エリアであるときは、探索位置を逆方向に１行ずらせて移動させる一方、最大探索エリアでないときは、探索位置を当該探索エリアの外側に所定個数分だけ移動させてチップの探索を引き続いて行い、その間にチップを発見しないときは、探索位置を１行ずらせて逆方向に移動させる一方、チップを発見したときは、チップの探索に係る探索エリアをその直ぐ外側に位置する探索エリアに移し、探索位置を上記と同様に移動させてチップの探索を引き続いて行うことを特徴とするチップ探索方法。
【請求項２】
請求項１記載のチップ探索方法において、探索位置を前記探索開始点から一方向に移動させ、その過程でチップを最初に発見したときは、当該チップの場所を記憶し、その後、チップの同方向の探索が終了したときは、探索位置を最初に発見されたチップの場所に戻し、上記とは反対方向に移動させ、チップの同方向の探索を行うことを特徴とするチップ探索方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載のチップ探索方法において、複数の探索エリアの径が複数段階に任意に設定可能にされていることを特徴とするチップ探索方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＥＤチップの選別やその他の半導体の製造、検査等に用いられるチップ探索方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＥＤの製造においては、ウェハ上に多数のＬＥＤ素子が形成され、そのウェハを粘着シートに貼り付けた状態で各チップに分割され、引き離された状態で各チップがシート上のウェハから一つずつピックアップされ、選別工程等に送られる。ここで、シート上のウェハから各チップをピックアップする作業は自動的に行われる。このため、そのピックアップに先立ってシート上のウェハからチップを探索することが必要となり、この探索は従来はカメラを用いた画像処理により行われている。
【０００３】
この画像処理によるチップの自動探索では、チップの取り残しや無駄な探索といったロスを回避し、正確で合理的な作業を行うために、探索エリアと探索開始点が設定される。これらの初期設定は、これまでは作業者が事前にティーチングする方法により行われ、一部では専用のカメラを用いる自動設定方法も実施されている。従来の自動設定方法を図６及び図７により説明する。
【０００４】
円形のステージ１の上方には、ウェハ認識カメラ２及びチップ認識カメラ３が設置されている。ステージ１は、Ｘ−Ｙの２方向に駆動される移動ステージである。ウェハ１０は多数のチップ１１に分割され、シート上に固定された状態でステージ１上に載置される。ウェハ認識カメラ２は、ステージ１全体を視野に収めることができる。また、チップ認識カメラ３は、ウェハ１０内の複数個のチップ１１を同時に視野に収めることができる。
【０００５】
自動探索では、まずウェハ認識カメラ２により得られたウェハ１０全体の画像を取り込む。取り込んだ画像から、ステージ１の中心を中心とし、ステージ１上のウェハ１０に外接する円を求め、これを探索エリアとする。また、取り込んだ画像から、Ｘ−Ｙ座標が最小となるチップ１１1 を探す。そしてこのチップ１１1 の正確な位置を、チップ認識カメラ３の画像から求め、これを探索開始点とする。探索ではチップ認識カメラ３の画像を用い、探索操作を探索開始点からＸ軸及びＹ軸の各正方向へつづら折れ状に行う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ティーチングによる初期設定にも上述した自動設定にも以下のような問題があった。
【０００７】
ウェハの形状が様々に変化するので、作業者が事前にティーチングする方法は、作業者の負担を大きくし、ウェハの自動供給に不向きでもある。専用のカメラ等を用いる自動設定方法の場合は、その初期設定にウェハ認識カメラが必要となり、装置価格が高くなる。
【０００８】
本発明はかかる事情に鑑みて創案されたものであり、複雑な初期設定操作を行わずとも、正確でロスの少ない合理的な探索を行うことができるチップ探索方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のチップ探索方法は、コンピュータを使用してウエハ上に平面的に配列された複数のチップを同時に視野に収めることが可能なチップ認識カメラの出力画像に基づいて探索エリア内の探索位置を移動させてウエハ上のチップを１行ずつつづら折り状に探索する方法において、円形であり且つ径が互いに異なる複数の探索エリアが同心円状に予め設定されており、探索エリアの中心を探索開始点とし、探索位置を径方向に移動させ、探索位置がチップの探索に係る探索エリアの境界に達したときは、これが最大探索エリアであるか否かを判定し、その結果、最大探索エリアであるときは、探索位置を逆方向に１行ずらせて移動させる一方、最大探索エリアでないときは、探索位置を当該探索エリアの外側に所定個数分だけ移動させてチップの探索を引き続いて行い、その間にチップを発見しないときは、探索位置を１行ずらせて逆方向に移動させる一方、チップを発見したときは、チップの探索に係る探索エリアをその直ぐ外側に位置する探索エリアに移し、探索位置を上記と同様に移動させてチップの探索を引き続いて行う。
【００１０】
なお、つづら折り状の探索とは、特定の１行を一端から他端へ一方向に探索した後、次の行を他端から一端へ逆方向に探索するというように、１行ずつ探索方向を反転させながら連続的に探索を行う手法のことである。
【００１１】
また、探索位置を前記探索開始点から一方向に移動させ、その過程でチップを最初に発見したときは、当該チップの場所を記憶し、その後、チップの同方向の探索が終了したときは、探索位置を最初に発見されたチップの場所に戻し、上記とは反対方向に移動させ、チップの同方向の探索を行うようにすると良い。
【００１２】
さらに、複数の探索エリアの径が複数段階に任意に設定可能にすると良い。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の実施形態に係るチップ探索方法を実施するための探索装置の構成図、図２は探索方法の概略説明図、図３は探索方法の詳細説明図、図４は探索方法の概略手順を示すフローチャート、図５は探索方法の詳細手順を示すフローチャートである。
【００１７】
本発明の実施形態に係るチップ探索方法を実施するには、図１に示すように、円形のステージ１と、その上に設置されたチップ認識カメラ３が使用される。すなわち、従来の自動設定で使用されるウェハ認識カメラ２（図６参照）は不要である。
【００１８】
ステージ１は、Ｘ−Ｙの２方向に駆動される移動ステージである。ステージ１の上には、被探索物であるウェハ１０が載置される。ウェハ１０は多数のチップ１１に分割され、シート上に固定されている。チップ認識カメラ３は、ウェハ１０内の複数個のチップ１１を同時に視野に収めることができる（図７参照）。
【００１９】
本発明の実施形態に係るチップ探索方法では、ウェハ１０の寸法及び形状に関係なくこれを常に含む最大探索エリアを画一的に設定し、更にその内側に半径が異なる複数の探索エリアを同心状に設定する。そして、この最大探索エリア内をコンピュータを用いて次の方法により探索する。
【００２０】
（概略説明）
概略的には、図２及び図４に示すように、探索エリアの中心からチップ１１の探索を開始する（図２（ａ）及び図４のステップ１，２）。この探索には、チップ認識カメラ３により得られる画像データが使用される。最初のチップ１１が発見されるとその位置を記憶する（図４のステップ３，４）。そのままつづら折り状に１行ずつ奥半分のエリアの探索を行う（図２（ｂ）及び図４のステップ５，６）。
【００２１】
奥半分のエリアの探索が終わると、記憶した位置データに基づいて、最初にチップ１１を発見した位置に戻り、反対向きに前半分のエリアを探索する（図２（ｃ）及び図４のステップ７，８，９）。
【００２２】
チップ１１を探索する際の探索開始点については、従来は前述したように、例えばＸ−Ｙ座標が最小となるチップ１１を探し出し、その上で該チップ１１の正確な位置を求め、これを探索開始点とするようなことが行われており、このためにウェハ認識カメラが必要であったが、上記のように、探索エリアの中心を探索開始点とする方法によれば、座標やチップ１１の精密位置を求める必要がないので、ウェハ認識カメラが不要になり、ティーチングも不要てあるので、その探索開始点の設定を簡単かつ経済的に行うことができる。そして、この方法は、探索開始点を探索エリアの中心に設定するため、後述する同心円を用いた探索エリアの設定方法と組み合わせて特に有効である。
【００２３】
（詳細説明）
図３に示すように、最大探索エリアＡの内側に、半径が異なる複数の探索エリアＢ，Ｃ，Ｄが同心円状に設定されている。なお、この探索エリアは、ウェハ１０の大きさ等のチップが配列された部分の大きさに応じた探索エリアとなるように、複数段階に可変とされており、この場合は４段階になっているのである。
【００２４】
探索開始は、最も内側の探索エリアＤ内から行い、好ましくはその中心から行う。コンピュータは、図５に示すように、特定の行を一方向に探索を続ける一方で、探索位置が探索エリアの境界に達したか否かを判断する（ステップ１，２）。探索位置が探索エリアの境界に達すると、その境界が最大探索エリアの外周か否かを判断する（ステップ３）。
【００２５】
探索エリアの境界が最大探索エリアの外周である場合は、折り返して次の行を探索する（ステップ４）。探索エリアの境界が最大探索エリアの外周でない場合は、規定個数分だけ外側の探索エリアを事前探索する（ステップ５）。この事前探索の間にチップ１１を発見した場合は、探索エリアをその外側の探索エリアに広げてそのまま探索を継続する（ステップ６，７）。この事前探索の間にチップ１１を発見しなかった場合は、折り返して次の行を探索する（ステップ４）。このつづら折り状の探索を探索エリア外になるまで行う（ステップ８）。
【００２６】
この探索方法を模式的に示したのが図３（ａ）である。また、ウェハ１０の形状と設定された探索エリアと実際に探索を行うエリアの関係を示したのが図３（ｂ）であり、ハッチングで示された領域が実際に探索を行うエリアである。
【００２７】
図３に示されるように、この探索方法によれば、探索エリアの境界を超えて所定個数分だけ探索を行ったときにチップ１１が発見されなければ、次の行の探索に移行するので、同心円状の探索エリアが画一的に設定されているだけであるにもかかわらず、ウェハ１０の形状に関係なく、漏れのない、しかもロスの少ない探索が選択的に実行される。このため、ウェハ１０ごとに探索エリア（外接円）を設定する必要がなくなり、その設定操作が非常に簡単になる。また、ウェハ認識カメラが不要になることにより、設備も簡略化される。
【００２８】
【発明の効果】
以上に説明した通り、本発明に係るチップ探索方法は、コンピュータを使用してウエハ上に平面的に配列された複数のチップを同時に視野に収めることが可能なチップ認識カメラの出力画像に基づいて探索エリア内の探索位置を移動させてウエハ上のチップを１行ずつつづら折り状に探索する方法において、同心円状に複数の探索エリアを設定しておき、内側の探索エリアより一方向に探索を開始し、その探索中に探索エリアの境界に至ったときは境界を越えて所定個数分だけ外側の探索エリアを探索し、この間にチップを発見しなかった場合は探索方向を折り返して次の行の探索に移行し、チップを発見した場合は探索エリアを１段階広い探索エリアに移してそのままの方向に探索を続けることにより、ティーチング等の複雑な初期設定操作を行うことなく、正確でロスの少ない合理的な探索を行うことができる。また、専用の高価な設備を使用する必要もなく、低コスト化を図ることができる。
【００２９】
複数の探索エリアの径を複数段階に任意に設定可能にしておくと、チップが配列された部分の大きさに応じた探索エリアを設定することができるのでより、確実にチップの探索を行うことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係るチップ探索方法を実施するための探索装置の構成図である。
【図２】同探索方法の概略説明図である。
【図３】同探索方法の詳細説明図である。
【図４】同探索方法の概略手順を示すフローチャートである。
【図５】同探索方法の詳細手順を示すフローチャートである。
【図６】従来の自動設定を用いたチップ探索方法を実施するための探索装置の構成図である。
【図７】ウェハ認識カメラ及びチップ認識カメラが捕らえた画像の模式図である。
【符号の説明】
１  ステージ
２  ウェハ認識カメラ
３  チップ認識カメラ
１０  ウェハ
１１  チップ
【図１】
0003793335.tif 000002
【図２】
0003793335.tif 000003
【図３】
0003793335.tif 000004
【図４】
0003793335.tif 000005
【図５】
0003793335.tif 000006
【図６】
0003793335.tif 000007
【図７】
0003793335.tif 000008