(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送しつつ処理槽内で該基板に所定の処理を施す基板処理装置において、
基板の搬送手段および上記処理槽を収納する本体部分と、電装部品を収納する電装品収納部分とを有し、上記本体部分の上方に空間を隔てて上記電装品収納部分が配設されるとともに、上記本体部分の上部に該本体部分の内部にアクセス可能な開口部が設けられ、この開口部は、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向の略中央を境にして前後両側にそれぞれ設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
上記開口部は、本体部分に回動自在に取付けられた扉により開閉可能とされ、この扉は、装置前後方向にそれぞれ上記開口部を開口するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
処理槽内で該基板に所定の処理を施す基板処理装置において、
上記処理槽を収納する本体部分と、電装部品を収納する電装品収納部分とを有し、上記本体部分の上方に空間を隔てて上記電装品収納部分が配設されるとともに、上記本体部分の上部に該本体部分の内部にアクセス可能な開口部が設けられ、さらに上記電装品収納部分に、上下方向に貫通する気体の通路が設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
基板を搬送しつつ処理槽内で該基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、上記本体部分に基板の搬送手段が収納されていることを特徴とする請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
上記電装品収納部分は、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向に電装部品を引出し可能に構成されていることを特徴とする請求項１，２及び４の何れかに記載の基板処理装置。
【請求項６】
基板に向けて処理液を供給して基板に処理を施す装置であって、上記本体部分にさらに薬液の供給手段が収納されていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の基板処理装置。
【請求項７】
搬送手段により搬送槽内で該基板を搬送する基板搬送装置において、
上記搬送手段および搬送槽を収納する本体部分と、電装部品を収納する電装品収納部分とを有し、上記本体部分の上方に空間を隔てて上記電装品収納部分が配設されるとともに、上記本体部分の上部に該本体部分の内部にアクセス可能な開口部が設けられ、この開口部は、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向の略中央を境にして前後両側にそれぞれ設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項８】
搬送手段により搬送槽内で該基板を搬送する基板搬送装置において、
上記搬送手段および搬送槽を収納する本体部分と、電装部品を収納する電装品収納部分とを有し、上記本体部分の上方に空間を隔てて上記電装品収納部分が配設されるとともに、上記本体部分の上部に該本体部分の内部にアクセス可能な開口部が設けられ、さらに上記電装品収納部分に、上下方向に貫通する気体の通路が設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、プリント基板、半導体ウエハ等の基板に所定の処理を施す基板処理装置およびこの基板処理装置に対して基板を搬入搬出する基板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、液晶表示装置用ガラス基板等の基板処理装置として、ローラコンベア等の搬送手段により基板を搬送しつつ該基板に向けて処理液を供給することにより基板に所定の処理を施すようにした基板処理装置は一般に知られている。
【０００３】
この種の基板処理装置では、処理槽、処理液の給排系統およびコントローラ等の電装部品等が箱型のケーシング内に一体に収納されるようになっており、ケーシング内部のレイアウトは、通常、処理槽の下方にタンクやポンプ等の処理液給排系統が配置され、コントローラ等の電装部品は処理槽の上方に配置されるようになっている。
【０００４】
また、装置上部には、処理槽内にアクセス可能な開口部が設けられ、この開口部を介して作業者が処理槽内のメンテナンスを行い得るようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の基板処理装置では、装置上部にメンテナンス用の開口部が設けられ、またコントローラ等の電装部品が配置されるが、この場合、一般には、開口部を装置前側、すなわち水平面上で基板の搬送方向に直交する装置前後方向であって操作パネル等が配置される側に配置し、電装部品を装置後側に配置している。つまり、装置前側から装置内部に容易にアクセスしてメンテナンス作業を行えるようになっている。
【０００６】
しかし、現実には、装置前側からだけではなく装置後側からの作業が要求される場合もあり、上記のような構成では電装部品の収納部分が邪魔になり装置後側からの作業が行い辛いという問題がある。特に、沢山の電装部品を搭載する装置等では、開口部の後側が電装部品より大きく上方に突出した装置形状となったり、あるいは開口部後側における装置端部までの寸法が長くなる等し、増々装置後側からのメンテナンス作業が行い辛くなる傾向にある。特に、開口部後側における装置端部までの寸法が長くなると、装置の平面的な占有スペースが大きくなるため、これを回避したいという要請もある。
【０００７】
なお、以上は基板処理装置の場合であるが、このような問題は基板処理装置に限られものではなく、処理前後の基板を上記のような基板処理装置に対して搬入搬出する目的で設けられる基板搬送装置においても同様に発生している。
【０００８】
すなわち、この種の基板搬送装置においては、搬送槽、搬送駆動系統およびコントローラ等の電装部品等がケーシング内に一体に収納されるが、ケーシング内部のレイアウトは、一般に、搬送槽の下方に各種駆動系統が配置され、コントローラ等の電装部品は搬送槽の上部に配置される。そのため、基板処理装置の場合同様、搬送槽内にアクセスするための開口部が装置前側に、電装部品がその後側に配置され、これにより装置後側からのメンテナンス作業が行い辛くなるといった問題が生じている。
【０００９】
従って、基板処理装置および基板搬送装置の共通の課題として、装置の前後等を問わず容易に槽内部にアクセスできるようにすることが必要となっている。
【００１０】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、装置の前後を問わず装置内部に容易にアクセスできるようにし、これによりメンテナンス性を向上させることができる基板処理装置および基板搬送装置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、基板を搬送しつつ処理槽内で該基板に所定の処理を施す基板処理装置において、基板の搬送手段および上記処理槽を収納する本体部分と、電装部品を収納する電装品収納部分とを有し、上記本体部分の上方に空間を隔てて上記電装品収納部分が配設されるとともに、上記本体部分の上部に該本体部分の内部にアクセス可能な開口部が設けられ、この開口部は、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向の略中央を境にして前後両側にそれぞれ設けられているものである（請求項１）。
【００１２】
この基板処理装置によれば、メンテナンス時、作業者は本体部分と電装品収納部分との間の空間を介して装置の前後左右のいずれの方向からも開口部を介して本体部分の内部にアクセスして作業を行うことが可能となる。また、電装品収納部分が本体部分の上方に配置されたレイアウト構成となるため、装置の平面的な省スペース化を図ることが可能となる。さらに、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向の略中央を境にして前後両側にそれぞれ開口部が設けられているので、装置前後からの本体部分の内部へのアクセスが行い易くなり、しかも単一の大きな開口部を設ける場合に比べて装置の強度面で有利となる。この場合には、本体部分に回動自在に取付けられた扉により開口部を開閉可能とし、装置前後方向にそれぞれ上記開口部を開口するように扉を構成するようにすればよい（請求項２）。
【００１３】
また、上記課題を解決するために、本発明は、処理槽内で該基板に所定の処理を施す基板処理装置において、上記処理槽を収納する本体部分と、電装部品を収納する電装品収納部分とを有し、上記本体部分の上方に空間を隔てて上記電装品収納部分が配設されるとともに、上記本体部分の上部に該本体部分の内部にアクセス可能な開口部が設けられ、さらに上記電装品収納部分に、上下方向に貫通する気体の通路が設けられているものである（請求項３）。
【００１４】
この基板処理装置によれば、メンテナンス時、作業者は本体部分と電装品収納部分との間の空間を介して装置の前後左右のいずれの方向からも開口部を介して本体部分の内部にアクセスして作業を行うことが可能となる。また、電装品収納部分が本体部分の上方に配置されたレイアウト構成となるため、装置の平面的な省スペース化を図ることが可能となる。なお、この種の装置では通常ダウンフローを形成してパーティクルや気化した処理液成分等の飛散を防止することが行われているが、上記のように、上下方向に貫通する気体の通路が電装品収納部分に設けられている結果、ダウンフローを良好に本体部分に導くことが可能となる。また、採光の面でも有利となる。
【００１５】
この場合、基板を搬送しつつ処理槽内で該基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、上記本体部分に基板の搬送手段が収納されている装置においては（請求項４）、電装部品が装置上部に集中配置されるレイアウト構成となり易いため、このような装置において請求項３の構成を採用すれば、該装置のメンテナンス性が著しく向上する。また、装置の平面的な省スペース化の上でも有利となる。
【００１６】
また、請求項１，２及び４の何れかに記載の装置において、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向に電装部品を引出せるように電装品収納部分を構成すれば（請求項５）、装置前後方向からの電装部品のメンテナンス作業が行い易くなる。
【００１７】
なお、基板に向けて処理液を供給して基板に処理を施す装置であって、上記本体部分にさらに薬液の供給手段が収納されている装置においては（請求項６）、電装部品が装置上部に集中配置されるレイアウト構成となり易いため、このような装置において上記各構成を採用すれば、該装置のメンテナンス性が著しく向上する。また、装置の平面的な省スペース化の上でも有利となる。
【００１８】
また、上記課題を解決するために、本発明は、搬送手段により搬送槽内で該基板を搬送する基板搬送装置において、上記搬送手段および搬送槽を収納する本体部分と、電装部品を収納する電装品収納部分とを有し、上記本体部分の上方に空間を隔てて上記電装品収納部分が配設されるとともに、上記本体部分の上部に該本体部分の内部にアクセス可能な開口部が設けられ、この開口部は、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向の略中央を境にして前後両側にそれぞれ設けられているものである（請求項７）。
【００１９】
この基板搬送装置によれば、メンテナンス時、作業者は本体部分と電装品収納部分との間の空間を介して装置の前後、すなわち基板の搬送経路を挟んでその前後のいずれの方向からも開口部を介して本体部分の内部にアクセスして作業を行うことが可能となる。また、電装品収納部分が本体部分の上方に配置されたレイアウト構成となるため、装置の平面的な省スペース化、特に前後方向の省スペース化を図ることが可能となる。さらに、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向の略中央を境にして前後両側にそれぞれ開口部が設けられているので、装置前後からの本体部分の内部へのアクセスが行い易くなり、しかも単一の大きな開口部を設ける場合に比べて装置の強度面で有利となる。
【００２０】
また、上記課題を解決するために、本発明は、搬送手段により搬送槽内で該基板を搬送する基板搬送装置において、上記搬送手段および搬送槽を収納する本体部分と、電装部品を収納する電装品収納部分とを有し、上記本体部分の上方に空間を隔てて上記電装品収納部分が配設されるとともに、上記本体部分の上部に該本体部分の内部にアクセス可能な開口部が設けられ、さらに上記電装品収納部分に、上下方向に貫通する気体の通路が設けられているものである（請求項８）。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２２】
図１は、本発明に係る基板処理装置を示す概略斜視図である。この図に示す基板処理装置１０は、基板を搬送しつつ該基板に向けて処理液を供給することにより処理を施す装置であって、主に基板に処理を施す部分となる装置本体１２を下方に有し、その上方にコントローラ等の電装部品の一部、あるいは全部を収納するための電装品収納部１４を支柱１６を介して配置した構成となっている。
【００２３】
上記装置本体１２は、同図に示すように箱型のケーシングを有している。ケーシングの内部には、図２に示すように、処理槽２０が設けられ、この処理槽２０の内部にローラコンベア２２が設けられて基板Ｗが搬送されるようになっている。ローラコンベア２２の各ローラ２４は、当装置では、同図に示すように水平面に対してわずかに傾斜して設けられており、これにより基板Ｗが傾斜姿勢で搬送されるようになっている。
【００２４】
処理槽２０内において、ローラコンベア２２による基板Ｗの搬送経路の上下両側には、搬送中の基板Ｗに処理液を吹き付けるための多数のノズル２６ａ，２６ｂが設けられている。これらのノズル２６ａ，２６ｂは、例えば、処理液を円錐状に噴出するいわゆるコーン型のノズルで、装置の前後方向、すなわち基板Ｗの搬送方向と水平面上で直交する方向（図２では左右方向）および基板Ｗの搬送方向に複数並べて設けられている。また、図示していないが、超音波を印加した処理液を基板Ｗに供給する超音波ノズルも処理槽２０内に設けられている。
【００２５】
処理槽２０の上部は上記ケーシングの上部外方に望んでおり、該上部には作業者が槽内にアクセスするための開口部が設けられている。図示の例では、前後方向の略中央を境にして処理槽２０の前後両側にそれぞれ開口部２８ａ，２８ｂが設けられ、このような開口部２８ａ，２８ｂが基板Ｗの搬送方向に所定の間隔で複数形成されている。そして、これらの開口部２８ａ，２８ｂが扉３０ａ，３０ｂにより開閉可能とされ、必要に応じて処理槽２０内を開放し得るようになっている。なお、扉３０ａ，３０ｂは、搬送方向の軸を介して処理槽２０に回動可能に取付けられており、図２の一点鎖線に示すように開かれて、各開口部２８ａ，２８ｂをそれぞれ前後各方向に向かって開口するように構成されている。
【００２６】
上記ケーシング内において、処理槽２０の下方には、処理液を図外のヒータにより温調して貯留するタンク３４、処理液の供給配管３６、処理液の回収配管３８及び図外のポンプ、フィルタ等の処理液の給排系統が配設されており、基板Ｗの処理時には、ポンプ駆動によりタンク３４から供給配管を介してノズル２６ａ，２６ｂに処理液を給送しつつ、処理供した使用済の処理液を回収配管３８を介してタンク３４に戻すことにより処理液を循環使用するようになっている。
【００２７】
一方、上記電装品収納部１４は、同図に示すように、採光およびダウンフローＦを通過させるための上下方向の貫通部４２を有した箱型に形成されている。電装品収納部１４には、それぞれ扉４４ａにより前後方向に向かって開閉可能な収納部４４が区画形成され、これら収納部４４にそれぞれ電装部品４６が収納されている。ここで、電装部品４６としては、処理槽２０に備えられた温調用ヒータや搬送用のローラコンベア２２のドライバと、前記超音波ノズルへ超音波を供給する超音波発振器などがあげられる。
【００２８】
以上のような基板処理装置１０では、図１において装置本体１２の左端面に形成された図外の導入口から基板Ｗが装置本体１２内に導入され、処理槽２０内を右側に向かって搬送されつつノズル２６ａ，２６ｂから噴出される処理液により所定の処理が施された後、装置本体１２の右側端面に形成された導出口１３から導出される。
【００２９】
そして、基板処理装置１０において装置本体内部のメンテナンスが要求される場合には、上記扉３０ａ，３０ｂが開かれ、開口部２８ａ，２８ｂを介して装置本体１２内が開放されることにより作業者によるメンテナンス作業が可能となる。この場合、作業者は、開口部２８ａ，２８ｂを介して作業を行うが、この装置では上記のように電装品収納部１４が装置本体１２の上方に配置されているため、従来のこの種の装置のように電装品収納部分が邪魔となることがなく、作業者は装置の前後を問わず容易に開口部２８ａ，２８ｂを介して装置本体内部にアクセスすることができる。そのため、従来のこの種の装置に比べるとメンテナンス時の作業性を効果的に向上させることができる。
【００３０】
また、電装品収納部１４が装置本体１２の上方に配置されたことにより、基板処理装置１０が前後方向にコンパクト化されるという特徴もあり、多くの電装部品を搭載する必要がある場合、あるいは大型の電装部品を搭載する必要がある場合でも、装置の平面的な大型化を有効に回避することができる。
【００３１】
しかも、電装品収納部１４を装置本体１２の上方に配置しながらも、電装品収納部１４に貫通部４２を設けダウンフローＦを装置本体１２上部に導き得るようにしているので、従来のこの種の装置同様、ダウンフローを有効に作用させて気化した処理液成分やパーティクル等の飛散を防止することができる。
【００３２】
なお、上記実施形態の基板処理装置１０は、本発明に係る基板処理装置の一の実施の形態であって、その具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００３３】
例えば、上記装置本体１２には、前後方向の略中央を境にして処理槽２０の前後両側にそれぞれ開口部２８ａ，２８ｂを設けているが、単一の開口部を設けるようにしてもよい。この場合には、前後方向の軸回りに扉を回動させて開口部を開閉するようにすればよい。なお、開口部２８ａ，２８ｂを開閉する扉３０ａ，３０ｂは、上記のように回動式のものである必要な必ずしもなく、例えば、スライド式のも、折畳式のものであってもかまわない。また、着脱可能な蓋を設けて開口部２８ａ，２８ｂを開閉するようにしてもよい。
【００３４】
また、上記実施の形態では、扉４４ａにより開閉可能な収納部４４を電装品収納部１４に設けるようにしているが、例えば、図３に示すように、前後方向にそれぞれ引出し可能な収納容器４５を電装品収納部１４に設け、該収納容器４５に電装部品４６を収納するようにしてもよい。このようにすれば、電装部品４６の交換等のメンテナンス作業性を向上させることができる。
【００３５】
なお、上記実施の形態は、搬送手段により基板を搬送しつつ所定の処理液を供給して処理を施す基板処理装置に本発明を適用した例であるが、本発明は、必ずしも処理液を供給する装置に限らず、例えば、基板を搬送しつつ基板に対して紫外線を照射する基板処理装置にも適用可能である。また、基板に対して処理を施す基板処理装置に限らず、例えば、そのような基板処理装置に接続されて基板の搬入搬出を行う基板搬送装置にも適用可能である。なお、基板搬送装置は、例えば、上記基板処理装置１０において処理液供給のための部材、つまり、ノズル２６ａ，２６ｂ、タンク３４等の処理液の供給系統を取り除いた構成であり、上記処理槽２０に相当する搬送槽内において基板Ｗを搬送するように構成される。
【００３６】
また、本発明は、必ずしも基板Ｗを搬送しつつ処理を施すものに限らず、例えば、搬送アームやローラコンベア等の搬送手段により搬送されてきた基板Ｗを処理槽内でスピンチャック上に保持して処理液を供給しつつ回転させて洗浄するスピンスクラバや、基板をスピンチャック上に保持して処理液を供給、回転させて塗布するスピンコータのような基板処理装置にも適用可能である。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、基板を搬送しつつ処理槽内で基板に対して所定の処理を施すようにした基板処理装置において、基板の搬送手段および上記処理槽を収納する本体部分の上方に、空間を隔てて電装部品を収納する電装品収納部分を配置するとともに、本体部分の上部に内部にアクセス可能な開口部を設け、さらにこの開口部を、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向の略中央を境にして前後両側にそれぞれ設けるようにしたので、メンテナンス時、従来のこの種の装置のように電装部品の配設部分が邪魔になることがなく、作業者は装置の前後左右を問わず容易に本体部分の内部にアクセスして作業を行うことができる。そのため、従来のこの種の装置に比べるとメンテナンス時の作業性を効果的に向上させることができる。また、電装品収納部分が独立して本体部分の上方に配置されたレイアウト構成となるため、装置の平面的な省スペース化を図ることもできる。さらに装置前後からの本体部分の内部へのアクセスが行い易くなり、しかも単一の大きな開口部を設ける場合に比べて装置の強度面で有利となる。
【００３８】
この場合、開口部を本体部分に回動自在に取付けられた扉により開閉可能とし、装置前後方向にそれぞれ上記開口部を開口するように扉を構成するようにすれば、開口部の開閉を容易に行うことができる。
【００３９】
また、本発明は、処理槽内で該基板に所定の処理を施す基板処理装置において、上記処理槽を収納する本体部分の上方に、空間を隔てて電装部品を収納する電装品収納部分を配置するとともに、本体部分の上部に内部にアクセス可能な開口部を設け、さらに上記電装品収納部分に、上下方向に貫通する気体の通路が設けるようにしたので、上記の装置と同様に、装置の前後左右のいずれの方向からも本体部分の内部にアクセスして作業を行うことが可能となり、また、装置の平面的な省スペース化を図ることが可能となる。その上、上下方向に貫通する気体の通路が電装品収納部分に設けられている結果、ダウンフローを良好に本体部分に導くことが可能となり、また、採光の面でも有利となる。
【００４０】
なお、上記の各装置において、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向に電装部品を引出せるように電装品収納部分を構成するようにすれば、電装部品のメンテナンス作業が行い易くなる。
【００４１】
また、基板に向けて処理液を供給して基板に処理を施す装置であって、上記本体部分にさらに薬液の供給手段が収納されている装置においては、電装部品が装置上部に集中配置されるレイアウト構成となり易いため、このような装置において上記各構成を採用すれば、該装置のメンテナンス性が著しく向上する。
【００４２】
一方、本発明の基板搬送装置は、搬送手段により搬送槽内で該基板を搬送する基板搬送装置において、搬送手段および搬送槽を収納する本体部分の上方に、空間を隔てて電装部品を収納する電装品収納部分を配置するとともに、本体部分の上部に内部にアクセス可能な開口部を設け、さらにこの開口部を、基板の搬送方向と水平面上で直交する装置前後方向の略中央を境にして前後両側にそれぞれ設けるようにしたので、メンテナンス時、従来のこの種の装置のように電装部品の配設部分が邪魔になることがなく、作業者は装置の前後、すなわち基板搬送路の前後を問わず容易に本体部分の内部にアクセスして作業を行うことができる。そのため、従来のこの種の装置に比べるとメンテナンス時の作業性を効果的に向上させることができる。また、電装品収納部分が独立して本体部分の上方に配置されたレイアウト構成となるため、装置の平面的な省スペース化、特に前後方向の省スペース化を図ることができる。さらに、装置前後からの本体部分の内部へのアクセスが行い易くなり、しかも単一の大きな開口部を設ける場合に比べて装置の強度面で有利となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る基板処理装置を示す斜視概略図である。
【図２】  本発明に係る基板処理装置を示す断面略図である。
【図３】  基板処理装置の他の例を示す斜視概略図である。
【符号の説明】
１０  基板処理装置
１２  装置本体
１４  電装品収納部
１６  支柱
２０  処理槽
２２  ローラコンベア
２６ａ，２６ｂ  ノズル
２８ａ，２８ｂ  開口部
３０ａ，３０ｂ  扉
４２  貫通部
４４  収納部
４４ａ  扉
４６電装部品
Ｗ  基板
【図１】
0003774856.tif 000002
【図２】
0003774856.tif 000003
【図３】
0003774856.tif 000004