(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造工程で使用されるガス供給ユニットのマスフローコントローラと、その両側に連設され、互いに離間して配置されている前段モジュール及び後段モジュールとを備え、前記マスフローコントローラの両側に突設された一対の第１の継手のそれぞれが互いに平行に延びる一対のボルト孔を有し、前記前段モジュールに設けられて前記第１の継手の一方に接合される前段第２継手が互いに平行に延びる一対のねじ穴を有し、前記後段モジュールに設けられて前記第１の継手の他方に接合される後段第２継手が互いに平行に延びる一対のねじ穴を有して構成されるガス供給ユニットにおいて、前記前段モジュール及び前記後段モジュールの間に前記マスフローコントローラを取り付ける取付方法であって、
前記前段第２継手及び前記後段第２継手を互いに離間させ、かつ対向させて並べた状態において、前記前段第２継手の一方のねじ穴に第１ガイドロッドを装着し、前記後段第２継手の一方のねじ穴に第２ガイドロッドを装着して、前記第１ガイドロッド及び前記第２ガイドロッドを互いに平行に配置するロッド装着工程と、
前記第１ガイドロッドに、対応する第１の継手の一方のボルト孔を嵌め合わせ、前記第２ガイドロッドに、対応する第１の継手の一方のボルト孔を嵌め合わせ、それら二本のガイドロッドに沿って前記マスフローコントローラを移動させることにより、前記各第１の継手を対応する前記前段第２継手及び前記後段第２継手に接合させて、前記一対のねじ穴を対応する一対のボルト孔と同軸上に配置する継手接合工程と、
前記接合状態において、前記第１の継手の他方のボルト孔にボルトを挿入して合計二本のボルトを前記前段第２継手及び前記後段第２継手のねじ穴に締め付ける第１の締付工程と、
前記締め付け状態において、前記二本のガイドロッドを前記ねじ穴及び前記ボルト孔から取り外すロッド取り外し工程と、
前記取り外し状態において、前記取り外されたボルト孔のそれぞれに別のボルトを挿入して更に合計二本のボルトを前記前段第２継手及び前記後段第２継手のねじ穴に締め付ける第２の締付工程と
を備えたことを特徴とするガス供給ユニットにおけるモジュールの取付方法。
【請求項２】
請求項１に記載の取付方法において、
前記ロッド装着工程で装着される前記二本のガイドロッドを、前記合計四つのねじ穴を四隅として想定される四角形において互いに対角をなす位置のねじ穴に装着することを特徴とするガス供給ユニットにおけるモジュールの取付方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の取付方法で使用される二本のガイドロッドよりなる取付用治具であって、
前記各ガイドロッドは、その先端が先細りのテーパ形状をなし、その基端に前記ねじ穴に締め付けられる雄ねじを有することを特徴とするガス供給ユニットにおけるモジュールの取付用治具。
【請求項４】
請求項３に記載の取付用治具において、
前記各ガイドロッドは、その先端部が樹脂製のキャップであることを特徴とするガス供給ユニットにおけるモジュールの取付用治具。
【請求項５】
請求項３又は請求項４に記載の取付用治具において、
前記二本のガイドロッドは、互いに長さが異なることを特徴とするガス供給ユニットにおけるモジュールの取付用治具。
【請求項６】
請求項３乃至請求項５の一つに記載の取付用治具において、
前記各ガイドロッドは、その先端部の表面に滑り止め用のきざみ目を有することを特徴とするガス供給ユニットにおけるモジュールの取付用治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置等で使用されるガス供給ユニットのモジュール、即ち、マスフローコントローラを含むガス機器に係り、詳しくは、そのモジュールを交換する際に好適なモジュールの取付方法及びその取付用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程においては、数種類の腐食性ガスが使用される。そこで、半導体製造装置には、このような数種類の腐食性ガスを供給するためのガス供給ラインが設けらる。図１６は、この種のガス供給ラインの一部を構成するガス供給ユニットを示す。このガス供給ユニットは、それぞれモジュールであるガス機器としての手動弁１０１、レギュレータ１０２、圧力計１０３、入口開閉弁１０４、マスフローコントローラ（以下「ＭＦＣ」という）１０５、出口開閉弁１０６、パージ弁１０７及びフィルタ１０８を備える。これらのモジュール１０１〜１０８が、ガス流路を含む各配管ブロック１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７に固定され、各配管ブロック１１１〜１１７のガス流路が互いに接続される。これにより、数種類の腐食性ガスを供給するためのガス供給ユニットが構成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のガス供給ユニットでは、図１６に示すように、モジュールの一つであるＭＦＣ１０５が複数（通常「４個」）のボルト１７，１８により配管ブロック１１５，１１６に固定されて取り付けられる。ＭＦＣ１０５は、ガス供給ユニットの中でも他のモジュールと比べ交換頻度の高いものである。ここで、ＭＦＣ１０５を配管ブロック１１５，１１６に取り付けたり、取り外したりするには、作業者がＭＦＣ１０５を手で押さえながら、各ボルト１７，１８を締め付けなければならなかった。
【０００４】
図１６では、ガス供給ユニットが水平に置かれたように示されるが、実際には、垂直に配置された配管ブロック１１５，１１６に取り付けられることが少なくない。この場合、ＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しを作業者１人で行うには、ボルト１７，１８を締める一方で、ＭＦＣ１０５を手で押さえ続けなければならず、困難で時間のかかる作業となった。特に、複数のＭＦＣ１０５が互いに隣接して集積されたユニットでは、尚更のことである。そのような作業の仕方では、取り付けられたＭＦＣ１０５に位置ずれが生じ易くなり、継手にガス漏れが生じる原因にもなった。
【０００５】
ここで、ＭＦＣ１０５を専用の取付用治具（インストーラ）を使用して、取り付け、取り外しを行うことが考えられる。しかしながら、一般にＭＦＣの形状は、各社、各機種、又は各サイズの違いにより異なるものである。しかも、ＭＦＣと隣接する前後のモジュール（即ち、図１６にでは、配管ブロック１１５，１１６に接続される開閉弁１０６及びパージ弁１０７等の集積弁がこれに該当する。）の形状も複数の種類に及ぶ。このため、一種類のインストーラだけでは、各種のＭＦＣ、各種のモジュールに対応して取り付け、取り外しの作業を行うことはできない。このことは、ＭＦＣ１０５に限らず、その他のモジュールについても同様である。
【０００６】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、ガス供給ユニットにおけるモジュールの交換を容易にすると共に、互いに連設されるモジュール相互間の形状の違いに拘わらず汎用的に使用することを可能にしたガス供給ユニットにおけるモジュールの取付方法及びその取付用治具を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、中段モジュールと、その両側に連設される前段モジュール及び後段モジュールとを備え、中段モジュールの両側に突設された一対の第１の継手のそれぞれが互いに平行に延びる一対のボルト孔を有し、前段及び後段のモジュールに設けられて各第１の継手に接合される第２の継手のそれぞれが互いに平行に延びる一対のねじ穴を有して構成されるガス供給ユニットにおいて、前段及び後段のモジュールの間に中段モジュールを取り付ける取付方法であって、二つの第２の継手を互いに対向させて並べた状態において、各第２の継手の一方のねじ穴にガイドロッドを装着して合計二本のガイドロッドを互いに平行に配置するロッド装着工程と、平行な二本のガイドロッドのそれぞれに、対応する第１の継手の一方のボルト孔を嵌め合わせ、それら二本のガイドロッドに沿って中段モジュールを移動させることにより、各第１の継手を対応する第２の継手に接合させて一対のねじ穴を対応する一対のボルト孔と同軸上に配置する継手接合工程と、接合状態において、各第１の継手の他方のボルト孔にボルトを挿入して合計二本のボルトを各第２の継手のねじ穴に締め付ける第１の締付工程と、締め付け状態において、二本のガイドロッドをねじ穴及びボルト孔から取り外すロッド取り外し工程と、取り外し状態において、取り外されたボルト孔のそれぞれに別のボルトを挿入して更に合計二本のボルトを各第２の継手のねじ穴に締め付ける第２の締付工程とを備えたことを趣旨とする。
【０００８】
上記の構成によれば、各第２の継手のねじ穴に二本のガイドロッドを装着するだけで、中間モジュールの取付準備が容易に整う。又、第１の継手の一方のボルト孔を各ガイドロッドに嵌め合わせ、中段モジュールをガイドロッドに沿って移動させるだけで、中段モジュールが目的の位置まで確実に案内されて第１及び第２の継手が互いに確実に接合される。更に、各第１の継手の他方のボルト孔に挿入されたボルトを、対応する第２の継手のねじ穴に締め付けることにより、中間モジュールが前段及び後段のモジュールの間に仮付けされる。この過程で、中間モジュールはガイドロッドに支持される。ガイドロッドの取り外しの際には、中間モジュールが仮付けされていることから、脱落の心配がない。
【０００９】
従って、この取付方法では、取り付けの過程で中間モジュールを手で押さえる必要がなく、ボルトの締め付けが容易になる。この取付方法では、ガイドロッドとボルト孔及びねじ穴との対応関係のみで中段モジュールが支持され、その移動が案内される。このため、各モジュールの外形状等の違いにより、この取付方法の使用が制限されることがない。ここで、上記とは逆の手順に従うことにより、中間モジュールが容易に取り外される。従って、本発明の取付方法は、それ自体、中間モジュールの取り外し方法を潜在的に含むものとなる。
【００１０】
上記の目的を達成するために、請求項２に記載の発明は、請求項１の発明の構成において、中段モジュールをマスフローコントローラとしたことを趣旨とする。
【００１１】
従って、上記の構成によれば、ガス供給ユニットの中でも交換頻度の高いマスフローコントローラにつき、請求項１の発明と同様の作用が得られる。
【００１２】
上記の目的を達成するために、請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２の発明の構成において、ロッド装着工程で装着される二本のガイドロッドを、合計四つのねじ穴を四隅として想定される四角形において互いに対角をなす位置のねじ穴に装着することを趣旨とする。
【００１３】
従って、上記の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の作用に加え、互いに対角をなす位置に配置された二本のガイドロッドにより中間モジュールが支持される。ここで、ガイドロッドと直交する方向において中間モジュールに重力や外力が作用しても、中間モジュールに回転モーメントが加わらず、中間モジュールが安定的に支持される。
【００１４】
上記の目的を達成するために、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請求項３の一つの発明で使用される二本のガイドロッドよりなる取付用治具であって、各ガイドロッドは、その先端が先細りのテーパ形状をなし、その基端にねじ穴に締め付けられる雄ねじを有することを趣旨とする。
【００１５】
従って、上記の構成によれば、ガイドロッド基端の雄ねじを第２の継手のねじ穴に締め付けることにより、ガイドロッドがねじ穴に固定される。継手接合工程においては、第１の継手のボルト孔をガイドロッドに嵌め合わせる際、ガイドロッド先端が先細りのテーパ形状をなすことから、両者の嵌め合わせが容易になる。しかも、治具が、単に二本のガイドロッドによりコンパクトで簡易なものとして構成される。
【００１６】
上記の目的を達成するために、請求項５に記載の発明は、請求項４の発明の構成において、各ガイドロッドは、その先端部が樹脂製のキャップであることを趣旨としている。
【００１７】
従って、上記の構成によれば、請求項４の発明の作用に加え、樹脂製のキャップよりなるガイドロッドの先端部が第１の継手に接触したとしても、その接触は軟らかな当たりとなる。
【００１８】
上記の目的を達成するために、請求項６に記載の発明は、請求項４又は請求項５の発明の構成において、二本のガイドロッドは、互いに長さが異なることを趣旨としている。
【００１９】
上記の構成によれば、請求項４又は請求項５の発明の作用に加え、二本のガイドロッドが対応する第２の継手のねじ穴に固定された状態では、両ガイドロッドの先端は、互いに高さが異なることになる。従って、各ガイドロッドの先端のそれぞれに、対応する第１の継手のボルト孔を嵌め合わせるのに、それを二つ同時に行う必要がない。
【００２０】
上記の目的を達成するために、請求項７に記載の発明は、請求項４乃至請求項６の一つに記載の取付用治具において、各ガイドロッドは、その先端部の表面に滑り止め用のきざみ目を有することを趣旨とする。
【００２１】
上記の構成によれば、請求項４乃至請求項６の一つの発明の作用に加え、各ガイドロッド基端の雄ねじを、対応する第２の継手のねじ穴に締め付けるときには、きざみ目に指を当ててガイドロッドを回すことが可能となり、指を滑らすことがない。
【００２２】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下、本発明のガス供給ユニットにおけるモジュールの取付方法及びその取付用治具を具体化した第１の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】
この実施の形態では、半導体製造装置等で使用されるガス供給ユニットにつき、モジュールの取付方法及びその取付用治具が具体化される。ここでは、ガス供給ユニットとして、従来技術で説明した図１６と同様のものが適用される。このガス供給ユニットは、半導体製造工程において数種類の腐食性ガスを供給するためのガス供給ラインの一部を構成するものである。このガス供給ユニットは、ガス機器、即ち本発明のモジュールとしての手動弁１０１、レギュレータ１０２、圧力計１０３、入口開閉弁１０４、ＭＦＣ１０５、出口開閉弁１０６、パージ弁１０７及びフィルタ１０８を備える。これらモジュール１０１〜１０８が、ガス流路を含む各配管ブロック１１１，１１２，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７に固定される。各配管ブロック１１１〜１１７のガス流路は互いに接続される。この実施の形態では、ＭＦＣ１０５が、上記ユニットに対して取り付け、取り外しされる本発明の中段モジュールに該当する。更に、パージ弁１０７及び出口弁１０６が、それぞれＭＦＣ１０５の両側に連設される本発明の前段モジュール及び後段モジュールに該当する。
【００２４】
図１はＭＦＣ１０５の側面を示し、図２はその底面を示す。ＭＦＣ１０５は、その両側に突設された一対の第１の継手１，２を有する。各継手１，２はその底面をシール面３とし、そのシール面３の中央にガス流路のポート４を有する。このシール面３には、ガスケットリテナ５が装着される。各継手１，２は、ポート５を挟んで互いに平行に延びる一対のボルト孔６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂをそれぞれ有する。各ボルト孔６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂは、雌ねじを持たない貫通孔である。
【００２５】
図３はパージ弁１０７及び出口弁１０６を斜め上方から視た図であり、遠近法により示される。パージ弁１０７に対応して設けられた配管ブロック１１５、及び出口弁１０６に対応して設けられた配管ブロック１１６は、それぞれ側方へ突設され、本発明の第２の継手に該当する。これら各配管ブロック１１５，１１６は、ＭＦＣ１０５を取り付けるために、対応する継手１，２と接合されるものである。これら二つの配管ブロック１１５，１１６は、予め所定距離だけ離れて互いに対向して配置されている。各配管ブロック１１５，１１６はその上面をシール面１１とし、対応する継手１，２のシール面３と接合される。各シール面１１の中央にはガス流路のポート１２が設けられる。各配管ブロック１１５，１１６は、ポート１２を挟んで互いに平行に延びる一対のねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを有する。各ねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂは雌ねじを有するものである。配管ブロック１１５，１１６のポート１２は、対応する継手１，２のポート３に整合するものである。同様に、配管ブロック１１５，１１６のねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂは、対応する継手１，２のボルト孔６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂに整合するものである。
【００２６】
図４はこの実施の形態でＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しのために使用される取付用治具（「インストーラ」とも称する）１５を示す。この治具１５はステンレス鋼よりなる二本のガイドロッド１６よりなる。各ガイドロッド１６は、その先端１６ａが先細りのテーパ形状をなし、その基端には前記ねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂに締め付けられる雄ねじ１６ｂを有する。
【００２７】
次に、上記の取付用治具１５を使用して行われるＭＦＣ１０５の取付方法について、図５〜図１４に従って説明する。ここで、図６，８，１０，１２，１４は前述した図３に準ずるものであり、遠近法により示される。
【００２８】
先ず、図５，６に示すように、ロッド装着工程では、互いに対向して配置された二つの配管ブロック１１５，１１６において、一方のねじ穴１３ａ，１４ｂにガイドロッド１６の雄ねじ１６ｂを締め付けて装着し、合計二本のガイドロッド１６を互いに平行に配置する。この実施の形態では、合計四つのねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを四隅として想定される四角形において、互いに対角をなす位置のねじ穴１３ａ，１４ｂに二本のガイドロッド１６を装着している。
【００２９】
次に、図７，８に示すように、継手接合工程では、平行な二本のガイドロッド１６のそれぞれに、対応する継手１，２の一方のボルト孔６ａ，７ｂを嵌め合わせることにより、ＭＦＣ１０５を両ガイドロッド１６に装着する。そして、それらガイドロッド１６に沿ってＭＦＣ１０５を移動させることにより、各継手１，２を対応する配管ブロック１１５，１１６に接合させる。これにより、一対のねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂが、対応する一対のボルト孔６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂと同軸上に配置される。
【００３０】
次に、図９，１０に示すように、第１の締付工程では、上記のように継手１，２及び配管ブロック１１５，１１６を互いに接合させた状態において、各継手１，２の他方のボルト孔６ｂ，７ａにボルト１７を挿入して合計二本のボルト１７を各配管ブロック１１５，１１６のねじ穴１３ｂ，１４ａに締め付ける。
【００３１】
次に、図１１，１２に示すように、ロッド取り外し工程では、上記のように二本のボルト１７を締め付けた状態において、二本のガイドロッド１６をねじ穴１３ａ，１４ｂ及びボルト孔６ａ，７ｂから取り外す。
【００３２】
次に、図１３，１４に示すように、第２の締付工程では、上記のようにガイドロッド１６を取り外した状態において、取り外されたボルト孔６ａ，７ｂのそれぞれに別のボルト１８を挿入して更に合計二本のボルト１８を各配管ブロック１１５，１１６の他方のねじ穴１３ａ，１４ｂに締め付ける。
【００３３】
その後、各ボルト１７，１８を規定のトルクで最後に締め付けることにより、両配管ブロック１１５，１１６に対するＭＦＣ１０５の取り付けを完了する。
【００３４】
ここでは、上記のような取り付け状態から、ＭＦＣ１０５を取り外すには、上記各工程を逆の順序で進めればよい。従って、この取付方法は、それ自体、ＭＦＣ１０５の取り外し方法を潜在的に含むものと言える。
【００３５】
以上説明したように、本実施の形態の取付方法によれば、ロッド装着工程において、各配管ブロック１１５，１１６のねじ穴１３ａ，１４ｂに二本のガイドロッド１６を単に装着するだけで、ＭＦＣ１０５の取付準備が容易に整えられる。
【００３６】
その後、継手接合工程では、各継手１，２の一方のボルト孔６ａ，７ｂを各ガイドロッド１６に嵌め合わせるだけで、ＭＦＣ１０５が両ガイドロッド１６に支持される。そして、ＭＦＣ１０５をガイドロッド１６に沿って移動させるだけで、ＭＦＣ１０５が目的の位置まで確実に案内され、同位置において継手１，２及び配管ブロック１１５，１１６が互いに確実に接合される。
【００３７】
そして、第１の締付工程では、各継手１，２の他方のボルト孔６ｂ，７ａに挿入されたボルト１７を、対応する配管ブロック１１５，１１６のねじ穴１３ａ，１４ｂに締め付けるだけで、ＭＦＣ１０５がパージ弁１０７及び出口開閉弁１０６の間で配管ブロック１１５，１１６に仮付けされる。この過程で、ＭＦＣ１０５は二本のガイドロッド１６に支持される。
【００３８】
更に、ロッド取り外し工程では、両ガイドロッド１６が取り外されるが、このとき、ＭＦＣ１０５は仮付けされていることから、脱落の心配はない。
【００３９】
従って、この取付方法では、ＭＦＣ１０５の取り付けの過程で、作業者がＭＦＣ１０５を手で押さえる必要がなく、ボルト１７，１８の締め付けに専念することができ、ボルト１７，１８の締め付けが容易になる。このため、ガス供給ユニットにおけるＭＦＣ１０５の交換作業を容易にすることができる。
【００４０】
この取付方法では、ガイドロッド１６とボルト孔６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ及びねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂとの対応関係のみでＭＦＣ１０５が支持され、その移動が案内される。このため、パージ弁１０７、出口開閉弁１０６及びＭＦＣ１０５の外形状等の違いにより、この取付方法の使用が制限されることがない。即ち、ＭＦＣ１０５の形状、或いは、それに隣接する各弁１０７，１０６の形状が、各社、各機種、又は各サイズの違いにより異なっても、一種類の取付用治具１５を使用するだけで、ガス供給ユニットの中でも交換頻度の高い各種のＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しを容易にすることができる。換言すると、互いに連設されるモジュール相互の形状等の違いに拘わりなく、この取付方法及び取付用治具１５を汎用的に使用に共することができる。
【００４１】
この実施の形態によれば、互いに対角をなす位置に配置された二本のガイドロッド１６によりＭＦＣ１０５が支持される。ここで、ガイドロッド１６と直交する方向においてＭＦＣ１０５に重力や外力が作用しても、ＭＦＣ１０５に回転モーメントが加わらず、ＭＦＣ１０５が安定的に支持される。この意味でも、ＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しを容易なものにすることができる。
【００４２】
この実施の形態によれば、ロッド装着工程において、ガイドロッド１６の基端の雄ねじ１６ｂを配管ブロック１１５，１１６のねじ穴１３ａ，１４ｂに締め付けることにより、ガイドロッド１６がねじ穴１３ａ，１４ｂに固定される。更に、継手接合工程においては、継手１，２のボルト孔６ａ，７ｂをガイドロッド１６に嵌め合わせる際、ガイドロッド１６の先端１６ａが先細りのテーパ形状をなすことから、両者の嵌め合わせが容易になる。この意味でも、ＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しを容易なものにすることができる。
【００４３】
この実施の形態によれば、取付用治具１５が単に二本のガイドロッド１６よりなることから、治具１５がコンパクトで簡易なものとして構成される。このため、治具１５を安価に製造することができる。しかも、治具１５のための収容スペースが極めて小さくて済み、その治具１６を工具箱等に簡単に収容することができるようになる。
【００４４】
［第２の実施の形態］
次に、本発明のガス供給ユニットにおけるモジュールの取付方法及びその取付用治具を具体化した第２の実施の形態を図面に従って説明する。この実施の形態では、取付用治具２５の構成のみについて、前記第１の実施の形態の構成と異なる。従って、以下には、両者の違いを中心に説明し、同一の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
【００４５】
図１５はこの実施の形態でＭＦＣ１０５の取り付け、取り外しのために使用される取付用治具２５を示す。この治具２５は、ステンレス鋼よりなる二本のガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓよりなる。各ガイドロッド１６は、その先端１６ａが先細りのテーパ形状をなし、その基端には前記ねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂに締め付けられる雄ねじ１６ｂを有する。
【００４６】
この実施の形態において、二本のガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓは、互いに長さが異なる。各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓは、その先端部が樹脂製のキャップ１９をなしている。このキャップ１９は、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端においてステンレス鋼で一体成形された突起１６ｃに対し、冠着されたものである。更に、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓは、その先端部の表面、即ち、キャップ１９に隣接する表面に、滑り止め用のきざみ目２０をそれぞれ有する。このきざみ目２０は、一般に「ローレット切り」と称する旋盤作業により金属棒の表面に横又は斜めに付けられる滑り止めである。
【００４７】
上記の取付用治具２５は、前記実施の形態と同じようにＭＦＣ１０５の取付方法に使用される。この治具２５を使用した場合、ロッド装着工程等においては、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの雄ねじ１６ｂを、対応する配管ブロック１１５，１１６の各ねじ穴１３ａ，１４ｂに締め付ける。このとき、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端部のきざみ目２０に指を当てて各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓを回すことが可能となり、指を滑らすことがない。この結果、ロッド装着工程の作業を確実なものにすることができ、その作業効率を向上させることができる。
【００４８】
上記の治具２５を使用した場合、ロッド装着工程の後に、異なる長さの二本のガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓがそれぞれ配管ブロック１１５，１１６の各ねじ穴１３ａ，１４ｂに固定された状態では、それらの先端は互いに高さの異なる状態で配置されることになる。従って、継手接合工程においては、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端のそれぞれに、対応する継手１，２のボルト孔６ａ，７ｂを嵌め合わせるのに、その嵌め合わせを二つ同時に行う必要がない。つまり、長い方のガイドロッド１６Ｌの先端を、最初に一方のボルト孔６ａ，７ｂにある程度嵌め合わせた後、短い方のガイドロッド１６Ｓの先端を他方のボルト孔６ａ，７ｂに嵌め合わせばよい。この意味で、継手接合工程の作業を容易なものにすることができ、その作業効率を向上させることができるようになる。
【００４９】
上記の治具２５を使用した場合、継手装着工程等においては、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端部が、万が一、継手１，２のシール面に接触したとしても、その先端部が樹脂製のキャップ１９であることから、その接触は軟らかな当たりとなる。このため、ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓとの接触が原因で各継手１，２のシール面が損傷を受けることを未然に防止することができる。
【００５０】
尚、この発明は前記各実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で以下のように実施することができる。以下に示す別の実施の形態でも、前記実施の形態と同様の作用及び効果を得ることができる。
【００５１】
（１）前記各実施の形態では、取り付け、取り外しされる中間モジュールをＭＦＣ１０５としたが、中間モジュールをＭＦＣ１０５以外のガス機器としてもよい。つまり、前記実施の形態と同様に、前段及び後段のモジュールの間に対して取り付け、取り外しされる中間モジュールであれば、ＭＦＣに限られるものではない。必要に応じて各種モジュールに適用することができる。
【００５２】
（２）前記各実施の形態では、二本のガイドロッド１６を、合計四つのねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを四隅として想定される四角形において互いに対角をなす位置のねじ穴１３ａ，１４ｂに装着するようにした。これに対して、二本のガイドロッド１６を、合計四つのねじ穴１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを四隅として想定される四角形において互いに隣接する角をなす位置のねじ穴１３ａ，１４ａ、或いはねじ穴１３ｂ，１４ｂに装着するようにしてもよい。
【００５３】
（３）前記各実施の形態では、各ガイドロッド１６の先端を先細りのテーパ状に形成したが、単位通直な先端としてもよい。
【００５４】
（４）前記第２の実施の形態では、二本のガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓを互いに異なる長さにすることと、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端を樹脂製のキャップ１９にすることと、各ガイドロッド１６Ｌ，１６Ｓの先端に滑り止め用のきざみ目２０を設けることとを互いに組み合わせて採用した。これに対して、これらの構成のうち、少なくとも一つを採用するようにしてもよい。
【００５５】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明の構成によれば、前段及び後段のモジュールの第２の継手に平行に配置された二本のガイドロッドに沿って中段モジュールを移動させ、第１及び第２の継手を互いに接合させる。そして、二本のボルトにより第１及び第２の継手を互いに締め付け、二本のガイドロッドを取り外した後に更に別の二本のボルトにより第１及び第２の継手を締め付けるようにしている。
従って、中間モジュールを手で押さえる必要がなく、ボルトの締め付けが容易になる。ガイドロッドのみで中段モジュールが支持され、案内されることから、各モジュール形状の違いによりその取付方法の使用が制限されることはない。このため、ガス供給ユニットにおけるモジュールの交換を容易にすることができ、モジュール相互間の形状の違いに拘わりなくこの取付方法を汎用的に使用することができるという効果を発揮する。
【００５６】
請求項２に記載の発明の構成によれば、請求項１の発明の構成において、中段モジュールをマスフローコントローラとしている。従って、ガス供給ユニットの中でも交換頻度の高いマスフローコントローラにつき、請求項１の発明と同様の作用及び効果を得ることができる。
【００５７】
上記請求項３に記載の発明の構成によれば、請求項１又は請求項２の発明の構成において、二本のガイドロッドを、互いに対角をなす位置のねじ穴に装着するようにしている。
従って、請求項１又は請求項２の発明の作用及び効果に加え、中間モジュールに回転モーメントが加わらず、中間モジュールが安定的に支持される。この意味で、請求項１又は請求項２の発明に比べ、モジュールの交換を更に容易なものにすることができるという効果を発揮する。
【００５８】
請求項４に記載の発明の構成によれば、請求項１乃至請求項３の一つの発明で使用される二本のガイドロッドを取付用治具とし、各ガイドロッドの先端を先細りのテーパ形状とし、その基端をねじ穴に締め付けられる雄ねじとしている。
従って、請求項１乃至請求項３の一つの発明の作用及び効果に加え、ガイドロッドの雄ねじが第２の継手に締め付け固定され、ボルト孔とガイドロッドとの嵌め合わせが先細りの先端によって容易になる。この意味でも、中間モジュールの取り付け、取り外しを容易なものにすることができる。更に、治具が単に二本のガイドロッドによりコンパクトで簡易なものとして構成されることから、治具を安価に製造することができ、工具箱等に簡単に収容させることができるという効果を発揮する。
【００５９】
請求項５に記載の発明の構成によれば、請求項４の発明の構成において、各ガイドロッドの先端部を樹脂製のキャップとしている。従って、請求項４の発明の作用及び効果に加え、ガイドロッドの先端部が第１の継手に接触しても、軟らかな当たりとなり、第１の継手のシール面の損傷を未然に防止することができるという効果を発揮する。
【００６０】
請求項６に記載の発明の構成によれば、請求項４又は請求項５の発明の構成において、二本のガイドロッドの長さを互いに異ならせている。従って、上記各発明の作用及び効果に加え、両ガイドロッドの先端に対応する第１の継手のボルト孔を嵌め合わせる際、その嵌め合わせを二つ同時に行う必要がない。この意味で、継手接合工程の作業を容易なものにすることができ、作業効率を向上させることができるという効果を発揮する。
【００６１】
請求項７に記載の発明は、請求項４乃至請求項６の一つの発明の構成において、各ガイドロッドの先端部の表面に滑り止め用のきざみ目を設けている。従って、上記各発明の作用及び効果に加え、各ガイドロッド基端の雄ねじを第２の継手のねじ穴に締め付ける際、きざみ目に指を当ててガイドロッドを回すことが可能となり、指を滑らすことがない。この結果、ロッド装着工程の作業を確実なものにすることができ、作業効率を向上させることができるという効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係り、ＭＦＣを示す側面図である。
【図２】同じく、ＭＦＣの底面側を示す斜視図である。
【図３】同じく、パージ弁及び出口弁を斜め上方から視たところを示す斜視図である。
【図４】同じく、ＭＦＣの取付用治具を示す平面図である。
【図５】同じく、ロッド装着工程でのガス供給ユニットの一部を示す側面図である。
【図６】同じく、ロッド装着工程でのガス供給ユニットの一部を示す斜視図である。
【図７】同じく、継手接合工程でのガス供給ユニットの一部を示す側面図である。
【図８】同じく、継手接合工程でのガス供給ユニットの一部を示す斜視図である。
【図９】同じく、第１の締付工程でのガス供給ユニットの一部を示す側面図である。
【図１０】同じく、第１の締付工程でのガス供給ユニットの一部を示す斜視図である。
【図１１】同じく、ロッド取り外し工程でのガス供給ユニットの一部を示す側面図である。
【図１２】同じく、ロッド取り外し工程でのガス供給ユニットの一部を示す斜視図である。
【図１３】同じく、第２の締付工程でのガス供給ユニットの一部を示す側面図である。
【図１４】同じく、第２の締付工程でのガス供給ユニットの一部を示す斜視図である。
【図１５】第２の実施の形態に係り、ＭＦＣの取付用治具を示す平面図である。
【図１６】従来例及び各実施の形態に係り、ガス供給ユニットを示す側面図である。
【符号の説明】
１    第１の継手
２    第１の継手
６ａ  ボルト孔
６ｂ  ボルト孔
７ａ  ボルト孔
７ｂ  ボルト孔
１３ａ  ねじ穴
１３ｂ  ねじ穴
１４ａ  ねじ穴
１４ｂ  ねじ穴
１５    取付用治具
１６    ガイドロッド
１６ａ  先端
１６ｂ  雄ねじ
１７    ボルト
１８    ボルト
１９    樹脂製のキャップ
２０    きざみ目
２５    取付用治具
１０５    マスフローコントローラ（ＭＦＣ：中段モジュールを構成する）
１０６    出口開閉弁（後段モジュールを構成する）
１０７    パージ弁（前段モジュールを構成する）
１１５    配管ブロック（第２の継手を構成する）
１１６    配管ブロック（第２の継手を構成する）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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