(57)【要約】  処理工程や装置構成を簡素化することができ、アルミニウム板材が薄板化や高平坦化されている場合や、アルミニウム板材の外径が変更された場合でも、積重体からアルミニウム板材を容易且つ確実に剥離することができ、更には環境負荷が極めて小さく且つ実施環境の自由度が高いアルミニウム板材の剥離装置及びアルミニウム板材の剥離方法を提供する。  アルミニウム板材の剥離装置（１）は、複数のアルミニウム板材（１０１，１０１，・・・）が加圧焼鈍されて密着したアルミニウム板材の積重体（１００）から、１又は複数のアルミニウム板材を剥離することが可能に構成されている。この剥離装置（１）は、アルミニウム板材（１０１）の外周面（１０１ａ）に当接可能に構成され、積重体（１００）の積重方向Ｌに沿う振動Ｖをアルミニウム板材（１０１）に付与可能に構成された振動伝達部（２）と、振動Ｖを発生して、該振動Ｖを振動伝達部（２）に伝達する振動子（３）とを備える。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のアルミニウム板材が加圧焼鈍されて密着したアルミニウム板材の積重体から、１又は複数のアルミニウム板材を剥離することが可能に構成されたアルミニウム板材の剥離装置であって、
前記アルミニウム板材の外周面に当接可能に構成され、前記積重体の積重方向に沿う振動を前記アルミニウム板材に付与可能に構成された振動伝達部と、
前記振動伝達部に接続され、前記振動を発生して、該振動を前記振動伝達部に伝達する振動子と、
を備えること特徴とする、アルミニウム板材の剥離装置。
【請求項２】
前記振動伝達部と前記アルミニウム板材とを相対移動可能に構成された移動機構を更に備える、請求項１記載のアルミニウム板材の剥離装置。
【請求項３】
前記振動伝達部は、前記アルミニウム板材の外周面のうち、前記アルミニウム板材の板厚方向端面から50um以上板厚中心側の位置に当接する、請求項１又は２記載のアルミニウム板材の剥離装置。
【請求項４】
前記積重体は、前記複数のアルミニウム板材が鉛直方向に沿って積み重ねて配置され、
前記振動伝達部が、前記アルミニウム板材の外周面のうち、前記アルミニウム板材の板厚方向上端面から50um以上板厚中心側であって且つ前記アルミニウム板材の板厚方向の中心位置よりも上方の位置に当接する、請求項３記載のアルミニウム板材の剥離装置。
【請求項５】
前記振動伝達部は、前記積重体の最外部に位置する１つのアルミニウム板材の外周面に当接する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のアルミニウム板材の剥離装置。
【請求項６】
複数のアルミニウム板材が加圧焼鈍されて密着したアルミニウム板材の積重体から、１又は複数のアルミニウム板材を剥離するアルミニウム板材の剥離方法であって、
前記アルミニウム板材の外周面に、前記積重体の積重方向に沿う振動を付与することを特徴とする、アルミニウム板材の剥離方法。
【請求項７】
前記アルミニウム板材の外周面のうち、前記アルミニウム板材の板厚方向端面から50um以上板厚中心側の位置に、前記振動を付与する、請求項６記載のアルミニウム板材の剥離方法。
【請求項８】
前記積重体を、前記複数のアルミニウム板材が鉛直方向に沿って積み重ねて配置し、
前記アルミニウム板材の外周面のうち、前記アルミニウム板材の板厚方向側端面から50um以上板厚中心側であって且つ前記アルミニウム板材の板厚方向の中心位置よりも上方の位置に、前記振動を付与する、請求項７記載のアルミニウム板材の剥離方法。
【請求項９】
前記積重体の最外部に位置する１つのアルミニウム板材の外周面に、前記振動を付与する、請求項６乃至８のいずれか１項に記載のアルミニウム板材の剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積み重ねられた複数のアルミニウム板材が加圧焼鈍されて密着したアルミニウム板材の積重体から、各アルミニウム板材を剥離するアルミニウム板材の剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、磁気ディスク用アルミニウム基板などのアルミニウム板材は、その平面度を確保するために加圧焼鈍により平面度の矯正を行っている。平面度の矯正処理は、複数のアルミニウム板材を積み重ねて加圧した状態で行い、加圧焼鈍の終了後に、アルミニウム板材の積重体からアルミニウム板材を一枚ずつ剥離している。【０００３】
一方で、加圧焼鈍終了後のアルミニウム板材の積重体は、各アルミニウム板材同士が密着している。加圧焼鈍終了後のアルミニウム板材の積重体から、アルミニウム板材を一枚ずつ剥離しようとしても、人の手では容易に剥離できない。【０００４】
そこで、加圧焼鈍されて密着したアルミニウム板材の積重体からアルミニウム板材を一枚ずつ剥離するために、アルミニウム板材に超音波を付与する方法が提案されている。例えば、ブランク材などの単板が密着された積層体を液体中に浸漬した状態で上記液体に超音波振動を与えることにより、互いに密着していた単板を振動により剥離する方法が提案されている（特許文献１）。【０００５】
また、超音波を付与する他の方法として、加圧焼鈍により互いに密着した状態で隣接するアルミディスクの面取り部で形成される溝に、先端がその溝に入るクサビ部となっている振動子を押し当て、上記振動子に超音波振動を与えることで、密着したアルミディスクを剥離する方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平３−２８８７４２号公報
【特許文献２】特開昭６２−２７８２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１の技術では、超音波振動を伝達する媒体としてフロン−１１３（クロロフルオロカーボン）などの液体を介してアルミニウム板材を剥離するため、アルミニウム板材の浸漬工程及び乾燥工程等が必要となり、剥離処理のための工程が複雑であるという問題がある。また、使用済みの液体を処理する排液処理が必要であることから、煩雑な処理を伴い、環境負荷も大きい。更に、アルミニウム板材の浸漬工程及び乾燥工程を実行するためのそれぞれの装置を設置しなければならず、装置構成が複雑化すると共に、設置スペースが制限される。また、水槽内のアルミニウム板材すべてがほぼ同時に剥離するため、水槽内でアルミニウム板材同士が接触し、表面に傷が発生するおそれがあった。【０００８】
また、上記特許文献２の技術では、半円弧状の一対の振動子をアルミニウム板材の両側から挟み込むように配置し、上記一対の振動子に超音波振動を付与するため、仕様変更などに伴ってアルミニウム板材の外径が変更されると、その都度一対の振動子を交換しなければならず、煩雑である。また、超音波振動の方向が基板の表面に平行な方向のため、剥離した後のアルミニウム板材同士が擦れ表面に傷が付くおそれがあった。また、平坦化されたアルミニウム板材の外周部に形成された溝に一対の振動子のクサビ部全体を挿入するため、クサビ部全体がほぼ同一面上に形成されている必要があり、寸法精度が要求されると共に、経年変化によって寸法変化が生じた場合には溝にクサビ部全体を挿入することができず、アルミニウム板材を十分に剥離できるとは言えない。特に近年、磁気ディスクの大容量化に伴い、アルミニウム板材が薄板化していると共に更なる平坦化が求められており、より平坦化されたアルミニウム板材間の界面ではその密着力が増大することから、従来と比較してアルミニウム板材のより確実な剥離が求められている。【０００９】
本発明は、処理工程や装置構成を簡素化することができ、アルミニウム板材が薄板化や高平坦化されている場合や、アルミニウム板材の外径が変更された場合でも、積重体からアルミニウム板材を容易且つ確実に剥離することができ、また基板の表面に傷がつきにくく更には環境負荷が極めて小さく且つ実施環境の自由度が高いアルミニウム板材の剥離装置及びアルミニウム板材の剥離方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
［１］複数のアルミニウム板材が加圧焼鈍されて密着したアルミニウム板材の積重体から、１又は複数のアルミニウム板材を剥離することが可能に構成されたアルミニウム板材の剥離装置であって、
前記アルミニウム板材の外周面に当接可能に構成され、前記積重体の積重方向に沿う振動を前記アルミニウム板材に付与可能に構成された振動伝達部と、
前記振動伝達部に接続され、前記振動を発生して、該振動を前記振動伝達部に伝達する振動子と、
を備えること特徴とする、アルミニウム板材の剥離装置。
［２］前記振動伝達部と前記アルミニウム板材とを相対移動可能に構成された移動機構を更に備える、上記［１］記載のアルミニウム板材の剥離装置。
［３］前記振動伝達部は、前記アルミニウム板材の外周面のうち、前記アルミニウム板材の板厚方向端面から50um以上板厚中心側の位置に当接する、上記［１］又は［２］記載のアルミニウム板材の剥離装置。
［４］前記積重体は、前記複数のアルミニウム板材が鉛直方向に沿って積み重ねて配置され、
前記振動伝達部が、前記アルミニウム板材の外周面のうち、前記アルミニウム板材の板厚方向上端面から50um以上板厚中心側であって、且つ前記アルミニウム板材の板厚方向中心位置よりも上方の位置に当接する、上記［３］記載のアルミニウム板材の剥離装置。
［５］前記振動伝達部は、前記積重体の最外部に位置する１つのアルミニウム板材の外周面に当接する、上記［１］乃至［４］のいずれかに記載のアルミニウム板材の剥離装置。
［６］複数のアルミニウム板材が加圧焼鈍されて密着したアルミニウム板材の積重体から、１又は複数のアルミニウム板材を剥離するアルミニウム板材の剥離方法であって、
前記アルミニウム板材の外周面に、前記積重体の積重方向に沿う振動を付与することを特徴とする、アルミニウム板材の剥離方法。
［７］前記アルミニウム板材の外周面のうち、前記アルミニウム板材の板厚方向端面から50um以上板厚中心側の位置に、前記振動を付与する、上記［６］記載のアルミニウム板材の剥離方法。
［８］前記積重体を、前記複数のアルミニウム板材が鉛直方向に沿って積み重ねて配置し、
前記アルミニウム板材の外周面のうち、前記アルミニウム板材の板厚方向端面から50um以上板厚中心側であって且つ前記アルミニウム板材の板厚方向の中心位置よりも上方の位置に、前記振動を付与する、上記［７］記載のアルミニウム板材の剥離方法。
［９］前記積重体の最外部に位置する１つのアルミニウム板材の外周面に、前記振動を付与する、上記［６］乃至［８］のいずれかに記載のアルミニウム板材の剥離方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、アルミニウム板材の外周面に、積重体の積重方向に沿う振動を付与するので、アルミニウム板材が薄板化や高平坦化されている場合やアルミニウム板材の外径が変更された場合であっても、当該アルミニウム板材と積重体との間の界面にこれらを離間させるのに十分な剥離力を容易に発生させることができ、積重体から１又は複数のアルミニウム板材を確実に剥離することができる。また、アルミニウム板材の浸漬や乾燥が不要であるので、剥離処理のための工程が簡素化され、また、使用済みの液体を処理する排液処理も不要であるため、煩雑な処理を伴うことが無く、環境負荷も極めて小さい。更に、振動子がアルミニウム板材の外周面に当接可能な構造、形状であればよく、また、その他の特別な装置等を要しないため、装置構成を簡素化することができ、実施環境の自由度を高くすることができる。さらには剥離後の超音波振動の方向も基板の主面を剥離する方向であるため表面に傷がつきにくい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係るアルミニウム板材の剥離装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態に係るアルミニウム板材の剥離方法を説明するための図である。
【図３】（ａ）〜（ｂ）は、図２のアルミニウム板材の剥離方法の変形例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態に係るアルミニウム板材の剥離装置の構成を概略的に示す図であり、図１（ａ）はアルミニウム板材の剥離装置の全体図、図１（ｂ）は後述する振動伝達部２の平面図を示す。尚、図１はアルミニウム板材の剥離装置の構成の一例を示すものであり、本発明のアルミニウム板材の剥離装置の構成は、図１に示すものに限られない。
【００１４】
同図に示すように、アルミニウム板材の剥離装置１は、複数のアルミニウム板材１０１，１０１，・・・が加圧焼鈍されて密着したアルミニウム板材の積重体１００から、１又は複数のアルミニウム板材を剥離することが可能に構成されている。具体的には、アルミニウム板材の剥離装置１は、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接可能に構成され、積重体１００の積重方向Ｌに沿う振動Ｖをアルミニウム板材１０１に付与可能に構成された振動伝達部２と、振動伝達部２と接続され、振動Ｖを発生して、該振動Ｖを振動伝達部２に伝達する振動子３とを備える。
【００１５】
また、剥離装置１は、振動伝達部２とアルミニウム部材１０１とを相対移動可能に構成された移動機構４を備えている。移動機構４は、振動伝達部２をアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに対して移動可能に構成された第１移動装置４１を備える。第１移動装置４１は、例えば、筐体４１ａと、筐体４１ａに固定され、積重方向Ｌに対して垂直な方向に伸縮するシリンダ４１ｂと、シリンダ４１ｂに固定されると共に、振動子３を支持する支持部４１ｃとを有する。シリンダ４１ｂの伸縮により、振動伝達部２を積重方向Ｌに対して垂直な方向に移動して、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに振動伝達部２を当接或いは押し当てることで、振動伝達部２の振動Ｖがアルミニウム板材１０１に付与される。積重体１００から１つのアルミニウム板材を剥離する場合、振動伝達部２は、積重体１００の最外部（最上部）に位置する１つのアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接される。
【００１６】
また、移動機構４は、アルミニウム板材１０１を振動伝達部２に対して移動可能に構成された第２移動装置４２を備えている。第２移動装置４２は、例えば、アルミニウム板材１０１或いは積重体１００を保持する保持部４２ａと、保持部４２ａに保持されたアルミニウム板材１０１を振動伝達部２に対して移動可能に構成されたアクチュエータ４２ｂとを有する。アクチュエータ４２ｂは、保持部４２ａを積重方向Ｌに移動可能に構成されている。
このように、移動機構４では、第１移動装置４１と第２移動装置４２とが協働して、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａの任意の位置に振動伝達部２を当接させることが可能となっている。
【００１７】
振動伝達部２は、例えば端部２ａを有する長尺状の部材であり、アルミニウム板材１０１に振動Ｖを付与する際に、端部２ａがアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接する。端部２ａは、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａを傷付けるのを防止する観点から、外周面１０１ａ側に向かって膨らんだ曲面を有する凸状部であるのが好ましい。
【００１８】
振動子３の振動Ｖは、特に制限はないが、例えば、数千回／分以下の振動、音波領域内での高速の微小振動（２０〜２０ｋＨｚ）、或いは超音波振動（２０ｋＨｚ超え）である。また、音波領域での高速の微小振動或いは超音波振動である場合、その出力は、例えば１００Ｗ以上３００Ｗ以下である。
【００１９】
振動子３は、積重体１００の積重方向Ｌに沿う振動Ｖをアルミニウム板材１０１に発生させることができればその構成に制限は無いが、例えば駆動モータや、又は音波或いは超音波を発生する発振子を有する。また、振動子３は、振動伝達部２と連結部材を介して連結されており、振動子３で発生した振動を振動伝達部２に直接的に伝達可能に構成されている。
【００２０】
図２（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態に係るアルミニウム板材の剥離方法を説明するための図である。図２によって説明されるアルミニウム板材の剥離方法は、例えば、図１のアルミニウム板材の剥離装置１によって実行される。但し、図２で説明するアルミニウム板材の剥離方法は、その一例を示すものであり、本発明のアルミニウム板材の剥離方法は、図１に示すものに限られない。
【００２１】
先ず、図２（ａ）に示すように、下定盤１０２上に複数のアルミニウム板材１０１，１０１，・・・を所定枚積み重ねて積重体１００を形成し、仕切り板１０３を介して更に積重体１００を形成し、その上に上定盤１０４及び錘１０５を載置して、積重体１００，１００を加圧する。アルミニウム板材１０１は、その径方向中心部に貫通孔が形成されており、下定盤１０２に固定された軸材１０６が上記貫通孔に挿通されることで、積重体１００を構成する複数のアルミニウム板材１０１，１０１，・・・が同心状に配置される。この状態で積重体１００，１００に焼鈍を行うことにより（加圧焼鈍）、各積重体において隣接するアルミニウム板材の１０１，１０１が互いに密着した状態となる。
【００２２】
次に、図２（ｂ）に示すように、複数のアルミニウム板材１０１，１０１，・・・が加圧焼鈍されて密着したアルミニウム板材の積重体１００から、１又は複数のアルミニウム板材１０１を剥離する場合、積重体１００を保持部４２ａに保持し、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに、積重体１００の積重方向Ｌに沿う振動Ｖを付与する。本実施形態では、振動伝達部２の端部２ａをアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接させることで、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに振動Ｖを付与する。
【００２３】
このとき、振動伝達部２は、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａのうち、アルミニウム板材１０１の板厚方向端面（アルミニウム板材の主面）から50um（マイクロメーター）以上板厚中心側の位置に当接するのが好ましい。すなわち、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａのうち、アルミニウム板材１０１の板厚方向端面から50um以上板厚中心側の位置に、振動Ｖを付与するのが好ましい。また、アルミニウム板材１０１の厚みが100umよりも大きい場合、振動伝達部２は、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａのうち、アルミニウム板材１０１の板厚方向の一方の端面（主面）と他方の端面（主面）の双方から50um以上板厚中心側の位置に当接するのが好ましい。
例えば、図２（ｂ）に示すように、複数のアルミニウム板材１０１，１０１，・・・が鉛直方向に沿って積み重ねて配置された場合、振動伝達部２は、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａのうち、アルミニウム板材１０１の板厚方向上端面から50um以上板厚中心側であって且つアルミニウム板材１０１の板厚方向の中心位置Ｐ０よりも上方の位置Ｐ１に当接することができる。すなわち、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａのうち、アルミニウム板材１０１の板厚方向上端面から50um以上板厚中心側であって且つアルミニウム板材１０１の板厚方向の中心位置Ｐ０よりも上方の位置Ｐ１に、振動Ｖを付与する。これにより、振動Ｖが付与される位置Ｐ１と、剥離対象である隣接するアルミニウム板材１０１，１０１の界面Ｂやアルミニウム板材１０１の最上面との距離が大きくなり、振動が逃げなくなるため当該界面Ｂに、より大きな剥離力を発生させることが可能となる。
【００２４】
本実施形態では、例えば積重体１００から１つのアルミニウム板材を剥離する。この場合、振動伝達部２は、積重体１００の最外部に位置する１つのアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接する。例えば、図２（ｂ）に示すように、積重体１００が、複数のアルミニウム板材１０１，１０１，・・・が鉛直方向に沿って積み重ねられて配置された場合、振動伝達部２は、積重体１００の最上部に位置する１つのアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接する。すなわち、積重体１００の最上部に位置する１つのアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに、振動Ｖを付与する。
【００２５】
但し、積重体１００から１つのアルミニウム板材を剥離するだけでなく、積重体１００から複数のアルミニウム板材１０１，１０１，・・・を剥離してもよい。この場合、振動伝達部２は、積重体１００の最外部（例えば、最上部）に位置するアルミニウム板材１０１以外のアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接する。
【００２６】
アルミニウム板材１０１への上記振動Ｖの付与により、積重体１００からアルミニウム板材１０１が剥離される。例えば、振動伝達部２が、積重体１００の最上部に位置する１つのアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接して振動Ｖが付与された場合、図２（ｃ）に示すように、積重体１００の最上部に位置する１つのアルミニウム板材１０１が剥離する。また、振動伝達部２が、積重体１００の最外部（例えば、最上部）に位置するアルミニウム板材１０１以外のアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接して振動Ｖが付与された場合には、積層体１００の外部側（例えば、上部側）に位置する複数のアルミニウム板材１０１，１０１，・・・がバルクで剥離される。
【００２７】
そして、図２（ｂ），図２（ｃ）に示す操作を繰り返すことで、積重体１００からアルミニウム板材１０１が、一枚単位或いはバルク単位で順次剥離される。
【００２８】
上述したように、本実施形態によれば、振動伝達部２が、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接可能に構成され、且つ積重体１００の積重方向に沿う振動Ｖをアルミニウム板材１０１に付与可能に構成されており、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに、積重体１００の積重方向Ｌに沿う振動Ｖを付与するので、アルミニウム板材１０１が薄板化や高平坦化されている場合やアルミニウム板材１０１の外径が変更された場合であっても、当該アルミニウム板材１０１と積重体１００との間の界面Ｂにこれらを離間させるのに十分な剥離力を容易に発生させることができ、積重体１００から１又は複数のアルミニウム板材１０１を確実に剥離することができる。また、アルミニウム板材１０１の浸漬や乾燥が不要であるので、剥離処理のための工程が簡素化され、また、使用済みの液体を処理する排液処理も不要であるため、煩雑な処理を伴うことが無く、環境負荷も極めて小さい。更に、振動伝達部２がアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接可能な構造、形状であればよく、その他の特別な装置等を要しないため、装置構成を簡素化することができ、実施環境の自由度を高くすることができる。
【００２９】
図２では、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａのうち、アルミニウム板材１０１の板厚方向上端面から50um以上板厚中心側であって且つアルミニウム板材１０１の板厚方向中心位置よりも上方の位置Ｐ１に、振動Ｖを付与するが、これに限られない。例えば、図３（ａ）に示すように、複数のアルミニウム板材１０１，１０１，・・・が水平方向に沿って重ねて配置されている場合でも、図２に示す場合と同様に、振動伝達部２の端部２ａをアルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに当接させることで、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａに振動Ｖを付与することができる。
【００３０】
このとき、アルミニウム板材１０１の外周面１０１ａのうち、板厚方向端面から50um以上板厚中心側の位置に、振動Ｖを付与することができる。好ましくは、板厚方向側端面から50um以上板厚中心側の位置であって且つアルミニウム板材１０１の板厚方向の中心位置Ｐ０よりも積重体１００とは反対側の側方にずれた位置Ｐ２に、振動Ｖを付与する。これにより、剥離対象である隣接するアルミニウム板材１０１，１０１の界面Ｂとの距離が大きくなり、当該界面Ｂにより大きな剥離力を発生させることが可能となる。
【００３１】
また、図３（ａ）では積重体１００から１つのアルミニウム板材を剥離するが、これに限らず、積重体１００から複数のアルミニウム板材１０１，１０１，・・・を剥離してもよい。
【００３２】
このように、積重体１００の積重方向Ｌが水平方向に沿う方向であっても、図３（ｂ）に示すように、積重体１００からアルミニウム板材１０１を、一枚単位或いはバルク単位で順次剥離することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明では、複数のアルミニウム板材が加圧焼鈍されて密着したアルミニウム板材の積重体から、アルミニウム板材を一枚単位或いはバルク単位で剥離することができるので、平坦度を確保するために積重体を加圧焼鈍する磁気ディスク用アルミニウム基板を積重体から剥離する分野で利用価値が高い。
【符号の説明】
【００３４】
１        剥離装置
２        振動伝達部
２ａ      端部
３        振動子
４        移動機構
４１      第１移動装置
４１ａ    筐体
４１ｂ    シリンダ
４１ｃ    支持部
４２      第２移動装置
４２ａ    保持部
４２ｂ    アクチュエータ
１００    積重体
１０１    アルミニウム板材
１０１ａ  外周面
１０２    下定盤
１０３    仕切り板
１０４    上定盤
１０５    錘
１０６    軸材
Ｂ        界面
Ｌ        積重方向
Ｖ        振動
Ｐ０      中心位置
Ｐ１      位置
Ｐ２      位置
【図１】
2019189305.tif 000003
【図２】
2019189305.tif 000004
【図３】
2019189305.tif 000005
【国際調査報告】
2019189305.tif 000006
2019189305.tif 000007