(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送台車（Ｃ）と、スタッカ（Ｓ）に備えたスタッカークレーン（ＳＫ）との間に設置され、ガラス板等の薄板（Ｇ）を収納したカセットボックス（Ｋ）の受け渡しを行う受渡装置において、基台（２）上に傾転可能に支持した傾転台（３）と、傾転台（３）を略９０゜の範囲で傾転する傾転駆動機構（２５）と、傾転台（３）に形成したカセットボックス載置台（４）とからなるカセットボックス受渡装置において、カセットボックス載置台（４）に、カセットボックス（Ｋ）を載置した状態で、カセットボックス載置台（４）とカセットボックス（Ｋ）との間の略直角をなす２方向に、フォークを挿入することができるようにするための凹部（４８，４９）を形成したことを特徴とするカセットボックス受渡装置。
【請求項２】
傾転台（３）の外側面を円弧形に形成し、基台（２）に配設した傾転ローラ（２２，２３）を介して傾転可能に支持したことを特徴とする請求項１記載のカセットボックス受渡装置。
【請求項３】
カセットボックス載置台（４）を、ガイドレール（４３）に沿って摺動可能に配設した、カセットボックス（Ｋ）を載置するスライド台（４５）と、スライド台（４５）の摺動駆動機構（４７）と、スライド台（４５）と略直角をなすストッパ（４４）とで構成したことを特徴とする請求項１又は２記載のカセットボックス受渡装置。
【請求項４】
傾転台（３）を支持する基台（２）を、固定側に対して摺動可能に配設し、基台（２）の摺動駆動機構（１３）を設けたことを特徴とする請求項１、２又は３記載のカセットボックス受渡装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶、半導体等の製造工場において、搬送台車と、スタッカに設置したスタッカークレーンとの間に設置され、ガラス板等の薄板を収納したカセットボックスの受け渡しを行う受渡装置に関し、特に、ガラス板等の薄板を収納したカセットボックスをスタッカに長時間保管した場合においても、ガラス板等の薄板に発生する撓み量を低減できるようにしたカセットボックス受渡装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、液晶の製造工場においては、液晶の基板となるガラス板を専用のカセットボックスに水平方向に収納して、生産工程間を移送するとともに、必要に応じて、スタッカに一時保管するようにしている。
ところで、近年、液晶の高性能化、多機能化等に伴い、基板となるガラス板は、板厚が薄く、かつサイズが大形化される傾向にある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
そして、このように、板厚が薄く、かつサイズが大形化されたガラス板を、カセットボックスに水平方向に収納して、スタッカに長時間保管した場合、ガラス板は、カセットボックス内で、その両端部を支持されて架け渡すようにして収納されているため、撓み（歪み）が発生し、これにより、液晶の品質や歩留まりが低下するという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記従来のガラス板等の薄板を収納したカセットボックスをスタッカに長時間保管する場合の問題点に鑑み、ガラス板等の薄板を収納したカセットボックスをスタッカに長時間保管した場合においても、ガラス板等の薄板に発生する撓み量を低減し、液晶の品質や歩留まりを向上することができるようにしたカセットボックス受渡装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のカセットボックス受渡装置は、搬送台車と、スタッカに備えたスタッカークレーンとの間に設置され、ガラス板等の薄板を収納したカセットボックスの受け渡しを行う受渡装置において、基台上に傾転可能に支持した傾転台と、傾転台を略９０゜の範囲で傾転する傾転駆動機構と、傾転台に形成したカセットボックス載置台とからなるカセットボックス受渡装置において、カセットボックス載置台に、カセットボックスを載置した状態で、カセットボックス載置台とカセットボックスとの間の略直角をなす２方向に、フォークを挿入することができるようにするための凹部を形成したことを特徴とする。
【０００６】
このカセットボックス受渡装置は、基台上に傾転可能に支持した傾転台と、傾転台を略９０゜の範囲で傾転する傾転駆動機構と、傾転台に形成したカセットボックス載置台とからなり、これを、搬送台車と、スタッカに備えたスタッカークレーンとの間に設置することにより、搬送台車とスタッカークレーンとの間でカセットボックスの受け渡しをする際に、傾転駆動機構により傾転台を略９０゜の範囲で傾転することにより、傾転台に形成したカセットボックス載置台に載置したカセットボックスを、傾転台と共に略９０゜傾転して、カセットボックスに水平方向に収納されていたガラス板等の薄板を、カセットボックスに略垂直に立てて収納されるようにし、この状態でカセットボックスをスタッカに保管するようにする。
これにより、カセットボックスをスタッカに長時間保管した場合におけるガラス板等の薄板に発生する撓み量を低減することができる。
さらに、カセットボックス載置台に、カセットボックスを載置した状態で、カセットボックス載置台とカセットボックスとの間の略直角をなす２方向に、フォークを挿入することができるようにするための凹部を形成することにより、フォークを備えた移載機を使用して、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しを円滑に行うことができる。
【０００７】
この場合において、傾転台の外側面を円弧形に形成し、基台に配設した傾転ローラを介して傾転可能に支持することができる。
【０００８】
これにより、傾転台の支持及び所定角度の傾転を円滑に行うことができ、ガラス板等の薄板に大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスに収納されているガラス板等の薄板の収納方向を変更することができる。
【０００９】
また、カセットボックス載置台を、ガイドレールに沿って摺動可能に配設した、カセットボックスを載置するスライド台と、スライド台の摺動駆動機構と、スライド台と略直角をなすストッパとで構成することができる。
【００１０】
これにより、スライド台の摺動駆動機構により、カセットボックスを載置したスライド台を、カセットボックスがストッパに当接するまで摺動させた状態で、傾転台を傾転することにより、カセットボックスが傾転以外の移動をすることを防止することができ、ガラス板等の薄板に大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスに収納されているガラス板等の薄板の収納方向を変更することができるとともに、カセットボックス受渡装置におけるカセットボックスの位置決めが正確に行えるため、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しを円滑に行うことができる。
【００１１】
また、傾転台を支持する基台を、固定側に対して摺動可能に配設し、基台の摺動駆動機構を設けるようにすることができる。
【００１２】
これにより、フォークを備えた移載機を使用して、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しをより円滑に行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のカセットボックス受渡装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
カセットボックス受渡装置Ａは、所定の停止位置に停止した搬送台車Ｃと、スタッカＳに備えたスタッカークレーンＳＫとの間に設置され、搬送台車ＣとスタッカークレーンＳＫとの間でカセットボックスＫの受け渡しをする際に、傾転台３を略９０゜の範囲で傾転することにより、傾転台３に形成したカセットボックス載置台４に載置したカセットボックスＫ（図５（Ａ）参照）を、傾転台３と共に略９０゜傾転して、カセットボックスＫに水平方向に収納されていたガラス板等の薄板Ｇを、カセットボックスＫに略垂直に立てて収納されるようにし（図５（Ｂ）参照）、この状態でカセットボックスＫをスタッカＳに保管するようにするためのもので、このカセットボックス受渡装置Ａは、ベース１上に、搬送台車Ｃ又はスタッカークレーンＳＫの方向に摺動可能に基台２を配設し、この基台２上に、基台２の摺動方向と直角方向に傾転可能に傾転台３を支持し、傾転台３にカセットボックス載置台４を形成して構成するようにする。
【００１５】
この場合において、ベース１は、床面、スタッカＳの下部等に水平に設置するとともに、その上部にガイドレール１１，１１を敷設し、このガイドレール１１，１１により、スライダ１２，１２を介して、基台２を摺動可能に支持するようにする。
また、ベース１上には、ガイドレール１１，１１と平行に、基台２の摺動駆動機構としてのシリンダ１３、例えば、ロッドレスシリンダを配設し、このシリンダ１３を駆動することにより、基台２をガイドレール１１に沿って摺動するようにする。
この場合、基台２の摺動範囲を規制するため、ベース１上の基台２の最大許容摺動範囲の位置にショックアブソーバ１４（又はストッパ）を配置し、基台２から突設した突片１５が当接するようにする。
【００１６】
基台２の上部には、架台２１，２１を突設し、この架台２１，２１の上部に傾転ローラ２２，２３を回動可能に支持するとともに、この傾転ローラ２２，２３を介して、外側面を円弧形に形成した傾転台３を傾転可能に支持するようにする。
傾転台３の外側面には、円弧形の外側面に沿うように円弧形に形成した２条のガイドレール３１，３２を平行に配設し、傾転ローラ２２，２３を案内するようにする。
この場合、一方のガイドレール３１は溝付とし、この溝内に傾転ローラ２２，２３が嵌合し、傾転台３がガイドレール３１，３２の直角方向に移動することを防止するようにするとともに、他方のガイドレール３２は平面状とし、一方のガイドレール３１と共に、傾転ローラ２２，２３に当接して、傾転台３の荷重を支持するようにする。
【００１７】
また、傾転ローラ２２，２３のほぼ中間位置の基台２に突設したブラケット２４に、傾転台３の傾転駆動機構としてのモータ２５にて駆動されるスプロケットホイール２６（又はギヤ）を配設し、スプロケットホイール２６を傾転台３の外側面に配設したラック３３と噛合させ、モータ２５を駆動することにより、スプロケットホイール２６及びラック３３を介して、傾転台３を傾転するようにする。
この場合、ラック３３は、チェンを傾転台３の外側面に添って張架し、チェンの両端をチェン止具３４，３５を介して傾転台３に固定して構成するようにしているが、傾転台３の円弧形の外側面に沿うように円弧形に形成したラックを用いることもできる。
このラック３３の長さにより、傾転台３の最大傾転角度が規定されるとともに、ラック３３の長さの範囲内において傾転台３の傾転角を任意に設定することができる。
【００１８】
これにより、傾転台３の支持及び所定角度の傾転を円滑に行うことができ、ガラス板等の薄板Ｇに大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスＫに収納されているガラス板等の薄板Ｇの収納方向を変更することができるものとなる。
【００１９】
傾転台３の内側には、カセットボックス載置台４を形成する。
このカセットボックス載置台４は、傾転台３の端縁に沿って支片４１，４１を対向して突設し、この支片４１，４１に、傾転台３が定位置（傾転する前の状態）にあるとき（図１参照）、水平となるように受台４２を配設し、この受台４２の上部、望ましくは、支片４１に添って、ガイドレール４３，４３を敷設し、このガイドレール４３，４３により、スライダ４６，４６を介して、スライド台４５を摺動可能に支持するようにする。
【００２０】
また、スライド台４５の一端側の受台４２には、スライド台４５の摺動駆動機構としてのシリンダ４７を配設し、このシリンダ４７を駆動することにより、シリンダ４７のシリンダロッド４７Ｌを介して接続したスライド台４５をガイドレール４３に沿って摺動するようにするとともに、スライド台４５の他端側の支片４１には、スライド台４５と略直角をなすストッパ４４を配設するようにする。
これにより、シリンダ４７により、カセットボックスＫを載置したスライド台４５を、カセットボックスＫがストッパ４４に当接するまで摺動させた状態で、傾転台３を傾転することにより、カセットボックスＫが傾転以外の移動をすることを防止することができ、ガラス板等の薄板Ｇに大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスＫに収納されているガラス板等の薄板Ｇの収納方向を変更することができるとともに、カセットボックス受渡装置ＡにおけるカセットボックスＫの位置決めが正確に行えるため、搬送台車Ｃ又はスタッカークレーンＳＫとこのカセットボックス受渡装置Ａとの間のカセットボックスＫの受け渡しを円滑に行うことができるものとなる。
【００２１】
また、カセットボックス載置台４には、カセットボックス載置台４に、カセットボックスＫを載置した状態で、カセットボックス載置台４とカセットボックスＫとの間の略直角をなす２方向に、搬送台車Ｃ、スタッカークレーンＳＫ等に設けたカセットボックスＫの移載機（図示省略）のフォークを挿入することができるようにするための凹部４８，４９を形成するようにするとともに、凹部４８の位置においては、受台４２及びガイドレール４３，４３を省くようにする。
【００２２】
なお、傾転台３を略９０゜の範囲で傾転する機構としては、本実施例において採用したものに限定されず、例えば、軸受、リンク機構等からなる揺動機構と、シリンダ、モータ等からなる駆動機構を組み合わせた任意の機構を採用することができる。
【００２３】
以下、このカセットボックス受渡装置Ａの動作について説明する。
搬送台車Ｃにて搭載され、搬送されてきたカセットボックスＫには、ガラス板等の薄板Ｇが、水平方向に収納されている。
この状態で、所定の停止位置に停止した搬送台車Ｃから、例えば、搬送台車Ｃ上に搭載した移載機（図示省略）を用いて、カセットボックス受渡装置Ａのカセットボックス載置台４のスライド台４５に移載するようにする（図５（Ａ）参照）。
その後、シリンダ４７を駆動することにより、カセットボックスＫを載置したスライド台４５を、カセットボックスＫがストッパ４４に当接するまで摺動させた状態で、モータ２５を駆動することにより、傾転台３を略９０゜、より具体的には、９０度より少し小さな角度、例えば、８０〜８９度の範囲内で傾転するようにする。なお、傾転台３の傾転角度は、各種のセンサ等を用いてにより測定することができ、任意の値に設定することができる。
これにより、傾転台３に形成したカセットボックス載置台４のスライド台４５に載置したカセットボックスＫは、ストッパ４４上に載置されることとなるとともに、カセットボックスＫに水平方向に収納されていたガラス板等の薄板Ｇは、カセットボックスＫに略垂直に立てて収納されることとなり、この状態で、シリンダ１３を駆動することにより、基台２をスタッカークレーンＳＫの方向に摺動し、カセットボックスＫを、スタッカークレーンＳＫに搭載した移載機（図示省略）を用いて、スタッカＳに保管するようにする。
この場合、基台２をスタッカークレーンＳＫの方向に摺動することにより、カセットボックス載置台４に形成した凹部４９に、スタッカークレーンＳＫに搭載した移載機のフォークが挿入されることとなり、カセットボックス受渡装置ＡとスタッカークレーンＳＫとの間のカセットボックスＫの受け渡しを円滑に行うことができるものとなる。
これにより、従来のガラス板等の薄板をカセットボックスに水平方向に収納した状態でカセットボックスをスタッカに保管するようにした場合と比較して、カセットボックスＫをスタッカＳに長時間保管した場合におけるガラス板等の薄板Ｇに発生する撓み量を低減することができるものとなる。
【００２４】
また、スタッカＳに保管されているカセットボックスＫの取り出しは、スタッカークレーンＳＣ及びカセットボックス受渡装置Ａに、上記のカセットボックスＫをスタッカＳに保管する場合と逆の動作をさせることにより行うことができる。
なお、この場合、必要に応じて、傾転台３を逆方向に傾転させることを省略することにより、搬送台車Ｃに対して、ガラス板等の薄板Ｇを略垂直に立てて収納した状態のカセットボックスＫを搭載することができる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明のカセットボックス受渡装置によれば、基台上に傾転可能に支持した傾転台と、傾転台を略９０゜の範囲で傾転する傾転駆動機構と、傾転台に形成したカセットボックス載置台とからなり、これを、搬送台車と、スタッカに備えたスタッカークレーンとの間に設置することにより、搬送台車とスタッカークレーンとの間でカセットボックスの受け渡しをする際に、傾転駆動機構により傾転台を略９０゜の範囲で傾転することにより、傾転台に形成したカセットボックス載置台に載置したカセットボックスを、傾転台と共に略９０゜傾転して、カセットボックスに水平方向に収納されていたガラス板等の薄板を、カセットボックスに略垂直に立てて収納されるようにし、この状態でカセットボックスをスタッカに保管するようにする。
これにより、従来のガラス板等の薄板をカセットボックスに水平方向に収納した状態でカセットボックスをスタッカに保管するようにした場合と比較して、カセットボックスをスタッカに長時間保管した場合におけるガラス板等の薄板に発生する撓み量を低減することができ、液晶の品質や歩留まりを向上することができる。
さらに、カセットボックス載置台に、カセットボックスを載置した状態で、カセットボックス載置台とカセットボックスとの間の略直角をなす２方向に、フォークを挿入することができるようにするための凹部を形成することにより、フォークを備えた移載機を使用して、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しを円滑に行うことができる。
【００２６】
また、傾転台の外側面を円弧形に形成し、基台に配設した傾転ローラを介して傾転可能に支持することにより、傾転台の支持及び所定角度の傾転を円滑に行うことができ、ガラス板等の薄板に大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスに収納されているガラス板等の薄板の収納方向を変更することができる。
【００２７】
また、カセットボックス載置台を、ガイドレールに沿って摺動可能に配設した、カセットボックスを載置するスライド台と、スライド台の摺動駆動機構と、スライド台と略直角をなすストッパとで構成することにより、スライド台の摺動駆動機構により、カセットボックスを載置したスライド台を、カセットボックスがストッパに当接するまで摺動させた状態で、傾転台を傾転することにより、カセットボックスが傾転以外の移動をすることを防止することができ、ガラス板等の薄板に大きな振動や衝撃を与えることなく、カセットボックスに収納されているガラス板等の薄板の収納方向を変更することができるとともに、カセットボックス受渡装置におけるカセットボックスの位置決めが正確に行えるため、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しを円滑に行うことができる。
【００２８】
また、傾転台を支持する基台を、固定側に対して摺動可能に配設し、基台の摺動駆動機構を設けるようにすることにより、フォークを備えた移載機を使用して、搬送台車又はスタッカークレーンとこのカセットボックス受渡装置との間のカセットボックスの受け渡しをより円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のカセットボックス受渡装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】  同側面図である。
【図３】  同平面図である。
【図４】  同ローラ支持部の側面図である。
【図５】  カセットボックス受渡装置の動作の説明図で、（Ａ）は傾転する前の状態、（Ｂ）は傾転した後の状態を示す。
【図６】  カセットボックス受渡装置、搬送台車及びスタッカに備えたスタッカークレーンの関係を示す説明図である。
【符号の説明】
１    ベース
１１  ガイドレール
１２  スライダ
１３  シリンダ（摺動駆動機構）
１４  ショックアブソーバ
１５  突片
２    基台
２１  架台
２２，２３  傾転ローラ
２４  ブラケット
２５  モータ（傾転駆動機構）
２６  スプロケットホイール
３    傾転台
３１，３２  ガイドレール
３３  ラック
３４，３５  チェン止具
４    カセットボックス載置台
４１  支片
４２  受台
４３  ガイドレール
４４  ストッパ
４５  スライド台
４６  スライダ
４７  シリンダ（摺動駆動機構）
４７Ｌ  シリンダロッド
４８，４９  凹部
Ａ    カセットボックス受渡装置
Ｃ    搬送台車
Ｇ    薄板
Ｋ    カセットボックス
Ｓ    スタッカ
ＳＫ  スタッカークレーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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