(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒径０．００５〜２０μｍの合成粘土鉱物・合成雲母・ガラスビーズからなる群から選ばれる少なくとも１種の固体添加剤が、ポリイミド樹脂に５〜５０重量％含有・分散されてなり、ＩＣチップとの接合にベース基材として用いられることを特徴とするポリイミド樹脂フィルム。
【請求項２】
熱伝導率が０．２５Ｗ／ｍＫ以上であることを特徴とする請求項１に記載するポリイミド樹脂フィルム。
【請求項３】
相対全光線透過率が５０％以上であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載するポリイミド樹脂フィルム。
【請求項４】
前記固体添加剤が、親水性または親油性であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載するポリイミド樹脂フィルム。
【請求項５】
前記固体添加剤が、水または有機溶剤に膨潤性であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載するポリイミド樹脂フィルム。
【請求項６】
厚みが１０〜１５０μｍであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載するポリイミド樹脂フィルム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、改良されたポリイミド樹脂組成物及びそれからなる耐熱性樹脂フィルムに関する。詳しくは、ポリイミド樹脂が、本来有する機械的特性、または透明性などの優れた特性を大きく損なうことなく、熱伝導性、または導電性が改良されたポリイミド樹脂組成物及びそれからなる耐熱性樹脂フィルムに関する。
【０００２】
【従来技術】
耐熱性樹脂、なかでもポリイミド樹脂は、その優れた耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性などの特性を活かし、フィルムやチューブ、成形体などの形状で幅広く利用されている。たとえば、フィルム状としてフレキシブルプリント配線板（以下、ＦＰＣと略す。）やＴＡＢのベース基材、あるいは電線などの絶縁被膜など、またフィルムだけでなくシート形状やチューブ形状として複写機等のＯＡ機器のパーツ等、様々な用途に用いられている。また、近年は半導体周辺でもその特性を活かして接着剤などとしても様々な用途にも用いられつつある。
【０００３】
しかしながら、ＦＰＣや半導体周辺では、近年の高密度実装に伴って、ベース基材や絶縁膜として用いられる樹脂の放熱性の問題や樹脂自体の帯電の問題が顕在してきている。具体的には、元来放熱性に乏しい樹脂フィルムを使用するために蓄熱が起こり、電子機器そのものの信頼性が低下する、複写機などでは帯電によってトナーの飛着などによって精密な印字ができないなどの問題があった。また、本来導電性を有さない耐熱性樹脂を使用することにより、そのもの自体が静電気等の帯電を起こし、電子機器自体の電気信頼性を損なうという問題があった。
【０００４】
これらの問題を解決するために、樹脂表面に、アルミニウムなどの熱伝導性に優れる金属薄膜を形成する等の手段が講じられている。この方法は、大きな製造コストアップを招くという問題がある。また、カーボンブラック等の導電性、熱伝導性に優れたフィラーを混合させるなどの提案がされているが、フィルムそのものの外観（特に色調）が大きく変化する等の問題点が生じる。
【０００５】
また、半導体周辺のＩＣパッケージ等の用途においては、製品そのものとして透明性が必要であったり、フィルムを使用した後の検査工程で欠陥を発見できない等の工程上の問題を解決するため、透明性を必要とする。
【０００６】
例えば、ＴＡＢの場合、多くは基材としてポリイミドフィルムが用いられている。ＴＡＢテープとＩＣチップとの接合は、ＴＡＢの基材であるポリイミドを介して接着剤を加熱しＩＣチップと圧着するために、ポリイミドフィルムそのものの熱伝導性が求められている一方で、最終的にはポリイミドフィルム側から位置合わせ等を行う必要があるために透明性が同時に求められている。このような両者の特性を兼ね備えたフィルムが、この業界から強く求められている。
【０００７】
このため、カーボンブラック等の熱伝導性に優れたフィラーを混合させることも提案されているが、カーボンブラックを使用した場合、フィルムそのものの透明性は大きく損なわれ、実質的には不透明なフィルムしか得られないという問題があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明者らは、上記従来の問題を解決すべく、各種フィラー類の添加を鋭意検討の結果、ポリイミド樹脂中に特定のフィラーを分散、含有させることにより、ポリイミド樹脂本来が有する諸特性、例えば機械的特性、また透明性等を大きく損なうことなく、かつ外観も大きく変化させずに、熱伝導性、または導電性が、大幅に改良されるという驚くべき事実を見出し、本発明に到達した。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するための本発明に係るポリイミド樹脂フィルムの要旨とするところは、粒径０．００５〜２０μｍの合成粘土鉱物・合成雲母・ガラスビーズからなる群から選ばれる少なくとも１種の固体添加剤が、ポリイミド樹脂に５〜５０重量％含有・分散されてなり、ＩＣチップとの接合にベース基材として用いられることにある。
【００１０】
また、熱伝導率が０．２５Ｗ／ｍＫ以上であることにある。
【００１１】
また、ポリイミド樹脂フィルムが、相対全光線透過率が５０％以上であることにある。
【００１２】
また、前記固体添加剤が、親水性または親油性であることにある。
【００１３】
また、前記固体添加剤が、水または有機溶剤に膨潤性であることにある。
【００１４】
また、前記ポリイミド樹脂フィルムの厚みが１０〜１５０μｍであることにある。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明に係る改良されたポリイミド樹脂及びそれからなる耐熱性樹脂フィルムは、ポリイミド樹脂本来が有する諸特性、例えば機械的特性、あるいは透明性等を大きく損なうことなく、かつ外観も大きく変化させずに、熱伝導性、または導電性を大幅に改良されるという特徴を有する。詳しくは、ポリイミド樹脂中に特定のフィラーを分散、含有させることにより、上記改良されたポリイミド樹脂組成物及びそれからなる耐熱性樹脂フィルムを得ることができる。
【００１６】
以下、本発明に係る改良されたポリイミド樹脂組成物の製造方法について詳細に述べる。本発明に係る改良されたポリイミド樹脂組成物は、ポリイミド樹脂に、合成粘土鉱物、合成雲母、ガラスビーズからなる群から選ばれる固形添加剤のうち少なくとも１種が分散、含有して構成されているが、ここでいうポリイミド樹脂とは、広義のポリイミドをさし、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエステルイミドなどを例示でき、非熱可塑性、熱可塑性、熱硬化性等は問わない。即ち、ポリイミドの分子構造は問わない。あえて例示するとすれば、好ましくは下記の一般構造式（１）化１
【化１】
0003744634.tif 000002
の繰り返し単位を有するポリイミドに適用される。
【００１７】
式中、Ｒ1は４価の有機基であり、具体的には、少なくとも１個の芳香環を有してなり、かつ結合すべき隣接するカルボニル基とは芳香環が直接結合してなる。更に具体的には、化２
【化２】
0003744634.tif 000003
（式中、Ｘは、化３
【化３】
0003744634.tif 000004
から選択される２価の官能基であり、Ｒ4は、ＣＨ3−、Ｃｌ−、Ｂｒ−、Ｆ−、ＣＨ3Ｏ−であり、２以上置換される場合は、Ｒ4は同一であってもよくまた異なってもよい。）で表される群から選ばれる少なくとも１種である。
【００１８】
また、式中、Ｒ2は、２価の有機基であり、具体的には少なくとも１個の芳香環を有してなり、かつ結合すべき隣接する窒素原子とは芳香環が直接結合してなる。さらに、具体的には、化４
【化４】
0003744634.tif 000005
（式中、Ｒ4は、ＣＨ3−、Ｃｌ−、Ｂｒ−、Ｆ−、ＣＨ3Ｏ−であり、Ｒ4が２以上置換される場合は、同一であってもよく、また異なってもよい。）で表される群から選択される少なくとも１種である。
【００１９】
以下、ポリイミド樹脂の製造方法について説明する。上記一般式（１）で表されるポリイミド樹脂は、その前駆体であるポリアミド酸重合体を脱水閉環して得られるが、このポリアミド酸溶液は、従来公知の方法により、酸二無水物とジアミン成分を実質的に等モル使用し、有機極性溶媒中で重合して得られる。
【００２０】
まず、ポリアミド酸の製法について述べる。まず、アルゴン、窒素などの不活性ガス雰囲気中において、一般式（２）化５
【化５】
0003744634.tif 000006
（式中、Ｒ1は４価の有機基を示す。）で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物中より、少なくとも１成分以上の酸二無水物を有機溶媒中に溶解し、または、拡散させる。この溶液に、一般式（３）
Ｈ2Ｎ−Ｒ2−ＮＨ2    （３）
（式中、Ｒ2は２価の有機基を示す。）で表される少なくとも１種以上のジアミン成分を有機溶媒に溶解、あるいは、スラリー状に拡散させた状態で、または、固体の状態で添加し、ポリアミド酸重合体の溶液を得る。
【００２１】
この時の反応温度は、−１０℃から５０℃が好ましい。反応時間は、３０分から６時間程度である。
【００２２】
また、この反応において、上記添加順序とは逆に、まず、ジアミン成分を拡散又は溶解させ、該溶液中に酸二無水物の固体もしくは有機溶媒による溶液もしくはスラリーを添加してもよい。
【００２３】
なお、生成されるポリイミド樹脂の強度を維持するためには、数平均分子量が１万以上が好ましい。ポリイミド重合体の分子量は直接測定が困難な場合が多い。このようなときには間接的な方法によって推測による測定がなされる。たとえば、ポリイミド重合体がポリアミド酸から合成される場合には、ポリアミド酸の分子量に相当する値をポリイミドの分子量とする。
【００２４】
また、一般式（２）化６
【化６】
0003744634.tif 000007
で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、本質的に種々のテトラカルボン酸二無水物が使用可能であるが、より具体的には、諸特性のバランスから、一般式（２）中のＲ1が、化７
【化７】
0003744634.tif 000008
（式中、Ｘは化８
【化８】
0003744634.tif 000009
で表される２価の官能基である。式中、Ｒ4は、ＣＨ3−、Ｃｌ−、Ｂｒ−、Ｆ−、ＣＨ3Ｏ−であり、２以上置換される場合は、Ｒ4は同一であってもよく、また異なってもよい。）で表される４価の有機基を示す１種以上の芳香族テトラカルボン酸二無水物を選択することができる。
【００２５】
また、一般式（３）で表されるジアミン化合物としては、本質的に種々のジアミンが使用可能であるが、より具体的には、諸特性のバランスから、一般式（３）
Ｈ2Ｎ−Ｒ2−ＮＨ2    （３）
中のＲ2が、化９
【化９】
0003744634.tif 000010
（式中、Ｒ4は、ＣＨ3−、Ｃｌ−、Ｂｒ−、Ｆ−、ＣＨ3Ｏ−であり、２以上置換される場合は、Ｒ4は同一であってもよく、また異なってもよい。）で表される２価の有機基である１種以上のジアミンを選択することができる。
【００２６】
また、ポリアミド酸の生成反応に使用される有機溶媒としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド等のスルホキシド系溶媒、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド等のホルムアミド系溶媒、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド等のアセトアミド系溶媒等をあげることができる。これらを１種類の溶媒のみで用いることも、２種以上からなる混合溶媒で用いることもできる。また、これらの極性溶媒とポリアミド酸の非溶媒とからなる混合溶媒の用いることもできる。ポリアミド酸の非溶媒としてはアセトン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ベンゼン、メチルセロソルブ、トルエン、キシレン、ＴＨＦ等を挙げることができる。
【００２７】
次に、ポリイミドの製造方法は、前駆体であるポリアミド酸に無水酢酸等の酸無水物に代表される脱水剤とピコリン、キノリン、イソキノリン、ピリジン等の第３級アミン類とを作用させると共に、加熱処理とを併用する、いわゆる化学キュア法によってポリイミドに変換されるのが好ましい。上記脱水剤等を作用させずに加熱だけでイミド化反応を進行させるいわゆる熱キュア法と比較して、化学キュア法は、イミド化反応がより速く進行するために加熱処理プロセスにおいてイミド化反応が短時間で完結することから、生産性に優れ、工業的に有利な方法である。また、得られたポリイミドの機械的強度が大きく、かつ、線膨張係数が小さくなる利点がある。
【００２８】
化学的に脱水閉環する方法は、上記ポリアミド酸溶液に化学量論以上の脱水剤と触媒量の第３級アミンを加え支持板やＰＥＴ等の有機フィルム、ドラム又はエンドレスベルト等の支持体上に流延又は塗布して膜状とし、有機溶媒を蒸発させることにより自己支持性を有する膜を得る。
【００２９】
なお、ポリイミドはポリイソイミドと等価体であることは周知のことであるが、イソイミド構造を選択すれば溶媒溶解性を向上させることも可能である。ポリイソイミド重合体を得るためには上述した化学的閉環剤をジシクロヘキシルカルボジイミド（ＤＣＣ）等のジイミド及び／またはトリフルオロ酢酸等のカルボン酸に置きかえた上で、該ポリイミド生成と同様の反応を行えばよい。
【００３０】
次いで、これを更に加熱して乾燥させつつイミド化させ、本発明のポリイミド重合体からなるポリイミド膜を得る。加熱の際の温度は、１５０℃から５５０℃の範囲の温度が好ましい。加熱の際の昇温速度には特に制限はないが、連続的もしくは断続的に、徐々に加熱して最高温度が上記の温度になるようにするのが好ましい。加熱時間はフィルム厚みや最高温度によって異なるが一般的には最高温度に達してから１０秒から１０分の範囲が好ましい。自己支持性を有する膜を加熱して乾燥・イミド化する際は、自己支持性を有する膜を支持体から引き剥がし、その状態で端部を固定して加熱することにより機械的特性に優れた重合体が得られる。以上のポリイミドの製造工程中に、延伸する工程を含んでもよい。
【００３１】
次に、上記ポリイミド樹脂に分散、含有する固形添加剤について説明する。この固形添加剤は、合成粘土鉱物、合成雲母、ガラスビーズからなる群から選ばれる少なくとも１種である。これらは、単独であってもよく、また２種以上であってもよい。以下、順次説明する。
【００３２】
本発明に使用される固形添加剤の１つは合成粘土鉱物である。合成粘度鉱物は、均一に分散させるためには粉末状態が好ましく、外観上大きな変化をもたらせないためには、粒子径が小さいほうが好ましい。平均粒子径は、０．００５〜２０μｍ、好ましくは、０．０１〜５μｍ、特に好ましくは０．０１〜１μｍが用いられる。中でも前述の膨潤性合成粘土鉱物はナノメーターのオーダーの微分散可能といわれており好ましく用いられる。
【００３３】
この膨潤性合成粘土鉱物には、大別して水に膨潤を示すタイプ（親水性と呼ばれる。）と有機溶剤等に膨潤するタイプ（親油性と呼ばれる。）があり、適宜選択使用すればよい。
【００３４】
なかでも、ポリイミド樹脂の製造工程で有機溶剤を使用するため、親油性合成粘土鉱物が好ましい。このような具体例としては、例えばコープケミカル株式会社製の商品名「合成スクメタイト」をあげることができる。
【００３５】
次に、合成雲母について説明する。合成雲母は、平均粒子径が、０．００５〜２０μｍ、好ましくは０．０１〜１０μｍ、特に好ましくは０．０１〜５μｍが用いられる。外観上大きな変化をもたらせないためには、粒子径が小さい方が好ましい。このような具体例としては、例えばコープケミカル株式会社製の商品名「ミクロマイカ」「ソマシフ」をあげることができる。
【００３６】
これら合成雲母も各種のものに分類できるが、合成粘土鉱物と同じく、親水性と親油性のものがある。いずれも使用可能であるが、上記と同様の理由で、親油性が好ましい。
【００３７】
次に、ガラスビーズについて説明する。ガラスビーズの粒子径は、０．００５〜２０μｍ、好ましくは０．０１〜１０μｍが用いられる。外観上大きな変化をもたらせないためには、粒子径が小さい方が好ましい。このような具体例としては、例えば東芝バロティーニ株式会社製の商品名「東芝ガラスビーズ」をあげることができる。
【００３８】
これらの固形添加剤のポリイミド樹脂組成物に対する含量は、ポリイミド樹脂組成物の熱伝導性の増加及び、透明性の保持に関係する。
【００３９】
具体的には、ポリイミド樹脂組成物に対する上述の固形添加剤は、含量が増加するに伴って、熱伝導性は向上する。しかし、５０重量％よりも多いと機械的特性等の大幅な低下を招き、フィルム形成が困難になる。一方、５重量％よりも添加量が少ないと導電性や熱伝導性の改良効果に欠ける。従って、例えば、膜厚を大きくする、適切なベースフィルムに接着する等によりフィルムの形状を維持することができれば、成形品においてポリイミド組成物によるフィルムの機械的強度を要しない場合は、含量が５０重量％以上であっても良い。しかし、機械的強度を要する場合は、機械的特性を維持しつつ、熱伝導率が０．２５Ｗ／ｍＫ以上と熱伝導性の優れたポリイミド樹脂組成物は、上述の固形添加剤が、ポリイミド樹脂組成物中に５〜５０重量％、好ましくは５〜４０重量％がよく、５〜２５重量％含まれているものが、特に好ましく用いられる。例えば、ＦＰＣや半導体周辺において用いられるベース基材や絶縁膜等の導電性及び熱伝導性を要求する用途に好適に用いられる。
【００４０】
また、ポリイミド樹脂組成物に対する上述の固形添加剤は、基本的には含量が少なければ少ないほど透明性の優れたフィルムが得られる。しかし、５重量％よりも添加量が減少すると透明性には優れるが熱伝導性、導電性の改良効果に欠けたものとなり、樹脂組成物が帯電や蓄熱することによる問題が発生する。また、３０重量％よりも多いと透明性の大幅な低下を招き、４０重量％を超えると透明性が失われ、５０重量％以上になると、透明性が失われるだけでなく機械的特性の大幅な低下を招く。従って、含量が５〜３０重量％、好ましくは５〜２５重量％であるポリイミド樹脂組成物より得られる樹脂フィルムは、相対全光線透過率が５０％以上と透明性が良好であり、更に好ましくは５〜２０重量％であるポリイミドフィルムは、熱伝導率が０．２５Ｗ／ｍＫ以上と熱伝導性を向上することができ、かつ、相対全光線透過率が５０％以上と透明性を保持した優れたフィルムが得られる。例えば、半導体周辺のＩＣパッケージ等の用途や、ＴＡＢテープの用途等、導電性、熱伝導性、及び透明性を要求される用途に好適に用いられる。
【００４１】
なお、ポリイミド樹脂組成物中に、固形添加剤が、２０〜５０重量％であると、透明性は保持されないが、導電性や熱伝導率は、効果的に改善される。
【００４２】
また、固形添加剤が、ポリイミド樹脂組成物中に、５０重量％以上含まれている場合であっても、透明性及び機械的特性は劣化するが、導電性、熱伝導性は向上するため、その特性を用いる用途の成形品に適用することができる。
【００４３】
本発明に係る改良されたポリイミド樹脂組成物は、上記固形添加剤を特定範囲の含量においてポリイミド樹脂に分散、含有させることを特徴としているが、この固形添加剤は、本発明に係る改良されたポリイミド樹脂組成物の製造工程の任意の工程で添加することが可能である。
【００４４】
即ち、ポリイミド樹脂もしくはその前駆体であるポリアミド酸やポリアミド酸エステル等の重合工程前や重合中、あるいはフィルムやチューブ等に成形するまでの任意の工程において、固形添加剤の添加時期を選択することができる。
【００４５】
ここで、固形添加剤を添加する際に、製造されるポリイミド樹脂組成物の機械的特性をはじめ、改良すべき導電性や熱伝導性等の品質の安定化や外観不良を招かないためには、添加剤を樹脂中に凝集させずに均一分散させることが重要である。従って、樹脂との混合の際には、予め添加剤を媒体中に充分に分散させた後に混合したり、充分な混合効果が得られる装置類で攪拌混合することが好ましい。
【００４６】
ここで、上記固形添加剤のうち、前述した膨潤性合成粘土鉱物は、それ自身が膨潤、即ち自己分散する能力を有しているために、特別な混練機や大型設備等を用いなくても比較的簡便な装置で媒体に添加することにより、良好に分散させることが可能である。このため、予め媒体中に分散させた懸濁液とポリイミド又はその前駆体樹脂の溶液あるいは溶融液とを、前記フィルム成形前の任意の工程で、汎用設備を用いて特別な処理や注意を必要とせずに均一分散混合が可能である。もちろん、合成粘土鉱物を予め媒体中に分散させずに、直接添加してもよい。いずれにしても、分散混合方法に優位性があるばかりでなく、得られたポリイミド樹脂組成物の均質性、ひいては品質の安定性や外観も良好なものが得られやすい。
【００４７】
上記得られたポリイミド樹脂及び上述した固形添加剤を構成成分とした改良されたポリイミド樹脂組成物は、熱可塑性の性質を有する場合には、フィルムやシート、チューブ等の形状に成形して、各種用途に使用される。
【００４８】
このように熱可塑性フィルムやシート、チューブ等の形状に成形する場合には、押し出し成形やインジェクション成形時に、ポリイミド樹脂と添加剤とを同時にあるいは別々の供給口から成形機に供給する。または、ポリイミド樹脂と高添加量の添加剤とをまず混練する、いわゆるマスターバッチを作製した後に、このマスターバッチ品とポリイミド樹脂とを成形機に供給して成形することも可能である。この場合、マスターバッチの作製方法は、押し出し機等の成形機を利用してもよいし、有機溶剤などの媒体を用いてポリイミド樹脂と添加剤とを均一に混合した後に、成形機に供給してもよい。
【００４９】
フィルム状にキャストする場合には、溶融押し出し法、溶液キャスト法、または押し出し成形やインジェクション成形等の成形方法があるが、いずれの場合でも、高粘度による添加剤の凝集を回避するために、公知の手法で高せん断力を利用した混練方法などが好ましく用いられる。
【００５０】
また、添加剤の凝集を回避するために、各種表面処理をしてもよい。このような表面処理には、比表面積を低下させるような物理的機械的方法、あるいはシランカップリング剤処理などの化学的方法など公知の方法が適用可能である。
【００５１】
ポリイミド樹脂組成物をフィルム形状にする場合、広義のフィルム形状のものを意味し、厚み数ミクロンの薄膜から厚み数百μｍのシート状のものも含まれる。この厚みの範囲のなかでも、１０μｍ〜１５０μｍの厚みのフィルムが、絶縁層等に好適に用いられる。
【００５２】
また、チューブ状の形状においても、厚みは１０μｍ〜１５０μｍの厚みの範囲のものが好適に用いられる。
【００５３】
上記の方法により本発明に係る改良されたポリイミド樹脂組成物及びそれからなる耐熱性樹脂フィルムは、熱伝導率が０．２５Ｗ／ｍＫ以上であり、及び／または、相対全光線透過率が５０％以上であるため、ポリイミド樹脂本来が有する諸特性、例えば機械的特性、あるいは透明性等を大きく損なうことなく、かつ外観も大きく変化させずに、熱伝導性、または導電性における大幅な改良が可能となる。従って、熱伝導性あるいは導電性を要求されるＦＰＣや半導体周辺の高密度実装用途、さらにはＩＣパッケージング等透明性を要する分野においても、有用である。
【００５４】
以上、本発明にかかる改良されたポリイミド樹脂組成物とそれからなる耐熱性樹脂フィルムの有用性を明らかにすべく、実施の形態について説明したが、本発明はこれによって限定されるものではなく、本発明はその主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき、種々なる改良、変更、修正を加えた態様で実施しうるものである。
【００５５】
【実施例】
以下、実施例により、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。
【００５６】
なお、本発明に係る改良されたポリイミド樹脂組成物の熱伝導率とは、レーザーフラッシュ法（測定装置；真空理工株式会社製  ＴＣ−７０００、測定温度；２５℃、雰囲気；真空中（約１×１０-2Ｔｏｒｒ））によって測定される、フィルム厚み方向の熱伝導率を用いて評価した。
【００５７】
また、本願の導電性は、フィルム厚み方向の体積抵抗率（測定装置；東亜電波工業株式会社製  ＳＭ−１０、測定条件；温度２０℃、湿度６０％）を用いて評価した。
【００５８】
実施例１〜２１は、本発明に係る改良されたポリイミド樹脂組成物の実施例である。
【００５９】
（実施例１〜４）
芳香族ジアミンとして４，４−ジアミノジフェニルエーテルを、芳香族テトラカルボン酸二無水物としてピロメリット酸二無水物を用いて得られたポリアミド酸のＤＭＦ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を準備した。
【００６０】
一方、ＤＭＦに合成粘土鉱物である合成スクメタイト「親油性スクメタイト（ＳＴＮ）」（コープケミカル株式会社製）を分散させた液を調整した（分散濃度１５重量％）。
【００６１】
ポリアミド酸溶液中に、上記合成スクメタイトの分散液を、ポリアミド酸溶液１００ｇに対して分散液１０．９ｇ、２１．９ｇ、３２．８ｇ、５４．７ｇを添加したものを各々調整し、３本ロールで混練した。得られたドープをフィルムにキャストする前に、無水酢酸／イソキノリンを２０ｇ／２．５ｇ添加混合し、次いでフィルム上にキャストし、１００℃／１０分、３００℃／１分、熱処理して７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表１に示す。
【００６２】
【表１】
0003744634.tif 000011
【００６３】
（実施例５〜８）
ＤＭＦに合成雲母である「ソマシフ（ＭＥ−１００）」（コープケミカル株式会社製）を分散膨潤させた液を調整した（分散濃度１５重量％）。
【００６４】
実施例１〜４と同様にして作製したポリアミド酸溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）中に上記合成雲母の分散液を、ポリアミド酸溶液１００ｇに対して分散液１０．９ｇ、２１．９ｇ、３２．８ｇ、５４．７ｇを添加したものを各々調整し、３本ロールで混練した。得られたドープをフィルムにキャストする前に、無水酢酸／イソキノリンを２０ｇ／２．５ｇ添加混合し、次いでフィルム上にキャストし、１００℃／６分、３００℃／１分、４５０℃／２分熱処理して７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表１に示す。
【００６５】
（実施例９〜１２）
ＤＭＦにガラスビーズ「東芝ガラスビーズ（ＭＢ−１０）％（東芝バロティーニ株式会社製）を分散膨潤させた液を調整した（分散濃度１５重量％）。
【００６６】
実施例１〜４と同様にして作製したポリアミド酸溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）中に上記ガラスビーズの分散液を、ポリアミド酸溶液１００ｇに対して分散液１０．９ｇ、２１．９ｇ、３２．８ｇ、５４．７ｇを添加したものを各々調整し、３本ロールで混練した。得られたドープをフィルムにキャストする前に、無水酢酸／イソキノリンを２０ｇ／２．５ｇ添加混合し、次いでフィルム上にキャストし、１００℃／６分、３００℃／１分、４５０℃／２分熱処理して７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表１に示す。
【００６７】
（実施例１３〜１６）
芳香族ジアミンとして、4,4-ジアミノジフェニルエーテルとパラフェニレンジアミンを重量モル比３：７、芳香族テトラカルボン酸二無水物としてピロメリット酸二無水物と3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物を重量モル比５：５として用いて得られたポリアミド酸のＤＭＦ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を用いた以外は、実施例１〜４と同様の方法で７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表１に示す。
【００６８】
（実施例１７〜２０）
芳香族ジアミンとして、4.4-ジアミノジフェニルエーテルとパラフェニレンジアミンを重量モル比５：５、芳香族テトラカルボン酸二無水物としてｐ−フェニレンビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）を用いて得られたポリアミド酸のＮＭＰ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を用いた以外は、実施例１〜４と同様の方法で７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表１に示す。
【００６９】
（実施例２１）
芳香族ジアミンとして、2,2-ビス〔4-（4-アミノフェノキシ）フェニル〕プロパンを、芳香族テトラカルボン酸二無水物として2,2-ビス（4-ヒドロキシフェニル）プロパンジベンゾエート-3,3',4,4'-テトラカルボン酸二無水物（ＥＳＤＡ）と3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物（ＢＴＤＡ）を重量モル比ＥＳＤＡ：ＢＴＤＡ＝５：５として用いて得られたポリアミド酸のＤＭＦ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を準備した。このポリアミド酸溶液１００ｇにＤＭＦ１５０ｇ、イソキノリン２．５ｇ、無水酢酸２０ｇを加え、氷冷下で、２時間攪拌した。その後高速で攪拌したメタノール中にこの溶液を少しずつ垂らした。メタノール中に析出した糸状のポリイミドを１５０℃で３０分乾燥後、ミキサーで粉砕し、２５０℃、２分加熱してイミド化を完全に行い、ポリイミド粉末を得た。このエステルイミド及びガラスビーズをエステルイミドの割合を９０％として混合したフィラー混合樹脂粉末をシリンダー３４０℃で押し出し成形し、管径が２０ｎｍで、膜厚が７５μｍのチューブを得た。得られたチューブの特性値を表１に示す。
【００７０】
（比較例１）
芳香族ジアミンとして、4,4-ジアミノジフェニルエーテルを、芳香族テトラカルボン酸二無水物としてピロメリット酸二無水物を用いて得られたポリアミド酸のＤＭＦ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を用いて、合成スクメタイトを添加しないほかは実施例１と同様の方法で７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表１に示す。
【００７１】
（比較例２）
芳香族ジアミンとして、4,4-ジアミノジフェニルエーテルとパラフェニレンジアミンをモル比３：７として、芳香族テトラカルボン酸二無水物としてピロメリット酸二無水物と3,3',4,4'-ベンゾフェニルテトラカルボン酸二無水物をモル比５：５として用いて得られたポリアミド酸のＤＭＦ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を用いて、合成スクメタイトを添加しないほかは実施例１３と同様の方法で７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表１に示す。
【００７２】
実施例２２〜実施例３６は、本発明に係る改良された耐熱性樹脂フィルムの実施例である。なお、相対全光線透過率とは、数１
【数１】
0003744634.tif 000012
で表される。
【００７３】
（実施例２２〜２５）
芳香族ジアミンとして4,4-ジアミノジフェニルエーテルを、芳香族テトラカルボン酸二無水物としてピロメリット酸二無水物を用いて得られたポリアミド酸のＤＭＦ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を準備した。一方ＤＭＦに合成スメクタイト「親油性スメクタイト（ＳＴＮ）」（コープケミカル株式会社製）を、分散膨潤させた液を調整した（分散濃度１５ｗｔ％）。
【００７４】
ポリアミド酸溶液中に上記合成スクメタイトの分散液を、ポリアミド酸溶液１００ｇに対して分散液５．５ｇ、１０．９ｇ、２１．９ｇを添加したものを各々調整し、３本ロールで混練した。得られたドープを、フィルム上にキャストする前に、無水酢酸／イソキノリンを２０ｇ／２．５ｇ添加混合し、次いでフィルム上にキャストし、１００℃／１０分、３００℃／１分熱処理して７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表２に示す。
【００７５】
【表２】
0003744634.tif 000013
【００７６】
（実施例２６〜２８）
ＤＭＦに合成雲母ソマシフ（ＭＥ−１００）」（コープケミカル株式会社製）を分散膨潤させた液を調整した（分散濃度１５重量％）。
【００７７】
実施例２２〜２５と同様にして作製したポリアミド酸溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）中に上記合成雲母の分散液を、ポリアミド酸溶液１００ｇに対して分散液５．５ｇ、１０．９ｇ、２１．９ｇを添加したものを各々調整し、３本ロールで混練した。得られたドープをフィルムにキャストする前に、無水酢酸／イソキノリンを２０ｇ／２．５ｇ添加混合し、次いでフィルム上にキャストし、１００℃／６分、３００℃／１分、４５０℃／２分熱処理して７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表２に示す。
【００７８】
（実施例２９〜３１）
ＤＭＦにガラスビーズ「東芝ガラスビーズ（ＭＢ−１０）％（東芝バロティーニ株式会社製）を分散膨潤させた液を調整した（分散濃度１５重量％）。
【００７９】
実施例２２〜２５と同様にして作製したポリアミド酸溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）中に上記ガラスビーズの分散液を、ポリアミド酸溶液１００ｇに対して分散液５．５ｇ、１０．９ｇ、２１．９ｇを添加したものを各々調整し、３本ロールで混練した。得られたドープをフィルムにキャストする前に、無水酢酸／イソキノリンを２０ｇ／２．５ｇ添加混合し、次いでフィルム上にキャストし、１００℃／６分、３００℃／１分、４５０℃／２分熱処理して７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表２に示す。
【００８０】
（実施例３１〜３３）
芳香族ジアミンとして、4,4-ジアミノジフェニルエーテルとパラフェニレンジアミンをモル比３：７として、芳香族テトラカルボン酸二無水物としてピロメリット酸二無水物と3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物をモル比５：５として用いて得られたポリアミド酸のＤＭＦ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を用いた以外は、実施例２２〜２５と同様の方法で７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表２に示す。
【００８１】
（実施例３４〜３６）
芳香族ジアミンとして、4,4-ジアミノジフェニルエーテルとパラフェニレンジアミンをモル比５：５として、芳香族テトラカルボン酸二無水物としてｐ−フェニレンビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）を用いて得られたポリアミド酸のＮＭＰ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を用いた以外は、実施例２２〜２５と同様の方法で７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表２に示す。
【００８２】
（比較例３）
芳香族ジアミンとして、4,4-ジアミノジフェニルエーテルを、芳香族テトラカルボン酸二無水物としてピロメリット酸二無水物を用いて得られたポリアミド酸のＤＭＦ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を用いて、合成スクメタイトを添加しないほかは実施例２２と同様の方法で７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表２に示す。
【００８３】
（比較例４）
芳香族ジアミンとして、4,4-ジアミノジフェニルエーテルとパラフェニレンジアミンをモル比３：７として、芳香族テトラカルボン酸二無水物としてピロメリット酸二無水物と
3,3',4,4'-ベンゾフェニルテトラカルボン酸二無水物をモル比５：５として得られたポリアミド酸のＤＭＦ溶液（固形分濃度１５％、溶液粘度３，０００  poise）を用いて、合成スクメタイトを添加しないほかは実施例３１と同様の方法で７５μｍ厚のフィルムを得た。得られたフィルムの特性値を表２に示す。
【００８４】
【発明の効果】
以上、実施例１〜実施例２１で示すように、合成粘度鉱物、合成雲母、ガラスビーズ等の固体添加剤を添加すると、熱伝導率が高くなり、また体積抵抗率が低下し、熱伝導性、及び導電性が改善されることがわかる。また、この効果は固体添加剤の添加量が多い方が顕著である。また、実施例２２〜実施例３６で示すように、添加されないポリイミド樹脂と比較して、固体添加剤を添加しても、全光線透過率はあまり低下せず、熱伝導性が改善されるため、導電性の他、透明性を要する分野においても、十分適用することができる。このように、本発明に係る改良されたポリイミド樹脂及びそれからなる耐熱性樹脂フィルムは、機械的特性、透明性等の本来の特性を大きく損なうことなく、熱伝導性や導電性を大きく改良することができるため、ＦＰＣや半導体周辺におけるＩＣのパッケージングなどの近年の高密度実装化に対応可能であり、ベース基材や絶縁材として好適に使用することができる。