(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置決め対象を所望位置に移動する位置決め装置において、
上記位置決め対象を移動させるために駆動する駆動手段と、
上記位置決め対象を所望の速度及び加速度で移動させるように上記駆動手段を制御する制御手段と
を具え、
上記制御手段は、上記駆動手段の仕様により決定する最大速度を複数のレベルに場合分けし、当該レベル毎に、上記位置決め対象の移動距離に応じて、上記位置決め対象の加減速時間を上記位置決め対象の位置決め直後に生じる残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる加速制振と、上記位置決め対象における加速開始タイミングから減速開始タイミングまでの時間を上記残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる減速制振とを切り換えることにより、上記残留振動をキャンセルするように上記駆動手段を制御する
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
上記制御手段は、
上記駆動手段の最大加速度及び上記最大速度を超えない範囲において、上記レベル毎に、
上記位置決め対象の上記移動距離が、上記加減速時間を上記残留振動における１周期の正の整数倍に合わせ得ると共に上記減速制振に切り換えたときよりも短時間で移動し得る距離であった場合、上記加速制振に切り換え、
上記位置決め対象の上記移動距離が、上記加速開始タイミングから上記減速開始タイミングまでの時間を上記残留振動における１周期の正の整数倍に合わせ得ると共に上記加速制振に切り換えたときよりも短時間で移動し得る距離であった場合、上記減速制振に切り換える
ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
上記制御手段は、ジャークフィルタを有し、
上記加速制振又は上記減速制振を実行した後、上記ジャークフィルタを介して当該実行結果に対するフィルタ処理を行う
ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項４】
位置決め対象を所望位置に移動する位置決め方法において、
上記位置決め対象を所望の速度及び加速度で移動させる第１のステップと、
上記位置決め対象を移動させるための駆動手段における仕様により決定する最大速度を複数のレベルに場合分けし、当該レベル毎に、上記位置決め対象の移動距離に応じて、上記位置決め対象の加減速時間を上記位置決め対象の位置決め直後に生じる残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる加速制振と、上記位置決め対象における加速開始タイミングから減速開始タイミングまでの時間を上記残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる減速制振とを切り換えることにより、上記残留振動をキャンセルする第２のステップと
を具えることを特徴とする位置決め方法。
【請求項５】
上記第２のステップでは、
上記駆動手段の最大加速度及び上記最大速度を超えない範囲において、上記レベル毎に、
上記位置決め対象の上記移動距離が、上記加減速時間を上記残留振動における１周期の正の整数倍に合わせ得ると共に上記減速制振に切り換えたときよりも短時間で移動し得る距離であった場合、上記加速制振に切り換え、
上記位置決め対象の上記移動距離が、上記加速開始タイミングから上記減速開始タイミングまでの時間を上記残留振動における１周期の正の整数倍に合わせ得ると共に上記加速制振に切り換えたときよりも短時間で移動し得る距離であった場合、上記減速制振に切り換える
ことを特徴とする請求項４に記載の位置決め方法。
【請求項６】
上記第２のステップにおいて上記加速制振又は上記減速制振を実行した後、上記ジャークフィルタを介して当該実行結果に対するフィルタ処理を行う第３のステップ
を具えることを特徴とする請求項４に記載の位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は位置決め装置及び位置決め方法に関し、例えば半導体素子を基板上に搬送するマウンタに適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のマウンタでは、半導体素子を吸着するヘッドをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させながら位置決め制御する際、当該ヘッドの動作パターンを、いわゆる台形速度指令に基づいて算出された目標軌道を利用して決定するようになされている。
【０００３】
この台形速度指令とは、加速、等速、減速の過程を経て、現在位置から目標位置に到達させるための目標軌道である。その一般的な生成方法は、使用する加速度と速度を決定し、目的とする移動距離に応じて加速度時間、等速時間、減速時間を変更するものである。
【０００４】
例えば図１２に示すように、移動指令として、移動距離ｘ〔ｍ〕、最大速度Ｖｍａｘ〔ｍ／s〕、最大加速度aｍａｘ〔ｍ／s２〕が与えられた場合、各移動距離において、最大速度に達するまで同じ加速度を用いて、目標軌道が生成される。そのときの速度軌道は、図１３に示すように、三角形又は台形となり、三角形の速度軌道である移動距離０〜（Ｖｍａｘ２／aｍａｘ）〔ｍ〕までの間、加速時間及び減速時間は変動する。
【０００５】
このようなマウンタにおいて、位置決め高速化のためにヘッドの移動加速度を大きくすると、ヘッド移動時に生じる反力が大きくなり、マウンタの基台からヘッド支持部を介してヘッドに至るまでの間で振動を生じ易くなる。
【０００６】
この目標位置到着時の残留振動を、目標とする位置決め精度に押さえるためにはヘッドの駆動系が本来発生できる加速度よりも小さな加速度を最大加速度として採用するようになされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このように最大速度、最大加速度が固定された目標値生成方式を用いた場合、最大速度、最大加速度の制約を満たすが、加減速時間や減速開始のタイミングにより変動する目標軌道の加減速成分の周波数特性は、考慮されていない。
【０００８】
この目標軌道における加速度の周波数特性の変動により、位置決め位置決め対象の制御ポイントにおける位置決め完了時の残留振動の様子が変化する問題がある。
【０００９】
かかる問題を解決すべく、加速時間及び減速時間を操作することにより位置決め制御における残留振動の低減方法が提案されている。
【００１０】
まず第１の方法（特公昭60-29121号公報、特開平05-270786号公報、特開平06-170769号公報、特開平07-328965号公報）は、加速時間及び減速時間を振動の固有周波数の整数倍にすることにより残留振動を減少させる方法である。この方法は、ロボットマニュピレータやクレーン等で使用されており、加速時間が残留振動周期の整数倍となる位置決めに用いられている。
【００１１】
しかしマウンタでは加速時間が残留振動の振動周期よりも短い移動が多いため、この方法をそのままマウンタに使用すると、加減速時間を長くして目標軌道による残留振動の制振を行った場合、図１４に示すように、一般的な目標軌道（残留振動10〔Ｈｚ〕の１周期分の加減速時間0.1〔ｓｅｃ〕）では加減速時間内で目標位置に到達する短い距離では必ず残留振動の２周期分の時間かかることになり、高速化が非常に困難となる問題があった。
【００１２】
次に第２の方法（特開平2000-298521号公報）は、位置決め時間をパラメータとしてもつことにより最大速度及び最大加速度の条件を満たしつつ、移動時間と制振の度合いのデータベースを用いることにより制振を行う方法である。
【００１３】
しかしこの方法では、それぞれ各装置ごとに制振を実現するための移動時間と振動の程度についてのデータ作成が必要になり、そのための作業が非常に煩雑になる問題があった。
【００１４】
さらに第３の方法（特開平05-108165号公報）は、目標軌道に対して、移動指令時に与えられる制振用に設定された周波数（以下、これを制振周波数と呼ぶ）の周期の半分だけ時間をずらした同じ目標軌道を足し合わせて２で割る方法である。
【００１５】
しかしこの方法によると、制振周波数の奇数倍の振動周波数に対しては制振できるが、単一では偶数倍の振動周波数に対しては制振できず、さらに同じ手法を２度以上直列に繰り返すことにより任意の２以上の周波数について制振できるが、それぞれの制振周波数の周期の半分を足し合わせた時間、目標軌道生成完了時間が遅くなるという問題があった。
【００１６】
従って、これら第１〜第３の方法の問題を解決する条件として、加速時間、減速時間を位置決め完了時に発生する最も振幅の大きな残留振動の振動周期に応じて変更し、この振動をなるべく生じさせないようにすることが望ましい。
【００１７】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、位置決め対象を従来より一層高速に位置決めすることができる位置決め装置及び位置決め方法を提案しようとするものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため本発明においては、位置決め対象を所望位置に移動する位置決め装置において、位置決め対象を移動させるために駆動する駆動手段と、位置決め対象を所望の速度及び加速度で移動させるように駆動手段を制御する制御手段とを設け、制御手段は、駆動手段の仕様により決定する最大速度を複数のレベルに場合分けし、当該レベル毎に、位置決め対象の移動距離に応じて、位置決め対象の加減速時間を位置決め対象の位置決め直後に生じる残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる加速制振と、位置決め対象における加速開始タイミングから減速開始タイミングまでの時間を残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる減速制振とを切り換えることにより、残留振動をキャンセルするように駆動手段を制御するようにした。
【００１９】
この結果、この位置決め装置では、レベル毎に移動距離に応じた加速制振又は減速制振への切り換えを行うことができ、位置決め時に位置決め対象に生じた残留振動を効率良くキャンセルすることができる。
【００２０】
また本発明においては、位置決め対象を所望位置に移動する位置決め方法において、位置決め対象を所望の速度及び加速度で移動させ、位置決め対象を移動させるための駆動手段における仕様により決定する最大速度を複数のレベルに場合分けし、当該レベル毎に、位置決め対象の加減速時間を位置決め対象の位置決め直後に生じる残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる加速制振と、位置決め対象における加速開始タイミングから減速開始タイミングまでの時間を残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる減速制振とを切り換えることにより、残留振動をキャンセルするようにした。
【００２１】
この結果、この位置決め方法では、レベル毎に移動距離に応じた加速制振又は減速制振への切り換えを行うことができ、位置決め時に位置決め対象に生じた残留振動を効率良くキャンセルすることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下図面について、本発明の一実施の形態を詳述する。
【００２３】
（１）本実施の形態によるマウンタの構成
図１において、１は全体として本実施の形態によるマウンタを示し、当該マウンタ１は、基板搬送部２が供給される加工対象の基板３を架台４上の所定位置にまで搬送し、これを当該所定位置において所定時間固定保持するようになされている。
【００２４】
この架台４上には、当該架台４に対して矢印ａで示す前方向及びこれと逆方向の後方向に移動自在の第１の可動体５と、第１の可動体５に対して矢印ｂで示す右方向及びこれと逆の左方向に移動自在の第２の可動体６と、第２の可動体６に対して矢印ｃで示す上方向及びこれと逆の下方向に移動自在の第３の可動体７とを順次介してヘッド８が配設されている。
【００２５】
ヘッド８は、第３の可動体７に固着されたヘッド本体（図示せず）を有し、当該ヘッド本体の排気口が図示しない管を介して負圧源（図示せず）と接続されており、かくして負圧源から管を介してヘッド８に与えられる負圧に基づいてヘッド８の下端部が半導体素子を吸着し得るようになされている。
【００２６】
これによりこのマウンタ１では、負圧源と、第１、第２及び第３の可動体５〜７でなる可動部１０とを駆動することにより、架台４上に供給された半導体素子をヘッド８の下端部に吸着して搬送でき、かくして基板３の対応するランド上に半導体素子をマウントすることができるようになされている。
【００２７】
実際上このマウンタ１では、動作時、基板搬送部２が供給された加工対象の基板３を架台上の所定位置にまで搬送して固定保持した後、可動部１０が駆動してヘッド８を半導体素子の供給位置の上方にまで移動させ、下降させることにより当該ヘッド８の下端部を供給位置にある半導体素子に密着又は近接させる。
【００２８】
続いて負圧源が駆動することによりヘッド８による半導体素子の吸引を開始し、当該ヘッド８の下端部に半導体素子を１つずつ吸着させる。
【００２９】
次いで可動部１０が駆動してヘッド８を上昇させ、基板搬送部２に固定保持されている基板３上方の所定位置にまで当該ヘッド８を移動させた後、これを下降させる。
【００３０】
さらにヘッド８に吸引保持された半導体素子が基板３の対応するランドに接したところで可動部１０を停止させ、続いて負圧源の駆動を停止させることにより半導体素子の吸引保持を停止する。これによりヘッド８の下端部に吸着された半導体素子を基板３上にマウントする。
【００３１】
かくしてこのマウンタ１では、この後可動部１０が駆動してヘッド８を上昇させると共に、基板搬送部２がこの基板３を送り、この後同様の動作を順次繰り返すことにより、基板搬送部２に供給される基板３に対して順次所定のランド上に半導体素子をマウントするようになされている。
【００３２】
（２）マウンタのハードウェア構成
図２は、上述したマウンタ１における各種動作を制御する制御部２０の回路構成を示す。この制御部２０は、全体の制御を司るＣＰＵ（Central Processing Unit ）２１と、各種ソフトウェアが格納されたＲＯＭ（Read Only Memory）２２と、ＣＰＵ２１のワークメモリとしてのＲＡＭ（Random Access Memory）２３と、ＣＰＵ２１がネットワークを介して外部と通信するためのインターフェース部２４とを有し、これらがバス２５を介して相互に接続されることにより構成されている。
【００３３】
さらに制御部２０には、バス２５を介してＤ／Ａ変換器２６、Ａ／Ｄ変換器２７及びカウンタ２８が接続されており、ＣＰＵ２１から供給される駆動データＤ１をＤ／Ａ変換器２６を介してアナログ電圧に変換した後、当該アナログ電圧をの制御の下で発生される所定電圧をパワーアンプ２９を介して増幅させて可動部１０（図１）のアクチュエータ３０に与えることにより、当該可動部１０を形成する第１、第２及び第３の可動体５〜７を所望状態に駆動するようになされている。
【００３４】
そして第１、第２及び第３の可動体５〜７にはアナログ計測器３１及びディジタル計測器３２が取り付けられており、当該第１、第２及び第３の可動体５〜７のアクチュエータ本体又はボールねじ、ラック・ピニオン、タイミングブルト等の動力伝達機構の駆動状態をアナログ量又はディジタル量で計測し、アナログ量の計測結果は計測器アンプ３３を介して増幅した後、制御２０部内のＡ／Ｄ変換器２７でディジタル変換してＣＰＵ２１に送出する一方、ディジタル量の計測結果は制御部２０内のカウンタ２８を介して計数値に変換してＣＰＵ２１に送出する。
【００３５】
この結果ＣＰＵ２１は、可動部１０（図１）を形成する第１、第２及び第３の可動体５〜７の駆動状態に基づいて、当該第１、第２及び第３の可動体５〜７を所望状態にフィードバック制御し得る。
【００３６】
またＣＰＵ２１は、外部の上位アプリケーション３４から与えられる移動指令情報Ｄ２や制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕を表す周波数情報Ｄ３（共に後述する図５）、各種センサ情報Ｄ４をインターフェース部２４を介して取り込み、当該移動指令情報等Ｄ２〜Ｄ４等と、ＲＯＭ２２に格納されているソフトウェアとに基づいて各種処理を実行する。
【００３７】
（３）本実施の形態による目標軌道生成方法
（３−１）振動をキャンセルするための原理
【００３８】
移動中の位置決め対象を位置決めさせた直後に生じる残留振動をキャンセルする場合、当該位置決め対象を加速して制振させる（以下、これを加速制振と呼ぶ）方法と減速して制振させる（以下、これを減速制振と呼ぶ）方法の２通りの制振方法を組み合わせて、上述した台形速度指令に基づく目標軌道の生成に適用させる。
【００３９】
ここで加速制振とは、インパルス入力に対する振動のような任意の力の入力により生じる振動を、位置決め対象に生じる残留振動の半周期後に同じ方向に同じだけの力で加えることにより、当該残留振動をキャンセルさせる制御である。
【００４０】
具体的には図３（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、第１のインパルス入力（約25〔Ｎ〕）ＩＰ１を加えた時点から0.02〔sec〕後に第２のインパルス入力ＩＰ２を同じ方向に同じだけの力で加えると（図３（Ｂ））、第１のインパルス入力ＩＰ１に応じた振動ＶＡ１に対して半周期後に第２のインパルス入力ＩＰ２に応じた振動ＶＡ２を加えることで残留振動がキャンセルされた振動振幅ＶＡ３を得ることができる。
【００４１】
この加速制振の原理を台形速度指令に基づく目標軌道の生成に適用するには、加減速時間を位置決め対象に生じる残留振動の１周期の正の整数倍の時間となるようにインパルス入力を与えて調整することにより、当該残留振動をキャンセルさせる。
【００４２】
一方、減速制振とは、インパルス入力に対する振動のような任意の力の入力により生じる振動を、位置決め対象に生じる残留振動の１周期の正の整数倍時間後に逆方向に同じだけの力で加えることにより、当該残留振動をキャンセルさせる制御である。
【００４３】
具体的には図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、第１のインパルス入力（約25〔Ｎ〕）ＩＰ３を加えた時点から0.04〔sec〕後に第２のインパルス入力ＩＰ４を逆方向に同じだけの力で加えると（図４（Ｂ））、第１のインパルス入力ＩＰ３に応じた振動ＶＡ５に対して１周期の正の整数倍時間後に第２のインパルス入力ＩＰ４に応じた振動ＶＡ６を加えることで残留振動がキャンセルされた振動振幅ＶＡ７を得ることができる。
【００４４】
この減速制振の原理を台形速度指令に基づく目標軌道の生成に適用するには、加速開始時間から位置決め対象に生じる残留振動の１周期の正の整数倍時間後に減速を開始するようにインパルス入力を与えて調整することにより、当該残留振動をキャンセルさせる。
【００４５】
このように加速制振及び減速制振の両方式について、位置決め対象の移動距離に応じて選択的に切り換えながら、当該両方式をつなぎ合わせることにより、位置決め対象がどのような移動距離をとった場合でも残留振動をキャンセルさせ得るような最も高速移動が可能な目標軌道を導出することができる。
【００４６】
（３−２）目標軌道生成処理
実際にＣＰＵ２１は、図５に示す目標軌道生成処理手順ＲＴ０に従って、位置決め対象の移動時における台形速度指令に基づく目標軌道を、上述した加速制振及び減速制振の組み合わせを用いて生成する。
【００４７】
まずＣＰＵ２１は、ステップＳＰ１において、移動距離ｘ〔ｍ〕、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕からなる移動指令情報Ｄ２と、制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕を表す周波数情報Ｄ３とを上位アプリケーションから受けると、続くステップＳＰ２に進んで、このうち最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕及び制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕に基づいて、以下に述べる制振パラメータの生成判別処理を実行する。
【００４８】
この制振パラメータの生成判別処理では、図６に示すように、まず最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕で制振する制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕の１周期分の時間１／ｆＣ加速したときの速度（以下、これを制振周波数速度と呼ぶ）をｖｆｒｅｑ（＝ａｍａｘ／ｆＣ）〔ｍ／s〕としたとき、ヘッド駆動系の仕様で決まる最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕を例えば６通り（低速、第１及び第２の中速、第１、第２及び第３の高速）に場合分けを行う。
【００４９】
本実施の形態では、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕が次式
【００５０】
【数１】
0003778424.tif 000002
【００５１】
で示すように、０以上で制振周波数速度ｖｆｒｅｑ以下のときには、低速であると判別し、次式
【００５２】
【数２】
0003778424.tif 000003
【００５３】
で示すように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑより大きく制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２分の３倍以下のときには、第１の中速であると判別し、次式
【００５４】
【数３】
0003778424.tif 000004
【００５５】
で示すように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２分の３倍より大きく制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２倍以下のときには、第２の中速であると判別し、次式
【００５６】
【数４】
0003778424.tif 000005
【００５７】
で示すように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２倍より大きく制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２分の５倍以下のときには、第１の高速であると判別し、次式
【００５８】
【数５】
0003778424.tif 000006
【００５９】
で示すように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２分の５倍より大きく制振周波数速度ｖｆｒｅｑの３分の８倍以下のときには、第２の高速であると判別し、次式
【００６０】
【数６】
0003778424.tif 000007
【００６１】
で示すように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑの３分の８倍より大きく制振周波数速度ｖｆｒｅｑの３倍以下のときには、第３の高速であると判別する。
【００６２】
なお、例として取り上げた場合分け使用時の制限として、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕が制振周波数速度ｖｆｒｅｑ〔ｍ／s〕の３倍以下であるか、又は制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕が３×ａｍａｘ／ｖｍａｘ〔Ｈｚ〕以下であることとする。
【００６３】
続いてＣＰＵ２１は、ステップＳＰ３に進んで、上述の判別結果として得られた６通り（低速、第１及び第２の中速、第１、第２及び第３の高速）の最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕について、それぞれ移動距離ｘ〔ｍ〕に応じた制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕及び制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕を計算する。
【００６４】
具体的には、まず低速の場合、図７に示すように、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【００６５】
【数７】
0003778424.tif 000008
【００６６】
で表す範囲内では、１周期の減速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【００６７】
【数８】
0003778424.tif 000009
【００６８】
のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【００６９】
【数９】
0003778424.tif 000010
【００７０】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図７に示す実線ＬＡ）。
【００７１】
また移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【００７２】
【数１０】
0003778424.tif 000011
【００７３】
で表す範囲内では、１周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【００７４】
【数１１】
0003778424.tif 000012
【００７５】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【００７６】
【数１２】
0003778424.tif 000013
【００７７】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積に設定される（図７に示す破線ＬＢ）。
【００７８】
続いて中速（第１及び第２の中速）の場合、図８に示すように、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【００７９】
【数１３】
0003778424.tif 000014
【００８０】
で表す範囲内では、１周期の減速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【００８１】
【数１４】
0003778424.tif 000015
【００８２】
のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【００８３】
【数１５】
0003778424.tif 000016
【００８４】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図８に示す実線ＬＣ）。
【００８５】
また移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【００８６】
【数１６】
0003778424.tif 000017
【００８７】
で表す範囲内では、１周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【００８８】
【数１７】
0003778424.tif 000018
【００８９】
のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ〔ｍ／s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【００９０】
【数１８】
0003778424.tif 000019
【００９１】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図８に示す破線ＬＤ）。
【００９２】
そして移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【００９３】
【数１９】
0003778424.tif 000020
【００９４】
で表す範囲内では、２周期の減速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【００９５】
【数２０】
0003778424.tif 000021
【００９６】
のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の半分の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【００９７】
【数２１】
0003778424.tif 000022
【００９８】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図８に示す破線ＬＥ）。
【００９９】
さらに移動距離ｘ〔ｍ〕が数（１９）で示す最大値を越えた場合には、第１の中速と第２の中速とでは異なる値をとる。
【０１００】
すなわち第１の中速の場合、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１０１】
【数２２】
0003778424.tif 000023
【０１０２】
で表す範囲内では、１周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１０３】
【数２３】
0003778424.tif 000024
【０１０４】
のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑと等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１０５】
【数２４】
0003778424.tif 000025
【０１０６】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図８に示す破線ＬＦ）。
【０１０７】
そして移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１０８】
【数２５】
0003778424.tif 000026
【０１０９】
で表す範囲内では、２周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１１０】
【数２６】
0003778424.tif 000027
【０１１１】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１１２】
【数２７】
0003778424.tif 000028
【０１１３】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の半分の値に設定される（図８に示す実線ＬＧ）。
【０１１４】
一方、第２の中速の場合、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１１５】
【数２８】
0003778424.tif 000029
【０１１６】
で表す範囲内では、１周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１１７】
【数２９】
0003778424.tif 000030
【０１１８】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１１９】
【数３０】
0003778424.tif 000031
【０１２０】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の半分の値に設定される（図８に示す破線ＬＦ）。
【０１２１】
続いて高速（第１、第２及び第３の高速）の場合、図９に示すように、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１２２】
【数３１】
0003778424.tif 000032
【０１２３】
で表す範囲内では、１周期の減速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１２４】
【数３２】
0003778424.tif 000033
【０１２５】
のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１２６】
【数３３】
0003778424.tif 000034
【０１２７】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図９に示す実線ＬＨ）。
【０１２８】
また移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１２９】
【数３４】
0003778424.tif 000035
【０１３０】
で表す範囲内では、１周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１３１】
【数３５】
0003778424.tif 000036
【０１３２】
のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ〔ｍ／s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１３３】
【数３６】
0003778424.tif 000037
【０１３４】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線ＬＩ）。
【０１３５】
そして移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１３６】
【数３７】
0003778424.tif 000038
【０１３７】
で表す範囲内では、２周期の減速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１３８】
【数３８】
0003778424.tif 000039
【０１３９】
のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の半分の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１４０】
【数３９】
0003778424.tif 000040
【０１４１】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線ＬＪ）。
【０１４２】
さらに移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１４３】
【数４０】
0003778424.tif 000041
【０１４４】
で表す範囲内では、２周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１４５】
【数４１】
0003778424.tif 000042
【０１４６】
のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑ〔ｍ／s〕の２倍の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１４７】
【数４２】
0003778424.tif 000043
【０１４８】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線ＬＫ）。
【０１４９】
さらに移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１５０】
【数４３】
0003778424.tif 000044
【０１５１】
で表す範囲内では、２周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１５２】
【数４４】
0003778424.tif 000045
【０１５３】
のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の３分の１の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１５４】
【数４５】
0003778424.tif 000046
【０１５５】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線ＬＬ）。
【０１５６】
さらに移動距離ｘ〔ｍ〕が数（４３）で示す最大値を越えた場合には、第１及び第２の高速と第３の高速とでは異なる値をとる。
【０１５７】
すなわち第１及び第２の高速の場合、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１５８】
【数４６】
0003778424.tif 000047
【０１５９】
で表す範囲内では、２周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１６０】
【数４７】
0003778424.tif 000048
【０１６１】
のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２倍の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１６２】
【数４８】
0003778424.tif 000049
【０１６３】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線ＬＮ）。
【０１６４】
そして移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１６５】
【数４９】
0003778424.tif 000050
【０１６６】
で表す範囲内では、４周期の減速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１６７】
【数５０】
0003778424.tif 000051
【０１６８】
のように、移動距離ｘ〔ｍ〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の４分の１の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１６９】
【数５１】
0003778424.tif 000052
【０１７０】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線ＬＯ）。
【０１７１】
さらに移動距離ｘ〔ｍ〕が数（４９）で示す最大値を越えた場合には、第１の高速と第２の高速とでは異なる値をとる。
【０１７２】
すなわち第１の高速の場合、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１７３】
【数５２】
0003778424.tif 000053
【０１７４】
で表す範囲内では、２周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１７５】
【数５３】
0003778424.tif 000054
【０１７６】
のように、制振周波数速度ｖｆｒｅｑの２倍の値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１７７】
【数５４】
0003778424.tif 000055
【０１７８】
のように、最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕と等しい値に設定される（図９に示す破線ＬＰ）。
【０１７９】
そして移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１８０】
【数５５】
0003778424.tif 000056
【０１８１】
で表す範囲内では、３周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１８２】
【数５６】
0003778424.tif 000057
【０１８３】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１８４】
【数５７】
0003778424.tif 000058
【０１８５】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の３分の１の値に設定される（図９に示す実線ＬＭ）。
【０１８６】
一方、第２の高速の場合、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１８７】
【数５８】
0003778424.tif 000059
【０１８８】
で表す範囲内では、３周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１８９】
【数５９】
0003778424.tif 000060
【０１９０】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１９１】
【数６０】
0003778424.tif 000061
【０１９２】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の３分の１の値に設定される（図９に示す実線ＬＭ）。
【０１９３】
これに対して、第３の高速の場合、移動距離ｘ〔ｍ〕が次式
【０１９４】
【数６１】
0003778424.tif 000062
【０１９５】
で表す範囲内では、３周期の加速制振を行うことにより、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕は、次式
【０１９６】
【数６２】
0003778424.tif 000063
【０１９７】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と等しい値に設定され、また制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕は、次式
【０１９８】
【数６３】
0003778424.tif 000064
【０１９９】
のように、最大速度ｖｍａｘ〔ｍ／s〕と制振周波数ｆＣ〔Ｈｚ〕との積の３分の１の値に設定される（図９に示す実線ＬＭ）。
【０２００】
このようにして制振パラメータの生成方法判別の結果に応じて、６通りに場合分けされた速度（低速、第１及び第２の中速、第１〜第３の高速）について、それぞれ移動距離ｘ〔ｍ〕に応じた制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕、制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕を決定することができる。
【０２０１】
この後ＣＰＵ２１は、ステップＳＰ４に進んで、制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕及び制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕と移動指令情報のうちの移動距離ｘ〔ｍ〕とに基づいて、実時間処理にて時々刻々の目標軌道を生成することができる。
【０２０２】
（４）ジャークフィルタ演算処理
上述した目標軌道生成処理手順ＲＴ０（図５）に続く処理として、いわゆるジャークフィルタを用いた制御演算処理を実行することにより、加速度の変化を滑らかにして高周波域の振動を励起しないように動かすといったジャーク（加速度の微分値）特有の効果を目標軌道の生成に反映させることができる。
【０２０３】
ここで、ｎを遅れサンプル数（１以上の整数）とし、ジャークフィルタにより減衰させる周波数（以下、これをジャーク周波数と呼ぶ）をｆjerk〔Ｈｚ〕とし、サンプル値制御におけるサンプリング周波数をｆsample〔Ｈｚ〕とし、サンプル値制御における遅れ演算子をｚ-1としたとき、ジャークフィルタによるレスポンスＧ（ｚ-1）は、次式
【０２０４】
【数６４】
0003778424.tif 000065
【０２０５】
【数６５】
0003778424.tif 000066
【０２０６】
で表される。但し、目標軌道の生成時間はサンプル数ｎ分長くなる。
【０２０７】
このジャークフィルタによるレスポンスＧ（ｚ-1）を用いて、サンプル数ｎ＝１、２、３、10としたときの周波数特性Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ10を図６に示す。この図６で、横軸はサンプリング周波数ｆsample〔Ｈｚ〕により正規化した周波数を示す。
【０２０８】
またジャークフィルタを用いる前と後の三角速度波形と台形速度波形の様子を図１１（Ａ）及び（Ｂ）に示す（使用前を破線で示し、使用後を実線で示す）。この図１１（Ａ）及び（Ｂ）では、ジャークフィルタにおけるサンプル数ｎ＝100であり、サンプリング周波数ｆsampleは4000〔Ｈｚ〕である。
【０２０９】
このように目標軌道生成後にジャークフィルタを用いることにより、具体的にどの周波数成分を刺激しない目標軌道となるのかがはっきりと判別でき、ジャークを含んでいることによる目標軌道生成完了時間の遅れ時間１／ｆjerk〔sec〕もはっきりと把握でき、遅れサンプル数ｎを指定することによりサンプリング間隔の正の整数分の１という制約はつくもののほぼ任意に、制御周期であるサンプリング間隔に対して比較的高周波成分の振動を減少させることが可能となる。
【０２１０】
またジャークフィルタを用いた目標軌道生成において、ジャーク（加速度の微分値）の大きさによる場合分けが必要なくなるなど、簡略化でき、さらにジャークが位置決め完了時の残留振動に与える影響をフィルタの周波数特性として考慮することができる等、ジャークの大きさの設定について試行錯誤する必要がなくなる。
【０２１１】
さらにフィードフォワード制御器として、ジャークフィルタを使用することにより、制振パラメータ演算部で求めた、残留振動を低減する制振最大速度、制振最大加速度のパラメータの残留振動を低減した目標軌道の周波数特性に付加する、すなわち畳み込まれる形でジャークフィルタの性質が反映されることとなる。
【０２１２】
（５）本実施の形態による動作及び効果
以上の構成において、このマウンタ１では、半導体素子を吸着するヘッド８をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させながら所望位置に位置決めさせたときに、当該ヘッド駆動系の仕様で決まる最大速度ｖmax〔ｍ／s〕を判別して所定条件下で６通り（低速、第１及び第２の中速、第１〜第３の高速）に場合分けを行う。
【０２１３】
続いて６通りに場合分けされたヘッド８の最大速度ｖmax〔ｍ／s〕について、各速度ごとに、移動距離ｘ〔ｍ〕に応じて加速制振又は減速制振を選択的に切り換えながら、当該ヘッド８に生じる残留振動を効率良くキャンセルすることができるような制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕及び制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕を決定する。
【０２１４】
この後、ヘッド８の移動距離ｘ〔ｍ〕に応じて決定された制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕及び制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕に基づいて、時々刻々と変化するヘッド８の動作パターンに合わせて最速な目標軌道を実時間処理で生成することができる。
【０２１５】
このようにヘッド８の位置決め完了時に生じる比較的低周波で振動振幅の大きな残留振動の周波数を特定することにより、残留振動を誘発する周波数及びその正の整数倍の周波数成分を低減した目標軌道を、移動距離ｘ〔ｍ〕に応じた制振最大速度ｖＣ〔ｍ／s〕及び制振最大加速度ａＣ〔ｍ／s２〕の調整により生成することができる。
【０２１６】
さらにヘッド８の移動の際に当該ヘッド８の荷重が変更し、位置決め時に生じる残留振動の様子が変化するような場合でも、予め位置決め完了時のヘッド８の残留振動の様子を把握しておけば、移動指令時に残留振動の周波数を制振周波数として反映させることにより、移動ごとに変動する残留振動にも対応することが可能になる。
【０２１７】
これに加えて、ヘッド８の動作パターンを決定するための目標軌道を生成した後、ジャークフィルタを通過させることにより、目標軌道生成時にジャークを考慮しなくても比較的高周波成分の振動を減少させることができ、より演算量の少ない目標軌道を生成することができる。
【０２１８】
以上の構成によれば、このマウンタ１において、移動時のヘッド８を所望位置に位置決めさせたときに、ヘッド駆動系の仕様で決まる最大速度ｖmax〔ｍ／s〕及び最大加速度ａｍａｘ〔ｍ／s２〕の制限の下で、当該位置決め完了時にヘッド８に生じる残留振動の振動周期に応じて加減速時間及び減速開始のタイミングを調整して、当該残留振動の周波数の正の整数倍となる振動成分を制振した後、当該調整結果を目標軌道の生成に反映させるようにしたことにより、位置決め時にヘッド８に生じた残留振動を効率良くキャンセルすることができ、かくしてヘッド８を従来より一層高速に位置決めすることができるマウンタ１を実現できる。
【０２１９】
さらに目標軌道の生成後にジャークフィルタを用いることにより、比較的高周波成分の振動を減少させ得る分、より高速な目標軌道を生成させることができ、位置決め時にヘッド８に生じた残留振動を一層効率良くキャンセルすることができ、かくしてヘッド８を従来より一層高速に位置決めすることができるマウンタ１を実現できる。
【０２２０】
（６）他の実施の形態
なお上述の実施の形態においては、位置決め対象を所望位置に移動する位置決め装置として、図１に示すようなマウンタ１を適用するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、位置決め対象が駆動源の駆動に応じて動力伝達されるような構成を有する、その他種々の位置決め装置に広く適用することができる。
【０２２１】
また本実施の形態においては、制御手段としてのＣＰＵ２１がヘッド（位置決め対象）８を所望の速度及び加速度で移動させるようにアクチュエータ（駆動手段）３０を制御することを前提として、ヘッド８の位置決め直後に生じる残留振動の振動周期に応じて、当該残留振動をキャンセルするように当該ヘッド８の加減速時間及び減速開始のタイミングを調整するようにアクチュエータ３０を制御するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、要は、ヘッド８の加減速時間が当該ヘッド８の位置決め直後の残留振動の振動周期より短くなる場合でも当該残留振動をキャンセルすることができれば、この他種々の方法によりアクチュエータ３０を駆動制御するようにしても良い。
【０２２２】
さらに本実施の形態においては、制御手段としてのＣＰＵ２１は、ヘッド８の位置決め直後に生じる残留振動の半周期後に同じ方向に同じだけの力で振動を加えて、ヘッド８の加減速時間を、当該残留振動の１周期の正の整数倍の時間に調整すると共に、当該残留振動の１周期の正の整数倍時間後に逆方向に同じだけの力で振動を加えて、ヘッド８の減速開始のタイミングを、加速開始時間から残留振動の１周期の正の整数倍時間後に調整するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、ヘッド８の加減速時間及び減速開始のタイミングは残留振動をキャンセルできれば種々の状態に調整するようにしても良い。
【０２２３】
さらに本実施の形態においては、制御手段としてのＣＰＵ２１は、アクチュエータ（駆動手段）３０の仕様で決定する最大速度を６通りのレベルに場合分けし、当該各レベルごとに、ヘッド８の位置決め直後に生じる残留振動の振動周期に応じてヘッド８の加減速時間及び減速開始のタイミングを調整するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、駆動手段の仕様で決定する最大速度の制限下であれば、５通り以下又は７通り以上の任意のレベルで場合分けをするようにしても良い。
【０２２４】
【発明の効果】
上述のように本発明によれば、位置決め対象を所望位置に移動する位置決め装置において、位置決め対象を移動させるために駆動する駆動手段と、位置決め対象を所望の速度及び加速度で移動させるように駆動手段を制御する制御手段とを設け、制御手段は、駆動手段の仕様により決定する最大速度を複数のレベルに場合分けし、当該レベル毎に、位置決め対象の移動距離に応じて、位置決め対象の加減速時間を位置決め対象の位置決め直後に生じる残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる加速制振と、位置決め対象における加速開始タイミングから減速開始タイミングまでの時間を残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる減速制振とを切り換えることにより、残留振動をキャンセルするように駆動手段を制御するようにしたことにより、レベル毎に移動距離に応じた加速制振又は減速制振への切り換えを行い位置決め時に位置決め対象に生じた残留振動を効率良くキャンセルすることができ、かくして位置決め対象を従来より一層高速に位置決めすることができる位置決め装置を実現できる。
【０２２５】
また本発明によれば、位置決め対象を所望位置に移動する位置決め方法において、位置決め対象を所望の速度及び加速度で移動させ、位置決め対象を移動させるための駆動手段における仕様により決定する最大速度を複数のレベルに場合分けし、当該レベル毎に、位置決め対象の移動距離に応じて、位置決め対象の加減速時間を位置決め対象の位置決め直後に生じる残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる加速制振と、位置決め対象における加速開始タイミングから減速開始タイミングまでの時間を残留振動における１周期の正の整数倍に合わせる減速制振とを切り換えることにより、残留振動をキャンセルするようにしたことにより、レベル毎に移動距離に応じた加速制振又は減速制振への切り換えを行い位置決め時に位置決め対象に生じた残留振動を効率良くキャンセルすることができ、かくして位置決め対象を従来より一層高速に位置決めすることができる位置決め方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態によるマウンタの構成を示す略線的な斜視図である。
【図２】図１に示すマウンタ内部のハードウェア構成を示すブロック図である。
【図３】加速制振の説明に供するグラフである。
【図４】減速制振の説明に供するグラフである。
【図５】目標軌道生成処理手順の説明に供するフローチャートである。
【図６】ヘッド駆動系の仕様で決まる最大速度の場合分けについての説明に供するグラフである。
【図７】低速の場合における制振最大速度及び制振最大加速度の算出方法の説明に供するグラフである。
【図８】中速の場合における制振最大速度及び制振最大加速度の算出方法の説明に供するグラフである。
【図９】高速の場合における制振最大速度及び制振最大加速度の算出方法の説明に供するグラフである。
【図１０】ジャークフィルタの周波数特性を表すグラフである。
【図１１】ジャークフィルタの使用前後の速度及び加速度を表すグラフである。
【図１２】従来の目標軌道生成方法の説明に供する概念図である。
【図１３】従来の目標軌道を表すグラフである。
【図１４】従来の目標軌道を表すグラフである。
【符号の説明】
１……マウンタ、８……ヘッド、５〜７……第１〜第３の可動体、１０……可動部、２０……制御部、２１……ＣＰＵ、３０……アクチュエータ、Ｄ２……移動指令情報、Ｄ３……周波数情報、ＲＴ０……目標軌道生成処理手順。
【図１】
0003778424.tif 000067
【図２】
0003778424.tif 000068
【図３】
0003778424.tif 000069
【図４】
0003778424.tif 000070
【図５】
0003778424.tif 000071
【図６】
0003778424.tif 000072
【図７】
0003778424.tif 000073
【図８】
0003778424.tif 000074
【図９】
0003778424.tif 000075
【図１０】
0003778424.tif 000076
【図１１】
0003778424.tif 000077
【図１２】
0003778424.tif 000078
【図１３】
0003778424.tif 000079
【図１４】
0003778424.tif 000080