(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成方法であって、
基板を載置台に載置して、基板を回転する工程と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出して、回転する基板の略中央から外縁に向けて塗布液を拡散させる工程と、
この拡散する塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出する工程と、
前記検出された輪郭線の拡がり状態において、塗布液の外周の輪郭線を破って形成されたスクラッチパッドが検出された際に、スクラッチパッドの径方向の幅を把握し、この幅が所定値以下になるように、基板の回転速度、前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出量、および前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出速度のうち少なくとも１つを制御する工程と
を具備することを特徴とする塗布膜形成方法。
【請求項２】
前記制御工程は、スクラッチパッドの径方向の幅が所定値を超える場合に、基板の回転速度の低下、前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出量の増加、および前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出速度の増加うち少なくとも１つを行うことを特徴とする請求項１に記載の塗布膜形成方法。
【請求項３】
さらに、前記検出された輪郭線の拡がり状態に基づいて、前記輪郭線よりも外周側のウエハ上にシンナーおよびシンナー雰囲気のうち少なくとも１つを供給する工程を具備することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の塗布膜形成方法。
【請求項４】
処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成方法であって、
基板を載置台に載置して、基板を回転する工程と、
基板への塗布液の供給に先立って、基板の表面を濡らすための溶剤を回転する基板の中央に供給する工程と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出して、回転する基板の略中央から外縁に向けて塗布液を拡散させる工程と、
この拡散する塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出する工程と、
前記検出された輪郭線の拡がり状態に基づいて、前記輪郭線よりも外周側のウエハ上にシンナーおよびシンナー雰囲気のうち少なくとも１つを供給する工程とを具備することを特徴とする塗布膜形成方法。
【請求項５】
処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成方法であって、
基板を載置台に載置して、基板を回転する工程と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出して、回転する基板の略中央から外縁に向けて塗布液を拡散させる工程と、
吐出された塗布液が回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散される際に、拡散する塗布液の外周の輪郭線を破って形成されるスクラッチパッドの複数の突出部のうち隣接する突出部において、それぞれの突出部の頂点と基板の中心とを結ぶ線が形成する角度のばらつきを検出する工程と
を具備することを特徴とする塗布膜形成方法。
【請求項６】
スクラッチパッドの突出部を検出し、その突出長さが所定値以上の突出部が存在していたときに前記検出工程を実行することを特徴とする請求項５に記載の塗布膜形成方法。
【請求項７】
前記検出工程は、前記突出部のうち突出長さが所定値以下のものを除いて行われることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の塗布膜形成方法。
【請求項８】
前記ばらつきが所定値以下の場合には基板の回転速度を第１の加速度で減速し、前記ばらつきが所定値を越える場合にはそのことを報知することを特徴とする請求項５から請求項７のいずれか１項に記載の塗布膜形成方法。
【請求項９】
前記ばらつきが所定値を越える場合には基板の回転速度を前記第１の加速度よりも大きい第２の加速度で減速することを特徴とする請求項８に記載の塗布膜形成方法。
【請求項１０】
前記減速開始後に、塗布液の外周の輪郭線の突出部の突出長さを検出し、該突出長さが所定値以下である場合には、減速を終了し、回転速度を一定にすることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の塗布膜形成方法。
【請求項１１】
さらに、前記輪郭線よりも外周側のウエハ上にシンナーおよびシンナー雰囲気のうち少なくとも１つを供給する工程を具備することを特徴とする請求項５から請求項１０のいずれか１項に記載の塗布膜形成方法。
【請求項１２】
処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布装置であって、
基板を載置して回転するための基板回転手段と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出させる吐出手段と、
吐出された塗布液が回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散される際に、塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出する検出手段と、
この輪郭線の拡がり状態において、塗布液の外周の輪郭線を破って形成されたスクラッチパッドが検出された際に、スクラッチパッドの径方向の幅を把握し、この幅が所定値以下になるように、基板の回転速度、前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出量、および前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出速度のうち少なくとも１つを制御する制御手段と
を具備することを特徴とする塗布装置。
【請求項１３】
前記制御手段は、スクラッチパッドの径方向の幅が所定値を超える場合に、基板の回転速度の低下、前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出量の増加、および前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出速度の増加うち少なくとも１つを行うことを特徴とする請求項１２に記載の塗布装置。
【請求項１４】
さらに、前記検出された輪郭線の拡がり状態に基づいて、前記輪郭線よりも外周側のウエハ上にシンナーおよびシンナー雰囲気のうち少なくとも１つを供給する手段を具備することを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載の塗布装置。
【請求項１５】
処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布装置であって、
基板を載置して回転するための基板回転手段と、
基板への塗布液の供給に先立って、基板の表面を濡らすための溶剤を回転する基板の中央に供給する溶剤供給手段と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出させる吐出手段と、
吐出された塗布液が回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散される際に、塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出する検出手段と、
前記検出された輪郭線の拡がり状態に基づいて、前記輪郭線よりも外周側のウエハ上にシンナーおよびシンナー雰囲気のうち少なくとも１つを供給する手段とを具備することを特徴とする塗布装置。
【請求項１６】
処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布装置であって、
基板を載置して回転するための基板回転手段と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出させる吐出手段と、
吐出された塗布液が回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散される際に、拡散する塗布液の外周の輪郭線を破って形成されるスクラッチパッドの複数の突出部のうち隣接する突出部において、それぞれの突出部の頂点と基板の中心とを結ぶ線が形成する角度のばらつきを検出する手段と
を具備することを特徴とする塗布装置。
【請求項１７】
スクラッチパッドの突出部を検出し、その突出長さが所定値以上の突出部が存在していたときに前記検出手段が前記ばらつきの検出を実行することを特徴とする請求項１６に記載の塗布装置。
【請求項１８】
前記検出手段は、前記突出部のうち突出長さが所定値以下のものを除いて、前記ばらつきの検出を行うことを特徴とする請求項１６または請求項１７に記載の塗布装置。
【請求項１９】
前記ばらつきが所定値以下の場合には基板の回転速度を第１の加速度で減速し、前記ばらつきが所定値を越える場合にはそれを報知することを特徴とする請求項１８に記載の塗布装置。
【請求項２０】
前記ばらつきが所定値を超える場合には基板の回転速度を前記第１の加速度よりも大きい第２の加速度で減速することを特徴とする請求項１９に記載の塗布装置。
【請求項２１】
前記減速開始後に、塗布液の外周の輪郭線の突出部の突出長さを検出し、該突出長さが所定値以下である場合には、減速を終了し、回転速度を一定にすることを特徴とする請求項１９または請求項２０に記載の塗布装置。
【請求項２２】
さらに、前記輪郭線よりも外周側のウエハ上にシンナーおよびシンナー雰囲気のうち少なくとも１つを供給する工程を具備することを特徴とする請求項１６から請求項２１のいずれか１項に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の基板の表面上に、例えばレジスト膜のような塗布膜を形成するための塗布膜形成方法および塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体デバイスのフォトリソグラフィー工程においては、半導体ウエハにフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いて回路パターンをフォトレジストに転写し、これを現像処理することにより回路が形成される。この工程には、レジスト液を半導体ウエハの表面に塗布する塗布膜形成工程が含まれる。
【０００３】
この場合のレジスト膜の形成方法では、図１３に示すように、半導体ウエハＷを処理容器内のスピンチャック（図示略）に載置して、ウエハＷを駆動モータ２０１により回転する。そして、ベローズポンプ等のポンプ２０２によりレジスト液をレジスト液供給ノズル２０３からウエハＷの中心部に滴下する。これにより、図１３に多数の矢印で示すように、レジスト液Ｒは、遠心力によりウエハＷの中心部から周縁部に向けて拡散される。その後、ウエハＷの回転を継続し、ウエハＷ上で拡散されたレジスト液Ｒの厚さを整えて、ウエハＷ上に、膜厚均一なレジスト膜を形成するとともに、余分なレジスト液を振り切っている。
【０００４】
【発明が解決しようする課題】
図１３に多数の矢印で示すように、レジスト液Ｒが遠心力によりウエハＷの中心部から周縁部に向けて拡散する際には、レジスト液Ｒの外周囲の円形状の輪郭線は、遠心力によってその径を徐々に大きくしながら拡がり、最終的に、この円形状を維持したままウエハＷの外縁に到達する。これにより、レジスト液ＲがウエハＷ全面に均一な厚さで塗布される。
【０００５】
しかしながら、レジスト液ＲがウエハＷの中心部から周縁部に向けて拡散する際、図１４に示すように、レジスト液Ｒの円形状の輪郭線は、その円形状を維持できずに、この円形輪郭線を破ってその外方に飛び出す部分が各所にあらわれ、輪郭線が波形になることがある。この波形の輪郭線は、「スクラッチパッド」と称され、これはレジスト液ＲがウエハＷ上で均一に拡がることができないことを意味し、その程度が激しいとレジスト液の「塗り残し」が生じ、レジスト膜をウエハＷ全面に膜厚均一に形成することができないおそれがある。
【０００６】
このスクラッチパッドＳが生じる原因としては、レジスト液Ｒの円形状の輪郭線が外側に拡がるにつれて、遠心力が大きく作用し、この輪郭線の拡がり速度が大きくなり、その結果、円形状の輪郭線を破る部分が各所に現れるためと推測される。
【０００７】
ところで、近年、製造コストの削減等の理由によりレジスト消費量を減らす観点から、滴下するレジスト液の量を少なくすることが行われており、そのため、レジスト液を塗布する前にシンナー等の溶剤を塗布してレジスト液の濡れ性を良くし、スクラッチパッドを防止している。しかし、レジスト量が少ない場合には、本質的にスクラッチパッドが生じやすく、また溶剤の濡れ性が悪い場合にもスクラッチパッドが生じやすい。
【０００８】
このようなスクラッチパッドを防止して「塗り残し」をなくすため、従来は、本来必要な量よりも若干過剰な量のレジスト液を供給せざるを得ず、レジスト消費量を極力削減したいという要求に反する結果となっている。
【０００９】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、スクラッチパッドの生成を防止ないしはその程度を小さくして、基板での塗布液の塗り残しをなくすることができ、使用する塗布液の量を少なくすることができる塗布膜形成方法および塗布装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の第１の観点によれば、処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成方法であって、
基板を載置台に載置して、基板を回転する工程と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出して、回転する基板の略中央から外縁に向けて塗布液を拡散させる工程と、
この拡散する塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出する工程と、
前記検出された輪郭線の拡がり状態において、塗布液の外周の輪郭線を破って形成されたスクラッチパッドが検出された際に、スクラッチパッドの径方向の幅を把握し、この幅が所定値以下になるように、基板の回転速度、前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出量、および前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出速度のうち少なくとも１つを制御する工程と
を具備することを特徴とする塗布膜形成方法が提供される。
【００１１】
本発明の第２の観点によれば、処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成方法であって、
基板を載置台に載置して、基板を回転する工程と、
基板への塗布液の供給に先立って、基板の表面を濡らすための溶剤を回転する基板の中央に供給する工程と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出して、回転する基板の略中央から外縁に向けて塗布液を拡散させる工程と、
この拡散する塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出する工程と、
前記検出された輪郭線の拡がり状態に基づいて、前記輪郭線よりも外周側のウエハ上にシンナーおよびシンナー雰囲気のうち少なくとも１つを供給する工程を具備することを特徴とする塗布膜形成方法が提供される。
【００１２】
本発明の第３の観点によれば、処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成方法であって、
基板を載置台に載置して、基板を回転する工程と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出して、回転する基板の略中央から外縁に向けて塗布液を拡散させる工程と、
吐出された塗布液が回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散される際に、拡散する塗布液の外周の輪郭線を破って形成されるスクラッチパッドの複数の突出部のうち隣接する突出部において、それぞれの突出部の頂点と基板の中心とを結ぶ線が形成する角度のばらつきを検出する工程と
を具備することを特徴とする塗布膜形成方法が提供される。
【００１３】
本発明の第４の観点によれば、処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布装置であって、
基板を載置して回転するための基板回転手段と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出させる吐出手段と、
吐出された塗布液が回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散される際に、塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出する検出手段と、
この輪郭線の拡がり状態において、塗布液の外周の輪郭線を破って形成されたスクラッチパッドが検出された際に、スクラッチパッドの径方向の幅を把握し、この幅が所定値以下になるように、基板の回転速度、前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出量、および前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出速度のうち少なくとも１つを制御する制御手段と
を具備することを特徴とする塗布装置が提供される。
【００１４】
本発明の第５の観点によれば、処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布装置であって、
基板を載置して回転するための基板回転手段と、
基板への塗布液の供給に先立って、基板の表面を濡らすための溶剤を回転する基板の中央に供給する溶剤供給手段と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出させる吐出手段と、
吐出された塗布液が回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散される際に、塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出する検出手段と、
前記検出された輪郭線の拡がり状態に基づいて、前記輪郭線よりも外周側のウエハ上にシンナーおよびシンナー雰囲気のうち少なくとも１つを供給する手段とを具備することを特徴とする塗布装置が提供される。
【００１５】
本発明の第６の観点によれば、処理容器内に収容された基板の表面上に、塗布液供給ノズルから塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布装置であって、
基板を載置して回転するための基板回転手段と、
前記塗布液供給ノズルから基板の略中央に塗布液を吐出させる吐出手段と、
吐出された塗布液が回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散される際に、拡散する塗布液の外周の輪郭線を破って形成されるスクラッチパッドの複数の突出部のうち隣接する突出部において、それぞれの突出部の頂点と基板の中心とを結ぶ線が形成する角度のばらつきを検出する手段と
を具備することを特徴とする塗布装置が提供される。
【００１６】
本発明者の検討結果によれば、塗布液の輪郭線の拡がり状態と、塗布液の塗り残しの発生とは関係があり、この輪郭線の拡がり状態に基づいて塗布処理を行うことによって、塗り残しを生じることなく塗布液の使用量を低減することができることを見出した。
【００１７】
そこで、上記本発明の第１の観点および第４の観点においては、塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出し、この輪郭線の拡がり状態に基づいて、基板の回転速度、前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出量、および前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出速度のうち少なくとも１つを制御することにより、塗り残しを生じることなく塗布液の使用量を低減することができる。
【００１８】
具体的には、スクラッチパッドの発生は塗布液の拡がり速度に大きく依存し、遠心力が大きくなって塗布液の拡がり速度が所定速度以上となるとスクラッチパッドが生じるので、塗布液の輪郭線の拡がり状態から拡がり速度を算出し、この拡がり速度が所定速度以下になるように、基板の回転速度、前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出量、および前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出速度のうち少なくとも１つを制御することにより、スクラッチパッドの発生を防止することができる。また、スクラッチパッドが生じても、ある程度までは塗布液の塗り残しの原因とならないので、スクラッチパッドが検出された際に、スクラッチパッドの径方向の幅を把握し、この幅が所定値以下になるように、基板の回転速度等を制御することにより、スクラッチパッドに起因した塗り残しの発生を防止することができる。
【００１９】
また、本発明の第２の観点および第５の観点においては、塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出し、この輪郭線の拡がり状態に基づいて、前記輪郭線よりも外周側のウエハ上にシンナーおよびシンナー雰囲気のうち少なくとも１つを供給することにより、塗り残しの発生を防止することができる。
【００２０】
さらにまた、上記本発明の第３の観点および第６の観点においては、塗布液が拡散される際に、拡散する塗布液の外周の輪郭線を破って形成されるスクラッチパッドの突出部がなす角度のばらつきを検出するので、このばらつきが過大で不適当な基板をピックアップ可能である。また、所定値を越えるばらつきを検出した場合には、使用者等にメンテナンスの必要性を知らせることによりそれ以降に処理される基板に不具合が発生することを防止することができる。さらに、基板の回転速度を大きく減速することにより複数の突出部のうち隣接する突出部がなす角度のばらつきを解消することも可能である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は本発明の実施に用いるレジスト塗布・現像処理システムを示す概略平面図、図２はその正面図、図３はその背面図である。
【００２２】
この処理システムは、搬送ステーションであるカセットステーション１０と、複数の処理ユニットを有する処理ステーション１１と、処理ステーション１１と隣接して設けられる露光装置（図示せず）との間でウエハＷを受け渡すためのインターフェイス部１２とを具備している。
【００２３】
上記カセットステーション１０は、被処理体としての半導体ウエハＷ（以下、単にウエハと記す）を複数枚例えば２５枚単位でウエハカセットＣＲに搭載された状態で他のシステムからこのシステムへ搬入またはこのシステムから他のシステムへ搬出したり、ウエハカセットＣＲと処理ステーション１１との間でウエハＷの搬送を行うためのものである。
【００２４】
このカセットステーション１０においては、図１に示すように、ウエハカセット載置台２０上に図中Ｘ方向に沿って複数（図では４個）の位置決め突起２０ａが形成されており、この突起２０ａの位置にウエハカセットＣＲがそれぞれのウエハ出入口を処理ステーション１１側に向けて一列に載置可能となっている。ウエハカセットＣＲにおいてはウエハＷが垂直方向（Ｚ方向）に配列されている。また、カセットステーション１０は、ウエハカセット載置台２０と処理ステーション１１との間に位置するウエハ搬送機構２１を有している。このウエハ搬送機構２１は、カセット配列方向（Ｘ方向）およびその中のウエハＷのウエハ配列方向（Ｚ方向）に移動可能なウエハ搬送用アーム２１ａを有しており、この搬送アーム２１ａによりいずれかのウエハカセットＣＲに対して選択的にアクセス可能となっている。また、ウエハ搬送用アーム２１ａは、θ方向に回転可能に構成されており、後述する処理ステーション１１側の第３の処理部Ｇ３に属するアライメントユニット（ＡＬＩＭ）およびエクステンションユニット（ＥＸＴ）にもアクセスできるようになっている。
【００２５】
上記処理ステーション１１は、半導体ウエハＷへ対して塗布・現象を行う際の一連の工程を実施するための複数の処理ユニットを備え、これらが所定位置に多段に配置されており、これらにより半導体ウエハＷが一枚ずつ処理される。この処理ステーション１１は、図１に示すように、中心部に搬送路２２ａを有し、この中に主ウエハ搬送機構２２が設けられ、ウエハ搬送路２２ａの周りに全ての処理ユニットが配置されている。これら複数の処理ユニットは、複数の処理部に分かれており、各処理部は複数の処理ユニットが鉛直方向に沿って多段に配置されている。
【００２６】
主ウエハ搬送機構２２は、図３に示すように、筒状支持体４９の内側に、ウエハ搬送装置４６を上下方向（Ｚ方向）に昇降自在に装備している。筒状支持体４９はモータ（図示せず）の回転駆動力によって回転可能となっており、それにともなってウエハ搬送装置４６も一体的に回転可能となっている。
【００２７】
ウエハ搬送装置４６は、搬送基台４７の前後方向に移動自在な複数本の保持部材４８を備え、これらの保持部材４８によって各処理ユニット間でのウエハＷの受け渡しを実現している。
【００２８】
また、図１に示すように、この実施の形態においては、４個の処理部Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４がウエハ搬送路２２ａの周囲に実際に配置されており、処理部Ｇ５は必要に応じて配置可能となっている。
【００２９】
これらのうち、第１および第２の処理部Ｇ１，Ｇ２はシステム正面（図１において手前）に並列に配置され、第３の処理部Ｇ３はカセットステーション１０に隣接して配置され、第４の処理部Ｇ４はインターフェイス部１２に隣接して配置されている。また、第５の処理部Ｇ５は背面部に配置可能となっている。
【００３０】
この場合、図２に示すように、第１の処理部Ｇ１では、カップＣＰ内でウエハＷをスピンチャック（図示せず）に載置して所定の処理を行う２台のスピナ型処理ユニットが上下２段に配置されており、この実施形態においては、ウエハＷにレジストを塗布するレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）およびレジストのパターンを現像する現像ユニット（ＤＥＶ）が下から順に２段に重ねられている。第２の処理部Ｇ２も同様に、２台のスピナ型処理ユニットとしてレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）および現像ユニット（ＤＥＶ）が下から順に２段に重ねられている。
【００３１】
このようにレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）等を下段側に配置する理由は、レジスト液の廃液が機構的にもメンテナンスの上でも現像液の廃液よりも本質的に複雑であり、このように塗布ユニット（ＣＯＴ）等を下段に配置することによりその複雑さが緩和されるからである。しかし、必要に応じてレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）等を上段に配置することも可能である。
【００３２】
第３の処理部Ｇ３においては、図３に示すように、ウエハＷを載置台ＳＰに載せて所定の処理を行うオーブン型の処理ユニットが多段に重ねられている。すなわち冷却処理を行うクーリングユニット（ＣＯＬ）、レジストの定着性を高めるためのいわゆる疎水化処理を行うアドヒージョンユニット（ＡＤ）、位置合わせを行うアライメントユニット（ＡＬＩＭ）、ウエハＷの搬入出を行うエクステンションユニット（ＥＸＴ）、露光処理前や露光処理後、さらには現像処理後にウエハＷに対して加熱処理を行う４つのホットプレートユニット（ＨＰ）が下から順に８段に重ねられている。なお、アライメントユニット（ＡＬＩＭ）の代わりにクーリングユニット（ＣＯＬ）を設け、クーリングユニット（ＣＯＬ）にアライメント機能を持たせてもよい。
【００３３】
第４の処理部Ｇ４も、オーブン型の処理ユニットが多段に重ねられている。すなわち、クーリングユニット（ＣＯＬ）、クーリングプレートを備えたウエハ搬入出部であるエクステンション・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）、エクステンションユニット（ＥＸＴ）、クーリングユニット（ＣＯＬ）、および４つのホットプレートユニット（ＨＰ）が下から順に８段に重ねられている。
【００３４】
上述したように、主ウエハ搬送機構２２の背部側に第５の処理部Ｇ５を設けることができるが、第５の処理部Ｇ５を設ける場合には、案内レール２５に沿って主ウエハ搬送機構２２から見て側方へ移動できるようになっている。したがって、第５の処理部Ｇ５を設けた場合でも、これを案内レール２５に沿ってスライドすることにより空間部が確保されるので、主ウエハ搬送機構２２に対して背後からメンテナンス作業を容易に行うことができる。この場合に、このような直線状の移動に限らず、回動させるようにしても同様にスペースの確保を図ることができる。なお、この第５の処理部Ｇ５としては、基本的に第３および第４の処理部Ｇ３，Ｇ４と同様、オープン型の処理ユニットが多段に積層された構造を有しているものを用いることができる。
【００３５】
上記インターフェイス部１２は、奥行方向（Ｘ方向）については、処理ステーション１１と同じ長さを有している。図１、図２に示すように、このインターフェイス部１２の正面部には、可搬性のピックアップカセットＣＲと定置型のバッファカセットＢＲが２段に配置され、背面部には周辺露光装置２３が配設され、中央部には、ウエハ搬送体２４が配設されている。このウエハ搬送体２４は、Ｘ方向、Ｚ方向に移動して両カセットＣＲ，ＢＲおよび周辺露光装置２３にアクセス可能となっている。また、このウエハ搬送体２４は、θ方向に回転可能であり、処理ステーション１１の第４の処理部Ｇ４に属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）や、さらには隣接する露光装置側のウエハ受け渡し台（図示せず）にもアクセス可能となっている。
【００３６】
このようなレジスト塗布現像処理システムにおいては、まず、カセットステーション１０において、ウエハ搬送機構２１のウエハ搬送用アーム２１ａがカセット載置台２０上の未処理のウエハＷを収容しているウエハカセットＣＲにアクセスして、そのカセットＣＲから一枚のウエハＷを取り出し、第３の処理部Ｇ３のエクステンションユニット（ＥＸＴ）に搬送する。
【００３７】
ウエハＷは、このエクステンションユニット（ＥＸＴ）から、主ウエハ搬送機構２２のウエハ搬送装置４６により、処理ステーション１１に搬入される。そして、第３の処理部Ｇ３のアライメントユニット（ＡＬＩＭ）によりアライメントされた後、アドヒージョン処理ユニット（ＡＤ）に搬送され、そこでレジストの定着性を高めるための疎水化処理（ＨＭＤＳ処理）が施される。この処理は加熱を伴うため、その後ウエハＷは、ウエハ搬送装置４６により、クーリングユニット（ＣＯＬ）に搬送されて冷却される。
【００３８】
アドヒージョン処理が終了し、クーリングユニット（ＣＯＬ）で冷却されたウエハＷは、引き続き、ウエハ搬送装置４６によりレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）に搬送され、そこで塗布膜が形成される。塗布処理終了後、ウエハＷは処理部Ｇ３，Ｇ４のいずれかのホットプレートユニット（ＨＰ）内でプリベーク処理され、その後いずれかのクーリングユニット（ＣＯＬ）にて冷却される。
【００３９】
冷却されたウエハＷは、第３の処理部Ｇ３のアライメントユニット（ＡＬＩＭ）に搬送され、そこでアライメントされた後、第４の処理部群Ｇ４のエクステンションユニット（ＥＸＴ）を介してインターフェイス部１２に搬送される。
【００４０】
インターフェイス部１２では、余分なレジストを除去するために周辺露光装置２３により周辺露光された後、インターフェイス部１２に隣接して設けられた露光装置（図示せず）により所定のパターンに従ってウエハＷのレジスト膜に露光処理が施される。
【００４１】
露光後のウエハＷは、再びインターフェイス部１２に戻され、ウエハ搬送体２４により、第４の処理部Ｇ４に属するエクステンションユニット（ＥＸＴ）に搬送される。そして、ウエハＷは、ウエハ搬送装置４６により、いずれかのホットプレートユニット（ＨＰ）に搬送されてポストエクスポージャーベーク処理が施され、次いで、クーリングユニット（ＣＯＬ）により冷却される。
【００４２】
その後、ウエハＷは現像ユニット（ＤＥＶ）に搬送され、そこで露光パターンの現像が行われる。現像終了後、ウエハＷはいずれかのホットプレートユニット（ＨＰ）に搬送されてポストベーク処理が施され、次いで、クーリングユニット（ＣＯＬ）により冷却される。このような一連の処理が終了した後、第３処理ユニット群Ｇ３のエクステンションユニット（ＥＸＴ）を介してカセットステーション１０に戻され、いずれかのウエハカセットＣＲに収容される。
【００４３】
次に、レジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）について説明する。図４および図５は、レジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の全体構成を示す概略断面図および概略平面図である。
【００４４】
このレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の中央部には環状のカップＣＰが配置され、カップＣＰの内側にはスピンチャック５２が配置されている。スピンチャック５２は真空吸着によってウエハＷを固定保持した状態で駆動モータ５４によって回転駆動される。駆動モータ５４は、ユニット底板５０に設けられた開口５０ａに昇降移動可能に配置され、たとえばアルミニウムからなるキャップ状のフランジ部材５８を介してたとえばエアシリンダからなる昇降駆動手段６０および昇降ガイド手段６２と結合されている。駆動モータ５４の側面にはたとえばステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる筒状の冷却ジャケット６４が取り付けられ、フランジ部材５８は、この冷却ジャケット６４の上半部を覆うように取り付けられている。
【００４５】
レジスト塗布時、フランジ部材５８の下端５８ａは、開口５０ａの外周付近でユニット底板５０に密着し、これによってユニット内部が密閉される。スピンチャック５２と主ウエハ搬送機構２２の保持部材４８との間でウエハＷの受け渡しが行われる時は、昇降駆動手段６０が駆動モータ５４ないしスピンチャック５２を上方へ持ち上げることでフランジ部材５８の下端がユニット底板５０から浮くようになっている。
【００４６】
ウエハＷの表面にレジスト液を供給するためのレジストノズル８６は、レジスト供給管８８を介してレジスト液供給部８９に接続されている。このレジストノズル８６はレジストノズルスキャンアーム９２の先端部にノズル保持体１００を介して着脱可能に取り付けられている。このレジストノズルスキャンアーム９２は、ユニット底板５０の上に一方向（Ｙ方向）に敷設されたガイドレール９４上で水平移動可能な垂直支持部材９６の上端部に取り付けられており、図示しないＹ方向駆動機構によって垂直支持部材９６と一体にＹ方向に移動するようになっている。
【００４７】
また、レジストノズル８６は、レジスト液を一旦吐出した後、サックバックされるようになっており、これにより、レジスト液の液垂れを防止するとともに、レジスト液の乾燥を防止している。
【００４８】
さらに、レジストノズルスキャンアーム９２は、レジストノズル待機部９０でレジストノズル８６を選択的に取り付けるためにＹ方向と直角なＸ方向にも移動可能であり、図示しないＸ方向駆動機構によってＸ方向にも移動するようになっている。
【００４９】
さらにまた、レジストノズル待機部９０でレジストノズル８６の吐出口が溶媒雰囲気室の口９０ａに挿入され、中で溶媒の雰囲気に晒されることで、ノズル先端のレジスト液が固化または劣化しないようになっている。また、複数本のレジストノズル８６が設けられ、例えばレジスト液の種類に応じてそれらのノズルが使い分けられるようになっている。
【００５０】
レジストノズルスキャンアーム９２の先端部（ノズル保持体１００）には、ウエハ表面へのレジスト液の供給に先立ってウエハ表面にウエハ表面を濡らすための溶剤例えばシンナーを供給する溶剤ノズル１０１が取り付けられている。この溶剤ノズル１０１は図示しない溶剤供給管を介して溶剤供給部に接続されている。溶剤ノズル１０１とレジストノズル８６はレジストノズルスキャンアーム９２のＹ移動方向に沿う直線上に各々の吐出口が位置するように取り付けられている。
【００５１】
ガイドレール９４上には、レジストノズルスキャンアーム９２を支持する垂直支持部材９６だけでなく、リンスノズルスキャンアーム１２０を支持しＹ方向に移動可能な垂直支持部材（図示せず）も設けられている。このリンスノズルスキャンアーム１２０の先端部にはサイドリンス用のリンスノズル１２２が取り付けられている。Ｙ方向駆動機構（図示せず）によってリンスノズルスキャンアーム１２０およびリンスノズル１２２はカップＣＰの側方に設定されたリンスノズル待機位置（実線の位置）とスピンチャック５２に設置されているウエハＷの周辺部の真上に設定されたリンス液吐出位置（点線の位置）との間で並進または直線移動するようになっている。
【００５２】
また、ウエハＷの直上には、回転するウエハＷの略中央にレジスト液を吐出して、ウエハＷの略中央から外縁に向けてレジスト液が拡散する際、レジスト液の外周囲の輪郭線の拡がり状態を検出するための検出センサー１０５がウエハＷの上方に設けられている。この検出センサー１０５としては、例えば、ＣＣＤカメラを用いることができる。
【００５３】
次に、図６を参照して、レジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の制御系について説明する。図６に示すように、レジスト液供給部８９は、レジスト液を供給するためのベローズポンプ１１１とこのベローズポンプを駆動するステッピングモータ１１２とを備えている。そして、このステッピングモータ１１２および駆動モータ５４がユニットコントローラ１１０に接続されている。また、検出センサー１０５もユニットコントローラ１１０に接続されている。そして、検出センサー１０５からの信号が、ユニットコントローラ１１０に入力され、それに基づいてステッピングモータ１１２および駆動モータ５４がユニットコントローラ１１０によって制御される。なお、ステッピングモータ１１２は、位置または速度が制御可能なモータであれば、他のモータであってもよい。
【００５４】
具体的には、ユニットコントローラ１１０が検出センサー１０５によって検出された情報からレジスト液Ｒの拡がり速度を算出し、後述するように、この拡がり速度がスクラッチパッドを生起する虞れのない所定速度以下になるように、ウエハＷの回転速度、または、レジスト液供給ノズル８６からのレジスト液の吐出量または吐出速度が制御される。
【００５５】
このように構成されたレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）において、レジスト液の消費量が従来よりも少ない省レジスト方式のレジスト液の塗布の処理動作について、以下に説明する。
【００５６】
まず、主ウエハ搬送機構２２の保持部材４８によってレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）内のカップＣＰの真上までウエハＷが搬送されると、そのウエハＷは、例えばエアシリンダからなる昇降駆動手段６０および昇降ガイド手段６２によって上昇してきたスピンチャック５２によって真空吸着される。主ウエハ搬送機構２２はウエハＷをスピンチャック５２に真空吸着せしめた後、保持部材４８をレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）内から引き戻し、レジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）へのウエハＷの受け渡しを終える。
【００５７】
次いで、スピンチャック５２はウエハＷがカップＣＰ内の定位置まで下降し、駆動モータ５４によってスピンチャック５２の回転駆動が開始される。その後、レジストノズル待機部９０からのノズル保持体１００の移動が開始される。このノズル保持体１００の移動はＹ方向に沿って行われる。
【００５８】
溶剤ノズル１０１の吐出口がスピンチャック５２の中心（ウエハＷの中心）上に到達したところで、溶剤、例えばシンナーを、回転するウエハＷの表面に供給する。ウエハＷの表面に供給された溶剤は遠心力によってウエハ中心からその周囲全域にむらなく広がる。このように、レジスト液の塗布に先立ってシンナー等の溶剤で半導体ウエハＷ表面の表面全体を濡らす、いわゆるプリウエット処理を行うことにより、レジストがより拡散しやすくなり、結果としてより少量のレジスト液量で均一なレジスト膜を形成することができる。
【００５９】
続いて、ノズル保持体１００は、レジストノズル８６の吐出口がスピンチャック５２の中心（ウエハＷの中心）上に到達するまでＹ方向に移動され、レジストノズル８６の吐出口からレジスト液が、回転するウエハＷの表面の中心に滴下され、遠心力によりウエハＷの中心から周辺に向けて拡散されて、ウエハＷ上にレジスト膜が形成される。
【００６０】
回転するウエハＷの略中央にレジスト液Ｒが滴下されると、図６に示すように、レジスト液Ｒは、遠心力によりウエハＷの中心部から周縁部に向けて拡散する。この際、レジスト液Ｒの外周囲の円形状の輪郭線は、遠心力によってその径を徐々に大きくしながら拡がっていく。
【００６１】
本実施形態では、このレジスト液Ｒの外周の輪郭線の拡がり状態をＣＣＤカメラ等の検出センサー１０５により検出し、この検出信号をユニットコントローラ１１０に入力する。ユニットコントローラ１１０では、この検出情報からレジスト液Ｒの外周の輪郭線の拡がり速度を算出し、この輪郭線の拡がり速度がスクラッチパッドを生起する虞れのない所定速度以下になっているか否かを判別する。輪郭線の拡がり速度が所定速度を越えている場合には、ユニットコントローラ１１０から例えば駆動モータ５４に制御信号が出力され、その制御信号に基づいて次回の塗布処理の際にウエハＷの回転数を低下させ、これによりレジスト液Ｒの輪郭線の拡がり速度を低減して、スクラッチパッドが生成しないようにする。
【００６２】
このように、スクラッチパッドＳを防止することができることから、ウエハＷでの塗り残しを防止して、レジスト液を膜厚均一に塗布できるとともに、従来よりも、使用するレジスト液Ｒの量を一層削減することができる。また、レジスト液に先立って塗布されるシンナー等の溶剤の「濡れ性」が悪い場合にも、このように制御することにより、スクラッチパッドが生じることを防止することができる。
【００６３】
スクラッチパッドを防止するため、ウエハＷの回転速度を制御することに代えて、レジスト液Ｒの吐出量または吐出速度を制御するようにしてもよい。この場合には、輪郭線の拡がり速度が所定速度を越えているとユニットコントローラ１１０が判別した際に、ユニットコントローラ１１０により、ベローズポンプ１１１を駆動するためのステッピングモータ１１２が制御されてレジスト液Ｒの吐出量または吐出速度が制御され、これにより、スクラッチパッドの生起を防止する。
【００６４】
さらに、スクラッチパッドを防止するため、ウエハＷの回転速度と、レジスト液の吐出量または吐出速度との両方を制御するようにしてもよい。この場合には、輪郭線の拡がり速度が所定速度を越えていると判別した際、ユニットコントローラ１１０により、駆動モータ５４とステッピングモータ１１２との両方が制御される。
【００６５】
このようにしてレジスト液の滴下終了後、ウエハＷの回転速度が加速されて、残余のレジスト液が振り切られるとともに乾燥され、所定厚さのレジスト膜が形成される。
【００６６】
その後、ノズル保持体１００がホームポジションに戻され、図示しない洗浄手段により、ウエハＷの背面がバックリンスされ、また、必要があれば、図示しない洗浄手段により、ウエハＷの側縁部がサイドリンスされる。その後、ウエハＷの回転速度が加速されて、バックリンスおよびサイドリンスのリンス液が振り切られ、その後、ウエハＷの回転が停止されて、塗布処理工程が終了する。
【００６７】
次に、図７および図８を参照して、本発明の他の実施形態に係るレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）について説明する。
図７に示すように、この実施形態のレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の制御系は、図６と同様であり、レジスト液供給部８９のベローズポンプ１１１を駆動するステッピングモータ１１２および駆動モータ５４がユニットコントローラ１１０に接続されており、検出センサー１０５もユニットコントローラ１１０に接続されている。そして、検出センサー１０５からの信号が、ユニットコントローラ１１０に入力され、それに基づいてステッピングモータ１１２および駆動モータ５４がユニットコントローラ１１０によって制御される。
【００６８】
具体的には、検出センサー１０５によってスクラッチパッドＳが検出された際に、ユニットコントローラ１１０が検出情報に基づいてスクラッチパッドＳの径方向の幅ｄを計測し、後述するように、スクラッチパッドＳの幅がレジスト液の塗布に影響を与えるほど大きくならないように、ウエハＷの回転速度、または、レジスト液供給ノズル８６からのレジスト液の吐出量または吐出速度が制御される。
【００６９】
ユニットコントローラ１１０にはディスプレイ装置１２０が接続されており、この際の状況がモニターされる。ディスプレイ装置１２０上では、図８に示すように、ウエハＷが回転している時には、レジスト液Ｒの部分が黒色の円状に表示されるのに対し、スクラッチパッドＳの部分は灰色の環状帯に表示され、その灰色の環状帯の幅がスクラッチパッドＳの径方向の幅ｄとなる。
【００７０】
このように構成された本実施形態のレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）において、レジスト液の消費量が従来よりも少ない省レジスト方式のレジスト液の塗布の処理動作について、以下に説明する。
【００７１】
まず、従前の実施形態と同様にしてレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）へのウエハＷの受け渡しを行った後、スピンチャック５２がウエハＷがカップＣＰ内の定位置まで下降し、駆動モータ５４によってスピンチャック５２の回転駆動が開始される。その後、従前の実施形態と同様にプリウエット処理を行い、引き続きレジストノズル８６からレジスト液が回転するウエハＷの表面の中心に滴下され、遠心力によりウエハＷの中心から周辺に向けて拡散されて、ウエハＷ上にレジスト膜が形成される。
【００７２】
ウエハＷの略中央にレジスト液Ｒが滴下されて、レジスト液Ｒが遠心力によりウエハＷの中心部から周縁部に拡散する際、レジスト液Ｒの外周囲の円形状の輪郭線は、遠心力によってその径を徐々に大きくしながら拡がっていき、この輪郭線の拡がり速度が所定速度を越えると、この輪郭線を破ってスクラッチパッドＳが生じる。
【００７３】
この際に、ＣＣＤカメラのような検出センサー１０５によりレジスト液の輪郭線の状態を検出し、その状態をユニットコントローラ１１０に送信するとともに、その際の状態をディスプレイ装置１２０にてモニターする。検出センサー１０５によってスクラッチパッドＳが検出された場合には、ユニットコントローラ１１０によりスクラッチパッドＳの幅ｄが測定される。この際に、図８に示すように、ディスプレイ装置１２０にウエハＷの全体の画像が表示され、ウエハＷが回転している時には、スクラッチパッドＳが灰色の環状帯に表示されるため、ディスプレイ装置１２０によりスクラッチパッドＳの径方向の幅ｄを読み取ることもできる。
【００７４】
ユニットコントローラ１１０では、計測された径方向の幅ｄが所定値以下になっているか否かを判別し、この幅ｄが所定値を越えている場合には、ユニットコントローラ１１０から例えば駆動モータ５４に制御信号が出力され、その制御信号に基づいて次回の塗布処理の際にウエハＷの回転数を低下させ、これによりレジスト液Ｒの輪郭線の拡がり速度を低減して、スクラッチパッドＳの幅ｄがレジスト液Ｒの塗布に影響を与えない程度の値になるようにする。
【００７５】
このように、スクラッチパッドＳの幅ｄをレジスト液Ｒの塗布に影響を与えない程度の値に制御するので、ウエハＷでの塗り残しを防止して、レジスト液を膜厚均一に塗布できるとともに、使用するレジスト液Ｒの量を一層削減することができる。また、レジスト液に先立って塗布されるシンナー等の溶剤の「濡れ性」が悪い場合にも、塗り残しが生じることなくレジスト液を塗布することができる。
【００７６】
この実施形態においても、ウエハＷの回転速度を制御することに代えて、レジスト液Ｒの吐出量または吐出速度を制御するようにしてもよく、さらに、ウエハＷの回転速度と、レジスト液Ｒの吐出量または吐出速度との両方を制御するようにしてもよい。
【００７７】
このようにしてレジスト液の滴下終了後、従前の実施形態と同様に、残余のレジスト液が振り切られるとともに乾燥され、所定厚さのレジスト膜が形成され、引き続きバックリンス、および必要に応じてサイドリンスされ、さらにリンス液が振り切られ、その後、ウエハＷの回転が停止されて、塗布処理工程が終了する。
【００７８】
次に、図９を参照して、本発明のさらに他の実施形態に係るレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）について説明する。
図９に示すように、このレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の制御系は、図７と同様に、レジスト液供給部８９のベローズポンプ１１１を駆動するステッピングモータ１１２および駆動モータ５４がユニットコントローラ１１０に接続されており、検出センサー１０５およびディスプレイ１２０もユニットコントローラ１１０に接続されている。これに加えて本実施形態では、ウエハＷ上を拡散するレジスト液の外周の輪郭線より外側にシンナーを供給するシンナー供給部１３１を有する。このシンナー供給部１３１は、ウエハＷ上方に配置されたシンナー吐出ノズル１３２と、シンナーが蓄積されたシンナー蓄積部１３３と、シンナー蓄積部１３３に蓄積されたシンナーをシンナー吐出ノズル１３２に送出するためのポンプ１３４と、シンナー吐出ノズルをウエハＷの径方向に駆動する駆動部１３５とを有している。そして、検出センサー１０５からの信号が、ユニットコントローラ１１０に入力され、それに基づいて、ステッピングモータ１１２と、駆動モータ５４と、シンナー供給部１３１のポンプ１３４および駆動部１３５とが、ユニットコントローラ１１０によって制御される。
【００７９】
具体的には、上述の実施形態と同様に、検出センサー１０５によってスクラッチパッドＳが検出された際に、ユニットコントローラ１１０が検出情報に基づいてスクラッチパッドＳの径方向の幅ｄを計測し、この幅ｄがレジスト液の塗布に影響を与えるほど大きくならないように、ウエハＷの回転速度、レジストノズル８６からのレジスト液の吐出量、およびレジストノズル８６からのレジスト液の吐出速度のうち少なくとも１つを制御される。これに加えて、本実施形態では、前記幅ｄの値が所定値以上となったときに、図１０に示すように、ウエハＷ上を拡散するレジスト液Ｒの輪郭線より外側に、シンナー吐出ノズル１３２からシンナーＬを供給する。
【００８０】
このように構成された本実施形態のレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）における省レジスト方式のレジスト液の塗布の処理動作について説明する。
まず、前記の実施形態と同様の動作により、レジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）へウエハＷを受け渡し、カップＣＰ内の所定位置でスピンチャック５２の回転駆動を開始し、ウエハＷのプリウエット処理を行った後、レジストノズル８６からレジスト液をウエハＷの表面の中心に滴下して、遠心力によりレジスト液をウエハＷの中心から周辺に向けて拡散させる。この際、検出センサー１０５によりレジスト液Ｒの輪郭線の状態を検出し、その状態をユニットコントローラ１１０に送信するとともに、その際の状態をディスプレイ装置１２０にてモニターする。検出センサー１０５によってスクラッチパッドＳが検出された場合には、ユニットコントローラ１１０によりスクラッチパッドＳの幅ｄが測定される。
【００８１】
ユニットコントローラ１１０では、上記実施形態と同様に、計測された径方向の幅ｄが所定値以下になっているか否かが判別され、幅ｄが所定値を越えている場合には、ユニットコントローラ１１０から例えば駆動モータ５４に制御信号が出力され、その制御信号に基づいてウエハＷの回転数を低下させ、これによりレジスト液Ｒの輪郭線の拡がり速度を低減して、スクラッチパッドＳの幅ｄがレジスト液Ｒの塗布に影響を与えない程度の値になるようにする。これに加えて本実施形態では、例えば幅ｄが所定値を越えている場合に、ユニットコントローラ１１０から例えばシンナー供給部１３１の駆動部１３５およびポンプ１３４に制御信号を出力し、その制御信号に基づいてシンナー吐出ノズル１３２がレジスト液Ｒの輪郭線の外側付近に移動され、その位置でシンナー吐出ノズル１３２からウエハＷの表面上にシンナーを供給させ、これによりレジスト液Ｒの輪郭線の外側部分におけるレジスト液の「濡れ性」を向上して、スクラッチパッドＳの幅ｄがレジスト液Ｒの塗布に影響を与えない程度の値になるようにする。シンナー吐出ノズル１３２は、予め、レジスト液Ｒの輪郭線の外側付近に位置するようにしてもよい。
【００８２】
このように、スクラッチパッドＳが形成された場合でも、その幅ｄをレジスト液Ｒの塗布に影響を与えない程度の値に制御するので、ウエハＷでの塗り残しを防止して、レジスト液を膜厚均一に塗布できるとともに、使用するレジスト液Ｒの量を一層削減することができる。また、レジスト液に先立って塗布されるシンナー等の溶剤の「濡れ性」が悪い場合にも、塗り残しが生じることなくレジスト液を塗布することができる。
【００８３】
この実施形態においても、ウエハＷの回転速度を制御することに代えて、レジスト液Ｒの吐出量または吐出速度を制御するようにしてもよく、さらに、ウエハＷの回転速度と、レジスト液Ｒの吐出量または吐出速度との両方を制御するようにしてもよい。また、シンナーを供給することに代えて、シンナー雰囲気を供給するようにしてもよい。
【００８４】
このようにしてレジスト液の滴下と拡散の終了後、上記の実施形態と同様に、残余のレジスト液が振り切られるとともに乾燥され、所定厚さのレジスト膜が形成され、引き続きバックリンス、および必要に応じてサイドリンスされ、さらにリンス液が振り切られ、その後、ウエハＷの回転が停止されて、塗布処理工程が終了する。
【００８５】
次に、図７に示したレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）における処理動作の別の例について説明する。
この処理動作では、検出センサー１０５を介してユニットコントローラ１１０がスクラッチパッドＳを検出する際に、図１１に示すように、ウエハＷ上を拡散するレジスト液の外周の輪郭線を破って形成されたスクラッチパッドＳの複数の突出部Ｐのうち隣接するものがなす角度θ１〜θ３のばらつきを検出し、そのばらつきに応じた処理動作を行う。
【００８６】
すなわち、レジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）へウエハＷを受け渡し、ウエハＷをスピンチャック５２で吸着した状態で、カップＣＰ内の所定位置においてスピンチャック５２によりウエハＷの回転駆動を開始し、ウエハＷのプリウエット処理を行い、レジストノズル８６からレジスト液を回転しているウエハＷの表面の中心に滴下してレジスト液の拡散を開始した後に、図１２に示す一連の処理（ＳＴ１２０１〜ＳＴ１２１０）によりレジスト塗布処理が実行される。
【００８７】
まず、センサー１０５によりレジストＲの輪郭線の突出部を検出する（ＳＴ１２０１）。このセンサー１０５からの情報から、ユニットコントローラ１１０が、レジストＲの輪郭線に突出長さが所定値以上の突出部があるかどうかを判別し（ＳＴ１２０２）、そのような突出部があると判別された場合には、複数の突出部のうち隣接するもののなす角度θ（図１１のθ１〜θ３）を求め、θのばらつきを検出する（ＳＴ１２０３）。なお、この突出部の間隔の角度θを求める際には、突出長さが所定値以下の突出部については除くようにして、突出部として取り扱わないようにしてもよい。次いで、ユニットコントローラ１１０は、検出されたθのばらつきが所定値以下であるかどうかを判別し（ＳＴ１２０４）、所定値以下である場合には、駆動モータ５１に制御信号を出力して、第１の加速度で回転速度の減速を開始する（ＳＴ１２０５）。一方、θのばらつきが所定値を越えた場合には、ユニットコントローラ１１０はディスプレイ１２０にそのことを表示する（ＳＴ１２０６）。そして、駆動モータ５１に制御信号を出力して、第１の加速度よりも大きい第２の加速度で回転速度の減速を開始する（ＳＴ１２０７）。
【００８８】
以上のようにして第１または第２の加速度で回転速度の減速を開始した後、センサー１０５がレジストＲの輪郭線の突出部を検出し（ＳＴ１２０８）、ユニットコントローラ１１０がセンサー１０５からの情報から突出部の突出長さが所定値以下であるかどうかを判別し（ＳＴ１２０９）、突出部の突出長さが所定値以下であると判別された場合には減速が終了され、回転速度が一定にされる（ＳＴ１２１０）。
【００８９】
このようにスクラッチパッドの突出部のなす角度θのばらつきが所定値を越える場合には、レジストノズル８６の位置やウエハＷのスピンチャック５２上での位置に位置ズレが生じているおそれがあり、メンテナンスを行う必要性が高いが、本実施形態ではθのばらつきが所定値を越える場合に、そのことがディスプレイ１２０に表示されるので、オペレーター等がこのディスプレイ１２０の表示に応じてメンテナンス等を行うことにより、それ以降のウエハＷで前記の位置ズレに起因する膜厚ばらつき等の不良が連続的に発生することを防止することができる。さらに、本実施形態ではθのばらつきが所定値以上の場合にウエハＷの回転速度を第１の加速度よりも大きい第２の加速度で減速するので、突出部のレジスト液にウエハＷの周方向に大きな慣性力を作用させることができる。すなわち、ウエハＷ上で拡がろうとするレジスト液に対してウエハＷの回転方向と逆向きにより大きな力が加わり、突出部Ｐの法線方向の伸びが止まるとともに、もともと存在する突出部Ｐと新たに発生する突出部が接線方向に伸び、レジスト液の輪郭線を円形に近くすることができる。このように、ウエハＷに位置ズレ等が生じることに起因する膜厚ばらつき等のウエハＷ自体の不具合も軽減することができる。もちろん、ディスプレイ１２０の表示を確認した時点でそのウエハを不良品として廃棄することもできる。
【００９０】
このようにしてレジスト液を塗布した後、上記の実施形態と同様に、残余のレジスト液が振り切られるとともに乾燥され、所定厚さのレジスト膜が形成され、引き続きバックリンス、および必要に応じてサイドリンスされ、さらにリンス液が振り切られ、その後、ウエハＷの回転が停止されて、塗布処理工程が終了する。なお、この処理動作では、ばらつきが所定値を越えることをモニター１２０に表示するようにしたが、これに代えてアラーム音を発する等の他の報知手段を採用してもよい。また、上述した実施形態のように、レジスト液の外周側にシンナーまたはシンナー雰囲気を供給するようにしてもよい。
【００９１】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々の変形が可能である。例えば、上記実施の形態では、塗布液としてレジスト液を用いた例について説明したが、ポリイミド等の他の塗布液を用いた場合にも適用することができる。また、上記実施の形態では、被処理体として半導体ウエハ用いた場合について示したが、これに限らずＬＣＤ基板等他の基板への塗布膜形成にも適用することができる。
【００９２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散する塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出し、この輪郭線の拡がり状態から拡がり速度を算出し、この拡がり速度が所定速度以下になるように、基板の回転速度、および／または前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出量もしくは吐出速度を制御し、これにより、スクラッチパッドを防止することができるので、基板での塗り残しを防止して、塗布液を膜厚均一に塗布することができる。
【００９３】
また、回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散する塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出し、こ回転する基板の略中央から外縁に向けて拡散される際に、塗布液の外周の輪郭線の拡がり状態を検出し、塗布液の外周の輪郭線を破って形成されたスクラッチパッドが検出された際に、スクラッチパッドの径方向の幅を把握し、この幅が所定値以下になるように、基板の回転速度、および／または前記塗布液供給ノズルからの塗布液の吐出量もしくは吐出速度を制御し、これにより、スクラッチパッドが、塗布液の塗布に影響を与えるほど大きくなることを防止することができるので、基板での塗り残しを防止して、塗布液を膜厚均一に塗布することができる。
【００９４】
したがって、本発明によれば、従来のように過剰の塗布液を供給する必要がなく、使用する塗布液の量を一層削減することができ、また、塗布液に先だって塗布される溶剤の濡れ性が悪い場合にも塗布液の塗り残しが生じることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態が適用される半導体ウエハのレジスト塗布現像処理システムの全体構成を示す平面図。
【図２】図１に示す塗布現像処理システムを示す正面図。
【図３】図１に示す塗布現像処理システムを示す背面図。
【図４】図１に示した塗布現像処理システムに装着したレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の全体構成の断面図。
【図５】図４に示したレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の平面図。
【図６】本発明の一実施の形態に係るレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の制御系を示す模式図。
【図７】本発明の他の実施形態に係るレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の制御系を示す模式図。
【図８】図７に示したレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）に装着されたディスプレイ装置にモニターされたウエハ上のレジスト液の状態を示す模式図。
【図９】本発明のさらに他の実施形態に係るレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の制御系を示す模式図。
【図１０】ウエハＷ上のレジスト液Ｒの外周の輪郭線の外側にシンナーを供給する状態を示す模式断面図。
【図１１】レジスト液Ｒの輪郭線に突出部Ｐが形成された状態の例を示す図面。
【図１２】本発明のさらにまた他の実施形態に係るレジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）の処理動作を示すフローチャート。
【図１３】従来に係るレジスト塗布処理ユニットを示す模式図。
【図１４】図１３に示したレジスト塗布処理ユニットにおいて、スクラッチパッドが生起された状態を示す模式図。
【符号の説明】
５２…スピンチャック（基板回転手段）
５４…駆動モータ（基板回転手段）
８６…レジスト液供給ノズル（塗布液供給ノズル）
８９…レジスト液供給部
１０１…溶剤ノズル
１０５…検出センサー（検出手段）
１１０…ユニットコントローラ（制御手段）
１１１…ベローズポンプ（吐出手段）
１１２…ステッピングモータ
１２０…ディスプレイ
ＣＯＴ…レジスト塗布処理ユニット（ＣＯＴ）
Ｗ…ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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