(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルムとレジスト付フィルムおよびカバーフィルムの三層構造をもつ連続した一体化フィルムからカバーフィルムを剥離したレジスト付フィルムに、ラミロールにより一定間隔をもって基板を貼り付けたものから、前記ベースフィルムを剥離するフィルム剥離装置において、
前記基板を上面から吸着しながら、前記ラミロール工程の搬送速度と同じ速度で搬送しつつ、前記基板の下面と前記ベースフィルムの間に設置された剥離軸により、前記ベースフィルムを下側に連続剥離することを特徴とするフィルム連続剥離装置。
【請求項２】
レジスト付フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けて三層構造をもつ連続した一体化フィルムに、ラミロールにより一定間隔をもって基板を貼り付けたものから、前記ベースフィルムを剥離するフィルム剥離装置において、
前記基板を上面から吸着しながら、前記ラミロール工程の搬送速度と同じ速度で搬送する吸着コンベアと、前記基板の下面と前記ベースフィルムの間に設置された剥離軸を有し、前記ベースフィルムを下側に連続剥離するベースフィルム除去手段とを備えたことを特徴とするフィルム連続剥離装置。
【請求項３】
請求項２に記載のフィルム連続剥離装置において、前記吸着コンベアは、基板搬送面に対応して切り欠き穴を有する吸引ボックスと、前記切り欠き穴に連続周回する穴あきフッ素樹脂製の吸着ベルトと、前記吸引ボックスをブロアーで吸引した状態で吸着ベルトを回転させるモーターと、前記吸引ボックス下に搬送されてきた前記基板が前記吸着ベルトの穴を塞ぐことにより、該基板をベルトに吸着した状態で上面搬送することを特徴とするフィルム連続剥離装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載のフィルム連続剥離装置において、前記吸引ボックスと摺動する吸着ベルトの接する面にフッ素樹脂製のプレートを設置し、前記吸着ベルトの駆動部に、ウレタン製またはシリコンゴム製のローラーを用いたことを特徴とするフィルム連続剥離装置。
【請求項５】
請求項２または３に記載のフィルム連続剥離装置において、前記吸引ボックスを、基板の搬送方向に前後左右、複数の部屋に分割し、その各々の部屋を個別のブロアーで吸引することを特徴とするフィルム連続剥離装置。
【請求項６】
ラミロール工程において、レジスト付フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けて三層構造をもつ連続する一体化フィルムからカバーフィルムを剥離したレジスト付フィルムと基板を貼り付け、剥離工程において前記基板から、該基板表面のベースフィルムを剥離するフィルム剥離方法において、
前記連続基板を、上面から吸着しながら、モーターを用いて、前記ラミロール工程の搬送速度と同じ速度で連続搬送しつつ、表面のベースフィルムを下側に連続剥離し、レジストのみを基板に残すことを特徴とするフィルム連続剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフィルム連続剥離装置及び剥離方法に係わり、特に、半導体基板やプリント配線基板、ＬＣＤやＰＤＰのガラス基板などの基板表面のレジスト膜などに貼り付けられた連続したフィルムを剥離するフィルム連続剥離装置及び剥離方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種方法としては、フィルムとしてベースフィルム、レジストフィルムなどの貼り付けたいフィルム本体（以下、レジスト付フィルムで説明）、カバーフィルムの三層構造としたもの（以下、一体化フィルムと略記）をベースフィルムが外周側、カバーフィルムが内周側になるようにフィルム供給軸に巻回したフィルムロールを用い、フィルム供給軸から繰り出した一体化フィルムからカバーフィルムを剥離し、搬送路上を所望の一定間隔をもって搬送されて来る各基板の寸法に合わせて二層となったレジストフィルムとベースフィルムを幅方向に切断してレジストフィルムが基板表面側になるようにして１対の圧着ローラ間を通して基板毎に貼り付ける枚葉法がある。
【０００３】
一方、装置構成をより簡略化するものとして連続法が提案されている。その方法としては、枚葉法と同様にフィルムロールを用い、フィルム供給軸から繰り出した一体化フィルムからカバーフィルムを剥離した後に、搬送路上を所望の一定間隔をもって搬送されて来る複数の基板の基板間および基板とレジストフィルムとの貼り付けを望まない部分に相当する部位（以下、基板間相当部位と略記）のレジストフィルムに保護テープを設ける基板間処理をしてからベースフィルムを切断しないままレジストフィルムが基板表面側になるようにして、即ち保護テープが搬送されている各基板の前後端部に跨るようにして、１対の圧着ローラ間を通して各基板に貼り付る第一の連続法（特開平６−７３３４３号公報参照）、あるいはフィルム供給軸から繰り出した一体化フィルムについて搬送路上を所望の一定間隔をもって搬送されて来る複数の基板の基板間相当部位に対応する長さでカバーフィルムを幅方向に前後２ヶ所で切断して基板間相当部位のカバーフィルムは残し基板にレジストフィルムを貼り付けたい部位（以下、基板相当部位と略記）のカバーフィルムを剥離する基板間処理をしてからレジストフィルムが基板表面側になるようにして、即ち残したカバーフィルムが搬送されている各基板の前後端部に跨るようにして、１対の圧着ローラ間を通して各基板にレジストフィルムを貼り付ける第二の連続法（特開平９−１７４７９７号公報参照）などがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の技術における連続法では、レジストフィルムの貼り付け後には各基板がベースフィルムとレジストフィルムおよび基板間相当部位の保護テープあるいはカバーフィルムで繋げられた形になっているため、後処理のためには、これらのフィルムを分離しなければならない。
【０００５】
確実な分離法としては、基板の搬送路でカッタにより基板間におけるベースフィルムとレジストフィルムおよびレジストフィルム上の保護テープあるいはカバーフィルムを切断することである。この分離法によるとこれら切断したフィルム端縁が基板端縁より突出しており、後工程で露光処理などのために基板の位置合せを行なう場合などに突出したフィルム端縁が邪魔になって、正確な処理ができないという問題がある。
【０００６】
フィルム端縁が基板端縁より突出しないように、レジストフィルムの貼り付け後に、基板間相当部位における保護テープあるいはカバーフィルムに達するように幅方向にベースフィルム側からレジストフィルムを貫く切れ目を入れて、カバーフィルム、レジストフィルムおよび保護テープあるいはカバーフィルムの３層を粘着テープなどで幅方向に剥ぎ取って、基板相互を分離することもできる。しかしこの分離法では、基板に傷を付けずにベースフィルム側から切れ目を入れることは困難である。また、基板の損傷を恐れて、切れ目を浅くすれば、基板相互の分離が困難になる。
【０００７】
そのため、従来は、基板表面に貼付けられたベースフィルムを基板間で切断し、手、または、装置を使用して、１枚毎にベースフィルムを剥離していた。しかし、剥離の為に連続するフィルムを切断すると、回収に手間を要するという不具合がある。
【０００８】
また、フィルムを切断すると切断の際のフィルム屑が発生する。さらに、基板は、搬送ローラーに載置されて搬送されるため、基板吸着力を確保しようとすると、摺動摩擦に伴うゴミが発生する。
【０００９】
さらに、基板は、基板貼付面を上にして搬送ローラーに載置されて搬送されるため、クリーンルーム内のダウンフローと併用する事により、剥離や摺動摩擦に伴うゴミが、下に落下し、基板貼付面にゴミが付着し易い。
【００１０】
また、基板サイズが異なる場合に、１つの搬送装置でこれらサイズの異なる基板を搬送し、ベースフィルムを剥離するのは困難である。
【００１１】
それゆえ、本発明の目的は、剥離したベースフィルムの回収に手間を要しないベースフィルムの剥離装置および剥離方法を提供することである。
【００１２】
本発明の他の目的は、連続する基板を上面で吸着した状態で、下側にベースフィルムを連続的に剥離し、基板へのゴミ付着がなく、確実に基板相互の分離をすることができるベースフィルムの剥離装置および剥離方法を提供することである。
【００１３】
本発明の他の目的は、基板サイズが異なる場合でも確実に基板相互の分離をすることができるベースフィルムの剥離装置および剥離方法を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の特徴とするところは、ベースフィルムとレジスト付フィルムおよびカバーフィルムの三層構造をもつ連続した一体化フィルムからカバーフィルムを剥離したレジスト付フィルムに、ラミロールにより一定間隔をもって基板を貼り付けたものから、前記ベースフィルムを剥離するフィルム剥離装置において、前記基板を上面から吸着しながら、前記ラミロール工程の搬送速度と同じ速度で搬送しつつ、前記基板の下面と前記ベースフィルムの間に設置された剥離軸により、前記ベースフィルムを下側に連続剥離することにある。
【００１５】
本発明の他の特徴とするところは、ラミロール工程において、レジスト付フィルムの各側にベースフィルムとカバーフィルムを設けて三層構造をもつ連続する一体化フィルムからカバーフィルムを剥離したレジスト付フィルムと基板を貼り付け、剥離工程において前記基板から、該基板表面のベースフィルムを剥離するフィルム剥離方法において、前記連続基板を、上面から吸着しながら、モーターを用いて、前記ラミロール工程の搬送速度と同じ速度で連続搬送しつつ、基板とフィルムの間に設置された剥離軸により、表面のベースフィルムを下側に連続剥離し、レジストのみを基板に残すことにある。
【００１６】
本発明方法によれば、フィルムを連続剥離する事により、ベースフィルムの回収に手間を要しない。また、剥離の為に連続するフィルムを切断する必要がなくなり、切断の際のフィルム屑が発生しない。
【００１７】
また、基板を上面吸着搬送することにより、ベースフィルムを下側に剥離することが可能となり、クリーンルーム内のダウンフローと併用する事により、剥離する際のごみが、下に落下し、基板貼付面にゴミが付着しにくい。
【００１８】
また、吸着ベルトと摺動する部分に、フッ素樹脂を使用することにより、摺動摩擦が低減され、ゴミの発生が押さえられる。また、吸着ベルト駆動部にウレタン製またはシリコンゴム製のローラーを使用する事により、ベルトとの摩擦抵抗を上げ、スリップによるゴミの発生を低減し、モーターの駆動力を吸着ベルトに伝えることができる。
【００１９】
さらに、ブロアーで吸引する吸引ボックスを分割、個別吸引する事により、基板を連続搬送する際に、基板接触面以外からのエアーの吸い込みによる、基板吸着力の低下が無くなる。また、基板サイズ毎に、吸引部屋を分けることにより、１つの装置で、サイズの異なる基板の搬送も可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図４に示す一実施形態に基いて、本発明方法を説明する。図１は、本発明方法の一実施形態を具現化するフィルム貼付剥離装置の全体構成の概略図である。この装置は、ベースフィルムとレジスト付フィルムおよびカバーフィルムの三層構造をもつ連続した一体化フィルムＦからカバーフィルムを剥離したレジスト付フィルムに、ラミロールにより一定間隔をもって基板６を貼り付けたものから、ベースフィルムを剥離するものである。
【００２１】
図１において、１はフィルム供給軸で、これにはベースフィルムが外側になるようにしてレジスト付フィルムＦが巻回されている。レジスト付フィルムＦは、ベースフィルム２、レジストフィルム３およびカバーフィルム４からなり、レジストフィルム３の上下両面にベースフィルム２とカバーフィルム４をレジストフィルム３の粘着性で貼り付けて3層構造の一体化フィルム（レジスト付フィルム）Ｆとしたものである。一方、基板６は、この実施例においてはＬＣＤ用のガラス基板であり、真空吸着ハンド１６Ａを有する多関節型のロボット１６により裏面を把持して搬送手段２０に渡され、搬送手段２０により一対のラミロール１５の間に向けて搬送される。
【００２２】
一体化フィルムＦは、フィルム供給軸１から繰出され、ハーフカット手段７、バックテンションコントローラー１４を経て、一対のラミロール１５の間に供給される。ハーフカット手段７は、フィルム供給軸１から繰出した一体化フィルムＦにハーフカットを形成する手段である。ハーフカット手段７は一体化フィルムＦの繰出方向（搬送方向）における前後に所定の距離をもって配置した１対の円盤カッタを備えており、カバーフィルム４およびレジストフィルム３に切れ目すなわちハーフカットを形成するものである。ハーフカット手段７の１対の円盤カッタ間の距離は、搬送されて来る複数の基板６の基板間に相当する部位および基板６とレジストフィルム３との貼り付けを望まない部分に相当するレジストフィルム３の部位の長さの合計の長さで、この領域を簡略的に基板間相当部あるいはレジスト除去部と呼ぶ。
【００２３】
１２はカバーフィルム４の剥取ロールであり、粘着テープロール９から繰り出される粘着テープ１０をハーフカットされた一体化フィルムＦに押し付け、一体化フィルムＦから基板部に相当するカバーフィルム４を剥離し、カバーフィルム巻取軸１３により巻き取り回収する。このようにして、一体化フィルムＦに基板６を貼付ける直前の時点で、一体化フィルムＦから基板部に相当する部分のカバーフィルム４のみが除去されている。
【００２４】
基板６は、真空吸着ハンド１６Ａを有する多関節型のロボット１６により表面即ちレジストフィルム３との貼り付け面が下側になるようにして把持され、搬送手段２０に渡される。搬送手段２０は、搬走路を構成するガイドローラ、浮上プレート２２及び加圧エア２３の供給手段を含むエア浮上式の搬送手段であり、基板６は図の左側から右側に、表面を下にしたまま一対のラミロール１５の間に向けて搬送される。基板６を挟んで搬送手段２０の反対側すなわち上側には、基板６を加熱するヒーター２１が設けられている．搬送手段２０から供給される加圧エア２３は加熱されており、ヒーター２１および搬送手段２０間を移動する過程で、基板６はラミロール工程に適した所定の温度に加熱される。
【００２５】
一対のラミロール１５には加圧力を調節するバックアップローラ２４が付設されている。ラミロール工程において、基板６が一対のラミロール１５間に侵入すると同時に、一対のラミロール１５によりレジストフィルム３を加圧し、レジストフィルム３を基板６に熱圧着する。そして、基板の後端位置までレジストフィルム３が熱圧着されると、一方のラミロールの圧力が解除され、ラミロールは基板の表面から離れる。
【００２６】
２８は冷風供給手段であり、ラミロール工程で高温になった基板６を急速に冷却するための冷風を供給する。３０は、ベースフィルム２及び基板間相当部のレジスト３及びカバーフィルム４を除去するためのベースフィルム除去手段であり、剥離ローラ３１及びベースフィルム巻取軸３２を有している。剥離ローラ３１は、軸が片持ち支持であり、基板６の流れに直角に配置されたフリーローラータイプのものである。基板を吸着コンベア３３により裏面から吸着しつつベースフィルム除去手段３０の剥離ローラ３１により基板から連続したベースフィルム２を剥ぎ取ることにより、基板相互を分離し、かつ、剥ぎ取ったベースフィルム２及び基板間相当部のレジスト３及びカバーフィルム４を除去し、ベースフィルム巻取軸３２により巻き取り回収する。
【００２７】
レジストフィルム３は貼り付けられたままでベースフィルム２及び基板間相当部のレジスト３及びカバーフィルム４が除去され相互分離された基板６は、吸着コンベア３３により、図の右方向に搬送され、さらにアーム３４を有する搬送用ロボット３４により、吸着反転され、次の工程へ搬送される。なお、フィルム貼付装置は、クリーンルーム内に設置されていることは言うまでもない。
【００２８】
このように、図１の装置において、基板６は、ロボット１６のハンドにより把持され裏返して搬送手段２０に渡され、ヒーター２１および搬送手段２０間を移動する過程でラミロール工程に適した所定の温度に加熱され、ラミロール工程において、一対のラミロール１５によりレジストフィルム３を加圧し、レジストフィルム３が基板６に熱圧着される。そして、ラミロール工程で高温になった基板６を急速に冷却しながらベースフィルム除去手段３０へ搬送し、ここで、基板を吸着コンベア３３により裏面から吸着しつつ剥離ローラ３１により連続したベースフィルム２を剥ぎ取り、基板相互を分離し、剥ぎ取ったベースフィルム２及び基板間相当部のレジスト３及びカバーフィルム４をベースフィルム巻取軸３２により回収する。一方、分離された各基板６はロボット３４により吸着反転され、次の工程へ搬送される。
【００２９】
次に、ベースフィルム除去手段３０および吸着コンベア３３の詳細を図２〜図４で説明する。図２はベースフィルム除去手段３０および吸着コンベア３３の詳細を示す斜視図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿った縦断面図、図４は、図３のＢ−Ｂ線に沿って吸着コンベア３３の一部を断面した平面図である。
【００３０】
吸着コンベア３３は、基板の搬送路に沿って配置され、負圧による吸着力で基板の上面を吸着しながら搬送する吸着ベルト３３０と、吸着力発生用の複数の吸引ボックス３３１と、吸着ベルトにテンションを与えるテンショナー３３２と、各吸引ボックス内をブロワーで排気して負圧源とするためのダクト３３３、およびラミロール１５による基板搬送速度と同じ速度でウレタン製またはシリコンゴム製のローラー３３５を介して吸着ベルト３３０を駆動するステッピングモータを備えている。本実施例では、吸着コンベア３３が基板搬送方向に３列に配置されている。また、吸引ボックス３３１も、室分割板３３９で複数に分割されている。
【００３１】
吸着コンベア３３で基板を上面吸着しながら搬送しつつ、ベースフィルム除去手段３０によりベースフィルム２を下側に剥離することが可能となり、クリーンルーム内のダウンフローと併用する事により、剥離する際のごみが、下に落下し、基板貼付面にゴミが付着しにくい。
【００３２】
図４に示すように、基板の上面に沿った吸引ボックス３３１の底面は、基板の搬送方向に伸びる細長い切り欠き穴３３６を有するフッ素樹脂製のプレート３３７で構成されている。吸着ベルト３３０は、エンドレス構造であり、かつ、フッ素樹脂製プレートの切り欠き穴３３６に対応して、多数の細い穴３３８が設けられている。
【００３３】
吸着コンベア３３の動作としては、吸引ボックス３３１をブロアーで吸引し負圧にした状態で吸着ベルト３３０をモーター３３４により回転させると、基板６の搬送路に沿って吸引ボックス３３１下に搬送されてきた基板６が吸着ベルトの穴３３８を塞ぐことにより、基板をベルト３３０に吸着した状態で基板６の上面を吸着して搬送することが可能になる。
【００３４】
吸着ベルト３３０と摺動する部分に、フッ素樹脂製のプレート３３７を使用することにより、摺動摩擦が低減され、ゴミの発生が押さえられる。また、吸着ベルト駆動部にウレタン製もしくはシリコンゴム製のローラー３３５を使用する事により、ベルト３３０との摩擦抵抗を上げ、スリップによるゴミの発生を低減し、モーター３３４の駆動力を吸着ベルトに伝えることができる。
【００３５】
基板搬送経路上、吸着コンベア３３と反対の側、すなわち基板６の下面側には、ベースフィルム除去手段３０を構成する剥離ローラ３１が基板の搬送経路を横切る形で配置されており、連続して剥離されたベースフィルム３がベースフィルム巻取軸３２に巻き取られる。ベースフィルムを連続剥離する事により、剥離の為に連続するフィルムを切断する必要がなくなり、切断の際のフィルム屑が発生しない。
【００３６】
また、ブロアーで吸引する吸引ボックス３３１を、分割板３３７で基板搬送方向に前後左右、複数に分割し、その各々の部屋を個別のブロアーで吸引する構造を採用しいるため、基板重量の約２倍の吸着力で基板を安定吸着し、基板の搬送を行うことができる。すなわち、ブロアーで吸引する吸引ボックス３３１を分割、個別吸引する事により、基板を連続搬送する際に、基板接触面以外からのエアーの吸い込みによる、基板吸着力の低下が無くなる。
【００３７】
また、基板サイズ毎に、吸引ボックス３３１の吸引部屋を分けて使用することにより、１つの装置で、サイズの異なる基板の搬送も可能となる。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明方法によれば、フィルムを連続剥離する事により、剥離したベースフィルムの回収に手間を要しないベースフィルムの剥離装置および剥離方法を提供することができる。また、剥離の為に連続するフィルムを切断する必要がなくなり、切断の際のフィルム屑が発生しない。
【００３９】
また、基板を上面吸着搬送することにより、ベースフィルムを下側に剥離することが可能となり、クリーンルーム内のダウンフローと併用する事により、剥離する際のごみが、下に落下し、基板貼付面にゴミが付着しにくい。
【００４０】
さらに、吸着ベルトと摺動する部分に、フッ素樹脂を使用することにより、摺動摩擦が低減され、ゴミの発生が押さえられる。また、吸着ベルト駆動部にウレタン製またはシリコンゴム製のローラーを使用する事により、ベルトとの摩擦抵抗を上げ、スリップによるゴミの発生を低減し、モーターの駆動力を吸着ベルトに伝えることができる。
【００４１】
また、ブロアーで吸引する吸引ボックスを分割、個別吸引する事により、基板を連続搬送する際に、基板接触面以外からのエアーの吸い込みによる、基板吸着力の低下が無くなる。また、基板サイズ毎に、吸引部屋を分けることにより、１つの装置で、サイズの異なる基板の搬送も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法の一実施形態を具現化するフィルム貼付、剥離装置の全体構成の概略図である。
【図２】図１のベースフィルム除去手段および吸着コンベア部分の詳細を示す斜視図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った縦断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ線に沿って吸着コンベアの一部を断面した平面図である。
【符号の説明】
Ｆ…  一体化フィルム
１…  フィルム供給軸
２…  ベースフィルム
３…  レジストフィルム
４…  カバーフィルム
６…  基板
７…  ハーフカット手段
１２…カバーフィルム剥取ロール
１３…カバーフィルム巻取軸
１５…ラミロール
１６…ロボット
２０…搬送手段
２１…ヒーター
２２…浮上プレート
２３…加圧エア
２８…冷風供給手段
２９…ベースフィルム除去手段
３０…ベースフィルム除去手段
３１…剥離ローラ
３２…ベースフィルム巻取軸
３３…吸着コンベア
【図１】
0003793692.tif 000002
【図２】
0003793692.tif 000003
【図３】
0003793692.tif 000004
【図４】
0003793692.tif 000005