(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向・配置される一対の弾性部材と、
上記一対の弾性部材の一端が連設された固定部と、
上記一対の弾性部材の他端が連設されると共に上記固定部に対して桁部材を介して連設され一対の弾性部材の弾性変形によって上記桁部材を介して微少変位する移動部と、
上記一対の弾性部材を弾性変形させて上記移動部を微少変位させる駆動手段と、
を具備してなる変位量微調整装置において、
上記駆動手段は上記一対の弾性部材の間に連設・配置された駆動板と、上記駆動板を押圧する押圧手段とから構成されていて、
上記駆動板は初期状態で押圧方向に微少量だけ押し出された状態でセットされているとともに、上記一対の弾性部材は初期状態において上記駆動板によって微少量だけ引っ張られた状態でセットされており、
上記駆動手段の押圧手段によって上記駆動板をさらに押し出して上記一対の弾性部材を相互に接近する方向にさらに引っ張ることにより上記移動部を微少変位させるものであることを特徴とする変位量微調整装置。
【請求項２】
請求項１記載の変位量微調整装置において、
上記駆動板は上記押圧手段による押圧部の両側に肉厚部を備えた構成になっていることを特徴とする変位量微調整装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の変位量微調整装置において、
上記一対の弾性部材、固定部、移動部、駆動手段の駆動板は全て一体成形されていることを特徴とする変位量微調整装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れかに記載の変位量微調整装置において、
上記移動部は桁部材を介してＸ軸方向に移動可能な状態で上記固定部側に連設されていると共に別の桁部材を介して上記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向にも移動可能な状態で上記固定部側に連設されており、又、駆動手段としてはＸ軸方向用駆動手段とＹ軸用駆動手段が設けられていることを特徴とする変位量微調整装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、例えば、研削装置において、工具又はワークを微少量ずつ移動させて高い精度で研削を施す際に該工具又はワークを高い精度で微少量だけ移動させて位置決めすることを可能にしたり、或いは遺伝子工学上の各種位置決めテーブルや電子顕微鏡等においてその使用が考えられる変位量微調整装置と変位量微調整方法に係り、特に、ｎｍ（ｎａｎｏメートル、１０−９ｍ）オーダの変位量を微調整する際に微調整の精度を向上させることができるように工夫したものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
変位量微調整装置としては、例えば、特開２００１−３４７４３６号公報に開示されているものがある。これは本件特許出願人によるものであるが、そこには次のような構成をなす変位量微調整装置が開示されている。
まず、一対の弾性部材が配置されていて、この一対の弾性部材の一端は固定部に連設されている。又、一対の弾性部材の他端は移動部に連設されている。この移動部は上記固定部に対して一対の桁部材を介して微少変位可能に連設されている。
【０００３】
又、上記一対の弾性部材間には駆動板が連接・配置されていて、この駆動板を別途設けられたマイクロメータ等の駆動手段によって駆動することにより、上記一対の弾性部材を弾性変位させ、それによって、上記移動部を上記一対の桁部材を介して微少量だけ移動させるものである。
これを詳しく説明すると、初期状態では、一対の弾性部材が弾性復帰した状態、すなわち、弾性力を蓄勢していない状態にある。一方、駆動板はその中央が僅かに反押圧方向に湾曲した状態にある。
【０００４】
その状態で、駆動手段を駆動して駆動板を押圧すると、駆動板は湾曲状態から真っ直ぐな状態に変位し、それによって、一対の弾性部材が外側に向けて弾性変位する。これら一対の弾性部材の弾性変位によって移動部が一対の桁部材を介して微少量だけ移動することになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の構成によると次のような問題があった。
上記したように、従来の変位量微調整装置の場合には、駆動板を駆動手段によって押圧することにより、駆動板を湾曲状態から真っ直ぐな状態に向けて変位させるようにしている。その際、駆動板に座屈が発生してしまうという問題があった。つまり、駆動板に対して圧縮力が作用することになるので、その圧縮力によって座屈が発生してしまうものである。
駆動板にこのような座屈が発生すると、それに起因して、一対の弾性部材の弾性変位にバラツキが生じてしまい、結局、移動部を高い精度で移動させることができなくなってしまうことになる。
【０００６】
本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、駆動手段を構成する駆動板における座屈の発生をなくし、それによって、一対の弾性部材の弾性変位ひいては移動部の微少変位の精度を高めることを可能にする変位量微調整装置と変位量微調整方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するべく本願発明の請求項１による変位量微調整装置は、対向・配置される一対の弾性部材と、上記一対の弾性部材の一端が連設された固定部と、上記一対の弾性部材の他端が連設されると共に上記固定部に対して桁部材を介して連設され一対の弾性部材の弾性変形によって上記桁部材を介して微少変位する移動部と、上記一対の弾性部材を弾性変形させて上記移動部を微少変位させる駆動手段と、を具備してなる変位量微調整装置において、上記駆動手段は上記一対の弾性部材の間に連設・配置された駆動板と、上記駆動板を押圧する押圧手段とから構成されていて、上記駆動板は初期状態で押圧方向に微少量だけ押し出された状態でセットされているとともに、上記一対の弾性部材は初期状態において上記駆動板によって微少量だけ引っ張られた状態でセットされており、上記駆動手段の押圧手段によって上記駆動板をさらに押し出して上記一対の弾性部材を相互に接近する方向にさらに引っ張ることにより上記移動部を微少変位させるものであることを特徴とするものである。
又、請求項２による変位量微調整装置は、請求項１記載の変位量微調整装置において、上記駆動板は上記押圧手段による押圧部の両側に肉厚部を備えた構成になっていることを特徴とするものである。
又、請求項３による変位量微調整装置は、請求項１又は請求項２記載の変位量微調整装置において、上記一対の弾性部材、固定部、移動部、駆動手段の駆動板は全て一体成形されていることを特徴とするものである。
又、請求項４による変位量微調整装置は、請求項１〜請求項３の何れかに記載の変位量微調整装置において、上記移動部は桁部材を介してＸ軸方向に移動可能な状態で上記固定部側に連設されていると共に別の桁部材を介して上記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向にも移動可能な状態で上記固定部側に連設されており、又、駆動手段としてはＸ軸方向用駆動手段とＹ軸用駆動手段が設けられていることを特徴とするものである。
【０００８】
すなわち、本願発明による変位量微調整装置は、駆動手段によっては上記一対の弾性部材を相互に接近する方向に引っ張ることにより上記移動部を桁部材を介して微少変位させるように構成したものである。それによって、駆動手段側における圧縮力に起因した座屈の発生をなくし、一対の弾性部材の弾性変位ひいては移動部の移動の精度を高めることができるものである。
その際、上記一対の弾性部材を初期状態において微少量だけ引っ張られた状態でセットし、該初期状態から上記駆動手段によってさらに引っ張られることにより移動部を微少変位させるように構成することが考えられる。それによって、変位初期におけるバラツキをなくすことができる。
又、上記駆動手段を上記一対の弾性部材の間に連設・配置された駆動板と、上記駆動板を押圧する押圧手段とから構成し、上記駆動板は初期状態で押圧方向に微量だけ押し出された状態でセットされているように構成することが考えられ、これによっても、変位初期におけるバラツキをなくすことができる。
又、上記駆動板を上記押圧手段による押圧部の両側に肉厚部を備えた構成とすることが考えられ、それによって、変位のバランスをとることができる。すなわち、押圧部の両側に肉厚部を設けることにより、該肉厚部の両側、すなわち、中央の押圧部となく圧部の外側の部分が変形箇所として特定されることになり、それによって、左右の変形のバランスをとることができるものである。
又、上記一対の弾性部材、固定部、移動部、駆動手段の一部を全て一体成形することが考えられ、それによって、別体とした場合のような機械的誤差等をなくして精度を高めることができる。
又、変位量微調整装置としては、一軸タイプ、二軸タイプ等と様々な構成のものが想定されるが、例えば、二軸タイプの場合には、移動部を桁部材を介してＸ軸方向に移動可能な状態で上記固定部側に連接すると共に別の桁部材を介して上記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向にも移動可能な状態で上記固定部側に連接し、又、駆動手段としてはＸ軸用駆動手段とＹ軸用駆動手段を設けた構成が考えられる。又、請求項７乃至請求項９は上記発明を変位量微調整方法としてクレームしたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図３を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。この第１の実施の形態は、本願発明を一軸タイプの変位量微調整装置に適用した例を示すものである。
図１は本実施の形態による変位量微調整装置の全体構成を示す平面図である。まず、一対の弾性部材１、１が設けられていて、これら一対の弾性部材１、１はその一端（図１中右端）を固定部３側に連設されている。一方、上記一対の弾性部材１、１の他端（図１中左端）は移動部５に連設されている。
【００１０】
上記移動部５であるが、図１乃至図４に示すように、ブロック状になっていて、一対の桁部材７、７を介して固定部３に対してＸ軸方向（図１中左右方向）に移動可能な状態で取り付けられている。上記一対の桁部材７、７は上記Ｘ軸方向に直交する方向に延長されている。
尚、図３中一対の桁部材７、７の部分を拡大して図４（ａ）に示すと共に、図４（ａ）中における一方の桁部材７の部分をさらに拡大して図４（ｂ）に示す。
【００１１】
上記一対の弾性部材１、１は駆動手段９によって弾性変位されるように構成されている。上記駆動手段９は、上記一対の弾性部材１、１の間に連設・配置された駆動板１１と、この駆動板１１を押圧する押圧手段としてのマイクロメータ１３とから構成されている。
尚、この実施の形態では駆動手段９としてマイクロメータ１３を使用して手動操作によって駆動する構成を例に挙げて説明しているが、これをステッピングモータ等を使用して自動で行うことも考えられる。
【００１２】
上記一対の弾性部材１、１と駆動手段９の構成を図２を参照して詳細に説明する。まず、一対の弾性部材１、１は初期状態において相互に接近する方向に引っ張られた状態にセットされている。又、駆動手段９の駆動板１１は初期状態においてマイクロメータ１３によって図２中左方向に予め押圧された状態でセットされている。
尚、図２は理解を容易にするために一対の弾性部材１、１と駆動板１１を実際よりは極端に湾曲させた状態で図示しており、一対の弾性部材１、１は相互に接近する方向に所定の微少量（Ｌ１）だけ引っ張られていると共に、駆動板１１は図２中左方向に所定の微少量（Ｌ２）だけ押圧された状態でセットされている。
【００１３】
上記のような初期状態にセットしたのは次のような理由による。すなわち、従来は押圧手段によって駆動板を外側に向けて圧縮することにより一対の弾性部材を相互に離間する方向に湾曲させることにより移動部を移動させるようにしていた。しかしながらその場合には駆動板に座屈が発生してしまい、それに起因して、一対の弾性部材の弾性変位ひいては移動部の移動の精度が低下してしまうという問題があった。
【００１４】
そこで、この実施の形態の場合にはそのような圧縮方式を止めて引張方式としたものである。つまり、押圧手段としてのマイクロメータ１３によって駆動板１１を押圧することによって一対の弾性部材１、１が相互に近接する方向に引っ張られることにより移動部５が移動する構成にしたものである。それによって、駆動板１１においては圧縮ではなく引張が生じることになり、従来問題になっていた圧縮による座屈をなくして、座屈に起因した不具合をなくすことができるものである。
【００１５】
又、上記したように、初期状態においては、一対の弾性部材１、１は既に所定の微少量（Ｌ１）だけ内側に引っ張られた状態にてセットされている。同様に、駆動板１１も押圧手段としてのマイクロメータ１３によって所定の微少量（Ｌ２）だけ押圧された状態にてセットされている。これは次のような理由による。
【００１６】
すなわち、仮に、一対の弾性部材１、１を真っ直ぐな状態、すなわち、何れの方向にも引っ張られていない状態でセットしたとすると、そのような状態で引っ張りが作用し始めると作用初期においては、一対の弾性部材１、１の変位が不規則になってしまうおそれがある。これに対して、本実施の形態のように、予め所定の微少量（Ｌ１）だけ引っ張った状態でセットしておくと、動作初期時の弾性変位が安定したものとなり、結局、移動部５の変位の精度も安定することになるものである。
【００１７】
又、駆動板１１を初期状態において、所定の微少量（Ｌ２）だけ押圧した状態にセットした理由も同じであり、動作初期時における駆動板１１の変位を安定したものにするためであり、それによって、一対の弾性部材１、１の弾性変位ひいては移動部５の移動の精度を高めようとするものである。
【００１８】
又、上記駆動板１１であるが、図１及び図２に示すように、押圧手段としてのマイクロメータ１３による押圧部位を中心にして、その両側に肉厚部１５、１５が設けられていて、これら肉厚部１５、１５の両側が薄肉部１７、１７となっている。このような構成とすることにより、駆動板１１の弾性変位の左右のバランスをとるようにしたものであり、それによって、一対の弾性部材１、１の変位のバランスをとって移動部５の移動の精度を高めようとするものである。
尚、一対の弾性部材１、１、固定部３、移動部５、駆動手段９の駆動板１１等は全て焼入処理を施した鋼材によって一体成形されるものであり、具体的には、ワイヤカット放電加工機やレーザ加工機等を用いた高精度切削加工によって製作されているものである。図４（ｂ）中符合８、８で示す孔はワイヤカット放電加工機により加工する際に穿孔する孔を示している。
【００１９】
上記マイクロメータ１３であるが、本体１９と、この本体１９に対して摺動可能に取り付けられた摺動子２１と、上記本体１９に対して回転操作可能に取り付けられ回転することにより上記摺動子２１を摺動させる操作部２３とから構成されている。上記摺動子２１は既に説明した駆動板１１の中央部位に連結されている。
【００２０】
上記移動部５の図１中左側には変位量検出センサ２５が設置されている。この変位量検出センサ２５は、センサ本体２７と、このセンサ本体２７より突出・配置された接触子２９とから構成されている。この接触子２９は移動部５に対して当接・配置されており、移動部５が移動することにより接触子２９が移動し、それによって、移動部５の変位量を検出するものである。
【００２１】
以上の構成を基にその作用を説明する。
まず、初期時には図２に示すような状態にあり、移動部５は図１、図２中左側に戻った状態にある。又、この時一対の桁部材７、７は図４（ｂ）中実線で示すような状態にある。
その状態からマイクロメータ１３の操作部２３を回転操作することにより摺動子２１を図１、図２中左側に移動させる。それによって、駆動板１７は図２に示す状態からさらに押圧されて図中左側に凸状に湾曲した状態に変形していく。
【００２２】
ここで、上記駆動板１１の変形を詳しく説明する。駆動板１１には左右に肉厚部１５、１５が設けられているので、上記のように押圧された場合には、それら肉厚部１５、１５の両側、すなわち、中央の薄肉部１７とそれぞれの肉厚部１５、１５の外側の薄肉部１７、１７の三箇所がより変形し易い箇所として特定されることになる。このように、変形箇所を中央部と左右両端部に積極的に特定することにより、左右の変形のバランスをとることができ、それによって、一対の弾性板１、１の弾性変形のバランスをとることができ、結局、移動部５の微少変位の精度を高めることができるものである。
【００２３】
上記駆動板１１の弾性変形によって一対の弾性部材１、１は、図２に示す状態からさらに相互に接近する方向に引っ張られて湾曲していく。それによって、移動部５は図１、図２中右側に向かって微少変位していくことになる。すなわち、一対の桁部材７、７が図４（ｂ）中仮想線で示すような状態に変形していき、それによって、移動部５が図１及び図２中右側に向かって微少変位していくことになる。この移動部５の微少変位は変位量検出センサ２５によって検出されることになる。
【００２４】
又、上記の状態からマイクロメータ１３の回転操作部２３を逆方向に回転操作すると、摺動子２１が図１、図２中右側に移動していく。それによって、駆動板１１は図２に示す状態に徐々に戻っていく。
【００２５】
上記駆動板１１の変形によって一対の弾性部材１、１も、図２に示す状態に徐々に戻っていき、それによって、移動部５は図１、図２中左側に向かって微少変位していくことになる。この移動部５の微少変位は変位量検出センサ２５によって検出されることになる。
【００２６】
以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、駆動手段９の駆動板１１による変形の方式が圧縮方式ではなく引張方式であるため、従来懸念されていた圧縮による駆動板１１の座屈という問題をなくすことができる。それによって、一対の弾性部材１、１の弾性変形ひいては移動部５の移動の精度を高めることができる。
又、初期状態において、一対の弾性部材１、１は所定量（Ｌ１）だけ引っ張られた状態でセットされていると共に、駆動板１１は所定量（Ｌ２）だけ押圧された状態でセットされており、よって、動作初期時における駆動板１１と一対の弾性部材１、１の変位を安定したものとすることができる。それによって、移動部５の移動の精度を高めることができるものである。
又、駆動板１１には左右に肉厚部１５、１５が設けられていて、その両側に薄肉部１７、１７を配置するように構成し、それによって、変形箇所を左右のバランスがとれた位置に積極的に特定しているので、駆動板１１の変形の左右のバランスをとることができ、それによって、一対の弾性部材１、１の変形のバランスをとって、結局は移動部５の移動の精度を高めることができる。
又、この実施の形態の場合には駆動手段９の一部の構成を除いて全て一体成形されてるので、機械的誤差等は一切なく、よって精度も高いものである。
【００２７】
次に、図５乃至図９を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。前記第１の実施の形態では一軸タイプ（Ｘ軸方向のみ）の変位量微調整装置を例に挙げて説明したが、この第２の実施の形態の場合にはこれを二軸タイプ（Ｘ軸方向とそれに直交するＹ軸方向）とした変位量微調整装置を例に挙げて説明するものである。
尚、前記第１の実施の形態と同一部分には同一符合を付して示しその説明は省略するものとする。
【００２８】
まず、移動部５をＸ軸方向に変位させるための構成は前記第１の実施の形態で説明した構成と同じである。又、この第２の実施の形態の場合には移動部５をＸ軸方向と直交するＹ軸方向にも変位させるために、Ｘ軸方向に変位させる為の構成と同じ構成をＹ軸方向に対しても設けている。
【００２９】
その際、移動部５を第１移動部５ａと、第２移動部５ｂとから構成している。そして、図６及び図８に示すように、上記第１移動部５ａは、一対の桁部材７、７を介して、第２移動部５ｂに連設されており、これら一対の桁部材７、７を介してＸ軸方向に移動可能に構成されている。又、図７及び図９に示すように、上記第２移動部５ｂは、別の一対の桁部材３１、３１を介して固定部３側に連設されており、これら一対の桁部材３１、３１を介して、Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に変位可能に構成されているものである。
【００３０】
又、Ｘ軸方向に変位させるための一対の弾性部材１、１、駆動板１１の構成、又、Ｙ軸方向に変位させるための弾性部材１、１、駆動板１１の構成は、前記第１の実施の形態の場合と同様であって、従来のような圧縮方式ではなく引張方式となっているものである。
尚、この場合には上記第１移動部５ａに対して、Ｘ軸方向に変位させるための一対の弾性部材１、１とＹ軸方向に変位させるための弾性部材１、１が連設されているものであり、第２移動部５ｂはそのような第１移動部５ａと固定部３側との間に配置されているものである。
【００３１】
以上の構成を基にその作用を説明する。まず、Ｘ軸方向であるが、これは前記第１の実施の形態の場合と同様に、初期時には移動部５は図５中左側に戻った状態にある。
その状態からマイクロメータ１３の操作部２３を回転操作することにより摺動子２１を図５中左側に移動させる。それによって、駆動板１１はさらに押圧されて図中左側に凸状に湾曲した状態に変形していく。
【００３２】
上記駆動板１１の弾性変形によって一対の弾性部材１、１は相互に接近する方向に引っ張られて湾曲していく。それによって、移動部５は図５中右側に向かって微少変位していくことになる。この移動部５の微少変位は変位量検出センサ２５によって検出されることになる。
【００３３】
又、上記の状態からマイクロメータ１３の回転操作部２３を逆方向に回転操作すると、摺動子２１が図５中右側に移動していく。それによって、駆動板１１は徐々に戻っていく。上記駆動板１１の変形によって一対の弾性部材１、１も徐々に戻っていき、それによって、移動部５は図５中左側に向かって微少変位していくことになる。この移動部５の微少変位は変位量検出センサ２５によって検出されることになる。
【００３４】
又、Ｙ軸方向に関しても上記したＸ軸方向の場合と同様であり、マイクロメータ１３の回転操作部２３を適宜の方向に回転操作することにより、移動部５を図５中上下方向に微少変位させることが可能になる。
すなわち、初期時には移動部５は図５中下側に戻った状態にある。
その状態からマイクロメータ１３の操作部２３を回転操作することにより摺動子２１を図５中下側に移動させる。それによって、駆動板１１はさらに押圧されて図中下側にさらに凸状に湾曲した状態に変形していく。
【００３５】
上記駆動板１１の弾性変形によって一対の弾性部材１、１は相互に接近する方向に引っ張られて湾曲していく。それによって、移動部５は図５中上側に向かって微少変位していくことになる。この移動部５の微少変位は変位量検出センサ２５によって検出されることになる。
【００３６】
又、上記の状態からマイクロメータ１３の回転操作部２３を逆方向に回転操作すると、摺動子２１が図５中上側に移動していく。それによって、駆動板１１は徐々に戻っていく。上記駆動板１１の変形によって一対の弾性部材１、１も徐々に戻っていき、それによって、移動部５は図５中下側に向かって微少変位していくことになる。この移動部５の微少変位は変位量検出センサ２５によって検出されることになる。
【００３７】
又、Ｘ軸方向の操作とＹ軸方向の操作を同時に行うことにより、移動部５を任意のＸ・Ｙ二次元方向に微少変位させることができる。
【００３８】
したがって、この第２の実施の形態の場合においても前記第１の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができるものである。
【００３９】
尚、本発明は前記第１及び第２の実施の形態に限定されるものではない。
まず、前記第１及び第２の実施の形態では、一対の弾性部材を初期状態において所定の微少量だけ引っ張っておくと共に駆動板を所定量だけ押圧しておく構成としたが、それに限定されるものではない。又、引っ張っておく場合や押圧しておく場合においてその量は任意に設定すればよい。
又、駆動板において一対の肉厚部を設ける構成とするか否かについても任意に設定すればよい。
その他図示した各部の構成はあくまで一例であって様々な変形が考えられる。
【００４０】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明による変位量微調整装置と変位量微調整方法によると、まず、駆動手段及び一対の弾性部材による変形の方式が圧縮方式ではなく引張方式であるため、従来懸念されていた駆動手段側における圧縮による座屈という問題をなくすことができる。それによって、一対の弾性部材の弾性変形ひいては移動部の移動の精度を高めることができる。
又、初期状態において、一対の弾性部材を所定量だけ引っ張られた状態でセットした場合には、動作初期時における一対の弾性部材の変位を安定したものとすることができる。それによって、移動部の移動の精度を高めることができるものである。
又、初期状態において、駆動板を所定量だけ押圧した状態でセットした場合には、動作初期時における駆動板の変位を安定したものとすることができる。それによって、移動部の移動の精度を高めることができるものである。
又、駆動板の左右に肉厚部を設けて変形箇所を左右のバランスがとれた位置に積極的に特定するようにした場合には、駆動板の変形の左右のバランスをとることができ、それによって、一対の弾性部材の変形のバランスをとって、結局は移動部の移動の精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、一軸タイプの変位量微調整装置の全体の構成を示す平面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１のＩＩ部を拡大して示す一部平面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図４（ａ）は図３のａ部を拡大して示す図、図４（ｂ）は図４（ａ）のｂ部を拡大し示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態を示す図で、二軸タイプの変位量微調整装置の全体の構成を示す平面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図４のＶＩ−ＶＩ矢視図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図４のＶＩＩ−ＶＩＩ矢視図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図６のＶＩＩＩ部を拡大して示す図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態を示す図で、図７のＩＸ部を拡大して示す図である。
【符号の説明】
１  弾性部材
３  固定部
５  移動部
７  桁部材
９  駆動手段
１１  駆動板
１３  マイクロメータ（押圧手段）
１５  肉厚部
１７  薄肉部
１９  本体
２１  摺動子
２３  回転操作部
２５  変位量検出センサ
２７  センサ本体
２９  接触子
３１  桁部材
【図１】
0003821751.tif 000002
【図２】
0003821751.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003821751.tif 000008
【図８】
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【図９】
0003821751.tif 000010