(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
−  ２つ以上の異なる波長のＸ線を発生するＸ線源と、
−  散乱されたＸ線光子を検出する検出器（４３）であって、検出器面の検出器中心を同心円状に取り囲む複数の環状検出器素子を具える当該検出器（４３）と、
−  前記Ｘ線源とＸ線によって照射される検査ゾーンとの間に配置され、１次放射ビームを形成する１次スリットを具える１次絞り装置（４０）と、
−  前記検査ゾーンおよび検出器間に配置され、少なくとも１つの２次スリットを具える２次絞り装置（４７）と
を具える、検査ゾーンからの弾性散乱されたＸ線光子のパルス伝送スペクトルを測定する装置において、
前記Ｘ線源として、第１Ｘ線源（２０）と、前記検出器面から前記第１Ｘ線源とほぼ同じ距離に位置する第２Ｘ線源（３０）を設け、この第２Ｘ線源と前記検出器中心とを接続する第２ビーム軸（３３）が、前記第１Ｘ線源と前記検出器中心とを接続する第１ビーム軸（２３）と所定の角度で交差し、これらが結合された１対のビーム軸を構成するように前記第２Ｘ線源を配置し、
双方のこれらビーム軸が前記１次および前記２次スリットに関係しており、
前記１次および前記２次スリットが、本質的に半環状の形状を有すると共に、前記ビーム軸に対して同軸状に配置されており、
前記第１ビーム軸を取り囲んで延在するすべての１次および２次スリットが、前記第２ビーム軸を取り囲んで延在する１次および２次スリットと反対方向を向いて、前記１対のビーム軸によって規定される面（Ｅ）に向かって開環しており、これら半環状スリットの各々の両端（Ｓ）が、前記１対のビーム軸によって規定される面内にほぼ位置していることを特徴とする装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、前記１次スリットの直径を、前記第１ビーム軸を取り囲んで延在する１次スリットによって形成される前記第１Ｘ線源による第１の１次放射ビーム（２２）が、前記第２ビーム軸を取り囲んで延在する１次スリットによって形成される前記第２Ｘ線源による第２の１次放射ビーム（３２）と、前記検査ゾーンにおいて隣接するように選択したことを特徴とする装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の装置において、前記１次および／または２次スリットを、各々１つの平坦な絞り板に設けたことを特徴とする装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の装置において、前記２次スリットを、前記検出器面と平行に延在する前記検査ゾーンの面において本質的に散乱される前記第１Ｘ線源による第１の１次放射ビーム（２２）の散乱放射が、前記検査ゾーンの同じ面において散乱する前記第２Ｘ線源による第２の１次放射ビーム（３２）の散乱放射と同じ検出器の環状素子に入射するように配置したことを特徴とする装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の装置において、個々のビーム軸に関連し、Ｘ線を吸収しビーム軸を含む面において位置する薄板を具える２つのコリメータ装置を、前記検査ゾーンと検出器との間に配置したことを特徴とする装置。
【請求項６】
請求項５に記載の装置において、前記２つのコリメータ装置の薄板を、前記２のビーム軸が位置する面において延在する金属製の仕切りによって互いに分離したことを特徴とする装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の装置において、少なくとも１つの他の検出器を具え、前記１次絞り装置が、各々の検出器用の２つのスリットを具えることを特徴とする装置。
【請求項８】
請求項７に記載の装置において、すべての１次および２次スリットとすべての検出器とを、前記２つのＸ線源を前記検出器中心に接続するすべてのビーム軸が１つの面において位置するように配置したことを特徴とする装置。
【請求項９】
請求項８に記載の装置において、４つの検出器を設け、前記１次絞り装置が、８つの半環状スリットを具えることを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、
−  ２つ以上の異なる波長のＸ線を発生するＸ線源と、
−  散乱されたＸ線光子を検出する検出器であって、検出器面の検出器中心を同心円状に取り囲む複数の環状検出器素子を具える当該検出器と、
−  前記Ｘ線源とＸ線によって照射される検査ゾーンとの間に配置され、１次放射ビームを形成する１次スリットを具える１次絞り装置と、
−  前記検査ゾーンおよび検出器間に配置され、少なくとも１つの２次スリットを具える２次絞り装置と
を具える、検査ゾーンからの弾性散乱されたＸ線光子のパルス伝送スペクトルを測定する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
このような装置は、独国特許公開明細書第４２２２２２７号から既知であり、これらのパルス伝送スペクトルに基づいて、特に手荷物中の中身（爆発物）である所定の中身を確認することができる。１つのＸ線源から発生された２つ以上の異なる波長のＸ線は、１次絞り板におけるスリットによって円錐状１次ビームを形成するように整形される。検査ゾーンにおいて散乱された放射は、１つまたはそれ以上の絞り板から構成してもよい２次絞り装置のスリットを経て、複数の素子から成る検出器に入射する。１次ビームの開口角の二分の一が０．０３０９ラジアンで、１次絞り板と放射源との間の距離が１１８７ｍｍで、検査ゾーンの放射方向の厚さが５００ｍｍである場合において、検査ゾーンのほぼ中心（すなわち、１次絞り板からの距離が２５０ｍｍ）における１次放射ビームの直径は、ほぼ９０ｍｍに等しい。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
一般に言われているように、検査すべき物体は、実際的により大きい寸法を有していることから、この物体のすべての領域を連続して検査する間に、曲がりくねったような走査運動を行う必要がある。
【０００４】
本発明の目的は、以下に説明する物体の検査に必要な時間を減らした装置を構成することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この目的は、本発明により、前記Ｘ線源として、第１Ｘ線源と、前記検出器面から前記第１Ｘ線源とほぼ同じ距離に位置する第２Ｘ線源を設け、この第２Ｘ線源と前記検出器中心とを接続する第２ビーム軸が、前記第１Ｘ線源と前記検出器中心とを接続する第１ビーム軸と所定の角度で交差し、これらが結合された１対のビーム軸を構成するように前記第２Ｘ線源を配置し、
双方のこれらビーム軸が前記１次および前記２次スリットに関係しており、
前記１次および前記２次スリットが、本質的に半環状の形状を有すると共に、前記ビーム軸に対して同軸状に配置されるようにし、
前記第１ビーム軸を取り囲んで延在するすべての１次および２次スリットが、前記第２ビーム軸を取り囲んで延在する１次および２次スリットと反対方向を向いて、前記１対のビーム軸によって規定される面に向かって開環しており、これら半環状スリットの各々の両端が、前記１対のビーム軸によって規定される面内にほぼ位置するようにすることよって達成される。
【０００６】
既知の装置においては、１次放射ビームによって同時に検査できる物体領域は、９０ｍｍ程度の幅しか持たないが、本発明による装置では、この領域が拡大される。１次絞り装置のスリットが、半環状形状を本質的に有することから、１次放射ビームは、互いに補うように隣接して配置された半円錐状の生成表面上の検査ゾーンを照射するように形成される。半環状形状を同様に有する２次スリットによって、検出器上に検査ゾーンが設定される。
【０００７】
ある実施例において、１次スリットの直径を、第１ビーム軸を取り囲んで延在する１次スリットによって形成される第１の１次放射ビームが、第２ビーム軸を取り囲んで延在する１次スリットによって形成される第２の１次放射ビームと、検査ゾーンにおいて隣接するように選択する。このようにすると、異なったＸ線源によって発生され、これらの散乱放射が同じ検出器に入射する２つの１次放射ビーム間に照射されない検査ゾーンの領域を最小限度にすることができる。２つのビーム軸が交差する角度が極めて小さいため、検査ゾーンにおいて、すなわち検出器面から離れて２つの１次放射ビームが互いに隣接することは、実際には重要ではない。
【０００８】
好適には、絞り装置の製造を特に簡単にするために、１次および／または２次スリットを、各々１つの平坦な絞り板に設ける。この絞り板を、Ｘ線を吸収する材料によって構成するとともに／かまたは、Ｘ線がスリットを経てのみ通過するような厚さを有するようにする。
【０００９】
ある実施例において、２次スリットを、検出器面と平行に延在する検査ゾーンの面において本質的に散乱される第１の１次放射ビームの散乱放射が、検査ゾーンの同じ面において散乱する第２の１次ビームの散乱放射と同じ検出器の環状素子に入射するように配置する。このようにすると、検出器の所定の環状素子に入射する散乱放射が、検査ゾーンにおいてほぼ正確に規定された散乱角において散乱されたものであることが保証される。
【００１０】
同じ理由のために、ビーム軸を含む面に対して比較的大きな角度を持つ散乱放射を抑制する必要がある。この目的のために、本発明の他の実施例において、個々のビーム軸に関連し、Ｘ線を吸収しビーム軸を含む面において位置する薄板を具える２つのコリメータ装置を、検査ゾーンと検出器との間に配置する。
【００１１】
さらに、第１の１次放射ビームが、第２の１次放射ビームの散乱放射を測定するための検出器の半分に入射するのを防ぐために、２つのコリメータ装置の薄板を、２のビーム軸が位置する面において延在する金属製の仕切りによって互いに分離する。Ｘ線を吸収する材料から成る金属製仕切りを、コリメータ装置の薄板と同様のものとする。
【００１２】
本発明の他の実施例は、少なくとも１つの他の検出器を具え、１次絞り装置が、各々の検出器用の２つのスリットを具える。より多くの数の検出器と、検査ゾーンを隣接して照射するより多くの数の半円錐状１次ビームとを使用することもでき、この場合、同時に照射されるゾーンがより広くなる。
【００１３】
好適な実施例において、すべての１次および２次スリットとすべての検出器とを、２つのＸ線源を検出器中心に接続するすべてのビーム軸が１つの面において位置するように配置する。この実施例は、複数の１次放射ビームによって同時に照射されるゾーンの幅が最大化するという点で有利である。
【００１４】
本発明の特に好適な実施例において、さらに、４つの検出器を設け、１次絞り装置が、８つの半環状スリットを具える。このようにすると、７２０ｍｍ程度の幅を持つゾーンを同時に検査することができる。一般に言われているように、検査すべき手荷物は、最大７００ｍｍの幅を有していることから、本実施例において、曲がりくねったような２次元の走査運動をしなくてすませることができる。このような手荷物の検査を完全に行うためには、１次元の走査運動を行えば十分であり、一方では、検査装置に対して手荷物を移動するためにより簡単な装置を使用することができるようになり、他方では、検査時間が実際的に節約される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１および６の実施例は、明確にするために一定の割合で示しておらず、水平方向の寸法は、垂直方向の寸法に比べて強度に誇張してある。
【００１６】
図１の参照符２０および３０は、２つ以上の異なる波長のＸ線を発生する２つの同様なＸ線源を示す。Ｘ線を、以下に図２の参照とともに詳述するように２つの本質的に半環状のスリット２１および３１を具える平坦な１次絞り板４０上に投射し、２つの１次放射ビーム２２および３２が、前記１次絞り板の後に形成されるようにする。図１において、図２において参照符Ｓ21，Ｓ22およびＳ31，Ｓ32によって各々示される１次スリット２１および３１の位置のみを示す。
【００１７】
例えばスーツケースである検査すべき物体４４を配置する検査ゾーンは、１次絞り板４０と、この１次絞り板と平行に延在しＸ線源と反対側に位置し１次絞り板との距離が例えば５００ｍｍでありＸ線を透過する例えばコンベヤベルトである板４５とによって境界を形成される。本例において、２つの板４０および４５間のほぼ中間に位置する面４６において、１次ビーム２２および３２は、互いに接する。２つの１次ビーム２２および３２は、各々半円錐状で、一方の半円錐は図面から突き出て、他方の半円錐は図面中に突き出る生成表面に整形される。
【００１８】
板４５と検出器４３との間に、以下で記述する図３のように本質的に半環状の２次スリット２５および３５を具える平坦な２次絞り板４７を配置する。図１において、図３において参照符Ｓ23，Ｓ24およびＳ33，Ｓ34によって各々示される２次スリット２５および３５の範囲のみを示す。
【００１９】
図示した実施例における検出器装置は、１次絞り板４０および２次絞り板４７と平行に延在する検出器面４２において位置する１つの検出器４３から成る。検出器は、検出器の中心４８の周囲に同心円状に配置された１２個の環状検出器素子を具える。中心４８は、Ｘ線源２０および３０の各々１つから延在し１対のビーム軸を構成する２つのビーム軸２３および３３の交点である。ビーム軸２３および３３は、各々点２４１および３４１において１次絞り板４０と交差し、各々点２４２および３４２において２次絞り板４７と交差する。スリットＳ21およびＳ22は、交点２４１から同じ距離に位置し、同様にスリットＳ31およびＳ32は、交点３４１から同じ距離に位置する。同様の関係が、交点２４２および３４２に各々対するスリットＳ23，Ｓ24またはＳ33，Ｓ34に関して保たれる。したがってビーム軸２３および３３は、半円錐状１次放射ビーム２２および３２の中心に各々延在する。
【００２０】
ビーム軸２３および３３は、検出器面４２における点４８で交差するため、２つの１次放射ビーム２２および３２の散乱放射を検出するためには、１つの検出器４３のみを必要とする。図示した実施例において、１次放射ビーム２２は、散乱光２６および２７を発生し、これらの散乱光は、スリットＳ23およびＳ24を経て、１次放射ビームによって発生されスリットＳ33およびＳ34を経て検出器素子５上に入射する散乱光３６および３７と同じ環状検出器素子５上に入射する。検出器面４２とほぼ平行な面における、例えば面４６の周囲のゾーンである検査ゾーンにおいて発生される散乱光は、１次放射ビーム２２または３２のどちらが散乱光を発生したかに係わらず、検出器面４２における所定の環状検出器素子４２上に入射する。
【００２１】
Ｘ線源２０および３０を、検出器面４２から２５００ｍｍの距離に配置するが、２つのＸ線源を、この検出器面から正確に同じ距離に置く必要はない。Ｘ線源２０および３０と１次絞り板４０との間の距離を、１１８７ｍｍとし、１次絞り板４０と板４５との間の距離を、５００ｍｍとする。Ｘ線源２０および３０を、互いから１８０ｍｍ程度の距離に配置する。
【００２２】
図２は、１次絞り板４０の平面図である。ラインＥは、１次絞り板４０に対して垂直に延在すると同時にビーム軸２３および３３によって形成される１対のビーム軸によって規定される面を構成する図１の図面を示す。ビーム軸２３および３３と１次絞り板４０との交点を、参照符２４１および３４１によって各々示す。本図は、中心２４１および３４１の周囲に各々位置し、Ｅによって示される面において位置する端Ｓ21，Ｓ22およびＳ31，Ｓ32を各々有する、１次スリット２１および３１の半環状の形状を示す。スリット２１および３１を、これらがＥによって示される面に関して反対方向に開口するように配置し、点４１に対して点対称に延在させる。１次絞り板４０において、点４１は、検出器中心４８において検出器面（図１参照）に対して垂直に延在し、２つのＸ線源間の接続ラインとほぼ中間で交差する直線との交点として生じる。
【００２３】
図３は、２次絞り板４７の平面図である。半環状２次スリット２５および３５も、Ｅによって示される面に関して反対方向に開口し、２次絞り板４７との交点を参照符２４２および３４２によって示されるビーム軸２３および３３（図１参照）を取り囲んで延在し、２次スリット２５は、Ｅで示される面の方へ図２の１次スリット２１と同じ方向に開口する。２次スリット２５および３５の各々の端Ｓ23，Ｓ24およびＳ33，Ｓ34も、Ｅによって示される面において位置する。
【００２４】
１次および２次スリット２１，３１（図２参照）および２５，３５（図３参照）を、正確に半環状にする必要はないが、本質的に半環状とすべきであり、半楕円形状を有するスリットも、適している。Ｘ線の開口角の半分が０．０３０９ラジアンと小さく、Ｘ線源２０および３０と１次絞り板４０との間の距離が１１８７ｍｍと大きいことから、実際問題として１次および２次スリット２１，３１および２５，３５を、例え理論的には僅かに楕円状に変形することを求められるとしても、製造が簡単な半環状形状を有するようにする。
【００２５】
図４は、中心４８を同心状に囲む１２個の環状素子１．．．１２を具える検出器の平面図である。個々の素子１．．．１２は、別々に検査ゾーンの異なる部分からの散乱放射を検出し、すなわち、これらの上に入射するＸ線光子の数を、エネルギー分析方法によって測定する。検査ゾーンの前記部分は、検出器面４２（図１参照）と平行に延在する面の層と、この層の各々の面の周囲のゾーンとによって形成される。
【００２６】
パルス伝送が半散乱角の正弦と弾性散乱Ｘ線光子のエネルギーとの積に比例し、所定の検出器素子１．．．１２が検査ゾーンの関連する部分からの散乱放射を検出する散乱角が既知であることから、各々の検出器素子１．．．１２に関して、パルス伝送スペクトルを、独国特許公開明細書第４２２２２２７号に開示されているように計算することができる。したがってこの計算を、ここで再び説明することはしない。
【００２７】
接点５Ｃおよび５Ｄによって半環状副素子５Ａおよび５Ｂに再分割されている検出器素子５は、散乱光２６，２７および３６，３７（図１参照）を、半環状副素子５Ａが散乱光２６および２７のみを受け、副素子５Ｂが散乱光３６および３７のみを受けるようにして検出する。さらに一般的に言えば、このようにすることは、１次ビーム２２（図１参照）によって発生する散乱放射は、図４に示す検出器の面Ｅより上に位置する検出器副素子上にのみ入射し、一方放射ビーム３２（図１参照）によって発生する散乱放射は、Ｅによって示される面より下に位置する検出器副素子上にのみ入射することを意味する。
【００２８】
パルス伝送スペクトルの測定をできるだけ正確にするために、関連する１次ビームに関して、所定の検出器素子によって受けられる散乱放射によって囲まれる散乱角を、できるだけ正確に規定する必要がある。したがって、所定の検出器素子は、散乱光を発生する１次ビームとこの１次ビームのビーム軸とによって規定される面において延在する散乱光のみを検出すべきであり、少なくともこの面の周囲のセクタ状領域における散乱放射のみを検出すべきである。他の散乱放射を抑制するために、２つのコリメータ装置を、検査ゾーンと検出器との間に配置する。これらのコリメータを、明確にするために図２においては省略しているが、図５の断面図には示してある。
【００２９】
コリメータ装置は、本質的に、中心軸に沿って２等分されたチューブの各々半分２８，３８から成り、Ｘ線を吸収する材料から成る。チューブの半分２８および３８は、Ｘ線を吸収し図１の図面において位置する金属製の仕切り４９によって互いに分離する。チューブの半分を、ビーム軸２３，３３を各々通って延在するコリメータ軸２４３，３４３の周囲に配置する。チューブの半分２８および３８の内側に、互いに等しい距離をおいて位置し、各々コリメータ軸２４３，３４３に関して放射状に整列された、薄板２９および３９を設ける。
【００３０】
図１のＸ線源２０および３０は、互いに、面４６における半円錐状１次放射ビームの直径のほぼ２倍に対応する、図示した場合においてほぼ９０ｍｍに等しい距離をおいて位置する。ここで分かるように、ビーム軸２２および３２は、検出器面４２に対して垂直には延在しない。したがって、ビーム軸が検出器面に対して垂直に延在する独国特許公開明細書第４２２２２２７号から既知の装置における散乱角と比較すると、散乱角は、ビーム軸と検出器面に対する法線とが成す角度の余弦にほぼ対応する係数によって減少する。しかしながら、ビーム軸と検出器面に対する法線とが成す最大角度の１５°に関して生じる減少量は、散乱角のほぼ３％と無視しうるほど僅かであり、その結果、ビーム軸が検出器面４２に対して垂直でないことによる散乱角への全体としての影響は、無視することができる。
【００３１】
独国特許公開明細書第４２２２２２７号から既知の装置においては、９０ｍｍの幅を有する円錐状ゾーンを検査するのに反して、本明細書に記載の装置においては、図１の面４６において各々９０ｍｍの幅を有し、互いに隣接した２つの半円錐状ゾーンを、同時に検査することができる。
【００３２】
図６は、本発明の特に有利な実施例を示す。本実施例において、４つの検出器４３１から４３４を設け、１次絞り装置は、１次絞り板４０１において８つの半環状スリットを具える。検出器４３１から４３４を、検出器面４２において、これらの環状素子が、各々Ｘ線源２０，３０を通って延在する２つのビーム軸との各々の交点を同心円状に取り囲むように配置する。これらの交点を、面４６において８つの半円錐状１次放射ビーム２２１から２２４および３２１から３２４が互いに補うように直接隣接するように、選択する。
【００３３】
図７に示す１次絞り板４０１は、８つの半環状スリットを具え、Ｘ線源２０（図示せず）に関連する３つのスリット２１２から２１４を、Ｘ線源３０に関連する３つのスリット３１２から３１４に正確に隣接させて、３つの環状スリットが形成されるようにする。２つの端にある半環状スリット２１１および３１１は、各々他方のＸ線源に関連する第２の半環状スリットと隣接しない。点５１から５３は、各々Ｘ線源２０，３０を通って延在する２つのビーム軸の交点であり、同時に３つの環状スリット２１２／３１２から２１４／３１４の中心点である。同時に、Ｘ線源２０，３０の一方を通る１つのビームのみが、点５０および５４を通って延在する。
【００３４】
図６は、各々図３および５において示されるのと同様な方法で構成される、２次絞り装置およびコリメータ装置を示さないが、この場合においては、４つのこれらのような装置を、検査すべき物体４４と検出器面４２との間に配置する。１次放射ビーム２２１，３２１から２２４，３２４の各々の対に関して、図３に示すような少なくとも２つの半環状２次スリットと、図５に示すような２つのコリメータ装置とを関連させる。
【００３５】
本実施例において、同時に検査できるゾーンは、独国特許公開明細書第４２２２２２７号から既知の装置と比較して、ほぼ８倍に拡大される。したがって、検査すべき１つの手荷物に関する上限である７００ｍｍの幅が達成され、物体のすべてのゾーンの一時的に連続して検査する間の曲がりくねったような走査運動を、検査すべき物体が検査装置に関して１方向に直線的に移動することのみを必要とする１方向走査運動に置き換えることができる。このことは、例えばコンベヤベルトである移動装置の複雑さも減少し、ほぼ８倍の実質的な利得を示す。既知の装置においては、１つの大きな手荷物の検査は、２０秒程度に及ぶ時間を必要とするのに反して、本発明の本実施例においては、物体の検査に必要な時間は、予想される時間である６秒より実質的に減少する。
【００３６】
図８は、１次絞り板４０２の他の実現可能な実施例を示す。参照符５５および５７は、Ｘ線源２０（図示せず）を通って延在する２つのビーム軸と、１次絞り板４０２との交点を示し、参照符５６および５８は、Ｘ線源３０（図示せず）を通って延在する２つのビーム軸と、１次絞り板４０２との交点を示す。Ｘ線源２０および３０の１次絞り板４０２に対して垂直な位置および１次絞り板４０２からの距離は、１次絞り板４０２上にＸ線源２０および３０の位置を垂直に投影することによって得られる点２０１および３０１によって示される。交点５５および５６とＸ線源の各々１つとを通って延在するビーム軸は、Ｅ１によって示される板において位置する。同様に、交点５７および５８とＸ線源の各々１つとを通って延在するビーム軸は、Ｅ２によって示される板において位置する。半環状スリット２１５および３１５によっ形成される１次放射ビームの散乱放射は、２次絞り装置（図示せず）を経て１次検出器に誘導され、スリット２１６および３１６によって形成された１次放射ビームの散乱放射は、第２検出器に誘導される。
【００３７】
本実施例において、同時に照射される検査ゾーンは、１方向にのみ拡大されるのではなく、垂直方向にも拡大される。本実施例の他の変形例において、半環状スリットを、１次絞り板４０２に対して垂直でＸ線源を通って延在する直線と、このＸ線源から放射されるＸ線の１次ビームとが成す角度を、１５°に等しくなるように配置することもできる。
【００３８】
独国特許公開明細書第４２２２２２７号から既知の装置におけるように、本発明による装置におけるビーム軸と１次および２次絞り装置との交点において、各々の半円錐１次放射ビームの、ビーム軸の経路に対応する経路を有する、所謂中心光線の強度の測定ができるようにする小さい穴を設けてもよい。この目的のために、各検出器における最も内側の検出器リング内に、小さい領域を測定領域として設計する。これらの測定によって、個々の検出器素子の測定結果が中心光線の測定結果に規格化され、したがって検査ゾーンにおける放射線の吸収を考慮することができる。
【００３９】
さらに、２次絞り装置を、本質的に半環状のスリットを設けられた複数の平坦な２次絞り板から構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施例を図式的に示す線図である。
【図２】  １次絞り装置の簡単な実施例を示す線図である。
【図３】  ２次絞り装置の簡単な実施例を示す線図である。
【図４】  １２個の環状素子から成る検出器を示す線図である。
【図５】  コリメータ装置の実施例を示す線図である。
【図６】  ４つの検出器を具える装置を図式的に示す線図である。
【図７】  ４つの検出器を具える装置用の１次絞り板を示す線図である。
【図８】  １２個の検出器を具える装置用の１次絞り板の他の実施例を示す線図である。
【符号の説明】
１〜１２  環状検出器素子
２０，３０  Ｘ線源
２２，３２  １次放射ビーム
２３，３３  ビーム軸
２６，２７，３６，３７  散乱光
４０  １次絞り板
４１  点
４２  検出器面
４３  検出器
４４  検査すべき物体
４５  板
４６  面
４７  ２次絞り板
４８  検出器の中心
【図１】
0003782142.tif 000002
【図２】
0003782142.tif 000003
【図３】
0003782142.tif 000004
【図４】
0003782142.tif 000005
【図５】
0003782142.tif 000006
【図６】
0003782142.tif 000007
【図７】
0003782142.tif 000008
【図８】
0003782142.tif 000009