(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２個の電極部材が計測対象の電解質液の流路中に所定間隔をおいて配置され、電極部材間の電気抵抗より前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極において、
前記電極部材それぞれの基端部を支持するとともに、前記電極部材の基端部から先端部に向かう方向に沿った貫通孔を備えた支持部と、
前記電極部材それぞれに接続された電線が互いに束ねられて形成されかつ前記電極部材の基端部から前記貫通孔を通って外部に導かれる電線束と、
弾性体からなりかつ前記支持部と電線束との間を液密に保つＯリングと、を備え、
前記Ｏリングは、軸線に関して対称な円環状でかつ前記軸線に沿った断面形が円形に形成されているとともに、内径が前記電線束の外径より小さく形成され、
前記Ｏリングは、円形に形成された断面形の直径が、３ｍｍ以上でかつ前記電線束の外径の５０％以上に形成されたことを特徴とする抵抗率計の電極。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などに用いられる抵抗率計の電極に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び各種の薬液の濃度管理などにおいて、純水の純度や電解質液の濃度を測定するために、前記純水や電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計が用いられる。前記抵抗率計は、例えば図５に示す電極１０１を備えている。
【０００３】
図５に例示された抵抗率計の電極１０１は、前記電極部材としての内電極１０２と、電極部材としての外電極１０３と、前記内電極１０２及び外電極１０３を支持する支持部１０４と、前記内電極１０２と電気的に接続した内電極リード線１０６と、前記外電極１０３と電気的に接続した外電極リード線１０７と、を備えている。
【０００４】
内電極１０２は、円柱状に形成されている。内電極１０２の基端部１０２ａには、ナット螺合部１０８が設けられている。ナット螺合部１０８は、前記内電極１０２の基端部１０２ａの外周に形成されている。ナット螺合部１０８には、ナット１０９が螺合する。
【０００５】
外電極１０３は、その内径が前記内電極１０２の外径より大きく形成された円管状に形成されている。内電極１０２と外電極１０３とは、互いに同軸的でかつ前記外電極１０３内に内電極１０２が挿入された状態で配されている。
【０００６】
内電極１０２は、その先端部１０２ｂ側に位置する先端面１０２ｃが、前記外電極１０３の先端部１０３ｂ側に位置する先端面１０３ｃより若干外電極１０３の奥側に位置した状態で配されている。内電極１０２と外電極１０３は、共に導電性を有する金属やカーボンなどの非金属から構成されている。
【０００７】
前記支持部１０４は、前記内電極１０２及び外電極１０３それぞれの基端部１０２ａ，１０３ａを支持している。支持部１０４は、内電極ホルダ１１０と、外電極ホルダ１１１と、コネクタ部１１２と、を備えている。
【０００８】
内電極ホルダ１１０は、内径が内電極１０２の外径と略等しく形成された円管状に形成されている。内電極ホルダ１１０は、前記内電極１０２の基端部１０２ａの外周に嵌合する。内電極ホルダ１１０は、絶縁性を有する樹脂または金属などから形成されている。
【０００９】
外電極ホルダ１１１は、円管状に形成されている。外電極ホルダ１１１は、一端部１１１ａに、前記外電極１０３の基端部１０３ａの外周に嵌合する外電極嵌合部１１１ｂと、前記内電極ホルダ１１０の外周に嵌合する内電極ホルダ嵌合部１１１ｃと、を設けている。外電極ホルダ１１１は、導電性を有する金属などから構成されている。
【００１０】
外電極ホルダ１１１は、外電極嵌合部１１１ｂ及び内電極ホルダ嵌合部１１１ｃが、それぞれ前記外電極１０３の基端部１０３ａ及び内電極ホルダ１１０の外周に嵌合する。外電極ホルダ１１１は、他端部１１１ｄの内周にコネクタ部１１２が嵌合する。
【００１１】
また、外電極ホルダ１１１は、その軸線に沿った略中央部に、リング部材取付溝１０３ｄを設けている。リング部材取付溝１０３ｄは、前記外電極ホルダ１１１の内周面から凹に形成されている。リング部材取付溝１０３ｄは、前記外電極ホルダ１１１の周方向に沿って形成されている。
【００１２】
前記コネクタ部１１２は、コネクタ本体１１３と、前記リード線１０６，１０７それぞれと電気的に接続する接続ピン１１４，１１５を備えている、コネクタ本体１１３は、絶縁性を有する樹脂または金属などから構成されている。コネクタ本体１１３は、前記外電極ホルダ１１１の内径と略等しい外径を有する円柱状に形成されている。
【００１３】
接続ピン１１４，１１５は、それぞれ、前記コネクタ本体１１３の長手方向に沿って、このコネクタ本体１１３内に埋設されている。接続ピン１１４，１１５は、それぞれ、前記コネクタ本体１１３の一端面１１３ａから他端面１１３ｂに亘って、前記コネクタ本体１１３を貫通して配されている。
【００１４】
前記コネクタ部１１２は、前記コネクタ本体１１３が、前記外電極ホルダ１１１の他端部１１１ｄの内周に嵌合して、前記外電極ホルダ１１１に取り付けられる。
【００１５】
内電極リード線１０６は、一端部が前記内電極１０２の基端部１０２ａに電気的に接続しているとともに、他端部が前記接続ピン１１４に電気的に接続している。内電極リード線１０６は、内電極接続部１２０によって、前記内電極１０２の基端部１０２ａに電気的に接続している。
【００１６】
内電極接続部１２０は、導電性円環部材１２１と、ばねなどからなる弾性体１２２と、前述したナット１０９と、を備えている。前記導電性円環部材１２１は、その内側に、ナット螺合部１０８が通ることのできる円環状に形成されている。導電性円環部材１２１は、導電性を有する金属から構成されている。
【００１７】
導電性円環部材１２１には、前記内電極リード線１０６の一端部が半田などを用いたろう付によって電気的に接続されている。弾性体１２２は、その内側に、ナット螺合部１０８が通ることのできる円環状に形成されている。
【００１８】
前記内電極接続部１２０は、前記導電性円環部材１２１をその内側にナット螺合部１０８を通しかつ前記内電極ホルダ１１０の端面１１０ａに重ね合わせ、さらに前記弾性体１２２をその内側にナット螺合部１０８を通して導電性円環部材１２１に重ね合わせ、前記ナット螺合部１０８にナット１０９を螺合させる。
【００１９】
そして、このナット１０９が、前記弾性体１２２を介して導電性円環部材１２１を内電極ホルダ１０２に向かって押圧して、前記内電極リード線１０６と内電極１０２との間の電気的な接続を確保する。
【００２０】
外電極リード線１０７は、一端部が前記外電極１０３の基端部１０３ａに電気的に接続しているとともに、他端部が前記接続ピン１１５に電気的に接続している。外電極リード線１０７は、外電極接続部１３０によって、前記外電極１０３に電気的に接続されている。
【００２１】
外電極接続部１３０は、導電性円環部材１３１を備えている。導電性円環部材１３１は、円環状に形成されている。導電性円環部材１３１は、その外縁部が、前記リング部材取付溝１０３ｄに嵌合する。導電性円環部材１３１は、導電性を有する金属から構成されている。導電性円環部材１３１には、前記外電極リード線１０７の一端部が半田などを用いたろう付によって電気的に接続されている。
【００２２】
前述した構成によって、外電極接続部１３０は、導電性円環部材１３１の外縁部が前記リング部材取付溝１０３ｄに嵌合することによって、前記外電極リード線１０７と外電極１０３との間の電気的な接続を確保する。
【００２３】
前記抵抗率計の電極１０１内には、前記外電極ホルダ１１１の内周面と、前記内電極ホルダ１１０の端面１１０ａと、コネクタ本体１１３の端面１１３ａと、によって囲まれた空間１１６が、形成されている。この空間１１６内には、エポキシ樹脂１３２が充填されている。
【００２４】
このエポキシ樹脂１３２は、前記外電極ホルダ１１１の内周面、前記内電極ホルダ１１０の端面１１０ａ及びコネクタ本体１１３の端面１１３ａそれぞれとの間を液密に保ち、前記空間１１６内に前述した電解質液の侵入を防止する。さらに、このエポキシ樹脂１３２は、前記コネクタ本体１１３の外周面と外電極ホルダ１１１の内周面とを互いに接着して、これらのコネクタ本体１１３の外周面と外電極ホルダ１１１の内周面との間を液密に保つ。
【００２５】
また、抵抗率計の電極１０１は、前記内電極ホルダ１１０と、外電極ホルダ１１１との間に、Ｏリング１３３を設けている。このＯリング１３３は、前記ホルダ１１０，１１１の相互の間を液密に保ち、前記空間１１６内に前述した電解質液が侵入することを防止する。
【００２６】
前述した構成によって、抵抗率計の電極１０１は、前記内電極１０２及び外電極１０３それぞれの少なくとも先端部１０２ｂ，１０３ｂを、計測対象の電解質液の流路中に配置し、これらの電極１０２，１０３間の電気抵抗を測定することより前記電解質液の抵抗率を測定する。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】
前述した図５に例示された抵抗率計の電極１０１は、前記空間１１６内にエポキシ樹脂１３２が充填されて、前記コネクタ部１１２と外電極ホルダ１１１との間を液密に保って前記空間１１６のシールを行っている。
【００２８】
このため、前記リード線１０６，１０７それぞれと接続ピン１１４，１１５それぞれとを互いに接続する際の応力による変形や、使用中の温度サイクルやヒートショックによって、これらのリード線１０６，１０７とエポキシ樹脂１３２との間や電極ホルダ１１１とエポキシ樹脂１３２との間に隙間などが生じて、前記エポキシ樹脂１３２のシール性が低下する恐れがあった。
【００２９】
前記エポキシ樹脂１３２のシール性が低下すると、前記コネクタ本体１１３の外周面と外電極ホルダ１１１の内周面との間から、センサが漏れた場合や結露した場合に、電解質液が、前記空間１１６内に侵入して、抵抗率計の電極１０１が電解質液の抵抗率を測定する際に不具合が生じる恐れがあった。
【００３０】
したがって、本発明の目的は、測定対象物としての電解質液が内部に侵入することを防止して、測定する際に生じる不具合を抑制できる抵抗率計の電極を提供することにある。
【００３１】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の抵抗率計の電極は、少なくとも２個の電極部材が計測対象の電解質液の流路中に所定間隔をおいて配置され、電極部材間の電気抵抗より前記電解質液の抵抗率を測定する抵抗率計の電極において、前記電極部材それぞれの基端部を支持するとともに、前記電極部材の基端部から先端部に向かう方向に沿った貫通孔を備えた支持部と、前記電極部材それぞれに接続された電線が互いに束ねられて形成されかつ前記電極部材の基端部から前記貫通孔を通って外部に導かれる電線束と、弾性体からなりかつ前記支持部と電線束との間を液密に保つＯリングと、を備え、前記Ｏリングは、軸線に関して対称な円環状でかつ前記軸線に沿った断面形が円形に形成されているとともに、内径が前記電線束の外径より小さく形成され、前記Ｏリングは、円形に形成された断面形の直径が、３ｍｍ以上でかつ前記電線束の外径の５０％以上に形成されたことを特徴としている。
【００３４】
請求項１に記載した本発明の抵抗率計の電極によれば、弾性体からなり、かつ電極部材それぞれと接続した電線が束ねられて形成される電線束と、前記電極部材の基端部を支持する支持部と、の間を液密に保つＯリングを備えている。このため、前記電極部材と電線とが互いに接続する接続箇所に、電界質液が侵入することが防止される。
【００３５】
Ｏリングが比較的太く形成されているので、電線束及び支持部との接触面積が広くなり、このＯリングが電線束と支持部との間をより確実に液密に保ってよりシールする。このため、前記Ｏリングが、電極部材と電線とが互いに接続する接続箇所に、電界質液が侵入することをより確実に防止する。
【００３６】
Ｏリングが、円形に形成された断面形の直径が３ｍｍ以上でかつ電線束の外径の５０％以上の比較的太い寸法に形成されているので、このＯリングが電線束と支持部との間をより液密に保ってより一層確実にシールする。このため、前記Ｏリングが、電極部材と電線とが互いに接続する接続箇所に、電界質液が侵入することをより一層確実に防止する。
【００３７】
また、Ｏリングの断面形の直径が３ｍｍ以上でかつ電線束の外径の５０％以上の比較的太い寸法に形成されているので、液温や外部温度の上昇によりこの電線の芯線を覆う被覆部が変形しても、前記電線束と支持部との間のシール性が低下することを抑制できる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態を図１ないし図４を参照して説明する。
図１などに示す本発明の一実施形態にかかる抵抗率計の電極１は、半導体の洗浄装置、産業機械、農業、食品、医療関係などの各分野における純水などの水質管理、原子力発電所の冷却水の絶縁性及び電解質液としての各種の薬液の濃度管理などに用いられる。前記電極１を用いる抵抗率計は、計測対象物としての前述した電解質液の純度を測定するために、前記電解質液の抵抗率を測定する装置である。
【００３９】
抵抗率計の電極１は、図１に示すように、電極部材としての内電極２と、電極部材としての外電極３と、前記内電極２及び外電極３を支持する支持部４と、温度検出部５と、前記内電極２と電気的に接続した本明細書に記した電線としての内電極リード線６と、前記外電極３と電気的に接続した本明細書に記した電線としての外電極リード線７と、を備えている。
【００４０】
内電極２は、円柱状に形成されている。内電極２は、外径が比較的小さく形成された小径部２ａと、外径が比較的大きく形成された大径部２ｂと、を一体に備えている。これらの小径部２ａ及び大径部２ｂは、互いに同軸的でかつ直列に連結している。
【００４１】
内電極２は、前記大径部２ｂが抵抗率計の電極１の先端側に位置しかつ小径部２ａが基端側に位置した状態で配される。前記内電極２は、前記小径部２ａ側に位置する端面２ｃから前記大径部２ｂに向かって凹の温度検出部挿入孔２ｄが形成されている。
【００４２】
前記温度検出部挿入孔２ｄは、前記小径部２ａ及び大径部２ｂそれぞれと互いに同軸的に配されている。温度検出部挿入孔２ｄは、前記端面２ｃから前記内電極２の先端側に向かって延在している。温度検出部挿入孔２ｄは、前記端面２ｃと前記内電極２の先端部２ｇとに亘って形成されている。なお、温度検出部挿入２ｄは、前記端面２ｃには開口しているが、前記内電極２の先端部２ｇ側に位置する端面２ｅには開口していない。
【００４３】
外電極３は、その内径が前記内電極２の大径部２ｂの外径より大きく形成された円管状に形成されている。内電極２と外電極３とは、互いに同軸的でかつ前記外電極３内に内電極１が挿入された状態で配されている。内電極２は、前記大径部２ｂの端面２ｅが、前記外電極３の先端部３ｃ側に位置する端面３ａより若干外電極３の奥側に位置した状態で配されている。内電極２と外電極３は、共に導電性を有する金属などから構成されている。
【００４４】
前記支持部４は、前記内電極２及び外電極３それぞれの基端部２ｆ，３ｂを支持している。支持部４は、内電極ホルダ１０と、外電極ホルダ１１と、基端キャップ１２などを備えている。
【００４５】
内電極ホルダ１０は、円管状に形成されている。内電極ホルダ１０は、外径が比較的小さく形成された小径部１０ａと、外径が比較的大きく形成された大径部１０ｂと、を一体に備えている。小径部１０ａと大径部１０ｂとは互いに同軸的でかつ互いに直列に連結されている。
【００４６】
前記小径部１０ａの内径は、前記内電極２の小径部２ａの外径と略等しく形成されている。小径部１０ａの外径は、前記内電極２の大径部２ｂの外径と略等しく形成されている。
【００４７】
前記大径部１０ｂの内径は、前記小径部１０ａの外径と略等しく形成されている。すなわち大径部１０ｂの内径は、前記小径部１０ａの内径より大径に形成されている。大径部１０ｂの外径は、外電極３の外径と略等しく形成されている。このため、内電極ホルダ１０の内周において、前記小径部１０ａと大径部１０ｂとの間には、段差面１０ｃが形成されている。
【００４８】
段差面１０ｃは、前記内電極ホルダ１０の両端部に位置する両端面１０ｄ，１０ｅに沿って形成されている。内電極ホルダ１０は、絶縁性を有する樹脂または金属などから形成されている。
【００４９】
内電極ホルダ１０は、前記小径部１０ａが前記内電極２の近傍に位置しかつ前記大径部１０ｂが前記内電極２から離れた側に位置した状態で、前記内電極２の小径部２ａの外周に嵌合して配される。
【００５０】
外電極ホルダ１１は、円管状に形成されている。外電極ホルダ１１は、外径が比較的小さく形成された小径部１１ａと、外径が比較的大きく形成された大径部１１ｂと、を一体に備えている。小径部１１ａと大径部１１ｂとは互いに同軸的でかつ互いに直列に連結されている。
【００５１】
前記小径部１１ａ及び大径部１１ｂそれぞれの内径即ち、外電極ホルダ１１の内径は、外電極３の外径と略等しく形成されている。外電極ホルダ１１は、導電性を有する金属などから構成されている。
【００５２】
外電極ホルダ１１は、前記大径部１１ｂが前記内電極２の近傍に位置しかつ前記小径部１１ａが前記内電極２から離れた側に位置した状態で、前記外電極３の基端部３ｂの外周に嵌合するとともに、前記内電極ホルダ１０の大径部１０ｂの外周に嵌合して配される。
【００５３】
外電極ホルダ１１は、その軸線に沿った略中央部に、リング部材取付溝１１ｃを設けている。リング部材取付溝１１ｃは、前記外電極ホルダ１１の内周面から凹に形成されている。リング部材取付溝１１ｃは、前記外電極ホルダ１１の周方向に沿って形成されている。
【００５４】
また、前記外電極ホルダ１１と内電極ホルダ１０との間には、互いの間を液密に保つＯリング１３が設けられている。内電極２と内電極ホルダ１０との間には、互いの間を液密に保つＯリング１４が設けられている。これらのＯリング１３，１４は、ゴムなどの弾性体から構成されている。
【００５５】
さらに、前記内電極２及び内電極ホルダ１０の長手方向に沿った方向において、前記内電極ホルダ１０と外電極３との間には、中間部材１５が設けられている。中間部材１５は、円環状に形成されている。中間部材１５は、内径が前記小径部１０ａの外径と略等しく形成されているとともに、外径が前記外電極ホルダ１１の内径と略等しく形成されている。
【００５６】
中間部材１５は、小径部１０ａの外周に嵌合しかつ外電極ホルダ１１の内周に嵌合している。中間部材１５は、絶縁性を有する樹脂又は金属などから構成されている。また、この中間部材１５が小径部１０ａの外周に嵌合しかつ外電極ホルダ１１の内周に嵌合することによって、前記内電極２と外電極３とは、これらの電極２，３の径方向に沿った間隔が所定間隔ｔ（図１に示す）に保たれている。
【００５７】
基端キャップ１２は、円板部１２ａと筒部１２ｂとを有する有底筒状に形成されている。円板部１２ａは、円板状に形成されている。筒部１２ｂは、筒状に形成されかつ円板部１２ａの周縁に連なっている。
【００５８】
基端キャップ１２は、周知のポリアミド樹脂（ナイロン）などの合成樹脂から形成されている。基端キャップ１２は、前記筒部１２ａが前記外電極ホルダ１１の小径部１１ａの外周に嵌合して配されている、基端キャップ１２は、前記筒部１２ｂが前記小径部１１ａに、周知のエポキシ系接着剤によって接着されて固定されている。
【００５９】
基端キャップ１２は、前記円板部１２ａを貫通する丸孔１２ｃを備えている。丸孔１２ｃは、その平面形状が略円形に形成されている。丸孔１２ｃは、前記円板部１２ａと同軸的に配されている。丸孔１２ｃは、その内側に、温度検出部５の後述する電線束２６が通る。この丸孔１２ｃは、本明細書に記した貫通孔を構成している。
【００６０】
また、前記支持部４は、前記内電極ホルダ１０の大径部１０ｂの内周面１０ｆと、外電極ホルダ１１の内周面１１ｄと、基端キャップ１２の円板部１２ａ等で囲まれた空間１６を、その内部に形成している。この空間１６には、前記温度検出部挿入孔２ｄが開口している。
【００６１】
前記空間１６は、その内側に、前記外電極ホルダ１１のリング部材取付溝１１ｃに取り付けられるＣ状リング１７と、付勢手段としてのコイルばね１８と、第１の止め環１９と、第２の止め環２０などを収容している。
【００６２】
Ｃ状リング１７は、平面形状がＣ状の円環状に形成されている。Ｃ状リング１７は、その外縁が、前記リング部材取付溝１１ｃ内に嵌合して、外電極ホルダ１１に固定される。Ｃ状リング１７は、ステンレス鋼などの周知の鋼などから構成されている。
【００６３】
前記コイルばね１８は、その内側に、温度検出部５の電線束２６が通った状態で前記空間１６内に収容されている。コイルばね１８は、前記Ｃ状リング１７と、内電極ホルダ１０の大径部１０ｂとの間に配されており、前記Ｃ状リング１７を前記基端キャップ１２側に向かって付勢している。コイルばね１８は、ステンレス鋼などの周知の鋼などから構成されている。
【００６４】
第１の止め環１９は、ステンレス鋼などの周知の鋼などからなりかつ円環状に形成されている。第１の止め環１９は、その内側に内電極２の小径部２ａが通った状態で、前記内電極ホルダ１０の大径部１０ｂ内に収容されている。第１の止め環１９は、その内縁が、前記内電極２の小径部２ａの外周に嵌合して、前記内電極２などに固定されている。
【００６５】
第２の止め環２０は、ステンレス鋼などの周知の鋼などからなりかつ円環状に形成されている。第２の止め環２０は、その内側に、温度検出部５の電線束２６が通った状態で前記空間１６内に収容されている。第２の止め環２０は、前記Ｃ状リング１７の基端キャップ１２側に設けられている。第２の止め環２０は、その外縁が、前記外電極ホルダ１１の内周面１１ｄに嵌合して、前記外電極ホルダ１１などに固定されている。
【００６６】
前記温度検出部５は、図１及び図２に示すように、一対の温度センサ素子２１，２２と、これらの温度センサ素子２１，２２それぞれと電気的に接続した電線２３，２４と、円管ばね部材２５などを備えている。温度検出部５は、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に配されている。
【００６７】
温度センサ素子２１，２２は、それぞれ、温度検出部挿入孔５内でかつ前記内電極２の先端部２ｇに配されている。温度センサ素子２１，２２は、それぞれ、温度を測定する感温部２１ａ，２２ａを備えている。
【００６８】
温度センサ素子２１，２２は、それぞれ、感温部２１ａ，２２ａがディスク形、ペレット形あるいはそれに類似した面部を有する形状のサーミスタにより構成されている。温度センサ素子２１，２２は、それぞれの感温部２１ａ，２２ａの面部が、前記温度検出部挿入孔５内において、前記電解質液の流路に対し略平行となるように配置されている。
【００６９】
電線２３，２４は、それぞれ一端が前記温度センサ素子２１，２２の感温部２１ａ，２２ａに電気的に接続している、電線２３，２４は、前記内電極２の先端部２ｇから内電極２の基端部２ｆに向かって延びて、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に配されている。
【００７０】
電線２３，２４の長手方向に沿った中央部から他端部に至る部分と、内電極リード線６と、外電極リード線７と、は互いに束ねられて電線束２６を構成している。電線束２６は、前記温度検出部５が温度検出部挿入孔２ｄ内に収容された際に、前記内電極２及び外電極３の基端部２ｆ，３ｂ側に位置する基端キャップ１２の丸孔１２ｃを通って外部に導かれる。電線２３，２４は、それぞれ、図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【００７１】
円管ばね部材２５は、導電性を有する周知の鋼などから構成されている。円管ばね部材２５は、円管状に形成されている。円管ばね部材２５は、一部が、長手方向に沿って切りかかれている。円管ばね部材２５は、その長手方向に対し交差する断面の断面形状がＣ状に形成されている。円管ばね部材２５は、その外径が伸縮自在となる弾性を有している。円管ばね部材２５は、初期状態において、前記内電極２の小径部２ａの内径より大きな外径となっている。
【００７２】
円管ばね部材２５は、前記電線束２６の温度センサ素子２１，２２寄りに配されている。円管ばね部材２５は、前記電線２３，２４を互いに束ねている。円管ばね部材２５は、その弾性復元力に抗して、前記小径部２ａ内に挿入される。円管ばね部材２５は、前記小径部２ａ内に挿入されると、弾性復元力を生じて、前記小径部２ａの内周面と密接する。
【００７３】
また、前記温度センサ２１，２２の感温部２１ａ，２２ａを互いに電気的に接続しかつ前記円管ばね部材２５と電気的に接続する電線２７が設けられている。この電線２７は、前記感温部２１ａ，２２ａの互いの電位を前記円管ばね部材２５と等しく保つ機能を有している。
【００７４】
内電極リード線６は、一端部６ａが前記円管ばね部材２５と電気的に接続している。内電極リード線６は、円管ばね部材２５と電気的に接続することによって、前記内電極２と電気的に接続する。内電極リード線６は、前記電線２３，２４などとともに電線束２６として基端キャップ１２まで導かれ、前記丸孔１２ｃ内を通って外部に導かれる。内電極リード線６は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【００７５】
外電極リード線７は、一端部７ａが前記第２の止め環２０に電気的に接続している。外電極リード線７は、前記第２の止め環２０に電気的に接続することによって、外電極ホルダ１１及び外電極３３と電気的に接続する。外電極リード線７は、前記電線２３，２４などとともに電線束２６として基端キャップ１２まで導かれ、前記丸孔１２ｃ内を通って外部に導かれる。外電極リード線７は、前述した図示しない演算装置などに電気的に接続している。
【００７６】
また、前記基端キャップ１２内には、シリコンゴムなどの弾性体からなるＯリング３０が設けられている。Ｏリング３０は、図３及び図４に示すように、軸線Ｐに関して対称な円環状に形成されている。Ｏリング３０は、図３に示すように、その初期状態において、その内径ｄ１が前記電線束２６の外径Ｄ１（図４に示す）より小さくかつ外径ｄ２が外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内径Ｄ２（図４に示す）より若干大きく形成されている。
【００７７】
Ｏリング３０は、図３に示すように、初期状態において、前記軸線Ｐに沿った断面形が円形に形成されている。Ｏリング３０は、円形に形成されたその断面形の直径が３ｍｍ以上でかつ前記電線束２６び外径Ｄ１の５０％以上に形成されている。このように、Ｏリング３０は、円形に形成された断面形が太く形成されている。
【００７８】
Ｏリング３０は、内周側に電線束２６を通しかつ前記外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内側即ち基端キャップ１２の筒部１２ｂの内側に配される。Ｏリング３０は、前記基端キャップ１２内に設けられると、前記電線束２６と、外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内周面と、の間を液密に保ち、前記空間１６内に電解質液が侵入することを防止する。
【００７９】
また、前記温度検出部挿入孔２ｄ内に前記温度検出部５が設けられかつ前記空間１６内に、Ｃ状リング１７、コイルばね１８及び止め環１９，２０などが収容された状態で、エポキシ樹脂３１が充填されている。
【００８０】
このエポキシ樹脂３１は、前記外電極ホルダ１１の内周面１１ｄ、前記内電極ホルダ１０の端面１０ｅとの間を液密に保ち、前記空間１６内に前述した電解質液の侵入を防止する。
【００８１】
前述した構成によれば、電極１を用いた抵抗率計は、前記内電極２及び外電極３それぞれの少なくとも先端部２ｇ，３ｃを、計測対象の電解質液の流路中に配置し、前記リード線６，７などを介して演算装置などに伝えられる電極２，３間の電気抵抗を測定することにより前記電解質液の抵抗率を測定する。
【００８２】
このとき、前記温度センサ素子２１，２２の感温部２１ａ，２２ａから、前記電線２３，２４などを介して前記電解質液の温度に応じた情報が、前記演算装置に伝えられる。そして、この演算装置などが電解質液の温度の補償を行い、この電解質液のあらかじめ決められた一定温度における抵抗率を算出する。
【００８３】
本実施形態の抵抗率計の電極１によれば、電線束２６と、前記電極２，３の基端部２ｆ，３ｂを支持する支持部４の外電極ホルダ１１の小径部１１ａと、の間を液密に保つ弾性体からなるＯリング３０を備えている。
【００８４】
このため、リード線６，７などに流れる電流によってリード線６，７が発熱して、前記空間１６内に充填されたエポキシ樹脂３１と前記リード線６，７などとの間に隙間が生じても、電線束２６と基端キャップ１２との間から、前記空間１６内即ち電極２，３それぞれとリード線６，７とが互いに接続する接続箇所としての、リード線６と円管ばね部材２５との接続箇所の近傍及びリード線７と第２の止め環２０の接続箇所の近傍に、前記電界質液が侵入することを防止できる。したがって、電解質液の抵抗率を測定する際に生じる不具合を抑制できる。
【００８５】
また、前記Ｏリング３０が、円形に形成された断面形の直径が、３ｍｍ以上でかつ前記電線束２６の外径の５０％以上に形成されて、比較的太く形成されている。このため、電線束２６及び支持部４との接触面積が広くなりＯリング３０が電線束２６と外電極ホルダ１１の小径部１１ａとの間をより液密に保ってよりシールする。したがって、前記空間１６内即ち前述した接続箇所に電界質液が侵入することによって電解質液の抵抗率を測定する際に生じる不具合をより抑制できる。
【００８６】
さらに、前記抵抗率計の電極１を用いて前記電解質液の抵抗率を測定する際に、液温や外部温度の上昇によって前記リード線６，７の被覆部が変形することによって、例えば、図４（Ｂ）に示すように、外径が縮径する方向に前記電線束２６が変形しても、前記Ｏリング３０が内径ｄ１が電線束２６の外径Ｄ１より小さくかつ外径ｄ２が外電極ホルダ１１の小径部１１ａの内径Ｄ２より大きく形成されているので、前記Ｏリング３０の内周面３０ａが前記電線束２６が縮径するのに追随して縮径する。
【００８７】
このため、前記電線束２６がその外径Ｄ１が縮径する方向に変形しても、前記Ｏリング３０が、前記電線束２６の外周面と密接して、この電線束２６との間を液密に保つ。したがって、前記空間１６内即ち前述した接続箇所の近傍に電界質液が侵入することをより一層防止でき、電解質液の抵抗率を測定する際に生じる不具合をより一層抑制できる。さらに、前述した本発明の電極１は、電解質液の導電率を測定する導電率計に用いることができるのは勿論である。
【００８８】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１に記載の本発明によれば、弾性体からなりかつ電線束と支持部との間を液密に保つＯリングを備えているため、前記電極部材と電線とが互いに接続する接続箇所への電界質液の侵入を防止できる。したがって、前記接続箇所に電界質液が侵入することによって電解質液の抵抗率を測定する際に生じる不具合を抑制することができる。
【００８９】
Ｏリングが太く形成されておりかつ、電線束と支持部との接触面積が広いので、電線束と支持部との間がより液密に保たれる。このため、前記Ｏリングが、電極部材と電線とが互いに接続する接続箇所に、電界質液が侵入することをより確実に防止する。したがって、前記接続箇所に電界質液が侵入することによって電解質液の抵抗率を測定する際に生じる不具合をより抑制することができる。
【００９０】
Ｏリングの断面形の直径が３ｍｍ以上でかつ電線束の外径の５０％以上の太い寸法に形成されているので、電線束と支持部との間がより一層液密に保たれる。このため、前記Ｏリングが、電極部材と電線とが互いに接続する接続箇所に、電界質液が侵入することをより一層確実に防止する。したがって、前記接続箇所に電界質液が侵入することによって電解質液の抵抗率を測定する際に生じる不具合をより一層抑制することができる。
【００９１】
また、Ｏリングの断面形状の直径が３ｍｍ以上でかつ電線束の外径の５０％以上の比較的太い寸法に形成されているので、電線が発熱してこの電線の被覆部が変形しても、前記電線束と支持部との間のシール性が低下することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる抵抗率計の電極の全体構成を示す断面図である。
【図２】同実施形態の電極の温度検出部の構成を示す側面図である。
【図３】（Ａ）は同実施形態の電極のＯリングを示す平面図である。
（Ｂ）は図３（Ａ）中のＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿う断面図である。
【図４】同実施形態の電極の要部を示す断面図である。
【図５】従来の抵抗率計の電極の全体構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１  抵抗率計の電極
２  内電極（電極部材）
２ｆ  基端部
３  外電極（電極部材）
３ｂ  基端部
４  支持部
６  内電極リード線（電線）
７  外電極リード線（電線）
１２ｃ  丸孔（貫通孔）
２６  電線束
３０  Ｏリング
Ｐ  軸線
ｔ  所定間隔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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