(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端部に第１流体圧出入ポートが設けられ、他端部にパイロットポートが設けられた第１ボデイを有するパイロットチェック弁部と、
前記第１ボデイと一体的に設けられた第２ボデイを有するニードル弁部と、
一端部に第２流体圧出入ポートが設けられ、前記第２ボデイと一体的に形成された管継手本体を有する管継手部と、
前記ニードル弁部内に設けられ、前記第１流体圧出入ポートと第２流体圧出入ポートとを連通させる流体通路に臨み、前記流体通路を流通する圧力流体の流量を調整するニードル弁本体と、
前記パイロットチェック弁部に設けられ、前記パイロットポートから供給される圧力流体の作用下に前記第１流体圧出入ポートと第２流体圧出入ポートとを連通させる流体通路を開閉する弁体と、
前記第１ボデイの軸線方向に沿って延在する貫通孔内に配設され、前記貫通孔に沿って変位自在に設けられた断面Ｔ字状のステムと、
前記第１ボデイの一端部に設けられ、前記弁体を支持するとともに前記第１流体圧出入ポートが形成された支持部材と、
前記第１ボデイの貫通孔内に設けられ、弾発力によって前記ステムを前記弁体から離間する方向に向かって押圧する第１コイルスプリングと、
前記弁体と前記支持部材との間に設けられ、弾発力によって前記弁体を着座部の方向に向かって押圧する第２コイルスプリングと、
を備え、
前記第２ボデイは、前記第１ボデイの外周面を囲繞するリング体と一体的に連結されて前記第１ボデイの軸線を回動中心として所定方向に回動自在に設けられ、
前記ニードル弁部には、前記第２流体圧出入ポートから前記第１流体圧出入ポートに向かって圧力流体が流通することを許容するとともに、前記とは反対方向に圧力流体が流通することを阻止するチェック弁が設けられ、
前記弁体は、前記パイロットポートから供給される圧力流体の作用下に変位する前記ステムが当接することにより、前記着座部から離間するように設けられ、
前記第１ボデイの他端部に設けられた前記パイロットポートは、ねじ穴からなることを特徴とするパイロットチェック弁付スピードコントローラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パイロットチェック弁を有し、例えば、シリンダ等の流体圧機器から導出される圧力流体の圧力を制御することが可能なパイロットチェック弁付スピードコントローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、例えば、シリンダ等の流体圧機器に出入する圧力流体を制御するためにスピードコントローラを含む流体圧制御回路が用いられている。この流体圧制御回路は、シリンダの第１流体圧出入ポートに直列に接続される第１スピードコントローラおよび第１パイロットチェック弁と、前記シリンダの第２流体圧出入ポートに直列に接続される第２スピードコントローラおよび第２パイロットチェック弁と、前記第１スピードコントローラおよび第２スピードコントローラにそれぞれ接続される電磁弁とから構成される。
【０００３】
前記流体圧制御回路の概略動作を説明すると、電磁弁の切換作用下に圧力流体供給源から供給された圧力流体が第１スピードコントローラおよび第１パイロットチェック弁を通過し、第１流体圧出入ポートを介してシリンダの一方のシリンダ室に導入される。前記圧力流体の作用下にピストンが他方のシリンダ室に向かって移動する際、他方のシリンダ室に残存する圧力流体は、第２流体圧出入ポートを介して第２パイロットチェック弁および第２スピードコントローラに導入され、終局的には大気中に排出される。この場合、第２スピードコントローラを通過する圧力流体の流量を所定量に規制調整しておくことにより、ピストンの移動速度を制御することができる。
【０００４】
なお、前記第１スピードコントローラと第２スピードコントローラ、前記第１パイロットチェック弁と第２パイロットチェック弁は、それぞれ同一の構成要素からなり、また、スピードコントローラとパイロットチェック弁とは、それぞれ別体で形成されている。
【０００５】
従って、前記流体圧制御回路は、シリンダに対して、２個のスピードコントローラと、２個のパイロットチェック弁と、１個の電磁弁とから構成され、電磁弁と第１および第２スピードコントローラとの間、第１および第２スピードコントローラと第１および第２パイロットチェック弁との間、第１および第２パイロットチェック弁とシリンダとの間を、それぞれチューブ等の管体を用いて連通接続している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記の従来技術に係る流体圧制御回路では、シリンダに対してそれぞれ別体で形成された２個のスピードコントローラおよび２個のパイロットチェック弁とを付設しているため、部品点数が増大してコストが高騰するとともに、シリンダに対して付設される流体圧機器の配管スペースを可及的に減少させることができないという不都合がある。
【０００７】
また、２個のスピードコントローラ、２個のパイロットチェック弁および電磁弁をそれぞれ接続するための配管作業が必要となり、取付工数が増加するという不都合がある。
【０００８】
本発明は、これらの種々の不都合を悉く克服するためになされたものであり、配管スペースを減少させるとともに取付工数を簡略化し、しかもコストの低減化を図ることが可能なパイロットチェック弁付スピードコントローラを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、一端部に第１流体圧出入ポートが設けられ、他端部にパイロットポートが設けられた第１ボデイを有するパイロットチェック弁部と、
前記第１ボデイと一体的に設けられた第２ボデイを有するニードル弁部と、
一端部に第２流体圧出入ポートが設けられ、前記第２ボデイと一体的に形成された管継手本体を有する管継手部と、
前記ニードル弁部内に設けられ、前記第１流体圧出入ポートと第２流体圧出入ポートとを連通させる流体通路に臨み、前記流体通路を流通する圧力流体の流量を調整するニードル弁本体と、
前記パイロットチェック弁部に設けられ、前記パイロットポートから供給される圧力流体の作用下に前記第１流体圧出入ポートと第２流体圧出入ポートとを連通させる流体通路を開閉する弁体と、
前記第１ボデイの軸線方向に沿って延在する貫通孔内に配設され、前記貫通孔に沿って変位自在に設けられた断面Ｔ字状のステムと、
前記第１ボデイの一端部に設けられ、前記弁体を支持するとともに前記第１流体圧出入ポートが形成された支持部材と、
前記第１ボデイの貫通孔内に設けられ、弾発力によって前記ステムを前記弁体から離間する方向に向かって押圧する第１コイルスプリングと、
前記弁体と前記支持部材との間に設けられ、弾発力によって前記弁体を着座部の方向に向かって押圧する第２コイルスプリングと、
を備え、
前記第２ボデイは、前記第１ボデイの外周面を囲繞するリング体と一体的に連結されて前記第１ボデイの軸線を回動中心として所定方向に回動自在に設けられ、
前記ニードル弁部には、前記第２流体圧出入ポートから前記第１流体圧出入ポートに向かって圧力流体が流通することを許容するとともに、前記とは反対方向に圧力流体が流通することを阻止するチェック弁が設けられ、
前記弁体は、前記パイロットポートから供給される圧力流体の作用下に変位する前記ステムが当接することにより、前記着座部から離間するように設けられ、
前記第１ボデイの他端部に設けられた前記パイロットポートは、ねじ穴からなることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、パイロットポートから供給される圧力流体の作用下にステムが押圧され、前記ステムの変位作用下に該ステムの一端部に当接する弁体が着座部から離間して前記弁体が弁開状態となり、第１流体圧出入ポートから導入された圧力流体は、パイロットチェック弁部を通過してニードル弁部に至り、ニードル弁本体によって所定の流量に絞られた後、管継手部の第２流体圧出入ポートから導出される。
【００１１】
このように、パイロットチェック弁部とニードル弁部とを一体的に組み付けることにより、配管工数を削減するとともに、部品点数を減少させて製造コストの低減化を図ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明に係るパイロットチェック弁付スピードコントローラについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１３】
図１において参照数字１０は、第１参考例に係るパイロットチェック弁付スピードコントローラ（以下、スピードコントローラ１０という）を示す。
【００１４】
このスピードコントローラ１０は、円筒状の第１ボデイ１２を有するパイロットチェック弁部１４と、前記第１ボデイ１２の外周部に外嵌されるリング体１６を介して該第１ボデイ１２の軸線を回転軸として所定方向に回転自在な円筒状の第２ボデイ１８を有するニードル弁部２０と、前記第２ボデイ１８の軸線に対して略直交して連結されるエルボ形の第３ボデイ２２を有する管継手部２４とから構成される。なお、前記第１ボデイ１２、第２ボデイ１８および第３ボデイ２２は、それぞれ、樹脂製材料からなる成形品として得られると好適である。
【００１５】
パイロットチェック弁部１４を構成する第１ボデイ１２の上部には、軸線と略直交する方向に折曲するとともに、該軸線を回動中心として矢印方向に回動自在に軸着された管体２６が設けられ、前記管体２６の一端部には、後述する管継手機構２８を介してパイロットポート３０が形成される。フランジ部３２が形成された管体２６の他端部は、止め輪３４を介して第１ボデイ１２に軸着され、該フランジ部３２の外周部に形成された環状溝には、該第１ボデイ１２の内壁面に接触して気密性を保持するＯリング３６が装着される。前記管体２６内には、パイロットポート３０に連通する第１通路３８が形成される。なお、前記管継手機構２８は、後述するように、前記管継手部２４と略同一構成要素からなる。
【００１６】
第１ボデイ１２には、軸線方向に沿って延在する第１貫通孔４０が形成され、前記第１貫通孔４０の中央部には、断面Ｔ状のステム４２が矢印Ｘ方向に沿って変位自在に設けられる。前記ステム４２は、第１コイルスプリング４４の弾発力によって、常時、矢印Ｘ1 方向に向かって付勢された状態にある。
【００１７】
図２に示されるように、第１貫通孔４０の軸線と略直交する方向には、直線状の第２通路４６が形成される。また、第１ボデイ１２とリング体１６との間には、一組のＯリング４８ａ、４８ｂによって閉塞された環状間隙５０が形成され、前記環状間隙５０は、第１貫通孔４０および第２通路４６とそれぞれ連通するように形成される。さらに、前記ステム４２の外周部に装着されたシール部材５２を介して第１貫通孔４０が閉塞されることにより、該ステム４２とフランジ部３２との間に第１室５４が形成される。
【００１８】
第１ボデイ１２の下端部には、孔部５６を介して弁体５８を支持する支持部材６０が固定され、前記支持部材６０は、第１貫通孔４０に連通する複数の連通孔６２と、前記連通孔６２に連通する流体圧出入ポート（第１流体圧出入ポート）６４とを有する。なお、前記第１ボデイ１２の下端部の外周面には、後述するシリンダのポートに螺入される雄ねじ部６６が刻設される。
【００１９】
前記第２通路４６に近接する第１ボデイ１２の内壁面には、中心に向かって所定長だけ突出する環状凸部６８が形成され、前記ステム４２と支持部材６０との間には、前記環状凸部６８を着座部とする弁体５８が設けられる。前記弁体５８と支持部材６０との間には第２コイルスプリング７０が介装され、前記弁体５８は、前記第２コイルスプリング７０の弾発力の作用下に、常時、矢印Ｘ1 方向に向かって押圧された状態にある。
【００２０】
換言すると、前記弁体５８は、支持部材６０の孔部５６による案内作用下に軸線方向に沿って変位し、第２コイルスプリング７０の弾発力の作用下に環状凸部６８に着座する一方、前記第２コイルスプリング７０の弾発力に打ち勝つ力が付与されることにより環状凸部６８から離間する。なお、前記ステム４２と弁体５８とは別体で形成され、相互に当接または離間自在に設けられる。
【００２１】
ニードル弁部２０を構成する第２ボデイ１８には、その軸線方向に沿って第２貫通孔７２が形成され、前記第２貫通孔７２の一端部は、ニードル弁本体７４が螺着されたキャップ部材７６によって閉塞され、一方、該第２貫通孔７２の他端部は、第３通路７８を介して環状間隙５０に連通するように設けられる。
【００２２】
前記キャップ部材７６には、軸線方向と略直交し管継手部２４に連通する第４通路８０が形成され、前記第４通路８０は、キャップ部材７６の軸線方向に沿って貫通する孔部８２と連通するように形成される。
【００２３】
また、前記孔部８２が形成されたキャップ部材７６の一端部には、ニードル弁本体７４の絞り部８６が着座する着座部８１が設けられ、前記着座部８１の外周面には、チェック弁８３が装着される。このチェック弁８３には可撓性を有する舌片８５が形成され、前記舌片８５が第２ボデイ１８の内壁面に接触することによりチェック機能が営まれる。
【００２４】
この場合、前記ニードル弁本体７４の一端部に連結された摘み部８４を把持して所定方向に回動させることによりニードル弁本体７４が矢印Ｙ方向に沿って進退動作し、ニードル弁本体７４の絞り部８６と着座部８１との離間間隔を調整することにより、ニードルの弁開度を調整することができる。なお、参照数字８８は、ニードル弁本体７４を所定の位置に保持するロックナットを示す。
【００２５】
図２に示されるように、管継手部２４は円筒状の管継手本体９０を有し、その一方の端部にはワンタッチ継手機構９２が設けられ、前記ワンタッチ継手機構９２には流体圧出入ポート（第２流体圧出入ポート）９４が形成される。このワンタッチ継手機構９２は、底部に複数の切欠が形成されたリリースブッシュ９６の外周に、合成樹脂製のコレット９８と、このコレット９８の外周に金属製の平板をリング状に形成したチャック１００と、天然ゴム若しくは合成ゴム等の弾性体で形成されたシール部材１０２とを含む。
【００２６】
前記管継手部２４とニードル弁部２０との間には、前記流体圧出入ポート９４と第２貫通孔７２とを連通させる第５通路１０４が形成され、前記第５通路１０４は管継手本体９０の形状に沿って屈曲して形成される。なお、エルボ状に屈曲して形成された管継手部２４は、図２に示されるように、ニードル弁部２０の軸線と略直交する軸線を回動中心として所定方向に回動自在に設けられる。
【００２７】
第１参考例に係るスピードコントローラ１０は基本的には以上のように構成されるものであり、次に、その動作並びに作用効果について説明する。
【００２８】
まず、圧力流体供給源１０６と、ダブルソレノイドタイプの電磁切換弁１０８と、同一の構成要素からなる２個のスピードコントローラ１０（以下、第１スピードコントローラ１０ａ、第２スピードコントローラ１０ｂという）と、シリンダ１１２とをチューブ等の管体を用いて接続することにより、流体圧回路１１４を構成する。
【００２９】
この場合、電磁切換弁１０８の一方のポート１１６と第１スピードコントローラ１０ａの管継手部２４の流体圧出入ポート９４との間を第１流体通路１１８によって接続し、電磁切換弁１０８の他方のポート１２０と第２スピードコントローラ１０ｂの管継手部２４の流体圧出入ポート９４との間を第２流体通路１２２によって接続する。
【００３０】
さらに、第１スピードコントローラ１０ａのパイロットチェック弁部１４の流体圧出入ポート６４とシリンダ１１２の一方のポート１２４との間を第３流体通路１２６によって接続し、第２スピードコントローラ１０ｂのパイロットチェック弁部１４の流体圧出入ポート６４とシリンダ１１２の他方のポート１２８との間を第４流体通路１３０によって接続する。
【００３１】
さらにまた、第１流体通路１１８の途中から分岐する第１分岐通路１３２を介して電磁切換弁１０８の一方のポート１１６と第２スピードコントローラの１１０ｂのパイロットポート３０との間を接続し、第２流体通路１２２の途中から分岐する第２分岐通路１３４を介して電磁切換弁１０８の他方のポート１２０と第１スピードコントローラ１０ａのパイロットポート３０とを接続する。
【００３２】
なお、電磁切換弁１０８は、第１ソレノイド１３６を励磁することにより第１弁位置１３８に切り換わり、第２ソレノイド１４０を励磁することにより第２弁位置１４２に切り換わるものとする。また、実際上、第１スピードコントローラ１０ａおよび第２スピードコントローラ１０ｂは、その雄ねじ部６６をシリンダ１１２のポート１２４、１２８に直接螺入して使用されるため、第３流体通路１２６および第４流体通路１３０を省略してもよい。
【００３３】
このようにして流体圧回路１１４の配管作業が終了した後、第１スピードコントローラ１０ａおよび第２スピードコントローラ１０ｂのそれぞれの摘み部８４、８４を所定方向に回転させ、ニードル弁本体７４の絞り部８６と着座部８１との間隙を所望の離間間隔に調整した後、ロックナット８８を介して該ニードル弁本体７４を所定位置に固定する。
【００３４】
このような準備作業を経て図３に示す状態に配管された流体圧回路１１４において、圧力流体供給源１０６から供給された圧力流体が電磁切換弁１０８および第１スピードコントローラ１０ａを介してシリンダ１１２に供給される場合について説明する。
【００３５】
まず、圧力流体供給源１０６を付勢するとともに、第１ソレノイド１３６を励磁して電磁切換弁１０８を第１弁位置１３８に切り換える。圧力流体供給源１０６から供給された圧力流体は、電磁切換弁１０８のポート１１６を介して第１スピードコントローラ１０ａの管継手部２４の流体圧出入ポート９４に導入される。
【００３６】
前記流体圧出入ポート９４から導入された圧力流体は、屈曲する第５通路１０４（図２参照）を介してニードル弁部２０の第２貫通孔７２に至り、チェック弁８３の舌片８５を内方（矢印方向）に撓ませて該チェック弁８３を通過する。すなわち、圧力流体の作用下に舌片８５を矢印方向に押圧することにより、該舌片８５が第２ボデイ１８の内壁面から離間して間隙が形成され、前記間隙を通じて圧力流体が流通する。前記チェック弁８３を通過した圧力流体は、ニードル弁部２０とパイロットチェック弁部１４との連結部位に形成された第３通路７８および第２通路４６を通じて第１貫通孔４０に導入される。
【００３７】
前記第１貫通孔４０に導入された圧力流体は、予め最低作動圧が設定された弁体５８を下方側（矢印Ｘ2 方向）に押圧することにより、図３に示されるような状態となる。すなわち、圧力流体の押圧力が弁体５８を上方側に押圧する第２コイルスプリング７０の弾発力に打ち勝つことにより、該弁体５８が環状凸部６８から離間して弁開状態となる。弁体５８を通過した圧力流体は、複数の連通孔６２、流体圧出入ポート６４およびポート１２４を介してシリンダ１１２に供給され、ピストンを矢印Ｙ2 方向に押圧する。
【００３８】
続いて、ポート１２８を介してシリンダ１１２から排出された圧力流体は、第２スピードコントローラ１０ｂによって所定の圧力値に調圧された後、第２流体通路１２２に連通する電磁切換弁１０８を介して大気中に排出される。なお、前記第２スピードコントローラ１０ｂの調圧作用は、後述する第１スピードコントローラ１０ａと同一であるため、その詳細な説明を省略する。
【００３９】
次に、前記とは逆方向に流通する圧力流体がシリンダ１１２に供給された後、前記シリンダ１１２から排出される圧力流体を第１スピードコントローラ１０ａによって調圧する場合について説明する。
【００４０】
まず、図４において、第２ソレノイド１４０を励磁して電磁切換弁１０８を第２弁位置１４２に切り換えることにより、第２スピードコントローラ１０ｂを介してシリンダ１１２に圧力流体が供給され、ピストンが前記とは逆方向（矢印Ｙ1 方向）に変位する。
【００４１】
前記ピストンの変位作用下にシリンダ１１２のポート１２４から排出された圧力流体は、第１スピードコントローラ１０ａの流体圧出入ポート６４に導入され、さらに、複数の連通孔６２を通過して第１貫通孔４０に至る。
【００４２】
その際、第２流体通路１２２から分岐する第２分岐通路１３４を介してパイロットポート３０に圧力流体が導入され、前記圧力流体の作用下にステム４２が下方側（矢印Ｘ2 方向）に押圧される。従って、ステム４２の変位作用下に該ステム４２の一端部に当接する弁体５８が着座していた環状凸部６８から所定間隔離間して弁開の状態（図４に示す状態）となる。
【００４３】
従って、第１貫通孔４０に到達した圧力流体は、弁体５８と環状凸部６８との間隙を通過し、さらに、第２通路４６および第３通路７８を通じてニードル弁部２０に導入される。この場合、ニードル弁部２０に導入された圧力流体は、チェック弁８３の舌片８５によるチェック作用下にその流通が阻止されるため、キャップ部材７６の孔部８２に沿って流通し、予め設定されたニードル弁本体７４の絞り部８６と着座部８１との間隙を通過することにより所望の圧力に調圧される。
【００４４】
このようにして調圧された圧力流体は、第４通路８０および第５通路１０４を介して管継手部２４に導入され、流体圧出入ポート９４に接続された第１流体通路１１８を通じて大気中に排出される。
【００４５】
上記したように、第１参考例では、従来技術においてそれぞれ別体で構成されていたスピードコントローラとパイロットチェック弁とを一体的に構成することにより、配管スペースを可及的に減少させるとともに、部品点数を削減してコストの低減化を図ることができる。
【００４６】
また、第１参考例では、スピードコントローラとパイロットチェック弁とを配管接続する作業が不要となるため、取付工数を削減して配管作業の簡便化を図ることが可能となる。
【００４７】
次に、第２参考例に係るスピードコントローラを図５に示し、本実施の形態に係るスピードコントローラを図６に示す。
【００４８】
なお、図１に示すスピードコントローラ１０と同一の構成要素には同一の参照数字を付し、その詳細な説明を省略する。
【００４９】
図５に示すスピードコントローラ１５０では、図１に示す第１参考例と比較して、第１ボデイ１２の第１貫通孔４０の下部側に支持部材６０を設けることなく、クリップ部材１５２を介して長尺なステム１５４の一端部に弁体１５６を固定するように構成している点で異なる。なお、参照数字１５８は、第３コイルスプリングを示す。
【００５０】
また、図６に示す本実施の形態に係るスピードコントローラ１６０では、図１に示す第１参考例と比較して、回動する管体２６および管継手部２４を設けることなく、ねじ穴１６２が刻設されたパイロットポート３０を有する部材１６４を第１ボデイ１２の上部に固定している点で異なる。
【００５１】
第２参考例および本実施の形態では、図１に示す第１参考例に係るスピードコントローラ１０と比較して部品点数が削減され、より一層のコストダウンを図ることができるという利点がある。
【００５２】
なお、図５並びに図６に示すスピードコントローラ１５０、１６０においても、図１と同様の作用効果を奏することは勿論である。
【００５３】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００５４】
すなわち、従来技術においてそれぞれ別体で構成されていたスピードコントローラとパイロットチェック弁とを一体的に構成することにより、配管スペースを可及的に減少させるとともに、部品点数を削減してコストの低減化を図ることができる。
【００５５】
また、従来技術と比較して取付工数が削減されることにより、配管作業の簡便化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１参考例に係るパイロットチェック弁付スピードコントローラの縦断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】図１に示すパイロットチェック弁付スピードコントローラが組み込まれた流体圧回路の構成図である。
【図４】図１に示すパイロットチェック弁付スピードコントローラが組み込まれた流体圧回路の構成図である。
【図５】第２参考例に係るパイロットチェック弁付スピードコントローラの縦断面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るパイロットチェック弁付スピードコントローラの縦断面図である。
【符号の説明】
１０、１０ａ、１０ｂ、１５０、１６０…パイロットチェック弁付スピードコントローラ
１２、１８、２２…ボデイ            １４…パイロットチェック弁部
１６…リング体                      ２０…ニードル弁部
２４…管継手部                      ２６…管体
２８…管継手機構                    ３０…パイロットポート
３６、４８ａ、４８ｂ…Ｏリング      ３８、４６、７８、８０、１０４…通路
４０、７２…貫通孔                  ４２、１５４…ステム
４４、７０、１５８…コイルスプリング
５８、１５６…弁体                  ６０…支持部材
６４、９４…流体圧出入ポート        ６６…雄ねじ部
６８…環状凸部                      ７４…ニードル弁本体
７６…キャップ部材                  ８１…着座部
８２…孔部                          ８３…チェック弁
８５…舌片                          ８６…絞り部
９０…管継手本体
【図１】
0003778634.tif 000002
【図２】
0003778634.tif 000003
【図３】
0003778634.tif 000004
【図４】
0003778634.tif 000005
【図５】
0003778634.tif 000006
【図６】
0003778634.tif 000007