(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク吐出孔に連通する圧力室と、この圧力室の側壁の一部を構成する振動板と、この振動板と接して配される圧電素子とを有してなり、上記圧電素子及び振動板の変位により上記圧力室内のインクがインク吐出孔より吐出されるプリンタ装置の製造方法において、
上記圧電素子を、ダイヤモンド粒子が混合された固気２相噴流を上記振動板上の圧電材料上に吹き付けることにより、所定の形状に加工することを特徴とするプリンタ装置の製造方法。
【請求項２】
上記圧電素子上にマスクを配し、このマスク上から粉体粒子を吹き付けることにより、圧電素子を所定の形状に加工することを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項３】
上記マスクをレジストにより形成することを特徴とする請求項２記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項４】
上記振動板を材質の異なる２種以上の板材の積層体にて形成し、圧電素子側の少なくとも１層をエッチングにより除去することを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項５】
上記振動板の圧電素子側の少なくとも１層を上記圧電素子をマスクとしてエッチングすることを特徴とする請求項４記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項６】
上記振動板の圧電素子側の少なくとも１層を上記圧電素子上に配されたマスクをマスクとしてエッチングすることを特徴とする請求項４記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項７】
上記振動板の圧電素子側の少なくとも１層は、金属材料からなることを特徴とする請求項４記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項８】
上記金属材料は銅を主成分とすることを特徴とする請求項７記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項９】
上記振動板の圧力室側の１層は、チタンを主成分とする金属材料からなることを特徴とする請求項４記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項１０】
上記振動板の圧力室側の１層は、ポリイミドを主成分とする有機材料からなることを特徴とする請求項４記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項１１】
上記圧電素子は、単板のピエゾ素子であることを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項１２】
上記圧電素子は、電圧の印加により上記振動板とのバイモルフ効果により上記振動板を変位させ、上記圧力室内のインクをインク吐出孔より吐出させることを特徴とする請求項１記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項１３】
インク吐出孔に連通するインク圧力室と、希釈液吐出孔に連通する希釈液圧力室と、上記インク圧力室及び希釈液圧力室の一部を構成する振動板と、この振動板と接しインク圧力室に対応した位置に配される第１の圧電素子と、上記振動板と接し希釈液圧力室に対応した位置に配される第２の圧電素子とを有してなり、上記第１の圧電素子及び振動板の変位により上記インク圧力室内のインクがインク吐出孔より吐出されるとともに、上記第２の圧電素子及び振動板の変位により上記希釈液圧力室内の希釈液が希釈液吐出孔より吐出されるプリンタ装置の製造方法において、
上記第１及び第２の圧電素子を、ダイヤモンド粒子が混合された固気２相噴流を上記振動板上の圧電材料上に吹き付けることにより、所定の形状に加工することを特徴とするプリンタ装置の製造方法。
【請求項１４】
上記第１及び第２の圧電素子上にマスクを配し、このマスク上から粉体粒子を吹き付けることにより、圧電素子を所定の形状に加工することを特徴とする請求項１３記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項１５】
上記マスクをレジストにより形成することを特徴とする請求項１４記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項１６】
上記振動板を材質の異なる２種以上の板材の積層体にて形成し、第１及び第２の圧電素子側の少なくとも１層をエッチングにより除去することを特徴とする請求項１３記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項１７】
上記振動板の第１及び第２の圧電素子側の少なくとも１層を上記第１及び第２の圧電素子をマスクとしてエッチングすることを特徴とする請求項１６記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項１８】
上記振動板の第１及び第２の圧電素子側の少なくとも１層を上記第１及び第２の圧電素子上に配されたマスクをマスクとしてエッチングすることを特徴とする請求項１６記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項１９】
上記振動板の第１及び第２の圧電素子側の少なくとも１層は、金属材料からなることを特徴とする請求項１６記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項２０】
上記金属材料は銅を主成分とすることを特徴とする請求項１９記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項２１】
上記振動板の第１及び第２の圧力室側の１層は、チタンを主成分とする金属材料からなることを特徴とする請求項１６記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項２２】
上記振動板の第１及び第２の圧力室側の１層は、ポリイミドを主成分とする有機材料からなることを特徴とする請求項１６記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項２３】
上記第１及び第２の圧電素子は、単板のピエゾ素子であることを特徴とする請求項１３記載のプリンタ装置の製造方法。
【請求項２４】
上記第１の圧電素子は、電圧の印加により上記振動板とのバイモルフ効果により上記振動板を変位させ、上記インク圧力室内のインクをインク吐出孔より吐出させるとともに、上記第２の圧電素子は、電圧の印加により上記振動板とのバイモルフ効果により上記振動板を変位させ、上記希釈液圧力室内の希釈液を希釈液吐出孔より吐出させることを特徴とする請求項１３記載のプリンタ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプリンタ装置の製造方法に関し、例えばオンデマンド型インクジェットプリンタ装置（以下、これを単にインクジェットプリンタ装置という。）や、オンデマンド型キャリアジェットプリンタ装置（以下、これを単にキャリアジェットプリンタ装置という。）に適用して好適なプリンタ装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のインクジェットプリンタ装置は、記録信号に応じてインク液滴をインク吐出孔から吐出して、紙やフィルムなどの記録媒体に画像を印画するプリンタ装置であり、小型化及び低コスト化を実現することができるため、近年急速に普及しつつある。
【０００３】
このインクジェットプリンタ装置においては、インク液滴を吐出する方法として、例えば発熱素子を用いる方法及び圧電素子を用いる方法が一般的である。
【０００４】
発熱素子を用いる方法は、発熱素子がインクを加熱沸騰させることにより発生する泡の圧力によって、インク吐出孔よりインク液滴を吐出させるものである。
【０００５】
圧電素子を用いる方法は、圧電素子を変形させ、インクが充填されているインク圧力室に圧力を与えることにより、このインク圧力室に形成されたインク導入孔を通して、インク吐出孔からインク液滴を吐出させるものである。
【０００６】
この圧電素子を用いる方法には、振動板に貼り合わされた３つ以上の圧電素子が積層されてなる積層型圧電素子を直線的に変位させることにより、振動板を介してインク圧力室を押圧する方法と、振動板に貼り合わされた単板型の圧電素子又は２層に積層された圧電素子に電圧を与えることにより、振動板を湾曲させてインク圧力室を押圧する方法とがある。
【０００７】
振動板に貼り合わされた単板型の圧電素子又は２層に積層された圧電素子に電圧を与えることにより、振動板を湾曲させてインク圧力室を押圧する方法は、高価な積層型圧電素子を用いないので、製造コストを安価に抑えることができる。しかしながら、この場合、切断された単板型の圧電素子又は２層に積層された圧電素子を振動板に貼り合わせる際に微細ピッチの達成が困難であるとの問題点があった。また、印刷等の手段により、振動板上にペースト状の圧電材料を塗布し、これを燃成して圧電素子を得るようにした場合には、振動板の耐熱性を考慮すると、燃成温度を１０００℃以上にすることが困難であり、圧電材料の特性を十分に発揮することができないとの問題点があった。
【０００８】
さらに、振動板に圧電材料を貼り合わせた後に、この圧電材料を切断して圧電素子を得るようにした場合には、切断工具の摩耗や工作機械の位置精度誤差等により、常に一定の深さで圧電材料を切断することは非常に困難であり、振動板を傷つけてしまうという問題点を有していた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記問題点に鑑み、本出願人らは、特願平７―１９３３６６号、特願平７―１９２２０１号、特願平７―１９０７５０号等において、単板あるいは２層に積層された圧電素子を用いる安価なインクジェットプリンターヘッドにおいて、プロセスの安定化および圧電材料の特性の発揮さらには微細ピッチに対応したインクジェットプリンターヘッドを提供してきた。
【００１０】
しかしながら、これらの発明にて開示される圧電材料の分割方法は、振動板上に導電性接着剤などにより貼り合わされた圧電材料をダイシング装置を用いて分割する方法であり、図２６に示すように、回転している刃物を固定状態としておき、被加工物である圧電素子をステージに載せた状態で１次元方向、すなわち、直線方向に移動させる方法である。したがって、加工形状は直線形状に限定され、結果的に分割された後の圧電素子の形状も各辺が直線を有した形状となるのが一般的であった。
【００１１】
さらには、一回のステージの移動により、加工を行うことのできる箇所は、回転している刃物の枚数により決定されるので、同時に分割することのできる圧電素子の数は同時に駆動可能な刃物の数である数ヶに限定され、同時に数１０ヶ以上の圧電素子を分割することはできなかった。
【００１２】
さらには、ダイシングにより分割された圧電素子ごとの間隔は、ダイシング時の刃物の幅よりも数１０μｍ程度広い間隔となるので、たとえ５０μｍの幅の刃物を用いた場合においても、間隔は７０μｍ程度とするのが限界であった。また、ダイシングの刃物の幅を極力薄くすると、ダイシングの刃物の摩耗量も大きくなるため、実際には、刃物の幅は、１００μｍ以上を選択せざるを得ないのが現状であり、結果的に、分割された後の圧電素子の間隔は、１２０μｍ以上となるように設計しなくてはならず、狭ピッチ化が望めない状況にあった。
【００１３】
そこで本発明は、圧電素子の分割工程において、ダイシングに替わる分割方法を提案し、ダイシングを用いていた分割方法に比較して、加工時間を短縮することにより生産性を高めると共に、従来圧電素子の分割形状が直線形状を有する形状にほぼ限定されていたものを、より溶液の吐出形状に適した圧電素子の形状が得られるようにし、さらには、従来配置される圧電素子の間隔がダイシングの際に用いる刃物の幅に規定されていたものをより狭い間隔とすることにより、より狭いノズルピッチを得ることができるプリンタ装置の製造方法を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るプリンタ装置の製造方法は、上述した目的を達成すべく提案されたものであって、上記圧電素子を、ダイヤモンド粒子が混合された固気２相噴流を上記振動板上の圧電材料上に吹き付けることにより、所定の形状に加工するものである。
【００１５】
このプリンタ装置の製造方法によれば、形成される圧電素子の個数や形状はレジストの分布にのみ依存するので、多数の圧電素子を同時に形成することができ、加工時間の短縮による生産性の向上を図ることができるとともに、任意な形状の圧電素子を形成することができる。
【００１６】
また、この方法によれば、隣接して形成される圧電素子間の間隔を容易に１００μｍ以下の間にすることができ、ノズルの狭ピッチ化を図ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１８】
（第１の実施の形態）
本実施の形態においては、本発明をシリアル型のインクジェットプリンタ装置に適用した例について説明する。
【００１９】
シリアル型のインクジェットプリンタ装置１（以下、プリンタ装置１と略称する。）は、図１に示すように、円筒形状をなすドラム２の外周の所定の位置に、このドラム２と平行となるように紙圧着コントローラ３が設けられている。そして、プリンタ装置１は、ドラム２と紙圧着コントローラ３とによって、被印刷物としてのプリント紙４を挟み込むことにより、このプリント紙４をドラム２に圧着固定するようになされている。
【００２０】
また、プリンタ装置１は、ドラム２の外周から若干離間した位置に、送りねじ５が、ドラム２と平行となるように設けられており、この送りねじ５には、この送りねじ５に螺合する支持部材６を介して、インクジェットプリントヘッド７が取り付けられている。このインクジェットプリントヘッド７は、送りねじ５が回転することにより、送りねじ５に螺合する支持部材６とともに、図１中矢印Ａで示すドラム２の軸方向に移動するようになされている。
【００２１】
また、ドラム２は、第１のプーリ８、ベルト９及び第２のプーリ１０を介して、モータ１１に連係されており、モータ１１の回転動に従って、図１中矢印Ｂで示す方向に回転する。
【００２２】
そして、このプリンタ装置１は、図２に示すように、制御部２０によって制御されている。制御部２０は、信号処理制御回路２１、ドライバ２２、メモリ２３、駆動制御部２４及び補正回路２５によって構成されている。信号処理制御回路２１はＣＰＵ（Central Processing Unit）又はＤＳＰ（Digital Signal Proccessor）より構成され、外部から入力信号Ｓ１として印字データ、操作部信号及び外部制御信号を受けると、印字データを印字順番に揃え、印字順番に揃えられた印字データを吐出信号とともに、ドライバ２２を介してインクジェットプリントヘッド７に送出し、インクジェットプリントヘッド７を駆動制御する。
【００２３】
この場合、印字順番は、インクジェットプリントヘッド７や印字部の構成によつて異なり、また印字データの入力順番との関係もあるので、必要に応じてラインバッファメモリ又は１画面メモリ構成でなるメモリ２３に一旦記録しておき、適時メモリ２３から読み出すようになされている。
【００２４】
また、信号処理制御回路２１は、入力信号Ｓ１をソフトウエアで処理するようになされており、処理した信号を制御信号として駆動制御部２４に送出する。
【００２５】
駆動制御部２４は、信号処理制御回路２１から送出される制御信号を受けると、モータ１１及び送りねじ５を回転駆動するモータの駆動や同期を制御するとともに、インクジェットプリントヘッド７のクリーニング、プリント紙４の供給及び排出などを制御するようになされている。
【００２６】
また信号処理制御回路２１は、プリンタ装置１がマルチヘッド構成の場合、補正回路２５によつてγ補正、カラーの場合の色補正及び各インクジェットプリントヘッド７のばらつき補正などを行う。この補正回路２５には、予め決められた補正データがＲＯＭ（read only memory）マップ型式で格納されており、信号処理制御回路２１は外部条件、例えばインク吐出孔番号、温度及び入力信号などに応じて読み出すようになされている。
【００２７】
なおプリンタ装置１がマルチヘッド構成で、インク吐出孔数が非常に多い場合には、インクジェットプリントヘッド７にＩＣ（integrated circuit）を搭載して、インクジェットプリントヘッド７に接続する配線数を減らすようにしている。
【００２８】
以上のように構成されるプリンタ装置１は、駆動制御部２４が信号処理制御回路２１から送出される制御信号を受けてモータを駆動させることにより、送りねじ５が回転する。そして、プリンタ装置１は、送りねじ５が回転すると、インクジェットプリントヘッド７が、インクを吐出しながら支持部材６とともにドラム２の軸方向に移動し、ドラム２に圧着されているプリント紙４に対して印字を行う。ここで、インクジェットプリントヘッド７がドラム２の軸方向に移動してプリント紙４に対して印画する印画方向には、同一方向の場合と往復方向の場合とがある。
【００２９】
プリンタ装置１は、インクジェットプリントヘッド７がドラム２の軸方向に移動して、プリント紙４に対して１行分の印字を行うと、駆動制御部２４の制御に基づいてモータ１１が回転することにより、ドラム２が１行分だけ図１中矢印Ｂで示す方向に回転し、次の印字を行うようになされている。
【００３０】
次に、インクジェットプリントヘッド７について説明する。
【００３１】
インクジェットプリントヘッド７は、図３に示すように、板状をなすインク圧力室形成部材３１の一方の主面３１ａに、振動板３２が接着されているとともに、インク圧力室形成部材３１の他方の主面３１ｂに、板状をなすオリフィスプレート３３が接着されている。そして、インクジェットプリントヘッド７は、２層構造の振動板３２の一方の主面３２ａに、導電性接着剤３４を介して圧電素子３５が接合されている。さらに、オリフィスプレート３３の、後述するインク吐出孔３３ａが開口される部位の周辺には、撥液処理膜４２が形成されている。
【００３２】
インク圧力室形成部材３１は、厚さが約０．１ｍｍ程度のステンレス等の金属板により形成されている。そして、このインク圧力室形成部材３１には、充填されるインクに所定の圧力をかけるインク圧力室３１ｃと、このインク圧力室３１ｃの一端側に連通し、インクをインク圧力室３１ｃに供給するための通路となるインク流路３１ｄと、インク圧力室３１ｃの他端側に形成され、インク圧力室３１ｃに充填されたインクをインク吐出孔３３ａに導く貫通孔となるインク導入孔３１ｅと、インク流路３１ｄにインクを配給するためのインクバッファタンク３１ｆと、インク供給管３６から供給されるインクをインクバッファタンク３１ｆ内に導くための接続孔３１ｇとがそれぞれ形成されている。
【００３３】
インク圧力室３１ｃは、インク圧力室形成部材３１の厚み方向における中央部付近からインク圧力室形成部材３１の一方の主面３１ａ側にかけて形成されている。インク導入孔３１ｅは、インク圧力室３１ｃの他端側に形成され、インク圧力室形成部材３１の厚み方向における中央部付近からインク圧力室形成部材３１の他方の主面３１ｂ側にかけて形成されている。
【００３４】
インク流路３１ｄは、インク導入孔３１ｅと同様に、インク圧力室形成部材３１の厚み方向における中央部付近からインク圧力室形成部材３１の他方の主面３１ｂ側にかけて形成されている。そして、このインク流路３１ｄは、後述する第１の部材３１ｈにより、インク導入孔３１ｅから隔てられている。また、インク流路３１ｄは、第１の部材３１ｈ側の一部がインク圧力室３１ｃの一端側に連通するように形成されている。
【００３５】
インクバッファタンク３１ｆも、インク導入孔３１ｅ及びインク流路３１ｄと同様に、インク圧力室形成部材３１の厚み方向における中央部付近からインク圧力室形成部材３１の他方の主面３１ｂ側にかけて形成されている。ここで、インクバッファタンク３１ｆは、図４に示すように、複数のインク流路３１ｄと連通する直線状の１本の配管であり、各インク流路３１ｄにインクを配給する機能を有している。
【００３６】
接続孔３１ｇは、インクバッファタンク３１ｆに連通するように、インク圧力室形成部材３１の厚み方向における中央部付近からインク圧力室形成部材３１の一方の主面３１ａ側にかけて形成されている。
【００３７】
ここで、インク圧力室形成部材３１には、インク圧力室３１ｃの底面を構成するとともにインク圧力室形成部材３１の他方の主面３１ｂの一部を構成し、またインク導入孔３１ｅの一方の側面及びインク流路３１ｄの一方の側面にそれぞれ接して、インク導入孔３１ｅとインク流路３１ｄとを隔てる第１の部材３１ｈと、インク流路３１ｄの上面を構成するとともにインク圧力室形成部材３１の一方の主面３１ａの一部を構成し、またインク圧力室３１ｃの一方の側面及び接続孔３１ｇの一方の側面にそれぞれ接して、インク圧力室３１ｃと接続孔３１ｇとを隔てる第２の部材３１ｉと、インク圧力室３１ｃの他方の側面及びインク導入孔３１ｅの他方の側面にそれぞれ接するとともにインク圧力室形成部材３１の一方の主面３１ａ及び他方の主面３１ｂの一部を構成する第３の部材３１ｊと、インクバッファタンク３１ｆの一方の側面及び接続孔３１ｇの他方の側面にそれぞれ接するとともにインク圧力室形成部材３１の一方の主面３１ａ及び他方の主面３１ｂの一部を構成する第４の部材３１ｋが形成される。そして、これら第１乃至第４の部材３１ｈ，３１ｉ，３１ｊ，３１ｋにより仕切られた空間が、それぞれインク圧力室３１ｃ、インク導入孔３１ｅ、インク流路３１ｄ、インクバッファタンク３１ｆ及び接続孔３１ｇとして構成される。
【００３８】
また、インク圧力室形成部材３１の他方の主面３１ｂには、インク導入孔３１ｅ、インク流路３１ｄ及びインクバッファタンク３１ｆを覆うように、オリフィスプレート３３が熱圧着によって接着されている。このオリフィスプレート３３としては、耐熱性及び耐薬品性に優れたネオフレックス（三井東圧化学工業株式会社製）等が用いられ、厚さが略５０μｍでガラス転移点が２５０℃以下のものが用いられる。
【００３９】
このオリフィスプレート３３には、インク導入孔３１ｅに連通し、インク圧力室３１ｃからインク導入孔３１ｅを介して供給されるインクを吐出するためのインク吐出孔３３ａが、断面形状が例えば所定径を有する円形状となるように形成されている。このように、オリフィスプレート３３にインク吐出孔３３ａを形成することにより、インクに対する化学的な安定性を確保することができる。
【００４０】
ここで圧電素子３５は、図４に示すように、インク圧力室３１ｃの形状に対応した形状に形成されている。そして、隣接して形成される圧電素子３５間の間隔は、１００μｍ以下に設定されている。
【００４１】
また、上述したインク圧力室３１ｃは、インク導入孔３１ｅが形成される位置での幅Ｃ２が、インク圧力室３１ｃの主たる幅Ｃ１より小となり、かつ、インク吐出孔３３ａのインク導入孔３１ｅ側の開口径Ａ１より大となるように形成されている。より具体的には、インク圧力室３１ｃの主たる幅Ｃ１を０．４ｍｍ〜０．６ｍｍとした場合において、圧力室３１ｃのインク導入孔３１ｅが形成される位置での幅Ｃ２は、０．２ｍｍ程度とし、圧力室形成部材３１の板厚の２倍程度とする。ここで、このインク圧力室３１ｃのインク導入孔３１ｅが形成される位置での幅Ｃ２は、圧力室形成部材３１の板厚の２．５倍以下とすることが望ましい。
【００４２】
インク吐出孔３３ａは、インク導入孔３１ｅの略中央に連通するように形成する。そしてインク吐出孔３３ａは、その形状を、インクが吐出される方向に従って次第に細くなるようなテーパー形状とし、本実施の形態においては、インク吐出孔３３ａの開口部における断面形状を直径約３５μｍの円形とし、インク圧力室形成部材３１側における断面形状を直径を約８０μｍの円形とする。従って、インク圧力室３１ｃのインク導入孔３１ｅが形成される位置での幅Ｃ２は、インク圧力室３１ｃの主たる幅Ｃ１より小となり、かつ、インク吐出孔３３ａのインク導入孔３１ｅ側の開口径Ａ１より大となる。
【００４３】
他方、インク圧力室形成部材３１の一方の主面３１ａ側には、インク圧力室３１ｃの開口部を閉塞するように２層構造よりなる振動板３２が、接着剤を介して接着されている。なお、ここでインク圧力室３１ｃの開口部とは、インク圧力室形成部材３１の一方の主面３１ａ側に開口する開口部をいう。
【００４４】
この振動板３２は、圧力室３１ｃ側に位置し、配列されたインク圧力室３１ｃの全ての開口部を閉塞する第１の振動板３２ｘと、振動板３２上に形成された圧電素子３５の形状に対応した形状とされる第２の振動板３２ｙとの２層構造よりなる。
【００４５】
この振動板３２には、インク圧力室形成部材３１の接続孔３１ｇに対応した位置に貫通孔３２ｂが穿設されている。この貫通孔３２ｂには、図示しないインクタンクに接続されたインク供給管３６が取り付けられている。従って、インクタンクから導入されるインクは、インク供給管３６及びインクバッファタンク３１ｆを介してインク流路３１ｄに供給され、インク流路３１ｄを通ってインク圧力室３１ｃに充填されるようになされている。
【００４６】
２層構造の振動板３２のうち、第１の振動板３２ｘとしては、オリフィスプレート３３と同様に、耐熱性及び耐薬品性に優れたネオフレックス（三井東圧化学工業株式会社製）等が用いられ、厚さが略２０μｍでガラス転移点が２５０℃以下のものが用いられる。そして、２層構造の振動板３２のうち、第２の振動板３２ｙとしては、例えば、厚さが略１５μｍ程度の銅板が用いられる。
【００４７】
そして、第２の振動板３２ｙの主面上に、導電性接着剤３４を介して圧電素子３５が接合されている。なお、本例においては、振動板３２を第１の振動板３２ｘ吐第２の振動板３２ｙとからなる２層構造とした例について説明するが、振動板３２は単板からなるようにしてもよいし、３層以上の積層構造としてもよい。
【００４８】
圧電素子３５は、図５（Ａ）に示すような状態で駆動電圧が印加されると、図５（Ｂ）中矢印Ａで示す方向に変位して、振動板３２を湾曲させてインク圧力室３１ｃの体積を減少させ、これによってインク圧力室３１ｃ内の圧力を上昇させるようになされている。
【００４９】
ここで、インクジェットプリントヘッド７の動作について説明する。
【００５０】
まず、待機状態においては、インク圧力室３１ｃ内に充填されているインクは、図５（Ａ）に示すように、表面張力との釣合によってインク吐出孔３３ａの先端近傍にメニスカスを形成し安定する。
【００５１】
そして、インク吐出時においては、圧電素子３５に駆動電圧を印可することにより、圧電素子３５が図５（Ｂ）中矢印Ａで示す方向に変位する。この圧電素子３５の変位に伴い、振動板３２が図５（Ｂ）中矢印Ａで示す方向に変位する。この振動板３２の変位により、インク圧力室３１ｃの体積が減少してインク圧力室３１ｃ内の圧力が上昇し、この結果、インク吐出孔３３ａからインクが吐出される。ここで圧電素子３５に与えられている駆動電圧の時間変化は、インク吐出孔３３ａから目的とする量のインクを吐出し得るように設定されている。
【００５２】
次に、インクジェットプリントヘッド７の製造方法について、図６、図７、図８、図９を参照しながら説明する。先ず、図６（Ａ）に示すように、厚さが約０．１ｍｍ程度のステンレス等の金属部材３８の一方の主面３８ａに、例えば感光性ドライフィルムや液体レジスト材料などのレジストを塗布した後、インク圧力室３１ｃ及び接続孔３１ｇに応じたパターンを有するマスク３９を用いてパターン露光を行うとともに、金属部材３８の他方の主面３８ｂに、例えば感光性ドライフィルムや液体レジスト材料などのレジストを塗布した後、インク導入孔３１ｅ、インク流路３１ｄ及びインクバッファタンク３１ｆに応じたパターンを有するマスク４０を用いてパターン露光を行う。
【００５３】
次に、図６（Ｂ）に示すように、インク圧力室３１ｃ及び接続孔３１ｇに応じたパターンを有するレジスト３９と、インク導入孔３１ｅ、インク流路３１ｄ及びインクバッファタンク３１ｆに応じたパターンを有するレジスト４０とをマスクとして、金属部材３８を、例えば塩化第２鉄水溶液でなるエッチング溶液に所定時間浸してエッチングを行うことにより、金属部材３８の一方の主面３８ａにインク圧力室３１ｃ及び接続孔３１ｇを形成するともに、金属部材３８の他方の主面３８ｂに、インク導入孔３１ｅ、インク流路３１ｄ及びインクバッファタンク３１ｆを形成する。これにより、上述したインク圧力室形成部材３１が得られる。
【００５４】
この場合、金属部材３８の一方の主面３８ａ及び他方の主面３８ｂからのエッチング量は、ともに金属部材３８の厚さの約１／２強となるように設定する。本実施の形態においては、金属部材３８の厚さが０．１ｍｍに設定されているので、金属部材３８の片面からのエッチング量は、約０．０５５ｍｍ程度となるように設定する。エッチング量をこのように設定することにより、インク圧力室３１ｃ、接続孔３１ｇ、インク導入孔３１ｅ、インク流路３１ｄ及びインクバッファタンク３１ｆの寸法精度を向上させることができるとともに、これらを安定して形成することができる。
【００５５】
また、金属部材３８の一方の主面３８ａからのエッチング量と他方の主面３８ｂからのエッチング量とが同じなので、金属部材３８の一方の主面３８ａにインク圧力室３１ｃ及び接続孔３１ｇを形成する際のエッチングの条件と、金属部材３８の他方の主面３８ｂにインク導入孔３１ｅ、インク流路３１ｄ及びインクバッファタンク３１ｆを形成する際のエッチングの条件をほぼ同じ条件に設定することができ、このエッチング工程を簡易かつ短時間に行うことかできる。
【００５６】
ここでインク導入孔３１ｅは、その幅が、インク圧力室３１ｃに圧力が印加された際に、インク圧力室３１ｃ内の圧力上昇に影響がない程度にインク吐出孔３３ａの径より大となるように形成される。また、インク圧力室３１ｃのインク導入孔３１ｅ形成位置における幅とほぼ等しくなり、インク圧力室３１ｃの主たる幅より小となるように形成されている。ここで、インク導入孔３１ｅの幅は、板厚の２．５倍以下とすることが望ましい。また、インク導入孔３１ｅの幅は、板厚と同程度とすると、作製工程上形状誤差を発生しやすいので、板厚の１倍以上であることが作製工程上望ましい。本実施の形態においては、インク導入孔３１ｅの幅は、０．２ｍｍ程度とし、板厚の２倍程度としている。
【００５７】
次に、図６（Ｃ）に示すように、レジスト３９及び４０を除去する。この場合、レジスト３９，４０としてドライフィルムレジストを用いた場合には、除去剤として、例えば５％以下の水酸化ナトリウム水溶液を用い、レジスト３９，４０として液状レジスト材料を用いた場合には、除去剤として、例えば専用アルカリ溶液を用いる。そして、レジスト３９及び４０を除去した後、厚さが約５０μｍでガラス転移点が２５０℃以下のネオフレックス（三井東圧化学工業株式会社製）等の樹脂材料４１を、インク圧力室形成部材３１の他方の主面３１ｂに熱圧着によって接着する。この熱圧着は、２３０℃程度のプレス温度において２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の圧力を与えることにより行う。熱圧着の条件をこのように設定することにより、インク圧力室形成部材３１と樹脂材料４１との接着強度を高めることができるとともに、両者の接着を効率良く行うことができる。
【００５８】
またこの場合、樹脂材料４１には、インク吐出孔３３ａが形成されていないので、インク圧力室形成部材３１に樹脂材料４１を接着する工程においては、高精度な位置合わせ精度を必要としない分、接着工程を簡易に行うことができる。さらに接着剤を用いずに、インク圧力室形成部材３１に樹脂材料４１を接着しているので、接着剤がインク流路３１ｄを塞いでしまうような不都合も回避できる。
【００５９】
次に、図６（Ｄ）に示すように、樹脂材料４１におけるインク圧力室形成部材３１と対向する面に、撥液処理膜４２を形成する。撥液処理膜４２としては、インクをはじき、インク吐出孔周辺にインク付着残りを生じさせず、かつ、エキシマレーザによりインク吐出孔３３ａを形成した場合において、バリ及び剥がれ等を発生しない材料を用いることが望ましく、例えば、ポリイミド材料中にフッ素系を分散させたも（例えば、変性ＦＥＰ材料；商品名：９５８−２０７（ＤｕＰｏｎｔ社製））、あるいは、ポリイミド系材料のうち吸水率が０．４％以下の材料（例えば、ポリイミド系オーバーコートインク；商品名：ユピコートＦＳ−１００Ｌ、ＦＰ−１００（宇部興産株式会社製））、さらには、撥液性のポリベンゾイミダゾール（例えば、塗布型ポリベンゾイミダゾール材料：商品名：ＮＰＢＩ（ヘキスト社製））等を用いる。
【００６０】
次に、図６（Ｅ）に示すように、インク圧力室形成部材３１の一方の主面３１ａ側からインク圧力室３１ｃ及びインク導入孔３１ｅを介して樹脂材料４１に対してエキシマレーザを垂直に照射して、樹脂材料４１及び撥液処理膜４２にインク吐出孔３３ａを形成する。これにより、上述したオリフィスプレート３３が得られる。ここで、オリフィスプレート３３の素材として、樹脂材料４１を用いているので、インク吐出孔３３ａを容易に形成することができる。また、撥液処理膜４２においてもエキシマレーザ加工性に優れた材料を選定しているので、インク吐出孔３３ａの形成が容易となる。さらに、インク導入孔３１ｅは、インク吐出孔３３ａの径より大とされているので、レーザ加工時の樹脂材料４１とインク圧力室形成部材３１との位置合わせ精度を緩和することができるとともに、レーザ加工時にインク圧力室形成部材３１によってレーザが遮蔽される危険性を回避することができる。
【００６１】
次に、図７（Ａ）に示すように、２層構造からなる振動板３２の第２の振動板３２ｙの主面上に、導電性接着剤３４を介して厚さが略３０μｍの圧電材料４３を接着する。この場合、導電性接着剤３４の厚さが極力薄くなるように、２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の圧力をもって接着することが好ましい。これにより圧電材料４３と振動板３２との接続の電気抵抗値を安定させるとともに、強度的にも安定した接着を行うことが可能となる。
【００６２】
ここで圧電材料４３の両面には、電気接続のため、予めスパッタリング等の薄膜形成方法により、厚さ約０．２μｍ程度の銅―ニッケル合金等の導電膜を形成しておく。また、導電性接着剤３４としては、例えば、室温にて硬化するエポキシ系接着剤にカーボン粒子等の導電材料を混入したものを用いる。
【００６３】
次に、図７（Ｂ）に示すように、圧電材料４３上に、インク圧力室３１ｃの形状に対応したレジスト材料２０１を形成する。このレジスト材料２０１には、例えば、商品名：ＢＦ−４０５、ＢＦ−４０３（東京応化製）等のサンドブラスト用レジストあるいは、パウダービームエッチング用レジストを用いることが可能である。そして、これらレジスト材料を用いることにより、最小線幅で５０μｍ程度の解像度が得られる。
【００６４】
次に、図７（Ｃ）に示すように、サンドブラスト加工装置あるいは、パウダービームエッチング装置を用いて、５〜３０μｍ 程度の大きさを有するダイヤモンド粒子が混合された固気２相噴流をレジスト材料２０１が形成された圧電材料４３上に吹き付けることにより、圧電材料４３をレジスト材料２０１の形状に対応させた形状に加工し、圧電素子３５を形成する。ここで、５〜３０μｍ 程度の大きさを有する微細なダイヤモンド粒子を用いていることにより、圧電素子３５となる圧電材料４３と第２の振動板３２ｙを構成する銅材料との加工速度の比率（選択比）として８〜９程度の値を得ることができる。すなわち、圧電材料の加工速度は、銅材料と比較して、８〜９倍程度早い。そのため、図７（Ｃ）に示した圧電素子３５の形成工程において、その加工領域を第２の振動板３２ｙを構成する銅材料中にとどめることが容易となる。
【００６５】
次に、圧電素子３５が形成された振動板３２を塩化第２鉄水溶液中に浸し、あるいは、圧電素子３５が形成された振動板３２に塩化第２鉄水溶液をシャワー状に吹き付けることにより、圧電素子３５の形成されない部分の第２の振動板３２ｙを除去する。この除去工程において、第１の振動板３２ｘは、ポリイミド材料または、チタン材料よりなり、第２の振動板３２ｙのエッチング溶液である塩化第２鉄水溶液には侵されることがないので、図７（Ｄ）に示すように、第２の振動板３２ｙのみが除去されることとなる。
【００６６】
次に、図７（Ｅ）に示すように、圧電素子３５上に存在するレジスト材料２０１を専用除去溶液等を用いて除去する。
【００６７】
なお、以上は、圧電素子３５を形成する際に用いたレジスト材料２０１をマスクとして、第２の振動板３２ｙを除去する例について説明したが、図８（Ａ）に示すように、第２の振動板３２ｙの除去工程の前にレジスト２０１を除去し、その後、図８（Ｂ）に示すように、圧電素子３５をマスクとして第２の振動板の除去を行うようにしてもよい。
【００６８】
レジスト材料２０１をマスクとして第２の振動板３２ｙを除去するようにした場合には、圧電素子３５の両面に形成されている電極材料の保護をする点で適しており、また、レジスト材料２０１を除去した後に圧電素子３５をマスクとして第２の振動板３２ｙを除去するようにした場合には、第２の振動板３２ｙのエッチング溶液である塩化第２鉄水溶液がより狭い溝の内部まで、早く浸透することにより、エッチング精度の向上を図ることができる。
【００６９】
なお、本例においては、振動板３２を第１及び第２の振動板３２ｘ，３２ｙとからなる２層構造とし、第２の振動板３２ｙを除去する例について説明したが、振動板３２を３層以上の多層構造とした場合には、圧電素子３５側の少なくとも１層以上をエッチング除去するようにする。
【００７０】
次に、図９（Ａ）に示すように、オリフィスプレート３３が接合された圧力室形成部材３１と圧電素子３５が形成された振動板３２とを接着する。ここで、接着剤としては、エポキシ系の接着剤を用いることが可能である。また、第１の振動板３２ｘの材質として、ネオフレックスよりなるポリイミド材料を使用した場合においては、その材料の有する接着性を用いて、２２０〜２３０℃の温度において、２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 程度のホットプレス工程を用いることにより、接着剤を用いることなく接着を行うことが可能となり、耐薬品性能の向上が容易になされる。
【００７１】
また、第１の振動板３２ｘの材質として、チタン材料を用いた場合においては、プリンタのアクチュエーターとして動作させた場合においてその共振周波数を高めることが可能であり、吐出されるインクの速度を早めることができる。
【００７２】
次に、図９（Ｂ）に示すように、例えばエポキシ系の接着剤を用いて、インク供給管３６を振動板３２上の貫通孔３２ｂが形成された位置に接着する。かくしてインクジェットプリントヘッド１５が得られる。
【００７３】
以上のようにしてインクジェットプリントヘッド１５を製造するようにすれば、従来、直線を有する形状とならざるを得なかった圧電素子３５の形状を、直線形状に限定することのない任意な形状とすることが可能となる。また、隣接して形成される圧電素子３５の間隔も容易に１００μｍ以下にすることができる。これにより、プリンタ装置のノズルピッチを縮小することができる。
【００７４】
さらには、従来の製造方法では、圧電素子３５を形成する際に、刃物の摩耗を考慮した設計を行わなければならなかったが、本例のプリンタ装置の製造方法においては、刃物の摩耗等を考慮する必要がなく、よりインク吐出性能を重視した設計を実現できる。
【００７５】
さらにまた、本例のプリンタ装置の製造方法によれば、振動板３２上に貼り合わされた圧電材料４３のほぼ全面を同時にを分割加工することが可能となるので、加工時間を大幅に短縮することができる。
【００７６】
（第２の実施の形態）
本実施の形態においては、本発明をシリアル型の「キャリアジェット」プリンタ装置に適用した例について説明する。
【００７７】
シリアル型の「キャリアジェット」プリンタ装置５０（以下、プリンタ装置５０と略称する。）は、図１０に示すように、円筒形状をなすドラム５１の外周の所定の位置に、このドラム５１と平行となるように紙圧着コントローラ５２が設けられている。そして、このプリンタ装置５０は、ドラム５１と紙圧着コントローラ５２とによって、被印刷物としてのプリント紙５３を挟み込むことにより、このプリント紙５３をドラム５１に圧着固定するようになされている。
【００７８】
また、このプリンタ装置５０は、ドラム５１の外周から若干離間した位置に、送りねじ５４が、ドラム５１と平行となるように設けられており、この送りねじ５４には、この送りねじに螺合する支持部材５５を介して、「キャリアジェット」プリントヘツド５６が取り付けられている。この「キャリアジェット」プリントヘツド５６は、送りねじ５４が回転することにより、送りねじ５４に螺合する支持部材５５とともに、図１０中矢印Ａで示すドラム５１の軸方向に移動するようになされている。
【００７９】
また、ドラム５１は、第１のプーリ５７、ベルト５８及び第２のプーリ５９を介してモータ６０に連係されており、モータ６０の回転動に従って、図１０中矢印Ｂで示す方向に回転する。
【００８０】
そして、このプリンタ装置５０は、図１１に示すように、制御部６１によって制御されている。この制御部６１において、信号処理制御回路２１、メモリ２３、制御駆動部２４、補正回路２５は、それぞれ第１の実施の形態に係るプリンタ装置１の制御部２０における信号処理制御回路２１、メモリ２３、制御駆動部２４、補正回路２５と同一であるので、これらの構成については詳細な説明を省略する。
【００８１】
本実施の形態に係るプリンタ装置５０の制御部６１は、インク吐出用の第１のドライバ６２及び希釈液吐出用の第２のドライバ６３を有している。実際上、これら第１のドライバ６２及び第２のドライバ６３は、それぞれインク吐出孔及び希釈液吐出孔の数に応じて設けられている。第１のドライバ６２は、後述するように、インク吐出孔からインクを吐出させるために設けられた第１のピエゾ素子（定量側）を駆動制御するものであり、第２のドライバ６３は希釈液吐出孔から希釈液を吐出させるために設けられた第２のピエゾ素子（吐出側）を駆動制御するものである。
【００８２】
これら各第１のドライバ６２及び第２のドライバ６３は、図１２に示すように、それぞれ信号処理制御回路２１内に設けられたシリアルパラレル変換回路６４及びタイミング制御回路６５の制御に基づいて、対応する第１のピエゾ素子及び第２のピエゾ素子を駆動制御する。
【００８３】
すなわち、シリアルパラレル変換回路６４はデジタル中間調データＤ１を各第１のドライバ６２及び第２のドライバ６３に送出する。
【００８４】
タイミング制御回路６５は、印字トリガ信号Ｔ１を受けると、所定のタイミングで各第１のドライバ６２及び各第２のドライバ６３にそれぞれタイミング信号を送出する。この印字トリガ信号Ｔ１は、印字タイミングになったとき、タイミング制御回路６５に送出される。
【００８５】
各第１及び第２のドライバ６２及び６３は、それぞれタイミング制御回路６５からのタイミング信号に応じたタイミングで、シリアルパラレル変換回路６４からのデータに応じた駆動信号（駆動電圧）をそれぞれ対応する第１のピエゾ素子及び第２のピエゾ素子に送出する。ここでタイミング制御回路６５は、第１のピエゾ素子及び第２のピエゾ素子（この場合、第１のピエゾ素子及び第２のピエゾ素子は一対となっているインク吐出孔及び希釈液吐出孔にそれぞれ対応するものである）に印加される駆動電圧のタイミングが、例えば図１３に示すようなタイミングになるように、それぞれ第１及び第２のドライバ６２及び６３にタイミング信号を送出する。
【００８６】
この例の場合、吐出周期は１ｍｓｅｃ（周波数１ｋＨz ）であり、この間にインクの定量混合と液滴の吐出が行われる。またシリアルパラレル変換回路６４から与えられたデイジタル中間調データＤ１が、所定のしきい値以下の場合には、インク定量及び吐出は行わない。
【００８７】
次に、「キャリアジェット」プリントヘッド５６について説明する。
【００８８】
「キャリアジェット」プリントヘッド５６は、図１４に示すように、板状をなす圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａに、振動板７２が接着されているとともに、圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂに、板状をなすオリフィスプレート７３が接着されている。そして、「キャリアジェット」プリントヘッド５６は、振動板７２の一方の主面７２ａに、導伝性接着剤７４を介して、第１の圧電素子７６（上述の第１のピエゾ素子に相当）及び第２の圧電素子７７（上述の第２のピエゾ素子に相当）がそれぞれ接合されている。さらに、オリフィスプレート７３の、後述するインク吐出孔７３ａが開口される部位及び希釈液吐出孔７３ｂが開口される部位の周辺には、撥液処理膜６７が形成されている。
【００８９】
圧力室形成部材７１は、厚さが約０．１ｍｍ程度のステンレス等の金属板により形成されている。そして、この圧力室形成部材７１には、充填されるインクに所定の圧力をかけるインク圧力室７１ｃと、このインク圧力室７１ｃの一端側に連通し、インクをインク圧力室７１ｃに供給するための通路となるインク流路７１ｄと、インク圧力室７１ｃの他端側に形成され、インク圧力室７１ｃに充填されたインクをインク吐出孔７３ａに導く貫通孔となるインク導入孔７１ｅと、インク流路７１ｄにインクを配給するためのインクバッファタンク７１ｆと、インク供給管７８から供給されるインクをインクバッファタンク７１ｆ内に導くための第１の接続孔７１ｇとがそれぞれ形成されている。また、この圧力室形成部材７１には、充填される希釈液に所定の圧力をかける希釈液圧力室７１ｈと、この希釈液圧力室７１ｈの一端側に連通し、希釈液を希釈液圧力室７１ｈに供給するための通路となる希釈液流路７１ｉと、希釈液圧力室７１ｈの他端側に形成され、希釈液圧力室７１ｈに充填された希釈液を希釈液吐出孔７３ｂに導く貫通孔となる希釈液導入孔７１ｊと、希釈液流路７１ｉに希釈液を配給するための希釈液バッファタンク７１ｋと、希釈液供給管７９から供給される希釈液を希釈液バッファタンク７１ｋ内に導くための第２の接続孔７１ｌとがそれぞれ形成されている。
【００９０】
インク圧力室７１ｃは、圧力室形成部材７１の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ側にかけて形成されている。インク導入孔７１ｅは、インク圧力室７１ｃの他端側に形成され、圧力室形成部材７１の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂにかけて形成されている。
【００９１】
インク流路７１ｄは、インク導入孔７１ｅと同様に、圧力室形成部材７１の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂにかけて形成されている。そして、このインク流路７１ｄは、第１の部材７１ｍにより、インク導入孔７１ｅから隔てられている。また、インク流路７１ｄは、第１の部材７１ｍ側の一部がインク圧力室７１ｃの一端側に連通するように形成されている。
【００９２】
インクバッファタンク７１ｆも、インク導入孔７１ｅ及びインク流路７１ｄと同様に、圧力室形成部材７１の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂ側にかけて形成されている。ここで、インクバッファタンク７１ｆは、図１５に示すように、複数のインク流路７１ｄと連通する直線状の１本の配管であり、各インク流路７１ｄにインクを配給する機能を有している。
【００９３】
第１の接続孔７１ｇは、インクバッファタンク７１ｆに連通するように、圧力室形成部材７１の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ側にかけて形成されている。
【００９４】
ここで圧力室形成部材７１には、インク圧力室７１ｃの底面を構成するとともに、圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂの一部を構成し、また、インク導入孔７１ｅの一方の側面及びインク流路７１ｄの一方の側面にそれぞれ接して、インク導入孔７１ｅとインク流路７１ｄとを隔てる第１の部材７１ｍと、インク流路７１ｄの上面を構成するとともに、圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａの一部を構成し、また、インク圧力室７１ｃの一方の側面及び第１の接続孔７１ｇの一方の側面にそれぞれ接して、インク圧力室７１ｃと第１の接続孔７１ｇとを隔てる第２の部材７１ｎと、インクバッファタンク７１ｆの一方の側面及び第１の接続孔７１ｇの他方の側面にそれぞれ接するとともに、圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ及び他方の主面７１ｂの一部を構成する第３の部材７１ｏとがそれぞれ形成される。そして、これら第１乃至第３の部材７１ｍ，７１ｎ，７１ｏと、後述する第７の部材７１ｓとによって仕切られた空間が、それぞれインク圧力室７１ｃ、インク導入孔７１ｅ、インク流路７１ｄ、インクバッファタンク７１ｆ及び第１の接続孔７１ｇとして構成される。
【００９５】
希釈液圧力室７１ｈは、圧力室形成部材７１の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ側にかけて形成されている。希釈液導入孔７１ｊは、希釈液圧力室７１ｈの他端側に形成され、圧力室形成部材７１の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂにかけて形成されている。
【００９６】
希釈液流路７１ｉは、希釈液導入孔７１ｊと同様に、圧力室形成部材７１の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂにかけて形成されている。そして、この希釈液流路７１ｉは、後述する第４の部材７１ｐにより、希釈液導入孔７１ｊから隔てられている。また、希釈液流路７１ｉは、第４の部材７１ｐ側の一部が希釈液圧力室７１ｈの一端側に連通するように形成されている。
【００９７】
希釈液バッファタンク７１ｋも、希釈液導入孔７１ｊ及び希釈液流路７１ｉと同様に、圧力室形成部材７１の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂ側にかけて形成されている。ここで、希釈液バッファタンク７１ｋは、インクバッファタンク７１ｆと同様に、図１５に示すように、複数の希釈液流路７１ｉと連通する直線状の１本の配管であり、各希釈液流路７１ｉにインクを配給する機能を有している。
【００９８】
第２の接続孔７１ｌは、希釈液バッファタンク７１ｋに連通するように、圧力室形成部材７１の厚み方向における中央部付近から圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ側にかけて形成されている。
【００９９】
ここで圧力室形成部材７１には、希釈液圧力室７１ｈの底面を構成するとともに、圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂの一部を構成し、また、希釈液導入孔７１ｊの一方の側面及び希釈液流路７１ｉの一方の側面にそれぞれ接して、希釈液導入孔７１ｊと希釈液流路７１ｉとを隔てる第４の部材７１ｐと、希釈液流路７１ｉの上面を構成するとともに、圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａの一部を構成し、また、希釈液圧力室７１ｈの一方の側面及び第２の接続孔７１ｌの一方の側面にそれぞれ接して、希釈液圧力室７１ｈと第２の接続孔７１ｌとを隔てる第５の部材７１ｑと、希釈液バッファタンク７１ｋの一方の側面及び第２の接続孔７１ｌの他方の側面にそれぞれ接するとともに、圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ及び他方の主面７１ｂの一部を構成する第６の部材７１ｒとがそれぞれ形成される。
【０１００】
また、圧力室形成部材７１には、インク圧力室７１ｃの他方の側面、インク導入孔７１ｅの他方の側面、希釈液圧力室７１ｈの他方の側面及び希釈液導入孔７１ｊの他方の側面に囲まれ、圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ及び他方の主面７１ｂの一部を形成する第７の部材７１ｓが形成されている。
【０１０１】
そして、これら第４乃至第７の部材７１ｐ，７１ｑ，７１ｒ，７１ｓにより仕切られた空間が、それぞれ希釈液圧力室７１ｈ、希釈液導入孔７１ｊ、希釈液流路７１ｉ、希釈液バッファタンク７１ｋ及び第２の接続孔７１ｌとして構成される。
【０１０２】
圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂには、インク導入孔７１ｅ、インク流路７１ｄ、インクバッファタンク７１ｆ、希釈液導入孔７１ｊ、希釈液流路７１ｉ及び希釈液バッファタンク７Ｉｋを覆うように、オリフィスプレート７３が熱圧着によつて接着されている。このオリフィスプレート７３としては、厚さが略５０μｍでガラス転移点が２５０℃以下のネオフレックス（三井東圧科学工業株式会社製）等が用いられる。
【０１０３】
このオリフィスプレート７３には、インク導入孔７１ｅに連通し、インク圧力室７１ｃからインク導入孔７１ｅを介して供給されるインクを吐出するための所定径を有するインク吐出孔７３ａが、後述する希釈液吐出孔７３ｂ側に向くように斜めに形成されている。またオリフィスプレート７３には、希釈液導入孔７１ｊに連通し、希釈液圧力室７１ｈから希釈液導入孔７１ｊを介して供給される希釈液を吐出するための希釈液吐出孔７３ｂが、断面形状が例えば所定径を有する円形状となるように形成されている。このように、オリフィスプレート７３にインク吐出孔７３ａ及び希釈液吐出孔７３ｂを形成することにより、インク及び希釈液に対する化学的な安定性を確保することができる。
【０１０４】
ところで、上述した第１及び第２の圧電素子７６，７７は、図１５に示すように、インク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈの形状に対応した形状に形成されている。また、隣接して形成される第１及び第２の圧電素子７６，７７間の間隔は、１００μｍ以下とされている。
【０１０５】
また、インク圧力室７１ｃは、インク導入孔７１ｅが形成される位置での幅Ｃ４が、インク圧力室７１ｃの主たる幅Ｃ３よりも小となり、かつ、インク吐出孔７３ａのインク導入孔７１ｅ側の開口径Ａ２よりも大となるように形成されている。より具体的には、インク圧力室７１ｃの主たる幅Ｃ３を０．４ｍｍ〜０．６ｍｍとした場合において、インク圧力室７１ｃのインク導入孔７１ｅが形成される位置での幅Ｃ４は、０．２ｍｍ程度とし、圧力室形成部材７１の板厚の約２倍程度とする。
【０１０６】
また、上述した希釈液圧力室７１ｈは、希釈液導入孔７１ｊが形成される位置での幅Ｈ２が、希釈液圧力室７１ｈの主たる幅Ｈ１よりも小となり、かつ、希釈液吐出孔７３ｂの希釈液導入孔７１ｊ側の開口径Ｂ１よりも大となるように形成されている。より具体的には、希釈液圧力室７１ｈの主たる幅Ｈ１を０．４ｍｍ〜０．６ｍｍとした場合において、希釈液圧力室７１ｈの希釈液導入孔７１ｊが形成される位置での幅Ｈ２は、０．２ｍｍ程度とし、圧力室形成部材７１の板厚の約２倍程度とする。
【０１０７】
ここで、インク圧力室７１ｃのインク導入孔７１ｅが形成される位置での幅Ｃ４及び、希釈液圧力室７１ｈの希釈液導入孔７１ｊが形成される位置での幅Ｈ２は、それぞれ圧力室形成部材７１の板厚の２．５倍以下とすることが望ましい。
【０１０８】
また、本実施の形態においては、希釈液吐出孔７３ｂは、希釈液導入孔７１ｊの略中央部に連通するように形成する。そして希釈液吐出孔７３ｂは、その形状を、第１の実施の形態におけるインク吐出孔３３ａと同様に、希釈液が吐出される方向に従って次第に細くなるようなテーパー形状とし、希釈液吐出孔７３ｂの開口部における断面形状を直径約３５μｍの円形とし、圧力室形成部材７１側における断面形状を直径を約８０μｍの円形とする。従って、希釈液圧力室７１ｈの希釈液導入孔７１ｊが形成される位置での幅Ｈ２は、希釈液圧力室７１ｈの主たる幅Ｈ１よりも小となるとともに、希釈液吐出孔７３ｂの希釈液導入孔７１ｊ側の開口径Ｂ１より大となる。
【０１０９】
また、インク吐出孔７３ａは、斜めに形成されているために、断面形状が楕円となる。そして、本実施の形態においては、このインク吐出孔７３ａは、圧力室形成部材７１側における断面形状を短軸方向の径が約８０μｍの楕円形とする。従って、インク圧力室７１ｃの圧力室導入孔７１ｅが形成される位置での幅Ｃ４は、インク圧力室７１ｃの主たる幅Ｃ３よりも小となると共に、インク吐出孔７３ａのインク導入孔７１ｅ側の開口径Ａ２よりも大となる。
【０１１０】
他方、圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ側には、インク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈの開口部を閉塞するように２層構造よりなる振動板７２が、接着剤を介して接着されている。なお、ここでインク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈの開口部とは、圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ側に開口するインク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈの開口部をいう。
【０１１１】
この振動板７２は、インク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈ側に位置し、配列されたインク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈの全ての開口部を閉塞する第１の振動板７２ｘと、振動板７２上に形成された圧電素子７５の形状に対応した形状とされる第２の振動板７２ｙとの２層構造よりなる。
【０１１２】
この振動板７２には、圧力室形成部材７１の第１の接続孔７１ｇ及び第２の接続孔７１ｌに対応した位置に、それぞれ第１の貫通孔７２ｂ及び第２の貫通孔７２ｃが穿設されている。これら第１及び第２の貫通孔７２ｂ，７２ｃには、それぞれ図示しないインクタンク及び希釈液タンクに接続されたインク供給管７８及び希釈液供給管７９が取り付けられている。従って、インクタンクから供給されるインクは、インク供給管７８及びインクバッファタンク７１ｆを介してインク流路７１ｄに供給され、インク流路７１ｄを通ってインク圧力室７１ｃに充填され、希釈液タンクから供給される希釈液は、希釈液供給管７９及び希釈液バッファタンク７１ｋを介して希釈液流路７１ｉに供給され、希釈液流路７１ｉを通って希釈液圧力室７１ｈに充填されるようになされている。
【０１１３】
２層構造の振動板７２のうち、第１の振動板７２ｘとしては、オリフィスプレート７３と同様に、耐熱性及び耐薬品性に優れたネオフレックス（三井東圧化学工業株式会社製）等が用いられ、厚さが略２０μｍでガラス転移点が２５０℃以下のものが用いられる。そして、２層構造の振動板７２のうち、第２の振動板７２ｙとしては、例えば、厚さが略１５μｍ程度の銅板が用いられる。
【０１１４】
そして、第２の振動板７２ｙの主面上に、導伝性接着剤７４を介して、第１の圧電素子７６及び第２の圧電素子７７がそれぞれ接合されている。なお、本例においては、振動板７２を第１及び第２の振動板７２ｘ，７２ｙとからなる２層構造とした例について説明したが、振動板７２はこれに限定されるものではなく、単板で形成するようにしてもよいし、３層以上の多層構造としてもよい。
【０１１５】
第１の圧電素子７６は、図１６（Ａ）に示すような状態で駆動電圧が印加されると、図１６（Ｂ）中矢印Ａで示す方向に変位して、振動板７２を湾曲させてインク圧力室３１ｃの体積を減少させ、これによってインク圧力室３１ｃ内の圧力を上昇させるようになされている。
【０１１６】
第２の圧電素子７７は、図１６（Ｂ）に示すような状態で駆動電圧が印加されると、図１６（Ｃ）中矢印Ｂで示す方向に変位して、振動板７２を湾曲させて希釈液圧力室３１ｃの体積を減少させ、これによって希釈液圧力室３１ｃ内の圧力を上昇させるようになされている。
【０１１７】
ここで、「キャリアジェット」プリントヘッド５６の動作について説明する。
【０１１８】
まず、待機状態においては、インク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈ内に充填されているインク及び希釈液は、図１６（Ａ）に示すように、表面張力との釣合によってインク吐出孔７３ａ及び希釈液吐出孔７３ｂの先端近傍にメニスカスを形成し安定する。
【０１１９】
そして、インク定量時においては、第１の圧電素子７６に駆動電圧を印可することにより、第１の圧電素子７６が図１６（Ｂ）中矢印Ａで示す方向に変位する。この第１の圧電素子７６の変位に伴い、振動板７２が図１６（Ｂ）中矢印Ａで示す方向に変位する。この振動板７２の変位により、インク圧力室７１ｃの体積が減少してインク圧力室７１ｃ内の圧力が上昇する。
【０１２０】
この場合、第１の圧電素子７６に与えられている駆動電圧の時間変化は、インク吐出孔７３ａからインクが飛翔しないように穏やかに設定されているので、インクはインク吐出孔７３ａから飛翔せずに押し出された状態となる。ここで、第１の圧電素子７６に駆動電圧を印可するときの電圧値は画像データの階調に応じた値に設定されているので、インク吐出孔７３ａの先端から押し出されるインク量は画像データに応じた量となる。そして、このインク吐出孔７３ａから押し出された状態にあるインクは、希釈液吐出孔７３ｂの先端部３ｂ近傍においてメニスカスを形成している希釈液と接触して混合される。
【０１２１】
インク吐出時においては、第２の圧電素子７７に駆動電圧を印加することにより、第２の圧電素子７７が図１６（Ｃ）中矢印Ｂで示す方向に変位する。この第２の圧電素子７７の変位に伴い、振動板７２が図１６（Ｃ）中矢印Ｂで示す方向に変位する。この振動板７２の変位により、希釈液圧力室７１ｈの体積が減少して希釈液圧力室７１ｈ内の圧力が上昇し、この結果希釈液吐出孔７３ｂから画像データに応じたインク濃度を有する混合溶液が吐出される。ここで第２の圧電素子７７に与えられている駆動電圧の時間変化は、希釈液吐出孔７３ｂから混合溶液が吐出し得るように設定される。
【０１２２】
次に、「キャリアジェット」プリントヘッド５６の製造方法について図１７、図１８、図１９、図２０を参照しながら説明する。
【０１２３】
先ず、図１７（Ａ）に示すように、厚さが約０．１ｍｍ程度のステンレス等の金属部材８２の一方の主面８２ａに、例えば感光性ドライフィルムや液体レジスト材料などのレジスト８３を塗布した後、インク圧力室７１ｃ、第１の接続孔７１ｇ、希釈液圧力室７１ｈ及び第２の接続孔７１ｌに応じたパターンを有するマスクを用いてパターン露光を行うとともに、金属部材８２の他方の主面８２ｂに、例えば感光性ドライフィルムや液体レジスト材料などのレジスト８４を塗布した後、インク導入孔７１ｅ、インク流路７１ｄ、インクバッファタンク７１ｆ、希釈液導入孔７１ｊ、希釈液流路７１ｉ及び希釈液バッファタンク７１ｋに応じたパターンを有するマスクを用いてパターン露光を行う。
【０１２４】
次に、図１７（Ｂ）に示すように、インク圧力室７１ｃ、第１の接続孔７１ｇ、希釈液圧力室７１ｈ及び第２の接続孔７１ｌに応じたパターンを有するレジスト８３と、インク導入孔７１ｅ、インク流路７１ｄ、インクバッファタンク７１ｆ、希釈液導入孔７１ｊ、希釈液流路７１ｉ及び希釈液バッファタンク７１ｋに応じたパターンを有するレジスト８４とをマスクとして、金属部材８２を、例えば塩化第２鉄水溶液でなるエッチング溶液に所定時間浸してエッチングを行うことにより、金属部材８２の一方の主面８２ａにインク圧力室７１ｃ、第１の接続孔７１ｇ、希釈液圧力室７１ｈ及び第２の接続孔７１ｌを形成する。また金属部材８２の他方の主面８２ｂには、インク導入孔７１ｅ、インク流路７１ｄ、インクバッファタンク７１ｆ、希釈液導入孔７１ｊ、希釈液流路７１ｉ及び希釈液バッファタンク７１ｋを形成する。これにより、上述した圧力室形成部材７１が得られる。
【０１２５】
この場合、金属部材８２の一方の主面８２ａ及び他方の主面８２ｂからのエッチング量は、ともに金属部材８２の厚さの約１／２強となるように設定する。本実施の形態においては、金属部材８２の厚さが０．１ｍｍに設定されているので、金属部材８２の片面からのエッチング量は、約０．０５５ｍｍ程度となるように設定する。エッチング量をこのように設定することにより、インク圧力室７１ｃ、第１の接続孔７１ｇ、インク導入孔７１ｅ、インク流路７１ｄ、インクバッファタンク７１ｆ、希釈液圧力室７１ｈ、第２の接続孔７１ｌ、希釈液導入孔７１ｊ、希釈液流路７１ｉ及び希釈液バッファタンク７１ｋの寸法精度を向上し得るとともに、これらを安定して形成することができる。
【０１２６】
また、金属部材８２の一方の主面８２ａかっらのエッチング量と他方の主面８２ｂからのエッチング量とが同じなので、金属部材８２の一方の主面８２ａにインク圧力室７１ｃ、第１の接続孔７１ｇ、希釈液圧力室７１ｈ及び第２の接続孔７１ｌを形成する際のエッチングの条件と、金属部材８２の他方の主面８２ｂにインク導入孔７１ｅ、インク流路７１ｄ、インクバッファタンク７１ｆ、希釈液導入孔７１ｊ、希釈液流路７１ｉ及び希釈液バッファタンク７１ｋを形成する際のエッチングの条件をほぼ同じ条件に設定することができ、このエッチング工程を簡易かつ短時間に行うことができる。
【０１２７】
ここでインク導入孔７１ｅ及び希釈液導入孔７１ｊは、それぞれの幅が、インク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈに圧力が印加された際に、インク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈ内の圧力上昇に影響がない程度に、インク吐出孔７３ａ及び希釈液吐出孔７３ｂの径よりそれぞれ大となるように形成される。
【０１２８】
またインク導入孔７１ｅは、その幅が、インク圧力室７１ｃのインク導入孔７１ｅ形成位置における幅と略等しく、インク圧力室７１ｃの主たる幅よりも狭くなるように形成される。そして、希釈液導入孔７１ｊは、その幅が、希釈液圧力室７１ｈの希釈液導入孔７１ｊ形成位置における幅と略等しく、希釈液圧力室７１ｈの主たる幅よりも狭くなるように形成される。ここで、インク導入孔７１ｅ及び希釈液導入孔７１ｊの幅は、板厚の２．５倍以下とすることが望ましい。
【０１２９】
また、インク導入孔７１ｅ及び希釈液導入孔７１ｊの幅は、板厚と同程度とすると、作製工程上形状誤差を発生しやすいので、板厚の１倍以上であることが作製工程上望ましい。本実施の形態においては、インク導入孔７１ｅ及び希釈液導入孔７１ｊの幅は、０．２ｍｍ程度とし、板厚の２倍程度としている。
【０１３０】
次に、図１７（Ｃ）に示すように、レジスト８３及び８４を除去する。この場合、レジスト８３，８４としてドライフィルムレジストを用いた場合には、除去剤として、例えば５％以下の水酸化ナトリウム水溶液を用い、レジスト８３，８４として液状レジスト材料を用いた場合には、除去剤として、例えば専用アルカリ溶液を用いる。そして、レジスト８３及び８４を除去した後、厚さが約５０μｍでガラス転移点が２５０℃以下のネオフレックス（三井東圧化学工業株式会社製）等の樹脂材料８５を、圧力室形成部材７１の他方の主面７１ｂに熱圧着によって接着する。この熱圧着は、２３０℃程度のプレス温度において２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の圧力を与えることにより行う。熱圧着の条件をこのように設定することにより、圧力室形成部材７１と樹脂材料８５との接着強度を高めることができるとともに、両者の接着を効率良く行うことができる。
【０１３１】
また、この場合、樹脂材料８５には、インク吐出孔７３ａ及び希釈液吐出孔７３ｂが形成されていないので、圧力室形成部材７１に樹脂材料８５を接着する工程においては、高精度な位置合わせ精度を必要としない分、接着工程を簡易に行うことができる。さらに接着剤を用いずに、圧力室形成部材７１に樹脂材料８５を接着しているので、接着剤がインク流路７１ｄ及び希釈液流路７１ｉを塞いでしまうような不都合も回避できる。
【０１３２】
次に、図１７（Ｄ）に示すように、樹脂材料８５における圧力室形成部材７１と対向する面に、撥液処理膜６７を形成する。撥液処理膜６７としては、インクをはじき、インク吐出孔周辺にインク付着残りを生じさせず、かつ、エキシマレーザによりインク吐出孔７３ａ，７３ｂを形成した場合において、バリ及び剥がれ等を発生しない材料を用いることが望ましく、例えば、ポリイミド材料中にフッ素系を分散させたもの（例えば、変性ＦＥＰ材料；９５８−２０７（ＤｕＰｏｎｔ社製））、あるいは、ポリイミド系材料のうち吸水率が０．４％以下の材料（例えば、ポリイミド系オーバーコートインク；ユピコートＦＳ−１００Ｌ、ＦＰ−１００（宇部興産株式会社製））、さらには、撥液性のポリベンゾイミダゾール（例えば、塗布型ポリベンゾイミダゾール材料：ＮＰＢＩ（ヘキスト社製））等を用いる。
【０１３３】
次に、図１７（Ｅ）に示すように、圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ側から希釈液圧力室７１ｈ及び希釈液導入孔７１ｊを介して樹脂材料８５に対してエキシマレーザを垂直に照射して、樹脂材料８５に希釈液吐出孔７３ｂを形成する。また圧力室形成部材７１の一方の主面７１ａ側からインク圧力室７１ｃ及びインク導入孔７１ｅを介して樹脂材料８５に対してエキシマレーザを希釈液吐出孔７３ｂ側に向けて斜めに照射して、樹脂材料８５にインク吐出孔７３ａを形成する。これにより、上述したオリフィスプレート７３が得られる。
【０１３４】
ここで、オリフィスプレート７３の素材として、樹脂材料８５を用いているので、インク吐出孔７３ａ及び希釈液吐出孔７３ｂを容易に形成することができる。また、撥液処理膜６７においてもエキシマレーザ加工性に優れた材料を選定しているので、インク吐出孔７３ａ及び希釈液吐出孔７３ｂの形成が容易となる。さらに、インク導入孔７１ｅ及び希釈液導入孔７１ｊは、それぞれインク吐出孔７３ａ及び希釈液吐出孔７３ｂの径より大とされているので、レーザ加工時の樹脂材料８５と圧力室形成部材７１との位置合わせ精度を緩和することができるとともに、レーザ加工時に圧力室形成部材７１によってレーザが遮蔽される危険性を回避することができる。
【０１３５】
次に、図１８（Ａ）に示すように、２層構造からなる振動板７２の第２の振動板７２ｙの主面上に、導電性接着剤７４を介して厚さが略３０μｍの圧電材料７５を接着する。この場合、導電性接着剤７４の厚さが極力薄くなるように、２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 程度の圧力をもって接着することが好ましい。これにより圧電材料７５と振動板７２との接続の電気抵抗値を安定させるとともに、強度的にも安定した接着を行うことが可能となる。
【０１３６】
ここで圧電材料７５の両面には、電気接続のため、予めスパッタリング等の薄膜形成方法により、厚さ約０．２μｍ程度の銅―ニッケル合金等の導電膜を形成しておく。また、導電性接着剤７４としては、例えば、室温にて硬化するエポキシ系接着剤にカーボン粒子等の導電材料を混入したものを用いる。
【０１３７】
次に、図１８（Ｂ）に示すように、圧電材料７５上に、インク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈの形状に対応したレジスト材料２０２，２０３を形成する。このレジスト材料２０２，２０３には、例えば、商品名：ＢＦ−４０５、ＢＦ−４０３（東京応化製）等のサンドブラスト用レジストあるいは、パウダービームエッチング用レジストを用いることが可能である。そして、これらレジスト材料を用いることにより、最小線幅で５０μｍ 程度の解像度が得られる。
【０１３８】
次に、図１８（Ｃ）に示すように、サンドブラスト加工装置あるいは、パウダービームエッチング装置を用いて、５〜３０μｍ 程度の大きさを有するダイヤモンド粒子が混合された固気２相噴流をレジスト材料２０２，２０３が形成された圧電材料７５上に吹き付けることにより、圧電材料７５をレジスト材料２０２，２０３の形状に対応させた形状に加工し、第１及び第２の圧電素子７６，７７を形成する。ここで、５〜３０μｍ 程度の大きさを有する微細なダイヤモンド粒子を用いていることにより、第１及び第２の圧電素子７６，７７となる圧電材料７５と第２の振動板７２ｙを構成する銅材料との加工速度の比率（選択比）として８〜９程度の値を得ることができる。すなわち、圧電材料の加工速度は、銅材料と比較して、８〜９倍程度早い。そのため、図１８（Ｃ）に示した第１及び第２の圧電素子７６，７７の形成工程において、その加工領域を第２の振動板７２ｙを構成する銅材料中にとどめることが容易となる。
【０１３９】
次に、第１及び第２の圧電素子７６，７７が形成された振動板７２を塩化第２鉄水溶液中に浸し、あるいは、第１及び第２の圧電素子７６，７７が形成された振動板７２に塩化第２鉄水溶液をシャワー状に吹き付けることにより、第１及び第２の圧電素子７６，７７の形成されない部分の第２の振動板７２ｙを除去する。この除去工程において、第１の振動板７２ｘは、ポリイミド材料または、チタン材料よりなり、第２の振動板７２ｙのエッチング溶液である塩化第２鉄水溶液には侵されることがないので、図１８（Ｄ）に示すように、第２の振動板７２ｙのみが除去されることとなる。
【０１４０】
次に、図１８（Ｅ）に示すように、第１及び第２の圧電素子７６，７７上に存在するレジスト材料２０２，２０３を専用除去溶液等を用いて除去する。
【０１４１】
なお、以上は、第１及び第２の圧電素子７６，７７を形成する際に用いたレジスト材料２０２，２０３をマスクとして、第２の振動板７２ｙを除去する例について説明したが、図１９（Ａ）に示すように、第２の振動板７２ｙの除去工程の前にレジスト２０２，２０３を除去し、その後、図１９（Ｂ）に示すように、第１及び第２の圧電素子７６，７７をマスクとして第２の振動板７２ｙの除去を行うようにしてもよい。
【０１４２】
レジスト材料２０２，２０３をマスクとして第２の振動板７２ｙを除去するようにした場合には、第１及び第２の圧電素子７６、７７の両面に形成されている電極材料の保護をする点で適しており、また、レジスト材料２０２、２０３を除去した後に第１及び第２の圧電素子７６，７７をマスクとして第２の振動板７２ｙを除去するようにした場合には、第２の振動板７２ｙのエッチング溶液である塩化第２鉄水溶液がより狭い溝の内部まで、早く浸透することにより、エッチング精度の向上を図ることができる。
【０１４３】
なお、本例においては、振動板７２を第１及び第２の振動板７２ｘ，７２ｙの２層構造からなる積層体にて形成し、第２の振動板７２ｙをエッチング除去した例について説明したが、振動板７２を３層以上の多層構造で形成した場合には、第１及び第２の圧電素子７６，７７側の少なくとも１層以上をエッチング除去するようにする。
【０１４４】
次に、図２０（Ａ）に示すように、オリフィスプレート７３が接合された圧力室形成部材７１と第１及び第２の圧電素子７６，７７が形成された振動板７２とを接着する。ここで、接着剤としては、エポキシ系の接着剤を用いることが可能である。また、第１の振動板７２ｘの材質として、ネオフレックスよりなるポリイミド材料を使用した場合においては、その材料の有する接着性を用いて、２２０〜２３０℃の温度において、２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 程度のホットプレス工程を用いることにより、接着剤を用いることなく接着を行うことが可能となり、耐薬品性能の向上が容易になされる。
【０１４５】
また、第１の振動板７２ｘの材質として、チタン材料を用いた場合においては、プリンタのアクチュエーターとして動作させた場合においてその共振周波数を高めることが可能であり、吐出されるインクの速度を早めることができる。
【０１４６】
次に、図２０（Ｂ）に示すように、例えばエポキシ系の接着剤を用いて、インク供給管７８を振動板７２上の第１の貫通孔７２ｂが形成された位置に接着するとともに、希釈液供給間７９を振動板７２条の第２の間通行７２ｃが形成された位置に接着する。かくして「キャリアジェット」プリントヘッド５６が得られる。
【０１４７】
以上のようにして「キャリアジェット」プリントヘッド５６を製造するようにすれば、従来、直線を有する形状とならざるを得なかった第１及び第２の圧電素子７６，７７の形状を、直線形状に限定することのない任意の形状とすることが可能となる。また、隣接して形成される圧電素子７６，７７の間隔も容易に１００μｍ以下にすることができる。これにより、プリンタ装置のノズルピッチを縮小することができる。
【０１４８】
さらには、従来の製造方法では、圧電素子７６，７７を形成する際に、刃物の摩耗を考慮した設計を行わなければならなかったが、本例のプリンタ装置の製造方法においては、刃物の摩耗等を考慮する必要がなく、よりインク吐出性能を重視した設計を実現できる。
【０１４９】
さらにまた、本例のプリンタ装置の製造方法によれば、振動板７２上に貼り合わされた圧電材料７５のほぼ全面を同時にを分割加工することが可能となるので、加工時間を大幅に短縮することができる。
【０１５０】
（他の実施の形態）
上述の第１実施の形態においては、オリフィスプレート３３が接合された圧力室形成部材３１に、圧電素子３５が形成された振動板３２を接着してインクジェットプリントヘッド７を製造する方法について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、図２１に示すように、オリフィスプレート３３が接合された圧力室形成部材３１に振動板３２を接着した後に、この振動板３２上に圧電素子３５を形成するようにしてもよい。
【０１５１】
すなわち、まず、図２１（Ａ）に示すように、オリフィスプレート３３が接合された圧力室形成部材３１の一方の主面３１ａに、２層構造よりなる振動板３２と圧電材料４３とをそれぞれ接着する。
【０１５２】
そして、図２１（Ｂ）に示すように、圧電材料４３上に、レジスト材料２０１を用いてパターンを形成する。
【０１５３】
次に、図２１（Ｃ）に示すように、このレジスト材料２０１をマスクとして、パウダービームエッチングあるいは、サンドブラスト加工法により、レジスト材料２０１に対応した形状の圧電素子３５を形成するとともに、塩化第２鉄水溶液を用いたエッチング工程により、第２の振動板３２ｙの除去を行う。
【０１５４】
そして、図２１（Ｄ）に示すように、所望の形状の圧電素子３５及び第２の振動板３２ｙが形成された後に、第１の振動板３２ｘ上の貫通孔３２ｂが形成された位置に、インク供給管３６を接着する。
【０１５５】
なお、この場合において、レジスト材料２０１の剥離工程は、第１の実施の形態と同様に、塩化第２鉄水溶液を用いた第２の振動板３２ｙのエッチング工程の前であっても後であっても構わない。また、振動板３２と圧力室形成部材３１との接着方法、および振動板３２と圧電素子３５との接着方法も第１の実施の形態に示した方法と同様の方法を適用することができ、振動板３２と圧力室形成部材３１との接着工程、および振動板３２と圧電素子３５との接着工程は、どちらが先であっても構わない。
【０１５６】
以上のような方法によれば、圧電素子３５の位置合わせ精度は、レジスト材料２０１のパターニング精度とすることができるので、より位置合わせ精度を高めることが可能となる。
【０１５７】
なお、この方法は、上述した第２の実施の形態において説明した「キャリアジェット」プリンタ装置５０の製造方法においても適用することが可能であり、同様の効果を得ることができる。
【０１５８】
また、上述の第１の実施の形態においては、振動板３２が圧力室形成部材３１とほぼ同一の大きさを有し、振動板３２にもインク供給管３６との接続を図るための貫通孔３２ｂが形成された例を示したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、図２２に示すように、振動板３２の大きさを圧力室形成部材３１の大きさよりも小さくしても、インク圧力室３１ｃを覆う以上の大きさであれば同様の効果を得ることができる。
【０１５９】
すなわち、インクジェットプリントヘッド７は、図２２に示すように、圧力室形成部材３１に設けられている接続孔３１ｇの周囲には振動板３２が存在していないようにしてもよい。このインクジェットプリントヘッド７においては、第１の実施の形態に係るインクジェットプリントヘッド７において振動板３２に設けられていた貫通孔３２ｂを形成する必要がないので、振動板３２の孔開け工程を削除することが可能であると同時に、振動板３２と圧力室形成部材３１との接着面積を少なくすることが可能である。さらにまた、上述したように、振動板３２と圧力室形成部材３１とを接着した後に圧電素子３５を形成する場合において、レジスト材料２０１の露光工程における位置合わせの基準を圧力室形成部材３１に直接設けることが可能となるので、より、位置合わせ精度を向上させることが可能となる。
【０１６０】
なお、この方法は、上述した第２の実施の形態において説明した「キャリアジェット」プリンタ装置５０の製造方法においても適用することが可能であり、同様の効果を得ることができる。
【０１６１】
また、上述した第１の実施の形態においては、ガラス転移点が２５０℃以下のネオフレックスからなるオリフィスプレート３３を用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、第１の実施の形態で適用したオリフィスプレート３３の代わりに、図２３に示すようなオリフィスプレート９１を適用しても上述の第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【０１６２】
このオリフイスプレート９１は、厚さが約１２５μｍで、ガラス転移点が２５０℃以上のカプトン（デユポン社製）からなる第１の樹脂材料９２の一方の主面に、厚さが約７μｍで、ガラス転移点が２５０℃以下のネオフレックスからなる第２の樹脂材料９３が塗布されて構成されている。このオリフィスプレート９１を適用した場合には、オリフィスプレート９１にインク導入孔３１ｅに連通したインク吐出孔３３ａが形成される。
【０１６３】
このオリフィスプレート９１は、その厚さが、第１の実施の形態で適用したオリフィスプレート３３の厚さより厚いので、オリフィスプレート３３に比して一段と高い強度を確保することができるとともに、インク吐出孔３３ａの長さを長くすることができるので、吐出されるインク液滴の方向性を高めることができる。
【０１６４】
また、上述した第２の実施の形態においては、ガラス転移点が２５０℃以下のネオフレックスからなるオリフィスプレート７３を用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、第２の実施の形態に適用したオリフィスプレート７３の代わりに、図２０に示すオリフィスプレート９１を適用しても上述の第２の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【０１６５】
特に「キャリアジェット」プリントヘッド５６においてオリフィスプレート９１を用いた場合には、インク吐出孔７３ａの傾斜角度に余裕をもたせることができるとともに、インク圧力室７１ｃと希釈液圧力室７１ｈとの間隔を容易に拡げることができるので、インク漏れ及び希釈液漏れを確実に防止することができる。
【０１６６】
この場合、オリフィスプレート９１にインク導入孔７１ｅ及び希釈液導入孔７１ｊにそれぞれ連通したインク吐出孔７３ａ及び希釈液吐出孔７３ｂが形成される。
【０１６７】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、シリアル型プリンタ装置１，５０に本発明を適用した例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、図２４に示すようなライン型プリンタ装置１２０及び図２５に示すようなドラム回転型プリンタ装置１３０に適用することができる。なお、図２４及び図２５においては、図１に示すシリアル型プリンタ装置１と同一の構成については同一符号を付して示している。
【０１６８】
ライン型プリンタ装置１２０は、多数のプリントヘッドがライン状に配置されてなるラインヘッド１２１が、軸方向に沿って固定して設けられている。このライン型プリンタ装置１２０は、ラインヘッド１２１で１行分の印字が同時に行われ、印字が完了するとドラムを１行分だけ回転させて次の行の印字を行うようになされている。この場合、全ラインを一括して印字したり、複数ブロックに分割したり、１行おきに交互に印字する方法が考えられる。
【０１６９】
ドラム回転型プリンタ装置１３０は、ドラム２が回転するとその回転に同期してプリントヘッド６からインクが吐出され、プリント紙４上に画像が形成される。ドラム２が１回転してプリント紙４上に円周方向に１列の印刷が完了すると、送りねじ５が回転してプリントヘッド６を１ピッチ移動させ、次の印刷を行う。この場合、ドラム２と送りねじ５を同時に回転させ、印刷しながらプリントヘッド６を徐々に移動させるようにしてもよい。マルチインク吐出孔ヘッドの場合や、同じ場所を何度か印字するような構成の場合は、ドラム２と送りねじ５とを連動して同時に回転させながらスパイラル状の印字を行う。
【０１７０】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、厚さ約０．１ｍｍのステンレス等の金属部材３８及び８２を用いてインク圧力室形成部材３１及び圧力室形成部材７１をそれぞれ作製した例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、金属部材３８及び８２の厚さとしてこの他種々の数値を適用し得る。ここでインク圧力室形成部材３１及び圧力室形成部材７１における各室及び孔は、上述したようにエッチングによつて形成されるので、金属部材３８及び８２の厚さは０．０７ｍｍ以上に設定することが望ましい。このように、金属部材３８及び８２の厚さを０．０７ｍｍ以上に設定することにより、金属部材３８，８２に、インク圧力室３１ｃ、インク圧力室７１ｃ及び希釈液圧力室７１ｈ内の圧力を上昇させるのに十分な強度をもたせることができる。
【０１７１】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、プレス温度が２３０℃程度において２０〜３０ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力で、オリフィスプレート３３及び７３をそれぞれインク圧力室形成部材３１及び圧力室形成部材７１に熱圧着した例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、接着強度を得ることができる範囲内で、この他の種々の数値でオリフィスプレート３３及び７３をそれぞれインク圧力室形成部材３１及び圧力室形成部材７１に熱圧着するようにしてもよい。
【０１７２】
さらに上述した第１及び第２の実施の形態においては、エキシマレーザを用いて、樹脂材料４１にインク吐出孔３３ａを、樹脂材料８５にインク吐出孔７３ａ、希釈液吐出孔７３ｂをそれぞれ形成する例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、炭酸ガスレーザ等の種々のレーザを用いて、インク吐出孔３３ａ、インク吐出孔７３ａ、希釈液吐出孔７３ｂを形成するようにしてもよい。
【０１７３】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、インクが充填され、所定の圧力が印加されるインク室として、インク圧力室３１ｃ及びインク圧力室７１ｃを用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、インク室として、この他種々のインク室を適用することができる。
【０１７４】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、インク室の配列方向に対して斜めに形成され、インク供給源から供給されるインクをそれぞれ各インク室に供給するインク流路として、インク流路３１ｄ及びインク流路７１ｄを用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、インク流路として、この他種々のインク流路を適用することができる。
【０１７５】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、各インク流路にそれぞれ圧力が印加された際、各インク室から供給されるインクを記録媒体に対してそれぞれ吐出するインク吐出穴として、インク吐出孔３３ａ及び７３ａを用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、インク吐出穴として、この他種々のインク吐出穴を適用することができる。
【０１７６】
また、上述した第２の実施の形態においては、吐出時にインクに混合される希釈液が充填され、所定の圧力が印加される複数の希釈液室として、希釈液圧力室７１ｈを用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、希釈液室として、この他種々の希釈液室を適用することができる。
【０１７７】
また、上述した第２の実施の形態においては、希釈液室の配列方向に対して斜めに形成され、希釈液供給源から供給される希釈液をそれぞれ各希釈液室に供給する希釈液流路として、希釈液流路７１ｉを用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、希釈液流路として、この他種々の希釈液流路を適用することができる。
【０１７８】
また、上述した第２の実施の形態においては、各希釈液流路にそれぞれ圧力が印加された際、各希釈液室から供給される希釈液を記録媒体に対してそれぞれ吐出する希釈液吐出穴として、希釈液吐出孔７３ｂを用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、希釈液吐出穴として、この他種々の希釈液吐出穴を適用し得る。
【０１７９】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、各インク室及び各インク流路が孔加工されて形成された金属板として、インク圧力室形成部材３１及び圧力室形成部材７１を用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、各インク室及び各インク流路が孔加工されて形成された金属板として、この他種々の金属板を適用することができる。
【０１８０】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、インクを吐出するインク吐出孔が形成された板状の樹脂材として、オリフィスプレート３３，７３を用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、インクを吐出するインク吐出孔が形成された板状の樹脂材として、この他種々の樹脂材を適用することができる。
【０１８１】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、ガラス転移点が２５０℃以下の樹脂材として、厚さが約５０μｍでガラス転移点が２５０℃以下のネオフレックスからなるオリフィスプレート３３，７３を用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、ガラス転移点が２５０℃以下の樹脂材であれば、この他種々の樹脂材を適用することができる。
【０１８２】
また、上述した実施の形態においては、ガラス転移点が２５０℃以上の第１の樹脂材料と、ガラス転移点が２５０℃以下の第２の樹脂材料とが積層されてなる樹脂材として、オリフィスプレート９１を用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、ガラス転移点が２５０℃以上の第１の樹脂材料と、ガラス転移点が２５０℃以下の第２の樹脂材料とが積層されてなる樹脂材として、この他種々の樹脂材を適用することができる。
【０１８３】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、インク供給源から供給されるインクを配給するインク配給手段として、インクバッファタンク３１ｆ及びインクバッファタンク７１ｆを用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、インク配給手段として、この他種々のインク配給手段を適用することができる。
【０１８４】
また、上述した第２の実施の形態においては、希釈液供給源から供給され、吐出時にインクと混合される希釈液を配給する希釈液配給手段として、希釈液バッファタンク７１ｋを用いた例について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、希釈液配給手段として、この他種々の希釈液配給手段を適用することができる。
【０１８５】
【発明の効果】
本発明に係るプリンタ装置の製造方法は、圧電素子を、ダイヤモンド粒子が混合された固気２相噴流を上記振動板上の圧電材料上に吹き付けることにより、レジストの形成されない位置の圧電材料を除去して圧電素子を振動板上に形成するようにしているので、圧電素子の形状を、直線形状に限定することのない任意な形状とすることができる。
【０１８６】
また、このプリンタ装置の製造方法によれば、隣接して形成される圧電素子間の間隔も容易に１００μｍ以下にすることができる。これにより、プリンタ装置のノズルピッチを縮小することができる。
【０１８７】
また、このプリンタ装置の製造方法によれば、圧電素子を形成する際に、刃物の摩耗等を考慮する必要がなく、よりインク吐出性能を重視した設計が可能となる。
【０１８８】
さらにまた、このプリンタ装置の製造方法によれば、振動板上に貼り合わされた圧電材料のほぼ全面を同時にを分割加工することが可能となるので、加工時間を大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るシリアル型インクジェットプリンタ装置の要部斜視図である。
【図２】同プリンタ装置の制御部の構成を示す構成説明図である。
【図３】同プリンタ装置のインクジェットプリントヘッドの縦断面図である。
【図４】同プリンタ装置のインクジェットプリントヘッドを模式的に示す平面図である。
【図５】同プリンタ装置のインクジェットプリントヘッドの動作を説明する図であり、（Ａ）は、インク圧力室の体積が増加された状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、インク圧力室の体積が減少された状態を示す縦断面図である。
【図６】同プリンタ装置のインクジェットプリントヘッドの製造工程を説明する図であり、（Ａ）は、金属部材にレジストを形成した状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、上記レジストをマスクとしてエッチングを行った状態を示す縦断面図であり、（Ｃ）は、上記レジストを除去した金属部材に樹脂材料を接着した状態を示す縦断面図であり、（Ｄ）は、上記樹脂材料に撥液処理膜を形成した状態を示す縦断面図であり、（Ｅ）は、上記樹脂材料及び撥液処理膜にインク吐出孔を形成した状態を示す縦断面図である。
【図７】同プリンタ装置のインクジェットプリントヘッドの製造工程を説明する図であり、（Ａ）は、振動板に圧電材料を貼り付けた状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、上記圧電材料の主面に所定のパターンを有するレジストを形成した状態を示す縦断面図であり、（Ｃ）は、上記レジストをマスクとして粉体粒子を吹き付け圧電素子を形成した状態を示す縦断面図であり、（Ｄ）は、上記レジストをマスクとしてエッチング処理を施し第２の振動板を除去した状態を示す縦断面図であり、（Ｅ）は、除去溶液を用いて上記レジストを除去した状態を示す縦断面図である。
【図８】同プリンタ装置のインクジェットプリントヘッドの製造工程を説明する図であり、（Ａ）は、振動板に圧電素子を形成した状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、上記圧電素子をマスクとしてエッチング処理を施し第２の振動板を除去した状態を示す縦断面図である。
【図９】同プリンタ装置のインクジェットプリントヘッドの製造工程を説明する図であり、（Ａ）は、圧電素子が形成された振動板を圧力室形成部材に接着した状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、インク供給管を取り付けた状態を示す縦断面図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係るシリアル型「キャリアジェット」プリンタ装置の要部斜視図である。
【図１１】同プリンタ装置の制御部の構成を示す構成説明図である。
【図１２】上記制御部の動作を説明する図である。
【図１３】第１のピエゾ素子及び第２のピエゾ素子に印可される駆動電圧のタイミングを説明する図である。
【図１４】上記プリンタ装置の「キャリアジェット」プリントヘッドの縦断面図である。
【図１５】同プリンタ装置の「キャリアジェット」プリントヘッドを模式的に示す平面図である。
【図１６】同プリンタ装置の「キャリアジェット」プリントヘッドの動作を説明する図であり、（Ａ）は、初期状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、インク圧力室の体積が減少された状態を示す縦断面図であり、（Ｃ）は、希釈液圧力室の体積が減少された状態を示す縦断面図である。
【図１７】同プリンタ装置の「キャリアジェット」プリントヘッドの製造工程を説明する図であり、（Ａ）は、金属部材にレジストを形成した状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、上記レジストをマスクとしてエッチングを行った状態を示す縦断面図であり、（Ｃ）は、上記レジストを除去した金属部材に樹脂材料を接着した状態を示す縦断面図であり、（Ｄ）は、上記樹脂材料に撥液処理膜を形成した状態を示す縦断面図であり、（Ｅ）は、上記樹脂材料及び撥液処理膜にインク吐出孔及び希釈液吐出孔を形成した状態を示す縦断面図である。
【図１８】同プリンタ装置の「キャリアジェット」プリントヘッドの製造工程を説明する図であり、（Ａ）は、振動板に圧電材料を貼り付けた状態を示す図であり、（Ｂ）は、上記圧電材料の主面に所定のパターンを有するレジストを形成した状態を示す図であり、（Ｃ）は、上記レジストをマスクとして粉体粒子を吹き付け圧電素子を形成した状態を示す図であり、（Ｄ）は、上記レジストをマスクとしてエッチング処理を施し第２の振動板を除去した状態を示す図であり、（Ｅ）は、除去溶液を用いて上記レジストを除去した状態を示す図である。
【図１９】同プリンタ装置の「キャリアジェット」プリントヘッドの製造工程を説明する図であり、（Ａ）は、振動板に圧電素子を形成した状態を示す図であり、（Ｂ）は、上記圧電素子をマスクとしてエッチング処理を施し第２の振動板を除去した状態を示す図である。
【図２０】同プリンタ装置の「キャリアジェット」プリントヘッドの製造工程を説明する図であり、（Ａ）は、圧電素子が形成された振動板を圧力室形成部材に接着した状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、インク供給管及び希釈液供給管を取り付けた状態を示す縦断面図である。
【図２１】本発明の他例を示すプリンタ装置の製造方法の工程説明図であり、（Ａ）は、圧電材料が接合された振動板を圧力室形成部材に接着した状態を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、上記圧電材料上にレジストを形成した状態を示す縦断面図であり、（Ｃ）は、圧電素子を形成した状態を示す縦断面図であり、（Ｄ）は、インク供給管を取り付けた状態を示す縦断面図である。
【図２２】本発明の他例を示すプリンタ装置の製造方法を説明する図であり、本例により製造されるインクジェットプリントヘッドの縦断面図である。
【図２３】本発明の他例を示すプリンタ装置の製造方法を説明する図であり、本例で用いられる樹脂材料の縦断面図である。
【図２４】ライン型プリンタ装置の要部斜視図である。
【図２５】ドラム回転型プリンタ装置の要部斜視図である。
【図２６】従来のプリンタ装置の製造方法を説明する図であり、ダイシングにより圧電素子を形成する状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  シリアル型インクジェットプリンタ装置、７  インクジェットプリントヘッド、３１  インク圧力室形成部材、３１ｃ  インク圧力室、３２  振動板、３３ａ  インク吐出孔、３５  圧電素子、４３  圧電材料、５０  シリアル型「キャリアジェット」プリンタ装置、５６  「キャリアジェット」プリントヘッド、７１  圧力室形成部材、７１ｃ  インク圧力室、７１ｈ  希釈液圧力室、７２  振動板、７３ａ  インク吐出孔、７３ｂ  希釈液吐出孔、７５  圧電材料、７６第１の圧電素子、７７  第２の圧電素子、２０１，２０２，２０３  レジスト材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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