(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバと、該光ファイバを保持する溝を有するガイド基板と、上記光ファイバを上方より固定する押さえ板と、を備える光ファイバアレイであって、
上記光ファイバは、該光ファイバの被覆を除去した芯線先端側のガラス部を接着剤によって保持され、且つ上記光ファイバの芯線根元側に形成されたメタライズ部が半田により保持されるとともに、
上記押さえ板は、上記ガラス部と上記メタライズ部の境界部から上記光ファイバの芯線先端側に臨む位置に接着剤充填用の窓部を有することを特徴とする光ファイバアレイ。
【請求項２】
上記ガイド基板及び押さえ板に、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の各厚みに対応する段差を設けたことを特徴とする請求項１に記載の光ファイバアレイ。
【請求項３】
上記ガイド基板の溝に光ファイバのガラス部及びメタライズ部を配列する工程と、上記光ファイバのメタライズ部に対応する位置に予め半田を塗布した押さえ板によって光ファイバを挟み、半田を再度溶融させて固定する工程と、押さえ板の窓部より接着剤を流し込んで上記光ファイバのガラス部、ガイド基板及び押さえ板とを接着固定する工程と、を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の光ファイバアレイの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信等に使用される光コネクタや光モジュール等に用いられる光ファイバや光半導体素子等を保持するための複数本の光ファイバを整列させるための光ファイバアレイおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、光ファイバアレイとして、図４に示す分解斜視図のように複数本のＶ溝３１ａを有するガイド基板３１に複数本の光ファイバ３３を整列し、その上方より押さえ板３２で押さえ、光ファイバ３３を挟んで固定していた。このような光ファイバアレイは、光ファイバ３３の被覆を除去した芯線の先端側にガラス部３３ａ、芯線根元側に表面を金属メッキしてなるメタライズ部３３ｃとし、その後方を被覆部３３ｂとし、上記光ファイバ３３のメタライズ部３３ｃを半田３６によって保持していた。また、光ファイバ３３の被覆部３３ｂは、ガイド基板３１の後方に段差を設けてなる平坦部３１ｃに一体的に接着剤によって保持されるようになっていた（特開平７−２３４３２１号公報参照）。
【０００３】
しかし、図４に示すような光ファイバアレイは、光ファイバ３３のガラス部３３ａが固定されていないために、温度環境の変化によって光ファイバ３３の端面位置がガイド基板３１のＶ溝３１ａからズレやすく、パッケージとして用いた際、他の光ファイバの端面や受発光素子との結合性が低下しやすいという欠点を有していた。
【０００４】
これはガイド基板３１、押さえ板３２、光ファイバ３３及び半田３６との間で熱膨張係数が異なるために、温度環境の変化が繰り返されるうちに固定されていない光ファイバ３３のガラス部３３ａに位置ズレが発生するためである。
【０００５】
近年、複数の光ファイバ３３の端面の中心位置が位置精度１μｍ以下で整列することが要求されているが、初期段階ではこの寸法精度が達成できるものの、長期間の使用によってズレが生じるという欠点を有していた。
【０００６】
そこで、上述の欠点を解消するために、図５に示すように、光ファイバ４３の芯線先端側にメタライズを施してなるメタライズ部４３ｃとし、Ｖ溝４１ａ及び平坦部４１ｃを有するガイド基板４１と、押さえ板４２との間に光ファイバ４３を保持し、光ファイバ４３のメタライズ部４３ｃを半田４６によって固定し、さらにその後方の光ファイバ４３のガラス部４３ａを接着剤によって固定してなる光ファイバアレイが提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図５に示すような光ファイバアレイは、光ファイバ４３の先端にメタライズを施したメタライズ部４３ｃが形成され、該メタライズ部４３ｃを半田４６によって固定するため、光ファイバ４３の端面に半田４６が付着しやすく、図５に示すようにガイド基板４１と光ファイバ４３の隙間に半田４６が介在してしまうため、光ファイバ４３の位置精度が低下し、光ファイバアレイとしてパッケージ等に用いる際、他の光ファイバの端面や受発光素子との結合性が低下しやすいという欠点を有していた。
【０００８】
また、光ファイバ４３のメタライズ部４３ｃを形成する際、その厚みにばらつきが生じやすく、ガイド基板４１のV溝４１ａに配列した場合、各光ファイバ４３の芯線の位置にばらつきが生じやすいという欠点を有していた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の光ファイバアレイは、光ファイバと、該光ファイバを保持する溝を有するガイド基板と、上記光ファイバを上方より固定する押さえ板と、を備える光ファイバアレイであって、上記光ファイバは、該光ファイバの被覆を除去した芯線先端側のガラス部を接着剤によって保持され、且つ上記光ファイバの芯線根元側に形成されたメタライズ部が半田により保持されるとともに、上記押さえ板は、上記ガラス部と上記メタライズ部の境界部から上記光ファイバの芯線先端側に臨む位置に接着剤充填用の窓部を有することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の光ファイバアレイは、上記ガイド基板及び押さえ板に、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の各厚みに対応する段差を設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
さらに、本発明の光ファイバアレイの製造方法は、上記ガイド基板のＶ溝に上記ガイド基板のＶ溝に光ファイバのガラス部及びメタライズ部を配列する工程と、上記光ファイバのメタライズ部に対応する位置に予め半田を塗布した押さえ板によって光ファイバを挟み、半田を再度溶融させて固定する工程と、押さえ板の窓部より接着剤を流し込んで上記光ファイバのガラス部、ガイド基板及び押さえ板とを接着固定する工程とからなることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の光ファイバアレイによれば、上記押さえ板に接着剤充填用の窓部を設けるとともに、上記光ファイバの被覆を除去した芯線先端側のガラス部を接着剤によって保持し、且つ上記芯線根元側にメタライズ部を形成して半田により保持することから、位置精度の優れたものであり、その先端に接続される光ファイバや受発光素子等との結合性を高いものとできるため、高精度な光ファイバアレイを得ることができるとともに、光ファイバのメタライズ部に半田付けすることから、パッケージに実装した際にこの半田によってパッケージと光ファイバアレイを気密封止することができる。
【００１３】
また、本発明の光ファイバアレイによれば、上記ガイド基板及び押さえ板に、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の各厚みに対応する段差を設けたことから、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の厚みに応じて、高精度に整列させることができ、光ファイバに傷等が生じるのを防止することができる。
【００１４】
さらに、本発明の光ファイバアレイの製造方法によれば、上記ガイド基板のＶ溝に光ファイバのガラス部及びメタライズ部を配列する工程と、上記光ファイバのメタライズ部に対応する位置に予め半田を塗布した押さえ板によって光ファイバを挟み、半田を再度溶融させて固定する工程と、押さえ板の窓部より接着剤を流し込んで上記光ファイバのガラス部、ガイド基板及び押さえ板とを接着固定する工程とからなることから、光ファイバのガラス部をＶ溝上に高い位置精度で強固に固定でき、メタライズ部を半田付けしているため気密封止できることから、温度変化に対しても位置ズレが発生することはなく、高精度な光ファイバアレイを得ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
【００１６】
図１（ａ）は本発明の光ファイバアレイの一実施形態を示す斜視図であり、（ｂ）は同図（ａ）の分解斜視図である。
【００１７】
本発明の光ファイバアレイは、光ファイバ３を整列するＶ溝１ａ、１ｂを有するガイド基板１と、上記Ｖ溝１ａ、１ｂに保持された光ファイバ３をその上方より固定する押さえ板２とからなる。
【００１８】
上記ガイド基板1は、その一方の主面の先端側に複数本の第１Ｖ溝１ａが設けられており、該第１Ｖ溝１ａは光ファイバ３の芯線先端側のガラス部３ａを配列し、第１Ｖ溝１ａに連続して第２Ｖ溝１ｂが形成されており、光ファイバ３の芯線根元側のメタライズ部３ｃを配列する。そして、第２Ｖ溝１ｂの後方には平坦部１ｃが形成されており、光ファイバ３の被覆部３ｂを保持する作用をなす。
【００１９】
上記ガイド基板１は、シリコン材料に第１Ｖ溝１ａ及び第２Ｖ溝１ｂをエッチング加工することによって、もしくはセラミックス、ガラス、石英等を第１Ｖ溝１ａ及び第２Ｖ溝１ｂを切削、研削加工、プレス等によって作製され、少なくとも光ファイバ３のガラス部３ａが接触する面、即ち第１Ｖ溝１ａの表面は、鏡面に仕上げておく必要がある。これは、表面粗さが粗いと光ファイバ３のガラス部３ａに傷をつけてしまい、光ファイバ３を固定する際に用いられる接着剤５によって覆われていても、長期間使用中に傷が進行して光ファイバ３の破断につながる恐れがあるためである。
【００２０】
また、ガイド基板１の少なくとも光ファイバ３のメタライズ部３ｃが接触する面、即ち第２Ｖ溝１ｂの表面は、メタライズ処理されている必要がある。このメタライズ処理は、先ず下地として蒸着、スパッタリング等の薄膜処理をした後、Ｎｉメッキを施しその上にＡｕメッキで金属メッキ仕上げしておくことが望ましい。金属メッキ表面がＡｕであることにより、高温高湿条件でも劣化しない安定した表面が得られる。
【００２１】
さらに、上記ガイド基板１の上方には押さえ板２が接合されており、光ファイバ３をガイド基板１とともに挟み込んで固定する作用を成す。
【００２２】
上記押さえ板２は、ガイド基板１と同様シリコン、セラミックス、ガラス、石英、金属、プラスチックス等の材料から成り、ガイド基板１の第１Ｖ溝１ａ、第２Ｖ溝１ｂ及び平坦部１ｃの長さに一致するように二段の段差が形成されており、先端側より第１平坦部２ａ、第２平坦部２ｂ及び第３平坦部２ｃを備えている。上記第２平坦部２ｂは、光ファイバ３のメタライズ部３ｃの厚み以上とする必要があり、第３平坦部２ｃは、光ファイバ３の被覆部３ｂの厚み以上に形成する。
【００２３】
上記押さえ板２は、上記ガイド基板１と同様、少なくとも光ファイバ３のガラス部３ａが接触する面、即ち第１平坦部２ａの表面は、鏡面に仕上げておく必要がある。これは、表面粗さが粗いと光ファイバ３のガラス部３ａに傷をつけてしまい、光ファイバ３を固定する際に用いられる接着剤５によってその周囲を覆われていても、長期間の使用によって傷が進行して光ファイバ３の破断につながる恐れがあるためである。
【００２４】
また、押さえ板２の少なくとも光ファイバ３のメタライズ部３ｃが接触する面、即ち第２平坦部２ｂの表面は、メタライズ処理されている必要がある。先ず、下地として蒸着、スパッタリング等の薄膜処理をした後、Ｎｉメッキを施しその上にＡｕメッキで金属メッキ仕上げしておくことが望ましい。金属メッキ表面がＡｕであることにより、高温高湿条件でも劣化しない安定した表面が得られる。
【００２５】
上記押さえ板２には接着剤充填用の窓部４が備えられていることが重要である。
【００２６】
上記ガイド基板1及び押さえ板２の間に挟み込まれて固定される光ファイバ３は、先端側に被覆を除去した芯線と、その後方に被覆部３ｂを備えており、上記芯線先端側をガラス部３ａとし、芯線根元側はメタライズを施したメタライズ部３ｃとしている。
【００２７】
上記光ファイバ３は、ガイド基板１の第１Ｖ溝１ａ及び押さえ板２の第１平坦部２ａに対応する部分に光ファイバ３のガラス部３ａが保持され、第２Ｖ溝１ｂ及び押さえ板２の第２平坦部２ｂに対応する部分には、メタライズ部３ｃが保持され、さらにその後端側はガイド基板１の平坦部１ｃ及び押さえ板２の第３平坦部２ｃによって被覆部３ｂが保持される。
【００２８】
これら光ファイバ３を保持するには、光ファイバ３のガラス部３ａ及び被覆部３ｂを接着剤５で、メタライズ部３ｃを半田６によって接着固定するものであり、ガラス部３ａを接着剤５で固定することによって、光ファイバ３の端面に半田６が付着することはなく、光ファイバ３のガラス部３ａがガイド基板１の第1Ｖ溝１ａに直接整列できるため、光ファイバ３の先端における芯線の位置精度を１μｍ以内として光ファイバアレイとしてパッケージに搭載した際、温度変化等の環境変化のもとにおいても長期間に渡って、光ファイバ３の先端に接続される他の光ファイバや受発光素子等と精度良く結合することが可能となり、接続損失を小さなものとできる。
【００２９】
また、上記光ファイバ３のガラス部３ａを接着剤５によって固定するには、押さえ板２に形成された窓部４より接着剤５を充填することができるため、光ファイバ３のガラス部３ａを容易に、且つ高い位置精度で保持することができる。
【００３０】
上記押さえ板２に形成された窓部４は、光ファイバ３のガラス部３ａ及びメタライズ部３ｃの境界部に設けることが好ましく、ガラス部３ａの周囲を接着剤５が覆うようにすることが好ましい。
【００３１】
上記光ファイバ３のガラス部３ａ及び被覆部３ｂを保持する接着剤５としては、様々な接着剤を用いることができるが、樹脂系接着剤を用いることが好ましく、長期間に渡って劣化することがなく、安定した固定強度を保持できるためであり、これら樹脂系接着剤として光硬化型接着剤もしくはエポキシ接着剤を用いることが好ましい。さらに、低融点ガラスを用いることがより好ましく、光ファイバアレイをパッケージに搭載して用いた際、上記樹脂系接着剤を用いた場合には長期間の使用にともなって硬化が進行することにより、微量なガスを発生する恐れがあるため、光ファイバアレイをパッケージに気密固定したとしてもＬＤ等の受発光素子にガスが付着しやすく、レーザ発振性能を悪化させる恐れがある。そのため、ガス発生の可能性がなくその接合自体で気密がとれるとともに、強固な接合が可能な低融点ガラスを用いることがより好ましい。
【００３２】
また、光ファイバ３のメタライズ部３ｃは、芯線の根元側に下地として蒸着、スパッタリング等の薄膜処理をした後、Ｎｉメッキを施し、さらにその上面にＡｕメッキで金属メッキ仕上げしておくこと等によって形成される。金属メッキの表面がＡｕであることにより、高温高湿条件でも劣化しない安定した表面が得られる。なお、上記ガイド基板１及び押さえ板２に塗布されたメタライズと同様のものとすることが好ましい。
【００３３】
上記光ファイバ３のメタライズ部３ｃを接着固定する半田６は、Ａｕ８０％−Ｓｎ２０％半田が広く使用され、Ｐｂ−Ｓｎ系半田、Ａｕ−Ｓｎ系半田、Ａｇ−Ｓｎ系半田等様々な半田を用いることができる。
【００３４】
さらに、ガイド基板１と押さえ板２には、それぞれ光ファイバ３のガラス部３ａ、メタライズ部３ｃ、被覆部３ｂの厚みに応じて段差部を設けることによって、ガイド基板１に第1Ｖ溝1ａ、第２Ｖ溝１ｂ、平坦部１ｃを、押さえ板２に第１平坦部２ａ、第２平坦部２ｂ、第３平坦部２ｃを設けているため、光ファイバ３を強固に保持することができる。
【００３５】
またさらに、光ファイバ３の被覆部３ｂは、ガイド基板１の平坦部１ｃ及び押さえ板２の第３平坦部２ｃによって保持され、接着剤５を塗布し、真空吸引して強固に固定される。
【００３６】
なお、本発明に用いる光ファイバ３は、シングルモードファイバ、マルチモードファイバ、偏波依存ファイバ、零分散ファイバ、プラスチックファイバ等光ファイバのあらゆる種類のものも使用することができる。
【００３７】
ここで、上述のガイド基板１、押さえ板２及びこれらに保持される光ファイバ３からなる光ファイバアレイの製造方法を説明する。
【００３８】
先ず、第１Ｖ溝１ａ、第２Ｖ溝１ｂ及び平坦部１ｃを有するガイド基板１、
第１平坦部２ａ、第２平坦部２ｂ及び第３平坦部２ｃを有する押さえ板２を準備する。
【００３９】
次いで、上記ガイド基板１の第２Ｖ溝１ｂの表面及びそれと対向する押さえ板２の第２平坦部２ｂ表面にメタライズを施すとともに、光ファイバ３の被覆を除去した芯線の根元側にメタライズを施してメタライズ部３ｃを形成する。
【００４０】
その後、ガイド基板１の第２Ｖ溝１ｂ、押さえ板２の第２平坦部２ｂに予め半田を塗布しておき、上記ガイド基板１の第１Ｖ溝１ａ、第２Ｖ溝１ｂに複数本の光ファイバ３を載置する。
【００４１】
そして、光ファイバ３の上方より押さえ板２を押し当て、再度半田を溶かしてガイド基板１、光ファイバ３及び押さえ板２を固定一体化する。
【００４２】
次に、押さえ板２の窓部４より接着剤５を流し込んで、光ファイバ３のガラス部３ａとガイド基板１、押さえ板２とを接着剤５により固定する。
【００４３】
その後、ガイド基板１の平坦部１ｃ、押さえ板２の第３平坦部２ｃ、光ファイバ３の被覆部３ｂ間に接着剤５を塗布して真空吸引し、強固に固定することによって作製される。
【００４４】
上記構成によれば、ガイド基板１の第１Ｖ溝１ａ、押さえ板２の第１平坦部２ａによって光ファイバ３のガラス部３ａを接着剤５によって保持するため、芯線の位置精度を１μｍ以下の高精度で整列することができる。
【００４５】
また、ガイド基板１の第２Ｖ溝１ｂ、押さえ板２の第２平坦部２ｂによって光ファイバ３のメタライズ部３ｃを半田６によって強固に気密固定し、さらに、その後方をガイド基板１の平坦部１ｃ、押さえ板２の第３平坦部２ｃによって光ファイバ３の被覆部３ｂを固定するため光ファイバ３に断線を生じることなく強固に固定することができる。
【００４６】
以上説明したとおり、この発明の光ファイバアレイによれば、光ファイバ３の配列精度が１μｍ以内となり、光ファイバ３の引き抜き強度は１ｋｇｆ以上有する光ファイバアレイを得ることができる。
【００４７】
そして、上述のように得られた光ファイバアレイは、他の光ファイバアレイに備えられた光ファイバの端面を、光ファイバ３の端面に当接させて光コネクタとして用いたり、あるいは、光ファイバ３の端面に光導波路を接続したり、受発光素子を接続して光モジュールとして好適に用いることができる。
【００４８】
本発明の光ファイバアレイは、上述の実施形態に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能であり、上述の実施形態ではガイド基板１及び押さえ板２には、それぞれ光ファイバ３のガラス部３ａ、メタライズ部３ｃ及び被覆部３ｂを保持するための第１Ｖ溝1ａ、第２Ｖ溝１ｂ、及び第１平坦部２ａ、第２平坦部２ｂ、第３平坦部２ｃを形成しているが、図２に示す分解斜視図のようにガイド基板１１に複数本のＶ溝１１ａ及び平坦部１１ｃを設け、Ｖ溝１１ａによって光ファイバ３のガラス部１３ａとメタライズ部１３ｃを配列して保持し、平坦部１１ｃによって光ファイバ１３の被覆部１３ｂを保持するものでもよい。一方、これと対向する押さえ板１２には、長手方向に二段の段差を形成して第１平坦部１２ａ、第２平坦部１２ｂが形成されており、第１平坦部１２ａは光ファイバ１３のガラス部１３ａ及びメラタイズ部１３ｃを保持し、第２平坦部１２ｂは光ファイバ１３の被覆部１３ｂを保持する。
【００４９】
そして押さえ板１には接着剤充填用の窓部１４が形成されており、上述の実施形態と同様に光ファイバ１３の先端を高精度に保持することができる。
【００５０】
また、図３に示す分解斜視図のように、押さえ板２２に形成された窓部２４を中空穴ではなく切り欠きとして形成してもよく、この場合、半田２６によって光ファイバ２３を固定した後、光ファイバ２３のガラス部２３ａに接着剤２５を流し込み、窓部２４を固定部材２７によって押さえ込んで接着剤２５を硬化させることによって、高精度な整列が可能となる。
【００５１】
【実施例】
ここで、本発明の実施例を説明する。
【００５２】
先ず、図１に示すような光ファイバアレイを作製する。ガイド基板をシリコンから形成し、８本の第１Ｖ溝、第２Ｖ溝を形成するとともに、第２Ｖ溝の表面にはＮｉ―Ａｕ金属を蒸着メタライズした。
【００５３】
押さえ板をパイレックスガラスにて形成し、第１、第２、第３の平坦部を設け、第２平坦部にＮｉ―Ａｕ金属を蒸着メタライズした。
【００５４】
また、保持する光ファイバのメタライズ部にはＮｉ−Ａｕ金属を蒸着メタライズ処理することによってメタライズ部を形成した。
【００５５】
そして、８心の第１Ｖ溝に光ファイバのガラス部を配置し、光ファイバの端面が光ファイバアレイの端面から少し突出するように設置し、ガイド基板の第２Ｖ溝には光ファイバのＮｉ−Ａｕ金属メタライズ部を位置合わせし、押さえ板の第２平坦部に形成されたＮｉ―Ａｕ金属を蒸着メタライズ面とを合わせて、Ａｕ−Ｓｎ半田にて気密固定し、押さえ板の窓部より紫外線硬化型の接着剤を流し込んで、光ファイバの芯線部、ガイド基板及び押さえ板を固定する。
【００５６】
その後、ガイド基板の平坦部、押さえ板の第３平坦部及び光ファイバの被覆部を接着剤によって固定して本発明試料を作製した。
【００５７】
これに対し、比較例として従来の図５に示すような光ファイバアレイ試料を作製した。
【００５８】
先ず、上述と同様にガイド基板、押さえ板を準備し、それぞれ光ファイバを保持するＶ溝及び平坦部を形成し、光ファイバの芯線の先端側のメタライズ部を保持する部分にはＮｉ―Ａｕ金属を蒸着メタライズし、光ファイバの芯線の先端側にもＮｉ―Ａｕ金属をメタライズしてメタライズ部を形成した。
【００５９】
そして、ガイド基板に整列した光ファイバと押さえ板とを光ファイバのメタライズ部をＡｕ−Ｓｎ半田にて固定し、その後方の被覆部を接着剤にて保持し、比較例試料を作製した。
【００６０】
各試料は、ともに光ファイバ先端面の中心位置の芯間距離を初期段階で０．２４９８〜０．２５０２ｍｍとなるように８芯を配列調整しておき、下記の条件で熱衝撃試験を行い、試験前後の各光ファイバ先端面の中心位置における芯線間距離を測定した。
【００６１】
熱衝撃試験の試験条件は
温度    −４０℃〜＋８５℃
時間    ７０分／サイクル
（上限温度、下限温度３０分、遷移時間５分）
サイクル数      ２００サイクル
その結果を表１に示す。
【００６２】
なお、表１中には各試料の試験前後の芯線間距離の変動値を示しており、各試料の芯間の値７つを測定した距離のうち最大値を表示した。
【００６３】
【表１】
0003793564.tif 000002
【００６４】
表１の結果より、従来例である光ファイバアレイ試料は、芯線間の変動値の平均値が０．００３１２ｍｍ、ばらつき０．００２７１５ｍｍで１０個中７個において０．００１ｍｍ以上の位置ずれが生じている。
【００６５】
これに対し、図１に示すような本発明の光ファイバアレイ試料は、変動値の平均値が０．０００１４ｍｍ、ばらつき０．００００９７ｍｍであり、０．００１ｍｍ以上のズレは生じておらず、温度変化においても位置ズレが生じないことが判った。
【００６６】
【発明の効果】
本発明の光ファイバアレイによれば、上記押さえ板に接着剤充填用の窓部を設けるとともに、上記光ファイバの被覆を除去した芯線先端側のガラス部を接着剤によって保持し、且つ上記芯線根元側にメタライズ部を形成して半田により保持することから、位置精度の優れたものであり、その先端に接続される光ファイバや受発光素子等との結合性を高いものとできるため、高精度な光ファイバアレイを得ることができるとともに、光ファイバのメタライズ部を半田付けすることから、パッケージに実装した際にこの半田付け部によってパッケージと光ファイバアレイを気密封止することができる。
【００６７】
また、本発明の光ファイバアレイによれば、上記ガイド基板及び押さえ板に、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の各厚みに対応する段差を設けたことから、光ファイバのメタライズ部及び被覆部の厚みに応じて、高精度に整列させることができ、光ファイバに傷等が生じるのを防止することができる。
【００６８】
さらに、本発明の光ファイバアレイの製造方法によれば、上記ガイド基板のＶ溝に光ファイバのガラス部及びメタライズ部を配列する工程と、上記光ファイバのメタライズ部に対応する位置に予め半田を塗布した押さえ板によって光ファイバを挟み、半田を再度溶融させて固定する工程と、押さえ板の窓部より接着剤を流し込んで上記光ファイバのガラス部、ガイド基板及び押さえ板とを接着固定する工程とからなることから、光ファイバのガラス部をＶ溝上に高い位置精度で強固に固定でき、メタライズ部を半田付けしているため気密封止できることから、温度変化に対しても位置ズレが発生することはなく、高精度な光ファイバアレイを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の光ファイバアレイの一実施形態を示す斜視図であり、（ｂ）は同図（ａ）の分解斜視図である。
【図２】本発明の光ファイバアレイの他の実施形態を示す分解斜視図である。
【図３】本発明の光ファイバアレイの他の実施形態を示す分解斜視図である。
【図４】従来の光ファイバアレイを示す分解斜視図である。
【図５】従来の光ファイバアレイを示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１：ガイド基板
１ａ：第１Ｖ溝
１ｂ：第２Ｖ溝
１ｃ：平坦部
２：押さえ板
２ａ：第１平坦部
２ｂ：第２平坦部
２ｃ：第３平坦部
３：光ファイバ
３ａ：ガラス部
３ｂ：被覆部
３ｃ：メタライズ部
４：窓部
５：接着剤
６：半田
【図１】
0003793564.tif 000003
【図２】
0003793564.tif 000004
【図３】
0003793564.tif 000005
【図４】
0003793564.tif 000006
【図５】
0003793564.tif 000007