(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を洗滌及び乾燥させるスピンドライユニットを具備した液晶表示装置の基板の洗滌装置において、前記スピンドライユニットは、基板を回転させる回転装置が配置されたスピンドライ用のカップと、前記スピンドライ用のカップの外郭に設置され、空気と共に前記回転される基板から排出される異物が吸入される空気吸入管と、前記空気吸入管から吸入された空気及び異物を外部に排気させるトラップと、前記トラップにマニュアルダンパー及びオートダンパーがそれぞれ別個に設置される事により、前記トラップ内の排気圧を調節することができる排気圧調整部と、前記トラップに設置されて前記回転される基板から排出される化学薬品や水分を外部に排出させるドレンを備えて構成され、更に前記オートダンパーは、前記マニュアルダンパーが手動操作で閉鎖され、かつ基板が回転装置にロードされて洗滌工程が実行される場合にのみ自動操作によりオープン状態になりトラップ内の排気が行なわれるようにセッティングされていることを特徴とする液晶表示装置の基板の洗滌装置。
【請求項２】
請求項１の基板の洗滌装置を準備する段階と、前記回転装置に前記基板をロードする段階と、前記マニュアルダンパーを手動操作で閉鎖した時、前記基板が前記回転装置にロードされて洗滌工程が実行される場合にのみ前記オートダンパーを自動操作でオープンさせ、トラップ内の排気が行なわれる段階を備えることを特徴とする液晶表示装置の基板の洗滌方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示装置の基板の洗滌装置及び方法に関するものであり、より詳細には基板を洗滌及び乾燥させることにおいて、基板の洗滌時に排気圧の調節を円滑に実行させることができる液晶表示装置の基板の洗滌装置及びこれを利用した基板の洗滌方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示装置の製造工程は成膜とフォトリソグラフィによって下部ガラス基板に微細なパターンを形成するアレイ工程と、前記下部ガラス基板とカラーフィルター基板である上部ガラス基板を付着して液晶を注入するセル工程がある。ここで、洗滌工程はこのような諸工程で基板上の有害異物を除去するための工程であり、全工程の約２０ないし３０％を占めて、各工程で除去しなければならない異物の種類も微細であるが異なるために洗滌装置の構成も若干は異にする。
【０００３】
このような洗滌装置には基板をカセット単位で処理するバッチ方式と、基板を１枚ずつ洗浄する枚葉方式があるが、前記枚葉方式は基板を数個ずつ搬送してブラシや超音波などを使用して洗滌し、エアーナイフまたはスピンドライを使用して乾燥させるものであり、基板の大型化に有利な方式である。
【０００４】
図１は従来技術による基板の洗滌装置及び方法を説明するための図面であり、スピンドライユニットを具備した基板の洗滌装置の概略的な断面図である。
【０００５】
従来のスピンドライユニット１０は、図１に図示されたように、基板１４を回転させる回転装置１２が配置されたスピンドライ用のカップ１５と、スピンドライ用のカップ１５の下端に設置されて回転される基板１４から排出される異物及び化学薬品または水分が外部に排出される排気ダクト１８と、排気ダクト１８に設置されて排気量を調節するための排気ダンパーで構成される。
【０００６】
以下で前記構成されたスピンドライユニットが具備された基板の洗滌装置及び方法を説明する。
まず、所定の回転装置１２上に基板１４が置かれて回転するようになれば前記基板１４上の異物が遠心力及び空気の流れにより常にオープンされている排気ダンパー１６を通じて排気ダクト１８に排出される。
【０００７】
図２は従来技術による液晶表示装置の基板の洗滌装置において、その使用例を図示した図面である。
具体的な使用例は図２に図示されたように、基板の洗滌装備は総９個であり、各装備当たりスピンドライユニットが３個が連結されていて、スピンドライユニットの総数は２７個である。前記２７個のスピンドライユニットはメインダクト２０に皆連結されて各スピンドライユニットから排出される排気が前記メインダクト２０を通じて外部大気に排出される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のスピンドライユニットを使用する液晶表示装置の基板の洗滌装置及び方法は次のような問題点がある。
【０００９】
最近、液晶パネルが大型化されながらそれによってスピンドライユニットの回転速度が速くなることによって基板上の異物が非常に大きい遠心力を受けるようになって、異物が上昇気流に乗ってスピンドライユニットの壁にぶつかって再び基板上に戻ってくる比率が大きくなる。これを解決するためには外部からの空気吸入量が多くなければならず、この結果、基板の洗滌時に多くの量の排気が必要になる。逆に、排気量が不足するようになれば、すなわち、各ユニットの排気圧が不足するようになれば、詳述したように基板のスピンドライ工程時に遠心力による上昇気流のために工程上の不良発生可能性が高まるようになるという問題点がある。
【００１０】
したがって、本発明は前記従来技術の問題点を解決するために案出されたものであり、スピンドライユニットのノーマルオープンモードをシグナル変更及びレシピー変更を通じてノーマルクローズモードに変えて少ない量の排気量を使用しても装備内のダウンフローを強化して原価低減及び工程マージン向上を図ることができる液晶表示装置の基板の洗滌装置を提供することを目的とする。
【００１１】
本発明の他の目的はスピンドライユニットのノーマルオープンモードをシグナル変更及びレシピー変更を通じてノーマルクローズモードに変えて少ない量の排気量を使用しても装備内のダウンフローを強化して原価低減及び工程マージンの向上を図ることができる液晶表示装置の基板の洗滌方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明による液晶表示装置の基板の洗滌装置は、基板を回転させる回転装置が配置されたスピンドライ用のカップと、スピンドライ用のカップの外郭に設置され、空気と共に前記回転される基板から排出される異物が吸入される空気吸入管と、空気吸入管から吸入された空気及び異物を外部に排気させるトラップと、トラップにマニュアルダンパー及びオートダンパーがそれぞれ別個に設置される事により、トラップ内の排気圧を調節することができる排気圧調節部と、トラップに設置されて回転される基板から排出される化学薬品や水分を外部に排出させるドレンを含むことを特徴とする。
【００１３】
前記特徴を有した液晶表示装置の基板の洗滌装置及び方法は、請求項１の基板の洗滌装置を提供する段階と、回転装置に基板をロードする段階と、マニュアルダンパーが手動操作で閉鎖された時、基板が前記回転装置にロードされて洗滌工程が実行される場合にのみオートダンパーが自動操作でオープンされ、トラップ内の排気が行なわれる段階を含むことを特徴とする。
【００１４】
以上のような本発明の内容は、次に参照する本発明の実施の形態に対する以下の説明から明確になるであろう。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による液晶表示装置の基板の洗滌装置及び方法を、添付した図面を参照して詳細に説明する。
図３は本発明による基板の洗滌装置及びこれを利用した基板の洗滌方法を説明するための図面であり、スピンドライユニットを具備した基板の洗滌装置の概略的な断面図である。
【００１６】
本発明による液晶表示装置の基板の洗滌装置は、基板の洗滌及び乾燥のために一連の装置で構成されたスピンドライユニット１００を使用する。
【００１７】
スピンドライユニット１００は、図３に図示されたように、基板１１０を回転させる回転装置１２０が配置されたスピンドライ用のカップ１５０と、スピンドライ用のカップ１５０の外郭に設置されて空気と共に回転される基板１１０から排出される異物が吸入される空気吸入管１３０と、空気吸入管１３０から吸入された空気及び異物を外部に排気させるミストトラップ１４０と、ミストトラップ１４０に設置されてミストトラップ１４０内の排気圧を調節するそれぞれのマニュアルダンパー１６０及びオートダンパー１７０と、ミストトラップ１４０に設置されて回転される基板１１０から排出される化学薬品や水分を外部に排出させるドレン１８０で構成される。この時、前記マニュアルダンパー１６０は手動操作で開閉が制御され、前記オートダンパー１７０は基板１１０が回転装置１２０にロードされて洗滌工程が実行される場合のみにオープンされるようにセッティングされる。
【００１８】
一方、前記オートダンパー１７０の部位は排気を外部に流出させるためのメインダクト（図示せず）に連結されている。
【００１９】
前記構成を有した液晶表示装置の基板の洗滌装置及び方法を説明すると次の通りである。
【００２０】
図３に図示されたように、まず、前記スピンドライ用のカップ１５０内に配置される所定の回転装置１２０上に基板１１０載せた後に、前記回転装置により前記基板１１０を回転させれば、基板の洗滌時に使用した化学薬品または水分と、前記基板１１０の表面に存在する多様な異物らが遠心力及び前記空気吸入管１３０に吸入される空気の流れにより前記ミストトラップ１４０内に流入される。
【００２１】
前記ミストトラップ１４０の内部には前記基板１１０の表面に埋めていた異物と基板の洗滌時に使用した化学薬品等の多様な物質らが混在されているが、ここで、化学薬品や水分のような液体状態の異物は前記ミストトラップ１４０の下部に設置されたドレン１８０を経由して外部に排出される。
【００２２】
一方、前記ミストトラップ１４０内に流入される異物は前記マニュアルダンパー１６０とオートダンパー１７０を経由して外部に排出される。ここで、前記マニュアルダンパー１６０は必要によって手動で開閉を制御することができ、前記オートダンパー１７０は平常には閉鎖された状態であり、基板１１０が回転装置１２０にロードされて洗滌工程が実行される場合のみにオープンされるようにセッティングされる。
【００２３】
したがって、前記スピンドライユニット１００の回転装置１２０に洗滌及び乾燥工程が実行される基板１１０がロードされていないと前記ダンパー１６０，１７０らが常に閉鎖された状態にあるために前記スピンドライユニット１００は作動をしない。これにより排気量を減少させることができ、他の作動中であるスピンドライユニットに十分な排気圧を供給することができる。
【００２４】
もしも、前記スピンドライユニット１００の回転装置１２０に洗滌及び乾燥されなければならない基板１１０がロードされれば、前記オートダンパー１７０がオープンされてスピンドライユニット１００が作動するようになる。このような一連の作業、すなわち前記スピンドライユニット１００の作動時間及び休止時間などを定めた所定の作業順序表を変更して前記スピンドライユニット１００を作動させる。
【００２５】
以下は本発明に対して多様な条件で実験した結果を示した表である。
（実験１）下記の表１は図１に図示されたような従来のスピンドライユニット、例えば、実際装備であるティー．イ．エル  トラックディベロッパー（ＴＥＬ  ＴＲＡＣＫ  ＤＥＶＥＬＯＰＥＲ）のあらゆる基板の洗滌装置のダンパーを開放させた場合において、装備１から装備９に設けられた各スピンドライユニット（ユニット１からユニット３）の排気圧を示す表である。ここで、単位はパスカル（Ｐａ）である。
【００２６】
（実験２）下記の表２は図１に図示されたような従来のスピンドライユニット、例えば、実際装備であるティー．イ．エル  トラックディベロッパー（ＴＥＬ  ＴＲＡＣＫ  ＤＥＶＥＬＯＰＥＲ）の装備１のダンパーを閉鎖させた場合において、基板の洗滌装置のうち装備２から装備９に設けられた各スピンドライユニット（ユニット１からユニット３）の排気圧を示す表である。ここで、単位はパスカル（Ｐａ）である。
【００２７】
（実験３）下記の表３は図１に図示されたような従来のスピンドライユニット、例えば、実際装備であるティー．イ．エル  トラックディベロッパー（ＴＥＬ  ＴＲＡＣＫ  ＤＥＶＥＬＯＰＥＲ）の装備１及び２のダンパーを閉鎖させた場合において、各基板の洗滌装置のうち装備３から装備９に設けられた各スピンドライユニット（ユニット１からユニット３）の排気圧を示す表である。ここで、単位はパスカル（Ｐａ）である。
【００２８】
（実験４）下記の表４は図１に図示されたような従来のスピンドライユニット、例えば、実際装備であるティー．イ．エル  トラックディベロッパー（ＴＥＬ  ＴＲＡＣＫ  ＤＥＶＥＬＯＰＥＲ）の装備１から３のダンパーを閉鎖させた場合において、各基板の洗滌装置のうち装備４から装備９に設けられた各スピンドライユニット（ユニット１からユニット３）の排気圧を示す表である。ここで、単位はパスカル（Ｐａ）である。
【００２９】
（実験５）下記の表５は図１に図示されたような従来のスピンドライユニット、例えば、実際装備であるティー．イ．エル  トラックディベロッパー（ＴＥＬ  ＴＲＡＣＫ  ＤＥＶＥＬＯＰＥＲ）の装備１から４のダンパーを閉鎖させた場合において、各基板の洗滌装置のうち装備５から装備９に設けられた各スピンドライユニット（ユニット１からユニット３）の排気圧を示す表である。ここで、単位はパスカル（Ｐａ）である。
【００３０】
（実験６）下記の表６は図１に図示されたような従来のスピンドライユニット、例えば、実際装備であるティー．イ．エル  トラックディベロッパー（ＴＥＬ  ＴＲＡＣＫ  ＤＥＶＥＬＯＰＥＲ）の装備１から５のダンパーを閉鎖させた場合において、各基板の洗滌装置のうち装備６から装備９に設けられた各スピンドライユニット（ユニット１からユニット３）の排気圧を示す表である。ここで、単位はパスカル（Ｐａ）である。
【００３１】
一方、下記の表７は前記６回の実験に対するメインダクト内の風速、風量及び増減量を示す表である。ここで、風速単位は秒当たりメートル（Ｍ／Ｓｅｃ）であり、風量単位は分当たりの三乗メートル（ＣＣＭ）である。
【表７】
0003793894.tif 000002
【００３２】
前記表７で増減量は実験１を基準として風量の差を表す。
【００３３】
【発明の効果】
以上で説明したように、本発明はスピンドライユニットに空気吸入管及びマニュアルダンパー及びオートダンパーが設けられたトラップを設置し、前記スピンドライユニットのノーマルオープンモードをシグナル変更及びレシピー変更を通じてノーマルクローズモードに変えて、少ない量の排気量を使用しても装備内のダウンフローを強化して原価低減及び工程マージンを向上させる。したがって、本発明は排気量の減少によって原価を節減し、排気圧の増加によって工程マージンを向上させるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来技術による基板の洗滌装置及び方法を説明するための図面。
【図２】従来技術による基板の洗滌装置の使用例を図示した図面。
【図３】本発明による基板の洗滌装置及び方法を説明するための図面。
【符号の説明】
１００  スピンドライユニット
１１０  基板
１２０  回転装置
１３０  空気吸入管
１４０  ミストトラップ
１５０  スピンドライ用のカップ
１６０  マニュアルダンパー
１７０  オートダンパー
１８０  ドレン
【図１】
0003793894.tif 000003
【図２】
0003793894.tif 000004
【図３】
0003793894.tif 000005