(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方に開口部を有し底部の振動板に超音波振動子を垂下装備した洗浄槽と、この洗浄槽の側板部分に装備されたヒータと、前記洗浄槽を保持すると共に内部に前記超音波振動子駆動用の電気制御系等を装備してなるケース本体とを備えて成る超音波洗浄機において、
前記洗浄槽に、前記ヒータに対向し且つ所定間隔を隔てて当該ヒータを覆うようにしてヒータカバーを装備し、
前記ケース本体の一部に空冷用の外気導入口を設けると共に、当該ケース本体の他の一部に排気口を設け、この排気口領域に前記ケース本体に導入した外気を強制的に排気する空冷ファンを装備し、
前記ヒータカバーを、所定の空隙層を介して形成された内側カバーと外側カバーとにより構成すると共に、この内側カバーと外側カバーの各々に複数の排気穴を設け、
このヒータカバーの内側の空間領域と前記空冷ファンの排気側とを連通したことを特徴とする超音波洗浄機。
【請求項２】
前記請求項１記載の超音波洗浄機において、
前記内側カバーの複数の各排気穴と前記外側カバーの複数の各排気穴とを相互にずらして設けたことを特徴とする超音波洗浄機。
【請求項３】
前記請求項１又は２記載の超音波洗浄機において、
前記外側カバーの下端部を、前記ケース本体に設けられた空冷ファンの排気口部分を覆うようにして当該ケース本体側にまで延設したことを特徴とする超音波洗浄機。
【請求項４】
前記請求項１，２又は３記載の超音波洗浄機において、
前記洗浄槽を、吸振部材を介してケース本体に装備したことを特徴とする超音波洗浄機。
【請求項５】
前記請求項１，２，３又は４記載の超音波洗浄機において、
前記洗浄槽の周囲に、外部に向けて鍔部材を突設すると共に、
この鍔部材の断面を、下方が開放された円弧状に形成したことを特徴とする超音波洗浄機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、超音波洗浄機に係り、特に洗浄槽にヒータを装備して成る超音波洗浄機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
超音波洗浄機には、従来より種々の方式のものが提案されている。この内、近時にあっては、洗浄槽の側壁部分にヒータを装備し、これによって洗浄液を加熱し洗浄効率の向上を図るという手法のものが開発されている。
【０００３】
一方、かかるヒータ付きの超音波洗浄機は、洗浄槽の側板部分が加熱されることから、当該洗浄槽の加熱領域が外部に露出するのは好ましくない。
これをさけるため、洗浄槽の側壁部分を二重構造として内側の側板の一部を加熱すると共に、当該内壁と外壁との間に、前述したヒータを覆うようにして断熱材を充填し、これによって作業員の不注意にて生じる火傷事故等の発生を、予め有効に回避しようとしている。
この場合、使用される断熱材としては、従来より一般に、グラス，セラミック，石綿，無機質の鉱物繊維等から成るウール状，スポンジ状又は板状の部材が用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例にあっては、超音波洗浄機を比較的ながく（例えば４時間以上連続して）稼働させると、断熱材そのものの温度が高温化するばかりでなく、そのカバーも例えば８０度を越える状態となり、更には当該断熱材が異臭を発する等の不都合が生じ、これがため、長時間の稼働には不向きなものとなっていた。
【０００５】
また、かかる従来例では、洗浄槽部分を二重構造としたことから、装置全体が大型化し且つ重量増を来たし、安定性はいいものの可搬性が悪いという不都合があった。
【０００６】
【発明の目的】
本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善し、特に、耐振性が良好で且つ長時間の使用に際しても外部に露出している部分の高温化を有効に抑制し得ると共に、小型化が可能なヒータ付きの超音波洗浄機を提供することを、その目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明では、上方に開口部を有し底部の振動板に超音波振動子を垂下装備した洗浄槽と、この洗浄槽の側板部分に装備されたヒータと、前記洗浄槽を底部で保持すると共に内部に前記超音波振動子駆動用の電気制御系等を装備してなるケース本体とを備えて成る超音波洗浄機において、洗浄槽に、前述したヒータに対向し且つ所定間隔を隔てて当該ヒータを覆うようにしてヒータカバーを装備する。
【０００８】
又、ケース本体の一部に空冷用の外気導入口を設けると共に、当該ケース本体の他の一部に排気口を設け、この排気口領域に前記ケース本体に導入した外気を強制的に排気する空冷ファンを装備する。
更に、前述したヒータカバーを所定の空隙層を介して形成された内側カバーと外側カバーから成る二層をもって構成すると共に、この内側カバーと外側カバーの各々に複数の排気穴を設ける。
そして、このヒータカバーの内側の空間領域と前述した空冷ファンの排気側とを連通する、という構成を採っている。
【０００９】
この請求項１記載の発明では、空冷ファンが作動すると、ケース本体の側面に設けられた複数の外気導入口から外気が強制的に吸入され、これによって、まず、当該ケース本体内に装備された電気制御系および当該ケース本体内に垂下装備された複数の超音波振動子が冷却される。続いて、このケース本体内に吸入された外気は、空冷ファンによって排気口からヒータカバー側に送り出される。このヒータカバー側に送り出された外気は、ヒータカバーを冷却した後、外部に排出される。
【００１０】
これにより、ヒータカバーの高温化が抑制されて使いやすくなり、加熱箇所にのみ内部に空気層を備えた二層構造のヒータカバーを装備したことから、装置全体の軽量化を可能となり、かかる点において可搬性を大幅に改善することができ且つ装置全体の耐熱性及び耐久性が強化されたものとなっている。
【００１１】
請求項２記載の発明では、前述した請求項１記載の超音波洗浄機において、前述した内側カバーの複数の各排気穴と外側カバーの複数の各排気穴とを相互にずらして形成する、という構成を採っている。
【００１２】
このため、この請求項２記載の発明では、前述した請求項１記載の発明と同等に機能するほか、更に、内側カバーと外側カバーとの間で乱流が生じ、これによって外側カバーの高温化をより一層有効に抑制することができる。
【００１３】
請求項３記載の発明では、前述した請求項１又は２記載の超音波洗浄機において、前述した外側カバーの下端部を、前述したケース本体に設けられた空冷ファンの排気口部分を覆うようにして当該ケース本体側にまで延設する、という構成を採っている。
【００１４】
このため、この請求項３記載の発明では、前述した請求項１又は２記載の発明と同等に機能するほか、更に、ケース本体内の導入外気をヒータカバー側に有効且つ確実に送り込むことができ、そのための構造を至って簡略化することができ、これがため原価低減を図ることができる。
【００１５】
請求項４記載の発明では、前述した請求項１，２又は３記載の超音波洗浄機において、前述した洗浄槽を、吸振部材を介して前述したケース本体に連結する、という構成を採っている。
【００１６】
このため、この請求項４記載の発明では、前述した請求項１，２又は３記載の発明と同等に機能するほか、更に、洗浄槽の底面部（振動板部分）の振動がケース本体側に伝搬するのを有効に抑制することができ、これがため、ケース本体側に装備した電気制御系が振動で劣化するという不都合を有効に回避することが可能となっている。
【００１７】
請求項５記載の発明では、前述した請求項１，２，３又は４記載の超音波洗浄機において、前述した洗浄槽の周囲に、外部に向けて鍔部材を突設すると共に、この鍔部材の断面を、下方が開放された円弧状に形成する、という構成を採っている。
【００１８】
このため、この請求項５記載の発明では、前述した請求項１，２，３又は４記載の発明と同等に機能するほか、更に、装置全体の可搬性が良好となり、又洗浄槽の縁にこぼれ落ちた洗浄液は円弧状の表面を伝わって速やかに槽内に伝い落ちることとなり、外側にこぼれ落ちる洗浄液もケース本体の側面を伝わって落下することが無いため、かかる点においてケース本体内の電子・電気部品を水滴から有効に保護することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を、図１乃至図６に基づいて説明する。
この図１乃至図６において、符号１は洗浄槽を示し、符号２はヒータを示し、符号３はケース本体を示す。
【００２０】
洗浄槽１は、長方形状で且つ上方に開口部１Ａを有し、底部の振動板１Ｂ部分に複数の超音波振動子１Ｃを垂下装備している。この超音波振動子１Ｃは、本実施例では六個千鳥状に配設されているが（図１，図５参照）、この超音波振動子１Ｃの個数については何個でもよい。
【００２１】
この洗浄槽１の側壁部分に前述したヒータ２が装備されている。このヒータ２は、板状のものが使用され長手方向の側壁の外面部分に装備され、この側壁部分を介して内部の洗浄液Ｗを加熱するようになっている。符号２ａは所定温度でさどうするサーモスイッチを示す。このサーモスイッチ２ａはバイメタルによって構成されている。
【００２２】
又、前述したケース本体３は、前述した洗浄槽１の下側に配設され当該洗浄槽１を支持すると共に、内部には前述した超音波振動子駆動用の電気制御系６および空冷ファン７等が装備されている。
【００２３】
これを更に詳述する。
洗浄槽１はステンレス製鋼板を素材として形成されている。この洗浄槽１における開口部１Ａの周囲には、図１乃至図６に示すように外周に向けて鍔部材１Ｅが突設されている。この鍔部材１Ｅは、下方が開放された断面円弧状に形成されている。
【００２４】
これにより、洗浄槽１を持ちやすくなり装置全体の可搬性が良好となるばかりでなく、洗浄槽１の縁にこぼれ落ちた洗浄液が円弧状表面を伝わって洗浄槽１内に戻ることが可能となり、一方、洗浄槽１の外側にこぼれ落ちた洗浄液が洗浄槽１の側面を伝わることなく外部に水滴となって落下するようになっている。このため、こぼれ落ちた洗浄液が洗浄槽１の側面を伝わってケース本体３内に入り込んで電気制御系等にふれるのを予め有効に排除している。
【００２５】
更に、開口部１Ａの周囲に突設された鍔部材１Ｅには、各辺の上面中央部に湾曲面に沿って断面Ｕ字状のゴム板１Ｐが装備されている。このゴム板１Ｐは例えばシリコンゴムによって形成されている。これによって可搬時に保持した場合にも当たりがソフトとなり保持性が改善されたものとなっている。ここで、図中、ゴム板１Ｐは、表面（凸面）に装備した場合を例示したが、凹面にまで巻き込むように装備してもよい。
【００２６】
この洗浄槽１は、板状の吸振部材４を介して前述したケース本体３上に載置され、後述する槽受け部３Ａで保持されている。この吸振部材４は、ゴム製で且つ中抜きの四角形状に形成され、ケース本体３の槽受け部３Ａの全面に沿って設けられている。
【００２７】
この洗浄槽１の底面部１Ｄは振動板を構成し、その中央部に、前述したように複数の超音波振動子１Ｃが装備され、その周囲四隅と長手方向の中間部分とに、それぞれ洗浄槽固定用の固定ボルト１Ｆが、下方に向けて且つ溶接等によって突設されている。符号３Ａは、ケース本体３の上端部周囲に内側に向けて曲折され突出された槽受け部を示す。
【００２８】
そして、前述した固定ボルト１Ｆは、前述した板状吸振部材４および槽受け部３Ａを貫通した状態で、当該槽受け部３Ａに座金付ナット１１によって固定されるようになっている。図２に、この固定ボルト１Ｆ部分の連結構造を示す。
【００２９】
この図２において、符号１２は、固定ボルト１Ｆの周囲に組み込まれた円筒状スペーサを示す。この円筒状スペーサ１２は、固定ボルト１Ｆに対して座金付ナット１１が螺合した場合に前述した板状吸振部材４が吸振機能を損なうことのないように適度に圧縮された状態を維持する役目を備えている。
【００３０】
この円筒状スペーサ１２の周囲には、当該円筒状スペーサ１２と共に槽受け部３Ａを貫通してゴム製の円筒状吸振部材１３が装備されている。これにより、前述した円筒状スペーサ１２とケース本体３との間には円筒状吸振部材１３が常に介在することとなり、振動が円筒状スペーサ１２からケース本体３に伝わるのを常に阻止し、同時に洗浄槽１からこぼれた洗浄液Ｗが洗浄槽１を伝わってケース本体３内に入り込むのを有効に阻止している。
【００３１】
更に、前述したケース本体３の槽受け部３Ａと座金付ナット１１との間には、ゴム製ワッシャ１５が装備され、これによって、座金付ナット１１部分からケース本体３に伝わる洗浄槽１側の振動が、常に有効に阻止される。
符号１４はナットを示す。このナット１４は、座金付ナット１１と連動して二重ナットとして機能する。このため、固定ボルト１Ｆの振動があっても、座金付ナット１１部分は堅牢に螺合され、その緩みは有効に阻止される。
【００３２】
即ち、本実施形態では、洗浄槽１を板状吸振部材４を介してケース本体３上に固定装備すると共に、固定ボルト１Ｆと座金付ナット１１の振動がケース本体３に伝わるのを円筒状吸振部材１１およびゴム製ワッシャ１５によって阻止しているので、洗浄槽１の振動がケース本体３に伝わるのが有効に阻止され、このため、装置全体を比較的静かに稼働することができる。
【００３３】
更に、本実施形態では、洗浄槽１に装備されたヒータ２に所定間隔を隔てて対向し且つ当該ヒータ２を覆うようにしてヒータカバー２１が装備されている。
【００３４】
このヒータカバー２１は、所定の空隙層２２を介して一体的に形成された内側カバー２１Ａと外側カバー２１Ｂとから成る。この内側カバー２１Ａと外側カバー２１Ｂの各々には、複数の排気穴２１Ａａ，２１Ｂａがそれぞれ設けられている。
【００３５】
そして、この内側カバー２１Ａの複数の各排気穴２１Ａａと外側カバー２１Ｂの複数の各排気穴２１Ｂａとは、図４に示すように相互に上下方向および左右方向に幾分ずらして設けられ（図の左右方向のみにずらしてもよい）、これによってヒータ２に対向して装備されたカバー２１領域で排気の乱流を発生させ、これによって当該内側カバー２１Ａと外側カバー２１Ｂに対する空冷効果を増大させ、同時に洗浄槽１からこぼれ落ちた洗浄液Ｗ（又は、はね水）がヒータカバー２１の各排気穴２１Ｂａから中に入り込むのを有効に排除し、これによって、ケース本体３内の電気・電子部品を保護している。
【００３６】
ここで、上記ヒータカバー２１は、図２における上端部および左右両端部が曲折されて洗浄槽１に密封状態で連結され、その下端部側が後述するようにケース本体３の内部空間に連通した構造となっている。符号２３Ａ，２３Ｂは、ヒータカバー２１に覆われ且つ当該ヒータカバー２１を固定するカバー固定部を示す。このカバー固定部２３Ａ，２３Ｂは、前述したヒータ２の両側に所定間隔を隔てて配設され洗浄槽１の側面に固定装備されている。
【００３７】
ケース本体３には、空冷用の外気導入部３１，３２が設けられている。この外気導入部３１，３２は、一方の対向する各側板の一部に、それぞれ設けられている。この各外気導入部３１，３２は、それぞれ複数の外気導入口３１ａ，３２ａから成る。具体的には、図２に示すケース本体３の左右両端に位置する側板の一部に、外気導入部３１，３２がそれぞれ設けられいる。図１に外気導入部３２の位置を示し、図３に外気導入部３１の位置を示す。
【００３８】
又、前述したヒータカバー２１が装備された側と同一側に位置するケース本体３の側板部分（側板の他の一部）には、ケース本体３内に強制的に導入した外気を強制的に排気する空冷ファン７が装備されている。符号３Ａは、空冷ファン７に対向して形成されケース本体３内の空気を前述したヒータカバー２１側に送り出す排気口を示す。
【００３９】
そして、前述したヒータカバー２１の外側カバー２１Ｂは、その下端部が前述したケース本体３の排気口３Ａ部分（空冷ファン７が装備された箇所）を覆うようにして当該ケース本体３側にまで延設されている。
これにより、このヒータカバー２１の内側の空間領域と空冷ファン３３の排気側とが連通され、前述した外気導入部３１，３２を介してケース本体３内に強制的に導入された外気が、排気口３Ａを介して前述したヒータカバー２１側に送り出されるようになっている。
【００４０】
ここで、符号２１Ｐは、所定厚さのゴム製板部材を示す。このゴム製板部材２１Ｐは、前述したヒータカバー２１（正確には外側カバー２１Ｂ）の下端部で前述したケース本体３に当接する箇所に装備されている。このため、このゴム製板部材２１Ｐは、ヒータカバー２１の下端部周囲に沿ってＵ字状に形成されたものが使用されている。
【００４１】
符号４０は洗浄槽１内への洗浄液の給水又は排水を行うための給排水バルブを示す。この給排水バルブ４０は、洗浄槽１の底部にＬ字状パイプ４２を介して装備されている。
また、前述したケース本体３内には、前述したヒータ３および空冷ファン７に通電するための電源回路，或いは超音波振動子を駆動するための振動子駆動用の電気制御回路等を備えた電気制御系６が装備されている。符号３Ｃは、これら電気制御系の一部を備えた回路基板を示す。
【００４２】
更に、ケース本体３の前述したヒータカバー２１の反対側には、図６に示すように、前述した超音波振動子用の駆動時間を外部から任意に設定するタイマ３４が装備されている。
このタイマ３４に並んで、前述したヒータ２を前述した電源回路に接続し又は切り離すヒータスイッチ３５が装備されている。符号３６は装置全体の電源スイッチを示す。
【００４３】
次に、上記実施形態における全体的な動作を説明する。
給排水バルブ４０を操作して洗浄槽１に洗浄液を導入した後、電源スイッチ３６を投入し、同時にヒータスイッチ３５をオン（ＯＮ）すると、前述した超音波振動子が直ちに稼働し、ヒータスイッチ３５も同時に作動する。ここで、タイマ３４にて、被洗浄物の洗浄時間を設定する。
【００４４】
又、電源スイッチ３６を投入と同時に空冷ファン７が作動する。この空冷ファン７が作動すると、ケース本体３の側面に設けられた複数の外気導入口３１ａ，３２ａから外気が強制的に吸入され、これによって、まず当該ケース本体３内に装備された電気制御系６および当該ケース本体３内に垂下装備された複数の超音波振動子１Ｃが冷却される。
【００４５】
続いて、このケース本体３内に吸入された外気は、空冷ファン７によって排気口３Ａからヒータカバー２１の内部空間に向けて送り出される。このヒータカバー２１側に送り出された外気は、ヒータカバー２１を冷却した後、外部に排出される。
そして、タイマ３４にて設定された所定時間が経過すると、電源回路はオフ（ＯＦＦ）され、装置全体の動作は終了する。
【００４６】
このように、本実施形態によると、上記ヒータカバー２１では、前述したように、所定の空隙層２２を介して内側カバー２１Ａと外側カバー２１Ｂに分かれた構造となっており、同時に、この内側カバー２１Ａの複数の各排気穴２１Ａａと外側カバー２１Ｂの複数の各排気穴２１Ｂａとは、相互に幾分ずらして設けられていることから、ヒータ２に対向して装備されたカバー２１の内側カバー２１Ａと外側カバー２１Ｂとの間で排気の乱流が発生し、これによって、当該内側カバー２１Ａと外側カバー２１Ｂにおける空冷効果の増大が図られている。従って、外部に露出した外側カバー２１Ｂの温度を有効に低下させることが可能となっている。
【００４７】
又、前述したように複数の超音波振動子が作動して洗浄槽１の洗浄動作が開始されると、当該洗浄槽１の底面部を成す振動板が振動する。この振動は、一方では洗浄動作に不可欠なものであるが、他方、この振動がケース本体３に伝搬すると、騒音の原因となり或いはケース本体３に装備された電気制御系の配線を剥離する等の不都合が生じて装置全体の耐久性を損なうという事態を発生する。このため、本実施形態では、かかる事態の発生を事前に阻止するため、ケース本体３は前述したように板状吸振部材４を介して洗浄槽１を保持している。更に、洗浄槽１側の固定ボルト１Ｆおよびこれに螺合する座金付ナット１３には、それぞれ円筒状吸振部材１３，ゴム製ワッシャ１４が組み込まれ、これらを介して洗浄槽１はケース本体３に固定装備される構造としたので、ケース本体３に伝搬する振動は大幅に低減され、かかる点において、装置全体の耐振性および耐久性が強化されたものとなっている。
【００４８】
更に、上記実施形態では、洗浄槽１部分の二重構造を採用することなしにヒータ付きの洗浄槽１を実現したことから、小型化および軽量化が，ひいては低コスト化が可能となり、洗浄槽１の開口部１Ａの周囲に外部に向けて鍔部材を突設すると共に、この鍔部材の断面を下方が開放された円弧状に形成したので、どこを持っても運搬することができ、又前述したように洗浄槽１からこぼれた洗浄液がケース本体３内に入り込むのを有効に排除することができ、かかる点において装置内部の電子・電気部品の耐久性向上を図ることができる。
【００４９】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成され機能するので、これによると、請求項１記載の発明では、ヒータ部分を複数の排気穴を備えたヒータカバーで覆うと共に、このヒータカバーの内側の空間領域とケース本体側の空冷ファンの排気側とを連通する構造としたので、従来例における洗浄槽部分全体の二重構造化が不要となり、これがため、装置全体の性能を維持しつつ装置全体の小型化および軽量化が可能となり、同時に可搬性を大幅に改善することができ、更に、前述したヒータカバーを所定の空隙層を介して形成された内側カバーと外側カバーから成る二層をもって構成すると共に、この内側カバーと外側カバーの各々に複数の排気穴を設けたので、内側カバーと外側カバーとを同時に空冷し且つ内側カバーでヒータの輻射熱を有効に遮蔽し得るので、外側カバーの温度を比較的低くすることができるという従来にない優れた小型化された超音波洗浄機を提供することができる。
【００５０】
請求項２記載の発明では、前述した請求項１記載の超音波洗浄機において、前述した内側カバーの複数の各排気穴と外側カバーの複数の各排気穴とを相互にずらすようにしたので、前述した請求項１記載の発明と同等に機能するほか、更に、内側カバーと外側カバーとの間で乱流を生ぜしめることができ、これによって外側カバーの高温化をより一層有効に抑制することが可能となった。
【００５１】
請求項３記載の発明では、前述した請求項１又は２記載の超音波洗浄機において、前述した外側カバーの下端部を、前述したケース本体に設けられた空冷ファンの排気口部分を覆うようにして当該ケース本体側にまで延設する、という構成を採っている。
このため、この請求項３記載の発明では、前述した請求項１又は２記載の発明と同等に機能するほか、更に、ケース本体内の導入外気をヒータカバー側に有効且つ確実に送り込むことができ、そのための構造を至って簡略化することができ、これがため、装置全体の小型化および原価低減を図ることができる。
【００５２】
請求項４記載の発明では、前述した請求項１，２又は３記載の超音波洗浄機において、前述した洗浄槽を、吸振部材を介して前述したケース本体に連結する、という構成を採っている。
【００５３】
このため、この請求項４記載の発明では、前述した請求項１，２又は３記載の発明と同等の作用効果を有するほか、更に、洗浄槽の底面部（振動板部分）の振動がケース本体側に伝搬するのを，更にはこぼれ落ちる洗浄液の侵入を，有効に抑制することができ、これがため、ケース本体側に装備した電気制御系が振動や水滴で劣化するという不都合を有効の回避することが可能となっている。
【００５４】
請求項５記載の発明では、前述した請求項１，２，３又は４記載の超音波洗浄機において、前述した洗浄槽の周囲に、外部に向けて鍔部材を突設すると共に、この鍔部材の断面を、下方が開放された円弧状に形成する、という構成を採用したので、前述した請求項１，２，３又は４記載の発明と同等の作用効果を有するほか、更に、装置全体の可搬性が良好となり、又洗浄槽の縁にこぼれ落ちた洗浄液は円弧状の表面を伝わって速やかに槽内に戻ることとなり、これがため、こぼれ落ちた洗浄液がケース本体を伝わってケース本体内に入り込むのを有効に抑制することができ、かかる点において装置全体の耐久性向上を図り得るという利点がある。
【００５５】
このように、本発明によると、特に長時間の使用に際しても断熱材を装備することなく外部に露出している部分の高温化を有効に抑制することができ、耐振性が良好で且つこぼれ落ちる洗浄液がケース本体内に入り込むのを有効に排除することができるという従来にない優れたヒータ付きの超音波洗浄機を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す一部省略した断面図である。
【図２】図１中に開示した吸振部材部分の一例を示す部分断面図である。
【図３】図１に開示した洗浄槽およびケース本体を示す正面図である。
【図４】図３の右側面図である。
【図５】図３の平面図である。
【図６】図３の左側面図である。
【符号の説明】
１  洗浄槽
１Ａ  開口部
１Ｃ  超音波振動子
１Ｄ  振動板（底面部）
１Ｅ  鍔部材
２  ヒータ
３  ケース本体
３Ａ  排気口
４  吸振部材としての板状吸振部材
６  電気制御系
７  空冷ファン
２１  ヒータカバー
２１Ａ  内側カバー
２１Ａａ，２１Ｂａ  排気穴
２１Ｂ  外側カバー
２２  空隙層
【図１】
0003744256.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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