(57)【要約】  固定型Ｍ２と可動型Ｍ１とを有する金型Ｍの内部の成形空間Ｍ０において、固定型Ｍ２に対する可動型Ｍ１の移動方向である水平方向Ｌ１に対して、容器本体２の開口周縁部２８の端縁全周を通る平面Ｐ１に直交する方向Ｐ２が、所定の角度ａ２をなす方向へ傾いた状態で、容器本体２を成形する容器本体成形工程と、可動型Ｍ１を固定型Ｍ２から後退するように移動をさせ、可動型Ｍ１から成形空間Ｍ０において成形された容器本体２を抜く引き抜き工程と、を有する基板収納容器１の成形方法である。
2020089986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間内において対をなすように、前記容器本体に一体成形されて設けられ、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、を備え、
前記側方基板支持部は、前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部と、前記容器本体の前記一端部に対する他端部とを結ぶ方向に延びる上面及び下面を有する板状に形成され、
前記側方基板支持部の上面は、前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する基板接触部を有し、
前記基板接触部はバンプを有し、前記バンプの頂部は前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する、前記容器本体及び前記側方基板支持部を一体成形する基板収納容器の成形方法であって、
固定型と可動型とを有する金型の内部の成形空間において、前記固定型に対する前記可動型の移動方向である水平方向に対して、前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向が、所定の角度をなす方向へ傾いた状態で、前記容器本体を成形する容器本体成形工程と、
前記可動型を前記固定型から後退するように移動をさせ、前記可動型から前記成形空間において成形された前記容器本体を抜く引き抜き工程と、を有する、基板収納容器の成形方法。
【請求項２】
前記バンプに関して前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部側、前記容器本体の他端部側は、それぞれ平坦面である一端部側斜面、他端部側斜面により構成され、
水平方向を基準として、前記容器本体成形工程において成形されて前記成形空間にある前記容器本体における前記バンプの前記他端部側斜面が傾く方向は、水平方向を基準として、前記成形空間にある前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向が傾く方向と、水平方向を境界線とした同じ側に傾いている請求項１に記載の基板収納容器の成形方法。
【請求項３】
前記所定の角度は、０．１°以上１°以下である請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器の成形方法。
【請求項４】
複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間内において対をなすように、前記容器本体に一体成形されて設けられ、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、を備え、
前記側方基板支持部は、前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部と、前記容器本体の前記一端部に対する他端部とを結ぶ方向に延びる上面及び下面を有する板状に形成され、
前記側方基板支持部の上面は、前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する基板接触部を有し、
前記基板接触部はバンプを有し、前記バンプの頂部は前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する、前記容器本体及び前記側方基板支持部が一体成形された基板収納容器を成形する金型であって、
固定型と、
前記固定型に対して移動可能な可動型と、
前記固定型と前記可動型とにより形成される金型内部の成形空間であって、前記固定型に対する前記可動型の移動方向である水平方向に対して、前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向が、所定の角度をなす方向へ傾いた状態で、前記容器本体が成形される成形空間を有する、基板収納容器を成形する金型。
【請求項５】
前記バンプに関して前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部側、前記容器本体の他端部側は、それぞれ平坦面である一端部側斜面、他端部側斜面により構成され、
水平方向を基準として、前記成形空間にある前記容器本体における前記バンプの前記他端部側斜面が傾く方向は、水平方向を基準として、前記成形空間にある前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向が傾く方向と、水平方向を境界線とした同じ側に傾いている請求項４に記載の金型。
【請求項６】
前記所定の角度は、０．１°以上１°以下である請求項４又は請求項５に記載の金型。
【請求項７】
複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記基板収納空間内において対をなすように、前記容器本体に一体成形されて設けられ、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、を備え、
前記側方基板支持部は、前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部と、前記容器本体の前記一端部に対する他端部とを結ぶ方向に延びる上面及び下面を有する板状に形成され、
前記側方基板支持部の上面は、前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する基板接触部を有し、
前記基板接触部はバンプを有し、前記バンプの頂部は前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触し、
前記バンプに関して前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部側、前記容器本体の他端部側は、それぞれ平坦面である一端部側斜面、他端部側斜面により構成されている基板収納容器。
【請求項８】
前記容器本体を固定型と可動型とを有する金型の内部の成形空間において成形した後に可動型を移動させる方向である水平方向に平行に生ずる移動方向線を基準として、前記容器本体における前記バンプの前記他端部側斜面が傾く方向は、前記移動方向線を基準として、前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向と、前記移動方向線を境界線とした同じ側に傾いている請求項７に記載の基板収納容器。
【請求項９】
前記移動方向線と前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向とは所定の角度をなし、
前記所定の角度は、０．１°以上１°以下である請求項８に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器の成形方法、金型、及び、基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場内の工程において搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１〜特許文献４参照）。【０００３】
容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。【０００４】
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−１８６９６７号公報
【特許文献２】特許４５８４０２３号公報
【特許文献３】特許４０３０２８０号公報
【特許文献４】特許４１５０４６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の基板収納容器においては、側方基板支持部に対して基板をＸ、Ｙ、Ｚ方向のそれぞれにおいて、精密な位置に載置する必要がある。基板に様々な処理を施し半導体チップに作り上げる過程に於いて、基板は、装置により頻繁に基板収納容器から出し入れが行われるが、その際に、基板の破損、擦りキズ等を防ぐためである。そこで、一般的には、基板が載せられる側方基板支持部の上面の部分であって基板と接触する部分には突起が設けられ、突起により基板の精密な位置調整が行われると共に、基板に対する最小の接触面積とするために、突起は、基板の外周に於いて、点接触する様な、又は、数ミリが線接触する様な形状を有している。【０００７】
基板収納容器は、射出成形にて成形されて製造される。そして前述の突起を形成するためには、基板収納容器を成形する金型の、側方基板支持部を成形する部分に、突起となる形状の部分を彫り込む必要が有る。しかし、従来、側方基板支持部を容器本体に一体成形していなかったものに対して、側方基板支持部を容器本体の内面に一体成形しようとする場合には、容器本体を金型から離型する際に、突起はアンダーカットとなる。このため、一体成形する場合には、金型にスライド構造を設ける必要がある。【０００８】
金型にスライド構造を設けると、金型の作動動作が複雑になり、金型破損防止のため動作速度を落す必要がある。その結果、成形サイクルが長くなり、生産効率が低下するという問題が生ずる。また、金型の構造が複雑になるため、溶融樹脂の熱量を吸収するために金型内に冷却水を循環させる金型の冷却回路を最適な位置に最適な回路で設置することが難くなり、冷却時間が延びるという問題が生ずる。【０００９】
本発明は、金型にスライド構造を設けずに、容器本体と側方基板支持部とを一体成形することが可能な基板収納容器の成形方法、金型、及び、基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように、前記容器本体に一体成形されて設けられ、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、を備え、前記側方基板支持部は、前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部と、前記容器本体の前記一端部に対する他端部とを結ぶ方向に延びる上面及び下面を有する板状に形成され、前記側方基板支持部の上面は、前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する基板接触部を有し、前記基板接触部はバンプを有し、前記バンプの頂部は前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する、前記容器本体及び前記側方基板支持部を一体成形する基板収納容器の成形方法であって、固定型と可動型とを有する金型の内部の成形空間において、前記固定型に対する前記可動型の移動方向である水平方向に対して、前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向が、所定の角度をなす方向へ傾いた状態で、前記容器本体を成形する容器本体成形工程と、前記可動型を前記固定型から後退するように移動をさせ、前記可動型から前記成形空間において成形された前記容器本体を抜く引き抜き工程と、を有する、基板収納容器の成形方法に関する。【００１１】
また、前記バンプに関して前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部側、前記容器本体の他端部側は、それぞれ平坦面である一端部側斜面、他端部側斜面により構成され、水平方向を基準として、前記容器本体成形工程において成形されて前記成形空間にある前記容器本体における前記バンプの前記他端部側斜面が傾く方向は、水平方向を基準として、前記成形空間にある前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向が傾く方向と、水平方向を境界線とした同じ側に傾いていることが好ましい。また、前記所定の角度は、０．１°以上１°以下であることが好ましい。【００１２】
また、本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように、前記容器本体に一体成形されて設けられ、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、を備え、前記側方基板支持部は、前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部と、前記容器本体の前記一端部に対する他端部とを結ぶ方向に延びる上面及び下面を有する板状に形成され、
前記側方基板支持部の上面は、前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する基板接触部を有し、前記基板接触部はバンプを有し、前記バンプの頂部は前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する、前記容器本体及び前記側方基板支持部が一体成形された基板収納容器を成形する金型であって、固定型と、前記固定型に対して移動可能な可動型と、前記固定型と前記可動型とにより形成される金型内部の成形空間であって、前記固定型に対する前記可動型の移動方向である水平方向に対して、前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向が、所定の角度をなす方向へ傾いた状態で、前記容器本体が成形される成形空間を有する、基板収納容器を成形する金型に関する。【００１３】
また、前記バンプに関して前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部側、前記容器本体の他端部側は、それぞれ平坦面である一端部側斜面、他端部側斜面により構成され、水平方向を基準として、前記成形空間にある前記容器本体における前記バンプの前記他端部側斜面が傾く方向は、水平方向を基準として、前記成形空間にある前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向が傾く方向と、水平方向を境界線とした同じ側に傾いていることが好ましい。また、前記所定の角度は、０．１°以上１°以下であることが好ましい。【００１４】
また、本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように、前記容器本体に一体成形されて設けられ、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、を備え、前記側方基板支持部は、前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部と、前記容器本体の前記一端部に対する他端部とを結ぶ方向に延びる上面及び下面を有する板状に形成され、前記側方基板支持部の上面は、前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触する基板接触部を有し、前記基板接触部はバンプを有し、前記バンプの頂部は前記基板の縁部を支持しているときに前記基板に接触し、前記バンプに関して前記容器本体の一端部の前記容器本体開口部側、前記容器本体の他端部側は、それぞれ平坦面である一端部側斜面、他端部側斜面により構成されている基板収納容器に関する。【００１５】
また、前記容器本体を固定型と可動型とを有する金型の内部の成形空間において成形した後に可動型を移動させる方向である水平方向に平行に生ずる移動方向線を基準として、前記容器本体における前記バンプの前記他端部側斜面が傾く方向は、前記移動方向線を基準として、前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向と、前記移動方向線を境界線とした同じ側に傾いていることが好ましい。【００１６】
また、前記移動方向線と前記容器本体の開口周縁部の端縁全周を通る平面に直交する方向とは所定の角度をなし、前記所定の角度は、０．１°以上１°以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、金型にスライド構造を設けずに、容器本体と側方基板支持部とを一体成形することが可能な基板収納容器の成形方法、金型、及び、基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２が金型Ｍの成形空間Ｍ０において成形された後に、金型Ｍが型開きした様子を示す概略説明図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５の板部５１を示す拡大側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、第１実施形態による基板収納容器１及び金型Ｍについて、図面を参照しながら説明する。
図１は、基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。図３は、基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。図４は、基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。
なお、図４においては、便宜上、給気用フィルタ部９０、リブ２３５、及び、トップフランジ２３６の図示を省略している。
【００２０】
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
【００２１】
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
【００２２】
図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としての図示しないフロントリテーナを備えている。
【００２３】
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が設けられている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
【００２４】
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に一体成形されて設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。
【００２５】
奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述する図示しないフロントリテーナと対をなすように壁部２０に一体成形されて設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
【００２６】
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。図示しないフロントリテーナは、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
【００２７】
図示しないフロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。
【００２８】
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
【００２９】
以下、各部について、詳細に説明する。
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
【００３０】
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
【００３１】
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
【００３２】
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
【００３３】
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
【００３４】
図３に示すように、下壁２４の四隅には、通気路２１０（図４参照）として、２種類の貫通孔である給気孔２４２と排気孔２４３（図１参照）が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２である。給気孔２４２としての貫通孔には、給気用フィルタ部９０が配置されており、排気孔２４３としての貫通孔には、排気用フィルタ部９０Ａが配置されている。従って、給気用フィルタ部９０及び排気用フィルタ部９０Ａの内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０の一部を構成する。また、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９０Ａとは、壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９０Ａとにおいては、容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。
【００３５】
基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に設けられている。具体的には、図４等に示すように、基板支持板状部５は、容器本体２の一端部の容器本体開口部２１と、容器本体２の一端部に対する他端部の奥壁２２とを結ぶ方向に延びる上面及び下面を有する板状に形成された板部５１を有している。板部５１と容器本体２の壁部２０の第１側壁２５、第２側壁２６とは、樹脂材料が一体成形されて構成されており、板部５１は、第１側壁２５又は第２側壁２６によって支持されている。
【００３６】
板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に板状の部材５９が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。
【００３７】
また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする部材５９は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。板部５１の上面には、バンプ５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、バンプ５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
【００３８】
より詳細には、板部５１のバンプ５１１、５１２は、それぞれ板部５１の上面に形成され略左右方向に延びると共に前後方向へそれぞれ下に向かって傾斜する尾根のような形状を有しており、当該尾根の頂上部は、当該前後方向へそれぞれ下に向かって傾斜する斜面の上端部同士を接続する曲面により構成されている。図５に示すように、バンプ５１１に関して容器本体２の容器本体開口部２１の側（前方向Ｄ１１の側）の板部５１の上面の部分は、平坦面である一端部側斜面５１１１により構成されている。バンプ５１１に関して容器本体２の奥壁２２の側（後方向Ｄ１２の側）の板部５１の上面の部分は、平坦面である他端部側斜面５１１２により構成されている。
図５は、基板収納容器１の容器本体２が金型Ｍの成形空間Ｍ０において成形された後に、金型Ｍが型開きした様子を示す概略説明図である。なお、図５においては、説明の便宜上、基板Ｗを板部５１に支持させた様子を図示したが、実際には、金型Ｍの可動型Ｍ１に成形された状態の容器本体２においては、基板Ｗは板部５１に支持されない。
【００３９】
また、バンプ５１２に関して容器本体２の容器本体開口部２１側の板部５１の上面の部分は、平坦面である一端部側斜面５１２１により構成されている。一端部側斜面５１２１の前端部は、他端部側斜面５１１２の後端部に接続されている。バンプ５１２に関して容器本体２の奥壁２２側の板部５１の上面の部分は、平坦面である他端部側斜面５１２２により構成されている。
【００４０】
左右方向おける板部５１の端縁に位置する側面には、図６に示すように、移動方向線５１０１が形成されている。移動方向線５１０１は、後述のように容器本体２を固定型Ｍ２と可動型Ｍ１とを有する金型Ｍの内部の成形空間Ｍ０において成形した後に、離型のための型開きの際に、可動型Ｍ１を移動させる方向である水平方向に平行に生じて形成されている。他端部側斜面５１１２、５１２２は、いずれも、移動方向線５１０１を基準として、容器本体２の開口周縁部２８の端縁全周を通る平面Ｐ１に直交する方向に延びる線Ｐ２が傾く方向と同じ側に傾いている。
図６は、基板収納容器１の基板支持板状部５の板部５１を示す拡大側面図である。成形空間Ｍ０は、実際には、金型Ｍの型開き前の状態で可動型Ｍ１と固定型Ｍ２との間に形成されるが、説明の便宜上、図５においては、容器本体２の位置を成形空間Ｍ０として図示している。
【００４１】
ここで「同じ側に傾いている」とは、基準となる移動方向線５１０１に平行である水平方向に平行な線Ｌ１と、線Ｌ１に対して傾斜している（平行でない）線Ａと線Ｂとを考えた場合、線Ｌ１と、線Ａ及び線Ｂとは、延長してゆくと必ず交点が生ずるが、その交点から線Ｌ１に沿って一の方向へ進んだときに、線Ｌ１を境界線とする同じ側において線Ｌ１から線Ａ及び線Ｂが離れてゆく場合には、線Ａと線Ｂとは、「同じ側に傾いている」ことを意味する。
【００４２】
具体的には、本実施形態においては、移動方向線５１０１に平行な水平方向な線Ｌ１（図５における下側の線Ｌ１）と、容器本体２の開口周縁部２８の端縁全周を通る平面Ｐ１に直交する方向に延びる線Ｐ２とに着目すると、線Ｌ１と線Ｐ２とは、開口周縁部２８において交点が生じているが、その交点から線Ｌ１に沿って一の方向である後方向Ｄ１２へ進んでゆくと、線Ｌ１を境界線とする図５における上側において、線Ｐ２は線Ｌ１から離れてゆく。
【００４３】
次に、移動方向線５１０１に平行な水平方向な線Ｌ１（図５における下側の線Ｌ１）と、他端部側斜面５１１２とに着目すると、線Ｌ１と他端部側斜面５１１２とは、バンプ１１１において交点が生じているが、その交点から線Ｌ１に沿って一の方向である後方向Ｄ１２へ進んでゆくと、線Ｌ１を境界線とする図５における上側において、他端部側斜面５１１２は線Ｌ１から離れてゆく。
【００４４】
また、移動方向線５１０１に平行な水平方向な線Ｌ１（図５における下側の線Ｌ１）と、他端部側斜面５１２２とに着目すると、線Ｌ１と他端部側斜面５１２２とは、図５には図示していないが、他端部側斜面５１２２を略前方向Ｄ１１に延長してゆくと、線Ｌ１と公差する交点が生ずる。その交点から線Ｌ１に沿って一の方向である後方向Ｄ１２へ進んでゆくと、線Ｌ１を境界線とする図５における上側において、他端部側斜面５１２２は線Ｌ１から離れてゆく。以上より、線Ｐ２と、他端部側斜面５１１２及び他端部側斜面５１２２とは、線Ｌ１を基準として同じ側に傾いている。
【００４５】
ここで、一端部側斜面５１１１、５１２１についても、線Ｌ１と公差する交点を考えた場合、交点から線Ｌ１に沿って後方向Ｄ１２へ進んでゆくと、線Ｌ１を境界線とする図５における上側において、一端部側斜面５１１１、５１２１は線Ｌ１から離れてゆく。このため、線Ｐ２と、一端部側斜面５１１１、５１２１とは、線Ｌ１を基準として同じ側に傾いている。このため、線Ｌ１に沿って後述のように、可動型Ｍ１を移動させて型開きする際に、線Ｌ１に対して一端部側斜面５１１１、５１２１、他端部側斜面５１１２、５１２２の全てが、アンダーカットとなっておらず、抜き勾配を形成する。なお、板部５１の下面についても、同様にアンダーカットとなっておらず、抜き勾配を形成している。
【００４６】
鉛直方向に一致する垂直線Ｖ１を基準として、図５に示す側方視で平面Ｐ１が傾斜する角度ａ１と、水平方向な線Ｌ１を基準として線Ｐ２の傾斜する角度ａ２とは等しく、０．１°以上１°以下であり、本実施形態では、０．６°である。０．１°未満では、バンプ５１１、５１２における十分な突出量を得ることができないためである。また、１°を超えると容器本体２における他の部分でアンダーカットとなる部分が発生する可能性が高まるからである。このため角度ａ１及び角度ａ２を０．１°以上１°以下とすることにより、確実に抜き勾配を確保できる範囲が広くなり、離型をスムーズにすることが可能となる。
【００４７】
このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
【００４８】
図４に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１と一体成形されて構成されている。なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体、即ち、奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１とは別体（例えば、別部品）で構成されたリアリテーナによって構成されてもよい。
【００４９】
奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述する図示しないフロントリテーナと対をなすような位置関係を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、奥側端縁支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
【００５０】
図２等に示すように、奥壁２２は、気体噴出ノズル部としての突出部８を有している。突出部８は、２つで対をなしており、リブ状に容器本体開口部２１へ向って突出し、平行に奥壁２２の上端部から下端部に至るまで延びている。即ち、突出部８は中空の柱状を有している。突出部８の内部空間は、隔壁部８１によって前側の空間と、後側の空間とに区切られている。
【００５１】
前側の空間は、気体流出前保持室８０３を構成し、後側の空間は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０（図４等参照）に連通する気体滞留室８０１を構成する。
突出部８は、通気路２１０に流入した気体を基板収納空間２７に供給する複数の開口部８０２を有する。気体滞留室８０１は、パージガスが一時的に溜められ加圧されることによって、通気路２１０と突出部８の開口部８０２との間において、通気路２１０からの気体を所定の量で均一に保持可能な気体均一保持部であって、複数の開口部８０２から均一化された流量でパージガスを流出可能とする気体流量均一化部を構成する気体均一保持部を構成する。
【００５２】
通気路２１０には、気体としての窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）等が通過可能である。通気路２１０は、図４に示すように、気体流入部２１１と、水平方向延出部２１２とを有しており、水平方向延出部２１２には、気体滞留室８０１の下端部が接続されている。
【００５３】
気体流入部２１１は、下壁２４の後端部に形成され下方向Ｄ２２へ突出し給気孔２４２を形成する円筒状の気体供給装置接続部２０２の内部空間により構成されている。水平方向延出部２１２は、下壁２４の外面（下面）に沿って下壁２４の外側において、気体流入部２１１の上端部から後方向Ｄ１２（図４の右方向）へ延びており、下壁２４の外面と、下壁２４よりも下側に突出している下側流路形成部２０３との間の空間により構成されている。そして、水平方向延出部２１２に接続されている気体滞留室８０１は、前述のように突出部８の後側の空間によって構成されており、水平方向延出部２１２の後端部から上方向Ｄ２１へ奥壁２２の上端部に至るまで延びている。
【００５４】
隔壁部８１には、気体滞留室８０１からパージガスが流入する微小な流入口８１１が形成されている。流入口８１１は、多数形成されており、流入口８１１の総面積は、開口部８０２の総面積よりも小さい。
【００５５】
気体供給装置接続部２０２の下端部の開口は、給気孔２４２を構成する。気体供給装置接続部２０２には、給気用フィルタ部９０が固定されている。排気孔２４３は、下壁２４の貫通孔により構成されており、当該貫通孔には、排気用フィルタ部９０Ａが固定されている。排気用フィルタ部９０Ａは、排気用フィルタ部９０Ａの内部に設けられた図示しない通気膜を通して容器本体２の外部の空間から収納空間２７への方向、あるいは収納空間２７から容器本体２の外部の空間への方向に気体を通過可能である。その際、図示しない通気膜は、気体に含まれるパーティクル等を通過することを阻止し、気体のろ過を行う。
【００５６】
蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
【００５７】
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
【００５８】
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの図示しない下側ラッチ部と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの図示しない下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
【００５９】
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、図示しない下側ラッチ部を蓋体３の上辺、下辺からそれぞれ突出させることができ、また、上辺、下辺からそれぞれ突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、図示しない下側ラッチ部が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
【００６０】
蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。
【００６１】
フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
【００６２】
上述のような基板収納容器１の容器本体２は、以下のとおりに成形されて製造される。
先ず、容器本体成形工程を行う。容器本体成形工程では、図５に示すように、固定型Ｍ２と可動型Ｍ１とを有する金型Ｍの内部の成形空間Ｍ０において、前述のように、開口周縁部２８の上辺を中心として角度ａ１だけ回転させて容器本体の奥壁２２を含む後部を持上げたように傾けた状態で、容器本体を成形する。以上が容器本体成形工程である。
次に、引き抜き工程を行う。引き抜き工程では、金型Ｍの内部の成形空間Ｍ０において、容器本体２が固化した後に、図５に示すように、可動型Ｍ１を固定型Ｍ２から後退するように移動をさせて型開きする。このときの可動型Ｍ１の移動方向は、水平方向であり、線Ｌ１に沿った方向である。このため、前述のように、線Ｌ１に沿って可動型Ｍ１を移動させて型開きする際に、線Ｌ１に対して一端部側斜面５１１１、５１２１、他端部側斜面５１１２、５１２２の全てが、アンダーカットとなっておらず、抜き勾配を形成しているため、バンプ５１１、５１２が一体成形された容器本体２の板部５１について、可動型Ｍ１を移動させて型開きして離型することが可能である。なお、容器本体２における他の全ての部分についても、アンダーカットとなっておらず、容器本体２全体について可動型Ｍ１を移動させて型開きして離型することが可能である。
【００６３】
上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
前述のように、容器本体２及び側方基板支持部５を一体成形する基板収納容器１の成形方法は、固定型Ｍ２と可動型Ｍ１とを有する金型Ｍの内部の成形空間Ｍ０において、固定型Ｍ２に対する可動型Ｍ１の移動方向である水平方向に対して、容器本体２の開口周縁部２８の端縁全周を通る平面Ｐ１に直交する方向に平行な線Ｐ２が、所定の角度をなす方向ａ２へ傾いた状態で、容器本体２を成形する容器本体成形工程と、可動型Ｍ１を固定型Ｍ２から後退するように移動をさせ、可動型Ｍ１から成形空間Ｍ０において成形された容器本体２を抜く引き抜き工程と、を有する。
【００６４】
そして、バンプ５１１、５１２に関して容器本体２の一端部の容器本体開口部２１側、容器本体２の他端部側は、それぞれ平坦面である一端部側斜面５１１１、５１２１、他端部側斜面５１１２、５１２２により構成され、水平方向に平行な線Ｌ１を基準として、容器本体成形工程において成形されて成形空間Ｍ０にある容器本体２におけるバンプ５１１、５１２の他端部側斜面５１１２、５１２２が傾く方向は、所定の角度ａ１（＝角度ａ２）における、線Ｌ１を基準として、容器本体２の開口周縁部２８の端縁全周を通る平面Ｐ１に直交する方向に沿った線Ｐ２が傾く方向と、線Ｌ１を基準とした同じ側に傾いている。
【００６５】
上記構成により、側方基板支持部を構成する板部５１の上面の基板接触部がバンプ５１１、５１２を有する構成であっても、記容器本体２を抜く引き抜き工程において、バンプ５１１、５１２の部分がアンダーカットとならず、抜き勾配が形成される。このため、バンプ５１１、５１２が形成された板部５１が一体成形された容器本体２を、そのまま可動型Ｍ１から引き抜いて離型することが可能である。
この結果、基板収納容器１の容器本体２を成形する金型Ｍにおいては、スライド構造を設けない構成とすることが可能であるため、スライド構造により生ずる金型Ｍの割り部が生ずることを防いでバリの発生を防ぐことが可能となり、また、バンプ５１１、５１２が形成された板部５１が一体成形された容器本体２を成形する金型Ｍに係る費用を抑えることが可能となる。これにより、基板収納容器１の容器本体２においては、可動型Ｍ１から容易に引き抜いて離型することが可能であるため、基板収納容器１の容器本体２を製造に係る費用を抑えることが可能となる。
【００６６】
また、所定の角度ａ１（＝角度ａ２）は、０．１°以上１°以下である。この構成により、バンプ５１１、５１２における十分な突出量を得ることができ、且つ、容器本体２の各部においてアンダーカットを発生させないようにすることが可能となる。このため角度ａ１及び角度ａ２を０．１°以上１°以下とすることにより、確実に抜き勾配を確保できる範囲が広くなり、離型をスムーズにすることが可能となる。また、基板Ｗの下側において必要とされる板部５１と基板Ｗとの間の隙間を十分に確保することが可能となり、且つ、基板Ｗと、バンプ５１１、５１２とを点接触とすることが可能となる。
【００６７】
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
【００６８】
例えば、本実施形態においては、バンプ５１１、バンプ５１２の２つが板部５１に設けられたがこの構成に限定されない。例えば、１つの板部に１つのバンプが設けられていてもよい。
【００６９】
また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。
【００７０】
また、本実施形態においては、下壁２４の前部に２つの排気用フィルタ部９０Ａが設けられ、下壁２４の後部に２つの給気用フィルタ部９０が設けられたが、この構成に限定されない。例えば、下壁２４の後部に２つの排気用フィルタ部９０Ａが設けられ、下壁２４の前部に２つの給気用フィルタ部９０が設けられてもよい。また、排気用フィルタ部と給気用フィルタ部とが２つずつ設けられていなくてもよい。また、排気用フィルタ部９０Ａは、下壁２４に取り付けられることに限られない。排気用フィルタ部９０Ａは、下壁２４以外の壁部、蓋体に取り付けても良く、例えば、下壁と蓋体との両方に取り付けても良い。
【符号の説明】
【００７１】
１  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋体
５  基板支持板状部
２１  容器本体開口部
２７  基板収納空間
２８  開口周縁部
５１１、５１２  バンプ（基板接触部）
５１０１  移動方向線
５１１１、５１２１  一端部側斜面
５１１２、５１２２  他端部側斜面
Ｄ１  固定型
Ｄ２  可動型
Ｌ１  線
Ｍ  金型
Ｍ０  成形空間
Ｐ１  面
Ｐ２  線
Ｗ  基板
ａ１、ａ２  角度
【図１】
2020089986.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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2020089986.tif 000010
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