(57)【要約】  本発明は、低コストで製造でき、かつ、静電チャック本体が薄くても確実にアーキングを防止できる静電チャックの提供を目的とする。  本発明の静電チャックは、静電チャック本体１と、アーキング防止部材２と、金属製ベース部材３を備え、静電チャック本体１及び金属製ベース部材３には、複数の冷却ガス用縦穴５が設けられ、アーキング防止部材２は直径２０〜１００μｍの細孔が複数個貫通しているセラミックス製板状体１２及びセラミックス製板状体１２を固定する外装部材１３からなり、冷却ガス用縦穴５の上部に配置されており、セラミックス製板状体１２の厚さが、静電チャック本体１の厚さより厚くなっている。
2020004478.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ処理装置に配置されウエハを吸着するウエハ載置面を有する静電チャック本体と、アーキング防止部材と、前記静電チャック本体を支持する金属製ベース部材を備える静電チャックにおいて、
前記静電チャック本体及び前記金属製ベース部材には、冷却用ガス穴及び該冷却用ガス穴に接続され前記ウエハ載置面まで貫通する複数の冷却ガス用縦穴が設けられ、
前記アーキング防止部材は、冷却ガスの放出路となる直径２０〜１００μｍの細孔が複数個貫通しているセラミックス製板状体からなり、かつ、前記複数の冷却ガス用縦穴の上部に配置されており、
前記セラミックス製板状体の厚さが、前記静電チャック本体の厚さより厚い
ことを特徴とする静電チャック。
【請求項２】
前記アーキング防止部材は円柱体であり、
複数個の前記細孔は、前記円柱体の中心軸に対して平行に配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
プラズマ処理装置に配置されウエハを吸着するウエハ載置面を有する静電チャック本体と、アーキング防止部材と、前記静電チャック本体を支持する金属製ベース部材を備える静電チャックにおいて、
前記静電チャック本体及び前記金属製ベース部材には、冷却用ガス穴及び該冷却用ガス穴に接続され前記ウエハ載置面まで貫通する複数の冷却ガス用縦穴が設けられ、
前記アーキング防止部材は、冷却ガスの放出路となる直径２０〜１００μｍの細孔が複数個貫通しているセラミックス製板状体及び該セラミックス製板状体を固定する外装部材からなり、かつ、前記複数の冷却ガス用縦穴の上部に配置されており、
前記セラミックス製板状体は、前記外装部材の冷却ガス流入側に固定されている流入側板状体と冷却ガス放出側に固定されている放出側板状体とに分離している
ことを特徴とする静電チャック。
【請求項４】
前記アーキング防止部材は円柱体であり、
前記流入側板状体を貫通している複数個の前記細孔は、前記円柱体の中心軸に対して第１の距離に平行に配置され、
前記放出側板状体を貫通している複数個の前記細孔は、前記円柱体の中心軸に対して第２の距離に平行に配置され、
前記第１の距離及び前記第２の距離は、異なる距離である
ことを特徴とする請求項３に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記流入側板状体と前記放出側板状体との間には、１．１ｍｍ以下の隙間がある
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の静電チャック。
【請求項６】
前記外装部材はセラミックス材料からなり、
前記セラミックス製板状体は、前記外装部材に、接着、嵌合及び同時焼結のうちのいずれかの装着手段によって固定されている
ことを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の静電チャック。
【請求項７】
前記セラミックス製板状体は、相対密度が９５％以上であり、焼結組織内に介在する空孔が互いに連続的に接触することのない密閉空孔となっており、かつ、材料強度が４００ＭＰａ以上の曲げ強さを有している
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の静電チャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ等の基板を保持するための静電チャックに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、静電チャックにはヘリウムガス等の冷却ガスを放出する放出路が複数箇所に設置され、ウエハ等の周囲に冷却ガスを供給できるようになっている。
また、静電チャック本体の下面には金属製ベース部材が接しており、静電チャック本体を直接冷却できるようになっている。
そして、静電チャックは、静電チャック本体上にウエハを載置し、プラズマエッチングプロセス等で処理する際に用いられるが、近年はプラズマ密度の高密度化が進み、ウエハの冷却効率を上げる必要があり、また、ウエハの保持力を強くするとともに短時間で保持力を解除できるようにするため、静電チャック本体を３ｍｍ程度の厚みから１．５ｍｍ以下に薄くする傾向にある。
ところが、静電チャック本体が薄くなると、冷却ガスなどを供給するための放出路付近において異常放電（アーキング）が発生し、パーティクルの発生、処理されるウエハの損傷、静電チャック本体の破損等が起き易くなるという問題が生じる。
さらに、最近ではエッチング性能を保つため、プラズマ処理装置内のクリーニングを頻繁に行う傾向にあるが、従来はクリーニングの度に静電チャック本体上にダミーウエハを載置していたところ、生産性を向上させるためにダミーウエハを載置せずにクリーニングすることが増えてきている。
そうした場合、クリーニングはプラズマ処理装置内に酸素ガス等のクリーニング処理用ガスを供給した上で、高周波電力を印加しプラズマを発生させて行われるため、冷却ガス放出路付近においてアーキングが発生し易くなるという問題が生じる。【０００３】
そこで、静電チャック本体の薄型化に伴う問題を解消する技術として、特許文献１（特許第５３３１５１９号公報）には、図７のように、ガス供給孔(1a)を有する冷却装置(1)と、静電チャック本体(2)と、アーキング防止部材(13)を有する静電チャック(11)において、ガス供給孔(1a)の開口部にガス供給孔(1a)よりも大径の主座繰り部(1b)を設け、主座繰り部(1b)にガス供給孔(1a)と連通するガス流路(13a)を有するアーキング防止部材(13)を埋め込み、アーキング防止部材(13)の中央部には副座繰り部(13b)を設け、静電チャック本体(2)にはガス流路(13a)及び副座繰り部(13b)を介してガス供給孔(1a)と連通する細孔(2a)を設けることにより、プラズマがガス供給孔(1a)の中で発生しにくくなることが記載されている（特に、図２及び段落０００８、００３４及び００３５を参照）。【０００４】
また、特許文献２（特許第６２６３４８４号公報）には、アーキングの防止、第１成形体と保護層との密着性向上、基板のコンタミネーション防止等を目的とした静電チャックが記載されている。
特許文献２記載の静電チャックは、図８のように、導電性の基体(1)、絶縁性の成形体(2)並びに基体(1)及び成形体(2)の上端面を被覆する保護層(4)を備え、基体(1)には段差(11)を有する連通孔(10)が形成され、成形体(2)は連通孔(10)に圧入されている。
さらに、成形体(2)は、第１成形体(21)及び第２成形体(22)により構成され、第１成形体(21)の外側面には基体(1)の段差(11)に相当する位置に外側段差(211)が設けられ、内側面には内側段差(212)が設けられている。また、第２成形体(22)の外側面には第１成形体(21)の内側段差(212)に相当する位置に外側段差(222)、内側面には内側段差(220)、中央部には中空部(20)が設けられ、保護層(4)には中空部(20)に連通する貫通孔(40)が設けられている。
そして、中空部(20)及び貫通孔(40)により静電チャックの通気経路が構成されている（特に、特許文献２の図１、段落００１９〜００２１及び００２６〜００３０を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５３３１５１９号公報
【特許文献２】特許第６２６３４８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載されている静電チャックは、ガス供給孔(1a)に設けた主座繰り部(1b)にアーキング防止部材(13)が埋め込まれ、静電チャック本体(2)及びアーキング防止部材(13)に、それぞれ細孔(2a)及びガス流路(13a)を設ける必要があった。
また、特許文献２に記載されている静電チャックは、段差(11)等を有する連通孔(10)に成形体(2)が圧入され、成形体(2)は第１成形体(21)及び第２成形体(22)により構成されており、第２成形体(22)及び保護層(4)に、それぞれ中空部(20)及び貫通孔(40) を設ける必要があった。なお、静電チャック本体の構成は不明である。
そのため、これらの静電チャックは、ガス供給孔(1a)や連通孔(10)の形成、アーキング防止部材(13)の埋め込み、径の小さい細孔(2a)やガス流路(13a)の形成、中空部(20)や貫通孔(40)の形成等が必要で、製造コストが高くなるという問題があった。【０００７】
本発明は、このような問題を解決し、静電チャック本体が薄くても、ダミーウエハを載置せずにプラズマ処理装置内をクリーニングしても確実にアーキングを防止することのできる静電チャックを低コストで提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に係る発明は、プラズマ処理装置に配置されウエハを吸着するウエハ載置面を有する静電チャック本体と、アーキング防止部材と、前記静電チャック本体を支持する金属製ベース部材を備える静電チャックにおいて、
前記静電チャック本体及び前記金属製ベース部材には、冷却用ガス穴及び該冷却用ガス穴に接続され前記ウエハ載置面まで貫通する複数の冷却ガス用縦穴が設けられ、
前記アーキング防止部材は、冷却ガスの放出路となる直径２０〜１００μｍの細孔が複数個貫通しているセラミックス製板状体からなり、かつ、前記複数の冷却ガス用縦穴の上部に配置されており、
前記セラミックス製板状体の厚さが、前記静電チャック本体の厚さより厚いことを特徴とする。【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の静電チャックにおいて、
前記アーキング防止部材は円柱体であり、
複数個の前記細孔は、前記円柱体の中心軸に対して平行に配置されることを特徴とする。【００１０】
請求項３に係る発明は、プラズマ処理装置に配置されウエハを吸着するウエハ載置面を有する静電チャック本体と、アーキング防止部材と、前記静電チャック本体を支持する金属製ベース部材を備える静電チャックにおいて、
前記静電チャック本体及び前記金属製ベース部材には、冷却用ガス穴及び該冷却用ガス穴に接続され前記ウエハ載置面まで貫通する複数の冷却ガス用縦穴が設けられ、
前記アーキング防止部材は、冷却ガスの放出路となる直径２０〜１００μｍの細孔が複数個貫通しているセラミックス製板状体及び該セラミックス製板状体を固定する外装部材からなり、かつ、前記複数の冷却ガス用縦穴の上部に配置されており、
前記セラミックス製板状体は、前記外装部材の冷却ガス流入側に固定されている流入側板状体と冷却ガス放出側に固定されている放出側板状体とに分離していることを特徴とする。【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項３に記載の静電チャックにおいて、
前記アーキング防止部材は円柱体であり、
前記流入側板状体を貫通している複数個の前記細孔は、前記円柱体の中心軸に対して第１の距離に平行に配置され、
前記放出側板状体を貫通している複数個の前記細孔は、前記円柱体の中心軸に対して第２の距離に平行に配置され、
前記第１の距離及び前記第２の距離は、異なる距離であることを特徴とする。【００１２】
請求項５に係る発明は、請求項３又は４に記載の静電チャックにおいて、
前記流入側板状体と前記放出側板状体との間には、１．１ｍｍ以下の隙間があることを特徴とする。【００１３】
請求項６に係る発明は、請求項３〜５のいずれかに記載の静電チャックにおいて、
前記外装部材はセラミックス材料からなり、
前記セラミックス製板状体は、前記外装部材に、接着、嵌合及び同時焼結のうちのいずれかの装着手段によって固定されていることを特徴とする。【００１４】
請求項７に係る発明は、請求項１〜６のいずれかに記載の静電チャックにおいて、
前記セラミックス製板状体は、相対密度が９５％以上であり、焼結組織内に介在する空孔が互いに連続的に接触することのない密閉空孔となっており、かつ、材料強度が４００ＭＰａ以上の曲げ強さを有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係る発明の静電チャックによれば、アーキング防止部材が冷却ガスの放出路となる直径２０〜１００μｍの細孔が複数個貫通しているセラミックス製板状体からなっており、冷却ガスがウエハの一点に向けて集中的に噴出することがないので、冷却ガスの吹き出しによるウエハの変形を抑えることができる。
また、セラミックス製板状体の厚さが、静電チャック本体の厚さより厚いので、静電チャック本体が薄くても確実にアーキングを防止することができる。
さらに、アーキング防止部材を複数の冷却ガス用縦穴の上部に配置するだけで冷却ガスの放出路を形成できるので、低コストで静電チャックを製造することができる。【００１６】
請求項２に係る発明の静電チャックによれば、請求項１に係る発明の静電チャックによる効果に加え、アーキング防止部材は円柱体であるので、静電チャック本体及び前記金属製ベース部材に設けられる複数の冷却ガス用縦穴もまっすぐな穴とすれば良い。
また、複数個の細孔が円柱体の中心軸に対して平行に配置されるので、複数個の細孔を容易に製造することができる
そのため、より低コストで静電チャックを製造することができる。【００１７】
請求項３に係る発明の静電チャックによれば、アーキング防止部材が冷却ガスの放出路となる直径２０〜１００μｍの細孔が複数個貫通しているセラミックス製板状体及び該セラミックス製板状体を固定する外装部材からなっているとともに、セラミックス製板状体は、外装部材の冷却ガス流入側に固定されている流入側板状体と冷却ガス放出側に固定されている放出側板状体とに分離しているので、冷却ガスの吹き出しによるウエハの変形を抑えることができ、かつ、アーキング防止部材を薄くしても確実にアーキングを防止することのできる静電チャックを提供することができる。
また、アーキング防止部材を複数の冷却ガス用縦穴の上部に配置するだけで冷却ガスの放出路を形成できるので、低コストで静電チャックを製造することができる。【００１８】
請求項４に係る発明の静電チャックによれば、請求項３に係る発明の静電チャックによる効果に加え、アーキング防止部材は円柱体であるので、静電チャック本体及び前記金属製ベース部材に設けられる複数の冷却ガス用縦穴はまっすぐな縦穴とすれば良い。
また、流入側板状体を貫通している複数個の細孔が円柱体の中心軸に対して第１の距離に平行に配置され、放出側板状体を貫通している複数個の細孔が円柱体の中心軸に対して第２の距離に平行に配置されるので、複数個の細孔を容易に製造することができる
そのため、より低コストで静電チャックを製造することができる。
さらに、第１の距離及び第２の距離は、異なる距離であるので、より確実にアーキングを防止することのできる静電チャックを提供することができる。【００１９】
請求項５に係る発明の静電チャックによれば、請求項３又は４に係る発明の静電チャックによる効果に加え、流入側板状体と放出側板状体との間に１．１ｍｍ以下の隙間があるので、確実にアーキングを防止することができる。【００２０】
請求項６に係る発明の静電チャックによれば、請求項３〜５のいずれかに係る発明の静電チャックによる効果に加え、外装部材はセラミックス材料からなり、セラミックス製板状体は、外装部材に、接着、嵌合及び同時焼結のうちのいずれかの装着手段によって固定されているので、アーキング防止部材を容易に組み立てることができる。【００２１】
請求項７に係る発明の静電チャックによれば、請求項１〜６のいずれかに係る発明の静電チャックによる効果に加え、セラミックス製板状体は、相対密度が９５％以上であり、焼結組織内に介在する空孔が互いに連続的に接触することのない密閉空孔となっており、かつ、材料強度が４００ＭＰａ以上の曲げ強さを有しているので、細孔内面が緻密でガス流通抵抗が小さくなる、ハンドリング時の欠損が生じにくい、アーキング防止部材のプラズマ耐性が強いといった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施例１の静電チャックの断面図。
【図２】実施例１の冷却ガス用縦穴上部付近の断面図。
【図３】実施例１のアーキング防止部材の断面図及び平面図。
【図４】実施例２の冷却ガス用縦穴上部付近の断面図。
【図５】実施例２のアーキング防止部材の断面図、平面図及び底面図。
【図６】実施例３のアーキング防止部材の断面図及び平面図。
【図７】特許文献１に記載されている静電チャックの断面図。
【図８】特許文献２に記載されている静電チャックの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、実施例によって本発明の実施形態を説明する。
【実施例１】
【００２４】
図１に示す実施例１の静電チャックは、ウエハＷを吸着するウエハ載置面を有する厚さ約１ｍｍの静電チャック本体１と、厚さ約２ｍｍのアーキング防止部材２と、静電チャック本体１を支持する金属製ベース部材３を備えている。
静電チャック本体１及び金属製ベース部材３には、金属製ベース部材３の内部にほぼ水平に冷却用ガス穴４が設けられているとともに、冷却用ガス穴４に接続されウエハ載置面までほぼ鉛直に貫通している複数の冷却ガス用縦穴５が設けられている。
なお、冷却ガス用縦穴５は、水平方向の断面が円形状であり、ウエハ載置面における開口部がほぼ等間隔となるように配置されている。
静電チャック本体１には内部電極６が埋設され、ウエハ載置面にウエハＷを吸着させるため、高圧直流電源７と電気的に接続されている。
また、金属製ベース部材３には、冷却水供給管８と冷却水排出管９が設けられており、金属製ベース部材３が強制冷却されるとともに、静電チャック本体１が下面側から冷却され、さらにはウエハＷの下面側も冷却されるようになっている。【００２５】
図２は、実施例１における冷却ガス用縦穴５の上部付近の断面図である。
図２に示すように、静電チャック本体１の上面には複数の小突起１０が形成されており、各小突起１０の上面がウエハ載置面１１となっている。
そして、冷却ガス用縦穴５の上部には、円柱状のアーキング防止部材２が装着されており、アーキング防止部材２の外側面は静電チャック本体１及び金属製ベース部材３の内面に密着している。
アーキング防止部材２は、直径１．２ｍｍの円柱状のセラミックス製板状体１２及び外径１．８ｍｍ、内径１．２ｍｍの円筒状の外装部材１３からなり、外装部材１３の内側にはセラミックス製板状体１２が嵌合され、セラミックス製板状体１２の外側面は外装部材１３の内面に密着し固定されている。【００２６】
図３は、実施例１におけるアーキング防止部材２の断面図及び平面図である。
図３に示すように、セラミックス製板状体１２には中心軸に対して０．２ｍｍの距離に平行に配置される８個の細孔１４と、同じく０．３ｍｍの距離に平行に配置される１２個の細孔１５と、同じく０．４ｍｍの距離に平行に配置される１８個の細孔１６が形成されている。
なお、細孔１４、１５及び１６の直径は、いずれも５０μｍである。【００２７】
セラミックス製板状体１２に形成される細孔１４、１５及び１６は、本出願人らの特許発明である特許第５１１９２５３号公報に記載されている装置及び方法により製造される。
すなわち、（１）セラミックス材料の原料粉末に押出成形用バインダと水分を配合した混練体を得る工程、（２）長手方向に空洞を有する合成樹脂、炭素材料又は金属材料からなる複数のフィラメントを、フィラメントガイドとオリフィスとを組み付けた押出成形用型内に挿通する工程、（３）フィラメントを張力をかけた状態で引張っておき、押出成形用型内に混練体を圧力をかけて供給し、混練体とフィラメントをオリフィスから押し出して軸心方向にフィラメントを包含した押出成形体を得る工程、（４）押出成形体を所定長さに切断してグリーン体とする工程又は（４’）押出成形体を所定長さに切断するとともにフィラメントを引き抜いて除去することによりノズル部材用のグリーン体とする工程、（５）工程（４）で得たグリーン体を焼成して脱脂及び焼結する過程で、合成樹脂又は炭素材料からなるフィラメントを蒸発及び焼失させて軸心に平行な直線状の貫通孔を複数形成する工程又は（５’）工程（４’）で得たグリーン体を脱脂、焼結することにより軸心に平行な貫通孔を形成する工程を経て製造される（特に、上記公報の段落００２２、００２３、００３１〜００３５、００５４及び図１、２、６を参照）。
【実施例２】
【００２８】
図４は、実施例２における冷却ガス用縦穴５の上部付近の断面図である。
実施例２の静電チャックは、図４に示す冷却ガス用縦穴５の上部付近の構成のみが異なり、他の部分は実施例１の図１に示す静電チャックと同じ構成である。
そのため、以下の説明において、実施例１と変わっていない箇所については、説明を省略するとともに実施例１と同じ番号を用いることとする。【００２９】
図４に示すように、冷却ガス用縦穴５の上部には、円柱状のアーキング防止部材２０が装着されており、アーキング防止部材２０の外側面は静電チャック本体１の内面に密着している。
アーキング防止部材２０は、直径１．６ｍｍ、厚さ０．４５ｍｍの円柱状のセラミックス製放出側板状体２１、直径１．２ｍｍ、厚さ０．４５ｍｍの円柱状のセラミックス製流入側板状体２２及び外径１．８ｍｍで内側面に段差を有する円筒状の外装部材２３からなり、外装部材２３の内側上部にはセラミックス製放出側板状体２１、内側下部にはセラミックス製流入側板状体２２が嵌合され、セラミックス製放出側板状体２１及びセラミックス製流入側板状体２２の外側面は、それぞれ外装部材２３の内面に密着し固定されている。【００３０】
図５は、実施例２におけるアーキング防止部材２０の断面図、平面図及び底面図である。
図５に示すように、セラミックス製放出側板状体２１には、中心軸に対して０．１５ｍｍの距離に平行に配置される４個の細孔２４と、同じく０．２５ｍｍの距離に平行に配置される８個の細孔２５と、同じく０．３５ｍｍの距離に平行に配置される１６個の細孔２６と、同じく０．４５ｍｍの距離に平行に配置される２０個の細孔２７が形成されている。
また、セラミックス製流入側板状体２２には、実施例１のセラミックス製板状体１２と同様に、中心軸に対して０．２ｍｍの距離に平行に配置される８個の細孔１４と、同じく０．３ｍｍの距離に平行に配置される１２個の細孔１５と、同じく０．４ｍｍの距離に平行に配置される１８個の細孔１６が形成されている。
なお、細孔１４、１５、１６、２４、２５、２６及び２７の直径は、いずれも３０μｍである。【００３１】
セラミックス製放出側板状体２１に形成される細孔２４、２５、２６及び２７並びにセラミックス製流入側板状体２２に形成される細孔１４、１５及び１６も、実施例１と同様に、本出願人らの特許発明である特許第５１１９２５３号公報に記載されている装置及び方法により製造される。
また、セラミックス製放出側板状体２１とセラミックス製流入側板状体２２との間には、０．１ｍｍの隙間が形成されているので、ガスが拡散され、かつ、中心軸に対する細孔１４、１５、１６、２４、２５、２６及び２７の距離が全て異なっていることと相まって、薄くても確実にアーキングを防止することができる。
【実施例３】
【００３２】
図６は、実施例３におけるアーキング防止部材３０の断面図及び平面図である。
実施例３の静電チャックは、図６に示すアーキング防止部材３０の構成のみが異なり、他の部分は実施例１の静電チャックと同じ構成である。
そのため、以下の説明において、実施例１と変わっていない箇所については、説明を省略するとともに実施例１と同じ番号を用いることとする。【００３３】
アーキング防止部材３０は、直径１．２ｍｍの円柱状のセラミックス製板状体３２及び外径１．８ｍｍ、内径１．２ｍｍの円筒状の外装部材３３からなり、外装部材３３の内側にはセラミックス製板状体３２が嵌合され、セラミックス製板状体３２の外側面は外装部材３３の内面に密着し固定されている。【００３４】
図６に示すように、セラミックス製板状体３２には直線上に４個、６個、８個、８個、８個、８個、６個、４個の細孔３４が、いずれも中心軸に対して平行に配置されており、隣接する細孔３４の間隔は０．３ｍｍとなっている。
なお、５２個形成されている細孔３４の直径は、いずれも５０μｍである。
また、セラミックス製板状体３２に形成される細孔３４も、実施例１と同様に、本出願人らの特許発明である特許第５１１９２５３号公報に記載されている装置及び方法により製造される。【００３５】
実施例の変形例を列記する。
（１）実施例１及び３においては、アーキング防止部材２及び３０を円柱体とし、その厚さを静電チャック本体１の厚さより厚くしていたが、形状は円柱体に限らず角柱体やだ円柱体であっても良い。また、厚さについては外装部材１３又は３３に固定されるセラミックス製板状体１２又は３２のみを静電チャック本体１の厚さより厚くしても良い。
（２）実施例１〜３においては、外装部材１３、２３及び３３の材質を特定していなかったが、アーキング防止の観点から絶縁体とするのが好ましく、セラミックス製とするのがより好ましい。
（３）実施例１〜３においては、セラミックス製板状体１２と外装部材１３の固定を嵌合によって行っていたが、接着によって行っても良く、外装部材１３をセラミックス製とする場合には、同時焼結によって行っても良い。
また、実施例１の図２、３及び実施例３の図６では、セラミックス製板状体１２を外装部材１３に固定したアーキング防止部材２を冷却ガス用縦穴５に装着したが、セラミックス製板状体１２の直径を外装部材１３の外径と同じとし、セラミックス製板状体１２を直接冷却ガス用縦穴５に装着しても良い。
そうした場合、セラミックス製板状体１２と外装部材１３の固定を省略できるので、製造コストをさらに削減することができる。【００３６】
（４）実施例１〜３においては、セラミックス製板状体１２、３２、セラミックス製放出側板状体２１、セラミックス製流入側板状体２２、外装部材１３、２３、３３及び細孔１４、１５、１６、２４、２５、２６、２７及び３４の大きさや配置を特定したが、十分な量の冷却ガスを供給できるものであれば、細孔の直径や配置を考慮しつつ適宜設定すれば良いが、差圧１０００Ｐａにおいて１０００ｍｍ2あたり０．４sccm以上流れるようにする必要がある。
すなわち、実施例１及び３の場合は、１０００ｍｍ2あたり１５０個以上の細孔を配置すれば良く、実施例２の場合は、１０００ｍｍ2あたり４００個以上の細孔（セラミックス製流入側板状体２２側の細孔）を配置すれば良い。
また、細孔１４、１５、１６、２４、２５、２６、２７及び３４の直径は、アーキング防止の観点から２０〜１００μｍとするのが好ましく、２０〜８０μｍとするのがより好ましい。
さらに、細孔の直径Ｄと長さＬとの比（Ｌ／Ｄ）であるアスペクト比は５以上とするのが好ましく、１０以上とするのがより好ましい。
（５）実施例１〜３においては、細孔１４、１５及び１６、細孔２４、２５、２６及び２７並びに細孔３４は、いずれも互いに中心軸に対して平行に配置したが、必ずしも平行に配置しなくても良い。
（６）実施例１及び３においては、薄い静電チャック本体１に適合するために、セラミックス製板状体（２及び３０）を静電チャック本体１より厚くしたが、静電チャック本体１が３ｍｍ程度と厚い場合は、静電チャック本体１より薄くしても良い。【００３７】
（７）実施例２（図４及び図５）においては、２枚のセラミックス製板状体（セラミックス製放出側板状体２１とセラミックス製流入側板状体２２）を分離して固定したが、３枚以上のセラミックス製板状体を分離して固定しても良い。
（８）実施例２においては、セラミックス製放出側板状体２１とセラミックス製流入側板状体２２との間に０．１ｍｍの隙間が形成されていたが、隙間の大きさは適宜変更できる。
なお、隙間の大きさは１．１ｍｍ以下であれば良いが、通常、隙間の大きさは０．０５〜１ｍｍの範囲で選択される。
（９）実施例２においては、アーキング防止部材２０の厚さは静電チャック本体１の厚さと等しく、アーキング防止部材２０の外側面は静電チャック本体１の内面に密着していたが、アーキング防止部材２０の厚さは、静電チャック本体１の厚さより薄くても厚くても良い。
【符号の説明】
【００３８】
１  静電チャック本体      ２  アーキング防止部材      ３  金属製ベース部材
４  冷却用ガス穴      ５  冷却ガス用縦穴      ６  内部電極
７  高圧直流電源      ８  冷却水供給管      ９  冷却水排出管
１０  小突起      １１  ウエハ載置面      １２  セラミックス製板状体
１３  外装部材      １４〜１６  細孔
２０  アーキング防止部材      ２１  セラミックス製放出側板状体
２２  セラミックス製流入側板状体      ２３  外装部材      ２４〜２７  細孔
３０  アーキング防止部材      ３２  セラミックス製板状体
３３  外装部材      ３４  細孔
Ｄ  細孔の直径      Ｌ  細孔の長さ      Ｗ  ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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