(57)【要約】スラストフォイル軸受のベースプレート（３０）は、第１方向において縞状に交互に形成された複数の凸部（３３）及び複数の凹部（３４）を備え、複数の凸部（３３）の頂面（３３ａ）及び複数の凹部（３４）の底面（３４ａ）のいずれか一方が、第１方向の一方側に向かうに従って漸次低くなっている。
2020137513.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向において縞状に交互に形成された複数の凸部及び複数の凹部を備え、前記複数の凸部の頂面及び前記複数の凹部の底面のいずれか一方が、前記第１方向の一方側に向かうに従って漸次低くなっているベースプレートと、
前記ベースプレートにおいて、前記第１方向の一方側に向かうに従って漸次低くなっている前記複数の凸部の頂面または前記複数の凹部の底面に支持されたバックフォイルと、を備える、スラストフォイル軸受。
【請求項２】
前記頂面及び前記底面のいずれか一方が、傾斜面となっている、請求項１に記載のスラストフォイル軸受。
【請求項３】
前記複数の凸部及び前記複数の凹部のいずれか一方は、前記第１方向と交差する第２方向に延伸すると共に、前記第１方向で隣り合う前記凸部同士または前記凹部同士が、前記第２方向におけるいずれか一方の端部において接続されている、請求項１または２に記載のスラストフォイル軸受。
【請求項４】
第１方向において縞状に交互に形成された複数の凸部及び複数の凹部を備え、
前記複数の凸部の頂面及び前記複数の凹部の底面のいずれか一方が、前記第１方向の一方側に向かうに従って漸次低くなっている、スラストフォイル軸受のベースプレートの製造方法であって、
前記複数の凸部及び前記複数の凹部をプレス加工により形成する、スラストフォイル軸受のベースプレートの製造方法。
【請求項５】
前記プレス加工は、
プレス面に凹凸を備える第１の金型によって、前記ベースプレートをプレスし、前記複数の凹部及び前記頂面の高さが一定の前記複数の凸部を形成する第１プレス加工と、
前記第１プレス加工後、プレス面が傾斜した第２の金型によって、前記複数の凸部の頂面をプレスし、前記第１方向の一方側に向かうに従って漸次低くなる傾斜面を形成する第２プレス加工と、を含む、請求項４に記載のスラストフォイル軸受のベースプレートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、スラストフォイル軸受、スラストフォイル軸受のベースプレートの製造方法に関する。
本願は、２０１８年１２月２５日に日本に出願された特願２０１８−２４１５３２号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高速回転体用の軸受として、回転軸に設けられたスラストカラーに対向して配置されるスラストフォイル軸受が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。スラストフォイル軸受は、振動や衝撃によって発生する回転軸の動き(スラストカラーの軸方向変位と傾き)を吸収できるように、軸受面が柔軟なフォイル(金属製薄板)によって形成されており、軸受面の下に軸受面を柔軟に支持するためのフォイル構造を有している。【０００３】
スラストフォイル軸受には、周方向に複数のトップフォイル片とバックフォイル片が配列された形態がある。トップフォイル片は、バックフォイル片に支持されており、スラストカラーの回転により、トップフォイル片とスラストカラーとの間に潤滑流体が導入される。この潤滑流体がトップフォイル片とスラストカラーとの間に楔状の流体潤滑膜を形成し、スラストフォイル軸受の負荷能力が発揮される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】日本国特許第６０６５９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記従来技術では、トップフォイルとスラストカラーとの間に楔状の隙間を形成するために、一定の高さのバックフォイルを、ベースプレートに形成した傾斜面に設置している。しかし、このような傾斜面は、切削加工などにより形成することが考えられるが、所望の流体潤滑膜を形成するには、ある程度の加工の精度が必要となり、加工に要する時間やコストがかかる。このため、ベースプレートの加工性の向上が求められている。【０００６】
本開示は、上記事情に鑑みてなされたものであり、スラストフォイル軸受のベースプレートの加工性の向上を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示のスラストフォイル軸受の一態様は、第１方向において縞状に交互に形成された複数の凸部及び複数の凹部を備え、前記複数の凸部の頂面及び前記複数の凹部の底面のいずれか一方が、前記第１方向の一方側に向かうに従って漸次低くなっているベースプレートと、前記ベースプレートにおいて、前記第１方向の一方側に向かうに従って漸次低くなっている前記複数の凸部の頂面または前記複数の凹部の底面に支持されたバックフォイルと、を備える。【０００８】
また、本開示の前記一態様においては、前記頂面及び前記底面のいずれか一方が、傾斜面となっていてもよい。【０００９】
また、本開示の前記一態様においては、前記複数の凸部及び前記複数の凹部のいずれか一方は、前記第１方向と交差する第２方向に延伸すると共に、前記第１方向で隣り合う前記凸部同士または前記凹部同士が、前記第２方向におけるいずれか一方の端部において接続されていてもよい。【００１０】
また、本開示のスラストフォイル軸受のベースプレートの製造方法の一態様は、第１方向において縞状に交互に形成された複数の凸部及び複数の凹部を備え、前記複数の凸部の頂面及び前記複数の凹部の底面のいずれか一方が、前記第１方向の一方側に向かうに従って漸次低くなっている、スラストフォイル軸受のベースプレートの製造方法であって、前記複数の凸部及び前記複数の凹部をプレス加工により形成する。【００１１】
また、本開示のスラストフォイル軸受のベースプレートの製造方法の前記一態様においては、前記プレス加工は、プレス面に凹凸を備える第１の金型によって、前記ベースプレートをプレスし、前記複数の凹部及び前記頂面の高さが一定の前記複数の凸部を形成する第１プレス加工と、前記第１プレス加工後、プレス面が傾斜した第２の金型によって、前記複数の凸部の頂面をプレスし、前記第１方向の一方側に向かうに従って漸次低くなる傾斜面を形成する第２プレス加工と、を含んでもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本開示によれば、スラストフォイル軸受のベースプレートの加工性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本開示のスラストフォイル軸受が適用されるターボ機械の一例を示す側面図である。
【図２】本開示のスラストフォイル軸受を示す側面図である。
【図３】本開示の第１実施形態に係るスラストフォイル軸受を示す平面図である。
【図４】図３に示す矢視Ａ−Ａ図である。
【図５】図３に示すバックフォイルを支持するベースプレートを示す平面図である。
【図６】本開示の第１実施形態に係るベースプレートに凸部及び凹部を形成する工程を示す図である。
【図７】本開示の第２実施形態に係るスラストフォイル軸受を示す断面図である。
【図８】本開示の第２実施形態に係るベースプレートに凸部及び凹部を形成する工程を示す図である。
【図９】本開示の第２実施形態に係るベースプレートに凸部及び凹部を形成する工程を示す図である。
【図１０】本開示の第３実施形態に係るベースプレートを示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本開示のスラストフォイル軸受を詳しく説明する。
【００１５】
図１は、本開示のスラストフォイル軸受が適用されるターボ機械の一例を示す側面図である。
図１中、符号１は回転軸（シャフト）、符号２は回転軸の先端部に設けられたインペラ、符号３は本開示に係るスラストフォイル軸受である。
【００１６】
回転軸１には、円板状のスラストカラー４が取り付けられている。スラストカラー４は、一対のスラストフォイル軸受３に挟まれている。インペラ２は、静止側となるハウジング５内に配置されており、ハウジング５との間にチップクリアランス６を有している。回転軸１は、ラジアルフォイル軸受７に支持されている。
【００１７】
図２は、本開示のスラストフォイル軸受３を示す側面図である。
スラストフォイル軸受３は、図２に示すように、スラストカラー４を挟んで両側に一対で設けられている。これら一対のスラストフォイル軸受３は、共に同じ構成となっている。スラストフォイル軸受３は、トップフォイル１０と、バックフォイル２０と、ベースプレート３０と、を備える。
【００１８】
一対のスラストフォイル軸受３のそれぞれのベースプレート３０の間には、二点鎖線で示す円筒状の軸受スペーサ４０が挟持されている。そして、これらベースプレート３０は、締結ボルト４１によって軸受スペーサ４０を介して連結されている。ベースプレート３０の外周部には、締結ボルト４１を挿通するための貫通孔４２が形成されている。なお、このように連結されたベースプレート３０のうちの一方は、締結ボルト４１による締め付けによってハウジング５に当接している。
【００１９】
（第１実施形態）
図３は、本開示の第１実施形態に係るスラストフォイル軸受３を示す平面図である。図４は、図３に示す矢視Ａ−Ａ図である。図５は、図３に示すバックフォイル２０を支持するベースプレート３０を示す平面図である。
ベースプレート３０は、図３に示すように、回転軸１が挿通される挿通孔３０ａを有する。
【００２０】
なお、以下の説明においては、挿通孔３０ａを基準に各部材の位置関係を説明することがある。具体的に、「軸方向」とは、挿通孔３０ａが延びる方向（回転軸１が挿通される方向）を言う。また、「径方向」とは、挿通孔３０ａの径方向を言う。また、「周方向」とは、挿通孔３０ａの内周面に沿った周方向を言う。あるいは、挿通孔３０ａに挿通された回転軸１の軸心を基準に、当該軸心から視た「径方向」及び「周方向」とも言える。
【００２１】
ベースプレート３０は、軸方向におけるスラストフォイル軸受３の最外部（反スラストカラー側）を構成している。ベースプレート３０には、挿通孔３０ａが形成されている。すなわち、本開示のベースプレート３０は、挿通孔３０ａが形成された円板状の部材である。しかし、挿通孔３０ａを有すれば、ベースプレート３０は、円板状以外の部材（例えば矩形板状）であってもよい。また、挿通孔３０ａについても、必ずしも厳密な円筒形状である必要はない。
【００２２】
ベースプレート３０は、例えば、厚さ数ｍｍ程度の金属板から形成されている。スラストカラー４と対向して配置されるベースプレート３０の平坦面３０ｂにおける挿通孔３０ａ（開口）の周囲には、トップフォイル１０、バックフォイル２０が配置されている。具体的に、トップフォイル１０は、バックフォイル２０に支持され、バックフォイル２０は、ベースプレート３０に支持されている。つまり、トップフォイル１０は、バックフォイル２０を介し、ベースプレート３０にも支持されている。
【００２３】
本開示では、トップフォイル１０、バックフォイル２０がいずれも複数枚（６枚）のトップフォイル片１１、バックフォイル片２１によって形成されている。ベースプレート３０は、平坦面３０ｂの周方向において等間隔に６枚のトップフォイル片１１、バックフォイル片２１を支持している。なお、トップフォイル片１１、バックフォイル片２１の枚数は、６枚に限定されるものではない。
【００２４】
本開示のトップフォイル１０は、周方向に配列された６枚の金属製の薄板（トップフォイル片１１）によって形成されている。トップフォイル片１１は、周方向一方側（回転軸１の回転方向上流側）から周方向他方側（回転軸１の回転方向下流側）に向かって上方（図３において紙面手前側。あるいは、ベースプレート３０からトップフォイル片１１に向かう方向の軸方向側）に傾斜する傾斜部１２と、傾斜部１２の周方向一方側に連設され、ベースプレート３０に取り付けられる取付部１３と、を有している。
【００２５】
傾斜部１２は、図３に示すように、扇形の頂点側を切り欠いて内周側、外周側をそれぞれ円弧状とした、略台形状に形成されている。すなわち、傾斜部１２は、周方向に離隔し、内周側から外周側に延びる２つの端縁と、２つの端縁を内周側で接続する内周側の端縁と、２つの端縁を外周側で接続する外周側の端縁を備えている。傾斜部１２の周方向他方側の内周側から外周側に延びる端縁（以下、周方向他方側の端部１２ａと言う）は、自由端となっている。
【００２６】
一方で、傾斜部１２の周方向一方側の内周側から外周側に延びる端縁は、曲げ部１４を介して取付部１３に接続されている。曲げ部１４は、図４に示すように、第１の屈曲と、第１の屈曲の周方向他方側に位置する第２の屈曲とで構成されている。第１の屈曲は、トップフォイル片１１のベースプレート３０に対向する面の背面側に屈曲している。第２の屈曲は、トップフォイル片１１のベースプレート３０に対向する面側に屈曲している。つまり、曲げ部１４は、階段状となっている。なお、第１の屈曲、第２の屈曲は、いずれも鈍角となっている。
【００２７】
曲げ部１４よりも周方向他方側に位置する傾斜部１２は、バックフォイル片２１の支持部２２に支持されている。支持部２２に支持された傾斜部１２は、周方向一方側から周方向他方側に向かうに連れて、ベースプレート３０から漸次遠ざかるように初期傾斜角で傾斜して配置されている。ここで、初期傾斜角とは、荷重がゼロのときのベースプレート３０に対するトップフォイル片１１の傾斜角を意味する。本開示のベースプレート３０は、軸方向に直交する方向に広がる平坦面３０ｂを有し、傾斜部１２は、当該平坦面３０ｂに対し傾斜している。
【００２８】
取付部１３は、曲げ部１４の周方向一方側（第１の屈曲側）に接続されている。本開示では、この取付部１３は、径方向において曲げ部１４と同じ長さで帯状に形成され、ベースプレート３０に対してスポット溶接（点付溶接）されている。つまり、この溶接位置が、ベースプレート３０に対するトップフォイル片１１の取付位置となっている。なお、ベースプレート３０に対するトップフォイル片１１の取り付けについては、スポット溶接以外にも、例えばネジ止めなどによっても行うことができる。また、取付部１３と曲げ部１４は、必ずしも径方向において同じ長さである必要はない。
【００２９】
一方、バックフォイル２０は、周方向に配列された６枚の金属製の薄板（バックフォイル片２１）によって形成されている。バックフォイル片２１は、トップフォイル片１１の傾斜部１２を支持する支持部２２を有している。支持部２２は、図４に示すように、山部２２ａと谷部２２ｂが交互に形成された波型のフォイル（バンプフォイル）である。支持部２２は、トップフォイル片１１の傾斜部１２を弾性的に支持している。
【００３０】
なお、支持部２２としては、例えば、バンプフォイル、日本国特開２００６−５７６５２号公報や日本国特開２００４−２７０９０４号公報などに記載されているスプリングフォイル、日本国特開２００９−２９９７４８号公報などに記載されているバックフォイルなどを用いることができる。なお、日本国特開２００６−５７６５２号公報や日本国特開２００４−２７０９０４号公報に記載されているスプリングフォイル、日本国特開２００９−２９９７４８号公報に記載されているバックフォイルは、ラジアル軸受に用いられるフォイルであるが、これらを平面状に展開して円環板状に形成すれば、スラストフォイル軸受３に用いられるフォイル（支持部２２）となる。
【００３１】
本開示の支持部２２は、バンプフォイルから形成されている。支持部２２は、図３に示す平面視で、トップフォイル片１１の傾斜部１２よりも一回り小さく形成されている。したがって、支持部２２は、傾斜部１２に覆われている。支持部２２は、傾斜部１２と同様に、扇形の頂点側を切り欠いて内周側、外周側をそれぞれ円弧状とした、略台形状に形成されている。すなわち、支持部２２は、周方向に離隔し、内周側から外周側に延びる２つの端縁と、２つの端縁を内周側で接続する内周側の端縁と、２つの端縁を外周側で接続する外周側の端縁を備えている。
【００３２】
支持部２２の周方向一方側の内周側から外周側に延びる端縁（以下、周方向一方側の端部）には、支持部２２の周方向他方側の内周側から外周側に延びる端縁（以下、周方向他方側の端部）と平行に延びる平行部（以下、バックフォイル端部２１ａと言う）が形成されている。支持部２２には、バックフォイル端部２１ａから支持部２２の周方向他方側の端部に向かう第１方向において、すなわち、バックフォイル端部２１ａないし支持部２２の周方向他方側の端部と直交する法線方向（山部２２ａの稜線と直交する方向とも言う）において、谷部２２ｂと山部２２ａが交互に連なっている。
【００３３】
図４に示すように、谷部２２ｂは、平坦面を備えベースプレート３０に対向している。また、山部２２ａは、隣接する谷部２２ｂを繋ぐアーチ状の部位となっている。バックフォイル片２１は、ベースプレート３０に支持されている。そのため、谷部２２ｂは、ベースプレート３０と当接可能である。支持部２２の両端部、すなわち、バックフォイル端部２１ａと、支持部２２の周方向他方側の端部（以下、取付部２１ｂ）は、それぞれ谷部２２ｂによって形成されている。
【００３４】
本開示では、谷部２２ｂ及び山部２２ａは、それぞれほぼ等ピッチで形成されている。また、山部２２ａの高さＨ２２ａは、一定の高さで形成されている。取付部２１ｂは、ベースプレート３０に対してスポット溶接（点付溶接）されている。つまり、この溶接位置が、ベースプレート３０に対するバックフォイル片２１の取付位置となっている。つまり、本開示において、バックフォイル片２１の取付位置は、第１方向の他方側（図４において紙面右側）の端に位置する谷部２２ｂ（取付部２１ｂ）となっている。
【００３５】
また、バックフォイル片２１の第１方向の一方側（図４において紙面左側）の端に位置する谷部２２ｂ（バックフォイル端部２１ａ）は、自由端となっている。すなわち、バックフォイル片２１に荷重が作用すると、バックフォイル端部２１ａが、第１方向一方側に向かって移動することが可能である。なお、ベースプレート３０に対するバックフォイル片２１の取り付けについては、スポット溶接以外にも、例えばネジ止めなどによっても行うことができる。  
【００３６】
ベースプレート３０には、第１方向において縞状に交互に凸部３３及び凹部３４が形成されている。バックフォイル片２１の谷部２２ｂは、凹部３４の底面３４ａに支持されている。凹部３４は、ベースプレート３０の平坦面３０ｂよりも反スラストカラー側に窪んだ部分である。凸部３３は、凹部３４の底面３４ａに対して相対的にスラストカラー側に突出した部分である。なお、凸部３３の頂面３３ａは、ベースプレート３０の平坦面３０ｂと同一平面を形成している。
【００３７】
凹部３４は、図５に示すように、谷部２２ｂと同数で、第１方向に離隔して複数形成されている。凸部３３は、第１方向において隣り合う凹部３４の間に形成された平面部であり、山部２２ａと同数で形成されている。凹部３４は、谷部２２ｂと同じ方向（つまり、第１方向と直交する第２方向、山部２２ａの稜線が延びる方向とも言う）に延伸している。凹部３４は、第２方向において、谷部２２ｂの長さに対応した長さを有する。つまり、凹部３４は、第２方向において、底面３４ａに配置された谷部２２ｂよりも長く形成されている。つまり、谷部２２ｂは、凹部３４に収容可能となっている。
【００３８】
図４に示すように、凹部３４の底面３４ａは、第１方向の一方側（図４において紙面左側）に向かうに従って漸次低くなっている。ここで言う高さ関係は、ベースプレート３０の凹部３４が形成された面(表面)の背面から表面に向かう軸方向を、軸方向の正方向とした場合に、より軸方向の正方向側に位置するものほど、高い位置にあるとしている。つまり、凹部３４の底面３４ａは、当該凹部３４の第１方向の一方側に配置された凹部３４の底面３４ａよりも、平坦面３０ｂに近づく。本開示の凹部３４の底面３４ａのそれぞれは、平坦面３０ｂに対して角度θで傾斜する傾斜面となっている。角度θの大きさは、トップフォイル片１１の傾斜部１２の初期傾斜角度の大きさに対応している。
【００３９】
凹部３４の第１方向における寸法Ｗ３４は、谷部２２ｂの第１方向における寸法Ｗ２２ｂよりも大きい。凹部３４の寸法Ｗ３４は、バックフォイル片２１がベースプレート３０側に押し付けられた際に、第１方向に移動する谷部２２ｂが凸部３３の側面に接触しない大きさとするとよい。
【００４０】
また、凸部３３の第１方向における寸法Ｗ３３は、山部２２ａの第１方向における寸法Ｗ２２ａよりも小さい。この凸部３３の第１方向における寸法Ｗ３３は、凹部３４の第１方向における寸法Ｗ３４との合計が、バックフォイル片２１の山部２２ａのピッチに相当するように設定されている。
【００４１】
また、山部２２ａの高さＨ２２ａ（仮に、ベースプレート３０の平坦面３０ｂに、バックフォイル片２１の谷部２２ｂが接する形で配置した場合の、谷部２２ｂの底部と山部２２ａの頂部の、平坦面３０ｂに対する法線方向の間隔）は、凸部３３の高さＨ３３（凸部３３のうち、凸部３３に隣接する凹部３４の内であって、高さ方向おいて低い側の凹部３４の底面３４ａから、凹部３４の底面３４ａの法線方向に最も離れた位置における間隔）よりも大きい。本開示のように、山部２２ａの高さＨ２２ａが一定の（つまり、バックフォイル片２１を、谷部２２ｂが接する形で、平坦面３０ｂに配置した場合、山部２２ａの頂部が平坦面３０ｂと平行になる）場合、高さＨ２２ａは、第１方向の一方側（図４において紙面左側）の端に配置された凸部３３の高さＨ３３（底面３４ａに対する頂面３３ａの最大高さ）よりも大きいとよい。例えば、凸部３３の最大の高さＨ３３を基準としたとき、山部２２ａの高さＨ２２ａは、凸部３３の最大の高さＨ３３の概ね２倍以上の大きさとするとよい。
【００４２】
上記構成の凸部３３及び凹部３４を有するベースプレート３０は、例えば、図６に示すようなプレス加工によって形成することができる。
図６は、本開示の第１実施形態に係るベースプレート３０に凸部３３及び凹部３４を形成する工程を示す図である。
この工程のプレス加工では、図６（ａ）に示すような、凸部１０１及び凹部１０２をプレス面に備える金型１００を用いるとよい。
【００４３】
金型１００は、プレス面に、第１方向（図６において紙面左右方向）において交互に配置された複数の凸部１０１及び複数の凹部１０２を備えている。複数の凸部１０１の先端面は、第１方向の一方側（図６において紙面左側）に向かうに従って、ベースプレート３０の平坦面３０ｂに向かって延びている。それぞれの凸部１０１の先端面は、角度θの傾斜面を形成している。一方、凹部１０２は、平坦面３０ｂと平行な平面を有している。
【００４４】
この金型１００によって、図６（ｂ）に示すように、ベースプレート３０の平坦面３０ｂをプレスする。このプレス加工によって、ベースプレート３０の平坦面３０ｂに、金型１００の凸部１０１の形状が転写した凹部３４、及び、凹部１０２の形状が転写した凸部３３が形成される。
これにより、図６（ｃ）に示すように、ベースプレート３０の平坦面３０ｂに、平坦面３０ｂに対して角度θで傾斜した底面３４ａ（傾斜面）を有する複数の凹部３４と、それらの間に、平坦面３０ｂに対して傾斜しない頂面３３ａ（平面）を有する複数の凸部３３を形成することができる。
【００４５】
次に、このような構成からなるベースプレート３０を備えるスラストフォイル軸受３の作用について説明する。
スラストフォイル軸受３は、図２に示すように、スラストカラー４を挟んだ両側に設けている。そのため、回転軸１のスラスト方向両側の移動を抑制できる。
【００４６】
このような状態で回転軸１が回転し、スラストカラー４が回転を始めると、スラストカラー４とトップフォイル片１１は擦れ合いつつ、両者の間に形成されたくさび形の空間に周囲流体が押し込まれる。そして、スラストカラー４が一定の回転速度に達すると、両者の間に流体潤滑膜が形成される。この流体潤滑膜の圧力によってトップフォイル片１１はバックフォイル片２１側へ押し付けられ、スラストカラー４はトップフォイル片１１との接触状態を脱し、非接触で回転するようになる。
【００４７】
ここで、図４に示すように、本開示のバックフォイル片２１の山部２２ａの高さＨ２２ａは、一定であるが、バックフォイル片２１の谷部２２ｂが接する、ベースプレート３０の凹部３４の底面３４ａは、角度θで傾斜しているため、バックフォイル片２１に支持されるトップフォイル片１１に適切な傾斜を付与することができる。これにより、スラストカラー４とトップフォイル片１１との間に、流体潤滑膜を形成することができる。
【００４８】
トップフォイル片１１が流体潤滑膜を介してベースプレート３０側に押し下げられると、バックフォイル片２１の山部２２ａがベースプレート３０に向かって押し下げられる。このとき、バックフォイル片２１の谷部２２ｂは、バックフォイル片２１の取付位置(取付部２１ｂ)を基点として第１方向に移動する。その際、谷部２２ｂは、凹部３４の底面３４ａ（傾斜面）に載っているので、バックフォイル片２１の上に載せられたトップフォイル片１１は傾斜した状態を維持できる。なお、凹部３４には、谷部２２ｂよりも第１方向で広い底面３４ａが形成されているので，上記のように谷部２２ｂが第１方向に移動しても、谷部２２ｂが底面３４ａの終端(凸部３３との段差)に接触することは無い。
【００４９】
このように、ベースプレート３０上でバックフォイル片２１の谷部２２ｂが接しているところに、底面３４ａに傾斜が付いた凹部３４を形成することで、図５に示すように、バックフォイル片２１と重なる領域のすべてに、傾斜面を形成する必要がなくなる。このため、精密加工を要する部分（傾斜面）の面積が減り、ベースプレート３０の加工性が向上する。
【００５０】
したがって、上述した第１実施形態によれば、第１方向において縞状に交互に形成された複数の凸部３３及び複数の凹部３４を備え、複数の凹部３４の底面３４ａが、第１方向の一方側に向かうに従って漸次低くなっている、という構成を採用することによって、精密加工を要する部分の面積を減らし、ベースプレート３０の加工性を向上できる。
これにより、ベースプレート３０の切削加工に掛かる時間が短縮され、コストが下がる。また、このように精密加工を要する部分の面積が減れば、図６に示すように、切削加工より安価なプレス加工の適用が可能になり、ベースプレート３０が量産し易くなる。
【００５１】
（第２実施形態）
次に、本開示の第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００５２】
図７は、本開示の第２実施形態に係るスラストフォイル軸受３を示す断面図である。なお、図７は、上述した図４に示す断面図と対応する部分を示している。
図７に示すように、第２実施形態では、ベースプレート３０に形成された複数の凸部３３の頂面３３ａが、第１方向の一方側（図７において紙面左側）に向かうに従って漸次低くなっている。
【００５３】
ベースプレートには、第１方向において縞状に交互に凸部３３及び凹部３４が形成されている。バックフォイル片２１の谷部２２ｂは、凸部３３の頂面３３ａに支持されている。凸部３３の頂面３３ａは、第１方向の一方側（図７において紙面左側）に向かうに従って漸次低くなっている。つまり、凸部３３の頂面３３ａは、当該凸部３３の第１方向の一方側に配置された凸部３３の頂面３３ａよりも、平坦面３０ｂに近づく。第２実施形態の凸部３３の頂面３３ａは、ベースプレート３０の平坦面３０ｂよりも反スラストカラー側に位置している。
【００５４】
第１方向で隣り合う凸部３３の間には、ベースプレート３０の平坦面３０ｂに対して一定の深さ（寸法Ｄ３４）で形成された凹部３４が配置されている。凹部３４の底面３４ａのそれぞれは、平坦面３０ｂと平行な平面とされている。
一方、凸部３３の頂面３３ａのそれぞれは、平坦面３０ｂに対して角度θで傾斜する傾斜面となっている。角度θの大きさは、トップフォイル片１１の傾斜部１２の初期傾斜角度の大きさに対応している。
【００５５】
凸部３３の第１方向における寸法Ｗ３３は、谷部２２ｂの第１方向における寸法Ｗ２２ｂよりも大きい。凸部３３の寸法Ｗ３３は、バックフォイル片２１がベースプレート３０側に押し付けられた際に、第１方向に移動する谷部２２ｂが、凸部３３の頂面３３ａから落下しない大きさとするとよい。
【００５６】
また、凹部３４の第１方向における寸法Ｗ３４は、山部２２ａの第１方向における寸法Ｗ２２ａよりも小さい。この凹部３４の第１方向における寸法Ｗ３４は、凸部３３の第１方向における寸法Ｗ３３との合計が、バックフォイル片２１の山部２２ａのピッチに相当するように設定されている。
【００５７】
上記構成の凸部３３及び凹部３４を有するベースプレート３０は、例えば、図８及び図９に示すようなプレス加工によって形成することができる。
図８及び図９は、本開示の第２実施形態に係るベースプレート３０に凸部３３及び凹部３４を形成する工程を示す図である。
この工程のプレス加工では、図８に示すような、プレス面に凹凸を備える第１の金型１００Ａと、図９に示すような、プレス面が傾斜した第２の金型１００Ｂを用いるとよい。
【００５８】
第１の金型１００Ａは、図８（ａ）に示すように、プレス面に、第１方向（図８において紙面左右方向）において交互に配置された複数の凸部１０１Ａ及び複数の凹部１０２Ａを備えている。凸部１０１Ａの先端面は、平坦面３０ｂと平行な平面であり、ベースプレート３０の平坦面３０ｂに向かって寸法Ｄ３４だけ延びている。一方、凹部１０２Ａも、平坦面３０ｂと平行な平面を有している。
【００５９】
この第１の金型１００Ａによって、図８（ｂ）に示すように、ベースプレート３０の平坦面３０ｂをプレスする（第１プレス加工）。この第１プレス加工によって、ベースプレート３０の平坦面３０ｂに、第１の金型１００Ａの凸部１０１Ａの形状が転写した凹部３４、及び、凹部１０２Ａの形状が転写した凸部３３が形成される。
これにより、図８（ｃ）に示すように、ベースプレート３０の平坦面３０ｂに、平坦面３０ｂと同一平面の頂面３３ａ（平面）を有する複数の凸部３３と、それらの間に、平坦面３０ｂに対し窪んだ底面３４ａ（平面）を有する複数の凹部３４を形成することができる。
【００６０】
次に、図９（ａ）に示すように、プレス面が傾斜した第２の金型１００Ｂを用意する。第２の金型１００Ｂは、プレス面に、第１方向の一方側（図９において紙面左側）に向かうに従って、ベースプレート３０の平坦面３０ｂに向かって延びる傾斜部１０３を備えている。傾斜部１０３の先端面は、角度θの傾斜面を形成している。また、傾斜部１０３の先端面は、複数の凸部３３の頂面３３ａの全てをカバーできる面積を有している。
【００６１】
この第２の金型１００Ｂによって、図９（ｂ）に示すように、複数の凸部３３の頂面３３ａを含む領域をプレスする（第２プレス加工）。この第２プレス加工によって、複数の凸部３３の頂面３３ａが潰され、頂面３３ａに、第２の金型１００Ｂの傾斜部１０３の形状が転写した傾斜面が形成される。
これにより、図９（ｃ）に示すように、ベースプレート３０の平坦面３０ｂに、平坦面３０ｂに対して角度θで傾斜した頂面３３ａ（傾斜面）を有する複数の凸部３３と、それらの間に、平坦面３０ｂに対して傾斜しない底面３４ａ（平面）を有する複数の凹部３４を形成することができる。
【００６２】
上記構成の第２実施形態によれば、ベースプレート３０上でバックフォイル片２１の谷部２２ｂが接しているところに、頂面３３ａに傾斜が付いた凸部３３を形成することで、第１実施形態と同様に、バックフォイル片２１と重なる領域のすべてに、傾斜面を形成する必要がなくなる。このため、精密加工を要する部分（傾斜面）の面積が減り、ベースプレート３０の加工性が向上する。
また、第２実施形態では、図８に示すように、複数の凸部３３及び複数の凹部３４を形成して、精密加工を要する部分の面積を減らしてから、図９に示すように、複数の凸部３３の頂面３３ａに傾斜面を形成するため、第１実施形態よりもプレス面積が減り、プレス加工が容易になると共に、頂面３３ａにおける傾斜面の精度を出しやすくなる。
【００６３】
（第３実施形態）
次に、本開示の第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００６４】
図１０は、本開示の第３実施形態に係るベースプレート３０を示す平面図である。なお、図１０は、上述した図５に示す平面図と対応する部分を示している。
図１０に示すように、第３実施形態では、ベースプレート３０に形成された複数の凹部３４が互いに接続されている。
【００６５】
第３実施形態では、第１実施形態と同様に、バックフォイル片２１の谷部２２ｂが、凹部３４の底面３４ａに支持されている。複数の凹部３４は、第１方向で隣り合う凹部３４同士が、第２方向の一方側（図１０において紙面上側）の端部３４Ａと他方側（図１０において紙面下側）の端部３４Ｂで交互に接続されている。つまり、凹部３４は、図１０に示す平面視で、第１方向に向かうに従って、第２方向の一方側と他方側に蛇行した、つづら折り形状を有している。
【００６６】
上記構成の第３実施形態によれば、例えば、凹部３４を切削加工する際、切削工具を上げ下げせずに一筆書きで凹部３４を連続して切削加工することが可能であり、短時間且つ高い精度で底面３４ａに傾斜面を形成できる。
なお、一筆書きで凹部３４を連続して切削加工できれば、必ずしも端部３４Ａ及び端部３４Ｂが交互に接続されていなくてもよい。例えば、端部３４Ａは、挿通孔３０ａに隣接するため、切削工具が挿通孔３０ａ（空中）を通る場合、見かけ上、端部３４Ａ同士が繋がらない場合がある。つまり、第２方向の端部３４Ａと端部３４Ｂのいずれか一方が接続されていればよい。なお、一筆書きで凸部３３（の周囲の凹部３４）を連続して切削加工する場合も同様である。
【００６７】
以上、図面を参照しながら本開示の好適な実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本開示の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００６８】
例えば、トップフォイル片１１の傾斜部１２に傾斜が付けば、バックフォイル片２１の山部２２ａは一定の高さでなくてもよく、また、バックフォイル片２１の谷部２２ｂに接するベースプレート３０の凹部３４の底面３４ａ及び凸部３３の頂面３３ａも傾斜面でなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本願のスラストフォイル軸受を当該分野に適用することにより、ベースプレートの加工性の向上を目的とすることができる。
【符号の説明】
【００７０】
３  スラストフォイル軸受
１０  トップフォイル
１１  トップフォイル片
１２  傾斜部
１２ａ  端部
１３  取付部
１４  曲げ部
２０  バックフォイル
２１  バックフォイル片
２１ａ  バックフォイル端部
２１ｂ  取付部
２２  支持部
２２ａ  山部
２２ｂ  谷部
３０  ベースプレート
３０ａ  挿通孔
３０ｂ  平坦面
３３  凸部
３３ａ  頂面
３４  凹部
３４ａ  底面
３４Ａ  端部
３４Ｂ  端部
１００  金型
１００Ａ  第１の金型
１００Ｂ  第２の金型
１０１  凸部
１０１Ａ  凸部
１０２  凹部
１０２Ａ  凹部
１０３  傾斜部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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