(57)【要約】  メモリシステムは、複数のメモリパッケージとＯＤＴ回路とコントローラとを備える。メモリパッケージは、一対で基板を挟んで対向配置され、共通バスによりコントローラと接続される。ＯＤＴ回路は、全てのメモリパッケージに配置され、信号の反射を抑制する。コントローラは、共通バスを通じて、指定されたメモリパッケージに対してデータの書き込み又は読み出し、及びＯＤＴ回路のオンオフ制御を行い、ＯＤＴ回路をオンするためのＯＤＴ起動条件を保持する。ＯＤＴ起動条件は、制御信号の先頭に設けた少なくとも２サイクルの周期信号によって定義される２bitの情報信号である。コントローラは、周期信号を用いて連続して２回取得したチップイネーブル信号ＣＥｎのアサートの状態がＯＤＴ起動条件に一致した際にＯＤＴ回路をオンする。
2020054040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のメモリチップを含み、一対で対向配置される組を複数配置して共通バスにより接続される複数のメモリパッケージと、
全ての前記メモリパッケージに配置され、信号の反射を抑制するＯＤＴ(On Die Termination)回路と、
前記共通バスを通じて、指定されたメモリパッケージのメモリチップに対してデータの書き込み又は読み出し、及び該メモリパッケージの前記ＯＤＴ回路のオンオフ制御を行うコントローラと、を備え、
前記コントローラは、少なくとも２サイクルの周期信号によって定義される２bitの情報信号により設定される前記ＯＤＴ回路をオンするためのＯＤＴ起動条件を保持し、前記周期信号を用いて取得したチップイネーブル信号ＣＥｎのアサートの状態が前記ＯＤＴ起動条件のパターンに含まれていた際に前記ＯＤＴ回路をオンする、メモリシステム。
【請求項２】
複数のメモリチップを含み、一対で対向配置される組を複数配置して共通バスにより接続される複数のメモリパッケージと、
全ての前記メモリチップに配置され、信号の反射を抑制するＯＤＴ(On Die Termination)回路と、
前記共通バスを通じて、指定されたメモリパッケージのメモリチップに対して、データの書き込み又は読み出し、及び該メモリチップの前記ＯＤＴ回路のオンオフ制御を行うコントローラと、を備え、
前記コントローラは、少なくとも２サイクルの周期信号によって定義される２bitの情報信号により設定される前記ＯＤＴ回路をオンするためのＯＤＴ起動条件を保持し、前記周期信号を用いて取得したチップイネーブル信号ＣＥｎのアサートの状態が前記ＯＤＴ起動条件のパターンに含まれていた際に前記ＯＤＴ回路をオンする、メモリシステム。
【請求項３】
前記コントローラが記憶する前記２bitの情報信号は、
前記コントローラがデータの書き込み又は読み出しを行う選択した前記メモリパッケージのメモリチップを駆動させるためのチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートを開始した後に、前記周期信号によって、連続的に２回の前記アサートの状態を検出し、連続してアサートが検出された場合には、前記ＯＤＴ回路をオンしてターゲットＯＤＴをオン設定する第１ＯＤＴ起動条件と、
前記コントローラが非選択した前記メモリパッケージに対して、メモリチップを駆動させるためのチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートを開始した後に、前記周期信号によって、１回目に前記アサートの状態を取得し、２回目にネゲートの状態を取得した場合には、前記ＯＤＴ回路をオンしてノンターゲットＯＤＴをオン設定する第２ＯＤＴ起動条件と、
を規定する真理値を構成する、請求項１又は請求項２に記載のメモリシステム。
【請求項４】
前記周期信号は、少なくとも２サイクルの周期を有し、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮの先頭側に付与する、請求項１又は請求項２に記載のメモリシステム。
【請求項５】
前記周期信号は、少なくとも２サイクルの周期を有し、ライトイネーブル信号ＷＥｎの先頭側に付与する、請求項１又は請求項２に記載のメモリシステム。
【請求項６】
前記ＯＤＴ回路は、全ての前記メモリチップにターゲットＯＤＴのフラグが設定され、それぞれの前記メモリパッケージ内の１つのメモリチップにノンターゲットＯＤＴのフラグが設定されている際に取得されたチップイネーブル信号ＯＤＴＥＮの前記アサートの状態に基づき、前記第１ＯＤＴ起動条件及び前記第２ＯＤＴ起動条件により、オンオフ制御される、請求項３に記載のメモリシステム。
【請求項７】
一対を成すメモリパッケージは、回路基板の表裏両面の実装面に、該回路基板を挟んで対向するように実装される、請求項１又は２に記載のメモリシステム。
【請求項８】
前記周期信号の１回目の立ち上がりから２回目の立ち上がりまで１サイクルの幅は、ライトイネーブル信号ＷＥの切り換えタイミングの４倍の時間幅を有する、請求項１又は２に記載のメモリシステム
【請求項９】
前記メモリパッケージに含まれるメモリセルは、積層配置されるＮＡＮＤ型フラッシュメモリである請求項１に記載のメモリシステム
【請求項１０】
複数のメモリチップを含み、一対で対向配置される組を複数配置して共通バスにより接続される複数のメモリパッケージと、全ての前記メモリパッケージに配置され、信号の反射を抑制するＯＤＴ(On Die Termination)回路と、前記共通バスを通じて、指定されたメモリパッケージのメモリチップに対してデータの書き込み又は読み出し、及び前記指定されたメモリパッケージに対して、前記ＯＤＴ回路のオンオフ制御を行うコントローラと、を備えるメモリシステムの制御方法であって、
制御信号の先頭に付与される少なくとも２サイクルの周期信号によって定義される２bitの情報信号により設定される第１ＯＤＴ起動条件と第２ＯＤＴ起動条件を有し、
前記第１ＯＤＴ起動条件として、
前記コントローラがデータの書き込み又は読み出しを行う選択した前記メモリパッケージのメモリチップを駆動させるためのチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートを開始した後に、前記周期信号によって、連続的に２回の前記アサートの状態を検出し、連続してアサートが検出された場合には、前記ＯＤＴ回路をオンしてターゲットＯＤＴをオン設定し、
前記第２ＯＤＴ起動条件として、
前記コントローラが非選択した前記メモリパッケージに対して、メモリチップを駆動させるためのチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートを開始した後に、前記周期信号によって、１回目に前記アサートの状態を取得し、２回目にネゲートの状態を取得した場合には、前記ＯＤＴ回路をオンしてノンターゲットＯＤＴをオン設定する、メモリシステムの制御方法。
【請求項１１】
複数のメモリチップを含み、一対で対向配置される組を複数配置して共通バスにより接続される複数のメモリパッケージと、全ての前記メモリチップに配置され、信号の反射を抑制するＯＤＴ(On Die Termination)回路と、前記共通バスを通じて、指定されたメモリチップに対してデータの書き込み又は読み出し、及び前記ＯＤＴ回路のオンオフ制御を行うコントローラと、を備えるメモリシステムの制御方法であって、
制御信号の先頭に付与される少なくとも２サイクルの周期信号によって定義される２bitの情報信号により設定される第１ＯＤＴ起動条件と第２ＯＤＴ起動条件を有し、
前記第１ＯＤＴ起動条件として、
前記コントローラがデータの書き込み又は読み出しを行う選択した前記メモリパッケージのメモリチップを駆動させるためのチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートを開始した後に、前記周期信号によって、連続的に２回の前記アサートの状態を検出し、連続してアサートが検出された場合には、前記ＯＤＴ回路をオンしてターゲットＯＤＴをオン設定し、
前記第２ＯＤＴ起動条件として、
前記コントローラが非選択した前記メモリパッケージに対して、メモリチップを駆動させるためのチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートを開始した後に、前記周期信号によって、１回目に前記アサートの状態を取得し、２回目にネゲートの状態を取得した場合には、前記ＯＤＴ回路をオンしてノンターゲットＯＤＴをオン設定する、メモリシステムの制御方法。
【請求項１２】
請求項１及び請求項２のうちのいずれか１項に記載のメモリシステムが備える各部として、前記コントローラが備えるハードウェアプロセッサを機能させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
実施形態は、不揮発性半導体記憶装置を用いたメモリシステム及び制御方法に関する。  
【背景技術】
【０００２】
不揮発性半導体記憶装置のＮＡＮＤ型フラッシュメモリを基板実装した際に発生するデバイス端での信号の反射を抑制するODT(On Die Termination)技術が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−０８４４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
誤動作なく、処理能力を向上できるメモリシステム及び制御方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係るメモリシステムは、数のメモリチップを含み、一対で対向配置される組を複数配置して共通バスにより接続される複数のメモリパッケージと、全ての前記メモリパッケージに配置され、信号の反射を抑制するＯＤＴ(On Die Termination)回路と、前記共通バスを通じて、指定されたメモリパッケージのメモリチップに対してデータの書き込み又は読み出し、及び該メモリパッケージの前記ＯＤＴ回路のオンオフ制御を行うコントローラと、を備え、前記コントローラは、少なくとも２サイクルの周期信号によって定義される２bitの情報信号により設定される前記ＯＤＴ回路をオンするためのＯＤＴ起動条件を保持し、前記周期信号を用いて取得したチップイネーブル信号ＣＥｎのアサートの状態が前記ＯＤＴ起動条件のパターンに含まれていた際に前記ＯＤＴ回路をオンする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１は、第１の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置を用いたメモリシステムの構成を概念的に示すブロック図である。
【図２】図２は、第１の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置（ＭＣＰ）の断面図である。
【図３】図３は、第１の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置（ＭＣＰ）のブロック図である。
【図４Ａ】図４Ａは、第１の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置入出力制御回目におけるＯＤＴのオン／オフ制御回路の構成例を示す図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、第１の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置における入出力端子及び入出力制御回路の接続を模式的に示す回路図である。
【図５】図５は、第１の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置におけるロジック回路の接続を模式的に示す回路図である。
【図６】図６は、第１の実施形態に係るメモリシステムの回路構成を模式的に示す図である。
【図７Ａ】図７Ａは、第１の実施形態に係るターゲットＯＤＴの第１ＯＤＴ起動条件を示す図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、第１の実施形態に係るノンターゲットＯＤＴの第２ＯＤＴ起動条件を示す図である。
【図８】図８、第１の実施形態（ＭＣＰ）に係るメモリシステムのデータ読みだし動作の際のＯＤＴのオンオフを説明するためのタイミングチャートである。
【図９Ａ】図９Ａは、第１の実施形態に係るメモリシステムのデータ読みだし動作について説明するためのタイミングチャートである。
【図９Ｂ】図９Ｂは、第１の実施形態に係るメモリシステムのデータ読みだし動作について説明するためのタイミングチャートである。
【図１０】図１０は、第１の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置（ＴＳＶ）の断面図である。
【図１１】図１１は、第１の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置（ＴＳＶ）のブロック図である。
【図１２】図１２は、第１の実施形態（ＴＳＶ）に係るメモリシステムのデータ読みだし動作について説明するためのタイミングチャートである。
【図１３】図１３は、第２の実施形態に係るメモリシステムの回路構成を模式的に示す図である。
【図１４】図１４は、第２の実施形態に係るメモリシステムのデータ読みだし動作の際のＯＤＴ回路のオンオフを説明するためのタイミングチャートである。
【実施形態】
【０００７】
以下、図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。  
実施形態は、不揮発性半導体記憶装置である、例えばＮＡＮＤ型フラッシュメモリを含むメモリパッケージ１１を用いたメモリシステム１である。メモリシステム１は、主として、複数のメモリパッケージ１１（１１ａ〜１１ｄ）とコントローラ１００とを備える。メモリパッケージ１１は、一対でＰＣＢ基板（Print Circuit Board）２を挟んで対向配置され、共通バス３によりコントローラ１００と接続される。全てのメモリパッケージ１１内又は、全てのメモリパッケージ内の各メモリチップ内には、ＯＤＴ(on die termination)回路６０（図１１及び図３に示す）が配置され、信号の反射を抑制する。コントローラ１００は、指定されたメモリパッケージ１１に対して、共通バス３を通じてデータの書き込み又は読み出し、及びＯＤＴ回路６０のオンオフ制御を行う。
【０００８】
さらに、コントローラ１００は、ＯＤＴ回路６０をオンするためのＯＤＴ起動条件を保持する。ＯＤＴ起動条件は、制御信号（ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮ、又はライトイネーブル信号ＷＥｎ）の先頭に設けた、少なくとも２度の立ち上がりを持つ２サイクルの周期信号によって定義される２bitの情報信号により設定する。本実施形態における周期信号とは、クロック信号と同等であり、立ち上がりと立ち下がりの信号値の周期的な変化を有する信号である。また、２つのサイクルは、同一周期（パルス幅）であることを前提とするが、設計に応じて異なる周期（パルス幅）であってもよい。従って、回路内で使用しているクロック信号でＯＤＴ起動に利用することが可能なクロック信号があれば、周期信号として代用することも可能である。コントローラ１００は、連続して２回取得したチップイネーブル信号ＣＥｎのアサート（assert）の状態がＯＤＴ起動条件のパターンに一致した際に、ＯＤＴ回路をオンすることで、ターゲットＯＤＴ及びノンターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路をオンに設定する。また、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサートからネゲート（negate）に切り換えられた際に、ＯＤＴ回路をオフするように設定される。
【０００９】
［第１の実施形態の１（ＣＭＰ構造）］
本実施形態において、一例とするメモリパッケージは、各メモリチップの電極端子が端に露出するように、複数のメモリチップが斜めに積み重ねられるＭＣＰ（Multi-Chip Package）構造である。このＭＣＰ構造においては、ＯＤＴ回路がメモリパッケージ内の各メモリチップに搭載されている。
【００１０】
図１に示すように、メモリシステム１は、主として、ＰＣＢ基板２に実装される複数のメモリパッケージ１１（PKG1〜PKG4：１１ａ〜１１ｄ）と、共通バスを含むバス３により接続して各メモリパッケージ１１ａ〜１１ｄを駆動制御するコントローラ１００と、を備えている。コントローラ１００は、外部のホスト機器２００に接続される。コントローラ１００は、例えばホスト機器２００から発行されるコマンドに基づいて、各メモリパッケージ１１ａ〜１１ｄを制御し、データの書き込み及び読み出し等を行う。
【００１１】
メモリシステム１は、ＰＣＢ基板２の表裏の実装面を挟むようにして、両面上で対向する位置に実装される一対のメモリパッケージ１１を複数の組（グループ）で有している。この構成例では、Ａグループ内で対向配置される一対のメモリパッケージ１１ａ，１１ｂは、コントローラ１００に接続するバス長（回路配線の長さ）が略同一になっているものとする。Ｂグループの一対のメモリパッケージ１１ｃ，１１ｄも同様に、バス長が略同一であるものとする。なお、メモリパッケージ１１は、対を成す配置ではあるが、２グループ４個に限定されるものではなく、グループ数は設計に応じて、適宜、変更が可能である。
【００１２】
図２に示すメモリパッケージ１１の断面構造、及び図３に示すブロック構成を参照してメモリシステム１の構成については、詳細に説明する。  
メモリパッケージ１１の内部において、パッケージ基板（半導体基板）４０の下面には、接続用部材及び入出力の電極となる複数のバンプ４１が設けられる。メモリパッケージ１１がＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージの場合、バンプ４１は、半球形状のはんだボールを用いている。パッケージ基板４０は、バンプ４１及び回路配線を介してコントローラ１００に電気的に接続される。
【００１３】
メモリパッケージ１１は、パッケージ基板４０上に各メモリチップ３０の中心を斜め方向にずらす状態で、例えば８個のメモリチップ３０（３０ａ〜３０ｈ）を階段状に斜めに積み重ねて、端に設けた電極端子３１が露出する構造である。これらの電極端子３１は、金属ワイヤ配線３２を用いて、ワイヤボンディングによりパッケージ基板４０等の電気回路と電気的に接続される。
【００１４】
図３に示すように、メモリチップ３０（３０ａ〜３０ｈ）は、インターフェースチップ３３とメモリセルアレイ３４を有している。インターフェースチップ３３は、少なくとも入出力制御回路５０、ロジック回路５１、及びＯＤＴ制御回路５２を含む。インターフェースチップ３３は、パッケージ基板４０とメモリチップ３０との間でデータ等を転送する。尚、パッケージ基板４０は、コントローラ１００とインターフェースチップ３３との間でデータ等を転送する。
【００１５】
インターフェースチップ３３のロジック回路５１は、リードイネーブル信号ＲＥ及びＲＥｎ、チップイネーブル信号ＣＥｎ、コマンドラッチイネーブル信号ＣＬＥ、アドレスラッチイネーブル信号ＡＬＥ、ライトイネーブル信号ＷＥｎ、ライトプロテクト信号ＷＰｎ、並びにＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮにそれぞれ対応する端子が設けられている。ロジック回路５１は、例えば、リードイネーブル信号ＲＥ及びＲＥｎを受信する端子に接続されるＯＤＴ回路６０を含む。また、ロジック回路５１は、受信した信号を、ＯＤＴ制御回路５２に転送する。
【００１６】
さらに、入出力制御回路５０は、データ線ＤＱ、並びにクロック信号ＤＱＳ及びＤＱＳｎ毎にそれぞれ対応する各端子及び各入出力制御回路が設けられている。クロック信号ＤＱＳは、データの入出力の際に用いられるクロック信号であり、クロック信号ＤＱＳｎは、クロック信号ＤＱＳの反転信号である。図４Ｂに示すように、ＤＱ端子、ＤＱ端子及びＤＱＳｎ端子の各端子には、それぞれ並列接続される各１つの入力レシーバ６４と、出力ドライバ６５と、ＯＤＴ回路６０とが設けられている。これらの各端子は、出力ドライバ６５の出力端子と接続している。さらに、各端子は、ＯＤＴ回路６０を介して入力ドライバ６４の入力端子と接続している。
【００１７】
ＯＤＴ回路６０は、データ等の入出力時において、外部（コントローラ１００）との間で生じる信号の反射を終端抵抗を用いて抑制（又は、消滅）させる回路である。つまり、メモリシステム１は、同じバス３によりコントローラ１００と、複数のメモリパッケージの各メモリチップとが共通に接続されている。このため、非選択のメモリチップからの信号の反射が、信号の入力先である選択されたメモリチップ又は、コントローラ１００へ伝わる。この信号の反射は、入力信号におけるノイズとなる。従って、ＯＤＴ回路６０を用いて、信号の反射を抑制する。
【００１８】
ここで、各制御信号について説明する。チップイネーブル信号ＣＥｎは、メモリパッケージ(PKG1〜PKG4）１１のメモリチップを選択的にイネーブルにするための信号であり、Ｌｏｗ（“Ｌ”）レベルでアサートされる。尚、以下の説明では、アサートされていないことをネゲートと称している。コマンドラッチイネーブル信号ＣＬＥは、入出力信号Ｉ／Ｏがコマンドであることを示す信号であり、Ｈｉｇｈ（“Ｈ”）レベルでアサートされる。アドレスラッチイネーブル信号ＡＬＥは、入出力信号Ｉ／Ｏがアドレスであることを示す信号であり、“Ｈ”レベルでアサートされる。
【００１９】
ライトイネーブル信号ＷＥｎは、受信した情報信号又はデータをメモリパッケージ１１内へ取り込むための信号であり、コントローラ１００よりコマンド、アドレス、及びデータ等を受信する度に、“Ｌ”レベルでアサートされる。よって、ライトイネーブル信号ＷＥｎが立ち上がる度に、信号がメモリパッケージ１１に取り込まれる。
【００２０】
リードイネーブル信号ＲＥ及びＲＥｎは、コントローラ１００が、メモリ１０から各データを読み出すための信号である。リードイネーブル信号ＲＥｎは、信号ＲＥの反転信号である。例えばリードイネーブル信号ＲＥｎは、“Ｌ”レベルでアサートされる。ライトプロテクト信号ＷＰｎは、書き込み動作の禁止を命令するための信号であり、“Ｌ”レベルでアサートする。ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮは、メモリチップ３０内のＯＤＴ回路６０のＯＮ／ＯＦＦ状態を制御する信号であり、“Ｈ”レベルでアサートされる。以下の説明において、ＯＤＴ回路６０がオン・オフすることで、ターゲットＯＤＴ、ノンターゲットＯＤＴがオン・オフするものとする。
【００２１】
入出力制御回路５０は、データ線ＤＱ、並びにクロック信号ＤＱＳ及びＤＱＳｎに対応する端子に接続される。入出力制御回路５０は、データ線ＤＱ、並びにクロック信号ＤＱＳ及びＤＱＳｎに対応する端子に接続されるＯＤＴ回路６０を含む。入出力制御回路５０は、コントローラ１００とメモリパッケージ１１との間でデータ線ＤＱを介して送受信される８ビットの入出力データ信号ＩＯ、並びにクロック信号ＤＱＳ及びＤＱＳｎの入出力を制御する。入出力データ信号ＩＯは、８ビットのデータ信号であり、各種コマンド、アドレス、データ等を含む。なお、入出力データ信号ＩＯは８ビットに限定されず、適宜設定可能である。
【００２２】
ＯＤＴ制御回路５２は、パラメータ記憶部５３を備えている。ＯＤＴ制御回路５２は、パラメータ記憶部５３から読み出したパラメータと、ロジック回路５１から送信されたＯＤＴイネーブル信号及び他の信号とに応じて、入出力制御回路５０及びロジック回路５１に組み込まれたＯＤＴ回路６０を制御する。パラメータ記憶部５３は、ＯＤＴ回路６０に関するパラメータを記憶する。なお、ＯＤＴ制御回路５２は、パラメータ記憶部５３を備えることは必須ではなく、このパラメータは、他の回路のメモリ領域に保存してもよい。
【００２３】
図４Ａを参照して、ＯＤＴ制御回路５２内に設けられるＯＤＴオンオフ制御回路５４の一例について説明する。  
ＯＤＴオンオフ制御回路５４は、Featレジスタ５５と、ＮＡＮＤ回路５６，５７と、フリップフロップ（ＦＦ）回路５８，５９とで構成される。  
Featレジスタ５５は、ターゲットＯＤＴフラグ及びノンターゲットＯＤＴフラグを出力する。ノンターゲットＯＤＴフラグは、３つの入力端を有するＮＡＮＤ回路５６の１つの入力端に入力され、ターゲットＯＤＴフラグは、３つの入力端を有するＮＡＮＤ回路５７の１つの入力端に入力される。
【００２４】
ＦＦ回路５８，５９は、直列的に２段に接続され、チップイネーブル信号ＣＥｎ及びＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力される。ＦＦ回路５８，５９は、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮをクロック信号として、チップイネーブル信号ＣＥｎを反転する。  
１段目のＦＦ回路５８は、チップイネーブル信号ＣＥｎ及びＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮの入力端子に接続する。ＦＦ回路５８の出力端から、ＮＡＮＤ回路５６へチップイネーブル信号ＣＥｎへ入力し、ＮＡＮＤ回路５７へはチップイネーブル信号ＣＥｎを反転させて入力する。また、２段目のＦＦ回路５９は、１段目のＦＦ回路５８から出力されたチップイネーブル信号ＣＥｎが入力端に入力される。ＦＦ回路５９の出力端から、ＮＡＮＤ回路５６，５７へは、共に、チップイネーブル信号ＣＥｎを反転させて入力する。ＮＡＮＤ回路５６は、ＯＤＴ回路６０へノンターゲットＯＤＴフラグを出力し、ＮＡＮＤ回路５７は、ＯＤＴ回路６０へターゲットＯＤＴフラグを出力する。
【００２５】
次に、図４Ｂを参照して、ＯＤＴ回路６０の構成について説明する。  
まず、入出力制御回路５０に含まれるＯＤＴ回路６０について説明する。
図４Ｂに示すように、入出力制御回路５０は、対応する端子毎に、ＯＤＴ回路６０、入力レシーバ６４、及び出力ドライバ６５を含む。
【００２６】
入力レシーバ６４は、例えばバッファとして機能し、コントローラ１００からの入力信号を、例えばメモリパッケージ１１内で処理するための適正な電圧レベルに変換して、インターフェースチップ２０内の他の回路、及びメモリチップ３０に転送する。  
出力ドライバ６５は、例えばバッファとして機能し、メモリチップ３０から転送された信号を、適正な電圧レベルに変換して、コントローラ１００に出力する。  
ＯＤＴ回路６０は、端子と入力レシーバ６４の間に設けられる。ＯＤＴ回路６０は、ｐチャネルＭＯＳトランジスタ６１、ｎチャネルＭＯＳトランジスタ６２、並びに可変抵抗素子６３ａ及び６３ｂを含む。
【００２７】
ｐチャネルＭＯＳトランジスタ６１は、ゲートにＯＤＴＳｎ信号が入力され、ソースに電源電圧ＶＣＣが印加され、ドレインが可変抵抗素子６３ａの一端に接続される。ｐチャネルＭＯＳトランジスタ６１は、電源電圧ＶＣＣが印加されている電圧線（電源電圧線）と可変抵抗素子６３ａを接続するための第１スイッチ素子として機能する。
【００２８】
可変抵抗素子６３ａの他端は、端子と入力レシーバとを接続する配線、及び可変抵抗素子６３ｂの一端に接続される。ＯＤＴ制御回路５２は、セットフューチャー（Set Feature）時に書き込まれたパラメータに応じて可変抵抗素子６３ａ及び６３ｂの抵抗値を設定する。
【００２９】
ｎチャネルＭＯＳトランジスタ６２は、ゲートに信号ＯＤＴＳが入力され、ドレインが可変抵抗素子６３ｂの他端に接続され、ソースに接地電圧ＶＳＳが印加される。ｎチャネルＭＯＳトランジスタ６２は、接地電圧ＶＳＳが印加されている電圧線（接地電圧線）と可変抵抗素子６３ｂを接続するための第２スイッチ素子として機能する。
【００３０】
ＯＤＴ制御回路５２は、ＯＤＴ回路６０を制御するために、信号ＯＤＴＳ及び信号ＯＤＴＳｎを与える。信号ＯＤＴＳｎは、信号ＯＤＴＳの反転信号である。ＯＤＴ制御回路５２は、ＯＤＴ回路６０から、信号ＯＤＴＳのときに“Ｈ”レベルを出力させ、信号ＯＤＴＳｎのときに“Ｌ”レベルを出力させる。
【００３１】
次に、図５を参照して、ロジック回路５１に含まれるＯＤＴ回路６０について説明する。図５に示すように、ロジック回路５１は、対応する端子毎に、入力レシーバ６４を含む。そしてリードイネーブル信号ＲＥｎ及びＲＥに対応する端子と入力レシーバ６４との間には、ＯＤＴ回路６０が設けられている。但し、リードイネーブル信号ＲＥｎ及びＲＥに対応する端子に接続されるＯＤＴ回路６０は、必須ではなく、他の端子に接続されるＯＤＴ回路６０を利用してもよく、任意に設定可能である。
【００３２】
次に、図１及び図６乃至図９Ａ，９Ｂを参照して、マルチドロップバス接続におけるメモリパッケージ１１のＯＤＴ制御について説明する。図６は、第１の実施形態に係るメモリシステムの回路構成を模式的に示す図である。メモリパッケージ１１は、前述したように、複数のＮＡＮＤ型フラッシュメモリチップが積層形成されている。本実施形態では、図１に示したように、複数のメモリパッケージ１１（１１ａ〜１１ｄ）ＰＣＢ基板２の表裏面の実装面に、対で実装する構造例である。メモリパッケージ１１の接続方式としては、設計の自由度から同じバス上に複数のメモリパッケージ１１を接続するマルチドロップバス接続を採用し、チップアドレス情報を用いることにより、所望する１つのメモリチップを選択する。
【００３３】
マルチドロップバス接続の場合、２対２組の最小４つのメモリパッケージ１１の構成から信号の反射による問題が生じる。このマルチドロップバス接続は、ＰＣＢ基板２ごとに特性が異なるため、ＯＤＴの効果即ち、信号の反射の抑制を最大化するためには、個々のＰＣＢ基板２の特性に合うように、メモリパッケージ１１の単位でＯＤＴのオン・オフを精密制御する必要がある。
【００３４】
また、図１及び図６に示すように、ＰＣＢ基板２の表裏面に対向して実装するメモリパッケージ１１ａとメモリパッケージ１１ｂをグループＡとし、同様にメモリパッケージ１１ｃとメモリパッケージ１１ｄをグループＢとする。  
コントローラ１００から各メモリパッケージ１１へ、共通バスにより信号ＯＤＴＥＮが送信される。チップイネーブル信号ＣＥｎは、コントローラ１００から各メモリパッケージ１１へ個別に接続される専用バスを通じて、各メモリチップへ選択的にチップイネーブル信号ＣＥｎを送信する。
【００３５】
本実施形態では、ＯＤＴ端子に入力する制御信号の先頭に、２回の立ち上がりを持つように周期する信号、例えばクロック信号と同様な周期信号を付与する。この周期信号を付与したことで、各メモリパッケージ１１のＣＥｎ端子に多ビットデータを転送することができ、適正なＯＤＴ回路６０のオン・オフを実施する。即ち、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮの先頭側に、制御情報を含む１つの周期信号を付与する。ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮと周期信号による２回の信号立ち上がり（２サイクル）を有する２bit（００，０１，１０，１１の４つのパターン）の情報信号として利用する。つまり、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサート（“Ｌ”レベル）か否かにより、ＯＤＴにおけるターゲットＯＤＴ（Trgt ODT）及び、ノンターゲットＯＤＴ(Non Trgt ODT)をオンする。即ち、１つの周期信号を設けることにより、２bitの情報を与えることができる。
【００３６】
本実施形態では、２bitの情報のうちの１つのパターンに対して、チップイネーブル信号ＣＥｎのアサートの状態を後述するＯＤＴ起動条件として定義する。ここでは、連続して２回検出したアサートの状態がＯＤＴを起動する設定のパターンであれば、ＯＤＴ回路６０をオンすることで、ターゲットＯＤＴ及びノンターゲットＯＤＴをオンに設定する。ターゲットＯＤＴは、データの読み出し・書き込みのためにアクセスされているメモリパッケージ１１内のＯＤＴ回路６０がオン又はオフしている状態を示す。ノンターゲットＯＤＴは、他のメモリパッケージ１１にアクセスされた際に発生する信号の反射を消すために、ＯＤＴ回路６０がオン又はオフしている状態を示す。
【００３７】
また、この周期信号の１サイクル（信号の立ち上がりから立ち上がりまで）の幅は、ライトイネーブル信号ＷＥの切り換えタイミングの４倍程度であり、例えば、最大１００nsec〜最小２５nsec程度である。
【００３８】
まず、図７Ａ，７Ｂ及び図８を参照して、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮに付与される周期信号とチップイネーブル信号ＣＥｎの関係について説明する。  
ここでは、図８に示すメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）に入力するEFhコマンド、D5hコマンド（チップアドレス付きセットフューチャーコマンド：set future command）、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮ及び、チップイネーブル信号ＣＥｎを一例として説明する。ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮは、先頭側に少なくとも１つの周期信号が付与されて、２サイクル（２bit）の情報信号を有している。尚、以下の説明においては、図７Ａ，７Ｂ及び図８に示すチップイネーブル信号ＣＥｎの “Ｌ”レベルは、“０”を示し、“Ｈ”レベルは、“１”を示している。尚、周期信号のサイクル数は、所望する情報量に応じて、適宜設定すればよく、限定されているものではない。
【００３９】
図７Ａは、ターゲットＯＤＴをＯＮさせるための第１ＯＤＴ起動条件を示すチップイネーブル信号ＣＥｎの２値（真理値）を示している。ここでは、ターゲットＯＤＴフラグが設定された状態で、周期信号の２つの立ち上がり（１、２サイクル）のタイミングにおいて、チップイネーブル信号ＣＥｎが連続して“０”，“０”が取得されれば、第１ＯＤＴ起動条件を満たして、ＯＤＴ回路６０をオンする設定である。これ以外で、周期信号の１、２サイクルのいずれかのタイミングにおいて、チップイネーブル信号ＣＥｎの出力に“１”が含まれた場合（［“０”，“１”］、［“１”，“０”］及び［“１”，“１”］）には、ＯＤＴ回路６０をオンしないように設定される。尚、ターゲットＯＤＴフラグが設定されていなければ、第１ＯＤＴ起動条件による検出は行わない。
【００４０】
具体的には、まず、ＯＤＴ回路６０をオンするためには、ターゲットＯＤＴフラグが設定されていなければならない。この例では、コントローラ１００からのEFhコマンドによって、各メモリパッケージ１１内の全チップに対して、ターゲットＯＤＴフラグが設定される。
【００４１】
次に、ターゲットＯＤＴフラグが設定された全チップに対して、１つのメモリチップのみを活性化させるために、チップイネーブル信号ＣＥｎをアサート（“Ｌ”レベル）する。この時、チップイネーブル信号ＣＥｎは、データ読み出し（DOUT）時間を含むアサート時間に設定されている。例えば、図８に示すグループＡのメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）において、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサート（Ｌレベル）している状態の時に、２つのサイクルの周期信号が入力した場合には、１サイクル目が“０”、２サイクル目が“０”を取得する。この時、ＯＤＴ回路６０をオンさせて、ターゲットＯＤＴをオンに設定し、データ読み出し動作（DOUT）が実行できる。
【００４２】
また、グループＡのメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）にネゲートである“Ｈ”レベルのチップイネーブル信号ＣＥｎが入力されている状態時に、周期信号が付与されているＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力する。この時、周期信号の１サイクル目が“１”、２サイクル目が“１”となり、ＯＤＴ回路６０はオンしない。
【００４３】
次に、図７Ｂは、メモリパッケージ１１内の選択された１つのメモリチップにノンターゲットＯＤＴをＯＮさせるための第２ＯＤＴ起動条件を示すチップイネーブル信号ＣＥｎの２値（真理値）を示している。ここでも、ノンターゲットＯＤＴフラグが設定された状態で、例えば、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサートする期間が５μsec〜１０μsecの場合に、周期信号の２つの立ち上がり（１、２サイクル）において最初の１サイクル目のタイミングで、チップイネーブル信号ＣＥｎが“０”、２サイクル目のタイミングで、チップイネーブル信号ＣＥｎが“１”であれば、ノンターゲットのＯＤＴ回路６０をオンするように設定する。前述したターゲットＯＤＴにおける“０”，“０”の第１ＯＤＴ起動条件の設定とは異なっている。他に、周期信号の１，２サイクルのタイミングにおいて、チップイネーブル信号ＣＥｎの出力が、（［“１”，“０”］、［“０”，“０”］及び［“１”，“１”］）の場合には、ノンターゲットＯＤＴがオンしないように設定される。
【００４４】
次に、図８を参照して、先頭に周期信号が付与されているＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮるとチップイネーブル信号ＣＥｎによるグループＡ，Ｂにおけるメモリパッケージ１１の動作について説明する。ここでは、メモリパッケージ１１ａ〜１１ｃ（ＰＫＧ１〜ＰＫＧ３）を代表的に示している。
【００４５】
コントローラ１００は、例えば、電源投入後、パラメータの書き込み動作（Set Feature）を実行し、各種パラメータを設定する。この時、コントローラ１００は、各メモリパッケージ１１内において、ＯＤＴ回路６０をオンするメモリチップ３０を設定する。
【００４６】
まず、ＯＤＴ回路６０をオンするためには、ターゲットＯＤＴフラグが設定されていなければならない。この例では、コントローラ１００からEFhコマンドが発行され、各メモリパッケージ１１ａ〜１１ｄ（ＰＫＧ１〜ＰＫＧ４）内の全メモリチップ３０に対して、ターゲットＯＤＴフラグが設定される。
【００４７】
次に、ターゲットＯＤＴフラグが設定した後、Set Featureを実行することを通知するコマンド、例えば、D5hコマンドを発行して、各メモリパッケージ１１の選択された１つのメモリチップにノンターゲットＯＤＴフラグを設定する。この例では、メモリパッケージ１１ａ，１１ｃ（ＰＫＧ１，ＰＫＧ３）内の１つにノンターゲットＯＤＴフラグを設定する。ターゲットＯＤＴフラグが設定時において、D5hコマンドが同じチップアドレスではない限り、同時に複数のメモリパッケージ１１に設定しないように時差を設けて連続的に設定する。
【００４８】
次に、メモリパッケージ１１のメモリチップから連続的にデータ読み出しを行う動作例１〜３について説明する。  
［動作例１］  まず、メモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）内の１つのメモリチップからデータを読み出す［動作例１］について説明する。図９Ａ，９Ｂは、チップイネーブル信号ＣＥｎｘのアサート（Ｌレベル）の期間中にデータ読み出しを行うタイミングチャートを示している。ここで、図９Ａは、ターゲットＯＤＴをオンにするタイミングチャートであり、図９ＢはノンターゲットＯＤＴをオンするイミングチャートである。ターゲットＯＤＴとターゲットＯＤＴとをオンさせる時の違いは、後述するようにチップイネーブル信号ＣＥｎｘのアサート状態であるか否かである。
【００４９】
ノンターゲットＯＤＴフラグの設定後、コントローラ１００は、全てのメモリチップに対して、データ読み出し（DOUT）のコマンド（CMD）を発行する。このコマンドを受けて、例えば、グループＡのメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）に対して、１つのメモリチップのみを活性化させるために、図８に示すように、チップイネーブル信号ＣＥｎ１がアサート（Ｌレベル）になる。次に、チップイネーブル信号ＣＥｎ１のアサート（Ｌレベル）が開始された後、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されて、先頭に付与される周期信号に対して、１サイクル目が“０”、２サイクル目が“０”の値を取得する。この２サイクルにおける“０”，“０”を取得したことで、図７Ａに示した第１ＯＤＴ起動条件を満たし、ターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路６０がオンする。
【００５０】
また同時に、グループＢのメモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）に対して、ノンターゲットＯＤＴが設定を行うために、アサートするチップイネーブル信号ＣＥｎが入力される。このチップイネーブル信号ＣＥｎは、アサートする期間が短く、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮを入力すると、１サイクル目のみが“０”となり、２サイクル目が“１”となる。これらの“０”、“１”の取得で、第２ＯＤＴ起動条件を満たし、メモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）の１つのメモリチップのノンターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路６０がオンする。
【００５１】
この時、メモリパッケージ１１ａと対を成すメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）に同じＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されても、メモリパッケージ１１ｂへ入力されるチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートされていない（“Ｈ”レベル）ため、メモリパッケージ１１ｂのメモリチップは活性化しない。
【００５２】
次に、ＯＤＴ回路６０がオンした後、データ読み出し動作（DOUT）が実行される。この場合、コマンド（CMD）が入ってから、例えば、３００nsec後にデータ読み出し動作が開始される。メモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）のメモリチップから読み出されたデータは、データ線ＤＱを経て、コントローラ１００に出力される。
【００５３】
具体的なデータ読み出し動作（DOUT）は、図９に示すように、ＯＤＴ回路６０がオンした後、リードイネーブルＲＥ，ＲＥｎ１がトグル（toggle）を開始して、交互にｔＲＥＨ信号とｔＲＰ信号が出力される。メモリチップは、リードイネーブルＲＥ，ＲＥｎ１を受けた後、設定時間（ｔＤＱＳＲＥ）後に、発信されるデータ読み出しのクロック信号ＤＱＳ，ＤＱＳｎ１と同期して、このクロック期間に応じたデータＤ０，Ｄ１…Ｄ−ｎ１がデータ線ＤＱに出力される。さらに、チップイネーブル信号ＣＥｎのアサートが終了すると共に、ＯＤＴ回路６０もオフする。
【００５４】
［動作例２］  続いて、メモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）内の１つのメモリチップからデータを読み出す［動作例２］について説明する。  
前述した動作例１のデータ読み出しの後、コントローラ１００は、全てのメモリチップに対して、データ読み出し（DOUT）のコマンド（CMD）を発行する。続いて、例えば、グループＢのメモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）に対して、１つのメモリチップのみを活性化させるための、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサート（“Ｌ”レベル）する。
【００５５】
メモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）のメモリチップも前述したと同様に、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサート（“Ｌ”レベル）している状態の時に、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力され、先頭に付与される周期信号に対して、１サイクル目が“０”、２サイクル目が“０”となる。この時には、ＯＤＴ回路６０がオンして、データ読み出し動作（ＤＯＵＴ）が実行される。
【００５６】
同時に、グループＡのメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）に対して、ノンターゲットＯＤＴ設定のための１サイクル目が“０”となり、２サイクル目が“１”となる短いアサート期間のチップイネーブル信号ＣＥｎが入力される。
【００５７】
このチップイネーブル信号ＣＥｎの入力により、メモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）のメモリチップにノンターゲットＯＤＴが設定される。前述したと同様に、メモリパッケージ１１ａと対を成すメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）に同じＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されても、メモリパッケージ１１ｂへ入力されるチップイネーブル信号ＣＥｎがネゲート（“Ｈ”レベル）している状態であるため、メモリパッケージ１１ｂのメモリチップは活性化しない。
【００５８】
［動作例３］  さらに、メモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）内の１つのメモリチップからデータを読み出す［動作例３］について説明する。  
前述した動作例２のデータ読み出しの後、コントローラ１００は、全てのメモリチップに対して、データ読み出し（DOUT）のコマンド（CMD）を発行する。続いて、前述したと同様に、グループＡのメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）の１つのメモリチップに対して、チップイネーブル信号ＣＥｎが入力する。このチップイネーブル信号ＣＥｎがアサート（Ｌレベル）している状態の時に、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されて、先頭に付与される周期信号に対して、１サイクル目が“０”、２サイクル目が“０”の第１ＯＤＴ起動条件が取得される。この第１ＯＤＴ起動条件に従い、ＯＤＴ回路６０をオンさせて、データ読み出し動作（DOUT）が実行される。
【００５９】
同時に、グループＢのメモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）に対して、１サイクル目のみが“０”となり、２サイクル目が“１”となるように、アサート期間が設定されたチップイネーブル信号ＣＥｎが入力される。このチップイネーブル信号ＣＥｎの入力により、メモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）のメモリチップにノンターゲットＯＤＴが設定される。この動作例においても前述したと同様に、メモリパッケージ１１ｂと対を成すメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）に同じＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されても、メモリパッケージ１１ａへ入力されるチップイネーブル信号ＣＥｎがネゲートの状態である（“Ｈ”レベル）ため、メモリパッケージ１１ａのメモリチップは活性化しない。
【００６０】
ここで、本実施形態が防止できるＯＤＴ制御における誤動作について説明する。例えば、信号ＯＤＴＥＮ（周期信号が付与されていない信号ＯＤＴＥＮ又は、信号ＯＤＴＥＮの先頭側がパルス状にされていない信号ＯＤＴＥＮ）の立ち上がり時に、チップイネーブル信号ＣＥｎのアサート（“Ｌ”レベル）しているか否かでＯＤＴ回路がオンする構成を例とする。前述した図８における［動作例３］時に誤動作は発生しやすい。通常は、チップイネーブル信号ＣＥｎのアサート（“Ｌ”レベル）時に、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されると、ターゲットＯＤＴがオンする。反対に、チップイネーブル信号ＣＥｎがネゲート（“Ｈ”レベル）の時に、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されると、ノンターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路がオンするように設定されている。
【００６１】
まず、グループＡのメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）において、ターゲットＯＤＴフラグと選択されたメモリチップにノンターゲットＯＤＴフラグが設定されている。このフラグ設定の状況下で、コマンドによりメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）のメモリチップにアクセスして、アサートするチップイネーブル信号ＣＥｎ２を入力する。このアサート状態の時に、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されると、ターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路がオンする。同時に、正常動作として、他のメモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）において、ノンターゲットＯＤＴがオンする。
【００６２】
さらに、メモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）内の１つのメモリチップには、ノンターゲットＯＤＴフラグが設定されている。このため、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサートしていない時にＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されると、そのメモリチップは、ノンターゲットＯＤＴがオンしてしまう誤動作が生じる。よって、同一グループ内のメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）とメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）が共にＯＤＴ回路６０をオンされてしまう事態となる。
【００６３】
これに対して、本実施形態では、ノンターゲットＯＤＴをオンさせるために、短時間のアサートを有するチップイネーブル信号ＣＥｎを生成し、且つ、先頭側に周期信号が付与されたＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮを用いることにより、２つのターゲットＯＤＴフラグとノンターゲットＯＤＴフラグが設定されていたとしても、ターゲットＯＤＴとノンターゲットＯＤＴを区別でき、誤動作しないＯＤＴ制御を行う。
【００６４】
また、上述したターゲットＯＤＴフラグ及びノンターゲットＯＤＴフラグのＯＤＴの有無の確認と、ＯＤＴ起動条件（第１ＯＤＴ起動条件、第２ＯＤＴ起動条件）の設定・判断と、チップイネーブル信号ＣＥｎのアサートの状態の取得は、コントローラ１００が格納するプログラムソフトウエア又はアプリケーションソフトウエアにより、コントローラ内に設けられたハードウェアプロセッサで実行される。それらのソフトウエアの演算処理結果に基づき、コントローラ１００が機能を担当する構成部位を駆動制御する。  
以上説明したように、本実施形態は、誤動作なく、処理能力を向上できる不揮発性半導体記憶装置及び制御方法を提供することができる。
【００６５】
詳細には、先頭に周期信号が付与されるＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮは、２サイクルによる少なくとも４つのＯＤＴ起動条件を設定することができる。ＯＤＴ起動条件に合致しない状況であれば、ＯＤＴを起動させないため、誤動作を防止できる。周期信号のサイクル数は、情報量（多ビット情報）に合わせて増減することが可能である。チップイネーブル信号ＣＥｎに対して、アサートしている状態を連続的に２度の検出を行っているため、動作の正確性を確保することができる。さらに、制御ピンを増やさず、データ転送スループットのオーバーヘッドを最小限にとどめながら、 ＯＤＴのオン・オフの精密制御を実現することができる。
【００６６】
また、従来では、データ転送のたびにコマンドを発行して、チップ単位でＯＤＴ回路のオンオフを指定していたため、ＯＤＴ指定コマンドの発行によるオーバーヘッド時間が必要であった。このＯＤＴ指定コマンド発行が簡略され、オーバーヘッド時間を短縮することができ、データ転送スループットの向上を図ることができる。
【００６７】
［第１の実施形態の２（ＴＳＶ構造）］
図１０は、ＴＳＶ構造のメモリパッケージ１１の断面構造を示す図、図１１は、メモリパッケージ１１のブロック構成を示す図である。尚、このＴＳＶ構造の構成部位で、前述したＣＭＰ構造における構成部位と同等のものには同じ参照符号を付して、その説明は省略する。  
本実施形態において、一例とするメモリパッケージは、複数のメモリチップ３５が垂直方向に積層され、貫通電極（ＴＳＶ：Through Silicon Via）３１により接続されるＴＳＶ構造である。尚、本実施形態の１及び２において、範疇としては、共に、マルチチップパッケージ構造ではあるが、ＯＤＴ回路の設置状況が異なるため、図１０に示す断面構造をＴＳＶ構造と称し、図２に示した断面構造のＭＣＰ構造とは区別して説明する。
【００６８】
メモリパッケージ１１の内部においては、ＭＣＰ構造と同様に、パッケージ基板４０の下面には、複数のバンプ４１が設けられる。パッケージ基板４０は、バンプ４１及び回路配線を介してコントローラ１００に電気的に接続される。
【００６９】
パッケージ基板４０の主面上に１つのインターフェースチップ２０が配置される。さらに、インターフェースチップ２０及びパッケージ基板４０の主面上に、例えば、８個のメモリチップ３５（３５ａ〜３５ｈ）が垂直方向に積層して設けられている。８個のメモリチップ３５ａ〜３５ｈは、チップ中心が垂直方向に重なるようにパッケージ基板４０側から上方に積層するように形成される。
【００７０】
最上層のメモリチップ３５ｈを除く各メモリチップ３５ａ〜３５ｇは、その上面から下面に達する貫通電極（ＴＳＶ：Through Silicon Via）３６が設けられる。隣接する２つのメモリチップ３５の間には、各メモリチップ３５のＴＳＶ３６を電気的に接続するためにバンプ３７が設けられている。なお、最上層のメモリチップ３５ｈにおいても、ＴＳＶ３６を含む構成であってもよい。最下層のメモリチップ３５ａの下面上に、配線３８が設けられる。この配線３８とインターフェースチップ２０との間に、バンプ２１が設けられている。また同様に、最下層の配線３８とパッケージ基板４０との間に、バンプ４２が設けられている。
【００７１】
このＴＳＶ構造のメモリチップ３５を用いたメモリシステム１であっても、ＰＣＢ基板２の表裏の実装面を挟むようにして、両面上で対向する位置に実装される一対のメモリパッケージ１１を複数組（グループ）有している。この構成例においても、Ａグループ内で対向配置される一対のメモリパッケージ１１ａ，１１ｂは、コントローラ１００に接続するバス長（回路配線の長さ）が略同一になっているものとする。Ｂグループの一対のメモリパッケージ１１ｃ，１１ｄも同様に、バス長が略同一であるものとする。なお、メモリパッケージ１１は、対を成す配置ではあるが、２組（グループ）４個に限定されるものではなく、適宜変更可能である。
【００７２】
尚、本実施形態において、ＣＭＰ構造のメモリチップ３０及びＴＳＶ構造のメモリチップ３５は、メモリセルが半導体基板上方に三次元に配置されたメモリセルアレイ３４を含む三次元積層型ＮＡＮＤ型フラッシュメモリを例としているが、メモリセルが半導体基板上に二次元に配置されたメモリセルアレイを含む平面型ＮＡＮＤ型フラッシュメモリであってもよい。
【００７３】
次に、図１１を参照して、メモリパッケージ１１におけるインターフェースチップ２０及びメモリチップ３５のブロック構成について説明する。  
各メモリチップ３５（３５ａ〜３５ｈ）は、パッケージ内に１つ配置されたインターフェースチップ２０を介してコントローラ１００とデータ等を送受信する。それぞれのメモリチップ３５は、データ等を記憶するためのメモリセルアレイ３４を含む。  
インターフェースチップ２０は、入出力制御回路５０、ロジック回路５１、及びＯＤＴ制御回路５２を有し、前述した図３に示した構成と同等である。これらの入出力制御回路５０及びロジック回路５１には、ＯＤＴ回路６０が設けられている。また、ＯＤＴ制御回路５２は、パラメータ記憶部５３を備えている。パラメータ記憶部５３は、ＯＤＴ回路６０に関するパラメータを記憶している。尚、ＯＤＴ制御回路５２は、パラメータ記憶部５３を備えることは必須ではなく、このパラメータは、他の回路のメモリ領域に保存してもよい。
【００７４】
ＯＤＴ制御回路５２は、パラメータ記憶部５３から読み出したパラメータと、ロジック回路５１から送信されたＯＤＴイネーブル信号及び他の信号とに応じて、入出力制御回路５０及びロジック回路５１に組み込まれたＯＤＴ回路６０を制御する。  
入出力制御回路５０及びロジック回路５１の各制御信号（チップイネーブル信号ＣＥｎ他）は、前述した図３に示す回路構成における制御信号と同等であり、ここでの説明は省略する。
【００７５】
次に、図１２を参照して、ＴＳＶ構造のメモリチップ３５を用いたマルチドロップバス接続におけるメモリパッケージ１１のＯＤＴ制御について説明する。  
本実施形態のメモリパッケージ１１、図１に示した構造例と同様に、ＰＣＢ基板２の表裏面の実装面に、対で実装している。即ち、ＰＣＢ基板２の表裏面に対向して実装するメモリパッケージ１１ａとメモリパッケージ１１ｂをグループＡとし、同様にメモリパッケージ１１ｃとメモリパッケージ１１ｄをグループＢとする。マルチドロップバス接続の場合、ＰＣＢ基板ごとに特性が異なるため、ＯＤＴの効果即ち、信号の反射の抑制を最大化するためには、個々のＰＣＢ基板の特性に合うように、メモリパッケージ１１のインターフェースチップ２０の単位でＯＤＴのオン・オフを精密制御する必要がある。
【００７６】
まず、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮに付与される周期信号とチップイネーブル信号ＣＥｎによるグループＡ，Ｂにおけるメモリパッケージ１１の動作について説明する。ここでは、メモリパッケージ１１ａ〜１１ｃ（ＰＫＧ１〜ＰＫＧ３）を代表的に示している。 
コントローラ１００は、例えば、電源投入後、パラメータの書き込み動作（Set Feature）を実行し、各種パラメータを設定する。この時、コントローラ１００は、各メモリパッケージ１１のインターフェースチップ２０において、ＯＤＴ回路６０をオンするインターフェースチップ２０を設定する。
【００７７】
まず、ＯＤＴ回路６０をオンするために、ターゲットＯＤＴフラグを設定する。この例では、コントローラ１００からEFhコマンドが発行され、全メモリパッケージ１１ａ〜１１ｄ（ＰＫＧ１〜ＰＫＧ４）のインターフェースチップ２０に対して、ターゲットＯＤＴフラグが設定される。
【００７８】
次に、ターゲットＯＤＴフラグが設定した後、Set Featureを実行することを通知するコマンド、例えば、D5hコマンドを発行して、選択されたメモリパッケージ１１のインターフェースチップ２０にノンターゲットＯＤＴフラグを設定する。この例では、メモリパッケージ１１ａ，１１ｃ（ＰＫＧ１，ＰＫＧ３）のインターフェースチップ２０にノンターゲットＯＤＴフラグを設定する。ターゲットＯＤＴフラグが設定時において、D5hコマンドが同じチップアドレスではない限り、同時に複数のメモリパッケージ１１に設定しないように時差を設けて連続的に設定する。
【００７９】
次に、メモリパッケージ１１のメモリチップから連続的にデータ読み出しを行う動作例１〜３について説明する。  
［動作例１］  まず、メモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）内の１つのメモリチップからデータを読み出す［動作例１］について説明する。
【００８０】
ノンターゲットＯＤＴフラグの設定後、コントローラ１００は、全てのメモリチップに対して、データ読み出し（DOUT）のコマンド（CMD）を発行する。このコマンドを受けて、例えば、グループＡのメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）に対して、１つのメモリチップのみを活性化させるために、チップイネーブル信号ＣＥｎ１がアサート（Ｌレベル）状態に切り替わる。次に、チップイネーブル信号ＣＥｎ１のアサートが開始された後、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されて、先頭に付与される周期信号に対して、１サイクル目が“０”、２サイクル目が“０”の値を取得する。この２サイクルにおける“０”，“０”を取得したことで、前述した第１ＯＤＴ起動条件を満たし、インターフェースチップ２０内でターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路６０がオンする。
【００８１】
また同時に、グループＢのメモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）に対して、チップイネーブル信号ＣＥｎが入力される。このチップイネーブル信号ＣＥｎは、アサートする期間が短い。チップイネーブル信号ＣＥｎ１が入力されると、ノンターゲットＯＤＴが設定されるメモリパッケージ１１ｃにおいては、１サイクル目のみが“０”となり、２サイクル目が“１”となる。この“０”，“１”の取得により、第２ＯＤＴ設定条件を満たし、インターフェースチップ２０にノンターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路６０がオンする。この時、メモリパッケージ１１ａと対を成すメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）に同じＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されても、メモリパッケージ１１ｂへ入力されるチップイネーブル信号ＣＥｎがネゲート状態である（“Ｈ”レベル）ため、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮを入力しても、メモリパッケージ１１ｂのメモリチップは活性化しない。
【００８２】
次に、ＯＤＴ回路６０がオンした後、データ読み出し動作（DOUT）が実行される。この場合、コマンド（CMD）が入ってから、例えば、３００nsec後にデータ読み出し動作が開始される。メモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）のメモリチップから読み出されたデータは、データ線ＤＱを経て、コントローラ１００に出力される。さらに、チップイネーブル信号ＣＥｎのアサートが終了すると共に、ＯＤＴ回路６０もオフする。
【００８３】
［動作例２］  続いて、メモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）内の１つのメモリチップからデータを読み出す［動作例２］について説明する。  
前述した動作例１のデータ読み出しの後、コントローラ１００は、全てのメモリチップに対して、データ読み出し（DOUT）のコマンド（CMD）を発行する。続いて、例えば、グループＢのメモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）に対して、１つのメモリチップのみを活性化させるための、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサート（“Ｌ”レベル）する。
【００８４】
メモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）のメモリチップも前述したと同様に、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサート（“Ｌ”レベル）している状態の時に、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されて、先頭に付与される周期信号に対して、１サイクル目が“０”、２サイクル目が“０”となる。この時、ターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路６０をオンさせて、データ読み出し動作（DOUT）が実行される。
【００８５】
同時に、グループＡのメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）に対して、短いアサート期間のチップイネーブル信号ＣＥｎが入力され、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されて、１サイクル目が“０”となり、２サイクル目が“１”となる。この“０”，“１”の取得により、第２ＯＤＴ設定条件を満たし、ノンターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路６０がオンする。
【００８６】
前述したと同様に、メモリパッケージ１１ａと対を成すメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）に同じＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されても、メモリパッケージ１１ｂへ入力されるチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートされていない（“Ｈ”レベル）ため、メモリパッケージ１１ｂのメモリチップは活性化しない。
【００８７】
［動作例３］  さらに、メモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）内の１つのメモリチップからデータを読み出す［動作例３］について説明する。  
前述した動作例２のデータ読み出しの後、コントローラ１００は、全てのメモリチップに対して、データ読み出し（DOUT）のコマンド（CMD）を発行する。続いて、前述したと同様に、グループＡのメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）の１つのメモリチップに対して、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサート（Ｌレベル）の状態の時に、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力されて、周期信号に対して、１サイクル目が“０”、２サイクル目が“０”の第１ＯＤＴ起動条件が取得される。この第１ＯＤＴ起動条件に従い、ＯＤＴ回路６０をオンさせて、データ読み出し動作（DOUT）が実行される。
【００８８】
さらに、グループＢのメモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）においては、１サイクル目のみが“０”となり、２サイクル目が“１”となり、ノンターゲットＯＤＴが設定される。また、メモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）に同じＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮが入力しても、メモリパッケージ１１ａへ入力されるチップイネーブル信号ＣＥｎがネゲートであるため、メモリパッケージ１１ａのメモリチップは活性化しない。  
以上のように、メモリパッケージがＴＳＶ構造であっても、前述したＣＭＰ構造（第１の実施形態の１）と同等の作用効果を奏する。
【００８９】
尚、本実施形態では、チップイネーブル信号ＣＥｎが“０”、“１”の順で検出された場合に、ノンターゲットＯＤＴ回路をオンするものと設定しているが、反対に、チップイネーブル信号ＣＥｎが“１”、“０”の順で検出された場合に、ノンターゲットＯＤＴ回路をオンする設定も可能である。さらに、本実施形態では、２つのサイクルの周期信号（又はクロック信号）を利用する例であったが、特に限定されるものではなく、３つのサイクル以上の周期信号を用いて、より情報量を多くすることも可能である。例えば、ＯＤＴ信号を２値のＯＮ／ＯＦＦだけではなく、多値に分けて、多段の切り換えも行うことができる。
【００９０】
［第２の実施形態］
次に、図１３を参照して、第２の実施形態について説明する。  
本実施形態は、前述した先頭側に周期信号が付与されるＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮに代わって、クロック信号やパルス波形のような周期信号を先端側に設けたライトイネーブル信号ＷＥｎを代用し、ＯＤＴ起動条件を取得する構成例である。図１４は、本実施形態のメモリシステムの回路構成例を示している。前述した図６に示す構成と同様に、ＰＣＢ基板２の表裏面の実装面に対で実装するメモリパッケージ１１ａとメモリパッケージ１１ｂをグループＡとし、同様にメモリパッケージ１１ｃとメモリパッケージ１１ｄをグループＢとする。
【００９１】
コントローラ１００から各メモリパッケージ１１へ、ＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮとライトイネーブル信号ＷＥｎが個別に配線された共通バスにより送信される。また、コントローラ１００は、各メモリパッケージ１１に接続される個別バスを通じて、各メモリチップへ個別のチップイネーブル信号ＣＥｎを送信する。また、ライトイネーブル信号線は、既存の配線であり、新たに増加したものではない。
【００９２】
本実施形態では、ライトイネーブル信号ＷＥｎに前述した周期信号を付与して、チップイネーブル信号ＣＥｎのアサート及びネゲートから“０”，“１”を取得する。本実施形態においても第１，第２ＯＤＴ起動条件は、前述した図７Ａ，７Ｂに示す真理値図に従って設定する。尚、通常は、ＯＤＴ回路６０がオンしている状況下では、ライトイネーブル信号ＷＥｎは、サイクルされず、固定値である。
【００９３】
図２を参照して、周期信号が設けられたライトイネーブル信号ＷＥｎを用いて、ＯＤＴ回路をオンさせてデータ読み出しを行う動作について説明する。  
本実施形態においては、ノンターゲットＯＤＴフラグの設定完了までは、前述した第１実施形態と同等である。  
まず、前述したと同様に、コントローラ１００は、電源の投入後に、各種パラメータを設定する。この時、コントローラ１００は、各メモリ１０のインターフェースチップ２０において、ＯＤＴ制御回路５２に対してＯＤＴ回路６０をオンするメモリチップ３０を設定する。
【００９４】
次に、コントローラ１００からEFhコマンドが発行され、各メモリパッケージ１１ａ〜１１ｄ（ＰＫＧ１〜ＰＫＧ４）内の全メモリチップに対して、ターゲットＯＤＴフラグが設定される。引き続き、ターゲットＯＤＴフラグを設定した後、例えば、D5hコマンドを発行して、各メモリパッケージ１１内の１つのメモリチップにノンターゲットＯＤＴフラグを設定する。この例では、メモリパッケージ１１ａ，１１ｃ（ＰＫＧ１，ＰＫＧ３）内の１つのメモリチップにノンターゲットＯＤＴフラグを設定する。
【００９５】
次に、メモリパッケージ１１のメモリチップから連続的にデータ読み出しを行う動作例１〜３について説明する。尚、動作例１〜３において、データ読み出し対象となるメモリチップやノンターゲットＯＤＴフラグを設定するメモリチップは、前述した第１の実施形態と同等とする。  
図１４は、チップイネーブル信号ＣＥｎのアサート（Ｌレベル）の期間中にデータ読み出しを行うタイミングチャートを示している。  
［動作例１］  メモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）内の１つのメモリチップからデータを読み出す［動作例１］について説明する。
【００９６】
ノンターゲットＯＤＴフラグの設定後、コントローラ１００は、全てのメモリチップに対して、データ読み出し（DOUT）のコマンド（CMD）を発行する。このコマンドを受けて、ＯＤＴ制御回路５２の制御により、例えば、グループＡのメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）に対して、１つのメモリチップのみを活性化させるために、チップイネーブル信号ＣＥｎ１をアサート（“Ｌ”レベル）する。次に、チップイネーブル信号ＣＥｎ１のアサートが開始された後、コントローラ１００は、ライトイネーブル信号ＷＥｎの先端側に対して、少なくとも２サイクルの周期信号を発生させる。この周期信号に対して、１サイクル目が“０”、２サイクル目が“０”を取得すると、図７Ａに示したＯＤＴ起動条件を満たすため、ターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路６０をオンさせる。ＯＤＴ回路６０をオンした後、データ読み出し動作（DOUT）が実行される。また、チップイネーブル信号ＣＥｎ１がアサート状態を終了するともに、ＯＤＴ回路６０をオフする。
【００９７】
また同時に、ＯＤＴ制御回路５２の制御により、グループＢのメモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）に対して、ライトイネーブル信号ＷＥｎに設けた周期信号により、１サイクル目が“０”となり、２サイクル目が“１”となるように、チップイネーブル信号ＣＥｎを短い期間、アサートさせる。このチップイネーブル信号ＣＥｎのアサートにより、前述した図７Ｂに示したノンターゲットＯＤＴ起動条件を満たして、メモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）のメモリチップのノンターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路６０がオンする。この時、メモリパッケージ１１ａと対を成すメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）にも同じに周期信号が設けられたライトイネーブル信号ＷＥｎが入力する。しかし、メモリパッケージ１１ｂへ入力されるチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートされていない（“Ｈ”レベル）ため、“１”，“１”が取得され、ノンターゲットＯＤＴ起動条件を満たさず、メモリパッケージ１１ｂのメモリチップは活性化しない。
【００９８】
［動作例２］  続いて、メモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）内の１つのメモリチップからデータを読み出す［動作例２］について説明する。  
前述した動作例１のデータ読み出しの後、コントローラ１００は、全てのメモリチップに対して、データ読み出し（DOUT）のコマンド（CMD）を発行する。続いて、例えば、グループＢのメモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）に対して、１つのメモリチップのみを活性化させるために、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサート（“Ｌ”レベル）する。
【００９９】
メモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）のメモリチップも前述したと同様に、チップイネーブル信号ＣＥｎがアサートしている時に、ライトイネーブル信号ＷＥｎに設けた周期信号により、ターゲットＯＤＴのＯＤＴ回路６０がオンする。
【０１００】
同時に、グループＡのメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）に対して、ライトイネーブル信号ＷＥｎに設けた周期信号で１サイクル目のみが“０”となり、２サイクル目が“１”となるチップイネーブル信号ＣＥｎが入力される。このチップイネーブル信号ＣＥｎの入力により、メモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）のメモリチップにノンターゲットＯＤＴが設定される。ＯＤＴ回路６０がオンした後、データ読み出し動作（ＤＯＵＴ）が実行される。また、前述したと同様に、メモリパッケージ１１ａと対を成すメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）に同じライトイネーブル信号ＷＥｎが入力されても、メモリパッケージ１１ｂへ入力されるチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートされていない（“Ｈ”レベル）ため、メモリパッケージ１１ｂのメモリチップは活性化しない。
【０１０１】
［動作例３］  さらに、メモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）内の１つのメモリチップからデータを読み出す［動作例３］について説明する。  
前述した動作例２のデータ読み出しの後、コントローラ１００は、全てのメモリチップに対して、データ読み出し（DOUT）のコマンドを発行する。続いて、前述したと同様に、グループＡのメモリパッケージ１１ｂ（ＰＫＧ２）の１つのメモリチップに対して、チップイネーブル信号ＣＥｎが入力する。このチップイネーブル信号ＣＥｎがアサート（Ｌレベル）している状態の時に、ライトイネーブル信号ＷＥｎに設けた周期信号が入力される。この周期信号に対して、１サイクル目が“０”、２サイクル目が“０”のＯＤＴ起動条件が取得される。このＯＤＴ起動条件に従い、ＯＤＴ回路６０をオンさせて、ターゲットＯＤＴをオン設定し、データ読み出し動作（ＤＯＵＴ）が実行される。
【０１０２】
同時に、グループＢのメモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）に対して、１サイクル目のみが“０”となり、２サイクル目が“１”となるように、アサート期間が設定されたチップイネーブル信号ＣＥｎが入力される。このチップイネーブル信号ＣＥｎの入力により、メモリパッケージ１１ｃ（ＰＫＧ３）のメモリチップにノンターゲットＯＤＴが設定される。この動作例においても前述したと同様に、メモリパッケージ１１ｂと対を成すメモリパッケージ１１ａ（ＰＫＧ１）に同じライトイネーブル信号ＷＥｎに設けた周期信号が入力されても、メモリパッケージ１１ａへ入力されるチップイネーブル信号ＣＥｎがアサートされていない（“Ｈ”レベル）ため、メモリパッケージ１１ａのメモリチップは活性化しない。  
以上説明したように、本実施形態においても、誤動作なく、処理能力を向上できる不揮発性半導体記憶装置及び制御方法を提供することができる。
【０１０３】
詳細には、先頭に周期信号が付与されるＯＤＴイネーブル信号ＯＤＴＥＮだけではなく、ライトイネーブル信号ＷＥｎの先頭に設けた周期信号を用いて、アサート及びネゲートのチップイネーブル信号ＣＥｎに対して、２サイクルによる少なくとも４つのＯＤＴ起動条件を設定することができる。さらに、制御ピンを増やさずデータ転送スループットのオーバーヘッドを最小限にとどめながら、ターゲットＯＤＴ及びノンターゲットＯＤＴのオン・オフの精密制御を実現することができる。  
また、先述した各実施形態においては、全パッケージＰＫＧに共通して与えるＯＤＴＥＮ信号をクロック信号として、また、パッケージＰＫＧに個別に与えるチップイネーブル信号ＣＥｎをデータ信号として用いている。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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