(57)【要約】  本発明の目的は、高い帯電防止性能を有する塗膜を提供することにある。本発明の塗膜は、単層カーボンナノホーンが放射状に集合し、且つ、繊維状に繋がっている繊維状カーボンナノホーン集合体を含む導電成分を含むことを特徴とする。【特許請求の範囲】
【請求項１】
単層カーボンナノホーンが放射状に集合し、且つ、繊維状に繋がっている繊維状カーボンナノホーン集合体を含む導電成分を含む塗膜。
【請求項２】
前記繊維状カーボンナノホーン集合体の量が０．００１質量％以上０．１質量％以下である、請求項１に記載の塗膜。
【請求項３】
前記導電成分の量が０．１質量％以下であり、表面抵抗率が１×１０１０Ω／□以下である、請求項１または２に記載の塗膜。
【請求項４】
繊維状カーボンナノホーン集合体を含む導電成分を含む帯電防止塗膜の製造方法であって、
基材に繊維状カーボンナノホーン集合体を含む導電成分を含む塗料を塗布し、塗膜を形成する工程、
前記塗膜に易剥離性粘着シートを貼合する工程、および
前記塗膜から前記易剥離性粘着シートを剥離する工程
を含む帯電防止塗膜の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、繊維状カーボンナノホーン集合体を含む塗膜および帯電防止塗膜の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電気の発生を防止する導電性塗料が開発されている。塗料に添加される導電成分として、カーボンナノチューブ等の導電性に優れる炭素材料が検討されている。例えば、特許文献１には、カーボンナノチューブを含有する塗料組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１２／０６０２９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
カーボンナノチューブは分散性に劣るため、十分な帯電防止性能を有する塗膜を形成できないという問題があった。本発明の目的は、高い帯電防止性能を有する塗膜を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の塗膜は、単層カーボンナノホーンが放射状に集合し、且つ、繊維状に繋がっている繊維状カーボンナノホーン集合体を含む導電成分を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、高い帯電防止性能を有する塗膜を提供できる。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
＜繊維状カーボンナノホーン集合体＞
本実施形態に係る塗膜は、繊維状カーボンナノホーン集合体を含む。繊維状カーボンナノホーン集合体はカーボンナノブラシ（ＣＮＢ）とも呼ばれ、単層カーボンナノホーンが放射状に集合し、且つ、繊維状に繋がった構造を有する。繊維状カーボンナノホーン集合体は、単に単層カーボンナノホーンが複数連なって繊維状に見えるものとは異なり、遠心分離や超音波分散等の操作を行っても繊維状の形状を維持できる。単層カーボンナノホーンはグラフェンシートが巻かれた構造の先端が先端角約２０°の角（ホーン）状に尖った、直径１ｎｍ〜５ｎｍ、長さが３０ｎｍ〜１００ｎｍの円錐型の形状の炭素構造体である。ここで、炭素構造体とは炭素を主に含む構造体であり、軽元素や触媒金属を含んでもよい。繊維状カーボンナノホーン集合体は、繊維状の炭素構造体であり、一般的に、直径が３０ｎｍ〜２００ｎｍであり、長さが１μｍ〜１００μｍ、例えば２μｍ〜３０μｍである。繊維状カーボンナノホーン集合体のアスペクト比（長さ／直径）は、一般的に４〜４０００であり、例えば、５〜３５００である。繊維状カーボンナノホーン集合体の表面には、直径１ｎｍ〜５ｎｍ、長さ３０ｎｍ〜１００ｎｍの単層カーボンナノホーンの突起を有している。導電性が高い単層カーボンナノホーンが繊維状に繋がり、長い導電性パスを持つ構造を特徴とするため、繊維状カーボンナノホーン集合体は高い導電性を有する。更に、繊維状カーボンナノホーン集合体は、高い分散性を併せ持っており、導電性付与の効果が高い。
【０００８】
繊維状カーボンナノホーン集合体は、一般的には、種型、つぼみ型、ダリア型、ペタルダリア型、ペタル型（グラフェンシート構造）のカーボンナノホーン集合体が繋がって形成されている。すなわち、繊維状構造中に１種類または複数のこれらカーボンナノホーン集合体が含まれている。種型は集合体の表面に角状の突起がほとんどみられない、あるいは全くみられない形状、つぼみ型は集合体の表面に角状の突起が多少みられる形状、ダリア型は集合体の表面に角状の突起が多数みられる形状、ペタル型は集合体の表面に花びら状の突起がみられる形状である。ペタル構造は、幅は５０ｎｍ〜２００ｎｍ、厚みは０．３４ｎｍ〜１０ｎｍ、２枚〜３０枚のグラフェンシート構造である。ペタル−ダリア型はダリア型とペタル型の中間的な構造である。生成するカーボンナノホーン集合体は、ガスの種類や流量によってその形態および粒径が変わる。
【０００９】
繊維状カーボンナノホーン集合体は、国際公開第２０１６／１４７９０９号にも詳細に記載されている。国際公開第２０１６／１４７９０９号の図１および図２には繊維状カーボンナノホーン集合体の透過型顕微鏡写真が開示されている。この透過型顕微鏡写真で示される繊維状カーボンナノホーン集合体では、放射状に集合している単層カーボンナノホーン（カーボンナノホーン集合体）が、繊維状に繋がっている。国際公開第２０１６／１４７９０９号の開示の全てを引用によって本明細書に取り込む。
【００１０】
繊維状カーボンナノホーン集合体の作製方法では、触媒を含有した炭素をターゲット（触媒含有炭素ターゲットという）とし、触媒含有炭素ターゲットを配置した容器内でターゲットを回転させながら窒素雰囲気、不活性雰囲気、水素、二酸化炭素、または、混合雰囲気下でレーザーアブレーションによりターゲットを加熱し、ターゲットを蒸発させる。蒸発した炭素と触媒が冷える過程で、繊維状カーボンナノホーン集合体が得られる。また、上記レーザーアブレーション法以外にアーク放電法や抵抗加熱法を用いることができる。しかしながら、レーザーアブレーション法は、室温、大気圧中で連続生成できる観点からより好ましい。 
【００１１】
本発明で適用するレーザーアブレーション法は、レーザー光をターゲットにパルス状または連続して照射して、照射強度が閾値以上になると、ターゲットがエネルギーを変換し、その結果、プルームが生成され、生成物をターゲットの下流に設けた基板上に堆積させる、或いは装置内の空間に生成させ、回収室で回収する方法である。 
【００１２】
レーザーアブレーションには、ＣＯ２レーザー、ＹＡＧレーザー、エキシマレーザー、半導体レーザー等が使用可能で、高出力化が容易なＣＯ２レーザーが最も適当である。ＣＯ２レーザーは、１ｋＷ／ｃｍ２〜１０００ｋＷ／ｃｍ２の出力が使用可能であり、連続照射およびパルス照射で行うことが出来る。繊維状カーボンナノホーン集合体の生成には連続照射の方が望ましい。レーザー光をＺｎＳｅレンズ等により集光させ、照射させる。また、ターゲットを回転させることで連続的に合成することが出来る。ターゲット回転速度は任意に設定できるが、０．１ｒｐｍ〜６ｒｐｍが特に好ましい。０．１ｒｐｍ以上であればグラファイト化を抑制でき、また、６ｒｐｍ以下であればアモルファスカーボンの増加を抑制できる。この時、レーザー出力は１５ｋＷ／ｃｍ２以上が好ましく、３０ｋＷ／ｃｍ２〜３００ｋＷ／ｃｍ２が最も効果的である。レーザー出力が１５ｋＷ／ｃｍ２以上であれば、ターゲットが適度に蒸発し、繊維状カーボンナノホーン集合体の生成が容易となる。またレーザー出力が３００ｋＷ／ｃｍ２以下であれば、アモルファスカーボンの増加を抑制できる。容器（チャンバー）内の圧力は、１３３３２．２ｈＰａ（１００００Ｔｏｒｒ）以下で使用することができるが、圧力が真空に近くなるほど、カーボンナノチューブが生成しやすくなり、繊維状カーボンナノホーン集合体が得られなくなる。容器（チャンバー）内の圧力は、好ましくは６６６．６１ｈＰａ（５００Ｔｏｒｒ）〜１２６６．５６ｈＰａ（９５０Ｔｏｒｒ）で、より好ましくは常圧（１０１３ｈＰａ（１ａｔｍ≒７６０Ｔｏｒｒ））付近であることが大量合成や低コスト化のためにも適当である。また照射面積もレーザー出力とレンズでの集光の度合いにより制御でき、０．００５ｃｍ２〜１ｃｍ２が使用できる。 
【００１３】
触媒は、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏを単体で、または混合して使用することができる。触媒の濃度は適宜選択できるが、炭素に対して、０．１質量％〜１０質量％が好ましく、０．５質量％〜５質量％がより好ましい。０．１質量％以上であると、繊維状カーボンナノホーン集合体の生成が確実となる。また、１０質量％以下の場合は、ターゲットコストの増加を抑制できる。 
【００１４】
容器内は任意の温度で使用でき、好ましくは、０℃〜１００℃であり、より好ましくは室温で使用することが大量合成や低コスト化のためにも適当である。 
【００１５】
容器内には、窒素ガスや、不活性ガス、水素ガス、ＣＯ２ガス等を単独でまたは混合して導入することで上記の雰囲気とする。コストの面からは、窒素ガス、Ａｒガスが好ましい。これらのガスは反応容器内を流通し、生成する物質をこのガスの流れによって回収することが出来る。雰囲気ガス流量は、任意の量を使用できるが、好ましくは０．５Ｌ／ｍｉｎ〜１００Ｌ／ｍｉｎの範囲が適当である。ターゲットが蒸発する過程ではガス流量を一定に制御する。
【００１６】
以上のようにして得られる繊維状カーボンナノホーン集合体は、通常、球状カーボンナノホーン集合体と共に得られる。以下では、繊維状カーボンナノホーン集合体および球状カーボンナノホーン集合体の混合物を単にカーボンナノホーン集合体とも呼ぶ。球状カーボンナノホーン集合体は、単層カーボンナノホーンが放射状に集合した球状の炭素構造体である。球状カーボンナノホーン集合体は、直径が３０ｎｍ〜２００ｎｍ程度でほぼ均一なサイズである。また、得られる繊維状カーボンナノホーン集合体および球状カーボンナノホーン集合体は、その炭素骨格の一部が触媒金属元素、窒素原子等で置換されていてもよい。繊維状カーボンナノホーン集合体を単離して用いてよい。繊維状カーボンナノホーン集合体を球状カーボンナノホーン集合体等のその他の炭素材料とともに用いてもよい。なお、繊維状カーボンナノホーン集合体と球状カーボンナノホーン集合体とは、サイズの違いにより分離することが可能である。さらに、カーボンナノホーン集合体以外の不純物が含まれる場合、遠心分離法、沈降速度の違い、サイズによる分離等により除去できる。また、生成条件を変えることで、繊維状カーボンナノホーン集合体と球状カーボンナノホーン集合体の比率を変えることが可能である。
【００１７】
カーボンナノホーン集合体に微細な孔を開ける（開孔）場合は、酸化処理によって行うことができる。この酸化処理により、開孔部に酸素を含んだ表面官能基が形成される。また酸化処理は、気相プロセスと液相プロセスを使用できる。気相プロセスの場合は、空気、酸素、二酸化炭素等の酸素を含む雰囲気ガス中で熱処理して行う。中でも、コストの観点から空気が適している。また、温度は、３００℃〜６５０℃の範囲が使用でき、４００℃〜５５０℃がより適している。３００℃以上であれば、炭素が燃え、確実に開孔を形成できる。また、６５０℃以下ではカーボンナノホーン集合体の全体が燃焼することを抑制できる。液相プロセスの場合、硝酸、硫酸、過酸化水素等の酸化性物質を含む液体中で行う。硝酸の場合は、室温〜１２０℃の温度範囲で使用できる。１２０℃以下であれば、必要以上に酸化されることがない。過酸化水素の場合、室温〜１００℃の温度範囲で使用でき、４０℃以上がより好ましい。４０℃〜１００℃の温度範囲では酸化力が効率的に作用し、効率よく開孔を形成できる。また液相プロセスのとき、光照射を併用するとより効果的である。
【００１８】
カーボンナノホーン集合体の生成時に含まれる触媒金属は、必要に応じて除去することができる。触媒金属は硝酸、硫酸、塩酸中で溶解するため除去できる。使いやすさの観点から、塩酸が適している。触媒を溶解する温度は適宜選択できるが、触媒を十分に除去する場合は、７０℃以上に加熱して行うことが望ましい。また、硝酸、硫酸を用いる場合、触媒除去と開孔の形成とを同時にあるいは連続して行うことができる。また、触媒がカーボンナノホーン集合体生成時に炭素被膜で覆われる場合があるため、炭素被膜を除去するために前処理を行うことが望ましい。前処理は空気中、２５０℃〜４５０℃程度で加熱することが望ましい。３００℃以上では上記のように一部開孔が形成されることがある。カーボンナノホーン集合体は、カーボンナノチューブよりも触媒金属を除去することが容易である。本実施形態において、触媒金属を除去したカーボンナノホーン集合体を用いることにより、実質的に金属を含まず、金属が溶出しない塗膜を形成できる。これにより、塗膜からの金属溶出を防止できる。
【００１９】
カーボンナノホーン集合体は、不活性ガス、水素、真空中等の非酸化性雰囲気で熱処理することで結晶性を向上させることができる。熱処理温度は、８００℃〜２０００℃が使用できるが、好ましくは１０００℃〜１５００℃である。また、開孔処理後では、開孔部に酸素を含んだ表面官能基が形成されるが、熱処理により除去することもできる。その熱処理温度は、１５０℃〜２０００℃が使用できる。表面官能基であるカルボキシル基、水酸基等を除去するには１５０℃〜６００℃が望ましい。表面官能基であるカルボニル基を除去するには、６００℃以上が望ましい。また、表面官能基は、気体または液体雰囲気下で還元することによって除去することができる。気体雰囲気下での還元には、水素が使用でき、上記の結晶性の向上と兼用することができる。液体雰囲気下では、ヒドラジン等が利用できる。
【００２０】
＜塗料＞
本実施形態に係る塗料は、繊維状カーボンナノホーン集合体を含む導電成分を含む。繊維状カーボンナノホーン集合体以外の導電成分としては、球状カーボンナノホーン集合体、カーボンナノチューブ、グラファイト等の炭素材料が挙げられる。導電成分は導電性材料から構成される成分であり、その他各種の導電性材料を含んでよい。導電成分は、例えば、炭素材料以外にも導電性の金属粒子や導電性ポリマー等を含んでよい。一実施形態では、導電性材料は約１０−３Ω・ｃｍ以下の体積抵抗率（２０℃）を備える材料である。
【００２１】
塗料の母材は特に限定されず、基材に塗膜を形成し得る樹脂、重合性モノマー等の塗料に一般的に用いられる材料であってよい。樹脂としては、例えば、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、塩化ビニル樹脂、アクリル樹脂、アクリルウレタン樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、フッ素樹脂等が挙げられる。重合性モノマーとしては、例えば、スチレン、メチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン酸、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、ｏ−およびｐ−スチレンスルホネート、ジビニルベンゼン、エチレンジアクリレート、Ｎ，Ｎ−メチレンビスアクリルアミド等が挙げられる。
【００２２】
塗料は水および／または有機溶媒を含んでよい。有機溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール等のアルコール類、エチレングリコール等のグリコール類、ケトン類、エーテル類等が挙げられる。
【００２３】
塗料は、母材（特には重合性モノマー）に適する硬化剤を含んでよい。また、塗料には、レベリング剤、スリップ剤、可塑剤、増粘剤、乾燥剤、消泡剤、顔料、染料等の従来公知の添加剤を任意に配合できる。
【００２４】
＜塗膜＞
塗料を基材に塗布することにより塗膜を形成できる。必要に応じて塗膜を更に乾燥し、水や有機溶媒等の揮発性成分を除去してよい。必要に応じて塗膜を更に硬化処理してよい。塗膜の硬化方法は母材、特には重合性モノマーの種類に応じて適宜決定される。例えば、熱硬化や光硬化等を採用できる。塗膜の厚さは特には限定されないが、例えば、１μｍ〜５０μｍの範囲である。
【００２５】
塗膜に含まれる繊維状カーボンナノホーン集合体の量は、好ましくは０．００１質量％以上、より好ましくは０．００２質量％以上、さらに好ましくは０．００３質量％以上である。繊維状カーボンナノホーン集合体の量がこの範囲内である場合、塗膜の導電性を高めることができる。塗膜に含まれる繊維状カーボンナノホーン集合体の量は、好ましくは１質量％以下、より好ましくは０．１質量％以下、さらに好ましくは０．０１質量％以下、特に好ましくは０．００５質量％以下である。繊維状カーボンナノホーン集合体の量がこの範囲内である場合、繊維状カーボンナノホーン集合体が塗膜の色味に影響しにくく、透明な塗膜を形成できる。塗膜に含まれる導電成分または炭素材料の総量は、好ましくは０．００１質量％以上、より好ましくは０．００５質量％以上、さらに好ましくは０．０１質量％以上である。塗膜に含まれる導電成分または炭素材料の総量は、好ましくは１質量％以下、より好ましくは０．１質量％以下、さらに好ましくは０．０８質量％以下である。
【００２６】
塗膜の導電性を更に高めるために、形成した塗膜の表面に剥離シートを貼合してよい。剥離シートを塗膜から剥がすことにより塗膜の表面を毛羽立たせることができる。毛羽立った塗膜の表面では、繊維状カーボンナノホーン集合体の先端が露出するようになり、塗膜の導電性が高まる。
【００２７】
剥離シートは、好ましくは粘着成分を含む粘着剤層を有する易剥離性粘着シートである。易剥離性粘着シートの粘着剤層に用いられる粘着成分としては、例えばゴム系樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂、ビニルエーテル樹脂等が挙げられる。特に、易剥離性粘着シートには、ダイシングテープやマスキングテープとして市販されているものを好適に用いることができる。
【００２８】
易剥離性粘着シートの粘着面は粘着力の高い部分（粘着部）と粘着力の低い部分（非粘着部）を有することが好ましい。粘着部と非粘着部を設けることにより、易剥離性粘着シートを剥離する際に、易剥離性粘着シートが伸縮し、塗膜の表面から露出する繊維状カーボンナノホーン集合体の数を増やすことができる。非粘着部には、シリコーン剥離剤や長鎖アルキル剥離剤等の剥離成分を用いることができる。粘着部には、ゴム系樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂、ビニルエーテル樹脂等の粘着成分を用いることができる。基材上に剥離剤層を設け、その一部に粘着剤層を設け、粘着部と非粘着部を形成できる。あるいは、基材上に粘着剤層を設け、その一部に剥離剤層を設け、粘着部と非粘着部を形成できる。粘着部または非粘着部の形状は特に限定されず、例えば、格子状、ドット状、穴あき状、または縞状等が挙げられる。易剥離性粘着シートの粘着面における粘着部と非粘着部の面積比率は、例えば、１：１０〜１０：１、好ましくは１：３〜３：１であってよい。
【００２９】
繊維状カーボンナノホーン集合体を塗膜の表面に露出するために、塗膜と剥離シートとの引きはがし粘着力が所定の範囲内にあることが好ましい。塗膜と剥離シートとの引きはがし粘着力は、好ましくは０．１Ｎ／ｃｍ以上、より好ましくは１Ｎ／ｃｍ以上、さらに好ましくは２Ｎ／ｃｍ以上である。塗膜と剥離シートとの引きはがし粘着力は、好ましくは１０Ｎ／ｃｍ以下、より好ましくは８Ｎ／ｃｍ以下、さらに好ましくは４Ｎ／ｃｍ以下である。引きはがし粘着力はＪＩＳ  Ｚ  ０２３７（剥離ライナーをテープおよびシートの粘着面に対して１８０°に引きはがす試験方法）により測定される。ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７において、引きはがし粘着力は引張試験機により測定され、引張試験機の引きはがし速度は５．０±０．２ｍｍ／ｓである。
【００３０】
本実施形態に係る塗膜は、上に記載されるように導電成分の含有量が少ない場合であっても高い導電性を有する。塗膜の表面抵抗率は、一般的には１×１０１４Ω／□以下、好ましくは１×１０１１Ω／□以下、より好ましくは１×１０１０Ω／□以下、さらに好ましくは１×１０９Ω／□以下である。塗膜の表面抵抗率は、一般的には、１×１０５Ω／□以上である。表面抵抗率はＪＩＳ  Ｋ６９１１に準拠して測定できる。一実施形態では、導電成分における炭素材料以外の導電性材料（ただし、繊維状カーボンナノホーン集合体製造用の触媒由来の金属は除く）の量は、好ましくは１質量％以下、より好ましくは０．１質量％以下、さらに好ましくは０．００１質量％以下である。一実施形態では、塗膜は、導電成分以外には炭素材料以外の導電性材料（ただし、繊維状カーボンナノホーン集合体製造用の触媒由来の金属は除く）を含まない。一実施形態では、導電成分における炭素材料の量は、好ましくは５０質量％以上、より好ましくは８０質量％以上であり、１００質量％であってもよい。
【実施例】
【００３１】
＜ＣＮＢ生成物＞
窒素雰囲気下のチャンバー内で、鉄を含有した炭素ターゲットをＣＯ２レーザーアブレーションすることで繊維状カーボンナノホーン集合体を含む炭素材料混合物（以降ＣＮＢ生成物と記載）を作製した。詳細には、鉄を１重量％含有する炭素ターゲットを、２ｒｐｍで回転させて、これにＣＯ２レーザーを連続的に照射した。ＣＯ２レーザーのエネルギー密度は、５０ｋＷ／ｃｍ２であった。チャンバー内の温度は室温とし、チャンバー内に供給する窒素の流量を１０Ｌ／ｍｉｎになるように調整した。チャンバー内の圧力は９３３．２５４ｈＰａ〜１２６６．５５９ｈＰａ（７００Ｔｏｒｒ〜９５０Ｔｏｒｒ）に制御した。【００３２】
ＣＮＢ生成物をＳＥＭ観察すると、繊維状の物質（繊維状カーボンナノホーン集合体）と球状の物質（球状カーボンナノホーン集合体）とグラファイトが観察された。繊維状カーボンナノホーン集合体は、直径が３０ｎｍ〜１００ｎｍ程度で、長さが数μｍ〜数１０μｍであった。球状カーボンナノホーン集合体は、直径が３０ｎｍ〜２００ｎｍ程度の範囲でほぼ均一なサイズのものが多くを占めていた。グラファイトは、大きさが１μｍ〜数１０μｍであった。【００３３】
熱重量分析、および動的光散乱法による粒度分布測定から、ＣＮＢ生成物は、繊維状カーボンナノホーン集合体４質量％、球状カーボンナノホーン集合体６２質量％、グラファイト２１質量％、酸化鉄１３質量％を含んでいることが確認された。【００３４】
＜実施例１＞
シリコーン樹脂エマルジョン（旭化成ＳＩＬＲＥＳ（登録商標）、不揮発成分６０質量％含有）１００質量部にＣＮＢ生成物を０．０５質量部加え、三本ロールミルで混錬した。水で希釈した塗料を基板にローラーで塗布し、２００℃で１時間硬化した。この塗膜の表面抵抗率を２５℃の条件下で、半導体パラメーター・アナライザ（商品名：Ａｇｉｌｅｎｔ  ４１５５Ｃ、Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製）を用いて四探針法で測定したところ、塗膜の表面抵抗率は２×１０１０Ω／□であった。【００３５】
＜実施例２＞
実施例１で得られた塗膜の表面にダイシングテープ（日立化成  ＨＡＥ−１５０３Ｌ）を貼り、引き剥がした。塗膜の表面抵抗率は３×１０８Ω／□であった。【００３６】
＜比較例１＞
シリコーン樹脂エマルジョン（旭化成ＳＩＬＲＥＳ（登録商標）、不揮発成分６０質量％含有）１００質量部にカーボンナノチューブを０．０５質量部加え、三本ロールミルで混錬した。水で希釈した塗料を基板にローラーで塗布し、２００℃で１時間硬化した。塗膜の表面抵抗率は５×１０１２Ω／□であった。【００３７】
＜比較例２＞
比較例１で得られた塗膜の表面にダイシングテープを貼り、引き剥がした。塗膜の表面抵抗率は２×１０１２Ω／□であり、ＣＮＢ生成物を添加した塗膜と比較すると表面処理の効果が小さかった。繊維状カーボンナノホーン集合体は凸凹した形状を有するためダイシングテープに接着する部分が多く、表面処理の効果が大きくなったと考えられる。【００３８】
この出願は、２０１９年１月１６日に出願された日本出願特願２０１９−００５０１８を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。【００３９】
以上、実施形態及び実施例を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態及び実施例に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【国際調査報告】
2020149283.tif 000002
2020149283.tif 000003
2020149283.tif 000004
2020149283.tif 000005
2020149283.tif 000006
2020149283.tif 000007