(57)【要約】  基板グループとマスクとの対応関係に基づくマスク自動交換方法およびマスク自動交換システムであって、その方法は、スクリーン印刷機に対して基板に形成されたパターンのズレ量に基づいて区別された基板グループ毎に基板を搬送する基板搬送工程と、前記基板搬送工程による基板の搬送に伴い基板情報を確認する基板確認工程と、複数の基板グループに対応して用意された複数のマスクから前記基板確認工程の結果に従い該当するマスクを選択するマスク選択工程と、前記複数のマスクを収納するマスク自動交換機から該当するマスクを前記スクリーン印刷機へ送り出すマスク交換工程とを有する。
2019244265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン印刷機に対して基板に形成されたパターンのズレ量に基づいて区別された基板グループ毎に基板を搬送する基板搬送工程と、
前記基板搬送工程による基板の搬送に伴い基板情報を確認する基板確認工程と、
複数の基板グループに対応して用意された複数のマスクから前記基板確認工程の結果に従い該当するマスクを選択するマスク選択工程と、
前記複数のマスクを収納するマスク自動交換機から該当するマスクを前記スクリーン印刷機へ送り出すマスク交換工程と、
を有するマスク自動交換方法。
【請求項２】
前記基板確認工程は、前記基板グループの基板枚数を前記基板情報として確認するものである請求項１に記載のマスク自動交換方法。
【請求項３】
前記基板確認工程は、前記基板に付された基板ＩＤをＩＤリーダで読み取ることによって得られる前記基板情報を確認するものである請求項１又は請求項２に記載のマスク自動交換方法。
【請求項４】
前記基板に付されたマーク又はパターンを撮像装置により撮像する撮像工程と、
前記撮像工程によって得られた撮像データからパターンのズレ量を算出する算出工程と、
前記算出工程によって得られたズレ量に基づいてマスク交換の有無を判定する交換判定工程と、
を有する請求項１乃至請求項３に記載のマスク自動交換方法。
【請求項５】
基板に対する搬送および、マスクに重ねた基板に対して当該マスクの印刷パターン孔を通したクリームはんだの印刷を行うスクリーン印刷機と、
共通する複数の基板からなる基板グループ毎に用意された複数のマスクを収納し、該当するマスクを前記スクリーン印刷機へ送り出すマスク自動交換機と、
前記スクリーン印刷機および前記マスク自動交換機を制御するものであって、所定の基板情報を基に前記基板グループ毎に該当するマスクを選択する制御装置と、
を有するマスク自動交換システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷機へのマスク交換を適切に行うためのマスク自動交換方法およびマスク自動交換システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は、印刷パターン孔の形成されたマスクが取り付けられ、その下側に搬送された基板が保持される。その基板は上昇してマスクの下面に接し、マスク上面側からはスキージ装置によってクリームはんだが塗り延ばしされ、印刷パターン孔を通ったクリームはんだが基板上に印刷される。下記特許文献１には、このようなスクリーン印刷機に関するマスクの自動交換技術が開示されている。そのスクリーン印刷機は、前述しように基板に対して印刷を行う印刷部を有し、その印刷部に対してマスクの出し入れを行う収納部が設けられている。収納部は、複数段のベルトコンベヤを備えたストッカを有し、そのストッカがシリンダによって昇降するように構成されている。【０００３】
マスクの交換は、主に基板の品種変更にともなって行われる。その際、前記第１従来例では、シリンダの駆動によってストッカが昇降し、そのストッカに対するマスクの回収と、新たなマスクの印刷位置への送り出しが行われる。ところで、基板には伸縮が生じるため、マスクとの間にズレが生じてしまい、印刷精度を低下させてしまうことがある。この点について下記特許文献２には、基板の変形の程度に応じてマスクを選択するスクリーン印刷機が開示されている。この第２従来例では、基板に一対の基板側マークが設けられ、複数あるマスクの各々にも基板に対応したマスク側マークが設けられている。その基板側マークがカメラによって撮像され、一対の基板側マークの間の距離（実測値）から、設計値との比率に基づく基板の変形度が算出される。そして、算出された基板の変形度が複数あるマスクの開口パターンデータと比較され、ひとつのマスクが選択される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平４−１０７１４６号公報
【特許文献２】特開２０１７−２２６１５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記第２従来例は、フィルム状基板であることによって面内の伸縮変形が生じることの記載はあるものの、基板の変形については明確ではなく、基板が反って表面積が縮小している場合も含むとの記載から、基板の変形程度を個別に算出し、設計値との比率に基づいて基板の変形度が求められているようである。しかし、基板毎に変形度の算出を行っていたのでは生産効率を大きく低下させてしまうことになる。【０００６】
そこで、本発明は、かかる課題を解決すべく、基板グループとマスクとの対応関係に基づくマスク自動交換方法およびマスク自動交換システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様におけるマスク自動交換方法は、スクリーン印刷機に対して基板に形成されたパターンのズレ量に基づいて区別された基板グループ毎に基板を搬送する基板搬送工程と、前記基板搬送工程による基板の搬送に伴い基板情報を確認する基板確認工程と、複数の基板グループに対応して用意された複数のマスクから前記基板確認工程の結果に従い該当するマスクを選択するマスク選択工程と、前記複数のマスクを収納するマスク自動交換機から該当するマスクを前記スクリーン印刷機へ送り出すマスク交換工程とを有する。【０００８】
本発明の他の態様におけるマスク自動交換システムは、基板に対する搬送および、マスクに重ねた基板に対して当該マスクの印刷パターン孔を通したクリームはんだの印刷を行うスクリーン印刷機と、共通する複数の基板からなる基板グループ毎に用意された複数のマスクを収納し、該当するマスクを前記スクリーン印刷機へ送り出すマスク自動交換機と、前記スクリーン印刷機および前記マスク自動交換機を制御するものであって、所定の基板情報を基に前記基板グループ毎に該当するマスクを選択する制御装置とを有する。
【発明の効果】
【０００９】
前記構成によれば、スクリーン印刷機に対して基板に形成されたパターンのズレ量に基づいて基板グループが設けられ、その基板グループ毎に基板が搬送される。そして、複数ある基板グループに対応して複数のマスクが用意され、基板グループごとの基板枚数など、所定の基板情報に基づいて該当するマスクが選択され、前の基板グループに使用されたマスクとの交換が行われる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】スクリーン印刷機の内部構造を簡略化して示した側面図である。
【図２】スクリーン印刷機にセットしたマスク自動交換機の内部構造を示した待機状態の側面図である。
【図３】スクリーン印刷機にセットしたマスク自動交換機の内部構造を示したマスク交換状態の側面図である。
【図４】基板グループとマスクとの関係を示した図である。
【図５】スクリーン印刷機の制御システムを簡易的に示したブロック図である。
【図６】マスク自動交換方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
次に、本発明に係るマスク自動交換方法およびマスク自動交換システムの一実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。本実施形態では、スクリーン印刷機にマスク自動交換機を外付けしたマスク自動交換システムおよび、そこで実行されるマスク自動交換方法について説明する。図１は、スクリーン印刷機の内部構造を簡略化して示した側面図である。このスクリーン印刷機１は、基板に対してクリームはんだを印刷するものであり、例えば印刷状態を検査する検査機や基板に対して電子部品の装着を行う部品装着機などと共に回路基板生産ラインを構成するものである。
【００１２】
スクリーン印刷機１では、機体内部にマスクが水平に取り付けられ、その下に基板が搬送および保持され、マスク上面から印刷パターン孔を通したクリームはんだが、そのマスクの下側に位置決めされた基板に塗布される。こうしたスクリーン印刷機１は、上部側にマスクホルダ１１があり、マスクの取り付けが可能になっている。そして、マスクホルダ１１の上方側には、マスク上のクリームはんだを機体前後方向（図面横方向）に塗り延ばしするスキージ装置１２が設置されている。一方、マスクホルダ１１の下側には、搬送された基板を保持して上下方向に移動させる基板保持昇降装置１３が設けられている。
【００１３】
スクリーン印刷機１は、図示するように機体カバー１５によって覆われているが、機体幅方向の両側面部に搬送口１５１（図２参照）が形成され、基板の搬入及び搬出が行われるようになっている。そのため、基板保持昇降装置１３には、機体幅方向（図面を貫く方向）に基板を搬送させる基板搬送装置が組み込まれている。更に、その基板保持昇降装置１３は、搬送された基板を保持するクランプ装置や、保持した基板がマスク下面に接触する印刷位置へと昇降させる昇降装置なども組み込まれている。
【００１４】
また、マスクホルダ１１と基板保持昇降装置１３の間には、基板やマスクに付された基準マークなどを撮像するカメラユニット１６と、マスクの汚れを下面側から拭き取って清掃するクリーニングユニット１７が設けられている。本実施形態のカメラユニット１６は、基板に形成されたパターンの撮像にも使用されるよう構成されている。カメラユニット１６およびクリーニングユニット１７は、矢印Ａ１の範囲を移動する駆動構成が設けられている。また、矢印Ａ２の範囲が基板保持昇降装置１３による基板の昇降範囲である。そして、スクリーン印刷機１には、こうした各装置の駆動を制御する制御装置１８（図５参照）が搭載されている。
【００１５】
スクリーン印刷機１では、搬送口１５１を通って搬入された基板がマスクの下で保持された後、上昇してマスクの下面に接触した印刷位置に位置決めされる。一方、マスクの上面ではスキージ装置１２によってクリームはんだがローリングされる。そのため、印刷パターン孔を通ったクリームはんだがパターンに従って基板に塗布される。その後、基板が所定速度で下降することによりマスクからの版離れが行われ、パターンに従った印刷が完了する。スクリーン印刷機１での印刷は、生産計画に従った枚数の基板に対して同一の印刷が繰り返し行われるが、所定のタイミングでマスクの交換が行われる。
【００１６】
例えば、生産枚数が多い場合には、複数の基板メーカによって製造された基板が使用されることがある。その場合、同一の設計に基づいて製造された基板であっても、メーカによってパターンに微妙な差が生じてしまう。すなわち、基板に形成されたパターンには設計値と比較して多少の誤差が生じてしまうが、各基板メーカにおける製造工程や、温度など製造環境の違いから、それぞれ基板の伸びに違いが生じてしまう。そうした基板におけるパターンの誤差に対してマスクを共通にしてしまうと、印刷パターン孔とのズレとなって印刷精度を低下させてしまうことになる。そこで、本実施形態では、基板メーカなどによって基板の伸び（ズレ量）に差が生じることに着目し、基板グループを作成して各々のグループに対応したマスクを予め用意することとした。
【００１７】
次に、図２及び図３は、スクリーン印刷機１にマスク自動交換機２をセットした状態の側面図であり、特にマスク自動交換機について内部構造が示されている。図２は、マスク自動交換機の待機状態が示され、図３にはマスク自動交換機のマスク交換状態が示されている。このマスク自動交換機２は、スクリーン印刷機１の機体前面部に連結され、必要に応じてマスクの交換を自動で行うものである。そのマスク自動交換機２は、交換機本体２１内に複数のマスク６が収納され、一枚ずつマスクを交換機本体２１内からスクリーン印刷機１側に送り出し、或いは逆方向に引き戻すよう構成されたものである。
【００１８】
マスク自動交換機２は、交換機本体２１の内部にマガジンラック２２が収納され、そのマガジンラック２２には複数のマスク６が水平な状態で上下方向に並べて収納されている。マガジンラック２２は、マスク６を一枚ずつ入れるスロット２３が上下に複数段形成され、各スロット２３に対して用意されたマスク６が一枚ずつ挿入できるようになっている。特に、スロット２３は、機体の前後方向（図面横方向）にマスク６の出し入れが可能な構成を有し、同方向における外部からマガジンラック２２へのマスク６の出し入れや、スクリーン印刷機１に対するマスクの交換が可能になっている。
【００１９】
マガジンラック２２は、昇降スライド２５と一体に形成され、交換機本体２１の壁面に形成された鉛直方向のガイドレール２６に対して摺動可能に組み付けられている。２本のガイドレール２６の間には、駆動モータによって回転するネジ軸２７が鉛直方向に設けられ、そのネジ軸２７が昇降スライド２５に固定された送りナットに螺合し、ボールネジ機構が構成されている。従って、駆動モータの回転制御によりマガジンラック２２が昇降し、該当するマスク６をスクリーン印刷機１との交換口に位置決めさせることができるようになっている。
【００２０】
マガジンラック２２は、スロット２３の位置に合わせるようにして、両側面にガイド用の長孔２２１が複数形成され、詳しく図示しないが、その長孔２２１を通して両側面側からマスク６を挟持する一対のクランプ装置が設けられている。そして、そのクランプ装置には、上下に並んだ長孔２２１の位置に合わせて昇降させる不図示の昇降装置と、更に長孔２２１に沿って機体前後方向へ移動させるスライド装置２８とが一体に構成されている。マスク６は、矩形のフレーム部材の内側に張った状態で取り付けられたものであるが、マスク自動交換機２では、クランプ装置によってマスク６のフレーム部材を両側から把持し、水平に移動させることによりスクリーン印刷機１内のマスクホルダ１１へとマスク６が送られるようになっている。
【００２１】
マスク自動交換機２内に収納された複数のマスク６は、前述したように、印刷対象となる基板の基板グループに対応して製作されたものである。ここで、図４は、基板グループとマスクとの関係を示した図である。本実施形態では、同じ設計を基に製造されたパターンＸの基板８（８Ａ，８Ｂ，８Ｃ）が使用されるものとする。スクリーン印刷機１によって合計Ｎ枚の基板８に対する印刷を行うため、３つの基板メーカによって製造されたものであり、基板８Ａがｎａ枚、基板８Ｂがｎｂ枚、そして基板８Ｃがｎｃ枚それぞれ用意されている。
【００２２】
異なる基板メーカの基板８Ａ，８Ｂ，８Ｃは、前述したように基板の伸び、すなわち設計値との誤差（ズレ量）に違いが生じてしまっている。一方で、同じ工程や環境で製作された基板はパターンのズレ量はほぼ一定であるため、各基板メーカの基板８Ａ，８Ｂ，８Ｃがそれぞれ基板グループＡ，Ｂ，Ｃに分けられる。例えば、基板８Ａ，８Ｂ，８Ｃに形成されたパターンは、投影機器などによって測定される。そして、設計値とのズレ量に違いがあれば、そのズレ量ごと（多くは基板メーカごと）に区別した基板グループがつくられる。
【００２３】
グループ分けされた基板８Ａ，８Ｂ，８Ｃには、各々の情報を格納した基板ＩＤ３１（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ）が付されている。その基板ＩＤ３１には、基板８Ａ，８Ｂ，８Ｃが属する基板グループＡ，Ｂ，Ｃを特定するグループ情報や、基板８Ａ，８Ｂ，８Ｃにおける設計値とのズレ量情報が格納されている。そして、本実施形態では、その基板グループごとにマスク６（６Ａ，６Ｂ，６Ｃ）が用意される。マスク６Ａ，６Ｂ，６Ｃには、基板８Ａ，８Ｂ，８Ｃに形成されたパターンのズレ量に対応した印刷パターン孔が形成されている。
【００２４】
次に、図５は、スクリーン印刷機１の制御システムを簡易的に示したブロック図である。スクリーン印刷機１の制御装置１８は、マイクロプロセッサ（ＣＰＵ）４１、ＲＯＭ４２、ＲＡＭ４３、不揮発性メモリ４４がバスラインを介して接続され、Ｉ／Ｏポート４５を介してスクリーン印刷機１を構成する各装置のモータなど駆動部に接続されている。スクリーン印刷機１には、データ入力や作業内容などの表示が可能なタッチパネル型の操作表示装置４７が取り付けられ、Ｉ／Ｏポート４５に接続されている。また、制御装置１８には、基板ＩＤ３１を読み取る基板用ＩＤリーダ４８が接続されている。なお、スクリーン印刷機１の制御装置１８と駆動部などの接続は、Ｉ／Ｏポート４５を介すものに限られず、イーサネット（登録商標）などに基づくフィールドバスシステムや光通信などによるものであってもよい。
【００２５】
スクリーン印刷機１に対してマスク自動交換機２が使用される場合には、両者が機械的に連結されるとともに、通信ケーブルを介してマスク自動交換機２の制御装置１９がスクリーン印刷機１の制御装置１８に接続される。こうしてスクリーン印刷機１側の制御指令に基づき、マスク自動交換機２側の駆動が制御されるマスク自動交換システムが構成される。スクリーン印刷機１の制御装置１８には、その不揮発性メモリ４４内に基板グループに従って対応するマスク６を選択し、スクリーン印刷機１でのマスク交換を行うマスク自動交換プログラム４４１が格納されている。
【００２６】
そして、マスク自動交換プログラム４４１を実行するための基板情報が、スクリーン印刷機１の制御装置１８に入力される。その基板情報は、スクリーン印刷機１の機体前面部に設けられた操作表示装置４７から作業者によって行われる。ここでの入力される基板情報とは、スクリーン印刷機１へ搬送される基板８（基板グループ）の順番と、各基板グループの基板８の合計枚数である。また、各々の基板８Ａ，８Ｂ，８Ｃに対応するマスク６Ａ，６Ｂ，６Ｃが、自動交換機２のどの位置のスロット２３にセットされているかを示すマスク情報なども入力される。更に、セットされたマスク６Ａ，６Ｂ，６Ｃが、それぞれ設計値に対してどの程度の範囲のズレ量に対応可能なのか、対応可能範囲の値も入力される。
【００２７】
続いて、スクリーン印刷機１において行われるマスク自動交換方法について説明する。スクリーン印刷機１では、前述したように基板８が一枚ずつ搬送され、マスク６の上面側から印刷パターン孔にクリームはんだを通し、マスク６の下面側に位置決めされた基板８に対してパターンＸの印刷が行われる。繰り返し搬送される複数の基板８に対して印刷が行われ、一の基板グループにおける基板の使い切りにより、次の基板グループの基板へと印刷が切り換えられ、それに合わせてマスクの自動交換が行われる。
【００２８】
マスクの自動交換は、例えば、制御装置１８の記憶部に入力された基板グループの順番やグループ毎の基板枚数の情報に基づいて行われる。このマスク自動交換方法では、基板グループＡ，Ｂ，Ｃの順番に基板８が搬送されるとした場合、スクリーン印刷機１には基板８Ａに対するマスク６Ａが取り付けられる。そこで、スクリーン印刷機１によって印刷処理が開始されると、マスク６Ａを使用した印刷が行われる度にその印刷回数がカウントされ、印刷回数と基板グループＡの基板枚数との比較が行われる。
【００２９】
すなわち、印刷回数が基板グループＡの基板枚数であるｎａに達したか否かについて確認が行われ、その結果、達している場合には次に搬送される基板グループの基板８に対応したマスク６が選択される。本実施形態では、基板グループＢの基板８Ｂが搬送されるため、マスク自動交換機２によって基板８Ｂに対応するマスク６Ｂへの交換が行われる。そして、マスク６Ｂを使用した基板８Ｂへの印刷が繰り返され、同じようにして基板グループＢの基板枚数ｎｂの印刷完了に従い、基板８Ｃに対応するマスク６Ｃへの交換が行われる。
【００３０】
印刷回数が各基板グループの基板枚数に達した場合には、スクリーン印刷機１の制御装置１８からマスク自動交換機２の制御装置１９へ、該当するマスク６に対する交換指令信号が送信される。マスク自動交換機２では、マガジンラック２２が図２から図３に示すように上昇し、空になっているスロット２３が所定の高さに位置決めされる。すなわち、スクリーン印刷機１で使用されたマスク（例えばマスク６Ａ）が挿入されるスロット２３が受取り位置に配置され、クランプ装置によって把持されたマスク６Ａが引き戻される。その後、マガジンラック２２が上下動し、該当するスロット２３から次のマスク６Ｂがスクリーン印刷機１側に送り出され、マスク交換が完了する。
【００３１】
マスク自動交換方法は、このように基板グループの基板枚数に従ったマスク交換を行うようにしても良いが、正確性や適合性を判断する工程を加えた次のような方法であってもよい。図６は、そのマスク自動交換方法を示すフローチャートである。先ず、基板グループＡ，Ｂ，Ｃの順番に基板８が使用されるため、スクリーン印刷機１には基板８Ａに対するマスク６Ａが取り付けられている。その状態でスクリーン印刷機１に搬送される基板８について、基板ＩＤ３１が基板用ＩＤリーダ４８によって読み取られ（Ｓ１０１）、マスク６との対応確認が行われる（Ｓ１０２）。つまり、基板グループの基板枚数との比較だけではなく、次に使用されるグループの基板８Ｂへの切り換わりの確認が行われる。
【００３２】
搬送された基板８がマスク６Ａと対応している場合には（Ｓ１０２：ＹＥＳ）、本処理が終了してマスク６Ａはそのまま使用が継続される。一方、搬送された基板８がマスク６Ａと対応していない場合（Ｓ１０２：ＮＯ）、つまり基板グループＡの基板８Ａについて印刷が全て終了し、次の基板８Ｂが送られた場合には、マスクの交換に向けた処理が行われる。本実施形態では、カメラユニット１６によって搬送された基板８Ｂに付された一部のパターン８０１（図４参照）が撮像され、その撮像データから設計値との誤差（伸び）に関するズレ量が算出される（Ｓ１０３）。
【００３３】
そして、撮像されたパターン８０１の実際のズレ量について、制御装置１８の記憶部に格納されているマスク６のズレ量情報と比較したズレ量適合判定が行なわれる（Ｓ１０４）。基板８やマスク６における設計値とのズレ量は予め確認された値であるが、本実施形態では撮像データから実際の基板８のズレ量との比較が行われるようになっている。従って、このズレ量適合判定により最適なマスク６が選択される（Ｓ１０５）。
【００３４】
例えば、搬送された基板８Ｂのズレ量が情報通りであればマスク６Ｂが選択され、その交換が行われる（Ｓ１０６）。一方、仮に搬送された基板８Ｂのズレ量が、マスク６Ａが対応する範囲のズレ量であるような場合にはマスク６Ａが選択される。そのため、ステップＳ１０６においてマスク６Ｂへの交換は見送られ、継続してマスク６Ａが使用される。そして、基板Ｂに対する印刷が繰り返され、搬送された基板が基板グループＣの基板８Ｃへ切り換えられた場合には、同じようにしてズレ量適合判定（Ｓ１０４）などを経てマスク６Ｃへの交換などが行われる。
【００３５】
従って、本実施形態によれば、スクリーン印刷機１により印刷を行う基板８のズレ量が基板グループ毎に異なることに着目し、マスク自動交換機２におけるマスク６の自動交換を行うようにしたため、基板８に対して適切なマスク６を使用することができる。そして、本実施形態のマスク自動交換方法は、基板グループを基準にして行うためマスク６の選択が簡単である。
【００３６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、前記実施形態では基板メーカ毎に基板グループを設定したが、別の基準によって区別した基板グループであってもよい。
また、例えば、用意された複数のマスク６にも各々が対応する範囲のズレ量情報を格納したマスクＩＤを付し、マスク交換時にＩＤを読み取って改めて確認するようにしてもよい。
また、前記実施形態では、ステップＳ１０３（図６参照）においてカメラユニット１６が基板８の一部のパターン８０１を撮像してズレ量を算出しているが、基板８に付した測定用のマークを使用するものであってもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１…スクリーン印刷機  ２…マスク自動交換機  ６（６Ａ，６Ｂ，６Ｃ）…マスク  ８（８Ａ，８Ｂ，８Ｃ）…基板  １１…マスクホルダ  １８…制御装置  ２２…マガジンラック  ２３…スロット  ３１（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ）…基板ＩＤ  ４７…操作表示装置  ４８…基板用ＩＤリーダ
【図１】
2019244265.tif 000003
【図２】
2019244265.tif 000004
【図３】
2019244265.tif 000005
【図４】
2019244265.tif 000006
【図５】
2019244265.tif 000007
【図６】
2019244265.tif 000008
【国際調査報告】
2019244265.tif 000009
2019244265.tif 000010
2019244265.tif 000011
2019244265.tif 000012