(57)【要約】  ユニット管理装置は、基板に所定の対基板作業を行って基板製品を生産する対基板作業機に設けられ、かつ、ステッピングモータとステッピングモータによって駆動される被駆動部とを備える駆動ユニットを管理する。ユニット管理装置は、インターバル設定部と判断部とを具備する。インターバル設定部は、動作インターバルを基板製品の生産時と比べて短く設定する。動作インターバルは、対基板作業において繰り返し実行される所定動作のうちの一の所定動作が終了してステッピングモータに供給されるパルス信号が停止される時点を起点とし、次の所定動作を開始するためにパルス信号の供給が開始される時点を終点とする。判断部は、インターバル設定部によって設定された動作インターバルでステッピングモータを駆動させて脱調の有無を検出し、ステッピングモータの脱調の有無に基づいて被駆動部のメンテナンスの要否を判断する。
2020115912.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に所定の対基板作業を行って基板製品を生産する対基板作業機に設けられ、かつ、ステッピングモータと前記ステッピングモータによって駆動される被駆動部とを備える駆動ユニットを管理するユニット管理装置であって、
前記対基板作業において繰り返し実行される所定動作のうちの一の前記所定動作が終了して前記ステッピングモータに供給されるパルス信号が停止される時点を起点とし、次の前記所定動作を開始するために前記パルス信号の供給が開始される時点を終点とする動作インターバルを、前記基板製品の生産時と比べて短く設定するインターバル設定部と、
前記インターバル設定部によって設定された前記動作インターバルで前記ステッピングモータを駆動させて脱調の有無を検出し、前記ステッピングモータの脱調の有無に基づいて前記被駆動部のメンテナンスの要否を判断する判断部と、
を具備するユニット管理装置。
【請求項２】
前記被駆動部のメンテナンスが必要な場合に前記ステッピングモータが前記被駆動部を駆動するときに必要な出力トルクは、前記被駆動部のメンテナンスが不要な場合と比べて大きく、
前記判断部は、前記ステッピングモータが脱調したときに、前記被駆動部のメンテナンスが必要であると判断する請求項１に記載のユニット管理装置。
【請求項３】
前記パルス信号の供給が停止したときに前記ステッピングモータの可動子に減衰振動が発生し、
前記インターバル設定部は、前記可動子に前記減衰振動が発生してから所定の振動振幅以下になるまでに要する時間と比べて、前記動作インターバルを短く設定する請求項１または請求項２に記載のユニット管理装置。
【請求項４】
前記インターバル設定部は、前記基板製品の生産時の前記動作インターバルから徐々に前記動作インターバルを短く設定して、
前記判断部は、前記インターバル設定部によって設定された前記動作インターバルごとに前記ステッピングモータの脱調の有無を検出し、前記ステッピングモータが脱調したときの前記所定動作の直前に適用された前記動作インターバルに応じて、前記被駆動部のメンテナンスの必要度を取得する請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のユニット管理装置。
【請求項５】
前記インターバル設定部によって設定された前記動作インターバルによる前記ステッピングモータの脱調の検出前に、前記基板製品の生産時と同じ前記動作インターバルで前記ステッピングモータを駆動させて、前記ステッピングモータに脱調が生じないことを確認する確認部をさらに備える請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のユニット管理装置。
【請求項６】
前記判断部によって判断された前記被駆動部のメンテナンスの要否を、前記対基板作業機の使用者に案内する案内部をさらに備える請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載のユニット管理装置。
【請求項７】
前記対基板作業機は、前記基板に部品を装着する部品装着機であり、
前記駆動ユニットは、前記部品を採取し保持して位置決めされた前記基板に装着する保持部材と、少なくとも正圧エアおよび負圧エアのいずれか一つの前記保持部材に対する選択的な供給を切り換えるバルブ装置とを備える装着ヘッドであり、
前記バルブ装置は、
前記正圧エアが流通する正圧エア通路および前記負圧エアが流通する負圧エア通路が形成されているバルブボディと、
前記バルブボディに対して摺動可能に設けられ、前記ステッピングモータによって少なくとも二つの異なる停止位置に位置決めされるスプールと、
を備え、
前記バルブ装置は、前記スプールの前記停止位置に応じて、前記保持部材のエア通路に対して、前記正圧エア通路および前記負圧エア通路のいずれか一つを選択的に連通させる請求項１〜請求項６のいずれか一項に記載のユニット管理装置。
【請求項８】
前記装着ヘッドは、鉛直軸に平行なＲ軸周りに回転可能に設けられ、複数の前記保持部材に対応した前記スプールを駆動可能な前記Ｒ軸周りの所定位置に順次割り出し可能なロータリヘッドを備え、
前記判断部は、順次割り出された前記スプールについて前記ステッピングモータの脱調の有無を検出し、前記ステッピングモータの脱調が検出された前記スプールおよび前記ステッピングモータの脱調が検出された前記スプールの一つ前に割り出された前記スプールのうちの少なくとも一方をメンテナンスが必要であると判断する請求項７に記載のユニット管理装置。
【請求項９】
前記判断部は、前記装着ヘッドに設けられるすべての前記スプールについて、摺動方向の一方側に順に摺動させて前記ステッピングモータの脱調の有無をそれぞれ検出した後に、前記摺動方向の前記一方側と反対側に順に摺動させて前記ステッピングモータの脱調の有無をそれぞれ検出して、前記摺動方向の前記一方側および前記反対側のうちの少なくとも一方について前記ステッピングモータの脱調が検出された前記スプールおよび前記ステッピングモータの脱調が検出された前記スプールの一つ前に割り出された前記スプールのうちの少なくとも一方をメンテナンスが必要であると判断する請求項８に記載のユニット管理装置。
【請求項１０】
前記装着ヘッドは、一つの前記保持部材を備え、
前記動作インターバルは、前記保持部材に対応した前記スプールが摺動方向の一方側に所定量、摺動されて前記ステッピングモータに供給される前記パルス信号が停止される時点を起点とし、前記保持部材に対応した前記スプールが前記摺動方向の前記一方側と反対側に摺動を開始するために前記パルス信号の供給が開始される時点を終点とする請求項７に記載のユニット管理装置。
【請求項１１】
基板に所定の対基板作業を行って基板製品を生産する対基板作業機に設けられ、かつ、ステッピングモータと前記ステッピングモータによって駆動される被駆動部とを備える駆動ユニットを管理するユニット管理方法であって、
前記対基板作業において繰り返し実行される所定動作のうちの一の前記所定動作が終了して前記ステッピングモータに供給されるパルス信号が停止される時点を起点とし、次の前記所定動作を開始するために前記パルス信号の供給が開始される時点を終点とする動作インターバルを、前記基板製品の生産時と比べて短く設定するインターバル設定工程と、
前記インターバル設定工程によって設定された前記動作インターバルで前記ステッピングモータを駆動させて脱調の有無を検出し、前記ステッピングモータの脱調の有無に基づいて前記被駆動部のメンテナンスの要否を判断する判断工程と、
を具備するユニット管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書は、ユニット管理装置およびユニット管理方法に関する技術を開示する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載の状態判定装置は、検出手段と判定手段とを備えている。検出手段は、モータの脱調の有無を検出する。判定手段は、部品供給装置の状態を判定する判定条件が成立した場合に、所定の駆動条件よりもモータから出力されるトルクが小さくなる低トルク駆動条件に基づいてモータを駆動制御し、検出手段による検出結果に基づいて部品供給装置の状態を判定する。具体的には、判定手段は、モータを駆動する際のパルス信号の基準電圧を、実装基板の生産時と比べて低い低電圧としてモータを駆動制御する。そして、判定手段は、モータが脱調しなかった場合にメンテナンスが不要と判定し、モータが脱調した場合にメンテナンスが必要と判定する。これにより、特許文献１に記載の状態判定装置は、部品供給装置に異常が生じる前にメンテナンスの要否を判定しようとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１６／２０７９５２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の状態判定装置は、モータを駆動する際のパルス信号の基準電圧を、実装基板の生産時と比べて低くして、モータの脱調の有無を検出するものであり、対基板作業において繰り返し実行される所定動作の動作インターバルを用いてモータの脱調の有無を検出するものではない。【０００５】
このような事情に鑑みて、本明細書は、対基板作業において繰り返し実行される所定動作の動作インターバルを用いてステッピングモータの脱調の有無を検出し、被駆動部のメンテナンスの要否を判断することが可能なユニット管理装置およびユニット管理方法を開示する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書は、基板に所定の対基板作業を行って基板製品を生産する対基板作業機に設けられ、かつ、ステッピングモータと前記ステッピングモータによって駆動される被駆動部とを備える駆動ユニットを管理するユニット管理装置を開示する。前記ユニット管理装置は、インターバル設定部と判断部とを具備する。前記インターバル設定部は、動作インターバルを前記基板製品の生産時と比べて短く設定する。前記動作インターバルは、前記対基板作業において繰り返し実行される所定動作のうちの一の前記所定動作が終了して前記ステッピングモータに供給されるパルス信号が停止される時点を起点とし、次の前記所定動作を開始するために前記パルス信号の供給が開始される時点を終点とする。前記判断部は、前記インターバル設定部によって設定された前記動作インターバルで前記ステッピングモータを駆動させて脱調の有無を検出し、前記ステッピングモータの脱調の有無に基づいて前記被駆動部のメンテナンスの要否を判断する。【０００７】
また、本明細書は、基板に所定の対基板作業を行って基板製品を生産する対基板作業機に設けられ、かつ、ステッピングモータと前記ステッピングモータによって駆動される被駆動部とを備える駆動ユニットを管理するユニット管理方法を開示する。前記ユニット管理方法は、インターバル設定工程と判断工程とを具備する。前記インターバル設定工程は、動作インターバルを前記基板製品の生産時と比べて短く設定する。前記動作インターバルは、前記対基板作業において繰り返し実行される所定動作のうちの一の前記所定動作が終了して前記ステッピングモータに供給されるパルス信号が停止される時点を起点とし、次の前記所定動作を開始するために前記パルス信号の供給が開始される時点を終点とする。前記判断工程は、前記インターバル設定工程によって設定された前記動作インターバルで前記ステッピングモータを駆動させて脱調の有無を検出し、前記ステッピングモータの脱調の有無に基づいて前記被駆動部のメンテナンスの要否を判断する。
【発明の効果】
【０００８】
上記のユニット管理装置によれば、インターバル設定部と、判断部とを具備する。これにより、ユニット管理装置は、対基板作業において繰り返し実行される所定動作の動作インターバルを、基板製品の生産時と比べて短く設定してステッピングモータの脱調の有無を検出し、被駆動部のメンテナンスの要否を判断することができる。ユニット管理装置について上述したことは、ユニット管理方法についても同様に言える。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】対基板作業ラインＷＭＬの構成例を示す構成図である。
【図２】部品装着機ＷＭ３の構成例を示す平面図である。
【図３】装着ヘッド２０の構成例を示す側面図である。
【図４】装着ヘッド２０に構成されるエア供給回路３０の一例を示す回路図である。
【図５Ａ】バルブ装置４０のスプール４１が第一停止位置Ｐ１に位置決めされて保持部材５０に負圧エアが供給可能な状態の一例を示す断面図である。
【図５Ｂ】バルブ装置４０のスプール４１が第二停止位置Ｐ２に位置決めされて保持部材５０に正圧エアが供給可能な状態の一例を示す断面図である。
【図５Ｃ】バルブ装置４０のスプール４１が第三停止位置Ｐ３に位置決めされて保持部材５０を大気に開放可能な状態の一例を示す断面図である。
【図６】駆動ユニット６０およびユニット管理装置７０の制御ブロックの一例を示すブロック図である。
【図７】ユニット管理装置７０による制御手順の一例を示すフローチャートである。
【図８】スプール４１を摺動方向（矢印Ｚ方向）に摺動させる機構の構成例を示す模式図である。
【図９】スプール４１と作動軸４３の位置関係の経時変化の一例を示す模式図である。
【図１０】パルス信号の供給が停止したときにステッピングモータ６１の可動子に発生する減衰振動の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
１．実施形態
１−１．対基板作業ラインＷＭＬの構成例
対基板作業ラインＷＭＬでは、基板９０に所定の対基板作業を行う。対基板作業ラインＷＭＬを構成する対基板作業機ＷＭの種類および数は、限定されない。図１に示すように、本実施形態の対基板作業ラインＷＭＬは、印刷機ＷＭ１、印刷検査機ＷＭ２、部品装着機ＷＭ３、リフロー炉ＷＭ４および外観検査機ＷＭ５の複数（５つ）の対基板作業機ＷＭを備えており、基板９０は、基板搬送装置（図示略）によって、この順に搬送される。
【００１１】
印刷機ＷＭ１は、基板９０において、複数の部品９１の各々の装着位置に、はんだを印刷する。印刷検査機ＷＭ２は、印刷機ＷＭ１によって印刷されたはんだの印刷状態を検査する。部品装着機ＷＭ３は、基板９０（印刷機ＷＭ１によって印刷されたはんだの上）に複数の部品９１を装着する。部品装着機ＷＭ３は、一つであっても良く、複数であっても良い。部品装着機ＷＭ３が複数設けられる場合は、複数の部品装着機ＷＭ３が分担して、複数の部品９１を装着することができる。
【００１２】
リフロー炉ＷＭ４は、部品装着機ＷＭ３によって複数の部品９１が装着された基板９０を加熱し、はんだを溶融させて、はんだ付けを行う。外観検査機ＷＭ５は、部品装着機ＷＭ３によって装着された複数の部品９１の装着状態などを検査する。このように、対基板作業ラインＷＭＬは、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭを用いて、基板９０を順に搬送し、検査処理を含む生産処理を実行して基板製品９００を生産することができる。なお、対基板作業ラインＷＭＬは、例えば、機能検査機、バッファ装置、基板供給装置、基板反転装置、シールド装着装置、接着剤塗布装置、紫外線照射装置などの対基板作業機ＷＭを必要に応じて備えることもできる。
【００１３】
対基板作業ラインＷＭＬを構成する複数（５つ）の対基板作業機ＷＭおよび管理装置ＷＭＣは、通信部ＬＣによって電気的に接続されている。通信部ＬＣは、有線であっても良く、無線であっても良い。また、通信方法は、種々の方法をとり得る。本実施形態では、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭおよび管理装置ＷＭＣによって、構内情報通信網（ＬＡＮ：Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）が構成されている。これにより、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭは、通信部ＬＣを介して、互いに通信することができる。また、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭは、通信部ＬＣを介して、管理装置ＷＭＣと通信することができる。
【００１４】
管理装置ＷＭＣは、対基板作業ラインＷＭＬを構成する複数（５つ）の対基板作業機ＷＭの制御を行い、対基板作業ラインＷＭＬの動作状況を監視する。管理装置ＷＭＣには、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭを制御する種々の制御データが記憶されている。管理装置ＷＭＣは、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭの各々に制御データを送信する。また、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭの各々は、管理装置ＷＭＣに動作状況および生産状況を送信する。
【００１５】
１−２．部品装着機ＷＭ３の構成例
部品装着機ＷＭ３は、基板９０に複数の部品９１を装着する。図２に示すように、部品装着機ＷＭ３は、基板搬送装置１１、部品供給装置１２、部品移載装置１３、部品カメラ１４、基板カメラ１５および制御装置１６を備えている。基板搬送装置１１は、例えば、ベルトコンベアなどによって構成され、基板９０を搬送方向（Ｘ軸方向）に搬送する。基板９０は、回路基板であり、電子回路および電気回路のうちの少なくとも一方が形成される。基板搬送装置１１は、部品装着機ＷＭ３の機内に基板９０を搬入し、機内の所定位置に基板９０を位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機ＷＭ３による複数の部品９１の装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機ＷＭ３の機外に搬出する。
【００１６】
部品供給装置１２は、基板９０に装着される複数の部品９１を供給する。部品供給装置１２は、基板９０の搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って設けられる複数のフィーダ１２１を備えている。複数のフィーダ１２１の各々は、複数の部品９１が収納されるキャリアテープ（図示略）をピッチ送りさせて、フィーダ１２１の先端側に位置する供給位置において部品９１を採取可能に供給する。また、部品供給装置１２は、チップ部品などと比べて比較的大型の電子部品（例えば、リード部品など）を、トレイ上に配置した状態で供給することもできる。
【００１７】
部品移載装置１３は、ヘッド駆動装置１３１および移動台１３２を備えている。ヘッド駆動装置１３１は、直動機構によって移動台１３２を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に構成されている。移動台１３２には、クランプ部材（図示略）によって装着ヘッド２０が着脱可能（交換可能）に設けられている。装着ヘッド２０は、少なくとも一つの保持部材５０を用いて、部品供給装置１２によって供給される部品９１を採取し保持して、基板搬送装置１１によって位置決めされた基板９０に部品９１を装着する。保持部材５０は、例えば、吸着ノズル、チャックなどを用いることができる。
【００１８】
部品カメラ１４および基板カメラ１５は、公知の撮像装置を用いることができる。部品カメラ１４は、光軸がＺ軸方向の上向き（鉛直上方方向）になるように、部品装着機ＷＭ３の基台に固定されている。部品カメラ１４は、保持部材５０によって保持されている部品９１を下方から撮像することができる。基板カメラ１５は、光軸がＺ軸方向の下向き（鉛直下方方向）になるように、部品移載装置１３の移動台１３２に設けられている。基板カメラ１５は、基板９０を上方から撮像することができる。部品カメラ１４および基板カメラ１５は、制御装置１６から送出される制御信号に基づいて撮像を行う。部品カメラ１４および基板カメラ１５によって撮像された画像データは、制御装置１６に送信される。
【００１９】
制御装置１６は、公知の中央演算装置および記憶装置を備えており、制御回路が構成されている（いずれも図示略）。制御装置１６には、部品装着機ＷＭ３に設けられる各種センサから出力される情報、画像データなどが入力される。制御装置１６は、制御プログラムおよび予め設定されている所定の装着条件などに基づいて、各装置に対して制御信号を送出する。例えば、制御装置１６は、基板搬送装置１１によって位置決めされた基板９０を基板カメラ１５に撮像させる。制御装置１６は、基板カメラ１５によって撮像された画像を画像処理して、基板９０の位置決め状態を認識する。また、制御装置１６は、部品供給装置１２によって供給された部品９１を保持部材５０に採取させ保持させて、保持部材５０に保持されている部品９１を部品カメラ１４に撮像させる。制御装置１６は、部品カメラ１４によって撮像された画像を画像処理して、部品９１の保持姿勢を認識する。
【００２０】
制御装置１６は、制御プログラムなどによって予め設定される装着予定位置の上方に向かって、保持部材５０を移動させる。また、制御装置１６は、基板９０の位置決め状態、部品９１の保持姿勢などに基づいて、装着予定位置を補正して、実際に部品９１を装着する装着位置を設定する。装着予定位置および装着位置は、位置（Ｘ軸座標およびＹ軸座標）の他に回転角度を含む。制御装置１６は、装着位置に合わせて、保持部材５０の目標位置（Ｘ軸座標およびＹ軸座標）および回転角度を補正する。制御装置１６は、補正された目標位置において補正された回転角度で保持部材５０を下降させて、基板９０に部品９１を装着する。制御装置１６は、上記のピックアンドプレースサイクルを繰り返すことによって、基板９０に複数の部品９１を装着する装着処理を実行する。
【００２１】
１−３．装着ヘッド２０の構成例
図３に示すように、装着ヘッド２０は、移動台１３２にクランプされるヘッド本体２１を備えている。ヘッド本体２１には、Ｒ軸モータ２２によって所定の角度ごとに回転角度を割り出し可能に、ロータリヘッド２３が設けられている。ロータリヘッド２３は、Ｒ軸と同心の円周上において周方向に等間隔に複数（例えば、１２本）のツール軸２４を備えている。ロータリヘッド２３は、Ｚ軸およびＲ軸に平行なθ軸方向（図３の上下方向）に摺動可能に且つθ軸周りに回転可能にツール軸２４を保持している。
【００２２】
ツール軸２４は、スプリング（図示略）の弾性力によってロータリヘッド２３に対して上方に付勢されている。これにより、ツール軸２４は、外力が付与されていない通常状態では、上昇端に位置している。ツール軸２４の下端部には、保持部材５０が着脱可能に取り付けられる。保持部材５０には、少なくとも正圧エアまたは負圧エアが供給され、部品９１を採取する。保持部材５０には、負圧エアによって部品９１を吸着する吸着ノズルの他に、正圧エアまたは負圧エアによって動作するチャック（図示略）などが含まれる。また、ツール軸２４は、保持部材５０が取り付けられると、軸内スプリング（図示略）の弾性力によって、保持部材５０を下方に付勢する。
【００２３】
複数の保持部材５０の各々は、保持部材５０のエア通路にエアが供給されて部品９１を保持する。複数の保持部材５０は、Ｒ軸モータ２２の駆動に伴ってロータリヘッド２３が回転することによって、Ｒ軸周りの所定の角度位置（例えば、ツール軸２４の昇降位置）に順次割り出される。図３に示すように、装着ヘッド２０は、ヘッド本体２１に固定されているθ軸モータ２５を備えている。θ軸モータ２５の出力軸には、複数のギヤを介して回転力を伝達可能に全てのツール軸２４が連結されている。ツール軸２４および保持部材５０は、θ軸モータ２５の動作によってθ軸周りに一体的に回転（自転）し、回転角度や回転速度が制御される。
【００２４】
また、ヘッド本体２１には、Ｚ軸方向（鉛直上下方向）に移動可能に作動部材２６が設けられている。作動部材２６は、Ｚ軸モータ２７の駆動によって動作するボールねじ機構２８によってＺ軸方向に昇降する。作動部材２６は、複数のツール軸２４のうちの昇降位置に割り出されたツール軸２４の上端部に接触するレバー２９を備えている。レバー２９は、作動部材２６のＺ軸方向下方への移動に伴って下降する。レバー２９は、接触するツール軸２４のスプリングの弾性力に抗してツール軸２４をＺ軸方向の下方へと押圧し、ツール軸２４を下降させる。ツール軸２４および保持部材５０は、Ｚ軸モータ２７の駆動によってＺ軸方向に一体的に昇降し、Ｚ軸方向位置や移動速度が制御される。
【００２５】
１−４．エア供給回路３０の構成例
図４に示すように、装着ヘッド２０は、エア供給回路３０を備えている。エア供給回路３０は、保持部材５０に正圧エアまたは負圧エアを供給可能とし、且つ、保持部材５０内を大気に開放可能とする。エア供給回路３０は、正圧エア通路３１、負圧エア通路３２、複数の大気圧エア通路３３、複数のエア通路３４、正圧バルブ３５、レギュレータバルブ３６および複数のバルブ装置４０を備えている。
【００２６】
正圧エア通路３１は、バルブボディとしてのロータリヘッド２３に形成され、正圧エア供給源８１から供給される正圧エアが流通するエア通路である。正圧エア供給源８１は、例えば、装着ヘッド２０の外部に設けられるブロワ、コンプレッサなどを用いることができる。本実施形態の正圧エア通路３１は、正圧バルブ３５およびレギュレータバルブ３６を介して正圧エア供給源８１に接続される。正圧バルブ３５は、正圧エア通路３１と正圧エア供給源８１の連通状態または遮断状態を切り換える。
【００２７】
本実施形態の正圧バルブ３５は、二位置のソレノイドバルブである。正圧バルブ３５は、ソレノイドが給電により励磁されると開状態になる。これにより、正圧バルブ３５は、正圧エア通路３１と正圧エア供給源８１を連通状態とし、正圧エア通路３１に正圧エアが流通可能な状態になる。正圧バルブ３５は、ソレノイドが給電されない場合に閉状態となる。これにより、正圧バルブ３５は、正圧エア通路３１と正圧エア供給源８１を遮断状態とし、正圧エア通路３１に正圧エアが流通しない状態になる。
【００２８】
レギュレータバルブ３６は、正圧バルブ３５と正圧エア供給源８１との間に配置される。レギュレータバルブ３６は、正圧エア供給源８１から供給される空気圧を調整する。本実施形態のレギュレータバルブ３６は、正圧エア供給源８１から供給される正圧エアの空気圧を一定程度低減させた規定圧力に減圧し、安定した正圧エアの供給を可能としている。
【００２９】
負圧エア通路３２は、ロータリヘッド２３に形成され、負圧エア供給源８２から供給される負圧エアが流通するエア通路である。負圧エア供給源８２は、例えば、装着ヘッド２０の内部に設けられる負圧ポンプなどを用いることができる。本実施形態の負圧エア通路３２は、負圧エア供給源８２に常時接続するように構成される。よって、負圧エア通路３２は、負圧エア供給源８２が駆動している間は負圧エアが流通可能な状態になる。
【００３０】
複数の大気圧エア通路３３の各々は、ロータリヘッド２３に形成され、大気に開放されるエア通路である。大気圧エア通路３３は、装着ヘッド２０が配置される部品装着機ＷＭ３の機内の気圧と等しく維持される。これにより、大気圧エア通路３３が保持部材５０の保持部材内エア通路５１と連通した場合に、保持部材内エア通路５１が負圧であれば給気されて大気圧となり、保持部材内エア通路５１が正圧であれば排気されて大気圧となる。
【００３１】
複数のエア通路３４の各々は、対応する保持部材５０との間で連通して、保持部材５０に供給されるエアが流通可能なエア通路である。本実施形態のエア通路３４は、本管３４１、第一枝管３４２および第二枝管３４３を備える。エア通路３４の本管３４１は、ツール軸２４に形成され、保持部材５０の保持部材内エア通路５１と連通する。第一枝管３４２および第二枝管３４３は、ロータリヘッド２３に形成され、本管３４１からそれぞれ分岐する。
【００３２】
第一枝管３４２は、バルブ装置４０の切り換えによって正圧エア通路３１または負圧エア通路３２と連通し得る。第二枝管３４３は、バルブ装置４０の切り換えによって大気圧エア通路３３と連通し得る。エア通路３４は、ロータリヘッド２３に設けられるツール軸２４の数量分、形成される。また、エア通路３４は、保持部材５０がツール軸２４に取り付けられると、保持部材５０にエアを供給可能に常時連通する。
【００３３】
バルブ装置４０は、エア通路３４に対して、正圧エア通路３１、負圧エア通路３２および大気圧エア通路３３のいずれか一つを選択的に連通させる。バルブ装置４０は、上記の機能を有するものであれば、一つまたは複数のバルブによって構成することができる。また、バルブ装置４０を構成するバルブは、種々の流体バルブを用いることができる。図５Ａに示すように、本実施形態のバルブ装置４０は、バルブボディとしてのロータリヘッド２３と、スプール４１と、ステッピングモータ６１と、作動軸４３とを備えており、三位置のメカバルブである。ロータリヘッド２３は、既述したように、正圧エア通路３１、負圧エア通路３２、大気圧エア通路３３、エア通路３４の第一枝管３４２および第二枝管３４３が形成されている。
【００３４】
スプール４１は、ロータリヘッド２３に形成されたスプール穴２３１に対して摺動可能に設けられ、異なる三つの停止位置（第一停止位置Ｐ１、第二停止位置Ｐ２、第三停止位置Ｐ３）に位置決めされる。スプール４１は、エア通路３４の第一枝管３４２または第二枝管３４３に、正圧エア通路３１、負圧エア通路３２および大気圧エア通路３３のいずれか一つが連通した状態を形成し、形成状態を切り換える。スプール４１には、ロータリヘッド２３の上面より突出した上端に係合部４１１が形成されている。
【００３５】
ステッピングモータ６１は、ヘッド本体２１に固定されている。作動軸４３は、ステッピングモータ６１の駆動によって所定量、昇降される。スプール４１の係合部４１１は、作動軸４３の作動爪４３１に対して、Ｒ軸周りに離脱可能に且つＺ軸方向に係合可能に構成されている。これにより、ロータリヘッド２３のＲ軸周りの回転角度の割り出しによって、作動軸４３の作動爪４３１に複数のバルブ装置４０のスプール４１の係合部４１１が順次係合される。
【００３６】
このようにして、ステッピングモータ６１の駆動によって昇降する作動軸４３に外力が付与されて、スプール４１は、ロータリヘッド２３のスプール穴２３１において、摺動方向（矢印Ｚ方向）の停止位置（第一停止位置Ｐ１、第二停止位置Ｐ２、第三停止位置Ｐ３）に位置決めされる。なお、スプール４１は、所定の摩擦力をもってスプール穴２３１に支持されている。これにより、スプール４１は、自重による摺動が規制されている。そのため、スプール４１は、上述した摩擦力を上回る外力が付与されない限り、位置決めされた停止位置（第一停止位置Ｐ１、第二停止位置Ｐ２、第三停止位置Ｐ３）に保持される。
【００３７】
ここで、ロータリヘッド２３におけるスプール穴２３１の一端部は、大気圧エア通路３３の少なくとも一部を構成する。具体的には、スプール穴２３１は、図５Ａに示すように、ロータリヘッド２３を摺動方向（矢印Ｚ方向）に貫通するように形成され、下方の一端部が大気に開放されている。つまり、スプール穴２３１の下方の一端部は、大気圧エア通路３３を構成し、スプール４１の停止位置（第三停止位置Ｐ３）によっては、エア通路３４の第二枝管３４３と連通する構成になっている。
【００３８】
バルブ装置４０は、スプール４１の三つの停止位置（第一停止位置Ｐ１、第二停止位置Ｐ２、第三停止位置Ｐ３）に応じてエア通路３４に対して、正圧エア通路３１、負圧エア通路３２および大気圧エア通路３３のいずれか一つを選択的に連通させる。具体的には、バルブ装置４０は、図５Ａに示すように、スプール４１を第一停止位置Ｐ１に位置決めして、エア通路３４の第一枝管３４２に負圧エア通路３２を連通させる。これにより、保持部材５０の保持部材内エア通路５１に負圧エアが供給されて、保持部材５０が部品９１を吸着可能な状態になる。
【００３９】
また、バルブ装置４０は、図５Ｂに示すように、スプール４１を第二停止位置Ｐ２に位置決めして、エア通路３４の第一枝管３４２に正圧エア通路３１を連通させる。これにより、保持部材５０の保持部材内エア通路５１に正圧エアが供給されて、真空破壊によって保持部材５０が部品９１を開放する状態になる。さらに、バルブ装置４０は、図５Ｃに示すように、スプール４１を第三停止位置Ｐ３に位置決めして、エア通路３４の第二枝管３４３に大気圧エア通路３３を連通させる。これにより、保持部材５０の保持部材内エア通路５１が大気に開放される。
【００４０】
このように、本実施形態のバルブ装置４０は、バルブボディとしてのロータリヘッド２３に対してスプール４１を摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方向（下方から上方に向かう方向）に移動させて三つの停止位置（第一停止位置Ｐ１、第二停止位置Ｐ２、第三停止位置Ｐ３）に順次位置決めする。そして、バルブ装置４０は、エア通路３４に対して、負圧エア通路３２、正圧エア通路３１および大気圧エア通路３３の順に連通させる。
【００４１】
１−５．駆動ユニット６０の構成例
駆動ユニット６０は、基板９０に所定の対基板作業を行って基板製品９００を生産する対基板作業機ＷＭに設けられる。駆動ユニット６０は、対基板作業機ＷＭに設けられる駆動ユニットであれば良く限定されない。対基板作業機ＷＭが基板９０に部品９１を装着する部品装着機ＷＭ３の場合、駆動ユニット６０は、保持部材５０と、バルブ装置４０とを備える装着ヘッド２０であると好適である。既述したように、保持部材５０は、部品９１を採取し保持して位置決めされた基板９０に装着する。バルブ装置４０は、少なくとも正圧エアおよび負圧エアのいずれか一つの保持部材５０に対する選択的な供給を切り換える。
【００４２】
また、バルブ装置４０は、バルブボディとしてのロータリヘッド２３と、スプール４１とを備え、スプール４１の停止位置に応じて、保持部材５０のエア通路３４に対して、正圧エア通路３１および負圧エア通路３２のいずれか一つを選択的に連通させると好適である。この場合、バルブボディとしてのロータリヘッド２３には、正圧エアが流通する正圧エア通路３１および負圧エアが流通する負圧エア通路３２が形成される。スプール４１は、バルブボディとしてのロータリヘッド２３に対して摺動可能に設けられ、ステッピングモータ６１によって少なくとも二つの異なる停止位置（本実施形態では、三つの異なる停止位置（第一停止位置Ｐ１、第二停止位置Ｐ２、第三停止位置Ｐ３））に位置決めされる。
【００４３】
図６に示すように、駆動ユニット６０は、ステッピングモータ６１と、被駆動部６２とを備える。被駆動部６２は、種々の形態をとり得るが、駆動ユニット６０が上述したバルブ装置４０を備える装着ヘッド２０の場合、被駆動部６２は、少なくともスプール４１を含むと好適である。既述したように、ステッピングモータ６１の駆動によって作動軸４３が昇降する。これにより、スプール４１は、バルブボディとしてのロータリヘッド２３のスプール穴２３１において、摺動方向（矢印Ｚ方向）に摺動して停止位置（第一停止位置Ｐ１、第二停止位置Ｐ２、第三停止位置Ｐ３）に位置決めされる。つまり、本実施形態の被駆動部６２は、スプール４１と作動軸４３を含む。
【００４４】
１−６．ユニット管理装置７０の構成例
図５Ａ〜図５Ｃに示すように、バルブ装置４０のスプール４１には、複数（例えば、３つ）のＯリング４９が設けられている。複数（３つ）のＯリング４９のうちの２つのＯリング４９は、正圧エア通路３１を挟むように摺動方向（矢印Ｚ方向）の両側に設けられている。また、複数（３つ）のＯリング４９のうちの２つのＯリング４９は、負圧エア通路３２を挟むように摺動方向（矢印Ｚ方向）の両側に設けられている。これらにより、バルブ装置４０は、スプール４１における正圧エアおよび負圧エアのエア漏れ、回り込みを抑制することができる。
【００４５】
また、複数（３つ）のＯリング４９の各々には、グリスが塗布されており、被駆動部６２であるスプール４１が摺動方向（矢印Ｚ方向）に摺動するときの摺動抵抗が低減されている。駆動ユニット６０が基板製品９００の生産に使用されるにつれて、複数（３つ）のＯリング４９に塗布されているグリスが減少し摺動抵抗が増加する可能性がある。また、グリスの消失によってスプール４１が固着する可能性がある。摺動抵抗の増加またはスプール４１の固着は、例えば、複数（３つ）のＯリング４９のうちの少なくとも一つの破断または位置ずれ、スプール穴２３１における異物（例えば、埃など）の混入などによっても生じる可能性がある。
【００４６】
このように、被駆動部６２（スプール４１）の摺動抵抗の増加または被駆動部６２の固着が生じると、被駆動部６２を駆動するステッピングモータ６１に脱調が生じ易くなる。そこで、ユニット管理装置７０は、ステッピングモータ６１の脱調の有無に基づいて、被駆動部６２のメンテナンスの要否を判断する。
【００４７】
ユニット管理装置７０は、制御ブロックとして捉えると、インターバル設定部７１と、判断部７２とを備えている。ユニット管理装置７０は、確認部７３および案内部７４のうちの少なくとも一方をさらに備えると好適である。図６に示すように、本実施形態のユニット管理装置７０は、インターバル設定部７１と、判断部７２と、確認部７３と、案内部７４とを備えている。また、図１に示すように、本実施形態のユニット管理装置７０は、対基板作業機ＷＭと別体に設けられているが、対基板作業機ＷＭに設けることもできる。この場合、ユニット管理装置７０は、例えば、駆動ユニット６０の待機時間（例えば、基板９０の搬送中など）、対基板作業が休止している休止時間などに、被駆動部６２のメンテナンスの要否を判断することができる。
【００４８】
また、ユニット管理装置７０は、図７に示すフローチャートに従って、制御プログラムを実行する。インターバル設定部７１は、ステップＳ１２に示す処理を行う。判断部７２は、ステップＳ１３に示す処理を行い、ステップＳ１４に示す判断を行う。また、判断部７２は、ステップＳ１５およびステップＳ１６に示す処理を行う。確認部７３は、ステップＳ１１に示す処理を行う。案内部７４は、ステップＳ１７に示す処理を行う。
【００４９】
１−６−１．インターバル設定部７１
インターバル設定部７１は、基板製品９００の生産時と比べて動作インターバルＴｉを短く設定する（図７に示すステップＳ１２）。動作インターバルＴｉは、対基板作業において繰り返し実行される所定動作のうちの一の所定動作が終了してステッピングモータ６１に供給されるパルス信号が停止される時点を起点とする。また、動作インターバルＴｉは、次の所定動作を開始するためにパルス信号の供給が開始される時点を終点とする。
【００５０】
所定動作は、対基板作業において繰り返し実行されるものであれば良く、限定されない。例えば、装着ヘッド２０がロータリヘッド２３を備える場合、ロータリヘッド２３は、鉛直軸に平行なＲ軸周りに回転可能に設けられる。そして、ロータリヘッド２３は、複数の保持部材５０に対応したスプール４１を駆動可能なＲ軸周りの所定位置に順次割り出す。この場合の動作インターバルＴｉは、割り出された一の保持部材５０に対応したスプール４１が所定量Ｚ０、摺動されてステッピングモータ６１に供給されるパルス信号が停止される時点を起点とすると好適である。また、動作インターバルＴｉは、次に割り出された保持部材５０に対応したスプール４１の摺動を開始するためにパルス信号の供給が開始される時点を終点とすると好適である。
【００５１】
図８は、スプール４１を摺動方向（矢印Ｚ方向）に摺動させる機構の構成例を示している。同図は、ステッピングモータ６１の駆動軸６１ａ側から視た軸方向視図であり、作動軸４３は、回動部４３ａと直動部４３ｂを備えている。回動部４３ａには、ステッピングモータ６１の駆動軸６１ａが減速機（図示略）を介して連結されており、ステッピングモータ６１が回転駆動することによって、回動部４３ａは、駆動軸６１ａを中心に回動する。また、回動部４３ａには、摺動方向（矢印Ｚ方向）と直交する方向に延びる長穴部４３ａ１が形成されている。
【００５２】
直動部４３ｂは、作動爪４３１を含む部位であり、摺動方向（矢印Ｚ方向）に沿って延びるガイド（図示略）によって、摺動方向（矢印Ｚ方向）に沿って直動可能になっている。直動部４３ｂには、ステッピングモータ６１の駆動軸６１ａの軸方向に突出する突起部４３ｂ１が形成されている。回動部４３ａの長穴部４３ａ１は、直動部４３ｂの突起部４３ｂ１と係合している。そのため、回動部４３ａが駆動軸６１ａを中心に回動すると、直動部４３ｂの突起部４３ｂ１が回動部４３ａの長穴部４３ａ１に沿って移動し、直動部４３ｂは、摺動方向（矢印Ｚ方向）に直動する。
【００５３】
図９は、スプール４１と作動軸４３の位置関係の経時変化の一例を示している。同図は、図８の一部省略図であり、作動軸４３が第一状態から第二状態、第三状態に移行して、第一状態に戻る様子を示している。第三状態が動作インターバルＴｉの起点であり、第一状態が動作インターバルＴｉの終点である。第一状態は、ロータリヘッド２３によって割り出された一の保持部材５０に対応したスプール４１が、摺動方向（矢印Ｚ方向）に摺動を開始する直前の状態である。第二状態は、当該スプール４１が摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側（例えば、同図の紙面上方向側）に所定量Ｚ０、摺動された直後の状態である。第三状態は、スプール４１が第二状態の停止位置で静止した状態で、作動軸４３が第一状態と同じ状態に移行した状態である。
【００５４】
第一状態において、ステッピングモータ６１にパルス信号が供給されると、ステッピングモータ６１が回転駆動し作動軸４３の回動部４３ａが回動して、作動軸４３の直動部４３ｂが摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側に向かって直動する。これにより、作動軸４３の作動爪４３１がスプール４１の係合部４１１と係合して、スプール４１は、摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側（例えば、同図の紙面上方向側）に摺動し始める。第二状態に移行すると、ステッピングモータ６１は逆方向に回転駆動し作動軸４３の回動部４３ａが逆方向に回動して、作動軸４３の直動部４３ｂが摺動方向（矢印Ｚ方向）の他方側（この場合、同図の紙面下方向側）に向かって直動する。このとき、スプール４１は、第二状態の停止位置で静止している。
【００５５】
第三状態になると、ステッピングモータ６１に供給されるパルス信号が停止される（動作インターバルＴｉの起点）。これにより、ステッピングモータ６１は、回転駆動を停止する。また、ロータリヘッド２３によって、次の保持部材５０に対応したスプール４１が割り出され、第一状態に移行する。そして、次に割り出された保持部材５０に対応したスプール４１の摺動を開始するために、ステッピングモータ６１にパルス信号の供給が開始される（動作インターバルＴｉの終点）。なお、図９に示すように、第一状態および第三状態では、作動軸４３の作動爪４３１と、スプール４１の係合部４１１との間には、間隙が設けられている。これにより、スプール４１の割り出し時におけるスプール４１の係合部４１１と、作動軸４３の作動爪４３１との干渉が抑制されている。また、上述したことは、摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側と反対側（この場合、同図の紙面下方向側）に所定量Ｚ０、スプール４１を摺動させる場合も同様に言える。
【００５６】
ステッピングモータ６１の制御は、オープンループ制御なので、パルス信号の供給が停止したときにステッピングモータ６１の可動子に減衰振動が発生する可能性がある。そのため、基板製品９００の生産時には、これらの影響を受けないように動作インターバルＴｉが設定されている。既述した被駆動部６２（スプール４１）の摺動抵抗の増加または被駆動部６２の固着が生じている場合に、基板製品９００の生産時と比べて動作インターバルＴｉを短く設定すると、ステッピングモータ６１に脱調が生じ易くなる。そこで、インターバル設定部７１は、基板製品９００の生産時と比べて動作インターバルＴｉを短く設定する。
【００５７】
インターバル設定部７１は、可動子に減衰振動が発生してから所定の振動振幅以下になるまでに要する時間Ｔｄと比べて、動作インターバルＴｉを短く設定すると好適である。これにより、インターバル設定部７１は、可動子の減衰振動に基づいて動作インターバルＴｉを設定することができる。図１０は、パルス信号の供給が停止したときにステッピングモータ６１の可動子に発生する減衰振動の一例を示している。実線Ｌ１１は、可動子位置の経時変化の一例を示している。実線Ｌ１１は、例えば、シミュレーション、実機による事前の確認などによって取得することができる。なお、同図の縦軸は、可動子位置を示し、横軸は、時刻を示している。
【００５８】
実線Ｌ１１に示すように、時刻Ｔｍ１１においてパルス信号の供給が停止されると、可動子は、減衰振動しながら停止位置ＳＰ１に収束する。この場合、インターバル設定部７１は、時間Ｔｄと比べて、動作インターバルＴｉを短く設定する。動作インターバルＴｉは、時刻Ｔｍ１１から時刻Ｔｍ１２までの時間で示され、時間Ｔｄは、時刻Ｔｍ１１から時刻Ｔｍ１３までの時間で示されている。時間Ｔｄを規定する所定の振動振幅は、任意に設定することができる。所定の振動振幅は、例えば、基板製品９００の生産時に影響を受けにくいレベルに設定することができ、予めシミュレーション、実機による事前の確認などによって取得しておくことができる。時間Ｔｄは、例えば、基板製品９００の生産時の動作インターバルＴｉ０と同じ時間に設定することができる。
【００５９】
１−６−２．判断部７２
判断部７２は、インターバル設定部７１によって設定された動作インターバルＴｉでステッピングモータ６１を駆動させて脱調の有無を検出し、ステッピングモータ６１の脱調の有無に基づいて被駆動部６２のメンテナンスの要否を判断する。既述した被駆動部６２（スプール４１）の摺動抵抗の増加または被駆動部６２の固着が生じている場合には、被駆動部６２のメンテナンスが必要である。被駆動部６２のメンテナンスが必要な場合にステッピングモータ６１が被駆動部６２を駆動するときに必要な出力トルクは、被駆動部６２のメンテナンスが不要な場合と比べて大きい。そのため、判断部７２は、ステッピングモータ６１が脱調したときに、被駆動部６２のメンテナンスが必要であると判断すると好適である。
【００６０】
具体的には、判断部７２は、インターバル設定部７１によって設定された動作インターバルＴｉでステッピングモータ６１を駆動させる（図７に示すステップＳ１３）。そして、判断部７２は、ステッピングモータ６１の脱調の有無を検出する（ステップＳ１４）。バルブ装置４０には、スプール４１の係合部４１１の位置を検出可能な位置検出器（図示略）が設けられている。位置検出器は、例えば、公知の光センサを用いることができ、第一状態および第三状態において、係合部４１１の摺動方向（矢印Ｚ方向）における位置を検出する。
【００６１】
スプール４１が摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側に所定量Ｚ０、摺動されたことが見込まれる予定位置において、係合部４１１が検出された場合、判断部７２は、ステッピングモータ６１が脱調していないと判断することができる。逆に、予定位置で係合部４１１が検出されなかった場合、判断部７２は、ステッピングモータ６１が脱調していると判断することができる。ステッピングモータ６１の脱調が検出された場合（ステップＳ１４でＹｅｓの場合）、判断部７２は、スプール４１のメンテナンスが必要であると判断する（ステップＳ１５）。このとき、判断部７２は、ステッピングモータ６１の脱調が検出されたスプール４１およびステッピングモータ６１の脱調が検出されたスプール４１の一つ前に割り出されたスプール４１のうちの少なくとも一方をメンテナンスが必要であると判断すると好適である。これにより、判断部７２は、ステッピングモータ６１の脱調が検出されたスプール４１の一つ前に割り出されたスプール４１についても、メンテナンスの要否を判断することができる。なお、ステッピングモータ６１の脱調が検出されなかった場合（ステップＳ１４でＮｏの場合）、判断部７２は、スプール４１のメンテナンスが必要ないと判断する（ステップＳ１６）。
【００６２】
また、判断部７２は、装着ヘッド２０に設けられるすべてのスプール４１について、摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側に順に摺動させてステッピングモータ６１の脱調の有無をそれぞれ検出すると好適である。そして、判断部７２は、装着ヘッド２０に設けられるすべてのスプール４１について、摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側と反対側に順に摺動させてステッピングモータ６１の脱調の有無をそれぞれ検出すると好適である。これにより、判断部７２は、基板製品９００の生産時と同じ順序でスプール４１を動作させ、ステッピングモータ６１の脱調の有無をそれぞれ検出することができる。この場合、判断部７２は、摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側および反対側のうちの少なくとも一方についてステッピングモータ６１の脱調が検出されたスプール４１およびステッピングモータ６１の脱調が検出されたスプール４１の一つ前に割り出されたスプール４１のうちの少なくとも一方をメンテナンスが必要であると判断すると好適である。
【００６３】
なお、装着ヘッド２０が一つの保持部材５０を備える場合、動作インターバルＴｉは、保持部材５０に対応したスプール４１が摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側に所定量Ｚ０、摺動されてステッピングモータ６１に供給されるパルス信号が停止される時点を起点とすると好適である。また、動作インターバルＴｉは、保持部材５０に対応したスプール４１が摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側と反対側に摺動を開始するためにパルス信号の供給が開始される時点を終点とすると好適である。
【００６４】
判断部７２は、この場合も、摺動方向（矢印Ｚ方向）の一方側および反対側のうちの少なくとも一方についてステッピングモータ６１の脱調が検出されたときに、スプール４１のメンテナンスが必要であると判断すると好適である。これにより、判断部７２は、一つの保持部材５０を備える装着ヘッド２０において、スプール４１のメンテナンスの要否を判断することができる。
【００６５】
また、インターバル設定部７１は、基板製品９００の生産時の動作インターバルＴｉ０から徐々に動作インターバルＴｉを短く設定することもできる。この場合、判断部７２は、インターバル設定部７１によって設定された動作インターバルＴｉごとにステッピングモータ６１の脱調の有無を検出すると好適である。そして、判断部７２は、ステッピングモータ６１が脱調したときの所定動作の直前に適用された動作インターバルＴｉに応じて、被駆動部６２のメンテナンスの必要度を取得すると好適である。
【００６６】
既述した被駆動部６２（スプール４１）の摺動抵抗が増加するほど、ステッピングモータ６１は脱調し易くなるので、動作インターバルＴｉの短縮度は、被駆動部６２の摺動抵抗が増加するほど、小さくなる。また、動作インターバルＴｉの短縮度が小さいほど、被駆動部６２のメンテナンスの必要度は、高い。よって、判断部７２は、ステッピングモータ６１が脱調したときの所定動作の直前に適用された動作インターバルＴｉに応じて、被駆動部６２のメンテナンスの必要度を取得することができる。
【００６７】
１−６−３．確認部７３
確認部７３は、インターバル設定部７１によって設定された動作インターバルＴｉによるステッピングモータ６１の脱調の検出前に、基板製品９００の生産時と同じ動作インターバルＴｉ０でステッピングモータ６１を駆動させて、ステッピングモータ６１に脱調が生じないことを確認する（図７に示すステップＳ１１）。
【００６８】
基板製品９００の生産時と同じ動作インターバルＴｉ０でステッピングモータ６１を駆動させたときに、ステッピングモータ６１が脱調する場合、例えば、既述した被駆動部６２（スプール４１）の摺動抵抗が極めて大きくなっている（被駆動部６２の固着を含む）可能性がある。また、摺動抵抗の増加以外の他の要因（例えば、機器の故障など）の可能性もある。そこで、確認部７３による事前確認を行うと良い。これにより、判断部７２は、確認部７３による事前確認が行われた後に、被駆動部６２（スプール４１）のメンテナンスの要否を判断することができる。
【００６９】
１−６−４．案内部７４
案内部７４は、判断部７２によって判断された被駆動部６２のメンテナンスの要否を、対基板作業機ＷＭの使用者に案内する（図７に示すステップＳ１７）。これにより、対基板作業機ＷＭの使用者は、被駆動部６２のメンテナンスの要否を知得することができ、被駆動部６２のメンテナンスを行うことができる。
【００７０】
案内部７４は、例えば、メンテナンスの要否を判断した被駆動部６２と、判断結果（メンテナンスの必要あり、または、メンテナンスの必要なし）とを、公知の表示装置（図示略）に表示させることができる。また、案内部７４は、被駆動部６２のメンテナンスの必要度を表示装置に表示させることもできる。
【００７１】
２．その他
本実施形態では、ステッピングモータ６１に供給されるパルス信号の基準電圧は、基板製品９００の生産時と同じである。また、図２に示すように、対基板作業機ＷＭが部品装着機ＷＭ３の場合、駆動ユニット６０は、部品９１を供給するフィーダ１２１であっても良い。複数のフィーダ１２１の各々は、スプロケットと、スプロケットを回転駆動させる駆動装置とを備えている（いずれも図示略）。スプロケットは、複数の部品９１が収納されているキャリアテープをピッチ送りする。駆動装置は、ステッピングモータ６１を用いることができる。この場合、繰り返し実行される所定動作は、キャリアテープのピッチ送りであり、被駆動部６２は、ステッピングモータ６１の駆動軸に連結された減速機構およびスプロケットなどが含まれる。また、動作インターバルＴｉは、一の所定動作（ピッチ送り）が終了してステッピングモータ６１に供給されるパルス信号が停止される時点を起点とし、次の所定動作（ピッチ送り）を開始するためにパルス信号の供給が開始される時点を終点とする。
【００７２】
３．ユニット管理方法
ユニット管理装置７０について既述したことは、ユニット管理方法についても同様に言える。具体的には、ユニット管理方法は、インターバル設定工程と、判断工程とを具備する。インターバル設定工程は、インターバル設定部７１が行う制御に相当する。判断工程は、判断部７２が行う制御に相当する。また、ユニット管理方法は、確認工程および案内工程のうちの少なくとも一方を備えると好適である。確認工程は、確認部７３が行う制御に相当する。案内工程は、案内部７４が行う制御に相当する。
【００７３】
４．実施形態の効果の一例
ユニット管理装置７０によれば、インターバル設定部７１と、判断部７２とを具備する。これにより、ユニット管理装置７０は、対基板作業において繰り返し実行される所定動作の動作インターバルＴｉを、基板製品９００の生産時と比べて短く設定してステッピングモータ６１の脱調の有無を検出し、被駆動部６２のメンテナンスの要否を判断することができる。ユニット管理装置７０について上述したことは、ユニット管理方法についても同様に言える。
【符号の説明】
【００７４】
２０：装着ヘッド、２３：ロータリヘッド、
３１：正圧エア通路、３２：負圧エア通路、３４：エア通路、
４０：バルブ装置、４１：スプール、５０：保持部材、
６０：駆動ユニット、６１：ステッピングモータ、６２：被駆動部、
７０：ユニット管理装置、７１：インターバル設定部、
７２：判断部、７３：確認部、７４：案内部、
９０：基板、９１：部品、９００：基板製品、Ｔｄ：時間、
Ｔｉ，Ｔｉ０：動作インターバル、ＷＭ：対基板作業機、
ＷＭ３：部品装着機、矢印Ｚ方向：摺動方向。
【図１】
2020115912.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
2020115912.tif 000009
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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