(57)【要約】  基材と粘着剤層とを備えるワーク加工用シートであって、前記粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されており、前記ワーク加工用シートのシリコンウエハに対する粘着力をＦ０とし、前記ワーク加工用シートをシリコンウエハに貼合してなる積層体を１５０℃で１時間加熱した後、前記積層体を構成する粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における前記ワーク加工用シートのシリコンウエハに対する粘着力をＦ２とした場合に、粘着力Ｆ０が６００ｍＮ／２５ｍｍ以上２００００ｍＮ／２５ｍｍ以下であり、粘着力Ｆ０に対する粘着力Ｆ２の比（Ｆ２／Ｆ０）が０．６６以下であるワーク加工用シート。かかるワーク加工用シートによれば、ワークの加工の際には当該ワークに対して十分な粘着力を発揮しながらも、加熱処理を経た後において、加工後のワークを良好に分離することができる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、前記基材における片面側に積層された粘着剤層とを備えるワーク加工用シートであって、  前記粘着剤層が、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されており、  前記ワーク加工用シートのシリコンウエハに対する粘着力をＦ０とし、  前記ワーク加工用シートをシリコンウエハに貼合してなる積層体を１５０℃で１時間加熱した後、さらに、前記積層体を構成する前記粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における前記ワーク加工用シートのシリコンウエハに対する粘着力をＦ２とした場合に、  前記粘着力Ｆ０が、６００ｍＮ／２５ｍｍ以上、２００００ｍＮ／２５ｍｍ以下であり、  前記粘着力Ｆ０に対する前記粘着力Ｆ２の比（Ｆ２／Ｆ０）が、０．６６以下であることを特徴とするワーク加工用シート。
【請求項２】
前記ワーク加工用シートを１５０℃で１時間加熱した後における、前記粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ１とし、  前記ワーク加工用シートを１５０℃で１時間加熱した後、さらに、前記ワーク加工用シートを構成する前記粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における、前記粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ２とした場合に、  前記ヤング率Ｅ１に対する前記ヤング率Ｅ２の比（Ｅ２／Ｅ１）が、１３以上であることを特徴とする請求項１に記載のワーク加工用シート。
【請求項３】
前記ワーク加工用シートにおける前記粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ０とし、  前記ワーク加工用シートを１５０℃で１時間加熱した後における、前記粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ１とした場合に、  前記ヤング率Ｅ０に対する前記ヤング率Ｅ１の比（Ｅ１／Ｅ０）が、２．０以上であることを特徴とする請求項１または２に記載のワーク加工用シート。
【請求項４】
基材と、前記基材における片面側に積層された粘着剤層とを備えるワーク加工用シートであって、  前記粘着剤層が、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されており、  前記活性エネルギー線硬化性粘着剤のガラス転移温度が、−５０℃以上、１０℃以下であり、  前記活性エネルギー線硬化性粘着剤が、極性基を有するモノマーを構成モノマーとして含むアクリル系共重合体を含むことを特徴とするワーク加工用シート。
【請求項５】
前記アクリル系共重合体は、側鎖に活性エネルギー線硬化性を有する官能基が導入されたものであることを特徴とする請求項４に記載のワーク加工用シート。
【請求項６】
ダイシングシートであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のワーク加工用シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ダイシングに好適に使用することができるワーク加工用シートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  シリコン、ガリウムヒ素などの半導体ウエハおよび各種パッケージ類（以下、これらをまとめて「ワーク」と記載することがある。）は、大径の状態で製造され、これらは素子小片（以下、「チップ」と記載することがある。）に切断分離（ダイシング）されるとともに個々に分離（ピックアップ）された後に、次の工程であるマウント工程に移される。この際、半導体ウエハ等のワークは、基材および粘着剤層を備えるワーク加工用シートに貼着された状態で、ダイシング、洗浄、乾燥、エキスパンディング、ピックアップおよびマウンティングの各工程に付される。このようなワーク加工用シートでは、加工の際にはワークを当該シート上に良好に保持しながらも、当該シートから加工後のワークを分離する際には容易に分離できる性能が求められる。【０００３】  上述の通り得られたチップに対しては、その後、加熱処理を行うことがある。例えば、チップに対して、蒸着、スパッタリング、脱湿のためのベーキング等の処理を行うことがある。また、チップが高温環境下での使用も想定されるものである場合には、そのような環境下での信頼性を確認するための加熱試験を行うこともある。通常、これらの加熱処理は、得られたチップを加熱トレイ上に載置した状態で行われる。【０００４】  近年、上述したようなチップの加熱処理を、ワーク加工用シート上にて行うことが検討されている。すなわち、ワーク加工用シート上においてワークをダイシングした後、得られたチップを加熱トレイに移し替えることなく、ワーク加工用シート上に載置したままチップに対して加熱処理を行うことが検討されている。この場合、工程を簡略化することが可能となる。【０００５】  特許文献１〜３には、上述したような加熱処理を行うことが想定された粘着シートが開示されている。特に、特許文献１に開示される粘着シートは、基材層と放射線硬化型粘着剤からなる粘着剤層とを有し、該粘着剤層は貼り合わせ後の対ＳＵＳ３０４粘着力が０．５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、樹脂封止工程完了時点に至るまでに受ける刺激により硬化して、対パッケージ剥離力が２．０Ｎ／２０ｍｍ以下になる層となっている。また、特許文献２に開示される粘着シートでは、粘着剤層が、所定の粘着剤成分と、所定のテトラゾール化合物とを含有する粘着剤組成物から形成されたものとなっている。さらに、特許文献３に開示される粘着シートでは、耐熱性基材上に、所定のアクリル系ポリマーと、エネルギー線重合性オリゴマーと、所定の重合開始剤と、架橋剤とを含有する粘着剤層形成用材料からなる粘着剤層が形成されたものとなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第５１４４６３４号
【特許文献２】特許第５５５５５７８号
【特許文献３】特許第５５６５１７３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  しかしながら、上述したようなチップの加熱処理を、従来のワーク加工用シート上にて行った場合、加熱によって、チップに対するワーク加工用シートの粘着力が向上する結果、加熱処理後に、当該シートからチップを良好にピックアップすることができなくなるという問題があった。このような問題は、特許文献１〜３に開示されるような、所定の耐熱性を有する粘着シートを用いたとしても十分に解決することはできなかった。【０００８】  本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、ワークの加工の際には当該ワークに対して十分な粘着力を発揮しながらも、加熱処理を経た後において、加工後のワークを良好に分離することができるワーク加工用シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  上記目的を達成するために、第１に本発明は、基材と、前記基材における片面側に積層された粘着剤層とを備えるワーク加工用シートであって、前記粘着剤層が、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されており、前記ワーク加工用シートのシリコンウエハに対する粘着力をＦ０とし、前記ワーク加工用シートをシリコンウエハに貼合してなる積層体を１５０℃で１時間加熱した後、さらに、前記積層体を構成する前記粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における前記ワーク加工用シートのシリコンウエハに対する粘着力をＦ２とした場合に、前記粘着力Ｆ０が、６００ｍＮ／２５ｍｍ以上、２００００ｍＮ／２５ｍｍ以下であり、前記粘着力Ｆ０に対する前記粘着力Ｆ２の比（Ｆ２／Ｆ０）が、０．６６以下であることを特徴とするワーク加工用シートを提供する（発明１）。【００１０】  上記発明（発明１）に係るワーク加工用シートでは、上述した粘着力Ｆ０が上記範囲であることにより、ワークの加工の際に、当該ワークに対して十分な粘着力を発揮することができる。その一方で、粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されているとともに、上述した粘着力の比（Ｆ２／Ｆ０）が上記範囲であることにより、加工後のワークが貼付された状態でワーク加工用シートが加熱された場合であっても、その後に活性エネルギー線を照射することにより、加工後のワークに対する粘着力を十分に低下させることができ、それにより加工後のワークを良好に分離することができる。【００１１】  上記発明（発明１）において、前記ワーク加工用シートを１５０℃で１時間加熱した後における、前記粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ１とし、前記ワーク加工用シートを１５０℃で１時間加熱した後、さらに、前記ワーク加工用シートを構成する前記粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における、前記粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ２とした場合に、前記ヤング率Ｅ１に対する前記ヤング率Ｅ２の比（Ｅ２／Ｅ１）が、１３以上であることが好ましい（発明２）。【００１２】  上記発明（発明１，２）において、前記ワーク加工用シートにおける前記粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ０とし、前記ワーク加工用シートを１５０℃で１時間加熱した後における、前記粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ１とした場合に、前記ヤング率Ｅ０に対する前記ヤング率Ｅ１の比（Ｅ１／Ｅ０）が、２．０以上であることが好ましい（発明３）。【００１３】  第２に本発明は、基材と、前記基材における片面側に積層された粘着剤層とを備えるワーク加工用シートであって、前記粘着剤層が、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されており、前記活性エネルギー線硬化性粘着剤のガラス転移温度が、−５０℃以上、１０℃以下であり、前記活性エネルギー線硬化性粘着剤が、極性基を有するモノマーを構成モノマーとして含むアクリル系共重合体を含むことを特徴とするワーク加工用シートを提供する（発明４）。【００１４】  上記発明（発明４）において、前記アクリル系共重合体は、側鎖に活性エネルギー線硬化性を有する官能基が導入されたものであることが好ましい（発明５）。【００１５】  上記発明（発明１〜５）においては、ダイシングシートであることが好���しい（発明６）。
【発明の効果】
【００１６】  本発明に係るワーク加工用シートは、ワークの加工の際には当該ワークに対して十分な粘着力を発揮しながらも、加熱処理を経た後において、加工後のワークを良好に分離することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１７】  以下、本発明の実施形態について説明する。  本実施形態に係るワーク加工用シートは、基材と、基材における片面側に積層された粘着剤層とを備える。また、当該粘着剤層は、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されたものとなっている。
【００１８】１．ワーク加工用シートの物性（１）粘着力  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、ワーク加工用シートのシリコンウエハに対する粘着力をＦ０とした場合に、粘着力Ｆ０が、６００ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、特に９００ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、さらには１２００ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。また、粘着力Ｆ０が、２００００ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、特に５０００ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには３０００ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。なお、上記粘着力Ｆ０は、後述する加熱や活性エネルギー線照射といった処理を行っていないワーク加工用シートについて測定される、初期の粘着力を意味する。
【００１９】  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、粘着力Ｆ０が上記範囲であることにより、ワーク加工用シート上にワークを良好に保持することが可能となる。そのため、ワークの加工の際には、例えば加工による衝撃が発生した場合であっても、加工後のワークの移動や脱落を良好に抑制することが可能となる。特に、粘着力Ｆ０が６００ｍＮ／２５ｍｍ以上であることで、加工の際にワークを良好に保持し易いものとなる。一方、粘着力Ｆ０が２００００ｍＮ／２５ｍｍ以下であることで、ワーク加工用シートに対して後述する活性エネルギー線照射を行った場合に、加工後のワークに対する粘着力を十分低下させ易いものとなり、これにより、加工後のワークをワーク加工用シートから分離し易いものとなる。
【００２０】  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、ワーク加工用シートをシリコンウエハに貼合してなる積層体を１５０℃で１時間加熱した後、さらに、当該積層体を構成する粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後におけるワーク加工用シートのシリコンウエハに対する粘着力をＦ２とした場合に、上述した粘着力Ｆ０に対する粘着力Ｆ２の比（Ｆ２／Ｆ０）が、０．６６以下であることが好ましく、特に０．２以下であることが好ましく、さらには０．１５以下であることが好ましい。当該比（Ｆ２／Ｆ０）が０．６６以下であることで、加工時におけるワークの保持と、活性エネルギー線照射後における加工後のワークの分離とを良好に両立し易いものとなる。特に、ワーク加工用シート上に加工後のワークを貼付した状態で、当該ワーク加工用シートが加熱処理に曝された場合であっても、加工後のワークをワーク加工用シートから良好に分離し易いものとなる。なお、上記比（Ｆ２／Ｆ０）の下限値については特に限定されないものの、例えば、０．０１以上であってもよい。
【００２１】  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、上述した粘着力Ｆ２が、１０００ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、特に５００ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには１５０ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。また、粘着力Ｆ２は、３０ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。粘着力Ｆ２が上記範囲であることで、比（Ｆ２／Ｆ０）を上述した範囲に調整し易いものとなる。
【００２２】  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、ワーク加工用シートをシリコンウエハに貼合してなる積層体を１５０℃で１時間加熱した後におけるワーク加工用シートのシリコンウエハに対する粘着力をＦ１とした場合に、粘着力Ｆ１が、１０００ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが好ましく、特に２３００ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。また、粘着力Ｆ１は、５０００ｍＮ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。粘着力Ｆ１が上記範囲であることで、比（Ｆ２／Ｆ０）を上述した範囲に調整し易いものとなる。
【００２３】  なお、上述した粘着力Ｆ０、Ｆ１およびＦ２のそれぞれの測定方法の詳細は、後述する試験例に記載の通りである。
【００２４】（２）ヤング率  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、ワーク加工用シートを１５０℃で１時間加熱した後における、粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ１とし、ワーク加工用シートを１５０℃で１時間加熱した後、さらに、当該ワーク加工用シートを構成する粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後における、当該粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ２とした場合に、上記ヤング率Ｅ１に対する上記ヤング率Ｅ２の比（Ｅ２／Ｅ１）が、１３以上であることが好ましく、特に１５以上であることが好ましく、さらには１８以上であることが好ましい。
【００２５】  前述の通り、本実施形態における粘着剤層は、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されるものである。一般的に、活性エネルギー線硬化性粘着剤中に存在する活性エネルギー線硬化性を達成するための成分は、加熱によって所定の反応を行い、これに起因して粘着剤の硬化が進行することがある。例えば、上記成分がアクリロイル基である場合には、このアクリロイル基中の炭素−炭素二重結合が加熱により開裂し、重合反応が進行する場合がある。このように、加熱によって上記成分の反応が進行した場合、その後に活性エネルギー線を照射したとしても、粘着剤層のさらなる硬化が良好に進まないものとなる。しかしながら、本実施形態に係るワーク加工用シートにおいて、比（Ｅ２／Ｅ１）が上記範囲であれば、加熱処理を行った後であっても、活性エネルギー線の照射によって、粘着力を良好に低下させ易くなる。これにより、活性エネルギー線の照射前における、加工後のワークの意図しない脱落等を効果的に抑制することができる。
【００２６】  なお、上記比（Ｅ２／Ｅ１）の上限値については特に限定されず、例えば２５以下であってもよい。
【００２７】  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、ワーク加工用シートにおける粘着剤層の２３℃でのヤング率をＥ０とした場合に、当該ヤング率Ｅ０に対する上記ヤング率Ｅ１の比（Ｅ１／Ｅ０）が、２．０以上であることが好ましく、特に２．３以上であることが好ましく、さらには２．６以上であることが好ましい。なお、上記ヤング率Ｅ０は、加熱や活性エネルギー線照射といった処理を行っていない粘着剤層について測定される、初期のヤング率を意味する。
【００２８】  一般的に、粘着剤が加熱されると軟化し、被着体に対する密着性が増大する傾向がある。しかしながら、本実施形態に係るワーク加工用シートにおいて、比（Ｅ１／Ｅ０）が上記範囲であると、加熱による粘着剤の軟化が生じ難いものとなり、加熱処理に起因する密着性の過度な向上を効果的に抑制することが可能となる。その結果、粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射した後において、加工後のワークを良好に分離し易いものとなる。
【００２９】  なお、上記比（Ｅ１／Ｅ０）の上限値については特に限定されず、例えば３．５以下であってもよい。
【００３０】  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、上述したヤング率Ｅ０が、２．０ＭＰａ以上であることが好ましく、特に２．３ＭＰａ以上であることが好ましく、さらには２．５ＭＰａ以上であることが好ましい。また、ヤング率Ｅ０は、１５ＭＰａ以下であることが好ましく、特に１０ＭＰａ以下であることが好ましく、さらには５ＭＰａ以下であることが好ましい。ヤング率Ｅ０が上記範囲であることにより、比（Ｅ１／Ｅ０）を上述した範囲に調整し易いものとなる。
【００３１】  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、上述したヤング率Ｅ１が、５．０ＭＰａ以上であることが好ましく、特に６．０ＭＰａ以上であることが好ましく、さらには７．０ＭＰａ以上であることが好ましい。また、ヤング率Ｅ１は、１００ＭＰａ以下であることが好ましく、特に５０ＭＰａ以下であることが好ましく、さらには１０ＭＰａ以下であることが好ましい。ヤング率Ｅ１が上記範囲であることにより、比（Ｅ２／Ｅ１）および比（Ｅ１／Ｅ０）をそれぞれ上述した範囲に調整し易いものとなる。
【００３２】  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、上述したヤング率Ｅ２が、１００ＭＰａ以上であることが好ましく、特に１３０ＭＰａ以上であることが好ましく、さらには１４０ＭＰａ以上であることが好ましい。また、ヤング率Ｅ２は、３００ＭＰａ以下であることが好ましく、特に２５０ＭＰａ以下であることが好ましく、さらには２００ＭＰａ以下であることが好ましい。ヤング率Ｅ２が上記範囲であることにより、比（Ｅ２／Ｅ１）を上述した範囲に調整し易いものとなる。
【００３３】  なお、上述したヤング率Ｅ０、Ｅ１およびＥ２のそれぞれの測定方法の詳細は、後述する試験例に記載の通りである。
【００３４】２．ワーク加工用シートの構成部材（１）基材  本実施形態に係るワーク加工用シートにおいて、基材は、ワーク加工用シートの使用工程における所望の機能を発揮し、好ましくは、粘着剤層の硬化のために照射される活性エネルギー線に対して良好な透過性を発揮するとともに、所定の耐熱性を有するものである限り、特に限定されない。
【００３５】  例えば、基材は、樹脂系の材料を主材とする樹脂フィルムであることが好ましく、その具体例としては、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム；エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン−（メタ）アクリル酸メチル共重合体フィルム、その他のエチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム等のエチレン系共重合フィルム；ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、エチレン−ノルボルネン共重合体フィルム、ノルボルネン樹脂フィルム、シクロオレフィン樹脂フィルム等のポリオレフィン系フィルム；ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム等のポリ塩化ビニル系フィルム；ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリシクロへキシレンジメチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系フィルム；（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム；ポリウレタンフィルム；ポリイミドフィルム；ポリスチレンフィルム；ポリカーボネートフィルム；フッ素樹脂フィルム；ポリフェニレンサルファイドフィルムなどが挙げられる。ポリエチレンフィルムの例としては、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）フィルム、直鎖低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）フィルム、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）フィルム等が挙げられる。また、これらの架橋フィルム、アイオノマーフィルムといった変性フィルムも用いられる。また、基材は、上述したフィルムが複数積層されてなる積層フィルムであってもよい。この積層フィルムにおいて、各層を構成する材料は同種であってもよく、異種であってもよい。基材としては、上記フィルムの中でも、活性エネルギー線の透過性および耐熱性に優れるという観点から、アニール処理済みのポリエステル系フィルム、耐熱性を有するポリエステル系フィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、シクロオレフィン樹脂フィルムを使用することが好ましい。なお、本明細書における「（メタ）アクリル酸」は、アクリル酸およびメタクリル酸の両方を意味する。他の類似用語についても同様である。
【００３６】  基材は、難燃剤、可塑剤、帯電防止剤、滑剤、酸化防止剤、着色剤、赤外線吸収剤、紫外線吸収剤、イオン捕捉剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。これらの添加剤の含有量としては、特に限定されないものの、基材が所望の機能を発揮する範囲とすることが好ましい。
【００３７】  基材の粘着剤層が積層される面には、粘着剤層との密着性を高めるために、プライマー処理、コロナ処理、プラズマ処理等の表面処理が施されてもよい。
【００３８】  基材の厚さは、ワーク加工用シートが使用される方法に応じて適宜設定できるものの、通常、２０μｍ以上であることが好ましく、特に２５μｍ以上であることが好ましい。また、当該厚さは、通常、４５０μｍ以下であることが好ましく、特に３００μｍ以下であることが好ましい。
【００３９】（２）粘着剤層  本実施形態に係るワーク加工用シートにおいて、粘着剤層は、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されるものである。粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されていることで、活性エネルギー線の照射により粘着剤層を硬化させて、ワーク加工用シートの被着体に対する粘着力を低下させることができる。これにより、加工後のワークをワーク加工用シートから容易に分離することが可能となる。
【００４０】  また、本実施形態における粘着剤層は、前述した粘着力を達成できるものであることが好ましい。この観点から、本実施形態における粘着剤層は、当該粘着剤層を構成する活性エネルギー線硬化性粘着剤のガラス転移温度が、−５０℃以上、１０℃以下であるとともに、活性エネルギー線硬化性粘着剤が、極性基を有するモノマーを構成モノマーとして含むアクリル系共重合体を含むものであることが好ましい。このような活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成される粘着剤層を備えることにより、ワーク加工用シートが前述した粘着力を達成し易いものとなる。
【００４１】  ワーク加工用シートが前述した粘着力をより達成し易いとう観点から、上記ガラス転移温度は、特に−２０℃以上であることが好ましく、さらには−１５℃以上であることが好ましい。また、同様の観点から、上記ガラス転移温度は、特に５．０℃以下であることが好ましく、さらには３．０℃以下であることが好ましい。なお、上記ガラス転移温度の測定方法の詳細は、後述する試験例に記載の通りである。
【００４２】  粘着剤層を構成する活性エネルギー線硬化性粘着剤は、活性エネルギー線硬化性を有するポリマーを主成分とするものであってもよいし、活性エネルギー線非硬化性ポリマー（活性エネルギー線硬化性を有しないポリマー）と少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマーとの混合物を主成分とするものであってもよい。
【００４３】  最初に、活性エネルギー線硬化性粘着剤が、活性エネルギー線硬化性を有するポリマーを主成分とする場合について、以下説明する。
【００４４】  活性エネルギー線硬化性を有するポリマーは、側鎖に活性エネルギー線硬化性を有する官能基（活性エネルギー線硬化性基）が導入された（メタ）アクリル酸エステル（共）重合体（Ａ）（以下「活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）」という場合がある。）であることが好ましい。この活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）は、官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体（ａ１）と、その官能基に結合する官能基を有する不飽和基含有化合物（ａ２）とを反応させて得られるものであることが好ましい。
【００４５】  上述した官能基含有モノマーとしては、重合性の二重結合と、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アミノ基、アミド基、ベンジル基、グリシジル基等の官能基とを分子内に有するモノマーが好ましく、これらの中でも、官能基としてヒドロキシ基を含有するモノマー（ヒドロキシ基含有モノマー）を使用することが好ましい。
【００４６】  上記ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル等が挙げられ、これらの中でも、アクリル酸２−ヒドロキシエチルを使用することが好ましい。なお、これらは単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。
【００４７】  上記カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等のエチレン性不飽和カルボン酸が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４８】  上記アミノ基含有モノマーまたはアミド基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチルアミノエチル等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４９】  アクリル系共重合体（ａ１）は、上記官能基含有モノマーから導かれる構成単位を、１質量％以上含有することが好ましく、特に５質量％以上含有することが好ましく、さらには１０質量％以上含有することが好ましい。また、アクリル系共重合体（ａ１）は、上記官能基含有モノマーから導かれる構成単位を、３５質量％以下で含有することが好ましく、特に３０質量％以下で含有することが好まししい。アクリル系共重合体（ａ１）が官能基含有モノマーを上記範囲で含有することにより、所望の活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）を形成し易いものとなる。
【００５０】  アクリル系共重合体（ａ１）は、前述した通り、重合体を構成するモノマー単位として、極性基を有するモノマー（極性基含有モノマー）を含むことが好ましい。これにより、得られる活性エネルギー線硬化性粘着剤の極性が向上し、前述した粘着力を達成し易いものとなる。
【００５１】  極性基含有モノマーの例としては、アクリロイルモルフォリン、アクリル酸イソボルニル、メタクリル酸メチル、酢酸ビニル、アクリル酸ベンジル、メタクリル酸グリシジル等が挙げられ、これらの中でも、特にアクリロイルモルフォリンまたはアクリル酸イソボルニルを使用することが好ましい。
【００５２】  アクリル系共重合体（ａ１）は、上記極性基含有モノマーから導かれる構成単位を、３．０質量％以上含有することが好ましく、特に５．０質量％以上含有することが好ましく、さらには８．０質量％以上含有することが好ましい。また、アクリル系共重合体（ａ１）は、上記極性基含有モノマーから導かれる構成単位を、１２．０質量％以下で含有することが好ましい。アクリル系共重合体（ａ１）が上記極性基含有モノマーを上記範囲で含有することにより、得られる活性エネルギー線硬化性粘着剤の極性を効果的に向上させることができ、それにより前述した粘着力を達成し易いものとなる。
【００５３】  また、アクリル系共重合体（ａ１）は、重合体を構成するモノマー単位として、活性エネルギー線硬化性粘着剤のガラス転移温度（Ｔｇ）を調整するためのモノマー（Ｔｇ調整モノマー）を含有することも好ましい。これにより、得られる活性エネルギー線硬化性粘着剤が、前述したガラス転移温度（Ｔｇ）を有し易いものとなる。Ｔｇ調整モノマーを兼ねる好ましいモノマーの例としては、極性基含有モノマーの例として前述したものが挙げられ、それらの中でも、特にアクリロイルモルフォリンまたはアクリル酸イソボルニルを使用することが好ましい。
【００５４】  上述したＴｇ調整モノマーのガラス転移温度は、３０℃以上であることが好ましく、特に５０℃以上であることが好ましく、さらには９０℃以上であることが好ましい。また、Ｔｇ調整モノマーのガラス転移温度は、２００℃以下であることが好ましく、特に１８０℃以下であることが好ましく、さらには１５０℃以下であることが好ましい。これらの範囲のガラス転移温度を有するＴｇ調整モノマーを使用することにより、活性エネルギー線硬化性粘着剤のガラス転移温度を前述した範囲に調整し易いものとなる。なお、本明細書における、モノマーについてのガラス転移温度は、当該モノマーのみから構成されるホモポリマーについて測定されるガラス転移温度をいうものとする。
【００５５】  また、上述したＴｇ調整モノマーの溶解パラメータ（ＳＰ値）は、９．８以上であることが好ましく、特に９．９以上であることが好ましく、さらには１０．０以上であることが好ましい。Ｔｇ調整モノマーのＳＰ値が９．８以上であることで、ワーク加工用シートの粘着力を前述した範囲に調整し易いものとなり、特に、初期の粘着力Ｆ０を前述した範囲に調整し易いものとなる。これにより、加工時においてワークをワーク加工用シート上に保持し易いものとなる。なお、溶解パラメータ（ＳＰ値）の上限値については特に限定されず、例えば、１１以下であってもよい。
【００５６】  アクリル系共重合体（ａ１）は、上記Ｔｇ調整モノマーから導かれる構成単位を、３．０質量％以上含有することが好ましく、特に５．０質量％以上含有することが好ましく、さらには８．０質量％以上含有することが好ましい。また、アクリル系共重合体（ａ１）は、上記Ｔｇ調整モノマーから導かれる構成単位を、１２．０質量％以下で含有することが好ましい。アクリル系共重合体（ａ１）がＴｇ調整モノマーを上記範囲で含有することにより、得られる活性エネルギー線硬化性粘着剤のガラス転移温度を前述した範囲に調整し易いものとなる。
【００５７】  アクリル系共重合体（ａ１）は、重合体を構成するモノマー単位として、アルキル基の炭素数が１〜２０である（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーを使用することも好ましい。このような（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーとしては、特にアルキル基の炭素数が１〜１８である（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーが好ましい。また、耐熱性に優れた粘着剤を得やすいという観点からは、アルキル基の炭素数が８以上である（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーが好ましい。アルキル基の炭素数が１〜２０である（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーの好ましい例としては、メタクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００５８】  アクリル系共重合体（ａ１）は、上述した、アルキル基の炭素数が１〜２０である（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーから導かれる構成単位を、５０質量％以上含有することが好ましく、特に６０質量％以上含有することが好ましく、さらには７０質量％以上含有することが好ましい。また、アクリル系共重合体（ａ１）は、上述した、アルキル基の炭素数が１〜２０である（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマーから導かれる構成単位を、９９質量％以下で含有することが好ましく、特に９５質量％以下で含有することが好ましく、さらには９０質量％以下で含有することが好ましい。
【００５９】  アクリル系共重合体（ａ１）は、好ましくは、以上説明したモノマーまたはその誘導体を常法で共重合することで得ることができるが、これらモノマーの他にも、分子内に脂環式構造を有するモノマー（脂環式構造含有モノマー）、ジメチルアクリルアミド、蟻酸ビニル、スチレン等が共重合されてもよい。
【００６０】  上記脂環式構造含有モノマーの例としては、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ジシクロペンタニル、（メタ）アクリル酸アダマンチル、（メタ）アクリル酸イソボルニル、（メタ）アクリル酸ジシクロペンテニル、（メタ）アクリル酸ジシクロペンテニルオキシエチル等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００６１】  上記官能基含有モノマー単位を有するアクリル系共重合体（ａ１）を、その官能基に結合する官能基を有する不飽和基含有化合物（ａ２）と反応させることにより、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）が得られる。
【００６２】  不飽和基含有化合物（ａ２）が有する官能基は、アクリル系共重合体（ａ１）が有する官能基含有モノマー単位の官能基の種類に応じて、適宜選択することができる。例えば、アクリル系共重合体（ａ１）が有する官能基がヒドロキシ基、アミノ基またはアミド基の場合、不飽和基含有化合物（ａ２）が有する官能基としてはイソシアネート基またはエポキシ基が好ましく、アクリル系共重合体（ａ１）が有する官能基がグリシジル基の場合、不飽和基含有化合物（ａ２）が有する官能基としてはアミノ基、カルボキシ基またはアジリジニル基が好ましい。
【００６３】  また上記不飽和基含有化合物（ａ２）には、活性エネルギー線重合性の炭素−炭素二重結合が、１分子中に少なくとも１個、好ましくは１〜６個、さらに好ましくは１〜４個含まれている。このような不飽和基含有化合物（ａ２）の具体例としては、例えば、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、メタ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネート、メタクリロイルイソシアネート、アリルイソシアネート、１，１−（ビスアクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート；ジイソシアネート化合物またはポリイソシアネート化合物と、（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチルとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアネート化合物；ジイソシアネート化合物またはポリイソシアネート化合物と、ポリオール化合物と、（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチルとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアネート化合物；（メタ）アクリル酸グリシジル；（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸２−（１−アジリジニル）エチル、２−ビニル−２−オキサゾリン、２−イソプロペニル−２−オキサゾリン等が挙げられる。
【００６４】  上記不飽和基含有化合物（ａ２）は、上記アクリル系共重合体（ａ１）の官能基含有モノマーのモル数に対して、好ましくは５０モル％以上、特に好ましくは６０モル％以上、さらに好ましくは７０モル％以上の割合で用いられる。また、上記不飽和基含有化合物（ａ２）は、上記アクリル系共重合体（ａ１）の官能基含有モノマーのモル数に対して、好ましくは９５モル％以下、特に好ましくは９３モル％以下、さらに好ましくは９０モル％以下の割合で用いられる。
【００６５】  アクリル系共重合体（ａ１）と不飽和基含有化合物（ａ２）との反応においては、アクリル系共重合体（ａ１）が有する官能基と不飽和基含有化合物（ａ２）が有する官能基との組合せに応じて、反応の温度、圧力、溶媒、時間、触媒の有無、触媒の種類を適宜選択することができる。これにより、アクリル系共重合体（ａ１）中に存在する官能基と、不飽和基含有化合物（ａ２）中の官能基とが反応し、不飽和基がアクリル系共重合体（ａ１）中の側鎖に導入され、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）が得られる。
【００６６】  このようにして得られる活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１万以上であるのが好ましく、特に１５万以上であるのが好ましく、さらには２０万以上であるのが好ましい。また、当該重量平均分子量（Ｍｗ）は、１５０万以下であるのが好ましく、特に１００万以下であるのが好ましい。なお、本明細書における重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ法）により測定した標準ポリスチレン換算の値である。
【００６７】  活性エネルギー線硬化性粘着剤が、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）といった活性エネルギー線硬化性を有するポリマーを主成分とする場合であっても、活性エネルギー線硬化性粘着剤は、活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）をさらに含有してもよい。
【００６８】  活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）としては、例えば、多価アルコールと（メタ）アクリル酸とのエステル等を使用することができる。
【００６９】  かかる活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）としては、例えば、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等の単官能性アクリル酸エステル類、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート等の多官能性アクリル酸エステル類、ポリエステルオリゴ（メタ）アクリレート、ポリウレタンオリゴ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００７０】  活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）に対し、活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）を配合する場合、活性エネルギー線硬化性粘着剤中における活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）の含有量は、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）１００質量部に対して、０質量部超であることが好ましく、特に６０質量部以上であることが好ましい。また、当該含有量は、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）１００質量部に対して、２５０質量部以下であることが好ましく、特に２００質量部以下であることが好ましい。
【００７１】  ここで、活性エネルギー線硬化性粘着剤を硬化させるための活性エネルギー線として紫外線を用いる場合には、光重合開始剤（Ｃ）を添加することが好ましく、この光重合開始剤（Ｃ）の使用により、重合硬化時間および光線照射量を少なくすることができる。
【００７２】  本実施形態における光重合開始剤（Ｃ）は、５％重量減少温度が２００℃以上であることが好ましく、特に２１０℃以上であることが好ましく、さらには２２０℃以上であることが好ましい。２００℃以上の５％重量減少温度を示す光重合開始剤（Ｃ）を使用することで、ワーク加工用シートの粘着力を前述した範囲に調整し易いものとなり、特に、加熱および活性エネルギー照射を経た後における粘着力Ｆ２を前述した範囲に調整し易いものとなる。これにより、加熱処理を行った場合であっても、加工後のワークをワーク加工用シートから容易に分離し易いものとなる。なお、５％重量減少温度の上限値については、特に限定されず、例えば、３００℃以下であってもよく、特に２８０℃以下であってもよく、さらには２５０℃以下であってもよい。なお、上記５％重量減少温度の測定方法の詳細は、後述する実施例に記載の通りである。
【００７３】  光重合開始剤（Ｃ）の具体例としては、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール、２，４−ジエチルチオキサンソン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノン、（２，４，６−トリメチルベンジルジフェニル）フォスフィンオキサイド、２−ベンゾチアゾール−Ｎ，Ｎ−ジエチルジチオカルバメート、オリゴ｛２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−プロペニル）フェニル］プロパノン｝、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オンなどが挙げられる。これらの中でも、２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オンを使用することが好ましい。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００７４】  光重合開始剤（Ｃ）は、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）（活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）を配合する場合には、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）および活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）の合計量１００質量部）１００質量部に対して０．１質量部以上、特に０．５質量部以上の量で用いられることが好ましい。また、光重合開始剤（Ｃ）は、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）（活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）を配合する場合には、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）および活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）の合計量１００質量部）１００質量部に対して１０質量部以下、特に６質量部以下の量で用いられることが好ましい。
【００７５】  活性エネルギー線硬化性粘着剤においては、上記成分以外にも、適宜他の成分を配合してもよい。他の成分としては、例えば、活性エネルギー線非硬化性ポリマー成分またはオリゴマー成分（Ｄ）、架橋剤（Ｅ）等が挙げられる。
【００７６】  活性エネルギー線非硬化性ポリマー成分またはオリゴマー成分（Ｄ）としては、例えば、ポリアクリル酸エステル、ポリエステル、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリオレフィン等が挙げられ、重量平均分子量（Ｍｗ）が３０００〜２５０万のポリマーまたはオリゴマーが好ましい。当該成分（Ｄ）を活性エネルギー線硬化性粘着剤に配合することにより、硬化前における粘着性および剥離性、硬化後の強度、他の層との接着性、保存安定性などを改善し得る。当該成分（Ｄ）の配合量は特に限定されず、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）１００質量部に対して０質量部超、５０質量部以下の範囲で適宜決定される。
【００７７】  架橋剤（Ｅ）としては、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）等が有する官能基との反応性を有する多官能性化合物を用いることができる。このような多官能性化合物の例としては、イソシアネート化合物、エポキシ化合物、アミン化合物、メラミン化合物、アジリジン化合物、ヒドラジン化合物、アルデヒド化合物、オキサゾリン化合物、金属アルコキシド化合物、金属キレート化合物、金属塩、アンモニウム塩、反応性フェノール樹脂等を挙げることができる。
【００７８】  架橋剤（Ｅ）の配合量は、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）１００質量部に対して、０．０１質量部以上であることが好ましく、特に１質量部以上であることが好ましい。また、架橋剤（Ｅ）の配合量は、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）１００質量部に対して、２０質量部以下であることが好ましく、特に１７質量部以下であることが好ましい。
【００７９】  次に、活性エネルギー線硬化性粘着剤が、活性エネルギー線非硬化性ポリマー成分と少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマーとの混合物を主成分とする場合について、以下説明する。
【００８０】  活性エネルギー線非硬化性ポリマー成分としては、例えば、前述したアクリル系共重合体（ａ１）と同様の成分が使用できる。
【００８１】  少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマーとしては、前述の成分（Ｂ）と同じものが選択できる。活性エネルギー線非硬化性ポリマー成分と少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマーとの配合比は、活性エネルギー線非硬化性ポリマー成分１００質量部に対して、少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマー１質量部以上であるのが好ましく、特に６０質量部以上であるのが好ましい。また、当該配合比は、活性エネルギー線非硬化性ポリマー成分１００質量部に対して、少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマー２００質量部以下であるのが好ましく、特に１６０質量部以下であるのが好ましい。
【００８２】  この場合においても、上記と同様に、光重合開始剤（Ｃ）や架橋剤（Ｅ）を適宜配合することができる。
【００８３】  粘着剤層の厚さは、１μｍ以上であることが好ましく、さらには５μｍ以上であることが好ましい。また、当該厚さは、５０μｍ以下であることが好ましく、さらには４０μｍ以下であることが好ましい。粘着剤層の厚さが上記範囲であることで、前述した粘着力を達成し易くなる。
【００８４】（３）剥離シート  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、粘着剤層における基材とは反対側の面（以下、「粘着面」という場合がある。）をワークに貼付するまでの間、当該面を保護する目的で、当該面に剥離シートが積層されていてもよい。剥離シートの構成は任意であり、プラスチックフィルムを剥離剤等により剥離処理したものが例示される。プラスチックフィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、およびポリプロピレンやポリエチレン等のポリオレフィンフィルムが挙げられる。剥離剤としては、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル系等を用いることができ、これらの中で、安価で安定した性能が得られるシリコーン系が好ましい。剥離シートの厚さについては特に制限はないが、通常２０μｍ以上、２５０μｍ以下である。
【００８５】（４）その他の部材  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、粘着剤層における粘着面に接着剤層が積層されていてもよい。この場合、本実施形態に係るワーク加工用シートは、上述のように接着剤層を備えることで、ダイシング・ダイボンディングシートとして使用することができる。このようなワーク加工用シートでは、接着剤層における粘着剤層とは反対側の面にワークを貼付し、当該ワークとともに接着剤層をダイシングすることで、個片化された接着剤層が積層されたチップを得ることができる。当該チップは、この個片化された接着剤層によって、当該チップが搭載される対象に対して容易に固定することが可能となる。上述した接着剤層を構成する材料としては、熱可塑性樹脂と低分子量の熱硬化性接着成分とを含有するものや、Ｂステージ（半硬化状）の熱硬化型接着成分を含有するもの等を用いることが好ましい。
【００８６】  また、本実施形態に係るワーク加工用シートでは、粘着剤層における粘着面に保護膜形成層が積層されていてもよい。この場合、本実施形態に係るワーク加工用シートは、保護膜形成兼ダイシング用シートとして使用することができる。このようなワーク加工用シートでは、保護膜形成層における粘着剤層とは反対側の面にワークを貼付し、当該ワークとともに保護膜形成層をダイシングすることで、個片化された保護膜形成層が積層されたチップを得ることができる。当該ワークとしては、片面に回路が形成されたものが使用されることが好ましく、この場合、通常、当該回路が形成された面とは反対側の面に保護膜形成層が積層される。個片化された保護膜形成層は、所定のタイミングで硬化させることで、十分な耐久性を有する保護膜をチップに形成することができる。保護膜形成層は、未硬化の硬化性接着剤からなることが好ましい。
【００８７】  なお、本実施形態に係るワーク加工用シートは、粘着力に関して前述した条件を満たすことが好ましいものであるが、粘着剤層に対して上述した接着剤層または保護膜形成層が積層される場合には、これらの層が積層される前の粘着剤層について、前述した粘着力を満たすものとなればよい。
【００８８】３．ワーク加工用シートの製造方法  本実施形態に係るワーク加工用シートの製造方法は特に限定されず、好ましくは、本実施形態に係るワーク加工用シートは、基材の片面側に粘着剤層を積層することにより製造される。
【００８９】  基材の片面側への粘着剤層の積層は、公知の方法により行うことができる。例えば、剥離シート上において形成した粘着剤層を、基材の片面側に転写することが好ましい。この場合、粘着剤層を構成する粘着剤組成物、および所望によりさらに溶媒または分散媒を含有する塗工液を調製し、剥離シートの剥離処理された面（以下「剥離面」という場合がある。）上に、ダイコーター、カーテンコーター、スプレーコーター、スリットコーター、ナイフコーター等によりその塗工液を塗布して塗膜を形成し、当該塗膜を乾燥させることにより、粘着剤層を形成することができる。塗工液は、塗布を行うことが可能であればその性状は特に限定されず、粘着剤層を形成するための成分を溶質として含有する場合もあれば、分散質として含有する場合もある。この積層体における剥離シートは工程材料として剥離してもよいし、ワーク加工用シートをワークに貼付するまでの間、粘着剤層の粘着面を保護するために用いてもよい。
【００９０】  粘着剤層を形成するための塗工液が架橋剤を含有する場合には、上記の乾燥の条件（温度、時間など）を変えることにより、または加熱処理を別途設けることにより、塗膜内の活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）または活性エネルギー線非硬化性ポリマーと架橋剤との架橋反応を進行させ、粘着剤層内に所望の存在密度で架橋構造を形成させればよい。この架橋反応を十分に進行させるために、上記の方法などによって基材に粘着剤層を積層させた後、得られたワーク加工用シートを、例えば２３℃、相対湿度５０％の環境に数日間静置するといった養生を行ってもよい。
【００９１】  上述のように剥離シート上で形成した粘着剤層を基材の片面側に転写する代わりに、基材上で直接粘着剤層を形成してもよい。この場合、前述した粘着剤層を形成するための塗工液を基材の片面側に塗布して塗膜を形成し、当該塗膜を乾燥させることにより、粘着剤層を形成する。
【００９２】４．ワーク加工用シートの使用方法  本実施形態に係るワーク加工用シートは、ワークの加工のために使用することができる。すなわち、本実施形態に係るワーク加工用シートの粘着面をワークに貼付した後、ワーク加工用シート上にてワークの加工を行うことができる。当該加工に応じて、本実施形態に係るワーク加工用シートは、バックグラインドシート、ダイシングシート、エキスパンドシート、ピックアップシート等として使用することができる。ここで、ワークの例としては、半導体ウエハ、半導体パッケージ等の半導体部材、ガラス板等のガラス部材が挙げられる。
【００９３】  また、本実施形態に係るワーク加工用シートが、前述した接着剤層を備える場合には、当該ワーク加工用シートは、ダイシング・ダイボンディングシートとして使用することができる。さらに、本実施形態に係るワーク加工用シートが、前述した保護膜形成層を備える場合には、当該ワーク加工用シートは、保護膜形成兼ダイシング用シートとして使用することができる。
【００９４】  本実施形態に係るワーク加工用シート上にてワークの加工が完了し、加工後のワークをワーク加工用シートから分離する場合には、当該分離の前にワーク加工用シートにおける粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射することが好ましい。これにより、粘着剤層が硬化して、加工後のワークに対するワーク加工用シートの粘着力を良好に低下し、加工後のワークの分離が容易となる。
【００９５】  上述した活性エネルギー線としては、例えば、電磁波または荷電粒子線の中でエネルギー量子を有するものを使用でき、具体的には、紫外線や電子線などを使用することができる。特に、取扱いが容易な紫外線が好ましい。紫外線の照射は、高圧水銀ランプ、キセノンランプ、ＬＥＤ等によって行うことができ、紫外線の照射量は、照度が５０ｍＷ／ｃｍ２以上、１０００ｍＷ／ｃｍ２以下であることが好ましい。また、光量は、５０ｍＪ／ｃｍ２以上であることが好ましく、特に８０ｍＪ／ｃｍ２以上であることが好ましく、さらには２００ｍＪ／ｃｍ２以上であることが好ましい。また、光量は、１００００ｍＪ／ｃｍ２以下であることが好ましく、特に５０００ｍＪ／ｃｍ２以下であることが好ましく、さらには２０００ｍＪ／ｃｍ２以下であることが好ましい。一方、電子線の照射は、電子線加速器等によって行うことができ、電子線の照射量は、１０ｋｒａｄ以上、１０００ｋｒａｄ以下が好ましい。
【００９６】  本実施形態に係るワーク加工用シートでは、粘着力Ｆ０が前述した範囲となることにより、ワークの加工の際に、当該ワークに対して十分な粘着力を発揮し、ワークや加工後のワークの移動・脱落といった不具合を良好に抑制することができる。さらに、粘着剤層が活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されているとともに、粘着力の比Ｆ２／Ｆ０が前述した範囲となることにより、加工後のワークが貼付された状態でワーク加工用シートが加熱された場合であっても、その後に活性エネルギー線を照射することにより、加工後のワークに対する粘着力を十分に低下させることができ、それにより加工後のワークを良好にピックアップすることができる。そのため、本実施形態に係るワーク加工用シートは、ワーク加工用シート上にワークまたは加工後のワークが貼付された状態で、ワーク加工用シートが高温環境に曝されるような用途に対し好適に使用することができる。特に、本実施形態に係るワーク加工用シートは、ワーク加工用シート上にてシリコンウエハ等のダイシングが行われ、得られたチップに対して、ワーク加工用シート上にて加熱処理が行われるような用途に使用することが好適である。
【００９７】  本実施形態に係るワーク加工用シートをダイシングシートとして使用するとともに、ダイシング後、チップをワーク加工用シート上に貼付したたま加熱処理を行う用途に使用する場合、その加熱条件としては、例えば、加熱温度を、４０℃以上とすることが好ましく、特に８０℃以上とすることが好ましく、さらには１００℃以上とすることが好ましい。また、当該加熱温度を、１５０℃以下とすることが好ましく、特に１３０℃以下とすることが好ましく、さらには１２０℃以下とすることが好ましい。さらに、加熱時間を、例えば、３分以上とすることが好ましく、特に１０分以上とすることが好ましく、さらには３０分以上とすることが好ましい。また、当該加熱時間を、６０分以下とすることが好ましく、特に５０分以下とすることが好ましく、さらには４０分以下とすることが好ましい。本実施形態に係るワーク加工用シートは、上述のような条件で加熱された場合であっても、チップを良好に分離することができる。
【００９８】  以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００９９】  例えば、基材と粘着剤層との間、または基材における粘着剤層とは反対側の面には、その他の層が設けられてもよい。
【実施例】
【０１００】  以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。【０１０１】〔実施例１〕（１）粘着剤組成物の調製  アクリル酸２−エチルヘキシル７０質量部と、アクリロイルモルフォリン１０質量部と、アクリル酸２−ヒドロキシエチル２０質量部とを共重合させて得られたアクリル系共重合体と、当該アクリル系共重合体のアクリル酸２−ヒドロキシエチルのモル数に対して９０モル％のメタクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）とを反応させて、活性エネルギー線硬化性重合体を得た。この活性エネルギー線硬化性重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を後述する方法で測定したところ、８３万であった。【０１０２】  得られた活性エネルギー線硬化性重合体１００質量部（固形分換算，以下同じ）と、架橋剤としてのヘキサメチレンジイソシアネートを有する脂肪族系イソシアネート（日本ポリウレタン工業社製，製品名「コロネートＨＸ」）１．２質量部と、光重合開始剤としての２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン（ＢＡＳＦ社製，製品名「オムニラッド１２７」，５％重量減少温度：２２０℃）１．２質量部とを溶媒中で混合し、粘着剤組成物を得た。なお、光重合開始剤の５％重量減少温度は、示差熱・熱重量同時測定装置（ＳＨＩＭＡＤＺＵ社製，製品名「ＤＴＧ−６０」）を用いて、室温から３００℃まで昇温速度５℃／分で加熱することにより測定したものである。【０１０３】（２）粘着剤層の形成  厚さ３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの片面にシリコーン系の剥離剤層が形成されてなる剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ−ＰＥＴ３８１０３１」）の剥離面に対して、上記粘着剤組成物を塗布し、加熱により乾燥させた後、２３℃、５０％ＲＨの条件下で７日間養生することにより、剥離シート上に厚さ５μｍの粘着剤層を形成した。【０１０４】（３）ワーク加工用シートの作製  上記工程（２）で形成した粘着剤層の剥離シートとは反対側の面と、基材としての厚さ７５μｍの耐熱性を有するポリエステル系フィルム（クラボウ社製，製品名「トルセナ」）の片面とを貼り合わせることで、ワーク加工用シートを得た。【０１０５】  ここで、前述した重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて測定（ＧＰＣ測定）した標準ポリスチレン換算の重量平均分子量である。【０１０６】〔実施例２〜８および比較例１〜４〕  アクリル系共重合体の組成および重量平均分子量を表１に示すように変更するとともに、粘着剤組成物の組成を表２に示すように変更する以外、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを製造した。【０１０７】〔試験例１〕（粘着剤のガラス転移温度の測定）  実施例および比較例にて製造したワーク加工用シートの粘着剤層を複数積層することにより、厚さ８００μｍの粘着剤層の積層体を作製した。続いて、この粘着剤層の積層体を直径１０ｍｍの円形に打ち抜くことで、測定用試料を得た。当該測定用試料について、動的粘弾性測定装置（ティー・エイ・インスツルメント社製，製品名「ＡＲＥＳ」）を用いて、周波数１Ｈｚ、測定温度範囲−５０〜１５０℃、昇温速度３℃／ｍｉｎの条件でｔａｎδを測定し、そのピークトップの温度をＴｇとした。結果を表３に示す。【０１０８】〔試験例２〕（粘着力の測定）  実施例および比較例にて製造したワーク加工用シートを、２５ｍｍ幅の短冊状に裁断した。得られた短冊状のワーク加工用シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層の粘着面を、鏡面加工してなるシリコンウエハの当該鏡面に対して、温度２３℃、相対湿度５０％の環境下で、２ｋｇゴムローラーを用いて貼合し、２０分静置し、測定用サンプルとした。【０１０９】  得られた測定用サンプルについて、万能引張試験機（オリエンテック社製，製品名「テンシロンＵＴＭ−４−１００」）を用い、シリコンウエハから、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°にてワーク加工用シートを剥離し、ＪＩＳ  Ｚ０２３７：２００９に準じた１８０°引き剥がし法により、シリコンウエハに対する粘着力（ｍＮ／２５ｍｍ）を測定した。これにより得られた粘着力を粘着力Ｆ０として、表３に示す。【０１１０】  また、上記と同様に得られた測定用サンプルを、オーブンを用いて１５０℃で１時間加熱した。当該加熱後の測定用サンプルについて、上記と同様にシリコンウエハに対する粘着力（ｍＮ／２５ｍｍ）を測定した。これにより得られた粘着力を粘着力Ｆ１として、表３に示す。【０１１１】  また、上記と同様に得られた測定用サンプルを、オーブンを用いて１５０℃で１時間加熱した。さらに、粘着剤層に対し、基材を介して、以下の条件で紫外線照射を行った。この測定用サンプルについて、上記と同様にシリコンウエハに対する粘着力（ｍＮ／２５ｍｍ）を測定した。これにより得られた粘着力を粘着力Ｆ２として、表３に示す。＜紫外線照射条件＞・高圧水銀ランプ使用・照度２３０ｍＷ／ｃｍ２，光量１９０ｍＪ／ｃｍ２・ＵＶ照度・光量計はアイグラフィックス社製「ＵＶＰＦ−Ａ１」を使用【０１１２】  さらに、上記の通り得られた３種の粘着力から、粘着力Ｆ０に対する粘着力Ｆ２の比（Ｆ２／Ｆ０）、および粘着力Ｆ１に対する粘着力Ｆ０の比（Ｆ０／Ｆ１）をそれぞれ算出した。これらの結果を表３に示す。【０１１３】〔試験例３〕（粘着剤のヤング率の測定）  実施例１の上記工程（２）と同様に作製される粘着剤層と剥離シートとの積層体を、実施例および比較例のそれぞれについて複数用意した。そして、当該積層体における粘着剤層を所定数積層することで、厚さ２００μｍの粘着剤層からなる測定用粘着剤層サンプルを作製した。【０１１４】  得られた測定用粘着剤層サンプルを、万能引張試験機（島津製作所社製，製品名「オートグラフ  ＡＧ−ＩＳ」）を用いて、２３℃環境下、チャック間距離３０ｍｍ、速度２００ｍｍ／分で引っ張り、得られた応力−ひずみ曲線によりヤング率（ＭＰａ）を求めた。これにより得られた結果をヤング率Ｅ０として、表３に示す。【０１１５】  また、上記と同様に得られた測定用粘着剤層サンプルを、オーブンを用いて１５０℃で１時間加熱した。当該加熱後の測定用粘着剤層サンプルについて、上記と同様にヤング率（ＭＰａ）を求めた。これにより得られた結果をヤング率Ｅ１として、表３に示す。【０１１６】  また、上記と同様に得られた測定用粘着剤層サンプルを、オーブンを用いて１５０℃で１時間加熱した。さらに、当該加熱後の測定用粘着剤層サンプルに対し、以下の条件で紫外線照射を行った。この測定用粘着剤層サンプルについて、上記と同様にヤング率（ＭＰａ）を求めた。これにより得られた結果をヤング率Ｅ２として、表３に示す。＜紫外線照射条件＞・高圧水銀ランプ使用・照度２３０ｍＷ／ｃｍ２，光量５８０ｍＪ／ｃｍ２・ＵＶ照度・光量計はアイグラフィックス社製「ＵＶＰＦ−Ａ１」を使用【０１１７】  さらに、上記の通り得られた３種のヤング率から、ヤング率Ｅ０に対するヤング率Ｅ１の比（Ｅ１／Ｅ０）、およびヤング率Ｅ１に対するヤング率Ｅ２の比（Ｅ２／Ｅ１）をそれぞれ算出した。これらの結果を表３に示す。【０１１８】〔試験例４〕（初期粘着性の評価）  実施例および比較例で製造したワーク加工用シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層の露出面に、テープマウンター（リンテック社製，製品名「Ａｄｗｉｌｌ  ＲＡＤ２５００ｍ／１２」）を用いて、＃２０００研磨した６インチシリコンウエハ（厚さ：３５０μｍ）の研磨面を貼付した。続いて、ダイシング装置（ディスコ社製，製品名「ＤＦＤ−６３６２」）を用いて、以下のダイシング条件で切断部に流水を供給しながら６インチシリコンウエハ側から切断するダイシングを行った。【０１１９】＜ダイシング条件＞  ・ダイシング装置：ディスコ社製  ＤＦＤ−６３６２  ・ブレード      ：ディスコ社製  ＮＢＣ−２Ｈ  ２０５０  ２７ＨＥＣＣ  ・ブレード幅    ：０．０２５〜０．０３０ｍｍ  ・刃先出し量    ：０．６４０〜０．７６０ｍｍ  ・ブレード回転数：５００００ｒｐｍ  ・切削速度      ：２０ｍｍ／ｓｅｃ  ・切り込み深さ  ：ワーク加工用シートにおける粘着剤層側の面から基材に対して２０μｍ  ・流水供給量    ：１．０Ｌ／ｍｉｎ  ・流水温度      ：室温  ・カットサイズ  ：２ｍｍ×２ｍｍ【０１２０】  その後、ダイシング工程により得られたチップが付着しているワーク加工用シートを目視で観察して、ダイシング工程中にワーク加工用シートから脱落したチップの個数を数え、その個数をダイシング工程における分割数で除して、チップ飛散率（単位：％）を求めた。この算出結果に基づいて、以下を基準として、初期粘着性を評価した。評価結果を表３に示す。  ○：チップ飛散率が、１０％未満である。  ×：チップ飛散率が、１０％以上である。【０１２１】〔試験例５〕（ピックアップ適性の評価）  実施例および比較例で製造したワーク加工用シートを用いて、カットサイズを１０ｍｍ×１０ｍｍに変更した以外、試験例４と同様にしてダイシングを行った。【０１２２】  ダイシングの完了後、チップが載置された状態のワーク加工用シートをオーブンに入れ、１５０℃で１時間加熱した。続いて、ワーク加工用シートにおける粘着剤層に対し、基材を介して、以下の条件で紫外線照射を行った。＜紫外線照射条件＞・高圧水銀ランプ使用・照度２３０ｍＷ／ｃｍ２，光量１９０ｍＪ／ｃｍ２・ＵＶ照度・光量計はアイグラフィックス社製「ＵＶＰＦ−Ａ１」を使用【０１２３】  紫外線照射後のワーク加工用シートから、１００個のチップをピックアップし、以下の基準に基づいて、ピックアップ適性を評価した。結果を表３に示す。  ◎：１００個のうち、良好にピックアップできたチップの個数が、９５個以上であった。  〇：１００個のうち、良好にピックアップできたチップの個数が、９５個未満、８０個以上であった。  ×：１００個のうち、良好にピックアップできたチップの個数が、８０個未満であった。【０１２４】  なお、表１および表２に記載の略号等の詳細は以下の通りである。〔活性エネルギー線硬化性重合体の組成〕  ２ＥＨＡ：アクリル酸２−エチルヘキシル  ＢＡ：アクリル酸ブチル  ＡＣＭＯ：アクリロイルモルフォリン（ＳＰ値：１０．１，ガラス転移温度：１４５℃）  ＭＭＡ：メタクリル酸メチル（ＳＰ値：９．５，ガラス転移温度：１０５℃）  ＩＢＸＡ：アクリル酸イソボルニル（ＳＰ値：１０．２，ガラス転移温度：９４℃）  ＨＥＡ：アクリル酸２−ヒドロキシエチル  ＭＯＩ：メタクリロイルオキシエチルイソシアネート〔光重合開始剤〕  オムニラッド１２７：２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン（ＢＡＳＦ社製，製品名「オムニラッド１２７」，５％重量減少温度：２２０℃）  オムニラッドＴＰＯ：２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（ＢＡＳＦ社製，製品名「オムニラッドＴＰＯ」，５％重量減少温度：２２５℃）【０１２５】
【表１】
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【０１２６】
【表２】
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【０１２７】
【表３】
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【０１２８】  表３から分かるように、実施例で得られたワーク加工用シートは、初期粘着性に優れ、ワークの加工の際にはワークをシート上に良好に保持することができるものであった。また、実施例で得られたワーク加工用シートは、ピックアップ適性に優れるものであり、すなわち、ピックアップの際には、加工後のワークに対する粘着力が良好に低下していることが示唆された。
【産業上の利用可能性】
【０１２９】  本発明のワーク加工用シートは、ダイシングに好適に使用することができる。
【国際調査報告】
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