(57)【要約】  通常圧力での加圧圧縮および低い圧力での加圧圧縮のいずれにおいても、高い導電性を実現することができる導電性シートを提供することを目的とする。本発明の導電性シートは、導電性金属粒子と、カーボンナノチューブと、弾性高分子とを含む導電性シートであって、前記導電性シート中において、前記導電性金属粒子の含有量が７体積％以上２２体積％以下であり、前記カーボンナノチューブの含有量が０．８０体積％以下であり、圧縮接触抵抗が、１０ｋＰａ荷重圧縮で１ｋΩ以下であり、且つ、１００ｋＰａ荷重圧縮で１０Ω以下である。前記導電性金属粒子が一方向に電気的に配列している磁性導電性金属粒子であり、前記カーボンナノチューブの含有量が０．３０体積％以下であり、前記圧縮接触抵抗が、１０ｋＰａ荷重圧縮で５Ω以下であり、且つ、１００ｋＰａ荷重圧縮で１Ω以下であることが好ましい。【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性金属粒子と、カーボンナノチューブと、弾性高分子とを含む導電性シートであって、
前記導電性シート中において、前記導電性金属粒子の含有量が７体積％以上２２体積％以下であり、前記カーボンナノチューブの含有量が０．８０体積％以下であり、
圧縮接触抵抗が、１０ｋＰａ荷重圧縮で１ｋΩ以下であり、且つ、１００ｋＰａ荷重圧縮で１０Ω以下である、導電性シート。
【請求項２】
前記導電性金属粒子が一方向に電気的に配列している磁性導電性金属粒子であり、
前記カーボンナノチューブの含有量が０．３０体積％以下であり、
前記圧縮接触抵抗が、１０ｋＰａ荷重圧縮で５Ω以下であり、且つ、１００ｋＰａ荷重圧縮で１Ω以下である、請求項１に記載の導電性シート。
【請求項３】
前記導電性シートは、ＩＲＨＤ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｒｕｂｂｅｒ  Ｈａｒｄｎｅｓｓ  Ｄｅｇｒｅｅ）が４０以上８０以下である、請求項１または２に記載の導電性シート。
【請求項４】
前記導電性金属粒子は、表面が金で形成されている、請求項１〜３のいずれかに記載の導電性シート。
【請求項５】
前記導電性金属粒子は、数平均粒子径が１μｍ以上３０μｍ以下である、請求項１〜４のいずれかに記載の導電性シート。
【請求項６】
前記カーボンナノチューブは、単層ＣＮＴを５０質量％以上含有する、請求項１〜５のいずれかに記載の導電性シート。
【請求項７】
前記弾性高分子がシリコーンゴムである、請求項１〜６のいずれかに記載の導電性シート。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の導電性シートの原料である導電性組成物であって、導電性金属粒子と、カーボンナノチューブと、弾性高分子原料とを含み、
前記導電性組成物中において、前記導電性金属粒子の含有量が７体積％以上２２体積％以下であり、前記カーボンナノチューブの含有量が０．８０体積％以下である、導電性組成物。
【請求項９】
前記導電性金属粒子が磁性導電性金属粒子であり、
前記カーボンナノチューブの含有量が０．３０体積％以下である、請求項８に記載の導電性組成物。
【請求項１０】
請求項２〜７いずれかに記載の導電性シートを製造する導電性シートの製造方法であって、
カーボンナノチューブと、磁性導電性金属粒子と、弾性高分子とを含む導電性組成物を調製する導電性組成物調製工程と、
前記調製された導電性組成物における前記磁性導電性金属粒子を一方向に電気的に配列させる配向処理工程と、
前記配向処理された導電性組成物を成形して導電性シートを得る導電性シート形成工程と、を含む、導電性シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性シートおよびその製造方法、並びに、導電性組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、導電性金属粒子や導電性カーボン粒子などの導電性粒子を、多量にゴム中に含有させた導電性ゴム組成物が、例えば、電極間の導電接点に用いられる導電性ゴムや、回路装置検査に用いられる導電性シートとして使用されている（例えば、特許文献１、２など）。
ここで、導電性ゴムや導電性シートには、接触抵抗をより小さくすることが求められるため、電極表面や回路装置に対する密着性（追従性）を確保するための柔軟性と、電極−電極間や回路の導通検査を確実に行うための高い導電性（低接触抵抗）が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１７０６０８号公報
【特許文献２】特開２００４−１０９１２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、柔軟性を向上させるためにゴム成分の含有量を多くすると、導電性が低下してしまうという問題があり、また、導電性を向上させるために、導電性金属粒子の含有量を多くすると、柔軟性が損なわれて密着性が確保できないという問題があった。
また、上記の問題を解決する手法として、ニッケル粒子などの磁性導電性金属粒子を液状高分子中に混合させた後、例えば、平面永久磁石を使用し、一方向の磁場に沿って磁性導電性金属粒子を磁場方向に集合させ、一方向のみの電気抵抗を大幅に向上させた、異方性導電ゴムシートが使用されてきた。しかしながら、上述の異方性導電ゴムシートでは、シート中、局所的に磁性導電性金属粒子が集中するため、磁性導電性金属粒子が集中した局所部分が弱く、低電気抵抗を発現するために高い圧力の圧縮応力で電極を押し付けると、磁性導電性金属粒子が集中した局所部分が破壊されるといった耐久性の問題があった。なお、上述した永久磁石は高温処理を行うことができないという制限もある。
さらに、導電性が十分でない導電シートを使用する場合は、導電性を確保するために、高い圧力で加圧圧縮して、密着性および導通性を確保する方法が採用される場合があったが、その場合の導通性確保は、導電性粒子の周囲のゴム成分を破壊し、導電性粒子同士の接触を促す方法であるため、耐久性が乏しくなるという問題が生じていた。【０００５】
そこで本発明は、通常圧力での加圧圧縮および低い圧力での加圧圧縮のいずれにおいても、高い導電性を実現することができる導電性シートおよび該導電性シートを形成可能な導電性組成物を提供することを目的とする。
また、本発明は、通常圧力での加圧圧縮および低い圧力での加圧圧縮のいずれにおいても、より高い導電性を実現することができる導電性シートを効率的に製造することができる導電性シートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成すべく本発明者が鋭意検討した結果、所定量の導電性金属粒子と、所定量のカーボンナノチューブと、弾性高分子とを含む導電性シートを用いることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
さらに、本発明者が鋭意検討した結果、所定量の磁性導電性金属粒子と、所定量のカーボンナノチューブと、弾性高分子とを含む導電性シートにおいて、磁性導電性金属粒子を一方向に配向させることにより、通常圧力での加圧圧縮および低い圧力での加圧圧縮のいずれにおいても、より高い導電性を実現することができる導電性シートを効率的に製造することができることを見出した。特に、カーボンナノチューブの含有量を所定量にすることにより、カーボンナノチューブが磁性導電性金属粒子の磁石による集合挙動を阻害することなく、磁性導電性金属粒子間の導電パスを形成するため、結果的に、導電性シートの導電性を最大限に向上させる効果がある。【０００７】
即ち、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の導電性シートは、導電性金属粒子と、カーボンナノチューブと、弾性高分子とを含む導電性シートであって、前記導電性シート中において、前記導電性金属粒子の含有量が７体積％以上２２体積％以下であり、前記カーボンナノチューブの含有量が０．８０体積％以下であり、圧縮接触抵抗が、１０ｋＰａ荷重圧縮で１ｋΩ以下であり、且つ、１００ｋＰａ荷重圧縮で１０Ω以下である、ことを特徴とする。この導電性シートは、通常圧力での加圧圧縮（１００ｋＰａ荷重圧縮）および低い圧力での加圧圧縮（１０ｋＰａ荷重圧縮）のいずれにおいても、高い導電性を実現することができる。【０００８】
なお、本発明において、「圧縮接触抵抗」は、実施例に記載するように測定される。【０００９】
ここで、本発明の導電性シートは、前記導電性金属粒子が、一方向に電気的に配列している磁性導電性金属粒子であり、前記カーボンナノチューブの含有量が０．３０体積％以下であり、前記圧縮接触抵抗が、１０ｋＰａ荷重圧縮で５Ω以下であり、且つ、１００ｋＰａ荷重圧縮で１Ω以下であることが好ましい。この導電性シートは、通常圧力での加圧圧縮（１００ｋＰａ荷重圧縮）および低い圧力での加圧圧縮（１０ｋＰａ荷重圧縮）のいずれにおいても、より高い導電性を実現することができる。【００１０】
なお、本発明において、「一方向」とは、通常、導電シートの厚み方向であるが、導電性シートの面内方向であってもよく、斜め方向（厚み方向と面内方向との中間）であってもよい。また、本発明において、「電気的に配列」とは、例えば、平面永久磁石等の磁石による磁束線に沿って並ぶことを意味する。【００１１】
ここで、本発明の導電性シートは、ＩＲＨＤ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｒｕｂｂｅｒ  Ｈａｒｄｎｅｓｓ  Ｄｅｇｒｅｅ）が４０以上８０以下であることが好ましい。ＩＲＨＤ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｒｕｂｂｅｒ  Ｈａｒｄｎｅｓｓ  Ｄｅｇｒｅｅ）が４０以上８０以下であれば、導電性シートの導電性を確保しつつ、導電性シートの柔軟性を向上させて、導通検査等の際における検査対象に対する密着性（追従性）を向上させることができる。【００１２】
ここで、本発明の導電性シートは、前記導電性金属粒子の表面が金で形成されていることが好ましい。前記導電性金属粒子の表面が金で形成されていれば、導電性金属粒子のエレクトロマイグレーションを防止して耐久性を向上させると共に、導電性シートの導電性をより向上させることができる。【００１３】
ここで、本発明の導電性シートは、前記導電性金属粒子の数平均粒子径が１μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましい。前記導電性金属粒子の数平均粒子径が１μｍ以上３０μｍ以下であれば、導電性シートの導電性を確保しつつ、導通検査等の際における検査対象のピッチよりも導電性金属粒子の数平均粒子径を小さくして、確実に導通検査を行うことができる。【００１４】
ここで、本発明の導電性シートは、前記カーボンナノチューブが単層ＣＮＴを５０質量％以上含有することが好ましい。本発明の導電性シートは、カーボンナノチューブが単層ＣＮＴを５０質量％以上含有すれば、導電性シートの導電性をより向上させることができる。【００１５】
ここで、本発明の導電性シートは、前記弾性高分子がシリコーンゴムであることが好ましい。本発明の導電性シートは、前記弾性高分子がシリコーンゴムであれば、導電性シートの柔軟性、耐熱性、および耐久性を向上させることができると共に、弾性高分子を容易に調製することができる。【００１６】
また、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の導電性組成物は、上述した導電性シートのいずれかの原料である導電性組成物であって、導電性金属粒子と、カーボンナノチューブと、弾性高分子原料とを含み、前記導電性組成物中において、前記導電性金属粒子の含有量が７体積％以上２２体積％以下であり、前記カーボンナノチューブの含有量が０．８０体積％以下である、ことを特徴とする。この導電性組成物は、通常圧力での加圧圧縮（１００ｋＰａ荷重圧縮）および低い圧力での加圧圧縮（１０ｋＰａ荷重圧縮）のいずれにおいても、高い導電性を実現することができる導電性シートを形成可能である。【００１７】
ここで、本発明の導電性組成物は、前記導電性金属粒子が磁性導電性金属粒子であり、前記カーボンナノチューブの含有量が０．３０体積％以下であることが好ましい。この導電性組成物は、通常の圧力での加圧圧縮（１００ｋＰａ荷重圧縮）および低い圧力での加圧圧縮（１０ｋＰａ荷重圧縮）のいずれにおいても、より高い導電性を実現することができる導電性シートを形成可能である。【００１８】
また、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の導電性シートの製造方法は、上述した導電性シートを製造する導電性シートの製造方法であって、カーボンナノチューブと、磁性導電性金属粒子と、弾性高分子とを含む導電性組成物を調製する導電性組成物調製工程と、前記調製された導電性組成物における前記磁性導電性金属粒子を一方向に電気的に配列させる配向処理工程と、前記配向処理された導電性組成物を成形して導電性シートを得る導電性シート形成工程と、を含む、ことを特徴とする。この導電性シートの製造方法は、通常の圧力での加圧圧縮（１００ｋＰａ荷重圧縮）および低い圧力での加圧圧縮（１０ｋＰａ荷重圧縮）のいずれにおいても、より高い導電性を実現することができる導電性シートを効率的に製造することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、通常圧力での加圧圧縮および低い圧力での加圧圧縮のいずれにおいても、高い導電性を実現することができる導電性シートおよび該導電性シートを形成可能な導電性組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、通常圧力での加圧圧縮および低い圧力での加圧圧縮のいずれにおいても、より高い導電性を実現することができる導電性シートを効率的に製造することができる導電性シートの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施例２−１の導電性シート（配向後）における磁性導電性粒子が一方向に配列していることを示す写真である。
【図２】実施例２−１の導電性シート（配向前）における磁性導電性粒子が一方向に配列していないことを示す写真である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００２２】
（導電性シートおよび導電性組成物）
本発明の導電性シートは、導電性金属粒子と、カーボンナノチューブと、弾性高分子とを含み、さらに必要に応じて、その他の成分を含む。
本発明の導電性組成物は、本発明の導電性シートの原料であり、導電性金属粒子と、カーボンナノチューブと、弾性高分子原料とを含み、さらに必要に応じて、その他の成分を含む。
以下、導電性シートおよび導電性組成物について、第１の態様と、第２の態様を示す。
【００２３】
＜第１の態様＞
＜＜圧縮接触抵抗＞＞
導電性シートの圧縮接触抵抗は、１０ｋＰａ荷重圧縮で１ｋΩ以下であり、且つ、１００ｋＰａ荷重圧縮で１０Ω以下である限り、特に制限はないが、１０ｋＰａ荷重圧縮で、０．５ｋΩ以下であることが好ましく、０．３５ｋΩ以下であることがより好ましく、０．１ｋΩ以下であることがさらにより好ましく、０．０５ｋΩ以下であることが特に好ましく、また、１００ｋＰａ荷重圧縮で、５Ω以下であることが好ましく、２Ω以下であることがより好ましく、１Ω以下であることが特に好ましい。
圧縮接触抵抗が１０ｋＰａ荷重圧縮で０．５ｋΩ以下であることにより、低い圧縮変位でも導電性が確保されるため、導電性シートの圧縮による劣化を抑制することができる。
一方、圧縮接触抵抗が１００ｋＰａ荷重圧縮で５Ω以下であることにより、より高い導電性が必要な接点部位にも適用することができる。
【００２４】
＜＜ＩＲＨＤ＞＞
導電性シートのＩＲＨＤ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｒｕｂｂｅｒ  Ｈａｒｄｎｅｓｓ  Ｄｅｇｒｅｅ）は、特に制限はないが、４０以上であることが好ましく、５０以上であることがより好ましく、５０．８以上であることがさらにより好ましく、５５．２以上であることが特に好ましく、また、８０以下であることが好ましく、７８．９以下であることがより好ましく、６７．９以下であることがさらにより好ましく、６０以下であることが特に好ましく、５８．８以下であることが最も好ましい。
ＩＲＨＤが４０以上であることにより、導電性シートの導電性を確保することができる。一方、ＩＲＨＤが８０以下であることにより、導電性シートの柔軟性を向上させて、導通検査等の際における検査対象に対する密着性（追従性）を向上させることができる。
【００２５】
＜＜厚み＞＞
導電性シートの厚みは、特に制限はないが、後述する導電性金属粒子の数平均粒子径の１０倍以上であることが好ましく、導電性金属粒子の数平均粒子径の２０倍以上であることがより好ましく、導電性金属粒子の数平均粒子径の３０倍以上であることが特に好ましく、また、２ｍｍ以下であることが好ましく、１ｍｍ以下であることがより好ましく、０．６ｍｍ以下であることがさらにより好ましく、０．５ｍｍ以下であることが特に好ましい。
導電性シートの厚みが後述する導電性金属粒子の数平均粒子径の１０倍以上であることにより、導電性金属粒子の表面隆起を抑制して、導電性シートの表面粗さを均一にすることができる。一方、導電性シートの厚みが２ｍｍ以下であることにより、導通検査等において検査誤差の要因となる、測定サンプルとテスター電極間の距離を低減することができる。
【００２６】
＜＜導電性金属粒子＞＞
導電性シート中における導電性金属粒子の含有量は、特に制限はないが、７体積％以上であることが好ましく、９体積％以上であることがより好ましく、９．５体積％以上であることがより好ましく、１０体積％以上であることが特に好ましく、２２体積％以下であることが好ましく、２１体積％以下であることがより好ましく、２０．４体積％以下であることがさらにより好ましく、２０体積％以下であることが特に好ましく、１５．１体積％以下であることが最も好ましい。
導電性シート中における導電性金属粒子の含有量が７体積％以上であることにより、導電性シートの導電性を向上することができる。一方、導電性シート中における導電性金属粒子の含有量が２２体積％以下であることにより、導電性シートの加工を容易にし、且つ、導電性シートの機械的強度を保持することができる。
なお、導電性組成物中における導電性金属粒子の含有量およびその好適範囲は、導電性シートと同様である。
【００２７】
導電性金属粒子の具体的な形状は、特に制限はなく、複数の球形の一次粒子が凝集してなる二次粒子からなる形状、などが好適に挙げられる。
【００２８】
導電性金属粒子の数平均粒子径は、特に制限はないが、１μｍ以上であることが好ましく、２μｍ以上であることがより好ましく、３０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましく、６μｍ以下であることが特に好ましい。
ここで、「導電性金属粒子の数平均粒子径」とは、電子顕微鏡観察によって、任意に１００個観察し、画像処理により１００個の粒子直径を求め、１００個の導電性金属粒子の粒子直径を算術計算して求められたものをいい、具体的には実施例に記載したように測定することができる。
導電性金属粒子の数平均粒子径が１μｍ以上であることにより、導電性シートの導電性を確保することができる。一方、導電性金属粒子の数平均粒子径が３０μｍ以下であることにより、導通検査等の際における検査対象のピッチより小さくして、確実に導通検査を行うことができる。
【００２９】
導電性金属粒子の数平均粒子径の変動係数は、特に制限はないが、５０％以下であることが好ましく、４０％以下であることがより好ましく、３０％以下であることが更に好ましく、２０％以下であることが特に好ましい。
ここで、「数平均粒子径の変動係数」とは、式：（σ／Ｄｎ）×１００（但し、σは、粒子径の標準偏差の値を示し、Ｄｎは、粒子の数平均粒子径を示す。）によって求められるものである。
導電性金属粒子の数平均粒子径の変動係数が５０％以下であることにより、粒子径の不揃いの程度が小さくなるため、得られる導電性シートにおける導電性金属粒子が含有されている部分の導電性のバラツキを小さくすることができる。
このような導電性金属粒子は、金属材料を常法により粒子化し、あるいは市販の金属粒子を用意し、この粒子に対して分級処理を行うことにより得ることができる。
粒子の分級処理は、例えば空気分級装置、音波ふるい装置などの分級装置によって行うことができる。
また、分級処理の具体的な条件は、目的とする導電性金属粒子の数平均粒子径、分級装置の種類などに応じて適宜設定される。
【００３０】
導電性金属粒子の具体例としては、ニッケル、鉄、コバルト、金、銀、ロジウム、白金、クロム等の導電性金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子、または、これらの導電性金属を含有する粒子、などが挙げられる。これらの中でも、ニッケル粒子を芯（コア）粒子とすることが好ましく、また、その表面に、高導電性金属のメッキを施すことが好ましく、その表面に金のメッキを施すこと（即ち、表面が金で形成されていること）がより好ましい。なお、「高導電性金属」とは、０℃における導電率が５×１０６Ω−１ｍ−１以上の金属であり、具体的には、金、銀、ロジウム、白金、クロム、等が挙げられる。
ここで、導電性金属粒子の表面が金で形成されていれば、導電性金属粒子のエレクトロマイグレーションを防止して耐久性を向上させると共に、導電性シートの導電性を向上させることができる。
芯粒子の表面に高導電性金属のメッキを被覆する手段としては、特に制限はなく、例えば、無電解メッキ法を用いることができる。
【００３１】
導電性金属粒子の表面における高導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する高導電性金属の被覆面積の割合）は、特に制限はないが、９０％以上であることが好ましく、９５％以上であることがより好ましく、９９％以上であることが特に好ましい。
高導電性金属よりなる被覆層の厚みは、特に制限はないが、１０ｎｍ以上であることが好ましく、１０ｎｍ〜１００ｎｍであることがより好ましい。
被覆層の厚みが１０ｎｍ以上であることにより、導電性金属粒子が導電性の高いものとなり、また、温度変化や加圧などによって、被覆層が剥離して、導電性が低下することが少ないものとなる。
【００３２】
＜＜カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）＞＞
導電性シート中におけるカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の含有量は、０．８０体積％以下である限り、特に制限はないが、０．０５体積％以上であることが好ましく、０．０８体積％以上であることがより好ましく、０．１０体積％以上であることが特に好ましく、０．６０体積％以下であることが好ましく、０．５５体積％以下であることがより好ましく、０．４０体積％以下であることがさらにより好ましく、０．３０体積％以下であることが特に好ましい。
導電性シート中におけるカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の含有量が０．０５体積％以上であることにより、導電性シートの導電性を確保することができる。一方、導電性シート中におけるカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の含有量が０．６０体積％以下であることにより、導電シートが硬くなり過ぎるのを防止することができる。
なお、導電性組成物中におけるカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の含有量およびその好適範囲は、導電性シートと同様である。
【００３３】
導電性シートが含むカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）としては、特に限定されることなく、単層カーボンナノチューブ（単層ＣＮＴ；ＳＷＣＮＴ）及び／又は多層カーボンナノチューブ（多層ＣＮＴ；ＭＷＣＮＴ）を用いることができ、いずれを用いてもよい。単層ＣＮＴを使用すれば、多層ＣＮＴを使用した場合と比較し、導電性シートの作製に用いて好適なＣＮＴ分散液の分散性を高めやすい。
カーボンナノチューブは、単層ＣＮＴを５０質量％以上含有することが好ましい。カーボンナノチューブが単層ＣＮＴを５０質量％以上含有することにより、導電性シートの導電性をより向上させることができる。
【００３４】
＜＜弾性高分子＞＞
弾性高分子としては、特に制限はなく、導電性シートの用途に応じた既知の樹脂を用いることができる。弾性高分子は、その原料としての、例えば、熱可塑性エラストマー、架橋型熱可塑性樹脂、または、熱硬化性樹脂により構成される。即ち、弾性高分子原料は、例えば、熱可塑性エラストマー、架橋型熱可塑性樹脂、または、熱硬化性樹脂により構成され、弾性高分子は、例えば、熱可塑性エラストマー、架橋型熱可塑性樹脂の架橋物、または、熱硬化性樹脂の熱硬化物により構成される。なお、本発明において、「樹脂」には、「ゴム、及び、エラストマー」が含まれるものとする。また、熱可塑性エラストマー、架橋型熱可塑性樹脂、または、熱硬化性樹脂は併用してもよい。
【００３５】
＜＜＜熱可塑性エラストマー＞＞＞
熱可塑性エラストマーは、化学反応による架橋点を持たない弾性高分子であり、特に制限されることなく、例えば、スチレン−ブタジエンジブロック共重合体、またはその水素添加物；スチレン−イソプレンブロック共重合体またはその水素添加物；などを用いることができる。
【００３６】
＜＜＜架橋型熱可塑性樹脂＞＞＞
架橋型熱可塑性樹脂は、架橋剤を含有してもよい熱可塑性樹脂であり、架橋反応が完了する前に熱可塑性樹脂を加熱流動化させ、所望の形に成形し、形状を保持したまま架橋反応を完了させることにより、弾性高分子となり得る。
【００３７】
架橋型熱可塑性樹脂に用いる熱可塑性樹脂は、特に制限されることはなく、例えば、ポリ（アクリル酸２−エチルヘキシル）、アクリル酸とアクリル酸２−エチルヘキシルとの共重合体、ポリメタクリル酸またはそのエステル、ポリアクリル酸またはそのエステルなどのアクリル樹脂；シリコーン樹脂；フッ素樹脂；ポリシクロオレフィン等のポリオレフィン樹脂；ポリエチレン；ポリプロピレン；エチレン−プロピレン共重合体；ポリメチルペンテン；ポリ塩化ビニル；ポリ塩化ビニリデン；ポリ酢酸ビニル；エチレン−酢酸ビニル共重合体；ポリビニルアルコール；ポリアセタール；ポリエチレンテレフタレート；ポリブチレンテレフタレート；ポリエチレンナフタレート；ポリスチレン；ポリアクリロニトリル；スチレン−アクリロニトリル共重合体；アクリロニトリル−ブタジエン共重合体（ニトリルゴム）；アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、フッ化ビニリデン系フッ素樹脂、テトラフルオロエチレン−プロピレン系フッ素樹脂、テトラフルオロエチレン−パープルオロビニルエーテル系フッ素樹脂、ポリフェニレンエーテル；変性ポリフェニレンエーテル；脂肪族ポリアミド類；芳香族ポリアミド類；ポリアミドイミド；ポリカーボネート；ポリフェニレンスルフィド；ポリサルホン；ポリエーテルサルホン；ポリエーテルニトリル；ポリエーテルケトン；ポリケトン、天然ゴム；ブタジエンゴム；イソプレンゴム；ニトリルゴム；水素化ニトリルゴム；クロロプレンゴム；エチレンプロピレンゴム；塩素化ポリエチレン；クロロスルホン化ポリエチレン；ブチルゴム；ハロゲン化ブチルゴム；ポリイソブチレンゴム；などを用いることができる。
【００３８】
架橋型熱可塑性樹脂に用いる架橋剤は、成形シートの導電性に影響がない範囲で含有してもよく、樹脂１００質量部に対して、０．１質量部〜１０質量部の範囲が好ましく、０．５質量部〜５質量部の範囲がより好ましい。
架橋型熱可塑性樹脂に用いる架橋剤の種類は、特に制限されることはなく、例えば、ベンゾイルパーオキサイド、１，１−ジ（ｔ−ブチルペルオキシ）シクロヘキサン、ｔ−ブチルペルオキシ−２−エチルヘキサネート、等のパーオキサイド系架橋剤；硫黄、チタンキレート、ジルコニアキレート等の金属系架橋剤；２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン等のポリオール系架橋剤；などの既知の添加剤を用いることができる。
【００３９】
＜＜＜熱硬化性樹脂＞＞＞
熱硬化性樹脂は、特に制限されることはなく、例えば、シリコーン樹脂（シリコーンゴム）、エポキシ樹脂；メラミン樹脂；尿素樹脂；フェノール樹脂；不飽和ポリエステル；ジアリルフタレート樹脂；ポリイミドシリコーン樹脂；ポリウレタン；熱硬化型ポリフェニレンエーテル；熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル；などが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。これらの中でも、導電性シートの柔軟性、耐熱性、および耐久性を向上させると共に、弾性高分子を容易に調製することができるとの観点から、シリコーン樹脂（シリコーンゴム）が好ましい。
【００４０】
なお、常温常圧下で液体の弾性高分子原料の粘度は、特には限定されないが、混練性、流動性、架橋反応性が良好で、成形性にも優れるという点からは、１０５℃における粘度が、５００ｍＰａ・ｓ〜３０，０００ｍＰａ・ｓであることが好ましく、５５０ｍＰａ・ｓ〜２５，０００ｍＰａ・ｓであることがより好ましい。なお、本明細書において、「常温」とは２３℃を指し、「常圧」とは、１ａｔｍ（絶対圧）を指す。
【００４１】
＜＜その他の成分＞＞
第１の態様の導電性シートは、用途に応じて既知の添加剤を含有していてもよい。既知の添加剤としては、例えば、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、顔料、着色剤、発泡剤、帯電防止剤、難燃剤、滑剤、軟化剤、粘着付与剤、可塑剤、離型剤、防臭剤、香料などが挙げられる。
【００４２】
＜＜第１の態様の導電性シートの製造方法＞＞
導電性シートの製造方法は、例えば、（ｉ）カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）と、導電性金属粒子と、弾性高分子原料とを含む導電性組成物を調製する導電性組成物調製工程と、（ｉｉ）導電性組成物を成形（及び、場合により架橋）して導電性シートを得る導電性シート形成工程、を少なくとも含む。
【００４３】
＜＜＜導電性組成物調製工程＞＞＞
導電性組成物調製工程では、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）と、導電性金属粒子と、弾性高分子原料とを含む導電性組成物を調製する。この導電性組成物調製工程は、例えば、（ｉ）ＣＮＴ分散液形成工程と、（ｉｉ）混合工程と、（ｉｉｉ）乾燥工程とを含むことが好ましい。
【００４４】
−（ｉ）ＣＮＴ分散液形成工程−
ＣＮＴ分散液形成工程では、まずＣＮＴを溶媒に分散させ、予備分散液を得る。次いで、得られた予備分散液を分散処理し、ＣＮＴ分散液を得る。
【００４５】
−−溶媒−−
上記溶媒としては、例えば、水または揮発性の非水溶媒等が挙げられる。具体的には、上記溶媒としては、水；メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、イソブタノール、ｔ−ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、ヘプタノール、オクタノール、ノナノール、デカノール、アミルアルコール、メトキシプロパノール、プロピレングリコール、エチレングリコール等のアルコール類；アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、α−ヒドロキシカルボン酸のエステル、ベンジルベンゾエート（安息香酸ベンジル）等のエステル類；ジエチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、モノメチルエーテル等のエーテル類；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミド系極性有機溶媒；トルエン、キシレン、クロロベンゼン、オルトジクロロベンゼン、パラジクロロベンゼン、等の芳香族炭化水素類；サリチルアルデヒド、ジメチルスルホキシド、４−メチル−２−ペンタノン、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等が挙げられる。他にも、シクロヘキサン、シクロペンタン等のシクロアルカン；クロロホルム等のハロゲン化アルキル；を用いることもできる。
中でも、後に行われる乾燥処理を考慮して、揮発除去させやすいクロロホルム、シクロヘキサン、メチルエチルケトンが好ましい。これらは１種類のみを単独で用いてもよいし、２種類以上を混合して用いてもよい。
【００４６】
上記溶媒に対して、ＣＮＴの質量％濃度が０．０１質量％以上０．５０質量％以下、より好ましくは０．１０質量％以上０．３０質量％以下となるようにすることが好ましい。
【００４７】
ＣＮＴ予備分散液中のＣＮＴの濃度は、ＣＮＴが分散できる限り、特に制限はないが、予備分散液中のＣＮＴ濃度は、０．００５質量％以上であることが好ましく、０．０１質量％以上であることがより好ましく、５質量％以下であることが好ましく、０．５質量％以下であることがより好ましい。この範囲内であれば、ＣＮＴの分散性に優れる分散液を得ることができる。
【００４８】
ＣＮＴ予備分散液は、得られる導電性シートの導電性を考慮して分散剤などの他の成分を実質的に含まないことが好ましい。本明細書において、「実質的に含まない」とは、不可避的に混入する場合を除いて能動的に配合はしないことをいい、具体的には、ＣＮＴ予備分散液中の含有量が、０．０５質量％未満であることが好ましく、０．０１質量％未満であることがより好ましく、０．００１質量％未満であることが特に好ましい。
なお、上記分散剤としては、界面活性剤等が挙げられる。
また、界面活性剤としては、例えば、ドデシルスルホン酸ナトリウム、デオキシコール酸ナトリウム、コール酸ナトリウム、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、などが挙げられる。
【００４９】
−−予備分散液−−
上記予備分散液は、特に限定されることなく、前述のＣＮＴと、上述した溶媒とを既知の方法で混合することにより得ることができる。なお、ＣＮＴと、溶媒とは任意の順序で混合することができる。
【００５０】
−−分散処理−−
上記予備分散液を分散処理に供してＣＮＴ分散液を調製する際の分散処理方法としては、特に限定されることなく、ＣＮＴを含む液の分散に使用されている既知の分散処理方法を用いることができる。
【００５１】
−（ｉｉ）混合工程−
混合工程では、ＣＮＴ分散液を、導電性金属粒子および弾性高分子原料と混合する。混合方法は、特に制限はなく、前述のＣＮＴ分散液と、導電性金属粒子および弾性高分子原料とを既知の方法で混合することにより得ることができる。なお、ＣＮＴ分散液と、導電性金属粒子と、弾性高分子原料とは任意の順序で混合することができる。さらに、ＣＮＴ分散液の溶媒としては、弾性高分子原料を溶解し得るものが特に好ましい。斯かる溶媒にＣＮＴを分散させておき、その分散液に弾性高分子原料を溶解させることで、得られる組成物中にＣＮＴを高分散させることができるからである。
【００５２】
−（ｉｉｉ）乾燥工程−
そして、ＣＮＴ分散液と、導電性金属粒子と、弾性高分子原料との混合溶液を乾燥させることで、混合溶液の溶媒除去後の残留物として、導電性組成物を得ることができる。乾燥方法は、特に制限はなく、ロータリーエバポレータ等の蒸留器および真空乾燥機を、単独又は併用するなどの、既知の方法で乾燥することが可能である。
【００５３】
＜＜＜導電性シート形成工程＞＞＞
導電性組成物調製工程に続く導電性シート形成工程では、上述のようにして調製された導電性組成物をシート成形して導電性シートを得る。導電性シートの形成方法は特に限定されることなく、熱溶融押出しシート成形機または圧縮成形機を用いて、減圧、加熱等の操作を行うなどの、既知の方法で成形することが可能である。ここで、導電性組成物が架橋剤を含む場合、成形と同時に架橋が行われる。また、導電性シートの厚みを２００μｍ以下とする場合には、シート成形機を用いることが好ましい。
【００５４】
＜第２の態様＞
第２の態様においては、導電性金属粒子として磁性導電性金属粒子を用いる。
＜＜圧縮接触抵抗＞＞
第２の態様の導電性シートの圧縮接触抵抗は、１０ｋＰａ荷重圧縮で５Ω以下であり、且つ、１００ｋＰａ荷重圧縮で１Ω以下である限り、特に制限はないが、１０ｋＰａ荷重圧縮で、４Ω以下であることが好ましく、２Ω以下であることがより好ましく、１Ω以下であることが特に好ましく、また、１００ｋＰａ荷重圧縮で、０．５Ω以下であることが好ましく、０．２Ω以下であることがより好ましく、０．１Ω以下であることが特に好ましい。
圧縮接触抵抗が１０ｋＰａ荷重圧縮で２Ω以下であることにより、低い圧縮変位でも導電性が確保されるため、導電性シートの圧縮による劣化を抑制することができる。一方、圧縮接触抵抗が１００ｋＰａ荷重圧縮で０．５Ω以下であることにより、より高い導電性が必要な電気接点部位などにも適用することができる。
【００５５】
＜＜ＩＲＨＤ＞＞
第２の態様の導電性シートのＩＲＨＤ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｒｕｂｂｅｒ  Ｈａｒｄｎｅｓｓ  Ｄｅｇｒｅｅ）は、特に制限はなく、好ましい範囲が第１の態様と同様であり、同様の効果が得られる。
【００５６】
＜＜厚み＞＞
第２の態様の導電性シートの厚みは、特に制限はなく、好ましい範囲が第１の態様と同様であり、同様の効果が得られる。
【００５７】
＜＜磁性導電性金属粒子＞＞
第２の態様の導電性シート中における磁性導電性金属粒子の含有量は、特に制限はなく、第１の態様の導電性金属粒子の含有量と同様であり、同様の効果が得られる。
なお、導電性組成物中における磁性導電性金属粒子の含有量およびその好適範囲は、導電性シートと同様である。
【００５８】
前記磁性導電性金属粒子の具体的な形状は、特に制限はなく、複数の球形の一次粒子が凝集してなる二次粒子からなる形状、などが好適に挙げられる。
【００５９】
前記磁性導電性金属粒子の数平均粒子径は、特に制限はなく、好ましい範囲が第１の態様の導電性金属粒子の数平均粒子径と同様であり、同様の効果が得られる。
【００６０】
前記磁性導電性金属粒子の具体例としては、ニッケル、鉄、コバルト等の磁性導電性金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子、または、これらの磁性導電性金属を含有する粒子、などが挙げられる。これらの中でも、ニッケル粒子を芯（コア）粒子とすることが好ましく、また、その表面に、高導電性金属のメッキを施すことが好ましく、その表面に金のメッキを施すこと（即ち、表面が金で形成されていること）がより好ましい。なお、「高導電性金属」とは、０℃における導電率が５×１０６Ω−１ｍ−１以上の金属であり、具体的には、金、銀、ロジウム、白金、クロムなどが挙げられる。
ここで、磁性導電性金属粒子の表面が金で形成されていれば、磁性導電性金属粒子のエレクトロマイグレーションを防止して耐久性を向上させると共に、導電性シートの導電性を向上させることができる。
芯粒子の表面に高導電性金属のメッキを被覆する手段としては、特に制限はなく、例えば、無電解メッキ法を用いることができる。
【００６１】
第２の態様の磁性導電性金属粒子の表面における高導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する高導電性金属の被覆面積の割合）は、特に制限はなく、好ましい範囲が第１の態様の導電性金属粒子の表面における高導電性金属の被覆率と同様であり、同様の効果が得られる。
【００６２】
前記磁性導電性金属粒子の飽和磁化は、特に制限はないが、磁性導電性金属粒子を磁場の作用によって容易に移動させることができる観点から、０．１Ｗｂ／ｍ２以上であることが好ましく、０．３Ｗｂ／ｍ２以上であることがより好ましく、０．５Ｗｂ／ｍ２以上であることが特に好ましい。
磁性導電性金属粒子の飽和磁化が０．１Ｗｂ／ｍ２以上であることにより、磁性導電性金属粒子を磁場の作用によって確実に移動させて所望の配向状態とすることができる。
【００６３】
＜＜カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）＞＞
第２の態様の導電性シート中におけるカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の含有量は、０．３０体積％以下である限り、特に制限はないが、０．０５体積％以上であることが好ましく、０．０８体積％以上であることがより好ましく、０．１０体積％以上であることが特に好ましく、０．２８体積％以下であることが好ましく、０．２７体積％以下であることがより好ましく、０．２５体積％以下であることがさらにより好ましく、０．２０体積％以下であることが特に好ましい。
導電性シート中におけるカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の含有量が０．０５体積％以上であることにより、導電性シートの導電性を確保することができる。一方、導電性シート中におけるカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の含有量が０．２８体積％以下であることにより、導電シートが硬くなり過ぎるのを防止することができる。
なお、導電性組成物中におけるカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の含有率およびその好適範囲は、導電性シートと同様である。
【００６４】
導電性シートが含むカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）としては、特に限定されることなく、単層カーボンナノチューブ（単層ＣＮＴ；ＳＷＣＮＴ）及び／又は多層カーボンナノチューブ（多層ＣＮＴ；ＭＷＣＮＴ）を用いることができ、いずれを用いてもよい。単層ＣＮＴを使用すれば、多層ＣＮＴを使用した場合と比較し、導電性シートの作製に用いて好適なＣＮＴ分散液の分散性を高めやすい。
カーボンナノチューブは、単層ＣＮＴを５０質量％以上含有することが好ましい。カーボンナノチューブが単層ＣＮＴを５０質量％以上含有することにより、導電性シートの導電性をより向上させることができる。
【００６５】
＜＜弾性高分子＞＞
弾性高分子としては、特に制限はなく、第１の態様と同様である。また、その好ましい態様も同様である。
【００６６】
＜＜その他の成分＞＞
第２の態様の導電性シートは、第１の態様と同様に、用途に応じて既知の添加剤を含有していてもよい。
【００６７】
＜＜第二の態様の導電性シートの製造方法＞＞
導電性シートの製造方法は、例えば、（ｉ）カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）と、磁性導電性金属粒子と、弾性高分子原料とを含む導電性組成物を調製する導電性組成物調製工程と、（ｉｉ）導電性組成物における磁性導電性金属粒子を一方向に電気的に配列させる配向処理工程と、（ｉｉｉ）導電性組成物を成形（及び、場合により架橋）して導電性シートを得る導電性シート形成工程と、を少なくとも含む。なお、「（ｉｉ）配向処理工程」と「（ｉｉｉ）導電性シート形成工程」とは、通常、同時に行われる。導電性シート形成工程は、磁性導電性金属粒子の配向が崩れない条件で行われる。
【００６８】
＜＜＜（ｉ）導電性組成物調製工程＞＞＞
導電性組成物調製工程では、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）と、磁性導電性金属粒子と、弾性高分子原料とを含む導電性組成物を調製する。この導電性組成物調製工程は、第１の態様と同様に、例えば、（ｉ）ＣＮＴ分散液形成工程と、（ｉｉ）混合工程と、（ｉｉｉ）乾燥工程とを含むことが好ましい。
【００６９】
＜＜＜（ｉｉ）配向処理工程＞＞＞
配向処理工程では、導電性組成物調製工程により調製された導電性組成物における磁性導電性金属粒子を電気的に配向させる。
【００７０】
この配向処理工程には、例えば、平面永久磁石、平面電磁石が用いられるが、導電性組成物における弾性高分子の成形温度および架橋温度のいずれもが１５０℃以下である場合は、平面永久磁石が好適に用いられ、導電性組成物における弾性高分子の成形温度および架橋温度の少なくともいずれかが１５０℃超である場合は、平面電磁石が好適に用いられる。ここで、平面永久磁石や平面電磁石は、導電性組成物を挟持するように配置される。
このように、平面永久磁石や平面電磁石が、導電性組成物を挟持するように配置されることにより、磁石により発生される磁場（磁束）方向に沿って、導電性組成物における磁性導電性金属粒子が一方向に電気的に配列する（配向する）。なお、配向処理工程は、導電性組成物を溶融させ、且つ、（架橋剤を含む場合は）架橋剤が機能しない温度下で実施する必要がある。
【００７１】
配向処理工程時における導電性組成物の粘度は、導電性組成物が流動する流動状態である限り、特に制限はないが、５０００ｃｐ以下であることが好ましく、１０００ｃｐ以下であることがより好ましく、１００ｃｐ以下であることが特に好ましい。
配向処理工程時における導電性組成物の粘度が、また、５０００ｃｐ以下であることにより、磁性金属粒子を一方向に配列し易くなり、導電率を向上することができる。
【００７２】
＜＜＜（ｉｉｉ）導電性シート形成工程＞＞＞
導電性シート形成工程では、通常、上述の配向処理と同時に、導電性組成物をシート成形して導電性シートを得る。導電性シートの形成方法は、磁性導電性金属粒子の電気的配向が崩れない限り、特に限定されることなく、通常、磁場配向を継続しつつ、成型用金型（成形型枠）、成形用ガラス基板等を用いて、加熱、紫外線照射、等の操作を行うなどの、既知の方法で成形することが可能である。
【実施例】
【００７３】
以下、本発明について実施例に基づき具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下の説明において、量を表す「％」及び「部」は、特に断らない限り、質量基準である。【００７４】
＜カーボンナノチューブ集合体、および、導電性シートの評価法＞
実施例及び比較例において、（１）カーボンナノチューブ集合体の平均粒子径、（２）導電性金属粒子の数平均粒子径、（３）導電性シートの膜厚、（４）導電性シートのＩＲＨＤ、（５）導電性シートの圧縮接触抵抗、（６）磁性導電性金属粒子の電気的配列を示す写真撮影は、それぞれ以下の方法を使用して測定又は評価し、結果を表１に示した。【００７５】
［（１）カーボンナノチューブ集合体の平均粒子径］
カーボンナノチューブ集合体（ＣＮＴ集合体）の平均粒子径は、以下のように測定した。
蒸留水に、０．１％のＣＮＴと、分散剤として０．１％のポリビニルピロリドン（ＰＶＰ  Ｋ−３０：和光純薬製）とを添加し、常温で１時間以上、混合撹拌を実施した後、卓上型超音波洗浄機（ブランソニック  Ｍｏｄｅｌ  １８００：ブランソン社製）で、１０分間超音波処理し、測定用ＣＮＴ集合体分散液を調製した。この測定用ＣＮＴ集合体分散液を、レーザー回折・散乱式粒子径分布測定装置（マイクロトラックシリーズ  ＭＴ３３００：日機装社製）にて体積基準の平均粒子径：ｄ５０を求め、ＣＮＴ集合体の平均粒子径とした。【００７６】
［（２）導電性金属粒子の数平均粒子径］
２０ｍｍ×２０ｍｍ×０．５ｍｍに切削したシリコンウェハー上に、ＳＥＭ用カーボン両面テープ（日新イーエム株式会社製）を貼り、カーボンテープ上に導電性金属粒子を付着させた。それを、卓上走査型電子顕微鏡（Ｍｉｎｉｓｃｏｐｅ（登録商標）ＴＭ３０３０Ｐ：株式会社日立ハイテクノロジーズ製）を使用し、１０００〜５０００倍率で導電性金属粒子を観察した。
導電性金属粒子を任意に１００個観察し、画像処理にて１００個の粒子直径を求めた。１００個の導電性金属粒子直径の測定値を算術計算し、導電性金属粒子の数平均粒子径を求めた。【００７７】
［（３）導電性シートの厚み］
１００ｍｍ×１００ｍｍの面積の導電性シートの、中心１点と、４隅の４点を、マイクロメータ（２９３シリーズ、「ＭＤＨ−２５」：株式会社ミツトヨ製）を用いて測定し、その平均値を「導電性シートの厚み」とした。【００７８】
［（４）導電性シートのＩＲＨＤ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｒｕｂｂｅｒ  Ｈａｒｄｎｅｓｓ  Ｄｅｇｒｅｅ）］
１０ｍｍ×１０ｍｍの面積の導電性シートを、２ｍｍの厚みになるように重ね合わせた試料を測定サンプルとし、全自動ＩＲＨＤマイクロゴム硬さ測定システム（ヒルデブランド社製）を使用して、ＩＳＯ４８準拠の方法にて測定し、測定結果を導電性シートのＩＲＨＤとした。【００７９】
［（５）導電性シートの圧縮接触抵抗］
１０ｍｍ×１０ｍｍ×１ｍｍの金メッキを施した、銅製の平面電極を備えた導線ケーブルを作製し、その導線ケーブルを接続した電気抵抗計（ＲＭ３５４４−０１：ＨＩＯＫＩ製）を使用する。導電性シートを１０ｍｍ×１０ｍｍの面積に成形した後、平面電極間に導電性シートを挟んだ。
導電性シートを挟んだ平面電極を、延長ロッド付きの卓上型引張圧縮試験機（ＭＣＴシリーズ「ＭＣＴ−２１５０」：株式会社エー・アンド・デイ社製）に、延長ロッドで圧縮可能なように設置した。その後、卓上型引張圧縮試験機で導電性シートを挟んだ平面電極を圧縮し、１Ｎ圧縮荷重時の接触電気抵抗を、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗（Ω）とし、１０Ｎ圧縮荷重時の接触電気抵抗を、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗（Ω）とした。
なお、電極同士の接触抵抗値は１５ｍΩであった。また、ＲＭ３５４４−０１での測定上限は３．５×１０６Ωである。【００８０】
［（６）磁性導電性金属粒子の電気的配列を示す写真撮影］
実施例２−１の配向後の導電性シートの断面（図１）／実施例２−１の未配向の導電性シートの断面（図２）の断面をデジタルマイクロスコープ（ＨｉＲＯＸ社製「デジタルマイクロスコープＫＨ−７７００」、レンズ：ＭＸ−２０１６Ｚ、光源：６０Ｗメタルハライドランプ）で観察し（光源出力：５０％、片半照射、１６０倍）、撮影した。なお、図１および図２の上下方向が、導電シートの厚み方向である。図１（配向）では、上下方向に筋状に並んだＮｉ粒子が光ってよく見えるが、図２（未配向）では、ほぼ均一に分散している。なお、Ｎｉ粒子は、数平均粒子径が２μｍの小さな粒子であるので、配向しないで、均一に良く分散していると、判別しにくく、暗く見える。一方、Ｎｉ粒子は、配向してると、配向方向に凝集するので、光の金属反射の効果で、明るく、配向方向に筋が観察される。【００８１】
（実施例１−１）
＜カーボンナノチューブの合成＞
特許第４，６２１，８９６号公報に記載のスーパーグロース法で得た単層カーボンナノチューブ（ＳＷＣＮＴ）を合成した。具体的には、下記の条件において合成した。
炭素化合物：エチレン；供給速度５０ｓｃｃｍ
雰囲気（ガス）（Ｐａ）：ヘリウム、水素混合ガス；供給速度１０００ｓｃｃｍ
圧力１大気圧
水蒸気添加量（ｐｐｍ）：３００ｐｐｍ
反応温度（℃）：７５０℃
反応時間（分）：１０分
金属触媒（存在量）：鉄薄膜；厚さ１ｎｍ
基板：シリコンウェハー
得られた単層カーボンナノチューブの比重を、ヘリウム置換法により測定したところ、１．７であった。
このＣＮＴを使用するに際し、ＣＮＴ集合体としての平均粒子径を測定したところ、平均粒子径ｄ５０が３２０μｍであった。【００８２】
＜カーボンナノチューブ分散液の調製＞
合成したＣＮＴを使用し、イソプロピルアルコール溶媒中に濃度が０．２％になるようにＣＮＴを添加し、撹拌装置で２４時間撹拌し、予備分散を実施し、ＣＮＴ予備分散液を得た。
次いで、直径２００μｍの細管流路部を有する高圧分散処理部（ジェットミル）に連結して多段圧力制御装置（多段降圧器）を有する多段降圧型高圧ホモジナイザー（株式会社美粒製、「ＢＥＲＹＵ  ＳＹＳＴＥＭ  ＰＲＯ」）に充填し、断続的かつ瞬間的に６０ＭＰａの圧力を粗分散液に負荷し、細管流路に送り込み分散処理を行い、ＣＮＴ分散液を得た。【００８３】
＜導電性組成物の調製＞
２液混合硬化型のシリコーンゴム原料液（「ＫＥ−１０９Ｅ−Ａ／Ｂ」：信越化学株式会社）の両液に、数平均粒子径が２μｍであるＮｉ金属粒子（株式会社高純度化学製）を、Ｎｉ金属粒子の比重を８．９とした場合における、シリコーンゴム原料混合液中におけるＮｉ金属粒子固形分濃度が９．５体積％になるように添加し、さらに、カーボンナノチューブの比重を１．７とした場合における、シリコーンゴム原料混合液中におけるカーボンナノチューブ固形分濃度が０．０５体積％になるようにＣＮＴ分散液を添加し、遊星撹拌混合機を使用し脱泡混合をし、シリコーンゴム原料液の両液（Ａ／Ｂ両液）の混合液（シリコーンゴム原料混合液）を得た。
Ｎｉ金属粒子とカーボンナノチューブとを添加したシリコーンゴム原料混合液を、真空乾燥機を使用し、４０℃、２４時間以上真空乾燥することにより、混入しているイソプロピルアルコールを完全に除去し、導電性組成物となる２液混合硬化型のシリコーンゴム混合液を得た。【００８４】
＜導電性シートの作製＞
１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．５ｍｍの空隙を備えた圧縮成型用金型を、真空圧縮成形機（ＩＭＣ−１１ＦＤ型：井本製作所製）の成形室に設置した。導電性組成物となる２液混合硬化型のシリコーンゴム混合液（Ａ混合液／Ｂ混合液を等質量で混合した液）を、金型の空隙内に隙間なく充填した。
充填後、未圧縮の状態で成形室を３０℃、２時間、真空状態に保持し、混合液中の溶存空気を充分に排除した後、真空状態のまま、成形機の加熱圧縮板で金型を１０ＭＰａの圧力で挟み込み、１００℃、６０分間加熱し、シリコーンゴム成分を硬化させ、面積１００ｍｍ×１００ｍｍの導電性シートを作製した。
導電性シートを評価した結果、厚み：４９０μｍ、ＩＲＨＤ：５１．１、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：３５０Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：８．８Ω、であった。【００８５】
（実施例１−２）
実施例１−１において、カーボンナノチューブ固形分濃度を、０．０５体積％とする代わりに、０．５５体積％としたこと以外は、実施例１−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例１−２の導電性シートを評価した結果、厚み：４９６μｍ、ＩＲＨＤ：５５．４、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：７６．０Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：４．９Ω、であった。【００８６】
（実施例１−３）
実施例１−１において、ニッケル粒子固形分濃度を、９．５体積％とする代わりに、２０．４体積％としたこと以外は、実施例１−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例１−３の導電性シートを評価した結果、厚み：４９５μｍ、ＩＲＨＤ：６７．９、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：１６．５Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．２５Ω、であった。【００８７】
（実施例１−４）
実施例１−１において、カーボンナノチューブ固形分濃度を０．０５体積％とし、且つ、ニッケル粒子固形分濃度を９．５体積％とする代わりに、カーボンナノチューブ固形分濃度を０．５５体積％とし、且つ、ニッケル粒子固形分濃度を２０．４体積％としたこと以外は、実施例１−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例１−４の導電性シートを評価した結果、厚み：４９９μｍ、ＩＲＨＤ：８３．０、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：６．１Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．３１Ω、であった。【００８８】
（実施例１−４−２）
実施例１−１において、カーボンナノチューブ固形分濃度を０．０５体積％とし、且つ、ニッケル粒子固形分濃度を９．５体積％とする代わりに、カーボンナノチューブ固形分濃度を０．１１体積％とし、且つ、ニッケル粒子固形分濃度を１５．１体積％としたこと以外は、実施例１−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例１−４−２の導電性シートを評価した結果、厚み：４９９μｍ、ＩＲＨＤ：５８．８、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：２１．７Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．８８Ω、であった。【００８９】
（実施例１−５）
実施例１−３において、数平均粒子径が２μｍであるＮｉ金属粒子（株式会社高純度化学製）を用いる代わりに、数平均粒子径が１０μｍのＮｉ金属粒子（株式会社高純度化学製）を用いたこと以外は、実施例１−３と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例１−５の導電性シートを評価した結果、厚み：４９９μｍ、ＩＲＨＤ：６５．５、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：１７．１Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．２８Ω、であった。【００９０】
（実施例１−６）
実施例１−２において、１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．５ｍｍの空隙を備えた圧縮成型用金型を用いる代わりに、１００ｍｍ×１００ｍｍ×１．０ｍｍの空隙を備えた圧縮成型用金型を用いたこと以外は、実施例１−２と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例１−６の導電性シートを評価した結果、厚み：９９０μｍ、ＩＲＨＤ：５５．６、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：８４．０Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：５．１Ω、であった。【００９１】
（実施例１−７）
実施例１−１において、「カーボンナノチューブの合成」に記載の方法で合成したＣＮＴを用いる代わりに、多層カーボンナノチューブ（ＪＣ−１４２：ＪＥＩＯ  ＣＯ，．ＬＴＤ製）を用いたこと以外は、実施例１−１と同様に、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例１−７の導電性シートを評価した結果、厚み：４９９μｍ、ＩＲＨＤ：５１．０、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：４１０Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：９．８Ω、であった。【００９２】
（実施例１−８）
実施例１−１において、「数平均粒子径２μｍのニッケル粒子」の代わりに、「表面が金で形成され、核（コア）がニッケルで形成された（金被覆されたニッケルコア）、数平均粒子径６μｍのニッケル−金粒子（ＮＩＰ−ＡＵＰ（４Ａ９）：株式会社日立金属ネオマテリアル製）」を用いたこと以外は、実施例１−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例１−８の導電性シートを評価した結果、厚み：４９８μｍ、ＩＲＨＤ：５０．９、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：２４０Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：６．５Ω、であった。【００９３】
（実施例１−９）
実施例１−７において、「数平均粒子径２μｍのニッケル粒子」の代わりに、「表面が金で形成され、核（コア）がニッケルで形成された（金メッキ（金被覆）されたニッケルコア）、数平均粒子径６μｍのニッケル−金粒子（ＮＩＰ−ＡＵＰ（４Ａ９）：株式会社日立金属ネオマテリアル製）」を用いたこと以外は、実施例１−７と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例１−９の導電性シートを評価した結果、厚み：４９７μｍ、ＩＲＨＤ：５０．８、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：２８０Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：７．２Ω、であった。【００９４】
（実施例１−１０）
＜カーボンナノチューブ分散液の調製＞
実施例１−１における「カーボンナノチューブの合成」に記載の方法で合成したＣＮＴを用いて、トルエン溶媒中に濃度が０．２％になるようにＣＮＴを添加し、撹拌装置で２４時間撹拌し、予備分散を実施し、ＣＮＴ予備分散液を得た。
次いで、直径２００μｍの細管流路部を有する高圧分散処理部（ジェットミル）に連結して多段圧力制御装置（多段降圧器）を有する多段降圧型高圧ホモジナイザー（株式会社美粒製、「ＢＥＲＹＵ  ＳＹＳＴＥＭ  ＰＲＯ」）に充填し、断続的かつ瞬間的に６０ＭＰａの圧力を粗分散液に負荷し、細管流路に送り込み分散処理を行い、ＣＮＴ分散液を得た。【００９５】
＜導電性組成物の調製＞
ＣＮＴ分散液に、アクリロニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）（日本ゼオン株式会社製、「ＤＮ３３５０」）を、複合体にした時のＣＮＴ固形分濃度が０．５５体積％になるように添加し、撹拌しながら充分に溶解させた後、真空乾燥機で８０℃、２４時間以上真空乾燥してトルエン溶媒を充分除去することで、ＣＮＴ／ＮＢＲ複合体を得た。
得られたＣＮＴ／ＮＢＲ複合体を原料として、８インチのオープンロール混練機（関西ロール株式会社製）を使用し、数平均粒子径２μｍであるＮｉ金属粒子（株式会社高純度化学製）が固形分濃度９．５体積％、加硫剤として硫黄粉末（細井化学工業株式会社製：＃３２５粉末）が固形分濃度０．３％、加硫促進剤（１）としてＮ−シクロヘキシル−２−ベンゾチアゾリルスルフェンアミド（大内新興化学工業株式会社製：ノクセラーＣＺ−Ｇ）が固形分濃度１．０％、および、加硫促進剤（２）としてテトラメチルチウラムジスルフィド（大内新興化学工業株式会社製：ノクセラーＴＴ−Ｐ）が固形分濃度１．０％、になるように添加し、６０℃で十分混練することで、架橋反応性がある固体状の導電性組成物を調製した。【００９６】
＜導電性シートの作製＞
１００ｍｍ×１００ｍｍ×１．０ｍｍの空隙を備えた、圧縮成型用金型を、真空圧縮成形機（ＩＭＣ−１１ＦＤ型：井本製作所製）の成形室に設置し、導電性組成物原料を、金型の空隙内に充填した。
充填後、成形室を真空状態にし、成形機の加熱圧縮板で金型を１０ＭＰａの圧力で挟み込み、１６０℃、３０分間、圧縮加熱成形し、ＮＢＲ成分を架橋させ、面積１００ｍｍ×１００ｍｍの導電性シートを作製した。
実施例１−１０の導電性シートを評価した結果、厚み：１０２０μｍ、ＩＲＨＤ：７２．４、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：８９Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：６．２Ω、であった。【００９７】
（実施例１−１１）
＜導電性組成物の調製＞
実施例１−１０で調製したＣＮＴ分散液に、アクリルゴム（ＡＲ）（日本ゼオン株式会社製、「ＡＲ１２」）を、複合体にした時のＣＮＴ固形分濃度が０．５５体積％になるように添加し、撹拌しながら充分に溶解させた後、真空乾燥機で８０℃、２４時間以上真空乾燥してトルエン溶媒を充分除去することで、ＣＮＴ／ＡＲ複合体を得た。
得られたＣＮＴ／ＡＲ複合体を原料として、８インチのオープンロール混練機（関西ロール株式会社製）を使用し、数平均粒子径２μｍのＮｉ金属粒子（株式会社高純度化学製）が固形分濃度９．５体積％、架橋剤としてヘキサメチレンジアミンカーバメート（三新化学工業株式会社製：サンフェル６−ＭＣ）が固形分濃度０．５％、加硫促進剤として１，３−ジ−ｏ−トリルグアニジン（大内新興化学工業株式会社製：ノクセラーＤＴ）が固形分濃度１．５％になるように添加し、６０℃で十分混練することで、架橋反応性がある固体状の導電性組成物原料を調製した。【００９８】
＜導電性シートの作製＞
１００ｍｍ×１００ｍｍ×１．０ｍｍの空隙を備えた、圧縮成型用金型を、真空圧縮成形機（ＩＭＣ−１１ＦＤ型：井本製作所製）の成形室に設置し、導電性組成物原料を、金型の空隙内に充填した。
充填後、成形室を真空状態にし、成形機の加熱圧縮板で金型を１０ＭＰａの圧力で挟み込み、１７０℃、３０分間、圧縮加熱成形し、ＡＲ成分を架橋させ、面積１００ｍｍ×１００ｍｍの導電性シートを作製した。
実施例１−１０の導電性シートを評価した結果、厚み：１０１０μｍ、ＩＲＨＤ：６９．８、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：８５Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：６．１Ω、であった。【００９９】
（比較例１−１）
実施例１−１において、ニッケル粒子固形分濃度を、９．５体積％とする代わりに、４．５体積％としたこと以外は、実施例１−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
比較例１−１の導電性シートを評価した結果、厚み：４８５μｍ、ＩＲＨＤ：４３．３、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：２００００Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：１０８９Ω、であった。【０１００】
（比較例１−２）
実施例１−３において、ＣＮＴ分散液を添加しなかったこと以外は、実施例１−３と同様に、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
比較例１−２の導電性シートを評価した結果、厚み：４８７μｍ、ＩＲＨＤ：６７．９、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：３．５ＭΩ超（測定上限超）、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：２０Ω、であった。【０１０１】
（比較例１−３）
実施例１−３において、カーボンナノチューブ固形分濃度を、０．０５体積％とする代わりに、０．８５体積％としたこと以外は、実施例１−３と同様に、「カーボンナノチューブの合成」および「カーボンナノチューブ分散液の調製」を行った。しかしながら、この比較例１−３では、２液混合硬化型のシリコーンゴム原料液の両液に、カーボンナノチューブ分散液を添加した段階で、粉状となり、２液混合ができなかったため、２液混合硬化型のシリコーンゴム混合液（導電性組成物）を調製することができず、導電性シートを成形することができなかった。【０１０２】
（比較例１−４）
実施例１−１において、ニッケル粒子固形分濃度を、９．５体積％とする代わりに、２５．０体積％としたこと以外は、実施例１−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」を行った。しかしながら、この比較例１−４では、２液混合硬化型のシリコーンゴム混合液（導電性組成物）を調製することができず、導電性シートを成形することができなかった。【０１０３】
以上の結果を、下記の表１Ａに示す。【０１０４】
【表１Ａ】
2019188023.tif 000002
【０１０５】
表１Ａの結果から、所定量の導電性金属粒子と、所定量のカーボンナノチューブと、弾性高分子とを含む実施例１−１〜１−１１は、比較例１−１〜１−４と比較して、通常圧力での加圧圧縮（１００ｋＰａ荷重圧縮）および低い圧力での加圧圧縮（１０ｋＰａ荷重圧縮）のいずれにおいても、高い導電性を実現することができることが分かった。【０１０６】
（実施例２−１）
＜カーボンナノチューブの合成＞
特許第４，６２１，８９６号公報に記載のスーパーグロース法で得た単層カーボンナノチューブ（ＳＷＣＮＴ）を合成した。具体的には、下記の条件において合成した。
炭素化合物：エチレン；供給速度５０ｓｃｃｍ
雰囲気（ガス）（Ｐａ）：ヘリウム、水素混合ガス；供給速度１０００ｓｃｃｍ
圧力１大気圧
水蒸気添加量（ｐｐｍ）：３００ｐｐｍ
反応温度（℃）：７５０℃反応時間（分）：１０分
金属触媒（存在量）：鉄薄膜；厚さ１ｎｍ
基板：シリコンウェハー
得られた単層カーボンナノチューブの比重を、ヘリウム置換法により測定したところ、１．７であった。
このＣＮＴを使用するに際し、ＣＮＴ集合体としての平均粒子径を測定したところ、平均粒子径ｄ５０が３２０μｍであった。【０１０７】
＜カーボンナノチューブ分散液の調製＞
合成したＣＮＴを使用し、イソプロピルアルコール溶媒中に濃度が０．２％になるようにＣＮＴを添加し、撹拌装置で２４時間撹拌し、予備分散を実施し、ＣＮＴ予備分散液を得た。
次いで、直径２００μｍの細管流路部を有する高圧分散処理部（ジェットミル）に連結して多段圧力制御装置（多段降圧器）を有する多段降圧型高圧ホモジナイザー（株式会社美粒製、「ＢＥＲＹＵ  ＳＹＳＴＥＭ  ＰＲＯ」）に充填し、断続的かつ瞬間的に６０ＭＰａの圧力を粗分散液に負荷し、細管流路に送り込み分散処理を行い、ＣＮＴ分散液を得た。【０１０８】
＜導電性組成物の調製＞
２液混合硬化型のシリコーンゴム原料液（「ＫＥ−１０９Ｅ−Ａ／Ｂ」：信越化学株式会社）の両液に、数平均粒子径が２μｍであるＮｉ金属粒子（株式会社高純度化学製）を、Ｎｉ金属粒子の比重を８．９とした場合における、シリコーンゴム原料混合液中におけるＮｉ金属粒子固形分濃度が９．５体積％になるように添加し、さらに、カーボンナノチューブの比重を１．７とした場合における、シリコーンゴム原料混合液中におけるカーボンナノチューブ固形分濃度が０．０５体積％になるようにＣＮＴ分散液を添加し、遊星撹拌混合機を使用し脱泡混合をし、シリコーンゴム原料液の両液（Ａ／Ｂ両液）の混合液（シリコーンゴム原料混合液）を得た。
Ｎｉ金属粒子とカーボンナノチューブとを添加したシリコーンゴム原料混合液を、真空乾燥機を使用し、４０℃、２４時間以上真空乾燥することにより、混入しているイソプロピルアルコールを完全に除去し、導電性組成物となる２液混合硬化型のシリコーンゴム混合液を得た。【０１０９】
＜導電性シートの作製＞
１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．５ｍｍの空隙を備えた成型用金型（成形型枠）を、真空圧縮成形機（ＩＭＣ−１１ＦＤ型：井本製作所製）の成形室に設置した。導電性組成物となる２液混合硬化型のシリコーンゴム混合液（Ａ混合液／Ｂ混合液を等質量で混合した液）を、金型の空隙内に隙間なく充填した。
充填後、未圧縮の状態で成形室を３０℃、２時間、真空状態に保持し、混合液中の溶存空気を充分に排除した後、成型用金型の空隙内に隙間なく充填した導電性組成物に、厚み１２５μｍのポリイミドフィルムを密着させた後、成型用金型ごと、０．８テスラの平面磁場を永久磁石間に有する磁場配向装置（東亜株式会社製）内に設置し、ニッケル金属粒子が成型用金型の厚み方向に磁場配向するよう処理した。
その後、磁場配向処理を行いながら、成型用金型を設置した磁場配向装置を、真空乾燥機内に設置し、１００℃、６０分の真空加熱を行うことで、シリコーンゴム成分の硬化を実施し、面積１００ｍｍ×１００ｍｍの導電性シートを作製した。
導電性シートを評価した結果、厚み：５０１μｍ、ＩＲＨＤ：５１．２、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：４．８９Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．２８Ω、であった。【０１１０】
（実施例２−２）
実施例２−１において、カーボンナノチューブ固形分濃度を、０．０５体積％とする代わりに、０．２７体積％としたこと以外は、実施例２−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例２−２の導電性シートを評価した結果、厚み：５００μｍ、ＩＲＨＤ：５５．２、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：４．７６Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．３６Ω、であった。【０１１１】
（実施例２−３）
実施例２−１において、ニッケル粒子固形分濃度を、９．５体積％とする代わりに、２０．４体積％としたこと以外は、実施例２−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例２−３の導電性シートを評価した結果、厚み：５１０μｍ、ＩＲＨＤ：６６．８、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．６６Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．０１７Ω、であった。【０１１２】
（実施例２−４）
実施例２−１において、カーボンナノチューブ固形分濃度を０．０５体積％とし、且つ、ニッケル粒子固形分濃度を９．５体積％とする代わりに、カーボンナノチューブ固形分濃度を０．２７体積％とし、且つ、ニッケル粒子固形分濃度を２０．４体積％としたこと以外は、実施例２−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例２−４の導電性シートを評価した結果、厚み：５００μｍ、ＩＲＨＤ：７８．９、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．９８Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．０３７Ω、であった。【０１１３】
（実施例２−５）
実施例２−３において、数平均粒子径が２μｍであるＮｉ金属粒子（株式会社高純度化学製）を用いる代わりに、数平均粒子径が１０μｍのＮｉ金属粒子（株式会社高純度化学製）を用いたこと以外は、実施例２−３と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例２−５の導電性シートを評価した結果、厚み：５００μｍ、ＩＲＨＤ：６５．６、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．７８Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．０２１Ω、であった。【０１１４】
（実施例２−６）
実施例２−２において、１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．５ｍｍの空隙を備えた圧縮成型用金型を用いる代わりに、１００ｍｍ×１００ｍｍ×１．０ｍｍの空隙を備えた圧縮成型用金型を用いたこと以外は、実施例２−２と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例２−６の導電性シートを評価した結果、厚み：１０１０μｍ、ＩＲＨＤ：５５．５、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：４．７８Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．４１Ω、であった。【０１１５】
（実施例２−７）
実施例２−１において、「カーボンナノチューブの合成」に記載の方法で合成したＣＮＴを用いる代わりに、多層カーボンナノチューブ（ＪＣ−１４２：ＪＥＩＯ  ＣＯ，．ＬＴＤ製）を用いたこと以外は、実施例２−１と同様に、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例２−７の導電性シートを評価した結果、厚み：５０５μｍ、ＩＲＨＤ：６６．９、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．６９Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．０１９Ω、であった。【０１１６】
（実施例２−８）
実施例２−３において、「数平均粒子径２μｍのニッケル粒子」の代わりに、「表面が金で形成され、核（コア）がニッケルで形成された（金被覆されたニッケルコア）、数平均粒子径６μｍのニッケル−金粒子（ＮＩＰ−ＡＵＰ（４Ａ９）：株式会社日立金属ネオマテリアル製）」を用いたこと以外は、実施例２−３と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例２−８の導電性シートを評価した結果、厚み：５０３μｍ、ＩＲＨＤ：５０．９、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：３．８７Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．１５Ω、であった。【０１１７】
（実施例２−９）
実施例２−７において、「数平均粒子径２μｍのニッケル粒子」の代わりに、「表面が金で形成され、核（コア）がニッケルで形成された（金メッキ（金被覆）されたニッケルコア）、数平均粒子径６μｍのニッケル−金粒子（ＮＩＰ−ＡＵＰ（４Ａ９）：株式会社日立金属ネオマテリアル製）」を用いたこと以外は、実施例２−７と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
実施例２−９の導電性シートを評価した結果、厚み：５０４μｍ、ＩＲＨＤ：５０．０、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：３．９９Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．１７Ω、であった。【０１１８】
（比較例２−１）
実施例２−１において、ニッケル粒子固形分濃度を、９．５体積％とする代わりに、４．５体積％としたこと以外は、実施例２−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
比較例２−１の導電性シートを評価した結果、厚み：５０２μｍ、ＩＲＨＤ：４３．４、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：５６．２Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：８．１Ω、であった。【０１１９】
（比較例２−２）
実施例２−３において、ＣＮＴ分散液を添加しなかったこと以外は、実施例２−３と同様に、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
比較例２−２の導電性シートを評価した結果、厚み：５０９μｍ、ＩＲＨＤ：６７．７、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：５．４０Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．０６０Ω、であった。【０１２０】
（比較例２−３）
実施例２−１において、カーボンナノチューブ固形分濃度を、０．０５体積％とする代わりに、０．５５体積％としたこと以外は、実施例２−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
比較例２−３の導電性シートを評価した結果、厚み：５０３μｍ、ＩＲＨＤ：５８．４、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：７．８９Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：１．３Ω、であった。【０１２１】
（比較例２−４）
実施例２−３において、カーボンナノチューブ固形分濃度を、０．０５体積％とする代わりに、０．５５体積％としたこと以外は、実施例２−３と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」、「導電性組成物の調製」、および「導電性シートの作製」を行った。
比較例２−４の導電性シートを評価した結果、厚み：５１０μｍ、ＩＲＨＤ：８７．５、１０ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：５．８０Ω、１００ｋＰａ加圧の圧縮接触抵抗：０．２６Ω、であった。【０１２２】
（比較例２−５）
実施例２−１において、ニッケル粒子固形分濃度を、９．５体積％とする代わりに、２５．０体積％としたこと以外は、実施例２−１と同様に、「カーボンナノチューブの合成」、「カーボンナノチューブ分散液の調製」を行った。しかしながら、この比較例２−５では、２液混合硬化型のシリコーンゴム混合液（導電性組成物）を調製することができず、導電性シートを成形することができなかった。【０１２３】
以上の結果を、下記の表１Ｂに示す。【０１２４】
【表１Ｂ】
2019188023.tif 000003
【０１２５】
表１Ｂの結果から、所定量の磁性導電性金属粒子と、所定量のカーボンナノチューブと、弾性高分子とを含む実施例２−１〜２−９は、比較例２−１〜２−５と比較して、通常圧力での加圧圧縮（１００ｋＰａ荷重圧縮）および低い圧力での加圧圧縮（１０ｋＰａ荷重圧縮）のいずれにおいても、高い導電性を実現することができることが分かった。
【産業上の利用可能性】
【０１２６】
本発明によれば、通常圧力での加圧圧縮および低い圧力での加圧圧縮のいずれにおいても、高い導電性を実現することができる導電性シートおよび該導電性シートを形成可能な導電性組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、通常圧力での加圧圧縮および低い圧力での加圧圧縮のいずれにおいても、高い導電性を実現することができる導電性シートを効率的に製造することができる導電性シートの製造方法を提供することができる。
【図１】
2019188023.tif 000004
【図２】
2019188023.tif 000005
【国際調査報告】
2019188023.tif 000006
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2019188023.tif 000008
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