(57)【要約】  矩形状のグリーンシート４をキャリアフィルム２から良好に剥離することができる電子部品の製造方法を提供する。  矩形状に切断されたグリーンシート４が形成された長尺状のキャリアフィルム２を準備する準備工程と、キャリアフィルム２を、第１ローラ５と、表面に通気孔６ａが形成された第２ローラ６との間に搬送させ、グリーンシート４を、通気孔６ａによって吸引してキャリアフィルム２から剥離し、第２ローラ６の表面に保持する剥離工程と、を備え、剥離工程において、グリーンシート４が剥離された後のキャリアフィルム２は、第１ローラ５側に曲げて牽引されて回収され、第２ローラ６の表面の温度は、熱源６ｂによって加熱されることによって、室温よりも高く、かつ、１２０℃よりも低く維持されるものとする。
2020162578.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の製造方法であって、
矩形状に切断されたグリーンシートが表面に形成された長尺状のキャリアフィルムを準備する準備工程と、
前記グリーンシートが形成された前記キャリアフィルムを、第１ローラと、表面に通気孔が形成された第２ローラとの間に搬送させ、前記グリーンシートを、前記通気孔によって吸引して前記キャリアフィルムから剥離し、前記第２ローラの表面に保持する剥離工程と、を備え、
前記剥離工程において、
前記グリーンシートが剥離された後の前記キャリアフィルムは、前記第１ローラ側に曲げて牽引されて回収され、
前記第２ローラの表面の温度は、前記第２ローラの内部に設けられた熱源によって加熱されることによって、室温よりも高く、かつ、１２０℃よりも低く維持される、電子部品の製造方法。
【請求項２】
前記第２ローラの表面の温度が、前記第２ローラの内部に設けられた熱源によって加熱されることによって、４０℃よりも高く、かつ、１００℃よりも低く維持される、請求項１に記載された電子部品の製造方法。
【請求項３】
前記第１ローラが、表面がゴムによって作製されたゴムローラーである、請求項１または２に記載された電子部品の製造方法。
【請求項４】
前記キャリアフィルムの搬送路において、前記第１ローラよりも後ろに第３ローラが設けられ、
前記グリーンシートが形成された前記キャリアフィルムを、前記第１ローラと前記第２ローラとの間、および、前記第３ローラと前記第２ローラとの間に搬送させる、請求項１ないし３のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
【請求項５】
前記第３ローラが冷却され、前記第３ローラによって前記キャリアフィルムおよび前記グリーンシートが冷却される、請求項４に記載された電子部品の製造方法。
【請求項６】
前記キャリアフィルムの搬送路において、前記第１ローラよりも後ろにナイフエッジが設けられ、
前記グリーンシートが形成された前記キャリアフィルムを、前記第１ローラと前記第２ローラとの間、および、前記ナイフエッジと前記第２ローラとの間に搬送させる、請求項１ないし３のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
【請求項７】
前記剥離工程の後に、前記グリーンシートを積層する積層工程を備えた、請求項１ないし６のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
【請求項８】
前記積層工程が、前記第２ローラを使用して実施される、請求項７に記載された電子部品の製造方法。
【請求項９】
前記積層工程が、専用の積層ローラを使用して実施される、請求項７に記載された電子部品の製造方法。
【請求項１０】
製造される電子部品が積層セラミックコンデンサである、請求項１ないし９のいずれか１項に記載された電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の製造方法に関し、更に詳しくは、矩形状に切断されたグリーンシートが表面に形成された長尺状のキャリアフィルムを準備する工程と、グリーンシートをキャリアフィルムから剥離する工程とを備えた電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から広く実施されている電子部品の製造方法が、特許文献１（特開平８-１６２３６４号公報）に開示されている。特許文献１に開示された電子部品の製造方法は、矩形状に切断されたグリーンシートが表面に形成された長尺状のキャリアフィルムを準備する工程と、グリーンシートをキャリアフィルムから剥離する工程とを備えている。特許文献１に開示された電子部品の製造方法を、図１０（Ａ）〜（Ｃ）を参照して説明する。【０００３】
まず、図１０（Ａ）に示すように、主面に長尺状のグリーンシート１０１が形成された長尺状のキャリアフィルム（キャリアテープ）１０２を、打抜きテーブル１０３と搬送ユニット１０４との間に供給する。【０００４】
打抜きテーブル１０３には、キャリアフィルム１０２を吸引するための通気孔（吸気口）１０３ａと、打抜きテーブル１０３自体を加熱する熱源（電熱ヒータ）１０３ｂとが形成されている。【０００５】
搬送ユニット１０４には、両側に１対のカット刃（矩形刃）１０４ａが形成されている。また、搬送ユニット１０４には、底面に通気孔（吸気口）１０４ｂが形成されている。【０００６】
次に、図１０（Ｂ）に示すように、搬送ユニット１０４を、打抜きテーブル１０３に向かって降下させる。この結果、カット刃１０４ａによって、長尺状のグリーンシート１０１が切断され、キャリアフィルム１０２上に矩形状のグリーンシート１０５が形成される。【０００７】
次に、図１０（Ｃ）に示すように、打抜きテーブル１０３を、搬送ユニット１０４から離れる方向（図１０（Ｃ）における左方向）に水平移動させる。この結果、通気孔１０４ｂに吸引されて搬送ユニット１０４の底面に保持されたグリーンシート１０５が、キャリアフィルム１０２から剥離される。【０００８】
上述したとおり、特許文献１の製造方法においては、打抜きテーブル１０３が熱源１０３ｂによって加熱される。打抜きテーブル１０３を加熱する理由については、いくつかの理由を考えることができる。【０００９】
１つ目の理由として、グリーンシート１０５のバインダを打抜きテーブル１０３の熱により軟化させ、切断を容易にすることがあげられる。【００１０】
２つ目の理由として、加熱された打抜きテーブル１０３によって、キャリアフィルム１０２とグリーンシート１０５とを加熱し、グリーンシート１０５のキャリアフィルム１０２からの剥離を容易にしていると考えられる。すなわち、グリーンシート１０５のキャリアフィルム１０２からの剥離の容易さは、グリーンシート１０５の温度に依存して変化する。具体的には、室温（たとえば２５℃）から、グリーンシート１０５のガラス転移点（Ｔｇ）までの温度においては、グリーンシート１０５の温度が高くなればなるほど、グリーンシート１０５のキャリアフィルム１０２からの剥離が容易になる（ただし、室温＜Ｔｇとする）。一方、グリーンシート１０５のガラス転移点（Ｔｇ）よりも高い温度においては、グリーンシート１０５の温度が高くなればなるほど、グリーンシート１０５のキャリアフィルム１０２からの剥離が難しくなる。特許文献１の方法においては、打抜きテーブル１０３を加熱し、打抜きテーブル１０３によってグリーンシート１０５を加熱し、グリーンシート１０５の温度をガラス転移点（Ｔｇ）に近づけることによって、グリーンシート１０５のキャリアフィルム１０２からの剥離を容易にしているものと考えられる。【００１１】
３つ目の理由として、後に実施される積層工程において、グリーンシート１０５の加熱圧着を良好におこなうためであると考えられる。すなわち、グリーンシート１０５は、後の積層工程において、積層され、加熱圧着されて積層体が作製される。しかしながら、グリーンシート１０５が常温のままであると、積層工程において、積層されるグリーンシート１０５が既に積層された積層体から熱を奪い、加熱圧着が良好におこなわれない虞がある。そこで、特許文献１の方法においては、打抜きテーブル１０３によってグリーンシート１０５を加熱（予熱）し、積層工程における加熱圧着を良好にしているものと考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平８-１６２３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
特許文献１に開示された電子部品の製造方法には、次のような問題があった。【００１４】
まず、特許文献１に開示された製造方法には、キャリアフィルム１０２から剥離され、搬送ユニット１０４の底面に保持されたグリーンシート１０５が、部分によって異なる温度になってしまい、部分的な温度バラツキが発生するという問題があった。すなわち、グリーンシート１０５は、切断のために、一定の時間、打抜きテーブル１０３上に停止するため、打抜きテーブル１０３によって加熱されて、全体の温度がほぼ均一に上昇する。しかしながら、その後の図１０（Ｃ）に示す剥離工程においては、グリーンシート１０５の先端側（図１０（Ｃ）における右側）が、後端側（図１０（Ｃ）における左側）よりも、先に打抜きテーブル１０３から離れる。そして、先端側から順に温度が低下していく。この結果、搬送ユニット１０４の底面に保持されたグリーンシート１０５の温度は、先端側において低く、後端側において高くなり、部分的な温度バラツキが発生する。【００１５】
そして、搬送ユニット１０４の底面に保持されたグリーンシート１０５に部分的な温度バラツキが発生すると、後の工程である積層工程の加熱圧着において、部分的な接着力のバラツキが発生する場合があった。すなわち、積層工程の加熱圧着は、温度によって接着力が変化するため、層間の接着力を均一に保つように、厳格に温度管理をしておこなわれる。しかしながら、搬送ユニット１０４の底面に保持されたグリーンシート１０５に部分的な温度バラツキが発生すると、部分的な接着力のバラツキが発生し、作製された積層体の品質が低下したり、作製され積層体が不良品になったりする場合があった。【００１６】
また、特許文献１に開示された製造方法には、キャリアフィルム１０２が、熱源１０３ｂによって加熱された打抜きテーブル１０３上に、一定の長い時間、停止するため、熱によって、キャリアフィルム１０２が破損したり、キャリアフィルム１０２に皺が発生したりする問題があった。【００１７】
そして、キャリアフィルム１０２が破損すると、キャリアフィルム１０２の搬送ができなくなり、電子部品の製造が不能になってしまう場合があった。【００１８】
また、キャリアフィルム１０２に皺が発生すると、その上に形成されたグリーンシート１０５にも皺が発生してしまう場合があった。そして、皺の発生したグリーンシート１０５を積層し、加熱圧着して積層体を作製することによって、作製された積層体の品質が低下したり、作製され積層体が不良品になったりする場合があった。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、上述した従来の課題を解決するためになされたものであり、その手段として、本発明の一実施態様にかかる電子部品の製造方法は、矩形状に切断されたグリーンシートが表面に形成された長尺状のキャリアフィルムを準備する準備工程と、グリーンシートが形成されたキャリアフィルムを、第１ローラと、表面に通気孔が形成された第２ローラとの間に搬送させ、グリーンシートを、通気孔によって吸引してキャリアフィルムから剥離し、第２ローラの表面に保持する剥離工程と、を備え、剥離工程において、グリーンシートが剥離された後のキャリアフィルムは、第１ローラ側に曲げて牽引されて回収され、第２ローラの表面の温度は、第２ローラの内部に設けられた熱源によって加熱されることによって、室温よりも高く、かつ、１２０℃よりも低く維持されるものとする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の電子部品の製造方法によれば、矩形状のグリーンシートをキャリアフィルムから良好に剥離することができる。【００２１】
また、本発明の電子部品の製造方法によれば、剥離されたグリーンシートに、部分的な温度バラツキが発生し難く、また、皺が発生し難いため、後の積層工程において、品質の高い積層体を作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、第１実施形態において実施される工程を示す断面図である。
【図２】図２（Ｄ）、（Ｅ）は、図１（Ｃ）の続きであり、それぞれ、第１実施形態において実施される工程を示す断面図である。
【図３】図３（Ｆ）、（Ｇ）は、図２（Ｅ）の続きであり、それぞれ、第１実施形態において実施される工程を示す断面図である。
【図４】剥離角度ＳＡの違いによる、キャリアフィルム２からグリーンシート４を剥離する難易度の違いを示す説明図である。
【図５】抱き角度ＨＡの違いによる、キャリアフィルム２からグリーンシート４を剥離する難易度の違いを示す説明図である。
【図６】第２実施形態において実施される工程を示す断面図である。
【図７】第３実施形態において実施される工程を示す断面図である。
【図８】第４実施形態において実施される工程を示す断面図である。
【図９】第５実施形態において実施される工程を示す断面図である。
【図１０】図１０（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ、特許文献１に開示された電子部品の製造方法において実施される工程を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。また、図面は、明細書の理解を助けるためのものであって、模式的に描画されている場合があり、描画された構成要素または構成要素間の寸法の比率が、明細書に記載されたそれらの寸法の比率と一致していない場合がある。また、明細書に記載されている構成要素が、図面において省略されている場合や、個数を省略して描画されている場合などがある。
【００２４】
［第１実施形態］
図１（Ａ）〜図３（Ｇ）を参照しながら、第１実施形態にかかる電子部品の製造方法について説明する。なお、製造する電子部品の種類は任意であるが、本実施形態においては、一例として積層セラミックコンデンサを製造する。
【００２５】
最初に、図１（Ａ）に示す、一方の主面に長尺状のグリーンシート１が形成された長尺状のキャリアフィルム２を作製する。
【００２６】
まず、キャリアフィルム２を用意する。キャリアフィルム２の材質は任意であるが、たとえば、ＰＥＴを使用することができる。また、キャリアフィルム２の長さ、幅、厚みなどの寸法は任意であり、所望のものを使用することができる。
【００２７】
次に、製造する電子部品に応じた材質、粒径などからなる誘電体セラミックスの粉末、バインダ樹脂、溶剤などを用意し、これらを湿式混合してセラミックスラリーを作製する。
【００２８】
次に、キャリアフィルム２上に、セラミックスラリーを、ダイコータ、グラビアコーター、マイクログラビアコーターなどを用いてシート状に塗布し、乾燥させる。なお、塗布するセラミックスラリーの厚みは任意であり、所望するグリーンシート１の厚みにより、適宜、設定する。以上により、一方の主面に長尺状のグリーンシート１が形成された長尺状のキャリアフィルム２が完成する。
【００２９】
次に、図示は省略するが、必要に応じて、内部電極を形成するために、長尺状のグリーンシート１の主面に、導電性ペーストを所望のパターンに印刷する。
【００３０】
次に、図１（Ｂ）に示すように、一方の主面に長尺状のグリーンシート１が形成された長尺状のキャリアフィルム２を間欠的に搬送しながら、長尺状のグリーンシート１を矩形状のグリーンシート４に切断する。具体的には、まず、キャリアフィルム２の搬送を停止させる。次に、予め用意されたカット刃３ａ、３ｂを下降させ、長尺状のグリーンシート１を所望の寸法の矩形状のグリーンシート４に切断する。このとき、カット刃３ａ、３ｂは、グリーンシート１だけを切断し、キャリアフィルム２を切断しないようにする。この結果、長尺状のキャリアフィルム２上に、矩形状のグリーンシート４が形成される。
【００３１】
次に、キャリアフィルム２を間欠的に搬送し、切断された矩形状のグリーンシート４を次の工程に送り出すとともに、カット刃３ａ、３ｂの設けられた位置に、長尺状のグリーンシート１の次に切断すべき部分を配置させる。以上の長尺状のグリーンシート１の矩形状のグリーンシート４への切断と、キャリアフィルム２の間欠的な搬送とを、順次、繰り返す。
【００３２】
なお、先に切断された矩形状のグリーンシート４と次に切断された矩形状のグリーンシート４との間のキャリアフィルム２上に、長尺状のグリーンシート１の不使用部分（矩形状のグリーンシート４として切断しなかった部分）が残る場合があるが、図においては、かかる不使用部分の図示を省略している。
【００３３】
次に、図１（Ｃ）に示すように、矩形状のグリーンシート４が形成されたキャリアフィルム２を、第１ローラ５と第２ローラ６との間に搬送させる。このとき、キャリアフィルム２を第１ローラ５側にし、グリーンシート４を第２ローラ６側にする。第２ローラ６は、グリーンシート４を剥離し、保持するための剥離ローラである。なお、本実施形態においては、後述するように、第２ローラ６は、剥離ローラであるだけではなく、積層ローラを兼ねている。
【００３４】
第１ローラ５の材質は任意であるが、たとえば、アルミ、カーボン、ＳＵＳなどを使用することができる。第１ローラ５の直径は、第２ローラ６の直径よりも小さい。第１ローラ５の直径は任意であるが、たとえば、φ２０〜φ１００程度とする。
【００３５】
本実施形態においては、第１ローラ５は熱源を備えていない。ただし、第１ローラ５は、熱源を備え、一定の温度に保たれるものであっても良い。
【００３６】
第２ローラ６の材質は任意であるが、たとえば、アルミ、カーボン、ＳＵＳなどを使用することができる。第２ローラ６の直径は任意であるが、たとえば、φ２００〜φ７００程度とする。第１ローラ５の直径と第２ローラの直径との比は、１：２〜１：３５程度とする。
【００３７】
本実施形態においては、第２ローラ６の外周のおおよそ１／３の領域に、複数の通気孔６ａが形成されている。通気孔６ａは、それぞれ、第２ローラ６に設けられた所定の通気管に接続されている。なお、本実施形態においては、矩形状のグリーンシート４の長さに適合させて、第２ローラ６の外周のおおよそ１／３の領域に通気孔６ａを設けたが、通気孔６ａを設ける領域の広さは任意であり、たとえば、外周のおおよそ１／２に通気孔６ａを設けても良く、外周の全周に通気孔６ａを設けても良い。なお、図１（Ｃ）等においては、第２ローラ６の外周に沿って設けられた通気孔６ａが示されているが、通気孔６ａは第２ローラ６の幅方向にも設けられている。
【００３８】
本実施形態においては、第２ローラ６がマルチチャンバーサクションローラ構造を備えており、第２ローラ６の表面の領域ごとに、また時間の経過ごとに、通気孔６ａの状態を、吸引状態、排気状態（ブロー状態）、大気開放状態などの任意の状態にすることができる。また、吸引状態や排気状態は、第２ローラ６の表面の領域ごとに、強弱を付けることができる。ただし、第２ローラ６は、最低限、吸引機能を備えていれば良く、マルチチャンバーサクションローラではなく、吸引専用のサクションローラであっても良い。
【００３９】
第１ローラ５と第２ローラ６との間に搬送された、矩形状のグリーンシート４が形成されたキャリアフィルム２は、吸引保持可能領域Ａ１において、グリーンシート４が通気孔６ａによって吸引され、第２ローラ６の表面に保持される。吸引保持可能領域Ａ１は、第１ローラ５と第２ローラ６との間に挟まれたことにより、キャリアフィルム２上に形成されたグリーンシート４によって通気孔６ａが塞がれ、グリーンシート４が通気孔６ａによって吸引される領域である。その後、グリーンシート４は、引き続き通気孔６ａによって吸引され、第２ローラ６の表面に保持される。吸引保持可能領域Ａ１は、押圧されたグリーンシート４が通気孔６ａを塞ぎ、グリーンシート４が通気孔６ａによって吸引され、グリーンシート４が第２ローラ６に保持される起因となる領域であるため、面積が大きいほど、グリーンシート４を確実に吸引し、保持することができる。
【００４０】
また、第２ローラ６には、剥離したグリーンシート４を加熱（予熱）するために、熱源６ｂが設けられている。熱源６ｂの種類は任意であるが、たとえば、カートリッジヒータ、プレートヒータなどの抵抗加熱方式、誘導加熱、誘電加熱方式、熱媒を利用したヒートポンプ方式などを使用することができる。
【００４１】
第２ローラ６において、熱源６ｂによってグリーンシート４を加熱するのは、後の積層工程において、新たに積層されるグリーンシート４が、既に積層された積層体から熱を奪わないようにするためである。すなわち、積層工程における加熱圧着においては、層間の接着力を均質に保つために、厳格に温度と圧力との管理が実施される。たとえば、積層工程における加熱圧着の設定温度が８０℃である場合には、既に積層された積層体、および、積層体の上に新たに積層されるグリーンシート４は、たとえば、８０℃±３℃の範囲に収まるように管理される。熱源６ｂは、新たに積層されるグリーンシート４の温度を適切な温度にするために、グリーンシート４を加熱しているのである。
【００４２】
熱源６ｂによって、第２ローラ６の表面は、好ましくは、室温よりも高く、かつ、１２０℃よりも低い、所定の温度に維持される。１２０℃よりも低くするのは、熱によって、キャリアフィルム２が破損しないようにするためである。また、より好ましくは、第２ローラ６の表面は、熱源６ｂによって、４０℃よりも高く、かつ、１００℃よりも低い、所定の温度に維持される。４０℃よりも高くするのは、グリーンシート４を効果的に加熱するためである。１００℃より低くするのは、キャリアフィルム２の破損を確実に回避するためである。
【００４３】
なお、本件出願書類において、室温とは、電子部品を製造している空間の温度をいい、概ね２５℃を目安としている。
【００４４】
続いて、図２（Ｄ）に示すように、第２ローラ６を回転させることによって、矩形状のグリーンシート４をキャリアフィルム２から剥離し、第２ローラ６の表面に保持してゆく。
【００４５】
このとき、キャリアフィルム２は、第１ローラ５側に曲げて牽引されて回収される。キャリアフィルム２を第１ローラ５側に曲げるとは、グリーンシート４を剥離することによってグリーンシート４とキャリアフィルム２とが分離する点を通る第２ローラ６の接線Ｌ１と、キャリアフィルムが牽引される方向との間に形成される角度である剥離角度ＳＡが、０°よりも大きいことをいう。ただし、接線Ｌ１は、正確には、第２ローラ６の表面にグリーンシート４を介在させたうえでの接線である。
【００４６】
本実施形態においては、剥離角度ＳＡを、おおよそ、４５°に設定している。剥離角度ＳＡの大きさによって、剥離の難易度が変化する。すなわち、剥離角度ＳＡが大きくなるほど剥離し易くなり、剥離角度ＳＡが小さくなるほど剥離し難くなる。図４に示すように、剥離角度ＳＡが４５°であるときの方が、剥離角度が１０°であるときよりも剥離し易い。
【００４７】
剥離角度ＳＡの大きさは、必要に応じて調整することが好ましい。本実施形態においては、第２ローラ６に熱源６ｂが設けられ、グリーンシート４が加熱される。そこで、たとえば、第２ローラ６に接したグリーンシート４の温度が急激に上昇し、ガラス転移点（Ｔｇ）を超え、グリーンシート４がキャリアフィルム２から剥離し難くなるような場合には、剥離角度ＳＡを大きくして、剥離し易くなるように調整することが好ましい。
【００４８】
また、第１ローラ５のキャリアフィルム２に対する抱き角度ＨＡも、グリーンシート４のキャリアフィルム２からの剥離の難易度に影響を与える。なお、抱き角度ＨＡとは、第１ローラ５の軸を中心として見た、第１ローラ５の外周のキャリアフィルム２が接している領域のなす角度である。抱き角度ＨＡは、大きくなるほど剥離し易くなり、小さくなるほど剥離し難くなる。図５に示すように、抱き角度ＨＡが１８０°であるときの方が、抱き角度ＨＡが４０°であるときよりも剥離し易い。第１ローラ５のキャリアフィルム２に対する抱き角度ＨＡは、３０°以上、１８０°以下程度が好ましい。抱き角度ＨＡが３０°より小さいと、グリーンシート４をキャリアフィルム２から剥離し難くなるからである。抱き角度ＨＡが１８０°を超えると、キャリアフィルム２の搬送が難しくなるからである。
【００４９】
続いて、図２（Ｅ）に示すように、第２ローラ６を更に回転させることによって、矩形状のグリーンシート４を、キャリアフィルム２から完全に剥離させ、第２ローラ６の表面に保持させる。
【００５０】
次に、第２ローラ６の表面に保持された矩形状のグリーンシート４の積層工程を実施する。なお、上述したとおり、本実施形態においては、第２ローラ６が積層ローラを兼ねている。また、グリーンシート４の積層工程は、内部に熱源７ａが設けられた積層ステージ７上でおこなう。
【００５１】
まず、図３（Ｆ）に示すように、作製途中の積層体８が搭載された積層ステージ７を用意する。次に、第２ローラ６の最下部において、第２ローラ６に保持されたグリーンシート４の先端と、積層体８の最上層に既に積層されたグリーンシート４の先端との位置合わせをおこなう。この時点では、第２ローラ６の通気孔６ａは吸引状態にあり、グリーンシート４は第２ローラ６の表面に吸引されて保持されている。なお、図３（Ｆ）においては、積層ステージ７に作製途中の積層体８が搭載されているが、１層目のグリーンシート４を積層する際には、積層ステージ７上に積層体８は存在していない。
【００５２】
次に、図３（Ｇ）に示すように、第２ローラ６を積層ステージ７の方向に加圧した状態で、第２ローラ６を回転させ、それに同期させて、積層ステージ７を回転と同じ方向（図３（Ｇ）における右方向）に移動させる。上述したとおり、第２ローラ６は、マルチチャンバーサクションローラ構造を備えており、通気孔６ａの状態を、領域ごとに、また時間の経過ごとに、吸引状態、排気状態（ブロー状態）、大気開放状態のいずれかに切り替えることができる。この工程においては、この機能が使用され、通気孔６ａは、第２ローラ６の回転にともない、第２ローラ６の最下部を通過すると、順次、吸引状態から排気状態（又は大気開放状態）に切り替わる。すなわち、領域Ａ２にある通気孔６ａは吸引状態にあり、領域Ａ３にある通気孔６ａは排気状態（又は大気開放状態）にある。この結果、第２ローラ６の回転と積層ステージ７の移動にともなって、第２ローラ６に保持されたグリーンシート４が、積層ステージ７上の積層体８の最上層に積層され、加熱圧着される。
【００５３】
このとき、積層ステージ７上の積層体８は、熱源７ａによって加熱圧着の設定温度に加熱されている。また、新たに積層されるグリーンシート４は、第２ローラ６の熱源６ｂによって加熱圧着の設定温度に加熱されている。この結果、グリーンシート４は、目標どおりの接着力で積層体８の最上層に良好に加熱圧着される。
【００５４】
以上の矩形のグリーンシート４の積層、加熱圧着を所望の回数繰り返し、積層体８を完成させる。
【００５５】
なお、本実施形態においては、剥離ローラである第２ローラ６が積層ローラを兼ねているが、剥離ローラである第２ローラ６と積層ローラとを別々にして、第２ローラ６に保持されたグリーンシート４を積層ローラに受け渡し、積層ローラを使ってグリーンシート４を積層し、加熱圧着するようにしても良い。
【００５６】
次に、必要に応じて、積層体８を複数の個片の未焼成セラミック素体に分割する。
【００５７】
次に、未焼成セラミック素体を、所定のプロファイルで焼成し、セラミック素体を作製する。このとき、グリーンシート４の層間に設けられた導電性ペーストも焼成され、セラミック素体の層間に内部電極が形成される。
【００５８】
次に、セラミック素体の表面に外部電極を形成して、本実施形態にかかる電子部品（積層セラミックコンデンサ）が完成する。
【００５９】
本発明の電子部品の製造方法によれば、矩形状のグリーンシート４をキャリアフィルム２から良好に剥離することができる。
【００６０】
また、本発明の電子部品の製造方法によれば、グリーンシート４の各部が、加熱された第２ローラ６に接している（保持されている）時間が等しいため、グリーンシート４に部分的な温度バラツキが発生せず、積層工程でグリーンシート４は良好に加熱圧着され、積層体８の品質が低下することがない。
【００６１】
また、本発明の電子部品の製造方法によれば、キャリアフィルム２が、加熱された第２ローラ６に接している時間が極めて短く、かつ、グリーンシート４を間に挟んで間接的に接しているため、キャリアフィルム２が熱によって破損することがなく、電子部品の製造が不能になることがない。
【００６２】
また、本発明の電子部品の製造方法によれば、キャリアフィルム２が、加熱された第２ローラ６に接している時間が極めて短く、かつ、グリーンシート４を間に挟んで間接的に接しているため、キャリアフィルム２に皺が発生することがなく、その影響によってグリーンシート４に皺が発生することもないため、積層工程で作製された積層体８の品質が低下することがない。
【００６３】
［第２実施形態］
第１実施形態の構成の一部に変更を加えて、第２実施形態にかかる電子部品の製造方法を実施した。図６を参照して説明する。
【００６４】
第２実施形態は、第１実施形態の剥離工程に変更を加えた。具体的には、第１実施形態では、剥離工程に、アルミ製の第１ローラ５を使用していた。第２実施形態では、これに代えて、図５に示すように、表面がゴム製の第１ローラ２５を使用した。第２実施形態のその他の構成については第１実施形態と同じにした。
【００６５】
第２実施形態においては、第１ローラ５が、グリーンシート４が形成されたキャリアフィルム２を介して、弾性をもって、若干、変形した状態で第２ローラ６に接する。そのため、第２実施形態においては、吸引保持可能領域Ａ２１の面積が、第１実施形態の吸引保持可能領域Ａ１の面積よりも大きい。そのため、第２実施形態においては、第１実施形態よりも、より確実に、第２ローラ６によってグリーンシート４を剥離し、保持することができる。
【００６６】
［第３実施形態］
第１実施形態に構成を追加して、第３実施形態にかかる電子部品の製造方法を実施した。図７を参照して説明する。
【００６７】
第３実施形態は、第１実施形態の剥離工程に構成を追加した。具体的には、第１実施形態では、第１ローラ５と第２ローラ６との２つのローラを使用していたが、第３実施形態では、これらに、更に第３ローラ３７をもう１つ追加した。図６に示すように、第３ローラ３７は、キャリアフィルム２の搬送路において、第１ローラ５よりも後ろに設けられ、グリーンシート４が形成されたキャリアフィルム２は、第１ローラ５と第２ローラ６との間、および、第３ローラ３７と第２ローラ６との間に搬送される。なお、第３実施形態においては、グリーンシート４が剥離された後のキャリアフィルム２は、第１ローラ５および第３ローラ３７側に曲げて牽引されて回収されている。第３実施形態のその他の構成については第１実施形態と同じにした。
【００６８】
第３実施形態においては、第３ローラ３７を追加したことにより、第１実施形態の吸引保持可能領域Ａ１や、第２実施形態の吸引保持可能領域Ａ２１に比べて、吸引保持可能領域Ａ３１の面積が非常に大きくなっている。そのため、第３実施形態においては、第１実施形態や第２実施形態よりも、更に確実に、第２ローラ６によってグリーンシート４を剥離し、保持することができる。
【００６９】
［第４実施形態］
第３実施形態の構成の一部に変更を加えて、第４実施形態にかかる電子部品の製造方法を実施した。図８を参照して説明する。
【００７０】
第４実施形態では、第３実施形態で使用した第３ローラ３７を、ナイフエッジ４８に置換えた。ナイフエッジ４８とは、キャリアフィルム２の搬送方向を変えることができる、鋭角のエッジを備えた金属部材である。第４実施形態のその他の構成については、第３実施形態と同じにした。
【００７１】
第４実施形態においても、吸引保持可能領域Ａ４１の面積が非常に大きくなっている。そのため、第４実施形態においても、第１実施形態や第２実施形態よりも、更に確実に、第２ローラ６によってグリーンシート４を剥離し、保持することができる。
【００７２】
［第５実施形態］
第３実施形態の構成の一部に変更を加えて、第５実施形態にかかる電子部品の製造方法を実施した。図９を参照して説明する。
【００７３】
第５実施形態では、第３実施形態で使用した第３ローラ３７を、冷却機能を備えた第３ローラ５７に置換えた。第５実施形態のその他の構成については、第３実施形態と同じにした。
【００７４】
第３ローラ５７は、冷却機能によって、キャリアフィルム２およびグリーンシート４の温度を下げることができる。すなわち、上述したとおり、グリーンシート４の温度がガラス転移点（Ｔｇ）以上である場合には、グリーンシート４の温度が高くなればなるほど、グリーンシート４はキャリアフィルム２から剥離し難くなる。一方、第２ローラ６の表面に保持されたグリーンシート４は、後に実施される積層工程の加熱圧着を良好におこなうために、熱源６ｂによって加熱されている。そして、第２ローラ６の表面に保持されたグリーンシート４は、通常、ガラス転移点（Ｔｇ）よりも高い温度になっている。そこで、第５実施形態においては、グリーンシート４とキャリアフィルム２とが分離する点の近くに配置された第３ローラ５７に冷却機能をもたせることによって、グリーンシート４の温度を、一時的に、かつ、部分的に下げ、ガラス転移点（Ｔｇ）に近づけることによって、グリーンシート４のキャリアフィルム２からの剥離を容易にするようにした。
【００７５】
第５実施形態においては、第３ローラ５７が冷却機能を備えており、グリーンシート４の温度を下げることができるため、グリーンシート４をキャリアフィルム２から容易に剥離することができる。
【００７６】
以上、第１実施形態〜第５実施形態にかかる電子部品の製造方法について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って種々の変更をなすことができる。
【００７７】
たとえば、上記実施形態においては、電子部品として積層セラミックコンデンサを作製したが、作製する電子部品の種類は任意であり、積層セラミックサーミスタ、積層セラミックインダクタ、積層セラミック複合部品など、他の種類の電子部品であってもよい。
【００７８】
また、上記実施形態においては、剥離ローラである第２ローラ６が積層ローラを兼ねているが、剥離ローラである第２ローラ６と積層ローラとを別々にして、第２ローラ６に保持されたグリーンシート４を積層ローラに受け渡し、積層ローラを使ってグリーンシート４を積層し、加熱圧着するようにしても良い。また、この場合において、剥離ローラである第２ローラ６と、専用の積層ローラとの間に、グリーンシート４の受け渡しに使用する中継ローラを設けても良い。
【００７９】
本発明の一実施態様にかかる電子部品の製造方法は、「課題を解決するための手段」の欄に記載したとおりである。
【００８０】
この電子部品の製造方法において、第２ローラの表面の温度が、第２ローラの内部に設けられた熱源によって加熱されることによって、４０℃よりも高く、かつ、１００℃よりも低く維持されるようにしても良い。４０℃よりも高くするのは、グリーンシートを効果的に加熱するためである。１００℃より低くするのは、キャリアフィルムの破損を確実に回避するためである。
【００８１】
また、第１ローラが、表面がゴムによって作製されたゴムローラーであっても良い。この場合には、第１ローラが、グリーンシートが形成されたキャリアフィルムを介して、弾性をもって、若干、変形した状態で第２ローラに接する。そのため、吸引保持可能領域の面積が大きくなり、より確実に、第２ローラによってグリーンシートを剥離し、保持することが可能になる。
【００８２】
また、キャリアフィルムの搬送路において、第１ローラよりも後ろに第３ローラが設けられ、グリーンシートが形成されたキャリアフィルムを、第１ローラと第２ローラとの間、および、第３ローラと第２ローラとの間に搬送させるようにしても良い。この場合には、吸引保持可能領域の面積が非常に大きくなるため、更に確実に、第２ローラによってグリーンシートを剥離し、保持することが可能になる。
【００８３】
この場合において、第３ローラが冷却され、第３ローラによってキャリアフィルムおよびグリーンシートが冷却されるようにしても良い。この場合には、第２ローラの熱源によって加熱されたグリーンシートの温度を下げることができるため、グリーンシートをキャリアフィルムから容易に剥離することができる。
【００８４】
また、キャリアフィルムの搬送路において、第１ローラよりも後ろにナイフエッジが設けられ、グリーンシートが形成されたキャリアフィルムを、第１ローラと第２ローラとの間、および、ナイフエッジと第２ローラとの間に搬送させるようにしても良い。この場合にも、吸引保持可能領域の面積が非常に大きくなるため、更に確実に、第２ローラによってグリーンシートを剥離し、保持することが可能になる。
【００８５】
剥離工程の後に、グリーンシートを積層する積層工程を備えても良い。この積層工程は、たとえば、第２ローラを使用して実施することができる。あるいは、この積層工程は、専用の積層ローラを使用して実施することができる。
【符号の説明】
【００８６】
１・・・長尺状のグリーンシート
２・・・キャリアフィルム
３ａ、３ｂ・・・カット刃
４・・・矩形状のグリーンシート
５、２５・・・第１ローラ
６・・・第２ローラ
６ａ・・・通気孔
６ｂ・・・熱源
３７、５７・・・第３ローラ
４８・・・ナイフエッジ
Ａ１、Ａ２１、Ａ３１、Ａ４１、Ａ５１・・・吸引保持可能領域
Ａ２・・・通気孔６ａが吸引状態にある領域
Ａ３・・・通気孔６ａが排気状態（又は大気開放状態）にある領域
Ｌ１・・・第２ローラ６の接線
ＳＡ・・・剥離角度
ＨＡ・・・抱き角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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