(57)【要約】  本開示は、振動により微細な気泡（２００）を液体中に発生させる気泡発生装置である。気泡発生装置（１ａ）は、振動板（２）と、圧電素子（４Ａ）と、光源（５）とを備える。振動板（２）は、複数の細孔（２ｂ）が形成され、一方の面が水槽（１０）の水（液体）と接し、他方の面が気体と接して、紫外光に対して透過である。圧電素子（４Ａ）は、振動板（２）を振動させる。光源（５）は、振動板（２）の他方の面側から水槽（１０）の水（液体）に対して紫外光を発する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動により微細な気泡を液体中に発生させる気泡発生装置であって、
複数の開口部が形成され、一方の面が液体槽の液体と接し、他方の面が気体と接して、紫外光に対して透過な振動板と、
前記振動板を振動させる圧電素子と、
前記振動板の前記他方の面側から前記液体槽の液体に対して紫外光を発する光源とを備える、気泡発生装置。
【請求項２】
前記振動板は、ガラス板で形成されている、請求項１に記載の気泡発生装置。
【請求項３】
前記ガラス板は、波長が２００ｎｍ〜３８０ｎｍの紫外光を透過させる材質で形成されている、請求項２に記載の気泡発生装置。
【請求項４】
前記振動板は、液体と接する側の面での孔径が１μｍ〜２０μｍの前記開口部を、孔径の１０倍以上の間隔で複数形成してある、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の気泡発生装置。
【請求項５】
前記開口部の形状は、前記液体槽の液体と接する前記一方の面の孔径に比べ、気体と接する前記他方の面の孔径が大きいテーパ形状である、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の気泡発生装置。
【請求項６】
第１の端部と、前記第１の端部とは反対側の第２の端部とを有し、前記第１の端部側において、前記振動板を保持するように、前記振動板に連結されている筒状体をさらに備え、
前記圧電素子は、前記筒状体の前記第２の端部側に、前記筒状体の径方向外側に延ばされたリング状つば部に固定され、前記筒状体を振動させ、
前記筒状体の前記第１の端部に前記液体槽を結合させてある、請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の気泡発生装置。
【請求項７】
前記リング状つば部は、前記振動板側の第１の面と、前記第１の面とは反対側の第２の面とを有し、前記第２の面に前記圧電素子が固定されている、請求項６に記載の気泡発生装置。
【請求項８】
前記筒状体は、前記第１の端部にフランジ部を設け、前記フランジ部を介して前記液体槽を結合させてある、請求項６または請求項７に記載の気泡発生装置。
【請求項９】
前記フランジ部、前記筒状体および前記リング状つば部とは、同一材料で一体に形成されている、請求項８に記載の気泡発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、気泡発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、微細な気泡を使って水質浄化、排水処理、魚の養殖などが行なわれており、微細な気泡が様々な分野で利用されている。そのため、微細な気泡を発生する気泡発生装置が開発されている（特許文献１）。【０００３】
特許文献１に記載の気泡発生装置では、圧電素子を利用して微細な気泡を発生させている。また、特許文献２に記載の気泡発生装置では、深紫外線照射してオゾンを生成し液体に導入する気体導入部を設け、導入したオゾンで微細な気泡を発生させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第６１０８５２６号公報
【特許文献２】特開２０１８−０９４５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、オゾンを含む微細な気泡を発生させる場合、特許文献２で説明したように深紫外線を照射する構成を含む気体導入部を別途設ける必要があり、気泡発生装置が大型化する問題があった。さらに、気体導入部で深紫外線照射する構成を別途設けることで気泡発生装置のコストも高くなる問題があった。【０００６】
そこで、本開示の目的は、オゾンを含む微細な気泡を発生させることができ、低コストで、コンパクトな気泡発生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一形態に係る気泡発生装置は、振動により微細な気泡を液体中に発生させる気泡発生装置であって、複数の開口部が形成され、一方の面が液体槽の液体と接し、他方の面が気体と接して、紫外光に対して透過な振動板と、振動板を振動させる圧電素子と、振動板の他方の面側から液体槽の液体に対して紫外光を発する光源とを備える。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、紫外光に対して透過な振動板の他方の面側から液体槽の液体に対して紫外光を発することができるので、オゾンを含む微細な気泡を発生させることができる気泡発生装置を低コストで、コンパクトにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態１に係る気泡発生装置が用いられる水質浄化装置の概略図である。
【図２】本実施の形態１に係る気泡発生装置の斜視図である。
【図３】本実施の形態１に係る気泡発生装置の半断面図である。
【図４】本実施の形態１に係る振動板の平面図である。
【図５】本実施の形態１に係る振動板に形成した開口部の断面図である。
【図６】本実施の形態２に係る気泡発生装置が用いられる水質浄化装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本実施の形態に係る気泡発生装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分については、同一符号を付してその説明は繰り返さない。
【００１１】
（実施の形態１）
まず、図１は、本実施の形態１に係る気泡発生装置１が用いられる水質浄化装置１００の概略図である。図１に示す気泡発生装置１は、例えば水槽（液体槽）１０の底部に設けられ、水槽１０の水に微細な気泡２００を発生させる水質浄化装置１００に用いられる。なお、気泡発生装置１の用途は、水質浄化装置１００に限定されず、排水処理装置、魚の養殖用水槽などの様々な用途に適用することができる。
【００１２】
気泡発生装置１は、振動板２と、筒状体３と、圧電素子４と、光源５とを備えている。気泡発生装置１は、水槽１０の底部の一部に開けた孔に振動板２を設け、筒状体３を介して圧電素子４で振動板２を振動させることで、振動板２に形成した複数の細孔（開口部）から微細な気泡２００を発生させている。
【００１３】
振動板２は、例えば、波長が２００ｎｍ〜３８０ｎｍの紫外光および深紫外光を透過させるガラス板で形成されている。ガラス板には、石英ガラスや、組成がコントロールされ深紫外線の透過度を向上させた疑似石英合成ガラスなどが用いられる。なお、振動板２は、紫外光を透過する材質であれば、ガラスに限定されず他の材質（例えば、樹脂など）で形成してもよい。
【００１４】
振動板２は、複数の細孔が形成され、一方の面が水槽１０の水（液体）と接し、他方の面が空気（気体）と接している。つまり、気泡発生装置１では、振動板２で水と空気とを分離し、他方の面に背圧を加え（図１に示す矢印方向）、振動板２を振動させることで空気が複数の細孔を通って水槽１０の水に送り込まれ微細な気泡２００を発生させている。
【００１５】
光源５は、振動板２の他方の面側から水槽１０の水に対して紫外光を発することができる。光源５は、ＬＥＤや水銀ランプなどの紫外光および深紫外光を発光する光源である。光源５は、水槽１０の水に対して紫外光および深紫外光を照射することで、複数の細孔を通って水槽１０の水に送り込まれる酸素をオゾン化することができる。オゾン化された酸素を含む微細な気泡２００は、殺菌効果を有する微細な気泡となる。
【００１６】
また、水槽１０の水に対して照射した紫外光および深紫外光は、一部が水槽１０の水に送り込まれる酸素をオゾン化するために利用され、他の一部が微細な気泡２００の表面で反射して水内部に散乱する。光源５に波長が２３０ｎｍの紫外光を発する光源を用いた場合、細菌類のＤＮＡを破壊する完全殺菌が可能となる。このように、気泡発生装置１では、水槽１０の水（液体）と接する面の対向する面から背圧（例えば、０．０８ａｔｍ〜０．１２ａｔｍ（８〜１２ｋＰａ）程度）を加えるとともに、光源５で紫外光および深紫外光の波長帯の光を照射してオゾン生成による殺菌と紫外光照射による殺菌とを兼用させている。
【００１７】
気泡発生装置１では、筒状体３を介して圧電素子４で振動板２を振動させている。図２は、本実施の形態１に係る気泡発生装置１の斜視図である。図３は、本実施の形態１に係る気泡発生装置の半断面図である。図３に示す一点鎖線は、筒状体３の中心軸を通る部分である。
【００１８】
振動板２に、筒状体３が連結されている。筒状体３は、円筒状の形状を有する。筒状体３は、第１の端部３ａと、第１の端部３ａとは反対側の第２の端部３ｂとを有する。第２の端部３ｂは、円筒体の軸方向において、第１の端部３ａと反対側に位置している。
【００１９】
第１の端部３ａが、振動板２に連結されている。すなわち、振動板２が、筒状体３の第１の端部３ａ側の開口を閉成するように、筒状体３の第１の端部３ａが、振動板２の筒状体３側の面に固定されている。
【００２０】
筒状体３は本実施の形態では、ステンレスからなる。もっとも、ステンレスに代えて、他の金属材料が用いられてもよい。好ましくは、ステンレスなどの剛性の高い金属が望ましい。
【００２１】
筒状体３の側面には、筒状体の径方向外側に延ばされたフランジ部３ｃが設けられている。フランジ部３ｃは、たとえば図１に示すように水槽１０の底部の一部に開けた孔と連結することにより、筒状体３の第１の端部３ａに水槽１０を結合させている。フランジ部３ｃは、筒状体３を介して圧電素子４で振動板２を振動させても、ほぼ無振動である。そのため、圧電素子４の振動を水槽１０に伝えずに、振動板２のみを振動させることが可能である。
【００２２】
筒状体３の第２の端部３ｂ側には、径方向外側に延ばされたリング状つば部３ｅが設けられている。リング状つば部３ｅは、平面視した場合、ドーナツ状の形状を有している。フランジ部３ｃと、リング状つば部３ｅとの間の部分が、筒状体本体３ｄである。上記リング状つば部３ｅの外径は、筒状体本体３ｄの外径よりも大きくなっている。特に限定されないが、本実施の形態では、図３に示すように、筒状体本体３ｄの外径は、振動板２の外径より小さい。
【００２３】
リング状つば部３ｅは、筒状体本体３ｄと同じ材料により一体に構成されていてもよい。もっとも、本実施の形態では、筒状体本体３ｄに、別部材としてのリング状つば部３ｅが筒状体本体３ｄの振動板２とは反対側の端面に接合されている。このように、リング状つば部３ｅは、筒状体本体３ｄと別部材で構成されていてもよい。
【００２４】
リング状つば部３ｅには、振動板２側の面と反対側の面に、リング状の圧電素子４が固定されている。リング状の圧電素子４は、リング状圧電体と、リング状圧電体の両面に設けられた電極とを有する。リング状圧電体は、厚み方向に、すなわち筒状体３の第１の端部３ａと第２の端部３ｂとを結ぶ方向に分極されている。リング状圧電体は、圧電セラミックスなどの圧電体からなる。
【００２５】
リング状の圧電素子４がリング状つば部３ｅに接合されている構造により、振動板２を屈曲振動する振動体を構成している。なお、リング状の圧電素子４は、例えば、内径が１２ｍｍ、外径が１８ｍｍ、厚みが１ｍｍである。また、圧電素子４は、例えば、電圧が５０Ｖｐｐ〜７０Ｖｐｐ、デューティ比５０％の矩形波形の動作条件で駆動される。
【００２６】
気泡発生装置１では、この圧電素子４における屈曲振動が、筒状体３を介して振動板２に伝わり、振動板２を振動させて微細な気泡２００を発生させている。圧電素子４の電極には、コントローラ２０からの信号が供給され、当該信号に基づいて圧電素子４が駆動される。また、コントローラ２０は、光源５に対しても信号を供給し、光源５を駆動している。
【００２７】
なお、圧電素子４は、リング状圧電体と、リング状圧電体の両面に設けられた電極とを有すると説明したが、これに限定されない。圧電素子４は、例えば、複数の圧電体がリング状配置され、各々の圧電体の両面に電極が設けられた構成でもよい。
【００２８】
振動板２は、筒状体３の第１の端部３ａに連結されているが、図３に示すようにサポートガラス６を介して筒状体３の第１の端部３ａに連結されている。振動板２の厚みが、例えば０．２ｍｍの場合、サポートガラス６の厚みが、例えば１．１ｍｍである。もちろん、振動板２は、サポートガラス６を介さずに筒状体３の第１の端部３ａに直接連結されてもよい。
【００２９】
気泡発生装置１では、液体に接する振動板２の構造をガラス板とし、筒状体３を介して圧電素子４で振動板２を振動させる構成にすることで、気体を導入する空間と液体とを完全分離することができる。気体を導入する空間と液体とを完全分離することで、圧電素子４の電気配線等が液体に浸かることを防止できる。また、気泡発生装置１では、光源５も気体を導入する空間に設けることができるので、光源５の電気配線等が液体に浸かることも防止できる。
【００３０】
振動板２には、複数の細孔が形成されている。図４は、本実施の形態１に係る振動板の平面図である。図４に示す振動板２は、直径１４ｍｍのガラス板２ａの中央部に設けた５ｍｍ×５ｍｍの領域に複数の細孔２ｂが形成されている。振動板２は、例えば、細孔２ｂの孔径を１０μｍ、細孔２ｂの間隔を０．２５ｍｍにした場合、５ｍｍ×５ｍｍの領域に４４１個の細孔２ｂを形成することができる。なお、図４では、ガラス板２ａに複数の細孔２ｂが形成されていることをイメージし易くするため、細孔２ｂの孔径および細孔２ｂの間隔が実際のスケールとは異なっている。
【００３１】
振動板２に設けられる細孔２ｂは、液体と接する側の面での孔径が１μｍ〜２０μｍである。当該細孔２ｂから導入された空気により、水槽１０の水に約１０倍の径の微細な気泡２００が発生する。細孔２ｂは、孔径の１０倍以上の間隔で複数形成されているので、１つの細孔２ｂから発生した微細な気泡２００が隣の細孔２ｂから発生した微細な気泡２００とつながることを防止して独立した微細な気泡２００を発生させる性能を向上させている。
【００３２】
ガラス板２ａに複数の細孔２ｂを形成するための方法として、例えば、レーザと液相エッティングとを組み合わせた方法がある。具体的に、この方法では、ガラス板２ａにレーザを照射することにより、レーザエネルギーでガラス板２ａに組成変性を起こさせ、その部分を液体フッ化物系のエッティング材などで侵食させて複数の細孔２ｂを形成している。
【００３３】
図５は、本実施の形態１に係る振動板に形成した細孔（開口部）２ｂの断面図である。図５に示すように、ガラス板２ａに形成される細孔２ｂの形状は、図中下側の面の孔径に比べ、上側の面の孔径が大きいテーパ形状である。孔径の小さい面を水槽１０の水と接する面に、孔径の大きい面を気体と接する面にして振動板２を配置することで、細孔２ｂで発生する微細な気泡２００の径をより小さくすることができる。もちろん、孔径の大きい面を水槽１０の水と接する面に、孔径の小さい面を気体と接する面にして振動板２を配置してもよい。
【００３４】
振動板２にガラス板２ａを使用した場合、金属板を利用する場合と比較して、液体への金属イオンの溶出による液体汚染を防ぐことができるメリットがある。また、金属板に細孔を形成した場合、金属の腐食防止のためにメッキを行う必要がある。液体への金属イオンの溶出を防止するには、貴金属を用いる必要がある。そのため、細孔を形成した金属板を貴金属でメッキを行うと、振動板のコストが高価になる。
【００３５】
以上のように、本実施の形態１に係る気泡発生装置１は、振動により微細な気泡２００を液体中に発生させる気泡発生装置である。気泡発生装置１は、振動板２と、圧電素子４と、光源５とを備える。振動板２は、複数の細孔２ｂが形成され、一方の面が水槽１０の水（液体）と接し、他方の面が気体と接して、紫外光に対して透過である。圧電素子４は、振動板２を振動させる。光源５は、振動板２の他方の面側から水槽１０の水（液体）に対して紫外光を発する。
【００３６】
これにより、気泡発生装置１は、紫外光に対して透過な振動板２の他方の面側から水槽１０の水（液体）に対して紫外光を発することができるので、オゾンを含む微細な気泡を発生させることができる気泡発生装置を低コストで、コンパクトに構成することができる。
【００３７】
また、振動板２は、ガラス板で形成されてもよい。これにより、気泡発生装置１は、水槽１０の水（液体）への金属イオンの溶出による液体汚染を防ぐことができる。
【００３８】
さらに、ガラス板２ａは、波長が２００ｎｍ〜３８０ｎｍの紫外光を透過させる材質で形成されてもよい。これにより、気泡発生装置１は、振動により発生する微細な気泡２００に含まれるオゾンによる殺菌と、紫外線の照射による水槽１０の水の殺菌との兼用による高い殺菌効果が得られる。
【００３９】
また、振動板２は、液体と接する側の面での孔径が１μｍ〜２０μｍの細孔２ｂを、孔径の１０倍以上の間隔で複数形成してもよい。これにより、気泡発生装置１は、１つの細孔２ｂから発生した微細な気泡２００が隣の細孔２ｂから発生した微細な気泡２００とつながることを防止でき、独立した微細な気泡２００を発生させることができる。
【００４０】
さらに、細孔２ｂの形状は、水槽１０の水（液体）と接する一方の面の孔径に比べ、気体と接する他方の面の孔径が大きいテーパ形状であってもよい。これにより、気泡発生装置１は、細孔２ｂで発生する微細な気泡２００の径をより小さくすることができる。
【００４１】
また、第１の端部３ａと、第１の端部３ａとは反対側の第２の端部３ｂとを有し、第１の端部３ａ側において、振動板２を保持するように、振動板２に連結されている筒状体３をさらに備えてもよい。この場合、圧電素子４は、筒状体３の第２の端部３ｂ側に、筒状体３の径方向外側に延ばされたリング状つば部３ｅに固定され、筒状体３を振動させる。また、筒状体３の第１の端部３ａに水槽１０を結合させてある。
【００４２】
これにより、気泡発生装置１は、気体を導入する空間と液体とを完全分離することができ、圧電素子４の電気配線等が液体に浸かることを防止できる。
【００４３】
さらに、リング状つば部３ｅは、振動板２側の第１の面と、第１の面とは反対側の第２の面とを有し、第２の面に圧電素子４が固定されている。これにより、気泡発生装置１は、圧電素子４が液体に浸かることを防止できる。
【００４４】
また、筒状体３は、第１の端部にフランジ部３ｃを設け、フランジ部３ｃを介して水槽１０を結合させてもよい。これにより、気泡発生装置１は、圧電素子４の振動を水槽１０に伝えずに、振動板２のみを振動させることが可能になる。
【００４５】
さらに、フランジ部３ｃ、筒状体３およびリング状つば部３ｅとは、同一材料で一体に形成されてもよい。これにより、フランジ部３ｃ、筒状体３およびリング状つば部３ｅの強度を高めることができる。
【００４６】
（実施の形態２）
実施の形態１に係る気泡発生装置１では、筒状体３を介して圧電素子４で振動板２を振動させる構成について説明した。しかし、振動板を圧電素子で振動させる構成は、これに限定されない。気泡発生装置は、紫外光に対して透過な振動板を用い、当該振動板の他方の面側から水槽の水（液体）に対して紫外光を発することができる構成であれば、振動板を圧電素子で振動させる構成が異なっていてもよい。本実施の形態２に係る気泡発生装置では、圧電素子で振動板を直接振動させる構成について説明する。
【００４７】
図６は、本実施の形態２に係る気泡発生装置１ａが用いられる水質浄化装置１５０の概略図である。なお、図６に示す気泡発生装置１ａのうち、図１〜図５に示す気泡発生装置１ａと同じ構成については、同じ符号を付して詳細な説明を繰返さない。
【００４８】
まず、図６に示す気泡発生装置１ａは、例えば水槽（液体槽）１０の底部に設けられ、水槽１０の水に微細な気泡２００を発生させる水質浄化装置１５０に用いられる。なお、気泡発生装置１ａの用途は、水質浄化装置１５０に限定されず、排水処理装置、魚の養殖用水槽などの様々な用途に適用することができる。
【００４９】
気泡発生装置１ａは、振動板２と、圧電素子４Ａと、光源５とを備えている。気泡発生装置１ａは、水槽１０の底部の一部に開けた孔に振動板２を設け、振動板２の端部を封止ゴム５１で固定している。気泡発生装置１ａは、振動板２の水槽１０の水（液体）と接する面側に設けた封止ゴム５１により、気体を導入する空間と液体とを完全分離することができる。
【００５０】
振動板２には、圧電素子４Ａの端部が直接取り付けられており、当該圧電素子４Ａにより直接振動させることができる。振動板２は、弾性を有する封止ゴム５１で固定されているので、端部に設けた圧電素子４Ａにより振動することができる。
【００５１】
気泡発生装置１ａにおいても、光源５が振動板２の空気（気体）と接している他方の面側から水槽１０の水に対して紫外光を発することができる。そのため、気泡発生装置１ａでも、水槽１０の水（液体）と接する面の対向する面から背圧（例えば、０．０８ａｔｍ〜０．１２ａｔｍ（８〜１２ｋＰａ）程度）を加えるとともに、光源５で紫外光および深紫外光の波長帯の光を照射してオゾン生成による殺菌と紫外光照射による殺菌とを兼用させている。
【００５２】
以上のように、本実施の形態２に係る気泡発生装置１ａは、振動により微細な気泡２００を液体中に発生させる気泡発生装置である。気泡発生装置１ａは、振動板２と、圧電素子４Ａと、光源５とを備える。振動板２は、複数の細孔２ｂが形成され、一方の面が水槽１０の水（液体）と接し、他方の面が気体と接して、紫外光に対して透過である。圧電素子４Ａは、振動板２を振動させる。光源５は、振動板２の他方の面側から水槽１０の水（液体）に対して紫外光を発する。
【００５３】
これにより、気泡発生装置１は、紫外光に対して透過な振動板２の他方の面側から水槽１０の水（液体）に対して紫外光を発することができるので、オゾンを含む微細な気泡を発生させることができる気泡発生装置を低コストで、コンパクトに構成することができる。
【００５４】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５５】
１，１ａ  気泡発生装置、２  振動板、２ａ  ガラス板、２ｂ  細孔、３  筒状体、３ａ  第１の端部、３ｂ  第２の端部、３ｃ  フランジ部、３ｄ  筒状体本体、３ｅ  リング状つば部、４，４Ａ  圧電素子、５  光源、６  サポートガラス、１０  水槽、２０  コントローラ、５１  封止ゴム、１００，１５０  水質浄化装置、２００  気泡。
【図１】
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【図２】
2020189271.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
2020189271.tif 000009
2020189271.tif 000010
2020189271.tif 000011
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