(57)【要約】  本開示のフォーカスリングは、基体と、該基体の内部に位置する静電吸着用の第１電極とを備える。また、本開示のプラズマ処理装置は、上記フォーカスリング搬送部材と、被処理物を載置する載置面を有する載置台と、前記載置面を囲うように位置するフォーカスリングと、該フォーカスリングを支持する支持部材と、を備える。そして、前記支持部材は、該支持部材の内部に位置する静電吸着用の第２電極を有する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、
該基体の内部に位置する静電吸着用の第１電極と、を備えるフォーカスリング搬送部材。
【請求項２】
前記基体は、頂面が吸着面である第１突起部を有し、
前記第１電極の少なくとも一部が、前記第１突起部の内部に位置している請求項１に記載のフォーカスリング搬送部材。
【請求項３】
前記第１突起部は、前記頂面が平面であるとともに、
前記頂面から前記基体に向かう縁部が曲面で繋がれている請求項２に記載のフォーカスリング搬送部材。
【請求項４】
前記基体は、平面視した際に、基部と、該基部から２股に分かれた第１部位および第２部位とで構成されるＹ字状である請求項２または請求項３に記載のフォーカスリング搬送部材。
【請求項５】
前記第１突起部の個数は、３個であるとともに、
３個の前記第１突起部は、前記第１部位の先端部と、前記第２部位の先端部と、前記基部において前記第１部位および前記第２部位に繋がる付け根とに１個ずつ位置している請求項４に記載のフォーカスリング搬送部材。
【請求項６】
前記第１突起部は、平面視において、内径がＡ、外径がＢであるフォーカスリングの対向領域に位置する請求項２乃至請求項５のいずれかに記載のフォーカスリング搬送部材。
【請求項７】
前記第１電極は、正電圧が印加される電極と負電圧が印加させる電極とで構成される請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のフォーカスリング搬送部材。
【請求項８】
前記基体は、前記第１突起部が位置する面と反対の面に第２突起部を有する請求項２乃至請求項７のいずれかに記載のフォーカスリング搬送部材。
【請求項９】
前記基体は、内部に吸引流路を備え、前記第２突起部は、前記吸引流路に繋がる吸引孔を備える請求項８に記載のフォーカスリング搬送部材。
【請求項１０】
前記第１突起部の個数が、３個以上であり、
前記第２突起部も複数であり、
複数の前記第２突起部は、前記第１突起部が位置する面と反対の面において、前記第１突起部のそれぞれの中心によって囲まれた仮想円よりも、それぞれの前記第２突起部の中心が前記仮想円の内方に位置する請求項８または請求項９に記載のフォーカスリング搬送部材。
【請求項１１】
前記基体は、セラミックスからなる請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載のフォーカスリング搬送部材。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載のフォーカスリング搬送部材と、
被処理物を載置する載置面を有する載置台と、
前記載置面を囲うように位置するフォーカスリングと、
該フォーカスリングを支持する支持部材と、を備え、
前記支持部材は、該支持部材の内部に位置する静電吸着用の第２電極を有するプラズマ処理装置。
【請求項１３】
前記第２電極は、正電圧が印加される電極と負電圧が印加させる電極とで構成される請求項１２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項１４】
前記支持部材は、該支持部材の内部に流路を有し、
該流路の少なくとも一部が、前記第２電極下に位置する請求項１２または請求項１３に記載のプラズマ処理装置。
【請求項１５】
前記載置台および前記支持部材は、セラミックスからなる請求項１２乃至請求項１４のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、フォーカスリング搬送部材およびこれを備えるプラズマ処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程では、真空雰囲気中において、被処理物であるウエハをプラズマで処理する（以下、プラズマ処理と記載する）ことが、プラズマ処理装置により行なわれている。ここで、プラズマ処理装置は、ウエハの外周を囲う環状のフォーカスリングを備えている。【０００３】
例えば、特許文献１（特開２０１７−２１２０５１号公報）には、フォーカスリングを備えたプラズマ処理装置が開示されている。
【発明の概要】
【０００４】
本開示のフォーカスリング搬送部材は、基体と、該基体の内部に位置する静電吸着用の第１電極と、を備える。
【０００５】
また、本開示のプラズマ処理装置は、上記フォーカスリング搬送部材と、被処理物を載置する載置面を有する載置台と、前記載置面を囲うように位置するフォーカスリングと、該フォーカスリングを支持する支持部材と、を備える。そして、前記支持部材は、該支持部材の内部に位置する静電吸着用の第２電極を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本開示のフォーカスリング搬送部材の一例を示す平面図である。
【図２】図１に示すフォーカスリング搬送部材を厚み方向に直交する方向に切断した断面図である。
【図３】本開示のフォーカスリング搬送部材の他の例を示す平面図である。
【図４】図３におけるiv−iv線での断面図である。
【図５】本開示のフォーカスリング搬送部材における第１突起部の位置関係を説明するための平面図である。
【図６】本開示のフォーカスリング搬送部材の他の例を示す背面図である。
【図７】図６におけるvii−vii線での断面図である。
【図８】本開示のプラズマ処理装置の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
フォーカスリングは、繰り返される処理においてプラズマにより削られて消耗する。そのため、フォーカスリングは、適宜交換することが必要である。このとき、フォーカスリングの交換は、真空雰囲気であったプラズマ処理装置内を大気雰囲気に戻した後に、作業員により手作業で行なわれ、フォーカスリングの交換を終えた後に、プラズマ処理装置内を大気雰囲気から真空雰囲気に戻す必要があった。
【０００８】
このように、雰囲気の変更を含めたフォーカスリングの交換には時間が掛かり、プラズマ処理装置の生産効率を低下させる要因となっていた。そのため、生産効率の低下を抑えつつフォーカスリングを交換することができるフォーカスリング搬送部材およびこれを備えるプラズマ処理装置が求められている。
【０００９】
本開示のフォーカスリング搬送部材は、雰囲気を変更することなく、フォーカスリングを交換することができる。また、本開示のプラズマ処理装置は、フォーカスリングの交換時間が短いため、生産効率に優れる。
【００１０】
以下、本開示のフォーカスリング搬送部材ついて、図面を参照しながら、以下に詳細に説明する。
【００１１】
本開示のフォーカスリング搬送部材１０として、平面視形状の一例を図１に示す。図１においては、基部２ｃと、基部２ｃから２股に分かれた第１部位２ａおよび第２部位２ｂとで構成されるＹ字状の基体２を示している。
【００１２】
図２は、フォーカスリング搬送部材１０内部構造の一例を示す図であり、基体２の厚み方向に直交する方向に切断した断面図である。図２に示すように、フォーカスリング搬送部材１０は、基体２と、基体２の内部に位置する静電吸着用の第１電極１とを備える。ここで、図２には、第１電極１の個数が３個である例を示しているが、これに限定されるものではなく、第１電極１の個数は少なくとも１個以上であればよい。
【００１３】
また、図２には、第１電極１が単一の電極で構成される、いわゆる単極型である例を示しているが、これに限定されるものではない。例えば、第１電極１は、正電圧が印加される電極と負電圧が印加される電極とで構成される、いわゆる双極型であってもよい。
【００１４】
本開示のフォーカスリング搬送部材１０は、静電吸着用の第１電極１を有しており、第１電極１に電圧を印加することにより、クーロン力およびジョンソン・ラーベック力等の静電吸着力によって、基体２によりフォーカスリングを吸着・保持することができる。これにより、本開示のフォーカスリング搬送部材１０は、従来のように、雰囲気変更を必要とせず、真空雰囲気内において、消耗したフォーカスリングを静電吸着により基体２に吸着・保持して搬送した後、新規のフォーカスリングを同様に搬送して配置することで、フォーカスリングを交換することができる。
【００１５】
３個の第１電極１は、配線３で繋がれた電力供給部４から電力が供給される例を示す図ともいえる。なお、第１電極１と電力供給部４とを繋ぐ配線３の配置は、図２に示例に限らない。
【００１６】
ここで、フォーカスリングは環状であり、フォーカスリング搬送部材１０は、フォーカスリングの下部を支持する部分に相当する面（図１における図示面）に平らな部分を有する。
【００１７】
また、図１および図２においては、フォーカスリング搬送部材１０が、搬送装置（図示しない）の金属製のシャフトにボルトで連結するための連結孔５を４箇所備えている例を示している。なお、電力供給部４は、搬送装置内に限らず、繋がれた配線から電力が供給されるものである。
【００１８】
次に、他の例として図３および図４に、フォーカスリング搬送部材２０を示す。この例に示すように、基体２は、頂面が吸着面である第１突起部６を有し、第１電極１の少なくとも一部が、第１突起部６の内部に位置していてもよい。ここで、吸着面とは、静電吸着する際に、フォーカスリングと接触し、フォーカスリングを吸着・保持する面のことである。また、第１電極１の少なくとも一部が、第１突起部６の内部に位置するとは、図３に示す状態の平面透視において、第１電極１の存在位置が、第１突起部６の存在位置と重なっていることをいう。
【００１９】
このような構成を満たすときには、第１突起部６の頂面が吸着面であることから、静電吸着する際に、第１突起部６の頂面とフォーカスリングとの位置合わせが容易である。さらに、第１突起部６がない場合の基体２とフォーカスリングとの接触面積よりもフォーカスリングに接触する第１突起部６の頂面の面積を小さくすれば、静電吸着する際のフォーカスリングの損傷を少なくすることができる。
【００２０】
また、第１突起部６は、図３および図４に示すように、頂面が平面であるとともに、頂面から基体２に向かう縁部が曲面で繋がれていてもよい。このような構成を満たすときには、静電吸着する際に、第１突起部６の頂面が平面であることで、フォーカスリングと第１突起部６の頂面とが密接し、フォーカスリングの交換の際に、フォーカスリングを落下させるおそれを少なくできる。さらに、第１突起部６の縁部が曲面であることから、フォーカスリングと第１突起部６の縁部とが接触しにくいため、静電吸着する際のフォーカスリングの損傷を少なくすることができる。
【００２１】
また、フォーカスリング搬送部材１０、２０における基体２は、平面視形状が、四角形または円形等であってもよいが、図１〜図４に示すように、基部２ｃと、基部２ｃから２股に分かれた第１部位２ａおよび第２部位２ｂとで構成されるＹ字状であってもよい。ここで、第１部位２ａおよび第２部位２ｂと基部２ｃとの境界は、図１〜図３において点線で示しているように、２股に分かれ始めた部分である。
【００２２】
このような構成を満たすフォーカスリング搬送部材１０、２０は、基体２がＹ字状であることにより、平面視形状が四角形または円形であるときに比べて、軽量でありながら、静電吸着した際に、フォーカスリングを安定して保持することが可能となり、フォーカスリングの搬送速度を向上させることができる。
【００２３】
また、フォーカスリング搬送部材２０における第１突起部６の個数は、図３に示すように、３個の第１突起部６が、第１部位２ａの先端部と、第２部位２ｂの先端部と、基部２ｃにおいて第１部位２ａおよび第２部位２ｂに繋がる付け根とに１個ずつ位置していてもよい。具体的には、図３では、第１突起部６ａが第１部位２ａの先端部に、第１突起部６ｂが第２部位２ｂの先端部に、第１突起部６ｃが基部２ｃの付け根に位置している例を示している。
【００２４】
ここで、第１部位２ａの先端部とは、第１部位２ａの先端から基部２ｃとの境界までを第１長さとしたとき、第１部位２ａの先端を始点に、第１長さの１／３にあたる部分（終点）までのことを指す。一方、第２部位２ｂの先端部とは、第２部位２ｂの先端から基部２ｃとの境界までを第２長さとしたとき、第２部位２ｂの先端を始点に、第２長さの１／３にあたる部分までのことを指す。また、基部２ｃの付け根とは、境界から搬送装置側の先端までを第３長さとしたとき、境界を始点に、第３長さの１／３にあたる部分までのことを指す。
【００２５】
このような構成を満たすフォーカスリング搬送部材２０は、静電吸着した際に、最小限の接触面積でフォーカスリングを安定して吸着・保持できる。また、基体２が、図３に示すような形状であれば、フォーカスリングにおける支持される部分に多少の変形があったとしても、第１部位２ａおよび第２部位２ｂの一方または両方の撓みによって吸着できることから、吸着の信頼性に優れる。
【００２６】
さらに、図５に示すように、第１突起部６が、平面視において、内径がＡ、外径がＢであるフォーカスリングの対向領域に位置していてもよい。ここで、対向領域とは、図５において点線で示された小円および大円の間のことである。また、対向領域に位置するとは、第１突起部６を有していながら、図５のような平面視において、小円内にも大円外にも確認されないということを意味する。
【００２７】
このような構成を満たすフォーカスリング搬送部材２０は、静電吸着する際に、フォーカスリングの縁に第１突起部６が当たらないことから、フォーカスリングの縁が損傷するおそれが少ない。
【００２８】
次に、さらに他の例として図６および図７に、フォーカスリング搬送部材３０を示す。この例に示すように、基体２は、第１突起部６が位置する面と反対の面に第２突起部１６を有していてもよい。図６は、背面図であり、図３における図示面の反対面を視た図である。また。図７は、図６におけるvii−vii線での断面図であり、図４との違いをわかりやすくするために、第１突起部６が図における上方となるように表している。
【００２９】
このような構成を満たすときには、第２突起部１６によって、ウエハなどの他の搬送物を搬送することができる。搬送物を載置して搬送するときには、図７に示す状態から裏返して用いればよい。なお、この場合は、フォーカスリング搬送部材３０は、反転可能なアームに取り付けられていることが好ましい。
【００３０】
また、図７に示すフォーカスリング搬送部材３０のように、基体２が、さらに内部に吸引流路１７を備え、第２突起部１６が、吸引流路１７に繋がる吸引孔１８を備えていてもよい。このような構成を満たすときには、上述したように、反転することなく、搬送物を吸引による吸着によって搬送することができる。さらに、図７に示す状態において、上方でフォーカスリングを静電吸着し、下方において、他の搬送物を吸着することも可能となり、作業効率が向上する。
【００３１】
なお、上記は、図示状態に基づいて記載したのであって、実使用において、フォーカスリングの静電吸着は、図３に示す例によれば、第１突起部６がフォーカスリングに対向して吸着するものであるため、図７における上面が下を向いた状態で用いられる。また、言うまでもないが、吸引流路１７は、連結孔１９、さらにはホース等を介して、外部の吸引機構に繋がるものである。
【００３２】
また、吸引流路１７および吸引孔１８は、真空ポンプに繋ぎ、真空度を維持するための気体の排気に用いられるものであってもよい。さらには、気体の供給装置につないで、吸引流路１７を介して吸引孔１８から気体を排出する用途にも用いることができる。
【００３３】
次に、第１突起部６の個数が、３個以上であり、第２突起部１６も複数であり、複数の第２突起部１６は、第１突起部６が位置する面と反対の面において、第１突起部１６のそれぞれの中心によって囲まれた仮想円よりも、それぞれの第２突起部１６の中心が仮想円の内方に位置していてもよい。
【００３４】
フォーカスリング搬送部材３０が用いられる環境において、フォーカスリング以外の搬送物としては、フォーカスリングより小さいものである。そのため、第１突起部１６のそれぞれの中心によって囲まれた仮想円よりも、それぞれの第２突起部１６の中心が仮想円の内方に位置しているときには、搬送および吸着しやすくなり、搬送の信頼性が高まる。
【００３５】
以下、フォーカスリング搬送部材には、１０の符号を付して説明する。
【００３６】
また、本開示のフォーカスリング搬送部材１０における基体２は、セラミックスからなっていてもよい。このような構成を満たすときには、セラミックスは、高い耐食性および耐久性を兼ね備えていることから、本開示のフォーカスリング搬送部材１０は、腐食性の高いガス雰囲気下、高温・高圧下等で使用することができる。
【００３７】
ここで、基体２を構成するセラミックスには、酸化アルミニウム質セラミックス、窒化珪素質セラミックス、窒化アルミニウム質セラミックスまたは炭化珪素質セラミックス等を用いることができる。そして、酸化アルミニウム質セラミックスとは、セラミックスを構成する全成分１００質量％のうち、酸化アルミニウムを７０質量％以上含有するものである。なお、他のセラミックスについても同様である。
【００３８】
ここで、基体２の材質は、以下の方法により確認することができる。まず、Ｘ線回折装置（ＸＲＤ）を用いて基体２を測定し、得られた２θ（２θは、回折角度である。）の値より、ＪＣＰＤＳカードと照合する。ここでは、ＸＲＤにより基体２に酸化アルミニウムの存在が確認された場合を例に挙げて説明する。次に、ＩＣＰ発光分光分析装置（ＩＣＰ）または蛍光Ｘ線分析装置（ＸＲＦ）を用いて、アルミニウム（Ａｌ）の定量分析を行なう。そして、ＩＣＰまたはＸＲＦで測定したＡｌの含有量から酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）に換算した含有量が７０質量％以上であれば、基体２は酸化アルミニウム質セラミックスで構成されている。
【００３９】
また、本開示のフォーカスリング搬送部材１０における第１突起部６は、セラミックスからなっていてもよい。なお、第１突起部６は、基体２と異なるセラミックスで構成されていてもよいが、基体２と同じセラミックスで構成されているならば、第１突起部６と基体２との熱膨張係数が同じとなり、熱膨張係数の差に起因するクラックが発生しないことから、温度変化が激しい環境下でも使用することができる。ここで、第１突起部６が基体２と同じセラミックスで構成されるとは、例えば、基体２が酸化アルミニウム質セラミックスで構成されている場合、第１突起部６も酸化アルミニウム質セラミックスで構成されるということである。
【００４０】
また、本開示のフォーカスリング搬送部材１０における第１電極１、配線３および電力供給部４を構成する主成分は、導電性を有する金属であればよい。具体的には、第１電極１、配線３および電力供給部４の主成分は、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）または白金（Ｐｔ）であってもよい。ここで、主成分とは、第１電極１、配線３および電力供給部４を構成する全成分１００質量％のうち、５０質量％を超える成分のことである。なお、基体２や第１突起部６がセラミックスで構成される場合は、第１電極１、配線３および電力供給部４は、金属以外に、セラミックスの熱膨張係数に近づけるために、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）や二酸化珪素（ＳｉＯ2）等といった無機絶縁体を含有していてもよい。
【００４１】
次に、本開示のプラズマ処理装置１００を、図８を参照しながら、以下に詳細に説明する。なお、図８の説明においても、フォーカスリング搬送部材には、１０の符号を付して説明する。
【００４２】
本開示のプラズマ処理装置１００は、図８に示すように、上記構成のフォーカスリング搬送部材１０と、シリコンウエハ等の被処理物７を載置する載置面を有する載置台８と、載置面を囲うように位置するフォーカスリング９と、フォーカスリング９を支持する支持部材１１と、を備えている。そして、支持部材１１は、支持部材１１の内部に位置する静電吸着用の第２電極１２を有している。
【００４３】
ここで、載置面とは、載置台８において被処理物７と接触する面のことである。なお、被処理物７を載置面に固定するには、載置台８のうち少なくとも載置面を有する部分を、例えば、真空チャックまたは静電チャック等にすればよい。
【００４４】
また、図８においては、載置台８と支持部材１１とが別々である例を示しているが、支持部材１１は、フォーカスリング９を支持するものであればよい。例えば、載置第８がフォーカスリング９の支持部を有するもの、すなわち、載置台８と支持部材１１とが一体化したものであっても構わない。
【００４５】
また、第２電極１２は、第１電極１と同じように、単一の電極で構成される単極型であっても、正電圧が印加される電極と負電圧が印加させる電極とで構成される双極型であってもよい。
【００４６】
本開示のプラズマ処理装置１００は、このような構成を満たしていることから、プラズマ処理を行なう際には、第２電極１２に電圧を印加することで、クーロン力およびジョンソン・ラーベック力等の静電吸着力によって、支持部材１１にフォーカスリング９を吸着・保持することができる。一方、フォーカスリング９の交換は、以下の手順で行なわれる。まず、第２電極１２に電圧を印加しないことで、フォーカスリング９を支持部材１１から取り外すことができるようにする。次に、プラズマ処理装置１００の搬送口１５から上記構成のフォーカスリング搬送部材１０が挿入され、消耗したフォーカスリング９を静電吸着によりフォーカスリング搬送部材１０に吸着・保持した後、保管室（図示しない）まで搬送する。次に、保管室で消耗したフォーカスリング９を新規のフォーカスリング９に交換した後、新規のフォーカスリング９を搬送し、支持部材１１上に載せる。次に、第２電極１２に電圧を印加することで、静電吸着力によって支持部材１１にフォーカスリング９を取り付ける。このように、本開示のプラズマ処理装置１００は、上述したフォーカスリング９の交換を、雰囲気を変更することなく行えることから、フォーカスリング９の交換に時間が掛からず、生産効率が高い。
【００４７】
また、本開示のプラズマ処理装置１００は、所望のガスを供給するガス供給部材１４を備えていてもよい。なお、ガス供給部材１４は、プラズマ処理において上部電極として機能させるために、高周波電極を備えていても構わない。同様に、載置台８は、プラズマ処理において下部電極として機能させるために、高周波電極を備えていても構わない。
【００４８】
また、本開示のプラズマ処理装置１００における支持部材１１は、支持部材１１の内部に流路１３を有し、流路１３の少なくとも一部が、第２電極１２下に位置していてもよい。このような構成を満たすときには、流路１３に冷媒を流すことで、プラズマ処理おいて加熱されたフォーカスリング９を早く冷却でき、プラズマ処理から時間を空けずにフォーカスリング９の交換が可能となることから、本開示のプラズマ処理装置１００の生産効率が向上する。
【００４９】
なお、載置台８は、支持部材１１と同様に、載置台８の内部に流路１３を有していてもよい。このような構成を満たすときには、流路１３に冷媒を流すことで、プラズマ処理中において、被処理物７の温度を制御することが可能となる。
【００５０】
また、本開示のフォーカスリング搬送部材１０における載置台８および支持部材１１は、セラミックスからなっていてもよい。このような構成を満たすときには、セラミックスは、高い耐食性および耐久性を兼ね備えていることから、載置台８および支持部材１１は、プラズマ処理において、長期間の使用に耐えることができる。
【００５１】
ここで、載置台８および支持部材１１を構成するセラミックスは、基体２と同じく、酸化アルミニウム質セラミックス、窒化珪素質セラミックス、窒化アルミニウム質セラミックスまたは炭化珪素質セラミックス等であればよい。
【００５２】
また、第２電極１２を構成する主成分は、第１電極１、配線３および電力供給部４と同じように、導電性を有する金属であればよい。
【００５３】
また、本開示のプラズマ処理装置１００において、フォーカスリング搬送部材１０は、フォーカスリング９を搬送するだけでなく、被処理物７を搬送するものであってもよい。
【００５４】
以下、本開示のフォーカスリング搬送部材の製造方法の一例について説明する。なお、フォーカスリング搬送部材の基体がセラミックスから構成される場合を例に挙げて説明する。
【００５５】
まず、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）粉末、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）粉末、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）粉末、炭化珪素（ＳｉＣ）粉末等の原料粉末に、焼結助剤、バインダ、溶媒および分散剤等を所定量添加し、混合することでスラリーを作製する。
【００５６】
次に、このスラリーを用いてドクターブレード法によりグリーンシートを形成する。または、スラリーを噴霧造粒法（スプレードライ法）により噴霧乾燥して造粒し、ロールコンパクション法によりグリーンシートを形成する。
【００５７】
そして、得られたグリーンシートに対し、所望の形状になるようにレーザおよび金型等の公知の方法を用いて加工を行なう。このとき、グリーンシートに貫通孔や溝を形成し、後述する積層工法によって他のグリーンシートを重ねて貫通孔や溝を覆うことにより、吸引流路を形成したり、第１電極や配線を配置するための領域を設けたりすることができる。また、第１突起部については、図３に示す例であれば、貫通孔などの無いグリーンシートを重ねればよく、第２突起部については、貫通孔を有するグリーンシートを重ねることにより形成できる。なお、連結孔については、開口部分を塞がないようにすればよい。
【００５８】
次に、グリーンシートにおいて、第１電極、配線および電力供給部を配置する領域に、金属部材を配置するか、導電性ペーストを印刷する。ここで、金属部材および導電性ペーストの主成分は、例えば、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）または白金（Ｐｔ）とする。また、導電性ペーストの場合は、上記金属以外にも、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）や二酸化珪素（ＳｉＯ2）等といった無機絶縁体を添加してもよい。
【００５９】
次に、積層工法によってグリーンシート同士を積層し、成形体を得る。なお、グリーンシートを積層するときに用いる接合剤としては、上述したスラリーを用いてもよい。なお、積層工法では、多層的な構造の作製が容易であることから、第１電極を、正電圧が印加される電極と負電圧が印加させる電極とで構成される、いわゆる双極型にすることも容易である。
【００６０】
そして、得られた成形体を各原料粉末の焼成条件に合わせて焼成することによって、基体の内部に第１電極を備えた、本開示のフォーカスリング搬送部材を得る。
【００６１】
なお、載置台および支持部材も、上述したフォーカスリング搬送部材と同様の製造方法で作製することができる。
【符号の説明】
【００６２】
１：第１電極
２：基体
２ａ：第１部位
２ｂ：第２部位
２ｃ：基部
３：配線
４：電力供給部
５：連結孔
６、６ａ、６ｂ、６ｃ：第１突起部
７：被処理物
８：載置台
９：フォーカスリング
１０：フォーカスリング搬送部材
１１：支持部材
１２：第２電極
１３：流路
１４：ガス供給部材
１５：搬送口
１６、１６ａ、１６ｂ、１６ｃ：第２突起部
１７：吸引流路
１８：吸引孔
１９：連結孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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