(57)【要約】  流量制御機器や流量計測機器を従来に比べて簡単に且つ精度良く校正できるようにするべく、流量制御機器により所定の設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第１算出ステップと、流体が導かれる容器の容積、流体が導かれる容器の数、流体の温度、又は流体の種類の何れかを前記第１算出ステップとは異ならせて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第２算出ステップと、第１算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率及び第２算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率に基づいて配管部材の容積を算出する管容積算出ステップとを備えるようにした。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流量制御機器により所定の設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第１算出ステップと、
流体が導かれる容器の容積、流体が導かれる容器の数、流体の温度、又は流体の種類の何れかを前記第１算出ステップとは異ならせて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第２算出ステップと、
前記第１算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率及び前記第２算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率に基づいて前記配管部材の容積を算出する管容積算出ステップとを備える算出方法。
【請求項２】
容積が互いに異なる第１容器及び第２容器を並列に接続し、
前記第１算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、第２容器に導くことなく、第１容器に導き、
前記第２算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、前記第１容器に導くことなく、前記第２容器に導く、請求項１記載の算出方法。
【請求項３】
第１容器及び第２容器を直列に接続し、
前記第１算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、第２容器に導くことなく、第１容器に導き、
前記第２算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、前記第１容器及び前記第２容器に導く、請求項１記載の算出方法。
【請求項４】
前記管容積算出ステップにおいて算出された前記配管部材の容積を用いて、前記流量制御機器により制御された流体の実流量を算出する実流量算出ステップをさらに備える、請求項１記載の算出方法。
【請求項５】
流量制御機器が配管部材を介して接続される校正器であって、
前記流量制御機器により所定の設定流量に制御された流体が導かれる少なくとも２つの容器を備え、
前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体が導かれる容器の容積又は数を変更可能に構成されている校正器。
【請求項６】
流量計測機器により流量計測された流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第１算出ステップと、
流体が導かれる容器の容積、流体が導かれる容器の数、流体の温度、又は流体の種類の何れかを前記第１算出ステップとは異ならせて、前記流量計測機器により流量計測された流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第２算出ステップと、
前記第１算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率及び前記第２算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率に基づいて前記配管部材の容積を算出する管容積算出ステップとを備える算出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスフローコントローラ等の流量制御機器やマスフローメータ等の流量計測機器を校正すべく、これらに接続された配管部材の容積を算出する算出方法、及び、マスフローコントローラ等の流量制御機器やマスフローメータ等の流量計測機器を校正するための校正器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の校正器としては、圧力上昇率流量校正器（ＲＯＲ校正器）と称させるものがあり、このＲＯＲ校正器を用いて得られる実流量と流量制御機器の設定流量とを校正し、実流量と設定流量とが一致するように流量制御機器を調整する。【０００３】
具体的にＲＯＲ校正器は、容積が既知の容器に温度計及び圧力計が設けられており、この容器に流量制御機器が所定の設定流量に制御した流体を供給し、その時の容器内の圧力上昇率、容器の容積、及び流体の温度を用いて実流量を算出できるように構成されている。【０００４】
ここで、実流量を精度良く算出するためには、容器の容積に加えて、容器と流量制御機器とを接続する配管部材の容積を加味する必要がある。ところが、配管部材のサイズ等は流量制御機器の設置場所等によって区々であり、流量制御機器を精度良く調整しようとした場合、設置場所で配管部材の容積を求める必要があった。【０００５】
配管部材の容積を求める方法としては、特許文献１に示すように、ボイル・シャルルの法則を用いた方法がある。具体的には、配管部材に温度計や圧力計を設けてガスを溜め、そのガスを容器に流し込むことで、流し込む前後において温度一定の条件下では圧力と容積とが反比例することを利用して、配管部材の容積を算出している。【０００６】
しかしながら、この方法では、配管部材に圧力計や温度計を設ける必要があり、さらには調整精度を向上させるためには圧力計や温度計の校正等が必要となり、簡単に且つ精度良く流量制御機器を調整することはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１８−４４８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、上記問題点を解決すべくなされたものであって、簡単に且つ精度良く流量制御機器を調整できるようにすることをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明に係る算出方法は、流量制御機器により所定の設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第１算出ステップと、流体が導かれる容器の容積、流体が導かれる容器の数、流体の温度、又は流体の種類の何れかを前記第１算出ステップとは異ならせて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御した流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第２算出ステップと、前記第１算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率及び前記第２算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率に基づいて前記配管部材の容積を算出する管容積算出ステップとを備えることを特徴とする方法である。【００１０】
ここで、容器の容積をＶ、配管部材の容積をＸ、流体の温度をＴ、流体の圧縮係数に起因する補正係数をＣｃｏｍｐ、装置起因の補正係数をＣＫＦＦとすると、流体の流量Ｑは、容器内の圧力の時間変化率ｄｐ／ｄｔを用いて下記の式（１）で表される。
このことから、上述した本発明に係る校正方法によれば、容器の容積、容器の数、流体の温度、又は流体の種類の何れかを第１算出ステップと第２算出ステップとで異ならせて算出した圧力の時間変化率それぞれを式（１）に代入することで、流体の流量Ｑ及び配管部材の容積Ｘを未知数とした連立方程式が得られる。
そして、管容積算出ステップにおいて、この連立方程式に実測値や既知の値であるＶ、Ｔ、Ｃｃｏｍｐ、ＣＫＦＦを代入することで、連立方程式を配管部材の容積Ｘについて解くことができ、配管部材に圧力計や温度計等を設けることなく、簡単に且つ精度良く流量制御機器を調整することが可能となる。
【数１】
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【００１１】
容器の容積を異ならせる具体的な方法としては、容積が互いに異なる第１容器及び第２容器を並列に接続し、前記第１算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、第２容器に導くことなく、第１容器に導き、前記第２算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、前記第１容器に導くことなく、前記第２容器に導く方法が挙げられる。【００１２】
容器の数を異ならせる具体的な方法としては、第１容器及び第２容器を直列に接続し、前記第１算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、第２容器に導くことなく、第１容器に導き、前記第２算出ステップにおいて、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を、前記第１容器及び前記第２容器に導く方法が挙げられる。【００１３】
前記管容積算出ステップにおいて算出された前記配管部材の容積を用いて、前記流量制御機器により制御された流体の実流量を算出する実流量算出ステップをさらに備えることが好ましい。
これならば、算出した配管部材の容積Ｘを上述した式（１）に代入することで、配管部材の容積Ｘを加味した流体の実流量Ｑを算出することができ、流量制御機器を精度良く調整することができる。【００１４】
また、本発明に係る校正器は、流量制御機器が配管部材を介して接続されるものであって、前記流量制御機器により所定の設定流量に制御された流体が導かれる少なくとも２つの容器を備え、前記流量制御機器により前記設定流量に制御された流体が導かれる容器の容積又は数を変更可能に構成されていることを特徴とするものである。
このような校正器であれば、上述した校正方法と同様の作用効果を奏し得る。【００１５】
さらに、本発明に係る算出方法は、流量計測機器により流量計測された流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第１算出ステップと、流体が導かれる容器の容積、流体が導かれる容器の数、流体の温度、又は流体の種類の何れかを前記第１算出ステップとは異ならせて、前記流量計測機器により流量計測された流体を配管部材を介して容器に導き、当該容器内の圧力の時間変化率を算出する第２算出ステップと、前記第１算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率及び前記第２算出ステップにおいて算出された圧力の時間変化率に基づいて前記配管部材の容積を算出する管容積算出ステップとを備えることを特徴とする方法である。
このような方法であれば、上述した流量制御機器の校正方法と同様に、簡単に且つ精度良く流量計測機器を調整することが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
このように構成した本発明によれば、流量制御機器や流量計測機器を従来に比べて簡単に且つ精度良く調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態の校正器の構成を模式的に示す図。
【図２】本実施形態の校正方法を示すフローチャート。
【図３】その他の実施形態における校正器の構成を模式的に示す図。
【図４】その他の実施形態における校正方法を示すフローチャート。
【図５】その他の実施形態における校正方法を示すフローチャート。
【図６】その他の実施形態における校正方法を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、本発明に係る流量制御機器の校正方法の一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１９】
まず、流量制御機器ＭＦＣを校正する校正システム１００の全体構成について説明する。
【００２０】
本実施形態の校正システム１００は、例えばマスフローコントローラ等の流量制御機器ＭＦＣを校正するためのものであり、図１に示すように、流量制御機器ＭＦＣに接続される校正器１０と、流量制御機器ＭＦＣ及び校正器１０を接続する配管部材Ｌと、校正器１０の下流に接続された真空ポンプ等の吸引ポンプＰと、校正器１０との間で信号を授受する情報処理装置２０とを具備している。
【００２１】
配管部材Ｌは、一端開口が流量制御機器ＭＦＣの導出ポートＡに接続されるとともに、他端開口が校正器１０の導入ポートＢに接続されたものである。
なお、ここでいう配管部材Ｌとは、内部空間が流体の流れる流路として形成されたものであり、配管そのもののみならず、内部流路が形成されたマニホールドブロックやガスパネル等も含まれる概念であり、配管やマニホールドブロックやガスパネルを組み合わせたものも配管部材Ｌである。
【００２２】
校正器１０は、圧力上昇率流量校正器（ＲＯＲ校正器）と称させるものであり、具体的には少なくとも２つの容器１１、１２を備えており、これらの容器１１、１２に流量制御機器ＭＦＣによって所定の設定流量に制御された流体が導かれるように構成されている。
ここでの校正器１０は、容積が互いに異なる第１容器１１及び第２容器１２を備えており、これらの第１容器１１及び第２容器１２が並列接続されている。第１容器１１及び第２容器１２は、容積が既知のものである。第１容器１１には第１圧力計Ｐ１及び第１温度計Ｔ１が設けられており、第２容器１２には第２圧力計Ｐ２及び第２温度計Ｔ２が設けられている。これらの第１圧力計Ｐ１、第１温度計Ｔ１、第２圧力計Ｐ２、及び第２温度計Ｔ２の測定値は後述する情報処理装置２０に出力される。
【００２３】
そして、本実施形態の校正器１０は、流量制御機器ＭＦＣにより所定の設定流量に制御された流体が導かれる容器の容積を変更可能に構成されたものであり、具体的には流体が第１容器１１又は第２容器１２の何れか一方に択一的に導かれるように構成されている。
【００２４】
より具体的に説明すると、校正器１０は、上述した導入ポートＢが形成されて配管部材Ｌに接続された上流側メイン管Ｚ１と、上流側メイン管Ｚ１から分岐した複数の分岐管Ｚ２と、これら複数の分岐管Ｚ２が合流する下流側メイン管Ｚ３とを有している。ここでは２つの分岐管Ｚ２が設けられており、第１分岐管Ｚ２ａには第１容器１１が設けられ、第２分岐管Ｚ２ｂには第２容器１２が設けられている。この構成において、導入ポートＢから第１分岐管Ｚ２ａと第１容器１１との接続箇所Ｃまでの容積は既知であり、導入ポートＢから第２分岐管Ｚ２ｂと第２容器１２との接続箇所Ｄまでの容積は既知である。
【００２５】
第１分岐管Ｚ２ａにおける第１容器１１の上流及び下流それぞれに開閉弁Ｘ１、２が設けられており、第２分岐管Ｚ２ｂにおける第２容器１２の上流及び下流それぞれに開閉弁Ｘ３、４が設けられている。以下では、説明の便宜上、第１容器１１の上流の開閉弁を第１開閉弁Ｘ１、第１容器１１の下流の開閉弁を第２開閉弁Ｘ２、第２容器１２の上流の開閉弁を第３開閉弁Ｘ３、第２容器１２の下流の開閉弁を第４開閉弁Ｘ４という。この構成において、第１容器１１から第２開閉弁Ｘ２までの容積は既知であり、第２容器１２から第４開閉弁Ｘ４までの容積は既知である。
【００２６】
情報処理装置２０は、物理的に言えば、ＣＰＵ、メモリ、入出力インターフェース等を備えた汎用乃至専用のコンピュータであり、前記メモリの所定領域に記憶させた所定のプログラムにしたがって、ＣＰＵや周辺機器を協働させることにより、第１圧力計Ｐ１、第１温度計Ｔ１、第２圧力計Ｐ２、及び第２温度計Ｔ２の測定値を示す信号を受け付けて種々の演算処理を行ったり、上述した各バルブの制御を行ったりするものである。
【００２７】
次に、本実施形態の校正方法について、図２のフローチャートを参照しながら説明する。
【００２８】
まず、校正対象である流量制御機器ＭＦＣに校正器１０を接続する（Ｓ１）。
【００２９】
次に、第１開閉弁Ｘ１及び第３開閉弁Ｘ３を閉じ、第２開閉弁Ｘ２及び第４開閉弁Ｘ４を開けた状態で、吸引ポンプＰを稼動させる。これにより、第１容器１１及び第２容器１２を真空引きされる（Ｓ２）。
【００３０】
その後、第２開閉弁Ｘ２及び第４開閉弁Ｘ４を閉じ、第１開閉弁Ｘ１を開け、流量制御機器ＭＦＣにより設定流量に制御された流体を第１容器１１に導く（Ｓ３）。これにより、第１容器１１内の圧力は徐々に上昇する。このとき、第１圧力計Ｐ１から測定圧力を示す信号が情報処理装置２０に逐次出力されるとともに、第１温度計Ｔ１から測定温度を示す信号が情報処理装置２０に逐次出力される。
【００３１】
続いて、情報処理装置２０は、第１圧力計Ｐ１の測定圧力に基づいて、第１容器１１内の圧力の時間変化率、より具体的には圧力上昇率ｄｐ／ｄｔを算出する（Ｓ４）。なお、Ｓ３及びＳ４が請求項でいう第１算出ステップである。
【００３２】
ここでは、Ｓ３において第１開閉弁Ｘ１を開けたタイミングから所定の第１待機時間経過後の複数のタイミングで測定圧力を取得して記憶し、それらの測定圧力の近似式を例えば最小二乗法により求め、その近似式の傾きを圧力上昇率として算出している。なお、第１待機時間は、第１開閉弁Ｘ１を開けてから圧力上昇率が安定するまでに要すると推定される時間であり、ユーザが適宜設定することができる。
【００３３】
次に、第１開閉弁Ｘ１を閉じ、第３開閉弁Ｘ３を開け、流量制御機器ＭＦＣにより設定流量に制御した流体を第２容器１２に導く（Ｓ５）。これにより、第２容器１２内の圧力は徐々に上昇する。このとき、第２圧力計Ｐ２から測定圧力を示す信号が情報処理装置２０に逐次出力されるとともに、第２温度計Ｔ２から測定温度を示す信号が情報処理装置２０に逐次出力される。
なお、このＳ５における流量制御機器ＭＦＣの設定流量と、上述したＳ３における流量制御機器ＭＦＣの設定流量とは同一流量である。
【００３４】
続いて、情報処理装置２０は、第２圧力計Ｐ２の測定圧力に基づいて、第２容器１２内の圧力の時間変化率、より具体的には圧力上昇率ｄｐ／ｄｔを算出する（Ｓ６）。なお、Ｓ５及びＳ６が請求項でいう第２算出ステップである。
ここでは、Ｓ５において第３開閉弁を開けたタイミングから所定の第２待機時間経過後の複数のタイミングで測定圧力を取得して記憶し、それらの測定圧力の近似式を例えば最小二乗法により求め、その近似式の傾きを圧力上昇率として算出している。なお、第２待機時間は、第３開閉弁Ｘ３を開けてから圧力上昇率が安定するまでに要すると推定される時間であり、上述した第１待機時間と同じであっても良いし、異なっていても良く、ユーザが適宜設定することができる。
【００３５】
そして、情報処理装置２０は、Ｓ３及びＳ５において第１温度計Ｔ１及び第２温度計Ｔ２から出力された測定温度や、Ｓ４及びＳ６において算出した圧力上昇率を用いて、配管部材Ｌの容積を算出する（Ｓ７：管容積算出ステップ）。
【００３６】
より具体的に説明すると、流体の流量Ｑ［ＳＬＭ］は、気体の状態方程式等を用いると下記の式で表すことができる。
【数２】
2019240075.tif 000004
なお、Ｖは流体の体積［Ｌ］、ｄｐ／ｄｔは圧力上昇率［Ｔｏｒｒ／ｓ］、Ｔは流体の温度［Ｋ］、Ｃｃｏｍｐは流体の圧縮係数についての補正係数、ＣＫＦＦは装置起因の補正係数である。以下では、説明の便宜上、Ｃｃｏｍｐ＝１、ＣＫＦＦ＝１とする。
【００３７】
ここで、導入ポートＢから第１分岐管Ｚ２ａ及び第１容器１１の接続箇所Ｃまでの容積と、第１容器１１の容積と、第１容器１１から第２開閉弁Ｘ２までの容積とを合わせた容積をＶ１とする。また、導入ポートＢから第２分岐管Ｚ２ｂ及び第２容器１２の接続箇所Ｄまでの容積と、第２容器１２の容積と、第２容器１２から第４開閉弁Ｘ４までの容積とを合わせた容積をＶ２とする。さらに、配管部材Ｌの容積をＸとする。なお、Ｖ１及びＶ２は既知であり、Ｘが未知数である。
【００３８】
Ｓ３における流体の流量は、この流体が導かれる空間の容積であるＶ１＋Ｘを上記の式（２）のＶに代入して、下記の式（３）で表される。
【数３】
2019240075.tif 000005
なお、Ｃ１＝(60/760)×(273.15/273.15+T1)であり、Ｔ１はＳ３において測定された第１容器１１内の温度であって、具体的にはＳ３において測定された温度の平均値や、Ｓ３における所定のタイミングで測定された温度等である。また、（ｄｐ／ｄｔ）１はＳ４において算出された圧力上昇率である。
【００３９】
一方、Ｓ５における流体の流量は、この流体が導かれる空間の容積であるＶ２＋Ｘを上記の式（２）のＶに代入して、下記の式（４）で表される。
【数４】
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なお、Ｃ２＝(60/760)×(273.15/273.15+T2)であり、Ｔ２はＳ５において測定された第１容器１１内の温度であって、具体的にはＳ５において測定された温度の平均値や、Ｓ５における所定のタイミングで測定された温度等である。また、（ｄｐ／ｄｔ）２はＳ６において算出された圧力上昇率である。
【００４０】
ここで、上述したようにＳ５における設定流量とＳ３における設定流量とが同一流量であるので、式（３）の実流量Ｑ＝式（４）の実流量であり、この条件において連立方程式（３）及び（４）を未知数Ｘについて解くと、Ｘは下記の式（５）で表すことができる。
【数５】
2019240075.tif 000007
そして、この式（５）において、Ｖ１及びＶ２は既知であり、（ｄｐ／ｄｔ）１、（ｄｐ／ｄｔ）２、Ｃ１、及びＣ２は温度に関する実測値であるから、配管部材Ｌの容積Ｘを算出することができる。
【００４１】
その後、情報処理装置２０は、配管部材Ｌの容積Ｘを式（２）、式（３）、又は式（４）に代入して実流量Ｑを算出する（Ｓ８：実流量算出ステップ）。なお、算出した実流量は、例えばディスプレイ等に表示出力する。
【００４２】
これにより、実流量Ｑと流量制御機器ＭＦＣの設定流量とを校正し、実流量Ｑと設定流量とが一致するように流量制御機器ＭＦＣを調整する（Ｓ９）。
【００４３】
このような校正方法によれば、流量制御機器ＭＦＣにより流量が制御された流体を、容積が互いに異なる第１容器１１及び第２容器１２に導き、第１容器１１内及び第２容器１２内の圧力上昇率をそれぞれ算出するので、これらの圧力上昇率を用いて流体の実流量Ｑ及び配管部材Ｌの容積Ｘを未知数とした連立方程式（本実施形態における式３、４）を得ることができる。そして、この連立方程式を配管部材Ｌの容積Ｘについて解くことで、例えば配管部材Ｌに圧力計や温度計等を設けることなく、簡単に配管部材Ｌの容積Ｘを得ることができる。
その結果、配管部材Ｌの容積を加味して流体の実流量を算出することができるので、流量制御機器ＭＦＣを簡単に且つ精度良く調整することができる。
【００４４】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００４５】
例えば、前記実施形態では、互いに容積の異なる第１容器１１及び第２容器１２を並列に接続していたが、例えば仕切部材等によって容器の容積を変更可能にしても良い。
これならば、容器の数を減らすことができ、校正器１０の小型化を図れる。
【００４６】
また、前記実施形態のＳ３において、複数のタイミングで取得した測定圧力の近似式を例えば最小二乗法を用いて求め、その近似式の傾きを圧力上昇率として算出していたが、Ｓ３において第１開閉弁Ｘ１を開けたタイミングから所定の第１待機時間経過後の第１タイミングと、その第１タイミング以降の第２タイミングとにおいて測定圧力を取得し、第１タイミングにおける測定圧力と第２タイミングにおける測定圧力との差分を、第１タイミングから第２タイミングまでの時間で割ることで、圧力上昇率を算出しても良い。
なお、前記実施形態のＳ５においても、同様である。
【００４７】
さらに、校正器１０としては、図３に示すように、複数の容器を直列に接続して良い。
具体的にこの校正器１０は、第１配管Ｚ４、第１容器１１、第２配管Ｚ５、及び第２容器１２がこの順に直列接続されており、第１容器１１の上流に第５開閉弁Ｘ５、第１容器１１及び第２容器１２の間に第６開閉弁Ｘ６、第２容器１２の下流に第７開閉弁Ｘ７が設けられている。なお、第１配管Ｚ４及び第２配管Ｚ５の容積は既知である。
【００４８】
この校正器１０を用いた校正方法としては、図４に示すように、流量制御機器ＭＦＣに校正器１０を接続し（Ｓ１１）、第５開閉弁Ｘ５を閉じ、第６開閉弁Ｘ６及び第７開閉弁Ｘ７を開け、第１容器１１及び第２容器１２を真空引きする（Ｓ１２）。
その後、第６開閉弁Ｘ６及び第７開閉弁Ｘ７を閉じ、第５開閉弁Ｘ５を開け、流体制御機器により設定流量に制御された流体を第１容器１１にのみ導き（Ｓ１３）、第１容器１１内の圧力上昇率を算出する（Ｓ１４）。
次に、再び第５開閉弁Ｘ５を閉じ、第６開閉弁Ｘ６及び第７開閉弁Ｘ７を開け、第１容器１１及び第２容器１２を真空引きする（Ｓ１５）。
その後、第７開閉弁Ｘ７を閉じ、第６開閉弁Ｘ６を開けたまま、第５開閉弁Ｘ５を開け、流体制御機器により設定流量に制御された流体を第１容器１１及び第２容器１２に導き（Ｓ１６）、第２容器１２内の圧力上昇率を算出する（Ｓ１７）。以後は、前記実施形態と同様に、流量制御機器ＭＦＣを調整することができる（Ｓ１８〜２０）。
このようは方法であっても、前記実施形態と同様に、流体の実流量Ｑ及び配管部材Ｌの容積Ｘを未知数とした連立方程式を得ることができ、配管部材Ｌの容積Ｘを簡単に求めることができる。
【００４９】
別の校正方法としては、図５に示すように、流量制御機器により設定流量に制御された流体を所定の第１温度に温調して容器に導き、容器内の圧力上昇率を算出し、その後、流量制御機器により前記設定流量に制御された流体を第１温度とは異なる第２温度に温調して容器に導き、容器内の圧力上昇率を算出しても良い。
この場合、前記実施形態の式（２）におけるＴの値に第１温度と第２温度とを代入することで、これにより得られる実流量Ｑが同じであるという条件において、前記実施形態と同様に、流体の実流量Ｑ及び配管部材Ｌの容積Ｘを未知数とした連立方程式を得ることができる。
【００５０】
さらに別の校正方法としては、図６に示すように、所定の圧縮係数を有する第１流体を流量制御機器により設定流量に制御して容器に導き、容器内の圧力上昇率を算出し、その後、第１流体とは異なる圧縮係数を有する第２流体を流量制御機器により前記設定流量に制御して容器に導き、容器内の圧力上昇率を算出しても良い。
この場合、前記実施形態の式（２）におけるＣｃｏｍｐの値に第１流体及び第２流体それぞれの圧縮係数についての補正係数を代入することで、これにより得られる実流量Ｑが同じであるという条件において、前記実施形態と同様に、流体の実流量Ｑ及び配管部材Ｌの容積Ｘを未知数とした連立方程式を得ることができる。
なお、図５や図６に示す方法であっても、配管部材の容積を簡単に求めることができ、しかも必要な容器を１つにすることができるので、校正器の小型化を図れる。
【００５１】
また、第１算出ステップ及び第２算出ステップにおいて、容積の容積、容器の数、流体の温度、又は流体の種類のうち１つのパラメータのみを変更するのではなく、これらのうちの複数のパラメータを変更しても良い。
【００５２】
さらに、前記実施形態では、流量制御機器を校正対象としていたが、本発明に係る校正方法や校正機器を、例えば、流量計測機器（マスフローメータ）の校正に適用しても良い。
この場合、流量計測機器により計測された計測値と、前記実施形態と同様に算出した実流量Ｑとを校正して、実流量Ｑと計測値とが一致するように流量計測機器を調整すれば良い。
【００５３】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５４】
１００・・・校正システム
ＭＦＣ・・・流量制御機器
１０  ・・・校正器
２０  ・・・情報処理装置２０
Ｐ    ・・・吸引ポンプ
Ｌ    ・・・配管部材
１１  ・・・第１容器
１２  ・・・第２容器
Ｘ１  ・・・第１開閉弁
Ｘ２  ・・・第２開閉弁
Ｘ３  ・・・第３開閉弁
Ｘ４  ・・・第４開閉弁
Ｐ１  ・・・第１圧力計
Ｔ１  ・・・第１温度計
Ｐ２  ・・・第２圧力計
Ｔ２  ・・・第２温度計
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明によれば、流量制御機器や流量計測機器を従来に比べて簡単に且つ精度良く校正することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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