(57)【要約】  ガラス板１の切断予定部２上にスクライブ線４を形成する起点形成工程と、ガラス板１を支持する支持面５ａに溝状の凹部６が備わった支持部材５を用いて、凹部６上に切断予定部２が配置されるように、スクライブ線４が形成されたガラス板１を一方面１ａ側から支持部材５に支持させるセッティング工程と、凹部６内に負圧を発生させ、凹部６上の切断予定部２を一方面１ａ側が凸となるように湾曲させることで、スクライブ線４を起点として切断予定部２に沿ってガラス板１を切断する切断工程とを含んだガラス板の製造方法について、切断工程の実行時に、凹部６の全体を、ガラス板１を介してガラス板１の他方面１ｂ側からカバー部材８により覆うようにした。
2019244712.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板の切断予定部上に切断起点を形成する起点形成工程と、
前記ガラス板を支持する支持面に溝状の凹部が備わった支持部材を用いて、前記凹部上に前記切断予定部が配置されるように、前記切断起点が形成された前記ガラス板を一方面側から前記支持部材に支持させるセッティング工程と、
前記凹部内に負圧を発生させ、該凹部上の前記切断予定部を一方面側が凸となるように湾曲させることで、前記切断起点を起点として前記切断予定部に沿って前記ガラス板を切断する切断工程とを含んだガラス板の製造方法であって、
前記切断工程の実行時に、前記凹部の全体を、前記ガラス板を介して該ガラス板の他方面側からカバー部材により覆うことを特徴とするガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記カバー部材が、可撓性および気密性を有し且つ前記ガラス板を介して前記凹部を覆うシート体と、該シート体よりも剛性が高く且つ該シート体を保持する保持体とを備えることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記保持体が、前記シート体を厚み方向に挟んで前記ガラス板とは反対側から前記シート体を保持していることを特徴とする請求項２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記シート体および前記保持体が透明であることを特徴とする請求項３に記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
前記シート体が、前記ガラス板の他方面の全面を覆うと共に、
前記シート体の縁部が、前記保持体に固定されていることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項６】
前記シート体のヤング率が０．５ＧＰａ以上であることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項７】
前記起点形成工程では、前記切断起点として、前記ガラス板の一方面側で閉ループをなすスクライブ線を形成することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項８】
前記起点形成工程では、前記切断起点として、前記ガラス板の一方面側で第一方向に延びる第一スクライブ線、及び、前記ガラス板の一方面側で第一方向とは異なる第二方向に延び且つ前記第一スクライブ線と交差する第二スクライブ線を形成することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項９】
前記セッティング工程の実行時に、前記第一スクライブ線の両端、及び、前記第二スクライブ線の両端が前記凹部から食み出ないように、前記起点形成工程にて両スクライブ線を形成することを特徴とする請求項８に記載のガラス板の製造方法。
【請求項１０】
前記支持部材の前記凹部における開口幅が５ｍｍ〜２０ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
【請求項１１】
切断予定部によって区画された状態にある複数面分の板状のデバイスを含んだデバイス母材について、該デバイス母材が備える対向配置された両ガラス板の各々を切断対象板として前記切断予定部に沿って切断するのに伴い、前記デバイス母材から前記デバイスを切り出して製造する方法であって、
前記切断対象板の前記切断予定部上に切断起点を形成する起点形成工程と、
前記デバイス母材を支持する支持面に溝状の凹部が備わった支持部材を用いて、前記凹部上に前記切断起点を形成済みの前記切断対象板の前記切断予定部が配置されるように、前記デバイス母材を一方面側から前記支持部材に支持させるセッティング工程と、
前記凹部内に負圧を発生させ、該凹部上の前記切断予定部を一方面側が凸となるように湾曲させることで、前記切断起点を起点として前記切断予定部に沿って前記切断対象板を切断する切断工程とを含み、
前記切断工程の実行時に、前記凹部の全体を、前記デバイス母材を介して該デバイス母材の他方面側からカバー部材により覆うことを特徴とするデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造方法およびデバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、ガラス板の製造に際しては、大面積のガラス板から小面積の製品サイズのガラス板を切り出す工程を実行する場合がある。このような工程を実行するための手法の一例が特許文献１に開示されている。【０００３】
同文献に開示された手法では、まず、ガラス板の閉ループをなす切断予定ライン上に切り筋を形成する切り筋形成工程を実行する。次いで、ガラス板を載置する載置面に溝状の凹部が備わった治具を用いて、凹部上に切断予定ラインが配置されるように、切り筋が形成されたガラス板を治具上に載置する配置工程を実行する。最後に、ガラス板により蓋をされた状態にある凹部内に負圧を発生させ、ガラス板における凹部上の部位（切断予定ラインの近傍部）を凹部側に向かって凸に湾曲させる。このようにして、切り筋を起点として切断予定ラインに沿ってガラス板を切断する切断工程を実行する。【０００４】
上記の手法を利用することで、ガラス板のうち、閉ループをなす切断予定ラインの内側に存在していた部位が、製品サイズのガラス板として切り出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第２０１１／１５５３１４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記の手法には下記のような解決すべき問題が存在している。【０００７】
すなわち、同手法では、切断工程を完了させるにあたり、切断予定ラインの全長に亘ってガラス板が切断されるまで凹部内の負圧を維持する必要がある。ここで、ガラス板の切断は、切り筋を起点として漸次に切断予定ラインに沿って進展していくことから、切断予定ラインの全長が同時に切断されるわけではない。このため、切断予定ライン上のいずれかの箇所が切断された後においては、この箇所を通じて凹部内と凹部外とが空間的に繋がった状態となり、凹部内の密閉性が損なわれてしまう。その結果、切断工程が完了する前に、凹部内へとガスが流入することになり、凹部内の負圧を維持することが困難となって、ガラス板の切断に支障を来たす場合があった。【０００８】
また、同手法では、切断工程前に樹脂シートをガラス板に粘着または接着させているが、このようにすると、切断工程後にガラス板から樹脂シートを引き剥がす必要が生じる。切断工程により形成されるガラス板の切断面同士の間には殆ど隙間が存在しないため、ガラス板から樹脂シートを引き剥がす際に、切断面同士が擦れることで、切断面の品位が悪化するという問題もある。【０００９】
なお、上述のような問題は、大面積のガラス板から小面積の製品サイズのガラス板を切り出す場合のみならず、複数面分の板状のデバイス（液晶パネルや有機ＥＬパネル等）を含んだデバイス母材から個々のデバイスを切り出すような場合にも生じるものである。すなわち、デバイス母材から個々のデバイスを切り出すに際しては、デバイス母材が備える対向配置された両ガラス板の各々を上記の手法を利用して切断予定ラインに沿って切断する場合がある。このような場合にも、凹部内の負圧の維持が困難となったり、ガラス板の切断面同士が擦れて切断面の品位が悪化したりする問題が同様に発生してしまう。【００１０】
上記の事情に鑑みなされた本発明は、負圧を利用してガラス板を切断する場合に、ガラス板の切断が完了するまでの負圧の維持を可能とすることで、円滑なガラス板の切断を実現すると共に、切断面の品位を向上させることを技術的な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために創案された本発明は、ガラス板の切断予定部上に切断起点を形成する起点形成工程と、ガラス板を支持する支持面に溝状の凹部が備わった支持部材を用いて、凹部上に切断予定部が配置されるように、切断起点が形成されたガラス板を一方面側から支持部材に支持させるセッティング工程と、凹部内に負圧を発生させ、凹部上の切断予定部を一方面側が凸となるように湾曲させることで、切断起点を起点として切断予定部に沿ってガラス板を切断する切断工程とを含んだガラス板の製造方法であって、切断工程の実行時に、凹部の全体を、ガラス板を介してガラス板の他方面側からカバー部材により覆うことを特徴とする。【００１２】
本方法では、セッティング工程を実行することで、起点形成工程を経て切断予定部上に切断起点が形成されたガラス板を一方面側から支持部材により支持させる。そして、切断工程を開始すると、凹部内に発生させた負圧によって凹部上の切断予定部は一方面側が凸となるように湾曲し、切断起点を起点として切断予定部に沿ったガラス板の切断が開始される。この切断工程の実行中に、凹部の全体を、ガラス板を介してガラス板の他方面側からカバー部材により覆うことで、下記の効果が得られる。すなわち、ガラス板を介して凹部の全体がカバー部材により蓋をされた状態となるため、切断予定部の全体が同時に切断されず、切断予定部上のいずれかの箇所が先行して部分的に切断された場合でも、この箇所を通じて凹部内と凹部外とが空間的に繋がった状態となることを回避でき、凹部内の密閉性が損なわれることを防止できる。これは、切断に伴って生じる隙間（対向する切断面同士の間に生じる隙間であり、以下、「切断面間隙間」と表記）が、他方面側からカバー部材により覆われるためである。その結果、ガラス板の切断が完了するまで（切断予定部の全体が切断されるまで）凹部内の負圧の維持が可能となり、円滑なガラス板の切断を実現できる。また、本方法では、カバー部材とガラス板とが非接着であり、切断工程の実行中にカバー部材によってガラス板の他方面側を単に覆っているのみである。このため、切断後にカバー部材を取り除くだけで切断後のガラス板を取り出すことが可能となり、ガラス板の取り出しの際に切断面同士が擦れるのを防止できる。その結果、得られたガラス板の切断面の品位を向上させることが可能となる。【００１３】
上記の方法において、カバー部材が、可撓性および気密性を有し且つガラス板を介して凹部を覆うシート体と、シート体よりも剛性が高く且つシート体を保持する保持体とを備えることが好ましい。【００１４】
このようにすれば、シート体が可撓性を有することで、カバー部材により確実に切断面間隙間を覆うことが可能となる。これは、凹部内に発生させた負圧により、切断面間隙間を通じてシート体が凹部側に吸引されるため、負圧に起因して切断部（切断予定部が切断されてなる部位）が変形したとしても、この変形に倣うようにシート体が変形しつつ切断部に密着するからである。これにより、凹部内の負圧を維持する効果を更に好適に享受できる。さらに、シート体よりも剛性が高い保持体がシート体を保持していることで、シート体が過度に吸引されて切断面間隙間に侵入してしまうような事態の発生を好適に回避できる。これにより、切断面間隙間へのシート体の侵入に起因し、ガラス板が破損するような虞を的確に排除できる。【００１５】
上記の方法において、保持体が、シート体を厚み方向に挟んでガラス板とは反対側からシート体を保持していることが好ましい。【００１６】
このようにすれば、保持体とガラス板との両者間にシート体が介在した状態となることから、保持体とガラス板との接触を確実に回避することができ、接触に起因したガラス板の破損や傷の発生等を好適に防止することが可能となる。【００１７】
上記の方法において、シート体および保持体が透明であることが好ましい。【００１８】
このようにすれば、シート体と保持体との双方が透明であることから、切断工程の実行中において、ガラス板を平面視する方向から視て、切断予定部に沿ったガラス板の切断がどこまで進展しているのかを容易に把握できる。これにより、切断予定部の全体が切断される前（切断工程の完了前）に、カバー部材による凹部の覆いを解除してしまうような誤りを確実に防ぐことが可能となる。【００１９】
上記の方法において、シート体が、ガラス板の他方面の全面を覆うと共に、シート体の縁部が、保持体に固定されていることが好ましい。【００２０】
このようにすれば、シート体がガラス板の他方面の全面を覆っていることから、ガラス板の切断予定部がいかなる方向に延びている場合でも、切断予定部が切断されてなる切断部を単一のシート体のみで確実に覆うことが可能となる。さらに、シート体の縁部が保持体に固定されているため、カバー部材を繰り返し使用したような場合であっても、シート体に皺が形成され難くなる。【００２１】
上記の方法において、シート体のヤング率が０．５ＧＰａ以上であることが好ましい。【００２２】
このようにすれば、上述のシート体が過度に吸引されて切断面間隙間に侵入してしまうような事態の発生をより好適に回避できる。【００２３】
上記の方法において、起点形成工程では、切断起点として、ガラス板の一方面側で閉ループをなすスクライブ線を形成してもよい。【００２４】
このようにすれば、ガラス板のうち、閉ループをなすスクライブ線の内側に存在する部位を、スクライブ線の軌跡に対応した形状のガラス板として切り出すことが可能となる。【００２５】
上記の方法において、起点形成工程では、切断起点として、ガラス板の一方面側で第一方向に延びる第一スクライブ線、及び、ガラス板の一方面側で第一方向とは異なる第二方向に延び且つ第一スクライブ線と交差する第二スクライブ線を形成してもよい。【００２６】
このようにすれば、第一スクライブ線および第二スクライブ線の軌跡に倣った輪郭形状を有するガラス板を切り出すことができる。【００２７】
上記の方法において、セッティング工程の実行時に、第一スクライブ線の両端、及び、第二スクライブ線の両端が凹部から食み出ないように、起点形成工程にて両スクライブ線を形成することが好ましい。【００２８】
このようにすれば、切断予定部における第一スクライブ線の両端付近の部位、及び、第二スクライブ線の両端付近の部位について、これらの部位を確実に一方面側が凸となるように湾曲させることが可能となる。そのため、切断部が第一スクライブ線、或いは、第二スクライブ線から逸れるようにして形成されるような事態の発生を的確に回避できる。【００２９】
上記の方法において、支持部材の凹部における開口幅が５ｍｍ〜２０ｍｍの範囲内であることが好ましい。【００３０】
支持部材の凹部における開口幅が５ｍｍよりも狭いと、切断部において対向する切断面同士が接触して傷が生じてしまう虞がある。一方、開口幅が２０ｍｍよりも広いと、切断面が凹部の底に接触して傷が生じてしまう虞がある。しかしながら、開口幅を５ｍｍ〜２０ｍｍの範囲内とすれば、上記のような虞を的確に排除することが可能となる。【００３１】
また、上記の課題を解決するために創案された本発明は、切断予定部によって区画された状態にある複数面分の板状のデバイスを含んだデバイス母材について、デバイス母材が備える対向配置された両ガラス板の各々を切断対象板として切断予定部に沿って切断するのに伴い、デバイス母材からデバイスを切り出して製造するデバイスの製造方法であって、切断対象板の切断予定部上に切断起点を形成する起点形成工程と、デバイス母材を支持する支持面に溝状の凹部が備わった支持部材を用いて、凹部上に切断起点を形成済みの切断対象板の切断予定部が配置されるように、デバイス母材を一方面側から支持部材に支持させるセッティング工程と、凹部内に負圧を発生させ、凹部上の切断予定部を一方面側が凸となるように湾曲させることで、切断起点を起点として切断予定部に沿って切断対象板を切断する切断工程とを含み、切断工程の実行時に、凹部の全体を、デバイス母材を介してデバイス母材の他方面側からカバー部材により覆うことを特徴とする。【００３２】
本方法によれば、切断対象板の切断に際して、上記のガラス板の製造方法に係る説明で既述の作用・効果を得ることが可能である。これにより、デバイス母材が備える両ガラス板の各々について、円滑な切断を実現できると共に、切断面の品位を向上させることが可能となる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、ガラス板の切断が完了するまでの負圧の維持が可能となり、円滑なガラス板の切断を実現できる。また、得られたガラス板の切断面の品位を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１ａ】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法における起点形成工程を示す平面図である。
【図１ｂ】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法における起点形成工程を示す平面図である。
【図１ｃ】図１ｂにおけるＡ−Ａ断面を示す縦断正面図である。
【図２ａ】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法において、セッティング工程に用いる支持部材を示す平面図である。
【図２ｂ】図２ａにおけるＢ−Ｂ断面を示す縦断正面図である。
【図３ａ】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法におけるセッティング工程を示すと共に、切断工程に用いるカバー部材を示す平面図である。
【図３ｂ】図３ａにおけるＣ−Ｃ断面を示す縦断正面図である。
【図４ａ】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法における切断工程を示す縦断正面図である。
【図４ｂ】本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法における切断工程を示す縦断正面図である。
【図５ａ】本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造方法におけるセッティング工程を示すと共に、切断工程に用いるカバー部材を示す平面図である。
【図５ｂ】図５ａにおけるＤ−Ｄ断面を示す縦断正面図である。
【図６ａ】本発明の第三実施形態に係るデバイスの製造方法におけるセッティング工程を示すと共に、切断工程に用いるカバー部材を示す平面図である。
【図６ｂ】図６ａにおけるＥ−Ｅ断面を示す縦断正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法およびデバイスの製造方法について、添付の図面を参照しながら説明する。
【００３６】
［第一実施形態］
はじめに、本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法について説明する。本製造方法では、ガラス板１を切断予定部２に沿って切断することにより、ガラス板１から有効部３（後に製品となる部位）を切り出す。
【００３７】
本製造方法は、ガラス板１の切断予定部２上に切断起点としてのスクライブ線４を形成する起点形成工程（図１ａ〜図１ｃ）と、支持部材５に備わった凹部６上にガラス板１の切断予定部２が配置されるように、スクライブ線４を形成済みのガラス板１を一方面１ａ側から支持部材５に支持させるセッティング工程（図３ａ，図３ｂ）と、凹部６内に負圧を発生させて凹部６上の切断予定部２を湾曲させることで、スクライブ線４を起点としてガラス板１を切断する切断工程（図４ａ，図４ｂ）とを含んでいる。そして、本製造方法では、切断工程の実行時に、切断予定部２が切断されてなる切断部７を通じて凹部６の内外が空間的に繋がることを回避するため、凹部６の全体（全長）を、ガラス板１を介して当該ガラス板１の他方面１ｂ側からカバー部材８により覆う。
【００３８】
＜起点形成工程＞
図１ａに示すように、ガラス板１の切断予定部２は平面視で閉ループをなしている。この切断予定部２は、閉ループの内側に存するガラス板１の有効部３と、閉ループの外側に存するガラス板１の非有効部９（後に廃棄される部位）との境界となっている。
【００３９】
本実施形態では、切断の対象となるガラス板１は矩形の形状を有し、その厚みは２００μｍ以下であることが好ましい。なお、ガラス板１の厚みとしては、より好ましくは１００μｍ以下であり、さらに好ましくは５０μｍ以下である。また、本実施形態では、ガラス板１の有効部３は円弧状に湾曲したコーナー部を四隅に有する略矩形の形状をなす。
【００４０】
起点形成工程では、スクライブ線４を形成するにあたって、例えばスクライブホイールやダイヤモンドチップ（単結晶ダイヤ）等の形成具を用いる。これら形成具によりガラス板１を一方面１ａ側から押圧しつつ、形成具を切断予定部２に沿って移動させる。なお、形成具は、切断予定部２上の点Ｐを始点として矢印Ｉ〜矢印ＩＶで示した順序で移動させていく。
【００４１】
切断予定部２に沿って形成具を移動させた後には、矢印Ｖで示すように、切断予定部２がなす閉ループの外側に連なり、且つ、ガラス板１の縁部１ｅまで直線的に延びた補助切断予定部１０に沿って形成具を引き続き移動させる。これにより、図１ｂ，図１ｃに示すように、ガラス板１の一方面１ａ側で閉ループをなすスクライブ線４と、スクライブ線４に連なる直線状の補助スクライブ線１１とが形成される。以上により、起点形成工程が完了する。
【００４２】
＜セッティング工程＞
セッティング工程の実行には、図２ａ，図２ｂに示す支持部材５を用いる。支持部材５は、ガラス板１を平置き姿勢で支持するための平坦な支持面５ａを有し、この支持面５ａに溝状の凹部６を備えている。凹部６は、ガラス板１を支持部材５に支持させた際に、凹部６が上記の切断予定部２（スクライブ線４）および補助切断予定部１０（補助スクライブ線１１）に沿って延びるように形成されている。なお、本実施形態では、支持部材５は、ガラス板１を載置した際にガラス板１に傷等が生じないようにするため、樹脂で構成されると共に、本製造方法の実行時に反り等の変形を生じない程度の剛性（曲げ剛性および捻じり剛性）を有する。支持部材５は、樹脂に限らず、ステンレス、アルミニウム等の金属で構成されていても良い。
【００４３】
凹部６は、溝が延びる方向に直交する断面上において矩形の輪郭形状を有する。この凹部６の内壁面６ａには図示省略の多数の吸引用孔が形成されており、各吸引用孔は図示省略の負圧発生源（例えば真空ポンプ）と接続されている。これにより、切断工程の実行時に、ガラス板１を介してカバー部材８により凹部６に蓋をした状態の下で負圧発生源を稼働させると、吸引用孔を通じて凹部６内のガスが吸引され、これに伴って凹部６内に負圧が発生する。
【００４４】
ここで、凹部６における開口幅Ｗは５ｍｍ〜２０ｍｍの範囲内であることが好ましく、７ｍｍ〜１５ｍｍの範囲内であることがより好ましい。これにより、切断工程の実行時にガラス板１（切断予定部２）を好適に湾曲させることができると共に、切断面が凹部６の内壁面６ａに接触するのを防止することができる。また、凹部６の深さＤは、支持部材５の厚みが不当に増大するのを防止しつつ、切断面が内壁面６ａに接触するのを防止する観点から、１ｍｍ〜１０ｍｍの範囲内となっている。
【００４５】
セッティング工程では、図３ａ，図３ｂに示すように、ガラス板１の一方面１ａ（スクライブ線４が形成された側の面）が支持部材５の支持面５ａと当接するように、ガラス板１を支持部材５上に載置する。さらに、ガラス板１に形成されたスクライブ線４が凹部６の開口幅の中央に位置するように、ガラス板１を支持部材５上に載置する。以上により、セッティング工程が完了する。なお、本実施形態では、凹部６のうち、補助スクライブ線１１に沿って延びる箇所の一部が、ガラス板１の縁部１ｅから外側に食み出している（以下、凹部６における食み出した箇所を食み出し部６ｂと表記）。
【００４６】
ここで、本実施形態では、ガラス板１の一方面１ａと支持部材５の支持面５ａとは、直接的に当接させているが、この限りではなく、両面１ａ，５ａの相互間に通気性を有するシートを介在させて間接的に当接させてもよい。
【００４７】
＜切断工程＞
切断工程を実行するにあたっては、その準備として、支持部材５上のガラス板１をカバー部材８により他方面１ｂ側（スクライブ線４が形成されていない側の面）から覆う。具体的には、カバー部材８に備わったシート体１２（詳細は後述）によりガラス板１を覆う。なお、図３ａ，図３ｂは、カバー部材８によりガラス板１を覆う前の状態を示しており、覆った後には、図４ａに示すような状態となる。
【００４８】
カバー部材８は、可撓性および気密性を有するシート体１２と、シート体１２を保持する保持体１３とを備えている。シート体１２と保持体１３との両者は透明（可視光域での透過率が８０％以上）であると共に、平面視で略同一の大きさ及び形状に形成されている。
【００４９】
シート体１２は、ガラス板１よりも面積が大きくなっており、ガラス板１の他方面１ｂの全面を覆うことが可能である。このとき、シート体１２のうち、ガラス板１の縁部１ｅから外側に食み出した部位は、支持部材５の支持面５ａに押し付けて密着させることが可能である。これにより、シート体１２は、ガラス板１のみならず、上記の食み出し部６ｂも纏めて覆うことが可能となっている。そのため、カバー部材８でガラス板１を覆った際には、ガラス板１とシート体１２との両者により凹部６の全体を密閉させることができる。シート体１２は、支持部材５の支持面５ａより一回り小さいことが好ましく、シート体１２は、支持部材５の支持面５ａから食み出さないことが好ましい。これにより、切断工程の実行時におけるシート体１２の変形量（切断部７を通じたシート体１２の凹部６への進入量）が適切なものとなる。シート体１２の縁部１２ａは、両面テープ１４を介して保持体１３に固定されており、シート体１２は、張りをもった状態で保持体１３に保持されている。シート体１２の変形（凹部６への進入）を阻害しないようにするため、両面テープ１４は、凹部６上に配置されないような位置（平面視で両面テープ１４と凹部６とが重ならない位置）に設けられる。シート体１２のヤング率は０．５ＧＰａ以上であることが好ましく、１．０ＧＰａ以上であることがより好ましく、２．０ＧＰａ以上であることが最も好ましい。これにより、切断工程の実行時におけるシート体１２の変形量（凹部６への進入量）が適切なものとなる。一方、シート体１２のヤング率は、１０ＧＰａ以下であることが好ましく、８ＧＰａ以下であることがより好ましく、６ＧＰａ以下であることが最も好ましい。これにより、切断工程の実行時におけるシート体１２の変形量（凹部６への進入量）が適切なものとなると共に、凹部６の密閉性を適切に維持することができる。シート体１２の厚さは、凹部６の密閉性とシート体１２の変形量との観点から、１μｍ〜１００μｍであることが好ましい。シート体１２は、例えば厚さ１００ｍｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の樹脂（ヤング率４ＧＰａ）で構成されている。
【００５０】
ここで、本実施形態では、カバー部材８によりガラス板１の他方面１ｂの全面を覆っているが、これに限定されるものではない。カバー部材８（シート体１２）はガラス板１の切断予定部２のみを覆うものであってもよい。
【００５１】
保持体１３は、シート体１２よりも剛性が高くなっており、本製造方法の実行時に反り等の変形を生じない程度の剛性（曲げ剛性および捻じり剛性）を有する。この保持体１３は、シート体１２を厚み方向に挟んでガラス板１とは反対側からシート体１２を保持している。保持体１３において、シート体１２に対向する対向面１３ａは平坦に形成されている。保持体１３は、例えばアクリル、ポリカーボネート等の樹脂で構成されている。保持体１３の厚さは、剛性を維持する観点から、シート体１２よりも厚いことが好ましく、具体的には０．５ｍｍ〜１０ｍｍであることが好ましい。
【００５２】
切断工程を実行するための準備が完了すると、図４ａに示すように、負圧発生源を稼働させ、密閉された状態にある凹部６内のガスを矢印Ｆで示すように吸引し、凹部６内に負圧を発生させる。そして、負圧を利用して凹部６上の切断予定部２を一方面１ａ側が凸となるように湾曲させ、これに伴い発生した応力によりスクライブ線４に含まれたメディアンクラックをガラス板１の厚み方向に進展させる。これにより、スクライブ線４を起点にガラス板１を切断予定部２に沿って切断し、図４ｂに示すように切断部７を形成する。
【００５３】
ここで、切断工程の実行前からガラス板１をカバー部材８により覆っていたことで、切断予定部２が切断されてなる切断部７は、その形成と同時にカバー部材８により他方面１ｂ側から覆われた状態となる。これにより、凹部６内の密閉性が保持される。なお、閉ループをなす切断予定部２上のいずれかの箇所に先行して切断部７が形成された後でも、切断予定部２の全体が切断されるまで負圧発生源は引き続き稼働させる。このとき、切断部７が既に形成済みの箇所では、凹部６内に発生させた負圧により、対向する切断面同士の間に形成される隙間Ｓを通じてシート体１２が凹部６側に吸引される。そのため、図４ｂに示すように、負圧の影響により切断部７が変形したとしても、この変形に倣うようにシート体１２が変形しつつ切断部７に密着する。これにより、更に安定して凹部６内の密閉性が保持される。
【００５４】
切断予定部２の全体が切断されると切断工程が完了し、ガラス板１の有効部３と非有効部９とが分断され、ガラス板１から有効部３が切り出される。その後、カバー部材８を取り除く。カバー部材８は、ガラス板１とは非接着であるため、容易に取り除くことができる。これにより、カバー部材８を取り除く際に、有効部３と非有効部９との切断面同士が擦れるおそれを低減することができる。その後、非有効部９を取り除くことで、有効部３を取り出す。
【００５５】
以下、上記の製造方法による主たる作用・効果について説明する。
【００５６】
上記の製造方法によれば、切断工程の実行中に、凹部６の全体を、ガラス板１を介して当該ガラス板１の他方面１ｂ側からカバー部材８により覆っていることで、切断予定部２の全体が同時に切断されず、切断予定部２上のいずれかの箇所が先行して部分的に切断された場合でも、この箇所を通じて凹部６内と凹部６外とが空間的に繋がった状態となることを回避できる。これにより、凹部６内の密閉性が損なわれることを防止できる。その結果、ガラス板１の切断が完了するまで（切断予定部２の全体が切断されて切断部７となるまで）凹部６内の負圧の維持が可能となり、円滑なガラス板１の切断を実現できる。さらに、カバー部材８とガラス板１とは非接着であるため、切断後にカバー部材８を容易に取り除くことができる。これにより、カバー部材８の取り除きの際に、有効部３と非有効部９の切断面同士が擦れるのを防止することができる。
【００５７】
以下、本発明の他の実施形態について説明する。ここで、他の実施形態の説明において、上記の第一実施形態で説明済みの要素と実質的に同一の要素については、同一の符号を付すことで重複する説明を省略し、第一実施形態との相違点についてのみ説明する。
【００５８】
［第二実施形態］
図５ａ，図５ｂに示すように、本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造方法が、上記の第一実施形態と相違している主たる点は、ガラス板１の切断予定部２が閉ループをなさずに縦横に直線状に延びている点と、ガラス板１を支持部材５に支持させた際（セッティング工程の実行時）に、凹部６が切断予定部２に沿って延びるように、当該凹部６が縦横に形成されている点である。
【００５９】
本実施形態の起点形成工程では、ガラス板１の一方面１ａ側において、切断起点として、第一スクライブ線４ｘおよび第二スクライブ線４ｙの双方を形成する。第一スクライブ線４ｘは第一方向に延びている。一方、第二スクライブ線４ｙは第一方向と直交する第二方向に延びており、第一スクライブ線４ｘと直交している。なお、本実施形態では、三本の第一スクライブ線４ｘおよび四本の第二スクライブ線４ｙを形成している。勿論、両スクライブ線４ｘ，４ｙのそれぞれの本数は、これに限定されるものではなく、適宜増減させてよい。また、両スクライブ線４ｘ，４ｙは直交していなくともよい。
【００６０】
本実施形態では、第一スクライブ線４ｘおよび第二スクライブ線４ｙのそれぞれは、所謂外切りの形態で形成しており、それぞれ第一方向、第二方向に沿ってガラス板１の対向する一方の縁部１ｅから他方の縁部１ｅまで形成している。第一スクライブ線４ｘおよび第二スクライブ線４ｙの全長は、それぞれ第一方向および第二方向に沿って延びる凹部６の全長よりも短く、セッティング工程の実行時には、第一スクライブ線４ｘおよび第二スクライブ線４ｙの各々における両端は、凹部６から食み出ないようになっている。換言すれば、セッティング工程の実行時には、第一方向に延びる凹部６の両端、及び、第二方向に延びる凹部６の両端が、それぞれ食み出し部６ｂとしてガラス板１の縁部１ｅから食み出るようになっている。
【００６１】
上述した第二実施形態においても、上記の第一実施形態と同様の作用・効果を得ることが可能である。なお、本実施形態においては、ガラス板１を切断予定部２に沿って切断することで、ガラス板１における両スクライブ線４ｘ，４ｙにより囲われていた中央の六面分の領域が、それぞれ矩形のガラス板（有効部３）として切り出される。一方で、これら六面分の領域を囲んでいる領域の全て（ガラス板１の縁部１ｅを含む領域の全て）は、非有効部９となる。
【００６２】
［第三実施形態］
図６ａ，図６ｂに示すように、本発明の第三実施形態に係るデバイスの製造方法が、上記の第一実施形態と相違している主たる点は、切断の対象がガラス板ではなく、デバイス母材としての液晶パネル母材１５である点と、切断予定部２が閉ループをなさずに直線状に延びている点と、液晶パネル母材１５を支持部材５に支持させた際に、凹部６が切断予定部２に沿って延びるように、当該凹部６が直線状に形成されている点である。
【００６３】
液晶パネル母材１５は、切断予定部２によって区画された状態にある二面分の液晶パネル１５ａを含んでいる。各液晶パネル１５ａは、第一ガラス板１６と、第一ガラス板１６に対向する第二ガラス板１７と、両ガラス板１６，１７の相互間に液晶１８を封入するためのシール部材１９とを備えている。なお、本実施形態では、液晶パネル母材１５が二面分の液晶パネル１５ａを含んでいるが、更に多数面分の液晶パネル１５ａを含んでいてもよい。この場合、切断予定部２は縦横に直線状に延びていても良い。さらに、液晶パネル母材の他、デバイス母材として有機ＥＬパネル母材等を切断の対象としてもよい。
【００６４】
本実施形態では、液晶パネル母材１５が備える両ガラス板１６，１７の各々を切断対象板として順次に切断予定部２に沿って切断するのに伴い、液晶パネル母材１５からデバイスとしての液晶パネル１５ａを切り出して製造する。具体的には、両ガラス板１６，１７のうち、まず、第一ガラス板１６を切断対象板として、切断予定部２に沿ってスクライブ線４を形成した後、スクライブ線４を起点として第一ガラス板１６を切断する。次に、液晶パネル母材１５の表裏を置き換えた後、第二ガラス板１７を切断対象板として、第一ガラス板１６と同様の態様により第二ガラス板１７を切断する。
【００６５】
切断対象板を切断する態様は、下記の（１），（２）の二点を除き、上記の第一実施形態にてガラス板１を切断する態様に準じている。（１）起点形成工程において、切断対象板の対向する一方の縁部１５ｅから他方の縁部１５ｅまで直線状にスクライブ線４を形成する。（２）切断工程の実行時に、凹部６の全体を、液晶パネル母材１５を介して当該液晶パネル母材１５の他方面側（両ガラス板１６，１７のうちの切断対象板ではないガラス板側）からカバー部材８により覆う。
【００６６】
上述した第三実施形態によれば、切断対象板の切断に際して、上記の第一および第二実施形態と同様の作用・効果を得ることが可能である。これにより、液晶パネル母材１５が備える両ガラス板１６，１７の各々について、円滑な切断を実現できると共に、切断面の品位を向上させることが可能となる。
【００６７】
ここで、本発明に係るガラス板の製造方法およびデバイスの製造方法は、上記の実施形態で説明した態様に限定されるものではない。例えば、上記の実施形態で説明したカバー部材に代えて、保持体としての枠体と、枠体に縁部が固定されたシート体とを備えるカバー部材を用いてもよい。この場合においては、シート体が透明であれば、切断工程の実行時に平面視でガラス板やデバイス母材を視認できるため、枠体は透明でなくても良い。
【００６８】
また、上記の実施形態では、ガラス板（切断対象板）の切断予定部上に切断起点としてのスクライブ線を形成しているが、この限りではない。例えば、切断起点としてガラス板（切断対象板）を厚み方向に貫通する貫通孔を形成してもよい。
【符号の説明】
【００６９】
１          ガラス板
１ａ        一方面
１ｂ        他方面
２          切断予定部
４          スクライブ線
４ｘ        第一スクライブ線
４ｙ        第二スクライブ線
５          支持部材
５ａ        支持面
６          凹部
７          切断部
８          カバー部材
１２        シート体
１２ａ      縁部
１３        保持体
１５        液晶パネル母材（デバイス母材）
１５ａ      液晶パネル（デバイス）
１６        第一ガラス板
１７        第二ガラス板
Ｗ          開口幅
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図１ｃ】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【国際調査報告】
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