(57)【要約】被覆切削工具は、窒化物または炭窒化物からなるｂ層と、Ａｌを５５原子％以上７５原子％以下、次いでＣｒの含有比率が多く、更に、少なくともＳｉを含有する窒化物または炭窒化物のｃ１層と、Ａｌを５５原子％以上７５原子％以下、次いでＴｉを多く含有する窒化物または炭窒化物のｃ２層と、がそれぞれ５０ｎｍ以下の膜厚で交互に積層した積層皮膜であるｃ層と、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、Ａｌを５５原子％以上７５原子％以下、次いでＴｉの含有比率が多く、Ｔｉの含有比率が２０原子％以上である窒化物または炭窒化物であるｄ層と、を含む硬質皮膜を有する。ｃ層におけるＡｌＮのｈｃｐ（０１０）面に起因するピーク強度Ｉｈと、複数の所定結晶相に起因するピーク強度の合計Ｉｓとが、Ｉｈ×１００／Ｉｓ≦１５の関係を満たす。
2020189252.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、前記基材上に形成される硬質皮膜とを備え、
前記硬質皮膜は、
前記基材の上に配置される、窒化物または炭窒化物からなるｂ層と、
前記ｂ層の上に配置され、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、次いでクロム（Ｃｒ）の含有比率が多く、更に、少なくともシリコン（Ｓｉ）を含有する窒化物または炭窒化物のｃ１層と、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、次いでチタン（Ｔｉ）を多く含有する窒化物または炭窒化物のｃ２層と、がそれぞれ５０ｎｍ以下の膜厚で交互に積層した積層皮膜であるｃ層と、
前記ｃ層の上に配置される、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、次いでチタン（Ｔｉ）の含有比率が多く、チタン（Ｔｉ）の含有比率が２０原子％以上である窒化物または炭窒化物であるｄ層と、
を有し、
前記ｃ層は、透過型電子顕微鏡の制限視野回折パターンから求められる強度プロファイルにおいて、六方最密充填構造のＡｌＮの（０１０）面に起因するピーク強度をＩｈとし、面心立方格子構造の、ＡｌＮの（１１１）面、ＴｉＮの（１１１）面、ＣｒＮの（１１１）面、ＡｌＮの（２００）面、ＴｉＮの（２００）面、ＣｒＮの（２００）面、ＡｌＮの（２２０）面、ＴｉＮの（２２０）面、およびＣｒＮの（２２０）面に起因するピーク強度と、六方最密充填構造の、ＡｌＮの（０１０）面、ＡｌＮの（０１１）面、およびＡｌＮの（１１０）面に起因するピーク強度と、の合計をＩｓとした場合、Ｉｈ×１００／Ｉｓ≦１５の関係を満たすことを特徴とする被覆切削工具。
【請求項２】
前記硬質皮膜の総膜厚に対して、前記ｃ層が最も厚い膜であることを特徴とする請求項１に記載の被覆切削工具。
【請求項３】
前記ｃ層は、柱状粒子から構成されており、前記柱状粒子の平均幅は９０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被覆切削工具に関する。本願は、２０１９年３月１８日に、日本に出願された特願２０１９−０５０３２８号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
従来、切削工具の寿命を向上させる技術として、各種セラミックスからなる硬質皮膜を切削工具の表面に被覆する表面処理技術が採用されている。硬質皮膜の中でもＡｌとＴｉを主体とする窒化物は耐摩耗性と耐熱性に優れる膜種であり被覆切削工具に広く適用されている。【０００３】
通常、ＡｌとＴｉの窒化物は、Ａｌ含有量が多いと耐熱性がより高まる傾向にある。しかし、Ａｌ含有量が多くなりすぎると脆弱なｈｃｐ構造のＡｌＮが析出して硬度が低下することが知られている。例えば、特許文献１には、金属（半金属を含む）元素のうちＡｌの含有比率（原子％）が６０％以上となることでＡｌＴｉＮの硬度が低下し始めることが開示されており、Ａｌの含有比率（原子％）が７０％の場合、結晶構造の一部にｈｃｐ構造が確認されている。【０００４】
一方、近年では潤滑性や耐溶着性を改善するために、Ａｌの含有比率が大きく、ｈｃｐ構造のＡｌＮを含有する硬質皮膜を被覆切削工具の最表層に設けることも提案されている。例えば、特許文献２には、ＡｌとＴｉの窒化物とＡｌとＣｒの窒化物との積層皮膜の上層にウルツ鉱型結晶構造（ｈｃｐ構造）からなるＡｌＴｉＮをベースにＣｒを含有した硬質皮膜を設けた被覆切削工具が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２０９３３３号公報
【特許文献２】国際公開番号ＷＯ２０１４／００２９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者の検討によると、従来から提案されているＡｌとＴｉの窒化物を設けた被覆切削工具について、耐久性に改善の余地があることを確認した。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、
基材と、前記基材上に形成される硬質皮膜とを備え、
前記硬質皮膜は、前記基材の上に配置される、窒化物または炭窒化物からなるｂ層と、
前記ｂ層の上に配置され、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、次いでクロム（Ｃｒ）の含有比率が多く、更に、少なくともシリコン（Ｓｉ）を含有する窒化物または炭窒化物のｃ１層と、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、次いでチタン（Ｔｉ）を多く含有する窒化物または炭窒化物のｃ２層と、がそれぞれ５０ｎｍ以下の膜厚で交互に積層した積層皮膜であるｃ層と、
前記ｃ層の上に配置される、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、次いでチタン（Ｔｉ）の含有比率が多く、チタン（Ｔｉ）の含有比率が２０原子％以上である窒化物または炭窒化物であるｄ層と、
を有し、
前記ｃ層は、透過型電子顕微鏡の制限視野回折パターンから求められる強度プロファイルにおいて、六方最密充填構造のＡｌＮの（０１０）面に起因するピーク強度をＩｈとし、面心立方格子構造の、ＡｌＮの（１１１）面、ＴｉＮの（１１１）面、ＣｒＮの（１１１）面、ＡｌＮの（２００）面、ＴｉＮの（２００）面、ＣｒＮの（２００）面、ＡｌＮの（２２０）面、ＴｉＮの（２２０）面、およびＣｒＮの（２２０）面に起因するピーク強度と、六方最密充填構造の、ＡｌＮの（０１０）面、ＡｌＮの（０１１）面、およびＡｌＮの（１１０）面に起因するピーク強度と、の合計をＩｓとした場合、Ｉｈ×１００／Ｉｓ≦１５の関係を満たす被覆切削工具である。【０００８】
また、前記硬質皮膜の総膜厚に対して、前記ｃ層が最も厚い膜であることが好ましい。
また、前記ｃ層は、柱状粒子から構成されており、前記柱状粒子の平均幅は９０ｎｍ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、耐久性に優れる被覆切削工具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施形態の被覆切削工具の断面構造を示す図である。
【図２】図２は、本実施例１の積層皮膜における制限視野回折パターンの一例である。
【図３】図３は、図２の制限視野回折パターンから求められる強度プロファイルの一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明者は、ＡｌＴｉ系の窒化物または炭窒化物を設けた被覆切削工具について、工具寿命を改善する手法について検討した。本発明者は、ＡｌリッチなＡｌＣｒ系の窒化物または炭窒化物（以下、ＡｌＣｒＮ系と記載する場合がある）とＡｌリッチなＡｌＴｉ系の窒化物または炭窒化物（以下、ＡｌＴｉＮ系と記載する場合がある）とがナノレベルで交互に積層した積層皮膜を設けて、更にその積層皮膜のミクロ組織に含有されるｈｃｐ構造のＡｌＮを低減させ、その上層にＡｌＴｉ系の窒化物または炭窒化物を設けることで、被覆切削工具がより優れた耐久性を示すことを見出して、本発明に到達した。以下、本実施形態の詳細について説明する。
【００１２】
本実施形態の被覆切削工具は、例えば、図１に示す断面構造を有する。本実施形態の被覆切削工具は、基材と、基材上に形成される硬質皮膜とを有する。硬質皮膜は、基材側から順に、必要に応じて設けられるａ層と、窒化物または炭窒化物からなるｂ層と、積層皮膜からなるｃ層と、ＡｌＴｉ系の窒化物または炭窒化物からなるｄ層と、を有する。以下、各層について詳細に説明する。
【００１３】
≪基材≫
本実施形態の被覆切削工具においては、基材は特段限定されないが、強度と靭性に優れるＷＣ−Ｃｏ基超硬合金を基材とすることが好ましい。
【００１４】
≪ｂ層≫
本実施形態に係るｂ層は、基材の上に配置される窒化物または炭窒化物である。ｂ層は、基材と積層皮膜であるｃ層との密着性を高める下地層である。基材の上に配置されるｂ層が窒化物または炭窒化物であることで、基材と硬質皮膜の密着性が優れる被覆切削工具となる。ｂ層は、金属（半金属を含む。以下、同様。）元素の総量に対して、Ａｌを５５原子％以上で含有することが好ましい。更には、ｂ層のＡｌは６０原子％以上が好ましい。ｂ層をＡｌリッチとすることで、後述するＡｌリッチの積層皮膜からなるｃ層との組成差が小さくなり密着性が向上する。また、ｂ層をＡｌリッチとすることで、硬質皮膜の全体で耐熱性が高まる。更には、ｂ層は、耐熱性と耐摩耗性に優れる窒化物であることが好ましい。但し、ｂ層のＡｌの含有比率が大きくなり過ぎると脆弱なｈｃｐ構造のＡｌＮが多くなる。そのため、ｂ層のＡｌは７５原子％以下が好ましい。また、積層皮膜であるｃ層との密着性をより高めるため、ｂ層は後述するｃ１層またはｃ２層が含有する金属元素を含有することが好ましい。また、ｂ層は、Ｘ線回折または透過型電子顕微鏡の制限視野回折パターンから求められる強度プロファイルにおいて、ｆｃｃ構造に起因するピーク強度が最大を示すことが好ましい。これにより、ｂ層の上に設けられるＡｌリッチの積層皮膜であるｃ層において、ｃ層のミクロ組織に含有される脆弱なｈｃｐ構造のＡｌＮが低減されることにより、被覆切削工具の耐久性が向上する。ｂ層は窒化物または炭窒化物であれば、組成が異なる複数の層から構成されてもよい。
【００１５】
ｂ層の膜厚が薄くなり過ぎると、基材またはｃ層との密着性が低下し易くなる。一方、ｂ層の膜厚が厚くなり過ぎるとチッピングが発生し易くなる。被覆切削工具がより優れた耐久性を実現するには、ｂ層の膜厚は０．１μｍ以上５．０μｍ以下が好ましい。更には、ｂ層の膜厚は０．２μｍ以上が好ましい。更には、ｂ層の膜厚は３．０μｍ以下が好ましい。ｂ層の膜厚の上限値および下限値は適宜組合せ可能である。
【００１６】
≪ｃ層≫
本実施形態に係るｃ層は、上述した下地層であるｂ層と、後述するＡｌＴｉ系の窒化物または炭窒化物であるｄ層との間に設けられるＡｌリッチな積層皮膜である。
具体的には、ｃ層は、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上、次いでクロム（Ｃｒ）の含有比率が多く、更に、少なくともシリコン（Ｓｉ）を含有する窒化物または炭窒化物のｃ１層と、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上、次いでチタン（Ｔｉ）を多く含有する窒化物または炭窒化物のｃ２層と、がそれぞれ５０ｎｍ以下の膜厚で交互に積層した積層皮膜である。
更には、ｃ層は、金属元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、クロム（Ｃｒ）を２０原子％以上、シリコン（Ｓｉ）を１原子％以上、を含有する窒化物または炭窒化物のｃ１層と、金属部分の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、チタン（Ｔｉ）を２０原子％以上、を含有する窒化物または炭窒化物のｃ２層とが５０ｎｍ以下の膜厚で交互に積層した積層皮膜であることが好ましい。組成系が互いに異なるＡｌリッチなＡｌＣｒＮ系の硬質皮膜とＡｌリッチなＡｌＴｉＮ系の硬質皮膜とがナノレベルで交互に積層されることで、皮膜破壊の進展が抑制され易くなる。また、ｃ層中にｈｃｐ構造のＡｌＮを含有し難くなり、硬質皮膜の全体で耐熱性が高まり被覆切削工具の耐久性が向上する。
ｃ層の平均組成は、Ａｌの含有比率が５５原子％以上７５原子％以下であることが好ましく、Ａｌの含有比率が７３原子％以下であることがより好ましい。更には、ｃ層の平均組成は、Ａｌの含有比率が６０原子％以上７０原子％以下であることが好ましい。また、ｃ層の平均組成は、ＣｒとＴｉの合計の含有率が２０原子％以上４０原子％以下であることが好ましい。また、ｃ層の平均組成は、Ｓｉの含有比率が０．５原子％以上５原子％以下であることが好ましい。更には、ｃ層の平均組成は、Ｓｉの含有比率が１原子％以上３原子％以下であることが好ましい。なお、ｃ層の平均組成は、５００ｎｍ×５００ｎｍ以上の範囲を測定して算出すればよい。
更には、ｃ層はミクロ組織に含有されるｈｃｐ構造のＡｌＮが少ないことが必要である。本発明者は、ｃ層の評価においてＸ線回折ではｈｃｐ構造のＡｌＮのピーク強度が確認されない場合でも、ミクロ組織には脆弱なｈｃｐ構造のＡｌＮを含有する場合があることを知見した。そして、本発明者は、ｃ層のミクロ組織に含まれる脆弱なｈｃｐ構造のＡｌＮを低減することで、被覆切削工具の耐久性が向上することを確認した。
【００１７】
硬質皮膜のミクロ組織に存在するｈｃｐ構造のＡｌＮの量を定量的に評価するには、硬質皮膜の加工断面について、透過型電子顕微鏡を用いて制限視野回折パターンを求め、制限視野回折パターンから求められる強度プロファイルを用いる。具体的には、透過型電子顕微鏡の制限視野回折パターンの強度プロファイルにおいて、Ｉｈ×１００／Ｉｓの関係を評価する。ＩｈおよびＩｓは以下のように定義される。
【００１８】
Ｉｈ：ｈｃｐ構造のＡｌＮの（０１０）面に起因するピーク強度。
Ｉｓ：ｆｃｃ構造の、ＡｌＮの（１１１）面、ＴｉＮの（１１１）面、ＣｒＮの（１１１）面、ＡｌＮの（２００）面、ＴｉＮの（２００）面、ＣｒＮの（２００）面、ＡｌＮの（２２０）面、ＴｉＮの（２２０）面、およびＣｒＮの（２２０）面に起因するピーク強度と、ｈｃｐ構造の、ＡｌＮの（０１０）面、ＡｌＮの（０１１）面、およびＡｌＮの（１１０）面に起因するピーク強度と、の合計。
【００１９】
上記ＩｈとＩｓの関係を評価することで、Ｘ線回折によりｈｃｐ構造のＡｌＮに起因するピーク強度が確認されない硬質皮膜において、ミクロ組織に含まれるｈｃｐ構造のＡｌＮを定量的に評価することができる。Ｉｈ×１００／Ｉｓの値がより小さいことは、ｃ層のミクロ組織に存在する脆弱なｈｃｐ構造のＡｌＮがより少ないことを意味する。本発明者は、ｃ層におけるＩｈ×１００／Ｉｓの値が１５よりも大きい場合、過酷な使用環境下においては被覆切削工具の耐久性が低下し易くなることを確認した。本実施形態においては、ｃ層がＩｈ×１００／Ｉｓ≦１５を満たす構成とすることで、良好な耐久性を有する被覆切削工具を実現した。更には、本実施形態の被覆切削工具は、ｃ層がＩｈ×１００／Ｉｓ≦１０を満たす構成であることが好ましい。更には、本実施形態の被覆切削工具は、ｃ層がＩｈ×１００／Ｉｓ≦５を満たす構成であることが好ましい。更には、本実施形態の被覆切削工具は、ｃ層においてｈｃｐ構造のＡｌＮの（０１０）面に起因するピーク強度が確認されない構成、すなわち、ｃ層がＩｈ×１００／Ｉｓ＝０を満たす構成であることが好ましい。なお、制限視野回折パターンにおいて、ｈｃｐ構造のＡｌＮの回折パターンが確認される場合でも、その量が微量であれば、強度プロファイルにはピークが現れずＩｈ×１００／Ｉｓの値は０になる場合がある。ｃ層の制限視野回折パターンにおいて、ｈｃｐ構造のＡｌＮが確認されないことが、被覆切削工具の耐久性をより高めるために好ましい。
【００２０】
ｃ層のミクロ組織は微細な柱状粒子から構成される。ｃ層を構成する柱状粒子は、積層皮膜の膜厚方向（積層方向）に沿って延びる。ｃ層が微粒な柱状粒子で構成されることで、硬質皮膜の硬度と靭性が高まる傾向にある。硬質皮膜の硬度と靭性を合わせて高めるためには、ｃ層の柱状粒子の平均幅は９０ｎｍ以下が好ましい。但し、柱状粒子の幅が小さくなり過ぎると硬質皮膜の靭性が低下する。そのため、ｃ層の柱状粒子の平均幅は３０ｎｍ以上が好ましい。柱状粒子の幅は、透過型電子顕微鏡を用いた断面観察像により確認できる。柱状粒子の平均幅は、断面観察像により確認した１０個以上の柱状粒子の幅の平均値として算出する。
【００２１】
≪ｃ１層≫
ｃ１層は、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、次いでクロム（Ｃｒ）の含有比率が多く、更に、少なくともシリコン（Ｓｉ）を含有する窒化物または炭窒化物である。更には、ｃ１層は、金属元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、クロム（Ｃｒ）を２０原子％以上、シリコン（Ｓｉ）を１原子％以上、を含有する窒化物または炭窒化物であることが好ましい。
ＡｌとＣｒをベースとする窒化物または炭窒化物は耐熱性に優れる膜種である。特にＡｌの含有比率が大きくなると硬質皮膜の耐熱性が向上する傾向にあり、被覆切削工具の耐久性が向上する。更には、ｃ１層は、耐熱性と耐摩耗性に優れる窒化物であることが好ましい。硬質皮膜に高い耐熱性を付与するために、ｃ１層はＡｌを５５原子％以上で含有する。更にはｃ１層のＡｌ含有比率は６０原子％以上が好ましい。但し、Ａｌの含有比率が大きくなり過ぎると、ミクロ組織に含有される脆弱なｈｃｐ構造のＡｌＮが多くなるため、硬質皮膜の耐久性が低下する。そのため、ｃ１層のＡｌ含有比率は７５原子％以下とする。ｃ１層のＡｌ含有比率は７３原子％以下、更には７０原子％以下が好ましい。
【００２２】
ＡｌとＣｒをベースとする窒化物または炭窒化物は、Ｃｒの含有比率が小さくなり過ぎると耐摩耗性が低下する。硬質皮膜に高い耐摩耗性を付与するために、ｃ１層はＣｒを２０原子％以上で含有することが好ましい。ｃ１層はＡｌＣｒ系の窒化物または炭窒化物とするために、Ａｌに次いでＣｒを多く含有する。但し、ｃ１層においてＣｒの含有比率が大きくなり過ぎると、相対的にＡｌの含有比率が低下するため、耐熱性が低下する。そのため、ｃ１層のＣｒ含有比率は４０原子％以下、更には３５原子％以下が好ましい。
【００２３】
ｃ１層は、積層皮膜の耐熱性と耐摩耗性をより高めるために、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、ＡｌとＣｒの含有比率の合計が８５原子％以上であることが好ましい。
【００２４】
ＡｌとＣｒの窒化物または炭窒化物はＳｉ元素を含有することで、皮膜組織が微細となり耐摩耗性と耐熱性がより向上する。そのため、ｃ１層がＳｉを含有することで、積層皮膜の全体の耐摩耗性と耐熱性が向上する。Ｓｉの添加効果を十分に奏するには、ｃ１層はＳｉを１原子％以上で含有することが好ましい。但し、Ｓｉの含有比率が大きくなり過ぎると、ミクロ組織に含まれるｈｃｐ構造のＡｌＮや非晶質相が増加するため耐久性が低下する。そのため、ｃ１層のＳｉ含有比率は５原子％以下、更には３原子％以下が好ましい。
【００２５】
ｃ１層とｃ２層はナノレベルで交互に積層しているため、被覆時に互いの組成が混ざる。また、互いの組成が拡散し得る。そのため、ｃ１層にはｃ２層に必須で含まれるＴｉを含有し得る。但し、組成系が異なるＡｌリッチなＡｌＣｒＮ系の硬質皮膜とＡｌリッチなＡｌＴｉＮ系の硬質皮膜を積層させるために、ｃ１層のＴｉの含有比率はｃ２層のＴｉの含有比率よりも少なくする。
【００２６】
ｃ１層はＡｌとＣｒとＳｉ以外の金属元素を含有することができる。ｃ１層は、例えば、硬質皮膜の耐摩耗性や耐熱性や潤滑性などの向上を目的として、周期律表の４ａ族、５ａ族、６ａ族の元素およびＢ、Ｙから選択される１種または２種以上の元素を含有することができる。これらの元素は、硬質皮膜の特性を改善するために、ＡｌＴｉＮ系やＡｌＣｒＮ系の硬質皮膜には一般的に添加されている元素であり、含有比率が過多にならなければ被覆切削工具の耐久性を著しく低下させることはない。
但し、ｃ１層がＡｌとＣｒとＳｉ以外の金属元素を多く含有するとＡｌＣｒＮ系の硬質皮膜としての基礎特性が損なわれ被覆切削工具の耐久性が低下する。そのため、ｃ１層はＡｌとＣｒとＳｉ以外の金属元素の合計が、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、２５原子％以下、更には２０原子％以下、更には１５原子％以下であることが好ましい。
【００２７】
≪ｃ２層≫
ｃ２層は、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、次いでチタン（Ｔｉ）を多く含有する窒化物または炭窒化物である。更には、ｃ２層は、金属元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、チタン（Ｔｉ）を２０原子％以上、で含有する窒化物または炭窒化物であることが好ましい。ＡｌとＴｉを主体とする窒化物または炭窒化物は、耐摩耗性および耐熱性に優れる膜種である。特に、Ａｌの含有比率が大きくなると硬質皮膜の耐熱性が向上する傾向にあり、被覆切削工具の耐久性が向上する。更には、ｃ２層は、耐熱性と耐摩耗性に優れる窒化物であることが好ましい。硬質皮膜に高い耐熱性を付与するために、ｃ２層はＡｌを５５原子％以上で含有する。更にはｃ２層のＡｌは６０原子％以上が好ましい。但し、Ａｌの含有比率が大きくなり過ぎると、ｈｃｐ構造のＡｌＮが多くなるため、硬質皮膜の耐久性が低下する。そのため、ｃ２層のＡｌの含有比率は７５原子％以下とする。ｃ２層のＡｌ含有比率は７３原子％以下、更には７０原子％以下が好ましい。
【００２８】
ＡｌとＴｉをベースとする窒化物または炭窒化物はＴｉの含有比率が小さくなり過ぎると耐摩耗性が低下する。そのため、ｃ２層はＴｉを２０原子％以上で含有することが好ましい。ｃ２層はＡｌＴｉ系の窒化物または炭窒化物とするために、Ａｌに次いでＴｉを多く含有する。但し、Ｔｉの含有比率が大きくなり過ぎると、相対的にＡｌの含有比率が低下するため、耐熱性が低下する。そのため、ｃ２層のＴｉの含有比率は４０原子％以下、更には３５原子％以下が好ましい。
【００２９】
ｃ２層は、積層皮膜の耐熱性と耐摩耗性をより高めるために、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、ＡｌとＴｉの含有比率の合計が８０原子％以上であることが好ましい。
【００３０】
ｃ１層とｃ２層はナノレベルで交互に積層しているため、被覆時に互いの組成が混ざる。また、互いの組成が拡散し得る。そのため、ｃ２層はｃ１層に必須で含まれるＣｒとＳｉを含有し得る。但し、組成系が異なるＡｌリッチなＡｌＣｒＮ系の硬質皮膜とＡｌリッチなＡｌＴｉＮ系の硬質皮膜を積層させるために、ｃ２層のＣｒの含有比率はｃ２層のＣｒ含有比率よりも少なくする。なお、ｃ１層において含有比率が小さいＳｉはｃ２層には含有されない場合もある。
【００３１】
ｃ２層は、ＡｌとＴｉと以外の金属元素を含有することができる。ｃ２層は、例えば、硬質皮膜の耐摩耗性や耐熱性や潤滑性などの向上を目的として、周期律表の４ａ族、５ａ族、６ａ族の元素およびＳｉ、Ｂ、Ｙから選択される１種または２種以上の元素を含有することができる。これらの元素は、硬質皮膜の特性を改善するために、ＡｌＴｉＮ系やＡｌＣｒＮ系の硬質皮膜には一般的に添加されている元素であり、含有比率が過多にならなければ被覆切削工具の耐久性を著しく低下させることはない。特にＡｌＴｉＮ系の硬質皮膜がＷ（タングステン）の元素を含有することで、より過酷な使用環境下において耐久性が優れる傾向にあり好ましい。
但し、ｃ２層がＡｌとＴｉ以外の金属元素を多く含有すると、ＡｌＴｉＮ系の硬質皮膜としての基礎特性が損なわれ被覆切削工具の耐久性が低下する。そのため、ｃ２層はＡｌとＴｉ以外の金属元素の合計が、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、２５原子％以下、更には２０原子％以下、更には１５原子％以下であることが好ましい。
【００３２】
下地層であるｂ層と、積層皮膜であるｃ層との密着性をより高めるためには、ｃ層のｂ層側の部分では、ｂ層と同一組成系の硬質皮膜がより厚い膜であることが好ましい。具体的には、ｂ層がＡｌＣｒＮ系の硬質皮膜であれば、ｃ層のｂ層側の部分では、ｃ１層の方がｃ２層よりも厚膜であることが好ましい。また、ｂ層がＡｌＴｉＮ系の硬質皮膜であれば、ｃ層のｂ層側の部分では、ｃ２層の方がｃ１層よりも厚い膜であることが好ましい。このような皮膜構造とすることで、下地層であるｂ層と積層皮膜であるｃ層との密着性が高まる傾向になり、工具形状や使用環境によっては、被覆切削工具の耐久性がより向上する場合もある。
【００３３】
本実施形態では、硬質皮膜の総膜厚に対して、ｃ層を最も厚い膜とすることが好ましい。ｃ層が硬質皮膜の主層であることで、密着性および耐摩耗性が高いレベルで両立されて被覆切削工具の耐久性が向上する。
各層の最適な膜厚は、工具の種類、工具径および被削材等により異なるが、何れもｃ層が最も厚い膜となることで優れた耐久性を実現し易い。そして、ｂ層、ｃ層、ｄ層の合計の膜厚を１００％とした場合、ｃ層の膜厚比が５０％以上、更には６０％以上、更には７０％以上が好ましい。但し、ｃ層の膜厚比が大きくなり過ぎると、ｂ層とｄ層の膜厚が小さくなるため、密着性や耐摩耗性が低下する。そのため、ｃ層の膜厚比は９０％以下、更には８５％以下が好ましい。
ｂ層の膜厚比は５％以上が好ましい。ｄ層の膜厚比は１０％以上が好ましい。
【００３４】
積層皮膜の密着性を高めるためには、ｃ１層とｃ２層のそれぞれの膜厚は２０ｎｍ以下が好ましい。また、ｃ１層およびｃ２層の個々の膜厚が小さ過ぎると、組成系が異なる積層皮膜を形成することが困難になるため、ｃ１層とｃ２層のそれぞれの膜厚は２ｎｍ以上が好ましい。更にはｃ１層とｃ２層のそれぞれの膜厚は５ｎｍ以上が好ましい。ｃ１層およびｃ２層の膜厚の上限値および下限値は適宜組合せ可能である。
【００３５】
≪ｄ層≫
本実施形態に係るｄ層は、積層皮膜であるｃ層の上層に設けられる。ｄ層は、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、アルミニウム（Ａｌ）を５５原子％以上７５原子％以下、次いでチタン（Ｔｉ）の含有比率が多く、チタン（Ｔｉ）の含有比率が２０原子％以上である窒化物または炭窒化物である。Ａｌリッチの積層皮膜であるｃ層の上層にＡｌリッチなＡｌＴｉ系の窒化物または炭窒化物のｄ層を設けることで、硬質皮膜の全体の耐摩耗性をより高めることができる。
ＡｌとＴｉを主体とする窒化物または炭窒化物は、耐摩耗性および耐熱性に優れる膜種である。特に、Ａｌの含有比率が大きくなると硬質皮膜の耐熱性が向上する傾向にあり、被覆切削工具の耐久性が向上する。更には、ｄ層は、耐熱性と耐摩耗性に優れる窒化物であることが好ましい。硬質皮膜に高い耐熱性を付与するために、ｄ層はＡｌを５５原子％以上で含有する。更にはｄ層のＡｌは６０原子％以上が好ましい。但し、Ａｌの含有比率が大きくなり過ぎると、ｈｃｐ構造のＡｌＮが多くなるため、硬質皮膜の耐久性が低下する。そのため、ｄ層のＡｌの含有比率は７５原子％以下とする。あるいはｄ層のＡｌの含有比率は７３原子％以下、更には７０原子％以下が好ましい。
【００３６】
ＡｌとＴｉをベースとする窒化物または炭窒化物はＴｉの含有比率が小さくなり過ぎると耐摩耗性が低下する。そのため、ｄ層はＴｉを２０原子％以上で含有する。ｄ層はＡｌＴｉ系の窒化物または炭窒化物とするために、Ａｌに次いでＴｉを多く含有する。但し、Ｔｉの含有比率が大きくなり過ぎると、相対的にＡｌの含有比率が低下するため、耐熱性が低下する。そのため、ｄ層のＴｉの含有比率は４０原子％以下、更には３５原子％以下が好ましい。
【００３７】
ｄ層は耐熱性と耐摩耗性をより高めるために、ＡｌとＴｉの含有比率の合計が、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、８５原子％以上であることが好ましい。ｄ層は耐熱性と耐摩耗性により優れる窒化物であることが好ましい。
【００３８】
ｄ層は、ＡｌとＴｉと以外の金属元素を含有することができる。ｄ層は、例えば、硬質皮膜の耐摩耗性や耐熱性や潤滑性などの向上を目的として、周期律表の４ａ族、５ａ族、６ａ族の元素およびＳｉ、Ｂ、Ｙから選択される１種または２種以上の元素を含有することができる。これらの元素は、硬質皮膜の特性を改善するために、ＡｌＴｉＮ系やＡｌＣｒＮ系の硬質皮膜には一般的に添加されている元素であり、含有比率が過多にならなければ被覆切削工具の耐久性を著しく低下させることはない。特にＡｌＴｉＮ系の硬質皮膜がＷ（タングステン）の元素を含有することで、より過酷な使用環境下において耐久性が優れる傾向にあり好ましい。
但し、ｄ層がＡｌとＴｉ以外の金属元素を多く含有すると、ＡｌＴｉＮ系の硬質皮膜としての基礎特性が損なわれ被覆切削工具の耐久性が低下する。そのため、ｄ層はＡｌとＴｉ以外の金属元素の合計が、金属（半金属を含む）元素の総量に対して、２０原子％以下、更には１５原子％以下、更には１０原子％以下であることが好ましい。
【００３９】
ｄ層の膜厚が薄くなり過ぎると耐熱性の向上が十分でない。硬質皮膜の全体の耐熱性を高めるには、ｄ層の膜厚は、１μｍ以上とすることが好ましい。更には、ｄ層の膜厚は２μｍ以上が好ましい。一方、ｄ層の膜厚が厚くなり過ぎるとチッピングが発生し易くなる。ｄ層の膜厚は５．０μｍ以下が好ましい。
必要に応じて、ｄ層の上層に別層を設けてもよい。
【００４０】
本実施例に係る硬質皮膜のｂ層、ｃ層、ｄ層は、耐熱性と耐摩耗性に優れる窒化物であることが好ましい。硬質皮膜の全体が窒化物であることで、被覆切削工具の耐久性がより向上する。なお、一般的に、窒化物であっても微小の酸素と炭素を含有する。つまり、金属窒化物は、ミクロ解析において、金属元素と酸素や炭素が結合しているピーク強度を有する。本実施形態に係る硬質皮膜は、窒化物が主体であれば、一部に炭窒化物や酸窒化物を含有してもよい。上述した組成および皮膜構造を満たす範囲であれば、硬質皮膜を構成する窒化物の一部に炭窒化物や酸窒化物が含まれても、被覆切削工具の耐久性を著しく低下させることはない。なお、本実施形態に係る硬質皮膜を、炭窒化物とする場合にも、硬質皮膜の耐熱性と耐摩耗性をより高めるために、炭素よりも窒素の含有比率が大きいことが好ましい。炭窒化物とする場合でも、窒素の含有比率に対して、炭素の含有比率を２０原子％以下とすることが好ましく、更には１０原子％以下とすることが好ましい。
【００４１】
≪ａ層≫
本実施形態では、必要に応じて、基材と下地層であるｂ層との間に、ナノビーム回折パターンがＷＣの結晶構造に指数付けされるａ層を有してもよい。ａ層は金属イオンボンバードにより基材の表面に形成される。ａ層は金属イオンボンバードに用いた金属元素が拡散して形成される層であるため、ＷＣ−Ｃｏ基超硬合金を基材とする場合、金属元素の総量でＷ（タングステン）を最も多く含有しており、次いで金属イオンボンバードに用いた金属元素を含有する。このようなａ層を有することで、基材とその上に設ける下地層との密着性が著しく改善する傾向にある。
但し、工具径が小さくなると、刃先が鋭角になり易いスクエアエンドミルやラジアスエンドミルにおいては、金属イオンボンバードにより、刃先が溶損する場合があり、刃先稜線が破壊され易くなる。そのため、ａ層は、金属イオンボンバードにより刃先稜線が破壊され難い、鋭角な刃先が形成されないボールエンドミルに設けることが好ましい。ａ層の膜厚が薄すぎる場合や、厚すぎる場合には密着性の改善効果が得られない。そのため、ａ層の膜厚は１ｎｍ以上１０ｎｍ以下が好ましい。
【００４２】
ａ層はナノビーム回折パターンがＷＣの結晶構造に指数付けされる層であるため、主に炭化物から構成される。ａ層はナノビーム回折パターンがＷＣの結晶構造に指数付けされる層であれば、一部に、窒素や酸素を含有してもよい。また、ａ層は、一部に金属層やｆｃｃ構造の結晶相を含有する場合もある。特に、金属ＴｉやＴｉを主体とする合金ターゲットを用いたボンバード処理は密着性の改善効果が大きい。そのため、ａ層は金属元素の含有比率で、ＷについでＴｉを多く含有することが好ましい。但し、ａ層に含有されるＴｉの含有比率が多くなり過ぎたり、少なくなり過ぎると密着性の向上効果が得られ難い。ａ層はＴｉを１０原子％以上３０原子％以下で含有することが好ましい。
【００４３】
以上に説明した本実施形態の被覆切削工具によれば、ＡｌＴｉの窒化物を主体とするｄ層の下層に、ＡｌＣｒ系の硬質皮膜からなるｃ１層とＡｌＴｉ系の硬質皮膜からなるｃ２層との積層皮膜であり、かつｈｃｐ構造のＡｌＮの含有量が低減されたｃ層を設けたことで、従来のＡｌＴｉ系の硬質皮膜に対して、耐熱性と耐摩耗性を向上させることができる。したがって本実施形態によれば、耐久性に優れる被覆切削工具が提供される。
【００４４】
≪製造方法≫
本実施形態に係る硬質皮膜は、ターゲットのイオン化率が高いアークイオンプレーティング法で被覆することが好ましい。また、ターゲットのイオン化率が高い高出力スパッタリング法で被覆してもよい。そして、Ａｌリッチの積層皮膜について、結晶性を高めてミクロ組織に含有されるｈｃｐ構造のＡｌＮを低減するために、ターゲット中心付近の垂直方向における磁束密度が１０ｍＴ以上のカソードを用いることが好ましい。
【００４５】
また、ＡｌＣｒ系の硬質皮膜を形成するためのカソードでは、カソード電圧が２０Ｖ以上３５Ｖ以下の範囲で成膜することが好ましい。カソード電圧が低すぎると、積層皮膜はｈｃｐ構造のＡｌＮが多くなり耐久性が低下する。また、カソード電圧が高くなり過ぎると、積層皮膜の皮膜組織が粗大になり過ぎて耐久性が低下し易くなる。
【００４６】
ＡｌＴｉ系の硬質皮膜を形成するためのカソードでは、カソード電圧が２０Ｖ以上３０Ｖ以下の範囲で成膜することが好ましい。カソード電圧が低くなり過ぎると、積層皮膜はｈｃｐ構造のＡｌＮが多くなり耐久性が低下する。また、カソード電圧が高くなり過ぎると、積層皮膜の皮膜組織が粗大になり過ぎて耐久性が低下し易くなる。カソード電流はそれぞれ１２０Ａ以上２００Ａ以下が好ましい。
【００４７】
本実施形態の製造方法では、ターゲット中心付近の垂直方向における磁束密度とカソード電圧を上述した範囲になる成膜装置を選定した上で、基材に印加する負のバイアス電圧の絶対値を大きくすることが好ましい。この製造方法によれば、ミクロ組織においてｈｃｐ構造のＡｌＮの生成が抑制される。これにより、ｃ層におけるＩｈ×１００／Ｉｓの値を１５よりも小さくすることができる。
基材に印加する負のバイアス電圧は−２００Ｖ以上−１００Ｖ未満が好ましい。更には、−１２０Ｖ以下が好ましい。バイアス電圧の絶対値が大きくなり過ぎると、成膜が安定し難く膜厚を調整することが困難となる。また、バイアス電圧の絶対値が小さくなり過ぎると、積層皮膜はｈｃｐ構造のＡｌＮが多くなり耐久性が低下する。被覆温度は４００℃以上６００℃以下が好ましい。窒化物を被覆する場合、炉内に窒素ガスを導入して被覆する。また、被覆時の窒素ガス圧力は２．０Ｐａ以上８．０Ｐａ以下が好ましい。炭窒化物を被覆する場合には、窒素ガスの一部をメタンガスに置換すればよい。
【実施例】
【００４８】
＜成膜装置＞
成膜には、アークイオンプレーティング法を利用した成膜装置を用いた。この成膜装置は、複数のカソード（アーク蒸発源）、真空容器、および基材回転機構を備えている。カソードとしては、ターゲットの外周にコイル磁石が配備されたカソードを１基（以下、「Ｃ１」という。）と、ターゲットの背面および外周に永久磁石が配備され、ターゲット表面に垂直方向の磁束密度を有し、ターゲット中央付近における垂直方向の磁束密度が１４ｍＴであるカソードを３基（以下、「Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４」という。）と、が搭載されている。
Ｃ１〜Ｃ４は基材が配置される領域の周囲に約９０°間隔に配置されており、Ｃ１とＣ４、Ｃ２とＣ３とが対向するように設けられている。【００４９】
真空容器は、内部が真空ポンプにより排気され、ガスが供給ポートより導入されるようになっている。真空容器内に設置された各基材には、バイアス電源が接続され、各基材に対してそれぞれ独立に負のＤＣバイアス電圧を印加することができる。【００５０】
基材回転機構は、プラネタリーと、プラネタリー上に配置されたプレート状治具と、プレート状治具上に配置されたパイプ状治具と、を備え、プラネタリーは毎分３回転の速さで回転し、プレート状治具およびパイプ状治具はそれぞれ自公転するようになっている。【００５１】
実施例１では、以下のボールエンドミルを基材に用いた。
組成：ＷＣ（ｂａｌ．）−Ｃｏ（８質量％）−Ｃｒ（０．５質量％）−Ｖ（０．３質量％）
硬度：９４．０ＨＲＡ
刃径：１ｍｍ、刃数：２枚【００５２】
Ｃ１に金属チタンターゲット、Ｃ２にＡｌＴｉ系合金ターゲット、Ｃ３にＡｌＣｒＳｉ系合金ターゲット、Ｃ４にＡｌＴｉ系合金ターゲットを設置した。表１に使用したターゲット組成を示す。【００５３】
【表１】
2020189252.tif 000003
【００５４】
各基材をそれぞれ真空容器内のパイプ状冶具に固定し、成膜前に以下のプロセスを実施した。まず、真空容器内を５×１０−２Ｐａ以下に真空排気した。その後、真空容器内に設置したヒーターにより、基材を温度５００℃まで加熱し、真空排気を行った。そして、基材の設定温度を５００℃とし、真空容器内の圧力を５×１０−２Ｐａ以下とした。【００５５】
＜Ａｒボンバード＞
その後、真空容器内にＡｒガスを導入し、容器内圧を０．６７Ｐａとした。その後、フィラメント電極に３５Ａの電流を供給し、基材に−２００Ｖの負圧のバイアス電圧を印加し、Ａｒボンバードを１５分間実施した。【００５６】
＜Ｔｉボンバード工程＞
その後、真空容器内の圧力が８×１０−３Ｐａ以下になるように真空排気した。続いて、Ｃ１に１２０Ａのアーク電流を供給し、基材に−８００Ｖの負圧のバイアス電圧を印加し、Ｔｉボンバード処理を１５分実施した。【００５７】
＜成膜工程＞
その後、基材の設定温度を４８０℃として、真空容器内に窒素ガスを導入して、炉内圧力を３．２Ｐａとした。
ｂ層の被覆では、いずれの試料も基材に印加する負のバイアス電圧を−１２０Ｖ、Ｃ３に印加する電流を２００Ａとした。ｂ層は約０．５μｍの膜厚に被覆した。
ｃ層の被覆では、試料により基材に印加する負のバイアス電圧を変化させた。また、Ｃ３に投入する電力は一定として、Ｃ２に投入する電力を徐々に増加させていき、ｃ層のｂ層側の部分ではｃ１層（ＡｌＣｒＮ系）の方がｃ２層（ＡｌＴｉＮ系）よりも厚い膜になるよう被覆した。なお、被覆時の、Ｃ２のカソード電圧は２０Ｖ以上３０Ｖ以下、Ｃ３のカソード電圧は２０Ｖ以上３５Ｖ以下であった。
ｄ層の被覆では、何れの試料も基材に印加する負のバイアス電圧を−１２０Ｖ、Ｃ４に印加する電流を１５０Ａとした。ｄ層は約１．５μｍの膜厚に被覆した。
表２にｃ層の成膜条件を示す。【００５８】
【表２】
2020189252.tif 000004
【００５９】
作製した被覆切削工具について、以下に示す切削条件にて切削試験を行った。
表３に切削試験結果を示す。切削条件の詳細は、以下の通りである。
＜加工条件＞
・切削方法：側面切削
・被削材：ＳＴＡＶＡＸ（５２ＨＲＣ）
・使用工具：２枚刃ボールエンドミル（工具径１ｍｍ）
・切り込み：軸方向、０．０４ｍｍ、径方向、０．０４ｍｍ
・主軸回転数：２４０００ｍｉｎ-１
・送り速度： ８６０ｍｍ／ｍｉｎ
・クーラント：ドライ加工（エアーブロー）
・切削距離：９０ｍ【００６０】
【表３】
2020189252.tif 000005
【００６１】
本実施例１は、最大摩耗幅が小さく、安定した摩耗形態を示し、継続して切削加工が可能な状態であった。比較例１は、本実施例１と同様の皮膜組成であるが、最大摩耗幅が大きくなった。比較例２は、本実施例よりも積層皮膜のＡｌの含有比率が少ない組成であり、最大摩耗幅が大きくなった。
本実施例１について耐久性が優れた要因を解明するために積層皮膜のミクロ解析を行った。
なお、ｂ層とｄ層については、株式会社日本電子製の電子プローブマイクロアナライザー装置（型番：ＪＸＡ−８５００Ｆ）を用いて、付属の波長分散型電子プローブ微小分析（ＷＤＳ−ＥＰＭＡ）で組成分析を行い、ターゲットの合金組成とほぼ同一の窒化物であることが確認された。【００６２】
本実施例１について、物性評価用のボールエンドミルを加工して、加工断面を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により観察した。積層皮膜であるｃ層は、平均幅が５０〜７０ｎｍの微細な柱状粒子から形成されていることが確認された。
積層皮膜の全体の組成分析の結果の一例を表４に示す。ｃ１層とｃ２層の組成は、エネルギー分散型Ｘ線分光器（ＥＤＳ）を用いて、分析領域をφ１ｎｍとして、各層の中心部分を分析することで求めた。小数点以下の値は四捨五入して求めた。
本実施例１のｃ層は、積層皮膜の全体でＡｌリッチであり、少なくともＳｉとＴｉとＣｒを含有していた。本実施例１では、ｃ１層とｃ２層の組成は相互に混ざっており、ｃ１層はＴｉとＷの合計を１０原子％以下で含有していた。また、本実施例１のｃ２層はＣｒを１０原子％以下で含有していた。【００６３】
【表４】
2020189252.tif 000006
【００６４】
続いて、積層皮膜の制限視野回折パターンを、加速電圧１２０ｋＶ、制限視野領域φ７５０ｎｍ、カメラ長１００ｃｍ、入射電子量５．０ｐＡ／ｃｍ２（蛍光板上）の条件にて求めた。求めた制限視野回折パターンの輝度を変換し、強度プロファイルを求めた。分析箇所は、膜厚方向における中間部分とした。【００６５】
図２に、本実施例１におけるｃ層の制限視野回折パターンの一例を示す。また、図３に、図２の積層皮膜の制限視野回折パターンの輝度を変換して求めた、制限視野回折パターンの強度プロファイルの一例を示す。図３において、横軸は（０００）面スポット中心からの距離（半径ｒ）を、縦軸は各半径ｒにおける円一周分の積算強度（任意単位）を、それぞれ示している。【００６６】
図３において、矢印１は、ｆｃｃ構造のＡｌＮの（１１１）面、ＴｉＮの（１１１）面、およびＣｒＮの（１１１）面に起因するピークである。矢印２は、ｆｃｃ構造のＡｌＮの（２００）面、ＴｉＮの（１１１）面、およびＣｒＮの（２００）面に起因するピークである。矢印３は、ｆｃｃ構造のＡｌＮの（２２０）面、ＴｉＮの（１１１）面、およびＣｒＮの（２２０）面に起因するピークである。図３においては、ｈｃｐ構造のＡｌＮ(０１０)に起因するピーク強度は確認されない。
図２に示すように本実施例１はｈｃｐ構造のＡｌＮ（０１０）に起因するピークは確認されず、Ｉｈ×１００／Ｉｓは０である。一方、比較例１のｃ層について本実施例１と同様の測定を行ったところ、ｈｃｐ構造のＡｌＮ（０１０）に起因するピークがあり、Ｉｈ×１００／Ｉｓは１９となった。
本実施例１および比較例１について、Ｘ線回折では、ｈｃｐ構造のＡｌＮに起因するピーク強度は確認されなかったが、制限視野回折パターンにおいては、ｈｃｐ構造のＡｌＮに起因するピーク強度に差異が生じた。本実施例１は、ミクロ組織に含有されるｈｃｐ構造のＡｌＮが少ないために、耐久性が著しく改善されたと推定される。
【図１】
2020189252.tif 000007
【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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