(57)【要約】  ２つの圧電フィルタ素子が収納されたパッケージの内面に、各圧電フィルタ素子の各圧電基板の入力電極及び出力電極の両電極に対向するシールド電極が形成され、圧電基板の両電極と、パッケージの内面シールド電極との対向間隙を１００μｍ以上としている。
2019150992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一枚の圧電基板の一方の主面に入力電極及び出力電極が形成され、他方の主面に共通電極が形成された圧電フィルタ素子の２つが、パッケージ内に収納され、前記２つの前記圧電フィルタ素子が縦続接続される圧電フィルタであって、
前記パッケージの内面には、各圧電フィルタ素子の各圧電基板の前記一方の主面の少なくとも前記入力電極及び前記出力電極の両電極に対向するシールド電極が形成され、
前記シールド電極と前記両電極との対向間隙が、１００μｍ以上である、
圧電フィルタ。
【請求項２】
前記対向間隙が、３６０μｍ未満である、
請求項１に記載の圧電フィルタ。
【請求項３】
前記各圧電フィルタ素子の前記各圧電基板は、平面視で矩形であり、
前記各圧電基板は、前記矩形の３つの角部で、前記パッケージにそれぞれ保持されている、
請求項１または２に記載の圧電フィルタ。
【請求項４】
前記各圧電フィルタ素子の前記各圧電基板の前記入力電極、前記出力電極、及び、前記共通電極の各電極が、前記パッケージに独立に設けられた各外部接続端子に、個別にそれぞれ接続されている、
請求項３に記載の圧電フィルタ。
【請求項５】
前記パッケージは、前記２つの前記圧電フィルタ素子が収納される平面視矩形の収納凹部を有しており、
前記収納凹部の対向する角部には、前記各外部接続端子の内、当該圧電フィルタの入力用の外部接続端子及び当該圧電フィルタの出力用の外部接続端子にそれぞれ接続された入力電極パッド及び出力電極パッドがそれぞれ形成されており、
一方の圧電フィルタ素子の圧電基板の前記入力電極及び他方の圧電フィルタ素子の圧電基板の前記出力電極が、前記対向する角部へそれぞれ引出されて前記入力電極パッド及び前記出力電極パッドにそれぞれ接続されている、
請求項４に記載の圧電フィルタ。
【請求項６】
前記２つの前記圧電フィルタ素子は、前記一方の圧電フィルタ素子の前記圧電基板の前記出力電極と、前記他方の圧電フィルタ素子の前記圧電基板の前記入力電極とが近接するように、前記パッケージの前記収納凹部に並置される、
請求項５に記載の圧電フィルタ。
【請求項７】
前記２つの各圧電フィルタ素子の前記入力電極と前記出力電極とは、前記各圧電基板の前記一方の主面に互いに間隔を空けてそれぞれ形成され、
前記シールド電極は、前記一方の主面の前記両電極に対向すると共に、前記間隔が空けられた領域に対向するように連続して前記パッケージの前記内面に形成され、
前記シールド電極が連続して形成されている前記パッケージの内面が、平坦である、
請求項６に記載の圧電フィルタ。
【請求項８】
前記圧電基板が、水晶基板である、
請求項７に記載の圧電フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯電話機等の通信機器や電子機器等に用いる圧電フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＡＴカット水晶板等の圧電基板を用いた圧電フィルタは、一般に圧電基板の一方の面に入力電極と出力電極を形成すると共に、他方の面に前記入出力電極に対応した共通電極（アース電極）を形成した構成を有している。このような構成は、圧電基板を挟んで２つの電極対を有しているため２ポール型圧電フィルタと称しているが、圧電フィルタの特性を向上させるために、このような２ポール型の圧電フィルタを縦続接続した４ポール型の圧電フィルタがある。【０００３】
かかる圧電フィルタが使用される機器、特に携帯型の通信機器では、小型化が進んでおり、通信機器等に用いられる圧電フィルタも更なる小型化が求められている。【０００４】
圧電フィルタを小型化すると、パッケージ内に収容した圧電フィルタ素子の入力電極と出力電極との間の電磁的結合に起因する漏れ電流が発生しやすく、保証減衰量を低下させるという問題が顕著となる。【０００５】
このため、従来では、パッケージの内面に、前記入力電極及び前記出力電極に対向するシールド電極を形成して電磁遮蔽を行って、保証減衰量の低下を防止するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第３２３９７６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１のような従来技術では、保証減衰量の低下を防止することはできるが、圧電フィルタの小型化が進むと、保証減衰特性のフロアレベル（バックグラウンドノイズレベル）が傾斜し、このため、要求される保証減衰特性を満足できない帯域が生じる場合がある。【０００８】
特許文献１では、かかる保証減衰特性のフロアレベルの傾斜については、特段考慮されていない。【０００９】
本発明は、上記のような点に鑑みて為されたものであって、保証減衰特性のフロアレベルを平坦にすると共に、高い保証減衰特性の圧電フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明では、上記目的を達成するために、次のように構成している。【００１１】
すなわち、本発明の圧電フィルタは、一枚の圧電基板の一方の主面に入力電極及び出力電極が形成され、他方の主面に共通電極が形成された圧電フィルタ素子の２つが、パッケージ内に収納され、前記２つの前記圧電フィルタ素子が縦続接続される圧電フィルタであって、
前記パッケージの内面には、各圧電フィルタ素子の各圧電基板の前記一方の主面の少なくとも前記入力電極及び前記出力電極の両電極に対向するシールド電極が形成され、前記シールド電極と前記両電極との対向間隙が、１００μｍ以上である。【００１２】
本発明によれば、シールド電極は、少なくとも入力電極及び出力電極の両電極に対向するので、入力電極と出力電極との間の電磁的結合を抑制して保証減衰量を高めることができると共に、前記シールド電極と前記両電極の対向間隙を、１００μｍ以上としているので、前記対向間隙が狭くなり過ぎて、保証減衰特性のフロアレベルが傾斜するのを抑制して平坦化することができる。【００１３】
また、個別の各圧電基板に、入力電極、出力電極及び共通電極が形成されて圧電フィルタ素子がそれぞれ構成されるので、互いに音響的に分離されることになり、共通の圧電基板に、２つの圧電フィルタ素子の入力電極、出力電極及び共通電極を形成する構成に比べて、スプリアスを抑制してフィルタ特性を向上させることができる。【００１４】
前記対向間隙は、３６０μｍ未満であるのが好ましい。【００１５】
上記構成によれば、シールド電極と、各圧電基板の入力電極及び出力電極の両電極との対向間隙を、３６０μｍ未満としているので、入力電極と出力電極との間の電磁的結合を効果的に抑制することができる。【００１６】
前記各圧電フィルタ素子の前記各圧電基板は、平面視で矩形であり、前記各圧電基板は、前記矩形の３つの角部で、前記パッケージにそれぞれ保持されているのが好ましい。【００１７】
上記構成によれば、平面視が矩形の各圧電基板を、矩形の３つの角部でパッケージに保持するので、圧電基板が傾くことなく、安定に保持することができる。これによって、パッケージ内面のシールド電極と、圧電基板の入力電極及び出力電極の両電極との対向間隙を、安定して維持することができる。【００１８】
前記各圧電フィルタ素子の前記各圧電基板の前記入力電極、前記出力電極、及び、前記共通電極の各電極が、前記パッケージに独立に設けられた各外部接続端子に、個別にそれぞれ接続されているのが好ましい。【００１９】
上記構成によれば、各圧電基板の各電極は、パッケージの独立の外部接続端子に個別にそれぞれ接続されている、すなわち、各圧電基板の各電極は、パッケージ内でそれぞれ独立して各外部接続端子に接続されているので、各電極が互いに影響するのを抑制することができ、保証減衰量を高めることができる。【００２０】
前記パッケージは、前記２つの前記圧電フィルタ素子が収納される平面視矩形の収納凹部を有しており、前記収納凹部の対向する角部には、前記各外部接続端子の内、当該圧電フィルタの入力用の外部接続端子及び当該圧電フィルタの出力用の外部接続端子にそれぞれ接続された入力電極パッド及び出力電極パッドがそれぞれ形成されており、一方の圧電フィルタ素子の圧電基板の前記入力電極及び他方の圧電フィルタ素子の圧電基板の前記出力電極が、前記対向する角部へそれぞれ引出されて前記入力電極パッド及び前記出力電極パッドにそれぞれ接続されるようにしてもよい。【００２１】
上記構成によれば、パッケージの収納凹部に収納された２つの圧電フィルタ素子の一方の圧電フィルタ素子の圧電基板の入力電極と、他方の圧電フィルタ素子の圧電基板の出力電極とが、平面視矩形の前記収納凹部の対向する角部の入力電極パッドと出力電極パッドとにそれぞれ引出されて入力用の外部接続端子及び出力用の外部接続端子に接続されるので、当該圧電フィルタの入力用の外部接続端子等と出力用の外部接続端子等とを、最も離れた対向する角部に配置することができる。これによって、互いの影響を抑制して保証減衰量を高めることができる。【００２２】
前記２つの前記圧電フィルタ素子は、前記一方の圧電フィルタ素子の前記圧電基板の前記出力電極と、前記他方の圧電フィルタ素子の前記圧電基板の前記入力電極とが近接するように、前記パッケージの前記収納凹部に並置されるのが好ましい。【００２３】
上記構成によれば、各圧電フィルタ素子を、離隔させて互いに影響するのを抑制しつつ、近接配置して小型化を図ることができる。【００２４】
前記２つの各圧電フィルタ素子の前記入力電極と前記出力電極とは、前記各圧電基板の前記一方の主面に互いに間隔を空けてそれぞれ形成され、前記シールド電極は、前記一方の主面の前記両電極に対向すると共に、前記間隔が空けられた領域に対向するように連続して前記パッケージの前記内面に形成され、前記シールド電極が連続して形成されている前記パッケージの内面が、平坦であるのが好ましい。【００２５】
上記構成によれば、入力電極と出力電極との間の間隔が空けられた領域に対向するシールド電極は、平坦なパッケージの内面に連続して形成されるので、例えば、前記間隔に対向する領域に、突起部等を形成するものに比べて、構成が簡素化される。【００２６】
前記圧電基板が、水晶基板であるのが好ましい。【００２７】
上記構成によれば、周波数温度特性が良好となる。
【発明の効果】
【００２８】
以上のように本発明によれば、シールド電極は、少なくとも入力電極及び出力電極の両電極に対向するので、入力電極と出力電極との間の電磁的結合を抑制して保証減衰量を高めることができると共に、前記シールド電極と前記両電極との対向間隙を、１００μｍ以上としているので、前記対向間隙が狭くなり過ぎて、保証減衰特性のフロアレベルが傾斜するのを抑制して平坦化することができる。【００２９】
また、個別の各圧電基板に、入力電極、出力電極及び共通電極が形成されて圧電フィルタ素子がそれぞれ構成されるので、互いに音響的に分離されることになり、共通の圧電基板に、２つの圧電フィルタ素子の入力電極、出力電極及び共通電極を形成する構成に比べて、スプリアスを抑制してフィルタ特性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】図１は本発明の一実施形態の圧電フィルタの縦断面図である。
【図２】図２は図１の圧電フィルタの蓋体を外した状態の平面図である。
【図３】図３は図１の圧電フィルタのベースの平面図である。
【図４】図４は図１の圧電フィルタの構成を示す模式図である。
【図５】図５は比較例の圧電フィルタの図２に対応する平面図である。
【図６】図６は図５の圧電フィルタのフィルタ特性を示す図である。
【図７】図７は他の比較例の圧電フィルタの図１に対応する縦断面図である。
【図８】図８は図７の圧電フィルタのフィルタ特性を示す図である。
【図９】図９は他の比較例の圧電フィルタのフィルタ特性を示す図である。
【図１０】図１０は図１の実施形態に係る実施例の圧電フィルタのフィルタ特性を示す図である。
【図１１】図１１は他の実施例の圧電フィルタのフィルタ特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３２】
図１は、本発明の一実施形態に係る圧電フィルタの縦断面図であり、図２は、図１の圧電フィルタの蓋体を外した状態の平面図であり、図３は、図１の圧電フィルタのベースの平面図であり、図４は、図１の圧電フィルタの構成を示す模式図である。
【００３３】
この実施形態の圧電フィルタ１は、セラミック製のベース２と、このベース２内に収納される２つの第１，第２圧電フィルタ素子３，４と、ベース２を気密封止する蓋体５とを備えている。蓋体５は、例えばコバールなどの金属板からなる。ベース２と蓋体５とによって、両圧電フィルタ素子３，４を収納するパッケージが構成されている。
【００３４】
この実施形態のベース２は、アルミナ等を母材とするセラミック多層基板からなる。このベース２は、平面視略矩形の平板状の下層２ａと、当該下層２ａ上部に形成した段部を構成する中層２ｂと、当該中層２ｂ上に形成した枠部を構成する上層２ｃとの３層構成である。ベース２では、これら三層２ａ〜２ｃによって、第１，第２圧電フィルタ素子３，４を収納保持する段部を有する平面視矩形の収納凹部６が構成される。
【００３５】
この実施形態の圧電フィルタ１は小型の圧電フィルタであり、ベース２のサイズは、例えば、６．０ｍｍ×３．５ｍｍであり、ベース２及び前記蓋体５を併せた高さは、例えば、１．０ｍｍである。
【００３６】
第１，第２圧電フィルタ素子３，４は、例えばＡＴカット水晶板からなる平面視矩形の第１，第２圧電基板７，８をそれぞれ備えている。
【００３７】
ベース２の中層２ｂの上面、すなわち、ベース２の収納凹部６の段部には、第１圧電基板７を電気機械的に保持搭載するための第１入力パッド９と第１出力パッド１０と第１アースパッド１１が形成されている。同様に、第２圧電基板８を電気機械的に保持搭載するための第２入力パッド１２と第２出力パッド１３と第２アースパッド１４が形成されている。
【００３８】
平面視が矩形の第１圧電基板７は、その矩形の３つの角部が、ベース２の第１入力パッド９、第１出力パッド１０及び第１アースパッド１１に導電性接着剤１５によって保持される。同様に第２圧電基板８は、その矩形の３つの角部が、第２入力パッド１２、第２出力パッド１３及び第２アースパッド１４に導電性接着剤１５によって保持される。
【００３９】
このように矩形の各圧電基板７，８を、矩形の３つの角部で保持するので、例えば、２つの角部で保持する場合のように各圧電基板７，８が傾くことがなく、水平な状態に安定して保持することができる。これによって、パッケージの内底面を構成するベース２の下層２ａの表面に形成されている後述の第１，第２シールド電極２２，２３と、各圧電基板７，８の後述の入力電極７１，８１及び出力電極７２，８２との対向間隙Ｇを、所要の範囲に安定して維持することができる。また、各圧電基板７，８を、４つの角部の全てで保持する場合に比べて、ベース２から加わる応力の影響を低減することができる。
【００４０】
上記の各パッド９〜１４の内、入力電極パッドとしての第１入力パッド９と、出力電極パッドとしての第２出力パッド１３とは、平面視矩形の収納凹部６の斜めに対向する角部、すなわち、最も離れた位置にそれぞれ形成されている。
【００４１】
第１圧電フィルタ素子３の第１圧電基板７の一方の主面である裏面（下面）には、それぞれ矩形の入力電極７１と出力電極７２が間隔を空けて並列して形成されている。これら各電極７１，７２は、第１圧電基板７の対向する角部に引き出され、上記第１入力パッド９及び第１出力パッド１０に、下塗りされた導電性接着剤１５によって、それぞれ電気的に接続されている。第１圧電基板７の入力電極７１と出力電極７２とは、矩形の第１圧電基板７の対向する角部、すなわち、矩形の最も離れた位置に引出されているので、両電極７１，７２相互の影響を抑制して、保証減衰量を高めることができる。
【００４２】
平面視矩形の収納凹部６の対向する角部の一方の角部の第１入力パッド９には、第１圧電基板７の入力電極７１が引出されて導電性接着剤１５によって電気的に接続されている。
【００４３】
第１圧電基板７の他方の主面である表面（上面）には、前記入力電極７１及び出力電極７２に対応した矩形のアース電極である共通電極７３が形成されいる。この共通電極７３は、第１圧電基板７の他の角部に引き出され、上記第１アースパッド１１に、下塗り及び上塗りされた導電性接着剤１５によって電気的に接続されている。
【００４４】
第２圧電フィルタ素子４の第２圧電基板８においても第１圧電基板７と同様に裏面には、それぞれ矩形の入力電極８１及び出力電極８２が形成されている。これら各電極８１，８２は、第２圧電基板８の対向する角部に引き出され、上記第２入力パッド１２及び第２出力パッド１３に、下塗りされた導電性接着剤１５によって電気的に接続されている。第２圧電基板８の入力電極８１と出力電極８２とは、矩形の第２圧電基板８の対向する角部、すなわち、矩形の最も離れた位置に引出されているので、両電極８１，８２相互の影響を抑制して、保証減衰量を高めることができる。
【００４５】
平面視矩形の収納凹部６の対向する角部の他方の角部の第２出力パッド１３には、第２圧電基板８の出力電極８２が引出されて導電性接着剤１５によって電気的に接続されている。
【００４６】
第２圧電基板８の表面には、前記入力電極８１及び前記出力電極８２に対応した矩形のアース電極である共通電極８３が形成されている。この共通電極８３は、第２圧電基板８の他の角部に引き出され、上記第２アースパッド１４に、下塗り及び上塗りされた導電性接着剤１５によって電気的に接続されている。
【００４７】
このように第１圧電基板７の出力電極７２と、第２圧電基板８の入力電極８１とが近接する側となるように、両圧電基板７，８を離隔させてベース２内に並べて配置し、各圧電フィルタ素子３，４が互いに影響するのを抑制しつつ、小型化を図っている。
【００４８】
平面視が矩形の第１圧電基板７は、その対向する２つの角部が、第１入力パッド９及び第１出力パッド１０に、下塗りされた導電性接着剤１５によって保持される。第１圧電基板７の前記２つの角部の間の角部が、第１アースパッド１１に、下塗り及び上塗りされた導電性接着剤１５によって保持される。このように第１入力パッド９及び第１出力パッド１０では、下塗りされた導電性接着剤１５によって、第１圧電基板７の対向する２つの角部をそれぞれ保持し、２つの角部の間の第１アースパッド１１では、下塗りされた導電性接着剤１５に加えて、上塗りされた導電性接着剤１５によっても保持するので、第１圧電基板７が傾くのを効果的に防止することができる。
【００４９】
同様に第２圧電基板８は、その対向する２つの角部が、第２入力パッド１２及び第２出力パッド１３に、下塗りされた導電性接着剤１５によって保持される。第２圧電基板８の前記２つの角部の間の角部が、第２アースパッド１４に、下塗り及び上塗りされた導電性接着剤１５によって保持されるので、第２圧電基板８が傾くのを効果的に防止することができる。
【００５０】
圧電フィルタ１のベース２の外底面には、図４に示す表面実装用の６つの第１〜第６外部接続端子１６〜２１が独立に形成されている。すなわち、ベース２の第１〜第６外部接続端子１６〜２１は、互いに離れた別々の端子となっている。これらの外部接続端子１６〜２１は、ベース２の収納凹部６の各パッド９〜１４に対応しており、ベース２内部に形成された図示しない配線（配線パターンやビア等）を介して、個別的に対応する各パッド９〜１４に電気的にそれぞれ接続されている。また、これらの外部接続端子１６〜２１は、ベース２の収納凹部６の個別的に対応する各パッド９〜１４の下方位置に形成されている。
【００５１】
ベース２の収納凹部６の各パッド９〜１４には、上記のように第１，第２圧電基板７，８の各電極７１〜７３，８１〜８３がそれぞれ接続されているので、第１〜第６外部接続端子１６〜２１は、個別的に対応する各パッド９〜１４を介して、第１，第２圧電基板７，８の対応する各電極７１〜７３，８１〜８３にそれぞれ接続されている。
【００５２】
具体的には、図４に示すように、第１圧電基板７の入力電極７１と第１外部接続端子１６とが、第１入力パッド９（図示せず）を介して接続され、第１圧電基板７の共通電極７３と第２外部接続端子１７とが、第１アースパッド１１（図示せず）を介して接続され、第１圧電基板７の出力電極７２と第３外部接続端子１８とが、第１出力パッド１０（図示せず）を介して接続されている。
【００５３】
また、第２圧電基板８の出力電極８２と第４外部接続端子１９とが、第２出力パッド１３（図示せず）を介して接続され、第２圧電基板８の共通電極８３と第５外部接続端子２０とが、第２アースパッド１４（図示せず）を介して接続され、第２圧電基板８の入力電極８１と第６外部接続端子２１とが、第２入力パッド１２（図示せず）を介して接続されている。
【００５４】
このように各圧電基板７，８の入力電極７１，８１、出力電極７２，８２及び共通電極７３，８３は、ベース２の独立の第１，第６外部接続電極１６，２１、第３，第４外部接続端子１８，１９及び第２，第５外部接続端子１７，２０に個別にそれぞれ接続されている。すなわち、各圧電基板７，８の各電極７１〜７３，８１〜８３が、独立の各外部接続端子１６〜２１に個別に接続されているので、各圧電基板７，８の各電極７１〜７３，８１〜８３が、互いに影響し合うのを抑制することができ、保証減衰量を高めることができる。
【００５５】
また、一方の圧電フィルタ素子３（又は４）を、他方の圧電フィルタ素子４（又は３）の影響を受けることなく、独立に調整することができる。
【００５６】
第１圧電基板７の入力電極７１が接続されている第１外部接続端子１６は、圧電フィルタ１の入力用の外部接続端子、すなわち、入力端子であり、第２圧電基板８の出力電極８２が接続されている第４外部接続端子１９は、圧電フィルタ１の出力用の外部接続端子、すなわち、出力端子である。
【００５７】
入力用の第１外部接続端子１６は、平面視矩形の収納凹部６の一方の対向する角部の第１入力パッド９の下方の外底面に形成されており、出力用の第４外部接続端子１９は、収納凹部６の他方の対向する角部の第２出力パッド１３の下方の外底面に形成されている。
【００５８】
第１圧電基板７の共通電極７３に接続された第２外部接続端子１７及び第２圧電基板８の共通電極８３に接続された第５外部接続端子２０は、ＧＮＤ端子としてそれぞれ接地される。
【００５９】
第１圧電フィルタ素子３の出力電極７２に接続された第３外部接続端子１８
と、第２圧電フィルタ素子４の入力電極８１に接続された第６外部接続端子２１とが、カップリングコンデンサＣ１に共通に接続される。
【００６０】
このように第１圧電フィルタ素子３の出力電極７２と、第２圧電フィルタ素子４の入力電極８１とが互いに接続され、２ポール型の２つの第１，第２圧電フィルタ素子３，４が縦続接続された４ポール型の圧電フィルタ１が構成される。
【００６１】
上記のように第１圧電基板７の入力電極７１は、平面視矩形の収納凹部６の対向する一方の角部へ引出されて導電性接着剤１５を介して第１入力パッド９に接続されて、第１入力パッド９下方の外底面の入力用の外部接続端子１６に電気的に接続されている。また、第２圧電基板８の出力電極８２は、収納凹部６の対向する他方の角部へ引出されて導電性接着剤１５を介して第２出力パッド１３に接続されて、第２出力パッド１３下方の外底面の出力用の外部接続端子１９に接続されている。
【００６２】
このように当該圧電フィルタ１の入力用の第１入力パッド９及び外部接続端子１６と、出力用の第２出力パッド１３及び外部接続端子１９とを、ベース３の平面視矩形の収納凹部６の最も離れた位置である対向する角部にそれぞれ配置しているので、互いの影響を抑制して保証減衰量を高めることができる。
【００６３】
一般に、６０ＭＨｚ程度以下の低周波では、スプリアスが多く、そのレベルも高くなる。この実施形態では、第１圧電フィルタ素子３の矩形の入出力電極７１，７２のアスペクト比と、第２圧電フィルタ素子４の矩形の入出力電極８１，８２のアスペクト比を異ならせており、図２に示すように、入出力電極７１，７２は長方形に近い形状、入出力電極８１，８２は正方形に近い形状としているので、スプリアスを抑制することができる。
【００６４】
なお、本発明の他の実施形態として、両圧電フィルタ素子３，４の電極形状を同じ形状としてもよい。
【００６５】
この実施形態では、パッケージの内底面を構成するベース２の平板状の下層２ａの平坦な表面には、第１，第２圧電基板７，８に対応する第１，第２シールド電極２２，２３が形成されている。
【００６６】
各シールド電極２２，２３は、タングステン等によるメタライズ層の上面に、金めっき層が形成されて構成されている。
【００６７】
各シールド電極２２，２３は、ベース２内部に形成された図示しない配線（配線パターンやビア等）を介して、ＧＮＤ端子である上記第２，第５外部接続端子１７，２０に共通に接続されて、接地される。
【００６８】
各シールド電極２２，２３は、各圧電基板７，８の裏面の少なくとも各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２に、対向間隙Ｇを空けてそれぞれ対向する。
【００６９】
すなわち、第１シールド電極２２は、第１圧電基板７の、少なくとも入力電極７１及び出力電極７２に、平面視で重なる一方、第２シールド電極２３は、第２圧電基板８の、少なくとも入力電極８１及び出力電極８２に、平面視で重なるように形成されている。
【００７０】
第１シールド電極２２は、第１圧電基板７の両電極７１，７２に対向するのみならず、入力電極７１と出力電極７２との間の間隔の空いた領域に対向するように連続して形成される。第２シールド電極２３も、第２圧電基板８の両電極８１，８２に対向するのみならず、入力電極８１と出力電極８２との間の間隔の空いた領域に対向するように連続して形成されている。
【００７１】
したがって、第１シールド電極２２が形成されている領域の面積は、第１圧電基板７の入力電極７１が形成されている領域の面積と出力電極７２が形成されている領域の面積とを合計した合計面積よりも大きい。同様に、第２シールド電極２３が形成されている領域の面積は、第２圧電基板８の入力電極８１が形成されている領域の面積と出力電極８２が形成されている領域の面積とを合計した合計面積よりも大きい。
【００７２】
第１シールド電極２２が形成されている領域の面積は、第１圧電基板７の入力電極７１と出力電極７２とが形成された領域の面積の、例えば約４倍以内であるのが好ましい。同様に、第２シールド電極２３が形成されている領域の面積は、第２圧電基板８の入力電極８１と出力電極８２とが形成された領域の面積の約４倍以内であるのが好ましい。
【００７３】
このように各シールド電極２２，２３を、各圧電基板７，８の少なくとも各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２にそれぞれ対向させるので、入力電極７１，８１と出力電極７２，８２との間の電磁的結合を防止して保証減衰量を高めることができる。
【００７４】
図５は、各シールド電極２２1,２３1が形成されている領域の面積が狭い比較例の圧電フィルタ１1の図２に対応する平面図である。この比較例の圧電フィルタ１1では、第１シールド電極２２1は、第１圧電基板７の出力電極７２には対向しているが、入力電極７１には対向していない。また、第２シールド電極２３1は、第２圧電基板８の入力電極８１には対向しているが、出力電極８２には対向していない。
【００７５】
この比較例の圧電フィルタ１1は、図２に示される実施形態の圧電フィルタ１に比べてシールド電極の形成面積を１／２としている。この圧電フィルタ１1は、シールド電極２２1，２３1の形成領域以外は、図２に示される実施形態の圧電フィルタ１と同様であり、各シールド電極２２，２３と、各圧電基板７，８の各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２との対向間隙Ｇは、２５０μｍである。
【００７６】
図６は、この比較例の圧電フィルタ１1のフィルタ特性を示す図であり、横軸は周波数（ｋＨｚ）を、縦軸は保証減衰量（ｄＢ）をそれぞれ示しており、中心周波数ｆ0は、７３．３５ＭＨｚである。
【００７７】
この図６に示すように、中心周波数ｆ0（７３．３５ＭＨｚ）から−４５００ｋＨｚの周波数域で、要求される保証減衰量、例えば、９０ｄＢ以上を満たすことができない。
【００７８】
このように各シールド電極２２1，２３1が、各圧電基板７，８の一方の電極７２，８１にしか対向していない図５の圧電フィルタ２1では、各シールド電極２２1，２３1が、各圧電基板７，８の入力電極７１，８１及び出力電極７２，８２に対向していない領域で、入力電極７１，８１と出力電極７２，８２との間で発生する電磁的結合を十分に抑制することができず、保証減衰特性が低下する。
【００７９】
この実施形態の圧電フィルタ１では、上記のように、各シールド電極２２，２３は、各圧電基板７，８の少なくとも各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２に対向している。
【００８０】
更に、この実施形態の圧電フィルタ１では、各シールド電極２２，２３と、各圧電基板７，８の各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２との対向する間隙Ｇを、１００μｍ以上としている。
【００８１】
この対向間隙Ｇが、１００μｍ未満では、保証減衰特性のフロアレベル（バックグラウンドノイズレベル）が傾斜し、要求される保証減衰特性を満足できない帯域が生じる場合がある。
【００８２】
この対向間隙Ｇは、各圧電基板７，８の入力電極７１，８１と出力電極７２，８２との間で発生する電磁的結合を効果的に抑制するためには、３６０μｍ未満であるのが好ましい。すなわち、この対向間隙Ｇは、１００μｍ以上３６０μｍ未満、好ましくは、２００μｍ以上３００μｍ以下である。
【００８３】
図７は、ベース２2を２層構造として、前記対向間隙Ｇを１００μｍ未満、具体的には、４０μｍとした比較例の圧電フィルタ１2の図１に対応する縦断面図である。
【００８４】
図７では、各シールド電極２２，２３、各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２を図示していないが、圧電フィルタ１2は、対向間隙Ｇを狭くするために、ベース２2を２層構造にした以外は、図１に示される実施形態と同様であり、各シールド電極２２，２３は、各圧電基板７，８の各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２に対向している。
【００８５】
図８は、この比較例の圧電フィルタ１2のフィルタ特性を示す図であり、横軸は周波数（ｋＨｚ）を、縦軸は保証減衰量（ｄＢ）をそれぞれ示しており、中心周波数ｆ0は、７３．３５ＭＨｚである。
【００８６】
この比較例の圧電フィルタ１2では、各シールド電極２２，２３は、各圧電基板７，８の各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２にそれぞれ対向しているので、入力電極７１，８１と出力電極７２，８２との間の電磁的結合を抑制することができ、図８に示すように、中心周波数ｆ0（７３．３５ＭＨｚ）から−４５００ｋＨｚの周波数域で、要求される保証減衰量、例えば、約９０ｄＢ以上を満足することができる。
【００８７】
しかし、各シールド電極２２，２３と、各圧電基板７，８の各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２との対向間隙Ｇを、１００μｍ未満である４０μｍと近接させたので、対向間隙Ｇが狭過ぎて、図８に示すように、保証減衰特性のフロアレベルが、破線のラインＬ１で示すように傾斜する。この傾斜角度がばらつくために、要求される保証減衰量を満足できない帯域が生じてしまう。
【００８８】
逆に、各シールド電極２２，２３と、各圧電基板７，８の各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２との対向間隙Ｇが広過ぎると、各圧電基板７，８の入力電極７１，８１と出力電極７２，８２との間で発生する電磁的結合を効果的に抑制することができない。
【００８９】
図９は、対向間隙Ｇを、３６０μｍとした比較例の圧電フィルタのフィルタ特性を示す図である。この図９のフィルタ特性を示す比較例の圧電フィルタは、対向間隙Ｇを３６０μｍと広くした以外は、図１に示される実施形態と同様であり、各シールド電極２２，２３は、各圧電基板７，８の各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２に対向している。
【００９０】
図９に示されるように、対向間隙Ｇを３６０μｍとした比較例の圧電フィルタでは、中心周波数ｆ0（７３．３５ＭＨｚ）から−４５００ｋＨｚの周波数域で、要求される保証減衰量、例えば、９０ｄＢ以上を満たすことができない。
【００９１】
これに対して、この実施形態では、図２に示すように、各シールド電極２２，２３は、各圧電基板７，８の少なくとも各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２にそれぞれ対向すると共に、その対向間隙Ｇを、１００μｍ以上３６０μｍ未満としている。
【００９２】
図１０は、この対向間隙Ｇを、２５０μｍとした実施例の圧電フィルタ１のフィルタ特性を示す図である。
【００９３】
この実施例の圧電フィルタ１では、各シールド電極２２，２３を、各圧電基板７，８の少なくとも各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２にそれぞれ対向させると共に、各シールド電極２２，２３と、各入力電極７１，８１及び各出力電極７２，８２との対向間隙Ｇを、近接させ過ぎることなく、適切な対向間隙としているので、入力電極７１，８１と出力電極７２，８２との間の電磁的結合を十分に抑制することができ、図１０の破線で囲まれた領域に示すように、中心周波数ｆ0（７３．３５ＭＨｚ）から±４５００ｋＨｚの周波数域で、要求される保証減衰量、例えば、約９０ｄＢ以上を満足し、１００ｄＢ程度まで改善できる。更に、保証減衰特性のフロアレベルが傾斜することなく、平坦な特性となっている。
【００９４】
図１１は、対向間隙Ｇを、２２０μｍとした他の実施例の圧電フィルタ１のフィルタ特性を示す図である。
【００９５】
この実施例の圧電フィルタも、中心周波数ｆ0（７３．３５ＭＨｚ）から−４５００ｋＨｚの周波数域で、要求される保証減衰量、例えば、約９０ｄＢ以上を満足することができると共に、保証減衰特性のフロアレベルが傾斜することなく、平坦な特性となっている。
【００９６】
上記実施形態では、圧電基板として水晶基板を用いたが、圧電特性を有するセラミック基板や多結晶基板を用いてもよい。
【符号の説明】
【００９７】
１，１1，１2      圧電フィルタ
２，２1，２2      ベース
３                第１圧電フィルタ素子
４                第２圧電フィルタ素子
６                収納凹部
７                第１圧電基板
８                第２圧電基板
２２，２２1       第１シールド電極
２３，２３1       第２シールド電極
７１，８１        入力電極
７２，８２        出力電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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