(57)【要約】ビスマスと亜鉛とニオブとを含む複合酸化物を有する誘電体組成物であって、誘電体組成物が、複合酸化物から構成されパイロクロア型結晶構造を有する結晶相と、アモルファス相と、を有し、複合酸化物を組成式ＢｉｘＺｎｙＮｂｚＯ１．７５＋δで表した場合、ｘ、ｙおよびｚは、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００、０．２０≦ｙ≦０．５０、２／３≦ｘ／ｚ≦３／２である関係を満足することを特徴とする誘電体組成物である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビスマスと亜鉛とニオブとを含む複合酸化物を有する誘電体組成物であって、
前記誘電体組成物が、前記複合酸化物から構成されパイロクロア型結晶構造を有する結晶相と、アモルファス相と、を有し、
前記複合酸化物を、組成式ＢｉｘＺｎｙＮｂｚＯ１．７５＋δで表した場合、前記ｘ、ｙおよびｚは、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００、０．２０≦ｙ≦０．５０、２／３≦ｘ／ｚ≦３／２である関係を満足することを特徴とする誘電体組成物。
【請求項２】
前記アモルファス相が、前記複合酸化物と同じ組成を有することを特徴とする請求項１に記載の誘電体組成物。
【請求項３】
ビスマスと亜鉛とニオブとを含む複合酸化物を有する誘電体組成物であって、
前記複合酸化物を、組成式ＢｉｘＺｎｙＮｂｚＯ１．７５＋δで表した場合、前記ｘ、ｙおよびｚは、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００、０．２０≦ｙ≦０．５０、２／３≦ｘ／ｚ≦３／２である関係を満足し、
Ｃｕ−Ｋα線をＸ線源とするＸ線回折測定により得られる前記誘電体組成物のＸ線回折チャートにおいて、回折角２θが２７°以上３０°以下の範囲に現れる（２２２）面の回折ピークの半値幅が０．３５°以上２．０°以下であることを特徴とする誘電体組成物。
【請求項４】
前記誘電体組成物が、パイロクロア型結晶構造を有する結晶相と、アモルファス相と、を有することを特徴とする請求項３に記載の誘電体組成物。
【請求項５】
前記ｙが、０．３０≦ｙ≦０．５０である関係を満足することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の誘電体組成物。
【請求項６】
前記ｘおよびｚが、１．２０≦ｘ／ｚ≦１．５０である関係を満足することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の誘電体組成物。
【請求項７】
前記ｘおよびｚが、０．９０≦ｘ／ｚ≦１．１０である関係を満足することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の誘電体組成物。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載の誘電体組成物を含む誘電体膜を備える電子部品。
【請求項９】
前記誘電体膜が、誘電体堆積膜であることを特徴とする請求項８に記載の電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体組成物および電子部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
スマートフォンに代表される移動体通信機器の高性能化に対する要求は高く、たとえば、高速で大容量の通信を可能とするために、使用する周波数領域の数も増加している。使用する周波数領域はＧＨｚ帯のような高周波領域である。このような高周波領域において作動するバラン、カプラ、フィルタ、あるいは、フィルタを組み合わせたデュプレクサ、ダイプレクサ等の高周波部品のなかには、誘電体材料を共振器として利用しているものがある。このような誘電体材料には、高周波領域において、誘電損失が小さく、周波数の選択性が良好であることが求められる。【０００３】
また、移動体通信機器の高性能化に伴い、１つの移動体通信機器に搭載される電子部品の数も増加する傾向にあり、移動体通信機器のサイズを維持するには、電子部品の小型化も同時に求められる。誘電体材料を用いる高周波部品を小型化するには、電極面積を小さくする必要があるため、これによる静電容量の低下を補うべく、高周波領域において、誘電体材料の比誘電率が高いことが求められる。【０００４】
このような移動体通信機器は、使用環境、機器に使用されている部品の発熱等により、温度変化に曝される。一方、誘電体材料の静電容量は温度により変化するため、所定の温度範囲において、誘電体材料には、静電容量の温度依存性、すなわち、容量温度係数が小さいことが求められる。【０００５】
したがって、高周波領域において使用される高周波部品に適用される誘電体材料には、高周波領域において、誘電損失が小さく、比誘電率が高く、かつ容量温度係数が小さいことが要求される。誘電損失の逆数は、品質係数Ｑ値として表すことができるので、換言すれば、高周波領域において比誘電率および品質係数Ｑ値が高く、かつ所定の温度範囲において容量温度係数が小さい誘電体材料が望まれている。【０００６】
従来、高周波数領域において高い誘電率を持つ材料としてはＢｉ−Ｚｎ−Ｎｂ−Ｏ系酸化物が知られている。たとえば、特許文献１には、Ｂｉ３ＮｂＯ７相とＢｉ２（Ｚｎ２／３Ｎｂ４／３）Ｏ７相との混合物から構成される焼結体が開示されている。また、特許文献２には、パイロクロア型結晶構造の第１結晶相とβ−ＢｉＮｂＯ４型結晶構造の第２結晶相との混合物から構成される誘電体薄膜が開示されている。また、非特許文献１には、組成式（Ｂｉ３ｘＺｎ２−３ｘ）（ＺｎｘＮｂ２−ｘ）Ｏ７で表され、ｘが０．５または２／３である誘電体薄膜が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２００９−５３７４４４号公報
【特許文献２】国際公開第２０１６／０１３４１６号
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】Wei Ren et al., "Bismuth zinc niobate pyrochlore dielectric thin films for capacitive applications", Journal of Applied Physics 89, 767 (2001)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１では、Ｂｉ３ＮｂＯ７相およびＢｉ２（Ｚｎ２／３Ｎｂ４／３）Ｏ７相が１：１で混合された焼結体について、誘電率の温度係数の絶対値が１０ｐｐｍ以下であり、比誘電率は１００程度、１ＧＨｚにおける誘電品質係数Ｑは１０００程度であることが記載されている。しかしながら、特許文献１に開示された誘電体は焼結体であり、これらの誘電特性を示すには、十分な体積を有する焼結体とする必要があり、高周波領域において使用される高周波部品に適用される誘電体材料としてはサイズが大きすぎるという問題があった。【００１０】
また、特許文献２では、パイロクロア型結晶構造の第１結晶相とβ−ＢｉＮｂＯ４型結晶構造の第２結晶相との混合物から構成される薄膜について、誘電率の温度係数の絶対値が６０ｐｐｍ以下、１Ｈｚ〜１００ｋＨｚにおける比誘電率は１５０程度であることが記載されている。しかしながら、特許文献２では、高周波領域におけるＱ値については何ら評価されておらず、高周波領域における誘電特性は十分ではなかった。【００１１】
また、非特許文献１では、組成式（Ｂｉ１．５Ｚｎ０．５）（Ｚｎ０．５Ｎｂ１．５）Ｏ７で表される薄膜と、組成式Ｂｉ２（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）２Ｏ７で表される薄膜とについて、１０ｋＨｚにおける比誘電率が１５０以下、Ｑ値が２５０程度であることが記載されている。しかしながら、非特許文献１では、高周波領域におけるＱ値については何ら評価されておらず、高周波領域における誘電特性は十分ではなかった。【００１２】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、高周波領域において比誘電率εrおよび品質係数Ｑ値が高く、かつ所定の温度範囲において容量温度係数Ｔｃｃの絶対値が小さい誘電体組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の態様は、
［１］ビスマスと亜鉛とニオブとを含む複合酸化物を有する誘電体組成物であって、
誘電体組成物が、複合酸化物から構成されパイロクロア型結晶構造を有する結晶相と、アモルファス相と、を有し、
複合酸化物を、組成式ＢｉｘＺｎｙＮｂｚＯ１．７５＋δで表した場合、ｘ、ｙおよびｚは、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００、０．２０≦ｙ≦０．５０、２／３≦ｘ／ｚ≦３／２である関係を満足することを特徴とする誘電体組成物である。【００１４】
［２］アモルファス相が、複合酸化物と同じ組成を有することを特徴とする［１］に記載の誘電体組成物である。【００１５】
［３］ビスマスと亜鉛とニオブとを含む複合酸化物を有する誘電体組成物であって、
複合酸化物を、組成式ＢｉｘＺｎｙＮｂｚＯ１．７５＋δで表した場合、ｘ、ｙおよびｚは、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００、０．２０≦ｙ≦０．５０、２／３≦ｘ／ｚ≦３／２である関係を満足し、
Ｃｕ−Ｋα線をＸ線源とするＸ線回折測定により得られる誘電体組成物のＸ線回折チャートにおいて、回折角２θが２７°以上３０°以下の範囲に現れる（２２２）面の回折ピークの半値幅が０．３５°以上２．０°以下であることを特徴とする誘電体組成物である。【００１６】
［４］誘電体組成物が、パイロクロア型結晶構造を有する結晶相と、アモルファス相と、を有することを特徴とする［３］に記載の誘電体組成物である。【００１７】
［５］ｙが、０．３０≦ｙ≦０．５０である関係を満足することを特徴とする［１］から［４］のいずれかに記載の誘電体組成物である。【００１８】
［６］ｘおよびｚが、１．２０≦ｘ／ｚ≦１．５０である関係を満足することを特徴とする［１］から［５］のいずれかに記載の誘電体組成物である。【００１９】
［７］ｘおよびｚが、０．９０≦ｘ／ｚ≦１．１０である関係を満足することを特徴とする［１］から［５］のいずれかに記載の誘電体組成物である。【００２０】
［８］［１］から［７］のいずれかに記載の誘電体組成物を含む誘電体膜を備える電子部品である。【００２１】
［９］誘電体膜が、誘電体堆積膜であることを特徴とする［８］に記載の電子部品である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、高周波領域において比誘電率εrおよび品質係数Ｑ値が高く、かつ所定の温度範囲において容量温度係数Ｔｃｃの絶対値が小さい誘電体組成物を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、本実施形態に係る電子部品の一例としての薄膜コンデンサの模式的な断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施例に係る試料のＴＥＭ観察像である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を、具体的な実施形態に基づき、以下の順序で詳細に説明する。
１．薄膜コンデンサ
１．１．薄膜コンデンサの全体構成
１．２．誘電体膜
１．２．１．誘電体組成物
１．３．基板
１．４．下部電極
１．５．上部電極
２．薄膜コンデンサの製造方法
３．本実施形態における効果
４．変形例
【００２５】
（１．薄膜コンデンサ）
まず、本実施形態に係る電子部品として、誘電体層が薄膜状の誘電体膜から構成される薄膜コンデンサについて説明する。
【００２６】
（１．１．薄膜コンデンサの全体構成）
図１に示すように、本実施形態に係る電子部品の一例としての薄膜コンデンサ１０は、基板１と、下部電極３と、誘電体膜５と、上部電極４とがこの順序で積層された構成を有している。下部電極３と誘電体膜５と上部電極４とはコンデンサ部を形成しており、下部電極３および上部電極４が外部回路に接続されて電圧が印加されると、誘電体膜５が所定の静電容量を示し、コンデンサとしての機能を発揮することができる。各構成要素についての詳細な説明は後述する。
【００２７】
また、本実施形態では、基板１と下部電極３との間に、基板１と下部電極３との密着性を向上させるために下地層２が形成されている。下地層２を構成する材料は、基板１と下部電極３との密着性が十分に確保できる材料であれば特に制限されない。たとえば、下部電極３がＣｕで構成される場合には、下地層２はＣｒで構成され、下部電極３がＰｔで構成される場合には、下地層２はＴｉで構成することができる。
【００２８】
また、図１に示す薄膜コンデンサ１０において、誘電体膜５を外部雰囲気から遮断するための保護膜が形成されていてもよい。
【００２９】
なお、薄膜コンデンサの形状に特に制限はないが、通常、直方体形状とされる。またその寸法にも特に制限はなく、厚みや長さは用途に応じて適当な寸法とすればよい。
【００３０】
（１．２．誘電体膜）
誘電体膜５は、後述する本実施形態に係る誘電体組成物から構成されている。また、本実施形態では、誘電体膜５は、誘電体組成物の原料粉末を成形した成形体を焼成して得られる焼結体から構成されるのではなく、薄膜状であり公知の成膜法により形成された誘電体堆積膜であることが好ましい。
【００３１】
このような誘電体膜５を有する薄膜コンデンサは、高周波領域（たとえば、２ＧＨｚ）であっても、高い比誘電率εｒ（たとえば、１００以上）および高いＱ値（たとえば、１０００以上）を示しつつ、かつ、良好な容量温度係数（たとえば、容量温度係数の絶対値が３０ｐｐｍ／℃以内）を示すことができる。
【００３２】
誘電体膜５の厚みは、好ましくは１０ｎｍ〜２０００ｎｍ、より好ましくは５０ｎｍ〜１０００ｎｍである。誘電体膜５の厚みが薄すぎると、誘電体膜５の絶縁破壊が生じやすい傾向にある。絶縁破壊が生じると、コンデンサとしての機能を発揮できない。一方、誘電体膜５の厚みが厚すぎると、コンデンサの静電容量を大きくするために電極面積を広くする必要があり、電子部品の設計によっては小型化および低背化が困難となる場合がある。
【００３３】
通常、Ｑ値は、誘電体の厚みが薄くなると低下する傾向にあることが知られている。そのため、高いＱ値を得るには、ある程度の厚みを有する誘電体、すなわち、バルク状の誘電体で構成する必要がある。しかしながら、本実施形態に係る誘電体組成物から構成される誘電体膜は、上記のように、厚みが非常に薄い場合であっても、高いＱ値を得ることができる。
【００３４】
なお、誘電体膜５の厚みは、誘電体膜５を含む薄膜コンデンサを、ＦＩＢ（集束イオンビーム）加工装置で掘削し、得られた断面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で観察して測定することができる。
【００３５】
（１．２．１．誘電体組成物）
本実施形態に係る誘電体組成物は、ビスマス（Ｂｉ）、亜鉛（Ｚｎ）およびニオブ（Ｎｂ）を含む複合酸化物（Ｂｉ−Ｚｎ−Ｎｂ−Ｏ系酸化物）を主成分として含有している。本実施形態では、主成分とは、誘電体組成物１００質量％に対して、９０質量％以上を占める成分である。
【００３６】
また、当該誘電体組成物は、結晶相とアモルファス相とを有している。
【００３７】
結晶相は、パイロクロア型結晶構造を有し、一般式Ａ２Ｂ２Ｏ７で表される上記の複合酸化物から構成される。一方、アモルファス相は、結晶相を構成する複合酸化物と同じ組成を有していると考えられる。すなわち、本実施形態では、結晶相およびアモルファス相は、どちらも上記の複合酸化物から構成されている。
【００３８】
このアモルファス相は、上記の複合酸化物を構成する原子がパイロクロア型結晶構造を形成するように配列されたものの、熱平衡状態に達しなかったため、パイロクロア型結晶構造に類似した短距離秩序を有しているが、その原子配列が結晶的な規則性を有していない不完全な結晶から構成される相である。
【００３９】
このアモルファス相は、完全に結晶化していないので、結晶相が結晶化する際に排出される元素を取り込むことがある。また、このアモルファス相は、完全に結晶化していないので、構成元素のイオン半径等による結晶構造上の制限を受けづらく、構成元素の比率がずれることがある。したがって、アモルファス相と結晶相とは、Ｂｉ−Ｚｎ−Ｎｂ−Ｏ系酸化物から構成されている、すなわち、ビスマス、亜鉛、ニオブおよび酸素を含むという点では、同じ組成を有していると言うことができる。ただし、アモルファス相と結晶相とは、構成元素の比率が一致している場合もあるし、少しずれている場合もある。
【００４０】
換言すれば、上記の複合酸化物（Ｂｉ−Ｚｎ−Ｎｂ−Ｏ系酸化物）において、熱平衡状態に達している領域が上記の結晶相であり、熱平衡状態に達していないため、組成のゆらぎが存在する領域が上記のアモルファス相である。
【００４１】
本発明者らは、上記の複合酸化物の結晶相は負の容量温度係数を有し、当該複合酸化物のアモルファス相は正の容量温度係数を有していることを見出した。そこで、本実施形態では、複合酸化物において、結晶相とアモルファス相とを混在させることにより、誘電体組成物としての容量温度係数の絶対値を所定の範囲内に制御している。また、このような混相組織とすることにより、結晶粒界が少なくなり、その結果、結晶粒界を通じた電流のリークが抑制されるので、品質係数Ｑ値をも向上させることができる。
【００４２】
また、本実施形態では、Ｘ線源としてＣｕ−Ｋα線を用いて、本実施形態に係る誘電体組成物に対してＸ線回折測定を行うことにより得られるＸ線回折チャートにおいて、回折角２θが２７°以上３０°以下の範囲に現れる（２２２）面の回折ピークの半値幅が０．３５以上２．０以下である。半値幅が上記の範囲内であることにより、誘電体組成物の容量温度係数の絶対値が所定の範囲内に制御され、さらに品質係数Ｑ値が向上する。半値幅は、ピーク強度の半分の強度でのピークの広がりとして算出される。
【００４３】
また、Ｘ線回折により得られるピークの半値幅は、構造中の秩序の長さと相関があり、秩序が短いほど半値幅は大きく、秩序が長いほど半値幅は小さくなる。上記のピークの半値幅が０．３５以上２．０以下である誘電体組成物は、結晶相とアモルファス相とを有していることが好ましい。
【００４４】
一方、本実施形態では、Ｘ線源としてＣｕ−Ｋα線を用いて、誘電体組成物に対してＸ線回折測定を行うことにより得られるＸ線回折チャートにおいて、２θが２７°以上３０°以下の範囲に現れるピークの半値幅が０．３５以上２．０以下である場合に、誘電体組成物が、結晶相とアモルファス相との両方を有していると判断してもよい。なお、半値幅が０．３５未満である場合には、秩序が長いことを示しているので、誘電体組成物が結晶相単相であり、半値幅が２．０超である場合には、秩序が短いことを示しているので、誘電体組成物がアモルファス相単相であると判断する。
【００４５】
上述したように、パイロクロア型結晶構造は一般式Ａ２Ｂ２Ｏ７で表される。パイロクロア型結晶構造においては、Ａサイトを占める元素（Ａサイト元素）に酸素が８配位しており、Ｂサイトを占める元素（Ｂサイト元素）に酸素が６配位している。そして、酸素から構成される八面体の中心にＢサイト元素が位置するＢＯ６八面体が互いの頂点を共有した三次元ネットワークを構成し、このネットワークの間隙にＡサイト元素が位置し、かつＡサイト元素は、酸素から構成される六面体の中心に位置している。
【００４６】
本実施形態では、一般式Ａ２Ｂ２Ｏ７は、組成式ＢｉｘＺｎｙＮｂｚＯ１．７５＋δで表すことができる。すなわち、上記の結晶相とアモルファス相とを構成する複合酸化物は、組成式ＢｉｘＺｎｙＮｂｚＯ１．７５＋δで表される。この組成式において、「ｘ」、「ｙ」および「ｚ」は、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１．００である。
【００４７】
また、当該複合酸化物では、酸素（Ｏ）量が化学量論比であってもよいし、化学量論比から若干偏倚してもよい。化学量論比からの偏倚量は、置換する元素の種類およびそれらの置換量に応じて変化し、上記の組成式において「δ」で表される。
【００４８】
したがって、「ｘ」は、上記の複合酸化物（結晶相およびアモルファス相）の組成式における金属元素のうち、Ｂｉの含有割合を示し、「ｙ」は、上記の複合酸化物の組成式における金属元素のうち、Ｚｎの含有割合を示し、「ｚ」は、上記の複合酸化物の組成式における金属元素のうち、Ｎｂの含有割合を示す。
【００４９】
上記の一般式において、ＢｉはＡサイトを占め、ＮｂはＢサイトを占める。一方、Ｚｎは、上記の一般式において、ＡサイトおよびＢサイトのどちらも占めることができる。したがって、上記の複合酸化物（Ｂｉ−Ｚｎ−Ｎｂ−Ｏ系酸化物）から構成される結晶相のパイロクロア型結晶構造、および、上記の複合酸化物（Ｂｉ−Ｚｎ−Ｎｂ−Ｏ系酸化物）から構成されるアモルファス相のパイロクロア型結晶構造に類似の構造においては、Ｂｉに酸素が８配位した六面体およびＮｂに酸素が６配位した八面体に加えて、Ｚｎに酸素が８配位した六面体およびＺｎに酸素が６配位した八面体が存在する。
【００５０】
Ｂｉ、ＺｎおよびＮｂを含む複合酸化物においては、Ｚｎに酸素が配位した多面体の割合が、パイロクロア型結晶構造およびその類似構造の安定性に影響している。そこで、本実施形態では、Ｚｎの含有割合を示す「ｙ」は、０．２０以上０．５０以下に制御している。また、「ｙ」は０．３０以上であることが好ましい。
【００５１】
「ｙ」を上記の範囲内とすることにより、複合酸化物（結晶相およびアモルファス相）において、Ｚｎに酸素が８配位した六面体およびＺｎに酸素が６配位した八面体の割合が増加し、複合酸化物中における多面体構造のバラツキが抑制され、温度変化による構造変化が生じにくくなる。その結果、温度が変化しても、静電容量が一定に保たれる傾向にあるので、容量温度係数Ｔｃｃの絶対値（｜Ｔｃｃ｜）を所定の範囲内とすることができる。
【００５２】
「ｙ」が小さすぎると、複合酸化物（結晶相およびアモルファス相）において、Ｂｉに酸素が８配位した六面体およびＮｂに酸素が６配位した八面体が占める割合が増え、多面体構造のバラツキが大きくなり、構造変化しやすい傾向にあるので、容量温度係数Ｔｃｃが悪化する傾向にある。一方、「ｙ」が大きすぎると、Ｚｎに酸素が配位した多面体の割合が多くなりすぎ、複合酸化物において比誘電率に寄与する成分が少なくなるため、比誘電率εｒが悪化する傾向にある。
【００５３】
また、本実施形態では、Ｎｂの含有割合（「ｚ」）に対するＢｉの含有割合（「ｘ」）を示す「ｘ／ｚ」は、２／３以上３／２以下である。「ｘ／ｚ」を上記の範囲内とすることにより、Ｂｉの含有割合とＮｂの含有割合とが比較的に近づくため、複合酸化物（結晶相およびアモルファス相）における欠陥が少なくなり、品質係数Ｑ値を良好にすることができる。
【００５４】
「ｘ／ｚ」は、１．２０以上１．５０以下であることが好ましい。上記の範囲内とすることにより、複合酸化物（結晶相およびアモルファス相）のＡサイトにおいて原子配列の乱れ（ディスオーダー）が適切な範囲内で生じるため、品質係数Ｑ値を良好に維持しつつ、このディスオーダーに起因して比誘電率εｒをさらに良好にすることができる。「ｘ／ｚ」が大きすぎると、ディスオーダーが大きくなりすぎ、逆に、品質係数Ｑ値が低下する傾向にある。
【００５５】
また、「ｘ／ｚ」は、０．９０以上１．１０以下であることも好ましい。上記の範囲内とすることにより、Ｂｉの含有割合とＮｂの含有割合とがほぼ同程度となるため、複合酸化物（結晶相およびアモルファス相）における欠陥がさらに少なくなり、品質係数Ｑ値をさらに向上させることができる。
【００５６】
上記の組成式において、「ｘ」、「ｙ」および「ｚ」を上記の範囲内とすることにより、比誘電率εｒと、品質係数Ｑ値と、容量温度係数Ｔｃｃとを良好にすることができる。
【００５７】
また、本実施形態に係る誘電体組成物は、本発明の効果を奏する範囲内において、微量な不純物、副成分等を含んでいてもよい。このような成分としては、たとえば、Ｍｎ、Ｃａ、Ｂａ等が例示される。
【００５８】
（１．３．基板）
図１に示す基板１は、その上に形成される下地層２、下部電極３、誘電体膜５および上部電極４を支持できる程度の機械的強度を有する材料で構成されていれば特に限定されない。たとえば、Ｓｉ単結晶、ＳｉＧｅ単結晶、ＧａＡｓ単結晶、ＩｎＰ単結晶、ＳｒＴｉＯ３単結晶、ＭｇＯ単結晶、ＬａＡｌＯ３単結晶、ＺｒＯ２単結晶、ＭｇＡｌ２Ｏ４単結晶、ＮｄＧａＯ３単結晶等から構成される単結晶基板、Ａｌ２Ｏ３多結晶、ＺｎＯ多結晶、ＳｉＯ２多結晶等から構成されるセラミック多結晶基板、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｗ、Ｍｏ、Ａｌ、Ｐｔ等の金属、それらの合金等から構成される金属基板等が例示される。本実施形態では、低コスト、加工性等の観点から、Ｓｉ単結晶を基板として用いる。
【００５９】
基板１の厚みは、たとえば、１０μｍ〜５０００μｍに設定される。厚みが小さすぎると、機械的強度が確保できない場合が生じることがあり、厚みが大きすぎると、電子部品の小型化に寄与できないといった問題が生じる場合がある。
【００６０】
上記の基板１は、基板の材質によってその抵抗率が異なる。抵抗率が低い材料で基板を構成する場合、薄膜コンデンサの作動時に基板側への電流のリークが生じ、薄膜コンデンサの電気特性に影響を及ぼすことがある。そのため、基板１の抵抗率が低い場合には、その表面に絶縁処理を施し、コンデンサ作動時の電流が基板１へ流れないようにすることが好ましい。
【００６１】
たとえば、Ｓｉ単結晶を基板１として使用する場合においては、基板１の表面に絶縁層が形成されていることが好ましい。基板１とコンデンサ部との絶縁が十分に確保されていれば、絶縁層を構成する材料およびその厚みは特に限定されない。本実施形態では、絶縁層を構成する材料として、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｓｉ３Ｎｘ等が例示される。また、絶縁層の厚みは、０．０１μｍ以上であることが好ましい。
【００６２】
（１．４．下部電極）
図１に示すように、基板１の上には、下地層２を介して、下部電極３が薄膜状に形成されている。下部電極３は、後述する上部電極４とともに誘電体膜５を挟み、コンデンサとして機能させるための電極である。下部電極３を構成する材料は、導電性を有する材料であれば特に制限されない。たとえば、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等の金属、それらの合金、又は、導電性酸化物等が例示される。
【００６３】
下部電極３の厚みは、電極として機能する程度の厚みであれば特に制限されない。本実施形態では、厚みは０．０１μｍ以上であることが好ましい。
【００６４】
（１．５．上部電極）
図１に示すように、誘電体膜５の表面には、上部電極４が薄膜状に形成されている。上部電極４は、上述した下部電極３とともに、誘電体膜５を挟み、コンデンサとして機能させるための電極である。したがって、上部電極４は、下部電極３とは異なる極性を有している。
【００６５】
上部電極４を構成する材料は、下部電極３と同様に、導電性を有する材料であれば特に制限されない。たとえば、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等の金属、それらの合金、又は、導電性酸化物等が例示される。
【００６６】
（２．薄膜コンデンサの製造方法）
次に、図１に示す薄膜コンデンサ１０の製造方法の一例について以下に説明する。
【００６７】
まず、基板１を準備する。基板１として、たとえば、Ｓｉ単結晶基板を用いる場合、当該基板の一方の主面に絶縁層を形成する。絶縁層を形成する方法としては、熱酸化法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法等の公知の成膜法を用いればよい。
【００６８】
続いて、形成された絶縁層上に、公知の成膜法を用いて下地層を構成する材料の薄膜を形成して下地層２を形成する。
【００６９】
下地層２を形成した後、当該下地層２上に、公知の成膜法を用いて下部電極を構成する材料の薄膜を形成して下部電極３を形成する。
【００７０】
下部電極３の形成後に、下地層２と下部電極３との密着性向上、および、下部電極３の安定性向上を図る目的で、熱処理を行ってもよい。熱処理条件としては、たとえば、昇温速度は好ましくは１０℃／分〜２０００℃／分、より好ましくは１００℃／分〜１０００℃／分である。熱処理時の保持温度は、好ましくは４００℃〜８００℃、その保持時間は、好ましくは０．１時間〜４．０時間である。熱処理条件が上記の範囲外である場合には、下地層２と下部電極３との密着不良、下部電極３の表面に凹凸が発生しやすくなる。その結果、誘電体膜５の誘電特性の低下が生じやすくなる。
【００７１】
続いて、下部電極３上に誘電体膜５を形成する。本実施形態では、公知の成膜法により、誘電体膜５を構成する材料を下部電極３上に薄膜状に堆積させた堆積膜としての誘電体膜５を形成する。
【００７２】
公知の成膜法としては、たとえば、真空蒸着法、スパッタリング法、ＰＬＤ（パルスレーザー蒸着法）、ＭＯ−ＣＶＤ（有機金属化学気相成長法）、ＭＯＤ（有機金属分解法）、ゾルゲル法、ＣＳＤ（化学溶液堆積法）等が例示される。なお、成膜時に使用する原料（蒸着材料、各種ターゲット材料、有機金属材料等）には微量の不純物、副成分等が含まれている場合があるが、所望の誘電特性が得られれば、特に問題はない。
【００７３】
たとえば、ＰＬＤ法を用いる場合、所望の組成のターゲットを用いて、下部電極３上に誘電体薄膜５を形成する。本実施形態では、成膜条件は、以下のようにすることが好ましい。酸素圧は０．１〜１０Ｐａとすることが好ましい。また、成膜は室温で行うことが好ましい。レーザーのパワーは３〜５Ｊ／ｃｍ２であることが好ましく、パルス周波数は１〜２０Ｈｚとすることが好ましい。
【００７４】
本実施形態では、誘電体膜を形成した後、当該誘電体膜に対し、急速加熱アニール処理（Rapid Thermal Anneal：ＲＴＡ）を施す。ＲＴＡを施す条件を制御することにより、誘電体膜を構成する複合酸化物の構成相として、結晶相とアモルファス相との混相を容易に得ることができる。また、半値幅が上述した範囲内である誘電体組成物を容易に得ることができる。本実施形態では、ＲＴＡを施す条件として、雰囲気は酸素雰囲気であることが好ましく、昇温速度を１０００℃／分以上とすることが好ましく、アニール時間は１〜３０分とすることが好ましく、アニール温度を３００℃以上７５０℃以下とすることが好ましい。なお、アニール温度が低すぎる場合には、複合酸化物の構成相がアモルファス相単相となる傾向にあり、アニール温度が高すぎる場合には、複合酸化物の構成相が結晶相単相になる傾向にある。
【００７５】
次に、形成した誘電体膜５上に、公知の成膜法を用いて上部電極を構成する材料の薄膜を形成して上部電極４を形成する。
【００７６】
以上の工程を経て、図１に示すように、基板１上に、コンデンサ部（下部電極３、誘電体膜５および上部電極４）が形成された薄膜コンデンサ１０が得られる。なお、誘電体膜５を保護する保護膜は、少なくとも誘電体膜５が外部に露出している部分を覆うように公知の成膜法により形成すればよい。
【００７７】
（３．本実施形態における効果）
本実施形態では、パイロクロア型結晶構造を有する複合酸化物として、Ｂｉ−Ｚｎ−Ｎｂ−Ｏ系酸化物に着目している。本発明者らは、当該複合酸化物を含む誘電体組成物に対するＸ線回折チャートにおいて、所定のピークの半値幅が所定の範囲内である場合に良好な特性が得られることを見出した。また、当該複合酸化物の結晶相が負の容量温度係数を有し、当該複合酸化物のアモルファス相が正の容量温度係数を有していることを見出した。
【００７８】
また、この複合酸化物においては、Ｚｎは、ＡサイトおよびＢサイトのどちらも占めることができ、２種類の多面体を形成する。本発明者らは、この２種類の多面体の割合を増やすことにより、パイロクロア型結晶構造が安定化し、温度変化による構造変化が生じにくくなることを見出した。
【００７９】
そこで、本実施形態では、複合酸化物の結晶相とアモルファス相とを共存させ、複合酸化物中のＺｎの含有割合を上記の範囲内とすることにより、容量温度係数Ｔｃｃを良好にしている。
【００８０】
また、本発明者らは、Ａサイトを占めるＢｉの含有割合と、Ｂサイトを占めるＮｂの含有割合とを比較的に近づけることにより、結晶相およびアモルファス相を構成する複合酸化物の欠陥を減らし、その結果、品質係数Ｑ値が向上することも見出した。さらに、本発明者らは、結晶相とアモルファス相とを共存させることにより、結晶粒界を減らして、リーク電流を抑制することにより、品質係数Ｑ値をさらに向上できることを見出した。そこで、本実施形態では、Ｂｉの含有割合とＮｂの含有割合との比率を上記の範囲内とすることにより、高い品質係数Ｑ値を得ている。
【００８１】
具体的には、本実施形態に係る誘電体組成物は、薄膜状の誘電体膜として形成されていても、２ＧＨｚ以上の高周波領域において１００以上の高い比誘電率εｒと、１０００以上の高い品質係数Ｑ値を示し、しかも、容量温度係数Ｔｃｃの絶対値を３０ｐｐｍ／℃以下とすることができる。
【００８２】
さらに、ｘ／ｚの値を変化させることにより、高い比誘電率εrが得られることを重視した誘電体組成物と、高い品質係数Ｑ値が得られることを重視した誘電体組成物と、を用途に応じて得ることができる。
【００８３】
（４．変形例）
上述した実施形態では、誘電体膜は通常、本発明の誘電体組成物のみで構成される場合を説明したが、別の誘電体組成物の膜と組み合わせた積層構造であっても構わない。例えば、既存のＳｉ３Ｎｘ、ＳｉＯｘ、Ａｌ２Ｏｘ、ＺｒＯｘ、Ｔａ２Ｏｘ等のアモルファス誘電体膜や結晶膜との積層構造とすることで、誘電体膜５のインピーダンスや比誘電率の温度変化を調整することが可能となる。
【００８４】
上述した実施形態では、基板と下部電極との密着性を向上させるために、下地層を形成しているが、基板と下部電極との密着性が十分確保できる場合には、下地層は省略することができる。また、基板を構成する材料として、電極として使用可能なＣｕ、Ｐｔ等の金属、それらの合金、酸化物導電性材料等を用いる場合には、下地層および下部電極は省略することができる。
【００８５】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の範囲内において種々の態様で改変しても良い。
【実施例】
【００８６】
以下、実施例及び比較例を用いて、本発明をさらに詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。【００８７】
（実験例１）
まず、誘電体膜の形成に必要なターゲットを以下のようにして作製した。【００８８】
ターゲット作製用の原料粉末として、Ｂｉ２Ｏ３、ＺｎＯ、Ｎｂ２Ｏ５の粉末を準備した。これらの粉末を、表１に示す実施例１〜１０および比較例１〜９の組成となるように秤量した。秤量した原料粉末と水とφ２ｍｍのＺｒＯ２ビーズとを、容積が１Ｌのポリプロピレン製広口ポットに入れて湿式混合を２０時間行った。その後、混合粉末スラリーを１００℃で２０時間乾燥させ、得られた混合粉末をＡｌ２Ｏ３坩堝に入れ、大気中８００℃で５時間保持する焼成条件で仮焼を行い、仮焼粉末を得た。【００８９】
得られた仮焼粉末を乳鉢に入れ、バインダとして濃度６ｗｔ％のＰＶＡ（ポリビニルアルコール）水溶液を、仮焼粉末に対して４ｗｔ％となるように添加し、乳棒を使用して造粒粉を作製した。作製した造粒粉を、厚みが５ｍｍ程度となるようにφ２０ｍｍの金型に投入し、一軸加圧プレス機を使用して加圧成形を行い成形体を得た。成形条件は、圧力を２．０×１０８Ｐａ、温度を室温とした。【００９０】
その後、得られた成形体について、昇温速度を１００℃／時間、保持温度を４００℃、温度保持時間を４時間とし、常圧の大気中で脱バインダ処理を行った。続いて、昇温速度を２００℃／時間、保持温度を１０００℃〜１２００℃、温度保持時間を１２時間とし、常圧の大気中で焼成を行い、焼結体を得た。【００９１】
得られた焼結体の厚さが４ｍｍとなるように、円筒研磨機で両面を研磨し、誘電体膜を形成するためのターゲットを得た。【００９２】
続いて、３５０μｍ厚のＳｉ単結晶基板の表面に６μｍ厚の絶縁層としてのＳｉＯ２を備えた１０ｍｍ×１０ｍｍ角の基板を準備した。この基板の表面に、下地層としてのＴｉ薄膜を２０ｎｍの厚さとなるようにスパッタリング法で形成した。【００９３】
次いで、上記で形成したＴｉ薄膜上に下部電極としてのＰｔ薄膜を４μｍの厚さとなるようにスパッタリング法で形成した。【００９４】
形成したＴｉ／Ｐｔ薄膜（下地層および下部電極）に対し、昇温温度を４００℃／分、保持温度を７００℃、温度保持時間を０．５時間、雰囲気を酸素雰囲気とし常圧下で熱処理を行った。【００９５】
熱処理後のＴｉ／Ｐｔ薄膜上に誘電体膜を形成した。本実施例では、上記で作製したターゲットを用いて、下部電極上に４００ｎｍの厚さとなるようにＰＬＤ法で誘電体膜を形成した。ＰＬＤ法による成膜条件は、酸素圧を１Ｐａとし、レーザーパワーを３Ｊ／ｃｍ２とし、レーザーパルス周波数を１０Ｈｚとし、成膜温度は室温とした。また、下部電極の一部を露出させるために、メタルマスクを使用して、誘電体膜が成膜されない領域を形成した。誘電体膜を形成した後、当該誘電体膜に対し、酸素雰囲気下で昇温速度を１０００℃／分とし表１に示した温度で１分保持する急速加熱アニール処理（Rapid Thermal Anneal：ＲＴＡ）を施した。【００９６】
次いで、得られた誘電体膜上に、蒸着装置を使用して上部電極であるＡｇ薄膜を形成した。上部電極の形状を、メタルマスクを使用して直径１００μｍ、厚さ１００ｎｍとなるように形成することで、図１に示す構成を有する薄膜コンデンサの試料（実施例１〜２９および比較例１〜６）を得た。【００９７】
なお、誘電体膜の組成は、すべての試料について、ＷＤ−ＸＲＦ（波長分散型蛍光Ｘ線元素分析）装置（リガク社製ＺＳＸ−１００ｅ）を用いて、室温において分析を行い、表１に記載の組成と一致していることを確認した。また、誘電体膜の厚みは、薄膜コンデンサをＦＩＢで掘削し、得られた断面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で観察して測長した値とした。【００９８】
得られたすべての薄膜コンデンサ試料について、比誘電率εｒ、Ｑ値および静電容量の温度係数Ｔｃｃの測定を、下記に示す方法によって行った。また、誘電体膜を構成する誘電体組成物の構成相の同定を下記に示す方法によって行った。【００９９】
（比誘電率およびＱ値）
比誘電率およびＱ値は、薄膜コンデンサ試料に対し、基準温度２５℃において、ＲＦインピーダンス／マテリアル・アナライザ（Ａｇｉｌｅｎｔ社製４９９１Ａ）にて、周波数２ＧＨｚ、入力信号レベル（測定電圧）０．５Ｖｒｍｓの条件下で測定された静電容量と、上記で得られた誘電体膜の厚みと、から算出した。本実施例では、比誘電率は高い方が好ましく、比誘電率が１００以上である試料を良好であると判断した。また、Ｑ値は高い方が好ましく、Ｑ値が１０００以上である試料を良好であると判断した。結果を表１に示す。【０１００】
（静電容量の温度係数（Ｔｃｃ））
静電容量の温度係数は、恒温槽を用いて−５５℃から１２５℃まで２５℃毎に測定温度を変えて静電容量を測定した以外は、上記と同様に測定温度における静電容量を測定し、基準温度である２５℃での静電容量に対する変化率として算出した（単位ｐｐｍ／℃）。また、静電容量の温度係数は小さい方が好ましく、静電容量の温度係数の絶対値（｜Ｔｃｃ｜）が３０ｐｐｍ／℃以内である試料を良好であると判断した。結果を表１に示す。【０１０１】
（構成相の同定）
誘電体組成物の構成相の同定は、誘電体薄膜に対してＸ線回折を行い、得られるＸ線回折チャートにおいて、回折角２θが２７°以上３０°以下の範囲に現れる（２２２）面の回折ピークの半値幅を算出することにより行った。Ｘ線回折は、Ｘ線源としてＣｕ−Ｋα線を用い、その測定条件は、電圧が４５ｋＶ、電流が２００ｍＡで、走査速度が２０ｄｅｇ／ｍｉｎであった。本実施例では、半値幅が０．３５°未満である場合には、誘電体組成物が結晶相単相であると判断し、半値幅が０．３５°以上２．０°以下である場合には、誘電体組成物が結晶相とアモルファス相との混相であると判断し、半値幅が２．０°超である場合には、誘電体組成物がアモルファス相単相であると判断した。結果を表１に示す。【０１０２】
また、実施例４の試料に対してＴＥＭ観察を行った。得られた複合酸化物のＴＥＭ像を図２に示す。なお、図２において、白線で囲まれた領域がアモルファス相である。図２において、アモルファス相を示す白線は、アモルファス相を明確に示すために追加した線であり、ＴＥＭ像において、アモルファス相と結晶相との境界が白線として現れる訳ではない。【０１０３】
【表１】
2019188435.tif 000003
【０１０４】
表１より、Ｂｉ、ＺｎおよびＮｂを含む複合酸化物において、「ｘ」、「ｙ」および「ｚ」の関係が上述した範囲内であり、かつパイロクロア型結晶構造を有する結晶相と、その類似構造を有するアモルファス相と、の混相である試料は、厚みが４００ｎｍの薄膜であるにもかかわらず、高周波領域（２ＧＨｚ）において高い比誘電率εｒ（１００以上）、高い品質係数Ｑ値（１０００以上）、および、良好な温度特性（｜Ｔｃｃ｜≦３０ｐｐｍ／℃）を有することが確認できた。【０１０５】
また、図２より、半値幅の値により結晶相とアモルファス相との混相であると判断された試料について、ＴＥＭ観察により、複合酸化物が結晶相とアモルファス相との混相を有していることが視覚的に確認できた。【０１０６】
さらに、Ｚｎの含有割合（「ｙ」）を限定することにより、高い比誘電率εｒおよび高い品質係数Ｑ値を維持しつつ、さらに良好な温度特性（｜Ｔｃｃ｜≦１５ｐｐｍ／℃）を有することが確認できた。【０１０７】
また、「ｘ／ｚ」を大きくする、すなわち、Ｂｉの含有割合を大きくすることにより、高い品質係数Ｑ値および良好な温度特性を維持しつつ、より高い比誘電率εｒ（１２０以上）が得られることが確認できた。【０１０８】
また、「ｘ／ｚ」を１に近づける、すなわち、Ｂｉの含有割合とＮｂの含有割合とをほぼ同程度とすることにより、高い比誘電率εｒおよび良好な温度特性を維持しつつ、より高い品質係数Ｑ値（１５００以上）が得られることが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【０１０９】
本発明によれば、高周波領域において比誘電率およびＱ値が高く、かつ所定の温度範囲において容量温度係数が小さい誘電体組成物が得られる。このような誘電体組成物は、薄膜状の誘電体膜として好適であり、高周波用の電子部品、たとえば、バラン、カプラ、フィルタ、あるいは、フィルタを組み合わせたデュプレクサ、ダイプレクサ等に好適である。
【符号の説明】
【０１１０】
１０…  薄膜コンデンサ
１…  基板
２…  下地層
３…  下部電極
４…  上部電極
５…  誘電体膜
【図１】
2019188435.tif 000004
【図２】
2019188435.tif 000005
【国際調査報告】
2019188435.tif 000006
2019188435.tif 000007
2019188435.tif 000008