(57)【要約】  補正量算出装置は、部品装着機と、リフロー炉と、外観検査機とを備える対基板作業ラインにおいて、選定部と、補正量算出部とを備える。部品装着機は、はんだが印刷された基板に部品を装着する装着処理を行う。リフロー炉は、部品が装着された基板を加熱しはんだを溶融させて、はんだ付けを行う。外観検査機は、はんだ付けされた部品の装着位置を検査する。選定部は、リフロー炉に搬送される前後の基板における部品の移動量が所定許容値以下である対象部品を選定する。補正量算出部は、選定部によって選定された対象部品の装着位置の目標装着位置に対する位置ずれ量について後に生産する基板製品の装着処理に用いられる補正量を算出する。
2020178991.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
はんだが印刷された基板に部品を装着する装着処理を行う部品装着機と、
前記部品が装着された前記基板を加熱し前記はんだを溶融させて、はんだ付けを行うリフロー炉と、
前記はんだ付けされた前記部品の装着位置を検査する外観検査機と、
を備える対基板作業ラインにおいて、
前記リフロー炉に搬送される前後の前記基板における前記部品の移動量が所定許容値以下である対象部品を選定する選定部と、
前記選定部によって選定された前記対象部品の前記装着位置の目標装着位置に対する位置ずれ量について後に生産する基板製品の前記装着処理に用いられる補正量を算出する補正量算出部と、
を備える補正量算出装置。
【請求項２】
前記選定部は、前記部品の体積、質量および大きさのうちの少なくとも一つが所定閾値以上の前記部品を前記対象部品に選定する請求項１に記載の補正量算出装置。
【請求項３】
前記選定部は、前記部品装着機の使用者によって指定された前記部品を前記対象部品に選定する請求項１または請求項２に記載の補正量算出装置。
【請求項４】
前記選定部は、前記リフロー炉に搬送される前後の前記部品の前記移動量を測定し、前記移動量が前記所定許容値以下の前記部品を前記対象部品に選定する請求項１に記載の補正量算出装置。
【請求項５】
前記選定部は、過去に取得された前記リフロー炉に搬送される前後の前記部品の前記移動量の分布に基づいて、前記対象部品を選定する請求項１に記載の補正量算出装置。
【請求項６】
前記補正量算出部は、同種の複数の前記基板について、前記基板を識別する基板識別情報と、前記基板に装着される前記対象部品の前記目標装着位置ごとの前記位置ずれ量とを関連付けて記憶し、前記目標装着位置ごとの所定数の前記位置ずれ量の分布に基づいて、前記目標装着位置ごとの前記補正量を算出する請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の補正量算出装置。
【請求項７】
前記補正量算出部は、同種の複数の前記基板について、前記基板を識別する基板識別情報と、前記基板に装着される前記対象部品の部品種ごとの前記位置ずれ量とを関連付けて記憶し、前記部品種ごとの所定数の前記位置ずれ量の分布に基づいて、前記部品種ごとの前記補正量を算出する請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の補正量算出装置。
【請求項８】
前記補正量算出部は、シューハートの管理図を用いて、前記位置ずれ量の分布が管理状態にあると判断したときに、前記補正量を算出する請求項６または請求項７に記載の補正量算出装置。
【請求項９】
前記対象部品の前記装着処理を行うときに、前記補正量算出部によって算出された前記補正量の使用を許容し、前記対象部品でない前記部品の前記装着処理を行うときに、前記補正量算出部によって算出された前記補正量の使用を規制する許可部を備える請求項１〜請求項８のいずれか一項に記載の補正量算出装置。
【請求項１０】
はんだが印刷された基板に部品を装着する装着処理を行う部品装着機と、
前記部品が装着された前記基板を加熱し前記はんだを溶融させて、はんだ付けを行うリフロー炉と、
前記はんだ付けされた前記部品の装着位置を検査する外観検査機と、
を備える対基板作業ラインに適用される補正量算出方法であって、
前記リフロー炉に搬送される前後の前記基板における前記部品の移動量が所定許容値以下である対象部品を選定する選定工程と、
前記選定工程によって選定された前記対象部品の前記装着位置の目標装着位置に対する位置ずれ量について後に生産する基板製品の前記装着処理に用いられる補正量を算出する補正量算出工程と、
を備える補正量算出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書は、補正量算出装置および補正量算出方法に関する技術を開示する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載の分析装置は、中間検査における第１の計測値と、最終検査における第２の計測値との相関に基づいて、第１の計測値の分布に対応する第２の計測値の分布を推定する。そして、分析装置は、推定した分布を用いて、第２の計測値に基づく良否の判定結果と最も良く一致するように、第１の計測値の検査基準を設定する。なお、特許文献１では、第１の計測値として、はんだ印刷後の検査におけるはんだのずれ量が例示され、第２の計測値として、リフロー後の検査における部品のずれ量が例示されている。【０００３】
特許文献２に記載の適否判定方法は、複数の工程を経て形成された最終形態品を検査する最終検査と、最終検査より前の工程で形成された中間品を検査する中間検査との関係に基づいて、中間検査に用いられる判定基準値が適切であるか否かを判定する。具体的には、適否判定方法は、中間品に対する計測値と最終形態品に対する計測値との相関関係を導出する工程と、演算対象点ごとに第１演算処理および第２演算処理を実施する工程とを備えている。【０００４】
第１演算処理は、中間品に対する計測値が分布し得る範囲に複数の演算対象点を設定して、導出した相関関係に基づいて、演算対象点が示す計測値に対応する最終形態品の計測値の分布パターンを特定する。第２演算処理は、分布パターンと最終検査で使用される判定基準値との関係に基づいて、当該演算対象点が示す計測値が得られた中間品から形成される最終形態品が、最終検査において良品または不良品と判定される確率を求める。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１８−０２５４８１号公報
【特許文献２】特開２０１２−１５１２５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
リフロー炉においてはんだが溶融したときに、部品が流動する可能性がある。そのため、外観検査機がリフロー炉の後段に設けられる対基板作業ラインでは、外観検査機は、流動後の部品を検査する可能性がある。よって、外観検査機によって検査されたすべての部品の装着位置について、部品装着機が部品を装着する際の補正量を算出すると、当該補正量は、必ずしも適切であるとは言えない。【０００７】
このような事情に鑑みて、本明細書は、外観検査機がリフロー炉の後段に設けられる対基板作業ラインの部品装着機の装着処理に用いられる補正量の算出に際して、対象部品を選定して、対象部品を装着する際の補正量を算出可能な補正量算出装置および補正量算出方法を開示する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本明細書は、部品装着機と、リフロー炉と、外観検査機とを備える対基板作業ラインにおいて、選定部と、補正量算出部とを備える補正量算出装置を開示する。前記部品装着機は、はんだが印刷された基板に部品を装着する装着処理を行う。前記リフロー炉は、前記部品が装着された前記基板を加熱し前記はんだを溶融させて、はんだ付けを行う。前記外観検査機は、前記はんだ付けされた前記部品の装着位置を検査する。前記選定部は、前記リフロー炉に搬送される前後の前記基板における前記部品の移動量が所定許容値以下である対象部品を選定する。前記補正量算出部は、前記選定部によって選定された前記対象部品の前記装着位置の目標装着位置に対する位置ずれ量について後に生産する基板製品の前記装着処理に用いられる補正量を算出する。【０００９】
また、本明細書は、部品装着機と、リフロー炉と、外観検査機とを備える対基板作業ラインに適用される補正量算出方法であって、選定工程と、補正量算出工程とを備える補正量算出方法を開示する。前記部品装着機は、はんだが印刷された基板に部品を装着する装着処理を行う。前記リフロー炉は、前記部品が装着された前記基板を加熱し前記はんだを溶融させて、はんだ付けを行う。前記外観検査機は、前記はんだ付けされた前記部品の装着位置を検査する。前記選定工程は、前記リフロー炉に搬送される前後の前記基板における前記部品の移動量が所定許容値以下である対象部品を選定する。前記補正量算出工程は、前記選定工程によって選定された前記対象部品の前記装着位置の目標装着位置に対する位置ずれ量について後に生産する基板製品の前記装着処理に用いられる補正量を算出する。
【発明の効果】
【００１０】
上記の補正量算出装置によれば、外観検査機がリフロー炉の後段に設けられる対基板作業ラインにおいて、選定部と、補正量算出部とを備える。これにより、補正量算出装置は、リフロー炉に搬送される前後の基板における部品の移動量が所定許容値以下である対象部品を選定して、選定された対象部品を装着する際の補正量を算出することができる。補正量算出装置について上述したことは、補正量算出方法についても同様に言える。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】対基板作業ラインＷＭＬの構成例を示す構成図である。
【図２】部品装着機ＷＭ３の構成例を示す平面図である。
【図３】補正量算出装置４０の制御ブロックの一例を示すブロック図である。
【図４】管理装置ＷＭＣによる制御手順の一例を示すフローチャートである。
【図５】部品装着機ＷＭ３による制御手順の一例を示すフローチャートである。
【図６】基板製品９００の一例を示す模式図である。
【図７Ａ】はんだ９２に合わせて部品９１を装着したときの位置ずれ量ＭＡの一例を示す模式図である。
【図７Ｂ】パッド９０ａに合わせて部品９１を装着したときの位置ずれ量ＭＡの一例を示す模式図である。
【図８Ａ】基板識別情報ＩＤ１と、目標装着位置ＲＦ１ごとの位置ずれ量ＭＡとが関連付けられて記憶されている状態の一例を示す模式図である。
【図８Ｂ】基板識別情報ＩＤ１と、部品種ＰＴ１ごとの位置ずれ量ＭＡとが関連付けられて記憶されている状態の一例を示す模式図である。
【図９】位置ずれ量ＭＡの分布の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
１．実施形態
１−１．対基板作業ラインＷＭＬの構成例
対基板作業ラインＷＭＬでは、基板９０に所定の対基板作業を行う。対基板作業ラインＷＭＬを構成する対基板作業機ＷＭの種類および数は、限定されない。図１に示すように、本実施形態の対基板作業ラインＷＭＬは、印刷機ＷＭ１、印刷検査機ＷＭ２、複数（３つ）の部品装着機ＷＭ３、リフロー炉ＷＭ４および外観検査機ＷＭ５の複数（７つ）の対基板作業機ＷＭを備えており、基板９０は、基板搬送装置（図示略）によって、この順に搬送される。
【００１３】
印刷機ＷＭ１は、基板９０において、複数の部品９１の各々の装着位置に、はんだ９２を印刷する。印刷検査機ＷＭ２は、印刷機ＷＭ１によって印刷されたはんだ９２の印刷状態を検査する。部品装着機ＷＭ３は、はんだ９２が印刷された基板９０に部品９１を装着する装着処理を行う。部品装着機ＷＭ３は、一つであっても良く、複数であっても良い。本実施形態のように、部品装着機ＷＭ３が複数設けられる場合は、複数の部品装着機ＷＭ３が分担して、複数の部品９１を装着することができる。
【００１４】
リフロー炉ＷＭ４は、部品９１が装着された基板９０を加熱し、はんだ９２を溶融させて、はんだ付けを行う。外観検査機ＷＭ５は、はんだ付けされた部品９１の装着状態を検査する。このように、対基板作業ラインＷＭＬは、複数（７つ）の対基板作業機ＷＭを用いて、基板９０を順に搬送し、検査処理を含む生産処理を実行して基板製品９００を生産することができる。なお、対基板作業ラインＷＭＬは、例えば、機能検査機、バッファ装置、基板供給装置、基板反転装置、シールド装着装置、接着剤塗布装置、紫外線照射装置などの対基板作業機ＷＭを必要に応じて備えることもできる。
【００１５】
対基板作業ラインＷＭＬを構成する複数（７つ）の対基板作業機ＷＭおよび管理装置ＷＭＣは、通信部ＬＣによって電気的に接続されている。具体的には、通信部ＬＣは、有線または無線によって、複数（７つ）の対基板作業機ＷＭおよび管理装置ＷＭＣを通信可能に接続することができる。また、通信方法は、種々の方法をとり得る。
【００１６】
本実施形態では、複数（７つ）の対基板作業機ＷＭおよび管理装置ＷＭＣによって、構内情報通信網（ＬＡＮ：Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）が構成されている。これにより、複数（７つ）の対基板作業機ＷＭは、通信部ＬＣを介して、互いに通信することができる。また、複数（７つ）の対基板作業機ＷＭは、通信部ＬＣを介して、管理装置ＷＭＣと通信することができる。
【００１７】
管理装置ＷＭＣは、対基板作業ラインＷＭＬを構成する複数（７つ）の対基板作業機ＷＭの制御を行い、対基板作業ラインＷＭＬの動作状況を監視する。管理装置ＷＭＣには、複数（７つ）の対基板作業機ＷＭを制御する種々の制御データが記憶されている。管理装置ＷＭＣは、複数（７つ）の対基板作業機ＷＭの各々に制御データを送信する。また、複数（７つ）の対基板作業機ＷＭの各々は、管理装置ＷＭＣに動作状況および生産状況を送信する。
【００１８】
１−２．部品装着機ＷＭ３の構成例
部品装着機ＷＭ３は、はんだ９２が印刷された基板９０に部品９１を装着する装着処理を行う。図２に示すように、部品装着機ＷＭ３は、基板搬送装置１１、部品供給装置１２、部品移載装置１３、部品カメラ１４、基板カメラ１５および制御装置１６を備えている。
【００１９】
基板搬送装置１１は、例えば、ベルトコンベアなどによって構成され、基板９０を搬送方向（Ｘ軸方向）に搬送する。基板９０は、回路基板であり、電子回路および電気回路のうちの少なくとも一方が形成される。基板搬送装置１１は、部品装着機ＷＭ３の機内に基板９０を搬入し、機内の所定位置に基板９０を位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機ＷＭ３による部品９１の装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機ＷＭ３の機外に搬出する。
【００２０】
部品供給装置１２は、基板９０に装着される複数の部品９１を供給する。部品供給装置１２は、基板９０の搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って設けられる複数のフィーダ１２１を備えている。複数のフィーダ１２１の各々は、複数の部品９１が収納されるキャリアテープ（図示略）をピッチ送りさせて、フィーダ１２１の先端側に位置する供給位置において部品９１を採取可能に供給する。また、部品供給装置１２は、チップ部品などと比べて比較的大型の電子部品（例えば、リード部品など）を、トレイ上に配置した状態で供給することもできる。
【００２１】
部品移載装置１３は、ヘッド駆動装置１３１および移動台１３２を備えている。ヘッド駆動装置１３１は、直動機構によって移動台１３２を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に構成されている。移動台１３２には、クランプ部材（図示略）によって装着ヘッド２０が着脱可能（交換可能）に設けられている。装着ヘッド２０は、少なくとも一つの保持部材３０を用いて、部品供給装置１２によって供給される部品９１を採取し保持して、基板搬送装置１１によって位置決めされた基板９０に部品９１を装着する。保持部材３０は、例えば、吸着ノズル、チャックなどを用いることができる。
【００２２】
部品カメラ１４および基板カメラ１５は、公知の撮像装置を用いることができる。部品カメラ１４は、光軸がＺ軸方向の上向き（鉛直上方方向）になるように、部品装着機ＷＭ３の基台に固定されている。部品カメラ１４は、保持部材３０によって保持されている部品９１を下方から撮像することができる。
【００２３】
基板カメラ１５は、光軸がＺ軸方向の下向き（鉛直下方方向）になるように、部品移載装置１３の移動台１３２に設けられている。基板カメラ１５は、基板９０を上方から撮像することができる。部品カメラ１４および基板カメラ１５は、制御装置１６から送出される制御信号に基づいて撮像を行う。部品カメラ１４および基板カメラ１５によって撮像された画像データは、制御装置１６に送信される。
【００２４】
制御装置１６は、公知の演算装置および記憶装置を備えており、制御回路が構成されている（いずれも図示略）。制御装置１６には、部品装着機ＷＭ３に設けられる各種センサから出力される情報、画像データなどが入力される。制御装置１６は、制御プログラムおよび予め設定されている所定の装着条件などに基づいて、各装置に対して制御信号を送出する。
【００２５】
例えば、制御装置１６は、基板搬送装置１１によって位置決めされた基板９０を基板カメラ１５に撮像させる。制御装置１６は、基板カメラ１５によって撮像された画像を画像処理して、基板９０の位置決め状態を認識する。また、制御装置１６は、部品供給装置１２によって供給された部品９１を保持部材３０に採取させ保持させて、保持部材３０に保持されている部品９１を部品カメラ１４に撮像させる。制御装置１６は、部品カメラ１４によって撮像された画像を画像処理して、部品９１の保持姿勢を認識する。
【００２６】
制御装置１６は、制御プログラムなどによって予め設定される装着予定位置の上方に向かって、保持部材３０を移動させる。また、制御装置１６は、基板９０の位置決め状態、部品９１の保持姿勢などに基づいて、装着予定位置を補正して、実際に部品９１を装着する装着位置を設定する。装着予定位置および装着位置は、位置（Ｘ軸座標およびＹ軸座標）の他に回転角度を含む。
【００２７】
制御装置１６は、装着位置に合わせて、保持部材３０の目標位置（Ｘ軸座標およびＹ軸座標）および回転角度を補正する。制御装置１６は、補正された目標位置において補正された回転角度で保持部材３０を下降させて、基板９０に部品９１を装着する。制御装置１６は、上記のピックアンドプレースサイクルを繰り返すことによって、基板９０に複数の部品９１を装着する装着処理を実行する。
【００２８】
１−３．補正量算出装置４０および部品装着機ＷＭ３
補正量算出装置４０は、制御ブロックとして捉えると、選定部４１と、補正量算出部４２とを備えている。補正量算出装置４０は、許可部４３をさらに備えると好適である。また、部品装着機ＷＭ３は、装着処理部４４を備えていると好適である。なお、許可部４３は、部品装着機ＷＭ３に設けることもできる。
【００２９】
図３に示すように、本実施形態の補正量算出装置４０は、選定部４１と、補正量算出部４２と、許可部４３とを備えている。また、同図に示すように、本実施形態の補正量算出装置４０は、管理装置ＷＭＣに設けられている。補正量算出装置４０は、管理装置ＷＭＣ以外の種々の演算装置に設けることもできる。
【００３０】
管理装置ＷＭＣは、図４に示すフローチャートに従って、制御プログラムを実行する。選定部４１は、ステップＳ１１に示す処理を行う。補正量算出部４２は、ステップＳ１２に示す処理を行う。許可部４３は、ステップＳ１３に示す判断、並びに、ステップＳ１４およびステップＳ１５に示す処理を行う。また、部品装着機ＷＭ３は、図５に示すフローチャートに従って、制御プログラムを実行する。装着処理部４４は、ステップＳ２１に示す判断、並びに、ステップＳ２２およびステップＳ２３に示す処理を行う。
【００３１】
１−３−１．選定部４１
リフロー炉ＷＭ４においてはんだ９２が溶融したときに、部品９１が流動する可能性がある。そのため、本実施形態のように、外観検査機ＷＭ５がリフロー炉ＷＭ４の後段に設けられる対基板作業ラインＷＭＬでは、外観検査機ＷＭ５は、流動後の部品９１を検査する可能性がある。よって、外観検査機ＷＭ５によって検査されたすべての部品９１の装着位置ＭＰ１について、部品装着機ＷＭ３が部品９１を装着する際の補正量ＣＡ１を算出すると、当該補正量ＣＡ１は、必ずしも適切であるとは言えない。そこで、本実施形態の補正量算出装置４０は、選定部４１を備えている。
【００３２】
選定部４１は、リフロー炉ＷＭ４に搬送される前後の基板９０における部品９１の移動量が所定許容値以下である対象部品ＯＰ１を選定する（図４に示すステップＳ１１）。所定許容値は、ゼロであることが好ましい。つまり、選定部４１は、上記移動量がゼロである部品９１を対象部品ＯＰ１として選定することが好ましい。
【００３３】
また、所定許容値は、要求される部品９１の装着精度を充足する所定値（ゼロに近似する所定値）であっても良い。つまり、選定部４１は、上記移動量がゼロでない部品９１を対象部品ＯＰ１として選定することも許容される。なお、部品９１の部品種ＰＴ１が異なると、上述した部品９１の移動の有無および上記移動量が変わるので、選定部４１は、部品９１の部品種ＰＴ１ごとに対象部品ＯＰ１を選定すると良い。
【００３４】
部品９１の体積が大きくなる程、部品９１が大型化し、リフロー炉ＷＭ４においてはんだ９２が溶融したときに、部品９１が流動し難くなる。上述したことは、部品９１の大きさについても、同様に言える。また、部品９１の質量が大きくなる程、リフロー炉ＷＭ４においてはんだ９２が溶融したときに、部品９１が流動し難くなる。
【００３５】
そこで、選定部４１は、部品９１の体積、質量および大きさのうちの少なくとも一つが所定閾値以上の部品９１を対象部品ＯＰ１に選定すると好適である。これにより、選定部４１は、部品９１の体積、質量および大きさのうちの少なくとも一つに基づいて、対象部品ＯＰ１を選定することができる。
【００３６】
所定閾値は、所定許容値と同様に規定することができる。つまり、所定閾値は、例えば、部品９１の上記移動量がゼロになるか否かの閾値（例えば、上記移動量がゼロになる部品９１の体積の最小値など）にすることができる。また、所定閾値は、例えば、要求される部品９１の装着精度を充足する所定値であっても良い。
【００３７】
また、部品装着機ＷＭ３の使用者は、実際の基板製品９００の生産を通じて、上述した部品９１の移動を知得する場合がある。そこで、選定部４１は、部品装着機ＷＭ３の使用者によって指定された部品９１を対象部品ＯＰ１に選定すると好適である。これにより、選定部４１は、部品装着機ＷＭ３の使用者による指定に基づいて、対象部品ＯＰ１を選定することができる。
【００３８】
本実施形態の部品装着機ＷＭ３は、表示装置（図示略）を備えている。表示装置は、例えば、タッチパネルにより構成されており、表示装置は、部品装着機ＷＭ３の使用者による種々の操作を受け付ける入力装置としても機能する。選定部４１は、基板９０に装着する部品９１の一覧を表示装置に表示させて、使用者は、例えば、タッチパネルを用いて、所望の部品９１を対象部品ＯＰ１に指定することができる。なお、部品装着機ＷＭ３の使用者は、部品９１の体積、質量および大きさのうちの少なくとも一つが所定閾値以上の部品９１を対象部品ＯＰ１に指定することもできる。
【００３９】
また、選定部４１は、リフロー炉ＷＭ４に搬送される前後の部品９１の移動量を測定し、移動量が所定許容値以下の部品９１を対象部品ＯＰ１に選定しても良い。これにより、選定部４１は、実際の部品９１の移動量に基づいて、対象部品ＯＰ１を選定することができる。
【００４０】
部品９１の上記移動量の測定は、基板製品９００の生産を開始する前に実施することができる。部品９１の上記移動量の測定は、例えば、リフロー炉ＷＭ４の前段および後段に外観検査機ＷＭ５をそれぞれ備える試験用の対基板作業ラインＷＭＬを用いることができる。この場合、外観検査機ＷＭ５は、リフロー炉ＷＭ４に搬送される前後の部品９１の装着位置ＭＰ１を検査することができる。部品９１の上記移動量は、リフロー炉ＷＭ４に搬送される前後の部品９１の装着位置ＭＰ１の差分に相当する。
【００４１】
部品９１の上記移動量の測定は、基板製品９００の生産中に実施することもできる。この場合、部品装着機ＷＭ３は、例えば、図２に示す基板カメラ１５と比べて広視野の撮像装置を備えると良い。部品装着機ＷＭ３は、当該撮像装置に基板９０を撮像させて、取得した画像を画像処理して、リフロー炉ＷＭ４に搬送される前の部品９１の装着位置ＭＰ１を取得することができる。また、外観検査機ＷＭ５は、リフロー炉ＷＭ４から搬出された後のはんだ付けされた部品９１の装着位置ＭＰ１を検査することができる。これにより、選定部４１は、リフロー炉ＷＭ４に搬送される前後の部品９１の装着位置ＭＰ１を取得することができ、同様にして、部品９１の上記移動量を測定することができる。
【００４２】
また、選定部４１は、過去に取得されたリフロー炉ＷＭ４に搬送される前後の部品９１の移動量の分布に基づいて、対象部品ＯＰ１を選定しても良い。これにより、選定部４１は、部品９１の移動量の分布に基づいて、対象部品ＯＰ１を選定することができる。
【００４３】
例えば、対基板作業ラインＷＭＬの出荷前に、各装置の精度を確認するために、同種の複数の基板９０を用いて、種々のデータが取得される。選定部４１は、例えば、上記データを用いて、部品種ＰＴ１ごとに、部品装着機ＷＭ３によって装着された部品９１の位置ずれ量ＭＡ（目標装着位置ＲＦ１と実際の装着位置ＭＰ１の偏差）のばらつきを取得する。このときの位置ずれ量ＭＡのばらつきを第一分布とする。
【００４４】
また、選定部４１は、上記データを用いて、部品種ＰＴ１ごとに、外観検査機ＷＭ５によって検査された部品９１の位置ずれ量ＭＡ（目標装着位置ＲＦ１と実際の装着位置ＭＰ１の偏差）のばらつきを取得する。このときの位置ずれ量ＭＡのばらつきを第二分布とする。選定部４１は、第一分布と第二分布が近似しているとき（例えば、二つの分布の各々の平均値の差分が所定値以内のとき）に、部品９１の上記移動量が所定許容値以下であると判断し、当該部品９１を対象部品ＯＰ１に選定することができる。
【００４５】
選定部４１は、第二分布が目標装着位置ＲＦ１に近づいているとき（例えば、第一分布の平均値と目標装着位置ＲＦ１の差分が所定値を超えており、且つ、第二分布の平均値と目標装着位置ＲＦ１の差分が所定値以内のとき）に、部品９１の上記移動量が所定許容値を超えていると判断することができる。この場合、選定部４１は、当該部品９１を対象部品ＯＰ１に選定しない。
【００４６】
図６は、基板製品９００の一例を示している。同図に示すように、基板９０には、第一マーク部ＦＭ１および第二マーク部ＦＭ２が設けられている。第一マーク部ＦＭ１および第二マーク部ＦＭ２は、フィデューシャルマークと呼ばれる基板９０の位置決め基準であり、基板９０の外縁部に設けられている。基板９０に設定される座標系である基板座標系は、第一マーク部ＦＭ１および第二マーク部ＦＭ２と、Ｘ軸方向ＢＸおよびＹ軸方向ＢＹとの位置関係によって規定することができる。
【００４７】
本実施形態では、基板座標系の原点０は、第一マーク部ＦＭ１に設けられている。例えば、図２に示す部品装着機ＷＭ３の制御装置１６は、第一マーク部ＦＭ１および第二マーク部ＦＭ２を基板カメラ１５に撮像させて、取得した画像を画像処理して、基板９０の位置および角度を取得することができ、基板座標系を知得することができる。また、基板９０における複数（図６では、図示の便宜上、３つ）の部品９１の各々の目標装着位置ＲＦ１は、基板座標系を用いて表すことができる。同図では、目標装着位置ＲＦ１は、記号Ｒ１〜記号Ｒ３で表されている。
【００４８】
例えば、目標装着位置ＲＦ１が記号Ｒ１で示される位置に装着される部品９１は、部品９１の体積が所定閾値以上の部品９１であるとする。また、目標装着位置ＲＦ１が記号Ｒ２で示される位置に装着される部品９１は、部品９１の体積が所定閾値未満の部品９１であるとする。さらに、目標装着位置ＲＦ１が記号Ｒ３で示される位置に装着される部品９１は、部品９１の体積が所定閾値以上の部品９１であるとする。
【００４９】
このとき、選定部４１は、目標装着位置ＲＦ１が記号Ｒ１で示される位置に装着される部品９１、および、目標装着位置ＲＦ１が記号Ｒ３で示される位置に装着される部品９１を対象部品ＯＰ１に選定する。なお、選定部４１は、目標装着位置ＲＦ１が記号Ｒ２で示される位置に装着される部品９１を対象部品ＯＰ１に選定しない。
【００５０】
１−３−２．補正量算出部４２
補正量算出部４２は、選定部４１によって選定された対象部品ＯＰ１の装着位置ＭＰ１の目標装着位置ＲＦ１に対する位置ずれ量ＭＡについて後に生産する基板製品９００の装着処理に用いられる補正量ＣＡ１を算出する（図４に示すステップＳ１２）。
【００５１】
図７Ａは、はんだ９２に合わせて部品９１を装着したときの位置ずれ量ＭＡの一例を示している。図７Ｂは、パッド９０ａに合わせて部品９１を装着したときの位置ずれ量ＭＡの一例を示している。図７Ａおよび図７Ｂは、図６に示す複数（３つ）の部品９１のうちの一つの部品９１について、基板９０に形成されているパッド９０ａと、印刷機ＷＭ１によって印刷されたはんだ９２と、部品装着機ＷＭ３によって装着された部品９１との位置関係の一例を示している。
【００５２】
パッド９０ａは、ランドとも呼ばれ、回路の配線パターンに形成される。例えば、図６に示す部品９１は、二つの電極部を備えており、一つの部品９１について、二つのパッド９０ａが設けられている。はんだ９２は、パッド９０ａと部品９１の電極部とを電気的に接続する。印刷機ＷＭ１がパッド９０ａの上にはんだ９２を印刷し、部品装着機ＷＭ３がはんだ９２の上に部品９１を装着するのが理想である。しかしながら、基板９０の位置決め誤差、装置の動作誤差などの種々の要因により、はんだ９２の印刷位置ＰＰ１、部品９１の装着位置ＭＰ１は、目標位置からずれる可能性がある。
【００５３】
ここで、一の部品９１について設けられる複数（同図では、２つ）のパッド９０ａの重心位置をパッド位置ＰＤ１とする。また、当該部品９１について基板９０に印刷された複数（同図では、２つ）のはんだ９２の重心位置を印刷位置ＰＰ１とする。さらに、当該部品９１が基板９０に装着されたときの当該部品９１の重心位置を装着位置ＭＰ１とする。
【００５４】
また、印刷検査機ＷＭ２によって検出された印刷位置ＰＰ１のパッド位置ＰＤ１に対する位置ずれ量を第一位置ずれ量ＭＡ１とする。さらに、外観検査機ＷＭ５によって検出された装着位置ＭＰ１のパッド位置ＰＤ１に対する位置ずれ量を第二位置ずれ量ＭＡ２とする。また、印刷位置ＰＰ１に対する装着位置ＭＰ１の位置ずれ量を第三位置ずれ量ＭＡ３とする。
【００５５】
基板９０に印刷されたはんだ９２が溶融する際に表面張力が発生する。表面張力は、パッド９０ａの中央部で最も大きくなるので、はんだ９２に合わせて部品９１を装着すると、リフロー炉ＷＭ４においてはんだ９２が溶融したときに、部品９１とはんだ９２がパッド９０ａに向かって一緒に流動して、部品９１の電極部は、パッド９０ａの中央部に引き寄せられる。
【００５６】
そこで、部品装着機ＷＭ３では、基板９０に印刷されたはんだ９２に合わせて部品９１を装着する場合がある（図７Ａの破線で示す四角形を参照）。この場合、部品９１の目標装着位置ＲＦ１は、印刷位置ＰＰ１であり、部品９１の装着位置ＭＰ１の目標装着位置ＲＦ１に対する位置ずれ量ＭＡは、第三位置ずれ量ＭＡ３に相当する。なお、第一位置ずれ量ＭＡ１は、はんだ９２の目標印刷位置（パッド位置ＰＤ１）と実際の印刷位置ＰＰ１との偏差を示している。
【００５７】
第一位置ずれ量ＭＡ１は、印刷検査機ＷＭ２によって検出される。印刷検査機ＷＭ２は、印刷機ＷＭ１によって印刷されたはんだ９２の印刷位置ＰＰ１を検査する。例えば、印刷検査機ＷＭ２は、基板９０を撮像装置に撮像させて、取得した画像を画像処理して、第一マーク部ＦＭ１および第二マーク部ＦＭ２に基づいて基板９０の位置および角度を取得することができ、基板座標系を知得することができる。
【００５８】
また、印刷検査機ＷＭ２は、取得した画像を画像処理して、はんだ９２の印刷位置ＰＰ１の座標値を取得することができる。印刷検査機ＷＭ２は、取得した印刷位置ＰＰ１の座標値と、既知のパッド位置ＰＤ１の座標値との偏差から、第一位置ずれ量ＭＡ１を検出することができる。印刷検査機ＷＭ２は、Ｘ座標およびＹ座標の各々について、第一位置ずれ量ＭＡ１を検出する。
【００５９】
第二位置ずれ量ＭＡ２は、外観検査機ＷＭ５によって検出される。外観検査機ＷＭ５は、はんだ付けされた部品９１の装着位置ＭＰ１を検査する。対象部品ＯＰ１は、リフロー炉ＷＭ４に搬送される前後の基板９０における部品９１の移動量が所定許容値以下の部品９１である。よって、リフロー炉ＷＭ４に搬送される前後において、対象部品ＯＰ１の第二位置ずれ量ＭＡ２は、変動し難い。
【００６０】
よって、外観検査機ＷＭ５は、対象部品ＯＰ１について、部品装着機ＷＭ３によって装着された部品９１の装着位置ＭＰ１を検査することができる。例えば、外観検査機ＷＭ５は、基板９０を撮像装置に撮像させて取得した画像を画像処理して、第一マーク部ＦＭ１および第二マーク部ＦＭ２に基づいて基板９０の位置および角度を取得することができ、基板座標系を知得することができる。
【００６１】
また、外観検査機ＷＭ５は、取得した画像を画像処理して、対象部品ＯＰ１の装着位置ＭＰ１の座標値を取得することができる。外観検査機ＷＭ５は、取得した装着位置ＭＰ１の座標値と、既知のパッド位置ＰＤ１の座標値との偏差から、第二位置ずれ量ＭＡ２を検出することができる。外観検査機ＷＭ５は、Ｘ座標およびＹ座標の各々について、第二位置ずれ量ＭＡ２を検出する。なお、印刷検査機ＷＭ２は、目標装着位置ＲＦ１ごとに第一位置ずれ量ＭＡ１を取得する。また、外観検査機ＷＭ５は、目標装着位置ＲＦ１ごとに第二位置ずれ量ＭＡ２を取得する。
【００６２】
対象部品ＯＰ１の装着位置ＭＰ１の目標装着位置ＲＦ１に対する位置ずれ量ＭＡ（第三位置ずれ量ＭＡ３）は、第一位置ずれ量ＭＡ１および第二位置ずれ量ＭＡ２に基づいて算出することができる。具体的には、Ｘ軸方向ＢＸの第三位置ずれ量ＭＡ３は、Ｘ軸方向ＢＸの第二位置ずれ量ＭＡ２から、Ｘ軸方向ＢＸの第一位置ずれ量ＭＡ１を減じて算出することができる。また、Ｙ軸方向ＢＹの第三位置ずれ量ＭＡ３は、Ｙ軸方向ＢＹの第二位置ずれ量ＭＡ２から、Ｙ軸方向ＢＹの第一位置ずれ量ＭＡ１を減じて算出することができる。
【００６３】
よって、補正量算出部４２は、対象部品ＯＰ１について、Ｘ軸方向ＢＸの第一位置ずれ量ＭＡ１から、Ｘ軸方向ＢＸの第二位置ずれ量ＭＡ２を減じて、Ｘ軸方向ＢＸの補正量ＣＡ１を算出することができる。また、補正量算出部４２は、対象部品ＯＰ１について、Ｙ軸方向ＢＹの第一位置ずれ量ＭＡ１から、Ｙ軸方向ＢＹの第二位置ずれ量ＭＡ２を減じて、Ｙ軸方向ＢＹの補正量ＣＡ１を算出することができる。なお、補正量算出部４２は、目標装着位置ＲＦ１ごとに補正量ＣＡ１を算出する。
【００６４】
部品装着機ＷＭ３がパッド９０ａに合わせて部品９１を装着する場合（図７Ｂの破線で示す四角形を参照）、部品９１の目標装着位置ＲＦ１は、パッド位置ＰＤ１であり、部品９１の装着位置ＭＰ１の目標装着位置ＲＦ１に対する位置ずれ量ＭＡは、第二位置ずれ量ＭＡ２に相当する。既述したように、対象部品ＯＰ１の第二位置ずれ量ＭＡ２は、外観検査機ＷＭ５によって検出することができる。
【００６５】
この場合、補正量算出部４２は、対象部品ＯＰ１について、Ｘ軸方向ＢＸの第二位置ずれ量ＭＡ２の正負を反転して（ゼロからＸ軸方向ＢＸの第二位置ずれ量ＭＡ２を減じて）、Ｘ軸方向ＢＸの補正量ＣＡ１を算出することができる。また、補正量算出部４２は、対象部品ＯＰ１について、Ｙ軸方向ＢＹの第二位置ずれ量ＭＡ２の正負を反転して（ゼロからＹ軸方向ＢＹの第二位置ずれ量ＭＡ２を減じて）、Ｙ軸方向ＢＹの補正量ＣＡ１を算出することができる。この場合も、補正量算出部４２は、目標装着位置ＲＦ１ごとに補正量ＣＡ１を算出する。
【００６６】
このように、補正量算出部４２は、一枚の基板９０に基づいて、補正量ＣＡ１を算出することができる。しかしながら、対象部品ＯＰ１の装着位置ＭＰ１の目標装着位置ＲＦ１に対する位置ずれ量ＭＡは、基板９０の位置決め誤差、装置の動作誤差などの種々の要因により、複数の基板９０において、ばらつく可能性がある。
【００６７】
そこで、補正量算出部４２は、同種の複数の基板９０について、基板９０を識別する基板識別情報ＩＤ１と、基板９０に装着される対象部品ＯＰ１の目標装着位置ＲＦ１ごとの位置ずれ量ＭＡとを関連付けて記憶すると好適である。そして、補正量算出部４２は、目標装着位置ＲＦ１ごとの所定数の位置ずれ量ＭＡの分布に基づいて、目標装着位置ＲＦ１ごとの補正量ＣＡ１を算出すると好適である。これにより、補正量算出部４２は、複数の基板９０における位置ずれ量ＭＡのばらつきを考慮した目標装着位置ＲＦ１ごとの補正量ＣＡ１を算出することができる。
【００６８】
図１に示す管理装置ＷＭＣは、公知の記憶装置を備えている。部品装着機ＷＭ３がはんだ９２に合わせて部品９１を装着する場合、印刷検査機ＷＭ２は、対象部品ＯＰ１について、基板９０の基板識別情報ＩＤ１と、検出した目標装着位置ＲＦ１ごとの第一位置ずれ量ＭＡ１とを関連付けて管理装置ＷＭＣに送信する。同様に、外観検査機ＷＭ５は、対象部品ＯＰ１について、基板９０の基板識別情報ＩＤ１と、検出した目標装着位置ＲＦ１ごとの第二位置ずれ量ＭＡ２とを関連付けて管理装置ＷＭＣに送信する。
【００６９】
補正量算出部４２は、対象部品ＯＰ１について、同一の基板識別情報ＩＤ１に関連付けられている目標装着位置ＲＦ１ごとの第一位置ずれ量ＭＡ１および第二位置ずれ量ＭＡ２に基づいて、目標装着位置ＲＦ１ごとに第三位置ずれ量ＭＡ３を算出する。そして、補正量算出部４２は、対象部品ＯＰ１について、基板９０の基板識別情報ＩＤ１と、目標装着位置ＲＦ１ごとの第三位置ずれ量ＭＡ３とを関連付けて記憶装置に記憶させる。既述したように、第三位置ずれ量ＭＡ３は、対象部品ＯＰ１の装着位置ＭＰ１の目標装着位置ＲＦ１に対する位置ずれ量ＭＡに相当する。
【００７０】
部品装着機ＷＭ３がパッド９０ａに合わせて部品９１を装着する場合、外観検査機ＷＭ５は、対象部品ＯＰ１について、基板９０の基板識別情報ＩＤ１と、検出した目標装着位置ＲＦ１ごとの第二位置ずれ量ＭＡ２とを関連付けて管理装置ＷＭＣに送信する。補正量算出部４２は、対象部品ＯＰ１について、基板９０の基板識別情報ＩＤ１と、目標装着位置ＲＦ１ごとの第二位置ずれ量ＭＡ２とを関連付けて記憶装置に記憶させる。既述したように、第二位置ずれ量ＭＡ２は、対象部品ＯＰ１の装着位置ＭＰ１の目標装着位置ＲＦ１に対する位置ずれ量ＭＡに相当する。
【００７１】
図８Ａは、基板識別情報ＩＤ１と、目標装着位置ＲＦ１ごとの位置ずれ量ＭＡとが関連付けられて記憶されている状態の一例を示している。記号ＩＤ１１は、同種の複数の基板９０のうちの一の基板９０の基板識別情報ＩＤ１を示している。同様に、記号ＩＤ１２は、同種の複数の基板９０のうちの他の一の基板９０の基板識別情報ＩＤ１を示している。
【００７２】
また、図６に示す例では、選定部４１は、目標装着位置ＲＦ１が記号Ｒ１で示される位置に装着される部品９１、および、目標装着位置ＲＦ１が記号Ｒ３で示される位置に装着される部品９１を対象部品ＯＰ１に選定する。よって、目標装着位置ＲＦ１は、記号Ｒ１および記号Ｒ３が図示されており、記号Ｒ２は、図示されていない。
【００７３】
例えば、基板識別情報ＩＤ１が記号ＩＤ１１で示される基板９０において、目標装着位置ＲＦ１が記号Ｒ１で示される位置に部品９１が装着されたときのＸ軸方向ＢＸの位置ずれ量ＭＡは、偏差ΔＸ１１で表されている。同様に、基板識別情報ＩＤ１が記号ＩＤ１１で示される基板９０において、目標装着位置ＲＦ１が記号Ｒ１で示される位置に部品９１が装着されたときのＹ軸方向ＢＹの位置ずれ量ＭＡは、偏差ΔＹ１１で表されている。上述したことは、他の基板識別情報ＩＤ１、および、記号Ｒ３で示される目標装着位置ＲＦ１についても、同様に言える。
【００７４】
また、補正量算出部４２は、同種の複数の基板９０について、基板９０を識別する基板識別情報ＩＤ１と、基板９０に装着される対象部品ＯＰ１の部品種ＰＴ１ごとの位置ずれ量ＭＡとを関連付けて記憶しても良い。そして、補正量算出部４２は、部品種ＰＴ１ごとの所定数の位置ずれ量ＭＡの分布に基づいて、部品種ＰＴ１ごとの補正量ＣＡ１を算出しても良い。これにより、補正量算出部４２は、複数の基板９０における位置ずれ量ＭＡのばらつきを考慮した部品種ＰＴ１ごとの補正量ＣＡ１を算出することができる。
【００７５】
補正量算出部４２は、目標装着位置ＲＦ１ごとの位置ずれ量ＭＡを記憶させる場合と同様にして、対象部品ＯＰ１について、基板９０の基板識別情報ＩＤ１と、部品種ＰＴ１ごとの位置ずれ量ＭＡとを関連付けて記憶装置に記憶させることができる。なお、部品種ＰＴ１が同じ対象部品ＯＰ１が一の基板９０に複数装着される場合、補正量算出部４２は、当該対象部品ＯＰ１の全部または一部についての位置ずれ量ＭＡを記憶装置に記憶させることができる。
【００７６】
図８Ｂは、基板識別情報ＩＤ１と、部品種ＰＴ１ごとの位置ずれ量ＭＡとが関連付けられて記憶されている状態の一例を示している。同図は、目標装着位置ＲＦ１が部品種ＰＴ１に変更されている点で、図８Ａと異なる。記号Ｐ１および記号Ｐ３は、選定部４１によって選定された対象部品ＯＰ１の部品種ＰＴ１を示している。よって、図８Ａに基づいて目標装着位置ＲＦ１について上述したことは、目標装着位置ＲＦ１を部品種ＰＴ１に読み替えることにより、部品種ＰＴ１についても同様に言える。なお、図８Ａおよび図８Ｂは、図示の便宜上、位置ずれ量ＭＡが一致しているが、位置ずれ量ＭＡは、図８Ａおよび図８Ｂにおいて、異なっていても良い。
【００７７】
補正量算出部４２は、シューハートの管理図を用いて、位置ずれ量ＭＡの分布が管理状態にあると判断したときに、補正量ＣＡ１を算出すると好適である。これにより、補正量算出部４２は、複数の基板９０における位置ずれ量ＭＡのばらつきを考慮した補正量ＣＡ１の算出を容易に行うことができる。
【００７８】
シューハートの管理図は、例えば、計量値が管理された安定な状態（管理状態）であるか否かを判断するために用いられる。シューハートの管理図では、計量値が特異な分布を示さないときに、管理状態であると判断する。図９は、位置ずれ量ＭＡの分布の一例を示している。同図の横軸は、基板識別情報ＩＤ１を示しており、縦軸は、位置ずれ量ＭＡを示している。折れ線Ｌ１１は、同種の複数の基板９０について、基板識別情報ＩＤ１ごとの位置ずれ量ＭＡをプロットして生成することができる。折れ線Ｌ１１は、Ｘ軸方向ＢＸの位置ずれ量ＭＡおよびＹ軸方向ＢＹの位置ずれ量ＭＡの各々について生成することができる。
【００７９】
また、破線ＣＬ１は、例えば、複数の位置ずれ量ＭＡの平均値を示している。破線ＵＣＬ１は、管理上限値を示しており、破線ＬＣＬ１は、管理下限値を示している。管理上限値は、例えば、複数の位置ずれ量ＭＡの平均値に、三倍の標準偏差を加算することにより、算出することができる。管理下限値は、例えば、複数の位置ずれ量ＭＡの平均値から、三倍の標準偏差を減じることにより、算出することができる。
【００８０】
補正量算出部４２は、所定数の位置ずれ量ＭＡが、破線ＬＣＬ１で示す管理下限値以上であり、且つ、破線ＵＣＬ１で示す管理上限値以下のときに、位置ずれ量ＭＡの分布が管理状態にあると判断することができる。逆に、補正量算出部４２は、所定数の位置ずれ量ＭＡのうちの少なくとも一つの位置ずれ量ＭＡが、管理上限値を超えているときに、位置ずれ量ＭＡの分布が管理状態にないと判断することができる。
【００８１】
同様に、補正量算出部４２は、所定数の位置ずれ量ＭＡのうちの少なくとも一つの位置ずれ量ＭＡが、管理下限値より小さいときに、位置ずれ量ＭＡの分布が管理状態にないと判断することができる。また、破線ＵＣＬ１と破線ＣＬ１との間の領域を正側領域とし、破線ＣＬ１と破線ＬＣＬ１との間の領域を負側領域とする。
【００８２】
補正量算出部４２は、所定数の位置ずれ量ＭＡが、破線ＬＣＬ１で示す管理下限値以上であり且つ破線ＵＣＬ１で示す管理上限値以下であるが、相当数の位置ずれ量ＭＡの分布が異常のときに、位置ずれ量ＭＡの分布が管理状態にないと判断することもできる。例えば、補正量算出部４２は、相当数の位置ずれ量ＭＡが正側領域または負側領域の同じ領域に連続して分布し、且つ、相当数の位置ずれ量ＭＡの変動幅が所定の変動幅と比べて小さいときに、位置ずれ量ＭＡの分布が異常であると判断することができる。
【００８３】
このように、補正量算出部４２は、シューハートの管理図を用いて、位置ずれ量ＭＡの分布が管理状態にあると判断したときに、破線ＣＬ１で示す複数の位置ずれ量ＭＡの平均値を、補正量ＣＡ１として算出することができる。また、補正量算出部４２は、位置ずれ量ＭＡを取得するごとに、所定数の位置ずれ量ＭＡの分布を取得して、複数の基板９０における位置ずれ量ＭＡのばらつきを考慮した補正量ＣＡ１を算出することができる。補正量算出部４２は、これを定期的に繰り返すことにより、補正量ＣＡ１の算出精度を向上させることができる。
【００８４】
１−３−３．許可部４３
許可部４３は、対象部品ＯＰ１の装着処理を行うときに、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１の使用を許容し、対象部品ＯＰ１でない部品９１の装着処理を行うときに、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１の使用を規制する（図４に示すステップＳ１３〜ステップＳ１５）。
【００８５】
これにより、補正量算出装置４０は、装着処理を行う部品９１が対象部品ＯＰ１であるか否かに応じて、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１の使用を許容または規制することができる。上述したことは、許可部４３が部品装着機ＷＭ３に設けられる場合についても、同様に言える。許可部４３の判断結果、および、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１は、部品装着機ＷＭ３に送信される。
【００８６】
許可部４３は、例えば、基板製品９００の生産計画などに基づいて、装着する部品９１が対象部品ＯＰ１であるか否かを判断する（ステップＳ１３）。装着する部品９１が対象部品ＯＰ１の場合（ステップＳ１３でＹｅｓの場合）、許可部４３は、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１の使用を許容する（ステップＳ１４）。装着する部品９１が対象部品ＯＰ１でない場合（ステップＳ１３でＮｏの場合）、許可部４３は、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１の使用を規制する（ステップＳ１５）。
【００８７】
１−３−４．装着処理部４４
装着処理部４４は、基板９０に部品９１を装着する装着処理を制御する。装着処理部４４は、図２に示す部品装着機ＷＭ３の制御装置１６に設けられている。装着処理部４４は、例えば、装着処理を行う部品９１が対象部品ＯＰ１であるか否かに応じて、装着処理を切り替えることができる（図５に示すステップＳ２１〜ステップＳ２３）。
【００８８】
この場合、装着処理部４４は、対象部品ＯＰ１の装着処理であるか否かを判断する（ステップＳ２１）。対象部品ＯＰ１の装着処理の場合（ステップＳ２１でＹｅｓの場合）、装着処理部４４は、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１を使用して、装着処理を行わせる（ステップＳ２２）。
【００８９】
具体的には、装着処理部４４は、対象部品ＯＰ１の目標装着位置ＲＦ１のＸ座標に、補正量算出部４２によって算出されたＸ軸方向ＢＸの補正量ＣＡ１を加算して、装着処理における装着予定位置のＸ座標を設定する。また、装着処理部４４は、対象部品ＯＰ１の目標装着位置ＲＦ１のＹ座標に、補正量算出部４２によって算出されたＹ軸方向ＢＹの補正量ＣＡ１を加算して、装着処理における装着予定位置のＹ座標を設定する。
【００９０】
対象部品ＯＰ１の装着処理でない場合（ステップＳ２１でＮｏの場合）、装着処理部４４は、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１を使用しないで、装着処理を行わせる（ステップＳ２３）。この場合、装着処理部４４は、対象部品ＯＰ１以外の部品９１について、部品９１の目標装着位置ＲＦ１を装着処理における装着予定位置に設定する。
【００９１】
装着処理部４４は、補正量算出部４２によって補正量ＣＡ１が算出されるごとに、対象部品ＯＰ１の装着処理における装着予定位置を変更することもできる。装着処理部４４は、これを定期的に繰り返すことにより、対象部品ＯＰ１の装着精度を向上させることができる。このように、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１は、後に生産する基板製品９００の装着処理に用いられる。
【００９２】
補正量算出部４２が一枚の基板９０に基づいて補正量ＣＡ１を算出する場合、当該基板９０の直後に生産する基板製品９００から、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１を適用することができる。また、本実施形態のように、対基板作業ラインＷＭＬが複数の部品装着機ＷＭ３を備える場合、基板製品９００が連続して生産される場合が多い。
【００９３】
この場合、一枚の基板９０に基づいて補正量ＣＡ１が算出される場合であっても、複数枚の基板製品９００の装着処理の後に生産する基板製品９００から、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１を適用することができる。また、複数枚の基板９０に基づいて補正量ＣＡ１が算出される場合、複数枚の基板製品９００の装着処理の後に生産する基板製品９００から、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１を適用することができる。
【００９４】
また、例えば、一枚の基板９０に装着する複数の部品９１が、目標装着位置ＲＦ１から全体的に所定方向に所定量ずれる場合がある。この場合、補正量算出部４２は、対象部品ＯＰ１について算出した補正量ＣＡ１に基づいて、対象部品ＯＰ１以外の部品９１の補正量ＣＡ１を推定することもできる。補正量算出部４２は、例えば、対象部品ＯＰ１について算出した補正量ＣＡ１の平均値を、対象部品ＯＰ１以外の部品９１についての補正量ＣＡ１とすることができる。
【００９５】
そして、装着処理部４４は、対象部品ＯＰ１の装着処理であるか否かに関わらず、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１を使用して、装着処理を行わせることができる。この場合、許可部４３は、すべての部品９１の装着処理において、補正量算出部４２によって算出された補正量ＣＡ１の使用を許容する。
【００９６】
２．補正量算出方法および部品装着方法
補正量算出装置４０について既述したことは、補正量算出方法についても同様に言える。具体的には、補正量算出方法は、部品装着機ＷＭ３と、リフロー炉ＷＭ４と、外観検査機ＷＭ５とを備える対基板作業ラインＷＭＬに適用される補正量算出方法であって、選定工程と、補正量算出工程とを備えている。選定工程は、選定部４１が行う制御に相当する。補正量算出工程は、補正量算出部４２が行う制御に相当する。また、補正量算出方法は、許可工程をさらに備えると好適である。許可工程は、許可部４３が行う制御に相当する。なお、部品装着方法は、装着処理工程を備えている。装着処理工程は、装着処理部４４が行う制御に相当する。なお、許可工程は、部品装着方法に含めることもできる。
【００９７】
３．実施形態の効果の一例
補正量算出装置４０によれば、外観検査機ＷＭ５がリフロー炉ＷＭ４の後段に設けられる対基板作業ラインＷＭＬにおいて、選定部４１と、補正量算出部４２とを備える。これにより、補正量算出装置４０は、リフロー炉ＷＭ４に搬送される前後の基板９０における部品９１の移動量が所定許容値以下である対象部品ＯＰ１を選定して、選定された対象部品ＯＰ１を装着する際の補正量を算出することができる。補正量算出装置４０について上述したことは、補正量算出方法についても同様に言える。
【符号の説明】
【００９８】
４０：補正量算出装置、４１：選定部、４２：補正量算出部、
４３：許可部、９０：基板、９１：部品、９２：はんだ、
９００：基板製品、ＯＰ１：対象部品、ＲＦ１：目標装着位置、
ＭＰ１：装着位置、ＭＡ：位置ずれ量、ＣＡ１：補正量、
ＩＤ１：基板識別情報、ＰＴ１：部品種、ＷＭ３：部品装着機、
ＷＭ４：リフロー炉、ＷＭ５：外観検査機、ＷＭＬ：対基板作業ライン。
【図１】
2020178991.tif 000003
【図２】
2020178991.tif 000004
【図３】
2020178991.tif 000005
【図４】
2020178991.tif 000006
【図５】
2020178991.tif 000007
【図６】
2020178991.tif 000008
【図７Ａ】
2020178991.tif 000009
【図７Ｂ】
2020178991.tif 000010
【図８Ａ】
2020178991.tif 000011
【図８Ｂ】
2020178991.tif 000012
【図９】
2020178991.tif 000013
【国際調査報告】
2020178991.tif 000014
2020178991.tif 000015