(57)【要約】  減圧された内部空間（８５）を有するガラスパネルユニット（９）を、排気管の跡が残存しない構造で提供する。ガラスパネルユニットの製造方法は、接合工程、挿入工程、減圧工程、及び封止工程を備える。接合工程では、排気孔（８１５）が形成された第一基板（８１）と第二基板（８２）を、枠状の接合材（８３）を介して接合させ、内部空間（８５）を形成する。挿入工程では、排気孔（８１５）にシール材（８９）を挿入する。減圧工程では、排気経路（２）を通じて内部空間（８５）を減圧する。封止工程では、内部空間（８５）を減圧状態に維持しながら、シール材（８９）を加熱して変形させ、シール材（８９）が排気孔（８１５）と内部空間（８５）の間の通気を遮断した状態で、排気経路（２）を通じて排気孔（８１５）に向けて気体を供給する。
2019230220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスパネルを含みかつ排気孔が形成された第一基板と、ガラスパネルを含む第二基板とを、枠状の接合材を介して接合させ、前記第一基板と前記第二基板の間に、前記接合材に囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
前記第一基板の前記排気孔に、シール材を挿入する挿入工程と、
前記排気孔に対して排気経路を着脱自在に接続させ、前記排気経路を通じて前記内部空間を減圧する減圧工程と、
前記内部空間を減圧状態に維持しながら、前記シール材を加熱して変形させ、変形した前記シール材によって前記排気孔を封止する封止工程と、を備え、
前記封止工程では、
加熱により軟化した前記シール材が、前記排気孔と前記内部空間の間の通気を遮断した状態で、前記排気経路を通じて前記排気孔に向けて気体を供給する
ガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項２】
前記気体は、加熱された外気である
請求項１のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項３】
前記気体は、圧縮空気である
請求項１のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項４】
前記気体の温度は、１００℃から３００℃の範囲内の温度である
請求項１から３のいずれか一項のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項５】
前記気体の温度は、２００℃から３００℃の範囲内の温度である
請求項１から３のいずれか一項のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項６】
前記気体の温度は、前記シール材の軟化点からプラスマイナス１００℃の範囲内の温度である
請求項１から３のいずれか一項のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項７】
前記気体の温度は、前記シール材の軟化点からプラスマイナス５０℃の範囲内の温度である
請求項１から３のいずれか一項のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項８】
前記減圧工程及び前記封止工程は、前記排気経路を有する排気装置と、前記排気経路に接続された封止ヘッドを用い、前記封止ヘッドを前記第一基板に装着した状態で実行され、
前記封止工程では、前記排気経路及び前記封止ヘッドを通じて、前記排気孔に向けて前記気体を供給する
請求項１から７のいずれか一項のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項９】
前記減圧工程及び前記封止工程では、前記封止ヘッドを複数用いる
請求項８のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項１０】
前記減圧工程及び前記封止工程は、前記排気経路とこれに接続されたコンプレッサーを有する排気装置と、前記排気経路に接続された封止ヘッドを用い、前記封止ヘッドを前記第一基板に装着した状態で実行され、
前記封止工程では、前記コンプレッサーから、前記排気経路及び前記封止ヘッドを通じて、前記排気孔に向けて前記圧縮気体を供給する
請求項３のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項１１】
前記減圧工程及び前記封止工程では、前記封止ヘッドを複数用いる
請求項１０のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項１２】
前記封止工程では、
加熱により軟化した前記シール材を、前記排気孔に挿入した押圧部材で押し込んで変形させ、変形した前記シール材によって、前記排気孔と前記内部空間の間の通気を遮断する
請求項１から１１のいずれか一項のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項１３】
前記封止工程では、
前記第二基板を通じて、前記シール材に対して赤外線を照射することで、前記シール材を局所的に加熱する
請求項１から１２のいずれか一項のガラスパネルユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ガラスパネルユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
互いに対向して位置する一対の基板間に形成された内部空間を減圧し、この内部空間を減圧状態のまま封止することで、断熱性のガラスパネルユニットが得られる。【０００３】
特許文献１には、一対の基板のうち一方の基板に形成された排気孔に、ガラス製の排気管を接続し、この排気管を通じて内部空間を減圧した後に、排気管を加熱溶融させて切断する技術が記載されている。【０００４】
上記の従来技術では、形成されたガラスパネルユニットの外面に、切断された排気管の跡が残存する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】日本国公開特許公報２００１−３５４４５６号
【発明の概要】
【０００６】
本開示は、減圧された内部空間を有するガラスパネルユニットを、排気管の跡が残存しない構造で提供することを、目的とする。
【０００７】
本開示の一様態に係るガラスパネルユニットの製造方法は、接合工程、挿入工程、減圧工程、及び封止工程を備える。前記接合工程は、ガラスパネルを含みかつ排気孔が形成された第一基板と、ガラスパネルを含む第二基板とを、枠状の接合材を介して接合させ、前記第一基板と前記第二基板の間に、前記接合材に囲まれた内部空間を形成する工程である。前記挿入工程は、前記第一基板の前記排気孔に、シール材を挿入する工程である。前記減圧工程は、前記排気孔に排気経路を着脱自在に接続させ、前記排気経路を通じて前記内部空間を減圧する工程である。前記封止工程は、前記内部空間を減圧状態に維持しながら、前記シール材を加熱して変形させ、変形した前記シール材によって前記排気孔を封止する工程である。前記封止工程では、加熱により軟化した前記シール材が、前記排気孔と前記内部空間の間の通気を遮断した状態で、前記排気経路を通じて前記排気孔に向けて気体を供給する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法の接合工程を示す斜視図である。
【図２】図２は、同上の接合工程を経て形成された仕掛品を示す平面図である。
【図３】図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図４は、同上の製造方法の減圧工程を示す平面図である。
【図５】図５は、図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】図６は、同上の製造方法の封止工程の一状態を示す断面図である。
【図７】図７は、同上の封止工程の次の状態を示す断面図である。
【図８】図８は、同上の製造方法で用いる排気装置を示す概略図である。
【図９】図９は、同上の製造方法で得られるガラスパネルユニットを示す斜視図である。
【図１０】図１０は、同上の製造方法の変形例１で用いる排気装置を示す概略図である。
【図１１】図１１は、同上の製造方法の変形例２で用いる排気装置を示す概略図である。
【図１２】図１２は、同上の製造方法の変形例３で用いる排気装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（一実施形態）
添付図面に基づいて、一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法（以下、単に「一実施形態の製造方法」という。）について説明する。
【００１０】
一実施形態の製造方法は、ガラスパネルユニット９を製造する方法であって、接合工程、挿入工程、減圧工程、及び封止工程を備える。
【００１１】
一実施形態の製造方法では、接合工程を経ることで、まず仕掛品８を形成する。仕掛品８は、ガラスパネルユニット９を製造する途中の物品である。接合工程の後に行われる挿入工程において、仕掛品８が有する排気孔８１５にシール材８９を挿入する。挿入工程の後に行われる減圧工程と封止工程において、図８に示す排気装置１と封止ヘッド７を用いて、内部空間８５の減圧と封止を行うことで、高い断熱性を有するガラスパネルユニット９が製造される。以下、各工程について詳細に説明する。
【００１２】
まず、接合工程について説明する。図１等に示すように、接合工程では、第一基板８１、第二基板８２、接合材８３、複数のピラー８４、及び堰８７をそれぞれ所定箇所に配置する。具体的には、第二基板８２の一面（言い換えれば第二基板８２の上面）に、接合材８３、堰８７、及び複数のピラー８４を配置する。第二基板８２の上方に、第一基板８１が対向して位置する。
【００１３】
第一基板８１は、透光性を有するガラスパネル８１０を含む。第二基板８２は、透光性を有するガラスパネル８２０を含む。以下においては、第一基板８１に含まれるガラスパネル８１０を、第一ガラスパネル８１０と称し、第二基板８２に含まれるガラスパネル８２０を、第二ガラスパネル８２０と称する。
【００１４】
第一ガラスパネル８１０と第二ガラスパネル８２０を形成する材料は、例えばソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラス等であるが、特に限定されない。
【００１５】
図３に示すように、第一ガラスパネル８１０の一面（言い換えれば第一ガラスパネル８１０の下面）には、低放射膜８１２が接合されている。第一基板８１のうち第二基板８２に対向する面の大部分は、低放射膜８１２の表面で構成されている。低放射膜８１２は、銀等の低放射性を有する金属を含有する膜であり、放射による伝熱を抑制する機能を有する。第二基板８２のうち第一基板８１に対向する面は、第二ガラスパネル８２０の表面で構成されている。
【００１６】
第一基板８１において低放射膜８１２は必須でなく、第一基板８１が低放射膜８１２を含まないことも有り得る。第一基板８１が、低放射膜８１２の代わりに、低放射膜８１２とは異なる機能の膜を含むことも有り得る。同様に、第二基板８２が低放射膜を含むことも有り得るし、低放射膜とは異なる機能の膜を含むことも有り得る。
【００１７】
第一基板８１には、排気孔８１５が形成されている。排気孔８１５は、第一基板８１をその厚み方向に貫通する孔である。排気孔８１５は、第一ガラスパネル８１０をその厚み方向に貫通している。
【００１８】
接合材８３は、ディスペンサー等の塗布装置を用いて、第二基板８２（すなわち第二ガラスパネル８２０）に配される。図１に示すように、接合材８３は、第二基板８２の一面（言い換えれば第二基板８２の上面）の外周縁に沿って、枠状に配される。
【００１９】
堰８７は、同じくディスペンサー等の塗布装置を用いて、第二基板８２（すなわち第二ガラスパネル８２０）に配される。堰８７は、シール材８９の変形範囲を規制するための部分である。
【００２０】
堰８７は、第二基板８２の一面（言い換えれば第二基板８２の上面）の所定箇所に配される。接合材８３の材料と、堰８７の材料は、同一の材料（例えばガラスフリット）であることが好ましいが、互いに異なる材料でもよい。堰８７の形状は、切欠き８７５を有する環状の形状であり、より具体的にはＣ字状の形状であるが、堰８７の形状はこれに限定されない。
【００２１】
複数のピラー８４は、第二基板８２の一面のうちの接合材８３に囲まれる領域に、規則的に分散配置される。複数のピラー８４の寸法形状、数、及び配置は特に限定されない。複数のピラー８４は樹脂製であることが好ましいが、これに限定されず、例えば金属製であってもよい。
【００２２】
接合工程では、上記のように対向配置した第一基板８１と第二基板８２を、接合材８３を介して気密に接合させる。
【００２３】
具体的には、接合材８３と堰８７と複数のピラー８４を挟み込んだ状態の第一基板８１と第二基板８２を、熱風循環炉等の接合炉内で加熱し、接合材８３を加熱によりいったん軟化させた後に、温度低下に伴って硬化させる。
【００２４】
接合工程を経ることで、第一基板８１と第二基板８２の間に、内部空間８５が形成される（図３等参照）。内部空間８５は、第一基板８１と第二基板８２と接合材８３で囲まれた空間であり、排気孔８１５のみを通じて外部空間に連通する。
【００２５】
図２に示すように、第一基板８１と第二基板８２が対向する方向に見たとき、第一基板８１の排気孔８１５は、堰８７に囲まれて位置する。一実施形態の製造方法では、堰８７に一つの切欠き８７５を形成しているが、堰８７に複数の切欠き８７５を形成してもよい。
【００２６】
次に、挿入工程について説明する。挿入工程は、減圧工程と封止工程を行う前段階で、仕掛品８の排気孔８１５に、シール材８９とプレート８８をこの順で挿入しておく工程である。シール材８９は、例えばガラスフリットを用いて形成された固形のシール材である。プレート８８は、例えば金属を用いて形成された円板状のプレートである。
【００２７】
シール材８９とプレート８８は共に、排気孔８１５よりも小さな外形を有する。排気孔８１５に挿入されたプレート８８と、第二基板８２との間に、シール材８９が挟み込まれる。
【００２８】
次に、減圧工程について説明する。減圧工程は、排気装置１とこれに接続された封止ヘッド７を用いて、実行される。封止ヘッド７は、仕掛品８のコーナー部分８ａに、着脱自在に装着される。
【００２９】
図５等に示すように、封止ヘッド７は、排気用の筒部７５と、筒部７５を支持する第一フレーム７１と、加熱器７９と、加熱器７９を支持する第二フレーム７２と、ばね機構７３を備える。ばね機構７３は、第一フレーム７１と第二フレーム７２に対して、互いに近づく方向に付勢力を与えるように構成されている。第一フレーム７１と第二フレーム７２は、第一基板８１と第二基板８２が対向する方向において、相対的に変位することができるように連結されている。
【００３０】
ばね機構７３が与える付勢力によって、第一フレーム７１は、第一基板８１に対して上方から押し付けられ、第二フレーム７２は、第二基板８２に対して下方から押し付けられる。
【００３１】
筒部７５の内部には、排気空間７５２が形成されている。筒部７５の下面（言い換えれば、筒部７５のうち第一基板８１に対向する面）には、排気空間７５２に連通する開口７５４が形成されている。
【００３２】
図８に模式的に示すように、封止ヘッド７の筒部７５は、排気経路２を通じて真空ポンプ３に接続されている。減圧工程で用いる排気装置１は、封止ヘッド７に接続された排気経路２と、排気経路２に接続された真空ポンプ３と、排気経路２に接続された圧力計４と、排気経路２に接続された気体導入路５を備える。排気経路２には開閉弁２５が設けられ、気体導入路５には開閉弁５５が設けられている。
【００３３】
封止ヘッド７を仕掛品８に装着し、排気装置１を駆動する（つまり真空ポンプ３を駆動する）ことで、仕掛品８の排気孔８１５、封止ヘッド７、及び排気経路２を通じて、内部空間８５の空気が排気される。封止ヘッド７を仕掛品８に装着した状態は、言い換えれば、封止ヘッド７を第一基板８１に装着した状態である。
【００３４】
封止ヘッド７の排気空間７５２には、押圧部材７６が配されている。押圧部材７６は、板状の基部７６１と、基部７６１の一部から下方に突出する円柱状の押圧ピン７６５を、一体に有する。押圧部材７６は、排気空間７５２において、上下に（つまり第二基板８２に対して近接離間するように）移動自在である。
【００３５】
排気空間７５２には、押圧部材７６に付勢力を与えるばね材７４が、更に配されている。ばね材７４は、押圧部材７６の基部７６１に押し当たることで、押圧部材７６に対して下方への付勢力を与えている。ばね材７４が押圧部材７６に与える付勢力は、開口７５４を通じて押圧ピン７６５を下方に（つまり第二基板８２に近づく方向に）押し出す付勢力である。
【００３６】
筒部７５の下面のうち開口７５４を囲む部分には、弾性を有するＯリング７７が配されている。
【００３７】
第二フレーム７２に支持される加熱器７９は、局所加熱用の赤外線を照射する赤外線照射器である。加熱器７９は、排気孔８１５に挿入してある熱溶融性のシール材８９に対して、透光性を有する第二基板８２を通じて（つまり第二ガラスパネル８２０を通じて）外部から赤外線を照射し、シール材８９を局所的に加熱するように構成されている。
【００３８】
加熱器７９は、赤外線を放出することのできる熱源部７９１と、熱源部７９１から放出された赤外線を狙いの箇所に集光させる集光部７９２を備える。熱源部７９１は、近赤外線を放出するハロゲンランプであることが好ましいが、これに限定されない。
【００３９】
上記の構造を備える封止ヘッド７を用いて、以下のようにして減圧工程が行われる。
【００４０】
減圧工程を行うにあたり、仕掛品８は、第一基板８１が第二基板８２の上方に位置する姿勢を保つようにセットされる。仕掛品８がセットされた状態において、排気孔８１５は、上方に向けて開口する。
【００４１】
図５に示すように、仕掛品８のコーナー部分８ａに封止ヘッド７を装着した状態で、筒部７５の開口７５４を通じて下方に突出した押圧ピン７６５の先端部は、ばね材７４から与えられる付勢力を伴って、プレート８８の上面に押し当たる。シール材８９とプレート８８は、第二基板８２と押圧部材７６の間で、ばね材７４から与えられる付勢力を伴って上下に挟み込まれる。
【００４２】
封止ヘッド７のＯリング７７は、第一基板８１の上面のうち、排気孔８１５を全周に亘って囲む部分に、気密に押し当たる。
【００４３】
この状態で、図８に示す排気装置１の開閉弁２５を開いて真空ポンプ３を駆動させると、封止ヘッド７の排気空間７５２の空気が排出されてゆき（図５中の白抜き矢印参照）、仕掛品８の内部空間８５が、例えば０．１Ｐａ以下の真空度に至るまで減圧される。
【００４４】
次に、封止工程について説明する。封止工程では、第二フレーム７２に支持された加熱器７９を用いて、内部空間８５の減圧状態を維持しながら、排気孔８１５を封止する。
【００４５】
加熱器７９は、内部空間８５が減圧状態で維持されているときに、排気孔８１５に挿入されているシール材８９を、非接触でかつ局所的に加熱する（図６参照）。
【００４６】
局所加熱されたシール材８９は、所定の軟化点に到達すると軟化を開始する。軟化したシール材８９は、ばね材７４が押圧部材７６とプレート８８を介してシール材８９に及ぼす付勢力によって、第二基板８２に向けて押し込まれ、内部空間８５において変形する。このときシール材８９は、第一基板８１と第二基板８２が対向する方向と直交する方向に向けて、押し拡げられる。
【００４７】
封止工程においては、軟化したシール材８９（言い換えると流動性を増した状態のシール材８９）が、排気孔８１５と内部空間８５の間の通気を遮断した段階で、排気装置１の真空引きを停止させ（つまり真空ポンプ３を停止させ）、気体導入路５の開閉弁５５を開く。これにより、気体導入路５を通じて排気経路２内に外気が導入される。排気経路２に導入された外気は、排気経路２とこれに連通する筒部７５の排気空間７５２を通じて、排気孔８１５に向けて供給される（図７中の白抜き矢印参照）。
【００４８】
ここで供給された外気の圧力は、軟化したシール材８９を第二基板８２に向けて更に押し込むように作用する。これにより、シール材８９をバランス良く押し拡げることができる。つまり、一実施形態の製造方法の封止工程では、まず押圧ピン７６５の圧力によってシール材８９を押し拡げ、次いで、押圧ピン７６５の圧力に加えて外気の圧力を加えることによって、シール材８９をバランス良く押し拡げる。
【００４９】
また、シール材８９の内部には、軟化（溶解）の際に微細な泡が発生することがあるが、軟化したシール材８９に対して外気の圧力を加えることで、これらの泡を潰しておくことができる。
【００５０】
気体導入路５を通じて供給する外気は、加熱された乾燥空気であることが好ましい。供給する外気の温度は、一般的な室温から、３００℃の範囲内の温度であることが好ましい。一実施形態の製造方法の封止工程で、気体導入路５を通じて供給する外気の温度は、例えば１００℃から３００℃の範囲内の温度であり、より好ましくは２００℃から３００℃の範囲内の温度である。
【００５１】
気体導入路５を通じて供給する外気の温度が、シール材８９の温度に近いほど、シール材８９が急激に温度変化することにより破損等を生じて排気孔８１５の封止に影響が及ぶことが、抑えられる。気体導入路５を通じて供給する外気の温度は、シール材８９の軟化点を基準として、該軟化点からプラスマイナス１００℃の範囲内の温度であることが好ましく、該軟化点からプラスマイナス５０℃の範囲内の温度であることが更に好ましい。
【００５２】
一実施形態の製造方法では、排気経路２に外気を供給するときにはシール材８９の加熱を停止しているが、シール材８９の加熱を継続しながら外気を導入することも可能である。
【００５３】
また、一実施形態の製造方法の挿入工程では、排気孔８１５にプレート８８を挿入しているが、プレート８８は必須ではない。排気孔８１５にプレート８８を挿入せず、押圧ピン７６５の先端をシール材８９に直接押し当てることも可能である。この場合、押圧ピン７６５の位置がずれると、シール材８９をバランスよく押し拡げることが難しくなるが、最終的には外気の圧力でシール材８９をバランスよく押し拡げることができる。
【００５４】
また、一実施形態の製造方法では、シール材８９の変形範囲を規制するための堰８７を内部空間８５に設けているが、堰８７は必須ではない。内部空間８５に堰８７を設けることなく、シール材８９を内部空間８５で変形させ、変形後のシール材８９で排気孔８１５を封止することも可能である。
【００５５】
以上、一実施形態の製造方法について説明した。この製造方法によれば、排気装置１と封止ヘッド７を用いて行うシンプルな作業で、仕掛品８の内部空間８５を減圧し、かつ減圧に用いた排気孔８１５を、シール材８９によって高い信頼性で封止することができる。製造されたガラスパネルユニット９には、従来技術においては残存していたような排気管の跡が残存しない。
【００５６】
次に、一実施形態の製造方法の各種の変形例について説明する。変形例の説明において、上記した構成と同様の構成については、同一符号を付して詳しい説明を省略する。以下においては、上記した構成とは異なる構成について説明する。
【００５７】
（変形例１）
図１０には、一実施形態の製造方法の変形例１において用いる排気装置１を、模式的に示している。変形例１において用いる排気装置１は、気体導入路５を介して排気経路２に接続されたコンプレッサー６と、気体導入路５の流路中に設けられた圧力調整用のレギュレータ５７を、更に備えている。
【００５８】
つまり、変形例１において用いる排気装置１では、圧縮空気を供給するコンプレッサー６と排気経路２の間に気体導入路５が介在し、気体導入路５の流路中に、開閉弁５５とレギュレータ５７が設けられている。
【００５９】
変形例１の封止工程では、加熱により軟化したシール材８９が、排気孔８１５と内部空間８５の間の通気を遮断した段階で、排気装置１の真空引きを停止させ（つまり真空ポンプ３を停止させ）、気体導入路５の開閉弁５５を開き、コンプレッサー６を運転させる。コンプレッサー６から気体導入路５に送り出された圧縮空気は、レギュレータ５７を経て圧力調整されたうえで排気経路２に供給され、封止ヘッド７の排気空間７５２を通じて、排気孔８１５に向けて供給される。
【００６０】
コンプレッサー６から供給する圧縮空気の温度は、一般的な室温よりも高温であることが好ましく、また、３００℃以下であることが好ましい。コンプレッサー６から供給する圧縮空気の温度は、例えば１００℃から３００℃の範囲内の温度であり、より好ましくは２００℃から３００℃の範囲内の温度である。コンプレッサー６から供給する圧縮空気の温度が、シール材８９の温度に近いほど、シール材８９が急激に温度変化することにより破損等を生じて排気孔８１５の封止に影響を及ぼすことが、抑えられる。供給する圧縮空気の温度は、シール材８９の軟化点を基準として、該軟化点からプラスマイナス１００℃の範囲内の温度であることが好ましく、該軟化点からプラスマイナス５０℃の範囲内の温度であることが更に好ましい。
【００６１】
コンプレッサー６から排気経路２に圧縮空気を供給するときには、シール材８９の加熱を停止しているが、シール材８９の加熱を継続しながら圧縮空気を供給することも可能である。
【００６２】
また、排気孔８１５にプレート８８を挿入せず、押圧ピン７６５の先端をシール材８９に直接押し当てることも可能である。この場合、押圧ピン７６５の位置がずれると、シール材８９をバランスよく押し拡げることが難しくなるが、最終的には圧縮空気の圧力でシール材８９をバランスよく押し拡げることができる。
【００６３】
（変形例２）
図１１には、変形例２において用いる排気装置１を、模式的に示している。変形例２においては、封止ヘッド７が複数設けられている。変形例２において用いる排気装置１は、複数の封止ヘッド７に接続された排気経路２と、排気経路２に接続された真空ポンプ３と、排気経路２に接続された圧力計４と、排気経路２に接続された気体導入路５を備える。
【００６４】
排気経路２は、マニホールド２１と、複数の封止ヘッド７に一対一で接続された複数の管路２３を含む。複数の管路２３は、それぞれマニホールド２１に接続されている。複数の管路２３の各々に、開閉弁２５が設けられている。真空ポンプ３と圧力計４と気体導入路５は、マニホールド２１に接続されている。
【００６５】
変形例２の減圧工程では、複数の封止ヘッド７を、複数の仕掛品８に対して一対一で装着し、この状態で真空ポンプ３を駆動させることで、排気装置１の真空引きを行い、複数の仕掛品８の内部空間８５を同時に減圧することができる。
【００６６】
変形例２の封止工程では、複数の仕掛品８の各々においてシール材８９を加熱し、軟化したシール材８９で内部空間８５を塞いだ状態で、排気装置１の真空引きを停止させ（つまり真空ポンプ３を停止させ）、開閉弁５５を開いて排気経路２に外気を導入する。排気経路２に導入された外気は、複数の管路２３と複数の封止ヘッド７を通じて、複数の仕掛品８の排気孔８１５に向けて供給される。
【００６７】
変形例２によれば、複数の仕掛品８に対する減圧工程と封止工程を一括的に行い、複数のガラスパネルユニット９を並行して製造することができる。
【００６８】
（変形例３）
図１２には、変形例３において用いる排気装置１を、模式的に示している。変形例３において用いる排気装置１の構成は、変形例１と変形例２を組み合わせた構成である。
【００６９】
つまり、変形例３においては、変形例２と同様に封止ヘッド７が複数設けられている。変形例３の排気装置１は、複数の封止ヘッド７に接続された排気経路２と、排気経路２に接続された真空ポンプ３と、排気経路２に接続された圧力計４と、排気経路２に接続された気体導入路５を備えている。更に、変形例３において用いる排気装置１は、気体導入路５に接続されたコンプレッサー６と、気体導入路５の流路中に設けられた圧力調整用のレギュレータ５７を備えている。
【００７０】
排気経路２は、マニホールド２１と、複数の封止ヘッド７に一対一で接続された複数の管路２３を含む。複数の管路２３は、それぞれマニホールド２１に接続されている。複数の管路２３の各々に、開閉弁２５が設けられている。真空ポンプ３と圧力計４と気体導入路５は、マニホールド２１に接続されている。
【００７１】
変形例３の減圧工程では、複数の封止ヘッド７を、複数の仕掛品８に対して一対一で装着し、この状態で真空ポンプ３を駆動させることで、複数の仕掛品８の内部空間８５を同時に減圧することができる。
【００７２】
変形例３の封止工程では、複数の仕掛品８の各々においてシール材８９を加熱し、軟化したシール材８９で内部空間８５を塞いだ状態で、排気装置１の真空ポンプ３を停止させ、気体導入路５の開閉弁５５を開き、コンプレッサー６を運転させる。コンプレッサー６から気体導入路５に送り出された圧縮空気は、レギュレータ５７を経て圧力調整されたうえで排気経路２に供給され、複数の管路２３と複数の封止ヘッド７を通じて、複数の仕掛品８の排気孔８１５に向けて供給される。
【００７３】
変形例３によれば、複数の仕掛品８に対する減圧工程と封止工程を一括的に行い、複数のガラスパネルユニット９を並行して製造することができる。
【００７４】
（態様）
一実施形態及びこれの各種変形例の記載から明らかなように、第１の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、接合工程、挿入工程、減圧工程、及び封止工程を備える。接合工程では、ガラスパネル（８１０）を含みかつ排気孔（８１５）が形成された第一基板（８１）と、ガラスパネル（８２０）を含む第二基板（８２）とを、枠状の接合材（８３）を介して接合させる。これにより、第一基板（８１）と第二基板（８２）の間に、接合材（８３）に囲まれた内部空間（８５）を形成する。挿入工程では、第一基板（８１）の排気孔（８１５）に、シール材（８９）を挿入する。減圧工程では、排気孔（８１５）に対して排気経路（２）を着脱自在に接続させ、排気経路（２）を通じて内部空間（８５）を減圧する。封止工程では、内部空間（８５）を減圧状態に維持しながら、シール材（８９）を加熱して変形させ、変形したシール材（８９）によって排気孔（８１５）を封止する。封止工程では、加熱により軟化したシール材（８９）が、排気孔（８１５）と内部空間（８５）の間の通気を遮断した状態で、排気経路（２）を通じて排気孔（８１５）に向けて気体を供給する。
【００７５】
第１の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、封止工程において供給した気体が、シール材（８９）に対して、第二基板（８２）に向けて押し込む圧力を与える。これにより、シール材（８９）をバランス良く押し拡げることができる。加えて、シール材８９の軟化の際に発生した微細な泡を、気体の圧力で潰しておくことができる。したがって、第１の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、内部空間（８５）の減圧に用いた排気孔（８１５）を、内部空間（８５）の減圧状態を維持しながら、シール材（８９）によって高い信頼性で封止することができる。製造されたガラスパネルユニット（９）には、従来技術のような排気管の跡が残存しない。
【００７６】
第２の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１の態様との組み合わせにより実現される。第２の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、排気経路（２）を通じて排気孔（８１５）に向けて供給する気体は、加熱された外気である。
【００７７】
第２の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、ガラスパネルユニット（９）の仕掛品（８）の一部が、供給する気体の影響で急激に温度低下し、破損等を招くことが抑えられる。
【００７８】
第３の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１の態様との組み合わせにより実現される。第３の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、排気経路（２）を通じて排気孔（８１５）に向けて供給する気体は、圧縮空気である。
【００７９】
第３の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、シール材（８９）を、圧縮空気によってバランス良く押し拡げることができる。加えて、シール材８９の軟化の際に発生した微細な泡を、圧縮空気の圧力で潰しておくことができる。
【００８０】
第４の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１から第３のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第４の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、気体の温度は、１００℃から３００℃の範囲内の温度である。
【００８１】
第４の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、ガラスパネルユニット（９）の仕掛品（８）の一部が、供給する気体の影響で急激に温度変化し、破損等を招くことが抑えられる。
【００８２】
第５の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１から第３のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第５の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、気体の温度は、２００℃から３００℃の範囲内の温度である。
【００８３】
第５の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、ガラスパネルユニット（９）の仕掛品（８）の一部が、供給する気体の影響で急激に温度変化し、破損等を招くことが抑えられる。
【００８４】
第６の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１から第３のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第６の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、気体の温度は、シール材（８９）の軟化点からプラスマイナス１００℃の範囲内の温度である。
【００８５】
第６の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、シール材（８９）が急激に温度変化することで破損等を生じて排気孔（８１５）の封止に影響を及ぼすことが、抑えられる。
【００８６】
第７の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１から第３のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第７の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、気体の温度は、シール材（８９）の軟化点からプラスマイナス５０℃の範囲内の温度である。
【００８７】
第７の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、シール材（８９）が急激に温度変化することで破損等を生じて排気孔（８１５）の封止に影響を及ぼすことが、抑えられる。
【００８８】
第８の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１から第７のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第８の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、減圧工程及び封止工程は、排気経路（２）を有する排気装置（１）と、排気経路（２）に接続された封止ヘッド（７）を用い、封止ヘッド（７）を第一基板（８１）に装着した状態で実行される。封止工程では、排気経路（２）及び封止ヘッド（７）を通じて、排気孔（８１５）に向けて気体を供給する。
【００８９】
第８の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、排気装置（１）と封止ヘッド（７）を用いたシンプルな作業で、内部空間（８５）の減圧に用いた排気孔（８１５）を、内部空間（８５）の減圧状態を維持しながら、シール材（８９）によって高い信頼性で封止することができる。
【００９０】
第９の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第８の態様との組み合わせにより実現される。第９の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、減圧工程及び封止工程では、封止ヘッド（７）を複数用いる。
【００９１】
第９の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、複数の封止ヘッド（７）を用いて、複数のガラスパネルユニット（９）を並行して製造することができる。
【００９２】
第１０の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第３の態様との組み合わせにより実現される。第１０の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、減圧工程及び封止工程は、排気経路（２）とこれに接続されたコンプレッサー（６）を有する排気装置（１）と、排気経路（２）に接続された封止ヘッド（７）を用い、封止ヘッド（７）を第一基板（８１）に装着した状態で実行される。封止工程では、コンプレッサー（６）から、排気経路（２）及び封止ヘッド（７）を通じて、排気孔（８１５）に向けて圧縮気体を供給する。
【００９３】
第１０の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、排気装置（１）と封止ヘッド（７）を用いたシンプルな作業で、内部空間（８５）の減圧に用いた排気孔（８１５）を、内部空間（８５）の減圧状態を維持しながら、シール材（８９）によって高い信頼性で封止することができる。
【００９４】
第１１の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１０の態様との組み合わせにより実現される。第１１の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、減圧工程及び封止工程では、封止ヘッド（７）を複数用いる。
【００９５】
第１１の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、複数の封止ヘッド（７）を用いて、複数のガラスパネルユニット（９）を並行して製造することができる。
【００９６】
第１２の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１から第１１のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第１２の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、封止工程では、加熱により軟化したシール材（８９）を、排気孔（８１５）に挿入した押圧部材（７６）で押し込んで変形させる。変形したシール材（８９）によって、排気孔（８１５）と内部空間（８５）の間の通気を遮断する。
【００９７】
第１２の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、まず押圧部材（７６）によってシール材（８９）を押し拡げ、次いで、シール材（８９）に対して更に気体の圧力を加えることで、シール材（８９）をバランス良く押し拡げることができる。
【００９８】
第１３の態様のガラスパネルユニットの製造方法は、第１から第１２のいずれか一つの態様との組み合わせにより実現される。第１３の態様のガラスパネルユニットの製造方法において、封止工程では、第二基板（８２）を通じて、シール材（８９）に対して赤外線を照射することで、シール材（８９）を局所的に加熱する。
【００９９】
第１３の態様のガラスパネルユニットの製造方法によれば、内部空間（８５）を減圧状態で維持しながら、シール材（８９）を効率的に局所加熱することができる。
【符号の説明】
【０１００】
２  排気経路
７６  押圧部材
８１  第一基板
８１０  ガラスパネル
８１５  排気孔
８２  第二基板
８２０  ガラスパネル
８３  接合材
８５  内部空間
８９  シール材
９  ガラスパネルユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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