(57)【要約】  実施形態によれば、センサは、第１、第２構造体及び検出部を含む。前記第１構造体は、支持部及び第１、第２変形可能部を含む。前記第１変形可能部は、前記支持部に支持される。前記第２変形可能部は、前記支持部に支持され前記第１変形可能部に沿う。前記第２変形可能部は、前記第１変形可能部の長さよりも短い長さ、前記第１変形可能部の幅よりも広い幅、前記第１変形可能部の厚さよりも厚い厚さ、前記第１変形可能部のヤング率よりも高いヤング率、第１変形可能部のバネ定数よりも大きいバネ定数の少なくともいずれかを有する。前記第２構造体は、前記第１構造体と接続される。前記第１構造体と前記第２構造体との間に液体が設けられる。前記検出部は、前記第１変形可能部及び前記第２変形可能部の少なくともいずれかの変形に応じた信号を出力する。
2020100192.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部と、
前記支持部に支持された第１変形可能部と、
前記支持部に支持された第２変形可能部であって、前記第２変形可能部は、前記第１変形可能部の第１長さよりも短い第２長さ、前記第１変形可能部の第１幅よりも広い第２幅、前記第１変形可能部の第１厚さよりも厚い第２厚さ、前記第１変形可能部の第１ヤング率よりも高い第２ヤング率、及び、前記第１変形可能部の第１バネ定数よりも大きい第２バネ定数の少なくともいずれかを有する、前記第２変形可能部と、
を含む第１構造体と、
前記第１構造体と接続された第２構造体であって、前記第１構造体と前記第２構造体との間に液体が設けられる、前記第２構造体と、
前記第１変形可能部及び前記第２変形可能部の少なくともいずれかの変形に応じた信号を出力する検出部と、
を備えたセンサ。
【請求項２】
前記第１長さは、第１方向に沿う前記第１変形可能部の長さであり、
前記第２長さは、前記第１方向に沿う前記第２変形可能部の長さであり、
前記第１変形可能部から前記第２変形可能部への第２方向は、前記第１方向と交差し、
前記第１幅は、前記第２方向に沿う前記第１変形可能部の長さであり、
前記第２幅は、前記第２方向に沿う前記第２変形可能部の長さであり、
第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記第１厚さは、前記第３方向に沿う前記第１変形可能部の長さであり、
前記第２厚さは、前記第３方向に沿う前記第２変形可能部の長さである、請求項１記載のセンサ。
【請求項３】
前記第１変形可能部は、前記第１方向に沿う２つの第１側部を含み、
前記２つの第１側部は、前記支持部から離れ、前記第２変形可能部から離れ、
前記第２変形可能部は、前記第１方向に沿う２つの第２側部を含み、
前記２つの第２側部は、前記支持部から離れ、前記第１変形可能部から離れた、請求項２記載のセンサ。
【請求項４】
前記第１構造体は、前記第１変形可能部と前記第２変形可能部との間に設けられたスリット、及び、前記第２変形可能部と前記支持部との間に設けられたスリットを含む、請求項１記載のセンサ。
【請求項５】
前記第１変形可能部の第１端部は、前記支持部に支持され、
前記第１変形可能部の第１他端部は、前記支持部に支持され、
前記第２変形可能部の第２端部は、前記支持部に支持され、
前記第２変形可能部の第２他端部は、前記支持部に支持された、前記請求項２記載のセンサ。
【請求項６】
前記第１他端部から前記第１端部への方向は、前記第１方向に沿う、請求項５記載のセンサ。
【請求項７】
前記第１構造体は、前記支持部に支持され前記第１変形可能部に沿う第２カウンター変形可能部をさらに含み、
前記第２変形可能部と前記第２カウンター変形可能部との間に、前記第１変形可能部の少なくとも一部が設けられ、
前記第２カウンター変形可能部は、前記第１長さよりも短い第２カウンター長さ、前記第１幅よりも広い第２カウンター幅、及び、前記第１厚さよりも厚い第２カウンター厚さ、前記第１ヤング率よりも高い第２カウンターヤング率、前記第１バネ定数よりも大きい第２カウンンターバネ定数の少なくともいずれかを有し、前記第２カウンター長さは、前記第２カウンター幅よりも大きく前記第２カウンター厚さよりも大きい、請求項１記載のセンサ。
【請求項８】
前記第１構造体は、前記支持部に支持された第Ｎ変形可能部をさらに含み、
前記Ｎは、３以上の整数であり、
前記第１変形可能部と前記第Ｎ変形可能部との間に第（Ｎ−１）変形可能部があり、
前記第Ｎ変形可能部は、前記第（Ｎ−１）変形可能部に沿い、
前記第（Ｎ−１）変形可能部は、第（Ｎ−１）長さ、第（Ｎ−１）幅及び第（Ｎ−１）厚さを有し、前記第（Ｎ−１）長さは、前記第（Ｎ−１）幅よりも大きく前記第（Ｎ−１）厚さよりも大きく、
前記第Ｎ変形可能部は、前記第（Ｎ−１）長さよりも短い第Ｎ長さ、前記第（Ｎ−１）幅よりも広い第Ｎ幅、及び、前記第（Ｎ−１）厚さよりも厚い第Ｎ厚さの少なくともいずれかを有し、前記第Ｎ長さは、前記第Ｎ幅よりも大きく前記第Ｎ厚さよりも大きい、請求項１記載のセンサ。
【請求項９】
前記第１構造体は、前記支持部に支持された第Ｎカウンター変形可能部をさらに含み、
前記第Ｎ変形可能部と前記第Ｎカウンター変形可能部との間に前記第１変形可能部があり、
前記第１変形可能部と前記第Ｎカウンター変形可能部との間に第（Ｎ−１）カウンター変形可能部があり、
前記第Ｎカウンター変形可能部は、前記第（Ｎ−１）カウンター変形可能部に沿い、
前記第（Ｎ−１）カウンター変形可能部は、第（Ｎ−１）カウンター長さ、第（Ｎ−１）カウンター幅及び第（Ｎ−１）カウンター厚さを有し、前記第（Ｎ−１）カウンター長さは、前記第（Ｎ−１）カウンター幅よりも大きく前記第（Ｎ−１）カウンター厚さよりも大きく、
前記第Ｎカウンター変形可能部は、前記第（Ｎ−１）カウンター長さよりも短い第Ｎカウンター長さ、前記第（Ｎ−１）カウンター幅よりも広い第Ｎカウンター幅、及び、前記第（Ｎ−１）カウンター厚さよりも厚い第Ｎカウンター厚さの少なくともいずれかを有し、前記第Ｎカウンター長さは、前記第Ｎカウンター幅よりも大きく前記第Ｎカウンター厚さよりも大きい、請求項８記載のセンサ。
【請求項１０】
前記第１〜第Ｎ変形可能部と前記支持部との境界、及び、前記第２〜前記第Ｎカウンター変形可能部と前記支持部との境界で形成される形状は、略円状である、請求項９記載のセンサ。
【請求項１１】
前記変形は、前記第２構造体に加わる音波に応じる、請求項１記載のセンサ。
【請求項１２】
前記第１長さは、前記第１幅の２倍以上１００倍以下である、請求項１記載のセンサ。
【請求項１３】
前記第１長さは、前記第１厚さの１００倍以上３０００倍以下である、請求項１記載のセンサ。
【請求項１４】
前記第１変形可能部は、第１面と第２面とを含み、
前記第１面は、前記第２面と前記液体との間にあり、
前記第２面の前記液体に対する接触角は、前記第１面の前記液体に対する接触角よりも大きい、請求項１記載のセンサ。
【請求項１５】
前記第１変形可能部は、第１層と第２層とを含み、
前記第１層は、前記第２層と前記液体との間にあり、
前記第１層はフッ素を含まず前記第２層はフッ素を含む、または、前記第１層に含まれるフッ素の濃度は前記第２層に含まれるフッ素の濃度よりも低い、請求項１記載のセンサ。
【請求項１６】
前記第２変形可能部は、第３面と第４面とを含み、
前記第３面は、前記第４面と前記液体との間にあり、
前記第４面の前記液体に対する接触角は、前記第３面の前記液体に対する接触角よりも大きい、請求項１４記載のセンサ。
【請求項１７】
支持部と、
前記支持部に支持された第１変形可能部と、
を含む第１構造体と、
前記第１構造体と接続された第２構造体であって、前記第１構造体と前記第２構造体との間に液体が設けられる、前記第２構造体と、
を備え、
前記第１変形可能部は、第１面と第２面とを含み、
前記第１面は、前記第２面と前記液体との間にあり、
前記第２面の前記液体に対する接触角は、前記第１面の前記液体に対する接触角よりも大きい、センサ。
【請求項１８】
前記第１変形可能部は、第１層と第２層とを含み、
前記第１層は、前記第２層と前記液体との間にあり、
前記第１層はフッ素を含まず前記第２層はフッ素を含む、または、前記第１層に含まれるフッ素の濃度は前記第２層に含まれるフッ素の濃度よりも低い、請求項１７記載のセンサ。
【請求項１９】
支持部と、
前記支持部に支持された第１変形可能部と、
前記支持部に支持され前記第１変形可能部に沿う第２変形可能部と、
を含む第１構造体と、
前記第１構造体と接続された第２構造体であって、前記第１構造体と前記第２構造体との間に液体が設けられる、前記第２構造体と、
前記第１変形可能部及び前記第２変形可能部の少なくともいずれかの変形に応じた信号を出力する検出部と、
を備え、
前記第１変形可能部は、前記第２変形可能部と対向し第１凹凸を含む第１側面を含み、
前記第２変形可能部は、前記第１変形可能部と対向し前記第１凹凸に沿う第２凹凸を含む第２側面を含む、センサ。
【請求項２０】
前記検出部は、
前記第１変形可能部の一部に接続された第１電極と、
前記第１変形可能部の別の一部に接続された第２電極と、
を含む、請求項１記載のセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
音響帯域及び超音波帯域の振動を検出するセンサとして、例えば、ＡＥ（Acoustic Emission）センサがある。ＡＥは、例えば、き裂の発生や進展により生じる超音波帯の弾性波である。ＡＥセンサは、例えば、疲労・劣化診断や、非破壊検査などに用いられる。センサにおいて、特性の安定化が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第６０２１１１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、特性を安定にできるセンサを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、センサは、第１構造体、第２構造体及び検出部を含む。前記第１構造体は、支持部、第１変形可能部及び第２変形可能部を含む。前記第１変形可能部は、前記支持部に支持される。前記第２変形可能部は、前記支持部に支持される。前記第２変形可能部は、前記第１変形可能部の第１長さよりも短い第２長さ、前記第１変形可能部の第１幅よりも広い第２幅、及び、前記第１変形可能部の第１厚さよりも厚い第２厚さ、、前記第１変形可能部の第１ヤング率よりも高い第２ヤング率、前記第１変形可能部の第１バネ定数よりも大きい第２バネ定数の少なくともいずれかを有する。前記第２構造体は、前記第１構造体と接続される。前記第１構造体と前記第２構造体との間に液体が設けられる。前記検出部は、前記第１変形可能部及び前記第２変形可能部の少なくともいずれかの変形に応じた信号を出力する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
【図２】図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
【図３】図３（ａ）〜図３（ｄ）は、センサの特性を例示する模式図である。
【図４】図４は、センサの特性を例示するグラフ図である。
【図５】図５は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
【図６】図６は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
【図７】図７は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
【図８】図８は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
【図９】図９は、第２実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
【図１０】図１０は、第２実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
【図１１】図１１は、センサ特性を例示するグラフ図である。
【図１２】図１２は、センサ特性を例示する模式図である。
【図１３】図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
【図１４】図１４は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
【図１５】図１５は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１（ａ）、図１（ｂ）、図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１（ａ）は、図１（ｂ）の矢印ＡＲからみた、センサの一部の平面図である。図１（ｂ）は、図２（ｂ）のＡ１−Ａ２線断面図である。図２（ａ）は、図２（ｂ）のＢ１−Ｂ２線断面図である。図２（ｂ）は、斜視図である。
【０００９】
実施形態に係るセンサ１１０は、第１構造体１０、第２構造体２０及び検出部３０を含む。
【００１０】
図１（ｂ）に示すように、第２構造体２０は、第１構造体１０と接続される。第１構造体１０と第２構造体２０との間に液体４５が設けられる。第２構造体２０は、例えば、容器である。
【００１１】
センサ１１０は、例えば音響センサである。センサ１１０は、例えば、音響帯域及び超音波帯域の振動を検出する。センサ１１０は、例えば、ＡＥを検出する。ＡＥは、例えば、き裂の発生や進展により生じる超音波帯の弾性波である。センサ１１０は、例えば、ＡＥを検出するセンサとして使用される。センサ１１０は、例えば、微小な欠陥の発生を検出する疲労・劣化診断に用いられる。センサ１１０は、例えば、非破壊検査などに用いられる。
【００１２】
図１（ａ）は、第１構造体１０を例示している。図１（ａ）においては、液体４５は省略されている。
【００１３】
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、第１構造体１０は、支持部１０Ｈと、複数の変形可能部を含む。複数の変形可能部は、例えば、可撓部である。複数の変形可能部は、例えば、梁である。複数の変形可能部は、例えば、第１変形可能部１１及び第２変形可能部１２などを含む。
【００１４】
第１変形可能部１１及び第２変形可能部１２などは、支持部１０Ｈに支持される。例えば、第２変形可能部１２は、第１変形可能部１１に沿う。第１変形可能部１１及び第２変形可能部１２は、例えば、複数の変形可能部のうちの任意の２つでも良い。複数の変形可能部は、例えば、膜部１０Ｆの少なくとも一部である。
【００１５】
第１変形可能部１１は、第１長さ１１Ｌ、第１幅１１Ｗ及び第１厚さ１１Ｚを有する。第１長さ１１Ｌは、第１幅１１Ｗよりも大きい。第１長さ１１Ｌは、第１厚さ１１Ｚよりも大きい。第１変形可能部１１は、例えば、ストライプ状である。第１変形可能部１１は、例えば、第１方向に沿って延びる。
【００１６】
第１方向をＹ軸方向とする。Ｙ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｙ軸方向及びＸ軸方向に対して垂直な方向をＺ軸方向とする。
【００１７】
第２変形可能部１２は、第２長さ１２Ｌ、第２幅１２Ｗ及び第２厚さ１２Ｚを有する。第２長さ１２Ｌは、第２幅１２Ｗよりも大きい。第２長さ１２Ｌは、第２厚さ１２Ｚよりも大きい。第２変形可能部１２も、例えば、ストライプ状である。第２変形可能部１２、例えば、第１方向（この例では、Ｙ軸方向）に沿って延びる。
【００１８】
この例では、第２長さ１２Ｌは、第１長さ１１Ｌよりも短い。この例では、第２幅１２Ｗは、第１幅１１Ｗと実質的に同じである。この例では、第２厚さ１２Ｚは、第１厚さ１１Ｚと実質的に同じである。
【００１９】
後述するように、第２変形可能部１２は、第１長さ１１Ｌよりも短い第２長さ１２Ｌ、第１幅１１Ｗよりも広い第２幅１２Ｗ、及び、第１厚さ１１Ｚよりも厚い第２厚さ１２Ｚの少なくともいずれかを有しても良い。
【００２０】
複数の変形可能部（例えば、第１変形可能部１１及び第２変形可能部１２など）は、変形可能である。例えば、第２構造体２０（例えば容器）に外力が加わる。外力は、例えば、音波などである。外力に応じて、複数の変形可能部の少なくともいずれかが変形する。例えば、外力により液体の４５表面が変位し、この変位に応じて、複数の変形可能部の少なくともいずれかが変形する。
【００２１】
検出部３０（図２（ａ）参照）は、第１変形可能部１１及び第２変形可能部１２の少なくともいずれかの変形に応じた信号を出力する。
【００２２】
検出部３０から出力される信号は、上記の変形に伴って生じる抵抗の変化、上記の変形に伴って生じる圧電の電圧の変化、及び、上記の変形に伴って生じる静電容量の変化の少なくともいずれかを含む。
【００２３】
図２（ａ）に示す例では、検出部３０は、第１電極３５ｅ及び第２電極３５ｆを含む。この例では、第１電極３５ｅは、第１変形可能部１１の一部に接続される。第２電極３５ｆは、第１変形可能部１１の別の一部に接続される。
【００２４】
複数の変形可能部は、例えば結晶を含む。複数の変形可能部の少なくとも一部において、例えば、変形に伴う抵抗の変化が生じる。複数の変形可能部の少なくとも一部において、例えば、変形に伴う電圧が生じる。複数の変形可能部の少なくとも一部において、例えば、変形に伴う静電容量の変化が生じても良い。例えば、上記の電極などにより、これらの変化が検出できる。
【００２５】
例えば、複数の変形可能部の少なくともいずれかに光が照射されても良い。例えば、複数の変形可能部における反射光が検出され、複数の変形可能部の変形が検出されても良い。
【００２６】
上記のように、実施形態に係るセンサ１１０においては、第１変形可能部１１及び第２変形可能部１２が設けられる。上記のように、第２変形可能部１２は、第１長さ１１Ｌよりも短い第２長さ１２Ｌ、第１幅１１Ｗよりも広い第２幅１２Ｗ、及び、第１厚さ１１Ｚよりも厚い第２厚さ１２Ｚの少なくともいずれかを有する。これにより、第２変形可能部１２は、第１変形可能部１１よりも変形し難い。第１変形可能部１１は、第２変形可能部１２よりも変形し易い。第１変形可能部１１及び第２変形可能部１２の変形は、Ｚ軸方向の成分を含む。第２変形可能部１２は、第１変形可能部１１の第１ヤング率よりも高い第２ヤング率を有しても良い。第２変形可能部１２は、第１変形可能部１１の第１バネ定数よりも大きい第２バネ定数を有しても良い。
【００２７】
一方、第１変形可能部１１が設けられ、上記のような第２変形可能部１２が設けられない参考例がある。この参考例においては、第１変形可能部１１が変形したときに、第１変形可能部１１の側方のスリット１０ｓにおいて、第１変形可能部１１と他の部分との間のＺ軸方向のギャップが過度に大きくなる。このため、第１変形可能部１１と他の部分との間のＺ軸方向のギャップから、液体４５が流出し易い。
【００２８】
これに対して、実施形態においては、第１変形可能部１１の側方に、スリット１０ｓを介して第２変形可能部１２が設けられる。第２変形可能部１２は、第１変形可能部１１と比較して変形し難いものの、Ｚ軸方向に沿って変形可能である。例えば、このため、実施形態においては、上記の参考例に比べて、第１変形可能部１１と第２変形可能部１２との間のＺ軸方向のギャップが小さい。Ｚ軸方向のギャップが小さいため、ギャップから液体４５が流出することが抑制できる。液体４５を良好に保持できる。特性の変動が抑制できる。実施形態によれば、特性を安定にできるセンサを提供できる。
【００２９】
上記のスリット１０ｓのＺ軸方向の長さの例については、後述する。
【００３０】
図１（ａ）に示すように、この例では、第１構造体１０は、第２カウンター変形可能部１２ｃをさらに含む。第２カウンター変形可能部１２ｃも、支持部１０Ｈに支持される。第２カウンター変形可能部１２ｃも、第１変形可能部１１に沿う。第２変形可能部１２と第２カウンター変形可能部１２ｃとの間に、第１変形可能部１１の少なくとも一部が設けられる。
【００３１】
第２カウンター変形可能部１２ｃは、第２カウンター長さ１２ｃＬ、第２カウンター幅１２ｃＷ及び第２カウンター厚さ１２ｃＺを有する。第２カウンター長さ１２ｃＬは、第２カウンター幅１２ｃＷよりも大きい。第２カウンター長さ１２ｃＬは、第２カウンター厚さ１２ｃＺよりも大きい。
【００３２】
第２カウンター変形可能部１２ｃは、第１変形可能部１１の第１ヤング率よりも高い第２カウンターヤング率、及び、第１変形可能部１１の第１バネ定数よりも大きい第２カウンンターバネ定数の少なくともいずれかを有しても良い。
【００３３】
第２カウンター変形可能部１２ｃは、第１長さ１１Ｌよりも短い第２カウンター長さ１２ｃＬ、第１幅１１Ｗよりも広い第２カウンター幅１２ｃＷ、第１厚さ１１Ｚよりも厚い第２カウンター厚さ１２Ｚ、第１変形可能部１１の第１ヤング率よりも高い第２カウンターヤング率、及び、第１変形可能部１１の第１バネ定数よりも大きい第２カウンンターバネ定数少なくともいずれかを有して良い。
【００３４】
このような第２カウンター変形可能部１２ｃを設けることで、第１変形可能部１１が変形したときに、第１変形可能部１１の第２カウンター変形可能部１２ｃの側のスリット１０ｓにおいて、Ｚ軸方向のギャップを小さくできる。ギャップが小さいため、ギャップから液体４５が流出することが抑制できる。例えば、液体４５を良好に保持できる。特性の変動が抑制できる。
【００３５】
図１（ａ）に示すように、第１長さ１１Ｌは、第１方向に沿う第１変形可能部１１の長さである。この例では、第１方向は、Ｙ軸方向である。第２長さ１２Ｌは、この第１方向に沿う第２変形可能部１２の長さである。例えば、第１方向に沿う第１変形可能部１１の長さが変化する場合は、第１長さ１１Ｌは、第１変形可能部１１における平均の長さとしても良い。例えば、第１方向に沿う第２変形可能部１２の長さが変化する場合は、第２長さ１２Ｌは、第２変形可能部１２における平均の長さとしても良い。
【００３６】
第１変形可能部１１から第２変形可能部１２への第２方向は、第１方向と交差する。この例では、第２方向は、Ｘ軸方向である。第１幅１１Ｗは、この第２方向に沿う第１変形可能部１１の長さである。第２幅１２Ｗは、この第２方向に沿う第２変形可能部１２の長さである。例えば、第２方向に沿う第１変形可能部１１の長さが変化する場合は、第１幅１１Ｗは、第１変形可能部１１における平均の幅としても良い。例えば、第２方向に沿う第２変形可能部１２の長さが変化する場合は、第２幅１２Ｗは、第２変形可能部１２における平均の幅としても良い。
【００３７】
第３方向は、上記の第１方向及び上記の第２方向を含む平面（例えばＸ−Ｙ平面）と交差する。この例では、第３方向は、Ｚ軸方向である。第１厚さ１１Ｚは、この第３方向に沿う第１変形可能部１１の長さである。第２厚さ１２Ｚは、この第３方向に沿う第２変形可能部１２の長さである。例えば、第３方向に沿う第１変形可能部１１の長さが変化する場合は、第１厚さ１１Ｚは、第１変形可能部１１における平均の厚さとしても良い。例えば、第３方向に沿う第２変形可能部１２の厚さが変化する場合は、第２厚さ１２Ｚは、第２変形可能部１２における平均の厚さとしても良い。
【００３８】
図１（ａ）に示すように、第１変形可能部１１は、２つの第１側部（側部１１ｓａ及び側部１１ｓｂ）を含む。２つの第１側部は、第１方向（この例ではＹ軸方向）に沿う。２つの第１側部は、支持部１０Ｈから離れ、第２変形可能部１２から離れる。
【００３９】
第２変形可能部１２は、２つの第２側部（側部１２ｓａ及び側部１２ｓｂ）を含む。２つの第２側部は、第１方向（この例では、Ｙ軸方向）に沿う。２つの第２側部は、支持部１０Ｈから離れ、第１変形可能部１１から離れる。
【００４０】
このように、複数の変形可能部（第１〜第Ｎ変形可能部１１〜１０Ｎ、及び、第２〜第Ｎカウンター変形可能部１２ｃ〜１０Ｎｃ）は、第１方向に沿うストライプ状である。
【００４１】
第１構造体１０は、第１変形可能部１１と第２変形可能部１２との間に設けられたスリット１０ｓを含む。第１構造体１０は、第２変形可能部１２と支持部１０Ｈとの間に設けられたスリット（任意のスリット１０ｓ）を含む。スリット１０ｓは、第１方向（例えば、Ｙ軸方向）に沿う。
【００４２】
複数の変形可能部は、例えば、「両持ち梁」である。
【００４３】
例えば、第１変形可能部１１の第１端部１１ｐは、支持部１０Ｈに支持される。第１変形可能部１１の第１他端部１１ｑは、支持部１０Ｈに支持される。第２変形可能部１２の第２端部１２ｐは、支持部１０Ｈに支持される。第２変形可能部１２の第２他端部１２ｑは、支持部１０Ｈに支持される。
【００４４】
第１他端部１１ｑから第１端部１１ｐへの方向は、第１方向（この例ではＹ軸方向）に沿う。第２他端部１２ｑから第２端部１２ｐへの方向は、第１方向に沿う。
【００４５】
図１（ａ）に示すように、例えば、第３変形可能部１３及び第３カウンター変形可能部１３ｃなどが設けられても良い。このように、実施形態において、第１構造体１０は、支持部１０Ｈに支持された第Ｎ変形可能部１０Ｎを含んでも良い。「Ｎ」は、例えば、３以上の整数である。第１変形可能部１１と第Ｎ変形可能部１０Ｎとの間に、第（Ｎ−１）変形可能部１０（Ｎ−１）がある。第Ｎ変形可能部１０Ｎは、第（Ｎ−１）変形可能部１０（Ｎ−１）に沿う。例えば、第Ｎ変形可能部１０Ｎは、第１方向（この例では、Ｙ軸方向）に沿って延びる。
【００４６】
第１変形可能部１１と第２変形可能部１２との間には、スリット１０ｓが設けられる。第Ｎ変形可能部１０Ｎと第（Ｎ−１）変形可能部１０（Ｎ−１）との間に、スリット１０ｓが設けられる。
【００４７】
第（Ｎ−１）変形可能部１０（Ｎ−１）は、第（Ｎ−１）長さ１０（Ｎ−１）Ｌ、第（Ｎ−１）幅１０（Ｎ−１）Ｗ及び第（Ｎ−１）厚さ１０（Ｎ−１）Ｚを有する。第（Ｎ−１）長さ１０（Ｎ−１）Ｌは、第（Ｎ−１）幅１０（Ｎ−１）Ｗよりも大きく、第（Ｎ−１）厚さ１０（Ｎ−１）Ｚよりも大きい。
【００４８】
第Ｎ変形可能部１０Ｎは、第Ｎ長さ１０ＮＬ、第Ｎ幅１０ＮＷ及び第Ｎ厚さ１０ＮＺを有する。第Ｎ長さ１０ＮＬは、第Ｎ幅１０ＮＷよりも大きく、第Ｎ厚さ１０ＮＺよりも大きい。
【００４９】
例えば、第Ｎ変形可能部１０Ｎは、第（Ｎ−１）長さ１０（Ｎ−１）Ｌよりも短い第Ｎ長さ１０ＮＬ、第（Ｎ−１）幅１０（Ｎ−１）Ｗよりも広い第Ｎ幅１０ＮＷ、及び、第（Ｎ−１）厚さ１０（Ｎ−１）Ｚよりも厚い第Ｎ厚さ１０ＮＺの少なくともいずれかを有する。
【００５０】
実施形態において、第１構造体１０は、支持部１０Ｈに支持された第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃを含んでも良い。第Ｎ変形可能部１０Ｎと、第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃと、の間に第１変形可能部１１がある。第１変形可能部１１と第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃとの間に、第（Ｎ−１）カウンター変形可能部１０（Ｎ−１）ｃがある。第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃは、第（Ｎ−１）カウンター変形可能部１０（Ｎ−１）ｃに沿う。第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃと第（Ｎ−１）カウンター変形可能部１０（Ｎ−１）ｃとの間に、スリット１０ｓが設けられる。
【００５１】
第（Ｎ−１）カウンター変形可能部１０（Ｎ−１）ｃは、第（Ｎ−１）カウンター長さ１０（Ｎ−１）ｃＬ、第（Ｎ−１）カウンター幅１０（Ｎ−１）ｃＷ及び第（Ｎ−１）カウンター厚さ１０（Ｎ−１）ｃＺを有する。第（Ｎ−１）カウンター長さ１０（Ｎ−１）ｃＬは、第（Ｎ−１）カウンター幅１０（Ｎ−１）ｃＷよりも大きく、第（Ｎ−１）カウンター厚さ１０（Ｎ−１）ｃＺよりも大きい。
【００５２】
第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃは、第Ｎカウンター長さ１０ＮｃＬ、第Ｎカウンター幅１０ＮｃＷ及び第Ｎカウンター厚さ１０ＮｃＺを有する。第Ｎカウンター長さ１０ＮｃＬは、第Ｎカウンター幅１０ＮｃＷよりも大きく、第Ｎカウンター厚さ１０ＮｃＺよりも大きい。
【００５３】
例えば、第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃは、第（Ｎ−１カウンター）長さ１０（Ｎ−１）ｃＬよりも短い第Ｎカウンター長さ１０ＮｃＬ、第（Ｎ−１）カウンター幅１０（Ｎ−１）ｃＷよりも広い第Ｎカウンター幅１０ＮｃＷ、及び、第（Ｎ−１）カウンター厚さ１０（Ｎ−１）ｃＺよりも厚い第Ｎカウンター厚さ１０ＮｃＺの少なくともいずれかを有する。
【００５４】
「Ｎ」が４の場合、第（Ｎ−１）変形可能部１０（Ｎ−１）ｃは、例えば、第３変形可能部１３となる。「Ｎ」が４の場合、第（Ｎ−１）カウンター変形可能部１０（Ｎ−１）ｃは、例えば、第３カウンター変形可能部１３ｃとなる。
【００５５】
実施形態において、任意の２つの変形可能部において、長さ、幅及び幅の少なくともいずれかが変化しても良い。例えば、「第１変形可能部」が、第（Ｎ−１）変形可能部１０（Ｎ−１）であり、「第２変形可能部」が、第Ｎ変形可能部１０Ｎでも良い。「第１変形可能部」が、第（Ｎ−２）変形可能部１０（Ｎ−２）であり、「第２変形可能部」が、第Ｎ変形可能部１０Ｎでも良い。
【００５６】
１つの例において、第１変形可能部１１から第Ｎ変形可能部１０Ｎに向けて、複数の変形可能部の長さが順番に減少する。例えば、第１変形可能部１１から第Ｎ変形可能部１０Ｎに向けて、複数の変形可能部の幅が順番に増加する。例えば、第１変形可能部１１から第Ｎ変形可能部１０Ｎに向けて、複数の変形可能部の厚さが順番に増加する。
【００５７】
１つの例において、第１変形可能部１１から第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃに向けて、複数の変形可能部の長さが順番に減少する。例えば、第１変形可能部１１から第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃに向けて、複数の変形可能部の幅が順番に増加する。例えば、第１変形可能部１１から第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃに向けて、複数の変形可能部の厚さが順番に増加する。
【００５８】
例えば、第Ｎ変形可能部１０Ｎの第Ｎ端部１０Ｎｐは、支持部１０Ｈに支持される。第Ｎ変形可能部１０Ｎの第Ｎ他端部１０Ｎｑは、支持部１０Ｈに支持される。第Ｎ他端部１０Ｎｑから第Ｎ端部１０Ｎｐへの方向は、第１方向に沿う。第Ｎ変形可能部１０Ｎは、第１方向（例えばＹ軸方向）に沿うストライプ状である。
【００５９】
例えば、第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃの第Ｎカウンター端部１０Ｎｃｐは、支持部１０Ｈに支持される。第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃの第Ｎカウンター他端部１０Ｎｃｑは、支持部１０Ｈに支持される。第Ｎカウンター他端部１０Ｎｃｑから第Ｎカウンター端部１０Ｎｃｐへの方向は、第１方向に沿う。第Ｎカウンター変形可能部１０Ｎｃは、第１方向（例えばＹ軸方向）に沿うストライプ状である。
【００６０】
例えば、第（Ｎ−１）変形可能部１０（Ｎ−１）の第（Ｎ−１）端部１０（Ｎ−１）ｐは、支持部１０Ｈに支持される。第（Ｎ−１）変形可能部１０（Ｎ−１）の第（Ｎ−１）他端部１０（Ｎ−１）ｑは、支持部１０Ｈに支持される。第（Ｎ−１）他端部１０（Ｎ−１）ｑから第（Ｎ−１）端部１０（Ｎ−１）ｐへの方向は、第１方向に沿う。第（Ｎ−１）変形可能部１０（Ｎ−１）は、第１方向（例えばＹ軸方向）に沿うストライプ状である。
【００６１】
例えば、第（Ｎ−１）カウンター変形可能部１０（Ｎ−１）ｃの第（Ｎ−１）カウンター端部１０（Ｎ−１）ｃｐは、支持部１０Ｈに支持される。第（Ｎ−１）カウンター変形可能部１０（Ｎ−１）ｃの第（Ｎ−１）カウンター他端部１０（Ｎ−１）ｃｑは、支持部１０Ｈに支持される。第（Ｎ−１）カウンター他端部１０（Ｎ−１）ｃｑから第（Ｎ−１）カウンター端部１０（Ｎ−１）ｃｐへの方向は、第１方向に沿う。第（Ｎ−１）カウンター変形可能部１０（Ｎ−１）ｃは、第１方向（例えばＹ軸方向）に沿うストライプ状である。
【００６２】
このような構成により、例えば、複数の変形可能部のうちの隣り合う２つにおいて、Ｚ軸方向における距離（Ｚ軸方向に沿うギャップ）を小さくできる。
【００６３】
以下、複数の変形可能部における、Ｚ軸方向における距離（Ｚ軸方向に沿うギャップ）の例について説明する。
【００６４】
図３（ａ）〜図３（ｄ）は、センサの特性を例示する模式図である。
図３（ａ）及び図３（ｃ）は、第１構造体１０の斜視図に対応する。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＤ１−Ｄ２線断面における第１構造体１０の断面図に対応する。図３（ｄ）は、図３（ｃ）のＣ１−Ｃ２線断面における第１構造体１０の断面図に対応する。これらの図は、第１構造体１０の変形に関するシミュレーション結果の例を示している。
【００６５】
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、センサ１１０ｘに対応する。センサ１１０ｘは、センサ１１０において、「Ｎ」が７である。図３（ｃ）及び図３（ｄ）は、センサ１１９に対応する。センサ１１９においては、第１変形可能部１１が設けられ、他の変形可能部（例えば梁）は、設けられていない。センサ１１９において、２つの膜部１０ｘの間に、第１変形可能部１１が設けられている。この２つの膜部１０ｘには、スリットが設けられていない。センサ１１０ｘは、実施形態の１つに対応する。センサ１１９は、参考例に対応する。
【００６６】
図３（ｄ）に示すように、センサ１１９においては、第１変形可能部１１が変形したときに、第１変形可能部１１と、膜部１０ｘと、の間に大きなギャップＧＰが生じる。例えば、膜部１０ｘは変形し難い。これに対して、第１変形可能部１１は、変形し易い。変形のし易さが大きいため、大きなギャップＧＰが生じる。大きなギャップＧＰから液体４５が流出する可能性がある。
【００６７】
これに対して、図３（ｂ）に示すように、センサ１１０ｘにおいては、第１変形可能部１１が変形したときに、隣り合う複数の変形可能部の間のギャップＧＰは、小さい。これは、隣り合う複数の変形可能部における変形し易さの違いが小さいためであると考えられる。ギャップＧＰから液体４５が流出することが抑制される。
【００６８】
図４は、センサの特性を例示するグラフ図である。
図４の横軸は、「Ｎ」である。「Ｎ」が０の時は、上記のセンサ１１９に対応する。縦軸は、パラメータＤＰ（μｍ／ｋＰａ）である。パラメータＤＰは、１ｋＰａの圧力が第２構造体２０に加わったときの生じる第１変形可能部１１と、第２変形可能部１２と、の間に生じるギャップＧＰのＺ軸方向の長さに対応する。「Ｎ」が０の時（センサ１１９）においては、パラメータＤＰは、１ｋＰａの圧力が第２構造体２０に加わったときの生じる第１変形可能部１１と膜部１０ｘとの間に生じるギャップＧＰのＺ軸方向の長さに対応する。
【００６９】
１つの「Ｎ」において、複数の変形可能部の幅、それらの間のスリット１０ｓの幅、及び、複数の変形可能部の厚さは、一定である。複数の「Ｎ」において、スリット１０ｓの幅は、一定である。複数の変形可能部により形成される膜の平面形状は、実質的に円状である。膜の中央からＸ軸方向の端に向かって、変形可能部の長さが減少する（図１（ａ）参照）。
【００７０】
図４に示すように、パラメータＤＰは、「Ｎ」が大きくなると減少する。例えば、「Ｎ」が３のときのパラメータＤＰは、「Ｎ」が０の時のパラメータＤＰの約６０％になる。
【００７１】
以下、実施形態に係るセンサのいくつかの例について説明する。以下においては、センサ１１０と異なる部分について説明する。
【００７２】
図５は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図５は、図１（ａ）に対応する図である。図５に示すように、実施形態に係るセンサ１１１においては、複数の変形可能部の幅が、互いに異なっている。
【００７３】
センサ１１１においては、第２幅１２Ｗは、第１幅１１Ｗよりも広い。第２カウンター幅１２ｃＷは、第１幅１１Ｗよりも広い。
【００７４】
例えば、第Ｎ幅１０ＮＷは、第（Ｎ−１）幅１０（Ｎ−１）Ｗよりも広い。例えば、第Ｎカウンター幅１０ＮｃＷは、第（Ｎ−１）カウンター幅１０（Ｎ−１）ｃＷよりも広い。
【００７５】
センサ１１１においても、ギャップＧＰのＺ軸方向の長さを小さくできる。これにより、ギャップＧＰから液体４５が流出することが抑制される。特性を安定にできるセンサを提供できる。
【００７６】
図６は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図６は、図１（ｂ）に対応する図である。図６に示すように、実施形態に係るセンサ１１２においては、複数の変形可能部の厚さが互いに異なっている。
【００７７】
センサ１１２においては、第２厚さ１２Ｚは、第１厚さ１１Ｚよりも厚い。第２カウンター厚さ１２ｃＺは、第１厚さ１１Ｚよりも厚い。
【００７８】
例えば、第Ｎ厚さ１０ＮＺは、第（Ｎ−１）厚さ１０（Ｎ−１）Ｚよりも厚い。例えば、第Ｎカウンター厚さ１０ＮｃＺは、第（Ｎ−１）カウンター厚さ１０（Ｎ−１）ｃＺよりも厚い。
【００７９】
センサ１１２においても、ギャップＧＰのＺ軸方向の長さを小さくできる。これにより、ギャップＧＰから液体４５が流出することが抑制される。特性を安定にできるセンサを提供できる。
【００８０】
図７は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図７は、図１（ａ）に対応する図である。実施形態に係るセンサ１１３においては、複数の変形可能部におけるヤング率が、互いに異なっている。複数の変形可能部におけるバネ定数が、互いに異なっても良い。この例では、例えば、材料の違いによりヤング率が異なり、バネ定数が異なる。
【００８１】
センサ１１３においては、例えば、第２変形可能部１１の第２ヤング率は、第１変形可能部１１の第１ヤング率よりも高い。
【００８２】
例えば、第Ｎ幅１０ＮＷのヤング率は、第（Ｎ−１）幅１０（Ｎ−１）Ｗのヤング率よりも高い。例えば、第Ｎカウンター幅１０ＮｃＷのヤング率は、第（Ｎ−１）カウンター幅１０（Ｎ−１）ｃＷのヤング率よりも高い。
【００８３】
センサ１１３においては、例えば、第２変形可能部１１の第２バネ定数は、第１変形可能部１１の第１バネ定数よりも大きい。
【００８４】
例えば、第Ｎ幅１０ＮＷのバネ定数は、第（Ｎ−１）幅１０（Ｎ−１）Ｗのバネ定数よりも大きい。例えば、第Ｎカウンター幅１０ＮｃＷのバネ定数は、第（Ｎ−１）カウンター幅１０（Ｎ−１）ｃＷのバネ定数よりも大きい。
【００８５】
センサ１１３においても、ギャップＧＰのＺ軸方向の長さを小さくできる。これにより、ギャップＧＰから液体４５が流出することが抑制される。特性を安定にできるセンサを提供できる。
【００８６】
実施形態において、例えば、第２変形可能部１２は、第１変形可能部１１の第１長さ１１Ｌよりも短い第２長さ１２Ｌ、第１変形可能部１１の第１幅１１Ｗよりも広い第２幅１２Ｗ、及び、第１変形可能部１１の第１厚さ１１Ｚよりも厚い第２厚さ１２Ｚ、第１変形可能部１１の第１ヤング率よりも高い第２ヤング率、及び、第１変形可能部１１の第１バネ定数よりも大きい第２バネ定数の少なくともいずれかを有しても良い。
【００８７】
このように、実施形態において、複数の変形可能部の長さ、複数の変形可能部の幅、複数の変形可能部の厚さ、複数の変形可能部のヤング率、及び、複数の変形可能部のバネ定数の少なくともいずれかが、互いに変更されても良い。ヤング率またはバネ定数は、例えば、異なる材料を用いることで変更されても良い。
【００８８】
センサ１１０においては、第１〜第Ｎ変形可能部１１、１２〜１０Ｎと、支持部１０Ｈと、の境界、及び、第２〜第Ｎカウンター変形可能部１２ｃ〜１０Ｎｃと、支持部１０Ｈと、の境界で形成される形状（平面形状）は、略円状である。平面形状は、多角形状でも良い。
【００８９】
複数の変形可能部の１つの形状は、例えば、梁状である。例えば、第１変形可能部１１において、第１長さ１１Ｌは、第１幅１１Ｗの２倍以上１００倍以下である。例えば、第１長さ１１Ｌは、第１厚さ１１Ｚの１００倍以上３０００倍以下である。例えば、第Ｎ長さ１０ＮＬは、第Ｎ幅１０ＮＷの２倍以上１００倍以下である。例えば、第Ｎ長さ１０ＮＬは、第Ｎ厚さ１０ＮＺの１００倍以上３０００倍以下である。
【００９０】
複数の変形可能部の１つにおいて、長さ、幅、厚さ、ヤング率またはバネ定数が変化しても良い。この場合、実用的には、変化する値の平均値を、複数の変形可能部のその１つについての、長さ、幅、厚さ、ヤング率またはバネ定数として用いても良い。
【００９１】
図８は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図８は、図１（ａ）に対応する図である。
図８に示すように、実施形態に係るセンサ１１４においては、複数の変形可能部の少なくとも１つは、孔１０ＳＬを含む。この例では、第１変形可能部１１における孔１０ＳＬの長さは、第２変形可能部１２における孔１０ＳＬの長さよりも長い。実施形態において、変形可能部に設けられる孔により、バネ定数が変更されても良い。例えば、孔１０ＳＬが大きいとバネ定数が小さくなる。孔１０ＳＬの数が多いと、バネ定数が小さくなる。孔１０ＳＬにより、複数の変形可能部におけるバネ定数が、互いに異なっても良い。
【００９２】
実施形態において、検出部３０は、複数の変形可能部の少なくとも１つに設けられても良い。複数の検出部３０が設けられても良い。検出部３０は、変形可能部から離れて設けられても良い。
【００９３】
（第２実施形態）
以下、第２実施形態に係るセンサについて、第１実施形態に係るセンサと異なる部分について説明する。
【００９４】
図９は、第２実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図９は、図１（ｂ）に対応する図である。図９に示すように、実施形態に係るセンサ１２０においては、複数の変形可能部の２つの面の特性が、互いに変更される。
【００９５】
例えば、第１変形可能部１１は、第１面１１ｆＡと第２面１１ｆＢとを含む。第１面１１ｆＡは、第２面１１ｆＢと液体４５との間にある。第１面１１ｆＡは、液体４５の側の面である。第２面１１ｆＢは、例えば、第１面１１ｆＡとは反対側の面である。
【００９６】
本実施形態においては、第２面１１ｆＢの液体４５に対する接触角は、第１面１１ｆＡの液体４５に対する接触角よりも大きい。上記の接触角は、例えば、前進接触角である。
【００９７】
第２面１１ｆＢの液体４５とのぬれ性は、低い。例えば、第２面１１ｆＢにおいては、第１面１１ｆＡに比べて、疎水性が高い。このため、スリット１０ｓを介して液体４５が流出することが抑制できる。特性を安定にできるセンサを提供できる。
【００９８】
実施形態において、第１変形可能部１１の側面の液体４５に対する接触角が第１面１１ｆＡの液体４５に対する接触角よりも大きくても良い。
【００９９】
例えば、第２変形可能部１２は、第３面１２ｆＣと第４面１２ｆＤとを含む。第３面１２ｆＣは、第４面１２ｆＤと液体４５との間にある。第４面１２ｆＤの液体４５に対する接触角は、第３面１２ｆＣの液体４５に対する接触角よりも大きい。
【０１００】
このように、複数の変形可能部の２つの面において、液体４５との接触角が変更されても良い。
【０１０１】
例えば、第２面１１ｆＢを表面処理することにより、第２面１１ｆＢの液体４５に対する接触角を第１面１１ｆＡの液体４５に対する接触角よりも大きくできる。表面処理は、例えば、フッ素を含む化合物（例えば、Ｃ４Ｆ８ガスなど）による処理を含んでも良い。
【０１０２】
このように、第２実施形態に係るセンサ１２０は、第１構造体１０、第２構造体２０及び検出部３０を含む。第２構造体２０は、第１構造体１０と接続される。第１構造体１０と第２構造体２０との間に液体４５が設けられる。
【０１０３】
第１構造体１０は、支持部１０Ｈと、支持部１０Ｈに支持された第１変形可能部１１と、を含む。第１変形可能部１１は、第１面１１ｆＡと第２面１１ｆＢとを含む。第１面１１ｆＡは、第２面１１ｆＢと液体４５との間にある。第２面１１ｆＢの液体４５に対する接触角は、第１面１１ｆＡの液体４５に対する接触角よりも大きい。
【０１０４】
図１０は、第２実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的断面図である。
図１０は、図１（ｂ）に対応する図である。図１０に示すように、実施形態に係るセンサ１２１において、第１変形可能部１１は、第１層１１Ｐと第２層１１Ｑとを含む。第１層１１Ｐは、第２層１１Ｑと液体４５との間にある。例えば、第１層１１Ｐはフッ素を含まず第２層１１Ｑはフッ素を含む。第１層１１Ｐに含まれるフッ素の濃度は、第２層１１Ｑに含まれるフッ素の濃度よりも低い。第２層１１Ｑは、フッ素を含む領域である。複数の変形可能部において、フッ素を含む領域が設けられても良い。例えば、第１層１１Ｐは、フッ素化合物を含まず、第２層１１Ｑはフッ素化合物を含む。または、第１層１１Ｐに含まれるフッ素化合物の濃度は、第２層１１Ｑに含まれるフッ素化合物の濃度よりも低い。
【０１０５】
第２層１１Ｑの厚さ（例えば、Ｚ軸方向に沿う長さ）は、例えば、１ｎｍ以上２００ｎｍ以下である。
【０１０６】
例えば、第１層１１Ｐの表面が、第１面１１ｆＡに対応する。第２層１１Ｑの表面が、第２面１１ｆＢに対応する。
【０１０７】
図１１は、センサ特性を例示するグラフ図である。
図１１の横軸は、スリット１０ｓの幅ｗ１（μｍ）である。縦軸は、漏れ圧力Ｐ１（ｋＰａ）である。漏れ圧力Ｐ１は、スリット１０ｓから液体４５が流出し始めるときの、第２構造体２０に加わる圧力に対応する。漏れ圧力Ｐ１が大きいことが、液体４５が流出し難いことに対応する。
【０１０８】
図１１には、センサ１２０ｘ及びセンサ１１９ｂに関する実験結果が例示されている。センサ１２０ｘにおいては、第２面１１ｆＢにＣ４Ｆ８ガスによる処理が行われる。センサ１１９ｂにおいてはＣ４Ｆ８ガスによる処理が行われない。センサ１１９ｂにおけるこれ以外の構成は、センサ１２０ｘにおける構成と同じである。
【０１０９】
図１１に示すように、センサ１２０ｘにおいては、センサ１１９ｂと比べて、大きな漏れ圧力Ｐ１が得られる。センサ１２０ｘにおいては、液体４５の流出が抑制できる。特性を安定にできるセンサを提供できる。
【０１１０】
図１２は、センサ特性を例示する模式図である。
図１２に示すように、第１変形可能部１１と第２変形可能部１２との間にスリット１０ｓが設けられる。
【０１１１】
液体４５に加わる圧力を「ｐ」とする。大気圧を、「ｐａｔｍ」とする。液体４５の表面張力を「γ」とする。液体４５と接触媒体（変形可能部）との間の角度を「θ」とする。液体４５の曲率半径を「ｒ」とする。スリット１０ｓ（空隙）の幅をｗ１とする。
【０１１２】
例えば、以下の第１式及び第２式の関係がある。
【０１１３】
ｐ−ｐａｔｍ  ＝  ２γ／ｒ      （１）
ｒ  ＝  ｗ１／（２ｓｉｎθ）      （２）
液体４５がスリット１０ｓから漏れるときの前進接触角をθａｄｖとする。このとき、以下の第３式の関係がある。
【０１１４】
θ＞θａｄｖ      （３）
液体４５がスリット１０ｓから漏れるときの圧力の条件は、以下の第４式で表される。
【０１１５】
ｐ−ｐａｔｍ  ＞  ２γ（ｓｉｎθａｄｖ）／ｗ１      （４）
したがって、前進接触角を大きくすることで、漏れ圧力の限界値を高めることができる。
【０１１６】
第２実施形態に係る構成と第１実施形態に係る構成とを互いに組み合わせて適用しても良い。
【０１１７】
（第３実施形態）
以下の第３実施形態に係るセンサの説明において、第１実施形態に係るセンサと同様の部分については、適宜省略する。
【０１１８】
図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１３（ａ）は、図１３（ｂ）の矢印ＡＲからみた、センサの一部の平面図である。図１３（ｂ）は、図２（ｂ）のＡ１−Ａ２線断面に対応する断面図である。
【０１１９】
実施形態に係るセンサ１３０は、第１構造体１０及び第２構造体２０を含む。センサ１３０は、検出部３０（図２（ａ）参照）をさらに含んでも良い。
【０１２０】
第１構造体１０は、支持部１０Ｈと、複数の変形可能部を含む。複数の変形可能部は、例えば、第１変形可能部１１及び第２変形可能部１２などを含む。第１変形可能部１１は、支持部１０Ｈに支持される。第２変形可能部１２は、支持部１０Ｈに支持される。第２変形可能部１２は、例えば、第１変形可能部１１に沿う。
【０１２１】
第２構造体２０は、第１構造体１０と接続される。第１構造体１０と第２構造体２０との間に液体４５が設けられる。
【０１２２】
この例においても、検出部３０は、第１変形可能部１１及び第２変形可能部１２の少なくともいずれかの変形に応じた信号を出力する。
【０１２３】
図１３（ａ）に示すように、第１変形可能部１１は、第１側面１１ｓｆａを含む。第１側面１１ｓｆａは、第２変形可能部１２と対向する。第１側面１１ｓｆａは、第１変形可能部１１から第２変形可能部１２への方向と交差する。第１側面１１ｓｆａは、第１凹凸１１ｄｐａを含む。
【０１２４】
第２変形可能部１２は、第２側面１２ｓｆａを含む。第２側面１２ｓｆａは、第１変形可能部１１と対向する。第２側面１２ｓｆａは、第１変形可能部１１から第２変形可能部１２への方向と交差する。第２側面１２ｓｆａは、第２凹凸１２ｄｐａを含む。第２凹凸１２ｄｐａは、第１凹凸１１ｄｐａに沿う。
【０１２５】
例えば、第１凹凸１１ｄｐａは、第１凸部１１ｐａ及び第１凹部１１ｄａを含む。第２凹凸１２ｄｐａは、第２凸部１２ｐａ及び第２凹部１２ｄａを含む。第２凹部１２ｄａは、第１凸部１１ｐａと対向する。第２凸部１２ｐａは、第１凹部１１ｄａと対向する。
【０１２６】
第１変形可能部１１は、第１カウンター側面１１ｓｆｂを含む。第１カウンター側面１１ｓｆｂは、第２カウンター変形可能部１２ｃと対向する。第１カウンター側面１１ｓｆｂは、第１変形可能部１１から第２カウンター変形可能部１２ｃへの方向と交差する。第１カウンター側面１１ｓｆｂは、第１カウンター凹凸１１ｄｐｂを含む。
【０１２７】
第２カウンター変形可能部１２ｃは、第２カウンター側面１２ｓｆｂを含む。第２カウンター側面１２ｓｆｂは、第１変形可能部１１と対向する。第２カウンター側面１２ｓｆｂは、第１変形可能部１１から第２カウンター変形可能部１２ｃへの方向と交差する。第２カウンター側面１２ｓｆｂは、第２カウンター凹凸１２ｄｐｂを含む。第２カウンター凹凸１２ｄｐｂは、第１カウンター凹凸１１ｄｐｂに沿う。
【０１２８】
例えば、第１カウンター凹凸１１ｄｐｂは、第１カウンター凸部１１ｐｂ及び第１カウンター凹部１１ｄｂを含む。第２カウンター凹凸１２ｄｐｂは、第２カウンター凸部１２ｐｂ及び第２カウンター凹部１２ｄｂを含む。第２カウンター凹部１２ｄｂは、第１カウンター凸部１１ｐｂと対向する。第２カウンター凸部１２ｐｂは、第１カウンター凹部１１ｄｂと対向する。
【０１２９】
センサ１３０においては、例えば、変形可能部は、幅が広い部分と、幅が狭い部分と、を含む。変形可能部の変形が容易になる。例えば、ギャップから液体４５が流出することが抑制できる。例えば、特性を安定にできるセンサを提供できる。
【０１３０】
図１４は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
実施形態に係るセンサ１３１において、第１変形可能部１１、第２変形可能部１２及び第２カウンター変形可能部１２ｃの組が複数設けられても良い。センサ１３１においても、複数の変形可能部の側面が凹凸を含む。
【０１３１】
図１５は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
実施形態に係るセンサ１３２において、第１変形可能部１１、第２変形可能部１２及び第２カウンター変形可能部１２ｃの組が複数設けられても良い。センサ１３２においても、複数の変形可能部の側面が凹凸を含む。凹凸は、連続してカーブする波形状でも良い。凹凸の少なくとも一部は、直線（平面）を含んでも良い（図１４など）。センサ１３１及び１３２においても、変形可能部の変形が容易になる。例えば、ギャップから液体４５が流出することが抑制できる。例えば、特性を安定にできるセンサを提供できる。
【０１３２】
例えば、橋梁等の構造物の老朽化に伴う問題が顕在化してきている。構造物の状態を監視するための技術の開発が望まれる。例えば、アコースティック・エミッション（ＡＥ：Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）方式により、構造物の損傷を検出する技術がある。この技術においては、例えば、内部亀裂の発生、または、内部亀裂の進展に伴い発生する弾性波が、高感度のセンサにより検出される。
【０１３３】
アコースティック・エミッションは、例えば、材料の疲労亀裂の進展に伴い発生する弾性波である。ＡＥ方式では、この弾性波が、ＡＥセンサにより、電圧信号（ＡＥ信号）として検出される。ＡＥセンサとして、例えば、ＰＺＴなどの圧電素子を用いたセンサがある。
【０１３４】
例えば、ＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)タイプのＡＥセンサもある。ＭＥＭＳタイプのＡＥセンサにおいて、カンチレバーとフレームとの間に形成されたギャップを密閉する液体が設けられる。液体は、有限な範囲内に留まるように液体保持領域に保持される。液体により、液体の表面張力波に沿ってカンチレバーが振動する。これにより、広帯域・高感度な振動センサとして動作する。
【０１３５】
液体がギャップから漏れ出す場合がある。例えば、センサが落下したときなどにおいて、センサに衝撃が加わる。このような場合に、ギャップが瞬間的に拡大する。これにより、液体が漏れる場合がある。液体がギャップから漏れると、センサの能力を十分に得ることが困難になる。
【０１３６】
実施形態においては、例えば、液体４５の流出を抑制できる。例えば、ＡＥセンサにおいて、耐衝撃性が向上できる。例えば、安定した特性が得易くなる。
【０１３７】
図中の符号は、以下の通りである。
１０…第１構造体、  １０Ｆ…膜部、  １０Ｈ…支持部、  １０Ｎ…第Ｎ変形可能部、  １０ＮＬ…第Ｎ長さ、  １０ＮＷ…第Ｎ幅、  １０ＮＺ…第Ｎ厚さ、  １０（Ｎ−１）…第（Ｎ−１）変形可能部、  １０（Ｎ−１）Ｌ…第（Ｎ−１）長さ、  １０（Ｎ−１）Ｗ…第（Ｎ−１）幅、  １０（Ｎ−１）Ｚ…第（Ｎ−１）厚さ、  １０（Ｎ−１）ｃ…第（Ｎ−１）カウンター変形可能部、  １０（Ｎ−１）ｃＬ…第（Ｎ−１）カウンター長さ、  １０（Ｎ−１）ｃＷ…第（Ｎ−１）カウンター幅、  １０（Ｎ−１）ｃＺ…第（Ｎ−１）カウンター厚さ、  １０Ｎｃ…第Ｎカウンター変形可能部、  １０ＮｃＬ…第Ｎカウンター長さ、  １０ＮｃＷ…第Ｎカウンター幅、  １０ＮｃＺ…第Ｎカウンター厚さ、  １０Ｎｃｐ…第Ｎカウンター端部、  １０Ｎｃｑ…第Ｎカウンター他端部、  １０Ｎｐ…第Ｎ端部、  １０Ｎｑ…第Ｎ他端部、  １０（Ｎ−１）ｐ…第（Ｎ−１）カウンター端部、  １０（Ｎ−１）ｑ…第（Ｎ−１）カウンター他端部、  １０ｓ…スリット、  １０ＳＬ…孔、  １０ｘ…膜部、  １１、１２、１３…第１、第２、第３変形可能部、  １１Ｌ、１２Ｌ…第１、第２長さ、  １１Ｗ、１２Ｗ…第１、第２幅、  １１Ｚ、１２Ｚ…第１、第２厚さ、  １１ｄａ…第１凹部、  １１ｄｂ…第１カウンター凹部、  １１ｄｐａ…第１凹凸、  １１ｄｐｂ…第１カウンター凹凸、  １１ｆＡ、１１ｆＢ…第１、第２面、  １１ｐ、１２ｐ…第１、第２端部、  １１ｑ、１２ｑ…第１、第２他端部、  １１ｐａ…第１凸部、  １１ｐｂ…第１カウンター凸部、  １１ｓａ、１１ｓｂ、１２ｓａ、１２ｓｂ…側部、  １１ｓｆａ…第１側面、  １１ｓｆｂ…第１カウンター側面、  １２ｃ、１３ｃ…第２、第３カウンター変形可能部、  １２ｃＬ…第２カウンター長さ、  １２ｃＷ…第２カウンター幅、  １２ｃＺ…第２カウンター厚さ、  １２ｄａ…第２凹部、  １２ｄｂ…第２カウンター凹部、  １２ｄｐａ…第２凹凸、  １２ｄｐｂ…第２カウンター凹凸、  １２ｆＣ、１２ｆＤ…第３、第４面、  １２ｐａ…第２凸部、  １２ｐｂ…第２カウンター凸部、  １２ｓｆａ…第２側面、  １２ｓｆｂ…第２カウンター側面、  ２０…第２構造体、  ３０…検出部、  ３５ｅ、３５ｆ…第１、第２電極、  ４５…液体、  １１０、１１０ｘ、１１１、１１２、１１３、１１４、１１９、１１９ｂ、１２０、１２０ｘ、１２１、１３０、１３１、１３２…センサ、  ＡＲ…矢印、  ＤＰ…パラメータ、  ＧＰ…ギャップ、  Ｐ１…圧力、  ｗ１…幅。
【０１３８】
実施形態は、例えば、以下の構成（例えば技術案）を含んでも良い。
（構成１）
支持部と、
前記支持部に支持された第１変形可能部であって、前記第１変形可能部は、第１長さ、第１幅及び第１厚さを有し、前記第１長さは、前記第１幅よりも大きく前記第１厚さよりも大きい、前記第１変形可能部と、
前記支持部に支持され前記第１変形可能部に沿う第２変形可能部であって、前記第２変形可能部は、前記第１長さよりも短い第２長さ、前記第１幅よりも広い第２幅、前記第１厚さよりも厚い第２厚さ、前記第１変形可能部の第１ヤング率よりも高い第２ヤング率、前記第１変形可能部の第１バネ定数よりも大きい第２バネ定数の少なくともいずれかを有し、前記第２長さは、前記第２幅よりも大きく前記第２厚さよりも大きい、前記第２変形可能部と、
を含む第１構造体と、
前記第１構造体と接続された第２構造体であって、前記第１構造体と前記第２構造体との間に液体が設けられる、前記第２構造体と、
前記第１変形可能部及び前記第２変形可能部の少なくともいずれかの変形に応じた信号を出力する検出部と、
を備えたセンサ。
【０１３９】
（構成２）
前記第１長さは、第１方向に沿う前記第１変形可能部の長さであり、
前記第２長さは、前記第１方向に沿う前記第２変形可能部の長さであり、
前記第１変形可能部から前記第２変形可能部への第２方向は、前記第１方向と交差し、
前記第１幅は、前記第２方向に沿う前記第１変形可能部の長さであり、
前記第２幅は、前記第２方向に沿う前記第２変形可能部の長さであり、
第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記第１厚さは、前記第３方向に沿う前記第１変形可能部の長さであり、
前記第２厚さは、前記第３方向に沿う前記第２変形可能部の長さである、構成１記載のセンサ。
【０１４０】
（構成３）
前記第１変形可能部は、前記第１方向に沿う２つの第１側部を含み、
前記２つの第１側部は、前記支持部から離れ、前記第２変形可能部から離れ、
前記第２変形可能部は、前記第１方向に沿う２つの第２側部を含み、
前記２つの第２側部は、前記支持部から離れ、前記第１変形可能部から離れた、構成２記載のセンサ。
【０１４１】
（構成４）
前記第１構造体は、前記第１変形可能部と前記第２変形可能部との間に設けられたスリット、及び、前記第２変形可能部と前記支持部との間に設けられたスリットを含む、構成１〜３のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１４２】
（構成５）
前記第１変形可能部の第１端部は、前記支持部に支持され、
前記第１変形可能部の第１他端部は、前記支持部に支持され、
前記第２変形可能部の第２端部は、前記支持部に支持され、
前記第２変形可能部の第２他端部は、前記支持部に支持された、前記構成２〜４のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１４３】
（構成６）
前記第１他端部から前記第１端部への方向は、前記第１方向に沿う、構成５記載のセンサ。
【０１４４】
（構成７）
前記第１構造体は、前記支持部に支持され前記第１変形可能部に沿う第２カウンター変形可能部をさらに含み、
前記第２変形可能部と前記第２カウンター変形可能部との間に、前記第１変形可能部の少なくとも一部が設けられ、
前記第２カウンター変形可能部は、前記第１長さよりも短い第２カウンター長さ、前記第１幅よりも広い第２カウンター幅、及び、前記第１厚さよりも厚い第２カウンター厚さの少なくともいずれかを有し、前記第２カウンター長さは、前記第２カウンター幅よりも大きく前記第２カウンター厚さよりも大きい、構成１〜６のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１４５】
（構成８）
前記第１構造体は、前記支持部に支持された第Ｎ変形可能部をさらに含み、
前記Ｎは、３以上の整数であり、
前記第１変形可能部と前記第Ｎ変形可能部との間に第（Ｎ−１）変形可能部があり、
前記第Ｎ変形可能部は、前記第（Ｎ−１）変形可能部に沿い、
前記第（Ｎ−１）変形可能部は、第（Ｎ−１）長さ、第（Ｎ−１）幅及び第（Ｎ−１）厚さを有し、前記第（Ｎ−１）長さは、前記第（Ｎ−１）幅よりも大きく前記第（Ｎ−１）厚さよりも大きく、
前記第Ｎ変形可能部は、前記第（Ｎ−１）長さよりも短い第Ｎ長さ、前記第（Ｎ−１）幅よりも広い第Ｎ幅、及び、前記第（Ｎ−１）厚さよりも厚い第Ｎ厚さの少なくともいずれかを有し、前記第Ｎ長さは、前記第Ｎ幅よりも大きく前記第Ｎ厚さよりも大きい、構成１〜７のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１４６】
（構成９）
前記第１構造体は、前記支持部に支持された第Ｎカウンター変形可能部をさらに含み、
前記第Ｎ変形可能部と前記第Ｎカウンター変形可能部との間に前記第１変形可能部があり、
前記第１変形可能部と前記第Ｎカウンター変形可能部との間に第（Ｎ−１）カウンター変形可能部があり、
前記第Ｎカウンター変形可能部は、前記第（Ｎ−１）カウンター変形可能部に沿い、
前記第（Ｎ−１）カウンター変形可能部は、第（Ｎ−１）カウンター長さ、第（Ｎ−１）カウンター幅及び第（Ｎ−１）カウンター厚さを有し、前記第（Ｎ−１）カウンター長さは、前記第（Ｎ−１）カウンター幅よりも大きく前記第（Ｎ−１）カウンター厚さよりも大きく、
前記第Ｎカウンター変形可能部は、前記第（Ｎ−１）カウンター長さよりも短い第Ｎカウンター長さ、前記第（Ｎ−１）カウンター幅よりも広い第Ｎカウンター幅、及び、前記第（Ｎ−１）カウンター厚さよりも厚い第Ｎカウンター厚さの少なくともいずれかを有し、前記第Ｎカウンター長さは、前記第Ｎカウンター幅よりも大きく前記第Ｎカウンター厚さよりも大きい、構成８記載のセンサ。
【０１４７】
（構成１０）
前記第１〜第Ｎ変形可能部と前記支持部との境界、及び、前記第２〜前記第Ｎカウンター変形可能部と前記支持部との境界で形成される形状は、略円状である、構成９記載のセンサ。
【０１４８】
（構成１１）
前記変形は、前記第２構造体に加わる音波に応じる、構成１〜１０のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１４９】
（構成１２）
前記第１長さは、前記第１幅の２倍以上１００倍以下である、構成１〜１１のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１５０】
（構成１３）
前記第１長さは、前記第１厚さの１００倍以上３０００倍以下である、構成１〜１２のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１５１】
（構成１４）
前記第１変形可能部は、第１面と第２面とを含み、
前記第１面は、前記第２面と前記液体との間にあり、
前記第２面の前記液体に対する接触角は、前記第１面の前記液体に対する接触角よりも大きい、構成１〜１３のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１５２】
（構成１５）
前記第１変形可能部は、第１層と第２層とを含み、
前記第１層は、前記第２層と前記液体との間にあり、
前記第１層はフッ素を含まず前記第２層はフッ素を含む、または、前記第１層に含まれるフッ素の濃度は前記第２層に含まれるフッ素の濃度よりも低い、構成１〜１４いずれか１つに記載のセンサ。
【０１５３】
（構成１６）
前記第２変形可能部は、第３面と第４面とを含み、
前記第３面は、前記第４面と前記液体との間にあり、
前記第４面の前記液体に対する接触角は、前記第３面の前記液体に対する接触角よりも大きい、構成１４〜１５のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１５４】
（構成１７）
支持部と、
前記支持部に支持された第１変形可能部と、
を含む第１構造体と、
前記第１構造体と接続された第２構造体であって、前記第１構造体と前記第２構造体との間に液体が設けられる、前記第２構造体と、
を備え、
前記第１変形可能部は、第１面と第２面とを含み、
前記第１面は、前記第２面と前記液体との間にあり、
前記第２面の前記液体に対する接触角は、前記第１面の前記液体に対する接触角よりも大きい、センサ。
【０１５５】
（構成１８）
前記第１変形可能部は、第１層と第２層とを含み、
前記第１層は、前記第２層と前記液体との間にあり、
前記第１層はフッ素を含まず前記第２層はフッ素を含む、または、前記第１層に含まれるフッ素の濃度は前記第２層に含まれるフッ素の濃度よりも低い、構成１７記載のセンサ。
【０１５６】
（構成１９）
支持部と、
前記支持部に支持された第１変形可能部と、
前記支持部に支持され前記第１変形可能部に沿う第２変形可能部と、
を含む第１構造体と、
前記第１構造体と接続された第２構造体であって、前記第１構造体と前記第２構造体との間に液体が設けられる、前記第２構造体と、
前記第１変形可能部及び前記第２変形可能部の少なくともいずれかの変形に応じた信号を出力する検出部と、
を備え、
前記第１変形可能部は、前記第２変形可能部と対向し第１凹凸を含む第１側面を含み、
前記第２変形可能部は、前記第１変形可能部と対向し前記第１凹凸に沿う第２凹凸を含む第２側面を含む、センサ。
【０１５７】
（構成２０）
前記第１凹凸は、第１凸部及び第１凹部を含み、
前記第２凹凸は、前記第１凸部と対向する第２凹部と、前記第１凹部と対向する第２凸部と、を含む、構成１９記載のセンサ。
【０１５８】
（構成２１）
前記信号は、
前記変形に伴って生じる抵抗の変化、
前記変形に伴って生じる圧電の電圧の変化、及び、
前記変形に伴って生じる静電容量の変化、
の少なくともいずれかを含む、構成１〜２０のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１５９】
（構成２２）
前記検出部は、
前記第１変形可能部の一部に接続された第１電極と、
前記第１変形可能部の別の一部に接続された第２電極と、
を含む、構成１〜２１のいずれか１つに記載のセンサ。
【０１６０】
実施形態によれば、特性を安定にできるセンサを提供することができる。
【０１６１】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、センサに含まれる構造体、保持部、液体及び検出部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
【０１６２】
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【０１６３】
その他、本発明の実施の形態として上述したセンサを基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのセンサも、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【０１６４】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【０１６５】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、請求の範囲に記載された発明及びその等価物の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【図１】
2020100192.tif 000003
【図２】
2020100192.tif 000004
【図３】
2020100192.tif 000005
【図４】
2020100192.tif 000006
【図５】
2020100192.tif 000007
【図６】
2020100192.tif 000008
【図７】
2020100192.tif 000009
【図８】
2020100192.tif 000010
【図９】
2020100192.tif 000011
【図１０】
2020100192.tif 000012
【図１１】
2020100192.tif 000013
【図１２】
2020100192.tif 000014
【図１３】
2020100192.tif 000015
【図１４】
2020100192.tif 000016
【図１５】
2020100192.tif 000017
【国際調査報告】
2020100192.tif 000018
2020100192.tif 000019