(57)【要約】  隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に着色感光性組成物を塗布して隔壁で区画された領域内を含む支持体上に着色感光性組成物層を形成する工程と、支持体上に形成された着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、現像液を用いて未露光部の着色感光性組成物層を現像除去して隔壁で区画された領域内に画素を形成する工程と、を含む構造体の製造方法であって、現像液として、アルカリ剤を０．０２〜０．２２質量％と、キレート剤とを含むアルカリ水溶液を用いる構造体の製造方法。前述の構造体の製造方法を含むカラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法。
2020179648.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に着色感光性組成物を塗布して前記隔壁で区画された領域内を含む前記支持体上に着色感光性組成物層を形成する工程と、
前記支持体上に形成された着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、
現像液を用いて未露光部の着色感光性組成物層を現像除去して前記隔壁で区画された領域内に画素を形成する工程と、
を含む構造体の製造方法であって、
前記現像液として、アルカリ剤を０．０２〜０．２２質量％と、キレート剤とを含むアルカリ水溶液を用いる、構造体の製造方法。
【請求項２】
前記現像液は、アルカリ剤を０．１０〜０．１８質量％含む、請求項１に記載の構造体の製造方法。
【請求項３】
前記現像液は、キレート剤を０．０１〜０．２０質量％含む、請求項１または２に記載の構造体の製造方法。
【請求項４】
前記アルカリ剤は、有機塩基化合物である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項５】
前記現像液は、更に界面活性剤を含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項６】
前記界面活性剤は、ノニオン性界面活性剤である、請求項５に記載の構造体の製造方法。
【請求項７】
前記ノニオン性界面活性剤は、炭素数１０〜２０のアルキル基を有する化合物である、請求項６に記載の構造体の製造方法。
【請求項８】
前記ノニオン性界面活性剤は、炭素数１２〜１５のアルキル基を有する化合物である、請求項６に記載の構造体の製造方法。
【請求項９】
前記ノニオン性界面活性剤は、ポリオキシアルキレン構造を含む化合物である、請求項６〜８のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項１０】
前記着色感光性組成物は、全固形分中に着色剤を３０〜７０質量％含有する、請求項１〜９のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項１１】
前記着色感光性組成物は、酸価が１０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇで、エチレン性不飽和結合基価が１．０〜２．０ｍｍｏｌ／ｇの樹脂を含む、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項１２】
前記着色感光性組成物は重合性基を６個以上含む重合性化合物を含む、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項１３】
前記隔壁の表面に有機物層を形成した後、前記支持体上に着色感光性組成物を塗布して前記着色感光性組成物層を形成する、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の構造体の製造方法。
【請求項１４】
エチレン性不飽和結合基を有する化合物を含む有機物層形成用組成物を用いて前記隔壁の表面に前記有機物層を形成する、請求項１３に記載の構造体の製造方法。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか１項に記載の構造体の製造方法を含むカラーフィルタの製造方法。
【請求項１６】
請求項１〜１４のいずれか１項に記載の構造体の製造方法を含む固体撮像素子の製造方法。
【請求項１７】
請求項１〜１４のいずれか１項に記載の構造体の製造方法を含む画像表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、隔壁で区画された領域内に画素が形成された構造体の製造方法に関する。また、本発明は、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。【０００３】
カラーフィルタは、例えば、着色感光性組成物を用いて支持体上に着色感光性組成物層を形成し、着色感光性組成物層をパターン状に露光した後、現像液を用いて未露光部の着色感光性組成物層を現像除去して画素を形成して製造されている。現像液としては、特許文献１、２などに記載されているように、アルカリ剤とキレート剤とを含むアルカリ水溶液などが知られている（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０３−１９８０４６号公報
【特許文献２】特開２０００−１６２７８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
露光および現像を行って画素を形成するにあたり、現像残渣が少ないこと、現像後の画素表面の表面粗さが小さいことが望まれている。【０００６】
また、近年では、画素同士の間に隔壁を設けて画素を透過する光の集光性などを高めたり、隣接する画素との混色を防止するなどの試みが検討されている。隔壁間に画素を形成する場合、形成される画素の矩形性についてより高い水準が要求されている。【０００７】
また、近年では、固体撮像素子はより過酷な環境下での使用に供されることもある。それに伴い、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタについて、温度サイクル耐性について優れた特性を有するものが望まれている。ここで、「温度サイクル耐性」とは、支持体上に形成した画素が高温と低温が繰り返されるサイクルに供された時に、画素が示す支持体への密着性の高さのことである。【０００８】
本発明者の検討によれば、従来より知られている現像液を用いて隔壁で区画された領域内に画素を形成したところ、これらの特性を高い水準で並立させることが困難であることが分かった。【０００９】
よって、本発明の目的は、現像残渣を抑制し、表面粗さが小さく、矩形性および温度サイクル耐性に優れた画素を、隔壁で区画された領域内に形成することができる構造体の製造方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者が鋭意検討したところ、後述する方法によって上記の目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。よって、本発明は以下を提供する。
＜１＞  隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に着色感光性組成物を塗布して隔壁で区画された領域内を含む支持体上に着色感光性組成物層を形成する工程と、
支持体上に形成された着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、
現像液を用いて未露光部の着色感光性組成物層を現像除去して隔壁で区画された領域内に画素を形成する工程と、
を含む構造体の製造方法であって、
現像液として、アルカリ剤を０．０２〜０．２２質量％と、キレート剤とを含むアルカリ水溶液を用いる、構造体の製造方法。
＜２＞  上記現像液は、アルカリ剤を０．１０〜０．１８質量％含む、＜１＞に記載の構造体の製造方法。
＜３＞  上記現像液は、キレート剤を０．０１〜０．２０質量％含む、＜１＞または＜２＞に記載の構造体の製造方法。
＜４＞  上記アルカリ剤は、有機塩基化合物である、＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法。
＜５＞  上記現像液は、更に界面活性剤を含む、＜１＞〜＜４＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法。
＜６＞  上記界面活性剤は、ノニオン性界面活性剤である、＜５＞に記載の構造体の製造方法。
＜７＞  上記ノニオン性界面活性剤は、炭素数１０〜２０のアルキル基を有する化合物である、＜６＞に記載の構造体の製造方法。
＜８＞  上記ノニオン性界面活性剤は、炭素数１２〜１５のアルキル基を有する化合物である、＜６＞に記載の構造体の製造方法。
＜９＞  上記ノニオン性界面活性剤は、ポリオキシアルキレン構造を含む化合物である、＜６＞〜＜８＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法。
＜１０＞  上記着色感光性組成物は、全固形分中に着色剤を３０〜７０質量％含有する、＜１＞〜＜９＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法。
＜１１＞  上記着色感光性組成物は、酸価が１０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇで、エチレン性不飽和結合基価が１．０〜２．０ｍｍｏｌ／ｇの樹脂を含む、＜１＞〜＜１０＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法。
＜１２＞  上記着色感光性組成物は重合性基を６個以上含む重合性化合物を含む、＜１＞〜＜１１＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法。
＜１３＞  上記隔壁の表面に有機物層を形成した後、上記支持体上に着色感光性組成物を塗布して上記着色感光性組成物層を形成する、＜１＞〜＜１２＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法。
＜１４＞  エチレン性不飽和結合基を有する化合物を含む有機物層形成用組成物を用いて上記隔壁の表面に上記有機物層を形成する、＜１３＞に記載の構造体の製造方法。
＜１５＞  ＜１＞〜＜１４＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法を含むカラーフィルタの製造方法。
＜１６＞  ＜１＞〜＜１４＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法を含む固体撮像素子の製造方法。
＜１７＞  ＜１＞〜＜１４＞のいずれか１つに記載の構造体の製造方法を含む画像表示装置の製造方法。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、現像残渣を抑制し、かつ、表面粗さが小さく、矩形性および温度サイクル耐性に優れた画素を隔壁で区画された領域内に形成することができる構造体の製造方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】支持体の真上方向からみた平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】着色感光性組成物層を形成した状態を示す図である。
【図４】隔壁で区画された領域内に画素を形成した状態を示す図である。
【図５】隔壁で区画された領域内に各色の画素をそれぞれ形成した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書において、「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、（メタ）アリル基は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）法により測定したポリスチレン換算値である。
本明細書において、赤外線とは、波長７００〜２５００ｎｍの光をいう。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において「工程」との語は独立した工程だけを指すのではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
【００１４】
＜構造体の製造方法＞
本発明の構造体の製造方法は、
隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に着色感光性組成物を塗布して隔壁で区画された領域内を含む支持体上に着色感光性組成物層を形成する工程と、
支持体上に形成された着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、
現像液を用いて未露光部の着色感光性組成物層を現像除去して隔壁で区画された領域内に画素を形成する工程と、を含み、
現像液として、アルカリ剤を０．０２〜０．２２質量％と、キレート剤とを含むアルカリ水溶液を用いることを特徴とする。
【００１５】
本発明によれば、アルカリ剤を０．０２〜０．２２質量％と、キレート剤とを含むアルカリ水溶液を現像液として用いて未露光部の着色感光性組成物層を現像除去することにより、現像残渣を抑制し、表面粗さが小さく、矩形性および温度サイクル耐性に優れた画素を、隔壁で区画された領域内に形成することができる。
【００１６】
本発明の構造体の製造方法では、支持体として、表面に隔壁を有し、支持体の表面が隔壁によって複数の領域に区画されているものが用いられる。まず、隔壁を有する支持体について、図面を用いて説明する。図１は支持体１の真上方向からみた平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ線断面図である。
【００１７】
図１、２において、符号１は支持体である。支持体１の材料としては特に限定はない。用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、シリコン基板などが挙げられ、シリコン基板であることが好ましい。また、シリコン基板には、電荷結合素子（ＣＣＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、シリコン基板上には、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。
【００１８】
図１、２に示されるように、支持体１上には隔壁２が設けられており、支持体１の表面が隔壁２によって複数の領域に区画されている。なお、前述の「領域」とは、支持体上の隔壁で囲まれた空間のことである。隔壁２は、支持体１上に直接接して設けられていてもよい。また、支持体１上に下塗り層が設けられている場合においては、下塗り層上に隔壁が設けられていてもよい。なお、図１、２では、支持体１上における隔壁２で囲まれた領域の形状（以下、隔壁の開口部の形状ともいう）は矩形状であるが、矩形状以外の形状であってもよい。例えば、円形状、楕円形状、５角形以上の多角形状等が挙げられる。
【００１９】
隔壁２の材質としては、特に限定はない。例えば、シロキサン樹脂、フッ素樹脂などの有機材料や、シリカ粒子などの無機粒子が挙げられる。シリカ粒子としては、複数個の球状シリカ粒子が数珠状に連結されているものが好ましく用いられる。なお、本明細書において「球状」とは、実質的に球形であれば良く、本発明の効果を奏する範囲で、変形していてもよい意味である。例えば、表面に凹凸を有する形状や、所定の方向に長軸を有する扁平形状も含む意味である。また、「複数個の球状シリカ粒子が数珠状に連結されている」とは、複数個の球状シリカ粒子同士が直鎖状および／または分岐した形で繋がった構造を意味する。例えば、複数個の球状シリカ粒子同士が、これよりも外径の小さい接合部で連結された構造が挙げられる。また、本発明において、「複数個の球状シリカ粒子が数珠状に連結されている」構造としては、リング状につながった形態をなしている構造のみならず、末端を有する鎖状の形態をなしている構造も含まれる。また、隔壁２は、国際公開第２０１９／０１７２８０号に記載されたコロイダルシリカ粒子を含む組成物を用いて形成することもできる。
【００２０】
また、隔壁２は、タングステン、アルミニウムなどの金属で構成されていてもよい。また、金属とブラックマトリックスとの積層体であってもよい。積層体の場合、金属とブラックマトリックスとの積層順序は特に限定はない。
【００２１】
隔壁２の高さＨ１は、０．３〜１．２μｍであることが好ましい。下限は、０．３５μｍ以上であることが好ましく、０．４μｍ以上であることがより好ましい。上限は、１．１μｍ以下であることが好ましく、１．０μｍ以下であることがより好ましく、０．８μｍ以下であることが更に好ましい。
【００２２】
隔壁２の幅Ｗ１は、０．０５〜０．２μｍが好ましい。下限は、０．０６μｍ以上であることが好ましく、０．０８μｍ以上であることがより好ましく、０．１０μｍ以上であることが更に好ましい。上限は、０．１８μｍ以下であることが好ましく、０．１５μｍ以下であることがより好ましく、０．１２μｍ以下であることが更に好ましい。
【００２３】
隔壁２の高さＨ１と幅Ｗ１の比（高さＨ１／幅Ｗ１）は、１．５〜２０．０であることが好ましい。下限は、１．８以上であることが好ましく、２．０以上であることがより好ましく、４．０以上であることが更に好ましい。上限は、１５．０以下であることが好ましく、１０．０以下であることがより好ましく、８．０以下であることが更に好ましい。
【００２４】
隔壁２のピッチ幅Ｐ１は、０．５〜２．０μｍであることが好ましい。下限は、０．６μｍ以上であることが好ましく、０．７μｍ以上であることがより好ましく、０．８μｍ以上であることが更に好ましい。上限は、１．８μｍ以下であることが好ましく、１．４μｍ以下であることがより好ましく、１．２μｍ以下であることが更に好ましい。なお、隔壁２のピッチ幅Ｐ１とは、隣合う隔壁の配列ピッチのことである。ピッチ幅Ｐ１が短くなるほど画素サイズが小さくなる。形成される画素サイズが小さくなるほど、温度サイクル耐性が低下しやすい傾向にあるが、本発明によれば、形成される画素サイズが小さくても、優れた温度サイクル耐性を得ることができる。したがって、隔壁２のピッチ幅Ｐ１が狭く、形成される画素サイズが小さい場合において、本発明の効果が顕著に発揮される。
【００２５】
隔壁２の表面には有機物層が設けられていてもよい。有機物層は、有機物層形成用組成物を隔壁上に塗布および乾燥して形成することができる。有機物層はエチレン性不飽和結合基を有する化合物を含む有機物層形成用組成物を用いて形成された層であることが好ましい。この態様によれば、有機物層と画素との密着性を高めることができ、より良好な耐湿性や温度サイクル耐性が得られる。有機物層形成用組成物については後述する。
【００２６】
隔壁２は、従来公知の方法を用いて形成することができる。例えば、次のようにして隔壁２を形成することができる。まず、支持体上に隔壁材料層を形成する。隔壁材料層は、例えば、シリカ粒子などの無機粒子を含む組成物を支持体上に塗布した後、硬化などを行って製膜して隔壁材料層を形成することができる。このような組成物としては、国際公開第２０１５／１９０３７４号の段落番号００１２〜０１３３に記載された光学機能層形成用組成物などが挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、支持体上に、二酸化ケイ素などの無機材料を、化学蒸着（ＣＶＤ）、真空蒸着などの蒸着法や、スパッタリングなどの方法で製膜して隔壁材料層を形成することができる。次いで、隔壁の形状に沿ったパターンを有するマスクを使用して隔壁材料層上にレジストパターンを形成する。次いで、このレジストパターンをマスクとして、隔壁材料層をエッチングしてパターンを形成する。エッチング方法としては、ドライエッチング法及びウエットエッチング法が挙げられる。ドライエッチング法でのエッチングは、特開２０１６−０１４８５６号公報の段落番号０１１４〜０１２０、０１２９、０１３０に記載された条件などで行うことができる。次いで、レジストパターンを隔壁材料層から剥離除去する。このようにして隔壁２を形成することができる。
【００２７】
本発明の構造体の製造方法では、図３に示すように、隔壁２で区画された複数の領域が設けられた支持体１上に着色感光性組成物を塗布して隔壁２で区画された領域内を含む支持体１上に着色感光性組成物層１０を形成する。着色感光性組成物としては、重合性化合物と、光重合開始剤と、樹脂とを含むものが好ましく用いられる。着色感光性組成物の種類としては、例えば、赤色画素、緑色画素、青色画素、黄色画素、シアン色画素、マゼンタ色画素、透明画素、赤外線透過性画素及び遮光画素から選ばれる画素形成用の組成物が挙げられ、赤色画素、緑色画素および青色画素から選ばれる画素形成用の組成物が好ましい。着色感光性組成物の詳細については後述する。なお、本明細書において、着色感光性組成物における「着色」の概念には、「透明」が含まれる。
【００２８】
着色感光性組成物の塗布方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法（ドロップキャスト）；スリットコート法；スプレー法；ロールコート法；回転塗布法（スピンコーティング）；流延塗布法；スリットアンドスピン法；プリウェット法（たとえば、特開２００９−１４５３９５号公報に記載されている方法）；インクジェット（例えばオンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式）、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法；金型等を用いた転写法；ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット−特許に見る無限の可能性−、２００５年２月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法（特に１１５ページ〜１３３ページ）や、特開２００３−２６２７１６号公報、特開２００３−１８５８３１号公報、特開２００３−２６１８２７号公報、特開２０１２−１２６８３０号公報、特開２００６−１６９３２５号公報などに記載の方法が挙げられる。また、着色感光性組成物の塗布方法は、国際公開第２０１７／０３０１７４号、国際公開第２０１７／０１８４１９号に記載された方法を用いることもでき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００２９】
支持体１上に形成した着色感光性組成物層１０は、乾燥（プリベーク）してもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０〜３００秒が好ましく、４０〜２５０秒がより好ましく、８０〜２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
【００３０】
次に、支持体上に形成された着色感光性組成物層１０をパターン状に露光する（露光工程）。例えば、着色感光性組成物層１０に対し、ステッパー露光機やスキャナ露光機などを用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
【００３１】
露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等が挙げられる。また、波長３００ｎｍ以下の光（好ましくは波長１８０〜３００ｎｍの光）を用いることもできる。波長３００ｎｍ以下の光としては、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦ線（波長１９３ｎｍ）などが挙げられ、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）が好ましい。また、３００ｎｍ以上の長波な光源も利用できる。
【００３２】
照射量（露光量）は、例えば、０．０３〜２．５Ｊ／ｃｍ２が好ましく、０．０５〜１．０Ｊ／ｃｍ２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、または、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、または、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ２〜１０００００Ｗ／ｍ２（例えば、５０００Ｗ／ｍ２、１５０００Ｗ／ｍ２、または、３５０００Ｗ／ｍ２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ２などとすることができる。
【００３３】
次に、現像液を用いて未露光部の着色感光性組成物層１０を現像除去して隔壁で区画された領域内に画素を形成する（現像工程）。これにより、露光工程における未露光部の着色感光性組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。
【００３４】
本発明では、現像液としてアルカリ剤を０．０２〜０．２２質量％と、キレート剤とを含むアルカリ水溶液を用いる。このような現像液を用いて現像することにより、現像残渣を抑制し、表面粗さが小さく、矩形性および温度サイクル耐性に優れた画素を、隔壁で区画された領域内に形成することができる。詳細な理由は不明であるが、アルカリ水溶液中のアルカリ剤の含有量を０．０２〜０．２２質量％とし、さらに、キレート剤を更に含有させることにより、優れた現像性が得られ、現像残渣を抑制し、表面粗さが小さく、矩形性に優れた画素を形成できたと推測される。更には、現像時にキレート剤の一部が膜中に浸透することで温度サイクル試験時に膜に掛かる応力が緩和されると推測され、その結果、優れた温度サイクル耐性が得られたと推測される。また、キレート剤の含有量が０．０１〜０．２０質量％である場合においては、上記特性に加え、更に、優れた耐湿性も得られる。詳細な理由は不明であるが、キレート剤の含有量が上記範囲であることにより、現像時にキレート剤の一部が膜中に浸透しても、膜中に浸透したキレート剤による水分の取り込みを抑制できたためであると推測される。
【００３５】
現像後純水で洗浄（リンス）することも好ましい。現像後、乾燥を施した後に追加露光処理や加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。追加露光処理やポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の硬化処理である。ポストベークにおける加熱温度は、例えば１００〜２４０℃が好ましく、２００〜２４０℃がより好ましい。ポストベークは、現像後の膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。追加露光処理を行う場合、露光に用いられる光は、波長４００ｎｍ以下の光であることが好ましい。また、追加露光処理は、韓国公開特許第１０−２０１７−０１２２１３０号公報に記載された方法で行ってもよい。
【００３６】
このようにして、図４に示すように、隔壁で区画された領域内に画素１１が形成される。なお、図４では、隔壁２の高さＨ１と、画素１１の厚さＨ２はほぼ同一であるが、隔壁２の高さＨ１は、画素１１の厚さＨ２よりも低くてもよく、高くてもよい。
【００３７】
２色目以降の画素についても上記の工程を繰り返し行うことで、図５に示すように、複数色の画素１１、２１、３１をそれぞれ隔壁で区画された領域内に形成することができる。
【００３８】
＜現像液＞
次に、本発明で用いられる現像液について説明する。本発明では、現像液としてアルカリ剤を０．０２〜０．２２質量％と、キレート剤とを含むアルカリ水溶液を用いる。現像液のｐＨは１０〜１４が好ましく、１１〜１３．５がより好ましく、１２〜１３が更に好ましい。
【００３９】
＜＜アルカリ剤＞＞
アルカリ剤としては、有機塩基化合物、無機塩基化合物が挙げられ、現像残渣の抑制の観点から有機塩基化合物であることが好ましい。また、有機塩基化合物としては、アンモニウム塩構造を有する有機塩基化合物が好ましく、テトラアルキルアンモニウム塩であることがより好ましく、テトラメチルアンモニウム塩であることが更に好ましい。
【００４０】
有機塩基化合物の具体例としては、アンモニア、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセンなどが挙げられる。アルカリ剤として用いられる無機塩基化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００４１】
アルカリ水溶液中のアルカリ剤の含有量は、０．０２〜０．２２質量％であり、０．１０〜０．１８質量％であることが好ましく、０．１２〜０．１７質量％であることがより好ましく、０．１３〜０．１６質量％であることが更に好ましい。アルカリ剤の含有量が０．０２質量％以上であれば、未露光部の着色感光性組成物層への現像液のしみ込みが良好であり、現像残差の発生を抑制できる。また、アルカリ剤の含有量が０．２２質量％以下であれば、表面粗さが小さく、矩形性、温度サイクル耐性および耐湿性に優れた画素を形成しやすい。
【００４２】
＜＜キレート剤＞＞
現像液として用いられるアルカリ水溶液はキレート剤を含む。本明細書において、キレート剤とは、金属イオンと配位結合して錯体を形成する化合物（配位子）のことをいう。
【００４３】
キレート剤は、２座以上の多座配位子であることが好ましく、２〜６座の多座配位子であることがより好ましく、２〜４座の多座配位子であることが更に好ましい。
【００４４】
キレート剤は、アミノ基、カルボキシル基、スルホ基およびリン酸基から選ばれる少なくとも１種の基を有する化合物であることが好ましく、アルカリ剤との相互作用が得られやすいという理由から、アミノ基を有する化合物であることがより好ましく、アミノ基とカルボキシル基とを有する化合物であることが更に好ましい（以下、アミノ基とカルボシキル基とを有する化合物をアミノカルボン酸化合物ともいう）。
【００４５】
アミノカルボン酸化合物は、２〜４個のアミノ基と、２〜８個のカルボキシル基とを有する化合物であることが好ましい。アミノ基の数は、２〜３個が好ましく、２個がより好ましい。カルボキシル基の数は２〜８個が好ましく、２〜４個がより好ましい。
【００４６】
キレート剤の具体例としては、エチレンジアミン、プロピレンジアミンなどのポリアミン化合物；ブチレンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸（ＤＴＰＡ）、エチレンジアミンテトラプロピオン酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、１，３−ジアミノ−２−ヒドロキシプロパン−Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−四酢酸、プロピレンジアミン四酢酸、エチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）、トランス−１，２−ジアミノシクロヘキサン四酢酸、エチレンジアミン二酢酸、エチレンジアミンジプロピオン酸、１，６−ヘキサメチレン−ジアミン−Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−四酢酸、Ｎ，Ｎ−ビス（２−ヒドロキシベンジル）エチレンジアミン−Ｎ，Ｎ−二酢酸、ジアミノプロパン四酢酸、１，４，７，１０−テトラアザシクロドデカン−四酢酸、ジアミノプロパノール四酢酸、及び（ヒドロキシエチル）エチレンジアミン三酢酸等のアミノカルボン酸化合物等が挙げられる。なかでも、温度サイクル耐性および耐湿性の観点からエチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）およびエチレンジアミンが好ましく、さらに、上記特性に加えてパターン形状の観点からエチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）がより好ましい。
【００４７】
アルカリ水溶液中のキレート剤の含有量は、０．０１〜０．２０質量％であることが好ましく、０．０２〜０．１０質量％であることがより好ましく、０．０４〜０．１０質量％であることが更に好ましい。キレート剤の含有量が上記範囲であれば、本発明の効果がより顕著に得られる。
また、キレート剤の含有量は、アルカリ剤１００質量部に対して５〜１３０質量部であることが好ましく、１０〜１００質量部であることがより好ましく、３０〜７０質量部であることが更に好ましい。キレート剤とアルカリ剤との割合が上記範囲であれば、本発明の効果がより顕著に得られる。詳細な理由は不明であるが、キレート剤とアルカリ剤との割合が上記範囲であることにより、キレート剤が着色感光性組成物層への適度に浸透させることができるためであると推測される。
【００４８】
＜＜界面活性剤＞＞
現像液として用いられるアルカリ水溶液は、更に界面活性剤を含有することが好ましい。界面活性剤を含有させることで、現像残渣の発生をより効果的に抑制できる。更には、温度サイクル耐性も向上できる。
【００４９】
界面活性剤としては、ノニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤が挙げられ、現像液の着色感光性組成物層への浸透性の観点からノニオン性界面活性剤が好ましい。
【００５０】
ノニオン性界面活性剤は、炭素数１〜３０のアルキル基を有する化合物であることが好ましく、炭素数５〜３０のアルキル基を有する化合物であることがより好ましく、炭素数５〜２０のアルキル基を有する化合物であることが更に好ましく、より優れた耐湿性が得られやすいという理由から、炭素数１０〜２０のアルキル基を有する化合物であることがより一層好ましく、炭素数１２〜１５のアルキル基を有する化合物であることが特に好ましい。
【００５１】
また、ノニオン性界面活性剤は、現像残渣をより効果的に抑制しやすいという理由から、ポリオキシアルキレン構造を含む化合物であるも好ましい。ポリオキシアルキレン構造を構成するオキシアルキレンとしては炭素数２〜６のオキシアルキレンが好ましく、炭素数２〜４のオキシアルキレンがより好ましく、オキシエチレン及びオキシプロピレンが更に好ましい。ポリオキシアルキレン構造におけるオキシアルキレンの繰返し数は２〜４０が好ましく、５〜３０がより好ましく、１０〜２０が更に好ましい。
【００５２】
ポリオキシアルキレン構造は、ポリオキシエチレン構造、ポリオキシプロピレン構造、ポリオキシブチレン構造、またはこれらの混合構造が好ましく、ポリオキシエチレン構造、ポリオキシプロピレン構造またはこれらの混合構造がより好ましく、ポリオキシエチレン構造とポリオキシプロピレン構造との混合構造が更に好ましい。また、ポリオキシアルキレン構造が、ポリオキシエチレン構造とポリオキシプロピレン構造との混合構造の場合、ポリオキシエチレン構造とポリオキシプロピレン構造との質量比は、ポリオキシエチレン構造：ポリオキシプロピレン構造＝１００：１〜１０００であることが好ましく、１００：１０〜１００であることがより好ましく、１００：１０〜５０であることが更に好ましく、１００：２０〜３０であることが特に好ましい。
【００５３】
ノニオン性界面活性剤の分子量は５００〜３０００が好ましい。上限は現像液の着色感光性組成物層への浸透性の観点から２０００以下が好ましく、１０００以下がより好ましい。下限は、耐湿性の観点から６００以上が好ましく、７００以上がより好ましい。
【００５４】
現像液に用いられるノニオン性界面活性剤は、フッ素原子およびケイ素原子を含まない化合物であることが好ましい。
【００５５】
現像液に用いられるノニオン性界面活性剤としては、式（Ｗ１）または式（Ｗ２）で表される化合物であることが好ましく、式（Ｗ１）で表される化合物であることがより好ましい。
ＲＷ１−（ＯＲＷ２）ｍ−ＲＷ３      ・・・（Ｗ１）
ＲＷ１−Ｐｈ−（ＯＲＷ２）ｍ−ＲＷ３      ・・・（Ｗ２）
【００５６】
式（Ｗ１）および式（Ｗ２）中、ＲＷ１は、炭素数１〜３０のアルキル基を表す。アルキル基の炭素数は、５〜３０が好ましく、５〜２０がより好ましく、１０〜２０が更に好ましく、１２〜１５が特に好ましい。アルキル基は、直鎖または分岐のアルキル基であることが好ましい。
【００５７】
式（Ｗ２）中、Ｐｈは、フェニレン基を表す。
【００５８】
式（Ｗ１）および式（Ｗ２）中、ＲＷ２はアルキレン基を表す。アルキレン基の炭素数は２〜６が好ましく、炭素数２〜４がより好ましく、２または３が更に好ましい。式（Ｗ１）および式（Ｗ２）において、ｍ個のＲＷ２は同一であってもよく、異なっていてもよい。なかでも、ｍ個のＲＷ２のうち少なくとも１個はエチレン基で、残りはプロピレン基であることが好ましい。
アルキレン基を表す。
【００５９】
式（Ｗ１）および式（Ｗ２）中、ｍは２以上の整数を表し、２〜４０が好ましく、５〜３０がより好ましく、１０〜２０が更に好ましい。
【００６０】
式（Ｗ１）および式（Ｗ２）中、ＲＷ３は、水素原子または置換基を表す。置換基としては、ヒドロキシ基、アルキル基などが挙げられる。
【００６１】
式（Ｗ１）で表される化合物は、式（Ｗ１−１）〜（Ｗ１−３）で表される化合物であることが好ましく、（Ｗ１−３）で表される化合物であることがより好ましい。
ＲＷ１−（ＯＣ２Ｈ５）ｍ１−ＲＷ３      ・・・（Ｗ１−１）
ＲＷ１−（ＯＣ３Ｈ７）ｍ１−ＲＷ３      ・・・（Ｗ１−２）
ＲＷ１−（ＯＣ２Ｈ５）ｍ２（ＯＣ３Ｈ７）ｍ３−ＲＷ３      ・・・（Ｗ１−３）
【００６２】
式中、ＲＷ１は、炭素数１〜３０のアルキル基を表し、ＲＷ３は、水素原子または置換基を表し、ｍ１は２以上の整数を表し、ｍ２は１以上の整数を表し、ｍ３は１以上の整数を表す。ｍ１は、２〜４０が好ましく、５〜３０がより好ましく、１０〜２０が更に好ましい。ｍ２およびｍ３は、それぞれ独立して１〜３９が好ましく、５〜３０がより好ましく、１０〜２０が更に好ましい。また、ｍ２とｍ３の合計は、２〜４０が好ましく、５〜３０がより好ましく、１０〜２０が更に好ましい。
【００６３】
ノニオン性界面活性剤の具体例としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオールエトキシレート、ＮＣＷ−１０１、ＮＣＷ−１００１、ＮＣＷ−１００２（富士フイルム和光純薬（株）製）、パイオニンＤ−６１１２、Ｄ−６１１２−Ｗ、Ｄ−６３１５（竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（日信化学工業（株）製）、ＢＬＡＵＮＯＮ  ＥＬ−１５１５、ＷＯＮＤＥＲＳＵＲＦ  ＮＤＲ−１４００、ＷＯＮＤＥＲＳＵＲＦ  １４０、ＷＯＮＤＥＲＳＵＲＦ  Ｓ−１４００、ＷＯＮＤＥＲＳＵＲＦ  ＳＡ−３０／７０  ２０００Ｒ、ＷＯＮＤＥＲＳＵＲＦ  ＮＰＰ−０８０２Ｒ、ＦＩＮＥＳＵＲＦ  ＴＤＥ１０５５、ＦＩＮＥＳＵＲＦ  ＴＤＰ−０４Ｋ（青木油脂工業（株）製）などが挙げられる。
【００６４】
アルカリ水溶液中の界面活性剤の含有量は、０．０３〜０．２５質量％であることが好ましく、０．０５〜０．２０質量％であることがより好ましく、０．１０〜０．１５質量％であることが更に好ましい。キレート剤の含有量が上記範囲であれば、現像残渣の発生をより効果的に抑制できる。
【００６５】
＜着色感光性組成物＞
次に、本発明の構造体の製造方法に用いられる着色感光性組成物について説明する。着色感光性組成物は、赤色画素、緑色画素、青色画素、黄色画素、シアン色画素、マゼンタ色画素、透明画素、赤外線透過性画素及び遮光画素から選ばれる画素形成用の組成物が挙げられ、赤色画素、緑色画素および青色画素から選ばれる画素形成用の組成物が好ましい。
【００６６】
＜＜着色剤＞＞
着色感光性組成物は着色剤を含有することが好ましい。着色剤としては、赤色着色剤、緑色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤、オレンジ色着色剤などの有彩色着色剤が挙げられる。着色剤は、顔料であってもよく、染料であってもよい。顔料と染料とを併用してもよい。また、顔料は、無機顔料、有機顔料のいずれでもよい。また、顔料には、無機顔料または有機−無機顔料の一部を有機発色団で置換した材料を用いることもできる。無機顔料や有機−無機顔料を有機発色団で置換することで、色相設計をしやすくできる。
【００６７】
顔料の平均一次粒子径は、１〜２００ｎｍが好ましい。下限は５ｎｍ以上が好ましく、１０ｎｍ以上がより好ましい。上限は、１８０ｎｍ以下が好ましく、１５０ｎｍ以下がより好ましく、１００ｎｍ以下が更に好ましい。顔料の平均一次粒子径が上記範囲であれば、着色感光性組成物中における顔料の分散安定性が良好である。なお、本発明において、顔料の一次粒子径は、顔料の一次粒子を透過型電子顕微鏡により観察し、得られた画像写真から求めることができる。具体的には、顔料の一次粒子の投影面積を求め、それに対応する円相当直径を顔料の一次粒子径として算出する。また、本発明における平均一次粒子径は、４００個の顔料の一次粒子についての一次粒子径の算術平均値とする。また、顔料の一次粒子とは、凝集のない独立した粒子をいう。
【００６８】
着色剤は、顔料を含むものであることが好ましい。着色剤中における顔料の含有量は、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましく、９０質量％以上であることが特に好ましい。顔料としては以下に示すものが挙げられる。
【００６９】
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４，２３１，２３２（メチン系）等（以上、黄色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９，２９４（キサンテン系、Ｏｒｇａｎｏ  Ｕｌｔｒａｍａｒｉｎｅ、Ｂｌｕｉｓｈ  Ｒｅｄ）等（以上、赤色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，１０，３６，３７，５８，５９，６２，６３等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２，６０（トリアリールメタン系），６１（キサンテン系）等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，２９，６０，６４，６６，７９，８０，８７（モノアゾ系），８８（メチン系）等（以上、青色顔料）。
【００７０】
また、緑色顔料として、１分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、臭素原子数が平均８〜１２個であり、塩素原子数が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／１１８７２０号に記載の化合物が挙げられる。また、緑色顔料として中国特許出願第１０６９０９０２７号明細書に記載の化合物、国際公開第２０１２／１０２３９５号に記載のリン酸エステルを配位子として有するフタロシアニン化合物などを用いることもできる。
【００７１】
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２−２４７５９１号公報の段落番号００２２〜００３０、特開２０１１−１５７４７８号公報の段落番号００４７に記載の化合物が挙げられる。
【００７２】
また、黄色顔料として、特開２０１７−２０１００３号公報に記載されている顔料、特開２０１７−１９７７１９号公報に記載されている顔料、特開２０１７−１７１９１２号公報の段落番号００１１〜００６２、０１３７〜０２７６に記載されている顔料、特開２０１７−１７１９１３号公報の段落番号００１０〜００６２、０１３８〜０２９５に記載されている顔料、特開２０１７−１７１９１４号公報の段落番号００１１〜００６２、０１３９〜０１９０に記載されている顔料、特開２０１７−１７１９１５号公報の段落番号００１０〜００６５、０１４２〜０２２２に記載されている顔料を用いることもできる。
【００７３】
また、黄色顔料として、特開２０１８−０６２６４４号公報に記載の化合物を用いることもできる。この化合物は顔料誘導体としても使用可能である。
【００７４】
赤色顔料として、特開２０１７−２０１３８４号公報に記載の構造中に少なくとも１つ臭素原子が置換したジケトピロロピロール化合物、特許第６２４８８３８号の段落番号００１６〜００２２に記載のジケトピロロピロール化合物、国際公開第２０１２／１０２３９９号に記載のジケトピロロピロール化合物、国際公開第２０１２／１１７９６５号に記載のジケトピロロピロール化合物、特開２０１２−２２９３４４号公報に記載のナフトールアゾ化合物などを用いることもできる。また、赤色顔料として、芳香族環に対して、酸素原子、硫黄原子または窒素原子が結合した基が導入された芳香族環基がジケトピロロピロール骨格に結合した構造を有する化合物を用いることもできる。
【００７５】
着色剤には染料を用いることもできる。染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。例えば、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が挙げられる。また、特開２０１２−１５８６４９号公報に記載のチアゾール化合物、特開２０１１−１８４４９３号公報に記載のアゾ化合物、特開２０１１−１４５５４０号公報に記載のアゾ化合物も好ましく用いることができる。また、黄色染料として、特開２０１３−０５４３３９号公報の段落番号００１１〜００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−０２６２２８号公報の段落番号００１３〜００５８に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。
【００７６】
着色剤には色素多量体を用いることもできる。色素多量体は、溶剤に溶解して用いられる染料であることが好ましい。また、色素多量体は、粒子を形成していてもよい。色素多量体が粒子である場合は通常溶剤に分散した状態で用いられる。粒子状態の色素多量体は、例えば乳化重合によって得ることができ、特開２０１５−２１４６８２号公報に記載されている化合物および製造方法が具体例として挙げられる。色素多量体は、一分子中に、色素構造を２以上有するものであり、色素構造を３以上有することが好ましい。上限は、特に限定はないが、１００以下とすることもできる。一分子中に有する複数の色素構造は、同一の色素構造であってもよく、異なる色素構造であってもよい。色素多量体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００〜５００００が好ましい。下限は、３０００以上がより好ましく、６０００以上がさらに好ましい。上限は、３００００以下がより好ましく、２００００以下がさらに好ましい。色素多量体は、特開２０１１−２１３９２５号公報、特開２０１３−０４１０９７号公報、特開２０１５−０２８１４４号公報、特開２０１５−０３０７４２号公報、国際公開第２０１６／０３１４４２号等に記載されている化合物を用いることもできる。
【００７７】
また、着色剤として、国際公開第２０１２／１２８２３３号に記載されている縮環型キノフタロン化合物、国際公開第２０１１／０３７１９５号に記載されている着色剤を用いることもできる。
【００７８】
着色剤の含有量は、着色感光性組成物の全固形分中３０〜７０質量％であることが好ましい。下限は３５質量％以上であることが好ましく、４０質量％以上であることがより好ましい。上限は６０質量％以下であることが好ましい。
【００７９】
＜＜顔料誘導体＞＞
着色感光性組成物は顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン骨格、ベンゾイミダゾロン骨格、ジケトピロロピロール骨格、アゾ骨格、フタロシアニン骨格、アンスラキノン骨格、キナクリドン骨格、ジオキサジン骨格、ペリノン骨格、ペリレン骨格、チオインジゴ骨格、イソインドリン骨格、イソインドリノン骨格、キノフタロン骨格、スレン骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン骨格、ベンゾイミダゾロン骨格、ジケトピロロピロール骨格、アゾ骨格、キノフタロン骨格、イソインドリン骨格およびフタロシアニン骨格が好ましく、アゾ骨格およびベンゾイミダゾロン骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸基としては、スルホ基、カルボキシル基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。
【００８０】
顔料誘導体としては、可視透明性に優れた顔料誘導体（以下、透明顔料誘導体ともいう）を用いることもできる。透明顔料誘導体の４００〜７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値（εｍａｘ）は３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが好ましく、１０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることがより好ましく、１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることがさらに好ましい。εｍａｘの下限は、例えば１Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以上であり、１０Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以上でもよい。
【００８１】
顔料誘導体の具体例としては、特開２０１１−２５２０６５号公報の段落番号０１６２〜０１８３に記載された化合物、特開２００３−０８１９７２号公報に記載された化合物、特許第５２９９１５１号公報に記載された化合物が挙げられる。
【００８２】
顔料誘導体の含有量は、顔料１００質量部に対して１〜３０質量部が好ましく、３〜２０質量部が更に好ましい。また、顔料誘導体と着色剤との合計の含有量は、着色感光性組成物の全固形分中２５質量％以上であることが好ましく、３０質量％以上がより好ましく、４０質量％以上が更に好ましい。上限は、７０質量％以下が好ましく、６５質量％以下がより好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００８３】
＜＜重合性化合物＞＞
着色感光性組成物は、重合性化合物を含有することが好ましい。重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることが好ましい。
【００８４】
重合性化合物としては、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。重合性化合物の分子量は、１００〜３０００が好ましい。上限は、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。
【００８５】
重合性化合物は、重合性基を３個以上含む化合物であることが好ましく、重合性基を４個以上含む化合物であることがより好ましく、重合性基を５個以上含む化合物であることが更に好ましく、形成される画素の温度サイクル耐性や耐湿性をより向上させやすいという理由から、重合性基を６個以上含む化合物であることが特に好ましい。重合性化合物として重合性基を６個以上含む化合物を用いた場合は、露光時の硬化性が良好で、露光部の膜の架橋密度をより高めることができるので、露光部の膜中への現像液のしみ込みを適度に抑制でき、支持体や隔壁へしっかりと密着した画素を形成できると推測される。その結果、形成される画素の温度サイクル耐性や耐湿性をより向上させることができると推測される。
【００８６】
重合性化合物に含まれる重合性基の数の上限は、１５個以下であることが好ましく、１０個以下であることがより好ましい。重合性化合物が有する重合性基の種類としては、エチレン性不飽和結合基であることが好ましい。エチレン性不飽和結合基としては、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられ、アリル基および（メタ）アクリロイル基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。
【００８７】
重合性化合物は、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、４〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましく、５〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが更に好ましく、６〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより一層好ましく、６〜１０官能の（メタ）アクリレート化合物であることが更に一層好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることが特に好ましい。重合性化合物の具体例としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号００９５〜０１０８、特開２０１３−０２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号０２５４〜０２５７、特開２０１３−２５３２２４号公報の段落番号００３４〜００３８、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落番号０４７７、特開２０１７−０４８３６７号公報、特許第６０５７８９１号公報、特許第６０３１８０７号公報、特開２０１７−１９４６６２号公報に記載されている化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００８８】
重合性化合物としては、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、ＮＫエステルＡ−ＤＰＨ−１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）を用いることができる。
【００８９】
また、重合性化合物としては、ジグリセリンＥＯ（エチレンオキシド）変性（メタ）アクリレート（市販品としてはＭ−４６０；東亞合成製）、ペンタエリスリトールテトラアクリレート（新中村化学工業（株）製、ＮＫエステルＡ−ＴＭＭＴ）、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート（日本化薬（株）製、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＤＤＡ）、ＲＰ−１０４０（日本化薬（株）製）、アロニックスＴＯ−２３４９（東亞合成（株）製）、ＮＫオリゴＵＡ−７２００（新中村化学工業（株）製）、８ＵＨ−１００６、８ＵＨ−１０１２（大成ファインケミカル（株）製）、ライトアクリレートＰＯＢ−Ａ０（共栄社化学（株）製）などを用いることもできる。
【００９０】
また、重合性化合物として、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどの３官能の（メタ）アクリレート化合物を用いることもできる。３官能の（メタ）アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスＭ−３０９、Ｍ−３１０、Ｍ−３２１、Ｍ−３５０、Ｍ−３６０、Ｍ−３１３、Ｍ−３１５、Ｍ−３０６、Ｍ−３０５、Ｍ−３０３、Ｍ−４５２、Ｍ−４５０（東亞合成（株）製）、ＮＫエステル  Ａ９３００、Ａ−ＧＬＹ−９Ｅ、Ａ−ＧＬＹ−２０Ｅ、Ａ−ＴＭＭ−３、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ、Ａ−ＴＭＰＴ、ＴＭＰＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＧＰＯ−３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ−３３０、ＴＰＡ−３３０、ＰＥＴ−３０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。
【００９１】
重合性化合物としては、酸基を有する化合物を用いることもできる。酸基を有する重合性化合物を用いることで、現像時に未露光部の着色感光性組成物層が除去されやすく、現像残渣の発生をより効果的に抑制できる。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する重合性化合物の市販品としては、アロニックスＭ−３０５、Ｍ−５１０、Ｍ−５２０、アロニックスＴＯ−２３４９（東亞合成（株）製）等が挙げられる。酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、０．１〜４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５〜３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。重合性化合物の酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造や取扱い上、有利である。
【００９２】
重合性化合物としては、カプロラクトン構造を有する化合物を用いることもできる。カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０等が挙げられる。
【００９３】
重合性化合物としては、アルキレンオキシ基を有する重合性化合物を用いることもできる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物は、エチレンオキシ基および／またはプロピレンオキシ基を有する重合性化合物が好ましく、エチレンオキシ基を有する重合性化合物がより好ましく、エチレンオキシ基を４〜２０個有する３官能以上の（メタ）アクリレート化合物がさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を４個有する４官能（メタ）アクリレートであるＳＲ−４９４、イソブチレンオキシ基を３個有する３官能（メタ）アクリレートであるＫＡＹＡＲＡＤ  ＴＰＡ−３３０などが挙げられる。
【００９４】
重合性化合物としては、フルオレン骨格を有する重合性化合物を用いることもできる。フルオレン骨格を有する重合性化合物の市販品としては、オグソールＥＡ−０２００、ＥＡ−０３００（大阪ガスケミカル（株）製、フルオレン骨格を有する（メタ）アクリレートモノマー）などが挙げられる。
【００９５】
重合性化合物としては、トルエンなどの環境規制物質を実質的に含まない化合物を用いることも好ましい。このような化合物の市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ  ＬＴ、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＥＡ−１２  ＬＴ（日本化薬（株）製）などが挙げられる。
【００９６】
重合性化合物としては、特公昭４８−０４１７０８号公報、特開昭５１−０３７１９３号公報、特公平０２−０３２２９３号公報、特公平０２−０１６７６５号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８−０４９８６０号公報、特公昭５６−０１７６５４号公報、特公昭６２−０３９４１７号公報、特公昭６２−０３９４１８号公報に記載されたエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物も好適である。また、特開昭６３−２７７６５３号公報、特開昭６３−２６０９０９号公報、特開平０１−１０５２３８号公報に記載された分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する重合性化合物を用いることも好ましい。また、重合性化合物は、ＵＡ−７２００（新中村化学工業（株）製）、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬（株）製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００、ＬＩＮＣ−２０２ＵＡ（共栄社化学（株）製）などの市販品を用いることもできる。
【００９７】
着色感光性組成物の全固形分中における重合性化合物の含有量は０．１〜５０質量％であることが好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。重合性化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００９８】
＜＜光重合開始剤＞＞
着色感光性組成物は光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。光重合開始剤は光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。
【００９９】
光重合開始剤としては、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物などが挙げられる。光重合開始剤は、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物および３−アリール置換クマリン化合物であることが好ましく、オキシム化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる化合物であることがより好ましく、オキシム化合物であることが更に好ましい。光重合開始剤としては、特開２０１４−１３０１７３号公報の段落００６５〜０１１１、特許第６３０１４８９号公報に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１００】
α−ヒドロキシケトン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。α−アミノケトン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９、及び、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９ＥＧ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９、ＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。
【０１０１】
オキシム化合物としては、特開２００１−２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００−０８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１６５３−１６６０）に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１５６−１６２）に記載の化合物、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２−２３２）に記載の化合物、特開２０００−０６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００−０８００６８号公報に記載の化合物、特表２００４−５３４７９７号公報に記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報に記載の化合物、特開２０１７−０１９７６６号公報に記載の化合物、特許第６０６５５９６号公報に記載の化合物、国際公開第２０１５／１５２１５３号に記載の化合物、国際公開第２０１７／０５１６８０号に記載の化合物、特開２０１７−１９８８６５号公報に記載の化合物、国際公開第２０１７／１６４１２７号の段落番号００２５〜００３８に記載の化合物などが挙げられる。オキシム化合物の具体例としては、３−ベンゾイルオキシイミノブタン−２−オン、３−アセトキシイミノブタン−２−オン、３−プロピオニルオキシイミノブタン−２−オン、２−アセトキシイミノペンタン−３−オン、２−アセトキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、２−ベンゾイルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、３−（４−トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン−２−オン、及び２−エトキシカルボニルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オンなどが挙げられる。市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ−ＰＢＧ−３０４（常州強力電子新材料有限公司製）、アデカオプトマーＮ−１９１９（（株）ＡＤＥＫＡ製、特開２０１２−０１４０５２号公報に記載の光重合開始剤２）が挙げられる。また、オキシム化合物としては、着色性が無い化合物や、透明性が高く変色し難い化合物を用いることも好ましい。市販品としては、アデカアークルズＮＣＩ−７３０、ＮＣＩ−８３１、ＮＣＩ−９３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。
【０１０２】
光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４−１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。
【０１０３】
また、光重合開始剤として、カルバゾール環の少なくとも１つのベンゼン環がナフタレン環となった骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。そのようなオキシム化合物の具体例としては、国際公開第２０１３／０８３５０５号に記載の化合物が挙げられる。
【０１０４】
光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０−２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４−５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６〜４０、特開２０１３−１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ−３）などが挙げられる。
【０１０５】
光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３−１１４２４９号公報の段落番号００３１〜００４７、特開２０１４−１３７４６６号公報の段落番号０００８〜００１２、００７０〜００７９に記載されている化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７〜００２５に記載されている化合物、アデカアークルズＮＣＩ−８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）が挙げられる。
【０１０６】
光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／０３６９１０号に記載されるＯＥ−０１〜ＯＥ−７５が挙げられる。
【０１０７】
オキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１０８】
【化１】
2020179648.tif 000003
【化２】
2020179648.tif 000004
【０１０９】
オキシム化合物は、波長３５０〜５００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、波長３６０〜４８０ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物の波長３６５ｎｍ又は波長４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、高いことが好ましく、１０００〜３０００００であることがより好ましく、２０００〜３０００００であることが更に好ましく、５０００〜２０００００であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｙ−５  ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチル溶媒を用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。
【０１１０】
光重合開始剤として、２官能あるいは３官能以上の光重合開始剤を用いてもよい。そのような光重合開始剤を用いることにより、良好な感度が得られる。また、非対称構造の化合物を用いた場合においては、結晶性が低下して溶剤などへの溶解性が向上して、経時で析出しにくくなり、着色感光性組成物の経時安定性を向上させることができる。２官能あるいは３官能以上の光重合開始剤の具体例としては、特表２０１０−５２７３３９号公報、特表２０１１−５２４４３６号公報、国際公開第２０１５／００４５６５号、特表２０１６−５３２６７５号公報の段落番号０４１２〜０４１７、国際公開第２０１７／０３３６８０号の段落番号００３９〜００５５に記載されているオキシム化合物の２量体、特表２０１３−５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開第２０１６／０３４９６３号に記載されているＣｍｐｄ１〜７、特表２０１７−５２３４６５号公報の段落番号０００７に記載されているオキシムエステル類光開始剤、特開２０１７−１６７３９９号公報の段落番号００２０〜００３３に記載されている光開始剤、特開２０１７−１５１３４２号公報の段落番号００１７〜００２６に記載されている光重合開始剤（Ａ）などが挙げられる。
【０１１１】
着色感光性組成物の全固形分中の光重合開始剤の含有量は０．１〜３０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は、２０質量％以下が好ましく、１５質量％以下がより好ましい。光重合開始剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。
【０１１２】
＜＜樹脂＞＞
着色感光性組成物は、樹脂を含有することが好ましい。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を着色感光性組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。
【０１１３】
樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、３０００〜２００００００が好ましい。上限は、１００００００以下がより好ましく、５０００００以下がさらに好ましい。下限は、４０００以上がより好ましく、５０００以上がさらに好ましい。
【０１１４】
樹脂としては、（メタ）アクリル樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂などが挙げられる。これらの樹脂から１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。また、特開２０１７−２０６６８９号公報の段落番号００４１〜００６０に記載の樹脂、特開２０１８−０１０８５６号公報の段落番号００２２〜００７１に記載の樹脂、特開２０１７−０５７２６５号公報に記載の樹脂、特開２０１７−０３２６８５号公報に記載の樹脂、特開２０１７−０７５２４８号公報に記載の樹脂、特開２０１７−０６６２４０号公報に記載の樹脂を用いることもできる。
【０１１５】
本発明において、樹脂として酸基を有する樹脂を用いることが好ましい。この態様によれば、着色感光性組成物の現像性を向上させることができる。酸基としては、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する樹脂は、例えば、アルカリ可溶性樹脂として用いることができる。
【０１１６】
酸基を有する樹脂は、側鎖に酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましく、側鎖に酸基を有する繰り返し単位を樹脂の全繰り返し単位中１〜７０モル％含むことがより好ましい。側鎖に酸基を有する繰り返し単位の含有量の上限は、５０モル％以下であることが好ましく、４０モル％以下であることがより好ましい。側鎖に酸基を有する繰り返し単位の含有量の下限は、２モル％以上であることが好ましく、５モル％以上であることがより好ましい。
【０１１７】
酸基を有する樹脂の酸価は、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましく、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。また、酸基を有する樹脂の酸価は、５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。
【０１１８】
酸基を有する樹脂は、更にエチレン性不飽和結合基を有することが好ましい。この態様によれば、耐湿性に優れた画素を形成しやすい。エチレン性不飽和結合基としては、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられ、アリル基および（メタ）アクリロイル基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。
【０１１９】
エチレン性不飽和結合基を有する樹脂は、側鎖にエチレン性不飽和結合基を有する繰り返し単位を含むことが好ましく、側鎖にエチレン性不飽和結合基を有する繰り返し単位を樹脂の全繰り返し単位中５〜８０モル％含むことがより好ましい。側鎖にエチレン性不飽和結合基を有する繰り返し単位の含有量の上限は、６０モル％以下であることが好ましく、４０モル％以下であることがより好ましい。側鎖にエチレン性不飽和結合基を有する繰り返し単位の含有量の下限は、１０モル％以上であることが好ましく、１５モル％以上であることがより好ましい。
【０１２０】
樹脂のエチレン性不飽和結合基価は、０．５〜３ｍｍｏｌ／ｇであることが好ましい。上限は、２．５ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが好ましく、２ｍｍｏｌ／ｇ以下であることがより好ましい。下限は、０．９ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、１．０ｍｍｏｌ／ｇ以上であることがより好ましい。なお、樹脂のエチレン性不飽和結合基価は、樹脂の固形分１ｇあたりのエチレン性不飽和結合基のモル量を表した数値である。
【０１２１】
着色感光性組成物は、酸価が１０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇ（好ましくは２０〜８０ｍｇＫＯＨ／ｇ、より好ましくは３０〜５０ｍｇＫＯＨ／ｇ）で、エチレン性不飽和結合基価が１．０〜２．０ｍｍｏｌ／ｇ（好ましくは１．２〜１．８ｍｍｏｌ／ｇ）の樹脂（以下この樹脂を樹脂Ｘともいう）を含むことが特に好ましい。着色感光性組成物が上記樹脂Ｘを含むことで、現像残渣を抑制し、表面粗さが小さく、矩形性および温度サイクル耐性に優れた画素を、隔壁で区画された領域内に形成しやすい。また、着色感光性組成物中に含まれる樹脂中における樹脂Ｘの含有量は、０．０１質量％以上であることが好ましく、０．５質量％以上であることがより好ましく、１質量％以上であることが更に好ましい。上限は、１００質量％とすることもでき、７５質量％以下とすることもでき、５０質量％以下とすることもできる。
【０１２２】
本発明で用いられる樹脂は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および／または下記式（ＥＤ２）で表される化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分に由来する繰り返し単位を含むことも好ましい。
【０１２３】
【化３】
2020179648.tif 000005
【０１２４】
式（ＥＤ１）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。
【化４】
2020179648.tif 000006
式（ＥＤ２）中、Ｒは、水素原子または炭素数１〜３０の有機基を表す。式（ＥＤ２）の詳細については、特開２０１０−１６８５３９号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１２５】
エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３−０２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１２６】
樹脂は、下記式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含むことも好ましい。
【化５】
2020179648.tif 000007
式（Ｘ）中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ２は炭素数２〜１０のアルキレン基を表し、Ｒ３は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。
【０１２７】
酸基および／またはエチレン性不飽和結合基を有する樹脂としては、例えば下記構造の樹脂などが挙げられる。以下の構造式中、Ｍｅはメチル基を表す。
【化６】
2020179648.tif 000008
【０１２８】
着色感光性組成物は、分散剤としての樹脂を含むこともできる。分散剤は、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、４０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、６０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基であることが好ましい。
【０１２９】
分散剤として用いる樹脂は、酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。
【０１３０】
分散剤として用いる樹脂は、グラフト樹脂であることも好ましい。グラフト樹脂としては、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号００２５〜００９４に記載された樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３１】
分散剤として用いる樹脂は、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むポリイミン系分散剤であることも好ましい。ポリイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造を有する主鎖と、原子数４０〜１００００の側鎖とを有し、かつ主鎖及び側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子とは、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。ポリイミン系分散剤としては、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１０２〜０１６６に記載された樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３２】
分散剤として用いる樹脂は、コア部に複数個のポリマー鎖が結合した構造の樹脂であることも好ましい。このような樹脂としては、例えばデンドリマー（星型ポリマーを含む）が挙げられる。また、デンドリマーの具体例としては、特開２０１３−０４３９６２号公報の段落番号０１９６〜０２０９に記載された高分子化合物Ｃ−１〜Ｃ−３１などが挙げられる。
【０１３３】
また、上述した酸基を有する樹脂（アルカリ可溶性樹脂）を分散剤として用いることもできる。
【０１３４】
分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製のＤＩＳＰＥＲＢＹＫシリーズ（例えば、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１１１、１６１など）、Ｌｕｂｒｉｚｏｌ製のＳｏｌｓｐｅｒｓｅシリーズ（例えば、Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ  ３６０００など）などが挙げられる。また、特開２０１４−１３０３３８号公報の段落番号００４１〜０１３０に記載された顔料分散剤を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。なお、上記分散剤として説明した樹脂は、分散剤以外の用途で使用することもできる。例えば、バインダーとして用いることもできる。
【０１３５】
着色感光性組成物が樹脂を含む場合、着色感光性組成物の全固形分中における樹脂の含有量は、５〜５０質量％が好ましい。下限は、１０質量％以上がより好ましく、１５質量％以上がさらに好ましい。上限は、４０質量％以下がより好ましく、３５質量％以下がさらに好ましく、３０質量％以下が特に好ましい。また、着色感光性組成物の全固形分中における酸基を有する樹脂の含有量は、５〜５０質量％が好ましい。下限は、１０質量％以上がより好ましく、１５質量％以上がさらに好ましい。上限は、４０質量％以下がより好ましく、３５質量％以下がさらに好ましく、３０質量％以下が特に好ましい。また、樹脂全量中における酸基を有する樹脂の含有量は、３０質量％以上が好ましく、５０質量％以上がより好ましく、７０質量％以上が更に好ましく、８０質量％以上が特に好ましい。上限は、１００質量％とすることができ、９５質量％とすることもでき、９０質量％以下とすることもできる。
【０１３６】
＜＜環状エーテル基を有する化合物＞＞
着色感光性組成物は、環状エーテル基を有する化合物を含有することができる。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。環状エーテル基を有する化合物は、エポキシ基を有する化合物であることが好ましい。エポキシ基を有する化合物としては、１分子内にエポキシ基を１つ以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を２つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基は、１分子内に１〜１００個有することが好ましい。エポキシ基の上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。エポキシ基の下限は、２個以上がより好ましい。エポキシ基を有する化合物としては、特開２０１３−０１１８６９号公報の段落番号００３４〜００３６、特開２０１４−０４３５５６号公報の段落番号０１４７〜０１５６、特開２０１４−０８９４０８号公報の段落番号００８５〜００９２に記載された化合物、特開２０１７−１７９１７２号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
【０１３７】
エポキシ基を有する化合物は、低分子化合物（例えば、分子量２０００未満、さらには、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）のいずれでもよい。エポキシ基を有する化合物の重量平均分子量は、２００〜１０００００が好ましく、５００〜５００００がより好ましい。重量平均分子量の上限は、１００００以下がさらに好ましく、５０００以下が特に好ましく、３０００以下が一層好ましい。
【０１３８】
環状エーテル基を有する化合物の市販品としては、例えば、ＥＨＰＥ３１５０（（株）ダイセル製）、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９５（ＤＩＣ（株）製）、マープルーフＧ−０１５０Ｍ、Ｇ−０１０５ＳＡ、Ｇ−０１３０ＳＰ、Ｇ−０２５０ＳＰ、Ｇ−１００５Ｓ、Ｇ−１００５ＳＡ、Ｇ−１０１０Ｓ、Ｇ−２０５０Ｍ、Ｇ−０１１００、Ｇ−０１７５８（以上、日油（株）製、エポキシ基含有ポリマー）等が挙げられる。
【０１３９】
着色感光性組成物が環状エーテル基を有する化合物を含有する場合、着色感光性組成物の全固形分中における環状エーテル基を有する化合物の含有量は、０．１〜２０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上がさらに好ましい。上限は、例えば、１５質量％以下がより好ましく、１０質量％以下がさらに好ましい。環状エーテル基を有する化合物は１種のみでもよく、２種以上でもよい。
【０１４０】
＜＜シランカップリング剤＞＞
着色感光性組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、（メタ）アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、特開２００９−２８８７０３号公報の段落番号００１８〜００３６に記載の化合物、特開２００９−２４２６０４号公報の段落番号００５６〜００６６に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１４１】
着色感光性組成物の全固形分中におけるシランカップリング剤の含有量は、０．１〜５質量％が好ましい。上限は、３質量％以下が好ましく、２質量％以下がより好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。シランカップリング剤は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。
【０１４２】
＜＜有機溶剤＞＞
着色感光性組成物は、有機溶剤を含有することが好ましい。有機溶剤としては、各成分の溶解性や着色感光性組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２２３を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤を好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジクロロメタン、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロパンアミド、３−ブトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロパンアミドなどが挙げられる。ただし有機溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｏｎ）以下とすることもでき、１０質量ｐｐｍ以下とすることもでき、１質量ｐｐｍ以下とすることもできる）。
【０１４３】
本発明においては、金属含有量の少ない有機溶剤を用いることが好ましく、有機溶剤の金属含有量は、例えば１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルの有機溶剤を用いてもよく、そのような有機溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。有機溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、蒸留（分子蒸留や薄膜蒸留等）やフィルタを用いたろ過を挙げることができる。ろ過に用いるフィルタのフィルタ孔径としては、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましく、３μｍ以下が更に好ましい。フィルタの材質は、ポリテトラフロロエチレン、ポリエチレンまたはナイロンが好ましい。
【０１４４】
着色感光性組成物中における有機溶剤の含有量は、１０〜９５質量％であることが好ましく、２０〜９０質量％であることがより好ましく、３０〜９０質量％であることが更に好ましい。
【０１４５】
＜＜硬化促進剤＞＞
着色感光性組成物は、重合性化合物の反応を促進させたり、硬化温度を下げる目的で、硬化促進剤を添加してもよい。硬化促進剤は、メチロール系化合物（例えば特開２０１５−０３４９６３号公報の段落番号０２４６において、架橋剤として例示されている化合物）、アミン類、ホスホニウム塩、アミジン塩、アミド化合物（以上、例えば特開２０１３−０４１１６５号公報の段落番号０１８６に記載の硬化剤）、塩基発生剤（例えば、特開２０１４−０５５１１４号公報に記載のイオン性化合物）、シアネート化合物（例えば、特開２０１２−１５０１８０号公報の段落番号００７１に記載の化合物）、アルコキシシラン化合物（例えば、特開２０１１−２５３０５４号公報に記載のエポキシ基を有するアルコキシシラン化合物）、オニウム塩化合物（例えば、特開２０１５−０３４９６３号公報の段落番号０２１６に酸発生剤として例示されている化合物、特開２００９−１８０９４９号公報に記載の化合物）などを用いることもできる。
【０１４６】
本発明の着色感光性組成物が硬化促進剤を含有する場合、硬化促進剤の含有量は、着色感光性組成物の全固形分中０．３〜８．９質量％が好ましく、０．８〜６．４質量％がより好ましい。
【０１４７】
＜＜重合禁止剤＞＞
着色感光性組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）が挙げられる。中でも、ｐ−メトキシフェノールが好ましい。着色感光性組成物の全固形分中における重合禁止剤の含有量は、０．０００１〜５質量％が好ましい。
【０１４８】
＜＜界面活性剤＞＞
着色感光性組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２３８〜０２４５を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１４９】
界面活性剤はフッ素系界面活性剤であることが好ましい。着色感光性組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性（特に、流動性）がより向上し、省液性をより改善することができる。また、厚みムラの小さい膜を形成することもできる。
【０１５０】
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、着色感光性組成物中における溶解性も良好である。
【０１５１】
フッ素系界面活性剤としては、特開２０１４−０４１３１８号公報の段落番号００６０〜００６４（対応する国際公開第２０１４／０１７６６９号の段落番号００６０〜００６４）等に記載の界面活性剤、特開２０１１−１３２５０３号公報の段落番号０１１７〜０１３２に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ−３３０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ−１０１、ＳＣ−１０３、ＳＣ−１０４、ＳＣ−１０５、ＳＣ−１０６８、ＳＣ−３８１、ＳＣ−３８３、Ｓ−３９３、ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ  ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。
【０１５２】
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤は、特開２０１６−２１６６０２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１５３】
フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開２０１１−０８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。
【化７】
2020179648.tif 000009
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３０００〜５００００であり、例えば、１４０００である。上記の化合物中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【０１５４】
また、フッ素系界面活性剤は、エチレン性不飽和結合基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０−１６４９６５号公報の段落番号００５０〜００９０および段落番号０２８９〜０２９５に記載された化合物、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ−１０１、ＲＳ−１０２、ＲＳ−７１８Ｋ、ＲＳ−７２−Ｋ等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５−１１７３２７号公報の段落番号００１５〜０１５８に記載の化合物を用いることもできる。
【０１５５】
着色感光性組成物の全固形分中における界面活性剤の含有量は、０．００１質量％〜５．０質量％が好ましく、０．００５〜３．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１５６】
＜＜紫外線吸収剤＞＞
着色感光性組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開２０１２−２０８３７４号公報の段落番号００５２〜００７２、特開２０１３−０６８８１４号公報の段落番号０３１７〜０３３４、特開２０１６−１６２９４６号公報の段落番号００６１〜００８０の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ−５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としては、ミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）が挙げられる。また、紫外線吸収剤は、特許第６２６８９６７号公報の段落番号００４９〜００５９に記載された化合物を用いることもできる。着色感光性組成物の全固形分中における紫外線吸収剤の含有量は、０．０１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜５質量％がより好ましい。紫外線吸収剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１５７】
＜＜酸化防止剤＞＞
着色感光性組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性ヒドロキシ基に隣接する部位（オルト位）に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数１〜２２の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。着色感光性組成物の全固形分中における酸化防止剤の含有量は、０．０１〜２０質量％であることが好ましく、０．３〜１５質量％であることがより好ましい。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１５８】
＜＜その他成分＞＞
着色感光性組成物は、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類（例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など）を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開２０１２−００３２２５号公報の段落番号０１８３以降（対応する米国特許出願公開第２０１３／００３４８１２号明細書の段落番号０２３７）の記載、特開２００８−２５００７４号公報の段落番号０１０１〜０１０４、０１０７〜０１０９等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、着色感光性組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、１００〜２５０℃で加熱するか、又は酸／塩基触媒存在下で８０〜２００℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開第２０１４／０２１０２３号、国際公開第２０１７／０３０００５号、特開２０１７−００８２１９号公報に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、アデカアークルズＧＰＡ−５００１（（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。
【０１５９】
＜有機物層形成用組成物＞
次に、本発明の構造体の製造方法で、隔壁の表面に有機物層を形成するために用いることができる有機物層形成用組成物について説明する。有機物層形成用組成物は、エチレン性不飽和結合基を有する化合物を含むことが好ましい。エチレン性不飽和結合基としては、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられ、アリル基および（メタ）アクリロイル基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。
【０１６０】
エチレン性不飽和結合基を有する化合物は、モノマーであってもよく、ポリマーなどの樹脂であってもよい。エチレン性不飽和結合基を有する化合物としては、エチレン性不飽和結合基を有する樹脂であることが好ましい。エチレン性不飽和結合基を有する樹脂を用いた場合においては、隔壁に対して、有機物層形成用組成物をより均一に塗布しやすい。このため、有機物層形成用組成物の製膜性を向上できる。更には、有機物層と画素との密着性を高めることができ、より良好な耐湿性や温度サイクル耐性が得られる。以下、モノマータイプのエチレン性不飽和結合基を有する化合物を、モノマーＡともいう。また、樹脂タイプのエチレン性不飽和結合基を有する化合物を、樹脂Ａともいう。
【０１６１】
モノマーＡの分子量としては、１００〜３０００であることが好ましい。上限は、２０００以下が好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上が好ましく、２５０以上が更に好ましい。樹脂Ａの重量平均分子量としては、５０００〜２００００であることが好ましい。上限は、１９０００以下が好ましく、１８０００以下がより好ましい。下限は、８０００以上が好ましく、１００００以上がより好ましい。
【０１６２】
エチレン性不飽和結合基を有する化合物の含有量は、有機物層形成用組成物の全質量に対して０．０１〜１質量％であることが好ましい。下限は、０．０５質量％以上が好ましく、０．１質量％以上がより好ましい。上限は、０．９質量％以下が好ましく、０．８質量％以下がより好ましい。
【０１６３】
有機物層形成用組成物の全固形分中におけるエチレン性不飽和結合基を有する化合物の含有量は、５０〜１００質量％であることが好ましい。下限は、７０質量％以上が好ましく、９０質量％以上がより好ましい。
【０１６４】
エチレン性不飽和結合基を有する化合物中における樹脂Ａの化合物の含有量は、５０〜１００質量％であることが好ましく、７０〜１００質量％であることがより好ましく、９０〜１００質量％であることが更に好ましく、実質的に樹脂Ａのみで構成されていることが特に好ましい。この態様によれば、有機物層の製膜性が良好であり、更にはより優れた耐湿性が得られやすい。なお、エチレン性不飽和結合基を有する化合物が実質的に樹脂Ａのみで構成されている場合、エチレン性不飽和結合基を有する化合物中における樹脂Ａの含有量が９９質量％以上であることが好ましく、９９．５質量％以上であることが更に好ましく、９９．９質量％以上であることがより好ましく、樹脂Ａのみで構成されていることが特に好ましい。
【０１６５】
エチレン性不飽和結合基を有する化合物として、モノマーＡと、樹脂Ａとを併用することも好ましい。
【０１６６】
（モノマーＡ）
モノマーＡとしては、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。具体例としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号００９５〜０１０８、特開２０１３−０２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号０２５４〜０２５７、特開２０１３−２５３２２４号公報の段落番号００３４〜００３８、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落番号０４７７、特開２０１７−０４８３６７号公報、特許第６０５７８９１号公報、特許第６０３１８０７号公報、特開２０１７−１９４６６２号公報に記載されている化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、モノマーＡとしては、上述した着色感光性組成物の重合性化合物の項で説明した化合物を用いることもできる。
【０１６７】
（樹脂Ａ）
樹脂Ａとしては、側鎖にエチレン性不飽和結合基を有する繰り返し単位を含むポリマーであることが好ましく、式（１）で表される繰り返し単位を有するポリマーであることがより好ましい。
【化８】
2020179648.tif 000010
式中、Ｒ１は、水素原子又はアルキル基を表し、Ｌ１は、単結合または２価の連結基を表し、Ｐ１はエチレン性不飽和結合基を表す。
【０１６８】
Ｒ１が表すアルキル基は、炭素数１〜３のアルキル基が好ましく、メチル基が好ましい。Ｒ１は、水素原子またはメチル基であることが好ましい。
【０１６９】
Ｌ１は、単結合または２価の連結基を表す。２価の連結基としては、炭素数１〜３０のアルキレン基、炭素数６〜１２のアリーレン基、これらと−ＣＯ−、−ＯＣＯ−、−Ｏ−、−ＮＨ−および−ＳＯ２−から選ばれる１種とを組み合わせてなる基が挙げられる。アルキレン基およびアリーレン基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アルコキシ基、アリールオキシ基などが挙げられる。ヒドロキシ基が好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれであってもよい。
【０１７０】
Ｐ１はエチレン性不飽和結合基を表す。エチレン性不飽和結合基としては、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基が好ましく、重合反応性が高く、更にはより優れた耐湿性が得られやすいという理由から（メタ）アクリロイル基がより好ましい。
【０１７１】
樹脂Ａにおいて、側鎖にエチレン性不飽和結合基を有する繰り返し単位の含有量は、全繰り返し単位の５〜１００モル％であることが好ましい。下限は、１０モル％以上が好ましく、１５モル％以上がより好ましい。上限は、９０モル％以下が好ましく、８０モル％以下がより好ましく、７５モル％以下が更に好ましく、７０モル％以下が特に好ましい。
【０１７２】
樹脂Ａのエチレン性不飽和結合基価は、０．５〜３ｍｍｏｌ／ｇであることが好ましい。上限は、２．５ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが好ましく、２ｍｍｏｌ／ｇ以下であることがより好ましい。下限は、０．９ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、１．０ｍｍｏｌ／ｇ以上であることがより好ましい。
【０１７３】
樹脂Ａは、更に、酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基が例示される。酸基は１種類のみ含まれていても良いし、２種類以上含まれていても良い。酸基を有する繰り返し単位の割合は、ポリマーを構成する全繰り返し単位の１〜５０モル％であることが好ましい。下限は、２モル％以上がより好ましく、３モル％以上が更に好ましい。上限は、３５モル％以下がより好ましく、３０モル％以下が更に好ましい。
【０１７４】
樹脂Ａが酸基を有する場合、樹脂Ａの酸価は、１０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。下限は、１５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが好ましく、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることがより好ましい。上限は、９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが更に好ましく、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが特に好ましい。
【０１７５】
樹脂Ａは、更に、アリール基を側鎖に有する繰り返し単位を含むことも好ましい。アリール基を側鎖に有する繰り返し単位の割合は、ポリマーを構成する全繰り返し単位の１〜８０質量％であることが好ましい。下限は、１０モル％以上がより好ましく、１５モル％以上が更に好ましい。上限は、７０モル％以下がより好ましく、６０モル％以下が更に好ましい。
【０１７６】
樹脂Ａは、上述したエーテルダイマーに由来する繰り返し単位を含むことも好ましい。
【０１７７】
樹脂Ａの具体例としては、例えば下記構造のポリマーが挙げられる。以下の構造式において、Ｍｅはメチル基を表す。
【化９】
2020179648.tif 000011
【０１７８】
樹脂Ａは、市販品を用いることもできる。例えば、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン株式会社製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（ＣＯＯＨ含有  ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ  ａｃｒｙｌｉｃ  ｏｌｉｇｏｍｅｒ．Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｓｈａｍｒｏｃｋ  Ｃｏ．，Ｌｔｄ製）、ビスコートＲ−２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業株式会社製）、サイクロマーＰシリーズ（例えば、ＡＣＡ２３０ＡＡ）、プラクセル  ＣＦ２００シリーズ（いずれも（株）ダイセル製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）、アクリキュアーＲＤ−Ｆ８(日本触媒社製)などが挙げられる。
【０１７９】
有機物層形成用組成物は界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。なかでもフッ素系界面活性剤が好ましい。界面活性剤の詳細については、着色感光性組成物の界面活性剤の項で説明した内容と同様である。界面活性剤の含有量は、有機物層形成用組成物の全質量に対して０．０００１〜０．１質量％であることが好ましい。下限は、０．０００５質量％以上が好ましく、０．００１質量％以上がより好ましい。上限は、０．０５質量％以下が好ましく、０．０１質量％以下がより好ましい。また、有機物層形成用組成物の全固形分中における界面活性剤の含有量は、０．０１〜２．０質量％であることが好ましい。下限は、０．０５質量％以上が好ましく、０．１質量％以上がより好ましい。上限は、１．５質量％以下が好ましく、１．０質量％以下がより好ましい。界面活性剤は、１種のみを用いてもよいし、２種類以上を組み合わせて用いてもよい。２種以上を組み合わせて用いる場合は、合計量が上記範囲であることが好ましい。
【０１８０】
有機物層形成用組成物は、有機溶剤を含有することが好ましい。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤などが挙げられる。有機溶剤の詳細については、着色感光性組成物の有機溶剤の項で説明した内容と同様である。有機溶剤の含有量は、有機物層形成用組成物の全質量に対して９９〜９９．９９質量％であることが好ましい。下限は、９９．２質量％以上が好ましく、９９．４質量％以上がより好ましい。上限は、９９．９５質量％以下が好ましく、９９．９質量％以下がより好ましい。有機溶剤の含有量が上記範囲であれば、有機物層形成用組成物の塗布性が良好で、薄膜で、膜厚のばらつきの少ない有機物層を形成しやすい。
【０１８１】
有機物層形成用組成物は、更に、光重合開始剤、重合禁止剤等の他の添加剤を更に含んでもよいが、これらの他の添加剤の含有量は、有機物層形成用組成物の全固形分に対して１質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以下であることがより好ましく、実質的に含有しないことがより好ましい。なお、他の添加剤を実質的に含有しない場合、他の添加剤の含有量が有機物層形成用組成物の全固形分に対して１質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以下であることがより好ましく、０．０１質量％以下であることが更に好ましく、含有しないことが特に好ましい。
【０１８２】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法について説明する。本発明のカラーフィルタの製造方法は、上述した本発明の構造体の製造方法を含む。カラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や画像表示装置などに用いることができる。
【０１８３】
＜固体撮像素子の製造方法＞
本発明の固体撮像素子の製造方法は、上述した本発明の構造体の製造方法を含む。固体撮像素子の構成としては、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はない。
【０１８４】
＜画像表示装置の製造方法＞
本発明の画像表示装置の製造方法は、上述した本発明の構造体の製造方法を含む。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【実施例】
【０１８５】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。【０１８６】
＜試料の重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）の測定＞
試料の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により、以下の条件で測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺＭ−Ｈと、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ２０００とを連結したカラム
展開溶媒：テトラヒドロフラン
カラム温度：４０℃
流量（サンプル注入量）：１．０μＬ（サンプル濃度：０．１質量％）
装置名：東ソー製  ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ
検出器：ＲＩ（屈折率）検出器
検量線ベース樹脂：ポリスチレン樹脂【０１８７】
＜試料の酸価の測定＞
試料の酸価は、固形分１ｇあたりの酸性成分を中和するのに要する水酸化カリウムの質量を表したものである。試料の酸価は次のようにして測定した。すなわち、測定試料をテトラヒドロフラン／水＝９／１（質量比）混合溶媒に溶解し、得られた溶液を、電位差滴定装置（商品名：ＡＴ−５１０、京都電子工業製）を用いて、２５℃にて、０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液で中和滴定した。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点として、次式により酸価を算出した。
Ａ＝５６．１１×Ｖｓ×０．５×ｆ／ｗ
Ａ：酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｖｓ：滴定に要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の使用量（ｍＬ）
ｆ：０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の力価
ｗ：試料の質量（ｇ）（固形分換算）【０１８８】
＜着色感光性組成物＞
（分散液Ｇｒｅｅｎ−１の製造）
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６の８質量部と、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０の６．５質量部と、樹脂Ｂ−１の１．５質量部と、樹脂Ｂ−４の４．５質量部と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の７９．５質量部との混合液をビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散した後さらに減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行った。この分散処理を１０回繰り返し分散液Ｇｒｅｅｎ−１を得た。【０１８９】
（分散液Ｇｒｅｅｎ−２の製造）
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６の９．５質量部と、樹脂Ｂ−１の１．５質量部と、樹脂Ｂ−４の４．５質量部と、ＰＧＭＥＡの８４．５質量部との混合液をビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散した後さらに減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行った。この分散処理を１０回繰り返し分散液Ｇｒｅｅｎ−２を得た。【０１９０】
（分散液Ｇｒｅｅｎ−３の製造）
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６の８質量部と、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０の６．５質量部と、樹脂Ｂ−４の６質量部と、ＰＧＭＥＡの７９．５質量部との混合液をビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散した後さらに減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行った。この分散処理を１０回繰り返し分散液Ｇｒｅｅｎ−３を得た。【０１９１】
（分散液Ｇｒｅｅｎ−４の製造）
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６の９．５質量部と、樹脂Ｂ−４の６質量部と、ＰＧＭＥＡの８４．５質量部との混合液をビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散した後さらに減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行った。この分散処理を１０回繰り返し分散液Ｇｒｅｅｎ−４を得た。【０１９２】
（分散液Ｒｅｄ−１の製造）
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４の７．３質量部と、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １３９の３．６質量部と、顔料誘導体Ｘ−１の１．５質量部と、樹脂Ｂ−１の４．３質量部と、樹脂Ｂ−５の１．１質量部と、ＰＧＭＥＡの８２．２質量部との混合液をビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散した後さらに減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行った。この分散処理を１０回繰り返し分散液Ｒｅｄ−１を得た。【０１９３】
（分散液Ｂｌｕｅ−１の製造）
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６の１０質量部と、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３の２．３質量部と、樹脂Ｂ−１の３質量部と、樹脂Ｂ−６の２質量部と、ＰＧＭＥＡの８２．７質量部との混合液をビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散した後さらに減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行った。この分散処理を１０回繰り返し分散液Ｂｌｕｅ−１を得た。【０１９４】
分散液の製造に使用した原料のうち略語で示した原料の詳細は以下の通りである。
顔料誘導体Ｘ−１：下記構造の化合物
【化１０】
2020179648.tif 000012
【０１９５】
樹脂Ｂ−１：下記構造の樹脂（主鎖に付記した数値はモル比である。Ｍｗ＝１１０００、酸価３２ｍｇＫＯＨ／ｇ、エチレン性不飽和結合基価１．４２ｍｍｏｌ／ｇ）
【化１１】
2020179648.tif 000013
樹脂Ｂ−４：下記構造の樹脂（主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Ｍｗ＝２１０００、酸価３６ｍｇＫＯＨ／ｇ）
【化１２】
2020179648.tif 000014
分散剤Ｂ−５：下記構造の樹脂（主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。Ｍｗ＝２００００、酸価７７ｍｇＫＯＨ／ｇ）
【化１３】
2020179648.tif 000015
分散剤Ｂ−６：Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ  ３６０００（Ｌｕｂｒｉｚｏｌ製）【０１９６】
（着色感光性組成物の製造）
下記の原料を混合して着色感光性組成物を調製した。下記表に記載の数値の単位は質量部である。また、着色感光性組成物の全固形分中の着色剤の含有量の値を併せて記す。【０１９７】
【表１】
2020179648.tif 000016
【表２】
2020179648.tif 000017
【表３】
2020179648.tif 000018
【０１９８】
上記表に記載の原料のうち略語で示した原料の詳細は以下の通りである。【０１９９】
（溶剤）
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート【０２００】
（樹脂）
Ｂ−１：上述した樹脂Ｂ−１
Ｂ−２：下記構造の樹脂（主鎖に付記した数値はモル比である。Ｍｗ＝３００００、酸価１１２ｍｇＫＯＨ／ｇ、エチレン性不飽和結合基価０ｍｍｏｌ／ｇ）
【化１４】
2020179648.tif 000019
【０２０１】
（重合性化合物）
Ｍ−１：ＮＫエステル  Ａ−ＴＭＭＴ（新中村化学工業（株）製）
Ｍ−２：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡ−２０（日本化薬（株）製）
Ｍ−３：ＮＫエステル  Ａ−ＤＰＨ−１２Ｅ（新中村化学工業（株）製）
Ｍ−４：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製）【０２０２】
（光重合開始剤）
Ｉｎｉ−１：ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１（ＢＡＳＦ社製）【０２０３】
（添加剤）
Ｕ−１：下記構造の化合物
【化１５】
2020179648.tif 000020
【０２０４】
（界面活性剤）
Ｆ−１：下記構造の化合物（Ｍｗ＝１４０００、繰り返し単位の割合を示す％の数値はモル％である、フッ素系界面活性剤）
【化１６】
2020179648.tif 000021
【０２０５】
（分散液）
Ｇｒｅｅｎ−１、Ｇｒｅｅｎ−２、Ｇｒｅｅｎ−３、Ｇｒｅｅｎ−４、Ｒｅｄ−１、Ｂｌｕｅ−１：上記で製造した分散液Ｇｒｅｅｎ−１、Ｇｒｅｅｎ−２、Ｇｒｅｅｎ−３、Ｇｒｅｅｎ−４、Ｒｅｄ−１、Ｂｌｕｅ−１【０２０６】
＜有機物層形成用組成物の製造＞
（有機物層形成用組成物１）
エチレン性不飽和結合基を有する化合物として、サイクロマーＰ（ダイセル・オルネクス製、固形分５４質量％）の１２質量部と、ＰＧＭＥＡの８７．９９質量部と、界面活性剤Ｆ−１の０．０１質量部とを混合して有機物層形成用組成物１を製造した。【０２０７】
＜現像液の製造＞
下記表に記載の原料を混合して現像液を製造した。下記表に記載した各原料の配合量は質量部で示している。
【表４】
2020179648.tif 000022
【０２０８】
上記表に記載の原料は以下の通りである。
（アルカリ剤）
アルカリ剤１：テトラメチルアンモニウムヒドロキシド
アルカリ剤２：ジグリコールアミン
アルカリ剤３：ジエタノールアミン【０２０９】
（キレート剤）
キレート剤１：エチレンジアミン四酢酸
キレート剤２：エチレンジアミン【０２１０】
（界面活性剤）
界面活性剤１：ＢＬＡＵＮＯＮ  ＥＬ−１５１５（ノニオン性界面活性剤、青木油脂工業（株）製、炭素数１２のアルキル基と、ポリオキシアルキレン構造（オキシエチレンの繰り返し数１５）とを有する化合物）
界面活性剤２：ＷＯＮＤＥＲＳＵＲＦ  ＮＤＲ−１４００（ノニオン性界面活性剤、青木油脂工業（株）製、炭素数１０のアルキル基と、ポリオキシアルキレン構造（ポリオキシエチレン構造とポリオキシプロピレン構造との混合構造（ポリオキシエチレン構造：ポリオキシプロピレン構造＝８０：２０（質量比））とを有する化合物、重量平均分子量（Ｍｗ）６５０）
界面活性剤３：ＷＯＮＤＥＲＳＵＲＦ  １４０（ノニオン性界面活性剤、青木油脂工業（株）製、炭素数１２のアルキル基と、ポリオキシアルキレン構造（ポリオキシエチレン構造とポリオキシプロピレン構造との混合構造（ポリオキシエチレン構造：ポリオキシプロピレン構造＝８０：２０（質量比））とを有する化合物、重量平均分子量（Ｍｗ）７５０）
界面活性剤４：ＷＯＮＤＥＲＳＵＲＦ  Ｓ−１４００（ノニオン性界面活性剤、青木油脂工業（株）製、炭素数１３のアルキル基と、ポリオキシアルキレン構造（ポリオキシエチレン構造とポリオキシプロピレン構造との混合構造（ポリオキシエチレン構造：ポリオキシプロピレン構造＝８０：２０（質量比））とを有する化合物、重量平均分子量（Ｍｗ）８００）
界面活性剤５：ＷＯＮＤＥＲＳＵＲＦ  ＳＡ−３０／７０  ２０００Ｒ（ノニオン性界面活性剤、青木油脂工業（株）製、炭素数１８のアルキル基と、ポリオキシアルキレン構造（ポリオキシエチレン構造とポリオキシプロピレン構造との混合構造（ポリオキシエチレン構造：ポリオキシプロピレン構造＝３０：７０（質量比））とを有する化合物、重量平均分子量（Ｍｗ）２０００）
界面活性剤６：ＷＯＮＤＥＲＳＵＲＦ  ＮＰＰ−０８０２Ｒ（ノニオン性界面活性剤、青木油脂工業（株）製、炭素数９のアルキル基を置換基として有するフェニル基と、ポリオキシアルキレン構造（ポリオキシエチレン構造とポリオキシプロピレン構造との混合構造（ポリオキシエチレン構造：ポリオキシプロピレン構造＝７５：２５（質量比））とを有する化合物、重量平均分子量（Ｍｗ）６２０）
界面活性剤７：ＦＩＮＥＳＵＲＦ  ＴＤＥ１０５５（ノニオン性界面活性剤、青木油脂工業（株）製、炭素数１３のアルキル基と、ポリオキシアルキレン構造（ポリオキシエチレン構造とポリオキシプロピレン構造との混合構造（ポリオキシエチレン構造：ポリオキシプロピレン構造＝８０:２０（質量比））とを有する化合物、重量平均分子量（Ｍｗ）７７０）
界面活性剤８：ＦＩＮＥＳＵＲＦ  ＴＤＰ−０４Ｋ（ノニオン性界面活性剤、青木油脂工業（株）製、炭素数１３のアルキル基と、ポリオキシアルキレン構造（オキシプロピレンの繰り返し数４）とを有する化合物、重量平均分子量（Ｍｗ）４３０）
界面活性剤９：２，４，７，９−テトラメチル−５−デシン−４，７−ジオールエトキシレート（シグマアルドリッチ社製、数平均分子量（Ｍｎ）６７０、ノニオン性界面活性剤）【０２１１】
［構造体の製造］（実施例１〜３９、比較例１〜３）
シリコンウエハ上に、シリコン酸化物層をプラズマＣＶＤ（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法で形成した。次いで、このシリコン酸化物層をドライエッチング法でパターニングして、シリコン酸化物からなる隔壁（幅１００ｎｍ、厚さ５００ｎｍ）を０．８μｍ間隔で格子状に形成した。シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法（シリコンウエハ上の隔壁で区画された領域）は、縦０．８μｍ、横０．８μｍであった。次に、隔壁を形成したシリコンウエハ上に、有機物層形成用組成物１をスピンコート法で塗布し、次いでホットプレートを用いて、１１０℃で２分間加熱し、次いで、ホットプレートを用いて２３０℃で５分間加熱して膜厚１３ｎｍの有機物層を形成した。次に、有機物層を形成したシリコンウエハの有機物層上に、下記表に記載の着色感光性組成物を、製膜後の膜厚が０．６μｍになるようにスピンコート法で塗布し、次いで、ホットプレートを用いて１１０℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、０．８μｍのアイランドパターンを有するマスクを介して、５０〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。次いで、現像装置（東京エレクトロン製Ａｃｔ−８）を使用し現像処理を行った。現像液は、下記表に記載の現像液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、純水を用いたスピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートを用いて２２０℃で５分間加熱して、隔壁で区画された領域内に画素を形成して構造体を製造した。【０２１２】
［構造体の製造］（実施例４０）
シリコンウエハ上に、シリコン酸化物層をプラズマＣＶＤ（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法で形成した。次いで、このシリコン酸化物層をドライエッチング法でパターニングして、シリコン酸化物からなる隔壁（幅１００ｎｍ、厚さ５００ｎｍ）を０．８μｍ間隔で格子状に形成した。シリコンウエハ上の隔壁の開口の寸法（シリコンウエハ上の隔壁で区画された領域）は、縦０．８μｍ、横０．８μｍであった。次に、隔壁を形成したシリコンウエハ上に、下記表に記載の着色感光性組成物を、製膜後の膜厚が０．６μｍになるようにスピンコート法で塗布し、次いで、ホットプレートを用いて１１０℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、０．８μｍのアイランドパターンを有するマスクを介して、５０〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光した。次いで、現像装置（東京エレクトロン製Ａｃｔ−８）を使用し現像処理を行った。現像液は、下記表に記載の現像液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、純水を用いたスピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した後に、ホットプレートを用いて２２０℃で５分間加熱して、隔壁で区画された領域内に画素を形成して構造体を製造した。【０２１３】
＜表面粗さの評価＞
得られた構造体の画素の表面粗さ（Ｒａ）を、原子間力顕微鏡Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ  ＦａｓｔＳｃａｎ  ＡＦＭ（Ｂｒｕｋｅｒ製）を用いて測定した。表面粗さの評価基準は以下の通りである。Ａ〜Ｄの評価であれば実用上問題ないと判断する。
Ａ：表面粗さ（Ｒａ）が０ｎｍ以上３ｎｍ未満
Ｂ：表面粗さ（Ｒａ）が３ｎｍ以上５ｎｍ未満
Ｃ：表面粗さ（Ｒａ）が５ｎｍ以上７ｎｍ未満
Ｄ：表面粗さ（Ｒａ）が７ｎｍ以上１０ｎｍ未満
Ｅ：表面粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以上【０２１４】
＜温度サイクル耐性の評価＞
得られた構造体を、サイクルサーモ試験機（Ｈｕｔｅｃｈ社製、ＬＴＳ−１５０−Ｗ［商品名］）を使用して、−６５℃と１５０℃にそれぞれ１５分ずつ交互に曝す工程を１サイクルとする温度サイクル試験を２０００サイクル行った。１００サイクルごとに集束イオンビーム（ＦＩＢ）を用いて、隔壁内に画素が埋め込まれた部分の断面サンプルを作製し、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（Ｓ−４８００Ｈ、（株）日立ハイテクノロジーズ製）にて観測して画素の剥がれの有無を観察して温度サイクル耐性を評価した。なお、画素がシリコンウエハから完全に剥がれている場合、または、画素のシリコンウエハとの界面に亀裂が入っている場合は剥がれがあると判断した。温度サイクル耐性の評価基準は以下の通りである。Ａ〜Ｄの評価であれば実用上問題ないと判断する。
Ａ：１５００サイクル以上で剥がれが観測されない
Ｂ：１０００サイクル以上１５００サイクル未満で剥がれが観測された
Ｃ：７５０サイクル以上１０００サイクル未満で剥がれが観測された
Ｄ：５００サイクル以上７５０サイクル未満で剥がれが観測された
Ｅ：５００サイクル未満で剥がれが観測された【０２１５】
＜耐湿性の評価＞
得られた構造体を、恒温恒湿機（ＥＨＳ−２２１Ｍ、ヤマト科学社製）を用いて、温度８５℃、相対湿度８５％の雰囲気中、５００時間、７５０時間、１０００時間、１５００時間静置して耐湿試験を行った。試験後、集束イオンビーム（ＦＩＢ）を用いて、隔壁内に画素が埋め込まれた部分の断面サンプルを作製し、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（Ｓ−４８００Ｈ、（株）日立ハイテクノロジーズ製）にて観測して画素の剥がれの有無を観察して耐湿性を評価した。なお、画素がシリコンウエハから完全に剥がれている場合、または、画素のシリコンウエハとの界面に亀裂が入っている場合は剥がれがあると判断した。耐湿性の評価基準は以下の通りである。Ａ〜Ｄの評価であれば実用上問題ないと判断する。
Ａ：耐湿試験１５００時間で剥がれが観測されない
Ｂ：耐湿試験１０００時間で剥がれは観測されないが１５００時間で剥がれが観測された
Ｃ：耐湿試験７５０時間で剥がれは観測されないが１０００時間で剥がれが観測された
Ｄ：耐湿試験５００時間で剥がれは観測されないが７５０時間で剥がれが観測された
Ｅ：耐湿試験５００時間で剥がれが観測された【０２１６】
＜現像残渣の評価＞
得られた構造体の隔壁内に画素が埋め込まれていない部分（非画素部）の残渣の有無を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（Ｓ−４８００Ｈ、（株）日立ハイテクノロジーズ製）観察により評価した。現像残渣の評価基準は以下の通りである。Ａ〜Ｄの評価であれば実用上問題ないと判断する。
Ａ：非画素部に残渣がない
Ｂ：非画素部に０．０１μｍ未満の残渣が観測された
Ｃ：非画素部に０．０１μｍ以上０．０５μｍ未満の残渣が観測された
Ｄ：非画素部に０．０５μｍ以上０．１０μｍ未満の残渣が観測された
Ｅ：非画素部に０．１０μｍ以上の残渣が観測された【０２１７】
＜矩形性の評価＞
得られた構造体について、集束イオンビーム（ＦＩＢ）を用いて、隔壁内に画素が埋め込まれた部分の断面サンプルを作製し、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（Ｓ−４８００Ｈ、（株）日立ハイテクノロジーズ製）にて画素の断面形状を観測して画素のテーパー角を測定し、以下の基準で矩形性を評価した。Ａ〜Ｄの評価であれば実用上問題ないと判断する。なお、画素のテーパー角は、画素の隔壁側の面（側面）とシリコンウエハ（基板面）がなす角度のことである。
Ａ：テーパー角が８８度以上９０度以下
Ｂ：テーパー角が８５度以上８８度未満
Ｃ：テーパー角が８０度以上８５度未満
Ｄ：テーパー角が７５度以上８０度未満
Ｅ：テーパー角が７５度未満【０２１８】
【表５】
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【０２１９】
上記表に示すように、実施例は、表面粗さ、温度サイクル耐性、現像残渣および矩形性の評価がいずれもＤ以上の評価で、良好であり、これらの特性を並立させることができた。これに対し、比較例はこれらの特性の少なくとも一つがＥの評価であり、性能が劣っていた。なお、これらの評価について、Ｅの評価がないことが性能バランスの点で重要である。
【符号の説明】
【０２２０】
１：支持体
２：隔壁
１０：着色感光性組成物層
１１、２１、３１：画素
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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