(57)【要約】  インピーダーンス特性などの劣化を伴わずして、反射器のレジストの残渣を生じ難くすることができる、弾性波装置を提供する。  弾性波装置１は圧電性基板２と、圧電性基板２上に設けられたＩＤＴ電極３及び反射器１３Ａ，１３Ｂとを備える。ＩＤＴ電極３は第１の方向ｘ（弾性波伝搬方向）に沿い第１，第２の開口部４ｄ，６ｄが設けられた第１，第２のバスバー４，６と、第１，第２のエッジ領域Ｃａ，Ｃｂと、第１，第２のギャップ領域Ｄａ，Ｄｂを有する。第１，第２のエッジ領域Ｃａ，Ｃｂで低音速領域が構成され、第１，第２の開口部４ｄ，６ｄが設けられた領域で高音速領域が構成されている。反射器１３Ａは第１，第２の反射器バスバー１４Ａ，１６Ａと、第２の端部１５ａが第２の反射器バスバー１６Ａに対向する第１の反射電極指１５Ａを有し、第１の方向ｘから見て第１の反射電極指１５Ａが第２のギャップ領域Ｄｂの全部に重なっている。
2020184622.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層と、
前記圧電体層上に設けられているＩＤＴ電極と、
弾性波伝搬方向を第１の方向とし、前記第１の方向に直交する方向を第２の方向としたときに、前記圧電体層上において、前記ＩＤＴ電極の前記第１の方向両側に設けられている一対の反射器と、
を備え、
前記ＩＤＴ電極が、対向し合い、それぞれ前記第１の方向に沿い複数の開口部が設けられている第１のバスバー及び第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一方端部が接続された複数の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一方端部が接続されており、かつ前記複数の第１の電極指と間挿し合っている複数の第２の電極指と、を有し、
前記第１の電極指と前記第２の電極指とが前記第１の方向において重なり合っている部分が交叉領域であり、前記交叉領域が、前記第２の方向における中央側に位置している中央領域と、前記中央領域の前記第１のバスバー側に配置されている第１のエッジ領域と、前記中央領域の前記第２のバスバー側に配置されている第２のエッジ領域と、を有し、
前記ＩＤＴ電極が、前記第１のエッジ領域及び前記第１のバスバーの間に位置する第１のギャップ領域と、前記第２のエッジ領域及び前記第２のバスバーの間に位置する第２のギャップ領域と、を有し、
前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域において、前記中央領域よりも音速が低い低音速領域がそれぞれ構成されており、前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーにおける前記複数の開口部が設けられた領域において、前記中央領域よりも音速が高い高音速領域がそれぞれ構成されており、
前記反射器が、前記ＩＤＴ電極の前記第１のバスバー側に位置する第１の反射器バスバーと、前記第１の反射器バスバーに対向しており、前記第２のバスバー側に位置する第２の反射器バスバーと、前記第１の反射器バスバーに一方端部が接続されており、かつ他方端部が前記第２の反射器バスバーにギャップを隔てて対向している第１の反射電極指と、を有し、
前記第１の方向から見て、前記第１の反射電極指が、前記ＩＤＴ電極の前記第２のギャップ領域の全部に重なっている、弾性波装置。
【請求項２】
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーが、それぞれ、前記交叉領域側に位置する内側バスバー領域と、前記内側バスバー領域よりも前記第２の方向における外側に位置する外側バスバー領域と、を有し、
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーのそれぞれにおいて、前記内側バスバー領域及び前記外側バスバー領域の間に、前記複数の開口部が設けられた領域が位置しており、
前記第１の方向から見て、前記第１の反射電極指の前記他方端部が、前記第２のギャップ領域よりも前記第２の方向における外側の部分に重なっている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記第１の方向から見て、前記第１の反射電極指の前記他方端部が、前記第２のバスバーの前記内側バスバー領域及び前記第２のギャップ領域の境界に重なっている、請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記第１の方向から見て、前記第１の反射電極指の前記他方端部が、前記第２のバスバーの前記内側バスバー領域に重なっている、請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記第１の方向から見て、前記第１の反射電極指の前記他方端部が、前記第２のバスバーの前記内側バスバー領域及び前記複数の開口部が形成された領域の境界に重なっている、請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記第１の方向から見て、前記第１の反射電極指の前記他方端部が、前記第２のバスバーの前記複数の開口部が形成された領域に重なっている、請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記反射器が、前記第２の反射器バスバーに一方端部が接続されており、かつ他方端部が前記第１の反射器バスバーにギャップを隔てて対向している第２の反射電極指を有し、
前記第１の方向から見て、前記第２の反射電極指が、前記ＩＤＴ電極の前記第１のギャップ領域の全部に重なっている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーが、それぞれ、前記交叉領域側に位置する内側バスバー領域と、前記内側バスバー領域よりも前記第２の方向における外側に位置する外側バスバー領域と、を有し、
前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーのそれぞれにおいて、前記内側バスバー領域及び前記外側バスバー領域の間に、前記複数の開口部が設けられた領域が位置しており、
前記第１の方向から見て、前記第２の反射電極指の前記他方端部が、前記第１のギャップ領域よりも前記第２の方向における外側の部分に重なっている、請求項７に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記第１の方向から見て、前記第２の反射電極指の前記他方端部が、前記第１のバスバーの前記内側バスバー領域に重なっている、請求項８に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
前記第１の方向から見て、前記第２の反射電極指の前記他方端部が、前記第１のバスバーの前記複数の開口部が形成された領域に重なっている、請求項８に記載の弾性波装置。
【請求項１１】
前記反射器が、前記第１の反射器バスバー及び前記第２の反射器バスバーの両方に接続されている第３の反射電極指を有する、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項１２】
前記反射器が、複数の前記第３の反射電極指を有する、請求項１１に記載の弾性波装置。
【請求項１３】
前記複数の第３の反射電極指は、前記反射器において、前記ＩＤＴ電極に最も近い反射電極指、及び、前記ＩＤＴ電極から最も遠い反射電極指を含む、請求項１２に記載の弾性波装置。
【請求項１４】
前記第１の電極指及び前記第２の電極指の前記第１の方向に沿う寸法を幅としたときに、前記第１の電極指及び前記第２の電極指のうち少なくとも一方が、前記第１のエッジ領域に位置する部分において、前記中央領域に位置する部分よりも幅が広い第１の幅広部を有し、前記第１の電極指及び前記第２の電極指のうち少なくとも一方が、前記第２のエッジ領域に位置する部分において、前記中央領域に位置する部分よりも幅が広い第２の幅広部を有する、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、弾性波装置は携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。下記の特許文献１には、ピストンモードを利用する弾性波装置の一例が開示されている。この弾性波装置においては、圧電基板上に、ＩＤＴ電極（Ｉｎｔｅｒ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）及び反射器が設けられている。ＩＤＴ電極の電極指の延伸方向における内側から外側に向かい、中央領域、低音速領域及び高音速領域がこの順序で配置されている。ＩＤＴ電極のバスバーは、内側バスバー、外側バスバー並びに内側バスバー及び外側バスバーを接続する複数の接続電極を有する。また、ＩＤＴ電極のバスバーは、内側バスバー、外側バスバー及び複数の接続電極に囲まれた複数の開口部を有する。【０００３】
バスバーの形成に際し、内側バスバー及び接続電極をリフトオフ法で形成し、レジストを剥離した後、複数の接続電極のそれぞれの一部を覆うように、外側バスバーを形成することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１８／１９９０７１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載された構成、すなわち、ピストンモードを利用すれば、弾性波装置のインピーダンス特性などの劣化を抑制できる。しかしながら、特許文献１に記載された弾性波装置の製造に際し、反射器をリフトオフ法により形成すると、レジストの剥離液がレジストに接触し難いことにより、レジストの残渣が生じることがある。レジストの残渣が生じた場合、リップルなどの不良が発生するおそれがある。【０００６】
本発明の目的は、インピーダンス特性などの劣化を伴わずして、反射器のレジストの残渣を生じ難くすることができる、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る弾性波装置は、圧電体層と、前記圧電体層上に設けられているＩＤＴ電極と、弾性波伝搬方向を第１の方向とし、前記第１の方向に直交する方向を第２の方向としたときに、前記圧電体層上において、前記ＩＤＴ電極の前記第１の方向両側に設けられている一対の反射器とを備え、前記ＩＤＴ電極が、対向し合い、それぞれ前記第１の方向に沿い複数の開口部が設けられている第１のバスバー及び第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一方端部が接続された複数の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一方端部が接続されており、かつ前記複数の第１の電極指と間挿し合っている複数の第２の電極指とを有し、前記第１の電極指と前記第２の電極指とが前記第１の方向において重なり合っている部分が交叉領域であり、前記交叉領域が、前記第２の方向における中央側に位置している中央領域と、前記中央領域の前記第１のバスバー側に配置されている第１のエッジ領域と、前記中央領域の前記第２のバスバー側に配置されている第２のエッジ領域とを有し、前記ＩＤＴ電極が、前記第１のエッジ領域及び前記第１のバスバーの間に位置する第１のギャップ領域と、前記第２のエッジ領域及び前記第２のバスバーの間に位置する第２のギャップ領域とを有し、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域において、前記中央領域よりも音速が低い低音速領域がそれぞれ構成されており、前記第１のバスバー及び前記第２のバスバーにおける前記複数の開口部が設けられた領域において、前記中央領域よりも音速が高い高音速領域がそれぞれ構成されており、前記反射器が、前記ＩＤＴ電極の前記第１のバスバー側に位置する第１の反射器バスバーと、前記第１の反射器バスバーに対向しており、前記第２のバスバー側に位置する第２の反射器バスバーと、前記第１の反射器バスバーに一方端部が接続されており、かつ他方端部が前記第２の反射器バスバーにギャップを隔てて対向している第１の反射電極指とを有し、前記第１の方向から見て、前記第１の反射電極指が、前記ＩＤＴ電極の前記第２のギャップ領域の全部に重なっている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る弾性波装置によれば、インピーダンス特性などの劣化を伴わずして、反射器のレジストの残渣を生じ難くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の平面図である。
【図２】図２は、図１中のＩ−Ｉ線に沿う断面図である。
【図３】図３は、図１の拡大図である。
【図４】図４は、図１の拡大図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための拡大平面図である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための拡大平面図である。
【図７】図７は、第１の比較例の弾性波装置の拡大平面図である。
【図８】図８は、第２の比較例の弾性波装置の拡大平面図である。
【図９】図９は、本発明の第１の実施形態、第１の比較例及び第２の比較例の弾性波装置のインピーダンス周波数特性を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の第１の実施形態の第１の変形例に係る弾性波装置の拡大平面図である。
【図１１】図１１は、本発明の第１の実施形態の第２の変形例に係る弾性波装置の拡大平面図である。
【図１２】図１２は、本発明の第１の実施形態の第３の変形例に係る弾性波装置の拡大平面図である。
【図１３】図１３は、本発明の第１の実施形態、第１〜第３の変形例、第１の比較例及び第２の比較例の弾性波装置のインピーダンス周波数特性を示す図である。
【図１４】図１４は、第１の実施形態の第４の変形例に係る２つの弾性波装置がフィルタ装置に用いられている例を示す、略図的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１１】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【００１２】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の平面図である。
【００１３】
図１に示すように、弾性波装置１は圧電性基板２を有する。本実施形態の圧電性基板２は、圧電体層のみからなる圧電基板である。より具体的には、弾性波装置１の圧電性基板２はニオブ酸リチウム基板である。なお、圧電性基板２の材料は上記に限定されず、例えば、タンタル酸リチウムなどの圧電単結晶や適宜の圧電セラミックスであってもよい。なお、圧電性基板２は、圧電体層を含む積層体であってもよい。
【００１４】
圧電性基板２上にはＩＤＴ電極３が設けられている。ＩＤＴ電極３に交流電圧を印加することにより、弾性波が励振される。弾性波伝搬方向を第１の方向ｘとし、第１の方向ｘに直交する方向を第２の方向ｙとしたときに、圧電性基板２上におけるＩＤＴ電極３の第１の方向ｘ両側には、一対の反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂが設けられている。本実施形態の弾性波装置１は弾性波共振子である。もっとも、本発明に係る弾性波装置１は弾性波共振子には限定されず、複数の弾性波共振子を有するフィルタ装置などであってもよい。
【００１５】
図２は、図１中のＩ−Ｉ線に沿う断面図である。
【００１６】
弾性波装置１は、圧電性基板２上に、ＩＤＴ電極３、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂを覆うように設けられている誘電体膜８を有する。誘電体膜８は、本実施形態では酸化ケイ素膜である。酸化ケイ素はＳｉＯａにより表される。ａは任意の正数である。より具体的には、本実施形態では、酸化ケイ素膜はＳｉＯ２膜である。なお、誘電体膜８の材料は酸化ケイ素には限定されない。誘電体膜８は必ずしも設けられていなくともよい。
【００１７】
図３は、図１の拡大図である。図４は、図１の拡大図である。
【００１８】
図１、図３及び図４に示すように、ＩＤＴ電極３は、対向し合う第１のバスバー４及び第２のバスバー６を有する。図１及び図３に示すように、第１のバスバー４には、第１の方向ｘに沿い複数の第１の開口部４ｄが設けられている。図１及び図４に示すように、第２のバスバー６にも、第１の方向ｘに沿い複数の第２の開口部６ｄが設けられている。ＩＤＴ電極３は、第１のバスバー４にそれぞれ一方端部が接続されている複数の第１の電極指５を有する。第１の電極指５の他方端部は、ギャップを隔てて第２のバスバー６に対向している。第１の電極指５及び第２のバスバー６は接続されていない。ＩＤＴ電極３は、第２のバスバー６にそれぞれ一方端部が接続されている複数の第２の電極指７を有する。第２の電極指７の他方端部は、ギャップを隔てて第１のバスバー４に対向している。第２の電極指７及び第１のバスバー４は接続されていない。複数の第１の電極指５と複数の第２の電極指７とは互いに間挿し合っている。
【００１９】
反射器１３Ａは、対向し合う第１の反射器バスバー１４Ａ及び第２の反射器バスバー１６Ａを有する。第１の反射器バスバー１４ＡはＩＤＴ電極３の第１のバスバー４側に位置する。第２の反射器バスバー１６Ａは、第２のバスバー６側に位置する。反射器１３Ｂは、対向し合う第１の反射器バスバー１４Ｂ及び第２の反射器バスバー１６Ｂを有する。第１の反射器バスバー１４ＢはＩＤＴ電極３の第１のバスバー４側に位置する。第２の反射器バスバー１６Ｂは、第２のバスバー６側に位置する。
【００２０】
図３及び図４に示すように、反射器１３Ａは、第１の反射器バスバー１４Ａに接続されている複数の第１の反射電極指１５Ａを有する。複数の第１の反射電極指１５Ａは、一方端部としての第１の端部と、他方端部としての第２の端部１５ａとをそれぞれ有する。複数の第１の反射電極指１５Ａの第１の端部が、第１の反射器バスバー１４Ａにそれぞれ接続されている。図４に示すように、第１の反射電極指１５Ａの第２の端部１５ａは第２の反射器バスバー１６Ａに対向している。第１の反射電極指１５Ａ及び第２の反射器バスバー１６Ａは接続されていない。すなわち、第１の反射電極指１５Ａの第２の端部１５ａと第２の反射器バスバー１６Ａとの間には、ギャップが位置する。
【００２１】
反射器１３Ａは、第２の反射器バスバー１６Ａに接続されている複数の第２の反射電極指１７Ａを有する。複数の第２の反射電極指１７Ａは、一方端部としての第３の端部と、他方端部としての第４の端部１７ａとをそれぞれ有する。複数の第２の反射電極指１７Ａの第３の端部が、第２の反射器バスバー１６Ａにそれぞれ接続されている。図３に示すように、第２の反射電極指１７Ａの第４の端部１７ａは第１の反射器バスバー１４Ａに対向している。第２の反射電極指１７Ａ及び第１の反射器バスバー１４Ａは接続されていない。すなわち、第２の反射電極指１７Ａの第４の端部１７ａと第１の反射器バスバー１４Ａとの間には、ギャップが位置する。複数の第１の反射電極指１５Ａと複数の第２の反射電極指１７Ａとは互いに間挿し合っている。
【００２２】
図１に示すように、反射器１３Ａは、第１の反射器バスバー１４Ａ及び第２の反射器バスバー１６Ａの両方に接続されている、２本の第３の反射電極指１８Ａを有する。すなわち、第３の反射電極指１８Ａの一方端部と第１の反射器バスバー１４Ａとの間、及び、第３の反射電極指１８Ａの他方端部と第２の反射器バスバー１６Ａとの間には、ギャップがない。一方の第３の反射電極指１８Ａは、反射器１３Ａの複数の反射電極指のうちＩＤＴ電極３に最も近い反射電極指である。他方の第３の反射電極指１８Ａは、反射器１３Ａの複数の反射電極指のうちＩＤＴ電極３から最も遠い反射電極指である。なお、第３の反射電極指１８Ａの本数及び位置は上記に限定されない。反射器１３Ｂも、反射器１３Ａと同様に、第１の反射器バスバー１４Ｂ、第２の反射器バスバー１６Ｂ、第１の反射電極指１５Ｂ、第２の反射電極指１７Ｂ及び第３の反射電極指１８Ｂを有する。
【００２３】
なお、反射器１３Ａは、第１の反射電極指１５Ａ、第２の反射電極指１７Ａ及び第３の反射電極指１８Ａのうち少なくとも第１の反射電極指１５Ａを有していればよい。もっとも、反射器１３Ａは第２の反射電極指１７Ａを有することが好ましい。それによって、反射器１３Ａの対称性を高めることができ、フィルタ特性の劣化が生じ難い。反射器１３Ａは第３の反射電極指１８Ａを有することが好ましい。それによって、反射器１３Ａ全体を同電位とすることができ、フィルタ特性の劣化がより一層生じ難い。反射器１３Ｂにおいても同様である。
【００２４】
ＩＤＴ電極３、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂは、複数の金属層が積層された積層金属膜からなっていてもよく、単層の金属膜からなっていてもよい。
【００２５】
以下において、本実施形態のＩＤＴ電極３のより詳細な構成を説明する。
【００２６】
ＩＤＴ電極３において、第１の電極指５と第２の電極指７とが第１の方向ｘにおいて重なり合っている部分は、交叉領域Ａである。交叉領域Ａは、第２の方向ｙにおける中央側に位置している中央領域Ｂを有する。
【００２７】
交叉領域Ａは、中央領域Ｂの第１のバスバー４側に配置されている第１のエッジ領域Ｃａと、中央領域Ｂの第２のバスバー６側に配置されている第２のエッジ領域Ｃｂとを有する。ＩＤＴ電極３は、前記第１のエッジ領域Ｃａ及び前記第１のバスバー４の間に位置する第１のギャップ領域Ｄａと、前記第２のエッジ領域Ｃｂ及び前記第２のバスバー６の間に位置する第２のギャップ領域Ｄｂとを有する。
【００２８】
図３に示すように、ＩＤＴ電極３の第１のバスバー４は、交叉領域Ａ側に位置する第１の内側バスバー領域Ｅａと、第１の内側バスバー領域Ｅａの第２の方向ｙにおける外側に位置する第１の外側バスバー領域Ｇａとを有する。第１のバスバー４における、第１の内側バスバー領域Ｅａに位置する部分が第１の内側バスバー部４ａであり、第１の外側バスバー領域Ｇａに位置する部分が第１の外側バスバー部４ｃである。第１のバスバー４は、第１の内側バスバー領域Ｅａ及び第１の外側バスバー領域Ｇａの間に位置し、かつ上記複数の第１の開口部４ｄが設けられた第１の開口部形成領域Ｆａを有する。なお、第１のバスバー４は、第１の内側バスバー部４ａ及び第１の外側バスバー部４ｃを接続している複数の第１の接続電極４ｂを有する。複数の第１の開口部４ｄは、第１の内側バスバー部４ａ、第１の外側バスバー部４ｃ及び複数の第１の接続電極４ｂにより囲まれた開口部である。
【００２９】
複数の第１の接続電極４ｂは、複数の第１の電極指５の延長線上に位置するように延びている。ここで、電極指の第１の方向ｘに沿う寸法を幅とする。接続電極の第１の方向ｘに沿う寸法を幅とする。第１の接続電極４ｂの幅は第１の電極指５の幅と同じである。なお、複数の第１の接続電極４ｂの配置は上記に限定されず、例えば、複数の第２の電極指７の延長線上に位置するように延びていてもよい。第１の接続電極４ｂの幅は第１の電極指５の幅と異なっていてもよい。
【００３０】
同様に、図４に示すように、ＩＤＴ電極３の第２のバスバー６は、第２の内側バスバー領域Ｅｂ、第２の外側バスバー領域Ｇｂ及び上記複数の第２の開口部６ｄが形成された第２の開口部形成領域Ｆｂを有する。第２の内側バスバー領域Ｅｂに位置する部分が第２の内側バスバー部６ａであり、第２の外側バスバー領域Ｇｂに位置する部分が第２の外側バスバー部６ｃである。第２のバスバー６は、第２の内側バスバー部６ａ及び第２の外側バスバー部６ｃを接続している複数の第２の接続電極６ｂを有する。複数の第２の開口部６ｄは、第２の内側バスバー部６ａ、第２の外側バスバー部６ｃ及び複数の第２の接続電極６ｂにより囲まれた開口部である。
【００３１】
図３に示すように、本実施形態においては、反射器１３Ａの第２の反射電極指１７Ａの第４の端部１７ａは、第１の方向ｘから見て、第１の内側バスバー領域Ｅａに重なっている。このように、第１の方向ｘから見て、第４の端部１７ａは第１のギャップ領域Ｄａよりも第２の方向ｙにおける外側の部分に重なっており、第２の反射電極指１７Ａは、第１のギャップ領域Ｄａの全部に重なっている。ここで、本明細書において、領域同士の境界は、境界により分けられている領域のいずれにも含まれないものとする。例えば、第１の内側バスバー領域Ｅａは、第１の内側バスバー領域Ｅａ及び第１のギャップ領域Ｄａの境界と、第１の内側バスバー領域Ｅａ及び第１の開口部形成領域Ｆａの境界とを含まない。第１の方向ｘから見て、第２の反射電極指１７Ａの第４の端部１７ａは、第１の内側バスバー領域Ｅａ及び第１のギャップ領域Ｄａの境界と、第１の内側バスバー領域Ｅａ及び第１の開口部形成領域Ｆａの境界との間に重なっている。なお、以下においては、第１の方向ｘから見て重なっていることを、単に重なっていると記載することがある。
【００３２】
図４に示すように、第１の方向ｘから見て、反射器１３Ａの第１の反射電極指１５Ａの第２の端部１５ａは、第２の内側バスバー領域Ｅｂに重なっている。このように、第１の方向ｘから見て、第２の端部１５ａは第２のギャップ領域Ｄｂよりも第２の方向ｙにおける外側の部分に重なっており、第１の反射電極指１５Ａは、第２のギャップ領域Ｄｂの全部に重なっている。より具体的には、第１の方向ｘから見て、第１の反射電極指１５Ａの第２の端部１５ａは、第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２のギャップ領域Ｄｂの境界と、第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２の開口部形成領域Ｆｂの境界との間に重なっている。
【００３３】
同様に、図１に示すように、第１の方向ｘから見て、反射器１３Ｂの第１の反射電極指１５Ｂの第２の端部１５ｂは、第２の内側バスバー領域Ｅｂに重なっており、第１の反射電極指１５Ｂは、第２のギャップ領域Ｄｂの全部に重なっている。より具体的には、第１の方向ｘから見て、第１の反射電極指１５Ｂの第２の端部１５ｂは、第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２のギャップ領域Ｄｂの境界と、第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２の開口部形成領域Ｆｂの境界との間に重なっている。
【００３４】
第１の方向ｘから見て、反射器１３Ｂの第２の反射電極指１７Ｂの第４の端部１７ｂは、第１の内側バスバー領域Ｅａに重なっており、第２の反射電極指１７Ｂは、第１のギャップ領域Ｄａの全部に重なっている。より具体的には、第１の方向ｘから見て、第２の反射電極指１７Ｂの第４の端部１７ｂは、第１の内側バスバー領域Ｅａ及び第１のギャップ領域Ｄａの境界と、第１の内側バスバー領域Ｅａ及び第１の開口部形成領域Ｆａの境界との間に重なっている。
【００３５】
なお、本明細書における対象物が「領域（または境界と境界との間）に重なっている」とは、対象物が領域（または境界と境界との間の領域）の少なくとも一部に重なっていることを指す。また、本明細書における対象物が「領域の全部に重なっている」とは、対象物が領域全体にわたって重なっていることを指す。
【００３６】
図３に示すように、ＩＤＴ電極３の第１の電極指５は、第１のエッジ領域Ｃａに位置する部分において、中央領域Ｂに位置する部分よりも幅が広い第１の幅広部５ａを有する。同様に、第２の電極指７は、第１のエッジ領域Ｃａに位置する部分において第１の幅広部７ａを有する。それによって、第１のエッジ領域Ｃａにおける音速は、中央領域Ｂにおける音速よりも低い。このように、第１のエッジ領域Ｃａから第１の内側バスバー領域Ｅａにかけて、平均音速が中央領域Ｂにおける音速よりも低い、第１の低音速領域Ｌａが構成されている。なお、本明細書において、音速とは弾性波の第１の方向ｘにおける伝搬速度である。
【００３７】
図４に示すように、第１の電極指５は、第２のエッジ領域Ｃｂに位置する部分において、中央領域Ｂに位置する部分よりも幅が広い第２の幅広部５ｂを有する。同様に、第２の電極指７は、第２のエッジ領域Ｃｂに位置する部分において、第２の幅広部７ｂを有する。このように、第２のエッジ領域Ｃｂから第２の内側バスバー領域Ｅｂにかけて、平均音速が中央領域Ｂにおける音速よりも低い、第２の低音速領域Ｌｂが構成されている。
【００３８】
なお、図１に示す第１の電極指５及び第２の電極指７のうち少なくとも一方が、第１の幅広部５ａまたは第１の幅広部７ａを有していればよい。第１の電極指５及び第２の電極指７のうち少なくとも一方が、第２の幅広部５ｂまたは第２の幅広部７ｂを有していればよい。あるいは、第１の電極指５及び第２の電極指７のうち少なくとも一方の、第１のエッジ領域Ｃａに位置する部分に、質量付加膜が設けられることにより、第１の低音速領域Ｌａが設けられていてもよい。第２のエッジ領域Ｃｂにおいても同様である。第１の幅広部５ａ、第１の幅広部７ａ、第２の幅広部５ｂ、第２の幅広部７ｂ及び質量付加膜が設けられていることにより、第１の低音速領域Ｌａ及び第２の低音速領域Ｌｂが構成されていてもよい。
【００３９】
ここで、中央領域Ｂにおける音速をＶ１とし、第１の低音速領域Ｌａ及び第２の低音速領域Ｌｂにおける音速をＶ２としたときに、Ｖ２＜Ｖ１である。
【００４０】
第１の開口部形成領域Ｆａにおける複数の第１の接続電極４ｂは、複数の第１の電極指５の延長線上に位置しており、複数の第２の電極指７の延長線上には位置していない。それによって、中央領域Ｂにおける音速よりも第１の開口部形成領域Ｆａにおける音速が高い。このように、第１の開口部形成領域Ｆａにおいて第１の高音速領域Ｈａが構成されている。同様に、第２の開口部形成領域Ｆｂにおいて中央領域Ｂにおける音速よりも音速が高い、第２の高音速領域Ｈｂが構成されている。ここで、第１の高音速領域Ｈａ及び第２の高音速領域Ｈｂにおける音速をＶ３としたときに、Ｖ１＜Ｖ３である。
【００４１】
各領域における音速の関係は、Ｖ２＜Ｖ１＜Ｖ３となっている。上記のような各音速の関係を図１に示す。なお、図１における音速の関係を示す部分においては、矢印Ｖで示すように、各音速の高さを示す線が左側に位置するほど音速が高いことを示す。
【００４２】
第２の方向ｙにおいて、中央領域Ｂ、第１の低音速領域Ｌａ及び第１の高音速領域Ｈａがこの順序で配置されている。同様に、第２の方向ｙにおいて、中央領域Ｂ、第２の低音速領域Ｌｂ及び第２の高音速領域Ｈｂがこの順序で配置されている。このように、弾性波装置１はピストンモードを利用している。それによって、弾性波のエネルギーを閉じ込め、かつ高次の横モードによるスプリアスを抑制している。これにより、弾性波装置１のインピーダンス特性の劣化を抑制している。
【００４３】
本実施形態の特徴は、反射器１３Ａが第２の反射器バスバー１６Ａに接続されていない第１の反射電極指１５Ａを有し、第１の方向ｘから見て、第１の反射電極指１５Ａが、ＩＤＴ電極３の第２のギャップ領域Ｄｂの全部に重なっていることにある。さらに、本実施形態の特徴は、反射器１３Ｂが第２の反射器バスバー１６Ｂに接続されていない第１の反射電極指１５Ｂを有し、第１の方向ｘから見て、第１の反射電極指１５Ｂが、ＩＤＴ電極３の第２のギャップ領域Ｄｂの全部に重なっていることにある。それによって、インピーダンス特性などの劣化を伴わずして、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂのレジストの残渣を生じ難くすることができる。これを、弾性波装置１の製造方法の一例と共に、以下において説明する。
【００４４】
図５は、第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための拡大平面図である。図６は、第１の実施形態に係る弾性波装置の製造方法の一例を説明するための拡大平面図である。
【００４５】
図５に示すように、圧電性基板２を用意する。次に、圧電性基板２上にレジスト層を形成する。レジスト層は、例えば、印刷法やスピンコート法などにより形成することができる。次に、レジスト層を露光した後に現像することにより、レジストパターン２２を形成する。このとき、平面視において、レジストパターン２２における反射器１３Ａの第１の反射電極指１５Ａの第２の端部１５ａを形成する部分付近においてレジスト層が連なっている。レジストパターン２２における反射器１３Ａの第２の反射電極指１７Ａの第４の端部１７ａを形成する部分付近においてもレジスト層が連なっている。レジストパターン２２における反射器１３Ｂに相当する部分においても同様である。これにより、各反射電極指間に相当する領域に加えて、各反射器バスバーと各反射電極指との間に相当する領域を設けることができる。よって、各反射器バスバー及び各反射電極指に囲まれた、連続した広い領域を設けることができる。
【００４６】
次に、図６に示すように、レジストパターン２２を覆うように圧電性基板２上に、ＩＤＴ電極３、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂを形成するための金属膜２３を成膜する。金属膜２３は、真空蒸着法やスパッタリング法により形成する。
【００４７】
次に、レジストパターン２２を剥離する。このとき、上述したように、レジストパターン２２における反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂに相当する部分において、レジスト層が連なっている部分を有する。これにより、各反射器バスバー及び各反射電極指に囲まれた、連続した広い領域を設けることができ、レジストの剥離液がレジストに接触し易い。それによって、レジストパターン２２を容易に、かつより一層確実に剥離することができる。従って、本実施形態においては、レジストの残渣が生じ難い。
【００４８】
以下において、弾性波装置１においてインピーダンス特性が劣化し難いことを、本実施形態と第１の比較例及び第２の比較例とを比較することにより示す。
【００４９】
第１の比較例及び第２の比較例においては、第１の方向から見て、第２の反射電極指は第１のギャップ領域に重なっておらず、第１の反射電極指は第２のギャップ領域に重なっていない。より具体的には、図７に示すように、第１の比較例は、第１の方向ｘから見て、第２の反射電極指１０７Ａの第４の端部１０７ａが、ＩＤＴ電極３の交叉領域Ａに重なっている点において、第１の実施形態と異なる。さらに、第１の比較例は、第１の反射電極指１０５Ａの第２の端部が交叉領域Ａに重なっている点において、第１の実施形態と異なる。図８に示すように、第２の比較例は、第１の方向ｘから見て、第２の反射電極指１１７Ａの第４の端部１１７ａが、第１のエッジ領域Ｃａと第１のギャップ領域Ｄａとの境界に重なっている点において、第１の実施形態と異なる。さらに、第２の比較例は、第１の反射電極指１１５Ａの第２の端部が、第２のエッジ領域Ｃｂと第２のギャップ領域Ｄｂとの境界に重なっている点において、第１の実施形態と異なる。
【００５０】
第１の実施形態の構成を有する弾性波装置並びに第１の比較例及び第２の比較例の弾性波装置を用意し、インピーダンス周波数特性を測定した。ここで、第１の実施形態の構成を有する弾性波装置並びに第１の比較例及び第２の比較例の弾性波装置の条件は以下の通りである。なお、ＩＤＴ電極の電極指ピッチにより規定される波長をλとする。交叉領域Ａにおける第２の方向ｙに沿う長さを交叉幅とする。以下において、厚みをｈとしたときに、厚みｈが波長λにより規格化された厚みをｈ／λ×１００（％）として表すことがある。
【００５１】
ＩＤＴ電極の波長：４μｍ
ＩＤＴ電極の交叉領域Ａにおけるデューティ：０．５
ＩＤＴ電極の電極指の対数：３０対
ＩＤＴ電極の交叉幅：１５λ
ＩＤＴ電極の材料及び厚み：材料…白金（Ｐｔ）、厚み…８％
反射器の反射電極指の対数：５対
誘電体膜の材料及び厚み：材料…酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、厚み…３５％
圧電性基板の材料：ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）
圧電性基板のオイラー角（φ，θ，ψ）：オイラー角（０°，３０°，０°）
【００５２】
もっとも、上記各条件は一例であって、本発明に係る弾性波装置の条件は上記に限定されるものではない。
【００５３】
図９は、第１の実施形態、第１の比較例及び第２の比較例の弾性波装置のインピーダンス周波数特性を示す図である。図９において、実線は第１の実施形態の結果を示し、破線は第１の比較例の結果を示し、一点鎖線は第２の比較例の結果を示す。
【００５４】
図９に示すように、第１の実施形態においては、共振周波数におけるインピーダンスを、第１の比較例よりも低くすることができている。なお、第１の実施形態及び第２の比較例においては、共振周波数におけるインピーダンスは同程度である。一方で、反共振周波数では、第１の実施形態において、第１の比較例及び第２の比較例よりもインピーダンスを大幅に高くすることができている。このように、第１の実施形態においては、第１の比較例及び第２の比較例と同様の測定条件において、第１の比較例及び第２の比較例よりもインピーダンス特性が劣化し難い。
【００５５】
第１の比較例及び第２の比較例においては、第１の方向から見て、反射器の第１の反射電極指はＩＤＴ電極の第２のギャップ領域に重なっておらず、第２の反射電極指はＩＤＴ電極の第１のギャップ領域に重なっていない。そのため、ＩＤＴ電極において励振されたメインモードを、第１のギャップ領域付近及び第２のギャップ領域付近においては、反射器によって十分に反射することが困難となる。よって、メインモードが漏洩し易い。そのため、図９に示すように、インピーダンス特性も劣化し易い。
【００５６】
これに対して、図１に示す第１の実施形態においては、第１の方向ｘから見て、反射器１３Ａの第１の反射電極指１５Ａ及び反射器１３Ｂの第１の反射電極指１５Ｂは、ＩＤＴ電極３の第２のギャップ領域Ｄｂの全部に重なっている。反射器１３Ａの第２の反射電極指１７Ａ及び反射器１３Ｂの第２の反射電極指１７Ｂは、第１のギャップ領域Ｄａの全部に重なっている。それによって、ＩＤＴ電極３において励振されたメインモードを、第１のギャップ領域Ｄａ、交叉領域Ａ及び第２のギャップ領域Ｄｂの全域において、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂによって十分に反射することができる。なお、第１の高音速領域Ｈａ及び第２の高音速領域Ｈｂにおいては、弾性波のエネルギーはほぼ存在しない。そのため、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂを用いて、メインモードを反射する必要はない。すなわち、第１の高音速領域Ｈａ及び第２の高音速領域Ｈｂと、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂの反射電極指の先端とは、第１の方向ｘから見て重なっている必要はない。加えて、第１の実施形態においては、上述したように、反射器１３Ａ及び反射器１３Ｂの形成に際し、レジストを容易に、かつより一層確実に剥離することができる。従って、第１の実施形態においては、インピーダンス特性などの劣化を伴わずして、レジストの残渣を生じ難くすることができる。
【００５７】
さらに、本実施形態では、第１の方向ｘから見て、第１の反射電極指１５Ａの第２の端部１５ａは、第２の内側バスバー領域Ｅｂにおける、第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２のギャップ領域Ｄｂの境界よりも第２の方向ｙにおける外側の部分に重なっている。具体的には、第１の反射電極指１５Ａの第２の端部１５ａが、第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２のギャップ領域Ｄｂの境界と、第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２の開口部形成領域Ｆｂの境界との間に重なっている。それによって、反射器１３Ａの形成に際し第１の反射電極指１５Ａの長さにばらつきが生じたとしても、第１の方向ｘから見て、第１の反射電極指１５Ａによって第２のギャップ領域Ｄｂの全部をより一層確実に覆うことができる。同様に、第２の反射電極指１７Ａによっても、第１のギャップ領域Ｄａの全部をより一層確実に覆うことができる。反射器１３Ｂ側においても同様である。従って、インピーダンス特性などの劣化がより一層生じ難い。加えて、第１の実施形態の弾性波装置１を帯域通過型フィルタなどのフィルタ装置に用いた場合には、挿入損失などのフィルタ特性の劣化が生じ難い。
【００５８】
ここで、以下において、各反射電極指の先端部の位置が第１の実施形態と異なる、第１の実施形態の第１〜第３の変形例を示す。第１〜第３の変形例においても、第１の実施形態と同様に、インピーダンス特性などの劣化を伴わずして、反射器のレジストの残渣を生じ難くすることができる。
【００５９】
図１０に示すように、第１の変形例においては、第１の方向ｘから見て、反射器３３Ａの第２の反射電極指３７Ａの第４の端部３７ａは、第１のバスバー４の第１の内側バスバー領域Ｅａ及び第１のギャップ領域Ｄａの境界に重なっている。第１の方向ｘから見て、反射器３３Ａの第１の反射電極指３５Ａの第２の端部は、第２のバスバー６の第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２のギャップ領域Ｄｂの境界に重なっている。反射器３３Ａと共にＩＤＴ電極３を挟むように配置された反射器においても同様である。
【００６０】
図１１に示すように、第２の変形例においては、第１の方向ｘから見て、反射器４３Ａの第２の反射電極指４７Ａの第４の端部４７ａは、第１のバスバー４の第１の内側バスバー領域Ｅａ及び第１の開口部形成領域Ｆａの境界に重なっている。第１の方向ｘから見て、反射器４３Ａの第１の反射電極指４５Ａの第２の端部は、第２のバスバー６の第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２の開口部形成領域Ｆｂの境界に重なっている。反射器４３Ａと共にＩＤＴ電極３を挟むように配置された反射器においても同様である。なお、第２の変形例においても、第１の方向ｘから見て、第１の反射電極指４５Ａの第２の端部は、第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２のギャップ領域Ｄｂの境界よりも第２の方向ｙにおける外側の部分に重なっている。よって、第１の反射電極指４５Ａの長さにばらつきが生じたとしても、第２のギャップ領域Ｄｂの全部をより一層確実に覆うことができる。
【００６１】
図１２に示すように、第３の変形例においては、第１の方向ｘから見て、反射器５３Ａの第２の反射電極指５７Ａの第４の端部５７ａは、第１の開口部形成領域Ｆａに重なっている。第１の方向ｘから見て、反射器５３Ａの第１の反射電極指５５Ａの第２の端部は、第２の開口部形成領域Ｆｂに重なっている。反射器５３Ａと共にＩＤＴ電極３を挟むように配置された反射器においても同様である。なお、第３の変形例においても、第１の方向ｘから見て、第１の反射電極指５５Ａの第２の端部は、第２の内側バスバー領域Ｅｂ及び第２のギャップ領域Ｄｂの境界よりも第２の方向ｙにおける外側の部分に重なっている。よって、第１の反射電極指５５Ａの長さにばらつきが生じたとしても、第２のギャップ領域Ｄｂの全部をより一層確実に覆うことができる。
【００６２】
図１３は、第１の実施形態、第１〜第３の変形例、第１の比較例及び第２の比較例の弾性波装置のインピーダンス周波数特性を示す図である。図９と同様に、実線は第１の実施形態の結果を示し、破線は第１の比較例の結果を示し、一点鎖線は第２の比較例の結果を示す。さらに、幅が太い破線は第１の変形例の結果を示し、幅が太い一点鎖線は第２の変形例の結果を示し、二点鎖線は第３の変形例の結果を示す。
【００６３】
図１３に示すように、第１〜第３の変形例においては、共振周波数及び反共振周波数において第１の実施形態と同等のインピーダンスであることがわかる。このように、第１〜第３の変形例においても、第１の実施形態と同様に、インピーダンス特性が劣化し難いことがわかる。加えて、第１の実施形態と同様に、反射器を形成するに際し、レジストを容易に、かつより一層確実に剥離することができる。従って、第１〜第３の変形例においても、インピーダンス特性などの劣化を伴わずして、反射器のレジストの残渣を生じ難くすることができる。
【００６４】
本発明に係る弾性波装置は、フィルタ装置の弾性波共振子として用いてもよい。以下において、第１の実施形態の第４の変形例に係る２つの弾性波装置が、ラダー型フィルタに用いられている例を示す。
【００６５】
図１４は、第１の実施形態の第４の変形例に係る２つの弾性波装置がフィルタ装置に用いられている例を示す、略図的平面図である。なお、図１４においては、ＩＤＴ電極３を、矩形に２本の対角線を加えた略図により示す。
【００６６】
第４の変形例の弾性波装置５１Ａにおいては、第３の反射電極指１８Ａは、複数の反射電極指のうちＩＤＴ電極３から最も遠い反射電極指のみである。弾性波装置５１Ｂにおいても同様である。弾性波装置５１Ａ及び弾性波装置５１Ｂは、共に並列腕共振子として用いられている。弾性波装置５１Ａ及び弾性波装置５１Ｂは、互いに直列に接続されている。弾性波装置５１ＢにおけるＩＤＴ電極３の第１のバスバー４が、グラウンド電位に接続される。なお、図１４においては、回路図に用いられる記号を用いて、グラウンド電位に接続されることを模式的に示している。弾性波装置５１ＡにおけるＩＤＴ電極３の第２のバスバー６が、ラダー型フィルタの他の素子に電気的に接続されている。もっとも、これに限られず、本発明の弾性波装置は、例えば、直列腕共振子として用いられてもよい。あるいは、本発明の弾性波装置は、縦結合共振子型弾性波フィルタに電気的に接続される弾性波共振子として用いられてもよい。
【００６７】
図１４に示すように、弾性波装置５１Ａの反射器５３Ａ及び弾性波装置５１Ｂの反射器５３Ａは、電気的に接続されている。より具体的には、弾性波装置５１Ａの第３の反射電極指１８Ａ及び弾性波装置５１Ｂの第３の反射電極指１８Ａが、それぞれの反射器５３Ａ同士を接続する配線の一部となっている。さらに、第３の反射電極指１８Ａ同士を接続して形成された配線が、弾性波装置５１Ａ及び弾性波装置５１Ｂの、それぞれの第１の反射器バスバー１４Ａ及び第２の反射器バスバー１６Ａとも接続されている。このように、第３の反射電極指１８Ａを、反射器５３Ａ同士を接続する引き回し配線としてもよい。
【００６８】
なお、図１４においては、複数の並列腕共振子の反射器５３Ａ同士が接続されている例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、複数の直列腕共振子の反射器５３Ａ同士が、第３の反射電極指１８Ａを含む引き回し配線により接続されていてもよい。この場合、各反射器５３Ａは、グラウンド電位に接続されなくともよい。あるいは、例えば、反射器５３Ａと外部接続電極とが、第３の反射電極指１８Ａを含む引き回し配線により接続されていてもよい。すなわち、反射電極指１８Ａを含む引き回し配線により接続される対象は共振子同士に限らず、共振子と当該共振子に接続される電極などであってもよい。
【符号の説明】
【００６９】
１…弾性波装置
２…圧電性基板
３…ＩＤＴ電極
４…第１のバスバー
４ａ…第１の内側バスバー部
４ｂ…第１の接続電極
４ｃ…第１の外側バスバー部
４ｄ…第１の開口部
５…第１の電極指
５ａ…第１の幅広部
５ｂ…第２の幅広部
６…第２のバスバー
６ａ…第２の内側バスバー部
６ｂ…第２の接続電極
６ｃ…第２の外側バスバー部
６ｄ…第２の開口部
７…第２の電極指
７ａ…第１の幅広部
７ｂ…第２の幅広部
８…誘電体膜
１３Ａ，１３Ｂ…反射器
１４Ａ，１４Ｂ…第１の反射器バスバー
１５Ａ，１５Ｂ…第１の反射電極指
１５ａ，１５ｂ…第２の端部
１６Ａ，１６Ｂ…第２の反射器バスバー
１７Ａ，１７Ｂ…第２の反射電極指
１７ａ，１７ｂ…第４の端部
１８Ａ，１８Ｂ…第３の反射電極指
２２…レジストパターン
２３…金属膜
３３Ａ…反射器
３５Ａ…第１の反射電極指
３７Ａ…第２の反射電極指
３７ａ…第４の端部
４３Ａ…反射器
４５Ａ…第１の反射電極指
４７Ａ…第２の反射電極指
４７ａ…第４の端部
５１Ａ，５１Ｂ…弾性波装置
５３Ａ…反射器
１０３Ａ…反射器
１０５Ａ…第１の反射電極指
１０７Ａ…第２の反射電極指
１０７ａ…第４の端部
１１３Ａ…反射器
１１５Ａ…第１の反射電極指
１１７Ａ…第２の反射電極指
１１７ａ…第４の端部
Ａ…交叉領域
Ｂ…中央領域
Ｃａ，Ｃｂ…第１，第２のエッジ領域
Ｄａ，Ｄｂ…第１，第２のギャップ領域
Ｅａ，Ｅｂ…第１，第２の内側バスバー領域
Ｆａ，Ｆｂ…第１，第２の開口部形成領域
Ｇａ，Ｇｂ…第１，第２の外側バスバー領域
Ｌａ，Ｌｂ…第１，第２の低音速領域
Ｈａ，Ｈｂ…第１，第２の高音速領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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