(57)【要約】  光学部品を固定台に固定する固定器具であって、光学部品が固定される保持部品と、保持部品が固定される第１部材と、固定台に固定される第３部材と、第１部材と第３部材とを接続して固定する第２部材と、保持部品を第１部材に、第１部材を第２部材に、第２部材を第３部材にそれぞれ締結するボルトと、を備えている。また、保持部品と第１部材とが対向する第１仮想平面と、第１部材と第２部材とが互いに対向する第２仮想平面と、第２部材と前記第３部材とが互いに対向する第３仮想平面とは、同一面上にない。
2019235566.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品を固定台に固定する固定器具であって、
前記光学部品が固定される保持部品と、
前記保持部品が固定される第１部材と、
前記固定台に固定される第３部材と、
前記第１部材と前記第３部材とを接続して固定する第２部材と、
前記保持部品を前記第１部材に、前記第１部材を前記第２部材に、前記第２部材を前記第３部材にそれぞれ締結するボルトと、を備え、
前記保持部品と前記第１部材とが互いに対向する第１仮想平面と、
前記第１部材と前記第２部材とが互いに対向する第２仮想平面と、
前記第２部材と前記第３部材とが互いに対向する第３仮想平面とは、同一面上にない、固定器具。
【請求項２】
前記保持部品、前記第１部材、前記第２部材および前記第３部材の少なくともいずれかが、平均線膨張率が±１．５×１０-6／Ｋ以下のセラミックスまたはガラスからなり、前記ボルトは、鉄−コバルト系合金、鉄−コバルト−炭素系合金、鉄−ニッケル系合金および鉄−ニッケル−コバルト系合金の少なくともいずれかからなる、請求項１に記載の固定器具。
【請求項３】
前記保持部品、前記第１部材、前記第２部材および前記第３部材の互いに対向する対向面は、開気孔率が０．５面積％以下（但し、０面積％を除く）である請求項１または２に記載の固定器具。
【請求項４】
前記保持部品、前記第１部材、前記第２部材および前記第３部材は、前記ボルトを通す貫通穴を有し、前記ボルトの外径は、前記貫通穴の内径よりも、０．１ｍｍ〜１０ｍｍ小さい、請求項１〜３のいずれかに記載の固定器具。
【請求項５】
光学部品を固定台に固定する固定器具であって、
前記光学部品が固定される保持部品と、
前記保持部品が固定される第１部材と、
前記固定台と前記第１部材とを接続して固定する第４部材と、
前記保持部品を前記第１部材に、前記第１部材を前記第４部材に、前記第４部材を前記固定台にそれぞれ締結するボルトと、を備え、
前記保持部品と前記第１部材とが互いに対向する第１仮想平面と、
前記第１部材と前記第４部材とが互いに対向する第２仮想平面と、
前記第４部材と前記固定台とが互いに対向する第４仮想平面とは、同一面上にない、固定器具。
【請求項６】
前記保持部品、前記第１部材および前記第４部材の少なくともいずれかが、平均線膨張率が±１．５×１０-6／Ｋ以下のセラミックスまたはガラスからなり、前記ボルトは、鉄−コバルト系合金、鉄−コバルト−炭素系合金、鉄−ニッケル系合金および鉄−ニッケル−コバルト系合金の少なくともいずれかからなる、請求項５に記載の固定器具。
【請求項７】
前記保持部品、前記第１部材および前記第４部材の互いに対向する対向面は、開気孔率が０．５面積％以下（但し、０面積％を除く）である請求項５または６に記載の固定器具。
【請求項８】
前記保持部品、前記第１部材および前記第４部材は、前記ボルトを通す貫通穴を有し、前記ボルトの外径は、前記貫通穴の内径よりも、０．１ｍｍ〜１０ｍｍ小さい、請求項５〜７のいずれかに記載の固定器具。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の固定器具を備える、光学装置。
【請求項１０】
光学部品を、異なる３方向に移動可能なステージに取り付けて位置出しする工程と、
位置出しした前記光学部品を、異なる３つの面内で位置及び角度を調整可能な固定器具で固定台に固定する工程と、
前記光学部品から前記ステージを取り外す工程とを有する、
光学装置の製造方法。
【請求項１１】
光学部品を、異なる３方向に移動可能なステージに取り付けて位置出しする工程と、
位置出しした前記光学部品を、前記請求項１〜８のいずれかに記載の固定器具で固定台に固定する工程と、
前記光学部品から前記ステージを取り外す工程とを有する、
光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、光学部品を固定するための固定器具、光学装置、および光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
望遠鏡などの光学装置に使用される光学部品は、位置及び角度が高精度に固定される必要がある。また、宇宙空間、極低温など、様々な環境で使用されるものもある（非特許文献１参照）。光学装置に光学部品を高精度に固定するため固定器具として、例えば、特許文献１には、６自由度固定器具が記載されている。また、特許文献２には、光学部品を、位置調整器具を用いて位置決めした後に、接着剤を用いて接着固定することが記載されている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】VINROUGE : a very compact 2-5 μm high-resolution spectrograph with Germanium immersion grating（Takayuki. Arasaki等）
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３５４６１６号公報
【特許文献２】特開平５−１０７４３３号公報
【発明の概要】
【０００５】
本開示の一実施形態に係る固定器具は、光学部品を固定台に固定する固定器具であって、前記光学部品が固定される保持部品と、保持部品が固定される第１部材と、前記固定台に固定される第３部材と、前記第１部材と前記第３部材とを接続して固定する第２部材と、前記保持部品を前記第１部材に、前記第１部材を前記第２部材に、前記第２部材を前記第３部材にそれぞれ締結するボルトと、を備えている。また、前記保持部品と前記第１部材とが対向する第１仮想平面と、前記第１部材と前記第２部材とが互いに対向する第２仮想平面と、前記第２部材と前記第３部材とが互いに対向する第３仮想平面とは、同一面上にない。
【０００６】
本開示の一実施形態にかかる固定器具は、光学部品を固定台に固定する固定器具であって、前記光学部品が固定される保持部品と、前記保持部品が固定される第１部材と、前記固定台と前記第１部材とを接続して固定する第４部材と、前記保持部品を前記第１部材に、前記第１部材を前記第４部材に、前記第４部材を前記固定台にそれぞれ締結するボルトと、を備えている。また、前記保持部品と前記第１部材とが互いに対向する第１仮想平面と、前記第１部材と前記第４部材とが互いに対向する第２仮想平面と、前記第４部材と前記固定台とが互いに対向する第４仮想平面とは、同一面上にない。
【０００７】
本開示の一実施形態に係る光学装置は、前記固定器具を備える。
【０００８】
また、本開示の一実施形態に係る光学装置の製造方法は、光学部品を、異なる３方向に移動可能なステージに取り付けて位置出しする工程と、位置出しした前記光学部品を、異なる３つの面内で位置及び角度を調整可能な固定器具で固定台に固定する工程と、前記光学部品から前記ステージを取り外す工程とを備える。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態の光学装置の概略の一例を示す平面図である。
【図２】本実施形態の固定器具の一例を示す、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＡＡ’線における断面図である。
【図３】本実施形態の光学装置と、光学部品の位置決めをするためのステージとを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本開示の光学装置について、天体望遠鏡用光学装置を例として、図を参照しながら説明する。図１は、本実施形態の光学装置の概略の一例を示す平面図である。
【００１１】
光学装置１０は、外部からの電磁波Ｗを制限して通過させるスリット２０と、電磁波Ｗを反射する主鏡４０および副鏡５０と、撮像手段であるカメラ６０と、を備えている。スリット２０を通過した電磁波Ｗは、主鏡４０、副鏡５０、主鏡４０の順で反射されて、カメラ６０に導かれる。主鏡４０とカメラ６０との間には、各種レンズまたはミラーが配置される場合もある。これらの光学部品は、それぞれ固定台５に固定されて、窓部を備えた低温保持機構（不図示）に収容され、温度変動が抑制されている。外部から光学装置１０内に入射した電磁波Ｗは、光路に沿って進行し、カメラ６０で結像され、観測対象物の情報を解析することができる。
【００１２】
図２は、本実施形態の固定器具の一例を示す、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＡＡ’線における断面図である。図２に示すように、固定器具１は、カメラ、レンズ、ミラー等の光学部品６０（６１）が固定される保持部品３と、保持部品３が固定される第１部材１ａと、固定台５に固定される第３部材１ｃと、第１部材１ａと第３部材１ｃとを接続して固定する第２部材１ｂと、保持部品３と第１部材１ａと第２部材１ｂと第３部材１ｃと固定台５とを締結する複数のボルトを備え、光学部品６１を固定台５に固定する。つまり、保持部品３は、第１部材１ａに固定されており、他の第２部材１ｂ、第３部材１ｃおよび固定台５には固定されていない。また、第１部材１ａは、第２部材１ｂに固定されており、第３部材１ｃおよび固定台５には固定されていない。また、第２部材１ｂは、第３部材１ｃに固定されており、固定台５には固定されていない。
【００１３】
固定台５の上面の大きさは、例えば、Ｘ方向の長さが３３０ｍｍ〜６００ｍｍであり、ｙ方向の長さが１５０ｍｍ〜６００ｍｍである。
【００１４】
固定器具１は、保持部品３と第１部材１ａとが互いに対向する第１仮想平面２ａと、第１部材１ａと第２部材１ｂとが互いに対向する第２仮想平面２ｂと、第２部材１ｂと第３部材１ｃとが互いに対向する第３仮想平面２ｃとは、同一面上にない。固定器具１をこのような構成にすることによって、第１仮想平面２ａ、第２仮想平面２ｂおよび第３仮想平面２ｃの３つの面内で、光学部品６０（６１）の位置及び角度を高精度に調整することができる。つまり、３次元的な自由度で配置した光学部品６０（６１）を、３方向および３面内角度を合わせた合計６軸の向きを吸収して固定台５に固定することができる。なお、第１仮想平面２ａと、第２仮想平面２ｂと、第３仮想平面２ｃとが同一面上にないというのは、第１仮想平面２ａと第２仮想平面２ｂとが平行ではなく交差する関係にあり、第２仮想平面２ｂと第３仮想平面２ｃとが平行ではなく交差する関係にあり、第１仮想平面２ａと第３仮想平面２ｃとが平行ではなく交差する関係にあることをいう。
【００１５】
固定器具１は、上記のような構成により、光学部品６０（６１）を、高精度に固定可能で、宇宙空間、極低温などの様々な環境でも使用可能となる。従来の特許文献１に示す６自由度固定器具では、光学部品を固定する際に位置及び角度がずれて精度が悪化する恐れがあったが、本開示の固定器具１では、光学部品６０（６１）を高精度に固定可能となる。また、特許文献１に示す６自由度固定器具では、光学部品を固定した後、器具が緩んで光学部品の位置や角度が変化する恐れがあったが、本開示の固定器具１では、光学部品６０（６１）の固定後においても、光学部品６０（６１）の位置や角度が変化するのを低減できる。また、従来の特許文献２に示す、接着剤を用いて光学部品を固定した固定器具では、接着剤の信頼性に懸念があり、宇宙空間、極低温などの環境では性能が低下しやすいが、本開示の固定器具１では、宇宙空間、極低温などの環境でも性能が低下しにくい。
【００１６】
また、固定部品の他の実施形態として、図２において、第２部材１ｂおよび第３部材１ｃを、１つの第４部材と見なしてもよい。この場合、保持部品３と第１部材１ａとが互いに対向する第１仮想平面２ａと、第１部材１ａと第４部材とが互いに対向する第２仮想平面２ｂと、第４部材と固定台５とが互いに対向する第４仮想平面２ｄとは、同一面上にない。固定器具１をこのような構成にすることによって、第１仮想平面２ａ、第２仮想平面２ｂおよび第４仮想平面２ｄの３つの面内で、光学部品６０（６１）の位置及び角度を高精度に調整することができる。つまり、３次元的な自由度で配置した光学部品６０（６１）を、３方向および３面内角度を合わせた合計６軸の向きを吸収して固定台５に固定することができる。なお、第１仮想平面２ａと、第２仮想平面２ｂと、第４仮想平面２ｄとが同一平面状にないというのは、第１仮想平面２ａと第２仮想平面２ｂとが平行ではなく交差する関係にあり、第２仮想平面２ｂと第４仮想平面２ｄとが平行ではなく交差する関係にあり、第１仮想平面２ａと第４仮想平面２ｄとが平行ではなく交差する関係にあることをいう。
【００１７】
保持部品３、第１部材１ａ、第２部材１ｂおよび第３部材１ｃはボルトを通す貫通穴を有する。例えば、第１仮想平面２ａを境界面として、第１部材１ａに貫通穴、保持部品３にねじ穴、第２仮想平面２ｂを境界面として、第２部材１ｂに貫通穴、第１部材１ａにねじ穴、第３仮想平面２ｃを境界面として、第２部材１ｂに貫通穴、第３部材１ｃにねじ穴、第３部材１ｃに貫通穴１ｅ、固定台５にねじ穴１ｆが形成されており、それぞれボルトで締結する。
【００１８】
なお、図２（ｂ）では、固定台５にボルト１ｄで第３部材１ｃを締結する場合を示しているが、他の部材同士を締結する場合も同様である。
【００１９】
この時、ボルトの外径を、貫通穴の内径よりも０．１ｍｍ〜１０ｍｍ、特に好ましくは０．５ｍｍ〜１ｍｍ小さくする。このような設定にすることにより、固定器具１を構成する各部品をボルトで締結する際に、第１仮想平面２ａ、第２仮想平面２ｂ、第３仮想平面２ｃおよび第４仮想平面２ｄの各面内で、光学部品６０（６１）の位置を０．１ｍｍ〜１０ｍｍあるいは０．５ｍｍ〜１ｍｍの範囲内で調整することができる。ねじ穴１ｆは、例えば、コイルインサートによって形成される内部空間であり、コイルインサートを用いた場合、ボルトはワッシャを挟んでコイルインサートに締結される。
【００２０】
また、保持部品３、第１部材１ａ、第２部材１ｂおよび第３部材１ｃの互いに対向する対向面は、開気孔率が０．５面積％以下であるとよい。
【００２１】
開気孔率が上記範囲であると、浮遊する微粒子が開気孔内に侵入するおそれが低くなるので、高精度な位置決めをしやすくなる。
【００２２】
さらに、対向面における開気孔の平均径は３μｍ以下であって、最大径は１０μｍ以下であるとよい。
【００２３】
開気孔の平均径および最大径が上記範囲であると、大きな浮遊する微粒子が開気孔内に侵入するおそれが低くなるので、さらに高精度な位置決めをしやすくなる。
【００２４】
開気孔率、開気孔の平均径および最大径を求めるには、観察の対象とする部材の表面から深さ方向に平均粒径Ｄ50が３μｍのダイヤモンド砥粒を用いて銅盤にて研磨する。その後、平均粒径Ｄ50が０．５μｍのダイヤモンド砥粒を用いて錫盤にて研磨する。これらの研磨によって得られる研磨面を観察面とする。
【００２５】
そして、観察面を光学顕微鏡を用いて、倍率を１００倍とし、測定対象の範囲を、例えば、横方向の長さを７２０μｍ、縦方向の長さを５４０μｍとして４か所撮影する。次に、撮影した画像のうち、周辺部を除く領域（面積が２２６８５６μｍ2）を計測範囲とし、画像解析ソフト（例えば、三谷商事(株)製、Ｗｉｎ ＲＯＯＦ）を用いてそれぞれ４か所の計測範囲を解析することによって、気孔の円相当径を得ることができる。
【００２６】
なお、開気孔の円相当径の閾値は、０．８６８μｍとすればよい。
【００２７】
また、保持部品３と第１部材１ａと第２部材１ｂと第３部材１ｃは、例えば、直方体形状であればよい。
【００２８】
保持部品３、第１部材１ａ、第２部材１ｂおよび第３部材１ｃの少なくともいずれかが、使用温度（例えば１０Ｋ以下）から室温までの平均線膨張率が±１．５×１０-6／Ｋ以下のセラミックスまたはガラスからなる。このようなセラミックスの例として、コージェライト、リチウムアルミノシリケート、リン酸ジルコニウムカリウムまたはムライトを主成分とするセラミックスが挙げられる。
【００２９】
コージェライトが主成分であるセラミックスは、ＣａがＣａＯ換算で０．４質量％以上０．６質量％以下、ＡｌがＡｌ2Ｏ3換算で２．３質量％以上３．５質量％以下ならびにＭｎおよびＣｒがＭｎＣｒ2Ｏ4換算で０．６質量％以上０．７質量％以下含んでいてもよい。このセラミックスは、平均線膨張率を±２０×１０-9／Ｋ以下にすることができる。
【００３０】
リチウムアルミノシリケートが主成分であるセラミックスは、炭化珪素を２０質量％以下含んでいてもよい。
【００３１】
また、ガラスの例として、チタニウムケイ酸を主成分とするガラスが挙げられる。平均線膨張率が小さいセラミックスまたはガラスからなる部材を用いれば、大きな温度変化に曝されても形状の変化が小さいため、その部材は高い信頼性を有する。
【００３２】
ここで、保持部品３、第１部材１ａ、第２部材１ｂおよび第３部材１ｃの少なくともいずれかがセラミックスからなる場合、ＪＩＳ  Ｒ  １６１８：２００２に準拠して、セラミックスからなる部材の平均線膨張率を求めればよい。
【００３３】
保持部品３、第１部材１ａ、第２部材１ｂおよび第３部材１ｃの少なくともいずれかがガラスからなる場合、ＪＩＳ  Ｒ  ３２５１：１９９５に準拠して、ガラスからなる部材の平均線膨張率を求めればよい。
【００３４】
なお、各部材の平均線膨張率が±１×１０-6／Ｋ以下である場合には、光ヘテロダイン法１光路干渉計を用いて測定すればよい。
【００３５】
セラミックスにおける主成分とは、着目するセラミックスを構成する成分の合計１００質量％のうち、６０質量％以上を占める成分をいう。特に、主成分は、着目するセラミックスを構成する成分の合計１００質量％のうち、９５質量％以上を占める成分であるとよい。セラミックスを構成する成分は、Ｘ線回折装置（ＸＲＤ）を用いて求めればよい。各成分の含有量は、成分を同定した後、蛍光Ｘ線分析装置（ＸＲＦ）またはＩＣＰ発光分光分析装置を用いて、成分を構成する元素の含有量を求め、同定された成分に換算すればよい。ガラスについても同様である。
【００３６】
ボルトは、鉄−コバルト系合金、鉄−コバルト−炭素系合金、鉄−ニッケル系合金または鉄−ニッケル−コバルト系合金の少なくともいずれかからなるとよい。
【００３７】
このような合金は、セラミックスと平均線膨張率が近いからである。
【００３８】
特に、ボルトは、鉄−３６ｗｔ％ニッケル合金（商標名は、インバー（登録商標、Imphy Alloys社））などの低熱膨張金属からなるとよい。ボルトとの締結に使用するコイルインサート及びワッシャは、例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０４Ｌ、ＳＵＳ３０４Ｎ１、ＳＵＳ３０４Ｎ２、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１７、ＳＵＳ３１２Ｌ、ＳＵＳ３２９Ｊ１またはＳＵＳ３２９Ｊ４Ｌ等のステンレス鋼であってもよい。これらのステンレス鋼は耐食性が高いからである。
【００３９】
上記構成により、固定器具１を用いて、光学部品６０（６１）を固定台５に精度よく、例えば、１μｍ以下の精度で固定することができる。
【００４０】
特に、保持部品３、第１部材１ａ、第２部材１ｂおよび第３部材１ｃすべてが使用温度（例えば１０Ｋ以下）から室温までの平均線膨張率が±１．５×１０-6／Ｋ以下のセラミックスまたはガラスからなるとよい。
【００４１】
本開示の光学装置は、固定器具１を備えており、図３に示す光学装置１０は、光学部品６０と固定器具１と、固定器具１を支持する固定台５とを備えており、光学装置の大きさは、６００ｍｍ×６００ｍｍ×６００ｍｍ程度である。本実施形態では、固定器具１は、光学部品６０とともに、低温保持機構に収容される。したがって固定器具１は、上記のような低熱膨張材料から構成されていることが好ましい。
【００４２】
図３は、本実施形態の光学装置と、光学部品の位置決めをするためのステージとを示す斜視図である。
【００４３】
本開示の光学装置１０の製造方法を、図３を用いて説明する。本開示の光学装置１０の製造方法は、光学部品６０（６１）を、異なる３方向に移動可能なステージ６に取り付けて位置出しする工程と、位置出しした光学部品６０（６１）を、異なる３つの平面内で位置および角度を調整可能な固定器具１で固定台５に固定する工程と、光学部品６０（６１）からステージ６を取り外す工程とを有する。
【００４４】
固定器具１としては、本開示の固定器具１が好適である。
【００４５】
以下、本開示の光学装置１０の製造方法の詳細を、図１に示す固定器具１を例として説明する。カメラ等の光学部品６０（６１）は、主鏡４０と副鏡５０で反射される電磁波Ｗの光路上にあって、位置及び角度が精度よく固定される必要がある。具体的には、３次元的に、位置はサブミクロンレベル、角度は数秒以下での配置が要求される。
【００４６】
まず、固定台５の所定の位置に主鏡４０と副鏡５０とを固定する。
【００４７】
次に、保持部品３を、異なる３方向に移動可能なステージ６に取り付ける。ここで、保持部品３は、例えば、カメラ台である。異なる３方向は、図３に示す、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向であり、互いに直交する３方向である。ステージ６は、例えば、保持部品３を直交する３方向に移動することを可能とする高精度なＸＹＺステージである。ステージ６として、ＸＹ軸ステージ６ａ（例えば、シグマ光機株式会社製、ＴＳＤ−６０２ＳＬＷＰ）と、Ｚ軸ステージ６ｂ（シグマ光機株式会社製、ＴＳＤ−６０３ＲＬＷＰ）とを組み合せて使用することができる。保持部品３は、電磁波Ｗの光軸に対して略平行な方向とそれに垂直な２方向との調整が実施可能な状態でステージ６に取り付けられる。
【００４８】
次に、ステージ６を用いて、保持部品３の位置出しを行う。位置出しは、例えば、保持部品３に、カメラ６０を取り付ける前にミラー（照合鏡）６１を取り付け、Ｈｅ−Ｎｅレーザーを用い、主鏡４０に入射する光と、ミラー（照合鏡）６１を経由して主鏡４０から反射される光との干渉を、光干渉計で測定し、保持部品３を所望の位置と角度に設定するとよい。例えば、平行な電磁波Ｗを入射させたときの双方の反射波のなす角度が、２秒以内となるように調整する。干渉計と光学装置１０の光軸高さがあわない場合は、光学装置１０の向きを適宜回転させて、主鏡４０に入射する光と主鏡４０から反射される光との干渉を測定をしてもよい。
【００４９】
次に第３部材１ｃと固定台５をボルト１ｄでする。
【００５０】
次に、第１部材１ａを保持部品３にボルトで第１仮想平面２ａ内で位置および角度を調整することができる状態で仮止めする。同様に、第２部材１ｂと第３部材１ｃ、第１部材１ａと第２部材１ｂをそれぞれ第２仮想平面２ｂ、第３仮想平面２ｃ内で位置、角度調整可能な状態で仮止めする。なお、第１部材１ａ、第２部材１ｂ、第３部材１ｃの仮止めの順番は特に問わない。
【００５１】
次に、第１部材１ａと保持部品３、第２部材１ｂと第３部材１ｃ、第１部材１ａと第２部材１ｂをボルトで本締めして、保持部品３を第１部材１ａ、第２部材１ｂおよび第３部材１ｃを順次介して固定台５に固定する。ここでも、第１部材１ａ、第２部材１ｂ、第３部材１ｃの本締めの順番は特に問わない。
【００５２】
本締めする前に仮止めすることで、保持部品３の姿勢の微調整が可能である。また、固定器具１の締結時にかかる応力を低減でき、固定器具１の破損を抑制することができる。
【００５３】
そして、保持部品３からステージ６を取り外し、ミラー（照合鏡）６１を取り外して、カメラ６０を取り付ける。ステージ６を取り外すのは、ステージ６は線膨張率が高い材質、例えば、スチールによって形成されているからである。
【００５４】
以上、本開示の実施形態について説明したが、本開示は前述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良、組合せ等が可能である。
【符号の説明】
【００５５】
１      固定器具
１ａ    第１部材
１ｂ    第２部材
１ｃ    第３部材
１ｄ    ボルト
１ｅ    貫通穴
１ｆ    ねじ穴
２ａ    第１仮想平面
２ｂ    第２仮想平面
２ｃ    第３仮想平面
２ｄ    第4仮想平面
３      保持部品
５      固定台
６      ステージ
１０    光学装置
２０    スリット
４０    主鏡
５０    副鏡
６０    光学部品（カメラ）
６１    光学部品（ミラー（照合鏡））
【図１】
2019235566.tif 000003
【図２】
2019235566.tif 000004
【図３】
2019235566.tif 000005
【国際調査報告】
2019235566.tif 000006
2019235566.tif 000007
2019235566.tif 000008
2019235566.tif 000009