(57)【要約】露光後の引き置きに伴う層分離の発生を抑制でき、かつ、耐湿性に優れた膜を形成できる着色感光性樹脂組成物、膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、構造体、固体撮像素子及び画像表示装置を提供する。この着色感光性樹脂組成物は色材、樹脂、重合性モノマー、光重合開始剤および溶剤を含む。光重合開始剤はメタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数が８×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ａ１を含む。樹脂は、式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位と、アルキル（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位とを含む樹脂ｂ１を含有する。2020066438.tif 000041
2020066438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
色材、樹脂、重合性モノマー、光重合開始剤および溶剤を含む着色感光性樹脂組成物であって、
前記光重合開始剤はメタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数が８×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ａ１を含み、
前記樹脂は、下記式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位ｂ１−１と、アルキル（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位ｂ１−２とを含む樹脂ｂ１を含有する、着色感光性樹脂組成物；
【化１】
2020066438.tif 000038
式中、Ｘ１は、ＯまたはＮＨを表し、
Ｒ１は水素原子またはメチル基を表し、
Ｌ１は２価の連結基を表し、
Ｒ１０は置換基を表し、
ｍは０〜２の整数を表し、
ｐは１以上の整数を表す。
【請求項２】
前記式（Ｉ）で表される化合物が下記式（Ｉ−１）で表される化合物である、請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物；
【化２】
2020066438.tif 000039
式中、Ｘ１は、ＯまたはＮＨを表し、
Ｒ１は水素原子またはメチル基を表し、
Ｒ２、Ｒ３およびＲ１１はそれぞれ独立して炭化水素基を表し、
Ｒ１２は置換基を表し、
ｎは０〜１５の整数を表し、
ｍは０〜２の整数を表し、
ｐ１は０以上の整数を表し、
ｑ１は１以上の整数を表す。
【請求項３】
前記樹脂ｂ１は、全繰り返し単位中に前記繰り返し単位ｂ１−１を１〜７０モル％、前記繰り返し単位ｂ１−２を１〜７０モル％含有する、請求項１または２に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記樹脂は、更に、芳香族カルボキシル基を有する樹脂ｂ２を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記樹脂ｂ２は下記式（ｂ２−１）で表される繰り返し単位を含む樹脂である、請求項４に記載の着色感光性樹脂組成物；
【化３】
2020066438.tif 000040
式中、Ａｒ１は芳香族カルボキシル基を含む基を表し、Ｌ１は、−ＣＯＯ−または−ＣＯＮＨ−を表し、Ｌ２は、２価の連結基を表す。
【請求項６】
前記色材は顔料を含む、請求項１〜５のいずれか１項に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記顔料は、ジケトピロロピロール化合物およびフタロシアニン化合物から選ばれる少なくとも１種を含む、請求項６に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記重合性モノマーは酸基を有する重合性モノマーを含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項９】
カラーフィルタ用である、請求項１〜８のいずれか１項に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
固体撮像素子用である、請求項１〜９のいずれか１項に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
隔壁で区画された領域に着色層を形成するために用いられる、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の着色感光性樹脂組成物から得られる膜。
【請求項１３】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の着色感光性樹脂組成物から得られるカラーフィルタ。
【請求項１４】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の着色感光性樹脂組成物を用いて支持体上に着色感光性樹脂組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法により着色感光性樹脂組成物層に対してパターンを形成する工程と、を有するカラーフィルタの製造方法。
【請求項１５】
支持体と、
支持体上に設けられた隔壁と、
支持体上であって、隔壁で区画された領域に設けられた請求項１〜１１のいずれか１項に記載の着色感光性樹脂組成物から得られる着色層と、を有する構造体。
【請求項１６】
請求項１２に記載の膜を有する固体撮像素子。
【請求項１７】
請求項１２に記載の膜を有する画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色感光性樹脂組成物に関する。また、本発明は、着色感光性樹脂組成物を用いた膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、構造体、固体撮像素子および画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。カラーフィルタは、通常、赤、緑及び青の３原色の画素を備えており、透過光を３原色へ分解する役割を果たしている。
【０００３】
カラーフィルタの各色画素は、特許文献１、２などに記載されているように、色材、樹脂、重合性モノマー、光重合開始剤および溶剤などを含む着色感光性樹脂組成物を用いて製造されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−４５１８９号公報
【特許文献２】特開２０１７−１６７５３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年では、カラーフィルタなどに用いられる膜に関し、耐湿性についての更なる向上が望まれている。本発明者が、特許文献１、２に開示された着色感光性樹脂組成物について検討したところ、耐湿性に関して近年要求されている水準に達しておらず、更なる改善の余地があることが分かった。
【０００６】
また、着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタを製造する場合、一般的には、着色感光性樹脂組成物を用いて支持体上に着色感光性樹脂組成物層を形成し、着色感光性樹脂組成物層をパターン状に露光する工程（露光工程）と、着色感光性樹脂組成物層の未露光部を現像除去してパターン（画素）を形成する工程（現像工程）とを経て形成される。製造条件などによっては露光後の着色感光性樹脂組成物層を長時間引き置いたのち、現像工程に供してパターン（画素）を形成することもある。本発明者の検討によれば、露光後の着色感光性樹脂組成物層を長時間引き置きした場合、露光部において層分離が生じて、色ムラや欠陥などが生じる場合があることが分かった。
【０００７】
よって、本発明の目的は、露光後の引き置きに伴う層分離の発生を抑制でき、かつ、耐湿性に優れた膜を形成できる着色感光性樹脂組成物を提供することにある。また、本発明は、この着色感光性樹脂組成物を用いた膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、構造体、固体撮像素子及び画像表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者の検討によれば、後述する式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位ｂ１−１と、アルキル（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位ｂ１−２とを含む樹脂ｂ１を含む着色感光性樹脂組成物を用いることで、耐湿性に優れ、湿度の高い環境下に曝しても膜収縮が抑制された膜を形成できることを見出した。このような効果が得られる理由は、次によるものであると推測される。この樹脂ｂ１は繰り返し単位ｂ１−１を含むので、単位ｂ１−１に含まれる芳香族環同士の相互作用によって、膜収縮を抑制できたと推測される。更には、この樹脂ｂ１はアルキル（メタ）アクリレート由来の繰り返し単位ｂ１−２を含むので、膜を適度に疎水化でき、膜中に水が浸入しにくくできたと推測される。このため、耐湿性に優れた膜を形成できたと推測される。また、本発明者が樹脂ｂ１を用いた着色感光性樹脂組成物について更に検討を進めたところ、露光後の着色感光性樹脂組成物を引き置きした場合、着色感光性樹脂組成物の露光部が層分離しやすいことが分かった。更に本発明者が検討を進めたところ、樹脂ｂ１を含む着色感光性樹脂組成物において、光重合開始剤としてメタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数が８×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ａ１を用いることにより、露光後の着色感光性樹脂組成物を長期間引き置きしても、着色感光性樹脂組成物の露光部が層分離を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。よって、本発明は以下を提供する。
＜１＞  色材、樹脂、重合性モノマー、光重合開始剤および溶剤を含む着色感光性樹脂組成物であって、
光重合開始剤はメタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数が８×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ａ１を含み、
樹脂は、下記式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位ｂ１−１と、アルキル（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位ｂ１−２とを含む樹脂ｂ１を含有する、着色感光性樹脂組成物；
【化１】
2020066438.tif 000003
式中、Ｘ１は、ＯまたはＮＨを表し、Ｒ１は水素原子またはメチル基を表し、Ｌ１は２価の連結基を表し、Ｒ１０は置換基を表し、ｍは０〜２の整数を表し、ｐは１以上の整数を表す。
＜２＞  式（Ｉ）で表される化合物が下記式（Ｉ−１）で表される化合物である、＜１＞に記載の着色感光性樹脂組成物；
【化２】
2020066438.tif 000004
式中、Ｘ１は、ＯまたはＮＨを表し、Ｒ１は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ２、Ｒ３およびＲ１１はそれぞれ独立して炭化水素基を表し、Ｒ１２は置換基を表し、ｎは０〜１５の整数を表し、ｍは０〜２の整数を表し、ｐ１は０以上の整数を表し、ｑ１は１以上の整数を表す。
＜３＞  樹脂ｂ１は、全繰り返し単位中に繰り返し単位ｂ１−１を１〜７０モル％、繰り返し単位ｂ１−２を１〜７０モル％含有する、＜１＞または＜２＞に記載の着色感光性樹脂組成物。
＜４＞  樹脂は、更に、芳香族カルボキシル基を有する樹脂ｂ２を含む、＜１＞〜＜３＞のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
＜５＞  樹脂ｂ２は下記式（ｂ２−１）で表される繰り返し単位を含む樹脂である、＜４＞に記載の着色感光性樹脂組成物；
【化３】
2020066438.tif 000005
式中、Ａｒ１は芳香族カルボキシル基を含む基を表し、Ｌ１は、−ＣＯＯ−または−ＣＯＮＨ−を表し、Ｌ２は、２価の連結基を表す。
＜６＞  色材は顔料を含む、＜１＞〜＜５＞のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
＜７＞  顔料は、ジケトピロロピロール化合物およびフタロシアニン化合物から選ばれる少なくとも１種を含む、＜６＞に記載の着色感光性樹脂組成物。
＜８＞  重合性モノマーは酸基を有する重合性モノマーを含む、＜１＞〜＜７＞のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
＜９＞  カラーフィルタ用である、＜１＞〜＜８＞のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
＜１０＞  固体撮像素子用である、＜１＞〜＜９＞のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
＜１１＞  隔壁で区画された領域に着色層を形成するために用いられる、＜１＞〜＜１０＞のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
＜１２＞  ＜１＞〜＜１１＞のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物から得られる膜。
＜１３＞  ＜１＞〜＜１１＞のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物から得られるカラーフィルタ。
＜１４＞  ＜１＞〜＜１１＞のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物を用いて支持体上に着色感光性樹脂組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法により着色感光性樹脂組成物層に対してパターンを形成する工程と、を有するカラーフィルタの製造方法。
＜１５＞  支持体と、
支持体上に設けられた隔壁と、
支持体上であって、隔壁で区画された領域に設けられた＜１＞〜＜１１＞のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物から得られる着色層と、を有する構造体。
＜１６＞  ＜１２＞に記載の膜を有する固体撮像素子。
＜１７＞  ＜１２＞に記載の膜を有する画像表示装置。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、露光後の引き置きに伴う層分離の発生を抑制でき、かつ、耐湿性に優れた膜を形成できる着色感光性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明は、着色感光性樹脂組成物を用いた膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、構造体、固体撮像素子及び画像表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の構造体の一実施形態を示す側断面図である。
【図２】同構造体における支持体の真上方向からみた平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書において、「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、構造式中のＭｅはメチル基を表し、Ｅｔはエチル基を表し、Ｂｕはブチル基を表し、Ｐｈはフェニル基を表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）法により測定したポリスチレン換算値である。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において、顔料とは、溶剤に対して溶解しにくい化合物を意味する。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
【００１２】
＜着色感光性樹脂組成物＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、色材、樹脂、重合性モノマー、光重合開始剤および溶剤を含む着色感光性樹脂組成物であって、
光重合開始剤はメタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数が８×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ａ１を含み、
樹脂は、後述する式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位ｂ１−１と、アルキル（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位ｂ１−２とを含む樹脂ｂ１を含有することを特徴とする。
【００１３】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、上記樹脂ｂ１を含むことにより、耐湿性に優れ、湿度の高い環境下に曝しても膜収縮が抑制された膜を形成できる。一方で、樹脂ｂ１を用いた着色感光性樹脂組成物について露光後引き置きした場合、着色感光性樹脂組成物の露光部が層分離しやすい傾向にあったが、メタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数が８×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ａ１を用いることにより、露光後の着色感光性樹脂組成物を長期間引き置きしても、着色感光性樹脂組成物の露光部における層分離を抑制できる。このため、本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、露光後の引き置きに伴う層分離の発生を抑制でき、かつ、耐湿性に優れた膜を形成できる。
【００１４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルタ用の着色感光性樹脂組成物として好ましく用いることができる。具体的には、カラーフィルタの画素形成用の着色感光性樹脂組成物として好ましく用いることができる。また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、固体撮像素子用の着色感光性樹脂組成物として好ましく用いることができ、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタの画素形成用の着色感光性樹脂組成物としてより好ましく用いることができる。また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、表示装置用の着色感光性樹脂組成物として好ましく用いることもでき、表示装置に用いられるカラーフィルタの画素形成用の着色感光性樹脂組成物としてより好ましく用いることができる。また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、隔壁で区画された領域に着色層を形成するために用いられるものであることが好ましい。また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーマイクロレンズの形成用の組成物として用いることもできる。カラーマイクロレンズの製造方法としては、特開２０１８−０１０１６２号公報に記載された方法などが挙げられる。以下、本発明の着色感光性樹脂組成物について詳細に説明する。
【００１５】
＜＜色材＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は色材を含有する。色材としては、赤色色材、緑色色材、青色色材、黄色色材、紫色色材、オレンジ色色材などの有彩色色材が挙げられる。本発明において、色材は、顔料であってもよく、染料であってもよい。顔料と染料とを併用してもよい。また、顔料は、無機顔料、有機顔料のいずれでもよい。また、顔料には、無機顔料または有機−無機顔料の一部を有機発色団で置換した材料を用いることもできる。無機顔料や有機−無機顔料を有機発色団で置換することで、色相設計をしやすくできる。
【００１６】
本発明で用いられる色材は、顔料を含むものであることが好ましい。色材中における顔料の含有量は、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましく、９０質量％以上であることが特に好ましい。顔料としては以下に示すものが挙げられる。
【００１７】
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４，２３１，２３２等（以上、黄色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９，２９４等（以上、赤色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，１０，３６，３７，５８，５９，６２，６３等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２，６０，６１等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，２９，６０，６４，６６，７９，８０，８７，８８等（以上、青色顔料）。
【００１８】
また、緑色顔料として、１分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、臭素原子数が平均８〜１２個であり、塩素原子数が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／１１８７２０号公報に記載の化合物が挙げられる。また、緑色顔料としてＣＮ１０６９０９０２７Ａに記載の化合物、リン酸エステルを配位子として有するフタロシアニン化合物などを用いることもできる。
【００１９】
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２−２４７５９１号公報の段落００２２〜００３０、特開２０１１−１５７４７８号公報の段落００４７に記載の化合物が挙げられる。
【００２０】
また、黄色顔料として、特開２０１７−２０１００３号公報に記載されている顔料、特開２０１７−１９７７１９号公報に記載されている顔料、特開２０１７−１７１９１２号公報の段落番号００１１〜００６２、０１３７〜０２７６に記載されている顔料、特開２０１７−１７１９１３号公報の段落番号００１０〜００６２、０１３８〜０２９５に記載されている顔料、特開２０１７−１７１９１４号公報の段落番号００１１〜００６２、０１３９〜０１９０に記載されている顔料、特開２０１７−１７１９１５号公報の段落番号００１０〜００６５、０１４２〜０２２２に記載されている顔料を用いることもできる。
【００２１】
また、黄色顔料として、特開２０１８−６２６４４に記載の化合物を用いることもできる。この化合物は顔料誘導体としても使用可能である。
【００２２】
赤色顔料として、特開２０１７−２０１３８４号公報に記載の構造中に少なくとも１つ臭素原子が置換したジケトピロロピロール系顔料、特許第６２４８８３８号の段落番号００１６〜００２２に記載のジケトピロロピロール系顔料などを用いることもできる。また、赤色顔料として、芳香族環に対して、酸素原子、硫黄原子または窒素原子が結合した基が導入された芳香族環基がジケトピロロピロール骨格に結合した構造を有する化合物を用いることもできる。
【００２３】
本発明で用いられる顔料は、ジケトピロロピロール化合物およびフタロシアニン化合物から選ばれる少なくとも１種であることも好ましい。これらの化合物は、樹脂ｂ１などと相互作用しやすく、そのため膜中にしっかりと保持されやすく、現像液などに対する耐色抜け性に優れた膜を形成しやすい。
【００２４】
本発明で用いられる顔料は、赤色顔料または緑色顔料を含むことも好ましい。赤色顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４，Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２６４およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２７２が挙げられ、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２６４およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２７２が好ましい。緑色顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６，Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ５８，Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ５９，Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ６２およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ６３が挙げられ、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ５９，Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ６２およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ６３が好ましい。
【００２５】
本発明において、色材には染料を用いることもできる。染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。例えば、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が挙げられる。また、特開２０１２−１５８６４９号公報に記載のチアゾール化合物、特開２０１１−１８４４９３号公報に記載のアゾ化合物、特開２０１１−１４５５４０号公報に記載のアゾ化合物も好ましく用いることができる。また、黄色染料として、特開２０１３−５４３３９号公報の段落番号００１１〜００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−２６２２８号公報の段落番号００１３〜００５８に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８−１２８６３号公報に記載の分子内イミド型のキサンテン染料などを用いることもできる。
【００２６】
本発明において、色材には色素多量体を用いることもできる。色素多量体は、溶剤に溶解して用いられる染料であることが好ましいが、色素多量体は、粒子を形成していてもよく、色素多量体が粒子である場合は通常溶剤に分散した状態で用いられる。粒子状態の色素多量体は、例えば乳化重合によって得ることができ、特開２０１５−２１４６８２号公報に記載されている化合物および製造方法が具体例として挙げられる。色素多量体は、一分子中に、色素構造を２以上有するものであり、色素構造を３以上有することが好ましい。上限は、特に限定はないが、１００以下とすることもできる。一分子中に有する複数の色素構造は、同一の色素構造であってもよく、異なる色素構造であってもよい。色素多量体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００〜５００００が好ましい。下限は、３０００以上がより好ましく、６０００以上がさらに好ましい。上限は、３００００以下がより好ましく、２００００以下がさらに好ましい。色素多量体は、特開２０１１−２１３９２５号公報、特開２０１３−０４１０９７号公報、特開２０１５−０２８１４４号公報、特開２０１５−０３０７４２号公報、国際公開ＷＯ２０１６／０３１４４２号公報等に記載されている化合物を用いることもできる。
【００２７】
本発明において、色材には顔料誘導体を用いることもできる。本発明では、顔料と顔料誘導体を併用することが好ましい。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、フタロシアニン系骨格、アンスラキノン系骨格、キナクリドン系骨格、ジオキサジン系骨格、ペリノン系骨格、ペリレン系骨格、チオインジゴ系骨格、イソインドリン系骨格、イソインドリノン系骨格、キノフタロン系骨格、スレン系骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、キノフタロン系骨格、イソインドリン系骨格およびフタロシアニン系骨格が好ましく、アゾ系骨格およびベンゾイミダゾロン系骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸基としては、スルホ基、カルボキシル基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。顔料誘導体の具体例としては、後述の実施例に記載の化合物や、特開２０１１−２５２０６５号公報の段落番号０１６２〜０１８３に記載された化合物が挙げられる。顔料誘導体の含有量は、顔料１００質量部に対して１〜３０質量部が好ましく、３〜２０質量部がさらに好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２８】
色材の含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分中２０質量％以上が好ましく、２５質量％以上であることがより好ましく、３０質量％以上が更に好ましい。上限は、８０質量％以下が好ましく、７５質量％以下がより好ましい。
【００２９】
本発明の着色感光性樹脂組成物において、顔料の合計の含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分中２０質量％以上であることが好ましく、２５質量％以上がより好ましく、３０質量％以上が更に好ましい。上限は、７５質量％以下が好ましく、７０質量％以下がより好ましい。また、本発明の着色感光性樹脂組成物において、顔料と顔料誘導体との合計の含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分中２０質量％以上であることが好ましく、２５質量％以上がより好ましく、３０質量％以上が更に好ましい。上限は、８０質量％以下が好ましく、７５質量％以下がより好ましい。
【００３０】
＜＜樹脂＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は樹脂を含む。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途や、バインダーの用途で配合される。なお、主に粒子等を組成物中で分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外を目的として樹脂を使用することもできる。
【００３１】
（樹脂ｂ１）
本発明の着色感光性樹脂組成物は、式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位ｂ１−１と、アルキル（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位ｂ１−２とを含む樹脂ｂ１を含有する。本発明の着色感光性樹脂組成物は、樹脂ｂ１を含むので、耐湿性に優れた膜を形成することができる。
【００３２】
樹脂ｂ１の重量平均分子量は、３０００〜７００００であることが好ましい。上限は６００００以下であることが好ましく、５００００以下であることがより好ましく、４００００以下であることが更に好ましい。下限は、４０００以上であることが好ましく、５０００以上であることがより好ましく、６０００以上であることが更に好ましい。樹脂ｂ１の重量平均分子量が上記範囲であれば、上述した効果がより顕著に得られる。
【００３３】
樹脂ｂ１は、全繰り返し単位中に繰り返し単位ｂ１−１を１〜７０モル％、繰り返し単位ｂ１−２を１〜７０モル％含有することが好ましい。
【００３４】
樹脂ｂ１の全繰り返し単位中における繰り返し単位ｂ１−１の含有量は、３〜４０モル％であることが好ましい。下限は、４モル％以上であることが好ましく、５モル％以上であることがより好ましい。上限は３５モル％以下であることが好ましく、３０モル％以下であることがより好ましい。繰り返し単位ｂ１−１の含有量が上記範囲であれば、上述した効果がより顕著に得られる。
【００３５】
樹脂ｂ１の全繰り返し単位中における繰り返し単位ｂ１−２の含有量は、５〜６０モル％であることが好ましい。下限は、８モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましい。上限は５０モル％以下であることが好ましく、４５モル％以下であることがより好ましい。繰り返し単位ｂ１−２の含有量が上記範囲であれば、上述した効果がより顕著に得られる。
【００３６】
樹脂ｂ１の全繰り返し単位中における繰り返し単位ｂ１−１と繰り返し単位ｂ１−２との合計の含有量は、５モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましく、２０モル％以上であることが更に好ましい。上限は１００モル％とすることもでき、８０モル％以下とすることもでき、６０モル％以下とすることもできる。
【００３７】
樹脂ｂ１の全繰り返し単位中における繰り返し単位ｂ１−１のモル数と繰り返し単位ｂ１−２のモル数との比は、繰り返し単位ｂ１−１のモル数：繰り返し単位ｂ１−２のモル数＝１：０．３〜７であることが好ましく、１：０．４〜６であることがより好ましく、１：０．５〜５であることが更に好ましい。
【００３８】
［繰り返し単位ｂ１−１］
まず、樹脂ｂ１が有する繰り返し単位ｂ１−１について説明する。繰り返し単位ｂ１−１は、式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位である。
【化４】
2020066438.tif 000006
【００３９】
式（Ｉ）において、Ｘ１は、ＯまたはＮＨを表し、Ｏであることが好ましい。
式（Ｉ）において、Ｒ１は水素原子またはメチル基を表す。
式（Ｉ）において、Ｌ１は２価の連結基を表す。２価の連結基としては、炭化水素基、複素環基、−ＮＨ−、−ＳＯ−、−ＳＯ２−、−ＣＯ−、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−Ｓ−およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。炭化水素基としては、アルキル基、アリール基などが挙げられる。複素環基は、非芳香族の複素環基であってもよく、芳香族複素環基であってもよい。複素環基は、５員環または６員環が好ましい。複素環基を構成するヘテロ原子の種類は窒素原子、酸素原子、硫黄原子などが挙げられる。複素環基を構成するヘテロ原子の数は１〜３が好ましい。複素環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。炭化水素基および複素環基は置換基を有していてもよい。置換基としては、アルキル基、アリール基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子などが挙げられる。
式（Ｉ）において、Ｒ１０は置換基を表す。Ｒ１０が表す置換基としては、以下に示す置換基Ｔが挙げられ、炭化水素基であることが好ましく、アリール基を置換基として有していてもよいアルキル基であることがより好ましい。
式（Ｉ）において、ｍは０〜２の整数を表し、０または１が好ましく、０がより好ましい。また、ｐは１以上の整数を表し、１〜４が好ましく、１〜３がより好ましく、１〜２が更に好ましく、１が特に好ましい。
【００４０】
（置換基Ｔ）
置換基Ｔとしては、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、炭化水素基、複素環基、−ＯＲｔ１、−ＣＯＲｔ１、−ＣＯＯＲｔ１、−ＯＣＯＲｔ１、−ＮＲｔ１Ｒｔ２、−ＮＨＣＯＲｔ１、−ＣＯＮＲｔ１Ｒｔ２、−ＮＨＣＯＮＲｔ１Ｒｔ２、−ＮＨＣＯＯＲｔ１、−ＳＲｔ１、−ＳＯ２Ｒｔ１、−ＳＯ２ＯＲｔ１、−ＮＨＳＯ２Ｒｔ１または−ＳＯ２ＮＲｔ１Ｒｔ２が挙げられる。Ｒｔ１およびＲｔ２は、それぞれ独立して水素原子、炭化水素基または複素環基を表す。Ｒｔ１とＲｔ２が結合して環を形成してもよい。
【００４１】
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
炭化水素基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、１〜３０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜８が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、分岐がより好ましい。
アルケニル基の炭素数は、２〜３０が好ましく、２〜１２がより好ましく、２〜８が特に好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましい。
アルキニル基の炭素数は、２〜３０が好ましく、２〜２５がより好ましい。アルキニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましい。
アリール基の炭素数は、６〜３０が好ましく、６〜２０がより好ましく、６〜１２が更に好ましい。
複素環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。複素環基は、単環または縮合数が２〜４の縮合環が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子の数は１〜３が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。複素環基の環を構成する炭素原子の数は３〜３０が好ましく、３〜１８がより好ましく、３〜１２がより好ましい。
炭化水素基および複素環基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述した置換基Ｔで説明した置換基が挙げられる。
【００４２】
式（Ｉ）で表される化合物は、下記式（Ｉ−１）で表される化合物であることが好ましい。
【化５】
2020066438.tif 000007
【００４３】
式（Ｉ−１）において、Ｘ１は、ＯまたはＮＨを表し、Ｏであることが好ましい。
式（Ｉ−１）において、Ｒ１は水素原子またはメチル基を表す。
式（Ｉ−１）において、Ｒ２、Ｒ３およびＲ１１はそれぞれ独立して炭化水素基を表す。Ｒ２およびＲ３が表す炭化水素基は、アルキレン基またはアリーレン基であることが好ましく、アルキレン基であることがより好ましい。アルキレン基の炭素数は１〜１０であることが好ましく、１〜５であることがより好ましく、１〜３であることが更に好ましく、２または３であることが特に好ましい。Ｒ３が表す炭化水素基は、アリール基を置換基として有していてもよいアルキル基であることが好ましく、アリール基を置換基として有するアルキル基であることがより好ましい。アルキル基の炭素数は、１〜２０が好ましく、１〜１０がより好ましく、１〜５が更に好ましい。なお、アルキル基が置換基としてアリール基を有する場合におけるアルキル基の炭素数は、アルキル部位の炭素数のことを意味する。
式（Ｉ−１）において、Ｒ１２は置換基を表す。Ｒ１２が表す置換基としては、上述した置換基Ｔが挙げられる。
式（Ｉ−１）において、ｎは０〜１５の整数を表し、０〜５の整数であることが好ましく、０〜４の整数であることがより好ましく、０〜３の整数であることが更に好ましい。
また、ｍは０〜２の整数を表し、０または１であることが好ましく、０であることがより好ましい。また、ｐ１は０以上の整数を表し、０〜４が好ましく、０〜３がより好ましく、０〜２が更に好ましく、０〜１がより一層好ましく、０が特に好ましい。また、ｑ１は１以上の整数を表し、１〜４が好ましく、１〜３がより好ましく、１〜２が更に好ましく、１が特に好ましい。
【００４４】
式（Ｉ）で表される化合物は、下記式（ＩＩＩ）で表される化合物であることが好ましい。
【化６】
2020066438.tif 000008
【００４５】
式（ＩＩＩ）中、Ｒ１は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ２１およびＲ２２はそれぞれ独立してアルキレン基を表し、ｎは０〜１５の整数を表す。Ｒ２１およびＲ２２が表すアルキレン基の炭素数は１〜１０であることが好ましく、１〜５であることがより好ましく、１〜３であることが更に好ましく、２または３であることが特に好ましい。ｎは０〜１５の整数を表し、０〜５の整数であることが好ましく、０〜４の整数であることがより好ましく、０〜３の整数であることが更に好ましい。
【００４６】
式（Ｉ）で表される化合物としては、パラクミルフェノールのエチレンオキサイドまたはプロピレンオキサイド変性（メタ）アクリレートなどが挙げられる。市販品としては、アロニックスＭ−１１０（東亞合成（株）製）などが挙げられる。
【００４７】
［繰り返し単位ｂ１−２］
次に、樹脂ｂ１が有する繰り返し単位ｂ１−２について説明する。繰り返し単位ｂ１−２は、アルキル（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位である。アルキル（メタ）アクリレートのアルキル部位の炭素数は、３〜１０であることが好ましく、３〜８であることがより好ましく、３〜６であることが更に好ましい。アルキル（メタ）アクリレートの好ましい具体例としては、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレートなどが挙げられ、適度な現像性を有するという理由からｎ−ブチル（メタ）アクリレートであることが好ましい。
【００４８】
［繰り返し単位ｂ１−３］
樹脂ｂ１は、更に、酸基を有する繰り返し単位（以下、繰り返し単位ｂ１−３ともいう）を含むことも好ましい。この態様によれば、フォトリソグラフィ法でのパターン形成性に優れた着色感光性樹脂組成物とすることができる。酸基としては、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられ、カルボキシル基であることが好ましい。
【００４９】
樹脂ｂ１が繰り返し単位ｂ１−３を含む場合、樹脂ｂ１の全繰り返し単位中における繰り返し単位ｂ１−３の含有量は、１〜６０モル％であることが好ましい。下限は、５モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましい。上限は５０モル％以下であることが好ましく、４０モル％以下であることがより好ましい。
【００５０】
また、樹脂ｂ１が繰り返し単位ｂ１−３を含む場合、樹脂ｂ１の酸価は、パターン形成性の観点から２０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。上限は、２８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましい。
【００５１】
［他の繰り返し単位］
樹脂ｂ１は、上述した繰り返し単位ｂ１−１〜繰り返し単位ｂ１−３以外の繰り返し単位（以下、他の繰り返し単位ともいう）を含有することができる。他の繰り返し単位としては、重合性基を有する繰り返し単位などが挙げられる。樹脂ｂ１が重合性基を有する繰り返し単位を含む場合は、耐熱性や、現像時の色抜けが抑制された膜を形成することができる。重合性基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等のエチレン性不飽和基が挙げられる。樹脂ｂ１が繰り返し単位ｂ１−４を含む場合、樹脂ｂ１の全繰り返し単位中における繰り返し単位ｂ１−４の含有量は、１〜６０モル％であることが好ましい。下限は、５モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましい。上限は５０モル％以下であることが好ましく、４０モル％以下であることがより好ましい。
【００５２】
（樹脂ｂ２）
本発明の着色感光性樹脂組成物は、上記樹脂ｂ１の他に、更に、芳香族カルボキシル基を有する樹脂ｂ２を含有することが好ましい。この態様によれば、樹脂ｂ１の繰り返し単位ｂ１−１と樹脂ｂ２の芳香族カルボキシル基は類似した構造を含んでいるので、樹脂ｂ１と樹脂ｂ２との間で相互作用が強く働くとともに、顔料ｂ１と色材との間、および、顔料ｂ２と色材との間でも強い相互作用が働くと推測され、その結果、膜中に色材をしっかりと保持することができ、色材濃度を高めても耐色抜け性に優れた膜を形成することができる。
【００５３】
樹脂ｂ２において、芳香族カルボキシル基は繰り返し単位の主鎖に含まれていてもよく、繰り返し単位の側鎖に含まれていてもよい。上述した効果がより顕著に得られやすいという理由から、芳香族カルボキシル基は繰り返し単位の主鎖に含まれていることが好ましい。詳細は不明だが、主鎖近くに芳香族カルボキシル基が存在することで、これらの特性がより向上するものと推測される。なお、本明細書において、芳香族カルボキシル基とは、芳香族環にカルボキシル基が１個以上結合した構造の基のことである。芳香族カルボキシル基において、芳香族環に結合したカルボキシル基の数は、１〜４個であることが好ましく、１〜２個であることがより好ましい。
【００５４】
樹脂ｂ２は、式（ｂ２−１）で表される繰り返し単位および式（ｂ２−１０）で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも一種の繰り返し単位を含む樹脂であることが好ましい。
【化７】
2020066438.tif 000009
式（ｂ２−１）中、Ａｒ１は芳香族カルボキシル基を含む基を表し、Ｌ１は、−ＣＯＯ−または−ＣＯＮＨ−を表し、Ｌ２は、２価の連結基を表す。
式（ｂ２−１０）中、Ａｒ１０は芳香族カルボキシル基を含む基を表し、Ｌ１１は、−ＣＯＯ−または−ＣＯＮＨ−を表し、Ｌ１２は３価の連結基を表し、Ｐ１０はポリマー鎖を表す。
【００５５】
まず、式（ｂ２−１）について説明する。式（ｂ２−１）においてＡｒ１が表す芳香族カルボキシル基を含む基としては、芳香族トリカルボン酸無水物から由来する構造、芳香族テトラカルボン酸無水物から由来する構造などが挙げられる。芳香族トリカルボン酸無水物および芳香族テトラカルボン酸無水物としては、下記構造の化合物が挙げられる。
【化８】
2020066438.tif 000010
【００５６】
上記式中、Ｑ１は、単結合、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯ−、−ＳＯ２−、−Ｃ（ＣＦ３）２−、下記式（Ｑ−１）で表される基または下記式（Ｑ−２）で表される基を表す。
【化９】
2020066438.tif 000011
【００５７】
芳香族トリカルボン酸無水物の具体例としては、ベンゼントリカルボン酸無水物（１，２，３−ベンゼントリカルボン酸無水物、トリメリット酸無水物［１，２，４−ベンゼントリカルボン酸無水物］等）、ナフタレントリカルボン酸無水物（１，２，４−ナフタレントリカルボン酸無水物、１，４，５−ナフタレントリカルボン酸無水物、２，３，６−ナフタレントリカルボン酸無水物、１，２，８−ナフタレントリカルボン酸無水物等）、３，４，４’−ベンゾフェノントリカルボン酸無水物、３，４，４’−ビフェニルエーテルトリカルボン酸無水物、３，４，４’−ビフェニルトリカルボン酸無水物、２，３，２’−ビフェニルトリカルボン酸無水物、３，４，４’−ビフェニルメタントリカルボン酸無水物、又は３，４，４’−ビフェニルスルホントリカルボン酸無水物が挙げられる。芳香族テトラカルボン酸無水物の具体例としては、ピロメリット酸無水物、エチレングリコールジ無水トリメリット酸エステル、プロピレングリコールジ無水トリメリット酸エステル、ブチレングリコールジ無水トリメリット酸エステル、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、１，２，３，４−フランテトラカルボン酸二無水物、４，４’−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルスルフィド二無水物、４，４’−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルスルホン二無水物、４，４’−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルプロパン二無水物、３，３’，４，４’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス（フタル酸）フェニルホスフィンオキサイド二無水物、ｐ−フェニレン−ビス（トリフェニルフタル酸）二無水物、ｍ−フェニレン−ビス（トリフェニルフタル酸）二無水物、ビス（トリフェニルフタル酸）−４，４’−ジフェニルエーテル二無水物、ビス（トリフェニルフタル酸）−４，４’−ジフェニルメタン二無水物、９，９−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）フルオレン二無水物、９，９−ビス[４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル]フルオレン二無水物、３，４−ジカルボキシ−１，２，３，４−テトラヒドロ−１−ナフタレンコハク酸二無水物、又は３，４−ジカルボキシ−１，２，３，４−テトラヒドロ−６−メチル−１−ナフタレンコハク酸二無水物等が挙げられる。
【００５８】
Ａｒ１が表す芳香族カルボキシル基を含む基の具体例としては、式（Ａｒ−１）で表される基、式（Ａｒ−２）で表される基、式（Ａｒ−３）で表される基などが挙げられる。
【化１０】
2020066438.tif 000012
【００５９】
式（Ａｒ−１）中、ｎ１は１〜４の整数を表し、１〜２の整数であることが好ましく、２であることがより好ましい。
式（Ａｒ−２）中、ｎ２は１〜８の整数を表し、１〜４の整数であることが好ましく、１〜２であることがより好ましく、２であることが更に好ましい。
式（Ａｒ−３）中、ｎ３およびｎ４はそれぞれ独立して０〜４の整数を表し、０〜２の整数であることが好ましく、１〜２であることがより好ましく、１であることが更に好ましい。ただし、ｎ３およびｎ４の少なくとも一方は１以上の整数である。
式（Ａｒ−３）中、Ｑ１は、単結合、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯ−、−ＳＯ２−、−Ｃ（ＣＦ３）２−、上記式（Ｑ−１）で表される基または上記式（Ｑ−２）で表される基を表す。
【００６０】
式（ｂ２−１）においてＬ１は、−ＣＯＯ−または−ＣＯＮＨ−を表し、−ＣＯＯ−を表すことが好ましい。
【００６１】
式（ｂ２−１）においてＬ２が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨ−、−Ｓ−およびこれらの２種以上を組み合わせた基が挙げられる。アルキレン基の炭素数は、１〜３０が好ましく、１〜２０がより好ましく、１〜１５が更に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アリーレン基の炭素数は、６〜３０が好ましく、６〜２０がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。アルキレン基およびアリーレン基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシ基などが挙げられる。Ｌ２が表す２価の連結基は、−Ｏ−Ｌ２ａ−Ｏ−で表される基であることが好ましい。Ｌ２ａは、アルキレン基；アリーレン基；アルキレン基とアリーレン基とを組み合わせた基；アルキレン基およびアリーレン基から選ばれる少なくとも１種と、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨ−および−Ｓ−から選ばれる少なくとも１種とを組み合わせた基などが挙げられる。アルキレン基の炭素数は、１〜３０が好ましく、１〜２０がより好ましく、１〜１５が更に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アルキレン基およびアリーレン基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシ基などが挙げられる。
【００６２】
次に、式（ｂ２−１０）について説明する。式（ｂ２−１０）においてＡｒ１０が表す芳香族カルボキシル基を含む基としては、式（ｂ２−１）のＡｒ１と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００６３】
式（ｂ２−１０）においてＬ１１は、−ＣＯＯ−または−ＣＯＮＨ−を表し、−ＣＯＯ−を表すことが好ましい。
【００６４】
式（ｂ２−１０）においてＬ１２が表す３価の連結基としては、炭化水素基、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨ−、−Ｓ−およびこれらの２種以上を組み合わせた基が挙げられる。炭化水素基は、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基が挙げられる。脂肪族炭化水素基の炭素数は、１〜３０が好ましく、１〜２０がより好ましく、１〜１５が更に好ましい。脂肪族炭化水素基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。芳香族炭化水素基の炭素数は、６〜３０が好ましく、６〜２０がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。炭化水素基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシ基などが挙げられる。Ｌ１２が表す３価の連結基は、下記式（Ｌ１２−１）で表される基であることが好ましく、式（Ｌ１２−２）で表される基であることがより好ましい。
【化１１】
2020066438.tif 000013
【００６５】
Ｌ１２ａおよびＬ１２ｂはそれぞれ３価の連結基を表し、Ｘ１はＳを表し、＊１は式（ｂ２−１０）のＬ１１との結合位置を表し、＊２は式（ｂ２−１０）のＰ１０との結合位置を表す。
【００６６】
Ｌ１２ａおよびＬ１２ｂが表す３価の連結基としては、炭化水素基；炭化水素基と、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＮＨ−および−Ｓ−から選ばれる少なくとも１種とを組み合わせた基などが挙げられる。
【００６７】
式（ｂ２−１０）においてＰ１０はポリマー鎖を表す。Ｐ１０が表すポリマー鎖は、ポリ（メタ）アクリル繰り返し単位、ポリエーテル繰り返し単位、ポリエステル繰り返し単位およびポリオール繰り返し単位から選ばれる少なくとも１種の繰り返し単位を有することが好ましい。ポリマー鎖Ｐ１０の重量平均分子量は５００〜２００００が好ましい。下限は５００以上が好ましく、１０００以上がより好ましい。上限は１００００以下が好ましく、５０００以下がより好ましく、３０００以下が更に好ましいである。Ｐ１０の重量平均分子量が上記範囲であれば組成物中における顔料の分散性が良好である。樹脂ｂ２が式（ｂ２−１０）で表される繰り返し単位を有する樹脂である場合は、樹脂ｂ２は分散剤として好ましく用いられる。
【００６８】
式（ｂ２−１０）において、Ｐ１０が表すポリマー鎖は、下記式（Ｐ−１）〜（Ｐ−５）で表される繰り返し単位を含むポリマー鎖であることが好ましく、（Ｐ−５）で表される繰り返し単位を含むポリマー鎖であることがより好ましい。
【化１２】
2020066438.tif 000014
上記式において、ＲＰ１およびＲＰ２は、それぞれアルキレン基を表す。ＲＰ１およびＲＰ２で表されるアルキレン基としては、炭素数１〜２０の直鎖状又は分岐状のアルキレン基が好ましく、炭素数２〜１６の直鎖状又は分岐状のアルキレン基がより好ましく、炭素数３〜１２の直鎖状又は分岐状のアルキレン基が更に好ましい。
上記式において、ＲＰ３は、水素原子またはメチル基を表す。
上記式において、ＬＰ１は、単結合またはアリーレン基を表し、ＬＰ２は、単結合または２価の連結基を表す。ＬＰ１は、単結合であることが好ましい。ＬＰ２が表す２価の連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１〜１２のアルキレン基）、アリーレン基（好ましくは炭素数６〜２０のアリーレン基）、−ＮＨ−、−ＳＯ−、−ＳＯ２−、−ＣＯ−、−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−Ｓ−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、およびこれらの２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。
ＲＰ４は、水素原子または置換基を表す。置換基としては、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、（メタ）アクリロイル基、オキセタニル基、ブロックイソシアネート基等が挙げられる。なお、本発明におけるブロックイソシアネート基とは、熱によりイソシアネート基を生成することが可能な基であり、例えば、ブロック剤とイソシアネート基とを反応させイソシアネート基を保護した基が好ましく例示できる。ブロック剤としては、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物、メルカプタン化合物、イミダゾール系化合物、イミド系化合物等を挙げることができる。ブロック剤については、特開２０１７−０６７９３０号公報の段落番号０１１５〜０１１７に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、ブロックイソシアネート基は、９０〜２６０℃の熱によりイソシアネート基を生成することが可能な基であることが好ましい。
【００６９】
Ｐ１０が表すポリマー鎖は、（メタ）アクリロイル基、オキセタニル基、ブロックイソシアネート基およびｔ−ブチル基から選ばれる少なくとも１種の基（以下、官能基Ａともいう）を有することが好ましい。官能基Ａは（メタ）アクリロイル基、オキセタニル基およびブロックイソシアネート基から選ばれる少なくとも１種であることがより好ましい。ポリマー鎖が官能基Ａを含む場合は、耐溶剤性に優れた膜を形成しやすい。特に、（メタ）アクリロイル基、オキセタニル基およびブロックイソシアネート基から選ばれる少なくとも１種の基を含む場合は上記の効果が顕著である。また、官能基Ａがｔ−ブチル基を有する場合には、組成物中にエポキシ基またはオキセタニル基をもつ化合物を含むことが好ましい。官能基Ａがブロックイソシアネート基を有する場合には、組成物中に水酸基をもつ化合物を含むことが好ましい。
【００７０】
また、Ｐ１０が表すポリマー鎖は、側鎖に上記官能基Ａを含む繰り返し単位を有するポリマー鎖であることがより好ましい。また、Ｐ１０を構成する全繰り返し単位中における、上記官能基Ａを側鎖に含む繰り返し単位の割合は、５質量％以上であることが好ましく、１０質量％以上であることがより好ましく、２０質量％以上であることが更に好ましい。上限は、１００質量％とすることができ、９０質量％以下であることが好ましく、６０質量％以下であることが更に好ましい。
【００７１】
また、Ｐ１０が表すポリマー鎖は、酸基を含む繰り返し単位を有することも好ましい。酸基としては、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられる。この態様によれば、組成物中における顔料の分散性をより向上できる。更には、現像性をより向上させることもできる。酸基を含む繰り返し単位の割合は、１〜３０質量％であることが好ましく、２〜２０質量％であることがより好ましく、３〜１０質量％であることが更に好ましい。
【００７２】
樹脂ｂ２は、芳香族テトラカルボン酸無水物及び芳香族トリカルボン酸無水物から選ばれる少なくとも１種の酸無水物と、水酸基含有化合物とを反応させることで製造することができる。芳香族テトラカルボン酸無水物及び芳香族トリカルボン酸無水物としては、上述したものが挙げられる。水酸基含有化合物としては、分子内に水酸基を有してさえいれば、特に制限されないが、分子内に２つ以上の水酸基を有するポリオールであることが好ましい。また、水酸基含有化合物として、分子内に２つの水酸基と１つのチオール基を有する化合物を用いることも好ましい。分子内に２つの水酸基と１つのチオール基を有する化合物としては、例えば、１−メルカプト−１，１−メタンジオール、１−メルカプト−１，１−エタンジオール、３−メルカプト−１，２−プロパンジオール（チオグリセリン）、２−メルカプト−１，２−プロパンジオール、２−メルカプト−２−メチル−１，３−プロパンジオール、２−メルカプト−２−エチル−１，３−プロパンジオール、１−メルカプト−２，２−プロパンジオール、２−メルカプトエチル−２−メチル−１，３−プロパンジオール、又は２−メルカプトエチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール等が挙げられる。その他の水酸基含有化合物については、特開２０１８−１０１０３９号公報の段落番号００８４〜００９５に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００７３】
上記酸無水物中の酸無水物基と、水酸基含有化合物中の水酸基のモル比（酸無水物基／水酸基）は０．５〜１．５であることが好ましい。
【００７４】
また、上述した式（ｂ２−１０）で表される繰り返し単位を含む樹脂は、以下の合成方法（１）〜（２）に示す方法などで合成することができる。
【００７５】
〔合成方法（１）〕
エチレン性不飽和基を有する重合性モノマーを水酸基含有チオール化合物（好ましくは分子内に２つの水酸基と１つのチオール基を有する化合物）の存在下にて、ラジカル重合して片末端領域に２つの水酸基を有するビニル重合体を合成し、この合成したビニル重合体と、芳香族テトラカルボン酸無水物及び芳香族トリカルボン酸無水物から選ばれる一種以上の芳香族酸無水物とを反応させて製造する方法。
【００７６】
〔合成方法（２）〕
水酸基含有化合物（好ましくは分子内に２つの水酸基と１つのチオール基を有する化合物）と、芳香族テトラカルボン酸無水物及び芳香族トリカルボン酸無水物から選ばれる一種以上の芳香族酸無水物と、を反応させたのち、得られた反応物の存在下で、エチレン性不飽和基を有する重合性モノマーをラジカル重合して製造する方法。合成方法（２）においては、水酸基を有する重合性モノマーをラジカル重合した後、更にイソシアネート基を有する化合物（例えば、イソシアネート基と上述した官能基Ａとを有する化合物）とを反応させてもよい。これによって、ポリマー鎖Ｐ１０に官能基Ａを導入することができる。
【００７７】
また、樹脂ｂ２は、特開２０１８−１０１０３９号公報の段落番号０１２０〜０１３８の記載された方法に従い合成することもできる。
【００７８】
樹脂ｂ２の重量平均分子量は、２０００〜３５０００であることが好ましい。上限は２５０００以下であることが好ましく、２００００以下であることがより好ましく、１５０００以下であることが更に好ましい。下限は、４０００以上であることが好ましく、６０００以上であることがより好ましく、７０００以上であることが更に好ましい。樹脂ｂ２の重量平均分子量が上記範囲であれば、上述した効果がより顕著に得られる。また、着色感光性樹脂組成物の保存安定性も向上させることができる。
【００７９】
樹脂ｂ２の酸価は５〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。上限は１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましく、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが更に好ましい。下限は１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが好ましく、１５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることがより好ましく、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが更に好ましい。樹脂ｂ２の酸価が上記範囲であれば、上述した効果がより顕著に得られる。また、顔料吸着能が適度に得られ、組成物中の顔料分散性を高めることができる。更には、着色感光性樹脂組成物の保存安定性も向上させることができる。
【００８０】
（他の樹脂）
本発明の着色感光性樹脂組成物は、更に、上記樹脂ｂ１、ｂ２以外の樹脂（以下、他の樹脂ともいう）を含むことができる。
【００８１】
他の樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００〜２００００００が好ましい。上限は、１００００００以下が好ましく、５０００００以下がより好ましい。下限は、３０００以上が好ましく、４０００以上がより好ましく、５０００以上が更に好ましい。
【００８２】
他の樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル樹脂、（メタ）アクリルアミド樹脂、エポキシ樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、シロキサン樹脂などが挙げられる。
【００８３】
他の樹脂は、酸基を有する樹脂であることも好ましい。酸基としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられる。酸基を有する樹脂はアルカリ可溶性樹脂や、分散剤として用いることもできる。酸基を有する樹脂の酸価は、２０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。上限は、２８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましい。
【００８４】
他の樹脂は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および／または下記式（ＥＤ２）で表される化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）由来の繰り返し単位を含む樹脂であることも好ましい。
【００８５】
【化１３】
2020066438.tif 000015
【００８６】
式（ＥＤ１）中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。
【化１４】
2020066438.tif 000016
式（ＥＤ２）中、Ｒは、水素原子または炭素数１〜３０の有機基を表す。式（ＥＤ２）の具体例としては、特開２０１０−１６８５３９号公報の記載を参酌できる。
【００８７】
エーテルダイマーの具体例については、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００８８】
他の樹脂は、重合性基を有する繰り返し単位を含む樹脂であることも好ましい。重合性基を有する繰り返し単位を含む樹脂を用いることで、耐色抜け性、耐溶剤性および耐熱性に優れた膜を形成することができる。重合性基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等のエチレン性不飽和基が挙げられる。
【００８９】
他の樹脂は、マレイミド構造を有する繰り返し単位を含む樹脂であることも好ましい。
なお、本明細書において、マレイミド構造とは、マレイミド化合物に由来する構造のことである。マレイミド化合物としては、マレイミドおよび、Ｎ−置換マレイミドが挙げられる。Ｎ−置換マレイミドとしては、シクロヘキシルマレイミド、フェニルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、ｎ−ブチルマレイミド、ラウリルマレイミド等が挙げられる。マレイミド構造は繰り返し単位の主鎖に含まれていてもよく、繰り返し単位の側鎖に含まれていてもよい。現像性および色抜け性能に優れた膜を形成しやすいという理由から、マレイミド構造は繰り返し単位の主鎖に含まれていることが好ましい。
【００９０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、分散剤としての樹脂を含有することができる。分散剤としては、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、１０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基が好ましい。
【００９１】
分散剤として用いる樹脂は、酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。分散剤として用いる樹脂が酸基を有する繰り返し単位を含むことにより、フォトリソグラフィ法によりパターン形成する際、現像残渣の発生をより抑制できる。
【００９２】
分散剤として用いる樹脂は、グラフト樹脂であることも好ましい。グラフト樹脂の詳細は、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号００２５〜００９４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００９３】
分散剤として用いる樹脂は、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むポリイミン系分散剤であることも好ましい。ポリイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造を有する主鎖と、原子数４０〜１００００の側鎖とを有し、かつ主鎖及び側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子とは、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。ポリイミン系分散剤については、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１０２〜０１６６の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００９４】
分散剤として用いる樹脂は、コア部に複数個のポリマー鎖が結合した構造の樹脂であることも好ましい。このような樹脂としては、例えばデンドリマー（星型ポリマーを含む）が挙げられる。また、デンドリマーの具体例としては、特開２０１３−０４３９６２号公報の段落番号０１９６〜０２０９に記載された高分子化合物Ｃ−１〜Ｃ−３１などが挙げられる。
【００９５】
分散剤として用いる樹脂は、エチレン性不飽和基を側鎖に有する繰り返し単位を含む樹脂であることも好ましい。エチレン性不飽和基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量は、樹脂の全繰り返し単位中１０モル％以上であることが好ましく、１０〜８０モル％であることがより好ましく、２０〜７０モル％であることが更に好ましい。
【００９６】
分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ビックケミー社製のＤｉｓｐｅｒｂｙｋシリーズ（例えば、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１１１、２００１など）、日本ルーブリゾール（株）製のソルスパースシリーズ（例えば、ソルスパース２００００、７６５００など）、味の素ファインテクノ（株）製のアジスパーシリーズ等が挙げられる。また、特開２０１２−１３７５６４号公報の段落番号０１２９に記載された製品、特開２０１７−１９４６６２号公報の段落番号０２３５に記載された製品を分散剤として用いることもできる。
【００９７】
本発明の着色感光性樹脂組成物の全固形分中における樹脂の含有量は、１０〜５０質量％であることが好ましい。上限は４０質量％以下であることが好ましく、３０質量％以下であることがより好ましい。下限は１５質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましい。
【００９８】
着色感光性樹脂組成物の全固形分中における樹脂ｂ１の含有量は、３〜５０質量％であることが好ましい。上限は４０質量％以下であることが好ましく、３０質量％以下であることがより好ましい。下限は４質量％以上であることが好ましく、５質量％以上であることがより好ましい。
【００９９】
着色感光性樹脂組成物に含まれる樹脂における、樹脂ｂ１の含有量は、５〜１００質量％であることが好ましい。下限は、１０質量％以上であることが好ましく、１５質量％以上であることがより好ましい。上限は、９０質量％以下であることが好ましく、８０質量％以下であることがより好ましい。
【０１００】
本発明の着色感光性樹脂組成物が樹脂ｂ２を含む場合、着色感光性樹脂組成物に含まれる樹脂における樹脂ｂ２の含有量は、１〜９５質量％であることが好ましい。上限は９０質量％以下であることが好ましく、８５質量％以下であることがより好ましい。下限は１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましい。また、樹脂ｂ２の含有量は、樹脂ｂ１の１００質量部に対して、１０〜９５質量部であることが好ましい。下限は２０質量部以上が好ましく、３０質量部以上がより好ましい。上限は９０質量部以下が好ましく、８５質量部以下が更に好ましい。また、着色感光性樹脂組成物の全固形分中における樹脂ｂ１と樹脂ｂ２との合計の含有量は、１０〜５０質量％であることが好ましい。上限は４０質量％以下であることが好ましく、３０質量％以下であることがより好ましい。下限は１５質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましい。
【０１０１】
本発明の着色感光性樹脂組成物が分散剤としての樹脂を含む場合、分散剤としての樹脂の含有量は、顔料の１００質量部に対して１０〜１００質量部であることが好ましい。上限は、８０質量部以下であることが好ましく、６０質量部以下であることがより好ましい。下限は、１５質量部以上が好ましく、２０質量部以上がより好ましい。
また、分散剤としての樹脂の含有量は、顔料と顔料誘導体との合計１００質量部に対して５〜１５０質量部であることが好ましい。上限は、１２０質量部以下であることが好ましく、１００質量部以下であることがより好ましい。下限は、１０質量部以上が好ましく、２０質量部以上がより好ましい。
また、樹脂ｂ２を分散剤として用いる場合、分散剤の全量中における樹脂ｂ２の含有量は、１０〜１００質量％であることが好ましく、３０〜１００質量％であることがより好ましく、５０〜１００質量％であることが更に好ましい。
【０１０２】
＜＜重合性モノマー＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、重合性モノマーを含有する。重合性モノマーとしては、エチレン性不飽和基を有する化合物などが挙げられる。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。重合性モノマーはラジカルにより重合可能な化合物（ラジカル重合性モノマー）であることが好ましい。
【０１０３】
重合性モノマーの分子量は、１００〜２０００が好ましい。上限は、１５００以下が好ましく、１０００以下がより好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。
【０１０４】
重合性モノマーのエチレン性不飽和基価（以下、Ｃ＝Ｃ価という）は、組成物の経時安定性の観点から２〜１４ｍｍｏｌ／ｇであることが好ましい。下限は、３ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、４ｍｍｏｌ／ｇ以上であることがより好ましく、５ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが更に好ましい。上限は１２ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが好ましく、１０ｍｍｏｌ／ｇ以下であることがより好ましく、８ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが更に好ましい。重合性モノマーのＣ＝Ｃ価は、重合性モノマーの１分子中に含まれるエチレン性不飽和基の数を重合性モノマーの分子量で割ることで算出した。
【０１０５】
重合性モノマーは、エチレン性不飽和基を３個以上含む化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和基を４個以上含む化合物であることがより好ましい。この態様によれば、露光による着色感光性樹脂組成物の硬化性が良好である。エチレン性不飽和基の上限は、組成物の経時安定性の観点から１５個以下であることが好ましく、１０個以下であることがより好ましく、６個以下であることが更に好ましい。また、重合性モノマーは、３官能以上の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましく、３〜１０官能の（メタ）アクリレート化合物であることが更に好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることが特に好ましい。
【０１０６】
本発明で用いられる重合性モノマーは、エチレン性不飽和基を３個以上含む分子量４５０以下の化合物であることも好ましく、エチレン性不飽和基を３個含む分子量４５０以下の化合物であることがより好ましく、分子量４５０以下の３官能の（メタ）アクリレート化合物であることが更に好ましい。この態様によれば、得られる膜の耐溶剤性をより向上させることができる。エチレン性不飽和基を３個含む分子量４５０以下の重合性モノマーとしては、トリメチロールプロパントリアクリレート、イソシアヌル酸トリス（２−アクリロイルオキシエチル）、トリメチロールプロパンエチレン変性トリアクリレート等が挙げられる。
【０１０７】
本発明で用いられる重合性モノマーは、イソシアヌレート骨格を有する化合物であることも好ましい。イソシアヌレート骨格を有する重合性モノマーを用いることにより、得られる膜の耐溶剤性を向上させることができる。イソシアヌレート骨格を有する重合性モノマーの具体例としては、イソシアヌル酸トリス（２−アクリロイルオキシエチル）、εカプロラクトン変性トリス−（２−アクリロキシエチル）イソシアヌレートなどが挙げられる。市販品としては、ファンクリルＦＡ−７３１Ａ（日立化成（株）製））、ＮＫエステルＡ９３００、Ａ９３００−１ＣＬ、Ａ９３００−３ＣＬ（新中村化学工業（株）製、アロニックスＭ−３１５（東亞合成（株）製）等が挙げられる。
【０１０８】
本発明では、重合性モノマーとして、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、ＮＫエステルＡ−ＤＰＨ−１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）などを用いることもできる。また、重合性モノマーとして、アロニックス  Ｍ−４０２（東亞合成（株）製、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合物）、ＮＫエステルＡ−ＴＭＭＴ（新中村化学工業（株）製、ペンタエリスリトールテトラアクリレート）を使用することもできる。
【０１０９】
本発明では重合性モノマーとして、酸基を有する重合性モノマーを用いることが好ましい。酸基を有する重合性モノマーを用いることで、現像時に未露光部の着色感光性樹脂組成物層が除去されやすくで、現像残渣の発生を抑制できる。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する重合性モノマーとしては、コハク酸変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。酸基を有する重合性モノマーの市販品としては、アロニックスＭ−５１０、Ｍ−５２０、アロニックスＴＯ−２３４９（東亞合成（株）製）等が挙げられる。酸基を有する重合性モノマーの好ましい酸価としては、０．１〜４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５〜３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。重合性モノマーの酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造や取扱い上、有利である。
【０１１０】
本発明では重合性モノマーとして、カプロラクトン構造を有する化合物を用いることも好ましい。カプロラクトン構造を有する重合性モノマーは、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０等が挙げられる。
【０１１１】
重合性モノマーは、特開２０１７−４８３６７号公報、特許第６０５７８９１号公報、特許第６０３１８０７号公報に記載されている化合物、特開２０１７−１９４６６２号公報に記載されている化合物、８ＵＨ−１００６、８ＵＨ−１０１２（以上、大成ファインケミカル（株）製）、ライトアクリレートＰＯＢ−Ａ０（共栄社化学（株）製）などを用いることも好ましい。
【０１１２】
重合性モノマーの含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分中２〜３０質量％であることが好ましい。上限は、２０質量％以下であることが好ましく、１０質量％以下であることがより好ましい。下限は、３質量％以上であることが好ましく、５質量％以上であることがより好ましい。着色感光性樹脂組成物に含まれる重合性モノマーは１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１１３】
また、着色感光性樹脂組成物の全固形分中における樹脂と重合性モノマーとの合計の含有量は、１０〜５０質量％が好ましい。下限は、１５質量％以上が好ましく、２０質量％以上がより好ましく、２５質量％以上が更に好ましい。上限は、４５質量％以下が好ましく、４０質量％以下がより好ましく、３５質量％以下が更に好ましい。
【０１１４】
また、重合性モノマーの含有量は、樹脂１００質量部に対して１〜３００質量部であることが好ましい。上限は、２００質量部以下であることが好ましく、１５０質量部以下であることがより好ましく、１００質量部以下であることが更に好ましい。下限は、５質量部以上であることが好ましく、１０質量部以上であることがより好ましい。
【０１１５】
また、重合性モノマーの含有量は、光重合開始剤１００質量部に対して１０〜２０００質量部であることが好ましい。上限は、１８００質量部以下であることが好ましく、１５００質量部以下であることがより好ましい。下限は、３０質量部以上であることが好ましく、５０質量部以上であることがより好ましい。
【０１１６】
＜＜光重合開始剤＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は光重合開始剤を含有する。光重合開始剤は、光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル化合物、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物、フェニルグリオキシレート化合物などが挙げられる。光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開２０１３−２９７６０号公報の段落番号０２６５〜０２６８の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１１７】
α−ヒドロキシケトン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。α−アミノケトン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９、及び、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９ＥＧ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９、ＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。
【０１１８】
オキシム化合物としては、特開２００１−２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１６５３−１６６０）に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１５６−１６２）に記載の化合物、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２−２３２）に記載の化合物、特開２０００−６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報に記載の化合物、特表２００４−５３４７９７号公報に記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報に記載の化合物、特開２０１７−１９７６６号公報に記載の化合物、特許第６０６５５９６号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１５／１５２１５３号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１７／０５１６８０号公報に記載の化合物、特開２０１７−１９８８６５号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１７／１６４１２７号公報の段落番号００２５〜００３８に記載の化合物などが挙げられる。オキシム化合物の具体例としては、３−ベンゾイルオキシイミノブタン−２−オン、３−アセトキシイミノブタン−２−オン、３−プロピオニルオキシイミノブタン−２−オン、２−アセトキシイミノペンタン−３−オン、２−アセトキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、２−ベンゾイルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、３−（４−トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン−２−オン、及び２−エトキシカルボニルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オンなどが挙げられる。市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ−ＰＢＧ−３０４（常州強力電子新材料有限公司製）、アデカオプトマーＮ−１９１９（（株）ＡＤＥＫＡ製、特開２０１２−１４０５２号公報に記載の光重合開始剤２）が挙げられる。また、オキシム化合物としては、着色性が無い化合物や、透明性が高く変色し難い化合物を用いることも好ましい。市販品としては、アデカアークルズＮＣＩ−７３０、ＮＣＩ−８３１、ＮＣＩ−９３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。
【０１１９】
オキシム化合物は、フッ素原子を有するオキシム化合物であることが好ましい。フッ素原子を含むオキシム化合物は、フッ素原子を含む基を有することが好ましい。フッ素原子を含む基は、フッ素原子を有するアルキル基（以下、含フッ素アルキル基ともいう）、および、フッ素原子を有するアルキル基を含む基（以下、含フッ素基ともいう）が好ましい。含フッ素基としては、−ＯＲＦ１、−ＳＲＦ１、−ＣＯＲＦ１、−ＣＯＯＲＦ１、−ＯＣＯＲＦ１、−ＮＲＦ１ＲＦ２、−ＮＨＣＯＲＦ１、−ＣＯＮＲＦ１ＲＦ２、−ＮＨＣＯＮＲＦ１ＲＦ２、−ＮＨＣＯＯＲＦ１、−ＳＯ２ＲＦ１、−ＳＯ２ＯＲＦ１および−ＮＨＳＯ２ＲＦ１から選ばれる少なくとも１種の基が好ましい。ＲＦ１は、含フッ素アルキル基を表し、ＲＦ２は、水素原子、アルキル基、含フッ素アルキル基、アリール基またはヘテロ環基を表す。含フッ素基は、−ＯＲＦ１が好ましい。
【０１２０】
アルキル基および含フッ素アルキル基の炭素数は、１〜２０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜１０が更に好ましく、１〜４が特に好ましい。アルキル基および含フッ素アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。含フッ素アルキル基において、フッ素原子の置換率は４０〜１００％であることが好ましく、５０〜１００％であることがより好ましく、６０〜１００％であることがさらに好ましい。なお、フッ素原子の置換率とは、アルキル基が有する全水素原子の数に対してフッ素原子に置換されている数の比率（％）をいう。
【０１２１】
アリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。
【０１２２】
ヘテロ環基は、５員環または６員環が好ましい。ヘテロ環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。縮合数は、２〜８が好ましく、２〜６がより好ましく、３〜５が更に好ましく、３〜４が特に好ましい。ヘテロ環基を構成する炭素原子の数は３〜４０が好ましく、３〜３０がより好ましく、３〜２０がより好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子の数は１〜３が好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましく、窒素原子がより好ましい。
【０１２３】
フッ素原子を含む基は、式（１）または（２）で表される末端構造を有することが好ましい。式中の＊は、連結手を表す。
＊−ＣＨＦ２      （１）
＊−ＣＦ３      （２）
【０１２４】
フッ素原子を含むオキシム化合物中の全フッ素原子数は３以上が好ましく、４〜１０がより好ましい。
【０１２５】
フッ素原子を含むオキシム化合物は、式（ＯＸ−１）で表される化合物が好ましい。
（ＯＸ−１）
【化１５】
2020066438.tif 000017
式（ＯＸ−１）において、ＡｒＸ１およびＡｒＸ２は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環を表し、ＲＸ１は、フッ素原子を含む基を有するアリール基を表し、ＲＸ２およびＲＸ３は、それぞれ独立に、アルキル基またはアリール基を表す。
【０１２６】
ＡｒＸ１およびＡｒＸ２は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環を表す。芳香族炭化水素環は、単環でもよく、縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環の環を構成する炭素原子数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が特に好ましい。芳香族炭化水素環は、ベンゼン環およびナフタレン環が好ましい。なかでも、ＡｒＸ１およびＡｒＸ２の少なくとも一方がベンゼン環であることが好ましく、ＡｒＸ１がベンゼン環であることがより好ましい。ＡｒＸ２は、ベンゼン環またはナフタレン環が好ましく、ナフタレン環がより好ましい。
【０１２７】
ＡｒＸ１およびＡｒＸ２が有してもよい置換基としては、アルキル基、アリール基、ヘテロ環基、ニトロ基、シアノ基、ハロゲン原子、−ＯＲＸ１１、−ＳＲＸ１１、−ＣＯＲＸ１１、−ＣＯＯＲＸ１１、−ＯＣＯＲＸ１１、−ＮＲＸ１１ＲＸ１２、−ＮＨＣＯＲＸ１１、−ＣＯＮＲＸ１１ＲＸ１２、−ＮＨＣＯＮＲＸ１１ＲＸ１２、−ＮＨＣＯＯＲＸ１１、−ＳＯ２ＲＸ１１、−ＳＯ２ＯＲＸ１１、−ＮＨＳＯ２ＲＸ１１などが挙げられる。ＲＸ１１およびＲＸ１２は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基またはヘテロ環基を表す。
ハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などが挙げられ、フッ素原子が好ましい。置換基としてのアルキル基、ならびに、ＲＸ１１およびＲＸ１２が表すアルキル基の炭素数は、１〜３０が好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。アルキル基は、水素原子の一部または全部がハロゲン原子（好ましくは、フッ素原子）で置換されていてもよい。また、アルキル基は、水素原子の一部または全部が、上記置換基で置換されていてもよい。置換基としてのアリール基、ならびに、ＲＸ１１およびＲＸ１２が表すアリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。また、アリール基は、水素原子の一部または全部が、上記置換基で置換されていてもよい。置換基としてのヘテロ環基、ならびに、ＲＸ１１およびＲＸ１２が表すヘテロ環基は、５員環または６員環が好ましい。ヘテロ環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。ヘテロ環基を構成する炭素原子の数は３〜３０が好ましく、３〜１８がより好ましく、３〜１２がより好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子の数は１〜３が好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。また、ヘテロ環基は、水素原子の一部または全部が、上記置換基で置換されていてもよい。
【０１２８】
ＡｒＸ１が表す芳香族炭化水素環は、無置換が好ましい。ＡｒＸ２が表す芳香族炭化水素環は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基を有していることが好ましい。置換基としては、−ＣＯＲＸ１１が好ましい。ＲＸ１１は、アルキル基、アリール基またはヘテロ環基が好ましく、アリール基がより好ましい。アリール基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、炭素数１〜１０のアルキル基などが挙げられる。
【０１２９】
ＲＸ１は、フッ素原子を含む基を有するアリール基を表す。アリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。フッ素原子を含む基は、フッ素原子を有するアルキル基（含フッ素アルキル基）およびフッ素原子を有するアルキル基を含む基（含フッ素基）が好ましい。フッ素原子を含む基については、上述した範囲と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【０１３０】
ＲＸ２は、アルキル基またはアリール基を表し、アルキル基が好ましい。アルキル基およびアリール基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述したＡｒＸ１およびＡｒＸ２が有してもよい置換基で説明した置換基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、１〜２０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜１０が更に好ましく、１〜４が特に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。アリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。
【０１３１】
ＲＸ３は、アルキル基またはアリール基を表し、アルキル基が好ましい。アルキル基およびアリール基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述したＡｒＸ１およびＡｒＸ２が有してもよい置換基で説明した置換基が挙げられる。ＲＸ３が表すアルキル基の炭素数は、１〜２０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜１０が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。ＲＸ３が表すアリール基の炭素数は、６〜２０が好ましく、６〜１５がより好ましく、６〜１０が更に好ましい。
【０１３２】
フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０−２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４−５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６〜４０、特開２０１３−１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ−３）などが挙げられる。
【０１３３】
また、オキシム化合物は、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４−１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３４】
また、オキシム化合物は、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／０３６９１０号公報に記載の化合物ＯＥ−０１〜ＯＥ−７５が挙げられる。
【０１３５】
また、オキシム化合物は、カルバゾール環の少なくとも１つのベンゼン環がナフタレン環となった骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。そのようなオキシム化合物の具体例としては、国際公開ＷＯ２０１３／０８３５０５号公報に記載の化合物が挙げられる。
【０１３６】
また、オキシム化合物は、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３−１１４２４９号公報の段落番号００３１〜００４７、特開２０１４−１３７４６６号公報の段落番号０００８〜００１２、００７０〜００７９に記載の化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７〜００２５に記載の化合物、アデカアークルズＮＣＩ−８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。
【０１３７】
オキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１３８】
【化１６】
2020066438.tif 000018
【化１７】
2020066438.tif 000019
【０１３９】
本発明においては、光重合開始剤として、２官能あるいは３官能以上の光重合開始剤を用いてもよい。２官能あるいは３官能以上の光重合開始剤の具体例としては、特表２０１０−５２７３３９号公報、特表２０１１−５２４４３６号公報、国際公開ＷＯ２０１５／００４５６５号公報、特表２０１６−５３２６７５号公報の段落番号０４１７〜０４１２、国際公開ＷＯ２０１７／０３３６８０号公報の段落番号００３９〜００５５に記載されているオキシム化合物の２量体、特表２０１３−５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開ＷＯ２０１６／０３４９６３号公報に記載されているＣｍｐｄ１〜７、特表２０１７−５２３４６５号公報の段落番号０００７に記載されているオキシムエステル類光開始剤、特開２０１７−１６７３９９号公報の段落番号００２０〜００３３に記載されている光開始剤、特開２０１７−１５１３４２号公報の段落番号００１７〜００２６に記載されている光重合開始剤（Ａ）などが挙げられる。
【０１４０】
本発明では、光重合開始剤として、メタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数が８×１０３ｍＬ／ｇｃｍ以上である光重合開始剤ａ１（以下、光重合開始剤ａ１ともいう）を用いる。光重合開始剤ａ１としては、上述した化合物から上記の吸光係数を有する化合物を選択して用いることができる。
【０１４１】
なお、本発明において、光重合開始剤の上記波長における吸光係数は、以下のようにして測定した値である。すなわち、光重合開始剤をメタノールに溶解させて測定溶液を調製し、前述の測定溶液の吸光度を測定することで算出した。具体的には、前述の測定溶液を幅１ｃｍのガラスセルに入れ、Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製ＵＶ−Ｖｉｓ−ＮＩＲスペクトルメーター（Ｃａｒｙ５０００）を用いて吸光度を測定し、下記式に当てはめて、波長３６５ｎｍおよび波長２５４ｎｍにおける吸光係数（ｍＬ／ｇｃｍ）を算出した。
【数１】
2020066438.tif 000020
上記式においてεは吸光係数（ｍＬ／ｇｃｍ）、Ａは吸光度、ｃは光重合開始剤の濃度（ｇ／ｍＬ）、ｌは光路長（ｃｍ）を表す。
【０１４２】
光重合開始剤ａ１のメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数は、１．０×１０４ｍＬ／ｇｃｍ以上であることが好ましく、１．１×１０４ｍＬ／ｇｃｍ以上であることがより好ましく、１．２×１０４〜１．０×１０５ｍＬ／ｇｃｍであることが更に好ましく、１．３×１０４〜５．０×１０４ｍＬ／ｇｃｍであることがより一層好ましく、１．５×１０４〜３．０×１０４ｍＬ／ｇｃｍであることが特に好ましい。
【０１４３】
光重合開始剤ａ１としては、オキシム化合物、アミノアセトフェノン化合物、アシルホスフィン化合物が好ましく、オキシム化合物およびアシルホスフィン化合物がより好ましく、オキシム化合物が更に好ましい。また、オキシム化合物としては、モル吸光係数および分解収率が高く充分な感度を有し、また、適度に疏水的であり、得られる膜の耐湿性を向上させることができるという理由からフッ素原子を含むオキシム化合物およびベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物であることがより好ましい。光重合開始剤ａ１としてフッ素原子を含むオキシム化合物を用いた場合は特に疏水的であり、得られる膜の耐湿性をより向上させることができる。また、光重合開始剤ａ１としてベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いた場合は分解収率が高く充分な感度を有するという効果が得られる。
【０１４４】
光重合開始剤ａ１の具体例としては、上記のオキシム化合物の具体例で示した（Ｃ−１３）、（Ｃ−１５）などが挙げられる。光重合開始剤ａ１は１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１４５】
本発明では、光重合開始剤として、上述した光重合開始剤ａ１と、メタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数が８×１０３ｍＬ／ｇｃｍ未満である光重合開始剤ａ２（以下、光重合開始剤ａ２ともいう）を併用することも好ましい。光重合開始剤ａ１と光重合開始剤ａ２とを併用することで、支持体との密着性が良好で、形状の良いパターン（画素）を形成することができる。光重合開始剤ａ２としては、上述した化合物から上記の吸光係数を有する化合物を選択して用いることができる。
【０１４６】
光重合開始剤ａ２としては、オキシム化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物、フェニルグリオキシレート化合物、アミノアセトフェノン化合物、アシルホスフィン化合物が好ましく、オキシム化合物、ヒドロキシアセトフェノン化合物およびフェニルグリオキシレート化合物がより好ましく、オキシム化合物が更に好ましい。光重合開始剤ａ２の具体例としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９、及び、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９ＥＧ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。
【０１４７】
光重合開始剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分中の０．１〜３０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は、２０質量％以下が好ましく、１５質量％以下がより好ましい。
【０１４８】
本発明の着色感光性樹脂組成物が上述した光重合開始剤ａ２を含む場合、光重合開始剤ａ２の含有量は、光重合開始剤ａ１の１００質量部に対して１０〜１０００質量部であることが好ましい。上限は、５００質量部以下であることが好ましく、３００質量部以下であることがより好ましい。下限は、２０質量部以上であることが好ましく、３０質量部以上であることがより好ましい。
【０１４９】
＜＜溶剤＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は溶剤を含有する。溶剤としては有機溶剤が好ましく用いられる。有機溶剤としては、各成分の溶解性や着色感光性樹脂組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開ＷＯ２０１５／１６６７７９号公報の段落番号０２２３を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤を好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジクロロメタン、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロパンアミド、３−ブトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロパンアミドなどが挙げられる。ただし有機溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｏｎ）以下とすることもでき、１０質量ｐｐｍ以下とすることもでき、１質量ｐｐｍ以下とすることもできる）。
【０１５０】
本発明においては、金属含有量の少ない有機溶剤を用いることが好ましく、有機溶剤の金属含有量は、例えば１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルの有機溶剤を用いてもよく、そのような有機溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。有機溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、蒸留（分子蒸留や薄膜蒸留等）やフィルタを用いたろ過を挙げることができる。ろ過に用いるフィルタのフィルタ孔径としては、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましく、３μｍ以下が更に好ましい。フィルタの材質は、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンまたはナイロンが好ましい。
【０１５１】
着色感光性樹脂組成物中における溶剤の含有量は、１０〜９５質量％であることが好ましく、２０〜９０質量％であることがより好ましく、３０〜９０質量％であることが更に好ましい。
【０１５２】
＜＜エポキシ基を有する化合物＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、エポキシ基を有する化合物を含有することができる（以下、更にエポキシ化合物ともいう）。エポキシ化合物としては、１分子内にエポキシ基を１つ以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を２つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ化合物は、エポキシ基を１分子内に１〜１００個有することが好ましい。エポキシ基の数の上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。エポキシ基の数の下限は、２個以上が好ましい。エポキシ化合物としては、特開２０１３−０１１８６９号公報の段落番号００３４〜００３６、特開２０１４−０４３５５６号公報の段落番号０１４７〜０１５６、特開２０１４−０８９４０８号公報の段落番号００８５〜００９２に記載された化合物、特開２０１７−１７９１７２号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
【０１５３】
エポキシ化合物は、低分子化合物（例えば、分子量２０００未満、さらには、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）のいずれでもよい。エポキシ化合物の重量平均分子量は、２００〜１０００００が好ましく、５００〜５００００がより好ましい。重量平均分子量の上限は、１００００以下が好ましく、５０００以下がより好ましく、３０００以下が更に好ましい。
【０１５４】
エポキシ化合物の市販品としては、例えば、ＥＨＰＥ３１５０（（株）ダイセル製）、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９５（ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。
【０１５５】
本発明の着色感光性樹脂組成物がエポキシ化合物を含有する場合、着色感光性樹脂組成物の全固形分中におけるエポキシ化合物の含有量は、０．１〜２０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は、例えば、１５質量％以下が好ましく、１０質量％以下が更に好ましい。着色感光性樹脂組成物に含まれるエポキシ化合物は１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１５６】
＜＜シランカップリング剤＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。この態様によれば、得られる膜の支持体との密着性をより向上させることができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、（メタ）アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、特開２００９−２８８７０３号公報の段落番号００１８〜００３６に記載の化合物、特開２００９−２４２６０４号公報の段落番号００５６〜００６６に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１５７】
着色感光性樹脂組成物の全固形分中におけるシランカップリング剤の含有量は、０．１〜５質量％が好ましい。上限は、３質量％以下が好ましく、２質量％以下がより好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。シランカップリング剤は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１５８】
＜＜硬化促進剤＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、重合性モノマーの反応を促進させたり、硬化温度を下げる目的で、硬化促進剤を添加してもよい。硬化促進剤は、メチロール系化合物（例えば特開２０１５−３４９６３号公報の段落番号０２４６において、架橋剤として例示されている化合物）、アミン類、ホスホニウム塩、アミジン塩、アミド化合物（以上、例えば特開２０１３−４１１６５号公報の段落番号０１８６に記載の硬化剤）、塩基発生剤（例えば、特開２０１４−５５１１４号公報に記載のイオン性化合物）、シアネート化合物（例えば、特開２０１２−１５０１８０号公報の段落番号００７１に記載の化合物）、アルコキシシラン化合物（例えば、特開２０１１−２５３０５４号公報に記載のエポキシ基を有するアルコキシシラン化合物）、オニウム塩化合物（例えば、特開２０１５−３４９６３号公報の段落番号０２１６に酸発生剤として例示されている化合物、特開２００９−１８０９４９号公報に記載の化合物）などを用いることもできる。本発明の着色感光性樹脂組成物が硬化促進剤を含有する場合、硬化促進剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分中０．３〜８．９質量％が好ましく、０．８〜６．４質量％がより好ましい。
【０１５９】
＜＜重合禁止剤＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）が挙げられる。中でも、ｐ−メトキシフェノールが好ましい。着色感光性樹脂組成物の全固形分中における重合禁止剤の含有量は、０．０００１〜５質量％が好ましい。
【０１６０】
＜＜界面活性剤＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開ＷＯ２０１５／１６６７７９号公報の段落番号０２３８〜０２４５を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。本発明において、界面活性剤はフッ素系界面活性剤であることが好ましい。着色感光性樹脂組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性（特に、流動性）がより向上し、省液性をより改善することができる。また、厚みムラの小さい膜を形成することもできる。フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、着色感光性樹脂組成物中における溶解性も良好である。
【０１６１】
フッ素系界面活性剤としては、特開２０１４−４１３１８号公報の段落番号００６０〜００６４（対応する国際公開２０１４／１７６６９号公報の段落番号００６０〜００６４）等に記載の界面活性剤、特開２０１１−１３２５０３号公報の段落番号０１１７〜０１３２に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ−３３０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ−１０１、ＳＣ−１０３、ＳＣ−１０４、ＳＣ−１０５、ＳＣ−１０６８、ＳＣ−３８１、ＳＣ−３８３、Ｓ−３９３、ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ  ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。
【０１６２】
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤は、特開２０１６−２１６６０２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１６３】
フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開２０１１−８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。
【化１８】
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上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３０００〜５００００であり、例えば、１４０００である。上記の化合物中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【０１６４】
また、フッ素系界面活性剤は、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０−１６４９６５号公報の段落番号００５０〜００９０および段落番号０２８９〜０２９５に記載された化合物、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ−１０１、ＲＳ−１０２、ＲＳ−７１８Ｋ、ＲＳ−７２−Ｋ等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５−１１７３２７号公報の段落番号００１５〜０１５８に記載の化合物を用いることもできる。
【０１６５】
着色感光性樹脂組成物の全固形分中における界面活性剤の含有量は、０．００１質量％〜５．０質量％が好ましく、０．００５〜３．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１６６】
＜＜紫外線吸収剤＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開２０１２−２０８３７４号公報の段落番号００５２〜００７２、特開２０１３−６８８１４号公報の段落番号０３１７〜０３３４、特開２０１６−１６２９４６号公報の段落番号００６１〜００８０の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ−５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としては、ミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）が挙げられる。また、紫外線吸収剤は、特許第６２６８９６７号公報の段落番号００４９〜００５９に記載された化合物を用いることもできる。着色感光性樹脂組成物の全固形分中における紫外線吸収剤の含有量は、０．０１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜５質量％がより好ましい。本発明において、紫外線吸収剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１６７】
＜＜酸化防止剤＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性ヒドロキシ基に隣接する部位（オルト位）に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数１〜２２の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。着色感光性樹脂組成物の全固形分中における酸化防止剤の含有量は、０．０１〜２０質量％であることが好ましく、０．３〜１５質量％であることがより好ましい。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１６８】
＜＜その他成分＞＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類（例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など）を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開２０１２−００３２２５号公報の段落番号０１８３以降（対応する米国特許出願公開第２０１３／００３４８１２号明細書の段落番号０２３７）の記載、特開２００８−２５００７４号公報の段落番号０１０１〜０１０４、０１０７〜０１０９等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、１００〜２５０℃で加熱するか、又は酸／塩基触媒存在下で８０〜２００℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開ＷＯ２０１４／０２１０２３号公報、国際公開ＷＯ２０１７／０３０００５号公報、特開２０１７−００８２１９号公報に記載された化合物が挙げられる。
市販品としては、アデカアークルズＧＰＡ−５００１（（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、耐光性改良剤を含んでもよい。
【０１６９】
本発明の着色感光性樹脂組成物の含水率は、通常３質量％以下であり、０．０１〜１．５質量％が好ましく、０．１〜１．０質量％の範囲であることがより好ましい。含水率は、カールフィッシャー法にて測定することができる。
【０１７０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、膜面状（平坦性など）の調整、膜厚の調整などを目的として粘度を調整して用いることができる。粘度の値は必要に応じて適宜選択することができるが、例えば、２５℃において０．３ｍＰａ・ｓ〜５０ｍＰａ・ｓが好ましく、０．５ｍＰａ・ｓ〜２０ｍＰａ・ｓがより好ましい。粘度の測定方法としては、例えば、東機産業製  粘度計  ＲＥ８５Ｌ（ローター：１°３４’×Ｒ２４、測定範囲０．６〜１２００ｍＰａ・ｓ）を使用し、２５℃に温度調整を施した状態で測定することができる。
【０１７１】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルタにおける着色画素の形成用の着色感光性樹脂組成物として好ましく用いることができる。着色画素としては、例えば、赤色画素、緑色画素、青色画素、マゼンタ色画素、シアン色画素、イエロー色画素などが挙げられる。赤色画素、緑色画素または青色画素形成用の着色感光性樹脂組成物としてより好ましく用いることができ、赤色画素形成用の着色感光性樹脂組成物または緑色画素形成用の着色感光性樹脂組成物として更に好ましく用いることができる。
【０１７２】
本発明の着色感光性樹脂組成物を液晶表示装置用途のカラーフィルタとして用いる場合、カラーフィルタを備えた液晶表示素子の電圧保持率は、７０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。高い電圧保持率を得るための公知の手段を適宜組み込むことができ、典型的な手段としては純度の高い素材の使用（例えばイオン性不純物の低減）や、組成物中の酸性官能基量の制御が挙げられる。電圧保持率は、例えば特開２０１１−００８００４号公報の段落０２４３、特開２０１２−２２４８４７号公報の段落０１２３〜０１２９に記載の方法等で測定することができる。
【０１７３】
本発明の着色感光性樹脂組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５−１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。
【０１７４】
＜着色感光性樹脂組成物の調製方法＞
本発明の着色感光性樹脂組成物は、前述の成分を混合して調製できる。着色感光性樹脂組成物の調製に際しては、全成分を同時に有機溶剤に溶解および／または分散して着色感光性樹脂組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して着色感光性樹脂組成物を調製してもよい。
【０１７５】
また、着色感光性樹脂組成物の調製に際して、顔料を分散させるプロセスを含むことが好ましい。顔料を分散させるプロセスにおいて、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、顔料を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際  総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５−１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また顔料を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５−１９４５２１号公報、特開２０１２−０４６６２９号公報の記載を参酌できる。
【０１７６】
着色感光性樹脂組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、着色感光性樹脂組成物をフィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン−６、ナイロン−６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。
【０１７７】
フィルタの孔径は、０．０１〜７．０μｍが好ましく、０．０１〜３．０μｍがより好ましく、０．０５〜０．５μｍが更に好ましい。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物をより確実に除去できる。フィルタの孔径値については、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。フィルタは、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＩＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）および株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタを用いることができる。
【０１７８】
また、フィルタとしてファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。市販品としては、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）が挙げられる。
【０１７９】
フィルタを使用する際、異なるフィルタ（例えば、第１のフィルタと第２のフィルタなど）を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。
【０１８０】
＜膜＞
本発明の膜は、上述した本発明の着色感光性樹脂組成物から得られる膜である。本発明の膜は、カラーフィルタの着色画素として好ましく用いることができる。着色画素としては、赤色画素、緑色画素、青色画素、マゼンタ色画素、シアン色画素、イエロー色画素などが挙げられ、赤色画素、緑色画素および青色画素が好ましく、緑色画素および赤色画素がより好ましく、緑色画素が更に好ましい。本発明の膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上がさらに好ましい。
【０１８１】
＜カラーフィルタ＞
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の膜を有する。より好ましくは、カラーフィルタの画素として、本発明の膜を有する。本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や画像表示装置などに用いることができる。
【０１８２】
本発明のカラーフィルタにおいて本発明の膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上が更に好ましい。
【０１８３】
本発明のカラーフィルタは、画素の幅が０．５〜２０．０μｍであることが好ましい。下限は、１．０μｍ以上であることが好ましく、２．０μｍ以上であることがより好ましい。上限は、１５．０μｍ以下であることが好ましく、１０．０μｍ以下であることがより好ましい。また、画素のヤング率が０．５〜２０ＧＰａであることが好ましく、２．５〜１５ＧＰａがより好ましい。
【０１８４】
本発明のカラーフィルタに含まれる各画素は高い平坦性を有することが好ましい。具体的には、画素の表面粗さＲａは、１００ｎｍ以下であることが好ましく、４０ｎｍ以下であることがより好ましく、１５ｎｍ以下であることが更に好ましい。下限は規定されないが、例えば０．１ｎｍ以上であることが好ましい。画素の表面粗さは、例えばＶｅｅｃｏ社製のＡＦＭ（原子間力顕微鏡）  Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３１００を用いて測定することができる。また、画素上の水の接触角は適宜好ましい値に設定することができるが、典型的には、５０〜１１０°の範囲である。接触角は、例えば接触角計ＣＶ−ＤＴ・Ａ型（協和界面科学（株）製）を用いて測定できる。また、画素の体積抵抗値は高いことが好ましい。具体的には、画素の体積抵抗値は１０９Ω・ｃｍ以上であることが好ましく、１０１１Ω・ｃｍ以上であることがより好ましい。上限は規定されないが、例えば１０１４Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。画素の体積抵抗値は、例えば超高抵抗計５４１０（アドバンテスト社製）を用いて測定することができる。
【０１８５】
また、本発明のカラーフィルタは、本発明の膜の表面に保護層を設けてもよい。保護層を設けることで、酸素遮断化、低反射化、親疎水化、特定波長の光（紫外線、近赤外線等）の遮蔽等の種々の機能を付与することができる。保護層の厚さとしては、０．０１〜１０μｍが好ましく、０．１〜５μｍがさらに好ましい。保護層の形成方法としては、有機溶剤に溶解した樹脂組成物を塗布して形成する方法、化学気相蒸着法、成型した樹脂を接着材で貼りつける方法等が挙げられる。保護層を構成する成分としては、（メタ）アクリル樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、ポリオール樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、アラミド樹脂、ポリアミド樹脂、アルキド樹脂、エポキシ樹脂、変性シリコーン樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、セルロース樹脂、Ｓｉ、Ｃ、Ｗ、Ａｌ２Ｏ３、Ｍｏ、ＳｉＯ２、Ｓｉ２Ｎ４などが挙げられ、これらの成分を二種以上含有しても良い。例えば、酸素遮断化を目的とした保護層の場合、保護層はポリオール樹脂、ＳｉＯ２、Ｓｉ２Ｎ４を含むことが好ましい。また、低反射化を目的とした保護層の場合、保護層は（メタ）アクリル樹脂、フッ素樹脂を含むことが好ましい。
【０１８６】
樹脂組成物を塗布して保護層を形成する場合、樹脂組成物の塗布方法としては、スピンコート法、キャスト法、スクリーン印刷法、インクジェット法等の公知の方法を用いることができる。樹脂組成物に含まれる有機溶剤は、公知の有機溶剤（例えば、プロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート、シクロペンタノン、乳酸エチル等）を用いることが出来る。保護層を化学気相蒸着法にて形成する場合、化学気相蒸着法としては、公知の化学気相蒸着法（熱化学気相蒸着法、プラズマ化学気相蒸着法、光化学気相蒸着法）を用いることができる。
【０１８７】
保護層は、必要に応じて、有機・無機微粒子、特定波長の光（例えば、紫外線、近赤外線等）の吸収剤、屈折率調整剤、酸化防止剤、密着剤、界面活性剤等の添加剤を含有しても良い。有機・無機微粒子の例としては、例えば、高分子微粒子（例えば、シリコーン樹脂微粒子、ポリスチレン微粒子、メラミン樹脂微粒子）、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化インジウム、酸化アルミニウム、窒化チタン、酸窒化チタン、フッ化マグネシウム、中空シリカ、シリカ、炭酸カルシウム、硫酸バリウム等が挙げられる。特定波長の光の吸収剤は公知の吸収剤を用いることができる。紫外線吸収剤および近赤外線吸収剤としては、上述した素材が挙げられる。これらの添加剤の含有量は適宜調整できるが、保護層の全重量に対して０．１〜７０質量％が好ましく、１〜６０質量％がさらに好ましい。
【０１８８】
また、保護層としては、特開２０１７−１５１１７６号公報の段落番号００７３〜００９２に記載の保護層を用いることもできる。
【０１８９】
カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素よりも低屈折率であることが好ましい。また、ＵＳ２０１８／００４０６５６号公報に記載の構成で隔壁を形成しても良い。
【０１９０】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法について説明する。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて支持体上に着色感光性樹脂組成物層を形成する工程と、フォトリソグラフィ法により着色感光性樹脂組成物層に対してパターンを形成する工程と、を経て製造できる。
【０１９１】
フォトリソグラフィ法によるパターン形成は、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて支持体上に着色感光性樹脂組成物層を形成する工程と、着色感光性樹脂組成物層をパターン状に露光する工程と、着色感光性樹脂組成物層の未露光部を現像除去してパターン（画素）を形成する工程と、を含むことが好ましい。必要に応じて、着色感光性樹脂組成物層をベークする工程（プリベーク工程）、および、現像されたパターン（画素）をベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。
【０１９２】
着色感光性樹脂組成物層を形成する工程では、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて、支持体上に着色感光性樹脂組成物層を形成する。支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、シリコン基板などが挙げられ、シリコン基板であることが好ましい。また、シリコン基板には、電荷結合素子（ＣＣＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、シリコン基板には、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。また、シリコン基板には、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。
【０１９３】
着色感光性樹脂組成物の塗布方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法（ドロップキャスト）；スリットコート法；スプレー法；ロールコート法；回転塗布法（スピンコーティング）；流延塗布法；スリットアンドスピン法；プリウェット法（たとえば、特開２００９−１４５３９５号公報に記載されている方法）；インクジェット（例えばオンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式）、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法；金型等を用いた転写法；ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット−特許に見る無限の可能性−、２００５年２月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法（特に１１５ページ〜１３３ページ）や、特開２００３−２６２７１６号公報、特開２００３−１８５８３１号公報、特開２００３−２６１８２７号公報、特開２０１２−１２６８３０号公報、特開２００６−１６９３２５号公報などに記載の方法が挙げられる。また、着色感光性樹脂組成物の塗布方法については、国際公開ＷＯ２０１７／０３０１７４号公報、国際公開ＷＯ２０１７／０１８４１９号公報の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１９４】
支持体上に形成した着色感光性樹脂組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。低温プロセスにより膜を製造する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０〜３０００秒が好ましく、４０〜２５００秒がより好ましく、８０〜２２００秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
【０１９５】
次に、着色感光性樹脂組成物層をパターン状に露光する（露光工程）。例えば、着色感光性樹脂組成物層に対し、ステッパー露光機やスキャナ露光機などを用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
【０１９６】
露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等が挙げられる。また、波長３００ｎｍ以下の光（好ましくは波長１８０〜３００ｎｍの光）を用いることもできる。波長３００ｎｍ以下の光としては、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦ線（波長１９３ｎｍ）などが挙げられ、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）が好ましい。また、３００ｎｍ以上の長波な光源も利用できる。
【０１９７】
照射量（露光量）は、例えば、０．０３〜２．５Ｊ／ｃｍ２が好ましく、０．０５〜１．０Ｊ／ｃｍ２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、または、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、または、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ２〜１０００００Ｗ／ｍ２（例えば、５０００Ｗ／ｍ２、１５０００Ｗ／ｍ２、または、３５０００Ｗ／ｍ２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ２などとすることができる。
【０１９８】
次に、着色感光性樹脂組成物層の未露光部を現像除去してパターン（画素）を形成する。着色感光性樹脂組成物層の未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の着色感光性樹脂組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。現像液の温度は、例えば、２０〜３０℃が好ましい。現像時間は、２０〜１８０秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
【０１９９】
現像液は、有機溶剤、アルカリ現像液などが挙げられる。アルカリ現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液であることが好ましい。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ剤は、分子量が大きい化合物の方が環境面および安全面で好ましい。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜１質量％がより好ましい。また、現像液は、さらに界面活性剤を含有していてもよい。界面活性剤としては、上述した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５〜１００倍の範囲に設定することができる。また、現像後純水で洗浄（リンス）することも好ましい。また、リンスは、現像後の着色感光性樹脂組成物層が形成された支持体を回転させつつ、現像後の着色感光性樹脂組成物層へリンス液を供給して行うことが好ましい。また、リンス液を吐出させるノズルを支持体の中心部から支持体の周縁部に移動させて行うことも好ましい。この際、ノズルの支持体中心部から周縁部へ移動させるにあたり、ノズルの移動速度を徐々に低下させながら移動させてもよい。このようにしてリンスを行うことで、リンスの面内ばらつきを抑制できる。また、ノズルを支持体中心部から周縁部へ移動させつつ、支持体の回転速度を徐々に低下させても同様の効果が得られる。
【０２００】
現像後、乾燥を施した後に追加露光処理や加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。追加露光処理やポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の硬化処理である。ポストベークにおける加熱温度は、例えば１００〜２４０℃が好ましく、２００〜２４０℃がより好ましい。ポストベークは、現像後の膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。追加露光処理を行う場合、露光に用いられる光は、波長４００ｎｍ以下の光であることが好ましい。また、追加露光処理は、ＫＲ１０２０１７０１２２１３０Ａに記載の方法で行ってもよい。
【０２０１】
＜構造体＞
次に、本発明の構造体について、図面を用いて説明する。図１は、本発明の構造体の一実施形態を示す側断面図であり、図２は、同構造体における支持体の真上方向からみた平面図である。
図１、２に示すように、本発明の構造体１００は、支持体１と、支持体１上に設けられた隔壁２と、支持体１上であって、隔壁２で区画された領域に設けられた着色層４と、を有する。この着色層４の少なくとも１種（１色）は上述した本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて得られるものである。
【０２０２】
本発明の構造体において、支持体１の種類としては特に限定はない。固体撮像素子などの各種電子デバイスなどで使用されている基板（シリコンウエハ、炭化ケイ素ウエハ、窒化ケイ素ウエハ、サファイアウエハ、ガラスウエハなど）を用いることができる。また、フォトダイオードが形成された固体撮像素子用基板などを用いることもできる。また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止あるいは表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。
【０２０３】
図１に示すように、支持体１１０上には隔壁２が形成されている。この実施形態においては、図２に示すように、隔壁２は、支持体１の真上方向から見た平面図において、格子状に形成されている。なお、この実施形態では、支持体１１０上における隔壁２によって区画された領域の形状（以下、隔壁の開口部の形状ともいう）は正方形状をなしているが、隔壁の開口部の形状は、特に限定されず、例えば、長方形状、円形状、楕円形状、または、多角形状等であっても良い。
【０２０４】
隔壁２の材質としては、特に限定はないが、着色層４よりも屈折率の小さい材料で形成されていることが好ましい。この態様によれば、屈折率の大きい着色層４が、屈折率の小さい隔壁２で取り囲まれた構造体とすることができる。このようにすることで、屈折率の大きい着色層４から漏れ出そうとする光が、隔壁２によって反射されて着色層４へ戻されやすくなり、隣の着色層４への光の漏れ出しを抑制することができる。隔壁２の材質の具体例としては、種々の無機材料や有機材料を用いることができる。例えば、有機材料としては、アクリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリイミド系樹脂、有機ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）系樹脂などが挙げられる。無機材料としては、多孔質シリカ、多結晶シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン、タングステンやアルミニウムなどの金属材料などが挙げられる。
【０２０５】
隔壁２の幅Ｗ１は、２０〜５００ｎｍであることが好ましい。下限は、３０ｎｍ以上であることが好ましく、４０ｎｍ以上であることがより好ましく、５０ｎｍ以上であることが更に好ましい。上限は、３００ｎｍ以下であることが好ましく、２００ｎｍ以下であることがより好ましく、１００ｎｍ以下であることが更に好ましい。
また、隔壁２の高さＨ１は、２００ｎｍ以上であることが好ましく、３００ｎｍ以上であることがより好ましく、４００ｎｍ以上であることが更に好ましい。上限は、着色層４の厚さ×２００％以下であることが好ましく、着色層４の厚さ×１５０％以下であることがより好ましく、着色層４の厚さと実質的に同じであることが更に好ましい。
隔壁２の高さと幅の比（高さ／幅）は、１〜１００であることが好ましく、５〜５０であることがより好ましく、５〜３０であることが更に好ましい。
【０２０６】
支持体１上であって、隔壁２で区画された領域（隔壁の開口部）には、着色層４が形成されている。着色層４の種類としては、特に限定は無い。赤色、青色、緑色、マゼンタ、シアンなどの着色層が挙げられる。着色層の色と配置は任意に選択することができる。なお、隔壁２で区画された領域には、着色層以外の画素が更に形成されていてもよい。着色層以外の画素としては、透明画素、赤外線透過フィルタの画素などが挙げられる。
【０２０７】
着色層４の幅Ｌ１は、用途により適宜選択できる。例えば、高画素の固体撮像素子用途では、５００〜２０００ｎｍであることが好ましく、５００〜１５００ｎｍであることがより好ましく、５００〜１０００ｎｍであることが更に好ましい。
着色層４の高さ（厚さ）Ｈ２は、用途により適宜選択できる。例えば、高画素の固体撮像素子用途では、３００〜１０００ｎｍであることが好ましく、３００〜８００ｎｍであることがより好ましく、３００〜６００ｎｍであることが更に好ましい。また、着色層４の高さＨ２は、隔壁２の高さＨ１の５０〜１５０％であることが好ましく、７０〜１３０％であることがより好ましく、９０〜１１０％であることが更に好ましい。
【０２０８】
本発明の構造体において、隔壁の表面に保護層が設けられていることも好ましい。隔壁２の表面に保護層を設けることで、隔壁２と着色層４との密着性を向上させることができる。保護層の材質としては、種々の無機材料や有機材料を用いることができる。例えば、有機材料としては、アクリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリイミド系樹脂、有機ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）系樹脂などが挙げられる。また、エチレン性不飽和基を有する化合物を含む組成物を用いて形成することもできる。
【０２０９】
本発明の構造体は、カラーフィルタ、固体撮像素子、画像表示装置などに好ましく用いることができる。
【０２１０】
＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の膜を有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の膜を備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
【０２１１】
基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開２０１２−２２７４７８号公報、特開２０１４−１７９５７７号公報、国際公開ＷＯ２０１８／０４３６５４号公報に記載の装置が挙げられる。本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。
【０２１２】
＜画像表示装置＞
本発明の画像表示装置は、上述した本発明の膜を有する。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【実施例】
【０２１３】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。
【０２１４】
＜重量平均分子量（Ｍｗ）の測定＞
樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、以下の条件に従って、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によって測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺＭ−Ｈと、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ  ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ２０００とを連結したカラム
展開溶媒：テトラヒドロフラン
カラム温度：４０℃
流量（サンプル注入量）：１．０μＬ（サンプル濃度０．１質量％）
装置名：東ソー（株）製  ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ
検出器：ＲＩ（屈折率）検出器
検量線ベース樹脂：ポリスチレン樹脂
【０２１５】
＜酸価の測定方法＞
樹脂の酸価は、固形分１ｇあたりの酸性成分を中和するのに要する水酸化カリウムの質量を表したものである。樹脂の酸価は次のようにして測定した。すなわち、測定サンプルをテトラヒドロフラン／水＝９／１（質量比）混合溶媒に溶解し、電位差滴定装置（商品名：ＡＴ−５１０、京都電子工業製）を用いて、得られた溶液を、２５℃にて、０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液で中和滴定した。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点として、次式により酸価を算出した。
Ａ＝５６．１１×Ｖｓ×０．５×ｆ／ｗ
Ａ：酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｖｓ：滴定に要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の使用量（ｍＬ）
ｆ：０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の力価
ｗ：測定サンプル質量（ｇ）（固形分換算）
【０２１６】
＜樹脂の合成＞
（樹脂Ｂ−１の合成）（芳香族カルボキシル基を有する樹脂）
メチルメタクリレートの５０質量部と、ｎ−ブチルメタクリレートの５０質量部と、ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）の４５．４質量部を反応容器に仕込み、雰囲気ガスを窒素ガスで置換した。反応容器内を７０℃に加熱して、３−メルカプト−１，２−プロパンジオールの６質量部を添加して、さらにＡＩＢＮ（アゾビスイソブチロニトリル）の０．１２質量部を加え、１２時間反応させた。固形分測定により９５％が反応したことを確認した。次に、ピロメリット酸無水物の９．７質量部と、ＰＧＭＥＡの７０．３質量部と、触媒としてＤＢＵ（１，８−ジアザビシクロ−［５．４．０］−７−ウンデセン）の０．２０質量部を追加し、１２０℃で７時間反応させた。酸価の測定で９８％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了した。ＰＧＭＥＡを加えて不揮発分（固形分濃度）を２０質量％に調整し、酸価４３ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量（Ｍｗ）９０００の樹脂Ｂ−１の樹脂溶液を得た。
【０２１７】
（樹脂Ｂ−２の合成）（芳香族カルボキシル基を有する樹脂）
メチルメタクリレートの５０質量部と、ｎ−ブチルメタクリレートの３０質量部と、ｔ−ブチルメタクリレートの２０質量部と、ＰＧＭＥＡの４５．４質量部を反応容器に仕込み、雰囲気ガスを窒素ガスで置換した。反応容器内を７０℃に加熱して、３−メルカプト−１，２−プロパンジオールの６質量部を添加し、さらにＡＩＢＮの０．１２質量部を加え、１２時間反応させた。固形分測定により９５％が反応したことを確認した。次に、ピロメリット酸無水物の９．７質量部と、ＰＧＭＥＡの７０．３質量部と、触媒としてＤＢＵの０．２０質量部を追加し、１２０℃で７時間反応させた。酸価の測定で９８％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了した。ＰＧＭＥＡを加えて不揮発分（固形分濃度）を２０質量％に調整し、酸価４３ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量（Ｍｗ）９０００の樹脂Ｂ−２の樹脂溶液を得た。
【０２１８】
（樹脂Ｂ−３の合成）（芳香族カルボキシル基を有する樹脂）
樹脂Ｂ−２の合成において、ｔ−ブチルメタクリレートの２０質量部を、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルメタクリレートの２０質量部に変更した以外は同様にして、酸価４３ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量（Ｍｗ）９０００の樹脂Ｂ−３の樹脂溶液（固形分濃度２０質量％）を得た。
【０２１９】
（樹脂Ｂ−４の合成）（芳香族カルボキシル基を有する樹脂）
樹脂Ｂ−２の合成において、ｔ−ブチルメタクリレートの２０質量部を、メタクリル酸２−（０−［１‘−メチルプロピリデンアミノ］カルボキシアミノ)エチル（カレンズＭＯＩ−ＢＭ、昭和電工（株）製、ブロックイソシアネートモノマー）の２０質量部に変更した以外は同様にして、酸価４３ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量（Ｍｗ）９０００の樹脂Ｂ−４の樹脂溶液（固形分濃度２０質量％）を得た。
【０２２０】
（樹脂Ｂ−５の合成）（芳香族カルボキシル基を有する樹脂）
３−メルカプト−１，２−プロパンジオールの６．０質量部と、ピロメリット酸無水物の９．５質量部と、ＰＧＭＥＡの６２質量部と、ＤＢＵの０．２質量部を反応容器に仕込み、雰囲気ガスを窒素ガスで置換した。反応容器内を１００℃に加熱して、７時間反応させた。酸価の測定で９８％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認した後、系内の温度を７０℃に冷却し、メチルメタクリレートの６５質量部と、エチルアクリレートの５．０質量部と、ｔ−ブチルアクリレートの１５質量部と、メタクリル酸の５．０質量部と、ヒドロキシエチルメタクリレートの１０質量部と、ＡＩＢＮの０．１質量部を溶解したＰＧＭＥＡ溶液の５３．５質量部とを添加して、１０時間反応させた。固形分測定により重合が９５％進行したことを確認し反応を終了した。ＰＧＭＥＡを加えて不揮発分（固形分濃度）を２０質量％に調整し、酸価７０．５ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量（Ｍｗ）１００００の樹脂Ｂ−５の樹脂溶液を得た。
【０２２１】
（樹脂Ｂ−６の合成）（芳香族カルボキシル基を有する樹脂）
１−チオグリセロールの１０８質量部と、ピロメリット酸無水物の１７４質量部と、メトキシプロピルアセテートの６５０質量部と、触媒としてモノブチルスズオキシドの０．２質量部を反応容器に仕込み、雰囲気ガスを窒素ガスで置換した後、１２０℃で５時間反応させた（第一工程）。酸価の測定で９５％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認した。次に、第一工程で得られた化合物を固形分換算で１６０質量部と、２−ヒドロキシプロピルメタクリレートの２００質量部と、エチルアクリレートの２００質量部と、ｔ−ブチルアクリレートの１５０質量部と、２−メトキシエチルアクリレートの２００質量部と、メチルアクリレートの２００質量部と、メタクリル酸の５０質量部と、ＰＧＭＥＡの６６３質量部を反応容器に仕込み、反応容器内を８０℃に加熱して、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）の１．２質量部を添加し、１２時間反応させた（第二工程）。固形分測定により９５％が反応したことを確認した。最後に、第二工程で得られた化合物の５０質量％ＰＧＭＥＡ溶液の５００質量部と、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートの２７．０質量部、ヒドロキノンの０．１質量部を反応容器に仕込み、イソシアネート基に基づく２２７０ｃｍ−１のピークの消失を確認するまで反応を行った（第三工程）。ピーク消失の確認後、反応溶液を冷却して、ＰＧＭＥＡを加えて不揮発分（固形分濃度）を２０質量％に調整し、酸価６８ｍｇＫＯＨ／ｇ、不飽和二重結合価０．６２ｍｍｏｌ／ｇ、重量平均分子量（Ｍｗ）１３０００の樹脂Ｂ−６の樹脂溶液を得た。
【０２２２】
（樹脂Ｃ−１の合成）（式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位と、アルキル（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位とを含む樹脂）
反応容器にシクロヘキサノン３７０質量部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら８０℃に加熱して、同温度でメタクリル酸の３８質量部と、２−ヒドロキシエチルメタクリレートの６質量部と、ベンジルメタクリレートの２１質量部と、ｎ−ブチルメタクリレートの１６質量部と、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亞合成（株）製、アロニックスＭ１１０）の２１質量部と、ＡＩＢＮの０．４質量部との混合物を２時間かけて滴下して重合反応を行った。滴下終了後、さらに８０℃で３時間反応させた後、ＡＩＢＮの０．２質量部をシクロヘキサノン１０質量部に溶解させたものを添加し、さらに８０℃で１時間反応を続けて、樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を室温まで冷却した後、約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分（固形分濃度）が２０質量％になるようにシクロヘキサノンを添加して、酸価２３０ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂Ｃ−１の溶液を調製した。
【０２２３】
（樹脂Ｃ−２の合成）（式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位と、アルキル（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位とを含む樹脂）
メタクリル酸を２８質量部、２−ヒドロキシエチルメタクリレートを８．５質量部、ベンジルメタクリレートを２３質量部、ｎ−ブチルメタクリレートを１８質量部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亞合成（株）製、アロニックスＭ１１０）を２３質量部に変更した以外は、樹脂Ｃ−１と同様に合成および不揮発分（固形分濃度）の調整をし、酸価１６０ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂Ｃ−２の溶液を調製した。
【０２２４】
（樹脂Ｃ−３の合成）（式（Ｉ）で表される化合物由来の繰り返し単位と、アルキル（メタ）アクリレートに由来する繰り返し単位とを含む樹脂）
反応容器にＰＧＭＥＡ７０．０質量部を仕込み、８０℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、ｎ−ブチルメタクリレートの１３．３質量部と、２−ヒドロキシエチルメタクリレートの４．６質量部と、メタクリル酸の４．３質量部と、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亞合成（株）製、アロニックスＭ１１０）の７．４質量部と、ＡＩＢＮの０．４質量部との混合物を２時間かけて滴下した。滴下終了後、更に３時間反応を続けて樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を室温まで冷却した後、約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液の不揮発分（固形分濃度）が２０質量％になるようにＰＧＭＥＡを添加して重量平均分子量（Ｍｗ）２６０００の樹脂Ｃ−３の溶液を調製した。
【０２２５】
＜顔料分散液の調製＞
下記の表に記載の原料を混合したのち、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて５時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散液を製造した。下記の表に記載の配合量を示す数値は質量部である。なお、樹脂（分散剤）の配合量の値は、それぞれ固形分２０質量％の樹脂溶液での配合量の値である。
【０２２６】
【表１】
2020066438.tif 000022
【表２】
2020066438.tif 000023
【表３】
2020066438.tif 000024
【０２２７】
上記表に記載の略語は以下の通りである。
（顔料）
ＰＲ２５４：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４
ＰＲ２６４：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２６４
ＰＲ２７２：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２７２
ＰＲ１２２：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １２２
ＰＯ７１：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ７１
ＰＧ５８：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ５８
ＰＧ３６：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６
ＰＧ７：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７
ＰＧ５９：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ５９
ＰＧ６２：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ６２
ＰＧ６３：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ６３
ＰＹ１３９：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １３９
ＰＹ１５０：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０
ＰＹ１８５：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １８５
ＰＢ１５：６：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６
ＰＶ２３：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３
【０２２８】
（顔料誘導体）
誘導体１〜５：下記構造の化合物
【化１９】
2020066438.tif 000025
【０２２９】
（樹脂（分散剤））
Ｂ−１〜Ｂ−６：上述した樹脂Ｂ−１〜Ｂ−６の樹脂溶液
【０２３０】
＜着色感光性樹脂組成物の調製＞
下記の表に記載の原料を混合して、着色感光性樹脂組成物を調製した。なお、下記の表中の色材濃度の値は、着色感光性樹脂組成物の全固形分中における色材の含有量（顔料と顔料誘導体の合計の含有量）の値である。また、樹脂Ｃ−１〜Ｃ−５の配合量の値は、それぞれ固形分２０質量％の樹脂溶液での配合量の値である。
【表４】
2020066438.tif 000026
【表５】
2020066438.tif 000027
【表６】
2020066438.tif 000028
【０２３１】
上記表に記載の略語は以下の通りである。
（顔料分散液）
分散液Ｒ１〜Ｒ１１：上述した分散液Ｒ１〜Ｒ１１
分散液Ｇ１〜Ｇ１５：上述した分散液Ｇ１〜Ｇ１５
分散液Ｂ１〜Ｂ３：上述した分散液Ｂ１〜Ｂ３
（樹脂）
Ｃ−１：上述した樹脂Ｃ−１の樹脂溶液（固形分濃度２０質量％）
Ｃ−２：上述した樹脂Ｃ−２の樹脂溶液（固形分濃度２０質量％）
Ｃ−３：上述した樹脂Ｃ−３の樹脂溶液（固形分濃度２０質量％）
Ｃ−４：下記構造の樹脂の２０質量％ＰＧＭＥＡ溶液（主鎖に付記した数値はモル比である。Ｍｗ＝３８０００）
Ｃ−５：下記構造の樹脂の２０質量％ＰＧＭＥＡ溶液（主鎖に付記した数値はモル比である。Ｍｗ＝３００００）
【化２０】
2020066438.tif 000029
【０２３２】
（重合性モノマー）
Ｅ−１：アロニックスＭ４０２（東亞合成（株）製、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物）
Ｅ−２：アロニックスＭ５２０（東亞合成（株）製、酸基を有するアクリレート化合物）
Ｅ−３：ＮＫエステルＡ−ＴＭＭＴ（新中村化学工業（株）、ペンタエリスリトールテトラアクリレート）
Ｅ−４：アロニックスＴＯ−２３４９（東亞合成（株）製）
【０２３３】
（光重合開始剤）
Ｇ−１：下記構造の化合物（メタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数＝１８９００ｍＬ／ｇｃｍ）
Ｇ−２：下記構造の化合物（メタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数＝１１０００ｍＬ／ｇｃｍ）
Ｇ−３：下記構造の化合物（メタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数＝７７４９ｍＬ／ｇｃｍ）
Ｇ−４：下記構造の化合物（メタノール中での波長３６５ｎｍの吸光係数＝８１０ｍＬ／ｇｃｍ）
【化２１】
2020066438.tif 000030
【０２３４】
（界面活性剤）
Ｉ−１：下記混合物（Ｍｗ＝１４０００）の１質量％ＰＧＭＥＡ溶液。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％は質量％である。
【化２２】
2020066438.tif 000031
（重合禁止剤）
Ｊ―１：ｐ−メトキシフェノール
（溶剤）
Ｋ−１：ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）
Ｋ−２：酢酸ブチル
【０２３５】
＜性能評価＞
（耐湿性の評価）
シリコンウエハ上に、着色感光性樹脂組成物をプリベーク後の膜厚が下記表に記載の膜厚になるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長の光を５００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で露光し、その後２２０℃のホットプレートを用いて３００秒間加熱処理（ポストベーク）を行った。得られた膜を、１３０℃、湿度８５％の恒温恒湿槽に投入し、９６時間後に取りだし、２３℃、湿度６０％の環境に２時間置いてから膜厚を測定した。耐湿性の評価は以下の基準により行った。
［恒温恒湿槽投入後の膜厚］／［恒温恒湿槽投入前の膜厚］＝Ｘとしたとき、以下の基準で耐湿性を評価した。
Ａ：Ｘ≧０．９
Ｂ：０．８≦Ｘ＜０．９
Ｃ：０．７≦Ｘ＜０．８
Ｄ：Ｘ＜０．７
【０２３６】
（引き置き性の評価）
シリコンウエハ上に、乾燥膜厚が０．１μｍとなるようにＣＴ−４０００Ｌ溶液（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製；透明下地剤）を塗布し、乾燥させて、透明膜を形成した後、２２０℃で５分間加熱処理を行なった。
着色感光性樹脂組成物をプリベーク後の膜厚が下記表に記載の膜厚になるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。次いで、一辺１．１μｍの正方ピクセルがそれぞれシリコンウエハ上の４ｍｍ×３ｍｍの領域に配列されたマスクパターンを介して、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長の光を５００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で露光した。
露光後の引き置き性を評価するため、上記シリコンウエハを遮光した状態で７日間保管（引き置き処理）したもの、及び、引き置きしていないものを用意した。
露光を行った組成物層を有するシリコンウエハ（引き置き処理したものについては引き置き処理後のシリコンウエハ、引き置き処理しないものについては露光後のシリコンウエハ）を、スピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像し、回転装置によって上記シリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後２２０℃のホットプレートを用いて３００秒間加熱処理（ポストベーク）を行った。
得られた着色パターン膜の欠陥数について、ＡＭＡＴ社製ウエハー欠陥評価装置ＣｏｍＰＬＵＳ３を用いて検査した。評価は以下の基準により行った。
［引き置き処理有りの膜の欠陥数］−［引き置き処理無しの膜の欠陥数］＝Ｙとしたとき、以下の基準で引き置き性を評価した。
Ａ：Ｙ≦１０
Ｂ：１０＜Ｙ≦５０
Ｃ：５０＜Ｙ≦２００
Ｄ：Ｙ＞２００
【０２３７】
【表７】
2020066438.tif 000032
【表８】
2020066438.tif 000033
【表９】
2020066438.tif 000034
【０２３８】
上記表に示すように、実施例は、耐湿性および引き置き性に評価が良好であった。
各実施例において、重合禁止剤および界面活性剤は、明細書に記載の化合物に置き換えても同様の効果が得られる。
【０２３９】
（実施例１００）
シリコンウエハ上に、Ｇｒｅｅｎ組成物を製膜後の膜厚が１．０μｍになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、１００℃で２分間加熱した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（キヤノン（株）製）を用い、１，０００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で２μｍ四方のドットパターンのマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、更に純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用いて、２００℃で５分間加熱することで、Ｇｒｅｅｎ組成物をパターニングした。同様にＲｅｄ組成物、Ｂｌｕｅ組成物を順次パターニングし、緑、赤及び青の着色パターン（ベイヤーパターン）を形成した。
Ｇｒｅｅｎ組成物としては、実施例２４の着色感光性樹脂組成物を使用した。
Ｒｅｄ組成物及びＢｌｕｅ組成物については後述する。
なお、ベイヤーパターンとは、米国特許第３，９７１，０６５号明細書に開示されているような、一個の赤色（Ｒｅｄ）素子と、二個の緑色（Ｇｒｅｅｎ）素子と、一個の青色（Ｂｌｕｅ）素子とを有する色フィルタ素子の２×２アレイを繰り返したパターンである。
得られたカラーフィルタを公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。この固体撮像素子は好適な画像認識能を有していた。
【０２４０】
−Ｒｅｄ組成物−
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｒｅｄ組成物を調製した。
Ｒｅｄ顔料分散液：５１．７質量部
樹脂１０１：０．６質量部
重合性化合物１０２：０．６質量部
光重合開始剤１０１：０．３質量部
界面活性剤１０１：４．２質量部
ＰＧＭＥＡ：４２．６質量部
【０２４１】
−Ｂｌｕｅ組成物−
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、Ｂｌｕｅ組成物を調製した。
Ｂｌｕｅ顔料分散液：４４．９質量部
樹脂１０１：２．１質量部
重合性化合物１０１：１．５質量部
重合性化合物１０２：０．７質量部
光重合開始剤１０１：０．８質量部
界面活性剤１０１：４．２質量部
ＰＧＭＥＡ：４５．８質量部
【０２４２】
Ｒｅｄ組成物及びＢｌｕｅ組成物に使用した原料は、以下の通りである。
【０２４３】
Ｒｅｄ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４を９．６質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １３９を４．３質量部、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）を６．８質量部、ＰＧＭＥＡを７９．３質量部とからなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）により３時間混合及び分散した。その後更に、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２，０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行った。この分散処理を１０回繰り返し、Ｒｅｄ顔料分散液を得た。
【０２４４】
Ｂｌｕｅ顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６を９．７質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３を２．４質量部、分散剤（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）を５．５質量部、ＰＧＭＥＡを８２．４質量部からなる混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）により３時間混合及び分散した。その後更に、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２，０００ｋｇ／ｃｍ３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行った。この分散処理を１０回繰り返し、Ｂｌｕｅ顔料分散液を得た。
【０２４５】
樹脂１０１：下記構造の樹脂（主鎖に付記した数値はモル比である。Ｍｗ＝１４０００）の４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液
【化２３】
2020066438.tif 000035
重合性化合物１０１：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（日本化薬（株）製）
重合性化合物１０２：下記構造の化合物
【化２４】
2020066438.tif 000036
光重合開始剤１０１：ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２（ＢＡＳＦ製）
界面活性剤１０１：下記混合物（Ｍｗ＝１４０００）の１質量％ＰＧＭＥＡ溶液。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【化２５】
2020066438.tif 000037
【符号の説明】
【０２４６】
１１０：支持体、２：隔壁、４：着色層、１００：構造体
【図１】
2020066438.tif 000042
【図２】
2020066438.tif 000043
【国際調査報告】
2020066438.tif 000044
2020066438.tif 000045
2020066438.tif 000046
2020066438.tif 000047