(57)【要約】【課題】物品を移載先に対して正確に受け渡しさせ、又はセンサを適切に作動させることが可能な搬送車を提供する。【解決手段】搬送車１００は、走行駆動部１０と、本体部４０と、物品ＦＰを保持するグリッパ４２ａを有しかつ本体部４０に対して昇降可能な昇降台４２と、可撓性を有するベルト４３ａの繰り出し及び巻き取りにより昇降台４２を昇降させる昇降駆動部４３と、昇降駆動部４３を片持ち支持した状態で本体部４０の側方に突出させる横出し機構４５と、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量に応じて、移載先に対して物品ＦＰを渡す場合と物品ＦＰを受け取る場合とでの横出し量の調整、及び昇降駆動部４３に備えるセンサ４４の向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う調整部８１と、を備える。
2020121765.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道を走行する走行部と、
前記走行部に連結されて前記走行部の走行により移動する本体部と、
物品を保持する保持部を有しかつ前記本体部に対して昇降可能な昇降台と、
可撓性を有する吊持部材の繰り出し及び巻き取りにより前記昇降台を昇降させる昇降駆動部と、
前記昇降駆動部を片持ち支持した状態で前記本体部の側方に突出させる横出し機構と、
前記横出し機構による前記昇降駆動部の横出し量、及び前記昇降駆動部による前記昇降台の下降量に応じて、移載先に対して物品を渡す場合と物品を受け取る場合とでの前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う調整部と、を備える、搬送車。
【請求項２】
前記センサは、下方の所定位置に向けて指向性を有する検出波を照射し、
前記調整部は、前記検出波の照射方向のずれを補正するように前記センサの向きを調整する、請求項１に記載の搬送車。
【請求項３】
前記センサは、前記検出波の照射方向を変えるためのアクチュエータを備え、
前記調整部は、前記アクチュエータを駆動することにより前記検出波の照射方向のずれを補正する、請求項２に記載の搬送車。
【請求項４】
前記本体部は、物品を受け渡しする複数の前記移載先のそれぞれについて、前記横出し機構による前記昇降駆動部の前記横出し量、及び前記移載先までの前記下降量に関するデータテーブルが記憶された記憶部を備え、
前記調整部は、前記記憶部に記憶されている前記データテーブルから物品の前記移載先に関する情報を取得して、その情報に基づいて前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送車。
【請求項５】
前記調整部は、前記データテーブルが示す前記横出し量が第１の特定値である場合に、
前記データテーブルが示す前記下降量が第１の閾値未満であれば、前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備える前記センサの向きの調整の双方を行わず、
前記データテーブルが示す前記下降量が前記第１の閾値以上であれば、前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備える前記センサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う、請求項４に記載の搬送車。
【請求項６】
前記調整部は、前記データテーブルが示す前記下降量が第２の特定値である場合に、
前記データテーブルが示す前記横出し量が第２の閾値未満であれば、前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備える前記センサの向きの調整の双方を行わず、
前記データテーブルが示す前記横出し量が前記第２の閾値以上であれば、前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備える前記センサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う、請求項４又は請求項５に記載の搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場等の製造工場では、例えば半導体ウエハの搬送容器（ＦＯＵＰ）やレチクル搬送用のレチクルポッドなどの物品を搬送するため、天井又は天井近傍に敷設されたレールに沿って走行する搬送車が用いられている。搬送車は、軌道を走行する走行部と、走行部の走行により移動する本体部と、本体部に対して昇降可能な昇降台と、昇降台を昇降させる昇降駆動部と、を備えており、さらに、昇降駆動部を本体部に対して走行方向の側方に突出させる横出し機構を備えている。この搬送車は、工場内に設けられる物品の受け渡し位置で停止し、移載先によっては横出し機構によって昇降駆動部を横出しした状態で、昇降駆動部による昇降台の昇降と、昇降台に備えた保持部による物品の把持又は開放により物品の受け渡しを行う。このような搬送車では、横出し機構により横出しを行った場合、昇降駆動部及び物品等の重量により横出し機構にたわみが発生し、このたわみに起因して物品を規定の移載位置に移載できなくなることが考えられる。このため、横出し機構により横出しを行う場合において、たわみの大きさを予め求めておき、この求めたデータに基づいて横出し量を調整する構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。【０００３】
また、昇降駆動部には、下方に検出波を照射するセンサを昇降駆動部に備える搬送車が知られている。上記のように横出し機構により昇降駆動部を横出しした時にたわみが発生すると、検出波を照射する向きが変わるため、横出し機構による昇降駆動部の横出し時にセンサの向きを変えるようにした搬送車が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５６３６８４９号公報
【特許文献２】国際公開第２０１７／１９９５９３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記したような搬送車において、横出し機構に発生するたわみの大きさは、横出し機構による昇降駆動部の横出し量によって変動する。一方、特許文献１に記載の搬送車において求められたデータは、例えば横出し機構により昇降駆動部を最も横出しした際に設定された固定値である。そのため、特許文献１に記載の搬送車では、横出し機構による昇降駆動部の横出し量が変動する場合には、横出し量を調整しても横出し機構のたわみ量が変動するので、そのまま物品（昇降台）を下降させても移載位置からずれてしまい、物品を移載先に対して正確に受け渡すことができない場合がある。【０００６】
また、昇降駆動部に設けられているセンサの向きも、横出し機構による昇降駆動部の横出し量によって変動する。さらに、センサの向きが変動した状態で昇降台の下降量が大きくなると、例えば、センサからの検出波が昇降台上に設けられている指標板から外れるなど、検出波が目標とする照射先から外れてしまい、適切な検出を行うことができなくなるといった問題がある。【０００７】
本発明は、横出し機構により横出しする場合に、横出し量又はセンサの向きを調整することにより、物品を移載先に対して正確に受け渡しさせ、又はセンサを適切に作動させることが可能な搬送車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の態様に係る搬送車は、軌道を走行する走行部と、走行部に連結されて走行部の走行により移動する本体部と、物品を保持する保持部を有しかつ本体部に対して昇降可能な昇降台と、可撓性を有する吊持部材の繰り出し及び巻き取りにより昇降台を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を片持ち支持した状態で本体部の側方に突出させる横出し機構と、横出し機構による昇降駆動部の横出し量、及び昇降駆動部による昇降台の下降量に応じて、移載先に対して物品を渡す場合と物品を受け取る場合とでの横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う調整部と、を備える。【０００９】
また、センサは、下方の所定位置に向けて指向性を有する検出波を照射し、調整部は、検出波の照射方向のずれを補正するようにセンサの向きを調整してもよい。また、センサは、検出波の照射方向を変えるためのアクチュエータを備え、調整部は、アクチュエータを駆動することにより検出波の照射方向のずれを補正してもよい。【００１０】
また、本体部は、物品を受け渡しする複数の移載先のそれぞれについて、横出し機構による昇降駆動部の横出し量、及び移載先までの下降量に関するデータテーブルが記憶された記憶部を備え、調整部は、記憶部に記憶されているデータテーブルから物品の移載先に関する情報を取得して、その情報に基づいて横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行ってもよい。また、記憶部は、搬送車ごとに固有の自車の機差が予め記憶されており、調整部は、記憶部に記憶されている機差を含めて、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行ってもよい。【００１１】
また、調整部は、データテーブルが示す横出し量が第１の特定値である場合に、データテーブルが示す下降量が第１の閾値未満であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整の双方を行わず、データテーブルが示す下降量が第１の閾値以上であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行ってもよい。【００１２】
また、調整部は、データテーブルが示す下降量が第２の特定値である場合に、データテーブルが示す横出し量が第２の閾値未満であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整の双方を行わず、データテーブルが示す横出し量が第２の閾値以上であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行ってもよい。
【発明の効果】
【００１３】
上記した搬送車によれば、横出し機構による昇降駆動部の横出し量、及び昇降駆動部による昇降台の下降量に応じて、移載先に対して物品を渡す場合と物品を受け取る場合とでの横出し量の調整を行うことにより、物品を搬送先に対して正確に受け渡すことができる。また、横出し量及び昇降台の下降量に応じて、昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整を行うことにより、センサの向きを目標とする方向に向けることができ、センサの適切な作動を確保しつつ、誤検出を抑制することができる。また、移載先に対して物品を渡す場合と物品を受け取る場合とで横出し量の調整を行うので、物品の重量によるたわみの影響を考慮することにより、物品を移載先に対して正確に受け渡すことができる。【００１４】
また、センサが、下方の所定位置に向けて指向性を有する検出波を照射し、調整部が、検出波の照射方向のずれを補正するようにセンサの向きを調整する構成では、センサが照射する検出波の向きを精度よく調整することができる。また、センサが、検出波の照射方向を変えるためのアクチュエータを備え、調整部が、アクチュエータを駆動することにより検出波の照射方向のずれを補正する構成では、アクチュエータを駆動することにより、検出波の向きを高精度に調整することができる。【００１５】
また、本体部が、物品を受け渡しする複数の移載先のそれぞれについて、横出し機構による昇降駆動部の横出し量、及び移載先までの下降量に関するデータテーブルが記憶された記憶部を備え、調整部が、記憶部に記憶されているデータテーブルから物品の移載先に関する情報を取得して、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う構成では、記憶部に記憶されたデータテーブルを読み出すことにより、横出し量の調整、及びセンサの向きの調整を迅速かつ精度よく行うことができる。また、記憶部が、搬送車ごとに固有の自車の機差が予め記憶されており、調整部が、記憶部に記憶されている機差を含めて、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う構成では、搬送車ごとに生じている機差の影響を踏まえて横出し量の調整、及びセンサの向きの調整を行うため、各搬送車によって物品を移載先に対して正確に受け渡すことができる。【００１６】
また、調整部が、データテーブルが示す横出し量が第１の特定値である場合に、データテーブルが示す下降量が第１の閾値未満であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整の双方を行わず、データテーブルが示す下降量が第１の閾値以上であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う構成では、下降量に応じて調整の有無を切り替えることができる。【００１７】
また、調整部が、データテーブルが示す下降量が第２の特定値である場合に、データテーブルが示す横出し量が第２の閾値未満であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整の双方を行わず、データテーブルが示す横出し量が第２の閾値以上であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う構成では、横出し量に応じて調整の有無を切り替えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に係る搬送車の一例を示す図である。
【図２】横出し機構の一例を示す斜視図である。
【図３】第１補正機構の一例を示す斜視図である。
【図４】第２補正機構の一例を示す斜視図である。
【図５】揺れ検出センサによる検出の一例を模式的に示す図である。
【図６】保持部で物品を保持していない場合において、昇降台の位置と光軸位置の変動量との関係を示す図である。
【図７】保持部で物品を保持している場合において、昇降台の位置と光軸位置の変動量との関係を示す図である。
【図８】物品の移載を行う際の横出し機構による昇降駆動部の横出し量を示す図であり、（Ａ）は横出し量が大きい場合、（Ｂ）は横出し量が小さい場合の例を示している。
【図９】物品の移載先の例を示す図である。
【図１０】図９に示す物品の移載先を領域で示した例を示す図である。
【図１１】移載先の位置、横出し量、及び下降量に関するデータテーブルの一例を示す図である。
【図１２】横出し調整量、センサの向きの調整に関するデータテーブルの一例を示す図である。
【図１３】本実施形態に係る搬送車の他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において搬送車１００の走行方向をＹ方向と表記し、Ｙ方向に直交する水平方向をＸ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、反対の方向が−方向であるとして説明する。また、Ｘ軸周りの回転方向をθＸ方向、Ｙ軸周りの回転方向をθＹ方向、Ｚ軸周りの回転方向をθＺ方向と表記する。
【００２０】
図１は、本実施形態に係る搬送車の一例を示す図である。図１に示すように、例えばクリーンルームなどの処理室ＰＲには、搬送車１００を含む搬送システムが設けられる。処理室ＰＲには、不図示の半導体処理装置などが床面上に配置されている。処理室ＰＲの天井部分には、搬送車１００を案内する軌道であるレールＲが設けられる。レールＲは、走行レール及び給電レールを含んで構成される。
【００２１】
搬送車１００は、レールＲに沿って例えば＋Ｙ方向に走行する。搬送車１００は、移載先Ｓに対して物品ＦＰの受け渡しを行う。移載先Ｓは、例えば、処理装置のロードポートである。搬送車１００は、図１に示すように、走行駆動部（走行部）１０と、連結部３０と、本体部４０と、制御部８０と、を有している。搬送車１００の各部の駆動は、制御部８０によって制御される。制御部８０は、例えば本体部４０に設けられるが、この構成に限定されず、本体部４０外に設けられてもよい。走行駆動部１０は、レールＲの内側に配置され、レールＲの内側の面（走行面）に当接する複数のローラ１１と、これら複数のローラ１１を回転させる駆動装置１２とを有している。搬送車１００は、レールＲに沿った不図示の給電レールに備える非接触給電線を介して受電し、走行駆動部１０などの搬送車１００に備える駆動部に電力を供給する不図示の受電部を備える。連結部３０は、走行駆動部１０の下側（−Ｚ側）に取り付けられ、走行駆動部１０と本体部４０とを連結する。
【００２２】
本体部４０は、移載装置４１を備える。移載装置４１は、昇降台４２と、昇降駆動部４３と、センサ４４と、横出し機構４５と、補正機構４６とを備える。本体部４０は、連結部３０を介して走行駆動部１０に連結されている。本体部４０は、走行駆動部１０と一体的にレールＲに沿って移動する。
【００２３】
昇降台４２は、本体部４０に対して昇降可能（Ｚ方向へ移動可能）である。昇降台４２は、物品ＦＰを保持する保持部としてグリッパ４２ａを有する。物品ＦＰは、例えば、半導体ウエハを収容する容器（ＦＯＵＰ）、あるいはレチクルを収容するレチクルポッドなどである。グリッパ４２ａは、物品ＦＰの頂部（＋Ｚ側の面）に設けられているフランジＦＰａを把持又は解放可能である。
【００２４】
昇降駆動部４３は、昇降台４２を昇降（Ｚ方向に移動）させる。昇降駆動部４３は、例えば可撓性を有する複数（例えば４本）のベルト（吊持部材）４３ａを介して昇降台４２を吊り下げている。昇降駆動部４３は、ベルト４３ａの繰り出し、又は巻き取りを行うことにより、昇降台４２を昇降させる。
【００２５】
センサ４４は、昇降駆動部４３に設けられる。センサ４４は、揺れ検出センサ（スイングセンサ）４７及びルックダウンセンサ４８を含む。揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８は、昇降駆動部４３の下方である検出対象の領域に向けて、例えばレーザ光等の指向性を有する検出波を照射する。以下、本実施形態では、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８が検出波としてレーザ光を照射する構成を例に挙げて説明する。なお、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８は、レーザ光の他に、超音波など、指向性を有する他の検出波を照射する構成であってもよい。
【００２６】
揺れ検出センサ４７は、昇降台４２の上面（＋Ｚ側の面）に設けられる反射板４９に向けてレーザ光Ｌ１を射出する。揺れ検出センサ４７は、昇降台４２を昇降させる際に、レーザ光Ｌ１を反射板４９に照射し、その反射光から昇降台４２の揺れを検出する。制御部８０は、揺れ検出センサ４７からのレーザ光Ｌ１が反射板４９に当たっている間は揺れ（振幅）が正常範囲内であると判定し、レーザ光Ｌ１が反射板４９から外れたら揺れが正常範囲を逸脱した（振幅が大きくなり、許容限度を超えた）と判定して、例えば昇降台４２の昇降を停止させる。ルックダウンセンサ４８は、昇降台４２の降下先の近傍に向けてレーザ光Ｌ２を照射する。ルックダウンセンサ４８は、レーザ光Ｌ２を照射し、その反射光から昇降台４２の降下先である移載先Ｓの近傍に異物が存在するか否かを検出する。例えば、移載先Ｓよりも通路側の領域に、作業者などの物体（障害物）が存在するか否かを検出する。ルックダウンセンサ４８が物体を検出した場合、例えば、制御部８０は、昇降台４２の昇降を停止させる。
【００２７】
図２は、横出し機構４５の一例を示す斜視図である。横出し機構４５は、昇降駆動部４３を片持ち支持した状態で本体部４０の側方（Ｘ方向）に突出させる。横出し機構４５は、上段部５１と、中段部５２と、下段部５３と、駆動装置５４と、を有している。上段部５１は、本体部４０の上部側に設けられる。上段部５１は、本体部４０に対して固定されていてもよいし、不図示のガイドにより、本体部４０の側方である＋Ｘ方向又は−Ｘ方向に移動可能であってもよい。中段部５２は、上段部５１の下側に取り付けられている。中段部５２は、不図示のガイドにより、上段部５１に対して＋Ｘ方向又は−Ｘ方向に移動する。下段部５３は、中段部５２の下側に取り付けられている。下段部５３は、中段部５２に対して＋Ｘ方向又は−Ｘ方向に移動する。上段部５１、中段部５２、及び下段部５３は、駆動装置５４によって移動する。
【００２８】
駆動装置５４は、制御部８０の制御により、横出し動作を行う。駆動装置５４は、例えば、リニアモータ、又はボールねじ機構を含む回転モータ等が用いられる。図１及び図２には、上段部５１、中段部５２及び下段部５３が本体部４０に対してそれぞれ−Ｘ側に移動する場合を例に挙げて示しているが、この例に限定されず、本体部４０に対してそれぞれ＋Ｘ側に移動することも可能である。また、上段部５１、中段部５２及び下段部５３は、図示のように板状であることに限定されず、棒状の部材又は棒状の部材を組み合わせたフレームが用いられてもよい。また、駆動装置５４は、制御部８０からの指示により＋Ｘ方向又は−Ｘ方向に予め設定された横出し量となるように上段部５１等を横出しさせる。また、駆動装置５４は、＋Ｘ方向又は−Ｘ方向への横出し量を調整するための補正機構として機能する。
【００２９】
図１に示すように、下段部５３の下面には、昇降駆動部４３が取り付けられる。なお、下段部５３に対して昇降駆動部４３をθＺ方向に旋回可能な不図示の旋回駆動部が設けられてもよい。あるいは、昇降台４２に対してグリッパ４２ａをθＺ方向に旋回可能な不図示の旋回駆動部が設けられてもよい。横出し機構４５は、中段部５２及び下段部５３を本体部４０の側方（−Ｘ側）に突出させた状態において、中段部５２及び下段部５３の重量、昇降駆動部４３、昇降台４２及び物品ＦＰ等の重量により全体的に下方にたわみ、下段部５３の先端側が下方に移動した状態となる。このとき、昇降駆動部４３は、下段部５３の傾きによりθＹ方向に傾いた状態となる。ただし、ベルト４３ａが可撓性を有するため、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾いた状態であっても、昇降台４２は昇降駆動部４３の鉛直下方に位置する。
【００３０】
また、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８（センサ４４）は、昇降駆動部４３の傾きにより本来の照射方向からずれた方向にレーザ光Ｌ１及びＬ２を照射する。補正機構４６は、横出し機構４５により昇降駆動部４３を本体部４０の側方に突出させた状態において、横出し機構４５のたわみにより生じるレーザ光Ｌ１及びＬ２の照射方向のずれを補正する。補正機構４６は、第１補正機構６０と、第２補正機構７０とを有する。第１補正機構６０は、揺れ検出センサ４７についてレーザ光Ｌ１の照射方向のずれを補正する。第２補正機構７０は、ルックダウンセンサ４８についてレーザ光Ｌ２の照射方向のずれを補正する。
【００３１】
図３は、第１補正機構６０の一例を示す斜視図である。図３に示すように、第１補正機構６０は、フレーム６１と、軸部６２と、可動部６３と、傾き調整機構６４と、回転規制部６５と、第１補正駆動部６６と、を有している。
【００３２】
フレーム６１は、金属板などで形成され、昇降駆動部４３にボルト等により固定される。軸部６２は、フレーム６１から突出して形成される。軸部６２は、Ｙ方向に平行な中心軸ＡＸ１を有する。可動部６３は、軸部６２を中心にフレーム６１に対してθＹ方向に回転（揺動）可能である。可動部６３は、吊り下げ部材６３ａと、支持部材６３ｂとを有する。吊り下げ部材６３ａは、軸部６２から下方に延びて形成され、軸部６２の中心軸ＡＸ１に対してθＹ方向に回転可能に支持される。支持部材６３ｂは、吊り下げ部材６３ａと一体で中心軸ＡＸ１を中心としてθＹ方向に回転可能である。支持部材６３ｂは、図３に示すように開口部を有し、後述のセンサ固定部材６４ａを介して揺れ検出センサ４７を支持する。
【００３３】
傾き調整機構６４は、揺れ検出センサ４７の傾きを調整する。傾き調整機構６４は、センサ固定部材６４ａと、ネジ部６４ｂと、ナット６４ｃとを有する。センサ固定部材６４ａは、所定の固定部材によって揺れ検出センサ４７を固定する。センサ固定部材６４ａは、Ｚ方向から見てコ字状の部材である。
【００３４】
ネジ部６４ｂは、揺れ検出センサ４７を挟んでＸ方向の両側に配置される。本実施形態では、ネジ部６４ｂは、センサ固定部材６４ａの両端に配置される。ネジ部６４ｂは、支持部材６３ｂに形成されたタップとネジ結合しており、支持部材６３ｂから上方（＋Ｚ方向）に延びて、先端がセンサ固定部材６４ａの下面に当接している。ナット６４ｃは、支持部材６３ｂの下面においてネジ部６４ｂの下端とネジ結合する。２つのネジ部６４ｂを個別に調整することにより、センサ固定部材６４ａと支持部材６３ｂとの間隔を個別に調整して、揺れ検出センサ４７のθＹ方向の傾き（レーザ光Ｌ１の照射方向）が鉛直下方（−Ｚ方向）となるように調整可能である。
【００３５】
回転規制部６５は、中心軸ＡＸ１を中心とする可動部６３のθＹ方向の回転範囲を規定する。回転規制部６５は、基部６５ａと、ネジ部６５ｂと、ナット６５ｃとを有する。基部６５ａは、フレーム６１に固定される。ネジ部６５ｂは、図３に示すように、支持部材６３ｂにおいて揺れ検出センサ４７をＸ方向に挟んだ両側に配置される。ネジ部６５ｂは、支持部材６３ｂを貫通して配置され、基部６５ａに向けて突出した状態でナット６５ｃにより保持されている。ネジ部６５ｂの突出量はナット６５ｃとのネジ結合位置により調整可能である。可動部６３が中心軸ＡＸ１を中心としてθＹ方向に回転する場合、ネジ部６５ｂの先端が基部６５ａに当接することにより可動部６３の回転範囲を規定する。なお、ネジ部６５ｂの先端の位置は、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾く角度に応じて予め設定される。また、回転規制部６５は、３点（−Ｘ側でネジ部６５ｂが基部６５ａに当接する位置、真ん中、＋Ｘ側でネジ部６５ｂが基部６５ａに当接する位置）での位置決めを行うことにより、横出し機構４５の両側出し（−Ｘ方向への横出し、又は＋Ｘ方向への横出し）に対応することが可能である。
【００３６】
第１補正駆動部６６は、可動部６３に対してＸ方向の駆動力を付与する。第１補正駆動部６６は、アクチュエータ６６ａ及び伝達機構６６ｂを有する。アクチュエータ６６ａは、例えばソレノイド等が用いられる。伝達機構６６ｂは、アクチュエータ６６ａの駆動力を支持部材６３ｂに伝達する。なお、伝達機構６６ｂは、弾性部材を含んで構成されてもよい。第１補正駆動部６６が支持部材６３ｂを駆動することにより、支持部材６３ｂにはＸ方向の駆動力が作用する。その結果、可動部６３が中心軸ＡＸ１を中心としてθＹ方向に回転し、揺れ検出センサ４７の姿勢が変化し、可動部６３の回転位置に応じて揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１の照射方向が変動する。
【００３７】
なお、横出し機構４５によるＸ方向の突出量は、移載先Ｓの位置によって変動する。横出し機構４５による突出量に応じて、昇降駆動部４３のθＹ方向の傾きが変動する。従って、本実施形態では、横出し機構４５により昇降駆動部４３を突出させた場合、昇降駆動部４３のθＹ方向の傾きに応じて制御部８０がレーザ光Ｌ１の照射方向を変更すべきか否かを判断する。制御部８０がレーザ光Ｌ１の照射方向を変更すべきと判断したときには、後述する調整部８１により第１補正駆動部６６が支持部材６３ｂを駆動し、上記のように可動部６３を回転させて回転規制部６５によって所定位置に保持することにより、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１の照射方向を反射板４９（図１参照）に照射するように設定することができる。また、制御部８０は、第１補正駆動部６６により支持部材６３ｂを駆動する又は駆動しない、といった２種類の制御だけで昇降駆動部４３の傾きに応じて揺れ検出センサ４７からのレーザ光Ｌ１の照射方向を補正できる。なお、第１補正駆動部６６が支持部材６３ｂを駆動しない場合、伝達機構６６ｂは、第１補正駆動部６６であるソレノイド内に配置されたバネ等の弾性体により所定位置に保持される。その結果、可動部６３は、所定位置に保持され、揺れ検出センサ４７からのレーザ光Ｌ１の照射方向は、下方に向くように設定される。
【００３８】
図４は、第２補正機構７０の一例を示す斜視図である。図４に示すように、第２補正機構７０は、フレーム７１と、軸部７２と、可動部７３と、傾き調整機構７４と、第２補正駆動部７６とを有している。
【００３９】
フレーム７１は、金属板などで形成され、昇降駆動部４３にボルト等により固定される。フレーム７１は、下方に延びる帯状部７１ａを備える。軸部７２は、帯状部７１ａから突出して形成される。軸部７２は、Ｙ方向に平行な中心軸ＡＸ２を有する。可動部７３は、軸部７２を中心にフレーム７１に対してθＹ方向に回転する。可動部７３は、駆動片７３ａと、不図示の作用片とを有する。駆動片７３ａは、軸部７２から−Ｘ方向に延びてかつ上方に向けて屈曲して形成される。不図示の作用片は、軸部７２に対して＋Ｘ側に配置される。駆動片７３ａ及び作用片は、一体で中心軸ＡＸ２を中心としてθＹ方向に回動可能である。駆動片７３ａは、後述のセンサ固定部材７４ａを介してルックダウンセンサ４８を支持する。
【００４０】
傾き調整機構７４は、駆動片７３ａに対するルックダウンセンサ４８の傾きを調整する。傾き調整機構７４は、センサ固定部材７４ａと、取付ネジ７４ｂと、調整ネジ７４ｃとを有する。センサ固定部材７４ａは、取付ネジ７４ｂによって駆動片７３ａに取り付けられる。センサ固定部材７４ａの下端は、軸部７２の下方に突出して配置される。
【００４１】
調整ネジ７４ｃは、センサ固定部材７４ａの下端に取り付けられる。調整ネジ７４ｃは、ルックダウンセンサ４８をセンサ固定部材７４ａに固定し、かつ、センサ固定部材７４ａに対するルックダウンセンサ４８のθＹ方向の傾きを調整する。図４に示すように、本実施形態では、例えば＋Ｘ方向から見た場合に、ルックダウンセンサ４８の−Ｙ側かつ＋Ｚ側の角部と、＋Ｙ側かつ−Ｚ側の角部と、の２個所に調整ネジ７４ｃが配置される。２つの調整ネジ７４ｃを調整することにより、ルックダウンセンサ４８とセンサ固定部材７４ａとの距離を調整し、ルックダウンセンサ４８のθＹ方向の傾きを（レーザ光Ｌ２が所定方向に照射されるように）調整可能である。
【００４２】
傾き調整機構７４は、不図示の回転規制部を備えている。回転規制部は、中心軸ＡＸ２を中心とする可動部７３のθＹ方向の回転範囲を規定する。この回転規制部は、例えば、２つのネジ部が配置され、可動部７３が中心軸ＡＸ２を中心としてθＹ方向に回転する場合、ネジ部の先端が固定部分に当接することにより可動部７３の回転範囲を規定する。なお、回転規制部は、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾く角度に応じて予め設定される。また、回転規制部は、３点（−Ｘ側にルックダウンセンサ４８が傾いた位置、真ん中、＋Ｘ側にルックダウンセンサ４８が傾いた位置）での位置決めを行うことにより、横出し機構４５の両側出し（−Ｘ方向への横出し、又は＋Ｘ方向への横出し）に対応することが可能である。
【００４３】
第２補正駆動部７６は、可動部７３に対してＸ方向の駆動力を付与する。第２補正駆動部７６は、アクチュエータ７６ａ及び伝達機構７６ｂを有する。アクチュエータ７６ａは、例えばソレノイド等が用いられる。伝達機構７６ｂは、アクチュエータ７６ａの駆動力を駆動片７３ａに伝達する。なお、伝達機構７６ｂは、弾性部材を含んで構成されてもよい。第２補正駆動部７６が駆動片７３ａを駆動することにより、駆動片７３ａにはＸ方向の駆動力が作用する。その結果、可動部７３が中心軸ＡＸ２を中心としてθＹ方向に回転し、ルックダウンセンサ４８の姿勢が変化し、可動部７３の回転位置に応じてルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２の照射方向が変動する。
【００４４】
なお、上記したように、横出し機構４５によるＸ方向の突出量は、移載先Ｓの位置によって変動する。横出し機構４５による突出量に応じて、昇降駆動部４３のθＹ方向の傾きが変動する。従って、本実施形態では、横出し機構４５により昇降駆動部４３を突出させた場合、昇降駆動部４３のθＹ方向の傾きに応じて制御部８０がレーザ光Ｌ２の照射方向を変更すべきか否かを判断する。制御部８０がレーザ光Ｌ２の照射方向を変更すべきと判断したときには、後述する調整部８１により第２補正駆動部７６を駆動させ、上記のように可動部７３を回転させて、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２の照射方向を補正することができる。また、制御部８０は、第２補正駆動部７６により駆動片７３ａを駆動する又は駆動しない、といった２種類の制御だけで昇降駆動部４３の傾きに応じてルックダウンセンサ４８からのレーザ光Ｌ２の照射方向を補正できる。なお、第２補正駆動部７６が駆動片７３ａを駆動しない場合、第２補正駆動部７６であるソレノイド内に配置されたバネ等の弾性体により伝達機構７６ｂを所定位置に保持する。その結果、可動部７３は、所定位置に保持され、ルックダウンセンサ４８からのレーザ光Ｌ２の照射方向は、所定方向に向くように設定される。
【００４５】
なお、上記したアクチュエータ６６ａ及び７６ａは、ソレノイドであることに限定されない。例えば、電動モータを用いたボールねじ機構、あるいは油圧又は空圧シリンダ機構、リニアモータなどが使用されてもよい。
【００４６】
制御部８０は、搬送車１００の動作を統括的に制御する。制御部８０は、調整部８１と、記憶部８２と、を有する。調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量の調整、及び昇降駆動部４３に備えるセンサ４４の向きの調整のうち少なくとも一方を行う。調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量に応じて、上記の調整を行う。
【００４７】
つまり、横出し機構４５を搬送車１００の横方向に突出させた場合、横出し機構４５自身の重量、昇降駆動部４３の重量、昇降台４２の重量、及び物品ＦＰの重量等により、横出し機構４５にたわみが生じる。このたわみにより、移載先Ｓにおける移載位置の載置面の直上から昇降台４２（物品ＦＰ）がずれた状態となり、この状態で昇降台４２（物品ＦＰ）を下降させても、移載位置の載置面からずれて物品ＦＰを載置させることになる。また、物品ＦＰを移載先Ｓに載置する際（荷下ろし時）と、移載先Ｓの物品ＦＰを受け取る際（荷つかみ時）とでは、物品ＦＰの重さの分だけ横出し機構４５に生じるたわみの量が異なるので、昇降駆動部４３を移載位置の直上に配置させるには適正な横出し量が異なる。従って、このような昇降駆動部４３のずれを補正するため、横出し機構４５におけるたわみを考慮して、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量を調整する必要がある。そこで、調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び物品ＦＰの有無に応じて、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量の調整を行う。
【００４８】
調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量の調整を行う場合、図２に示すように、駆動装置５４の駆動量を調整することにより、Ｘ方向における上段部５１、中段部５２、及び下段部５３の位置を調整する。横出し機構４５のたわみにより、Ｘ方向における昇降駆動部４３の位置が本体部４０に近づいた位置にずれた状態となる。従って、調整部８１は、上段部５１、中段部５２、及び下段部５３の少なくとも一つについてＸ方向における位置を調整し、下段部５３に支持されている昇降駆動部４３の位置を調整する。図２では、横出し機構４５を−Ｘ方向に横出しした状態から、調整部８１により下段部５３を−Ｘ側に所定値△Ｘだけ移動させて調整を行った場合を一例として示している。なお、横出し機構４５を＋Ｘ方向に横出しする場合、調整部８１により下段部５３を＋Ｘ側に所定値だけ移動させて調整を行うようにする。
【００４９】
また、調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量に応じて、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８の調整を行う。横出し機構４５により横出しした状態では昇降台４２がθＹ軸まわりに回転した状態となっている。昇降台４２のθＹ軸まわりの回転に伴って揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８もθＹ軸まわりに回転する。このとき、揺れ検出センサ４７のθＹ軸まわりの回転が小さくても、昇降台４２の下降量が大きくなると、揺れ検出センサ４７と昇降台４２との距離が大きくなるため、昇降台４２の揺れ（振幅）がそれほど大きくない場合であってもレーザ光Ｌ１が反射板４９から外れるおそれがあり、揺れ検出センサ４７において許容限度を超えて揺れていると誤検出してしまう場合がある。また、ルックダウンセンサ４８では、θＹ軸まわりの回転が小さくても昇降台４２の下降量が大きくなると、作業者等の物体を検出すべき場所との距離が大きくなるため、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２が上記した場所から外れるおそれがあり、例えば、物品ＦＰの移載先Ｓであるロードポートなどを障害物と誤検出してしまう場合がある。従って、揺れ検出センサ４７の調整を行う場合、図３に示すように、調整部８１は、第１補正駆動部６６のアクチュエータ６６ａを駆動して、レーザ光Ｌ１の照射方向をθＹ方向に回転させ、下方に向けるように照射方向のずれを補正する。
【００５０】
また、ルックダウンセンサ４８の調整を行う場合、図４に示すように、調整部８１は、第２補正駆動部７６のアクチュエータ７６ａを駆動して、レーザ光Ｌ２の照射方向をθＹ方向に回転させ、所定の方向に向けるように照射方向のずれを補正する。
【００５１】
図５は、揺れ検出センサ４７による検出動作の一例を模式的に示す図である。図５に示すように、揺れ検出センサ４７は、反射板４９に向けてレーザ光Ｌ１を照射し、反射板４９で反射されたレーザ光Ｌ１を検出する。なお、図５では、揺れ検出センサ４７を用いた検出動作に際して、反射板４９に対するレーザ光Ｌ１のずれについて説明しているが、ルックダウンセンサ４８についても検出場所に対するレーザ光Ｌ２のずれについて同じことがいえる。
【００５２】
図５に示すように、揺れ検出センサ４７は、反射板４９に向けてレーザ光Ｌ１を照射し、反射板４９で反射されたレーザ光Ｌ１を検出する。制御部８０は、揺れ検出センサ４７の検出結果に基づいて、レーザ光Ｌ１の光軸位置の変動量を検出する。図５ではグリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している状態を示しているが、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない状態においても同様にレーザ光Ｌ１の光軸位置の変動量を検出する。反射板４９上のレーザ光Ｌ１の照射位置は、横出し機構４５のたわみにより変動し、さらに、昇降台４２の下降量によっても変動する。レーザ光Ｌ１の照射位置は、反射板４９上において矢印に示すようにＸ方向に変動する。従って、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量が大きくなり、かつ昇降台４２の下降量が大きくなると、レーザ光Ｌ１の照射位置が反射板４９から外れてしまい、揺れ検出センサ４７による検出ができなくなる。
【００５３】
図６は、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない場合において、昇降台４２の位置と光軸位置の変動量との関係を示す図である。図７は、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している場合において、昇降台４２の位置と光軸位置の変動量との関係を示す図である。図６及び図７は、実験結果又はシミュレーションにより得られた結果を表している。図６及び図７の横軸は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量を示し、図６及び図７の縦軸は昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量を示す。横出し量は、左右方向の中央が０を示し、中央から−Ｘ方向（図５の左方向）については最大値ＳＬ１まで、中央から＋Ｘ方向（図５の右方向）については最大値ＳＬ２までの値をそれぞれ示している。最大値ＳＬ１と最大値ＳＬ２とは、横出し機構４５の機構上の理由により異なっているが、同一とする機構が用いられてもよい。昇降台４２の下降量は、上端が０であり、下端が最大値ＤＣである。
【００５４】
図６に示すように、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない場合において、移載先Ｓが領域Ａ２に存在する場合は、その高さに応じて昇降台４２が配置され、レーザ光Ｌ１の照射位置が昇降台４２の反射板４９から外れないことが確認されたが、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量が大きく、かつ昇降台４２の下降量が大きい領域Ａ１、Ａ３に移載先Ｓが存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射位置が反射板４９から外れることが確認された。なお、領域Ａ１と領域Ａ３とは図６において領域の形状が異なっている。従って、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない場合において、移載先Ｓが領域Ａ２に存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する必要がなく、移載先Ｓが領域Ａ１、Ａ３に存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する必要がある。
【００５５】
また、図７に示すように、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している場合において、移載先Ｓが領域Ａ１２に存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射位置が反射板４９から外れないことが確認された。領域Ａ１２は、図６の領域Ａ２より狭くなっている。また、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量が大きく、かつ昇降台４２の下降量が大きい領域Ａ１１、Ａ１３に移載先Ｓが存在する場合には、レーザ光Ｌ１の照射位置が反射板４９から外れることが確認された。なお、領域Ａ１１と領域Ａ１３とは領域の形状が異なっている。また、領域Ａ１１は、図６の領域Ａ１よりＸ方向及びＺ方向に広くなっており、領域Ａ１３は、図６の領域Ａ３よりＸ方向及びＺ方向に広くなっている。従って、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している場合において、移載先Ｓが領域Ａ１２に存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する必要がなく、移載先Ｓが領域Ａ１１、Ａ１３に存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する必要がある。
【００５６】
制御部８０の調整部８１は、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない場合において、昇降台４２の高さが領域Ａ１、Ａ３に含まれる場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する。すなわち、調整部８１は、昇降台４２の高さが領域Ａ２に含まれる場合は調整せず、領域Ａ１に含まれる場合、及び領域Ａ３に含まれる場合の３段階の調整を行う。調整部８１は、昇降台４２の高さが領域Ａ２に含まれる場合、第１補正駆動部６６のアクチュエータ６６ａ（図３参照）を駆動させず、昇降台４２の高さが領域Ａ１に含まれる場合、アクチュエータ６６ａにより支持部材６３ｂを駆動させてレーザ光Ｌ１の照射方向を＋Ｘ側に傾け、昇降台４２の高さが領域Ａ３に含まれる場合、アクチュエータ６６ａにより支持部材６３ｂを駆動させてレーザ光Ｌ１の照射方向を−Ｘ側に傾ける。
【００５７】
調整部８１は、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している場合において、昇降台４２の高さが領域Ａ１１、Ａ１３に含まれる場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する。すなわち、調整部８１は、昇降台４２の高さが領域Ａ１２に含まれる場合は調整せず、領域Ａ１１に含まれる場合、及び領域Ａ１３に含まれる場合の３段階の調整を行う。調整部８１は、昇降台４２の高さが領域Ａ１２に含まれる場合、第１補正駆動部６６のアクチュエータ６６ａ（図３参照）により支持部材６３ｂを駆動させず、昇降台４２の高さが領域Ａ１１に含まれる場合、アクチュエータ６６ａにより支持部材６３ｂを駆動させてレーザ光Ｌ１の照射方向を＋Ｘ側に傾け、昇降台４２の高さが領域Ａ１３に含まれる場合、アクチュエータ６６ａにより支持部材６３ｂを駆動させてレーザ光Ｌ１の照射方向を−Ｘ側に傾ける。
【００５８】
図６と図７とを比較すると、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない場合（図６参照）に対して、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している場合（図７参照）の方が調整を要する領域が広くなっている。つまり、物品ＦＰを保持している場合、横出し機構４５により昇降駆動部４３を横出ししたときに物品ＦＰの重量が加わるので、横出し機構４５のたわみが大きくなり、昇降駆動部４３のθＹまわりの回転量が大きくなる。そのため、物品ＦＰを保持している場合には、物品ＦＰを保持していない場合に比べて、昇降台４２の下降量が小さくてもレーザ光Ｌ１が反射板４９から外れやすくなる。なお、調整部８１による調整は、調整しない場合を含めて３段階とすることに限定されず、２段階又は４段階以上であってもよい。
【００５９】
すなわち、調整部８１は、横出し量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第１の特定値）である場合、下降量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第１の閾値以上となる値）であれば、該横出し量の調整、及びレーザ光Ｌ１の照射方向の調整のうちいずれか一方又は双方を行う。一方、調整部８１は、横出し量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第１の特定値）である場合、下降量が図６（図７）に示す領域Ａ２（領域Ａ１２）に含まれる値（第１の閾値未満となる値）であれば、該横出し量の調整、及びレーザ光Ｌ１の照射方向の調整の双方を行わない。なお、横出し量や下降量は、後述するデータテーブルＤＴ１のデータに基づく。また、横出し機構４５のたわみに応じた調整（後述する横出し調整量、下降調整量）は、後述するデータテーブルＤＴ２のデータに基づく。
【００６０】
また、調整部８１は、下降量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第２の特定値）である場合、横出し量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第２の閾値以上となる値）であれば、該横出し量の調整、及びレーザ光Ｌ１の照射方向の調整のうちいずれか一方又は双方を行う。一方、調整部８１は、下降量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第２の特定値）である場合、横出し量が図６（図７）に示す領域Ａ２（領域Ａ１２）に含まれる値（第２の閾値未満となる値）であれば、該横出し量の調整、及びレーザ光Ｌ１の照射方向の調整の双方を行わない。なお、横出し量や下降量は、後述するデータテーブルＤＴ１のデータに基づく。また、横出し機構４５のたわみに応じた調整（後述する横出し調整量、下降調整量）は、後述するデータテーブルＤＴ２のデータに基づく。
【００６１】
図８は、移載を行う際の横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量を示す図である。図８（Ａ）は横出し量が大きい場合、図８（Ｂ）は横出し量が小さい場合の例を示している。横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量は、移載先Ｓの位置によって決定される。図８（Ａ）に示すように、本体部４０の直下に移載先Ｓがある場合は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出しを行わずに昇降駆動部４３によって昇降台４２を昇降させることで物品ＦＰの受け渡しが可能である。また、移載先Ｓが−Ｘ側にある場合、横出し機構４５を−Ｘ方向に最大の横出し量ＳＬ１として物品ＦＰの受け渡しを行う場合がある。移載先Ｓが＋Ｘ側にある場合、横出し機構４５を＋Ｘ方向に最大の横出し量ＳＬ２として物品ＦＰの受け渡しを行う場合がある。なお、最大の横出し量ＳＬ１、ＳＬ２は、いずれもさらに横出し可能な余地を残した状態で設定されている。
【００６２】
図８（Ａ）に示すように、横出し機構４５により昇降駆動部４３を横出し量ＳＬ１、ＳＬ２で横出しした場合には、横出し機構４５のたわみにより昇降駆動部４３の位置が所望の位置からＸ方向にずれてしまうので、調整部８１により、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量の調整を行う必要がある。図８（Ａ）では、昇降台４２（グリッパ４２ａ）が物品ＦＰを保持している場合（荷下ろし時）を示しているが、昇降台４２が物品ＦＰを保持していない場合（荷つかみ時）でも横出し機構４５により昇降駆動部４３を横出し量ＳＬ１、ＳＬ２で横出ししたときに、横出し機構４５のたわみにより昇降駆動部４３の位置が所望の位置からＸ方向にずれてしまう。従って、昇降台４２が物品ＦＰを保持していない場合でも、調整部８１により、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量の調整を行う必要がある。ただし、昇降台４２が物品ＦＰを保持している場合と、物品ＦＰを保持していない場合とで横出し機構４５のたわみ量が異なり、横出し機構４５による適正な横出し量が異なる。調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量を、物品ＦＰを保持している場合（荷下ろし時）と、昇降台４２が物品ＦＰを保持していない場合（荷つかみ時）とで、それぞれ異なる値により調整する。
【００６３】
また、移載先Ｓの位置によって、横出し機構４５は、＋Ｘ方向又は−Ｘ方向に任意の横出し量ＳＬｎとして横出しを行うことができる。図８（Ｂ）に示すように、本体部４０の中心から−Ｘ方向に距離ＳＬｎの位置に配置された移載先Ｓでは、横出し機構４５を−Ｘ方向に横出し量ＳＬｎとして横出しを行う。上記したように、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量によって横出し機構４５のたわみ量が変動し、移載先Ｓの直上に対する昇降台４２のＸ方向のずれ量が変動する。また、上記と同様に、物品ＦＰを保持している場合（荷下ろし時）と、昇降台４２が物品ＦＰを保持していない場合（荷つかみ時）とで、横出し機構４５のたわみ量が異なる。従って、調整部８１は、横出し機構４５の横出し量に応じて、昇降台４２における物品ＦＰの有無に基づき、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量をそれぞれ調整する。さらに、横出し機構４５で横出しした後、移載先Ｓの高さによっては昇降台４２の下降量が異なり、例えばレーザ光Ｌ１の照射方向が反射板４９から外れる場合、及びレーザ光Ｌ２の照射方向が所定の方向から外れる場合がある。このような場合、調整部８１は、レーザ光Ｌ１の照射方向、及びレーザ光Ｌ２の照射方向を調整する。
【００６４】
図９は、物品ＦＰの移載先の例を示す図である。図９に示すように、搬送車１００に対する移載先Ｓとしては、Ｘ方向及びＺ方向に異なる８つの移載先Ｓ１からＳ８が配置されている。図９では、移載先Ｓ１からＳ８を便宜上ひとつの図で表しているが、各移載先Ｓ１からＳ８は、Ｙ方向にそれぞれ別の位置に配置されている。なお、図９では、８つの移載先Ｓ１からＳ８を示しているが、８つ以上の移載先、例えば移載先Ｓ３とＳ４との間の移載先、移載先Ｓ６とＳ７との間の移載先、又は移載先Ｓ３とＳ６との間の移載先が設定されてもよい。図９において、−Ｘ側を左側と表記し、＋Ｘ側を右側と表記している。移載先Ｓ１は、左移載先である。移載先Ｓ２は、右移載先である。移載先Ｓ３は、左高所移載先である。移載先Ｓ４は、高所移載先である。移載先Ｓ５は、右高所移載先である。移載先Ｓ６は、左低所移載先である。移載先Ｓ７は、低所移載先である。移載先Ｓ８は、右低所移載先である。
【００６５】
図１０は、図９に示す物品ＦＰの移載先Ｓ１からＳ８を領域で示した例を示す図である。図１０に示すように、移載先がＳ１に示す領域に含まれる場合は移載先Ｓ１とする。同様に、移載先がＳ２〜Ｓ８に示す領域に含まれる場合は、それぞれ移載先Ｓ２からＳ８とする。このような移載先Ｓ１からＳ８の情報は、制御部８０の記憶部８２（図１参照）に例えばデータテーブルとして記憶されている。図１１は、移載先Ｓ１からＳ８の位置、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量に関するデータテーブルＤＴ１の一例を示す図である。
【００６６】
図１１に示すデータテーブルＤＴ１には、図９又は図１０に示す８つの移載先Ｓ１からＳ８について、それぞれの位置（座標値：Ｘ１、Ｙ１、Ｚ１など）と、その移載先Ｓ１からＳ８に対して物品ＦＰを受け渡すための横出し量ＳＬ１、ＳＬ２、ＳＬＸ１、ＳＬＸ２、及び昇降台４２の下降量Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３が格納されている。なお、データテーブルＤＴ１では、移載先Ｓ１とＳ２、移載先Ｓ３とＳ４とＳ５、移載先Ｓ６とＳ７とＳ８、が搬送車１００の走行方向において同一の位置（同一のＹ１、Ｙ２、Ｙ３の位置）である例を示しているが、搬送車１００の走行方向にずれていてもよい。
【００６７】
また、データテーブルＤＴ１中のＳＬＸ１、ＳＬＸ２は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量（移載先の位置）によって計算される値である。記憶部８２には所定の計算式が記憶されており、この計算式により横出し調整量ＳＬＬＸ１等が算出される。搬送車１００により移載先Ｓ１からＳ８のいずれかに対して物品ＦＰの受け渡しを行う場合、制御部８０は、データテーブルＤＴ１から対象となる移載先のデータを読み込み、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出しと、昇降駆動部４３による昇降台４２の下降とを行うことで物品ＦＰの受け渡しを行う。
【００６８】
その際、移載先Ｓ１からＳ８の位置によっては、横出し量の調整、及びセンサの向きの調整（揺れ検出センサ４７のレーザ光Ｌ１の照射方向、ルックダウンセンサ４８のレーザ光Ｌ２の照射方向）の少なくとも一方が必要な場合がある。調整部８１は、移載先Ｓ１からＳ８の位置、及び物品ＦＰの有無に応じて、横出し量の調整、下降量の調整、及びセンサの向きの調整を行う。調整部８１は、移載先Ｓ１からＳ８の位置に応じて、記憶部８２に記憶されているデータテーブルＤＴ２から横出し量の調整、下降量の調整、及びセンサの向きの調整を行う。
【００６９】
図１２は、横出し調整量、センサの向きの調整に関するデータテーブルＤＴ２の一例を示す図である。調整部８１は、記憶部８２のデータテーブルＤＴ１から物品ＦＰの移載先Ｓ１からＳ８に関する情報を取得して、対象の移載先において必要な横出し量の調整、及びセンサ４４の向きの調整、のうちいずれか一方又は双方をデータテーブルＤＴ２に基づいて行う。また、データテーブルＤＴ２には、昇降台４２の下降量を調整する下降調整量に関するデータが含まれる。横出し機構４５にたわみが生じると、移載先Ｓと昇降台４２との間隔も変化する。調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量に応じて、データテーブルＤＴ１から取得した昇降台４２の下降量Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３を、データテーブルＤＴ２に基づき調整する。
【００７０】
図１２に示すデータテーブルＤＴ２は、移載先Ｓ１（左ＳＴＢ）において、グリッパ４２ａが物品を保持している場合（「有」の場合）、横出し機構４５による横出し量ＳＬ１に対する横出し調整量（図２に示すΔＸ）がＳＬＬ１であり、昇降台４２の下降量Ｈ１に対する下降調整量がＨ１Ａであり、センサ４４のアクチュエータ６６ａ、７６ａがオフであることを示している。また、移載先Ｓ１において、グリッパ４２ａが物品を保持していない場合（「無」の場合）、横出し調整量がＳＬＬ２であり、下降調整量がＨ１Ｂであり、センサ４４のアクチュエータ６６ａ、７６ａがオフであることを示している。
【００７１】
他の移載先についてはデータテーブルＤＴ２に示すとおりである。なお、移載先Ｓ４、Ｓ７は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出しを行わないので、横出し機構４５のたわみが生じておらず、調整部８１による横出し量の調整、下降量の調整、及びセンサの向きの調整を行っていない。また、データテーブルＤＴ２中のＳＬＬＸ１、ＳＬＬＸ２、ＳＬＲＸ１、ＳＬＲＸ２は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量によって計算される値である。記憶部８２には所定の計算式が記憶されており、この計算式により横出し調整量ＳＬＬＸ１等が算出される。また、センサ４４のアクチュエータ６６ａ、７６ａのオン（１）は、レーザ光Ｌ１等の照射方向を＋Ｘ側に傾けることを意味する。また、オン（２）は、レーザ光Ｌ１等の照射方向を−Ｘ側に傾けることを意味する。
【００７２】
このように、データテーブルＤＴ２により各移載先Ｓ１からＳ２において調整する内容が予め記憶されているので、制御部８０の処理負担を軽減できる。なお、横出し調整量ＳＬＬ１、ＳＬＬ２、ＳＬＲ１、ＳＬＲ２、ＳＬＬＸ１、ＳＬＬＸ２、ＳＬＲＸ１、ＳＬＲＸ２、及び下降調整量Ｈ１Ａ、Ｈ１Ｂ、Ｈ１Ｃ、Ｈ１Ｄ、Ｈ２Ａ、Ｈ２Ｂ、Ｈ２Ｃ、Ｈ２Ｄ、Ｈ３Ａ、Ｈ３Ｂ、Ｈ３Ｃ、Ｈ３Ｄについては、各移載先Ｓ１からＳ８に対して実際に物品ＦＰの荷下ろし又は荷つかみを行って求められた値であってもよいし、シミュレーションによって求められた値であってもよい。なお、データテーブルＤＴ２は、搬送車１００ごとに自車の機差を含めて設定されている。すなわち、横出し機構４５による同一の横出し量であっても、搬送車１００ごとの剛性等により横出し機構４５のたわみ量が異なる。従って、搬送車１００ごとに設定されたデータテーブルＤＴ２を用いることにより、各搬送車１００は、各移載先Ｓ１からＳ８に対して正確に物品ＦＰの荷下ろし又は荷つかみを行うことができる。
【００７３】
図１３は、本実施形態に係る搬送車の他の例を示す図である。図１３に示すように、処理室ＰＲ内には、上下２段のレールＲが設けられ、各レールＲに搬送車１００が走行する。この構成において、上側の搬送車１００に搭載されているルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２は、横出し機構４５のたわみによって、−Ｘ側に傾いた状態となる。この状態では、レーザ光Ｌ２が下側の搬送車１００に照射され、ルックダウンセンサ４８によって異常と誤検出する可能性があり、搬送車１００の動作を無駄に停止させる場合がある。
【００７４】
本実施形態において、調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量に応じて、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２の照射方向を＋Ｘ側に照射するように補正する。その結果、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２は、照射方向Ｌ２ａに補正されることで下側の搬送車１００から離れ、ルックダウンセンサ４８による誤検出を防止することができる。
【００７５】
次に、上記のように構成された搬送車１００の動作を説明する。搬送車１００の各部の動作は、制御部８０により行う。制御部８０は、走行駆動部１０を駆動させることで搬送車１００をレールＲに沿って走行させる。制御部８０は、搬送車１００の走行と並行して横出し機構４５を＋Ｘ側又は−Ｘ側に突出させてもよいし、突出させないようにしてもよい。制御部８０は、グリッパ４２ａで把持している物品ＦＰを移載先Ｓ（図１参照）に載置する場合、又は移載先Ｓに載置された物品ＦＰをグリッパ４２ａで把持する場合、移載先Ｓに対応した所定位置に搬送車１００を停止させる。搬送車１００の停止位置は、例えば、移載先Ｓの直上又は移載先Ｓの直上から横にずれた位置である。
【００７６】
次に、制御部８０は、移載先Ｓがレールの直下から横にずれている場合、横出し機構４５により昇降駆動部４３を本体部４０の側方に突出させる。制御部８０は、移載先Ｓに応じて横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量を予め取得している（図１１のデータテーブルＤＴ１参照）。また、調整部８１は、移載先Ｓに応じて、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及びセンサ４４の向きの少なくとも一方を、図１２のデータテーブルＤＴ２に基づいて調整する。調整部８１による調整は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出しを行う前であってもよいし、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出しを行っている間のいずれであってもよい。
【００７７】
調整部８１による調整により、昇降台４２は移載先Ｓの直上に配置され、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１は、照射方向が反射板４９から外れることが防止されるとともに、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２は、移載先Ｓの近傍に向けて適切に照射される。さらに、調整部８１により、昇降台４２の下降量が調整される。なお、グリッパ４２ａが物品ＦＰを把持しているときと、物品ＦＰを把持していないときとで、調整部８１による調整が異なるのは上記のとおりである（図１２のデータテーブルＤＴ２参照）。
【００７８】
次に、制御部８０は、昇降台４２を下降させてグリッパ４２ａで把持している物品ＦＰを移載先Ｓに載置する、又は昇降台４２を下降させて移載先Ｓに載置されている物品ＦＰをグリッパ４２ａで把持する。次に、制御部８０は、昇降台４２を上昇させた後、横出し機構４５を駆動させて昇降台４２（物品ＦＰ）を本体部４０に収容する。制御部８０は、本体部４０への昇降台４２の収容後、走行駆動部１０を駆動させることにより、搬送車１００をレールＲに沿って走行させる。
【００７９】
このように、本実施形態によれば、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量に応じて、移載先に対して物品ＦＰを渡す場合と物品ＦＰを受け取る場合とでの横出し量の調整を行うことにより、物品ＦＰを搬送先に対して正確に受け渡すことができる。また、横出し量及び昇降台４２の下降量に応じて、昇降駆動部４３に備えるセンサ４４の向きの調整を行うことにより、センサ４４の向きを目標とする方向にむけることができ、センサ４４の適切な作動を確保しつつ、誤検出を抑制することができる。
【００８０】
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した補正機構は一例であって、他の構成を持つ補正機構が適用されてもよい。また、センサ４４は、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８に限定されず、指向性を持つ検出波を照射する任意のセンサであってもよい。
【００８１】
なお、上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１８−２３４４６８、及び、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
【符号の説明】
【００８２】
ＦＰ・・・物品
Ｌ１、Ｌ２・・・レーザ光
Ｒ・・・レール（軌道）
Ｓ、Ｓ１からＳ８・・・移載先
１０・・・走行駆動部
４０・・・移載装置
４１・・・本体部
４２・・・昇降台
４２ａ・・・グリッパ（保持部）
４３・・・昇降駆動部
４３ａ・・・ベルト（吊持部材）
４４・・・センサ
４５・・・横出し機構
４６・・・補正機構
４７・・・揺れ検出センサ
４８・・・ルックダウンセンサ
４９・・・反射板
５１・・・上段部
５２・・・中段部
５３・・・下段部
５４・・・駆動装置
６０・・・第１補正機構
６６ａ、７６ａ・・・アクチュエータ
７０・・・第２補正機構
８０・・・制御部
８１・・・調整部
８２・・・記憶部
１００・・・搬送車
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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2020121765.tif 000018
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