(57)【要約】本実施形態に係る位相板１は、透光性の基板２、基板上に波長が長いほど屈折率が高い材料から形成された、光の透過率を変調するとともに、可視光線の波長域に対して透過光の位相を４分の１波長遅らせる第１変調部３ａ、及び基板上の第１変調部の周囲に形成された、光の透過率を、第１変調部の透過率と異なる透過率に変調する第２変調部４ａを備える。波長が長いほど屈折率が高い材料を用いて基板上に第１変調部を形成することで、可視光領域内の任意の波長に対して第１変調部を透過する光の位相を同厚の空気層を通る光の位相に対して４分の１波長遅らせる位相特性を具現することができ、これによりブライトコントラスト法による位相差観察において利用可能な位相板を提供することが可能となる。
2019235511.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性の基板と、
前記基板上に波長が長いほど屈折率が高い第１材料から形成された、光の透過率を変調するとともに、波長域に対して透過光の位相を４分の１波長遅らせる第１変調部と、
前記基板上の前記第１変調部の周囲に形成された、光の透過率を、前記第１変調部の透過率と異なる透過率に変調する第２変調部と、
を備える位相板。
【請求項２】
前記波長域は可視光線の波長域である、請求項１に記載の位相板。
【請求項３】
前記第１材料は、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、及びタンタル（Ｔａ）のうちの少なくとも１つを含む、請求項１又は２に記載の位相板。
【請求項４】
前記第１変調部は、波長が長いほど屈折率が低い第２材料を用いて上面が覆われる、請求項１から３のいずれか一項に記載の位相板。
【請求項５】
前記第２材料は、前記第１材料の酸化物である、請求項４に記載の位相板。
【請求項６】
前記第２変調部は、前記第１材料を用いて前記第１変調部と異なる厚さで形成される、請求項１から５のいずれか一項に記載の位相板。
【請求項７】
前記第２変調部は、前記第１変調部より小さい厚さを有する、請求項６に記載の位相板。
【請求項８】
前記第１変調部及び前記第２変調部は、前記第１変調部及び前記第２変調部が占める前記基板上の領域に前記第２変調部に等しい厚さで成形された第１部分と、前記第１部分上の前記第１変調部が占める領域に前記第１変調部及び前記第２変調部の厚さの差に等しい厚さで形成された第２部分と、を有する、請求項７に記載の位相板。
【請求項９】
前記第１変調部は、輪帯形状を有する、請求項１から８のいずれか一項に記載の位相板。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載の位相板を備える対物レンズ。
【請求項１１】
請求項１０に記載の対物レンズを備える観察装置。
【請求項１２】
請求項１から９のいずれか一項に記載の位相板と、
前記位相板と共役な位置に配される対物レンズと、
を備える観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位相板、対物レンズ、及び観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
位相差顕微鏡は、被検体を照明光により照明し、被検体により回折した光を対物レンズ内に配された位相板を介することで位相を変調し、これにより生じる光の位相差をコントラストに変換することで被検体の明暗像を観察する。位相差顕微鏡は、生物標本などの無色透明な被検体を染色することなしに観察することができる。例えば特許文献１には、被検体（媒質よりも高い屈折率を持つ位相物体）を背景より暗いコントラストで観察するダークコントラスト法による位相差顕微鏡で利用可能な位相板が開示されている。被検体を背景より明るいコントラストで観察するブライトコントラスト法では、ダークコントラスト法とは異なる位相板が必要である。
［特許文献１］特開平６−２８９４３８号公報
【一般的開示】
【０００３】
（項目１）
位相板は、透光性の基板を備えてよい。
位相板は、基板上に波長が長いほど屈折率が高い第１材料から形成された、光の透過率を変調するとともに、波長域に対して透過光の位相を４分の１波長遅らせる第１変調部を備えてよい。
位相板は、基板上の第１変調部の周囲に形成された、光の透過率を、第１変調部の透過率と異なる透過率に変調する第２変調部を備えてよい。
（項目２）
波長域は可視光線の波長域であってよい。
（項目３）
第１材料は、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、及びタンタル（Ｔａ）のうちの少なくとも１つを含んでよい。
（項目４）
第１変調部は、波長が長いほど屈折率が低い第２材料を用いて上面が覆われてよい。
（項目５）
第２材料は、第１材料の酸化物であってよい。
（項目６）
第２変調部は、第１材料を用いて第１変調部と異なる厚さで形成されてよい。
（項目７）
第２変調部は、第１変調部より小さい厚さを有してよい。
（項目８）
第１変調部及び第２変調部は、第１変調部及び第２変調部が占める基板上の領域に第２変調部に等しい厚さで成形された第１部分と、第１部分上の第１変調部が占める領域に第１変調部及び第２変調部の厚さの差に等しい厚さで形成された第２部分と、を有してよい。
（項目９）
第１変調部は、輪帯形状を有してよい。
【０００４】
（項目１０）
対物レンズは、項目１から９のいずれか一項に記載の位相板を備えてよい。
【０００５】
（項目１１）
観察装置は、項目１０に記載の対物レンズを備えてよい。
【０００６】
観察装置は、項目１から９のいずれか一項に記載の位相板と、位相板と共役な位置に配される対物レンズと、を備えてよい。
【０００７】
なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施形態に係る位相板の構成を正面視により示す。
【図２】図１における基準線ＢＢに関する位相板の断面構成を示す。
【図３】位相板による位相の波長分散の実施例を示す。
【図４】位相板による位相の波長分散の比較例を示す。
【図５】位相板による位相の波長分散の別の比較例を示す。
【図６】位相差顕微鏡の概略構成を示す。
【図７】本実施形態に係る位相板を用いた位相差顕微鏡により被検体を観察して得られた明暗像の実施例及び比較例を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１０】
図１及び図２に、本実施形態に係る位相板１の構成を示す。ここで、図１は、正面図であり、図２は、図１における基準線ＢＢに関する断面図である。位相板１は、ブライトコントラスト法による位相差観察において利用可能な光の透過率及び位相を変調する位相板であり、基板２、第１変調部３ａ、及び第２変調部４ａを備える。なお、ブライトコントラスト法とは、被検体（すなわち、被検体内の媒質及び位相物体）を透過する直接光の位相を媒質よりも高い屈折率を有する被検体内の位相物体により回折した光（すなわち、回折光）に対して１／４波長遅らせて直接光及び回折光間の位相差をゼロにすることで、被検体を明るく、背景を暗く映すコントラスト法をいう。
【００１１】
基板２は、第１及び第２変調部３ａ，４ａを支持する板状部材である。基板２は、可視光領域（例えば、３８０〜７８０ｎｍの波長領域）において透光性を有する部材、例えばガラス基板を採用することができる。なお、後述する第１及び第２変調部３ａ，４ａが形成されない基板２の上面、すなわち輪帯状の第１及び第２変調部３ａ，４ａの内側及び外側の露出面は、光の透過率も位相も変調しない無変調部２ａをなす。
【００１２】
第１変調部３ａは、光の透過率を変調するとともに、透過光の位相を同厚の空気層を通る光に対して４分の１波長遅らせる膜体である。第１変調部３ａは、基板２上に、一例として輪帯照明を用いて被検物を照明して観察する場合に対応して輪帯状に形成されている。なお、輪帯に限らず、照明形状に対応して、円、矩形等の任意の小幅の形状であってもよい。第１変調部３ａは、本体３ｂ及び調整膜３ｃを含む。
【００１３】
本体３ｂは、基板２の直上に形成された部分である。本体３ｂは、可視光領域（可視光線の波長域の意味であり、特に基準波長５５０ｎｍ）において光の透過率が１未満且つ屈折率が１以上であり、特に波長が長いほど屈折率が高い材料から形成することができる。このような屈折率の波長特性を逆分散性ともいい、逆分散性を有する材料を逆分散性材料とも呼ぶ。なお、透過光の位相の遅れが波長の増大に対して増大する材料を用いてもよい。斯かる逆分散性材料として、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、又はタンタル（Ｔａ）を使用することができる。これらの金属を使用することで小さい膜厚で光の透過率を十分下げることができ、それによりブライトコントラスト法による位相差観察において被検物の細部を鮮明に映し出すことが可能となる。
【００１４】
調整膜３ｃは、本体３ｂによる第１変調部３ａの波長分散性を調整するために本体３ｂの上面を覆う部分である。調整膜３ｃは、波長が長いほど屈折率が低い材料から形成することができる。このような屈折率の波長特性を正分散性ともいい、正分散性を有する材料を正分散性材料とも呼ぶ。なお、透過光の位相の遅れが波長の増大に対して減少する材料を用いてもよい。これにより第１変調部３ａによる位相の波長分散が調整され、本体３ｂ及び調整膜３ｃの２層のみで目的の位相の波長分散を具現することができる。斯かる正分散性材料として、本体３ｂを形成する材料の酸化物、例えばＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、又はＴａ２Ｏ５を使用することができる。本体３ｂを形成する材料と調整膜３ｃを形成する材料とが相反する分散性を示すことで、これらを用いて第１変調部３ａを構成することができることに加えて、それぞれが同一の金属を含むことで位相板１の製造工程において使用される薬液等に対して同じ耐性を示すこととなり、位相板１を容易に製造することが可能となる。
【００１５】
第２変調部４ａは、光の透過率を第１変調部３ａと異なる透過率（ただし、１未満）に変調する膜体である。第２変調部４ａは、基板２上に、第１変調部３ａの周囲、つまり輪帯状の第１変調部３ａをその内側及び外側のそれぞれに配される２つの輪帯で挟むように形成されている。第２変調部４ａは、第１変調部３ａの本体３ｂを形成するのに用いられる材料と同一の材料を用いて、ただし第１変調部３ａと異なる膜厚で形成される。つまり、第２変調部４ａにおける光の透過率は、第１変調部３ａにおけるそれと異なることとなる。本実施形態では、第２変調部４ａは、第１変調部３ａより小さい膜厚で形成される。それにより、第２変調部４ａの透過率は第１変調部３ａの透過率より大きくなり、また透過光の位相の変調は小さくなる。
【００１６】
基板２上に第１及び第２変調部３ａ，４ａを形成する方法を説明する。
【００１７】
まず、基板２上に第１及び第２変調部３ａ，４ａが占める円環状の領域が開口する１つめのレジスト膜を成形する。
【００１８】
次いで、スパッタリング法により、１つめのレジスト膜をマスクとして使用し、上記の逆分散性材料を基板２上に堆積して、輪帯状の第１レイヤ４を成形する。第１レイヤ４の厚さは、第２変調部４ａの所望の透過率が得られる厚さに定められる。例えば、逆分散性材料としてタンタル（Ｔａ）を使用した場合、第１レイヤ４の厚さは約２５ｎｍである。これにより、第２変調部４ａの透過率、約８％が得られ、位相差の大きい被検物を観察した際にハロー、すなわち物体像の周囲に生じ得る隈取り状の光の滲みが生ずることなく、良好なコントラストを得ることができる。
【００１９】
次いで、基板２上の１つめのレジスト膜上に又は１つめのレジスト膜を剥離した基板２上に、第１変調部３ａが占める円環状の領域が開口する２つめのレジスト膜を成形する。なお、基板２上のレジスト膜を剥離する場合、剥離液を使用してもよい。
【００２０】
次いで、スパッタリング法により、２つめのレジスト膜をマスクとして使用し、先に使用した逆分散性材料と同一の材料を第１レイヤ４上に堆積して、輪帯状の第２レイヤ３を成形する。第２レイヤ３の厚さは、第１変調部３ａの所望の透過率が得られる厚さに定められる。例えば、タンタル（Ｔａ）を使用した場合、第２レイヤ３の厚さは約２５ｎｍ（第１及び第２レイヤ４，３の合計の厚さは約５０ｎｍ）である。これにより、第１変調部３ａ（本体３ｂ）の透過率、約２％が得られる。この第１変調部３ａの小さい透過率により、回折光の微小な位相差を検出することが可能となる、すなわち被検物の解像力が上がる。
【００２１】
以上の工程により、基板２上に、図１に示すように正面視において輪帯状の第１変調部３ａの本体３ｂ及びこれを囲む第２変調部４ａが形成される。そこで、およそ可視光領域の全域において、第１変調部３ａの本体３ｂの屈折率及び膜厚の積がおよそ光の波長の４分の１に等しいことを確認する。
【００２２】
さらに、スパッタリング法により、２つめのレジスト膜をマスクとして使用し、上記の正分散性材料を第２レイヤ３上に堆積して、調整膜３ｃを成形する。ここで、正分散性材料として、先に使用した逆分散性材料の酸化物を使用することができる。例えば逆分散性材料としてタンタル（Ｔａ）を使用した場合、正分散性材料としてＴａ２Ｏ５を使用することができる。これにより第１変調部３ａによる位相の波長分散が調整され、可視光領域において透過光の位相が同厚の空気層を通る光（すなわち、無変調部２ａを通る光）に対して４分の１波長遅れる位相特性が具現される。
【００２３】
最後に、基板２上からレジスト膜を剥離することで、位相板１が得られる。なお、剥離液を使用してレジスト膜を剥離してもよい。ここで、基板２上に形成された第１及び第２変調部３ａ，４ａは、第１及び第２変調部３ａ，４ａが占める基板２上の領域に第２変調部４ａに等しい膜厚で成形された第１レイヤ４、第１レイヤ４上の第１変調部３ａが占める領域に第１及び第２変調部３ａ，４ａの厚さの差に等しい膜厚で形成された第２レイヤ３を含んで構成される。斯かる積層構造により、第１及び第２変調部３ａ，４ａを簡便に位置合わせして基板２上に形成することができる。
【００２４】
図３に、上述の通り構成された位相板１による位相の波長分散の例（実施例）を示す。ここで、図面左及び右に、それぞれ、およそ可視光領域における第１変調部３ａの屈折率の波長分散及び透過光の位相の波長分散（第１変調部３ａを透過した光の位相の遅れ）を示す。逆分散性材料チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、又はタンタル（Ｔａ）を使用して本体３ｂを形成し、正分散性材料、すなわち本体３ｂを形成する材料の酸化物ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、又はＴａ２Ｏ５を使用して調整膜３ｃを形成することで、第１変調部３ａの屈折率が波長に比例して増大することとなる。これにより、第１変調部３ａを透過する光の位相は、およそ可視光領域において波長に対して一定して（３６０度を基準に）９０度遅れることとなる。
【００２５】
図４に、位相板による位相の波長分散の比較例を示す。ここで、図面左及び右に、それぞれ、およそ可視光領域における第１変調部３ａの屈折率の波長分散及び透過光の位相の波長分散（第１変調部３ａを透過した光の位相の遅れ）を示す。本例のように第１変調部３ａの屈折率が波長に対してほぼ一定である場合、第１変調部３ａを透過する光の位相の遅れはおよそ可視光領域において波長の増大に対して増大する。
【００２６】
図５に、位相板による位相の波長分散の別の比較例を示す。ここで、図面左及び右に、それぞれ、およそ可視光領域における第１変調部３ａの屈折率の波長分散及び透過光の位相の波長分散（第１変調部３ａを透過した光の位相の遅れ）を示す。本例のように第１変調部３ａの屈折率が波長の増大に対して減少する場合、第１変調部３ａを透過する光の位相の遅れはおよそ可視光領域において波長の増大に対してより強く増大する。
【００２７】
以上詳細に説明したように、本実施形態に係る位相板１は、透光性の基板２、基板２上に波長が長いほど屈折率が高い材料から形成された、光の透過率を変調するとともに、可視光線の波長域に対して透過光の位相を４分の１波長遅らせる第１変調部３ａ、及び基板２上の第１変調部３ａの周囲に形成された、光の透過率を、第１変調部３ａの透過率と異なる透過率に変調する第２変調部４ａを備える。波長が長いほど屈折率が高い材料を用いて基板２上に第１変調部３ａを形成することで、可視光領域内の任意の波長に対して第１変調部３ａを透過する光の位相を同厚の空気層を通る光（すなわち、無変調部２ａを通る光）の位相に対して４分の１波長遅らせる位相特性を具現することができ、これによりブライトコントラスト法による位相差観察において利用可能な位相板を提供することが可能となる。
【００２８】
図６に、本実施形態に係る位相板１を用いた位相差顕微鏡１０（観察装置の一例）の概略構成を示す。位相差顕微鏡１０は、光源ＬＳ、絞りＡＰ、レンズＧ１、及び対物レンズＧを備える。光源ＬＳは、照明光を生成する。絞りＡＰは、輪帯状の開口を有し、レンズＧ１の前側焦点位置Ｆに配置される。レンズＧ１は、絞りＡＰを介した照明光を集光する。対物レンズＧは、一対のレンズＧ２，Ｇ３及びこれらの間に配された位相板１を有する。位相板１は、レンズＧ２の後側焦点位置Ｆ'に絞りＡＰと共役に、すなわち第１変調部３ａの形状が絞りＡＰの開口の形状とレンズＧ１，Ｇ２の合成倍率で相似であり、第１変調部３ａが絞りＡＰの開口と共役な位置に配されている。
【００２９】
上述の構成の位相差顕微鏡１０において、光源ＬＳから射出された照明光は、絞りＡＰを介することで輪帯状に制限され、レンズＧ１により集光されて被検物Ｏを照明する。被検物Ｏを透過した光は、対物レンズＧによって像面１１に集光されて結像される。ここで、被検物Ｏを照明した照明光は、被検物を透過した直接光Ｌ１及び被検物により回折した回折光（±１次）Ｌ２に分かれて、それぞれ位相板１の第１変調部３ａ及び無変調部２ａを透過する。なお、直接光Ｌ１と±１次の回折光Ｌ２のそれぞれとの間の角度差を回折角θとする。回折に伴い、直接光Ｌ１の位相が回折光Ｌ２に対して４分の１波長遅れる。位相板の作用により、直接光Ｌ１と回折光Ｌ２とが像面１１上に集光されて互いに干渉することで、それらの間の位相差が像の明暗として再現されて、被検物Ｏを観察することができる。
【００３０】
なお、構造（位相差量）の大きな被検物を観察する場合、回折角θが小さくなり、且つ回折光Ｌ２の強度が大きくなる。このため、直接光Ｌ１と回折光Ｌ２との離間距離が小さくなり、直接光Ｌ１は第１変調部３ａ、回折光Ｌ２は第２変調部４ａを透過することとなる。したがって、第１及び第２変調部３ａ，４ａのそれぞれの透過率の比が回折光Ｌ２に対する直接光Ｌ１の実質的な透過率変調となることで、低コントラストの観察像を得ることができる。
【００３１】
また、構造（位相差量）の小さな被検物を観察する場合、回折角θが大きくなり、且つ回折光Ｌ２の強度が小さくなる。このため、直接光Ｌ１と回折光Ｌ２との離間距離が大きくなり、直接光Ｌ１は第１変調部３ａ、回折光Ｌ２は無変調部２ａをそれぞれ透過する。したがって、第１変調部３ａ及び無変調部２ａのそれぞれの透過率の比が回折光Ｌ２に対する直接光Ｌ１の実質的な透過率変調となることで、直接光Ｌ１の振幅のみを低下させる高コントラストの観察像を得ることができる。
【００３２】
位相板１を使用することで、第１変調部３ａ、第２変調部４ａ、及び無変調部２ａで段階的に透過率が異なるため、被検物の構造にかかわらず、直接光Ｌ１と回折光Ｌ２との振幅（光量比）が適度に変調、好ましくは略等しくなるように変調されるので、ブライトコントラスト法において、暗い背景上で被検体を明るく映すコントラストの良い観察像を得ることができる。
【００３３】
図７に、本実施形態に係る位相板１を用いた位相差顕微鏡１０により被検体を観察して得られた明暗像の実施例及び比較例を示す。（Ａ）から（Ｃ）は、それぞれ、対物レンズＤＬＬを用いたコントラストの低いダークコントラスト法、対物レンズＤＭを用いたコントラストの比較的高いダークコントラスト法、及び対物レンズＢＭを用いたコントラストの比較的高いブライトコントラスト法により得られた像である。（Ｄ）が、本実施形態に係る位相板１を備える位相差顕微鏡１０により対物レンズＡＢＨを用いたコントラストの高いブライトコントラスト法（アポディゼイションブライトコントラスト法）により得られた像である。なお、被検体として、マウス初期胚（サイズは直径約８０μｍ）を使用した。（Ａ）及び（Ｂ）の像では、明るい背景に対して被検体の内部が暗く映し出されている。（Ｃ）の像では、暗い背景に対して被検体の内部が明るく映し出されている。ただし、これらはハローが生じている。（Ｄ）の像では、（Ｃ）と同様に暗い背景に対して被検体の内部が明るく、ただしハローが生じることなく被検体の内部が断層的に明るいコントラストで鮮明に映し出されている。
【００３４】
なお、本実施形態に係る位相板１では、第１変調部３ａの本体３ｂを形成する材料として、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、又はタンタル（Ｔａ）を使用することとしたが、これに限らず、それらの任意の組み合わせを使用してもよいし、さらに別の材料を含んでもよい。複数の材料を使用する場合、それらを含む１つの膜体を基板２上に形成してもよいし、それぞれを含む複数のレイヤを基板２上に積層してもよい。
【００３５】
なお、本実施形態に係る位相板１では、第２変調部４ａを第１変調部３ａの本体３ｂと同じ材料を用いて形成することとしたが、異なる材料を用いて形成してもよい。斯かる場合、一例として、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、ニオブ（Ｎｂ）、銀（Ａｇ）、タンタル（Ｔａ）、金（Ａｕ）、及びインコネル（クロム、鉄、ケイ素等を含むニッケル合金）のうちの１つ又は任意の組み合わせを使用してよい。
【００３６】
なお、本実施形態に係る位相差顕微鏡１０は、位相板１を有する対物レンズＧを含んで構成されるものとしたが、これに限らず、位相板１と対物レンズＧとを別個に含んで構成されるものとしてもよい。斯かる場合、位相板１と対物レンズＧの射出瞳面とは、互いに光学的に共役な位置に配されることとする。それにより、ブライトコントラスト法により、暗い背景上で微小な被検体を明るく映して観察することができる。
【００３７】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
【００３８】
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００３９】
１…位相板、２…基板、２ａ…無変調部、３…第２レイヤ、３ａ…第１変調部、３ｂ…本体、３ｃ…調整膜、４…第１レイヤ、４ａ…第２変調部、１０…位相差顕微鏡、１１…像面、ＡＰ…絞り、Ｇ…対物レンズ、Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３…レンズ、Ｌ１…直接光、Ｌ２…回折光、ＬＳ…光源、Ｏ…被検物。
【図１】
2019235511.tif 000003
【図２】
2019235511.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2019235511.tif 000008
【図７】
2019235511.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】令和2年11月26日(2020.11.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性の基板と、
前記基板上に波長が長いほど屈折率が高い第１材料から形成された、光の透過率を変調するとともに、可視光線の波長域に対して透過光の位相を４分の１波長遅らせる第１変調部と、
前記基板上の前記第１変調部の周囲に形成された、光の透過率を、前記第１変調部の透過率と異なる透過率に変調する第２変調部と、
を備え、
前記第２変調部は前記第１変調部を挟むように両側に配置され、
前記第１変調部および第２変調部以外の領域に無変調部を有するブライトコントラスト用位相板。
【請求項２】
前記第１材料は、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、及びタンタル（Ｔａ）のうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の位相板。
【請求項３】
前記第１変調部は、波長が長いほど屈折率が低い第２材料を用いて上面が覆われる補正膜を有する、請求項１又は２に記載の位相板。
【請求項４】
前記第２材料は、前記第１材料の酸化物である、請求項３に記載の位相板。
【請求項５】
前記第２変調部は、前記第１材料を用いて前記第１変調部と異なる厚さで形成される、請求項１から４のいずれか一項に記載の位相板。
【請求項６】
前記第２変調部は、前記第１変調部より小さい厚さを有する、請求項５に記載の位相板。
【請求項７】
前記第１変調部及び前記第２変調部は、前記第１変調部及び前記第２変調部が占める前記基板上の領域に前記第２変調部に等しい厚さで成形された第１部分と、前記第１部分上の前記第１変調部が占める領域に前記第１変調部及び前記第２変調部の厚さの差に等しい厚さで形成された第２部分と、を有する、請求項６に記載の位相板。
【請求項８】
前記第１変調部は、輪帯形状を有し、前記第２変調部は、前記第１変調部の内側及び外側に隣接した輪帯形状を有し、前記無変調部は前記内側の第２変調部の内側の円形領域と前記外側の第２変調部の外側の領域である、請求項１から７のいずれか一項に記載の位相板。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の位相板を備える対物レンズ。
【請求項１０】
請求項９に記載の対物レンズを備える観察装置。
【請求項１１】
請求項１から８のいずれか一項に記載の位相板と、
前記位相板と共役な位置に配される対物レンズと、
を備える観察装置。
【国際調査報告】
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