(57)【要約】【課題】回転方向に関係なく密封性及び潤滑性を発揮できる摺動部品を提供することを目的とする。【解決手段】互いに相対摺動する一対の摺動部品４，７であって、一対の摺動部品４，７は、互いに相対摺動する摺動面Ｓ、並びに、被密封流体側周縁１６及び漏れ側周縁１５を有し、一対の摺動部品４，７のうち少なくとも一方の摺動部品４の摺動面Ｓは、被密封流体側周縁１６に連通する流体導入溝１３と、一端が流体導入溝１３に連通するとともに他端がランド部Ｒ１により囲まれる第１圧力発生機構１２と、一端が漏れ側周縁１５に連通するとともに他端が環状ランド部Ｒ２により囲まれる第２圧力発生機構１１と、を備え、流体導入溝１３と第１圧力発生機構１２の他端１２ｅとは、周方向に重なる重なり部Ｌｐを備える。【選択図】図２
2020027102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに相対摺動する一対の摺動部品であって、
一対の前記摺動部品は、互いに相対摺動する摺動面、被密封流体側周縁及び漏れ側周縁を有し、
一対の前記摺動部品のうち少なくとも一方の前記摺動部品の前記摺動面は、前記被密封流体側周縁に連通する流体導入溝と、
一端が前記流体導入溝に連通するとともに他端がランド部により囲まれる第１圧力発生機構と、
一端が前記漏れ側周縁に連通するとともに他端が環状ランド部により囲まれる第２圧力発生機構と、を備え、
前記流体導入溝と、前記第１圧力発生機構の前記他端とは、周方向に重なる重なり部を備えることを特徴とする摺動部品。
【請求項２】
前記流体導入溝は、前記第１圧力発生機構の前記他端と対向する傾斜壁部を有し、
前記傾斜壁部は、該傾斜壁部と前記被密封流体側周縁との交点と、一方の前記摺動部品の中心とを結んだ径方向軸に対し、前記第１圧力発生機構の前記一端に接近する方向に傾斜することを特徴とする請求項１に記載の摺動部品。
【請求項３】
前記流体導入溝及び前記第１圧力発生機構は、前記環状ランド部よりも前記被密封流体側周縁寄りに配設されることを特徴とする請求項１又は２に記載の摺動部品。
【請求項４】
前記流体導入溝は台形状に形成されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の摺動部品。
【請求項５】
前記流体導入溝は三角形に形成されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の摺動部品。
【請求項６】
前記第１圧力発生機構は溝部から構成されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の摺動部品。
【請求項７】
前記第１圧力発生機構は、複数のディンプルからなるディンプル群から構成されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の摺動部品。
【請求項８】
前記第２圧力発生機構は溝部から構成されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の摺動部品。
【請求項９】
前記第２圧力発生機構は、複数のディンプルからなるディンプル群から構成されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の摺動部品。
【請求項１０】
前記第２圧力発生機構は、スパイラル状に形成されることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の摺動部品。
【請求項１１】
前記流体導入溝の深さは、前記第１圧力発生機構の深さより深いことを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の摺動部品。
【請求項１２】
前記流体導入溝の深さは、前記第１圧力発生機構の深さと同じであることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の摺動部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、メカニカルシール、軸受、その他、摺動部に適した摺動部品に関する。特に、摺動面に流体を介在させて摩擦を低減させるとともに、摺動面から流体が漏洩するのを防止する必要のある密封環、例えば、ターボチャージャー用あるいは航空エンジン用のギアボックスに使用されるオイルシール、または軸受などの摺動部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、図９に示すように、互いに相対摺動する一対の摺動部品のうち、被密封流体側の回転側密封環４の摺動面Ｓには、摺動面Ｓの被密封流体側の周縁に連通し、漏れ側の周縁には連通しないように構成された流体導入溝４３と、流体導入溝４３に連通する正圧発生溝４２と、摺動面Ｓの漏れ側の周縁に連通し、被密封流体側の周縁には連通しないように構成された動圧発生溝４１を設けることが知られている。これにより、低速回転状態において、流体導入溝４３により流体が積極的に摺動面に導入され、摺動面Ｓの潤滑を行うことができる。また、定常運転等の回転側密封環の高速回転状態において、動圧発生溝４１により発生する動圧により、回転側密封環と固定側密封環との摺動面に僅かな間隙が形成され、摺動面は流体潤滑の状態となり非常に低摩擦とすることができる。同時に、漏れ側に存在する流体が被密封流体側の側に向けてポンピングされるため、被密封流体側の流体が漏れ側の側へ漏れることを防止することができる。（例えば、特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１６／１６７２６２号パンフレット（図７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の特許文献１の従来技術においては、回転側密封環４が、図９の矢印と逆の反時計方向に回転した場合について十分考慮されていなかった。すなわち、回転側密封環４が逆回転すると、スパイラル溝４１は十分な動圧を発生することができないので、スパイラル溝４１は漏れ側の流体を被密封流体側へ向けて十分なポンピングができなくなる。しかし、逆回転した場合には、正圧発生溝４２が逆に負圧を発生するので、スパイラル溝４１からの流体は負圧となった正圧発生溝４２内へ吸込まれるので、スパイラル溝４１のポンピング作用の低下を補うことができる。ところが、隣接する正圧発生溝４２間の漏れ領域の周方向隙間ＣＨは、正圧発生溝４２の負圧の影響が及ばないため、被密封流体側から漏れ側へ流体が流れる漏れ領域となってしまう。このため、逆転時のようにスパイラル溝４１が十分な動圧を発生できない場合には、漏れ領域ＣＨを流れる流体を押し戻すことができず、密封性を十分に保つことができなかった。【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされてもので、回転方向に関係なく密封性を発揮できる摺動部品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するために、本発明の摺動部品は、
互いに相対摺動する一対の摺動部品であって、
一対の前記摺動部品は、互いに相対摺動する摺動面、被密封流体側周縁及び漏れ側周縁を有し、
一対の前記摺動部品のうち少なくとも一方の前記摺動部品の前記摺動面は、前記被密封流体側周縁に連通する流体導入溝と、
一端が前記流体導入溝に連通するとともに他端がランド部により囲まれる第１圧力発生機構と、
一端が前記漏れ側周縁に連通するとともに他端が環状ランド部により囲まれる第２圧力発生機構と、を備え、
前記流体導入溝と、前記第１圧力発生機構の前記他端とは、周方向に重なる重なり部を備えることを特徴としている。
この特徴によれば、流体導入溝により流体が積極的に摺動面に導入され、摺動面の潤滑を行うことができるとともに、流体導入溝と、第１圧力発生機構の端部とは周方向に重なる重なり部を備えることで漏れ領域を絞ることができるので、漏れを低減することができる。【０００７】
本発明の摺動部品は、
前記流体導入溝は、前記第１圧力発生機構の前記他端と対向する傾斜壁部を有し、
前記傾斜壁部は、該傾斜壁部と前記被密封流体側周縁との交点と、一方の前記摺動部品の中心とを結んだ径方向軸に対し、前記第１圧力発生機構の前記一端に接近する方向に傾斜することを特徴としている。
この特徴によれば、流体導入溝の傾斜壁部は、該傾斜壁部と被密封流体側周縁との交点と、一方の摺動部品の中心とを結んだ径方向軸に対し第１圧力発生機構に接近する方向に傾斜するので、容易に重なり部を形成して漏れ領域を絞ることができるので、漏れを低減することができる。【０００８】
本発明の摺動部品は、
前記流体導入溝及び前記第１圧力発生機構は、前記環状ランド部よりも前記被密封流体側周縁寄りに配設されることを特徴としている。
この特徴によれば、流体導入溝及び第１圧力発生機構は、環状ランド部よりも被密封流体側周縁の側に配設されることで、第１圧力発生機構と第２圧力発生機構は環状ランド部により分離されるので、第１圧力発生機構と第２圧力発生機構の干渉を防ぐことができ、静止時においても漏れが発生することがない。【０００９】
本発明の摺動部品は、
前記流体導入溝は台形状に形成されることを特徴としている。
この特徴によれば、台形状の斜めの辺を利用して容易に重なり部を形成でき、漏れ領域を絞ることができるので、漏れを低減することができる。【００１０】
本発明の摺動部品は、
前記流体導入溝は三角形に形成されることを特徴としている。
この特徴によれば、三角形状の流体導入溝は径方向幅を小さくできるので、狭いところでも流体導入溝と第１圧力発生機構の重なり部を大きくして、漏れ領域を絞ることができるので、漏れを低減することができる。【００１１】
本発明の摺動部品は、
第１圧力発生機構、第２圧力発生機構は溝部から構成されることを特徴としている。
この特徴によれば、第１圧力発生機構、第２圧力発生機構を容易に形成できる。【００１２】
本発明の摺動部品は、
第１圧力発生機構、第２圧力発生機構はディンプル群から構成されることを特徴としている。
この特徴によれば、ディンプル群により所望の形状を有する第１圧力発生機構、第２圧力発生機構を容易に構成することができる。【００１３】
本発明の摺動部品は、
前記流体導入溝の深さは、前記第１圧力発生機構の深さより深いことを特徴としている。
この特徴によれば、流体導入溝は、被密封流体側から流体を取り込み、起動時などの低速回転状態において流体潤滑状態が十分でないときであっても、摺動面に流体を供給して、摺動面の潤滑に寄与することができる。【００１４】
本発明の摺動部品は、
前記流体導入溝の深さは、前記第１圧力発生機構の深さと同じであることを特徴としている。
この特徴によれば、流体導入溝の断面積を小さくすることにより、漏れ領域の断面積を小さくできるので、漏れを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施例１に係るメカニカルシールの一例を示す縦断面図である。
【図２】図１のＷ−Ｗ矢視で実施例１の回転側密封環の摺動面を示す図である。
【図３】図１のＷ−Ｗ矢視で実施例２の回転側密封環の摺動面を示す図である。
【図４】図１のＷ−Ｗ矢視で実施例３の回転側密封環の摺動面を示す図である。
【図５】図１のＷ−Ｗ矢視で実施例４の回転側密封環の摺動面を示す図である。
【図６】図１のＷ−Ｗ矢視で実施例５の回転側密封環の摺動面を示す図である。
【図７】図１のＷ−Ｗ矢視で実施例６の回転側密封環の摺動面を示す図である。
【図８】図１のＷ−Ｗ矢視で実施例７の回転側密封環の摺動面を示す図である。
【図９】従来例の回転側密封環の摺動面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置などは、特に明示的な記載がない限り、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【実施例１】
【００１７】
図１及び図２を参照して、本発明の実施例１に係る摺動部品について説明する。
なお、実施例１においては、摺動部品の一例であるメカニカルシールについて説明する。実施例１においては、メカニカルシールを構成する摺動部品の内周側を被密封流体側（液体側あるいはミスト状の流体側）、外周側を漏れ側（気体側）として説明するが、本発明はこれに限定されることなく、内周側が漏れ側（気体側）、外周側が被密封流体側（液体側あるいはミスト状の流体側）である場合も適用可能である。また、被密封流体側（液体側あるいはミスト状の流体側）と漏れ側（気体側）との圧力の大小関係については、例えば、被密封流体側（液体側あるいはミスト状の流体側）が高圧、漏れ側（気体側）が低圧、あるいは、その逆のいずれでもよく、また、両方の圧力が同一であってもよい。【００１８】
図１のメカニカルシール１は、回転軸２側に取付けられたスリーブ３と一体に回転可能な回転側密封環４、かつ、軸方向移動可能な状態で設けられた他方の摺動部品である円環状の固定側密封環７と、固定側密封環７を軸方向に付勢するコイルドウェーブスプリング８と、を備え、鏡面仕上げされた摺動面Ｓ同士で密接摺動するようになっている。【００１９】
すなわち、このメカニカルシール１は、回転側密封環４及び固定側密封環７は半径方向に形成された摺動面Ｓを有し、互いの摺動面Ｓにおいて、被密封流体、例えば、液体あるいはミスト状の流体（以下、単に「液体」ということがある。）が摺動面Ｓの内周から外周側の漏れ側へ流出するのを防止するものである。なお、符号９はＯリングを示しており、カートリッジ６と固定側密封環７との間をシールするものである。また、本例では、スリーブ３と回転側密封環４とは別体の場合について説明しているが、これに限らず、スリーブ３と回転側密封環４とを一体に形成してもよい。【００２０】
回転側密封環４及び固定側密封環７の材質は、耐摩耗性に優れた炭化ケイ素（ＳｉＣ）及び自己潤滑性に優れたカーボンなどから選定されるが、例えば、両者がＳｉＣ、あるいは、いずれか一方がＳｉＣであって他方がカーボンの組合せが可能である。【００２１】
図２は、本発明の実施例１に係る摺動部品の回転側密封環４の摺動面Ｓを示したものである。回転側密封環４の摺動面Ｓの外周側が漏れ側、例えば気体側であり、また、内周側が被密封流体側、例えば液体側であり、回転側密封環４は矢印に示すように時計方向に回転するものとする。【００２２】
図２において、回転側密封環４の摺動面Ｓは、流体導入溝１３、正圧発生溝１２（本発明に係る第１圧力発生機構）及びスパイラル溝１１（本発明に係る第２圧力発生機構）を備える。正圧発生溝１２及び流体導入溝１３は環状ランド部Ｒ２よりも被密封流体側周縁１６寄りに配設され、また、スパイラル溝１１は環状ランド部Ｒ２よりも漏れ側周縁１５寄りに配設されている。なお、流体導入溝１３及び正圧発生溝１２は，被密封流体側周縁１６を囲むように周方向に所定数（図２の実施例では１２個）等配に設けられている。なお、本明細において、所定数とは、実施例に限らず、被密封流体側周縁１６を囲むことができれば１個以上であればよい。また、等配に限らない。スパイラル溝１１の本数、形状も条件に応じて変えることができる。【００２３】
図２において、流体導入溝１３は、軸方向視にて台形状に形成され、開口部１３ａのみが被密封流体側に開口し、他の部分はランド部により囲まれて閉塞される溝である。具体的には、流体導入溝１３は、被密封流体側周縁１６に開口する開口部１３ａ、開口部１３ａに対向する位置には環状ランド部Ｒ２に囲まれる壁部１３ｃ、開口部１３ａに隣接し、後述する正圧発生溝１２の開口部１２ａに連通する開口部側壁部１３ｂ、後述する正圧発生溝１２の止端部１２ｅ（レイリーステップ１２ｅ）とランド部Ｒ１を挟んで対向する傾斜壁部１３ｄを有する。傾斜壁部１３ｄと被密封流体側周縁１６との交点Ｐと、回転側密封環４の中心Ｏと、を結んだ径方向軸ｒに対し、傾斜壁部１３ｄは開口部側壁部１３ｂ（正圧発生溝１２の開口部１２ａ）に接近する方向に傾斜する。すなわち、傾斜壁部１３ｄは流体導入溝１３の軸方向視の面積が小さくなる方向に傾斜する。なお、流体導入溝１３の深さは、正圧発生溝１２及びスパイラル溝１１より十分深く設定され、例えば、１０μｍ〜５００μｍ程度に設定される。【００２４】
正圧発生溝１２（本発明に係る第１圧力発生機構）は所定の長さを有する弧状の溝である。正圧発生溝１２は長手方向の一端に開口部１２ａ（本発明における第１圧力発生機構の一端）、長手方向の他端に止端部１２ｅ（本発明における第１圧力発生機構の他端）、短手方向に一対の壁部１２ｂ、１２ｃを有する。開口部１２ａは流体導入溝１３に連通し、止端部１２ｅ及び壁部１２ｂはランド部Ｒ１により囲まれ、壁部１２ｃは環状ランド部Ｒ２により囲まれている。なお、正圧発生溝１２の深さは、０．１μｍ〜１０μｍ程度に設定される。【００２５】
スパイラル溝１１（本発明に係る第２圧力発生機構）は、漏れ側周縁１５に開口する開口部１１ａ（本発明に係る第２圧力発生機構の一端）、長手方向の他方の端部に環状ランド部Ｒ２に囲まれた閉塞端部１１ｅ（本発明に係る第２圧力発生機構の他端）を有し、短手方向にはランド部Ｒ３に囲まれる一対の壁部１１ｂ、１１ｃを有する。スパイラル溝１１とランド部Ｒ３とは、交互に周方向に所定個数（図２の例では６０個）、等間隔に配設される。これにより、各スパイラル溝１１はランド部Ｒ３によって分離される。また、スパイラル溝１１の閉塞端部１１ｅ側は、周方向に連続した円環状ランド部Ｒ２によって囲まれる。これにより、スパイラル溝１１は、環状ランド部Ｒ２によって流体導入溝１３及び正圧発生溝１２と分離される。ここで、環状ランド部Ｒ２は、スパイラル溝１１の閉塞端部１１ｅを周方向に連ねて形成される円と、スパイラル溝１１の閉塞端部１１ｅに対向する正圧発生溝１２の壁部１２ｃを周方向に連ねて形成される円とによって区画される周方向に連続した円環状のランド部である。なお、スパイラル溝１１とランド部Ｒ３の個数は、６０個に限らず、６０個より多くても、少なくてもよい。【００２６】
このように構成された実施例１に係る摺動部品の作用効果について説明する。
流体導入溝１３は、被密封流体側周縁１６に連通する開口部１３ａから被密封流体側から流体導入溝１３内に流体を取り込み、起動時などの低速回転状態において流体潤滑状態が十分でないときであっても、摺動面Ｓに流体を供給して、摺動面Ｓの潤滑に寄与することができる。また、流体導入溝１３は台形に形成することにより、流体導入溝１３の開口部１３ａを大きくできるので、流体導入溝１３内に流体を十分取り込むことができる。【００２７】
図２に示すように、回転側密封環４が時計方向に回転すると、流体導入溝１３に導入された流体は、流体導入溝１３に連通する正圧発生溝１２内に流体の粘性により引き込まれる。正圧発生溝１２内に引き込まれた流体は止端部１２ｅ付近で堰き止められて動圧（正圧）を発生する。この正圧により、摺動面間の流体膜を増加させ、潤滑性能を向上させる。この正圧発生溝１２は、特に、起動時などの回転側密封環４の低速回転状態においても正圧（動圧）を発生するため、摺動面における低速時の液膜が増大され、低速時における潤滑性能を向上させることができる。なお、正圧発生溝１２の止端部１２ｅは、正圧発生溝１２の長手方向に先細りに形成されているので、正圧発生溝１２内に引き込まれた流体は絞られるので、止端部１２ｅ付近での昇圧作用をさらに高めることができる。【００２８】
図２に示すように、回転側密封環４が時計方向に回転すると、スパイラル溝１１は、漏れ側周縁１５に連通する開口部１１ａから流体を吸い込み、閉塞端部１１ｅ付近で動圧（正圧）を発生する。この動圧により回転側密封環４と固定側密封環７との摺動面Ｓの間隙が大きくなり、摺動面Ｓは流体潤滑の状態となり非常に低摩擦となる。同時に、スパイラル溝１１により流体が漏れ側から被密封流体側へ向けてポンピングされるため、被密封流体側の流体が漏れ側への漏洩が防止され、密封性が向上する。また、スパイラル溝１１と正圧発生溝１２は環状ランド部Ｒ２により分離されるので、スパイラル溝１１と正圧発生溝１２の干渉を防ぐことができ、静止時においても漏れが発生することがない。【００２９】
台形形状の流体導入溝１３の傾斜壁部１３ｄを利用して、傾斜壁部１３ｄと、正圧発生溝１２の端部の止端部１２ｅとは、容易に重なり部Ｌｐを形成できる。また、重なり部Ｌｐを設けることにより、正圧発生溝１２の開口部１２ａとランド部Ｒ１を挟んで対向する止端部１２ｅとの隙間（以下「漏れ領域」と記す。）の周方向幅ＣＨを絞ることができる。すなわち、隣接する流体導入溝１３と正圧発生溝１２の止端部１２ｅとがラップしない漏れ領域の周方向幅ＣＨを絞ることができる。【００３０】
回転側密封環４が、図２の矢印と逆の反時計方向に回転した場合には、スパイラル溝１１は、漏れ側の流体を被密封流体側へポンプアップするポンピング作用が低下してしまう。一方、逆回転した場合には、正圧発生溝１２内には逆に負圧が発生する。これにより、スパイラル溝１１から吐出される流体は負圧となった正圧発生溝１２内へ吸込まれるので、逆回転時のスパイラル溝１１のポンピング作用の低下を補うことができる。しかし、漏れ領域においては、正圧発生溝１２の負圧による吸込みの効果が及ばないため、被密封流体側から漏れ領域を通り漏れ側へ流体が漏れてしまう。そこで、重なり部Ｌｐを設けることにより漏れ領域の周方向幅ＣＨを絞ることができるので、逆転時のようにスパイラル溝１１が十分な動圧を発生できない場合であっても、漏れ領域を流れる流体を低減することができ、密封性を維持することができる。
【実施例２】
【００３１】
本発明の実施例２に係る摺動部品について説明する。図３は実施例２に係る摺動部品の回転側密封環４の摺動面Ｓを示したもので、流体導入溝２３の形状が実施例１と相違するのみで、他の構成は実施例１と同じである。以下、実施例１と同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。【００３２】
図３において、回転側密封環４の摺動面Ｓは、流体導入溝２３、正圧発生溝２２（本発明に係る第１圧力発生機構）及びスパイラル溝２１（本発明に係る第２圧力発生機構）を備える。正圧発生溝２２及び流体導入溝２３は、環状ランド部Ｒ２よりも被密封流体側周縁１６寄りに配設され、また、スパイラル溝２１は環状ランド部Ｒ２よりも漏れ側周縁１５寄りに配設されている。なお、流体導入溝２３及び正圧発生溝２２は，被密封流体側周縁１６を囲むように周方向に所定数（図３の実施例では１２個）等配に設けられている。【００３３】
図３において、流体導入溝２３は正圧発生溝２２と略等しい幅を有し、軸方向視にて台形状に形成され、開口部２３ａのみが被密封流体側周縁１６に開口する。具体的には、流体導入溝２３は、被密封流体側周縁１６に開口する開口部２３ａ、開口部２３ａに対向する位置には後述する正圧発生溝２２の開口部２２ａに連通する開口部側壁部２３ｃ、被密封流体側周縁１６とランド部Ｒ１を挟んで対向する傾斜壁部２３ｂ、正圧発生溝２２の止端部２２ｅと対向する傾斜壁部２３ｄを有する。傾斜壁部２３ｄと被密封流体側周縁１６との交点Ｐと、回転側密封環４の中心Ｏと、を結んだ径方向軸ｒに対し、傾斜壁部２３ｄは開口部側壁部２３ｃ（正圧発生溝２２の開口部２２ａ）に接近する方向に傾斜する。すなわち、傾斜壁部２３ｄは流体導入溝２３の軸方向視の面積が小さくなる方向に傾斜する。【００３４】
正圧発生溝２２（本発明に係る第１圧力発生機構）は所定の長さを有する弧状の溝である。正圧発生溝２２は長手方向の一端に開口部２２ａ（本発明における第１圧力発生機構の一端）、長手方向の他端に止端部２２ｅ（本発明における第１圧力発生機構の他端）、短手方向に一対の壁部２２ｂ、２２ｃを有する。開口部２２ａは流体導入溝２３に連通し、止端部２２ｅ及び壁部２２ｂはランド部Ｒ１により囲まれ、壁部２２ｃは環状ランド部Ｒ２により囲まれている。なお、正圧発生溝１２の深さは、０．１μｍ〜１０μｍ程度に設定される。【００３５】
スパイラル溝２１（本発明に係る第２圧力発生機構）は、漏れ側周縁１５に開口する開口部２１ａ（本発明に係る第２圧力発生機構の一端）、長手方向の他方の端部に環状ランド部Ｒ２に囲まれた閉塞端部２１ｅ（本発明に係る第２圧力発生機構の他端）を有し、短手方向にはランド部Ｒ３に囲まれる一対の壁部２１ｂ、２１ｃを有する。スパイラル溝２１とランド部Ｒ３とは、交互に周方向に所定個数（図２の例では６０個）、等間隔に配設される。これにより、各スパイラル溝２１はランド部Ｒ３によって分離される。また、スパイラル溝２１の閉塞端部２１ｅ側は、周方向に連続した円環状ランド部Ｒ２によって囲まれる。これにより、スパイラル溝２１は、環状ランド部Ｒ２によって流体導入溝２３及び正圧発生溝２２と分離される。ここで、環状ランド部Ｒ２は、スパイラル溝２１の閉塞端部２１ｅを周方向に連ねて形成される円と、スパイラル溝２１の閉塞端部２１ｅに対向する正圧発生溝２２の壁部２２ｃを周方向に連ねて形成される円とによって区画される周方向に連続した円環状のランド部である。【００３６】
このように構成された実施例２に係る摺動部品の作用効果について説明する。なお、スパイラル溝２１の構成は実施例１のスパイラル溝１１の構成と同じなので、重複する説明は省略する。
流体導入溝２３は、被密封流体側周縁１６に対し傾斜して配置されるので、回転する被密封流体側の流体を低抵抗で開口部２３ａから流体導入溝２３内に取り込むことができる。これにより、起動時などの低速回転状態において流体潤滑状態が十分でないときであっても、摺動面Ｓに流体を供給して、摺動面Ｓの潤滑に寄与することができる。【００３７】
図３に示すように、回転側密封環４が時計方向に回転すると、被密封側流体は、開口部２３ａから流体導入溝２３を通り正圧発生溝２２へ流れ込む。正圧発生溝２２へ流れ込んだ流体は、止端部２２ｅで堰き止められ高い正圧を発生し、この正圧によって摺動面間の流体膜を増加させ、潤滑性能を向上させることができる。スパイラル溝２１は、漏れ側周縁１５に連通する開口部２１ａから流体を吸い込み、内周側の閉塞端部２１ｅ付近で動圧（正圧）を発生する。この動圧により回転側密封環４と固定側密封環７との摺動面Ｓの間隙が大きくなり、摺動面Ｓは流体潤滑の状態となり非常に低摩擦となる。同時に、スパイラル溝２１により流体が漏れ側から被密封流体側へ向けてポンピングされるため、被密封流体側の流体が漏れ側への漏洩が防止され、密封性が向上する。【００３８】
また、流体導入溝２３と、該流体導入溝２３とランド部Ｒ１を挟んで対向する正圧発生溝２２の止端部２２ｅとは、周方向に重なる重なり部Ｌｐを構成する。重なり部Ｌｐを設けることにより、正圧発生溝２２の開口部２２ａ流体導入溝２３を挟んで対向する止端部２２ｅとの隙間（以下「漏れ領域」と記す。）の周方向幅ＣＨを絞ることができる。すなわち、流体導入溝２３と正圧発生溝２２の止端部２２ｅとがラップしない漏れ領域の周方向幅ＣＨを絞ることができる。これにより、逆転時のようにスパイラル溝２１が十分なポンピング作用を発揮できない場合であっても、漏れ領域を流れる漏れ流れを低減できる。さらには正圧発生溝２２内の負圧によるポンピング効果がスパイラル溝２１のポンピング効果の低減を補うことができるので、逆回転した場合でも密封性を向上することができる。
【実施例３】
【００３９】
本発明の実施例３に係る摺動部品について説明する。図４は実施例３に係る摺動部品の回転側密封環４の摺動面Ｓを示したもので、流体導入溝３３、正圧発生溝３２の形状が実施例１、２と相違するのみで、他の構成は実施例１，２と同じである。以下、実施例２、３と同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。【００４０】
図４において、回転側密封環４の摺動面Ｓは、流体導入溝３３、正圧発生溝３２（本発明に係る第１圧力発生機構）及びスパイラル溝３１（本発明に係る第２圧力発生機構）を備える。正圧発生溝３２及び流体導入溝３３は、環状ランド部Ｒ２よりも被密封流体側周縁１６寄りに配設され、また、スパイラル溝３１は環状ランド部Ｒ２よりも漏れ側周縁１５寄りに配設されている。なお、流体導入溝３３及び正圧発生溝３２は，被密封流体側周縁１６を囲むように周方向に所定数（図３の実施例では１２個）等配に設けられている。【００４１】
図４において、流体導入溝３３は軸方向視にて三角形に形成され、開口部３３ａのみが被密封流体側周縁１６に開口する。流体導入溝３３は、被密封流体側周縁１６に開口する開口部３３ａ、正圧発生溝３２の開口部３２ａに連通する開口部側壁部３３ｃ、正圧発生溝３２の止端部３２ｅとランド部Ｒ１を挟んで対向する傾斜壁部３３ｄを有する。傾斜壁部３３ｄと被密封流体側周縁１６との交点Ｐと、回転側密封環４の中心Ｏと、を結んだ径方向軸ｒに対し、傾斜壁部３３ｄは開口部側壁部３３ｃ（正圧発生溝３２の開口部３２ａ）に接近する方向に傾斜する。すなわち、傾斜壁部３３ｄは、流体導入溝３３の軸方向視の面積が交点Ｐを中心に小さくなる方向に傾斜する。【００４２】
正圧発生溝３２（本発明に係る第１圧力発生機構）は所定の長さを有する弧状の溝である。正圧発生溝３２は長手方向の一端に開口部３２ａ（本発明における第１圧力発生機構の一端）、長手方向の他端に止端部３２ｅ（本発明における第１圧力発生機構の他端）、短手方向に一対の壁部３２ｂ、３２ｃを有する。開口部３２ａは流体導入溝３３に連通し、止端部３２ｅ及び壁部３２ｂはランド部Ｒ１により囲まれ、壁部３２ｃは環状ランド部Ｒ２により囲まれている。なお、正圧発生溝１２の深さは、０．１μｍ〜１０μｍ程度に設定される。【００４３】
スパイラル溝３１（本発明に係る第２圧力発生機構）は、漏れ側周縁１５に開口する開口部３１ａ（本発明に係る第２圧力発生機構の一端）、長手方向の他方の端部に環状ランド部Ｒ２に囲まれた閉塞端部３１ｅ（本発明に係る第２圧力発生機構の他端）を有し、短手方向にはランド部Ｒ３に囲まれる一対の壁部３１ｂ、３１ｃを有する。スパイラル溝３１とランド部Ｒ３とは、交互に周方向に所定個数（図２の例では６０個）、等間隔に配設される。これにより、各スパイラル溝３１はランド部Ｒ３によって分離される。また、スパイラル溝３１の閉塞端部３１ｅ側は、周方向に連続した円環状ランド部Ｒ２によって囲まれる。これにより、スパイラル溝３１は、環状ランド部Ｒ２によって流体導入溝３３及び正圧発生溝３２と分離される。ここで、環状ランド部Ｒ２は、スパイラル溝３１の閉塞端部３１ｅを周方向に連ねて形成される円と、スパイラル溝３１の閉塞端部３１ｅに対向する正圧発生溝３２の壁部３２ｃを周方向に連ねて形成される環状部とによって区画される周方向に連続した環状のランド部である。なお、スパイラル溝１１とランド部Ｒ３の個数は、６０個に限らず、６０個より多くても、少なくてもよい。【００４４】
このように構成された実施例３に係る摺動部品の作用効果について説明する。スパイラル溝３１は実施例１のスパイラル溝１１と構成が同じなので説明を省略する。
正圧発生溝３２は、流体導入溝３３に連通する上流側は被密封流体側周縁１６側に寄りに、下流側の止端部３２ｅはスパイラル溝３１側に寄った状態で配設される。これにより、正圧発生溝３２は、流体導入溝３３側から止端部３２ｅに向かって、被密封流体側から漏れ側へ傾いて配置されるので、回転時に流体導入溝３３から正圧発生溝３２内へ低損失で効率良く流体を取り込むことができ、止端部３２ｅで高い正圧を発生し、この正圧によって摺動面間の流体膜を増加させ、潤滑性能を向上させることができる。【００４５】
また、三角形状の流体導入溝３３は径方向幅を小さくできるので、狭いところでも流体導入溝３３と正圧発生溝３２の重なり部Ｌｐを大きくすることができる。図４の実施例では、重なり部Ｌｐを大きくして漏れ領域の周方向幅ＣＨをゼロにして、流体導入溝３３を正圧発生溝３２によって環状に囲むことができる。【００４６】
また、流体導入溝３３と、該流体導入溝３３とランド部Ｒ１を挟んで対向する正圧発生溝２２の止端部２２ｅとは、周方向に重なる重なり部Ｌｐを構成する。重なり部Ｌｐを設けることにより、正圧発生溝３２の開口部３２ａとランド部Ｒ１を挟んで対向する止端部３２ｅとは完全にオーバーラップする。これにより、漏れ領域の周方向幅ＣＨをゼロにして、スパイラル溝３１の被密封流体側を正圧発生溝３２によって環状に囲むことができる。これにより、逆転時のようにスパイラル溝３１が十分なポンピング作用を発揮できない場合であっても、被密封流体側から漏れ側への流体の漏れを低減でき、さらには正圧発生溝３２内が負圧によるポンピング効果がスパイラル溝３１のポンピング効果の低減を補うことができるので、逆回転した場合でも密封性を向上することができる。
【実施例４】
【００４７】
本発明の実施例４に係る摺動部品について説明する。図５は実施例４に係る摺動部品の回転側密封環４の摺動面Ｓを示したもので、流体導入溝６３の深さが実施例１と相違するのみで、他の構成は実施例１と同じである。以下、実施例１と同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。【００４８】
流体導入溝６３、正圧発生溝１２（本発明に係る第１圧力発生機構）及びスパイラル溝１１（本発明に係る第２圧力発生機構）を備える。正圧発生溝１２及び流体導入溝６３は環状ランド部Ｒ２よりも被密封流体側周縁１６寄りに配設され、また、スパイラル溝１１は環状ランド部Ｒ２よりも漏れ側周縁１５寄りに配設されている。なお、正圧発生溝１２及びスパイラル溝１１は、実施例１の正圧発生溝１２及びスパイラル溝１１と構成が同じなので説明を省略する。【００４９】
図５において、流体導入溝６３は、軸方向視にて台形形状に形成され、開口部６３ａのみが被密封流体側に開口する。具体的には、流体導入溝６３は、被密封流体側周縁１６に開口する開口部６３ａ、開口部６３ａに対向する位置には環状ランド部Ｒ２に囲まれる壁部６３ｃ、被密封流体側周縁１６とランド部Ｒ１を挟んで対向するとともに、正圧発生溝１２の開口部１２ａに連通する開口部側壁部６３ｂ、正圧発生溝１２の止端部１２ｅ（レイリーステップ１２ｅ）とランド部Ｒ１を挟んで対向する傾斜壁部６３ｄを有する。傾斜壁部６３ｄと被密封流体側周縁１６との交点Ｐと、回転側密封環４の中心Ｏと、を結んだ径方向軸ｒに対し、傾斜壁部６３ｄは開口部側壁部６３ｂ（正圧発生溝１２の開口部１２ａ）に接近する方向に傾斜する。すなわち、傾斜壁部６３ｄは、流体導入溝６３の軸方向視の面積が小さくなる方向に傾斜する。なお、流体導入溝６３の深さは、正圧発生溝１２及びスパイラル溝１１とほぼ同じ深さに設定され、例えば、０．１〜１０μｍ程度に設定される。【００５０】
このように構成された実施例４に係る摺動部品の作用効果について説明する。なお、正圧発生溝１２及びスパイラル溝１１の作用効果は、実施例１と同じなので重複する説明は省略する。【００５１】
流体導入溝６３は台形に形成することにより、開口部６３ａを大きくできるので、流体導入溝６３内に流体を容易に取り込むことができる。これにより，起動時などの低速回転状態において流体潤滑状態が十分でないときであっても、摺動面Ｓに流体を供給して、摺動面Ｓの潤滑に寄与することができる。また、台形の流体導入溝６３の傾斜壁部６３ｄを利用して、正圧発生溝１２の止端部１２ｅ側の端部と流体導入溝６３の傾斜壁部６３ｄとは、周方向に重なる重なり部Ｌｐを形成できる。【００５２】
重なり部Ｌｐを設けることにより、流体導入溝６３と正圧発生溝１２の止端部１２ｅとがラップしない漏れ領域の周方向幅ＣＨを絞ることができる。さらに流体導入溝６３の深さは、実施例１の流体導入溝１３より浅いので、漏れ領域の断面積をさらに小さくすることができるので、漏れ領域をさらに絞ることができる。【００５３】
回転側密封環４が、図５の矢印と逆の反時計方向に回転した場合には、スパイラル溝１１は、漏れ側の流体を被密封流体側へポンプアップするポンピング作用が低下してしまう。しかし、スパイラル溝１１のポンピング作用が低下しても、重なり部Ｌｐを設けることによって漏れ領域の周方向幅ＣＨの大きさを絞ることができる。しかも流体導入溝６３の深さを浅くして漏れ領域の断面積をさらに小さくして、漏れ領域の断面積をさらに絞ることができるので、被密封流体側から漏れ領域を通り漏れ側への流れを制限することができ、密封性を一層向上できる。
【実施例５】
【００５４】
本発明の実施例５に係る摺動部品について説明する。図６は実施例５に係る摺動部品の回転側密封環４の摺動面Ｓを示したもので、流体導入溝７３の深さが実施例２と相違するのみで、他の構成は実施例２と同じである。以下、実施例２と同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。【００５５】
図６において、回転側密封環４の摺動面Ｓは、流体導入溝７３、正圧発生溝２２（本発明に係る第１圧力発生機構）及びスパイラル溝２１（本発明に係る第２圧力発生機構）を備える。正圧発生溝２２及び流体導入溝７３は、環状ランド部Ｒ２よりも被密封流体側周縁１６寄りに配設され、また、スパイラル溝２１は環状ランド部Ｒ２よりも漏れ側周縁１５寄りに配設されている。なお、正圧発生溝２２及びスパイラル溝２１は、実施例２の正圧発生溝２２及びスパイラル溝２１と構成が同じなので説明を省略する。【００５６】
図６において、流体導入溝７３は正圧発生溝２２と略等しい幅を有し、軸方向視にて台形状に形成され、開口部７３ａのみが被密封流体側周縁１６に開口する。具体的には、
流体導入溝７３は、被密封流体側周縁１６に開口する開口部７３ａ、開口部７３ａに対向する位置には正圧発生溝２２の開口部２２ａが配置され、被密封流体側周縁１６とランド部Ｒ１を挟んで対向する傾斜壁部７３ｂ、正圧発生溝２２の止端部２２ｅとランド部Ｒ１を挟んで対向する傾斜壁部７３ｄを有する。傾斜壁部７３ｄと被密封流体側周縁１６との交点Ｐと、回転側密封環４の中心Ｏと、を結んだ径方向軸ｒに対し、傾斜壁部７３ｄは正圧発生溝２２の開口部２２ａに接近する方向に傾斜する。すなわち、傾斜壁部７３ｄは、流体導入溝２３の軸方向視の面積が小さくなる方向に傾斜する。なお、流体導入溝７３の深さは、正圧発生溝３２及びスパイラル溝２１とほぼ同じ深さに設定され、例えば、０．１〜１０μｍ程度に設定される。【００５７】
このように構成された実施例５に係る摺動部品の作用効果について説明する。なお、正圧発生溝２２及びスパイラル溝２１の作用効果は、実施例２と同じなので重複する説明は省略する。【００５８】
流体導入溝７３は流体を容易に取り込むことができるので、起動時などの低速回転状態において流体潤滑状態が十分でないときであっても、摺動面Ｓに流体を供給して、摺動面Ｓの潤滑に寄与することができる。【００５９】
また、台形の流体導入溝７３の傾斜壁部７３ｄを利用して、正圧発生溝２２の止端部２２ｅ側の端部と傾斜壁部７３ｄとは、周方向に重なる重なり部Ｌｐを形成できる。これにより、流体導入溝７３と正圧発生溝２２の止端部２２ｅとがラップしない漏れ領域の周方向幅ＣＨを絞ることができる。さらに流体導入溝７３の深さは実施例２の流体導入溝２３より浅いので、漏れ領域の断面積をさらに小さくすることができる。これにより、逆転時のようにスパイラル溝２１のポンピング作用が低下したときであっても、流体が被密封流体側から漏れ領域を通り漏れ側への流出するのを制限することができ、延いては密封性を向上できる。
【実施例６】
【００６０】
本発明の実施例６に係る摺動部品について説明する。図７は実施例６に係る摺動部品の回転側密封環４の摺動面Ｓを示したもので、流体導入溝８３の深さが実施例３と相違するのみで、他の構成は実施例３と同じである。以下、実施例３と同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。【００６１】
図７において、回転側密封環４の摺動面Ｓは、流体導入溝８３、正圧発生溝３２（本発明に係る第１圧力発生機構）及びスパイラル溝３１（本発明に係る第２圧力発生機構）を備える。正圧発生溝３２及び流体導入溝８３は、環状ランド部Ｒ２よりも被密封流体側周縁１６寄りに配設され、また、スパイラル溝３１は環状ランド部Ｒ２よりも漏れ側周縁１５寄りに配設されている。なお、正圧発生溝３２及びスパイラル溝３１は、実施例２の正圧発生溝３２及びスパイラル溝３１と構成が同じなので説明を省略する。【００６２】
図７において、流体導入溝８３は軸方向視にて三角形に形成され、開口部８３ａのみが被密封流体側周縁１６に開口する。流体導入溝８３は、正圧発生溝３２の開口部３２ａに連通するとともに、被密封流体側周縁１６に開口する開口部８３ａ、正圧発生溝３２の止端部３２ｅとランド部Ｒ１を挟んで対向する傾斜壁部８３ｄを有する。傾斜壁部８３ｄと被密封流体側周縁１６との交点Ｐと、回転側密封環４の中心Ｏと、を結んだ径方向軸ｒに対し、傾斜壁部８３ｄは正圧発生溝３２の開口部３２ａに接近する方向に傾斜する。すなわち、傾斜壁部８３ｄは流体導入溝８３の軸方向視の面積が小さくなる方向に傾斜する。なお、流体導入溝８３の深さは、正圧発生溝３２及びスパイラル溝２１とほぼ同じ深さに設定され、例えば、０．１〜１０μｍ程度に設定される。【００６３】
このように構成された実施例６に係る摺動部品の作用効果について説明する。なお、正圧発生溝３２及びスパイラル溝３１の作用効果は、実施例３と同じなので重複する説明は省略する。【００６４】
流体導入溝８３は流体を容易に取り込むことができるので、起動時などの低速回転状態において流体潤滑状態が十分でないときであっても、摺動面Ｓに流体を供給して、摺動面Ｓの潤滑に寄与することができる。【００６５】
また、三角形状の流体導入溝８３は径方向幅を小さくできるので、狭いところでも流体導入溝８３と正圧発生溝３２の重なり部Ｌｐを大きくすることができる。図７の実施例では、重なり部Ｌｐを大きくして流体導入溝８３を正圧発生溝３２によって周方向に覆って、漏れ領域の周方向幅ＣＨをゼロにすることができ、被密封流体側周縁１６を環状に囲むことができる。さらに流体導入溝８３の深さが実施例２の流体導入溝３３より浅いので、漏れ領域の断面積をさらに小さくすることができる。これにより、逆転時のようにスパイラル溝３１のポンピング作用が低下したときであっても、流体が被密封流体側から漏れ領域を通り漏れ側への流出するのを制限することができ、延いては密封性を向上できる。
【実施例７】
【００６６】
本発明の実施例７に係る摺動部品について説明する。図８は実施例７の摺動面Ｓを示したものである。実施例１〜６においては、第１圧力発生機構及び第２圧力発生機構は溝により構成したが、実施例７においては、ディンプルの集合体からなるディンプル群によって第１圧力発生機構及び第２圧力発生機構を構成している。以下、実施例１と同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。【００６７】
図８において、回転側密封環４の摺動面Ｓは、流体導入溝１３、第１圧力発生機構５２及び第２圧力発生機構５１を備え、流体導入溝１３及び第１圧力発生機構５２は環状ランド部Ｒ２よりも被密封流体側周縁１６寄りに配設され、また、第２圧力発生機構５１は環状ランド部Ｒ２よりも漏れ側周縁１５寄りに配設されている。なお、流体導入溝１３は、実施例１の流体導入溝１３と同じ構成である。【００６８】
第１圧力発生機構５２は、ディンプル５０を複数、近接して配列して、所定の長さを有する弧状に形成されたディンプル群から構成される。ディンプル５０はランド部Ｒ１で囲まれた開口部を有するくぼみである。ディンプル群は、ディンプル５０が互いに連通しないように、ディンプル５０の周囲にランド部Ｒ１を設けて、所望の溝形状となるように複数のディンプル５０を近接して配置した疑似流路である。ディンプル群から構成される第１圧力発生機構５２の一端は流体導入溝１３に連通し、他端はランド部Ｒ１により囲まれた閉塞端部５２ｅとなっている。なお、ディンプルの開口部の径は１０μｍ〜１００μｍ、ディンプル５０の底部の深さは１０μｍ〜１００μｍ程度に設定される。摺摺動面Ｓに配設されるディンプルは、略同一の開口径、深さに設定してもよいが、所定の範囲の分布する異なる開口径及び深さに設定してもよい。【００６９】
回転側密封環４と固定側密封環７の相対摺動により、流体はディンプル５０に吸い込まれ、ディンプル５０内で昇圧してディンプル５０から吐き出される。そして、ディンプル５０を近接して配置すると、ディンプル５０は互いに連通していなくても、ディンプル５０による流体の吸い込み、吐き出し動作が、隣接するディンプル５０の間で連続して行われる。これにより、ディンプル５０を溝状に配列してディンプル群を構成すると、流体は溝状に配列されたディンプル群に沿って流れ、ディンプル群は疑似流路として機能する。【００７０】
第２圧力発生機構５１は、ディンプル５０を近接して配列してスパイラル状に構成したディンプル群である。第２圧力発生機構５１は、ディンプル群とランド部Ｒ３とを交互に周方向に所定個数（図５の例では６０個）配設して構成される。また、第２圧力発生機構５１に一端に開口部５１ａ、他端に閉塞端部５１ｅを有し、開口部５１ａは漏れ側周縁１５に連通し、閉塞端部５１ｅは環状ランド部Ｒ２により囲まれ閉塞されている。【００７１】
図８に示すように、回転側密封環４が時計方向に回転すると、流体導入溝１３に連通する第１圧力発生機構５２内に流体が引き込まれ、流体は第１圧力発生機構５２に沿って流れて閉塞端部５２ｅ付近で堰き止められて動圧（正圧）を発生する。また、スパイラル状の第２圧力発生機構５１は、漏れ側周縁１５に連通する開口部５１ａからディンプル群内へ流体をポンピングし、ポンピングされた流体はスパイラル状のディンプル群に沿って流れ、閉塞端部５１ｅ付近で動圧（正圧）を発生する。この動圧（正圧）により回転側密封環４と固定側密封環７との摺動面Ｓの間の間隙が大きくなり、摺動面Ｓは流体潤滑の状態となり非常に低摩擦となる。【００７２】
流体導入溝１３と第１圧力発生機構５２の閉塞端部５２ｅは周方向に重なる重なり部Ｌｐを形成している。重なり部Ｌｐを設けることにより、隣接する第１圧力発生機構５２間の隙間、すなわち漏れ領域の周方向幅ＣＨを小さくして、漏れ領域を絞ることができる。これにより、逆転（反時計方向に回転）時のように、第２圧力発生機構５１によるポンピング作用が低下した場合でも、流体が被密封流体側から漏れ領域を通り漏れ側への流出するのを制限することができ、延いては密封性を向上できる。【００７３】
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加があっても本発明に含まれる。【００７４】
前記実施例では、第１圧力発生機構及び第２圧力発生機構は複数設ける場合について説明したが、これに限らない。たとえば、回転側密封環、固定側密封環の大きさが小さい場合には、第１圧力発生機構及び第２圧力発生機構をそれぞれ１個で構成してもよい。第１圧力発生機構及び第２圧力発生機構の個数、形状は、使用条件に応じて変えることができる。【００７５】
前記実施例において、流体導入溝、第１圧力発生機構及び第２圧力発生機構は回転側密封環に設けられていたが、流体導入溝、第１圧力発生機構及び第２圧力発生機構は、固定側密封環に設けてもよいし、回転側密封環及び固定側密封環に設けてもよい。
【符号の説明】
【００７６】
１            メカニカルシール
２            回転軸
３            スリーブ
４            回転側密封環
５            ハウジング
７            固定側密封環
８            コイルドウェーブスプリング
１１          スパイラル溝（第２圧力発生機構）
１１ａ        開口部（第２圧力発生機構の一端）
１１ｅ        閉塞端部（第２圧力発生機構の他端）
１２          正圧発生溝（第１圧力発生機構）
１２ａ        開口部（第１圧力発生機構の一端）
１２ｅ        止端部（第１圧力発生機構の他端）
１３          流体導入溝
１３ａ        開口部
１５          漏れ側周縁
１６          被密封流体側周縁
２１          スパイラル溝（第２圧力発生機構）
２１ａ        開口部（第２圧力発生機構の一端）
２１ｅ        閉塞端部（第２圧力発生機構の他端）
２２          正圧発生溝（第１圧力発生機構）
２２ａ        開口部（第１圧力発生機構の一端）
２２ｅ        止端部（第１圧力発生機構の他端）
２３          流体導入溝
２３ａ        開口部
３１          スパイラル溝（第２圧力発生機構）
３１ａ        開口部（第２圧力発生機構の一端）
３１ｅ        閉塞端部（第２圧力発生機構の他端）
３２          正圧発生溝
３２ａ        開口部（第１圧力発生機構の一端）
３２e        止端部（第１圧力発生機構の他端）
３３          流体導入溝
３３ａ        開口部
５０          ディンプル
５１          第２圧力発生機構（ディンプル群）
５１ａ        開口部（第２圧力発生機構の一端）
５１ｅ        閉塞端部（第２圧力発生機構の他端）
５２          第１圧力発生機構（ディンプル群）
５２ｅ        止端部（第１圧力発生機構の他端）
ＣＨ          漏れ領域の幅
Ｌｐ          重なり部
Ｒ１            ランド部
Ｒ２            環状ランド部
Ｒ３            ランド部
Ｓ            摺動面
【図１】
2020027102.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2020027102.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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