(57)【要約】  複数の負荷（２３１〜２３４）のそれぞれに対する電力供給を時間比例制御によって行う電力制御装置であって、複数の負荷のそれぞれに、最大負荷率と、オン制御時の電流値若しくは電力値が対応付けられており、各負荷に対応付けられたオン制御時の電流値若しくは電力値の合計値が、複数の負荷に対して出力される電流値若しくは電力値の合計の上限を定めたリミッタ値を超えない前記負荷の組み合わせを算出する処理と、当該組み合わせの各負荷を同時にオン制御する期間を設定し、当該期間を前記組み合わせの各負荷の最大負荷率から減ずる処理と、前記各負荷の最大負荷率が全て０になるまで上記各処理を繰り返すことによって各負荷への電力供給の自動割付処理を行う電力供給自動割付部１２を備えることを特徴とする、電力制御装置１。
2020245901.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の負荷のそれぞれに対する電力供給を時間比例制御によって行う電力制御装置であって、
前記複数の負荷のそれぞれに、最大負荷率と、オン制御時の電流値若しくは電力値が対応付けられており、
前記各負荷に対応付けられたオン制御時の電流値若しくは電力値の合計値が、前記複数の負荷に対して出力される電流値若しくは電力値の合計の上限を定めたリミッタ値を超えない前記負荷の組み合わせを算出する処理と、
当該組み合わせの各負荷を同時にオン制御する期間を設定し、当該期間を前記組み合わせの各負荷の最大負荷率から減ずる処理と、
前記各負荷の最大負荷率が全て０になるまで上記各処理を繰り返すことによって前記各負荷への電力供給の自動割付処理を行う電力供給自動割付部を備えることを特徴とする、電力制御装置。
【請求項２】
前記各負荷を同時にオン制御する期間を積算した積算値を算出する処理と、前記積算値が所定値に至るまでに全ての前記負荷の最大負荷率を０にすることができなかった場合にエラー処理を行うことを特徴とする請求項１に記載の電力制御装置。
【請求項３】
前記リミッタ値を超えない前記負荷の組み合わせを算出する処理において、前記オン制御時の電流値が大きいものから選択していくことを特徴とする請求項１又は２に記載の電力制御装置。
【請求項４】
複数の負荷のそれぞれに対する電力供給に用いる時間比例制御における前記各負荷への電力供給の割付方法であって、
前記複数の負荷のそれぞれに、最大負荷率と、オン制御時の電流値若しくは電力値が対応付けられており、
前記各負荷に対応付けられたオン制御時の電流値若しくは電力値の合計値が、前記複数の負荷に対して出力される電流値若しくは電力値の合計の上限を定めたリミッタ値を超えない前記負荷の組み合わせを算出するステップと、
当該組み合わせの各負荷を同時にオン制御する期間を設定し、当該期間を前記組み合わせの各負荷の最大負荷率から減ずると共に、前記各負荷を同時にオン制御する期間を積算した積算値を算出するステップと、
上記各ステップを繰り返すことにより、前記各負荷への電力供給の割付を行うステップと、
前記積算値が所定値に至るまでに全ての前記負荷の最大負荷率をゼロにすることができなかった場合にはエラーとするステップと、を有することを特徴とする、電力供給の割付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の負荷のそれぞれに対する電力供給を時間比例制御によって行う電力制御装置、電力供給の割付方法及び電力供給の割付プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造装置や射出成形機などの装置においては、材料や制作物等を所定の温度に保持するためのヒータ（負荷）が複数設けられている。
このような複数のヒータ（負荷）に対する電力供給の制御方法に関し、特許文献１において、２つ以上の負荷に対しての電力供給が同時にオン状態とならないように時分割で電力を供給することにより、電力供給設備の小容量化や小型化を図る技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２６２１７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
複数の負荷に対する電力供給に用いられる制御方法の一つに、時間比例制御がある。時間比例制御は、所定の周期内における電力供給のオンとオフの期間の比率を変えることによって、所望の電力を供給する方式である。
例えば、前述のような材料や制作物等を所定の温度に保持するためのヒータにおいては、昇温後の温度維持状態では、それぞれのヒータの出力が安定した状態であり、従って、それぞれのヒータに対する電力供給のオンとオフの期間の比率も一定値となる。即ち、それぞれのヒータに対する電力供給において、一定のオン期間とオフ期間が存在する状態となる。
各ヒータに対する電力供給のオン期間が重なれば、その期間における電流（各ヒータに流れる電流の合計値）が大きくなり、よって、これに耐え得るだけの容量を有した電力設備が必要となる。これに対し、電流値若しくは電力値が所定の上限値に収まるように、可能な限りオン期間が重ならないような電力制御をすることができれば、電力供給設備の小容量化や小型化を図ることができる。【０００５】
本発明は、上記の点に鑑み、複数の負荷のそれぞれに対する電力供給を時間比例制御によって行う電力制御に関し、電流値若しくは電力値が所定の上限値に収まるように、各負荷に対する電力供給の割付けを容易にすることが可能な、電力制御装置及び電力供給の割付方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（構成１）
複数の負荷のそれぞれに対する電力供給を時間比例制御によって行う電力制御装置であって、前記複数の負荷のそれぞれに、最大負荷率と、オン制御時の電流値若しくは電力値が対応付けられており、前記各負荷に対応付けられたオン制御時の電流値若しくは電力値の合計値が、前記複数の負荷に対して出力される電流値若しくは電力値の合計の上限を定めたリミッタ値を超えない前記負荷の組み合わせを算出する処理と、当該組み合わせの各負荷を同時にオン制御する期間を設定し、当該期間を前記組み合わせの各負荷の最大負荷率から減ずる処理と、前記各負荷の最大負荷率が全て０になるまで上記各処理を繰り返すことによって前記各負荷への電力供給の自動割付処理を行う電力供給自動割付部を備えることを特徴とする、電力制御装置。【０００７】
（構成２）
前記各負荷を同時にオン制御する期間を積算した積算値を算出する処理と、前記積算値が所定値に至るまでに全ての前記負荷の最大負荷率を０にすることができなかった場合にエラー処理を行うことを特徴とする構成１に記載の電力制御装置。【０００８】
（構成３）
前記リミッタ値を超えない前記負荷の組み合わせを算出する処理において、前記オン制御時の電流値が大きいものから選択していくことを特徴とする構成１又は２に記載の電力制御装置。【０００９】
（構成４）
複数の負荷のそれぞれに対する電力供給に用いる時間比例制御における前記各負荷への電力供給の割付方法であって、前記複数の負荷のそれぞれに、最大負荷率と、オン制御時の電流値若しくは電力値が対応付けられており、前記各負荷に対応付けられたオン制御時の電流値若しくは電力値の合計値が、前記複数の負荷に対して出力される電流値若しくは電力値の合計の上限を定めたリミッタ値を超えない前記負荷の組み合わせを算出するステップと、当該組み合わせの各負荷を同時にオン制御する期間を設定し、当該期間を前記組み合わせの各負荷の最大負荷率から減ずると共に、前記各負荷を同時にオン制御する期間を積算した積算値を算出するステップと、上記各ステップを繰り返すことにより、前記各負荷への電力供給の割付を行うステップと、前記積算値が所定値に至るまでに全ての前記負荷の最大負荷率をゼロにすることができなかった場合にはエラーとするステップと、を有することを特徴とする、電力供給の割付方法。【００１０】
（構成５）
複数の負荷のそれぞれに対する電力供給に用いる時間比例制御における前記各負荷への電力供給の自動割付プログラムであって、記憶部に、前記複数の負荷のそれぞれに対して、最大負荷率と、オン制御時の電流値若しくは電力値が対応付けられており、演算部に、前記各負荷に対応付けられたオン制御時の電流値若しくは電力値の合計値が、前記複数の負荷に対して出力される電流値若しくは電力値の合計の上限を定めたリミッタ値を超えない前記負荷の組み合わせを算出するステップと、当該組み合わせの各負荷を同時にオン制御する期間を設定し、当該期間を前記組み合わせの各負荷の最大負荷率から減ずると共に、前記各負荷を同時にオン制御する期間を積算した積算値を算出するステップと、上記各ステップを繰り返すことにより、前記各負荷への電力供給の自動割付を行うステップと、前記積算値が所定値に至るまでに全ての前記負荷の最大負荷率をゼロにすることができなかった場合にはエラーとするステップと、を実行させることを特徴とする、電力供給の割付プログラム。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の電力制御装置、電力供給の割付方法及び電力供給の割付プログラムによれば、複数の負荷のそれぞれに対する電力供給を時間比例制御によって行う電力制御に関し、電流値若しくは電力値が所定の上限値に収まるように、各負荷に対する電力供給の割付けを容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る実施形態の加熱システムの本発明に関する構成の概略を示すブロック図
【図２】実施形態の電力制御装置の処理動作の概略を示すフローチャート
【図３】電力制御装置に設定されている設定値の一例を示した図
【図４】電力制御装置の処理経過の一例を説明するための図
【図５】電力制御装置の処理経過の一例を説明するための図
【図６】電力制御装置の処理経過の一例を説明するための図
【図７】電力制御装置の処理結果の一例を説明するための図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、以下の実施形態は、本発明を具体化する際の一形態であって、本発明をその範囲内に限定するものではない。
【００１４】
図１は、本実施形態のシステムの本発明に関する構成の概略を示すブロック図である。
本実施形態のシステムは、半導体製造装置や射出成形機などの装置に設けられる複数の負荷であるヒータ（ここでは簡単化のため４つのヒータとしている）の制御を行うシステムである。
本実施形態のシステムは、ヒータ２３１〜ヒータ２３４と、各ヒータへ電力を供給する交流電源２１と、各ヒータへの電力供給をオン／オフするスイッチング素子ＳＷ２４１〜ＳＷ２４４と、交流電源２１から各ヒータへの電力供給路上に設けられ、過負荷や短絡等から回路等を保護するブレーカー２２と、各スイッチング素子のオン／オフ制御により各ヒータへの電力供給を制御する電力制御装置１と、を備えている。
【００１５】
電力制御装置１は、温度調節器等の他の装置から操作出力値ＭＶの入力を受けて、当該操作出力値ＭＶに基づいて、ヒータ２３１〜ヒータ２３４のそれぞれに対する電力供給を時間比例制御（ＰＩＤ演算等の結果であるＭＶに比例させて出力のオン／オフ比を変化させる制御）によって行う装置である。
電力制御装置１は、スイッチング素子ＳＷ２４１〜ＳＷ２４４のオン／オフ制御を時間比例制御によって行う出力制御部１１と、各ヒータへの電力供給の自動割付処理を行う電力供給自動割付部１２と、温度調節器等の他の装置との間の情報の送受信を行う通信部１３と、を備える。
電力制御装置１には、ヒータ２３１〜ヒータ２３４のそれぞれに対して、最大負荷率と、オン制御時の電流値が対応付けられており、各ヒータに対応付けられたオン制御時の電流値の合計値が、各ヒータに対して出力される電流値の合計の上限を定めたリミッタ値を超えないヒータの組み合わせを算出する処理と、当該組み合わせの各ヒータを同時にオン制御する期間を設定し、当該期間を前記組み合わせの各ヒータの最大負荷率から減ずる処理と、を繰り返すことによって、各ヒータへの電力供給の自動割付処理を行うものである。
【００１６】
ヒータ２３１〜ヒータ２３４のそれぞれに設定される“最大負荷率”とは、各ヒータの負荷率（制御周期に対するオン期間の割合）の上限を定めるもの（即ち出力リミッタ）であり、０〜１００％の間で設定される値である。ヒータ２３１〜ヒータ２３４は、基本的には対象物をある一定の温度に加熱するためのものであり、定常状態（一定の温度に至っている状態）における負荷率を安定負荷率という。“最大負荷率”は少なくとも安定負荷率よりも大きい値に設定される。本実施形態では、安定負荷率に所定の係数を掛けた値が“最大負荷率”として設定されている。
ヒータ２３１〜ヒータ２３４のそれぞれに設定される“オン制御時の電流値”とは、時間比例制御によってオン制御された際に、各ヒータ２３１〜ヒータ２３４に流れる電流値である。
“最大負荷率”や“オン制御時の電流値”は、オートチューニング時等において測定される安定負荷率や電流値に基づいて設定される。
【００１７】
“各ヒータに対して出力される電流値の合計の上限を定めたリミッタ値”とは、ヒータ２３１〜２３４に流れる電流値の合計の上限を定めるものであり、ユーザ等によって予め装置に設定されているものである。
ヒータ２３１〜２３４に流れる電流値の合計の上限を低く抑えることができれば、ブレーカー２２の小容量化や電力の基本料金の低減（契約容量の小容量化）等を図ることができる。
【００１８】
図２は、電力制御装置１の本発明に関する処理動作の概略を示すフローチャートである。また、図４〜７は、電力制御装置１の処理経過の一例を説明するための図である。
以下、図２のフローチャート及び、図４〜７を参照しつつ、電力制御装置１における各ヒータへの電力供給の自動割付処理について説明する。
なお、ヒータ２３１〜ヒータ２３４の系統の別を“チャンネル”と称する。チャンネル１〜４はヒータ２３１〜２３４に対応する。
【００１９】
図３は、電力制御装置１に設定されている“最大負荷率（出力リミッタ）”と“オン制御時の電流値（ヒータ電流値）”の一例である。
また、“各ヒータに対して出力される電流値の合計の上限を定めたリミッタ値（ピーク電流設定値）”の一例として、９Ａが設定されている。
図２の処理は、電力供給自動割付部１２において、図３で例示された設定値に基づいて、各チャンネル（ヒータ）への電力供給タイミングの自動割付処理を行うものである。
【００２０】
図２の処理が実行されると、イニシャライズ処理として、変数ｎに１が代入され、変数Ｔに０が代入される（特に図示せず）。
イニシャライズ処理後のステップ２０１では、最大負荷率（残り出力）が０ではなく、オン制御時の電流値（ヒータ電流値）が最大のチャンネルＸを取得する。図３の例においては、チャンネル２と３が該当する。このように複数のチャンネルが該当する場合には、何れかのチャンネルを選択する。選択方法は、ランダムに選択するものや、チャンネル番号順に選択するもの、最大負荷率（残り出力）が大きい順に選択するもの等、任意のものであってよい。
ここでは、チャンネル３が選択されたものとして説明を行う。
【００２１】
次に、チャンネルＸと、他のチャンネルの組み合わせにおける電流値の合計値を算出する処理を行う（ステップ２０２）。
図４（ａ）は、ステップ２０２の処理結果の一例を示したものである。ステップ２０１で選択されたチャンネル３に対して、各チャンネルを組み合わせたパターンとして、パターン１〜７が作成され、各パターンごとにオン制御時の電流値（ヒータ電流値）の合計が算出されている。
【００２２】
続くステップ２０３では、ステップ２０２で求めた各パターンの中で、ヒータ電流値の合計がピーク電流設定値（本実施形態では“９Ａ”）以下である組み合わせがあるか否かを判別する。図４（ａ）の例においては、パターン５（チャンネル３と１の組み合わせ）と、パターン７（チャンネル３と４の組み合わせ）が該当する。このように複数の組み合わせが該当する場合には、何れかの組み合わせを選択する。選択方法は、ヒータ電流値が大きいチャンネル（ステップ２０１で選択されたチャンネルＸ以外で、最も大きなヒータ電流値のチャンネル）が含まれているものから選択するもの、電流の合計値が最も大きいものから選択するもの、ランダムに選択するもの、パターン番号順に選択するもの、最大負荷率（残り出力）が大きいチャンネルが含まれているものから選択するもの等、任意のものであってよい。
ここでは、パターン５の組み合わせが選択されたものとして説明を行う。
【００２３】
ヒータ電流値の合計がピーク電流設定値以下である組み合わせがあった場合、組み合わせ対象の各チャンネルの残り出力から、“各残り出力の内の最小値”を減算し、各ヒータを同時にオン制御する期間を積算した積算値Ｔに、”各残り出力の内の最小値”を加算する（ステップ２０３：Ｙｅｓ→ステップ２０４）。
“各残り出力の内の最小値”とは、組み合わせ対象の各チャンネルの残り出力の最小値である。即ち、組み合わせ対象の各チャンネルを同時にオンすることができる最大の長さとなる。チャンネル３と１の組み合わせが選択されているこの例では、図５（ａ）に示されるように、チャンネル３の残り出力＝６０％、チャンネル１の残り出力＝３０％であるから、“各残り出力の内の最小値”は、３０％となる。
従って、ステップ２０４の処理によって、チャンネル３と１の残り出力からそれぞれ３０が減算され、且つ、積算値Ｔに３０が積算される。図５（ａ）の右端の列が、処理結果となる。
“各ヒータを同時にオン制御する期間を積算した積算値Ｔ”とは、以下の説明で明らかとなるが、制御周期における割り当て済みの期間が積算されていくものである。例えば、積算値Ｔ＝７０（％）は、「制御期間（１００％）中の７０％は割り当て済み」であることを示すものである。
【００２４】
続くステップ２０５では、期間ｎを、期間ｎ-1に続く“各残り出力の内の最小値”の長さとし、期間ｎに、組み合わせ対象のチャンネルのオン期間を設定する。
上記の例では、期間１が、“各残り出力の内の最小値”＝３０％の長さで設定され、期間１において、チャンネル３と１のオン期間が設定される。これを概念的に図示したものが、図６（ａ）である。
なお、“残り出力”とは、上記のごとく、ステップ２０４，２０５の処理によって、最大負荷率から、オン期間を割り当て済みの負荷率を減算した残りである。
【００２５】
ステップ２０３の判別の結果、ステップ２０１で選択されたチャンネルＸと組み合わせ可能なチャンネルが無かった場合には、ステップ２０６へと移行して、チャンネルＸの残り出力を０（チャンネルＸの残り出力−チャンネルＸの残り出力＝０）とし、積算値ＴにチャンネルＸの残り出力を積算する。
次にステップ２０７において、期間ｎを、期間ｎ-1に続くチャンネルＸの残り出力の長さの期間とし、期間ｎにチャンネルＸのオン期間を設定する。
即ち、ステップ２０６と２０７の処理によって、チャンネルＸを単独でオンする期間（チャンネルＸの残り出力の全て）を割り当てるものである。
なお、ステップ２０６の処理からも理解されるように、“各ヒータを同時にオン制御する期間を積算した積算値Ｔ”における、“各ヒータを同時にオン制御する期間”とは、組み合わせ可能なチャンネルが無かった場合には、該当の１つのヒータをオン制御する期間を意味する。
【００２６】
ステップ２０３〜２０７に続く、ステップ２０８〜２１１の処理は、割り当ての終了／続行、及び割り当て不能の判別をする処理である。
ステップ２０８では、全てのチャンネルの残り出力を０とできたか否かを判別し、全てのチャンネルの残り出力を０にできた場合には、割り当てが終了したとして、処理を終了する。
ステップ２０９では、積算値Ｔが１００％となったか否かを判別し、１００％になっている場合には、割り当て不能としてエラー出力を行う（ステップ２０９：Ｙｅｓ→ステップ２１１）。即ち、積算値が所定値（１００％）に至るまでに全ての負荷の最大負荷率を０にすることができなかった場合にエラー処理を行うものである。
一方、１００％になっていない場合には、ステップ２１０へと移行し、ｎをインクリメントして、ステップ２０１へと移行（処理を続行）する。
【００２７】
上記の例について説明を続けると、ステップ２０８及び２０９の双方でＮｏの判定となり、ステップ２１０へと移行してｎをインクリメントして（ｎ＝２）、ステップ２０１へ戻って処理を続行する。
ステップ２０１では、再度チャンネル３が選択され、続くステップ２０２の処理によって、図４（ｂ）の結果が得られる。図４（ｂ）のパターン３のチャンネル３、４の組み合わせが、ピーク電流設定値を超えない組みわせとなるため、ステップ２０３から２０４へと移行する。図５（ｂ）に示されるように、チャンネル３の残り出力＝３０％、チャンネル４の残り出力＝７０％であるから、“各残り出力の内の最小値”は、３０％となる。従って、ステップ２０４の処理によって、チャンネル３と４の残り出力からそれぞれ３０が減算され、且つ、積算値Ｔに３０が積算される。図５（ｂ）の右端の列が、処理結果となる。
続くステップ２０５では、期間２が、期間１に続く３０％の長さで設定され、期間２において、チャンネル３と４のオン期間が設定される（図６（ｂ））。
【００２８】
続く、ステップ２０８及び２０９の判定は再度Ｎｏの判定となり、ステップ２１０へと移行してｎをインクリメントして（ｎ＝３）、ステップ２０１へ戻って処理を続行する。
ステップ２０１では、チャンネル２が選択され、続くステップ２０２の処理によって、図４（ｃ）の結果が得られる。図４（ｃ）のパターン１のチャンネル２、４の組み合わせが、ピーク電流設定値を超えない組みわせとなるため、ステップ２０３から２０４へと移行する。図５（ｃ）に示されるように、チャンネル２の残り出力＝４０％、チャンネル４の残り出力＝４０％であるから、“各残り出力の内の最小値”は、４０％となる。従って、ステップ２０４の処理によって、チャンネル２と４の残り出力からそれぞれ４０が減算され、且つ、積算値Ｔに４０が積算される。図５（ｃ）の右端の列が、処理結果となる。
続くステップ２０５では、期間３が、期間２に続く４０％の長さで設定され、期間３において、チャンネル２と４のオン期間が設定される（図６（ｃ））。
【００２９】
上記処理により、全てのチャンネルの残り出力が０になるため、続くステップ２０８の判別がＹｅｓとなり、割り当て処理を終了する。
図７には、上記例における割り当て結果を示した。
なお、上記例において、例えばチャンネル２の最大負荷率（出力リミッタ）が５０％であった場合、ｎ＝３時の処理において、ステップ２０８の判別はＮｏとなり、ステップ２０９の判別がＹｅｓとなるため、割り当て不能としてエラー出力がされることとなる。
【００３０】
以上のごとく、本実施形態の電力制御装置１によれば、複数の負荷のそれぞれに対する電力供給を時間比例制御によって行う電力制御に関し、電流値が所定の上限値に収まるように、各負荷に対する電力供給の割付けを自動で行うことができる。
これにより、ブレーカーの容量や、電力の契約容量を、効率的な容量に設定することも可能となる。
また、本実施形態の電力制御装置１によれば、ステップ２０１において、オン制御時の電流値（ヒータ電流値）が最大のチャンネルを取得することにより、オン制御時の電流値が大きいものから選択していくものとしている。これにより、処理の効率化を図ることができる。
【００３１】
なお、本実施形態では、オン制御時の“電流値”が設定されているものを例としているが、オン制御時の“電力値”が設定さるものであってもよい。処理概念としては本実施形態で説明したものと同様である。
また、オン制御する期間を積算した積算値Ｔとして、負荷率に対応させた０〜１００％の値（正規化した値）としているが、本発明をこれに限るものではない。例えば、オン制御する時間（ｍｓ）を単位とし、ステップ２０９の判別では、積算値Ｔ（ｍｓ）が制御周期（ｍｓ）に至ったか否かを判別させるようなものであってもよい。
【００３２】
本実施形態では、電力制御装置が、出力制御部１１と、電力供給自動割付部１２と、通信部１３を備えるものとして説明したが、各機能部がハード的に個別に構成されることに限定するものではなく、例えば、マイコンなどの１つのデバイス上で全ての機能がソフトウェア的に実装されるもの等であってもよい。逆に、各機能部の何れか若しくは全てをハード的に（専用回路等によって）実装するものであってもよく、本実施形態において電力供給自動割付部１２上でソフトウェア的に実行される処理として説明した機能の一部若しくは全部をハード的に実装するものであってもよい。
【００３３】
また、本実施形態では、上記説明した各チャンネル（ヒータ）への電力供給タイミングの自動割付処理が、電力制御装置１（電力供給自動割付部１２）で実行されるものを例としているが、これをＰＣ等の外部の情報処理装置にて行い、得られた割付け結果を電力制御装置１に設定するようなものであってもよい。
【符号の説明】
【００３４】
１．．．電力制御装置
１１．．．出力制御部
１２．．．電力供給自動割付部
２３１．．．ヒータ（負荷）
【図１】
2020245901.tif 000003
【図２】
2020245901.tif 000004
【図３】
2020245901.tif 000005
【図４】
2020245901.tif 000006
【図５】
2020245901.tif 000007
【図６】
2020245901.tif 000008
【図７】
2020245901.tif 000009
【国際調査報告】
2020245901.tif 000010
2020245901.tif 000011