【手続補正書】
【提出日】平成21年8月13日(2009.8.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロリソグラフィ投影露光装置を用いてマスクを、感光面を有する基板上に撮像するための光学撮像特性を設定する方法であって、横方向に投影対物レンズの光学軸に対して前記基板を移動させることができ、
液浸媒体を、所定の圧力下および／または所定の流量で、少なくとも１つの第１隙間に導入するステップであって、前記少なくとも１つの第１隙間を、前記光学軸に沿って見ると、照明システムおよび／または前記投影対物レンズ内および／または前記照明システムと前記マスクとの間および／または前記マスクと前記投影対物レンズとの間および／または前記投影対物レンズと前記基板との間に配置するステップと、
前記所定の圧力および／または前記所定の流量からの偏差について、前記液浸媒体の実圧力および／または実流量をモニターするステップとを含む方法。
【請求項２】
前記少なくとも１つの第１隙間は、前記感光面と前記面に面する前記投影対物レンズの端面との間に配置されている、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記実圧力および／または前記実流量の結果として生じる偏差は、前記投影露光装置のそれぞれの露光動作中に改めて検出される、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記実圧力および／または前記実流量の結果として生じる偏差は、前記投影露光装置の較正動作中に検出され、かつ前記基板の前記移動の位置および速度データに割り当てられて電子メモリ内に記憶される、請求項１または２に記載の方法。
【請求項５】
前記露光工程中に前記所定の圧力および／または前記所定の流量をできるだけ一定に保つために、前記液浸媒体の前記実圧力および／または前記実流量を、前記実圧力および／または前記実流量の前記所定の圧力および／または前記所定の流量への前記検出された偏差によっては少なくとも１つの設定ユニットを用いて設定するステップをさらに含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記光学軸の方向の前記投影対物レンズの前記端面を、前記圧力および／または前記流量の前記検出された偏差によっては少なくとも１つのアクチュエータを用いて、前記所定の圧力および／または前記所定の流量に割り当てられる前記端面の所望の位置にできる限り近づく位置に位置調整するステップをさらに含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記設定ユニットは、前記電子メモリに記憶されている前記位置および速度データに基づいて、それぞれの露光動作中に前記実圧力および／または前記実流量を設定する、請求項４または５に記載の方法。
【請求項８】
前記少なくとも１つのアクチュエータは、前記電子メモリに記憶されている前記位置および速度データに基づいて、それぞれの露光動作中に前記投影対物レンズの前記端面を設定する、請求項４〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
マイクロリソグラフィの投影露光装置を用いてマスクを、感光面を有する基板上に撮像するための光学撮像特性を設定する方法であって、横方向に投影対物レンズの光学軸に対して前記基板を移動させることができ、
液浸媒体を、前記投影露光装置の少なくとも１つの第１隙間に導入するステップであって、前記少なくとも１つの第１隙間を、前記光学軸に沿って見ると、照明システムおよび／または前記投影対物レンズ内および／または前記照明システムと前記マスクとの間および／または前記マスクと前記投影対物レンズとの間および／または前記投影対物レンズと前記基板との間に配置するステップと、
前記液浸媒体の圧力および／または流量を、前記光学撮像特性が所望の撮像特性にできる限り近づくように設定するステップとを含む、方法。
【請求項１０】
前記液浸媒体は、閉液浸媒体回路が前記隙間のそれぞれについて存在するように、入口および出口を用いて前記隙間に導入されかつ該隙間から排出される、請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記圧力および／または流量は、前記液浸媒体回路のそれぞれに別々に設定される、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
少なくとも１つの浸漬液および／または少なくとも１つの浸漬ガスが、液浸媒体として提供される、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
少なくとも１つの第２隙間が、前記投影露光装置内に配置されている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
さらなる隙間が、少なくとも１つの浸漬液および／または少なくとも１つの浸漬ガスが導入される前記投影露光装置に配置されている、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記隙間は、前記光学軸に沿って隣接しかつ／またはある距離をおいて配置される前記照明ユニットおよび／または前記投影対物レンズの光学部品に配置されている、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
前記液浸媒体の前記実圧力および／または前記実流量の前記モニタリングは、前記基板の前記移動中に行われる、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
マスクを、感光面を有する基板上に撮像するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置であって、照明ユニットと、投影対物レンズと、前記投影対物レンズの端面に面する前記感光面を有する前記基板をその上に配置することができるテーブルと、前記投影対物レンズの光学軸に対して横方向の前記テーブルの移動のための駆動装置と、前記照明ユニットおよび／または前記投影対物レンズ内および／または前記照明ユニットと前記マスクとの間および／または前記マスクと前記投影対物レンズとの間および／または前記投影対物レンズと前記基板との間に配置することができる少なくとも１つの第１隙間とを備え、液浸媒体を前記少なくとも１つの第１隙間に導入することができ、かつ前記少なくとも１つの第１隙間内の前記液浸媒体の実圧力および／または実流量をモニターするための少なくとも１つのモニター装置が設けられている、マイクロリソグラフィ投影露光装置。
【請求項１８】
前記モニター装置は、圧力計および／または流量計を有している、請求項１７に記載の投影露光装置。
【請求項１９】
前記圧力計および／または前記流量計は、前記少なくとも１つの第１隙間内への前記液浸媒体のフィードラインに配置されている、請求項１８に記載の投影露光装置。
【請求項２０】
前記液浸媒体の前記圧力および／または前記流量を設定するための設定装置を備える、請求項１８または１９に記載の投影露光装置。
【請求項２１】
前記圧力計および／または前記流量計は、前記設定装置に結合されている、請求項１７〜２０のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２２】
前記少なくとも１つの第１隙間が、前記基板の前記感光面と前記投影対物レンズの前記端面との間に配置されている、請求項１７に記載の投影露光装置。
【請求項２３】
少なくとも１つの第２隙間が設けられている、請求項１７〜２２のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２４】
さらなる隙間が設けられている、請求項２３に記載の投影露光装置。
【請求項２５】
隙間を、いずれの場合にも、前記照明ユニットおよび／または前記投影対物レンズの光学素子の基板対向側および／または基板遠隔側に配置することができる、請求項１７〜２４のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２６】
隙間は、いずれの場合にも、前記光学軸に沿って見ると、前記照明ユニットおよび／または前記投影対物レンズの光学部品の両側に隣接するように配置されている、請求項１７〜２５のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２７】
前記隙間は、前記照明ユニットおよび／または前記投影対物レンズの異なる光学部品に隣接するように両側に配置される、請求項１７〜２６のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２８】
前記投影対物レンズの前記端面を有する前記投影対物レンズの終端素子を前記光学軸の方向に移動させることができ、かつ前記終端素子には前記モニター装置に結合されている少なくとも１つのアクチュエータが割り当てられている、請求項１７〜２７のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２９】
所定の圧力および／または所定の流量から、前記投影露光装置の較正動作中に検出される前記実圧力および／または前記実流量の偏差が、前記基板の前記移動の位置および速度データに割り当てられて記憶されている電子メモリを備える、請求項１７〜２８のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項３０】
前記電子メモリは前記駆動装置に結合されている、請求項２９に記載の投影露光装置。
【請求項３１】
前記駆動装置は前記設定ユニットに結合されている、請求項１７〜２０のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項３２】
前記駆動装置は前記少なくとも１つのアクチュエータに結合されている、請求項１７〜２８のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項３３】
マスクを、感光面を有する基板上に撮像するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置であって、照明ユニットと、投影対物レンズと、前記投影対物レンズの端面に面する前記感光面を有する前記基板をその上に配置することができるテーブルと、前記投影対物レンズの光学軸に対して横方向の前記テーブルの移動のための駆動装置と、前記照明ユニットおよび／または前記投影対物レンズの光学部品間および／または前記マスクと前記照明ユニットとの間および／または前記マスクと前記投影対物レンズとの間および／または前記基板の前記感光面と前記投影対物レンズの前記端面との間に配置することができる少なくとも１つの第１隙間とを備え、液浸媒体を前記少なくとも１つの第１隙間に導入することができ、かつ前記投影露光装置内の光学撮像特性を所望の撮像特性に設定するために、前記液浸媒体の圧力および／または流量を設定するための設定ユニットが設けられている、マイクロリソグラフィ投影露光装置。
【請求項３４】
前記光学撮像特性は球面収差の大きさである、請求項３３に記載の投影露光装置。
【請求項３５】
前記投影対物レンズの前記端面には、前記液浸媒体をはじく被膜が設けられている、請求項１７〜３４のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項３６】
少なくとも１つの第２隙間が設けられている、請求項３３〜３５のいずれか１項に投影露光装置。
【請求項３７】
さらなる隙間が設けられている、請求項３６に記載の投影露光装置。
【請求項３８】
前記液浸媒体は少なくとも１つの浸漬液および／または少なくとも１つの浸漬ガスを有している、請求項１７〜３７のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項３９】
前記隙間は異なる幾何学的形状を有している、請求項１７〜３８のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項４０】
前記隙間のそれぞれは、閉液浸媒体回路をそれぞれ形成する前記それぞれの液浸媒体用の個別の入口および個別の出口を有する、請求項１７〜３９のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項４１】
前記液浸媒体回路のそれぞれを、個別に制御しかつ規制することができる、請求項４０に記載の投影露光装置。
【請求項４２】
前記隙間および／または液浸媒体回路のそれぞれは、密閉されている、請求項４０または４１に記載の投影露光装置。
【請求項４３】
前記移動によって前記実圧力および／または前記実流量の偏差が生じる、請求項１７〜４２のいずれか１項に記載の投影露光装置。