(57)【要約】  マスクを保持するマスク保持装置と、前記マスク保持装置によって保持されたマスクに対して上方からクリームはんだを塗り延ばすスキージ装置と、前記マスクの下に基板を搬送する搬送装置と、前記搬送装置によって搬送された基板を保持し、前記マスクに対する上下方向の位置決めを行う基板保持昇降装置と、前記マスクの下面を拭き取り清掃するクリーニング装置と、前記マスクの基準マークと前記基板の基準マークとを撮像する撮像装置と、前記マスクと前記基板保持昇降装置との間を、前記撮像装置および前記クリーニング装置を移動させる駆動装置と、前記各装置を制御するものであって、前記基板保持昇降装置に対して、その昇降部を前記撮像装置のサイズに応じた基準高さに設定し、前記クリーニング装置の移動時には当該クリーニング装置のサイズに応じて前記基準高さから下降させる制御装置とを有する。
2019234791.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクを保持するマスク保持装置と、
前記マスク保持装置によって保持されたマスクに対して上方からクリームはんだを塗り延ばすスキージ装置と、
前記マスクの下に基板を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置によって搬送された基板を保持し、前記マスクに対する上下方向の位置決めを行う基板保持昇降装置と、
前記マスクの下面を拭き取り清掃するクリーニング装置と、
前記マスクの基準マークと前記基板の基準マークとを撮像する撮像装置と、
前記マスクと前記基板保持昇降装置との間を、前記撮像装置および前記クリーニング装置を移動させる駆動装置と、
前記各装置を制御するものであって、前記基板保持昇降装置に対して、その昇降部を前記撮像装置のサイズに応じた基準高さに設定し、前記クリーニング装置の移動時には当該クリーニング装置のサイズに応じて前記基準高さから下降させる制御装置と、
を有するスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記駆動装置は、前記撮像装置を直接移動させ、前記クリーニング装置は前記撮像装置との間に設けられた連結器を介して移動させるよう構成された請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記基板保持昇降装置によって前記保持高さに配置された前記基板に対して、前記撮像装置による基準マークの撮像が行われる請求項１又は請求項２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
前記基板の保持高さは、基準マークを撮像する前記撮像装置との距離が、前記マスクと前記撮像装置との距離と同程度になるように設定されたものである請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板における通常時の高さがマスク清掃時の位置より高くなるようにしたスクリーン印刷機に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は、パターン孔の形成されたマスクが取り付けられ、その下側に搬送された基板が保持される。そして、その基板が上昇してマスクの下面に接触し、反対のマスク上面側からスキージ装置によってクリームはんだが塗り延ばしされることで、パターン孔を通ったクリームはんだが基板上に印刷される。このようなスクリーン印刷機は、下記特許文献１に示すように、マスクとその下側に位置決めされた基板との間にカメラユニット（撮像装置）が進入し、マスクの下面に付された基準マークと基板の上面に付された基準マークが順番に撮像される。そして、各基準マークの位置が画像処理によって確認され、ズレが生じている場合には補正が行われる。【０００３】
また、スクリーン印刷機にはマスクの汚れを拭き取るクリーニングユニット（クリーニング装置）が設けられている。そのクリーニングユニットは、カメラユニットと同様に、マスクと基板との間を移動することが可能な構成となっている。特に、この従来例では連結機構が設けられ、クリーニングユニットとカメラユニットとを着脱することが可能になっている。両ユニットを移動させるのはカメラユニット側に設けられた駆動装置であり、通常時は、クリーニングユニットがカメラユニットから切り離されてカメラユニットのみが移動可能であり、マスクの清掃時には、カメラユニットに連結されることによってクリーニングユニットの移動が可能になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−８０８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、スクリーン印刷機に設けられたクリーニングユニットは、ロール状のクリーニングペーパや、そのクリーニングペーパをマスク下面に押し当てるためのシリンダを有するなど、構造的にカメラユニットよりも高さ寸法が大きくなってしまう。そのため、クリーニングユニットが進入する空間を確保するため、マスクと基板との間隔を広くとる必要があり、従来のスクリーン印刷機は、印刷時に基板をマスクまで移動させる昇降距離が長くなってしまっていた。そのため、従来のスクリーン印刷機には、基板の昇降距離に応じてサイクルタイムが長くなってしまう問題があった。また、基板の移動距離が長い分、移動方向の僅かな誤差が基板とマスクとのズレ量を大きくしてしまい、印刷精度を低下させてしまうなどの問題もあった。【０００６】
そこで、本発明は、かかる課題を解決すべく、基板の位置を撮像装置の高さ寸法に対応させるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様におけるスクリーン印刷機は、マスクを保持するマスク保持装置と、前記マスク保持装置によって保持されたマスクに対して上方からクリームはんだを塗り延ばすスキージ装置と、前記マスクの下に基板を搬送する搬送装置と、前記搬送装置によって搬送された基板を保持し、前記マスクに対する上下方向の位置決めを行う基板保持昇降装置と、前記マスクの下面を拭き取り清掃するクリーニング装置と、前記マスクの基準マークと前記基板の基準マークとを撮像する撮像装置と、前記マスクと前記基板保持昇降装置との間を、前記撮像装置および前記クリーニング装置を移動させる駆動装置と、前記各装置を制御するものであって、前記基板保持昇降装置に対して、その昇降部を前記撮像装置のサイズに応じた基準高さに設定し、前記クリーニング装置の移動時には当該クリーニング装置のサイズに応じて前記基準高さから下降させる制御装置とを有する。
【発明の効果】
【０００８】
前記構成によれば、マスク保持装置により保持されたマスクの下側には搬送装置によって基板が搬送された後、その基板が基板保持昇降装置によって保持され、マスクの下面に接するようにして位置決めされる。そして、マスクの上方からクリームはんだがスキージ装置により塗り延ばしされ、基板に対する印刷が行われる。また、こうした基板印刷の際には、マスクと基板の間に撮像装置が駆動装置によって進入し、基準マークの撮像が行われ、所定回数の印刷処理の後には、クリーニング装置が進入してマスク下面の拭き取り清掃が行われる。そして、基板保持昇降装置は、印刷が行われる通常時には、昇降部が撮像装置のサイズに応じた基準高さに設定されるため、保持した基板がマスクと近い距離に配置され、マスクの清掃時には、昇降部が下降することによりクリーニング装置との干渉が回避される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】スクリーン印刷機の内部構造を簡略化して示した側面図である。
【図２】スクリーン印刷機の基板保持昇降装置の構造を簡略化して示した図である。
【図３】カメラユニットおよびクリーニングユニットの移動周辺を簡略化して示した図である。
【図４】通常時の基板の高さを示した図である。
【図５】クリーニングユニットが移動する清掃時の基板の高さを示した図である。
【図６】基板、マスクおよびカメラユニットの位置関係を概念的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、本発明に係るスクリーン印刷機の一実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。図１は、スクリーン印刷機の内部構造を簡略化して示した側面図である。このスクリーン印刷機１は、基板に対してクリームはんだを印刷するものであり、例えば印刷状態を検査する検査機や基板に電子部品の装着を行う部品装着機などと共に回路基板生産ラインを構成するものである。本実施形態では、図示するスクリーン印刷機１の機体前後方向をＹ軸方向、機体幅方向をＸ軸方向、そして機体高さ方向をＺ軸方向として説明する。
【００１１】
スクリーン印刷機１は、機体内部にマスクが配置され、その下に基板が搬送および保持され、印刷パターン孔を通してマスク上面から下側の基板にクリームはんだが塗布される。そこで、スクリーン印刷機１には、上部側にマスクホルダ２があり、マスクの取り付けができるようになっている。マスクホルダ２の上方側には、マスク上のクリームはんだを機体前後方向に塗り延ばしするスキージ装置３が設置されている。一方、マスクホルダ２の下側には、搬送された基板を保持して上下方向に移動させる基板保持昇降装置４が設けられている。
【００１２】
スクリーン印刷機１は、図示するように機体カバー１９によって覆われているが、機体幅方向の両側面部に搬送口１９１が形成され、基板の搬入及び搬出が行われるようになっている。そのため、マスクホルダ２の下側には、機体幅方向に基板を搬送させるための基板搬送装置が設けられている。更に、マスクホルダ２の下側には、基板を機体前後方向にクランプするためのクランプ装置、そして基板をクランプ位置へと上下させるバックアップ装置などが昇降装置に組み付けられている。本実施形態では、クランプ装置や昇降装置などをまとめて基板保持昇降装置４と称する。図２は、そうしたスクリーン印刷機１の基板保持昇降装置４の構造を簡略化して示した図である。
【００１３】
先ず、昇降装置８は、鉛直方向のガイドレール１１に対して昇降台１２が摺動可能に取り付けられ、その昇降台１２がボールネジ１３を介して昇降用モータ１４に連結されている。昇降台１２の上部には、支持台１５を介して基板搬送装置５やクランプ装置６などが搭載されている。支持台１５には機体前後方向（Ｙ軸方向）に一対のマスクサポート２１が設けられ、それぞれ脚体上面にマスク２０に接触するマスク支持プレート２８が固定されている。図面右側のマスクサポート２１にはボールネジ２２が構成され、マスクサポート用モータによって図面左側のマスクサポート２１との距離の調整が可能となっている。
【００１４】
クランプ装置６は、機体前後方向に一対のサイドフレーム２５が配置され、それぞれ支持台２３に組み付けられている。図面右側のサイドフレーム２５にはボールネジ２６が構成され、基板クランプ用モータによって図面左側のサイドフレーム２５との距離の調整が可能となっている。一対のサイドフレーム２５には、その上端部にクランプ部２７が形成され、クランプ部２７同士が近づくことにより、基板１０を挟み込んだ保持が可能になっている。そして、サイドフレーム２５の内側には、コンベアベルト２９からなる基板搬送装置５が組み付けられている。
【００１５】
一対のサイドフレーム２５の間には、基板１０を支持するバックアップ装置７が設けられている。バックアップ装置７は、複数のバックアップピン３２を備えたバックアップテーブル３１がボールネジを介して支持され、バックアップ用モータ３４によって昇降するよう構成されている。また、クランプ装置６の支持台２３は、ボールネジを介して支持され、昇降用モータ３３によって昇降するよう構成されている。そして、クランプ装置６やバックアップ装置７を支持する支持台１５は、昇降台１２に対してＸ−Ｙ平面上のＸ方向及びＹ方向とθ方向に位置調整が可能な構成となっている。つまり、保持された基板１０とマスク２０との位置調整を行う補正装置が構成されている。
【００１６】
スクリーン印刷機１は、このようにマスク２０の下側に、昇降装置８にクランプ装置６やバックアップ装置７などが組み付けられた基板保持昇降装置４が構成され、基板１０の高さを段階的に変化させるよう構成されている。特に本実施形態では、図２に示す昇降台１２の位置が基準高さＫとして構成されているが、この基準高さＫは、基板搬送装置５によって搬送する基板１０の搬送高さを特定するものである。すなわち、基準高さに昇降台１２が位置決めされ、クランプ装置６およびバックアップ装置７が図２に示す下降した状態において、そのクランプ装置６に組み付けられた基板搬送装置５が搬送位置となる。
【００１７】
クランプ装置６には、クランプ部２７より低い位置に基板搬送装置５を構成するコンベアベルト２９が組み付けられている。従って、搬送された基板１０は、クランプ部２７に上面を合わせるため、バックアップ装置７によって上方へ移動するよう構成されている。印刷後は逆に下方へ移動することになるが、こうした上下方向の移動距離が小さくなるように、コンベアベルト２９の上面高さは、スクリーン印刷機１が処理可能な基板１０の厚みや反り量などによって設定されている。
【００１８】
また、クランプ装置６では、保持された基板１０がマスク支持プレート２８に上面が合うように上方へ移動するよう構成されている。印刷後には逆に下方へ移動することとなるが、この場合も上下方向の移動距離が小さくなるように、クランプ装置６は、マスク支持プレート２８に対するクランプ部２７の上面高さが設定されている。従って、基板保持昇降装置４では、各部材の高さの関係が設定され、マスク支持プレート２８の上面に対するコンベアベルト２９の上面の高さも予め定められた高さとなっている。
【００１９】
次に、マスクホルダ２と基板保持昇降装置４の間には、図３に示すように、基板１０やマスク２０に付された基準マークを撮像するためカメラユニット３５（撮像装置）と、マスク２０の汚れを下面側から拭き取って清掃するクリーニングユニット３７（クリーニング装置）が設けられている。図３は、カメラユニット３５およびクリーニングユニット３７の移動周辺を簡略化して示した図である。特に、カメラユニット３５とクリーニングユニット３７とが分離され、カメラユニット３５のみが基板１０とマスク２０の間に進入した状態が示されている。なお、図１に示すスクリーン印刷機１において、矢印Ａ１がカメラユニット３５およびクリーニングユニット３７の移動範囲であり、矢印Ａ２が基板１０の移動範囲である。
【００２０】
カメラユニット３５およびクリーニングユニット３７は、機体前後方向に延びるガイドロッド４１に対して摺動可能に取り付けられ、駆動装置によって移動できるよう構成されている。本実施形態の駆動装置は、従来例と同様に、カメラユニット３５のみが自走できるように構成されている。その駆動装置は、例えば駆動モータによって回転するネジ軸がガイドレール４１と平行に設けられ、そこにカメラユニット３５側に固定されたナットが螺合してボールネジが構成されている。そして、自走可能なカメラユニット３５との連結によってクリーニングユニット３７の移動を可能すべく、両ユニットに連結器が構成されている。
【００２１】
先ず、クリーニングユニット３７は、ロール状のクリーニングペーパが使用され、使用前の第１ローラ４３から巻き出されて、マスク２０を拭き取った使用済み部分が第２ローラ４４によって巻きとられるよう構成されている。第２ローラ４４側に設けられたサーボモータによってクリーニングペーパ１３の巻取り（第１ローラ４３からの巻き出し）が行われ、両ローラの間には、クリーニングペーパをマスク２０の下面に押し付けるため、エアシリンダ４５を使用したペーパ押し付け機構が組み込まれている。一方、カメラユニット３５は、上方のマスクと下方の基板の両方とを撮像するため、カメラ４７に対してプリズムが組み合わされている。
【００２２】
そして、カメラユニット３５内には、プランジャを上下に伸縮作動させるソレノイド４８が設けられ、クリーニングユニット３７には、貫通孔が形成され連結プレート４９がカメラユニット３５側に突き出している。こうしたソレノイド４８および連結プレート４９が、カメラユニット３５とクリーニングユニット３７を連結するための連結器となっている。よって、ソレノイド４８のプランジャが下方に伸び、カメラユニット３５内に挿入された連結プレート４９の貫通孔に差し込まれることにより、クリーニングユニット３７がカメラユニット３５に連結され、一体的な移動が可能になる。
【００２３】
クリーニングユニット３７は、図１に示すように、スクリーン印刷機１の前部が待機位置となっている。そこで、クリーニングユニット３７を使用したマスク２０の清掃が行われる場合には、カメラユニット３５が待機位置まで移動し、クリーニングユニット３７に対する連結が行われるようになっている。一方で、ソレノイド４８のプランジャが引き上げられた状態では、カメラユニット３５とクリーニングユニット３７は分離され、カメラユニット３５だけの移動により基板１０やマスク２０に付された基準マークの撮像が行われるようになっている。
【００２４】
ところで、カメラユニット３５とクリーニングユニット３７は、全体がユニットカバーによって覆われているが、クリーニングユニット３７の高さ方向の寸法がカメラユニット３５の高さ寸法に比べて大きく。第１、第２ローラ４３，４４に巻かれるロール状のクリーニングペーパや、そのクリーニングペーパをマスクに押し付けるためのエアシリンダ４５などが組み込まれているためである。この点、従来のスクリーン印刷機では、基板１０とマスク２０との間隔は、サイズの大きいクリーニングユニット３７の高さ寸法に対応して設計されていた。そのため、基板１０の移動距離が長くなってしまい、サイクルタイムが長くなるほか、マスク２０に対する基板１０の位置精度を低下させてしまっていた。
【００２５】
そこで、スクリーン印刷機１では、図４に示す通常時と、図５に示す清掃時とによって基板１０の高さが切り換えられるよう構成されている。通常時のクリーニングユニット３７は、図１に示す待機位置に配置され、基板１０とマスク２０の間にはカメラユニット３５だけが進入することとなる。本実施形態では、図４に示すマスク支持プレート２８の上面を基準高さｋ２として、スクリーン印刷機１内に搬送される基板１０の搬送高さが設定される。昇降装置８に基板搬送装置５などが搭載された基板保持昇降装置４は、上下方向に変位する昇降部がマスク２０の下側に進入するカメラユニット３５やクリーニングユニット３７と干渉する可能性がある。そのため、本実施形態では、そうした昇降部においてマスク２０に最も近い支持プレート２８の上面を基準高さｋ２としている。なお、基準高さｋ２は、図２に示すように昇降台１２が基準高さＫに位置する場合のマスク支持プレート２８の上面高さである。
【００２６】
ここで、図６は、基準高さｋ２に位置決めされた基板１０、マスクホルダ２に保持されたマスク２０およびカメラユニット３５の位置関係を概念的に示した図である。例えば、カメラユニット３５は、マスク２０との距離Ｌ２が３ｍｍに設定されている。そこで、基準高さｋ２は、カメラユニット３５から基板１０までの距離Ｌ１が５ｍｍとなるように、つまり両方の距離Ｌ１，Ｌ２の差がほとんど無く同程度になるように設計されている。本来であれば距離Ｌ１，Ｌ２を同じ値にすることにより、基板１０とマスク２０との距離Ｌ３を最も小さくすることができるが、基板１０に生じ得る反りなどの状態変化量を考慮した同程度とし、距離Ｌ１の値が僅かに大きくなっている。
【００２７】
一方、マスク２０の清掃時には、図５に示すように、クリーニングユニット３７がマスク２０の下側に移動するため、基板１０とマスク２０の間をカメラユニット３５だけではなく、クリーニングユニット３７が移動することとなる。そして、クリーニングユニット３７は、カメラユニット３５と上面を揃えて下側に大きくなっているため、基板１０が干渉しないように、基準高さｋ２から所定の退避距離Ｌ４だけ下降するよう構成されている。なお、マスク２０の清掃時に必ず基板１０が保持されているわけではないため、基板１０とマスク２０の間とは、基板１０が保持されていたとした場合における、基板１０の高さとマスク２０の間という意味である。
【００２８】
続いて、スクリーン印刷機１には、図２に示すように全体の駆動を制御する制御装置９が搭載され、基板１０の昇降制御を含む各装置の駆動制御が次のようにして行われるようになっている。先ず、スクリーン印刷機１における基板１０への印刷は、コンベアベルト２９によってサイドフレーム２５の間に基板１０が搬送される。そして、バックアップ用モータ３４の駆動によりバックアップテーブル３１が上昇し、バックアップピン３２に突き上げられた基板１０がコンベアベルト２９から持ち上げられる。基板１０の位置合わせ後、基板クランプ用モータの駆動によりサイドフレーム２５が移動し、その基板１０が一対のクランプ部２７によって挟み込まれて保持される。
【００２９】
次に、昇降用モータ３３の駆動によって基板１０を保持したクランプ装置６が上昇し、マスク支持プレート２８の高さにクランプ部２７と基板１０とが位置決めされる。すなわち、マスク支持プレート２８、クランプ部２７、基板１０の上面高さが基準高さＫに揃えられる。そして、基板１０とマスク２０との間をカメラユニット３５が移動し、各々の基準マークの撮像が行われ、その撮像データに基づいて基板１０とマスク２０に関してＸ，Ｙ，θ方向のズレ量が算出され、支持台１５に構成されている補正装置によって位置ズレ補正が行われる。
【００３０】
カメラユニット３５が移動して基板１０の昇降範囲から外れると、基板保持昇降装置４では、昇降用モータ１４の駆動により昇降台１２が基準高さＫの位置から上昇し、基板１０がマスク２０の下面に接する高さで位置決めされる。そして、スキージ装置３によってマスク２０上のクリームはんだがローリングされ、印刷パターン孔へと押し込まれ下側の基板１０に塗布される。その後、昇降用モータ３３の駆動により基板１０を所定速度で下降させる版離れが行われ、その基板１０に対して印刷パターンに従ったクリームはんだによる印刷が行われる。
【００３１】
基板１０に印刷が行われると、昇降台１２は、昇降用モータ１４の駆動により下降して基準高さＫの位置に戻される。その後、昇降用モータ３３の駆動によって基板１０を保持したクランプ装置６が下降し、バックアップ用モータ３４の駆動によりバックアップテーブル３１が下降し、バックアップピン３２に載せられた基板１０がコンベアベルト２９に戻される。こうしてクランプ装置６およびバックアップ装置７の位置が、図２に示す基板搬送高さに戻ることにより、基板搬送装置５による基板１０の搬送が可能になり、印刷後の基板１０はスクリーン印刷機１から搬出され、新たな基板１０が搬入される。
【００３２】
スクリーン印刷機１では、前述したように基板１０に対する印刷処理と、基板１０の搬入・搬送とが繰り返し行われ、マスク２０に対する清掃は、所定枚数の基板１０への印刷処理毎に行われる。そのマスク清掃時には、カメラユニット３５が図１に示すように待機位置のクリーニングユニット３７へと移動し、両者の連結が行われる。すなわち、カメラユニット３５の中にクリーニングユニット３７側の連結プレート４が挿入され、その貫通孔にソレノイド４８のプランジャが差し込まれる。
【００３３】
一方、基板保持昇降装置４は、基板１０やマスク支持プレート２８などがクリーニングユニット３７と干渉しないように、昇降用モータ１４の駆動によって昇降台１２が下降し、基準高さＫから所定距離だけ下方に退避する。その退避位置は、基板の搬送高さよりも下方である。そのため、基板１０とマスク２０との間にクリーニングユニット３７の進入が可能になり、マスク２０の下面にクリーニングペーパが押し当てられて汚れが拭き取られる。マスク２０の清掃が終わったクリーニングユニット３７は、再び待機位置に戻されてカメラユニット３５との連結が切り離される。そして、基板保持昇降装置４では、昇降用モータ１４の駆動により昇降台１２が上昇し、マスク支持プレート２８の上面が基準高さＫｋ２に戻される。
【００３４】
よって、本実施形態によれば、通常時には、マスク２０に近い位置で基板１０が保持および位置決めされるため、マスク２０までの上昇及び下降距離が短くなり、印刷時の昇降動作に要する時間が短縮される。例えば、クリーニングユニット３７に基板１０の位置を対応させていた従来例に比べて、本実施形態ではサイズの小さいカメラユニット３５に対応させることにより、基板１０の位置がマスク２０に２５ｍｍ近づいている。そのため、印刷時の基板１０の移動距離は往復で５０ｍｍもの差になりサイクルタイムを短縮することができる。
【００３５】
また、基板１０の移動距離が短くなることによってマスク２０に対する基板１０の位置精度を上げることができる。基板１０は、ガイドレール１１に沿った昇降台１２の移動に応じて昇降するが、その移動方向は鉛直方向に合わせて設計されてはいるものの、図６に示すように多少のズレ（角度θ）が生じてしまう。そのため、マスク２０に接する基板１０の到達位置では、その基板１０とマスク２０との間に横ズレＢが生じてしまう。例えば、基板１０とマスク２０との距離Ｌ３が本実施形態では１２５ｍｍであり、従来例は１５０ｍｍであるとすると、角度θの値が０．１°であっても横ズレＢの差が約４４μとなってしまう。基板１０に対する印刷には数十μの精度が要求されるため、本実施形態は印刷精度を高める点についても有効である。
【００３６】
ところで、スクリーン印刷機１では、クリーニングユニット３７の方がカメラユニット３５よりもサイズが大きくなってしまっている。そして、そのクリーニングユニット３７は、使用効率などを考えれば大きな径のクリーニングペーパを取り付けられことが好ましい。しかし、マスク２０の清掃のためには、基板保持昇降装置４の上を移動することになるため、クリーニングペーパに応じて高さ方向の寸法が大きなクリーニングユニット３７の場合には、それに干渉しないだけの更に大きなスペースを確保する必要が生じる。
【００３７】
よって、本実施形態は、クリーニングユニット３７の使用効率を上げつつ、印刷時に昇降台１２のストロークが大きくなってしまう欠点を解消したものである。つまり、基板１０に対して１枚ごとに行われる昇降台１２の昇降ストロークは、クリーニングユニット３７の大きさに関わらず、小さいカメラユニット３５に応じて設定すればよい。一方、マスク２０の清掃時には昇降台１２が下降して従来のような大きなスペースを作り出すため、大きな径のクリーニングペーパを用いたクリーニングユニット３７のデメリットを解消することができる。
【００３８】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、前記実施形態では、自走可能なカメラユニット３５に連結してクリーニングユニット３７を移動可能にしているが、そのクリーニングユニット３７にも駆動モータの回転出力をボールネジによって直進運動に変換させる自走構造としてもよい。また、各ユニットを走行させる駆動装置は、駆動モータの回転をプーリやベルトを介して直進運動に変換するなど他の構造であってもよい。
【００３９】
また、クリーニングユニット３７をカメラユニット３５の上面に揃える場合がマスク２０との距離Ｌ２を最も小さくすることができるが、両ユニットの高さ方向の中心位置を基に、カメラユニット３５の高さ方向の中心を、大きいクリーニングユニット３７の高さ方向の中心よりも上になる関係で組み付けた構造であってもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１…スクリーン印刷機  ２…マスクホルダ  ３…スキージ装置  ４…基板保持昇降装置  ５…基板搬送装置  ６…クランプ装置  ７…バックアップ装置  ８…昇降装置  ９…制御装置  １０…基板  １４…昇降用モータ  ２０…マスク  ２７…クランプ部  ２８…マスク支持プレート  ３５…カメラユニット  ３７…クリーニングユニット
【図１】
2019234791.tif 000003
【図２】
2019234791.tif 000004
【図３】
2019234791.tif 000005
【図４】
2019234791.tif 000006
【図５】
2019234791.tif 000007
【図６】
2019234791.tif 000008
【国際調査報告】
2019234791.tif 000009
2019234791.tif 000010
2019234791.tif 000011
2019234791.tif 000012