(57)【要約】  ダイオード特性を有する複数の電流経路Ａ１，Ａ２が並列接続された検査対象部Ａの検査を行う検査方法であって、予め設定された第一電流値Ｉａの電流を前記両端間に流しつつ、前記両端間の電圧を第一電圧値Ｖａとして測定する測定処理工程を含み、第一電流値Ｉａは、正常な検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値以下である。
2020116236.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査装置であって、
電流を供給可能な電流供給部と、
電圧を測定可能な電圧測定部と、
予め設定された第一電流値の電流を前記電流供給部によって前記両端間に流させつつ、前記両端間の電圧を前記電圧測定部によって第一電圧値として測定させる測定処理部とを備え、
前記第一電流値は、正常な前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値以下である検査装置。
【請求項２】
前記第一電圧値に基づいて、前記検査対象部の良否を判定する判定部をさらに備える請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査装置であって、
電圧を出力可能な電圧供給部と、
電流を測定可能な電流測定部と、
実質的に前記オン電圧以下に予め設定された第一電圧値の電圧を前記電圧供給部によって前記検査対象部の両端間に印加させつつ、前記両端間に流れる電流を前記電流測定部によって第一電流値として測定させる測定処理部とを備える検査装置。
【請求項４】
前記第一電流値に基づいて、前記検査対象部の良否を判定する判定部をさらに備える請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記第一電流値は、前記複数の電流経路のうち一つを除く残余の電流経路が断線した前記検査対象部に当該第一電流値の電流を流した場合に前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値以上である請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第一電流値は、前記複数の電流経路のうち一つのみが断線した前記検査対象部に当該第一電流値の電流を流した場合に前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値以上である請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項７】
前記第一電流値は、前記複数の電流経路のうち一つのみが断線した前記検査対象部に当該第一電流値の電流を流した場合に前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値である請求項６記載の検査装置。
【請求項８】
前記第一電流値は、正常な前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値であり、
前記測定処理部は、さらに、前記第一電流値よりも小さな第二電流値の電流を前記電流供給部によって前記両端間に流させつつ前記両端間の電圧を前記電圧測定部によって第二電圧値として測定させ、
前記検査装置は、前記第一電流値と前記第二電流値との差、及び前記第一電圧値と前記第二電圧値との差の比に基づいて、前記検査対象部の良否を判定する判定部をさらに備える請求項１に記載の検査装置。
【請求項９】
電流値を異ならせつつ複数回、前記電流供給部によって前記両端間に電流を流させ、前記各電流が流れる各期間中に前記電圧測定部によって前記両端間の電圧を測定させ、当該測定された複数の電圧の変化に基づいて前記検査対象部のオン電圧を探索するオン電圧探索部をさらに備える請求項１〜８のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１０】
正常な前記検査対象部は、前記複数の電流経路が全て導通している請求項１〜９のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１１】
順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行う検査方法であって、
予め設定された第一電流値の電流を前記両端間に流しつつ、前記両端間の電圧を第一電圧値として測定する測定処理工程を含み、
前記第一電流値は、正常な前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値以下である検査方法。
【請求項１２】
順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行う検査方法であって、
実質的に前記オン電圧以下に予め設定された第一電圧値の電圧を前記検査対象部の両端間に印加しつつ、前記両端間に流れる電流を第一電流値として測定する測定処理工程を含む検査方法。
【請求項１３】
順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査装置であって、
電流又は電圧のうち一方を、値を異ならせつつ複数回、前記検査対象部の両端間に供給し、前記一方が供給される各期間中に前記両端間における前記電流又は電圧のうち他方を測定し、当該測定された前記他方の変化に基づいて前記検査対象部がオンする前記電流を取得する測定処理部と、
前記測定処理部によって取得された前記電流に基づいて前記検査対象部の良否を判定する判定部とを備える検査装置。
【請求項１４】
順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査方法であって、
電流又は電圧のうち一方を、値を異ならせつつ複数回、前記検査対象部の両端間に供給し、前記一方が供給される各期間中に前記両端間における前記電流又は電圧のうち他方を測定し、当該測定された前記他方の変化に基づいて前記検査対象部がオンする前記電流を取得する測定処理工程と、
前記測定処理部によって取得された前記電流に基づいて前記検査対象部の良否を判定する判定工程とを含む検査方法。
【請求項１５】
請求項１〜１０、及び１３のいずれか１項に記載の検査装置を動作させるための検査装置用プログラムであって、
コンピュータを、前記測定処理部として機能させる検査装置用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電路を検査するための検査装置、検査方法、及び検査装置用プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、回路基板に設けられた検査対象の配線等に測定電流を流し、当該検査対象に生じた電圧を測定することによってその電流値と電圧値とから当該検査対象の抵抗値を測定する基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１１７９９１号公報
【発明の概要】
【０００４】
ところで、基板に部品が実装された状態の回路基板、基板に部品が内蔵された部品内蔵基板、あるいは回路が形成された半導体基板等を検査する場合がある。このような場合、ダイオードや、ダイオードと同様のダイオード特性を生じる複数の電流経路が並列接続される場合がある。
【０００５】
例えば通常の導体パターンが二本並列接続されている場合に、上述の基板検査装置でこの並列回路の抵抗値を測定すると、二本のうち一本が断線すれば、抵抗値が二倍になる。従って、並列接続された二本の導体パターンのうち一本が断線すれば、抵抗値に基づいて断線を検知することができる。
【０００６】
しかしながら、ダイオードは、電流と電圧の関係が非線形であり、並列接続された二個のダイオードのうち一個が断線した場合であっても、抵抗測定のために流した電流に対して生じる電圧は、ほとんど変化しない。
【０００７】
そのため、複数のダイオードが並列接続されている場合、これを上述の基板検査装置で検査すると、一部のダイオードが断線しても、断線を検知しにくいという、不都合があった。
【０００８】
本発明の目的は、複数のダイオードが並列接続された検査対象の検査が容易な検査装置、検査方法、及び検査装置用プログラムを提供することである。
【０００９】
本発明の一例に係る検査装置は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査装置であって、電流を供給可能な電流供給部と、電圧を測定可能な電圧測定部と、予め設定された第一電流値の電流を前記電流供給部によって前記両端間に流させつつ、前記両端間の電圧を前記電圧測定部によって第一電圧値として測定させる測定処理部とを備え、前記第一電流値は、正常な前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値以下である。
【００１０】
また、本発明の一例に係る検査装置は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査装置であって、電圧を出力可能な電圧供給部と、電流を測定可能な電流測定部と、実質的に前記オン電圧以下に予め設定された第一電圧値の電圧を前記電圧供給部によって前記検査対象部の両端間に印加させつつ、前記両端間に流れる電流を前記電流測定部によって第一電流値として測定させる測定処理部とを備える。
【００１１】
また、本発明の一例に係る検査方法は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行う検査方法であって、予め設定された第一電流値の電流を前記両端間に流しつつ、前記両端間の電圧を第一電圧値として測定する測定処理工程を含み、前記第一電流値は、正常な前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値以下である。
【００１２】
また、本発明の一例に係る検査方法は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行う検査方法であって、実質的に前記オン電圧以下に予め設定された第一電圧値の電圧を前記検査対象部の両端間に印加しつつ、前記両端間に流れる電流を第一電流値として測定する測定処理工程を含む。
【００１３】
また、本発明の一例に係る検査装置は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査装置であって、電流又は電圧のうち一方を、値を異ならせつつ複数回、前記検査対象部の両端間に供給し、前記一方が供給される各期間中に前記両端間における前記電流又は電圧のうち他方を測定し、当該測定された前記他方の変化に基づいて前記検査対象部がオンする前記電流を取得する測定処理部と、前記測定処理部によって取得された前記電流に基づいて前記検査対象部の良否を判定する判定部とを備える。
【００１４】
また、本発明の一例に係る検査方法は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査方法であって、電流又は電圧のうち一方を、値を異ならせつつ複数回、前記検査対象部の両端間に供給し、前記一方が供給される各期間中に前記両端間における前記電流又は電圧のうち他方を測定し、当該測定された前記他方の変化に基づいて前記検査対象部がオンする前記電流を取得する測定処理工程と、前記測定処理部によって取得された前記電流に基づいて前記検査対象部の良否を判定する判定工程とを含む。
【００１５】
また、本発明の一例に係る検査装置用プログラムは、上述の検査装置を動作させるための検査装置用プログラムであって、コンピュータを、前記測定処理部として機能させる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査方法を用いる検査装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図２】検査対象部の別の例を示す概念図である。
【図３】検査対象部に順方向に電流を流した場合の電流−電圧特性の一例を示すグラフである。
【図４】図１に示すオン電圧探索部の動作の一例を示すフローチャートである。
【図５】図１に示すオン電圧探索部の動作の一例を示すフローチャートである。
【図６】測定情報の一例を示す説明図である。
【図７】傾きと比の一例を示す説明図である。
【図８】図１に示す測定処理部及び判定部による検査方法の一例を示すフローチャートである。
【図９】電流経路が三つ並列接続された検査対象部に順方向に電流を流した場合の電流−電圧特性の一例を示すグラフである。
【図１０】図１に示す検査装置の別の一例を示すブロック図である。
【図１１】第二実施形態に係る検査装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図１２】図１１に示す基準傾き取得部の動作の一例を示すフローチャートである。
【図１３】図１１に示す基準傾き取得部、測定処理部、及び判定部の動作を説明するための説明図である。
【図１４】図１１に示す測定処理部、及び判定部の動作の一例を示すフローチャートである。
【図１５】図１１に示す基準傾き取得部、測定処理部、及び判定部の動作を説明するための説明図である。
【図１６】第三実施形態に係る測定処理部及び判定部の動作の一例を示すフローチャートである。
【図１７】第三実施形態に係る測定処理部及び判定部の動作の一例を示すフローチャートである。
【図１８】第三実施形態に係る測定処理部及び判定部の動作を説明するための説明図である。
【図１９】第三実施形態に係る測定処理部及び判定部の動作の変形例を示すフローチャートである。
【図２０】第三実施形態に係る測定処理部及び判定部の動作を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。
（第一実施形態）
【００１８】
図１に示す検査装置１は、電流供給部２、電圧測定部３、電流測定部４、プローブＰｒ１，Ｐｒ２、及び制御部５を備えている。検査装置１は、基板の検査を行う基板検査装置であってもよく、半導体ウェハ等の検査を行う半導体検査装置であってもよい。図１では、検査対象の回路基板１００に、検査装置１のプローブＰｒ１，Ｐｒ２を接触させた状態を示している。
【００１９】
回路基板１００は、例えば配線基板１０１と、配線基板１０１の表面に実装された部品１０２とを備えている。配線基板１０１は、いわゆるプリント配線基板である。配線基板１０１の表面には、配線パターンＷ１〜Ｗ８が形成されている。
【００２０】
配線基板１０１は、例えばプリント配線基板、フィルムキャリア、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、半導体チップ及び半導体ウェハ等の半導体基板、半導体パッケージ用のパッケージ基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及びこれらの基板を製造する過程の中間基板や、いわゆるキャリア基板であってもよい。また、回路基板１００は、例えば部品内蔵基板であってもよく、例えば半導体基板に半導体プロセスにより回路素子が形成されたものであってもよい。検査装置１の検査対象は、基板であってもよく、半導体ウェハ、半導体素子等であってもよい。配線基板１０１には、検査対象となる検査対象部Ａが設けられている。
【００２１】
部品１０２は、ダイオードＤ１，Ｄ２と、端子Ｔ１〜Ｔ４とを備えている。ダイオードＤ１のアノードは端子Ｔ１に接続され、カソードは端子Ｔ２に接続されている。ダイオードＤ２のアノードは端子Ｔ３に接続され、カソードは端子Ｔ４に接続されている。ダイオードＤ１，Ｄ２は、例えば半導体集積回路（IC:Integrated Circuit）に内蔵された保護ダイオードであってもよい。
【００２２】
部品１０２は、例えば半導体集積回路、半導体素子、ダイオード素子、ダイオードアレイ、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等、種々の部品であってよい。ダイオードは、順方向に印加された電圧を徐々に上昇させた場合に、ある電圧で流れる電流が急激に増加する特性を有する。この電流が急激に増加する電圧を、オン電圧と称する。
【００２３】
部品１０２は、ダイオードと同様の、オン電圧を超える電圧が印加された場合に流れる電流が急激に増加する非線形の特性（以下、ダイオード特性と称する）を有していればよく、必ずしもダイオードそのものでなくてもよい。図１では、単一の部品１０２が二つのダイオードＤ１，Ｄ２を備える例を示したが、ダイオードＤ１，Ｄ２は、それぞれ個別の部品であってもよい。例えばダイオードＤ１とダイオードＤ２とは、それぞれ別個のＩＣ等に含まれており、外部配線によって並列接続されていてもよい。また、ダイオードの数は三つ以上であってもよい。
【００２４】
また、ダイオードＤ１，Ｄ２は、意図的にダイオード素子として形成されたものに限らない。ダイオードＤ１，Ｄ２は、半導体素子の保護ダイオード、寄生ダイオード等であってもよく、配線の接合部分の酸化皮膜や異種材料の接合によりダイオード特性を生じるものであってもよく、部品として配線基板１０１に取り付けられる例に限らない。
【００２５】
配線パターンＷ１〜Ｗ４の一端には、パッドＰａ１〜Ｐａ４が形成されている。パッドＰａ１は端子Ｔ１と、パッドＰａ２は端子Ｔ２と、パッドＰａ３は端子Ｔ３と、パッドＰａ４は端子Ｔ４とそれぞれ接続されている。配線パターンＷ１の他端と配線パターンＷ３の他端とは配線パターンＷ５によって連結され、配線パターンＷ２の他端と配線パターンＷ４の他端とは配線パターンＷ６によって連結されている。配線パターンＷ５からは配線パターンＷ７が延び、配線パターンＷ７の先端にパッドＰａ５が設けられている。配線パターンＷ６からは配線パターンＷ８が延び、配線パターンＷ８の先端にパッドＰａ６が設けられている。
【００２６】
これにより、配線パターンＷ１、ダイオードＤ１、及び配線パターンＷ２が直列接続された電流経路Ａ１が形成され、配線パターンＷ３、ダイオードＤ２、及び配線パターンＷ４が直列接続された電流経路Ａ２が形成されている。電流経路Ａ１，Ａ２は、ダイオード特性を有する電流経路の一例に相当している。電流経路Ａ１，Ａ２は、配線パターンＷ５，Ｗ６によって並列接続されている。
【００２７】
パッドＰａ５からパッドＰａ６に至る回路部分が検査対象部Ａとされている。本実施形態では、検査装置１の検査対象である検査対象部Ａを、パッドＰａ５とパッドＰａ６との間に設けられた回路とする。すなわち、検査対象部Ａの一端がパッドＰａ５、他端がパッドＰａ６とされている。なお、ダイオードＤ１，Ｄ２が半導体集積回路に内蔵されている場合、ダイオードＤ１，Ｄ２は、半導体集積回路内で並列接続されていてもよい。
【００２８】
プローブＰｒ１，Ｐｒ２は、図略の移動機構により移動され、予め検査点として設定されたパッドＰａ５，Ｐａ６に接触される。なお、検査装置１は、例えば多針状に保持された数百〜数千程度のプローブを備える構成であってもよい。そして、その多針状のプローブの中から図略の切替回路によってプローブＰｒ１，Ｐｒ２が選択され、そのプローブＰｒ１，Ｐｒ２が電流供給部２、電圧測定部３、及び電流測定部４と接続される構成であってもよい。また、プローブＰｒ１，Ｐｒ２は、それぞれ任意に位置移動可能ないわゆるフライングプローブであってもよい。
【００２９】
図２は、半導体集積回路１０３に内蔵された二つのダイオードが半導体集積回路１０３内で並列接続されている場合の一例を示している。図２では、入出力ポートの一例として、入力ポート周辺の回路を半導体集積回路１０３として示している。半導体集積回路１０３は、入力バッファ１０４、保護ダイオードＤ３〜Ｄ６、信号入力端子Ｔ５、電源端子Ｖ＋、及び電源端子Ｖ−を備えている。
【００３０】
入力バッファ１０４の入力端子は、信号入力端子Ｔ５、保護ダイオードＤ３，Ｄ４のアノード、及び保護ダイオードＤ５，Ｄ６のカソードに接続されている。保護ダイオードＤ３，Ｄ４のカソードは電源端子Ｖ＋に接続され、保護ダイオードＤ５，Ｄ６のアノードは電源端子Ｖ−に接続されている。信号入力端子Ｔ５、電源端子Ｖ＋、電源端子Ｖ−は、例えばＩＣソケット又は基板等に設けられたパッドＰａ７，Ｐａ８，Ｐａ９とそれぞれ接続されている。
【００３１】
パッドＰａ７からパッドＰａ８に至る回路部を検査対象部Ｂとした場合、パッドＰａ７にプローブＰｒ１を当接し、パッドＰａ８にプローブＰｒ２を当接して検査装置１を動作させればよい。パッドＰａ９からパッドＰａ７に至る回路部を検査対象部Ｃとした場合、図２に括弧書きで示すように、パッドＰａ９にプローブＰｒ１を当接し、パッドＰａ７にプローブＰｒ２を当接して検査装置１を動作させればよい。なお、プローブＰｒ１，Ｐｒ２は、信号入力端子Ｔ５、電源端子Ｖ＋，Ｖ−に直接当接させてもよい。プローブＰｒ１，Ｐｒ２は、物理的に移動させる必要はなく、後述するように、切替回路等を用いてその接続関係を変更すればよい。
【００３２】
電流供給部２は、例えば定電流回路を用いて構成されている。電流供給部２の正極はプローブＰｒ１に接続され、電流供給部２の負極はプローブＰｒ２に接続されている。これにより、電流供給部２は、ダイオードＤ１，Ｄ２に対して制御部５からの制御信号に応じた順方向電流を供給する。
【００３３】
電圧測定部３は、いわゆる電圧計であり、例えばアナログデジタルコンバータと分圧回路等を用いて構成されている。電圧測定部３は、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧、すなわちプローブＰｒ１，Ｐｒ２が接触する検査対象部Ａの両端間の電圧を測定し、その測定電圧を示す信号を制御部５へ出力する。
【００３４】
電流測定部４は、いわゆる電流計であり、例えばアナログデジタルコンバータ、シャント抵抗、ホール素子等を用いて構成されている。電流測定部４は、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に流れる電流、すなわちプローブＰｒ１，Ｐｒ２が接触する検査対象部Ａに流れる電流を測定し、その測定電流を示す信号を制御部５へ出力する。
【００３５】
制御部５は、いわゆるマイクロコンピュータであり、例えば、所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、一時的にデータを記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）及び不揮発性のフラッシュメモリやＨＤＤ（Hard Disk Drive）等を含む記憶部５４、及びこれらの周辺回路等を備える。記憶部５４には、本発明の一実施形態に係る検査装置用プログラムが予め記憶されている。そして、制御部５は、記憶部５４に記憶された検査装置用プログラムを実行することによって、測定処理部５１、判定部５２、及びオン電圧探索部５３として機能する。
【００３６】
測定処理部５１は、予め設定された第一電流値Ｉａの電流を、電流供給部２によってプローブＰｒ１，Ｐｒ２間に流させつつ、電圧測定部３によって、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を第一電圧値Ｖａとして測定させる。第一電流値Ｉａは、正常な検査対象部Ａの両端間の電圧が、実質的にオン電圧になる電流値である基準電流値ＩＳ以下に予め設定されている。測定処理部５１は、電流測定部４によって測定される電流値が第一電流値Ｉａと等しくなるように電流供給部２を制御することによって、電流供給部２から第一電流値Ｉａの電流を出力させてもよい。
【００３７】
なお、実質的にオン電圧になる電流値とは、測定誤差やバラツキ程度の差異を許容する趣旨である。第一電流値Ｉａは、正確にオン電圧になる電流値に対して、例えば−１０％〜＋１０％程度の範囲内の値であってもよい。
【００３８】
判定部５２は、電圧測定部３によって測定された第一電圧値Ｖａに基づいて、検査対象部Ａの良否を判定する。
【００３９】
オン電圧探索部５３は、検査対象の回路基板１００とは別の、回路基板１００の基準サンプルから検査対象部Ａのオン電圧Ｖｏｎを探索する。基準サンプルのオン電圧Ｖｏｎは、判定部５２の判定基準及び第一電流値Ｉａを決定するために用いられる。
【００４０】
オン電圧探索部５３は、電流供給部２によって、電流値を異ならせつつ複数回、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に電流を流させる。そしてオン電圧探索部５３は、各電流が流れる各期間中に、電圧測定部３によってプローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を測定させ、当該測定された複数の電圧の変化に基づいて検査対象部Ａのオン電圧Ｖｏｎを探索する。
【００４１】
次に、上述のように構成された検査装置１の動作について、図３〜図５を参照しつつ、説明する。図３に示すグラフＧ１は、検査対象部Ａが正常な場合、グラフＧ２は、電流経路Ａ１，Ａ２のうちいずれか一方が断線している場合のグラフを示している。以下、ダイオードＤ１とダイオードＤ２の特性は略等しいものとする。なお、図３及び後述する検査対象部Ａの電流−電圧特性は、あくまで一例であって、これらに限定されるものではない。
【００４２】
なお、以下のフローチャートにおいて、同一の動作には同一のステップ番号を付してその説明を省略する。
【００４３】
まず、例えばユーザが、図略の載置台に基準サンプルとして正常な回路基板を載置する。そして、オン電圧探索部５３は、プローブＰｒ１をパッドＰａ５に接触させ、プローブＰｒ２をパッドＰａ６に接触させる（ステップＳ１）。
【００４４】
次に、オン電圧探索部５３は、変数ｋに１を代入し、電流値Ｉ（ｋ）を初期値として、例えば０．１ｍＡとする（ステップＳ２）。変数ｋは、電流値Ｉと電圧値Ｖとを対応付けるための整理番号であり、電流値Ｉ（ｋ）はｋ番の電流値Ｉ、電圧値Ｖ（ｋ）はｋ番の電圧値Ｖを示し、同じ番号の電流値Ｉと電圧値Ｖとが対応する。なお、電流値Ｉ及び電圧値Ｖについては、単位を省略する場合があるが、電流値Ｉの単位はミリアンペア（ｍＡ）、電圧値Ｖの単位はボルト（Ｖ）である。
【００４５】
次に、オン電圧探索部５３は、電流供給部２によってプローブＰｒ１，Ｐｒ２間に、電流値Ｉ（ｋ）の電流を流させ、その電流が流れている期間中に、電圧測定部３によってプローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を電圧値Ｖ（ｋ）として測定させる（ステップＳ３）。
【００４６】
以下、測定処理部５１、判定部５２、又はオン電圧探索部５３等が電流供給部２によって電流を供給させることを、単に測定処理部５１、判定部５２、又はオン電圧探索部５３等が電流を供給する、と記載し、測定処理部５１、判定部５２、又はオン電圧探索部５３等が電圧測定部３によって電圧を測定させることを、単に測定処理部５１、判定部５２、又はオン電圧探索部５３等が電圧を測定する、と記載し、測定処理部５１、判定部５２、又はオン電圧探索部５３等が電流測定部４によって電流を測定させることを、単に測定処理部５１、判定部５２、又はオン電圧探索部５３等が電流を測定する、と記載する。
【００４７】
これにより、オン電圧探索部５３は、検査対象部ＡのパッドＰａ５，Ｐａ６間に電流値Ｉ（ｋ）の電流が流れている期間中に、パッドＰａ５，Ｐａ６間の電圧を電圧値Ｖ（ｋ）として測定する。オン電圧探索部５３は、このようにして測定された電圧値Ｖ（ｋ）を、番号ｋ及び電流値Ｉ（ｋ）と対応付けて、測定情報として記憶部５４に記憶させる。
【００４８】
図６は、ステップＳ３と後述するステップＳ５で測定される測定情報を示している。電流経路Ａ１，Ａ２がいずれも断線していない正常な検査対象部Ａが、グラフＧ１で示す特性を有していれば、０．１ｍＡの電流に対して０．０３３Ｖが測定される。
【００４９】
次に、オン電圧探索部５３は、変数ｋに１を加算する。また、オン電圧探索部５３は、電流値Ｉ（ｋ−１）すなわち前回設定された電流値に０．１を加算し、新たな電流値Ｉ（ｋ）とする（ステップＳ４）。これにより、０．１ｍＡずつ電流値を増加させながら、電圧値を測定することができる。電流値の増加量は、小さいほどオン電圧の取得精度が増大するが、処理時間は増大する。従って、電流値の増加量は、０．１ｍＡに限られず、精度と処理時間のバランスにより適宜設定すればよい。
【００５０】
次に、オン電圧探索部５３は、ステップＳ３と同様にして、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に電流値Ｉ（ｋ）の電流を流し、その電流が流れている期間中にプローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を電圧値Ｖ（ｋ）として測定する（ステップＳ５）。オン電圧探索部５３は、このようにして測定された電圧値Ｖ（ｋ）を、番号ｋ及び電流値Ｉ（ｋ）と対応付けて、測定情報として記憶部５４に記憶させる。
【００５１】
今、電流値Ｉ（ｋ）は０．２ｍＡであるから、グラフＧ１によれば、０．２ｍＡの電流に対して０．０６５Ｖが測定される。
【００５２】
次に、オン電圧探索部５３は、下記の式（１）に基づき、傾きｒ（ｋ−１）を算出する（ステップＳ６）。
【００５３】
傾きｒ（ｋ−１）＝｛Ｉ（ｋ）−Ｉ（ｋ−１）｝／｛Ｖ（ｋ）−Ｖ（ｋ−１）｝  ・・・（１）
【００５４】
今、ｋ＝２、Ｉ（２）＝０．２、Ｉ（１）＝０．１、Ｖ（２）＝０．０６５、Ｖ（１）＝０．０３３であるから、傾きｒ（１）＝｛Ｉ（２）−Ｉ（１）｝／｛Ｖ（２）−Ｖ（１）｝＝（０．２−０．１）／（０．０６５−０．０３３）＝３．１３となる。
【００５５】
オン電圧探索部５３は、このようにして得られた傾きｒ（ｋ−１）を、傾き情報として記憶部５４に記憶させる。
【００５６】
次に、オン電圧探索部５３は、電流値Ｉ（ｋ）を１．０ｍＡと比較する（ステップＳ７）。電流値Ｉ（ｋ）が１．０ｍＡに満たなければ（ステップＳ７でＮＯ）、再びステップＳ４〜Ｓ７を繰り返す。
【００５７】
一方、電流値Ｉ（ｋ）が１．０ｍＡ以上であれば（ステップＳ７でＹＥＳ）、オン電圧探索部５３は、ｋ−１を傾きｒの数であるデータ数ｎとし（ステップＳ８）、ステップＳ１１へ移行する。電流値Ｉ（ｋ）と比較される電流値は、オン電圧が得られると想定される電流値よりも大きな値が設定されていればよく、１．０ｍＡに限らない。
【００５８】
以上、ステップＳ１〜Ｓ７の処理によって、電流値を異ならせつつ複数回、検査対象部Ａの両端間に電流が流され、各電流が流れる各期間中に検査対象部Ａの両端間の電圧が測定されることになる。
【００５９】
図７は、図１に示すオン電圧探索部５３によって算出される傾きｒと、後述する比Ｒの説明図である。今、データ数ｎは９であるから、ｋ＝１〜９に対応する傾きｒ（１）〜ｒ（９）が、記憶部５４に記憶される。
【００６０】
以上、ステップＳ２〜Ｓ７の処理により、オン電圧探索部５３は、電流値を異ならせつつ複数回、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に電流を流し、各電流が流れる各期間中にプローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を測定する。
【００６１】
次に、ステップＳ１１において、オン電圧探索部５３は、変数ｋに２を代入する（ステップＳ１１）。
【００６２】
次に、オン電圧探索部５３は、下記の式（２）に基づいて比Ｒ（ｋ）を算出し（ステップＳ１２）、ｋがｎに満たなければ（ステップＳ１３でＮＯ）変数ｋに１を加算して（ステップＳ１４）ステップＳ１２，Ｓ１３を繰り返し、ｋがｎになれば（ステップＳ１３でＹＥＳ）ステップＳ１５へ処理を移行する。これにより、番号２〜ｎに対応する比Ｒ（２）〜Ｒ（ｎ）が算出される。
【００６３】
比Ｒ（ｋ）＝ｒ（ｋ）／ｒ（ｋ−１）  ・・・（２）
【００６４】
ステップＳ１５において、オン電圧探索部５３は、比Ｒ（２）〜Ｒ（ｎ）のうち、最大のＲ（ｍ）を、オン電圧Ｖｏｎに対応する比Ｒとして探索する（ステップＳ１５）。オン電圧探索部５３は、探索された最大の比Ｒ（ｍ）から番号ｍを取得する。番号ｍは、オン電圧Ｖｏｎに対応する電圧値Ｖ（ｍ）の番号であるから、最大の比Ｒ（ｍ）を探索することは、オン電圧Ｖｏｎを探索することに他ならない。
【００６５】
図７の例では、最大となるのはＲ（８）＝４．２である。従って、番号ｍ＝８となる。
【００６６】
次に、オン電圧探索部５３は、ステップＳ５で記憶部５４に記憶された測定情報を参照し、Ｖ（ｍ）をオン電圧Ｖｏｎとして記憶部５４に記憶させる（ステップＳ１６）。図６に示す例では、番号がｍと等しい８の電圧値Ｖ（８）は０．３０Ｖであるから、オン電圧Ｖｏｎは０．３０Ｖとなる。オン電圧Ｖｏｎは、検査対象部Ａに順方向に印加された電圧を徐々に上昇させた場合に、流れる電流が急激に増加する電圧である。
【００６７】
さらにオン電圧探索部５３は、下記の式（３）に基づき第一電流値Ｉａを算出し、記憶部５４に記憶させる（ステップＳ１７）。第一電流値Ｉａは、複数の電流経路Ａ１，Ａ２のうち、いずれか一つが断線した検査対象部Ａがオンするオン電流である。
【００６８】
第一電流値Ｉａ＝ Ｉ（ｍ）×（Ｑ−１）／Ｑ  ・・・（３）
但し、Ｑは、ダイオード特性を有する電流経路の並列数である。
【００６９】
今、検査対象部Ａの並列数は２、図６に示す例では、番号がｍと等しい８の電流値Ｉ（８）は０．８ｍＡとなるから、式（３）から、第一電流値Ｉａ＝０．８／２＝０．４ｍＡとなる。
【００７０】
ここで、Ｉ（ｍ）は、基準電流値ＩＳとほぼ等しい。そこで、オン電圧探索部５３は、ステップＳ１７において、Ｉ（ｍ）を、基準電流値ＩＳとして記憶部５４に記憶させることが好ましい。
【００７１】
なお、第一電流値Ｉａは、複数の電流経路Ａ１，Ａ２のうちいずれか一つが断線した検査対象部Ａがオンするオン電流と、実質的に等しければよい。第一電流値Ｉａが実質的にオン電流と等しい、とは、第一電流値Ｉａとオン電流との間に、例えば、ステップＳ１〜Ｓ１７により取得されるＩ（ｍ）の誤差、電圧測定部３又は電流測定部４の測定誤差、電流供給部２の出力誤差等により生じる程度の差異を許容する趣旨である。第一電流値Ｉａは、例えばオン電流に対して、例えば−１０％〜＋１０％程度の範囲内の値であってもよい。
【００７２】
オン電圧Ｖｏｎは、ダイオードＤ１とダイオードＤ２の特性が略等しければ、図３に示すように、グラフＧ１に示す正常な検査対象部Ａのオン電圧Ｖｏｎと、グラフＧ２に示す不良の検査対象部Ａのオン電圧Ｖｏｎとは略等しい。第一電流値Ｉａは、不良の検査対象部Ａの両端間の電圧がオン電圧Ｖｏｎになる電流値（グラフＧ２における０．４ｍＡ）である。一方、正常な検査対象部Ａの両端間の電圧がオン電圧Ｖｏｎになる電流値（グラフＧ１における０．８ｍＡ）は、図３に示すように、不良の検査対象部Ａの両端間の電圧がオン電圧Ｖｏｎになる電流値よりも大きくなる。従って、ステップＳ１〜Ｓ１７の処理によって求められた第一電流値Ｉａは、基準電流値ＩＳ以下となる。
【００７３】
なお、ステップＳ１〜Ｓ１７では、基準サンプルとして正常な回路基板を用い、ステップＳ１７により、計算によって電流経路Ａ１，Ａ２のうち一つが断線した検査対象部Ａの第一電流値Ｉａを求める例を示した。しかしながら、ステップＳ１において、実際に電流経路Ａ１，Ａ２のうち一つが断線した不良の回路基板を用い、ステップＳ１７において、Ｉ（ｍ）をそのまま第一電流値Ｉａとしてもよい。
【００７４】
以上、ステップＳ６〜Ｓ１７の処理により、オン電圧探索部５３は、複数の電圧値Ｖ（１）〜Ｖ（１０）の変化に基づいて、基準サンプルの検査対象部Ａのオン電圧Ｖｏｎを取得することができる。
【００７５】
次に、オン電圧探索部５３は、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に第一電流値Ｉａの電流を流しつつ、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を電圧値Ｖｇとして測定する（ステップＳ１８）。これにより、オン電圧探索部５３は、検査対象部ＡのパッドＰａ５，Ｐａ６間に第一電流値Ｉａの電流が流れている期間中に、パッドＰａ５，Ｐａ６間の電圧を電圧値Ｖｇとして測定する。
【００７６】
今、第一電流値Ｉａは０．４ｍＡであるから、図３のグラフＧ１の例によれば、電圧値Ｖｇとして０．１４Ｖが得られる。
【００７７】
次に、オン電圧探索部５３は、電圧値Ｖｇに基づいて、検査対象部Ａの良否を判定するための判定電圧Ｖｒｅｆを算出し、これを記憶部５４に記憶させる（ステップＳ１９）。具体的には、例えば電圧値Ｖｇのバラツキや測定誤差が最大１０％想定される場合、電圧値Ｖｇに１．１を乗じることによって、判定電圧Ｖｒｅｆを算出する。今、電圧値Ｖｇは０．１４Ｖであるから、判定電圧Ｖｒｅｆとして０．１５Ｖが得られる。
【００７８】
これにより、電圧値Ｖｇに対し、製造バラツキや測定誤差による誤差が生じた場合であっても、正しく判定することが可能な判定電圧Ｖｒｅｆが得られる。
【００７９】
以上、ステップＳ１〜Ｓ１９の処理によって、第一電流値Ｉａと判定電圧Ｖｒｅｆとが記憶部５４に記憶され、すなわち予め設定される。
【００８０】
なお、検査装置１は、必ずしもオン電圧探索部５３を備えていなくてもよい。例えばユーザが実験的に、ステップＳ１〜Ｓ１９と同様の方法により、第一電流値Ｉａと判定電圧Ｖｒｅｆとを取得し、記憶部５４に記憶させ、予め設定するようにしてもよい。あるいはユーザが、図３に示すグラフＧ１，Ｇ２を作図して、グラフＧ１，Ｇ２から読み取った第一電流値Ｉａと判定電圧Ｖｒｅｆとを記憶部５４に記憶させ、予め設定するようにしてもよい。
【００８１】
次に、図１に示す測定処理部５１及び判定部５２の動作について、図８に基づき説明する。まず、例えばユーザが、図略の載置台に、検査しようとする回路基板１００を載置する。そして、測定処理部５１は、プローブＰｒ１をパッドＰａ５に接触させ、プローブＰｒ２をパッドＰａ６に接触させる（ステップＳ２１）。
【００８２】
次に、測定処理部５１は、記憶部５４から第一電流値Ｉａを読み出す。そして、測定処理部５１は、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に第一電流値Ｉａの電流を流しつつ、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を第一電圧値Ｖａとして測定する（ステップＳ２２）。これにより、測定処理部５１は、検査対象部ＡのパッドＰａ５，Ｐａ６間に第一電流値Ｉａの電流が流れている期間中に、パッドＰａ５，Ｐａ６間の電圧を第一電圧値Ｖａとして測定する。
【００８３】
今、第一電流値Ｉａは０．４ｍＡであるから、図３に示す例によれば、検査対象部Ａが正常であればグラフＧ１に示すとおり第一電圧値Ｖａとして０．１４Ｖが測定され、検査対象部Ａが不良であればグラフＧ２に示すとおり第一電圧値Ｖａとして０．３０Ｖが測定されることになる。
【００８４】
次に、判定部５２は、記憶部５４から判定電圧Ｖｒｅｆを読み出す。そして、判定部５２は、第一電圧値Ｖａと判定電圧Ｖｒｅｆとを比較する（ステップＳ２３）。そして、第一電圧値Ｖａが判定電圧Ｖｒｅｆ以下であれば（ステップＳ２３でＹＥＳ）、判定部５２は、検査対象部Ａは正常であると判定する（ステップＳ２４）。判定部５２は、その判定結果を例えば図略の表示装置に表示したり、外部に送信したりして報知し、あるいは記憶部５４に記憶し（ステップＳ２６）、処理を終了する。
【００８５】
図３に示す例では、検査対象部Ａが正常であればグラフＧ１から第一電圧値Ｖａは０．１４Ｖとなり、判定電圧Ｖｒｅｆ（＝０．１５Ｖ）以下である（ステップＳ２３でＹＥＳ）から、正しく検査対象部Ａは正常であると判定される。
【００８６】
一方、第一電圧値Ｖａが判定電圧Ｖｒｅｆを超えていれば（ステップＳ２３でＮＯ）、判定部５２は、検査対象部Ａは不良であると判定する（ステップＳ２５）。判定部５２は、その判定結果を例えば図略の表示装置に表示したり、外部に送信したりして報知し、あるいは記憶部５４に記憶し（ステップＳ２６）、処理を終了する。
【００８７】
図３に示す例では、検査対象部Ａが不良であればグラフＧ２から第一電圧値Ｖａは０．３０Ｖとなり、判定電圧Ｖｒｅｆ（＝０．１５Ｖ）を超える（ステップＳ２３でＮＯ）から、正しく検査対象部Ａは不良であると判定される。
【００８８】
ここで、第一電流値Ｉａは、ステップＳ１〜Ｓ１７の処理により、複数の電流経路のうち一つが断線した検査対象部Ａ、すなわち不良の検査対象部Ａに第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値に設定されている。
【００８９】
その結果、図３に示すように、検査対象部Ａに第一電流値Ｉａの電流を流した場合の検査対象部Ａの両端間の電圧は、正常な検査対象部Ａ（グラフＧ１）で０．１４Ｖ、不良の検査対象部Ａ（グラフＧ２）で０．３０Ｖとなるから、その電圧差Ｖｄ１は０．１６Ｖとなる。
【００９０】
一方、もし仮に、第一電流値Ｉａが、正常な検査対象部Ａに第一電流値Ｉａの電流を流したときに検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値に設定されていた場合には、例えば図３の場合、第一電流値Ｉａは０．８ｍＡ、検査対象部Ａの両端間の電圧は、正常な検査対象部Ａ（グラフＧ１）で０．３０Ｖ、不良の検査対象部Ａ（グラフＧ２）で０．３２Ｖとなるから、その電圧差Ｖｄ２は０．０２Ｖとなる。
【００９１】
すなわち、図３に示す例では、第一電流値Ｉａを、不良の検査対象部Ａに第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値に設定することによって、正常な検査対象部Ａに第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値に設定する場合よりも、正常時と不良時の第一電圧値Ｖａの差が、Ｖｄ１／Ｖｄ２＝０．１６／０．０２＝８倍大きくなる。
【００９２】
正常時と不良時の第一電圧値Ｖａの差が大きいほど、正常か否かの判定が容易である。従って、第一電流値Ｉａを、不良の検査対象部Ａに第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値に設定することによって、正常な検査対象部Ａに第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値に設定する場合よりも、正常か否かの判定を容易にすることができる。
【００９３】
なお、第一電流値Ｉａは、必ずしも不良の検査対象部Ａに第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値でなくてもよい。例えば、第一電流値Ｉａを、基準電流値ＩＳ（図３の０．８ｍＡ）より小さな電流値とする。さらに、第一電流値Ｉａを、不良の検査対象部Ａに第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値（図３の０．４ｍＡ）以上の電流値とする。このようにすれば、図３から、正常時のグラフＧ１と不良時のグラフＧ２との電圧差が、第一電流値Ｉａが０．８ｍＡを超える場合よりも大きくなり、従って判定が容易になることがわかる。
【００９４】
また、図３から、第一電流値Ｉａを、０．４ｍＡより小さく、０．１ｍＡ以上の電流値とした場合であっても、第一電流値Ｉａが０．８ｍＡを超える場合よりも正常時と不良時の第一電圧値Ｖａの差が大きくなり、従って判定が容易になることがわかる。
【００９５】
なお、検査装置１は、必ずしも判定部５２を備えていなくてもよく、ステップＳ２３〜Ｓ２５を実行しなくてもよい。第一電圧値Ｖａには、検査対象部Ａが正常か否かを示す情報が反映されているので、測定処理部５１により第一電圧値Ｖａが得られることによって、検査対象部Ａの検査が容易になる。
【００９６】
また、検査対象部Ａは、二つの電流経路Ａ１，Ａ２が並列接続された例を示したが、並列接続される電流経路の数は、三つ以上であってもよい。例えば、電流経路Ａ１，Ａ２に加えて図略の電流経路Ａ３が並列接続されている場合、電流経路Ａ３の特性が電流経路Ａ１，Ａ２と略同じであれば、その電流−電圧特性は、図９で示される。
【００９７】
図９に示すグラフＧ３は正常時の特性を示し、グラフＧ４は三つの電流経路のうち一つが断線した場合の特性を示し、グラフＧ５は三つの電流経路のうち二つが断線した場合の特性を示している。グラフＧ５は、二つの電流経路Ａ１，Ａ２が並列接続された図３において、一つの電流経路が断線した場合のグラフＧ２と同じになる。
【００９８】
このように、三つの電流経路が並列接続された場合であっても、オン電圧探索部５３は、ステップＳ１〜Ｓ１９と同じ処理によって、オン電圧Ｖｏｎ、判定電圧Ｖｒｅｆ、及び第一電流値Ｉａを取得することができる。
【００９９】
この場合、オン電圧Ｖｏｎ＝０．３０Ｖ、第一電流値Ｉａ＝０．８０ｍＡ、電圧値Ｖg＝０．１９５Ｖ、判定電圧Ｖｒｅｆ＝０．２１５Ｖとなる。そして、このようにして得られた判定電圧Ｖｒｅｆ（＝０．２１５Ｖ）、及び第一電流値Ｉａ（＝０．８ｍＡ）に基づいて、ステップＳ２１〜Ｓ２５と同様の処理により、第一電圧値Ｖａを測定し、検査対象部を検査することができる。
【０１００】
この場合、第一電流値Ｉａを、複数の電流経路のうち一つのみが断線した検査対象部Ａに当該第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値にすることによって、不良のグラフＧ４における判定電圧Ｖｒｅｆと第一電圧値Ｖａとの電圧差Ｖｄ３が０．３０−０．２１５＝０．０８５Ｖとなる。
【０１０１】
一方、複数の電流経路のうち一つを除く残余の電流経路が断線した検査対象部Ａの第一電流値Ｉａは、ステップＳ１７を、第一電流値Ｉａ＝Ｉ（ｍ）／Ｑとすることにより求められる。Ｉ（ｍ）／Ｑにより得られる第一電流値Ｉａは、複数の電流経路のうち一つを除く残余の電流経路が断線した検査対象部Ａに当該第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値になる。この場合、図９に括弧書きで示すように、第一電流値Ｉａは０．４０ｍＡ、電圧値Ｖgは０．０９Ｖ、判定電圧Ｖｒｅｆ＝０．１０Ｖとなり、不良のグラフＧ４における判定電圧Ｖｒｅｆと第一電圧値Ｖａとの電圧差Ｖｄ４が０．１４−０．１０＝０．０４Ｖとなる。
【０１０２】
すなわち、電圧差Ｖｄ４よりも電圧差Ｖｄ３の方が大きくなる。従って、複数の電流経路のうち一つを除く残余の電流経路が断線した検査対象部Ａに基づき第一電流値Ｉａを得るよりも、複数の電流経路のうち一つのみが断線した検査対象部Ａに基づき第一電流値Ｉａを得る方が、正常時と不良時の第一電圧値Ｖａの差が大きくなり、正常か否かの判定が容易である。
【０１０３】
従って、第一電流値Ｉａを、複数の電流経路のうち一つのみが断線した検査対象部Ａに当該第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値とすることが、より好ましい。
【０１０４】
他方、図９に示すように、電圧差Ｖｄ４は、第一電流値Ｉａを基準電流値ＩＳ以上にした場合における、正常のグラフＧ３と不良のグラフＧ４との電圧差Ｖｄ５よりも大きい。従って、複数の電流経路のうち一つを除く残余の電流経路が断線した検査対象部Ａに当該第一電流値Ｉａの電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値とした場合であっても、正常か否かの判定を容易にする効果は得られる。
【０１０５】
さらに、複数の電流経路のうち一つを除く残余の電流経路が断線した検査対象部Ａに電流を流した場合に検査対象部Ａの両端間の電圧が実質的にオン電圧Ｖｏｎになる電流値を、不良電流値ＩＥとする。そして、第一電流値Ｉａを、基準電流値ＩＳ（＝１．２ｍＡ）より小さく、かつ、不良電流値ＩＥ（＝０．４ｍＡ）以上の電流範囲とした場合の正常なグラフＧ３と不良のグラフＧ４との電圧差は、図９に示すように、電圧差Ｖｄ５より大きく、従って、正常か否かの判定が容易である。
【０１０６】
従って、基準電流値ＩＳより小さく、かつ、不良電流値ＩＥ以上の電流範囲を、第一電流値Ｉａとして好適に用いることができる。
【０１０７】
また、検査対象部Ａに対して第一電流値Ｉａの電流を流すことにより、検査対象部Ａに生じる第一電圧値Ｖａを測定する例を示したが、以下のようにしてもよい。すなわち、図１０に示すように、検査装置１ｃは、例えば電流供給部２の代わりに定電圧電源回路等の電圧供給部２ｃを備えてもよい。そして、測定処理部５１ｃは、電圧供給部２ｃによって検査対象部Ａに対して実質的にオン電圧Ｖｏｎ以下の第一電圧値Ｖａを印加させつつ、検査対象部Ａに生じる第一電流値Ｉａを電流測定部４によって測定させてもよい。そして、判定部５２ｃは、電流測定部４によって測定された第一電流値Ｉａに基づいて検査対象部Ａの良否を判定してもよい。
【０１０８】
このようにして得られた第一電流値Ｉａにも、検査対象部Ａが正常か否かを示す情報が反映されているので、測定処理部５１により第一電圧値Ｖａが得られることによって、検査対象部Ａの検査が容易になる。
（第二実施形態）
【０１０９】
次に、本発明の第二実施形態に係る検査装置１ａについて、図１１に基づき説明する。図１１に示す検査装置１ａは、図１に示す検査装置１とは、制御部５ａの構成が異なる。制御部５ａは、基準傾き取得部５５をさらに備える。測定処理部５１ａ、判定部５２ａ、及びオン電圧探索部５３ａは、測定処理部５１、判定部５２、及びオン電圧探索部５３とは、動作が異なる。
【０１１０】
また、検査装置１ａは、検査装置１と同様、オン電圧探索部５３ａを備えなくてもよい。その他の構成は第一実施形態に係る検査装置１と同様であるのでその説明を省略し、以下本実施形態の特徴的な点について説明する。
【０１１１】
オン電圧探索部５３ａは、図５に示すステップＳ１７において、第一電流値Ｉａ＝Ｉ（ｍ）とすることによって、第一電流値Ｉａを記憶部５４に記憶させる。また、オン電圧探索部５３ａは、ステップＳ１８，Ｓ１９は実行不要である。その他の点では、オン電圧探索部５３と同様である。
【０１１２】
オン電圧探索部５３ａによれば、オン電圧探索部５３と同様、検査対象部Ａのオン電圧Ｖｏｎが探索され、探索されたオン電圧Ｖｏｎと第一電流値Ｉａとが記憶部５４に記憶されることにより予め設定される。
【０１１３】
基準傾き取得部５５は、正常な基準サンプルの検査対象部Ａにおいて、その両端間の電圧がオン電圧Ｖｏｎ以下の領域における電流−電圧特性の傾きを基準傾きｒｓとして取得する。
【０１１４】
測定処理部５１ａは、第一電流値Ｉａの電流をパッドＰａ５，Ｐａ６間に流しつつパッドＰａ５，Ｐａ６間の電圧を第一電圧値Ｖａとして測定し、第一電流値Ｉａよりも小さな第二電流値Ｉｂの電流をパッドＰａ５，Ｐａ６間に流しつつパッドＰａ５，Ｐａ６間の電圧を第二電圧値Ｖｂとして測定する。
【０１１５】
判定部５２ａは、第一電流値Ｉａと第二電流値Ｉｂとの差、及び第一電圧値Ｖａと第二電圧値Ｖｂとの差の比に基づいて、すなわち、検査対象部Ａの電流−電圧特性の傾きｒｔに基づいて、検査対象部Ａの良否を判定する。具体的には、判定部５２ａは、傾きｒｔを基準傾きｒｓと比較することによって、検査対象部Ａの良否を判定する。
【０１１６】
次に、上述のように構成された基準傾き取得部５５、測定処理部５１ａ、及び判定部５２ａの動作について、図１２、図１３に基づき説明する。
【０１１７】
まず、例えばユーザが、図略の載置台に、基準サンプルとして、正常な回路基板１００を載置する。そして、基準傾き取得部５５は、プローブＰｒ１をパッドＰａ５に接触させ、プローブＰｒ２をパッドＰａ６に接触させる（ステップＳ３１）。
【０１１８】
次に、基準傾き取得部５５は、記憶部５４から正常な検査対象部Ａのオン電圧Ｖｏｎを読み出して、第一電圧値Ｖａを、オン電圧Ｖｏｎと等しい値に設定する（ステップＳ３２）。
【０１１９】
次に、基準傾き取得部５５は、記憶部５４から正常な検査対象部Ａの第一電流値Ｉａを読み出して、第一電流値Ｉａよりも小さい値を第二電流値Ｉｂとして設定する（ステップＳ３３）。例えば図１３に示す例では、第一電圧値Ｖａ＝オン電圧Ｖｏｎ＝０．３０Ｖ、第一電流値Ｉａ＝０．８ｍＡである。正常な検査対象部ＡのグラフＧ１において、座標（Ｖａ，Ｉａ）＝（０．３０，０．８）の点を、ポイントＰ１として示している。
【０１２０】
基準傾き取得部５５は、例えば第一電流値Ｉａである０．８から、予め設定された数、例えば０．５を減算することによって、第二電流値Ｉｂを０．３に設定することができる。あるいは、基準傾き取得部５５は、第一電流値Ｉａに１／２を乗じたり、１／３を乗じたりする等、０より大きく１より小さい係数を第一電流値Ｉａに乗算することによって第二電流値Ｉｂを求めてもよい。
【０１２１】
次に、基準傾き取得部５５は、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に、第二電流値Ｉｂの電流を流し、その電流が流れている期間中にプローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を第二電圧値Ｖｂとして測定する（ステップＳ３４）。第二電流値Ｉｂが、例えば０．３ｍＡであった場合、図１３に示す正常な検査対象部ＡのグラフＧ１において、０．１０Ｖが第二電圧値Ｖｂとして得られる。正常な検査対象部ＡのグラフＧ１において、座標（Ｖｂ，Ｉｂ）＝（０．１０，０．３）の点を、ポイントＰ２として示している。
【０１２２】
次に、基準傾き取得部５５は、下記の式（４）に基づいて、基準傾きｒｓを算出する（ステップＳ３５）。
【０１２３】
基準傾きｒｓ＝（Ｉａ−Ｉｂ）／（Ｖａ−Ｖｂ）  ・・・（４）
【０１２４】
図１３におけるグラフＧ１の場合であれば、基準傾きｒｓ＝（０．８−０．３）／（０．３０−０．１０）＝２．５となる。
【０１２５】
基準傾きｒｓは、正常な検査対象部ＡのグラフＧ１における、ポイントＰ１とポイントＰ２とを結ぶ直線の傾きに相当している。基準傾き取得部５５は、ステップＳ３１〜Ｓ３５によって得られた第二電流値Ｉｂと基準傾きｒｓとを記憶部５４に記憶させることによって予め設定し、処理を終了する。
【０１２６】
なお、検査装置１ａは、必ずしも基準傾き取得部５５を備えていなくてもよい。例えばユーザが実験的に、ステップＳ３１〜Ｓ３５と同様の方法により基準傾きｒｓを取得し、記憶部５４に記憶させ、予め設定するようにしてもよい。あるいはユーザが、図１３に示すグラフＧ１を作図して直線Ｌ１の傾きを基準傾きｒｓとして読み取り、その読み取った基準傾きｒｓと第二電流値Ｉｂとを記憶部５４に記憶させ、予め設定するようにしてもよい。
【０１２７】
図１４を参照して、まず、例えばユーザが、図略の載置台に、検査しようとする回路基板１００を載置する。そして、測定処理部５１ａは、プローブＰｒ１をパッドＰａ５に接触させ、プローブＰｒ２をパッドＰａ６に接触させる（ステップＳ４１）。
【０１２８】
次に、測定処理部５１ａは、記憶部５４から第一電流値Ｉａを読み出す。そして、測定処理部５１ａは、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に、第一電流値Ｉａの電流を流し、その電流が流れている期間中にプローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を第一電圧値Ｖａとして測定する（ステップＳ４２）。例えば図１３の場合、検査対象部Ａが正常であれば、グラフＧ１におけるポイントＰ１において、第一電圧値Ｖａ＝０．３０Ｖが測定される。一方、電流経路Ａ１，Ａ２のいずれかが断線し、検査対象部Ａが不良であれば、グラフＧ２におけるポイントＰ３において、第一電圧値Ｖａ＝０．３２Ｖが測定される。
【０１２９】
次に、測定処理部５１ａは、記憶部５４から第二電流値Ｉｂを読み出す。そして、測定処理部５１ａは、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に、第二電流値Ｉｂの電流を流し、その電流が流れている期間中にプローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を第二電圧値Ｖｂとして測定する（ステップＳ４３）。例えば図１３の場合、検査対象部Ａが正常であれば、グラフＧ１におけるポイントＰ２において、第二電圧値Ｖｂ＝０．１０Ｖが測定される。一方、電流経路Ａ１，Ａ２のいずれかが断線し、検査対象部Ａが不良であれば、グラフＧ２におけるポイントＰ４において、第二電圧値Ｖｂ＝０．２２Ｖが測定される。
【０１３０】
次に、判定部５２ａは、下記の式（５）に基づいて、傾きｒｔを算出する（ステップＳ４４）。
【０１３１】
傾きｒｔ＝（Ｉａ−Ｉｂ）／（Ｖａ−Ｖｂ）  ・・・（５）
【０１３２】
傾きｒｔは、検査対象部Ａが正常であればグラフＧ１におけるポイントＰ１とポイントＰ２とを結ぶ直線Ｌ１の傾きを示すことになる。一方、検査対象部Ａが不良であれば傾きｒｔは、グラフＧ２におけるポイントＰ３とポイントＰ４とを結ぶ直線Ｌ２の傾きを示すことになる。図１３の直線Ｌ１，Ｌ２から明らかなように、検査対象部Ａが不良の場合、正常な場合と比べて傾きｒｔが大きくなる。
【０１３３】
図１３に示す例によれば、検査対象部Ａが正常な場合、傾きｒｔ＝（０．８−０．３）／（０．３０−０．１０）＝２．５となる。一方、検査対象部Ａが不良の場合、傾きｒｔ＝（０．８−０．３）／（０．３２−０．２２）＝５となる。
【０１３４】
次に、判定部５２ａは、基準傾きｒｓに基づいて、検査対象部Ａの良否を判定するための判定値ｒｔｈを算出する（ステップＳ４５）。具体的には、例えば基準傾きｒｓのバラツキや測定誤差が最大１０％想定される場合、基準傾きｒｓに１．１を乗じることによって、判定値ｒｔｈを算出する。例えば基準傾きｒｓ＝２．５であれば、判定値ｒｔｈ＝２．５×１．１＝２．７５となる。
【０１３５】
これにより、基準傾きｒｓに対し、製造バラツキや測定誤差による誤差が生じた場合であっても、正しく判定することが可能な判定値ｒｔｈが得られる。
【０１３６】
次に、判定部５２ａは、傾きｒｔと判定値ｒｔｈとを比較する（ステップＳ４６）。そして、傾きｒｔが判定値ｒｔｈ以下であれば（ステップＳ４６でＮＯ）、判定部５２ａは、検査対象部Ａは正常であると判定する（ステップＳ４７）。判定部５２ａは、その判定結果を例えば図略の表示装置に表示したり、外部に送信したりして報知し、あるいは記憶部５４に記憶して処理を終了する。
【０１３７】
一方、傾きｒｔが判定値ｒｔｈを超えていれば（ステップＳ４６でＹＥＳ）、判定部５２ａは、検査対象部Ａは不良であると判定する（ステップＳ４８）。判定部５２ａは、その判定結果を例えば図略の表示装置に表示したり、外部に送信したりして報知し、あるいは記憶部５４に記憶して処理を終了する（ステップＳ２６）。
【０１３８】
図１３に示す例では、検査対象部Ａが正常であれば、上述したように傾きｒｔは２．５となり、判定値ｒｔｈ＝２．７５以下である（ステップＳ４６でＮＯ）から、正しく検査対象部Ａは正常であると判定される。一方、検査対象部Ａが不良であれば、上述したように傾きｒｔは５となり、判定値ｒｔｈ＝２．７５を超える（ステップＳ４６でＹＥＳ）から、正しく検査対象部Ａは不良であると判定される。
【０１３９】
式（５）において、（Ｉａ−Ｉｂ）は第一電流値Ｉａと第二電流値Ｉｂとの差であり、（Ｖａ−Ｖｂ）は第一電圧値Ｖａと第二電圧値Ｖｂとの差であるから、傾きｒｔは、第一電流値Ｉａと第二電流値Ｉｂとの差、及び第一電圧値Ｖａと第二電圧値Ｖｂとの差の比である。従って、判定部５２ａは、第一電流値Ｉａと第二電流値Ｉｂとの差、及び第一電圧値Ｖａと第二電圧値Ｖｂとの差の比である傾きｒｔに基づいて、検査対象部Ａの良否を判定する。
【０１４０】
以上、ステップＳ４１〜Ｓ４８によれば、第一電流値Ｉａが、正常な検査対象部Ａにおいて実質的にオン電圧Ｖｏｎが得られる電流値に設定され、第二電流値Ｉｂが、第一電流値Ｉａより小さな電流値に設定されている。その結果、正常な検査対象部Ａにおけるオン電圧Ｖｏｎに対応するポイントＰ１が直線Ｌ１における高電圧、高電流側の端部となり、ポイントＰ２が直線Ｌ１における低電圧、低電流側の端部となる。
【０１４１】
そして、このような第一電流値Ｉａ及び第二電流値Ｉｂに基づいて第一電圧値Ｖａ及び第二電圧値Ｖｂが取得されるので、検査対象部Ａが不良で有った場合には、図１３のグラフＧ２に示すように、第一電流値Ｉａに対応するポイントＰ３はグラフＧ２のオン電圧より高電圧側、すなわち急峻にグラフＧ２が立ち上がり、傾きが大きい領域に位置することとなる。
【０１４２】
その結果、検査対象部Ａが不良の場合の直線Ｌ２は、検査対象部Ａが正常な場合の直線Ｌ１よりも傾きｒｔが大きくなる。従って、ステップＳ４１〜Ｓ４８によれば、直線Ｌ１，Ｌ２の傾きｒｔに基づいて、検査対象部Ａを検査することが容易である。
【０１４３】
なお、検査対象部Ａは、並列接続された二つの電流経路Ａ１，Ａ２が並列接続された例を示したが、並列接続される電流経路の数は、三つ以上であってもよい。例えば、電流経路Ａ１，Ａ２に加えて図略の電流経路Ａ３が並列接続されている場合、電流経路Ａ３の特性が電流経路Ａ１，Ａ２と略同じであれば、その電流−電圧特性は、図１５で示される。
【０１４４】
図１５に示すグラフＧ３，Ｇ４，Ｇ５は、図９に示すグラフＧ３，Ｇ４，Ｇ５と同じになる。
【０１４５】
このように、三つの電流経路が並列接続された場合であっても、オン電圧探索部５３ａは、ステップＳ７において電流値の上限を１．０から１．４程度に変更することによって、正常時のグラフＧ３におけるオン電圧Ｖｏｎ（＝０．３０Ｖ）及び第一電流値Ｉａ（＝１．２ｍＡ）を取得することができる。
【０１４６】
そして、このようにして得られた第一電流値Ｉａ（＝１．２ｍＡ）に基づいて、基準傾き取得部５５は、図１２に示すステップＳ３１〜Ｓ３５と同様の処理により基準傾きｒｓを算出することができる。図１５に示すグラフＧ３では、ステップＳ３３において第一電流値Ｉａの１／３を第二電流値Ｉｂ（＝０．４ｍＡ）とした例を示している。グラフＧ３の場合、第一電流値Ｉａ（＝１．２ｍＡ）、第一電圧値Ｖａ（＝０．３０Ｖ）の点がポイントＰ５、第二電流値Ｉｂ（＝０．４ｍＡ）、第二電圧値Ｖｂ（＝０．０９Ｖ）の点がポイントＰ６となる。ポイントＰ５とポイントＰ６を結ぶ直線Ｌ３の傾き、すなわち基準傾きｒｓ＝（１．２−０．４）／（０．３０−０．０９）＝３．８となる。
【０１４７】
また、測定処理部５１ａ及び判定部５２ａは、図１４に示すステップＳ４１〜Ｓ４８と同様の処理により、グラフＧ４，Ｇ５の不良を正しく判定することができる。例えば、グラフＧ４の場合、第一電流値Ｉａ（＝１．２ｍＡ）、第一電圧値Ｖａ（＝０．３１Ｖ）の点がポイントＰ７、第二電流値Ｉｂ（＝０．４ｍＡ）、第二電圧値Ｖｂ（＝０．１４Ｖ）の点がポイントＰ８となる。ポイントＰ７とポイントＰ８を結ぶ直線Ｌ４の傾きｒｔ＝（１．２−０．４）／（０．３１−０．１４）＝４．７となる。
【０１４８】
従って、直線Ｌ４の傾きｒｔ（＝４．７）は、判定値ｒｔｈ（＝３．８×１．１＝４．２）より大きくなるから（ステップＳ４６でＹＥＳ）、判定部５２ａは、グラフＧ４の検査対象部Ａを正しく不良であると判定することができる。
【０１４９】
例えば、グラフＧ５の場合、第一電流値Ｉａ（＝１．２ｍＡ）、第一電圧値Ｖａ（＝０．３３Ｖ）の点がポイントＰ９、第二電流値Ｉｂ（＝０．４ｍＡ）、第二電圧値Ｖｂ（＝０．３０Ｖ）の点がポイントＰ１０となる。ポイントＰ９とポイントＰ１０を結ぶ直線Ｌ５の傾きｒｔ＝（１．２−０．４）／（０．３３−０．３０）＝２６．７となる。
【０１５０】
従って、直線Ｌ５の傾きｒｔ（＝２６．７）は、判定値ｒｔｈ（＝４．２）より大きくなるから（ステップＳ４６でＹＥＳ）、判定部５２ａは、グラフＧ５の検査対象部Ａを正しく不良であると判定することができる。
（第三実施形態）
【０１５１】
次に、本発明の第三実施形態に係る検査装置１ｂについて説明する。検査装置１ｂの構成は、第一実施形態と同様、図１で示される。図１において、検査装置１とは異なる構成についてはカッコ書きで符号を付している。第三実施形態に係る検査装置１ｂは、第一実施形態に係る検査装置１とは、制御部５ｂの構成が異なる。制御部５ｂは、測定処理部５１ｂ及び判定部５２ｂの動作が、測定処理部５１及び判定部５２とは異なる。また、制御部５ｂは、オン電圧探索部５３の代わりに制御部５ａと同様のオン電圧探索部５３ａを備える。
【０１５２】
その他の構成は第一実施形態に係る検査装置１と同様であるのでその説明を省略し、以下本実施形態の特徴的な点について説明する。
【０１５３】
測定処理部５１ｂは、電流値を異ならせつつ複数回、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に電流を流し、各電流が流れる各期間中にプローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を測定し、当該測定された複数の電圧の変化に基づいて検査対象部Ａがオンしたときのオン電流Ｉｏｎを取得する。
【０１５４】
判定部５２ｂは、オン電流Ｉｏｎに基づいて検査対象部Ａの良否を判定する。
【０１５５】
次に、上述のように構成された検査装置１ｂの動作について説明する。まず、オン電圧探索部５３ａによって、上述したように、検査対象部Ａのオン電圧Ｖｏｎが探索され、探索されたオン電圧Ｖｏｎに対応する第一電流値Ｉａが記憶部５４に記憶されることにより予め設定される。なお、第三実施形態においては、オン電圧探索部５３ａは、ステップＳ１６を実行しなくてもよい。
【０１５６】
図１６〜図１８を参照して、例えばユーザが、図略の載置台に、検査しようとする回路基板１００を載置する。そして、測定処理部５１ｂは、プローブＰｒ１をパッドＰａ５に接触させ、プローブＰｒ２をパッドＰａ６に接触させる（ステップＳ５１）。以下、測定処理部５１ｂによって、図４、図５と同様のステップＳ２〜Ｓ８、Ｓ１１〜Ｓ１５が実行される。
【０１５７】
測定処理部５１ｂは、ステップＳ２〜Ｓ７の処理により、電流値を異ならせつつ複数回、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に電流を流し、各電流が流れる各期間中にプローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を測定する。
【０１５８】
次に、測定処理部５１ｂは、ステップＳ１５で得られた最大の比Ｒ（ｍ）から、オン電圧Ｖｏｎに対応する番号ｍを取得する。そして、測定処理部５１ｂは、ステップＳ５で記憶部５４に記憶された測定情報を参照し、番号ｍの電流値Ｉ（ｍ）をオン電流Ｉｏｎとする（ステップＳ６１）。図１８に示す例では、正常な検査対象部Ａを測定した場合にはオン電流Ｉｏｎとして０．８ｍＡが得られ、不良の検査対象部Ａを測定した場合にはオン電流Ｉｏｎとして０．４ｍＡが得られることになる。
【０１５９】
以上、ステップＳ６〜Ｓ６１の処理により、測定処理部５１ｂは、ｎ個の電圧値Ｖ（１）〜Ｖ（ｎ）の変化に基づいて、検査対象部Ａのオン電流Ｉｏｎを取得することができる。
【０１６０】
次に、判定部５２ｂは、オン電圧探索部５３ａによって、図５に示すステップＳ１７において記憶部５４に記憶された正常な検査対象部Ａのオン電流であるＩ（ｍ）を第一電流値Ｉａとして読み出して、この第一電流値Ｉａに基づいて、検査対象部Ａの良否を判定するための判定値Ｉｒｅｆを算出する（ステップＳ６２）。具体的には、例えば第一電流値Ｉａのバラツキや測定誤差が最大１０％想定される場合、第一電流値Ｉａに０．９を乗じることによって、判定値Ｉｒｅｆを算出する。図１８に示すグラフＧ１の例では、第一電流値Ｉａ＝０．８となるから、判定値Ｉｒｅｆ＝０．８×０．９＝０．７２となる。
【０１６１】
これにより、オン電流Ｉｏｎに対し、製造バラツキや測定誤差による誤差が生じた場合であっても、正しく判定することが可能な判定値Ｉｒｅｆが得られる。
【０１６２】
次に、判定部５２ｂは、オン電流Ｉｏｎと判定値Ｉｒｅｆとを比較する（ステップＳ６３）。そして、オン電流Ｉｏｎが判定値Ｉｒｅｆを超えていれば（ステップＳ６３でＹＥＳ）、判定部５２ｂは、検査対象部Ａは正常であると判定する（ステップＳ６４）。判定部５２ｂは、その判定結果を例えば図略の表示装置に表示したり、外部に送信したりして報知し、あるいは記憶部５４に記憶して処理を終了する（ステップＳ２６）。
【０１６３】
一方、オン電流Ｉｏｎが判定値Ｉｒｅｆ以下であれば（ステップＳ６３でＮＯ）、判定部５２ｂは、検査対象部Ａは不良であると判定する（ステップＳ６５）。判定部５２ｂは、その判定結果を例えば図略の表示装置に表示したり、外部に送信したりして報知し、あるいは記憶部５４に記憶して処理を終了する。
【０１６４】
図１８に示す例では、検査対象部Ａが正常であれば、グラフＧ１に示すようにオン電流Ｉｏｎは０．８となり、判定値Ｉｒｅｆ＝０．７２を超えている（ステップＳ６３でＹＥＳ）から、正しく検査対象部Ａは正常であると判定される。一方、検査対象部Ａが不良であれば、グラフＧ２に示すようにオン電流Ｉｏｎは０．４となり、判定値Ｉｒｅｆ＝０．７２以下である（ステップＳ６３でＮＯ）から、正しく検査対象部Ａは不良であると判定される。
【０１６５】
以上、ステップＳ５１〜Ｓ６５の処理によれば、検査対象部Ａの良否を正しく判定することができ、従って、検査対象部Ａを検査することが容易である。
【０１６６】
なお、図１６に示すステップＳ４において電流値を異ならせつつ複数回、ステップＳ５においてプローブＰｒ１，Ｐｒ２間に電流を流し、各電流が流れる各期間中にプローブＰｒ１，Ｐｒ２間の電圧を測定する例を示したが、例えば図１９に示すようにステップＳ２〜Ｓ５，Ｓ７の代わりにステップＳ２ａ〜Ｓ５ａ，Ｓ７ａを実行することによって、測定処理部５１ｂは、電圧値を異ならせつつ複数回、プローブＰｒ１，Ｐｒ２間に電圧を印加し、各電圧が印加されている各期間中にプローブＰｒ１，Ｐｒ２間を流れる電流を測定してもよい。この場合であっても、ステップＳ６〜Ｓ６１の処理により、測定処理部５１ｂは、ｎ個の電流値Ｉ（１）〜Ｉ（ｎ）の変化に基づいて、検査対象部Ａのオン電流Ｉｏｎを取得することができる。
【０１６７】
なお、検査対象部Ａは、二つの電流経路Ａ１，Ａ２が並列接続された例を示したが、並列接続される電流経路の数は、三つ以上であってもよい。例えば、電流経路Ａ１，Ａ２に加えて図略の電流経路Ａ３が並列接続されている場合、電流経路Ａ３の特性が電流経路Ａ１，Ａ２と略同じであれば、その電流−電圧特性は、図２０で示される。
【０１６８】
図２０に示すグラフＧ３，Ｇ４，Ｇ５は、図９に示すグラフＧ３，Ｇ４，Ｇ５と同じになる。
【０１６９】
このように、三つの電流経路が並列接続された場合であっても、オン電圧探索部５３ａは、ステップＳ７において電流値の上限を１．０から１．４程度に変更することによって、正常時のグラフＧ３における第一電流値Ｉａ（＝１．２ｍＡ）を取得することができる。
【０１７０】
そして、測定処理部５１ｂは、図１６、図１７、図１９に示すステップＳ５１〜Ｓ６１の処理によりオン電流Ｉｏｎを取得することができる。判定部５２ｂは、オン電流Ｉｏｎと、第一電流値Ｉａとに基づき、図１７に示すステップＳ６１〜Ｓ６５の処理により、検査対象部Ａの良否を判定することができる。第一電流値Ｉａ＝１．２ｍＡの場合、判定値Ｉｒｅｆ＝１．２×０．９＝１．０８となる（ステップＳ６２）。
【０１７１】
グラフＧ３の場合、オン電流Ｉｏｎ（＝１．２）が判定値Ｉｒｅｆ（＝１．０８）を超えている（ステップＳ６３でＹＥＳ）から、グラフＧ３の検査対象部Ａを正しく正常と判定することができる（ステップＳ６４）。グラフＧ４の場合、オン電流Ｉｏｎ（＝０．８）が判定値Ｉｒｅｆ（＝１．０８）以下である（ステップＳ６３でＮＯ）から、グラフＧ４の検査対象部Ａを正しく不良と判定することができる（ステップＳ６５）。グラフＧ５の場合、オン電流Ｉｏｎ（＝０．４）が判定値Ｉｒｅｆ（＝１．０８）以下である（ステップＳ６３でＮＯ）から、グラフＧ５の検査対象部Ａを正しく不良と判定することができる（ステップＳ６５）。
【０１７２】
すなわち、本発明の一例に係る検査装置は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査装置であって、電流を供給可能な電流供給部と、電圧を測定可能な電圧測定部と、予め設定された第一電流値の電流を前記電流供給部によって前記両端間に流させつつ、前記両端間の電圧を前記電圧測定部によって第一電圧値として測定させる測定処理部とを備え、前記第一電流値は、正常な前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値以下である。
【０１７３】
また、本発明の一例に係る検査方法は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行う検査方法であって、予め設定された第一電流値の電流を前記両端間に流しつつ、前記両端間の電圧を第一電圧値として測定する測定処理工程を含み、前記第一電流値は、正常な前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値以下である。
【０１７４】
ダイオード特性を有する検査対象部は、その特性上、両端間の電圧がオン電圧を超える領域では、流れる電流に対する前記電圧の変化が僅かである。これらの構成によれば、正常な検査対象部の両端間の電圧が実質的にオン電圧になる電流値以下の第一電流値が検査対象部に流れたときの、その検査対象部の両端間の電圧が第一電圧値として測定される。そうすると、正常な検査対象部の両端間の電圧がオン電圧を超えない領域において、検査対象部に流れる第一電流値の電流に対してその両端間に生じる電圧が第一電圧値として測定されるから、複数の電流経路のいずれかが断線した場合の第一電圧値の変化が大きく現れる。従って、第一電圧値には、検査対象部が正常か否かを示す情報が反映されるので、第一電圧値が得られることによって、検査対象部の検査が容易になる。
【０１７５】
また、前記第一電圧値に基づいて、前記検査対象部の良否を判定する判定部をさらに備えることが好ましい。
【０１７６】
この構成によれば、第一電圧値に基づいて、検査対象部の良否を判定することができる。
【０１７７】
また、本発明の一例に係る検査装置は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査装置であって、電圧を出力可能な電圧供給部と、電流を測定可能な電流測定部と、実質的に前記オン電圧以下に予め設定された第一電圧値の電圧を前記電圧供給部によって前記検査対象部の両端間に印加させつつ、前記両端間に流れる電流を前記電流測定部によって第一電流値として測定させる測定処理部とを備える。
【０１７８】
また、本発明の一例に係る検査方法は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行う検査方法であって、実質的に前記オン電圧以下に予め設定された第一電圧値の電圧を前記検査対象部の両端間に印加しつつ、前記両端間に流れる電流を第一電流値として測定する測定処理工程を含む。
【０１７９】
これらの構成によれば、第一電流の代わりに第一電圧が検査対象部の両端間に印加され、第一電圧の代わりに検査対象部の両端間に流れる電流が第一電流として測定される。この場合であっても、測定される第一電流には、検査対象部が正常か否かを示す情報が反映されるので、第一電流が得られることによって、検査対象部の検査が容易になる。
【０１８０】
また、前記第一電流値に基づいて、前記検査対象部の良否を判定する判定部をさらに備えることが好ましい。
【０１８１】
この構成によれば、第一電流値に基づいて、検査対象部の良否を判定することができる。
【０１８２】
また、正常な前記検査対象部は、前記複数の電流経路が全て導通しているものであることが好ましい。
【０１８３】
並列接続された複数の電流経路が全て導通していれば、検査対象部は正常である。
【０１８４】
また、前記第一電流値は、前記複数の電流経路のうち一つを除く残余の電流経路が断線した前記検査対象部に当該第一電流値の電流を流した場合に前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値以上であることが好ましい。
【０１８５】
この構成によれば、第一電流値は、正常な検査対象部の両端間の電圧が実質的にオン電圧になる電流値以下であって、かつ、複数の電流経路のうち一つを除く残余の電流経路が断線した検査対象部に当該第一電流値の電流を流した場合に検査対象部の両端間の電圧が実質的にオン電圧になる電流値以上の電流範囲に、予め設定されている。このような電流範囲は、第一電流値として好適である。
【０１８６】
また、前記第一電流値は、前記複数の電流経路のうち一つのみが断線した前記検査対象部に当該第一電流値の電流を流した場合に前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値以上であることが好ましい。
【０１８７】
この構成によれば、第一電流値は、正常な検査対象部の両端間の電圧が実質的にオン電圧になる電流値以下であって、かつ、複数の電流経路のうち一つのみが断線した前記検査対象部に当該第一電流値の電流を流した場合に検査対象部の両端間の電圧が実質的にオン電圧になる電流値以上の電流範囲に、予め設定されている。このような電流範囲は、第一電流値として好適である。
【０１８８】
また、前記第一電流値は、前記複数の電流経路のうち一つのみが断線した前記検査対象部に当該第一電流値の電流を流した場合に前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値であることが好ましい。
【０１８９】
この構成によれば、第一電流値は、複数の電流経路のうち一つのみが断線した検査対象部に当該第一電流値の電流を流した場合に検査対象部の両端間の電圧が実質的にオン電圧になる電流値に、予め設定されている。この場合、第一電流値が、正常な検査対象部に当該第一電流値の電流を流した場合に検査対象部の両端間の電圧が実質的にオン電圧になる電流値である場合よりも、正常時と不良時とで得られる第一電圧値の差が大きい。従って、第一電圧値に基づいて検査対象部の良否を判定することが、より容易になる。
【０１９０】
また、前記第一電流値は、正常な前記検査対象部の両端間の電圧が実質的に前記オン電圧になる電流値であり、前記測定処理部は、前記第一電流値の電流を前記電流供給部によって前記両端間に流させつつ前記両端間の電圧を前記電圧測定部によって第一電圧値として測定させ、前記第一電流値よりも小さな第二電流値の電流を前記電流供給部によって前記両端間に流させつつ前記両端間の電圧を前記電圧測定部によって第二電圧値として測定させ、前記検査装置は、前記第一電流値と前記第二電流値との差、及び前記第一電圧値と前記第二電圧値との差の比に基づいて、前記検査対象部の良否を判定する判定部をさらに備えることが好ましい。
【０１９１】
この構成によれば、第一電流値と第二電流値との差、及び第一電圧値と第二電圧値との差の比は、検査対象部の電流−電圧特性グラフにおける、第一電流値と第一電圧値とが交わる点と、第二電流値と第二電圧値とが交わる点とを結ぶ直線の傾きを表す。そして、この傾きは、正常な検査対象部よりも、複数の電流経路のうちいずれかが断線した検査対象部の方が大きくなる。従って、判定部は、上記傾きに基づいて、検査対象部の良否を判定することができる。
【０１９２】
また、電流値を異ならせつつ複数回、前記電流供給部によって前記両端間に電流を流させ、前記各電流が流れる各期間中に前記電圧測定部によって前記両端間の電圧を測定させ、当該測定された複数の電圧の変化に基づいて前記検査対象部のオン電圧を探索するオン電圧探索部をさらに備えることが好ましい。
【０１９３】
この構成によれば、特性が不明な検査対象部のオン電圧を探索することができる。
【０１９４】
また、本発明の一例に係る検査装置は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査装置であって、電流又は電圧のうち一方を、値を異ならせつつ複数回、前記検査対象部の両端間に供給し、前記一方が供給される各期間中に前記両端間における前記電流又は電圧のうち他方を測定し、当該測定された前記他方の変化に基づいて前記検査対象部がオンする前記電流を取得する測定処理部と、前記測定処理部によって取得された前記電流に基づいて前記検査対象部の良否を判定する判定部とを備える。
【０１９５】
また、本発明の一例に係る検査方法は、順方向の電圧がオン電圧を超えた場合の前記電圧の変化に対する電流の変化が、前記順方向の電圧が前記オン電圧に満たない場合よりも大きいダイオード特性を有する複数の電流経路が並列接続された検査対象部の検査を行うための検査方法であって、電流又は電圧のうち一方を、値を異ならせつつ複数回、前記検査対象部の両端間に供給し、前記一方が供給される各期間中に前記両端間における前記電流又は電圧のうち他方を測定し、当該測定された前記他方の変化に基づいて前記検査対象部がオンする前記電流を取得する測定処理工程と、前記測定処理部によって取得された前記電流に基づいて前記検査対象部の良否を判定する判定工程とを含む。
【０１９６】
検査対象部がオンする電流は、複数の電流経路のうちいずれかに断線が生じた検査対象部よりも、正常な検査対象部の方が多くなる。そこでこれらの構成によれば、検査対象部がオンする電流が取得され、その電流に基づいて検査対象部の良否を判定することができる。
【０１９７】
また、本発明の一例に係る検査装置用プログラムは、上述の検査装置を動作させるための検査装置用プログラムであって、コンピュータを、前記測定処理部として機能させる。
【０１９８】
このプログラムによれば、コンピュータを、前記測定処理部として機能させることによって、上述の検査装置を動作させることができる。
【０１９９】
このような構成の検査装置、検査方法、及び検査装置用プログラムは、複数のダイオードが並列接続された検査対象の検査が容易である。
【０２００】
この出願は、２０１８年１２月６日に出願された日本国特許出願特願２０１８−２２８７４９を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。なお、発明を実施するための形態の項においてなされた具体的な実施態様又は実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、本発明は、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではない。
【符号の説明】
【０２０１】
１，１ａ，１ｂ    検査装置
２    電流供給部
３    電圧測定部
４    電流測定部
５，５ａ，５ｂ    制御部
５１，５１ａ，５１ｂ    測定処理部
５２，５２ａ，５２ｂ    判定部
５３，５３ａ      オン電圧探索部
５４  記憶部
５５  基準傾き取得部
１００      回路基板
１０１      配線基板
１０２      部品
Ａ，Ｂ，Ｃ  検査対象部
Ａ１，Ａ２，Ａ３  電流経路
Ｄ１，Ｄ２  ダイオード
Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４，Ｇ５  グラフ
Ｉ    電流値
Ｉａ  第一電流値
Ｉｂ  第二電流値
Ｉｏｎ      オン電流
Ｉｒｅｆ    判定値
ＩＳ  基準電流値
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５  直線
Ｐ１〜Ｐ１０      ポイント
Ｐａ１〜Ｐａ６    パッド
Ｐｒ１，Ｐｒ２    プローブ
Ｒ    比
Ｔ１〜Ｔ４  端子
Ｖ    電圧値
Ｖａ  第一電圧値
Ｖｂ  第二電圧値
Ｖｄ１，Ｖｄ２    電圧差
Ｖｇ  電圧値
Ｖｏｎ      オン電圧
Ｖｒｅｆ    判定電圧
Ｗ１〜Ｗ８  配線パターン
ｒｓ  基準傾き
ｒｔ  傾き
ｒｔｈ      判定値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【国際調査報告】
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