【手続補正書】
【提出日】平成21年2月9日(2009.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
図形パターンを生成するための光学パターン生成器であって、
回転軸の回りに回転する回転コンポーネントを備え、
回転コンポーネントは、回転軸の回りに配置された複数の偏向セクタを備え、
複数の偏向セクタの少なくとも２つはそれぞれ、偏向セクタが入射光ビーム中で回転すると、入射光ビームをほぼ一定の角度偏向だけ偏向させる少なくとも２つの反射面を備え、
偏向セクタの少なくとも２つは、入射光ビームを異なる角度偏向だけ偏向して、図形を異なる場所に生成するようにした光学パターン生成器。
【請求項２】
複数の偏向セクタの全てがそれぞれ、セクタが入射光ビーム中で回転すると、入射光ビームをほぼ一定の角度偏向だけ偏向させる少なくとも２つの反射面を備える請求項１記載の光学パターン生成器。
【請求項３】
複数の偏向セクタは、回転軸を中心とした円周上にほぼ配置され、回転軸に対して垂直な回転面内にほぼ位置しており、
複数の偏向セクタは、回転コンポーネントの回転に関してほぼ自己補正して、回転コンポーネントの揺れに関して実質的に空間的に不変であり、
角度偏向は、主として回転面内にあるようにした請求項１記載の光学パターン生成器。
【請求項４】
大部分のセクタはプリズムを含み、少なくとも２つのセクタに関するプリズムは、異なる頂角を有する請求項１記載の光学パターン生成器。
【請求項５】
複数の偏向セクタの大部分に関して、入射光ビームは、偏向セクタにおける偶数個の反射面から反射するようにした請求項１記載の光学パターン生成器。
【請求項６】
複数の偏向セクタの少なくとも２つに関する少なくとも２つの反射面は、回転面に対して垂直な成分を持つ角度偏向を導入するものであり、
複数の偏向セクタの少なくとも２つに関する角度偏向の、回転面に対して垂直な成分の大きさは、アレイ状のスポットを生成するように異なっている請求項１記載の光学パターン生成器。
【請求項７】
入射光ビームは、主として回転面内にあるようにした請求項１記載の光学パターン生成器。
【請求項８】
複数の偏向セクタの大部分は、回転コンポーネントの揺れに関してほぼ自己補正して、回転コンポーネントの回転に関して実質的に空間的に不変であり、
角度偏向は、主として回転面内にないようにした請求項１記載の光学パターン生成器。
【請求項９】
複数の偏向セクタは、回転軸を中心とした円周上にほぼ配置され、回転軸に対して垂直な回転面内にほぼ位置しており、
複数の偏向セクタの大部分に関してそれぞれ、回転面に対して垂直な方向に実質的な成分を有する表面法線を持つ一対の対向反射面を備える請求項１記載の光学パターン生成器。
【請求項１０】
少なくとも２つの同時入射の光ビームをさらに備える請求項１記載の光学パターン生成器。
【請求項１１】
複数の偏向セクタは、回転軸を中心とした円周上にほぼ配置され、回転軸に対して垂直な回転面内にほぼ位置しており、
複数の偏向セクタの大部分に関してそれぞれ、回転面内に実質的な成分を有する表面法線を持つ一対の対向反射面を備え、該対向反射面はペンタミラー配置を形成する請求項１記載の光学パターン生成器。
【請求項１２】
回転コンポーネントは、奇数個の偏向セクタを含む請求項１１記載の光学パターン生成器。
【請求項１３】
図形パターンは、アレイ状のスポットであり、対応する偏向セクタが入射光ビーム中で回転すると、アレイ状スポットにおける各スポットは、ターゲット面上でほぼ静止している請求項１１記載の光学パターン生成器。
【請求項１４】
偏向セクタによって偏向した入射光ビームを受けて、異なるほぼ一定の角度偏向を、アレイ状スポットを含む図形パターン内で異なる像位置に変換するように位置決めされた結像レンズ群をさらに備え、異なる像位置の各々は、偏向セクタが入射光ビーム中で回転すると、ほぼ静止している請求項１１記載の光学パターン生成器。
【請求項１５】
複数の偏向セクタは、回転軸を中心とした円周上にほぼ配置され、回転軸に対して垂直な回転面内にほぼ位置しており、
複数の偏向セクタの大部分に関して、各セクタは回転面内に実質的な成分を有する表面法線を持つ一対の対向反射面を備え、該対向反射面はペンタミラー配置を形成し、
複数の偏向セクタの少なくとも幾つかに関する一対の対向反射面は、回転面に対して垂直な成分を持つ角度偏向を導入するものであり、
複数の偏向セクタの少なくとも２つに関する角度偏向の、回転面に対して垂直な成分の大きさは、異なっており、
図形パターンは、アレイ状のスポットであり、対応する偏向セクタが入射光ビーム中で回転すると、アレイ状スポットにおける各スポットは、ターゲット面上でほぼ静止している請求項１記載の光学パターン生成器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
図２Ａと図２Ｂは、ソリッドキャット結像レンズ群１９の一実施形態の詳細を示している。回転コンポーネント９から出射した光ビームは、最初に平面２８に入って、平面ミラー２３で反射し、球面ミラー２４で反射し、この場合、面２３と連続である平面から出射する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
図３は、システムの焦点面において３つの像スポット２７を生成する光線扇形(fan)３０の詳細図を示す。図３において、３つの像点の各々は、セクタが入射光ビーム中で回転すると、対応したセクタの異なる回転角と関連付けられた３組の光線扇形を有する。例えば、光線扇形３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃは、像スポット２７Ａについて示している。光線扇形３０Ａは、入射光ビームに進入したばかりのセクタに対応し、光線扇形３０Ｂは、光ビーム途中の回転角に対応し、光線扇形３０Ｃは、光ビームを出るセクタに対応しているであろう。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
像スポット２７Ａに関して、光ビームは、紙面内で和図に移動することに留意する。例えば、図３に示すように、光線扇形３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃは、同一の焦点スポット２７Ａで集束していても、角度に関して相互に僅かにオフセットしている。明確化のために３組の光線扇形について示したが、実際には、入射光ビーム中に個々のセクタの連続移動によって生成された、光線セットの連続体が存在している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１０】
単一の回転コンポーネント１０００の３つの異なる回転角は、図１０において重ね表示されており、単一の回転コンポーネントが回転したとき、一対の反射面１００３，１００４からの入射光ビーム１００２の偏向を示している。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１Ａ】
2009501345.tif 000001
【図１Ｂ】
2009501345.tif 000002
【図２Ａ】
2009501345.tif 000003
【図２Ｂ】
2009501345.tif 000004
【図３】
2009501345.tif 000005
【図４】
2009501345.tif 000006
【図５Ａ】
2009501345.tif 000007
【図５Ｂ】
2009501345.tif 000008
【図５Ｃ】
2009501345.tif 000009
【図６】
2009501345.tif 000010
【図７】
2009501345.tif 000011
【図８】
2009501345.tif 000012
【図９Ａ】
2009501345.tif 000013
【図９Ｂ】
2009501345.tif 000014
【図９Ｃ】
2009501345.tif 000015
【図９Ｄ】
2009501345.tif 000016
【図１０】
2009501345.tif 000017