(57)【要約】  本開示は、電子部品の接合方法および接合構造体に関する。発光素子側に、錫を２０質量％以上含む金−錫合金からなるはんだ層を形成し、サブマウント側に、はんだ層と接合する接合層として、金を主成分として含む層を形成する。はんだ層と接合層とを、はんだ層の金−錫合金の融点未満の温度で加熱して発光素子とサブマウントとを接合する。
2020138278.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極を有する電子部品の側と、前記電子部品を搭載する搭載面を有する被搭載物の側とを接合する電子部品の接合方法であって、
前記電子部品の前記電極の上に、錫を２０質量％以上含む金−錫合金からなるはんだ層を形成し、前記被搭載物の前記搭載面の上に、金を主成分として含む接合層を形成する層形成工程と、
前記はんだ層と、前記接合層とを、前記金−錫合金の融点未満の温度で加熱して接合する接合工程と、を備える電子部品の接合方法。
【請求項２】
前記層形成工程は、前記はんだ層の表面に金を主成分として含む酸化防止層を、さらに形成する、請求項１記載の電子部品の接合方法。
【請求項３】
前記層形成工程は、前記電極の上に第１密着層を形成し、前記第１密着層の表面に前記はんだ層を形成する、請求項１または２記載の電子部品の接合方法。
【請求項４】
前記層形成工程は、前記第１密着層の上に、白金族元素を主成分とする拡散防止層を介して金を主成分として含む第２密着層を形成する、請求項３に記載の電子部品の接合方法。
【請求項５】
前記電子部品は、発光素子を有する、請求項１〜４のいずれか１つに記載の電子部品の接合方法。
【請求項６】
前記電子部品は、前記被搭載物の前記搭載面に対向する面に少なくとも２つの前記電極を有している、請求項１〜５のいずれか１つに記載の電子部品の接合方法。
【請求項７】
電極を有する電子部品の側と、前記電子部品を搭載する搭載面を有する被搭載物の側とが接合された電子部品の接合構造体であって、
前記電子部品の前記電極の上に位置し、錫を２０質量％以上含む金−錫合金からなるはんだ層と、
前記被搭載物の前記搭載面の上に位置し、金を主成分とする接合層と、
前記はんだ層と前記接合層との間に位置し、前記はんだ層より融点の低い金−錫合金からなる中間層と、を備える、電子部品の接合構造体。
【請求項８】
前記はんだ層は、錫を２０質量％以上３０質量％以下含む金−錫合金である、請求項７に記載の電子部品の接合構造体。
【請求項９】
前記電極と前記はんだ層との間に位置し、金を主成分として含む密着層をさらに備える、請求項７または８に記載の電子部品の接合構造体。
【請求項１０】
前記電子部品は、前記被搭載物の前記搭載面に対向する面に少なくとも２つの前記電極を有している、請求項７〜９のいずれかに記載の電子部品の接合構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、電子部品と被接合物とを金−錫合金からなるはんだを用いて接合する電子部品の接合方法および接合構造体に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品である発光素子とサブマウントとを、はんだ層を介して接合する発光装置の製造方法において、はんだ層のはみ出しを抑制する技術が知られている（例えば、下記の特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１３８８７０号公報
【発明の概要】
【０００４】
本開示の電子部品の接合方法は、電極を有する電子部品の側と、前記電子部品を搭載する搭載面を有する被搭載物の側とを接合する方法であって、層形成工程と、接合工程と、を備える。層形成工程では、前記電子部品の前記電極の上に、錫を２０質量％以上含む金−錫合金からなるはんだ層を形成し、前記被搭載物の前記搭載面の上に、金を主成分として含む接合層を形成する。接合工程では、前記はんだ層と、前記接合層とを、前記金−錫合金の融点未満の温度で加熱して接合する。
【０００５】
本開示の電子部品の接合構造体は、電極を有する電子部品の側と、前記電子部品を搭載する搭載面を有する被搭載物の側とが接合された電子部品の接合構造体である。接合構造体は、前記電子部品の前記電極の上に位置し、錫を２０質量％以上含む金−錫合金からなるはんだ層と、前記被搭載物の前記搭載面の上に位置し、金を主成分とする接合層と、前記はんだ層と前記接合層との間に位置し、前記はんだ層より融点の低い金−錫合金からなる中間層と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１実施形態の接合方法の概略を示す断面図である。
【図２】第２実施形態の接合方法の概略を示す断面図である。
【図３】第３実施形態の接合構造体の概略を示す断面図である。
【図４】第４実施形態の接合構造体の概略を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
本発明の目的、特色、および利点は、以下の詳細な説明と図面とからより明確になるであろう。
以下、本開示の一実施形態に係る電子部品の接合方法およびその接合構造体について説明する。本実施形態の接合方法は、電極を有する電子部品の側と、この電子部品を搭載する搭載面を有する被搭載物の側とを接合する方法である。また、この方法は、層形成工程と接合工程とを有し、後述するように金−錫合金によって接合可能なものであれば、適用することができる。以下では、電子部品を、発光ダイオードなどの発光素子とし、被搭載物をサブマウントとして説明するが、これに限定されない。
【０００８】
例えば、発光素子をサブマウントに固定する場合には、発光素子の電極（半導体層）とサブマウントとをはんだを用いて接合する。はんだ接合では、はんだが一度融解したのち固化して接合することになる。このとき、固化したはんだ層には、内部応力が生じており、はんだ層のクラック発生、はんだ層の剥離などの破壊を引き起こす。また接合時には、発光素子とサブマウントとの間には、一定の圧力が付加される。そうすると、融解したはんだが、付加された圧力によって横方向に広がり、隣接する電極同士が短絡するおそれがある。
【０００９】
従来の接合方法では、金層と金−錫層のペアを複数積層する必要があり、はんだの形成工程が複雑になる。さらに、複数のはんだ層において、上記のような破壊が生じる可能性がある。また、例えば、電極の高さが異なるような場合には、接合高さを揃えるために一部の電極上のはんだの量を増やそうとすると、はんだの広がりを抑えることが難しくなる。
【００１０】
図１は、第１実施形態の接合方法の概略を示す図である。図１に示すように、本実施形態の接合方法によって得られる発光装置は、発光素子１と、はんだ層２と、サブマウント３と、接合層４と、を含んで構成されている。発光素子１とサブマウント３とは、はんだ層２および接合層４を介して接合される。
【００１１】
発光素子１は、特に限定されない公知の構成を有するものを使用することが可能である。例えば、本実施形態では、サファイア基板上に、III族窒化物半導体からなる半導体層が形成されたものを使用することができる。光の取り出しは、サファイア基板の、半導体層が設けられた面とは反対の面から行う。半導体層は、サファイア基板側から順にｎ層、発光層およびｐ層が積層された構造を有する。半導体層のｐ層上には、第１電極１２が設けられ、ｐ層側からｎ層に達する溝の底面に露出するｎ層上には第２電極１３が設けられている。第１電極１２と第２電極１３とは、同一面に形成される２つの電極である。第１電極１２の縁と第２電極１３の縁とは、例えば、５０μｍ以上２００μｍ以下程度離れている。
【００１２】
第１電極１２および第２電極１３は、それぞれの上に、第１密着層１４が位置しており、第１密着層１４の上に拡散防止層１５が位置していてもよい。第１密着層１４は、例えば、ＣｒおよびＴｉの少なくとも一方を主成分として含む。拡散防止層１５は、例えば、Ｐｔ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｕ、Ｏｓなどの白金族元素を主成分として含む。ここで、上記「主成分」とは全成分中の５０質量％以上の成分をいうものとする。以下に記述される「主成分」も同様とする。拡散防止層１５は、後述のはんだ層２の金属が第１電極１２、第２電極１３側に拡散しにくくする。第１密着層１４は、例えば、厚さが５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、拡散防止層１５は、例えば、厚さが１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。
【００１３】
被搭載物であるサブマウント３は、特に限定されないが、搭載する発光素子１で生じた熱を逃がす目的で、熱伝導性が良好な、ＡｌＮ基板またはＳｉＣ基板などを用いることができる。サブマウント３の搭載面には予めパターン電極（不図示）が形成されている。このパターン電極の側と発光素子１の第１電極１２、第２電極１３の側とが、はんだ層２および接合層４などを介して接合される。ここで、サブマウント３は、予め素子ごとに分割されているものを用いてもよい。
【００１４】
パターン電極は、その上に、例えば、ＣｒおよびＴｉの少なくとも一方を主成分として含む第１密着層１４が設けられ、第１密着層１４の上に、例えば、Ｐｔなどの白金族元素を主成分として含む拡散防止層１５が設けられていてもよい。拡散防止層１５は、後述のはんだ層２の金属をパターン電極側に拡散しにくくする。第１密着層１４は、例えば、厚さが５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、拡散防止層１５は、例えば、厚さが１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。
【００１５】
接合層４は、金を主成分として含む層であり、特に金を８０質量％以上含み、サブマウント３の搭載面の上（上方）に形成される。具体的には、接合層４は、パターン電極の上（上方）に形成されている。接合層４は、後述のはんだ層２と接合することで、サブマウント３の上方（図示では下方）に発光素子１を接合して固定する。接合層４は、例えば、厚さが３０ｎｍ以上５００ｎｍ以下である。パターン電極に第１密着層１４および拡散防止層１５が設けられる構成では、拡散防止層１５上に接合層４が形成される。
【００１６】
はんだ層２は、錫を２０質量％以上（例えば、錫が２０質量％以上３０質量％以下）含む金−錫合金からなる層であり、第１電極１２および第２電極１３にそれぞれ形成される。はんだ層２は、接合層４と接合することで、サブマウント３上に発光素子１を接合して固定する。はんだ層２は、例えば、厚さが０．５μｍ以上５μｍ以下である。第１電極１２および第２電極１３に第１密着層１４および拡散防止層１５が設けられる構成では、拡散防止層１５上にはんだ層２が形成される。
【００１７】
層形成工程では、発光素子１の第１電極１２および第２電極１３のそれぞれに、錫を２０質量％以上含む金−錫合金からなるはんだ層２を形成する。また、サブマウント３の搭載面に、金を主成分として含む接合層４を形成する。発光素子１の第１電極１２および第２電極１３に、はんだ層２を形成する方法は、例えば、２源蒸着法またはスパッタリング法など金−錫合金膜を形成できる方法であれば、どのような方法であってもよい。また、サブマウント３のパターン電極の上に、接合層４を形成する方法は、例えば、蒸着法、スパッタリング法またはメッキ法など、金膜を形成できる方法であれば、どのような方法であってもよい。第１密着層１４および拡散防止層１５も同様に、蒸着法またはスパッタリング法などを用いて形成することができる。
【００１８】
このように、層形成工程において、発光素子１の側に錫を２０質量％以上含む金−錫合金からなるはんだ層２を形成し、サブマウント３の側に接合層４を形成する。その後、接合工程において、発光素子１の側とサブマウントの側とを接合する。発光素子１の第１電極１２および第２電極１３の側を、サブマウント３のパターン電極の側に接合し、これらの電極同士を電気的に接続する。接合工程では、はんだ層２と、接合層４とを、例えば、真空中でヒーターを用いながら、はんだ層２の金−錫合金の融点未満の温度で加熱しながら圧接する。例えば、錫を２３．５質量％含む金−錫合金の融点は約３３０℃であり、これを約３１０℃で加熱しながら圧接する。ただし、本実施形態におけるはんだ層２には、例えば、錫を２０質量％以上３０％以下含む金−錫合金を用いてもよい。このとき、接合工程における加熱温度は、金−錫合金の融点未満の温度であって、例えば２８０℃以上３８０℃以下である。
【００１９】
合金からなるはんだ層２は、金−錫合金の融点未満での温度で加熱されると、その表層部分が融解する。圧接された状態で、はんだ層２と接合層４との界面において、はんだ層２が融解する。同様に接合層４も界面付近で融解し、はんだ層２と接合層４が界面付近でいずれも融解すると、はんだ層２の金−錫合金中に、接合層４の金が拡散され、接合層４中に錫が拡散される。界面付近で、金−錫合金の組成が変化し、融点の上昇が生じて、融解していた界面付近部分が固化する。従来のはんだによる接合では、加熱によってはんだ全体が融解し、融解したはんだが広がって短絡などが生じやすくなる。本実施形態では、融点未満の温度で加熱することで、はんだ層２と接合層４との界面付近を融解させ、金−錫合金の組成が局所的に変化し、その部分の融点が上昇して、冷却せずとも固化させることができる。この固化した部分の熱膨張係数は、はんだ層２と接合層４の中間の値となる。これにより、冷却固化時に生じる内部応力を低減することができ、クラック発生および剥離などの破壊を抑制することができる。さらに、はんだ層２と接合層４の界面付近のみが融解するので、接合時のはんだ層２の広がりを抑えることができる。本実施形態は、金−錫合金からなるはんだ層２を形成すればよいので、はんだ層２の形成が容易である。また、融解するのが、はんだ層２と接合層４の界面付近であるので、はんだ層２の厚さを厚くしても、広がりが大きくなりにくい。
【００２０】
接合工程における加熱温度以外の各種条件については、例えば、接合時に発光素子１とサブマウント３に加える圧力は、０．１ＭＰａ以上３ＭＰａ以下でよく、圧接時間は、３０秒間以上１時間以下でよい。
【００２１】
図２は、第２実施形態の接合方法の概略を示す図である。本実施形態では、発光素子１の第１電極１２および第２電極１３に、さらに密着層および酸化防止層の少なくともいずれかを形成する点で第１実施形態と異なっており、その他の点は第１実施形態と同様である。
【００２２】
第２密着層１６は、金を主成分として含む層であり、第１電極１２および第２電極１３と、はんだ層２との間に形成されている。第２密着層１６は、はんだ層２と電極との密着性を向上させる。また、拡散防止層１５が形成される構成では、第２密着層１６は、拡散防止層１５の側とはんだ層２の側との密着性を向上させる。第２密着層１６は、例えば、厚さが３０ｎｍ以上３００ｎｍ以下である。
【００２３】
酸化防止層１７は、金を主成分として含む層であり、はんだ層２の表面に形成されている。酸化防止層１７は、はんだ層２の表面を酸化しにくくする。はんだ層２の表面が酸化すると、接着強度が落ちる。酸化防止層１７は、例えば、厚さが３０ｎｍ以上３００ｎｍ以下である。酸化防止層１７は、接合層４と同様に金を主成分とする層であり、接合工程においては、第１実施形態と同様に、はんだ層２の融点未満の温度で加熱することで、酸化防止層１４を含んで、はんだ層２と接合層４の界面付近が融解する。界面付近において、金と錫とが拡散して、溶融部分の融点が局所的に上昇して、冷却せずとも固化させることができる。
【００２４】
第２密着層１６および酸化防止層１７は、本実施形態において、いずれか一方を設けていればよく、両方を設けていてもよい。第２密着層１６および酸化防止層１７を形成する方法は、例えば、蒸着法またはスパッタリング法など金膜を形成できる方法であれば、どのような方法であってもよい。接合工程における各種接合条件については、第１実施形態と同じであってよい。
【００２５】
図３は、第３実施形態の接合構造体の概略を示す断面図である。本実施形態の接合構造体は、第１実施形態の接合方法によって、サブマウント３の側と発光素子１の側とが接合された構造体である。各層については、第１実施形態と同じであるので、同じ参照符号を付して説明を省略する。本実施形態では、第１実施形態の接合方法で接合した場合に、はんだ層２と接合層４との間に、中間層１８が形成される。はんだ層２と接合層４との間に位置する中間層１８は、はんだ層２より融点の低い金−錫合金からなる。中間層１８は、例えば、はんだ層２の金−錫合金の組成に比べて、金の割合が多くなっている。このような中間層１８は、熱膨張係数が、はんだ層２と接合層４の中間の値となる。これにより、冷却時に生じる内部応力を低減することができ、クラック発生および剥離などの破壊を抑制することができる。
【００２６】
中間層１８は、例えば、厚さが０．１μｍ以上１μｍ以下である。中間層１８の金−錫合金は、錫を１９質量％以上２０質量％未満含み、融点は、２８０℃より高く３６０℃以下である。
【００２７】
図４は、第４実施形態の接合構造体の概略を示す断面図である。本実施形態の接合構造体は、第２実施形態の接合方法によって、サブマウント３の側と発光素子１の側とが接合された構造体である。各層については、第２実施形態と同じであるので、同じ参照符号を付して説明を省略する。本実施形態では、第２実施形態の接合方法で接合した場合に、酸化防止層１７全体がはんだ層２に拡散し、さらに、接合層４の一部が拡散する。本実施形態の接合構造体には、酸化防止層１７は、はんだ層２に拡散することで残っておらず、はんだ層２と接合層４との間に中間層１８が位置する。中間層１８は、第３実施形態と同様に、はんだ層２より融点の低い金−錫合金からなり、生じる内部応力を低減することができ、クラック発生および剥離などの破壊を抑制することができる。
【００２８】
また、変形例として、上記の各実施形態とは逆に、はんだ層２がサブマウント３の側に形成され、接合層４が発光素子１の側に形成されていてもよい。
【００２９】
次に本実施形態の実施例について説明する。
・実施例
試験用基板として石英製の基板を準備し、密着層（Ｃｒ）１４（厚さ１０ｎｍ）、拡散防止層（Ｐｔ）１５（厚さ２５ｎｍ）、密着層（Ａｕ）１６（厚さ１００ｎｍ）、はんだ層２（厚さ１μｍもしくは２μｍ）、酸化防止層（Ａｕ）１７（厚さ１００ｎｍ）の順に積層した。はんだ層２は、はんだ層２の膜厚が１μｍの試料は、錫を２７．２質量％含む金−錫合金（融点は３６０℃）からなる層とした。はんだ層２の膜厚が２μｍの試料は、錫を２３．５質量％含む金−錫合金（融点は３３０℃）からなる層とした。接合工程では、加熱温度を膜厚１μｍの試料は３４０℃、膜厚２μｍの試料は３１０℃とし、設定圧力を５ｍｂａｒとし、圧接時間を１分間とした。
・比較例
比較例は、加熱温度を３８０℃とした以外は、実施例と同じである。
【００３０】
接合工程の実施後に得られた接続構造体において、いずれの実施例でも、はんだ層２と接合層４との間に中間層１８が生じていることが確認できた。中間層１８は、錫を１９．５質量％含んでおり、融点は３１０℃である。中間層１８の確認は、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）およびＥＤＸ（エネルギー分散型Ｘ線分析）の組み合わせによる公知の測定方法で行った。また、比較例においては、はんだ層２全体が融解し、その後、冷却固化したため、中間層１８は存在していないことを確認した。実施例では、中間層１８の存在によって、クラック発生および剥離などの破壊を抑制することができる。一方、比較例では、中間層１８が存在しないので、クラック発生および剥離などの破壊を抑制することができない。
【００３１】
接合前のはんだ層の幅は、実施例、比較例ともに２０μｍとし、接合後のはんだ層の幅を比較した。はんだ層２の膜厚が１μｍの試料では、比較例では、接合後の幅が２３．６μｍであった。これに対して、実施例では接合後の幅が２３μｍであり、はんだ層の広がりは、わずかながら抑えられた。はんだ層２の膜厚が２μｍの試料では、比較例では、接合後の幅が３７．６μｍであった。これに対して、実施例では３１μｍであり、はんだ層の広がりが大きく抑えられることがわかった。
【００３２】
本開示は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施できる。したがって、前述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、本発明の範囲は特許請求の範囲に示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲に属する変形および変更は全て本発明の範囲内のものである。
【符号の説明】
【００３３】
１      発光素子
２      はんだ層
３      サブマウント
４      接合層
１２    第１電極
１３    第２電極
１４    第１密着層
１５    拡散防止層
１６    第２密着層
１７    酸化防止層
１８    中間層
【図１】
2020138278.tif 000003
【図２】
2020138278.tif 000004
【図３】
2020138278.tif 000005
【図４】
2020138278.tif 000006
【国際調査報告】
2020138278.tif 000007
2020138278.tif 000008
2020138278.tif 000009
2020138278.tif 000010
2020138278.tif 000011