(57)【要約】信頼性が良好な半導体装置を提供する。酸化物半導体を形成し、酸化物半導体に接する第１の絶縁体を成膜し、第１の絶縁体上に、第２の絶縁体を成膜し、第２の絶縁体上に、第３の絶縁体を成膜し、第３の絶縁体、第２の絶縁体、および第１の絶縁体に、開口部を形成し、開口部内を洗浄し、洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、第１の絶縁体は、過剰酸素領域を含むように形成され、第２の絶縁体は、第１の絶縁体よりも、酸素、水素、または水に対する高いバリア性を有するように形成され、開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工する。
2020084415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化物半導体を形成し、
前記酸化物半導体に接する第１の絶縁体を成膜し、
前記第１の絶縁体上に、第２の絶縁体を成膜し、
前記第２の絶縁体上に、第３の絶縁体を成膜し、
前記第３の絶縁体、前記第２の絶縁体、および前記第１の絶縁体に、開口部を形成し、
前記開口部内を洗浄し、
前記洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、
前記第１の絶縁体は、過剰酸素領域を含むように形成され、
前記第２の絶縁体は、前記第１の絶縁体よりも、酸素、水素、または水に対する高いバリア性を有するように形成され、
前記開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される半導体装置の作製方法。
【請求項２】
酸化物半導体を形成し、
前記酸化物半導体に接する第１の絶縁体を成膜し、
前記第１の絶縁体上に、酸素雰囲気下のスパッタリング法により、第２の絶縁体を成膜し、
前記第２の絶縁体上に、第３の絶縁体を成膜し、
前記第３の絶縁体、前記第２の絶縁体、および前記第１の絶縁体に、開口部を形成し、
前記開口部内を洗浄し、
前記洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、
前記第１の絶縁体は、酸化窒化シリコンであり、
前記第２の絶縁体は、酸化アルミニウムであり、
前記開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される半導体装置の作製方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記洗浄された開口部の側面に、第４の絶縁体を形成する工程を有し、
前記第４の絶縁体は、前記第１の絶縁体よりも、酸素、水素、または水に対する高いバリア性を有する半導体装置の作製方法。
【請求項４】
第１の絶縁体を成膜し、
前記第１の絶縁体上に、酸化物半導体を形成し、
前記酸化物半導体に接する第２の絶縁体を成膜し、
前記第２の絶縁体上に、第３の絶縁体を成膜し、
前記第３の絶縁体上に、第４の絶縁体を成膜し、
前記第４の絶縁体、前記第３の絶縁体、および前記第２の絶縁体に、開口部を形成し、
前記開口部内を洗浄し、
前記洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、
前記第２の絶縁体は、過剰酸素領域を含むように形成され、
前記第２の絶縁体、および前記第３の絶縁体は、前記第１の絶縁体よりも、酸素、水素、または水に対する高いバリア性を有するように形成され、
前記第１の絶縁体と前記第４の絶縁体とは、同じ材質を用いて形成され、
前記第１の絶縁体と前記第２の絶縁体とは、前記酸化物半導体の周縁領域で接し、
前記開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される半導体装置の作製方法。
【請求項５】
第１の絶縁体を成膜し、
前記第１の絶縁体上に、酸化物半導体を形成し、
前記酸化物半導体に接する第２の絶縁体を成膜し、
前記第２の絶縁体上に、酸素雰囲気下のスパッタリング法により、第３の絶縁体を成膜し、
前記第３の絶縁体上に、第４の絶縁体を成膜し、
前記第４の絶縁体、前記第３の絶縁体、および前記第２の絶縁体に、開口部を形成し、
前記開口部内を洗浄し、
前記洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、
前記第１の絶縁体、前記第４の絶縁体は、窒化シリコンであり、
前記第２の絶縁体は、酸化窒化シリコンであり、
前記第３の絶縁体は、酸化アルミニウムであり、
前記第１の絶縁体と前記第２の絶縁体とは、前記酸化物半導体の周縁領域で接し、
前記開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される半導体装置の作製方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、
前記酸化物半導体は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物である半導体装置の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明の一態様は、半導体装置、および半導体装置の作製方法に関する。また、本発明の一態様は、半導体ウエハ、モジュール、および電子機器に関する。【０００２】  なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能し得る装置全般を指す。トランジスタなどの半導体素子をはじめ、半導体回路、演算装置、記憶装置は、半導体装置の一態様である。表示装置（液晶表示装置、発光表示装置など）、投影装置、照明装置、電気光学装置、蓄電装置、記憶装置、半導体回路、撮像装置、電子機器などは、半導体装置を有すると言える場合がある。【０００３】  なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の一態様は、物、方法、または、製造方法に関するものである。また、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物（コンポジション・オブ・マター）に関するものである。
【背景技術】
【０００４】  絶縁表面を有する基板上に形成された半導体薄膜を用いてトランジスタを構成する技術が注目されている。当該トランジスタは集積回路（ＩＣ）や画像表示装置（単に表示装置とも表記する。）のような電子デバイスに広く応用されている。トランジスタに適用可能な半導体薄膜としてシリコン系半導体材料が広く知られているが、その他の材料として酸化物半導体が注目されている。【０００５】  酸化物半導体において、単結晶でも非晶質でもない、ＣＡＡＣ（ｃ−ａｘｉｓ  ａｌｉｇｎｅｄ  ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ）構造およびｎｃ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ）構造が見出されている（非特許文献１及び非特許文献２参照）。【０００６】  非特許文献１および非特許文献２では、ＣＡＡＣ構造を有する酸化物半導体を用いてトランジスタを作製する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】Ｓ．Ｙａｍａｚａｋｉ  ｅｔ  ａｌ．，“ＳＩＤ  Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ  Ｄｉｇｅｓｔ  ｏｆ  Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ  Ｐａｐｅｒｓ”，２０１２，ｖｏｌｕｍｅ  ４３，ｉｓｓｕｅ  １，ｐ．１８３−１８６
【非特許文献２】Ｓ．Ｙａｍａｚａｋｉ  ｅｔ  ａｌ．，“Ｊａｐａｎｅｓｅ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ”，２０１４，ｖｏｌｕｍｅ  ５３，Ｎｕｍｂｅｒ  ４Ｓ，ｐ．０４ＥＤ１８−１−０４ＥＤ１８−１０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】  本発明の一態様は、信頼性が良好な半導体装置を提供することを課題の一つとする。また、本発明の一態様は、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することを課題の一つとする。また、本発明の一態様は、オン電流が大きい半導体装置を提供することを課題の一つとする。また、本発明の一態様は、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することを課題の一つとする。また、本発明の一態様は、低消費電力の半導体装置を提供することを課題の一つとする。【０００９】  なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】  本発明の一態様は、酸化物半導体を形成し、酸化物半導体に接する第１の絶縁体を成膜し、第１の絶縁体上に、第２の絶縁体を成膜し、第２の絶縁体上に、第３の絶縁体を成膜し、第３の絶縁体、第２の絶縁体、および第１の絶縁体に、開口部を形成し、開口部内を洗浄し、洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、第１の絶縁体は、過剰酸素領域を含むように形成され、第２の絶縁体は、第１の絶縁体よりも、酸素、水素、または水に対する高いバリア性を有するように形成され、開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される。【００１１】  本発明の一態様は、酸化物半導体を形成し、酸化物半導体に接する第１の絶縁体を成膜し、第１の絶縁体上に、酸素雰囲気下のスパッタリング法により、第２の絶縁体を成膜し、第２の絶縁体上に、第３の絶縁体を成膜し、第３の絶縁体、第２の絶縁体、および第１の絶縁体に、開口部を形成し、開口部内を洗浄し、洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、第１の絶縁体は、酸化窒化シリコンであり、第２の絶縁体は、酸化アルミニウムであり、開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される。【００１２】  上記において、洗浄された開口部の側面に、第４の絶縁体を形成する工程を有し、第４の絶縁体は、第１の絶縁体よりも、酸素、水素、または水に対する高いバリア性を有する。【００１３】  本発明の一態様は、第１の絶縁体を成膜し、第１の絶縁体上に、酸化物半導体を形成し、酸化物半導体に接する第２の絶縁体を成膜し、第２の絶縁体上に、第３の絶縁体を成膜し、第３の絶縁体上に、第４の絶縁体を成膜し、第４の絶縁体、第３の絶縁体、および第２の絶縁体に、開口部を形成し、開口部内を洗浄し、洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、第２の絶縁体は、過剰酸素領域を含むように形成され、第２の絶縁体、および第３の絶縁体は、第１の絶縁体よりも、酸素、水素、または水に対する高いバリア性を有するように形成され、第１の絶縁体と第４の絶縁体とは、同じ材質を用いて形成され、第１の絶縁体と第２の絶縁体とは、酸化物半導体の周縁領域で接し、開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される。【００１４】  本発明の一態様は、第１の絶縁体を成膜し、第１の絶縁体上に、酸化物半導体を形成し、酸化物半導体に接する第２の絶縁体を成膜し、第２の絶縁体上に、酸素雰囲気下のスパッタリング法により、第３の絶縁体を成膜し、第３の絶縁体上に、第４の絶縁体を成膜し、第４の絶縁体、第３の絶縁体、および第２の絶縁体に、開口部を形成し、開口部内を洗浄し、洗浄された開口部内に導電体を埋め込み、第１の絶縁体、第４の絶縁体は、窒化シリコンであり、第１の絶縁体は、酸化窒化シリコンであり、第２の絶縁体は、酸化アルミニウムであり、第１の絶縁体と第２の絶縁体とは、酸化物半導体の周縁領域で接し、開口部は、円柱、または逆円錐の形状になるように加工される。【００１５】  上記において、酸化物半導体は、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物である。
【発明の効果】
【００１６】  本発明の一態様により、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、オン電流が大きい半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、低消費電力の半導体装置を提供することができる。【００１７】  なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】図１Ａ、図１Ｂは本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図である。
図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃは本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す断面図である。
図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃは本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す断面図である。
図４Ａ、図４Ｂは本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す断面図である。
図５Ａ、図５Ｂ、図５Ｃ、図５Ｄは本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図である。
図６Ａ、図６Ｂ、図６Ｃは本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図である。
図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ、図７Ｄは本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図である。
図８はキャリア濃度とシート抵抗の関係を示す図である。
図９Ａ、図９Ｂはキャリア濃度と水素濃度の関係を示す図である。
図１０はキャリア濃度とフェルミレベルの関係を示す図である。
図１１は本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図である。
図１２は本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図である。
図１３は本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図である。
図１４Ａ、図１４Ｂは本発明の一態様に係る記憶装置の構成例を示すブロック図である。
図１５Ａ、図１５Ｂ、図１５Ｃ、図１５Ｄ、図１５Ｅ、図１５Ｆ、図１５Ｇ、図１５Ｈは本発明の一態様に係る記憶装置の構成例を示す回路図である。
図１６Ａ、図１６Ｂは本発明の一態様に係る半導体装置の模式図である。
図１７Ａ、図１７Ｂ、図１７Ｃ、図１７Ｄ、図１７Ｅは本発明の一態様に係る記憶装置の模式図である。
図１８Ａ、図１８Ｂ、図１８Ｃ、図１８Ｄ、図１８Ｅ、図１８Ｆ、図１８Ｇ、図１８Ｈは本発明の一態様に係る電子機器を示す図である。
図１９Ａ、図１９Ｂ、図１９Ｃ、図１９Ｄは実施例に係る半導体装置の平面を説明する図である。
図２０Ａは、実施例にかかる試料のＳｈｉｆｔ値の正規確率プロットを表す図である。図２０Ｂは、実施例にかかる試料のオン電流の正規確率プロットを表す図である。
図２１Ａは、実施例にかかるＩｄ−Ｖｄ特性を表す図である。図２１Ｂは、実施例にかかるドレイン耐圧ＶｂＬ依存性を表す図である。
図２２Ａは、実施例にかかる＋ＤＢＴ試験結果を表す図である。図２２Ｂは、実施例にかかる＋ＧＢＴ試験結果を表す図である。
図２３Ａは、実施例にかかる＋ＤＢＴ試験結果を表す図である。図２３Ｂは、実施例にかかる＋ＧＢＴ試験結果を表す図である。
図２４Ａ、図２４Ｂは、実施例にかかる＋ＧＢＴ長期試験結果を表す図である。
図２５Ａ、図２５Ｂは、実施例にかかる＋ＧＢＴ長期試験結果を表す図である。
図２６Ａ、図２６Ｂは、実施例にかかるＨＣ劣化試験結果を表す図である。
図２７Ａ、図２７Ｂは、実施例にかかるＨＣ劣化試験結果を表す図である。
図２８Ａ、図２８Ｂ、図２８Ｃは、実施例にかかるヒステリシス評価結果を表す図である。
図２９Ａ、図２９Ｂ、図２９Ｃは、実施例にかかるヒステリシス評価結果を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】  以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００２０】  また、図面において、大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお、図面は、理想的な例を模式的に示したものであり、図面に示す形状または値などに限定されない。例えば、実際の製造工程において、エッチングなどの処理により層やレジストマスクなどが意図せずに目減りすることがあるが、理解を容易とするため、図に反映しないことがある。また、図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
【００２１】  また、特に上面図（「平面図」ともいう。）や斜視図などにおいて、発明の理解を容易とするため、一部の構成要素の記載を省略する場合がある。また、一部の隠れ線などの記載を省略する場合がある。
【００２２】  また、本明細書等において、第１、第２等として付される序数詞は便宜上用いるものであり、工程順または積層順を示すものではない。そのため、例えば、「第１の」を「第２の」または「第３の」などと適宜置き換えて説明することができる。また、本明細書等に記載されている序数詞と、本発明の一態様を特定するために用いられる序数詞は一致しない場合がある。
【００２３】  また、本明細書等において、「上に」、「下に」などの配置を示す語句は、構成同士の位置関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている。また、構成同士の位置関係は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。したがって、明細書で説明した語句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。
【００２４】  例えば、本明細書等において、ＸとＹとが接続されている、と明示的に記載されている場合は、ＸとＹとが電気的に接続されている場合と、ＸとＹとが機能的に接続されている場合と、ＸとＹとが直接的に接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする。したがって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず、図または文章に示された接続関係以外のものも、図または文章に開示されているものとする。ここで、Ｘ、Ｙは、対象物（例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など）であるとする。
【００２５】  また、本明細書等において、トランジスタとは、ゲートと、ドレインと、ソースとを含む少なくとも三つの端子を有する素子である。そして、ドレイン（ドレイン端子、ドレイン領域またはドレイン電極）とソース（ソース端子、ソース領域またはソース電極）の間にチャネルが形成される領域（以下、チャネル形成領域ともいう。）を有しており、チャネル形成領域を介して、ソースとドレインとの間に電流を流すことができるものである。なお、本明細書等において、チャネル形成領域とは、電流が主として流れる領域をいう。
【００２６】  また、ソースやドレインの機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書等においては、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができる場合がある。
【００２７】  なお、チャネル長とは、例えば、トランジスタの上面図において、半導体（またはトランジスタがオン状態のときに半導体の中で電流の流れる部分）とゲート電極とが互いに重なる領域、またはチャネル形成領域における、ソース（ソース領域またはソース電極）とドレイン（ドレイン領域またはドレイン電極）との間の距離をいう。なお、一つのトランジスタにおいて、チャネル長が全ての領域で同じ値をとるとは限らない。すなわち、一つのトランジスタのチャネル長は、一つの値に定まらない場合がある。そのため、本明細書では、チャネル長は、チャネル形成領域における、いずれか一の値、最大値、最小値または平均値とする。
【００２８】  チャネル幅とは、例えば、トランジスタの上面図において、半導体（またはトランジスタがオン状態のときに半導体の中で電流の流れる部分）とゲート電極とが互いに重なる領域、またはチャネル形成領域における、チャネル長方向を基準として垂直方向のチャネル形成領域の長さをいう。なお、一つのトランジスタにおいて、チャネル幅がすべての領域で同じ値をとるとは限らない。すなわち、一つのトランジスタのチャネル幅は、一つの値に定まらない場合がある。そのため、本明細書では、チャネル幅は、チャネル形成領域における、いずれか一の値、最大値、最小値または平均値とする。
【００２９】  なお、本明細書等において、トランジスタの構造によっては、実際にチャネルの形成される領域におけるチャネル幅（以下、「実効的なチャネル幅」ともいう。）と、トランジスタの上面図において示されるチャネル幅（以下、「見かけ上のチャネル幅」ともいう。）と、が異なる場合がある。例えば、ゲート電極が半導体の側面を覆う場合、実効的なチャネル幅が、見かけ上のチャネル幅よりも大きくなり、その影響が無視できなくなる場合がある。例えば、微細かつゲート電極が半導体の側面を覆うトランジスタでは、半導体の側面に形成されるチャネル形成領域の割合が大きくなる場合がある。その場合は、見かけ上のチャネル幅よりも、実効的なチャネル幅の方が大きくなる。
【００３０】  このような場合、実効的なチャネル幅の、実測による見積もりが困難となる場合がある。例えば、設計値から実効的なチャネル幅を見積もるためには、半導体の形状が既知という仮定が必要である。したがって、半導体の形状が正確にわからない場合には、実効的なチャネル幅を正確に測定することは困難である。
【００３１】  本明細書では、単にチャネル幅と記載した場合には、見かけ上のチャネル幅を指す場合がある。または、本明細書では、単にチャネル幅と記載した場合には、実効的なチャネル幅を指す場合がある。なお、チャネル長、チャネル幅、実効的なチャネル幅、見かけ上のチャネル幅などは、断面ＴＥＭ像などを解析することなどによって、値を決定することができる。
【００３２】  なお、半導体の不純物とは、例えば、半導体を構成する主成分以外をいう。例えば、濃度が０．１原子％未満の元素は不純物と言える。不純物が含まれることにより、例えば、半導体の欠陥準位密度が高くなることや、結晶性が低下することなどが起こる場合がある。半導体が酸化物半導体である場合、半導体の特性を変化させる不純物としては、例えば、第１族元素、第２族元素、第１３族元素、第１４族元素、第１５族元素、酸化物半導体の主成分以外の遷移金属などがあり、例えば、水素、リチウム、ナトリウム、シリコン、ホウ素、リン、炭素、窒素などがある。なお、水も不純物として機能する場合がある。また、例えば不純物の混入によって、酸化物半導体に酸素欠損が形成される場合がある。
【００３３】  なお、本明細書等において、酸化窒化シリコンとは、その組成として、窒素よりも酸素の含有量が多いものである。また、窒化酸化シリコンとは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多いものである。
【００３４】  また、本明細書等において、「絶縁体」という用語を、絶縁膜または絶縁層と言い換えることができる。また、「導電体」という用語を、導電膜または導電層と言い換えることができる。また、「半導体」という用語を、半導体膜または半導体層と言い換えることができる。
【００３５】  また、本明細書等において、「平行」とは、二つの直線が−１０°以上１０°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、−５°以上５°以下の場合も含まれる。また、「略平行」とは、二つの直線が−３０°以上３０°以下の角度で配置されている状態をいう。また、「垂直」とは、二つの直線が８０°以上１００°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、８５°以上９５°以下の場合も含まれる。また、「略垂直」とは、二つの直線が６０°以上１２０°以下の角度で配置されている状態をいう。
【００３６】  本明細書等において、金属酸化物（ｍｅｔａｌ  ｏｘｉｄｅ）とは、広い意味での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体（透明酸化物導電体を含む。）、酸化物半導体（Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒまたは単にＯＳともいう。）などに分類される。例えば、トランジスタの半導体層に金属酸化物を用いた場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、ＯＳトランジスタと記載する場合においては、金属酸化物または酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。
【００３７】  また、本明細書等において、ノーマリーオフとは、ゲートに電位を印加しない、またはゲートに接地電位を与えたときに、トランジスタに流れるチャネル幅１μｍあたりのドレイン電流が、室温において１×１０−２０Ａ以下、８５℃において１×１０−１８Ａ以下、または１２５℃において１×１０−１６Ａ以下であることをいう。
【００３８】（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の一例について説明する。
【００３９】＜半導体装置の構成例＞
図１は、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の上面図および断面図である。図１Ａは、当該半導体装置の上面図である。また、図１Ｂは、図１ＡにＬ１−Ｌ２の一点鎖線で示す部位の断面図である。なお、図１に示す半導体装置では、図の明瞭化のために一部の要素を省いている。
【００４０】  本発明の一態様の半導体装置は、基板２０１と、トランジスタ２００と、層間膜として機能する絶縁体２８０、絶縁体２８２、および絶縁体２８４と、トランジスタ２００と接続する導電体２４６と、を有する。
【００４１】  ここで、トランジスタ２００は、チャネルが形成される領域（以下、チャネル形成領域ともいう。）を含む半導体に、酸化物半導体として機能する金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう。）を用いることが好ましい。
【００４２】  酸化物半導体として、例えば、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物（元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種）等の金属酸化物を用いるとよい。また、酸化物半導体として、Ｉｎ−Ｇａ酸化物、Ｉｎ−Ｚｎ酸化物を用いてもよい。
【００４３】  チャネル形成領域に酸化物半導体を用いたトランジスタ２００は、非導通状態において極めてリーク電流が小さいため、低消費電力の半導体装置を提供できる。また、酸化物半導体は、スパッタリング法などを用いて成膜できるため、高集積型の半導体装置を構成するトランジスタ２００に用いることができる。
【００４４】  一方、酸化物半導体を用いたトランジスタは、酸化物半導体中の不純物及び酸素欠損によって、その電気特性が変動し、ノーマリーオン特性（ゲート電極に電圧を印加しなくてもチャネルが存在し、トランジスタに電流が流れる特性）となりやすい。また、酸化物半導体中に、適量値を超えた過剰な酸素を有した状態で、該トランジスタを駆動した場合、過剰な酸素原子の価数が変化し、該トランジスタの電気特性が変動することで、信頼性が悪くなる場合がある。
【００４５】  従って、トランジスタに用いる酸化物半導体は、不純物、酸素欠損、および、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素（以下、過剰酸素ともいう）がない、高純度真性な酸化物半導体を用いることが好ましい。
【００４６】  しかしながら、酸化物半導体を用いたトランジスタにおいて、トランジスタを構成する導電体、またはトランジスタと接続するプラグや配線に用いられる導電体に、酸化物半導体の酸素が徐々に吸収され、継時的変化の一つとして、酸素欠損を生じる場合がある。
【００４７】  そこで、該トランジスタの酸化物半導体の近傍に、過剰酸素領域を有する構造体を設けることが好ましい。酸化物半導体に生じた酸素欠損に、該過剰酸素領域を有する構造体の過剰酸素を拡散することで、該酸素欠損を補償することができる。一方で、上記過剰酸素領域を有する構造体の過剰酸素が、適量値を超えて拡散した場合、過剰に供給された酸素は、酸化物半導体の構造を変化させる場合がある。
【００４８】  具体的には、トランジスタ２００の近傍に設けられる層間膜として機能する絶縁体２８０に、酸素を含む絶縁体を用いる。特に、絶縁体２８０には、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化物を用いることが好ましい。つまり、絶縁体２８０には、化学量論的組成よりも酸素が過剰に存在する領域（以下、過剰酸素領域ともいう）が形成されていることが好ましい。
【００４９】  過剰酸素領域を有する絶縁体として、具体的には、加熱により一部の酸素が脱離する酸化物材料を用いることが好ましい。加熱により酸素を脱離する酸化物（以下、過剰酸素領域を有する絶縁体材料ともいう）とは、ＴＤＳ（Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）分析にて、酸素分子の脱離量が１．０×１０１８ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、好ましくは１．０×１０１９ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、さらに好ましくは２．０×１０１９ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、または３．０×１０２０ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上である酸化膜である。なお、上記ＴＤＳ分析時における膜の表面温度としては１００℃以上７００℃以下、または１００℃以上４００℃以下の範囲が好ましい。
【００５０】  具体的には、過剰酸素を有する酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンを用いることができる。特に、酸化シリコン、および酸化窒化シリコンは熱に対し安定であるため好ましい。
【００５１】  絶縁体２８０に過剰酸素領域を設けるには、絶縁体２８０に、酸素（少なくとも酸素ラジカル、酸素原子、酸素イオンのいずれかを含む）を導入し、酸素を過剰に含有する領域を形成する。
【００５２】  具体的に、酸素導入処理の一例として、絶縁体２８０上に、スパッタリング装置を用いて、金属酸化物を積層する方法がある。例えば、絶縁体２８２を成膜する手段として、スパッタリング装置を用いて、酸素ガス雰囲気下で成膜を行うことで、絶縁体２８２を成膜しながら、絶縁体２８０に酸素を導入することができる。
【００５３】  特に、絶縁体２８０として、酸化窒化シリコンを用い、絶縁体２８２として、酸化アルミニウムを用いることが好ましい。酸化窒化シリコン膜上に、スパッタリング法により酸化アルミニウム膜を成膜することで、被成膜物である酸化シリコンに過剰酸素領域を形成することができる。
【００５４】  また、酸化アルミニウムは、酸素の拡散を抑制する機能（以下、バリア性ともいう）を有する場合がある。特に、酸化窒化シリコンと比較した場合、酸化アルミニウムは、酸素、または、水、水素などの不純物の拡散を抑制する機能を有する。
【００５５】  なお、本明細書において、不純物、または酸素の拡散を抑制する機能とは、当該不純物、または当該酸素のいずれか一またはすべての拡散を抑制する機能とする。また、水素または酸素の拡散を抑制する機能を有する膜を、水素または酸素が透過しにくい膜、水素または酸素の透過性が低い膜、水素または酸素に対してバリア性を有する膜、水素または酸素に対するバリア膜などと呼ぶ場合がある。また、バリア膜に導電性を有する場合、当該バリア膜を導電性バリア膜と呼ぶことがある。
【００５６】  従って、絶縁体２８２に、酸化アルミニウムを用いることで、水、水素などの不純物が、絶縁体２８２よりも上方からトランジスタ２００側に拡散するのを抑制することができる。
【００５７】  一方、酸化アルミニウム膜などの金属酸化物膜上に、金属層を設ける場合、金属酸化物に対する金属膜のエッチレートの選択比が小さくなる場合がある。そこで、金属酸化物を用いた絶縁体２８２上に、絶縁体２８４を設けるとよい。絶縁体２８４は、絶縁体２８４上に金属層を設ける場合、金属層に対するエッチレートの選択比が大きい材質を用いるとよい。
【００５８】  また、絶縁体２８０、絶縁体２８２、および絶縁体２８４の積層体は、トランジスタ２００を露出する開口部２９５を有する。開口部２９５には、トランジスタ２００と接する導電体２４６が埋め込まれている。なお、導電体２４６と、積層体との間に、バリア性を有する絶縁体を設けてもよい。
【００５９】  開口部２９５は、上面視において、角部を有さない形状で設けることが好ましい。具体的には、投影面積が円形状、または、楕円形状とする。つまり、開口部２９５は、円柱形状、逆円錐台形状とする。従って、開口部２９５内に設けられる導電体２４６は、円柱、逆円錐台となることが好ましい。
【００６０】  また、絶縁体２８４、および導電体２４６上に、導電体２４６と接続する配線として機能する導電体２４８を設けてもよい。
【００６１】＜半導体装置の作製方法＞
次に、図１に示す、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の作製方法を、図２Ａ乃至図３Ｃを用いて説明する。図２Ａ乃至図３Ｃは、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の断面図である。なお、図２Ａ乃至図３Ｃに示す半導体装置では、図の明瞭化のために一部の要素を省いている。
【００６２】  まず、基板２０１上に、酸化物半導体を有するトランジスタ２００を形成する。
【００６３】  続いて、トランジスタ２００の近傍に、絶縁体２８０を成膜する。例えば、絶縁体２８０となる絶縁膜として、ＣＶＤ法、またはスパッタリング法によって酸化窒化シリコンを成膜するとよい。また、絶縁体２８０は、多層構造としてもよい。例えば、スパッタリング法によって酸化シリコン膜を成膜し、当該酸化シリコン膜上に、ＣＶＤ法によって酸化シリコン膜を成膜する構造としてもよい。
【００６４】  また、絶縁体２８０にＣＭＰ（化学的機械研磨）処理を行い、上面が平坦な絶縁体２８０を形成してもよい。つまり、トランジスタ２００を覆う絶縁体２８０は、その下方の凹凸形状を被覆する平坦化膜として機能してもよい。本構造とすることで、絶縁体２８０よりも上方に配置する膜の被膜性が向上する。従って、絶縁体２８２が、断膜することなく、トランジスタ２００と絶縁体２８０とを封止することができる。
【００６５】  なお、ＣＶＤ法は、プラズマを利用するプラズマＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ：Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  ＣＶＤ）法、熱を利用する熱ＣＶＤ（ＴＣＶＤ：Ｔｈｅｒｍａｌ  ＣＶＤ）法、光を利用する光ＣＶＤ（Ｐｈｏｔｏ  ＣＶＤ）法などに分類できる。さらに用いる原料ガスによって金属ＣＶＤ（ＭＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ  ＣＶＤ）法、有機金属ＣＶＤ（ＭＯＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  ＣＶＤ）法に分けることができる。
【００６６】  プラズマＣＶＤ法は、比較的低温で高品質の膜が得られる。また、熱ＣＶＤ法は、プラズマを用いないため、被処理物へのプラズマダメージを小さくすることが可能な成膜方法である。従って、熱ＣＶＤ法を用いることで、欠陥の少ない膜が得られる。
【００６７】  また、ＡＬＤ法は、原子の性質である自己制御性を利用し、一層ずつ原子を堆積することができるので、極薄の成膜が可能、アスペクト比の高い構造への成膜が可能、ピンホールなどの欠陥の少ない成膜が可能、被覆性に優れた成膜が可能、低温での成膜が可能、などの効果がある。
【００６８】  ＣＶＤ法およびＡＬＤ法は、ターゲットなどから放出される粒子が堆積する成膜方法とは異なり、被処理物の表面における反応により膜が形成される成膜方法である。したがって、被処理物の形状の影響を受けにくく、良好な段差被覆性を有する成膜方法である。特に、ＡＬＤ法は、優れた段差被覆性と、優れた厚さの均一性を有するため、アスペクト比の高い開口部の表面を被覆する場合などに好適である。ただし、ＡＬＤ法は、比較的成膜速度が遅いため、成膜速度の速いＣＶＤ法などの他の成膜方法と組み合わせて用いることが好ましい場合もある。
【００６９】  次に、絶縁体２８０上に、絶縁体２８２を成膜する。絶縁体２８２の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【００７０】  絶縁体２８２としては、例えば、スパッタリング法によって、酸化アルミニウム膜を成膜することが好ましい。また、絶縁体２８２は、多層構造としてもよい。例えば、スパッタリング法によって酸化アルミニウム膜を成膜し、当該酸化アルミニウム膜上に、スパッタリング法によって窒化シリコンを成膜する構造としてもよい。
【００７１】  絶縁体２８０上に、金属酸化物である絶縁体２８２を、スパッタリング法により、積層することで、絶縁体２８０への酸素導入処理を同時に行うことができる。具体的には、スパッタリング装置を用いて、酸素ガス雰囲気下で、絶縁体２８２の成膜を行うことで、絶縁体２８２を成膜しながら、絶縁体２８０に酸素を導入することができる。
【００７２】  スパッタリング法による成膜時には、ターゲットと基板との間には、イオンとスパッタされた粒子とが存在する。例えば、ターゲットには、電源が接続されており、電位Ｅ０が与えられる。また、基板には、接地電位などの電位Ｅ１が与えられる。ただし、基板が電気的に浮いていてもよい。また、ターゲットと基板の間には電位Ｅ２となる領域が存在する。各電位の大小関係は、Ｅ２＞Ｅ１＞Ｅ０である。
【００７３】  プラズマ内のイオンが、電位差Ｅ２−Ｅ０によって加速され、ターゲットに衝突することにより、ターゲットからスパッタされた粒子がはじき出される。このスパッタされた粒子が成膜表面に付着し、堆積することにより成膜が行われる。また、一部のイオンはターゲットによって反跳し、反跳イオンとして形成された膜を通過し、被成膜面と接する絶縁体２８０に取り込まれる場合がある。また、プラズマ内のイオンは、電位差Ｅ２−Ｅ１によって加速され、成膜表面を衝撃する。この際、一部のイオンは、絶縁体２８０内部まで到達する。イオンが絶縁体２８０に取り込まれることにより、イオンが取り込まれた領域が絶縁体２８０に形成される。つまり、イオンが酸素を含むイオンであった場合において、絶縁体２８０に過剰酸素領域が形成される。
【００７４】  次に絶縁体２８２上に、絶縁体２８４を成膜してもよい。絶縁体２８４の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、ＡＬＤ法などを用いて行うことができる。
【００７５】  次に、絶縁体２８４上に、ハードマスクとなる膜２９０Ａを形成する。例えば、ハードマスクとなる膜２９０Ａとして、タングステン、または窒化タンタルをスパッタリング法で形成するとよい。
【００７６】  次に、ハードマスクとなる膜２９０Ａ上にフォトリソグラフィ法によりレジストマスク２９２を形成する（図２Ａ参照。）。
【００７７】  レジストマスク２９２を用いて、ハードマスクとなる膜２９０Ａの一部を選択的に除去することで、ハードマスク２９０Ｂを形成する（図２Ｂ参照。）。
【００７８】  なお、本工程において、ハードマスク２９０Ｂを用いて絶縁体２８０、絶縁体２８２、絶縁体２８４の積層体の加工を行うことで、開口部２９５の形状に不要なエッチング（ＣＤロスともいう）の形成を抑制することができる。
【００７９】  次に、ハードマスク２９０Ｂを用いて、絶縁体２８４、絶縁体２８２、および絶縁体２８０の一部を選択的に除去し、トランジスタ２００を露出する開口を形成し、開口部２９５を形成する。（図２Ｃ参照）。なお、このとき、ハードマスク２９０Ｂの一部が除去されてもよい。
【００８０】  なお、開口とは、例えば、溝やスリットなども含まれる。また、開口が形成された領域を指して開口部とする場合がある。開口の形成はウェットエッチングを用いてもよいが、ドライエッチングを用いるほうが微細加工には好ましい。
【００８１】  なお、当該工程において、絶縁体２８２に用いた金属酸化物が、エッチングガスと反応し、副生成物となり、開口部２９５の内部に残存する場合がある。そこで、ハードマスク２９０Ｂを除去した後、洗浄装置２９９を用いて、洗浄処理を行う（図３Ａ参照）。なお、図３Ａは、一例であり、バッチ式を模した洗浄装置として示したが、他にもスピンを用いた枚葉式の洗浄機などを用いてもよい。
【００８２】  洗浄処理としては、洗浄液など用いたウェット洗浄、プラズマを用いたプラズマ処理、熱処理による洗浄などがあり、上記洗浄処理を適宜組み合わせて行ってもよい。
【００８３】  ウェット洗浄としては、アンモニア水、シュウ酸、リン酸、フッ化水素酸などを炭酸水または純水で希釈した水溶液、純水、炭酸水などを用いて洗浄処理を行ってもよい。また、これらの水溶液、純水、または炭酸水を用いた超音波洗浄を行ってもよい。また、これらの洗浄を適宜組み合わせて行ってもよい。
【００８４】  例えば、上記水溶液、純水、または炭酸水を用いて、バッチ式洗浄装置により、ＱＤＲ（Ｑｕｉｃｋ  Ｄｕｍｐ  Ｒｉｎｓｉｎｇ）洗浄を行うとよい。バッチ式洗浄装置は、１以上の基板を格納することができる基板カセットを使用し、該基板カセットを洗浄槽に挿入して洗浄する。
【００８５】  ＱＤＲ（Ｑｕｉｃｋ  Ｄｕｍｐ  Ｒｉｎｓｉｎｇ）洗浄工程は、例えば、洗浄槽内の純水または炭酸水を窒素ガスによるバブリングをしながら洗浄槽から溢れるように供給する第１のステップと、洗浄槽内にシャワー状の純水または炭酸水を供給しながら洗浄槽内の純水または炭酸水を排出する第２のステップと、洗浄槽内に純水または炭酸水を急速に供給する第３のステップと、洗浄槽内の純水または炭酸水を窒素ガスによるバブリングをしながら洗浄槽から溢れるように供給する第４のステップと、を含む。
【００８６】  第１のステップ、第２のステップ、第３のステップおよび第４のステップを１サイクルとし、必要に応じて、適宜サイクル数を設定するとよい。
【００８７】  また、開口部２９５は、円柱形状、または逆円錐台形状とするとよい。角部のない形状とすることで、開口部２９５内に残存した副生成物の除去が容易となる。
【００８８】  次に、開口部２９５、および絶縁体２８４を覆って、導電膜２４６Ａを成膜する。導電膜２４６Ａは、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、導電膜２４６Ａは積層構造としてもよい（図３Ｂ参照）。
【００８９】  ここで、導電膜２４６Ａを設ける前に、酸化アルミニウムなどのバリア性を有する絶縁体を、開口部２９５の側面にのみ設けてもよい。
【００９０】  次に、導電膜２４６Ａの一部を除去することで、絶縁体２８４を露出する。当該工程には、例えば、ＣＭＰ処理を用いることができる。ＣＭＰ処理により、不要な構造体を除去し、絶縁体２８４を露出させることで、開口部２９５のみに、導電体２４６が残存する。なお、当該ＣＭＰ処理により、絶縁体２８４の一部が除去される場合がある（図３Ｃ参照）。
【００９１】  続いて、導電体２４６、および絶縁体２８４上に導電体２４８を形成する。配線として機能する導電体は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、当該導電体は、積層構造としてもよく、例えば、チタンまたは窒化チタンと上記導電性材料との積層としてもよい。なお、当該導電体は、絶縁体に設けられた開口に埋め込むように形成してもよい。
【００９２】  以上より、図１に示すトランジスタ２００を有する半導体装置を作製することができる。
【００９３】  本発明の一態様により、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、オン電流の大きい半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様は、低消費電力の半導体装置を提供することを課題の一つとする。
【００９４】＜半導体装置の応用例＞
以下では、図４を用いて、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の一例について説明する。
【００９５】  トランジスタ２００が有する酸化物半導体は、水素、水、または金属酸化物などの不純物により電気特性が変動する蓋然性が高くなるため、外部から不純物の侵入を遮断することが好ましい。
【００９６】  そこで、バリア性を有する絶縁体を用いて、トランジスタ２００を封止することが好ましい。また、バリア性を有する絶縁体を用いて、トランジスタ２００と、過剰酸素領域を有する絶縁体２８０と、を封止することで、絶縁体２８０が有する過剰酸素がトランジスタ２００の酸化物半導体以外の構造体へ拡散することを抑制することができる。
【００９７】  なお、図４に示す半導体装置において、＜半導体装置の構成例＞に示した半導体装置を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。なお、本項目においても、半導体装置の構成材料については＜半導体装置の構成例＞で詳細に説明した材料を用いることができる。
【００９８】［半導体装置の応用例１］
図４Ａに示す半導体装置は、開口部２９５の側面に、絶縁体２４７を有する。
【００９９】  酸化物半導体を含むトランジスタ２００の近傍に、過剰酸素領域を有する絶縁体２８０を設けた場合、該過剰酸素領域を有する絶縁体２８０と、絶縁体２８０に設ける導電体２４６との間に、バリア性を有する絶縁体２４７を設けることで、導電体２４６の酸化を抑制することができる。また、過剰酸素が導電体２４６に吸収されることで、絶縁体２８０の過剰酸素量が低減することを抑制することができる。
【０１００】  特に、図４Ａに示すように、絶縁体２４７と、絶縁体２８２とが接して設けられることで、絶縁体２８０が有する過剰酸素が、絶縁体２８２よりも上方に拡散することを抑制することができる。従って、過剰酸素を効率よくトランジスタ２００が有する酸化物半導体へと供給することができる。また、絶縁体２８２よりも上方から、トランジスタ２００へ、不純物が拡散することを抑制することができる。
【０１０１】  なお、導電体２４６は、トランジスタ２００と電気的に接続するプラグ、または配線としての機能を有する。
【０１０２】  具体的には、絶縁体２８４、絶縁体２８２、および絶縁体２８０の開口の側壁に接して、絶縁体２４７が設けられ、その側面に接して導電体２４６が形成されている。当該開口の底部の少なくとも一部にはトランジスタ２００が位置しており、導電体２４６は、トランジスタ２００と接する。
【０１０３】  絶縁体２４７としては、例えば、絶縁体２８２等に用いることができる絶縁体を用いればよい。特に、ＡＬＤ法により成膜した酸化アルミニウムなどを用いることが好ましい。
【０１０４】［半導体装置の応用例２］
図４Ｂに示す半導体装置は、トランジスタ２００の上下にバリア層として機能する絶縁体２１２、および絶縁体２８３を有する。また、絶縁体２１２と絶縁体２８３とは、トランジスタ２００の側面、または基板の端部となる領域２９７において、接する構造を有する。つまり、図４Ｂに示す半導体装置は、トランジスタ２００と過剰酸素領域を有する絶縁体２８０とを、バリア層により封止する構造を有する。
【０１０５】  なお、絶縁体２８３は、絶縁体２８２上に設ける。絶縁体２８４は、導電体２４８を加工する場合に、導電体２４８に対し、エッチレートの選択比が大きい材質を用いている。従って、絶縁体２８４は、必要に応じて絶縁体２８３上に設けるとよい。
【０１０６】  絶縁体２１２、および絶縁体２８３として、例えば、窒化シリコンを用いることができる。また、他にも、例えば、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジムまたは酸化タンタルなどの金属酸化物、窒化酸化シリコンなど窒化物を用いることができる。
【０１０７】  なお、絶縁体２８３は、絶縁体２８２と、異なる膜種を用いることが好ましい。異なる膜種を積層することで、外部から侵入する不純物に対し、より多くの種類の不純物の拡散を抑制することができる。具体的には、絶縁体２８２には、酸化アルミニウムを用い、絶縁体２８３には、窒化シリコンを用いるとよい。
【０１０８】  また、絶縁体２８３と、絶縁体２１２は、同じ膜種を用いることが好ましい。絶縁体２８３と絶縁体２１２は、領域２９７で接する。絶縁体２８３と絶縁体２１２とに、同じ膜種を用いることで、絶縁体２８３と絶縁体２１２との密着性を高めることができる。
【０１０９】  ここで、図では、便宜上、１個のトランジスタ２００を封止する説明を行ったが、本構造に限らない。複数のトランジスタ２００を設けた領域を囲うように領域２９７を設けてもよい。
【０１１０】  上記構造を有することで、オン電流が大きい酸化物半導体を有するトランジスタを有する半導体装置を提供することができる。または、オフ電流が小さい酸化物半導体を有するトランジスタを有する半導体装置を提供することができる。または、電気特性の変動を抑制し、安定した電気特性を有すると共に、信頼性を向上させた半導体装置を提供することができる。
【０１１１】  以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態や実施例に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０１１２】（実施の形態２）
本実施の形態では、本発明の一態様に係るトランジスタを有する半導体装置の一例について説明する。本発明の一態様に係るトランジスタを有する半導体装置は、チャネル形成領域に酸化物半導体を有するトランジスタである。
【０１１３】＜半導体装置の構成例＞
図５Ａ乃至図５Ｄは、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の上面図および断面図である。図５Ａは、当該半導体装置の上面図である。また、図５Ｂ乃至図５Ｄは、当該半導体装置の断面図である。ここで、図５Ｂは、図５ＡにＡ１−Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図である。また、図５Ｃは、図５ＡにＡ３−Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図である。また、図５Ｄは、図５ＡにＡ５−Ａ６の一点鎖線で示す部位の断面図である。なお、図５Ａの上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いている。
【０１１４】  本発明の一態様の半導体装置は、トランジスタ２００と、層間膜として機能する絶縁体２１４、絶縁体２１６、絶縁体２８０、絶縁体２８２、および絶縁体２８４と、を有する。なお、絶縁体２８０は、少なくとも、酸化物２３０と接して設けられる。
【０１１５】［トランジスタ２００］
図５Ａ乃至図５Ｄに示すように、トランジスタ２００は、基板（図示せず。）の上に配置され、絶縁体２１６に埋め込まれるように配置された導電体２０５と、絶縁体２１６の上および導電体２０５の上に配置された絶縁体２２２と、絶縁体２２２の上に配置された絶縁体２２４と、絶縁体２２４の上に配置された酸化物２３０（酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃ）と、酸化物２３０の上に配置された絶縁体２５０と、絶縁体２５０上に配置された導電体２６０（導電体２６０ａ、および導電体２６０ｂ）と、酸化物２３０ｂの上面の一部と接する導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂと、導電体２４０ａ上の絶縁体２４５ａと、導電体２４０ｂ上の絶縁体２４５ｂと、を有する。
【０１１６】  また、トランジスタ２００は、チャネルが形成される領域（以下、チャネル形成領域ともいう。）を含む酸化物２３０（酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃ）に、酸化物半導体として機能する金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう。）を用いる。
【０１１７】  なお、チャネル形成領域として機能する酸化物半導体は、バンドギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以上のものを用いることが好ましい。このように、バンドギャップの大きい酸化物半導体を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
【０１１８】  なお、酸化物２３０は、化学組成が異なる酸化物により、積層構造を有することが好ましい。具体的には、酸化物２３０ａに用いる金属酸化物において、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比が、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物における、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比より大きいことが好ましい。
【０１１９】  また、酸化物２３０ｃは、酸化物２３０ａまたは酸化物２３０ｂに用いることができる金属酸化物を、用いることができる。
【０１２０】  例えば、酸化物２３０ｂがＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物の場合、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｃとして、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物、Ｇａ−Ｚｎ酸化物、酸化ガリウムなどを用いてもよい。
【０１２１】  また、酸化物２３０ｂおよび酸化物２３０ｃは、結晶性を有することが好ましい。例えば、後述するＣＡＡＣ−ＯＳ（ｃ−ａｘｉｓ  ａｌｉｇｎｅｄ  ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  ｏｘｉｄｅ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）を用いることが好ましい。ＣＡＡＣ−ＯＳなどの結晶性を有する酸化物は、不純物や欠陥（酸素欠損など）が少なく、結晶性の高い、緻密な構造を有している。従って、ソース電極またはドレイン電極による、酸化物２３０ｂからの酸素の引き抜きを抑制することができる。また、熱処理を行っても、酸化物２３０ｂから酸素が引き抜かれることを低減できるため、トランジスタ２００は、製造工程における高い温度（所謂サーマルバジェット）に対して安定する。
【０１２２】  なお、トランジスタ２００では、酸化物２３０が、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃの３層を積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、酸化物２３０ｂの単層、酸化物２３０ａと酸化物２３０ｂの２層構造、酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃの２層構造、または４層以上の積層構造を設ける構成にしてもよいし、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、酸化物２３０ｃのそれぞれが積層構造を有していてもよい。
【０１２３】  また、図５Ｄに示すように、少なくとも酸化物２３０ｂの側面、および導電体２４０の側面は、絶縁体２２４と酸化物２３０ａとが接する面に対し、概略垂直であることが好ましい。具体的には、図５Ｄにおいて、酸化物２３０ｂの側面および導電体２４０の側面は、絶縁体２２４と酸化物２３０ａとが接する面に対し、６０度以上９５度以下、好ましくは、８８度以上９２度以下とするとよい。
【０１２４】  また、図５Ｃに示すように、チャネル形成領域における酸化物２３０の上端部は、曲率を有する形状とすることが好ましい。つまり、チャネル形成領域において、酸化物２３０の上面と側面とは、角部を形成することなく、曲面によりなだらかに繋がる形状とするとよい。チャネル形成領域に、角部を有さないため、第１のゲート電極として機能する導電体２６０、または第２のゲート電極として機能する導電体２０５いずれか一方または双方の電界による電界集中が生じず、酸化物２３０の劣化を抑制することができる。
【０１２５】  一方、図５Ｄに示すように、導電体２４０と重畳する領域の酸化物２３０の上端部は、チャネル形成領域における酸化物２３０の上端部よりも、曲率が小さい形状とすることが好ましい。上記構造は、酸化物２３０ｂと、導電体２４０とを、同じマスクを用いて加工することで形成することができる。従って、酸化物２３０ｂの投影面積内に導電体２４０が重畳するため、微細なトランジスタを作成することができる。
【０１２６】  導電体２６０は、第１のゲート電極（トップゲートともいう。）として機能する。
【０１２７】  ここで、トランジスタ２００は、導電体２６０を、絶縁体２８０などに形成されている開口に埋めることで設ける。また、当該開口を設ける工程において、絶縁体２８０に設ける開口の底部に、導電体２４０となる導電層の一部が露出する。導電体２４０となる導電層において、絶縁体２８０に設けた開口の底部と重畳する領域を除去することで、導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂが形成される。
【０１２８】  従って、導電体２４０ａの端部と、導電体２４０ｂの端部は、開口部の側面と同一面上となる。導電体２６０を、絶縁体２８０に設けた開口に、絶縁体２５０などを介して埋め込むことで、導電体２４０ａと導電体２４０ｂとの間の領域に、導電体２６０を位置合わせすることなく自己整合的に配置することができる。
【０１２９】  また、図５Ｂ、または図５Ｃに示すように、導電体２６０の上面は、絶縁体２５０の上面および酸化物２３０ｃの上面と略一致している。
【０１３０】  また、図５Ｃに示すように、導電体２６０と酸化物２３０とが重畳しない領域において、導電体２６０と絶縁体２５０とが接する面と絶縁体２２２の上面に対する最短距離は、酸化物２３０ｂと酸化物２３０ａとが接する面と絶縁体２２２の上面に対する最短距離よりも、短いことが好ましい。つまり、トランジスタ２００のチャネル幅方向において、酸化物２３０ｂの側面が、少なくとも絶縁体２５０を介して、導電体２６０により、覆われている構造を有する。
【０１３１】  ゲート電極として機能する導電体２６０が、絶縁体２５０などを介して、酸化物２３０ｂのチャネル形成領域の側面および上面を覆う構成とすることで、導電体２６０の電界が酸化物２３０ｂのチャネル形成領域全体に作用する。従って、トランジスタ２００のオン電流を増大させ、周波数特性を向上させることができる。
【０１３２】  なお、導電体２６０は、導電体２６０ａと、導電体２６０ａの上に配置された導電体２６０ｂと、を有することが好ましい。例えば、導電体２６０ａは、導電体２６０ｂの底面および側面を包むように配置されることが好ましい。
【０１３３】  導電体２６０ａは、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。
【０１３４】  また、導電体２６０ａが酸素の拡散を抑制する機能を持つことにより、絶縁体２５０に含まれる酸素により、導電体２６０ｂが酸化して導電率が低下することを抑制することができる。酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料としては、例えば、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。
【０１３５】  また、導電体２６０は、配線としても機能するため、導電性が高い導電体を用いることが好ましい。例えば、導電体２６０ｂには、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることができる。また、導電体２６０ｂは積層構造としてもよく、例えば、チタンまたは窒化チタンと上記導電性材料との積層構造としてもよい。
【０１３６】  図５Ａ乃至図５Ｄでは、導電体２６０は、導電体２６０ａと導電体２６０ｂの２層構造として示しているが、単層構造でもよいし、３層以上の積層構造であってもよい。
【０１３７】  導電体２０５は、第２のゲート（ボトムゲートともいう。）電極として機能する。
【０１３８】  また、導電体２０５がゲート電極として機能する場合、導電体２０５に印加する電位を、導電体２６０に印加する電位と、連動させず、独立して変化させることで、トランジスタ２００のしきい値電圧（Ｖｔｈ）を制御することができる。特に、導電体２０５に負の電位を印加することにより、トランジスタ２００のＶｔｈをより大きくし、オフ電流を低減することが可能となる。したがって、導電体２０５に負の電位を印加したほうが、印加しない場合よりも、導電体２６０に印加する電位が０Ｖのときのドレイン電流を小さくすることができる。
【０１３９】  導電体２０５は、酸化物２３０、および導電体２６０と、重なるように配置する。また、導電体２０５は、絶縁体２１４または絶縁体２１６に埋め込まれて設けることが好ましい。
【０１４０】  なお、チャネル幅方向において、導電体２０５は、酸化物２３０におけるチャネル形成領域よりも、大きく設けるとよい。特に、図５Ｃに示すように、導電体２０５は、酸化物２３０のチャネル幅方向と交差して、延伸していることが好ましい。
【０１４１】  ここで、酸化物２３０のチャネル幅方向における側面の外側において、導電体２０５と、導電体２６０とは、絶縁体を介して重畳していることが好ましい。当該構成を有することで、第１のゲート電極として機能する導電体２６０の電界と、第２のゲート電極として機能する導電体２０５の電界によって、酸化物２３０のチャネル形成領域を電気的に取り囲むことができる。
【０１４２】  また、図５Ａ乃至図５Ｄでは、導電体２０５を、第１の導電体と第２の導電体とを積層する構成として示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体２０５は、単層、または３層以上の積層構造として設ける構成にしてもよい。構造体が積層構造を有する場合、形成順に序数を付与し、区別する場合がある。
【０１４３】  ここで、導電体２０５の第１の導電体は、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子（Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ２など）、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。
【０１４４】  導電体２０５の第１の導電体に、酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることにより、導電体２０５の第２の導電体が酸化して導電率が低下することを抑制することができる。酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料としては、例えば、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。したがって、導電体２０５の第１の導電体としては、上記導電性材料を単層または積層とすればよい。例えば、導電体２０５の第１の導電体は、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、または酸化ルテニウムと、チタンまたは窒化チタンとの積層としてもよい。
【０１４５】  また、導電体２０５の第２の導電体は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。なお、導電体２０５の第２の導電体を単層で図示したが、積層構造としてもよく、例えば、チタンまたは窒化チタンと、当該導電性材料との積層としてもよい。
【０１４６】  また、図５Ｃに示すように、導電体２０５は延伸させて、配線としても機能させている。ただし、これに限られることなく、導電体２０５の下に、配線として機能する導電体を設ける構成にしてもよい。また、導電体２０５は、必ずしも各トランジスタに一個ずつ設ける必要はない。例えば、導電体２０５を複数のトランジスタで共有する構成にしてもよい。
【０１４７】  導電体２４０（導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂ）は、ソース電極またはドレイン電極として機能する。
【０１４８】  導電体２４０としては、例えば、ＴａＮｘＯｙを用いることが好ましい。なお、ＴａＮｘＯｙはアルミニウムを含んでもよい。また、例えば、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いてもよい。これらの材料は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。
【０１４９】  また、導電体２４０上に、バリア層として機能する絶縁体２４５を設けるとよい。
【０１５０】  絶縁体２４５は、図５Ｂに示すように、導電体２４０の上面に接することが好ましい。当該構成にすることで、導電体２４０による、絶縁体２８０が有する過剰酸素の吸収を抑制することができる。また、導電体２４０の酸化を抑制することで、トランジスタ２００と配線とのコンタクト抵抗の増加を抑制することができる。よって、トランジスタ２００に良好な電気特性および信頼性を与えることができる。
【０１５１】  従って、絶縁体２４５は、酸素の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２４５は、絶縁体２８０よりも酸素の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。
【０１５２】  絶縁体２４５としては、例えば、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を成膜するとよい。また、絶縁体２４５としては、例えば、窒化アルミニウムを含む絶縁体を用いればよい。
【０１５３】  絶縁体２５０は、第１のゲート絶縁体として機能する。
【０１５４】  絶縁体２５０は、酸化物２３０ｃの上面に接して配置することが好ましい。絶縁体２５０は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどを用いることができる。特に、酸化シリコン、および酸化窒化シリコンは熱に対し安定であるため好ましい。
【０１５５】  なお、絶縁体２５０を成膜した後に、酸素を含む雰囲気下にて、マイクロ波励起プラズマ処理を行ってもよい。マイクロ波励起プラズマ処理を行うことにより、絶縁体２５０中の不純物である、水素、水、または不純物を除去することができる。さらに、マイクロ波励起プラズマ処理を行うことにより、絶縁体２５０の膜質を改質することで、水素、水、または不純物等の拡散を抑制することができる。従って、導電体２６０となる導電膜の成膜などの後工程、または熱処理などの後処理により、絶縁体２５０を介して、水素、水、または不純物が、酸化物２３０へ拡散することを抑制することができる。
【０１５６】  例えば、固体の酸化シリコンにおける水素原子とシリコン原子の結合エネルギーは３．３ｅＶ、炭素原子とシリコン原子の結合エネルギーは３．４ｅＶ、窒素原子とシリコン原子の結合エネルギーは３．５ｅＶ、である。従って、シリコン原子と結合した水素原子を取り除くには、少なくとも、３．３ｅＶ以上のエネルギーを持つラジカル、またはイオンを、水素原子とシリコン原子との結合部に衝突させることで、水素原子と、シリコン原子との結合を切断することができる。
【０１５７】  なお、窒素、および炭素などの他の不純物についても、同様に、少なくとも、結合エネルギー以上のエネルギーを持つラジカル、またはイオンを、不純物原子とシリコン原子との結合部に衝突させることで、不純物原子とシリコン原子との結合を切断することができる。
【０１５８】  ここで、マイクロ波で励起したプラズマにより発生するラジカル、およびイオンとして、酸素原子ラジカルの基底状態Ｏ（３Ｐ）、酸素原子ラジカルの第一励起状態Ｏ（１Ｄ）、および酸素分子の一価のカチオンＯ２＋等がある。Ｏ（３Ｐ）のエネルギーは、２．４２ｅＶ、Ｏ（１Ｄ）のエネルギーは、４．６ｅＶ、である。また、Ｏ２＋は電荷をもつために、プラズマ中の電位分布、およびバイアスにより加速されるため、エネルギーは一意に定まらないが、少なくとも、内部エネルギーのみでも、Ｏ（１Ｄ）より高いエネルギーを持つ。
【０１５９】  つまり、Ｏ（１Ｄ）、およびＯ２＋等のラジカル、およびイオンは、絶縁体２５０中の水素、窒素、および炭素原子と、シリコン原子との結合を切断し、シリコン原子と結合した水素、窒素、および炭素を除去することができる。また、マイクロ波励起プラズマ処理を行う際に、基板に加わる熱エネルギー等によっても、水素、窒素、および炭素などの不純物を低減することができる。
【０１６０】  一方、Ｏ（３Ｐ）は、反応性が低いため、絶縁体２５０では反応せず、膜中深くまで拡散する。または、Ｏ（３Ｐ）は絶縁体２５０を介して、酸化物２３０へと到達し、酸化物２３０中に拡散する。酸化物２３０中に拡散したＯ（３Ｐ）が、水素が入った酸素欠損に近接すると、酸素欠損中の水素は酸素欠損から放出され、代わりにＯ（３Ｐ）が酸素欠損に入ることで、酸素欠損は補償される。従って、酸化物２３０中で、キャリアである電子の生成を抑制することができる。
【０１６１】  なお、全体のラジカル、およびイオン種に対するＯ（３Ｐ）の割合は、マイクロ波励起プラズマ処理を、圧力が高い条件で行うことにより、増加する。酸化物２３０中の酸素欠損を補償するためには、Ｏ（３Ｐ）の割合が多い方が好ましい。従って、マイクロ波励起プラズマ処理は、圧力を１３３Ｐａ以上、好ましくは２００Ｐａ、さらに好ましくは４００Ｐａ以上とすればよい。また、酸素流量比（Ｏ２／Ｏ２＋Ａｒ）が５０％以下、好ましくは１０％以上３０％以下で行うとよい。
【０１６２】  また、絶縁体２５０は、加熱により一部の酸素が脱離する酸化物材料を用いることが好ましい。加熱により酸素を脱離する酸化物とは、ＴＤＳ（Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）分析にて、酸素分子の脱離量が１．０×１０１８ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、好ましくは１．０×１０１９ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、さらに好ましくは２．０×１０１９ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上、または３．０×１０２０ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ３以上である酸化膜である。なお、上記ＴＤＳ分析時における膜の表面温度としては１００℃以上７００℃以下、または１００℃以上４００℃以下の範囲が好ましい。
【０１６３】  加熱により酸素が放出される絶縁体を、絶縁体２５０として、酸化物２３０ｃの上面に接して設けることにより、酸化物２３０ｂのチャネル形成領域に効果的に酸素を供給し、酸化物２３０ｂのチャネル形成領域の酸素欠損を低減することができる。したがって、電気特性の変動を抑制し、安定した電気特性を有するとともに、信頼性を向上させたトランジスタを提供することができる。また、絶縁体２５０中の水、水素などの不純物濃度は、低減されていることが好ましい。
【０１６４】  また、絶縁体２５０と導電体２６０との間に金属酸化物を設けてもよい。当該金属酸化物は、絶縁体２５０から導電体２６０への酸素の拡散を抑制することが好ましい。酸素の拡散を抑制する金属酸化物を設けることで、絶縁体２５０から導電体２６０への酸素の拡散が抑制される。つまり、酸化物２３０へ供給する酸素量の減少を抑制することができる。また、絶縁体２５０の酸素による導電体２６０の酸化を抑制することができる。
【０１６５】  なお、上記金属酸化物は、ゲート絶縁体の一部としての機能を有する場合がある。したがって、絶縁体２５０に酸化シリコンや酸化窒化シリコンなどを用いる場合、上記金属酸化物は、比誘電率が高いｈｉｇｈ−ｋ材料である金属酸化物を用いることが好ましい。ゲート絶縁体を、絶縁体２５０と上記金属酸化物との積層構造とすることで、熱に対して安定、かつ比誘電率の高い積層構造とすることができる。したがって、ゲート絶縁体の物理膜厚を保持したまま、トランジスタ動作時に印加するゲート電位の低減化が可能となる。また、ゲート絶縁体として機能する絶縁体の等価酸化膜厚（ＥＯＴ）の薄膜化が可能となる。
【０１６６】  具体的には、ハフニウム、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、ジルコニウム、タングステン、チタン、タンタル、ニッケル、ゲルマニウム、マグネシウムなどから選ばれた一種、または二種以上が含まれた金属酸化物を用いることができる。特に、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を用いることが好ましい。
【０１６７】  また、上記金属酸化物は、第１のゲート電極の一部としての機能を有してもよい。例えば、酸化物２３０として用いることができる酸化物半導体を、上記金属酸化物として用いることができる。その場合、導電体２６０をスパッタリング法で成膜することで、上記金属酸化物の電気抵抗値を低下させて導電体とすることができる。
【０１６８】  上記金属酸化物を有することで、導電体２６０からの電界の影響を弱めることなく、トランジスタ２００のオン電流の向上を図ることができる。また、絶縁体２５０と、上記金属酸化物との物理的な厚みにより、導電体２６０と、酸化物２３０との間の距離を保つことで、導電体２６０と酸化物２３０との間のリーク電流を抑制することができる。また、絶縁体２５０、および上記金属酸化物との積層構造を設けることで、導電体２６０と酸化物２３０との間の物理的な距離、および導電体２６０から酸化物２３０へかかる電界強度を、容易に適宜調整することができる。
【０１６９】  絶縁体２２２、および絶縁体２２４は、第２のゲート絶縁体として機能する。
【０１７０】  絶縁体２２２は、水素（例えば、水素原子、水素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。また、絶縁体２２２は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２２２は、絶縁体２２４よりも水素および酸素の一方または双方の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。
【０１７１】  絶縁体２２２は、絶縁性材料であるアルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を用いるとよい。当該絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。このような材料を用いて絶縁体２２２を形成した場合、絶縁体２２２は、酸化物２３０から基板側への酸素の放出や、トランジスタ２００の周辺部から酸化物２３０への水素等の不純物の拡散を抑制する層として機能する。よって、絶縁体２２２を設けることで、水素等の不純物が、トランジスタ２００の内側へ拡散することを抑制し、酸化物２３０中の酸素欠損の生成を抑制することができる。また、導電体２０５が、絶縁体２２４や、酸化物２３０が有する酸素と反応することを抑制することができる。
【０１７２】  または、上記絶縁体に、例えば、酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ゲルマニウム、酸化ニオブ、酸化シリコン、酸化チタン、酸化タングステン、酸化イットリウム、酸化ジルコニウムを添加してもよい。または、これらの絶縁体を窒化処理してもよい。また、絶縁体２２２は、これらの絶縁体に酸化シリコン、酸化窒化シリコンまたは窒化シリコンを積層して用いてもよい。
【０１７３】  また、絶縁体２２２は、例えば、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ３）、（Ｂａ，Ｓｒ）ＴｉＯ３（ＢＳＴ）などのいわゆるｈｉｇｈ−ｋ材料を含む絶縁体を単層または積層で用いてもよい。トランジスタの微細化、および高集積化が進むと、ゲート絶縁体の薄膜化により、リーク電流などの問題が生じる場合がある。ゲート絶縁体として機能する絶縁体にｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることで、物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時のゲート電位の低減が可能となる。
【０１７４】  酸化物２３０と接する絶縁体２２４は、絶縁体２５０と同様に、加熱により酸素を脱離することが好ましい。例えば、絶縁体２２４は、酸化シリコン、酸化窒化シリコンなどを適宜用いればよい。酸素を含む絶縁体を酸化物２３０に接して設けることにより、酸化物２３０中の酸素欠損を低減し、トランジスタ２００の信頼性を向上させることができる。
【０１７５】  なお、絶縁体２２２、および絶縁体２２４が、２層以上の積層構造を有していてもよい。その場合、同じ材料からなる積層構造に限定されず、異なる材料からなる積層構造でもよい。
【０１７６】  絶縁体２１４、絶縁体２１６、絶縁体２８０、絶縁体２８２、絶縁体２８４は層間膜として機能する。
【０１７７】  絶縁体２１４は、水、水素などの不純物が、基板側からトランジスタ２００に拡散するのを抑制する絶縁性バリア膜として機能することが好ましい。したがって、絶縁体２１４は、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子（Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ２など）、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する絶縁性材料を用いることが好ましい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子などの少なくとも一）の拡散を抑制する機能を有する絶縁性材料を用いることが好ましい。
【０１７８】  例えば、絶縁体２１４として、酸化アルミニウム、窒化シリコンなどを用いることが好ましい。これにより、水、水素などの不純物が、絶縁体２１４よりも基板側からトランジスタ２００側に拡散するのを抑制することができる。または、絶縁体２２４などに含まれる酸素が、絶縁体２１４よりも基板側に、拡散するのを抑制することができる。なお、絶縁体２１４は、２層以上の積層構造を有していてもよい。その場合、同じ材料からなる積層構造に限定されず、異なる材料からなる積層構造でもよい。例えば、酸化アルミニウムと窒化シリコンとの積層としてもよい。
【０１７９】  また、例えば、絶縁体２１４として、スパッタリング法を用いて成膜した、窒化シリコンを用いることが好ましい。これにより、絶縁体２１４中の水素濃度を低くすることができ、水、水素などの不純物が、絶縁体２１４よりも基板側からトランジスタ２００側に拡散するのをより抑制することができる。
【０１８０】  層間膜として機能する絶縁体２１６は、絶縁体２１４よりも誘電率が低いことが好ましい。誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。例えば、絶縁体２１６として、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどを適宜用いればよい。
【０１８１】  また、絶縁体２１６は、水素濃度が低く、化学量論的組成よりも酸素が過剰に存在する領域（以下、過剰酸素領域ともいう。）または加熱により離脱する酸素（以下、過剰酸素ともいう。）を有することが好ましい。例えば、絶縁体２１６として、スパッタリング法を用いて成膜した酸化シリコンを用いることが好ましい。これにより、酸化物２３０への水素の混入を抑制することができる、または、酸化物２３０に酸素を供給し、酸化物２３０中の酸素欠損を低減することができる。したがって、電気特性の変動を抑制し、安定した電気特性を有するとともに、信頼性を向上させたトランジスタを提供することができる。
【０１８２】  なお、絶縁体２１６を積層構造にしてもよい。例えば、絶縁体２１６において、少なくとも導電体２０５の側面と接する部分に、絶縁体２１４と同様の絶縁体を設ける構成にしてもよい。このような構成にすることで、絶縁体２１６に含まれる酸素によって、導電体２０５が酸化するのを抑制することができる。または、導電体２０５により、絶縁体２１６に含まれる酸素量が減少するのを抑制することができる。
【０１８３】  絶縁体２８０は、絶縁体２２４、酸化物２３０、および導電体２４０上に設けられる。また、絶縁体２８０の上面は、平坦化されていてもよい。
【０１８４】  層間膜として機能する絶縁体２８０は、誘電率が低いことが好ましい。誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。絶縁体２８０は、例えば、絶縁体２１６と同様の材料を用いて設けることが好ましい。特に、酸化シリコンおよび酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため好ましい。特に、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどの材料は、加熱により脱離する酸素を含む領域を容易に形成することができるため好ましい。
【０１８５】  絶縁体２８０中の水、水素などの不純物濃度は低減されていることが好ましい。また、絶縁体２８０は、水素濃度が低く、過剰酸素領域または過剰酸素を有することが好ましく、例えば、絶縁体２１６と同様の材料を用いて設けてもよい。なお、絶縁体２８０は、２層以上の積層構造を有していてもよい。
【０１８６】  絶縁体２８２は、絶縁体２１４などと同様に、水、水素などの不純物が、上方から絶縁体２８０に拡散するのを抑制する絶縁性バリア膜として機能することが好ましい。また、絶縁体２８２は、絶縁体２１４などと同様に、水素濃度が低く、水素の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。
【０１８７】  また、図５Ｂに示すように、絶縁体２８２は、導電体２６０、絶縁体２５０、および酸化物２３０ｃのそれぞれの上面と接することが好ましい。これにより、絶縁体２８４などに含まれる水素などの不純物が、絶縁体２５０へ混入することを抑えることができる。したがって、トランジスタの電気特性およびトランジスタの信頼性への悪影響を抑制することができる。
【０１８８】  絶縁体２８２の上に、層間膜として機能する絶縁体２８４を設けることが好ましい。絶縁体２８４は、絶縁体２１６などと同様に、誘電率が低いことが好ましい。また、絶縁体２８４は、絶縁体２２４などと同様に、膜中の水、水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。
【０１８９】＜半導体装置の構成材料＞
以下では、半導体装置に用いることができる構成材料について説明する。
【０１９０】＜＜基板＞＞
トランジスタ２００を形成する基板としては、例えば、絶縁体基板、半導体基板、または導電体基板を用いればよい。絶縁体基板としては、例えば、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、安定化ジルコニア基板（イットリア安定化ジルコニア基板など）、樹脂基板などがある。また、半導体基板としては、例えば、シリコン、ゲルマニウムを材料とした半導体基板、または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛、酸化ガリウムからなる化合物半導体基板などがある。さらには、前述の半導体基板内部に絶縁体領域を有する半導体基板、例えば、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板などがある。導電体基板としては、黒鉛基板、金属基板、合金基板、導電性樹脂基板などがある。または、金属の窒化物を有する基板、金属の酸化物を有する基板などがある。さらには、絶縁体基板に導電体または半導体が設けられた基板、半導体基板に導電体または絶縁体が設けられた基板、導電体基板に半導体または絶縁体が設けられた基板などがある。または、これらの基板に素子が設けられたものを用いてもよい。基板に設けられる素子としては、容量素子、抵抗素子、スイッチ素子、発光素子、記憶素子などがある。
【０１９１】＜＜絶縁体＞＞
絶縁体としては、絶縁性を有する酸化物、窒化物、酸化窒化物、窒化酸化物、金属酸化物、金属酸化窒化物、金属窒化酸化物などがある。
【０１９２】  例えば、トランジスタの微細化、および高集積化が進むと、ゲート絶縁体の薄膜化により、リーク電流などの問題が生じる場合がある。ゲート絶縁体として機能する絶縁体に、ｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることで、物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時の低電圧化が可能となる。一方、層間膜として機能する絶縁体には、比誘電率が低い材料を用いることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。したがって、絶縁体の機能に応じて、材料を選択するとよい。
【０１９３】  また、比誘電率の高い絶縁体としては、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化物、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化窒化物、またはシリコンおよびハフニウムを有する窒化物などがある。
【０１９４】  また、比誘電率が低い絶縁体としては、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコン、または樹脂などがある。
【０１９５】  また、酸化物半導体を用いたトランジスタは、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体（絶縁体２１４、絶縁体２２２、絶縁体２４５、および絶縁体２８２など）で囲うことによって、トランジスタの電気特性を安定にすることができる。水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体としては、例えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニウム、シリコン、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、ネオジム、ハフニウム、またはタンタルを含む絶縁体を、単層で、または積層で用いればよい。具体的には、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウム、酸化タンタルなどの金属酸化物、窒化アルミニウム、窒化酸化シリコン、窒化シリコンなどの金属窒化物を用いることができる。
【０１９６】  また、ゲート絶縁体として機能する絶縁体は、加熱により脱離する酸素を含む領域を有する絶縁体であることが好ましい。例えば、加熱により脱離する酸素を含む領域を有する酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンを酸化物２３０と接する構造とすることで、酸化物２３０が有する酸素欠損を補償することができる。
【０１９７】＜＜導電体＞＞
導電体としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンなどから選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いることが好ましい。例えば、窒化タンタル、窒化チタン、タングステン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いることが好ましい。また、窒化タンタル、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。また、リン等の不純物元素を含有させた多結晶シリコンに代表される、電気伝導度が高い半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。
【０１９８】  また、上記の材料で形成される導電層を複数積層して用いてもよい。例えば、前述した金属元素を含む材料と、酸素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造としてもよい。また、前述した金属元素を含む材料と、窒素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造としてもよい。また、前述した金属元素を含む材料と、酸素を含む導電性材料と、窒素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造としてもよい。
【０１９９】  なお、トランジスタのチャネル形成領域に酸化物を用いる場合において、ゲート電極として機能する導電体には、前述した金属元素を含む材料と、酸素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造を用いることが好ましい。この場合は、酸素を含む導電性材料をチャネル形成領域側に設けるとよい。酸素を含む導電性材料をチャネル形成領域側に設けることで、当該導電性材料から離脱した酸素がチャネル形成領域に供給されやすくなる。
【０２００】  特に、ゲート電極として機能する導電体として、チャネルが形成される金属酸化物に含まれる金属元素および酸素を含む導電性材料を用いることが好ましい。また、前述した金属元素および窒素を含む導電性材料を用いてもよい。例えば、窒化チタン、窒化タンタルなどの窒素を含む導電性材料を用いてもよい。また、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、シリコンを添加したインジウム錫酸化物を用いてもよい。また、窒素を含むインジウムガリウム亜鉛酸化物を用いてもよい。このような材料を用いることで、チャネルが形成される金属酸化物に含まれる水素を捕獲することができる場合がある。または、外方の絶縁体などから混入する水素を捕獲することができる場合がある。
【０２０１】＜＜金属酸化物＞＞
酸化物２３０として、酸化物半導体として機能する金属酸化物を用いることが好ましい。以下では、本発明に係る酸化物２３０に適用可能な金属酸化物について説明する。
【０２０２】  金属酸化物は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特に、インジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、ガリウム、イットリウム、錫などが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
【０２０３】  ここでは、金属酸化物が、インジウム、元素Ｍおよび亜鉛を有するＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物である場合を考える。なお、元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、または錫とする。そのほかの元素Ｍに適用可能な元素としては、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウムなどがある。ただし、元素Ｍとして、前述の元素を複数組み合わせても構わない場合がある。
【０２０４】  なお、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物（ｍｅｔａｌ  ｏｘｉｄｅ）と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物（ｍｅｔａｌ  ｏｘｙｎｉｔｒｉｄｅ）と呼称してもよい。
【０２０５】［金属酸化物の構造］
酸化物半導体（金属酸化物）は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ、多結晶酸化物半導体、ｎｃ−ＯＳ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  ｏｘｉｄｅ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、擬似非晶質酸化物半導体（ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳ：ａｍｏｒｐｈｏｕｓ−ｌｉｋｅ  ｏｘｉｄｅ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、および非晶質酸化物半導体などがある。
【０２０６】  ＣＡＡＣ−ＯＳは、ｃ軸配向性を有し、かつａ−ｂ面方向において複数のナノ結晶が連結し、歪みを有した結晶構造となっている。なお、歪みとは、複数のナノ結晶が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。
【０２０７】  ナノ結晶は、六角形を基本とするが、正六角形状とは限らず、非正六角形状である場合がある。また、歪みにおいて、五角形、および七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、ＣＡＡＣ−ＯＳにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界（グレインバウンダリーともいう。）を確認することは難しい。すなわち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、ＣＡＡＣ−ＯＳが、ａ−ｂ面方向において酸素原子の配列が稠密でないことや、金属元素が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためである。
【０２０８】  また、ＣＡＡＣ−ＯＳは、インジウム、および酸素を有する層（以下、Ｉｎ層）と、元素Ｍ、亜鉛、および酸素を有する層（以下、（Ｍ，Ｚｎ）層）とが積層した、層状の結晶構造（層状構造ともいう）を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Ｍは、互いに置換可能であり、（Ｍ，Ｚｎ）層の元素Ｍがインジウムと置換した場合、（Ｉｎ，Ｍ，Ｚｎ）層と表すこともできる。また、Ｉｎ層のインジウムが元素Ｍと置換した場合、（Ｉｎ，Ｍ）層と表すこともできる。
【０２０９】  ＣＡＡＣ−ＯＳは結晶性の高い金属酸化物である。一方、ＣＡＡＣ−ＯＳは、明確な結晶粒界を確認することが難しいため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、金属酸化物の結晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、ＣＡＡＣ−ＯＳは不純物や欠陥（酸素欠損など）の少ない金属酸化物ともいえる。したがって、ＣＡＡＣ−ＯＳを有する金属酸化物は、物理的性質が安定する。そのため、ＣＡＡＣ−ＯＳを有する金属酸化物は熱に強く、信頼性が高い。
【０２１０】  ｎｃ−ＯＳは、微小な領域（例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の領域、特に１ｎｍ以上３ｎｍ以下の領域）において原子配列に周期性を有する。また、ｎｃ−ＯＳは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。したがって、ｎｃ−ＯＳは、分析方法によっては、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳや非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。
【０２１１】  なお、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、を有する金属酸化物の一種である、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物（以下、ＩＧＺＯ）は、上述のナノ結晶とすることで安定な構造をとる場合がある。特に、ＩＧＺＯは、大気中では結晶成長がし難い傾向があるため、大きな結晶（ここでは、数ｍｍの結晶、または数ｃｍの結晶）よりも小さな結晶（例えば、上述のナノ結晶）とする方が、構造的に安定となる場合がある。
【０２１２】  ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳは、ｎｃ−ＯＳと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する金属酸化物である。ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳは、鬆または低密度領域を有する。すなわち、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳは、ｎｃ−ＯＳおよびＣＡＡＣ−ＯＳと比べて、結晶性が低い。
【０２１３】  酸化物半導体（金属酸化物）は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、ａ−ｌｉｋｅ  ＯＳ、ｎｃ−ＯＳ、ＣＡＡＣ−ＯＳのうち、二種以上を有していてもよい。
【０２１４】［不純物］
ここで、金属酸化物中における各不純物の影響について説明する。
【０２１５】  酸化物半導体に不純物が混入すると、欠陥準位または酸素欠損が形成される場合がある。よって、酸化物半導体のチャネル形成領域に不純物が混入することで、酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性が変動しやすく、信頼性が悪くなる場合がある。また、チャネル形成領域に酸素欠損が含まれていると、トランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。
【０２１６】  また、上記欠陥準位には、トラップ準位が含まれる場合がある。金属酸化物のトラップ準位に捕獲された電荷は、消失するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、トラップ準位密度の高い金属酸化物をチャネル形成領域に有するトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
【０２１７】  また、酸化物半導体のチャネル形成領域に不純物が存在すると、チャネル形成領域の結晶性が低くなる場合がある、また、チャネル形成領域に接して設けられる酸化物の結晶性が低くなる場合がある。チャネル形成領域の結晶性が低いと、トランジスタの安定性または信頼性が悪化する傾向がある。また、チャネル形成領域に接して設けられる酸化物の結晶性が低いと、界面準位が形成され、トランジスタの安定性または信頼性が悪化する場合がある。
【０２１８】  したがって、トランジスタの安定性または信頼性を向上させるには、酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍の不純物濃度を低減することが有効である。不純物としては、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
【０２１９】  具体的には、当該酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍において、ＳＩＭＳにより得られる上記不純物の濃度を、１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下、好ましくは２×１０１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下にする。または、当該酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍において、ＥＤＸを用いた元素分析により得られる上記不純物の濃度を、１．０ａｔｏｍｉｃ％以下にする。なお、当該酸化物半導体として元素Ｍを含む酸化物を用いる場合、当該酸化物半導体のチャネル形成領域およびその近傍において、元素Ｍに対する上記不純物の濃度比を、０．１０未満、好ましくは０．０５未満にする。ここで、上記濃度比を算出する際に用いる元素Ｍの濃度は、上記不純物の濃度を算出した領域と同じ領域の濃度でもよいし、当該酸化物半導体中の濃度でもよい。
【０２２０】  また、不純物濃度を低減した金属酸化物は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。
【０２２１】  また、金属酸化物中の酸素欠損に水素が入った場合、酸素欠損と水素とが結合しＶＯＨを形成する場合がある。ＶＯＨはドナーとして機能し、キャリアである電子が生成されることがある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成する場合がある。
【０２２２】  従って、水素が多く含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタは、ノーマリーオン特性となりやすい。また、酸化物半導体中の水素は、熱、電界などのストレスによって動きやすいため、酸化物半導体に多くの水素が含まれると、トランジスタの信頼性が悪化する恐れもある。
【０２２３】  つまり、金属酸化物中のＶＯＨをできる限り低減し、高純度真性または実質的に高純度真性にすることが好ましい。このように、ＶＯＨが十分低減された酸化物半導体を得るには、酸化物半導体中の水分、水素などの不純物を除去すること（脱水、脱水素化処理と記載する場合がある。）と、酸化物半導体に酸素を供給して酸素欠損を補填すること（加酸素化処理と記載する場合がある。）が重要である。ＶＯＨなどの不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
【０２２４】  また、トランジスタには、キャリア濃度の低い酸化物半導体を用いることが好ましい。酸化物半導体のキャリア濃度を低くする場合においては、酸化物半導体中の不純物濃度を低くし、欠陥準位密度を低くすればよい。本明細書等において、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低いことを高純度真性または実質的に高純度真性という。なお、酸化物半導体中の不純物としては、例えば、水素、窒素、アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉄、ニッケル、シリコン等がある。
【０２２５】  特に、酸化物半導体に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸化物半導体中に酸素欠損を形成する場合がある。酸化物半導体中のチャネル形成領域に酸素欠損が含まれていると、トランジスタはノーマリーオン特性となる場合がある。さらに、酸素欠損に水素が入った欠陥はドナーとして機能し、キャリアである電子が生成されることがある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成する場合がある。従って、水素が多く含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタは、ノーマリーオン特性となりやすい。
【０２２６】  酸素欠損に水素が入った欠陥（ＶＯＨ）は、酸化物半導体のドナーとして機能しうる。しかしながら、当該欠陥を定量的に評価することは困難である。そこで、酸化物半導体においては、ドナー濃度ではなく、キャリア濃度で評価される場合がある。よって、本明細書等では、酸化物半導体のパラメータとして、ドナー濃度ではなく、電界が印加されない状態を想定したキャリア濃度を用いる場合がある。つまり、本明細書等に記載の「キャリア濃度」は、「ドナー濃度」と言い換えることができる場合がある。
【０２２７】  よって、酸化物半導体中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、酸化物半導体において、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）により得られる水素濃度を、１×１０２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、好ましくは１×１０１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、より好ましくは５×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満、さらに好ましくは１×１０１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満とする。水素などの不純物が十分に低減された酸化物半導体をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。
【０２２８】  また、チャネル形成領域の酸化物半導体のキャリア濃度は、１×１０１８ｃｍ−３以下であることが好ましく、１×１０１７ｃｍ−３未満であることがより好ましく、１×１０１６ｃｍ−３未満であることがさらに好ましく、１×１０１３ｃｍ−３未満であることがさらに好ましく、１×１０１２ｃｍ−３未満であることがさらに好ましい。なお、チャネル形成領域の酸化物半導体のキャリア濃度の下限値については、特に限定は無いが、例えば、１×１０−９ｃｍ−３とすることができる。
【０２２９】［キャリア濃度、シート抵抗、及びフェルミ準位の関係］
本実施例では、酸化物半導体として機能する金属酸化物におけるキャリア濃度、シート抵抗、及びフェルミ準位の関係について説明する。
【０２３０】  一般に、半導体のキャリア濃度とシート抵抗の関係は、キャリア濃度をｎ、シート抵抗をＲｓ、電気素量をｅ、移動度をμ、膜厚をｔとしたとき、下記数式（１）を満たすことが知られている。
【０２３１】
【数１】
2020084415.tif 000003
【０２３２】  図８は、同じ組成のスパッタリングターゲットを用いて成膜した酸化物半導体膜に対してベーク処理などの各種処理を施し、キャリア濃度を異ならせた７０種類の試料について、キャリア濃度とシート抵抗の関係をプロットした図である。酸化物半導体膜は、金属元素の組成がＩｎ：Ｚｎ：Ｇａ＝４：２：４．１［原子数比］である金属酸化物のスパッタリングターゲットを用いて成膜されたものであり、酸化物半導体膜の厚さは、約３５ｎｍである。図８中、丸印で示したデータは、酸化物半導体膜の単膜の試料（試料数：５３）のデータであり、三角印で示したデータは、酸化物半導体膜上に、酸化窒化シリコン膜等の保護膜が設けられた積層膜の試料（試料数：１７）のデータである。
【０２３３】  また、図８には、上記数式（１）を満たす直線を合わせて明示している。ここでは、移動度μを１５ｃｍ２／Ｖｓ、膜厚ｔを３５ｎｍとして算出した。なお、移動度μは、実際にはキャリア濃度ｎの関数であるが、ここでは定数として算出している。
【０２３４】  図８に示すように、酸化物半導体膜におけるキャリア濃度とシート抵抗の実測値は、同じ組成のスパッタリングターゲットを用いて成膜した酸化物半導体膜であれば、概ね数式（１）を満たすことが分かる。
【０２３５】  図９Ａ及び図９Ｂは、図８と同じ７０種類の試料について、水素濃度とキャリア濃度の関係をプロットした図である。図９Ａは、単膜の試料のデータをプロットしたものであり、図９Ｂは、酸化物半導体膜上に保護膜が設けられた試料のデータをプロットしたものである。
【０２３６】  図９Ａ及び図９Ｂに示すように、酸化物半導体膜中のキャリア濃度が低くなるほど、水素濃度とキャリア濃度とが乖離する傾向があることが分かった。一方、酸化物半導体膜のキャリアが縮退した領域（縮退領域ともいう）、すなわちフェルミレベルが伝導帯下端を上回った領域（キャリア濃度が５×１０１８ｃｍ−３以上の領域）では、水素濃度とキャリア濃度とがほぼ等しい値となる傾向がみられる。
【０２３７】  図９Ａ及び図９Ｂの結果は、酸化物半導体において、縮退領域では酸化物半導体膜中の水素のほぼ全てがキャリア（伝導電子）の生成に寄与していることを示唆する。一方、非縮退領域では、水素の存在形態の変化によって、キャリア（伝導電子）の生成に寄与しない水素が存在することを示唆する。
【０２３８】  続いて、金属元素の組成がＩｎ：Ｚｎ：Ｇａ＝４：２：３［原子数比］であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物膜における、キャリア濃度ｎとフェルミレベルＥｆの関係を図１０に示す。ここでは温度３００Ｋとして計算した結果を示している。
【０２３９】  図１０に示すように、フェルミレベルＥｆはキャリア濃度ｎに依存し、キャリア濃度ｎが高いほど伝導帯下端（Ｅｃ）に近づく。例えばキャリア濃度ｎが１×１０１２ｃｍ−３のとき、フェルミレベルＥｆは伝導帯下端（Ｅｃ）から０．４ｅＶ程度下側に位置する。また、キャリア濃度ｎが１×１０−６ｃｍ−３のとき、フェルミレベルＥｆが真性フェルミレベル（Ｅｉ）と概略一致する。
【０２４０】  なお、金属元素の組成がＩｎ：Ｚｎ：Ｇａ＝１：１：１［原子数比］であるＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物膜の場合には、フェルミレベルＥｆが真性フェルミレベル（Ｅｉ）と概略一致するキャリア濃度は、１×１０−９ｃｍ−３である。
【０２４１】  ここで、酸化物半導体膜を用いたトランジスタにおいて、ノーマリーオフの電気特性が得られるための、酸化物半導体膜中のキャリア濃度（ドナー濃度）の基準は、概ね１×１０１６ｃｍ−３以下であり、これ以下のとき、酸化物半導体は実質的にｉ型であるとみなすことができる。図１０によれば、キャリア濃度ｎが１×１０１６ｃｍ−３のときのフェルミレベルＥｆは伝導帯下端（Ｅｃ）に近い位置に存在していることが分かる。
【０２４２】  本発明の一態様により、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、オン電流の大きい半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様により、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することができる。また、本発明の一態様は、低消費電力の半導体装置を提供することを課題の一つとする。
【０２４３】＜半導体装置の変形例＞
以下では、図６Ａ乃至図６Ｃを用いて、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の一例について説明する。
【０２４４】  ここで、図６Ａは上面図を示す。また、図６Ｂは図６Ａに示すＡ１−Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図である。また、図６Ｃは、図６ＡにＡ３−Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図である。図６Ａの上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
【０２４５】  図６Ａ乃至図６Ｃに示す半導体装置は、図５Ａ乃至図５Ｄに示した半導体装置とは、酸化物２３０ｂが積層構造であることが異なる。また、酸化物２３０ｃが積層構造であることが異なる。また、絶縁体２７３、および絶縁体２７４を有することが異なる。
【０２４６】  酸化物２３０ｃは、２層以上の積層構造を有していてもよい。例えば、図６Ａ乃至図６Ｃでは、酸化物２３０ｃの第１の酸化物と、酸化物２３０ｃの第１の酸化物の上に配置された酸化物２３０ｃの第２の酸化物と、を有する。
【０２４７】  具体的には、酸化物２３０ｃの第１の酸化物は、酸化物２３０ｂに用いられる金属酸化物を構成する金属元素の少なくとも一つを含むことが好ましく、当該金属元素を全て含むことがより好ましい。例えば、酸化物２３０ｃの第１の酸化物として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物を用い、酸化物２３０ｃの第２の酸化物として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物、Ｇａ−Ｚｎ酸化物、または酸化ガリウムを用いるとよい。当該構造により、酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃの第１の酸化物との界面における欠陥準位密度を低くすることができる。
【０２４８】  また、酸化物２３０ｃの第２の酸化物は、酸化物２３０ｃの第１の酸化物より、酸素の拡散または透過を抑制する金属酸化物であることが好ましい。絶縁体２５０と酸化物２３０ｃの第１の酸化物との間に酸化物２３０ｃの第２の酸化物を設けることで、絶縁体２８０に含まれる酸素が、絶縁体２５０に拡散するのを抑制することができる。したがって、当該酸素は、酸化物２３０ｃの第１の酸化物を介して、酸化物２３０ｂに供給されやすくなる。
【０２４９】  また、酸化物２３０ｃの第２の酸化物に用いる金属酸化物において、主成分である金属元素に対するＩｎの原子数比を、酸化物２３０ｃの第１の酸化物に用いる金属酸化物における、主成分である金属元素に対するＩｎの原子数比より小さくすることで、Ｉｎが絶縁体２５０側に拡散するのを抑制することができる。絶縁体２５０は、ゲート絶縁体として機能するため、Ｉｎが絶縁体２５０などに混入した場合、トランジスタの特性不良となる。したがって、酸化物２３０ｃを積層構造とすることで、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。
【０２５０】  また、酸化物２３０ｂは、２層以上の積層構造を有していてもよい。例えば、図６Ａ乃至図６Ｃでは、酸化物２３０ｂの第１の酸化物と、酸化物２３０ｂの第１の酸化物の上に配置された酸化物２３０ｂの第２の酸化物と、を有する。
【０２５１】  具体的には、酸化物２３０ｂの第２の酸化物は、酸化物２３０ｂの第１の酸化物と、ソース電極またはドレイン電極として機能する導電体２４０（導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂ）と、の間に設けるとよい。当該構造において、酸化物２３０ｂの第２の酸化物は、酸素の透過を抑制する機能を有することが好ましい。
【０２５２】  従って、ソース電極やドレイン電極として機能する導電体２４０と酸化物２３０ｂの第１の酸化物との間に酸素の透過を抑制する機能を有する酸化物２３０ｂの第２の酸化物を配置することで、導電体２４０と、酸化物２３０ｂの第１の酸化物との間の電気抵抗が低減されるので好ましい。このような構成とすることで、トランジスタ２００の電気特性およびトランジスタ２００の信頼性を向上させることができる。
【０２５３】  つまり、導電体２４０と、酸化物２３０ｂの第１の酸化物とが接しない構成となるので、導電体２４０が、酸化物２３０ｂの第１の酸化物の酸素を吸収することを抑制できる。導電体２４０の酸化を防止することで、導電体２４０の導電率の低下を抑制することができる。
【０２５４】  酸化物２３０ｂの第２の酸化物として、元素Ｍを有する金属酸化物を用いてもよい。特に、元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、または錫を用いるとよい。酸化物２３０ｂの第２の酸化物は、酸化物２３０ｂの第１の酸化物よりも元素Ｍの濃度が高いことが好ましい。また、酸化物２３０ｂの第２の酸化物として、酸化ガリウムを用いてもよい。また、酸化物２３０ｂの第２の酸化物として、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物等の金属酸化物を用いてもよい。
【０２５５】  具体的には、酸化物２３０ｂの第２の酸化物に用いる金属酸化物において、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比が、酸化物２３０ｂの第１の酸化物に用いる金属酸化物における、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物２３０ｂの第２の酸化物の膜厚は、０．５ｎｍ以上５ｎｍ以下が好ましく、より好ましくは、１ｎｍ以上３ｎｍ以下である。また、酸化物２３０ｂの第２の酸化物は、結晶性を有すると好ましい。酸化物２３０ｂの第２の酸化物が、結晶性を有する場合、酸化物２３０ｂの第１の酸化物中の酸素の放出を低減することが出来る。例えば、酸化物２３０ｂの第２の酸化物としては、六方晶などの結晶構造であれば、酸化物２３０ｂの第１の酸化物中の酸素の放出を抑制できる場合がある。
【０２５６】  また、導電体２４０（導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂ）と酸化物２３０とが接することで、酸化物２３０中の酸素が導電体２４０へ拡散し、導電体２４０が酸化する場合がある。導電体２４０が酸化することで、導電体２４０の導電率が低下する蓋然性が高い。なお、酸化物２３０中の酸素が導電体２４０へ拡散することを、導電体２４０が酸化物２３０中の酸素を吸収する、と言い換えることができる。
【０２５７】  また、酸化物２３０（代表的には酸化物２３０ｂ）中の酸素が導電体２４０へ拡散することで、導電体２４０と酸化物２３０との間に異層が形成される場合がある。当該異層は、導電体２４０よりも酸素を多く含むため、当該異層は絶縁性を有すると推定される。このとき、導電体２４０と、当該異層と、酸化物２３０との３層構造は、金属−絶縁体−半導体からなる３層構造とみなすことができ、ＭＩＳ（Ｍｅｔａｌ−Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）構造と呼ぶ、またはＭＩＳ構造を主としたダイオード接合構造と呼ぶ場合がある。
【０２５８】  また、導電体２４０の上面と、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および導電体２４０の側面とを覆うように、バリア性を有する絶縁体２７３を設けてもよい。なお、絶縁体２７３を設ける場合、絶縁体２４５は必ずしも設けなくともよい。
【０２５９】  例えば、酸化物２３０の導電体２４０と重畳する領域は、導電体２４０の金属元素が添加、または導電体２４０に酸素が吸収され酸素欠損が生じる。つまり、酸化物２３０の導電体２４０と接する面近傍は、局地的に低抵抗化する場合がある。酸化物２３０と導電体２４０とが重畳する領域が低抵抗化することで、トランジスタ２００のオン電流を向上させることができる。
【０２６０】  一方、絶縁体２８０が有する過剰酸素は、導電体２４０と重畳する領域の酸化物２３０における側面から、酸化物２３０へと拡散するため、導電体２４０と重畳する領域の酸化物２３０に生じた局地的な低抵抗化領域が減少し、トランジスタ２００のオン電流が低下する場合がある。
【０２６１】  そこで、絶縁体２７３を設けることで、導電体２４０と重畳する領域の酸化物２３０における側面から、絶縁体２８０が有する過剰酸素が供給されることを抑制することができる。一方で、絶縁体２８０が有する過剰酸素は、酸化物２３０ｃを介して、酸化物２３０ｂのチャネル形成領域へと供給することができる。従って、酸化物２３０の導電体２４０と接する面近傍に生じた低抵抗化領域が減少することなく、酸化物２３０のチャネル形成領域に生じた酸素欠損を、効率よく補償することができる。
【０２６２】  また、絶縁体２２４が過剰酸素領域を有している場合、酸化物２３０において、酸化物２３０ａを介して、絶縁体２２４が有する過剰酸素が酸化物２３０ｂへと拡散する。つまり、酸化物２３０ａ側から、過剰酸素を供給することができる。従って、酸化物２３０の導電体２４０と接する面近傍に生じた低抵抗化領域の減少を抑制しながら、酸化物２３０のチャネル形成領域に生じた酸素欠損を、補償することができる。
【０２６３】  なお、絶縁体２７３は、スパッタリング装置を用いて成膜した酸化アルミニウム膜を用いるとよい。絶縁体２７３として、酸化アルミニウム膜を、酸素ガス雰囲気下で成膜を行うことで、絶縁体２７３を成膜しながら、絶縁体２２４に過剰酸素を導入することができる。
【０２６４】  また、絶縁体２７３上に絶縁体２７４を設けてもよい。なお、絶縁体２７４は、絶縁体２７３と同様に、酸素の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。
【０２６５】  具体的には、スパッタリング法で成膜した絶縁体２７３は、被膜性が低い。従って、絶縁体２７４は、ＡＬＤ法を用いて、成膜することが好ましい。ＡＬＤ法は、段差被覆性と、厚さの均一性に優れた膜を成膜できるため、被処理物の形状の影響を受けにくく、良好な段差被覆性を有するためである。
【０２６６】＜半導体装置の応用例＞
以下では、図７Ａ乃至図７Ｄを用いて、本実施例に係るトランジスタ２００を有する半導体装置に、本発明の一態様の層間膜の積層構造、およびプラグを応用した一例を説明する。
【０２６７】  ここで、図７Ａは上面図を示す。また、図７Ｂは図７Ａに示すＡ１−Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図である。また、図７Ｃは、図７ＡにＡ３−Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図である。また、図７Ｄは、図７ＡにＡ５−Ａ６の一点鎖線で示す部位に対応する断面図である。図７Ａの上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。
【０２６８】  図７Ａ乃至図７Ｄに示す半導体装置において、絶縁体２８０、絶縁体２８２、絶縁体２８３、および絶縁体２８４は、トランジスタ２００を露出する開口部を有する。また、当該開口部内には、トランジスタ２００と接続するプラグとして機能する導電体２４６を有する。また、導電体２４６の側面に、絶縁体２４７を有する。
【０２６９】  なお、導電体２４６は、トランジスタ２００と電気的に接続するプラグ、または配線としての機能を有する。
【０２７０】  また、図７Ａ乃至図７Ｄに示す半導体装置は、トランジスタ２００の上下にバリア層として機能する絶縁体２１２、および絶縁体２８３を有する。また、絶縁体２１２と絶縁体２８３とは、トランジスタ２００の側面、または基板の端部となる領域において、接する。つまり、図７Ａ乃至図７Ｄに示す半導体装置は、トランジスタ２００と過剰酸素領域を有する絶縁体２８０とを、バリア層により封止する構造を有する。
【０２７１】  また、絶縁体２１２と絶縁体２８３とが接する領域は、スクライブラインに沿って設けてもよい。また、例えば、複数のトランジスタ２００をマトリクス状に配置する場合、複数のトランジスタが配列する行列に沿うように、絶縁体２１２と絶縁体２８３とが接する領域を設けてもよい。
【０２７２】  なお、絶縁体２１２と絶縁体２８３とが接する領域を基板の端部に設ける場合、当該領域をスクライブラインと重畳して設けてもよい。
【０２７３】  なお、絶縁体２８３は、絶縁体２８２上に設ける。絶縁体２８４は、導電体２４８を加工する場合に、導電体２４８に対し、エッチレートの選択比が大きい材質を用いている。従って、絶縁体２８４は、必要に応じて絶縁体２８３上に設けるとよい。
【０２７４】  また、絶縁体２４７は、絶縁体２８３と接することが好ましい。絶縁体２４７と絶縁体２８３が接することで、トランジスタ２００と過剰酸素領域を有する絶縁体２８０とを、バリア層により、封止する構造を有する。
【０２７５】  具体的には、絶縁体２８３、絶縁体２８２、および絶縁体２８０の開口の側壁に接して、絶縁体２４７が設けられ、その側面に接して導電体２４６が形成されている。当該開口の底部の少なくとも一部にはトランジスタ２００が位置しており、導電体２４６は、トランジスタ２００と接する。
【０２７６】  なお、＜半導体装置の変形例＞および＜半導体装置の応用例＞において、＜半導体装置の構成例＞に示した半導体装置を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。なお、当該項目においても、半導体装置の構成材料については＜半導体装置の構成例＞で詳細に説明した材料を用いることができる。
【０２７７】  以上より、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。また、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。また、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することができる。また、低消費電力の半導体装置を提供することができる。
【０２７８】  以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態や実施例に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。
【０２７９】（実施の形態３）
本実施の形態では、半導体装置の一形態を、図１１および図１２を用いて説明する。
【０２８０】［記憶装置１］
本発明の一態様である容量素子を使用した、半導体装置（記憶装置）の一例を図１１に示す。本発明の一態様の半導体装置は、トランジスタ２００はトランジスタ３００の上方に設けられ、容量素子１００はトランジスタ２００の上方に設けられている。容量素子１００、またはトランジスタ３００は、少なくとも一部がトランジスタ２００と重畳することが好ましい。これにより、容量素子１００、トランジスタ２００、およびトランジスタ３００の上面視における占有面積を低減することができるので、本実施の形態に係る半導体装置を微細化または高集積化させることができる。なお、本実施の形態に係る半導体装置は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）またはＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）に代表されるロジック回路、あるいはＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ  Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）またはＮＶＭ（Ｎｏｎ−Ｖｏｌａｔｉｌｅ  Ｍｅｍｏｒｙ）に代表されるメモリ回路に適用することができる。
【０２８１】  なお、トランジスタ２００として、先の実施の形態で説明したトランジスタ２００を用いることができる。よって、トランジスタ２００、およびトランジスタ２００を含む層については、先の実施の形態の記載を参酌することができる。
【０２８２】  トランジスタ２００は、酸化物半導体を有する半導体層にチャネルが形成されるトランジスタである。トランジスタ２００は、オフ電流が小さいため、これを記憶装置に用いることにより長期にわたり記憶内容を保持することが可能である。つまり、リフレッシュ動作を必要としない、あるいは、リフレッシュ動作の頻度が極めて少ないため、記憶装置の消費電力を十分に低減することができる。また、半導体層にシリコンを用いるトランジスタと比較して、トランジスタ２００は、高温における電気特性が良好である。例えば、トランジスタ２００は、１２５℃乃至１５０℃の温度範囲においても良好な電気特性を示す。また、１２５℃乃至１５０℃の温度範囲において、トランジスタ２００は、トランジスタのオン／オフ比が１０桁以上を有する。別言すると、半導体層にシリコンを用いるトランジスタと比較して、トランジスタ２００は、トランジスタ特性の一例であるオン電流、周波数特性などが高温になるほど優れた特性を有する。
【０２８３】  図１１に示す半導体装置において、配線１００１はトランジスタ３００のソースと電気的に接続され、配線１００２はトランジスタ３００のドレインと電気的に接続され、配線１００７はトランジスタ３００のゲートと電気的に接続されている。また、配線１００３はトランジスタ２００のソースおよびドレインの一方と電気的に接続され、配線１００４はトランジスタ２００の第１のゲートと電気的に接続され、配線１００６はトランジスタ２００の第２のゲートと電気的に接続されている。そして、トランジスタ２００のソースおよびドレインの他方は、容量素子１００の電極の一方と電気的に接続され、配線１００５は容量素子１００の電極の他方と電気的に接続されている。
【０２８４】  図１１に示す半導体装置は、トランジスタ２００のスイッチングによって、容量素子１００の電極の一方に充電された電荷が保持可能という特性を有することで、情報の書き込み、保持、読み出しが可能である。また、トランジスタ２００は、ソース、ゲート（トップゲート）、ドレインに加え、バックゲートが設けられた素子である。すなわち、４端子素子であるため、ＭＴＪ（Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｔｕｎｎｅｌ  Ｊｕｎｃｔｉｏｎ）特性を利用したＭＲＡＭ（Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ  Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲｅＲＡＭ（Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ  Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、相変化メモリ（Ｐｈａｓｅ−ｃｈａｎｇｅ  ｍｅｍｏｒｙ）などに代表される２端子素子と比較して、入出力の独立制御を簡便に行うことができるといった特徴を有する。また、ＭＲＡＭ、ＲｅＲＡＭ、相変化メモリは、情報の書き換えの際に、原子レベルで構造変化が生じる場合がある。一方で図１１に示す半導体装置は、情報の書き換えの際にトランジスタ及び容量素子を利用した電子のチャージ、またはディスチャージにより動作するため、繰り返し書き換え耐性に優れ、構造変化も少ないといった特徴を有する。
【０２８５】  また、図１１に示す半導体装置は、マトリクス状に配置することで、メモリセルアレイを構成することができる。この場合、トランジスタ３００は、当該メモリセルアレイに接続される読み出し回路、または駆動回路などとして用いることができる。また、図１１に示す半導体装置は、上述のようにメモリセルアレイを構成している。図１１に示す半導体装置をメモリ素子として用いた場合、例えば、駆動電圧が２．５Ｖ、評価環境温度が−４０℃乃至８５℃の範囲において、２００ＭＨｚ以上の動作周波数を実現することができる。
【０２８６】＜トランジスタ３００＞
トランジスタ３００は、基板３１１上に設けられ、ゲート電極として機能する導電体３１６、ゲート絶縁体として機能する絶縁体３１５、基板３１１の一部からなる半導体領域３１３、ならびにソース領域またはドレイン領域として機能する低抵抗領域３１４ａ、および低抵抗領域３１４ｂを有する。
【０２８７】  ここで、半導体領域３１３の上に絶縁体３１５が配置され、絶縁体３１５の上に導電体３１６が配置される。また、同じ層に形成されるトランジスタ３００は、素子分離絶縁層として機能する絶縁体３１２によって、電気的に分離されている。絶縁体３１２は、後述する絶縁体３２６などと同様の絶縁体を用いることができる。トランジスタ３００は、ｐチャネル型、あるいはｎチャネル型のいずれでもよい。
【０２８８】  基板３１１は、半導体領域３１３のチャネルが形成される領域、その近傍の領域、ソース領域、またはドレイン領域となる低抵抗領域３１４ａ、および低抵抗領域３１４ｂなどにおいて、シリコン系半導体などの半導体を含むことが好ましく、単結晶シリコンを含むことが好ましい。または、Ｇｅ（ゲルマニウム）、ＳｉＧｅ（シリコンゲルマニウム）、ＧａＡｓ（ガリウムヒ素）、ＧａＡｌＡｓ（ガリウムアルミニウムヒ素）などを有する材料で形成してもよい。結晶格子に応力を与え、格子間隔を変化させることで有効質量を制御したシリコンを用いた構成としてもよい。またはＧａＡｓとＧａＡｌＡｓ等を用いることで、トランジスタ３００をＨＥＭＴ（Ｈｉｇｈ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｏｂｉｌｉｔｙ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）としてもよい。
【０２８９】  低抵抗領域３１４ａ、および低抵抗領域３１４ｂは、半導体領域３１３に適用される半導体材料に加え、ヒ素、リンなどのｎ型の導電性を付与する元素、またはホウ素などのｐ型の導電性を付与する元素を含む。
【０２９０】  ゲート電極として機能する導電体３１６は、ヒ素、リンなどのｎ型の導電性を付与する元素、もしくはホウ素などのｐ型の導電性を付与する元素を含むシリコンなどの半導体材料、金属材料、合金材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を用いることができる。
【０２９１】  なお、導電体の材料により、仕事関数が定まるため、導電体の材料を変更することで、しきい値電圧を調整することができる。具体的には、導電体に窒化チタンや窒化タンタルなどの材料を用いることが好ましい。さらに導電性と埋め込み性を両立するために導電体にタングステンやアルミニウムなどの金属材料を積層して用いることが好ましく、特にタングステンを用いることが耐熱性の点で好ましい。
【０２９２】  ここで、図１１に示すトランジスタ３００はチャネルが形成される半導体領域３１３（基板３１１の一部）が凸形状を有する。また、半導体領域３１３の側面および上面を、絶縁体３１５を介して、導電体３１６が覆うように設けられている。このようなトランジスタ３００は半導体基板の凸部を利用していることからＦＩＮ型トランジスタとも呼ばれる。なお、凸部の上部に接して、凸部を形成するためのマスクとして機能する絶縁体を有していてもよい。また、ここでは半導体基板の一部を加工して凸部を形成する場合を示したが、ＳＯＩ基板を加工して凸形状を有する半導体膜を形成してもよい。
【０２９３】  なお、図１１に示すトランジスタ３００は一例であり、その構造に限定されず、回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用いればよい。
【０２９４】  また、図１１に示すように半導体装置は、トランジスタ３００と、トランジスタ２００とを、積層して設けている。例えば、トランジスタ３００をシリコン系半導体材料で形成し、トランジスタ２００を酸化物半導体で形成することができる。このように、図１１に示す半導体装置は、シリコン系半導体材料と、酸化物半導体とを、異なるレイヤーに混載して形成することが可能である。また、図１１に示す半導体装置は、シリコン系半導体材料で用いる製造装置と同様のプロセスで作製することが可能であり、高集積化することも可能である。
【０２９５】＜容量素子＞
容量素子１００は、絶縁体１６０上の絶縁体１１４と、絶縁体１１４上の絶縁体１４０と、絶縁体１１４および絶縁体１４０に形成された開口の中に配置された導電体１１０と、導電体１１０および絶縁体１４０上の絶縁体１３０と、絶縁体１３０上の導電体１２０と、導電体１２０および絶縁体１３０上の絶縁体１５０と、を有する。ここで、絶縁体１１４および絶縁体１４０に形成された開口の中に導電体１１０、絶縁体１３０、および導電体１２０の少なくとも一部が配置される。
【０２９６】  導電体１１０は容量素子１００の下部電極として機能し、導電体１２０は容量素子１００の上部電極として機能し、絶縁体１３０は、容量素子１００の誘電体として機能する。容量素子１００は、絶縁体１１４および絶縁体１４０の開口において、底面だけでなく、側面においても上部電極と下部電極とが誘電体を挟んで対向する構成となっており、単位面積当たりの静電容量を大きくすることができる。よって、当該開口の深さを深くするほど、容量素子１００の静電容量を大きくすることができる。このように容量素子１００の単位面積当たりの静電容量を大きくすることにより、半導体装置の微細化または高集積化を推し進めることができる。
【０２９７】  絶縁体１１４、および絶縁体１５０は、絶縁体２８０に用いることができる絶縁体を用いればよい。また、絶縁体１４０は、絶縁体１１４の開口を形成するときのエッチングストッパとして機能することが好ましく、絶縁体２１４に用いることができる絶縁体を用いればよい。
【０２９８】  絶縁体１１４および絶縁体１４０に形成された開口を上面から見た形状は、四角形としてもよいし、四角形以外の多角形状としてもよいし、多角形状において角部を湾曲させた形状としてもよいし、楕円を含む円形状としてもよい。ここで、上面視において、当該開口とトランジスタ２００の重なる面積が多い方が好ましい。このような構成にすることにより、容量素子１００とトランジスタ２００を有する半導体装置の占有面積を低減することができる。
【０２９９】  導電体１１０は、絶縁体１４０、および絶縁体１１４に形成された開口に接して配置される。導電体１１０の上面は、絶縁体１４０の上面と略一致することが好ましい。また、導電体１１０の下面には、絶縁体１６０上に設けられた導電体１５２が接する。導電体１１０は、ＡＬＤ法またはＣＶＤ法などを用いて成膜することが好ましく、例えば、導電体２０５に用いることができる導電体を用いればよい。
【０３００】  絶縁体１３０は、導電体１１０および絶縁体１４０を覆うように配置される。例えば、ＡＬＤ法またはＣＶＤ法などを用いて絶縁体１３０を成膜することが好ましい。絶縁体１３０は、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウム、窒化酸化ハフニウム、窒化ハフニウムなどを用いればよく、積層または単層で設けることができる。例えば、絶縁体１３０として、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウムの順番で積層された絶縁膜を用いることができる。
【０３０１】  また、絶縁体１３０には、酸化窒化シリコンなどの絶縁耐力が大きい材料、または高誘電率（ｈｉｇｈ−ｋ）材料を用いることが好ましい。または、絶縁耐力が大きい材料と高誘電率（ｈｉｇｈ−ｋ）材料の積層構造を用いてもよい。
【０３０２】  なお、高誘電率（ｈｉｇｈ−ｋ）材料（高い比誘電率の材料）の絶縁体としては、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化物、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する窒化物などがある。このようなｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることで、絶縁体１３０を厚くしても容量素子１００の静電容量を十分確保することができる。絶縁体１３０を厚くすることにより、導電体１１０と導電体１２０の間に生じるリーク電流を抑制することができる。
【０３０３】  一方、絶縁耐力が大きい材料としては、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコン、樹脂などがある。例えば、ＡＬＤ法を用いて成膜した窒化シリコン（ＳｉＮｘ）、ＰＥＡＬＤ法を用いて成膜した酸化シリコン（ＳｉＯｘ）、ＡＬＤ法を用いて成膜した窒化シリコン（ＳｉＮｘ）の順番で積層された絶縁膜を用いることができる。このような、絶縁耐力が大きい絶縁体を用いることで、絶縁耐力が向上し、容量素子１００の静電破壊を抑制することができる。
【０３０４】  導電体１２０は、絶縁体１４０および絶縁体１１４に形成された開口を埋めるように配置される。また、導電体１２０は、導電体１１２、および導電体１５３を介して配線１００５と電気的に接続している。導電体１２０は、ＡＬＤ法またはＣＶＤ法などを用いて成膜することが好ましく、例えば、導電体２０５に用いることができる導電体を用いればよい。
【０３０５】  また、トランジスタ２００は、酸化物半導体を用いる構成であるため、容量素子１００との相性が優れている。具体的には、酸化物半導体を用いるトランジスタ２００は、オフ電流が小さいため、容量素子１００と組み合わせて用いることで長期にわたり記憶内容を保持することが可能である。
【０３０６】＜配線層＞
各構造体の間には、層間膜、配線、およびプラグ等が設けられた配線層が設けられていてもよい。また、配線層は、設計に応じて複数層設けることができる。ここで、プラグまたは配線として機能する導電体は、複数の構造をまとめて同一の符号を付与する場合がある。また、本明細書等において、配線と、配線と電気的に接続するプラグとが一体物であってもよい。すなわち、導電体の一部が配線として機能する場合、および導電体の一部がプラグとして機能する場合もある。
【０３０７】  例えば、トランジスタ３００上には、層間膜として、絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２４、および絶縁体３２６が順に積層して設けられている。また、絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２４、および絶縁体３２６には、端子として機能する導電体１５３と電気的に接続する導電体３２８、および導電体３３０等が埋め込まれている。なお、導電体３２８、および導電体３３０はプラグ、または配線として機能する。
【０３０８】  また、層間膜として機能する絶縁体は、その下方の凹凸形状を被覆する平坦化膜として機能してもよい。例えば、絶縁体３２２の上面は、平坦性を高めるために化学機械研磨（ＣＭＰ）法等を用いた平坦化処理により平坦化されていてもよい。
【０３０９】  絶縁体３２６、および導電体３３０上に、配線層を設けてもよい。例えば、図１１において、絶縁体３５０、絶縁体３５２、および絶縁体３５４が順に積層して設けられている。また、絶縁体３５０、絶縁体３５２、および絶縁体３５４には、導電体３５６が形成されている。導電体３５６は、プラグ、または配線として機能する。
【０３１０】  絶縁体３５４、および導電体３５６上には、絶縁体２１０、絶縁体２１２、絶縁体２１４、および絶縁体２１６が順に積層して設けられている。また、絶縁体２１０、絶縁体２１２、絶縁体２１４、および絶縁体２１６には、導電体２１８、及びトランジスタ２００を構成する導電体（導電体２０５）等が埋め込まれている。なお、導電体２１８は、トランジスタ３００と電気的に接続するプラグ、または配線として機能する。
【０３１１】  また、絶縁体１１４、絶縁体１４０、絶縁体１３０、絶縁体１５０、および絶縁体１５４には、導電体１１２、および容量素子１００を構成する導電体（導電体１２０、導電体１１０）等が埋め込まれている。なお、導電体１１２は、容量素子１００、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００と、端子として機能する導電体１５３と、を電気的に接続するプラグ、または配線として機能する。
【０３１２】  また、絶縁体１５４上に導電体１５３が設けられ、導電体１５３は、絶縁体１５６に覆われている。ここで、導電体１５３は導電体１１２の上面に接しており、容量素子１００、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００の端子として機能する。
【０３１３】  なお、層間膜として用いることができる絶縁体としては、絶縁性を有する酸化物、窒化物、酸化窒化物、窒化酸化物、金属酸化物、金属酸化窒化物、金属窒化酸化物などがある。例えば、層間膜として機能する絶縁体は、比誘電率が低い材料を用いることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。したがって、絶縁体の機能に応じて、材料を選択するとよい。
【０３１４】  例えば、絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２６、絶縁体３５２、絶縁体３５４、絶縁体２１２、絶縁体１１４、絶縁体１５０、絶縁体１５６等は、比誘電率の低い絶縁体を有することが好ましい。例えば、当該絶縁体は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコン、樹脂などを有することが好ましい。または、当該絶縁体は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコンまたは空孔を有する酸化シリコンと、樹脂と、の積層構造を有することが好ましい。酸化シリコンおよび酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため、樹脂と組み合わせることで、熱的に安定かつ比誘電率の低い積層構造とすることができる。樹脂としては、例えば、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド（ナイロン、アラミドなど）、ポリイミド、ポリカーボネート、アクリルなどがある。
【０３１５】  また、導電体１５２または導電体１５３の上または下に設けられる絶縁体の抵抗率が１．０×１０１２Ωｃｍ以上１．０×１０１５Ωｃｍ以下、好ましくは５．０×１０１２Ωｃｍ以上１．０×１０１４Ωｃｍ以下、より好ましくは１．０×１０１３Ωｃｍ以上５．０×１０１３Ωｃｍ以下であることが好ましい。導電体１５２または導電体１５３の上または下に設けられる絶縁体の抵抗率を上記の範囲にすることで、当該絶縁体は、絶縁性を維持しつつ、トランジスタ２００、トランジスタ３００、容量素子１００、および導電体１５２等の配線間に蓄積される電荷を分散し、該電荷によるトランジスタ、該トランジスタを有する半導体装置の特性不良や静電破壊を抑制することができ、好ましい。このような絶縁体として、窒化シリコン、または窒化酸化シリコンを用いることができる。例えば、絶縁体１６０または絶縁体１５４の抵抗率を上記の範囲にすればよい。
【０３１６】  また、酸化物半導体を用いたトランジスタは、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体で囲うことによって、トランジスタの電気特性を安定にすることができる。従って、絶縁体３２４、絶縁体３５０、絶縁体２１０等には、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体を用いればよい。
【０３１７】  水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体としては、例えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニウム、シリコン、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、ネオジム、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単層で、または積層で用いればよい。具体的には、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウムまたは酸化タンタルなどの金属酸化物、窒化酸化シリコンまたは窒化シリコンなどを用いることができる。
【０３１８】  配線、プラグに用いることができる導電体としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウムなどから選ばれた金属元素を１種以上含む材料を用いることができる。また、リン等の不純物元素を含有させた多結晶シリコンに代表される、電気伝導度が高い半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。
【０３１９】  例えば、導電体３２８、導電体３３０、導電体３５６、導電体２１８、導電体１１２、導電体１５２、導電体１５３等としては、上記の材料で形成される金属材料、合金材料、金属窒化物材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を、単層または積層して用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましく、タングステンを用いることが好ましい。または、アルミニウムや銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。低抵抗導電性材料を用いることで配線抵抗を低くすることができる。
【０３２０】＜酸化物半導体が設けられた層の配線、またはプラグ＞
なお、トランジスタ２００に、酸化物半導体を用いる場合、酸化物半導体の近傍に過剰酸素領域を有する絶縁体が設けられることがある。その場合、該過剰酸素領域を有する絶縁体と、該過剰酸素領域を有する絶縁体に設ける導電体との間に、バリア性を有する絶縁体を設けることが好ましい。
【０３２１】  例えば、図１１では、過剰酸素を有する絶縁体２８０と、導電体２４８との間に、絶縁体２４７を設けるとよい。絶縁体２４７と、絶縁体２８２とが接して設けられることで、導電体２４８、およびトランジスタ２００が、バリア性を有する絶縁体によって、封止される構造とすることができる。
【０３２２】  つまり、絶縁体２４７を設けることで、絶縁体２８０が有する過剰酸素が、導電体２４８に吸収されることを抑制することができる。また、絶縁体２４７を有することで、不純物である水素が、導電体２４８を介して、トランジスタ２００へ拡散することを抑制することができる。
【０３２３】  ここで、導電体２４８は、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００と電気的に接続するプラグ、または配線としての機能を有する。
【０３２４】  具体的には、絶縁体２８４、絶縁体２８２、および絶縁体２８０の開口の側壁に接して、絶縁体２４７が設けられ、その側面に接して導電体２４８が形成されている。当該開口の底部の少なくとも一部には導電体２４０が位置しており、導電体２４８が導電体２４０と接する。
【０３２５】  導電体２４８は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、導電体２４８は積層構造としてもよい。なお、トランジスタ２００では、導電体２４８を、２層の積層構造として設ける構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体２４８を単層、または３層以上の積層構造として設ける構成にしてもよい。
【０３２６】  また、導電体２４８を積層構造とする場合、導電体２４０と接し、かつ、絶縁体２８０、絶縁体２８２、および絶縁体２８４と、絶縁体２４７を介して接する導電体には、水、水素などの不純物の透過を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。例えば、タンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン、ルテニウム、酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。また、水、水素などの不純物の透過を抑制する機能を有する導電性材料は、単層または積層で用いてもよい。当該導電性材料を用いることで、絶縁体２８０に添加された酸素が導電体２４８に吸収されるのを防ぐことができる。また、絶縁体２８４より上層に含まれる、水、水素などの不純物が、導電体２４８を通じて酸化物２３０に拡散するのを抑制することができる。
【０３２７】  絶縁体２４７としては、例えば、絶縁体２１４等に用いることができる絶縁体を用いればよい。絶縁体２４７は、絶縁体２８０などに含まれる水、水素などの不純物が、導電体２４８を通じて酸化物２３０に拡散するのを抑制することができる。また、絶縁体２８０に含まれる酸素が導電体２４８に吸収されるのを防ぐことができる。
【０３２８】  また、導電体２４８の上面に接して配線として機能する導電体１５２を配置してもよい。配線として機能する導電体は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、当該導電体は、積層構造としてもよく、例えば、チタンまたは窒化チタンと上記導電性材料との積層としてもよい。なお、当該導電体は、絶縁体に設けられた開口に埋め込むように形成してもよい。
【０３２９】  以上が構成例についての説明である。本構成を用いることで、酸化物半導体を有するトランジスタを用いた半導体装置を微細化または高集積化させることができる。また、酸化物半導体を有するトランジスタを用いた半導体装置において、電気特性の変動を抑制すると共に、信頼性を向上させることができる。また、オン電流が大きい酸化物半導体を有するトランジスタを提供することができる。また、オフ電流が小さい酸化物半導体を有するトランジスタを提供することができる。また、消費電力が低減された半導体装置を提供することができる。
【０３３０】［記憶装置２］
本発明の一態様である半導体装置を使用した、半導体装置（記憶装置）の一例を図１２に示す。図１２に示す半導体装置は、図１１で示した半導体装置と同様に、トランジスタ２００、トランジスタ３００、および容量素子１００を有する。ただし、図１２に示す半導体装置は、容量素子１００がプレーナ型である点、およびトランジスタ２００とトランジスタ３００が電気的に接続されている点において、図１１に示す半導体装置と異なる。
【０３３１】  本発明の一態様の半導体装置は、トランジスタ２００はトランジスタ３００の上方に設けられ、容量素子１００はトランジスタ３００、およびトランジスタ２００の上方に設けられている。容量素子１００、またはトランジスタ３００は、少なくとも一部がトランジスタ２００と重畳することが好ましい。これにより、容量素子１００、トランジスタ２００、およびトランジスタ３００の上面視における占有面積を低減することができるので、本実施の形態に係る半導体装置を微細化または高集積化させることができる。
【０３３２】  なお、トランジスタ２００およびトランジスタ３００として、上記のトランジスタ２００およびトランジスタ３００を用いることができる。よって、トランジスタ２００、トランジスタ３００、およびこれらを含む層については、上記の記載を参酌することができる。
【０３３３】  図１２に示す半導体装置において、配線２００１はトランジスタ３００のソースと電気的に接続され、配線２００２はトランジスタ３００のドレインと電気的に接続されている。また、配線２００３はトランジスタ２００のソースおよびドレインの一方と電気的に接続され、配線２００４はトランジスタ２００の第１のゲートと電気的に接続され、配線２００６はトランジスタ２００の第２のゲートと電気的に接続されている。そして、トランジスタ３００のゲート、およびトランジスタ２００のソースおよびドレインの他方は、容量素子１００の電極の一方と電気的に接続され、配線２００５は容量素子１００の電極の他方と電気的に接続されている。なお、以下において、トランジスタ３００のゲートと、トランジスタ２００のソースおよびドレインの他方と、容量素子１００の電極の一方と、が接続されたノードをノードＦＧと呼ぶ場合がある。
【０３３４】  図１２に示す半導体装置は、トランジスタ２００のスイッチングによって、トランジスタ３００のゲート（ノードＦＧ）の電位が保持可能という特性を有することで、情報の書き込み、保持、読み出しが可能である。
【０３３５】  また、図１２に示す半導体装置は、マトリクス状に配置することで、メモリセルアレイを構成することができる。
【０３３６】  トランジスタ３００を含む層は、図１１に示す半導体装置と同様の構造を有するので、絶縁体３５４より下の構造は、上記の記載を参酌することができる。
【０３３７】  絶縁体３５４の上に、絶縁体２１０、絶縁体２１２、絶縁体２１４、および絶縁体２１６が配置される。ここで、絶縁体２１０は、絶縁体３５０などと同様に、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体を用いればよい。
【０３３８】  絶縁体２１０、絶縁体２１２、絶縁体２１４、および絶縁体２１６には、導電体２１８が埋め込まれている。導電体２１８は、容量素子１００、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００と電気的に接続するプラグ、または配線として機能する。例えば、導電体２１８は、トランジスタ３００のゲート電極として機能する導電体３１６と電気的に接続されている。
【０３３９】  また、導電体２４８は、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００と電気的に接続するプラグ、または配線として機能する。例えば、導電体２４８は、トランジスタ２００のソースおよびドレインの他方として機能する導電体２４０ｂと、容量素子１００の電極の一方として機能する導電体１１０を、導電体２４８を介して電気的に接続している。
【０３４０】  また、プレーナ型の容量素子１００は、トランジスタ２００の上方に設けられる。容量素子１００は、第１の電極として機能する導電体１１０、第２の電極として機能する導電体１２０、および誘電体として機能する絶縁体１３０を有する。なお、導電体１１０、導電体１２０、および絶縁体１３０は、上述の記憶装置１で記載したものを用いることができる。
【０３４１】  導電体２４８の上面に接して導電体１５３および導電体１１０が設けられる。導電体１５３は、導電体２４８の上面に接しており、トランジスタ２００またはトランジスタ３００の端子として機能する。
【０３４２】  導電体１５３および導電体１１０は絶縁体１３０に覆われており、絶縁体１３０を介して導電体１１０と重なるように導電体１２０が配置される。さらに、導電体１２０、および絶縁体１３０上には、絶縁体１１４が配置されている。
【０３４３】  また、図１２において、容量素子１００として、プレーナ型の容量素子を用いる例について示したが、本実施の形態に示す半導体装置はこれに限られるものではない。例えば、容量素子１００として、図１１に示すようなシリンダ型の容量素子１００を用いてもよい。
【０３４４】［記憶装置３］
本発明の一態様である半導体装置を使用した、記憶装置の一例を図１３に示す。図１３に示す記憶装置は、図１２で示したトランジスタ２００、トランジスタ３００、および容量素子１００を有する半導体装置に加え、トランジスタ４００を有している。
【０３４５】  トランジスタ４００は、トランジスタ２００の第２のゲート電圧を制御することができる。例えば、トランジスタ４００の第１のゲート及び第２のゲートをソースとダイオード接続し、トランジスタ４００のソースと、トランジスタ２００の第２のゲートを接続する構成とする。当該構成でトランジスタ２００の第２のゲートの負電位を保持するとき、トランジスタ４００の第１のゲートーソース間の電圧および、第２のゲートーソース間の電圧は、０Ｖになる。トランジスタ４００において、第２のゲート電圧及び第１のゲート電圧が０Ｖのときのドレイン電流が非常に小さいため、トランジスタ２００およびトランジスタ４００に電源供給をしなくても、トランジスタ２００の第２のゲートの負電位を長時間維持することができる。これにより、トランジスタ２００、およびトランジスタ４００を有する記憶装置は、長期にわたり記憶内容を保持することが可能である。
【０３４６】  従って、図１３において、配線１００１はトランジスタ３００のソースと電気的に接続され、配線１００２はトランジスタ３００のドレインと電気的に接続されている。また、配線１００３はトランジスタ２００のソースおよびドレインの一方と電気的に接続され、配線１００４はトランジスタ２００のゲートと電気的に接続され、配線１００６はトランジスタ２００の第２のゲート（バックゲート）と電気的に接続されている。そして、トランジスタ３００のゲート、およびトランジスタ２００のソースおよびドレインの他方は、容量素子１００の電極の一方と電気的に接続され、配線１００５は容量素子１００の電極の他方と電気的に接続されている。配線１００７はトランジスタ４００のソースと電気的に接続され、配線１００８はトランジスタ４００のゲートと電気的に接続され、配線１００９はトランジスタ４００の第２のゲート（バックゲート）と電気的に接続され、配線１０１０はトランジスタ４００のドレインと電気的に接続されている。ここで、配線１００６、配線１００７、配線１００８、及び配線１００９が電気的に接続されている。
【０３４７】  また、図１３に示す記憶装置は、図１１及び図１２に示す記憶装置と同様に、マトリクス状に配置することで、メモリセルアレイを構成することができる。なお、１個のトランジスタ４００は、複数のトランジスタ２００の第２のゲート電圧を制御することができる。そのため、トランジスタ４００は、トランジスタ２００よりも、少ない個数を設けるとよい。
【０３４８】＜トランジスタ４００＞
トランジスタ４００は、トランジスタ２００と、同じ層に形成されており、並行して作製することができるトランジスタである。トランジスタ４００は、第１のゲート電極として機能する導電体４６０（導電体４６０ａ、および導電体４６０ｂ）と、第２のゲート電極として機能する導電体４０５と、ゲート絶縁層として機能する絶縁体２２２、絶縁体２２４、および絶縁体４５０と、チャネルが形成される領域を有する酸化物４３０ｃと、ソースまたはドレインの一方として機能する導電体４４０ａ、酸化物４３２ａ、および酸化物４３２ｂと、ソースまたはドレインの他方として機能する導電体４４０ｂ、酸化物４３１ａ、および酸化物４３１ｂと、バリア層として機能する絶縁体４４５ａ、および４４５ｂと、を有する。
【０３４９】  トランジスタ４００において、導電体４０５は、導電体２０５と、同じ層である。酸化物４３１ａ、および酸化物４３２ａは、酸化物２３０ａと、同じ層であり、酸化物４３１ｂ、および酸化物４３２ｂは、酸化物２３０ｂと、同じ層である。導電体４４０（導電体４４０ａ、および導電体４４０ｂ）は、導電体２４０と、同じ層である。絶縁体４４５（絶縁体４４５ａ、および絶縁体４４５ｂ）は、絶縁体２４５と、同じ層である。酸化物４３０ｃは、酸化物２３０ｃと、同じ層である。絶縁体４５０は、絶縁体２５０と、同じ層である。導電体４６０は、導電体２６０と、同じ層である。
【０３５０】  なお、同じ層に形成された構造体は、同時に形成することができる。例えば、酸化物４３０ｃは、酸化物２３０ｃとなる酸化膜を加工することで、形成することができる。
【０３５１】  トランジスタ４００の活性層として機能する酸化物４３０ｃは、酸化物２３０などと同様に、酸素欠損が低減され、水素または水などの不純物が低減されている。これにより、トランジスタ４００のしきい値電圧を０Ｖより大きくし、オフ電流を低減し、第２のゲート電圧及び第１のゲート電圧が０Ｖのときのドレイン電流を非常に小さくすることができる。
【０３５２】  本実施の形態は、他の実施の形態および実施例などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
【０３５３】（実施の形態４）
本実施の形態では、図１４Ａ、図１４Ｂ、および図１５Ａ乃至図１５Ｈを用いて、本発明の一態様に係る、酸化物を半導体に用いたトランジスタ（以下、ＯＳトランジスタと呼ぶ場合がある。）、および容量素子が適用されている記憶装置（以下、ＯＳメモリ装置と呼ぶ場合がある。）について説明する。ＯＳメモリ装置は、少なくとも容量素子と、容量素子の充放電を制御するＯＳトランジスタを有する記憶装置である。ＯＳトランジスタのオフ電流は極めて小さいので、ＯＳメモリ装置は優れた保持特性をもち、不揮発性メモリとして機能させることができる。
【０３５４】＜記憶装置の構成例＞
図１４ＡにＯＳメモリ装置の構成の一例を示す。記憶装置１４００は、周辺回路１４１１、およびメモリセルアレイ１４７０を有する。周辺回路１４１１は、行回路１４２０、列回路１４３０、出力回路１４４０、およびコントロールロジック回路１４６０を有する。
【０３５５】  列回路１４３０は、例えば、列デコーダ、プリチャージ回路、センスアンプ、書き込み回路等を有する。プリチャージ回路は、配線をプリチャージする機能を有する。センスアンプは、メモリセルから読み出されたデータ信号を増幅する機能を有する。なお、上記配線は、メモリセルアレイ１４７０が有するメモリセルに接続されている配線であり、詳しくは後述する。増幅されたデータ信号は、出力回路１４４０を介して、データ信号ＲＤＡＴＡとして記憶装置１４００の外部に出力される。また、行回路１４２０は、例えば、行デコーダ、ワード線ドライバ回路等を有し、アクセスする行を選択することができる。
【０３５６】  記憶装置１４００には、外部から電源電圧として低電源電圧（ＶＳＳ）、周辺回路１４１１用の高電源電圧（ＶＤＤ）、メモリセルアレイ１４７０用の高電源電圧（ＶＩＬ）が供給される。また、記憶装置１４００には、制御信号（ＣＥ、ＷＥ、ＲＥ）、アドレス信号ＡＤＤＲ、データ信号ＷＤＡＴＡが外部から入力される。アドレス信号ＡＤＤＲは、行デコーダおよび列デコーダに入力され、データ信号ＷＤＡＴＡは書き込み回路に入力される。
【０３５７】  コントロールロジック回路１４６０は、外部からの入力信号（ＣＥ、ＷＥ、ＲＥ）を処理して、行デコーダ、列デコーダの制御信号を生成する。ＣＥは、チップイネーブル信号であり、ＷＥは、書き込みイネーブル信号であり、ＲＥは、読み出しイネーブル信号である。コントロールロジック回路１４６０が処理する信号は、これに限定されるものではなく、必要に応じて、他の制御信号を入力すればよい。
【０３５８】  メモリセルアレイ１４７０は、行列状に配置された、複数個のメモリセルＭＣと、複数の配線を有する。なお、メモリセルアレイ１４７０と行回路１４２０とを接続している配線の数は、メモリセルＭＣの構成、一列に有するメモリセルＭＣの数などによって決まる。また、メモリセルアレイ１４７０と列回路１４３０とを接続している配線の数は、メモリセルＭＣの構成、一行に有するメモリセルＭＣの数などによって決まる。
【０３５９】  なお、図１４Ａにおいて、周辺回路１４１１とメモリセルアレイ１４７０を同一平面上に形成する例について示したが、本実施の形態はこれに限られるものではない。例えば、図１４Ｂに示すように、周辺回路１４１１の一部の上に、メモリセルアレイ１４７０が重なるように設けられてもよい。例えば、メモリセルアレイ１４７０の下に重なるように、センスアンプを設ける構成にしてもよい。
【０３６０】  図１５Ａ乃至図１５Ｈに上述のメモリセルＭＣに適用できるメモリセルの構成例について説明する。
【０３６１】［ＤＯＳＲＡＭ］
図１５Ａ乃至図１５Ｃに、ＤＲＡＭのメモリセルの回路構成例を示す。本明細書等において、１ＯＳトランジスタ１容量素子型のメモリセルを用いたＤＲＡＭを、ＤＯＳＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）と呼ぶ場合がある。図１５Ａに示す、メモリセル１４７１は、トランジスタＭ１と、容量素子ＣＡと、を有する。なお、トランジスタＭ１は、ゲート（トップゲートと呼ぶ場合がある。）、及びバックゲートを有する。
【０３６２】  トランジスタＭ１の第１端子は、容量素子ＣＡの第１端子と接続され、トランジスタＭ１の第２端子は、配線ＢＩＬと接続され、トランジスタＭ１のゲートは、配線ＷＯＬと接続され、トランジスタＭ１のバックゲートは、配線ＢＧＬと接続されている。容量素子ＣＡの第２端子は、配線ＣＡＬと接続されている。
【０３６３】  配線ＢＩＬは、ビット線として機能し、配線ＷＯＬは、ワード線として機能する。配線ＣＡＬは、容量素子ＣＡの第２端子に所定の電位を印加するための配線として機能する。データの書き込み時、及び読み出し時において、配線ＣＡＬには、低レベル電位を印加するのが好ましい。配線ＢＧＬは、トランジスタＭ１のバックゲートに電位を印加するための配線として機能する。配線ＢＧＬに任意の電位を印加することによって、トランジスタＭ１のしきい値電圧を増減することができる。
【０３６４】  ここで、図１５Ａに示すメモリセル１４７１は、図１１に示す記憶装置に対応している。つまり、トランジスタＭ１はトランジスタ２００に、容量素子ＣＡは容量素子１００に、配線ＢＩＬは配線１００３に、配線ＷＯＬは配線１００４に、配線ＢＧＬは配線１００６に、配線ＣＡＬは配線１００５に対応している。なお、図１１に記載のトランジスタ３００は、図１４Ａ、および図１４Ｂに示す記憶装置１４００の周辺回路１４１１に設けられるトランジスタに対応する。
【０３６５】  また、メモリセルＭＣは、メモリセル１４７１に限定されず、回路構成の変更を行うことができる。例えば、メモリセルＭＣは、図１５Ｂに示すメモリセル１４７２のように、トランジスタＭ１のバックゲートが、配線ＢＧＬでなく、配線ＷＯＬと接続される構成にしてもよい。また、例えば、メモリセルＭＣは、図１５Ｃに示すメモリセル１４７３のように、シングルゲート構造のトランジスタ、つまりバックゲートを有さないトランジスタＭ１で構成されたメモリセルとしてもよい。
【０３６６】  上記実施の形態に示す半導体装置をメモリセル１４７１等に用いる場合、トランジスタＭ１としてトランジスタ２００を用い、容量素子ＣＡとして容量素子１００を用いることができる。トランジスタＭ１としてＯＳトランジスタを用いることによって、トランジスタＭ１のリーク電流を非常に低くすることができる。つまり、書き込んだデータをトランジスタＭ１によって長時間保持することができるため、メモリセルのリフレッシュの頻度を少なくすることができる。または、メモリセルのリフレッシュ動作を不要にすることができる。また、リーク電流が非常に低いため、メモリセル１４７１、メモリセル１４７２、メモリセル１４７３に対して多値データ、又はアナログデータを保持することができる。
【０３６７】  また、ＤＯＳＲＡＭにおいて、上記のように、メモリセルアレイ１４７０の下に重なるように、センスアンプを設ける構成にすると、ビット線を短くすることができる。これにより、ビット線容量が小さくなり、メモリセルの保持容量を低減することができる。
【０３６８】［ＮＯＳＲＡＭ］
図１５Ｄ乃至図１５Ｇに、２トランジスタ１容量素子のゲインセル型のメモリセルの回路構成例を示す。図１５Ｄに示す、メモリセル１４７４は、トランジスタＭ２と、トランジスタＭ３と、容量素子ＣＢと、を有する。なお、トランジスタＭ２は、トップゲート（単にゲートと呼ぶ場合がある。）、及びバックゲートを有する。本明細書等において、トランジスタＭ２にＯＳトランジスタを用いたゲインセル型のメモリセルを有する記憶装置を、ＮＯＳＲＡＭ（Ｎｏｎｖｏｌａｔｉｌｅ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ＲＡＭ）と呼ぶ場合がある。
【０３６９】  トランジスタＭ２の第１端子は、容量素子ＣＢの第１端子と接続され、トランジスタＭ２の第２端子は、配線ＷＢＬと接続され、トランジスタＭ２のゲートは、配線ＷＯＬと接続され、トランジスタＭ２のバックゲートは、配線ＢＧＬと接続されている。容量素子ＣＢの第２端子は、配線ＣＡＬと接続されている。トランジスタＭ３の第１端子は、配線ＲＢＬと接続され、トランジスタＭ３の第２端子は、配線ＳＬと接続され、トランジスタＭ３のゲートは、容量素子ＣＢの第１端子と接続されている。
【０３７０】  配線ＷＢＬは、書き込みビット線として機能し、配線ＲＢＬは、読み出しビット線として機能し、配線ＷＯＬは、ワード線として機能する。配線ＣＡＬは、容量素子ＣＢの第２端子に所定の電位を印加するための配線として機能する。データの書き込み時、データ保持の最中、データの読み出し時において、配線ＣＡＬには、低レベル電位を印加するのが好ましい。配線ＢＧＬは、トランジスタＭ２のバックゲートに電位を印加するための配線として機能する。配線ＢＧＬに任意の電位を印加することによって、トランジスタＭ２のしきい値電圧を増減することができる。
【０３７１】  ここで、図１５Ｄに示すメモリセル１４７４は、図１２に示す記憶装置に対応している。つまり、トランジスタＭ２はトランジスタ２００に、容量素子ＣＢは容量素子１００に、トランジスタＭ３はトランジスタ３００に、配線ＷＢＬは配線２００３に、配線ＷＯＬは配線２００４に、配線ＢＧＬは配線２００６に、配線ＣＡＬは配線２００５に、配線ＲＢＬは配線２００２に、配線ＳＬは配線２００１に対応している。
【０３７２】  また、メモリセルＭＣは、メモリセル１４７４に限定されず、回路の構成を適宜変更することができる。例えば、メモリセルＭＣは、図１５Ｅに示すメモリセル１４７５のように、トランジスタＭ２のバックゲートが、配線ＢＧＬでなく、配線ＷＯＬと接続される構成にしてもよい。また、例えば、メモリセルＭＣは、図１５Ｆに示すメモリセル１４７６のように、シングルゲート構造のトランジスタ、つまりバックゲートを有さないトランジスタＭ２で構成されたメモリセルとしてもよい。また、例えば、メモリセルＭＣは、図１５Ｇに示すメモリセル１４７７のように、配線ＷＢＬと配線ＲＢＬを一本の配線ＢＩＬとしてまとめた構成であってもよい。
【０３７３】  上記実施の形態に示す半導体装置をメモリセル１４７４等に用いる場合、トランジスタＭ２としてトランジスタ２００を用い、トランジスタＭ３としてトランジスタ３００を用い、容量素子ＣＢとして容量素子１００を用いることができる。トランジスタＭ２としてＯＳトランジスタを用いることによって、トランジスタＭ２のリーク電流を非常に低くすることができる。これにより、書き込んだデータをトランジスタＭ２によって長時間保持することができるため、メモリセルのリフレッシュの頻度を少なくすることができる。または、メモリセルのリフレッシュ動作を不要にすることができる。また、リーク電流が非常に低いため、メモリセル１４７４に多値データ、又はアナログデータを保持することができる。メモリセル１４７５乃至メモリセル１４７７も同様である。
【０３７４】  なお、トランジスタＭ３は、チャネル形成領域にシリコンを有するトランジスタ（以下、Ｓｉトランジスタと呼ぶ場合がある）であってもよい。Ｓｉトランジスタの導電型は、ｎチャネル型としてもよいし、ｐチャネル型としてもよい。Ｓｉトランジスタは、ＯＳトランジスタよりも電界効果移動度が高くなる場合がある。よって、読み出しトランジスタとして機能するトランジスタＭ３として、Ｓｉトランジスタを用いてもよい。また、トランジスタＭ３にＳｉトランジスタを用いることで、トランジスタＭ３の上に積層してトランジスタＭ２を設けることができるので、メモリセルの占有面積を低減し、記憶装置の高集積化を図ることができる。
【０３７５】  また、トランジスタＭ３はＯＳトランジスタであってもよい。トランジスタＭ２およびトランジスタＭ３にＯＳトランジスタを用いた場合、メモリセルアレイ１４７０をｎ型トランジスタのみを用いて回路を構成することができる。
【０３７６】  また、図１５Ｈに３トランジスタ１容量素子のゲインセル型のメモリセルの一例を示す。図１５Ｈに示すメモリセル１４７８は、トランジスタＭ４乃至トランジスタＭ６、および容量素子ＣＣを有する。容量素子ＣＣは適宜設けられる。メモリセル１４７８は、配線ＢＩＬ、配線ＲＷＬ、配線ＷＷＬ、配線ＢＧＬ、および配線ＧＮＤＬに電気的に接続されている。配線ＧＮＤＬは低レベル電位を与える配線である。なお、メモリセル１４７８を、配線ＢＩＬに代えて、配線ＲＢＬ、配線ＷＢＬに電気的に接続してもよい。
【０３７７】  トランジスタＭ４は、バックゲートを有するＯＳトランジスタであり、バックゲートは配線ＢＧＬに電気的に接続されている。なお、トランジスタＭ４のバックゲートとゲートとを互いに電気的に接続してもよい。あるいは、トランジスタＭ４はバックゲートを有さなくてもよい。
【０３７８】  なお、トランジスタＭ５、トランジスタＭ６はそれぞれ、ｎチャネル型Ｓｉトランジスタまたはｐチャネル型Ｓｉトランジスタでもよい。或いは、トランジスタＭ４乃至トランジスタＭ６がＯＳトランジスタでもよい。この場合、メモリセルアレイ１４７０をｎ型トランジスタのみを用いて回路を構成することができる。
【０３７９】  上記実施の形態に示す半導体装置をメモリセル１４７８に用いる場合、トランジスタＭ４としてトランジスタ２００を用い、トランジスタＭ５、トランジスタＭ６としてトランジスタ３００を用い、容量素子ＣＣとして容量素子１００を用いることができる。トランジスタＭ４としてＯＳトランジスタを用いることによって、トランジスタＭ４のリーク電流を非常に低くすることができる。
【０３８０】  なお、本実施の形態に示す、周辺回路１４１１、メモリセルアレイ１４７０等の構成は、上記に限定されるものではない。これらの回路、および当該回路に接続される配線、回路素子等の、配置または機能は、必要に応じて、変更、削除、または追加してもよい。
【０３８１】  本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態、実施例などに示す構成と適宜組み合わせて用いることができる。
【０３８２】（実施の形態５）
本実施の形態では、図１６Ａ、および図１６Ｂを用いて、本発明の半導体装置が実装されたチップ１２００の一例を示す。チップ１２００には、複数の回路（システム）が実装されている。このように、複数の回路（システム）を一つのチップに集積する技術を、システムオンチップ（Ｓｙｓｔｅｍ  ｏｎ  Ｃｈｉｐ：ＳｏＣ）と呼ぶ場合がある。
【０３８３】  図１６Ａに示すように、チップ１２００は、ＣＰＵ１２１１、ＧＰＵ１２１２、一または複数のアナログ演算部１２１３、一または複数のメモリコントローラ１２１４、一または複数のインターフェース１２１５、一または複数のネットワーク回路１２１６等を有する。
【０３８４】  チップ１２００には、バンプ（図示しない）が設けられ、図１６Ｂに示すように、プリント基板（Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｏａｒｄ：ＰＣＢ）１２０１の第１の面と接続する。また、ＰＣＢ１２０１の第１の面の裏面には、複数のバンプ１２０２が設けられており、マザーボード１２０３と接続する。
【０３８５】  マザーボード１２０３には、ＤＲＡＭ１２２１、フラッシュメモリ１２２２等の記憶装置が設けられていてもよい。例えば、ＤＲＡＭ１２２１に先の実施の形態に示すＤＯＳＲＡＭを用いることができる。また、例えば、フラッシュメモリ１２２２に先の実施の形態に示すＮＯＳＲＡＭを用いることができる。
【０３８６】  ＣＰＵ１２１１は、複数のＣＰＵコアを有することが好ましい。また、ＧＰＵ１２１２は、複数のＧＰＵコアを有することが好ましい。また、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２は、それぞれ一時的にデータを格納するメモリを有していてもよい。または、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２に共通のメモリが、チップ１２００に設けられていてもよい。該メモリには、前述したＮＯＳＲＡＭや、ＤＯＳＲＡＭを用いることができる。また、ＧＰＵ１２１２は、多数のデータの並列計算に適しており、画像処理や積和演算に用いることができる。ＧＰＵ１２１２に、本発明の酸化物半導体を用いた画像処理回路や、積和演算回路を設けることで、画像処理、および積和演算を低消費電力で実行することが可能になる。
【０３８７】  また、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２が同一チップに設けられていることで、ＣＰＵ１２１１およびＧＰＵ１２１２間の配線を短くすることができ、ＣＰＵ１２１１からＧＰＵ１２１２へのデータ転送、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２が有するメモリ間のデータ転送、およびＧＰＵ１２１２での演算後に、ＧＰＵ１２１２からＣＰＵ１２１１への演算結果の転送を高速に行うことができる。
【０３８８】  アナログ演算部１２１３はＡ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換回路、およびＤ／Ａ（デジタル／アナログ）変換回路の一、または両方を有する。また、アナログ演算部１２１３に上記積和演算回路を設けてもよい。
【０３８９】  メモリコントローラ１２１４は、ＤＲＡＭ１２２１のコントローラとして機能する回路、およびフラッシュメモリ１２２２のインターフェースとして機能する回路を有する。
【０３９０】  インターフェース１２１５は、表示装置、スピーカー、マイクロフォン、カメラ、コントローラなどの外部接続機器とのインターフェース回路を有する。コントローラとは、マウス、キーボード、ゲーム用コントローラなどを含む。このようなインターフェースとして、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ  Ｓｅｒｉａｌ  Ｂｕｓ）、ＨＤＭＩ（登録商標）（Ｈｉｇｈ−Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ  Ｍｕｌｔｉｍｅｄｉａ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）などを用いることができる。
【０３９１】  ネットワーク回路１２１６は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）などのネットワーク用の回路を有する。また、ネットワークセキュリティー用の回路を有してもよい。
【０３９２】  チップ１２００には、上記回路（システム）を同一の製造プロセスで形成することが可能である。そのため、チップ１２００に必要な回路の数が増えても、製造プロセスを増やす必要が無く、チップ１２００を低コストで作製することができる。
【０３９３】  ＧＰＵ１２１２を有するチップ１２００が設けられたＰＣＢ１２０１、ＤＲＡＭ１２２１、およびフラッシュメモリ１２２２が設けられたマザーボード１２０３は、ＧＰＵモジュール１２０４と呼ぶことができる。
【０３９４】  ＧＰＵモジュール１２０４は、ＳｏＣ技術を用いたチップ１２００を有しているため、そのサイズを小さくすることができる。また、画像処理に優れていることから、スマートフォン、タブレット端末、ラップトップＰＣ、携帯型（持ち出し可能な）ゲーム機などの携帯型電子機器に用いることが好適である。また、ＧＰＵ１２１２を用いた積和演算回路により、ディープニューラルネットワーク（ＤＮＮ）、畳み込みニューラルネットワーク（ＣＮＮ）、再帰型ニューラルネットワーク（ＲＮＮ）、自己符号化器、深層ボルツマンマシン（ＤＢＭ）、深層信念ネットワーク（ＤＢＮ）などの手法を実行することができるため、チップ１２００をＡＩチップ、またはＧＰＵモジュール１２０４をＡＩシステムモジュールとして用いることができる。
【０３９５】  本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態、実施例などに示す構成と適宜組み合わせて用いることができる。
【０３９６】（実施の形態６）
本実施の形態では、先の実施の形態に示す半導体装置を用いた記憶装置の応用例について説明する。先の実施の形態に示す半導体装置は、例えば、各種電子機器（例えば、情報端末、コンピュータ、スマートフォン、電子書籍端末、デジタルカメラ（ビデオカメラも含む）、録画再生装置、ナビゲーションシステムなど）の記憶装置に適用できる。なお、ここで、コンピュータとは、タブレット型のコンピュータ、ノート型のコンピュータ、デスクトップ型のコンピュータの他、サーバシステムのような大型のコンピュータを含むものである。または、先の実施の形態に示す半導体装置は、メモリカード（例えば、ＳＤカード）、ＵＳＢメモリ、ＳＳＤ（ソリッド・ステート・ドライブ）等の各種のリムーバブル記憶装置に適用される。図１７Ａ乃至図１７Ｅにリムーバブル記憶装置の幾つかの構成例を模式的に示す。例えば、先の実施の形態に示す半導体装置は、パッケージングされたメモリチップに加工され、様々なストレージ装置、リムーバブルメモリに用いられる。
【０３９７】  図１７ＡはＵＳＢメモリの模式図である。ＵＳＢメモリ１１００は、筐体１１０１、キャップ１１０２、ＵＳＢコネクタ１１０３および基板１１０４を有する。基板１１０４は、筐体１１０１に収納されている。例えば、基板１１０４には、メモリチップ１１０５、コントローラチップ１１０６が取り付けられている。基板１１０４のメモリチップ１１０５などに先の実施の形態に示す半導体装置を組み込むことができる。
【０３９８】  図１７ＢはＳＤカードの外観の模式図であり、図１７Ｃは、ＳＤカードの内部構造の模式図である。ＳＤカード１１１０は、筐体１１１１、コネクタ１１１２および基板１１１３を有する。基板１１１３は筐体１１１１に収納されている。例えば、基板１１１３には、メモリチップ１１１４、コントローラチップ１１１５が取り付けられている。基板１１１３の裏面側にもメモリチップ１１１４を設けることで、ＳＤカード１１１０の容量を増やすことができる。また、無線通信機能を備えた無線チップを基板１１１３に設けてもよい。これによって、ホスト装置とＳＤカード１１１０間の無線通信によって、メモリチップ１１１４のデータの読み出し、書き込みが可能となる。基板１１１３のメモリチップ１１１４などに先の実施の形態に示す半導体装置を組み込むことができる。
【０３９９】  図１７ＤはＳＳＤの外観の模式図であり、図１７Ｅは、ＳＳＤの内部構造の模式図である。ＳＳＤ１１５０は、筐体１１５１、コネクタ１１５２および基板１１５３を有する。基板１１５３は筐体１１５１に収納されている。例えば、基板１１５３には、メモリチップ１１５４、メモリチップ１１５５、コントローラチップ１１５６が取り付けられている。メモリチップ１１５５はコントローラチップ１１５６のワークメモリであり、例えばＤＯＳＲＡＭチップを用いればよい。基板１１５３の裏面側にもメモリチップ１１５４を設けることで、ＳＳＤ１１５０の容量を増やすことができる。基板１１５３のメモリチップ１１５４などに先の実施の形態に示す半導体装置を組み込むことができる。
【０４００】  本実施の形態は、他の実施の形態、実施例などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
【０４０１】（実施の形態７）
本発明の一態様に係る半導体装置は、ＣＰＵやＧＰＵなどのプロセッサ、またはチップに用いることができる。図１８Ａ乃至図１８Ｈに、本発明の一態様に係るＣＰＵやＧＰＵなどのプロセッサ、またはチップを備えた電子機器の具体例を示す。
【０４０２】＜電子機器・システム＞
本発明の一態様に係るＧＰＵまたはチップは、様々な電子機器に搭載することができる。電子機器の例としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型またはノート型の情報端末用などのモニタ、デジタルサイネージ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｇｅ：電子看板）、パチンコ機などの大型ゲーム機、などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、電子ブックリーダー、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。また、本発明の一態様に係るＧＰＵまたはチップを電子機器に設けることにより、電子機器に人工知能を搭載することができる。
【０４０３】  本発明の一態様の電子機器は、アンテナを有していてもよい。アンテナで信号を受信することで、表示部で映像や情報等の表示を行うことができる。また、電子機器がアンテナ及び二次電池を有する場合、アンテナを、非接触電力伝送に用いてもよい。
【０４０４】  本発明の一態様の電子機器は、センサ（力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの）を有していてもよい。
【０４０５】  本発明の一態様の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア（プログラム）を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出す機能等を有することができる。図１８Ａ乃至図１８Ｈに、電子機器の例を示す。
【０４０６】［情報端末］
図１８Ａには、情報端末の一種である携帯電話（スマートフォン）が図示されている。情報端末５１００は、筐体５１０１と、表示部５１０２と、を有しており、入力用インターフェースとして、タッチパネルが表示部５１０２に備えられ、ボタンが筐体５１０１に備えられている。
【０４０７】  情報端末５１００は、本発明の一態様のチップを適用することで、人工知能を利用したアプリケーションを実行することができる。人工知能を利用したアプリケーションとしては、例えば、会話を認識してその会話内容を表示部５１０２に表示するアプリケーション、表示部５１０２に備えるタッチパネルに対してユーザが入力した文字、図形などを認識して、表示部５１０２に表示するアプリケーション、指紋や声紋などの生体認証を行うアプリケーションなどが挙げられる。
【０４０８】  図１８Ｂには、ノート型情報端末５２００が図示されている。ノート型情報端末５２００は、情報端末の本体５２０１と、表示部５２０２と、キーボード５２０３と、を有する。
【０４０９】  ノート型情報端末５２００は、先述した情報端末５１００と同様に、本発明の一態様のチップを適用することで、人工知能を利用したアプリケーションを実行することができる。人工知能を利用したアプリケーションとしては、例えば、設計支援ソフトウェア、文章添削ソフトウェア、献立自動生成ソフトウェアなどが挙げられる。また、ノート型情報端末５２００を用いることで、新規の人工知能の開発を行うことができる。
【０４１０】  なお、上述では、電子機器としてスマートフォン、およびノート型情報端末を例として、それぞれ図１８Ａ、図１８Ｂに図示したが、スマートフォン、およびノート型情報端末以外の情報端末を適用することができる。スマートフォン、およびノート型情報端末以外の情報端末としては、例えば、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）、デスクトップ型情報端末、ワークステーションなどが挙げられる。
【０４１１】［ゲーム機］
図１８Ｃは、ゲーム機の一例である携帯ゲーム機５３００を示している。携帯ゲーム機５３００は、筐体５３０１、筐体５３０２、筐体５３０３、表示部５３０４、接続部５３０５、操作キー５３０６等を有する。筐体５３０２、および筐体５３０３は、筐体５３０１から取り外すことが可能である。筐体５３０１に設けられている接続部５３０５を別の筐体（図示せず）に取り付けることで、表示部５３０４に出力される映像を、別の映像機器（図示せず）に出力することができる。このとき、筐体５３０２、および筐体５３０３は、それぞれ操作部として機能することができる。これにより、複数のプレイヤーが同時にゲームを行うことができる。筐体５３０１、筐体５３０２、および筐体５３０３の基板に設けられているチップなどに先の実施の形態に示すチップを組み込むことができる。
【０４１２】  また、図１８Ｄは、ゲーム機の一例である据え置き型ゲーム機５４００を示している。据え置き型ゲーム機５４００には、無線または有線でコントローラ５４０２が接続されている。
【０４１３】  携帯ゲーム機５３００、据え置き型ゲーム機５４００などのゲーム機に本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用することによって、低消費電力のゲーム機を実現することができる。また、低消費電力により、回路からの発熱を低減することができるため、発熱によるその回路自体、周辺回路、およびモジュールへの影響を少なくすることができる。
【０４１４】  更に、携帯ゲーム機５３００に本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用することによって、人工知能を有する携帯ゲーム機５３００を実現することができる。
【０４１５】  本来、ゲームの進行、ゲーム上に登場する生物の言動、ゲーム上で発生する現象などの表現は、そのゲームが有するプログラムによって定められているが、携帯ゲーム機５３００に人工知能を適用することにより、ゲームのプログラムに限定されない表現が可能になる。例えば、プレイヤーが問いかける内容、ゲームの進行状況、時刻、ゲーム上に登場する人物の言動が変化するといった表現が可能となる。
【０４１６】  また、携帯ゲーム機５３００で複数のプレイヤーが必要なゲームを行う場合、人工知能によって擬人的にゲームプレイヤーを構成することができるため、対戦相手を人工知能によるゲームプレイヤーとすることによって、１人でもゲームを行うことができる。
【０４１７】  図１８Ｃ、図１８Ｄでは、ゲーム機の一例として携帯ゲーム機、および据え置き型ゲーム機を図示しているが、本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用するゲーム機はこれに限定されない。本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用するゲーム機としては、例えば、娯楽施設（ゲームセンター、遊園地など）に設置されるアーケードゲーム機、スポーツ施設に設置されるバッティング練習用の投球マシンなどが挙げられる。
【０４１８】［大型コンピュータ］
本発明の一態様のＧＰＵまたはチップは、大型コンピュータに適用することができる。
【０４１９】  図１８Ｅは、大型コンピュータの一例である、スーパーコンピュータ５５００を示す図である。図１８Ｆは、スーパーコンピュータ５５００が有するラックマウント型の計算機５５０２を示す図である。
【０４２０】  スーパーコンピュータ５５００は、ラック５５０１と、複数のラックマウント型の計算機５５０２と、を有する。なお、複数の計算機５５０２は、ラック５５０１に格納されている。また、計算機５５０２には、複数の基板５５０４が設けられ、当該基板上に上記実施の形態で説明したＧＰＵまたはチップを搭載することができる。
【０４２１】  スーパーコンピュータ５５００は、主に科学技術計算に利用される大型コンピュータである。科学技術計算では、膨大な演算を高速に処理する必要があるため、消費電力が高く、チップの発熱が大きい。スーパーコンピュータ５５００に本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用することによって、低消費電力のスーパーコンピュータを実現することができる。また、低消費電力により、回路からの発熱を低減することができるため、発熱によるその回路自体、周辺回路、およびモジュールへの影響を少なくすることができる。
【０４２２】  図１８Ｅ、図１８Ｆでは、大型コンピュータの一例としてスーパーコンピュータを図示しているが、本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用する大型コンピュータはこれに限定されない。本発明の一態様のＧＰＵまたはチップを適用する大型コンピュータとしては、例えば、サービスを提供するコンピュータ（サーバー）、大型汎用コンピュータ（メインフレーム）などが挙げられる。
【０４２３】［移動体］
本発明の一態様のＧＰＵまたはチップは、移動体である自動車、および自動車の運転席周辺に適用することができる。
【０４２４】  図１８Ｇは、移動体の一例である自動車の室内におけるフロントガラス周辺を示す図である。図１８Ｇでは、ダッシュボードに取り付けられた表示パネル５７０１、表示パネル５７０２、表示パネル５７０３の他、ピラーに取り付けられた表示パネル５７０４を図示している。
【０４２５】  表示パネル５７０１乃至表示パネル５７０３は、スピードメーターやタコメーター、走行距離、燃料計、ギア状態、エアコンの設定などを表示することで、その他様々な情報を提供することができる。また、表示パネルに表示される表示項目やレイアウトなどは、ユーザの好みに合わせて適宜変更することができ、デザイン性を高めることが可能である。表示パネル５７０１乃至表示パネル５７０３は、照明装置として用いることも可能である。
【０４２６】  表示パネル５７０４には、自動車に設けられた撮像装置（図示しない。）からの映像を映し出すことによって、ピラーで遮られた視界（死角）を補完することができる。すなわち、自動車の外側に設けられた撮像装置からの画像を表示することによって、死角を補い、安全性を高めることができる。また、見えない部分を補完する映像を映すことによって、より自然に違和感なく安全確認を行うことができる。表示パネル５７０４は、照明装置として用いることもできる。
【０４２７】  本発明の一態様のＧＰＵまたはチップは人工知能の構成要素として適用できるため、例えば、当該チップを自動車の自動運転システムに用いることができる。また、当該チップを道路案内、危険予測などを行うシステムに用いることができる。表示パネル５７０１乃至表示パネル５７０４には、道路案内、危険予測などの情報を表示する構成としてもよい。
【０４２８】  なお、上述では、移動体の一例として自動車について説明しているが、移動体は自動車に限定されない。例えば、移動体としては、電車、モノレール、船、飛行体（ヘリコプター、無人航空機（ドローン）、飛行機、ロケット）なども挙げることができ、これらの移動体に本発明の一態様のチップを適用して、人工知能を利用したシステムを付与することができる。
【０４２９】［電化製品］
図１８Ｈは、電化製品の一例である電気冷凍冷蔵庫５８００を示している。電気冷凍冷蔵庫５８００は、筐体５８０１、冷蔵室用扉５８０２、冷凍室用扉５８０３等を有する。
【０４３０】  電気冷凍冷蔵庫５８００に本発明の一態様のチップを適用することによって、人工知能を有する電気冷凍冷蔵庫５８００を実現することができる。人工知能を利用することによって電気冷凍冷蔵庫５８００は、電気冷凍冷蔵庫５８００に保存されている食材、その食材の消費期限などを基に献立を自動生成する機能や、電気冷凍冷蔵庫５８００に保存されている食材に合わせた温度に自動的に調節する機能などを有することができる。
【０４３１】  電化製品の一例として電気冷凍冷蔵庫について説明したが、その他の電化製品としては、例えば、掃除機、電子レンジ、電子オーブン、炊飯器、湯沸かし器、ＩＨ調理器、ウォーターサーバ、エアーコンディショナーを含む冷暖房器具、洗濯機、乾燥機、オーディオビジュアル機器などが挙げられる。
【０４３２】  本実施の形態で説明した電子機器、その電子機器の機能、人工知能の応用例、その効果などは、他の電子機器の記載と適宜組み合わせることができる。
【０４３３】  本実施の形態は、他の実施の形態、実施例などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
【実施例１】
【０４３４】  本実施例では、図４Ａに示すプラグ構造、およびトランジスタ２００を有し、図４Ｂに示す積層構造によりトランジスタ２００を封止した半導体装置を作製した。その後、任意の領域に位置するプラグの断面観察を行った。【０４３５】  半導体装置９９０は、同一の工程で作製した複数のトランジスタ２００を有する。なお、作製したトランジスタ２００のチャネル長は６０ｎｍ、チャネル幅は６０ｎｍとして設計した。また、半導体装置９９０において、トランジスタ２００の密度は、２．９個／μｍ２とした。また、トランジスタ２００に接続するプラグを形成した。【０４３６】＜試料の作製方法＞
以下に、図４Ａに示すプラグ構造、およびトランジスタ２００を有する半導体装置９９０の作製方法を説明する。【０４３７】  まず、トランジスタ２００を作成した。次に、トランジスタ２００上に絶縁体２８０として、ＣＶＤ法により、酸化シリコン膜を成膜した。その後、ＣＭＰ法により、絶縁体２８０となる膜を平坦化し、絶縁体２８０を形成した。【０４３８】  次に、絶縁体２８０上に、絶縁体２８２として、スパッタリング法により、酸化アルミニウム膜を成膜した。【０４３９】  続いて、絶縁体２８２上に、絶縁体２８３として、スパッタリング法により、窒化シリコン膜を成膜した。また、絶縁体２８３上に、絶縁体２８４として、ＣＶＤ法により、酸化シリコン膜を成膜した。【０４４０】  その後、絶縁体２８４、絶縁体２８３、絶縁体２８２、および絶縁体２８０の一部を除去し、トランジスタ２００の一部を露出する開口部２９５を形成した。ここで、試料１Ａは、プラグの形状が角形であるマスクを用いた。一方、試料１Ｂはプラグの形状が丸型であるマスクを用いた。【０４４１】  また、試料１Ｂにのみ、洗浄工程を行った。洗浄工程として、炭酸水を用いて窒素ガスによるバブリングを行うＱＤＲ（Ｑｕｉｃｋ  Ｄｕｍｐ  Ｒｉｎｓｉｎｇ）洗浄を行った。【０４４２】  次に、絶縁体２４７となる膜として、ＡＬＤ法により、酸化アルミニウム膜を成膜した後、エッチバック処理を行い、開口部２９５の側面にのみ絶縁体２４７を形成した。【０４４３】  次に、導電体２４６となる膜として、窒化チタン膜、およびタングステン膜を連続成膜した。【０４４４】  続いて、導電体２４６となる膜の一部を、ＣＭＰ法を用いて除去し、導電体２４６を形成した。【０４４５】  以上の工程より、半導体装置９９０を作製した。【０４４６】＜トランジスタ２００と接続するプラグの断面観察＞
次に、各試料１Ａ、および試料１Ｂに対し、各２点のプラグに対し平面観察を行った。それぞれ試料１Ａ−１、および試料１Ａ−２、または、試料１Ｂ−１、および試料１Ｂ−２とする。なお、試料１Ａ−１の位置と試料１Ｂ−１の位置は、各基板における同等の露光領域から選出した。また、試料１Ａ−２の位置と試料１Ｂ−２の位置も、各基板における同等の露光領域から選出した。下表に、各試料のマスク、および洗浄工程の有無を示す。【０４４７】
【表１】
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【０４４８】  なお、平面観察は、薄片化した各試料に対し、走査型透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）により行った。観察用の装置は日立ハイテクノロジーズ社製ＨＤ−２７００を用いた。図１９に各試料の平面ＳＴＥＭ観察結果を示した。【０４４９】  図１９Ａには、試料１Ａ−１のプラグの平面図を示した。図１９Ｂには、試料１Ａ−２のプラグの平面図を示した。図１９Ｃには、試料１Ｂ−１のプラグの平面図を示した。図１９Ｄには、試料１Ｂ−２のプラグの平面図を示した。【０４５０】  図１９Ａ、および図１９Ｂに示す平面図には、開口部内に空洞が生じていることがわかった。また、形成された空洞は、角部に集中して生じていることが確認できた。特に、図１９Ａに示すプラグは、図１９Ｂと比較しても、角部だけでなく、開口部の側面と導電体との間に大きな空洞が形成されていることが確認できた。【０４５１】  一方、図１９Ｃ、および図１９Ｄに示す平面図には、空洞が形成されていないことがわかった。また、図１９Ｃ、および図１９Ｄに示す平面図により、プラグの形成位置に依存する加工の形成異常もないことが確認できた。【０４５２】  従って、開口部２９５の形成する工程において、マスクの変更、および洗浄工程の追加により、加工による形成異常が低減することが確認できた。【０４５３】  本実施例は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【実施例２】
【０４５４】  本実施例では、図６Ａ乃至図６Ｃに示す酸化物半導体を有するトランジスタ２００を、同一工程にて複数作製し、トランジスタ特性を測定、およびトランジスタ特性のばらつきを評価した。【０４５５】  なお、図６Ａ乃至図６Ｃに示すトランジスタ２００を有する半導体装置を試料２Ａとする。なお、試料２Ａにおいて、チャネル長、およびチャネル幅の設計値は、それぞれ６０ｎｍとした。ここで、試料２Ａは、トランジスタの密度は２．０個／μｍ２とした。【０４５６】  以下に、試料２Ａについて説明する。【０４５７】  試料２Ａにおいて、酸化物２３０ａは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物により形成した。酸化物２３０ｂは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、の積層構造により形成した。なお、酸化物２３０ａとなる膜、および酸化物２３０ｂとなる膜は連続成膜により形成した。【０４５８】  また、酸化物２３０ｃは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、の積層構造により形成した。【０４５９】  導電体２４０は、窒化タンタル膜を用いて形成した。また、絶縁体２５０は、酸化窒化シリコン膜を用いて形成した。【０４６０】  導電体２６０ａは、窒化チタン膜を用いて形成した。また、導電体２６０ｂは、タングステン膜を成膜した。なお、導電体２６０ａとなる膜、および導電体２６０ｂとなる膜は連続成膜により形成した。【０４６１】＜試料２Ａが有するトランジスタの電気特性＞
まず、試料２Ａに対し、窒素雰囲気下で４００℃、８時間の加熱処理を行った。その後、試料２Ａが有する２７個のトランジスタの電気特性を測定した。なお、電気特性として、ドレイン電圧Ｖｄを１．２Ｖとし、ゲート電圧Ｖｇを−４Ｖから＋４Ｖまで変化させ、Ｉｄ−Ｖｇ特性を測定した。【０４６２】  ここで、Ｉｄ−Ｖｇトランジスタ特性において、ドレイン電流Ｉｄ＝１．０×１０−１２［Ａ］の時のゲート電圧Ｖｇの値をＳｈｉｆｔ値（Ｖｓｈ）とした。【０４６３】  また、Ｉｄ−Ｖｇトランジスタ特性において、ゲート電圧Ｖｇ＝Ｖｓｈ＋２．５Ｖ、ドレイン電流Ｉｄ＝１．２Ｖの時のドレイン電流Ｉｄの値をオン電流の値（Ｉｏｎ）とした。【０４６４】  図２０Ａ、および図２０Ｂに、試料２Ａが有する２６個のトランジスタにおける電気特性の正規確率プロット図を示す。図２０Ａは、Ｓｈｉｆｔ値（Ｖｓｈ）のばらつきを示す。また、図２０Ｂは、オン電流（Ｉｏｎ）［μＡ］のばらつきを示す。【０４６５】  なお、図２０Ａ、および図２０Ｂにおいて、Ｉｄ−Ｖｇ特性の測定を行った際に、スミルノフ・グラブス検定（有意水準を５％とする。）により、外れ値と判断された１個のトランジスタの測定結果を除いた。【０４６６】  図２０Ａより、試料２Ａにおいて、Ｓｈｉｆｔ値の平均値は−０．１１Ｖで、面内バラつきを示す標準偏差σは、０．０３５Ｖであった。また、図２０Ｂより、試料２Ａにおいて、オン電流の平均値は５．８５μＡで、オン電流の面内バラつきを示す指標となる標準偏差σを平均値で割った値（σ／平均値）は、７．７％であった。【０４６７】  上記より、本発明を用いたトランジスタ２００は、Ｓｉを用いたトランジスタのばらつきとほぼ同じ値であることがわかった。【０４６８】  本実施例は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【実施例３】
【０４６９】  本実施例では、図７Ａ乃至図７Ｄに示す酸化物半導体を有するトランジスタ２００を作製し、高電圧駆動を想定した評価を行った。【０４７０】  なお、図７Ａ乃至図７Ｄに示すトランジスタ２００を有する半導体装置には、チャネル長の設計値（Ｌ）が、Ｌ＝６０ｎｍ、１００ｎｍ、２００ｎｍ、および３５０ｎｍであり、チャネル幅の設計値（Ｗ）は、それぞれ６０ｎｍのトランジスタが含まれている。なお、以下において、Ｌ、およびＷの値は、設計値を表す。【０４７１】  以下に、トランジスタ２００を有する半導体装置について説明する。【０４７２】  酸化物２３０ａは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物により形成した。酸化物２３０ｂは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、の積層構造により形成した。なお、酸化物２３０ａとなる膜、および酸化物２３０ｂとなる膜は連続成膜により形成した。【０４７３】  また、酸化物２３０ｃは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、の積層構造により形成した。【０４７４】  導電体２４０は、窒化タンタル膜を用いて形成した。また、絶縁体２５０は、酸化窒化シリコン膜を用いて形成した。【０４７５】  導電体２６０ａは、窒化チタン膜を用いて形成した。また、導電体２６０ｂは、タングステン膜を成膜した。なお、導電体２６０ａとなる膜、および導電体２６０ｂとなる膜は連続成膜により形成した。【０４７６】  トランジスタ２００を有する半導体装置作製後に窒素雰囲気下で４００℃、８時間の加熱処理を行った。【０４７７】＜トランジスタ２００のドレイン耐圧＞
まず、Ｌ＝６０ｎｍ、１００ｎｍ、２００ｎｍ、および３５０ｎｍ、であり、それぞれＷ＝６０ｎｍのトランジスタのドレイン耐圧を測定した。また、それぞれ３個のトランジスタを測定した。測定において、ゲート電圧Ｖｇを＋５Ｖに設定し、ドレイン電圧Ｖｄを０Ｖから増加させて、ドレイン電流Ｉｄを監視した。ドレイン耐圧は、Ｉｄが急激に低下したとき、つまりトランジスタ２００が破壊された時のＶｄとした。なお、Ｖｄの最大電圧は＋２０Ｖとした。また、測定時の温度は８５℃とした。【０４７８】  図２１Ａに、Ｉｄ−Ｖｄ特性のグラフを示す。Ｌ＝６０ｎｍでは約＋７Ｖから約＋８Ｖで、Ｌ＝１００ｎｍでは、約＋９．５Ｖから約＋１０Ｖで、Ｌ＝２００ｎｍでは、約＋１５Ｖから約＋１７．５Ｖで、Ｌ＝３５０ｎｍでは、約＋１９．５Ｖから約＋２０Ｖで、それぞれ破壊された。なお、Ｌ＝３５０ｎｍの一つは、Ｖｄ＝２０Ｖにおいても破壊しなかった。また、図２１Ｂに、破壊電圧、つまりドレイン耐圧（Ｖｂ）のＬ依存性のグラフを示す。これにより、Ｌが長くなると、ドレイン耐圧が高くなることを確認した。また、Ｌ＝６０ｎｍでも＋６Ｖ以上のドレイン耐圧を有することを確認した。【０４７９】＜トランジスタ２００高電圧駆動における信頼性＞
次に、Ｌ＝６０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタ、およびＬ＝３５０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタのＶｓｈの変動量に着目して信頼性を評価した。信頼性試験の条件は、１２５℃の温度ストレスを与え、初期のＩｄ−Ｖｇ特性を１２５℃で測定し、初期Ｖｓｈを算出した。その後、初期Ｖｓｈからの相対変動量をΔＶｓｈとして、１時間のストレス時間を与えた後のＶｓｈ値を１２５℃で測定しその差分からΔＶｓｈを算出し変動量とした。信頼性試験は２種類行っており、Ｖｄにストレス電圧を与え、Ｖｇ、Ｖｓ、ＶｂｇをＧＮＤとした＋ＤＢＴ（＋Ｄｒａｉｎ  Ｂｉａｓ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ）試験とＶｇにストレス電圧を与え、Ｖｓ、Ｖｄ、ＶｂｇをＧＮＤとした＋ＧＢＴ（Ｇａｔｅ  Ｂｉａｓ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ）試験をそれぞれ行った。【０４８０】  図２２Ａに、Ｌ＝６０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの＋ＤＢＴ試験結果を示す。Ｖｄ＝＋４Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ΔＶｓｈは、約−１０ｍＶ、Ｖｄ＝＋５Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ΔＶｓｈは、約−１００ｍＶであった。【０４８１】  図２２ＢにＬ＝６０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの＋ＧＢＴ試験結果をボす。Ｖｇ＝＋３Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ΔＶｓｈは、約＋１３０ｍＶ、Ｖｇ＝＋４Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ΔＶｓｈは、約＋２４０ｍＶであった。【０４８２】  図２３ＡにＬ＝３５０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの＋ＤＢＴ試験結果を示す。Ｖｄ＝＋４Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）、およびＶｄ＝＋５Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）ともに、ΔＶｓｈは、０ｍＶであり、Ｖｓｈの変動は見られなかった。【０４８３】  図２３ＢにＬ＝３５０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの＋ＧＢＴ試験結果を示す。Ｖｇ＝＋３Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ΔＶｓｈは、約＋２０ｍＶ、Ｖｇ＝＋４Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ΔＶｓｈは、約＋６０ｍＶ、Ｖｇ＝＋５Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ΔＶｓｈは、約＋１１０ｍＶであった。【０４８４】  次に、＋ＧＢＴ長期試験におけるΔＶｓｈのストレス時間依存性を測定した。図２４Ａおよび図２４Ｂに、Ｌ＝６０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの＋ＧＢＴ長期試験におけるΔＶｓｈのストレス時間依存性を示す。なお、図２４Ａはストレス時間をログスケールとし、図２４Ｂはストレス時間をリニアスケールとした。Ｖｇ＝＋３Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ストレス時間６０時間において、ΔＶｓｈは、約＋２７０ｍＶ、Ｖｇ＝＋４Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ストレス時間２０時間において、ΔＶｓｈは、約＋４６０ｍＶであった。【０４８５】図２５Ａおよび図２５Ｂに、Ｌ＝３５０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの＋ＧＢＴ長期試験におけるΔＶｓｈのストレス時間依存性を示す。なお、図２５Ａはストレス時間をログスケールとし、図２５Ｂはストレス時間をリニアスケールとした。Ｖｇ＝＋３Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ストレス時間６０時間において、ΔＶｓｈは、約＋９０ｍＶ、Ｖｇ＝＋４Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ストレス時間２０時間において、ΔＶｓｈは、約＋１７０ｍＶ、Ｖｇ＝＋５Ｖのストレス（Ｓｔｒｅｓｓ）では、ストレス時間２０時間��おいて、ΔＶｓｈは、約＋２２０ｍＶであった。【０４８６】  ストレス時間をリニアスケールとした図２４Ｂ、および図２５ＢのＶｓｈの変動の傾向からいずれのストレス条件においてもストレス初期にＶｓｈのプラスの変動が大きく、やがてＶｓｈの変動は飽和していく傾向にあることを確認した。【０４８７】  本実施例は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【実施例４】
【０４８８】  本実施例では、図７Ａ乃至図７Ｄに示す酸化物半導体を有するトランジスタ２００を作製し、ＨＣ（Ｈｏｔ  Ｃａｒｒｉｅｒ）劣化試験、およびヒステリシス評価を行った。【０４８９】  以下に、トランジスタ２００を有する半導体装置について説明する。【０４９０】  酸化物２３０ａは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物により形成した。酸化物２３０ｂは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、の積層構造により形成した。なお、酸化物２３０ａとなる膜、および酸化物２３０ｂとなる膜は連続成膜により形成した。【０４９１】  また、酸化物２３０ｃは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用い、スパッタリング法により成膜したＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物と、の積層構造により形成した。【０４９２】  導電体２４０は、窒化タンタル膜を用いて形成した。また、絶縁体２５０は、酸化窒化シリコン膜を用いて形成した。【０４９３】  導電体２６０ａは、窒化チタン膜を用いて形成した。また、導電体２６０ｂは、タングステン膜を成膜した。なお、導電体２６０ａとなる膜、および導電体２６０ｂとなる膜は連続成膜により形成した。【０４９４】  トランジスタ２００を有する半導体装置作製後に窒素雰囲気下で４００℃、８時間の加熱処理を行った。【０４９５】＜トランジスタ２００のＨＣ劣化試験＞
本実施例のＨＣ劣化試験は、以下に説明するストレスをトランジスタに与えて、ストレス前後のトランジスタ特性を比較した。以下にストレスの詳細を記す。【０４９６】  温度２５℃の環境において、Ｖｄ＝＋５Ｖと固定した。Ｖｇの印加を、Ｖｔｈ＋０Ｖ、Ｖｔｈ＋０．５Ｖ、Ｖｔｈ＋１．０Ｖ、およびＶｔｈ＋２Ｖの４条件とした。それぞれのＶｇの印加前後にＶｄ＝＋０．１ＶでのＩｄ−Ｖｇ測定を行い、得られたＩｄ−Ｖｇ特性より、Ｖｇ＝Ｖｓｈ＋２．５Ｖ時のストレス印加前後のＩｄの変化率であるΔＩｄ（％）を評価した。つまり、ΔＩｄ（％）＝１００×（ストレス印加後のＩｄ÷ストレス印加前のＩｄ）より求めた。なお、ＨＣ劣化試験を行ったトランジスタは、Ｌ＝６０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍである。【０４９７】図２６Ａ、図２６Ｂ、および図２７Ａ、図２７ＢにＨＣ劣化試験結果を示す。図２６Ａはストレスとして、Ｖｄ＝＋５Ｖ、Ｖｇ＝Ｖｔｈ＋０Ｖ＝＋０．３９Ｖを印加した時のΔＩｄのストレス時間依存性を示す。ストレス時間１２時間の時点でΔＩｄは、１０１．３％であった。図２６Ｂはストレスとして、Ｖｄ＝＋５Ｖ、Ｖｇ＝Ｖｔｈ＋０．５Ｖ＝＋１．１１Ｖを印加した時のΔＩｄのストレス時間依存性を示す。ストレス時間１２時間の時点でΔＩｄは、９９．９％であった。【０４９８】  図２７Ａはストレスとして、Ｖｄ＝＋５Ｖ、Ｖｇ＝Ｖｔｈ＋１．０Ｖ＝＋１．５１Ｖを印加した時のΔＩｄのストレス時間依存性を示す。ストレス時間１時間の時点でΔＩｄは、９９．８％であった。図２７Ｂはストレスとして、Ｖｄ＝＋５Ｖ、Ｖｇ＝Ｖｔｈ＋２．０Ｖ＝＋２．５８Ｖを印加した時のΔＩｄのストレス時間依存性を示す。ストレス時間１時間の時点でΔＩｄは、９９．３％であった。以上の結果から、ＨＣ劣化試験は、ストレスとして印加したＶｇの大きさによらず、ΔＩｄは、９９％から１０２％の間であった。【０４９９】＜トランジスタ２００のヒステリシス評価＞
ヒステリシス評価は、以下のように行った。温度２５℃、Ｖｄ＝＋１．２Ｖにおいて、Ｖｇを−２Ｖから＋４Ｖに掃引（順方向掃引）してＩｄ−Ｖｇ特性を測定した後、Ｖｇ＝＋４Ｖから−２Ｖに掃引（逆方向掃引）してＩｄ−Ｖｇ特性の測定を行う。この測定を３回繰り返し行い、順方向掃引と逆方向掃引でのＩｄ−Ｖｇ特性のずれを評価した。評価したトランジスタは、Ｌ＝３５０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍを３素子、Ｌ＝６０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍを３素子、それぞれ評価した。【０５００】  図２８Ａ、図２８Ｂ、図２８Ｃ、および図２９Ａ、図２９Ｂ、図２９Ｃにヒステリシス評価結果を示す。なお、各図の実線は、順方向掃引の結果を表す。破線は、逆方向掃引の結果を表す。図２８Ａは、Ｌ＝３５０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの１素子目の１回目の試験結果である。図２８Ｂは、Ｌ＝３５０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの２素子目の１回目の試験結果である。図２８Ｃは、Ｌ＝３５０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの３素子目の１回目の試験結果である。図２８Ａ、図２８Ｂ、図２８Ｃともに実線と破線が重なっており、順方向掃引と逆方向掃引で差が見られなかった。なお、図示しないが、２回目、３回目の試験においても全ての素子において、順方向掃引と逆方向掃引で差が見られなかった。【０５０１】  図２９Ａは、Ｌ＝６０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの１素子目の１回目の試験結果である。図２９Ｂは、Ｌ＝６０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの２素子目の１回目の試験結果である。図２９Ｃは、Ｌ＝６０ｎｍ、Ｗ＝６０ｎｍのトランジスタの３素子目の１回目の試験結果である。図２９Ａ、図２９Ｂ、図２９Ｃともに実線と破線が重なっており、順方向掃引と逆方向掃引で差が見られなかった。なお、図示しないが、２回目、３回目の試験においても全ての素子において、順方向掃引と逆方向掃引で差が見られなかった。以上の結果から、ヒステリシス試験では、全ての素子において、順方向掃引と逆方向掃引で差が見られなかった。【０５０２】  本実施例は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【０５０３】２００：  トランジスタ、２０１  基板、２０５  導電体、２１０  絶縁体、２１２  絶縁体、２１４  絶縁体、２１６  絶縁体、２１８  導電体、２２２  絶縁体、２２４  絶縁体、２３０  酸化物、２３０ａ  酸化物、２３０ｂ  酸化物、２３０ｃ  酸化物、２４０  導電体、２４０ａ  導電体、２４０ｂ  導電体、２４５  絶縁体、２４５ａ  絶縁体、２４５ｂ  絶縁体、２４６  導電体、２４６Ａ  導電膜、２４７  絶縁体、２４８  導電体、２５０  絶縁体、２６０  導電体、２６０ａ  導電体、２６０ｂ  導電体、２７３  絶縁体、２７４  絶縁体、２８０  絶縁体、２８２  絶縁体、２８３  絶縁体、２８４  絶縁体、２９０Ａ  膜、２９０Ｂ  ハードマスク、２９２  レジストマスク、２９５  開口部、２９７  領域、２９９  洗浄装置
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１５Ｄ】
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【図１５Ｅ】
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【図１５Ｆ】
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【図１５Ｇ】
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【図１５Ｈ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１７Ｄ】
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【図１７Ｅ】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
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【図１８Ｃ】
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【図１８Ｄ】
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【図１８Ｅ】
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【図１８Ｆ】
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【図１８Ｇ】
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【図１８Ｈ】
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【図１９Ａ】
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【図１９Ｂ】
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【図１９Ｃ】
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【図１９Ｄ】
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【図２０Ａ】
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【図２０Ｂ】
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【図２１Ａ】
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【図２１Ｂ】
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【図２２Ａ】
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【図２２Ｂ】
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【図２３Ａ】
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【図２３Ｂ】
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【図２４Ａ】
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【図２４Ｂ】
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【図２５Ａ】
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【図２５Ｂ】
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【図２６Ａ】
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【図２６Ｂ】
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【図２７Ａ】
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【図２７Ｂ】
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【図２８Ａ】
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【図２８Ｂ】
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【図２８Ｃ】
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【図２９Ａ】
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【図２９Ｂ】
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【図２９Ｃ】
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【国際調査報告】
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