(57)【要約】内部空間を排気する際に、第１パネル又は第２パネルに配置されたピラーが移動しにくいガラスパネルユニットの製造方法を提供する。ガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。減圧工程では、内部空間（５００）の気体を排気口（７００）から弁を通して所定の吸引力により排出して内部空間（５００）を減圧する。弁は、第１の流路面積で通気する第１弁（９２１）と、第１の流路面積よりも大きい第２の流路面積で通気する第２弁（９２２）と、を並列に有する。減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、次に行われる第２減圧工程と、を有する。第１減圧工程において第１弁（９２１）を開とするとともに第２弁（９２２）を閉とし、第２減圧工程において第１弁（９２１）を閉とするとともに第２弁（９２２）を開とする。
2020003829.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置するピラー配置工程と、
前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する組立品形成工程と、
前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
前記内部空間の気体を前記排気口から並列流路を通して所定の吸引力により排出して前記内部空間を減圧する減圧工程と、
減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する封止工程と、を備え、
前記並列流路は、並列に接続される複数の流路と、前記複数の流路のうち一又は二以上の流路に設けられる一又は二以上の開閉弁と、を有し、前記開閉弁の開閉の組み合わせにより、総流路面積を変更可能であり、
前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有し、
前記第１減圧工程において前記並列流路の前記総流路面積を第１総流路面積として通気させ、
前記第２減圧工程において前記並列流路の前記総流路面積を前記第１総流路面積よりも大きい第２総流路面積として通気させる
ガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項２】
第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置するピラー配置工程と、
前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する組立品形成工程と、
前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
前記内部空間の気体を前記排気口から所定の流路を通して所定の吸引力により吸引するポンプにより排出して前記内部空間を減圧する減圧工程と、
減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する封止工程と、を備え、
前記所定の流路は、前記ポンプと前記排気口とをつなぐ経路に位置し排出用開閉弁を有する排出用流路と、前記ポンプと大気とをつなぐ経路に位置し大気導入用開閉弁を有する大気導入用流路と、を有し、
前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有し、
前記第１減圧工程において前記排出用開閉弁を開とするとともに前記大気導入用開閉弁を開とし、
前記第２減圧工程において前記排出用開閉弁を開とするとともに前記大気導入用開閉弁を閉とする
ガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項３】
第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する接着剤配置工程と、
前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置するピラー配置工程と、
前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する組立品形成工程と、
前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
前記内部空間の気体を前記排気口から弁を通して所定の吸引力により排出して前記内部空間を減圧する減圧工程と、
減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する封止工程と、を備え、
前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有し、前記第１減圧工程及び前記第２減圧工程において前記弁が開閉制御され、
前記第１減圧工程における前記弁の開の時間の全体に対する第１比率は、前記第２減圧工程における前記弁の開の時間の全体に対する第２比率よりも小さい
ガラスパネルユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスパネルユニットの製造方法に関し、更に詳しくは、第１パネルと第２パネルと熱接着剤とピラーとを含む組立品の内部空間を排気するガラスパネルユニットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、複層ガラスを開示する。特許文献１に開示された複層ガラスは、第１パネルと、第１パネルと対向するように配置される第２パネルと、第１パネルと第２パネルとを気密に接合する封止材と、を備える。さらに、第１パネルと第２パネルと封止材とで密閉されて減圧空間となる内部空間内に、第１パネルと第２パネルとに接触するように配置される複数のスペーサを備えている。【０００３】
上述した従来の複層ガラスの製造にあたっては、第１パネル又は第２パネルに封止材及びスペーサを配置し、封止材により第１パネルと第２パネルとを気密に接合する。これにあたり、内部空間を排気する際に、第１パネル又は第２パネルに配置されたスペーサの位置がずれやすいものであった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】日本国公開特許公報１１−３１１０６９号
【発明の概要】
【０００５】
本発明の目的は、内部空間を排気する際に、第１パネル又は第２パネルに配置されたピラーが移動しにくいガラスパネルユニットの製造方法を提供する。
【０００６】
本開示の一形態に係るガラスパネルユニットの製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
【０００７】
接着剤配置工程は、第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する工程である。
【０００８】
前記ピラー配置工程は、前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置する工程である。
【０００９】
前記組立品形成工程は、前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する工程である。
【００１０】
前記接合工程は、前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する工程である。
【００１１】
前記減圧工程は、前記内部空間の気体を前記排気口から並列流路を通して所定の吸引力により排出して前記内部空間を減圧する工程である。
【００１２】
前記封止工程は、減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する工程である。
【００１３】
前記並列流路は、並列に接続される複数の流路と、前記複数の流路のうち一又は二以上の流路に設けられる一又は二以上の開閉弁と、を有し、前記開閉弁の開閉の組み合わせにより、総流路面積を変更可能である。
【００１４】
前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有する。
【００１５】
前記第１減圧工程において並列流路の前記総流路面積を第１総流路面積として通気させる。
【００１６】
前記第２減圧工程において前記並列流路の前記総流路面積を前記第１総流路面積よりも大きい第２総流路面積として通気させる。
【００１７】
本開示の他の形態に係るガラスパネルユニットの製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
【００１８】
接着剤配置工程は、第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する工程である。
【００１９】
前記ピラー配置工程は、前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置する工程である。
【００２０】
前記組立品形成工程は、前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する工程である。
【００２１】
前記接合工程は、前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する工程である。
【００２２】
前記減圧工程は、前記内部空間の気体を前記排気口から所定の流路を通して所定の吸引力により吸引するポンプにより排出して前記内部空間を減圧する工程である。
【００２３】
前記封止工程は、減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する工程である。
【００２４】
前記所定の流路は、前記ポンプと前記排気口とをつなぐ経路に位置し排出用開閉弁を有する排出用流路と、前記ポンプと大気とをつなぐ経路に位置し大気導入用開閉弁を有する大気導入用流路と、を有する。
【００２５】
前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有する。
【００２６】
前記第１減圧工程において前記排出用開閉弁を開とするとともに前記大気導入用開閉弁を開とする。
【００２７】
前記第２減圧工程において前記排出用開閉弁を開とするとともに前記大気導入用開閉弁を閉とする。
【００２８】
本開示の更に他の形態に係るガラスパネルユニットの製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
【００２９】
接着剤配置工程は、第１ガラス板を含む第１パネル又は第２ガラス板を含む第２パネルの上に、熱接着剤を配置する工程である。
【００３０】
前記ピラー配置工程は、前記第１パネル又は前記第２パネルの上に、ピラーを配置する工程である。
【００３１】
前記組立品形成工程は、前記第１パネルに対向させて前記第２パネルを配置し、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤と前記ピラーとを含み、かつ、前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口を有する組立品を形成する工程である。
【００３２】
前記接合工程は、前記組立品を加熱して前記熱接着剤を溶融させ、前記熱接着剤により前記第１パネルと前記第２パネルとを接合し、前記排気口を除いて前記第１パネルと前記第２パネルと前記熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間を形成する工程である。
【００３３】
前記減圧工程は、前記内部空間の気体を前記排気口から弁を通して所定の吸引力により排出して前記内部空間を減圧する工程である。
【００３４】
前記封止工程は、減圧した状態を維持したまま、前記排気口を閉塞して、前記内部空間を封止し、密閉された減圧空間を形成する工程である。
【００３５】
前記減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、前記第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有し、前記第１減圧工程及び前記第２減圧工程において前記弁が開閉制御される。
【００３６】
前記第１減圧工程における前記弁の開の時間の全体に対する第１比率は、前記第２減圧工程における前記弁の開の時間の全体に対する第２比率よりも小さい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】図１は、第一実施形態のガラスパネルユニットの概略断面図である。
【図２】図２は、同上のガラスパネルユニットの一部破断した概略平面図である。
【図３】図３は、同上のガラスパネルユニットの組立品の概略断面図である。
【図４】図４は、同上の組立品の一部破断した概略平面図である。
【図５】図５は、同上のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図６】図６は、同上のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図７】図７は、同上のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図８】図８は、同上のガラスパネルユニットの製造方法の説明図である。
【図９】図９Ａは、同上のガラスパネルユニットの製造方法における排気系統の説明図である。図９Ｂは、同上のガラスパネルユニットの製造方法における排気系統の他例の説明図である。
【図１０】図１０は、同上のガラスパネルユニットの製造方法における内部空間の圧力のタイムチャートを示す図である。
【図１１】図１１は、比較例における内部空間の圧力のタイムチャートを示す図である。
【図１２】図１２は、第二実施形態のガラスパネルユニットの製造方法における排気系統の説明図である。
【図１３】図１３は、第三実施形態のガラスパネルユニットの製造方法における排気系統の説明図である。
【図１４】図１４は、同上のガラスパネルユニットの製造方法における内部空間の圧力のタイムチャートを示す図である。
【図１５】図１５Ａは、第四実施形態の組立品の一部破断した概略平面図である。図１５Ｂは、同上の他例の組立品の一部破断した概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下の第一実施形態〜第四実施形態は、ガラスパネルユニットの製造方法に関し、更に詳しくは、第１パネルと第２パネルと熱接着剤とピラーとを含む組立品の内部空間を排気するガラスパネルユニットの製造方法に関する。
【００３９】
以下、第一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法について、図１〜図１１に基いて説明する。
【００４０】
図１及び図２は、第一実施形態のガラスパネルユニット（ガラスパネルユニットの完成品）１０を示す。第一実施形態のガラスパネルユニット１０は、断熱ガラスユニットである。断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種であって、一対のガラスパネル間に減圧空間（真空空間でもよい）を有している。
【００４１】
第一実施形態のガラスパネルユニット１０は、第１パネル２０と、第２パネル３０と、シール４０と、減圧空間５０と、ガス吸着体６０と、複数のピラー７０と、閉塞部材８０と、を備える。
【００４２】
ガラスパネルユニット１０は、図３及び図４に示す中間生成物である組立品１００を経ることによって得られる。
【００４３】
組立品１００は、少なくとも第１パネル２０と、第２パネル３０と、熱接着剤（後述する枠体４１０及び仕切り４２０）と、ピラー７０と、を含み、排気口７００を有する。具体的には、第一実施形態では、組立品１００は、第１パネル２０と、第２パネル３０と、熱接着剤としての枠体４１０及び仕切り４２０と、内部空間５００と、通気路６００と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、複数のピラー７０と、を備える。
【００４４】
第１パネル２０は、第１パネル２０の平面形状を定める第１ガラス板２１と、コーティング２２と、を備える。
【００４５】
第１ガラス板２１は、矩形状の平板であり、厚み方向の両側に互いに平行な第１面（図３における下面）及び第２面（図３における上面）を有する。矩形状をした第１ガラス板２１の大きさは、例えば一辺が１３６０ｍｍ〜２３５０ｍｍ、厚みが１ｍｍ〜２０ｍｍ程度であるが、数値は限定されない。第１ガラス板２１の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
【００４６】
コーティング２２は、第１ガラス板２１の第１面に形成される。第一実施形態では、第１ガラス板２１の第１面に、コーティング２２としていわゆるＬｏｗ−Ｅ（Ｌｏｗ−ｅｍｉｓｓｉｖｉｔｙ）膜が形成されている。なお、コーティング２２は、Ｌｏｗ−Ｅ膜に限定されず、所望の物理特性を有する膜であってもよい。なお、第１パネル２０は、第１ガラス板２１のみにより構成されてもよい。要するに、第１パネル２０は、少なくとも第１ガラス板２１を含む。第一実施形態では、第１ガラス板２１の第１面に、スパッタリングによりコーティング２２としてのＬｏｗ−Ｅ膜が形成される。
【００４７】
第２パネル３０は、第２パネル３０の平面形状を定める第２ガラス板３１を備える。第２ガラス板３１は、矩形状の平板であり、厚み方向の両側に互いに平行な第１面（図３における上面）及び第２面（図３における下面）を有する。第２ガラス板３１の第１面及び第２面はいずれも平面である。
【００４８】
第２ガラス板３１の平面形状及び平面サイズは、第１ガラス板２１と同じである（つまり、第２パネル３０の平面形状は、第１パネル２０と同じである）。また、第２ガラス板３１の厚みは、例えば、第１ガラス板２１と同じである。第２ガラス板３１の材料は、例えば、ソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
【００４９】
第２パネル３０は、第２ガラス板３１のみで構成されている。つまり、第２ガラス板３１が第２パネル３０そのものである。なお、第２パネル３０は、いずれかの表面にコーティングを備えていてもよい。コーティングは、赤外線反射膜等の所望の物理特性を有する膜である。この場合には、第２パネル３０が第２ガラス板３１及びコーティングにより構成される。要するに、第２パネル３０は、少なくとも第２ガラス板３１を含む。
【００５０】
第２パネル３０は、第１パネル２０に対向するように配置される。具体的には、第１パネル２０と第２パネル３０とは、第１ガラス板２１の第１面と第２ガラス板３１の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。
【００５１】
枠体４１０は、第１パネル２０と第２パネル３０との間に配置され、第１パネル２０と第２パネル３０とを気密に接合する。これによって、枠体４１０と第１パネル２０と第２パネル３０とで囲まれた内部空間５００が形成される。
【００５２】
枠体４１０は、熱接着剤（第１軟化点を有する第１熱接着剤）で形成されている。第１熱接着剤は、例えば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、例えば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、例えば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。
【００５３】
枠体４１０は、矩形の枠状である。枠体４１０の平面形状は、第１ガラス板２１，第２ガラス板３１と略同じであるが、枠体４１０の平面サイズは第１ガラス板２１，第２ガラス板３１より小さい。枠体４１０は、第２パネル３０の上面（第２ガラス板３１の第１面）の外周に沿って形成されている。つまり、枠体４１０は、第２パネル３０上（第２ガラス板３１の第１面）のほぼすべての領域を囲うように形成されている。
【００５４】
第１パネル２０と第２パネル３０とは、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）Ｔｍ１（図８参照）で枠体４１０の第１熱接着剤を一旦溶融させることで、枠体４１０によって気密に接合される。
【００５５】
仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。仕切り４２０は、内部空間５００を、密閉空間、すなわちガラスパネルユニット１０が完成したときに密閉されて減圧空間５０となる第１空間５１０と、排気空間、すなわち排気口７００と通じる第２空間５２０とに仕切る。仕切り４２０は、第１空間５１０が第２空間５２０よりも大きくなるように、第２パネル３０の中央よりも第２パネル３０の長さ方向（図４における左右方向）の第１端側（図４における右端側）に形成される。
【００５６】
仕切り４２０は、熱接着剤（第２軟化点を有する第２熱接着剤）で形成されている。第２熱接着剤は、例えば、ガラスフリットである。ガラスフリットは、例えば、低融点ガラスフリットである。低融点ガラスフリットは、例えば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットである。第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであり、第２軟化点と第１軟化点は等しい。
【００５７】
仕切り４２０の一部には、第１空間５１０と第２空間５２０とを通じさせる通気路６００が形成される。
【００５８】
排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、第２空間５２０及び通気路６００を介して第１空間５１０を排気するために用いられる。排気口７００は、第２空間５２０と外部空間とをつなぐように第２パネル３０に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２パネル３０の角部分に位置している。なお、第一実施形態では排気口７００は第２パネル３０に設けられているが、排気口７００は、第１パネル２０に設けられてもよいし、第２パネル３０に設けられてもよいし、熱接着剤の枠体４１０である部分に設けられてもよい。
【００５９】
ガス吸着体６０は、第１空間５１０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、長尺状であり、第２パネル３０の長さ方向の第２端側（図４における左端側）に、第２パネル３０の幅方向に沿って形成されている。つまり、ガス吸着体６０は、第１空間５１０（減圧空間５０）の端に配置される。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。また、ガス吸着体６０は、仕切り４２０及び通気路６００から離れた位置にある。そのため、第１空間５１０の排気時に、ガス吸着体６０が排気を妨げる可能性を低くできる。
【００６０】
ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、例えば、枠体４１０及び仕切り４２０が加熱された際に、枠体４１０及び仕切り４２０から放出されるガスである。
【００６１】
ガス吸着体６０は、ゲッタを有する。ゲッタは、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。ゲッタは、例えば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子を放出する性質を有している。そのため、蒸発型ゲッタの吸着能力が低下しても、蒸発型ゲッタを活性化温度以上に加熱することで、蒸発型ゲッタの吸着能力を回復させることができる。蒸発型ゲッタは、例えば、ゼオライト又はイオン交換されたゼオライト（例えば、銅イオン交換されたゼオライト）である。
【００６２】
ガス吸着体６０は、このゲッタの粉体を備えている。具体的には、ガス吸着体６０は、ゲッタの粉体が分散された溶液を塗布することにより形成される。この場合、ガス吸着体６０を小さくできる。したがって、減圧空間５０が狭くてもガス吸着体６０を配置できる。
【００６３】
複数のピラー７０は、第１パネル２０と第２パネル３０との間隔を所定間隔に維持するために用いられる。つまり、複数のピラー７０は、第１パネル２０と第２パネル３０との距離を所望の値に維持するためのスペーサとして機能する。
【００６４】
複数のピラー７０は、第１空間５１０内に配置されている。具体的には、複数のピラー７０は、矩形（正方形又は長方形）の格子の交差点に配置されている。例えば、複数のピラー７０の間隔は、最も短くて２ｃｍである。ただし、ピラー７０の大きさ、ピラー７０の数、ピラー７０の間隔、ピラー７０の配置パターンは、適宜選択することができる。
【００６５】
ピラー７０は、透明な材料を用いて形成される。ただし、各ピラー７０は、十分に小さければ、不透明な材料を用いて形成されていてもよい。ピラー７０の材料は、後述する接合工程、減圧工程及び封止工程において、ピラー７０が変形しないように選択される。例えば、ピラー７０の材料は、第１熱接着剤の第１軟化点及び第２熱接着剤の第２軟化点よりも高い軟化点（軟化温度）を有するように選択される。
【００６６】
閉塞部材８０は、排気口７００より第２空間５２０内に、ごみ等の物体が侵入しにくくするものである。第一実施形態では、閉塞部材８０は、第１パネル２０又は第２パネル３０の排気口７００の表側に設けられるカバー８１である。
【００６７】
このような閉塞部材８０が排気口７００に設けられることにより、排気口７００より第２空間５２０内に、ごみ等の物体が侵入しにくくなる。これにより、ごみ等の物体が排気口７００内又は第２空間５２０内に侵入してガラスパネルユニット１０の見栄えが悪くなるのが抑制される。なお、このような閉塞部材８０は設けられなくてもよい。
【００６８】
次に、第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図５〜図１１を参照して説明する。第一実施形態のガラスパネルユニットの製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。なお、更に他の工程を備えてもよいが、任意である。以下に順に説明する。
【００６９】
第一実施形態においては、まず、図示しないが、基板形成工程が行われる。基板形成工程は、第１パネル２０及び第２パネル３０を形成する工程である。具体的には、基板形成工程では、例えば、第１パネル２０及び第２パネル３０を作製する。また、基板形成工程では、必要に応じて、第１パネル２０及び第２パネル３０を洗浄する。
【００７０】
次に、排気口７００を形成する工程が行われる。この工程では、第２パネル３０に、排気口７００を形成する。なお、排気口７００は、第１パネル２０に形成されてもよいし、後述する接着剤配置工程により配置される熱接着剤に形成されてもよい。すなわち、排気口７００は、第１パネル２０と第２パネル３０と熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される。
【００７１】
次に、図５に示すように、接着剤配置工程が行われる。接着剤配置工程は、第１パネル２０又は第２パネル３０上に、熱接着剤を配置する工程である。具体的には、接着剤配置工程では、第２パネル３０上に、枠体４１０及び仕切り４２０を形成する。接着剤配置工程では、ディスペンサなどを利用して、枠体４１０の材料（第１熱接着剤）及び仕切り４２０の材料（第２熱接着剤）を第２パネル３０（第２ガラス板３１の第１面）上に塗布する。第一実施形態においては、接着剤配置工程において、通気路６００が形成される。
【００７２】
なお、接着剤配置工程において、枠体４１０の材料及び仕切り４２０の材料を乾燥させるとともに、仮焼成してもよい。例えば、枠体４１０の材料及び仕切り４２０の材料が塗布された第２パネル３０を加熱する。また、第１パネル２０を第２パネル３０と一緒に加熱してもよい。つまり、第１パネル２０を第２パネル３０と同じ条件で加熱してもよい。このような仮焼成は、行われなくてもよい。
【００７３】
次に、ピラー配置工程が行われる。ピラー配置工程は、第１パネル２０又は第２パネル３０の上に、ピラー７０を配置する工程である。具体的には、ピラー配置工程では、複数のピラー７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のピラー７０を、第２パネル３０の所定位置に配置する。なお、複数のピラー７０は、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を利用して形成されていてもよい。この場合、複数のピラー７０は、光硬化性材料などを用いて形成される。あるいは、複数のピラー７０は、周知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。第２パネル３０の上に載置されたピラー７０の第２パネル３０の上面からの高さは、第２パネル３０の上に載置された熱接着剤の第２パネル３０の上面からの高さよりも低い。
【００７４】
次に、ガス吸着体形成工程が行われる。具体的には、ガス吸着体形成工程では、ゲッタの粉体が分散された溶液を第２パネル３０の所定位置に塗布し、乾燥させることで、ガス吸着体６０を形成する。なお、接着剤配置工程、ピラー配置工程及びガス吸着体形成工程の順序は任意である。
【００７５】
次に、組立品形成工程が行われる。図６に示すように、組立品形成工程は、第１パネル２０に対向させて第２パネル３０を配置し、組立品１００（図３及び図４参照）を形成する工程である。
【００７６】
第１パネル２０と第２パネル３０とは、第１ガラス板２１の第１面と第２ガラス板３１の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置して、重ね合わせられる。組立品形成工程により、熱接着剤が第１パネル２０と第２パネル３０とに接触して、図３及び図４に示す組立品１００が形成される。
【００７７】
次に、組立品設置工程が行われる。図７に示すように、組立品設置工程においては、組立品１００が溶融炉（不図示）内の支持台（不図示）に載置される。支持台は、溶融炉内に一台のみ配置されてもよいし、複数台が組をなして配置されてもよい。支持台の上面は同一平面上に位置する。支持台の上面は水平面であることが好ましい。
【００７８】
また、真空ポンプが、排気管８１０及びシールヘッド８２０を介して組立品１００に接続される。排気管８１０は、例えば、排気管８１０の内部と排気口７００とが連通するように第２パネル３０に接合される。そして、排気管８１０にシールヘッド８２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。
【００７９】
次に、接合工程（第１溶融工程）が行われる。接合工程は、組立品１００を加熱して熱接着剤を溶融させ、熱接着剤により第１パネル２０と第２パネル３０とを接合し、内部空間５００を形成する工程である。内部空間５００は、排気口７００を除いて第１パネル２０と第２パネル３０と熱接着剤の溶融物とで囲まれた空間である。
【００８０】
接合工程と、この後の減圧工程及び封止工程は、組立品１００が溶融炉内に位置する状態で行われる。
【００８１】
接合工程では、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）Ｔｍ１で第１熱接着剤を一旦溶融させることで、第１パネル２０と第２パネル３０とを気密に接合する。接合工程は、温度変化に基づいて、第１昇温工程と、第１保温工程と、第１降温工程と、に分けられる。
【００８２】
第１昇温工程は、図８中のｔ１で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を常温より第１溶融温度Ｔｍ１にまで上昇させる工程である。
【００８３】
第１保温工程は、図８中のｔ２で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を第１溶融温度Ｔｍ１に維持する工程である。
【００８４】
第１降温工程は、図８中のｔ３で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を第１溶融温度Ｔｍ１より後述する所定温度（排気温度）Ｔｅまで下降させる工程である。
【００８５】
第１パネル２０及び第２パネル３０は、溶融炉内に配置され、図８に示すように、第１保温工程において、第１溶融温度Ｔｍ１で所定時間（第１溶融時間）ｔ２加熱される。
【００８６】
第１溶融温度Ｔｍ１及び第１溶融時間ｔ２は、枠体４１０の熱接着剤によって第１パネル２０と第２パネル３０とが気密に接合される温度及び時間であるが、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように、設定される。つまり、第１溶融温度Ｔｍ１の下限は、第１軟化点であるが、第１溶融温度Ｔｍ１の上限は、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように設定される。例えば、第１軟化点及び第２軟化点が４３４℃である場合、第１溶融温度Ｔｍ１は、４４０℃に設定される。また、第１溶融時間ｔ２は、例えば、１０分である。なお、接合工程では、枠体４１０からガスが放出されるが、このガスはガス吸着体６０によって吸着される。
【００８７】
第１保温工程の後、第１降温工程において、一旦溶融した第１熱接着剤が硬化していくとともに、第１パネル２０及び第２パネル３０も硬化していく。
【００８８】
この状態では、内部空間５００は減圧されておらず外部空間と同じ圧力であるため、第１パネル２０と第２パネル３０とが大気圧により互いに近接する方に移動する力は受けない。このため、第１パネル２０と第２パネル３０とは近接しておらず、第２パネル３０の上に載置されたピラー７０は、第１パネル２０に接触していない。従って、ピラー７０は、第２パネル３０の上を移動しやすい状態となっている。
【００８９】
次に、減圧工程が行われる。図９Ａに示すように、減圧工程は、内部空間５００の気体を排気口７００から並列流路９６０を通して所定の吸引力により排出して、内部空間５００を減圧する工程である。
【００９０】
排気は、真空ポンプ（後述する９１０、９３０）を用いて行われる。真空ポンプは、マニホールド９００、シールヘッド８２０、排気管８１０及び排気口７００を介して、内部空間５００を排気する。マニホールド９００には、通気管を介して複数のシールヘッド８２０が接続される。
【００９１】
第一実施形態においては、真空ポンプとして、ロータリーポンプ等からなる低真空ポンプ９１０と、ターボ分子ポンプ等からなる高真空ポンプ９３０と、が用いられる。マニホールド９００又は通気管には、圧力を計測するためのペニングゲージ（高真空用）及びピラニーゲージ（低真空用）が適宜設けられてもよい。
【００９２】
並列流路９６０は、並列に接続される複数の流路（後述する第１流路９６１及び第２流路９６２）と、複数の流路のうち一又は二以上の流路に設けられる一又は二以上の開閉弁（後述する第１弁９２１及び第２弁９２２）と、を有する。開閉弁の開閉の組み合わせにより、並列流路９６０の総流路面積（開閉弁が開となる一又は二以上の流路の断面積の合計）を変更可能である。
【００９３】
具体的には、並列流路９６０は、第１の流路面積を有する流路を通っての通気と遮断とを切り替え可能な第１流路９６１と、第１の流路面積よりも大きい第２の流路面積を有する流路を通っての通気と遮断とを切り替え可能な第２流路９６２と、を並列に有する。
【００９４】
低真空ポンプ９１０は、並列流路９６０を介して、マニホールド９００に接続される。第１流路９６１は、途中に第１弁９２１を有し、第２流路９６２は、途中に第２弁９２２を有する。第１弁９２１と第２弁９２２とにより、低真空用弁９２０が構成される。
【００９５】
高真空ポンプ９３０は、途中に高真空用弁９４０を有する通気管を介して、マニホールド９００に接続される。なお、図示しないが、マニホールド９００に更に別の逃がし弁が別の流路を介して接続されてもよい。
【００９６】
また、低真空ポンプ９１０と高真空ポンプ９３０とは、途中に補助弁９５０を有する通気管を介して、互いに接続される。なお、低真空ポンプ９１０と高真空ポンプ９３０とは、通気管を介して互いに接続されなくてもよい。
【００９７】
第１弁９２１は、第１流路９６１を通っての通気と、第１流路９６１を通っての通気の遮断と、のいずれかを選択するように切り替えることが可能である。第１弁９２１は、開閉弁であり、開の場合の流路面積が第１の流路面積である。第１流路９６１の第１弁９２１以外の部分の流路面積は、第１の流路面積と同じか第１の流路面積以上である。第２弁９２２は、第２流路９６２を通っての通気と、第１流路９６１を通っての通気の遮断と、のいずれかを選択するように切り替えることが可能である。第２弁９２２は、開閉弁であり、開の場合の流路面積が第２の流路面積である。第２流路９６２の第２弁９２２以外の部分の流路面積は、第２の流路面積と同じか第２の流路面積以上である。高真空用弁９４０及び補助弁９５０についても、それぞれ所定の流路面積での通気と、通気の遮断と、のいずれかを選択するように切り替えることが可能である。
【００９８】
低真空ポンプ９１０は、所定の吸引力を有する。また、高真空ポンプ９３０は、低真空ポンプ９１０と異なる所定の吸引力を有するが、低真空ポンプ９１０と同じ吸引力であることは除外されない。
【００９９】
図１０に示すように、減圧工程は、大きくは、低真空ポンプ９１０により行われる低真空形成工程（ｔ１１及びｔ１２で示される工程で、以下、単にｔ１１、ｔ１２などと表す）と、高真空ポンプ９３０により行われる高真空形成工程（ｔ２０で示される工程で、以下、単にｔ２０と表す）、に分けられる。先に低真空形成工程が行われ、その後、高真空形成工程が行われる。
【０１００】
更に、低真空形成工程は、最初に行われる第１減圧工程ｔ１１と、第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程ｔ１２と、を有する。
【０１０１】
第１減圧工程ｔ１１においては、並列流路９６０の総流路面積を第１総流路面積として通気させる。具体的には、第１減圧工程ｔ１１においては、第１弁９２１を開として第１流路９６１を通って通気させるとともに第２弁９２２を閉として第２流路９６２を遮断する。（図９Ａ参照）。
【０１０２】
第２減圧工程ｔ１２においては、並列流路９６０の総流路面積を第１総流路面積よりも大きい第２総流路面積として通気させる。具体的には、第２減圧工程ｔ１２においては、第１弁９２１を閉として第１流路９６１を遮断するとともに第２弁９２２を開として第２流路９６２を通って通気させる（図９Ａ参照）。なお、高真空用弁９４０は閉とする。
【０１０３】
第１流路９６１の第１の流路面積は、第２流路９６２の第２の流路面積よりも小さいため、最初に行われる第１減圧工程ｔ１１においては、第２減圧工程ｔ１２におけるよりも排気口７００からの吸引力が小さくなる。このため、排気口７００より内部空間５００を排気する際、内部空間５００の排気口７００近傍の空気が排気口７００に向けて流れる流速が小さくてすむ。すなわち、第１減圧工程ｔ１１において、第１弁９２１を閉とし、かつ、第２弁９２２を開として排気するとした場合と比べて、内部空間５００の排気口７００近傍の空気が排気口７００に向けて流れる流速が小さくてすむ。この結果、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
【０１０４】
第１減圧工程ｔ１１において、内部空間５００をある程度排気した後、第１減圧工程ｔ１１を終了して第２減圧工程ｔ１２を開始する。
【０１０５】
第一実施形態では、第１減圧工程ｔ１１は１分、第２減圧工程ｔ１２は１分であるが、特に時間は限定されない。
【０１０６】
これにより、ピラー７０が排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制されつつ、短時間で、所定の真空度を達成することができる。
【０１０７】
参考として、図１１に、低真空形成工程（ｔ１０で示される工程で、以下、単にｔ１０と表す）を、第２弁９２２を開とし、かつ、第１弁９２１は閉として行った場合の圧力のタイムチャートを示す。この場合、低真空形成工程ｔ１０の時間は２分未満と短くてすむが、ピラー７０が排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまいやすい。
【０１０８】
低真空形成工程の後、第１弁９２１及び第２弁９２２を閉とし、高真空用弁９４０を開として、高真空形成工程ｔ２０が行われる。
【０１０９】
減圧工程は、更に、温度変化に基づいて、第１降温工程と、第２保温工程と、第２昇温工程と、第３保温工程と、第２降温工程と、に分けられる。
【０１１０】
減圧工程が行われる第１降温工程は、直前の接合工程における第１降温工程の一部と共通している。すなわち、接合工程が行われている第１降温工程の途中で、減圧工程が開始する。特に、減圧工程は、組立品１００が熱接着剤の軟化点以上の温度であるときに開始されることが好ましい。なお、減圧工程は、第１降温工程においては行われず、次の第２保温工程に開始されてもよい。
【０１１１】
第２保温工程は、図８中のｔ４で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を排気温度Ｔｅに維持する工程である。第２保温工程では、通気路６００と第２空間５２０と排気口７００とを介して第１空間５１０が排気される。
【０１１２】
排気温度Ｔｅは、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度（例えば、３５０℃）より高く、かつ、第１軟化点及び第２軟化点（例えば、４３４℃）より低く設定される。例えば、排気温度Ｔｅは、３９０℃である。
【０１１３】
このようにすれば、枠体４１０及び仕切り４２０は変形しない。また、ガス吸着体６０のゲッタが活性化し、ゲッタが吸着していた分子（ガス）がゲッタから放出される。そして、ゲッタから放出された分子（つまりガス）は、第１空間５１０、通気路６００、第２空間５２０、及び、排気口７００を通じて排出される。したがって、減圧工程では、ガス吸着体６０の吸着能力が回復する。
【０１１４】
排気時間ｔ４は、所望の真空度（例えば、０．１Ｐａ以下の真空度）の減圧空間５０が得られるように設定される。例えば、排気時間ｔ４は１２０分に設定される。なお、減圧空間５０の真空度は特に限定されない。
【０１１５】
第２保温工程以降の第２昇温工程、第３保温工程及び第２降温工程は、次の封止工程と共通である。すなわち、第２昇温工程、第３保温工程及び第２降温工程においては、減圧工程と封止工程とが並行して行われる。
【０１１６】
次に、封止工程（第２溶融工程）が行われる。封止工程は、減圧した状態を維持したまま、排気口７００を閉塞して、内部空間５００を封止し、密閉された減圧空間５０を形成する工程である。
【０１１７】
第２昇温工程は、図８中のｔ５で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を排気温度Ｔｅより所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２にまで上昇させる工程である。
【０１１８】
第３保温工程は、図８中のｔ６で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を第２溶融温度Ｔｍ２に維持する工程である。
【０１１９】
第３保温工程においては、第２軟化点以上の所定温度Ｔｍ２で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成する。具体的には、第１パネル２０及び第２パネル３０は、溶融炉内で、第２溶融温度Ｔｍ２で所定時間（第２溶融時間）ｔ６加熱される。
【０１２０】
仕切り４２０は、第２熱接着剤を含んでいるから、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）Ｔｍ２で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて、図１及び図２に示す隔壁４２を形成することができる。なお、第１溶融温度Ｔｍ１は、第２溶融温度Ｔｍ２より低くしている。これによって、枠体４１０で第１パネル２０と第２パネル３０とを接合する際に、仕切り４２０が変形して通気路６００が塞がれることを防止できる。
【０１２１】
第２溶融温度Ｔｍ２及び第２溶融時間ｔ６は、第２熱接着剤が軟化し、通気路６００を塞ぐ隔壁４２が形成されるように設定される。第２溶融温度Ｔｍ２の下限は、第２軟化点（４３４℃）である。ただし、封止工程では、接合工程とは異なり、仕切り４２０を変形させることを目的としているから、第２溶融温度Ｔｍ２は、第１溶融温度（４４０℃）Ｔｍ１より高くしている。例えば、第２溶融温度Ｔｍ２は、４６０℃に設定される。また、第２溶融時間ｔ６は、例えば、３０分である。
【０１２２】
第２降温工程は、図８中のｔ７で示す時間に行われる工程で、溶融炉内の温度を第２溶融温度Ｔｍ２より常温まで下降させる工程である。
【０１２３】
第２降温工程の終了後、溶融炉内よりガラスパネルユニット１０が取り出される。
【０１２４】
このようにして得られるガラスパネルユニット１０は、図２に示すように、第１パネル２０と、第２パネル３０と、シール４０と、減圧空間５０と、第２空間５２０と、ガス吸着体６０と、複数のピラー７０と、閉塞部材８０と、を備える。
【０１２５】
減圧空間５０は、上述したように、第２空間５２０、及び排気口７００を介して第１空間５１０を排気することで形成される。換言すれば、減圧空間５０は、減圧度が所定値以下の第１空間５１０である。所定値は、例えば、０．１Ｐａである。減圧空間５０は、第１パネル２０と第２パネル３０とシール４０とで完全に密閉されているから、第２空間５２０及び排気口７００から分離されている。
【０１２６】
シール４０は、減圧空間５０を完全に囲むとともに、第１パネル２０と第２パネル３０とを気密に接合する。シール４０は、枠状であり、第１部分４１と、第２部分（隔壁４２）と、を有する。第１部分４１は、枠体４１０において減圧空間５０に対応する部分である。つまり、第１部分４１は、枠体４１０において減圧空間５０に面している部分である。第２部分は、仕切り４２０を変形することで得られる隔壁４２である。
【０１２７】
また、第一実施形態における排気系統の他例を図９Ｂに示す。この他例では、第１流路９６１は、第１の流路面積を有する絞り部９６３と、第１流路９６１における通気と遮断とを切り替え可能な第１弁９２３を有する。第１流路９６１の絞り部９６３以外の部分（第１弁９２３を含む）の流路面積は、第１の流路面積より大きい。また、第２流路９６２は、第２の流路面積を有する絞り部９６４と、第２流路９６２における通気と遮断とを切り替え可能な第２弁９２４を有する。第２流路９６２の絞り部９６４以外の部分（第２弁９２４を含む）の流路面積は、第２の流路面積より大きい。この図９Ｂに示す排気系統の他例においても、図９Ａに示す排気系統と同様の効果を得られる。
【０１２８】
次に、第二実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図１２に基づいて説明する。なお、第二実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法と大部分において同じである。このため、第一実施形態と重複する説明については説明を省略する。
【０１２９】
第一実施形態においては、図９Ａ又は図９Ｂに示すように、減圧工程において、内部空間５００の気体を並列流路９６０を通して排出していた。これに対し、第二実施形態においては、図１２に示すように、減圧工程において、内部空間５００の気体を所定の流路９７０を通して所定の吸引力により吸引するポンプ（低真空ポンプ９１０）により排出している。
【０１３０】
所定の流路９７０、低真空ポンプ９１０と排気口７００とをつなぐ経路に位置し排出用開閉弁９２５を有する排出用流路９７１と、低真空ポンプ９１０と大気とをつなぐ経路に位置し大気導入用開閉弁９２６を有する大気導入用流路９７２と、を有する。
【０１３１】
減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有する。
【０１３２】
第１減圧工程において、排出用開閉弁９２５を開とするとともに大気導入用開閉弁９２６を開とする。ここで、排出用開閉弁９２５を開とするとともに大気導入用開閉弁９２６を開としても、大気導入用流路９７２より導入される大気は排気口７００の方へ流れず、低真空ポンプ９１０の方へ流れるように設定される。
【０１３３】
第２減圧工程において、排出用開閉弁９２５を開とするとともに大気導入用開閉弁９２６を閉とする。
【０１３４】
第二実施形態における内部空間の圧力のタイムチャートは、図１０に示す第一実施形態における内部空間の圧力のタイムチャートと同じになる。
【０１３５】
図１０に示すように、第１減圧工程ｔ１１においては、第２減圧工程ｔ１２におけるよりも排気口７００からの吸引力が小さくなる。すなわち、第１減圧工程ｔ１１においては、大気導入用開閉弁９２６も開となり、大気導入用流路９７２より大気が導入されて低真空ポンプ９１０に吸引される。このため、大気導入用開閉弁９２６が閉となる場合と比べて、低真空ポンプ９１０による、排気口７００からの吸引に係る吸引力が低減し、内部空間５００の排気口７００近傍の空気が排気口７００に向けて流れる流速も小さくてすむ。この結果、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
【０１３６】
次に、第三実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図１３及び図１４に基づいて説明する。なお、第三実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法と大部分において同じである。このため、第一実施形態と重複する説明については説明を省略する。
【０１３７】
第一実施形態においては、図９Ａに示すように、低真空用弁９２０は、第１弁９２１と第２弁９２２とにより構成されていた。これに対し、第三実施形態においては、一つの低真空用弁９２０のみ設けられる。第三実施形態における低真空用弁９２０は、第一実施形態における第２弁９２２と同じで、第２の流路面積を有する。
【０１３８】
図１４に示すように、第１減圧工程ｔ１１及び第２減圧工程ｔ１２においては、低真空用弁９２０が開閉制御（デューティ制御）される。
【０１３９】
第１減圧工程ｔ１１における低真空用弁９２０の開の時間の全体に対する第１比率は、第２減圧工程ｔ１２における低真空用弁９２０の開の時間の全体に対する第２比率よりも小さい。
【０１４０】
具体的には、例えば、第１減圧工程ｔ１１において、低真空用弁９２０を０．１秒開とし、次に、０．９秒閉とし、これを５秒、１０秒、１分等繰り返す。この場合の第１比率は０．１となる。
【０１４１】
第２減圧工程ｔ１２においては、低真空用弁９２０を開とする。この場合の第２比率は１．０となる。
【０１４２】
なお、低真空用弁９２０を開とする時間、閉とする時間、第１比率及び第２比率は特に限定されない。
【０１４３】
第三実施形態においても、最初に行われる第１減圧工程ｔ１１においては、第２減圧工程ｔ１２におけるよりも排気口７００からの吸引力が小さくなる。このため、排気口７００より内部空間５００を排気する際、内部空間５００の排気口７００近傍の空気が排気口７００に向けて流れる流速が小さくてすむ。この結果、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
【０１４４】
これにより、ピラー７０が排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制されつつ、短時間で、所定の真空度を達成することができる。
【０１４５】
次に、第四実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法について、図１５に基づいて説明する。なお、第四実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法は、第一実施形態のガラスパネルユニット１０の製造方法と大部分において同じである。このため、第一実施形態と重複する説明については説明を省略する。
【０１４６】
第四実施形態においては、低真空形成工程ｔ１０を全て第２弁９２２を開として、図１１に示すのと同様に排気を行う。
【０１４７】
このとき、排気経路を工夫して、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことを抑制する。
【０１４８】
すなわち、図１５Ａに示すように、仕切り４２０を組立品１００の短辺方向の略全長にわたって形成し、仕切り４２０の長手方向における複数の箇所に、通気路６００を形成する。これにより、各通気路６００を通る空気の流量の合計が増大するため、空気が通気路６００を通る際に、通気路６００近傍のピラー７０にあたる空気の流速が小さくなる。この結果、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
【０１４９】
また、図１５Ｂに示すように、仕切り４２０と枠体４１０との間の通気路６００から排気口７００までの排気経路を長くする。第四実施形態においては、仕切り４２０を形成することにより、通気路６００から排気口７００までの排気経路を長くしている。これにより、長い排気経路により、排気経路を流れる空気に対する抵抗が増大し、各通気路６００を通る空気の流速が小さくなる。この結果、第１パネル２０と第２パネル３０とで強固に挟まれていないピラー７０が、排気口７００に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
【０１５０】
次に、第一実施形態〜第四実施形態の変形例について説明する。
【０１５１】
上記実施形態では、ガラスパネルユニット１０は矩形状であるが、ガラスパネルユニット１０は、円形状又は多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１パネル２０、第２パネル３０、及びシール４０は、矩形状ではなく、円形状又は多角形状など所望の形状であってもよい。なお、第１パネル２０、第２パネル３０、枠体４１０、及び、隔壁４２のそれぞれの形状は、上記実施形態の形状に限定されず、所望の形状のガラスパネルユニット１０が得られるような形状であればよい。なお、ガラスパネルユニット１０の形状及び大きさは、ガラスパネルユニット１０の用途に応じて決定される。
【０１５２】
また、第１パネル２０の第１ガラス板２１の第１面及び第２面はいずれも平面に限定されない。同様に、第２パネル３０の第２ガラス板３１の第１面及び第２面はいずれも平面に限定されない。
【０１５３】
また、第１パネル２０の第１ガラス板２１と第２パネル３０の第２ガラス板３１とは同じ平面形状及び平面サイズを有していなくてもよい。また、第１ガラス板２１と第２ガラス板３１とは同じ厚みを有していなくてもよい。また、第１ガラス板２１と第２ガラス板３１とは同じ材料で形成されていなくてもよい。
【０１５４】
また、シール４０は、第１パネル２０及び第２パネル３０と同じ平面形状を有していなくてもよい。同様に、枠体４１０は、第１パネル２０及び第２パネル３０と同じ平面形状を有していなくてもよい。
【０１５５】
また、第１パネル２０は、さらに、所望の物理特性を有して第１ガラス板２１の第２面に形成されるコーティングを備えていてもよい。あるいは、第１パネル２０は、コーティング２２を備えていなくてもよい。つまり、第１パネル２０は、第１ガラス板２１のみで構成されていてもよい。
【０１５６】
また、第２パネル３０は、さらに、所望の物理特性を有するコーティングを備えていてもよい。コーティングは、例えば、第２ガラス板３１の第１面及び第２面にそれぞれ形成される薄膜の少なくとも一方を備えていればよい。コーティングは、例えば、特定波長の光を反射する膜赤外線反射膜、紫外線反射膜などである。
【０１５７】
上記実施形態では、枠体４１０は、第１熱接着剤で形成されている。ただし、枠体４１０は、第１熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、枠体４１０は、第１熱接着剤を含んでいればよい。また、上記実施形態では、枠体４１０は、第２パネル３０のほぼすべての領域を囲うように形成されている。しかしながら、枠体４１０は、第２パネル３０上の所定の領域を囲うように形成されていればよい。つまり、枠体４１０は、第２パネル３０のほぼすべての領域を囲うように形成されている必要はない。
【０１５８】
上記実施形態では、仕切り４２０は、第２熱接着剤で形成されている。ただし、仕切り４２０は、第２熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、仕切り４２０は、第２熱接着剤を含んでいればよい。
【０１５９】
上記実施形態では、内部空間５００は、一つの第１空間５１０と一つの第２空間５２０とに仕切られている。ただし、内部空間５００は、１以上の第１空間５１０と１以上の第２空間５２０とに仕切られていてもよい。
【０１６０】
第１熱接着剤及び第２熱接着剤は、ガラスフリットに限定されず、例えば、低融点金属又はホットメルト接着材などであってもよい。
【０１６１】
上記実施形態では、枠体４１０、ガス吸着体６０、及び仕切り４２０の加熱に溶融炉を利用している。しかしながら、加熱は、適宜の加熱手段で行うことができる。加熱手段は、例えば、レーザ又は熱源に接続された伝熱板などである。
【０１６２】
上記実施形態では、排気口７００は、第２パネル３０に形成されている。しかし、排気口７００は、第１パネル２０の第１ガラス板２１に形成されていてもよいし、枠体４１０に形成されていてもよい。
【０１６３】
以上述べた実施形態から明らかなように、第１の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
【０１６４】
接着剤配置工程は、第１ガラス板（２１）を含む第１パネル（２０）又は第２ガラス板（３１）を含む第２パネル（３０）の上に、熱接着剤を配置する工程である。
【０１６５】
ピラー配置工程は、第１パネル（２０）又は第２パネル（３０）の上に、ピラー（７０）を配置する工程である。
【０１６６】
組立品形成工程は、第１パネル（２０）に対向させて第２パネル（３０）を配置し、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤とピラー（７０）とを含み、かつ、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口（７００）を有する組立品（１００）を形成する工程である。
【０１６７】
接合工程は、組立品（１００）を加熱して熱接着剤を溶融させ、熱接着剤により第１パネル（２０）と第２パネル（３０）とを接合し、排気口（７００）を除いて第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間（５００）を形成する工程である。
【０１６８】
減圧工程は、内部空間（５００）の気体を排気口（７００）から並列流路（９６０）を通して所定の吸引力により排出して内部空間（５００）を減圧する工程である。
【０１６９】
封止工程は、減圧した状態を維持したまま、排気口（７００）を閉塞して、内部空間（５００）を封止し、密閉された減圧空間（５０）を形成する工程である。
【０１７０】
並列流路（９６０）は、並列に接続される複数の流路（第１流路（９６１）及び第２流路（９６２））と、複数の流路のうち一又は二以上の流路に設けられる一又は二以上の開閉弁（第１弁（９２１）及び第２弁（９２２））と、を有する。開閉弁の開閉の組み合わせにより、並列流路（９６０）の総流路面積を変更可能である。
【０１７１】
減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有する。
【０１７２】
第１減圧工程において、並列流路（９６０）の総流路面積を第１総流路面積として通気させる。
【０１７３】
第２減圧工程において、並列流路（９６０）の総流路面積を第１総流路面積よりも大きい第２総流路面積として通気させる。
【０１７４】
第１の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法によれば、ピラー（７０）が、排気口（７００）に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
【０１７５】
第２の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
【０１７６】
接着剤配置工程は、第１ガラス板（２１）を含む第１パネル（２０）又は第２ガラス板（３１）を含む第２パネル（３０）の上に、熱接着剤を配置する工程である。
【０１７７】
ピラー配置工程は、第１パネル（２０）又は第２パネル（３０）の上に、ピラー（７０）を配置する工程である。
【０１７８】
組立品形成工程は、第１パネル（２０）に対向させて第２パネル（３０）を配置し、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤とピラー（７０）とを含み、かつ、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口（７００）を有する組立品（１００）を形成する工程である。
【０１７９】
接合工程は、組立品（１００）を加熱して熱接着剤を溶融させ、熱接着剤により第１パネル（２０）と第２パネル（３０）とを接合し、排気口（７００）を除いて第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間（５００）を形成する工程である。
【０１８０】
減圧工程は、内部空間（５００）の気体を排気口（７００）から所定の流路（９７０）を通して所定の吸引力により吸引するポンプ（低真空ポンプ（９１０））により排出して内部空間（５００）を減圧する工程である。
【０１８１】
封止工程は、減圧した状態を維持したまま、排気口（７００）を閉塞して、内部空間（５００）を封止し、密閉された減圧空間（５０）を形成する工程である。
【０１８２】
所定の流路は、ポンプ（低真空ポンプ（９１０））と排気口（７００）とをつなぐ経路に位置し排出用開閉弁（９２５）を有する排出用流路（９７１）と、ポンプ（低真空ポンプ（９１０））と大気とをつなぐ経路に位置し大気導入用開閉弁（９２６）を有する大気導入用流路（９７２）と、を有する。
【０１８３】
減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有する。
【０１８４】
第１減圧工程において、排出用開閉弁（９２５）を開とするとともに大気導入用開閉弁（９２６）を開とする。
【０１８５】
第２減圧工程において、排出用開閉弁（９２５）を開とするとともに大気導入用開閉弁（９２６）を閉とする。
【０１８６】
第２の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法によれば、ピラー（７０）が、排気口（７００）に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
【０１８７】
第３の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法は、接着剤配置工程と、ピラー配置工程と、組立品形成工程と、接合工程と、減圧工程と、封止工程と、を備える。
【０１８８】
接着剤配置工程は、第１ガラス板（２１）を含む第１パネル（２０）又は第２ガラス板（３１）を含む第２パネル（３０）の上に、熱接着剤を配置する工程である。
【０１８９】
ピラー配置工程は、第１パネル（２０）又は第２パネル（３０）の上に、ピラー（７０）を配置する工程である。
【０１９０】
組立品形成工程は、第１パネル（２０）に対向させて第２パネル（３０）を配置し、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤とピラー（７０）とを含み、かつ、第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤のうちの少なくともいずれかに形成される排気口（７００）を有する組立品（１００）を形成する工程である。
【０１９１】
接合工程は、組立品（１００）を加熱して熱接着剤を溶融させ、熱接着剤により第１パネル（２０）と第２パネル（３０）とを接合し、排気口（７００）を除いて第１パネル（２０）と第２パネル（３０）と熱接着剤の溶融物とで囲まれた内部空間（５００）を形成する工程である。
【０１９２】
減圧工程は、内部空間（５００）の気体を排気口（７００）から弁（低真空用弁（９２０））を通して所定の吸引力により排出して内部空間（５００）を減圧する工程である。
【０１９３】
封止工程は、減圧した状態を維持したまま、排気口（７００）を閉塞して、内部空間（５００）を封止し、密閉された減圧空間（５０）を形成する工程である。
【０１９４】
減圧工程は、最初に行われる第１減圧工程と、第１減圧工程の次に行われる第２減圧工程と、を有し、第１減圧工程及び第２減圧工程において弁が開閉制御され、
第１減圧工程における弁の開の時間の全体に対する第１比率は、第２減圧工程における弁の開の時間の全体に対する第２比率よりも小さい。
【０１９５】
第３の態様のガラスパネルユニット（１０）の製造方法によれば、ピラー（７０）が、排気口（７００）に向けて流れる空気により移動してしまうことが抑制される。
【符号の説明】
【０１９６】
１０  ガラスパネルユニット
２０  第１パネル
２１  第１ガラス板
３０  第２パネル
３１  第２ガラス板
５０  減圧空間
７０  ピラー
１００  組立品
５００  内部空間
７００  排気口
【図１】
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【図２】
2020003829.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【国際調査報告】
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2020003829.tif 000020
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