(57)【要約】互いに接する状態で二次元配置された２つの画素を有する構造体において、上記２つの画素のそれぞれが、顔料と、４００〜７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値が３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下である顔料誘導体と、樹脂とを含有する。また、本発明は、上記構造体を有する固体撮像素子および画像表示装置に関する。
2020080234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに接する状態で二次元配置された２つの画素を有し、
前記２つの画素のそれぞれが、顔料と、４００〜７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値が３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下である顔料誘導体と、樹脂とを含有する、構造体。
【請求項２】
前記２つの画素の少なくとも１つの画素の幅が０．３〜５．０μｍである、
請求項１に記載の構造体。
【請求項３】
前記２つの画素の少なくとも１つの画素の厚さが０．１〜２．０μｍである、
請求項１または２に記載の構造体。
【請求項４】
前記２つの画素の少なくとも１つの画素中に含まれる前記顔料と前記顔料誘導体の合計の含有量が、２５〜６５質量％である、
請求項１〜３いずれか１項に記載の構造体。
【請求項５】
前記２つの画素の少なくとも１つの画素中に含まれる前記顔料誘導体の含有量と、同一の画素中に含まれる前記顔料の含有量との質量比率が、３：９７〜２０：８０である、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の構造体。
【請求項６】
前記顔料誘導体の少なくとも１種が芳香族環を含む、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の構造体。
【請求項７】
前記顔料誘導体の少なくとも１種が、下記式（Ａ１）で表される基を含む、
請求項６に記載の構造体；
【化１】
2020080234.tif 000085
式中、＊は結合手を表し、
Ｙａ１およびＹａ２は、それぞれ独立して−Ｎ（Ｒａ１）−または−Ｏ−を表し、
Ｒａ１は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、
Ｂ１およびＢ２は、それぞれ独立して水素原子または置換基を表す。
【請求項８】
前記２つの画素が、互いに異なる顔料を含む画素であり、
前記２つの画素がそれぞれ、赤色画素、緑色画素、青色画素、黄色画素、シアン色画素、マゼンタ色画素、黒色画素、白色画素、近赤外線カットフィルタ用画素、および、近赤外線透過フィルタ用画素から選択される１つの画素である、
請求項１〜７のいずれか１項に記載の構造体。
【請求項９】
さらに、前記２つの画素の間に、前記２つの画素の厚さよりも低い隔壁を有する、
請求項１〜８のいずれか１項に記載の構造体。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の構造体を半導体基板上に有する固体撮像素子。
【請求項１１】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の構造体をガラス基板上に有する画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の画素を有する構造体、固体撮像素子および画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子や、液晶表示装置などの画像表示装置において、画像のカラー化に際し、カラーフィルタが使用されている。【０００３】
一般に、カラーフィルタは、各色に対応する画素ごとに、顔料や染料を含有する感光性組成物からなる膜を形成し、露光、現像および加熱などを行って、この膜をパターン状に硬化させることにより形成される。例えば、特許文献１には、特定のトリアジン化合物と顔料とを有機溶剤中に分散させた各色の着色感光性組成物を用いて、カラーフィルタを形成することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−０８１９７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年では、近赤外線透過フィルタや近赤外線カットフィルタなどの赤外線フィルタ（ＩＲフィルタ）を使用することや、上記カラーフィルタに加えてＩＲフィルタを併用することも検討されている。例えば、近赤外線透過フィルタは、赤外線センシングを行ったり赤外線画像を生成したりするために使用され、近赤外線カットフィルタは、熱線をカットするために使用される。【０００６】
今回、上記のようなカラーフィルタやＩＲフィルタ（以下、これらを総称して「光学フィルタ」という。）を含む構造体において、画素の深層部でかつ２つの画素が互いに接する部分で、経時的に空隙が形成されてしまう場合があるという問題が見出された。そのような空隙が存在すると、光学フィルタの光学特性が劣化するおそれもある。したがって、経時的に空隙が形成されない程度に、画素深層部の安定性の向上が望まれる。【０００７】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、画素深層部の安定性に優れる構造体の提供を目的とする。【０００８】
また、本発明は、上記構造体を有する固体撮像素子および画像表示装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題は、透明な顔料誘導体を使用することにより、解決できた。具体的には、以下の手段＜１＞により、好ましくは＜２＞〜＜１１＞により、上記課題は解決された。
＜１＞
互いに接する状態で二次元配置された２つの画素を有し、
２つの画素のそれぞれが、顔料と、４００〜７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値が３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下である顔料誘導体と、樹脂とを含有する、構造体。
＜２＞
上記２つの画素の少なくとも１つの画素の幅が０．３〜５．０μｍである、
＜１＞に記載の構造体。
＜３＞
上記２つの画素の少なくとも１つの画素の厚さが０．１〜２．０μｍである、
＜１＞または＜２＞に記載の構造体。
＜４＞
上記２つの画素の少なくとも１つの画素中に含まれる顔料と顔料誘導体の合計の含有量が、２５〜６５質量％である、
＜１＞〜＜３＞のいずれか１つに記載の構造体。
＜５＞
上記２つの画素の少なくとも１つの画素中に含まれる顔料誘導体の含有量と、同一の画素中に含まれる顔料の含有量との質量比率が、３：９７〜２０：８０である、
＜１＞〜＜４＞いずれか１つに記載の構造体。
＜６＞
顔料誘導体の少なくとも１種が芳香族環を含む、
＜１＞〜＜５＞いずれか１つに記載の構造体。
＜７＞
顔料誘導体の少なくとも１種が、下記式（Ａ１）で表される基を含む、
＜６＞に記載の構造体；
【化１】
2020080234.tif 000003
式中、＊は結合手を表し、
Ｙａ１およびＹａ２は、それぞれ独立して−Ｎ（Ｒａ１）−または−Ｏ−を表し、
Ｒａ１は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、
Ｂ１およびＢ２は、それぞれ独立して水素原子または置換基を表す。
＜８＞
上記２つの画素が、互いに異なる顔料を含む画素であり、
上記２つの画素がそれぞれ、赤色画素、緑色画素、青色画素、黄色画素、シアン色画素、マゼンタ色画素、黒色画素、白色画素、近赤外線カットフィルタ用画素、および、近赤外線透過フィルタ用画素から選択される１つの画素である、
＜１＞〜＜７＞いずれか１つに記載の構造体。
＜９＞
さらに、上記２つの画素の間に、２つの画素の厚さよりも低い隔壁を有する、
＜１＞〜＜８＞いずれか１つに記載の構造体。
＜１０＞
＜１＞〜＜９＞いずれか１つに記載の構造体を半導体基板上に有する固体撮像素子。
＜１１＞
＜１＞〜＜９＞いずれか１つに記載の構造体をガラス基板上に有する画像表示装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明により、画素深層部の安定性に優れる構造体が得られる。そして、本発明の構造体により、本発明の固体撮像素子および画像表示装置の提供が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】２色型のカラーフィルタを含む構造体を示す概略図である。
【図２】３色型のカラーフィルタを含む構造体を示す概略図である。
【図３】３色型のカラーフィルタとＩＲフィルタを含む構造体を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の主要な実施形態について説明する。しかしながら、本発明は、明示した実施形態に限られるものではない。
【００１３】
本明細書において「〜」という記号を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ下限値および上限値として含む範囲を意味する。
【００１４】
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、その工程の所期の作用が達成できる限りにおいて、他の工程と明確に区別できない工程も含む意味である。
【００１５】
本明細書における基（原子団）の表記について、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に、置換基を有するものをも包含する意味である。例えば、単に「アルキル基」と記載した場合には、これは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）、および、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）の両方を包含する意味である。
【００１６】
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた描画のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も含む意味である。また、露光に用いられるエネルギー線としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）およびＸ線などの活性光線、ならびに、電子線およびイオン線などの粒子線が挙げられる。
【００１７】
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、「アクリレート」および「メタクリレート」の両方、または、いずれかを意味し、「（メタ）アクリル」は、「アクリル」および「メタクリル」の両方、または、いずれかを意味し、「（メタ）アクリロイル」は、「アクリロイル」および「メタクリロイル」の両方、または、いずれかを意味する。
【００１８】
本明細書において、組成物中の固形分の濃度は、その組成物の総質量に対する、溶剤を除く他の成分の質量百分率によって表される。
【００１９】
本明細書において、沸点測定時の気圧は、特に述べない限り、１０１３２５Ｐａ（１気圧）とする。また、温度は、特に述べない限り、２３℃とする。
【００２０】
本明細書において、重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、特に述べない限り、ゲル浸透クロマトグラフィ（ＧＰＣ測定）に従い、ポリスチレン換算値として示される。この重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、例えば、ＨＬＣ−８２２０（東ソー（株）製）を用い、カラムとしてガードカラムＨＺ−Ｌ、ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺＭ−Ｍ、ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ４０００、ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ３０００およびＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  ＨＺ２０００（東ソー（株）製）を用いることによって求めることができる。また、特に述べない限り、溶離液としてＴＨＦ（テトラヒドロフラン）を用いて測定したものとする。また、特に述べない限り、ＧＰＣ測定における検出には、ＵＶ線（紫外線）の波長２５４ｎｍ検出器を使用したものとする。
【００２１】
本明細書において、積層体を構成する各層の位置関係について、「上」または「下」と記載したときには、注目している複数の層のうち基準となる層の上側または下側に他の層があればよい。すなわち、基準となる層と上記他の層の間に、さらに第３の層や要素が介在していてもよく、基準となる層と上記他の層は接している必要はない。また、特に断らない限り、基材に対し層が積み重なっていく方向を「上」と称し、または、感光層がある場合には、基材から感光層へ向かう方向を「上」と称し、その反対方向を「下」と称する。なお、このような上下方向の設定は、本明細書中における便宜のためであり、実際の態様においては、本明細書における「上」方向は、鉛直上向きと異なることもありうる。
【００２２】
本明細書において、「近赤外線」は、７００〜２５００ｎｍの波長域周辺に属する光（電磁波）をいう。
【００２３】
＜構造体＞
本発明の構造体は、互いに接する状態で二次元配置された２つの画素を有し、２つの画素のそれぞれが、顔料と、４００〜７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値が３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下である顔料誘導体と、樹脂とを含有する。
【００２４】
本発明によれば、互いに接する状態で二次元配置された２つの画素を含む構造体において、画素深層部の安定性が向上する。これは、次のように考えられる。
【００２５】
一般的に、感光性組成物中における顔料の分散性を向上させるために、顔料に極性基を付与したような構造を有する顔料誘導体が顔料とともに添加される。
【００２６】
しかしながら、従来の顔料誘導体は有色の化合物であり、そのような顔料誘導体が露光時の光を吸収してしまうため、画素表面から深さ方向１／２の位置よりも深い部分、特に、画素表面から深さ方向２／３の位置よりも深い部分（以下、これらを総称して「画素深層部」という。）の硬化の妨げになっていることが分かった。画素間の深層部で発生する空隙は、そのような硬化が不充分な部分において、両画素が収縮する方向に経時的に変質することが影響していると考えられる。
【００２７】
そこで、本発明では、４００〜７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値が３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下である程度に、透明の顔料誘導体を使用することにより、露光の際に、顔料誘導体による光の消費を抑制し、従来よりも画素深層部の硬化を促進できるようにしている。このように深層部での硬化を促進することで、画素の膜質が密の状態になったり画素の支持体への密着性が向上したりして、画素の安定性が向上すると考えられる。また、顔料誘導体が透明になる、つまり、露光時の照射光（紫外線など）の影響を受けにくくなることによって、顔料誘導体の変質や破壊が抑制され、顔料誘導体自体の露光時の安定性が向上することも、深層部での効率的な硬化に寄与していると考えられる。
【００２８】
以下、本発明の構造体の各構成を詳細に説明する。
＜＜画素の構成＞＞
本発明の構造体は、例えば、カラーフィルタ、近赤外線カットフィルタまたは近赤外線透過フィルタとして機能し、あるいは、これらの組み合わせの光学フィルタとして機能する。このような構造体は、固体撮像素子などの各種類の光センサや、画像表示装置（例えば、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）表示装置など）に組み込んで用いることができる。例えば、本発明の構造体が組み込まれた光センサは、監視用途、セキュリティ用途、モバイル用途、自動車用途、農業用途、医療用途、距離計測用途、ジェスチャー認識用途、バイタル認識用途などの用途に好ましく用いることができる。
【００２９】
カラーフィルタとしては、特定の波長の光を透過させる着色画素を有するフィルタが挙げられ、赤色画素、青色画素、緑色画素、黄色画素、シアン色画素およびマゼンタ色画素から選ばれる少なくとも１種の着色画素を有するフィルタであることが好ましい。カラーフィルタは、有彩色顔料を含む感光性組成物を用いて形成することができる。
【００３０】
近赤外線カットフィルタとしては、極大吸収波長を波長７００〜１８００ｎｍの範囲に有するフィルタが挙げられる。近赤外線カットフィルタは、極大吸収波長を波長７００〜１３００ｎｍの範囲に有するフィルタであることが好ましく、波長７００〜１０００ｎｍの範囲に有するフィルタであることがより好ましい。また、近赤外線カットフィルタの波長４００〜６５０ｎｍの全範囲での透過率は７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましく、９０％以上であることが更に好ましい。また、波長７００〜１８００ｎｍの範囲の少なくとも１点での透過率は２０％以下であることが好ましい。また、近赤外線カットフィルタの極大吸収波長における吸光度Ａｍａｘと、波長５５０ｎｍにおける吸光度Ａ５５０との比である吸光度Ａｍａｘ／吸光度Ａ５５０は、２０〜５００であることが好ましく、５０〜５００であることがより好ましく、７０〜４５０であることが更に好ましく、１００〜４００であることが特に好ましい。近赤外線カットフィルタは、近赤外線吸収顔料を含む感光性組成物を用いて形成することができる。
【００３１】
近赤外線透過フィルタは、近赤外線の少なくとも一部を透過させるフィルタである。近赤外線透過フィルタは、可視光と近赤外線のいずれも透過させるフィルタ（透明膜）であってもよく、可視光の少なくとも一部を遮光し、近赤外線の少なくとも一部を透過させるフィルタであってもよい。近赤外線透過フィルタとしては、波長４００〜６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００〜１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）である分光特性を満たしているフィルタなどが好ましく挙げられる。近赤外線透過フィルタは、以下の（１）〜（４）のいずれかの分光特性を満たしているフィルタであることが好ましい。
【００３２】
（１）：波長４００〜６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長８００〜１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。
（２）：波長４００〜７５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長９００〜１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。
（３）：波長４００〜８３０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１０００〜１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。
（４）：波長４００〜９５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００〜１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。
【００３３】
本発明の構造体において、上記２つの画素は、互いに接する状態で二次元配置されている。「互いに接する状態で」とは、二次元配置された所定の２つの画素が、相対する側面の少なくとも一部で接していることをいう。所定の２つの画素が、一部で接していれば、２つの画素の間に、その２つの画素の厚さよりも低い隔壁があってもよい。この低い隔壁の高さは、例えば、画素の厚さの１０〜９０％とすることができ、３０〜７０％とすることもできる。また、画素間の一部の位置において２つの画素が接している場合には、画素間の他の位置に、画素の厚さよりも高い隔壁があってもよい。また、隔壁は、近赤外線透過フィルタ用画素と比べて、屈折率が低い材料から構成されていることが好ましい。この態様によれば、近赤外線の集光性をより高めて、近赤外線の感度をより向上できる。
【００３４】
本発明の構造体において、上記２つの画素は、互いに異なる顔料を含む画素であり、かつ、上記２つの画素はそれぞれ、赤色画素、緑色画素、青色画素、黄色画素、シアン色画素、マゼンタ色画素、黒色画素、白色画素、近赤外線カットフィルタ用画素、および、近赤外線透過フィルタ用画素から選択される１つの画素とすることができる。本発明の構造体が、どの画素を含むかは、その構造体の所望の機能に応じて設計される。例えば、本発明の構造体は、２色画素（例えば、赤色画素および緑色画素）を含む２色型のカラーフィルタとして、赤色画素、緑色画素および青色画素を含むＲＧＢ型のカラーフィルタとして、あるいは、シアン色画素、マゼンタ色画素および黄色画素を含むＣＭＹ型のカラーフィルタとして機能することができる。また、例えば、本発明の構造体は、ＲＧＢ型カラーフィルタに近赤外線カットフィルタ（黒色画素）が付加された光学フィルタとして、ＲＧＢ型カラーフィルタに近赤外線透過フィルタが付加された光学フィルタとして、あるいは、ＲＧＢ型カラーフィルタに白色画素が付加された光学フィルタとして機能することができる。具体的には次のとおりである。
【００３５】
本発明の構造体は、例えば、２色型のカラーフィルタを含む構造体とすることができる。図１は、２色型のカラーフィルタを含む構造体Ｓ１を示す概略図であり、図１ａは、構造体Ｓ１の上面図、図１ｂおよび図１ｃは、画素Ｐ１および画素Ｐ２を含む平面における構造体Ｓ１の断面図である。ここで、例えば、画素Ｐ１が緑色画素であり、画素Ｐ２が赤色画素である。図１の構造体において、支持体１の上に、画素Ｐ１および画素Ｐ２が交互に敷き詰められて形成されており、画素Ｐ１および画素Ｐ２は、上面視において、全ての辺で互いに接している状態である。一方、図１ｂは、画素Ｐ１・Ｐ２間に隔壁がない場合の断面図であり、図１ｃは、画素Ｐ１・Ｐ２間に隔壁２がある場合の断面図である。図１ｂでは、画素間に隔壁がないため、隣接する２つの画素Ｐ１・Ｐ２は、相対する全側面で接している状態といえ、図１ｃでは、画素間に隔壁２があるため、隣接する２つの画素Ｐ１・Ｐ２は、相対する側面の一部で接している状態といえる。
【００３６】
このような光学フィルタでは、上記のとおり、画素の深層部でかつ２つの画素が互いに接する部分の近傍領域Ｒで、空隙が生じやすい。具体的には、この領域Ｒは、例えば、図１ｂの場合には、２つの画素Ｐ１・Ｐ２の接触面と支持体１の表面とが交わる領域の近傍であり、図１ｃの場合には、２つの画素Ｐ１・Ｐ２の接触面と隔壁２の頂上面とが交わる領域の近傍である。本発明では、上記のとおり、この領域Ｒを含む画素深層部の硬化を従来よりも促進することにより、安定性の向上が可能となる。
【００３７】
また、本発明の構造体は、例えば、３色型のカラーフィルタを含む構造体とすることができる。図２は、３色型のカラーフィルタを含む構造体Ｓ２を示す概略図であり、図２ａは、構造体Ｓ２の上面図、図２ｂは、画素Ｐ１および画素Ｐ２を含む平面における構造体Ｓ２の断面図であり、図２ｃは、画素Ｐ１および画素Ｐ３を含む平面における構造体Ｓ２の断面図である。ここで、例えば、画素Ｐ１が緑色画素であり、画素Ｐ２が赤色画素であり、画素Ｐ３が青色画素である。図２の構造体Ｓ２において、支持体１の上に、画素Ｐ１、画素Ｐ２および画素Ｐ３の個数比が２：１：１の割合で交互に敷き詰められて形成されており、画素Ｐ１、画素Ｐ２および画素Ｐ３はそれぞれ、上面視において、隣接する画素と全ての辺で接している状態である。一方、図２ｂおよび図２ｃに示されるとおり、構造体Ｓ２においては、画素間に隔壁２があるため、隣接する２つの画素は、相対する側面の一部で接している状態といえる。構造体Ｓ２においても、図１ｂの構造体Ｓ１と同様に、隔壁はなくてもよい。空隙が発生しやすい領域についても、構造体Ｓ１と同様である。
【００３８】
さらに、本発明の構造体は、例えば、３色型のカラーフィルタとＩＲフィルタを含む構造体とすることができる。図３は、３色型のカラーフィルタとＩＲフィルタを含む構造体Ｓ３を示す概略図であり、図３ａは、構造体Ｓ３の上面図、図３ｂは、画素Ｐ１および画素Ｐ２を含む平面における構造体Ｓ３の断面図であり、図３ｃは、画素Ｐ１および画素Ｐ３を含む平面における構造体Ｓ３の断面図であり、図３ｄは、画素Ｐ４および画素Ｐ２を含む平面における構造体Ｓ３の断面図である。ここで、例えば、画素Ｐ１が緑色画素であり、画素Ｐ２が赤色画素であり、画素Ｐ３が青色画素であり、画素Ｐ４が近赤外線透過フィルタ用画素である。図３の構造体Ｓ３において、支持体１の上に、画素Ｐ１〜Ｐ４の個数比が１：１：１：１の割合で交互に敷き詰められて形成されており、画素Ｐ１〜Ｐ４はそれぞれ、上面視において、隣接する画素と全ての辺で接している状態である。一方、図３のｂ〜ｄに示されるとおり、構造体Ｓ３においては、画素間に隔壁２があるため、隣接する２つの画素は、相対する側面の一部で接している状態といえる。構造体Ｓ３においても、図１ｂの構造体Ｓ１と同様に、隔壁はなくてもよい。空隙が発生しやすい領域についても、構造体Ｓ１と同様である。さらに、図３ｅに示されるように、構造体Ｓ３は、例えば、カラーフィルタ用画素Ｐ１〜Ｐ３の下に近赤外線カットフィルタＳＩＲを設けることも可能である。なお、近赤外線カットフィルタＳＩＲは、図１および図２に示された各構造体中に同様に設けることもできる。
【００３９】
そのほか、本発明の構造体は、例えば、３色型のカラーフィルタと白色画素を含む構造体や、上記した構造体において、３色型のカラーフィルタとしてＣＭＹ型カラーフィルタを採用した構造体とすることもできる。また、本発明の構造体は、光学フィルタの上に、反射防止膜、平坦化膜、レンズなどが設けられていてもよい。レンズを形成するためのレンズ材には赤外光を吸収する色材が添加されてもよい。波長５５０ｎｍの光に対するレンズ材の屈折率は１．５〜１．８であることが好ましい。この数値範囲の上限は１．７５以下であることがより好ましく、１．７０以下であることがさらに好ましい。また、この数値範囲の下限は１．５５以上であることがより好ましく、１．５８であることがさらに好ましい。波長４００〜７００ｎｍの光に対するレンズ材の最小透過率は、膜厚０．３５μｍのレンズ材の膜を成膜した際に、９０％以上であることが好ましく、９５％以上であることがより好ましい。この透過率の上限値は１００％であることが好ましく、９８％程度が実際的である。また、波長８２０ｎｍの光に対するレンズ材の透過率は、膜厚０．３５μｍのレンズ材の膜を成膜した際に、７０％以下であることが好ましく、６０％以下であることがより好ましく、５０％以下であることがさらに好ましい。この透過率の下限値は０％であることが好ましく、５０％程度が実際的である。
【００４０】
本発明の構造体において、２つの画素の少なくとも１つの画素の幅は、０．３〜５．０μｍであることが好ましい。特に、一眼レフカメラなど、比較的大サイズの画素を使用する用途では、各画素の幅の上限は、独立に、４．０μｍ以下であることがより好ましく、３．５μｍ以下であることがさらに好ましく、３．０μｍ以下であることが特に好ましい。また、この用途での各画素の幅の下限は、独立に、１．７μｍ以上であることがより好ましく、２．０μｍ以上であることがさらに好ましく、２．５μｍ以上であることが特に好ましい。一方、モバイルなど、比較的小サイズの画素を使用する用途では、各画素の幅の上限は、独立に、１．７μｍ以下であることがより好ましく、１．５μｍ以下であることがさらに好ましく、１．２μｍ以下であることが特に好ましい。また、この用途での各画素の幅の下限は、独立に、０．５μｍ以上であることがより好ましく、０．６μｍ以上であることがさらに好ましく、０．７μｍ以上であることが特に好ましい。２つの画素の少なくとも１つの画素の厚さは、０．１〜２．０μｍであることが好ましい。特に、上記のような大サイズ用途では、各画素の厚さの上限は、独立に、１．８μｍ以下であることがより好ましく、１．６μｍ以下であることがさらに好ましく、１．４μｍ以下であることが特に好ましい。また、この用途での各画素の厚さの下限は、独立に、０．８μｍ以上であることがより好ましく、０．９μｍ以上であることがさらに好ましく、１．０μｍ以上であることが特に好ましい。一方、上記のような小サイズ用途では、各画素の厚さの上限は、独立に、０．８μｍ以下であることがより好ましく、０．７μｍ以下であることがさらに好ましく、０．６μｍ以下であることが特に好ましい。また、この用途での各画素の幅の下限は、独立に、０．２μｍ以上であることがより好ましく、０．３μｍ以上であることがさらに好ましく、０．４μｍ以上であることが特に好ましい。上記のように各画素の幅および厚さが小さいほど、画素深層部に発生した空隙の影響が大きく、本発明の有用性は大きい。
【００４１】
＜＜画素を形成するための組成物＞＞
本発明の構造体において、各画素は、所望の機能に応じて、顔料、顔料誘導体および樹脂を含む。このような画素は、後に詳述するように、例えば、顔料、顔料誘導体および樹脂を含有する感光性組成物（以下、単に「組成物」ともいう。）の膜を形成し、この膜に、露光、現像などの処理を実施することにより形成される。そして、このような画素の形成工程を、必要な全ての画素が形成されるまで繰返すことで、本発明の構造体が得られる。以下、本発明において、画素を形成するための組成物の内容について説明する。
【００４２】
＜＜＜顔料＞＞＞
本発明において、感光性組成物は顔料を含有する。顔料としては、白色顔料、黒色顔料、有彩色顔料、近赤外線吸収顔料などが挙げられる。本発明において、白色顔料は純白色のみならず、白に近い明るい灰色（例えば灰白色、薄灰色など）の顔料などを含む。また、顔料は、無機顔料、有機顔料のいずれでもよく、分散安定性をより向上させやすいという理由から有機顔料であることが好ましい。また、顔料は、波長４００〜２０００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有するものが好ましく、波長４００〜７００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有するものがより好ましい。また、顔料は、顔料のみで使用されてもよく、染料と併用されてもよい。また、顔料には、無機顔料または有機‐無機顔料の一部を有機発色団で置換した材料を用いることもできる。無機顔料や有機‐無機顔料を有機発色団で置換することで、色相設計をしやすくできる。
【００４３】
カラーフィルタ用の画素を形成する場合には、顔料として、例えば、有彩色顔料から適宜選択された所定の顔料が使用される。また、近赤外線カットフィルタ用の画素を形成する場合には、顔料として、近赤外線吸収顔料が使用される。そして、近赤外線透過フィルタ用の画素を形成する場合には、２種以上の有彩色顔料の組み合わせで黒色を呈する顔料や、黒色顔料が使用される。
【００４４】
顔料の平均一次粒子径は、１〜２００ｎｍが好ましい。下限は５ｎｍ以上がより好ましく、１０ｎｍ以上がさらに好ましい。上限は、１８０ｎｍ以下がより好ましく、１５０ｎｍ以下がさらに好ましく、１００ｎｍ以下が特に好ましい。顔料の平均一次粒子径が上記範囲であれば、感光性組成物中における顔料の分散安定性が良好である。なお、本発明において、顔料の一次粒子径は、顔料の一次粒子を透過型電子顕微鏡により観察し、得られた写真から求めることができる。具体的には、顔料の一次粒子の投影面積を求め、それに対応する円相当径を顔料の一次粒子径として算出する。また、本発明における平均一次粒子径は、４００個の顔料の一次粒子についての一次粒子径の算術平均値とする。また、顔料の一次粒子とは、凝集のない独立した粒子をいう。
【００４５】
１つの画素中における顔料の含有量は、２５〜６５質量％であることが好ましい。上限は、６０質量％以下であることがより好ましく、５５質量％以下であることがさらに好ましい。下限は、２５質量％以上であることがより好ましく、３０質量％以上であることがさらに好ましく、３５質量％以上であることが特に好ましい。顔料としては以下に示すものが挙げられる。
（有彩色顔料）
有彩色顔料としては、特に限定されず、公知の有彩色顔料を用いることができる。有彩色顔料としては、波長４００〜７００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する顔料が挙げられる。例えば、黄色顔料、オレンジ色顔料、赤色顔料、緑色顔料、紫色顔料、青色顔料などが挙げられる。これらの具体例としては、例えば、以下が挙げられる。
【００４６】
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４，２１５，２２８，２３１，２３２（メチン系），２３３（キノリン系），２３４（アミノケトン系），２３５（アミノケトン系），２３６（アミノケトン系）等（以上、黄色顔料。以下、単に「ＰＹ１」等ともいう。）。
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料。以下、単に「ＰＯ２」等ともいう。）。
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２６９，２７０，２７２，２７９，２９１，２９４（キサンテン系、Ｏｒｇａｎｏ  Ｕｌｔｒａｍａｒｉｎｅ、Ｂｌｕｉｓｈ  Ｒｅｄ），２９５（モノアゾ系），２９６（ジアゾ系），２９７（アミノケトン系）等（以上、赤色顔料。以下、単に「ＰＲ１」等ともいう。）。
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，１０，３６，３７，５８，５９，６２，６３，６４（フタロシアニン系），６５（フタロシアニン系），６６（フタロシアニン系）等（以上、緑色顔料。以下、単に「ＰＧ７」等ともいう。）。
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２，６０（トリアリールメタン系），６１（キサンテン系）等（以上、紫色顔料。以下、単に「ＰＶ１」等ともいう。）。
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，２９，６０，６４，６６，７９，８０，８７（モノアゾ系），８８（メチン系）等（以上、青色顔料。以下、単に「ＰＢ１」等ともいう。）。
【００４７】
また、緑色顔料として、１分子中のハロゲン原子数が平均１０〜１４個であり、臭素原子数が平均８〜１２個であり、塩素原子数が平均２〜５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／１１８７２０号に記載の化合物が挙げられる。また、緑色顔料として中国特許出願公開第１０６９０９０２７号明細書に記載の化合物、国際公開第２０１２／１０２３９５号に記載のリン酸エステルを配位子として有するフタロシアニン化合物、特開２０１９−００８０１４号公報に記載のフタロシアニン化合物、特開２０１８−１８００２３号公報に記載のフタロシアニン化合物、特開２０１９−０３８９５８号公報に記載の化合物などを用いることもできる。
【００４８】
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２−２４７５９１号公報の段落００２２〜００３０、特開２０１１−１５７４７８号公報の段落００４７に記載の化合物が挙げられる。
また、黄色顔料として、特開２０１７−２０１００３号公報に記載の化合物、特開２０１７−１９７７１９号公報に記載の化合物、特開２０１７−１７１９１２号公報の段落番号００１１〜００６２、０１３７〜０２７６に記載の化合物、特開２０１７−１７１９１３号公報の段落番号００１０〜００６２、０１３８〜０２９５に記載の化合物、特開２０１７−１７１９１４号公報の段落番号００１１〜００６２、０１３９〜０１９０に記載の化合物、特開２０１７−１７１９１５号公報の段落番号００１０〜００６５、０１４２〜０２２２に記載の化合物、特開２０１３−０５４３３９号公報の段落番号００１１〜００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−０２６２２８号公報の段落番号００１３〜００５８に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８−０６２６４４号公報に記載のイソインドリン化合物、特開２０１８−２０３７９８号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８−０６２５７８号公報に記載のキノフタロン化合物、特許第６４３２０７６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８−１５５８８１号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８−１１１７５７号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８−０４０８３５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１７−１９７６４０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１６−１４５２８２号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−０８５５６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−０２１１３９号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３−２０９６１４号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３−２０９４３５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３−１８１０１５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３−０６１６２２号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３−０３２４８６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１２−２２６１１０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８−０７４９８７号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８−０８１５６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８−０７４９８６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８−０７４９８５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８−０５０４２０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８−０３１２８１号公報に記載のキノフタロン化合物、特公昭４８−０３２７６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１９−００８０１４号公報に記載のキノフタロン化合物、下記式（ＱＰ１）で表される化合物、下記式（ＱＰ２）で表される化合物を用いることもできる。
【００４９】
【化２】
2020080234.tif 000004
【００５０】
式（ＱＰ１）中、Ｘ１〜Ｘ１６は各々独立に水素原子又はハロゲン原子を表し、Ｚ１は炭素数１〜３のアルキレン基を表す。式（ＱＰ１）で表される化合物の具体例としては、特許第６４４３７１１号公報の段落番号００１６に記載されている化合物が挙げられる。
【００５１】
【化３】
2020080234.tif 000005
【００５２】
式（ＱＰ２）中、Ｙ１〜Ｙ３は、それぞれ独立にハロゲン原子を示す。ｎ、ｍは０〜６の整数、ｐは０〜５の整数を表す。（ｎ＋ｍ）は１以上である。式（ＱＰ２）で表される化合物の具体例としては、特許６４３２０７７号公報の段落番号００４７〜００４８に記載されている化合物が挙げられる。
【００５３】
赤色顔料として、特開２０１７−２０１３８４号公報に記載の構造中に少なくとも１つ臭素原子が置換したジケトピロロピロール化合物、特許第６２４８８３８号の段落番号００１６〜００２２に記載のジケトピロロピロール化合物、国際公開第２０１２／１０２３９９号に記載のジケトピロロピロール化合物、国際公開第２０１２／１１７９６５号に記載のジケトピロロピロール化合物、特開２０１２−２２９３４４号公報に記載のナフトールアゾ化合物、特許第６５１６１１９号公報に記載の赤色色材、特許第６５２５１０１号公報に記載の赤色色材などを用いることもできる。また、赤色顔料として、芳香族環に対して、酸素原子、硫黄原子または窒素原子が結合した基が導入された芳香族環基がジケトピロロピロール骨格に結合した構造を有する化合物を用いることもできる。
【００５４】
本発明において、有彩色顔料は、２種以上組み合わせて用いてもよい。また、有彩色顔料は、２種以上組み合わせて用いる場合、２種以上の有彩色顔料の組み合わせで黒色を形成していてもよい。そのような組み合わせとしては、例えば以下の（１）〜（７）の態様が挙げられる。組成物中に有彩色顔料を２種以上含み、かつ、２種以上の有彩色顔料の組み合わせで黒色を呈している場合においては、組成物は、近赤外線透過フィルタとして好ましく用いることができる。
（１）赤色顔料と青色顔料とを含有する態様。
（２）赤色顔料と青色顔料と黄色顔料とを含有する態様。
（３）赤色顔料と青色顔料と黄色顔料と紫色顔料とを含有する態様。
（４）赤色顔料と青色顔料と黄色顔料と紫色顔料と緑色顔料とを含有する態様。
（５）赤色顔料と青色顔料と黄色顔料と緑色顔料とを含有する態様。
（６）赤色顔料と青色顔料と緑色顔料とを含有する態様。
（７）黄色顔料と紫色顔料とを含有する態様。
【００５５】
（白色顔料）
白色顔料としては、酸化チタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、シリカ、タルク、マイカ、水酸化アルミニウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸アルミニウム、中空樹脂粒子、硫化亜鉛などが挙げられる。白色顔料は、チタン原子を有する粒子が好ましく、酸化チタンがより好ましい。また、白色顔料は、波長５８９ｎｍの光に対する屈折率が２．１０以上の粒子であることが好ましい。前述の屈折率は、２．１０〜３．００であることがより好ましく、２．５０〜２．７５であることがさらに好ましい。
【００５６】
また、白色顔料は「酸化チタン  物性と応用技術  清野学著  １３〜４５ページ  １９９１年６月２５日発行、技報堂出版発行」に記載の酸化チタンを用いることもできる。
【００５７】
白色顔料は、単一の無機物からなるものだけでなく、他の素材と複合させた粒子を用いてもよい。例えば、内部に空孔や他の素材を有する粒子、コア粒子に無機粒子を多数付着させた粒子、ポリマー粒子からなるコア粒子と無機ナノ微粒子からなるシェル層とからなるコアおよびシェル複合粒子を用いることが好ましい。上記ポリマー粒子からなるコア粒子と無機ナノ微粒子からなるシェル層とからなるコアおよびシェル複合粒子としては、例えば、特開２０１５−０４７５２０号公報の段落番号００１２〜００４２の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。
【００５８】
白色顔料は、中空無機粒子を用いることもできる。中空無機粒子とは、内部に空洞を有する構造の無機粒子であり、外殻に包囲された空洞を有する無機粒子のことを言う。中空無機粒子としては、特開２０１１−０７５７８６号公報、国際公開第２０１３／０６１６２１号、特開２０１５−１６４８８１号公報などに記載された中空無機粒子が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【００５９】
（黒色顔料）
黒色顔料としては特に限定されず、公知のものを用いることができる。例えば、カーボンブラック、チタンブラック、グラファイト等が挙げられ、カーボンブラック、チタンブラックが好ましく、チタンブラックがより好ましい。チタンブラックとは、チタン原子を含有する黒色粒子であり、低次酸化チタンや酸窒化チタンが好ましい。チタンブラックは、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。例えば、酸化珪素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、又は、酸化ジルコニウムでチタンブラックの表面を被覆することが可能である。また、特開２００７−３０２８３６号公報に表されるような撥水性物質での処理も可能である。黒色顔料として、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ  １，７等が挙げられる。チタンブラックは、個々の粒子の一次粒子径及び平均一次粒子径のいずれもが小さいことが好ましい。具体的には、平均一次粒子径が１０〜４５ｎｍであることが好ましい。チタンブラックは、分散物として用いることもできる。例えば、チタンブラック粒子とシリカ粒子とを含み、分散物中のＳｉ原子とＴｉ原子との含有比が０．２０〜０．５０の範囲に調整した分散物などが挙げられる。上記分散物については、特開２０１２−１６９５５６号公報の段落００２０〜０１０５の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。チタンブラックの市販品の例としては、チタンブラック１０Ｓ、１２Ｓ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｍ−Ｃ、１３Ｒ−Ｎ、１３Ｍ−Ｔ（商品名：三菱マテリアル（株）製）、ティラック（Ｔｉｌａｃｋ）Ｄ（商品名：赤穂化成（株）製）などが挙げられる。また、特開２０１７−２２６８２１号公報の段落００１６〜００２０に記載のペリレンブラック（Ｌｕｍｏｇｅｎ Ｂｌａｃｋ ＦＫ４２８０等)を使用しても良い。
【００６０】
また、本発明において、有機系黒色着色剤を使用することもできる。有機系黒色着色剤は、顔料でも染料でもよく、顔料が好ましい。有機系黒色着色剤としては、例えば、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、アゾ系化合物などが挙げられ、ビスベンゾフラノン化合物、ペリレン化合物が好ましい。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表２０１０−５３４７２６号公報、特表２０１２−５１５２３３号公報、特表２０１２−５１５２３４号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、ＢＡＳＦ社製の「Ｉｒｇａｐｈｏｒ  Ｂｌａｃｋ」として入手可能である。ペリレン化合物としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ  ３１、３２などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平０１−１７０６０１号公報、特開平０２−０３４６６４号公報などに記載のものが挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックＡ１１０３」として入手できる。
【００６１】
（近赤外線吸収顔料）
近赤外線吸収顔料は、有機顔料であることが好ましい。また、近赤外線吸収顔料は、波長７００ｎｍを超え１４００ｎｍ以下の範囲に極大吸収波長を有することが好ましい。また、近赤外線吸収顔料の極大吸収波長は、１２００ｎｍ以下であることがより好ましく、１０００ｎｍ以下であることがさらに好ましく、９５０ｎｍ以下であることが特に好ましい。また、近赤外線吸収顔料は、波長５５０ｎｍにおける吸光度Ａ５５０と極大吸収波長における吸光度Ａｍａｘとの比であるＡ５５０／Ａｍａｘが０．１以下であることが好ましく、０．０５以下であることがより好ましく、０．０３以下であることが更に好ましく、０．０２以下であることが特に好ましい。下限は、特に限定はないが、例えば、０．０００１以上とすることができ、０．０００５以上とすることもできる。上述の吸光度の比が上記範囲であれば、可視光透明性および近赤外線遮蔽性に優れた近赤外線吸収顔料とすることができる。なお、本発明において、近赤外線吸収顔料の極大吸収波長および各波長における吸光度の値は、近赤外線吸収顔料を含む感光性組成物を用いて形成した膜の吸収スペクトルから求めた値である。
【００６２】
近赤外線吸収顔料としては、特に限定はないが、ピロロピロール化合物、リレン化合物、オキソノール化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、クロコニウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、ピリリウム化合物、アズレニウム化合物、インジゴ化合物およびピロメテン化合物が挙げられ、ピロロピロール化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物およびナフタロシアニン化合物から選ばれる少なくとも１種であることが好ましく、ピロロピロール化合物またはスクアリリウム化合物であることが更に好ましく、ピロロピロール化合物であることが特に好ましい。
【００６３】
本発明において、感光性組成物は、染料を含有することができる。染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。染料は、有彩色染料であってもよく、近赤外線吸収染料であってもよい。有彩色染料としては、ピラゾールアゾ化合物、アニリノアゾ化合物、トリアリールメタン化合物、アントラキノン化合物、アントラピリドン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物、キサンテン化合物、フタロシアニン化合物、ベンゾピラン化合物、インジゴ化合物、ピロメテン化合物が挙げられる。また、特開２０１２−１５８６４９号公報に記載のチアゾール化合物、特開２０１１−１８４４９３号公報に記載のアゾ化合物、特開２０１１−１４５５４０号公報に記載のアゾ化合物を用いることもできる。また、黄色染料として、特開２０１３−０５４３３９号公報の段落番号００１１〜００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４−０２６２２８号公報の段落番号００１３〜００５８に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。また、耐熱性向上の観点から、黄色染料として、特開２０１９−０７３６９５号公報、特開２０１９−０７３６９６号公報、特開２０１９−０７３６９７号公報、特開２０１９−０７３６９８号公報に記載のメチン化合物も好適に使用できる。近赤外線吸収染料としては、ピロロピロール化合物、リレン化合物、オキソノール化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、クロコニウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、ピリリウム化合物、アズレニウム化合物、インジゴ化合物およびピロメテン化合物が挙げられる。また、特開２０１７−１９７４３７号公報に記載のスクアリリウム化合物、国際公開第２０１７／２１３０４７号の段落番号００９０〜０１０７に記載のスクアリリウム化合物、特開２０１８−０５４７６０号公報の段落番号００１９〜００７５に記載のピロール環含有化合物、特開２０１８−０４０９５５号公報の段落番号００７８〜００８２に記載のピロール環含有化合物、特開２０１８−００２７７３号公報の段落番号００４３〜００６９に記載のピロール環含有化合物、特開２０１８−０４１０４７号公報の段落番号００２４〜００８６に記載のアミドα位に芳香環を有するスクアリリウム化合物、特開２０１７−１７９１３１号公報に記載のアミド連結型スクアリリウム化合物、特開２０１７−１４１２１５号公報に記載のピロールビス型スクアリリウム骨格又はクロコニウム骨格を有する化合物、特開２０１７−０８２０２９号公報に記載されたジヒドロカルバゾールビス型のスクアリリウム化合物、特開２０１７−０６８１２０号公報の段落番号００２７〜０１１４に記載の非対称型の化合物、特開２０１７−０６７９６３号公報に記載されたピロール環含有化合物（カルバゾール型）、特許第６２５１５３０号公報に記載されたフタロシアニン化合物などを用いることもできる。
【００６４】
感光性組成物の全固形分中における染料の含有量は１質量％以上であることが好ましく、５質量％以上であることがより好ましく、１０質量％以上であることが特に好ましい。上限としては特に制限はないが、７０質量％以下であることが好ましく、６５質量％以下であることがより好ましく、６０質量％以下であることが更に好ましい。
【００６５】
また、染料の含有量は、顔料の１００質量部に対して５〜５０質量部であることが好ましい。上限は、４５質量部以下であることがより好ましく、４０質量部以下であることがさらに好ましい。下限は、１０質量部以上であることがより好ましく、１５質量部以上であることが更に好ましい。
【００６６】
また、本発明において、感光性組成物は染料を実質的に含有しないこともできる。本発明において、感光性組成物が染料を実質的に含まない場合、本発明において、感光性組成物の全固形分中における染料の含有量が０．１質量％以下であることが好ましく、０．０５質量％以下であることがより好ましく、含有しないことが特に好ましい。
【００６７】
＜＜＜顔料誘導体＞＞＞
本発明において、感光性組成物は、４００〜７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値（εｍａｘ）が３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下である顔料誘導体を含有する。組成物が顔料誘導体を含有することにより、顔料の組成物中における分散性が向上する。また、顔料誘導体が、上記要件を満たす吸光特性を有することにより、上記のとおり、画素深層部における組成物の硬化が、従来よりも促進される。
【００６８】
本発明において、顔料誘導体のεｍａｘは、１０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることがより好ましく、１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることがさらに好ましい。この態様によれば、得られる膜の支持体との密着性をより向上させやすい。εｍａｘの下限は、例えば１Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以上であり、１０Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以上でもよい。顔料誘導体が２種以上となる場合には、その少なくとも１種のεｍａｘが１０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが好ましく、全種のεｍａｘが１０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが好ましい。本発明において、顔料誘導体のモル吸光係数の値は、後述する実施例に記載の方法にて測定した値である。
【００６９】
本発明において、顔料誘導体は、以下の（ａ）〜（ｄ）のいずれかの分光特性を満たしていることも好ましい。
（ａ）  波長７００ｎｍを超え７５０ｎｍ以下の範囲のモル吸光係数の最大値が、３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが好ましく、１０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることがより好ましく、１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが更に好ましい。
（ｂ）  波長７５０ｎｍを超え８００ｎｍ以下の範囲のモル吸光係数の最大値が、３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが好ましく、１０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることがより好ましく、１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが更に好ましい。
（ｃ）  波長８００ｎｍを超え８５０ｎｍ以下の範囲のモル吸光係数の最大値が、３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが好ましく、１０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることがより好ましく、１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが更に好ましい。
（ｄ）  波長８５０ｎｍを超え９００ｎｍ以下の範囲のモル吸光係数の最大値が、３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが好ましく、１０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることがより好ましく、１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下であることが更に好ましい。
【００７０】
本発明において、顔料誘導体は、芳香族環を含むことが好ましい。芳香族環としては、芳香族炭化水素環であってもよく、芳香族複素環であってもよい。また、芳香族環は、単環であってもよく縮合環であってもよい。具体的には、芳香族環は、ベンゼン環、ナフタレン環、フルオレン環、ペリレン環、イミダゾール環、ピラゾール環、オキサゾール環、チアゾール環、イミダゾリン環、ピリジン環、トリアゾール環、イミダゾリン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、キノリン環、イソキノリン環、キノキサリン環、キナゾリン環、ベンゾイミダゾール環、ベンゾピラゾール環、ベンゾオキサゾール環、ベンゾチアゾール環、ベンゾトリアゾール環、インドール環、イソインドール環、トリアジン環、ピロール環、カルバゾール環、ベンゾイミダゾリノン環、フタルイミド環、フタロシアニン環、アントラキノン環、ジケトピロロピロール環、イソインドリノン環、イソインドリン環およびキナクリドン環から選ばれる芳香族環、または、これらの芳香族環を含む縮合環などが好ましい。上記の縮合環は、全体として、芳香族環であってもよく非芳香族環であってもよいが、芳香族環であることが好ましい。
【００７１】
また、顔料誘導体は、芳香族環または縮合環を１個のみ有してもよいが、芳香族環が多い方がππ相互作用により、顔料吸着性が向上して組成物の保存安定性を向上させやすいという理由から、これらの環を２個以上有していることが好ましい。
【００７２】
上記芳香族環または縮合環は、さらに置換基を有していてもよい。置換基としては後述する置換基Ｔが挙げられる。
【００７３】
上記顔料誘導体は、感光性組成物に含まれる顔料と相互作用しやすい構造または顔料に類似した構造を有することが好ましい。この態様によれば、感光性組成物中における顔料の分散性を高めることができ、感光性組成物の保存安定性をより高めることができる。また、顔料誘導体は、本発明の効果がより顕著に得られやすいという理由から芳香族複素環を有することが好ましく、含窒素芳香族複素環を有することがより好ましく、トリアジン環を有することが更に好ましい。
【００７４】
そして、本発明において、顔料誘導体は、芳香族環としてトリアジン環を含む下記式（Ａ１）で表される基を有することが特に好ましい。
【化４】
2020080234.tif 000006
式中、＊は結合手を表し、
Ｙａ１およびＹａ２は、それぞれ独立して−Ｎ（Ｒａ１）−または−Ｏ−を表し、
Ｒａ１は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、
Ｂ１およびＢ２は、それぞれ独立して水素原子または置換基を表す。
【００７５】
式（Ａ１）においてＹａ１およびＹａ２は、それぞれ独立して−Ｎ（Ｒａ１）−または−Ｏ−を表し、本発明の効果がより顕著に得られやすいという理由から−Ｎ（Ｒａ１）−であることが好ましい。
【００７６】
Ｒａ１は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、水素原子またはアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。
Ｒａ１が表すアルキル基の炭素数は、１〜２０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜８が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。Ｒａ１が表すアルキル基はさらに置換基を有していてもよい。置換基としては後述する置換基Ｔが挙げられる。
Ｒａ１が表すアルケニル基の炭素数は、２〜２０が好ましく、２〜１２がより好ましく、２〜８が特に好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。Ｒａ１が表すアルケニル基はさらに置換基を有していてもよい。置換基としては後述する置換基Ｔが挙げられる。
Ｒａ１が表すアルキニル基の炭素数は、２〜４０が好ましく、２〜３０がより好ましく、２〜２５が特に好ましい。アルキニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。Ｒａ１が表すアルキニル基はさらに置換基を有していてもよい。置換基としては後述する置換基Ｔが挙げられる。
Ｒａ１が表すアリール基の炭素数は、６〜３０が好ましく、６〜２０がより好ましく、６〜１２が更に好ましい。Ｒａ１が表すアリール基はさらに置換基を有していてもよい。置換基としては後述する置換基Ｔが挙げられる。
【００７７】
式（Ａ１）においてＢ１およびＢ２は、それぞれ独立して水素原子または置換基を表す。置換基としては後述する置換基Ｔが挙げられ、アルキル基、アリール基および複素環基が好ましく、アリール基および複素環基がより好ましく、顔料吸着性を高めて組成物の保存安定性を向上させやすいという理由からアリール基が更に好ましい。また、色ムラをより抑制しやすいという理由から、Ｂ１およびＢ２の少なくとも一方は、複素環基であることも好ましい。複素環基としては、含窒素複素環基であることが好ましく、ベンズイミダゾロン基であることがより好ましい。
Ｂ１およびＢ２が表すアルキル基、アリール基および複素環基は更に置換基を有していてもよい。更なる置換基としては、アルキル基（好ましくは炭素数１〜３０のアルキル基）、フルオロアルキル基（好ましくは炭素数１〜３０のフルオロアルキル基）、アルケニル基（好ましくは炭素数２〜３０のアルケニル基）、アルキニル基（好ましくは炭素数２〜３０のアルキニル基）、アリール基（好ましくは炭素数６〜３０のアリール基）、アミノ基（好ましくは炭素数０〜３０のアミノ基）、アルコキシ基（好ましくは炭素数１〜３０のアルコキシ基）、アリールオキシ基（好ましくは炭素数６〜３０のアリールオキシ基）、ヘテロアリールオキシ基、アシル基（好ましくは炭素数１〜３０のアシル基）、アルコキシカルボニル基（好ましくは炭素数２〜３０のアルコキシカルボニル基）、アリールオキシカルボニル基（好ましくは炭素数７〜３０のアリールオキシカルボニル基）、アシルオキシ基（好ましくは炭素数２〜３０のアシルオキシ基）、アシルアミノ基（好ましくは炭素数２〜３０のアシルアミノ基）、アルコキシカルボニルアミノ基（好ましくは炭素数２〜３０のアルコキシカルボニルアミノ基）、アリールオキシカルボニルアミノ基（好ましくは炭素数７〜３０のアリールオキシカルボニルアミノ基）、スルファモイル基（好ましくは炭素数０〜３０のスルファモイル基）、カルバモイル基（好ましくは炭素数１〜３０のカルバモイル基）、アルキルチオ基（好ましくは炭素数１〜３０のアルキルチオ基）、アリールチオ基（好ましくは炭素数６〜３０のアリールチオ基）、ヘテロアリールチオ基（好ましくは炭素数１〜３０のヘテロアリールチオ基）、アルキルスルホニル基（好ましくは炭素数１〜３０のアルキルスルホニル基）、アリールスルホニル基（好ましくは炭素数６〜３０のアリールスルホニル基）、ヘテロアリールスルホニル基（好ましくは炭素数１〜３０のヘテロアリールスルホニル基）、アルキルスルフィニル基（好ましくは炭素数１〜３０のアルキルスルフィニル基）、アリールスルフィニル基（好ましくは炭素数６〜３０のアリールスルフィニル基）、ヘテロアリールスルフィニル基（好ましくは炭素数１〜３０のヘテロアリールスルフィニル基）、ウレイド基（好ましくは炭素数１〜３０のウレイド基）、リン酸アミド基（好ましくは炭素数１〜３０のリン酸アミド基）、水酸基、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基、メルカプト基、ハロゲン原子、シアノ基、アルキルスルフィノ基、アリールスルフィノ基、ヒドラジノ基、イミノ基などが挙げられ、アルキル基、フルオロアルキル基、アルコキシ基、アミノ基、ハロゲン原子、アルケニル基、水酸基、アルコキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシルアミノ基、ニトロ基が好ましい。
Ｂ１およびＢ２が表すアルキル基、アリール基および複素環基は、上述したさらなる置換基を有さないことも好ましい。
【００７８】
（置換基Ｔ）
置換基Ｔとしては、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、複素環基、−ＯＲｔ１、−ＣＯＲｔ１、−ＣＯＯＲｔ１、−ＯＣＯＲｔ１、−ＮＲｔ１Ｒｔ２、−ＮＨＣＯＲｔ１、−ＣＯＮＲｔ１Ｒｔ２、−ＮＨＣＯＮＲｔ１Ｒｔ２、−ＮＨＣＯＯＲｔ１、−ＳＲｔ１、−ＳＯ２Ｒｔ１、−ＳＯ２ＯＲｔ１、−ＮＨＳＯ２Ｒｔ１または−ＳＯ２ＮＲｔ１Ｒｔ２が挙げられる。Ｒｔ１およびＲｔ２は、それぞれ独立して水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基またはヘテロアリール基を表す。Ｒｔ１とＲｔ２が結合して環を形成してもよい。
【００７９】
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
アルキル基の炭素数は、１〜３０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜８が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。
アルケニル基の炭素数は、２〜３０が好ましく、２〜１２がより好ましく、２〜８が特に好ましい。アルケニル基は直鎖、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。
アルキニル基の炭素数は、２〜３０が好ましく、２〜２５がより好ましい。アルキニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。
アリール基の炭素数は、６〜３０が好ましく、６〜２０がより好ましく、６〜１２が更に好ましい。
複素環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。複素環基は、単環または縮合数が２〜４の縮合環が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子の数は１〜３が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。複素環基の環を構成する炭素原子の数は３〜３０が好ましく、３〜１８がより好ましく、３〜１２がより好ましい。
アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基および複素環基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、上述した置換基Ｔで説明した置換基が挙げられる。
【００８０】
本発明の顔料誘導体について、芳香族環、さらには上記式（Ａ１）で表される基の具体例としては下記構造の基が挙げられる。以下の構造式中、Ｍｅはメチル基を表す。
【００８１】
【化５】
2020080234.tif 000007
【化６】
2020080234.tif 000008
【化７】
2020080234.tif 000009
【化８】
2020080234.tif 000010
【００８２】
本発明において、顔料誘導体は、酸基および塩基性基から選ばれる少なくとも１種の基を含むことが好ましい。
【００８３】
酸基は、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基およびそれらの塩から選ばれる少なくとも１種であることが好ましく、カルボキシル基、スルホ基およびそれらの塩から選ばれる少なくとも１種であることがより好ましい。塩を構成する原子または原子団としては、アルカリ金属イオン（Ｌｉ＋、Ｎａ＋、Ｋ＋など）、アルカリ土類金属イオン（Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋など）、アンモニウムイオン、イミダゾリウムイオン、ピリジニウムイオン、ホスホニウムイオンなどが挙げられる。
【００８４】
塩基性基は、アミノ基、ピリジル基およびそれらの塩、アンモニウム基の塩、並びにフタルイミドメチル基から選ばれる少なくとも１種であることが好ましく、アミノ基、アミノ基の塩、およびアンモニウム基の塩から選ばれる少なくとも１種であることがより好ましく、アミノ基またはアミノ基の塩であることがより好ましい。アミノ基としては、−ＮＨ２、ジアルキルアミノ基、アルキルアリールアミノ基、ジアリールアミノ基、環状アミノ基などが挙げられる。ジアルキルアミノ基、アルキルアリールアミノ基、ジアリールアミノ基、環状アミノ基はさらに置換基を有していてもよい。置換基としては後述する置換基Ｔが挙げられる。塩を構成する原子または原子団としては、水酸化物イオン、ハロゲンイオン、カルボン酸イオン、スルホン酸イオン、フェノキシドイオンなどが挙げられる。
【００８５】
本発明において、芳香族環を有する顔料誘導体は、下記式（１）で表される化合物（以下、化合物（１）ともいう。）であることが好ましい。
Ａ１−Ｌ１−Ｚ１      ・・・（１）
式（１）中、Ａ１は、芳香族環を含む基を表し、
Ｌ１は、単結合または２価の連結基を表し、
Ｚ１は、酸基または塩基性基を表す。
さらに、Ｚ１は、色ムラをより抑制しやすいという理由から塩基性基であることが好ましく、下記式（Ｚ１）で表される基であることがより好ましい。
【化９】
2020080234.tif 000011
式中、＊は結合手を表し、
Ｙｚ１は−Ｎ（Ｒｙ１）−または−Ｏ−を表し、
Ｒｙ１は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、
Ｌｚ１は２価の連結基を表し、
Ｒｚ１およびＲｚ２は、それぞれ独立して水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、
Ｒｚ１とＲｚ２は２価の基を介して結合して環を形成していてもよく、
ｍは１〜５の整数を表す。
【００８６】
式（１）において、Ａ１が含む芳香族環は、顔料誘導体が含むと好ましい前述の芳香族環と同様である。Ａ１は、上記式（Ａ１）で表される基であることが好ましい。Ａ１の具体例としては、上記式（Ａ１）で表される基の具体例のとおりである。
【００８７】
式（１）において、Ｌ１は単結合または２価の連結基を表し、２価の連結基が好ましい。Ｌ１が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、複素環基、−Ｏ−、−Ｎ（ＲＬ１）−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ−、−ＳＯ２ＮＨ−、−ＳＯ２−およびそれらの組み合わせが挙げられる。アルキレン基の炭素数は、１〜３０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜８が更に好ましく、１〜５が特に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖が特に好ましい。アリーレン基の炭素数は６〜３０が好ましく、６〜１５がより好ましい。アリーレン基はフェニレン基であることが好ましい。ＲＬ１は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、水素原子またはアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。ＲＬ１が表すアルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基の好ましい範囲については、Ｒａ１のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基の好ましい範囲として説明した範囲と同様である。
【００８８】
Ｌ１が表す２価の連結基としては、下記式（Ｌ１）で表される基であることが好ましい。
−Ｌ１Ａ−Ｌ１Ｂ−Ｌ１Ｃ−      ・・・（Ｌ１）
式中、Ｌ１ＡおよびＬ１Ｃはそれぞれ独立して、−Ｏ−、−Ｎ（ＲＬ１）−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ−、−ＳＯ２ＮＨ−、または、−ＳＯ２−を表し、Ｌ１Ｂは、単結合または２価の連結基を表す。
【００８９】
Ｌ１Ｂが表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、アルキレン基とアリーレン基を単結合または−Ｏ−、−Ｎ（ＲＬ１）−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ−、−ＳＯ２ＮＨ−、−ＳＯ２−およびそれらの組み合わせからなる基を介して結合した基、アルキレン基同士またはアリーレン基同士を−Ｏ−、−Ｎ（ＲＬ１）−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ−、−ＳＯ２ＮＨ−、−ＳＯ２−およびそれらの組み合わせからなる基を介して結合した基などが挙げられる。
【００９０】
Ｌ１の具体例としては下記構造の基が挙げられる。
【化１０】
2020080234.tif 000012
【００９１】
式（１）中のＺ１が酸基である場合において、酸基は、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基およびそれらの塩から選ばれる少なくとも１種であることが好ましく、カルボキシル基、スルホ基およびそれらの塩から選ばれる少なくとも１種であることがより好ましい。塩を構成する原子または原子団としては、アルカリ金属イオン（Ｌｉ＋、Ｎａ＋、Ｋ＋など）、アルカリ土類金属イオン（Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋など）、アンモニウムイオン、イミダゾリウムイオン、ピリジニウムイオン、ホスホニウムイオンなどが挙げられる。
【００９２】
式（１）中のＺ１が塩基性基である場合において、上記のとおり、Ｚ１は下記式（Ｚ１）で表される基であることが好ましい。
【化１１】
2020080234.tif 000013
式中、＊は結合手を表し、
Ｙｚ１は−Ｎ（Ｒｙ１）−または−Ｏ−を表し、
Ｒｙ１は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、
Ｌｚ１は、２価の連結基を表し、
Ｒｚ１およびＲｚ２は、それぞれ独立して水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、
Ｒｚ１とＲｚ２は２価の基を介して結合して環を形成していてもよく、
ｍは１〜５の整数を表す。
【００９３】
式（Ｚ１）において、Ｙｚ１は−Ｎ（Ｒｙ１）−または−Ｏ−を表し、耐久性を向上させやすいという理由から−Ｎ（Ｒｙ１）−であることが好ましい。
【００９４】
Ｒｙ１は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、水素原子またはアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。Ｒｙ１が表すアルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基の好ましい範囲については、Ｒａ１のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基の好ましい範囲として説明した範囲と同様である。
【００９５】
式（Ｚ１）において、Ｌｚ１が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、複素環基、−Ｏ−、−Ｎ（ＲＬ１）−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ−、−ＳＯ２ＮＨ−、−ＳＯ２−およびそれらの組み合わせが挙げられ、アルキレン基が好ましい。アルキレン基の炭素数は、１〜３０が好ましく、１〜１５がより好ましく、１〜８が更に好ましく、１〜５が特に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖が特に好ましい。
【００９６】
式（Ｚ１）において、Ｒｚ１およびＲｚ２は、それぞれ独立して水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、アルキル基またはアリール基であることが好ましく、アルキル基であることがより好ましい。アルキル基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜５がより好ましく、１〜３が更に好ましく、１または２が特に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルケニル基の炭素数は、２〜１０が好ましく、２〜８がより好ましく、２〜５が特に好ましい。アルケニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキニル基の炭素数は、２〜１０が好ましく、２〜８がより好ましく、２〜５が特に好ましい。アルキニル基は直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アリール基の炭素数は、６〜３０が好ましく、６〜２０がより好ましく、６〜１２が更に好ましい。
【００９７】
式（Ｚ１）において、Ｒｚ１とＲｚ２は２価の基を介して結合して環を形成していてもよい。２価の基としては、−ＣＨ２−、−Ｏ−、−ＳＯ２−が挙げられる。Ｒｚ１とＲｚ２とが２価の基を介して形成される環の具体例としては以下が挙げられる。
【化１２】
2020080234.tif 000014
【００９８】
式（Ｚ１）において、ｍは１〜５の整数を表し、１〜４が好ましく、１〜３がより好ましく、２〜３が更に好ましく、２が特に好ましい。
【００９９】
式（１）において、Ｚ１は、下記式（Ｚ２）で表される基であることが好ましい。
【化１３】
2020080234.tif 000015
式中、＊は結合手を表し、
Ｙｚ２およびＹｚ３は、それぞれ独立して−Ｎ（Ｒｙ２）−または−Ｏ−を表し、
Ｒｙ２は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、
Ｌｚ２およびＬｚ３は、それぞれ独立して２価の連結基を表し、
Ｒｚ３〜Ｒｚ６は、それぞれ独立して水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、
Ｒｚ３とＲｚ４、および、Ｒｚ５とＲｚ６は、それぞれ２価の基を介して結合して環を形成していてもよい。
【０１００】
式（Ｚ２）のＹｚ２およびＹｚ３は、式（Ｚ１）のＹｚ１と同義であり、好ましい範囲も同様である。Ｒｙ２は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、水素原子またはアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。Ｒｙ２が表すアルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基の好ましい範囲については、Ｒａ１のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基の好ましい範囲として説明した範囲と同様である。
【０１０１】
式（Ｚ２）のＬｚ２およびＬｚ３は、式（Ｚ１）のＬｚ１と同義であり、好ましい範囲も同様である。式（Ｚ２）のＲｚ３〜Ｒｚ６は、式（Ｚ１）のＲｚ１とＲｚ２と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【０１０２】
Ｚ１の具体例としては下記構造の基が挙げられる。以下の構造式中、Ｐｈはフェニル基を表す。
【化１４】
2020080234.tif 000016
【０１０３】
本発明において、感光性組成物に用いられる化合物（１）は、下記式（２）で表される化合物であることが好ましい。このような化合物を用いることにより、本発明の効果がより顕著に得られる。
Ａ１−Ｘ１−Ｌ２−Ｘ２−Ｚ１      ・・・（２）
式（２）中、Ａ１は芳香族環を含む基を表し、
Ｘ１およびＸ２は、それぞれ独立して単結合、−Ｏ−、−Ｎ（Ｒ１）−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ−、−ＳＯ２ＮＨ−、または、−ＳＯ２−を表し、
Ｒ１は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、
Ｌ２は、単結合または２価の連結基を表し、
Ｚ１は、上述した式（Ｚ１）で表される基を表す。
【０１０４】
式（２）のＡ１およびＺ１は式（１）のＡ１およびＺ１と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【０１０５】
式（２）のＸ１およびＸ２は、それぞれ独立して単結合、−Ｏ−、−Ｎ（Ｒ１）−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ−、−ＳＯ２ＮＨ−、または、−ＳＯ２−を表し、−Ｏ−、−Ｎ（Ｒ１）−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ−、−ＳＯ２ＮＨ−、または、−ＳＯ２−であることが好ましい。Ｒ１は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、水素原子またはアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。Ｒ１が表すアルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基の好ましい範囲については、Ｒａ１のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基の好ましい範囲として説明した範囲と同様である。
【０１０６】
式（２）のＬ２は、単結合または２価の連結基を表す。Ｌ２が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、アルキレン基とアリーレン基を単結合または−Ｏ−、−Ｎ（Ｒ２）−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ−、−ＳＯ２ＮＨ−、−ＳＯ２−およびそれらの組み合わせからなる基を介して結合した基、アルキレン基同士またはアリーレン基同士を−Ｏ−、−Ｎ（Ｒ２）−、−ＮＨＣＯ−、−ＣＯＮＨ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯＯ−、−ＣＯ−、−ＳＯ２ＮＨ−、−ＳＯ２−およびそれらの組み合わせからなる基を介して結合した基などが挙げられる。Ｒ２は、水素原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基またはアリール基を表し、水素原子またはアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。Ｒ２が表すアルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基の好ましい範囲については、Ｒａ１のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基およびアリール基の好ましい範囲として説明した範囲と同様である。
【０１０７】
化合物（１）の具体例としては以下が挙げられる。以下の表中、Ａ１の構造、Ｌ１の構造、Ｚ１の構造の欄に記載の記号は、それぞれＡ１の具体例（つまり、上記式（Ａ１）で表される基の具体例）、Ｌ１の具体例、Ｚ１の具体例で挙げた構造である。
【表１】
2020080234.tif 000017
【０１０８】
感光性組成物の全固形分中における顔料誘導体の含有量は０．３〜２０質量％であることが好ましい。下限は０．６質量％以上であることがより好ましく、０．９質量％以上であることがさらに好ましい。上限は１５質量％以下であることがより好ましく、１２．５質量％以下であることがさらに好ましく、１０質量％以下であることが特に好ましい。
【０１０９】
また、組成物の全固形分中における顔料誘導体の含有量と、同組成物の全固形分中における顔料の含有量との質量比率は、３：９７〜２０：８０であることが好ましい。この質量比率の上限は、１５：８５以下であることがより好ましく、１３：８７以下であることがさらに好ましい。この質量比率の下限は、５：９５以上であることがより好ましく、８：９２以上であることがさらに好ましい。言い換えれば、顔料誘導体の含有量は顔料１００質量部に対して３〜２５質量部であることが好ましい。上限は、１７．６質量部以下であることがより好ましく、１４．９質量％以下であることがさらに好ましい。下限は、５．３質量％以上であることがより好ましく、８．７質量％以上であることがさらに好ましい。
【０１１０】
また、組成物の全固形分中における顔料と顔料誘導体の合計の含有量（顔料類濃度）は、２５〜６５質量％であることが好ましい。下限は、３０質量％以上であることがより好ましく、３５質量％以上であることがさらに好ましく、４０質量％以上であることが特に好ましい。上限は、６３質量％以下であることがより好ましく、６０質量％以下であることがさらに好ましい。
【０１１１】
なお、組成物の全固形分中における、ある固形成分の含有量は、その組成物を硬化させて形成した画素中における、その固形成分の含有量と概ね等しくなる。
【０１１２】
顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上併用する場合はそれらの合計量が上記範囲であることが好ましい。
【０１１３】
本発明において、感光性組成物は、４００〜７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値（εｍａｘ）が３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下である顔料誘導体と、εｍａｘが３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１を超える顔料誘導体を併用して用いてもよい。これらを併用する場合、εｍａｘが３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下である顔料誘導体の含有量は、全顔料誘導体に対し４０質量％以上であることが好ましく、６０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。
【０１１４】
＜＜重合性化合物＞＞
本発明の構造体における画素は、重合性化合物を含有することが好ましい。重合性化合物としては、ラジカル、酸または熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。本発明において、重合性化合物は、例えば、エチレン性不飽和結合基を有する化合物であることが好ましい。エチレン性不飽和結合基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。本発明で用いられる重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることが好ましい。
【０１１５】
重合性化合物としては、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。重合性化合物の分子量は、１００〜３０００が好ましい。上限は、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。
【０１１６】
重合性化合物は、エチレン性不飽和結合基を３個以上含む化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和結合基を３〜１５個含む化合物であることがより好ましく、エチレン性不飽和結合基を３〜６個含む化合物であることが更に好ましい。また、重合性化合物は、３〜１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３〜６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。重合性化合物の具体例としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号００９５〜０１０８、特開２０１３−０２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号０２５４〜０２５７、特開２０１３−２５３２２４号公報の段落番号００３４〜００３８、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落番号０４７７、特開２０１７−０４８３６７号公報、特許第６０５７８９１号公報、特許第６０３１８０７号公報に記載されている化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１１７】
重合性化合物としては、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、ＮＫエステルＡ−ＤＰＨ−１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）が好ましい。また、重合性化合物としては、ジグリセリンＥＯ（エチレンオキシド）変性（メタ）アクリレート（市販品としてはＭ−４６０；東亞合成製）、ペンタエリスリトールテトラアクリレート（新中村化学工業（株）製、ＮＫエステルＡ−ＴＭＭＴ）、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート（日本化薬（株）製、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＨＤＤＡ）、ＲＰ−１０４０（日本化薬（株）製）、アロニックスＴＯ−２３４９（東亞合成（株）製）、ＮＫオリゴＵＡ−７２００（新中村化学工業（株）製）、８ＵＨ−１００６、８ＵＨ−１０１２（大成ファインケミカル（株）製）、ライトアクリレートＰＯＢ−Ａ０（共栄社化学（株）製）などを用いることもできる。
【０１１８】
また、重合性化合物として、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどの３官能の（メタ）アクリレート化合物を用いることも好ましい。３官能の（メタ）アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスＭ−３０９、Ｍ−３１０、Ｍ−３２１、Ｍ−３５０、Ｍ−３６０、Ｍ−３１３、Ｍ−３１５、Ｍ−３０６、Ｍ−３０５、Ｍ−３０３、Ｍ−４５２、Ｍ−４５０（東亞合成（株）製）、ＮＫエステル  Ａ９３００、Ａ−ＧＬＹ−９Ｅ、Ａ−ＧＬＹ−２０Ｅ、Ａ−ＴＭＭ−３、Ａ−ＴＭＭ−３Ｌ、Ａ−ＴＭＭ−３ＬＭ−Ｎ、Ａ−ＴＭＰＴ、ＴＭＰＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＧＰＯ−３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ−３３０、ＴＰＡ−３３０、ＰＥＴ−３０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。
【０１１９】
例えば、本発明において、重合化合物として、下記構造を有する化合物が使用できる。
【化１５】
2020080234.tif 000018
【化１６】
2020080234.tif 000019
【０１２０】
また、本発明において、重合化合物として、下記構造をそれぞれ有する２種の化合物の混合物（左側と右側のモル比７：３）も使用できる。 
【化１７】
2020080234.tif 000020
【０１２１】
重合性化合物は、酸基を有する化合物を用いることもできる。酸基を有する重合性化合物を用いることで、現像時に未露光部の重合性化合物が除去されやすく、現像残渣の発生を抑制できる。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する重合性化合物の市販品としては、アロニックスＭ−５１０、Ｍ−５２０、アロニックスＴＯ−２３４９（東亞合成（株）製）等が挙げられる。酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、０．１〜４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５〜３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。重合性化合物の酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造や取扱い上、有利である。
【０１２２】
重合性化合物は、カプロラクトン構造を有する化合物であることも好ましい態様である。カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０等が挙げられる。
【０１２３】
重合性化合物は、アルキレンオキシ基を有する重合性化合物を用いることもできる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物は、エチレンオキシ基および／またはプロピレンオキシ基を有する重合性化合物が好ましく、エチレンオキシ基を有する重合性化合物がより好ましく、エチレンオキシ基を４〜２０個有する３〜６官能（メタ）アクリレート化合物がさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を４個有する４官能（メタ）アクリレートであるＳＲ−４９４、イソブチレンオキシ基を３個有する３官能（メタ）アクリレートであるＫＡＹＡＲＡＤ  ＴＰＡ−３３０などが挙げられる。
【０１２４】
重合性化合物は、フルオレン骨格を有する重合性化合物を用いることもできる。フルオレン骨格を有する重合性化合物の市販品としては、オグソールＥＡ−０２００、ＥＡ−０３００（大阪ガスケミカル（株）製、フルオレン骨格を有する（メタ）アクリレートモノマー）などが挙げられる。
【０１２５】
重合性化合物としては、トルエンなどの環境規制物質を実質的に含まない化合物を用いることも好ましい。このような化合物の市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ  ＬＴ、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＥＡ−１２  ＬＴ（日本化薬（株）製）などが挙げられる。
【０１２６】
重合性化合物としては、特公昭４８−０４１７０８号公報、特開昭５１−０３７１９３号公報、特公平０２−０３２２９３号公報、特公平０２−０１６７６５号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８−０４９８６０号公報、特公昭５６−０１７６５４号公報、特公昭６２−０３９４１７号公報、特公昭６２−０３９４１８号公報に記載されたエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物も好適である。また、特開昭６３−２７７６５３号公報、特開昭６３−２６０９０９号公報、特開平０１−１０５２３８号公報に記載された分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する重合性化合物を用いることも好ましい。また、重合性化合物としては、ＵＡ−７２００（新中村化学工業（株）製）、ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬（株）製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００、ＬＩＮＣ−２０２ＵＡ（共栄社化学（株））製などの市販品を用いることもできる。
【０１２７】
感光性組成物の全固形分中における重合性化合物の含有量は０．１〜５０質量％であることが好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。重合性化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、それらの合計が上記範囲にあることが好ましい。
【０１２８】
＜＜オキシム系光重合開始剤＞＞
本発明において、感光性組成物は光重合開始剤としてオキシム系光重合開始剤を含むことができる。オキシム系光重合開始剤としては、分子内にオキシム部位を有する化合物（オキシム化合物）が挙げられる。
【０１２９】
本発明で用いられるオキシム系光重合開始剤は、光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。また、オキシム系光重合開始剤は、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物であることが好ましい。オキシム系光重合開始剤は、波長３５０〜５００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物であることが好ましく、波長３６０〜４８０ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物であることがより好ましい。また、オキシム化合物の波長３６５ｎｍ又は波長４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から高いことが好ましく、１０００〜３０００００であることがより好ましく、２０００〜３０００００であることが更に好ましく、５０００〜２０００００であることが特に好ましい。オキシム化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｙ−５  ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチル溶媒を用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。
【０１３０】
オキシム系光重合開始剤としては、特開２００１−２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００−０８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１６５３−１６６０）に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１５６−１６２）に記載の化合物、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２−２３２）に記載の化合物、特開２０００−０６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００−０８００６８号公報に記載の化合物、特表２００４−５３４７９７号公報に記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報に記載の化合物、特開２０１７−０１９７６６号公報に記載の化合物、特許第６０６５５９６号公報に記載の化合物、国際公開第２０１５／１５２１５３号に記載の化合物、国際公開第２０１７／０５１６８０号に記載の化合物、特開２０１７−１９８８６５号公報に記載の化合物、国際公開第２０１７／１６４１２７号の段落番号００２５〜００３８に記載の化合物などが挙げられる。オキシム系光重合開始剤の具体例としては、３−ベンゾイルオキシイミノブタン−２−オン、３−アセトキシイミノブタン−２−オン、３−プロピオニルオキシイミノブタン−２−オン、２−アセトキシイミノペンタン−３−オン、２−アセトキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、２−ベンゾイルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、３−（４−トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン−２−オン、及び２−エトキシカルボニルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オンなどが挙げられる。市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ−ＰＢＧ−３０４（常州強力電子新材料有限公司製）、アデカオプトマーＮ−１９１９（（株）ＡＤＥＫＡ製、特開２０１２−０１４０５２号公報に記載の光重合開始剤２）が挙げられる。
【０１３１】
また、オキシム系光重合開始剤としては、着色性が無いオキシム化合物や、透明性が高く変色し難いオキシム化合物を用いることも好ましい。市販品としては、アデカアークルズＮＣＩ−７３０、ＮＣＩ−８３１、ＮＣＩ−９３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。
【０１３２】
本発明において、オキシム系光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４−１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３３】
本発明において、オキシム系光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０−２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４−５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６〜４０、特開２０１３−１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ−３）などが挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１３４】
本発明において、オキシム系光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３−１１４２４９号公報の段落番号００３１〜００４７、特開２０１４−１３７４６６号公報の段落番号０００８〜００１２、００７０〜００７９に記載されている化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７〜００２５に記載されている化合物、アデカアークルズＮＣＩ−８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）が挙げられる。
【０１３５】
本発明において、オキシム系光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／０３６９１０号に記載されるＯＥ−０１〜ＯＥ−７５が挙げられる。
【０１３６】
本発明において、オキシム系光重合開始剤として、２官能あるいは３官能以上のオキシム系光重合開始剤を用いてもよい。そのようなオキシム系光重合開始剤を用いることにより、オキシム系光重合開始剤の１分子から２つ以上のラジカルが発生するため、良好な感度が得られる。また、オキシム系光重合開始剤として非対称構造の化合物を用いた場合においては、結晶性が低下して溶剤などへの溶解性が向上して、経時で析出しにくくなり、感光性組成物の経時安定性を向上させることができる。２官能あるいは３官能以上のオキシム系光重合開始剤の具体例としては、特表２０１０−５２７３３９号公報、特表２０１１−５２４４３６号公報、国際公開第２０１５／００４５６５号、特表２０１６−５３２６７５号公報の段落番号０４０７〜０４１２、国際公開第２０１７／０３３６８０号の段落番号００３９〜００５５に記載されているオキシム化合物の２量体、特表２０１３−５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開第２０１６／０３４９６３号に記載されているＣｍｐｄ１〜７、特表２０１７−５２３４６５号公報の段落番号０００７に記載されているオキシム系光重合開始剤、特開２０１７−１６７３９９号公報の段落番号００２０〜００３３に記載されているオキシム系光重合開始剤、特開２０１７−１５１３４２号公報の段落番号００１７〜００２６に記載されている光重合開始剤（Ａ）などが挙げられる。
【０１３７】
本発明において好ましく使用されるオキシム系光重合開始剤の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１３８】
【化１８】
2020080234.tif 000021
【０１３９】
【化１９】
2020080234.tif 000022
【０１４０】
感光性組成物の全固形分中におけるオキシム系光重合開始剤の含有量は０．１〜３０質量％であることが好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上がさらに好ましい。上限は、２０質量％以下がより好ましく、１５質量％以下がさらに好ましい。本発明において、オキシム系光重合開始剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、それらの合計量が上記範囲にあることが好ましい。
【０１４１】
＜＜他の光重合開始剤＞＞
本発明において、感光性組成物は、光重合開始剤として、オキシム系光重合開始剤以外の光重合開始剤（他の光重合開始剤）を含有することができる。他の光重合開始剤としては、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物などが挙げられる。他の光重合開始剤は、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物および３−アリール置換クマリン化合物であることが好ましく、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる化合物であることがより好ましい。
【０１４２】
α−ヒドロキシケトン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。α−アミノケトン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９、及び、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９ＥＧ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９、ＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。
【０１４３】
本発明において、感光性組成物が他の光重合開始剤を含有する場合、組成物の全固形分中の他の光重合開始剤の含有量は０．１〜３０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上がさらに好ましい。上限は、２０質量％以下がより好ましく、１５質量％以下がさらに好ましい。
【０１４４】
また、他の光重合開始剤の含有量は、オキシム系光重合開始剤の１００質量部に対して、１〜１００質量部であることが好ましい。上限は、９０質量部以下であることがより好ましく、８０質量部以下であることがさらに好ましい。下限は、５質量部以上であることがより好ましく、１０質量部以上であることがさらに好ましい。
【０１４５】
また、本発明において、感光性組成物の全固形分中のオキシム系開始剤と他の光重合開始剤との合計の含有量は０．１〜３０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上がさらに好ましい。上限は、２０質量％以下がより好ましく、１５質量％以下がさらに好ましい。
【０１４６】
本発明において、感光性組成物は他の光重合開始剤を実質的に含有しないことも好ましい。この態様によれば、より密着性に優れた膜を形成しやすい。本発明において、感光性組成物が他の光重合開始剤を実質的に含まない場合、組成物の全固形分中における他の光重合開始剤の含有量が０．０５質量％以下であることが好ましく、０．０１質量％以下であることがより好ましく、含有しないことが特に好ましい。
【０１４７】
＜＜樹脂＞＞
本発明において、感光性組成物は、樹脂を含有する。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を感光性組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。
【０１４８】
樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、３０００〜２００００００が好ましい。上限は、１００００００以下がより好ましく、５０００００以下がさらに好ましい。下限は、４０００以上がより好ましく、５０００以上がさらに好ましい。
【０１４９】
樹脂としては、（メタ）アクリル樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂などが挙げられる。これらの樹脂から１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。また、特開２０１７−２０６６８９号公報の段落番号００４１〜００６０に記載の樹脂、特開２０１８−０１０８５６号公報の段落番号００２２〜００７１に記載の樹脂を用いることもできる。
【０１５０】
本発明において、樹脂として酸基を有する樹脂を用いることが好ましい。この態様によれば、感光性組成物の現像性を向上させることができ、矩形性に優れた画素を形成しやすい。酸基としては、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性水酸基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する樹脂は、例えば、アルカリ可溶性樹脂として用いることができる。
【０１５１】
酸基を有する樹脂は、酸基を側鎖に有する繰り返し単位を含むことが好ましく、酸基を側鎖に有する繰り返し単位を樹脂の全繰り返し単位中５〜７０モル％含むことがより好ましい。酸基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量の上限は、５０モル％以下であることがさらに好ましく、３０モル％以下であることが特に好ましい。酸基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量の下限は、１０モル％以上であることがさらに好ましく、２０モル％以上であることが特に好ましい。
【０１５２】
酸基を有する樹脂は、例えば、特開２０１３−０２９７６０号公報などに記載のエーテルダイマーを使用することもできる。この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１５３】
本発明で用いられる樹脂は、下記式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含むことも好ましい。
【化２０】
2020080234.tif 000023
式（Ｘ）中、Ｒ１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ２は炭素数２〜１０のアルキレン基を表し、Ｒ３は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。
【０１５４】
酸基を有する樹脂については、特開２０１２−２０８４９４号公報の段落番号０５５８〜０５７１（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０６８５〜０７００）の記載、特開２０１２−１９８４０８号公報の段落番号００７６〜００９９の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、酸基を有する樹脂は市販品を用いることもできる。
【０１５５】
酸基を有する樹脂の酸価は、３０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がさらに好ましい。上限は、４００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、３００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がさらに好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。酸基を有する樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５０００〜１０００００が好ましい。また、酸基を有する樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）は、１０００〜２００００が好ましい。
【０１５６】
酸基を有する樹脂としては、例えば下記構造の樹脂などが挙げられる。
【化２１】
2020080234.tif 000024
【０１５７】
【化２２】
2020080234.tif 000025
【０１５８】
本発明において、感光性組成物は、分散剤としての樹脂を含むこともできる。分散剤としては、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、４０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、６０〜１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基であることが好ましい。
【０１５９】
分散剤として用いる樹脂は、酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。分散剤として用いる樹脂が酸基を有する繰り返し単位を含むことにより、フォトリソグラフィ法によりパターン形成する際、現像残渣の発生をより抑制できる。
【０１６０】
分散剤として用いる樹脂は、グラフト樹脂であることも好ましい。グラフト樹脂の詳細は、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号００２５〜００９４の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、分散剤として用いる樹脂は、ヒンダードアミン４級塩を含む樹脂であることも好ましい。このような樹脂の詳細は、例えば特開２０１９−０９５５４８号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１６１】
分散剤として用いる樹脂は、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むポリイミン系分散剤であることも好ましい。ポリイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造を有する主鎖と、原子数４０〜１００００の側鎖とを有し、かつ主鎖及び側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子とは、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。ポリイミン系分散剤については、特開２０１２−２５５１２８号公報の段落番号０１０２〜０１６６の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１６２】
分散剤として用いる樹脂は、コア部に複数個のポリマー鎖が結合した構造の樹脂であることも好ましい。このような樹脂としては、例えばデンドリマー（星型ポリマーを含む）が挙げられる。また、デンドリマーの具体例としては、特開２０１３−０４３９６２号公報の段落番号０１９６〜０２０９に記載された高分子化合物Ｃ−１〜Ｃ−３１などが挙げられる。
【０１６３】
また、上述した酸基を有する樹脂（アルカリ可溶性樹脂）を分散剤として用いることもできる。
【０１６４】
また、分散剤として用いる樹脂は、エチレン性不飽和結合基を側鎖に有する繰り返し単位を含む樹脂であることも好ましい。エチレン性不飽和結合基を側鎖に有する繰り返し単位の含有量は、樹脂の全繰り返し単位中１０モル％以上であることが好ましく、１０〜８０モル％であることがより好ましく、２０〜７０モル％であることが更に好ましい。
【０１６５】
分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製のＤＩＳＰＥＲＢＹＫシリーズ（例えば、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ−１１１、１６１など）、日本ルーブリゾール（株）製のソルスパースシリーズ（例えば、ソルスパース７６５００など）などが挙げられる。また、特開２０１４−１３０３３８号公報の段落番号００４１〜０１３０に記載された顔料分散剤を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。なお、上記分散剤として説明した樹脂は、分散剤以外の用途で使用することもできる。例えば、バインダーとして用いることもできる。
【０１６６】
本発明において、感光性組成物が樹脂を含む場合、感光性組成物の全固形分中における樹脂の含有量は、５〜５０質量％が好ましい。下限は、１０質量％以上がより好ましく、１５質量％以上がさらに好ましい。上限は、４０質量％以下がより好ましく、３５質量％以下がさらに好ましく、３０質量％以下が特に好ましい。また、感光性組成物の全固形分中における酸基を有する樹脂の含有量は、５〜５０質量％が好ましい。下限は、１０質量％以上がより好ましく、１５質量％以上がさらに好ましい。上限は、４０質量％以下がより好ましく、３５質量％以下がさらに好ましく、３０質量％以下が特に好ましい。また、樹脂全量中における酸基を有する樹脂の含有量は、優れた現像性が得られやすいという理由から３０質量％以上が好ましく、５０質量％以上がより好ましく、７０質量％以上が更に好ましく、８０質量％以上が特に好ましい。上限は、１００質量％とすることができ、９５質量％とすることもでき、９０質量％以下とすることもできる。
【０１６７】
また、感光性組成物の全固形分中における重合性化合物と樹脂との合計の含有量は、硬化性、現像性および被膜形成性の観点から１０〜６５質量％が好ましい。下限は、１５質量％以上がより好ましく、２０質量％以上がさらに好ましく、３０質量％以上が特に好ましい。上限は、６０質量％以下がより好ましく、５０質量％以下がさらに好ましく、４０質量％以下が特に好ましい。また、重合性化合物の１００質量部に対して、樹脂を３０〜３００質量部含有することが好ましい。下限は、５０質量部以上がより好ましく、８０質量部以上がさらに好ましい。上限は、２５０質量部以下がより好ましく、２００質量部以下がさらに好ましい。
【０１６８】
＜＜環状エーテル基を有する化合物＞＞
本発明において、感光性組成物は、環状エーテル基を有する化合物を含有することができる。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。環状エーテル基を有する化合物は、エポキシ基を有する化合物であることが好ましい。エポキシ基を有する化合物としては、１分子内にエポキシ基を１つ以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を２つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基は、１分子内に１〜１００個有することが好ましい。エポキシ基の上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。エポキシ基の下限は、２個以上がより好ましい。エポキシ基を有する化合物としては、特開２０１３−０１１８６９号公報の段落番号００３４〜００３６、特開２０１４−０４３５５６号公報の段落番号０１４７〜０１５６、特開２０１４−０８９４０８号公報の段落番号００８５〜００９２に記載された化合物、特開２０１７−１７９１７２号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
【０１６９】
エポキシ基を有する化合物は、低分子化合物（例えば、分子量２０００未満、さらには、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）のいずれでもよい。エポキシ基を有する化合物の重量平均分子量は、２００〜１０００００が好ましく、５００〜５００００がより好ましい。重量平均分子量の上限は、１００００以下がさらに好ましく、５０００以下が特に好ましく、３０００以下が一層好ましい。
【０１７０】
エポキシ基を有する化合物としては、エポキシ樹脂を好ましく用いることができる。エポキシ樹脂としては、例えばフェノール化合物のグリシジルエーテル化物であるエポキシ樹脂、各種ノボラック樹脂のグリシジルエーテル化物であるエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系エポキシ樹脂、グリシジルアミン系エポキシ樹脂、ハロゲン化フェノール類をグリシジル化したエポキシ樹脂、エポキシ基をもつケイ素化合物とそれ以外のケイ素化合物との縮合物、エポキシ基を持つ重合性不飽和化合物とそれ以外の他の重合性不飽和化合物との共重合体等が挙げられる。エポキシ樹脂のエポキシ当量は、３１０〜３３００ｇ／ｅｑであることが好ましく、３１０〜１７００ｇ／ｅｑであることがより好ましく、３１０〜１０００ｇ／ｅｑであることが更に好ましい。
【０１７１】
環状エーテル基を有する化合物の市販品としては、例えば、ＥＨＰＥ３１５０（（株）ダイセル製）、ＥＰＩＣＬＯＮ  Ｎ−６９５（ＤＩＣ（株）製）、マープルーフＧ−０１５０Ｍ、Ｇ−０１０５ＳＡ、Ｇ−０１３０ＳＰ、Ｇ−０２５０ＳＰ、Ｇ−１００５Ｓ、Ｇ−１００５ＳＡ、Ｇ−１０１０Ｓ、Ｇ−２０５０Ｍ、Ｇ−０１１００、Ｇ−０１７５８（以上、日油（株）製、エポキシ基含有ポリマー）等が挙げられる。
【０１７２】
本発明において、感光性組成物が環状エーテル基を有する化合物を含有する場合、感光性組成物の全固形分中における環状エーテル基を有する化合物の含有量は、０．１〜２０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上がさらに好ましい。上限は、例えば、１５質量％以下がより好ましく、１０質量％以下がさらに好ましい。環状エーテル基を有する化合物は１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、それらの合計量が上記範囲にあることが好ましい。
【０１７３】
＜＜シランカップリング剤＞＞
本発明において、感光性組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。この態様によれば、得られる膜の支持体との密着性をより向上させることができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、（メタ）アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、特開２００９−２８８７０３号公報の段落番号００１８〜００３６に記載の化合物、特開２００９−２４２６０４号公報の段落番号００５６〜００６６に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０１７４】
シランカップリング剤としては、例えば下記構造を有する化合物が挙げられる。
【化２３】
2020080234.tif 000026
【０１７５】
感光性組成物の全固形分中におけるシランカップリング剤の含有量は、０．１〜５質量％が好ましい。上限は、３質量％以下がより好ましく、２質量％以下がさらに好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上がさらに好ましい。シランカップリング剤は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、それらの合計量が上記範囲にあることが好ましい。
【０１７６】
＜＜界面活性剤＞＞
本発明において、感光性組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２３８〜０２４５を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１７７】
本発明において、界面活性剤はフッ素系界面活性剤であることが好ましい。感光性組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性（特に、流動性）がより向上し、省液性をより改善することができる。また、厚みムラの小さい膜を形成することもできる。
【０１７８】
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５〜３０質量％であり、特に好ましくは７〜２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、感光性組成物中における溶解性も良好である。
【０１７９】
フッ素系界面活性剤としては、特開２０１４−０４１３１８号公報の段落番号００６０〜００６４（対応する国際公開第２０１４／０１７６６９号の段落番号００６０〜００６４）等に記載の界面活性剤、特開２０１１−１３２５０３号公報の段落番号０１１７〜０１３２に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ−３３０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、ＳＣ−１０１、ＳＣ−１０３、ＳＣ−１０４、ＳＣ−１０５、ＳＣ−１０６８、ＳＣ−３８１、ＳＣ−３８３、Ｓ−３９３、ＫＨ−４０（以上、ＡＧＣセイミケミカル社製）、ＰｏｌｙＦｏｘ  ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。
【０１８０】
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月２２日）（日経産業新聞、２０１６年２月２３日）、例えばメガファックＤＳ−２１が挙げられる。
【０１８１】
また、フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤は、特開２０１６−２１６６０２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１８２】
フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開２０１１−０８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。
【化２４】
2020080234.tif 000027
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３０００〜５００００であり、例えば、１４０００である。上記の化合物中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
【０１８３】
また、フッ素系界面活性剤は、エチレン性不飽和結合基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０−１６４９６５号公報の段落番号００５０〜００９０および段落番号０２８９〜０２９５に記載された化合物、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ−１０１、ＲＳ−１０２、ＲＳ−７１８Ｋ、ＲＳ−７２−Ｋ等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５−１１７３２７号公報の段落番号００１５〜０１５８に記載の化合物を用いることもできる。
【０１８４】
感光性組成物の全固形分中における界面活性剤の含有量は、０．００１質量％〜５．０質量％が好ましく、０．００５〜３．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、それらの合計量が上記範囲にあることが好ましい。
【０１８５】
＜＜紫外線吸収剤＞＞
本発明において、感光性組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開２０１２−２０８３７４号公報の段落番号００５２〜００７２、特開２０１３−０６８８１４号公報の段落番号０３１７〜０３３４、特開２０１６−１６２９４６号公報の段落番号００６１〜００８０の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の具体例としては、下記構造の化合物などが挙げられる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ−５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としては、ミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）が挙げられる。
【０１８６】
【化２５】
2020080234.tif 000028
【０１８７】
感光性組成物の全固形分中における紫外線吸収剤の含有量は、０．０１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜５質量％がより好ましい。本発明において、紫外線吸収剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、それらの合計量が上記範囲にあることが好ましい。
【０１８８】
＜＜溶剤＞＞
本発明において、感光性組成物は、溶剤を含有することができる。使用できる溶剤としては、有機溶剤が挙げられる。溶剤は、各成分の溶解性や感光性組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２２３を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤を好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジクロロメタン、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、３−メトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロパンアミド、３−ブトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルプロパンアミドなどが挙げられる。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｏｎ）以下とすることもでき、１０質量ｐｐｍ以下とすることもでき、１質量ｐｐｍ以下とすることもできる）。
【０１８９】
感光性組成物中における溶剤の含有量は、１０〜９５質量％であることが好ましく、２０〜９０質量％であることがより好ましく、３０〜９０質量％であることがさらに好ましい。
【０１９０】
＜＜その他成分＞＞
本発明において、感光性組成物は、必要に応じて、重合禁止剤、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類（例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など）を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開２０１２−００３２２５号公報の段落番号０１８３以降（対応する米国特許出願公開第２０１３／００３４８１２号明細書の段落番号０２３７）の記載、特開２００８−２５００７４号公報の段落番号０１０１〜０１０４、０１０７〜０１０９等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、本発明において、感光性組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、１００〜２５０℃で加熱するか、又は酸／塩基触媒存在下で８０〜２００℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開第２０１４／０２１０２３号、国際公開第２０１７／０３０００５号、特開２０１７−００８２１９号公報に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、アデカアークルズＧＰＡ−５００１（（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。
【０１９１】
また、本発明において、感光性組成物は、得られる膜の屈折率を調整するために金属酸化物を含有させてもよい。金属酸化物としては、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２等が挙げられる。金属酸化物の一次粒子径は１〜１００ｎｍが好ましく、３〜７０ｎｍがより好ましく、５〜５０ｎｍが最も好ましい。金属酸化物はコア−シェル構造を有していてもよく、この際、コア部が中空状であってもよい。
【０１９２】
本発明において、感光性組成物は、顔料などと結合または配位していない遊離の金属の含有量が１００ｐｐｍ以下であることが好ましく、５０ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１０ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、実質的に含有しないことが特に好ましい。この態様によれば、顔料分散性の安定化（凝集抑止）、分散性改善に伴う分光特性の向上、硬化性成分の安定化や、金属原子・金属イオンの溶出に伴う導電性変動の抑止、表示特性の向上などができる。また、特開２０１２−１５３７９６号公報、特開２０００−３４５０８５号公報、特開２００５−２００５６０号公報、特開平０８−０４３６２０号公報、特開２００４−１４５０７８号公報、特開２０１４−１１９４８７号公報、特開２０１０−０８３９９７号公報、特開２０１７−０９０９３０号公報、特開２０１８−０２５６１２号公報、特開２０１８−０２５７９７号公報、特開２０１７−１５５２２８号公報、特開２０１８−０３６５２１号公報などに記載された効果も得られる。上記の遊離の金属の種類としては、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｓｎ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｓ、Ｎi、Ｃｄ、Ｐｂ，Ｂｉ等が挙げられる。また、組成物は、顔料などと結合または配位していない遊離のハロゲンの含有量が１００ｐｐｍ以下であることが好ましく、５０ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１０ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、実質的に含有しないことが特に好ましい。組成物中の遊離の金属やハロゲンの低減方法としては、イオン交換水による洗浄、ろ過、限外ろ過、イオン交換樹脂による精製等の方法が挙げられる。
【０１９３】
また、感光性組成物は、テレフタル酸エステルを実質的に含まないことが好ましい。
【０１９４】
＜＜収容容器＞＞
感光性組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や感光性組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５−１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。また、容器内壁からの金属溶出を防ぎ、組成物の保存安定性を高め、成分変質を抑制する目的で、収容容器の内壁をガラス製やステンレス製などにすることも好ましい。
【０１９５】
＜画素の形成方法＞
本発明の構造体中の画素は、上述した画素成分を含有する感光性組成物を用いて、フォトリソグラフィ法により形成できる。フォトリソグラフィ法によるパターン形成は、感光性組成物を用いて支持体上に感光性組成物層を形成する工程と、感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、感光性組成物層の未露光部を現像除去してパターン（画素）を形成する工程とを含むことが好ましい。必要に応じて、感光性組成物層をベークする工程（プリベーク工程）、および、現像されたパターン（画素）をベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。
【０１９６】
また、感光性組成物層の下地の平坦性などの観点から、感光性組成物層の形成前に、支持体上に下塗り層を形成することも好ましい。下塗り層の詳細は、国際公開第２０１８／０６２１３０号に記載されており、この内容は本明細書に組み込まれる。
【０１９７】
＜＜組成物の調製方法＞＞
本発明の構造体中の画素を形成するための感光性組成物は、前述の成分を混合して調製できる。感光性組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解および／または分散して感光性組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して感光性組成物を調製してもよい。
【０１９８】
また、感光性組成物の調製に際して、顔料を分散させるプロセスを含むことが好ましい。顔料を分散させるプロセスにおいて、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、顔料を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際  総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５−１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また顔料を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５−１９４５２１号公報、特開２０１２−０４６６２９号公報の記載を参酌できる。
【０１９９】
感光性組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、感光性組成物をフィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン−６、ナイロン−６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。
【０２００】
フィルタの孔径は、０．０１〜７．０μｍが好ましく、０．０１〜３．０μｍがより好ましく、０．０５〜０．５μｍが更に好ましい。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物をより確実に除去できる。フィルタの孔径値については、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。フィルタは、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＩＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）および株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタを用いることができる。
【０２０１】
また、フィルタとしてファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。市販品としては、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）が挙げられる。
【０２０２】
フィルタを使用する際、異なるフィルタ（例えば、第１のフィルタと第２のフィルタなど）を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。
＜＜感光性組成物層を形成する工程＞＞
感光性組成物層を形成する工程では、感光性組成物を用いて、支持体上に感光性組成物層を形成する。支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、シリコン基板などが挙げられ、シリコン基板であることが好ましい。また、シリコン基板には、電荷結合素子（ＣＣＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、シリコン基板には、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。また、シリコン基板には、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。
【０２０３】
感光性組成物の塗布方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法（ドロップキャスト）；スリットコート法；スプレー法；ロールコート法；回転塗布法（スピンコーティング）；流延塗布法；スリットアンドスピン法；プリウェット法（たとえば、特開２００９−１４５３９５号公報に記載されている方法）；インクジェット（例えばオンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式）、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法；金型等を用いた転写法；ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット−特許に見る無限の可能性−、２００５年２月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法（特に１１５ページ〜１３３ページ）や、特開２００３−２６２７１６号公報、特開２００３−１８５８３１号公報、特開２００３−２６１８２７号公報、特開２０１２−１２６８３０号公報、特開２００６−１６９３２５号公報などに記載の方法が挙げられる。また、感光性組成物の塗布方法については、国際公開第２０１７／０３０１７４号、国際公開第２０１７／０１８４１９号の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
【０２０４】
支持体上に形成した感光性組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。低温プロセスにより膜を製造する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０〜３００秒が好ましく、４０〜２５０秒がより好ましく、８０〜２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。
【０２０５】
＜＜露光工程＞＞
次に、感光性組成物層をパターン状に露光する（露光工程）。例えば、感光性組成物層に対し、ステッパー露光機やスキャナ露光機などを用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
【０２０６】
露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等が挙げられる。また、波長３００ｎｍ以下の光（好ましくは波長１８０〜３００ｎｍの光）を用いることもできる。波長３００ｎｍ以下の光としては、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦ線（波長１９３ｎｍ）などが挙げられ、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）が好ましい。また、３００ｎｍ以上の長波な光源も利用できる。
【０２０７】
また、露光に際して、光を連続的に照射して露光してもよく、パルス的に照射して露光（パルス露光）してもよい。なお、パルス露光とは、短時間（例えば、ミリ秒レベル以下）のサイクルで光の照射と休止を繰り返して露光する方式の露光方法のことである。パルス露光の場合、パルス幅は、１００ナノ秒（ｎｓ）以下であることが好ましく、５０ナノ秒以下であることがより好ましく、３０ナノ秒以下であることが更に好ましい。パルス幅の下限は、特に限定はないが、１フェムト秒（ｆｓ）以上とすることができ、１０フェムト秒以上とすることもできる。周波数は、１ｋＨｚ以上であることが好ましく、２ｋＨｚ以上であることがより好ましく、４ｋＨｚ以上であることが更に好ましい。周波数の上限は５０ｋＨｚ以下であることが好ましく、２０ｋＨｚ以下であることがより好ましく、１０ｋＨｚ以下であることが更に好ましい。最大瞬間照度は、５０００００００Ｗ／ｍ２以上であることが好ましく、１００００００００Ｗ／ｍ２以上であることがより好ましく、２００００００００Ｗ／ｍ２以上であることが更に好ましい。また、最大瞬間照度の上限は、１０００００００００Ｗ／ｍ２以下であることが好ましく、８００００００００Ｗ／ｍ２以下であることがより好ましく、５００００００００Ｗ／ｍ２以下であることが更に好ましい。なお、パルス幅とは、パルス周期における光が照射されている時間のことである。また、周波数とは、１秒あたりのパルス周期の回数のことである。また、最大瞬間照度とは、パルス周期における光が照射されている時間内での平均照度のことである。また、パルス周期とは、パルス露光における光の照射と休止を１サイクルとする周期のことである。
【０２０８】
照射量（露光量）は、例えば、０．０３〜２．５Ｊ／ｃｍ２が好ましく、０．０５〜１．０Ｊ／ｃｍ２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、または、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、または、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ２〜１０００００Ｗ／ｍ２（例えば、５０００Ｗ／ｍ２、１５０００Ｗ／ｍ２、または、３５０００Ｗ／ｍ２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ２などとすることができる。
【０２０９】
＜＜現像工程＞＞
次に、感光性組成物層の未露光部を現像除去してパターン（画素）を形成する。感光性組成物層の未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の感光性組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。現像液としては、下地の素子や回路などにダメージを起さない有機アルカリ現像液が望ましい。現像液の温度は、例えば、２０〜３０℃が好ましい。現像時間は、２０〜１８０秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
【０２１０】
現像液は、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液（アルカリ現像液）であることが好ましい。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２−ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ剤は、分子量が大きい化合物の方が環境面および安全面で好ましい。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１〜１０質量％が好ましく、０．０１〜１質量％がより好ましい。また、現像液は、さらに界面活性剤を含有していてもよい。界面活性剤としては、上述した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５〜１００倍の範囲に設定することができる。また、現像後純水で洗浄（リンス）することも好ましい。また、リンスは、現像後の感光性組成物層が形成された支持体を回転させつつ、現像後の感光性組成物層へリンス液を供給して行うことが好ましい。また、リンス液を吐出させるノズルを支持体の中心部から支持体の周縁部に移動させて行うことも好ましい。この際、ノズルの支持体中心部から周縁部へ移動させるにあたり、ノズルの移動速度を徐々に低下させながら移動させてもよい。このようにしてリンスを行うことで、リンスの面内ばらつきを抑制できる。また、ノズルを支持体中心部から周縁部へ移動させつつ、支持体の回転速度を徐々に低下させても同様の効果が得られる。
【０２１１】
現像後、乾燥を施した後に追加露光処理や加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。追加露光処理やポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、加熱温度は、例えば１００〜２４０℃が好ましく、２００〜２４０℃がより好ましい。ポストベークは、現像後の膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
【０２１２】
追加露光処理を行う場合、露光に用いられる光は、波長４００ｎｍ以下の光であることが好ましい。また、追加露光処理は、韓国公開特許第１０２０１７０１２２１３０号公報に記載の方法で行ってもよい。
【０２１３】
以上の工程を経て、１つの画素が形成される。次の画素を形成する場合には、上記の塗布、露光および現像を繰り返すことになる。
【実施例】
【０２１４】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。「部」、「％」は特に述べない限り、質量基準である。重量平均分子量および数平均分子量は、上記のとおり、ＧＰＣ法により測定したポリスチレン換算値である。【０２１５】
＜下塗り層用組成物の作製＞
下記原料を混合して下塗り層形成用組成物を作製した。
・下記の樹脂Ａ（５４質量％ＰＧＭＥ溶液）        ０．７質量部
・界面活性剤Ａ（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ０．８質量部
原料の詳細は下記のとおりである。
・ＰＧＭＥＡ                                  ９８．５質量部
・樹脂Ａ：サイクロマーＰ（ＡＣＡ）２３０ＡＡ  （（株）ダイセル製、酸価＝３０ｍｇＫＯＨ／ｇ、Ｍｗ＝１５０００）
・界面活性剤Ａ：下記混合物（Ｍｗ＝１４０００、繰り返し単位の割合を示す％は質量％である。）【０２１６】
【化２６】
2020080234.tif 000029
【０２１７】
＜感光性組成物の作製＞
下記の原料を使用して、後述する手順および配合により、表２〜１０に示す各種の組成物を作製した。【０２１８】
＜＜原料＞＞
＜＜＜色材：顔料、染料＞＞＞
・ＰＲ１２２  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １２２
・ＰＲ１７７  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １７７
・ＰＲ２５４  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４
・ＰＲ２７２  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２７２
・ＰＧ７  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７
・ＰＧ３６  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６
・ＰＧ５８  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ５８
・ＰＢ１５：６  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６
・ＰＯ７１  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ７１
・ＰＶ２３  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３
・ＰＹ１３９  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １３９
・ＰＹ１５０  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １５０
・ＰＹ１８５  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １８５
・ＴｉＯ２：ＴＴＯ−５１（Ｃ）（石原産業（株）製）【０２１９】
・Ａｌフタロシアニン：下記構造を有する化合物
【化２７】
2020080234.tif 000030
【０２２０】
・キサンテン：下記構造を有する化合物
【化２８】
2020080234.tif 000031
【０２２１】
・ＩＲ色素１：下記構造を有する化合物
【化２９】
2020080234.tif 000032
【０２２２】
・ＩＲ色素２：下記構造を有する化合物
【化３０】
2020080234.tif 000033
【０２２３】
・ＩＲ色素３：下記構造を有する化合物
【化３１】
2020080234.tif 000034
【０２２４】
・ペリレンブラック：下記構造を有する化合物
【化３２】
2020080234.tif 000035
【０２２５】
・ビスベンゾフラノン：下記構造を有する化合物
【化３３】
2020080234.tif 000036
【０２２６】
＜＜＜実施例の顔料誘導体＞＞＞
下記の各顔料誘導体について、４００〜７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値（εｍａｘ）は、次のようにして測定した。各化合物の２０ｍｇをメタノール２００ｍＬに溶解させ、この溶液２ｍＬにメタノールを加え、５０ｍＬにした。この溶液の吸光度について、Ｃａｒｙ５０００  ＵＶ−Ｖｉｓ−ＮＩＲ分光光度計（アジレント・テクノロジー製）を用いて波長２００〜８００ｎｍの範囲で吸光度を測定し、この測定値の最大値をモル濃度で規格化してεｍａｘを算出した。
・顔料誘導体１：上記表１中の化合物Ｃ−１（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、塩基性）
・顔料誘導体２：上記表１中の化合物Ｃ−２０（εｍａｘ：１０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１より大きく３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、塩基性）
・顔料誘導体３：上記表１中の化合物Ｃ−３６（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、塩基性）
・顔料誘導体４：上記表１中の化合物Ｃ−５１（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１より大きく１０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、塩基性）
・顔料誘導体５：上記表１中の化合物Ｃ−８７（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、塩基性）
・顔料誘導体６：下記構造を有する化合物（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、酸性）
・顔料誘導体７：下記構造を有する化合物（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、酸性）
・顔料誘導体８：下記構造を有する化合物（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、酸性）
・顔料誘導体９：下記構造を有する化合物（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、酸性）
・顔料誘導体１０：下記構造を有する化合物（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、酸性）
・顔料誘導体Ａ：下記構造を有する化合物（黄色、塩基性）【０２２７】
【化３４】
2020080234.tif 000037
【０２２８】
＜＜＜比較例の顔料誘導体＞＞＞
下記の各顔料誘導体について、上記実施例の顔料誘導体と同様に、εｍａｘを測定した。いずれの顔料誘導体も着色しており、εｍａｘは３０００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１超であった。
・比較誘導体１：下記構造を有する化合物（黄色、塩基性）
・比較誘導体２：下記構造を有する化合物（赤色、塩基性）
・比較誘導体３：下記構造を有する化合物（黄色、塩基性）
・比較誘導体４：下記構造を有する化合物（青色、塩基性）
・比較誘導体５：下記構造を有する化合物（紫色、塩基性）【０２２９】
【化３５】
2020080234.tif 000038
【０２３０】
＜＜＜分散剤＞＞＞
・分散剤１：下記構造を有する化合物（酸性）。主鎖に付記された数値は繰り返し単位のモル比であり、側鎖に付記された数値は繰り返し単位の数である。
【化３６】
2020080234.tif 000039
【０２３１】
・分散剤２：下記構造を有する化合物（主鎖に付記された数値は繰り返し単位のモル比であり、側鎖に付記された数値は繰り返し単位の数である。Ｍｗ：２００００、Ｃ＝Ｃ価：０．４ｍｍｏｌ／ｇ、酸価：７０ｍｇＫＯＨ／ｇ）
【化３７】
2020080234.tif 000040
【０２３２】
・分散剤３：下記構造を有する化合物（ｋ：ｌ：ｍ：ｎ＝２５：４０：５：３０（重合モル比）、ｐ＝６０、ｑ＝６０、重量平均分子量１０,０００、塩基性）
【化３８】
2020080234.tif 000041
【０２３３】
＜＜＜樹脂＞＞＞
・樹脂１：下記構造を有する化合物。主鎖に付記された数値は、繰り返し単位のモル比を表す。
【化３９】
2020080234.tif 000042
【０２３４】
・樹脂２：下記構造を有する化合物。主鎖に付記された数値は、繰り返し単位のモル比を表す。
【化４０】
2020080234.tif 000043
【０２３５】
＜＜＜重合性モノマー＞＞＞
・重合性モノマー１：下記構造を有する化合物
【化４１】
2020080234.tif 000044
【０２３６】
・重合性モノマー２：下記構造を有する化合物
【化４２】
2020080234.tif 000045
【０２３７】
・重合性モノマー３：下記構造をそれぞれ有する２種の化合物の混合物（左側と右側のモル比７：３）
【化４３】
2020080234.tif 000046
【０２３８】
＜＜＜光重合開始剤＞＞＞
・光重合開始剤１：下記構造を有する化合物
【化４４】
2020080234.tif 000047
【０２３９】
・光重合開始剤２：下記構造を有する化合物
【化４５】
2020080234.tif 000048
【０２４０】
・光重合開始剤３：下記構造を有する化合物
【化４６】
2020080234.tif 000049
【０２４１】
＜＜＜界面活性剤＞＞＞
・界面活性剤１：下記構造をそれぞれ有する２種の化合物の混合物（Ｍｗ＝１４０００、質量％で記載）
【化４７】
2020080234.tif 000050
【０２４２】
＜＜＜紫外線吸収剤＞＞＞
・紫外線吸収剤１：下記構造を有する化合物
【化４８】
2020080234.tif 000051
【０２４３】
＜＜＜エポキシ樹脂＞＞＞
・エポキシ樹脂１：ＥＨＰＥ３１５０（（株）ダイセル製、２，２’−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物)【０２４４】
＜＜＜シランカップリング剤＞＞＞
・シランカップリング剤１：下記構造を有する化合物（Ｍｗ＝１４０００、質量％で記載）
【化４９】
2020080234.tif 000052
【０２４５】
＜＜＜溶剤＞＞＞
・ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・ＥＥＰ：エチル３−エトキシプロピオネート【０２４６】
＜＜緑色組成物Ｇ１＞＞
（顔料分散液Ｇ１の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｇ１を得た。
分散液の原料：
・ＰＧ５８        ８．５質量部
・ＰＹ１８５      ２．９質量部
・顔料誘導体１    １．６質量部
・分散剤１        ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．３質量部
（緑色組成物Ｇ１の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、緑色組成物Ｇ１を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｇ１                          ６９．０質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        １．２質量部
・重合性モノマー１                          １．１質量部
・光重合開始剤１                            ０．５質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．５質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．２質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ２３．３質量部【０２４７】
＜＜緑色組成物Ｇ４＞＞
（顔料分散液Ｇ４の作製）
緑色顔料の種類をＰＧ３６に変更した以外は、顔料分散液Ｇ１の原料と同様の成分および配合の原料を使用した。そして、顔料分散液Ｇ１の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｇ４を得た。
（緑色組成物Ｇ４の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、緑色組成物Ｇ４を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｇ４                          ４６．０質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ８．６質量部
・重合性モノマー１                          １．７質量部
・光重合開始剤１                            ０．８質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．８質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．２質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ３７．７質量部【０２４８】
＜＜緑色組成物Ｇ５＞＞
（顔料分散液Ｇ５の作製）
顔料分散液Ｇ４の原料と同様の原料を使用し、顔料分散液Ｇ４の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｇ５を得た。
（緑色組成物Ｇ５の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、緑色組成物Ｇ５を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｇ５                          ２８．８質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）      １４．０質量部
・重合性モノマー１                          ２．１質量部
・光重合開始剤１                            １．０質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            １．１質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．２質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ４８．６質量部【０２４９】
＜＜緑色組成物Ｇ２０＞＞
（顔料分散液Ｇ２０の作製）
分散液の原料を下記原料に変更した以外は、顔料分散液Ｇ１の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｇ２０を得た。
分散液の原料：
・ＰＧ５８        ８．１質量部
・ＰＹ１８５      １．５質量部
・ＰＹ１５０      １．８質量部
・顔料誘導体１    １．６質量部
・分散剤１        ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．３質量部
（緑色組成物Ｇ２０の作製）
顔料分散液Ｇ１を顔料分散液Ｇ２０に変更した以外は、緑色組成物Ｇ１の作製方法と同様の手順により、緑色組成物Ｇ２０を得た。【０２５０】
＜＜緑色組成物Ｇ２１＞＞
（顔料分散液Ｇ２１の作製）
分散液の原料を下記原料に変更した以外は、顔料分散液Ｇ１の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｇ２１を得た。
分散液の原料：
・ＰＧ３６        ８．０質量部
・ＰＹ１８５      １．５質量部
・ＰＹ１５０      １．９質量部
・顔料誘導体１    １．６質量部
・分散剤１        ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．３質量部
（緑色組成物Ｇ２１の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、緑色組成物Ｇ２１を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｇ２１                        ６９．０質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        １．２質量部
・重合性モノマー１                          １．１質量部
・光重合開始剤３                            ０．５質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．５質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．２質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ２３．３質量部【０２５１】
＜＜緑色組成物Ｇ２２＞＞
（顔料分散液Ｇ２２の作製）
分散液の原料を下記原料に変更した以外は、顔料分散液Ｇ２１の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｇ２２を得た。
分散液の原料：
・ＰＧ３６        ８．５質量部
・ＰＹ１８５      ２．９質量部
・顔料誘導体１    ０．７質量部
・顔料誘導体Ａ    ０．９質量部
・分散剤１        ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．３質量部
（緑色組成物Ｇ２２の作製）
顔料分散液Ｇ２１を顔料分散液Ｇ２２に変更した以外は、緑色組成物Ｇ２１の作製方法と同様の手順により、緑色組成物Ｇ２２を得た。【０２５２】
＜＜緑色組成物Ｇ２３＞＞
（顔料分散液Ｇ２３の作製）
顔料分散液の１．６質量部を占める顔料誘導体の配合を下記のとおり変更した以外は、顔料分散液Ｇ２２の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｇ２３を得た。
・顔料誘導体１  １．０質量部
・顔料誘導体Ａ  ０．６質量部
（緑色組成物Ｇ２３の作製）
顔料分散液Ｇ２１を顔料分散液Ｇ２３に変更した以外は、緑色組成物Ｇ２１の作製方法と同様の手順により、緑色組成物Ｇ２３を得た。【０２５３】
＜＜緑色組成物Ｇ２４＞＞
（顔料分散液Ｇ２４の作製）
分散液の原料を下記原料に変更した以外は、顔料分散液Ｇ２１の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｇ２４を得た。
分散液の原料：
・ＰＧ３６        ８．０質量部
・ＰＹ１８５      ０．９質量部
・ＰＹ１５０      ２．５質量部
・顔料誘導体１    １．０質量部
・顔料誘導体Ａ    ０．６質量部
・分散剤１        ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．３質量部
（緑色組成物Ｇ２４の作製）
顔料分散液Ｇ２１を顔料分散液Ｇ２４に変更した以外は、緑色組成物Ｇ２１の作製方法と同様の手順により、緑色組成物Ｇ２４を得た。【０２５４】
＜＜緑色組成物Ｇ２〜Ｇ３，Ｇ６〜Ｇ１９および比較例の組成物＞＞
表２に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、緑色組成物Ｇ１の場合と同様の成分、配合および手順で、緑色組成物Ｇ２〜Ｇ３，Ｇ６〜Ｇ１９および比較例の緑色組成物（比較組成物Ｇ１〜Ｇ３，Ｇ６〜Ｇ１４）を得た。なお、色材については、表中の「色材１」、「色材２」および「色材３」の欄ごとに、対応する成分同士を変更した。他の組成物についても同様である。【０２５５】
また、表２に示すように、顔料誘導体の種類を変更した以外は、緑色組成物Ｇ４の場合と同様の成分、配合および手順で、比較組成物Ｇ４を得た。また、表２に示すように、顔料誘導体の種類を変更した以外は、緑色組成物Ｇ５の場合と同様の成分、配合および手順で、比較組成物Ｇ５を得た。【０２５６】
表２に、上記緑色組成物それぞれの特徴的な成分を示す。なお、表２において、界面活性剤、紫外線吸収剤、エポキシ樹脂およびＰＧＭＥＡの記載は、全ての組成物において共通の成分であるため省略している。また、この表に、各組成物について、全固形分に対する顔料および顔料誘導体の合計の含有量（顔料類濃度）も示す。顔料誘導体の項目における括弧内の各数値は、顔料誘導体１または顔料誘導体Ａの分散液中の割合（質量部）を表す。【０２５７】
【表２】
2020080234.tif 000053
【０２５８】
＜＜赤色組成物Ｒ１＞＞
（顔料分散液Ｒ１の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｒ１を得た。
分散液の原料：
・ＰＲ２５４    １０．５質量部
・ＰＹ１３９      ０．９質量部
・顔料誘導体１    １．６質量部
・分散剤１        ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．３質量部
（赤色組成物Ｒ１の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、赤色組成物Ｒ１を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｒ１                          ５８．９質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ２．０質量部
・重合性モノマー１                          ０．９質量部
・光重合開始剤１                            ０．５質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．１質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ３３．３質量部【０２５９】
＜＜赤色組成物Ｒ２＞＞
（顔料分散液Ｒ２の作製）
顔料についてＰＲ２５４の半分をＰＯ７１に変更した以外は、顔料分散液Ｒ１の原料と同様の成分および配合の原料を使用した。そして、顔料分散液Ｒ１の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｒ２を得た。
（赤色組成物Ｒ２の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、赤色組成物Ｒ２を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｒ２                          ５８．９質量部
・樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ２．０質量部
・重合性モノマー２                          ０．９質量部
・光重合開始剤３                            ０．５質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．１質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ３３．３質量部【０２６０】
＜＜赤色組成物Ｒ４＞＞
（顔料分散液Ｒ４の作製）
顔料分散液Ｒ１の原料と同様の原料を使用し、顔料分散液Ｒ１の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｒ４を得た。
（赤色組成物Ｒ４の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、赤色組成物Ｒ４を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｒ４                          ３９．３質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ８．５質量部
・重合性モノマー１                          １．３質量部
・光重合開始剤１                            ０．７質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．４質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ４５．５質量部【０２６１】
＜＜赤色組成物Ｒ５＞＞
（顔料分散液Ｒ５の作製）
顔料分散液Ｒ１の原料と同様の原料を使用し、顔料分散液Ｒ１の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｒ５を得た。
（赤色組成物Ｒ５の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、赤色組成物Ｒ５を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｒ５                          ２４．５質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）      １３．２質量部
・重合性モノマー１                          １．６質量部
・光重合開始剤１                            ０．８質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．６質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ５５．０質量部【０２６２】
＜＜赤色組成物Ｒ３，Ｒ６〜Ｒ１９および比較例の組成物＞＞
表３に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、赤色組成物Ｒ１の場合と同様の成分、配合および手順で、赤色組成物Ｒ３，Ｒ６〜Ｒ１９および比較例の赤色組成物（比較組成物Ｒ１〜Ｒ３，Ｒ６〜Ｒ１４）を得た。【０２６３】
また、表３に示すように、顔料誘導体の種類を変更した以外は、赤色組成物Ｒ４の場合と同様の成分、配合および手順で、比較組成物Ｒ４を得た。また、表３に示すように、顔料誘導体の種類を変更した以外は、赤色組成物Ｒ５の場合と同様の成分、配合および手順で、比較組成物Ｒ５を得た。【０２６４】
表３に、上記赤色組成物それぞれの特徴的な成分を示す。なお、表３において、界面活性剤、紫外線吸収剤、エポキシ樹脂およびＰＧＭＥＡの記載は、全ての組成物において共通の成分であるため省略している。また、この表に、各組成物について、顔料類濃度も示す。【０２６５】
【表３】
2020080234.tif 000054
【０２６６】
＜＜青色組成物Ｂ１＞＞
（顔料分散液Ｂ１の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｂ１を得た。
分散液の原料：
・ＰＢ１５：６    ９．６質量部
・ＰＶ２３        ２．４質量部
・顔料誘導体１    １．０質量部
・分散剤１        ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．３質量部
（青色組成物Ｂ１の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、青色組成物Ｂ１を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｂ１                          ５４．１質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        １．０質量部
・重合性モノマー１                          ０．９質量部
・光重合開始剤１                            ０．６質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．１質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ３９．０質量部【０２６７】
＜＜青色組成物Ｂ３＞＞
（顔料分散液Ｂ３の作製）
顔料分散液Ｂ１の原料と同様の原料を使用し、顔料分散液Ｂ１の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｂ３を得た。
（青色組成物Ｂ３の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、青色組成物Ｂ３を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｂ３                          ３６．０質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ６．６質量部
・重合性モノマー１                          １．３質量部
・光重合開始剤１                            ０．９質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．４質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ５０．５質量部【０２６８】
＜＜青色組成物Ｂ４＞＞
（顔料分散液Ｂ４の作製）
顔料分散液Ｂ１の原料と同様の原料を使用し、顔料分散液Ｂ１の作製方法と同様の手順により、顔料分散液Ｂ４を得た。
（青色組成物Ｂ４の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、青色組成物Ｂ４を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｂ４                          ２２．５質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）      １０．７質量部
・重合性モノマー１                          １．６質量部
・光重合開始剤１                            １．２質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．６質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ５９．１質量部【０２６９】
＜＜青色組成物Ｂ２，Ｂ５〜Ｂ１８および比較例の組成物＞＞
表４に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、青色組成物Ｂ１の場合と同様の成分、配合および手順で、青色組成物Ｂ２，Ｂ５〜Ｂ１８および比較例の青色組成物（比較組成物Ｂ１〜Ｂ２，Ｂ５〜Ｂ１３）を得た。【０２７０】
また、表４に示すように、顔料誘導体の種類を変更した以外は、青色組成物Ｂ３の場合と同様の成分、配合および手順で、比較組成物Ｂ３を得た。また、表４に示すように、顔料誘導体の種類を変更した以外は、青色組成物Ｂ４の場合と同様の成分、配合および手順で、比較組成物Ｂ４を得た。【０２７１】
表４に、上記青色組成物それぞれの特徴的な成分を示す。なお、表４において、界面活性剤、紫外線吸収剤、エポキシ樹脂およびＰＧＭＥＡの記載は、全ての組成物において共通の成分であるため省略している。また、この表に、各組成物について、顔料類濃度も示す。【０２７２】
【表４】
2020080234.tif 000055
【０２７３】
＜＜黄色組成物Ｙ１＞＞
（顔料分散液Ｙ１の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｙ１を得た。
分散液の原料：
・ＰＹ１５０    １０．０質量部
・顔料誘導体３    １．１質量部
・分散剤２        ６．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．２質量部
（黄色組成物Ｙ１の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、黄色組成物Ｙ１を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｙ１                          ５３．８質量部
・樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ３．３質量部
・重合性モノマー２                          ２．４質量部
・光重合開始剤３                            ０．９質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．７質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ３４．７質量部【０２７４】
＜＜黄色組成物Ｙ２および比較例の組成物＞＞
表５に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、黄色組成物Ｙ１の場合と同様の成分、配合および手順で、黄色組成物Ｙ２および比較例の黄色組成物（比較組成物Ｙ１〜Ｙ２）を得た。【０２７５】
表５に、上記黄色組成物それぞれの特徴的な成分を示す。なお、表５において、界面活性剤、紫外線吸収剤およびＰＧＭＥＡの記載は、全ての組成物において共通の成分であるため省略している。また、この表に、各組成物について、顔料類濃度も示す。【０２７６】
【表５】
2020080234.tif 000056
【０２７７】
＜＜マゼンタ色組成物Ｍ１＞＞
（顔料分散液Ｍ１の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｍ１を得た。
分散液の原料：
・ＰＲ１２２    １０．０質量部
・顔料誘導体２    １．１質量部
・分散剤１        ６．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．２質量部
（マゼンタ色組成物Ｍ１の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、マゼンタ色組成物Ｍ１を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｍ１                          ６２．４質量部
・樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ０．６質量部
・重合性モノマー３                          ２．２質量部
・光重合開始剤１                            ０．７質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．４質量部
・シランカップリング剤１                    ０．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ２９．４質量部【０２７８】
＜＜マゼンタ色組成物Ｍ２および比較例の組成物＞＞
表６に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、マゼンタ色組成物Ｍ１の場合と同様の成分、配合および手順で、マゼンタ色組成物Ｍ２および比較例のマゼンタ色組成物（比較組成物Ｍ１〜Ｍ２）を得た。【０２７９】
表６に、上記マゼンタ色組成物それぞれの特徴的な成分を示す。なお、表６において、界面活性剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤およびＰＧＭＥＡの記載は、全ての組成物において共通の成分であるため省略している。また、この表に、各組成物について、顔料類濃度も示す。【０２８０】
【表６】
2020080234.tif 000057
【０２８１】
＜＜シアン色組成物Ｃ１＞＞
（顔料分散液Ｃ１の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｃ１を得た。
分散液の原料：
・ＰＧ７        １０．０質量部
・顔料誘導体１    １．１質量部
・分散剤１        ６．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．２質量部
（シアン色組成物Ｃ１の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、シアン色組成物Ｃ１を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｃ１                          ４９．３質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ０．６質量部
・重合性モノマー２                          ３．０質量部
・光重合開始剤２                            ０．６質量部
・界面活性剤１（０．２質量％ＥＥＰ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．４質量部
・ＰＧＭＥＡ                              １５．６質量部
・ＥＥＰ                                  ２６．３質量部【０２８２】
＜＜シアン色組成物Ｃ２〜Ｃ３および比較例の組成物＞＞
表７に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、シアン色組成物Ｃ１の場合と同様の成分、配合および手順で、シアン色組成物Ｃ２〜Ｃ３および比較例のシアン色組成物（比較組成物Ｃ１〜Ｃ３）を得た。組成物Ｃ２および比較組成物Ｃ２の色材は、組成物Ｃ１の色材内容からＰＧ７の１／３をＰＧ３６に変更した混合顔料である。【０２８３】
＜＜シアン色組成物Ｃ４＞＞
（顔料分散液Ｃ４の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｃ４を得た。
分散液の原料：
・ＰＢ１６      １２．０質量部
・顔料誘導体３    １．０質量部
・分散剤１        ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．３質量部
（シアン色組成物Ｃ４の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、シアン色組成物Ｃ４を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｃ４                          ２２．５質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）      １０．７質量部
・重合性モノマー１                          １．６質量部
・光重合開始剤１                            １．２質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．６質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ５９．１質量部【０２８４】
＜＜シアン色組成物Ｃ５および比較例の組成物＞＞
表７に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、シアン色組成物Ｃ４の場合と同様の成分、配合および手順で、シアン色組成物Ｃ５および比較例のシアン色組成物（比較組成物Ｃ４〜Ｃ５）を得た。【０２８５】
表７に、上記シアン色組成物それぞれの特徴的な成分を示す。なお、表７において、界面活性剤、紫外線吸収剤、ＰＧＭＥＡおよびＥＥＰの記載は、全ての組成物において共通の成分であるため省略している。また、この表に、各組成物について、顔料類濃度も示す。【０２８６】
【表７】
2020080234.tif 000058
【０２８７】
＜＜近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ１＞＞
（顔料分散液ＳＩＲ１の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液ＳＩＲ１を得た。
分散液の原料：
・ＩＲ色素１    １０．０質量部
・顔料誘導体５    １．１質量部
・分散剤２        ６．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．２質量部
（近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ１の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ１を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液ＳＩＲ１                      ５３．８質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ３．３質量部
・重合性モノマー１                          ２．４質量部
・光重合開始剤２                            ０．９質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．７質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ３４．７質量部【０２８８】
＜＜近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ２〜ＳＩＲ３および比較例の組成物＞＞
表８に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ１の場合と同様の成分、配合および手順で、近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ２〜ＳＩＲ３および比較例の近赤外線カットフィルタ用組成物（比較組成物ＳＩＲ１〜ＳＩＲ３）を得た。【０２８９】
表８に、上記近赤外線カットフィルタ用組成物それぞれの特徴的な成分を示す。なお、表８において、界面活性剤、紫外線吸収剤およびＰＧＭＥＡの記載は、全ての組成物において共通の成分であるため省略している。また、この表に、各組成物について、顔料類濃度も示す。【０２９０】
【表８】
2020080234.tif 000059
【０２９１】
＜＜近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１＞＞
（顔料分散液ＩＲＰ１の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液ＩＲＰ１を得た。
分散液の原料：
・ＰＲ２５４      ５．７質量部
・ＰＹ１３９      ０．５質量部
・ＰＶ２３        １．１質量部
・ＰＢ１５：６    ４．４質量部
・顔料誘導体５    １．３質量部
・分散剤２        ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．３質量部
（近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１の作製）
下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液ＩＲＰ１                        ６９．０質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）          １．６質量部
・重合性モノマー１                            １．２質量部
・光重合開始剤１                              ０．６質量部
・界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）  ４．２質量部
・シランカップリング剤１                      ０．４質量部
・ＰＧＭＥＡ                                ２３．０質量部【０２９２】
＜＜近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ２＞＞
（顔料分散液ＩＲＰ２の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液ＩＲＰ２を得た。
分散液の原料：
・ペリレンブラック  ５．７質量部
・ＰＹ１３９        ０．５質量部
・ＰＶ２３          １．１質量部
・ＰＢ１５：６      ４．４質量部
・顔料誘導体２      １．３質量部
・分散剤１          ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ      ８２．３質量部
（近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ２の作製）
下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ２を得た。
組成物の原料： 
・顔料分散液ＩＲＰ２                        ６９．０質量部
・樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）          １．６質量部
・重合性モノマー３                            １．２質量部
・光重合開始剤１                              ０．６質量部
・界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）  ４．２質量部
・シランカップリング剤１                      ０．４質量部
・ＰＧＭＥＡ                                ２３．０質量部【０２９３】
＜＜近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ３＞＞
（顔料分散液ＩＲＰ３の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液ＩＲＰ３を得た。
分散液の原料：
・ビスベンゾフラノン  ５．７質量部
・ＰＹ１３９          ０．５質量部
・ＰＶ２３            １．１質量部
・ＰＢ１５：６        ４．４質量部
・顔料誘導体１        １．３質量部
・分散剤２            ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ        ８２．３質量部
（近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ３の作製）
下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ３を得た。
組成物の原料： 
・顔料分散液ＩＲＰ３                        ６９．０質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）          １．６質量部
・重合性モノマー２                            １．２質量部
・光重合開始剤１                              ０．６質量部
・界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）  ４．２質量部
・シランカップリング剤１                      ０．４質量部
・ＰＧＭＥＡ                                ２３．０質量部【０２９４】
＜＜比較例の近赤外線透過フィルタ用組成物＞＞
表９に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１の場合と同様の成分、配合および手順で、比較例の近赤外線透過フィルタ用組成物（比較組成物ＩＲＰ１〜ＩＲＰ３）を得た。【０２９５】
表９に、上記近赤外線透過フィルタ用組成物それぞれの特徴的な成分を示す。なお、表９において、界面活性剤、シランカップリング剤およびＰＧＭＥＡの記載は、全ての組成物において共通の成分であるため省略している。また、この表に、各組成物について、顔料類濃度も示す。【０２９６】
【表９】
2020080234.tif 000060
【０２９７】
＜＜白色組成物Ｗ＞＞
（顔料分散液Ｗの作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｗを得た。
分散液の原料：
・ＴｉＯ２       １２．３質量部
・顔料誘導体４    ０．７質量部
・分散剤１        ４．７質量部
・ＰＧＭＥＡ    ８２．３質量部
（白色組成物Ｗの作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、白色組成物Ｗを得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｗ                                ４８．３質量部
・樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）            ０．６質量部
・重合性モノマー１                              ２．７質量部
・光重合開始剤１                                ０．５質量部
・界面活性剤１（１質量％シクロヘキサノン溶液）  ２．５質量部
・紫外線吸収剤１                                １．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                                    ２．２質量部
・シクロヘキサノン                            ４２．１質量部【０２９８】
＜＜比較例の白色組成物＞＞
表１０に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、白色組成物Ｗの場合と同様の成分、配合および手順で、比較例の白色組成物（比較組成物Ｗ）を得た。【０２９９】
表１０に、上記白色組成物それぞれの特徴的な成分を示す。なお、表１０において、界面活性剤、紫外線吸収剤、ＰＧＭＥＡおよびシクロヘキサノンの記載は、全ての組成物において共通の成分であるため省略している。また、この表に、各組成物について、顔料類濃度も示す。【０３００】
【表１０】
2020080234.tif 000061
【０３０１】
＜構造体の作製＞
＜＜実施例１＞＞
まず、８インチ（１インチ＝約２５．４ｍｍ）のシリコンウェハを用意した。そして、スピンコート法で下塗り用組成物をこのシリコンウェハ上に塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で２分間、さらに２３０℃で２分間、加熱して、膜厚１０ｎｍの下塗り層をウェハ上に形成した。続いて、スピンコート法で上記緑色組成物Ｇ１を下塗り層上に塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で２分間加熱して、膜厚０．５μｍの緑色組成物層を下塗り層上に形成した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、１．０μｍ四方のベイヤーパターンを有するマスクを介して、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で上記緑色組成物層を露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、緑色組成物層に対し２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーによるリンス、純水を用いた水洗を実施し、さらに、ホットプレートを用いて２２０℃で５分間ウェハを加熱して、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の緑色画素を形成した。【０３０２】
そして、上記赤色組成物Ｒ１を用いて、緑色画素が形成されたこのシリコンウェハ上に同様の処理を実施し、シリコンウェハ上の緑色画素に隣接する位置に、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の赤色画素を形成した。これにより、緑色画素と赤色画素が互いに相対する１辺で隣接する構造体、具体的には、図１に示すような画素配置を有する構造体（構造タイプＩ）を形成した。ここで、例えば、緑色画素が第１画素Ｐ１であり、赤色画素が第２画素Ｐ２である。【０３０３】
＜＜実施例２〜９，２０〜２５および比較例１〜９，２０〜２７，２９〜３０＞＞
構造タイプＩの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、それぞれ表１１および表１２に示す組み合わせを採用し、実施例１と同様の処理を実施して第１画素および第２画素を順次形成することにより、構造タイプＩの構造体をそれぞれ作製した。【０３０４】
＜＜実施例１０＞＞
まず、上記緑色組成物Ｇ１を用いて、実施例１と同様の方法により、シリコンウェハ上に、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の緑色画素を形成した。次いで、上記赤色組成物Ｒ１を用いて、緑色画素が形成されたこのシリコンウェハ上に同様の処理を実施し、シリコンウェハ上の緑色画素に隣接する位置に、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の赤色画素を形成した。最後に、上記青色組成物Ｂ１を用いて、緑色画素および赤色画素が形成されたこのシリコンウェハ上に同様の処理を実施し、シリコンウェハ上の緑色画素に隣接する位置に、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の青色画素を形成した。なお、赤色画素と青色画素の形成においては、露光時に、１．０μｍ四方のアイランドパターンを有するマスクを使用した。【０３０５】
これにより、緑色画素と赤色画素が互いに相対する１辺で隣接し、かつ緑色画素と青色画素が互いに相対する１辺で隣接する構造体、具体的には、図２ａに示すような画素配置を有する構造体（構造タイプＩＩａ）を形成した。ここで、例えば、緑色画素が第１画素Ｐ１であり、赤色画素が第２画素Ｐ２であり、青色画素が第３画素Ｐ３である。【０３０６】
＜＜実施例１１〜１３および比較例１０〜１３，２８＞＞
構造タイプＩＩａの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、それぞれ表１１および表１２に示す組み合わせを採用し、実施例１０と同様の処理を実施して第１画素、第２画素および第３画素を順次形成することにより、構造タイプＩＩａの構造体をそれぞれ作製した。【０３０７】
＜＜実施例１４＞＞
スピンコート法で下塗り用組成物を実施例１と同様のシリコンウェハ上に塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で２分間、さらに２３０℃で２分間、加熱して、膜厚１０ｎｍの下塗り層をウェハ上に形成した。続いて、スピンコート法で上記緑色組成物Ｇ１を下塗り層上に塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で２分間加熱して、膜厚０．５μｍの緑色組成物層を下塗り層上に形成した。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、１．０μｍ四方のアイランドパターンを有するマスクを介して、１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で上記緑色組成物層を露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）０．３質量％水溶液を用い、緑色組成物層に対し２３℃で６０秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーによるリンス、純水を用いた水洗を実施し、さらに、ホットプレートを用いて２２０℃で５分間ウェハを加熱して、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の緑色画素を形成した。【０３０８】
次いで、上記赤色組成物Ｒ１を用いて、緑色画素が形成されたこのシリコンウェハ上に同様の処理を実施し、シリコンウェハ上の緑色画素に隣接する位置に、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の赤色画素を形成した。次いで、上記青色組成物Ｂ１を用いて、緑色画素および赤色画素が形成されたこのシリコンウェハ上に同様の処理を実施し、シリコンウェハ上の緑色画素に隣接する位置に、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の青色画素を形成した。最後に、上記近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１を用いて、緑色画素、赤色画素および青色画素が形成されたこのシリコンウェハ上に同様の処理を実施し、シリコンウェハ上の緑色画素と互いに頂点同士が対向する位置に、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の近赤外線透過用画素を形成した。【０３０９】
これにより、緑色画素と赤色画素が互いに相対する１辺で隣接し、緑色画素と青色画素が互いに相対する１辺で隣接し、かつ、近赤外線透過用画素が赤色画素および青色画素の両方に隣接する構造体、具体的には、図３ａに示すような画素配置を有する構造体（構造タイプＩＩＩ）を形成した。ここで、例えば、緑色画素が第１画素Ｐ１であり、赤色画素が第２画素Ｐ２であり、青色画素が第３画素Ｐ３であり、近赤外線透過用画素が第４画素Ｐ４である。【０３１０】
＜＜実施例１５〜１９および比較例１４〜１９＞＞
構造タイプＩＩＩの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、それぞれ表１１および表１２に示す組み合わせを採用し、実施例１４と同様の処理を実施して第１画素、第２画素、第３画素および第４画素を順次形成することにより、構造タイプＩＩＩの構造体をそれぞれ作製した。【０３１１】
＜＜実施例２６＞＞
８インチのシリコンウェハ上に、シリコン酸化物層をプラズマＣＶＤ法で形成した。次いで、このシリコン酸化物層を特開２０１６−０１４８５６号公報の段落番号０１２８〜０１３３に記載された条件にてドライエッチング法でパターニングして、シリコン酸化物からなる隔壁（幅０．１μｍ、厚さ０．２５μｍ）を１．０μｍ間隔で格子状に形成した。シリコンウェハ上の隔壁の開口の寸法（シリコンウェハ上の隔壁で区画された領域）は、縦１．０μｍ、横１．０μｍであった。【０３１２】
次に、隔壁を形成したこのシリコンウェハ上に、上記緑色組成物Ｇ１を用いて、実施例１と同様の方法により、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の緑色画素を形成した。このとき、１つの画素が、隔壁で区切られた１つの領域に対応するように、露光時のマスクの位置を調製した。次いで、上記赤色組成物Ｒ１を用いて、緑色画素が形成されたこのシリコンウェハ上に同様の処理を実施し、シリコンウェハ上の緑色画素に隣接する位置に、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の赤色画素を形成した。最後に、上記青色組成物Ｂ１を用いて、緑色画素および赤色画素が形成されたこのシリコンウェハ上に同様の処理を実施し、シリコンウェハ上の緑色画素に隣接する位置に、厚さ０．５μｍおよび１．０μｍ四方の青色画素を形成した。なお、赤色画素と青色画素の形成においては、露光時に、１．０μｍ四方のアイランドパターンを有するマスクを使用した。【０３１３】
これにより、緑色画素と赤色画素が互いに相対する１辺で隣接し、かつ緑色画素と青色画素が互いに相対する１辺で隣接する構造体、具体的には、図２ａに示すような画素配置を有し、かつ、図２ｂおよび図２ｃのように各画素間の境界部分に隔壁を有する構造体（構造タイプＩＩｂ）を形成した。ここで、例えば、緑色画素が第１画素Ｐ１であり、赤色画素が第２画素Ｐ２であり、青色画素が第３画素Ｐ３である。【０３１４】
＜＜実施例２７−３２＞＞
構造タイプＩＩｂの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、それぞれ表１１に示す組み合わせを採用し、実施例２６と同様の処理を実施して第１画素、第２画素および第３画素を順次形成することにより、構造タイプＩＩｂの構造体をそれぞれ作製した。【０３１５】
【表１１】
2020080234.tif 000062
【０３１６】
【表１２】
2020080234.tif 000063
【０３１７】
＜感光性組成物の作製＞
さらに、上記感光性組成物に加えて、上記原料および下記の新たな原料を使用して、後述する手順および配合により、表１３〜２３に示す各種の組成物を新たに作製した。【０３１８】
＜＜原料＞＞
＜＜＜色材：顔料、染料＞＞＞
・ＰＲ２０２  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２０２
・ＰＲ２６４  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２６４
・ＰＲ２６９  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２６９
・ＰＲ２９１  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２９１
・ＰＲ２９６  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２９６
・ＰＲ２９７  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２９７
・ＰＧ５９  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ５９
・ＰＧ６３  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ６３
・ＰＢ１５：３  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：３
・ＰＢ１５：４  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：４
・ＰＢ１６  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １６
・ＰＶ１９  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １９
・ＰＹ２１５  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２１５
・ＰＹ２２８  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２２８
・ＰＹ２３１  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２３１
・ＰＹ２３３  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２３３
・ＰＶ２  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２
・ＰＶ１９  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １９
・ＰＶ３７  ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ３７【０３１９】
＜＜＜実施例の顔料誘導体＞＞＞
・顔料誘導体１０１：上記表１中の化合物Ｃ−６０（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、塩基性）
・顔料誘導体１０２：下記構造を有する化合物（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、塩基性）
・顔料誘導体１０３：下記構造を有する化合物（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、塩基性）
・顔料誘導体１０４：上記表１中の化合物Ｃ−９３（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、塩基性）
・顔料誘導体１０５：上記表１中の化合物Ｃ−９５（εｍａｘ：１００Ｌ・ｍｏｌ−１・ｃｍ−１以下、塩基性）【０３２０】
【化５０】
2020080234.tif 000064
【０３２１】
＜＜＜分散剤＞＞＞
・分散剤４：下記構造の化合物（Ｍｗ：３００００）。主鎖に付記された数値は、繰り返し単位のモル比を表す。
【化５１】
2020080234.tif 000065
・分散剤５：ソルスパース２００００（ルーブリゾール社製）。【０３２２】
＜＜＜樹脂＞＞＞
・樹脂３：サイクロマーＰ（ＡＣＡ）２３０ＡＡ（Ｍｗ：１４０００、ダイセル・オルネクス社製）。
・樹脂４：下記構造の化合物（Ｍｗ：１４０００）。主鎖に付記された数値は、繰り返し単位のモル比を表す。
【化５２】
2020080234.tif 000066
【０３２３】
＜＜＜光重合開始剤＞＞＞
・光重合開始剤４：下記構造を有する化合物。
【化５３】
2020080234.tif 000067
・光重合開始剤５：下記構造を有する化合物。
【化５４】
2020080234.tif 000068
【０３２４】
＜＜＜界面活性剤＞＞＞
・界面活性剤２：ノニオン系界面活性剤（Ｐｉｏｎｉｎ  Ｄ  ６１１２Ｗ、竹本油脂社製）。【０３２５】
＜＜＜エポキシ樹脂＞＞＞
・エポキシ樹脂２：エピクロンＮ−６９５（ＤＩＣ社製）。【０３２６】
＜＜＜重合禁止剤＞＞＞
・重合禁止剤１：下記構造の化合物。
【化５５】
2020080234.tif 000069
【０３２７】
＜＜＜溶剤＞＞＞
・ＰＧＭＥ：プロピレングリコールモノメチルエーテル【０３２８】
＜＜緑色組成物Ｇ１０１〜Ｇ１３５＞＞
表１３に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、緑色組成物Ｇ１の場合と同様の成分、配合および手順で、緑色組成物Ｇ１０１〜Ｇ１１２，Ｇ１１５〜Ｇ１２３，Ｇ１２８〜Ｇ１３５を得た。また、同表に示すように、分散液の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、緑色組成物Ｇ２０の場合と同様の成分、配合および手順で、緑色組成物Ｇ１１３，Ｇ１２４，Ｇ１２６を得た。また、同表に示すように、分散液の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、緑色組成物Ｇ２１の場合と同様の成分、配合および手順で、緑色組成物Ｇ１１４，Ｇ１２５，Ｇ１２７を得た。【０３２９】
【表１３】
2020080234.tif 000070
【０３３０】
＜＜赤色組成物Ｒ１０１，Ｒ１０３〜Ｒ１１８＞＞
表１４に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、赤色組成物Ｒ１の場合と同様の成分、配合および手順で、赤色組成物Ｒ１０１，Ｒ１０３〜Ｒ１１８を得た。【０３３１】
＜＜赤色組成物Ｒ１０２＞＞
（顔料分散液Ｒ１０２の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｒ１を得た。
分散液の原料：
・ＰＲ２５４          ５．２５質量部
・ＰＹ１３９          ０．９０質量部
・ＰＯ７１            ５．２５質量部
・顔料誘導体１０１    １．６０質量部
・分散剤１            ４．７０質量部
・ＰＧＭＥＡ        ８２．３０質量部
（赤色組成物Ｒ１０２の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、赤色組成物Ｒ１０２を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｒ１０２                      ５８．９質量部
・樹脂２（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ２．０質量部
・重合性モノマー２                          ０．９質量部
・光重合開始剤３                            ０．５質量部
・界面活性剤１（１質量％ＰＧＭＥＡ溶液）    ４．２質量部
・紫外線吸収剤１                            ０．１質量部
・エポキシ樹脂１                            ０．１質量部
・ＰＧＭＥＡ                              ３３．３質量部【０３３２】
＜＜赤色組成物Ｒ１１９〜Ｒ１２６＞＞
表１４に示すように、分散液および組成物の成分の種類を変更した以外は、赤色組成物Ｒ１０２の場合と同様の成分、配合および手順で、赤色組成物Ｒ１１９〜Ｒ１２６を得た。【０３３３】
【表１４】
2020080234.tif 000071
【０３３４】
＜＜青色組成物Ｂ１０１〜Ｂ１１４＞＞
表１５に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、青色組成物Ｂ１の場合と同様の成分、配合および手順で、青色組成物Ｂ１０１〜Ｂ１１４を得た。【０３３５】
【表１５】
2020080234.tif 000072
【０３３６】
＜＜黄色組成物Ｙ１０１〜Ｙ１１２＞＞
表１６に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、黄色組成物Ｙ１の場合と同様の成分、配合および手順で、黄色組成物Ｙ１０１〜Ｙ１１２を得た。【０３３７】
【表１６】
2020080234.tif 000073
【０３３８】
＜＜マゼンタ色組成物Ｍ１０１〜Ｍ１１０＞＞
表１７に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、マゼンタ色組成物Ｍ１の場合と同様の成分、配合および手順で、マゼンタ色組成物Ｍ１０１〜Ｍ１１０を得た。【０３３９】
【表１７】
2020080234.tif 000074
【０３４０】
＜＜シアン色組成物Ｃ１０１〜Ｃ１１６＞＞
表１８に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、シアン色組成物Ｃ１の場合と同様の成分、配合および手順で、シアン色組成物Ｃ１０１〜Ｃ１０４，Ｃ１０９〜Ｃ１１２を得た。なお、組成物Ｃ１０２，Ｃ１０３，Ｃ１１０，Ｃ１１１における色材は、シアン色組成物Ｃ１の色材内容からＰＧ７の１／３を表中の色材２に変更した混合顔料である。また、同表に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、シアン色組成物Ｃ４の場合と同様の成分、配合および手順で、シアン色組成物Ｃ１０５〜Ｃ１０８，Ｃ１０３〜Ｃ１１６を得た。【０３４１】
【表１８】
2020080234.tif 000075
【０３４２】
＜＜近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ１０１〜ＳＩＲ１０６＞＞
表１９に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ１の場合と同様の成分、配合および手順で、近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ１０１〜ＳＩＲ１０６を得た。【０３４３】
【表１９】
2020080234.tif 000076
【０３４４】
＜＜近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１０１〜ＩＲＰ１１８＞＞
表２０に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１の場合と同様の成分、配合および手順で、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１０１，ＩＲＰ１０４，ＩＲＰ１０７，ＩＲＰ１１０，ＩＲＰ１１３，ＩＲＰ１１６を得た。また、同表に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ２の場合と同様の成分、配合および手順で、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１０２，ＩＲＰ１０５，ＩＲＰ１０８，ＩＲＰ１１１，ＩＲＰ１１４，ＩＲＰ１１７を得た。また、同表に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ３の場合と同様の成分、配合および手順で、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１０３，ＩＲＰ１０６，ＩＲＰ１０９，ＩＲＰ１１２，ＩＲＰ１１５，ＩＲＰ１１８を得た。【０３４５】
【表２０】
2020080234.tif 000077
【０３４６】
＜＜白色組成物Ｗ１０１，１０２＞＞
表２１に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、白色組成物Ｗ１の場合と同様の成分、配合および手順で、白色組成物Ｗ１０１，Ｗ１０２を得た。【０３４７】
【表２１】
2020080234.tif 000078
【０３４８】
＜＜緑色組成物Ｇ２０１＞＞
（顔料分散液Ｇ２０１の作製）
下記表２２（ａ）に示す原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｇ２０１を得た。
（緑色組成物Ｇ２０１の作製）
続いて、下記表２２（ｂ）に示す原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、緑色組成物Ｇ２０１を得た。【０３４９】
【表２２】
2020080234.tif 000079
【０３５０】
＜＜緑色組成物Ｇ２０２＞＞
（顔料分散液Ｇ２０２の作製）
下記表２３（ａ）に示す原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｇ２０２を得た。
（緑色組成物Ｇ２０２の作製）
続いて、下記表２３（ｂ）に示す原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、緑色組成物Ｇ２０２を得た。【０３５１】
【表２３】
2020080234.tif 000080
【０３５２】
＜構造体の作製＞
＜＜実施例１０１〜１０９＞＞
構造タイプＩの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、実施例ごとに表２４に示す組み合わせを採用し、実施例１と同様の処理を実施して第１画素および第２画素を順次形成した。【０３５３】
＜＜実施例１１０〜１１３＞＞
構造タイプＩＩａの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、実施例ごとに表２４に示す組み合わせを採用し、実施例１０と同様の処理を実施して第１画素、第２画素および第３画素を順次形成した。【０３５４】
＜＜実施例１１４〜１２１＞＞
構造タイプＩＩＩの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、実施例ごとに表２４に示す組み合わせを採用し、実施例１４と同様の処理を実施して第１画素、第２画素、第３画素および第４画素を順次形成した。【０３５５】
＜＜実施例１２２〜１２５＞＞
構造タイプＩＩｂの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、実施例ごとに表２４に示す組み合わせを採用し、実施例２６と同様の処理を実施して第１画素、第２画素および第３画素を順次形成した。【０３５６】
＜＜実施例２０１，２０２＞＞
構造タイプＩの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、実施例ごとに表２５に示す組み合わせを採用し、実施例１と同様の処理を実施して第１画素および第２画素を順次形成した。【０３５７】
＜＜実施例２０３，２０４＞＞
構造タイプＩＩａの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、実施例ごとに表２５に示す組み合わせを採用し、実施例１０と同様の処理を実施して第１画素、第２画素および第３画素を順次形成した。【０３５８】
＜＜実施例２０５，２０６＞＞
構造タイプＩＩＩの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、実施例ごとに表２５に示す組み合わせを採用し、実施例１４と同様の処理を実施して第１画素、第２画素、第３画素および第４画素を順次形成した。【０３５９】
＜＜実施例２０７，２０８＞＞
構造タイプＩＩｂの構造体を形成するための組成物の組み合わせとして、実施例ごとに表２５に示す組み合わせを採用し、実施例２６と同様の処理を実施して第１画素、第２画素および第３画素を順次形成した。【０３６０】
【表２４】
2020080234.tif 000081
【０３６１】
【表２５】
2020080234.tif 000082
【０３６２】
＜安定性の評価＞
実施例および比較例の各構造体に対して、温度５０℃、湿度８５％の恒温恒湿槽にて、２０００時間の恒温恒湿試験を行った。恒温恒湿試験後、透過型電子顕微鏡を用いて上記構造体の断面を４万倍の倍率で観察し、画素間の空隙（ボイド）の発生率を調べた。そして、その空隙の発生率を指標として、安定性を評価した。評価レベル３以上が、画素深層部の安定性に優れているといえるレベルである。
評価レベルとその内容：
５：  空隙の発生率＝０
４：      ０＜空隙の発生率≦０．１
３：  ０．１＜空隙の発生率≦０．２
２：  ０．２＜空隙の発生率≦０．５
１：  ０．５＜空隙の発生率≦１．０【０３６３】
空隙の発生率は、互いに接する画素の組み合わせごとに、次の式で算出した。
空隙の発生率＝［観察した境界のうち空隙が発生した境界の数］／［観察した境界の数］
また、本実施例においては、構造体の中からランダムに２０箇所の断面を選択し、１断面ごとに、連続して並ぶ１０境界群において、空隙の有無を観察することで、計２００箇所の境界を観察した。【０３６４】
結果を表１１、表１２、表２４および表２５に示す。表中、「安定性」の項目において、「ａ」は、第１画素と第２画素の断面における評価結果を表し、「ｂ」は、第１画素と第３画素の断面における評価結果を表し、「ｃ」は、第２画素と第４画素の断面における評価結果を表し、「ｄ」は、第３画素と第４画素の断面における評価結果を表す。【０３６５】
各表に示すとおり、互いに隣接している画素に、透明顔料誘導体を使用することにより、画素深層部の安定性に優れる構造体が得られることが分かる。特に、実施例２と比較例２３の比較、実施例６と比較例２４の比較、および、実施例１２と比較例２５の比較により、単に、隣接する画素の一方のみに透明顔料誘導体を使用しても、透明顔料誘導体は安定性向上にあまり寄与しないという結果になった。【０３６６】
また、顔料類濃度が２５質量％であるとき、透明顔料誘導体を使用することにより、安定性の判定値は２から５へと改善した（実施例２３〜２５と比較例２３〜２５の比較）。一方、顔料類濃度が６０質量％であるとき、および顔料類濃度が４０質量％であるときには、透明顔料誘導体を使用することにより、安定性の判定値は１から５へと改善した（それぞれ、実施例１〜３と比較例１〜３の比較、および実施例２０〜２２と比較例２０〜２２の比較）。つまり、画素中の顔料類濃度が４０質量％程度以上に高い場合には、画素深層部が硬化しにくく、経時的安定性が低下しやすくなる傾向にあるため、そのような場合に本発明の有用性は大きいと言える。【０３６７】
また、上記実施例および比較例において、緑色組成物Ｇ１に換えて、緑色組成物Ｇ２〜Ｇ３，Ｇ６〜Ｇ２４を用いて緑色画素を形成しても、同等の結果が得られた。上記実施例および比較例において、赤色組成物Ｒ１に換えて、赤色組成物Ｒ２〜Ｒ３，Ｒ６〜Ｒ１９を用いて赤色画素を形成しても、同等の結果が得られた。上記実施例および比較例において、青色組成物Ｂ１に換えて、青色組成物Ｂ２，Ｂ５〜Ｒ１８を用いて青色画素を形成しても、同等の結果が得られた。上記実施例および比較例において、黄色組成物Ｙ１に換えて、黄色組成物Ｙ２を用いて黄色画素を形成しても、同等の結果が得られた。上記実施例および比較例において、マゼンタ色組成物Ｍ１に換えて、マゼンタ色組成物Ｍ２を用いてマゼンタ色画素を形成しても、同等の結果が得られた。上記実施例において、シアン色組成物Ｃ１に換えて、シアン色組成物Ｃ２〜Ｃ５を用いてシアン色画素を形成しても、同等の結果が得られた。上記比較例において、シアン色組成物Ｃ１に換えて、シアン色組成物Ｃ２〜Ｃ５を用いてシアン色画素を形成しても、同等の結果が得られた。上記実施例および比較例において、近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ１に換えて、近赤外線カットフィルタ用組成物ＳＩＲ２〜ＳＩＲ３を用いて近赤外線カットフィルタ用画素を形成しても、同等の結果が得られた。上記実施例および比較例において、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ１に換えて、近赤外線透過フィルタ用組成物ＩＲＰ２〜ＩＲＰ３を用いて近赤外線透過フィルタ用画素を形成しても、同等の結果が得られた。他の比較例の組成物を用いて画素を形成しても、同様の結果が得られた。【０３６８】
さらに、組成物中の開始剤として、実施例で使用したオキシム化合物以外のオキシム化合物を使用した場合、オキシム化合物を２種併用した場合、オキシム化合物とオキシム化合物以外の開始剤を使用した場合、および、オキシム化合物以外の開始剤を２種併用した場合でも、本発明の実施例と同様に、安定性に優れた構造体が得られた。また、樹脂、重合性モノマーおよび溶剤など、組成物中の固形分をそれぞれ２種併用しても、本発明の実施例と同様に、安定性に優れた構造体が得られた。【０３６９】
実施例の各構造体を公知の方法に従い固体撮像素子に組み込み画質を評価したところ、良好な性能が得られた。【０３７０】
＜構造体の応用＞
さらに、上記実施例１の構造体と同様の構造体を３つ作製し、各構造体中の全画素からなる光学フィルタ上に、ＩＲレンズ用の下記レンズ材組成物Ｌ１〜Ｌ３を使用して下記方法によりマイクロレンズをそれぞれ形成することにより、レンズ付き構造体を３つ作製した。そして、上記と同様の安定性評価を行ったところ、各構造体は実施例１と同様に安定であった。上記実施例１０の構造体についても、同様の手順によりレンズ付き構造体を３つ作製し、同様の安定性評価を行った。このレンズ付き構造体は実施例１０と同様に安定であった。上記実施例１８の構造体についても、同様の手順によりレンズ付き構造体を３つ作製し、同様の安定性評価を行った。このレンズ付き構造体は実施例１８と同様に安定であった。上記実施例２６の構造体についても、同様の手順によりレンズ付き構造体を３つ作製し、同様の安定性評価を行った。このレンズ付き構造体は実施例２６と同様に安定であった。【０３７１】
＜＜レンズ材組成物Ｌ１＞＞
（顔料分散液Ｌ１の作製）
下記原料を混合した混合液を、ビーズミル（ジルコニアビーズ０．１ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散して、顔料分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、圧力２０００ｋｇ／ｃｍ３および流量５００ｇ／ｍｉｎの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全１０回まで繰り返して、顔料分散液Ｌ１を得た。
分散液の原料：
・ＩＲ色素１    ６．８質量部
・誘導体１０    ０．８質量部
・分散剤３      ６．０質量部
・ＰＧＭＥＡ  ８６．４質量部
（レンズ材組成物Ｌ１の作製）
続いて、下記原料を混合した混合液を撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して、レンズ材組成物Ｌ１を得た。
組成物の原料：
・顔料分散液Ｌ１                                  １３．０質量部
・オグソールＰＧ−１００（大阪ガスケミカル社製）  １６．１質量部
・樹脂１（４０質量％ＰＧＭＥＡ溶液）                ３．３質量部
・１，２−ジメチルイミダゾール                      ０．６質量部
・アデカスタブＡＯ−８０（ＡＤＥＫＡ社製）          ０．２質量部
・界面活性剤１（０．２質量％ＰＧＭＥＡ溶液）        ４．２質量部
・ＰＧＭＥＡ                                      ６２．６質量部【０３７２】
＜＜レンズ材組成物Ｌ２，Ｌ３＞＞
表２６に示すように、分散液および組成物の成分の種類をそれぞれ変更した以外は、レンズ材組成物Ｌ１の場合と同様の成分、配合および手順で、レンズ材組成物Ｌ２，Ｌ３を得た。【０３７３】
この表において、添加剤としてのアデカスタブＡＯ−８０および界面活性剤並びに溶剤としてのＰＧＭＥＡの記載は、全ての組成物において共通の成分であるため省略している。成分については、表中の「成分１」、「成分２」および「成分３」の欄ごとに、対応する成分同士を変更した。また、オグソールＰＧ−１００およびオグソールＣＧ−５００（大阪ガスケミカル社製）は、フルオレン骨格を有するエポキシ樹脂であり、ＣＲ−１０３０（大阪ガスケミカル社製）は、酸変性フルオレン型ポリエステル樹脂である。【０３７４】
【表２６】
2020080234.tif 000083
【０３７５】
レンズ材組成物Ｌ１〜Ｌ３それぞれの波長５５０ｎｍの光に対する屈折率、波長４００〜７００ｎｍの光に対する最小透過率（膜厚０．３５μｍ）、および波長８２０ｎｍの光に対する透過率（膜厚０．３５μｍ）は表２７のとおりである。屈折率を測定するための膜（膜厚０．３５μｍ）は、スピンコート法でシリコンウェハ上に各レンズ材組成物を塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で２分間ウェハを加熱し、さらに、ホットプレートを用いて２２０℃で５分間ウェハを加熱することにより作製した。一方、分光測定用の膜（膜厚０．３５μｍ）は、スピンコート法でガラスウェハ上に各レンズ材組成物を塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で２分間ウェハを加熱し、さらに、ホットプレートを用いて２２０℃で５分間ウェハを加熱することにより作製した。【０３７６】
【表２７】
2020080234.tif 000084
【０３７７】
＜＜マイクロレンズの形成方法＞＞
シリコンウェハ上に光学フィルタを作製した後、スピンコート法で各レンズ材組成物を塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で２分間これを加熱して、さらに、ホットプレートを用いて２２０℃で５分間加熱して、膜厚１．２μｍのレンズ材組成物層を形成した。その後、公知の技術であるエッチバックによる転写方法を用いて、レンズトップからレンズボトムまでの高さが４００ｎｍになるようにレンズ材組成物層を加工することにより、マイクロレンズを形成した。
【符号の説明】
【０３７８】
１            支持体
２            隔壁
Ｐ１〜Ｐ４    画素
Ｒ            空隙が発生しやすい領域
Ｓ１〜Ｓ３    構造体
ＳＩＲ        近赤外線カットフィルタ
【図１】
2020080234.tif 000086
【図２】
2020080234.tif 000087
【図３】
2020080234.tif 000088
【国際調査報告】
2020080234.tif 000089
2020080234.tif 000090
2020080234.tif 000091
2020080234.tif 000092