(57)【要約】  本発明の一側面は、一方の面から入射した入射光を異なる波長の光に変換して他方の面から出射させるカラーフィルタであって、他方の面から一方の面に向けて立設され、複数の開口部を有するバンクと、複数の開口部のそれぞれに設けられた複数の画素部と、バンクの側面の少なくとも一部を覆うように設けられた反射膜と、を備え、複数の画素部は、発光性ナノ結晶粒子を含有する変換層を含む画素部を有し、バンクの幅に対する高さの比は、０．５以上であり、バンクの側面と他方の面とがなす角度は、６０〜９０°である、カラーフィルタである。
2020111150.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面から入射した入射光を異なる波長の光に変換して他方の面から出射させるカラーフィルタであって、
前記他方の面から前記一方の面に向けて立設され、複数の開口部を有するバンクと、
前記複数の開口部のそれぞれに設けられた複数の画素部と、
前記バンクの側面の少なくとも一部を覆うように設けられた反射膜と、を備え、
前記複数の画素部は、発光性ナノ結晶粒子を含有する変換層を含む画素部を有し、
前記バンクの幅に対する高さの比は、０．５以上であり、
前記バンクの側面と前記他方の面とがなす角度は、６０〜９０°である、カラーフィルタ。
【請求項２】
前記変換層の前記他方の面側に、前記変換層によって変換された光を透過し、かつ前記入射光を吸収する着色層が設けられている、請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
前記変換層の前記一方の面側に、前記変換層を保護するためのバリア層が設けられている、請求項１又は２に記載のカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置等のディスプレイにおけるカラーフィルタには、赤色画素部、緑色画素部、青色画素部といった複数の画素部（カラーフィルタ画素部）が設けられており、光源から入射する光を異なる波長の光に変換する変換層が当該画素部の一部又は全部に設けられている。また、通常、これらの画素部の間には、混色防止等を目的として、隣接する画素部間を離間させるバンクが設けられる。近年では、カラーフィルタの変換層に、量子ドット等の発光性ナノ結晶粒子を用いることが検討されている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１７／０１５３３６６号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
発光性ナノ結晶粒子を用いたカラーフィルタでは、入射する光を異なる波長の光に変換して効率良く外部に出射させる（光の変換効率を向上させる）必要がある。これに対して、例えば、発光性ナノ結晶粒子の構成や発光性ナノ結晶粒子を含む組成物の構成の最適化が検討されているが、光の変換効率を向上させるためには、その他の観点でも改善の余地がある。【０００５】
そこで、本発明は、発光性ナノ結晶粒子を用いたカラーフィルタにおいて光の変換効率を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面は、一方の面から入射した入射光を異なる波長の光に変換して他方の面から出射させるカラーフィルタであって、他方の面（出射面）から一方の面（入射面）に向けて立設され、複数の開口部を有するバンクと、複数の開口部のそれぞれに設けられた複数の画素部と、バンクの側面の少なくとも一部を覆うように設けられた反射膜と、を備え、複数の画素部は、発光性ナノ結晶粒子を含有する変換層を含む画素部を有し、バンクの幅に対する高さの比は、０．５以上であり、バンクの側面と他方の面とがなす角度は、６０〜９０°である、カラーフィルタに関する。【０００７】
上記カラーフィルタでは、バンクの側面に反射膜が設けられているため、画素部に入射した光（入射光）が反射膜によって反射され、発光性ナノ結晶粒子で吸収及び変換される確率が向上すると共に、発光性ナノ結晶粒子によって波長が変換された光（変換光）が反射膜によって反射され、カラーフィルタの外部に出射される確率（出射光の量）も向上する。したがって、反射膜が設けられていることによって、反射膜が設けられていない場合に比べて、バンクによる光（入射光及び変換光）の吸収が抑制されているため、光の変換効率（入射光に対する出射光の割合）を向上させることができる。また、上記カラーフィルタでは、バンクの幅に対する高さの比（アスペクト比：高さ／幅）が０．５以上であり、比較的高いバンクとなっているため、変換層を含む画素部を厚くすることができる。これによって、変換層における発光性ナノ結晶粒子の含有量を多くすることができるため、入射光が発光性ナノ結晶粒子で吸収及び変換される確率が向上する。更に、上記カラーフィルタでは、バンクの側面の傾斜角度が６０°〜９０°であるため、当該角度が６０°未満である場合に比べて、光が入射する面（入射面）側のバンクの幅が同じときに、光が出射する面（出射面）に対して画素部が占める面積の割合（開口率）を高くして出射光の量を向上させることができるとともに、当該角度が９０°を超える場合に比べて、反射膜を良好に形成することができ、上述した反射膜による光の変換効率の向上効果が好適に得られる。【０００８】
カラーフィルタにおいて、変換層の他方の面側に、変換層によって変換された光を透過し、かつ入射光を吸収する着色層が設けられていてよい。この場合、カラーフィルタの色再現性を向上させることができる。すなわち、例えば、入射光として青色光又は４５０ｎｍにピークを持つ準白色光を用いる場合、入射光が変換層を透過してしまうことがある。そうすると、入射光と発光性ナノ結晶粒子が発する光（変換光）とが混色してしまい、色再現性の低下を招くおそれがある。これに対して、変換層の他方の面側に、着色層が設けられていることにより、入射光は遮断され、変換光のみが透過するため、カラーフィルタの色再現性の低下を抑制できる。【０００９】
カラーフィルタにおいて、変換層の一方の面側に、変換層を保護するためのバリア層が設けられていてよい。変換層の光の入射面側の面上にバリア層が設けられている場合、バリア層によって、変換層と空気中の物質（水、酸素等）との接触を抑制できるため、変換層の劣化が抑制され、変換層を保護することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、発光性ナノ結晶粒子を用いたカラーフィルタにおいて光の変換効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）は、一実施形態に係るカラーフィルタの模式断面図であり、（ｂ）は（ａ）の要部断面図である。
【図２】他の一実施形態に係るカラーフィルタの要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を適宜参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１３】
図１は、一実施形態に係るカラーフィルタを示す模式断面図である。図１（ａ）に示すように、一実施形態に係るカラーフィルタ１００は、バンク１０と、複数の画素部２０と、反射膜３０と、バリア層４０と、基材５０と、を備えている。バンク１０、複数の画素部２０、及び反射膜３０は、バリア層４０の一面上に設けられている。このカラーフィルタ１００では、バリア層４０が配置されている側が光の入射面となっており、基材５０が配置されている側が光の出射面となっている。
【００１４】
バンク１０は、カラーフィルタ１００の他方の面（出射面）から一方の面（入射面）に向けて立設されている。なお、バンク１０は、カラーフィルタ１００の一方の面（入射面）から他方の面（出射面）に向けて立設されていると言い換えることもできる。バンク１０は、平面視において、二次元に配列された複数の開口部を有しており、全体として格子状の平面形状を有している。バンク１０の複数の開口部のそれぞれには、複数の画素部２０が設けられている。
【００１５】
画素部２０は、第１の画素部２０ａと、第２の画素部２０ｂと、第３の画素部２０ｃとを有している。第１の画素部２０ａと、第２の画素部２０ｂと、第３の画素部２０ｃとは、この順に繰り返すように格子状に配列されている。バンク１０は、隣り合う画素部の間、すなわち、第１の画素部２０ａと第２の画素部２０ｂとの間、第２の画素部２０ｂと第３の画素部２０ｃとの間、第３の画素部２０ｃと第１の画素部２０ａとの間に設けられている。言い換えれば、これらの隣り合う画素部同士は、バンク１０によって離間されている。
【００１６】
バンク１０は、バンクに用いられる公知の材料で形成されていてよく、例えば樹脂（樹脂の硬化物）で構成されていてよい。バンク１０を構成する材料は、例えば、厚み１０μｍの膜（バンク）を形成したときに、３８０〜７８０ｎｍにおける透過率の最小値が、５０％以下、３０％以下、又は１０％以下となるような材料（可視光領域（３８０〜７８０ｎｍ）に吸収を有する有色の樹脂など）であってもよく、厚み１０μｍの膜（バンク）を形成したときに、３８０〜７８０ｎｍにおける透過率の最小値が、５０％以上、７０％以上、又は９０％以上となるような材料（可視光領域に吸収を有さない透明の樹脂など）であってもよく、好ましくは後者の材料である。
【００１７】
図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるバンク１０近傍を示す要部断面図である。図１（ｂ）に示すように、一実施形態に係るカラーフィルタ１００において、バンク１０の側面と光の出射面（基材５０のバンク１０が設けられている面）とがなす角度αは、９０°である（バンク１０は垂直テーパー形状を有している）。図２は、他の一実施形態に係るカラーフィルタのバンク１０近傍を示す要部断面図である。図２に示すように、他の一実施形態に係るカラーフィルタでは、バンク１０の側面は、光の出射面（基材５０のバンク１０が設けられている面）に対して斜めに傾いていてもよい。バンク１０の側面と光の出射面（基材５０のバンク１０が設けられている面）とがなす角度αは、６０°以上９０°未満である（バンク１０は所定の傾斜角度の順テーパー形状を有している）。
【００１８】
このように、バンク１０の側面と光の出射面（基材５０のバンク１０が設けられている面）とがなす角度αは、６０〜９０°になっている。角度αが６０〜９０°であると、当該角度が６０°未満である場合に比べて、光が入射する面（入射面）側のバンクの幅Ｌ２が同じときに、光が出射する面（出射面）に対して画素部２０が占める面積の割合（開口率）を高くして出射光の量を向上させることができる。また、当該角度が９０°を超える（バンクが逆テーパー形状を有している）場合に比べて、反射膜３０の製膜が容易であるために、反射膜３０を良好に形成することができ、反射膜３０による光の変換効率の向上効果が好適に得られる。
【００１９】
バンク１０の側面と光の出射面（基材５０のバンク１０が設けられている面）とがなす角度αは、６０°以上、７０°以上又は８０°以上であってもよく、８５°以下であってもよく、６０〜８５°、７０〜９０°、７０°以上９０°未満、７０〜８５°、８０〜９０°、８０°以上９０°未満、又は８０〜８５°であってもよい。
【００２０】
バンク１０の下底の幅（基材５０と接する面におけるバンク１０の延在方向と垂直な方向の長さ）Ｌ１は、１μｍ以上、５μｍ以上、１０μｍ以上、１５μｍ以上、又は１８μｍ以上であってよく、５０μｍ以下、４０μｍ以下、３０μｍ以下又は２５μｍ以下であってよい。
【００２１】
バンク１０の上底の幅（バリア層４０と接する面におけるバンク１０の延在方向と垂直な方向の長さ）Ｌ２は、下底の幅Ｌ１と同一であるか、又は下底の幅Ｌ１より小さくなっている。バンク１０の上底の幅Ｌ２は、１μｍ以上、５μｍ以上、１０μｍ以上、１５μｍ以上、又は１８μｍ以上であってよく、５０μｍ以下、４０μｍ以下、３０μｍ以下又は２５μｍ以下であってよい。
【００２２】
バンク１０の高さＨは、バンク１０の下底から上底までの最短距離である。バンク１０の高さＨは、１μｍ以上、５μｍ以上、７μｍ以上又は９μｍ以上であってよく、３０μｍ以下、１５μｍ以下、１３μｍ以下又は１１μｍ以下であってよい。
【００２３】
バンク１０のアスペクト比は、バンク１０の下底の幅Ｌ１に対するバンク１０の高さＨの比（Ｈ／Ｌ１）を意味する。バンク１０のアスペクト比は、０．５以上であり、例えば、０．６以上、０．８以上、又は１．０以上であってよく、１．５以下、１．０以下、０．８以下、又は０．６以下であってよい。バンク１０のアスペクト比が、上記範囲内である場合、変換層を含む画素部を厚くすることができるため、入射する光を効率良く利用できる画素部の形成が容易になる。
【００２４】
第１の画素部２０ａは、第１の樹脂２３ａと、第１の樹脂２３ａに分散された第１の発光性ナノ結晶粒子２２ａとを含有する第１の変換層２１ａを含む。第１の発光性ナノ結晶粒子２２ａは、４２０〜４８０ｎｍの範囲の波長の光を吸収し６０５〜６６５ｎｍの範囲に発光ピーク波長を有する光を発する、赤色発光性のナノ結晶粒子である。すなわち、第１の画素部２０ａは、青色光を赤色光に変換するための第１の変換層２１ａを含む赤色画素部と言い換えてよい。
【００２５】
第２の画素部２０ｂは、第２の樹脂２３ｂと、第２の樹脂２３ｂに分散された第２の発光性ナノ結晶粒子２２ｂとを含有する第２の変換層２１ｂを含む。第２の発光性ナノ結晶粒子２２ｂは、４２０〜４８０ｎｍの範囲の波長の光を吸収し５００〜５６０ｎｍの範囲に発光ピーク波長を有する光を発する、緑色発光性のナノ結晶粒子である。すなわち、第２の画素部２０ｂは、青色光を緑色光に変換するための第２の変換層２１ｂを含む緑色画素部と言い換えてよい。
【００２６】
発光性ナノ結晶粒子は、励起光を吸収して蛍光又は燐光を発光するナノサイズの結晶体であり、例えば、透過型電子顕微鏡又は走査型電子顕微鏡によって測定される最大粒子径が１００ｎｍ以下である結晶体である。
【００２７】
発光性ナノ結晶粒子は、例えば、所定の波長の光を吸収することにより、吸収した波長とは異なる波長の光（蛍光又は燐光）を発することができる。発光性ナノ結晶粒子は、６０５〜６６５ｎｍの範囲に発光ピーク波長を有する光（赤色光）を発する、赤色発光性のナノ結晶粒子（赤色発光性ナノ結晶粒子）であってよく、５００〜５６０ｎｍの範囲に発光ピーク波長を有する光（緑色光）を発する、緑色発光性のナノ結晶粒子（緑色発光性ナノ結晶粒子）であってよく、４２０〜４８０ｎｍの範囲に発光ピーク波長を有する光（青色光）を発する、青色発光性のナノ結晶粒子（青色発光性ナノ結晶粒子）であってもよい。本実施形態では、インク組成物がこれらの発光性ナノ結晶粒子のうちの少なくとも１種を含むことが好ましい。また、発光性ナノ結晶粒子が吸収する光は、例えば、４００ｎｍ以上５００ｎｍ未満の範囲の波長の光（青色光）、又は、２００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲の波長の光（紫外光）であってよい。なお、発光性ナノ結晶粒子の発光ピーク波長は、例えば、分光蛍光光度計を用いて測定される蛍光スペクトル又は燐光スペクトルにおいて確認することできる。
【００２８】
赤色発光性のナノ結晶粒子は、６６５ｎｍ以下、６６３ｎｍ以下、６６０ｎｍ以下、６５８ｎｍ以下、６５５ｎｍ以下、６５３ｎｍ以下、６５１ｎｍ以下、６５０ｎｍ以下、６４７ｎｍ以下、６４５ｎｍ以下、６４３ｎｍ以下、６４０ｎｍ以下、６３７ｎｍ以下、６３５ｎｍ以下、６３２ｎｍ以下又は６３０ｎｍ以下に発光ピーク波長を有することが好ましく、６２８ｎｍ以上、６２５ｎｍ以上、６２３ｎｍ以上、６２０ｎｍ以上、６１５ｎｍ以上、６１０ｎｍ以上、６０７ｎｍ以上又は６０５ｎｍ以上に発光ピーク波長を有することが好ましい。これらの上限値及び下限値は、任意に組み合わせることができる。なお、以下の同様の記載においても、個別に記載した上限値及び下限値は任意に組み合わせ可能である。
【００２９】
緑色発光性のナノ結晶粒子は、５６０ｎｍ以下、５５７ｎｍ以下、５５５ｎｍ以下、５５０ｎｍ以下、５４７ｎｍ以下、５４５ｎｍ以下、５４３ｎｍ以下、５４０ｎｍ以下、５３７ｎｍ以下、５３５ｎｍ以下、５３２ｎｍ以下又は５３０ｎｍ以下に発光ピーク波長を有することが好ましく、５２８ｎｍ以上、５２５ｎｍ以上、５２３ｎｍ以上、５２０ｎｍ以上、５１５ｎｍ以上、５１０ｎｍ以上、５０７ｎｍ以上、５０５ｎｍ以上、５０３ｎｍ以上又は５００ｎｍ以上に発光ピーク波長を有することが好ましい。
【００３０】
青色発光性のナノ結晶粒子は、４８０ｎｍ以下、４７７ｎｍ以下、４７５ｎｍ以下、４７０ｎｍ以下、４６７ｎｍ以下、４６５ｎｍ以下、４６３ｎｍ以下、４６０ｎｍ以下、４５７ｎｍ以下、４５５ｎｍ以下、４５２ｎｍ以下又は４５０ｎｍ以下に発光ピーク波長を有することが好ましく、４５０ｎｍ以上、４４５ｎｍ以上、４４０ｎｍ以上、４３５ｎｍ以上、４３０ｎｍ以上、４２８ｎｍ以上、４２５ｎｍ以上、４２２ｎｍ以上又は４２０ｎｍ以上に発光ピーク波長を有することが好ましい。
【００３１】
発光性ナノ結晶粒子が発する光の波長（発光色）は、井戸型ポテンシャルモデルのシュレディンガー波動方程式の解によれば、発光性ナノ結晶粒子のサイズ（例えば粒子径）に依存するが、発光性ナノ結晶粒子が有するエネルギーギャップにも依存する。そのため、使用する発光性ナノ結晶粒子の構成材料及びサイズを変更することにより、発光色を選択することができる。
【００３２】
発光性ナノ結晶粒子は、半導体材料を含む、発光性ナノ結晶粒子（発光性半導体ナノ結晶粒子）であってよい。発光性半導体ナノ結晶粒子としては、量子ドット、量子ロッド等が挙げられる。これらの中でも、発光スペクトルの制御が容易であり、信頼性を確保した上で、生産コストを低減し、量産性を向上させることができる観点から、量子ドットが好ましい。
【００３３】
発光性半導体ナノ結晶粒子は、第一の半導体材料を含むコアのみからなっていてよく、第一の半導体材料を含むコアと、第一の半導体材料とは異なる第二の半導体材料を含み、上記コアの少なくとも一部を被覆するシェルと、を有していてもよい。換言すれば、発光性半導体ナノ結晶粒子の構造は、コアのみからなる構造（コア構造）であってよく、コアとシェルからなる構造（コア／シェル構造）であってもよい。また、発光性半導体ナノ結晶粒子は、第二の半導体材料を含むシェル（第一のシェル）の他に、第一及び第二の半導体材料とは異なる第三の半導体材料を含み、上記コアの少なくとも一部を被覆するシェル（第二のシェル）を更に有していてもよい。換言すれば、発光性半導体ナノ結晶粒子の構造は、コアと第一のシェルと第二のシェルとからなる構造（コア／シェル／シェル構造）であってもよい。コア及びシェルのそれぞれは、２種以上の半導体材料を含む混晶（例えば、ＣｄＳｅ＋ＣｄＳ、ＣＩＳ＋ＺｎＳ等）であってよい。
【００３４】
発光性ナノ結晶粒子は、半導体材料として、ＩＩ−ＶＩ族半導体、ＩＩＩ−Ｖ族半導体、Ｉ−ＩＩＩ−ＶＩ族半導体、ＩＶ族半導体及びＩ−ＩＩ−ＩＶ−ＶＩ族半導体からなる群より選択される少なくとも１種の半導体材料を含むことが好ましい。
【００３５】
具体的な半導体材料としては、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＺｎＯ、ＨｇＳ、ＨｇＳｅ、ＨｇＴｅ、ＣｄＳｅＳ、ＣｄＳｅＴｅ、ＣｄＳＴｅ、ＺｎＳｅＳ、ＺｎＳｅＴｅ、ＺｎＳＴｅ、ＨｇＳｅＳ、ＨｇＳｅＴｅ、ＨｇＳＴｅ、ＣｄＺｎＳ、ＣｄＺｎＳｅ、ＣｄＺｎＴｅ、ＣｄＨｇＳ、ＣｄＨｇＳｅ、ＣｄＨｇＴｅ、ＨｇＺｎＳ、ＨｇＺｎＳｅ、ＣｄＨｇＺｎＴｅ、ＣｄＺｎＳｅＳ、ＣｄＺｎＳｅＴｅ、ＣｄＺｎＳＴｅ、ＣｄＨｇＳｅＳ、ＣｄＨｇＳｅＴｅ、ＣｄＨｇＳＴｅ、ＨｇＺｎＳｅＳ、ＨｇＺｎＳｅＴｅ、ＨｇＺｎＳＴｅ；ＧａＮ、ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＧａＳｂ、ＡｌＮ、ＡｌＰ、ＡｌＡｓ、ＡｌＳｂ、ＩｎＮ、ＩｎＰ、ＩｎＡｓ、ＩｎＳｂ、ＧａＮＰ、ＧａＮＡｓ、ＧａＮＳｂ、ＧａＰＡｓ、ＧａＰＳｂ、ＡｌＮＰ、ＡｌＮＡｓ、ＡｌＮＳｂ、ＡｌＰＡｓ、ＡｌＰＳｂ、ＩｎＮＰ、ＩｎＮＡｓ、ＩｎＮＳｂ、ＩｎＰＡｓ、ＩｎＰＳｂ、ＧａＡｌＮＰ、ＧａＡｌＮＡｓ、ＧａＡｌＮＳｂ、ＧａＡｌＰＡｓ、ＧａＡｌＰＳｂ、ＧａＩｎＮＰ、ＧａＩｎＮＡｓ、ＧａＩｎＮＳｂ、ＧａＩｎＰＡｓ、ＧａＩｎＰＳｂ、ＩｎＡｌＮＰ、ＩｎＡｌＮＡｓ、ＩｎＡｌＮＳｂ、ＩｎＡｌＰＡｓ、ＩｎＡｌＰＳｂ；ＳｎＳ、ＳｎＳｅ、ＳｎＴｅ、ＰｂＳ、ＰｂＳｅ、ＰｂＴｅ、ＳｎＳｅＳ、ＳｎＳｅＴｅ、ＳｎＳＴｅ、ＰｂＳｅＳ、ＰｂＳｅＴｅ、ＰｂＳＴｅ、ＳｎＰｂＳ、ＳｎＰｂＳｅ、ＳｎＰｂＴｅ、ＳｎＰｂＳＳｅ、ＳｎＰｂＳｅＴｅ、ＳｎＰｂＳＴｅ；Ｓｉ、Ｇｅ、ＳｉＣ、ＳｉＧｅ、ＡｇＩｎＳｅ２、ＣｕＧａＳｅ２、ＣｕＩｎＳ２、ＣｕＧａＳ２、ＣｕＩｎＳｅ２、ＡｇＩｎＳ２、ＡｇＧａＳｅ２、ＡｇＧａＳ２、Ｃ、Ｓｉ及びＧｅが挙げられる。発光性半導体ナノ結晶粒子は、発光スペクトルの制御が容易であり、信頼性を確保した上で、生産コストを低減し、量産性を向上させることができる観点から、ＣｄＳ、ＣｄＳｅ、ＣｄＴｅ、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ、ＺｎＴｅ、ＺｎＯ、ＨｇＳ、ＨｇＳｅ、ＨｇＴｅ、ＩｎＰ、ＩｎＡｓ、ＩｎＳｂ、ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＧａＳｂ、ＡｇＩｎＳ２、ＡｇＩｎＳｅ２、ＡｇＩｎＴｅ２、ＡｇＧａＳ２、ＡｇＧａＳｅ２、ＡｇＧａＴｅ２、ＣｕＩｎＳ２、ＣｕＩｎＳｅ２、ＣｕＩｎＴｅ２、ＣｕＧａＳ２、ＣｕＧａＳｅ２、ＣｕＧａＴｅ２、Ｓｉ、Ｃ、Ｇｅ及びＣｕ２ＺｎＳｎＳ４からなる群より選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。
【００３６】
赤色発光性の半導体ナノ結晶粒子としては、例えば、ＣｄＳｅのナノ結晶粒子、コア／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、該シェル部分がＣｄＳであり内側のコア部がＣｄＳｅであるナノ結晶粒子、コア／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、該シェル部分がＣｄＳであり内側のコア部がＺｎＳｅであるナノ結晶粒子、ＣｄＳｅとＺｎＳとの混晶のナノ結晶粒子、ＩｎＰのナノ結晶粒子、コア／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、該シェル部分がＺｎＳであり内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子、コア／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、該シェル部分がＺｎＳとＺｎＳｅとの混晶であり内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子、ＣｄＳｅとＣｄＳとの混晶のナノ結晶粒子、ＺｎＳｅとＣｄＳとの混晶のナノ結晶粒子、コア／シェル／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、第一のシェル部分がＺｎＳｅであり、第二のシェル部分がＺｎＳであり、内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子、コア／シェル／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、第一のシェル部分がＺｎＳとＺｎＳｅとの混晶であり、第二のシェル部分がＺｎＳであり、内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子等が挙げられる。
【００３７】
緑色発光性の半導体ナノ結晶粒子としては、例えば、ＣｄＳｅのナノ結晶粒子、ＣｄＳｅとＺｎＳとの混晶のナノ結晶粒子、コア／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、該シェル部分がＺｎＳであり内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子、コア／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、該シェル部分がＺｎＳとＺｎＳｅとの混晶であり内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子、コア／シェル／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、第一のシェル部分がＺｎＳｅであり、第二のシェル部分がＺｎＳであり、内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子、コア／シェル／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、第一のシェル部分がＺｎＳとＺｎＳｅとの混晶であり、第二のシェル部分がＺｎＳであり、内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子等が挙げられる。
【００３８】
青色発光性の半導体ナノ結晶粒子としては、例えば、ＺｎＳｅのナノ結晶粒子、ＺｎＳのナノ結晶粒子、コア／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、該シェル部分がＺｎＳｅであり内側のコア部がＺｎＳであるナノ結晶粒子、ＣｄＳのナノ結晶粒子、コア／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、該シェル部分がＺｎＳであり内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子、コア／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、該シェル部分がＺｎＳとＺｎＳｅとの混晶であり内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子、コア／シェル／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、第一のシェル部分がＺｎＳｅであり、第二のシェル部分がＺｎＳであり、内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子、コア／シェル／シェル構造を備えたナノ結晶粒子であって、第一のシェル部分がＺｎＳとＺｎＳｅとの混晶であり、第二のシェル部分がＺｎＳであり、内側のコア部がＩｎＰであるナノ結晶粒子等が挙げられる。半導体ナノ結晶粒子は、同一の化学組成で、それ自体の平均粒子径を変えることにより、当該粒子から発光させるべき色を赤色にも緑色にも変えることができる。また、半導体ナノ結晶粒子は、それ自体として、人体等に対する悪影響が極力低いものを用いることが好ましい。カドミウム、セレン等を含有する半導体ナノ結晶粒子を発光性ナノ結晶粒子として用いる場合は、上記元素（カドミウム、セレン等）が極力含まれない半導体ナノ結晶粒子を選択して単独で用いるか、上記元素が極力少なくなるようにその他の発光性ナノ結晶粒子と組み合わせて用いることが好ましい。
【００３９】
発光性ナノ結晶粒子の形状は特に限定されず、任意の幾何学的形状であってもよく、任意の不規則な形状であってもよい。発光性ナノ結晶粒子の形状は、例えば、球状、楕円体状、角錐形状、ディスク状、枝状、網状、ロッド状等であってもよい。しかしながら、発光性ナノ結晶粒子としては、粒子形状として方向性の少ない粒子（例えば、球状、正四面体状等の粒子）を用いることが、インク組成物の均一性及び流動性をより高められる点で好ましい。
【００４０】
発光性ナノ結晶粒子の平均粒子径（体積平均径）は、所望の波長の発光が得られやすい観点、並びに、分散性及び保存安定性に優れる観点から、１ｎｍ以上であってよく、１．５ｎｍ以上であってよく、２ｎｍ以上であってもよい。所望の発光波長が得られやすい観点から、４０ｎｍ以下であってよく、３０ｎｍ以下であってよく、２０ｎｍ以下であってもよい。発光性ナノ結晶粒子の平均粒子径（体積平均径）は、透過型電子顕微鏡又は走査型電子顕微鏡により測定し、体積平均径を算出することにより得られる。
【００４１】
第１の樹脂２３ａと第２の樹脂２３ｂは、それぞれ、光重合性化合物及び／又は熱硬化性樹脂を含む組成物の硬化物であってよい。第１の樹脂２３ａと第２の樹脂２３ｂとは、互いに同一でもあっても異なっていてもよい。
【００４２】
変換層における発光性ナノ結晶粒子の含有量は、それぞれ、樹脂１００質量部に対して、８０質量部以下、７０質量部以下、６０質量部以下、又は５０質量部以下であってよく、１．０質量部以上、３．０質量部以上、５．０質量部以上、又は１０．０質量部以上であってよい。
【００４３】
第１の変換層２１ａ及び第２の変換層２１ｂは、それぞれ、光散乱性粒子（詳細は後述する。）を更に含有してもよい。変換層における光散乱性粒子の含有量は、樹脂１００質量部に対して、０．１質量部以上であってよく、１質量部以上であってもよく、５質量部以上であってもよく、７質量部以上であってもよく、１０質量部以上であってもよく、１２質量部以上であってもよい。光散乱性粒子の含有量は、樹脂１００質量部に対して、６０質量部以下であってよく、５０質量部以下であってもよく、４０質量部以下であってもよく、３０質量部以下であってもよく、２５質量部以下であってもよく、２０質量部以下であってもよく、１５質量部以下であってもよい。
【００４４】
第１の変換層２１ａ及び第２の変換層２１ｂは、それぞれ、必要に応じて、発光性ナノ結晶粒子に対して親和性のある分子、公知の添加剤、その他の色材を更に含んでいてもよい。
【００４５】
第１の画素部２０ａ及び第２の画素部２０ｂにおいて、変換層２１ａ，２１ｂの光の出射面側の面上には、変換層２１ａ，２１ｂによって変換された光を透過し、かつ入射光を吸収する第１の着色層２４ａ及び第２の着色層２４ｂがそれぞれ設けられている。すなわち、第１の画素部２０ａは、第１の変換層２１ａと、第１の着色層２４ａとを、バリア層４０（光の入射面）側からこの順に備えている。同様に、第２の画素部２０ｂは、第２の変換層２１ｂと、第２の着色層２４ｂとを、バリア層４０（光の入射面）側からこの順に備えている。
【００４６】
第１の着色層２４ａは、第１の変換層２１ａで第１の発光性ナノ結晶粒子２２ａにより変換された波長（例えば６０５〜６６５ｎｍ）の光を透過し、かつ入射光（例えば４２０〜４８０ｎｍの範囲の波長の光）を吸収する第１の色材と、第１の色材を分散させる樹脂とを含む。第１の色材は、赤色色材である。赤色色材としては、例えば、ジケトピロロピロール顔料及びアニオン性赤色有機染料からなる群より選ばれる少なくとも１種を用いることができる。
【００４７】
第２の着色層２４ｂは、第２の変換層２１ｂで第１の発光性ナノ結晶粒子２２ａにより変換された波長（例えば５００〜５６０ｎｍ）の光を透過し、かつ入射光（例えば４２０〜４８０ｎｍの範囲の波長の光）を吸収する第２の色材と、第２の色材を分散させる樹脂とを含む。第２の色材は、緑色色材である。緑色色材としては、例えば、ハロゲン化銅フタロシニアン顔料、フタロシアニン系緑色染料、フタロシアニン系青色染料とアゾ系黄色有機染料との混合物からなる群より選ばれる少なくとも１種を用いることができる。
【００４８】
第１の着色層２４ａ及び第２の着色層２４ｂが設けられていることにより、カラーフィルタの色再現性を向上させることができる。すなわち、例えば、入射光として青色光又は４５０ｎｍにピークを持つ準白色光を用いる場合、入射光が変換層２１ａ，２１ｂを透過してしまうことがある。そうすると、入射光と発光性ナノ結晶粒子が発する光（変換光）とが混色してしまい、色再現性の低下を招くおそれがある。これに対して、第１の着色層２４ａ及び第２の着色層２４ｂが設けられていることにより、入射光は遮断され、変換光のみが透過するため、カラーフィルタの色再現性の低下を抑制できる。
【００４９】
第３の画素部２０ｃは、入射した光を拡散させる拡散層２５を含む。拡散層２５は、発光性ナノ結晶粒子を含有せず、第３の樹脂２３ｃと、第３の樹脂２３ｃに分散された光散乱性粒子２６とを含有する。第３の画素部２０ｃは、入射光（４２０〜４８０ｎｍの範囲の波長の光）を透過させ、例えば、当該入射光に対し３０％以上の透過率を有する。そのため、第３の画素部２０ｃは、４２０〜４８０ｎｍの範囲の波長の光を発する光源を用いる場合に、青色画素部として機能する。なお、第３の画素部２０ｃの透過率は、顕微分光装置により測定することができる。
【００５０】
光散乱性粒子２６は、例えば、光学的に不活性な無機微粒子である。光散乱性粒子を構成する材料としては、例えば、タングステン、ジルコニウム、チタン、白金、ビスマス、ロジウム、パラジウム、銀、スズ、プラチナ、金等の単体金属；シリカ、硫酸バリウム、タルク、クレー、カオリン、アルミナホワイト、酸化チタン、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛等の金属酸化物；炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、次炭酸ビスマス、炭酸カルシウム等の金属炭酸塩；水酸化アルミニウム等の金属水酸化物；ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、チタン酸カルシウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム等の複合酸化物、次硝酸ビスマス等の金属塩などが挙げられる。光散乱性粒子は、吐出安定性に優れる観点及び外部量子効率の向上効果により優れる観点から、酸化チタン、アルミナ、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム及びシリカからなる群より選択される少なくとも１種を含むことが好ましく、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛及びチタン酸バリウムからなる群より選択される少なくとも１種を含むことがより好ましい。
【００５１】
光散乱性粒子の形状は、球状、フィラメント状、不定形状等であってよい。使用する光散乱性粒子の平均粒子径（体積平均径）は、０．０５μｍ以上であってよく、１．０μｍ以下であってもよい。使用する光散乱性粒子の平均粒子径（体積平均径）は、例えば透過型電子顕微鏡又は走査型電子顕微鏡により各粒子の粒子径を測定し、体積平均径を算出することにより得られる。
【００５２】
光散乱性粒子２６は、第１の変換層２１ａ及び第２の変換層２１ｂにおける光散乱性粒子と同一であっても異なっていてもよい。
【００５３】
第３の画素部２０ｃにおいて、拡散層２５の光の出射面側の面上には、４２０〜４８０ｎｍの範囲の波長の光を透過し、かつその他の波長の光を吸収する第３の着色層２４ｃが設けられている。第３の着色層２４ｃは、４２０〜４８０ｎｍの範囲の波長の光を透過し、かつその他の波長の光を吸収する第３の色材と、第３の色材を分散させる樹脂とを含む。第３の色材は、青色色材である。青色色材としては、例えば、ε型銅フタロシニアン顔料及びカチオン性青色有機染料からなる群より選ばれる少なくとも１種を用いることができる。
【００５４】
画素部（第１の画素部２０ａ、第２の画素部２０ｂ及び第３の画素部２０ｃ）の厚さは、例えば、１μｍ以上であってよく、２μｍ以上であってもよく、３μｍ以上であってもよい。画素部（第１の画素部２０ａ、第２の画素部２０ｂ及び第３の画素部２０ｃ）の厚さは、例えば、３０μｍ以下であってよく、２０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以下であってもよい。
【００５５】
反射膜３０は、可視光領域（波長：３８０〜７５０ｎｍの全域）の光に対する反射率が、５０％以上である膜である。可視光領域の光に対する反射率は、分光反射率測定装置により測定される値として定義される。
【００５６】
反射膜３０は、バンク１０の側面（画素部２０と接する面）の少なくとも一部に設けられており、バンク１０の側面の全部に設けられていてもよく、カラーフィルタにおける光の変換効率を向上させることができる観点から、好ましくは、バンク１０の側面の全部に設けられている。
【００５７】
反射膜３０を構成する材料としては、金属等が挙げられる。反射膜３０は、１種単独の金属で形成されていてよく、２種以上の金属を含む合金で形成されていてもよい。金属は、例えば、アルミニウム、ネオジム、銀、ロジウム、これらの合金で形成されていてよい。金属は、アルミニウムを含むことが好ましい。反射膜３０は、アルミニウムを含む金属で形成されていることが好ましく、アルミニウムと、その他の金属とを含む金属で形成されていることがより好ましく、アルミニウムと、ネオジムとを含む金属で形成されていることが更に好ましい。
【００５８】
反射膜３０の膜厚は、５０ｎｍ以上、１００ｎｍ以上又は１５０ｎｍ以上であってよく、３００ｎｍ以下、２５０ｎｍ以下又は２００ｎｍ以下であってもよい。反射膜の膜厚は、触針式段差計、白色干渉式膜厚計、電子顕微鏡により測定される。
【００５９】
反射膜３０が設けられていることにより、入射光が反射膜３０によって反射され、発光性ナノ結晶粒子２２ａ，２２ｂで吸収及び変換される確率が向上する。加えて、発光性ナノ結晶粒子２２ａ，２２ｂによって波長が変換された光（変換光）が反射膜３０によって反射され、カラーフィルタ１００の外部に出射される確率（出射光の量）も向上する。したがって、反射膜３０が設けられていることによって、反射膜が設けられていない場合に比べて、バンク１０による光（入射光及び変換光）の吸収が抑制されるため、カラーフィルタにおける光の変換効率を向上させることができる。
【００６０】
バリア層４０の材質としては、例えば、ＳｉＮｘ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３が挙げられる。バリア層４０の厚さは、０．０１μｍ以上、０．１μｍ以上、又は０．５μｍ以上であってよく、１０μｍ以下、５μｍ以下、又は１μｍ以下であってよい。
【００６１】
基材５０は、光透過性を有する透明基材であり、例えば、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の透明なガラス基板、透明樹脂フィルム、光学用樹脂フィルム等の透明なフレキシブル基材などを用いることができる。これらの中でも、ガラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスからなるガラス基板を用いることが好ましい。具体的には、コーニング社製の「７０５９ガラス」、「１７３７ガラス」、「イーグル２０００」及び「イーグルＸＧ」、ＡＧＣ株式会社製の「ＡＮ１００」、日本電気硝子株式会社製の「ＯＡ−１０Ｇ」及び「ＯＡ−１１」が好適である。これらは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定性及び高温加熱処理における作業性に優れる。
【００６２】
以上の変換層２１ａ，２１ｂを備えるカラーフィルタ１００は、４２０〜４８０ｎｍの範囲の波長の光を発する光源を用いる場合に好適に用いられる。
【００６３】
カラーフィルタ１００は、例えば、以下の方法により製造される。まず、基材５０上にバンク１０をパターン状に形成した後、基材５０及びバンク１０上に反射膜３０を形成させる。画素部形成領域、バンクの上底（バンクの基材に接する面とは反対側の面）等の反射膜３０の形成を不要とする領域に形成された反射膜３０を除去する。基材５０上のバンク１０によって区画された画素部形成領域に、顔料と、硬化性成分とを含有する着色層形成用のインク組成物をインクジェット方式により選択的に付着させ、活性エネルギー線の照射により着色層形成用のインク組成物を硬化させる。画素部形成領域に設けられた着色層２４上に、発光性ナノ結晶粒子と、硬化性成分（熱又は光によって硬化する成分）とを含有する、変換層形成用のインク組成物（インクジェットインク）、又は光散乱性粒子と、硬化性成分と、を含有する拡散層形成用のインク組成物をインクジェット方式により選択的に付着させ、活性エネルギー線の照射によりインク組成物を硬化させる。
【００６４】
着色層２４は、基材上のバンクによって区画された画素部形成領域に形成されていなくてもよい。この場合、基材５０上のバンク１０によって区画された画素部形成領域に、インク組成物をインクジェット方式により選択的に付着させ、活性エネルギー線の照射によりインク組成物を硬化させることで、基材５０の光の入射面側の面上に、変換層２１又は拡散層２５が設けられる。
【００６５】
バンク１０を形成させる方法は、基材５０の一面側の複数の画素部２０間の境界となる領域に、クロム等の金属薄膜、又は、樹脂を含有させた樹脂組成物の薄膜を形成し、この薄膜をパターニングする方法等が挙げられる。金属薄膜は、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法等により形成することができ、樹脂を含有させた樹脂組成物の薄膜は、例えば、塗布、印刷等の方法により形成することができる。パターニングを行う方法としては、フォトリソグラフィ法等が挙げられる。
【００６６】
インクジェット方式としては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたバブルジェット（登録商標）方式、或いは圧電素子を用いたピエゾジェット方式等が挙げられる。
【００６７】
インク組成物の硬化を活性エネルギー線（例えば紫外線）の照射により行う場合、例えば、水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ＬＥＤ等を用いてよい。照射する光の波長は、例えば、２００ｎｍ以上であってよく、４４０ｎｍ以下であってよい。露光量は、例えば、１０ｍＪ／ｃｍ２以上であってよく、４０００ｍＪ／ｃｍ２以下であってよい。
【００６８】
反射膜３０の形成が不要な領域から反射膜３０を除去する方法としては、例えば、ウェットエッチング法、ドライエッチング法、リフトオフ法が挙げられる。
【００６９】
バリア層４０は、化学気相成長法（ＣＶＤ）、原子層堆積法（ＡＬＤ）、蒸着法、スパッタ法等により形成することができる。
【００７０】
カラーフィルタ１００における開口率（カラーフィルタ１００を光の入射方向とは正反対の方向から見たときにカラーフィルタ１００全体に対して画素部２０が占める面積の割合）は、例えば、６０％以上、７０％以上又は８０％以上であってよく、９５％以下、９０％以下又は８５％以下であってよい。
【００７１】
以上、カラーフィルタ及びこれの製造方法の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。
【００７２】
例えば、カラーフィルタ１００は、第３の画素部２０ｃに代えて、第４の樹脂と、第４の樹脂に分散された青色発光性のナノ結晶粒子とを含有する変換層を含む画素部（青色画素部）を備えていてもよい。また、変換層は、赤、緑、青以外の他の色（例えば黄色）の光を発するナノ結晶粒子を含有していてもよい。これらの場合、変換層の各画素部に含有される発光性ナノ結晶粒子のそれぞれは、同一の波長域に吸収極大波長を有することが好ましい。また、変換層は、発光性ナノ結晶粒子以外の色材（顔料や染料）を含有していてもよい。
【００７３】
また、第１の着色層２４ａ、第２の着色層２４ｂ及び第３の着色層２４ｃの一部又は全部は、設けられていなくてもよい。バリア層４０は、設けられていなくてもよい。
【００７４】
また、カラーフィルタは、画素部のバリア層と変換層との間に保護層（オーバーコート層）を備えていてもよい。この保護層は、カラーフィルタを平坦化するとともに、画素部に含有される成分の溶出を防止するために設けられるものである。保護層を構成する材料は、公知のカラーフィルタ用保護層として使用されているもの（例えば、エポキシ樹脂、（メタ）アクリレート樹脂）を使用できる。
【００７５】
また、カラーフィルタの製造では、インクジェット方式ではなく、フォトリソグラフィ方式で画素部を形成してもよい。この場合、まず、基材にインク組成物を層状に塗工し、インク組成物層を形成する。次いで、インク組成物層をパターン状に露光した後、現像液を用いて現像する。このようにして、インク組成物の硬化物からなる画素部が形成される。現像液は、通常アルカリ性であるため、インク組成物の材料としてはアルカリ可溶性の材料が用いられる。ただし、材料の使用効率の観点では、インクジェット方式がフォトリソグラフィ方式よりも優れている。これはフォトリソグラフィ方式では、その原理上、材料のほぼ２／３以上を除去することとなり、材料が無駄になるからである。このため、本実施形態では、インクジェットインクを用い、インクジェット方式により画素部を形成することが好ましい。
【符号の説明】
【００７６】
１０…バンク、２０…画素部、２０ａ…第１の画素部、２０ｂ…第２の画素部、２０ｃ…第３の画素部、２１…変換層、２１ａ…第１の変換層、２１ｂ…第２の変換層、２２ａ…第１の発光性ナノ結晶粒子、２２ｂ…第２の発光性ナノ結晶粒子、２３ａ…第１の樹脂、２３ｂ…第２の樹脂、２３ｃ…第３の樹脂、２４…着色層、２４ａ…第１の着色層、２４ｂ…第２の着色層、２４ｃ…第３の着色層、２５…拡散層、２６…光散乱性粒子、３０…反射膜、４０…バリア層、１００…カラーフィルタ。
【図１】
2020111150.tif 000003
【図２】
2020111150.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】令和2年11月17日(2020.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面から入射した入射光を異なる波長の光に変換して他方の面から出射させるカラーフィルタであって、
前記他方の面から前記一方の面に向けて立設され、複数の開口部を有するバンクと、
前記複数の開口部のそれぞれに設けられた複数の画素部と、
前記バンクの側面の少なくとも一部を覆うように設けられた反射膜と、を備え、
前記複数の画素部は、発光性ナノ結晶粒子を含有する変換層を含む画素部を有し、
前記バンクの幅に対する高さの比は、０．５以上であり、
前記バンクの側面と前記他方の面とがなす角度は、６０〜９０°であり、
前記変換層の前記他方の面側に、前記変換層によって変換された光を透過し、かつ前記入射光を吸収する着色層が設けられている、カラーフィルタ。
【請求項２】
前記変換層の前記一方の面側に、前記変換層を保護するためのバリア層が設けられている、請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
前記発光性ナノ結晶粒子が、コア／シェル構造、又は、コア／シェル／シェル構造を有する、請求項１又は２に記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
前記変換層が、光散乱性粒子を更に含有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のカラーフィルタ。
【国際調査報告】
2020111150.tif 000005
2020111150.tif 000006
2020111150.tif 000007
2020111150.tif 000008