(57)【要約】ロボットは、関節を介して連接された複数のリンクを有するロボットアームと、ロボットアームの先端に手首関節を介して連結されたエンドエフェクタと、撮像範囲に原点姿勢のエンドエフェクタ及びロボットアームの全体が含まれるようにエンドエフェクタ又はロボットアームに取り付けられた撮像装置と、ロボットアーム及び撮像装置の動作を制御するコントローラと、を備える。コントローラは、関節及び手首関節の回転位置を原点位置とさせ、撮像装置に撮像させてその撮像画像を取得し、原点姿勢基準画像と撮像画像とを比較することにより、エンドエフェクタ及びロボットアームの現在姿勢の原点姿勢からの偏差を求め、当該偏差に基づいて原点位置ズレの有無を判断する。
2020045277.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
関節を介して連接された複数のリンクを有するロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に手首関節を介して連結されたエンドエフェクタと、
前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームが所定の原点姿勢にあるときの前記関節及び前記手首関節の回転位置を原点位置とし、撮像範囲に前記原点姿勢の前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームの全体が含まれるように前記エンドエフェクタ又は前記ロボットアームに取り付けられた撮像装置と、
前記ロボットアーム及び前記撮像装置の動作を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記関節及び前記手首関節の回転位置を前記原点位置とさせ、前記撮像装置に撮像させてその撮像画像を取得し、前記原点姿勢の前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームを表した原点姿勢基準画像と前記撮像画像とを比較することにより、前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームの現在姿勢の前記原点姿勢からの偏差を求め、当該偏差に基づいて原点位置ズレの有無を判断する、
ロボット。
【請求項２】
前記コントローラは、
前記原点位置ズレが有ると判断した場合に、前記偏差が解消されるように前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームの姿勢を変化させ、前記撮像装置に撮像させてその撮像画像を取得し、前記撮像画像を前記原点姿勢基準画像と比較することにより、新たな現在姿勢の前記原点姿勢からの偏差を求めることを、当該偏差が実質的にゼロになるまで繰り返し、前記偏差が実質的にゼロになったときの前記関節及び前記手首関節の回転位置を新たな原点位置として記憶する、
請求項１に記載のロボット。
【請求項３】
関節を介して連接された複数のリンクを有するロボットアームと、前記ロボットアームの先端に手首関節を介して連結されたエンドエフェクタと、前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームが所定の原点姿勢にあるときの前記関節及び前記手首関節の回転位置を原点位置とし、撮像範囲に前記原点姿勢の前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームが含まれるように前記エンドエフェクタ又は前記ロボットアームに取り付けられた撮像装置とを備えたロボットの原点位置調整方法であって、
前記関節及び前記手首関節の回転位置を前記原点位置にすること、
前記撮像装置で撮像し、その撮像画像を取得すること、
前記原点姿勢の前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームを表した原点姿勢基準画像と前記撮像画像とを比較することにより、前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームの現在姿勢の前記原点姿勢からの偏差を求めること、及び、
前記偏差に基づいて原点位置ズレの有無を判断すること、を含む、
ロボットの原点位置調整方法。
【請求項４】
前記原点位置ズレが有ると判断された場合に、前記偏差が解消されるように前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームの姿勢を変化させ、前記撮像装置に撮像させてその撮像画像を取得し、前記撮像画像を前記原点姿勢基準画像と比較することにより、新たな現在姿勢の前記原点姿勢からの偏差を求めることを、当該偏差が実質的にゼロになるまで繰り返すこと、及び、
前記偏差が実質的にゼロになったときの前記関節及び前記手首関節の回転位置を新たな原点位置として記憶すること、を更に含む、
請求項３に記載のロボットの原点位置調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の関節を有するロボット及びその原点位置調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、産業用ロボットは、関節を介して連接された複数のリンクを有するロボットアームと、ロボットアームの先端に関節を介して連結されたエンドエフェクタと、ロボットアームを支持する基台と、ロボットアーム及びエンドエフェクタの動作を司るコントローラとを備える。【０００３】
上記のようなロボットは所定の原点姿勢を有し、各関節について原点姿勢における回転位置が原点位置（即ち、０deg）とされる。ところが、ロボットアームやエンドエフェクタが他の物体と衝突したり、ロボットが長年使用されたりするうちに、関節の軸ずれが生じて、各関節を原点位置に復帰させてもロボットが原点姿勢とならないことがある。このような場合には、各関節の原点位置を調整する必要がある。【０００４】
原点位置調整方法の一例として、例えば、特許文献１に開示される原点位置調整に専用の治具を用いる方法が知られている。この方法は、治具を用いてロボットアームやエンドエフェクタを原点姿勢に固定し、その状態の各関節の回転位置を原点位置として記憶するものである。【０００５】
また、原点位置調整方法の一例として、例えば、特許文献２に開示される非接触式センサを使う方法が知られている。この方法は、基台に光源を設け、アームに受光器を設け、光源から照射された光束を受光器で検出できるときを原点姿勢とし、ロボットが原点姿勢にあるときの予め設定された原点位置からのアーム（関節）の回転位置の位置ズレ及び位置ずれ量を算出し、それに基づいてアームの原点位置を較正するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−１５５８６６号公報
【特許文献２】特開平８−９０４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
例えば基板搬送ロボットのように、封止された筐体内で作業するロボットを原点位置調整する際に、上記特許文献１，２に記載されているように原点位置調整に専用の治具やセンサを用いるものにおいては、治具やセンサの着脱を行うために筐体を開放しなくてはならない。また、治具やセンサの着脱のために作業者がロボットに接触すると、そこが汚染される。とりわけ、基板搬送ロボットや医療作業ロボットなどのように汚染を回避すべきロボットにおいては、原点位置調整後の除染が煩雑となる。【０００８】
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、原点位置調整に専用の治具やセンサの着脱を要さずに、自動的に原点位置の調整を行うロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様に係るロボットは、
関節を介して連接された複数のリンクを有するロボットアームと、
前記ロボットアームの先端に手首関節を介して連結されたエンドエフェクタと、
前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームが所定の原点姿勢にあるときの前記関節及び前記手首関節の回転位置を原点位置とし、撮像範囲に前記原点姿勢の前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームの全体が含まれるように前記エンドエフェクタ又は前記ロボットアームに取り付けられた撮像装置と、
前記ロボットアーム及び前記撮像装置の動作を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記関節及び前記手首関節の回転位置を前記原点位置とさせ、前記撮像装置に撮像させてその撮像画像を取得し、前記原点姿勢の前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームを表した原点姿勢基準画像と前記撮像画像とを比較することにより、前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームの現在姿勢の前記原点姿勢からの偏差を求め、当該偏差に基づいて原点位置ズレの有無を判断することを特徴としている。【００１０】
また、本発明の一態様に係るロボットの原点位置調整方法は、
関節を介して連接された複数のリンクを有するロボットアームと、前記ロボットアームの先端に手首関節を介して連結されたエンドエフェクタと、前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームが所定の原点姿勢にあるときの前記関節及び前記手首関節の回転位置を原点位置とし、撮像範囲に前記原点姿勢の前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームが含まれるように前記エンドエフェクタ又は前記ロボットアームに取り付けられた撮像装置とを備えたロボットの原点位置調整方法であって、
前記関節及び前記手首関節の回転位置を前記原点位置にすること、
前記撮像装置で撮像し、その撮像画像を取得すること、
前記原点姿勢の前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームを表した原点姿勢基準画像と前記撮像画像とを比較することにより、前記エンドエフェクタ及び前記ロボットアームの現在姿勢の前記原点姿勢からの偏差を求めること、及び、
前記偏差に基づいて原点位置ズレの有無を判断すること、を含むことを特徴としている。【００１１】
上記ロボット及びその原点位置調整方法では、自身に搭載された撮像装置の撮像画像を利用してエンドエフェクタ及びロボットアームの現在姿勢の原点姿勢からの偏差を求める。そのため、原点位置調整に際し、専用の治具やセンサの着脱を要さず、作業者がロボットに接触する必要がない。よって、封止された空間に設置されたロボットにおいても、任意のタイミングで原点位置調整（原点位置の確認）を行うことができる。また、作業者の手を介さずに、自動的に原点位置の調整を行うことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ロボットにおいて、原点位置調整に専用の治具やセンサの着脱を要さずに、自動的に原点位置の調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るロボットの概略構成を示す図である。
【図２】図２は、図１に示すロボットの制御系統の構成を示す図である。
【図３】図３は、関節の駆動装置の構成を示す図である。
【図４】図４は、原点姿勢基準画像の一例を示す図である。
【図５】図５は、原点位置調整処理のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明の実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。ここでは、本発明を清浄な空間で基板を搬送する基板搬送ロボットに適用して説明する。但し、本発明が適用されるロボットはこれに限定されず、水平多関節型ロボット及び垂直多関節型ロボットを含む、少なくとも１つの関節を有するロボットアームを備えるロボットに広く適用することができる。
【００１５】
〔ロボット７の構成〕
先ず、本実施形態に係るロボット７の構成について説明する。図１は、本実施形態に係るロボット７の概略構成を示す図であり、図２は、図１に示すロボット７の制御系統の構成を示す図である。
【００１６】
図１及び図２に示すように、ロボット７は、ロボットアーム（以下、単に「アーム７１」という）と、アーム７１の手首部に連結されたエンドエフェクタとしての基板保持ハンド（以下、単に「ハンド７２」という）と、アーム７１を支持する基台７３と、アーム７１又はハンド７２に取り付けられた撮像装置９と、コントローラ８とを備える。
【００１７】
アーム７１は、関節Ｊ１，Ｊ２を介して連接された複数のリンク７０，７５，７６を有する。複数のリンクは、基台７３に昇降可能に支持された昇降リンク７０と、少なくとも１本の水平なリンク７５，７６とを含む。本実施形態に係るアーム７１では、昇降リンク７０の上端に第１リンク７５の基端が第１関節Ｊ１を介して連結され、第１リンク７５の先端に第２リンク７６の基端が第２関節Ｊ２を介して連結されている。第２リンク７６の先端には、ハンド７２の基端が手首関節Ｊ３を介して連結されている。第１関節Ｊ１、第２関節Ｊ２、及び手首関節Ｊ３は、２つの要素を垂直な軸線回りに回動可能に連接する関節である。
【００１８】
ハンド７２は、アーム７１の先端と連結されたハンド基部５１と、ハンド基部５１と結合されたブレード５２とを備える。ブレード５２には、基板６を保持するための保持装置（図示略）が設けられている。この保持装置は、ブレード５２に載置された基板６を嵌合、吸着、挟持、又は他の態様でブレード５２から落脱しないようにするものであってよい。
【００１９】
第１リンク７５内には、第１関節Ｊ１を駆動する第１関節駆動装置６１、及び、第２関節Ｊ２を駆動する第２関節駆動装置６２が設けられている。第２リンク７６内には手首関節Ｊ３を駆動する手首関節駆動装置６３が設けられている。各関節Ｊ１〜Ｊ３の駆動装置６１〜６３は、実質的に同じ構造を有している。即ち、図３に示すように、関節Ｊ１〜Ｊ３の駆動装置６１〜６３は、コントローラ８から与えられる信号に従って角変位するサーボモータＭ１〜Ｍ３と、減速装置Ｒ１〜Ｒ３を含みサーボモータＭ１〜Ｍ３の動力をリンク７５，７６（又はハンド７２）に伝達する動力伝達機構Ｔ１〜Ｔ３と、サーボモータＭ１〜Ｍ３の角変位を検出する位置検出器Ｅ１〜Ｅ３とを含む。なお、図３では、駆動装置６１〜６３を代表して駆動装置６２が示されており、駆動装置６１では図３中のＭ，Ｒ，Ｔ，Ｅに附帯する数字を１に読み替え、駆動装置６３では図３中のＭ，Ｒ，Ｔ，Ｅに附帯する数字を３に読み替えることにより、各駆動装置６１〜６３の構成が示される。
【００２０】
また、基台７３内には、昇降リンク７０を昇降駆動する昇降駆動装置６０が設けられている。昇降駆動装置６０は、例えば、コントローラ８から与えられる信号に従って角変位するサーボモータＭ０と、減速装置Ｒ０を含みサーボモータの動力を直進力に変換して昇降リンク７０へ伝達する動力伝達機構Ｔ０と、サーボモータＭ０の角変位を検出する位置検出器Ｅ０とを含む。
【００２１】
撮像装置９は、カメラ９１と、カメラ９１の撮像範囲に光を照射する照射装置９２とを含む。撮像装置９は、その撮像範囲に、後述する原点姿勢のアーム７１及びハンド７２の全体が含まれるように、アーム７１又はハンド７２に取り付けられている。本実施形態では、アーム７１や保持される基板６などと干渉しないように、撮像装置９はハンド７２にステーを介して取り付けられているが、撮像装置９はアーム７１に取り付けられていてもよい。また、撮像装置９は、後述する原点位置調整の際に、撮像範囲に原点姿勢のアーム７１及びハンド７２の全体が含まれるような位置へ撮像装置９を変位させるような可動式ステーに支持されていてもよい。
【００２２】
コントローラ８は、アーム７１、ハンド７２、及び撮像装置９の動作を制御する。コントローラ８は、ロボット制御部８１、及び原点位置調整部８２を含む。コントローラ８は、いわゆるコンピュータであって、例えば、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＰＬＣ、ＤＳＰ、ＡＳＩＣ又はＦＰＧＡ等のプロセッサ８ａと、ＲＯＭ、ＲＡＭ等のメモリ８ｂとを有する。メモリ８ｂには、原点位置調整プログラム８０を含むプロセッサ８ａが実行するプログラムが記憶されている。また、メモリ８ｂには、プロセッサ８ａが行う処理に使用されるデータなどが格納されている。コントローラ８では、メモリ８ｂに記憶されたプログラムをプロセッサ８ａが読み出して実行することにより、ロボット制御部８１、原点位置調整部８２として機能するための処理が行われる。なお、コントローラ８は単一のコンピュータによる集中制御により各処理を実行してもよいし、複数のコンピュータの協働による分散制御により各処理を実行してもよい。
【００２３】
コントローラ８のロボット制御部８１は、ロボット７の動作を制御する。より詳細には、ロボット制御部８１は、昇降駆動装置６０、第１関節駆動装置６１、第２関節駆動装置６２、及び、第１手首関節駆動装置６３と電気的に接続されている。ロボット制御部８１は、これらの駆動装置６０〜６３に含まれる位置検出器Ｅ０〜Ｅ３からサーボモータＭ０〜Ｍ３の回転位置を取得し、それらの回転位置と対応するハンド７２のポーズ（位置及び姿勢）と記憶された教示点データとに基づいて、目標ポーズを演算する。更に、ロボット制御部８１は、ハンド７２が目標ポーズとなるようにサーボアンプへ制御指令を出力する。サーボアンプは、制御指令に基づいて各サーボモータＭ０〜Ｍ３に対して駆動電力を供給することにより、ハンド７２が目標ポーズへ移動する。
【００２４】
コントローラ８の原点位置調整部８２は、ロボット７の原点位置を調整する。ロボット７は、所定の原点姿勢を有する。図４は、原点姿勢のロボット７のアーム７１及びハンド７２を撮像装置９で撮像して得た原点姿勢基準画像９５である。なお、図４では撮像装置９を支持するステーは省略されている。図４に示すように、本実施形態において、ロボット７のアーム７１及びハンド７２の原点姿勢は、（ｉ）基台７３に規定された所定の水平な原点基準線Ｌと第１リンク７５の長手方向と第２リンク７６の長手方向とハンド７２の長手方向とが平行であり、（ii）第１リンク７５と第２リンク７６とハンド７２とが平面視で重複し、且つ、（iii）第１関節Ｊ１の回転軸線と第３関節Ｊ３の回転軸線とが同一直線上に配置される姿勢である。原点基準線Ｌは、基台７３や基台７３が設置された床にマークされていてよい。但し、ロボット７の原点姿勢は任意に定められてよい。
【００２５】
例えば工場出荷時のように各関節Ｊ１〜Ｊ３に軸ずれや疲労等が生じていない状態で、ロボット７のアーム７１及びハンド７２が原点姿勢にあるときに、コントローラ８は、撮像装置９にアーム７１及びハンド７２を撮像させ、それを原点姿勢基準画像９５として記憶する。なお、原点姿勢基準画像９５は、原点姿勢のアーム７１及びハンド７２を撮像装置９で撮像して得た画像を擬似的に表したものであってもよい。つまり、原点姿勢基準画像９５は、撮像装置９で撮像して得た画像に限定されず、それを模して作成された画像や、特徴点（例えば輪郭など）の位置を表す画像などであってもよい。
【００２６】
また、各関節Ｊ１〜Ｊ３に軸ずれや疲労等が生じていない状態で、ロボット７のアーム７１及びハンド７２が原点姿勢にあるときに、コントローラ８は、各関節J１〜Ｊ３の回転位置を位置検出器Ｅ１〜Ｅ３から取得し、それらを各関節Ｊ１〜Ｊ３についての原点位置（初期原点位置）として記憶する。
【００２７】
前述の通り、各関節J１〜Ｊ３が原点位置にあるときに、ロボット７のアーム７１及びハンド７２が原点姿勢となるように調整されているが、アーム７１やハンド７２が物体と衝突したり、長期間にわたって継続使用したりすることで関節Ｊ１〜Ｊ３に軸ずれが発生し、各関節Ｊ１〜Ｊ３を原点位置としてもアーム７１及びハンド７２が原点姿勢とならないことがある。原点位置調整部８２は、このような原点位置ズレを検出し、原点位置ズレの程度に応じて原点位置を調整する。以下、図５を参照しながら、原点位置調整方法を説明する。
【００２８】
〔原点位置調整方法〕
原点位置調整処理は、原点位置ズレの検出に係る処理と、原点位置ズレが検出された場合に原点位置ズレが解消されるように原点位置を調整する処理とを含む。図５に示すように、原点位置調整処理を開始したコントローラ８は、先ず、関節J１〜Ｊ３の回転位置が原点位置となるように各駆動装置６１〜６３を動作させる（ステップＳ１）。次に、コントローラ８は、撮像装置９に撮像させる（ステップＳ２）。撮像装置９の撮像範囲には、現在姿勢のアーム７１及びハンド７２が含まれる。
【００２９】
コントローラ８は、撮像装置９から撮像画像を取得し（ステップＳ３）、画像処理によって、撮像画像に含まれるアーム７１及びハンド７２の現在姿勢の、原点姿勢基準画像９５に含まれるアーム７１及びハンド７２の原点姿勢からの偏差を求める（ステップＳ４）。ここで、例えば、コントローラ８は、公知の画像処理方法によって、撮像画像と原点姿勢基準画像９５とを比較してそれらの差分を抽出し、抽出した差分に基づいて現在姿勢の原点姿勢からの偏差を求めてよい。また、例えば、コントローラ８は、画像処理によって、撮像画像に含まれるリンク７５，７６及びハンド７２のプロファイルを抽出し、撮像画像中のリンク７５，７６及びハンド７２の長手方向を特定し、それらの撮像画像中の原点基準線Ｌからの傾きを現在姿勢の原点姿勢からの偏差としてもよい。なお、現在姿勢の原点姿勢からの偏差は、各リンク及びハンドの各々について求められてよい。
【００３０】
コントローラ８は、求めた偏差と予め記憶された閾値とを比較し、偏差が閾値を超える場合には（ステップＳ５でＹＥＳ）、「原点位置ズレ」が有ると判断し、偏差が閾値以下の場合には（ステップＳ５でＮＯ）、「原点位置ズレ」が無いと判断して処理を終了する。
【００３１】
「原点位置ズレ」が検出された場合に（ステップＳ５でＹＥＳ）、続いて原点位置を調整する処理が行われる。コントローラ８は、求めた偏差に基づいて、その偏差が解消されるように駆動装置６１〜６３を動作させることにより、アーム７１及びハンド７２の姿勢を変化させる（ステップＳ６）。コントローラ８は、撮像装置９に撮像させる（ステップＳ７）。撮像装置９の撮像範囲には、新たな現在姿勢のアーム７１及びハンド７２が含まれる。
【００３２】
コントローラ８は、撮像画像を取得し（ステップＳ８）、画像処理によって、撮像画像に含まれるアーム７１及びハンド７２の新たな現在姿勢の、原点姿勢基準画像９５に含まれるアーム７１及びハンド７２の原点姿勢からの偏差を求める（ステップＳ９）。偏差の求め方は、前述の現在姿勢の原点姿勢からの偏差を求める方法と同様であってよい。
【００３３】
コントローラ８は、新たな現在姿勢の原点姿勢からの偏差が実質的にゼロとなるまで（ステップＳ１０でＹＥＳ）、ステップＳ６〜Ｓ９を繰り返す。なお、実質的にゼロには、ゼロと十分に小さな値とが含まれてよい。
【００３４】
コントローラ８は、新たな現在姿勢の原点姿勢からの偏差が実質的にゼロとなれば（ステップＳ１０でＹＥＳ）、そのときの関節J１〜Ｊ３の回転位置を位置検出器Ｅ１〜Ｅ３から取得し（ステップＳ１１）、それらを新たな原点位置として記憶する（ステップＳ１２）、処理を終了する。
【００３５】
以上に説明したように、本実施形態のロボット７は、関節Ｊ１，Ｊ２を介して連接された複数のリンク７０，７５，７６を有するロボットアーム７１と、ロボットアーム７１の先端に手首関節Ｊ３を介して連結されたエンドエフェクタ７２と、エンドエフェクタ７２又はロボットアーム７１に取り付けられた撮像装置９と、ロボットアーム７１及び撮像装置９の動作を制御するコントローラ８とを備える。エンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１が所定の原点姿勢にあるときの関節Ｊ１，Ｊ２及び手首関節Ｊ３の回転位置を原点位置とする。撮像装置９は、撮像範囲に原点姿勢のエンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１の全体が含まれるように、エンドエフェクタ７２又はロボットアーム７１に取り付けられている。
【００３６】
上記コントローラ８は、原点位置調整プログラム８０及び原点姿勢基準画像９５を記憶したメモリ８ｂと、原点位置調整プログラム８０を実行するプロセッサ８ａとを備える。原点位置調整プログラムは、プロセッサ８ａが、関節Ｊ１，Ｊ２及び手首関節Ｊ３の回転位置を原点位置とさせ、撮像装置９に撮像させてその撮像画像を取得し、原点姿勢基準画像９５と撮像画像とを比較することにより、エンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１の現在姿勢の原点姿勢からの偏差を求め、当該偏差に基づいて原点位置ズレの有無を判断するように構成されている。
【００３７】
つまり、上記のコントローラ８は、関節Ｊ１，Ｊ２及び手首関節Ｊ３の回転位置を原点位置とさせ、撮像装置９に撮像させてその撮像画像を取得し、原点姿勢のエンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１を表した原点姿勢基準画像９５と撮像画像とを比較することにより、エンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１の現在姿勢の原点姿勢からの偏差を求め、当該偏差に基づいて原点位置ズレの有無を判断する。
【００３８】
また、本実施形態に係るロボット７の原点位置調整方法は、関節Ｊ１，Ｊ２及び手首関節Ｊ３の回転位置を原点位置にすること、撮像装置９で撮像し、その撮像画像を取得すること、原点姿勢のエンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１を表した原点姿勢基準画像９５と撮像画像とを比較することにより、エンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１の現在姿勢の原点姿勢からの偏差を求めること、及び、偏差に基づいて原点位置ズレの有無を判断すること、を含む。
【００３９】
上記ロボット７及びその原点位置調整方法によれば、ロボット７は自身に搭載された撮像装置９の撮像画像を利用してエンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１の現在姿勢（即ち、原点姿勢）の原点姿勢からの偏差を求める。そのため、原点位置調整に際し、ロボット７は専用の治具やセンサの着脱を要さず、作業者がロボット７に接触する必要がない。よって、例えば基板搬送ロボットのように、封止された空間に設置されたロボット７においても、メンテナンス時に限定されず任意のタイミングで原点位置調整（より詳細には、原点位置の確認）を行うことができる。更に、作業者の手を介さずに、自動的に原点位置の確認を行うことができる。
【００４０】
また、本実施形態に示されるように、上記ロボット７において原点位置調整プログラム８０は、プロセッサ８ａが、原点位置ズレが有ると判断した場合に、偏差が解消されるようにエンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１の姿勢を変化させ、撮像装置９に撮像させてその撮像画像を取得し、撮像画像を原点姿勢基準画像９５と比較することにより、新たな現在姿勢の原点姿勢からの偏差を求めることを、当該偏差が実質的にゼロになるまで繰り返し、偏差が実質的にゼロになったときの関節Ｊ１，Ｊ２及び手首関節Ｊ３の回転位置を新たな原点位置として記憶するように構成されていてよい。
【００４１】
つまり、上記ロボット７においてコントローラ８は、原点位置ズレが有ると判断した場合に、偏差が解消されるようにエンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１の姿勢を変化させ、撮像装置９に撮像させてその撮像画像を取得し、撮像画像を原点姿勢基準画像９５と比較することにより、新たな現在姿勢の原点姿勢からの偏差を求めることを、当該偏差が実質的にゼロになるまで繰り返し、偏差が実質的にゼロになったときの関節Ｊ１，Ｊ２及び手首関節Ｊ３の回転位置を新たな原点位置として記憶してよい。
【００４２】
同様に、上記ロボットの原点位置調整方法が、原点位置ズレが有ると判断された場合に、偏差が解消されるようにエンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１の姿勢を変化させ、撮像装置９に撮像させてその撮像画像を取得し、撮像画像を原点姿勢基準画像９５と比較することにより、新たな現在姿勢の原点姿勢からの偏差を求めることを、当該偏差が実質的にゼロになるまで繰り返すこと、及び、偏差が実質的にゼロになったときの関節Ｊ１，Ｊ２及び手首関節Ｊ３の回転位置を新たな原点位置として記憶すること、を更に含んでいてよい。
【００４３】
上記ロボット７及びその原点位置調整方法によれば、ロボット７は自身に搭載された撮像装置９の撮像画像を利用してエンドエフェクタ７２及びロボットアーム７１の現在姿勢が原点姿勢と一致するように関節Ｊ１，Ｊ２及び手首関節Ｊ３を動作させ、新たな原点位置（即ち、調整された原点位置）を得る。このように、原点位置調整に際し、ロボット７は専用の治具やセンサの着脱を要さず、作業者がロボットに接触する必要がない。よって、例えば基板搬送ロボットのように、封止された空間に設置されたロボット７においても、メンテナンス時に限定されず任意のタイミングで原点位置調整を行うことができる。更に、作業者の手を介さずに、自動的に原点位置の調整を行うことができる。
【００４４】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明の思想を逸脱しない範囲で、上記実施形態の具体的な構造及び／又は機能の詳細を変更したものも本発明に含まれ得る。
【符号の説明】
【００４５】
６      ：基板
７      ：ロボット
８      ：コントローラ
８ａ    ：プロセッサ
８ｂ    ：メモリ
９      ：撮像装置
５１    ：ハンド基部
５２    ：ブレード
６０〜６３  ：駆動装置
７０，７５，７６  ：リンク
７１    ：ロボットアーム
７２    ：ハンド（エンドエフェクタの一例）
７３    ：基台
８０    ：原点位置調整プログラム
８１    ：ロボット制御部
８２    ：原点位置調整部
９１    ：カメラ
９２    ：照射装置
Ｅ０〜Ｅ３  ：位置検出器
J１〜Ｊ３  ：関節
Ｌ      ：原点基準線
Ｍ０〜Ｍ３  ：サーボモータ
Ｒ０〜Ｒ３  ：減速装置
Ｔ０〜Ｔ３  ：動力伝達機構
【図１】
2020045277.tif 000003
【図２】
2020045277.tif 000004
【図３】
2020045277.tif 000005
【図４】
2020045277.tif 000006
【図５】
2020045277.tif 000007
【国際調査報告】
2020045277.tif 000008
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