(57)【要約】ロードポートの第１側において当該ロードポートの開口部と結合された基板のキャリアに対し、ロードポートを介して第１側と反対の第２側から開口部を通じて基板の受け渡しを行う基板搬送ロボットであって、基板を保持するハンドと、ハンドと連結され当該ハンドを変位させるロボットアームと、ハンド又はロボットアームに取り付けられた撮像装置と、ロボットアーム及び撮像装置の動作を制御するコントローラと、を備える。コントローラは、撮像装置で第２側から撮像した開口部の周縁及び当該開口部に結合されたキャリアを含む撮像画像を取得し、撮像画像を画像処理することにより、キャリアの結合位置の所定の基準結合位置からの偏差を検出する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロードポートの第１側において当該ロードポートの開口部と結合された基板のキャリアに対し、前記ロードポートを介して前記第１側と反対の第２側から前記開口部を通じて前記基板の受け渡しを行う基板搬送ロボットであって、
前記基板を保持するハンドと、
前記ハンドと連結され当該ハンドを変位させるロボットアームと、
前記ハンド又は前記ロボットアームに取り付けられた撮像装置と、
前記ロボットアーム及び前記撮像装置の動作を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記撮像装置で前記第２側から撮像した前記開口部の周縁及び当該開口部に結合された前記キャリアを含む撮像画像を取得し、前記撮像画像を画像処理することにより、前記キャリアの結合位置の所定の基準結合位置からの偏差を検出する、
基板搬送ロボット。
【請求項２】
前記コントローラは、前記ロボットアームが前記キャリアに対し前記基板を受け渡す際に前記偏差を加味して前記ロボットアームの動作を調整する、
請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
前記偏差は、前記開口部に規定された基準水平ラインからの前記キャリアの水平ラインの傾きを含む、
請求項１又は２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記偏差は、前記開口部の水平方向の端部からの前記キャリアの水平方向の端部の距離を含む、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の基板搬送ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロードポートと結合された基板のキャリアに対し基板の受け渡しを行う基板搬送ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板のキャリアのクランプ、キャリアのドッキング及びアンドッキング、並びに、キャリアのドアの開閉などを行うロードポートが知られている。このようなロードポートは、例えば、キャリアと基板処理装置とのインターフェースであるＥＦＥＭ（Equipment  Front  End  Module）に設けられる。【０００３】
特許文献１では、設備のカセットステージへカセット（キャリア）を自動搬送する自動搬送システムが開示されている。この自動搬送システムは、カメラとハンドとを備えた自動搬送車と、カメラでステージの画像を取り込んで処理することによりステージ上のカセットの有無を検出する画像認識手段と、カセット及びその他の障害物が無ければハンドにカセットをステージへ移載させる制御手段とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１９５９２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載のように、キャリアをロードポートのステージへ自動搬送すると、ステージ上の所定の載置基準位置と実際のキャリアの載置位置とに差異が生じることがある。このような状態でキャリアがロードポート開口部とドッキングされると、所定の基準結合位置と実際のキャリアの結合位置とに差異が生じることがある。キャリアとの基板の受け渡しは基板搬送ロボットが行う。基板搬送ロボットは、キャリアに対し正確に基板を受け渡しするために、キャリアの結合位置のズレを認識しておく必要がある。【０００６】
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、ロードポートに結合されたキャリアの結合位置のズレを基板搬送ロボットで検出する技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る基板搬送ロボットは、
ロードポートの第１側において当該ロードポートの開口部と結合された基板のキャリアに対し、前記ロードポートを介して前記第１側と反対の第２側から前記開口部を通じて前記基板の受け渡しを行う基板搬送ロボットであって、
前記基板を保持するハンドと、
前記ハンドと連結され当該ハンドを変位させるロボットアームと、
前記ハンド又は前記ロボットアームに取り付けられた撮像装置と、
前記ロボットアーム及び前記撮像装置の動作を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記撮像装置で前記第２側から撮像した前記開口部の周縁及び当該開口部に結合された前記キャリアを含む撮像画像を取得し、前記撮像画像を画像処理することにより、前記キャリアの結合位置の所定の基準結合位置からの偏差を検出することを特徴としている。【０００８】
上記基板搬送ロボットによれば、ロボット自身に搭載された撮像装置で撮像した画像に基づいて、ロードポートに対するキャリアの結合位置のズレを検出することができる。この検出結果は、基板搬送ロボットのキャリアに対する基板の受け渡しの動作に反影させることができる。また、１台の基板搬送ロボットで、複数のロードポートに対して同様にキャリアの結合位置のズレを検出することができる。更に、ロードポートやキャリアの規格を問わず、同様にロードポートに対するキャリアの結合位置のズレを検出することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ロードポートに結合されたキャリアの結合位置のズレを基板搬送ロボットで検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る基板搬送ロボットを含む基板処理設備の概略構成を示す図である。
【図２】図２は、図１に示すロードポートの概略構成を示す図である。
【図３】図３は、図１に示す基板搬送ロボットの制御系統の構成を示す図である。
【図４】図４は、撮像画像の例１を示す図である。
【図５】図５は、撮像画像の例２を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
〔基板処理設備１００の概略構成〕
以下に本発明の実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板搬送ロボット７を含む基板処理設備１００の概略構成を示す図であり、図２は、図１に示すロードポート２の概略構成を示す図である。図１に示す基板処理設備１００は、ロードポート２、基板移載装置３、及び基板処理装置４を備える。
【００１２】
基板移載装置３は、基板のキャリア１６と基板処理装置４とのインターフェースである。キャリア１６は、内部に基板６を箱状の容器１５と、容器１５の開口部を密閉する蓋１７とを備える。キャリア１６の内部壁面には、基板６を載置するための棚板１８が鉛直方向に所定の間隔をあけて複数設けられている。
【００１３】
基板移載装置３は、内部に移載室３０が形成された筐体３１、及び、筐体３１の天井に設置されたファンフィルタユニット５を有する。ファンフィルタユニット５から移載室３０の内部に供給された清浄な空気は、移載室３０内を下向きに流れ、移載室３０の床面から装置外部へと排出される。このような清浄空気の供給により、移載室３０内は外部雰囲気よりも高圧に維持され、高清浄雰囲気に保たれている。
【００１４】
基板移載装置３の筐体３１内には、キャリア１６から基板６を受け取って基板処理装置４へ渡し、また、基板処理装置４から基板６を受け取ってキャリア１６へ渡す、基板搬送ロボット７が設けられている。基板搬送ロボット７については後ほど詳述する。
【００１５】
基板移載装置３の筐体３１の側面には、基板処理装置４が接続されている。基板処理装置４は、熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理、及び、平坦化処理の少なくとも１つ以上のプロセス処理を基板に施す装置であってよい。基板処理装置４は、例えば、基板６を真空空間へ導入するロードロックチャンバ４１、基板６を処理するプロセスチャンバ４３、及び、ロードロックチャンバ４１とプロセスチャンバ４３との間で基板６を受け取って搬入・搬出するトランスファチャンバ４２の複数の真空チャンバを有する。基板移載装置３は、ロードロックチャンバ４１に対し、基板の受け渡しを行う。但し、基板処理装置４の構成は上記に限定されない。
【００１６】
基板移載装置３の筐体３１の基板処理装置４の接続された側面と反対側の側面には、少なくとも１つのロードポート２が設けられている。ロードポート２は、筐体３１の側面の一部分を形成している。
【００１７】
図１及び図２に示すように、ロードポート２は、キャリア１６が載置されるステージ２１と、基板６の受渡口であるポート開口部２２が設けられたプレート２３と、ポート開口部２２を開閉するドア２４と、ステージ２１をポート開口部２２に対して前進・後退移動させるステージ駆動装置２９と、ドア２４を昇降動作させるドア駆動装置２８とを備える。
【００１８】
ステージ２１には、キャリア１６を所定の載置基準位置に位置決めする位置決めピン２１１が設けられている。この位置決めピン２１１が、キャリア１６の底部に設けられた位置決め穴に嵌ることによって、キャリア１６がステージ２１に位置決めされる。但し、位置決め穴は長穴であって、キャリア１６にステージ２１に対して若干の位置ズレが生じることがある。
【００１９】
ステージ２１は、ステージ駆動装置２９によって往復移動させられる。ステージ駆動装置２９は、例えば、モータ２９１と、モータ２９１に駆動される送りネジ２９２とを備える。送りネジ２９２が正転・逆転することによって、ステージ２１がポート開口部２２に対して前進・後退移動する。ステージ２１の前進移動に伴って、キャリア１６がポート開口部２２（ドア２４）に向かって前進移動すると、キャリア１６の蓋１７とドア２４とが当接する。これにより、キャリア１６の開口縁に形成されたフランジ１９と、ポート開口部２２の周囲に設けられたフランジパネル２７とが当接し、キャリア１６とプレート２３とが結合（ドッキング）される。
【００２０】
ドア２４は、蓋１７に対して吸着力による一体化と位置決めを行うためのレジストレーションピン２４１と、ラッチキー２４２とを有する。ラッチキー２４２を蓋１７に備えられたラッチキー穴（図示略）と嵌合させてロック解除方向に回転させることにより、蓋１７がロック解除状態に切り替えられるとともに、蓋１７とドア２４とが一体化される。また、ラッチキー２４２を蓋１７に備えられたラッチキー穴（図示略）と嵌合させてロック方向に回転させることにより、蓋１７がロック状態に切り替えられるとともに、蓋１７とドア２４との一体化が解除される。
【００２１】
ドア２４と蓋１７とが一体化されたのち、ドア２４がキャリア１６に対し離間する方向へ移動することによって、キャリア１６から蓋１７が分離される。ドア２４は、ブラケット２８５を介してドア駆動装置２８に取り付けられている。ドア駆動装置２８は、例えば、昇降用モータ２８１と、昇降用モータ２８１に駆動される送りネジ２８２と、並進用モータ２８３と、並進用モータ２８３に駆動される並進用送りネジ２８４とを備える。昇降用送りネジ２８２はブラケット２８５に螺入しており、昇降用送りネジ２８２の正転・逆転により、ドア２４が昇降・降下する。並進用送りネジ２８４は昇降用モータ２８１を保持しているブラケット２８６に螺入しており、並進用送りネジ２８４の正転・逆転により、ドア２４がポート開口部２２に対して前進・後退する。上記ドア駆動装置２８では、蓋１７と一体化したドア２４がポート開口部２２から後退してから降下することによって、蓋１７及びドア２４がポート開口部２２から退避し、キャリア１６内と移載室３０とがポート開口部２２を通じて連通される。
【００２２】
〔基板搬送ロボット７の構成〕
次に、基板搬送ロボット７の構成について詳細に説明する。図３は、図１に示す基板搬送ロボット７の制御系統の構成を示す図である。
【００２３】
図１及び図３に示すように、基板搬送ロボット７は、ロボットアーム（以下、単に「アーム７１」という）と、アーム７１の手首部に連結された基板保持ハンド（以下、単に「ハンド７２」という）と、アーム７１を支持する基台７３と、アーム７１又はハンド７２に搭載された撮像装置９と、ロボットコントローラ８とを備える。本実施形態に係るアーム７１は水平多関節型ロボットアームであるが、アーム７１はこれに限定されない。
【００２４】
アーム７１は、基台７３に支持された昇降軸７０と、少なくとも１本のリンク７５，７６とを備える。本実施形態に係るアーム７１では、昇降軸７０の上端に第１リンク７５の基端が第１関節Ｊ１を介して連結され、第１リンク７５の先端に第２リンク７６の基端が第２関節Ｊ２を介して連結されている。第２リンク７６の先端には、ハンド７２の基端が第１手首関節Ｊ３及び第２手首関節Ｊ４を介して連結されている。第１関節Ｊ１、第２関節Ｊ２、及び第１手首関節Ｊ３は、２つの要素を垂直な軸線回りに回動可能に連接する関節である。また、第２手首関節Ｊ４は、２つの要素を水平な軸線回りに回動可能に連接する関節である。
【００２５】
ハンド７２は、アーム７１の先端と連結されたハンド基部５１と、ハンド基部５１と結合されたブレード５２とを備える。ブレード５２には、基板６を保持するための保持装置（図示略）が設けられている。この保持装置は、ブレード５２に載置された基板６を嵌合、吸着、挟持、又は他の態様でブレード５２から落脱しないようにするものであってよい。
【００２６】
基台７３内には、昇降軸７０を昇降駆動する昇降駆動装置６０が設けられている。昇降駆動装置６０は、例えば、コントローラ８から与えられる信号に従って角変位するサーボモータと、減速装置を含みサーボモータの動力を直進力に変換して昇降軸７０へ伝達する動力伝達機構と、サーボモータの角変位を検出する位置検出器とを含む（いずれも図示略）。第１リンク７５内には、第１関節Ｊ１を駆動する第１関節駆動装置６１、及び、第２関節Ｊ２を駆動する第２関節駆動装置６２が設けられている。第２リンク７６内には第１手首関節Ｊ３を駆動する第１手首関節駆動装置６３が設けられている。ハンド基部５１内には、第２手首関節Ｊ４を駆動する第２手首関節駆動装置６４が設けられている。各関節Ｊ１〜Ｊ４の駆動装置６１〜６４は、コントローラ８から与えられる信号に従って角変位するサーボモータと、減速装置を含みサーボモータの動力をリンク体に伝達する動力伝達機構と、サーボモータの角変位を検出する位置検出器とを含む（いずれも図示略）。
【００２７】
撮像装置９は、カメラ９１と、カメラ９１の撮像範囲に光を照射する照射装置９２とを含む。本実施形態ではハンド基部５１に撮像装置９が取り付けられているが、撮像装置９はアーム７１に取り付けられていてもよい。カメラ９１はハンド７２と一体的に、アーム７１によって移動させられる。
【００２８】
コントローラ８は、基板搬送ロボット７の動作を司る。コントローラ８は、ロボット制御部８１、及びキャリア位置調整部８２を含む。コントローラ８は、いわゆるコンピュータであって、例えば、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＰＬＣ、ＤＳＰ、ＡＳＩＣ又はＦＰＧＡ等のプロセッサ８ａと、ＲＯＭ、ＲＡＭ等のメモリ８ｂとを有する。メモリ８ｂには、キャリア位置調整プログラムを含むプロセッサ８ａが実行するプログラムが記憶されている。また、メモリ８ｂには、プロセッサ８ａが行う処理に使用されるデータなどが格納されている。コントローラ８では、メモリ８ｂに記憶されたプログラムをプロセッサ８ａが読み出して実行することにより、ロボット制御部８１、キャリア位置調整部８２として機能するための処理が行われる。なお、コントローラ８は単一のコンピュータによる集中制御により各処理を実行してもよいし、複数のコンピュータの協働による分散制御により各処理を実行してもよい。
【００２９】
コントローラ８のロボット制御部８１は、基板搬送ロボット７の動作を制御する。より詳細には、ロボット制御部８１は、昇降駆動装置６０、第１関節駆動装置６１、第２関節駆動装置６２、第１手首関節駆動装置６３、及び、第２手首関節駆動装置６４と電気的に接続されている。ロボット制御部８１は、これらの駆動装置に含まれる位置検出器からサーボモータの回転位置を取得し、それらの回転位置と対応するハンド７２のポーズ（位置及び姿勢）と記憶された教示点データとに基づいて、目標ポーズを演算する。更に、ロボット制御部８１は、ハンド７２が目標ポーズとなるようにサーボアンプへ制御指令を出力する。サーボアンプは、制御指令に基づいて各サーボモータに対して駆動電力を供給することにより、ハンド７２が目標ポーズへ移動する。
【００３０】
コントローラ８のキャリア位置調整部８２は、ロードポート２と結合されたキャリア１６の位置ズレを検出し、それを基板搬送ロボット７の動作に反影させる。以下、基板搬送ロボット７によって行われるキャリア位置調整処理について説明する。
【００３１】
キャリア位置調整処理は、ロードポート２にキャリア１６が結合され、且つ、ポート開口部２２を通じてキャリア１６と移載室３０とが連通された状態で行われる。但し、キャリア１６内の基板６の有無は問わない。
【００３２】
先ず、コントローラ８はアーム７１を動作させて、撮像範囲にポート開口部２２の周縁及びポート開口部２２に結合されたキャリア１６が入るように、カメラ９１を移動させる。
【００３３】
次に、コントローラ８は、カメラ９１にポート開口部２２の周縁及び当該ポート開口部２２に結合されたキャリア１６を撮像させて、その撮像画像を取得する。なお、カメラ９１は、ロードポート２のキャリア１６が結合された第１側（基板移載装置３の外側）と当該ロードポート２を介して反対の第２側（基板移載装置３の内側）から、ポート開口部２２及びキャリア１６を撮像する。
【００３４】
続いて、コントローラ８は、取得した撮像画像を画像処理することにより、ロードポート２に規定された所定の基準結合位置からの、キャリア１６の実際の結合位置の偏差を求める。基準結合位置とは、キャリア１６がポート開口部２２に傾きやズレなく結合されているときのキャリア１６の位置をいう。
【００３５】
具体的には、コントローラ８は、撮像画像において、ポート開口部２２の周縁、並びに、ポート開口部２２の内側に写るキャリア１６の内壁、棚板１８（又は、基板６）のプロファイルを抽出する。例えば図４に示すように、コントローラ８は、撮像画像中のポート開口部２２の上縁及び下縁のプロファイルから、撮像画像中のポート開口部２２の水平基準ラインＨＤを特定することができる。また、コントローラ８は、キャリア１６の内壁、棚板１８（又は、基板６）のプロファイルから、撮像画像中のキャリア１６の水平ラインＨを特定することができる。ロードポート２と結合されたキャリア１６が基準結合位置にあるとき、基準水平ラインと水平ラインとは平行となる。コントローラ８は、撮像画像中のポート開口部２２の基準水平ラインからのキャリア１６の水平ラインの傾きを検出し、それを結合位置の偏差（傾きの偏差）とする。
【００３６】
また、例えば図５に示すように、コントローラ８は、ポート開口部２２の水平方向の両端のプロファイルから、撮像画像中のポート開口部２２の左縁ＥＤＬ及び右縁ＥＤＲを特定することができる。コントローラ８は、キャリア１６の内壁、棚板１８（又は、基板６）のプロファイルから、撮像画像中のキャリア１６の左縁ＥＬ及び右縁ＥＲを特定することができる。コントローラ８は、撮像画像中のポート開口部２２の左縁ＥＤＬからのキャリア１６の左縁ＥＬの距離（左縁の開き）と、撮像画像中のポート開口部２２の右縁ＥＤＲからのキャリア１６の右縁ＥＲの距離（右縁の開き）との少なくとも一方を求め、それを結合位置の偏差（左右位置の偏差）とする。ロードポート２と結合されたキャリア１６が基準結合位置にあるとき、左右位置の偏差は予め記憶された所定値となる。
【００３７】
また、コントローラ８は、ロードポート２と結合されたキャリア１６が基準結合位置にあるときの画像を基準画像として記憶しておき、この基準画像と撮像画像とを比較することにより、基準結合位置からのキャリア１６の結合位置の偏差（傾きの偏差及び左右位置の偏差）を検出してもよい。
【００３８】
コントローラ８は、上記のように、傾きの偏差及び左右位置の偏差のうち少なくとも一方の偏差を検出して、偏差が予め記憶された閾値よりも大きい場合には、その偏差を加味して、キャリア１６に対し基板６を受け渡す際のアーム７１の動作を調整する。詳細には、キャリア位置調整部８２は、ロボット制御部８１へ偏差を調整情報として出力する、又は、偏差を調整情報として記憶し、ロボット制御部８１はこの調整情報を加味してアーム７１の動作を制御する。この結果、ハンド７２の目標位置が記憶された（教示された）目標位置に対して、上下又は左右に移動した位置となったり、ブレード５２の主面が傾けられたりする。このように、アーム７１の動作が調整されることによって、ハンド７２でキャリア１６に対し基板６を受け渡す際に、ハンド７２は目的の基板６は棚板１８に対してより正確にアクセスすることができ、ハンド７２と基板６が干渉する事態を回避することができる。
【００３９】
なお、本実施形態に係る基板搬送ロボット７では、アーム７１が第１手首関節Ｊ３（旋回軸）に加えて第２手首関節Ｊ４（回転軸）を有することから、ブレード５２の主面を水平から傾けることによってキャリア１６の傾きの偏差に対し調整することができる。アーム７１の手首軸が回転軸を有しない場合には、ブレード５２の主面を傾けることが難しいため、コントローラ８は、傾きの偏差が予め記憶された閾値よりも大きい場合には、キャリア１６をロードポート２に対して再結合するように報知するように構成されてもよい。
【００４０】
以上に説明したように、本実施形態の基板搬送ロボット７は、ロードポート２の第１側において当該ロードポート２の開口部２２と結合された基板６のキャリア１６に対し、ロードポート２を介して第１側と反対の第２側から開口部２２を通じて基板６の受け渡しを行う基板搬送ロボット７であって、基板６を保持するハンド７２と、ハンド７２と連結され当該ハンド７２を変位させるロボットアーム７１と、ハンド７２又はロボットアーム７１に取り付けられた撮像装置９と、ロボットアーム７１及び撮像装置９の動作を制御するコントローラ８と、を備えるものである。そして、コントローラ８が、撮像装置９で第２側から撮像した開口部２２の周縁及び当該開口部２２に結合されたキャリア１６を含む撮像画像を取得し、撮像画像を画像処理することにより、キャリア１６の結合位置の所定の基準結合位置からの偏差を検出することを特徴としている。
【００４１】
上記基板搬送ロボット７によれば、ロボット自身に搭載された撮像装置９で撮像した画像に基づいて、ロードポート２に対するキャリア１６の結合位置のズレを検出することができる。この検出結果は、基板搬送ロボット７のキャリア１６に対する基板６の受け渡しの動作に反影させることができる。また、１台の基板搬送ロボット７で、複数のロードポート２に対して同様にキャリア１６の結合位置のズレを検出することができる。更に、ロードポート２やキャリア１６の規格を問わず、同様にロードポート２に対するキャリア１６の結合位置のズレを検出することができる。
【００４２】
上記基板搬送ロボット７において、本実施形態に示すように、上記コントローラ８が、ロボットアーム７１がキャリア１６に対し基板を受け渡す際に偏差を加味してロボットアーム７１の動作を調整するように構成されていてよい。
【００４３】
これにより、検出した偏差を加味してロボットアーム７１が動作するので、ハンド７２は目的の基板６に対してより正確にアクセスすることができる。よって、ハンド７２による基板６の受け渡し動作が安定し、ハンド７２が基板６と干渉する事態を回避することができる。
【００４４】
また、上記基板搬送ロボット７において、本実施形態に示すように、偏差が、開口部２２に規定された基準水平ラインからのキャリア１６の水平ラインの傾きを含んでいてよい。
【００４５】
これにより、コントローラ８は、ロードポート２に結合されたキャリア１６が基準結合位置から傾いているかどうかを知ることができる。
【００４６】
また、上記基板搬送ロボット７において、本実施形態に示すように、偏差が、開口部２２の水平方向の端部からのキャリア１６の水平方向の端部の距離を含んでいてよい。
【００４７】
これにより、コントローラ８は、ロードポート２に結合されたキャリア１６が基準結合位置から水平方向（左右方向）に位置ズレしているかどうかを知ることができる。
【００４８】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明の思想を逸脱しない範囲で、上記実施形態の具体的な構造及び／又は機能の詳細を変更したものも本発明に含まれ得る。
【符号の説明】
【００４９】
２      ：ロードポート
３      ：基板移載装置
４      ：基板処理装置
５      ：ファンフィルタユニット
６      ：基板
７      ：基板搬送ロボット
８      ：ロボットコントローラ
８ａ    ：プロセッサ
８ｂ    ：メモリ
９      ：撮像装置
１５    ：容器
１６    ：キャリア
１７    ：蓋
１８    ：棚板
１９    ：フランジ
２１    ：ステージ
２２    ：ポート開口部
２３    ：プレート
２４    ：ドア
２７    ：フランジパネル
２８    ：ドア駆動装置
２９    ：ステージ駆動装置
３０    ：移載室
３１    ：筐体
４１    ：ロードロックチャンバ
４２    ：トランスファチャンバ
４３    ：プロセスチャンバ
５１    ：ハンド基部
５２    ：ブレード
６０〜６５    ：駆動装置
７０    ：昇降軸
７１    ：ロボットアーム
７２    ：ハンド
７３    ：基台
７５，７６：リンク
８１    ：ロボット制御部
８２    ：キャリア位置調整部
９１    ：カメラ
９２    ：照射装置
１００  ：基板処理設備
【図１】
2020045280.tif 000003
【図２】
2020045280.tif 000004
【図３】
2020045280.tif 000005
【図４】
2020045280.tif 000006
【図５】
2020045280.tif 000007
【国際調査報告】
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2020045280.tif 000009
2020045280.tif 000010
2020045280.tif 000011