(57)【要約】  クリーニングシステムにおいて、シートを巻き取る巻取り用モータの負荷を低減することである。  本開示に係るクリーニングシステムにおいては、クリーニング装置の移動方向とシートの送り方向とが逆向きとされる。このように、マスクとクリーニング装置との間に作用する摩擦力の向きとシートの送り方向とが同じになるため、これら摩擦力の向きとシートの送り方向とが逆になる場合に比較して、シートを巻き取る巻取りモータの負荷を低減することが可能となる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーニングシートを送りつつ、クリーニングヘッドにより前記クリーニングシートをスクリーンマスクに押し付けるクリーニング装置と、そのクリーニング装置を、前記スクリーンマスクに沿って移動させる移動装置とを含み、前記スクリーンマスクを前記クリーニングシートを使用して清掃するクリーニングシステムであって、
前記クリーニング装置が、前記クリーニングシートがロール状に巻かれたシートロールを保持するロール保持部と、前記シートロールから引き出されて使用された使用済のクリーニングシートを巻き取る巻取部とを含み、
前記ロール保持部が、前記シートロールを回転駆動させる電動モータを備えず、前記巻取部が、前記使用済のクリーニングシートを巻き取るローラを回転駆動させる電動モータである巻取用モータを備え、
当該クリーニングシステムが、前記移動装置を制御することにより、前記クリーニング装置を、前記クリーニングシートの送り方向と逆方向に移動させる移動制御部を含むクリーニングシステム。
【請求項２】
スクリーンマスクを清掃するクリーニングシステムであって、
(a)長尺のクリーニングシートがロール状に巻かれたシートロールを保持するロール保持部と、(b)前記スクリーンマスクに残存するクリーム状はんだを前記シートロールから引き出された前記クリーニングシートに付着させるクリーニングヘッドと、(ｃ) 前記シートロールから引き出されて使用された使用済の前記クリーニングシートを巻取用の電動モータにより巻き取る巻取部とを備えたクリーニング装置と、
そのクリーニング装置を、前記スクリーンマスクに沿って移動させる移動装置と
を含み、
前記ロール保持部が、前記シートロールを回転駆動させる電動モータを備えないが、前記シートロールを前記スクリーン装置本体に対して回転可能に保持するロールホルダの回転を抑制するブレーキ装置を備え、
当該クリーニングシステムが、前記スクリーンマスクの清掃作動中に、前記ブレーキ装置を制御することにより、前記ロールホルダの回転を、抑制する回転抑制状態と許可する回転許容状態とに切換えるブレーキ制御部を含むクリーニングシステム。
【請求項３】
当該クリーニングシステムが、前記巻取用モータを制御することにより、前記シートロールから引き出される前記クリーニングシートを緩むことなく巻き取る第１巻取用モータ制御部を含む請求項１または２に記載のクリーニングシステム。
【請求項４】
当該クリーニングシステムが、前記クリーニング装置の移動に伴って前記クリーニングシートが送られるように、前記巻取用モータを制御する第２巻取用モータ制御部を含む請求項１ないし３のいずれか１つに記載のクリーニングシステム。
【請求項５】
クリーニングシートを送りつつ、クリーニングヘッドにより前記クリーニングシートをスクリーンマスクに押し付けるクリーニング装置を、前記スクリーンマスクに沿って移動させることにより、前記クリーニングシートを使用して前記スクリーンマスクの清掃を行うクリーニング方法であって、
前記クリーニング装置が、前記クリーニングシートがロール状に巻かれたシートロールを保持するロール保持部と、前記シートロールから引き出されて使用された使用済の前記クリーニングシートを巻き取る巻取部とを含み、
前記ロール保持部が、前記シートロールを回転駆動させる電動モータを備えないで、前記巻取部が、前記使用済のクリーニングシートを巻き取るローラを回転駆動させる電動モータである巻取用モータを備え、
前記クリーニング装置を、前記クリーニングシートの送り方向とは逆向きに移動させることを特徴とするクリーニング方法。
【請求項６】
クリーニングヘッドによりクリーニングシートをスクリーンマスクに押し付けるクリーニング装置を、前記スクリーンマスクに沿って移動させることにより、前記スクリーンマスクの清掃を前記クリーニングシートを使用して行うクリーニング方法であって、
前記クリーニング装置が、前記クリーニングシートが巻かれたシートロールを保持するとともに、前記シートロールを回転駆動する電動モータを備えず、前記シートロールの回転を抑制するブレーキ装置を備えたロール保持部と、前記シートロールから引き出されて使用された使用済の前記クリーニングシートを電動モータである巻取用モータによって巻き取る巻取部とを含み、
前記シートロールの回転を許容した状態で、前記巻取用モータにより前記使用済のクリーニングシートを巻き取りつつ前記クリーニング装置を移動させる第１清掃工程と、
前記ブレーキ装置により前記シートロールの回転が抑制された状態で、前記巻取用モータにより前記使用済のクリーニングシートを巻き取ることなく前記クリーニング装置を移動させる第２清掃工程と
を含むクリーニング方法。
【請求項７】
長尺のクリーニングシートが巻かれたシートロールを保持するロール保持部と、前記シートロールから引き出されたクリーニングシートをスクリーンマスクに押し付けるクリーニングヘッドと、前記シートロールから引き出されて使用された使用済のクリーニングシートを巻き取る巻取部とを備えたクリーニング装置を、前記スクリーンマスクに沿って移動させることにより、前記スクリーンマスクの清掃を行うクリーニング方法であって、
前記スクリーンマスクの清掃中に、前記クリーニング装置を前記巻取部が前記ロール保持部より移動方向の前側に位置する向きに移動させる第１移動工程と、
前記第１移動工程の後に、前記巻取部により前記クリーニングシートを巻き取りつつ、前記クリーニング装置を前記巻取部が前記ロール保持部より移動方向の後側に位置する向きに移動させる第２移動工程と
を含むクリーニング方法。
【請求項８】
前記第１移動工程が、前記ロール保持部に保持された前記シートロールの回転が抑制され、前記巻取部により前記使用済のクリーニングシートが巻き取られることなく行われ、
前記第２移動工程が、前記ロール保持部に保持された前記シートロールの回転が許容され、前記巻取部により前記使用済クリーニングシートが巻き取られつつ行われる請求項７に記載のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、スクリーン印刷機のスクリーンマスクを清掃するクリーニングシステム、クリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、クリーニングシート(以下、単にシートと略称する)を巻き取りながらクリーニング装置をスクリーンマスク(以下、単に、マスクと略称する場合がある)に沿って前進・後退させることにより、マスクに残存するはんだを除去するクリーニングシステムが記載されている。このクリーニングシステムにおいては、区間により、シートの巻き取り速度を変更することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−２３５８４３号公報
【開示の概要】
【０００４】
【開示が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示はクリーニングシステムにおいて、シートを巻き取る巻取り用モータの負荷を低減することである。
【解決手段、作用および効果】
【０００６】
本開示に係るクリーニングシステムにおいては、シートロールを保持するロール保持部に、シートロールを回転駆動する電動モータが設けられていない。また、クリーニング装置の移動方向とシートの送り方向とが逆向きとされる。このように、マスクとシートとの間に作用する摩擦力の向きとシートの送り方向とが同じになるため、摩擦力の向きとシートの送り方向とが逆になる場合に比較して、シートを巻き取る巻取りモータの負荷を低減することが可能となる。なお、特許文献１に記載のクリーニングシステムにおいては、シートロールを回転駆動する電動モータが設けられている。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本開示に係るクリーニングシステムを含むマスク印刷機を概略的に示す側面図である。
【図２】上記マスク印刷機のマスク保持装置を示す平面図である。
【図３】上記クリーニングシステムのクリーニング装置の周辺を示す斜視図である。
【図４】上記クリーニング装置の平面図である。
【図５】上記クリーニング装置を示す側面図（一部断面）である。
【図６】上記クリーニング装置のクリーニングヘッドがマスクの下面に当接した状態を示す図である。
【図７】（７Ａ）、（７Ｂ）上記クリーニング装置によってはんだがシートに移る状態を示す図である。
【図８】（８Ａ）〜（８Ｄ）上記クリーニング装置の作動状態を示す図である。
【図９】（９Ａ）〜（９Ｄ）上記クリーニング装置の別の作動状態を示す図である。
【図１０】前記マスク印刷機の制御装置に記憶されたクリーニング制御プログラムを表すフローチャートである。
【図１１】（１１Ａ），（１１Ｂ）従来のクリーニング装置の作動状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本開示の実施形態に係るクリーニングシステムを備えたマスク印刷機を、図を参照しつつ説明する。
【０００９】
本マスク印刷機は、図１に概略的に示すように、本体１０，回路基板搬送装置１２，回路基板保持装置１４，マスク保持装置１６，スキージ装置１８，クリーニング装置２０および制御装置２２等を含む。
回路基板搬送装置１２は、回路基板３０を搬送するものである。本実施形態においては回路基板３０の搬送方向をｘ方向、水平面内において搬送方向と直交する方向をｙ方向（マスク印刷機の前後方向である）とし、ｘ方向とｙ方向とに直交する方向をｚ方向(上下方向である)とする。
【００１０】
回路基板保持装置１４は、回路基板３０を保持して、昇降させるものである。回路基板保持装置１４により、回路基板３０が、マスク保持装置１６に保持されたスクリーンマスク（以後、マスクと略称する）３２に接近，離間させられる。マスク３２は、本実施形態において、図２に示すように、金属製、例えば、ステンレス製のシート状のものである。マスク３２には、複数の開口３４が形成されている。
【００１１】
マスク保持装置１６は、マスク３２をマスク枠３６に保持し、マスク３２の位置を調整しつつ、マスク３２を水平な姿勢で保持するものである。
【００１２】
スキージ装置１８は、図１に示すように、スキージを移動させることにより、マスク３２にはんだを塗布するものであり、スキージ装置本体４０，一対のスキージヘッド４２，スキージ移動装置４４および一対のスキージ昇降装置４６を含む。一対のスキージヘッド４２には、それぞれ、スキージ４８が保持される。スキージ移動装置４４は、一対のスキージヘッド４２を前後方向（ｙ方向）に移動させるものであり、駆動源としての電動モータ５０、一対のプーリおよびベルトを含む運動変換機構５１、一対のスキージヘッド４２を保持するスライダ５２等を含む。電動モータ５０の回転が運動変換機構５１によりスライダ５２の直線移動に変換される。それにより、一対のスキージ４８が前後方向に移動させられる。スキージ昇降装置４６は、スキージヘッド４２をそれぞれ昇降させるものである。スキージ装置１８において、スキージ４８がスキージ移動装置４４により前後方向に移動させられ、マスク３２の上面５６に載せられたクリーム状はんだ（以後、はんだと略称する）５８を基板３０に印刷する。
【００１３】
図１に示すように、クリーニング装置２０は、印刷装置本体１０の回路基板搬送装置１２および回路基板保持装置１４が設けられた部分とマスク保持装置１６およびスキージ装置１８が設けられた部分との間の部分に設けられている。クリーニング装置２０は、図４〜６に示すように、長尺のクリーニングシートたるクリーニングシート６０（以後、シート６０と略称する。）によってマスク３２の下面６２等を清掃する装置である。
【００１４】
クリーニング装置２０は、移動装置としてのクリーニング装置移動装置６８によって移動させられる。クリーニング装置移動装置６８は、図３に示すように前後方向（ｙ方向）に伸びた一対のガイド６９と、クリーニング装置２０を保持するスライダ７０と、スライダ７０を前後方向（ｙ方向）に移動させるスライダ移動装置７２とを含む。スライダ移動装置７２は、駆動源である電動モータ７４と、電動モータ７４の回転を直線移動に変換してスライダ７０に伝達する運動変換装置７６とを含む。スライダ７０は、一対のガイド６９に係合させられる。クリーニング装置２０はクリーニング装置移動装置６８により、前後方向に移動させられる。また、電動モータ７４である移動用モータ７４は正逆両方向に回転可能なものであり、クリーニング装置２０は移動方向が変更可能とされる。
【００１５】
クリーニング装置２０は、本体７８、ロール保持部８０、巻取部８２、クリーニングヘッド８４、ヘッド昇降装置８６等を含む。クリーニング装置２０において、ロール保持部８０、クリーニングヘッド８４、巻取部８２は、前後方向に並んで位置する。
【００１６】
ロール保持部８０は、本体７８に相対回転可能に保持された一対のロールホルダ９０，９１と、ロールホルダ９０に設けられたブレーキ装置９２とを含む。一対のロールホルダ９０，９１には、シート６０が巻き付けられたシートロール９８が保持される。ブレーキ装置９２は、ロールホルダ９０の回転を抑制することにより、シートロール９８の回転を抑制するものである。ブレーキ装置９２は、ロールホルダ９０と一体的に回転可能に設けられたフランジ９４と、摩擦係合部材９６と、摩擦係合部材９６を、摩擦係合部材９６がフランジ９４の外周面に当接する当接位置とフランジ９４の外周面から離間する離間位置とに移動させる駆動部としてのエアシリンダ９９とを含む。エアシリンダ９９におけるエアの供給状態の制御により、摩擦係合部材９６が当接位置と離間位置との間で移動させられる。摩擦係合部材９６の当接位置において、シートロール９８の回転が抑制される回転抑制状態とされ、離間位置において、シートロール９８の回転が許容される回転許容状態とされる。回転抑制状態において、エアシリンダ９９におけるエアの供給状態の制御により、摩擦係合部材９６のフランジ９４の外周面への押付力が制御されるようにすることができる。また、回転抑制状態には、シートロール９８の回転を阻止する回転阻止状態も含まれる。なお、駆動部９９は、ソレノイドとすること等もできる。また、ロール保持部８０はクリーニングシート６０を繰出す（供給する）繰出し部と称することもできる。
【００１７】
巻取部８２は、本体７８に回転可能に保持された一対の回転軸１０４，１０５と、回転軸１０４を回転駆動する駆動用の電動モータ(巻取用モータと称することができる)１０８とを含む。回転軸１０４，１０５には、巻取用のローラ（例えば、紙管とすることができる）１１０が取り付けられる。シートロール９８から、シート６０の長手方向の一端が繰り出されてクリーニングに使用され、使用済の部分がローラ１１０に巻き取られる。
【００１８】
クリーニングヘッド８４は、中空円筒状を成すものであり、上面が開口する吸着孔１１２を含む。吸着孔１１２には、図示しない吸引管を介して吸引装置（例えば、真空ポンプとすることができる）に接続され、真空ポンプによりはんだが吸引されてシート６０に保持される。また、クリーニングヘッド８４は、ヘッド昇降装置８６であるエアシリンダ８６により昇降可能とされている。エアシリンダ８６へのエアの供給状態の制御により、クリーニングヘッド８４は、クリーニングヘッド８４がマスク３２の下面６２から離間する離間位置（図５参照）と、クリーニングヘッド８４がマスク３２の下面６２にシート６０を介して当接する当接位置(図６参照)とに昇降させられる。マスク３２のクリーニングが行われる場合には、クリーニングヘッド８４は当接位置にある。
【００１９】
制御装置２２は、コンピュータを主体とするものであり、図示しない実行部、記憶部、入出力部等を含む。制御装置２２の入出力部には、図示しない、種々のセンサが接続されるとともに、スキージ駆動装置、移動用モータ７４、巻取用モータ１０８、ブレーキ装置９２のエアシリンダ９９に接続された図示しない電磁弁、ヘッド昇降装置（エアシリンダ）８６に接続された図示しない電磁弁等が接続され、電磁弁の制御により、エアシリンダ９９、８６の作動状態が制御される。
【００２０】
以上のように構成されたマスク印刷機において基板３０にはんだ５８が印刷される。基板３０が、回路基板搬送装置１２によりマスク印刷機に搬入され、回路基板保持装置１４により保持されて上昇させられ、マスク３２の下面６２に接触させられる。そして、一対のスキージ４８の一方が下降させられてマスク３２の上面５６に接触させられ、スキージ移動装置４４によって移動させられる。それにより、はんだ５８が上面５６に沿って移動させられ、はんだ５８が開口３４を通して基板３０に印刷される。印刷終了後、基板３０が、下降させられてマスク３２から離間させられ、回路基板保持装置１４による保持が解除され、回路基板搬送装置１２によりマスク印刷機から搬出される。
【００２１】
印刷が行われる場合には、クリーニング装置２０は、図１に示す退避位置にある。退避位置は、本実施形態においてはマスク印刷機のマスク３２の下方から外れた位置である。ロール保持部８０にはシートロール９８が回転可能に支持され、巻取部８２にはローラ１１０が取り付けられる。
【００２２】
マスク３２のクリーニング時には、一対のスキージ４８はいずれもマスク３２から離間させられる。そして、図６に示すように、クリーニングヘッド８４が、当接位置に上昇させられ、マスク３２の下面６２にシート６０が当接させられる。その状態でクリーニング装置２０がクリーニング装置移動装置６８により退避位置から移動させられ、シート６０がマスク３２の下面６２に沿って移動させられ、マスク３２に残存するはんだが拭き取られる。また、吸引装置により空気が吸引され、クリーニングヘッド８４においてマスク３２に残存するはんだがシート６０の上面に付着させられる。本実施例においては、クリーニング装置２０の移動に伴ってシート６０が巻き取られる場合と、シート６０が巻き取られない場合とがある。
【００２３】
マスク３２のクリーニングが行われる場合には、図１０のフローチャートで表されるクリーニングプログラムが実行される。
ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、ブレーキ装置９２のエアシリンダ９９に接続された電磁弁が制御され、Ｓ２において、巻取り用モータ１０８が制御され、Ｓ３において、移動用モータ７４が制御される。
【００２４】
例えば、ブレーキ装置９２において、エアシリンダ９９の制御により、摩擦係合部材９６が当接位置に位置させられるとともに巻取り用モータ１０８が停止状態とされた場合には、シート６０が巻き取られることはない。摩擦係合部材９６がフランジ９４の外周面に押し付けられることにより、シートロール９８の回転が抑制される回転抑制状態とされる。それにより、シートロール９８の回転が阻止されるため、摩擦力に起因してシート６０が引き出されることを良好に防止することができ、クリーニング装置２０の移動に伴うシート６０のたるみを防止することができる。
【００２５】
また、ブレーキ装置９２において、エアシリンダ９９の制御により、摩擦係合部材９６が離間位置に位置させられ、回転許容状態とされるとともに巻取り用モータ１０８が作動させられた場合には、シート６０が巻き取られる。例えば、クリーニング装置２０の移動方向とシート６０の送り方向とが逆になる場合には、シート６０とマスク３２との間の摩擦力の向きとシート６０の送り方向とが同じになるが、この場合において、巻取り用モータ１０８の回転速度、トルク等の制御により、シート６０がたるまないように巻き取ることができる。また、マスク３２とシート６０との間の摩擦力によりシート６０がシートロール９８から引き出され、巻き取られる場合には、シート６０の送りとクリーニングヘッド８４の移動とがほぼ同期させられると考えられる。換言すると、シート６０の巻取速度とクリーニング装置２０の移動速度とがほぼ対応すると考えられる。
【００２６】
図７に基づいて、クリーニング装置２０の移動に伴ってシート６０が巻き取られる場合について説明する。クリーニング装置２０の移動方向において、巻取部８２がロール保持部８０より後側に位置するため、図７Ａに示すように、クリーニング装置２０の移動方向とシート６０の送り方向とが逆になる。換言すると、シート６０とマスク３２との間に作用する摩擦力の向きとシート６０の送りの向きとが同じになる。そのため、シート６０の送りの向きと摩擦力とが逆になる場合に比較して、巻取用モータ１０８に加えられる負荷を小さくすることができる。また、シートロール９８からシート６０が摩擦力によって引き出されるため、シート６０をクリーニング装置２０の移動に伴って引き出すことができる。
【００２７】
一方、図１１Ａ，１１Ｂに示すように、クリーニング装置２０ａの移動方向とシート６０の送り方向とが同じである場合において、クリーニングヘッド８４ａの吸着孔１１２ａの開口の大きさに対してマスク３２の開口３４が小さい場合等には、クリーニングヘッド８４ａによりシート６０にはんだが保持されても、クリーニングヘッド８４ａの開口３４の壁部３４ｈに向かう移動に伴ってシート６０も壁部３４ｈに向かって移動するため、シート６０に保持されたはんだは、壁部３４ｈに寄せられることになり、開口３４からはんだを除くことが困難な場合がある。
【００２８】
それに対して、本実施例においては、クリーニングヘッド８４が壁部３４ｈに向かって移動させられるのに対して、シート６０は壁部３４ｈから離れる向きに移動させられる。また、クリーニングヘッド８４の移動に伴ってシート６０が送られる。そのため、図７Ｂに示すように、シート６０に保持されたはんだを良好に開口３４から除くことができるのである。
【００２９】
図８に基づいて、クリーニングヘッド８４が移動させられる場合に、シート６０が巻き取られたり、巻き取られなかったりする場合を説明する。本実施例においては、巻取部８２がロール保持部８０より、クリーニング装置２０の移動方向の後側に位置する。
退避位置から図８Ａに示す位置まで、クリーニング装置２０が移動させられても、クリーニングシート６０は巻き取られることがない。マスク３２の開口３４が形成されていない部分、開口３４が形成されるが密度が低い部分、すなわち、高い印刷精度が要求されない部分には、シート６０が巻き取られることなく、クリーニング装置２０が移動させられる。この場合において、ブレーキ装置９２によりシートロール９８の回転が阻止されるため、摩擦力によりシート６０が引き出されるのを良好に防止することができる。
【００３０】
そして、図８Ａに示す位置と図８Ｂに示す位置との間のように、開口３４が小さく、密度が高く（パターンが細かい）、高い印刷精度が要求される部分においては、シート６０が巻き取られつつクリーニング装置２０が移動させられる。シート６０の送り方向とクリーニング装置２０の移動方向とが逆になるため、マスク３２の開口３４の内部に位置するはんだも、下面６２に付着したはんだも良好に除くことができる。
その後、図８Ｃが示すように、シート６０が巻き取られることなくクリーニング装置２０が移動させられる。このように、シート６０は必要な場合に限って巻き取られるため、シート６０の消費量の低減を図ることができる。
【００３１】
図９に基づいて、クリーニング中に、クリーニング装置２０の移動方向が変更される場合について説明する。
例えば、図９Ａが示す位置から図９Ｂが示す位置までの間、シート６０が巻き取られることなくクリーニング装置２０が移動させられる。シート６０の同じ部分を用いてクリーニングが行われる。クリーニング装置２０は、巻取部８２がロール保持部８０よりクリーニング装置２０の移動方向の前側に位置する向きに移動させられる。
図９Ｂに示す位置に達すると、図９Ｃに示すように、シート６０が巻き取られつつクリーニング装置２０が逆向き、すなわち、巻取部８２がロール保持部８０よりクリーニング装置２０の移動方向の後側に位置する向きに移動させられる。前工程（図９Ａに示す位置から図９Ｂに示す位置までの間の移動）において、利用したシート６０の部分が巻き取られ、マスク３２の下面６２には新しいシート６０の部分が当接させられる。また、シート６０を巻き取る際に、クリーニング装置２０の移動方向とシート６０の送り方向とが逆になるため、巻取用モータ１０８に加えられる負荷を軽減しつつ開口３４において前工程において壁部３４ｈに寄せられたはんだを良好に除去することができる。
その後、図９Ｄに示すように、シート６０が巻き取られることなくクリーニング装置２０が逆方向に移動させられる。巻取部８２がロール保持部８０よりクリーニング装置２０の移動方向の前側に位置する。この場合には、シート６０の新しい部分がマスク３２の下面６２に当接することになる。
【００３２】
なお、図９Ｂに示す位置から図９Ｄに示す位置までクリーニング装置２０を移動させることは不可欠ではなく、図９Ｂに示す位置から、図９Ｂに示す位置と図９Ｄに示す位置との中間の位置まで移動させることもできる。また、図９Ｄに示す位置から図９Ｂに示す位置まで、クリーニングヘッド８４を、シート６０がマスク３２から離間する離間位置まで下降させた状態で、クリーニング装置２０を移動させることができる。図９Ｂに示す位置と図９Ｄに示す位置との間の区間を、３回クリーニングする必要性は低いからである。
【００３３】
以上、本実施例においては、クリーニング装置２０、クリーニング装置移動装置６８、制御装置２２のクリーニングプログラムを記憶する部分、実行する部分等によりクリーニングシステムが構成される。また、クリーニングシステムのうち、Ｓ１を記憶する部分、実行する部分等によりブレーキ制御部が構成され、Ｓ２を記憶する部分、実行する部分等により第１巻取用モータ制御部、第２巻取用モータ制御部が構成され、Ｓ３を記憶する部分、実行する部分等により移動制御部が構成される。
また、図７Ａ，図７Ｂに示す実行、図８Ａに示す位置と図８Ｂに示す位置との間、図９Ｂに示す位置と図９Ｃに示す位置との間の実行が第１清掃工程に対応し、退避位置から図８Ａに示す位置との間、図８Ｂに示す位置と図８Ｃに示す位置との間、図９Ａに示す位置と図９Ｂに示す位置との間、図９Ｃに示す位置と図９Ｄに示す位置との間の実行が第２清掃工程に対応する。さらに、図９Ａに示す位置と図９Ｂに示す位置との間、図９Ｃに示す位置と図９Ｄに示す位置との間の実行が第１移動工程に対応し、図９Ｂに示す位置と図９Ｃに示す位置との間の実行が第２移動工程に対応する。
【００３４】
なお、上記実施例においては、クリーニング装置２０の移動方向とシート６０の送り方向とが逆である場合において、シートロール９８の回転が許容される状態において、フランジ９４の外周面から摩擦係合部材９６が離間した状態にあったが、摩擦係合部材９６がフランジ９４の外周面に摺接した状態とすることもできる。エアシリンダ９９のエアの制御により摩擦係合部材９６のフランジ９４に対する押付力の制御により、シートロール９８の回転が多少抑制された状態で、巻取部８２によりシート６０が巻き取られつつ、クリーニング装置２０が移動させられるようにすることができるのである。巻取用モータ１０８に加わる負荷は上記実施例における場合より大きくなるが、巻取用モータ１０８の制御は容易になる。
【００３５】
また、シート６０の送りとクリーニング装置２０の移動とが同期するように、換言すると、クリーニング装置２０の移動に伴ってシート６０が送られるように、巻取用モータ１０８が制御されるようにすることができる。
【００３６】
その他、本開示は、上記実施例の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の形態で実施することができる。
【符号の説明】
【００３７】
２０：クリーニング装置    ２２：制御装置    ３２：マスク    ３４：開口    ６０：シート    ６８：クリーニング装置移動装置    ７４：電動モータ    ７２:送りねじ    ８０：繰出し部    ８２：巻取部    ８４：クリーニングヘッド    ９２：回転抑制装置    ９４:フランジ    ９６：摩擦係合部材    ９８：シートロール    １０８：巻取用モータ    １１０：巻取用ロール    １１２：吸引孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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2020084695.tif 000015
2020084695.tif 000016
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