(57)【要約】  局所的に過熱されることを抑制することができ、信頼性を高めることができる、導電膜付きヒーター基板を提供する。  センサー、カメラ、又は表示デバイスのカバー部材として用いられる導電膜付きヒーター基板１であって、透明基板２と、透明基板２上に配置されており、対向し合っている第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４と、透明基板２上に配置されており、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４に接触している、導電膜５と、を備え、第１のバスバー電極３及び／又は第２のバスバー電極４は、他方のバスバー電極と対向している側の角部３ｃ，４ｃが平面視で傾斜した部分を有する、導電膜付きヒーター基板１。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサー、カメラ、又は表示デバイスのカバー部材として用いられる導電膜付きヒーター基板であって、
透明基板と、
前記透明基板上に配置されており、対向し合っている第１のバスバー電極及び第２のバスバー電極と、
前記透明基板上に配置されており、前記第１のバスバー電極及び前記第２のバスバー電極に接触している、導電膜と、
を備え、
前記第１のバスバー電極及び／又は前記第２のバスバー電極は、他方のバスバー電極と対向している側の角部が平面視で傾斜した部分を有する、導電膜付きヒーター基板。
【請求項２】
前記第１のバスバー電極及び／又は前記第２のバスバー電極は、他方のバスバー電極と対向している側の全ての角部が平面視で傾斜した部分を有する、請求項１に記載の導電膜付きヒーター基板。
【請求項３】
前記第１のバスバー電極及び前記第２のバスバー電極における前記角部の形状が、コーナーカット形状又はＲ形状である、請求項１又は２に記載の導電膜付きヒーター基板。
【請求項４】
前記第１のバスバー電極及び前記第２のバスバー電極における前記角部の形状が、Ｒ形状である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の導電膜付きヒーター基板。
【請求項５】
前記第１のバスバー電極及び前記第２のバスバー電極における前記角部が、前記導電膜により覆われている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の導電膜付きヒーター基板。
【請求項６】
前記透明基板上に配置されている前記導電膜の主面上に、さらに反射防止膜が積層されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の導電膜付きヒーター基板。
【請求項７】
前記透明基板の前記導電膜とは反対側の主面上に、反射防止膜が積層されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の導電膜付ヒーター基板。
【請求項８】
前記導電膜が、透明導電膜である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の導電膜付きヒーター基板。
【請求項９】
前記導電膜が、インジウムを主成分とする酸化物により構成されている、請求項１〜８のいずれか１項に記載の導電膜付きヒーター基板。
【請求項１０】
前記透明基板が、ガラス基板である、請求項１〜９のいずれか１項に記載の導電膜付きヒーター基板。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の導電膜付きヒーター基板と、
センサー、カメラ、又は表示デバイスと、
を備える、光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明基板上に導電膜が配置された導電膜付きヒーター基板及び光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、車載カメラ、車載ディスプレイ等の車載用途や、防犯カメラ等に導電膜付きヒーター基板が用いられている。このような導電膜付きヒーター基板は、例えば、車載カメラ等においては、カバーガラスの結露防止用ヒーターとして用いられている。また、車載ディスプレイ等の液晶表示装置においては、低温環境下における使用時の応答速度を維持するために用いられている。【０００３】
このような導電膜付きヒーター基板の一例として、下記の特許文献１には、基板上に導電性の薄膜材料を一様に付着して形成した四角形状のヒーターが開示されている。特許文献１では、四角形状のヒーターの相対する二辺に、各々の相対向する一辺を互いに平行にしたバスバー電極をそれぞれ所定の電圧降下を生じるように設けられている。そして、これらのバスバー電極の両端側にそれぞれ電力供給用の接続端子が設けられている。【０００４】
また、下記の特許文献２には、透明導電膜と、透明導電膜に通電する一対のバスバー電極がガラス板上に設けられてなる通電加熱ガラスが開示されている。特許文献２では、ガラス板の表面上に透明導電膜が設けられており、その上に一対のバスバー電極が設けられている。また、バスバー電極の透明導電膜への通電部は、透明導電膜を間に挟んで対向するように形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−９９０８１号公報
【特許文献２】特開２００１−１２２６４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１や特許文献２のような導電膜付きヒーター基板では、車載カメラのカバーガラスや、液晶表示装置の液晶表示パネル等の被加熱物を加熱する際に、局所的に過熱され、均一に加熱できない場合があった。そのため、長時間の使用により抵抗が増大するなどの不具合が発生することがあり、信頼性を高めることが困難であった。【０００７】
本発明の目的は、局所的に過熱されることを抑制することができ、信頼性を高めることができる、導電膜付きヒーター基板及び光学装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る導電膜付きヒーター基板は、センサー、カメラ、又は表示デバイスのカバー部材として用いられる導電膜付きヒーター基板であって、透明基板と、前記透明基板上に配置されており、対向し合っている第１のバスバー電極及び第２のバスバー電極と、前記透明基板上に配置されており、前記第１のバスバー電極及び前記第２のバスバー電極に接触している、導電膜と、を備え、前記第１のバスバー電極及び／又は前記第２のバスバー電極は、他方のバスバー電極と対向している側の角部が平面視で傾斜した部分を有することを特徴としている。【０００９】
本発明においては、前記第１のバスバー電極及び／又は前記第２のバスバー電極は、他方のバスバー電極と対向している側の全ての角部が平面視で傾斜した部分を有することが好ましい。【００１０】
本発明においては、前記第１のバスバー電極及び前記第２のバスバー電極における前記角部の形状が、コーナーカット形状又はＲ形状であることが好ましい。【００１１】
本発明においては、前記第１のバスバー電極及び前記第２のバスバー電極における前記角部の形状が、Ｒ形状であることが好ましい。【００１２】
本発明においては、前記第１のバスバー電極及び前記第２のバスバー電極における前記角部が、前記導電膜により覆われていることが好ましい。【００１３】
本発明においては、前記透明基板上に配置されている前記導電膜の主面上に、さらに反射防止膜が積層されていることが好ましい。【００１４】
本発明においては、前記透明基板の前記導電膜とは反対側の主面上に、反射防止膜が積層されていることが好ましい。【００１５】
本発明においては、前記導電膜が、透明導電膜であることが好ましい。【００１６】
本発明においては、前記導電膜が、インジウムを主成分とする酸化物により構成されていることが好ましい。【００１７】
本発明においては、前記透明基板が、ガラス基板であることが好ましい。【００１８】
本発明に係る光学装置は、上記の導電膜付きヒーター基板と、センサー、カメラ、又は表示デバイスと、を備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、局所的に過熱されることを抑制することができ、信頼性を高めることができる、導電膜付きヒーター基板及び光学装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的平面図である。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う部分の模式的断面図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板における第１のバスバー電極の角部を拡大して示す模式的平面図である。
【図４】図４は、本発明の第２の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板における第１のバスバー電極の角部を拡大して示す模式的平面図である。
【図５】図５は、本発明の第３の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的断面図である。
【図６】図６は、本発明の第４の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的断面図である。
【図７】図７は、本発明の第５の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的断面図である。
【図８】図８は、本発明の第６の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的平面図である。
【図９】図９は、実施例１，２及び比較例１の導電膜付きヒーター基板における発熱密度比の比較位置を説明するための模式的平面図である。
【図１０】図１０は、実施例１，２及び比較例１の導電膜付きヒーター基板における発熱密度比の分布を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、好ましい実施形態について説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示であり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照する場合がある。
【００２２】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線に沿う部分の模式的断面図である。
【００２３】
図１及び図２に示すように、導電膜付きヒーター基板１は、透明基板２と、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４と、導電膜５とを備える。導電膜付きヒーター基板１は、センサー、カメラ、又は表示デバイスのカバー部材として用いられる導電膜付きヒーター基板である。
【００２４】
透明基板２は、本実施形態では、ガラス基板である。なお、本明細書において、「透明」とは、可視域、赤外域、又は紫外域のいずれかの波長領域で透明であること、すなわち光透過率が３０％以上であることをいう。また、透明基板２は、対向している第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂを有する。
【００２５】
透明基板２の第１の主面２ａ上には、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４が設けられている。第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の平面形状は、細長い矩形形状である。
【００２６】
図１において、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４が延びる長さ方向をｘ方向とする。第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の幅方向であり、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４を結ぶ方向をｙ方向とする。また、ｘ方向及びｙ方向は、直交しているものとする。もっとも、本発明において、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４は対向するように配置されていればよく、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の平面形状についても、特に限定されない。
【００２７】
また、透明基板２の第１の主面２ａ上には、さらに導電膜５が設けられている。導電膜５の平面形状は、矩形形状である。導電膜５の長さ方向は、ｘ方向に沿う方向である。また、導電膜５の幅方向は、ｙ方向に沿う方向である。
【００２８】
導電膜５は、ｘ方向において、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の両端より外側に延びるように配置されている。導電膜５は、ｙ方向において、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４を結ぶ領域に設けられている。また、導電膜５は、透明基板２の第１の主面２ａから、第１のバスバー電極３の主面３ａ及び第２のバスバー電極４の主面４ａの一部に至るように設けられている。従って、導電膜５は、第１のバスバー電極３の主面３ａ及び第２のバスバー電極４の主面４ａの一部を覆っている。もっとも、本発明において、導電膜５は、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４に接触するように設けられていればよく、導電膜５の平面形状についても、特に限定されない。
【００２９】
第１のバスバー電極３及び第２バスバー電極４の主面３ａ，４ａにおいて、導電膜５により覆われていない領域は、露出部３ｂ，４ｂである。導電膜付きヒーター基板１では、この露出部３ｂ，４ｂに、例えば、リード線を取り付けることができる。リード線を通じて、第１のバスバー電極３及び第２バスバー電極４間に電圧を印加することにより、導電膜付きヒーター基板１を加熱することができる。
【００３０】
図３は、本発明の第１の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板における第１のバスバー電極の角部を拡大して示す模式的平面図である。図３に示すように、第１のバスバー電極３の角部３ｃの形状は、Ｒ形状である。同様に、第１のバスバー電極３の残りの角部３ｃ及び第２のバスバー電極４の角部４ｃも、Ｒ形状である。なお、第１のバスバー電極３の角部３ｃは、第１のバスバー電極３における第２のバスバー電極４側の角部である。従って、第１のバスバー電極３は、角部３ｃが平面視で傾斜した部分を有する。一方、第２のバスバー電極４の角部４ｃは、第２のバスバー電極４における第１のバスバー電極３側の角部である。従って、第２のバスバー電極４は、角部４ｃが平面視で傾斜した部分を有する。また、本実施形態においては、このＲ形状の角部３ｃ，４ｃが、導電膜５により覆われている。
【００３１】
このように、本実施形態の導電膜付きヒーター基板１においては、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４における角部３ｃ，４ｃの形状が、Ｒ形状であるので、角部３ｃ，４ｃの一点に電流が集中しないため局所的な過熱が生じ難く、均一に加熱することができる。そのため、長時間の使用により抵抗が増大するなどの不具合が発生し難く、信頼性を高めることができる。
【００３２】
なお、本発明においては、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４のうち少なくとも一方のバスバー電極における他方のバスバー電極と対向している側の角部の形状がＲ形状であればよい。また、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４に複数の角部が設けられている場合、少なくとも１つの角部の形状がＲ形状であればよい。
【００３３】
上述したように、本実施形態の導電膜付きヒーター基板１は、局所的な過熱が生じ難く、信頼性を高めることができる。そのため、導電膜付きヒーター基板１は、車載カメラ、車載ディスプレイ等の車載用途や、防犯カメラ、センサー等の用途に好適に用いることができる。
【００３４】
以下、導電膜付きヒーター基板１を構成する各材料の詳細について説明する。
【００３５】
透明基板２；
透明基板２は、ガラス基板であることが好ましい。もっとも、透明基板２は、Ｓｉ基板やＧｅ基板であってもよい。ガラス基板の材料としては、特に限定されず、例えば、ソーダ石灰ガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス、結晶化ガラス、石英ガラス等が挙げられる。また、強化ガラスとして用いられるアルミノシリケートガラスであってもよい。
【００３６】
透明基板２の厚みとしては、特に限定されないが、例えば、３０μｍ以上、５ｍｍ以下とすることができる。
【００３７】
第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４；
第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４は、電気を流す電極であり、これを構成する材料としては、特に限定されないが、例えば、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｉｒ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｎ等の金属又はこれらの金属の合金を用いることができる。なかでも、Ａｇであることが好ましい。第１のバスバー電極及び第２のバスバー電極は、１つの材料を単層で形成してもよいし、複数の材料を積層して積層体を形成してもよい。
【００３８】
第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４におけるそれぞれの長さは、例えば、１０ｍｍ以上、３００ｍｍ以下とすることができる。第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４におけるそれぞれの幅は、例えば、１ｍｍ以上、１０ｍｍ以下とすることができる。また、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４におけるそれぞれの厚みは、例えば、０．１μｍ以上、１００μｍ以下とすることができる。
【００３９】
導電膜５；
導電膜５としては、例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）やインジウムチタン酸化物（ＩＴｉＯ）やインジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）等のインジウムを主成分とする酸化物、アルミニウム亜鉛酸化物（ＡＺＯ）、ガリウム亜鉛酸化物（ＧＺＯ）、フッ素錫酸化物（ＦＴＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）などの導電性を有する複合酸化物薄膜からなる透明導電膜を用いることができる。導電膜５としては、インジウムを主成分とする酸化物であることが好ましく、導電膜を透過させる光が紫外光〜可視光の場合は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）であることがより好ましく、導電膜を透過させる光が可視光〜赤外光の場合は、インジウムチタン酸化物（ＩＴｉＯ）であることがより好ましい。
【００４０】
導電膜５の長さは、例えば、１０ｍｍ以上、３２０ｍｍ以下とすることができる。導電膜５の幅は、例えば、１５ｍｍ以上、３２０ｍｍ以下とすることができる。また、導電膜５の厚みは、例えば、１０ｎｍ以上、８５０ｎｍ以下とすることができる。
【００４１】
以下、導電膜付きヒーター基板１の製造方法の一例について詳細に説明する。
【００４２】
製造方法；
導電膜付きヒーター基板１は、例えば、以下のようにして製造することができる。
【００４３】
まず、透明基板２上に、例えば、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法、蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法等を用いて、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４を形成する。蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法等を用いた場合は、フォトリソグラフィー処理をしたり、メタルマスクを用いることにより、バスバー電極を形成する。なお、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４は、角部３ｃ，４ｃがＲ形状となるように形成する。続いて、導電膜５を形成する以外の部分をメタルマスクする。
【００４４】
次に、導電膜５を成膜する。導電膜５の成膜方法としては、特に限定されないが、例えば、蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法等を用いることができる。成膜後、メタルマスクを除去することにより、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の一部が露出した導電膜付きヒーター基板１を得ることができる。なお、メタルマスクを用いない場合は、リソグラフィー処理等を用いることにより同様の構造を得ることができる。
【００４５】
なお、導電膜付きヒーター基板１は、大寸法の透明基板２の母材上に予め複数の第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４を形成し、その上に導電膜５を形成した後に、カットすることにより個片化してもよい。
【００４６】
（第２の実施形態）
図４は、本発明の第２の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板における第１のバスバー電極の角部を拡大して示す模式的平面図である。図４に示すように、導電膜付きヒーター基板２１では、第１のバスバー電極３の角部３ｃの形状が、コーナーカット形状である。同様に、第１のバスバー電極３の残りの角部３ｃ及び第２のバスバー電極４の角部４ｃの形状も、コーナーカット形状である。その他の点は、第１の実施形態と同様である。
【００４７】
第２の実施形態のように、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の角部３ｃ，４ｃの形状がコーナーカット形状であってもよい。その場合においても、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４が、角部３ｃ，４ｃが平面視で傾斜した部分を有する。そのため、角部３ｃ，４ｃにおいて、局所的な過熱が生じ難く、均一に加熱することができる。従って、長時間の使用により抵抗が増大するなどの不具合が発生し難く、信頼性を高めることができる。
【００４８】
なお、局所的な過熱をより一層生じ難くし、信頼性をより一層高める観点からは、第１の実施形態のように、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の角部３ｃ，４ｃの形状が、Ｒ形状であることが好ましい。
【００４９】
（第３の実施形態）
図５は、本発明の第３の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的断面図である。図５に示すように、導電膜付きヒーター基板３１では、透明基板２の第１の主面２ａ上に、導電膜５が設けられている。そして、導電膜５上に、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４が設けられている。その他の点は、第１の実施形態と同様である。
【００５０】
第３の実施形態においても、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の角部３ｃ，４ｃの形状が、Ｒ形状であるので、局所的な過熱が生じ難く、均一に加熱することができる。そのため、長時間の使用により抵抗が増大するなどの不具合が発生し難く、信頼性を高めることができる。
【００５１】
（第４の実施形態及び第５の実施形態）
図６は、本発明の第４の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的断面図である。図６に示すように、導電膜付きヒーター基板４１では、透明基板２の第１の主面２ａ上に配置されている導電膜５の主面５ａ上に、反射防止膜４２が設けられている。その他の点は、第１の実施形態と同様である。
【００５２】
また、図７は、本発明の第５の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的断面図である。図７に示すように、透明基板２の第２の主面２ｂ上にも反射防止膜５２が設けられている。その他の点は、第４の実施形態と同様である。
【００５３】
第４の実施形態及び第５の実施形態においても、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の角部３ｃ，４ｃの形状が、Ｒ形状であるので、局所的な過熱が生じ難く、均一に加熱することができる。そのため、長時間の使用により抵抗が増大するなどの不具合が発生し難く、信頼性を高めることができる。
【００５４】
また、第４の実施形態及び第５の実施形態では、さらに反射防止膜４２，５２が設けられているので、より一層光線透過率を高めることができる。反射防止膜４２，５２としては、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ、ＡｌＮ、ＡｌＯＮ等から構成される単層または多層の誘電体膜が挙げられる。
【００５５】
なお、透明基板２の第２の主面２ｂ上に、指紋の付着を防止し、撥水性、撥油性を付与するための防汚膜を設けてもよい。透明基板２の第２の主面２ｂ上に反射防止膜５２が設けられている場合は、反射防止膜５２の上に防汚膜が形成される。
【００５６】
防汚膜は、フッ素含有シラン化合物を防汚層形成用組成物に含有することが好ましく、フルオロアルキル基またはフルオロアルキルエーテル基を有するシラン化合物溶液をコーティングして作製することができる。特に、フッ素含有シラン化合物がシラザンもしくはアルコキシシランであることが好ましい。また、上記フルオロアルキル基またはフルオロアルキルエーテル基を有するシラン化合物のなかでも、シラン化合物中のフルオロアルキル基が、Ｓｉ原子１つに対し、１つ以下の割合でＳｉ原子と結合されており、残りは加水分解性基もしくはシロキサン結合基であるシラン化合物が好ましい。ここでいう加水分解性基としては、例えばアルコキシ基等の基であり、加水分解によりヒドロキシル基となり、それにより上記シラン化合物は重縮合物を形成する。
【００５７】
（第６の実施形態）
図８は、本発明の第６の実施形態に係る導電膜付きヒーター基板を示す模式的平面図である。図８に示すように、導電膜付きヒーター基板６１では、導電膜５は、ｙ方向に沿う幅方向においても、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の両端より外側に延びるように配置されている。従って、導電膜付きヒーター基板６１では、導電膜５が、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４を覆うように設けられている。もっとも、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の長さ方向（Ｘ方向）における一端の一部は、リード線を取り付けることができる露出部３ｂ，４ｂとされている。その他の点は、第１の実施形態と同様である。
【００５８】
第６の実施形態においても、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の角部３ｃ，４ｃの形状が、Ｒ形状であるので、局所的な過熱が生じ難く、均一に加熱することができる。そのため、長時間の使用により抵抗が増大するなどの不具合が発生し難く、信頼性を高めることができる。
【００５９】
また、第６の実施形態では、導電膜５が、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４を覆うように設けられているので、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の耐久性を向上させることができる。さらに、第６の実施形態において、導電膜５は、幅方向においても、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４の両端より外側において、透明基板２と密着されている。ここで、導電膜５と透明基板２との密着力は、導電膜５と第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４との密着力よりも大きい。よって、導電膜５の密着性を高めることもできる。
【００６０】
以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。
【００６１】
（実施例１，２及び比較例１）
実施例１，２及び比較例１では、図９のＢ−Ｂ線に沿う部分の発熱密度比を求めた。具体的には、第２のバスバー電極４の第１のバスバー電極３側の辺における長さ方向の中心Ｏから±２５ｍｍ位置を変化させたときの中心Ｏの発熱密度に対する発熱密度比を求めた。
【００６２】
なお、単位面積当たりの発熱量である発熱密度は、以下の手順で求めた。
【００６３】
まず、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４と導電膜５で構成される通電領域をモデル化し、通電領域を複数のセルに分割し、所定の電力となるような電位を正極（本実施形態では、第１のバスバー電極３）と負極（本実施形態では、第２のバスバー電極４）に与えた時の電位分布を有限体積法で求めた。なお、第１のバスバー電極３及び第２のバスバー電極４を介した導電膜６への通電時、透明基板２へ電気はほとんど流れないため、透明基板２はモデル化しなかった。
【００６４】
有限体積法では、セル内の電位を未知数としており、離散化された支配方程式を各要素で連立させて構成される連立方程式を、反復法により解くことで電位分布を得た。また、直流通電状態を前提としてシミュレーションを実施し、支配方程式としてラプラス方程式が成立すると仮定した。電位をφ、導電率をγとすると、‐▽・（γ▽φ）＝０である。なお、γを定数と仮定しているので、上記の式は▽２φ＝０となる。
【００６５】
得られた電位分布から発熱密度分布を計算した。各セルの発熱密度Ｑは下記式（１）で計算される。
【００６６】
【数１】
2020045410.tif 000003
【００６７】
（式（１）中、Ａはセルを囲む面の面積であり、太文字のＡは上記面の外向き法線ベクトルである。▽φ及びφは、上記面における電場及び電位であり、既に得られている各セルの電位を用いて補間により計算した。）
【００６８】
結果を図１０に示す。なお、図１０において、横軸は、第２のバスバー電極４の長さ方向における中心Ｏからの距離である。縦軸は、中心Ｏの発熱密度に対する各位置における発熱密度の発熱密度比である。
【００６９】
図１０中、実線は、第１の実施形態の導電膜付きヒーター基板１を用いた実施例１の結果である。また、一点鎖線は、第２の実施形態の導電膜付きヒーター基板２１を用いた実施例２の結果である。また、破線は、角部がコーナーカット形状及びＲ形状を有さず、角部が直角である、導電膜付きヒーター基板を用いた比較例１の結果である。
【００７０】
図１０から明らかなように、比較例１では、第２のバスバー電極の角部付近において、局所的に発熱密度比が過度に大きくなっていたのに対し、実施例１，２では、第２のバスバー電極４の角部４ｃ付近において局所的に発熱密度比が過度に大きくなっていないことが確認できた。
【符号の説明】
【００７１】
１，２１，３１，４１，５１，６１…導電膜付きヒーター基板
２…透明基板
２ａ…第１の主面
２ｂ…第２の主面
３…第１のバスバー電極
３ａ，４ａ，５ａ…主面
３ｂ，４ｂ…露出部
３ｃ，４ｃ…角部
３ｄ，４ｄ…辺
４…第２のバスバー電極
５…導電膜
４２，５２…反射防止膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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