【手続補正書】
【提出日】平成21年9月3日(2009.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
安定化された環状アルケン組成物であって、
１つ又はそれ以上の環状アルケン；及び
少なくとも１つの、式（Ｉ）：
【化１】
2009507834.tif 000001
［式中、
Ｒ1からＲ5は、各々独立に、Ｈ、ＯＨ、（Ｃ1−Ｃ8）の直鎖状、分枝鎖状若しくは環状アルキル、（Ｃ1−Ｃ8）の直鎖状、分枝鎖状若しくは環状アルコキシ、又は置換若しくは置換されていないアリールである］の酸化防止化合物を含み、
該酸化防止化合物は、１ｐｐｍから２００ｐｐｍの間の量で存在し；
該組成物は、該組成物を貯蔵又は出荷することを目的として容器に導入した後、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン、窒素、一酸化炭素及び二酸化炭素から成るグループから選択される少なくとも１つの気体を用いてパージされる；
上記組成物。
【請求項２】
気体が、ヘリウム、窒素、一酸化炭素、及び二酸化炭素から成るグループから選択される少なくとも１つの気体である、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
酸化防止化合物が、フェノール、４−メチルフェノール、３−メチルフェノール、２−メチルフェノール、４−エチルフェノール、４−プロピルフェノール、４−イソ−プロピルフェノール、４−ブチルフェノール、４−ｓｅｃ−ブチルフェノール、４−イソ−ブチルフェノール、４−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール、４−メトキシフェノール、３−メトキシフェノール、２−メトキシフェノール、４−エトキシフェノール、２−（１−メチルブチル）フェノール、２−ｔｅｒｔ−ブチル−６−メチルフェノール、１，２−ジヒドロキシベンゼン、２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール（ＢＨＴ）、１，３−ジヒドロキシベンゼン、ヒドロキノン、２−（ベンジルオキシ）フェノール、３，４，５−トリメトキシフェノール、３−エトキシ−４−メチルフェノール、４−ベンジルオキシフェノール、４−ベンジル−２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール、２−（２−ブテニル）フェノール、４−プロポキシフェノール、４−ブトキシフェノール、２−（４−メチルベンジル）フェノール、２，４，６−トリス−ベンジルオキシフェノール、２，４−ジシクロヘキシル−５−メチルフェノール及び６−ｔｅｒｔ−ブチル−１，２−ジヒドロキシベンゼンから成るグループから選択される少なくとも１つの化合物である、請求項１又は２に記載の組成物。
【請求項４】
酸化防止化合物が、４−メトキシフェノール及び２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノールから成るグループから選択される少なくとも１つの化合物である、請求項３に記載の組成物。
【請求項５】
酸化防止化合物が１ｐｐｍから１００ｐｐｍの間の量で存在する、請求項１〜４のいずれかに記載の組成物。
【請求項６】
酸化防止化合物が１００ｐｐｍから２００ｐｐｍの間の量で存在する、請求項１〜４のいずれかに記載の組成物。
【請求項７】
環状アルケンが、一般式ＣnＨ2n-2x-yＲy［ここで、ｎは４〜１８の整数であり；ｘは整数であって、１≦ｘ≦ｎ／２であり；ｙは整数であって、０≦ｙ≦２ｎ−２ｘであり；そしてＲは、（Ｃ1−Ｃ18）の直鎖状、分枝鎖状、不飽和若しくは環状アルキル、（Ｃ1−Ｃ18）の直鎖状、分枝鎖状、不飽和若しくは環状アルコキシ、置換若しくは置換されていないアリール、又は置換基を有する置換ケイ素から成るグループから選択される少なくとも１つの成分である］を有する、請求項１〜６のいずれかに記載の組成物。
【請求項８】
環状アルケンが、一般式ＣnＨ2n-(2x+2)-yＲy［ここで、ｎは５〜１８の整数であり；
ｘは整数であって、ｘ≦ｎ／２であり；ｙは整数であって、０≦ｙ≦２ｎ−（２ｘ＋２）であり；そしてＲは、（Ｃ1−Ｃ18）の直鎖状、分枝鎖状、不飽和若しくは環状アルキル、（Ｃ1−Ｃ18）の直鎖状、分枝鎖状、不飽和若しくは環状アルコキシ、置換若しくは置換されていないアリール、又は置換基を有する置換ケイ素から成るグループから選択される少なくとも１つの成分である］を有する、請求項１〜６のいずれかに記載の組成物。
【請求項９】
環状アルケンが、一般式ＣnＨ2n-(2x+4)-yＲy［ここで、ｎは７〜１８の整数であり；
ｘは整数であって、ｘ≦ｎ／２であり；ｙは整数であって、０≦ｙ≦２ｎ−（２ｘ＋４）であり；そしてＲは、（Ｃ1−Ｃ18）の直鎖状、分枝鎖状、不飽和若しくは環状アルキル、（Ｃ1−Ｃ18）の直鎖状、分枝鎖状、不飽和若しくは環状アルコキシ、置換若しくは置換されていないアリール、又は置換基を有する置換ケイ素から成るグループから選択される少なくとも１つの成分である］を有する、請求項１〜６のいずれかに記載の組成物。
【請求項１０】
環状アルケンが、ジペンテン、フェランドレン、ジシクロペンタジエン、α−テルピネン、γ−テルピネン、リモネン、α−ピネン、３−カレン、テルピノレン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、５−ビニル−２−ノルボルネン及び５−エチリデン−２−ノルボルネンから成るグループから選択される少なくとも１つの化合物である、請求項１〜６のいずれかに記載の組成物。
【請求項１１】
環状アルケンが、ジペンテン、フェランドレン、ジシクロペンタジエン、α−テルピネン、γ−テルピネン、リモネン、α−ピネン、３−カレン、テルピノレン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、５−ビニル−２−ノルボルネン及び５−エチリデン−２−ノルボルネンから成るグループから選択される少なくとも１つの化合物であり、該酸化防止化合物が、４−メトキシフェノール及び２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノールから成るグループから選択される少なくとも１つの化合物である、請求項１〜６のいずれかに記載の組成物。
【請求項１２】
環状アルケンを安定化させる方法であって、少なくとも１つの請求項１に定義した酸化防止化合物を環状アルケンに添加して組成物を得、そして
該組成物は、該組成物を貯蔵又は出荷することを目的として容器に導入した後、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン、窒素、一酸化炭素及び二酸化炭素から成るグループから選択される少なくとも１つの気体を用いてパージして、請求項１〜１１のいずれかに記載の組成物を生成させることからなる上記方法。
【請求項１３】
基板上に炭素をドープした酸化ケイ素の層を形成する方法であって、該方法が以下の工程：
請求項１〜１１のいずれかに記載の環状アルケン組成物、ケイ素含有化合物及び基板を用意すること；及び
基板上に炭素をドープした酸化ケイ素の層を形成すること；
を含む、上記方法。
【請求項１４】
以下の工程：
第一の容器の環状アルケン組成物、第二の容器のケイ素含有化合物、膜蒸着装置、該膜蒸着装置内の膜蒸着室、及び、該環状アルケン組成物及び該ケイ素含有化合物を、該連結手段を通じて膜蒸着室へ吹き流すキャリアガスの流れを用意すること、ここで、基板は、該膜蒸着装置の該膜蒸着室内に配置される；
該第一及び第二容器を該膜蒸着装置内の膜蒸着室に連結すること；
該環状アルケン組成物及び該ケイ素含有化合物の蒸気を、該キャリアガスの流れに導入すること；そして
該環状アルケン組成物及び該ケイ素含有化合物の蒸気を、該膜蒸着室へ輸送すること；を更に含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
１つ又はそれ以上の環状アルケン；
少なくとも１つの、式（Ｉ）：
【化２】
2009507834.tif 000002
［式中、
Ｒ1からＲ5は、各々独立に、Ｈ、ＯＨ、（Ｃ1−Ｃ8）の直鎖状、分枝鎖状若しくは環状アルキル、（Ｃ1−Ｃ8）の直鎖状、分枝鎖状若しくは環状アルコキシ、又は置換若しくは置換されていないアリールである］の酸化防止化合物；及び、
一酸化炭素並びに二酸化炭素から成るグループから選択される少なくとも１つの気体；から本質的に成り、そして
該酸化防止化合物は、１ｐｐｍから２００ｐｐｍの間の量で存在する；
安定化された環状アルケン組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
ＮＢＤＥは、溶解性に富み、外来の空気の存在下で低揮発性の固体生成物を生成するが、それは、ＮＢＤＥを蒸発させる前に、目視検査では容易に判別できない。このことは、揮発性のＮＢＤＥを蒸発させるにつれて、蒸発手段に固体生成物を蓄積させる結果をもたらし得る。蒸発手段の表面積が小さい場合、少量の残留物がＮＢＤＥの蒸発を妨げ、遂には、蒸発手段を低揮発性固体で詰まらせ得る。泡立てアンプルが、蒸発手段として用いられる場合、酸化生成物が重合を開始し、泡立て器の全内容物を重合させ、フロー・ガス流入ラインを封鎖する原因になり得る。このことは、蒸発プロセスのために常に加熱されている泡立て器に特に当てはまる。一旦蒸発手段が固体で詰まった場合、唯一の改善法は、影響を受けた蒸発器を分解し、清掃し、又は代替することであるが、それには大きなコストが掛かり、そして時間も浪費する。圧力の負荷された化学品ライン及びバルブが低揮発性固体で封鎖された場合、安全性の問題も、又、懸案事項となる。