【誤訳訂正書】
【提出日】平成21年4月24日(2009.4.24)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザビームを用いて対象を加工するための装置において、
第１の偏向ユニット（１１１）と第２の偏向ユニット（１２１）とを有しており、
前記第１の偏向ユニット（１１１）は、第１のレーザビーム（１１０）を、ｆ−θ−対物レンズ（１１２）を介して部分的に反射する要素（１３０）の方に偏向し、
前記第２の偏向ユニット（１２１）は、第２のレーザビーム（１２０）を、第２のｆ−θ−対物レンズ（１２２）を介して前記部分的に反射する要素（１３０）の方に偏向し、
前記部分的に反射する要素（１３０）は、前記第１のレーザビーム（１１０）をほぼ透過し、且つ、前記第２のレーザビーム（１２０）をほぼ反射し、
前記部分的に反射する要素（１３０）は、処理すべき光学系に対して相対的に、前記第１のレーザビーム（１１０）と前記第２のレーザビーム（１２０）とが、前記伝達乃至反射の直後に前記処理すべき対象に照射するように設けられている
ことを特徴とする装置。
【請求項２】
両偏向ユニット（１１１，１２１）は、相互に垂直方向に設けられている請求項１記載の装置。
【請求項３】
第１のレーザビーム（１１０）のスペクトル分布が第１の波長を有しており、
第２のレーザビーム（１２０）のスペクトル分布が、前記第１の波長とは異なった第２の波長（１２０）を有しており、
部分的に反射する要素（１３０）は、ダイクロイックミラーである
請求項１又は２記載の装置。
【請求項４】
レーザが設けられており、
該レーザは、周波数変換を介して直接又は間接的に第１のレーザビーム（１１０）を形成し、
前記レーザは、周波数変換を介して間接的に第２のレーザビーム（１２０）を形成する
請求項３記載の装置。
【請求項５】
部分的に反射する光学要素（１３０）は、偏光依存鏡であり、該偏光依存鏡の反射度は、当該偏光依存鏡に入射する光の偏光に依存し、
偏光依存鏡に入射される第１のレーザビーム（１１０）の偏光方向は、前記偏光依存鏡に入射される第２のレーザビーム（１２０）の偏光方向に対してほぼ垂直方向である
請求項１又は２記載の装置。
【請求項６】
偏光回転子（１５０）を設け、該偏光回転子は、偏光依存鏡に入射される第２のレーザビーム（１２０）の偏光方向を変える
請求項５記載の装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００７】
ドイツ連邦共和国特許公開第１９９ １０ ８８０号公報からは、レーザビームを用いて対象を加工する装置が公知であり、この装置では、加工レーザビームは、フォーカシング光学系を通過した後、２つの偏向鏡から構成された偏向ユニットによって、加工すべき対象の方に偏向される。偏向ユニットと加工すべき対象との間に、ｆ−θ−対物レンズが設けられており、その結果、対象に配向されたレーザビームが、偏向ユニットの精確な位置とは無関係にフォーカス直径が同じままで対象に照射される。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００８】
日本国公開特許第２０００ １９００８７号からは、種々異なって偏光された２つのレーザビームのビーム路を、偏光依存鏡を用いて結合して、ｆ−θ−対物レンズを通過した後、加工すべき対象の方に配向するレーザ加工機械装置が公知である。両レーザビームを、加工すべき対象に照射する位置は、両レーザビームの重畳前に両ビーム路内に位置している各々１つの偏向ユニットによって決められる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
この課題は、第１の偏向ユニットと第２の偏向ユニットとを有しており、第１の偏向ユニットは、第１のレーザビームを、ｆ−θ−対物レンズを介して部分的に反射する要素の方に偏向し、第２の偏向ユニットは、第２のレーザビームを、第２のｆ−θ−対物レンズを介して部分的に反射する要素の方に偏向し、部分的に反射する要素は、第１のレーザビームをほぼ伝達し、且つ、第２のレーザビームをほぼ反射し、部分的に反射する要素は、処理すべき光学系に対して相対的に、第１のレーザビームと第２のレーザビームとが、伝達乃至反射の直後に処理すべき対象に照射するように設けられているレーザビームを用いて対象を加工するための装置によって解決される。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
ｆ−θ−対物レンズを用いることにより、２つのレーザビームを、大きな加工領域内で、加工すべき対象の方に偏向することができ、その際、フォーカス幅が異なってビームの質が変化することはない。フォーカス幅が、そのように変化するのは、フォーカス領域、つまり、レーザビームの異なる入射角度でレーザビームがフォーカシングされる領域が、球の表面上に位置している普通の所謂球面レンズでは通常のことである。ｆ−θ−対物レンズが、普通の球面レンズと相違する点は、フォーカス領域が、ｆ−θ−対物レンズに入射する光ビームの入射角度にほぼ依存しないで同一面内に位置している点にある。従って、ｆ−θ−対物レンズを用いると、加工レーザビームを、大きな加工領域内に精確にフォーカシングすることができ、その結果、大きな対象でも、一時的にずらしたりせずに、従って、中断せずに加工することができる。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
同じ波長の２つのレーザビームの場合でも、不所望な反射レーザビーム、乃至、不所望な透過レーザビームの損失出力なしにビームを効率的に案内することができる。そのために、請求項６によると、偏光依存の鏡を部分的に反射する光学要素として使用することができる。偏光依存のレフレクタを効率的に用いるには、両レーザビームの偏光方向が相互に異なる、最もよいのは相互に垂直方向であることが前提である。偏光依存鏡として、例えば、所謂ニコルプリズム、又は、原理的に各光学的に能動的な他の材料を用いることができる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
偏光依存の鏡から放射された光ビームの偏光方向は、光学的に能動的な結晶によって制御することができる。例えば、先ず所定方向にリニアに偏光された光ビームを、所謂λ／４板によって９０°だけ回転することができる。しかし、偏光回転要素として、その光学的能動性が、磁気光学的効果（ファラディー効果）又は電気光学的カー又はポッケルス効果に基づく他の材料を用いてもよい。更に、偏光光学要素、例えば、偏光薄膜、又は、ニコルプリズムを、先ず非偏光光ビームから、偏光光ビームを形成するのに使うことができる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２４】
ビーム路１１０乃至１２０には、更にｆ−θ−対物レンズ１１２乃至１２２が設けられており、ｆ−θ−対物レンズ１１２乃至１２２は、偏向ユニット１１１乃至１２１の直ぐ近くに設けられている。両レーザビーム１１０及び１２０は、ダイクロイックミラー１３０を用いて一緒に案内される。ダイクロイックミラー１３０は、第１のレーザビーム１１０の光の高い透過係数と、第２のレーザビーム１２０の光の高い反射係数とによって特徴付けられる。ダイクロイックミラー１３０を透過した第１のレーザビーム１１０、及び、ダイクロイックミラー１３０によって反射された第２のレーザビーム１２０は、両ｆ−θ−対物レンズ１１２乃至１２２の焦点距離を適切に選択して、加工面１４０上にフォーカシングされる。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
更に、第１のレーザビーム１１０の透過の際、ダイクロイックミラー１３０によってビームがシフトされ、このシフトの大きさは、鏡基板の屈折率、鏡基板の厚み、殊に、第１のレーザビーム１１０がダイクロイックミラー１３０に入射する角度に依存している。テレセントリックｆ−θ−対物レンズ１１２を用いることによって、ビームシフトの角度依存性を著しく小さくすることができる。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３０】
図２には、本発明の第２の実施例のレーザ加工装置１００ａが示されている。レーザ加工装置１００ａによって、第１のレーザビーム１１０を第２のレーザビーム１２０と一緒に案内することができる。その際、両レーザビーム１１０及び１２０のスペクトル分布は、異なっていても同じであってもよい。レーザ加工装置１００ａは、部分的に反射する光学要素（レーザ加工装置１００ａでは偏光依存の鏡１３０ａである）の点で、レーザ加工装置１００から区別される。第２のレーザビーム１２０の不所望な、高い透過光強度なしに効率的にビームを案内することが、偏光依存鏡１３０ａに照射するレーザビーム１１０及び１２０の各偏光方向が出来る限り異なるようにして達成される。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３１】
これは、図２に示された本発明の実施例によると、所謂偏光回転子１５０によって、第２のレーザビーム１２０の偏光方向乃至偏光の形式が変えられるようになる。偏光回転子１５０の使用は、殊に、両レーザビーム１１０及び１２０を、同一レーザによって従来技術のビーム分割を介して発生するか、又は、両レーザ光源を、放射された両レーザビーム１１０及び１２０の各々の偏光方向が同じである場合に適している。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３２】
両レーザビーム１１０及び１２０の異なった偏光を、偏光回転子１５０を用いずに達成することができ、その際、両レーザビーム１１０及び１２０を形成する両レーザ光源は、異なった空間配向で設けられている。