【手続補正書】
【提出日】平成23年4月21日(2011.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するための複数のノズルと、各ノズルに連通する複数の圧力室と、隣接する前記圧力室を仕切る隔壁の少なくとも一部を形成し、且つ駆動パルスの印加によりせん断モードで変形して前記圧力室内の圧力を変化させる圧電素子からなる圧力付与手段とを備えた液滴吐出ヘッドを有し、前記駆動パルスとして、前記圧力室の容積を膨張させた後、元の容積に戻す矩形波の膨張パルスと、膨張パルスに続いて前記圧力室の容積を収縮させた後、元の容積に戻す矩形波の収縮パルスを前記圧力付与手段に印加することにより前記圧力室内の圧力を変化させ、前記圧力室内の液体を前記ノズルから吐出させて基材上に付着させる液滴吐出装置であって、
基材上に付着させるための液滴の吐出に使用する前記駆動パルスの駆動周波数が、駆動パルスの駆動周波数と吐出される液滴の速度との関係を示す液滴の速度の駆動周波数依存性データにおいて駆動周波数の上昇に対して液滴の速度が上昇する駆動周波数領域内に設定されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記駆動周波数領域内における液滴の速度の変動が、駆動周波数領域内における平均速度に対して±１５％以内であることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記圧力室における圧力波の音響的共振周期の１／２をＡＬとしたとき、前記設定されている駆動周波数が、１／（８ＡＬ）以上１／（５ＡＬ）以下の範囲内にあることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記膨張パルスの駆動電圧をＶｏｎ（Ｖ）、前記収縮パルスの駆動電圧をＶｏｆｆ（Ｖ）としたとき、Ｖｏｎ（Ｖ）とＶｏｆｆ（Ｖ）の比である｜Ｖｏｎ｜／｜Ｖｏｆｆ｜が２であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
液滴を吐出するための複数のノズルと、各ノズルに連通する複数の圧力室と、隣接する前記圧力室を仕切る隔壁の少なくとも一部を形成し、且つ駆動パルスの印加によりせん断モードで変形して前記圧力室内の圧力を変化させる圧電素子からなる圧力付与手段とを備えた液滴吐出ヘッドの前記圧力付与手段に、前記駆動パルスとして、前記圧力室の容積を膨張させた後、元の容積に戻す矩形波の膨張パルスと、膨張パルスに続いて前記圧力室の容積を収縮させた後、元の容積に戻す矩形波の収縮パルスを印加することにより前記圧力室内の圧力を変化させ、前記圧力室内の液体を前記ノズルから吐出させて基材上に付着させる液滴吐出方法であって、
駆動パルスの駆動周波数と吐出される液滴の速度との関係を示す液滴の速度の駆動周波数依存性データを予め計測し、
基材上に付着させるための液滴の吐出に使用する前記駆動パルスの駆動周波数を、前記駆動周波数依存性データにおいて駆動周波数の上昇に対して液滴の速度が上昇する駆動周波数領域内に設定することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項６】
前記駆動周波数領域内における液滴の速度の変動が、駆動周波数領域内における平均速度に対して±１５％以内であることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出方法。
【請求項７】
前記圧力室における圧力波の音響的共振周期の１／２をＡＬとしたとき、前記設定されている駆動周波数が、１／（８ＡＬ）以上１／（５ＡＬ）以下の範囲内にあることを特徴とする請求項５または６に記載の液滴吐出方法。
【請求項８】
前記膨張パルスの駆動電圧をＶｏｎ（Ｖ）、前記収縮パルスの駆動電圧をＶｏｆｆ（Ｖ）としたとき、Ｖｏｎ（Ｖ）とＶｏｆｆ（Ｖ）の比である｜Ｖｏｎ｜／｜Ｖｏｆｆ｜が２であることを特徴とする請求項５乃至７の何れか１項に記載の液滴吐出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の目的は、以下のような構成により達成される。
１．
液滴を吐出するための複数のノズルと、各ノズルに連通する複数の圧力室と、隣接する前記圧力室を仕切る隔壁の少なくとも一部を形成し、且つ駆動パルスの印加によりせん断モードで変形して前記圧力室内の圧力を変化させる圧電素子からなる圧力付与手段とを備えた液滴吐出ヘッドを有し、前記駆動パルスとして、前記圧力室の容積を膨張させた後、元の容積に戻す矩形波の膨張パルスと、膨張パルスに続いて前記圧力室の容積を収縮させた後、元の容積に戻す矩形波の収縮パルスを前記圧力付与手段に印加することにより前記圧力室内の圧力を変化させ、前記圧力室内の液体を前記ノズルから吐出させて基材上に付着させる液滴吐出装置であって、
基材上に付着させるための液滴の吐出に使用する前記駆動パルスの駆動周波数が、駆動パルスの駆動周波数と吐出される液滴の速度との関係を示す液滴の速度の駆動周波数依存性データにおいて駆動周波数の上昇に対して液滴の速度が上昇する駆動周波数領域内に設定されていることを特徴とする液滴吐出装置。
２．
前記駆動周波数領域内における液滴の速度の変動が、駆動周波数領域内における平均速度に対して±１５％以内であることを特徴とする前記１に記載の液滴吐出装置。
３．
前記圧力室における圧力波の音響的共振周期の１／２をＡＬとしたとき、前記設定されている駆動周波数が、１／（８ＡＬ）以上１／（５ＡＬ）以下の範囲内にあることを特徴とする前記１または２に記載の液滴吐出装置。
４．
前記膨張パルスの駆動電圧をＶｏｎ（Ｖ）、前記収縮パルスの駆動電圧をＶｏｆｆ（Ｖ）としたとき、Ｖｏｎ（Ｖ）とＶｏｆｆ（Ｖ）の比である｜Ｖｏｎ｜／｜Ｖｏｆｆ｜が２であることを特徴とする前記１乃至３の何れか１項に記載の液滴吐出装置。
５．
液滴を吐出するための複数のノズルと、各ノズルに連通する複数の圧力室と、隣接する前記圧力室を仕切る隔壁の少なくとも一部を形成し、且つ駆動パルスの印加によりせん断モードで変形して前記圧力室内の圧力を変化させる圧電素子からなる圧力付与手段とを備えた液滴吐出ヘッドの前記圧力付与手段に、前記駆動パルスとして、前記圧力室の容積を膨張させた後、元の容積に戻す矩形波の膨張パルスと、膨張パルスに続いて前記圧力室の容積を収縮させた後、元の容積に戻す矩形波の収縮パルスを印加することにより前記圧力室内の圧力を変化させ、前記圧力室内の液体を前記ノズルから吐出させて基材上に付着させる液滴吐出方法であって、
駆動パルスの駆動周波数と吐出される液滴の速度との関係を示す液滴の速度の駆動周波数依存性データを予め計測し、
基材上に付着させるための液滴の吐出に使用する前記駆動パルスの駆動周波数を、前記駆動周波数依存性データにおいて駆動周波数の上昇に対して液滴の速度が上昇する駆動周波数領域内に設定することを特徴とする液滴吐出方法。
６．
前記駆動周波数領域内における液滴の速度の変動が、駆動周波数領域内における平均速度に対して±１５％以内であることを特徴とする前記５に記載の液滴吐出方法。
７．
前記圧力室における圧力波の音響的共振周期の１／２をＡＬとしたとき、前記設定されている駆動周波数が、１／（８ＡＬ）以上１／（５ＡＬ）以下の範囲内にあることを特徴とする前記５または６に記載の液滴吐出方法。
８．
前記膨張パルスの駆動電圧をＶｏｎ（Ｖ）、前記収縮パルスの駆動電圧をＶｏｆｆ（Ｖ）としたとき、Ｖｏｎ（Ｖ）とＶｏｆｆ（Ｖ）の比である｜Ｖｏｎ｜／｜Ｖｏｆｆ｜が２であることを特徴とする前記５乃至７の何れか１項に記載の液滴吐出方法。