【手続補正書】
【提出日】平成23年4月1日(2011.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の貯蔵および分配のための装置であって、
内部容積を有する実質的に剛性のコンテナと、
前記内部容積に取り付けられ、液体を充填することができ、前記コンテナに接合すると共に分配コネクタに結合するためのポートを含む、３次元の折りたたみ可能な閉鎖されたライナと、
前記コンテナと連通し、そのコンテナの内部容積に加圧されたガスを導入して、分配操作中に前記ライナに接触させて圧力を加えるためのガス導入路と、
を備える装置。
【請求項２】
液体の貯蔵および分配のための装置であって、
内部容積を有する剛性のコンテナと、
前記内部容積に配置され、３次元の折りたたみ可能な閉鎖されたライナと、
前記ライナから超高純度液体を受け取るように構成された液体分配ラインと、
前記コンテナと連通し、そのコンテナの内部容積に加圧されたガスを導入して、分配操作中に前記ライナに接触させて圧力を加えるためのガス導入路と、
を備え、
前記ライナは、ヘッドスペースがゼロの構造となるように液体によって満たされている装置。
【請求項３】
前記ライナは、前記コンテナに接合すると共に分配コネクタに結合するためのポートを含む、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
液体の貯蔵および分配のための装置であって、
内部容積を有する実質的に剛性のコンテナと、
前記内部容積に取り付けられ、液体を充填することができ、前記コンテナに接合すると共に分配コネクタに結合するためのポートを含む、３次元の折りたたみ可能な閉鎖されたライナと、
を備え、
取外し可能なキャップが前記ポートに取り付けられている装置。
【請求項５】
液体の貯蔵および分配のための装置であって、
内部容積を有する実質的に剛性のコンテナと、
前記内部容積に取り付けられ、液体を充填することができ、前記コンテナに接合すると共に分配コネクタに結合するためのポートを含む、３次元の折りたたみ可能な閉鎖されたライナと、
を備え、
前記ライナは、このライナに収納される液体に汚染物質を導入する可能性のある添加物を含まない高分子フィルム材料から形成される装置。
【請求項６】
前記ポートを通して前記ライナ内の液体を分配するためのディップチューブを更に備える、請求項１〜５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記ライナは、可撓性を有する約０．１２５インチ未満の厚みのフィルム材料から形成される、請求項１〜６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記ライナは、このライナに収納される液体に汚染物質を導入する可能性のある添加物を含まないバージン高分子フィルム材料から形成される、請求項１〜４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記高分子フィルム材料は、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリスチレン、ポリアクリロニトリルおよびポリブチレンからなる群から選択される、請求項４又は８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
前記ライナは、その側部に沿って溶接した合わせ目がない、請求項１〜９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
前記ライナは、前記コンテナの内側に密接するように形成されている、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１２】
前記ライナは、さらに攪拌要素を含む、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１３】
前記攪拌要素は、当該装置の外部で遠隔に作動可能である、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記攪拌要素は、磁気攪拌要素を含む、請求項１２又は１３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１５】
前記ライナに収容される液体は、フォトレジスト、ドーパント、有機金属試薬、シリコン原料化合物及び化学機械平坦化用組成物からなる群から選択される、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１６】
前記ライナに収容される液体は、酸、溶剤及び塩基からなる群から選択される、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１７】
前記装置は、液体を供給するために半導体製造ツールに結合される、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれか一項に記載の装置を用いる方法であって、
（ａ）前記ライナと前記ハウジングとの間の空間を加圧し、前記ライナから試薬を分配するために試薬を供給するステップ、
（ｂ）半導体製造装置又は超小型電子装置のための試薬を前記ライナに供給するステップ、
（ｃ）半導体製造装置又は超小型電子装置に試薬を供給するため、前記ライナと前記ハウジングとの間の空間を加圧し、前記ライナから半導体製造装置又は超小型電子装置に用いられるツールに試薬を供給するステップ、
（ｄ）前記ライナと前記ハウジングとの間の空間を加圧し、酸、溶剤、塩基、フォトレジスト、ドーパント、有機金属試薬、シリコン原料化合物及び化学機械平坦化用組成物からなる群から選択される試薬を分配するステップ、
の少なくとも一つを含む方法。
【請求項１９】
内部容積を有する実質的に剛性のハウジングと、前記内部容積に取り付けられ、分配コネクタに結合するためのポートを含む、３次元の折りたたみ可能な閉鎖されたライナと、を用いる方法であって、
（ａ）半導体製造装置又は超小型電子装置のための試薬を前記ライナに供給するステップ、
（ｂ）半導体製造装置又は超小型電子装置に試薬を供給するため、前記ライナと前記ハウジングとの間の空間を加圧し、前記ライナから半導体製造装置又は超小型電子装置に試薬を供給するステップ、
（ｃ）前記ライナと前記ハウジングとの間の空間を加圧し、酸、溶剤、塩基、フォトレジスト、ドーパント、有機金属試薬、シリコン原料化合物及び化学機械平坦化用組成物からなる群から選択される試薬を分配するステップ、
の少なくとも一つを含む方法。
【請求項２０】
内部容積を有する実質的に剛性のハウジングと、前記内部容積に取り付けられ、剛性のある第一のポート及び剛性のある第二のポートを含む、折りたたみ可能なライナと、を用いる方法であって、
（ａ）半導体製造装置又は超小型電子装置のための試薬を前記ライナに供給するステップ、
（ｂ）半導体製造装置又は超小型電子装置に試薬を供給するため、前記ライナと前記ハウジングとの間の空間を加圧し、前記ライナから半導体製造装置又は超小型電子装置に試薬を供給するステップ、
の少なくとも一つを含む方法。
【請求項２１】
半導体製造装置又は超小型電子装置のための試薬を前記ライナに供給する、請求項１８〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
半導体製造装置又は超小型電子装置に試薬を供給するため、前記ライナと前記ハウジングとの間の空間を加圧し、前記ライナから半導体製造装置又は超小型電子装置に試薬を供給する、請求項１８〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２３】
半導体製造装置又は超小型電子装置のための試薬を、ヘッドスペースがゼロの構造となるように前記ライナに満たす、請求項１８〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２４】
半導体製造装置又は超小型電子装置のための試薬を、酸、溶剤、塩基、フォトレジスト、ドーパント、有機金属試薬、シリコン原料化合物及び化学機械平坦化用組成物からなる群から選択する、請求項１８〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２５】
前記ライナにディップチューブを挿入する、請求項１８〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２６】
前記ライナは、その側部に沿って溶接した合わせ目がない、請求項１８〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２７】
前記ライナから半導体製造装置又は超小型電子装置に試薬を分配するにあたって、前記試薬を攪拌する、請求項１８〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２８】
前記ライナは、可撓性を有する約０．１２５インチ未満の厚みのフィルム材料から形成される、請求項１９又は２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２９】
前記ライナは、バージン高分子フィルム材料から形成される、請求項１９又は２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３０】
前記ハウジングは少なくとも一つの壁を備え、その少なくとも一つの壁に耐漏洩であるように繋がれている蓋を備える、請求項１８〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３１】
前記ライナのポートを前記ハウジング及び分配コネクタに結合し、前記分配コネクタを通して試薬を分配する、請求項１８〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３２】
液体の貯蔵および分配のためのバッグインドラム容器であって、
内部容積を有する実質的に剛性のオーバーパックと、
前記内部容積に取り付けられ、液体を充填することができ、その側部に沿って溶接した合わせ目がない、３次元の折りたたみ可能な閉鎖されたライナと、
前記オーバーパックと連通し、そのオーバーパックの内部容積に加圧されたガスを導入して、分配操作中に前記ライナに接触させて圧力を加えるためのガス導入路と、
を備え、
前記ライナは、液体で満たされたときにヘッドスペースがゼロの構造を有している容器。
【請求項３３】
液体の貯蔵および分配のためのコンテナであって、
内部容積を有する実質的に剛性のハウジングと、
前記内部容積に取り付けられ、半導体製造装置又は超小型電子装置のための試薬を含む液体を充填することができ、前記コンテナに接合すると共に分配コネクタに結合するためのポートを含む、折りたたみ可能な材料による閉鎖された３次元のライナと、
を備えるコンテナ。
【請求項３４】
液体の貯蔵および分配のためのバッグインドラム容器であって、
内部容積を有する実質的に剛性のオーバーパックと、
前記内部容積に取り付けられ、液体を充填することができ、３次元の折りたたみ可能な閉鎖されており、当該ライナに収納される液体に汚染物質を導入する可能性のある添加物を含まないライナと、
前記オーバーパックと連通し、そのオーバーパックの内部容積に加圧されたガスを導入して、分配操作中に前記ライナに接触させて圧力を加えるためのガス導入路と、
を備え、
前記ライナは、液体で満たされたときにヘッドスペースがゼロの構造を有している容器。
【請求項３５】
コンテナライナであって、該コンテナライナは、３次元の、可撓性を有する約０．１２５インチ未満の厚みのフィルム材料からなる頭部閉鎖ライナを備えており、前記ライナは、管状素材からなり、その側部に沿って溶接した合わせ目がなく、液体で満たされたときにヘッドスペースがゼロの構造を有している、コンテナライナ。