【手続補正書】
【提出日】平成22年12月7日(2010.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液滴吐出ヘッドの製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドの製造方法に関するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の目的は、寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを容易に製造することができる液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、基板と、前記基板の一の面に設けられ、ノズル孔を備えるノズルプレートと、前記基板の他の面に設けられた封止板とを有し、前記基板と前記ノズルプレート、および前記基板と前記封止板がシリコーン材料を含有する接合膜を介して接合されてなり、吐出液を貯留する吐出液貯留室を内部に有しており、前記吐出液を前記ノズル孔から液滴として吐出するよう構成された液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記ノズルプレート、前記基板、および前記封止板の、前記接合膜を介して接合する接合領域のうち一部の領域を、接着剤で固定する工程と、
前記接合領域の前記吐出液貯留室に臨む部分に前記液状材料を浸透させ、液状の前記シリコーン材料の被膜を形成し、乾燥して接合膜を形成する工程と、
前記接合膜にエネルギーを付与して前記ノズルプレート、前記基板、および前記封止板を接合する工程と、を有し、
前記シリコーン材料は、その末端部では下記一般式（１）で表わされる構造単位を有し、連結部では下記一般式（２）で表わされる構造単位を有し、また、分枝部では下記一般式（３）で表わされる構造単位を備えるポリオルガノシロキサン骨格を有する化合物で構成されたものであることを特徴とする。
【化１】
2010047018.tif 000001
これにより、寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドが容易に得られる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法では、前記液滴吐出ヘッドは、その内部に、前記吐出液貯留室と連通したリザーバーをさらに有しており、
前記一部の領域は、前記接合領域であって前記吐出液貯留室および前記リザーバーに臨まない領域であることが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法では、前記基板、ノズルプレートおよび封止板の前記接合膜と接触する面に、前記接合膜との密着性を高める表面処理を施すことが好ましい。
これにより、基板、ノズルプレートおよび封止板の各部材と接合膜との接合強度をより高めることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法では、前記表面処理は、プラズマ処理または紫外線照射処理であることが好ましい。
これにより、接合膜を形成するために、各部材の表面を特に最適化することができる。
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法では、前記エネルギーの付与は、前記接合膜にエネルギー線を照射する方法により行われることが好ましい。
これにより、接合膜に対して比較的簡単に効率よくエネルギーを付与することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法では、さらに、前記基板と前記ノズルプレートとの間および前記基板と前記封止板との間のうちの少なくとも一方を、前記接合膜を介して接合させた後に、前記接合膜に対して接合強度を高める処理を行う工程を有することが好ましい。
これにより、基板、ノズルプレートおよび封止板の各部材を接合してなる接合体の接合強度のさらなる向上を図ることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法では、前記接合強度を高める処理を行う工程は、前記接合膜を加熱する方法および前記接合膜に圧縮力を付与する方法のうちの少なくとも１つの方法により行われることが好ましい。
これにより、基板、ノズルプレートおよび封止板の各部材を接合してなる接合体の接合強度のさらなる向上を容易に図ることができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
【図１】本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造された液滴吐出ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した場合の第１実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示すインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図３】図１に示すインクジェット式記録ヘッドを備えるインクジェットプリンタの実施形態を示す概略図である。
【図４】インクジェット式記録ヘッドの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。
【図５】インクジェット式記録ヘッドの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。
【図６】インクジェット式記録ヘッドの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。
【図７】インクジェット式記録ヘッドの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。
【図８】第１実施形態にかかるインクジェット式記録ヘッドの他の構成例を示す断面図である。
【図９】本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造された液滴吐出ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した場合の第２実施形態を示す断面図である。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
以下、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法を、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜インクジェット式記録ヘッド＞
≪第１実施形態≫
まず、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造された液滴吐出ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した場合の第１実施形態について説明する。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図１は、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造された液滴吐出ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した場合の第１実施形態を示す分解斜視図、図２は、図１に示すインクジェット式記録ヘッドの断面図、図３は、図１に示すインクジェット式記録ヘッドを備えるインクジェットプリンタの実施形態を示す概略図である。なお、以下の説明では、図１および図２中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
図１に示すインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に「ヘッド１」という。）は、図３に示すようなインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）９に搭載されている。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また、基板２０の下面（封止シート３０と反対側の面）には、接合膜１５を介して、ノズルプレート１０が接合（接着）されている。
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、この接合膜１５、および、接合膜１５を用いて基板２０とノズルプレート１０とを接合する方法に特徴を有するものである。
この接合膜１５は、シリコーン材料を含有する液状材料を、乾燥させてなるものである。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４６】
また、このようなヘッド１は、本発明に用いる液状材料３１を吐出するのに好適に用いられるものである。
ここで、液状材料３１は、前述したように、シリコーン材料と、このシリコーン材料を溶解または分散するための溶媒（分散媒）を含んでいることがある。このような溶媒は、樹脂材料を変質・劣化させてしまうおそれがあり、このため、液状材料３１に接触する接着剤は、長期にわたって接着性を維持することができない。このため、液状材料３１をインクジェット法で吐出した場合、従来では、ヘッドに用いられた接着剤が変質・劣化してしまい、ヘッドの耐久性に問題があった。
これに対し、液状材料３１を吐出するヘッドとして、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造された液滴吐出ヘッドを用いることにより、上述したような接着剤の変質・劣化を伴わないため、長期にわたって優れた耐久性を示すヘッド１が得られる。すなわち、ヘッド１は、液状材料３１を吐出するのに、特に好適に用いられるものである。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４７】
なお、液状材料３１としては、前述したように、シリコーン材料と、これを溶解する溶媒としてトルエンまたはキシレンとを含む材料が好ましく用いられる。しかしながら、これらの好ましい溶媒は、樹脂材料に対する浸食性に富んでいるため、ヘッドの耐久性を損なうおそれがある。
これに対し、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造された液滴吐出ヘッドは、トルエンやキシレンといった樹脂材料に対する浸食性の高い溶媒を含む液状材料をも、安定的に貯留するとともに吐出することができる。かかる観点からも、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造された液滴吐出ヘッドは、液状材料３１を吐出するのに、特に好適に用いることができる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４８】
≪第２実施形態≫
次に、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造された液滴吐出ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した場合の第２実施形態について説明する。
図９は、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造された液滴吐出ヘッドをインクジェット式記録ヘッドに適用した場合の第２実施形態を示す断面図である。なお、以下の説明では、図９中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６０】
以上、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法では、前記実施形態の構成に限定されず、工程の順序が前後してもよい。また、任意の目的の工程が１または２以上追加されていてもよく、不要な工程を削除してもよい。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板の一の面に設けられ、ノズル孔を備えるノズルプレートと、前記基板の他の面に設けられた封止板とを有し、前記基板と前記ノズルプレート、および前記基板と前記封止板がシリコーン材料を含有する接合膜を介して接合されてなり、吐出液を貯留する吐出液貯留室を内部に有しており、前記吐出液を前記ノズル孔から液滴として吐出するよう構成された液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記ノズルプレート、前記基板、および前記封止板の、前記接合膜を介して接合する接合領域のうち一部の領域を、接着剤で固定する工程と、
前記接合領域の前記吐出液貯留室に臨む部分に前記液状材料を浸透させ、液状の前記シリコーン材料の被膜を形成し、乾燥して接合膜を形成する工程と、
前記接合膜にエネルギーを付与して前記ノズルプレート、前記基板、および前記封止板を接合する工程と、を有し、
前記シリコーン材料は、その末端部では下記一般式（１）で表わされる構造単位を有し、連結部では下記一般式（２）で表わされる構造単位を有し、また、分枝部では下記一般式（３）で表わされる構造単位を備えるポリオルガノシロキサン骨格を有する化合物で構成されたものであることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【化１】
2010047018.tif 000002
【請求項２】
前記液滴吐出ヘッドは、その内部に、前記吐出液貯留室と連通したリザーバーをさらに有しており、
前記一部の領域は、前記接合領域であって前記吐出液貯留室および前記リザーバーに臨まない領域である請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記基板、ノズルプレートおよび封止板の前記接合膜と接触する面に、前記接合膜との密着性を高める表面処理を施す請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記表面処理は、プラズマ処理または紫外線照射処理である請求項３に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記エネルギーの付与は、前記接合膜にエネルギー線を照射する方法により行われる請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
さらに、前記基板と前記ノズルプレートとの間および前記基板と前記封止板との間のうちの少なくとも一方を、前記接合膜を介して接合させた後に、前記接合膜に対して接合強度を高める処理を行う工程を有する請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記接合強度を高める処理を行う工程は、前記接合膜を加熱する方法および前記接合膜に圧縮力を付与する方法のうちの少なくとも１つの方法により行われる請求項６に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。