(57)【要約】  シリコンブロックのためのキャリアであって、シリコンブロックがキャリアに堅く接続され且つ切断、洗浄、又はこれらと均等のことによる作業のためにキャリアと共に動かされる、キャリアは、プラスチックから成り、好適にはガラス繊維強化プラスチックから成る。キャリアは、その内部において、多数の連続した長手方向のチャネルを有する。これら長手方向のチャネルは切断され、このため、その後、洗浄流体が、切断されたウェハ間の中間空間内に導入されて、切断の残骸を洗い流す。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンブロックのためのキャリアであって、
前記シリコンブロックが当該キャリアに堅く接続され且つ切断、洗浄、又はこれらと均等のことによる作業のために当該キャリアと共に動かされる、プラスチックから成るキャリアにおいて、
当該キャリアの内部において、少なくとも一つの連続した長手方向のチャネルを有することを特徴とする、キャリア。
【請求項２】
繊維強化プラスチック、好ましくは、ガラス繊維、炭素繊維、セラミック繊維、及びアラミド繊維を含む群からの繊維で強化された繊維強化プラスチックから成ることを特徴とする、請求項１に記載のキャリア。
【請求項３】
前記繊維の比率が、少なくとも１０％、好ましくは少なくとも２５％〜３０％であることを特徴とする、請求項２に記載のキャリア。
【請求項４】
シリコンブロックへの接着剤結合のための下部が、前記シリコンブロックとの接着剤結合を改善すべく、当該キャリアの長手方向において、前記下部に沿って延びる輪郭又は凹部及び隆起部、好ましくは均一な又は規則的な輪郭を有することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載のキャリア。
【請求項５】
前記シリコンブロックから離れて面する上部において、保持装置又は輸送装置にネジで固定するためのネジ山を備えた少なくとも一つのネジ切りされた要素を収容するための少なくとも一つの長手方向の溝、好ましくは長手方向のアンダーカット溝を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のキャリア。
【請求項６】
保持装置に接続する手段のための穴、好ましくは前記保持装置に接続されたネジとの係合のためのネジ切りされた穴が当該キャリアの上部上に設けられることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のキャリア。
【請求項７】
前記プラスチックがポリアミドであることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載のキャリア。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のキャリアを生産するための方法において、
前記キャリアが、非常に長い部品又は連続した部品として押出成形によって生産され、複数の単一のキャリアが、前記非常に長い部品又は連続した部品から所定の長さだけ切り出されることを特徴とする、方法。
【請求項９】
押出成形の後、前記キャリアが二次元方向の材料除去処理において又は研磨又は平削りによってのみ加工されることを特徴とする、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記シリコンブロックが接着手段で前記キャリアに堅く接続されることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の構成。
【請求項１１】
前記シリコンブロックが前記キャリアの下部に堅く接続されることを特徴とする、請求項１０に記載の構成。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンブロックのためのキャリア（carrier）、斯かるキャリアを生産するための方法、及び斯かるキャリア上のシリコンブロックの構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
個々のウェハに切断するためにシリコンブロックをキャリアに固定すること、特に接着剤結合によってシリコンブロックをキャリアに堅く取り付けることは同一の出願人の独国特許出願公開第１０２００８０２８２１３．８号明細書から公知である。斯かるキャリアは、通常、ガラスから作られて、更なる金属キャリアに接着剤で結合される。その後、金属キャリアは、更なる取扱いのために、特に、個々のウェハへのシリコンブロックの切断、後の洗浄、又はこれらと均等のことのために、特にネジ止めによって保持装置又は輸送装置に固定される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、最初に特定されたキャリアと、キャリアを生産するための方法と、構成とを提供することの問題に対処し、これらを用いて、従来技術の問題が回避されることができ、特に低コストであり且つ信頼性の高い処理においてキャリアを生産することが可能である。さらに、更なるシリコンブロックの処理のために、シリコンブロックが接着剤結合によってキャリアに堅く取り付けられることが十分に安定であることが意図される。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この問題は、請求項１の特徴を備えたキャリア、請求項８の特徴を備えた斯かるキャリアを生産するための方法、及び請求項１０の特徴を備えた構成によって解決される。本発明の有利且つ好適な改良が、更なる請求項の主題であり、以下、より詳細に説明される。以下に特定される特徴のいくつかがキャリア若しくは構成について一つのみ記載され若しくは列挙され又は生産方法について一つのみ記載され若しくは列挙される。しかしながら、このことに関係なく、これら特徴はキャリア自体及び生産方法の両方に適用できることが意図されている。請求項の記載は、明示的な参照によって明細書の内容とされる。
【０００５】
プラスチックから成るキャリアが提供される。本発明によれば、キャリアはその内部において少なくとも一つの連続的な長手方向のチャネルを有し、キャリアがその内部において多数の斯かる長手方向のチャネルを有することは有利であり、多数の斯かる長手方向のチャネルは互いに対して平行に延び且つ互いから同じ距離でありうる。
【０００６】
接着剤で取り付けられたシリコンブロックが個々のウェハに切断されると、斯かる長手方向のチャネルも切断されて、洗浄流体が、これらチャネル内に導入されることができ、ウェハ間の中間空間を通って抜け出し、このため、いわゆるスラリーのような汚染物又はその均等物を洗い流す。この態様では、良好な洗浄効果が得られる。キャリアの内部の斯かる長手方向のチャネルの更なる利点は独国特許出願公開第１０２００９０２３１２１号明細書から公知であり、この点においてこの出願に対する参照が明示的になされ、この出願の対応する内容が明示的な参照によって本明細書の内容とされる。
【０００７】
斯かるキャリアの生産についてのプラスチックの利点は、特に長手方向のチャネルがキャリアの内部に存在するので、信頼性の高い処理において、特に押出成形によって生産が容易に行われることを可能とする態様にある。また、結果として、内部チャネル又はそれの均等物を有する形態が、特に任意の長さ又は大きな長さの形態でも生産されることができる。その後、適切な長さの単一のキャリアが切り取られうる。さらに、プラスチックはガラス材料又はセラミック材料よりもかなり安価である。
【０００８】
さらに、プラスチックは、押出成形後、キャリアが、材料除去処理（material-removing process）において、すなわち二次元方向に（two-dimensionally）比較的容易に処理されることできるという大きな利点を有する。このことは研磨又は平削り(planing）によってのみ有利に生じ、研磨又は平削りは、ガラス又はセラミックのような他の材料と比較してプラスチックの場合、比較的良好になされることができ、プラスチックに似た他の材料は温度変動に曝されるときに同様に比較的小さな寸法変化を受ける。
【０００９】
本発明の有利な改良では、キャリアは、安定性、特にキャリアが温度変動に曝されたときの寸法安定性を高めるべく、繊維強化プラスチックから成る。このことのために、ガラス繊維、炭素繊維、セラミック繊維、及びアラミド繊維、又は他のいわゆるハイテク繊維を含む群からの繊維が使用されうる。斯かる繊維の比率は、例えば、少なくとも１０％、好ましくは少なくとも２５％又は３０％よりも大きいことさえもある。また、繊維材料を有する細長いプラスチックキャリアの生産は、押出成形によって当業者にとっていかなる問題が生じることなく実現されることができる。例えば、ポリアミドがキャリアのためのプラスチックとして使用されうる。更なる適切なプラスチックが同様に可能である。
【００１０】
シリコンブロックが接着剤で取り付けられるキャリアの下部は、キャリアの長手方向に延びる輪郭又は凹部及び隆起部を有することができる。これらは、シリコンブロックとの接着剤結合を改善するのに役立つことができる。ほとんどあたかも粗面（roughening）であるかのように作用する表面積の斯かる増加は、このことと、接着剤がいわば微細構造上にロックされうる可能性との両方の結果として、より良好な接着剤結合のために役立つ。輪郭又は凹部及び隆起部が下部上に均一に又は規則的に形成されることは有利であり、輪郭又は凹部及び隆起部は、押出成形の間、長手方向における単純な態様において生産されうる。シリコンブロックがこれら輪郭に対して横たわるときに接着剤が非常に大きな中間空間を満たす必要がないように、斯かる輪郭の高さは、数ミリメートルの範囲、特に１ｍｍよりも小さい範囲にあるべきである。また、特に上述された態様におけるキャリアの下部上におけるキャリアの作用が依然として十分な表面粗さを残すことが提供されうる。
【００１１】
シリコンブロックから離れて面するキャリアの上部において、キャリアは少なくとも一つの長手方向の溝を有することができる。これは長手方向のアンダーカット（undercut）溝として形成されうる。長手方向の溝は少なくとも一つのネジ切りされた要素を収容することができ、少なくとも一つのネジ切りされた要素は、上述された保持装置又は輸送装置にネジで固定するためのネジ山を有する。
【００１２】
キャリアの上部の溝における固定のための斯かる可能なものの代替として、穴が、キャリア内に、特にキャリアの上部において設けられてもよい。保持装置に接続するための手段、例えば保持装置への固定のためのネジにおけるネジ止めのためのネジ切りされた穴が前記キャリア内に組み込まれることもでき、可能性としては、セルフタッピングネジが円筒穴内に螺入されてもよく、このことは、キャリアを生産することに関する骨折りを改善し又は減少させ、セルフタッピングネジは、一度のみ使用され、キャリアに接着剤で取り付けられたシリコンブロックを切断した後に廃棄される。
【００１３】
これら及び他の特徴が特許請求の範囲からだけでなく明細書及び図からも明らかになり、ここで、個々の特徴は、いずれの場合においても、それ自体単独または個々の組合せの形態で、本発明の実施形態及び他の分野において実現されることができ、また、本願で権利保護が主張されている有利な、個別に保護されうる実施形態を構成することができる。個々の項目及び小見出しに本願を細分することは、本願のもとになされる記述の一般的な有効性を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、各々の断面が異なる多数の長手方向のチャネルと、上部に位置する溝とを備えた本発明に係るキャリアを通した断面図を示す。
【図２】図２は、大きく拡大されたキャリアの下部を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の例示的な実施形態が、図において概略的に示され、以下、更に詳細に説明される。
図１は、本発明に係るキャリア１１を示し、キャリア１１は、細長い平らなパネルとして形成され、且つ、破線によって表されたシリコンブロック１４の下部１３に接着剤結合によって固定され又は硬く取り付けられる。キャリア１１は、例えば約６００ｍｍ〜８００ｍｍの長さ、約２００ｍｍの幅、及び約２０ｍｍ〜３０ｍｍの厚さを有する。キャリア１１はプラスチックから成り且つ押出成形によって生産される。プラスチックは、ポリアミドであり、例えば約３０％の比率を有するガラス繊維を備えた繊維強化プラスチックである。
【００１６】
五つの長手方向のチャネル１７ａ〜１７ｅがキャリア１１の内部に設けられる。これらはキャリアの全長を通り、断面はいずれの場合にも同じままである。これらは、それと同時に、真っ直ぐであり且つ互いに対して平行であり、必須ではないが、ほぼ同じままである互いからの距離に位置することも有利である。キャリア１１の生産の間、長手方向のチャネル１７は押出成形型又は鋳型の適切な構造によって同様に押出成形によって生産される。長手方向のチャネルの構造に関して、内部整理番号Ｐ４９７０１を有する同日出願の独国特許出願について参照がなされ、この点におけるこの出願の内容は、明示的な参照によって本明細書の内容とされる。プラスチックの押出成形によって、示されたキャリアの断面形態がとりわけ容易に生産されることが可能となる。実際には、長手方向のチャネル１７の全てが同一の断面を有することは有利である。
【００１７】
さらに、二つのアンダーカット溝１５ａ及び１５ｂも、これら溝内において変位可能なネジ切りされた要素のためのダブテール状ガイド（dovetailed guide）又はその均等物のようなものとして、固定のために上部に設けられる。溝の構造に関して、内部整理番号Ｐ４９７０５を有する同日出願の独国特許出願について参照がなされ、この点におけるこの出願の内容は、明示的な参照によって本明細書の内容とされる。溝１５の代替手段として、例えば、溝内において、ネジ切りされた要素と同様の態様でキャリアをネジ止めするのに役立つ雌ネジ部が前もって穴に設けられうる。
【００１８】
図１は、如何にシリコンブロック１５がソーイングワイヤ２４によってキャリア１１内の範囲を通して切断されるかも示し、ソーイングワイヤ２４は（これ以上詳細には表されない）ソーイング装置に対して平行な複数の形態で存在する。斯かるソーイングの深さはソーイングワイヤ２４’として破線によって表される。ここでは、ソーイングワイヤ２４又は２４’の通常の僅かに曲げられた形態が見られることができ、この曲げは、より小さいことも可能である。
【００１９】
異なる三つの領域における前述された輪郭又は凹部及び隆起部を示すべく、図２はキャリア１１の下部１３の大きな拡大を示す。これらは、シリコンブロック１４との接着剤結合を改善するのに役立ち、この目的のために、これらがいずれの場合にも均一に又は規則的にキャリアの下部１３の全幅に亘って設けられることは有利である。
【００２０】
左側の輪郭１８ａは、交互に生じる凹部及び隆起部として形成され、例えば、凹部及び隆起部は最大でも１ｍｍの高さを有し又はかなり小さい。凹部は、隆起部とほぼ同じ大きさであるが、異なる大きさであってもよい。
【００２１】
中間の輪郭１８ｂは、正確なアンダーカットとなるように凹部として形成される。このことによって、シリコンブロックのための接着剤が言わばロックされ又は特に良好に結合されることが可能となる。
【００２２】
右側の輪郭１８ｃは、それぞれ正確なアンダーカットになるように、交互に生じる凹部及び隆起部として形成される。このことによって、前述の二つの輪郭の効果が、言わば更に改善された接着剤結合のために組み合わされることが可能となるのは有利である。
【００２３】
溝１５又は長手方向のチャネル１７と同様に、輪郭が押出成形の間に生成されることも容易に可能である。下部１３がシリコンブロックに対してうまく横たわることができるように、下部１３を平面に表面研磨すべく、輪郭は、材料のいくらかの高さが研磨で取り除かれた後、所望の効果のために十分な輪郭がそれでもなお残っているように、接着剤結合のための目的において実際に望まれるのよりもいくらか高くされて形成されうる。
【図１】
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【図２】
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【国際調査報告】
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