【手続補正書】
【提出日】平成20年12月16日(2008.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動横軸を備え、および加工物の表面上の測定点を記録する１つまたは複数のセンサを有する座標測定装置を用いて加工物の幾何形状を測定する方法であって、
画像処理センサおよび／または切換走査システムおよび／または測定走査システムおよび／または前記画像処理センサに組み込まれたレーザ近接センサおよび／または別個のレーザ近接センサおよび／または白色光干渉計および／または触知／光センサデバイスを備え、
前記成形された走査要素の位置は、前記画像処理センサにより直接決定され、および／または点状の動作干渉計センサおよび／または一体の回転軸を有する点状の動作干渉計センサおよび／または湾曲した視野方向を有する点状の動作干渉計センサおよび／またはＸ線センサおよび／または色焦点センサおよび／または共焦点走査測定ヘッドが、前記センサとして設定され、
使用されるセンサの種類または数は、それぞれ個々の測定作業に対して設計される、方法。
【請求項２】
１つまたは複数のセンサが、交換インタフェースに装着され、手動または自動で交換される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記画像処理ビーム経路の前記照射デバイスの特性、すなわち、前記測定装置のオペレータインタフェースのデフォルト値における前記照射強度の依存性は、前記画像処理センサを用いて前記対応するデフォルト値で照射強度を測定することにより記録される、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記特性は、様々な照射チャネルの光強度の制御を実行するライトボックスに記憶される、少なくとも請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記座標測定装置の前記照射システムの光特性は、標準対象物または反射挙動に関して校正されている対象物について測定することにより、複数の装置に対して標準化され、この結果、これら装置間のプログラムの移動性が保証される、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記以前に測定された光特性は、前記座標測定装置の動作の間の補正計算に対して、線形特性がオペレータに対して利用可能である（前記デフォルト値および照射強度はこの後線形な相互関係に従う）ように考慮に入れられる、請求項１ないし５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記線形特性の向上は補正係数により複数の装置に対して平衡な状態をもたらす、請求項１ないし６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
画像処理センサを備える前記座標測定装置の動作に対するプログラムの処理の間に、個々の位置を測定するとき、
ａ．前記照射源または前記プログラムに記憶された照射源の所定の強度を調整することと。
ｂ．前記画像処理センサを用いて前記照射強度を測定し、この測定値が前記記憶された所望の値またはデフォルト値に一致するがどうかをチェックすることと、
ｃ．前記所望値と実際値とのずれが一定量を超える場合、照射強度の前記デフォルト値は、前記照射システムの前記記録された特性に従って線形補正または補正され、これにより前記プログラムに記憶される前記所望の強度値を得るようにすることと、
ｄ．前記所望の対象物特性を測定することと、
ｅ．このシーケンスを前記プログラムの仕様に従って繰り返すことと、
の各ステップを実行する、請求項１ないし７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
調整手順が実施された後に、前記光制御手順を実現する目的で、第１画像だけが前記強度を記録するために記録され、第２画像が測定を実行するために記録される、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
複数の特性設定が前記座標測定装置内に記憶され、この特性設定は他の座標測定装置の１つ上の前記座標測定装置の測定プログラムの処理のための別の類似の座標測定装置の挙動に一致する、請求項３ないし９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
加工物表面の前記輪郭は１つおよび／または複数のセンサを用いて記録される、請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
所定の所望の輪郭に対する直接比較が、前記座標測定装置の前記１つまたは複数のセンサにより測定された前記輪郭を用いて実行される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
所望の輪郭と実際の輪郭との間の自動的適合が、測定された実際の輪郭と所望の輪郭とのずれの評価の間になされる、請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
前記所望の輪郭と実際の輪郭との間の相対位置の変化とは別に、
曲率が維持される間において、前記輪郭断面部の長さは所望の長さに対応して変化し、および／または前記輪郭の曲率は、前記実際の輪郭の前記輪郭長さが維持される間に変化し、これにより、前記所望の輪郭と実際の輪郭との間の前記最適の適合の間に、最適有効範囲が前記所望の輪郭を用いて達成されるようにする、請求項１２または１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記実際および所望の輪郭の間、または輪郭の交点または円形構造または他の反復構造といった個々に特徴付けられる、実際および所望の輪郭のグループの間の前記適合は実行され、これにより、前記所望の輪郭を備える最適な有効範囲を達成するために、前記実際の輪郭の変形が生成される、請求項１２ないし１４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
円筒形外被表面に前記所望の輪郭を備える最適有効範囲を生成するために、前記実際の輪郭は部分的に回転されるかまたはねじでクランプされる、請求項１ないし１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
前記所望または実際の輪郭に割当てられる許容差ゾーンは、前記所望の輪郭と実際の輪郭の間のずれの前記評価の間において評価される、請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
前記許容差ゾーンは、測定値許容差、形状許容差および位置許容差に関して、ＣＡＤ図面などの図面の測定値データから自動的に計算される、請求項１ないし１７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１９】
複数の許容差ゾーンは各所望または実際の輪郭セグメントに対して割り当てられる、請求項１ないし１８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２０】
前記許容差ゾーンシステムに従って、複数の異なる位置、測定および／または幾何形状の許容差の状態が、グループに結合される複数の所望または実際の輪郭領域、および／または所望の完全な加工物の所望および実際の輪郭に関して、自動的に連続して評価される、請求項１ないし１９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２１】
前記様々な所望／実際に輪郭の比較の最も不都合な結果は、各所望または実際の輪郭セグメントの前面にそれぞれの許容差ゾーンと共に表示される、請求項１ないし２０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２２】
画像処理センサのズーム光学系を備えるレーザ近接光学系が共通ビーム経路を利用する、請求項１ないし２１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２３】
前記使用されるズーム光学系の前記動作距離が調整可能である、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記レーザ近接センサの前記開口および／または動作距離および画像処理センサ光学系を修正する前置光学要素は、選択的に交換可能である、請求項２２または２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記光学系は、前記光学部品を交換することにより前記レーザ近接センサの動作に関して最適化される、請求項２２ないし２４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２６】
前記前置光学要素は磁気インタフェースを介して前記ズーム光学系に接続される、請求項２２ないし２５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２７】
前記前置光学要素は、前記触知センサにも使用されるセンサデバイス交換器により交換されることができる、請求項２２ないし２６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２８】
前記画像処理センサに対して最適なコントラストを生成するために、複数画像が様々な照射源を使用して連続して記録され、
最適なコントラストを備える領域が各画像から除去され、これら領域を結合して最適なコントラストを有する全体画像を生成する、請求項１ないし２７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２９】
暗視野の照射の様々な照射方向および／または暗視野の照射の様々な照射角度を使用して、および／または明視野の照射を使用して、前記同一対象物または対象物断面部の様々な画像を記録し、最適なコントラストを有する個々の画像の前記領域を結合して全体画像を生成する、請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
同一位置において近接して最適なコントラストを有する前記ピクセルは、前記結果として得られる全体画像の各ピクセルに対し、または前記全体画像の各結果として得られる各位置に対して、様々な照射を有する前記個々の画像から選択される、請求項２８または２９に記載の方法。
【請求項３１】
前記最適なコントラストの前記評価は、前記それぞれの観測ピクセルと隣接ピクセルとの間の前記振幅の差を決定することにより実行される、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
可動横軸を備え、および加工物の表面上の測定点を記録する１つまたは複数のセンサ（３０）を有する座標測定装置（１０）であって、
画像処理センサシステム（１６８、２６０、２７６）および／または切換走査システムおよび／または測定走査システム（３０）および／または前記画像処理センサに組み込まれたレーザ近接センサ（２６２、２７８）および／または別個のレーザ近接センサ（２９０）および／または白色光干渉計および／または触知／光センサデバイスを備え、
前記成形された走査要素の位置は前記画像処理センサ（２０８）により直接決定され、および／または点状の動作干渉計センサおよび／または一体の回転軸を有する点状の動作干渉計センサおよび／または湾曲した視野方向を有する点状の動作干渉計センサおよび／またはＸ線センサ（３０８，３１４）および／または色焦点センサおよび／または共焦点走査測定ヘッドが前記センサとして取り付けられている、座標測定装置。
【請求項３３】
１つまたは複数のセンサ（３４、３６、３８）が交換インタフェースに設けられ、手動または自動で交換できる、請求項３２に記載の座標測定装置。
【請求項３４】
異なる照射源の特性用のメモリが座標測定装置内に存在し、
照射強度をリアルタイムで調整するための単一経路を有するこのメモリは、それぞれの照射源に割り当てされ、これにより、この特性メモリに依存して、前記デフォルト値を補正する、請求項３２もしくは３３項に記載の座標測定装置。
【請求項３５】
ズーム光学系（２８２）を備えるレーザ近接光学系（２７８）が画像処理（２７６）のための共通ビーム経路を形成している、請求項３２ないし３４のいずれか１項に記載の座標測定装置。
【請求項３６】
前記使用されるズーム光学系（２８２）の前記動作距離は、調整レンズグループにより同様に調整可能である、請求項３５に記載の座標測定装置。
【請求項３７】
前置光学要素（２８６）は選択的に交換されることができる、請求項３５もしくは３６項に記載の座標測定装置。
【請求項３８】
前記光学系は、前置光学要素（２８６）を交換することにより前記レーザ近接センサ（２７８）の動作に関して最適化される、少なくとも請求項３７に記載の座標測定装置。
【請求項３９】
前記前置光学要素（２８６）は磁気インタフェースを介して前記ズーム光学系（２８２）に接続されている、請求項３７に記載の座標測定装置。
【請求項４０】
前記前置光学要素（２８６）は、触知センサに使用されるセンサデバイス交換器により交換されることができる、請求項３７に記載の座標測定装置。