【手続補正書】
【提出日】平成21年4月24日(2009.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面と、
縦軸と、第１の端に位置する第１の端面とを有し、前記第１の端面が、前記第１の面に接して配置されているチューブ体と、
前記第１の端面に沿う第１の方向に、前記第１の端面の第１の部分に沿って伝播する第１の伝播表面波を、前記第１の端面に発生させ、かつ、前記第１の伝播表面波が、前記第１の端面の前記第１の部分に沿って伝播している間、前記第１の端面をめぐる第２の方向に、前記第１の端面の第２の部分に沿って伝播する第２の伝播表面波を、前記第１の端面に発生させるように構成され、前記第２の方向は、前記第１の方向に対して逆回りである表面波発生手段、
とを備えてなり、
前記第１の面と、前記第１および前記第２の伝播表面波との間の相互作用により、前記第１の面と前記チューブ体とを相対的移動させるようになっている位置決め装置。
【請求項２】
前記チューブ体は、円環状断面の中空円筒体である、請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記チューブ体は、圧電材料を備えており、また、前記表面波発生手段は、複数の電極と、あらかじめ定められたやり方で、前記電極に電圧を印加するように構成されている制御手段とを備えており、前記電極は、前記印加された電圧が、前記圧電材料に印加されて、寸法変化を生み出し、かつ、前記第１および前記第２の伝播表面波を発生させる電界をもたらすように、前記チューブ体に対して配置されている、請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記圧電材料は、前記縦軸に関して半径方向に分極化されている、請求項３に記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記表面波発生手段は、前記チューブ体の外側表面および内側表面の少なくとも一方を囲んで、間隔を置いて配置されている複数の電極を備えている、請求項３または４に記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記表面波発生手段は、前記圧電材料内に寸法変化を生み出して、前記第１および前記第２の伝播表面波を発生させるように、あらかじめ定められた順序で、前記間隔を置いて配置されている電極に電圧を印加するように構成された制御手段を備えている、請求項５に記載の位置決め装置。
【請求項７】
前記間隔を置いて配置されている電極は、前記チューブ体の第１のセクションを囲んで延在している第１の電極グループであって、前記第１の端面の第１の部分が、前記第１のセクションの端面である、第１の電極グループと、前記チューブ体の第２のセクションを囲んで延在している第２の電極グループであって、前記第１の端面の前記第２の部分が、前記第２のセクションの端面である第２の電極グループとを備えている、請求項５または６に記載の位置決め装置。
【請求項８】
前記間隔を置いて配置されている電極は、前記チューブ体の第１の縦方向セグメントを囲んで配置されており、この第１の縦方向セグメントは、前記第１の端に接している、請求項５〜７のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項９】
前記チューブ体の第２の縦方向セグメントを囲んで配置されている電極のアレイであって、この第２の縦方向セグメントは、前記第１の端に向かって、前記第１の縦方向セグメントの反対側にある電極のアレイと、前記縦軸と直交する少なくとも１つの方向の、前記第１の端面の変位をもたらす、前記圧電材料の寸法変化を生み出すために、前記アレイの前記電極に電圧を印加するように構成されている変位制御手段とをさらに備えてなる、請求項８に記載の位置決め装置。
【請求項１０】
前記電極のアレイは、前記第２の縦方向セグメントを囲んで、間隔を置いて配置されている４つの電極を備えており、これら４つの電極は、直径方向に対向している第１の対と、直径方向に対向している第２の対とを備えており、前記変位制御手段は、前記縦軸に直角な第１の方向の、前記第１の端面の変位を生み出すために、前記第１の対の前記電極に電圧を印加するように、また、前記縦軸に直角な第２の方向の、前記第１の端面の変位を生み出すために、前記第２の対の前記電極に電圧を印加するように構成されている、請求項９に記載の位置決め装置。
【請求項１１】
前記第１の面は平坦であり、前記第１および前記第２の伝播波は、前記チューブ体と前記第１の面との間の相対的並進を含む相対的移動を生み出すように、前記第１の面と相互作用するようになっている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項１２】
前記第１の面は、球状であり、前記第１および前記第２の伝播波は、前記縦軸に直角な軸の周りの、前記チューブ体と前記第１の面との間の相対的回転を含む相対的移動を生み出すように、前記第１の面と相互作用するようになっている、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項１３】
前記第１の端面は、該第１の端面が接する、前記第１の面の部分の形状と一致するように形作られている、請求項１１または１２に記載の位置決め装置。
【請求項１４】
前記第１の端面と前記第１の面とを互いに付勢するようになっている付勢手段をさらに備えてなる、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項１５】
前記第１の面と前記第１の端面とのうちの少なくとも一方は、耐摩耗性材料を備えている、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項１６】
前記第１の部分と前記第２の部分とが、いっしょになって、前記第１の端面全体を構成している、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項１７】
前記第１の部分と前記第２の部分とが、いっしょになって、前記第１の端面全体の一部分しか構成していない、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項１８】
前記第１の部分と前記第２の部分とは、直径方向に、互いに対向し合っている、請求項１７に記載の位置決め装置。
【請求項１９】
前記チューブ体によって支持されている物体を備えてなり、前記第１の面は、該支持されている物体の表面である、請求項１〜１８のいずれか１項に記載の位置決め装置。
【請求項２０】
前記チューブ体を支持しているベースをさらに備えてなる、請求項１９に記載の位置決め装置であって、ベースはベース表面を備え、前記チューブ体は、前記チューブ体の第２の端に第２の端面を有し、この第２の端面は、前記ベース表面に接して配置されており、前記表面波発生手段は、さらに、前記第２の端面をめぐる第１の方向に、前記第２の端面の第１の部分に沿って伝播する第３の伝播表面波を前記第２の端面に発生させ、かつ、前記第３の伝播表面波を、前記第２の端面の前記第１の部分に沿って伝播している間、前記第２の端面をめぐる第２の方向に、前記第２の端面の第２の部分に沿って伝播する第４の伝播表面波を、前記第２の端面に発生させるように構成されており、それによって、前記第３および前記第４の伝播表面波が、前記ベースに相対的な前記チューブ体の移動を生み出すように、前記ベース表面と相互作用するようになっている、位置決め装置。
【請求項２１】
前記チューブ体は、圧電材料から成るチューブであり、また、前記表面波発生手段は、前記チューブ体の前記第２の端に接している第３の縦方向セグメントを囲んで配置されている複数の電極と、前記圧電材料に寸法変化を生み出し、かつ、前記第３および前記第４の伝播表面波を発生させるように、あらかじめ定められた順序で、前記第３の縦方向セグメントの電極に電圧を印加するように構成されている制御手段とを備えてなる、請求項２０に記載の位置決め装置。
【請求項２２】
前記第２の端面および前記ベース表面は平坦であり、前記チューブ体と前記ベースとの間に生み出される前記移動は、前記ベース表面上における前記チューブ体の並進を含んでいる、請求項２０または２１に記載の位置決め装置。
【請求項２３】
第１の面とチューブ体との間の相対的移動を生み出す方法であって、前記チューブ体は、縦軸とこのチューブ体の１つの端に位置する端面とを有している方法において、
前記端面を、前記第１の面に接して配置するステップと、
前記端面に第１の伝播表面波を発生させるステップであって、前記第１の伝播表面波が、前記端面に沿う第１の方向に、前記端面の第１の部分に沿って伝播するステップと、
前記第１の伝播表面波が、前記端面の前記第１の部分に沿って伝播している間、前記端面に第２の伝播表面波を発生させるステップであって、前記第２の伝播表面波が、前記端面に沿う第２の方向に、前記端面の第２の部分に沿って伝播し、前記第２の方向は、前記第１の方向に対して逆回りであるステップ、
とを含んでなる方法。
【請求項２４】
前記第１の面および前記端面は平坦であり、前記第１および前記第２の伝播表面波は、前記縦軸に対して横向きの方向に、前記第１の面と前記端面との間の相対的並進を生じさせるように、前記第１の面と相互作用するようになっている、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記第１の面は曲面であり、前記第１および前記第２の伝播表面波は、前記縦軸と異なる軸の周りに、前記第１の面と前記端面との間の相対的回転を生じさせるように、前記第１の面と相互作用するようになっている、請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
ベースと、
前記ベースに結合され、縦軸に沿って、前記ベースから遠位端まで延在している圧電部材であって、前記遠位端に第１の端面を有する圧電部材と、
前記第１の端面によって支持されている可動部材であって、前記第１の端面に接して配置された第１の面を有する可動部材と、
前記縦軸と平行な方向に、前記ベースに相対的に、前記可動部材の位置調整を与えるために、前記圧電部材を、前記縦軸と平行な方向に、制御された伸長をさせるように構成されている部材移動手段と、
回転軸の周りの、前記可動部材の制御された回転を与えるために、前記圧電部材の前記第１の端面に、少なくとも１つの伝播表面波を発生させるように構成されている部材回転手段、
とを備えてなる位置決め装置。
【請求項２７】
ベースに対して、可動部材を位置決めする方法であって、
前記ベースに結合され、縦軸に沿って、前記ベースから遠位端まで延在し、この遠位端に、第１の端面を有する圧電部材を用意するステップと、
前記第１の端面に接している第１の面を有する前記可動部材を、前記第１の端面上に支持するステップと、
前記ベースに相対的に、前記縦軸に平行な方向の、前記可動部材の位置調整を与えるために、前記圧電部材を、前記縦軸に平行な方向に、制御された伸長をさせるステップと、
回転軸の周りの前記可動部材の制御された回転を与えるために、前記圧電部材の前記第１の端面に、少なくとも１つの伝播表面波を発生させるステップ、
とを含んでなる方法。
【請求項２８】
第１の面と、縦軸および端面を持つ、圧電材料から成るチューブとの間の相対的移動を生み出す方法であって、
複数の電極を、前記チューブ上に設けるステップと、
前記第１の面を、前記端面に接して配置するステップと、
前記端面を変形させて、前記第１の面と前記チューブとの間の相対的移動を生み出すように、前記電極を励起するステップであって、
前記相対的移動は、並進と、前記チューブの前記縦軸と異なる軸の周りの回転とのうちの少なくとも一方を有するステップとを含んでなる方法。
【請求項２９】
ベースと、
前記ベースに結合されている圧電体と、
前記圧電体の表面に接して配置されている第１の面を持つ可動部材と、
前記可動部材によって支えられているプローブと、
前記圧電体の表面に、少なくとも１つの伝播表面波を発生させるように構成されている表面波発生システムであって、前記少なくとも１つの伝播表面波が、前記可動部材と前記圧電体との間の相対的移動を生み出して、前記ベースと相対的な、前記プローブの位置制御を行うように、前記可動部材と相互作用する表面波発生システム、
とを備えてなる位置決め装置。
【請求項３０】
可動部材の、互いに独立した、相対的に精細な位置制御と、相対的に粗い位置制御とを供給する方法であって、
前記可動部材を、圧電材料から成る物体に結合させるステップと、前記物体に制御された歪みを与えて、前記可動部材の相対的に精細な位置制御を与えるように、前記物体に電界を印加するステップと、
前記可動部材の表面を、圧電材料から成る物体の表面に接して配置するステップと、前記圧電材料から成る物体の前記表面に、少なくとも１つの伝播表面波を発生させるステップであって、前記少なくとも１つの伝播表面波が、前記両表面間の相対的移動を生み出して、前記可動部材の相対的に粗い位置制御を与えるように、前記可動部材と相互作用するステップ、
とを含んでなる方法。
【請求項３１】
ベースと、
前記ベースに結合されている圧電部材と、
前記圧電部材によって支持されている可動部材であって、前記圧電部材の表面に接して配置された第１の表面を有する可動部材と、
前記圧電部材に制御された歪みを与えて、前記ベースに相対的な、前記可動部材の相対的に精細な位置制御を与えるために、前記圧電部材に電界を印加するように構成されている歪み制御システムと、
前記両表面間の相対的移動を生み出し、それによって、前記ベースに相対的な、前記可動部材の相対的に粗い位置制御を与えるために、前記圧電部材の前記表面に、前記可動部材と相互作用する、少なくとも１つの伝播表面波を発生させるように構成されている表面波発生システム、
とを備えてなる位置決め装置。