【手続補正書】
【提出日】平成23年4月13日(2011.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
このように、基板の上面及び下面に対してエアーナイフとの対向間隔が不均一になると、エアーナイフの長手方向において基板の板面が受ける気体の速度が一定とならないから、基板を幅方向全長にわたって均一に乾燥処理することができなくなるということがある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記上部係止部と下部係止部は円柱状であって、
上記上部フックと下部フックは一端が上記上部エアーナイフ及び下部エアーナイフにそれぞれ固定され他端が上記上部係止部と下部係止部にそれぞれ係合する係合部に形成されていることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記上部エアーナイフと上記下部エアーナイフの長手方向の一端と他端は、一対の連結部材の上下方向の中途部にそれぞれ傾斜角度及び上下方向の位置決め可能に取り付けられていて、
上記上部支持部材と上記下部支持部材の長手方向の一端部と他端部は、上記一対の連結部材の上端と下端にそれぞれ連結固定されることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
上記高さ調整部材１２の幅方向の一端には突出部１４が設けられている。この突出部１４は、上記各エアーナイフ７，８の後端面に設けられた取付け片１５に螺合された高さ調整ねじ１６によって押圧されるようになっている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
上記上部係止部２９の円弧状の外周面には、上記上部エアーナイフ７の長手方向中途部の後端面に一端が取り付け固定された上部フック３１の他端に形成された係合部としてのＬ字の鉤部３１ａが係合している。つまり、上記鉤部３１ａは上記上部係止部２９に対して揺動可能に係合している。なお、上記鉤部３１ａには溝部３１ｂが形成され、この溝部３１ａに上記吊り下げ部材２７が通されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
上記押し上げ部材３２の上端には、円柱状の下部係止部３４が軸線を押し上げ部材３２の軸線と直交させて設けられている。上記下部係止部３４の円弧状の外周面には、上記下部エアーナイフ８の長手方向中途部の後端面に一端が取り付け固定された下部フック３５の他端に形成された係合部としてのＬ字状の鉤部３５ａが係合している。つまり、上記鉤部３５ａは上記下部係止部３４に対して上記下部エアーナイフ８の長手方向と交差する方向に対して揺動可能に係合している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
このようにして構成されたエアーナイフユニット６はチャンバ１内に組み込まれる。すなわち、図２に示すように上記チャンバ１の上記基板Ｗの搬送方向に対して交差する方向の幅方向両端部の外方には、Ｌ字状の支持部材３７が水平部分の先端部を上記チャンバ１内に突出させて設けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
なお、上記エアーナイフユニット６の上下一対のエアーナイフ７，８は、これらの噴出孔７ａ，８ａを基板Ｗの搬送方向上流側に向くよう垂直方向に対して所定の角度、例えば５５度の角度で傾斜し、しかも基板Ｗの搬送方向と直交する幅方向と平行な水平方向に対して所定の角度で傾斜して配置されている。つまり、基板Ｗの搬送方向に対して斜めになっている。さらに、上下一対のエアーナイフ７，８は、これらの噴出孔７ａ，８ａが開口した先端面間に上記基板Ｗが通過する高さになるよう、上記一対の支持部材３７に取り付け固定されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
したがって、下部エアーナイフ８が図４に矢印Ｄ２で示す斜め下方に撓んでも、その撓み量に応じて押し上げ部材３２を垂直方向に上昇させて位置決めすれば、下部エアーナイフ８の斜め下方への撓みを除去することができる。しかも、下部フック３５が押し上げ部材３２の上端に設けられた下部係止部３４に揺動可能に係合しているから、下部エアーノズル８の角度設定も可能である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図５のグラフにおいて、折れ線Ａは上部エアーナイフ７が吊り下げ部材２７によって支持されていないときの撓み量を測定したグラフであり、折れ線Ｂは上部エアーナイフ７の長手方向中途部を１つの吊り下げ部材２７で支持したときの撓み量を測定したグラフであり、折れ線Ｃは長手方向中途部を２つの吊り下げ部材２７で支持したときの撓み量を測定したグラフである。なお、図５のグラフの縦軸は撓み量（ｍｍ）で、横軸は上部エアーナイフ７の長手方向を１１等分した位置を示す。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
１…チャンバ、６…エアーナイフユニット、７…上部エアーナイフ、８…下部エアーナイフ、１２…高さ調整部材、１６…高さ調整ねじ、１８…角度調整部材、２５…上部支持部材、２６…下部支持部材、２７…吊り下げ部材、２９…上部係止部、３１…上部フック、３２…押し上げ部材、３４…下部係止部、３５…下部フック、支持部材。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
上記上部係止部と下部係止部は円柱状であって、
上記上部フックと下部フックは一端が上記上部エアーナイフ及び下部エアーナイフにそれぞれ固定され他端が上記上部係止部と下部係止部にそれぞれ係合する係合部に形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
上記上部エアーナイフと上記下部エアーナイフの長手方向の一端と他端は、一対の連結部材の上下方向の中途部にそれぞれ傾斜角度及び上下方向の位置決め可能に取り付けられていて、
上記上部支持部材と上記下部支持部材の長手方向の一端部と他端部は、上記一対の連結部材の上端と下端にそれぞれ連結固定されることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
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【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
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【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
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【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
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