【手続補正書】
【提出日】平成23年10月26日(2011.10.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の特性を調べるための電子部品テスタであって、
前記電子部品テスタ用の較正制御信号を生成するテスタプロセス制御部と、
前記電子部品との間で通信を行うことによりこの電子部品から応答特性信号を受け取って、この応答特性信号の周波数スペクトラムを判定し、前記テスタプロセス制御部との間で通信を行うことにより前記周波数スペクトラムを前記テスタプロセス制御部に送信すると共に前記テスタプロセス制御部から前記較正制御信号を受け取って前記周波数スペクトラムからイメージ周波数の影響を除去し、周波数スペクトラムのノイズ帯域幅を判定するスペクトラム分析器と
を備えたことを特徴とする電子部品テスタ。
【請求項２】
前記電子部品が磁気ヘッド部品または磁気媒体部品である
ことを特徴とする請求項１に記載の電子部品テスタ。
【請求項３】
前記スペクトラム分析器は、スーパーヘテロダインスペクトラム分析器または多チャンネルスペクトラム分析器である
ことを特徴とする請求項１に記載の電子部品テスタ。
【請求項４】
前記スペクトラム分析器は、
前記応答特性信号のうち、帯域幅上限周波数（upper bandwidth frequency）よりも高
い高調波成分を制限するローパスフィルタリングを行うローパスフィルタと、
前記ローパスフィルタとの間で通信を行うことにより、前記ローパスフィルタリングの行われた応答特性信号を受信し、これを中間周波数信号に変換すると共に、前記テスタプロセス制御部との間で通信を行うことにより、前記較正制御信号のうちの第１の掃引信号を受信し、帯域幅下限周波数（lower bandwidth frequency）から前記帯域幅上限周波数
までの範囲にわたって前記中間周波数信号が掃引されるように自らを調整するアップコンバータ回路と、
前記中間周波数信号における前記高調波成分をさらに抑制するためのバンドパスフィルタリングを行う第１のバンドパスフィルタと、
前記第１のバンドパスフィルタとの間で通信を行うことにより、前記バンドパスフィルタリングの行われた中間周波数信号を受信して、これを最終出力周波数信号に変換すると共に、前記テスタプロセス制御部との間で通信を行うことにより、前記較正制御信号のうちの第２の掃引信号を受信し、前記帯域幅下限周波数から前記帯域幅上限周波数までの範囲にわたって前記最終出力周波数信号が掃引されるように自らを調整するダウンコンバータ回路と、
前記最終出力周波数信号における前記高調波成分をさらに抑制するためのフィルタリングを行う第２のバンドパスフィルタと、
前記ダウンコンバータ回路との間で通信を行うことにより前記最終出力周波数信号を受信し、この最終出力周波数信号のエネルギー量を示すエネルギー量信号を生成するエネルギー判定回路と
を含むことを特徴とする請求項１に記載の電子部品テスタ。
【請求項５】
前記スペクトラム分析器は、さらに、
前記エネルギー判定回路との間で通信を行うことにより前記エネルギー量信号を受信し、このエネルギー量信号をディジタルのエネルギー量信号に変換すると共に、前記テスタプロセス制御部との間で通信を行うことにより前記ディジタルのエネルギー量信号を前記テスタプロセス制御部に送信するアナログ・ディジタル変換器を含み、
前記テスタプロセス制御部が、前記ディジタルのエネルギー量信号を評価することにより、前記電子部品の特性を表す周波数スペクトラムを生成する
ことを特徴とする請求項４に記載の電子部品テスタ。
【請求項６】
前記アップコンバータは、
第１の局部発振信号を生成する第１の位相ロックループと、
前記ローパスフィルタリングの行われた応答特性信号を受信すると共に、前記第１の位相ロックループとの間で通信を行うことにより第１の局部発振信号を受信し、前記ローパスフィルタリングの行われた応答特性信号と前記第１の局部発振信号とを組み合わせて前記中間周波数信号を生成する第１の周波数ミキサと
を含むことを特徴とする請求項４に記載の電子部品テスタ。
【請求項７】
前記第１の局部発振信号の最低周波数は、前記応答特性信号および前記中間周波数信号の最大周波数よりも大きい
ことを特徴とする請求項６に記載の電子部品テスタ。
【請求項８】
前記第１の局部発振信号は、次の（１）式により決定される
ことを特徴とする請求項６に記載の電子部品テスタ。
f LO＝ fIF＋ fIN  …（１）
f LO：前記第１の局部発振信号の周波数
f IF：前記中間周波数信号の周波数
f IN：入力信号の周波数
【請求項９】
前記第１のバンドパスフィルタの中心周波数は、次の（２）式により決定される
ことを特徴とする請求項４に記載の電子部品テスタ。
f BPF1＝ fIF＋ fBPF2    …（２）
f BPF1：前記第１のバンドパスフィルタの中心周波数
f IF  ：前記中間周波数信号の周波数
f BPF2：前記第２のバンドパスフィルタの中心周波数
【請求項１０】
前記第１のバンドパスフィルタの中心周波数は、次の（３）式により決定される
ことを特徴とする請求項４に記載の電子部品テスタ。
f BPF1＝Ｋ× fIN＿MAX    …（３）
Ｋ    ：１．３から１. ５までの定数    
f IN＿MAX ：前記応答特性信号の最大周波数
【請求項１１】
前記ダウンコンバータ回路は、
第２の局部発振信号を生成する第２の位相ロックループと、
前記ローパスフィルタリングの行われた中間周波数信号を受信すると共に、前記第２の位相ロックループとの間で通信を行うことにより第２の局部発振信号を受信し、前記ローパスフィルタリングの行われた中間周波数信号と前記第２の局部発振信号とを組み合わせて前記最終出力周波数信号を生成する第２の周波数ミキサと
を含むことを特徴とする請求項４に記載の電子部品テスタ。
【請求項１２】
前記スペクトラム分析器は、前記アップコンバータおよび前記ダウンコンバータと接続されて安定した基準周波数信号を前記アップコンバータおよび前記ダウンコンバータに供給する基準発振器を含む
ことを特徴とする請求項４に記載の電子部品テスタ。
【請求項１３】
前記テスタプロセス制御部は、前記スペクトラム分析器に第１の較正用刺激信号（calibration stimulus signal）を供給すると共に、前記ディジタルのエネルギー量信号を受
信し、
前記第１の較正用刺激信号が、ある周波数範囲にわたって掃引されることにより、前記スペクトラム分析器の対数線形性因子（logarithmic linearity factor）の較正が行われる
ことを特徴とする請求項５に記載の電子部品テスタ。
【請求項１４】
前記テスタプロセス制御部は、前記スペクトラム分析器に第２の較正用刺激信号を供給すると共に、前記ディジタルのエネルギー量信号を受信し、
前記第２の較正用刺激信号が、ある周波数範囲にわたって掃引されることにより、前記スペクトラム分析器の周波数平坦性因子（a frequency flatness factor）の較正が行わ
れる
ことを特徴とする請求項５に記載の電子部品テスタ。
【請求項１５】
前記周波数平坦性因子が前記ディジタルのエネルギー量信号に適用されることにより、このディジタルのエネルギー量信号の周波数応答性が平坦化される
ことを特徴とする請求項１４に記載の電子部品テスタ。
【請求項１６】
前記テスタプロセス制御部は、前記スペクトラム分析器に第３の較正用刺激信号と既知の振幅のホワイトノイズ信号とを供給すると共に、前記ディジタルのエネルギー量信号を受信し、
前記第３の較正用刺激信号が、ある周波数範囲にわたって掃引されることにより、前記スペクトラム分析器のノイズ帯域幅因子（noise bandwidth factor）の較正が行われる
ことを特徴とする請求項５に記載の電子部品テスタ。
【請求項１７】
第１の期間にわたって前記電子部品が較正用刺激信号に曝されると共に、第２の期間にわたって前記電子部品が前記較正用刺激信号に曝され、
前記第２の期間の結果から、前記応答特性信号の周波数スペクトラムが得られ、
前記周波数スペクトラムから得られるノイズ帯域幅因子が分析されることにより、前記第１の期間において前記較正用刺激信号により生じ前記第２の期間において前記較正用刺激信号に影響を与えることとなる残留効果（residual effect）が得られる
ことを特徴とする請求項１に記載の電子部品テスタ。
【請求項１８】
電子部品の周波数応答を調べるためのスペクトラム分析器であって、
前記電子部品との間で通信を行うことによりこの電子部品から応答特性信号を受け取って、この応答特性信号の周波数スペクトラムを判定し、
較正制御信号を生成するテスタプロセス制御部との間で通信を行うことにより前記周波数スペクトラムを前記テスタプロセス制御部に送信すると共に前記テスタプロセス制御部から前記較正制御信号を受け取って前記周波数スペクトラムからイメージ周波数の影響を除去し、周波数スペクトラムのノイズ帯域幅を判定する
ことを特徴とするスペクトラム分析装置。
【請求項１９】
前記電子部品が磁気ヘッド部品または磁気媒体部品である
ことを特徴とする請求項１８に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項２０】
前記スペクトラム分析器は、スーパーヘテロダインスペクトラム分析器または多チャンネルスペクトラム分析器である
ことを特徴とする請求項１８に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項２１】
前記応答特性信号のうち、帯域幅上限周波数（upper bandwidth frequency）よりも高
い高調波成分を制限するローパスフィルタリングを行うローパスフィルタと、
前記ローパスフィルタとの間で通信を行うことにより、前記ローパスフィルタリングの
行われた応答特性信号を受信し、これを中間周波数信号に変換すると共に、前記テスタプロセス制御部との間で通信を行うことにより、前記較正制御信号のうちの第１の掃引信号を受信し、帯域幅下限周波数（lower bandwidth frequency）から前記帯域幅上限周波数
までの範囲にわたって前記中間周波数信号が掃引されるように自らを調整するアップコンバータ回路と、
前記中間周波数信号における前記高調波成分をさらに抑制するためのバンドパスフィルタリングを行う第１のバンドパスフィルタと、
前記第１のバンドパスフィルタとの間で通信を行うことにより、前記バンドパスフィルタリングの行われた中間周波数信号を受信して、これを最終出力周波数信号に変換すると共に、前記テスタプロセス制御部との間で通信を行うことにより、前記較正制御信号のうちの第２の掃引信号を受信し、前記帯域幅下限周波数から前記帯域幅上限周波数までの範囲にわたって前記最終出力周波数信号が掃引されるように自らを調整するダウンコンバータ回路と、
前記最終出力周波数信号における前記高調波成分をさらに抑制するためのフィルタリングを行う第２のバンドパスフィルタと、
前記ダウンコンバータ回路との間で通信を行うことにより前記最終出力周波数信号を受信し、この最終出力周波数信号のエネルギー量を示すエネルギー量信号を生成するエネルギー判定回路と
を含むことを特徴とする請求項１８に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項２２】
前記スペクトラム分析器は、さらに、
前記エネルギー判定回路との間で通信を行うことにより前記エネルギー量信号を受信し、このエネルギー量信号をディジタルのエネルギー量信号に変換すると共に、前記テスタプロセス制御部との間で通信を行うことにより前記ディジタルのエネルギー量信号を前記テスタプロセス制御部に送信するアナログ・ディジタル変換器を含み、
前記テスタプロセス制御部が、前記ディジタルのエネルギー量信号を評価することにより、前記電子部品の特性を表す周波数スペクトラムを生成する
ことを特徴とする請求項２１に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項２３】
前記アップコンバータは、
第１の局部発振信号を生成する第１の位相ロックループと、
前記ローパスフィルタリングの行われた応答特性信号を受信すると共に、前記第１の位相ロックループとの間で通信を行うことにより第１の局部発振信号を受信し、前記ローパスフィルタリングの行われた応答特性信号と前記第１の局部発振信号とを組み合わせて前記中間周波数信号を生成する第１の周波数ミキサと
を含むことを特徴とする請求項２１に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項２４】
前記第１の局部発振信号の最低周波数は、前記応答特性信号および前記中間周波数信号の最大周波数よりも大きい
ことを特徴とする請求項２３に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項２５】
前記第１の局部発振信号は、次の（１）式により決定される
ことを特徴とする請求項２３に記載のスペクトラム分析装置。
f LO＝ fIF＋ fIN  …（１）
f LO：前記第１の局部発振信号の周波数
f IF：前記中間周波数信号の周波数
f IN：入力信号の周波数
【請求項２６】
前記第１のバンドパスフィルタの中心周波数は、次の（２）式により決定される
ことを特徴とする請求項２１に記載のスペクトラム分析装置。
f BPF1＝ fIF＋ fBPF2    …（２）
f BPF1：前記第１のバンドパスフィルタの中心周波数
f IF  ：前記中間周波数信号の周波数
f BPF2：前記第２のバンドパスフィルタの中心周波数
【請求項２７】
前記第１のバンドパスフィルタの中心周波数は、次の（３）式により決定される
ことを特徴とする請求項２１に記載のスペクトラム分析装置。
f BPF1＝Ｋ× fIN＿MAX    …（３）
Ｋ    ：１．３から１. ５までの定数    
f IN＿MAX ：前記応答特性信号の最大周波数
【請求項２８】
前記ダウンコンバータ回路は、
第２の局部発振信号を生成する第２の位相ロックループと、
前記ローパスフィルタリングの行われた中間周波数信号を受信すると共に、前記第２の位相ロックループとの間で通信を行うことにより第２の局部発振信号を受信し、前記ローパスフィルタリングの行われた中間周波数信号と前記第２の局部発振信号とを組み合わせて前記最終出力周波数信号を生成する第２の周波数ミキサと
を含むことを特徴とする請求項２１に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項２９】
前記スペクトラム分析器は、前記アップコンバータおよび前記ダウンコンバータとの間で通信を行うことにより、前記アップコンバータおよび前記ダウンコンバータに、安定した基準周波数信号を供給する基準発振器を含む
ことを特徴とする請求項２１に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項３０】
前記テスタプロセス制御部は、前記スペクトラム分析器に第１の較正用刺激信号を供給すると共に、前記ディジタルのエネルギー量信号を受信し、
前記第１の較正用刺激信号が、ある周波数範囲にわたって掃引されることにより、前記スペクトラム分析器の対数線形性因子の較正が行われる
ことを特徴とする請求項２２に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項３１】
前記テスタプロセス制御部は、前記スペクトラム分析器に第２の較正用刺激信号を供給すると共に、前記ディジタルのエネルギー量信号を受信し、
前記第２の較正用刺激信号が、ある周波数範囲にわたって掃引されることにより、前記スペクトラム分析器の周波数平坦性因子の較正が行われる
ことを特徴とする請求項２２に記載スペクトラム分析装置。
【請求項３２】
前記周波数平坦性因子が前記ディジタルのエネルギー量信号に適用されることにより、このディジタルのエネルギー量信号の周波数応答性が平坦化される
ことを特徴とする請求項３１に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項３３】
前記テスタプロセス制御部は、前記スペクトラム分析器に第３の較正用刺激信号と既知の振幅のホワイトノイズ信号とを供給すると共に、前記ディジタルのエネルギー量信号を受信し、
前記第３の較正用刺激信号が、ある周波数範囲にわたって掃引されることにより、前記スペクトラム分析器のノイズ帯域幅因子の較正が行われる
ことを特徴とする請求項２２に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項３４】
第１の期間にわたって前記電子部品が較正用刺激信号に曝されると共に、第２の期間にわたって前記電子部品が前記較正用刺激信号に曝され、
前記第２の期間の結果から、前記応答特性信号の周波数スペクトラムが得られ、
前記周波数スペクトラムから得られるノイズ帯域幅因子が分析されることにより、前記第１の期間において前記較正用刺激信号により生じ前記第２の期間において前記較正用刺激信号に影響を与えることとなる残留効果（residual effect）が得られる
ことを特徴とする請求項１８に記載のスペクトラム分析装置。
【請求項３５】
電子部品の特性を調べるための較正制御信号を生成するステップと、
前記電子部品を刺激することにより得られる応答特性信号の周波数スペクトラムを分析する分析ステップと
を含み、
前記分析ステップが、
前記応答特性信号を受け取るステップと、
前記応答特性信号の周波数スペクトラムを判定するステップと、
前記周波数スペクトラムからイメージ周波数の影響を除去し、前記周波数スペクトラムのノイズ帯域幅を判定するステップと
を含むことを特徴とする電子部品テスト方法。
【請求項３６】
前記応答特性信号の周波数スペクトラムの判定を、スーパーヘテロダインスペクトラム分析器または多チャンネルスペクトラム分析器を用いて行う
ことを特徴とする請求項３５に記載の電子部品テスト方法。
【請求項３７】
前記分析ステップは、
前記応答特性信号のうち、帯域幅上限周波数よりも高い高調波成分を制限するためのローパスフィルタリングを行うステップと、
前記ローパスフィルタリングの行われた応答特性信号を中間周波数信号にアップコンバートすると共に、前記中間周波数信号を帯域幅下限周波数から前記帯域幅上限周波数までの範囲にわたって掃引するアップコンバートステップと、
前記中間周波数信号における前記高調波成分をさらに抑制するための第１のバンドパスフィルタリングを行うステップと、
前記第１のバンドパスフィルタリングの行われた中間周波数信号を最終出力周波数信号にダウンコンバートすると共に、前記最終出力周波数信号を前記帯域幅下限周波数から前記帯域幅上限周波数までの範囲にわたって掃引するダウンコンバートステップと、
前記最終出力周波数信号における前記高調波成分をさらに抑制するための第２のバンドパスフィルタリングを行うステップと、
前記最終出力周波数信号のエネルギー量を示すエネルギー量信号を生成するステップと
を含むことを特徴とする請求項３５に記載の電子部品テスト方法。
【請求項３８】
前記分析ステップは、さらに、
前記エネルギー量信号をディジタルのエネルギー量信号に変換するアナログ・ディジタル変換ステップと、
前記ディジタルのエネルギー量信号が評価されることにより前記電子部品の特性を表す周波数スペクトラムが生成されるようにするために、前記ディジタルのエネルギー量信号を送信するステップと
を含むことを特徴とする請求項３７に記載の電子部品テスト方法。
【請求項３９】
前記アップコンバートステップは、
第１の局部発振信号を生成するステップと、
前記ローパスフィルタリングの行われた応答特性信号と前記第１の局部発振信号とを混合して前記中間周波数信号を生成するステップと
を含むことを特徴とする請求項３７に記載の電子部品テスト方法。
【請求項４０】
前記第１の局部発振信号の最低周波数は、前記応答特性信号および前記中間周波数信号の最大周波数よりも大きい
ことを特徴とする請求項３９に記載の電子部品テスト方法。
【請求項４１】
前記第１の局部発振信号は、次の（１）式により決定される
ことを特徴とする請求項３９に記載の電子部品テスト方法。
f LO＝ fIF＋ fIN  …（１）
f LO：前記第１の局部発振信号の周波数
f IF：前記中間周波数信号の周波数
f IN：入力信号の周波数
【請求項４２】
前記第１および第２のバンドパスフィルタリングは、それぞれ、第１および第２のバンドパスフィルタによって行われ、
前記第１のバンドパスフィルタの中心周波数は、次の（２）式により決定される
ことを特徴とする請求項３７に記載の電子部品テスト方法。
f BPF1＝ fIF＋ fBPF2    …（２）
f BPF1：前記第１のバンドパスフィルタの中心周波数
f IF  ：前記中間周波数信号の周波数
f BPF2：前記第２のバンドパスフィルタの中心周波数
【請求項４３】
前記第１のバンドパスフィルタの中心周波数は、次の（３）式により決定される
ことを特徴とする請求項３７に記載の電子部品テスト方法。
f BPF1＝Ｋ× fin＿MAX    …（３）
Ｋ    ：１．３から１. ５までの定数    
f in＿MAX ：前記応答特性信号の最大周波数
【請求項４４】
前記ダウンコンバートステップは、
第２の局部発振信号を生成するステップと、
前記ローパスフィルタリングの行われた中間周波数信号と前記第２の局部発振信号とを混合して前記最終出力周波数信号を生成するステップと
を含むことを特徴とする請求項３７に記載の電子部品テスト方法。
【請求項４５】
前記分析ステップは、さらに、
前記アップコンバートステップおよび前記ダウンコンバートステップに、安定した基準周波数信号を供給するステップ
を含むことを特徴とする請求項３７に記載の電子部品テスト方法。
【請求項４６】
前記分析ステップは、さらに、
第１の較正用刺激信号を、ある周波数範囲にわたって掃引することにより対数線形性因子の較正を行うステップ
を含むことを特徴とする請求項３５に記載の電子部品テスト方法。
【請求項４７】
前記分析ステップは、さらに、
第２の較正用刺激信号を、ある周波数範囲にわたって掃引することにより周波数平坦性因子の較正を行うステップ
を含むことを特徴とする請求項３８に記載の電子部品テスト方法。
【請求項４８】
前記分析ステップは、さらに、
前記周波数平坦性因子を前記ディジタルのエネルギー量信号に適用することにより、このディジタルのエネルギー量信号の周波数応答性を平坦化するステップ
を含むことを特徴とする請求項４７に記載の電子部品テスト方法。
【請求項４９】
前記分析ステップは、さらに、
第３の較正用刺激信号と既知の振幅のホワイトノイズ信号とを組み合わせることにより、ノイズ帯域幅因子を決定するステップ
を含むことを特徴とする請求項３５に記載の電子部品テスト方法。
【請求項５０】
第１の時間にわたって前記電子部品を較正用刺激信号に曝すステップと、
第２の時間にわたって前記電子部品を前記較正用刺激信号に曝すステップと、
前記第２の時間から、前記応答特性信号の周波数スペクトラムを求めるステップと、
前記周波数スペクトラムを分析することにより、ノイズ帯域幅因子を求めるステップと、
前記ノイズ帯域幅因子を分析することにより、前記第１の時間において前記較正用刺激信号により生じ前記第２の時間において前記較正用刺激信号に影響を与えることとなる残留効果を求めるステップと
を含むことを特徴とする請求項３５に記載の電子部品テスト方法。
【請求項５１】
請求項１、または、請求項３ないし請求項１６のいずれか１項に記載の電子部品テスタとしての構成を有すると共に、
前記電子部品としての磁気ヘッド部品または磁気媒体部品を測定対象として構成されている
ことを特徴とする磁気ヘッド部品／磁気媒体部品用テスタ。