【誤訳訂正書】
【提出日】平成21年9月25日(2009.9.25)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法であって、異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように、（i）可吸着計量分配用気体及び（ii）異質可吸着体に対して吸着親和性を有し、かつ、異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する工程であって、前記処理工程は吸着剤を約６５０℃超の温度まで加熱することを具備する工程を具備することを特徴とする気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法。
【請求項２】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤が容器に充填される前及び／又は充填された後に処理することを具備することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】前記温度は約６５０℃乃至約８００℃であることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項４】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、異質可吸着体を物理的吸着剤から流し込んだ非吸着気体に脱着するように、非可吸着気体を物理的吸着剤に接触するように流し込む工程をさらに具備することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項５】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、異質吸着体を物理的吸着剤から真空脱着させるように物理的吸着剤を真空状態にする工程をさらに具備することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項６】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、（ａ）異質可吸着体を物理的吸着剤から流し込んだ非吸着気体に脱着させるように、非可吸着気体を物理的吸着剤に接触させて流し込む工程、及び（ｂ）異質吸着体を物理的吸着剤から真空脱着させるように物理的吸着剤を真空状態にする工程をさらに具備することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項７】前記物理的吸着剤を計量分配容器に充填する工程と、物理的吸着剤上の計量分配用気体を物理的吸着剤に物理的に吸着させるために、物理的吸着剤を保持している計量分配容器内に可吸着計量分配用気体を導入する工程と、計量分配用気体の物理的吸着剤からの脱着により計量分配用気体が選択的に計量分配可能及び容器から放出可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を含有するように、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している計量分配容器を密封する工程と、を具備することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項８】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤の第２の加熱工程を具備することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項９】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、非可吸着気体を物理的吸着剤に接触させて流し込む工程、及び／又は異質可吸着体を物理的吸着剤から真空脱着させるように物理的吸着剤を真空状態にする工程をさらに具備することを特徴とする請求項８に記載の製造方法。
【請求項１０】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、流れている内部気体流中で物理的吸着剤を加熱する充填前の工程と、容器中の物理的吸着剤を真空状態下で加熱する充填後の工程と、を具備することを特徴とする請求項２に記載の製造方法。
【請求項１１】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を前記容器に充填する工程の前に行われることを特徴とする請求項２に記載の製造方法。
【請求項１２】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を前記容器に充填する工程の後に行われることを特徴とする請求項２に記載の製造方法。
【請求項１３】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を前記容器に充填する工程の前後に行われることを特徴とする請求項２に記載の製造方法。
【請求項１４】物理的吸着剤は、アルミナ、シリカ、結晶性アルミノ珪酸塩、マクロ網状ポリマー、珪藻土、及び炭素からなる群より選択されることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項１５】物理的吸着剤が炭素であることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項１６】物理的吸着剤がビード活性炭であることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項１７】前記異質可吸着体が、水蒸気、酸素、水素、酸化炭素、窒素、炭化水素、ハロゲン、及びこれら種を一つ以上含有する組成物からなる群より選択される気体種を含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項１８】前記異質可吸着体が酸化炭素を含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項１９】前記異質可吸着体は少なくとも一酸化炭素及び二酸化炭素の少なくとも一を含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項２０】前記異質可吸着体は一酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づき５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、２０ppmv未満の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項２１】前記異質可吸着体は二酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づき５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、５０ppmv未満の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項２２】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する前記工程は、異質可吸着体の脱着の達成に十分な時間、物理的吸着剤を約６５０℃乃至約８００℃まで加熱する工程を具備することを特徴とする請求項１５及び１６のいずれか一項に記載の製造方法。
【請求項２３】物理的吸着剤を加熱する前記工程において、不活性気体が物理的吸着剤と接触させて流し込まれることを特徴とする請求項２２に記載の製造方法。
【請求項２４】前記不活性気体はヘリウムであることを特徴とする請求項２３記載の製造方法。
【請求項２５】容器に充填された後の物理的吸着剤は、物理的吸着剤を加熱するさらなる工程及び物理的吸着剤を真空状態にする工程からなる群より選ばれる少なくとも一つの工程にさらされることを特徴とする請求項２２に記載の製造方法。
【請求項２６】容器に充填された後の物理的吸着剤は、真空状態で加熱するさらなる工程にさらされることを特徴とする請求項２２に記載の製造方法。
【請求項２７】前記吸着剤を約６５０度超の温度まで加熱する前記工程は、第１の加熱処理を具備し、前記吸着剤を約１００℃乃至２５０℃の温度まで加熱することを具備する第２の加熱処理をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項２８】前記第１の加熱処理の温度は、約６５０℃乃至約８００℃であることを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項２９】可吸着計量分配用気体は、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、塩素、BCl３、BF3、B2D6、タングステン六フッ化物、（CH３）３Sb、フッ化水素、塩化水素、GeF4、SiF4、重水素水素化物、ヨウ化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、及びNF3からなる群より選ばれる気体を含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３０】可吸着計量分配用気体は水素化物気体を含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３１】可吸着計量分配用気体はアルシンを含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３２】可吸着計量分配用気体はホスフィンを含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３３】可吸着計量分配用気体は三フッ化物ホウ素を含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３４】可吸着計量分配用気体はジボランを含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３５】可吸着計量分配用気体は重水素スチビンを含むことを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３６】気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法であって、異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように（i）可吸着計量分配用気体及び（ii）異質可吸着体に対して吸着親和性を有し、かつ、異質可吸着体が吸着している炭素物理的吸着剤を処理する第１の工程であって、炭素物理的吸着剤を約３００℃乃至約８００℃の第１の温度まで加熱する工程と、炭素物理的吸着剤を約１００℃乃至２５０℃の温度まで加熱する第２の工程と、を具備することを特徴とする気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法。
【請求項３７】異質可吸着体は、水蒸気、酸素、水素、酸化炭素、窒素、炭化水素、ハロゲン、及びこれら種を一つ以上含有する組成物からなる群より選ばれる気体種を含むことを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項３８】異質可吸着体は酸化炭素を含むことを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項３９】異質可吸着体は少なくとも一酸化炭素及び二酸化炭素を含むことを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項４０】異質可吸着体は一酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づき５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、２０ppmv未満の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項４１】可吸着計量分配用気体は三フッ化物ホウ素を含むことを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項４２】前記物理的吸着剤を計量分配容器に充填する工程と、物理的吸着剤上の計量分配用気体を物理的吸着剤に物理的に吸着させるために、物理的吸着剤を保持している計量分配容器内に可吸着計量分配用気体を導入する工程と、計量分配用気体の物理的吸着剤からの脱着により計量分配用気体が選択的に計量分配可能及び容器から放出可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を含有するように、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している計量分配容器を密封する工程と、をさらに具備することを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項４３】可吸着計量分配用気体は、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、塩素、BCl３、BF3、B2D6、タングステン六フッ化物、（CH３）３Sb、フッ化水素、塩化水素、GeF4、SiF4、重水素水素化物、ヨウ化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、及びHF3からなる群より選ばれる気体を含むことを特徴とする請求項２７記載の製造方法。
【請求項４４】可吸着計量分配用気体は水素化物気体を含むことを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項４５】可吸着計量分配用気体はアルシンを含むことを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項４６】可吸着計量分配用気体はホスフィンを含むことを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項４７】前記物理的吸着剤を計量分配容器に充填する工程と、物理的吸着剤上の計量分配用気体を物理的吸着剤に物理的に吸着させるために、物理的吸着剤を保持している計量分配容器内に可吸着計量分配用気体を導入する工程と、計量分配用気体の物理的吸着剤からの脱着により計量分配用気体が選択的に計量分配可能及び容器から放出可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を含有するように、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している計量分配容器を密封する工程と、をさらに具備することを特徴とする請求項３６に記載の製造方法。
【請求項４８】可吸着計量分配用気体はジボランを含むことを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項４９】可吸着計量分配用気体は重水素スチビンを含むことを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項５０】物理的吸着剤が前記処理期間中に大気ガスとの接触から隔離されていることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項５１】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤が容器に充填される前及び／又は充填された後に処理することを具備することを特徴とする請求項２７記載の製造方法。
【請求項５２】吸着剤として活性炭材料が使用され、前記処理が、非可吸着気体を物理的吸着剤に接触するように流し込む工程、及び／又は異質可吸着体を物理的吸着剤から真空脱着させるように物理的吸着剤を真空状態にする工程をさらに具備することを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項５３】前記吸着剤を約６５０℃超の温度まで加熱する工程中及びその工程後において、吸着剤が酸素と水蒸気との接触から隔離されていることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項５４】異質可吸着体は一酸化炭素及び二酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づき５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、一酸化炭素が前記異質可吸着体に存在する場合には５ppmv未満の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせ、二酸化炭素が前記異質可吸着体に存在する場合には１０ppmv未満の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項５５】前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤が容器に充填される前及び／又は充填された後に処理することを具備することを特徴とする請求項３６に記載の製造方法。
【請求項５６】異質可吸着体は一酸化炭素及び二酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づき５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、前記異質可吸着体に存在する１ppmv未満の一酸化炭素レベル及び二酸化炭素レベルをそれぞれアルシン内で生じさせることを特徴とする請求項２７に記載の製造方法。
【請求項５７】前記処理が、非可吸着気体を物理的吸着剤に接触するように流し込む工程、及び／又は異質可吸着体を物理的吸着剤から真空脱着させるように物理的吸着剤を真空状態にする工程をさらに具備することを特徴とする請求項３６に記載の製造方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２７】
好ましい形態において、ビード活性炭の状態で炭素が吸着剤であり、異質可吸着体が一酸化炭素と二酸化炭素を含み、物理的吸着剤の重量に基づく５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、２０ppmv未満、好ましくは１０ppmv未満、さらに好ましくは１ppmv未満の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさ、及び/又は物理的吸着剤の重量に基づく５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２°Cの条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、５０ppmv未満、好ましくは２０ppmv未満、さらに好ましくは１０ppmv未満の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とする。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３１】
一つの特定の実施例において、本発明は（ｉ）計量分配容器内に保持され続いて選択的に計量分配される可吸着計量分配用気体に、及び（ii）異質可吸着体に対する吸着親和性を有するビード活性炭物理的吸着剤を保持するための計量分配容器を有し、 物理的吸着剤を第一温度範囲の約３００℃乃至約８００℃まで加熱し、第一温度範囲を約１〜１５時間維持し、及び前記加熱中に不活性気体を物理的吸着剤に接触するように流し込む工程を具備する、前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する工程と、 物理的吸着剤を前記容器に充填する工程と、 前記容器内の物理的吸着剤を第二温度範囲の約１００℃乃至約２５０℃まで加熱し、第二温度範囲を約１〜１０時間維持し、前記加熱中に容器内の物理的吸着剤を真空状態にする工程と、 物理的吸着剤を第二温度範囲未満に冷却する工程と、 計量分配用気体を物理的吸着剤に物理的に吸着させるために物理的吸着剤を保持している計量分配容器内に可吸着計量分配用気体を導入する工程と、 計量分配用気体の物理的吸着剤からの脱着により計量分配用気体が選択的に計量分配可能及び容器から放出可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を含有するように、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している計量分配容器を密封する工程と、を具備することを特徴とする気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法に関する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３２】
当該実施例における方法は、物理的吸着剤の重量に基づく５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、１ppmv未満の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせ、１ppmv未満の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とする。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６２】
例えば、吸着剤を含む容器は、イオン注入工程の使用において、ホスフィンなどの試薬ガスを、例えば６００トルの減圧で保持することができる。リンを含む成分を注入するためのイオン注入室は真空状態、あるいは貯蔵と計量分配容器の内容量圧力より低い、例えば１００トル未満の低圧で維持される。この結果、イオン注入室と、吸着済みホスフィン気体を含む貯蔵と計量分配容器間のガスフロー・コミュニケーションが確立されていれば、ホスフィン気体は吸着剤から脱離してイオン注入室へ流れることになる。よって、貯蔵と計量分配システムはホスフィン気体の流れを接続された配管、バルブ及び計測器に通し、所望の流量で容易にコントロールできる。質量流量コントローラーなどの装置を活用すれば、継続的な計量分配により吸着容器の圧力は低下するので一定の流量が確保できる。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９７】
本発明の実施における吸着剤の前処理において、異質可吸着体が一酸化炭素を含み、異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質吸可着体が吸着している物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤の重量に基づく５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、２０ppmv未満の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせるように有効的に実行される。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９８】
同様に、異質可吸着体が二酸化炭素を含み、異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤の重量に基づく５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、５０ppmv未満の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせるように有効的に実行される。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１０３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１０３】
本発明の気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法における特に好ましい実施例においては、（ｉ）計量分配容器内に保持され続いて選択的に計量分配される可吸着計量分配用気体に、及び（ii）異質吸着体に対する吸着親和性を有するビード活性炭物理的吸着剤を保持するための計量分配容器を有し、 物理的吸着剤を第一温度範囲の約３００乃至約８００℃まで加熱し、第一温度範囲を約１〜１５時間維持し、及び前記加熱中に不活性気体を物理的吸着剤に接触するように流し込む工程を備える、前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する工程と、 物理的吸着剤を前記容器に充填する工程と、 前記容器内の物理的吸着剤を第二温度範囲の約１００℃乃至約２５０℃まで加熱し、第二温度範囲を約１〜１０時間維持し、前記加熱中に容器内の物理的吸着剤を真空状態にする工程と、 物理的吸着剤を第二温度範囲未満に冷却する工程と、 計量分配用気体を物理的吸着剤に物理的に吸着させるために物理的吸着剤を保持している計量分配容器内に可吸着計量分配用気体を導入する工程と、 計量分配用気体の物理的吸着剤からの脱離により計量分配用気体が選択的に計量分配可能及び容器から放出可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を含有するように、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している計量分配容器を密封する工程と、を具備することを特徴とする。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１０４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１０４】
このような製造方法は、異質可吸着体が一酸化炭素を含み、物理的吸着剤の重量に基づく５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、２０ppmv未満の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせ、異質吸着体が二酸化炭素を含み、物理的吸着剤の重量に基づく５０重量％のアルシン気体で、圧力７００トル及び２２℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、５０ppmv未満の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせるように実行される。