Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月16日(2011.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極と、
前記第１電極の一面側に配置された色素層と、
前記色素層と対向して配置された第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極との間に配置された電解質層と、
を含み、
前記電解質層が、下記一般式（１）で表される化合物及びヨウ素イオンを含有する、光増感型太陽電池。
【化１】
2009199772.tif 000001
［式中、Ｘ1、Ｘ2、Ｘ3およびＸ4は、それぞれ独立して、水素原子または直鎖アルキル基を表し、同一であっても、異なっていてもよい。ただし、Ｘ1、Ｘ2、Ｘ3およびＸ4のうちの少なくとも１つは、炭素数３〜８の直鎖アルキル基を表し、その他のものは、水素原子、メチル基またはエチル基を表す。また、８つのＲは、それぞれ独立して、水素原子、メチル基またはエチル基を表し、同一であっても、異なっていてもよく、Ｙは、置換もしくは無置換の芳香族炭化水素環を少なくとも１つ含む基を表す。］
【請求項２】
前記第１電極が半導体膜を含む、
請求項１に記載の光増感型太陽電池。
【請求項３】
前記第２電極を支持する基板を更に備える、
請求項１又は２に記載の光増感型太陽電池。
【請求項４】
光増感型太陽電池の製造方法であって、
（ａ）第１電極上に色素層を形成すること、
（ｂ）前記第１電極と第２電極とを相互間に隙間を設けた状態で対向させて配置すること、
（ｃ）前記第１電極と前記第２電極との間に、下記一般式（１）で表される化合物及びヨウ素イオンを含有した電解質層を形成すること、
を含み、
前記（ｃ）は、前記化合物を当該化合物の融点以上に加熱することによって液状とするとともに当該液状とした化合物にヨウ素元素を混合し、当該ヨウ素元素が混合された化合物を前記第１電極と前記第２電極との間に注入することを含む、光増感型太陽電池の製造方法。
【化１】
2009199772.tif 000002
［式中、Ｘ1、Ｘ2、Ｘ3およびＸ4は、それぞれ独立して、水素原子または直鎖アルキル基を表し、同一であっても、異なっていてもよい。ただし、Ｘ1、Ｘ2、Ｘ3およびＸ4のうちの少なくとも１つは、炭素数３〜８の直鎖アルキル基を表し、その他のものは、水素原子、メチル基またはエチル基を表す。また、８つのＲは、それぞれ独立して、水素原子、メチル基またはエチル基を表し、同一であっても、異なっていてもよく、Ｙは、置換もしくは無置換の芳香族炭化水素環を少なくとも１つ含む基を表す。］
【請求項５】
前記（ｃ）は、前記第１電極及び前記第２電極を、前記化合物の融点以上に加熱することを更に含む、請求項４に記載の光増感型太陽電池の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月18日(2010.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
一般的に制御弁式鉛蓄電池の極板群の正極板群全体の基板の格子体積は１．０
〜１．４ｃｃ／Ａｈ程度である。ここで、Ａｈとは電池全体での定格容量と定義する。従来の正極基板の格子体積では、格子の占める体積が大きく正極活物質を十分に充填できないため、同容積内での高容量化が困難であるのが現状である。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月17日(2011.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータを、  三次元の仮想空間上に配置される半透明オブジェクトを所定の視点から投影した二次元画像を作成し、表示画面に表示するゲーム装置として機能させるためのゲームプログラムであって、  前記コンピュータを、  前記仮想空間上に配置され、描画対象となる半透明オブジェクトを抽出する抽出手段と、前記抽出手段によって抽出された前記半透明オブジェクトのうち、予め指定されている面状半透明オブジェクトが含まれているか否かを判別する判別手段と、前記判別手段によって前記面状半透明オブジェクトが含まれていると判別された場合、前記面状半透明オブジェクトの前記仮想空間上の位置に関連する座標点を取得する取得手段と、  前記取得手段によって取得された座標点を含む面であって前記面状半透明オブジェクトの面方向に平行な境界面を境にして、前記仮想空間に複数の領域を設定する領域設定手段と、  前記領域設定手段によって設定された領域ごとに、前記領域内に存在する前記半透明オブジェクトについての前記領域内での領域内描画順を決定するとともに、前記複数の領域及び前記面状半透明オブジェクトに対して前記所定の視点の位置から遠い順となる領域外描画順を決定する描画順決定手段と、  前記領域外描画順にしたがって前記領域内に存在する前記半透明オブジェクト及び前記面状半透明オブジェクトの描画を行い、前記領域内に存在する前記半透明オブジェクトの描画を行うときにはこの領域内における前記領域内描画順にしたがって前記半透明オブジェクトを描画する描画手段と、  して機能させることを特徴とするゲームプログラム。
【請求項２】
前記描画順決定手段は、  前記領域内に存在する前記半透明オブジェクトのそれぞれの代表点の座標を用いて、前記所定の視点の位置から遠い順に前記領域内描画順を決定する、請求項１に記載のゲームプログラム。
【請求項３】
前記面状半透明オブジェクトの前記仮想空間上の位置に関連する座標点は、  前記面状半透明オブジェクトの重心又は中心を示す代表点である、請求項１又は２に記載のゲームプログラム。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載のゲームプログラムを記憶したプログラム記憶部と、 前記プログラム記憶部に記憶されたゲームプログラムを実行するコンピュータと、を備えたゲームシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ゲームプログラム及びゲームシステム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】  本発明は、三次元の仮想空間上に配置される半透明オブジェクトを所定の視点から投影した二次元画像を作成し、表示画面に表示するゲーム装置に適用されるゲームプログラム及びゲームシステムに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】  本願発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、描画対象に水面オブジェクト等の面状半透明オブジェクトが含まれる場合、他の半透明オブジェクトの描画を適切に行うことのできるゲームプログラム及びゲームシステムを提供することを、その課題とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】  本願発明の第２の側面によって提供されるゲームシステムは、本願発明の第１の側面によって提供されるゲームプログラムを記憶したプログラム記憶部と、前記プログラム記憶部に記憶されたゲームプログラムを実行するコンピュータと、を備えたことを特徴としている（請求項４）。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】  上記三次元仮想空間モデルでは、仮想的なカメラＫ（視点）が配置される。テレビジョン装置４の表示画面に描画される二次元画像は、上記三次元仮想空間モデルが仮想カメラＫによって撮像されるときに得られる撮像画像を単にシミュレーションしたものではなく、仮想カメラＫの位置から水面オブジェクトＷに視線を伸ばし、その視線が仮想カメラＫと水面オブジェクトＷとの間に仮想的に配置されたスクリーン（図示せず）と交差する位置に、水面オブジェクトＷや他のオブジェクトを描画したもの（透視投影法による二次元画像）である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】  このように、仮想空間モデルにおいて複数の水面オブジェクトＷ１，Ｗ２が層状に重なり合っている場合にも、上記したように、３つの領域Ｐ，Ｑ，Ｒに分割して各領域Ｐ，Ｑ，Ｒにおいて半透明オブジェクトＡ〜Ｅの描画順が決定される。したがって、この第３実施例においても、第１実施例及び第２実施例と同様の作用効果を奏する。なお、本第３実施例では、第１、第２実施例と同様に、１つの領域の描画順を決定してすぐにこの領域の半透明オブジェクトの描画を行っているが、特にこれに限定されるものではない。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月18日(2011.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
与信情報を演算出力するコンピュータによる信用情報解析サーバであって、
不動産の属性情報を会員情報として登録する会員データベースと、
延滞金額、延滞回数の有無をお客様に対応させてお客様延滞情報として登録するお客様情報データベースと、
少なくとも１つのサーバと通信回線を通じて接続し、該サーバから受信した照会情報を前記会員情報データベースから抽出する会員情報または前記お客様情報データベースから抽出するお客様延滞情報の少なくとも１つの情報と突合させ、照会情報を解析し、この照会情報に対応する与信情報を演算出力する演算処理部と、
を備えることを特徴とするコンピュータによる信用情報解析サーバ。
【請求項２】
全国に流通する電話番号に対してＩＳＤＮ回線を通じてオートダイヤルして得た利用状況を示す理由表示データおよび移転先電話番号を、各電話番号に対応させてオートダイヤルした調査日と共に電話番号履歴情報として登録する電話番号履歴データベースを更に備え、
前記演算処理部は、前記サーバから受信した照会情報を前記電話番号履歴データベースから抽出する電話番号履歴情報も含め、少なくとも１つの情報と突合させ、照会情報を解析し、この照会情報に対応する与信情報を演算出力することを特徴とする請求項１記載のコンピュータによる信用情報解析サーバ。
【請求項３】
コンピュータによる信用情報解析サーバが与信情報を演算出力する与信情報解析方法であって、
不動産の属性情報を会員情報として会員情報データベースに登録するステップと、
延滞金額、延滞回数の有無をお客様に対応させてお客様延滞情報としてお客様情報データベースに登録するステップと、
少なくとも１つのサーバと通信回線を通じて接続し、該サーバから受信した照会情報を前記会員情報データベースから抽出する会員情報または前記お客様情報データベースから抽出するお客様延滞情報の少なくとも１つの情報と突合させ、照会情報を解析し、この照会情報に対応する与信情報を演算処理部により演算出力するステップと、
を含むことを特徴とするコンピュータによる信用情報解析方法。
【請求項４】
全国に流通する電話番号に対してＩＳＤＮ回線を通じてオートダイヤルして得た利用状況を示す理由表示データおよび移転先電話番号を、各電話番号に対応させてオートダイヤルした調査日と共に電話番号履歴情報として電話番号履歴データベースに登録するステップを更に備え、
前記演算出力するステップは、前記サーバから受信した照会情報を、前記電話番号履歴データベースから抽出する電話番号履歴情報も含め、少なくとも１つの情報と突合させ、照会情報を解析し、この照会情報に対応する与信情報を演算処理部により演算出力することを特徴とする請求項９記載のコンピュータによる信用情報解析方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月27日(2011.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像を表示する表示手段と、通信網に接続して通信を行う通信手段と、前記通信手段を用いて電子メールの送受信を行う送受信手段と、を備えた表示装置であって、
前記送受信手段により受信した電子メールを解析し、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが前記電子メールに付加されているかを判定するメール解析手段と、
前記メール解析手段により前記画像データが前記電子メールに付加されていると判定された場合に、前記画像データを前記表示手段を用いて表示する画像処理手段と、を備えたことを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記メール解析手段により、前記送受信手段により受信した電子メールに画像データが付加されており、且つ前記画像データが予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データに該当しないと判定された場合に、前記画像データの表示不可及び／或いは画像データの再送要求を示す通知メールを前記送受信手段を用いて前記電子メールの送信元に送信する再送要求手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
画像データを記録可能な記録部を備え、前記メール解析手段が、前記送受信手段により受信した電子メールに予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが付加されていると判定した場合に、前記画像データを一時記録画像として前記記録部に記録し、前記画像処理手段に対して前記一時記録画像の表示指示を与え、前記一時記録画像の表示が成功した場合に前記一時記録画像よりも記録日時が古い一時記録画像を前記記録部より消去することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
電子機器に接続して画像データの入力を行う接続手段と、前記接続手段による電子機器からの画像データの入力を検知した際に、入力された前記画像データを解析し、前記画像データが予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データに該当するかを判定し、該当する場合に前記画像データを前記表示手段を用いて表示する画像解析手段と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項５】
通信網に接続して通信を行う通信手段と、前記通信手段を用いて電子メールの送受信を行う送受信手段と、当該送受信手段により受信した電子メールを解析し、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが前記電子
メールに付加されているかを判定するメール解析手段と、記憶手段と、を備えた表示装置であって、
前記送受信手段が電子メールを受信し、前記メール解析手段が、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが受信した電子メールに付加されていると判定すると、前記記憶手段が前記電子メールに付加されている画像データを記憶し、一方、前記メール解析手段が、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが受信した電子メールに付加されていないと判定すると、前記記憶手段が前記電子メールに付加されている画像データを記憶しないことを特徴とする表示装置。
【請求項６】
画像を表示する表示手段と、通信網に接続して通信を行う通信手段と、前記通信手段を用いて電子メールの送受信を行う送受信手段と、当該送受信手段により受信した電子メールを解析し、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが前記電子メールに付加されているかを判定するメール解析手段と、を備えた表示装置であって、
前記送受信手段が電子メールを受信し、前記メール解析手段が、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが受信した電子メールに付加されていると判定すると、前記表示手段が前記電子メールに付加されている画像データを表示し、一方、前記メール解析手段が、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが受信した電子メールに付加されていないと判定すると、前記表示手段が前記電子メールに付加されている画像データを表示しないことを特徴とする表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この構成によると、本発明の表示装置は、外部の電子機器、例えば携帯電話やデジカメ等と接続してデータの入力を行う接続手段を備えている。接続手段は、例えば赤外線通信を行うためのＩｒＤＡ(Infrared Data Association)ポートや、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）規格に則ったＵＳＢ端子等のデータ入力部を備えている。また、これらのデータ入力部による画像データの入力を検知した際に、入力された画像データを解析する画像解析手段を備えている。画像解析手段は、入力された画像データが所定の画像形式に該当するかを判定する。また画像解析手段は、入力された画像データが所定の範囲内のデータサイズであるかの判定を行う。上記判定の結果、受信画像が一部又は全ての条件を満たす場合、画像解析手段は表示手段を用いて添付画像の表示処理を行う。
又、本願発明は、通信網に接続して通信を行う通信手段と、前記通信手段を用いて電子メールの送受信を行う送受信手段と、当該送受信手段により受信した電子メールを解析し、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが前記電子メールに付加されているかを判定するメール解析手段と、記憶手段と、を備えた表示装置であって、前記送受信手段が電子メールを受信し、前記メール解析手段が、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが受信した電子メールに付加されていると判定すると、前記記憶手段が前記電子メールに付加されている画像データを記憶し、一方、前記メール解析手段が、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが受信した電子メールに付加されていないと判定すると、前記記憶手段が前記電子メールに付加されている画像データを記憶しないことを特徴とする。
更に本願発明は、画像を表示する表示手段と、通信網に接続して通信を行う通信手段と、前記通信手段を用いて電子メールの送受信を行う送受信手段と、当該送受信手段により受信した電子メールを解析し、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサ
イズの画像データが前記電子メールに付加されているかを判定するメール解析手段と、を備えた表示装置であって、前記送受信手段が電子メールを受信し、前記メール解析手段が、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが受信した電子メールに付加されていると判定すると、前記表示手段が前記電子メールに付加されている画像データを表示し、一方、前記メール解析手段が、予め定められた形式及び／或いは予め定められた範囲内のサイズの画像データが受信した電子メールに付加されていないと判定すると、前記表示手段が前記電子メールに付加されている画像データを表示しないことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月17日(2011.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
側面に配置された光源からの照射光を主面側に導くための導光シートであって、
平板状に形成された導光本体部の側面に前記照射光を内部に導入するための受光面が設けられ、この受光面が概凹曲面に形成されていることを特徴とする導光シート。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記課題を解決するため、本発明の導光シートは、側面に配置された光源からの照射光を主面側に導くための導光シートであって、平板状に形成された導光本体部の一側面に前記照射光を内部に導入するための受光面が設けられ、この受光面が概凹曲面に形成されていることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
第１筐体１は、図２及び図３に示すように、上側筐体１ａと下側筐体１ｂとに分割されており、下側筐体１ｂに配置されている基板１４上に、多数のキースイッチ１５ａ，１５ａ，・・・を備えたキーシート１５が配置され、このキーシート１５上に導光シート１６が配置され、この導光シート１６上に、前記キースイッチ１５ａに対向して主面側となるキートップ１７ａが形成されたキーユニット１７が配置されている。また、導光シート１６には、前記キートップ１７ａに対向する位置に、光を拡散させてキートップ１７ａに光を均等に照射するための光拡散パターン１６ａが形成されている。そして、これら積層配置されたキーシート１５、導光シート１６及びキーユニット１７の左右両側の基板１４上に、ＬＥＤ等からなる光源１８が一定の間隔で必要個数配置（本実施形態では、左右に２個ずつ計４個配置）された構成となっている。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月9日(2011.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のサーバと、当該第１のサーバとは異なる第２のサーバを含むデバイス管理システムであって、
前記第１のサーバは、
前記第１のサーバの管理対象のデバイスのデバイス情報の更新または削除を行う第１の管理手段を備え、
前記第２のサーバは、
前記第２のサーバの管理対象のデバイスのデバイス情報の更新または削除を行う第２の管理手段と、
前記第１のサーバの管理対象であり、前記第２のサーバではデバイス情報の更新または削除を行えない管理対象外のデバイスのデバイス情報を表示する表示手段とを備えることを特徴とするデバイス管理システム。
【請求項２】
第１のサーバと、当該第１のサーバとは異なる第２のサーバを含むデバイス管理システムにおけるデバイス管理方法であって、
前記第１のサーバは、
前記第１のサーバの管理対象のデバイスのデバイス情報の更新または削除を行う第１の管理ステップを備え、
前記第２のサーバは、
前記第２のサーバの管理対象のデバイスのデバイス情報の更新または削除を行う第２の管理ステップと、
前記第１のサーバの管理対象であり、前記第２のサーバではデバイス情報の更新または削除を行えない管理対象外のデバイスのデバイス情報を表示する表示ステップとを備えることを特徴とするデバイス管理方法。
【請求項３】
通信回線を介して通信可能なデバイスを識別するための識別情報を保持する保持手段と、
前記保持手段により保持されている識別情報により識別されるデバイスの中で、自身の管理対象のデバイスのデバイス情報の更新または削除を行う管理手段と、
自身の管理対象のデバイスと他のサーバの管理対象のデバイスとを特定可能に、前記保持手段により保持された識別情報を当該他のサーバに送信する送信手段とを備えることを特徴とするサーバ。
【請求項４】
前記送信手段による前記識別情報の送信後、前記他のサーバで管理すべきデバイスの識別情報を前記保持手段から削除する削除手段を更に備えることを特徴とする請求項３に記載のサーバ。
【請求項５】
前記送信手段は、前記保持手段により保持される識別情報で識別されるデバイスの中で、前記管理手段によるデバイス情報の更新または削除の行なわれない期間が閾値を超えた場合、当該デバイスを前記他のサーバの管理対象として特定可能に、前記識別情報の送信を行うことを特徴とする請求項３または４に記載のサーバ。
【請求項６】
前記保持手段により保持される識別情報で識別されるデバイスの中で、前記管理手段によるデバイス情報の更新または削除の行なわれない期間が閾値を超えた場合、当該デバイスを前記他のサーバの管理対象とするか否かを確認するための画面を表示する表示手段を備えることを特徴とする請求項５に記載のサーバ。
【請求項７】
通信回線を介して通信可能なデバイスを識別するための識別情報を保持する保持手段を備えるサーバにおけるデバイス管理方法であって、
前記保持手段により保持されている識別情報により識別されるデバイスの中で、自身の管理対象のデバイスのデバイス情報の更新または削除を行う管理ステップと、
自身の管理対象のデバイスと他のサーバの管理対象のデバイスとを特定可能に、前記保持手段により保持された識別情報を当該他のサーバに送信する送信ステップとを備えることを特徴とするデバイス管理方法。
【請求項８】
前記送信ステップによる前記識別情報の送信後、前記他のサーバで管理すべきデバイスの識別情報を前記保持手段から削除する削除ステップを更に備えることを特徴とする請求項７に記載のデバイス管理方法。
【請求項９】
前記送信ステップは、前記保持手段により保持される識別情報で識別されるデバイスの中で、前記管理ステップによるデバイス情報の更新または削除の行なわれない期間が閾値を超えた場合、当該デバイスを前記他のサーバの管理対象として特定可能に、前記識別情報の送信を行うことを特徴とする請求項７または８に記載のデバイス管理方法。
【請求項１０】
前記保持手段により保持される識別情報で識別されるデバイスの中で、前記管理ステップによるデバイス情報の更新または削除の行なわれない期間が閾値を超えた場合、当該デバイスを前記他のサーバの管理対象とするか否かを確認するための画面を表示する表示ステップを備えることを特徴とする請求項９に記載のデバイス管理方法。
【請求項１１】
他のサーバから当該他のサーバが保持するデバイスを識別するための識別情報を受信する受信手段と、
前記受信手段により受信した識別情報で識別されるデバイスにおいて、前記識別情報とともに受信する前記他のサーバの管理対象のデバイスを特定するための属性情報に基づき、前記他のサーバの管理対象と特定されたデバイスのデバイス情報に対しては更新または削除を行わず、自身の管理対象のデバイスのデバイス情報に対しては更新または削除を行う管理手段と、
前記受信手段により受信した識別情報で識別されるデバイスのデバイス情報を表示する表示手段とを備えることを特徴とするサーバ。
【請求項１２】
前記デバイス情報は前記識別情報を含み、前記受信手段は前記他のサーバからデバイス情報を受信することを特徴とする請求項１１に記載のサーバ。
【請求項１３】
他のサーバから当該他のサーバが保持するデバイスを識別するための識別情報を受信する受信ステップと、
前記受信ステップにより受信した識別情報で識別されるデバイスにおいて、前記識別情報とともに受信する前記他のサーバの管理対象のデバイスを特定するための属性情報に基づき、前記他のサーバの管理対象と特定されたデバイスのデバイス情報に対しては更新または削除を行わず、自身の管理対象のデバイスのデバイス情報に対しては更新または削除を行う管理ステップと、
前記受信ステップにより受信した識別情報で識別されるデバイスのデバイス情報を表示する表示ステップとを備えることを特徴とするデバイス管理方法。
【請求項１４】
前記デバイス情報は前記識別情報を含み、前記受信ステップは前記他のサーバからデバイス情報を受信することを特徴とする請求項１３に記載のデバイス管理方法。
【請求項１５】
請求項７〜１０のいずれか１項に記載のステップをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１６】
請求項１３または１４に記載のステップをコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月21日(2010.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
利用者を一人ずつ通過させるゲート装置であって、
前記利用者の外形に関する情報を取得する外形情報取得手段と、
前記ゲート装置内の通路を入口側から出口側へ向けて通行する途中の利用者の少なくとも通行方向前方側および後方側を規制して前記通路内に区画スペースを形成するとともに、前記外形情報取得手段により取得された個々の利用者の外形情報に基づいて前記区画スペースの形状を調節可能とする規制手段と、を備えることを特徴とするゲート装置。
【請求項２】
前記規制手段は、前記区画スペースの通行方向に直交する左右方向の幅を調節可能とし、該左右方向の幅を調節することにより前記区画スペースの形状を調節可能とする請求項１に記載のゲート装置。
【請求項３】
前記規制手段は、前記区画スペースの通行方向に沿う前後方向の幅を調節可能とし、該前後方向の幅を調節することにより前記区画スペースの形状を調節可能とする請求項１または２に記載のゲート装置。
【請求項４】
前記規制手段は、個々の利用者の外形情報に基づいて形成した区画スペースの形状を実質的に維持したまま、該区画スペースを通行方向に移動可能とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のゲート装置。
【請求項５】
前記規制手段は、前記通路を横切る方向にスライドして前記通路を開閉する開閉部材が通路方向に３個以上並設されて成り、前記開閉部材の開度を調節することにより前記区画スペースの形状を変更可能とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のゲート装置。
【請求項６】
前記規制手段は、前記通路を横切る方向にスライドして前記通路を開閉する開閉部材が通路方向に４個以上並設されて成り、前記通路方向の中間部に配設された開閉部材の開度を調節することにより前記区画スペースの形状を変更可能とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のゲート装置。
【請求項７】
前記規制手段は、前記通路に並設された前記各開閉部材を順次開閉することにより前記区画スペースを通行方向に移動可能とする請求項６に記載のゲート装置。
【請求項８】
前記区画スペースに進入する前の利用者の認証を行う第1の認証手段を備え、前記利用者が通行が許可された利用者であることを認証すると、前記利用者の通行を可能とすることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のゲート装置。
【請求項９】
前記区画スペースの移動に合わせて通行する途中の利用者の認証を行う第２の認証手段を備えることを特徴とする請求項８に記載のゲート装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明のゲート装置は、利用者を一人ずつ通過させるゲート装置であって、利用者の外形に関する情報を取得する外形情報取得手段と、ゲート装置内の通路を入口側から出口側へ向けて通行する途中の利用者の少なくとも通行方向前方側および後方側を規制して通路内に区画スペースを形成するとともに、外形情報取得手段により取得された個々の利用者の外形情報に基づいて区画スペースの形状を調節可能とする規制手段と、を備えることを特徴とする。ここで、利用者の外形に関する情報とは、利用者の身長、肩幅、腰幅などの身体的形状（体形）に関する情報であるが、利用者が荷物などを携行して通行する場合は、荷物を合わせた外形に関する情報であってもよい。そして、このゲート装置は、区画スペースに進入する前の利用者の認証を行う第1の認証手段を備え、利用者が通行が許可された利用者であることを認証すると、利用者の通行を可能とするものであるのがよく、さらに、区画スペースの移動に合わせて通行する途中の利用者の認証を行う第２の認証手段を備えるものであるのがよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
このゲート装置は、規制手段がゲート装置内の通路を入口側から出口側へ向けて通行する途中の利用者の少なくとも通行方向前方側および後方側を規制して区画スペースを形成することにより、利用者を一人ずつ通行させるようにできる。そして、特に、個々の利用者の外形情報に基づいて区画スペースの形状が調節可能であることにより、利用者の体形等の外形に合わせて必要かつ十分な区画スペースを確保して、利用者に窮屈と感じさせることなく、二人以上の同時進入を阻止して共連れを防止するようにできる。そして、このゲート装置は、区画スペースに進入する前の利用者の認証を行う第1の認証手段を備えたものとし、利用者が通行が許可された利用者であることを認証すると、利用者の通行を可能とすることで、認証した利用者だけを通行させるようにでき、さらに、区画スペースの移動に合わせて通行する途中の利用者の認証を行う第２の認証手段を備えるものとすることで、第1の認証手段で認証した同一人物が通行中であることを確認し、なりすましを防止するようにできる。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月12日(2011.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記請求項１から請求項３のいずれかに記載の過給機付きエンジンの排気ガス温度制御装置において、
前記排気ガス温度制御手段は空気量調整手段であり、
該空気量調整手段は、前記温度検出手段で検出された排気浄化装置に関連する温度が低いときは、第２の排気通路に対応する気筒に供給する空気量を、エンジン運転状態に基づいて定まる通常の空気量に制御すると共に、第１の排気通路に対応する気筒に供給する空気量を、前記通常の空気量よりも多くすることを特徴とする過給機付きエンジンの排気ガス温度制御装置。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月26日(2011.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送風を生じさせるファン組立体であって、前記ファン組立体は、ベースに取り付けられたノズルを有し、前記ベースは、外側ケーシングと、前記外側ケーシング内に配置されていて、空気入口及び空気出口を備えた羽根車ハウジングと、前記羽根車ハウジング内に配置された羽根車と、前記羽根車を駆動して前記羽根車ハウジング中に空気流を生じさせるモータと、前記羽根車の下流側に位置した状態で前記羽根車ハウジング内に配置されたディフューザと、前記ディフューザを通って前記モータに接続されている電力ケーブルと、を有し、前記ノズルは、前記羽根車ハウジングの前記空気出口から空気流を受け入れる内部通路と、前記空気流を前記ファン組立体から放出するよう通す口とを有し、可撓性密封部材が、前記外側ケーシングと前記羽根車ハウジングとの間に配置されている、ファン組立体。
【請求項２】
前記可撓性密封部材は、前記羽根車ハウジングに連結されている、請求項１記載のファン組立体。
【請求項３】
前記可撓性密封部材は、前記外側ケーシングに押し付けられている、請求項１又は２記載のファン組立体。
【請求項４】
前記ベースは、実質的に円筒形である、請求項１〜３のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項５】
前記可撓性密封部材は、前記羽根車ハウジングを包囲している環状密封部材を含む、請求項１〜４のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項６】
前記可撓性密封部材は、ケーブルを前記モータまで案内する案内部分を有する、請求項１〜５のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項７】
前記案内部分は、可撓性カラーを有する、請求項６記載のファン組立体。
【請求項８】
前記ディフューザは、複数個のフィンを有し、前記電力ケーブルは、前記複数個のフィンのうちの１つを貫通している、請求項１〜７のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項９】
前記電力ケーブルは、リボンケーブルを含む、請求項１〜８のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１０】
前記ファン組立体の前記ベースは、前記羽根車ハウジングの前記空気出口からの前記空気流の一部分を前記ノズルの前記内部通路の方に差し向ける手段を有する、請求項１〜９のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１１】
前記手段は、少なくとも１つの湾曲したベーンを含む、請求項１０記載のファン組立体。
【請求項１２】
前記ベーンは、前記空気流の方向を約９０°だけ変化させるよう形作られている、請求項１０又は請求項１１に記載のファン組立体。
【請求項１３】
前記ファン組立体は、羽根なしである、請求項１〜１２のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１４】
前記ノズルは、前記ファン組立体の外部からの空気を、前記口から放出される前記空気流によって引き込むために通す開口部を構成するよう軸線回りに延びている、請求項１〜１３のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１５】
前記ノズルは、５０〜２５０ｃｍの距離だけ前記開口部周りに延びている、請求項１４記載のファン組立体。
【請求項１６】
前記ノズルは、前記内部通路及び前記口を構成する少なくとも１つの壁を有し、前記少なくとも１つの壁は、前記口を構成する対向した表面を有する、請求項１〜１５のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１７】
前記口は、出口を有し、前記口の前記出口における、対向した表面間の間隔は、０．５〜５ｍｍである、請求項１６記載のファン組立体。
【請求項１８】
前記ノズルは、前記口に隣接して設けられたコアンダ面を有し、前記口は、前記空気流を前記コアンダ面上でこれに沿って差し向けるよう構成されている、請求項１〜１７のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１９】
前記ノズルは、前記コアンダ面の下流側に配置されたディフューザを有する、請求項１８記載のファン組立体。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月26日(2011.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送風を生じさせるファン組立体であって、スタンドに取り付けられた空気出口を有し、前記スタンドは、ベースと、前記ベースに対して非傾動位置から傾動位置に傾動可能な本体とを有し、前記ベース及び前記本体の各々は、外面を有し、前記外面は、前記本体が前記非傾動位置にあるとき、前記外面の隣り合う部分が互いに実質的に面一をなすよう形作られ、前記スタンドは、前記ファン組立体中に空気流を生じさせる手段を有し、前記ファン組立体中に空気流を生じさせる前記手段は、前記スタンドの前記本体内に配置されるとともに、羽根車及び羽根車を回転させるモータを有する、ファン組立体。
【請求項２】
前記本体を前記ベース上に保持するインターロック手段を有する、請求項１記載のファン組立体。
【請求項３】
前記インターロック手段を互いに押圧して前記傾動位置からの前記本体の運動に抵抗する付勢手段を有する、請求項２記載のファン組立体。
【請求項４】
前記スタンドは、完全傾動位置を越える前記ベースに対する前記本体の運動を阻止する手段を有する、請求項１〜３のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項５】
前記運動阻止手段は、前記本体が完全傾動位置にあるとき、前記本体から垂下していて、前記ベースの一部に係合する停止部材を含む、請求項４記載のファン組立体。
【請求項６】
前記スタンドの前記ベースは、前記ファン組立体を制御する制御手段を有する、請求項１〜５のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項７】
空気流を生じさせる前記手段は、前記羽根車から下流側に設けられたディフューザを有する、請求項１〜６のいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項８】
前記本体は、少なくとも１つの空気入口を有し、空気は、空気流を生じさせる前記手段によってこの空気入口を通って前記ファン組立体中に引き込まれる、請求項１〜７のいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項９】
前記ベースは、前記本体が連結される上側ベース部材と、下側ベース部材と、前記上側ベース部材を前記下側ベース部材に対して揺動させる手段と、を有する、請求項１〜８のいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１０】
ファン組立体用のスタンドであって、ベースと、前記ベースに対して傾動可能な本体とを有し、前記ベース及び前記本体は各々、外面を有し、前記外面は、前記本体が非傾動位置にあるとき、前記外面の隣り合う部分が互いに実質的に面一をなすよう形作られ、前記スタンドは、前記ファン組立体中に空気流を生じさせる手段を有し、前記ファン組立体中に空気流を生じさせる前記手段は、前記スタンドの前記本体内に配置されるとともに、羽根車及び羽根車を回転させるモータを有する、スタンド。
【請求項１１】
前記本体を前記ベース上に保持するインターロック手段を有する、請求項１０記載のスタンド。
【請求項１２】
前記インターロック手段を互いに押圧して前記傾動位置からの前記本体の運動に抵抗する付勢手段を有する、請求項１１記載のスタンド。
【請求項１３】
前記スタンドは、完全傾動位置を越える前記ベースに対する前記本体の運動を阻止する手段を有する、請求項１０〜１２のうちいずれか一に記載のスタンド。
【請求項１４】
前記運動阻止手段は、前記本体が完全傾動位置にあるとき、前記本体から垂下していて、前記ベースの一部に係合する停止部材を含む、請求項１３記載のスタンド。
【請求項１５】
前記スタンドの前記ベースは、前記ファン組立体を制御する制御手段を有する、請求項１０〜１４のうちいずれか一に記載のスタンド。
【請求項１６】
空気流を生じさせる前記手段は、前記羽根車から下流側に設けられたディフューザを有する、請求項１０〜１５のいずれか一に記載のスタンド。
【請求項１７】
前記本体は、少なくとも１つの空気入口を有し、空気は、空気流を生じさせる前記手段によってこの空気入口を通って前記ファン組立体中に引き込まれる、請求項１０〜１６のいずれか一に記載のスタンド。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月26日(2011.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送風を生じさせるファン組立体であって、ベース及び前記ベースに対して非傾動位置から傾動位置に傾動可能な本体を有するスタンドに取り付けられた空気出口を有し、前記ファン組立体の重心は、前記ベースが実質的に水平な支持面上に置かれたときに、前記支持面上への前記重心の投影像が、前記本体が完全傾動位置にあるときに前記ベースのフットプリント内に位置するよう配置され、前記本体は、前記ファン組立体中を通る前記空気流を生じさせる手段を有し、前記空気出口は、前記スタンドの前記本体に取り付けられたノズルから成り、前記ノズルは、前記空気流を放出する口を有し、前記ノズルは、前記ノズルの外部からの空気を前記口から放出された前記空気流によって引き込むよう通す開口部の周りに延びている、ファン組立体。
【請求項２】
前記ファン組立体の前記重心は、前記本体内に位置する、請求項１記載のファン組立体。
【請求項３】
前記支持面上への前記重心の前記投影像は、前記本体が非傾動位置にあるとき、前記ファン組立体の前方方向に対して前記ベースの中心の後ろに位置する、請求項１又は２記載のファン組立体。
【請求項４】
前記ベースは、前記本体を支持する複数個の転動部材を有し、前記本体は、前記転動要素を受け入れる複数個の湾曲したレースを有し、前記転動要素は、前記本体を非傾動位置から傾動位置に動かすと、前記湾曲レース内で動く、請求項１〜３のいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項５】
前記本体の前記湾曲レースは、形状が凸状である、請求項４記載のファン組立体。
【請求項６】
前記ベースは、各々が前記転動要素の各々をそれぞれ受け入れる複数個の支持部材を有する、請求項４又は５記載のファン組立体。
【請求項７】
前記支持部材は、前記スタンドの前記ベースの湾曲した表面から突き出る、請求項６記載のファン組立体。
【請求項８】
前記ベースの湾曲した表面は、形状が凹状である、請求項７記載のファン組立体。
【請求項９】
前記本体を前記ベース上に保持するインターロック手段を有する、請求項１〜８のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１０】
前記インターロック手段を互いに押圧して前記傾動位置からの前記本体の運動に抵抗する付勢手段を有する、請求項９記載のファン組立体。
【請求項１１】
前記スタンドは、完全傾動位置を越える前記ベースに対する前記本体の運動を阻止する手段を有する、請求項１〜１０のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１２】
前記運動阻止手段は、前記本体が完全傾動位置にあるとき、前記本体から垂下していて、前記ベースの一部に係合する停止部材を含む、請求項１１記載のファン組立体。
【請求項１３】
前記スタンドの前記ベースは、前記ファン組立体を制御する制御手段を有する、請求項１〜１２のうちいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１４】
前記ノズルは、前記口に隣接して位置するコアンダ面を有し、前記口は、前記口から放出された前記空気流を前記コアンダ面上でこれに沿って差し向けるよう配置されている、請求項１〜１３のいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１５】
空気流を生じさせる前記手段は、羽根車と、羽根車によって駆動されるモータとを含む、請求項１〜１４のいずれか一に記載のファン組立体。
【請求項１６】
空気流を生じさせる前記手段は、前記羽根車から下流側に設けられたディフューザを有する、請求項１５記載のファン組立体。
【請求項１７】
前記本体は、少なくとも１つの空気入口を有し、空気は、空気流を生じさせる前記手段によって前記空気入口を通って前記ファン組立体内に引き込まれる、請求項１〜１６のいずれか一に記載のファン組立体。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月13日(2011.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸受け荷重が下方にのみ働く水平に設置された回転機械の回転軸を回転可能に軸受け支持するジャーナル軸受であって、
上半部キャリアリングおよび下半部キャリアリングを備えたキャリアリングと、前記下半部キャリアリングの半径方向内側のみに間隔をあけて配置され、前記回転軸の荷重を受ける複数のパッドと、各パッドの周方向における両端部にそれぞれ配置されて、各パッドの周方向への移動を拘束する複数のパッドストップとを備え、
前記パッドストップのうち、前記回転軸の軸回転方向において最も後側に位置するパッドストップ以外のパッドストップは、前記回転軸の外周面と前記パッドの内周面との間に潤滑油を放出する給油ノズルとしての機能を備えていることを特徴とするジャーナル軸受。
【請求項２】
給油ノズルとしての機能を備えたパッドストップからは、同量の潤滑油が放出されるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のジャーナル軸受。
【請求項３】
前記回転軸の軸回転方向において最も後側に位置するパッドストップは、それ以外のパッドストップよりも少ない量の潤滑油を放出し、軸受内の潤滑油の減温をすることを特徴とする請求項１または２に記載のジャーナル軸受。
【請求項４】
請求項１乃至３に記載のジャーナル軸受を備えていることを特徴とする回転機械。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用した。
本発明に係るジャーナル軸受は、軸受け荷重が下方にのみ働く水平に設置された回転機械の回転軸を回転可能に軸受け支持するジャーナル軸受であって、上半部キャリアリングおよび下半部キャリアリングを備えたキャリアリングと、前記下半部キャリアリングの半径方向内側のみに間隔をあけて配置され、前記回転軸の荷重を受ける複数のパッドと、各パッドの周方向における両端部にそれぞれ配置されて、各パッドの周方向への移動を拘束する複数のパッドストップとを備え、前記パッドストップのうち、前記回転軸の軸回転方向において最も後側に位置するパッドストップ以外のパッドストップは、前記回転軸の外周面と前記パッドの内周面との間に潤滑油を放出する給油ノズルとしての機能を備えている。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月1日(2011.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
光照射部１１は、光源２１、光ファイバ２２、光射出端２３を備えている。光源２１は、例えば、ランプである。また、広い波長範囲をカバーするために、適宜、複数のランプを組み合わせることが可能である。ランプとしては、例えば、ハロゲンランプ、重水素ランプ等が一例として挙げられる。また、光ファイバ２２としては、例えば、バンドルファイバを適用することが可能である。光射出端２３は、例えば、光ファイバ２２の先端に装着されたコリメートレンズ等である。光射出端２３は、光ファイバ２２からの拡散光に指向性を与える。また、光射出端２３は、正反射光が光射出端２３にそのまま戻らないようにするために、光射出端２３から射出される照明光の光軸が被検査基板Ｓに対して所定の角度を持って入射されるように設置されている。光軸の角度は、例えば、被検査基板Ｓの法線方向に対して約５度から約１０度程度に設定される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
記憶部１４には、複数の特徴量の各々と第１透明薄膜２の膜厚および第２透明薄膜３の膜厚とをそれぞれ関連付けた複数の特徴量特性が格納されている。この特徴量特性についての詳細は後述する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
このような構成において、光源２１から射出された光は分光部１３に導かれ、分光部１３において各波長の光が時系列に選択されて光ファイバ２２に導かれる。光ファイバ２２に導かれた光は光射出端２３から被検査基板Ｓに向けて射出される。光射出端２３から射出された照明光Ｌ１は、被検査基板Ｓの基板面に対して斜めから入射し、一部が被検査基板Ｓを透過し、一部は反射される。透過光Ｌ３は、被検査基板Ｓの上面側に配置された遮光箱４１の内部に設けられた無反射機構（いわゆる、ライトトラップ）４２により吸収される。従って、遮光箱４１の内部に迷光を放射しない構造となっているので、積分球３１側に迷光が戻らないようになっている。なお、遮光箱４１は、外部からの迷光が受光素子３２に到達しないように、外部からの光を遮断するために設けられている。
一方、被検査基板Ｓにより反射された反射光Ｌ２は、積分球３１の内壁で多数回反射されて受光素子３２に到達する。受光素子３２に到達した光は、受光素子３２によって光電変換されて受光量に応じた電気信号が生成され、電気信号が演算部１５に出力される。
演算部１５では、受光素子３２からの電気信号と分光部１３からの情報に基づき分光反射スペクトルが作成され、この分光反射スペクトルから各特徴量の実測値が取得され、取得された各特徴量の実測値と記憶部１４に格納されている特徴量特性とに基づいて、第１透明薄膜２及び第２透明薄膜３の膜厚がそれぞれ求められる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
次に、上記特徴量特性を用いた薄膜の検査方法について図２を参照して説明する。
まず、実際の検査においては、表１に示した６つの特徴量のうち、少なくとも２つの特徴量が選択されて使用される。ここでは、１番目（ｊ＝１）の特徴量である「波長３８０ｎｍの反射率」に関する特徴量特性、２番目（ｊ＝２）の特徴量である「波長９００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下における最大反射率と最小反射率との差分」に関する特徴量特性を用いて、第１透明薄膜２及び第２透明薄膜３の膜厚を求める場合について説明する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
まず、図２において、光照射部１１が作動することにより、被検査基板Ｓに対して、透明ガラス基板側から光が照射される。被検査基板Ｓから反射された反射光は、略球状の受光部１２によって受光され、受光された反射光の情報が演算部１５に入力される。演算部１５は、入力された反射光の情報に基づいて分光反射スペクトルを作成し、この分光反射スペクトルから波長３８０ｎｍの反射率と波長９００ｎｍ以上１２００ｎｍ以下における最大反射率と最小反射率との差分とを取得する。
続いて、演算部１５は、記憶部１４に格納されている１番目の特徴量特性と２番目の特徴量特性を読み出し、これらの特徴量特性のｘ，ｙの値として膜厚を１ｎｍ刻みで入力して得られた値（以下「算出特徴量」という。）と実測値との差の二乗和が最小となる膜厚ｘ，ｙを求める。
つまり、以下の（３）式において、Ｗが最小となるときのｘ，ｙの値を求める。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
以上、説明してきたように、本実施形態に係る薄膜検査装置及びその方法によれば、第１透明薄膜２及び第２透明薄膜３の少なくとも一方の膜厚変動に影響を受ける分光反射スペクトルの特徴量の中から少なくとも２つの特徴量を選定し、この特徴量を用いて第１透明薄膜２及び第２透明薄膜３の膜厚を演算するので、複数の薄膜が積層された状態、具体的には、測定対象である反射率調整用の薄膜の上面に透明導電膜が積層された状態であっても、反射率調整層を構成する各薄膜の反射特性に基づいて、それらの膜厚をそれぞれ求めることが可能となる。
また、光の入射面を透明ガラス基板側としているので、透明導電膜の表面に形成されている凹凸による光の干渉を低減することが可能となる。具体的には、透明導電膜側から照明光を照射し、膜面からの反射光を測定する場合、透明導電膜の上面に形成された凹凸ムラ（テクスチャ）の影響で光が散乱されてしまう。従って、分光反射スペクトルにはテクスチャの情報（ヘイズ率の大小）が重畳されてしまい、これが誤差要因となり、膜厚計測の精度が低減してしまう。これに対し、本実施形態では、透明ガラス基板側から光を入射させるので、透明導電膜の表面の凹凸による誤差を抑制でき、計測精度を向上させることが可能となる。即ち、ガラス基板側から光を照射した場合には、透明導電膜の上面に形成されたテクスチャにかかわらず、試験片の分光反射スペクトルは略同じ形状となることから、透明導電膜のテクスチャの影響を受けずに第１透明薄膜及び第２透明薄膜の膜厚を計測することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
また、反射率調整層の上面に透明導電膜が積層された状態で、反射率調整層を構成する第１透明薄膜及び第２透明薄膜の膜厚を計測することができることから、例えば、このような薄膜を用いる光電変換薄膜装置の製造ラインに適用することが可能となり、膜厚検査の効率向上を望むことができる。つまり、本実施形態に係る薄膜検査装置によれば、透明ガラス基板上に反射率調整層と透明導電膜とをこの順番で製膜する製膜装置から出力される基板を被検査基板として反射率調整層を構成する各膜の膜厚を計測することができるので、光電変換薄膜装置の製造ラインに容易に適用することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月19日(2011.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
Ｆ２＋Ｈ２ → ２ＨＦ
本実施形態において、水素ガス２は、測定対象ガス１中のフッ素ガスの量と等量混合されているので、全てのフッ素ガスは、水素ガスと反応して、フッ化水素ガスとなる。また、水素ガス２の量は、測定対象ガス１中のフッ素ガスよりも通常多く存在しているので、混合ガス中には未反応の水素ガスが残留している。更にまた、測定対象ガス１中のフッ素ガスの濃度が１００％に近い場合であっても、水素ガスや窒素ガスが測定基準として設定されたマスフローメータの特性上、フッ素ガスは測定時の表示値が実際の容積より約７％多く表示される。上記の流量において「表示値」を付しているのは、流量の「実際値」を示している訳ではないためである。従って「表示値」において、水素ガス２の量を測定対象ガス１と同量としても、フッ素ガスは「表示値」より少ない「実際値」であるため、水素ガス２が不足する恐れがない。マスフローメータのような、ガスの種類によって表示値が異なる場合、「等量」配合するとは、測定対象ガス１中のフッ素ガスの濃度が１００％である場合として置き換えることもできる。マスフローメータは、上流と下流とで生じる温度差により流体の量を測定するものであり、発生する温度差は流体である気体の比熱に依存する。本実施形態において用いるマスフローメータは水素ガスや窒素ガスを測定するものであり、これらのガスについては特に補正の必要はないが、フッ素ガスは水素ガスや窒素ガスより比熱が約７％大きく、同量の気体を流しても表示される数値は約７％大きく表示される。その数値を補正してフッ素ガスの流量とするために０．９３を用いる必要がある。