【手続補正書】
【提出日】平成22年9月22日(2010.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
前記ガラスウエハを用意する工程は、
型内に前記第１金属線及び第２金属線を前記型内に略平行に所定の間隔で配置する工程と、
ガラス粉末を９００°Ｃ以下で溶融させる工程と、
溶融したガラスを前記型内に流し込んでから凝固させることにより前記第１金属線及び第２金属線を含んだガラスブロックを形成する工程と、
次に前記金属線に略直交するように前記ガラスブロックをスライスする工程と、
を備えたことを特徴とする請求項６に記載の圧電デバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
前記ガラスウエハを用意する工程は、
型内に前記第１金属線及び第２金属線を前記型内に略平行に所定の間隔で配置するとともにガラス粉末を入れる工程と、
次にこのガラス粉末を９００°Ｃ以下で溶融させて凝固させることにより前記第１金属線及び第２金属線を含んだガラスブロックを形成する工程と、
次に前記金属線に略直交するように前記ガラスブロックをスライスする工程と、
を備えたことを特徴とする請求項６に記載の圧電デバイスの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
前記第１金属線及び第２金属線の表面には、前記ガラスベースとの親和性を良くするためにガラス皮膜が形成されてから、前記型内に所定の間隔に配置されることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の圧電デバイスの製造方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第７の観点におけるガラスウエハを用意する工程は、第６の観点において、型内に第１金属線及び第２金属線を型内に略平行に所定の間隔で配置する工程と、ガラス粉末を溶融させる工程と、溶融したガラスを型内に流し込んでから凝固させることにより第１金属線及び第２金属線を含んだガラスブロックを形成する工程と、次に金属線に略直交するようにガラスブロックをスライスする工程と、を備える。
第１金属線及び第２金属線を含んだガラスブロックをスライスすることでガラスウエハが形成されるため量産性に優れている。また、ガラス粉末を溶融させてから溶融したガラスを型内に流し込む作業により、ガラスブロック内に気泡を少なくすることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第８の観点におけるガラスウエハを用意する工程は、第６の観点において、型内に第１金属線及び第２金属線を型内に略平行に所定の間隔で配置するとともにガラス粉末を入れる工程と、次にこのガラス粉末を溶融させて凝固させることにより第１金属線及び第２金属線を含んだガラスブロックを形成する工程と、次に金属線に略直交するようにガラスブロックをスライスする工程と、を備える。
この構成では、型にガラス粉末を入れて溶融することで第１金属線及び第２金属線を含んだガラスブロックが形成される。それをスライスすることでガラスウエハが形成されるため量産性に優れている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
図２Ａ（ｃ），（ｄ）及び（ｅ）は、１個１個に切り出されたベース４０において金属線２３がどの位置にあるかを示している。図２Ａ（ｃ）のＡ型ベース４０−１は２つの金属線をＡ型ベース４０−１の一辺に間隔を空けて配置している。（ｄ）のＢ型ベース４０−２は２つの金属線をＢ型ベース４０−２の対向する二辺に間隔を空けて配置している。（ｅ）のＣ型ベース４０−３は４つの金属線をＣ型ベース４０−３の角部に間隔を空けて配置している。これらベース４０の金属線２３は、水晶フレーム５０に形成される水晶振動片の接続電極の位置に応じて決められる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
図２Ｂは、複数のＡ型ベース４０−１を形成したベース用ガラスウエハ２０を示した部分平面図である。図２Ｂに示す状態は、角型のベース用ガラスウエハ２０から複数のＡ型ベース４０−１がエッチングで形成された状態を示した図である。角型のベース用ガラスウエハ２０から斜線部で示した開口領域２２が、エッチングされることによりベース４０が所定の大きさに形成されている。またＡ型ベース４０−１の中央領域にベース用凹部４７がエッチングにより形成されている。Ａ型ベース４０−１は３個１ブロックとして配置した状況を示している。なお開口領域２２を設けることなく、ダイシングソーでベース４０１個１個を切り取るようにしてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図３Ａ（ａ）に示す型７０は黒鉛（グラファイト）から構成され、機械加工され組み立てられる。型７０は、その一端にガラス注入口７２を備え、型７０の側面には金属線２３を通す孔７３が所定の間隙で設けられている。そして、型７０の孔７３には金属線２３が通されている。型７０の側面に形成された孔７３はＸＹ平面で同じ位置に形成されている。型７０の内寸法は、深さ１００ｍｍから１５０ｍｍ、幅２０ｍｍから５０ｍｍ、長さ１００ｍｍから１５０ｍｍである。金属線２３は、ガラスとの親和性を良くし、金属線２３とガラスが密着するよう前処理を行う。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
また、第２ベース４０’には、水晶フレーム５０の外枠部５１の裏面に形成した金属膜５３と同様な形状の金属膜４８が形成されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
＜水晶フレーム５０及び音叉型水晶振動片３０の製造工程＞
図６Ａは、音叉型水晶振動片３０を形成した水晶ウエハ１０を示した概略斜視図である。図６Ａに示す状態は、角形の水晶ウエハ１０から音叉型水晶振動片３０及び水晶フレーム５０をエッチングで同時に形成した状態を示した図である。角形の水晶ウエハ１０から斜線部で示した開口領域１２及び空間部５２がエッチングされることにより音叉型水晶振動片３０及び水晶フレーム５０が所定の大きさに形成されている。音叉型水晶振動片３０及び水晶フレーム５０を３個１ブロックとして、１５ブロック配置した状況を示している。角形の水晶ウエハ１０は、軸方向が特定できるように、水晶ウエハ１０の周辺部１０ｅの一部には、水晶の結晶方向を特定するオリエンテーションフラット１０ｃが形成されている。なお、説明の都合上水晶ウエハ１０には４５個の音叉型水晶振動片３０が描かれているが、実際には水晶ウエハ１０に数百数千もの音叉型水晶振動片３０が形成される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
リッド用ガラスウエハ６０及びベース用ガラスウエハ２０並びに水晶ウエハ１０の３枚が重ね合わされた状態で、共通する連結部１１を折ることで水晶振動子１００が完成する。いわゆるパッケージングと電極の結合とが同時に行うことができ、またウエハ単位で製造できるため、生産性を向上させることができる。
なお、第２実施形態の水晶振動子１１０についてもウエハ単位で製造することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
【図１】第１実施形態の第１水晶振動子１００又は第２実施形態の第２水晶振動子１１０の外観斜視図である。
【図２Ａ】（ａ）は、ベース用ガラスウエハ２０の概略平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、（ｃ），（ｄ）及び（ｅ）は、ベース４０の金属線２３の位置を示す概略平面図である。
【図２Ｂ】ベース４０を形成したベース用ガラスウエハ２０を示した部分平面図である。
【図３Ａ】ベース用ガラスウエハ２０を形成する型７０の構成を示す概略図である。（ａ）は、ガラスブロック２５を形成する型７０の斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図であり、（ｃ）は、（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図３Ｂ】ベース用ガラスウエハ２０を形成する概略図を示す。（ａ）は、ガラスブロック２５の部分側面図であり、（ｂ）は、（ａ）をスライスしたベース用ガラスウエハ２０の側面図である。
【図４Ａ】第１実施形態にかかる第１水晶振動子１００の概略断面図である。
【図４Ｂ】陽極接合を行う概略断面図である。
【図５】第２実施形態にかかる水晶振動子１１０の概略断面図である。
【図６Ａ】音叉型水晶振動片３０を備える水晶フレーム５０を形成した水晶ウエハ１０を示す概略斜視図である。
【図６Ｂ】水晶ウエハ１０における水晶フレーム５０の一部を拡大した概略平面図である。
【図７】第１リッド６５が形成されたリッド用ガラスウエハ６０と、音叉型水晶振動片３０及び水晶フレーム５０が形成された水晶ウエハ１０と、第１ベース４０が形成されたベース用ガラスウエハ２０とを重ね合わせる斜視図である。