【手続補正書】
【提出日】平成23年9月21日(2011.9.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動片の一端を接着剤で固定し、
前記一端と対向する他端を浮かせた振動子の製造方法において、
吸引用の開口部を有する枠部と、
当該枠部の前記開口部の周縁に沿って設けられたステージと、
前記枠部と前記ステージとの間に設けられた段差部と、
を備えた振動子製造用トレイに前記振動片を前記開口部を覆うように、前記振動片の周縁部を前記ステージに載せる搭載工程と、
前記開口部に負圧をかけて前記振動片を前記ステージに固定する吸着工程と、
前記振動片の前記一端または前記振動片を実装するパッケージベースのマウント部に接着剤を塗布する塗布工程と、
前記振動片を前記ステージに吸着固定させた状態で、
前記パッケージベースを前記振動片と前記ステージを覆うように前記枠部に載せ、
前記一端と前記マウント部とを前記接着剤を介して固定する実装工程と、
前記ステージに前記振動片を載せた状態で前記接着剤を硬化させる硬化工程と、
を有することを特徴とする振動子の製造方法。
【請求項２】
前記振動片と前記パッケージベースの内底面とのギャップは、
前記段差部により定められている
ことを特徴とする請求項１に記載の振動子の製造方法。
【請求項３】
前記ステージは、
前記枠部に設けられた凸部であり、
前記段差部は、前記凸部の側壁である
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の振動子の製造方法。
【請求項４】
前記開口部を挟んで、対向する前記凸部は、互いに側壁の高さが異なることを特徴とする請求項３に記載の振動子の製造方法。
【請求項５】
前記ステージは、
前記枠部に設けられた凹部であり、
前記段差部は、前記凹部の側壁である
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の振動子の製造方法。
【請求項６】
前記硬化工程の後に、
前記振動片の周波数を調整する周波数調整工程を有することを特徴とする請求項１乃至５のうち何れか一項に記載の振動子の製造方法。
【請求項７】
前記周波数調整工程は、
前記開口部から前記振動片の例振電極にイオンビームを照射し、
前記励振電極をエッチングすることにより周波数の調整を行う
ことを特徴とする請求項６に記載の振動子の製造方法。
【請求項８】
開口部を有する枠部と、
当該枠部の前記開口部の周縁に沿って設けられたステージと、
前記枠部と前記ステージとの間に設けられた段差部と、
を備え、
前記ステージは前記開口部を覆うように振動片が搭載され、
前記枠部は、前記ステージと前記振動片とを覆うようにパッケージベースが載置され、
前記段差部が、
前記振動片と前記パッケージベースの内底面とのギャップを定める
ことを特徴とする振動子製造用トレイ。
【請求項９】
前記ステージは、
前記枠部に設けられた凸部であり、
前記段差部は、前記凸部の側壁である
ことを特徴とする請求項８に記載の振動子製造用トレイ。
【請求項１０】
前記開口部を挟んで、対向する前記凸部は、互いに側壁の高さが異なる
ことを特徴とする請求項９に記載の振動子製造用トレイ。
【請求項１１】
前記ステージは、
前記枠部に設けられた凹部であり、
前記段差部は、前記凹部の側壁である
ことを特徴とする請求項８に記載の振動子製造用トレイ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】振動子の製造方法及び振動子製造用トレイ
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
第１の形態の振動子の製造方法は、振動片の一端を接着剤で固定し、前記一端と対向する他端を浮かせた振動子の製造方法において、吸引用の開口部を有する枠部と、当該枠部の前記開口部の周縁に沿って設けられたステージと、前記枠部と前記ステージとの間に設けられた段差部と、を備えた振動子製造用トレイに前記振動片を前記開口部を覆うように、前記振動片の周縁部を前記ステージに載せる搭載工程と、前記開口部に負圧をかけて前記振動片を前記ステージに固定する吸着工程と、前記振動片の前記一端または前記振動片を実装するパッケージベースのマウント部に接着剤を塗布する塗布工程と、前記振動片を前記ステージに吸着固定させた状態で、前記パッケージベースを前記振動片と前記ステージを覆うように前記枠部に載せ、前記一端と前記マウント部とを前記接着剤を介して固定する実装工程と、前記ステージに前記振動片を載せた状態で前記接着剤を硬化させる硬化工程と、を有することを特徴とする。
また、第２の形態の振動子の製造方法は、前記振動片と前記パッケージベースの内底面とのギャップは、前記段差部により定められていることを特徴とするものである。
また、第３の形態の振動子の製造方法は、前記ステージは、前記枠部に設けられた凸部であり、前記段差部は、前記凸部の側壁であることを特徴とするものである。
また、第４の形態の振動子の製造方法は、前記開口部を挟んで、対向する前記凸部は、互いに側壁の高さが異なることを特徴とするものである。
また、第５の形態の振動子の製造方法は、前記ステージは、前記枠部に設けられた凹部であり、前記段差部は、前記凹部の側壁であることを特徴とするものである。
また、第６の形態の振動子の製造方法は、前記硬化工程の後に、前記振動片の周波数を調整する周波数調整工程を有することを特徴とするものである。
さらに、第７の形態の振動子の製造方法は、前記周波数調整工程は、前記開口部から前記振動片の例振電極にイオンビームを照射し、前記励振電極をエッチングすることにより周波数の調整を行うことを特徴とするものである。
また、第８の形態の振動子製造用トレイは、開口部を有する枠部と、当該枠部の前記開口部の周縁に沿って設けられたステージと、前記枠部と前記ステージとの間に設けられた段差部と、を備え、前記ステージは前記開口部を覆うように振動片が搭載され、前記枠部は、前記ステージと前記振動片とを覆うようにパッケージベースが載置され、前記段差部が、前記振動片と前記パッケージベースの内底面とのギャップを定めることを特徴とする。
また、第９の形態の振動子製造用トレイは、前記ステージは、前記枠部に設けられた凸部であり、前記段差部は、前記凸部の側壁であることを特徴とするものである。
また、第１０の形態の振動子製造用トレイは、前記開口部を挟んで、対向する前記凸部は、互いに側壁の高さが異なることを特徴とするものである。
さらに、第１１の形態の振動子製造用トレイは、前記ステージは、前記枠部に設けられた凹部であり、前記段差部は、前記凹部の側壁であることを特徴とするものである。
［適用例１］圧電振動片の一端を導電性接着剤で固定し、他端を浮かせた圧電振動子の製造方法において、吸引用の開口部と、該開口部の周縁に形成した段差部と、を有するステージを備えた圧電振動子製造用トレイに前記圧電振動片を前記開口部を覆うように載せる搭載工程と、前記開口部に負圧をかけて前記圧電振動片を前記ステージに固定する吸着工程と、前記圧電振動片の入出力電極または前記圧電振動片を実装するパッケージベースのマウント電極に導電性接着剤を塗布する塗布工程と、前記圧電振動片を前記ステージに吸着固定させた状態で、前記入出力電極と前記マウント電極とを前記導電性接着剤を介して電気的に接続する実装工程と、前記ステージに前記圧電振動片を載せた状態で前記導電性接着剤を硬化させる硬化工程とを有し、前記実装工程では前記圧電振動子製造用トレイにおける前記ステージの段差部の高さ又は傾斜角度により前記パッケージベースに対する前記圧電振動片の搭載角度と搭載時の高さを定めることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
このような特徴を有する圧電振動子の製造方法によれば、圧電振動片の搭載精度を良好としつつ製造工程を低減することができる。