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【手続補正書】
【提出日】平成23年11月7日(2011.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】フロント型プロジェクタ、及び半導体装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャネル形成領域、ソース領域、及びドレイン領域を有する半導体層と、島状のゲート電極とを備えた薄膜トランジスタを有し、
前記ゲート電極は、第１配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方は、第２配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の他方は、島状電極を介して、画素電極と電気的に接続され、
前記第１配線は、前記チャネル形成領域と重なり、
前記第１配線は、前記第２配線と直交する方向に配置され、
前記第２配線は、容量配線と平行かつ重なるように配置されたことを特徴とするフロント型プロジェクタ。
【請求項２】
チャネル形成領域、ソース領域、及びドレイン領域を有する半導体層と、島状のゲート電極とを備えた薄膜トランジスタを有し、
前記ゲート電極は、第１配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方は、第２配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の他方は、島状電極を介して、画素電極と電気的に接続され、
前記第１配線は、前記チャネル形成領域と重なり、
前記第２配線は、前記島状電極と隔離するように配置され、
前記第１配線は、前記第２配線と直交する方向に配置され、
前記第２配線は、容量配線と平行かつ重なるように配置されたことを特徴とするフロント型プロジェクタ。
【請求項３】
チャネル形成領域、ソース領域、及びドレイン領域を有する半導体層と、島状のゲート電極とを備えた薄膜トランジスタを有し、
前記ゲート電極は、第１配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方は、第２配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の他方は、島状電極を介して、画素電極と電気的に接続され、
前記第１配線及び前記第２配線は、前記半導体層と重なり、
前記第１配線は、前記第２配線と直交する方向に配置され、
前記第２配線は、容量配線と平行かつ重なるように配置されたことを特徴とするフロント型プロジェクタ。
【請求項４】
チャネル形成領域、ソース領域、及びドレイン領域を有する半導体層と、島状のゲート電極とを備えた薄膜トランジスタを有し、
前記ゲート電極は、第１配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方は、第２配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の他方は、島状電極を介して、画素電極と電気的に接続され、
前記第１配線及び前記第２配線は、前記半導体層と重なり、
前記第２配線は、前記島状電極と隔離するように配置され、
前記第１配線は、前記第２配線と直交する方向に配置され、
前記第２配線は、容量配線と平行かつ重なるように配置されたことを特徴とするフロント型プロジェクタ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第２配線と、前記島状電極とは、同一層に形成されたことを特徴とするフロント型プロジェクタ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、
前記第１配線は走査線であることを特徴とするフロント型プロジェクタ。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一において、
前記第２配線は信号線であることを特徴とするフロント型プロジェクタ。
【請求項８】
チャネル形成領域、ソース領域、及びドレイン領域を有する半導体層と、島状のゲート電極とを備えた薄膜トランジスタを有し、
前記ゲート電極は、第１配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方は、第２配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の他方は、島状電極を介して、画素電極と電気的に接続され、
前記第１配線は、前記チャネル形成領域と重なり、
前記第１配線は、前記第２配線と直交する方向に配置され、
前記第２配線は、容量配線と平行かつ重なるように配置されたことを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
チャネル形成領域、ソース領域、及びドレイン領域を有する半導体層と、島状のゲート電極とを備えた薄膜トランジスタを有し、
前記ゲート電極は、第１配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方は、第２配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の他方は、島状電極を介して、画素電極と電気的に接続され、
前記第１配線は、前記チャネル形成領域と重なり、
前記第２配線は、前記島状電極と隔離するように配置され、
前記第１配線は、前記第２配線と直交する方向に配置され、
前記第２配線は、容量配線と平行かつ重なるように配置されたことを特徴とする半導体装置。
【請求項１０】
チャネル形成領域、ソース領域、及びドレイン領域を有する半導体層と、島状のゲート電極とを備えた薄膜トランジスタを有し、
前記ゲート電極は、第１配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方は、第２配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の他方は、島状電極を介して、画素電極と電気的に接続され、
前記第１配線及び前記第２配線は、前記半導体層と重なり、
前記第１配線は、前記第２配線と直交する方向に配置され、
前記第２配線は、容量配線と平行かつ重なるように配置されたことを特徴とする半導体装置。
【請求項１１】
チャネル形成領域、ソース領域、及びドレイン領域を有する半導体層と、島状のゲート電極とを備えた薄膜トランジスタを有し、
前記ゲート電極は、第１配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方は、第２配線と電気的に接続され、
前記ソース領域又は前記ドレイン領域の他方は、島状電極を介して、画素電極と電気的に接続され、
前記第１配線及び前記第２配線は、前記半導体層と重なり、
前記第２配線は、前記島状電極と隔離するように配置され、
前記第１配線は、前記第２配線と直交する方向に配置され、
前記第２配線は、容量配線と平行かつ重なるように配置されたことを特徴とする半導体装置。
【請求項１２】
請求項８乃至請求項１１のいずれか一において、
前記第２配線と、前記島状電極とは、同一層に形成されたことを特徴とする半導体装置。
【請求項１３】
請求項８乃至請求項１２のいずれか一において、
前記第１配線は走査線であることを特徴とする半導体装置。
【請求項１４】
請求項８乃至請求項１３のいずれか一において、
前記第２配線は信号線であることを特徴とする半導体装置。
【誤訳訂正書】
【提出日】平成23年5月18日(2011.5.18)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）透過エネルギへの曝露時に重合して熱可塑性または熱硬化性ホットメルト接着剤となる液状の予備接着剤組成物を提供し、
（ｂ）前記予備接着剤組成物を包装材料で囲み、
（ｃ）紫外線、可視光線、熱輻射又は熱伝導から選択される透過エネルギに前記予備接着剤組成物を曝露し、
（ｄ）前記予備接着剤組成物を重合させて熱可塑性または熱硬化性ホットメルト接着剤を提供し、
（ｅ）前記接着剤およびその包装材料をベッセルに導入し、該ベッセル内にて前記接着剤およびその包装材料を溶融させる、熱可塑性または熱硬化性ホットメルト塗布混合物の製造方法において、
前記接着剤および前記包装材料のホットメルト塗布混合物の２５℃、１ラジアン／秒のねじれ応力で測定した貯蔵弾性率は１０3 〜１０7 Ｐａ（１０4 〜１０8 ダイン／ｃｍ2 ）であり、
前記液状の予備接着剤組成物は、
（ｆ）少なくとも一種の非第三アルキルアルコールのアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステルを含み、前記アルキル基が３〜１８個の炭素原子を有する、重合可能な成分５０〜１００重量部と、
（ｇ）前記アクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステル以外の少なくとも一種の改質モノマーを含み、成分（ｆ）と共重合可能な成分０〜５０重量部（（ｆ）と（ｇ）との合計は１００重量部）と、
（ｈ）有効量の重合開始剤と、
（ｉ）有効量の連鎖移動剤と、
を含み、
前記包装材料は、エチレン−ビニルアセテート、エチレン−アクリル酸、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリブタジエンまたはイオノマーフィルムから選択される、熱可塑性または熱硬化性ホットメルト塗布混合物の製造方法。
【請求項２】
（ａ）透過エネルギへの曝露時に重合して熱可塑性または熱硬化性ホットメルト接着剤となる液状の予備接着剤組成物を提供し、
（ｂ）前記予備接着剤組成物をポリマーフィルム材料の連続したチューブに連続的に導入し、
（ｃ）紫外線、可視光線、熱輻射又は熱伝導から選択される透過エネルギに前記予備接着剤組成物を連続的に曝露し、
（ｄ）前記予備接着剤組成物を連続的に重合させて前記熱可塑性または熱硬化性ホットメルト接着剤を提供し、
（ｅ）前記ポリマーフィルム材料およびその内容物をベッセルに連続して導入し、該ベッセルにて前記ポリマーフィルム材料およびその内容物を溶融させる、熱可塑性または熱硬化性ホットメルト塗布混合物の製造方法において、
前記接着剤および前記ポリマーフィルム材料のホットメルト塗布混合物の２５℃、１ラジアン／秒のねじれ応力で測定した貯蔵弾性率は１０3 〜１０7 Ｐａ（１０4 〜１０8 ダイン／ｃｍ2 ）であり、
前記液状の予備接着剤組成物は、
（ｆ）少なくとも一種の非第三アルキルアルコールのアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステルを含み、前記アルキル基が３〜１８個の炭素原子を有する、重合可能な成分５０〜１００重量部と、
（ｇ）前記アクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステル以外の少なくとも一種の改質モノマーを含み、成分（ｆ）と共重合可能な成分０〜５０重量部（（ｆ）と（ｇ）との合計は１００重量部）と、
（ｈ）有効量の重合開始剤と、
（ｉ）有効量の連鎖移動剤と、
を含み、
前記ポリマーフィルム材料は、エチレン−アクリル酸である、熱可塑性または熱硬化性ホットメルト塗布混合物の製造方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３２】
好ましい液状予備接着剤組成物は、
（ａ）少なくとも一種の非第三アルキルアルコールのアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステルを含み、アルキル基は３〜１８個の炭素原子を有する重合可能な成分５０〜１００重量部と、
（ｂ）前記アクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステル以外の少なくとも一種の改質モノマーを含み、成分（ａ）と共重合可能な重合可能な成分０〜５０重量部（（ａ）と（ｂ）との合計は１００重量部）と、
（ｃ）有効量の重合開始剤と、
（ｄ）有効量の連鎖移動剤と、
を含む。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６９】
パッケージ入り予備接着剤の他の実施例において、予備接着剤組成物は、
（ａ）アルキル基が３〜１８個の炭素原子を含む非第三アルキルアルコールの少なくとも一種のアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステルを含む重合可能な成分５０〜１００重量部と、
（ｂ）前記アクリル酸エステルまたはメタクリル酸エステル以外の少なくとも一種の改質モノマーを含み、成分（ａ）と共重合可能な重合可能な成分０〜５０重量部（（ａ）と（ｂ）との合計は１００重量部）と、
（ｃ）有効量の重合開始剤と、
（ｄ）有効量の連鎖移動剤と、
を含む。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月21日(2011.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも下記一般式〔式１〕で表される黄色系染料からなる色材と、デービス法により算出されたＨＬＢ値が５．４〜８．０であるグリコールエーテルと溶媒とを必須成分として含むことを特徴とするインク組成物。
【化１】
2007302810.tif 000001
（上記式中、Ｘ1、Ｘ2、Ｙ1、及びＹ2は水素原子、又はシアノ基を表し、Ｚ1及びＺ2は芳香環を有する置換基を表し、Ｒ1及びＲ2はアルキル基を表し、Ｍは金属原子を表す。）
【請求項２】
前記黄色系染料からなる色材が下記一般式〔式２〕で表される色材であることを特徴とする請求項１に記載のインク組成物。
【化２】
2007302810.tif 000002
（上記式中、Ｘ1、Ｘ2、Ｙ1、及びＹ2は水素原子、又はシアノ基を表し、Ｗ1〜Ｗ5及びＷ11〜Ｗ15は、それぞれ水素原子、カルボキシル基又はその塩を表し、Ｍは金属原子を表し、ｔ−Ｂｕはターシャリーブチル基を表す。）
【請求項３】
前記グリコールエーテルが、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノイソブチルエーテル、エチレングリコールモノ２−エチルヘキシルエーテル、及びエチレングリコールモノオクチルエーテルの中の少なくとも１種であることを特徴とする請求項１又は２に記載のインク組成物。
【請求項４】
デービス法により算出された前記グリコールエーテルのＨＬＢ値が５．４〜６．９であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインク組成物。
【請求項５】
前記グリコールエーテルがプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノ２−エチルヘキシルエーテル、及びエチレングリコールモノオクチルエーテルの中の少なくとも１種であることを特徴とする請求項４に記載のインク組成物。
【請求項６】
前記グリコールエーテルの含有量が前記黄色系染料に対して４〜２００重量％であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインク組成物。
【請求項７】
前記インク組成物の全量に対して前記黄色系染料の含有量が、３〜６重量％であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のインク組成物。
【請求項８】
前記インク組成物の全量に対して前記グリコールエーテルの含有量が０．２５〜６重量％であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のインク組成物。
【請求項９】
さらにノニオン系界面活性剤を含有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のインク組成物。
【請求項１０】
前記ノニオン系界面活性剤がアセチレンジオール系界面活性剤であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のインク組成物。
【請求項１１】
インクジェット記録方法に用いるインクセットであって、少なくとも請求項１〜１０のいずれか１項に記載のインク組成物を構成成分として含んでなることを特徴とするインクセット。
【請求項１２】
インク組成物の液滴を吐出し、該液滴を記録媒体に付着させて記録を行うインクジェット記録方法であって、請求項１〜１０のいずれか１項に記載のインク組成物、または請求項１１に記載のインクセットを用いて記録することを特徴とするインクジェット記録方法。
【請求項１３】
前記記録媒体の光沢度が３０以上であることを特徴とする請求項１２に記載のインクジェット記録方法。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載のインクジェット記録方法によって印刷されたことを特徴とする記録物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
(７) 前記インク組成物の全量に対して前記黄色系染料の含有量が、３〜６重量％であることを特徴とする前記(１)〜(６)のいずれかに記載のインク組成物。
(８) 前記インク組成物の全量に対して前記グリコールエーテルの含有量が０．２５〜６重量％であることを特徴とする前記(１)〜(７)のいずれかに記載のインク組成物。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
(９)さらにノニオン系界面活性剤を含有することを特徴とする前記（１）〜(８)のいずれか１項に記載のインク組成物。
(１０) 前記ノニオン系界面活性剤がアセチレンジオール系界面活性剤であることを特徴とする前記（１）〜(９)のいずれかに記載のインク組成物。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
(１１) インクジェット記録方法に用いるインクセットであって、少なくとも前記（１）〜(１０)のいずれかに記載のインク組成物を構成成分として含んでなることを特徴とするインクセット。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
(１２) インク組成物の液滴を吐出し、該液滴を記録媒体に付着させて記録を行うインクジェット記録方法であって、前記（１）〜(１０)のいずれかに記載のインク組成物、または前記(１１)に記載のインクセットを用いて記録することを特徴とするインクジェット記録方法。
(１３) 前記記録媒体の光沢度が３０以上であることを特徴とする前記(１０)に記載のインクジェット記録方法。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
(１４) 前記 (１２)または(１３)に記載のインクジェット記録方法によって印刷されたことを特徴とする記録物。
【手続補正書】
【提出日】平成23年7月4日(2011.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
例えば流体の圧力の検出を行う圧力センサなどの検出センサとして、検出手段を収容した本体ケースを例えばＬ字状の取付具を用いて壁面等に固定するようにしたものが知られている。このような検出センサは、一般的には、複数台を横並びに配置して使用されることが多く、その場合には、各検出センサごとにそれぞれ取り付けられた取付具を壁面等に対して個別にねじ止めすることで各検出センサが固定される。
【特許文献１】実用新案登録第２５７０８４５号公報
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月10日(2010.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮影により取得した画像に含まれる人物の顔を検出する顔検出手段と、
前記画像に含まれる人物の目を検出する目検出手段と、
前記検出した顔の位置における被写界深度を表す評価値を算出する評価値算出手段と、
前記評価値に応じて、前記目検出手段による前記人物の目の検出を行わずに前記検出した顔に合焦するか、前記目検出手段により前記人物の目を検出し、該検出した目に合焦するかを切り替えて合焦処理を行う合焦手段とを備えたことを特徴とする合焦装置。
【請求項２】
前記顔の向きを判定する顔向き判定手段をさらに備え、
前記合焦手段は、前記目を検出する場合に、合焦する目を前記顔の向きに応じて決定する手段であることを特徴とする請求項１記載の合焦装置。
【請求項３】
前記顔の向きを判定する顔向き判定手段をさらに備え、
前記目検出手段は、前記目を検出する場合に、前記顔の向きに応じて前記目を検出する範囲を設定し、該設定した範囲内において前記目の検出を行う手段であることを特徴とする請求項１記載の合焦装置。
【請求項４】
前記評価値算出手段は、前記撮影手段を構成するレンズの焦点距離、絞り値、合焦位置までの距離、および前記顔の大きさの情報のうちの少なくとも１つに基づいて前記評価値を算出する手段であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の合焦装置。
【請求項５】
前記顔検出手段は、前記検出した顔が複数ある場合、前記合焦する１つの顔を決定する手段であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項記載の合焦装置。
【請求項６】
撮影により取得した画像に含まれる人物の顔を検出し、
前記検出した顔の位置における被写界深度を表す評価値を算出し、
前記評価値に応じて、前記人物の目の検出を行わずに前記検出した顔に合焦するか、前記人物の目を検出し、該検出した目に合焦するかを切り替えて合焦処理を行うことを特徴とする合焦方法。
【請求項７】
撮影により取得した画像に含まれる人物の顔を検出する手順と、
前記検出した顔の位置における被写界深度を表す評価値を算出する手順と、
前記評価値に応じて、前記人物の目の検出を行わずに前記検出した顔に合焦するか、前記人物の目を検出し、該検出した目に合焦するかを切り替えて合焦処理を行う手順とを有することを特徴とする合焦方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月6日(2011.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源からのレーザ光束を標本に照射する照明光学系と、
前記標本からの蛍光を検出する蛍光検出光学系と、
前記照明光学系内に配設され、前記レーザ光束を前記標本へ導き、前記蛍光を前記蛍光検出光学系へ導く複数の蛍光キューブと、
対物レンズとを有し、
複数の蛍光キューブは、互いに切換え可能に構成され、
複数の前記蛍光キューブの少なくとも１つは、該蛍光キューブ内に、ダイクロイック部材と、前記レーザ光束の主光線を前記照明光学系の光軸に対して略平行になるようにし、かつ前記レーザ光束を前記対物レンズの瞳位置の光軸から離れた所定の位置に集光するための光学手段を有することを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
前記所定の位置に集光された前記レーザ光束は、前記対物レンズから前記標本に対する入射角が全反射角以上で射出することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記光学手段は、前記ダイクロイック部材より前記レーザ光源側に配置してなることを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
前記光学手段は、楔プリズムと結像レンズとを有し、
当該光学手段を有する前記蛍光キューブを前記光軸に挿入した際、前記レーザ光束の主光線を前記光軸に対して所定量移動するように前記光学手段を制御する制御手段を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の顕微鏡装置。
【請求項５】
前記光学手段は、前記光軸に対して所定量傾斜して配置された平行平面ガラスと、結像レンズとを有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の顕微鏡装置。
【請求項６】
前記照明光学系は、落射照明光学系を更に有することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の顕微鏡装置。
【請求項７】
蛍光顕微鏡の照明光学系の光路中に交換可能に配置される蛍光キューブであって、
前記蛍光キューブ内に、ダイクロイック部材と、
前記蛍光顕微鏡の光路に配置されたときに、対物レンズを介して標本に照射するレーザ光束の主光線を前記照明光学系の光軸に対して略平行になるようにし、かつ前記レーザ光束を前記対物レンズの瞳位置の光軸から離れた所定の位置に集光するための光学手段と、
を有することを特徴とする蛍光キューブ。
【請求項８】
前記光学手段は、楔プリズムと結像レンズとを有することを特徴とする請求項７に記載の蛍光キューブ。
【請求項９】
前記光学手段は、前記光軸に対して所定量傾斜して配置された平行平面ガラスと、結像レンズとを有することを特徴とする請求項７に記載の蛍光キューブ。 
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上記課題を解決するため、本発明は、レーザ光源からのレーザ光束を標本に照射する照明光学系と、前記標本からの蛍光を検出する蛍光検出光学系と、前記照明光学系内に配設され、前記レーザ光束を前記標本へ導き、前記蛍光を前記蛍光検出光学系へ導く複数の蛍光キューブと、対物レンズとを有し、複数の蛍光キューブは、互いに切換え可能に構成され、複数の前記蛍光キューブの少なくとも１つは、該蛍光キューブ内に、ダイクロイック部材と、前記レーザ光束の主光線を前記照明光学系の光軸に対して略平行になるようにし、かつ前記レーザ光束を前記対物レンズの瞳位置の光軸から離れた所定の位置に集光するための光学手段を有することを特徴とする顕微鏡装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
また、本発明は、蛍光顕微鏡の照明光学系の光路中に交換可能に配置される蛍光キューブであって、前記蛍光キューブ内に、ダイクロイック部材と、前記蛍光顕微鏡の光路に配置されたときに、対物レンズを介して標本に照射するレーザ光束の主光線を前記照明光学系の光軸に対して略平行になるようにし、かつ前記レーザ光束を前記対物レンズの瞳位置の光軸から離れた所定の位置に集光するための光学手段と、を有することを特徴とする蛍光キューブを提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成23年5月9日(2011.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トルクコンバータにおいて、
ポンプシェルと、
カバーと、
カバー及びポンプシェルとの接触により固定されたトルクコンバータクラッチのためのバッキングプレートとが設けられていることを特徴とする、トルクコンバータ。
【請求項２】
前記バッキングプレートが、カバー及びポンプによってバッキングプレートに対して加えられる軸方向圧力によって固定されている、請求項１記載のトルクコンバータ。
【請求項３】
ポンプシェル及びカバーがさらに個々の内周面を有しており、バッキングプレートがさらに、個々の内周面のうちの少なくとも１つと摩擦接触した外周面を有しており、摩擦接触がバッキングプレートを個々の内周面のうちの少なくとも１つに回転方向で固定している、請求項１記載のトルクコンバータ。
【請求項４】
外周面が鋸歯状である、請求項３記載のトルクコンバータ。
【請求項５】
カバーがさらに内周面を有しており、バッキングプレートがさらに、内周面と摩擦を生じながら係合させられた鋸歯状の外周面を有しており、摩擦を生じながらの係合が、バッキングプレートを内周面に回転方向で固定している、請求項１記載のトルクコンバータ。
【請求項６】
ポンプシェルが半径方向面を有しており、バッキングプレートがさらに、ポンプシェルのための半径方向面と接触した半径方向面を有している、請求項１記載のトルクコンバータ。
【請求項７】
クラッチが設けられており、バッキングプレートが、クラッチがつながれたときのクラッチからの軸方向の力に反応するように配置されている、請求項１記載のトルクコンバータ。
【請求項８】
トルクコンバータにおいて、
軸方向でポンプシェルとカバーとの間に配置された複数のコンポーネントが設けられており、
ポンプシェルに固定されたポンプハブが設けられており、ポンプシェルに対するポンプハブの位置が、複数のコンポーネントにおけるコンポーネントの間の個々の軸方向間隔を決定するように選択されていることを特徴とする、トルクコンバータ。
【請求項９】
複数のコンポーネントがさらに出力ハブを含み、ポンプハブの位置が、カバーと出力ハブとの間の軸方向間隔を決定するように選択されている、請求項８記載のトルクコンバータ。
【請求項１０】
複数のコンポーネントがさらに軸受を含み、ポンプハブの位置が、軸受とポンプハブとの間の軸方向間隔を決定するために選択されている、請求項８記載のトルクコンバータ。
【請求項１１】
トルクコンバータにおいて、
軸方向でポンプシェルとカバーとの間に配置された複数のコンポーネントが設けられており、
ポンプシェルに固定されたポンプハブが設けられており、ポンプハブのフランジ付き領域の軸方向長さが、複数のコンポーネントにおけるコンポーネントの間の個々の軸方向間隔を決定するために選択されることを特徴とする、トルクコンバータ。
【請求項１２】
複数のコンポーネントがさらに出力ハブを含み、フランジ付き領域の長さが、カバーとポンプハブとの間の軸方向間隔を決定するために選択される、請求項１１記載のトルクコンバータ。
【請求項１３】
複数のコンポーネントがさらに軸受を含み、フランジ付き領域の長さが、軸受とポンプハブとの間の軸方向間隔を決定するために選択される、請求項１１記載のトルクコンバータ。
【請求項１４】
トルクコンバータにおいて、
タービンシェルと、
トルクコンバータクラッチのためのバッキングプレートとが設けられており、該バッキングプレートが、タービンシェルに回転方向で結合されておりかつ第１の圧力チャンバと第２の圧力チャンバとの間の境界の部分を形成しており、クラッチのための提供圧力チャンバにおける圧力が、第１の圧力チャンバ及び第２の圧力チャンバにおける圧力から独立して制御されることを特徴とする、トルクコンバータ。
【請求項１５】
ダンパ及びタービンシェルに回転方向で結合されたタービンハブが設けられている、請求項１４記載のトルクコンバータ。
【請求項１６】
ダンパが、タービンハブに回転方向で結合されたカバープレートを有する、請求項１５記載のトルクコンバータ。
【請求項１７】
トルクコンバータのためのロックアップモードにおいて、第１のトルク経路がクラッチからダンパへ形成され、第２のトルク経路がクラッチからタービンシェル及びカバープレートを介してダンパへ形成される、請求項１６記載のトルクコンバータ。
【請求項１８】
クラッチが、ダンパに回転方向で結合された摩擦プレートを有しており、第１のトルク経路が摩擦プレートを通過する、請求項１７記載のトルクコンバータ。
【請求項１９】
ポンプシェルと、軸方向でタービンシェルとポンプシェルとの間に配置された回転スラスト移転エレメントとが設けられている、請求項１４記載のトルクコンバータ。
【請求項２０】
バッキングプレートがタービンシェルに固定されている、請求項１４記載のトルクコンバータ。
【請求項２１】
ポンプハブと、ステータと、第１の摩耗ワッシャと、第２の摩耗ワッシャとが設けられており、第１の摩耗ワッシャ及び第２の摩耗ワッシャが、それぞれ軸方向でタービンハブとステータとの間、及びステータとポンプハブとの間に配置されている、請求項１５記載のトルクコンバータ。
【請求項２２】
トルクコンバータにおいて、
カバーと、
該カバーに回転方向で結合されたトルクコンバータクラッチと、
クラッチのためのピストンプレートとが設けられており、該ピストンプレートが、クラッチのための提供圧力チャンバのための境界の部分を形成しており、圧力チャンバが、流体供給チャネルを除いてシールされており、ピストンプレートが、クラッチをつなぐためにカバーに向かって変位するように配置されていることを特徴とする、トルクコンバータ。
【請求項２３】
環状空間と、第１の圧力チャンバと、第２の圧力チャンバとが設けられており、第１の圧力チャンバが第２の圧力チャンバ及び環状空間と流体連通しており、提供圧力チャンバにおける圧力が、第１の圧力チャンバ及び第２の圧力チャンバにおける圧力から独立して制御される、請求項２２記載のトルクコンバータ。
【請求項２４】
冷却流体と、環状空間と、第１の圧力チャンバと、第２の圧力チャンバとが設けられており、第１の圧力チャンバが第２の圧力チャンバ及び環状空間と流体連通しており、クラッチが摩擦材料を有しており、クラッチがつながれた場合、冷却流体が、摩擦材料を通って第１の圧力チャンバと第２の圧力チャンバとの間を流れるように配置されている、請求項２２記載のトルクコンバータ。
【請求項２５】
提供圧力チャンバのための境界の部分を形成したタービンシェルが設けられている、請求項２２記載のトルクコンバータ。
【請求項２６】
ピストンプレートがタービンシェルに回転方向で結合されている、請求項２５記載のトルクコンバータ。
【請求項２７】
タービンハブが設けられており、クラッチがつながれた場合、ピストンプレートが、エンジントルクをタービンシェルを介してタービンハブに伝達するように配置されている、請求項２５記載のトルクコンバータ。
【手続補正書】
【提出日】平成23年5月9日(2011.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トルクコンバータにおけるステータのための羽根において、
ステータの内周区分に結合された第１の羽根セグメントが設けられており、
少なくとも１つの第２の羽根セグメントが設けられており、該第２の羽根セグメントが、第１の羽根セグメントとは別個に形成されておりかつ内周区分に結合されており、
第３の羽根セグメントが設けられており、該第３の羽根セグメントが、第１の羽根セグメント及び少なくとも１つの第２の羽根セグメントとは別個に形成されておりかつ内周区分に結合されていることを特徴とする、トルクコンバータにおけるステータのための羽根。
【請求項２】
第１の羽根セグメントと、少なくとも１つの第２の羽根セグメントと、第３の羽根セグメントとがそれぞれ外側半径部分を有しており、個々の外側半径部分が固定結合されている、請求項１記載の羽根。
【請求項３】
第１の羽根セグメントと、少なくとも１つの第２の羽根セグメントと、第３の羽根セグメントとが連続的な面を形成している、請求項１記載の羽根。
【請求項４】
第１の羽根セグメントと、少なくとも１つの第２の羽根セグメントとが接触しており、少なくとも１つの第２の羽根セグメントと、第３の羽根セグメントとが接触している、請求項１記載の羽根。
【請求項５】
第１の羽根セグメントと、少なくとも１つの第２の羽根セグメントと、第３の羽根セグメントとが個々の縁部を有しており、第１の羽根セグメントと、少なくとも１つの第２の羽根セグメントとが個々の縁部に沿って接触しており、少なくとも１つの第２の羽根セグメントと、第３の羽根セグメントとが個々の縁部に沿って接触している、請求項４記載の羽根。
【請求項６】
個々の縁部のうちの少なくとも１つが成形されている、請求項５記載の羽根。
【請求項７】
少なくとも１つの第２の羽根セグメントが周方向及び軸方向で第１の羽根セグメントと第３の羽根セグメントとの間に配置されている、請求項１記載の羽根。
【請求項８】
第１の羽根セグメントと、少なくとも１つの第２の羽根セグメントと、第３の羽根セグメントとが周方向及び軸方向でずれている、請求項１記載の羽根。
【請求項９】
第１の羽根セグメントと、少なくとも１つの第２の羽根セグメントと、第３の羽根セグメントとのうちの少なくとも１つが、スタンピングされている、請求項１記載の羽根。
【請求項１０】
第１の羽根セグメントと、少なくとも１つの第２の羽根セグメントと、第３の羽根セグメントとのうちの少なくとも１つが、鋳造されている、請求項１記載の羽根。
【請求項１１】
少なくとも１つの第２の羽根セグメントが内周においてタブを有しており、該タブが、第１の羽根セグメント又は第３の羽根セグメントのうちの一方に接触しかつ第１の羽根セグメントと、少なくとも１つの第２の羽根セグメントと、第３の羽根セグメントとの間に所定の空間を提供するように曲げられている、請求項１記載の羽根。
【請求項１２】
ステータの作動中に、少なくとも１つの第２の羽根セグメントにおける流体圧力が、第１の羽根セグメント及び第３の羽根セグメントにおける個々の流体圧力よりも低い、請求項１記載の羽根。
【手続補正書】
【提出日】平成23年5月9日(2011.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トルクコンバータにおいて、
トルクコンバータクラッチのためのキャリヤが設けられており、該キャリヤがタービンシェルに回転方向で結合されており、
クラッチのための提供チャンバが設けられており、
第２の圧力チャンバ及び環状空間と流体連通した第１の圧力チャンバが設けられており、提供チャンバにおける圧力が、第１の圧力チャンバ及び第２の圧力チャンバにおける圧力から独立して制御されることを特徴とする、トルクコンバータ。
【請求項２】
キャリヤがタービンシェルに固定されている、請求項１記載のトルクコンバータ。
【請求項３】
タービンシェルに回転方向で結合されたタービンハブが設けられている、請求項１記載のトルクコンバータ。
【請求項４】
カバープレートを備えたダンパが設けられており、クラッチが、カバープレートに回転方向で結合された摩擦プレートを有する、請求項３記載のトルクコンバータ。
【請求項５】
カバープレートがタービンハブに回転方向で結合されている、請求項４記載のトルクコンバータ。
【請求項６】
クラッチがつながれた場合、第１のトルク受渡し経路が、キャリヤ及びタービンシェルを介してクラッチからタービンハブまで形成され、第２のトルク受渡し経路が、カバープレートを介してクラッチからタービンハブまで形成される、請求項５記載のトルクコンバータ。
【請求項７】
トルクをクラッチに伝達するために配置されたカバーが設けられており、クラッチがつながれた場合、実質的に全てのトルクが、タービンシェルを介してクラッチからタービンハブまで受け渡される、請求項３記載のトルクコンバータ。
【請求項８】
タービンハブに回転方向で結合されたカバープレートを備えたダンパが設けられている、請求項７記載のトルクコンバータ。
【請求項９】
トルクコンバータにおいて、
タービンシェルとダンパアセンブリのためのカバープレートとに回転方向で結合されたタービンハブと、
タービンハブをカバーに回転方向で結合するように配置されたハブクラッチとが設けられていることを特徴とする、トルクコンバータ。
【請求項１０】
カバープレートに回転方向で結合されたトルクコンバータクラッチが設けられている、請求項９記載のトルクコンバータ。
【請求項１１】
カバーが、トルクコンバータクラッチに回転方向で結合されており、トルクコンバータクラッチがつながれた場合、ハブクラッチがつながるように配置されており、第１の経路が、ハブクラッチを介してカバーからタービンハブまで形成され、第２のトルク経路が、トルクコンバータクラッチ及びカバープレートを介してカバーからタービンハブまで形成される、請求項１０記載のトルクコンバータ。
【請求項１２】
ダンパアセンブリに回転方向で結合されたダンパハブが設けられており、該ダンパハブが少なくとも１つの開口を有しており、タービンハブが、少なくとも１つの開口に配置された、ハブクラッチに係合するように配置された遠位端部を有する、少なくとも１つの部分を有している、請求項９記載のトルクコンバータ。
【請求項１３】
ハブクラッチが、カバーに回転方向で結合された駆動プレートと、カバーをタービンハブとを回転方向で結合するために駆動プレートをタービンハブに向かって押し付けるように配置されたピストンプレートとを有する、請求項９記載のトルクコンバータ。
【請求項１４】
トルクコンバータクラッチのための提供チャンバと、
第２の圧力チャンバ及び環状空間と流体連通して第１の圧力チャンバとが設けられており、提供チャンバにおける圧力が、第１の圧力チャンバ及び第２の圧力チャンバにおける圧力から独立して制御されるようになっている、請求項９記載のトルクコンバータ。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月4日(2011.4.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外来体が出入りするエアシャワー室と、
前記エアシャワー室に隣接する機械室と、
前記機械室に設けられ、前記エアシャワー室内の空気を吸込むと共にノズルに清浄化された空気を送風する送風機と、
前記機械室に設けられ、前記送風機で吸込まれた空気から粉塵を除去して前記送風機で吸込まれた空気を清浄化するフィルタと、
前記エアシャワー室または前記機械室に設けられ、前記清浄化された空気を前記エアシャワー室の前記外来体の上部から下部に順に吹き付ける前記ノズルと、を有することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
外来体が出入りするエアシャワー室と、
前記エアシャワー室に隣接する機械室と、
前記機械室に設けられ、前記エアシャワー室内の空気を吸込むと共にノズルに清浄化された空気を送風する送風機と、
前記機械室に設けられ、前記送風機で吸込まれた空気から粉塵の一部を除去すると共に、粉塵の他部を不活性化して前記送風機で吸込まれた空気を清浄化する装置と、
前記エアシャワー室または前記機械室に設けられ、前記エアシャワー室の前記外来体の上部から下部に順に前記清浄化された空気を吹き付ける前記ノズルと、を有することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記機械室に設けられ、前記送風機で吸込まれた空気から粉塵の一部を除去すると共に、粉塵の他部を不活性化して前記送風機で吸込まれた空気を清浄化する装置は、
前記粉塵の一部を除去するフィルタと、
前記粉塵の他部を不活性化するためのイオンを放出する装置と、を有することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項４】
請求項２において、
前記機械室に設けられ、前記送風機で吸込まれた空気から粉塵の一部を除去すると共に、粉塵の他部を不活性化して前記送風機で吸込まれた空気を清浄化する装置は、
前記粉塵の一部を除去するフィルタと、
前記粉塵の他部を不活性化するためのプラズマを発生させる装置と、を有することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記ノズルは伸縮可能であるホースに接続され、上下可動なエアーナイフであることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記ノズルは前記エアシャワー室の側壁に設けられる一対の吹出し口及び揺動機構と、
前記揺動機構の角度を制御して前記吹出し口から吹出される前記清浄化された空気の吹き出し方向を調整する制御装置と、を有することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記ノズルは前記エアシャワー室の側壁に設けられる複数の開閉機構及び開口部と、
前記開閉機構の開閉を制御する制御装置と、を有することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項において、
前記送風機及び前記ノズルの間に活性種発生装置を設け、前記ノズルから活性種を含む清浄化された空気を吹出することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記活性種は、過酸化水素、水酸化ラジカル、次亜塩素酸、またはオゾンであることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一項において、
前記エアシャワー室の床に吸込み口が設けられ、前記エアシャワー室の空気を前記吸込み口から前記送風機に吸込むことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか一項において、
前記エアシャワー室の側壁に前記外来体を映し出す鏡が設けられていることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか一項において、
前記機械室において、前記エアシャワー室の空気にふくまれる粉塵の量を計測する計測器と、
前記エアシャワー室の側壁に設けられ、前記計測器で計測した値を表示する表示装置と、を有することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１３】
請求項１乃至１１のいずれか一項において、
前記エアシャワー室の側壁に表示装置が設けられ、前記表示装置は文字放送またはインターネットの情報を表示することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１４】
請求項１及び請求項３乃至１３のいずれか一項において、
前記機械室において、前記フィルタは光触媒が担持され、
前記光触媒を活性化するランプを設けることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれか一項において、
前記粉塵はアレルゲン物質またはウイルスを含むことを特徴とするエアシャワー装置。
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月2日(2011.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
４個のＭＯＳトランジスタ及び２個の負荷抵抗素子が基板上に配列されたスタティック型メモリセルを備えた半導体記憶装置であって、
前記４個のＭＯＳトランジスタの各々は、
メモリセルにアクセスするための第１及び第２のＮＭＯＳのアクセストランジスタと、メモリセルのデータを書き込み及び読み出しするために記憶ノードを駆動する第１及び第２のＮＭＯＳのドライバトランジスタとして機能し、
メモリセルにアクセスするための第１及び第２のＮＭＯＳのアクセストランジスタにおいて、
Ｎ型の導電型を持つ第１の拡散層、第１の柱状半導体層及びＮ型の導電型を持つ第２の拡散層が、基板上に垂直方向に階層的に配置され、
前記第１の柱状半導体層は前記第１の柱状半導体層の底部に形成される前記第１の拡散層と前記第１の柱状半導体層の上部に形成される前記第２の拡散層の間に配置され、前記第１の柱状半導体層の側壁にゲートが形成されており、
記憶ノードを駆動する第１及び第２のＮＭＯＳのドライバトランジスタにおいて、
Ｎ型の導電型を持つ第３の拡散層、第２の柱状半導体層及びＮ型の導電型を持つ第４の拡散層が、基板上に垂直方向に階層的に配置され、
前記第２の柱状半導体層は前記第２の柱状半導体層の底部に形成される前記第３の拡散層と前記第２の柱状半導体層の上部に形成される前記第４の拡散層の間に配置され、前記第２の柱状半導体層の側壁にゲートが形成されており、
前記第１のＮＭＯＳのアクセストランジスタ及び前記第１のＮＭＯＳのドライバトランジスタは、互いに隣接して配列され、
前記第２のＮＭＯＳのアクセストランジスタ及び前記第２のＮＭＯＳのドライバトランジスタは、互いに隣接して配列され、
前記第１のＮＭＯＳのアクセストランジスタの底部に形成される前記第１の拡散層及び前記第１のＮＭＯＳのドライバトランジスタの底部に形成される前記第３の拡散層は、直接接続され、前記直接接続された第１の拡散層及び第３の拡散層は、データを保持する第１の記憶ノードとして機能し、
前記第２のＮＭＯＳのアクセストランジスタの底部に形成される前記第１の拡散層及び前記第２のＮＭＯＳのドライバトランジスタの底部に形成される前記第３の拡散層は、直接接続され、前記直接接続された第１の拡散層及び第３の拡散層は、データを保持する第２の記憶ノードとして機能し、
前記２個の負荷抵抗素子の各々を、前記第１の記憶ノードとして機能する拡散層及び前記第２の記憶ノードとして機能する拡散層の上にそれぞれ配置したことを特徴とする半導体記憶装置。
【請求項２】
前記２個の負荷抵抗素子は、それぞれ、
前記第１の記憶ノードとして機能する拡散層上に形成された半導体又は金属よりなる第１のコンタクトプラグ及び前記第２の記憶ノードとして機能する拡散層上に形成された半導体又は金属よりなる第２のコンタクトプラグとして形成されることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項３】
前記第１及び第２のＮＭＯＳのアクセストランジスタのゲート電極より延在するゲート配線上に形成されるコンタクトの少なくとも１つを、隣接する他のメモリセルのＮＭＯＳのアクセストランジスタのゲート電極より延在するゲート配線上に形成されるコンタクトと共有化したことを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項４】
前記第１の記憶ノードとして機能する前記第１の拡散層上に形成される前記第１のＮＭＯＳのドライバトランジスタのゲートより延在するゲート配線が、前記第２の記憶ノードとして機能する前記第２の拡散層と共通のコンタクトにより接続され、
前記第２の記憶ノードとして機能する前記第２の拡散層上に形成される前記第２のＮＭＯＳのドライバトランジスタのゲートより延在するゲート配線が、前記第１の記憶ノードとして機能する前記第１の拡散層と共通のコンタクトにより接続されることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項５】
前記第１及び第２のＮＭＯＳのドライバトランジスタを形成する柱状半導体層の側壁の周囲長は、前記第１及び第２のＮＭＯＳのアクセストランジスタを形成する柱状半導体層の側壁の周囲長以上の値を持つこと、
又は前記第１及び第２のＮＭＯＳのドライバトランジスタを形成する柱状半導体層の側壁の周囲長は、前記第１及び第２のＮＭＯＳのアクセストランジスタを形成する柱状半導体層の側壁の周囲長以下の値を持つこと、を特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項６】
前記４個のＭＯＳトランジスタは、前記基板上に２行２列に配列され、
前記第１のＮＭＯＳのアクセストランジスタは１行１列目に配列され、
前記第１のＮＭＯＳのドライバトランジスタは２行１列目に配列され、
前記第２のＮＭＯＳのアクセストランジスタは１行２列目に配列され、
前記第２のＮＭＯＳのドライバトランジスタは２行２列目に配列されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【請求項７】
前記第１及び第２のＮＭＯＳのアクセストランジスタのゲートより延在するゲート配線上に形成されるコンタクトを共有したことを特徴とする請求項６に記載の半導体記憶装置。
【請求項８】
前記４個のＭＯＳトランジスタは、前記基板上に２行２列に配列され、
前記第１のＮＭＯＳのアクセストランジスタは１行１列目に配列され、
前記第１のＮＭＯＳのドライバトランジスタは２行１列目に配列され、
前記第２のＮＭＯＳのアクセストランジスタは２行２列目に配列され、
前記第２のＮＭＯＳのドライバトランジスタは１行２列目に配列されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体記憶装置。
【手続補正書】
【提出日】平成23年9月7日(2011.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の表面に形成される前記第２の導電型の第１ソース領域と、前記第１ソース領域と隣接して形成される第１の導電型の第２ソース領域と、を有するソース領域と、
前記半導体基板の表面に、前記ソース領域から離れて形成される前記第２の導電型のドレイン領域と、
前記ソース領域と前記ドレイン領域との間で、前記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成されるゲート電極と、
前記ドレイン領域から前記ゲート電極の下部にかけて、前記ドレイン領域に隣接して形成され、前記ドレイン領域の不純物濃度よりも低い濃度の前記第２の導電型のドリフト領域と、
前記ソース領域に接続されるソース電極と、
前記ドレイン領域に接続されるドレイン電極と、
を備え、
前記ゲート電極と前記ゲート絶縁膜との積層体の前記ソース領域側側面の高さが、前記ドレイン領域側側面の高さよりも高くなるように前記ゲート電極の上面が形成されることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記ドレイン領域、前記ゲート電極および前記ソース領域が形成される素子形成領域を、隣接する素子形成領域と分離するように、前記半導体基板の表面から所定の深さに到達し、前記素子形成領域の周囲に形成される素子分離絶縁膜をさらに備え、
前記素子形成領域内に前記ゲート電極が所定の距離をおいて２つ配置され、
前記ドレイン領域は、前記２つのゲート電極間の前記半導体基板の表面に形成され、
前記ドリフト領域は、前記２つのゲート電極のそれぞれについて、前記ドレイン領域から前記ゲート電極の下部にかけて、前記ドレイン領域に隣接して形成されることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記ゲート電極は、前記ソース領域側側面の高さが前記ドレイン領域側側面の高さに比して高くなるように、階段状の、傾斜状の、または階段状と傾斜状とを組み合わせた上面を有することを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記半導体層および前記ゲート電極は、シリコンで構成され、
前記ゲート電極、前記ソース領域および前記ドレイン領域の上面には、シリサイド層が形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項５】
前記半導体基板は、前記第１の導電型の半導体基板上に、第２の導電型の埋め込み層と、前記埋め込み層よりも前記第２の導電型の不純物濃度が低い所定の厚さの前記第２の導電型の半導体層と、が積層された構造を有し、
前記素子形成領域内の前記半導体層の表面から所定の深さに形成される前記第１の導電型のウェルと、
前記素子形成領域内の前記ソース領域の形成位置を含み、前記半導体層の厚さよりも浅く形成されるベース領域と、
をさらに備え、
前記素子分離絶縁膜の下端は、前記第１の導電型の半導体基板にまで到達していることを特徴とすることを特徴とする請求項１から４のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項６】
第１の導電型の半導体基板上の所定の位置に、ゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成する第１の工程と、
前記半導体基板上にレジストを塗布し、前記ゲート電極の第１の側面側の上面の一部が露出するとともに、前記ゲート電極の上面に向かって傾斜を有するように前記レジストをパターニングする第２の工程と、
前記ゲート電極の前記第１の側面が、対向する第２の側面よりも低くなるように、前記レジストをマスクとして、前記ゲート電極の一部をエッチングする第３の工程と、
前記レジストと前記ゲート電極をマスクとして、斜め方向から前記半導体基板の表面に第２の導電型の不純物をイオン注入し、ドリフト層を形成する第４の工程と、
前記ゲート電極をマスクとして、前記第２の導電型の不純物をイオン注入し、前記ドリフト層中の所定の領域にドレイン領域を形成し、また、前記第２の側面側の前記半導体基板の表面の所定の領域に第２ソース領域を形成する第５の工程と、
前記第２のソース領域の所定の領域に、前記第１の導電型の不純物をイオン注入し、第１のソース領域を形成する第６の工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記半導体層は、シリコン層によって構成され、
前記ゲート電極を形成した前記基板上に、シリコンと反応してシリサイドを構成する金属を含む金属膜を形成する第９の工程と、
熱処理を行って、前記ゲート電極上、前記第１および第２ソース領域上、および前記ドレイン領域上に、シリサイド膜を形成する第１０の工程と、
をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月14日(2011.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インピーダンス調整可能な半導体素子であって、
形成された基礎の導電路を規定する第１の形成された導電性領域であって、該第１の導電性領域は、第２の導電性部材から離れた第１の導電性部材を有し、
該第１の導電性領域は、熱可変性のドーパント・プロファイルを有するドーピングされた領域であり、該第１の導電性部材は該基礎の導電路を規定する、第１の形成された導電性領域と、
該第１の導電性領域に隣接している第２の領域であって、該第２の領域を該第１の導電性領域と比較して非導電性にするドーパント・プロファイルを有するドーピングされた領域である第２の領域とを備え、
該第１および第２の導電性部材が、該第２の領域により規定されるギャップ領域によって互いに隔てられるように、該第１および第２の導電性部材は並置して配置され、
該第２の領域は、少なくとも該ギャップ領域について熱可変性であるドーパント・プロファイルを有し、
該インピーダンス調整可能な半導体素子は、３つのクリンプ要素を有する第２のインピーダンス調整可能な半導体素子に接続され、
該３つのクリンプ要素の中央クリンプ素子は、近接リンク素子の共通リンク素子として機能し、および
該中央クリンプ素子は、ギャップ領域を横切る２つ以上の別個の凝固した導電性ブリッジを有する、インピーダンス調整可能な半導体素子。
【請求項２】
前記インピーダンス調整可能な半導体素子は、ギャップ領域を横切る２つの別個の凝固した導電性ブリッジを有する、請求項１に記載のインピーダンス調整可能な半導体素子。
【請求項３】
前記別個の凝固した導電性ブリッジは、５００オームから１００キロオームの抵抗を有する請求項１又は２に記載のインピーダンス調整可能な半導体素子。