(57)【要約】  複数のシリコンウェーハーを積み重ねるための装置は、複数のシリコンウェーハーを保持するための直立マシンキャリヤを有し、シリコンウェーハーはマシンキャリヤにおいて水平に配置される。装置は、いくつかのシリコンウェーハーを導入するための３台の同一なローディングカセットを有する。マシンキャリヤはまた、ローディングカセット用の保持装置を有し、ローディングカセットは、シリコンウェーハーを積み重ね状態で積載するための下方支持表面と、下方支持表面に実質的に直角に伸びる後部面を有する。ローディングカセットは、後部面に対向する側と上部側が自由にアクセス可能なように設計されている。
2012528479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池製作用のシリコンウェーハーのような複数の平坦基板の積み重ね、および／または輸送のための装置であって、該装置は、
複数の平坦基板の総量を保持する直立マシンキャリヤを有しており、前記基板は、前記マシンキャリヤ内に水平に配置されており、
前記装置は、前記基板の前記総量の一部を導入するための少なくとも１台のローディングカセットを有し、
前記マシンキャリヤは、前記ローディングカセット用の保持装置と、基板を積み重ね状態で積載するための下方支持装置を有するローディングカセットと、前記支持装置に実質的に直角に伸びる後部面を有し、
前記ローディングカセットは、前記後部面に対向する側と上部側が自由にアクセス可能なように設計されていることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記ローディングカセットまたは前記支持装置の底部表面は、導入される基板の表面よりもそれほど大きくはなく、特に、わずかに広いだけであることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記マシンキャリヤは２台の、有利には３台のローディングカセットをお互いに重ねて保持するように設計され、前記ローディングカセット用の保持装置を有し、
前記ローディングカセットは好ましくは、お互いの間にわずかな間隔のみを有し、
最上部の前記ローディングカセットの上方には、前記ローディングカセット内の前記基板の積み重ねの最上部基板を分離および／または取外すための分離装置を介在させるための十分な空間があることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記支持装置は、左側と右側において延伸し、その間に連続する切り抜きを有する２つの支持表面を有し、
前記支持表面は好ましくは、それぞれの場合において側方部支持体上に設けられ、
間にある前記切り抜きは、前記ローディングカセットの幅の少なくとも３５％、好ましくは、約５０％から７０％を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記切り抜きは少なくとも基板の深さを有し、好ましくは、少なくとも更に２０％深い深さを有することを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
側方支持体は縦方向において輪郭が形成され、好ましくは、少なくとも単一のＵ字形輪郭として、一回または複数回曲げられ、
前記支持表面は好ましくは、２つのＵ字形脚部の間で、上方を向いている中間脚部上に形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の装置。
【請求項７】
側方支持体は、前記ローディングカセット上に、特に、実質的に連続する側壁として、前記ローディングカセットの前記後部面から、前記支持装置の外側に向けられるように設けられることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記支持装置の前記後部面は、曲げられ、および／または反り返され、好ましくは、その幅の大きな部分上を延伸し、特に、前記後部面の高さ全体にわたり設けられる１つまたは２つ以上の水平開口部を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項９】
少なくとも１つの側において、好ましくは、両側において、前記ローディングカセットは把持装置を、特に、後部面上の外側に、好ましくは、実質的に垂直に伸びるハンドルバーを備えて有することを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
固定装置が、前記ローディングカセットの挿入後に、前記マシンキャリヤにおいて前記ローディングカセットを締結または固定するために設けられ、好ましくは、これらの固定装置は、一本の指で操作できる固定装置として設計され、特に、請求項９に記載の把持装置上に、または、そこに非常に接近して設けられることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１１】
前記マシンキャリヤ上の前記ローディングカセット用の保持装置は、調整可能または高さ調整可能に設計されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１２】
前記マシンキャリヤは、前記ローディングカセットの導入の間に前記基板を保持するために、前記マシンキャリヤ内への前記ローディングカセットの挿入側と対向する側に位置している前記マシンキャリヤの側上に、少なくとも実質的に垂直に伸びている保持要素を有することを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１３】
多数の平坦基板の総量を、請求項１から１２のいずれか１項に記載の装置内に導入する方法であって、
前記基板の一部は、前記ローディングカセット内に導入または挿入され、その後、前記ローディングカセットは、前記マシンキャリヤ内に導入され、好ましくは、前記マシンキャリヤにおいて締結され、少なくとも２台の前記ローディングカセットは基板が積載され、前記マシンキャリヤ内に導入されることを特徴とする方法。
【請求項１４】
複数のローディングカセットの前記マシンキャリヤ内への前記導入は順次行われ、前記ローディングカセットは、好ましくは、底部から次々と導入されることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記マシンキャリヤは水槽の上方に配置され、基本的に垂直方向に移動でき、
ローディングカセットは、前記マシンキャリヤ内に導入された後に、前記導入されたローディングカセットおよび／または前記ローディングカセットに配置されている前記基板を湿らすために、前記水槽内に可能限り下方まで移動され、
次のより高い前記ローディングカセットの前記挿入は、実質的に前記水の外側で行われることを特徴とする請求項１３または１４に記載の方法。
【請求項１６】
実質的に固定された取外し手段、特に、吸引コンベヤバンドが、前記基板を前記最上部のローディングカセット上方の積み重ねから分離し、個々の基板を、上部から底部の順に取外すために前記マシンキャリヤ内に移動し、
前記取外し手段は、好ましくは、請求項４の前記切り抜きを通して移動し、垂直方向において前記マシンキャリヤの移動中に、前記支持装置内に移動することを特徴とする請求項１３から１５のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の前置き部に記載するように、複数の平坦基板、特に、太陽電池製作用のシリコンウェーハーのような複数の平坦基板の積み重ね、および／または輸送装置に関する。本発明はまた、多数の平坦基板の総量を、そのような装置内に導入する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
支持体から取外され、シリコンブロックから切断された後、太陽電池製作用のシリコンウェーハーは、通常は、水または処理溶液の槽に保持される。その後、シリコンウェーハーは手で、例えば、約５０から１００ユニットのサブセット（少数の組）で取り出されてマシンキャリヤ（保持搬送機械）内に挿入される。この工程においては、シリコンウェーハーは水平姿勢で導入される。その後、マシンキャリヤは直立姿勢で、水槽内に垂直に降下され、例えば、バンドコンベヤのような自動取外し手段により、個々の基板がマシンキャリヤから取外され、更なる処理、特に最終洗浄の処理に送られる。更に、基板はこの場合は、可能な限り完全に分離される。ここにおいて、ウェーハーが手により把持され、マシンキャリヤ内に挿入されるということは問題であると考えるべきである。その結果は、非常にデリケートなウェーハーを損傷するという危険がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、冒頭で記した装置と、対応する方法を提供することであり、本装置および方法は、先行技術の欠点を回避でき、特に、基板を安全に、且つ材料を保護する使用法に適合した方法でマシンキャリヤ内に導入することを可能にする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この目的は、請求項１の特徴を有する装置と、請求項１３の特徴を有する方法により達成される。本発明の有利および好適な改良形態は、更なる請求項の主題であり、下記でより詳細に説明する。下記により知ることができる特徴のいくつかは、方法または装置のためだけに列挙されている。しかし、それとは関係なく、その特徴が、方法と装置の両者に対して有効であることを目指している。請求項の文言は、明示された参照により、本記載に組み込まれる。
【０００５】
本装置は、総量として複数の平坦基板を保持するための直立マシンキャリヤを有するようにされる。そのような基板は、例えば、最大１,０００枚であってもよい。そして基板は、マシンキャリヤ内に水平に配置される。
【０００６】
本発明によれば、本装置は少なくとも１台のローディングカセット（積載カセット）または、有利には２台のローディングカセット、特に、類似のタイプ、または同一の２台のローディングカセットを有しており、その内部に、基板の総量の一部を導入できる。これは、例えば、総量の約１／４または１／３であってよい。マシンキャリヤは、ローディングカセットを、その中の基板と共にマシンキャリヤにおいて固定するための保持装置を有している。ローディングカセットは、基板を配置または積み重ねることができる下方支持装置を有するように設計されている。ローディングカセットはまた、ローディングカセットに実質的に垂直に伸び、この方向において基板を、垂直積み重ねのタイプとして保持する後部面を有している。ローディングカセットは、後部面に対向する側と上部側が自由にアクセス可能、つまり、特に、壁や、支持体や、それらの類似物がないように設計されている。
【０００７】
本発明の装置は、このように相対的に少数の、例えば、上記の１００ユニットの基板をローディングカセット内に導入するために使用でき、例えば、１００ユニットを三回ローディングカセット内に導入できる。この目的のため、ある状況においてはローディングカセットを槽の内部に浸すことさえ可能で、槽においては、基板はそれらの機械的積載および取扱いが特に有利なように配置されている。ローディングカセットが適切な量で充填された後は、ローディングカセットは、基板が、予め正確に決められた整列状態および／または姿勢でマシンキャリヤにおいて最終的に配置されるようにマシンキャリヤ内に導入される。これを、ローディングカセットが最初に底部から上方に導入されるように行うことができると有利である。そうすれば、マシンキャリヤ全体を手で操作する必要はなく、または、その中の基板と共に槽内に導入する必要もない。
【０００８】
本発明の１つの改良形態においては、ローディングカセットの、または基板が置かれる支持装置の底部表面は、基板自身の表面よりもそれほど大きくなくてもよい。従って、マシンキャリヤを、現在までのものよりわずかに大きいか、それよりも全く大きくないように設計することのみが必要となる。これは主に幅に関してである。これにより、ローディングカセットを、わずかに修正された、既に使用されているマシンキャリヤで使用できるだけでなく、保持装置に加えて、マシンキャリヤへのローディングカセットの積載は、過度に高い出費とはならない。
【０００９】
例として、マシンキャリヤを、２台の、有利には３台のローディングカセットを、お互いに重なるように保持するように設計でき、４台から６台までのローディングカセットも可能である。これもまた、基板の総量、または総重量により決まる。オペレータが、多数の基板が配置されたローディングカセットを、マシンキャリヤ内に挿入するために、手で効果的に移動できるように、少数の組に分割すべきである。
【００１０】
マシンキャリヤにおけるローディングカセットは、基板の積み重ねの最上部の基板を分離および／または取外すための取外し手段が、最上部のローディングカセット内に係合および／または移動できるだけのスぺースのみを占有すべきである。そのような取外し手段は、普通に、または既知のように、特に、吸引により基板を取外すバンドコンベヤとして設計されると有利である。
【００１１】
ローディングカセット上の支持装置は、本発明の１つの改良形態においては、表面、特に、実質的な連続表面を形成するように設計できる。この表面は、安定性を増すために輪郭を形成できる。または、支持装置は、左側と右側において延伸し、その間に連続する切り抜きを有する２つの支持表面を有することができる。支持表面はそれぞれ側方支持体上に設けられ、この領域において支持装置またはローディングカセットの実質的な安定性をもたらしている。前記切り抜きは、ローディングカセットの幅の少なくともとも３５％、好ましくは、それよりいくらか多く、例えば５０％から７０％を有することができる。更に、前記切り抜きは、少なくとも基板の深さと同じ深さを有することができ、更にいくらか、より深い深さを有すると有利である。切り抜きは、後になって、個々の基板が上方からマシンキャリヤから取外されるときに、前記取外し手段を静止させておくことができる、つまり、マシンキャリヤに係合できるという利点を有しており、マシンキャリヤはゆっくりと上方に移動され、それぞれの場合において、基板を取外し手段の下側に運ぶ。この工程において、取外し手段は切り抜きにより、前記ローディングカセットが空の場合は取外す必要がないように、マシンキャリヤにおいてローディングカセットを通過して移動できる。
【００１２】
前述した側方支持体には、安定性を増すために縦方向において輪郭を形成することができる。この目的のために、単一または複数のＵ字形輪郭として、側方支持体を一回または複数回曲げることができる。例として、前記支持体の輪郭は、上方を向き、または上部に横たわり、２つのＵ字形脚部の間で伸び、この２つのＵ字形脚部を結合する中間脚上に形成できる。本発明の簡単な改良形態においては、２つのそのような若干広げられた支持表面が基板に対して左右に、その間に切り抜きを配置できるように設けられるときに十分であると見なされる。そのような側方支持体は、レールのタイプとして、水平脚部においてローディングカセットの幅全体上で、外部に導出できる。そして、この脚部は、ローディングカセットを固定するために、マシンキャリヤの対応する水平スロットタイプの保持装置内に移動できる。
【００１３】
本発明の更なる改良形態においては、ローディングカセットの後部面を、支持装置の外側に結合する側方支持体をローディングカセット上に設けることができる。側方支持体は、例えば、側壁として設計でき、側壁は、後部面の全体の高さを有すると有利であるが、必ずしも前部まで通して引き出されているわけではなく、つまり、いくらかセットバックされている。そのような側方支持体は、ローディングカセットの安定性を増し、および／または支持表面と後部面の間の角度のある配置を安定させることができる。更に、側方支持体は、ローディングカセットにおいて、基板の側方向の正確な位置決めを行うことができる。後部面の方向において、例えば、後部面に直接、特に、外側の近くに配置できる止め具を設けることも同様に有利である。そのような側壁は連続であってもよく、または切り抜きを有することができる。
【００１４】
本発明の更なる改良形態においては、後部面は、支持装置またはその上に積み重ねられている基板から遠ざかるように曲げられ、または反り返されている。この反り返りは、相対的に強度があるように設計でき、例えば、ローディングカセットの幅の１／４から１／３の幅を有している。前述したように、後方への反り返りの結果、まず第１に、基板を超えて、ローディングカセット内に移動できる。更に、この反り返りの範囲が、後部に向けて下方に開口しているときは、破壊した基板を下方に落下させ、分離された基板から分割できる。
【００１５】
後部面が、少なくとも１つの開口部を有するようして有利にすることが可能であり、複数の水平なスロット状の開口部を有するようにすると特に有利にすることが可能である。これらの開口部は、実質的に開口部の全体の幅にわたり延伸できると有利であり、一回分割できる可能性があると有利である。そのような複数のスロット状の開口部は、後部面の実質的に高さ全体にわたり設けることができる。これらの開口部は、破壊した基板および／またはそれらの個々の破片を、ローディングカセットから後方に、そしてマシンキャリヤへ除去する目的のために働く。
【００１６】
より良好な操作性のために、ローディングカセットは、少なくとも１つの側の後部上に、好ましくは、外側の近くの左右に把持装置を有することができる。前記装置は、例えば、垂直に延伸するハンドルバー（取っ手棒）として設計でき、これは、重いローディングカセットを保持および／または操作するために特に良好である。
【００１７】
本発明の発展形態においては、マシンキャリヤ内に挿入された後のローディングカセットを、締結または固定するために、固定装置を設けることができる。そのような固定装置は、大きな力を使うことなく、指一本で、特に固定の目的のために操作できるように設計されると有利である。このため、例えば、固定装置は、上述した把持装置の近くに、例えば、垂直ハンドルバーの場合は、その上方領域に設けることができる。これにより、把持装置を把持している間に固定操作を行うことができる。
【００１８】
マシンキャリヤ上の保持装置は、調整可能または高さ調整可能に設計できると有利である。これにより、マシンキャリヤを、異なるサイズおよび高さのローディングカセットに適合できる。
【００１９】
本発明の更なる改良形態においては、少なくとも１つの保持要素を、ローディングカセットが挿入される側に対向して位置しているマシンキャリヤ側の上に、つまり、開放側の上に設けるようにすることもできる。保持要素は垂直に伸びると有利である。基板を積載したローディングカセットが挿入されるときに、保持装置は、ローディングカセットが前方に、つまり、挿入方向に落下することを防止する目的のために働く。
【００２０】
マシンキャリヤを、既知のように設計できると、つまり、側壁と側方支え棒により結合される下方板と上方板で構成できると有利である。ローディングカセットをマシンキャリヤ内に導入するための前記挿入側と、基板が取外される反対側は、実質的に自由であると有利である。
【００２１】
ローディングカセットを、重量を削減する目的で、ファイバー強化プラスチックで構成できると有利である。これはまた、ある状況においては、生産を促進することにもなる。複部構成のローディングカセットを、複数の部品を結合またはネジ留めすることで生産できる。
【００２２】
以下の実施例から離れて、請求項から、これらの、および他の特徴が記載および図からも明らかになり、個々の特徴はそれぞれ、本発明の実施の形態の場合においては、および他の分野においてはそれら自身の、またはいくつかの少数の組み合わせの形状で実現することができ、本質的に保護に値する有利な設計を構成でき、その保護のためにここにおいて権利が主張される。本適用の、個々のセクション（節）および副題への更に細かい分割は、下記の記述の全体的な有効性を制限するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
本発明の例としての実施の形態は、図において模式的に例示され、更に詳細に下記に説明される。
【図１】簡単な方法で例示されたローディングカセットの斜視図である。
【図２】複数のローディングカセットの、マシンキャリヤ内への挿入の側面図である。
【図３】特別に設計されたローディングカセットの、斜め上方から見た図である。
【図４】図３のローディングカセットの、斜め後方および上方から見た図である。
【図５】図２と類似の方法で３台のローディングカセットが挿入されているマシンキャリヤを有する本発明の装置の斜め後部から見た図である。
【図６】それぞれの場合において、１枚の基板がローディングカセット上に置いてある図５の装置を斜め前部から見た図である。
【図７】ローディング装置における、若干変形されたローディングカセットを示している。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１には、実質的に角度を有する設計であるローディングカセット１１が、簡素化された形状で例示されている。ローディングカセット１１は、下方支持表面１３を有しており、下方支持表面１３は、ここで例示されているように、最も簡単な場合としてただ連続表面として設計されている。下方支持表面１３は、保持する基板の形に従って、長方形または正方形に設計される。ローディングカセット１１は、前記基板に直角に伸び、連続壁のタイプとして設計されている長方形の後部面１５を有している。２つの短い側壁１６ａと１６ｂもまた設けられており、追加的に、一方では、支持表面１３と後部面１５の間のより良好且つより安定な結合をもたらしている。更に、側壁１６ａと１６ｂは、ローディングカセット１１に挿入された基板に対して側方止め具として働き、支持表面１３の実質的な面積、または少なくともその幅を有している。後部止め具は、後面１５自身により形成されている。
【００２５】
側壁１６ａと１６ｂは、更に前方に引き出すことができ、ある状況においては、支持表面１３の前側まで引き出すことができる。これは、一方では、安定作用を改善する。更に、基板に対する側方止め具の作用もまた、それにより改善される。そのような側壁を、斜めに伸びるように設計することも可能である。
【００２６】
図２は、図１のローディングカセット１１に、複数の平坦基板２０がどのように積載されるかを例示している。実際には、基板２０は、お互いに直接重ねられており、太陽電池製作用の、例えば、１５６ｍｍ×１５６ｍｍの寸法を有するシリコンウェーハーであると有利である。上述したこれらの基板２０のサブセット（より少数に分けられたセット）がローディングカセット１１に導入され、または基板２０は、支持表面１３上で積み重ねられる。基板２０の積み重ねは、ローディングカセット１１の高さの約半分しか占めていないこと、または、２倍の数の基板２０を導入できることが分かる。しかし、冒頭で既に説明したように、ローディングカセット１１と基板２０だけの総重量という理由によっても、完全に充填することは通常は避けるべきである。
【００２７】
図２は、それ自体は大筋が知られているマシンキャリヤ２２を例示している。下方支持板２４ａと上方支持板２４ｂは、側部２６ａと２６ｂにより結合されており、図２において左右に完全に開いている枠のタイプを形成している。
【００２８】
２台のローディングカセット１１が既にマシンキャリヤ２２の下方領域内に導入され、そこにおいて保持されている。例として、この目的のために、突起部、ガイド、スライドレール、またはそれらの類似物を、側部２６ａと２６ｂの内側上に設けることができる。ローディングカセット１１は、左側で、その側壁１６を側部２６の後部側方エッジに対して押し付けるまで押し込まれる。支持表面１３と、特に、基板２０の両者は右側に突出している。
【００２９】
ローディングカセット１１が、従って基板２０が積載された後は、マシンキャリヤ２２を、基板２０を個々に取外し、基板２０を、更なる処理のために個々に搬送する分離装置に移動できる。単純な場合においては、この処理は、垂直方向の下方落下であってよく、水槽への落下であると有利である。その後、吸引コンベヤバンド２８の形状の取外し手段（ここに図示してある）の使用を開始することができる。前記バンドは、２つの側部２６ａと２６ｂの相互間の間隔よりも狭く、そのためマシンキャリヤ２２内まで到達する。バンドは基板２０まで降下することができ、一方、その代替として、基板を積載しているマシンキャリヤ２２を、吸引コンベヤバンド２８まで対応して移動することができる。
【００３０】
ローディングカセット１１のすべての基板２０が取外されると、ローディングカセット１１を取外して、支持表面１３が吸引コンベヤバンド２８を、基板２０の次の下方の積み重ねまで移動できるようにするか、または、マシンキャリヤ２２または、吸引コンベヤバンド２８を対応して移動できるかのいずれかが必要となる。更なる代替の改良形態によれば、図１の支持表面１３に、図３と４の他の例としての実施の形態において例示および記載されている中央切り抜きを設けることができる。
【００３１】
吸引コンベヤバンド２８は基板２０を個々に取外し、その後、基板２０を、その下方で伸びている分離バンド２９上に載せる。しかし、このことは、大筋としては従来技術により既知であるので、更なる説明は不要である。
【００３２】
図３は、変形されたローディングカセット１１１を、特に、例として設計が可能なように例示している。ここでは、支持表面は、長く伸びる中央切り抜き１１４を中に挟む２つの分割支持表面１１３ａと１１３ｂに更に分割されている。支持表面１１３ａと１１３ｂは、いわば、単なる幅のあるストリップ（細長の片）であるが、図２のように基板を十分安全に載せるためには十分である。
【００３３】
とりわけ、支持表面１１３は、縦方向に輪郭が形成されている、または複数の波形状である側方支持体１１７ａと１１７ｂ上に設けられている。支持表面１１３の安定性は、側方支持体１１７により実質的に改善されている。側方支持体１１７上の側方向外側において、側方支持体１１７は、単一の水平面において伸び、側壁１１６ａと１１６ｂを実質的に越えて突出している縦方向レール１１８ａと１１８ｂとして設計されている。縦方向レール１１８は、ローディングカセット１１１を、マシンキャリヤにおける対応する溝内または前述したガイドレールまたはその類似物上に挿入する目的を果たすが、これについては、下記により詳細に説明する。
【００３４】
後部では、側方支持体１１７ａと１１７ｂが、切り抜き１１４の後部端の背後で統合され、上方に引き上げられ、または後部面１１５内に統合されている。図４から明らかになるように、特に、この後部面１１５は、図１に例示されているような平坦で閉じた設計ではなく、後方にかなり反り返されている。この効果は、後部面１１５が常に切り抜き１１４の背後で伸び、それにより、図２の吸引コンベヤバンドが、通り抜けることが可能になるということである。更に、後部面１１５の安定性はそれにより更に改善される。下方では、後部面１１５は境目なしで、丸みを帯びた状態で、側方支持体１１７または切り抜き１１４の後部エッジに正確に統合されている。
【００３５】
とりわけ、図４から、スロット状の開口部１１９が、後部面１１５に設けられているのが分かる。前記開口部は中間で分割され、または後部面１１５の全幅にわたって延伸してはおらず、それにより安定性を増している。それにも拘わらず、後部面１１５における開口部１１９は、エッジ領域の約半分を占めている。または、開口部１１９は連続している。
【００３６】
図３から分かるように、垂直に伸びている止め具ストリップ１３１が、後部面１１５と、側壁１１６ａと１１６ｂの間の境目において伸びている。前記止め具ストリップは、挿入された基板の、後部面１１５の方向における止め具として働く。支持表面１１３ａと１１３ｂと同様に、止め具ストリップはローディングカセット１１１自身とは別の材料から構成でき、および／または基板を保護するために、より耐摩耗性の材料、またはより柔らかい材料で被覆または表面仕上げすることができる。
【００３７】
後部面１１５の外側には、特に、ローディングカセット１１１に基板が積載されているときに、ローディングカセット１１１を把持して移動できる２つのグリップが設けられている。
【００３８】
固定装置１３５ａと１３５ｂが後部面１１５の上部側に設けられ、若干前方および内部に向けて引き出され、側壁１１６の上部エッジにも接続されている。そのような設計は、大筋としては知られており、固定装置１３５は、ローディングカセット１１１がマシンキャリヤに挿入された後に、ローディングカセット１１１を固定する目的を果たす。固定装置１３５を下方に押すと、ローディングカセット１１１を再び取外すことができる。グリップ１３３の近くに固定装置１３５を配置しているので、親指による容易な操作、つまり、ローディングカセット１１１が固定的に保持されている間に容易な操作を行うことを可能にする。
【００３９】
開口部１１９は、壊れた基板、または壊れた基板の個々の破片が後方に、つまり、あたかもほぼ水平方向に落下することを可能にし、障害とならないようにするように働く。この目的のためには、連続した開口部の方がより良好であるというのは事実であるが、連続開口部の場合は、ローディングカセット１１１の安定性を過度に弱めてしまう可能性がある。類似の機能は、後部にまで引き出され、後部面１１５のちょうど前まで到達する領域を有する切り抜き１１４によっても行われる。ここにおいては、そのような破片を直接下方に落下させることができ、それにより、同様にローディングカセット１１１から除去することができる。
【００４０】
図５と６は、図３と４の３台のローディングカセット１１１が、どのようにマシンキャリヤ１２２内に導入されているかを例示している。冒頭で述べた保持装置上において、マシンキャリヤ１２２は、側部１２６ａと１２６ｂの内側に、側部１２６の全幅にわたって延伸している単一の、水平スロット状溝１３７を有している。そのような溝１３７は特定の点に設けることができ、これにより、ローディングカセット１１１をこの位置において正確に挿入することが可能になる。例示されている３つの溝１３７以上の溝を設けることができ、それにより、異なる高さでの挿入が理論的には可能になる。
【００４１】
少なくとも最下部の、および下から二番目のローディングカセット１１１の上方には、固定スターラップ（鐙形の補強棒）１３９もまた設けられている。固定スターラップ１３９は、側部１２６ａと１２６ｂの側方外側に締結されており、その延伸する経路は、ローディングカセット１１１における後部面１１５の幅にわたる、後部面１１５の経路に対応している。ローディングカセット１１１の固定装置１３５は、固定スターラップ、または固定スターラップの下側に係合および／または固定できる。明確にするために、最上部のローディングカセット１１１の上方には、そのような固定スターラップは例示しない。そのような固定スターラップ１３９はまた、異なる高さにおいて、適切な孔またはその類似物において設けることもできる。
【００４２】
スライディング層１２７ａと１２７ｂが、どのように側部１２６ａと１２６ｂの内側に設けられているかも示されている。前記層は例えば、薄い、セラミック挿入物から構成され、セラミック挿入物は、側部１２６の内側で接着され、挿入された基板の鋭く尖っている可能性のある側方エッジが、材料を永久的に損傷することを防止する。
【００４３】
図６は、それぞれの場合において、１枚の基板１２０が、ローディングカセット１１１の支持表面１１３それぞれの上でどのように収まっているかを示している。これらの基板１２０はこの場合、基板１２０の後部エッジが留め具ストリップ１３１に押し付けられている。またこの図から、そのような基板の破片は水平方向に、後部面１１５における開口部１１９を通して後方に除去、または、マシンキャリヤ１２２が基板１２０と共に水槽に位置しているので、流し出すことができるという事実が分かる。またはそのような破片は、支持表面１１３ａと１１３ｂの間の切り抜き１１４の、後部まで引き出されている後部領域を通して下方に落下させることができる。この場合においては、破片は、最上部のローディングカセット１１１から、その下のローディングカセット内に落下するということは事実である。しかし、実際には、破片は単に下のローディングカセットを通過して同様に落下するので、これも同様に問題ではない。
【００４４】
図では、前述した保持要素を示していない。例として、図６の図において、保持要素は例えば、支持板１２４ａと１２４ｂ上の上部と底部において締結される細長いバー（棒）として、図の紙面から開口しているマシンキャリヤ１２２の側の前部に設けることができる。例えば保持要素は、止め具ストリップ１３１の経路に従って伸びることができるが、そのような保持要素はまた、ここにおいては一方の側だけでもよい。そして、ローディングカセット１１１のマシンキャリヤ１２２内への挿入が完了した後に、前記保持要素を除去、具体的には完全に除去できるかまたは、例えば、横方向に回転するかが可能であると有利である。これにより、前述した吸引コンベヤバンドにより、個々の基板１２０の取外しが可能になる。
【００４５】
図７は、若干異なる設計のローディングカセット１１２を示している。図３と図４において例示されているローディングカセットから派生し、前記カセットは、側壁２１６ａと２１６ｂが、後部面２１５から全体の高さを超えて、支持表面２１３ａと共に側方支持体２１７ａの最前端まで引き出されていることが異なる。それにより、前述したように、挿入される基板の側方向の誘導が改善できる。切り抜き２１４が同様に、側方支持体２１７の間に設けられている。後部面２１５上には、グリップ２３３ａと２３３ｂが、そしてその上には、固定装置２３５ａと２３５ｂが同様に設けられている。
【００４６】
更なる変形として、後部面２１５は２つの大きな開口部２１９を有しており、結果として、この開口部２１９は、より良好な安定性のためのウェブ（腹板）により分離されている。ここでは、側部２１６は外側で側方支持体２１７に隣接しているので、縦方向レール２１８ａと２１８ｂがこの場合は、簡略化のため、その上方領域上の延長された側壁として設けられており、具体的には、側壁を上方および外方向に曲げることにより設けている。この場合は、図５のマシンキャリヤにおける保持装置と溝が、対応する異なる部位において設けられている。
【００４７】
更なる特別な特徴として図７に例示されているのは、ローディングカセット２１１がローディング装置２４０内に挿入されているという事実である。認識できるように、ローディング装置２４０は、ローディングカセット２１１が上方から、レール状またはＵ字形状のホルダー２４１に斜めに挿入できるように設計されている。それにより、引き続き、上方から効果的にアクセス可能であり、挿入された基板は、それ自身の重量により、図３と同様に設けられている止め具ストリップ（ここでは例示せず）までスライドする。それにより、基板を積載しているローディングカセット２１１の積載操作が、オペレータにとっても、基板にとっても実質的に簡素化することが可能である。充填されたローディングカセット２１１を取外すために、側方支持体２１７の方向に引き出す、または上昇すること、または、垂直に上方に単に引き出す、または上昇することのいずれかが可能である。
【００４８】
側壁２１６の更なる利点、特に、側壁２１６が図７において前方にまで引き出されたとき、具体的に例で示すと、支持表面または側方支持体と正確に同じ長さだけ引き出されたときの利点は、この領域において同様に、基板をあたかもそれ自身で閉じるように保持することが可能であるという事実にある。そして、これらの基板の破片が、機能を阻害する可能性のある、ローディングカセットとマシンキャリヤ、またはマシンキャリヤの側部との間に来るという可能性が更に少なくなる。
【００４９】
マシンキャリヤに少なくとも１台のローディングカセットを設ける目的は、基板またはウェーハー上にかかる機械的応力を削減することであり、また、破壊の危険性を削減することである。これはまた、特に、お互いに積み重ねられた基板の総重量が削減され、積み重ねの高さも削減されるという事実によっても達成される。この目的のために、ある状況においては、複数の支持装置を中間ベースとして、各ローディングカセットに設けることさえできる。ここで再び、本発明により可能な積載は、基板が可能な限り少ない手動工程数で再積載できるときに、そして、特に、基板を一緒に押すことがもはや必要ないときに、破壊の危険性がより低いことに関連している。
【図１】
2012528479.tif 000003
【図２】
2012528479.tif 000004
【図３】
2012528479.tif 000005
【図４】
2012528479.tif 000006
【図５】
2012528479.tif 000007
【図６】
2012528479.tif 000008
【図７】
2012528479.tif 000009
【国際調査報告】
2012528479.tif 000010
2012528479.tif 000011
2012528479.tif 000012
2012528479.tif 000013
2012528479.tif 000014
2012528479.tif 000015