【手続補正書】
【提出日】平成22年10月29日(2010.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧ガスを保持するための内部容積を画定するガス貯蔵送出容器と、
出口ポートを含む前記容器の上端部にあるネックと、
前記出口ポートに連通して取り付けられたバルブと、
前記ネック及び前記バルブの下方に配され、前記容器から放出されるガスを所定の圧力に維持するように配置された、前記内部容積の中にある第一ガス圧調整装置と、
前記内部容積の中に配され、前記第一ガス圧調整装置と直列関係で前記第一ガス圧調整装置の下方に接合された、第二ガス圧調整装置と
を備える流体貯蔵送出システム。
【請求項２】
前記第一ガス圧調整装置の出口と前記出口ポートとの間に接続された粒子フィルタ
をさらに備える請求項１に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項３】
前記第二ガス圧調整装置は、ガスレギュレータである
請求項１または２に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項４】
前記第一ガス圧調整装置と前記出口ポートとの間に接続された第一ガスフィルタと、
前記第二ガス圧調整装置の入口に接続された第二ガスフィルタと
をさらに備える請求項１に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項５】
前記第一ガス圧調整装置は、高圧ガス用の安全閉込め部材として機能できる
請求項１から４のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項６】
前記第一ガス圧調整装置は、前記出口ポートにて所定レベルを下回る外圧が感知されるまで、前記容器からのガス流出を防ぐように、通常、閉じているバルブを備える
請求項５に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項７】
前記第一ガス圧調整装置と前記第二ガス圧調整装置は、それぞれ、高圧ガス用の安全閉込め部材として機能できる
請求項１から４のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項８】
前記第一ガス圧調整装置と前記第二ガス圧調整装置は、それぞれ、入口端部にて、それぞれの出口端部にて提供する第二動圧よりも高い第一動圧を提供できる
請求項１から７のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項９】
前記第一ガス圧調整装置は第一圧力設定値を有し、前記第二ガス圧調整装置は、前記第一圧力設定値よりも高い第二圧力設定値を有する
請求項１から８のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項１０】
前記第一ガス圧調整装置は、１３．３ｋＰａ〜３４４．７ｋＰａの範囲の第一圧力設定値を有する
請求項１から９のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項１１】
加圧流体を保持するための内部容積を画定し、出口ポートを有する流体貯蔵送出容器と、
前記出口ポートと連通して前記容器の内部容積の中に取り付けられたバルブと
を備え、
前記バルブが前記容器の外から９３．３ｋＰａ未満の圧力を受けるまで、前記容器から前記ポートを通って流体が放出されるのを防ぐために、前記バルブは閉じた状態に保持され、かつ、９３．３ｋＰａ未満の圧力に応じて前記バルブは開くものであり、前記バルブは、前記バルブに送出されるガスの圧力を調整するために、前記内部容積の中に取り付けられるとともに、前記バルブに接続された、ガス圧調整装置を備える
半導体製造流体用の流体貯蔵送出システム。
【請求項１２】
前記バルブと連結されてガス流を連通させるガス送出アセンブリ
をさらに備える請求項１から１１のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項１３】
前記ガス送出アセンブリは、ガスを前記容器から放出するために、ガスを前記容器の内部容積から、前記バルブ、バルブヘッド及びガス送出アセンブリを通じて流動させるように選択的に作動可能である
請求項１２に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項１４】
前記ガス送出アセンブリは、
バルブアクチュエータを作動的に連結している流量制御バルブと、
前記容器内の流体からガス流を調節して放出するために、前記流量制御バルブの調節を開始させるように前記バルブアクチュエータを作動する自動コントローラと
を有する請求項１２または１３に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項１５】
前記第二ガス圧調整装置は、前記第一ガス圧調整装置の圧力設定値の少なくとも二倍の圧力設定値を有する
請求項１から１０のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項１６】
前記第二ガス圧調整装置は、前記第一ガス圧調整装置と垂直に同軸上に整合されている
請求項１から１０、１５のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項１７】
前記第二ガス圧調整装置は、入口端部にて粒子フィルタに接合されている
請求項１から３のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項１８】
前記容器の内部容積に格納された、水素化物ガス類、ハロゲン化物ガス類及び気相有機金属ガス類からなる群から選択されるガスをさらに含む
請求項１から１７のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項１９】
前記容器の内部容積に格納された、アルシン、ホスフィン、スチビン、シラン、ジボラン、フッ化水素、三塩化ホウ素、三フッ化ホウ素、塩化水素、ハロゲン化シラン及びジシランからなる群から選択されるガスをさらに含む
請求項１から１８のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項２０】
前記容器の内部容積に格納された、アルシン、三塩化ホウ素及び三フッ化ホウ素からなる群から選択されるガスをさらに含む
請求項１から１７のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項２１】
前記容器に貯蔵された流体は、イオン打込装置、化学蒸着装置、液体送出装置、及び洗浄装置からなる群から選択される半導体製造装置に導かれる
請求項１から１７のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項２２】
前記容器のネックに係合し前記出口ポートからガスを送出するバルブヘッド組立体
をさらに備え、
前記バルブヘッド組立体は、前記容器に加圧ガスを送り込む充填ポートを有する
請求項１から１０、１５から１７、のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項２３】
前記容器は、２．５４ｃｍ以上のＮＧＴネック開口部を有する
請求項１から１０、１５から１７、のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項２４】
流体容積内に流体を貯蔵し、前記流体容積から流体を送出する方法であって、
前記流体容積からの流体の流量を、（ｉ）貯蔵のために閉じられ、前記流体容積からの流体の送出のために開かれるバルブと、（ｉｉ）前記バルブの上流の内部容積中に配された上部流体調整装置と、（ｉｉｉ）前記内部容積中に配され、前記上部流体調整装置と直列関係で前記上部流体調整装置の下方に接合された下部流体調整装置と、により調整する段階
を備え、
前記上部流体調整装置と下部流体調整装置とは異なる圧力設定値を有する
方法。
【請求項２５】
前記流体容積は、ガス貯蔵送出容器内に含まれる
請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記容器は、前記流体を液体で保持する
請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
加圧ガスを保持し、ガス放出ポートを有するガス貯蔵送出容器と、
前記ガス放出ポートの上流かつ前記容器内に設けられ、前記容器から放出されるガスを所定の圧力に維持する第１ガスレギュレータと、
前記第１ガスレギュレータから送出されたガスの純度を高める第１粒子フィルタと
前記第１粒子フィルタと前記ガス放出ポートとの間の流路に設けられたバルブと
を備え、
前記第１ガスレギュレータは、前記容器内の前記加圧ガスの圧力よりも小さい予め設定された圧力設定値を持つ
流体貯蔵送出システム。
【請求項２８】
加圧ガスを保持し、ガス放出ポートを有するガス貯蔵送出容器と、
前記ガス放出ポートの上流かつ前記容器内に設けられた第１ガスレギュレータと、
前記容器内に設けられ、前記第１ガスレギュレータの下方に前記第１ガスレギュレータと直列に接合され、前記加圧ガスからのガスを前記第１ガスレギュレータに放出する第２ガスレギュレータと
を備え、
前記第２ガスレギュレータは、前記容器内の前記加圧ガスの圧力よりも小さい予め設定された圧力設定値を持ち、前記第１ガスレギュレータは、前記第２ガスレギュレータの圧力設定値よりも小さい予め設定された圧力設定値を持つ
流体貯蔵送出システム。
【請求項２９】
加圧ガスを保持し、ガス放出ポートを有するガス貯蔵送出容器と、
前記ガス放出ポートの上流かつ前記容器内に設けられた第１ガスレギュレータと、
前記ガス放出ポートの上流に位置し、前記容器内かつ前記第１ガスレギュレータの上方に設けられ、前記第１ガスレギュレータから送出されたガスの純度を高める第１粒子フィルタと、
前記第１ガスレギュレータの上流かつ前記第１ガスレギュレータの下方に設けられた第２粒子フィルタと
を備え、
前記第１粒子フィルタ、前記第１ガスレギュレータおよび前記第２粒子フィルタは、互いに同軸上に整合されている
流体貯蔵送出システム。
【請求項３０】
前記容器内に設けられ、前記第１ガスレギュレータの下方に前記第１ガスレギュレータと直列に接合され、前記加圧ガスからのガスを前記第１ガスレギュレータに放出する第２ガスレギュレータ
をさらに備え、
前記第２ガスレギュレータは、前記容器内の前記加圧ガスの圧力よりも小さい予め設定された圧力設定値を持ち、前記第１ガスレギュレータは、前記第２ガスレギュレータの圧力設定値よりも小さい予め設定された圧力設定値を持つ
請求項２７または２９に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項３１】
前記第２ガスレギュレータの圧力設定値は、１３７．９ｋＰａ〜１７２３６．９ｋＰａの範囲である
請求項２８または３０に記載の流体貯蔵送出システム。
【請求項３２】
前記容器は、前記ガスを液体で保持する
請求項１から２３、２７から３１のいずれか一項に記載の流体貯蔵送出システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
本発明の広範な実施に有用であるガス圧レギュレータ装置は、適したタイプであればいずれでもよい。好適なレギュレータの例として、圧力設定値が真空レベル〜１７５８１．６ｋＰａ（２５５０ｐｓｉｇ）程度までの範囲であるＳｗａｇｅｌｏｋ（登録商標）ＨＦシリーズの設定圧力レギュレータ（Ｓｗａｇｅｌｏｋ Ｃｏｍｐａｎｙから市販されている。ｗｗｗ．ｓｗａｇｅｌｏｋ．ｃｏｍ）が挙げられる。高精度のレギュレータを使用することにより、ガスを所望の圧力レベルにて、内部にレギュレータを含む容器から高い信頼性で送出することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
そこで、このようにガス圧レギュレータが、たとえば、９３．３ｋＰａ(７００トル)などの適当な圧力レベルに設定しておき、ガス容器に付随する送出組立体の流動制御バルブを開口する、あるいは他の適当な方法により送出組立体を開口して流動を開始すれば、ガス流をその設定値圧力でガス貯蔵送出容器から提供できるようにする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図５は、図１の流体貯蔵及び送出システム１００に用いられているガス貯蔵送出容器１０２の上部を示す断面図である。図示した容器１０２部分は、円柱状壁部１０４と、ネック１０８及びカラー１１０とを含む。カラーの内面は、ねじ切り１０９が設けられており、これはバルブヘッド組立体１１４のプラグ１１２に設けられたねじ切り１１３に対して相補形となっている。この容器は、２．５４ｃｍ（１インチ）以上のＮＧＴネック開口部及び適当なＮＧＴねじ切りを設けることを条件に、ステンレス鋼材料や他の鉄含有金属合金、あるいは他の金属や非金属材料で形成することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
例えば、第二の、あるいは「上流の」レギュレータ２６０の設定値を、約１３７．９ｋＰａ（２０ｐｓｉｇ）〜約１７２３６．９ｋＰａ（２５００ｐｓｉｇ）の範囲内にすることができる。第一の、あるいは「下流の」レギュレータ２４２の設定値は、例えば約１３３．３Ｐａ（１トル）〜１７２３６．９ｋＰａ（２５００ｐｓｉｇ）にするなど、上流レギュレータ２６０の圧力設定値を下回るものにすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
一の例示的実施形態において、上流レギュレータ２６０の圧力設定値は、約６８９．５ｋＰａ（１００ｐｓｉｇ）〜約１０３４２．１ｋＰａ（１５００ｐｓｉｇ）の範囲内であり、下流レギュレータ２４２の圧力設定値は、約１３．３ｋＰａ（１００トル）〜約３４４．７ｋＰａ（５０ｐｓｉｇ）の範囲内であり、上流の圧力設定値の方が、下流レギュレータの設定値を上回っている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
図６に図示す種類のガス貯蔵及び送出システムに対する一の例示的実施形態において、容器２１２は、３ＡＡ２０１５ＤＯＴ２．２リットル用シリンダである。高効率粒子フィルタ２４６は、３１６Ｌ ＶＡＲ／電解研磨済みステンレス鋼若しくはニッケル製筐体内に０．００３ミクロンまで細かい直径粒子を９９．９９９９９９９％以上除去することのできる焼結金属製濾過媒体を有する、Ｍｏｔｔ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ（コネチカット州、Ｆａｒｍｉｎｇｔｏｎ）から市販されているＧａｓＳｈｉｅｌｄ（登録商標）ＰＥＮＴＡＴＭ（登録商標）ポイント・オブ・ユースガスフィルタである。高効率粒子フィルタ２３９は、Ｍｏｔｔ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ（コネチカット州、Ｆａｒｍｉｎｇｔｏｎ）から市販されているＭｏｔｔ製標準６６１０−１／４インラインフィルタである。複数のレギュレータは、第一のレギュレータ２４２が１３．３ｋＰａ（１００トル）〜３４４．７ｋＰａ（５０ｐｓｉｇ）の圧力設定値を有し、第二のレギュレータ２６０が、第二のレギュレータ２４２の圧力設定値の少なくとも２倍である６８９．５ｋＰａ（１００ｐｓｉｇ）〜１０３４２．１ｋＰａ（１５００ｐｓｉｇ）の圧力設定値を有する、ＨＦシリーズＳｗａｇｅｌｏｋ（登録商標）圧力レギュレータである。