【手続補正書】
【提出日】平成21年5月22日(2009.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの投影対物レンズ（２０）のうち各々が１つの物体視野（５０）を１つの像視野（６０、６０’、６０”）の中に結像させる投影対物レンズを有し、
前記像視野（６０、６０’、６０”）が基板領域（４０）に配置され、前記基板領域が所定の走査方向（Ｓ）で複数の投影対物レンズ（２０）と相対的に移動可能であり、
前記像視野（６０、６０’、６０”）の少なくとも１つが、直線的に延びる複数の側辺によって、前記側辺の最も長い側辺の法線（ｙ１−ｙ７）が走査方向（Ｓ）と平行に延びないように制限されていることを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】
前記法線と走査方向（Ｓ）との間の角度が量に関して２°以上、好ましくは３°以上、かつさらに好ましくは４°以上であることを特徴とする請求項１記載の投影露光装置。
【請求項３】
様々な像視野の少なくとも２つの前記のような法線の間の角度が量に関して２°以上、好ましくは３°以上、かつさらに好ましくは４°以上であることを特徴とする請求項１または２記載の投影露光装置。
【請求項４】
少なくとも幾つかの投影対物レンズの中に各投影対物レンズの全部分系の光軸が前記投影対物レンズの統一的な光軸を形成することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項５】
投影対物レンズの少なくとも幾つかが第１の部分系（２１０ａ、２２０ａ）と少なくとも１つの第２の部分系（２１０ｂ、２２０ｂ）とを有し、第１の部分系（２１０ａ、２２０ａ）がカタジオプトリック部分系であり、かつ第２の部分系（２１０ｂ、２２０ｂ）が純屈折性の部分系であることを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項６】
両部分系の光軸が互いに平行に変位されていることを特徴とする請求項５記載の投影露光装置。
【請求項７】
第１の部分系（２１０ａ、２２０ａ）によって生成された中間像が、第２の部分系（２１０ｂ、２２０ｂ）の光軸に対して中心に配置されていることを特徴とする請求項６記載の投影露光装置。
【請求項８】
投影対物レンズ（２０）がそれぞれ同一の構造を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項９】
隣接する投影対物レンズ（２３０、２４０、２５０、２６０）がその投影対物レンズの光学素子の互いに逆になった配列を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１０】
投影対物レンズ（２０）が１つの結像倍率β＝１を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１１】
投影対物レンズ（２０）の少なくとも１つが折畳ミラーを備えていないことを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１２】
投影対物レンズ（２０）の少なくとも１つが少なくとも１つの中間像を生成することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１３】
投影対物レンズ（２０）の少なくとも１つが奇数の中間像を生成することを特徴とする請求項１２記載の投影露光装置。
【請求項１４】
投影対物レンズの少なくとも１つが少なくとも１つの凹面鏡を備えた少なくとも１つのカタジオプトリック部分系を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１５】
投影対物レンズ（１４０，１５０、１６０）の少なくとも１つが、少なくとも１つのリッジ型プリズム（１４１、１５１、１６４）またはリッジ型ミラー配列（１７１〜１７４）を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１６】
投影対物レンズの少なくとも１つが少なくとも１つのオフナー型部分系を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１７】
投影対物レンズの少なくとも１つが少なくとも１つのダイソン型部分系を有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１８】
投影対物レンズの少なくとも１つが少なくとも１つのオフナー型部分系と、少なくとも１つのダイソン型部分系とを有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項１９】
第１の投影対物レンズ（２３０）が第１のオフナー型部分系（２３０ａ）と、第２のダイソン型部分系（２３０ｂ）とを有し、かつ第１の投影対物レンズに隣接する第２の投影対物レンズ（２４０）が第１の投影対物レンズ（２３０）の第１の部分系（２３０ａ）に隣接する第１のダイソン型部分系（２４０ａ）と、第１の投影対物レンズ（２３０）の第２の部分系（２３０ｂ）に隣接する第２のオフナー型部分系（２４０ｂ）とを有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２０】
第１の投影対物レンズが第１のオフナー型部分系と、第２の純屈折性の部分系とを有し、かつ第１の投影対物レンズに隣接する第２の投影対物レンズが第１の投影対物レンズの第１の部分系に隣接する第１の純屈折性の部分系と、第１の投影対物レンズの第２の部分系に隣接する第２のオフナー型部分系とを有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２１】
第１の投影対物レンズ（２６０）が第１のダイソン型部分系（２６０ａ）と、第２の純屈折性の部分系（２６０ｂ）とを有し、かつ第１の投影対物レンズ（２６０）に隣接する第２の投影対物レンズ（２５０）が第１の投影対物レンズ（２６０）の第１の部分系（２６０ａ）に隣接する第１の純屈折性の部分系（２５０ａ）と、第１の投影対物レンズ（２６０）の第２の部分系（２６０ｂ）に隣接する第２のダイソン型部分系（２５０ｂ）とを有することを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２２】
投影対物レンズの少なくとも１つが２つのオフナー型部分系を有し、該部分系の間に１つの中間像が生成されることを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２３】
投影対物レンズの少なくとも１つが２つのダイソン型部分系を有し、該部分系の間に１つの中間像が生成されることを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２４】
物体視野（５０）がレチクル領域（３０）の中に配置され、前記レチクル領域が所定の走査方向で複数の投影対物レンズ（２０）と相対的に移動可能であることを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２５】
物体視野（５０）が複数の投影対物レンズ（２０）と相対的に一定の位置に配置されたことを特徴とする請求項１ないし２３のいずれか１項に記載の投影露光装置。
【請求項２６】
物体視野の少なくとも１つの中に投影対物レンズによって結像されるパターンが超小型電子機械システム（ＭＥＭＳ）によって生成可能であることを特徴とする請求項２５記載の投影露光装置。
【請求項２７】
超小型電子機械システム（ＭＥＭＳ）が少なくとも１つの１つのディジタルマイクロミラー装置（ＤＭＤ）を有することを特徴とする請求項２６記載の投影露光装置。
【請求項２８】
物体視野の少なくとも１つの中にそれぞれ投影対物レンズによって結像されるパターンが複数のＤＭＤによって生成されることを特徴とする請求項２７記載の投影露光装置。
【請求項２９】
複数のＤＭＤによって生成されたパターンが１つの共通の物体視野と組み合わされることを特徴とする請求項２８記載の投影露光装置。
【請求項３０】
動作波長が、２５０ｎｍ以下、好ましくは２００ｎｍ以下、さらに好ましくは１６０ｎｍ以下に指定されていることを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の投影露光装置。