【誤訳訂正書】
【提出日】平成20年11月26日(2008.11.26)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体加工物を移動させるウェーハエンジン（３００）であって、
キャリジ（３０４）を含む直線駆動組立体（３０２）を有し、前記直線駆動組立体（３０２）は、前記キャリジ（３０４）を、第１の位置と第２の位置との間で第１の直線経路に沿って移動させるようになっており、前記第１の直線経路は、ｘ軸を定めており、
さらに、第１の端部、第２の端部、及び、長手方向中心軸線を備えた支持コラム（３６４）を有し、前記支持コラム（３６４）は、前記キャリジ（３０４）に取り付けられ、前記支持コラム（３６４）は、前記ｘ軸に沿って移動できるようになっており、
さらに、前記キャリジ（３０４）に取り付けられた回転駆動装置（３５０）を有し、前記回転駆動装置（３５０）は、前記支持コラム（３６４）を前記長手方向中心軸線回りに回転させるために、前記支持コラム（３６４）の前記第１の端部に取り付けられるようになっており、前記長手方向中心軸線は、実質的に垂直なシータ軸を定めており、
さらに、第１の端部、及び、第２の端部を備えた支持部材（３７０）から上方に延びる垂直方向駆動装置コラム（３８０）を有し、前記支持部材（３７０）の前記第１の端部は、前記回転駆動装置（３５０）が前記支持部材（３７０）及び前記垂直方向駆動装置コラム（３８０）を回転させるように前記支持コラム（３６４）の前記第２の端部に取り付けられ、
さらに、前記垂直方向駆動装置コラム（３８０）内を第１の位置と第２の位置との間で第２の直線経路に沿って垂直方向に移動するようになった機構（３８４）を含むｚ軸駆動装置組立体（３８２）を有し、
さらに、前記機構（３８４）に取り付けられたスライダ本体（４００）を有し、前記スライダ本体（４００）は、エンドエフェクタ（４０４、４０２）を、第１の位置と第２の位置との間で第３の直線経路に沿って移動させるようになったラジアル駆動装置（４１０）を実質的に包囲し、前記第３の直線経路は、前記第２の直線経路に直交する軸線を定める、
ことを特徴とするウェーハエンジン（３００）。
【請求項２】
前記回転駆動装置（３５０）は、前記垂直方向駆動装置コラム（３８０）、及び、前記スライダ本体（４００）を、前記シータ軸回りに同時に回転させることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハエンジン（３００）。
【請求項３】
前記回転駆動装置（３５０）に取り付けられたファンプラットフォーム（３５２）は、排気装置（３５４）を有することを特徴とする、請求項１に記載のウェーハエンジン（３００）。
【請求項４】
前記排気装置（３５４）は、前記垂直方向駆動装置コラム（３８０）内の空気を引き込んで、前記排気装置（３５４）から空気を抜き出すことを特徴とする、請求項３に記載のウェーハエンジン（３００）。
【請求項５】
前記スライダ本体（４００）は、前記ｚ軸駆動装置組立体（３８２）に取外し可能に取り付けられていることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハエンジン（３００）。
【請求項６】
前記スライダ本体（４００）は、（ｉ）ＩＤリーダ、（ｉｉ）計測ツール、（ｉｉｉ）アライナ、（ｉｖ）ノッチ検出器、（ｖ）エッジ検出器、（ｖｉ）ウェーハマーキングツール、（ｖｉｉ）処理モジュール、（ｖｉｉｉ）ウェーハ視認手段、及び、（ｉｘ）環境制御装置から成る群から選択された少なくとも１つのコンポーネントを有していることを特徴とする、請求項５に記載のウェーハエンジン（３００）。
【請求項７】
前記スライダ本体（４００）は、前記スライダ本体（４００）に取り付けられたファン／フィルタユニット（４２０）を有し、前記ファン／フィルタユニット（４２０）は、前記スライダ本体（４００）内に空気を引き込み、前記ファン／フィルタユニット（４２０）から空気を抜き出す前に、前記空気を濾過するようになっており、前記ファン／フィルタユニット（４２０）は、前記半導体加工物を取り囲む空気流を局所濾過するようになっていることを特徴とする、請求項１に記載のウェーハエンジン（３００）。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
本発明の更に別の特徴は、ウェーハを移送するウェーハエンジンを提供することにある。一実施形態では、ウェーハエンジンは、多くの検査、マーキング及び計測機能を行うことができ、別個の処理ステーションを不要にする。
本発明の更に別の特徴は、ウェーハをＥＦＥＭの減少したフットプリント内で移送できるウェーハエンジンを提供することにある。一実施形態では、ウェーハエンジンは、ウェーハをｚ軸に沿って移動させる直線駆動装置と、ウェーハをｚ軸に沿って移動させる垂直方向駆動装置と、ウェーハをラジアル軸に沿って移動させるラジアル駆動装置と、垂直方向及びラジアル駆動装置をシータ軸回りに回転させる回転駆動装置とを有している。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
本発明の別の特徴は、ウェーハエンジンに設けられた種々の粒子発生機構の局所濾過手段を提供することにある。一実施形態では、ファン／フィルタユニットが、ラジアル駆動装置に取り付けられてラジアル駆動装置によって生じた粒子を捕捉するようになっている。別の実施形態では、排気システムが、垂直方向駆動装置を通る空気流を生じさせて垂直方向駆動装置により生じた粒子を捕捉するようになっている。これら局所ファン／フィルタユニットは、ウェーハエンジンにより生じた粒子を「汚れ空気」環境中に排出し、又は最初に空気を濾過し、次にこれを「クリーン空気」環境内へ戻すことによりかかる粒子を制御するようになっている。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
本発明の更に別の特徴は、デュアルスワップ（dual swap ）及びアラインオンザフライ（align-on-the-fly）機能を持つウェーハエンジンを提供することにある。一実施形態では、ウェーハエンジンは、２枚のウェーハの貯蔵と移送の両方を行うよう迅速スワップラジアル駆動装置又はバッファ機能を有している。別の実施形態では、上エンドエフェクタは、第１のウェーハを回転させたり位置合わせすることができ、他方、下エンドエフェクタは、第２のウェーハを貯蔵すると共に（或いは）搬送する。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５７】
スパイン構造体１００から構成されたＥＦＥＭは、ロードポート１３０の下に相当広いスペースを作り、クリーンなウェーハエンジン領域をプロセス／計測ツールに戻してもよく、又は他の目的に用いてもよい。加うるに、密閉領域又はミニエンバイロンメントの深さ全体も又、従来型ＥＦＥＭ構成の必要とするものから見て減少する。ウェーハエンジンラジアルスライダ本体４００のフロントを回転させて一般に未使用の領域に入れるのがよい。というのは、ＦＯＵＰドア機構が垂直方向ストラット１０２相互間に位置しているからである。かかるスペースをプロセスツール及びツール全体についてゆるいフットプリント要件を実現できるエンドユーザに戻してもよい。ウェーハエンジン３００の構成は、これら新規且つゆるやかなスペース上の制約を利用している。例えば、ラジアルスライダ４００は、非オフセット（ずれが無い）構成よりも更にプロセスツール内へ到達することができる。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６４】
ウェーハエンジン
一般に、図１８〜図２３に示すウェーハエンジン３００は、使用頻度及びウェーハ移送サイクル時間の重要性に関して機械的な慣性を最小限に抑える。一例を挙げるに過ぎないが、このウェーハエンジン３００により得られる利点のうちの幾つかとしては、（１）迅速なウェーハスラップ時間が達成できること、（２）システムの総重量が軽いこと、（３）コンパクトで一体化されたパッケージが得られることが挙げられる。ウェーハエンジン３００は、本願において開示した統一型スパイン１００の実施形態のいずれでも動作でき、又はスタンドアロン型装置として動作できる。
ウェーハエンジン３００の好ましい実施形態が、図１８及び図１９に示されている。ウェーハエンジン３００は、ＥＦＥＭ内でのウェーハの移送を最適化する４つの主協調型駆動装置を有している。４つの駆動装置は、ウェーハをｘ軸、シータ（θ）軸、ｚ軸及びラジアル又はｒ軸に沿って移動させる。
ウェーハエンジン３００は、ウェーハエンジン３００をｘ軸に沿って移動させる直線駆動装置組立体３０２を有している。ｘ軸に沿う運動により、ウェーハエンジン３００は、各ＦＯＵＰＩ／Ｏポートに接近できる。直線駆動装置組立体３０２は、ｘ−キャリジ３０４及びレールシステム３０６を有している。ｘ−キャリジ３０４は、上ｘ−レール３１０及び下ｘ−レール３１２に摺動自在に係合する。レールシステム３０６は、後取付けプレート１１６に取り付けられ、上ｘ−レール３１０及び下ｘ−レール３１２を有している。
上ｘ−レール３１０と下ｘ−レール３１２は、ｘ軸に沿って延びていて、互いに実質的に平行である。図１８に示すレール組立体３０６を通る破断線は、レール組立体３０６が任意長さのものであってよいことを示している。レール組立体３０６は、ウェーハエンジン３００が例えば各ＦＯＵＰ１０内に貯蔵されたウェーハに接近できるようレール組立体３０６に沿って走行できるよう拡大縮小可能である。ウェーハエンジン３００の回転駆動装置３５０も又、ｘ−キャリジ３０４に取り付けられている。かくして、ｘ−キャリジ３０４による運動により、ウェーハエンジン３００は、ｘ軸に沿って駆動される。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６８】
スライダ本体４００は好ましくは、個々のウェーハをｒ軸に沿って迅速に入れ替える上エンドエフェクタ４０２及び下エンドエフェクタ４０４を有する。スライダ本体４００は、上及び下エンドエフェクタ４０２，４０４が各ＦＯＵＰ１０内に貯蔵されているウェーハに対して平行となるようこれらを支持する。図１９に示すように、上エンドエフェクタ４０２及び下エンドエフェクタ４０４は、同様な直線経路に沿って移動する。上エンドエフェクタ４０２と下エンドエフェクタ４０４は、下エンドエフェクタ４０４及び上エンドエフェクタ４０２がウェーハを同時に貯蔵できるのに十分な距離だけ離隔している。スライダ本体４００は、上エンドエフェクタ４０２及び下エンドエフェクタ４０４をラジアル又はｒ軸に沿って直線的に移動させるラジアル駆動モータ４１０を有している。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６９】
上エンドエフェクタ４０２は、第１の支持体４０６によって支持され、下エンドエフェクタ４０４は、第２の支持体４０８によって支持されている。上エンドエフェクタ支持体４０６及び下エンドエフェクタ支持体４０８は各々、スライダ本体４００の実質的に長さ全体にわたって延びるラジアル案内レール４１０に摺動自在に係合した状態でこの中で移動する。各ラジアル駆動モータ４１０は、ラジアル駆動ベルト４１４を駆動する。ラジアル駆動ベルト４１４ａは、第１の支持体４０６に連結され、第２のラジアル駆動ベルト４１４ｂは、第２の支持体４０８に連結されている。ラジアル駆動モータ４１０は、時計回り又は反時計回りの方向に回転してラジアル駆動ベルトをラジアル駆動プーリ４１６及び端アイドラプーリ４１４の回りに回転させると共にそれぞれのエンドエフェクタを伸長させたり引っ込めることができる。かかる駆動機構は、当該技術分野において周知であり、これ以上の説明は不要である。ウェーハをラジアル又はｒ軸に沿って移動させる他の手段を利用することは、本発明の範囲及び精神に含まれる。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７３】
図２０は、ウェーハエンジン３００の別の実施形態を示している。この実施形態では、スライダ本体４００は、ｚコラム３８０が実質的にｒ軸に沿って位置するようｚコラム３８０に係合する。ウェーハエンジン３００の先の実施形態と同様、この実施形態は、シータモータ３６２、垂直方向駆動装置コラム３８０及びラジアルスライダ本体４００を有している。シータモータは、ウェーハエンジンをθ軸回りに回転させ、ｚコラムは、ラジアルスライダ本体４００をｚ軸に沿って直線移動させ、ラジアルスライダ本体４００は、エンドエフェクタ４０１をラジアル又はｒ軸に沿って移動させる。したがって、ウェーハエンジン、かくしてウェーハは、シータモータ３６２が回転するといつでもθ軸回りに回転することになる。この実施形態は、ウェーハエンジン３００の先の実施形態と類似した部位スロットファン内のラジアルスライダ本体４００に取り付けられたファン／フィルタユニットを更に有するのがよい。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７５】
これと同様に、ラジアル駆動装置４００は、ウェーハを互いに異なるステージで取り扱うための種々の形式のエンドエフェクタを有するのがよい。例えば、１つのエンドエフェクタは、「汚れた」ウェーハだけを取り扱い、第２のエンドエフェクタは、「クリーンな」ウェーハだけを取り扱うのがよい。変形例として、第１のエンドエフェクタがプロセスツールへの移送前にウェーハＩＤを位置合わせしてこれを読み取るよう設計されたものであり、第２のエンドエフェクタが処理後の高温ウェーハを取り扱う高温パッドを有するものであってよい。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８４】
センサ４０９は、ＥＦＥＭ内に別個独立に設けることができ、これはウェーハエンジン３００とは別個のコンポーネントであってよい。かかる構成では、ウェーハは回転可能なチャック４１１上に配置される。位置決め制御及び測定手段（図示せず）を備えた機構に設けられたセンサ４０９は、センサ信号が所定レベルになるまでウェーハエッジの近くに動かされる。次に、センサ機構がセンサ４０９からの信号を用いてセンサ４０９の位置をこの所望レベルに保っている間、ウェーハを回転させることができ、これによりセンサ４０９はウェーハエッジに対して同一の位置に効果的に保たれる。ウェーハを回転させているとき、センサ位置は、ウェーハの角度位置に対して記録される。このデータは、ウェーハ回転位置に対するウェーハエッジのラジアル位置の変化を表しており、このデータを用いるとウェーハチャックの中心に対するウェーハの中心及び基準の向きを計算することができる。センサ機構の位置と共にセンサ信号の大きさも記録すれば、これにより、ウェーハ中心の計算結果又は基準向きの精度を向上させることができる追加のエッジ位置情報を得ることができる。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９４】
無制限のｚ軸運動
図２５は、ホイール付きアライナ４５４及びＩＤリーダ４３０を備えたオフセンタスライド本体４００と、延長されたｚ軸駆動装置コラム３８０′を有するウェーハエンジン３００′を示している。ウェーハエンジンのこの実施形態は、ストッカ又はＦＯＵＰＩ／Ｏポートの上方に設置するのがよいロードポート又は処理ステーションに接近する延長ｚコラム３８０′を有している。基本的に、ｚ軸駆動装置コラム３８０又は３８０′の高さは、無制限である。ウェーハエンジン３００又は３００′は、上エンドエフェクタ４０２又は下エンドエフェクタ４０４をラジアル又はｒ軸に沿って移動させることによりＦＯＵＰ１０内に位置したウェーハに接近できる。上エンドエフェクタ４０２又は下エンドエフェクタ４０４がＦＯＵＰ１０内へ移動しなければならない距離は、短い距離であるよう設計されている。というのは、これは、ウェーハエンジン３００又は３００′の最も必要な動作であることが多いからである。垂直方向駆動装置コラム３８０又は３８０′の高さは、上エンドエフェクタ４０２又は下エンドエフェクタ４０４がいずれにおいても移動しなければならない距離に影響を及ぼさない。かくして、垂直方向駆動装置コラム３８０又は３８０′の高さは、ラジアル又はｒ軸に沿う運動に影響を及ぼさない。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９５】
従来型ウェーハ取扱いロボットは、エンドエフェクタがウェーハに接近し、これをＦＯＵＰ１０から取り出すことができるようｚ駆動装置コラムをＦＯＵＰ１０に向かって直線的に移動させなければならない。したがって、かかるウェーハ取扱いロボットのための背の高い垂直方向駆動装置コラムでは、大形の垂直方向コラムをモータ又はベルトドライブにより移動させる必要がある。かかる慣性を移動させることにより、大きな歪がウェーハ取扱いロボットに加わる。本願において開示するウェーハエンジンは、かかるウェーハエンジン取扱いロボットの改良である。というのは、最も一般的に移動が行われるラジアル又はｒ軸に沿う運動軸も又、距離が最も短いからである。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９７】
図２８は、オフセンタ回転軸線を備えた迅速スワップスライダ本体４００を有するウェーハエンジン３００の例示の動作シーケンスを示している。一例を挙げるに過ぎないが、ステップ１は、ウェーハエンジン３００がロードポート領域１番のところで持ち上げている状態を示している。ステップ２は、ウェーハエンジン３００がウェーハをロードポート１番内からラジアル軸に沿って引っ込めている状態を示している。ステップ３は、ウェーハエンジン３００がシータ軸回りに回転し、それと同時にｘ軸に沿って戻り、ロードポート１番との衝突を回避している状態を示している。ステップ４は、ウェーハエンジン３００がｘ軸に沿って処理ステーションのＩ／Ｏポートに向かって移動している状態を示している。ステップ５は、ウェーハエンジン３００が引き続きシータ軸回りに回転し、ｘ軸に沿って動いてウェーハを処理ステーション内に導入できるよう位置決めしている状態を示している。ステップ６は、ウェーハエンジン３００がプロセスが完了するのを待っている状態を示している。ステップ７は、ウェーハエンジン３００が処理後のウェーハをいつでも処理ステーションに入ることができる状態にある新しいウェーハに入れ替えている状態を示している。最後に、ステップ８は、ウェーハエンジン３００が処理後のウェーハをラジアル軸に沿って引っ込めると同時にｘ軸及びシータ軸に沿って動いて処理後のウェーハをロードポート１番、２番又は３番内へ戻している状態を示している。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９８】
上述のウェーハエンジン３００，３００′は、従来型ウェーハ取扱いロボットと比べて幾つかの利点をもたらす。大抵のウェーハ取扱い用途に関し、ウェーハをＦＯＵＰ１０又は処理ステーションに挿入したり、これから取り出すのに必要なラジアル運動は、最も高いデューティサイクル及び最も長い総移動距離を有している。ウェーハエンジン３００は、ウェーハに接近しようとする前に、ラジアル駆動装置４００をできるだけウェーハに近づけて配置する。この配置により、上エンドエフェクタ４０２及び下エンドエフェクタ４０４の移動質量及び運動時間並びに摩耗が減少する。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１００
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１００】
上述した特徴的な要素及び利点を依然として有するウェーハエンジン３００の幾つかの変形例及び（又は）改造例がある。一例を挙げるに過ぎないが、或る用途ではｘ軸駆動装置３００を不要にできる。これと同様に、単一のラジアル軸で十分である。さらに、或る用途に関し（例えば、ソータ）、回転駆動装置は不要な場合がある。その代わり、ｚ軸駆動装置３８０は、ｘ−キャリジ３０８に取り付けられる。例えば、ソータ用途は、全て同一方向に向いて設けられたロードポートを有するのがよく、位置合わせ及びＩＤ読取りがウェーハエンジン３００に組み込まれていれば、回転させることは不要である。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１０６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１０６】
【図１】従来技術における従来型フロントエンド組立体の斜視図である。
【図２】図１に示すフロントエンド組立体の平面図である。
【図３】従来技術における従来型フロントエンド組立体の側面図である。
【図４】本発明のスパイン構造体の実施形態の斜視図である。
【図５】図４に示すスパイン構造体の部分分解図である。
【図６】本発明のＦＯＵＰドッキングインタフェースの実施形態の斜視図である。
【図７】本発明のスパイン構造体及びフロントエンドロードコンポーネントの実施形態の部分分解斜視図である。
【図８】本発明のスパイン構造体に取り付けられたウェーハエンジンの実施形態の斜視図である。
【図９】本発明のスパイン構造体に取り付けられたウェーハエンジン駆動レールの実施形態の斜視図である。
【図１０】本発明のフロントエンドロードインタフェースの実施形態の側面図である。
【図１１】本発明の一体形ミニエンバイロンメント及び構造体の別の実施形態の部分分解図である。
【図１２】図１１に示す一体形ミニエンバイロンメント及び構造体の側面図である。
【図１３】本発明の背骨構造体の実施形態の部分斜視図である。
【図１４】本発明の一体形ミニエンバイロンメント及び構造体の更に別の実施形態の斜視図である。
【図１５】図１４に示す一体形ミニエンバイロンメント及び構造体の端面図である。
【図１６】図１５に示す一体形ミニエンバイロンメント及び構造体の統一型フレームの実施形態を示す部分分解図である。
【図１７Ａ】従来型ウェーハ取扱いロボットの一例の平面図であり、従来技術においてエンドエフェクタを伸長状態で示す図である。
【図１７Ｂ】図１７Ａに示すウェーハ取扱いロボットの平面図である。
【図１８】本発明の迅速スワップ方式ウェーハエンジンの実施形態の斜視図である。
【図１９】図１８に示すウェーハエンジンの斜視図であり、駆動機構並びに垂直方向コラム及びスライダ本体機構のコンポーネントのうち幾つかを示す図である。
【図２０】本発明のウェーハエンジンの別の実施形態の斜視図である。
【図２１】図１８に示すウェーハエンジンの斜視図であり、ファン／フィルタユニットにより生じた空気流を示す図である。
【図２２Ａ】本発明のスライダ本体機構に設けられたホイール付きアライナ及びＩＤリーダを搭載したウェーハエンジンの更に別の実施形態の斜視図である。
【図２２Ｂ】図２２Ａに示すウェーハエンジンの平面図である。
【図２２Ｃ】図２２Ａに示すウェーハエンジンの側面図である。
【図２２Ｄ】図２２Ａに示すウェーハエンジンの背面図である。
【図２３】図２２Ａに示す上エンドエフェクタの実施形態の斜視図である。
【図２４Ａ】ホイール付きエンドエフェクタアライナの実施形態の切除図であり、パッドにより支持されたウェーハを示す図である。
【図２４Ｂ】図２４Ａのホイール付きエンドエフェクタアライナの切除図であり、ウェーハが持ち上げられてパッドから離れていて、ホイールによって支持されている状態を示す図である。
【図２４Ｃ】図２４Ａに示すホイール付きエンドエフェクタアライナの切除図であり、ウェーハがホイールにより解除され、パッド上に後退下降されている状態を示す図である。
【図２５】本発明のウェーハエンジンの更に別の実施形態の斜視図である。
【図２６Ａ】ラジアル駆動装置の別の実施形態の斜視図である。
【図２６Ｂ】ラジアル駆動装置の更に別の実施形態を示す図である。
【図２７Ａ】本発明のウェーハエンジンの到達距離及びスウィング隙間に関する利点を示す平面図である。
【図２７Ｂ】従来型直線スライダロボットの平面図であり、必要な最小隙間及び最大到達距離を示す図である。
【図２８】本発明のオフセンタ回転軸線を備えた迅速スワップスライダ本体についての動作シーケンスの一例を示す図である。
【図２９Ａ】本発明のフロントエンドロードインタフェースの実施形態の斜視図である。
【図２９Ｂ】図２９Ａに示す一体形システムの正面図である。
【図２９Ｃ】図２９Ａに示すフロントエンドロードインタフェースの実施形態の側面図である。
【図２９Ｄ】図２９Ａに示すフロントエンドロードインタフェースの実施形態の平面図である。
【図３０Ａ】処理ツールに取り付けられた一体形システムの実施形態の斜視図である。
【図３０Ｂ】図３０Ａに示す一体形システムの側面図である。
【図３１】図３０Ａ及び図３０Ｂに示す一体形システムの側面図であり、一体形システムが自動化材料取扱いシステム（ＡＭＨＳ）バッファリングのためのスペースをどのように空けるかを示す図である。
【図３２】ウェーハエンジンの更に別の実施形態の斜視図である。