【手続補正書】
【提出日】平成23年2月4日(2011.2.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する複数のテーブルと、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける表示用パネル露光装置において、
前記複数のテーブルうち少なくとも一つのテーブルは多角柱の構造を有し、少なくともその一部が中空であって、他の２つのテーブルと接触する接続面を有する接続テーブルであることを特徴とする表示用パネル露光装置。
【請求項２】
前記接続面の内側に締結用のネジまたはナット用の座面と当該座面と対向する面に少なくとも座面直径よりも大きな穴を有することを特徴とする請求項１に記載の表示用パネル露光装置。
【請求項３】
前記座面は前記穴を通した切削手段により加工したことを特徴とする請求項２に記載の表示用パネル露光装置。
【請求項４】
基板を搬送する複数のテーブルと、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける表示用パネル露光装置において、
前記複数のテーブルのうち接続面を有する２つのテーブルであって、一方のテーブルの前記接続面に設けた突起部と、他方のテーブルの前記接続面に設けた前記突起物を挿入可能な凹部と、前記他方のテーブルの上面から前記突起物を上下する突起物上下手段とを具備するテーブル上下調整機構を有することを特徴とする表示用パネル露光装置。
【請求項５】
前記テーブル上下調整機構と、前記テーブル上下調整機構に隣接して、前記他方のテーブルの前記接続面に設けた突起部と、前記一方のテーブルの前記接続面に設けた当該突起物を挿入可能な凹部と、前記一方のテーブルの上面から前記突起部を上下する突起物上下手段を具備する他方のテーブル上下調整機構とを具備する一対のテーブル上下調整機構を有することを特徴とする請求項４に記載の表示用パネル露光装置。
【請求項６】
前記突起物上下手段は、座面を前記凹部を有するテーブルの上面に持ち、他端を前記突起部に係合するネジを有することを特徴とした請求項４または５に記載の表示用パネル露光装置。
【請求項７】
基板を搬送する複数のテーブルと、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける表示用パネル露光装置において、
前記複数のテーブルのうち２つのテーブルの接続面に設けた空気溜め室と、前記空気溜め室の空気量を調節する手段を有することを特徴とする表示用パネル露光装置。
【請求項８】
前記空気溜め室は前記２つのテーブルのうち少なくとも一方の接続面に設けた凹部であることを特徴とする請求項７に記載の表示用パネル露光装置。
【請求項９】
前記２つのテーブルうち一つのテーブルは、少なくともその一部が中空であって多角柱の構造を有していることを特徴とする請求項４または７に記載の表示用パネル露光装置。
【請求項１０】
前記多角柱は４角柱であることを特徴とする請求項１または９に記載の表示用パネル露光装置。
【請求項１１】
基板を複数のテーブル上で搬送し、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける表示用パネル露光方法において、
前記複数のテーブルのうち接続面を有する２つのテーブルのうち一方のテーブルの前記接続面に設けた突起部を、他方のテーブルの前記接続面に設けた凹部に挿入し、前記他方のテーブルの上面から前記突起部を上下し、前記一方のテーブルの位置を上下調整するテーブル上下調整工程を有し、前記テーブル上下調整工程後に前記基板表面にマスク板のパターンを焼付けることを特徴とする表示用パネル露光方法。
【請求項１２】
前記テーブル上下調整工程と、前記他方のテーブルの前記接続面に設けた凹部に隣接して、前記他のテーブルの前記接続面に設けた突起部を、前記一方のテーブルの前記接続面に突起部に隣接して、前記一方のテーブルの前記接続面に設けた凹部に挿入し、前記一方のテーブルの上面から前記突起部を上下し、前記一方のテーブルの位置を上下調整するテーブル上下調整工程を有することを特徴とする請求項１１に記載の表示用パネル露光方法。
【請求項１３】
基板を複数のテーブル上で搬送し、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける表示用パネル露光方法において、
前記複数のテーブルのうち２つのテーブルの接続面に設けた空気溜め室における空気量を調節して前記２つのテーブルの位置合せする位置合せ工程を有し、前記位置合せ工程後に前記基板表面にマスク板のパターンを焼付けることを特徴とする表示用パネル露光方法。
【請求項１４】
前記空気溜め室は前記２つのテーブルのうち少なくとも一方の接続面に設けた凹部であることを特徴とする請求項１３に記載の表示用パネル露光方法。
【請求項１５】
基板を複数のテーブル上で搬送し、搬送後の露光位置で前記基板表面にマスク板のパターンを焼付ける露光装置の組立てまたは調整方法において、
前記複数のテーブルのうち接続面を有する２つのテーブルのうち一方のテーブルの前記接続面に設けた突起部を、他方のテーブルの前記接続面に設けた凹部に挿入し、前記他方のテーブルの上面から前記突起部を上下し、前記一方のテーブルの位置を上下調整するステージ上下調整工程を有することを特徴とする表示用パネル露光装置の組立てまたは調整方法。
【請求項１６】
さらに、前記複数のテーブルのうち２つのテーブルの接続面に設けた空気溜め室における空気量を調節する工程を有することを特徴とする請求項１５に記載の表示用パネル露光装置の組立てまたは調整方法。
【請求項１７】
前記空気量を調節する工程は前記接続面の締結力を緩和することなく行なうことを特徴とする請求項１６に記載の表示用パネル露光装置の組立てまたは調整方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、第２の目的を達成するために、本発明は、前記複数のテーブルのうち接続面を有する２つのテーブルのうち一方テーブルの前記接続面に設けた突起部を、他方のテーブルの前記接続面に設けた凹部に挿入し、前記他のテーブルの上面から前記突起部を上下し、前記一方のテーブルの位置を上下調整するテーブル上下調整工程を有することを第４の特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
さらに、第２の目的を達成するために、本発明は、第４の特徴に加え、前記テーブル上下調整工程と、前記他方のテーブルの前記接続面に設けた凹部に隣接して、前記他のテーブルの前記接続面に設けた突起部を、前記一方のテーブルの前記接続面に突起部に隣接して、前記一方のテーブルの前記接続面に設けたけた凹部に挿入し、前記一方のテーブルの上面から前記突起部を上下し、前記一方のテーブルの位置を上下調整するテーブル上下調整工程を有することを第５の特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図１は、本発明による液晶露光装置の一実施例を示す斜視図である。ステージ１は、テーブル１０と接続テーブル１１、テーブル１２で構成している。ステージ１の上面にはＸ軸レール２０が６本設置され、前記ステージ１上面にある凹の側部にリニアモータの固定子３０が対向して設置されている。Ｘ軸レール２０の上には、Ｘ軸方向に移動するＸ軸可動ステージ４０が取り付けられており、表示しないリニアモータ可動子によってＸ軸レール２０上を移動する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
Ｘ軸可動ステージ上面には、Ｙ軸レール２１が２本設置されている。Ｘ軸可動ステージ４０には、前記ステージ１と同様に、その上面にある凹の側部にリニアモータの固定子３１が対向して設置されている。Ｙ軸レール２１の上には、Ｙ軸可動ステージ４１が取り付けられており、表示しないリニアモータ可動子によってＹ軸レール２１上を移動する。Ｙ軸可動ステージ４１上には、載置台５０が取り付けられており、基板ガラスをこの上面に載置し、Ｘ軸レール２０とＹ軸レール２１に沿ってステージ１上の露光位置に位置決めされる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図２は、図１の装置において、テーブル１０、１２と接続テーブル１１とでステージ１を構成している様子を示したもので、説明のためテーブル１０を外した状態である。接続テーブル１１とテーブル１２は、接続テーブル１１の内側の空間７０内で、複数の締結ネジ６０を用いて締結される。図２の吹き出し図に示すように締結ネジ６０の首下６０aは、図３で後述する座グリしたネジ座面６１上にあるので、鋳物の素表面に比べて座面の落ち込みがなく、締結ネジ６０が緩むことはない。また、ネジ座面６１がネジ首下６０a面に平行となるよう形成されているため、締結ネジ６０の軸力が低下することなく締結することができる。また、本実施例では、防塵対策として座金を用いず締結しているがそれでも十分な締結力を有することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
従来は、テーブル１０と接続テーブル１１、接続テーブル１１と１２接続端面の段差は、脚１１１〜１１８の高さ調整機構を利用して合わせていた。しかし、この方法では、調整したい端面だけを動かすことは難しく、いずれか一つの脚でテーブル間の段差を調整すると、接続しているテーブルが共に動いたりしていた。特に、テーブル端面を下げるときは、脚の高さを低くしてもテーブルの接続面での摩擦力が大きいため下がらないことあり、テーブルを接続するネジを大幅に緩める必要があった。テーブルを接続するネジを大幅に緩めると、テーブル間に隙間が開くことがあり、段差を調整後、テーブルを接続するネジを締めるとテーブルの姿勢が変化したりした。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
前述したように、テーブル１０の上面には位置合わせネジ８５が設置され、その先端ネジ部は接続テーブル１１の突起９２先端の位置合わせネジ穴１０２に接続されており、同様に、接続テーブル１１の上面には位置合わせネジ８６が設置され、その先端ネジ部はテーブル１０の位置合わせ突起９１先端の位置合わせネジ穴１０１に接続されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
テーブル１０と接続テーブル１１の上面の位置合わせにおいて、例えば、テーブル１０上面の位置合わせネジ８５を締めると、接続テーブル１１の位置合わせ突起９２がテーブル１０に引き寄せられるため、テーブル１０に対して接続テーブル１１の上面がせり上がる。接続テーブル１１上面の位置合わせネジ８６を締めると、テーブル１０の位置合わせ突起９１が接続テーブル１１に引き寄せられるため、接続テーブル１１に対してテーブル１０の上面がせり上がる。そこで、接続面の反対側に設けた位置合わせネジ８１、８２とを合わせた４本の位置合わせネジ８５、８６、８１及び８２を協調して調節することによりテーブル１０と１１の上面の位置合わせをすることにより、両テーブルの上面の段差をなくすことができる。締結ネジによる締結後は、十分な締結力が維持されているので、両テーブルの上面の段差をなくすという意味でステージ下の各脚１１１や１１２等の高さを調節する必要はなく、各脚に加重を均等にするとか、浮いている脚を調節する程度でよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
本実施例では接続テーブル１１を用いているが、図４に示す従来例のように直接テーブル１０、１２を接続する場合に、接続面にて少なくともどちらか一方のテーブルに摩擦調整くぼみを設けて本実施例を適用しても、本実施例の効果を得られる。