【手続補正書】
【提出日】平成21年9月25日(2009.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路（「ＩＣ」）レイアウトを設計するための製造を理解したプロセスであって、
前記レイアウトが設計された後、ＩＣの製造に使用される一組の機械に対して一組の製造設定を特定する１つの製造構成を受け取るステップと、
前記ＩＣレイアウトを設計する前に、前記特定された製造構成に基づいて一組のデザインルールを規定するステップと、
前記一組のデザインルールを規定した後、前記一組のデザインルールを使用して前記ＩＣレイアウトを少なくとも１台のコンピュータにより設計するステップと、を含むことを特徴とするプロセス。
【請求項２】
前記一組の製造設定が、前記ＩＣレイアウトの第１のレイヤに対する特定の１つの２極レンズを備えることを特徴とする請求項１記載のプロセス。
【請求項３】
前記一組のデザインルールを規定するステップが、前記第１のレイヤの第１の方向に狭いルートおよび前記第１のレイヤの第２の方向に広いルートを規定するステップを含むことを特徴とする請求項２記載のプロセス。
【請求項４】
前記２極レンズが、垂直に配列される２つの極を備え、前記第１の方向が、水平方向であることを特徴とする請求項３記載のプロセス。
【請求項５】
前記２極レンズが、水平に配列される２つの極を備え、前記第１の方向が、垂直方向であることを特徴とする請求項３記載のプロセス。
【請求項６】
前記２極レンズが、４５°対角に配列される２つの極を備え、前記第１の方向が、１３５°対角方向であることを特徴とする請求項３記載のプロセス。
【請求項７】
前記一組の製造設定が、前記ＩＣレイアウトの第１のレイヤに対して特定の第１の２極レンズおよび第２の２極レンズを備えることを特徴とする請求項１記載のプロセス。
【請求項８】
前記一組の製造設定が、１つの照明器に対する特定の１つの開口部設定を備えることを特徴とする請求項１記載のプロセス。
【請求項９】
前記一組の製造設定が、特定の１つの公称露光を備えることを特徴とする請求項１記載のプロセス。
【請求項１０】
前記一組の製造設定が、１つの照明器に対する特定の光波長を備えることを特徴とする請求項１記載のプロセス。
【請求項１１】
より短い特定の光波長に基づく前記一組のデザインルールが、より長い特定の光波長に基づく前記一組のデザインルールより、前記ＩＣレイアウトの要素に対して、より小さい寸法属性を特定することを特徴とする請求項１０記載のプロセス。
【請求項１２】
前記要素が、１つのコンタクトであることを特徴とする請求項１１記載のプロセス。
【請求項１３】
前記要素が、１つのルートであることを特徴とする請求項１１記載のプロセス。
【請求項１４】
前記要素が、１つのモジュールであることを特徴とする請求項１１記載のプロセス。
【請求項１５】
より短い特定の光波長に基づく前記一組のデザインルールが、より長い特定の光波長に基づく前記一組のデザインルールに比べ、より密度の高いＩＣレイアウトを特定することを特徴とする請求項１０記載のプロセス。
【請求項１６】
集積回路（「ＩＣ」）を製造するための、設計を理解したプロセスであって、
付属する一組の設計資源を備えた１つのＩＣ設計を受け取るステップと、
前記ＩＣの製造に使用される一組の機械に対して一組の製造設定を特定する製造構成を特定するステップと、
ここにおいて、前記特定された一組の製造設定は、前記一組の設計資源に基づき、
前記製造設定に基づいて前記ＩＣを製造するステップと、
を含むことを特徴とするプロセス。
【請求項１７】
前記一組の設計資源が、前記ＩＣレイアウトの特定のレイヤの一組の要素に対する特定の寸法属性を特定するための一組のデザインルールを含むことを特徴とする請求項１６記載のプロセス。
【請求項１８】
前記一組の製造設定が、１つの固有な開口部を特定することを特徴とする請求項１７記載のプロセス。
【請求項１９】
前記一組の製造設定が、１つの公称露光を特定することを特徴とする請求項１８記載のプロセス。
【請求項２０】
前記一組の製造設定が、特定のステッパレンズを特定することを特徴とする請求項１８記載のプロセス。
【請求項２１】
前記一組の設計資源が、一組の前記設計の特性を含むことを特徴とする請求項１７記載のプロセス。
【請求項２２】
前記一組の設計特性が、前記ＩＣレイアウトの特定のレイヤの一組の要素に対する特定の寸法属性を含むことを特徴とする請求項２１記載のプロセス。
【請求項２３】
前記一組の設計特性が、特定の１つのレイヤ上の特定の１つの方向の特定の配線の量を含むことを特徴とする請求項２１記載のプロセス。
【請求項２４】
特定の１つの大きな開口マスクに基づく前記１組のデザインルールは、特定の１つの小さな開口マスクに基づく前記１組のデザインルールに比較して、前記ＩＣレイアウトの要素に対し、より小さな寸法属性を特定することを特徴とする請求項８に記載のプロセス。
【請求項２５】
前記一組の製造設定を既定するステップは前記ＩＣレイアウトの１つの第１のレイヤに対する特定の第１の露出のステップと第２の露出のステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のプロセス。
【請求項２６】
前記一組の製造設定は、前記ＩＣレイアウトの第１のレイヤに対する特定の１つの軸外光源および前記ＩＣレイアウトの１つの第１のレイヤに対する特定の１つの軸上光源の内、少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１に記載のプロセス。
【請求項２７】
前記一組の製造設定は前記ＩＣレイアウトの第１のレイヤに対する特定の１つの変更された円筒レンズを含むことを特徴とする請求項１に記載のプロセス。
【請求項２８】
前記一組のデザインルールを規定するステップは１つの狭いルートを前記第１のレイヤの第１の方向に規定するステップと、１つの広いルートを前記第１のレイヤの第２の方向に規定するステップとを含むことを特徴とする請求項２７に記載のプロセス。
【請求項２９】
前記一組の製造設定は、前記ＩＣレイアウトの１つの第１のレイヤに対し特定の変更された１つの第１の円筒レンズ及び特定の変更された１つの第２の円筒レンズとを含むことを特徴とする請求項１に記載のプロセス。
【請求項３０】
前記一組の製造設定は、前記ＩＣレイアウトの１つの第１のレイヤに対する特定の１つの４極レンズを含むことを特徴とする請求項１に記載のプロセス。
【請求項３１】
前記一組の製造設定は、前記ＩＣレイアウトの１つの第１のレイヤに対する特定の１つの２重２極レンズを含むことを特徴とする請求項１に記載のプロセス。
【請求項３２】
前記特定された製造設定は前記ＩＣレイアウトの各レイヤに対し1つのステッパレンズを特定するステップを含むことを特徴とする請求項１に記載のプロセス。
【請求項３３】
前記一組のデザインルールを規定するステップは、前記ＩＣレイアウトの各レイヤに対し前記対応するステッパレンズに基づき１つの第１のルートの１つの第１の幅を規定するステップを含むことを特徴とする請求項３２に記載のプロセス。
【請求項３４】
集積回路（「ＩＣ」）レイアウトを製造するための設計を理解したプロセスであって、
製造技術に基づく前記ＩＣの製造に使用される照明の構成と、配線モデルに基づくＩＣのレイアウトに使用される複数のルートの寸法属性とを同時に規定するステップと、
前記照明の構成と前記寸法属性とを同時規定した後、前記複数のルートの前記規定された寸法属性に基づき前記ＩＣレイアウトを設計するためソフトウェアツールを使用するステップと、
前記設計されたＩＣレイアウトに基づき前記ＩＣを製造するため前記規定された照明構成を使用するステップと、
からなることを特徴とするプロセス。
【請求項３５】
前記照明の構成と前記寸法属性の前記同時規定は反復して実施されることを特徴とする請求項３４に記載のプロセス。
【請求項３６】
前記寸法属性を規定するステップは、
前記ＩＣレイアウトの第１のレイヤの第１の方向に沿った第１の複数のルート内のルートに対する１つの第１の空間束縛を規定するステップと、
前記ＩＣレイアウトの第１のレイヤの第２の方向に沿った第２の複数のルート内のルートに対する１つの第２の空間束縛を規定するステップと、
を含むことを特徴とする請求項３４に記載のプロセス。
【請求項３７】
前記寸法属性を規定するステップは、
前記ＩＣレイアウトの第１のレイヤの第１の方向に沿った第１の複数のルート内の各ルートに対する１つの第１の幅を規定するステップと、
前記ＩＣレイアウトの第１のレイヤの第２の方向に沿った第２の複数のルート内の各ルートに対する１つの第２の幅を規定するステップと、
を含むことを特徴とする請求項３４に記載のプロセス。
【請求項３８】
前記寸法属性を規定するステップは、１つの第３の複数のルートを規定するステップをさらに含み、
ここに前記第３の複数のルート内の各ルートは１つの第３の幅を有する、
ことを特徴とする請求項３７に記載のプロセス。
【請求項３９】
前記第３の幅を有するルートは、前記第１の幅を有するルートとは前記ＩＣレイアウトの異なる領域にあることを特徴とする請求項３８に記載のプロセス。
【請求項４０】
前記規定された寸法属性は所望の１つの生産量に基づくことを特徴とする請求項３７に記載のプロセス。
【請求項４１】
前記第１の幅は前記所望の生産量に逆比例することを特徴とする請求項４０に記載のプロセス。
【請求項４２】
前記第１の幅は前記第２の幅より狭いことを特徴とする請求項３７に記載のプロセス。
【請求項４３】
前記照明の構成を規定するステップは、前記ＩＣレイアウトの前記第１のレイヤに対し１つの２極レンズを選択するステップを含むことを特徴とする請求項４２に記載のプロセス。
【請求項４４】
前記第１の方向は垂直方向であり、ここにおいて前記２極レンズは水平方向に配列した極を有することを特徴とする請求項４３に記載のプロセス。
【請求項４５】
前記第１の方向は水平方向であり、ここにおいて前記２極レンズは垂直方向に配列した極を有することを特徴とする請求項４３に記載のプロセス。
【請求項４６】
前記第１の方向は４５度の対角方向であり、ここにおいて前記２極レンズは１３５度に配列した極を有することを特徴とする請求項４３に記載のプロセス。
【請求項４７】
前記照明の構成を規定するステップは、前記ＩＣレイアウトの各レイヤに対し１つのステッパレンズを規定するステップを含むことを特徴とする請求項３４に記載のプロセス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008546005.tif 000001