【手続補正書】
【提出日】平成23年6月27日(2011.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸方向に延ばして構成され被検査基板をＸ軸方向へ移動可能に且つθ軸方向に回転可能に支持するＸθ軸ワークステージと、
当該Ｘθ軸ワークステージと別部材として構成されてこのＸθ軸ワークステージの上方にＹ軸方向に掛け渡して設けられＸ軸プリアライメントセンサ及びＹ軸プリアライメントセンサをＹ軸方向及びＺ軸方向へ移動可能に支持するＹＺ軸コンタクトステージと、
前記Ｘθ軸ワークステージ及びＹＺ軸コンタクトステージを制御する制御部とを備え、
前記Ｘθ軸ワークステージが、Ｘ軸方向に延びる骨組みである架台と、前記被検査基板を支持するワークテーブルと、当該ワークテーブルの下側面に設けられてワークテーブルを回転させるθ軸回転機構と、前記架台に支持されて前記θ軸回転機構を支持し当該θ軸回転機構を介して前記ワークテーブルをＸ軸方向に移動させるＸ軸直動機構とを備え、
前記ＹＺ軸コンタクトステージが、前記Ｘθ軸ワークステージの上方にＹ軸方向に掛け渡して設けられた支持アーム部と、当該支持アーム部に取り付けられて前記Ｘθ軸ワークステージの上方に位置するＹ軸直動機構と、当該Ｙ軸直動機構によってＹ軸方向に移動可能に支持された複数のコンタクトステージ板と、当該複数のコンタクトステージ板のうちの一方の端部側のコンタクトステージ板に設けられて前記被検査基板のＸ軸方向の位置を検出する第１のＸ軸プリアライメントセンサと、他方の端部側のコンタクトステージ板に設けられて前記被検査基板のＸ軸方向の位置を検出する第２のＸ軸プリアライメントセンサ及びＹ軸方向の位置を検出するＹ軸プリアライメントセンサと、前記各コンタクトステージ板に設けられ前記被検査基板上の電極と接触する探針を有するプローブブロックをＺ軸方向に移動可能に支持するＺ軸直動機構とを備え、
前記制御部が、前記ＹＺ軸コンタクトステージ側の前記Ｙ軸プリアライメントセンサ及び少なくとも２つの前記Ｘ軸プリアライメントセンサで検出した前記被検査基板の位置情報を基に、前記Ｘθ軸ワークステージの前記θ軸回転機構及びＸ軸直動機構を制御して前記ワークテーブルをＸ軸方向に移動させると共に適宜回転させて当該被検査基板のプリアライメントを行う機能を備えたことを特徴とする被検査基板のアライメント機構。
【請求項２】
請求項１に記載の被検査基板のアライメント機構において、
複数のコンタクトステージ板のうちの両方の端部側のコンタクトステージ板にのみ前記Ｘ軸プリアライメントセンサ又は前記Ｘ軸プリアライメントセンサ及びＹ軸プリアライメントセンサを備えると共に、前記両方の端部側のコンタクトステージ板の各Ｚ軸直動機構に、被検査基板の位置決め用マークを検索するために広い視野で被検査基板を撮影する検索用カメラと、被検査基板の正確な位置決めをするために狭い視野で被検査基板を撮影するアライメントカメラとをそれぞれ備え、
前記複数のコンタクトステージ板のうちの中間のコンタクトステージ板には前記プローブブロックのみを備えたことを特徴とする被検査基板のアライメント機構。
【請求項３】
請求項１または２に記載の被検査基板のアライメント機構において、
前記Ｙ軸プリアライメントセンサ及びＸ軸プリアライメントセンサが、検査光を発する発光素子と、当該発光素子から発せられて前記被検査基板の表面で反射した検査光を受光する受光素子とを備え、
前記検査光が前記被検査基板の縁部に平行になるように、前記発光素子と受光素子を配設したことを特徴とする被検査基板のアライメント機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明に係るアライメント装置は前記課題を解決するためになされたもので、Ｘ軸方向に延ばして構成され被検査基板をＸ軸方向へ移動可能に且つθ軸方向に回転可能に支持するＸθ軸ワークステージと、当該Ｘθ軸ワークステージと別部材として構成されてこのＸθ軸ワークステージの上方にＹ軸方向に掛け渡して設けられＸ軸プリアライメントセンサ及びＹ軸プリアライメントセンサをＹ軸方向及びＺ軸方向へ移動可能に支持するＹＺ軸コンタクトステージと、前記Ｘθ軸ワークステージ及びＹＺ軸コンタクトステージを制御する制御部とを備え、前記Ｘθ軸ワークステージが、Ｘ軸方向に延びる骨組みである架台と、前記被検査基板を支持するワークテーブルと、当該ワークテーブルの下側面に設けられてワークテーブルを回転させるθ軸回転機構と、前記架台に支持されて前記θ軸回転機構を支持し当該θ軸回転機構を介して前記ワークテーブルをＸ軸方向に移動させるＸ軸直動機構とを備え、前記ＹＺ軸コンタクトステージが、前記Ｘθ軸ワークステージの上方にＹ軸方向に掛け渡して設けられた支持アーム部と、当該支持アーム部に取り付けられて前記Ｘθ軸ワークステージの上方に位置するＹ軸直動機構と、当該Ｙ軸直動機構によってＹ軸方向に移動可能に支持された複数のコンタクトステージ板と、当該複数のコンタクトステージ板のうちの一方の端部側のコンタクトステージ板に設けられて前記被検査基板のＸ軸方向の位置を検出する第１のＸ軸プリアライメントセンサと、他方の端部側のコンタクトステージ板に設けられて前記被検査基板のＸ軸方向の位置を検出する第２のＸ軸プリアライメントセンサ及びＹ軸方向の位置を検出するＹ軸プリアライメントセンサと、前記各コンタクトステージ板に設けられ前記被検査基板上の電極と接触する探針を有するプローブブロックをＺ軸方向に移動可能に支持するＺ軸直動機構とを備え、前記制御部が、前記ＹＺ軸コンタクトステージ側の前記Ｙ軸プリアライメントセンサ及び少なくとも２つの前記Ｘ軸プリアライメントセンサで検出した前記被検査基板の位置情報を基に、前記Ｘθ軸ワークステージの前記θ軸回転機構及びＸ軸直動機構を制御して前記ワークテーブルをＸ軸方向に移動させると共に適宜回転させて当該被検査基板のプリアライメントを行う機能を備えたことを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
Ｘ軸プリアライメントセンサ３８は、ワークテーブル１６上の被検査基板ＰのＸ軸方向の大まかな位置調整をするためにワークテーブル１６の縁部を検出する第１のＸ軸プリアライメントセンサである。Ｘ軸プリアライメントセンサ３８は、図５〜８に示すように、検査光Ｃを発する発光素子(図７中の投光部で示す部分)と、この発光素子から発せられて被検査基板Ｐの表面で反射した検査光Ｃを受光する受光素子(図７中の受光部で示す部分)とを備えて構成されている。これらの発光素子及び受光素子は、その検査光Ｃが被検査基板Ｐの縁部に平行になるように配設されている。これは以下の理由による。図８（Ａ）（Ｂ）に示すように、検査光Ｃが被検査基板Ｐの縁部に直交するように配設すると、被検査基板Ｐの厚さによって位置がずれてしまう。図８（Ａ）は薄い被検査基板Ｐの例であり、図８（Ｂ）は厚い被検査基板Ｐの例である。図８（Ａ）の薄い被検査基板Ｐに比べて、図８（Ｂ）の厚い被検査基板Ｐの場合は、検査光Ｃが発光素子に近い位置で反射して、薄い被検査基板Ｐよりも早く検出してしまう。これに対して、検査光Ｃを被検査基板Ｐの縁部に平行に向けると、被検査基板Ｐの厚さは無関係になる。このため、発光素子及び受光素子を、その検査光Ｃが被検査基板Ｐの縁部に平行になるように配設している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図５，６に示すＺ軸直動機構３９は、検索用カメラ４０等を支持してＺ軸方向に移動させるための装置である。Ｚ軸直動機構３９は、Ｚ軸移動機構部３９Ａと、Ｚ軸ステージ板３９Ｂと、Ｚ軸モータ３９Ｃとから構成されている。Ｚ軸移動機構部３９Ａは、Ｚ軸ステージ板３９ＢをＺ軸方向にスライド可能に支持するための部材である。Ｚ軸移動機構部３９Ａは、ガイドレール等で構成されている。Ｚ軸ステージ板３９Ｂは、検索用カメラ４０等を支持するための部材である。Ｚ軸ステージ板３９Ｂは、水平に延びた２本の腕を有するブラケット３９Ｄを備え、このブラケット３９Ｄに検索用カメラ４０等が取り付けられている。Ｚ軸モータ３９Ｃは、Ｚ軸ステージ板３９ＢをＺ軸方向に移動させるためのモータである。Ｚ軸モータ３９Ｃには、ネジ棒と移動ナット（いずれも図示せず）を備え、移動ナットがＺ軸ステージ板３９Ｂに固定されて、Ｚ軸ステージ板３９ＢをＺ軸方向に移動させるようになっている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
第２Ｚ軸ステージ部２８は、ワークテーブル１６上に載置された被検査基板ＰのＸ軸方向及びＹ軸方向の大まかな位置合わせと、その後の被検査基板Ｐの正確な位置合わせと、被検査基板Ｐ上の電極への電気的接触を行うための装置である。この第２Ｚ軸ステージ部２８は、全体的には前記第１Ｚ軸ステージ部２７と同様である。第２Ｚ軸ステージ部２８では、図９に示すように、第１Ｚ軸ステージ部２７に加えて、Ｙ軸プリアライメントセンサ４３を備えている。このＹ軸プリアライメントセンサ４３は、ワークテーブル１６上の被検査基板ＰのＹ軸方向の大まかな位置調整をするためにワークテーブル１６の縁部を検出するセンサである。Ｙ軸プリアライメントセンサ４３は、第１Ｚ軸ステージ部２７の第１のＸ軸プリアライメントセンサ３８と同様に、発光素子と受光素子とを備えて構成されている。これらの発光素子及び受光素子は、その検査光Ｃが被検査基板Ｐの縁部に平行になるように配設されている。これにより、第２Ｚ軸ステージ部２８の第２のＸ軸プリアライメントセンサ３８の検査光ＣとＹ軸プリアライメントセンサ４３の検査光Ｃとが直交する位置関係になるように、第２のＸ軸プリアライメントセンサ３８とＹ軸プリアライメントセンサ４３が配設されている。