【手続補正書】
【提出日】平成21年1月23日(2009.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
最下部にある平坦な導波路基板と、
下部導波路コアレイヤと、
上部導波路コアレイヤと、
前記上部導波路コアレイヤ及び下部導波路コアレイヤの間の第１導波路コアと、
前記基板及び前記下部導波路コアレイヤの間の下部クラッディングと、
前記上部導波路コアレイヤ上の上部クラッディングと、
前記第１導波路コアを取り囲んでいる、前記上部導波路コアレイヤと前記下部導波路コアレイヤの間のミドルクラッディングと、
を有する光導波路であって、
前記下部クラッディング、前記ミドルクラッディング及び前記上部クラッディングは、前記下部導波路コアレイヤ、前記上部導波路コアレイヤ、及び前記第１導波路コアの屈折率を下回る屈折率を具備しており、
前記第１導波路コアの、光伝播方向の横断方向の幅は、前記第１導波路コアの垂直方向の厚さを上回っており、
前記第１導波路コアの上部表面は平坦であり、
前記上部導波路コアレイヤ、前記下部導波路コアレイヤ及び前記第１導波路コアは、前記光導波路内を伝播する光の少なくとも１つの伝播光学モードを共にサポートするべく構成されており、
前記上部導波路コアレイヤ及び前記下部導波路コアレイヤは、前記サポートされている伝播光学モードの横断方向の拡がり幅を超える幅を有して、光伝播方向に延在しており、
前記上部及び下部導波路コアレイヤと前記第１導波路コアは、前記サポートされている伝播光学モードが、前記第１導波路コアによって光伝播方向の横断方向の両側から、前記下部導波路コアレイヤによって下から、且つ、前記上部導波路コアレイヤによって上から、閉じ込められるように構成されていることを特徴とするプレーナー光導波路。
【請求項２】
屈折率の相違を屈折率コントラストと定義したとき、
前記上部導波路コアレイヤと、前記上部クラッディング及びミドルクラッディングの間の屈折率コントラストは、５％未満であり、
前記下部導波路コアレイヤと、前記下部クラッディング及びミドルクラッディングの間の屈折率コントラストは、５％未満であり、
前記第１導波路コアと前記ミドルクラッディングの間の屈折率コントラストは、５％未
満であることを特徴とする請求項１記載のプレーナー光導波路。
【請求項３】
前記上部導波路コアレイヤ及び下部導波路コアレイヤは、厚さが０．３μｍ〜２μｍであるドーピングされたシリカから成り、
前記第１導波路コアは、厚さが０．３μｍ〜１μｍであって、幅が３μｍ〜１２μｍであるドーピングされたシリカから成り、
前記下部クラッディング、ミドルクラッディング、及び上部クラッディングは、シリカ又はドーピングされたシリカから成り、
前記下部導波路コアレイヤと前記第１導波路コアの間の前記ミドルクラッディングは、厚さが１μｍ〜３μｍであり、
前記上部導波路コアレイヤと前記第１導波路コアの間の前記ミドルクラッディングは、厚さが１μｍ〜３μｍであることを特徴とする請求項１若しくは請求項２記載のプレーナー光導波路。
【請求項４】
前記ミドルクラッディングの上部表面及び前記上部導波路コアレイヤは平坦であることを特徴とする請求項１または請求項３記載のプレーナー光導波路。
【請求項５】
前記ミドルクラッディングの上部表面及び前記上部クラッディングは平坦ではなく、且つ、前記第１導波路コアの上方において隆起した平坦部分を有していることを特徴とする請求項１または請求項３記載のプレーナー光導波路。
【請求項６】
前記上部導波路コアレイヤと下部導波路コアレイヤの間に第２導波路コアを更に有しており、
前記第２導波路コアの屈折率は、前記上部クラッディング、前記ミドルクラッディング、及び前記下部クラッディングの前記屈折率を上回っており、
前記第２導波路コアの光伝播方向の横断方向の幅は、前記第２導波路コアの垂直方向の厚さを上回っており、
前記第２導波路コアの上部表面は平坦であり、
前記第１導波路コア及び前記第２導波路コアは、前記ミドルクラッディング内において１つが他方の上に位置するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のプレーナー光導波路。
【請求項７】
前記第１及び第２の導波路コアは、互いに接触状態にあることを特徴とする請求項６記載のプレーナー光導波路。
【請求項８】
屈折率の相違を屈折率コントラストと定義したとき、
前記上部導波路コアレイヤと、前記上部クラッディング及びミドルクラッディングの間の屈折率コントラストは、５％未満であり、
前記下部導波路コアレイヤと、前記下部クラッディング及びミドルクラッディングの間の屈折率コントラストは、５％未満であり、
前記第１導波路コアと前記ミドルクラッディングの間の屈折率コントラストは、５％未満であり、
前記第２導波路コアと前記ミドルクラッディングの間の屈折率コントラストは、５％を上回っていることを特徴とする請求項６若しくは請求項７に記載のプレーナー光導波路。
【請求項９】
前記第２導波路コアは、光伝播方向における前記光導波路の長さの少なくとも一部に沿って伝播光学モードを閉じ込めていることを特徴とする請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載のプレーナー光導波路。
【請求項１０】
前記上部クラッディング、前記ミドルクラッディング、及び前記下部クラッディングは
、シリカ又はドーピングされたシリカから成り、
前記上部導波路コアレイヤ、前記下部導波路コアレイヤ、及び前記第１導波路コアは、ドーピングされたシリカから成り、
前記第２導波路コアは、窒化珪素又は酸窒化珪素から成ることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載のプレーナー光導波路。
【請求項１１】
前記上部導波路コアレイヤ及び前記下部導波路コアレイヤは、それぞれ垂直方向の厚さが０．３μｍ〜２μｍであり、
前記第１導波路コアは、厚さが０．３μｍ〜１μｍであって、光伝播方向の横断方向の幅が３μｍ〜１２μｍであり、
前記第２導波路コアは、厚さが２００ｎｍ未満であって、幅が２μｍ未満であり、
前記下部導波路コアレイヤと前記第１導波路コアの間の前記ミドルクラッディングは、厚さが１μｍ〜３μｍであり、
前記上部導波路コアレイヤと前記第１導波路コアの間の前記ミドルクラッディングは、厚さが１μｍ〜３μｍであることを特徴とする請求項６乃至請求項１０のいずれか１項に記載のプレーナー光導波路。
【請求項１２】
前記第２導波路コアは、前記プレーナー光導波路の光伝播方向の少なくとも一部において、横断方向の少なくとも１つの次元について、望ましくない光学モードに対する光学結合を実質的に回避するのに充分緩やかなテーパーが設けられた部分を有し、前記第１導波路コア、前記第２導波路コア、前記上部コアレイヤ及び前記下部コアレイヤによってサポートされている伝播光学モードが、前記第１導波路コア、前記上部コアレイヤ及び前記下部コアレイヤによってサポートされている伝播光学モードに結合するべく構成されている、請求項６乃至請求項１１のいずれか１項に記載のプレーナー光導波路。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のプレーナー光導波路であって、
前記第１導波路コア、前記上部導波路コアレイヤ及び下部導波路コアレイヤは、それぞれ、前記プレーナー光導波路の端面に到達して終端しており、
前記プレーナー光導波路は、前記端面を通じて、光ファイバ又は第２のプレーナー光導波路に光学的に端部結合されていることを特徴とする光学装置。
【請求項１４】
前記プレーナー光導波路は、その端部近傍において、前記上部導波路コアレイヤ及び下部導波路コアレイヤの光伝播方向の横断方向の幅が、前記プレーナー光導波路の端面に向かって減少する導波路セグメントを有し、
かつ前記サポートされている伝播光学モードは、前記プレーナー導波路の端面において前記上部導波路コアレイヤ及び前記下部導波路コアレイヤによって、光伝播方向の横断方向の両側において少なくとも部分的に閉じ込められていることを特徴とする請求項１３記載の光学装置。
【請求項１５】
前記導波路セグメントは、個々の突出した表面により、光伝播方向の横断方向の両側において境界付けられており、
前記上部導波路コアレイヤ、前記下部導波路コアレイヤ、前記上部クラッディング、ミドルクラッディング、及び下部クラッディングは、前記突出した表面により、前記プレーナー光導波路の前記導波路セグメントに沿って光伝播方向の横断方向の両側において境界付けられていることを特徴とする請求項１４記載の光学装置。
【請求項１６】
前記突出した表面は、透明な埋込媒体又は封止材料によってカバーされていることを特徴とする請求項１５記載の光学装置。
【請求項１７】
前記第１導波路コアは、前記プレーナー光導波路端面において、垂直方向の厚さが０．
３μｍ〜１μｍであって、幅が３μｍ〜１２μｍであり、
前記上部導波路コアレイヤ及び前記下部導波路コアレイヤは、それぞれ、厚さが０．３μｍ〜２μｍであり、それぞれの幅は、前記第１導波路コアの光伝播方向の横断方向の幅よりも広く、且つ、それぞれ、前記プレーナー光導波路の端面において、３０μｍ未満だけ、前記第１導波路コアよりも幅が広く、
前記下部導波路コアレイヤ及び前記第１導波路コアの間の前記ミドルクラッディングは、前記プレーナー光導波路の端面において、厚さが１μｍ〜３μｍであり、
前記上部導波路コアレイヤ及び前記第１導波路コアの間の前記ミドルクラッディングは、前記プレーナー光導波路端面において、厚さが１μｍ〜３μｍであることを特徴とする請求項１３乃至１６のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項１８】
前記端部結合された光ファイバ又はプレーナー光導波路が、前記プレーナー導波路の端面から前記プレーナー導波路の光軸方向において離隔されており、かつ前記プレーナー光導波路と前記端部結合された光ファイバ又はプレーナー光導波路との光学的な端部結合に基づく回折光結合損失が、隔離距離が１０μｍ〜２５μｍの範囲において０．３ｄＢ未満であることを特徴とする請求項１３乃至１７のいずれか１項に記載の光学装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プレーナー光導波路及び光学装置