【手続補正書】
【提出日】平成20年12月22日(2008.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータにより、被試験測定システム（ＭＳＵＴ）が、少なくとも１つの他の測定システムを含むツール群にマッチングするか否かを判定する方法であって、
前記コンピュータのプロセッサが、アーティファクトのＭＳＵＴ測定値とベンチマーク測定システム（ＢＭＳ）による該アーティファクトのベンチマーク測定値との間の勾配誘導シフト・オフセット（ＳＩＳｏｆｆｓｅｔ）、及び前記ＭＳＵＴと前記ＢＭＳを比較する線形回帰分析の非線形性（σnon-linearity）を含むパラメータの組に基づいてツール・マッチング精度を計算するステップ（ｓ１）と、
前記プロセッサが、前記ツール・マッチング精度がマッチング閾値に適合するか否かを判定するステップ（ｓ２）とを含み、前記ＭＳＵＴは、前記マッチング閾値に適合する場合にマッチングするとみなされる、
前記方法。
【請求項２】
前記パラメータの組は、
前記ＭＳＵＴと前記ＢＭＳを比較する前記線形回帰分析の勾配と、
前記ＭＳＵＴの精度と、
前記アーティファクトの前記ＭＳＵＴ測定値と前記ＢＭＳによる該アーティファクトの前記ベンチマーク測定値との間の平均オフセットと、
前記アーティファクトの前記ベンチマーク測定値と該アーティファクトのツール群平均測定値との間のＢＭＳ平均オフセットと、
前記アーティファクトの前記ベンチマーク測定値と該アーティファクトの前記ツール群平均測定値との間のＢＭＳ勾配誘導オフセットと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記計算するステップ（ｓ１）は、前記ツール・マッチング精度を、
【数１】
2008537635.tif 000001
のように定義し、ここで、ＴＭＰは前記ツール・マッチング精度であり、βＭＳＵＴは前記線形回帰分析の勾配であり、σＭＳＵＴは前記ＭＳＵＴの精度であり、ｏｆｆｓｅｔは前記平均オフセットであり、ｏｆｆｓｅｔＢＭＳは前記ＢＭＳ平均オフセットであり、ＳＩＳｏｆｆｓｅｔは前記勾配誘導シフト・オフセットであり、ＳＩＳｏｆｆｓｅｔＢＭＳは前記ＢＭＳシフト誘導オフセットであり、σnon-linearityは前記非線形性である、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記ツール群が１つの他の測定システムのみを含む場合、前記パラメータの組は、
前記ＭＳＵＴと前記ＢＭＳとを比較する前記線形回帰分析の勾配と、
前記ＭＳＵＴの精度と、
前記アーティファクトの前記ＭＳＵＴ測定値と前記ＢＭＳによる該アーティファクトの前記ベンチマーク測定値との間の平均オフセットと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記計算するステップ（ｓ１）は、前記ツール・マッチング精度を、
【数２】
2008537635.tif 000002
のように定義し、ここでＴＭＰ２は前記ツール・マッチング精度であり、β２，ＭＳＵＴは前記線形回帰分析の勾配であり、σＭＳＵＴは前記ＭＳＵＴの精度であり、ｏｆｆｓｅｔ２は前記平均オフセットであり、ＳＩＳｏｆｆｓｅｔ２は前記勾配誘導シフト・オフセットであり、σ２，non-linearityは前記非線形性である、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記計算するステップ（ｓ１）は、前記勾配誘導シフト・オフセットを、
ＳＩＳｏｆｆｓｅｔ＝υ（プロセス・ウィンドウ・サイズ）（１−βＭＳＵＴ）
のように定義し、ここでＳＩＳｏｆｆｓｅｔは前記勾配誘導シフト・オフセットであり、υはプロセス・ウィンドウ・サイズ又はデータ範囲のユーザが選択可能な部分であり、βＭＳＵＴは、前記ＭＳＵＴと前記ＢＭＳとを比較する前記線形回帰分析の勾配である、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記計算するステップ（ｓ１）は、マンデル回帰分析を利用し、前記非線形性を、
σ２non-linearity＝σ２Mandel
Residual−σ２ＢＭＳ−σ２ＭＳＵＴ
のように定義し、ここでσ２non-linearityは前記非線形性であり、σ２Mandel Residualは前記マンデル回帰分析の残差であり、σ２ＢＭＳは前記ベンチマーク測定値の精度推定値であり、σ２ＭＳＵＴは前記ＭＳＵＴ測定値の精度推定値である、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記ＢＭＳは、ａ）前記ベンチマーク測定値がツール群平均測定値となるツール群、及びｂ）単一の信頼できる測定システム、のうちの１つである、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記ツール・マッチング精度が前記マッチング閾値に適合する場合、ツール群測定精度を
【数３】
2008537635.tif 000003
として決定するステップをさらに含み、ここでＶｐｐは前記ツール群中の全てのツールのプールされた補正精度であり、Ｖｐｏは前記ツール群中の全てのツールのプールされた平均オフセットであり、Ｖｐｓは前記ツール群中の全てのツールのプールされた平均勾配誘導オフセットであり、Ｖｐｎは前記ツール群中の全てのツールのプールされた非線形性である、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
ａ）前記プールされた補正精度は、
【数４】
2008537635.tif 000004
のように定義され、ここでＶｐｐは前記プールされた補正精度であり、σｉ，ＭＳＵＴはｉ番目のツールの単独のツール精度であり、βｉ，ＭＳＵＴはｉ番目のツールの前記線形回帰分析の勾配であり、
ｂ）前記プールされた平均オフセットは、
【数５】
2008537635.tif 000005
のように定義され、ここでＶｐｏは前記プールされた平均オフセットであり、ｏｆｆｓｅｔｉは前記ｉ番目のツールの前記ＢＭＳに対する平均オフセットであり、ｏｆｆｓｅｔＢＭＳは前記ＢＭＳのツール群平均に対する平均オフセットであり、
ｃ）前記プールされた平均勾配誘導オフセットは、
【数６】
2008537635.tif 000006
のように定義され、ここでＶｐｓは前記プールされた平均勾配誘導オフセットであり、ＳＩＳｏｆｆｓｅｔｉは前記ｉ番目のツールの前記ＢＭＳに対する勾配誘導オフセットであり、ＳＩＳｏｆｆｓｅｔＢＭＳは前記ツール群平均に対する勾配誘導オフセットであり、
ｄ）前記プールされた非線形性は、
【数７】
2008537635.tif 000007
のように定義され、ここでＶｐｎは前記プールされた非線形性であり、σnon-linearity,iは前記ｉ番目のツールの非線形性であり、
前記各表現においてＮは前記ツール群中のツールの数である、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記ツール・マッチング精度が前記マッチング閾値に適合しない場合、該ツール・マッチング精度が該マッチング閾値に適合しないことの根本原因を判定するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記根本原因を判定するステップは、
ａ）次の
ｉ）前記アーティファクトの前記ＭＳＵＴ測定値と前記ＢＭＳによる該アーティファクトの前記ベンチマーク測定値との間の平均オフセットの二乗と、
ｉｉ）前記非線形性（σnon-linearity）の二乗と、
ｉｉｉ）前記ＭＳＵＴ測定値の精度推定値（σ２ＭＳＵＴ）と、
ｉｖ）前記ＳＩＳｏｆｆｅｓｔの二乗と、
のうちの少なくとも１つのどれがより重要であるかを判定するステップ（ｓ５）と、
ｂ）根本原因問題点が、
ｉ）前記平均オフセットの二乗がより重要な場合には、オフセット問題点、
ｉｉ）前記非線形性（σnon-linearity）の二乗がより重要な場合には、非線形性問題点、
ｉｉｉ）前記精度推定値（σ２ＭＳＵＴ）がより重要な場合には、安定性問題点、
ｉｖ）前記ＳＩＳｏｆｆｅｓｔの二乗がより重要な場合には、ＳＩＳｏｆｆｓｅｔ問題点、
であることを判定するステップと、
ｃ）前記根本原因問題点を引き起こすことが既知である少なくとも１つのＭＳＵＴ特性を評価することによって、根本原因を判定するステップ（ｓ１０）と、
を含む、請求項１１に記載の方法。