【誤訳訂正書】
【提出日】平成21年10月28日(2009.10.28)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造工程で製造される、技術製品タイプ（Ｐ、Ｐ'、Ｐ''、Ｐ'''）の多くの数上の品質を監視する方法であって、
前記製造工程は、逐次的に設けられた製造ステーション（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）で行われ、及びある製造ステーションで、所定の状態量（Ｔ2）が把握され、及び
（ａ）監視される製品タイプの数が、第１のタイプ数（ｊ）として確定され；
（ｂ）ある製造ステーションで影響が及ぼされる技術的製造パラメーター（ｄ１，ｄ２，ｂ１）が確定され、そして、少なくとも１つの監視する製品タイプのため、この技術的製造パラメータを測定する測定装置（１４）が、この製造ステーションに割り当てられており、
製造工程において、以下の工程
（ｃ）その物理的状態がある製造ステーションで変化した、製品タイプ（Ｐ）の抜き取り品が、製品タイプの第１のタイプ数（ｊ）から取り出され、及び抜き取り品の確定された技術的製造パラメーターのための測定装置（１４）で、測定値が決定され、
（ｄ）平均値
【数１】
2002535744.tif 000001
が、測定値から計算され、及びこの平均値
【数２】
2002535744.tif 000002
が、第１のタイプ数（ｊ）に割り当てられた多次元平均値
【数３】
2002535744.tif 000003
に記憶され、
（ｅ）工程（ｃ）及び（ｄ）が、多次元平均値
【数４】
2002535744.tif 000004
を、少なくとも１つの更なる製品タイプ（Ｐ’）のための、少なくとも一つの更なる測定された平均値で補足するために繰り返され、
（ｆ）確定された時間間隔（Ｔ１）が経過した後、複数の平均値から構成される記憶された多次元平均値が、共通の状態量に換算（１５）され、及び把握される状態量の進行の点（Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ）として記憶されるか、又は画像的に表示（２０）される、
を行うことを特徴とする方法。
【請求項２】
時間間隔（Ｔ１）が、
設定された最大時間インターバル（Tmax）が経過するように、又は、
製品タイプの第１のタイプ数（ｊ）のあるものが、同一の、物理的に影響を及ぼされる製造ステーション（Ｓ１）で更新され、そして全ての製品タイプが製造ステーション（Ｓ１）を通過するように、確定されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
多次元平均値から構成される状態量が、多元平均値のＴ2ホテリング統計を使用して計算され（１５）、
計算において、測定された多次元平均値の、予め設定された平均値ベクトルとのずれを考慮することを目的として、
計算（１５）の前に、多次元平均値が、既に存在する多次元平均値
【数５】
2002535744.tif 000005
から差し引かれ、及びこの逆が行われることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
予め設定された多次元平均値
【数６】
2002535744.tif 000006
が、製造工程における多数の事前計量値（ｋ）から算出されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
技術的製造パラメータが、層厚さ（ｄ１、ｄ２）、構造幅（ｂ１）、構造長さ、又は干渉係数、例えば欠陥密度または粒子密度ならびに、製品タイプの中、地点又は上のその他の尺度から成る群から選択されることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の方法。
【請求項６】
最大の時間間隔（Tmax）が、数時間ないし数日間であるか、又は製造ステーション（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の最大能力、製品タイプ、タイプ数としての製品タイプの数または最大の時間分解能に依存することを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項７】
限界値（ＵCL）が確定され、
状態量（Ｔ2；Ｔa、Ｔb、Ｔc）の進行と該限界値とが比較され、及び状態量の進行が、少なくとも１つの点で、予め設定された限界値（ＵCL）を超えた場合に、信号、特に通報が発信されることを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
画像を用いた表示（２０）をモニター上で行なうかまたはカード上に印刷して行なうことを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
対象の製品タイプが、最大時間間隔（Tmax）の間、製造ステーション（Ｓ１）で、その物理的状態に影響が及ぼされない場合に、
関係する技術的製造パラメーターに関する製品タイプの第１のタイプ数中の製品タイプの平均値
【数７】
2002535744.tif 000007
を、測定値に影響されることなく、処理（ｆ）による換算（１５）における予め設定された平均値とすることを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項１０】
新しく測定された平均値
【数８】
2002535744.tif 000008
が、多次元平均値に補充される場合、
保管された多次元平均値（もまた）その度ごとに、進行の仮の点で、状態量に換算されることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１１】
第１のタイプ数が変化した場合には、予め設定された、又はそれぞれ予め設定された平均値
【数９】
2002535744.tif 000009
を、監視される全ての製品タイプのために、新たに確定することを特徴とする、請求項４または９記載の方法。
【請求項１２】
製造工程で製造される、技術製品（Ｐ、Ｐ'、Ｐ''）の多くの数上の品質を監視する方法であって、
複数の製造ステーション（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）が使用され、及び
製造ステーションの、所定の状態量の進行が把握され、及び
（ａ）監視される製品タイプの数が、第１のタイプ数（ｊ）として確定され；
（ｂ）製造ステーションで影響が及ぼされる製品の技術的製造パラメーター（ｄ１，ｄ２，ｂ１）が確定され、そして、この製造ステーションによって影響された後の、監視される製品の少なくとも一つのため、この技術的パラメーターを測定するために、測定装置（１４）が、この製造ステーションに割り当てられており、
製造工程において
（ｃ）その物理的状態が、製造ステーションで変化した、最初の製品の抜き取り品が、監視される製品から取り出され、及び測定装置（１４）で、測定値（ｍ１、ｍ２、ｍＮ）が、確定された技術的製造パラメーターのために確かめられ、
（ｄ）個々の平均値
【数１０】
2002535744.tif 000010
が計算され、該計算は、測定装置からの測定値から行なわれ、及びこの平均値
【数１１】
2002535744.tif 000011
が、第１のタイプ数に割り当てられた多次元平均値
【数１２】
2002535744.tif 000012
に記憶され、
複数の、個々の平均値から構成される入力された多次元平均値が、共通の状態量に換算（１５）され、及び進行の点（Ｔａ、Ｔｂ、Ｔｃ）として状態量（Ｔ２（ｔ））が入力されるか、又は画像的に表示（２０）され、状態量が、Ｔ２−ホテリング−統計によって計算されることを特徴とする方法。
【請求項１３】
換算（１５）の前に、記憶された、ベクトルとしての多次元平均値を、予め設定された平均値ベクトル
【数１３】
2002535744.tif 000013
から減算するかまたはこの逆の計算を、測定されたベクトルと設定された平均値ベクトルとの多次元的な誤差のみを考慮するために行なうことを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項１４】
製造工程で製造される、多数の技術製品タイプ（Ｐ、Ｐ'、Ｐ''）の品質を監視する方法であって、
前記製造工程は、複数の製造ステーション（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）を有し、及び
製造ステーションの、１つ、２つ又は３つの製造ステーションで、所定の状態量（Ｔ2）の進行が把握され、及び
（ｅ）監視される製品タイプの数が、１よりも大きい第１のタイプ数（ｊ）として確定され；
（ｆ）少なくとも製造ステーション（Ｓ１）で影響が及ぼされる技術的製造パラメーター（ｄ１，ｄ２，ｂ１）が確定され、そして、監視される製品を、製造ステーション（Ｓ１）で影響を及ぼされた後に、監視するパラメータとして測定するために、測定装置が、この製造ステーションに割り当てられており、
製造工程において
（ｇ）その物理的状態が、製造ステーション（Ｓ１）で変化した、監視される製品の第１の製品の抜き取り品が抜き取られ、及び確定された技術的製造パラメーターのために、測定値（ｍ１、ｍ２、ｍＮ）が確かめられ、
（ｈ）一次元の平均値
【数１４】
2002535744.tif 000014
が計算され、該計算は、測定装置の測定値から計算され、及びこの平均値
【数１５】
2002535744.tif 000015
が、一次元値として、第１のタイプ数（ｊ）に割り当てられた多次元平均値
【数１６】
2002535744.tif 000016
に入力（記憶）され、
複数の一次元平均値から構成される、入力された多次元平均値が、共通して、一つの状態値に変換され、及び状態量（Ｔ2（ｔ））の進行のある点（Ｔａ、Ｔｂ、Ｔｃ）として、入力されるか、又は表示（２０）されることを特徴とする方法。
【請求項１５】
工業製品が異なる、又は工業的に区別される製品であることを特徴とする、請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
監視されるパラメーターが、異なる工業製品において、実質的に同一であることを特徴とする、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
状態値がＴ2ホテリング統計学により計算されることを特徴とする、請求項１４記載の方法。
【請求項１８】
少なくとも新たに変換される状態値の記憶又は表示（２０）を行なうことを特徴とする、請求項１４記載の方法。
【請求項１９】
処理工程（ｃ）及び（ｄ）を、監視すべき更なる製品タイプの、同一の工業製造パラメーターについて行い、「固有の平均値」が、多元平均値の別の位置で、「更なる固有の平均値」として記憶されることを特徴とする、請求項１４記載の方法。
【請求項２０】
多次元平均値における一次元平均値が、スカラー値として、少なくとも第１のタイプ数（ｊ）に相当することを特徴とする請求項１４記載の方法。
【請求項２１】
全ての一次元値が、実際の測定値及びその属する一次元平均値による、時間的に先行する状態値への、時間的に直接的に先行する換算以来、更新されていない場合には、状態値への換算が既に行われていることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項２２】
ウエハー上に半導体を製造する方法、又はそれぞれ製品タイプごとに予め設定された構造を有するカスタムメイドの半導体構造単位を製造する方法におけるものであることを特徴とする請求項１、１２又は１４の何れか１項に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００３】
即ち、本発明は、数多くの種々の（多数の）製品タイプを殆んどの同時の製造の際に統計的に監視可能であるように維持し、生じるデータ量を一目で判るように表示し、かつ計量の証言力（表現力）を向上させるという課題を達成させる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００５】
複数の生産物の管理（剰余生産物管理）は、状態量の経過を表示することによって行なわれ、この状態量の経過により、高い製品タイプ数を有する製造（特定用途向けＩＣ（ASIC）の製造）において、製造工程および製品の品質は、迅速に一目で判るように管理されることができる。この複数の生産物の管理は、それぞれの製造工程において、この少なくとも１つの製造工程を通過する全ての製品タイプの品質を共に監視しかつ一目で判るように表示することを可能にする。規定された時間間隔の間に、計量値は、製造ステーションから集積され、この時間間隔の経過後に初めて最終的な状態値として表示される。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００６】
多数の製品を同時に監視するためには、（製品の平均値の管理のために）複数生産物管理を使用することができる。ディスプレーは、製造工程の統計的状態を、所定の表現力（証言力）をもって描写する。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００８】
複数の生産物の管理（剰余生産物管理）についての統計的な基礎により、刊行物に公知のＴ2ホテリング統計学（Hotelling Statistik）が形成される。この統計的な基礎は、本明細書中で、“殆んどの同時に”完成された極めて多数の（例えば半導体製造における）工業製品タイプに対する工業的パラメーターを監視するために使用される（請求項１２）。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００９】
Ｔ2剰余生産物管理を用いての品質の監視は、公知技術水準と比較して重要な以下の利点を提供する。
・工業的製造工程の統計的状態についての迅速で確実な表出（表現、証言）が提供される。
・形成された異なる製品間に存在し得る相関関係が、表出において考慮されるので、相関関係の強さとは無関係に、統計的に明確な表出（表現）が可能である。
・製造工程における全ての製品の品質は、一目で判るように表示されうる。
・時間的に短縮（圧縮）された表出（表現）により、長時間の品質管理および長時間の監視、殊に製造工程における動向の認識が可能になる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
個々に課された状態値を有する状態量の経過（進行）が、信号を出力するために限界値と比較される（請求項７）。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
前記および後記される、複数の生産物の管理（剰余生産物管理）は、一目で判るように製造工程から工業的に計量されるデータを表示することに関する。画像を用いた表示は、多数の形式で行なうことができ、オシログラムまたはグラフィックディスプレイを選択することができ、同様に表示内容をカード上に記入することができるかまたはプリンターによって印刷することができる。専ら表示それ自体は、その方法の点で工業的概念に影響を及ぼすことはなく、この場合この工業的概念は、工業的計量値から限局され工業的工程に依存して工業的工程の出発、経過および結果をもたらす。本発明は、既に画像を用いた表示が印刷されるか、提示されるか、または記入されて存在する場合には、完成されているかまたは完結されており、本発明の（ヒトによる）評価は、本発明による成果の範囲外である。即ち、ヒトにより評価される影響力の行使は、重要なものではなく、むしろこの影響力の行使は、完成された本発明により初めて為されるものである。