【手続補正書】
【提出日】平成21年1月20日(2009.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水の硬度変化を検出する方法であって、
複数の処理サイクルのそれぞれの間に、硬水イオンを封鎖するようにキレート剤をチャンバに添加すると共に、それぞれの処理サイクルの水の硬度に関連する各キレート剤のファクターを求める工程、
現在の処理サイクルの前記各キレート剤のファクターを、先に求めた少なくとも１つのキレート剤のファクターと比較する工程、及び
前記比較する工程で既定の基準を満たす水の硬度の増大が示された場合に、信号を発生させる工程
を有することを特徴とする、水の硬度変化を検出する方法。
【請求項２】
前記既定の基準が既定の量よりも大きい増大を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
キレート剤及び洗浄剤を分配する方法であって、
第１の導電性測定値を得る工程、
前記第１の導電性測定値に基づき、第１のキレート剤量を求める工程、
前記第１のキレート剤量を、キレート剤供給源からチャンバに添加する工程、
第２の導電性測定値を得る工程、
前記第２の導電性測定値に基づきキレート剤のファクターを求め、保存する工程、及び
所定量の洗剤を洗剤供給源から前記チャンバに添加する工程
を有することを特徴とする、キレート剤及び洗浄剤を分配する方法。
【請求項４】
前記第１のキレート剤量として、前記チャンバ内の硬水イオンを完全に封鎖するのに十分であると予測されるキレート剤の量を求める工程をさらに有する、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記チャンバに添加される水の量を求める工程、
添加された前記水の量及び前記キレート剤のファクターに応じて第２のキレート剤量を求める工程、及び
前記第２のキレート剤量を前記チャンバに添加する工程
をさらに有する、請求項３に記載の方法。
【請求項６】
第３の導電性測定値を得ること、及び
水の硬度が著しく増大するかを判定すると共に、このような判定が肯定の場合には、関連処置を実施すること
をさらに有する、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
水の硬度変化を検出する方法であって、
第１の導電性測定値を得る工程、
前記第１の導電性測定値に基づき、第１のキレート剤量を求める工程、
前記第１のキレート剤量を、キレート剤供給源からチャンバに添加する工程、
第２の導電性測定値を得る工程、
前記第２の導電性測定値に基づき、現在のキレート剤のファクターを求める工程、及び
前記現在のキレート剤のファクター及び先のキレート剤のファクターに基づき、水の硬度変化を求める工程
を有することを特徴とする、水の硬度変化を検出する方法。
【請求項８】
前記第１のキレート剤量として、前記チャンバ内の硬水イオンを完全に封鎖するのに十分であると予測されるキレート剤の量を求める工程をさらに有する、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記現在のキレート剤のファクターが前記先のキレート剤のファクターよりも大きい場合に、水の硬度の増大を確認する工程をさらに有する、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
軟水化効果の低下を確認する方法であって、
第１の導電性測定値を得る工程、
前記第１の導電性測定値に基づき、第１のキレート剤量を求める工程、
前記第１のキレート剤量の第１の部分をキレート剤供給源からチャンバに添加する工程、
第２の導電性測定値を得る工程、
軟水化効果を求める工程、
前記効果に基づき、前記第１のキレート剤量の第２の部分をキレート剤供給源からチャンバに添加する工程、
第３の導電性測定値を得る工程、及び
前記第３の導電性測定値に基づき、キレート剤のファクターを求め、保存する工程
を有することを特徴とする、軟水化効果の低下を確認する方法。
【請求項１１】
前記第１のキレート剤量として、前記チャンバ内の硬水イオンを完全に封鎖するのに十分であると予測されるキレート剤の量を求める工程をさらに有する、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記第２の部分が、前記第１の部分を減じた前記第１のキレート剤量に等しい、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
制御システムと共に使用されるコンピュータプログラム製品であって、
複数の処理サイクルのそれぞれの間に、キレート剤をチャンバに添加して硬水イオンを封鎖し、それぞれの処理サイクルの水の硬度に関連する各キレート剤のファクターを求めるための命令、
現在の処理サイクルの前記各キレート剤のファクターを、先に求めた少なくとも１つのキレート剤のファクターと比較するための命令、
前記比較において既定の基準を満たす水の硬度の増大が示された場合に、信号を発生させるための命令
を有することを特徴とする、コンピュータプログラム製品。
【請求項１４】
前記既定の基準が既定の量よりも大きい増大を含む、請求項１３に記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項１５】
制御システムと共に使用されるコンピュータプログラム製品であって、
第１の導電性測定値を得るための命令、
前記第１の導電性測定値に基づき、第１のキレート剤量を求めるための命令、
前記第１のキレート剤量を、キレート剤供給源からチャンバに添加するための命令、
第２の導電性測定値を得るための命令、
前記第２の導電性測定値に基づき、キレート剤のファクターを求め、保存するための命令、及び
所定量の洗剤を洗剤供給源から前記チャンバに添加するための命令
を有することを特徴とする、コンピュータプログラム製品。
【請求項１６】
前記第１のキレート剤量として、前記チャンバ内の硬水イオンを完全に封鎖するのに十分であると予測されるキレート剤の量を求めるための命令をさらに有する、請求項１５に記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項１７】
前記チャンバに添加される水の量を求めるための命令、
添加された前記水の量及び前記キレート剤のファクターに応じて第２のキレート剤量を求めるための命令、及び
前記第２のキレート剤量を前記チャンバに添加するための命令
をさらに有する、請求項１６に記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項１８】
第３の導電性測定値を得るための命令、及び
水の硬度が著しく増大するかを判定すると共に、このような判定が肯定の場合には、関連処置を実施するための命令
をさらに有する、請求項１７に記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項１９】
水の硬度変化を検出するシステムであって、
キレート剤供給源、
チャンバ、及び
制御システムを有し、
該制御システムが、
複数の処理サイクルのそれぞれの間に、キレート剤をチャンバに添加して硬水イオンを封鎖し、それぞれの処理サイクルの水の硬度に関連する各キレート剤のファクターを求め、
現在の処理サイクルの前記各キレート剤のファクターを先に求めた少なくとも１つのキレート剤のファクターと比較し、及び
前記比較において既定の基準を満たす水の硬度の増大が示された場合に、信号を発生させるように構成されていることを特徴とする、水の硬度変化を検出するシステム。
【請求項２０】
前記既定の基準が既定の量よりも大きい増大を含む、請求項１９に記載の水の硬度変化を検出するシステム。
【請求項２１】
キレート剤及び洗浄剤を分配するシステムであって、
キレート剤供給源、
洗剤供給源、
導電性センサー、及び
制御システムを有し、
該制御システムが、
前記導電性センサーから得られる第１の導電性測定値に基づき、第１のキレート剤量を求め、
前記第１のキレート剤量を、前記キレート剤供給源からチャンバに添加し、
前記導電性センサーから得られる第２の導電性測定値に基づき、キレート剤のファクターを求めて保存し、及び
所定量の洗剤を前記洗剤供給源から前記チャンバに添加するように構成されていることを特徴とする、キレート剤及び洗浄剤を分配するシステム。
【請求項２２】
前記制御システムが、前記第１のキレート剤量として、前記チャンバ内の硬水イオンを完全に封鎖するのに十分であると予測されるキレート剤の量を求めるように構成されている、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２３】
前記制御システムが、
前記チャンバに添加される水の量を求め、
添加された前記水の量及び前記キレート剤のファクターに応じて第２のキレート剤量を求め、及び
前記第２のキレート剤量を前記チャンバに添加するように構成されている、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２４】
前記制御システムが、
前記導電性センサーを用いて第３の導電性測定値を測り、及び
水の硬度が著しく増大するかを判定すると共に、このような判定が肯定の場合には、関連処置を実施するように構成されている、請求項２３に記載のシステム。