【手続補正書】
【提出日】平成23年9月15日(2011.9.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体分配システムであって、
外側容器と、
該外側容器内に配置され、液体を含むように構成された潰すことのできる内側容器と、
該内側容器からの上部スペースの気体の除去を可能にするように構成された気体通路と、
該気体通路からの気体を受け取るように構成された上部スペースの気体の排気管と、
該気体通路を介して該上部スペースの気体の排気管へ該上部スペースの気体の流入を選択的に可能にするように構成された排気弁と、
液体が該気体通路に流入し始めるときを検知するように構成された液体センサと
を含み、
該排気弁は、該液体センサによる該気体通路内の液体の存在の検出に応答して閉じられる、液体分配システム。
【請求項２】
前記内側容器は、可撓性のポリマー製バッグを含む、請求項１に記載の液体分配システム。
【請求項３】
前記内側容器から分配された液体を受け取るように構成された流路を含み、
該流路および前記気体通路は、単一のコネクタパッケージ内で合わされ、該単一のコネクタパッケージは、該内側容器の内部が、前記上部スペースの気体の排気管および製造プロセスと１つの接続で流体連通することを可能にする、請求項１または２に記載の液体分配システム。
【請求項４】
前記内側容器に挿入可能であり、該内側容器からの液体の分配のための流路を内部に有するプローブを含む、請求項１または２に記載の液体分配システム。
【請求項５】
液体が前記内側容器から排出されたときを検出するための、空であることを検出するための手段を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体分配システム。
【請求項６】
前記空であることを検出するための手段は、空であることを検出するための気体のセンサを含む、請求項５に記載の液体分配システム。
【請求項７】
前記空であることを検出するための手段は、スケールを含む、請求項５に記載の液体分配システム。
【請求項８】
前記内側容器から製造プロセスに液体を分配するように構成されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体分配システム。
【請求項９】
前記製造プロセスは、フラットパネルディスプレイ製造プロセスを含む、請求項８に記載の液体分配システム。
【請求項１０】
前記内側容器は、酸、溶媒、塩基、フォトレジスト、カラーフィルターの化学物質、ドーパント、および無機溶液からなる群から選択される液体を含む、請求項１〜９のいずれか一項に記載の液体分配システム。
【請求項１１】
前記内側容器は、有機溶液、生物学的溶液、医薬品、および放射活性化学物質からなる群から選択される液体を含む、請求項１〜９のいずれか一項に記載の液体分配システム。
【請求項１２】
外側容器内に配置された潰すことのできる内側容器から液体を分配する方法であって、該内側容器は、最初に液体および上部スペースの気体を含み、
該方法は、
上部スペースの排気管と連通する気体通路を介して該内側容器から上部スペースの気体を除去することと、
液体センサを利用して、液体が該気体通路に流入し始めるときを検知することと、
該気体通路内の液体の存在の該液体センサによる検出に応答して、該排気弁を閉じて、該内側容器と該上部スペースの気体の排気管との間の接続を終了することと、
該内側容器から液体を分配することと
を含む、方法。
【請求項１３】
前記内側容器から液体を分配することは、該内側容器に挿入可能であり、該内側容器からの液体の分配のための流路を内部に有するプローブを用いることを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記内側容器から製造プロセスに液体を分配することを含む、請求項１２または１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記製造プロセスは、フラットパネルディスプレイ製造プロセスを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記内側容器から液体を分配することは、該内側容器と前記外側容器との間の空間に加圧された流体を供給することを含む、請求項１２〜１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
前記内側容器から液体を分配することは、ポンプまたはベンチュリの使用により、該内側容器から液体を引き抜くことを含む、請求項１２〜１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
液体が前記内側容器から排出されたときを検出するための、空であることを検出するための手段の使用を含む、請求項１２〜１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
前記空であることを検出するための手段は、空であることを検出するための気体のセンサを含む、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記空であることを検出するための手段は、スケールを含む、請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】
前記内側容器からの液体の分配を終了することと、新しい容器を前記気体通路および前記液体センサに接続することとを含み、該新しい容器は、液体および上部スペースの気体を含む、請求項１２〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
前記液体は、酸、溶媒、塩基、フォトレジスト、カラーフィルターの化学物質、ドーパント、および無機溶液からなる群から選択される、請求項１２〜２１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２３】
前記液体は、有機溶液、生物学的溶液、医薬品、および放射活性化学物質からなる群から選択される、請求項１２〜２１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２４】
液体分配システムであって、
外側容器と、
該外側容器内に配置され、液体を含むように構成された潰すことのできる内側容器であって、圧縮空間が該外側容器と該内側容器との間に提供されている、内側容器と、
該内側容器からの上部スペースの気体の除去を可能にするように構成された気体通路と、
該気体通路からの気体を受け取るように構成された上部スペースの気体の排気管と、
該気体通路を介する該上部スペースの気体の排気管への上部スペースの気体の除去のための排気弁であって、該排気弁は、該内側容器に含まれた任意の液体と接触して配置された上部スペースの気体の通気を開始するために、該内側容器の任意の内容物に対する圧力が高くなる前に、開かれるように構成されている、排気弁と、
液体が該気体通路に流入し始めるときを検知するように構成された液体センサと
を含み、
該システムは、該液体センサによる該気体通路内の液体の存在の検出に応答して該排気弁を閉じるように構成され、該排気弁の閉鎖に続き、該内側容器から液体を分配するように構成されている、液体分配システム。
【請求項２５】
前記内側容器は、可撓性のポリマー製バッグを含む、請求項２４に記載の液体分配システム。
【請求項２６】
前記内側容器から分配された液体を受け取るように構成された流路を含み、
該流路および前記気体通路は、単一のコネクタパッケージ内で合わされ、該単一のコネクタパッケージは、該内側容器の内部が、前記上部スペースの気体の排気管および製造プロセスと１つの接続で流体連通することを可能にする、請求項２４に記載の液体分配システム。
【請求項２７】
前記内側容器に挿入可能であり、該内側容器からの液体の分配のための流路を内部に有するプローブを含む、請求項２４に記載の液体分配システム。
【請求項２８】
液体が前記内側容器から排出されたときを検出するための、空であることを検出するための手段を含む、請求項２４〜２７のいずれか一項に記載の液体分配システム。
【請求項２９】
前記空であることを検出するための手段は、空であることを検出するための気体のセンサを含む、請求項２８に記載の液体分配システム。
【請求項３０】
前記空であることを検出するための手段は、スケールを含む、請求項２８に記載の液体分配システム。
【請求項３１】
前記内側容器から製造プロセスに液体を分配するように構成されている、請求項２４〜３０のいずれか一項に記載の液体分配システム。
【請求項３２】
前記製造プロセスは、フラットパネルディスプレイ製造プロセスを含む、請求項３１に記載の液体分配システム。
【請求項３３】
前記内側容器は、酸、溶媒、塩基、フォトレジスト、カラーフィルターの化学物質、ドーパント、および無機溶液からなる群から選択される液体を含む、請求項２４〜３０のいずれか一項に記載の液体分配システム。
【請求項３４】
前記内側容器は、有機溶液、生物学的溶液、医薬品、および放射活性化学物質からなる群から選択される液体を含む、請求項２４〜３０のいずれか一項に記載の液体分配システム。
【請求項３５】
外側容器内に配置された潰すことのできる内側容器から液体を分配する方法であって、該内側容器は、最初に液体および上部スペースの気体を含み、圧縮空間が該外側容器と該内側容器との間に提供されており、
該方法は、
上部スペースの排気管と連通する気体通路を介して上部スペースの気体を除去するために、該内側容器の内容物に対する圧力が高くなる前に、該内側容器の液体と接触して配置された上部スペースの気体の通気を開始するために上部スペースの気体の排気管を開くことと、
液体センサを利用して、液体が該気体通路に流入し始めるときを検知することと、
該気体通路内の液体の存在の該液体センサによる検出に応答して、排気弁を閉じて、該内側容器と該上部スペースの気体の排気管との間の接続を終了することと、
該排気弁の閉鎖に続き、該内側容器から液体を分配することと
を含む、方法。
【請求項３６】
前記内側容器から液体を分配することは、該内側容器に挿入可能であり、該内側容器からの液体の分配のための流路を内部に有するプローブを用いることを含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記内側容器から製造プロセスに液体を分配することを含む、請求項３５または３６に記載の方法。
【請求項３８】
前記製造プロセスは、フラットパネルディスプレイ製造プロセスを含む、請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
前記内側容器から液体を分配することは、前記圧縮空間に加圧された流体を供給することを含む、請求項３５〜３８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４０】
前記内側容器から液体を分配することは、ポンプまたはベンチュリの使用により、該内側容器から液体を引き抜くことを含む、請求項３５〜３８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４１】
液体が前記内側容器から排出されたときを検出するための、空であることを検出するための手段の使用を含む、請求項３５〜４０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４２】
前記空であることを検出するための手段は、空であることを検出するための気体のセンサを含む、請求項４１に記載の方法。
【請求項４３】
前記空であることを検出するための手段は、スケールを含む、請求項４１に記載の方法。
【請求項４４】
前記内側容器からの液体の分配を終了することと、新しい容器を前記気体通路および前記液体センサに接続することとを含み、該新しい容器は、液体および上部スペースの気体を含む、請求項３５〜４３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４５】
前記液体は、酸、溶媒、塩基、フォトレジスト、カラーフィルターの化学物質、ドーパント、および無機溶液からなる群から選択される、請求項３５〜３７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項４６】
前記液体は、有機溶液、生物学的溶液、医薬品、および放射活性化学物質からなる群から選択される、請求項３５〜３７のいずれか一項に記載の方法。