【手続補正書】
【提出日】平成22年11月26日(2010.11.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の電気的特性を検査するためのプローブ装置であって、
被検査体に接触する接触子を支持する支持板と、前記支持板の上面側に配置された回路基板とを備えたプローブカードと、
一部が前記回路基板の上面側に配置され、当該回路基板を補強する補強部材と、
前記補強部材の外周部を保持する保持部材と、を有し、
前記補強部材の外周部には、前記保持部材に固定された固定部材を挿通させて、前記補強部材の水平方向の伸縮を案内するための複数のガイド孔が、前記補強部材の厚み方向に貫通して形成され、
前記ガイド孔は、平面視においてその長手方向の長さが前記固定部材の径よりも長く形成され、
前記ガイド孔の長手方向の中心線は、前記補強部材の中心を通っていることを特徴とする、プローブ装置。
【請求項２】
前記固定部材の上部には、フランジ部が設けられ、
前記ガイド孔の内周には、前記フランジ部を係止しうる段部が形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記固定部材の外周には、カラーが設けられ、
前記カラーの上部には、他のフランジ部が設けられ、
前記ガイド孔の内周には、前記他のフランジ部を係止しうる段部が設けられ、
前記他のフランジ部の下面と前記保持部材の上面との間の距離は、前記段部と前記保持部材の上面との間の距離よりも長いことを特徴とする、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記ガイド孔は、平面視において前記補強部材の中心を円の中心とする同一円周上に、中心角が４５度又は９０度おきに形成されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のプローブ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
例えば半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という。）上に形成されたＩＣ、ＬＳＩなどの電子回路の電気的特性の検査は、プローブ装置に装着されたプローブカードを用いて行われている。例えば図８に示すように、プローブ装置１００は、プローブカード１０１と、ウェハＷを載置する載置台１０２と、プローブカード１０１を保持するカードホルダ１０３を備えている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前記固定部材の外周には、カラーが設けられ、前記カラーの上部には、他のフランジ部が設けられ、前記ガイド孔の内周には、前記他のフランジ部を係止しうる段部が設けられ、前記他のフランジ部の下面と前記保持部材の上面との間の距離は、前記段部と前記保持部材の上面との間の距離よりも長くてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
支持板１１は、例えば略方盤状に形成され、載置台５と対向するようにプローブカード２の下面側に配置されている。支持板１１の下面には、ウェハＷの複数の電極（図示せず）に対応して配置された複数のプローブ１０が接合されて支持されている。支持板１１の上面には、接触ピン１２が接合される接続端子１１ａが設けられている。この接続端子１１ａは、支持板１１の内部に形成され、各プローブ１０と上面側の接触ピン１２とを通電するための接続配線１１ｂに接続されている。なお、支持板１１には、絶縁性であり、ウェハＷとほぼ同じ熱膨張率を有する材料が用いられ、例えばセラミックやガラスが用いられる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
プリント配線基板１３は、例えば略円盤状に形成され、支持板１１の上側に支持板１１と平行になるように配置されている。プリント配線基板１３の下面には、接触ピン１２が当接する接続端子１３ａが設けられている。この接続端子１３ａは、プリント配線基板１３の内部に形成され、テストヘッド（図示せず）と支持板１１との間で電気信号を伝達するための電子回路に接続されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
プリント配線基板１３と支持板１１との間には、一定幅の隙間が設けられ、その隙間には、支持板１１とプリント配線基板１３とを電気的に接続する複数の接触ピン１２が設けられている。接触ピン１２は、支持板１１の面内にほぼ均等に配置されている。接触ピン１２は、弾性及び可撓性があり、かつ、導電性のある例えばニッケルによって形成されている。接触ピン１２は、支持板１１の接続端子１１ａとの接合部よりも上部側がプリント配線基板１３側に向けて屈曲し、上端部がプリント配線基板１３の接続端子１３ａに押圧されて当接している。接触ピン１２の上端部は、プリント配線基板１３に対し接触を維持しながら、上下左右に自由に移動できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
カラー５３の他のフランジ部５３ａは、段部５１よりわずかに上方に設けられ、例えば他のフランジ部５３ａの下面とカードホルダ４の上面との距離ｈ１が、段部５１とカードホルダ４の上面との距離ｈ２より数μｍ長くなっている。したがって、ボルト５２を締め付けても、補強部材３の外周部は鉛直方向にその分は固定されない。また、ガイド孔５０の段部５１より上部５０ａの平面視における長手方向の長さＸは、他のフランジ部５３ａの径Ｓよりも長くなっており、かつ、ガイド孔５０の段部５１より下部５０ｂの平面視における長手方向の長さＹは、支持部５３ｂの径Ｔ１よりも長くなっている。したがって、補強部材３自体の水平方向への膨張を許容する。さらに、他のフランジ部５３ａの径Ｓは、ガイド孔５０の下部５０ｂの平面視における長手方向の長さＹよりも長くなっており、補強部材３の浮き上がりが抑えられる。また、カラー５３の支持部５３ｂの径Ｔ１は、図４に示すように、ガイド孔５０の下部５０ｂの平面視における短手方向の長さＴ２よりわずかに（数μｍ）小さくなっている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
以上の実施の形態によれば、補強部材３の複数の接続部材３ｂに、ガイド孔５０が接続部材３ｂの厚み方向に貫通してそれぞれ形成され、ガイド孔５０の上部５０ａの長手方向の長さＸは、カラー５３の他のフランジ部５３ａの径Ｓより長く、かつ、下部５０ｂの長手方向の長さＹが支持部５３ｂの径Ｔ１よりも長いので、補強部材３自体の水平方向への膨張を許容する。また、カラー５３の他のフランジ部５３ａは、段部５１よりわずかに（数μｍ）上方に設けられているので、補強部材３の外周部は鉛直方向にその分は固定されない。したがって、ウェハＷの電気的特性を検査する際に、補強部材３の温度が昇温した場合でも、補強部材３を水平方向に膨張させることができ、補強部材３の鉛直方向の歪みを抑制することができる。これによって、補強部材３の下方に設けられた支持板１１の鉛直方向の歪みも抑制することができ、支持板１１に支持された複数のプローブ１０の高さを所定の高さに一定に維持することができる。したがって、検査時のプローブ１０とウェハＷの電極との接触を安定させることができるので、ウェハＷの電気的特性の検査を適正に行うことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
また、かかる実施の形態において、支持板１１の上面には、図６に示すように、支持板１１の水平方向の伸縮を案内するためのガイド溝７１を複数個所、例えば４箇所に形成してもよい。ガイド溝７１は、支持板１１の中心Ｐ’を円の中心とする同一円周上に、中心角が９０度おきに形成されている。ガイド溝７１は、平面視においてその長手方向の長さがガイドピン７２の径よりも長く形成され、短手方向の長さがガイドピン７２の径に適合するように形成されている。ガイド溝７１の長手方向の中心線Ｌ’は、支持板１１の中心Ｐ’を通っている。ガイド溝７１には、図７に示すように、プリント配線基板１３を厚み方向に貫通するガイドピン７２が挿入されている。ガイドピン７２は、プリント配線基板１３を厚み方向に貫通することで、水平方向に動かないように固定されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
このように、ガイド溝７１はその長手方向の長さがガイドピン７２の径よりも長く形成され、ガイド溝７１にはプリント配線基板１３によって水平方向に動かないように固定されたガイドピン７２が挿入されているので、支持板１１の温度が上昇した場合、支持板１１がガイド溝７１に案内されて膨張する。また、ガイド溝７１は、支持板１１の中心Ｐ’を円の中心とする同一円周上に、中心角が９０度おきに形成され、ガイド溝７１の長手方向の中心線Ｌ’が支持板１１の中心Ｐ’を通っているので、支持板１１をその中心位置を維持しつつ水平方向に膨張させることができる。これによって、支持板１１がウェハＷと実質的にほぼ同じ熱膨張率を有し、支持板１１がウェハＷとほぼ同様に水平方向に膨張するので、支持板１１に支持されたプローブ１０に対するウェハＷの電極の水平方向の位置が変わらず、プローブ１０をウェハＷの電極に適切に接触させることができる。