【手続補正書】
【提出日】平成23年8月4日(2011.8.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記ＦＯＵＰ移送手段を介して前記ＥＦＥＭと対向して設けられたＦＯＵＰを保管する対向ストッカを、さらに有し、
前記ＦＯＵＰ移送手段は、前記対向ストッカに保管された前記ＦＯＵＰをも前記ロードポートのＦＯＵＰ架台に移送することが可能である請求項１記載の半導体ウェハ搬送システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
従来の半導体ウェハ搬送システムは、図１１に示すように、ＯＨＴ（天井吊下搬送装置：Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）１０３のような搬送装置により搬送されたＦＯＵＰ（密閉ボックス（フープ）：ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇ
Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）１００をロードボード１０４まで移動させ、オープナ１０５を介してロボット１０６によりＦＯＵＰ１００内のウェハの受渡しを行っていた。このロードポート１０４やオープナ１０５を備えたＥＦＥＭ（ＥｑｕｉｐｍｅｎｔＦｒｏｎｔＥｎｄ
Ｍｏｄｕｌｅ）システム１０１は、処理装置１０８の前面部に設置されるようになっていた（例えば、特許文献１参照）。なお、図１１は、従来の半導体ウェハ搬送システムの概略図である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明のうち第２の態様に係るものは、第１の態様に係る半導体ウェハ搬送システムであって、ＦＯＵＰ移送手段を介してＥＦＥＭと対向して設けられたＦＯＵＰを収納する対向ストッカを、さらに有し、ＦＯＵＰ移送手段は、対向ストッカに収納されたＦＯＵＰをもロードポートのＦＯＵＰ架台に移送することが可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、ＦＯＵＰ移送手段を介してＥＦＥＭと対向してＦＯＵＰを保管する対向ストッカをストッカとは別に設けているので、半導体ウェハ処理装置により大量に処理する場合でも、ストッカ（ストッカおよび対向ストッカ）に十分な量のＦＯＵＰを保管できる。これにより生産効率を向上させることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
ロードポート７は、例えば特開２００４−３４９３２２号公報に示されているようにＦＯＵＰオープナ９と、ＦＯＵＰ架台１０とを有している。ＦＯＵＰオープナ９は、ＦＯＵＰ６の開閉蓋８を開閉するものであり、背面側（半導体ウェハ処理装置２側）に配設されている。ＦＯＵＰオープナ９は、駆動モータ（図示略）を備え、この駆動モータ（図示略）により上下方向に移動可能に構成されている。また、ＦＯＵＰオープナ９は、ＦＯＵＰ６に対向する面に、ＦＯＵＰ６の開閉蓋８を吸着する吸着部（図示略）が設けられているともに、係止ピン（図示略）が設けられている。一方、ＦＯＵＰ６の開閉蓋８には、ＦＯＵＰオープナ９の吸着部（図示略）に対応する位置に被吸着部（図示略）が形成されている。さらに、ＦＯＵＰ６の開閉蓋８には、ＦＯＵＰオープナ９の係止ピン（図示略）に対応する位置に被係止穴（図示略）が形成されている。そして、ＦＯＵＰ６の開閉蓋８を開ける際には、ＦＯＵＰオープナ９の吸着部（図示略）がＦＯＵＰ６の開閉蓋８の被吸着部（図示略）に吸着することで、ＦＯＵＰオープナ９とＦＯＵＰ６の開閉蓋８とが位置合わせされる。また、ＦＯＵＰ架台１０は、ＦＯＵＰ６を載置する台である。ＦＯＵＰ架台１０は、移動可能な載置台１１を備えており、この載置台１１には、ＦＯＵＰ６の底部に形成された凹部（図示略）と嵌合可能なピン（図示略）が備わっている。このＦＯＵＰ６底部の凹部（図示略）に載置台１１のピン（図示略）を嵌合することにより、載置台１１上のＦＯＵＰ６を常に一定方向に向けることができる。そして、ＦＯＵＰ６底部の凹部（図示略）と載置台１１のピン（図示略）とを嵌合させ、ロードポート６を駆動すると、載置台１１が移動し、載置台１１はＦＯＵＰ６をＦＯＵＰオープナ９が配設された位置に誘導する。なお、本実施形態では、ＦＯＵＰ架台１０に載置台１１が備えられている形態を用いて説明したが、これに限らず、載置台１１を備えていないＦＯＵＰ架台１０を用いてもよい。また、図１〜図４に示すように、このロードポート７のＦＯＵＰ架台１０は上述したストッカ３の真下に設けられている。換言すれば、ストッカ３は、ロードポート７のＦＯＵＰ架台１０の直上に設けられている。なお、「真上」は、厳密に真上である必要はなく、本発明の作用効果が奏する範囲で「略真上」であれば足りる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
アーム１２は、支持部材１３との連結点１５まわりに回転可能に連結され、回転駆動源（図示略）による回転力により支持部材１３まわりに水平方向に３６０度回転することができる。また、アーム１２は、先端にＦＯＵＰ６を把持する把持部１６を有している。この把持部１６がＦＯＵＰ６の被把持部２０１（図６参照）を把持することにより、ＦＯＵＰ６を持ち上げることができる。また、支持部材１３は、上下方向に伸縮可能で垂直方向に立脚している。ロボット移動レール１４は、ロードポート７に対し左右方向に延伸するよう構成し、支持部材１３の下端と嵌合する嵌合溝を有している。そして、支持部材１３が嵌合溝に沿ってロボット移動レール１４上をスライドすることにより、ＦＯＵＰ移送ロボット５（支持部材１３）はロボット移動レール１４の長手方向に移動可能となる。これにより、ＦＯＵＰ移送ロボット５によりＦＯＵＰ６を把持し、その把持されたＦＯＵＰ６を自由な位置に移動させることができる。なお、このＦＯＵＰ搬送ロボット５はＦＯＵＰ移送手段の一例であり、ＦＯＵＰ移送手段は、ＦＯＵＰ６を保持する保持部と、この保持部を回転及び昇降させる回転昇降ロボットと、この回転昇降ロボットを水平方向に移動させる移動手段を有するものであれば、すべて含まれる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
１  半導体ウェハ搬送システム
２  半導体ウェハ処理装置
３  ストッカ
４  ＥＦＥＭ
５  ＦＯＵＰ移送ロボット
６  ＦＯＵＰ
７  ロードポート
８  開閉蓋
９  ＦＯＵＰオープナ
１０  ＦＯＵＰ架台
１１  載置台
１２  アーム
１３  支持部材
１４  ロボット移動レール
１５  連結点
１６  把持部
１７  対向ストッカ
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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