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【手続補正書】
【提出日】平成21年7月17日(2009.7.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
脈管の遷移点であって、該脈管の遷移点において、脈管は、比較的大きな径の主枝と、比較的小さな径の側枝とを有し、該脈管の遷移点は主枝と側枝の間にある脈管の遷移点において使用される形状決めされた血管形成バルーンカテーテルにおいて、該カテーテルは、
ガイドワイヤを受け入れるようになった第１のルーメンと、膨張流体のための膨張および収縮路を提供するように構成された第２のルーメンとを有するカテーテルシャフトを含むカテーテル本体と、
前記第２のルーメンを通して印加される流体圧力によって収縮状態から比較的大きな径の膨張状態まで膨張可能なカテーテルの遠位端に位置決めされた二重径の単一バルーンと、を備え、前記二重径のバルーンは、膨張されたときに２つの異なる径の外側スキン輪郭を有し、前記二重径のバルーンは、第１の平均膨張径を備えた第１の近位セクションと、第２の平均膨張径を備えた第２の遠位セクションとを有し、前記二重径のバルーンの第２の平均膨張径は、第１の平均膨張径よりも小さく、前記二重径のバルーンの第１の近位セクションと第２の遠位セクションは、バルーン遷移セクションによって接合されており、膨張状態の前記バルーンの第１の径および第２の径および遷移セクションは、脈管の遷移点に位置決めされたときに脈管の損傷を低減させるように寸法形状決めされており、
前記バルーンの遷移セクションと整合している前記カテーテルシャフト上に位置決めされた少なくとも１つの放射線不透過性マーカをさらに備え、前記放射線不透過性マーカは、バルーンの膨張前にＸ線透視下で脈管の遷移点に血管形成術中に位置決めされ、
それによって、前記バルーンは、その膨張状態において、前記第１の近位セクションが側枝を占め、前記遷移セクションが脈管の遷移点に位置決めされるように位置決めされる、ことを特徴とする形状決めされた血管形成バルーンカテーテル。
【請求項２】
現場で形状決めされた二重径ステントを、比較的大きな径の主枝と、比較的小さな径の側枝と、主枝と側枝の間の遷移点とを有する脈管に設置するためのステント配給システムにおいて、該ステント配給システムは、
ガイドワイヤを受け入れるようになった第１のルーメンと、膨張流体のための膨張および収縮路を提供するように構成された第２のルーメンとを有するカテーテルシャフトを含むカテーテル本体と、
前記第２のルーメンを通して印加される流体圧力によって収縮状態から比較的大きな径の膨張状態まで膨張可能なカテーテルの遠位端に位置決めされた二重径の単一バルーンと、を備え、前記二重径のバルーンは、膨張されたときに２つの異なる径の外側スキン輪郭を有し、前記二重径のバルーンは、第１の平均膨張径を備えた第１の近位セクションと、第２の平均膨張径を備えた第２の遠位セクションとを有し、前記二重径のバルーンの第２の平均膨張径は、第１の平均膨張径よりも小さく、前記二重径のバルーンの第１の近位セクションと第２の遠位セクションは、バルーン遷移セクションによって接合されており、膨張状態の前記バルーンの第１の径および第２の径および遷移セクションは、それぞれ、主枝、側枝、および遷移点内に位置決めされるように寸法形状決めされており、
前記バルーンの遷移セクションと整合している前記カテーテルシャフト上に位置決めされた少なくとも１つの放射線不透過性マーカをさらに備え、前記放射線不透過性マーカは、バルーンの膨張前にＸ線透視下で脈管の遷移点に血管形成術中に位置決めされ、
収縮状態で、前記バルーン上に嵌合されかつ前記バルーンによって支持された膨張可能なステントをさらに備え、前記放射線不透過性マーカが脈管の遷移点に位置決めされた後に前記バルーンをその膨張状態に膨張させることによって、前記ステントを現場で脈管の主枝、側枝、および遷移点に位置決めされた二重径の形状に成形する、ことを特徴とするステント配給システム。
【請求項３】
遷移点を有する血管であって、該遷移点において、血管は、比較的大きな比較的大きな径の主枝と、比較的小さな径の側枝とを有し、該遷移点は、主枝と側枝の間にある血管を治療する方法において、該方法は、
ガイドワイヤを受け入れるようになった第１のルーメンと、膨張流体のための膨張および収縮路を提供するように構成された第２のルーメンとを有するカテーテルシャフトを含むカテーテル本体と、前記第２のルーメンを通して印加される流体圧力によって収縮状態から比較的大きな径の膨張状態まで膨張可能なカテーテルの遠位端に位置決めされた二重径の単一バルーンと、を備えるカテーテルであって、前記二重径のバルーンは、膨張されたときに２つの異なる径の外側スキン輪郭を有し、前記二重径のバルーンは、第１の平均膨張径を備えた第１の近位セクションと、第２の平均膨張径を備えた第２の遠位セクションとを有し、前記二重径のバルーンの第２の平均膨張径は、第１の平均膨張径よりも小さく、前記二重径のバルーンの第１の近位セクションと第２の遠位セクションは、バルーン遷移セクションによって接合されており、膨張状態の前記バルーンの第１の径および第２の径および遷移セクションは、脈管の遷移点に位置決めされたときに血管の損傷を低減させるように寸法形状決めされており、前記カテーテルは、前記バルーンの遷移セクションと整合している前記カテーテルシャフト上に位置決めされた少なくとも１つの放射線不透過性マーカをさらに備え、前記放射線不透過性マーカは、バルーンの膨張前にＸ線透視下で血管の遷移点に血管形成術中に位置決めされるカテーテルを準備し、
心臓血管ステントを、前記バルーンとその収縮状態において上に重なって接触するように取り付け、
前記放射線不透過性マーカが血管の遷移点に位置決めされるまでＸ線透視下で血管の遷移点に血管形成術中に血管を通して前記カテーテルおよび前記ステントを前進させ、
前記第２のルーメンを通して膨張圧力を印加してバルーンを膨張させ、それによって、前記バルーンの第１の近位セクション、第２の遠位セクション、および遷移セクションを、それぞれ、血管の主枝、側枝、および遷移点の内部に膨張させることを含み、
それによって、前記第２のルーメンを通して膨張圧力を印加してバルーンを膨張させることによって、ステントを現場で、バルーンの遷移セクションが血管の遷移点に位置決めされたときに血管の損傷を低減させるように寸法決めされた形状に成形する、ことを特徴とする方法。
【誤訳訂正書】
【提出日】平成21年10月6日(2009.10.6)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  空気呼吸動物の肺に、ガス状過分極磁気共鳴イメージング剤の診断的有効量を投与し、肺における該イメージング剤からの磁気共鳴シグナルを検出し、当該肺における１以上の対象領域に対応するシグナルの緩和速度の時間的変化を決定することによって、その変化から、１以上の対象領域における酸素濃度を示すイメージ又は定性的もしくは定量的数値及び所望により当該濃度の時間依存性を得ることを含む、空気呼吸動物の肺からの酸素摂取の領域的変化を検出する方法の実施を含む診断又は治療に使用するための過分極イメージング剤の製造のための、3Ｈｅ又は他のＭＲ活性核の使用。
【請求項２】  該過分極剤が3Ｈｅを含む、請求項１記載の使用。
【請求項３】  該磁気共鳴シグナルの検出が、肺へのガス流入又は流出が実質的にない少なくとも１秒の期間内に行なわれる、請求項１記載の使用。
【請求項４】  該対象領域が肺胞空間を含む、請求項１記載の使用。
【請求項５】  該対象領域を含む肺の少なくとも一部の時間的及び／又は空間的ＭＲイメージも得られる、請求項１記載の使用。
【請求項６】  該時間的及び／又は空間的イメージが該過分極剤からの磁気共鳴シグナルから構成される、請求項５記載の使用。
【請求項７】  該磁気共鳴シグナルが、２種以上の異なるタイプの磁気共鳴イメージングシークエンスで検出される、請求項１記載の使用。
【請求項８】  該シークエンスのタイプが、放射を刺激する磁気共鳴シグナルの強度で異なる、請求項７記載の使用。
【請求項９】  該シークエンスのタイプがシークエンス時間で異なる、請求項７記載の使用。
【請求項１０】  該シークエンスのタイプが交互に代わる、請求項７記載の使用。
【請求項１１】  該磁気共鳴シグナル検出が、２秒未満のイメージ獲得時間を持つイメージングシークエンスで行なわれる、請求項１記載の使用。
【請求項１２】  該磁気共鳴シグナル検出が、７°未満のフリップ角の負荷を含むイメージングシクエンスで行なわれる、請求項１記載の使用。
【請求項１３】  該過分極剤がボラス注射で投与される、請求項１記載の使用。
【請求項１４】  該過分極剤が１〜１０００ｍｌのボラス注射で投与される、請求項１記載の使用。
【請求項１５】  一次磁場強度が０．０５〜８Ｔ、好ましくは０．０５〜３．５Ｔの範囲にあるＭＲイメージ機器を該磁気共鳴シグナルの検出に使用する、請求項１記載の使用。
【請求項１６】  該イメージの獲得時間が秒未満の域である、請求項１乃至請求項１５のいずれか１項記載の使用。
【請求項１７】  該イメージが、グラジエント・リコール・エコー・イメージング、エコー・プラナー・イメージング、ターボ・スピン・エコー・イメージング及び投影技術に基づくイメージングからなる群から選択される方法で作成される、請求項１乃至請求項１６のいずれか１項記載の使用。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３３】
肺胞毛細血管単位に吸い込まれる酸素濃度は、死腔容積のため、一回の吸息につき一定とはならない。そのため、平均吸息濃度は、死腔容積の測定に基づき（3Ｈｅによる気道イメージングから；図２参照）、そして、口内に投与される吸息濃度から計算され得る。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３４】
領域換気は、一回ボラスの過分極化ガスが吸引後の、気管およびこれと平行して肺胞空間における過分極シグナルの経時的変化の定量的分析により測定される。この分析は、物質収支に基づいて行われ、それによって、機能的残気量と一連の死腔容積を全体的および領域的に求めることができる。これらシグナルの変化は、幾つかの呼吸サイクルにおいて、超高速パルスシーケンス（例えば、時間的分解能＜１５０ｍｓ）および低フリップ角（図２および３）により測定できる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３６】
本発明の方法に使用する好ましいＭＲＩシーケンスは、以下のものである。
−酸素分圧測定、小フリップ角を伴うショート・レピティション・タイム・グラジエント・リコール・エコー・シークエンス
−換気の測定、小フリップ角を伴うウルトラ・ショート・レピティション・タイム（＜２ｍｓ）・グラジエント・リコール・エコー・シークエンス、またはエコー・プラナー・パルス・シークエンス、または低フリップ角およびフリー・インダクション・デケイ（free induction decay）を用いる超高速シークエンス。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３８】
長期的な磁性の減衰および現在のシグナル強度により、任意のｍｒ獲得が生じ、以下の関数が導かれる。
【数５】
2002511329.tif 000001
［式中、ｎは、イメージ獲得の数であり、ｒは、獲得されたイメージあたりの無線周波数インパルス（ライン）の数であり、そして、ａは、獲得体積における3Ｈｅの核スピン分極の各連続的無線周波数インパルスにより課されるフリップ角である］
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４８】
肺組織による緩和速度の上昇は、3Ｈｅ緩和速度に対する全体的寄与に二次的な役割を果たすが、異なる組織や異常が緩和速度に対して異なる作用をもつように、その作用は一様ではない。従って、緩和速度に対する酸素の寄与を、対象の肺と同じ場グラジエント変化を受けるファントムを単に参照することによって評価しないことが好ましい。ファントムの使用は、3Ｈｅの分散する容積での適用場における非均一性からも同様に好ましくない。従って、緩和速度に対する酸素の寄与は、少なくとも２つの異なるタイプのシグナル生成（例えば、交互に異なるシークエンスで）の際のｍｒシグナル検出によって行うのが好ましい。例えば、異なるシークエンスは、異なるＲＦ励起強度および／または異なるシークエンス間隔（τ）を含んでいてもよい。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７８】
生理学と一致して、初期（開始）酸素濃度は、吸込む空気よりも肺の機能的残気量（ＦＲＣ）において、より低下いことがわかった。
【誤訳訂正書】
【提出日】平成21年8月21日(2009.8.21)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
仕切り板プレート８４は、リテイナープレート８６の側面および底部周囲に沿って、周囲リッジ（図示せず）に固着されて、電気泳動ゲル（図示せず）を保持するための内部ゲル隔室８８を規定する。ゲル隔室８８は、電気泳動的に分離すべき試料を受容するためのカセットの上部にて、コーム開口部（ｃｏｍｂ ｏｐｅｎｉｎｇ）９０を有する。開口部９２は、仕切り板プレート８４の下部に沿って位置し、ゲルカセット１６および１８の各々の横幅を横断しており、開口部９２は、ゲル隔室８８を、このカセットの外部へ開く。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２４】
本願に適切なゲルカセットは、当該技術分野で公知である。典型的なゲルカセットでは、ゲルは、取り扱いを簡単にするために、この内部ゲル隔室内に予め充填されている。コーム開口部９０は、コーム（ｃｏｍｂ）（図示せず）で閉じられ、そして開口部９２は、取り外し可能テープ（図示せず）で閉じて遮蔽される。本願に適切なゲルカセットの一例には、Ｎｏｖｅｌ Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ（Ｓａｎ Ｄｉｅｇｏ，Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ）から販売されている１２％ Ｔｒｉｓ−グリシンゲル（Ｃａｔａｌｏｇ Ｎｏ．ＥＣ６００５）がある。類似の型のゲルカセットもまた、他の企業から市販されている。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２７】
ゲルカセット１６および１８の使用前に、このコーム（図示せず）およびテープ（図示せず）は、取り除かれる。分析される試料は、適切な手段（例えば、ピペット）により、コーム開口部９０を通って、ゲル隔室８８へと導入される。バッファコアアセンブリ２４は、次いで、容器１２の内側のライザー１０４（その１個は、図５で示されている）上に載せるために、容器１２の上部から、壁溝４４および４６へと滑り可能に挿入される。ライザー１０４は、バッファコアアセンブリ２４を上昇させて、第一緩衝液がバッファコアアセンブリ２４の前側および後側の下側を通過してそれらを取り囲むことができるようにする。バッファコアアセンブリ２４は、次いで、ゲルカセット１８の側面リッジ１０２が、垂直リッジ４８および５０と一致して整列し、もたれるように、容器１２の前壁２６に向かって移動される。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４０】
適用の際には、バッファコアアセンブリ２４およびカム装置２２は、まず、上記の様式で、容器１２内に固定される。第一緩衝液は、ゲルカセット１６および１８のコーム開口部９０の上で、上部バッファチャンバ５２に分配されて、これらのゲル隔室内のゲルとの流体接触を確立する。第二緩衝液は、次いで、そのレベルが、大体、ビーム６４のレベルになるまで、容器１２に導入される。蓋２０は、次いで、容器１２の前部の上に位置づけられ、その導体ケーブルは、電源システムまたは荷電手段（図示せず）に装着されて、電気泳動が開始する。
【誤訳訂正書】
【提出日】平成21年6月8日(2009.6.8)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】発明の詳細な説明
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の詳細な説明】
（１）  明細書第７頁第３行の「交換可能土壌カルシウム」を「置換性土壌カルシウム」と補正する。
（２）  明細書第７頁第３〜４行の「交換可能土壌Ｍｇ」を「置換性土壌Ｍｇ」と補正する。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月5日(2008.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温室効果ガス（ＧＨＧ）を排出する施設を有する複数の会員からの総ＧＨＧ排出量を削減するためのコンピュータで実行される方法であって、現在の期間中に該会員が排出することが許可されている該ＧＨＧ量及び複数の将来の期間中に許可されると見込まれる量が、予め選択されたスケジュールに従って第三者により決定され、該会員についての排出許可枠情報はその会員の口座に保持される方法において、
発行会員が、将来の期間中に排出可能なＧＨＧ量の見込まれる割当について、支払い会員からの支払いを受けたとき、該発行会員の口座に、該見込まれる割当の将来の期間を特定する交付条件付許可枠引換証券情報を記録するステップと、
該支払い会員の口座に、該割当の期間及び該発行会員を特定する交付条件付許可枠情報を記録するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
支払いを受ける前に、前記第三者は、前記発行会員が支払いを受けることができ、交付条件付許可枠情報を発行することができるという認可情報を与えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
発行会員の認可は、信用度又はその会員の前記交付条件付許可枠情報による前記将来許可枠情報におけるその会員の譲渡能力のうちの少なくとも１つを含む基準に基づくものであることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記交付条件付許可枠情報及び前記交付条件付許可枠引換証券は、全会員について標準であるデータ項目を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
交付条件付許可枠引換証券情報を、少なくとも１会員の第１の会員の前記口座から、少なくとも１会員の第２の会員の前記口座に譲渡するステップを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
受け取り会員が前記第三者から、現在の期間中に排出許可されるＧＨＧ量の割当を受け取ったとき、前記ＧＨＧの許可量を含む現在許可枠情報を該受け取り会員の口座に記録するステップを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記現在許可枠情報は、全会員について標準であるデータ項目を含むことを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
少なくとも１つの交付条件付許可枠引換証券情報は、所定の時間後失効し、前記支払いは、前記発行会員により決定されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
交付条件付許可枠引換証券情報を保持する口座を有する引換会員からの引換要求を、前記交付条件付許可枠引換証券情報により特定される前記発行会員に指示するステップと、
引き換えられようとしている前記交付条件付許可枠引換証券情報が、前記発行会員の口座に保持される交付条件付許可枠情報と一致する場合にのみ、前記発行会員の口座に保持される前記現在許可枠情報を、前記発行会員の口座から、前記引換会員の口座に譲渡するステップと、
を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
譲渡の前に、その会員が、前記現在の期間中に排出許可されたＧＨＧ量の割当を受け取ったとき、前記保持会員の口座に現在許可枠情報を記録することを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
すべての譲渡及び支払いを中央規制機関に報告するステップ、又は前記引換会員が前記割当期間中に引換要求を指示することを可能とするステップを更に含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
温室効果ガス（ＧＨＧ）を排出する施設を有する複数の会員からの総ＧＨＧ排出量を削減するためのコンピュータシステムであって、現在の期間中に該会員が排出することが許可されている該ＧＨＧ量及び複数の将来の期間中に許可されると見込まれる量が、予め選択されたスケジュールに従って第三者により決定されるシステムにおいて、
会員についての排出許可枠情報がその会員の口座に記録される口座と、
発行会員が、将来の期間中に排出可能なＧＨＧ量の見込まれる割当について、支払い会員からの支払いを受けたとき、該発行会員の口座に、該見込まれる割当の将来の期間を特定する交付条件付許可枠情報を記録し、該支払い会員の口座に、該割当の期間及び該発行会員を特定する交付条件付許可枠引換証券情報を記録することにより、該口座を更新するソフトウエアによって構成されるコンピュータと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１３】
前記ソフトウエアは更に、前記交付条件付許可枠引換証券記録を、少なくとも１会員の第１の会員の前記口座から、少なくとも１会員の第２の会員の前記口座に譲渡することにより前記口座を更新することを特徴とする請求項１２に記載のコンピュータシステム。
【請求項１４】
前記ソフトウエアは更に、受け取り会員が、前記現在の期間中に排出許可されるＧＨＧ量の割当を受け取ったとき、前記ＧＨＧの許可量を含む現在許可枠記録を該受け取り会員の口座に記録することにより前記口座を更新することを特徴とする請求項１３に記載のコンピュータシステム。
【請求項１５】
前記ソフトウエアは更に、交付条件付許可枠引換証券情報を保持する口座を有する引換会員からの引換要求を、前記交付条件付許可枠引換証券情報により特定される前記発行会員に指示し、引き換えられようとしている前記交付条件付許可枠引換証券情報が、前記発行会員の口座に保持される交付条件付許可枠情報と一致する場合にのみ、前記発行会員の口座に保持される前記現在許可枠情報を、前記発行会員の口座から、前記引換会員の口座に譲渡することにより、前記口座を更新することを特徴とする請求項１４に記載のコンピュータシステム。
【請求項１６】
すべての譲渡及び支払いを中央規制機関に報告するため、又は前記引換会員が前記割当期間中に引換要求を指示することを可能とするためのコンピュータを更に含むことを特徴とする請求項１５に記載のコンピュータシステム。
【請求項１７】
交付条件付許可枠記録、交付条件付許可枠引換証券記録、及び前記現在許可枠記録の各々は、すべての会員について標準であるデータ項目を含むことを特徴とする請求項１５に記載のコンピュータシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成21年9月1日(2009.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜型変換素子の製造方法であって、
所定パターンを有するフォームを作成するステップと、
前記フォームの前記パターン上に金属層を堆積して、連続する別個の金属の変換素子を前記フォーム上に作成するステップと、
前記堆積させた金属の変換素子を前記パターンから取り外すステップと、
前記膜型変換素子を磁界に近接配置するステップと
を含む方法。
【請求項２】
前記所定パターンは周期パターンである、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記所定パターンは非周期パターンである、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記金属はアルミニウムである、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
所定パターンを有するフォームに膜型変換素子を形成する方法であって、
前記フォームの前記所定パターン上に材料を堆積して、連続する別個の変換素子を前記所定パターンの形状で作成するステップを含む方法。
【請求項６】
前記材料は、前記パターン上に堆積される第１の層と、前記第１の層上に堆積される第２の層とを含む、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記材料は、前記第２の層上に堆積される第３の層を含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記第１、第２、および第３の層は、アルミニウム、金、およびこれらの混合物の１つを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第２の層は前記第１の層よりも厚い、請求項６に記載の方法。
【請求項１０】
前記所定パターンは波形状の周期パターンである、請求項５に記載の方法。
【請求項１１】
前記所定パターンは波形状の非周期パターンである、請求項５に記載の方法。
【請求項１２】
前記フォームは溶融材料から作られる、請求項５に記載の方法。
【請求項１３】
前記フォームは蝋状材料から作られる、請求項５に記載の方法。
【請求項１４】
前記フォームは、各々が対応する所定パターンを有する第１の半体フォームと第２の半体フォームとを含み、
前記材料は、前記第１の半体フォームと前記第２の半体フォームとの間に挟まれる、請求項５に記載の方法。
【請求項１５】
変換器用リボンを製造する方法であって、
所定リボンパターンを有するフォームを与えるステップと、
前記所定リボンパターン上にリボン形成材料の第１の層を堆積するステップと、
リボン形成材料の前記第１の層上にリボン形成材料の第２の層を堆積するステップと
を含み、
リボン形成材料の前記第１の層および前記第２の層は金属である方法。
【請求項１６】
前記フォームは、各々が対応する所定リボンパターンを有する第１の半体フォームと第２の半体フォームとを含み、
前記第１および第２のリボン形成材料は、前記第１の半体フォームと前記第２の半体フォームとの間に挟まれる、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
リボン形成材料の第２の層上に、リボン形成材料の第３の層が堆積される、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
前記所定パターンは、波形状の周期パターンおよび非周期パターンの１つである、請求項１５に記載の方法。
【請求項１９】
前記第１および第２の半体フォームは、蝋状材料および溶融材料の１つである、請求項１６に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図１１ａは、予め定められたリボン形状面パターン９２を有するリボン用フォーム９０の断面図である。このフォーム９０は、アルミニウムなどの金属の蒸着やめっきをサポートしうる蝋状材や溶融可能な材料で作成される。図１１ｂは、アルミニウム９４の層が堆積しているリボンフォーム９０の断面図である。このアルミニウムの厚さは一般に約１／４ミクロンから約４ミクロンである。１より多くの層（図示せず）をフォーム９０の表面に堆積させてもよい。これらの層は同じ材料でもよいし、異なる機械特性と電気特性を有する異なる材料でもよい。例えば、金の第１の層を堆積してから、アルミニウムの厚い第２の層、その後に金かこれらの混合物の第３の層を堆積してもよい。金の層は非常に薄くてもよく、例えば数百ナノメートルのオーダーである。アルミニウムの層は、例えば５００ｎｍから約３０００ｎｍであり、必要なサイズ、所望の導電性、設計上許容しうる大きさに応じてこれ以上またはこれ以下でもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成20年11月25日(2008.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
400 ppm超の非錯体二価カチオンを含む乳の中の、又は、400 ppm超の非錯体二価カチオン及び乳にpH 6.2未満を与える量の酸を含む乳の中のタンパク質を安定させ且つタンパク質の凝固を予防する方法であって、
ａ）親水コロイド混合物の総重量に基づき少なくとも0.2％のカラギーナン及び／又はゲランと、二価カチオン及び前記酸の少なくとも１つとを含む親水コロイド混合物として、0.0005〜0.1％のカラギーナン及び／又はゲランを乳へ添加して、溶液又は分散物を得ること；
ｂ）2〜120秒間、120〜150℃で前記乳を加熱することによって、前記溶液又は分散物からのタンパク質を少なくとも部分的に沈殿させること；
ｃ）工程ｂ）の混合物を100℃より下に冷やすこと；及び
ｄ）沈殿物にせん断又は伸長を与えて、安定させた二価カチオンタンパク質溶液又は分散物を得ること
の工程を含む方法。
【請求項２】
工程ｂ）において、前記溶液又は分散物からのタンパク質が完全に沈殿される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
乳中のタンパク質の凝固を予防するために、600 ppm超の二価カチオンを含む、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
工程ａ）において、Ca2+及び/又はMg2+のラクテート及び/又はグルコネート及び/又はラクトビオネートが添加される、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
ホモジナイジングが、50バール以上の圧力下で行われる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記親水コロイドが、加工でんぷん、デキストリン、マルトデキストリン、カルボキシメチルセルロース(CMC)、ペクチン、グアー、ローカストビーンガム、キサンタン及びトラガントガムから選択される化合物をさらに含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
せん断又は伸長が、ホモジナイザーにおいて実行される、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
400 ppm超の二価カチオン及び／又は乳にpH 6.2未満を与える量の酸からなる凝固剤を含む、安定された凝固剤含有乳。
【請求項９】
前記乳が、600 ppm超のCa2+イオンを含む牛乳又は豆乳である、請求項８の安定された凝固剤含有乳。
【請求項１０】
安定された凝固剤含有乳がネコ用乳である、請求項８〜９のいずれか一項に記載の前記乳。
【請求項１１】
スプレー乾燥工程において、請求項８〜１０のいずれか一項に記載の前記乳を使用する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
400 ppm超の非錯体二価カチオンを含む乳の中の、又は、400 ppm超の非錯体二価カチオン及び乳にpH 6.2未満を与える量の酸を含む乳の中のタンパク質を安定させ且つタンパク質の凝固を予防する方法であって、
ａ）親水コロイド混合物の総重量に基づき少なくとも0.2％のカラギーナン及び／又はゲランと、二価カチオン及び前記酸の少なくとも１つとを含む親水コロイド混合物として、0.0005〜0.1％のカラギーナン及び／又はゲランを乳へ添加して、溶液又は分散物を得ること；
ｂ）2〜120秒間、120〜150℃で前記乳を加熱することによって、前記溶液又は分散物からのタンパク質を少なくとも部分的に沈殿させること；
ｃ）工程ｂ）の混合物を100℃より下、好ましくは40℃より下に冷やすこと；及び
ｄ）沈殿物にせん断又は伸長を与えて、安定させた二価カチオンタンパク質溶液又は分散物を得ること
の工程を含む方法を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
３．乳＋20％カルシウム＋0.02％カラギーナン
16 kgのラクターゼ処理されたネコ用乳に、28.7 gの乳酸カルシウムが添加された。pHが6.7に設定された。引き続き、該乳は75℃に加熱され、そして181.5 gのプレミックス及び3.2 gのカラギーナンが添加された。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
７．ラクターゼ処理された乳＋40％カルシウム
20 kgのラクターゼ処理されたネコ用乳に、71.8 gの乳酸カルシウムが添加された。pHが6.7に設定された。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月5日(2008.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷凍システムと、
第１及び第２のリードと、
極低温温度に維持されるように前記冷凍システムに熱的に接続され、かつ前記第１及び第２のリードの端部にそれぞれ接続した対向する端子を有し、超電導体材料から製造される漏電制限構成要素と、
を備え、該超電導体材料は、第ＩＩ種超電導体材料である複数の超電導体粒子と該超電導体粒子の近傍の第Ｉ種超電導体材料である金属と含み、該超電導粒子によって超電導状態に駆動されて、前記第１のリードから前記第２のリードへの超電導経路を形成することを特徴とする漏電制限システム。
【請求項２】
前記超電導体粒子は、二ホウ化マグネシウムであり、前記金属は、ガリウムであることを特徴とする請求項１に記載の漏電制限システム。
【請求項３】
前記漏電制限構成要素は、蛇行超電導経路を形成することを特徴とする請求項１に記載の漏電制限システム。
【請求項４】
前記漏電制限構成要素には、蛇行超電導経路を形成する複数の交互スリットが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の漏電制限システム。
【請求項５】
前記スリットは、３次元蛇行経路が形成されるような方法で形成されることを特徴とする請求項４に記載の漏電制限システム。
【請求項６】
前記漏電制限構成要素は、各々に複数の交互スリットが形成された複数のプレートを含むことを特徴とする請求項１に記載の漏電制限システム。
【請求項７】
前記漏電制限構成要素と並列に前記第１及び第２のリードの間に接続されたインピーダンスを有する分路を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の漏電制限システム。
【請求項８】
前記冷凍システムは、前記第１及び第２のリードが延びて入る極低温筐体と、該極低温筐体内に位置する極低温流体と、該極低温流体を極低温温度に維持するために該極低温筐体に接続された冷凍モジュールとを含み、前記漏電制限構成要素は、該極低温流体内に位置していることを特徴とする請求項１に記載の漏電制限システム。
【請求項９】
第１の極低温流体が第２の極低温流体よりも温度が低い第１及び第２の極低温流体を含み、前記漏電制限構成要素は、該第１の極低温流体に位置しており、前記第１及び第２のリードは、各々が高温超電導体区分及び金属区分を含む混成リードであり、該高温超電導体区分の下端は、該第１の極低温流体に位置しており、該高温超電導体区分の上端及び該金属区分の下端は、該第２の極低温流体に位置していることを特徴とする請求項１に記載の漏電制限システム。
【請求項１０】
少なくとも１５Ｋの温度でｎ値が少なくとも１５である超電導体材料から製造されることを特徴とする請求項１に記載の漏電制限システム。
【手続補正書】
【提出日】平成20年12月12日(2008.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
標準医療ルーア先端を有する第１医療機器と第２医療機器の間で流体の流速を速くする医療用コネクタであって、前記医療用コネクタが、
前記第２医療機器を受容するように構成される上流端部と、前記第１医療機器を受容するように構成される下流端部と、外面と、前記第１医療機器と接合する接合部と、環状面を区画するベース部材と、前記上流端部から前記ベース部材の環状面まで延びる上部ハウジングキャビティと、前記環状面から前記上流端部に延びる内部カニューレとを含むハウジングであって、前記上流端部がほぼ円状で、剛性で、連続的な周辺部を有する、前記ハウジングと、
第１側壁と前記第１側壁に対向する第２側壁を含むバルブ部分を有する可撓性部材であって、前記バルブ部分が前記第１側壁と対向する第２側壁の間の距離により定義される幅を有し、前記第１側壁と第２側壁が下流方向に向かって分岐し前記バルブ部分の幅が前記バルブ部分の全長に沿って下流方向に向かって増加し、前記バルブ部分は前記接合部に連結し流体が通過される通路をさらに含み、前記通路は前記第２医療機器を受容するように構成される、前記可撓性部材と、
を備え、
前記第２医療機器の一部が前記通路の上流端部に十分に挿入された際に、前記第２医療機器の端部と前記内部カニューレの上流端部との距離が前記第２医療機器の端部の直径とほぼ同じである、医療用コネクタ。
【請求項２】
前記医療用コネクタは、通過する流体の流れを選択的に妨げられない非乱流とするように構成される、請求項１に記載の医療用コネクタ。
【請求項３】
前記通路は、通過する妨げられない流体の流れを選択的に少なくとも約６００ｃｍ3／分以上の流速とするよう構成される、請求項１に記載の医療用コネクタ。
【請求項４】
前記医療用コネクタが、砂時計形をしている、請求項１に記載の医療用コネクタ。
【請求項５】
前記ハウジングは、第１ハウジング部分と前記第１ハウジング部分と連結する第２ハウジング部分を備える、請求項１に記載の医療用コネクタ。
【請求項６】
前記ハウジングの前記上流端部と下流端部は、ほぼ同軸上に配置され、前記医療用コネクタでほぼ直線の流体経路が形成される、請求項１に記載の医療用コネクタ。
【請求項７】
前記ハウジングのほぼ円状で、剛性で、連続的な前記周辺部が、前記ハウジングの上流端部から下流端部に延びる、請求項１に記載の医療用コネクタ。
【請求項８】
前記内部カニューレが、前記環状面と前記ハウジングの上流端部に最も近い内部カニューレの端部との距離により定義される高さを有する、請求項１に記載の医療用コネクタ。
【請求項９】
前記第２医療機器の一部が前記通路の上流端部に十分に挿入された際に、前記第２医療機器の端部と前記内部カニューレの上流端部との距離が、前記内部カニューレの高さより小さい、請求項８に記載の医療用コネクタ。
【請求項１０】
前記第２医療機器の一部が前記通路の上流端部に十分に挿入された際に、前記第２医療機器の端部と前記内部カニューレの上流端部との距離が、前記内部カニューレの高さの半分より小さい、請求項８に記載の医療用コネクタ。
【請求項１１】
前記可撓性部材は把持部分をさらに含む、請求項１に記載の医療用コネクタ。
【請求項１２】
前記把持部分は前記バルブ部分と一体形成される、請求項１１に記載の医療用コネクタ。
【請求項１３】
前記把持部分は、前記ハウジングの外面のほぼ全体の上に配置され、把持に適する物質からなる、請求項１２に記載の医療用コネクタ。
【請求項１４】
前記バルブ部分は、前記第２医療機器が前記医療用コネクタに挿入される際に妨げられず直線の流路を形成する、請求項１に記載の医療用コネクタ。
【請求項１５】
前記第１側壁と第２側壁が、少なくとも前記バルブ部分がほぼ閉鎖状態となる際に、前記バルブ部分の上流端部で密着領域を形成する、請求項１に記載の医療用コネクタ。
【請求項１６】
前記第１側壁と第２側壁の間の密着領域が前記医療用コネクタが開放しやすいように比較的に小さい、請求項１５に記載の医療用コネクタ。
【請求項１７】
前記通路は、前記バルブ部分がほぼ閉鎖状態となる際に非ゼロの容積を有する、請求項１に記載のコネクタ。
【請求項１８】
前記バルブ部分が、前記第２医療機器が前記通路の上流端部から取り外されると、多量の流体が前記通路を通って下方へ余儀なく流れるように構成される、請求項１記載の医療用コネクタ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】医療用コネクタ
【手続補正書】
【提出日】平成21年2月18日(2009.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
湿式空気清浄機であって、
その上面に空気吸入口が形成され、その側面に少なくとも１つの空気排出口が形成され、その内部に洗浄水を貯留するハウジングと、
回転軸に固定的に取り付けられ、その上側に散水器が一体化され、供給された洗浄水を散水しながら、前記空気吸入口から吸入した空気を下方へ送る送風ユニットと、
前記ハウジング内に貯留されている洗浄水を前記散水器に供給する給水ユニットとを備え、
前記空気吸入口から吸入した空気に前記洗浄水を吹付けて接触させることによって、前記空気中の異物を前記洗浄水に吸着させ、
前記送風ユニットの下方に設置され、その一部が前記洗浄水中に浸され、前記洗浄水を吸い上げて前記ハウジング内に散水する浄化ユニットをさらに備え、
前記浄化ユニットは、
その下端が洗浄水中に浸され、上側から下側に向かうにつれて狭くなるじょうご状の形状を有する内側ガイド部と、
前記内側ガイド部の上端に接続された水噴射ノズルと、
前記回転軸に取り付けられ、前記空気を下方へ送る送風機と、
前記内側ガイド部の外側に離間して設けられ、前記送風機によって下方に送られた空気と前記水噴射ノズルから噴射された洗浄水とを前記ハウジング内に貯留されている前記洗浄水中に流入させる間隙を前記内側ガイド部との間に有する外側ガイド部とを含むことを特徴とする湿式空気清浄機。
【請求項２】
請求項１に記載の湿式空気清浄機であって、
前記送風ユニットの下方に設置され、前記送風ユニットから散水された後に落下した前記洗浄水を二次的に散水する散水ユニットをさらに備えることを特徴とする湿式空気清浄機。
【請求項３】
請求項２に記載の湿式空気清浄機であって、
前記散水ユニットは、
前記回転軸に固定的に取り付けられ、上部が開放された円筒状の形状を有しその周面に多数の放出孔が形成されたドラムと、
前記ハウジングの内側の側壁に前記ドラムの上方に向かって斜めに延設された捕集部材とを含むことを特徴とする湿式空気清浄機。
【請求項４】
請求項１に記載の湿式空気清浄機であって、
前記給水ユニットは、
前記ハウジングの下端部から前記送風ユニットの上方の位置まで延びた給水管と、
前記洗浄水を揚水すべく、前記給水管の一側に取り付けられたポンプとを含むことを特徴とする湿式空気清浄機。
【請求項５】
請求項１に記載の湿式空気清浄機であって、
前記ハウジングは、
前記空気排出口の下端から外側に突出し、所定の角度で上方に傾斜して延設された凝縮部をさらに含み、
前記空気排出口に到達した前記洗浄水が前記凝縮部で凝縮して、再び前記ハウジングの内側に落下するように構成されたことを特徴とする湿式空気清浄機。
【請求項６】
請求項２に記載の湿式空気清浄機であって、
前記空気排出口は、
前記散水ユニットと前記浄化ユニットとの間に位置するように、前記ハウジングの側面に形成されたことを特徴とする湿式空気清浄機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
貯水部６５の中央には、回転軸５８が挿入される開口部が形成されており、前記開口部から外周方向にかけては、高さが次第に低くなる傾斜面６１が形成されている。この傾斜面６１の存在により、ファン本体６２の中央部に落下した洗浄水が、貯水部６５の周辺部分に滑り落ちるので、洗浄水をファン本体６２の半径方向に散水することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2008518777.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月27日(2009.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の１つの態様において、構造式：
【化２】
2008518671.tif 000001
によって表される化合物、またはその薬学的に許容可能な塩もしくはプロドラッグが開示される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
別の態様において、本発明は、その表面にコーティングを有する支持構造を含む医療用具を提供し、このコーティングは、例えば、薬物などの治療物質を含む。本発明における使用のために適切である医療用具のための支持構造には、脈管構造中で使用される、冠状動脈ステント、末梢ステント、カテーテル、動静脈移植片、バイパス移植片、および薬物送達バルーンが含まれるがこれらに限定されない。本発明における使用のために適切であるがこれらに限定されない薬物には
【化３】
2008518671.tif 000002
またはその薬学的に許容可能な塩もしくはプロドラッグが含まれるが、これには以下が含まれる。
【化４】
2008518671.tif 000003
またはその薬学的に許容可能な塩もしくはプロドラッグ（本明細書中以下では、代替的に、Ａ−１７９５７８と呼ばれる）、および
【化５】
2008518671.tif 000004
またはその薬学的に許容可能な塩もしくはプロドラッグ；
【化６】
2008518671.tif 000005
またはその薬学的に許容可能な塩もしくはプロドラッグ（本明細書中以下では、代替的に、Ａ−９４５０７と呼ばれる）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の１つの実施形態には、化学式
【化７】
2008518671.tif 000006
の化合物がある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の別の実施形態には、化学式
【化８】
2008518671.tif 000007
の化合物がある。
【手続補正書】
【提出日】平成20年10月24日(2008.10.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
過渡電流アーク抑制回路であって：
電源電圧に接続する電源ターミナルと；
電気負荷に接続する負荷ターミナルと；
第一の状態が電源ターミナルと負荷ターミナルの間の比較的低い抵抗の電気回路を与え、第二の状態が電源ターミナルと負荷ターミナルの間の比較的高い抵抗の電気回路を与え、該第一の状態と該第二の状態の間のスイッチングを行う少なくとも一つの能動半導体スイッチと；
前記第一の状態で操作する少なくとも一つの能動半導体スイッチをバイアスし、電源ターミナルと負荷ターミナルの間に流れる通常電流に応答するバイアス回路と；
アークを抑制するために前記第二の状態で操作する少なくとも一つの能動半導体スイッチをスイッチングし、アーク時に電源ターミナルと負荷ターミナルの間に流れる電流の増加に応答するトランジェント検出回路と；
アーク抑制後に第二状態から第一状態への回復をしばらくの間遅延させる遅延回路と、を含むアーク抑制回路。
【請求項２】
電源ターミナルと高圧電源の出力との間の接続および、負荷ターミナルと負荷の高電圧ターミナルとの間の接続が、
電源、制御信号、少なくとも一つの能動半導体スイッチを基準にするアース、バイアス回路、トランジェント検出回路、遅延回路、のうちの一つ以上を与えるのに十分である請求項１記載のアーク抑制回路。
【請求項３】
電源ターミナルと負荷ターミナルの間の電流が、少なくとも一つの能動半導体スイッチ、バイアス回路、トランジェント検出回路、遅延回路、に必要とされる制御信号および、全ての操作電圧を提供する請求項１記載のアーク抑制回路。
【請求項４】
さらに、
負荷ターミナルと直列に接続される第二の電源ターミナルと；
電気負荷に接続する第二の負荷ターミナルと；
第一の操作状態が前記第二の電源ターミナルと前記第二の負荷ターミナルの間の比較的低い抵抗の電気回路を与え、第二の操作状態が前記第二の電源ターミナルと前記第二の負荷ターミナルの間の比較的高い抵抗の電気回路を与え、該第一の操作状態と該第二の操作状態の間のスイッチングを行う少なくとも一つの第二の能動半導体スイッチと；
前記第一の状態で操作する第二の能動半導体スイッチをバイアスし、前記第二の電源ターミナルと前記第二の負荷ターミナルの間に流れる通常電流に応答する第二バイアス回路と；
アークを抑制するために前記第二の状態で操作する能動半導体スイッチをスイッチングし、アーク時に第二の電源ターミナルと第二の負荷ターミナルの間に流れる電流の増加に応答する第二トランジェント検出回路と；
アーク抑制後に第二状態から第一状態への回復をしばらくの間遅延させる第二遅延回路と、
を含む請求項１記載のアーク抑制回路。
【請求項５】
イオンビーム加速システムにおける、イオン源バイアスシステムであって、
少なくとも一つの電極を有するイオン源と；
イオン源を高電位にバイアスする高圧電源と；
前記イオン源の少なくとも一つの電極でアークが発生したことを検出しかつ抑制し、通常の操作に戻す電気的アーク抑制回路で、イオン源の少なくとも一つと高圧電源の出力に接続された二つのターミナルを有する電気的アーク抑制回路と；
を含むイオン源バイアスシステム。
【請求項６】
イオン源が、ガスクラスターイオンを含むイオンビームを形成するためのガスクラスターイオンビーム源である請求項５記載のシステム。
【請求項７】
前記二つのターミナルを有する電気的アーク抑制回路が能動回路である請求項５記載のシステム。
【請求項８】
電気的アーク抑制回路の二つのターミナルの間の接続が、電源、制御信号、電気的アーク抑制回路を基準にするアース、のうちの一つ以上を与えるのに十分である請求項５記載のシステム。
【請求項９】
前記二つのターミナルの間の電流が、全ての操作電源、電気的アーク抑制回路に必要な制御信号を与える請求項５記載のシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月6日(2009.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上においてフォトレジストマスクを介してエッチング層内で要素をエッチングする方法であって、
フォトレジストマスクの下にエッチング層が配置された基板を、処理チャンバ内に配置するステップと、
前記フォトレジストをコンディショニングするステップであって、
或る流量の水素含有ガスと、或る流量のフルオロカーボン及びハイドロフルオロカーボンの少なくとも一方と、を含むコンディショニングガスを前記処理チャンバへ提供するステップ、及び
コンディショニングプラズマを形成するために前記コンディショニングガスを活性化するステップと、
前記水素含有ガスの前記流量と、前記フルオロカーボン及びハイドロフルオロカーボンの前記少なくとも一方の前記流量の比が傾斜的に減少するように、前記コンディショニングガスを傾斜させるステップと、
前記コンディショニングプラズマを停止するステップと、
を含むコンディションニングステップと、
前記コンディショニングプラズマとは異なるエッチングプラズマを前記処理チャンバに提供するステップと、
前記エッチングプラズマにより前記エッチング層内で要素をエッチングするステップと、
を備える方法。
【請求項２】
前記水素含有ガスはＨ2である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記コンディショニングプラズマは、ｉｎ−ｓｉｔｕプラズマである、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
ＢＡＲＣが前記フォトレジストマスクと前記エッチング層との間に配置されており、前記フォトレジストマスクの前記コンディショニングにより前記ＢＡＲＣを開口させる、請求項１乃至３の何れか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記コンディショニングガスを傾斜させるステップは、非線形傾斜である、請求項１乃至４の何れか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記コンディショニングするステップは、前記ＢＡＲＣの開口時に少なくとも１００：１のフォトレジスト選択性を提供する、請求項４又は５に記載の方法。
【請求項７】
前記エッチング層は、誘電層である、請求項１乃至６の何れか一項に記載の方法。
【請求項８】
前記水素含有ガスはＨ2であり、前記フルオロカーボン及びハイドロフルオロカーボンの少なくとも一方はＣＦ4である、請求項１乃至７の何れか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記コンディショニングガスは、１：１０乃至２：１の初期Ｈ2対ＣＦ4流量比を有し、０乃至１：２０の最終Ｈ2対ＣＦ4流量比を有する、請求項１乃至８の何れか一項に記載の方法。
【請求項１０】
基板上においてフォトレジストマスクを介してエッチング層内で要素をエッチングする方法であって、ＢＡＲＣが前記フォトレジストマスクと前記エッチング層との間に配置されており、前記方法は、
フォトレジストマスクの下にエッチング層が配置された基板を、処理チャンバ内に配置するステップと、
前記フォトレジストをコンディショニングするステップであって、
或る流量の水素含有ガスと、或る流量のフルオロカーボン及びハイドロフルオロカーボンの少なくとも一方と、を含むコンディショニングガスを前記処理チャンバへ提供するステップ、及び
コンディショニングプラズマを形成するために前記コンディショニングガスを活性化する工程であって、前記フォトレジストマスクのコンディショニングが前記ＢＡＲＣを開口するとともに前記ＢＡＲＣの開口時に少なくとも１００：１のフォトレジスト選択性を提供するステップと、
前記コンディショニングプラズマを停止するステップと、
を含むコンディションニングステップと、
前記コンディショニングプラズマとは異なるエッチングプラズマを前記処理チャンバに提供するステップと、
前記エッチングプラズマにより前記エッチング層内で要素をエッチングするステップと、
を備える方法。
【請求項１１】
基板上において反射防止膜及びフォトレジストマスクを介してエッチング層内で要素をエッチングする方法であって、
反射防止膜及びフォトレジストマスクの下にエッチング層が配置された基板を、処理チャンバ内に配置するステップと、
前記反射防止膜を開口させるステップであって、
或る流量の水素含有ガスと、或る流量のフルオロカーボン及びハイドロフルオロカーボンの少なくとも一方とを含むコンディショニングガスを前記処理チャンバへ提供するステップ、及び
コンディショニングプラズマを形成するために前記コンディショニングガスを活性化するステップを含む
開口ステップと、
前記反射防止膜を開口させた後に前記コンディショニングプラズマを停止するステップと、
前記コンディショニングプラズマとは異なるエッチングプラズマを前記処理チャンバに提供するステップと、
前記反射防止膜及びフォトレジストマスクを介して、前記エッチングプラズマにより前記エッチング層内で要素をエッチングするステップと、
を備える方法。
【請求項１２】
更に、前記水素含有ガスの前記流量と、前記フルオロカーボン及びハイドロフルオロカーボンの少なくとも一方の前記流量の比が傾斜的に減少するように、前記コンディショニングガスを傾斜させるステップを備える、請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記水素含有ガスはＨ2である、請求項１１又は１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記コンディショニングプラズマは、ｉｎ−ｓｉｔｕプラズマである、請求項１１乃至１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記コンディショニングするステップは、ＡＲＣ開口時に少なくとも１００：１のフォトレジスト選択性を提供する、請求項１１乃至１４の何れか一項に記載の方法。
【請求項１６】
前記水素含有ガスはＨ2であり、前記フルオロカーボン及びハイドロフルオロカーボンの少なくとも一方はＣＦ4である、請求項１１乃至１５の何れか一項に記載の方法。
【請求項１７】
前記コンディショニングガスは、１：２乃至５：４の初期Ｈ2対ＣＦ4流量比を有し、０乃至１：２０の最終Ｈ2対ＣＦ4流量比を有する、請求項１１乃至１６の何れか一項に記載の方法。
【請求項１８】
請求項１乃至１７の何れか一項に記載の方法により形成された半導体チップ。
【請求項１９】
請求項１乃至１７の何れか一項に記載の方法を実行する装置。