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【手続補正書】
【提出日】平成21年3月30日(2009.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光に対し透過的な、閉じられ充満された容器内の気体種の圧力が既知であるような容器を製造する方法であって、
レーザ光に対し透過的な、閉じられ充満された透明な容器を製造するステップと、
前記容器を、前記レーザ光の透過に露出させるステップと、
前記気体種の少なくとも１本の吸収線を含む波長帯域にわたって前記レーザ光の前記波長を周期的変調するステップと、
前記露出ステップの際に、前記レーザ光と前記容器とを相対的に移動させるステップと、
前記周期的変調ステップ及び前記相対移動ステップの際に、前記透過されたレーザ光を光電変換し、それによって、第１の電気的出力信号を発生させるステップと、
前記第１の電気的出力信号に応じて第２の電気的出力信号を発生させるステップと、
前記第２の電気的出力信号を、前記容器内に行き渡っている前記気体種の圧力を示す信号として評価すると共に、前記圧力を前記容器に割り当てるステップと、
を備えていることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記気体種が酸素である請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記相対移動ステップが、揺動的に移動させるステップを含む請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記評価ステップが、所定時間に亘って平均化するステップを含む請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記相対移動ステップが、揺動的に移動させるステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記評価ステップが、所定時間に亘って平均化するステップを含む請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記気体種に関し、所定の基準圧力で前記露出ステップを実行することにより、基準圧力を示す信号を発生させるステップをさらに備えている請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記基準圧力を示す信号と前記気体種の圧力を示す信号との差に応じて、結果圧力を示す信号を発生させるステップをさらに備えている請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記容器が適用される、または適用されるべき軌跡に沿った前記レーザ光の透過を監視するステップと、
それによって、透過を示す信号を発生させるステップと、
前記透過指示信号に応じて、前記圧力を示す信号が依存する信号に重み付けするステップと、
をさらに備えている請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記容器を外気中に設けるステップをさらに備えている請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記容器内で前記気体種を気体に供給すると共に、前記容器を含む前記レーザ光に対する軌跡の透過性を監視するステップと、
それによって、透過を示す信号を発生させるステップと、
前記透過指示信号に応じて、前記圧力を示す信号が依存する信号に重み付けするステップと、
をさらに備えている請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
較正用チャネルとして用意するステップと、
前記較正用チャネルで前記透過を示す信号を発生するステップと、
をさらに備えている請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記気体種の所定圧力で基準容器を供給することにより、基準信号を発生させるステップと、
それによって、前記基準信号と前記圧力を示す信号との差に応じて結果圧力を示す信号を発生させるステップと、
をさらに備えている請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記圧力を示す信号のもっともらしさをチェックするステップをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記容器が、実質的にガラス材料製またはプラスチック材料製である請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
前記容器はビンである請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
前記容器は、前記監視ステップへ向かい、且つ前記監視ステップから出る流れ内を搬送される複数の容器のうちの１つである請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
前記気体種の所定圧力で基準容器を供給することにより、基準信号を発生させるステップと、
それによって、前記基準信号と前記圧力を示す信号との差に応じて結果圧力を示す信号を発生させるステップと、
前記基準容器を、前記露出ステップに、前記流れ内を搬送される複数の容器とは異ならせて適用するステップと、
をさらに備えている請求項１に記載の方法。
【請求項１９】
前記監視ステップへ向かい、且つ前記監視ステップから出てその後搬送される複数の前記容器内でその後前記気体圧力を監視するステップと、
少なくとも１つの基準容器を、前記監視ステップに、その後に搬送される所定の量の前記気体種が入った前記容器とは異ならせて適用することにより基準圧力を示す信号を発生させるステップと、
をさらに備えている請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
基準容器を、前記レーザ光の透過に露出させるステップと、
それによって、基準圧力を示す信号を発生させるステップと、
該基準圧力を示す信号に基づいて平均化を実行するステップと、
をさらに備えている請求項１に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年6月4日(2009.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
患者の腫瘍を処置する癌治療レジメンの判断を補助するための方法であって、
ａ）患者サンプルにおける少なくとも１つの予測マーカーの発現レベルを判断し、
ｂ）前記予測マーカー（単数または複数）の発現レベルと、対照の発現レベルとを比較検討し、前記予測マーカーの発現レベルが有益な発現レベルであるかどうかを判断することを含み、
前記予測マーカー（単数または複数）の発現に基づき、前記腫瘍を処置する癌治療レジメンが判断され、
前記予測マーカー（単数または複数）が、表１Ａ、表１Ｂ、表２Ａ、表２Ｂおよび表３のいずれかで確認される予測マーカーから選択され、かつ、有益な発現レベルから、前記患者が反応性の患者と非反応性の患者のいずれであるかが示される、方法。
【請求項２】
前記予測マーカーの発現レベルを、ｍＲＮＡの検出により判断する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記予測マーカーの発現レベルを、タンパク質の検出により判断する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記癌治療レジメンが、プロテアソーム阻害をベースにしたレジメン治療を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記癌治療が、糖質コルチコイド治療レジメンを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記有益な発現レベルの判断を、対照のマーカーとの比較検討または所定の標準との比較検討により判断する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記腫瘍が液体腫瘍または固形腫瘍から選択される、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記液体腫瘍が、骨髄腫、多発性骨髄腫、非ホジキンリンパ腫、Ｂ細胞リンパ腫、ワルデンシュトレーム症候群、慢性リンパ球性白血病およびその他の白血病からなる群から選択される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記固形腫瘍が、肺腫瘍、乳房腫瘍、前立腺腫瘍、卵巣腫瘍、結腸腫瘍、腎臓腫瘍および肝臓腫瘍から選択される群から選択される、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記有益な発現レベルを、２つ以上の予測マーカーを含む予測マーカーセットにより判断する、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記腫瘍を処置する前記プロテアソーム阻害をベースにしたレジメンが、ペプチジルアルデヒド、ペプチジルボロン酸、ペプチジルボロン酸エステル、ビニルスルホン、エポキシケトンおよびラクタシスチン類縁体からなる群から選択されるプロテアソームインヒビターによる処置を含む、請求項４に記載の方法。
【請求項１２】
前記腫瘍を処置する前記糖質コルチコイド治療が、デキサメタゾン、ヒドロコルチゾン、プレドイゾロン、プレドニゾンおよびトリアムシノロンからなる群から選択される糖質コルチコイドによる処置を含む、請求項５に記載の方法。
【請求項１３】
腫瘍細胞を含む前記患者サンプルを、腫瘍治療の前、腫瘍治療と同時、または腫瘍治療の後から選択されるいずれかの時期に前記被検体から取得する、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
表１Ａ、表１Ｂ、表２Ａ、表２Ｂおよび表３から選択される少なくとも２つのプローブセットを含む、請求項１に記載の方法で使用するマーカーセット。
【請求項１５】
予測マーカーまたは予測マーカーセットを同定するための方法であって、
ａ）表１Ａ、表１Ｂ、表２Ａ、表２Ｂおよび表３のいずれかで確認される１つまたは複数の予測マーカーの発現レベルを、サンプルにおいて判断し、
ｂ）統計解析方法を各マーカーの発現レベルに適用して、反応性または非反応性に関係するフィーチャーを選択し、
ｃ）選択された前記フィーチャーを含むマーカーまたはマーカーセットを同定することを含む、方法。
【請求項１６】
前記予測マーカーの発現レベルを、ｍＲＮＡの検出により判断する、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記予測マーカーの発現レベルを、タンパク質の検出より判断する、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
前記サンプルが腫瘍サンプルである、請求項１５に記載の方法。
【請求項１９】
前記腫瘍が液体腫瘍または固形腫瘍から選択される、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
表１Ａ、表１Ｂ、表２Ａ、表２Ｂおよび表３から選択される少なくとも２つのマーカーを含む、請求項１５に記載の方法により同定されるマーカーセット。
【請求項２１】
前記統計解析方法が線形予測スコア方法である、請求項１５に記載の方法。
【請求項２２】
前記統計解析方法がｋ近傍モデルである、請求項１５に記載の方法。
【請求項２３】
少なくとも１つの予測マーカーの発現を判定するための試薬と、使用説明書とを含む、患者の腫瘍を処置するプロテアソーム阻害治療剤および／または糖質コルチコイド治療剤を判断するためのキット。
【請求項２４】
前記試薬が１つまたは複数の核酸プローブを含み、前記プローブが少なくとも１つの予測マーカーに特異的に結合する、請求項２３に記載のキット。
【請求項２５】
前記試薬が、抗体、抗体の誘導体、抗体フラグメントおよびペプチドプローブからなる群から選択される少なくとも１つの検出試薬を含み、前記抗体、抗体の誘導体、抗体フラグメントまたはペプチドプローブが、少なくとも１つの予測マーカーに対応するタンパク質に特異的に結合する、請求項２３に記載のキット。
【請求項２６】
癌を処置する有用な候補薬剤を同定するための方法であって、
ａ）腫瘍細胞を含むアッセイ組成物と被検薬とを接触させ、
ｂ）表１Ａ、表１Ｂ、表２Ａ、表２Ｂおよび表３から選択される少なくとも１つのマーカーの有益な発現レベルを判断し、
ｃ）前記被検薬が反応性の患者に特有の有益な発現レベルを誘発する場合、前記被検薬を候補薬剤として同定することを含む、方法。
【請求項２７】
前記癌の処置に対する支払いをなすかどうかを決定する方法であって、
ａ）表１Ａ、表１Ｂ、表２Ａ、表２Ｂおよび表３から選択される、または表１Ａ、表１Ｂ、表２Ａ、表２Ｂおよび表３に由来する予測マーカーまたは予測マーカーセットの有益
な発現レベルを取得し、
ｂ）前記有益な発現レベルから、反応性の患者であることが確認された場合、支払いを認めることを含む、方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月29日(2009.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネジ付き棒と、それと協働する一つ又は複数のナットとによる垂直運動又は傾斜運動に対する機械式安全機構であって、
ネジ付き棒（２０３）の回転を通して動かされるべき基礎支持部材（２０１）に関連付けられた少なくとも一つのリフティングナット（２０９）を備えた安全機構において、
前記基礎支持部材（２０１）内に、ネジ付き棒（２０３）が貫通するシート（２０５）を有し、
前記シート（２０５）内に、セーフティナット（２２０）を設け、
前記セーフティナット（２２０）が、前記ネジ付き棒（２０３）にネジ込められ、前記シート（２０５）に対して摺動可能であり、
前記リフティングナット（２０９）と前記セーフティナット（２２０）との間に、前方連動連結部（２０９Ｂ，２２０Ａ）を備え、
前記前方連結部（２０９Ｂ，２２０Ａ）は、リフティングナット（２０９）のネジ部の損耗が、最大安全限界を超えた時に、前記リフティングナット（２０９）及びセーフティナット（２２０）を解放することができ、
前記セーフティナット（２２０）と前記基礎支持部材（２０１）との間に軸方向停止部材（２２８）を有し、該軸方向停止部材（２２８）が基礎支持部材（２０１）及びそれに関連した抵抗する構造体を支持するように作用し、
セーフティナット（２２０）上に負荷がかけられた時に、前記停止部材（２２８）に対してセーフティナットを回転させる手段が設けられている
ことを特徴とする機械式安全機構。
【請求項２】
前記セーフティナット（２２０）が外部要素（２３０）に関連付けられ、
前記外部要素（２３０）が、基礎支持部材（２０１）に対する前記セーフティナット（２２０）の位置を測定可能にするのに適している
ことを特徴とする請求項１に記載の安全機構。
【請求項３】
セーフティナット（２２０）が前記停止部材（２２８）に達した時に警告を発する電気式セーフティシステム又はそれと同等のシステムを備えている
ことを特徴とする請求項１に記載の安全機構。
【請求項４】
前記連動連結部（２０９Ｂ，２２０Ａ）が、歯付きの外観を有し、
これらが、リフティングナット（２０９）とセーフティナット（２２０）との間の摺動が、リフティングナット（２０９）の最大損耗を超えるまで協働する
ことを特徴とする請求項１に記載の安全機構。
【請求項５】
前記停止部材（２２８）が、ボールベアリング又はそれと同等の部材であり、
環状スペーサ手段及び側面摩擦を低減させる手段が設けられ得る
ことを特徴とする請求項１に記載の安全機構。
【請求項６】
前記基礎支持部材（２０１）と、前記セーフティナット（２２０）に関連付けられた前記外部要素（２３０）との間で作動し、
リフティングナット（２０９）のネジ部の損耗が進行した状態にある場合に少なくとも一つの警告を発する
電気式セーフティスイッチ（２５０）を備えている
ことを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の安全機構。
【請求項７】
前記セーフティスイッチ（２５０）が、
リフティングナット（２０９）のネジ部の損耗が最大安全限界に達した時に、警告信号を発し、次いでネジ付き棒の動きを停止するのに適した調整可能な触覚器（２５４）を備えている
ことを特徴とする請求項６に記載の安全機構。
【請求項８】
視覚的に及び／又は測定部材を用いて、基礎支持部材（２０１）とセーフティナット（２２０）に関連付けられた外部要素（２３０）との間の距離の増大、従って、損耗の状態を評価するために、
参照ネジ（２６０）又はそれと同等の部材を備えている
ことを特徴とする請求項１に記載の安全機構。
【請求項９】
前記参照ネジ（２６０）又はそれと同等の部材及び／又はセーフティスイッチ（２５０）の触覚器（２５４）を調整し、校正する手段を備えている
ことを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の安全装置。
【請求項１０】
ネジ付き棒と、それと協働する一つ又は複数のナットとを用いた基礎支持部材を有する抵抗構造体の垂直運動、傾斜運動及び水平運動のために設けられる安全装置において、
基礎支持部材（２００，２０１）に固定されるべき移動ナット（２１７）が、外面がテーパー状のスリーブ型コレット（２１５）で囲まれ、
前記コレット（２１５）が、コレットの二つの対向面から交互に伸びる並行な長手方向スロット（２１５Ａ，２１５Ｂ）を備え、
前記テーパー状スリーブ型コレット（２１５）が、抵抗構造体の基礎支持部材（２００，２０１又はその他）に係合するロッキングリングナット（２１３）の切頭円錐形シート（２１３Ａ）内に収容され、かつ、ロックされる
ことを特徴とする安全装置。
【請求項１１】
前記ネジ付き棒（２０３）にネジ込まれた少なくとも二つの対向するナット（２０９，２１７）を備え、
前記リフティング又は平行移動ナットの第一のナット（２０９）が、移動すべき抵抗構造体の基礎支持部材（２００，２０１）によって支持され、かつ、それに固定され、
同時に、他方のナット（２１７）が、基礎支持部材に向けてそれに対してロッキングリングナット（２１３）を付勢するネジ手段（２１１）又はそれと同等の部材によって、固定されている
ことを特徴とする請求項１０に記載の安全装置。
【請求項１２】
二つ又はそれ以上のナット（２０９，２１７）が、相互にネジ止めされている
ことを特徴とする請求項１１に記載の安全装置。
【請求項１３】
二つのナット（２０９，２１７）がフランジ付きであり、
リフティング又は平行移動ナット（２０９）のフランジ（２０９Ａ）が基礎支持部材に固定するために用いられ、
テーパー状スリーブ型コレット（２１５）が、補助ナット（２１７）のフランジ（２１７Ａ）に作用する
ことを特徴とする請求項１０〜１２の何れか一項に記載の安全装置。
【請求項１４】
請求項１０〜１３に記載の構成要素に関連した調整部材、案内部材及び隙間ゲージ部材を備えている
ことを特徴とする請求項１０〜１３の何れか一項に記載の安全装置。
【手続補正書】
【提出日】平成21年6月4日(2009.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
もう一つの問題は、牽引トルク運転においてエンジンからトルクコンバーターとギヤとを介して駆動ホイールに伝達されるトルクのために、駆動軸の制動能力がより小さくなり、その結果、それぞれ他の軸がロックする傾向があることである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
運転者がアクセルペダルから足を放し、車両が減速し、ポイント２６で機械式クラッチ１８が解放すると、駆動装置のトルクは、ポンプ１４とタービン１６との間のスリップを許容するトルクコンバーター６を介して再び伝達される。エンジン回転数２０及びそれに固定結合されたポンプ１４の回転数は低下し、図２で水平な線で示されたアイドリング回転数で安定する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
惰力も牽引トルクもほぼない状態でスタンバイモードに移行されるので、車両の更なる減速や停止は、もっぱら運転者の行動（制動、加速）自体によって決定される。駆動装置内のトルク条件、つまり、スタンバイモードへの移行は、ギヤを再び入れることによって運転者の意思または車両の進行方向に適合するようになされる。車両が「後進」する場合、これは回転方向センサーによって認識することができるが、同様にスタンバイモードは解除される。運転者が制動すると、スタンバイモードに切り替わり、アクセルを踏むと、スタンバイモードが解除されてギヤが入れられる。
【手続補正書】
【提出日】平成21年6月12日(2009.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフトと、
前記シャフトに回転可能に連結された、コア及び複数の放射状に伸びる羽根を有した羽根車と、
前記羽根車に対して内方表面と外方表面とを偏心的に回転可能に配置させた円筒形ケーシングであって、前記羽根車と共に、前記羽根の縁部が前記ケーシングの前記内方表面に次第に接近して回転する圧縮領域と、前記羽根の縁部が前記ケーシングの前記内方表面に沿って次第に離間した状態で回転する拡張領域と、を画成する円筒ケーシングと、
前記拡張領域と連通する入口ポートと、
前記圧縮領域と連通する出口ポートと、
前記ケーシングに回転運動を与える駆動装置と、を具備し、
前記羽根車に対する前記ケーシングの偏心ecrは
ecr＜(1-c)/3  であたえられ、
ここでecr=e/Rであり、eは前記羽根車と前記ケーシングの軸との距離であり、cは前記シャフトの半径Cと前記ケーシングの半径Rとの比であって、
前記羽根と前記ケーシングとは機械的連結手段を介して連結されている、ことを特徴とする液体リング回転ケーシング圧縮機（LRRCC）。
【請求項２】
請求項１に記載のLRRCCにおいて、前記シャフトは中空であることを特徴とするLRRCC。
【請求項３】
請求項１或いは２の何れか一項に記載のLRRCCにおいて、前記羽根車の前記羽根の数は少なくとも１０であることを特徴とするLRRCC。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載のLRRCCにおいて、前記羽根車の前記羽根は、前記羽根車の外方縁部より短寸で終端することを特徴とするLRRCC。
【請求項５】
請求項１に記載のLRRCCにおいて、前記機械的連結手段はギア手段であることを特徴とするLRRCC。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一項に記載のLRRCCにおいて、さらに、前記ケーシングを回転させる手段を具備することを特徴とするLRRCC。
【請求項７】
請求項１に記載のLRRCCにおいて、さらに、前記圧縮領域にまたは前記圧縮領域に隣接して配置され、前記圧縮領域に低温の流体を導入する吹付けノズルを具備することを特徴とするLRRCC。
【請求項８】
請求項７に記載のLRRCCにおいて、前記吹付けノズルは、前記低温流体を、平均容積直径d<200ミクロンの液滴として吹付け可能であることを特徴とするLRRCC。
【請求項９】
請求項１乃至８何れか一項に記載のLRRCCにおいて、前記シャフトは中空であり、前記吹付けノズルは前記低温流体を前記シャフトの中空領域に吹付けるように構成されることを特徴とするLRRCC。
【請求項１０】
請求項９に記載のLRRCCにおいて、前記入口ポートは仕切りによって前記出口ポートより分離されていることを特徴とするLRRCC。
【手続補正書】
【提出日】平成21年4月21日(2009.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内燃機関（３）の排ガス設備（２）で特に開放型の粒子捕集器（１）を作動させる方法であって、少なくとも以下の過程を含む方法。
ａ）前記粒子捕集器（１）が第１の効率限界値（Ｅ１）を下回る、前記粒子捕集器（１）の第１の時点（ｔ１）を判定する過程、
ｂ）前記内燃機関（３）の少なくとも１つの固有の動作パラメータ（Ｂ）の調整によって前記粒子捕集器（１）の効率向上を行い、このとき前記内燃機関（３）によって生成される排ガスは前記粒子捕集器（１）の領域で、熱による粒子（４）の再生が実質的に行われない程度に低い温度とする過程、
ｃ）前記粒子捕集器（１）が第２の効率限界値（Ｅ２）を上回る、前記粒子捕集器（１）の第２の時点（ｔ２）を判定する過程、および
ｄ）前記内燃機関（３）の通常動作を始動させる過程。
【請求項２】
前記過程ａ）が、粒子（４）による前記粒子捕集器（１）の最新の負荷状態の判定を含む請求項１記載の方法。
【請求項３】
最新の負荷状態を算出する請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記粒子捕集器（１）の前の第１の地点（Ｐ１）と、前記粒子捕集器（１）の後の第２の地点（Ｐ２）との間の前記排ガス設備（２）における圧力差を参照し、最新の負荷状態を判定する請求項２又は３記載の方法。
【請求項５】
排ガス中に含まれる粒子（４）に関する前記粒子捕集器（１）の効率を、前記過程ｂ）の間に前記内燃機関（３）の通常動作に比べて少なくとも２０％だけ向上させることができる請求項１から４の１つに記載の方法。
【請求項６】
前記過程ｂ）の時間を、負荷状態に依存して規定する請求項１から５の１つに記載の方法。
【請求項７】
前記過程ｂ）の時間を、効率向上中の排ガスの温度に依存して規定する請求項１から６の１つに記載の方法。
【請求項８】
前記過程ｂ）の時間を、効率向上中の排ガスの二酸化窒素濃度に依存して規定する請求項１から７の１つに記載の方法。
【請求項９】
前記過程ｂ）の時間を、効率向上中の排ガスの水の濃度に依存して規定する請求項１から８の１つに記載の方法。
【請求項１０】
前記過程ｂ）の時間を、効率向上中の排ガスのオゾン濃度に依存して規定する１から９の１つに記載の方法。
【請求項１１】
前記内燃機関（３）の少なくとも１つの動作パラメータ（Ｂ）を、前記過程ｂ）の間、生成する排ガスが二酸化窒素濃度の上昇を受けるように調整する請求項１から１０の１つに記載の方法。
【請求項１２】
前記内燃機関（３）の少なくとも１つの動作パラメータ（Ｂ）を、前記過程ｂ）の間に生成する排ガスが酸素濃度の上昇を受けるように調整する請求項１から１１の１つに記載の方法。
【請求項１３】
前記内燃機関（３）の少なくとも１つの動作パラメータ（Ｂ）を、前記過程ｂ）の間に生成する排ガスが前記粒子捕集器（１）の領域で高くとも５０℃の温度上昇を受けるように調整する請求項１から１２の１つに記載の方法。
【請求項１４】
少なくとも、内燃機関（３）と排ガス設備（２）とを備える車両（５）を含み、
前記内燃機関（３）はエンジン制御部（６）によって作動し、
前記排ガス設備（２）は少なくとも１つの特に開放型の粒子捕集器（１）を有する
装置において、
少なくとも１つの前記粒子捕集器（１）の効率を判定するための手段が設けられたことを特徴とする請求項１から１３の１つに記載の方法を実施するための装置。
【請求項１５】
前記排ガス設備（２）が排ガス再循環装置（７）を含むことを特徴とする請求項１４記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月15日(2009.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターボチャージャ（１）であって、
タービン翼車のタービンハウジング（２）と、
可変タービンジオメトリ用の前記タービンハウジング（２）内に移動可能に配置されており、ＶＧＴ円板（１２）と羽根支持リング（１５）を備えたカートリッジ（Ｋ）と、
前記タービンハウジング（２）と圧縮機翼車の圧縮機ハウジングとの間に配置され、内部に該タービン翼車と該圧縮機翼車を支持する軸（Ｗ）用の軸受機構が配置されている軸受ハウジング（３）とを有し、そして
前記カートリッジ（Ｋ）と前記軸受ハウジング（３）との間に配置された円板部材（４）とを有するターボチャージャにおいて、
前記円板部材（４）が少なくとも二つの材料の層（５、６）からなり、
空隙（７）が材料の層（５、６）の間に配置され、
円板ばねを形成する一つの材料の層（５）が円錐形の円板として設計され、
円板ばねのための防熱材を形成する他方の材料の層（６）が屈曲部（８）を有しており、円錐形の材料の層（５）のみがその内径部で軸受ハウジング（３）に対して近接し、防熱材を形成する他方の材料の層（６）はその外径部の領域において円錐形の材料の層（５）によって羽根支持リング（１５）に対して軸方向に拘束されていることを特徴とするターボチャージャ。
【請求項２】
前記材料の層（５、６）が同じ直径を有する中央開口（それぞれ１６及び１７）を有することを特徴とする、請求項１に記載のターボチャージャ。
【請求項３】
前記材料の層（５、６）が同じ外径を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のターボチャージャ。
【請求項４】
前記材料の層（５、６）が別個の部品であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のターボチャージャ。
【請求項５】
前記材料の層（５、６）が同じ材料で作製されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のターボチャージャ。
【請求項６】
前記材料の層（５、６）が異なる材料で作製されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のターボチャージャ。
【請求項７】
請求項１〜３に記載のターボチャージャ（１）用の円板部材（４）。
【手続補正書】
【提出日】平成21年6月22日(2009.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）少なくとも１０ｇｐｄの靭性を備えたヤーンを含んでなる織布帛を準備し、
（ｂ）布帛に、溶剤により５〜４０ｗｔ％溶液にある粘性ポリマーを適用し、ここでポリマーのＴｇがマイナス４０℃〜０℃の範囲でありかつ２０℃で測定したときのゼロ剪断溶融粘度が２×１０6〜１０13ポアズであり、
（ｃ）溶剤を蒸発させてポリマーのみが部分的に布帛に浸透して繊維束間に存在するようにする
ことを含んでなる布帛の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
ケブラー（Ｋｅｖｌａｒ）（登録商標）布帛を、公称１５インチ×１５インチ（３８ｃｍ×３８ｃｍ）の層へ切断して、これを用いて、試験用の２０層の弾性パネルを構築した。３５７マグナムＪＳＰ弾丸を用いて、ＮＩＪ規格０１０１．０４タイプＩＩに従った防弾範囲でパネルを試験した。４枚のパネルの平均Ｖ50は１５４６ｆｔ／秒（４７１ｍ／ｓ）であり、平均ＢＦＤ変形は３７ｍｍであった。
次に、本発明の好ましい態様を示す。
1.（ａ）少なくとも１０ｇｐｄの靭性を備えたヤーンを含んでなる織布帛を準備し、
（ｂ）布帛に、溶剤により５〜４０ｗｔ％溶液にある粘性ポリマーを適用し、ここでポリマーのＴｇがマイナス４０℃〜０℃の範囲でありかつ２０℃で測定したときのゼロ剪断溶融粘度が２×１０6〜１０13ポアズであり、
（ｃ）溶剤を蒸発させてポリマーのみが部分的に布帛に浸透して繊維束間に存在するようにする
ことを含んでなる布帛の製造方法。
2.工程（ｃ）のあとに存在するポリマーが、布帛の重量を基準として９ｗｔ％未満である上記１に記載の方法。
3.工程（ｂ）の前に、布帛が１００℃未満の温度に維持されるように、布帛を２０〜１００℃の水で濯いで乾燥させる精錬工程を含む上記１に記載の方法。
4.ポリマーが、中分子量エチレン／メチルアクリレート、高分子量エチレン／メチルアクリレートおよび高分子量ポリ（ヘキシルメタクリレート）よりなる群から選択される上記１に記載の方法。
5.ポリマーが溶液からのものであり、溶液粘度が２０℃で０．０１ポアズを超え、溶剤の融点が１５０℃未満である上記１に記載の方法。
6.ポリマーが溶液から適用され、溶剤が１００℃未満で蒸発する上記１に記載の方法。
7.布帛がポリアラミドヤーンを含んでなる上記１に記載の方法。
8.粘性ポリマーが、ナイフまたはドクターブレードコーティングにより布帛に直接適用される上記１に記載の方法。
9.粘性ポリマーが、布帛に直接ロールコーティングすること、フィルムをコーティングして、次にそのコーティングされたフィルムから布帛へ転写コーティングすることおよび噴霧することよりなる群の１つによって適用される上記１に記載の方法。
10.ヤーンが芳香族ポリアミド、ポリオレフィン、ポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾチアゾール、ポリ｛２，６−ジイミダゾ［４，５−ｂ４’，５’−ｅ］ピリジニレン−1，４（２，５−ジヒドロキシ）フェニレン｝、ポリアレーンアゾール、ポリピリダゾール、ポリピリドビスイミダゾールおよびこれらの混合物よりなる群から選択される繊維を含んでなる上記１に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年2月4日(2009.2.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動装置であって、カップ側壁の一端にカップ端部壁を含む伸縮可能な開始剤用カップで、少なくとも一部に、反応可能で反応生成物を生成する反応性充填物を含む貯蔵チャンバを画成し、前記カップ側壁は、折り曲げ部を含んで、前記カップ側壁の第一部分と前記カップ側壁の第二部分は重畳し、前記カップ側壁の第二部分と前記カップ端部壁により画成されるポケットを形成する、伸縮可能な開始剤用カップと；前記反応性充填物と反応開始連通する少なくとも一つの電気コネクタと；を含み；前記伸縮可能な開始剤用カップが、前記反応性充填物の反応開始前は第一長さを有し、前記反応性充填物の反応開始中、前記第一長さよりも大きい第二長さへ長手方向に延びるようにされている、作動装置と；
移動可能要素であって、前記反応性充填物の反応開始前は前記ポケットに少なくとも一部を置かれる、移動可能要素と；
長手方向に延びる穴を含む支持ハウジングであって、前記伸縮可能な開始剤用カップと前記移動可能要素の各々は、少なくとも一部を前記穴の内部に置かれる、支持ハウジングと；を具備する、組立体。
【請求項２】
前記移動可能要素は、前記反応性充填物の反応開始中、前記ポケットを支持する、請求項１に記載の組立体。
【請求項３】
前記カップ側壁の第一と第二部分は両方とも、前記作動装置の長手方向軸に平行に置かれる、請求項１に記載の組立体。
【請求項４】
前記伸縮可能な開始剤用カップの長手方向の拡張中、前記移動可能要素は、前記支持ハウジングの穴を越えて延びる、請求項１に記載の組立体。
【請求項５】
前記伸縮可能な開始剤用カップの長手方向の拡張中、前記カップ側壁折り曲げ部は少なくとも一部が開放する、請求項１に記載の組立体。
【請求項６】
前記移動可能要素は、半径方向に延びている突出部を具備する、請求項１に記載の組立体。
【請求項７】
前記穴の第一端部に隣接して置かれるハウジング端部ストップをさらに具備し、前記伸縮可能な開始剤用カップの拡張中、前記移動可能要素は、前記突出部が前記ハウジング端部ストップに接触するまで前記穴を通って移動する、請求項６に記載の組立体。
【請求項８】
前記突出部は、前記移動可能要素の周囲を円周方向に延びる、請求項６に記載の組立体。
【請求項９】
前記移動可能要素は、ピンを具備する、請求項１に記載の組立体。
【請求項１０】
前記反応性充填物の反応開始中、前記支持ハウジングは、前記伸縮可能な開始剤用カップの横方向の拡張を制限するために有効である、請求項１に記載の組立体。
【請求項１１】
前記貯蔵チャンバは、密閉されている、請求項１に記載の組立体。
【請求項１２】
前記反応生成物は、ガスを含む、請求項１に記載の組立体。
【請求項１３】
前記反応性充填物は、点火装置を含む、請求項１に記載の組立体。
【請求項１４】
前記穴の第一端部に隣接して置かれるハウジング端部ストップと；
前記伸縮可能な開始剤用カップと前記ハウジング端部ストップとの間に切断可能な部材の一部を受け入れるための空洞；をさらに具備し、
前記伸縮可能な開始剤用カップの前記第一長さから前記第二長さへの拡張中、前記移動可能要素は、切断可能な部材を切断する、請求項１に記載の組立体。
【請求項１５】
前記切断可能な部材は、導電部材から成る、請求項１４に記載の組立体。
【請求項１６】
前記移動可能要素は、非導電材料から成る、請求項１５に記載の組立体。
【請求項１７】
作動装置であって、カップ側壁の一端にカップ端部壁を含む伸縮可能な開始剤用カップで、少なくとも一部に、反応可能で反応生成物を生成する反応性充填物を含む貯蔵チャンバを画成し、前記カップ側壁は、折り曲げ部を含んで、前記作動装置の長手方向軸に両方とも平行に置かれた前記カップ側壁の第一部分と第二部分は重畳する、伸縮可能な開始剤用カップと；前記反応性充填物と反応開始連通する、少なくとも一つの電気コネクタと；を含み；前記伸縮可能な開始剤用カップが、前記反応性充填物の反応開始前は第一長さを有し、また前記反応性充填物の反応開始中、前記第一長さよりも大きい、第二長さへ長手方向に延びるようにされている作動装置と；
前記カップ端部壁に隣接して置かれる第一端部を含む、移動可能要素と；
長手方向に延びている穴を含む支持ハウジングであって、前記伸縮可能な開始剤用カップと前記移動可能要素の各々は、少なくとも一部が前記穴の内部に置かれる、支持ハウジング；を具備する組立体において、
前記反応性充填物の反応開始中、前記支持ハウジングは、前記伸縮可能な開始剤用カップの横方向の拡張を制限するために有効である、組立体。
【請求項１８】
前記伸縮可能な開始剤用カップの長手方向拡張の際に、前記反応生成物は、前記カップ端部壁を前記移動可能要素の第一端部に押圧し、前記移動可能要素を前記穴の内部に移動させる、請求項１７に記載の組立体。
【請求項１９】
前記伸縮可能な開始剤用カップの長手方向の拡張中、前記カップ側壁折り曲げ部は少なくとも一部を開放する、請求項１８に記載の組立体。
【請求項２０】
前記移動可能要素は、半径方向に延びている突出部を具備し、前記支持ハウジングは、前記穴の第一端部に隣接して置かれるハウジング端部ストップを具備し、また前記伸縮可能な開始剤用カップの拡張中、前記移動可能要素は、前記突出部が前記ハウジング端部ストップに接触するまで、前記穴を通って移動する、請求項１７に記載の組立体。
【請求項２１】
前記移動可能要素は、切断要素を具備する、請求項１に記載の組立体。
【請求項２２】
前記伸縮可能な開始剤用カップと前記穴の第一端部との間に配置され、切断可能な部材の一部を受け入れるための空洞をさらに具備し、前記伸縮可能な開始剤カップの第一長さから第二長さへの拡張中に、前記移動可能要素は前記切断可能な部材を切断する、請求項１に記載の組立体。
【請求項２３】
前記反応性充填物の反応開始前に、前記移動可能要素は前記穴の第一端部を越えて延びる、請求項１に記載の組立体。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月21日(2009.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１７】
運転中、油の温度が０℃を超える場合、１年に付き１０回より多く０℃未満の温度で始動させる用途への請求項１６に記載の使用法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月22日(2009.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
更なる態様に従って、鉛を約０．２８μｇ／Ｌ未満のレベルで検出する方法を開示する。この方法の特定の実施形態は、試料を脱溶媒化及び原子化するように構成された原子化装置内へ、鉛を含む試料を導入することと、鉛を含む導入試料からの検出可能な信号を、約０．２８μｇ／Ｌ未満のレベルで供給するために、少なくとも１つの増強装置からの無線周波エネルギーを供給することとを含んでいる。特定の例では、背景信号対試料信号比は、少なくとも３以上であり得る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
特定の例に従って、原子化装置の一例を図５に示す。原子化装置５００は、チャンバ５０５、火炎源５１０、及び増強装置５２０を含んでいる。増強装置５２０は支持部５３０に電気的に接続されており、当該支持部５３０自身は、無線周波送信機又は発生器、あるいはそれら双方（図示略）に電気的に接続されていて良い。チャンバ５０５は、石英などの適切な材料で構成することができ、増強装置によって付与される温度を降下させるためにチャンバを包囲するための冷却管又はジャケット（図示略）を含んでいて良い。この例では、火炎源５１０は、任意の適切な火炎であって良い。例えば、メタン／空気炎、メタン／酸素炎、水素／空気炎、水素／酸素炎、アセチレン／空気炎、アセチレン／酸素炎、アセチレン／亜酸化窒素炎、プロパン／空気炎、プロパン／酸素炎、プロパン／亜酸化窒素炎、ナフサ／空気炎、ナフサ／酸素炎、天然ガス／亜酸化窒素炎、天然ガス／空気炎、天然ガス／酸素炎、及び、適切な燃料源と適切な酸化剤ガスとを用いて生成し得る他の火炎であって良い。このような火炎は、一般に、燃料及び酸素を選択された比率で導入し、スパーク、アーク、火炎などを用いて、当該混合物に点火することによって生成して良い。火炎の正確な温度は、燃料及び酸化剤ガス源に依存し、かつバーナー先端からの距離に依存して変化し得る。例えば、最も高い火炎温度は、典型的には一次燃焼領域のわずかに上方に存在し、それよりも低い温度は、炎間領域と外炎とに存在する。少なくとも特定の例では、火炎の少なくともある部分の温度は、少なくとも約１７００℃であり得る。例えば、天然ガス／空気炎は、約１７００〜１９００℃の温度を有し得、天然ガス／酸素炎は、約２７００〜２９００℃の温度を有し得、水素／酸素炎は、約２５５０〜２７００℃の
温度を有し得る。これに限定されることを意図することなく、火炎源は、幾つかの用途においては脱溶媒に効果的であり得るが、比較的低い温度のために、原子化及びイオン化には有効ではない可能性がある。しかし、本明細書に開示される増強装置を用いることにより、イオン化及び／又は原子化の効率は、水素／酸素炎などの火炎源を増強装置と組み合わせて用いることにより、高めることができる。例えば、本明細書に開示される１以上の増強装置を、水素／酸素炎と組み合わせて用いることにより、脱溶媒のために、火炎が有する高い熱容量という利点と、（例えば、それに続く）より多くの励起のために、極度のプラズマ温度という利点とを実現することが可能となるであろう。この結果は、稼働コストの節減、設計の単純化、ＲＦ雑音の低減、信号対雑音比の改善などを含がそれらには限定されない幾つかの理由により有益である。但し、これらの利点のうちの１ないしそれ以上については、充足あるいは対処しない実施形態も存在するであろう。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月12日(2009.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イメージディスプレイ画面に対して垂直軸に沿ってイメージをスクロールする入力装置であって、
少なくとも１つの開口を有する上面と、追跡面に沿う移動に対して適合された下面とを備えるハウジングと、
前記ハウジング内に設けられたスクロールホイールアセンブリであって、前記開口内に配置された指係合可能回転可能部材を備え、前記指係合可能回転可能部材は、前記ハウジング内に延びる第１の軸の周りに無制限に回転可能であり、前記指係合可能回転可能部材は、第２の軸の周りに枢動式に移動可能であり、前記第１の軸は、前記第２の軸に対してほぼ垂直であるスクロールホイールアセンブリと、
前記指係合可能回転可能部材が前記ハウジングに対して前記第２の軸の周りに枢動するときを判定する傾斜感知システムであって、前記第２の軸と前記下面との間に延在する傾斜接触部材を備える傾斜感知システムと、
鉛直方向を向く部材の両側に配置された２つの接触スイッチと、
前記指係合可能回転可能部材をニュートラルな位置に戻す中心復帰デバイスであって、近位端部および遠位端部を有する軟質ブレードを備え、前記近位端部は、前記指係合可能回転可能部材に動作可能に接続されている中心復帰デバイスと
を備えることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記第２の軸に沿って延在する軸をさらに備え、前記傾斜接触部材は、第１の端部および第２の端部を有し、前記第１の端部が前記軸に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記２つの接触スイッチは、回路板の開口の縁部に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記指係合可能回転可能部材が前記第２の軸の周りに第２の方向に枢動するとき、前記傾斜接触部材は、第１の方向に横方向に変位し、前記第１の方向は前記第２の方向と逆方向であることを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記指係合可能回転可能部材が前記第２の軸の周りに枢動するとき、前記傾斜接触部材は、ほぼ鉛直方向を向き、少なくとも１つの接触スイッチと接触し、前記指係合可能回転可能部材の枢動が前記傾斜接触部材と前記接触スイッチとの接触に基づいて検出されることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記指係合可能回転可能部材は、外部周辺放射状面および内部放射状面を備え、前記内部放射状面は、前記指係合可能回転可能部材の中心中空内部エリアの放射状縁部を画定し、前記指係合可能回転可能部材は、指係合可能制御部材の回転を感知する、前記指係合可能回転可能部材の前記中心中空内部エリア内に配置された回転センサエンコーダをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記指係合可能回転可能部材の回転を検出する回転センサをさらに備え、前記回転センサは、光源および光検出器を備え、前記光源は、光経路を介し第３の軸を介して前記光検出器に光を放射し、前記第３の軸は、前記第２の軸の３ｍｍ以内にあり、前記第２の軸に対して垂直であり、前記第１の軸と平行であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記光源は、前記指係合可能回転可能部材の第１の横方向部分にあり、前記光検出器は、前記指係合可能回転可能部材の第２の横方向部分にあり、前記第１の横方向部分および前記第２の横方向部分は、前記指係合可能回転可能部材の両側にあることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記光経路は、前記指係合可能回転可能部材の前記中央中空内部エリアで前記回転センサエンコーダを横切ることを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記第３の軸が前記第２の軸と交差することを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項１１】
イメージディスプレイ画面に対して垂直軸に沿ってイメージをスクロールする入力装置であって、
少なくとも１つの開口を有する上面と、追跡面に沿う移動に対して適合された下面とを備えるハウジングと、
前記ハウジング内に設けられたスクロールホイールアセンブリであって、前記開口内に配置された指係合可能回転可能部材を備え、前記指係合可能回転可能部材は、前記ハウジング内に延びる第１の軸の周りに無制限に回転可能であり、前記指係合可能回転可能部材は、第２の軸の周りに枢動式に移動可能であり、前記第１の軸は、前記第２の軸に対してほぼ垂直であるスクロールホイールアセンブリと、
前記指係合可能回転可能部材をニュートラルな位置に戻す中心復帰デバイスであって、近位端部および遠位端部を有する軟質ブレードを備え、前記近位端部は、前記指係合可能回転可能部材に動作可能に接続されている中心復帰デバイスと
を備えることを特徴とする装置。
【請求項１２】
キャリッジをさらに備え、前記指係合可能回転可能部材が前記キャリッジ内に配設され、前記軟質ブレードが前記キャリッジに一体成形され、前記軟質ブレードの前記近位端部が前記キャリッジに一体成形されていることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記軟質ブレードの前記遠位端部は、前記軟質ブレードの前記近位端部よりも低く、少なくとも２つの横方向支えの間に延在していることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記入力装置は、開口を有する回路板を備え、前記少なくとも２つの横方向支えは、前記回路板の前記開口の縁部であることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記軟質ブレードは、前記指係合可能部材と同一平面内にあり、前記指係合可能部材の各横方向部分間の中点から鉛直方向に延びていることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１６】
前記軟質ブレードは、カンチレバーマウントを通じて前記指係合可能回転可能部材に取り付けられていることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１７】
前記軟質ブレードの前記遠位端部は、前記指係合可能部材の下にある構造まで延び、前記構造は、前記ハウジングの下面に配置され、前記軟質ブレードの横方向運動を制限するためのものであることを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
前記軟質ブレードの前記遠位端部は、前記指係合可能部材が枢動するときに前記構造内にとどまることを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成21年5月1日(2009.5.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の周波数によりプラズマシースの発振を引き起こしめるよう選択された前記第１の周波数により処理チャンバ内の第１の電極に第１のＲＦ信号を供給し、
第２の周波数によりプラズマシースの発振を引き起こしめるよう選択された前記第２の周波数により電源から前記第１の電極へ第２のＲＦ信号を供給し、
所要の周波数においてプラズマシースの発振を引き起こしめるよう選択された所要の周波数に等しい差分だけ、前記第２の周波数は前記第１の周波数から離間していおり、周波数の差分は約１００ＫＨｚから約２ＭＨｚの範囲であり、前記所要の周波数は前記プラズマのイオンエネルギー分布関数を制御するよう選択されているプラズマを利用した半導体基板処理チャンバ内のプラズマを制御するための方法。
【請求項２】
前記所要の周波数の逆数は、イオンが前記プラズマの塊から加速されたときに、前記プラズマのシースを横切るのに必要とする時間より小さいことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記第１及び第２の周波数は、イオンが前記プラズマの塊から加速されたときに、前記プラズマのシースを横切る遷移時間より速い応答を引き起こしせしめるよう選択されている請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記第１及び第２のＲＦ信号は前記処理チャンバ内の前記電極への単一の出力を有する共通のマッチング回路を介して前記処理チャンバに接続されている請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記第１及び第２のＲＦ信号は約１３．５ＭＨｚの平均周波数を有し、周波数の差分は約１００ＫＨｚから約１ＭＨｚの範囲である請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記第１及び第２のＲＦ信号は約６０ＭＨｚの平均周波数を有し、周波数の差分は約１ＭＨｚから約２ＭＨｚの範囲である請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記プラズマを生成するために第３のＲＦ信号をガスに結合することをさらに含む請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記第１の電極は基板支持ペデスタル内に設けられている請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記第１及び前記第２の周波数は、２つの分離した周波数を提供することができる単一のＲＦ電源により供給される請求項１記載の方法。
【請求項１０】
前記第１及び前記第２の周波数は、前記プラズマの形成を引き起こすに十分な周波数及びパワーレベルで供給される請求項１記載の方法。
【請求項１１】
イオンがプラズマの塊から加速されるとき、前記プラズマのシースを横切る遷移時間よりずっと早い応答を引き起こすようそれぞれ選択された第１及び第２の周波数により第１及び第２のＲＦ信号を処理チャンバ内の第１の電極に供給し、
前記プラズマ内のイオンエネルギー分布を制御するよう選択された所要の周波数に等しい前記第１及び第２の周波数の間の周波数の差分を制御することを含むプラズマを利用した半導体基板処理チャンバ内のプラズマを制御するため記載の方法。
【請求項１２】
前記所要の周波数の逆数は、イオンがプラズマの塊から加速されたとき前記プラズマのシースを横切るに必要な時間より小さい請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記第１及び第２の周波数は前記プラズマ内の単一エネルギーのイオンエネルギー分布を生成する請求項１１記載の方法。
【請求項１４】
前記周波数の差分を増加させることは前記プラズマ内の前記イオンエネルギー分布を広げる請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
前記第１及び第２の周波数は前記プラズマの生成を引き起こすに十分な周波数及び電力のレベルで供給される請求項１１記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成21年6月19日(2009.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＥＵＶ光生成プラズマに生じた材料との除去相互作用による除去を受ける被覆材料から成る集光器外面を備えた多層ミラー集光器を含む集光器のためのＥＵＶ光源集光器侵食緩和方法であって、
置換材料をＥＵＶプラズマ原料物質内に含める段階、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記置換材料は、前記多層ミラーの前記被覆材料と同じ材料を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記置換材料は、堆積したプラズマ原料物質を前記集光器から除去するのに使用されるエッチング材料によるエッチングを受けにくい材料を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記エッチング材料は、ハロゲンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記置換材料は、前記集光器の前記多層ミラーのＥＵＶ反射率に有意な影響を与えない表面粗度を含む均一かつ滑らかなコーティングとして前記集光器外面上に配置することができる材料を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記置換材料は、液体錫中で可溶性である材料を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
液体錫中の前記置換材料の溶解度が、前記集光器外面の侵食を実質的に相殺するのに十分な速度で置換材料を該集光器外面に送出するのに十分なものである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記置換材料は、前記集光器多層ミラーの前記被覆層の前記材料に適合する材料を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記置換材料は、前記集光器多層ミラーの前記被覆層の前記材料を通して容易に拡散することにならない材料を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記置換材料は、雰囲気への露出に耐えることができる材料、雰囲気への露出の前に何らかの手段によって容易に除去することができる材料、及び前記集光器多層ミラーの前記外面から容易に除去される雰囲気に露出された時の反応生成物を有する材料を含む材料の群から選択された材料を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。