【手続補正書】
【提出日】平成20年12月24日(2008.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカードであって、
ＤＵＴに接続するためのベースと、テスト信号を該ＤＵＴに伝送するテストシステムコントローラに接続するためのテストチャネルに接続されたエミッタと、コレクタとを備えているエミッタフォロワートランジスタと、
該エミッタフォロワートランジスタのエミッタに、該ベースを接続することにより、テスト信号が該ＤＵＴから該テストシステムコントローラに提供され得る、バイパス抵抗器と
を備えている、プローブカード。
【請求項２】
前記エミッタフォロワートランジスタのコレクタが、該エミッタフォロワートランジスタのベース・エミッタオフセット電圧に等しい電圧をプラスしたシステム電源電圧を受けるように接続されている、請求項１に記載のプローブカード。
【請求項３】
温度センサと、
該温度センサに接続された電源回路であって、該電源回路は、前記エミッタフォロワートランジスタのコレクタへの電圧に、該温度センサによって示されるような温度変化が原因で起きる、該エミッタフォロワートランジスタのベース・エミッタ電圧変化に対する補正を提供する、電源回路と
をさらに備える、請求項１に記載のプローブカード。
【請求項４】
プローブカードであって、
ＤＵＴに接続するためのゲートと、テスト信号を該ＤＵＴに伝送するテストシステムコントローラに接続するためのチャネルに接続されたソースと、ドレインとを備えるソースフォロワートランジスタと、
該ゲートを該ソースフォロワートランジスタのソースに接続することにより、テスト信号が該ＤＵＴから該テストシステムコントローラに提供され得るバイパス抵抗器と
を備えている、プローブカード。
【請求項５】
請求項１に記載のプローブカードを使用してテストされる、デバイス。
【請求項６】
装置であって、
ＤＵＴに接続するための第１のゲートまたはベース端子と、テスト信号を該ＤＵＴに伝送するテストシステムコントローラに、テストシステムのチャネルを介して接続するための第２の端子と、第３の端子とを有する電圧フォロワートランジスタと、
該電圧フォロワートランジスタの第１の端子を第２の端子に接続することにより、テスト信号が該ＤＵＴから該テストシステムコントローラに提供され得る、バイパス抵抗器と
を備えている、装置。
【請求項７】
前記エミッタフォロワートランジスタのエミッタを、抵抗器を介してアースに選択的に接続するスイッチをさらに備えている、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記テストシステムコントローラは、前記エミッタフォロワートランジスタのエミッタから電流シンク経路を選択的に提供するようにプログラムされ得る、請求項６に記載の装置。
【請求項９】
前記テストシステムコントローラは、
抵抗器によって、前記エミッタフォロワートランジスタのエミッタに接続されるドライババッファであって、該ドライババッファは、該エミッタフォロワートランジスタのベース・エミッタ電圧を補正するために電圧を提供するように構成された、ドライババッファと、
該エミッタフォロワートランジスタのエミッタに接続された比較器バッファと
を備える、請求項６に記載の装置。
【請求項１０】
前記エミッタフォロワートランジスタのコレクタは、該エミッタフォロワートランジスタのベース・エミッタ電圧にほぼ等しい電圧をプラスしたシステムテストシステムＶｄｄに接続されている、請求項６に記載の装置。
【請求項１１】
前記エミッタフォロワートランジスタのベース・エミッタ電圧降下を補正するための手段をさらに備える、請求項６に記載の装置。
【請求項１２】
前記補正するための手段は、
温度センサと、
該温度センサに接続された電源回路であって、該電源回路は、前記エミッタフォロワートランジスタのコレクタへの電圧に、前記ベース・エミッタ電圧降下、および該温度センサによって示されるような温度変化が原因で起きる前記ベース・エミッタ電圧における変化に対する補正を提供する、電源回路と
を備える、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記補正するための手段は、
ベース・エミッタ電圧降下対温度の較正を格納するための、前記電源回路に接続されたメモリをさらに備える、請求項１１に記載の装置。
【請求項１４】
テストシステムコントローラに含まれた、請求項６に記載の装置。
【請求項１５】
プローブカードに含まれた、請求項１２に記載の装置。
【請求項１６】
プローブカード装置であって、
通信チャネルから、電子デバイスをテストするためのテスタへの複数の電気接続と、
該電子デバイスに接触するように配置された複数のプローブと、
第１の通信チャネルにおける、該電子デバイスにより出力され、該プローブの第１のプローブにおいて受信される信号を増幅するための第１の増幅器であって、該第１の増幅器は、該増幅された信号を該通信チャネルのうちの第１のチャネルに提供する、第１の増幅器と、
電気経路を該プローブのうちの第１のプローブに提供するための第１のバイパス電気経路であって、該テスタによって出力され、該通信チャネルの第１のチャネルに対する第１の接続において受信されるテスト信号に対する第１の増幅器をバイパスする、電気経路と
を備えている、プローブカード装置。
【請求項１７】
前記第１の増幅器は、前記電子デバイスによって出力される信号の電流を増幅するための電流増幅器である、請求項１６に記載のプローブカード装置。
【請求項１８】
電力を前記第１の増幅器に提供するために供給される電力をさらに備え、該電力は該増幅器を動作するために十分な電圧コンポーネントを有し、該電力は該第１の増幅器を横切る電圧降下を補正するために十分な追加の電圧コンポーネントを有する、請求項１７に記載のプローブカード装置。
【請求項１９】
温度センサと、
該温度センサに接続される電源回路であって、該電源回路は、前記第１の増幅器に電圧を提供し、該電圧は、該温度センサによって感知される温度によって変化する、電源回路と
を備えている、請求項１７に記載のプローブカード装置。
【請求項２０】
前記第１の増幅器に対する温度対電圧を相関させるデータを格納するための、前記電源回路に接続されたメモリをさらに備える、請求項１９に記載のプローブカード装置。
【請求項２１】
複数の第２の増幅器であって、それぞれが前記電子デバイスによって出力され、前記プローブのうちの第２のプローブにおいて受信される複数の第２の信号のうちの１つの信号を増幅し、該第２の振幅器の各々は、該増幅された第２の信号のうちの１つの信号を、前記通信チャネルのうちの第２の通信チャネルへの第２の複数の接続のうちの１つの接続に提供する、第２の増幅器と、
複数の第２のバイパス電気経路であって、それぞれが電気経路を該プローブのうちの第２のプローブの１つのプローブに提供し、該経路は前記テスタによって出力され、該通信チャネルの第２の通信チャネルのうちの１つの通信チャネルへの第２の接続のうちに１つの接続において受信されたテスト信号に対する第２の増幅器のうちの１つをバイパスする、バイパス電気経路と
をさらに備えている、請求項１６に記載のプローブカード装置。
【請求項２２】
前記第１の通信チャネルは双方向性である、請求項１６に記載のプローブカード装置。
【請求項２３】
前記第１の通信チャネルはパッシブな双方向性である、請求項２２に記載のプローブカード装置。
【請求項２４】
電子デバイスをテストする方法であって、該方法は、
テスタと該電子デバイスとの間の通信チャネルのうちの１つの通信チャネルを介して該電子デバイスのテストを制御するためのテスタから、複数のテスト信号を提供することであって、該提供することは、該通信チャネルのうちの第１のチャネルの第１のバイパス経路を介して、該テスト信号のうちの１つの信号を、該電子デバイスと接触する第１のプローブに提供することを含む、ことと、
該電子デバイスによって出力され、該第１のプローブにおいて受信された出力信号を増幅することと、
該第１の通信チャネルを介して該テスタに該増幅された出力信号を提供することと
を含み、該第１のバイパス経路は第１の増幅器をバイパスする、方法。
【請求項２５】
前記増幅することは、前記出力信号の電流を増幅することを含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
電力を前記第１の増幅器に提供することをさらに含み、該電力は、該増幅器を動作するために十分な電圧コンポーネントを有し、該電力は、該第１の増幅器を横切る電圧降下を補正するために十分な追加の電圧コンポーネントを有する、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記第１の増幅器の近くの温度を感知することと、
該感知された温度に従って、該第１の増幅器に供給される電力の電圧コンポーネントを変化させることと
をさらに含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項２８】
前記複数のテスト信号を提供することは、前記通信チャネルのうちの第２の通信チャネルの第２のバイパス経路を介して、前記電子デバイスに接触する第２のプローブに該テスト信号のうちの１つを提供することと、
該電子デバイスによって出力され、該第２のプローブにおいて受信された出力信号を増幅することと、
該増幅された出力信号を、該第２の通信チャネルを介して該テスタに提供することと
をさらに含み、該第２のバイパス経路は、第２の増幅器をバイパスする、請求項２４に記載の方法。
【請求項２９】
前記第１の増幅器の出力を、抵抗器を介して、アースに選択的に接続することをさらに含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項３０】
前記第１の増幅器の出力から電流シンク経路を選択的に提供することをさらに含む、請求項２４に記載の方法。