【手続補正書】
【提出日】平成23年6月21日(2011.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光を実質的に単一の偏光状態で生成する光源からの前記照明光を第1面に配置される第１物体に照射する照明光学系と、前記第１物体上のパターンの像を第２面に配置される第２物体上に投影する投影光学系とを有する投影露光装置であって、
前記照明光学系は、前記照明光の進行方向に沿って配置される複数の複屈折部材を有し、
かつ前記複数の複屈折部材のうち少なくとも１つの複屈折部材の進相軸の方向が、他の複屈折部材の進相軸の方向と異なるものであり、
前記照明光のうち、特定の入射角度範囲で前記第１面に照射される特定照明光を、Ｓ偏光を主成分とする偏光状態の光とすることを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】
前記第１面に照射される前記照明光を、前記特定照明光に制限する光束制限部材を有することを特徴とする請求項１に記載の投影露光装置。
【請求項３】
前記光束制限部材は、更に前記第１面に照射される前記照明光の入射方向を特定の実質的に離散的な複数の方向に制限することを特徴とする請求項２に記載の投影露光装置。
【請求項４】
照明光を実質的に単一の偏光状態で生成する光源からの前記照明光を第1面に配置される第１物体に照射する照明光学系と、前記第１物体上のパターンの像を第２面に配置される第２物体上に投影する投影光学系とを有する投影露光装置であって、
前記照明光学系は、前記照明光の進行方向に沿って配置される複数の複屈折部材を有し、
かつ前記複数の複屈折部材のうち少なくとも１つの複屈折部材の進相軸の方向が、他の複屈折部材の進相軸の方向と異なるものであり、
前記照明光学系中の瞳面またはその近傍の面内における、前記照明光学系の光軸を中心とする所定の輪帯領域である特定輪帯領域内の少なくとも一部の領域を通過する前記照明光が、前記特定輪帯領域の円周方向を偏光方向とする直線偏光を主成分とする偏光状態であることを特徴とする投影露光装置。
【請求項５】
前記第１面に照射される前記照明光を、実質的に前記特定輪帯領域内に分布する光束に制限する光束制限部材を有することを特徴とする請求項４に記載の投影露光装置。
【請求項６】
前記光束制限部材は、前記光束を更に前記特定輪帯領域内の実質的に離散的な複数の領域内に制限することを特徴とする請求項５に記載の投影露光装置。
【請求項７】
前記光束制限部材は、前記光源と前記複数の複屈折部材との間に配置される回折光学素子を含むことを特徴とする請求項２、３、５、または６に記載の投影露光装置。
【請求項８】
前記複数の複屈折部材のうち少なくとも１つの部材は、透過光のうち進相軸に平行な直線偏光成分と遅相軸に平行な直線偏光成分との間に与える位相差である偏光間位相差が、前記部材の位置に対して非線形に変化する不均一波長板であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項９】
前記不均一波長板は、前記特定照明光または前記特定輪帯領域に分布する照明光に対して、前記照明光学系の光軸を中心として２回回転対称性を有する偏光間位相差を与える第１の不均一波長板を含むことを特徴とする請求項８に記載の投影露光装置。
【請求項１０】
前記不均一波長板は、前記特定照明光または前記特定輪帯領域に分布する照明光に対して、前記照明光学系の光軸を中心として１回回転対称性を有する偏光間位相差を与える第２の不均一波長板を更に含むことを特徴とする請求項９に記載の投影露光装置。
【請求項１１】
前記第１及び第２の不均一波長板は、前記進相軸の方向が、前記照明光学系の光軸を回転中心として、相互に４５°ずれたものであることを特徴とする請求項１０に記載の投影露光装置。
【請求項１２】
前記複数の複屈折部材と前記第１面との間に配置されたオプティカルインテグレーターを更に含むことを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項１３】
前記複数の複屈折部材と前記オプティカルインテグレーターとの間に配置されたズーム光学系、間隔可変の円錐プリズム群、または多面体プリズム群のうちの少なくとも一つを更に含むことを特徴とする請求項１２に記載の投影露光装置。
【請求項１４】
前記オプティカルインテグレーターは、フライアイレンズであることを特徴とする請求項１２または１３に記載の投影露光装置。
【請求項１５】
前記光源と前記複数の複屈折部材との間に配置されて前記光源からの前記照明光の偏光状態を変換する偏光制御機構を有することを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項１６】
前記偏光制御機構は、前記複数の複屈折部材に照射される照明光の偏光状態を可変にすることを特徴とする請求項１５に記載の投影露光装置。
【請求項１７】
前記複数の複屈折部材の一部または全部を、前記照明光学系の光軸を中心として回転可能ならしめる回転機構を有することを特徴とする請求項１から１６のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項１８】
前記複数の複屈折部材を複数組備え、前記複数組の前記複数の複屈折部材を、前記照明光学系内に交換可能に配置する複屈折部材交換機構を有することを特徴とする請求項１から１６のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項１９】
前記複屈折部材を、前記照明光学系の中の前記照明光の光路に対して退避可能に保持する交換機構を有することを特徴とする請求項１から１６のいずれか一項に記載の投影露光装置。
【請求項２０】
請求項１から１９のいずれか一項に記載の投影露光装置を用いて、前記第１物体としてのマスクのパターンの像で前記第２物体としての感光体を露光することを特徴とする露光方法。
【請求項２１】
リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィ工程で請求項２０に記載の露光方法を用いてパターンを感光体に転写することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項２２】
光源からの照明光を第1面に配置される第１物体に照射する照明光学装置であって、
前記照明光の進行方向に沿って配置される複数の複屈折部材を有し、
かつ前記複数の複屈折部材のうち少なくとも１つの複屈折部材の進相軸の方向が、他の複屈折部材の進相軸の方向と異なるものであり、
前記光源から供給される実質的に単一の偏光状態である照明光のうち、前記第１面に特定の入射角度範囲で照射される特定照明光を、Ｓ偏光を主成分とする偏光状態の光とすることを特徴とする照明光学装置。
【請求項２３】
前記第１面に照射される前記照明光を、前記特定照明光に制限する光束制限部材を有することを特徴とする請求項２２に記載の照明光学装置。
【請求項２４】
前記光束制限部材は、更に前記第１面に照射される前記照明光の入射方向を特定の実質的に離散的な複数の方向に制限することを特徴とする請求項２３に記載の照明光学装置。
【請求項２５】
前記光束制限部材は、回折光学素子を含むことを特徴とする請求項２３または２４に記載の照明光学装置。
【請求項２６】
前記複数の複屈折部材のうち少なくとも１つの部材は、透過光のうち進相軸に平行な直線偏光成分と遅相軸に平行な直線偏光成分との間に与える位相差である偏光間位相差が、前記部材の位置に対して非線形に変化する不均一波長板であることを特徴とする請求項２２から２５のいずれか一項に記載の照明光学装置。
【請求項２７】
前記不均一波長板は、前記特定照明光に分布する照明光に対して、前記照明光学系の光軸を中心として２回回転対称性を有する偏光間位相差を与える第１の不均一波長板を含むことを特徴とする請求項２６に記載の照明光学装置。
【請求項２８】
前記不均一波長板は、前記特定照明光に分布する照明光に対して、前記照明光学系の光軸を中心として１回回転対称性を有する偏光間位相差を与える第２の不均一波長板を更に含むことを特徴とする請求項２６に記載の照明光学装置。
【請求項２９】
前記第１及び第２の不均一波長板は、前記進相軸の方向が、前記照明光学系の光軸を回転中心として、相互に４５°ずれたものであることを特徴とする請求項２８に記載の照明光学装置。
【請求項３０】
前記複数の複屈折部材と前記第１物体との間に配置されたオプティカルインテグレーターを更に含むことを特徴とする請求項２２から２９のいずれか一項に記載の照明光学装置。
【請求項３１】
前記光源と前記複数の複屈折部材との間に配置されて前記光源からの前記照明光の偏光状態を変換する偏光制御機構を有することを特徴とする請求項２２から３０のいずれか一項に記載の照明光学装置。
【請求項３２】
前記偏光制御機構は、前記複数の複屈折部材に照射される照明光の偏光状態を可変にすることを特徴とする請求項３１に記載の照明光学装置。