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【手続補正書】
【提出日】平成23年4月20日(2011.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の成分の混合物が分散している潤滑粘度の油を含む潤滑油組成物：
（ａ）少なくとも一種の水和アルカリ金属ホウ酸塩成分、
（ｂ）６４．５質量％未満の二炭化水素トリサルファイドと、５．５質量％より多い二炭化水素ジサルファイドと、少なくとも３０．０質量％の二炭化水素テトラサルファイド又はそれ以上のポリサルファイドとを含む混合物からなる少なくとも一種の二炭化水素ポリサルファイド成分、
（ｃ）三炭化水素亜リン酸エステル成分を含み、かつそのうちの少なくとも９０質量％が式：（ＲＯ）3Ｐ、ただし、Ｒは炭素原子数４〜２４の炭化水素基である、を有する少
なくとも一種の非酸性リン成分、および
（ｄ）少なくとも一種の二炭化水素ジチオリン酸エステル。
【請求項２】
該潤滑油組成物が二炭化水素亜リン酸水素エステルも含み、そしてそのうちの少なくとも９０質量％が式：（ＲＯ）2ＰＯＨ、ただし、Ｒは炭素原子数４〜２４の炭化水素基で
ある、を有する請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
該潤滑油組成物が下記の成分を含む請求項１に記載の組成物：
（ａ）０．１乃至２０．０質量％のアルカリ金属ホウ酸塩、
（ｂ）０．１乃至１０．０質量％の二炭化水素ポリサルファイド成分、
（ｃ）０．０１乃至１５．０質量％の非酸性リン成分、および
（ｄ）０．０３乃至３．０質量％の二炭化水素ジチオリン酸エステル。
【請求項４】
該アルカリ金属ホウ酸塩が三ホウ酸カリウム又はナトリウムである請求項１に記載の組成物。
【請求項５】
該三炭化水素亜リン酸エステルがＣ10〜Ｃ20トリアルキル亜リン酸エステルの混合物である請求項１に記載の組成物。
【請求項６】
該二炭化水素ジチオリン酸エステルがジチオリン酸エステルのアミン塩である請求項１に記載の組成物。
【請求項７】
下記の成分の混合物を含むギヤ油添加剤パッケージ：
（ａ）水和アルカリ金属ホウ酸塩成分、
（ｂ）６４．５質量％未満の二炭化水素トリサルファイドと、５．５質量％より多い二炭化水素ジサルファイドと、少なくとも３０．０質量％の二炭化水素テトラサルファイド又はそれ以上のポリサルファイドとを含む混合物からなる二炭化水素ポリサルファイド成分、
（ｃ）三炭化水素亜リン酸エステル成分を含み、かつそのうちの少なくとも９０質量％が式：（ＲＯ）3Ｐ、ただし、Ｒは炭素原子数４〜２４の炭化水素基である、を有する非
酸性リン成分、および
（ｄ）少なくとも一種の二炭化水素ジチオリン酸エステル。
【請求項８】
下記の成分の混合物を含むギヤ油添加剤パッケージ：
（ａ）水和アルカリ金属ホウ酸塩成分、
（ｂ）７０．０質量％未満の二炭化水素トリサルファイドと、５．５質量％より多い二炭化水素ジサルファイドと、少なくとも３０．０質量％の二炭化水素テトラサルファイド又はそれ以上のポリサルファイドとを含む混合物からなる二炭化水素ポリサルファイド成分、
（ｃ）三炭化水素亜リン酸エステル成分からなり、かつそのうちの少なくとも９０質量
％が式：（ＲＯ）3Ｐ、ただし、Ｒは炭素原子数４〜２４の炭化水素基である、を有する
非酸性リン成分、
（ｄ）少なくとも一種の二炭化水素ジチオリン酸エステル、および
（ｅ）二炭化水素亜リン酸水素エステル成分からなり、かつそのうちの少なくとも９０質量％が式：（ＲＯ）2ＰＯＨ、ただし、Ｒは炭素原子数４〜２４のアルキルである、を有するリン成分。
【請求項９】
主要量の潤滑油、および少量ではあるが潤滑油組成物の耐荷重及び摩擦特性を改善するのに有効な量の請求項７に記載のギヤ油添加剤パッケージを含む潤滑油組成物。
【請求項１０】
主要量の潤滑油、および少量ではあるが潤滑油組成物の耐荷重及び摩擦特性を改善するのに有効な量の請求項８に記載のギヤ油添加剤パッケージを含む潤滑油組成物。
【請求項１１】
組成物が、主要量の潤滑粘度の油、および１．０乃至１０．０質量％の請求項７又は８に記載の該ギヤ油添加剤パッケージを含む潤滑油組成物。
【請求項１２】
該ホウ酸塩が三ホウ酸カリウム又はナトリウムである請求項７または８に記載のギヤ油添加剤パッケージ。
【請求項１３】
該二炭化水素ジチオリン酸エステルがジチオリン酸エステルのアミン塩である請求項７または８に記載のギヤ油添加剤パッケージ。
【請求項１４】
主要量の潤滑粘度の油が、Ｉ種、II種、III種、IV種またはフィッシャー・トロプシュ
基油からなる群より選ばれる請求項１に記載の潤滑油組成物。
【請求項１５】
ポリアルケン・コオリゴマーを含む請求項１に記載の潤滑油組成物。
【請求項１６】
１〜２０質量％のポリアルケン・コオリゴマーを含む請求項１５に記載の潤滑油組成物。
【請求項１７】
主要量の潤滑粘度の油に下記の成分を混合することを含む潤滑油組成物の製造方法：
（ａ）少なくとも一種の水和アルカリ金属ホウ酸塩成分、
（ｂ）６４．５質量％未満の二炭化水素トリサルファイドと、５．５質量％より多い二炭化水素ジサルファイドと、少なくとも３０．０質量％の二炭化水素テトラサルファイド又はそれ以上のポリサルファイドとを含む混合物からなる少なくとも一種の二炭化水素ポリサルファイド成分、
（ｃ）三炭化水素亜リン酸エステル成分からなり、かつそのうちの少なくとも９０質量％が式：（ＲＯ）3Ｐ、ただし、Ｒは炭素原子数４〜２４の炭化水素基である、を有する
少なくとも一種の非酸性リン成分、および
（ｄ）少なくとも一種の二炭化水素ジチオリン酸エステル。
【請求項１８】
下記の成分を混合することを含むギヤ油添加剤パッケージの製造方法：
（ａ）少なくとも一種の水和アルカリ金属ホウ酸塩成分、
（ｂ）６４．５質量％未満の二炭化水素トリサルファイドと、５．５質量％より多い二炭化水素ジサルファイドと、少なくとも３０．０質量％の二炭化水素テトラサルファイド又はそれ以上のポリサルファイドとを含む混合物からなる少なくとも一種の二炭化水素ポリサルファイド成分、
（ｃ）三炭化水素亜リン酸エステル成分からなり、かつそのうちの少なくとも９０質量％が式：（ＲＯ）3Ｐ、ただし、Ｒは炭素原子数４〜２４の炭化水素基である、を有する少なくとも一種の非酸性リン成分、および
（ｄ）少なくとも一種の二炭化水素ジチオリン酸エステル。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月11日(2011.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
含水量が６重量％以上、脱水または分解温度が５０〜２００℃の範囲である金属水和物であって、脱水または分解温度以上の雰囲気における水分蒸発率が減少するように改質された前記金属水和物が、基体内部に分散していることを特徴とする吸熱性材料。
【請求項２】
前記基体が、可とう性を有する成型体及び／またはシートであることを特徴とする請求項１記載の吸熱性材料。
【請求項３】
前記金属水和物が、硫酸塩、亜硫酸塩、硝酸塩、酢酸塩、塩化物塩から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の吸熱性材料。
【請求項４】
前記金属水和物が、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキッド樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂から選ばれる少なくとも1種の有機樹脂を含む改質材によって改質されたものであることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の吸熱性材料。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
１．含水量が６重量％以上、脱水または分解温度が５０〜２００℃の範囲である金属水和物であって、脱水または分解温度以上の雰囲気における水分蒸発率が減少するように改質された前記金属水和物が、基体内部に分散していることを特徴とする吸熱性材料。
２．前記基体が、可とう性を有する成型体及び／またはシートであることを特徴とする請求項１記載の吸熱性材料。
３．前記金属水和物が、硫酸塩、亜硫酸塩、硝酸塩、酢酸塩、塩化物塩から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする１．または２．に記載の吸熱性材料。
４．前記金属水和物が、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキッド樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂から選ばれる少なくとも1種の有機樹脂を含む改質材によって改質されたものであることを特徴とする１．〜３．のいずれかに記載の吸熱性材料。
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月27日(2010.12.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
牽伸ローラ対を構成する牽伸システム・ローラにより少なくとも一本の繊維スライバを牽伸する牽伸システムを有する紡績用前処理機上のデバイスであって、上記牽伸システム・ローラを駆動する動力伝達手段を有すると共に駆動モータを有し、上記牽伸システム・ローラの駆動は異なる側から行われるというデバイスにおいて、
上記駆動モータ(1)は２個の回転駆動要素(2a、2b)を有し、少なくとも一組のローラ対(60/III；59/II)の駆動は第1駆動要素(5；2a、3)により一側から行われ、且つ、少なくとも一組の他のローラ対(57、58/I)の駆動は第2駆動要素(6；2b、4)により他側から行われることを特徴とする、デバイス。
【請求項２】
前記駆動要素は、前記駆動モータの外方突出シャフト両端部であることを特徴とする、請求項１記載のデバイス。
【請求項３】
前記シャフト両端部には駆動プーリが夫々取付けられることを特徴とする、請求項２に記載のデバイス。
【請求項４】
前記駆動要素は前記駆動モータの回転外壁面であることを特徴とする、請求項１に記載のデバイス。
【請求項５】
少なくとも、ひとつの駆動列においては伝動装置が在ることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項６】
前記伝動装置は前記駆動モータと少なくとも一対の被動ローラとの間に配置されることを特徴とする、請求項５に記載のデバイス。
【請求項７】
機械的伝動装置が存在することを特徴とする、請求項５に記載のデバイス。
【請求項８】
前記伝動装置はひとつの変速段を有することを特徴とする、請求項５乃至７のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項９】
前記伝動装置は前記駆動モータにより駆動されることを特徴とする、請求項５乃至８のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項１０】
前記牽伸ローラおよび／または前記伝動装置の駆動はベルトを経由して行われることを特徴とする、請求項５乃至９のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項１１】
前記ベルトは平坦ベルトであることを特徴とする、請求項１０に記載のデバイス。
【請求項１２】
前記ベルトは歯付きベルトであることを特徴とする、請求項１０に記載のデバイス。
【請求項１３】
前記ベルトはベルト張設プーリと組み合わされることを特徴とする、請求項１０に記載のデバイス。
【請求項１４】
牽伸システム・ローラを駆動する複数個の駆動プーリが在ることを特徴とする、請求項１乃至１３のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項１５】
各々が少なくとも２個の駆動プーリの回りを通る少なくとも一個の伝動要素が在ることを特徴とする、請求項１乃至１４のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項１６】
前記駆動プーリの内の少なくとも幾つかの駆動プーリは異なる直径を有することを特徴とする、請求項１５に記載のデバイス。
【請求項１７】
前記牽伸システムの出力ローラ対の駆動は前記第1駆動要素により行われることを特徴とする、請求項１４に記載のデバイス。
【請求項１８】
前記牽伸システムの入力ローラ対および中央ローラ対の駆動は前記第2駆動要素により行われることを特徴とする、請求項１４に記載のデバイス。
【請求項１９】
前記第1駆動要素の駆動用駆動プーリは、前記出力ローラ対の被動用駆動プーリよりも大きな直径を有することを特徴とする、請求項１７に記載のデバイス。
【請求項２０】
前記第2駆動要素の駆動用駆動プーリは前記伝動装置の入力部における被動用駆動プーリよりも小さな直径を有することを特徴とする、請求項５に記載のデバイス。
【請求項２１】
前記伝動装置の出力部における駆動用駆動プーリは、前記入力ローラ対および中央ローラ対のための被動用駆動プーリよりも小さな直径を有することを特徴とする、請求項１８に記載のデバイス。
【請求項２２】
前記第2駆動要素の前記駆動用駆動プーリおよび前記伝動装置の入力部における前記被動用駆動プーリは、段状プーリとして構成されることを特徴とする、請求項２０に記載のデバイス。
【請求項２３】
予備牽伸ローラ対および主要牽伸ローラ対を構成する牽伸システム・ローラが存在することを特徴とする、請求項１乃至２２のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項２４】
前記第1駆動要素からはカレンダ・ローラの駆動が導かれることを特徴とする、請求項１乃至２３のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項２５】
前記第1駆動要素からは回転プレートの駆動が導かれることを特徴とする、請求項１乃至２４のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項２６】
出力部においては１個の下側ローラが２個の上側ローラと協働することを特徴とする、請求項１乃至２５のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項２７】
前記入力ローラ対は一側における被動用駆動プーリおよび他側における駆動用駆動プーリを有しており、上記駆動用駆動プーリは前記中央ローラ対を駆動するために使用されることを特徴とする、請求項１８に記載のデバイス。
【請求項２８】
前記中央ローラ対は一側における被動用駆動プーリと他側における駆動用駆動プーリとを有しており、上記駆動用駆動プーリは前記入力ローラ対を駆動するために使用されることを特徴とする、請求項１８に記載のデバイス。
【請求項２９】
前記入力ローラ対および中央ローラ対を駆動するベルトは、少なくとも一個の案内プーリと組み合わされることを特徴とする、請求項１８に記載のデバイス。
【請求項３０】
前記入力ローラ対および中央ローラ対を駆動するベルトは、少なくとも一個の張設プーリと組み合わされることを特徴とする、請求項１８に記載のデバイス。
【手続補正書】
【提出日】平成22年4月20日(2010.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
張込板材を押圧する押圧面を有する板状本体部と、該板状本体部の基端部に、一端が固定される柄部とを備えてなり、
前記板状本体部は、その先端を、下地材上に当接させる幅方向の当接縁としており、
該当接縁には、板状本体部が押圧面側に傾倒可能となる程度に下地材に刺入して前記当接縁を固定する複数の刺入ピンが列設されていることを特徴とする張込板材施工具。
【請求項２】
一端側を板状本体部の幅方向に軸支されて、他端側を板状本体部の押圧面の裏面側で回動可能とされ、該他端側に、下地材に刺入して該他端側を下地材上に固定するアーム固定ピンを有する姿勢固定アームを備え、
前記板状本体部の当接縁部が下地材上に固定された状態で、姿勢固定アームの他端側を下地材上に固定することにより、板状本体部の傾倒角度が保持されることを特徴とする請求項１記載の張込板材施工具。
【請求項３】
一端側を、前記当接縁に軸支され、他端側に、下地材に刺入して該他端側を板状本体部の押圧面の裏面側で下地材上に固定する補助アーム固定ピンを有する補助アームを備え、
前記板状本体部の当接縁部を下地材上に固定した状態で、補助アームの他端側を下地材上に固定することにより、当接縁がより強固に固定されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の張込板材施工具。
【請求項４】
板状本体部には、押圧面の裏側から張込板材に釘を打込み可能とする貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の張込板材施工具。
【請求項５】
床板材を施工するための張込板材施工具であって、
板状本体部の前記押圧面は略平面状をなしており、該押圧面が下地材上面と略直角となるようにして板状本体部の当接縁を下地材上に当接した時に、重心が押圧面側に位置することとなるようにしたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の張込板材施工具。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明にあっては、一端側を板状本体部の幅方向に軸支されて、他端側を板状本体部の押圧面の裏面側で回動可能とされ、該他端側に、下地材に刺入して該他端側を下地材上に固定するアーム固定ピンを有する姿勢固定アームを備え、前記板状本体部の当接縁部が下地材上に固定された状態で、姿勢固定アームの他端側を下地材上に固定することにより、板状本体部の傾倒角度が保持される構成が提案される。かかる構成にあっては、施工前張込板材を施工済張込板材に密嵌させた状態で、姿勢固定アームの他端側を下地材上に固定して板状本体部の下地材に対する傾倒角度を保持すれば、施工前張込板材と施工済張込板材の密嵌状態が緩むのを確実に防ぐことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月24日(2011.1.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記磁石組立体を、ターゲットの裏面に沿って平行に往復動させる駆動手段を備えたこ
とを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のスパッタリング装置。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月11日(2011.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
現像剤を担持搬送し、像担持体上に形成された静電像を現像する現像剤担持体と、
前記現像剤担持体に対向配置されて前記現像剤担持体に現像剤を供給する第１搬送路と、
前記第１搬送路内の現像剤を搬送する第１現像剤搬送部材と、
前記第１搬送路に沿って設けられた第２搬送路と、
前記第２搬送路内の現像剤を搬送する第２現像剤搬送部材と、
前記第１搬送路と前記第２搬送路との間に配設された隔壁と、
前記隔壁の両端部にそれぞれ形成され、前記第１搬送路から前記第２搬送路へと現像剤の受け渡しをする第１開口部と、
前記第２搬送路から前記第１搬送路へと現像剤の受け渡しをする第２開口部と、
を備えた現像装置において、
前記第１現像剤搬送部材及び前記第２現像剤搬送部材の少なくとも一方の現像剤搬送部材は、多条の螺旋状回転羽根が形成された多条スクリュー部材とされ、
前記多条スクリュー部材の条数をｎ、軸線方向の各回転羽根のピッチをＰとしたとき、前記第１開口部及び前記第２開口部のうち、前記多条スクリュー部材とされる現像剤搬送部材を有する搬送路の少なくとも現像剤搬送方向下流部の開口部は、前記多条スクリュー部材のうち、搬送路内の現像剤搬送方向に向かって搬送させる搬送部の搬送方向下流端部から上流側へと、前記多条スクリュー部材の軸線方向にｎＰ以上の長さにわたって開口されていることを特徴とする現像装置。
【請求項２】
前記多条スクリュー部材とされる現像剤搬送部材を有する搬送路の少なくとも現像剤搬送方向下流部の開口部は、前記多条スクリュー部材の現像剤搬送方向下流側端部から上流側へと、前記多条スクリュー部材の軸線方向にｎＰ以上２ｎＰ以下の長さで開口していることを特徴とする請求項１の現像装置。
【請求項３】
像担持体上に形成された静電像を現像する前記現像剤担持体における現像領域の両端位置は、それぞれ、長手方向において前記隔壁の両端部よりも内側に位置していることを特徴とする請求項１または２のいずれかの項に記載の現像装置。
【請求項４】
前記多条スクリュー部材とされる現像剤搬送部材は、前記多条スクリュー部材よりも現像剤搬送方向下流側に、前記多条スクリューの巻き方向と逆方向の螺旋状の現像剤戻し回転羽根が形成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかの項に記載の現像装置。
【請求項５】
前記多条スクリュー部材とされる現像剤搬送部材を有する搬送路の少なくとも現像剤搬送方向下流部の開口部は、前記螺旋状現像剤戻し回転羽根部分においても開口していることを特徴とする請求項４の現像装置。
【請求項６】
前記多条スクリュー部材を有する搬送路の現像剤搬送方向と直交する水平方向の幅が、現像剤搬送方向下流側の端部において広がるように、前記隔壁は中央部に比べて端部の厚さが薄い形状を有していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかの項に記載の現像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
上記目的は本発明に係る現像装置にて達成される。要約すれば、本発明は、現像剤を担持搬送し、像担持体上に形成された静電像を現像する現像剤担持体と、
前記現像剤担持体に対向配置されて前記現像剤担持体に現像剤を供給する第１搬送路と、
前記第１搬送路内の現像剤を搬送する第１現像剤搬送部材と、
前記第１搬送路に沿って設けられた第２搬送路と、
前記第２搬送路内の現像剤を搬送する第２現像剤搬送部材と、
前記第１搬送路と前記第２搬送路との間に配設された隔壁と、
前記隔壁の両端部にそれぞれ形成され、前記第１搬送路から前記第２搬送路へと現像剤の受け渡しをする第１開口部と、
前記第２搬送路から前記第１搬送路へと現像剤の受け渡しをする第２開口部と、
を備えた現像装置において、
前記第１現像剤搬送部材及び前記第２現像剤搬送部材の少なくとも一方の現像剤搬送部材は、多条の螺旋状回転羽根が形成された多条スクリュー部材とされ、
前記多条スクリュー部材の条数をｎ、軸線方向の各回転羽根のピッチをＰとしたとき、前記第１開口部及び前記第２開口部のうち、前記多条スクリュー部材とされる現像剤搬送部材を有する搬送路の少なくとも現像剤搬送方向下流部の開口部は、前記多条スクリュー部材のうち、搬送路内の現像剤搬送方向に向かって搬送させる搬送部の搬送方向下流端部から上流側へと、前記多条スクリュー部材の軸線方向にｎＰ以上の長さにわたって開口されていることを特徴とする現像装置である。
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月12日(2010.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無線で充電可能なバッテリーを有する一方の半導体装置と、同じく無線で充電可能なバッテリーを有する他方の半導体装置との間で、一方のバッテリーから他方のバッテリーに無線で電力の授受を行う通信システムにおいて、
アンテナ回路と、
前記アンテナ回路を介して無線通信を行う通信制御回路と、
前記アンテナ回路を介して無線で供給される電力が充電されるバッテリーと、
前記アンテナ回路を介して一方の半導体装置のバッテリーから他方の半導体装置のバッテリーに無線で電力の供給を行う発振回路と、
を有することを特徴とする通信システム。
【請求項２】
無線で充電可能なバッテリーを有する一方の半導体装置と、同じく無線で充電可能なバッテリーを有する他方の半導体装置との間で、一方のバッテリーから他方のバッテリーに無線で電力の授受を行う通信システムにおいて、
アンテナ回路と、
前記アンテナ回路を介して無線通信を行う通信制御回路と、
前記アンテナ回路を介して無線で供給される電力が充電されるバッテリーと、
前記一方の半導体装置のバッテリーの充電状態と、前記他方の半導体装置のバッテリーの充電状態とを比較する比較演算回路と、
前記比較演算回路における比較結果に基づいて、前記アンテナ回路を介して一方の半導体装置のバッテリーから他方の半導体装置のバッテリーに無線で電力の供給を行う発振回路と、
を有する通信システム。
【請求項３】
無線で充電可能なバッテリーを有する一方の半導体装置と、同じく無線で充電可能なバッテリーを有する他方の半導体装置との間で、一方のバッテリーから他方のバッテリーに無線で電力の授受を行う通信システムにおいて、
アンテナ回路と、
前記アンテナ回路を介して無線通信を行う通信制御回路と、
前記アンテナ回路を介して無線で供給される電力が充電されるバッテリーと、
前記バッテリーの充電状態をデジタル値に変換するデータ変換回路と、
前記一方の半導体装置のバッテリーの充電状態と、前記他方の半導体装置のバッテリーの充電状態とを比較する比較演算回路と、
前記比較演算回路における比較結果に基づいて、前記アンテナ回路を介して一方の半導体装置のバッテリーから他方の半導体装置のバッテリーに無線で電力の供給を行う発振回路と、
を有する通信システム。
【請求項４】
無線で充電可能なバッテリーを有する一方の半導体装置と、同じく無線で充電可能なバッテリーを有する他方の半導体装置との間で、一方のバッテリーから他方のバッテリーに無線で電力の授受を行う通信システムにおいて、
第１のアンテナ回路と、
第２のアンテナ回路と、
前記第１のアンテナ回路を介して無線通信を行う通信制御回路と、
前記第２のアンテナ回路を介して無線で供給される電力が充電されるバッテリーと、
前記一方の半導体装置のバッテリーの充電状態と、前記他方の半導体装置のバッテリーの充電状態とを比較する比較演算回路と、
前記比較演算回路における比較結果に基づいて、前記第２のアンテナ回路を介して一方の半導体装置のバッテリーから他方の半導体装置のバッテリーに無線で電力の供給を行う発振回路と、
を有することを特徴とする通信システム。
【請求項５】
無線で充電可能なバッテリーを有する一方の半導体装置と、同じく無線で充電可能なバッテリーを有する他方の半導体装置との間で、一方のバッテリーから他方のバッテリーに無線で電力の授受を行う通信システムにおいて、
第１のアンテナ回路と、
第２のアンテナ回路と、
前記第１のアンテナ回路を介して無線通信を行う通信制御回路と、
前記第２のアンテナ回路を介して無線で供給される電力が充電されるバッテリーと、
前記バッテリーの充電状態をデジタル値に変換するデータ変換回路と、
前記データ変換回路によりデジタル値に変換された一方の半導体装置の前記バッテリーの充電状態と、前記データ変換回路によりデジタル値に変換された前記他方の半導体装置のバッテリーの充電状態とを比較する比較演算回路と、
前記比較演算回路における比較結果に基づいて、前記第２のアンテナ回路を介して一方の半導体装置のバッテリーから他方の半導体装置のバッテリーに無線で電力の供給を行う発振回路と、
を有することを特徴とする通信システム。
【請求項６】
請求項４又は請求項５において、
前記第１のアンテナ回路に設けられた第１のアンテナと、前記第２のアンテナ回路に設けられた第２のアンテナは形状が異なることを特徴とする通信システム。
【請求項７】
請求項６において、
前記第１のアンテナと前記第２のアンテナの一方は、コイル状であることを特徴とする通信システム。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項において、
前記通信制御回路は、復調回路、変調回路、論理回路及び記憶回路を有することを特徴とする通信システム。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一項において、
前記バッテリーは、リチウム電池、ニッケル水素電池、又は電気二重層コンデンサーであることを特徴とする通信システム。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか一項において、
前記半導体装置の一方は、リーダー／ライターであることを特徴とする通信システム。
【請求項１１】
アンテナ回路と、前記アンテナ回路を介して無線通信を行う通信制御回路と、前記アンテナ回路を介して無線で供給される電力が充電されるバッテリーとをそれぞれ有する複数の半導体装置の間で、一方のバッテリーから他方のバッテリーに無線で電力の授受を行う半導体装置の充電方法であって、
無線で通信している半導体装置の間でバッテリーの電圧を比較し、
前記比較結果に基づいて、一方の半導体装置のバッテリーから他方の半導体装置のバッテリーに電力を授受することを特徴とする半導体装置の充電方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】通信システムおよび半導体装置の充電方法
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月13日(2011.1.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体フィルム上に金属蒸着電極を形成した金属化フィルムを一対とし、上記金属蒸着電極が誘電体フィルムを介して対向するように重ね合わせて巻回した素子と、
この素子の両端面に金属溶射によって形成された一対のメタリコン電極からなる金属化フィルムコンデンサにおいて、
上記金属化フィルムとして、誘電体フィルムの幅方向の一端側に非金属蒸着部からなる絶縁マージンを長手方向に連続して設けると共に、
この絶縁マージンから他端側に向かって非金属蒸着部からなる横マージンを設けることにより複数の分割電極が形成され、
かつ、誘電体フィルムの長手方向に亘って非金属蒸着部からなる縦マージンを設け、
この縦マージンと横マージンの少なくとも一方が、金属化フィルムを巻回して素子を作製する際の走行方向に対して傾斜するようにしたものを用いた金属化フィルムコンデンサ。
【請求項２】
金属化フィルムに設けられる横マージンを山形状または円弧状にし、この山形状または円弧状の頂部が金属化フィルムを製造する際の誘電体フィルムの走行方向に向かうようにした請求項１に記載の金属化フィルムコンデンサ。
【請求項３】
縦マージンまたは横マージンにヒューズ部を設けることにより、複数の分割電極を夫々並列接続した自己保安機構を設けた請求項１に記載の金属化フィルムコンデンサ。
【請求項４】
金属化フィルムを構成する誘電体フィルムとしてポリプロピレンフィルムを用いた請求項１に記載の金属化フィルムコンデンサ。
【請求項５】
ポリプロピレンフィルムとして厚みが３μｍ以下のものを用いた請求項４に記載の金属化フィルムコンデンサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記課題を解決するために本発明は、金属化フィルムコンデンサを構成する金属化フィルムが、誘電体フィルムの幅方向の一端側に非金属蒸着部からなる絶縁マージンを長手方向に連続して設けると共に、この絶縁マージンから他端側に向かって非金属蒸着部からなる横マージンを設けることにより複数の分割電極が形成され、かつ、誘電体フィルムの長手方向に亘って非金属蒸着部からなる縦マージンを設け、この縦マージンと横マージンの少なくとも一方が、金属化フィルムを巻回して素子を作製する際の走行方向に対して傾斜するようにした構成のものである。
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月14日(2010.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系の物体面に配置されたパターンを照明し、前記光学系の像面に形成された前記パターンに対応する光強度分布を計測する計測装置であって、
前記光学系の像面に配置され、スリットが設けられた遮光部材と、前記スリットを透過した光を受光する複数の受光部とを含むセンサと、
前記遮光部材を走査することによって前記複数の受光部で検出された信号の位相差と前記複数の受光部の位置関係とに基づいて、前記遮光部材の回転を制御する制御部と
を具備することを特徴とする計測装置。
【請求項２】
前記スリットの長さは、前記複数の受光部の中心間距離よりも長い
ことを特徴とする請求項１記載の計測装置。
【請求項３】
前記複数の受光部は、２次元状に配列された画素アレイである
ことを特徴とする請求項１又は２記載の計測装置。
【請求項４】
前記遮光部材は、
前記光強度分布を計測するための計測スリットと、
前記計測スリットと異なった角度で配置されたアライメントスリットと
を有し、
前記制御部は、
前記アライメントスリットを用いて前記複数の受光部により信号の検出を行なわせ、前記複数の受光部で検出された信号の位相差と前記複数の受光部の位置関係とに基づいて前記遮光部材の回転を制御した後、前記計測スリットを用いて前記光強度分布の計測を行なう
ことを特徴とする請求項１乃至３いずれか一項に記載の計測装置。
【請求項５】
前記遮光部材は、
前記光強度分布を計測するための計測スリットと、
前記計測スリットよりも長手方向に長い形状を有するアライメントスリットと
を有し、
前記制御部は、
前記アライメントスリットを用いて前記複数の受光部により信号の検出を行なわせ、前記複数の受光部で検出された信号の位相差と前記複数の受光部の位置関係とに基づいて前記遮光部材の回転を制御した後、前記計測スリットを用いて前記光強度分布の計測を行なう
ことを特徴とする請求項１乃至３いずれか一項に記載の計測装置。
【請求項６】
前記スリットを通した受光により得られたスリットスキャン信号を該スリットの透過特性を用いて補正する
ことを特徴とする請求項１乃至５いずれか一項に記載の計測装置。
【請求項７】
光学系の物体面に配置されたパターンを照明し、前記光学系の像面に形成された前記パターンに対応する光強度分布を計測する光強度分布計測方法であって、
前記光学系の像面に配置され、スリットが設けられた遮光部材と、前記スリットを透過した光を受光する複数の受光部とを含むセンサを用いて前記スリットを透過した光を受光する受光工程と、
前記遮光部材を走査することによって前記複数の受光部で検出された信号の位相差と前記複数の受光部の位置関係とに基づいて、前記遮光部材の回転を制御する制御工程と
を含むことを特徴とする光強度分布計測方法。
【請求項８】
光学系の物体面に配置された原版のパターンを該光学系によって基板に投影し該基板を露光する露光装置であって、
前記光学系の物体面に配置されたパターンを照明する照明光学系と、
前記光学系の像面に該パターンに対応する光強度分布を形成する投影光学系と、
前記照明光学系による照明により前記像面に配置された遮光部材のスリットを通して前記光強度分布を計測する計測部と
を具備し、
前記計測部は、
前記スリットを透過した光を受光する複数の受光部を含むセンサと、
前記遮光部材を走査することによって前記複数の受光部で検出された信号の位相差と前記複数の受光部の位置関係とに基づいて、前記遮光部材の回転を制御する制御部と
を具備することを特徴とする露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の一態様は、光学系の物体面に配置されたパターンを照明し、前記光学系の像面に形成された前記パターンに対応する光強度分布を計測する計測装置であって、前記光学系の像面に配置され、スリットが設けられた遮光部材と、前記スリットを透過した光を受光する複数の受光部とを含むセンサと、前記遮光部材を走査することによって前記複数の受光部で検出された信号の位相差と前記複数の受光部の位置関係とに基づいて、前記遮光部材の回転を制御する制御部とを具備することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の一態様は、光学系の物体面に配置されたパターンを照明し、前記光学系の像面に形成された前記パターンに対応する光強度分布を計測する光強度分布計測方法であって、前記光学系の像面に配置され、スリットが設けられた遮光部材と、前記スリットを透過した光を受光する複数の受光部とを含むセンサを用いて前記スリットを透過した光を受光する受光工程と、前記遮光部材を走査することによって前記複数の受光部で検出された信号の位相差と前記複数の受光部の位置関係とに基づいて、前記遮光部材の回転を制御する制御工程とを含むことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の一態様は、光学系の物体面に配置された原版のパターンを該光学系によって基板に投影し該基板を露光する露光装置であって、前記光学系の物体面に配置されたパターンを照明する照明光学系と、前記光学系の像面に該パターンに対応する光強度分布を形成する投影光学系と、前記照明光学系による照明により前記像面に配置された遮光部材のスリットを通して前記光強度分布を計測する計測部とを具備し、前記計測部は、前記スリットを透過した光を受光する複数の受光部を含むセンサと、前記遮光部材を走査することによって前記複数の受光部で検出された信号の位相差と前記複数の受光部の位置関係とに基づいて、前記遮光部材の回転を制御する制御部とを具備することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月12日(2010.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電電極に高電圧を印加して正極のイオンと負極のイオンを交互に生成すると共に該放電電極の回りからエアを噴出させて、該エアによりイオンを被除電物に向けて搬送して該被除電物の除電を行う除電装置において、
前記エアの噴出を開閉するための開閉弁と、
該開閉弁の開閉及び前記放電電極に印加する高電圧を制御する制御手段とを有し、
正極及び負極の高電圧の１周期の印加を基本単位として単数の周期又は連続した複数の周期と同期した期間、前記開閉弁を開弁させ、そして、一の開弁期間と次の開弁期間との間に前記開閉弁を閉弁させるインターバル期間が設けられたエア間欠噴出制御によって前記開閉弁の開閉制御が実行されることを特徴とする除電装置。
【請求項２】
エア源から開閉弁を介して供給されるエアを放電電極の回りから噴出させると共に、該放電電極に高電圧を印加して正極のイオンと負極のイオンを交互に生成して、前記エア源から供給される前記エアによってイオンを被除電物に向けて搬送して該被除電物の除電を行う除電装置において、
前記開閉弁の開閉及び前記放電電極に印加する高電圧を制御する制御手段を有し、
正極及び負極の高電圧の１周期の印加を基本単位として単数の周期又は連続した複数の周期と同期した期間、前記開閉弁を開弁させ、そして、一の開弁期間と次の開弁期間との間に前記開閉弁を閉弁させるインターバル期間が設けられたエア間欠噴出制御によって前記開閉弁の開閉制御が実行されることを特徴とする除電装置。
【請求項３】
前記インターバル期間が、正極及び負極の１周期の高電圧印加に含まれる正極又は負極の高電圧印加の期間を基本単位として、単数の基本単位又は連続した複数の基本単位の期間が設定される、請求項１又は２に記載の除電装置。
【請求項４】
前記制御手段に、除電制御の終了を意味する制御終了要求信号が入力されたときに、該制御終了要求信号が入力された時点において放電電極に印加されている正極又は負極の高電圧を印加する制御を継続し、該正極又は負極の高電圧を前記放電電極に印加する制御が完了した時点で前記放電電極に対する高電圧の印加を終了させる高電圧印加終了制御が実行される、請求項１〜３のいずれか一項に記載の除電装置。
【請求項５】
前記制御手段に、除電制御の終了を意味する制御終了要求信号が入力されたときに、該制御終了要求信号が入力された時点において実行されている周期の高電圧制御が完了した時点で前記放電電極に対する高電圧の印加を終了させる高電圧印加終了制御が実行される、請求項１〜３のいずれか一項に記載の除電装置。
【請求項６】
前記制御手段に、除電制御の終了を意味する制御終了要求信号が入力されたときに、該制御終了要求信号が入力された時点において実行されている正極又は負極の高電圧制御が完了した後に、他方の極性の高電圧を前記放電電極に印加する制御を実行し、該他方の極性の高電圧制御が完了した時点で前記放電電極に対する高電圧の印加を終了させる高電圧印加終了制御が実行される、請求項１〜３のいずれか一項に記載の除電装置。
【請求項７】
前記制御手段に、除電制御の終了を意味する制御終了要求信号が入力されたときに、前記放電電極に対する高電圧制御を直ちに終了させることなく、該放電電極に高電圧を印加することにより生成されるイオン量を徐々に低下させる高電圧印加終了制御が実行され、該高電圧印加終了制御が完了した時点で、前記放電電極に対する高電圧の印加を終了させる、請求項１〜３のいずれか一項に記載の除電装置。
【請求項８】
前記制御手段に、除電制御の終了を意味する制御終了要求信号が入力されたときに、前記高電圧印加終了制御において、前記高電圧印加の少なくとも１周期に同期した期間、前記開閉弁が開弁される、請求項４〜７のいずれか一項に記載の除電装置。
【請求項９】
前記制御手段に、除電制御の終了を意味する制御終了要求信号が入力された時点における前記開閉弁の開閉制御が前記インターバル期間であるときに、前記高電圧印加終了制御中、前記開閉弁の閉弁状態が継続される、請求項４〜７のいずれか一項に記載の除電装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月20日(2010.12.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【特許文献１】特開昭62-074048号公報
【特許文献２】特開平01-117303号公報
【特許文献３】国際公開WO2006/043348号パンフレット
【特許文献４】特開2007-287875号公報
【特許文献５】特開2007-287874号公報
【特許文献６】特開2007-053351号公報
【特許文献７】特開2006-303435号公報
【非特許文献１】K. T. Park他、「Nd-Fe-B薄膜焼結磁石の保磁力への金属被覆と加熱の効果」、第16回希土類磁石とその応用に関する国際会議会議録、社団法人日本金属学会発表、2000年、第257-264頁（K. T. Park et al., "Effect of Metal−Coating and Consecutive Heat Treatment on Coercivity of Thin Nd−Fe−B Sintered Magnets", Proceeding of the Sixteenth International Workshop on Rare−Earth Magnets and their Applications (2000), pp. 257-264.)
【非特許文献２】石垣尚幸  他、「ネオジム系微小焼結磁石の表面改質と特性向上」、NEOMAX技報、株式会社NEOMAX発行、2005年、第15巻、第15-19頁
【非特許文献３】町田憲一  他、「Nd-Fe-B系焼結磁石の粒界改質と磁気特性」、粉体粉末冶金協会平成16年春季大会講演概要集、粉体粉末冶金協会発行、1-47A
【非特許文献４】廣田晃一  他、「粒界拡散法によるNd-Fe-B系焼結磁石の高保磁力化」、粉体粉末冶金協会平成17年春季大会講演概要集、粉体粉末冶金協会発行、第143頁
【非特許文献５】町田憲一  他、「粒界改質型Nd-Fe-B系焼結磁石の磁気特性」、粉体粉末冶金協会平成17年春季大会講演概要集、粉体粉末冶金協会発行、第144頁
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
次に、c)の条件の技術的意義を説明する。これまでの粒界拡散法に関する文献において見逃されていたことは、基材表面に塗布するDyあるいはTbの量が重要であるということである。本発明者は、a)の条件が満たされ、基材中に十分な量の金属状態の希土類が存在して、粒界に多量の希土類リッチ相が存在すれば、基材表面に多量の金属状態のDyやTbを含む層を堆積させると、多量のこれらの金属が粒界を通じて基材深部に拡散し、その結果、これまで達成できなかった高保磁力を持つNdFeB焼結磁石ができ、また厚い磁石の高保磁力化も可能になることを見出した。多量の金属状態のDyやTbを基材表面に堆積させるために、c)の条件が必要である。ここでa)の条件が満たされない基材の表面にDyやTbを多量に堆積させても、これらの金属の粒界拡散は、きわめて遅いか、表面近傍のみに限定され、粒界拡散による高保磁力化は小さく、また厚い磁石には有効ではない。従来技術としての特許文献４において、実施例のすべてについて、基材にDyやTbを含まないとき、粒界拡散処理によって達成される保磁力は1.290MA/m以下であるのは、使用されている粉体中に含まれるDy量が15〜20at%(約30〜38mass%)と低いことが一因であると推定される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
次に、粒界拡散処理のために基材表面に塗布する粉体について説明する。本発明で使用する粉体は金属状態のDyあるいは／及びTbを50mass%以上含む必要がある。粉体は合金粉あるいは混合粉が用いられる。合金粉はあらかじめDyやTbと他の金属との合金を作製して、その後粉砕したものである。混合粉はDyやTbの純金属粉末あるいは、これらの純金属粉末と他の金属粉末との混合物である。これらの合金粉あるいは混合粉は粉砕のために水素化されていてもよい。希土類あるいは希土類を含む合金は水素化すると脆くなり粉砕しやすくなることはよく知られている。これらの金属あるいは合金中に含まれる水素は、粒界拡散処理のために基材に粉体を塗布する前に、粉体を加熱することにより除去することができる。しかし、粉体中に水素が一部残留していても、粒界拡散処理のために基材に粉体を塗布した後、加熱していくと、粒界拡散が始まる前に、水素は粉体から離脱していく。粉体の組成として、このように粒界拡散前に離脱していく水素や、粉体に吸着している気体成分あるいは粉体塗布のため使用される樹脂成分は計算に入れないことにする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
【図１】本発明に係るNdFeB焼結磁石の実施例１〜３及び比較例において使用したNdFeB焼結磁石基材の組成を示す表。
【図２】実施例１〜４及び比較例において粒界拡散処理に用いた粉末の組成を示す表。
【図３】実施例１及び比較例のNdFeB焼結磁石につき、保磁力を測定した結果を示す表。
【図４】実施例２及び比較例のNdFeB焼結磁石につき、比較的厚い（厚さ5〜6mm）基材について保磁力及び磁化曲線の角型性の指標SQ値を測定した結果を示す表。
【図５】Alを含まない粉体を用いて粒界拡散処理を行った（実施例３）NdFeB焼結磁石の保磁力を測定した結果を示す表。
【図６】実施例４において粒界拡散処理に用いた粉末の組成を示す表。
【図７】実施例４のNdFeB焼結磁石について保磁力及びSQ値を測定した結果を示す表。
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月24日(2010.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する磁気ディスク上に浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドスライダであって、
前記データの書き込み及び読み出しを行う記録再生素子と、
前記記録再生素子に対して当該磁気ヘッドスライダの幅方向の一方の側に配された、通電により発熱する発熱素子と、
少なくとも前記記録再生素子と前記発熱素子との間に介在し、前記発熱素子の発熱に応じて膨張する部材とを含み、
前記磁気ディスクと対向する浮上面が、少なくともステップ軸受面、浅溝面および深溝面を含む、互いに深さが異なる複数の面で構成され、
前記発熱素子を前記浮上面に投影したときの位置が、前記浅溝面よりも深い面内に包含される、
磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
回転する磁気ディスク上に浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドスライダであって、
前記データの書き込み及び読み出しを行う記録再生素子と、
前記記録再生素子に対して当該磁気ヘッドスライダの幅方向の両方の側にそれぞれ配された、通電により発熱する複数の発熱素子と、
少なくとも前記記録再生素子と前記各発熱素子との間に介在し、前記各発熱素子の発熱に応じて膨張する部材と、
を含み、
前記磁気ディスクと対向する浮上面が、少なくともステップ軸受面、浅溝面および深溝面を含む、互いに深さの異なる複数の面で構成され、
前記各発熱素子を前記浮上面に投影したときの各位置が、前記浅溝面よりも深い面内に包含される、
磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記各発熱素子を前記浮上面に投影したときの各位置が、前記磁気ディスクに最も近接する面から１５０ｎｍ以上深い面内に包含される、
請求項２に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
前記発熱素子を前記浮上面に投影したときの位置が、前記浅溝面よりも深く、前記深溝面よりも浅い面内に包含される、
請求項１乃至３の何れか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
回転する磁気ディスク上に浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドスライダであって、
前記データの書き込み及び読み出しを行う記録再生素子と、
前記記録再生素子に対して当該磁気ヘッドスライダの幅方向の一方の側に配された、通電により発熱する発熱素子と、
少なくとも前記記録再生素子と前記発熱素子との間に介在し、前記発熱素子の発熱に応じて膨張する部材とを含み、
前記磁気ディスクと対向する浮上面が、互いに深さの異なる複数の面で構成され、
前記発熱素子を前記浮上面に投影したときの位置が、前記磁気ディスクに最も近接する面から１５０ｎｍ以上深い面内に包含される、
磁気ヘッドスライダ。
【請求項６】
前記発熱素子が薄膜抵抗体である、
請求項１乃至５の何れか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項７】
スライダ基板と、前記スライダ基板の空気流出側の端部に形成された薄膜積層部とを含み、
前記記録再生素子および前記発熱素子が前記薄膜積層部内に形成されている、
請求項１乃至６の何れか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項８】
前記発熱素子が、前記薄膜積層部のうち前記記録再生素子の少なくとも一部を含む層と同じ層に形成されている、
請求項７に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項９】
前記幅方向に沿った前記記録再生素子と前記発熱素子との間の距離が１０μｍ以上１００μｍ以下である、
請求項１乃至８の何れか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１０】
前記発熱素子が、前記幅方向に延伸した扁平形状を有する、
請求項１乃至９の何れか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１１】
前記記録再生素子に対して前記発熱素子よりも外側の部材が、前記記録再生素子と前記発熱素子との間に介在する部材よりも変形しにくい、
請求項１乃至１０の何れか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１２】
前記記録再生素子に対して前記発熱素子とは反対側の部材が、前記記録再生素子と前記発熱素子との間に介在する部材よりも変形しやすい、
請求項１乃至１１の何れか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１３】
前記記録再生素子が前記幅方向の端部に配されている、
請求項１乃至１２の何れか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１４】
トラックに沿ってデータが記録された磁気ディスクと、
前記磁気ディスクを回転させるディスクアクチュエータと、
前記回転する磁気ディスク上に浮上し、データの書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドスライダであって、前記データの書き込み及び読み出しを行う記録再生素子、前記記録再生素子に対して前記トラックの幅方向の少なくとも一方の側に配された、通電により発熱する発熱素子、及び少なくとも前記記録再生素子と前記発熱素子との間に介在し、前記発熱素子の発熱に応じて膨張する部材、を含む磁気ヘッドスライダと、
前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド支持部と、
前記ヘッド支持部を駆動して、前記磁気ヘッドスライダを前記磁気ディスクに対して相対移動させるヘッドアクチュエータと、
前記記録再生素子が読み出したデータを基に、前記トラックに対する前記記録再生素子の位置誤差を算出する算出回路と、
前記記録再生素子の位置誤差に応じて前記ヘッドアクチュエータを駆動する粗動制御回路と、
前記記録再生素子の位置誤差に応じて前記発熱素子に通電する微動制御回路と、
を備える磁気ディスク装置。
【請求項１５】
前記微動制御回路は、前記発熱素子の電流量或いは電力量を制御する、
請求項１４に記載の磁気ディスク装置。
【請求項１６】
前記微動制御回路は、発熱素子への通電に対する記録再生素子の変位の時間遅れを補償する補償器を含む、
請求項１４又は１５に記載の磁気ディスク装置。
【請求項１７】
前記微動制御回路は、前記発熱素子の電流量或いは電力量を、前記記録再生素子の位置誤差に応じて、基準となる電流量或いは電力量から増減させる、
請求項１４乃至１６の何れか１項に記載の磁気ディスク装置。
【請求項１８】
前記記録再生素子に対して前記トラックの幅方向の両方の側に前記発熱素子がそれぞれ配され、
前記微動制御回路は、前記記録再生素子の位置誤差に応じて、前記複数の発熱素子に選択的に通電する、
請求項１４乃至１７の何れか１項に記載の磁気ディスク装置。