Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月9日(2010.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸発したイオン源材料を受入れる入口（119）を有する本体（96）と、
前記イオン源材料が電子放出要素（110）によってイオン化されてプラズマを作り出すためのイオン室（108）と、
前記プラズマからなるイオンビームを引き出すための出口開口（126）と、
前記蒸発したイオン源材料のイオン化中に、前記イオン室（108）の壁面（128）の温度を低下させる冷却機構（100、104）とを含み、
前記入口（119）は、前記イオン源材料が前記本体内を通過するとき、蒸発したイオン源材料を加熱するための加熱機構（90）を備えていることを特徴とするイオン注入装置用のイオナイザー。
【請求項２】
前記蒸発したイオン源材料は、蒸発したデカボランであることを特徴とする請求項１記載のイオナイザー。
【請求項３】
前記本体（96）は、ほぼ円筒形状で、アルミニウムから作られていることを特徴とする請求項２記載のイオナイザー。
【請求項４】
前記冷却機構は、冷却媒体が循環する１つまたはそれ以上の通路（100、104）からなることを特徴とする請求項２記載のイオナイザー。
【請求項５】
前記冷却機構は、イオン室（108）の壁面を３５０℃以下に維持して、蒸発したデカボラン分子の解離を防止することを特徴とする請求項２記載のイオナイザー。
【請求項６】
前記出口開口（126）は、平方センチ当り１ミリアンペア（ｍＡ／ｃｍ2）以下のビーム電流密度で、１００〜５００μアンペアの集束したイオンビーム電流を与えるように寸法づけられていることを特徴とする請求項２記載のイオナイザー。
【請求項７】
前記プラズマは、前記イオン室内で１０10／ｃｍ3のオーダの密度を有することを特徴とする請求項２記載のイオナイザー。
【請求項８】
前記電子放出要素（110）は、プラズマを作り出すために前記イオン室（108）内に蒸発したデカボランに衝突する第２群の電子を放出するエンドキャップ（118）に向って加速する第１群の電子を放出するフィラメント（114）を含み、さらに、前記電子放出要素に向かって戻る第２群の電子の一部を反射させるためのリペラー（112）を含むことを特徴とする請求項２記載のイオナイザー。
【請求項９】
前記リペラー（112）は、水冷されていることを特徴とする請求項８記載のイオナイザー。
【請求項１０】
エンドキャップ（118）とイオン室の壁面（128）との間のアーク放電は、約５ワットの出力でかつ約５０ミリアンペア（ｍＡ）の電流レベルで作動していることを特徴とする請求項８記載のイオナイザー。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】イオナイザー
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明のイオン注入装置用のイオナイザーは、蒸発したイオン源材料を受入れる入口を有する本体と、イオン源材料が電子放出要素によってイオン化されてプラズマを形成するためのイオン室と、プラズマからなるイオンビームを引き出すための出口開口と、蒸発したイオン源材料のイオン化中に、イオン室の壁面の温度を低下させる冷却機構とを含み、前記入口は、前記イオン源材料が前記本体内を通過するとき、蒸発したイオン源材料を加熱するための加熱機構を備えていることを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月30日(2011.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータに軸方向力を働かす空力と圧力に関してガスタービンは、これら力が無負荷と低部分負荷において負的推力を形成し、高負荷と全負荷において正的推力を形成するように設計されている、推力補償を備えるガスタービンを操作する方法において、ドラムカバーと第一タービンデスクの間の実質的に環状空間がシールによって外部環状空間（１１）と内部環状空間（１０）とに分割され、これら二つの空間の一方が推力制御するために圧力を作用され、それにより制御されて正付加的推力が印加され、それにより生じる軸方向支持力が全負荷範囲内に積極的に維持され、高負荷範囲では圧力作用する圧縮空気が使用されないことを特徴とする方法。
【請求項２】
タービンロータが高圧冷却空気を供給される環状空間中の静的圧力が環状空間内の流れに旋回を加えることによって下降されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
外部環状空間（１１）がタービンロータに冷却空気を供給するために使用され、内部環状空間（１２）が推力制御するために使用されることを特徴とする請求項１或いは２に記載の方法。
【請求項４】
推力を制御するために、コンプレッサ高圧室（２）からの圧縮空気が使用され、コンプレッサ端の上流にコンプレッサ取出し箇所からの圧縮空気が使用され、外部源からの圧縮空気が使用され、外部源からの蒸気が使用されるか、或いはそれらの少なくとも一つが使用されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかの一項に記載の方法。
【請求項５】
推力が圧力制御するために少なくとも一つの制御弁（１５）を介して制御され、この制御弁が低負荷で開放され、個別制限値を越えると、閉鎖され、個別制限値を下回ると、制御弁（１５）が再び開放されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかの一項に記載の方法。
【請求項６】
少なくとも一つの制御弁（１５）を開放する制限値が閉鎖する制限値より高いことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
少なくとも一つの制御弁（１５）が付加的推力を調整させるために負荷に比例して閉鎖されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかの一項に記載の方法。
【請求項８】
付加的推力を調整させるために、外部環状空間（１１）とコンプレッサ端圧（２）の間の圧力比が予め設定され、この比が少なくとも一つの制御弁（１５）を介して制御されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかの一項に記載の方法。
【請求項９】
内部環状空間とコンプレッサ端圧の間の圧力比が負荷の函数、或いは他の関連作用パラメータの函数、或いはガスタービンの作用パラメータの組合せであることを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
現構造部材を利用することにより、タービンロータの圧力を作用できる少なくとも一つの面、或いは部分的領域を有する請求項１に記載の方法を実施するガスタービンにおいて、ドラムカバーと第一タービンデスクの間の実質的に環状空間がタービンデスクパッキング（９）によって外部環状空間（１１）と内部環状空間（１０）とに分割され、これら二つの空間の一方がタービンロータの圧力を作用できる部分的領域であることを特徴とするガスタービン。
【請求項１１】
ガスタービンが圧力作用させるために、コンプレッサ高圧室（２）から、或いはコンプレッサ取出し箇所からの制御弁（１５）を備える少なくとも一つの導管（１４）と、圧力を作用できる環状空間への導管（１６）とを有することを特徴とする請求項１０に記載のガスタービン。
【請求項１２】
ガスタービンが圧力を作用できる環状空間内の圧力を測定する及びコンプレッサ端圧を測定する又はそのいずれか一方を測定する少なくとも一つの圧力測定装置を有することを特徴とする請求項１０或いは１１に記載のガスタービン。
【請求項１３】
ガスタービンが最終コンプレッサブレードの後にロータドラム（６）とドラムカバー（５）の間の環状通路（７）並びにロータ冷却空気導入部（１２）と回転格子（１３）を包含し、これらロータ冷却空気導入部と回転格子を介して冷却空気がドラムカバーと第一タービンデスクの間の環状通路に案内できることを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載のガスタービン。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月12日(2011.1.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−６１０７２号公報
【特許文献２】特開２００２−１１５３５７号公報
【特許文献３】特開２００２−９６７号公報
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、第２の解決手段は、連結具本体の内側奥端に略Ｖ字状の保持ストッパー部を形成するとしたことで、
所定の貼付け位置を設定すると共に連結具本体に加わる剥がす方向の外力に抵抗し、また板状体及び支柱体を保持するように作用する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
さらに加えて、第７の解決手段の連結具本体の対向する接着支持体にパネルなど板状体を複数枚挟着するとしているので、
連結具本体が板厚に左右されず、また市販される板状のどの様な材質のものでも使用できることから、発泡性の薄板を複数枚重ね、又は各薄板の間に空間を設けて断熱、防音用の間仕切りに使用でき、使用する板の機能をそのままの形で利用でき、板のもつ各機能によりその空間に対応する。
よって、本発明は、実用上著大な効果を奏する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明の実施例を図面に基づいて説明すると、図１において、１は連結具で、該連結具１は、長手方向に連続する断面略Ｕ字状の連結具本体２と薄板状の接着支持体３，３を有し、該接着支持体３，３は連結具本体２の略Ｕ字状の両先端側から内側に折返すように、連結具本体２と所定間隔を持って一体的にそれぞれ設けられ、該接着支持体３，３同士が近接対向する状態で押出し成型にて長手方向に連続して形成される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
上述、一対の突状係止体９と凹状係止体１３の係止状態に於いて、突状誘導部１０が凹状誘導部１５に嵌入され、また凹状当接掛止部１１と突状当接掛止部１６が当接嵌合して保持され、さらに基端掛止部１２と鈎状掛止部１７同士が嵌合掛止して、突状係止体９と凹状係止体１３が連結係止される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
而して、図３から図５に示すパネルなど板状体１８の使用可能範囲は、連結具１の連結具本体２が所定形状の巾まで開口するその巾と、略同巾の板厚まで使用可能で、その使用巾の範囲の板状体１８の板厚であれば、板厚に左右されることなく使用でき、また該板状体１８の使用種類に於いては、紙又はプラスチックの段ボール、発泡スチロールなど発泡性板、透光性のアクリル又はガラス板、パネルなど板状体をカーボンなどの導電性材料を含有させた樹脂の電波吸収体又はパンチングメタルなどの鋼板、所定形状のパネルなど、板状のものであれば上記使用可能範囲で使用して、該使用する板の機能を、そのまま間仕切りなど、組合わせて形成する所定形状空間に適用できる。
【手続補正書】
【提出日】平成23年8月11日(2011.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内情報生成装置であって、
経度と緯度を含む複数の座標情報を、順序を特定可能な態様で受け付ける座標情報受付手段と、
前記複数の座標情報と前記順序とに基づいて定まる経路上において、点または区間の指定を受け付ける指定受付手段と、
前記経路上の点または区間に関連する属性情報を受け付ける属性情報受付手段と、
前記複数の座標情報が前記順序を特定可能な態様で記録されると共に、前記属性情報が前記経路上の点または区間に関連付けて記録された、案内情報を生成する案内情報生成手段と、
を備える、案内情報生成装置。
【請求項２】
請求項１に記載の案内情報生成装置であって、
前記座標情報受付手段は、地図上で指定された軌跡上の複数の点に対応する前記複数の座標情報を前記軌跡の入力順序が特定可能な態様で取得する、案内情報生成装置。
【請求項３】
請求項１に記載の案内情報生成装置であって、
前記座標情報受付手段は、現在位置を表す一連の現在位置情報により特定される移動軌跡上の複数の点に対応する前記複数の座標情報を前記移動軌跡の取得順序が特定可能な態様で取得する、案内情報生成装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の案内情報生成装置であって、
前記座標情報受付手段は、同じ座標を表す複数の座標情報でも順序が異なれば異なる座標情報として扱う、案内情報生成装置。
【請求項５】
請求項４に記載の案内情報生成装置であって、
前記指定受付手段は、前記経路と、重複する点および区間が無いように前記経路を変換した簡略経路と、を表示し、表示された前記経路と前記簡略経路との少なくとも一方において点または区間の指定を受け付ける、案内情報生成装置。
【請求項６】
請求項５に記載の案内情報生成装置であって、
前記指定受付手段は、表示された前記経路と前記簡略経路との一方において点または区間の指定を受け付けると、他方において対応する点または区間を表示する、案内情報生成装置。
【請求項７】
請求項２に記載の案内情報生成装置であって、
前記座標情報受付手段は、前記複数の座標情報が表す座標が道路上の位置であるか否かにかかわらず、前記複数の座標情報と前記順序とに基づいて経路を設定する、案内情報生成装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の案内情報生成装置であって、
前記属性情報受付手段は、インターネット上に公開された前記案内情報に対して前記インターネットを介して前記属性情報を受け付け可能である、案内情報生成装置。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の案内情報生成装置は、さらに、
現在位置を表す現在位置情報を逐次に取得する現在位置情報取得手段と、
前記案内情報に記録された前記複数の座標情報と前記現在位置情報とを、前記順序に従って照合する照合手段と、
前記照合の結果に応じて前記属性情報を用いつつ、前記経路を案内する案内手段と、
を備える案内情報生成装置。
【請求項１０】
コンピュータプログラムであって、
経度と緯度を含む複数の座標情報を、順序を特定可能な態様で受け付ける第１の機能と、
前記複数の座標情報と前記順序とに基づいて定まる経路上において、点または区間の指定を受け付ける第２の機能と、
前記経路上の点または区間に関連する属性情報を受け付ける第３の機能と、
前記複数の座標情報が前記順序を特定可能な態様で記録されると共に、前記属性情報が前記経路上の点または区間に関連付けて記録された案内情報を生成する第４の機能と、
をコンピュータに実現させるコンピュータプログラム。
【請求項１１】
コンピュータを用いて案内情報を生成する方法であって、
経度と緯度を含む複数の座標情報を、順序を特定可能な態様で受け付け、
前記複数の座標情報と前記順序とに基づいて定まる経路上において、点または区間の指定を受け付け、
前記経路上の点または区間に関連する属性情報を受け付け、
前記複数の座標情報を、前記順序が特定可能な態様で記録し、
前記属性情報を前記経路上の点または区間に関連付けて記録して案内情報を生成する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するために以下の形態または適用例として実現することが可能である。
第１の形態の装置は、案内情報生成装置であって、
経度と緯度を含む複数の座標情報を、順序を特定可能な態様で受け付ける座標情報受付手段と、
前記複数の座標情報と前記順序とに基づいて定まる経路上において、点または区間の指定を受け付ける指定受付手段と、
前記経路上の点または区間に関連する属性情報を受け付ける属性情報受付手段と、
前記複数の座標情報が前記順序を特定可能な態様で記録されると共に、前記属性情報が前記経路上の点または区間に関連付けて記録された、案内情報を生成する案内情報生成手段と、
を備える。この案内情報生成装置によれば、受け付けられた複数の座標情報が順序を特定可能な態様で記録されると共に、受け付けられた属性情報が経路上の点または区間を特定可能な態様で記録された案内情報が作成される。この結果、この案内情報を用いて、経路案内を行えば、利用者の好みに沿った柔軟で充実した経路案内が可能になる。
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月9日(2010.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）（Ｉ）式：
【化１】
2009041037.tif 000001
（式中、０．８≦（ａ＋ｂ＋ｃ）≦１．６であることを条件としてａは正の数値、ｂ及びｃは０又は正の数値であり、Ｒ1 、Ｒ2 及びＲ3 は、水素原子、ヒドロキシル基、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、オキシモ基、アルキルオキシモ基、アリールオキシモ基、アリール基、アルキルエポキシド基、アリールエポキシド基、アルキルカルボキシル基、アリールカルボキシル基、アルキルエーテル基、アリールエーテル基、アルキルアミド基、アリールアミド基、アルキルアミノ基及びアリールアミノ基からなる群から独立に選ばれる一価基である）により表される有機シリコーン樹脂；
（ＩＩ）（Ｉ）の加水分解性前駆体；並びに
（ＩＩＩ）（ＩＩ）から形成される加水分解生成物；
からなる群から選ばれる有機ケイ素組成物と、
（Ｂ）式：
【化２】
2009041037.tif 000002
（式中、各Ｒ4 はアルキル基又はアリール基から独立に選ばれる一価基であり、各Ｒ5 は水素原子、ヒドロキシル基、アルケニル基、アルコキシ基、オキシモ基、アルキルオキシモ基、アリールオキシモ基、アルキルエポキシド基、アリールエポキシド基、アルキルカルボキシル基、アリールカルボキシル基、アルキルアミド基、アリールアミド基、アルキルアミノ基及びアリールアミノ基からなる群から独立に選ばれる一価基であり、ｐは１、２又は３、ｑは１又は２、ｘは６以上の値、及びｙは０〜１０の値である）
により表されるシリコーンゴムとの共重合反応生成物の硬化物を含むゴム変性硬質シリコーン樹脂であって、前記ゴム変性シリコーン樹脂が少なくとも６．９×１０8 Ｐａのヤング率を有するように成分（Ｂ）が成分（Ａ）および成分（Ｂ）の合計質量の２質量％〜２０質量％の量で存在するゴム変性硬質シリコーン樹脂。
【請求項２】
少なくとも６．９×１０8 Ｐａのヤング率を有するゴム変性硬質シリコーン樹脂の製造方法であって、
（１）請求項１に記載の有機シリコーン組成物を有機溶剤中に溶解させる工程；
（２）触媒を加える工程；
（３）溶液からの共重合生成物の沈殿又はそれらのゲル化を引き起こすことなく成分（Ｂ）の全てを請求項１に記載の成分（Ａ）と共重合させる工程；
（４）共重合した溶液から揮発分を除去する工程；及び
（５）硬化を引き起こすのに十分な温度に揮発分が除去された前記共重合した溶液を加熱する工程；
を含む方法。
【請求項３】
（１）次の成分：
（Ａ）（Ｉ）実験式：
【化３】
2009041037.tif 000003
（式中、０．８≦（ａ＋ｂ＋ｃ）≦１．６であることを条件としてａは正の数値、ｂ及びｃは０又は正の数値であり、Ｒ1 、Ｒ2 及びＲ3 は、水素原子、ヒドロキシル基、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、オキシモ基、アルキルオキシモ基、アリールオキシモ基、アリール基、アルキルエポキシド基、アリールエポキシド基、アルキルカルボキシル基、アリールカルボキシル基、アルキルエーテル基、アリールエーテル基、アルキルアミド基、アリールアミド基、アルキルアミノ基及びアリールアミノ基からなる群から独立に選ばれる一価基である）により表される有機シリコーン樹脂であって、その加水分解性前駆体（ＩＩ）の加水分解及び縮合により形成される有機シリコーン樹脂；
（ＩＩ）（Ｉ）の加水分解性前駆体；並びに
（ＩＩＩ）（ＩＩ）から形成される加水分解生成物；
からなる群から選ばれる有機ケイ素組成物と、
（Ｂ）実験式：
【化４】
2009041037.tif 000004
（式中、各Ｒ4 はアルキル基又はアリール基から独立に選ばれる一価基であり、各Ｒ5 は、ヒドロキシル基、アルコキシ基、オキシモ基、アルキルオキシモ基、アリールオキシモ基、アルキルカルボキシル基及びアリールカルボキシル基からなる群から独立に選ばれる一価基であり、ｐは１、２又は３、ｑは１又は２、ｘは６以上の値、及びｙは０〜１０の値である）
により表されるシリコーンゴムとを有機溶剤中に溶解させる工程；
（２）縮合触媒を加える工程；
（３）溶液からの共重合生成物の沈殿又はそれらのゲル化を引き起こすことなく成分（Ｂ）の全てを成分（Ａ）と共重合させる工程；
（４）共重合した溶液から揮発分を除去する工程；及び
（５）硬化を引き起こすのに十分な温度に揮発分が除去された前記共重合した溶液を加熱する工程；
を含むゴム変性硬質シリコーン樹脂の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年7月25日(2011.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
上記した参照文献の全ては、その全体があらゆる有効目的のために本明細書の一部を構成する。
本発明を具現するある種の特定の構成を示して説明したが、その一部の種々の改変および修正を、基礎をなす本発明のコンセプトの思想および範囲から逸脱することなく為しうること、ならびに、それが本明細書中に示し説明した特定の形態に限定されないことが、当業者には明白であろう。
本明細書の当初の開示は、少なくとも下記の態様を包含する。
［１］(Ｉ)構造モノマーとして、
(Ia)アルコール部分にＣ1〜Ｃ22炭化水素基を含む(メタ)アクリル酸エステルおよび／またはビニル芳香族化合物および／またはビニルエステル、および
(Ib)ヒドロキシ官能性モノマー、
を含むヒドロキシ官能性の疎水性ポリマー、ならびに、
(II)構造成分として、
(IIa)アルコール部分にＣ1〜Ｃ22炭化水素基を含む(メタ)アクリル酸エステルおよび／またはビニル芳香族化合物および／またはビニルエステル、
(IIb)ヒドロキシ官能性モノマー、および
(IIc)酸官能性モノマー、
を含むヒドロキシ官能性の親水性ポリマー、
から合成されるコポリマー(Ｐ)を含有する水性二次分散液[ここで、(メタ)アクリル酸エステル タイプ(Ia)／(IIa)の構造モノマーは、アルコール部分に少なくとも８個の炭素原子を有する脂肪族基を含む特別のモノマー(Ｂ)を含有し、その含量は、ポリマー(Ｐ)を基準に少なくとも１２.５重量％である]。
［２］コポリマー(Ｐ)中のモノマー(Ｂ)を含むモノマー(Ia)／(IIa)の割合が２３〜８９.４重量部であり、モノマー(Ib)／(IIb)の割合が１０〜６５重量部であり、モノマー(IIc)の割合が０.６〜１２重量部である前記［１］に記載の水性二次分散液。
［３］モノマー(Ｂ)が、アルコール部分にＣ16〜Ｃ22炭化水素基を含む(メタ)アクリル酸エステルである前記［１］に記載の水性二次分散液。
［４］モノマー(Ｂ)が、一般式(II)：
2009041012.tif 000001
[式中、ｎ＝１２、１６.４または１８]
で示される化合物である前記［１］に記載の水性二次分散液。
［５］酸官能性モノマー(IIc)を、コポリマー(Ｐ)が５〜５５ｍｇＫＯＨ／ｇ固体の酸価を有するような量で使用する前記［１］に記載の水性ポリアクリレート分散液。
［６］コポリマー(Ｐ)中のヒドロキシ官能性の疎水性グラフトベース(Ｉ)の割合が５０〜９５重量部であり、コポリマー(Ｐ)中のヒドロキシ官能性の親水性コポリマー(II)の割合が５〜５０重量部である前記［１］に記載の水性ポリアクリレート分散液。
［７］前記［１］に記載の水性ポリアクリレート分散液の製造方法であって、第１工程(ｉ)において、モノマー(Ia)および(Ib)から、１２〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ固体のＯＨ価を有するヒドロキシ官能性の疎水性グラフトベース(Ｉ)を製造し、第２工程(ii)において、工程(ｉ)で得られたグラフトベース(Ｉ)の溶液中でモノマー(IIa)〜(IIc)を重合させ、この際に、モノマー(Ｂ)を工程(ｉ)および／または工程(ii)において使用し、得られるヒドロキシ官能性の親水性ポリマーが２０〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ固体のＯＨ価および５０〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ固体の酸価を有し、モノマー(Ｉ)および(II)の混合物のラジカル開始の共重合を共溶媒(Ｃ)中で行い、次いで、このコポリマーの製造後に分散に必要なイオン基を生成させるための中和剤を加え、続いて、該コポリマーに水を加えるかまたは該コポリマーを一定量の水中に移すことによって分散工程を行うことを含んでなる方法。
［８］モノマー(Ｂ)を工程(ｉ)において使用する前記［７］に記載の方法。
［９］前記［１］に記載の水性ポリアクリレート分散液を含んでなる水性被覆コンパウンド。
［１０］前記［１］に記載の水性ポリアクリレート分散液および少なくとも１つの架橋剤を含んでなる２成分被覆コンパウンド。
［１１］架橋剤が親水性および／または疎水性ポリイソシアネートである前記［１０］に記載の２成分被覆コンパウンド。
［１２］架橋剤が親水性および疎水性ポリイソシアネートである前記［１１］に記載の２成分被覆コンパウンド。
［１３］前記［１］に記載のポリアクリレート分散液を含んでなるペイント。
［１４］ペイントがプライマー、ワンコートペイントまたは自動車の基礎および補修用ペイントである前記［１３］に記載のペイント。
［１５］前記［１］に記載のポリアクリレート分散液を含んでなる着色もしくは透明トップコート。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
(Ｉ)構造モノマーとして、
(Ia)アルコール部分にＣ1〜Ｃ22炭化水素基を含む(メタ)アクリル酸エステルおよび／またはビニル芳香族化合物および／またはビニルエステル、および
(Ib)ヒドロキシ官能性モノマー、
を含むヒドロキシ官能性の疎水性ポリマー、ならびに、
(II)構造成分として、
(IIa)アルコール部分にＣ1〜Ｃ22炭化水素基を含む(メタ)アクリル酸エステルおよび／またはビニル芳香族化合物および／またはビニルエステル、
(IIb)ヒドロキシ官能性モノマー、および
(IIc)酸官能性モノマー、
を含むヒドロキシ官能性の親水性ポリマー、
から合成されるコポリマー(Ｐ)を含有する水性二次分散液[ここで、(メタ)アクリル酸エステル タイプ(Ia)／(IIa)の構造モノマーは、アルコール部分に少なくとも８個の炭素原子を有する脂肪族基を含む特別のモノマー(Ｂ)を含有し、その含量は、ポリマー(Ｐ)を基準に少なくとも１２.５重量％である]。
【請求項２】
モノマー(Ｂ)が、一般式(II)：
【化１】
2009041012.tif 000002
[式中、ｎ＝１２、１６.４または１８]
で示される化合物である請求項１に記載の水性二次分散液。
【請求項３】
請求項１に記載の水性ポリアクリレート分散液の製造方法であって、第１工程(ｉ)において、モノマー(Ia)および(Ib)から、１２〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ固体のＯＨ価を有するヒドロキシ官能性の疎水性グラフトベース(Ｉ)を製造し、第２工程(ii)において、工程(ｉ)で得られたグラフトベース(Ｉ)の溶液中でモノマー(IIa)〜(IIc)を重合させ、この際に、モノマー(Ｂ)を工程(ｉ)および／または工程(ii)において使用し、得られるヒドロキシ官能性の親水性ポリマーが２０〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ固体のＯＨ価および５０〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇ固体の酸価を有し、モノマー(Ｉ)および(II)の混合物のラジカル開始の共重合を共溶媒(Ｃ)中で行い、次いで、このコポリマーの製造後に分散に必要なイオン基を生成させるための中和剤を加え、続いて、該コポリマーに水を加えるかまたは該コポリマーを一定量の水中に移すことによって分散工程を行うことを含んでなる方法。
【請求項４】
請求項１に記載の水性ポリアクリレート分散液および少なくとも１つの架橋剤を含んでなる２成分被覆コンパウンド。
【請求項５】
請求項１に記載のポリアクリレート分散液を含んでなるペイント。
【手続補正書】
【提出日】平成23年8月4日(2011.8.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
高温下でのこれらのポリアミドの寸法安定性及びそれらの有利な耐火性能は、これらを、電気及び電子工業用の薄肉成形体の製造に特に適したものとする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月2日(2010.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
実施例１〜３と比較例１，２の比較
本発明の実施例では、円周方向油溝の溝底面を連続する凹凸面として形成しており、円周方向油溝内を流れる潤滑油に穏やかに圧力変動が生じて、軸受摺動面全周に亘って潤滑油を供給することができる。また、溝底面を連続的な凹凸面としたので、潤滑油の圧力変動が少なく潤滑油は円周方向溝内を円滑に流れ、潤滑油の圧力損失が少ない。
また、各実施例において、すべり軸受の円周方向長さの中央部を円周方向角度０°位置としたとき、少なくとも軸受の主荷重部範囲である、軸受内周面の円周方向角度マイナス４５°位置から円周方向角度プラス４５°位置までの範囲の溝底面に連続的な凹凸面を形成した場合にも、軸受主荷重部となる軸受中央部近傍に、十分な量の潤滑油を供給することができる。
さらに、凹凸の高低差（山の高さｈ）を、溝深さＨの１５％以上、４０％以下（０．１５Ｈ≦ｈ≦０．４０Ｈ）にすれば、円周方向溝内の潤滑油に急激な圧力変動を起こさせないので、軸受摺動面に損傷を与えるような大きな異物が潤滑油中で浮上し、潤滑油と共に軸受摺動面に混入する現象を防ぎながら、潤滑油のみを軸受摺動面に供給することができる。
比較例１は、円周方向油溝の溝底面が平滑であるため、円周方向溝内を流れる潤滑油に圧力変動が生じることがなく、軸受摺動面に十分な潤滑油が供給されない。
比較例２は、油溝内を円周方向に流れる潤滑油が、軸受の円周方向端部に近い油溝底に断続的に形成された隆起部近傍で局部的で急激な潤滑油の圧力変動が起こるため、潤滑油が油溝内を円滑に流れず、圧力損失が生じる。また、潤滑油は隆起部の存在する軸受端部近傍でのみ、軸受摺動面への供給量が増加するが、軸受主荷重部となる軸受中央部付近では軸受摺動面に潤滑油が十分に供給することができない。また、凸部の高さを油溝深さの５０％としたので、円周方向溝内の潤滑油に急激な圧力変動が生じ、軸受摺動面に損傷を与えるような大きな異物が潤滑油中で浮上し、軸受摺動面への異物混入が生じやすい。
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月2日(2010.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
実施例１〜３と比較例１，２の比較
実施例では、軸受の壁に設けた油穴（図示せず）を通じて円周方向油溝内に供給された潤滑油が油溝内を周方向に流れる。油溝の溝底面を、好適には１０μｍ以上の高低差の凹凸面により形成したことにより、凹凸面は、潤滑油と共に油溝内に混入して油溝底面に沿って転動する異物の抵抗になり、異物の移動速度を低下させる。軸受円周方向端部に到達した異物は移動速度が遅く、円周方向に直進しようとする慣性力が小さいので軸受幅方向端部より排出される潤滑油と共に排出することができる。凹凸面の高低差ｈを油溝深さＨの１５％未満とし、谷部および山部に沿って流れる時の潤滑油の圧力変化を最小限になし、さらに、溝底面を連続した凹凸面で形成して潤滑油圧力が穏やかに変化するように構成したので、潤滑油は油溝内を円滑に流れる。
比較例１の場合、油溝内に潤滑油と共に混入した異物は、油溝底面に沿って転動するが、溝底面が平滑であるため抵抗が少なく、異物の移動速度を低下させる効果はない。このため、異物の円周方向に直進しようとする慣性力が大きく、軸受の円周方向端面に到達した異物が軸受幅方向に排出されることなく、対をなす相手側半割形状軸受（図示せず）の軸受摺動面部分に混入しやすい。
比較例２の場合、油溝内を円周方向に流れる潤滑油は軸受の円周方向端部付近の油溝底面に断続的に形成された隆起部付近で局部的で急激な潤滑油の圧力変動が生じるため、油溝内を潤滑油が円滑に流れず圧力損失が生じる。また、潤滑油流れ方向に対する隆起部の下流側では、絞り効果によって潤滑油の流速が大きくなるため、異物の移動速度も速くなる。このため、異物の円周方向に直進しようとする慣性力が大きく、軸受の円周方向端面に到達した異物が、軸受幅方向に排出されることなく、対となる相手側半割形状軸受（図示せず）の軸受摺動面部分に混入しやすい。また、隆起部による円周方向溝内の潤滑油の急激な圧力変動により異物が潤滑油中で浮上し、隆起部を有する軸受自体の軸受摺動面への混入も生じやすくなるという新たな問題も発生する。
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月19日(2011.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が封入されたシリンダ内に摺動可能に設けられ、一端が前記シリンダの外部へ延出されたピストンロッドに連結されたピストンを備え、
前記ピストンは２つのピストン体からなり、
前記各ピストン体には伸び側および縮み側の連通路がそれぞれ複数設けられ、
前記ピストン体のうち一方のピストン体の非結合面には前記伸び側の連通路が内周側となり、前記縮み側の連通路が外周側となるように環状の弁座が形成され、他方のピストン体の非結合面には前記縮み側の連通路が内周側となり、前記伸び側の連通路が外周側となるように環状の弁座が形成され、
前記一方および他方のピストン体の非結合面には前記弁座に当接するディスクバルブが設けられ、
前記一方または他方のピストン体の外周には、摺動部材が設けられ、
前記各ピストン体の結合面には、各ピストン体の相対回転を規制する回転規制手段が設けられ、
前記ピストンロッドの他端には、前記各ピストン体および前記ディスクバルブを締結するナットが設けられていることを特徴とする流体圧緩衝器。
【請求項２】
前記回転規制手段は、前記２つのピストン体の互いの結合面に設けられた凹部および凸部からなる係合部であることを特徴とする請求項１に記載の流体圧緩衝器。
【請求項３】
前記凸部を有するピストン体は、前記凸部を下にした状態で傾倒不可な形状をなすことを特徴とする請求項２に記載の流体圧緩衝器。
【請求項４】
前記凸部が３カ所以上あることを特徴とする請求項２に記載の流体圧緩衝器。
【請求項５】
前記係合部のうち、少なくとも一つが実質的に隙間なく嵌合し、残りが隙間をもって嵌合することを特徴とする請求項４に記載の流体圧緩衝器。
【請求項６】
前記係合部が前記連通路よりも内周側に設けられていることを特徴とする請求項４に記載の流体圧緩衝器。
【請求項７】
前記凹部が前記連通路であることを特徴とする請求項４に記載の流体圧緩衝器。
【請求項８】
前記２つのピストン体は、互いに軸方向長が異なることを特徴とする請求項１に記載の流体圧緩衝器。
【請求項９】
軸方向長が長いピストン体に前記摺動部材を装着することを特徴とする請求項８に記載の流体圧緩衝器。
【請求項１０】
前記連通路の開口端の形状は、内周側が丸穴、外周側が長穴であることを特徴とする請求項１に記載の流体圧緩衝器。
【請求項１１】
前記２つのピストン体の前記ピストンロッドとの接触面には軸方向全長に亘って軸力受け部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の流体圧緩衝器。
【請求項１２】
前記２つのピストン体のいずれか一方に、前記伸び側および前記縮み側の連通路の最小面積部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の流体圧緩衝器。
【請求項１３】
前記２つのピストン体の結合面は略平面であることを特徴とする請求項１に記載の流体圧緩衝器。
【請求項１４】
流体が封入されたシリンダ内に摺動可能に設けられ、一端が前記シリンダの外部へ延出されたピストンロッドに挿通されナットにより固定されたピストンを備え、
前記ピストンは結合面を有する２つのピストン体からなり、
前記各ピストン体には、所定の回転位置で結合した際に伸び側および縮み側の連通路がそれぞれ複数設けられ、
前記ピストンの両面には、減衰力を発生するディスクバルブが設けられ、
一方または他方のピストン体の外周には、摺動部材が設けられ、
前記各ピストン体の結合面には、各ピストン体の前記所定の回転位置からの相対回転を規制する回転規制手段が設けられ、
前記ピストンの前記ピストンロッドが挿通される挿通孔に、該ピストンの一方の面から他方の面まで連続して延びる肉からなり、前記ナットの締め付け軸力を受ける軸力受け部を設けてなることを特徴とする流体圧緩衝器。
【請求項１５】
流体が封入されたシリンダ内に摺動可能に設けられ、一端が前記シリンダの外部へ延出されたピストンロッドに挿通されナットにより固定されたピストンを備え、
前記ピストンは２つのピストン体の結合体として構成され、
前記各ピストン体には、所定の回転位置で結合した際に伸び側および縮み側の連通路がそれぞれ複数設けられ、
前記各ピストン体の結合面側の前記伸び側および縮み側の連通路の周囲には、結合時に流体の流れを遮断するシール面となる平面部が形成され、
前記各ピストン体の結合面には、各ピストン体の前記所定の回転位置からの相対回転を規制する回転規制手段が設けられ、
前記ピストンの両面には、減衰力を発生するディスクバルブが設けられ、
一方または他方のピストン体の外周には、摺動部材が設けられたことを特徴とする流体圧緩衝器。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月15日(2011.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記磁性物質として、前記第1のバイアス磁界の印加によって前記磁気抵抗効果素子の構成要素である少なくとも1つの磁性膜の磁化ベクトルを前記第1のバイアス磁界の印加方向と略反平行に向けることが可能なものを用いることを特徴とする請求項５に記載の物質検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
前記磁性物質として酸化鉄を含むものを用い、前記第1の電気抵抗値を前記検出手段で検出する際に前記磁界印加手段により印加する前記第1のバイアス磁界の大きさを0.3[kA/m]以上、16[kA/m]以下とすることを特徴とする請求項５又は６に記載の物質検出方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
前記磁性物質としてコバルトとプラチナの合金を含むものを用い、前記第1の電気抵抗値を前記検出手段で検出する際に前記磁界印加手段により印加する前記第1のバイアス磁界の大きさを0.3[kA/m]以上、32[kA/m]以下とすることを特徴とする請求項５又は６に記載の物質検出方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月21日(2011.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インジェクタを取り付けるための複数のインジェクタカップが長さ方向に配列された本体部を有するフューエルデリバリパイプにおいて、
フューエルデリバリパイプの前記本体部を形成する各面のうち、圧力変動による最大変位点を有する面における該本体部の投影形状が、略長方形または円ではないことを特徴とするフューエルインジェクションレール。
【請求項２】
前記本体部の投影形状において、前記最大変位点を中心として、外径をなす直線または曲線と接する円弧を半径が小さいほうからＣ1、Ｃ2、Ｃ3、…とし、それぞれ内接円の半径を順にＲ1、Ｒ2、Ｒ3、…としたときに、
Ｒ1≦Ｒ2≦Ｒ3≦３Ｒ1  
の関係を満足すること（但し、３つ以上の円弧が存在しない場合は、Ｒ2＝Ｒ3とする）を特徴とする請求項１に記載のフューエルインジェクションレール。
【請求項３】
前記最大変位点を有する面は、略五角形の平面形状を有することを特徴とする請求項２に記載のフューエルインジェクションレール。
【請求項４】
前記最大変位点を有する面は、略菱形の平面形状を有することを特徴とする請求項２に記載のフューエルインジェクションレール。
【請求項５】
前記最大変位点を有する面は、略三角形の平面形状を有することを特徴とする請求項２に記載のフューエルインジェクションレール。
【請求項６】
前記最大変位点を有する面は、楕円形の平面形状を有することを特徴とする請求項２に記載のフューエルインジェクションレール。
【請求項７】
前記最大変位点を有する面は、前記面の一部が請求項２乃至６のいずれかの項に記載の平面形状を一部に含むことを特徴とするフューエルインジェクションレール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記の目的を達成するために、本発明は、インジェクタを取り付けるための複数のインジェクタカップが長さ方向に配列された本体部を有するフューエルデリバリパイプにおいて、フューエルデリバリパイプの前記本体部を形成する各面のうち、圧力変動による最大変位点を有する面における該本体部の投影形状が、略長方形または円ではないことを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明では、前記本体部の投影形状において、前記最大変位点を中心として、外径をなす直線または曲線と接する円弧を半径が小さいほうからＣ1、Ｃ2、Ｃ3、…とし、それぞれ内接円の半径を順にＲ1、Ｒ2、Ｒ3、…としたときに、
Ｒ1≦Ｒ2≦Ｒ3≦３Ｒ1  
の関係を満足すること（但し、３つ以上の円弧が存在しない場合は、Ｒ2＝Ｒ3とする）
ことが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2009257282.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月18日(2011.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体試料を自動的に採取して分析装置を含む他の装置に供給可能なオートサンプラに使用されるサンプルトレイであって、
前記オートサンプラに配置可能であり、上面に凹形状の液体流路を備え、かつ、前記液体流路に連通する導入口及び排出口を備え、前記液体試料の導入はチューブを接続した前記導入口から行なうことを特徴とする、サンプルトレイ。
【請求項２】
前記導入口との境界を含む液体流路の一定領域及び前記排出口との境界を含む液体流路の一定領域の深さが、他の液体流路の深さよりも深い、請求項１記載のサンプルトレイ。
【請求項３】
前記サンプルトレイ本体は直方体又はほぼ直方体の形状であり、前記導入口及び前記排出口は本体の同一側面に形成されている、請求項１又は２記載のサンプルトレイ。
【請求項４】
前記液体流路に、前記液体流路よりも幅広な開口部が少なくとも１つ以上形成されている、請求項１から３のいずれか一項に記載のサンプルトレイ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、液体試料を自動的に採取して分析装置を含む他の装置に供給可能なオートサンプラに使用されるサンプルトレイであって、前記オートサンプラに配置可能であり、上面に凹形状の液体流路を備え、かつ、前記液体流路に連通する導入口及び排出口を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
すなわち、本発明は、一つの態様において、液体試料を自動的に採取して分析装置を含む他の装置に供給可能なオートサンプラに使用されるサンプルトレイであって、前記オートサンプラに配置可能であり、上面に凹形状の液体流路を備え、かつ、前記液体流路に連通する導入口及び排出口を備え、前記液体試料の導入はチューブを接続した前記導入口から行なうことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月18日(2011.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物の表面に光を投光する投光器と、前記投光器によって前記表面に投光された光の前記表面における散乱光を受光する受光器と、前記受光器の出力に基づいて前記表面における異物の有無と大きさの少なくとも一方を判定する制御器とを備える異物検査装置であって、
前記投光器は、当該投光器の光軸が前記表面に対して傾くように配置され、
前記受光器は、当該受光器の光軸が前記投光器の光軸と前記表面の法線軸とを含む平面に対して第１角度だけ傾くように配置され、
前記投光器から投光された投光光の偏光軸が前記平面に対してなす角度を第２角度とするとき、前記制御器は、前記第１角度と前記第２角度との差が互いに異なる第１状態及び第２状態となるように前記投光光の偏光軸と前記受光器の配置の少なくとも一方を制御し、当該第１状態における前記受光器の出力と当該第２状態における前記受光器の出力とに基づいて異物を判定することを特徴とする異物検査装置。
【請求項２】
前記第１角度と前記第２角度との差は、前記第１状態及び前記第２状態においてともに−６０°以上かつ＋６０°以下の範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の異物検査装置。
【請求項３】
前記第１角度と前記第２角度との差は、前記第１状態及び前記第２状態のいずれかにおいて９０°であることを特徴とする請求項１に記載の異物検査装置。
【請求項４】
前記第２角度は、−４０°以上かつ＋４０°以下の範囲内であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の異物検査装置。
【請求項５】
前記制御器は、前記投光器と１つの前記受光器との位置関係を維持しながら前記投光器と前記受光器とを前記被検物の表面に沿って相対的に複数回走査移動させ、複数回の走査移動において前記第２角度が互いに異なるように前記投光光の偏光軸を制御して前記第１状態と前記第２状態とを設定することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか1項に記載の異物検査装置。
【請求項６】
前記受光器は複数配置され、
前記制御器は、前記投光器と前記複数の受光器との位置関係を維持しながら前記投光器と前記複数の受光器とを前記被検物の表面に沿って相対的に走査移動させ、前記複数の受光器による出力を得ることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか1項に記載の異物検査装置。
【請求項７】
前記制御器は、前記複数の受光器による出力に基づいて、当該複数の受光器による出力が前記被検物の表面に存在する異物に起因する出力か異物以外に起因する出力かを判定することを特徴とする請求項６に記載の異物検査装置。
【請求項８】
前記制御器は、前記複数の受光器による出力の差、前記複数の受光器による出力の比、及び前記複数の受光器による出力のいずれかと出力の基準値との差のいずれかに基づいて、当該複数の受光器による出力が前記異物に起因する出力か異物以外に起因する出力かを判定することを特徴とする請求項７に記載の異物検査装置。
【請求項９】
レチクルのパターンを基板に転写して基板を露光する露光装置であって、
前記レチクルの表面における異物を検査する請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の異物検査装置を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含むデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明は、被検物の表面に光を投光する投光器と、前記投光器によって前記表面に投光された光の前記表面における散乱光を受光する受光器と、前記受光器の出力に基づいて前記表面における異物の有無と大きさの少なくとも一方を判定する制御器とを備える異物検査装置であって、前記投光器は、当該投光器の光軸が前記表面に対して傾くように配置され、前記受光器は、当該受光器の光軸が前記投光器の光軸と前記表面の法線軸とを含む平面に対して第１角度だけ傾くように配置され、前記投光器から投光された投光光の偏光軸が前記平面に対してなす角度を第２角度とするとき、前記制御器は、前記第１角度と前記第２角度との差が互いに異なる第１状態及び第２状態となるように前記投光光の偏光軸と前記受光器の配置の少なくとも一方を制御し、当該第１状態における前記受光器の出力と当該第２状態における前記受光器の出力とに基づいて異物を判定することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月10日(2011.3.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
この特定の原点Ｏは、§１で述べた例と同様に、支持基板３００の上面中心点の位置に定義してもかまわない。ただ、本願発明者は、ここに図示する実施形態の場合は、この原点Ｏの位置を、若干上方に定義した方が、より好ましい結果が得られると考えている。これは、§３で述べたとおり、本発明では、図３に示すような静電容量式センサを用いて、各柱状体の下端に作用した力（傾斜度）の検出が行われるため、この静電容量式センサの中心位置、すなわち、容量素子を構成する一対の電極間の中間位置に、ＸＹ平面が位置するような座標系を定義するのが最も好ましいと考えられるからである。したがって、ここに示す実施形態の場合、原点Ｏの位置は、電極の厚みを無視した場合、支持基板３００の上面の中心点を、容量素子を構成する一対の電極間距離の１／２だけ上方に移動させた位置ということになる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2009257992.tif 000001
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２７】
2009257992.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成23年9月21日(2011.9.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
ＳＢＲ２：以下の方法で合成した末端ＯＨ変性Ｓ−ＳＢＲ
攪拌機付きオートクレープに、シクロヘキサン８０００ｇ、スチレン４６０ｇ、ブタジエン７００ｇを入れ、更にＴＭＥＤＡ３．５ミリモル及び、ｎブチルリチウム１１ミリモルをいれ、５０℃で重合した。重合開始１０分後に残部のブタジエン８４０ｇを連続的に添加した。重合転化率１００％になったことを確認してから活性末端（Ｌｉ）に対して等モルのメタノールを添加して重合を停止した。この溶液に、ｓｅｃ−ブチルリチウム６０ミリモル及びＴＭＥＤＡ６０ミリモルを添加して７０℃で１時間反応した後、エチレンオキシド（ＥＯ）６０ミリモル添加し、更に２０分攪拌した。メタノール１２０ミリモルを添加して反応を停止後スチームストッピング法により重合体ＳＢＲ２を回収した。得られたＳＢＲ２のスチレン含量は２３．１重量％、１．２結合含量は３３．５％、そしてＴｇは−３０℃であった。