【手続補正書】
【提出日】平成22年11月15日(2010.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
第１面に窪み部を有し、前記窪み部から前記窪み部とは反対側の第２面に貫通する貫通孔を有するベースを用意する工程と、
前記第２面に導電性ペーストを塗布して、前記第２面上の外部電極とこの外部電極と導通する前記貫通孔の封止電極とこの封止電極と導通する前記窪み部内の台座電極とを形成する電極形成工程と、
前記外部電極、前記封止電極及び前記台座電極を焼成する焼成工程と、
前記台座電極に導電性接着剤で圧電振動片を配置する工程と、
前記ベースにリッドを接合する接合工程と、
を備えることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
第１面に窪み部を有し、前記窪み部から前記窪み部とは反対側の第２面に貫通する貫通孔を有するベースを用意する工程と、
前記第２面に導電性ペーストを塗布して、前記第２面上の外部電極とこの外部電極と導通する前記貫通孔の封止電極とこの封止電極と導通する前記窪み部内の台座電極とを形成する電極形成工程と、
前記台座電極に圧電振動片を配置する工程と、
前記外部電極、前記封止電極及び前記台座電極を焼成する焼成工程と、
前記ベースにリッドを接合する接合工程と、
を備えることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記電極形成工程は、前記貫通孔に前記台座電極の形状の雌型を当接して吸引しながら前記封止電極及び前記台座電極を形成することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電デバイスの製造方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
前記電極形成工程は、前記第１面を下向きにして前記雌型を介して前記第２面に塗られる前記導電性ペーストを下方に吸引することを特徴とする請求項３に記載の圧電デバイスの製造方法。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
第１の観点の圧電デバイスの製造方法は、第１面に窪み部を有しこの窪み部から窪み部とは反対側の第２面に貫通する貫通孔を有するベースを用意する工程と、第２面に導電性ペーストを塗布して、第２面上の外部電極とこの外部電極と導通する貫通孔の封止電極とこの封止電極と導通する窪み部内の台座電極とを形成する電極形成工程と、外部電極、封止電極及び台座電極を焼成する焼成工程と、台座電極に導電性接着剤で圧電振動片を配置する工程と、ベースにリッドを接合する接合工程と、を備える。
このため、外部電極、封止電極及び台座電極を一度に形成できるため、製造工程が簡略化されて製造コストを低減できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
第２の観点の圧電デバイスの製造方法は、第１面に窪み部を有し窪み部から窪み部とは反対側の第２面に貫通する貫通孔を有するベースを用意する工程と、第２面に導電性ペーストを塗布して、第２面上の外部電極とこの外部電極と導通する貫通孔の封止電極とこの封止電極と導通する窪み部内の台座電極とを形成する電極形成工程と、台座電極に圧電振動片を配置する工程と、外部電極、封止電極及び台座電極を焼成する焼成工程と、ベースにリッドを接合する接合工程と、を備える。
このため、台座電極に圧電振動片を配置した後に、外部電極、封止電極及び台座電極を一度に形成できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第３の観点の圧電デバイスの製造方法の電極形成工程は、貫通孔に前記台座電極の形状の雌型を当接して吸引しながら封止電極及び台座電極を形成する。
吸引することで封止電極及び台座電極が正確に形成され、封止電極が貫通孔を封止する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
第４の観点の圧電デバイスの製造方法の電極形成工程は、第１面を下向きにして雌型を介して第２面に塗られる導電性ペーストを下方に吸引する。
いわゆる孔版印刷方法などを使って導電性ペーストで、外部電極、封止電極及び台座電極が塗布される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
外部電極２６及びスルーホールＴＨの封止電極２８並びに台座電極２４の形成は、ガラスベース２０の第１面を下向きにして第２面に導電性ペースト５０を塗布して、スルーホールＴＨに型を当接して吸引しながら行われる。スルーホールＴＨは導電性ペースト５０で充填密封され、台座電極２４はスルーホールＴＨの封止電極２８を通じて外部電極２６と導通する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
図５（ａ）、（ｂ）に示されるように、第１型７Ａはキャビティ挿入部２２ａを備え、キャビティ挿入部２２ａに台座電極２４を形成のための台座電極雌型２４ａが形成されている。台座電極雌型２４ａは、半球体の形状で底部の孔４４を通じて吸引管４５に接続する。吸引孔４５は不図示の真空ポンプなどに接続される。キャビティ挿入部２２ａは、キャビティ２２の大きさより一回り小さく形成されている。第１型７Ａはウレタンゴムで形成される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
図５（ｃ）に示されるように、第２型７Ｂは、キャビティ挿入部２２ａに台座電極２４を形成のための台座電極金型４３を備える。台座電極金型４３を備えることで離型が容易になる効果が得られる。その他の部分の第２型７Ｂはウレタンゴムで形成される。台座電極金型４３の台座電極雌型２４ａも、半球体の形状で底部の孔４４を通じて吸引管４５に接続する。
なお、台座電極雌型２４ａの形状は台座電極２４の形状に合わせて適宜変更できる。図５に描かれたように半円球以外にも、矩形の台座形状であってもよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
図６に示されるように、ガラスベース２０の底面が上にキャビティ２２側が下になるように配置される。そして第１型７Ａのキャビティ挿入部２２ａがガラスベース２０のキャビティ２２に挿入される。キャビティ挿入部２２ａの台座電極雌型２４ａは、ガラスベース２０のスルーホールＴＨに当接し密着する。印刷マスク５のレジスト膜６をガラスベース２０側にして印刷マスク５をガラスベース２０の底面に配置する。なお印刷マスク５には網部垂れを防ぎ、外部電極２６との版離れをよくするため網部９に大きなテンションを掛けている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
印刷マスク５の上面側に導電性ペースト５０が載せられる。そして、スキージ８が走行して導電性ペースト５０を網部９から押し出していく。網部９の下面のレジスト膜６の膜厚が厚ければ導電性ペースト５０の量が増える。スルーホールＴＨは、スキージ８の走行面側が拡開しているので導電性ペースト５０が挿入されやすくなっている。台座電極雌型２４ａ及びスルーホールＴＨは、吸引管４５に接続された不図示の真空ポンプにより真空吸引され、スルーホールＴＨ及び台座電極雌型２４ａ内が導電性ペースト５０により充填される。なお、真空ポンプによる吸引は導電性ペースト５０の粘度に応じて適宜調整すればよく、必ずしも真空ポンプを使用しなくてもよい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
スキージ８は、通常ウレタンゴムなどの弾性体で形成されてゴム硬度は６０〜９０度程度（ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３）である。スキージ８を走行後、真空ポンプの吸引を停止し印刷マスク５を外す。所定時間経過後吸引管４５からエアーを吹き込み、台座電極雌型２４ａと台座電極２４との接着力をゆるめ第１型７Ａの離型を容易にする。これにより、ガラスベース２０に台座電極２４、外部電極２６及び封止電極２８が形成される。なお、外部電極２６の境界線の切断部４０が出現し、ダイシング工程でウエハから個々の圧電デバイスを切断分離する目印になりダイシングが容易になる。