Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月22日(2011.2.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】発散穴を一ヶ以上設けた可撓性容器内に薬剤や芳香剤等を充填した破割性ガラスアンプルと吸収性素材を収容した事を特徴とした薬剤や芳香剤等の発散具。
【請求項２】前記可撓性容器が一端に発散穴を開放した細長筒状であるとともに、前記薬剤や芳香剤等を充填した破割性ガラスアンプルが細長筒状で、且つ前記可撓性容器の前記発散穴の内側部に沿って前記吸収性素材を収容した事を特徴とする請求項１記載の薬剤や芳香剤等の発散具。
【請求項３】前記可撓性容器をイヤリング・指輪・ブレスレット・ネックレス・ペンダント等の装飾品の形状としたことを特徴とする請求項１記載の薬剤や芳香剤等の発散具。
【請求項４】フック、ピン、クリップ等の取付け金具をつけた穴つき外側容器に収納されていることを特徴とする請求項１または２記載の薬剤や芳香剤等の発散具。
【請求項５】吸盤あるいは滑り止めを付けた穴つき外側容器に収納されていることを特徴とする請求項１または２記載の薬剤や芳香剤等の発散具。
【請求項６】携帯電話の紐の部分に掛止した穴つき飾り物の中に着脱自在に収納されていることを特徴とする請求項１または２記載の薬剤や芳香剤等の発散具。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決した本発明の構成は
１）発散穴を一ヶ以上設けた可撓性容器内に薬剤や芳香剤等を充填した破割性ガラスアンプルと吸収性素材を収容した事を特徴とした薬剤や芳香剤等の発散具。
２）可撓性容器が一端に発散穴を開放した細長筒状であるとともに、前記薬剤や芳香剤等を充填した破割性ガラスアンプルが細長筒状で、且つ前記可撓性容器の前記発散穴の内側部に沿って前記吸収性素材を収容した薬剤や芳香剤等の発散具。
３）可撓性容器をイヤリング・指輪・ブレスレット・ネックレス・ペンダント等の装飾品の形状とした薬剤や芳香剤等の発散具。
４）フック、ピン、クリップ等の取付け金具をつけた穴つき外側容器に収納されている薬剤や芳香剤等の発散具。
５）吸盤あるいは滑り止めを付けた穴つき外側容器に収納されている薬剤や芳香剤等の発散具。
６）携帯電話の紐の部分に掛止した穴つき飾り物の中に着脱自在に収納されている薬剤や芳香剤等の発散具。
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月22日(2011.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リソグラフィシステムで用いられる光学システムであって、
入力ビームを変換して得られた出力ビームを、一定の標的領域（１６）を有するマスク（６０）上に照射するホモジェナイザ（１０）を備え、
マスク（６０）は、リソグラフィシステム内に配置されたウェーハに（６４）上に画像形成するために用いられ、
ホモジェナイザ（１０）は、複数のファセット領域（５６）からなるホログラム（５４）を有し、
各ファセット領域（５６）は、これに入射した入力ビームを、一定の標的領域（１６）において均一な強度分布で配向するように構成され、
各ファセット領域（５６）は、他のすべてのファセット領域（５６）とは関連性を有さず、かつ各ファセット領域の境界において不連続でないことを特徴とする光学システム。
【請求項２】
請求項１の光学システムであって、
一定の標的領域（１６）は、その中央に出力ビームが照射されない非照射の円形領域（３７）を有することを特徴とする光学システム。
【請求項３】
請求項２の光学システムであって、
一定の標的領域（１６）がリング状であることを特徴とする光学システム。
【請求項４】
請求項１の光学システムであって、
各ファセット領域（５６）は、不規則なパターン形状を有する複数の回折フリンジ（７０）から構成されることを特徴とする光学システム。
【請求項５】
請求項４の光学システムであって、
ファセット領域（５６）が反復ＣＧＨエンコード法またはＩＤＯエンコード法により設計されることを特徴とするシステム。
【請求項６】
請求項１の光学システムであって、
大多数の出力ビームは、マスクに非直角に照射することを特徴とするシステム。
【請求項７】
請求項１の光学システムであって、
出力ビームの分散角度は、入力ビームの分散角度より大きいことを特徴とするシステム。
【請求項８】
請求項１のシステムであって、
標的領域（１６）は、一定の標的面積を有する単一の標的領域（３４）からなることを特徴とするシステム。
【請求項９】
請求項１のシステムであって、
各ファセット領域（５６）は、所定の分散角度（３２）を有する出力ビーム（２０）を出力することを特徴とするシステム。
【請求項１０】
請求項９のシステムであって、
出力ビーム（２０）は、所定の分散角度において均一な強度分布を有することを特徴とするシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月8日(2011.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体内成分の濃度を測定する燃料電池用濃度検出システムにおいて、濃度検出対象の流体を濃度検出器へ供給して濃度検出するとともに、前記濃度検出器に時間的な間隔を開けて２つ以上の既知濃度の流体をそれぞれ供給するシステム構成とし、濃度検出対象の流体の同一成分について既知濃度の流体により前記濃度検出器の検出感度を補正することを特徴とする燃料電池用濃度検出システム。
【請求項２】
予め設定された濃度で混合タンクから燃料電池の発電部分へ液体燃料を供給するために液体燃料濃度を測定する燃料電池用濃度検出システムにおいて、
燃料濃度が既知の高濃度液体燃料と、純水を含めた低濃度液体燃料とが供給され、高濃度液体燃料と低濃度液体燃料が混合された希釈燃料を貯蔵する混合タンクと、
前記混合タンクから前記燃料電池の発電部分へ供給される希釈燃料の一部が流量調節弁を介して供給され、前記希釈燃料の濃度を検出する濃度検出器とを有し、
前記濃度検出器に前記高濃度液体燃料、及び、低濃度液体燃料を個別に供給できる構成としたことを特徴とする燃料電池用濃度検出システム。
【請求項３】
請求項２に記載の燃料電池用濃度検出システムにおいて、燃料濃度が既知の前記高濃度液体燃料と前記低濃度液体燃料によって前記濃度検出器の検出感度をそれぞれ補正し、検出感度を補正した前記濃度検出器によって燃料濃度が未知である前記希釈燃料濃度を検出することを特徴とする燃料電池用濃度検出システム。
【請求項４】
請求項２に記載の燃料電池用濃度検出システムにおいて、燃料濃度が既知の前記高濃度液体燃料あるいは低濃度液体燃料を濃度検出器へ供給時に、前記流量調節弁を閉状態とし、
前記濃度検出器に前記希釈燃料の供給時、及び、前記希釈燃料の濃度検出時に、前記高濃度液体燃料あるいは低濃度液体燃料の前記濃度検出器への供給を停止することを特徴とする燃料電池用濃度検出システム。
【請求項５】
請求項２に記載の燃料電池用濃度検出システムにおいて、前記低濃度液体燃料として燃料電池の発電に伴い発生する生成水を用いたことを特徴とする燃料電池用濃度検出システム。
【請求項６】
請求項２に記載の燃料電池用濃度検出システムにおいて、燃料濃度が既知の高濃度液体燃料あるいは低濃度液体燃料は、それぞれメカニカルキーを有する燃料カートリッジにより燃料濃度が識別され、これらのメカニカルキーにより識別された既知の燃料濃度によるそれぞれの検出感度を用いて燃料検出器を補正し、前述した希釈燃料の燃料濃度を検出することを特徴とする燃料電池用濃度検出システム。
【請求項７】
予め設定された濃度で混合タンクから燃料電池の発電部分へ液体燃料を供給するために液体燃料濃度を測定する濃度検出器を備えた燃料電池発電システムにおいて、
燃料濃度が既知の高濃度液体燃料と、純水を含めた低濃度液体燃料とが供給され、高濃度液体燃料と低粘度液体燃料が混合された希釈燃料を貯蔵する混合タンクと、
前記混合タンクから供給される希釈燃料により発電する燃料電池と、
前記混合タンクから前記燃料電池の発電部分へ供給される希釈燃料の一部が流量調節弁を介して供給され、前記希釈燃料の濃度を検出する濃度検出器とを有し、
前記濃度検出器に前記高濃度液体燃料、及び、低濃度液体燃料を個別に供給できる構成としたことを特徴とする燃料電池発電システム。
【請求項８】
請求項７に記載の燃料電池発電システムにおいて、燃料濃度が既知の前記高濃度液体燃料と前記低濃度液体燃料によって前記濃度検出器の検出感度をそれぞれ補正し、検出感度を補正した前記濃度検出器によって燃料濃度が未知である前記希釈燃料濃度を検出することを特徴とする燃料電池発電システム。
【手続補正書】
【提出日】平成23年9月26日(2011.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子を配設した発光部を有する器具本体と；
器具本体を内周側に配設すると共に、器具本体の一端部を枢支する支持枠と；
器具本体の他端部に設けられ、器具本体に対して移動して前記支持枠と係合するストッパー片と、ストッパー片を有する止め具と、止め具を移動可能に支持する軸受部と、止め具と軸受部との間に設けられ止め具の移動を規制するロック機構とを備えた係合部と；
を具備していることを特徴とする照明器具。
【請求項２】
前記係合部は、軸受部を器具本体に一体に形成した合成樹脂製の軸受けとして構成し、樹脂の弾性を利用して止め具の移動を規制するロック機構を備えたことを特徴とする請求項１記載の照明器具。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
請求項１に記載の照明器具の発明は、発光素子を配設した発光部を有する器具本体と；
器具本体を内周側に配設すると共に、器具本体の一端部を枢支する支持枠と；器具本体の
他端部に設けられ、器具本体に対して移動して前記支持枠と係合するストッパー片と、ストッパー片を有する止め具と、止め具を移動可能に支持する軸受部と、止め具と軸受部との間に設けられ止め具の移動を規制するロック機構とを備えた係合部と； を具備していることを特徴とする。本発明によれば、操作が簡単で、かつ確実に器具本体を支持枠に対して係合させることができ、天井等の被設置部への施工性を容易かつ確実に行うことができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の照明器具において、前記係合部は、軸受部を器具本体に一体に形成した合成樹脂製の軸受けとして構成し、樹脂の弾性を利用して止め具の移動を規制するロック機構を備えたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項１記載の発明によれば、器具本体の他端部に設けられ、器具本体に対して移動して前記支持枠と係合するストッパー片と、ストッパー片の移動を規制するロック機構とを備えた係合部により、操作が簡単で、かつ確実に器具本体を支持枠に対して係合させることができると共に、ロック機構により確実に係合させることができ、天井等の被設置部への施工性を容易かつ確実にすることが可能な照明器具を提供することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項２記載の発明によれば、軸受部を器具本体に一体に形成した合成樹脂製の軸受けとして構成し、樹脂の弾性を利用して止め具の移動を規制するロック機構を備えたので、スプリング等、格別な弾性部材を使用する必要がなく、構成が簡単になると共に、コスト的にも有利となる。
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月25日(2011.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
また、本実施の形態では、筒形コンタクト８１の突起部８４は圧縮された外コイルスプリング７１により押されているが、伸長された外コイルスプリング７１により突起部８４を引くことにより、筒形コンタクト８１を回転させるようにしてもよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
また、本実施の形態では、筒形コンタクト８１の可動片８５と係合する固定凹部２６および規制凹部２７がハウジング１１に形成されているが、固定凹部２６および規制凹部２７は、少なくともそのいずれか一方が同軸端子５１についての筒形コンタクト８１以外の部分（たとえば外導体６２など）に形成されてもよい。また、固定凹部２６および規制凹部２７は、少なくともそのいずれか一方が固定凸部であってもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態のコネクタおよび基板の斜視図である。
【図２】図２は、図１のコネクタの部分分解斜視図である。
【図３】図３は、図２のハウジングおよび同軸端子の部分分解斜視図である（その１）。
【図４】図４は、図３の同軸端子の部分分解斜視図である（その２）。
【図５】図５は、図１のコネクタの部分組立工程図である（その１）。
【図６】図６は、図１のコネクタの部分組立工程図である（その２）。
【図７】図７は、図１のコネクタの部分組立工程図である（その３）。
【図８】図８は、図１のコネクタの部分組立工程図である（その４）。
【図９】図９（Ａ）〜（Ｄ）は、図１のコネクタを基板に取り付けるときの状態説明図である。
【図１０】図１０は、図９（Ａ）に対応したコネクタの部分透視斜視図である。
【図１１】図１１は、図９（Ｂ）に対応したコネクタの部分透視斜視図である。
【図１２】図１２は、図９（Ｃ）に対応したコネクタの部分透視斜視図である。
【図１３】図１３は、図９（Ｄ）に対応したコネクタの部分透視斜視図である。
【図１４】図１４は、図９（Ａ）の状態のコネクタの部分底面図である。
【図１５】図１５は、図９（Ｃ）の状態のコネクタの部分底面図である。
【図１６】図１６は、図１のコネクタに接続されるホルダの斜視図である。
【図１７】図１７は、図１６のホルダを図９（Ｄ）の状態のコネクタに接続した状態を示す縦断面図である。
【図１８】図１８は、本発明の変形例のコネクタのハウジングおよび同軸端子の部分分解斜視図である。
【図１９】図１９は、従来の同軸型可動接触端子を示す断面図である。
【図２０】図２０は、図１９の同軸型可動接触端子の使用状態を示す図である。
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月13日(2011.10.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体の一方の面に載置される吸着対象物を吸着保持する静電チャックと、
前記静電チャックを支持するベースプレートと、を有し、
前記基体の他方の面と対向する前記ベースプレートの一方の面の外周には、土手部が設けられており、前記ベースプレートの一方の面の前記土手部の内側には発熱体が設けられている基板温調固定装置。
【請求項２】
前記土手部は円環状である請求項１記載の基板温調固定装置。
【請求項３】
前記土手部の前記基体の他方の面と対向する面と、前記基体の他方の面とは、第１接着層を介して固着されている請求項１又は２記載の基板温調固定装置。
【請求項４】
前記発熱体は、前記第１接着層と、前記土手部の内側に形成された第２接着層に挟まれて固着されている請求項１乃至３の何れか一項記載の基板温調固定装置。
【請求項５】
前記第２接着層の厚さは、前記第１接着層の厚さよりも厚い請求項４記載の基板温調固定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
この基板温調固定装置は、基体の一方の面に載置される吸着対象物を吸着保持する静電チャックと、前記静電チャックを支持するベースプレートと、を有し、前記基体の他方の面と対向する前記ベースプレートの一方の面の外周には、土手部が設けられており、前記ベースプレートの一方の面の前記土手部の内側には発熱体が設けられていることを要件とする。
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月4日(2011.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に複数の端子を有する単数又は複数の電子部品を、端子側が第１の支持体側となるように、該第１の支持体の表面に第１の接着剤層により仮固定する工程と、
第２の接着剤層を有する第２の支持体を、該第２の接着剤層が前記電子部品の背面側となるように、前記第１の支持体と第２の支持体との間に前記電子部品を挟んで、該電子部品に固定する工程と、
前記第１の支持体と前記第２の支持体との間において、単数又は複数の前記電子部品を樹脂封止する工程と、
前記第１の支持体及び第１の接着剤層を剥離する工程と、
前記電子部品及び封止樹脂上に、絶縁樹脂層と前記電子部品の端子に電気的に接続する配線層とを積層する工程と、
から成ることを特徴とする樹脂封止パッケージの製造方法。
【請求項２】
前記第１の支持体及び第１の接着剤層を剥離する工程に加えて、前記第２の支持体及び第２の接着剤層を剥離する工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の封止樹脂パッケージの製造方法。
【請求項３】
前記第１の接着剤の接着力は前記第２の接着剤の接着力より弱いことを特徴とする請求項１又は２に記載の封止樹脂パッケージの製造方法。
【請求項４】
第１の接着剤層は、各端子を同一面に揃えるため、厚さが数μｍ〜数十μｍ程度と極力薄く、且つ接着力はやや強いものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の樹脂封止パッケージの製造方法。
【請求項５】
第２の支持体に塗布されている第２の接着剤層は、前記電子部品の背面の段差を吸収するために数十μｍ〜数百μｍ程度と比較的厚いものであり、部品に圧着する時点では半液状化したものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の樹脂封止パッケージの製造方法。
【請求項６】
一方の面に複数の端子を有する単数又は複数の電子部品と、
該電子部品の端子の表面を所定の平面上に揃えるように、前記単数又は複数の電子部品の少なくとも端子形成面とは反対側の背面を除いて封止する封止樹脂と、
前記電子部品及び前記封止樹脂上に形成した、絶縁樹脂層と前記電子部品の端子に電気的に接続する配線層とからなる積層構造体と、
からなり、前記封止樹脂は、前記電子部品の側面の一部も露出していることを特徴とする樹脂封止パッケージ。
【請求項７】
前記封止樹脂と前記積層構造体との間に補強部材が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の樹脂封止パッケージ。
【請求項８】
封止樹脂から露出している電子部品の背面に接着剤を介してヒートシンクが接続されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の樹脂封止パッケージ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【特許文献１】米国特許第６，５８６，８３６号明細書
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、上記のような課題を達成するために、本発明によれば、一方の面に複数の端子を有する単数又は複数の電子部品と、該電子部品の端子の表面を所定の平面上に揃えるように、前記単数又は複数の電子部品の少なくとも端子形成面とは反対側の面を除いて封止する封止樹脂と、前記電子部品及び前記封止樹脂上に形成した、絶縁樹脂層と前記電子部品の端子に電気的に接続する配線層とからなる積層構造体と、からなり、前記封止樹脂は、前記電子部品の側面の一部も露出していることを特徴とする樹脂封止パッケージが提供される。また、この樹脂封止パッケージにおいて、前記封止樹脂と前記多層基板との間に補強部材が設けられていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月25日(2011.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
さらに、基板２に対してハウジング１１を押付けると、二段リベット１７および弾性アーム３０は、それぞれ基板２の孔１１１ｂおよびａへさらに挿入されて、図９および図１０に示すようにハウジング１１の下面１１ａが基板２に当接する。これにより、ハウジング１１の位置は所定の取付け位置となる。また、二段リベット１７はその根元部２６まで基板２の孔１１１ｂに挿入される。また、弾性アーム３０は大きく曲がり、アーム突起３１は基板２に対して高い付勢力で付勢され、その付勢力は、根元部２６とその根元部２６と当接する貫通孔１１１ｂ内における側面で受ける。よって、コネクタ１は、弾性アーム３０の付勢力とその付勢力に抗する根元部２６とにより固定され、基板２に取り付けられる。
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月25日(2011.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
また、コネクタに設ける端子は、本実施の形態のようにたとえば中心導体５３、中心コイルスプリング５８および軸形コンタクト５９の３つの部材で形成されておらず、たとえば１つの部材で形成されていてもよい。具体的にはたとえば、図１０のように１枚の金属板をバネ部２５２とその上下に形成された一対の端子部２５３，２５４の形状にプレス加工した端子２５１であっても、図１１のように１枚の金属板を略Ｓ字形状に湾曲させた端子３５１であっても、図１２のように１枚の金属板をＣ字形状部４５２と脚部４５３に湾曲させた端子４５１であってもよい。また、図１３のように長いコイルバネの中央部５５２を疎に巻いた端子５５１であってもよい。さらに、図１４のように略Ｕ字形状の金属板６５２とその上に載せた金属球６５３とからなる端子６５１であってもよい。これらの上下直動端子２５１，３５１，４５１，５５１，６５１であっても、本発明を適用することにより、コネクタの取付け時にワイピングを実施できる。
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月14日(2011.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系の像面側に配置された基板に対して前記投影光学系と液体とを介して前記基板を露光する露光装置であって、 
前記投影光学系下に液体を供給する液体供給部材と、
前記投影光学系の像面側に配置され、光が照射される計測部材と、
前記計測部材に対して紫外光を照射して前記計測部材を光洗浄する紫外光照射装置と、を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記計測部材は、照射された前記紫外光により前記液体に対して親液性となることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記計測部材は、光透過部を有する光学部材と、前記光学部材を介して前記投影光学系を通過した光を受光する受光器とを含み、
前記紫外光照射装置からの前記紫外光は、前記光学部材の液体接触面に照射されることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記光透過部を含む領域が前記紫外光により親液化され、その周囲を囲む領域が撥液化されていることを特徴とする請求項３記載の露光装置。 
【請求項５】
前記投影光学系の液体接触面に前記紫外線照射装置からの前記紫外光が照射されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置。 
【請求項６】
前記紫外光照射装置は前記紫外光の照射を定期的に行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記計測部材は、前記投影光学系の結像特性の計測を行なうことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記光を射出する露光用光源を有し、前記紫外光照射装置は前記露光用光源と兼用されていることを特徴とする請求項請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。 
【請求項９】
前記投影光学系を介して、該投影光学系下に供給された液体中の気泡を検出する気泡検出装置をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項記載の露光装置。 
【請求項１０】
投影光学系の像面側に配置された基板に対して前記投影光学系と液体とを介して前記基板を露光する露光方法であって、 
前記投影光学系下に液体を供給し、
前記投影光学系の像面側に配置された計測部材に対して光を照射し、
前記計測部材による計測結果に基づいて前記基板を露光し、
前記計測部材に対して紫外線照射装置を用いて紫外光を照射して光洗浄することを含む露光方法。
【請求項１１】
前記計測部材は、照射された前記紫外光により前記液体に対して親液性となることを特徴とする請求項１０に記載の露光方法。
【請求項１２】
前記計測部材は、光透過部を有する光学部材と、前記光学部材を介して前記投影光学系を通過した光を受光する受光器とを備え、
前記紫外光は、前記光学部材の液体接触面に照射されることを特徴とする請求項１０又は１１に記載の露光方法。
【請求項１３】
前記光透過部を含む領域が前記紫外光により親液化され、その周囲を囲む領域が撥液化されていることを特徴とする請求項１２に記載の露光方法。
【請求項１４】
前記投影光学系の液体接触面に前記紫外線照射装置からの前記紫外光が照射されることを特徴とする請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項１５】
前記紫外光の照射を定期的に行うことを特徴とする請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項１６】
前記計測部材は、前記投影光学系の結像特性の計測を行なうことを特徴とする請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項１７】
請求項１〜請求項９のいずれか一項記載の露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月28日(2011.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系と液浸領域の液体を介して前記基板を露光する露光装置であって、
前記液体を供給する供給口を有する第１ノズル部材と、
前記液体を回収する回収口を有する第２ノズル部材と、
前記第２ノズル部材と対向配置された物体の表面と、前記第２ノズル部材の下面との相対位置及び相対傾斜のうち少なくとも一方を調整するノズル駆動機構と、を備える露光装置。
【請求項２】
前記第１ノズル部材は、液体を回収する回収口を有していない請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記第１ノズル部材は、前記投影光学系を囲むように設けられ、
前記第２ノズル部材は、前記第１ノズル部材の外側を囲むように設けられる請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記第１ノズル部材は、前記投影光学系を構成する光学素子を保持する保持部材に接続され、
前記第２ノズル部材は、前記第１ノズル部材に対して移動する請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記投影光学系を支持する支持部材を備え、
前記第２ノズル部材は、前記支持部材に支持される請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記物体の表面の面位置情報を検出する検出系を備え、
前記ノズル駆動機構は、前記検出系の検出結果に基づいて、前記第２ノズル部材を駆動する請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記供給口は、前記物体が対向する前記第１ノズル部材の下面に配置される請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記回収口は、前記物体が対向する前記第２ノズル部材の下面に配置される請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記回収口は、前記投影光学系の光軸を囲むように環状に形成されている請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記液浸領域の外側で前記物体の表面に気体を吹き付ける吹出口を有する気体吹出機構を含む請求項１〜９のいずれか一項に露光装置。
【請求項１１】
前記気体吹出機構は、前記第２ノズル部材の外側に接続され、前記物体の表面と対向する下面を有する吹出部材を有し、前記吹出口は、前記吹出部材の下面に設けられている請求項１０に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記吹出口は、前記第２ノズル部材を囲むように複数設けられている請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記吹出口は、前記第２ノズル部材の下面に形成されている請求項１０に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記第２ノズル部材の下面において、前記投影光学系の光軸に対して前記吹出口よりも外側に設けられ、気体を吸引する吸引口を備える請求項１３に記載の露光装置。
【請求項１５】
前記第１ノズル部材と前記第２ノズル部材との間には、ギャップが形成されている請求項１〜１４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１６】
前記ギャップの上端部は、大気開放されている請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１７】
前記物体は前記基板を含み、
前記基板は所定方向に移動しながら走査露光され、前記ノズル調整機構は、前記走査露光中に前記第２ノズル部材を調整する請求項１〜１６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１８】
請求項１〜請求項１７のいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
【請求項１９】
投影光学系と液浸領域の液体を介して前記基板を露光する露光方法であって、
第１ノズル部材が有する供給口から前記液体を供給することと、
第２ノズル部材が有する回収口から前記液体を回収することと、
前記供給口から供給された前記液体を介して前記基板を露光することと、
前記第２ノズル部材と対向配置された物体の表面位置に応じて、前記第２ノズル部材の位置及び傾きのうち少なくとも一方を調整することを、を含む露光方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月28日(2011.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系と液体を介して基板を露光する露光装置において、
前記基板が対向可能な下面を有するノズル部材と、
前記ノズル部材の下面に配置され、前記液体を供給する供給口と、
前記ノズル部材の下面に配置され、前記液体を回収する回収口と、
前記ノズル部材を駆動する駆動装置と、を備える露光装置。
【請求項２】
前記駆動装置は、６自由度の方向に関して前記ノズル部材を駆動可能である請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記基板が走査方向に移動されながら露光され、
前記供給口は、前記光学系の投影領域を挟んだ前記走査方向両側のそれぞれの位置に設けられる請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記供給口は、前記走査方向と交差する方向に長いスリット状である請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記回収口は、前記走査方向と交差する方向に長いスリット状である請求項３又は４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記回収口は、前記供給口及び前記光学系の投影領域を囲むように設けられる請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記ノズル部材の下面と、前記光学系の像面先端部の光学素子の下面とは、ほぼ面一である請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記ノズル部材の下面及び前記光学素子の下面は、親液性である請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記ノズル部材は、前記光学系の像面先端部の光学素子を囲むように環状に形成され、
前記ノズル部材は、前記光学系に対して離した状態で支持される請求項１〜８のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記ノズル部材の加速度情報を計測する加速度計測器を備え、
前記駆動装置は、前記加速度計測器の計測結果に基づいて前記ノズル部材を駆動する請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記加速度計測器は、前記ノズル部材に設けられている請求項１０に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記ノズル部材を支持する支持部材と前記ノズル部材との位置関係を計測する第１位置計測器を備え、
前記駆動装置は、前記第１位置計測器の計測結果に基づいて前記ノズル部材を駆動する請求項１〜１１のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記支持部材は、前記光学系を支持する請求項１２記載の露光装置。
【請求項１４】
前記ノズル部材は、前記光学系を支持する支持部材に支持される請求項１〜１１のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１５】
前記光学系と前記ノズル部材との位置関係を計測する第２位置計測器を備え、
前記駆動装置は、前記第２位置計測器の計測結果に基づいて前記ノズル部材を駆動する請求項１〜１４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１６】
前記基板を保持する基板ステージと、
前記基板ステージと前記ノズル部材との位置関係を計測する第３位置計測器と、を備え、
前記駆動装置は、前記第３位置計測器の計測結果に基づいて前記ノズル部材を駆動する請求項１〜１５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１７】
前記駆動装置は、前記光学系の光軸方向と一致する方向に前記ノズル部材を駆動する請求項１〜１６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１８】
前記駆動装置は、前記光学系の光軸に垂直な軸周りの回転方向に前記ノズル部材を駆動する請求項１〜１７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１９】
前記駆動装置は、前記光学系の光軸に垂直な方向に前記ノズル部材を駆動する請求項１〜１８のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２０】
前記駆動装置は、前記光学系の光軸周りの回転方向に前記ノズル部材を駆動する請求項１〜１９のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２１】
前記駆動装置は、ローレンツ力で駆動するモータを含む請求項１〜２０のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２２】
前記駆動装置の温度調整を行う温調システムを備える請求項１〜２１のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２３】
伸縮可能で可撓性を有するチューブ部材をさらに備え、
前記ノズル部材は、前記供給口に対応する供給流路を有し、
前記供給流路の一端部は、前記チューブ部材に接続され、前記供給流路の他端部は、前記供給口に接続されている請求項１〜２２のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項２４】
伸縮可能で可撓性を有するチューブ部材をさらに備え、
前記ノズル部材は、前記回収口に対応する回収流路とを有し、
前記回収流路の一端部は、前記チューブ部材に接続され、前記回収流路の他端部は、前記回収口に接続されている請求項１〜２２のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項２５】
前記回収口から回収された液体と気体とを分離する気液分離器を備える請求項１〜２４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２６】
前記ノズル部材は、アルミニウム、チタン、ステンレス鋼、ジュラルミン、及びこれらを含む合金の少なくとも一つによって形成される請求項１〜２５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２７】
前記駆動装置は、前記基板の液浸露光後、前記ノズル部材の前記回収口を前記基板に近づけて、前記回収口から液体を回収する請求項１〜２６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２８】
リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法であって、前記リソグラフィ工程において請求項１〜２７のうちいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
【請求項２９】
液体を介して基板を露光する露光方法において、
前記基板と対向するノズル部材の下面に設けられた供給口から前記基板上に液体を供給するとともに、前記ノズル部材の下面に設けられた回収口から前記基板上の液体を回収することにより前記基板上に液浸領域を形成することと、
前記ノズル部材の位置を計測することと、
前記計測結果に基づいて、ノズル部材の位置を調整することと、
前記液浸領域を形成する液体を介して前記基板を露光することと、露光方法。
【請求項３０】
前記ノズル部材の位置計測は、前記ノズル部材を支持する支持部材と前記ノズル部材との位置関係の計測を含む請求項２９記載の露光方法。
【請求項３１】
前記ノズル部材の位置計測は、前記光学系と前記ノズル部材との位置関係の計測を含む請求項２９又は３０記載の露光方法。
【請求項３２】
前記ノズル部材の位置計測は、前記基板を保持する基板ステージと前記ノズル部材との位置関係の計測を含む請求項２９〜３１のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項３３】
リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法であって、前記リソグラフィ工程において請求項２９〜３２のいずれか一項に記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、液体を介して基板を露光する露光装置、露光方法、及びこの露光装置、露光方法を用いるデバイス製造方法に関するものである。
本願は、２００４年３月２５日に出願された特願２００４−８９３４８号に対し優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月8日(2010.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
高周波において発振を実現する高周波コルピッツ回路であって、
水晶振動子からの発振周波数信号を増幅する発振用トランジスタと、前記発振用トランジスタのコレクタがベースに接続する帰還用トランジスタとを設け、
前記発振用トランジスタのコレクタには電源電圧が第１の抵抗を介して印加され、
前記発振用トランジスタのベースには直列接続の第１のコンデンサと第２のコンデンサの一端が接続され、他端が接地され、
前記発振用トランジスタのエミッタには、前記第１のコンデンサと前記第２のコンデンサとの間の点が接続されると共に、第２の抵抗を介して接地され、
前記帰還用トランジスタのコレクタには電源電圧が第３の抵抗を介して印加されると共に出力端子に接続され、当該コレクタが帰還抵抗を介して前記発振用トランジスタのベースに接続されることを特徴とする高周波コルピッツ回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
［従来のコルピッツ回路：図６］
従来のコルピッツ回路について図６を参照しながら説明する。図６は、従来のコルピッツ回路の構成図である。
従来のコルピッツ回路は、図６に示すように、水晶振動子が接続される端子（Port P1）と、水晶振動子の発振周波数を増幅するトランジスタＱ１とを備え、トランジスタＱ１のベースに上記端子が接続され、トランジスタＱ１のコレクタには電源電圧（Ｖ＿ＤＣ）が抵抗Ｒ３を介して印加され、更に電源電圧が抵抗Ｒ１を介してベースに接続し、そしてベースは抵抗Ｒ２を介して接地されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
また、トランジスタＱ１のエミッタは、抵抗Ｒ４を介して接地され、また、ベースは直列接続のコンデンサＣ１とコンデンサＣ２を介して接地され、コンデンサＣ１とコンデンサＣ２よの間の点がエミッタに接続している。そして、コレクタから増幅された発振周波数が出力される出力端子が設けられている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、特許文献１〜３では、帰還回路のトランジスタのコレクタからの信号を発振用のトランジスタのベースに帰還抵抗を介して帰還させる構成とはなっていないものであり、回路を高周波に対応させ、更に回路規模を小さくすることまでは考慮されていない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、高周波において発振を実現する高周波コルピッツ回路であって、水晶振動子からの発振周波数信号を増幅する発振用トランジスタと、発振用トランジスタのコレクタがベースに接続する帰還用トランジスタとを設け、発振用トランジスタのコレクタには電源電圧が第１の抵抗を介して印加され、発振用トランジスタのベースには直列接続の第１のコンデンサと第２のコンデンサの一端が接続され、他端が接地され、発振用トランジスタのエミッタには、第１のコンデンサと第２のコンデンサとの間の点が接続されると共に、第２の抵抗を介して接地され、帰還用トランジスタのコレクタには電源電圧が第３の抵抗を介して印加されると共に出力端子に接続され、当該コレクタが帰還抵抗を介して発振用トランジスタのベースに接続されることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
具体的には、本回路は、図１に示すように、水晶振動子が接続される端子（Port P1）と、水晶振動子の発振周波数を増幅するトランジスタ（発振用トランジスタ）Ｑ１と、帰還回路を構成するトランジスタ（帰還用トランジスタ）Ｑ２とを備え、トランジスタＱ１のベースに上記端子が接続され、トランジスタＱ１のコレクタには電源電圧（Ｖ＿ＤＣ）が抵抗Ｒ３を介して印加され、更に電源電圧が抵抗Ｒ１を介してベースに接続し、そしてベースは抵抗Ｒ２を介して接地されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、トランジスタＱ１のエミッタは、抵抗Ｒ４を介して接地され、また、トランジスタＱ１のベースは直列接続のコンデンサＣ１とコンデンサＣ２を介して接地され、コンデンサＣ１とコンデンサＣ２との間の点がエミッタに接続している。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
［別の回路の負性抵抗特性（１）：図４］
次に、別の回路（第２の実施の形態）の負性抵抗特性（１）について図４を参照しながら説明する。図４は、別の回路の負性抵抗特性（１）を示す図である。
図４においては、６００ＭＨｚで、負性抵抗において安定した発振を実現している。
【手続補正書】
【提出日】平成23年9月22日(2011.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
支持体の表面に設けられた接着剤層に凹部を形成し、前記凹部にペーストを充てんする工程と、
前記凹部に充てんしたペーストに当接させるように位置合わせした半導体素子を前記接着剤層に接着し、かつ、前記半導体素子と一体化させるべく前記ペーストを硬化させて硬化体とする工程と、
前記支持体および前記支持体に接着された前記半導体素子をセットした樹脂封止用金型内に供給された溶融樹脂の流動による前記半導体素子の位置ずれを、前記硬化体により阻止しつつ、前記半導体素子を樹脂封止する工程と、
前記樹脂封止した半導体素子から前記支持体、前記接着剤層および前記硬化体を除去する工程と、を含むことを特徴とする半導体素子の樹脂封止方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、他の発明としては、支持体の表面に設けられた接着剤層に凹部を形成し、前記凹部にペーストを充てんする工程と、前記凹部に充てんしたペーストに当接させるように位置合わせした半導体素子を前記接着剤層に接着し、かつ、前記半導体素子と一体化させるべく前記ペーストを硬化させて硬化体とする工程と、前記支持体および前記支持体に接着された前記半導体素子をセットした樹脂封止用金型内に供給された溶融樹脂の流動による前記半導体素子の位置ずれを、前記硬化体により阻止しつつ、前記半導体素子を樹脂封止する工程と、前記樹脂封止した半導体素子から前記支持体、前記接着剤層および前記硬化体を除去する工程と、を含むことを特徴とする半導体素子の樹脂封止方法がある。
【手続補正書】
【提出日】平成23年10月4日(2011.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に複数の端子を有する単数又は複数の電子部品を、端子側が第１の支持体側となるように、該第１の支持体の表面に第１の接着剤層により仮固定する工程と、
第２の接着剤層を有する第２の支持体を、該第２の接着剤層が前記電子部品の背面側となるように、前記第１の支持体と第２の支持体との間に前記電子部品を挟むように、該電子部品に固定する工程と、
前記第１の支持体と前記第１の接着剤層とを剥離する工程と、
前記第２の支持体上の単数又は複数の前記電子部品を前記電子部品の前記一方の面が露出するように前記第２の接着剤層上に樹脂封止する工程と、
前記電子部品及び封止樹脂上に、絶縁樹脂層と前記電子部品の端子に電気的に接続する配線層とを積層する工程と、
から成ることを特徴とする微細配線パッケージの製造方法。
【請求項２】
前記電子部品を樹脂封止した後、封止した樹脂層の表面に、前記電子部品の端子と略同一高さの位置となるように、導体補強層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の微細配線パッケージの製造方法。
【請求項３】
前記絶縁樹脂層と前記配線層とを積層した後、前記第２の支持体を剥離する工程を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の微細配線パッケージの製造方法。
【請求項４】
前記第１の接着剤の接着力は前記第２の接着剤の接着力より弱いことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の微細配線パッケージの製造方法。
【請求項５】
一方の面に複数の端子を有する単数又は複数の電子部品と、
該電子部品の端子の表面を所定の平面上に揃えるように、前記単数又は複数の電子部品を前記電子部品の端子の表面を露出させるように封止する封止樹脂と、
前記電子部品及び前記封止樹脂上に形成した、絶縁樹脂層と前記電子部品の端子に電気的に接続する配線層とからなる積層構造体と、
前記封止樹脂と前記絶縁樹脂層との間に形成した補強板と、からなることを特徴とする微細配線パッケージ。
【請求項６】
前記配線層の一部はビアを介して前記補強板に接続されていることを特徴とする請求項５に記載微細配線パッケージ。
【請求項７】
前記補強板は導体層からなることを特徴とする請求項５又は６に記載の微細配線パッケージ。
【請求項８】
前記補強板は導電性樹脂層からなることを特徴とする請求項５又は６に記載の微細配線パッケージ。
【請求項９】
前記補強板の一方の面は、前記電子部品の端子の表面と略同一面であることを特徴とする請求項５〜８のいずれか１項に記載の微細配線パッケージ。
【請求項１０】
前記単数又は複数の電子部品は、少なくともその端子形成面と反対側の面を除き、前記封止樹脂に覆われていることを特徴とする請求項５〜９のいずれか１項に記載の微細配線パッケージ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
このような課題を達成するために、本発明によれば、一方の面に複数の端子を有する単数又は複数の電子部品を、端子側が第１の支持体側となるように、該第１の支持体の表面に第１の接着剤層により仮固定する工程と、第２の接着剤層を有する第２の支持体を、該第２の接着剤層が前記電子部品の背面側となるように、前記第１の支持体と第２の支持体との間に前記電子部品を挟むように、該電子部品に固定する工程と、前記第１の支持体を前記第１の接着剤層とを剥離する工程と、前記第２の支持体上の単数又は複数の前記電子部品を前記電子部品の前記一方の面が露出するように前記第２の接着剤層上に樹脂封止する工程と、前記電子部品及び封止樹脂上に、絶縁樹脂層と前記電子部品の端子に電気的に接続する配線層とを積層する工程と、から成ることを特徴とする微細配線パッケージの製造方法が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2010153505.tif 000001
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2010153505.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月19日(2010.11.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧によって透過光の明度と色を変化させる光学変調素子にカラーフィルタを重ねてなる表示セルが、行方向と列方向に配列した表示装置であって、
該光学変調素子は、電圧によって透過光の色を少なくとも赤、緑、青の３色にわたって変化させる素子であり、かつ該カラーフィルタは、該３色のうち２色を透過するカラーフィルタを含む複数色のカラーフィルタであり、
該カラーフィルタの全ての色を１つずつ含む表示セルの組を表示単位とした大画素表示モードと、該カラーフィルタの色の一部を１つずつ含む表示セルの組を表示単位とする小画素表示モードと、の２通りの表示が行われることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記カラーフィルタは、黄、マゼンタ及びシアンの３色を含み、前記小画素表示モードの表示単位は、黄とマゼンタ、マゼンタとシアン、及びシアンと黄の、おのおの２色の表示セルからなる３組であることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記カラーフィルタは、黄、マゼンタ及びシアンの３色が行方向に周期的に配列しており、前記小画素表示モードの表示単位は、同じ行の隣接する２色の表示セルの組であることを特徴とする請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記カラーフィルタは、黄、青、マゼンタ、緑、シアン及び赤の６色を含み、前記小画素表示モードの表示単位は、黄と青、マゼンタと緑、及びシアンと赤、のおのおの２色の表示セルからなる３組であることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項５】
前記カラーフィルタは、黄と青、マゼンタと緑、及びシアンと赤がそれぞれ行方向に隣接しかつ周期的に配列しており、前記小画素表示モードの表示単位は、同じ行の隣接する２色の表示セルの組であることを特徴とする請求項４に記載の表示装置。
【請求項６】
前記カラーフィルタは、黄と青、マゼンタと緑、及びシアンと赤がそれぞれ列方向に隣接しかつ行方向に周期的に配列しており、前記小画素表示モードの表示単位は、列方向に隣接する２色の表示セルの組であることを特徴とする請求項４に記載の表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は、電圧によって透過光の明度と色を変化させる光学変調素子にカラーフィルタを重ねてなる表示セルが、行方向と列方向に配列した表示装置であって、該光学変調素子は、電圧によっ過光の色を少なくとも赤、緑、青の３色にわたって変化させる素子であり、
かつ該カラーフィルタは、該３色のうち２色を透過するカラーフィルタを含む複数色のカラーフィルタであり、該カラーフィルタの全ての色を１つずつ含む表示セルの組を表示単位とした大画素表示モードと、該カラーフィルタの色の一部を１つずつ含む表示セルの組を表示単位とする小画素表示モードと、の２通りの表示が行われることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月13日(2010.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホログラフィック記憶媒体へ書き込むための第１の光ビームを放出するための第１の光源、前記ホログラフィック記憶媒体のプレ露光および／または硬化のための第２の光ビームを放出するための第２の光源、および前記第１の光ビームの少なくとも一部分を変調するために少なくとも２つの状態間で切り替え可能な複数のピクセルを有する空間光変調器を備えるホログラフィック記憶媒体へ書き込むための装置であって、第１の状態では、前記空間光変調器の前記ピクセルは、前記第１の光ビームをホログラフィック記憶媒体の方へ導くように適合される装置において、
第２の状態では、前記空間光変調器の前記ピクセルは、前記第２の光ビームを前記ホログラフィック記憶媒体の方へ導くように適合されることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記空間光変調器は、複数の切り替え可能な微小ミラーを有するデジタルミラーデバイスであることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１の光ビームは、コヒーレントな光ビームであることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記第２の光ビームは、インコヒーレントな光ビームであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
複数のピクセルを有する空間光変調器を使用する光記憶媒体のプリ露光および／または硬化の方法であって、
第１の光源により放出される第１の光ビームの少なくとも１部分を第１の状態で変調する前記空間光変調器のピクセルを第２の状態に切り替えるステップと、
第２の光ビームを放出するための第２の光源のスイッチを入れるステップとを有する方法において、
前記空間光変調器を用いて前記第２の光ビームを前記光学記憶媒体のプレ露光および／または硬化のために前記光記憶媒体の方へ導くステップを有することを特徴とする方法。
【請求項６】
前記空間光変調器は、複数の切り替え可能な微小ミラーを有するデジタルミラーデバイスであることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記光記憶媒体は、ホログラフィック記憶媒体であることを特徴とする請求項５または６に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の光ビームは、前記ホログラフィック記憶媒体へ書き込むためのコヒーレントな光ビームであることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第２の光ビームは、インコヒーレントな光ビームであることを特徴とする請求項７または８に記載の方法。
【請求項１０】
前記空間光変調器のいくつかのピクセルだけを前記第２の状態に選択的に切り替えることにより、かつ／または前記空間光変調器の前記ピクセルが前記第２の状態にとどまる時間を個別に適合させることにより、所望の露光線量プロファイルを生成するステップをさらに有することを特徴とする請求項５から９のいずれか１項に記載の方法。