【手続補正書】
【提出日】平成21年2月24日(2009.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
硬化エネルギーを提供するように構成されたエネルギー源と、
前記硬化エネルギーに対して透明な第１の基板上に配置された、前記硬化エネルギーに対して不透明であるとともに第１のパターンを画定する第１の複数の領域を備える第１のパターン化ロールと、
第２のパターンを画定する第２の複数の領域を備える第２のパターン化ロールと、
前記第１および第２のパターンが１００マイクロメートル以内に連続位置合わせされた状態で維持されるように、前記第１および第２のパターン化ロールを回転させる手段と、を備えるアセンブリ。
【請求項２】
前記第２のパターン化ロールが、前記硬化エネルギーに対して透明な第２の基板上に配置された、前記硬化エネルギーに対して不透明な第２の複数の領域を備える、請求項１に記載のアセンブリ。
【請求項３】
前記第１および第２のパターンが１０マイクロメートル以内に連続位置合わせされた状態で維持される、請求項１に記載のアセンブリ。
【請求項４】
前記第１の複数の領域が、前記第１の複数の領域に入射する前記硬化エネルギーの少なくとも９８パーセントを遮断し、
前記第１の基板が、前記第１の基板に入射する前記硬化エネルギーの少なくとも２５パーセントを前記第１の基板を通過させる、請求項１に記載のアセンブリ。
【請求項５】
硬化エネルギーを提供するように構成されたエネルギー源と、
前記硬化エネルギーに対して透明な第１の基板上に配置された、前記硬化エネルギーに対して不透明であるとともに第１の隆起パターンを画定する第１の複数の領域を備える第１のパターン化ロールと、
前記硬化エネルギーに対して透明な第２の基板上に配置された、前記硬化エネルギーに対して不透明であるとともに第２の隆起パターンを画定する第２の複数の領域を備える第２のパターン化ロールと、
第１および第２の側を有するウェブを供給し、前記ウェブを前記第１および第２のパターン化ロールと接触させるように構成された１つまたは複数の供給ロールと、
前記ウェブが前記第１のパターン化ロールと接触する前に、前記ウェブの前記第１の側上にまたは前記第１のパターン化ロール上に硬化性材料を配置するように構成された第１のディスペンサと、
前記ウェブが前記第２のパターン化ロールと接触する前に、前記ウェブの前記第２の側上にまたは前記第２のパターン化ロール上に硬化性材料を配置するように構成された第２のディスペンサと、
前記ウェブが連続移動されつつ前記第１および第２の隆起パターンが前記ウェブの前記第１および第２の側で前記硬化性材料内に押し込まれるとともに、前記第１および第２の隆起パターンが前記ウェブの前記第１および第２の側で１００マイクロメートル以内に連続位置合わせされた状態で維持されるように、前記第１および第２のパターン化ロールを回転させる手段と、を備える装置。
【請求項６】
前記第１および第２のパターンが前記ウェブの前記第１および第２の側で１０マイクロメートル以内に連続位置合わせされている、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記第１の複数の領域が、前記第１の複数の領域に入射する前記硬化エネルギーの少なくとも９８パーセントを遮断し、
前記第２の複数の領域が、前記第２の複数の領域に入射する前記硬化エネルギーの少なくとも９８パーセントを遮断し、
前記第１の基板が、前記第１の基板に入射する前記硬化エネルギーの少なくとも２５パーセントを前記第１の基板を通過させ、
前記第２の基板が、前記第２の基板に入射する前記硬化エネルギーの少なくとも２５パーセントを前記第２の基板を通過させる、請求項５に記載の装置。
【請求項８】
前記第１の複数の領域がクロム、銅、アルミニウムおよびエポキシからなる群から選択された材料を備え、
前記第２の複数の領域がクロム、銅、アルミニウムおよびエポキシからなる群から選択された材料を備える、請求項５に記載の装置。
【請求項９】
第１の側および第２の側を有する不透明ウェブをパターニングする方法であって、
第１のパターン化ロールおよび第２のパターン化ロールによって、第１の側および第２の側を有するウェブ上に硬化性材料をパターニングするステップと、
前記第１のパターン化ロールおよび第２のパターン化ロールを少なくとも部分的に通して紫外線を向けることにより、前記ウェブの前記第１の側の前記硬化性材料を硬化させて第１のパターンを形成するとともに、前記ウェブの前記第２の側の前記硬化性材料を硬化させて第２のパターンを形成するステップとを含み、
前記第１のパターン化ロールが透明基板上に配置された第１の複数の隆起不透明領域を備えるとともに、前記第２のパターン化ロールが透明基板上に配置された第２の複数の隆起不透明領域を備え、
前記第１および第２のパターンが１００マイクロメートル以内に連続位置合わせされた状態で維持されるように、前記ウェブが連続移動されつつ前記ウェブの前記第１および第２の側がパターン化される、方法。
【請求項１０】
外面を有する硬化エネルギー透明円筒と、
前記硬化エネルギー透明円筒の前記外面上に配置された結合層と、
前記結合層上に配置されてパターンを形成する複数の硬化エネルギー不透明構造体と、を備えるパターン化ロールであって、
前記硬化エネルギー透明円筒が、前記硬化エネルギー透明円筒に入射する硬化光の少なくとも１０パーセントを前記硬化エネルギー透明円筒を通過させ、
前記硬化エネルギー不透明構造体が、前記硬化エネルギー不透明構造に入射する硬化光の少なくとも９５パーセントを遮断する、パターン化ロール。
【請求項１１】
前記硬化エネルギー透明円筒が石英円筒を備え、
前記結合層がチタン結合層を備え、
前記複数の硬化エネルギー不透明構造体が複数のクロム製構造体を備え、
少なくとも選択された硬化エネルギー不透明構造体が硬化エネルギー透明基板表面により囲まれる、請求項１０に記載のパターン化ロール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
図２１Ｂに見られるように、マスター型２５２は機械加工可能な透明基板２５６に直接押し込まれている。図２１Ｃにおいて、マスター型２５２が除去されて、透明な構造２５８を含む透明基板２５６を残している。図２１Ｄに見られるように、透明な構造２５８の両側で透明基板２５６を不透明エポキシ層２５０で被覆することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
コーティング装置
ここで図２２〜２３を参照すると、ロールツーロール（ｒｏｌｌ−ｔｏ−ｒｏｌｌ）成形装置３２０を含むシステム３１０の例示的実施形態が図示されている。図示の成形装置３２０において、ウェブ３２２が主巻出スプール（図示せず）から成形装置３２０に提供される。ウェブ３２２の本質は作製される製品によって大きく異なり得る。しかし、成形装置３２０は可撓性ならびに透明および／または不透明であるウェブ３２２を取り扱うことが可能である。ウェブ３２２は様々なローラ３２６を回って成形装置３２０内に向けられる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
ウェブ３２２の正確な張力制御は最適な結果を達成するのに有利であるため、ウェブ３２２を張力検知装置（図示せず）上に方向付けてもよい。任意のライナウェブを用いてウェブ３２２を保護する場合には、ライナウェブ（図示せず）を巻出スプールにおいて分離するとともにライナウェブ巻取スプール（図示せず）上に方向付けることができる。ウェブ３２２をアイドラーロールを介してダンサーロールに方向付けて精密な張力制御を行うことができる。アイドラーローラはウェブ３２２をニップロール３５４と第１のコーティングヘッド３５６との間の位置に向けることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
様々な塗布方法を採用し得る。ある実施形態において、図示のように、第１のコーティングヘッド３５６はダイコーティングヘッドである。その後、ウェブ３２２はニップロール３５４と第１のパターン化ロール３６０との間を通過する。第１のパターン化ロール３６０はパターン化表面３６２を有するとともに、ウェブ３２２がニップローラ３５４と第１のパターン化ロール３６０との間を通過する際、第１のコーティングヘッド３５６によってウェブ３２２に分注された材料がパターン化表面３６２のネガの形状に形作られる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
ウェブ３２２が第１のパターン化ロール３６０と接している間、材料が第２のコーティングヘッド３６４からウェブ３２２の他方の表面上に分注される。第１のコーティングヘッド３５６に対して上記した説明と平行して、第２のコーティングヘッド３６４も第２の押出機（図示せず）と第２のコーティングダイ（図示せず）とを含むダイコーティング装置である。ある実施形態において、第１のコーティングヘッド３５６によって分注された材料はポリマー前駆体を含むとともに、紫外線などの硬化エネルギーの印加で固体ポリマーに硬化しようとする組成物である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
第２のコーティングヘッド３６４によってウェブ３２２上に分注された材料はその後、第２のパターン化表面３７６を有する第２のパターン化ロール３７４と接触する。上記の説明と平行してある実施形態において、第２のコーティングヘッド３６４によって分注された材料はポリマー前駆体を含むとともに、紫外線などの硬化エネルギーの印加で固体ポリマーに硬化しようとする組成物である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
この時点でウェブ３２２は両面に付与されたパターンを有している。剥離ロール３８２は第２のパターン化ロール３７４からのウェブ３２２の除去を助けるために存在し得る。ある例では、成形装置内外へのウェブ張力はほぼ一定である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
２面微細複製パターンを有するウェブ３２２はその後、アイドラーロールを介して巻取スプール（図示せず）に向けられる。介在フィルムがウェブ３２２を保護することが望ましい場合には、介在フィルムが第２の巻出スプール（図示せず）から提供され得るとともに、ウェブと介在フィルムとが適当な張力で巻取スプール上に一緒に巻き取られる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
図２２〜２４を参照すると、第１および第２のパターン化ロールが、それぞれ第１および第２のモータアセンブリ４１０、４２０に結合されている。モータアセンブリ４１０、４２０の支持は、直接または間接的にアセンブリを枠４３０に載置することにより達成される。モータアセンブリ４１０、４２０は精密載置装置を用いて枠に結合される。図示の実施形態において、例えば、第１のモータアセンブリ４１０は枠４３０に固定的に載置されている。ウェブ３２２が成形装置３２０中に通される際の位置に配置された第２のモータアセンブリ４２０は、横方向および流れ方向の両方に繰り返し位置決めされる必要があり、そのため移動可能であり得る。移動可能なモータ装置４２０はリニアスライド４２２に結合されて、例えば、ロール上のパターン間で切り替える場合に繰り返し正確な位置決めを助け得る。第２のモータ装置４２０は枠４３０の後側に、第２のパターン化ロール３７４を第１のパターン化ロール３６０に対して並んで位置決めする第２の載置装置４２５も含む。ある場合には、第２の載置装置４２５は横方向の正確な位置決めを可能にするリニアスライド４２３を含む。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
シャフト共振の低減または排除は重要であるが、それはこれが指定限界内のパターン位置制御を許す位置合わせエラーの原因になるからである。モータ６３３と指定する一般的なサイジング計画より大きいシャフト６０１との間で結合器６４０を使用すると、より柔軟性のある結合器によって生じるシャフト共振も低減することができる。軸受けアセンブリ６６０は様々な箇所に配置されてモータ装置に対する回転支持を提供する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
装置制御
図２８を参照すると、制御部品に取り付けられているように図２７のモータ装置の概略が図示されている。図２２〜２４に示された例示的装置において、同様な構成は各モータ装置４１０および４２０を制御する。したがって、モータ装置９００は主エンコーダ９３０と駆動シャフト９２０とを含むモータ９１０を含む。駆動シャフト９２０は結合器９３０を介してパターン化ロール９６０の駆動シャフト９４０に結合されている。副または負荷エンコーダ９５０は駆動シャフト９４０に結合されている。