【手続補正書】
【提出日】平成23年2月16日(2011.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の撮影画像データを用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置であって、
第１の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第１の撮影画像データと、前記第１の撮影条件とは異なる第２の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第２の撮影画像データと、を記憶する第１の記憶手段と、
前記第１の撮影画像データに含まれる異物画像の検出に用いる第１の基準画像データと、前記第２の撮影画像データに含まれる異物画像データの検出に用いる第２の基準画像データと、を記憶する第２の記憶手段と、
前記第１の撮影画像データと前記第１の基準画像データを用いて、第１の差分画像データを作成する第１の作成手段と、
前記第２の撮影画像データと前記第２の基準画像データを用いて、第２の差分画像データを作成する第２の作成手段と、
前記第１の差分画像データと予め設定された第１の判定基準を用いて、前記第１の撮影画像データに含まれる異物画像を検出する第１の検出手段と、
前記第２の差分画像データと予め設定された第２の判定基準を用いて、前記第２の撮影画像データに含まれる異物画像を検出する第２の検出手段と、
を備え、
前記第１の撮影条件及び第２の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第１の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第２の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第１の撮影条件の撮影倍率より前記第２の撮影条件の撮影倍率が高いこと
を特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記第１の判定基準及び前記第２の判定基準には、異物画像を検出する基準となるサイズ条件が含まれ、前記第１の判定情報に含まれるサイズ条件の数値より、前記第２の判定情報に含まれるサイズ条件の数値が小さいこと
を特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記第１の判定基準のサイズ条件には、前記第２の検出手段による検出処理を必要とする異物画像のサイズ条件が含まれ、
前記第１の検出手段で検出した異物画像に、第２の検出手段による検出処理を必要とする異物画像が含まれるかを判定する判定手段を更に備え、
前記判定手段で、第２の検出手段による検出処理を必要とする異物画像が前記第１の検出手段で検出されたと判定した後に、前記第２の検出手段は、前記第２の差分画像データを予め設定された第２の判定基準とを用いて、前記第２の画像データに含まれる異物画像を検出すること
を特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記第１の検出手段で検出された前記第２の判定手段による判定処理が必要と判定された異物画像の位置情報を記憶する第３の記憶手段と、
前記第３の記憶手段に記憶した位置情報に基づいて、前記検査対象物が設置された検査台の位置の変更指示を行う指示手段と、
を更に備え、
前記第２の作成手段は、指示手段での変更指示に従った検査台の位置の変更が行われた後に前記第２の撮影条件に従って前記撮影装置で撮影された第２の撮影画像データと、前記第２の基準画像データとを用いて、第２の差分画像データを作成すること
を特徴とする請求項３に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記第１の検出手段で検出された異物画像の位置を認識可能に第１の撮影画像を、前記第２の検出手段で検出された異物画像の位置を認識可能に前記第２の撮影画像を表示する表示手段
を更に備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記表示手段はさらに、前記第１の検出手段で検出された異物画像の一覧情報及び前記第２の検出手段で検出された異物画像の一覧情報を表示すること
を特徴とする請求項５に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記第１の判定基準及び／または前記第２の判定基準の設定変更をする変更手段と、
前記変更手段で前記第１の判定基準の設定変更をした後に、前記第１の検出手段は、前記第１の差分画像データと変更された第１の判定基準を用いて、前記第１の撮影画像データに含まれる異物画像を検出し、
前記変更手段で前記第２の判定基準の設定変更をした後に、前記第２の検出手段は、前記第２の差分画像データと変更された第２の判定基準を用いて、前記第２の撮影画像データに含まれる異物画像を検出すること
を特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項８】
第１の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第１の画像データと、前記第１の撮影条件とは異なる第２の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第２の画像データと、を記憶する第１の記憶手段と、前記第１の画像データに含まれる異物画像の検出に用いる第１の基準画像データと、前記第２の画像データに含まれる異物画像データの検出に用いる第２の基準画像データと、を記憶する第２の記憶手段とを備える、検査対象物の撮影画像を用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置によって行われる情報処理方法であって、
前記第１の画像データと前記第１の基準画像データを用いて、第１の差分画像データを作成する第１の作成工程と、
前記第２の画像データと前記第２の基準画像データを用いて、第２の差分画像データを作成する第２の作成工程と、
前記第１の差分画像データと予め設定された第１の判定基準を用いて、前記第１の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第１の判定工程と、
前記第２の差分画像データと予め設定された第２の判定基準を用いて、前記第２の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第２の判定工程と、
を備え、
前記第１の撮影条件及び第２の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第１の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第２の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第１の撮影条件の撮影倍率より前記第２の撮影条件の撮影倍率が高いこと
を特徴とする情報処理方法。
【請求項９】
前記第１の判定情報及び前記第２の判定情報には、異物画像を検出する基準となる面積情報が含まれ、前記第１の判定情報に含まれる面積情報の数値より、前記第２の判定情報に含まれる面積情報の数値が小さいこと
を特徴とする請求項８に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
第１の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第１の画像データと、前記第１の撮影条件とは異なる第２の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第２の画像データと、を記憶する第１の記憶手段と、
前記第１の画像データに含まれる異物画像の検出に用いる第１の基準画像データと、前記第２の画像データに含まれる異物画像データの検出に用いる第２の基準画像データと、を記憶する第２の記憶手段とを備える、検査対象物の撮影画像を用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置を、
前記第１の画像データと前記第１の基準画像データを用いて、第１の差分画像データを作成する第１の作成手段と、
前記第２の画像データと前記第２の基準画像データを用いて、第２の差分画像データを作成する第２の作成手段と、
前記第１の差分画像データと予め設定された第１の判定基準を用いて、前記第１の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第１の判定手段と、
前記第２の差分画像データと予め設定された第２の判定基準を用いて、前記第２の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第２の判定手段として機能させ、
前記第１の撮影条件及び第２の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第１の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第２の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第１の撮影条件の撮影倍率より前記第２の撮影条件の撮影倍率が高いこと
を特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項１１】
前記第１の判定情報及び前記第２の判定情報には、異物画像を検出する基準となる面積情報が含まれ、前記第１の判定情報に含まれる面積情報の数値より、前記第２の判定情報に含まれる面積情報の数値が小さいこと
を特徴とする請求項１０に記載のコンピュータプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】情報処理装置、情報処理方法、コンピュータプログラム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ＣＣＤやＣＭＯＳセンサーなどのデバイスの外観を検査する情報処理装置、情報処理方法、コンピュータプログラムに関し、特に、デバイス表面や保護ガラス面の異物の検査に好適なデバイス外観検査技術に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、広視野を暗視野照明を使って低解像度で検査し、その形状の合否判定が難しい小さな異物に関しては、狭視野を明視野光源を使って高解像度に再検査を実行することで、デバイスのセンサー表面や保護ガラス面の異物を高速に検出することができる情報処理装置、情報処理方法、コンピュータプログラムを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の情報処理装置は、検査対象物の撮影画像データを用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置であって、第１の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第１の撮影画像データと、前記第１の撮影条件とは異なる第２の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第２の撮影画像データと、を記憶する第１の記憶手段と、前記第１の撮影画像データに含まれる異物画像の検出に用いる第１の基準画像データと、前記第２の撮影画像データに含まれる異物画像データの検出に用いる第２の基準画像データと、を記憶する第２の記憶手段と、前記第１の撮影画像データと前記第１の基準画像データを用いて、第１の差分画像データを作成する第１の作成手段と、前記第２の撮影画像データと前記第２の基準画像データを用いて、第２の差分画像データを作成する第２の作成手段と、前記第１の差分画像データと予め設定された第１の判定基準を用いて、前記第１の撮影画像データに含まれる異物画像を検出する第１の検出手段と、前記第２の差分画像データと予め設定された第２の判定基準を用いて、前記第２の撮影画像データに含まれる異物画像を検出する第２の検出手段と、を備え、前記第１の撮影条件及び第２の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第１の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第２の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第１の撮影条件の撮影倍率より前記第２の撮影条件の撮影倍率が高いことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の情報処理方法は、第１の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第１の画像データと、前記第１の撮影条件とは異なる第２の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第２の画像データと、を記憶する第１の記憶手段と、前記第１の画像データに含まれる異物画像の検出に用いる第１の基準画像データと、前記第２の画像データに含まれる異物画像データの検出に用いる第２の基準画像データと、を記憶する第２の記憶手段とを備える、検査対象物の撮影画像を用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置によって行われる情報処理方法であって、前記第１の画像データと前記第１の基準画像データを用いて、第１の差分画像データを作成する第１の作成工程と、前記第２の画像データと前記第２の基準画像データを用いて、第２の差分画像データを作成する第２の作成工程と、前記第１の差分画像データと予め設定された第１の判定基準を用いて、前記第１の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第１の判定工程と、前記第２の差分画像データと予め設定された第２の判定基準を用いて、前記第２の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第２の判定工程と、を備え、前記第１の撮影条件及び第２の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第１の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第２の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第１の撮影条件の撮影倍率より前記第２の撮影条件の撮影倍率が高いことを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明のコンピュータプログラムは、第１の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第１の画像データと、前記第１の撮影条件とは異なる第２の撮影条件に従って前記検査対象物を撮影装置で撮影することで作成される第２の画像データと、を記憶する第１の記憶手段と、前記第１の画像データに含まれる異物画像の検出に用いる第１の基準画像データと、前記第２の画像データに含まれる異物画像データの検出に用いる第２の基準画像データと、を記憶する第２の記憶手段とを備える、検査対象物の撮影画像を用いて、該検査対象物の外観検査を行う情報処理装置を、前記第１の画像データと前記第１の基準画像データを用いて、第１の差分画像データを作成する第１の作成手段と、前記第２の画像データと前記第２の基準画像データを用いて、第２の差分画像データを作成する第２の作成手段と、前記第１の差分画像データと予め設定された第１の判定基準を用いて、前記第１の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第１の判定手段と、前記第２の差分画像データと予め設定された第２の判定基準を用いて、前記第２の画像データに異物画像が含まれるかを判定する第２の判定手段として機能させ、前記第１の撮影条件及び第２の撮影条件にはそれぞれ照明の照射条件及び撮影倍率が含まれ、前記第１の撮影条件の照明の照射条件は暗視野照明、前記第２の撮影条件の照明条件は明視野照明であり、前記第１の撮影条件の撮影倍率より前記第２の撮影条件の撮影倍率が高いことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
ステップＳ１０１８では、ＣＰＵ２０１は、図２６に示す照明切替処理を実行して、明視野照明装置６による照明に切り替える。次に、ステップＳ１０２０では、ＣＰＵ２０１は、図２７に示す倍率変更処理を実行して高倍率（×５）に倍率を変更する。ステップＳ１０２２では、ＣＰＵ２０１は、カメラ１を制御して撮影を行う（明視野画像撮影）。ここで撮影された明視野画像は、配線パターンが映らない受光センサー面上とガラス面で撮影された画像である。ＣＰＵ２０１は、撮影された明視野画像を明視野基準元画像としてＲＡＭ２０３とともに外部メモリ２１３に保存する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
ステップＳ１６０２では、ＣＰＵ２０１は、暗視野フォーカス量Ａｆ、暗視野ズーム量Ａｚ、暗視野閾値、暗視野判定面積、暗視野要詳細面積、暗視野判定長、及び暗視野要詳細長を情報テーブルから読み込む。ステップＳ１６０４では、ＣＰＵ２０１は、図２６に示す照明切替処理を実行して、暗視野照明装置５による照明に切り替える。次に、ステップＳ１６１２では、ＣＰＵ２０１は、図２７に示す倍率変更処理を実行して、低倍率（×１）に倍率を変更する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
ステップＳ１９２０では、ＣＰＵ２０１は、ＲＡＭ２０３に保存した明視野画像と明視野基準画像の差分画像を作成する（差分画像作成）。ステップＳ１９２２では、ＣＰＵ２０１は、作成した差分画像から明視野閾値を用いて２値化画像を作成する。次に、ステップＳ１９２４では、ＣＰＵ２０１は、作成した２値化画像を既存の技術を利用して粒子解析し、その結果から異物の面積や長さ、異物の位置等に関する情報で図２０に示す明視野異物一覧情報２０００を作成する。明視野異物一覧情報２０００を作成する処理は、図１６のステップＳ１６１８における処理と略同様であるので、その説明は省略する。なお、明視野検査処理では、検査画面上でユーザにより設定登録された異物の判断基準（第２の判断基準）に基づいて、ガラス面及びセンサー面の検査結果が判定される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
明視野異物一覧情報２０００は、１デバイスごとに、上述した明視野検査処理が実行されるタイミングで作成される。また、明視野異物一覧情報２０００は、後述する明視野検査シミュレーション処理が実行されるタイミングで更新される。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１４】
図２３において、２０００は検査画面であり、２３００は画像表示部である。２３０１は検査結果一覧である。検査結果一覧として、Ｎｏ．：検査番号、センサー面結果（明）：センサー面明視野判定結果（良／不良／詳細検査）、センサー面結果（暗）：センサー面暗視野判定結果（良／不良／詳細検査）、ガラス面（明）：ガラス面明視野判定結果（良／不良／詳細検査）、ガラス面（暗）：ガラス面暗視野判定結果（良／不良／詳細検査）が表示される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１６】
２３０３は検査種別であり、検査パラメータを選択することができる。２３０４は検査数であり、デバイスの検査数をカウントすることができる。２３０５は不良数であり、２３０６はリセットボタンであって、検査数と不良数と検査結果を削除することができる。