【手続補正書】
【提出日】平成23年8月2日(2011.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部材と前記固定部材に支持された可動部材とが結晶材料にて一体に形成された素子支持部材と、応力感応部及び該応力感応部の両端部に夫々一体化された固定端が結晶材料にて形成された応力感応素子と、を備え、
前記素子支持部材に、結晶軸方向を示す第１の指標部を備え、
前記応力感応素子に、結晶軸方向を示す第２の指標部を備え、
前記第１の指標部と前記第２の指標部との位置関係が所定の関係を持った状態で前記固定端が前記固定部材と前記可動部材とに固定されていることを特徴とする加速度検知ユニット。
【請求項２】
前記素子支持部材と前記応力感応素子との外形輪郭が一致していることを特徴とする請求項１に記載の加速度検知ユニット。
【請求項３】
前記第１の指標部と前記第２の指標部とは異なった形状、或いは異なった色に着色された構成であり、前記応力感圧素子が透過性を有し、前記応力感応素子側から前記素子支持部を見たときに前記第２の指標部と前記第１の指標部との整合の確認が可能な構成であることを特徴とする請求項１に記載の加速度検知ユニット。
【請求項４】
前記第１の指標部は、前記素子支持部材、及び前記応力感応素子の端縁に夫々形成された凹所であることを特徴とする請求項１に記載の加速度検知ユニット。
【請求項５】
請求項１に記載された加速度検知ユニットと、該加速度検知ユニットを収容するパッケージと、を備えた加速度センサであって、
前記パッケージはパッケージ本体と蓋体を有し、前記パッケージ本体の内底部に形成する電極パターンの一部を、該パッケージ本体の内底部の正規位置に前記加速度検知ユニットが搭載された際における該加速度検知ユニットの外形輪郭線と合致する形状とし、位置ずれを判定可能に設定したことを特徴とする加速度センサ。
【請求項６】
前記パッケージ本体の内底部と、前記素子支持部材と、前記応力感応素子との対応する特定部位に夫々異なった形状、或いは異なった着色のマーキングを形成し、前記パッケージ本体側のマーキングと前記応力感応素子側のマーキングと前記素子支持部材側のマーキングとの整合の有無を該応力感応素子を透過して確認可能に構成したことを特徴とする請求項５に記載の加速度センサ。
【請求項７】
加速度検知ユニットの製造方法であって、
固定部材と前記固定部材に支持された可動部材とが結晶材料にて一体に形成されたものであって、結晶軸方向を示す第１の指標部を備えた素子支持部材を用意する工程と、
応力感応部及び該応力感応部の両端部に夫々一体化された固定端が結晶材料にて形成されたものであって、結晶軸方向を示す第２の指標部を備えた応力感応素子を用意する工程と、
前記第１の指標部と前記第２の指標部との位置関係が所定の関係になるように前記素子支持部材と前記応力感応素子とを重ねる工程と、
前記素子支持部材と前記応力感応素子とを固定する工程と、
を含む加速度検知ユニットの製造方法。
【請求項８】
前記素子支持部材の結晶材料と前記応力感応素子の結晶材料とは同種であり、
前記重ねる工程は、前記第１の指標部と前記第２の指標部との位置関係を所定の関係にすることで前記素子支持部材の結晶軸の向きと前記応力感応素子の結晶軸の向きとが合った状態で前記素子支持部材と前記応力感応素子とが重ねられる工程であることを特徴とする請求項７に記載の加速度検知ユニットの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】加速度検知ユニット及びその製造方法、加速度センサ
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
［適用例１］本発明に係る加速度検知ユニットは、固定部材と前記固定部材に支持された可動部材とが結晶材料に一体に形成された素子支持部材と、応力感応部及び該応力感応部の両端部に夫々一体化された固定端が結晶材料にて形成された応力感応素子と、を備え、前記素子支持部材に、結晶軸方向を示す第１の指標部を備え、前記応力感応素子に結晶軸方向を示す第２の指標部を備え、前記第１の指標部と前記第２の指標部との位置関係が所定の関係を持った状態で前記固定端が前記固定部材と前記可動部材とに固定されていることを特徴とする加速度検知ユニットである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例２］また、加速度検知ユニットは、前記素子支持部材と前記応力感応素子との外形輪郭が一致していることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例３］また、加速度検知ユニットは、前記第１の指標部と前記第２の指標部とは異なった形状、或いは異なった色に着色された構成であり、前記応力感応素子が透過性を有し、前記応力感応素子側から前記素子支持部を見たときに前記第２の指標部と前記第１の指標部との整合の確認が可能な構成であることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例４］また、加速度検知ユニットは、前記第１の指標部は、前記素子支持部材、及び前記応力感応素子の端縁に夫々形成された凹所であることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例５］また、加速度検知ユニットは、前記応力感応素子が、２つの前記固定端、及び各固定端間を連設する２つの振動ビームを備えた圧電基板からなる応力感応部と、該圧電基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えた双音叉型水晶振動素子である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例６］本発明に係る加速度センサは、前記加速度検知ユニットと、該加速度検知ユニットを収容するパッケージと、を備えた加速度センサであって、前記パッケージはパッケージ本体と蓋を有し、前記パッケージ本体の内底部に形成する電極パターンの一部を、前記パッケージ本体の内底部の正規位置に前記加速度検知ユニットが搭載された際における該加速度検知ユニットの外形輪郭線と合致する形状とし、位置ずれを判定可能に設定したことを特徴とする加速度センサである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
［適用例７］加速度センサは、前記パッケージ本体の内底部と、前記素子支持部材と、前記応力感応素子と、の対応する特定部位に夫々異なった形状、或いは異なった着色のマーキングを形成し前記分割パッケージ側のマーキングと前記応力感応素子側のマーキングと前記素子支持部材側のマーキングとの整合の有無を該応力感応素子を透過して確認可能に構成したことを特徴とする。
[適用例８] 加速度検知ユニットの製造方法であって、固定部材と前記固定部材に支持された可動部材とが結晶材料にて一体に形成されたものであって、結晶軸方向を示す第１の指標部を備えた素子支持部材を用意する工程と、応力感応部及び該応力感応部の両端部に夫々一体化された固定端が結晶材料にて形成されたものであって、結晶軸方向を示す第２の指標部を備えた応力感応素子を用意する工程と、前記第１の指標部と前記第２の指標部との位置関係が所定の関係になるように前記素子支持部材と前記応力感応素子とを重ねる工程と、  前記素子支持部材と前記応力感応素子とを固定する工程と、を含む加速度検知ユニットの製造方法。
[適用例９]前記素子支持部材の結晶材料と前記応力感応素子の結晶材料とは同種であり、
前記重ねる工程は、前記第１の指標部と前記第２の指標部との位置関係を所定の関係にすることで前記素子支持部材の結晶軸の向きと前記応力感応素子の結晶軸の向きとが合った状態で前記素子支持部材と前記応力感応素子とが重ねられる工程であることを特徴とする加速度検知ユニットの製造方法。