【手続補正書】
【提出日】平成23年8月12日(2011.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ処理されるワークを載置する載置面を備える第１の電極と、
前記載置面に対向配置された第２の電極と、
前記第１の電極に設けられ、前記載置面に開放する孔と、
前記第１の電極と電気的に接続されており、前記孔から出没可能な突起と、
前記突起の先端面が前記載置面よりも突出した突出状態と、前記先端面が前記載置面と高さが一致したかまたは前記載置面より孔内部に位置した収容状態とに移動させる突起移動手段と、
減圧装置と、前記孔内の減圧を可能とするように該減圧装置と前記孔とを連通する吸引路とからなる減圧手段と、を有し、
前記第１の電極および前記第２の電極の間でプラズマを発生させることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
前記突起は、
前記ワークの輪郭部にその側面が当接する位置決め用突起と、
前記収容状態において前記先端面の一部または全部を、平面視で前記載置面に載置した前記ワークの主面内に配置した離間用突起と、を有する請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記孔の側面には、前記吸引路と前記孔とを連通する分岐孔が開放して配置され、
前記突起は、前記突起移動手段により移動して、前記収容状態において、前記突起の側面が前記分岐孔を塞ぐことにより前記吸引路と前記孔内との連通を遮断した遮断状態と、前記側面が前記分岐孔を開放することにより前記吸引路と前記孔内とを連通した連通状態とに切り替える連通切り替え用突起を有する請求項１または２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記突起は、前記先端面に開放し、前記吸引路と連通する中空部を有し、
前記固定手段は、前記中空部を減圧手段により減圧させることにより、前記ワークを前記載置面に吸着し固定する請求項１ないし３のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記突起の先端面は、前記載置面の誘電率と同じ誘電率を有している請求項１ないし４のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
プラズマ処理されるワークを載置する載置面を備える第１の電極と、
前記載置面に対向配置された第２の電極と、
前記第１の電極に設けられ、前記載置面に開放する孔と、
前記第１の電極と電気的に接続されており、前記孔から出没自在な突起と、
前記突起の先端面が前記載置面よりも突出した突出状態と、前記先端面が前記載置面と高さが一致したかまたは前記載置面より孔内側に位置した収容状態とに移動させる突起移動手段と、
減圧装置と、前記孔内の減圧を可能とするように該減圧装置と前記孔とを連通する吸引路とからなる減圧手段と、を有し、
前記突起移動手段により前記突起を突出状態に移動し、
前記ワークを前記載置面に載置して、前記突起の側面に前記ワークを当接することにより該ワークの位置決めを行い、
前記第１の電極および前記第２の電極の間に発生させたプラズマによって前記ワークのプラズマ処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法。
【請求項７】
前記プラズマ処理は、前記突起を前記収容状態にして行われる請求項６に記載のプラズマ処理方法。
【請求項８】
前記載置面に前記ワークが載置されている状態において前記ワークをプラズマ処理し、前記突起が前記収容状態から前記突出状態に移動することにより、その先端が前記ワークを押圧して前記ワークを前記載置面から離間させることを特徴とする請求項７に記載のプラズマ処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の目的は、載置部の載置面上にワークを正確に位置決めすることができ、プラズマ処理時には、ワークを載置部に確実に固定することにより、ワークに対して所望のプラズマ処理を行うことができ、さらには、プラズマ処理後には、載置部からワークを容易に取り外すことができるプラズマ処理装置およびプラズマ処理方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のプラズマ処理装置は、プラズマ処理されるワークを載置する載置面を備える第１の電極と、
前記載置面に対向配置された第２の電極と、
前記第１の電極に設けられ、前記載置面に開放する孔と、
前記第１の電極と電気的に接続されており、前記孔から出没可能な突起と、
前記突起の先端面が前記載置面よりも突出した突出状態と、前記先端面が前記載置面と高さが一致したかまたは前記載置面より孔内部に位置した収容状態とに移動させる突起移動手段と、
減圧装置と、前記孔内の減圧を可能とするように該減圧装置と前記孔とを連通する吸引路とからなる減圧手段と、を有し、
前記第１の電極および前記第２の電極の間でプラズマを発生させることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のプラズマ処理装置では、前記突起は、
前記ワークの輪郭部にその側面が当接する位置決め用突起と、
前記収容状態において前記先端面の一部または全部を、平面視で前記載置面に載置した前記ワークの主面内に配置した離間用突起と、を有することが好ましい。
これにより、位置決め用突起によってワークの位置決めを正確に行うことができる。また、離間用突起によってワークを載置面から浮き上がらせることができ、ワークの取り除きが簡単となる。また、ワークと載置面との摺動が防止され、ワークの破損や、載置面の損傷（擦り傷の発生）等を防止することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のプラズマ処理装置では、前記孔の側面には、前記吸引路と前記孔とを連通する分岐孔が開放して配置され、
前記突起は、前記突起移動手段により移動して、前記収容状態において、前記突起の側面が前記分岐孔を塞ぐことにより前記吸引路と前記孔内との連通を遮断した遮断状態と、前記側面が前記分岐孔を開放することにより前記吸引路と前記孔内とを連通した連通状態とに切り替える連通切り替え用突起を有することが好ましい。
本発明のプラズマ処理装置では、前記突起は、前記先端面に開放し、前記吸引路と連通する中空部を有し、
前記固定手段は、前記中空部を減圧手段により減圧させることにより、前記ワークを前記載置面に吸着し固定することが好ましい。
これにより、装置構成の簡易化を図ることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明のプラズマ処理装置では、前記突起の先端面は、前記載置面の誘電率と同じ誘電率を有していることが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のプラズマ処理方法は、プラズマ処理されるワークを載置する載置面を備える第１の電極と、
前記載置面に対向配置された第２の電極と、
前記第１の電極に設けられ、前記載置面に開放する孔と、
前記第１の電極と電気的に接続されており、前記孔から出没自在な突起と、
前記突起の先端面が前記載置面よりも突出した突出状態と、前記先端面が前記載置面と高さが一致したかまたは前記載置面より孔内側に位置した収容状態とに移動させる突起移動手段と、
減圧装置と、前記孔内の減圧を可能とするように該減圧装置と前記孔とを連通する吸引路とからなる減圧手段と、を有し、
前記突起移動手段により前記突起を突出状態に移動し、
前記ワークを前記載置面に載置して、前記突起の側面に前記ワークを当接することにより該ワークの位置決めを行い、
前記第１の電極および前記第２の電極の間に発生させたプラズマによって前記ワークのプラズマ処理を行うことを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のプラズマ処理方法では、前記プラズマ処理は、前記突起を前記収容状態にして行われることが好ましい。
本発明のプラズマ処理方法では、前記載置面に前記ワークが載置されている状態において前記ワークをプラズマ処理し、前記突起が前記収容状態から前記突出状態に移動することにより、その先端が前記ワークを押圧して前記ワークを前記載置面から離間させることが好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
以下、本発明のプラズマ処理装置およびプラズマ処理方法を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明のプラズマ処理装置の第１実施形態を示す図（断面図、側面図、ブロック図）、図２は、図１に示すプラズマ処理装置が備える下部電極の部分断面斜視図、図３は、図１に示すプラズマ処理装置が備える位置決め／離間手段および固定手段を示す図（断面図、ブロック図）、図４は、図２に示すピンが位置決めピンとして機能する際の移動を説明する断面図、図５は、図２に示すピンが浮かせピンとして機能する際の移動を説明する断面図、図６は、固定手段の作動を説明する断面図、図７は、載置面にワークが載置された状況をシミュレーションした平面図である。なお、以下の説明では、図１中互いに直交する３つの方向をｘ軸方向、ｙ軸方向およびｚ軸方向とする。そのうち、ワーク１０の被処理面１０１をｘｙ平面とし、被処理面１０１の法線方向をｚ軸方向とする。以下、対応する方向はその他の図においても同様である。また、図１中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
図１に示すプラズマ処理装置１は、対向配置された上部電極（第２の電極）２１および下部電極（第１の電極）２２と、処理ガス供給手段３と、通電手段４と、移動手段５と、固定手段６と、位置決め／離間手段７と、制御手段８とを有している。
このプラズマ処理装置１は、固定手段６によりワーク（ウエハ）１０を下部電極２２の上面（載置面）２２１に固定した状態にて、処理ガス供給手段３によりワーク１０の被処理面（ワーク１０の有効処理領域）１０１に処理ガスを供給しつつ、通電手段４により上部電極２１および下部電極２２間へ通電することにより、前記処理ガスを活性化してプラズマを生成させ、当該プラズマが発生しているプラズマ発生領域Ｓ（上部電極２１の直下の領域）とワーク１０とを移動手段５により相対的に移動することにより、前記プラズマにより被処理面１０１を局所的にかつ連続してプラズマ処理する装置である。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
次に、プラズマ処理装置１の動作（本発明のプラズマ処理方法）を説明する。
以下では、説明の便宜上、ワーク１０の平面視形状が長方形（四角形）のものについて、代表して説明する。
＜１＞
まず、操作者は、ワーク形状データ入力部１６により、予め記憶手段１２に記憶されている複数のワーク１０の形状データから、これからプラズマ処理を行うワーク１０の形状と同じ形状データを選択する。同じ形状データが記憶手段１２に記憶されていない場合には、例えば、操作者がその形状を直接入力してもよいし、記憶された複数の形状データから最も近い形状データを選択してもよいし、選択した形状データを修正してもよい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
さらに、ピン７１Ｂは、一致状態にて、その軸方向に回転する。このようなピン７１Ｂの回転により、貫通孔７１３Ｂと分岐孔６２とを連通する連通状態（図９中左側のピン７１Ｂの状態）と、貫通孔７１３Ｂと分岐孔６２とを遮断する遮断状態（分岐孔６２の開口がピン７１Ｂの側面により塞がれた状態。図９中中央のピン７１Ｂの状態）とをとることができる。これにより、前述した第１実施形態と同様に、ピン７１Ｂを吸引孔として機能させる孔６１を選択するための吸引孔選択ピン（連通切り替え用突起）としての機能を有することとなる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
以上のような第３実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
以上、本発明のプラズマ処理装置およびプラズマ処理方法を図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物や、工程が付加されていてもよい。また、本発明のプラズマ処理装置は、前記各実施形態のうち、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。