【手続補正書】
【提出日】平成22年11月19日(2010.11.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動板と、
前記可動板を回動可能に支持するように前記可動板の両側部に連結され、少なくとも一方が、前記可動板の回動中心軸から離間した位置に設けられた弾性変形可能な弾性部材を備える連結部と、
少なくとも一つの前記弾性部材上に接合膜を介して接合され、長手形状をなし、長手方向に伸縮することにより前記弾性部材を曲げ変形させる圧電素子とを有し、
前記接合膜は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含む原子構造を有するＳｉ骨格と、前記Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含むことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与することにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記Ｓｉ骨格から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記弾性部材と前記圧電素子とを接合している請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記Ｓｉ骨格の結晶化度は、４５％以下である請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記脱離基は、Ｈ原子、Ｂ原子、Ｃ原子、Ｎ原子、Ｏ原子、Ｐ原子、Ｓ原子およびハロゲン系原子、またはこれらの各原子が前記Ｓｉ骨格に結合するよう配置された原子団からなる群から選択される少なくとも１種で構成されたものである請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記脱離基は、アルキル基である請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記接合膜は、プラズマ重合により形成されたものである請求項１ないし５のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記接合膜は、ポリオルガノシロキサンを主材料として構成されている請求項６に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物である請求項７に記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記エネルギーの付与は、前記接合膜にエネルギー線を照射する方法、前記接合膜を加熱する方法、および、前記接合膜に圧縮力を付与する方法のうちの少なくとも１つの方法により行われる請求項１ないし８のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
可動板と、
前記可動板を回動可能に支持するように前記可動板の両側部に連結され、少なくとも一方が、前記可動板の回動中心軸から離間した位置に設けられた弾性変形可能な弾性部材を備える連結部と、
少なくとも一つの前記弾性部材上に接合膜を介して接合され、長手形状をなし、長手方向に伸縮することにより前記弾性部材を曲げ変形させる圧電素子とを有し、
前記接合膜は、金属原子と、該金属原子に結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、
前記接合膜は、少なくとも一部の領域にエネルギーを付与することにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記弾性部材と前記圧電素子とを接合していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１１】
可動板と、
前記可動板を回動可能に支持するように前記可動板の両側部に連結され、少なくとも一方が、前記可動板の回動中心軸から離間した位置に設けられた弾性変形可能な弾性部材を備える連結部と、
少なくとも一つの前記弾性部材上に接合膜を介して接合され、長手形状をなし、長手方向に伸縮することにより前記弾性部材を曲げ変形させる圧電素子とを有し、
前記接合膜は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基とを含み、
前記接合膜は、少なくとも一部の領域にエネルギーを付与することにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記接合膜から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記弾性部材と前記圧電素子とを接合していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１２】
前記接合膜は、前記圧電素子への通電のための端子として機能する請求項１０または１１に記載のアクチュエータ。
【請求項１３】
前記圧電素子は、圧電体層と、前記圧電体層の一方の面上に設けられた電極とを有し、
前記圧電体層の他方の面と前記連結部とが前記接合膜を介して接合されている請求項１０ないし１２のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１４】
前記各連結部は、前記可動板の回動中心軸を介して対向するように設けられた一対の弾性部材を備え、前記一対の弾性部材のそれぞれに、前記圧電素子が前記接合膜を介して接合されている請求項１ないし１３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１５】
前記各連結部は、前記一対の弾性部材に回動可能に支持された駆動部材と、前記可動板を前記駆動部材に対して回動可能とするように、前記駆動部材と前記可動板とを連結する弾性変形可能な軸部材とを備えている請求項１ないし１４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１６】
前記可動板は、光反射性を有する光反射部を備えている請求項１ないし１５のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１７】
請求項１６に記載のアクチュエータを備え、前記光反射部で反射した光を走査して、画像を形成するように構成されていることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、可動板と、
前記可動板を回動可能に支持するように前記可動板の両側部に連結され、少なくとも一方が、前記可動板の回動中心軸から離間した位置に設けられた弾性変形可能な弾性部材を備える連結部と、
少なくとも一つの前記弾性部材上に接合膜を介して接合され、長手形状をなし、長手方向に伸縮することにより前記弾性部材を曲げ変形させる圧電素子とを有し、
前記接合膜は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含む原子構造を有するＳｉ骨格と、前記Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含むことを特徴とする。
これにより、圧電素子の伸縮に伴い、圧電素子と弾性部材との間で剥離が起きるのが確実に防止され、アクチュエータの耐久性を優れたものとすることができる。また、圧電素子の駆動力を弾性部材に十分に伝達することができ、所望の振動特性を発揮することができるアクチュエータを提供することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明のアクチュエータでは、前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与することにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記Ｓｉ骨格から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記弾性部材と前記圧電素子とを接合していることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明のアクチュエータでは、前記Ｓｉ骨格の結晶化度は、４５％以下であることが好ましい。
これにより、Ｓｉ骨格は十分にランダムな原子構造を含むものとなる。このため、Ｓｉ骨格の特性が顕在化し、接合膜の安定性および接着性がより優れたものとなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のアクチュエータでは、前記脱離基は、アルキル基であることが好ましい。
アルキル基は化学的な安定性が高いため、脱離基としてアルキル基を含む接合膜は、耐候性および耐薬品性に優れたものとなる。
本発明のアクチュエータでは、前記接合膜は、プラズマ重合により形成されたものであることが好ましい。
これにより、緻密で均質な接合膜を効率よく作製することができる。その結果、接合膜の圧電素子および弾性部材に対する接合強度は特に高いものとなる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のアクチュエータでは、前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物であることが好ましい。
これにより、接合膜が接着性に特に優れたものとなる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明のアクチュエータは、可動板と、
前記可動板を回動可能に支持するように前記可動板の両側部に連結され、少なくとも一方が、前記可動板の回動中心軸から離間した位置に設けられた弾性変形可能な弾性部材を備える連結部と、
少なくとも一つの前記弾性部材上に接合膜を介して接合され、長手形状をなし、長手方向に伸縮することにより前記弾性部材を曲げ変形させる圧電素子とを有し、
前記接合膜は、金属原子と、該金属原子に結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、
前記接合膜は、少なくとも一部の領域にエネルギーを付与することにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記弾性部材と前記圧電素子とを接合していることを特徴とする。
これにより、接合膜は、金属酸化物に脱離基が結合したものとなり、変形し難い強固な膜となる。その結果、耐久性に優れるとともに、所望の振動特性を確実に発揮することができるアクチュエータが得られる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明のアクチュエータは、可動板と、
前記可動板を回動可能に支持するように前記可動板の両側部に連結され、少なくとも一方が、前記可動板の回動中心軸から離間した位置に設けられた弾性変形可能な弾性部材を備える連結部と、
少なくとも一つの前記弾性部材上に接合膜を介して接合され、長手形状をなし、長手方向に伸縮することにより前記弾性部材を曲げ変形させる圧電素子とを有し、
前記接合膜は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基とを含み、
前記接合膜は、少なくとも一部の領域にエネルギーを付与することにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記接合膜から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記弾性部材と前記圧電素子とを接合していることを特徴とする。
これにより、接合膜は、金属原子と有機成分で構成される脱離基とを含むものとなり、変形し難い強固な膜となる。その結果、耐久性に優れるとともに、所望の振動特性を確実に発揮することができるアクチュエータが得られる。