【手続補正書】
【提出日】平成22年12月15日(2010.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第一観点によれば、リッド用基部緩衝部とベース用基部緩衝部とが形成されているので、落下などにより垂直方向の衝撃力が印加された場合、圧電振動片が上面のリッド及び下面のベースと衝突して、破損し又は変形されることを防止することができる。即ち、上下面で圧電振動片を確実に保護することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
以下リッド用基部突起部１２とベース用基部突起部３２について詳しく説明する。図２（ａ）及び図２（ｃ）に示したように、リッド用基部突起部１２とベース用基部突起部３２は、振動腕４２の根元部４９と対応する位置にそれぞれ形成されている。本実施例で、リッド用基部突起部１２とベース用基部突起部３２とは、Ｙ方向において振動腕４２の根元部４９と対応する位置に略一致する位置に形成されているが、少しずらして形成されてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
リッド用基部突起部１２のＺ方向における高さＨ１は、リッド用基部突起部１２から接続線Ｇまでの距離Ｌ１に応じて設けられている。接続線Ｇは、圧電振動片４０と外枠フレームとの接続点に該当する。例えば、リッド用基部突起部１２から接続線Ｇまでの距離が長くなる場合、リッド用基部突起部１２の高さＨ１は小さくなる。これは、圧電振動片４０が接続線Ｇを中心に上下方向に振れる時、接続線Ｇから遠く離れるほど、振れる程度が大きいからである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
リッド用基部突起部１２の高さＨ１と距離Ｌ１との比は、圧電振動片４０が振れる時リッド基板１０に当接しないように、リッド側凹部１１の深さＨ２に応じて設定することができる。リッド側凹部１１の深さＨ２が大きくなると、高さＨ１と距離Ｌ１との比も大きくなり、リッド側凹部１１の深さＨ２が小さくなると、高さＨ１と距離Ｌ１との比も小さくなる。言い換えると、圧電振動片４０の正常な振動に邪魔することなく、且つ圧電振動片４０が衝撃を受けた時リッド基板１０に当接しないような、リッド用基部突起部１２と振動腕４２の根元部４９とに空間を形成すれば良い。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
ベース用基部突起部３２のＺ方向における高さＨ３は、ベース用基部突起部３２から接続線Ｇまでの距離Ｌ２に応じて設けられている。例えば、ベース用基部突起部３２から接続線Ｇまでの距離が長くなるほど、ベース用基部突起部３２の高さＨ３は小さくなる。これは、圧電振動片４０が接続線Ｇを中心に上下方向に振れる時、接続線Ｇから遠く離れるほど、振れる程度が大きいからである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
ベース用基部突起部３２の高さＨ３と距離Ｌ２との比は、圧電振動片４０が振れる時ベース基板３０に当接しないように、ベース用凹部１３の深さＨ４に応じて設定することができる。ベース用凹部１３の深さＨ４が大きくなると、高さＨ３と距離Ｌ２との比も大きくなり、ベース用凹部１３の深さＨ４が小さくなると、高さＨ３と距離Ｌ２との比も小さくなる。言い換えると、圧電振動片４０の正常な振動にすることなく、且つ圧電振動片４０が衝撃を受けた時ベース基板３０に当接しないように、ベース用基部突起部３２と振動腕４２の根元部４９とに空間を形成すれば良い。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
また、従来の圧電デバイス９０のように、パッケージに圧電振動片を搭載して蓋体を気密封止してなる場合、リッド側凹部１１の深さＨ２とベース用凹部３１の深さＨ４とが異なる。このようにリッド側凹部１１の深さＨ２とベース用凹部３１の深さＨ４が異なる場合、リッド用基部突起部１２の高さＨ１は、リッド側凹部１１の深さＨ２とリッド用基部突起部１２から接続線Ｇまでの距離Ｌ１に応じて設けることができる。ベース用基部突起部３２の高さＨ３は、ベース用凹部３１の深さＨ４とベース用基部突起部３２から接続線Ｇまでの距離Ｌ２に応じて設けることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
＜第二圧電デバイス２００＞
以下、第二圧電デバイス２００について説明する。第一圧電デバイス１００と同じ部分について同じ符号を付けその説明を省略する。以下で異なる部分について詳しく説明する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
図４は、第二圧電デバイス２００の構造を示す斜視図である。図５は接合された状態の第二圧電デバイス２００の部分省略断面図である。図４に示したように、第二圧電デバイス２００は、リッド側凹部１１にハンマー部４２３と隣接しているアーム部４２２と対応する位置で、リッド用アーム突起部１３が形成されている。リッド用アーム突起部１３は、欠けやすい振動腕４２の最先端であるハンマー部４２３が破損しないように、振動腕４２の最先端から所定距離離れて形成すればよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
＜第三圧電デバイス３００＞
以下、第三圧電デバイス３００について説明する。第二圧電デバイス２００と同じ部分について同じ符号を付けその説明を省略する。以下で異なる部分について詳しく説明する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
図６は接合された状態の第三圧電デバイス３００の部分省略した断面拡大図である。各突起部の高さを説明するために、リッド基板１０とベース基板３０とを高さ方向に従って拡大したものである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
図６に示したように、第三圧電デバイス３００において、リッド基板１０のリッド側凹部１１にも、リッド用基部突起部１２とリッド用アーム突起部１３とが形成されている。その中で、リッド用基部突起部１２は、振動腕４２の根元部４９と対応する位置に形成された第一リッド用基部突起部１２１と、基部４１の最先端から所定距離離れた位置に形成された第二リッド用基部突起部１２２とを含んでなる。基部４１の最先端から離れた距離は、基部４１の最先端が第二リッド用基部突起部１２２に衝突しない限り特に限定はない。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
以上のような各圧電振動子によれば、圧電振動片４０の欠けやすい最先端部が衝突されることを確実に防止することができる。なお、上下面で、圧電振動片４０の衝突を確実に防止することができる。特に、圧電振動片４０の接続線Ｇから近い箇所での衝撃力による振れの加速度は小さいため、第一リッド用基部突起部１２１と第一ベース用基部突起部３２１とにより衝撃力を緩和することができるので、圧電振動片４０の先端部の加速度を減少することができる。従って、第二リッド用基部突起部１２２と第二ベース用基部突起部３２２とにおける衝撃力が緩和され、基部４１の最先端を確実に保護することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
【図１】本発明の第一圧電デバイス１００の構造を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は、第一圧電デバイス１００を構成するリッド基板１０の内面図で、（ｂ）は圧電振動片４０を有するチップ基板２０の上面図で、（ｃ）はベース基板３０の上面図で、（ｄ）は（ａ）から（ｃ）のＡ−Ａ断面で第一圧電デバイス１００を示した断面構成図である。
【図３】（ａ）は、落下による衝撃力を受けた圧電振動片４０の上下振れを示すチップ基板２０の概略斜視図で、（ｂ）は、リッド基板１０と、チップ基板２０と、ベース基板３０とが接合された状態で、落下による衝撃力を受けた圧電振動片４０の上下振れを示す部分省略断面図である。
【図４】本発明の第二圧電デバイス２００の構造を示す斜視図である。
【図５】接合された状態の第二圧電デバイス２００の部分省略断面図である。
【図６】接合された状態の第三圧電デバイス３００の部分省略した断面拡大図である。
【図７】従来技術に係る圧電デバイス９０の部分省略断面図である。