【手続補正書】
【提出日】平成23年1月21日(2011.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法であって、
前記開口径の基準となる真球の前記開口部への通過を試み、その通過の可否により前記円盤状基板の開口径を検査することを特徴とする中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
【請求項２】
前記円盤状基板を複数枚並べて配置し、互いの主面を平行に離間させ、なお且つ互いの中心軸を一致させた状態で、並び方向の一端の円盤状基板の開口部から他端の円盤状基板の開口部に向けて前記真球の通過を試み、その通過が不可となる円盤状基板を取り除きながら、前記複数枚の円盤状基板の開口径を順次検査することを特徴とする請求項１に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
【請求項３】
前記円盤状基板の主面と平行な方向に当該基板を往復運動させることにより、前記円盤状基板の開口部における前記真球の移動を行うことを特徴とする請求項２に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
【請求項４】
前記円盤状基板を上蓋及び下蓋を外した基板収納容器内に配置し、この基板収納容器から前記円盤状基板を完全に取り出すことなく、前記円盤状基板の主面と平行な方向に当該基板を往復運動させることを特徴とする請求項３に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
【請求項５】
前記円盤状基板が磁気記録媒体用の基板であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
【請求項６】
前記円盤状基板がガラス基板であることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
【請求項７】
中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置であって、
互いの主面を平行に離間させ、なお且つ互いの中心軸を一致させた状態で、複数枚の円盤状基板が並べて配置されるガイドと、
前記ガイドに配置された複数枚の円盤状基板を並び方向の一端から他端に向けて順次前記円盤状基板の主面と平行な方向に往復運動させる機構と、
前記並び方向の一端の円盤状基板の開口部から他端の円盤状基板の開口部に向けて前記開口径の基準となる真球の通過を試み、その通過が不可となる円盤状基板を検出する機構と、
前記真球の通過が不可となる円盤状基板を前記ガイドから取り除く機構とを有することを特徴とする中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置。
【請求項８】
前記ガイドとして、上蓋及び下蓋を外した基板収納容器を用いることを特徴とする請求項７に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置。
【請求項９】
前記基板収納容器から前記円盤状基板を完全に取り出すことなく、当該基板を往復運動させる機構を有することを特徴とする請求項８に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置。
【請求項１０】
中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の製造方法であって、
請求項１〜６の何れか一項に記載の方法、又は、請求項７〜９に記載の装置を用いて、前記円盤状基板の開口径を検査する工程を含むことを特徴とする円盤状基板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法及び装置、並びに円盤状基板の製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本願発明は、中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法及び装置、並びに円盤状基板の製造方法に関し、特に、ハードディスク装置に用いられる磁気記録媒体用ガラス基板の開口径を検査するのに好適な検査方法及びその検査装置、並びに円盤状基板の製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本願発明は、以上のような技術的課題を解決するためになされたものであって、その目的とするところは、中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を簡便な方法で短時間に全数を検査することができ、なお且つ、基板に傷を付けにくい検査方法及びその検査装置、並びに円盤状基板の製造方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
すなわち、本発明は、以下の手段を提供する。
（１）  中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法であって、
前記開口径の基準となる真球の前記開口部への通過を試み、その通過の可否により前記円盤状基板の開口径を検査することを特徴とする中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
（２）  前記円盤状基板を複数枚並べて配置し、互いの主面を平行に離間させ、なお且つ互いの中心軸を一致させた状態で、並び方向の一端の円盤状基板の開口部から他端の円盤状基板の開口部に向けて前記真球の通過を試み、その通過が不可となる円盤状基板を取り除きながら、前記複数枚の円盤状基板の開口径を順次検査することを特徴とする前項（１）に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
（３）  前記円盤状基板の主面と平行な方向に当該基板を往復運動させることにより、前記円盤状基板の開口部における前記真球の移動を行うことを特徴とする前項（２）に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
（４）  前記円盤状基板を上蓋及び下蓋を外した基板収納容器内に配置し、この基板収納容器から前記円盤状基板を完全に取り出すことなく、前記円盤状基板の主面と平行な方向に当該基板を往復運動させることを特徴とする前項（３）に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
（５）  前記円盤状基板が磁気記録媒体用の基板であることを特徴とする前項（１）〜（４）の何れか一項に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
（６）  前記円盤状基板がガラス基板であることを特徴とする前項（１）〜（５）の何れか一項に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
（７）  中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置であって、
互いの主面を平行に離間させ、なお且つ互いの中心軸を一致させた状態で、複数枚の円盤状基板が並べて配置されるガイドと、
前記ガイドに配置された複数枚の円盤状基板を並び方向の一端から他端に向けて順次前記円盤状基板の主面と平行な方向に往復運動させる機構と、
前記並び方向の一端の円盤状基板の開口部から他端の円盤状基板の開口部に向けて前記開口径の基準となる真球の通過を試み、その通過が不可となる円盤状基板を検出する機構と、
前記真球の通過が不可となる円盤状基板を前記ガイドから取り除く機構とを有することを特徴とする中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置。
（８）  前記ガイドとして、上蓋及び下蓋を外した基板収納容器を用いることを特徴とする前項（７）に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置。
（９）  前記基板収納容器から前記円盤状基板を完全に取り出すことなく、当該基板を往復運動させる機構を有することを特徴とする前項（８）に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置。
（１０）  中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の製造方法であって、
前項（１）〜（６）の何れか一項に記載の方法、又は、前項（７）〜（９）に記載の装置を用いて、前記円盤状基板の開口径を検査する工程を含むことを特徴とする円盤状基板の製造方法。