【手続補正書】
【提出日】平成23年7月27日(2011.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの異なる移動方向の移動を検出する移動検出方法であって、
互いに重複した波長域を有することなく分離した波長域を測定波長域として有する２つの第１の測光系と第２の測光系とを用い、
第１の測光系が有する測定波長域において、第１の移動方向の移動に伴う反射率の変化を検出して第１の移動方向の移動を検出し、
第２の測光系が有する測定波長域において、前記第１の移動方向と異なる第２の移動方向の移動に伴う反射率の変化を検出して第２の移動方向の移動を検出することを特徴とする、２方向移動検出方法。
【請求項２】
前記第１の測光系は、当該第１の測光系が有する測定波長域において反射率が相対的に高い領域と低い領域が第１の移動方向に交互に配列された配列パターンを検出することによって反射率に変化を検出して第１の移動方向の移動を検出し、
前記第２の測光系は、当該第２の測光系が有する測定波長域において反射率が相対的に高い領域と低い領域の第２の移動方向に交互に配列された配列パターンを検出して前記第１の移動方向と異なる第２の移動方向の移動を検出することを特徴とする、請求項１に記載の２方向移動検出方法。
【請求項３】
前記第１の測光系は、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率を有する第１のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に高い反射率を有する高反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に高い領域として検出し、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率を有する第２のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に低い反射率を有する低反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に低い領域として検出し、
前記第２の測光系は、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率を有する第２のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に高い反射率を有する高反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に高い領域として検出し、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率を有する第１のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に低い反射率を有する低反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に低い領域として検出することを、請求項２に記載の２方向移動検出方法。
【請求項４】
前記第１の測光系は、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率を有する第１のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に低い反射率を有する低反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に高い領域として同時に検出し、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率を有する第２のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に低い反射率を有する低反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に低い領域として同時に検出し、
前記第２の測光系は、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率を有する第２のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に低い反射率を有する低反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に高い領域として同時に検出し、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率を有する第１のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に低い反射率を有する低反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に低い領域として同時に検出することを、請求項２に記載の２方向移動検出方法。
【請求項５】
前記第１の測光系は、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率を有する第１のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に高い反射率を有する高反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に高い領域として同時に検出し、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率を有する第２のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に高い反射率を有する高反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に低い領域として同時に検出し、
前記第２の測光系は、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率を有する第２のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に高い反射率を有する高反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に高い領域として同時に検出し、
当該第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率を有する第１のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に高い反射率を有する高反射率ターゲットを、前記反射率が相対的に低い領域として同時に検出することを、請求項２に記載の２方向移動検出方法。
【請求項６】
２つの異なる移動方向の移動を検出する移動検出装置であって、
互いに重複した波長域を有することなく分離した波長域を測定波長域として有する２つの第１の測光系および第２の測光系と、
前記各測光系が検出対象とする一つの２方向移動検出用ターゲット部材とを備え、
前記第１の測光系は、当該第１の測光系が有する測定波長域において、第１の移動方向の移動に伴う反射率の変化を検出して第１の移動方向の移動を検出し、
前記第２の測光系は、当該第２の測光系が有する測定波長域において、前記第１の移動方向と異なる第２の移動方向の移動に伴う反射率の変化を検出して第２の移動方向の移動を検出することを特徴とする、２方向移動検出装置。
【請求項７】
前記第１の測光系は、当該第１の測光系が有する測定波長域において反射率が相対的に高い領域と低い領域が第１の移動方向に交互に配列された配列パターンを検出することによって反射率に変化を検出して第１の移動方向の移動を検出し、
前記第２の測光系は、当該第２の測光系が有する測定波長域において反射率が相対的に高い領域と低い領域の第２の移動方向に交互に配列された配列パターンを検出して前記第１の移動方向と異なる第２の移動方向の移動を検出する、請求項６に記載の２方向移動検出装置。
【請求項８】
２方向移動検出用ターゲット部材は、
第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率を有する第１のターゲットと、
第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率を有する第２のターゲットと、
第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に高い反射率を有する高反射率ターゲットと、
第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に低い反射率を有する低反射率ターゲットとを備え、
前記第１の測光系は、前記第１のターゲットと前記高反射率ターゲットとを反射率が相対的に高い領域として検出し、第２のターゲットと前記低反射率ターゲットとを反射率が相対的に低い領域として検出し、
前記第２の測光系は、前記第２のターゲットと前記高反射率ターゲットとを反射率が相対的に高い領域として検出し、第１のターゲットと前記低反射率ターゲットとを反射率が相対的に低い領域として検出することを、請求項７に記載の２方向移動検出装置。
【請求項９】
２方向移動検出用ターゲット部材は、
第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率を有する第１のターゲットと、
第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率を有する第２のターゲットと、
第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に低い反射率を有する低反射率ターゲットとを備え、
前記第１の測光系は、
前記第１のターゲットと前記低反射率ターゲットとを前記反射率が相対的に高い領域として同時に検出し、
前記第２のターゲットと前記低反射率ターゲットとを前記反射率が相対的に低い領域として同時に検出し、
前記第２の測光系は、
前記第２のターゲットと前記低反射率ターゲットとを前記反射率が相対的に高い領域として同時に検出し、
前記第１のターゲットと前記低反射率ターゲットとを前記反射率が相対的に低い領域として同時に検出することを特徴とする、請求項７に記載の２方向移動検出装置。
【請求項１０】
２方向移動検出用ターゲット部材は、
第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率を有する第１のターゲットと、
第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率を有する第２のターゲットと、
第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に高い反射率を有する高反射率ターゲットとを備え、
前記第１の測光系は、
前記第１のターゲットと前記高反射率ターゲットとを前記反射率が相対的に高い領域として同時に検出し、
前記第２のターゲットと前記高反射率ターゲットとを前記反射率が相対的に低い領域として同時に検出し、
前記第２の測光系は、
前記第２のターゲットと前記高反射率ターゲットとを前記反射率が相対的に高い領域として同時に検出し、
前記第１のターゲットと前記高反射率ターゲットとを前記反射率が相対的に低い領域として同時に検出することを、請求項７に記載の２方向移動検出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】２方向移動検出方法および２方向移動検出装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
第２の測光系は、第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率を有する第２のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に高い反射率を有する高反射率ターゲットを、反射率が相対的に高い領域として同時に検出し、第１の測光系が有する測定波長域に対して相対的に高い反射率と第２の測光系が有する測定波長域に対して相対的に低い反射率を有する第１のターゲット、および第１の測光系が有する測定波長域と第２の測光系が有する測定波長域とに対して共に相対的に高い反射率を有する高反射率ターゲットを、反射率が相対的に低い領域として同時に検出する。