【手続補正書】
【提出日】平成21年5月12日(2009.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロリソグラフィー投影対物レンズであって、前記対物レンズの物体平面と画像平面との間に配置される複数のレンズを備え、第１レンズを能動変形するための第１マニピュレータが前記複数のレンズのうち前記第１レンズに割り当てられ、前記第１レンズは像欠陥を少なくとも部分的に修正するために変形可能であり、少なくとも１つの第２マニピュレータはさらに前記複数のレンズのうち少なくとも１つの第２レンズに割り当てられ、かつ前記少なくとも第２レンズは前記第１レンズに加えて変形可能である投影対物レンズ。
【請求項２】
前記投影対物レンズは、光の通過方向に、
正の屈折力の第１純ディオプトリック部と、
両凹レンズと、
正の屈折力の第３純ディオプトリック部との光学的に有効な構造部品の配列を含み、
前記第１レンズは前記第１ディオプトリック部に含まれ、および前記少なくとも第２レンズは前記第３ディオプトリック部に含まれる、請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項３】
前記投影対物レンズは、光の通過方向に、
第１瞳孔平面を経て前記物体平面を第１中間画像上に結像する第１純ディオプトリック部と、
第２瞳孔平面を経て前記第１中間画像を第２中間画像上に結像し、かつ前記第２瞳孔平面の上流または下流に２つの凹面鏡を含む第２純カトプトリック部と、
第３瞳孔平面を経て前記第２中間画像を前記画像平面上に結像する第３ディオプトリック部との光学的に有効な構造部品の配列を含み、
前記第１レンズは前記第１ディオプトリック部に含まれ、および前記少なくとも第２レンズは前記第１または第３ディオプトリック部に含まれる、請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項４】
前記投影対物レンズは、光の通過方向に、
第１瞳孔平面を経て前記物体平面を第１中間画像上に結像する第１カタディオプトリック部と、
第２瞳孔平面を経て前記第１中間画像を第２中間画像上に結像する第２カタディオプトリック部と、
第３瞳孔平面を経て前記第２中間画像を前記画像上に結像する第３カタディオプトリック部との光学的に有効な構造部品の配列を含み、
前記第１レンズは前記第１または第３カタディオプトリック部に含まれ、および前記少なくとも第２レンズは前記第２または第３カタディオプトリック部に含まれる、請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項５】
前記投影対物レンズは、光の通過方向に、
第１瞳孔平面を経て前記物体平面を第１中間画像上に結像する第１ディオプトリック部と、
第２瞳孔平面を経て前記第１中間画像を第２中間画像上に結像する第２カタディオプトリック部と、
第３瞳孔平面を経て前記第２中間画像を第３中間画像上に結像する第３カタディオプトリック部と、
第４瞳孔平面を経て前記第３中間画像を前記画像上に結像する第４カタディオプトリック部との光学的に有効な構造部品の配列を含み、
前記第１レンズは前記第１ディオプトリック部または前記第３もしくは第４カタディオプトリック部に含まれ、および前記少なくとも第２レンズは前記第２、第３または第４カタディオプトリック部に含まれる、請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項６】
前記第１レンズおよび前記少なくとも第２レンズは、隣接しているかまたは相互光学的な共役位置の前記物体平面と前記画像平面との間に配置され、かつどちらも前記変形が異なる変形プロファイルを示すように変形可能である、請求項１ないし５のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項７】
前記第１レンズおよび前記少なくとも第２レンズは、隣接していないかまたは非相互光学的な共役位置の前記物体平面と前記画像平面との間に配置され、かつどちらも前記変形が異なる変形プロファイルを示すように変形可能である、請求項１ないし５のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項８】
前記第１レンズおよび前記少なくとも第２レンズは形状が異なっている、請求項６または７に記載の投影対物レンズ。
【請求項９】
前記第１レンズおよび前記少なくとも第２レンズは異なる力を導入することによって変形可能である、請求項６ないし８のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項１０】
前記第１レンズおよび前記少なくとも第２レンズは逆方向の力を導入することによって変形可能である、請求項６ないし９のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項１１】
前記第１レンズおよび前記少なくとも第２レンズは前記物体平面と前記画像平面との間の非相互光学的な共役位置に配置され、かつ少なくとも実質的に同一に変形可能である、請求項１ないし５のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項１２】
前記第１レンズおよび前記少なくとも第２レンズは前記物体平面と前記画像平面との間の相互光学的な共役位置に配置され、かつ実質的に同一に変形可能である、請求項１ないし５のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項１３】
前記第１レンズおよび前記少なくとも第２レンズは互いに対して特定の比で変形可能である、請求項１ないし１２のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項１４】
前記第１レンズおよび前記少なくとも第２レンズは、前記像欠陥の半径方向一次ツェルニケ次数をその半径方向高次ツェルニケ次数とは実質的に無関係に、またその逆も同様に修正できるように前記複数のレンズから選択される、請求項１ないし１３のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項１５】
前記第１レンズおよび前記少なくとも第２レンズは、前記第１レンズの、前記半径方向一次ツェルニケ次数と前記半径方向高次ツェルニケ次数との比に対する修正影響の大きさが前記少なくとも第２レンズの修正影響にほぼ等しいが、符号が異なるように前記複数のレンズから選択される、請求項１４に記載の投影対物レンズ。
【請求項１６】
前記第１レンズは正レンズであり、かつ前記少なくとも第２レンズは負レンズである、請求項１４または１５に記載の投影対物レンズ。
【請求項１７】
前記正レンズのすぐ上流の周辺光線のビーム角の大きさは、前記負レンズのすぐ上流の周辺光線のビーム角より小さい、請求項１６に記載の投影対物レンズ。
【請求項１８】
修正される前記像欠陥は、視野依存性要素と一定視野要素との組合せまたは多数が視野依存性の要素を含み、前駆複数のレンズから前記第１レンズとしておよび／または前記少なくとも第２レンズとして１つのレンズが選択され、その場合、レンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比の大きさが負レンズの場合には約０．８〜約０．９または約１．１〜約１．２の範囲にあり、かつ正レンズの場合には約０．９〜約１．１の範囲にある、請求項１ないし１７のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項１９】
前記像欠陥は、視野依存性要素と一定視野要素との組合せまたは多数が視野依存性の要素を含み、前記複数のレンズから前記第１レンズとしておよび／または前記少なくとも第２レンズとして１つのレンズが選択され、その場合、レンズ前側またはレンズ後側の副開口半径の最大レンズ高さに対する比の大きさが、約０．７より小さく、約０．１より大きい、請求項１ないし１８のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項２０】
前記像欠陥は、少なくとも多数が一定視野の要素を含み、前記複数のレンズから前記第１レンズとしておよび／または前記少なくとも第２レンズとして１つのレンズが選択され、その場合、レンズ前側の副開口半径とレンズ後側の副開口半径との比の大きさが、負レンズの場合には約０．８〜約０．９または約１．１〜約１．２の範囲にあり、かつ正レンズの場合には約０．９〜約１．１の範囲にある、請求項１ないし１７のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項２１】
前記像欠陥は、少なくとも多数が一定視野の要素を含み、前記複数のレンズから前記第１レンズとしておよび／または前記少なくとも第２レンズとして１つのレンズが選択され、その場合、レンズ前側またはレンズ後側の副開口半径の最大レンズ高さに対する比の大きさが約０．７より大きい、請求項１ないし１７のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項２２】
前記複数のレンズから前記第１レンズとしておよび／または前記少なくとも第２レンズとして１つのレンズが選択され、その場合、レンズ中心部厚みの最大レンズ高さに対する比が約０．４より小さい、請求項１ないし２１のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項２３】
前記複数のレンズから前記第１レンズとしておよび／または前記少なくとも第２レンズとして変形にはそれ自体厚すぎるレンズが選択され、このレンズは少なくとも２つの個別のレンズに分割され、かつ前記個別のレンズの少なくとも１つは変形可能である、請求項１ないし２２のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項２４】
前記複数のレンズから前記第１レンズとしておよび／または前記第２レンズとして動作中２回以上光が通過するレンズが選択される、請求項１ないし２３のいずれかに記載の投影対物レンズ。
【請求項２５】
前記投影対物レンズは、開口数ＮＡ＝１．１０、１．００、１．３５、１．２０、１．２５、１．３０、０．９２、０．９５を含むグループから選択される開口数ＮＡを有し、かつ像点を有することができる最大直径２Ｙ’は、直径２Ｙ’であって、２Ｙ’＝２２．０、３６．０、３２．５、２８．８、３０．０、３１．５、３２．２、２８．０を含むグループの一部分である、請求項１ないし２４のいずれかに記載の投影対物レンズ。