【手続補正書】
【提出日】平成23年1月31日(2011.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源と、エレクトレット化された誘電体膜にイオンを供給しエレクトレット化された誘電体膜上に形成された電荷を除電する電極とを備えたイオナイザを具備した除電装置であって、
前記誘電体膜が、電気的に非接地状態となるようにして、イオナイザからのイオンを照射するように構成された除電装置。
【請求項２】
請求項１に記載の除電装置であって、
前記誘電体膜に電場を誘起する導電物を備え、
エレクトレット化された誘電体膜上の電荷が除電されるとき、前記導電物が非接地状態である除電装置。
【請求項３】
請求項２に記載の除電装置であって、
前記導電物が、前記誘電体膜に接続された除電装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の除電装置であって、
前記電極は、針状電極である除電装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の除電装置であって、
基板の上に第１の膜が形成されており、
前記誘電体膜は、前記第１の膜上に形成されており、
前記第１の膜に対向するように第２の膜が形成された除電装置。
【請求項６】
請求項５に記載の除電装置であって、
前記第１の膜は振動膜であり、前記第２の膜は固定膜である除電装置。
【請求項７】
請求項５又は６のいずれか１項に記載の除電装置であって、
エレクトレット化された誘電体膜上の電荷が除電されるとき、前記基板は電気的に非接地状態である除電装置。
【請求項８】
マイクロホンに装着される誘電体膜をエレクトレット化するエレクトレット化装置であって、
誘電体膜のエレクトレット化及びエレクトレット化された誘電体膜上の電荷を除電するイオナイザを具備し、
エレクトレット化された誘電体膜上の電荷が除電されるとき、前記誘電体膜を支持する支持部またはその近傍が非接地電位となるように構成されたマイクロホンエレクトレット化装置。
【請求項９】
請求項８に記載のマイクロホンエレクトレット化装置であって、
基板の上に第１の膜が形成されており、
前記誘電体膜は、前記第１の膜上に形成されており、
前記第１の膜に対向するように第２の膜が形成されたマイクロホンエレクトレット化装置。
【請求項１０】
請求項８又は９のいずれか１項に記載のマイクロホンエレクトレット化装置であって、
前記第１の膜は振動膜であり、前記第２の膜は固定膜であるマイクロホンエレクトレット化装置。
【請求項１１】
請求項９又は１０のいずれか１項に記載のマイクロホンエレクトレット化装置であって、
エレクトレット化された誘電体膜上の電荷が除電されるとき、前記基板は電気的に非接地状態であるマイクロホンエレクトレット化装置。
【請求項１２】
誘電体膜が電気的に非接地状態となるようにして、イオナイザを用いてエレクトレットエレクトレット化された誘電体膜にイオンを供給することにより、エレクトレット化された誘電体膜上の電荷を除電する除電方法。
【請求項１３】
イオナイザを用いてエレクトレットエレクトレット化された誘電体膜にイオンを供給することにより、誘電体膜をエレクトレット化する工程と、
前記誘電体膜が電気的に非接地状態となるようにして、前記イオナイザを用いてエレクトレット化された誘電体膜にイオンを供給することにより、エレクトレット化された前記誘電体膜上の電荷を除電する工程とを含むマイクロホンの除電方法
【請求項１４】
請求項１３に記載のマイクロホンの除電方法であって、
前記誘電体膜は基板上に形成されており、
前記エレクトレット化工程は前記基板上で実施されるマイクロホンの除電方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】除電装置、エレクトレット化装置、除電方法およびこれを用いたマイクロホンの除電方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、除電装置、エレクトレット化装置、除電方法およびこれを用いたマイクロホンの除電方法に係り、特にエレクトレット化によって電荷チャージのなされた誘電体膜へのイオナイザ照射による着電量変化に伴う感度変化の抑制に関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
そこで本発明では、電源と、エレクトレット化された誘電体膜にイオンを供給しエレクトレット化された誘電体膜上に形成された電荷を除電する電極とを備えたイオナイザを具備した除電装置であって、前記誘電体膜が、電気的に非接地状態となるようにして、イオナイザからのイオンを照射するように構成される。
また本発明は、上記除電装置であって、前記誘電体膜に電場を誘起する導電物を備え、エレクトレット化された誘電体膜上の電荷が除電されるとき、前記導電物が非接地状態であるものを含む。
また本発明は、上記除電装置であって、前記導電物が、前記誘電体膜に接続されたものを含む。
また本発明は、上記除電装置であって、前記電極は、針状電極であるものを含む。
また本発明は、上記除電装置であって、基板の上に第１の膜が形成されており、前記誘電体膜は、前記第１の膜上に形成されており、前記第１の膜に対向するように、第２の膜が形成されたものを含む。
また本発明は、上記除電装置であって、前記第１の膜は振動膜であり、前記第２の膜は固定膜であるものを含む。
また本発明は、上記除電装置であって、エレクトレット化された誘電体膜上の電荷が除電されるとき、前記基板は電気的に非接地状態であるものを含む。
また、マイクロホンに装着される、誘電体膜をエレクトレット化するエレクトレット化装置であって、誘電体膜のエレクトレット化及びエレクトレット化された誘電体膜上の電荷を除電するイオナイザを具備し、エレクトレット化された誘電体膜上の電荷が除電されるとき、前記誘電体膜を支持する支持部またはその近傍が非接地電位となるように構成される。
また本発明は、上記マイクロホンエレクトレット化装置であって、基板の上に第１の膜が形成されており、前記誘電体膜は、前記第１の膜上に形成されており、前記第１の膜に対向するように第２の膜が形成されるものを含む。
また、上記マイクロホンエレクトレット化装置であって、前記第１の膜は振動膜であり、前記第２の膜は固定膜であるものを含む。
また、上記マイクロホンエレクトレット化装置であって、エレクトレット化された誘電体膜上の電荷が除電されるとき、前記基板は電気的に非接地状態であるものを含む。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の除電方法は、前記誘電体膜が電気的に非接地状態となるようにして、前記イオナイザを用いてエレクトレット化された誘電体膜にイオンを供給することにより、エレクトレット化された前記誘電体膜上の電荷を除電する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また本発明のマイクロホンの除電方法は、イオナイザを用いてエレクトレットエレクトレット化された誘電体膜にイオンを供給することにより、誘電体膜をエレクトレット化する工程と、前記誘電体膜が電気的に非接地状態となるようにして、イオナイザを用いてエレクトレットエレクトレット化された誘電体膜にイオンを供給することにより、エレクトレット化された誘電体膜上の電荷を除電する工程とを含む。
また、本発明は、上記マイクロホンの除電方法であって、前記誘電体膜は基板上に形成されており、前記エレクトレット化工程は前記基板上で実施される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
シールドケース４１は、エレクトレット化処理が済んだ後に、実装基板４２上に取り付けられる。このシールドケース４１には、音波を導く音孔としての広い開口部４９が設けられている。
以上のように、本発明では、イオナイザを用いて、エレクトレット化された誘電体膜にイオナイザからのイオンを照射する工程において、前記誘電体膜が、電気的に非接地状態すなわち浮遊状態となるように構成される。
イオナイザによる除電効果を保ちつつ、エレクトレット化された誘電体膜の着電量変化を抑制させるため、本発明による装置構造とすることで、着電によりエレクトレット化された誘電体膜の電荷が抜けにくくなり、イオナイザによる着電変化の影響を低減させることができ、マイクロホンの感度ばらつきを抑制させることが可能となる。
また着電量変化は、着電によりエレクトレット化された誘電体膜にイオナイザからのイオンが直接照射され且つ誘電体膜下にアースに接続された導電物を設置された場合のみ、発生することが実験からわかっている。さらに、誘電体膜と導電物間に絶縁物を介しても、着電量変化が生じることがわかっている。
このように、エレクトレット化された誘電体膜下にある導電物を非接地状態に維持するようにし、アースに接続しない構造体とすることにより、アース接続による導電物からイオナイザへ電流が流れループ回路を形成されることで発生する電界による誘電体膜へのイオンの引き込みを阻止することができる。その結果、誘電体膜に保持された電荷が抜けにくくなることから、着電量変化を抑制させ、マイクロホンの感度変化を減少させることができる。
またエレクトレット化された誘電体膜下に導電物を設置しない構造体とした場合においても、ループ回路の形成による電界が発生せず、上記と同等の効果を得ることができる。
なおここで非接地状態とは、誘電体膜に電流が流れないように、電位接続されない状態をいうものとする。