【手続補正書】
【提出日】平成23年9月2日(2011.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の情報を得る方法であって、
広帯域放射線の第１の偏光ビームを１以上の層上に集束するステップであって、前記第１の偏光ビームが試料表面に直角な参照面に対する角度φの関数である多数の偏光状態を有するステップと、
前記第１の偏光ビームから発生しかつ前記試料により変化している放射線を、レンズにより集めるステップと、
偏光計スペクトルを生成するために前記試料により変化しかつ前記試料から集められた放射線を分析し、その放射線を分散するステップと、
前記１以上の層に対して傾斜した角度の方向で、広帯域放射線の第２の偏光ビームを前記試料に集束するステップと、
前記試料により変化しかつ前記第２の偏光ビームから発生する放射線の変化の測定値を得るステップと、
前記測定値と前記偏光計スペクトルとから前記試料の特性に関する情報を判定するステップと、
を含む方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法において、
前記第１の偏光ビームまたは前記第２の偏光ビームが紫外線波長または深紫外線波長を含む放射線を含むので、前記試料の特性が前記紫外線波長または深紫外線波長を含む波長で前記測定値または前記偏光計スペクトルから判定される方法。
【請求項３】
請求項１記載の方法において、
前記得るステップが、前記試料により変化しかつ前記第２の偏光ビームから発生する放射線の量および位相における放射線の偏光状態の変化の測定値を得る方法。
【請求項４】
請求項１記載の方法において、
前記第１の偏光ビームの放射線と前記第２の偏光ビームの放射線との組み合わせが、約１９０ｎｍから約８３０ｎｍまでの範囲の多重波長を含む方法。
【請求項５】
請求項１記載の方法において、
前記第２の偏光ビームが、実質的に単一波長での放射線を含む方法。
【請求項６】
請求項１記載の方法において、
前記試料の特性に関する情報には、前記試料の複屈折特性が含まれる方法。
【請求項７】
請求項１記載の方法において、
前記試料の特性に関する情報には、前記試料の厚さおよび屈折率が含まれる方法。
【請求項８】
試料の情報を得る装置であって、
広帯域放射線の偏光された第１のサンプルビームを１以上の層に集束し、かつ前記１以上の層に対して傾斜した角度の方向で、広帯域放射線の偏光された第２のサンプルビームを前記試料に集束する第１の光学系と、
前記第１のサンプルビームから発生しかつ前記試料により変化している放射線を集め、レンズを備える第２の光学系と、
偏光計スペクトルを生成するために前記試料により変化しかつ前記試料から集められた放射線を分析し、その放射線を分散する器具と、
前記試料により変化しかつ前記第２のサンプルビームから発生する放射線の量および位相における偏光状態の変化の測定値を得る偏光解析装置と、を備え、
前記試料の特性に関する情報は、前記偏光解析装置と前記偏光計スペクトルとから導出可能である装置。
【請求項９】
請求項８記載の装置において、
前記第１のサンプルビームおよび前記第２のサンプルビームが紫外線波長または深紫外線波長を含む放射線を含むので、前記試料の特性が前記紫外線波長または深紫外線波長を含む波長で前記測定値または前記偏光計スペクトルから判定される装置。
【請求項１０】
請求項９記載の装置において、
前記第１のサンプルビームの放射線と前記第２のサンプルビームの放射線との組み合わせが、約１９０ｎｍから約８３０ｎｍまでの範囲の多重波長を含む装置。
【請求項１１】
請求項８記載の装置において、
前記偏光解析装置が、単一波長の偏光解析装置である装置。
【請求項１２】
請求項８記載の装置において、
前記試料の特性に関する情報には、前記試料の複屈折特性が含まれる装置。
【請求項１３】
請求項８記載の装置において、
前記試料の特性に関する情報には、前記試料の厚さおよび屈折率が含まれる装置。
【請求項１４】
試料の特性を測定する装置であって、
放射線の偏光されたサンプルビームを試料上に集束する第１の光学系と、
前記試料により変化している前記サンプルビームから放射線を集める第２の光学系と、  前記試料により変化しかつ前記試料から集められた放射線を分析する偏光素子と、
スペクトルを生成するために前記偏光素子により分析された放射線を分散する手段であって、放射線と前記サンプルビームとの間の偏光状態における実質的な相対的変化が、前記第１の光学系、前記第２の光学系および前記偏光素子において使用される光学素子間の相対運動によって引き起こされない手段と、を備え、
前記試料の特性に関する情報は、前記スペクトルから導出可能であり、
前記第１の光学系および前記第２の光学系に、集束することおよび集めることを２回、試料表面に直角な参照面に対する２つの異なる範囲の角度内で行わせる手段も備える装置。
【請求項１５】
請求項１４記載の装置において、
前記試料が少なくとも２つの軸に沿った異なる特性を有し、前記行わせる手段が、前記軸のうちの１つの軸の周りにそれぞれ整列されるかあるいは中心化された少なくとも２つの異なる開口を使用する装置。
【請求項１６】
請求項１５記載の装置において、
少なくとも２つの異なる開口が、実質的に９０°離れている装置。
【請求項１７】
請求項１４記載の装置において、
前記サンプルビームが前記試料に達する前に、前記偏光素子は前記サンプルビームを偏光し、集束すること、集めること、および分散することが２回行われ、１回は試料表面に直角な参照面に対する第１の範囲の角度内の前記サンプルビームの偏光状態および変化しかつ集められた放射線の偏光状態を有し、もう１回は前記参照面に対する第１の範囲の角度とは異なる第２の範囲の角度内の偏光状態を有する装置。
【請求項１８】
請求項１７記載の装置において、
集束すること、集めること、および分散することが２回行われている間、２つの異なる位置で前記サンプルビームを偏光することを前記偏光素子が行う装置。
【請求項１９】
請求項１８記載の装置において、
前記２つの異なる位置が、回転により実質的に９０°離れている装置。
【請求項２０】
請求項１８記載の装置において、
前記試料が少なくとも２つの軸に沿った異なる特性を有し、前記偏光素子の２つの異なる位置を異なる特性を検出するために配向する装置。
【請求項２１】
請求項１４記載の装置において、
前記偏光素子が、偏光子または偏光ビーム分割器を含む装置。
【請求項２２】
請求項１４記載の装置において、
前記サンプルビームが前記試料に達する前に、前記偏光素子は前記サンプルビームを偏光し、多数の偏光状態を有するビームを前記試料上に集束させ、前記偏光状態が試料表面に直角な参照面に対する角度φの関数であり、前記角度φが照明開口の実質的な角度を規定する範囲を有する装置。
【請求項２３】
請求項２２記載の装置において、
前記第１の光学系が異なる入射面に沿って前記偏光されたサンプルビームを前記試料上に集束し、前記入射面が参照面に対して異なる角度にあり、前記照明開口の角度範囲が約９０°または１８０°である装置。
【請求項２４】
請求項１４記載の装置において、
前記サンプルビームの放射線は、少なくとも１つの紫外線波長または深紫外線波長を含む装置。
【請求項２５】
請求項１４記載の装置において、
前記試料が少なくとも２つの軸に沿った種々の光学的に検出可能な特性を有し、前記装置が前記軸のうちの１つに整列された少なくとも１つの開口をさらに備え、前記開口が前記第１の光学系と前記分散する手段との間の光路内にある装置。
【請求項２６】
請求項２５記載の装置において、
前記少なくとも１つの開口が、前記軸のうちの１つの軸の周りに中心化される装置。
【請求項２７】
請求項２５記載の装置において、
前記軸のうちの１つに整列されるように少なくとも２つ開口のうちの１つを選択する機構をさらに備える装置。
【請求項２８】
請求項２７記載の装置において、
前記機構により２つの異なる開口のそれぞれを前記軸の対応する一つに整列させるので、前記２つの異なる開口がそれらの対応する軸に連続して整列されたときに得られる偏光計スペクトルは、前記試料の光学的に検出可能な特性に関する情報をもたらす装置。
【請求項２９】
請求項２８記載の装置において、
前記機構が、その中に少なくとも２つの開口を有する車輪と、その少なくとも２つの開口のそれぞれの偏光子とを含む装置。