【手続補正書】
【提出日】平成22年12月22日(2010.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
(A)テトラフルオロエチレン72.8〜74.0モル％、(B)パーフルオロ(低級アルキルビニルエーテル)またはパーフルオロ(低級アルコキシ低級アルキルビニルエーテル)26.8〜24.0モル％および(C)パーフルオロ不飽和ニトリル化合物0.2〜3.0モル％よりなる共重合組成を有する含フッ素エラストマー100重量部当り、0.2〜5重量部のビスアミドキシム化合物を配合してなり、無機充填剤を含有していない含フッ素エラストマー組成物。
【請求項２】
ムーニー粘度ML1+10(121℃)が70〜115である含フッ素エラストマーが用いられた請求項１記載の含フッ素エラストマー組成物。
【請求項３】
請求項１記載の含フッ素エラストマー組成物を加硫成形して得られたシール材。
【請求項４】
プラズマ照射用途に用いられる請求項３記載のシール材。
【請求項５】
半導体製造装置用として用いられる請求項４記載のシール材。
【請求項６】
シリコンウェハーの表面処理加工室用として用いられる請求項５記載のシール材。
【請求項７】
ゲートバルブ用途に用いられる請求項４記載のシール材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】含フッ素エラストマー組成物
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、含フッ素エラストマー組成物に関する。さらに詳しくは、プラズマ照射用途などに用いられるシール材の加硫成形材として用いられる含フッ素エラストマー組成物に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
さらに、この種の含フッ素エラストマーを用い、ビスアミドラゾン化合物を加硫剤として用いて加硫することも、本出願人によって提案されている。ここで用いられる含フッ素エラストマーとしては、(A)テトラフルオロエチレン45〜75モル％、(B)パーフルオロ(低級アルキルビニルエーテル)またはパーフルオロ(低級アルコキシ低級アルキルビニルエーテル)50〜25モル％および(C)パーフルオロ不飽和ニトリル化合物0.1〜5モル％よりなる共重合組成を有するものが用いられており、実施例では(A)：(B)：(C)モル比が57.3：39.6：2.8の共重合組成を有するものが用いられている。
【特許文献３】特許第２８５０９４３号公報
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の目的は、シアノ基を架橋性基とする含フッ素エラストマーにおいて、この加硫物がプラズマ照射条件下で使用され、また300℃といった高温条件下で使用された場合にあっても、プラズマ照射による重量減少を抑制し、また300℃以上といった高温条件下においてもすぐれた耐熱性を示すといった含フッ素エラストマー組成物を提供することにある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
かかる本発明の目的は、(A)テトラフルオロエチレン72.8〜74.0モル％、(B)パーフルオロ(低級アルキルビニルエーテル)またはパーフルオロ(低級アルコキシ低級アルキルビニルエーテル)26.8〜24.0モル％および(C)パーフルオロ不飽和ニトリル化合物0.2〜3.0モル％よりなる共重合組成を有する含フッ素エラストマー100重量部当り、0.2〜5重量部のビスアミドキシム化合物を加硫剤として配合し、無機充填剤を含有していない含フッ素エラストマー組成物によって達成される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明に係る含フッ素エラストマー組成物は、ビスアミドキシム化合物を加硫剤として加硫成形することにより、有効な半導体製造装置用シール材を形成させることができる。得られたシール材は、カーボンブラック、シリカ等の無機充填剤を含有していなくともすぐれた耐熱性を示し、300℃以上、具体的には300℃および315℃での圧縮永久歪値によって示されるような良好な高温耐熱性を示している。このため、Oリング等のシール材は、300℃以上での高温条件下においても、良好なシール性を保持し得る。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明に係る含フッ素エラストマー組成物に用いられる含フッ素エラストマーは、(A)テトラフルオロエチレン72.8〜74.0モル％、(B)パーフルオロ(低級アルキルビニルエーテル)またはパーフルオロ(低級アルコキシ低級アルキルビニルエーテル)26.8〜24.0モル％および(C)パーフルオロ不飽和ニトリル化合物0.2〜3.0モル％よりなる共重合組成を有している。その共重合割合は、前記特許文献１〜３の共重合割合に関する一般的な記載には含まれるものの、好ましい共重合割合範囲、さらに好ましい共重合割合にも記載されていない範囲に設定されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
参考例１
内容積100Lのステンレス鋼製オートクレーブ中に、蒸留水55kg、パーフルオロオクタン酸アンモニウム1800gおよびリン酸二水素カリウム782gを仕込んだ後、オートクレーブ内を窒素で置換し、次いで減圧した。そこに、
テトラフルオロエチレン〔TFE〕                              1.5kg
パーフルオロ(メチルビニルエーテル)〔FMVE〕                 1.1kg
パーフルオロ(3,7-ジオキサ-8-シアノ-1-ノネン)〔CEPVE〕      130g
を順次仕込み、60℃に昇温させた後、そこに過硫酸アンモニウム70gおよび亜硫酸ナトリウム12gを溶解させた5Lの水溶液として添加し、重合反応を開始させた。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
参考例２
内容積100Lのステンレス鋼製オートクレーブ中に、蒸留水51kg、パーフルオロオクタン酸アンモニウム900gおよびリン酸二水素カリウム782gを仕込んだ後、オートクレーブ内を窒素で置換し、次いで減圧した。そこに、
テトラフルオロエチレン〔TFE〕                              1.6kg
パーフルオロ(メチルビニルエーテル)〔FMVE〕                 1.1kg
パーフルオロ(3-オキサ-8-シアノ-1-オクテン)〔CPeVE〕        100g
を順次仕込み、60℃に昇温させた後、そこに過硫酸アンモニウム70gおよび亜硫酸ナトリウム12gを溶解させた5Lの水溶液として添加し、重合反応を開始させた。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
実施例１
テトラフルオロエチレン-パーフルオロ(メチルビニルエーテル)-パーフルオロ(3,7-ジオキサ-8-シアノ-1-ノネン)〔モル比73.5：24.9：1.6〕3元共重合体〔共重合体A〕100重量部に、ビスアミドキシム化合物(n=4)0.7重量部を加え、2本ロールミル上で40〜45℃の温度で混練した。混練物を180℃で30分間プレス加硫(一次加硫)した後、次の条件下でのオーブン加硫(二次加硫)を窒素ガス雰囲気下で行った。
90℃で4時間
90℃から204℃迄6時間かけて昇温
204℃で18時間
204℃から288℃迄6時間かけて昇温
288℃で18時間
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
実施例２
実施例１において、共重合体Aの代わりに、テトラフルオロエチレン-パーフルオロ(メチルビニルエーテル)-パーフルオロ(3-オキサ-8-シアノ-1-オクテン) [モル比 73.9：24.8：1.3]3元共重合体(共重合体B)が用いられた。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
実施例３
実施例１において、共重合体Aの代わりに、テトラフルオロエチレン-パーフルオロ(エチルビニルエーテル)-パーフルオロ(3,7-ジオキサ-8-シアノ-1-ノネン) [モル比 73.2：25.8：1.0]3元共重合体(共重合体C；ムーニー粘度ML1+10(121℃)84)が用いられた。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
実施例４
実施例１において、共重合体Aの代わりに、テトラフルオロエチレン-パーフルオロ(メトキシエチルビニルエーテル)-パーフルオロ(3,7-ジオキサ-8-シアノ-1-ノネン) [モル比 73.3：25.1：1.6]3元共重合体(共重合体D；ムーニー粘度ML1+10(121℃)88)が用いられた。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
比較例３
実施例１において、共重合体Aの代りに、共重合単量体モル比69.9：28.8：1.3の3元共重合体(共重合体G；ムーニー粘度ML1+10(121℃)85)が用いられ、同様の加硫および測定が行われた。