【手続補正書】
【提出日】平成23年2月2日(2011.2.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体内の少なくとも一つの成分の存在及び量の少なくとも一つを決定するためのセンサーデバイス（２０）であって、該センサーデバイス（２０）は、流体内に配置される基板に少なくとも一つのセンサーユニットを備え、ここで、このセンサーユニットは、上記基板に実質上垂直方向に位置する少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）と、この細長いナノ構造体（８）を本質的に囲む誘電材料（９）とを備え、
上記細長いナノ構造体（８）は、底部、上部、並びに少なくとも第１及び第２の接点（４、１２）を有し、第１接点（４）は、ドレイン接点であり、ナノ構造体（８）の底部に接続され、第２接点（１２）は、ソース接点であり、ナノ構造体（８）の上部に接続され、
細長いナノ構造体（８）は、ドレイン接点（４）の下にゲート構造（２、３）を有し、
誘電材料（９）は、流体内の少なくとも一つの成分に関して選択的に透過性であり、細長いナノ構造体（８）は、使用時、誘電材料（９）を通して浸透した成分を検出する、
センサーデバイス。
【請求項２】
本質的に同様の直径及び本質的に同様の構成を有する細長いナノ構造体（８）を有する少なくとも２つのセンサーユニットを備える、請求項１に記載のセンサーデバイス。
【請求項３】
構成及び／又は直径が互いに異なる細長いナノ構造体（８）を有する少なくとも２つのセンサーユニットを備える、請求項１又は２に記載のセンサーデバイス。
【請求項４】
少なくとも第１及び第２のセンサーユニットを備え、第１センサーユニットの細長いナノ構造体（８）を囲む誘電材料（９）は、第２センサーユニットの細長いナノ構造体（８）を囲む誘電材料（９）と構成が異なる、請求項１から３のいずれかに記載のセンサーデバイス。
【請求項５】
ゲート構造（２、３）は、ゲート接点（２）及びゲート誘電体（３）を備え、ゲート誘電体（３）は、ゲート接点（２）とドレイン接点（４）とが互いに接触しないように、ゲート接点（２）とドレイン接点（４）との間に位置する、請求項１から４のいずれかに記載のセンサーデバイス。
【請求項６】
少なくとも第１及び第２の接点（４、１２）は、導電性材料から形成される、請求項１から５のいずれかに記載のセンサーデバイス。
【請求項７】
少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）は、３ｎｍと３００ｎｍとの間の直径を有する、請求項１から６のいずれかに記載のセンサーデバイス。
【請求項８】
少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）は、検出されるべき成分への選択性を改善するために機能化される、請求項１から７のいずれかに記載のセンサーデバイス。
【請求項９】
少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）は、ＩＶ族の材料及びその二元化合物、ＩＩＩ−Ｖ族の材料及びその二元、三元、四元化合物、ＩＩ−ＩＶ族の材料及びその二元、三元、四元化合物、又は金属酸化物から選択された材料で形成される、請求項１から８のいずれかに記載のセンサーデバイス。
【請求項１０】
少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）は、ナノワイヤー又はカーボンナノチューブである、請求項１から９のいずれかに記載のセンサーデバイス。
【請求項１１】
ナノ構造体（８）への少なくとも一つの成分の吸着により少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）の物理的性質の変化を測定するための検出器（１３）を更に備える、請求項１から１０のいずれかに記載のセンサーデバイス。
【請求項１２】
検出器（１３）は、少なくとも一つのナノ構造体（８）の電気伝導の変化を測定するための電気的な検出器である、請求項１１記載のセンサーデバイス。
【請求項１３】
検出器（１３）は、少なくとも一つのナノ構造体（８）のエレクトロルミネセンスの変化を測定するための光学検知器である、請求項１２記載のセンサーデバイス。
【請求項１４】
気体内に存在する気体分子を検出するためのガスセンサーとしての、請求項１から１３のいずれかに記載のセンサーデバイスの使用。
【請求項１５】
液体内に存在する液体分子を検出するための液体センサーとしての、請求項１から１３のいずれかに記載のセンサーデバイスの使用。
【請求項１６】
流体内の少なくとも一つの成分の存在及び／又は量を決定するためのセンサーデバイス（２０）を製造する方法であって、該方法は、少なくとも一つのセンサーユニットを設けることを備え、この少なくとも一つのセンサーユニットを設けることは、
−少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）を設けること、及び
−少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）が本質的に囲まれるように誘電材料（９）を設けること、ここで、誘電材料（９）は、少なくとも一つの成分の一つに関して選択的に透過性であり、少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）は、誘電材料（９）を通り浸透した成分を検出可能である、
を備えた製造する方法。
【請求項１７】
少なくとも一つのセンサーユニットを設けることは、
−犠牲層（５）を設けること、
−犠牲層（５）に少なくとも一つの開口（６）を形成するように犠牲層（５）をパターン化すること、
−犠牲層（５）における少なくとも一つの開口（６）の各々にナノ粒子（７）を堆積すること、
−犠牲層（５）を除去すること、及び
−触媒としてナノ粒子（７）を用いて、少なくとも一つの細長いナノ構造体を成長すること、
により実行される、請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
少なくとも一つの細長いナノ構造体を設けることは、
−少なくとも一つのナノ粒子（７）を電気化学的に堆積すること、及び
−触媒としてナノ粒子（７）を用いて、少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）を成長させること、
を備える、請求項１６又は１７記載の方法。
【請求項１９】
少なくとも一つの成分への選択性を改善するため少なくとも一つのナノワイヤー（８）を機能化することを更に備える、請求項１６から１８のいずれかに記載の方法。
【請求項２０】
細長いナノ構造体（８）への少なくとも一つの成分の吸着により少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）の特性の変化を測定するための検出器（１３）を設けることをさらに備える、請求項１６から１９のいずれかに記載の方法。
【請求項２１】
検出器（１３）は、電気的検出器あるいは光学的検知器である、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
流体内の少なくとも一つの成分の存在及び／又は量を決定する方法であって、該方法は、
−センサーデバイス（２０）への少なくとも一つの成分を備える流体を提供すること、ここで、センサーデバイス（２０）は、少なくとも一つのセンサーユニットを備え、少なくとも一つのセンサーユニットは、少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）と、この少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）を囲む誘電材料（９）とを備え、この誘電材料（９）は、少なくとも一つの成分の一つに選択的に透過性である、
−少なくとも一つの成分を誘電材料（９）を通して浸透させ、少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）に吸着させること、
−少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）の特性の変化を測定すること、及び
−上記変化から、流体内の少なくとも一つの成分の存在及び／又は量を決定すること、
を備えた決定する方法。
【請求項２３】
少なくとも一つの成分を備える流体を提供することは、検出されるべき少なくとも一つの気体分子を備える気体を提供することにより行われる、請求項２２記載の方法。
【請求項２４】
少なくとも一つの成分を備える流体を提供することは、検出されるべき少なくとも一つの液体分子を備える液体を提供することにより行われる、請求項２２記載の方法。
【請求項２５】
少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）の特性の変化を測定することは、少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）の電気伝導の変化を測定することにより行われる、請求項２２から２４のいずれかに記載の方法。
【請求項２６】
少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）の特性の変化を測定することは、少なくとも一つの細長いナノ構造体（８）のエレクトロルミネセンスの変化を測定することにより行われる、請求項２２から２４のいずれかに記載の方法。