【誤訳訂正書】
【提出日】平成21年9月2日(2009.9.2)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【書類名】  明細書
【発明の名称】  浅いトレンチ絶縁のための自己平坦化誘電層を形成する方法
【特許請求の範囲】
【請求項１】 
シリコン基板の上にトレンチ絶縁構造体を形成する方法であって、
化学気相堆積プロセスを使用して、前記シリコン基板の上に直接、無機反射防止コーティングを堆積する工程と、
リソグラフィプロセスを使用して前記無機反射防止コーティングおよびシリコン基板にパターニングして、それぞれがトレンチ底とトレンチ壁とを有する複数のトレンチを形成する工程であって、シリコンが前記複数のトレンチの底で露出されると共に、無機反射防止コーティングがトレンチ間の持ち上がった表面で露出される工程と、
異なる組成の表面に表面感度と成長速度とが依存する先駆物質を前記基板処理チャンバに導入し、前記トレンチ間の持ち上がった表面に露出された無機反射防止コーティング部分の上よりも速い速度で前記トレンチ底に露出する前記シリコンの上に前記誘電層が堆積する結果となるオゾン／先駆物質の比率で前記基板処理チャンバにオゾンを流して前記先駆物質と反応させて、前記基板の上で且つ前記複数のトレンチの中に誘電層を堆積させることにより、前記誘電層が平坦な誘電表面を形成するまでトレンチ充填誘電層を堆積する工程と、
を含む方法。
【請求項２】
前記パターニングする工程の後で、前記導入する工程と、流す工程と、調節する工程とに先だって、フッ化水素酸を用いた湿式エッチング処置を利用して前記トレンチを洗浄する工程をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】 
前記複数のトレンチ内にトレンチ充填誘電層を堆積する工程の後に、前記基板処理チャンバの中に酸素含有ガスを流し、前記基板を少なくとも８００℃の温度に加熱して、同時に前記誘電層の密度を高くすると共に、トレンチ底とトレンチ壁の夫々に熱酸化物を形成する工程をさらに含む請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】 
異なる組成の表面に表面感度と成長速度とが依存する前記先駆物質は、ＴＥＯＳ（テトラエチルオルトシリケート）である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
オゾン／ＴＥＯＳの比率は、１０：１と２０：１の間である、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
トレンチ充填誘電層を堆積する工程は、前記基板処理チャンバ内に２００から７００Ｔｏｒｒの間の圧力と、３００から５００℃の間の温度を生成する工程を含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記無機反射防止コーティング層は１０００から２０００Åの間の厚さで堆積される、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
無機ＣＶＤ反射防止コーティング層は、オキシ窒化ケイ素または窒化ケイ素のいずれかである、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
無機ＣＶＤ反射防止コーティング層を堆積する工程は、シラン、一酸化二窒素、窒素分子、アンモニアおよびヘリウムを前記チャンバに導入する工程を含む、請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
無機ＣＶＤ反射防止コーティング層は、炭化ケイ素である、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路の製造に関する。特に、本発明は、浅いトレンチ絶縁のため高品質誘電層の自己平坦化堆積を提供する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス形状は、サイズが縮小し続けており、製造されたウエハ上の１つのユニットエリアに一層多くのデバイスを設けている。これらのデバイスは、一般に、先ず、それらがウエハに作り込まれる時に互いに絶縁され、次いで、所望の特定の回路構成を生成するために相互に連結される。現今、いくつかのデバイスは、０．１８μｍ程の小さな特徴の大きさで製造されている。例えば、導電性ラインあるいはパターン形成されたウエハなどのデバイス間のスペーシングは、同程度の大きさの凹部あるいはギャップを残して０．１８μｍだけ分離されている。二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）などの誘電材料の不導電層は、一般に、前述のギャップを充填するためにその特徴に堆積され、そして隣接した層の集積回路のその他の特徴から、あるいは同一の層の隣接した特徴からその特徴を絶縁する。
【０００３】
誘電層は、デバイスを絶縁するための浅いトレンチ絶縁（ＳＴＩ）誘電物や、金属配線層間にあるいは金属化処理に先だって形成される層間誘電物（ＩＬＤ）を含む様々な用途に使用されている。いくつかの場合、ＳＴＩは、約０．５μｍ以下程の小さな特徴の大きさを有するデバイスを絶縁するために使用されている。誘電層の平坦化は、半導体デバイスの記憶密度が増え続けると、ますます重要になってくる。
【０００４】
平坦化の問題は、図１ａから図１ｇに図示されるように浅いトレンチ絶縁（通常、ＳＴＩ集積化と呼ばれる）を形成するための一般的処理の例示を使用して記述されている。図１ａにおいて、シリコン基板１１０は、その上にパッド酸化物層１１２および窒化ケイ素などの窒化物層１１４を堆積している。窒化物層１１４は、低圧化学気相堆積（ＬＰＣＶＤ）によって一般に堆積され、そして化学機械研磨（ＣＭＰ）のためのエッチングストップとして作用する。図１ｂを参照すると、ボトム反射防止コーティング（ＢＡＲＣ）１１６は、フォトリソグラフィ間に基板１１０から反射される光を吸収するため窒化物層１１４の上に形成される。一般に、ＢＡＲＣ１１６である有機スピン‐オンガラス（ＳＯＧ）は、深紫外（ＤＵＶ）線および遠紫外（ＦＵＶ）線を含む約２４８ｎｍ以下の波長を有する光のために一般的に必要とされている。フォトレジスト１１８は、ＢＡＲＣ１１６の上に形成され、トレンチの位置を画定するマスク（図示せず）を使用して露光される。露光されたフォトレジストは、次に、トレンチを形成するために開口領域を残すように除去される。一般に、プラズマエッチングは、図１ｃに示されるように、トレンチ１２０を形成するために窒化物１１４、パッド酸化物１１２およびシリコン基板１１０を通って開口領域をエッチングするように行われる。残留フォトレジスト１１８およびＢＡＲＣ１１６を除去後、一般的には、熱酸化物１２２が、図１ｄに図示されるように、シリコン基板１１０へのプラズマ損傷を修復するために窒化物／パッド酸化物上とトレンチ１２０の表面（トレンチの底１２４およびトレンチの壁１２６）上とに成長されている。
【０００５】
誘電層１２８は、次に、トレンチ１２０を充填し、そして窒化物層１１４を覆うために熱酸化物１２２の上に堆積される。この誘電層１２８は、トレンチ酸化物充填層と呼ばれることが多い。典型的な誘電層は、二酸化ケイ素、ケイ酸塩ガラスなどの酸化物材料から形成される。図１ｅに示されるように、堆積された誘電層１２８の表面プロフィルは、段があり、トレンチのある基板１１０の形状にほぼ似ている。表面プロフィルは、幅広いトレンチを有する隙間のあるフィールドにおいてよりも近接したスペースの狭いトレンチを有する密集したフィールドにおいてより一定である。図１ｅに見られるように、段の高さ１３０は、密集したフィールド１３４と隙間のあるフィールド１３２との間の誘電物プロフィルに形成される。段の高さ１３０のため、誘電層１２８を平坦化するために、誘電層堆積工程の直後にＣＭＰを適用することはできない。何故なら、さもなければ、図１ｈに見られるように、隙間のあるフィールド１３２において皿状に凹む効果が、ＣＭＰに伴う結果として生ずるからである。その代わりに、リバースマスクおよびエッチング処置が、図１ｆに図示されるように、余分の酸化物をエッチングしてより平坦な表面プロフィルを得るために使用されている。この処置は、一般に、フォトレジスト堆積、リバースマスキング、硬化、エッチングされたフォトレジストの除去、エッチングバック、残留フォトレジストの除去などの工程を含んでいる。ＣＭＰ処置は、次に、図１ｇに示されるように、充填された基板１１０の表面を全体にわたり平坦化するために、図１ｆの構造体に適用される。段の高さの影響により必要とされるリバースマスクおよびエッチング処置は、平坦化処置に対してかなりの費用および複雑さ（例えば、関連する追加されるリソグラフィ工程により）を追加する。
【０００６】
上記に詳細に論じられたことから、追加のフォトリソグラフィ工程（費用のかかる装置を必要とする）を含むマルチ工程が、ＳＴＩを設けるのに必要とされることが分かる。しかしながら、工程（および関連した装置、特に、費用のかかるレンズ、光ソースなどを必要とするフォトリソグラフィ装置）の数を減少することと、より経済的で、効率のよい製造プロセスを供給するために改善された結果を得ることとが望ましい。例えば、改善された結果を得るための１つの方法は、費用をかけないで自己平坦化高品質トレンチ酸化物充填層を設けることである。
【０００７】
図１ｅに示される例示におけるトレンチ酸化物充填層のためギャップ充填誘電物１２８などの誘電層を堆積する多数の処置は、周知である。プロセスの１つのタイプは、ケイ酸塩ガラスなどの誘電フィルムを堆積するのにＯ3（オゾン）およびＴＥＯＳ（テトラエチルオルトシリケート）を使用する。堆積されるこのようなフィルムは、通常、“Ｏ3／ＴＥＯＳフィルム”と呼ばれる。Ｏ3／ＴＥＯＳフィルムプロセスは、Ｏ3／ＴＥＯＳの比が増大すると、表面感度が増大する。表面感度のため、誘電物堆積速度は、基礎層の材料の特性によって変わる。
【０００８】
Ｏ3／ＴＥＯＳフィルム堆積に先だって、表面に反応しない障壁層を堆積することによって表面感度を最小化することは周知である。例えば、１つの周知のプロセスは、プラズマ増強ＴＥＯＳ（ＰＥＴＥＯＳ）堆積を含み、表面処理および薄いキャップＴＥＯＳ層が後に続く。このプロセスは、望ましくない追加のプロセス工程を必要とする。別の周知の方法は、Ｏ3／ＴＥＯＳの比を減少することによって表面感度を低下する。しかし、Ｏ3／ＴＥＯＳの比を低下することは、望ましくないより多孔性誘電フィルムを結果として生ずることが多い。これは、誘電フィルムが絶縁のために使用されるとき、特に問題となる。この問題と取り組む１つの方法は、約５００℃以上にプロセス温度を上げることであったが、プロセス温度を上げることは大抵の場合望ましくない。別の方法として、トレンチ酸化物充填層およびサンドイッチＰＥＴＥＯＳ層堆積後の追加のアニーリングプロセスが、トレンチ酸化物充填層の密度を高めるのに使用された。この方法は、しかし、余分の工程を行う必要があるという欠点を有している。
【０００９】
表面感度を最小化する代わりに、トレンチのあるシリコン基板のギャップ充填を行うために、Ｏ3／ＴＥＯＳフィルムの堆積速度の依存関係を利用して、トレンチの側壁を熱酸化物スペーサで覆うものもある。大気圧ＣＶＤ（ＡＰＣＶＤ）Ｏ3／ＴＥＯＳ堆積および５％のオゾン濃度を使用すると、気泡のないギャップ充填を達成するために、側壁スペーサ上よりボトムシリコン上でのより速いフィルム成長が気泡形成を妨げたことが報告された。別のものは、Ｏ3／ＴＥＯＳおよびＯ3‐オクタメチルシクロテトラシロキサン（ＯＭＴＣ）などの類似物質の表面感度を利用することによって平坦化金属間誘電（ＩＭＤ）を形成する可能性を研究した。研究員は、平面性を達成するために異なる堆積速度を制御することの困難さを報告した。例えば、かなりの隆起が、アルミニウムの頂部およびアルミニウム側壁のＴｉＮ ＡＲＣ層のＯ3／ＴＥＯＳの異なる堆積速度によって生じるアルミニウム金属ラインのエッジで観察された。これら同一の研究員のある人たちは、Ｏ3−ＯＭＴＣを使用する燐含有ガラス（ＰＳＧ）上に設けられるアルミニウムインターコネクト上にＳｉＯ2層を堆積すると、より満足できる平坦化結果が得られることを報告した。
【００１０】
上述のことに鑑みて、表面感度の高い誘電層を堆積することによって平坦性を得る試みは必ずしも成功するとは限らなかった。その上、発明者は、これらの方法は、所望の品質を有さない誘電層を生成することを発見した。
【００１１】
必要とされることは、浅いトレンチ絶縁のため高品質トレンチ酸化物充填層の平坦化堆積のためにより効率のよい、また経済的な方法である。Ｏ3／ＴＥＯＳフィルムなどの誘電材料の堆積速度の依存関係を効果的に利用する改善された方法が、さらに、望まれている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の特定の実施形態は、表面感度のよい誘電材料を使用する自己平坦化高品質トレンチ充填層を形成することによって浅い絶縁集積化を提供するより効率のよい方法を提供する。本発明は、シリコントレンチに誘電材料を堆積して、トレンチ充填層の堆積後の酸化アニーリングによりトレンチ表面で熱酸化物を成長する方法を提供することによってそれを行う。この方法において、以前の方法を使用して形成される欠点は実質的に除去される。任意のトレンチ洗浄工程が、さらに、トレンチ充填層の品質およびデバイスの電気的特性を改善するために、堆積に先だって用いられることが可能である。
【００１３】
本発明の１つの実施形態は、上方部分間に形成され且つトレンチ底とトレンチ壁とを有するシリコントレンチを備えるシリコン基板に誘電層を形成する方法に向けられている。基板は、基板処理チャンバに配置されている。方法は、基板の異なるレベルで異なった組成の表面に対する誘電層の堆積速度依存関係を提供する先駆物質を使用する。異なるレベルで異なった組成の表面は、トレンチ底および上方部分の材料を含む。その方法は、先駆物質、好ましくはＴＥＯＳを基板処理チャンバに導入する工程と、オゾンを基板処理チャンバに流して先駆物質と反応させて基板に誘電層を堆積する工程を含んでいる。オゾンと先駆物質との間のオゾン／先駆物質の比は、誘電層がほぼ平坦な誘電表面を形成するまで、異なった組成の表面上における誘電層の堆積速度を制御するために調節される。
【００１４】
別の実施形態によれば、基板処理システムは、処理チャンバを画定するハウジングを備えている。基板ホルダは、上方部分の間に形成され且つトレンチ底とトレンチ壁とを有するシリコントレンチを含むシリコン基板を保持するために処理チャンバ内に配置されている。システムは、さらに、処理ガスを処理チャンバに導入するためのガス分配システムと、ガス分配システムを制御するためのコントローラとを備えている。メモリは、コントローラのオペレーションを管理するためにそこで実施されるコンピュータ読み取り可能プログラムを有するコンピュータ読み取り可能媒体を備えるコントローラに結合されている。コンピュータ読み取り可能プログラムは、シリコン基板に誘電層を形成するために、オゾンを含有する処理ガスと先駆物質とを処理チャンバに導入するようにガス分配システムを制御するための一連のインストラクションを備えている。先駆物質は、トレンチ底とシリコン基板の上方部分の材料とを備える、異なるレベルで異なる組成の表面に、誘電層の堆積速度の依存関係を与え、そして誘電層がほぼ平坦な誘電表面を形成するまでオゾンと先駆物質との間のオゾン／先駆物質の比を調節する。
【００１５】
別の実施形態は、トレンチ表面とその上に堆積されるトレンチ充填材料とを有するトレンチを備える基板を処理する方法に向けられている。基板は、基板処理チャンバ内に配置されている。方法は、基板処理チャンバに酸素含有ガスを供給する工程と、実質的に同時にトレンチ充填材料の密度を高めると共にトレンチ表面に熱酸化物を形成するために、基板を加熱する工程を含んでいる。
【００１６】
別の実施形態によれば、基板処理システムは、処理チャンバを画定するハウジングを備えている。基板ホルダが、トレンチ表面とその中に配置されるトレンチ充填材料とを有するトレンチを備える基板を保持するために処理チャンバ内に配置されている。システムは、処理ガスを処理チャンバに導入するためのガス分配システムと、基板を加熱するためのヒータと、ガス分配システムとヒータとを制御するためのコントローラとを備えている。メモリは、コントローラのオペレーションを管理するためにそこで実施されるコンピュータ読み取り可能プログラムを有するコンピュータ読み取り可能媒体を備えるコントローラに結合されている。コンピュータ読み取り可能プログラムは、酸素含有ガスを処理チャンバに導入するためにガス分配システムを制御し、そして実質的に同時に誘電層の密度を高めると共にトレンチ表面に熱酸化物を形成するように基板を加熱するべくヒータを制御するための一連のインストラクションを備えている。
【００１７】
さらに、別の実施形態によれば、基板にトレンチ絶縁構造体を形成するための方法は、基板の上に、またそれに接触してＣＶＤ反射防止コーティング（ＣＶＤ ＡＲＣ）を形成する工程を含んでいる。フォトレジストが、ＣＶＤ反射防止コーティングの上に形成される。フォトレジストの一部分は、トレンチが形成される位置を画定するために露光される。フォトレジストが、その位置で除去される。方法は、さらに、その位置にトレンチを形成するために、ＣＶＤ反射防止コーティングを通っておよび基板の深さを通ってその位置でエッチングする工程を含んでいる。
【００１８】
本発明の目的および利点をさらに理解するために、添付の図面に関連して行われる次の詳細な説明を参照されたい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
Ｉ．浅いトレンチ集積化の誘電層の自己平坦化堆積
本発明の特定の実施形態は、例示としてＳＴＩ集積化を使用して図示されている。本発明の様々な実施形態の利点は、図１ａから図１ｈに図示されるような従来技術の方法と比べると容易に分かる。特に、本発明は、誘電層の品質を損なうことなく、誘電トレンチ充填層の自己平坦化堆積を提供することによってより効率のよい浅いトレンチ絶縁集積化を提供する。本発明の範囲が、必ずしもＳＴＩ集積化に限られないことが理解される。
【００２０】
Ａ．トレンチの形成
図２ａおよび図２ｂは、一般にシリコンから製造される基板にトレンチを形成する別の方法を図示している。図２ａを参照すると、第１のステップ２１０は、シリコン基板に直接ＣＶＤ反射防止コーティング（ＣＶＤ ＡＲＣ）を形成することである。特に、ＣＶＤ ＡＲＣを使用すると、ＳＴＩ集積化のために一般に用いられるパッド酸化物および窒化物層の必要性を削除する。ＢＡＲＣに一般に使用される有機スピンとは違って、ＣＶＤ ＡＲＣは、例えば、窒化ケイ素、オキシ窒化ケイ素、炭化ケイ素などを一般に含む無機材料である。ＣＶＤ ＡＲＣは、ＣＶＤシステム内の処理ガスの化学反応を増進することによって堆積される。例えば、シリコンおよび窒素および／または酸素（誘電ＡＲＣあるいはＤＡＲＣとしても知られている）を含むＣＶＤ ＡＲＣは、プラズマ増強ＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）に下記の処理ガス：シリコン含有ガス（シランあるいはＴＥＯＳなど）および窒素含有ガスおよび／または酸素含有ガスを導入することによって堆積される。一酸化二窒素（Ｎ2Ｏ）は、窒素および酸素を供給するのに使用されるが、酸素および窒素のその他のソースが、いうまでもなく、使用されることが可能である。ヘリウムあるいはアルゴンなどの不活性ガスは、一般に、処理の堆積およびフィルムの厚さを制御するために、また処理を安定させるために使用される。適切なＣＶＤ装置の例示は、Ｚｈａｏ ｅｔ ａｌに発行された“ＣＶＤ ＰＲＯＣＥＳＳＩＮＧ ＣＨＡＭＢＥＲ（ＣＶＤ処理チャンバ）”と題する米国特許第５、５５８、７１７号に記述されている。ガス比は、堆積されたＣＶＤ ＡＲＣの所望の光学的特徴（屈折率および吸収率）を有するフィルム組成物を得るように調節されることが可能である。ＬＰＣＶＤがプラズマ増強処理でなく熱処理であるためＬＰＣＶＤシリコンのフィルム組成物は調整されることができないという点で、ＣＶＤ ＡＲＣ窒化ケイ素層は従来のＬＰＣＶＤ窒化ケイ素層と異なっている。ＣＶＤ ＡＲＣを堆積するのに使用されることが可能ないくつかのテクニックは、発明者としてＤａｖｉｄ Ｃｈｅｕｎｇ、Ｊｏｅ Ｆｅｎｇ、Ｊｕｄｙ Ｈ． ＨｕａｎｇおよびＷａｉ‐Ｆａｎ Ｙａｕを有する“METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING ANTIREFLECTIVE COATING（反射防止コーティングを堆積するための方法および装置）”と題する米国特許出願番号０８／６７２、８８８；発明者としてＪｕｄｙ Ｈ． Ｈｕａｎｇ、Ｗａｉ‐Ｆａｎ Ｙａｕ、Ｄａｖｉｄ ＣｈｅｕｎｇおよびＣｈａｎ‐Ｌｏｎ Ｙａｎｇを有する“METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING AN ETCH STOP LAYER（エッチングストップ層を堆積するための方法および装置）”と題する米国特許出願番号０８／８５２、７８７およびＳＰＩＥ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ（Optical/Laser Microkithography V.）第１６７４巻３６２‐３７５頁（１９９２）に発行されたＴｏｈｒｕ Ｏｇａｗａ、Ｍｉｔｕｎｏｒｉ Ｋｉｍｕｒａ、Ｙｏｉｃｈｉ ＴｏｍｏおよびＴｏｓｈｉｒｏ Ｔｓｕｍｏｒｉによる“Novel ARC Optimization Methodology for KrF ExcimerLaser Lithography at Low K1 Factor（低Ｋ１ファクタでＫｒＦエキシマーレーザリソグラフィのための新規なＡＲＣ最適化方法論）”に記述されている。この２つの出願は、本発明の譲受人であるＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃ．，に譲渡されている。これらの参考資料は、参照として本願明細書に組み入れる。
【００２１】
１つの実施形態において、シラン（ＳｉＨ4）対Ｎ2Ｏの所望の比は、ＤＡＲＣを堆積するために選択されている。さらに、Ｎ2およびＮＨ3は、さらに、堆積されたＤＡＲＣの光学および化学特性を制御するために導入される。Ｎ2およびＮＨ3の効果は、ＳｉＨ4およびＮ2ＯがＤＡＲＣ特性に最小の効果を与えるかあるいは効果がない処理状況、例えば低温において、特に支配的である。処理におけるＮＨ3およびＮ2の追加は、さらにフィルムの組成を変化させ、屈折率および吸収率をより自由にして、屈折率および吸収率のより細かい調節を可能にする。さらに、処理は、アルゴンより費用効果の良いヘリウムの使用と相性が良い。ヘリウムは、さらに、堆積されたＤＡＲＣ層の改善された応力制御をも可能にする。これにより、フィルムに、堆積後基板から剥離させる引張り過ぎが生じないようにする。
【００２２】
ＣＶＤ ＡＲＣは、ＢＡＲＣ（図１ｂ）に類似するフォトリソグラフィの間、基板から反射される光線を吸収する能力を有している。さらに、ＣＶＤ ＡＲＣは、基板から反射される光線から位相が異なっている光線を反射させる反射特性を有しているので、その２つは、互いに相殺する。これは移相相殺と呼ばれている。
【００２３】
ＣＶＤ ＡＲＣは、さらに、上述のように、ＣＭＰのためエッチングストップとして作用する能力を有し、ＬＰＣＶＤ窒化物層（図１ｇ）を削除することを可能にする。さらに、ＬＰＣＶＤ窒化物とは異なって、ＣＶＤ ＡＲＣは、シリコン基板に直接行われることが可能である。パッド酸化物層（図１ａ）は、シリコン基板とＬＰＣＶＤ窒化物層との間の応力の伝達を止めるのにもはや必要とされない。その結果、単一のＣＶＤ ＡＲＣ層が、パッド酸化物、ＬＰＣＶＤ窒化物、ＢＡＲＣに取って代わることが可能であり、それによって、より簡単な構造体およびＳＴＩのための基板を作成する一層効率のよい方法を結果として生じる。ＣＶＤ ＡＲＣは、フォトリソグラフィと、ＣＭＰとの両方のために作用し、さらに、酸素拡散に対して良好な障壁でもある。
【００２４】
図２ａを参照すると、フォトレジストは、ステップ２１２でＣＶＤ ＡＲＣの上に形成される。特定の実施形態によれば、フォトレジストは、トレンチが形成されるトレンチ位置を画定するために露光され（ステップ２１４）、そして露光されたフォトレジストはそのトレンチ位置で除去される（ステップ２１６）。エッチングステップ２１８では、トレンチ位置でトレンチを形成するために、ＣＶＤ ＡＲＣとシリコン基板とをエッチングすることが行われる。ステップ２２０で、残留フォトレジストが除去される。いくつかの特定の実施形態によれば、光学的な洗浄ステップ２２２が、トレンチを洗浄して、汚染物質を除去する。洗浄ステップ２２２は、例えば、フッ化水素酸（ＨＦ）を含有する混合物を使用して従来の湿式エッチング処置を利用することが可能である。結果として生ずる構造体が、図３ａに図示され、図３ａは、約１０００から２０００Åの厚さを有する、基板の上に形成されるＣＶＤ ＡＲＣ２２６を有するシリコン基板２２４を示している。形成されたトレンチ２２８は、トレンチ底２３０とトレンチ壁２３２とを有している。
【００２５】
図１ａから図１ｄに図示されている従来のアプローチと比べると、図２ａの方法は、トレンチ形成の間のシリコン基板へのプラズマ損傷を修復するのに従来使用されているトレンチの表面上に熱酸化物を形成する処理を削減することが可能である。発明者は、シリコントレンチの上に直接Ｏ3／ＴＥＯＳなどの表面感度のよい誘電材料を堆積することが、下記により詳細に記述されるように、従来のアプローチで形成されるトレンチ充填層の品質をかなり改善することと、洗浄ステップ２２２が、さらに、フィルム品質を改善することを見出した。さらに、本発明者は、酸化アニーリング処理が、下記に論じられるように、トレンチ底およびトレンチ壁で熱酸化物を成長するためにトレンチ充填層の形成後使用されることが可能であることを明らかにした。
【００２６】
ＣＶＤ ＡＲＣは、本発明の特定の実施形態において使用されてもよい。いくつかの特定の実施形態によれば、下記に記述される次の処理ステップは、ＣＶＤ ＡＲＣが使用されるかあるいは従来のＢＡＲＣ／窒化物／酸化物の化合物が使用されるかに拘らず、使用されてもよい。したがって、トレンチ形成後、“エッチングストップ”層という用語が、その代わりに使用され、そしてＬＰＣＶＤ窒化物層（パッド酸化物層と共に）あるいはＣＶＤ ＡＲＣを示すことが理解される。
【００２７】
図２ｂに示される別の実施形態において、ステップ２５０から２６０は、図２ａのステップ２１０から２２０と同一であり、フォトレジストを使用してトレンチをエッチングすることが行われる。しかし、フォトレジストが除去された後（ステップ２６０）、２つの追加の処理ステップが行われる。ステップ２６２において、熱酸化物が、図１ｄに示されるのと類似するトレンチ底とトレンチ壁とで形成される。トレンチ底の熱酸化物は、例えば、従来のプラズマエッチング処置を使用して、エッチングされる（ステップ２６４）。結果として生ずる構造体は図３ｂに図示され、図３ｂは、シリコン基板に形成されるエッチングストップ層２７２（ＣＶＤ ＡＲＣあるいはＬＰＣＶＤ窒化物）およびトレンチ底２７６とトレンチ壁２７８とを有するトレンチ２７４を有するシリコン基板２７０を示している。トレンチ底２７６の熱酸化物を除去後、残留熱酸化物２８０が、トレンチ壁２７８に示されている。その結果、洗浄ステップ２６６が、有利な点として、汚染物質を除去するために、ＨＦ混合物などでの従来の湿式エッチング処理を使用して行われる。下記に論じられるように、本発明者は、この洗浄ステップ２６６は、堆積されるトレンチ充填層の品質を改善することを明らかにした。
【００２８】
Ｂ．トレンチ充填層の堆積
図４を参照すると、トレンチのある基板（図３ａの２２４あるいは図３ｂの２７０）が準備された後、それは、ステップ２９０において、処理チャンバ（図８のチャンバ１５などの）に配置される。一般に、不活性ガスが、反応処理ガスが導入される前にチャンバ内の圧力を安定させるために、ステップ２９２においてチャンバに流される。次に、異なる組成の表面に表面感度と成長速度とが依存する先駆物質が、チャンバ（ステップ２９４）に導入される。適切な先駆物質の例示は、ＴＥＯＳである。ＴＥＯＳが液体の先駆物質であるので、適切な装置は、ＴＥＯＳを蒸発して所望の流量を有する処理ガスを形成するために、バブラーアセンブリにおいてＴＥＯＳを通してヘリウムなどの分配ガスを気泡としたり、あるいはヘリウムや窒素などのキャリヤーガスを液体インジェクションシステムに導入することを指令する。オゾンガスが、ＴＥＯＳと反応して基板にＯ3／ＴＥＯＳトレンチ充填層を堆積するように、チャンバ（ステップ２９６）に流される。Ｏ3／ＴＥＯＳ層の堆積速度は、エッチングストップ層（ＬＰＣＶＤ窒化物あるいはＣＶＤ ＡＲＣである）を含む基板の上方部分の高い表面上よりも、低いトレンチ底（シリコンである）上でより速い。低いおよび高い表面におけるＯ3／ＴＥＯＳ層の相対的な堆積速度は、Ｏ3／ＴＥＯＳ層がほぼ自己平坦化誘電表面を形成するまで、Ｏ3／ＴＥＯＳの比を調節することによってステップ２９８で調節される。
【００２９】
Ｏ3／ＴＥＯＳの比は、Ｏ3および／またはＴＥＯＳの流量を調節することによって調節されることが可能である。例えば、予め定められたＯ3／ＴＥＯＳの比が選択されることが可能であり、そして相対流量がステップ２９８においてその比を達成するように調節される。平面性を達成するために、トレンチ底からの堆積を促進するようにＯ3／ＴＥＯＳの比を最大化することは有利な点である。約１０：１より高いことが望ましく、さらに、約１０：１から２０：１の間がより望ましいＯ3／ＴＥＯＳの比が、使用されることが可能である。
【００３０】
トレンチ充填層の堆積が、約５００℃以下の比較的低い温度で行われることが可能である。これにより、有利な点として、堆積が、アルミニウム材料を含む処理チャンバにおいて約５００℃以上の高い温度で行われるとき（例えば、低いＯ3／ＴＥＯＳの比のために誘電フィルムの密度を高めるために必要なとき）に生じる望ましくないフッ化アルミニウム形成と、フッ化アルミニウムを除去するのに必要な長い洗浄時間とを回避する。圧力および流量などのその他の処理パラメータは、選択されたＯ3／ＴＥＯＳの比のため堆積処理を最適化するように調節されることが可能である。約２００から７００トルの範囲の圧力が、１０：１から２０：１のＯ3／ＴＥＯＳの比で使用されることが好ましい。
【００３１】
図５ａおよび図５ｂは、図４の方法をそれぞれ使用して用意され、図３ａおよび図３ｂの基板２２４、２７０にそれぞれ堆積される自己平坦化トレンチ充填誘電層３００、３０２を図示している。下記により詳細に論じられるように、本方法は、トレンチ充填層の自己平坦化堆積を設けるだけでなく、高品質のこれらの層を確実にする。
【００３２】
Ｃ．トレンチ充填層の処理
図６を参照すると、ステップ３１０、３１２は、トレンチが、堆積されたトレンチ充填層で充填された後、トレンチ表面で熱酸化物を成長するのに使用されることが可能な酸化アニーリング処理を示している。処理が、ここに記述されるＳＴＩ集積化以上の汎用適応性を有すると同時に、従来の熱酸化物成長（図１ｄ）が、高品質トレンチ充填層（例えば、Ｏ3／ＴＥＯＳ）の形成と、図２ａの方法におけるグローバル平坦化とを確実にするために削除されるので、それは、この実験例における特別の利点を有している。この次の酸化アニーリングは、熱酸化物をトレンチ表面で成長させるだけでなく、実質的に同時にトレンチ充填層の密度を高め、さらに、その品質を改善する。密集した層は、特に、絶縁のために有利である。酸化アニーリングは、ステップ３１０において、基板を酸素含有ガス（分子酸素、蒸気、酸素を有するあらゆる先駆物質など）に当てることによって、またステップ３１２において、基板を適切な温度（例えば、約８００℃以上）に加熱することによって行われる。図５ａの基板２２４が、酸化アニーリングを施されるとき、熱酸化物３０８が、図７に図示されるようにトレンチ２２８の表面に沿って成長される。酸化アニーリングは、表面感度のよい堆積が、堆積されるようなトレンチ（シリコン）においてよりも活性領域（ＬＰＣＵＤ窒化物あるいはＣＶＤ ＡＲＣ）においてより多孔性であるので、ＣＭＰ処理を改善するために、ＣＭＰ後行われることが望ましい。フィルム密度におけるこの差は、ＣＭＰ量がトレンチ上より活性領域上でより高いので、ＣＭＰのために利点をもたらすことが可能である。
【００３３】
最終ステップ３１４は、一般にＣＭＰによって、選択的にトレンチ充填材料を除去して、平坦化する。このステップは、ＬＰＣＶＤ窒化物あるいはＣＶＤ ＡＲＣであることが可能なエッチングストップ層上のトレンチ充填材料を除去する。誘電プロフィルがほぼ平坦であるので、リバースマスクおよびエッチング処置は、必要でなく、またＣＭＰステップは、誘電プロフィルが図１ｆに示されるように段になっている場合より、迅速に完了されることが可能である。これは、さらに、処理時間を減少し、スループット（処理量）を増大する。
【００３４】
ＩＩ．例示的なＣＶＤシステム
本発明の方法が実施される１つの適切なＣＶＤ装置は、図８に示され、図８は、チャンバ壁１５ａとチャンバ覆い部アセンブリ１５ｂを備える真空チャンバまたは処理チャンバ１５を有するＣＶＤシステム１０の縦断面図である。チャンバ壁１５ａおよびチャンバ覆い部アセンブリ１５ｂは、図９および図１０の分解斜視図に示されている。
【００３５】
ＣＶＤシステム１０は、処理チャンバ内の中心に置かれている加熱ペデスタル１２の上に載っている基板（図示せず）に処理ガスを分配するガス分配マニホルド１１を備えている。処理中、基板（例えば、半導体ウエハ）は、ペデスタル１２の平坦な（あるいはわずかに凸形）表面１２ａに配置されている。台は、低ローディング／オフローディング位置と、マニホルドに近接する上方処理位置（図示せず）との間で制御可能に移動されることが可能である。センターボード（図示せず）は、ウエハの位置の情報を供給するセンサを備えている。
【００３６】
堆積およびキャリヤーガスは、従来の平坦で円形のガス分配部材あるいは面板１３ａの穿孔した穴１３ｂ（図１０）を通ってチャンバ１５に導入される。特に、分配処理ガスは、入口マニホルド１１（図８に矢印４０で示されている）を通り、従来の穴のあるブロッカープレート４２を通り、次にガス分配面板１３ａの穴１３ｂを通ってチャンバに流れる。
【００３７】
マニホルドに到達する前に、堆積およびキャリヤーガスは、ガスソース７からガス供給ライン８（図８）を通って混合システム９に投入され、混合システム９にてそれらが混ぜ合わされてからマニホルド１１に送られる。一般に、各処理ガスの供給ラインは、（i）自動的に、あるいは手動で、チャンバへの処理ガスの流れをシャットオフするのに使用されることが可能であるいくつかの安全シャットオフバルブ（図示せず）と、（ii）供給ラインを通るガスの流量を測定する質量流量コントローラ（図示せず）とを備えている。有毒なガス（例えば、オゾンあるいはハロゲン化ガス）が処理に使用されるとき、いくつかの安全シャットオフバルブが、従来の構成の各ガス供給ラインに配置されている。
【００３８】
ＣＶＤシステム１０において行われる堆積処理は、熱処理か、あるいはプラズマ増強処理かのいずれかである。プラズマ増強処理において、ＲＦ電源装置４４は、面板１３ａと台との間の円筒形領域内にプラズマを形成するために、処理ガス混合物を励起するように、ガス分配面板１３ａと台との間に電力を印加する。（この領域は、ここでは“反応領域”と呼ばれる。）プラズマの構成物質は、ペデスタル１２に支持される半導体ウエハの表面に所望のフィルムを堆積するように反応する。ＲＦ電源装置４４は、真空チャンバ１５に導入される反応種の分解を向上するために、一般に１３．５６ＭＨｚの高ＲＦ周波数（ＲＦＩ）で、および３６０ＫＨｚの低ＲＦ周波数で電力を供給する混合周波数ＲＦ電源装置である。熱処理において、ＲＦ電源装置４４は使用されず、処理ガス混合物は、ペデスタル１２に支持される半導体ウエハの表面に所望のフィルムを堆積するように熱により反応し、ペデスタルは、反応のため熱エネルギーを供給するために抵抗により加熱される。
【００３９】
プラズマ増強堆積処理中、プラズマは、排出通路２３とシャットオフバルブ２４とを囲むチャンバ本体１５ａの壁を含む処理チャンバ全体を加熱する。プラズマが出ていない時または熱堆積処理中には、熱い液体が、高められた温度にチャンバを維持するために、処理チャンバの壁１５ａを通って循環される。チャンバ壁１５ａを加熱するのに使用される流体は、典型的な流体タイプ、すなわち、水性ベースのエチレングリコールあるいは油性ベースの熱転移流体を含んでいる。この加熱は、有利な点として、望ましくない反応物生成物の凝縮を減少または排除し、またそれらが冷たい真空通路の壁に凝縮されて、ガスが流れない期間の間、処理チャンバに逆移動する場合、処理ガスおよび処理を汚染するその他の汚染物質の揮発性生成物の排除を改善する。
【００４０】
反応生成物を含有する層に堆積されないガス混合物の残りは、真空ポンプ（図示せず）によってチャンバから排出される。特に、ガスは、反応領域を囲む環状のスロット形状のオリフィス１６を通って環状の排出プレナム１７に排出される。環状スロット１６およびプレナム１７は、チャンバの円筒形側壁１５ａ（壁の上方誘電ライニング１９を含む）の上部と円形チャンバ覆い部２０の下部との間のギャップによって画定される。スロットオリフィス１６とプレナム１７との３６０°の円形対称および均一性が、ウエハに均質のフィルムを堆積するように、ウエハ上に処理ガスの均一流量を達成するために重要である。
【００４１】
排出プレナム１７から、ガスは、排出プレナム１７の横方向延在部分２１の下を流れ、ビューポート（図示せず）を通りすぎて、下流側延在ガス通路２３を通り、真空シャットオフバルブ２４（その本体が下方チャンバ壁１５ａと一体化している）を通りすぎて、フォアライン（図示せず）を通って外部真空ポンプ（図示せず）に接続する排出ポートに２５に流れる。
【００４２】
ペデスタル１２のウエハ支持円盤（アルミニウム、セラミック、あるいはそれらの組み合わせであることが好ましい）は、平行同軸円の形状で２つのフル回転をするように構成される埋め込み単一ループ埋め込み加熱器要素を使用して抵抗により加熱される。加熱要素のアウタ部分は、支持円盤の周辺に隣接して延び、インナ部分は、より小さな半径を有する同軸円の経路に沿って延びる。加熱要素へのワイヤはペデスタル１２のステムを通り抜ける。
【００４３】
一般に、チャンバライニング、ガス入口マニホルド面板、様々な反応器ハードウェアのいくらかあるいはすべてが、アルミニウム、アノード処理されたアルミニウム（アルマイト）、セラミックなどの材料で製造される。このようなＣＶＤ装置は、Ｚｈａｏ ｅｔ ａｌに発行された“CVD Processing Chamber（ＣＶＤ処理チャンバ）”と題する米国特許第５、５５８、７１７号に記述されている。米国特許第５、５５８、７１７号は、本発明の譲受人であるＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ｉｎｃ．，に譲渡され、この結果参照として本願明細書に組み入れる。
【００４４】
リフタメカニズムおよびモータ（図示せず）は、ウエハがチャンバ１０の側面の挿入／除去開口２６を通してロボットブレード（図示せず）によって、チャンバの本体の方に、またその外に移動されるとき、加熱台アセンブリ１２およびそのウエハリフトピン１２ｂを上下する。モータが、処理位置１４と下方ウエハ装荷位置との間でペデスタル１２を上下する。モータ、供給ライン８に接続されたバルブまたは流量コントローラ、ガス分配システム、スロットルバルブ、ＲＦ電源装置４４、チャンバおよび基板加熱システムは、コントロールライン３６の上のシステムコントローラ３４（図８）によってすべて制御され、そのいくつかだけが示されている。コントローラ３４は、スロットルバルブおよびコントローラ３４の制御のもとに適切なモータによって移動されるサスセプタなどの可動メカニカルアセンブリの位置を決定するために、光学的センサからのフィードバックに依存する。
【００４５】
好ましい実施形態において、システムコントローラは、ハードディスクドライブ（メモリ３８）と、フロッピーディスクドライブと、プロセッサ３７とを備えている。プロセッサは、シングルボードコンピュータ（ＳＢＣ）と、アナログおよびデジタルインプット／アウトプットボードと、インターフェースボードと、ステッピングモータコントローラボードとを含んでいる。ＣＶＤシステム１０の様々な部分は、ボード、カードケージ、コネクタの大きさおよびタイプなどを定義するＶｅｒｓａ Ｍｏｄｕｌａｒ Ｅｕｒｏｐｅａｎ（ＶＭＥ）標準に従っている。ＶＭＥ標準は、さらに、１６ビットデータバスと２４ビットアドレスバスとを有するバス構造を定義する。
【００４６】
システムコントローラ３４は、ＣＶＤマシンの動きすべてを制御する。システムコントローラは、メモリ３８などのコンピュータ読み取り可能媒体に格納されるコンピュータプログラムであるシステムコントロールソフトウェアを実行する。メモリ３８は、ハードディスクドライブであることが好ましいが、メモリ３８は、その他の種類のメモリであってもよい。コンピュータプログラムは、タイミング、ガスの混合、チャンバ圧力、チャンバ温度、ＲＦ電源電力レベル、サスセプタ位置、特定処理のその他のパラメータなどを命令する一連のインストラクションを含んでいる。例えば、フロッピーディスク、あるいは互いに適切なドライブを含むその他のメモリデバイスに格納されるその他のコンピュータプログラムが、コントローラ３４を作動するのに使用されてもよい。
【００４７】
図１１は１つの以上のチャンバを備える基板処理システムのシステムモニタおよびＣＶＤシステム１０の簡易図であり、ユーザとコントローラ３４との間のインターフェースは図１１に示されるＣＲＴモニタ５０ａおよびライトペン５０ｂを媒体としている。好ましい実施形態において、２つのモニタ５０ａが使用され、１つは、オペレータのためのクリーンルームの壁に嵌め込まれ、もう１つは、サービスの技術者のための壁の後ろにある。モニタ５０ａは同時に同一の情報を表示するが、１本のライトペン５０ｂだけが使用可能とされる。ライトペン５０ｂのチップにあるライトセンサは、ＣＲＴディスプレイによって放射される光を検知する。特定のスクリーンあるいはファンクションを選択するために、オペレータは、表示画面の指定領域に触れて、ペン５０ｂに接したボタンを押す。触れられた領域は、その強調色を変化して、あるいは新しいメニューまたはスクリーンが、表示され、ライトペンと表示画面との間のコミュニケーションを確認する。キーボート、マウス、その他のポインティングまたはコミュニケーションデバイスなどのその他のデバイスが、ユーザにコントローラ３４とやり取りさせるために、ライトペン５０ｂの代わりに、あるいはそれに加えて、使用されてもよい。
【００４８】
フィルムを堆積するプロセスは、コントローラ３４によって実行されるコンピュータプログラム製品を使用して実行されることが可能である。コンピュータプログラムコードは、従来のコンピュータ読み取り可能プログラミング言語：例えば、６８０００アセンブリ言語、Ｃ、Ｃ＋＋、パスカル、フォートラン、その他のものなどで書き込まれることが可能である。適切なプログラムコードは、従来のテキストエディタを使用してシングルファイルあるいはマルチファイルに入力されて、コンピュータのメモリシステムなどのコンピュータ使用可能媒体に格納されるか、あるいは組み込まれるかである。入力されたコードテキストが高級言語である場合、コードはコンパイルされ、そして結果として生ずるコンパイラコードは、次に、プレコンパイルされたＷｉｎｄｏｗｓ（登録商標）ライブラリルーチンのオブジェクトコードとリンクされる。リンクされ、コンパイルされたオブジェクトコードを実行するために、システムのユーザは、オブジェクトコードを呼び出し、コンピュータシステムにメモリのコードをロードさせる。ＣＰＵは、次に、プログラムで識別されたタスクを実行するために、そのコードを読み取り、そして実行する。
【００４９】
図１２は、特定の実施形態によるシステム制御ソフトウェア、コンピュータプログラム７０の階層型制御構造の実例のブロック図である。ライトペンインターフェースを使用して、ユーザは、ＣＲＴモニタに表示されたメニューあるいはスクリーンに応じて処理セレクタサブルーチン７３に処理セットナンバーおよび処理チャンバナンバーを入力する。処理セットは、指定された処理を実行するのに必要である処理パラメータの予め定められたセットであり予め定められたセットナンバーによって識別される。処理セレクタサブルーチン７３は、（i）所望の処理チャンバと、（ii）所望の処理を実行するための処理チャンバを作動するのに必要な処理パラメータの所望のセットを識別する。特定の処理を実行するための処理パラメータは、例えば、処理ガス組成（物）および流量、温度、圧力、ＲＦ電源電力および低周波数ＲＦ周波数などのプラズマコンディション、冷却ガス圧力、チャンバ壁温度などの処理コンディションに関する。これらのパラメータは、レシピの形式でユーザに提供され、ライトペン／ＣＲＴモニタインターフェースを使用して入力される。
【００５０】
処理をモニタする信号は、システムコントローラのアナログおよびデジタルインプットボードによって供給され、処理を制御する信号は、ＣＶＤシステム１０のアナログおよびデジタルアウトプットボードに出力される。
【００５１】
処理シーケンササブルーチン７５は、処理セレクタサブルーチン７３から識別された処理チャンバおよび処理パラメータのセットを受け入れるための、また様々な処理チャンバのオペレーションを制御するためのプログラムコードを備えている。複数ユーザは、処理セットナンバーおよび処理チャンバナンバーを入力することが可能であり、あるいは一人のユーザは、処理セットナンバーおよび処理チャンバナンバーを入力することが可能であり、それで、シーケンササブルーチン７５は、所望のシーケンスで選択された処理をスケジュールするように作動する。シーケンササブルーチン７５は、（i）チャンバが使用されているかどうかを決定するため処理プログラムコードのオペレーションをモニタするステップと、（ii）使用されているチャンバにおいて実行される処理を決定するステップと、（iii）処理チャンバのアベイラビリティおよび実行される処理のタイプに基づいて所望の処理を実行するステップとを実行するためにプログラムコードを含むことが好ましい。処理チャンバをモニタする従来の方法、ポーリングなどが使用されることが可能である。いずれの処理が実行されるべきかをスケジュールするとき、シーケンササブルーチン７５は、選択された処理のための所望の処理コンディションと比較した使用中の処理チャンバの現在のコンディション、要求を入力した各特定のユーザの“年齢”、システムプログラマがスケジューリングプライオリティを決定するために含むことを望むその他の関連ファクタなどを考慮する。
【００５２】
シーケンササブルーチン７５が、次に実行される処理チャンバおよび処理セットの組み合わせを決定すると、シーケンササブルーチン７５は、シーケンササブルーチン７５によって決定された処理セットにより処理チャンバ１５のマルチプル処理タスク制御するチャンバマネージャサブルーチン７７ａから７７ｃに特定の処理セットパラメータを通すことによって処理セットの実行を開始する。例えば、チャンバマネージャサブルーチン７７ａは、処理チャンバ１５のスパッタリングおよびＣＶＤ処理オペレーションを制御するためのプログラムコードを備えている。チャンバマネージャサブルーチン７７は、さらに、選択された処理セットを実行するのに必要なチャンバコンポーネントのオペレーションを制御する様々なチャンバコンポーネントサブルーチンの実行を制御する。チャンバコンポーネントサブルーチンの例示は、基板位置決めサブルーチン８０、処理ガスサブルーチン８３、圧力制御サブルーチン８５、加熱器制御サブルーチン８７、プラズマ制御サブルーチン９０などである。処理チャンバ１５において実行される処理により、その他のチャンバ制御サブルーチンが含まれることが可能であることは当業者には明らかである。オペレーションにおいて、チャンバマネージャサブルーチン７７ａは、実行される特定の処理に応じて、処理コンポーネントサブルーチンを選択的にスケジュールするか、あるいは呼び出す。チャンバマネージャサブルーチン７７ａは、処理コンポーネントサブルーチンをスケジュールし、ほとんど同じく、シーケンササブルーチン７５は、次に実行される処理チャンバ１５と処理セットをスケジュールする。一般的に、チャンバマネージャサブルーチン７７ａは、様々なチャンバコンパートメントをモニタするステップと、実行される処理セットのための処理パラメータに基づいて作動されるのに必要なコンポーネントを決定するステップと、モニタするステップと決定するステップとに応じてチャンバコンポーネントサブルーチンを実行させるステップとを含んでいる。
【００５３】
特定のチャンバコンポーネントサブルーチンのオペレーションは、ここでは図１２を参照して記述されている。基板位置決めサブルーチン８０は、ペデスタル１２に基板を載せるのに、また任意に、基板とガス分配マニホルド１１との間のスペーシングを制御するために、チャンバ１５における所望の高さに基板を上げるのに使用されるチャンバコンポーネントを制御するプログラムコードを備えている。基板が処理チャンバ１５に載せられるとき、ペデスタル１２は、基板を受けるために下げられ、その後サスセプタ１２は、チャンバにおける所望の高さに上げられ、ＣＶＤ処理の間、ガス分配マニホルドからの第１の距離または間隔に基板を維持する。オペレーションにおいて、基板位置決めサブルーチン８０は、チャンバマネージャサブルーチン７７ａから送られる支持の高さに対して、処理セットパラメータに応じてペデスタル１２の動きを制御する。
【００５４】
処理ガス制御サブルーチン８３は、処理ガス組成（物）および流量を制御するためのプログラムコードを有している。処理ガス制御サブルーチン８３は、所望のガス流量を得るために、安全シャットオフバルブの開／閉位置を制御し、さらに、質量流量コントローラを増加／減少させる。処理ガス制御サブルーチン８３は、すべてチャンバコンポーネントサブルーチンであるように、チャンバマネージャサブルーチン７７ａによって呼び出され、そしてチャンバマネージャサブルーチンから所望のガス流量に関連する処理パラメータを受ける。一般に、処理ガス制御サブルーチン８３は、ガス供給ラインを開口することによって、そして繰り返して、（i）必要な大量流量コントローラを読み取り、（ii）その読み取りをチャンバマネージャサブルーチン７７ａから受けた所望の流量と比べ、そして（iii）必要に応じてガス供給ラインの流量を調節することによって作動する。さらに、処理ガス制御サブルーチン８３は、安全でない割合のためにガス流量をモニタするステップと、安全でないコンディションが検知されるとき、安全シャットオフバルブを作動するステップとを含んでいる。
【００５５】
いくつかの処理において、ヘリウムあるいはアルゴンなどの不活性ガスが、反応処理ガスが導入される前に、チャンバの圧力を安定するために、チャンバ１５に流される。これらの処理のために、処理ガス制御サブルーチン８３は、チャンバの圧力を安定するのに必要な時間の間、チャンバ１５に不活性ガスを流すステップを含むようにプログラムされ、そして次に、上述のステップが実行される。そのうえ、処理ガス制御サブルーチン８３は、処理ガスがＴＥＯＳなどの液体先駆物質から蒸発されるとき、ヘリウムなどの分配ガスをバブラーアセンブリの液体先駆物質を介してバブリングするステップか、あるいはヘリウムあるいは窒素などのキャリヤーガスを液体インジェクションシステムに導入するステップかを含むように書き込まれている。バブラーが、このタイプの処理に使用されるとき、処理ガス制御サブルーチン８３は、所望の処理ガス流量を得るために、分配ガスの流量、バブラーの圧力、バブラーの温度を調節する。上述のように、所望の処理ガス流量は、処理パラメータ通りに処理ガス制御サブルーチン８３に移動される。さらに、処理ガス制御サブルーチン８３は、所定の処理ガス流量のために必要な値を含む格納テーブルをアクセスすることによって、所望のガス流量のために必要な分配ガス流量、バブラー圧力、バブラー温度を得るステップを含んでいる。必要な値が得られると、分配ガス流量、バブラー圧力およびバブラー温度がモニタされて、必要な値と比べ、そしてそれに従って調節される。
【００５６】
圧力制御サブルーチン８５は、チャンバの排出システムのスロットルバルブの開口のサイズを調節することによって、チャンバ１５の圧力を制御するためのプログラムコードを含んでいる。スロットルバルブの開口のサイズは、総処理ガス流量、処理チャンバのサイズおよび排出システムのための排出セットポイント圧力に対して所望のレベルにチャンバ圧力を制御するように設定される。圧力制御サブルーチン８５が呼び出されるとき、所望の、あるいは目標の圧力レベルは、パラメータとして、チャンバマネージャサブルーチン７７ａから受けられる。圧力制御サブルーチン８５は、チャンバに接続される１つ以上の従来の圧力マノメータを読み取ることによって、チャンバ１５の圧力を測定して、１つあるいは複数の測定値を目標値と比べて、目標圧力に対応する格納された圧力テーブルからＰＩＤ（比例した、積分の、微分の）値を得て、そして圧力テーブルから得られたＰＩＤ値によりスロットルバルブを調節するように作動する。別の方法として、圧力制御サブルーチン８５は、チャンバ１５を所望の圧力に調節するために、スロットルバルブを特定の開口サイズに開いたり、あるいは閉じたりするように書き込まれることが可能である。
【００５７】
加熱器制御サブルーチン８７は、基板２０を加熱するのに使用される加熱ユニットへの電流を制御するためのプログラムコードを備えている。加熱器制御サブルーチン８７は、さらに、チャンバマネージャサブルーチン７７ａおよび目標の、あるいはセットポイントの温度パラメータによって呼び出される。加熱器制御サブルーチン８７は、ペデスタル１２に位置される熱電対の電圧出力を測定することによって温度を測定し、測定された温度をセットポイント温度と比較し、そしてセットポイント温度を得るために、加熱ユニットに印加される電流を増加したり、あるいは減少したりする。温度は、格納された変換表の対応する温度を検索することによって、あるいは第４次多項式を使用して温度を計算することによって測定された電圧から得られる。埋め込みループがペデスタル１２を加熱するのに使用されるとき、加熱器制御サブルーチン８７は、ループに印加される電流の増加／減少を徐々に制御する。そのうえ、内蔵フェイルセーフモードが、処理安全コンプライアンスを検知するように含まれることが可能であり、そして処理チャンバ１５が適切にセットアップされない場合、加熱ユニットのオペレーションを止めることが可能である。
【００５８】
プラズマ制御サブルーチン９０は、チャンバ１５の処理電極に印加される低および高周波数ＲＦ電源電力レベルを設定するための、また使用される低周波数ＲＦ周波数のためのプログラムコードを備えている。以前に記述されたチャンバコンポーネントサブルーチンと同様に、プラズマ制御サブルーチン９０は、チャンバマネージャサブルーチン７７ａによって呼び出される。
【００５９】
上記の反応器の説明は、主に、例示のためであり、エレクトロンサイクロトロンレゾナンス（ＥＣＲ）プラズマＣＶＤデバイス、誘導結合ＲＦ高密度プラズマＣＶＤデバイス、またはその種の他のものなどのその他のプラズマＣＶＤ装置が使用されてもよい。そのうえ、台デザイン、加熱器デザイン、ＲＦ電源電力周波数、ＲＦ電源電力接続の位置、その他の変形など上記のシステムの変形が可能である。例えば、ウエハは、サスセプタによって支持されることが可能であり、また石英水銀灯によって加熱されることが可能である。層および本発明のこのような層を形成するための方法は、特定の装置あるいは特定のプラズマ励起方法に制約されるものでない。
【００６０】
ＩＩＩ．実験およびテスト結果
下記の実験に基づく実験例は、上述の異なる方法が堆積に先だって基板にトレンチを作成するために使用されるとき、誘電フィルム品質において本発明の利点を図示するのに使用されている。実験例は、ＣＶＤチャンバ、特に、Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ｉｎｃ．，Ｓａｎｔａ Ｃｌａｒａ，Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａによって製造され、販売されている“Ｄ×Ｚ”あるいは“Ｃ×Ｚ”チャンバ（２００‐ｍｍ基板のサイズであり、約７リットルの容量を有する）を使用して行われた。ＬＰＣＶＤ窒化ケイ素エッチングストップ層と０．２５μｍまでの異なる幅を有するトレンチとを有するシリコン基板が使用された。堆積は大気中より低い温度のＣＶＤ（ＳＡＣＶＤ）によって行われた。図４に略図が書かれている誘電堆積処置のための典型的なパラメータは、約２００から７００トルの圧力、約３００から５００℃の加熱器温度、約５，０００から１０，０００ｓｃｃｍ（標準立方センチメートル／分）の不活性ガス（ＨｅあるいはＮ2）流量、約４，０００から８，０００ｓｃｃｍのオゾン流量、約２００から５００ｍｇｍのＴＥＯＳ流量（ミリグラム／分）、および約１２から２０ｗｔ．％（重量％）のオゾン濃度を含んでいる。
【００６１】
図１３ａから図１６ｂに示されている実験例において、同一の処理パラメータが使用されている：、約４５０トルの圧力、約４００℃の加熱器温度、約３０００ｓｃｃｍ（標準立方センチメートル／分）のヘリウムの流量、約５０００ｓｃｃｍのオゾン流量、約３２０ｍｇｍのＴＥＯＳ流量、および約１２．５ｗｔ．％のオゾン濃度。これは、Ｏ3／ＴＥＯＳの比が１３：１となっている。観察された堆積割合は、シリコンで約３０００Å／分、ＬＰＣＶＤ窒化ケイ素で約１０００Å／分、そして熱酸化物で約１０５０Å／分である。トレンチの深さは、約０．５５μｍであり、また２つのトレンチ幅、０．２５μｍ（図１３ａから図１６ａ）および１μｍ（図１３ｂから図１６ｂ）が使用された。
【００６２】
図１３ａおよび図１３ｂは、ＬＰＣＶＤ窒化ケイ素エッチングストップ層３５４を有するトレンチのある基板３５２に形成されるＯ3／ＴＥＯＳ層のＳＥＭ断面図を示している。トレンチは、トレンチ底およびトレンチ壁に熱酸化物を成長して、トレンチ底から熱酸化物を離してエッチングする従来の方法を使用して作成される。トレンチ充填層３５０は、平面性に近づく表面プロフィルを有しているが、トレンチ表面に沿って、特に、トレンチ壁に分離の形状の欠陥が観察される。望ましくない小孔をしめす気泡が、隙間のあるフィールドのトレンチのためのトレンチ壁近くのトレンチ充填層３５０に観察される（図１３ａ）。これらの欠陥は、トレンチ底でのシリコン上の誘電フィルム成長とトレンチ壁での熱酸化物との間の固有応力の差の結果であると思われる。欠陥は、望ましくなく、特に絶縁のために問題がある。
【００６３】
図１４ａおよび図１４ｂは、ＬＰＣＶＤ窒化ケイ素エッチングストップ層３７４が、ＣＶＤ ＡＲＣの代わりに使用されていることを除いては、図２ｂに示されるものと類似するトレンチを作成する方法を使用してトレンチのある基板３７２に形成されるＯ3／ＴＥＯＳ層３７０のＳＥＭ断面図である。この方法によれば、トレンチは、トレンチ底から熱酸化物をエッチングして除去した後、洗浄される（ステップ２６６）。この実験例において、約１％のＨＦを含有する混合物を使用する湿式エッチングは、約１０秒間行われるが、その他類似の洗浄処理も使用されることが可能である。図１４ａおよび図１４ｂに示されるように、この洗浄ステップは、ほぼ平坦な表面を有する誘電フィルム３７０の品質を事実上ほぼ改善している。トレンチ表面に沿う分離は、図１３ａおよび図１３ｂのものと比較すると、あまり明白でなく、また広まっていない。トレンチに隣接した小孔がかなり減少されている。堆積に先だってトレンチを洗浄することは、明らかに、応力効果を減少している。トレンチ充填層３７０の品質に対する改善から分かるように、洗浄ステップ２６６は、追加のステップを行う費用を上回る価値があるという利点を示している。
【００６４】
図１５ａおよび図１５ｂは、ＬＰＣＶＤ窒化ケイ素エッチングストップ層３８４が、ＣＶＤ ＡＲＣの代わりに使用されていることを除いては、図２ａに示されるものと類似するトレンチを作成する方法を使用してトレンチのある基板３８２に形成されるＯ3／ＴＥＯＳ層３８０のＳＥＭ断面図である。この方法は、Ｏ3／ＴＥＯＳフィルムの堆積前に熱酸化物の成長を排除し、それによって、応力効果を回避する。この実験例において、しかし、洗浄ステップ２２２は行われない。図１５ａおよび図１５ｂに示されるように、ほぼ平坦なトレンチ充填層３８０の品質は、第１の２つの実験例（図１３ａから図１５ｂ）のものより非常によい。トレンチ表面に沿って目立つ分離が無く、また極めて少ない気泡が形成され、その大部分は、ＬＰＣＶＤ窒化物層３８４近くに、あるいはその上に存在し、ＣＭＰによって実質的に除去される。良好な品質のトレンチ充填層３８０は、特に、トレンチ絶縁のために都合がよい。トレンチ表面で熱酸化物を成長し、さらに、トレンチ充填層３８０の密度を高めるために、図６および図７に関して上述される酸化アニーリング処置が使用されることが可能である。
【００６５】
図１６ａおよび図１６ｂは、ＬＰＣＶＤ窒化ケイ素エッチングストップ層３９４が、ＣＶＤ ＡＲＣの代わりに使用されていることを除いては、図２ａに示されるものと類似するトレンチを作成する方法を使用してトレンチのある基板３９２に形成されるほぼ平坦なＯ3／ＴＥＯＳ層３９０のＳＥＭ断面図である。この方法は、堆積に先だってトレンチ洗浄ステップ２２２を含む図１５ａおよび図１５ｂに示される堆積を行うのに使用されることが異なる。この実験例において、トレンチは、約１０秒間約１％のＨＦを含有する混合物を使用する湿式エッチングによって洗浄される。図１６ａおよび図１６ｂは、特に、より少ない気泡形成によって、図１５ａおよび図１５ｂのものを超えるトレンチ充填層３９０の品質において多少の改善を示している。このように、任意の洗浄ステップ２２２は、フィルム品質における追加の改善が望まれるとき使用されることが可能である。酸化アニーリングが、さらに、トレンチ表面で熱酸化物を成長するのに使用されることが可能である。図１６ａのトレンチ充填層３９０は、段の高さ１３０を有する図１ｅに示されるトレンチ充填層１２８と比べられるように、事実上段の高さ効果を持たない優れた広範囲の平坦化を有する。
【００６６】
上記の論議から分かるように、誘電材料が、トレンチ壁とトレンチ底とに形成されてからトレンチ底からエッチングして取り除かれた熱酸化物を有するトレンチに堆積されるとき、欠陥はトレンチ表面に沿ってまたトレンチに隣接して形成される。本発明のいくつかの実施形態は、誘電トレンチ充填材料の堆積に先だって、トレンチ洗浄ステップを適用することによって、欠陥の形成を減少している。好ましい実施形態において、従来の熱酸化物の成長は、実質的に欠陥を排除するために、堆積に先だって、排除される。その代わりとして、熱酸化物が、誘電トレンチ充填層の密度を高める酸化アニーリング処置を使用して堆積後にトレンチ表面に形成されることが好ましい。
【００６７】
本方法は、誘電フィルムの品質を損なうことなく広範囲の平坦化を改善し、また費用を削減して、スループット（処理量）を増大するのに使用されることが可能である。酸化アニーリングは、自己平坦化された高品質トレンチ充填層を有するトレンチを充填後、トレンチ表面に熱酸化物を成長することを可能にさせる。トレンチを形成するべくフォトリソグラフィおよびＣＭＰのためにＣＶＤ ＡＲＣの使用が、より効率がよく、またより簡単な構造を結果として生ずる。さらに、別の実施形態は、例えば、Ｏ3／ＴＥＯＳの比、圧力、誘電物堆積のためのその他のパラメータを変えることによって、得ることが可能である。本発明の範囲は、その結果、上記の説明を参照とすることなく決定されるが、その代わりに、相当するものの全範囲に加えて、添付の請求の範囲を参照にして決定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１ａ】
トレンチ形成、および従来技術の堆積方法を使用する誘電材料によるトレンチ充填を具体的に説明する基板の縦断面図である。
【図１ｂ】
トレンチ形成、および従来技術の堆積方法を使用する誘電材料によるトレンチ充填を具体的に説明する基板の縦断面図である。
【図１ｃ】
トレンチ形成、および従来技術の堆積方法を使用する誘電材料によるトレンチ充填を具体的に説明する基板の縦断面図である。
【図１ｄ】
トレンチ形成、および従来技術の堆積方法を使用する誘電材料によるトレンチ充填を具体的に説明する基板の縦断面図である。
【図１ｅ】
トレンチ形成、および従来技術の堆積方法を使用する誘電材料によるトレンチ充填を具体的に説明する基板の縦断面図である。
【図１ｆ】
トレンチ形成、および従来技術の堆積方法を使用する誘電材料によるトレンチ充填を具体的に説明する基板の縦断面図である。
【図１ｇ】
トレンチ形成、および従来技術の堆積方法を使用する誘電材料によるトレンチ充填を具体的に説明する基板の縦断面図である。
【図１ｈ】
トレンチ形成、および従来技術の堆積方法を使用する誘電材料によるトレンチ充填を具体的に説明する基板の縦断面図である。
【図２ａ】
本発明によるトレンチを形成する方法の別の実施形態のフロー系統図である。
【図２ｂ】
本発明によるトレンチを形成する方法の別の実施形態のフロー系統図である。
【図３ａ】
本発明によるＣＶＤ反射防止コーティングの使用を具体的に説明するトレンチのある基板の別の実施形態の縦断面図である。
【図３ｂ】
本発明によるＣＶＤ反射防止コーティングの使用を具体的に説明するトレンチのある基板の別の実施形態の縦断面図である。
【図４】
本発明により形成される自己平坦化トレンチ充填層を形成する方法の実施形態のフロー系統図である。
【図５ａ】
本発明による自己平坦化トレンチ充填層を有する基板の別の実施形態の縦断面図である。
【図５ｂ】
本発明による自己平坦化トレンチ充填層を有する基板の別の実施形態の縦断面図である。
【図６】
本発明によるトレンチ充填層を処理する方法の実施形態のフロー系統図である。
【図７】
本発明による酸化アニーリングで処理された図５ａの基板の縦断面図である。
【図８】
本発明による化学気相堆積装置の１つの実施形態の縦断面図である。
【図９】
図８に記述されるＣＶＤチャンバの部分の分解斜視図である。
【図１０】
図８に記述されるＣＶＤチャンバの部分の分解斜視図である。
【図１１】
１つ以上のチャンバを含むマルチチャンバシステムのシステムモニタおよびＣＶＤシステムの簡易図である。
【図１２】
特定の実施形態によるシステム制御ソフトウェアコンピュータプログラムの階層制御構造の実例となるブロック図である。
【図１３ａ】
従来技術の堆積方法を使用して形成されるトレンチ充填層のＳＥＭ（走査電子顕微鏡写真）断面図である。
【図１３ｂ】
従来技術の堆積方法を使用して形成されるトレンチ充填層のＳＥＭ（走査電子顕微鏡写真）断面図である。
【図１４ａ】
トレンチ壁に熱酸化物を有するエッチングされたトレンチを洗浄後形成されるトレンチ充填層のＳＥＭ断面図である。
【図１４ｂ】
トレンチ壁に熱酸化物を有するエッチングされたトレンチを洗浄後形成されるトレンチ充填層のＳＥＭ断面図である。
【図１５ａ】
トレンチ表面に熱酸化物なく形成されるトレンチ充填層のＳＥＭ断面図である。
【図１５ｂ】
トレンチ表面に熱酸化物なく形成されるトレンチ充填層のＳＥＭ断面図である。
【図１６ａ】
トレンチ表面に熱酸化物を有さないトレンチを洗浄後形成されるトレンチ充填層のＳＥＭ断面図である。
【図１６ｂ】
トレンチ表面に熱酸化物を有さないトレンチを洗浄後形成されるトレンチ充填層のＳＥＭ断面図である。