【手続補正書】
【提出日】平成23年3月11日(2011.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
スパッタ室内で処理基板と対向させかつ所定の間隔を置いて並設した複数枚のターゲッ
トのうち対をなすターゲット毎に、直流電力供給源からの正負の直流出力端に接続したブ
リッジ回路の各スイッチング素子のオン、オフを切換えてバイポーラパルス状に電力供給
し、各ターゲットをアノード電極、カソード電極に交互に切換え、アノード電極及びカソ
ード電極間にグロー放電を生じさせてプラズマ雰囲気を形成し、各ターゲットをスパッタ
リングするスパッタリング方法において、
前記直流電力供給源からの正負の直流出力間に設けた出力短絡用スイッチング素子の短
絡状態で前記ブリッジ回路の各スイッチング素子のオン、オフの切換えを行うと共に、出
力短絡用スイッチング素子の切換えタイミングをずらすことを特徴とするスパッタリング
方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
しかしながら、上記のものでは、各ターゲットへの出力切換時にスイッチングノイズが
発生し、このスイッチングノイズは、並列接続したパイポーラパルス電源の台数が増加す
るのに従いより顕著になる。大きなスイッチングノイズが発生すると、ターゲットへの投
入電力波形が乱れ、その結果、ターゲットに精度よく投入電力できない虞がある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のスパッタリング方法は、スパッタ室内で処理基板
と対向させかつ所定の間隔を置いて並設した複数枚のターゲットのうち対をなすターゲッ
ト毎に、直流電力供給源からの正負の直流出力端に接続したブリッジ回路の各スイッチン
グ素子のオン、オフを切換えてバイポーラパルス状に電力供給し、各ターゲットをアノー
ド電極、カソード電極に交互に切換え、アノード電極及びカソード電極間にグロー放電を
生じさせてプラズマ雰囲気を形成し、各ターゲットをスパッタリングするスパッタリング
方法において、前記直流電力供給源からの正負の直流出力間に設けた出力短絡用スイッチ
ング素子の短絡状態で前記ブリッジ回路の各スイッチング素子のオン、オフの切換えを行うと共に、出力短絡用スイッチング素子の切換えタイミングをずらすことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、直流電力供給部４には、直流電力ライン４４ａ、４４ｂ間に設けたスイッチングトランジスタ４５と、第１のＣＰＵ回路４１に通信自在に接続され、スイッチングトランジスタ４５のオン、オフを制御する出力発振用のドライバー回路４６とが設けられている。直流電力ライン４４ａ、４４ｂ間には、その電流、電圧を検出する検出回路４７ａが接続され、検出回路４７ａで検出された電流、電圧は、ＡＤ変換回路４７ｂを介して第１のＣＰＵ回路４１に入力されるようになっている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本実施の形態では、直流電力供給部４からの正負の直流電力ライン４４ａ、４４ｂ間に
、出力発振用のドライバー回路５３によってオン、オフの切換が制御される出力短絡用ス
イッチングトランジスタＳＷ０を設け、出力短絡用スイッチトランジスタＳＷ０の短絡状
態（ターゲット３１ａ、３１ｂへの出力が遮断される状態）で、ブリッジ回路５２の各ス
イッチングトランジスタＳＷ１乃至ＳＷ４の切換えを行うようにした。それに加えて、各
パイポーラパルス電源Ｅ１乃至Ｅ４の第２のＣＰＵ回路５１に通信自在に接続されたＣＰ
Ｕからなる統括制御手段６を設け、この統括制御手段６によって、出力短絡用スイッチン
グ素子ＳＷ０の切換えのタイミングを、各バイポーラパルス電源Ｅ１乃至Ｅ４、つまり、
各ブリッジ回路５２毎に相互にずらすこととした。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
即ち、図３に示すように、各バイポーラパルス電源Ｅ１乃至Ｅ４の出力短絡用スイッチ
ングトランジスタＳＷ０の短絡状態で、各バイポーラパルス電源Ｅ１乃至Ｅ４毎に、第１
及び第４のスイッチングトランジスタＳＷ１、ＳＷ４と、第２及び第３のスイッチングト
ランジスタＳＷ２、ＳＷ３とのオン、オフのタイミングが反転すると共に、相互に隣合う
ターゲット３１ａ乃至３１ｈへの極性が反転するように各スイッチングトランジスタＳＷ
１乃至ＳＷ４を作動させた後、統括制御手段６からの出力でスイッチングトランジスタＳ
Ｗ０の短絡を所定の時間解除し、対をなすターゲットのうち一方３１ａ、３１ｃ、３１ｅ
、３１ｇにそれぞれ出力される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
次いで、統括制御手段６からの出力で各バイポーラパルス電源Ｅ１乃至Ｅ４の出力短絡
用スイッチングトランジスタＳＷ０を同時または順次短絡し、各スイッチングトランジス
タＳＷ１乃至ＳＷ４を切換えた後に、統括制御手段６からの出力でスイッチングトランジ
スタＳＷ０の短絡を同時または順次解除し、他方のターゲット３１ｂ、３１ｄ、３１ｆ、３１ｈにそれ
ぞれ出力される。そして、上記制御を繰り返すことで、各ターゲット３１ａ乃至３１ｈに
所定の周波数でバイポーラパルス状に電力供給されて同期運転される。なお、出力短絡用
スイッチング素子ＳＷ０の切換えタイミングをずらす場合、各バイポーラパルス電源Ｅ１乃至Ｅ
４の各出力短絡用スイッチングトランジスタＳＷ０のうち少なくとも１個の切換えタイミ
ングがずれていればよく、この場合、他の各出力短絡用スイッチングトランジスタＳＷ０
は、同時または相互にずらしてもよい。また、例えば、各バイポーラパルス電源Ｅ１乃至
Ｅ４の各出力短絡用スイッチングトランジスタＳＷ０を複数組に分け、組となるものを同
時に切り換えるようにしてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
尚、ノイズの影響を受けずに良好な電力供給を行うため、直流電力供給部４と分けた構成し
た発振部５を真空チャンバ１１に近接させて設けると共に、ブリッジ回路５２の出力端と
ターゲット３１ａ乃至３１ｈとの間を接続する出力ライン５４ａ、５４ｂとしてブスバー
を用いることが望ましい。ブスバーとしては、導電率が高い材料、例えば、Ｃｕ、Ａｕ、
Ａｇやアルミ合金製であり、発振部５とターゲット３１ａ乃至３１ｈとの間の間隔の誤差
を吸収できるように伸縮自在に形成している。これにより、例えば導線を多数本撚り合わ
せてなる公知の交流電源ケーブルを用いる場合と比較してノイズの影響を受け難くできる
ため、より精度よく一対のターゲット３１ａ乃至３１ｈに電力投入できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
そして、基板搬送手段２によって処理基板Ｓがセットされたキャリア２１を、並設した
ターゲット３１ａ乃至３１ｈと対向した位置に搬送し、所定の圧力（例えば、１０−５Ｐ
ａ）下で、図示しないガス導入手段を介してスパッタガス（や反応ガス）を導入し、タ
ーゲット３１ａ乃至３１ｈにバイポーラパルス電源Ｅ１乃至Ｅ４を介して電力投入し、各
ターゲット３１ａ乃至３１ｈをアノード電極、カソード電極に交互に切換え、アノード電
極及びカソード電極間にグロー放電を生じさせてプラズマ雰囲気が形成され、各ターゲッ
ト３１ａ乃至３１ｈがスパッタリングされて処理基板Ｓ表面に所定の薄膜が形成される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
この一連のマイクロアーク処理を複数回繰り返しても出力電流が定常出力電流値を超え
た状態のままであるか、または、出力電流が予め設定された所定値を超えると、スプラッ
シュやパーティクルの発生を誘発するアーク放電が発生すると判断し、第１のＣＰＵ回路
４１からの制御によってスイッチングトランジスタ４５をオンし、直流電力供給部４から
の出力を停止する（ハードアーク処理）。この処理の間、ブリッジ回路５２の各スイッチ
ングトランジスタＳＷ１乃至ＳＷ４にはスイッチング損失が殆ど発生しないため、その耐
久性を一層向上できる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
１  スパッタリング装置
２  基板搬送手段
３１ａ乃至３１ｈ  ターゲット
４  直流電力供給部
５  発振部
５２  ブリッジ回路
５４ａ、５４ｂ  ブスバー
６  統括制御手段
Ｅ１乃至Ｅ４  バイポーラパルス電源
Ｓ  処理基板
ＳＷ０乃至ＳＷ４  スイッチング素子