【手続補正書】
【提出日】平成21年10月7日(2009.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
４点探針を用いる抵抗測定における位置誤差を低減する補正係数を計算するための方法であって、
上記４点探針は、本体と、１つの探針をそれぞれ含む４つの探針アームとを有し、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記４点探針は、電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含み、
上記方法は、
上記探針アームを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
第１及び第２の探針アームを備える第１の組と、第３及び第４の探針アームを備える第２の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第１の組の上記第１の探針アームを介して上記第１の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第１の電流を印加するステップと、
上記第２の組の上記第３及び第４の探針アーム間の第１の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第１の電圧と上記第１の電流との比である第１の４点抵抗Ｒｆｉｒｓｔを計算するステップと、
第１及び第２の探針アームを備えかつ上記第１の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第３の組と、第３及び第４の探針アームを備えかつ上記第２の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第４の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第３の組の上記第１の探針アームを介して上記第３の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第２の電流を印加するステップと、
上記第４の組の上記第３及び第４の探針アームにおいて第２の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第２の電圧と上記第２の電流との比である第２の４点抵抗Ｒｓｅｃｏｎｄを計算するステップと、
上記第１及び第２の４点抵抗に基づいて補正係数を計算するステップとを含む、補正係数を計算するための方法。
【請求項２】
上記方法は、上記補正係数を用いて、上記試験サンプルの抵抗を計算するための測定を実行することをさらに含む請求項１記載の方法。
【請求項３】
上記探針は遠隔の位置に繰り返し移動され、
請求項１及び２記載のステップは各位置に対して繰り返し実行される請求項２記載の方法。
【請求項４】
位置誤差を低減又は解消する補正係数を用いて、４点探針を用いる抵抗測定を実行するための方法であって、
上記４点探針は、本体と、１つの探針をそれぞれ含む４つの探針アームとを有し、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記４点探針は、電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含み、
上記方法は、
上記探針アームを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
第１及び第２の探針アームを備える第１の組と、第３及び第４の探針アームを備える第２の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第１の組の上記第１の探針アームを介して上記第１の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第１の電流を印加するステップと、
上記第２の組の上記第３及び第４の探針アームにおいて第１の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第１の電圧と上記第１の電流との比である第１の４点抵抗Ｒｆｉｒｓｔを計算するステップと、
第１及び第２の探針アームを備えかつ上記第１の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第３の組と、第３及び第４の探針アームを備えかつ上記第２の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第４の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第３の組の上記第１の探針アームを介して上記第３の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第２の電流を印加するステップと、
上記第４の組の上記第３及び第４の探針アーム間の第２の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第２の電圧と上記第２の電流との比である第２の４点抵抗Ｒｓｅｃｏｎｄを計算するステップと、
上記第１及び第２の４点抵抗に基づいて補正係数を計算するステップと、
上記補正係数を用いて、上記試験サンプルの抵抗を計算するステップとを含む、４点探針を用いる抵抗測定を実行するための方法。
【請求項５】
上記探針は遠隔の位置に繰り返し移動され、
請求項４記載のステップは各位置に対して繰り返し実行される請求項４記載の方法。
【請求項６】
試験サンプル及び試験探針をそれぞれ収容するための第１及び第２のホルダと、
請求項１及び／又は請求項４記載の方法のコンピュータによる実行を記憶するための記憶装置と、
請求項１及び／又は請求項４記載の方法の上記コンピュータによる実行を実行するためのマイクロプロセッサとを有する試験装置。
【請求項７】
本体と、探針チップをそれぞれ含む複数の探針アームとを有する探針を用いることによって試験サンプルの特徴的な電気的特性を取得するための方法であって、
上記特徴的な電気的特性は抵抗の特性を含み、
上記複数は少なくとも４であり、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記探針は、上記探針チップとの間で電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針チップとの間に電気的な接触を確立するための電気接点を含み、
上記方法は、
（ａ）上記探針チップを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
（ｂ）２つの探針チップの第１の組間に電流を印加し、当該第１の組の探針チップの何れをも含まない２つの探針チップの第２の組間の電圧を決定することにより測定を実行するための４つの探針チップのサブセットを選択し、上記測定を探針チップ組の全ての組合せについて実行するステップと、
（ｃ）上記特徴的な電気的特性のモデル値を確立するステップと、
（ｄ）上記モデル値に基づいて、上記特徴的な電気的特性のモデルデータを計算するステップとを含み、
上記測定及び上記計算されたモデルデータが収束しないときには、調整されたモデル値を確立しかつ上記調整されたモデル値を用いてステップ（ｄ）を繰り返し、
上記測定及び上記計算されたモデルデータが収束するときには、上記モデルデータから上記特徴的な電気的特性を抽出する、電気的特性を取得するための方法。
【請求項８】
上記ステップ（ｂ）は、上記測定のうちの１つの測定の補正された値を計算することをさらに含む請求項７記載の方法。
【請求項９】
上記特徴的な電気的特性は、最上層の抵抗、最下層の抵抗、抵抗と面積の積又はこれらの任意の組合せである請求項７又は８記載の方法。
【請求項１０】
上記モデルデータは、以下の式を用いて計算される請求項７乃至９のいずれか１つの請求項記載の方法。
【数１】
2009511925.tif 000001
【請求項１１】
上記方法は、上記計算されたモデルデータの１つに対して補正を実行することをさらに含む請求項７乃至１０のいずれか１つの請求項記載の方法。
【請求項１２】
上記方法は請求項１乃至６のいずれか１つの請求項記載の任意の特徴を含む請求項７乃至１１のいずれ１つの請求項記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の第１の態様による方法は、４点探針を用いる抵抗測定における位置誤差を低減する補正係数を計算する。上記４点探針は、本体と、１つの探針をそれぞれ含む４つの探針アームとを有し、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記４点探針は、電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含み、
上記方法は、
上記探針アームを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
第１及び第２の探針アームを備える第１の組と、第３及び第４の探針アームを備える第２の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第１の組の上記第１の探針アームを介して上記第１の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第１の電流を印加するステップと、
上記第２の組の上記第３及び第４の探針アーム間の第１の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第１の電圧と上記第１の電流との比である第１の４点抵抗Ｒｆｉｒｓｔを計算するステップと、
第１及び第２の探針アームを備えかつ上記第１の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第３の組と、第３及び第４の探針アームを備えかつ上記第２の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第４の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第３の組の上記第１の探針アームを介して上記第３の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第２の電流を印加するステップと、
上記第４の組の上記第３及び第４の探針アームにおいて第２の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第２の電圧と上記第２の電流との比である第２の４点抵抗Ｒｓｅｃｏｎｄを計算するステップと、
上記第１及び第２の４点抵抗に基づいて補正係数を計算するステップとを含んでもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の第２の態様は、位置誤差を低減又は解消する補正係数を用いて、４点探針を用いる抵抗測定を実行するための方法に関し、
上記４点探針は、本体と、１つの探針をそれぞれ含む４つの探針アームとを有し、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記４点探針は、電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含み、
上記方法は、
上記探針アームを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
第１及び第２の探針アームを備える第１の組と、第３及び第４の探針アームを備える第２の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第１の組の上記第１の探針アームを介して上記第１の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第１の電流を印加するステップと、
上記第２の組の上記第３及び第４の探針アームにおいて第１の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第１の電圧と上記第１の電流との比である第１の４点抵抗Ｒｆｉｒｓｔを計算するステップと、
第１及び第２の探針アームを備えかつ上記第１の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第３の組と、第３及び第４の探針アームを備えかつ上記第２の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第４の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第３の組の上記第１の探針アームを介して上記第３の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第２の電流を印加するステップと、
上記第４の組の上記第３及び第４の探針アーム間の第２の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第２の電圧と上記第２の電流との比である第２の４点抵抗Ｒｓｅｃｏｎｄを計算するステップと、
上記第１及び第２の４点抵抗に基づいて補正係数を計算するステップと、
上記補正係数を用いて、上記試験サンプルの抵抗を計算するステップとを含む。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４８】
１．４点探針を用いる抵抗測定における位置誤差を低減する補正係数を計算するための方法であって、
上記４点探針は、本体と、１つの探針をそれぞれ含む４つの探針アームとを有し、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記４点探針は、電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含み、
上記方法は、
上記探針アームを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
第１及び第２の探針アームを備える第１の組と、第３及び第４の探針アームを備える第２の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第１の組の上記第１の探針アームを介して上記第１の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第１の電流を印加するステップと、
上記第２の組の上記第３及び第４の探針アーム間の第１の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第１の電圧と上記第１の電流との比である第１の４点抵抗Ｒｆｉｒｓｔを計算するステップと、
第１及び第２の探針アームを備えかつ上記第１の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第３の組と、第３及び第４の探針アームを備えかつ上記第２の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第４の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第３の組の上記第１の探針アームを介して上記第３の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第２の電流を印加するステップと、
上記第４の組の上記第３及び第４の探針アームにおいて第２の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第２の電圧と上記第２の電流との比である第２の４点抵抗Ｒｓｅｃｏｎｄを計算するステップと、
上記第１及び第２の４点抵抗に基づいて補正係数を計算するステップとを含む、補正係数を計算するための方法。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５１】
４．位置誤差を低減又は解消する補正係数を用いて、４点探針を用いる抵抗測定を実行するための方法であって、
上記４点探針は、本体と、１つの探針をそれぞれ含む４つの探針アームとを有し、
上記探針アームは上記本体から平行に延在し、
上記４点探針は、電気信号を送信及び受信する試験装置と上記探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含み、
上記方法は、
上記探針アームを、上記試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、
第１及び第２の探針アームを備える第１の組と、第３及び第４の探針アームを備える第２の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第１の組の上記第１の探針アームを介して上記第１の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第１の電流を印加するステップと、
上記第２の組の上記第３及び第４の探針アームにおいて第１の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第１の電圧と上記第１の電流との比である第１の４点抵抗Ｒｆｉｒｓｔを計算するステップと、
第１及び第２の探針アームを備えかつ上記第１の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第３の組と、第３及び第４の探針アームを備えかつ上記第２の組の上記探針アームのうちの一方のみを含む第４の組を選択するステップと、
上記試験装置から、上記第３の組の上記第１の探針アームを介して上記第３の組の上記第２の探針アームに、上記試験サンプル中を伝搬する第２の電流を印加するステップと、
上記第４の組の上記第３及び第４の探針アーム間の第２の誘起された電圧を検出するステップと、
上記第２の電圧と上記第２の電流との比である第２の４点抵抗Ｒｓｅｃｏｎｄを計算するステップと、
上記第１及び第２の４点抵抗に基づいて補正係数を計算するステップと、
上記補正係数を用いて、上記試験サンプルの抵抗を計算するステップとを含む、４点探針を用いる抵抗測定を実行するための方法。