【手続補正書】
【提出日】平成22年11月17日(2010.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
基板の表面を撮影して得られる画像に基づいて該基板を検査する基板表面検査装置であって、
前記基板の縁部の支持及びその解除が可能となる、複数の第１支持体と、複数の第２支持体とを備えた支持機構と、
前記支持機構における前記複数の第１支持体の組及び前記複数の第２支持体の組のいずれかにて支持された前記基板の表面に対向して配置される撮影部と、
この撮影部が前記基板の表面を所定の走査方向に走査して撮影するように、前記撮影部と前記支持機構とを相対動させる走査移動機構と、
前記走査方向を横切る方向において前記撮影部と前記支持機構とを第１相対位置と第２相対位置との間で移動させるシフト移動機構とを有し、
前記撮影部は、前記第１相対位置と前記第２相対位置とで、前記走査方向に直交する方向において前記基板の所定範囲を共通撮影範囲として、この共通撮影範囲を含む前記基板の一方側の所定領域までと他方側の所定領域までとを撮影可能とし、
前記支持機構における前記複数の第１支持体による前記走査方向と直交する方向に沿った基板支持位置の配列位置は、前記第１相対位置での前記撮影部による前記基板の撮影範囲外及び前記共通撮影範囲内の双方に設定され、
前記支持機構における前記複数の第２支持体による前記走査方向と直交する方向に沿った基板支持位置の配列位置は、前記第２相対位置での前記撮影部による前記基板の撮影範囲外及び前記共通撮影範囲内の双方に設定された基板表面検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記撮影部は固定設置され、
前記走査移動機構は、前記支持機構を前記走査方向とは逆方向に移動させる請求項１記載の基板表面検査装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の基板表面検査装置を用い、
前記支持機構の前記複数の第２支持体が前記基板の支持を解除した状態で、かつ前記複数の第１支持体によって支持された前記基板の表面を、当該支持機構に対して第１相対位置にある前記撮影部が走査して撮影する第１撮影ステップと、
前記第１相対位置での走査が終了した後に、前記撮影部を前記支持機構に対して第２相対位置に相対移動させるシフトステップと、
前記支持機構の前記複数の第１支持体が前記基板の支持を解除した状態で、かつ前記複数の第２支持体によって支持された前記基板の表面を、当該支持機構に対して第２相対位置にある前記撮影部が走査して撮影する第２撮影ステップとを有する基板表面検査方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
このような構成により、支持機構の複数の第２支持体が基板の支持を解除した状態となって複数の第１支持体によって支持された基板の表面を、当該支持機構に対して第１相対位置にある撮影部が走査して撮影することができる。この場合、前記撮影部による前記基板の共通撮影範囲にある第１支持体が、得られる撮影画像に写り込み得る。また、支持機構に対して第１相対位置にある撮影部は、シフト機構によって、第１相対位置から第２相対位置に移動し得る。そして、前記支持機構の複数の第１支持体が基板の支持を解除した状態となって複数の第２支持体によって支持された基板の表面を、当該支持機構に対して第２相対位置にある撮影部が走査して撮影することができる。この場合、前記撮影部による前記基板の共通撮影範囲にある第２支持体が、得られる撮影画像に写り込み得る。このように、撮影部による基板の共通撮影範囲に対応した部位に第１支持体が写りこみ（第２支持体の無い）、他の部位には第１支持体の写り込んでいない撮影画像と、該共通撮影範囲に対応した部位に第２支持体が写り込み（第１支持体の無い）、他の部位に第２支持体の写り込んでいない撮影画像とを得ることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明に係る基板表面検査装置において、前記撮影部は固定設置され、前記走査移動機構は、前記支持機構を前記走査方向とは逆方向に移動させる構成とすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明に係る基板表面検査方法は、前述したいずれかの基板表面検査装置を用い、前記支持機構の前記複数の第２支持体が前記基板の支持を解除する状態で、かつ前記複数の第１支持体によって支持された前記基板の表面を、当該支持機構に対して第１相対位置にある前記撮影部が走査して撮影する第１撮影ステップと、前記第１相対位置での走査が終了した後に、前記撮影部を前記支持機構に対して第２相対位置に相対移動させるシフトステップと、前記支持機構の前記複数の第１支持体が前記基板の支持を解除する状態で、かつ前記複数の第２支持体によって支持された前記基板の表面を、当該支持機構に対して第２相対位置にある前記撮影部が走査して撮影する第２撮影ステップとを有する構成となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
このような構成により、第１相対位置での撮影部の走査により、撮影部による基板の共通撮影範囲に対応した部位に第１支持体が写り込み（第２支持体の無い）、他の部位には第１支持体の写り込んでいない撮影画像が得られ、第２相対位置での撮影部の走査により、前記共通撮影範囲に対応した部位に第２支持体が写り込み（第１支持体の無い）、他の部位に第２支持体の写り込んでいない撮影画像が得る。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
図８に戻って、第１画像データの取り込みが終了してキャリッジ６０が停止されると（Ｓ５）、処理ユニット１００は、シフト移動機構７０の駆動指示を駆動制御ユニット１２０に与える（Ｓ６）。この指示に基づいた駆動制御ユニット１２０のシフト移動機構７０に対する駆動制御により、シフト移動機構７０（ステージ７１）が第１シフト方向Ｄsft1（図１参照）に移動する。このシフト移動機構７０の移動に伴うキャリッジ６０の移動によって、支持機構２０は、第１カメラユニット３０ａ及び第２カメラユニット３０ｂが第２相対位置に位置づけられるまで、支持脚２２ａ、２２ｂがシフト方向ガイド溝５４にガイドされつつ第１シフト方向Ｄsft1に移動する。支持機構２０が他方の走査方向ガイド溝５２ａ、５２ｂに達して、第１カメラユニット３０ａ及び第２カメラユニット３０ｂが支持機構２０に対して第２相対位置に位置づけられると（図１におけるＰ３参照）、処理ユニット１００は、第２支持体２４ａ〜２４ｄの進出及び第１支持体２３ａ〜２３ｄの退避を駆動制御ユニット１２０に指示する（Ｓ７）。この指示に基づいた駆動制御ユニット１２０の第１アクチュエータ２５ａ〜２５ｄ及び第２アクチュエータ２６ａ〜２６ｄに対する駆動制御により、第２支持体２４ａ〜２４ｄが進出し、第１支持体２３ａ〜２３ｄが後退して、ウエーハ１０の縁部が、第１支持体２３ａ〜２３ｄに代えて第２支持体２４ａ〜２４ｄによって支持されるようになる。このとき、第２支持体２４ａ〜２４ｄの進出により、ウエーハ１０の縁部を支持し、その後に、第１支持体２３ａ〜２３ｄを後退させるようにすると、ウエーハ１０の位置ずれが生じ難く、好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図９に戻って、第２画像データの取り込みが終了してキャリッジ６０が停止されると（Ｓ１１）、処理ユニット１００は、シフト移動機構７０の駆動指示を駆動制御ユニット１２０に与える（Ｓ１２）。この指示に基づいた駆動制御ユニット１２０のシフト移動機構７０に対する駆動制御により、シフト移動機構７０（ステージ７１）が第２シフト方向Ｄsft2（図１参照）に移動する。このシフト移動機構７０の移動に伴うキャリッジ６０の移動によって、支持機構２０は、第１カメラユニット３０ａ及び第２カメラユニット３０ｂが第１相対位置に位置づけられるまで、支持脚２２ａ、２２ｂがシフト方向ガイド溝５３にガイドされつつ第２シフト方向Ｄsft2に移動する。支持機構２０が走査方向ガイド溝５１ａ、５１ｂに達して初期位置（図１におけるＰ１参照）に復帰し、第１カメラユニット３０ａ及び第２カメラユニット３０ｂが支持機構２０に対して第１相対位置に位置づけられると、処理ユニット１００は、ウエーハ１０の取り出しを駆動制御ユニット１２０に指示する（Ｓ１３）。この指示に基づいた駆動制御ユニット１２０の第２アクチュエータ２６ａ〜２６ｄに対する駆動制御により、ウエーハ１０の取り出し機構（図示略）と同調して、第２支持体２４ａ〜２４ｄが後退し、ウエーハ１０の第２支持体２４ａ〜２４ｄによる支持が解除される。そして、取り出し機構によってウエーハ１０が支持機構２０から取り出される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
前述したようにして、ウエーハ１０の第１表面、第２表面のそれぞれについて、撮影範囲Ｅscn1（共通撮影範囲Ｅcomを含む）に対応した第1撮影画像Ｉ１（図１０参照）及び撮影範囲Ｅscn2（共通撮影範囲Ｅcom含む）に対応した第２撮影画像Ｉ２（図１１参照）が得られると、処理ユニット１００は、それらの画像を合成して1枚のウエーハ１０の表面（第1表面、第２表面）についての合成画像を生成する。第１撮影画像Ｉ１において第１支持体２３ｂ、２３ｃが写り込んだ部位については第２撮影画像Ｉ２の対応する部位の画像を用い、第２撮影画像Ｉ２において第２支持体２４ｂ、２４ｃが写り込んだ部位については第１撮影画像Ｉ１の対応する部位の画像を用いて合成画像を生成することにより、いずれの支持体の写りこみのない合成画像を得ることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
その後、処理ユニット１００は、撮影が終了したか否か、即ち、未撮影のウエーハがまだあるか否かを判定する（Ｓ１４）。まだ未撮影のウエーハがある場合（Ｓ１４でＮＯ）、処理ユニット１００は、図８に示す処理に戻り、次のウエーハに対して、前述したのと同様の処理（Ｓ１〜Ｓ７、及び図９に示すＳ８〜Ｓ１４）を再度実行する。そして、検査対象となるウエーハ１０が与えられる毎に、前述したのと同様の処理（図８及び図９）が実行される。その過程で、全てのウエーハについての検査が終了したとの判定がなされると（Ｓ１４でＹＥＳ）、処理ユニット１００は、各ウエーハの撮影画像（合成画像）に基づいて各ウエーハについての検査処理を行う。