【手続補正書】
【提出日】平成23年9月29日(2011.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光方法及び露光装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、露光方法及び露光装置に係り、更に詳しくは、液体を介して物体を露光する露光方法及び露光装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上述の事情の下でなされたもので、第１の観点からすると、投影光学系と液体を介して物体を露光する露光装置であって、前記投影光学系の光射出側に液体を供給する液浸部材と、計測光が照射される所定パターンが形成されるとともに、前記液体と接触可能に配置される第一部材と、を備え、前記所定パターンが形成された第一部材はアースされている第１の露光装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
これによれば、液浸部材は、投影光学系の光射出側に液体を供給し、この液体と接触可能に、すなわち投影光学系の光射出側に、計測光が照射される所定パターンが形成された第一部材が配置されている。この第一部材はアースされている。このため、液体が帯電したとしても、液体の電荷を除去することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は、第２の観点からすると、投影光学系と液体を介して物体を露光する露光装置であって、前記物体を載置可能であって前記投影光学系の光出射側で移動するステージと、前記投影光学系の前記光射出側に液体を供給する液浸部材と、透過部材と、該透過部材を介して計測光が照射される所定パターンとを含み、前記液体と接触可能に前記ステージに配置される第一部材と、を備え、前記液体と前記所定パターンの間に前記透過部材が介在する第２の露光装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
これによれば、液浸部材は、投影光学系の前記光射出側に液体を供給し、この液体と接触可能に、透過部材と、該透過部材を介して計測光が照射される所定パターンとを含む第一部材が、ステージに配置される。そして、前記液体と前記所定パターンの間に前記透過部材が介在する。このため、所定パターンにより、透過部材に入射した迷光がカットされる。従って、第一部材により長期に渡って高精度な計測を実行することができ、その計測結果を反映させて液体を介して露光ビームを物体上に照射して露光を行うことで、高精度な露光を長期に渡って行うことが可能となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、第３の観点からすると、物体を載置可能なステージを移動させて、投影光学系と液体を介して該物体を露光する露光方法であって、前記投影光学系と前記ステージとの間の空間に液体を供給することと、計測光が照射される所定パターンが形成された第一部材を有する当該ステージを移動させることと、を含み、前記第一部材に接触した前記液体と前記所定パターンとの間に前記第一部材が介在するように当該所定パターンが前記第一部材に配置される第１の露光方法である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明は、第４の観点からすると、液体を介して物体を露光する露光方法であって、液体にその液体の比抵抗を調整する所定の物質を溶解させ、その所定の物質を溶解させた液体を前記物体上に形成された膜上に供給して液浸領域を形成する工程と、前記所定の物質を溶解させたことに伴う前記液体の透過率変動に基づいて露光条件を決定する工程と、決定した前記露光条件に基づいて、前記液体を介して露光光を前記物体上に照射して所定のパターンを形成する工程と、を含む第２の露光方法である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は、第５の観点からすると、液体を介して物体を露光する露光装置であって、前記物体を載置可能なステージと、前記ステージ上に載置された前記物体に形成された所定の膜上に供給される液体にその液体の比抵抗を調整する所定の物質を混入して溶解させる混入機構と、前記所定の物質を溶解させた前記液体を前記膜上に供給して液浸領域を形成する液浸部材と、前記所定の物質を混入させた後における液体の透過率変動に基づいて露光条件を決定する制御装置と、を備える第３の露光装置である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系と液体を介して物体を露光する露光装置であって、
前記投影光学系の光射出側に液体を供給する液浸部材と、
計測光が照射される所定パターンが形成されるとともに、前記液体と接触可能に配置される第一部材と、を備え、
前記所定パターンが形成された第一部材はアースされている露光装置。
【請求項２】
前記第一部材はガラス部材を含み、
前記所定パターンは、前記ガラス部材の表面に形成される遮光膜又は減光膜を含む請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記遮光膜は、金属膜を含む請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記第一部材が載置されるステージと、
前記ステージ上であって前記第一部材の周囲に配置される第二部材をさらに備える請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記第一部材の表面と前記第二部材の表面とは面一である請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記第一部材を透過した前記計測光を受光する受光系と、をさらに備え、
当該受光系の少なくとも一部は前記ステージに配置される請求項４又は５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記第一部材の表面は、前記液体に対して撥液性を有する請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記第一部材の表面は、フッ素系樹脂材料又はアクリル系樹脂材料により形成された被膜を含む請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記ステージ上に配置されるとともに、位置計測用の基準マークが形成された基準部材をさらに備え、
前記基準部材および前記第二部材の少なくとも１つはアースされている請求項４又は５に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記ステージは投影光学系の光射出側に供給された液体を回収する回収装置を備え、
前記回収装置は、前記第二部材と前記第一部材との間に形成される隙間から流入する液体を回収する請求項４又は５に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記液体は、当該液体の比抵抗を調整する所定の物質が溶解されている請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記所定の物質を混入させた後における液体の透過率変動に基づいて露光条件を決定する制御装置をさらに備える請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記第一部材の第一面側で前記液体が接触し、前記第一面側と反対側の第二面側に前記所定パターンが配置される請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１４】
投影光学系と液体を介して物体を露光する露光装置であって、
前記物体を載置可能であって前記投影光学系の光出射側で移動するステージと、
前記投影光学系の前記光射出側に液体を供給する液浸部材と、
透過部材と、該透過部材を介して計測光が照射される所定パターンとを含み、前記液体と接触可能に前記ステージに配置される第一部材と、を備え、
前記液体と前記所定パターンの間に前記透過部材が介在する露光装置。
【請求項１５】
前記透過部材はガラス部材を含み、
前記所定パターンは前記ガラス部材の表面に形成される遮光膜又は減光膜を含む請求項１４に記載の露光装置。
【請求項１６】
前記遮光膜は、金属膜を含む請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１７】
前記第一部材の第一面側で前記液体が接触し、前記第一面側と反対側の第二面側に前記所定パターンが配置される請求項１４に記載の露光装置。
【請求項１８】
前記液体と接触する前記第一部材の表面は、当該液体に対して撥液性を有する請求項１４〜１７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１９】
前記第一部材の表面は、フッ素系樹脂材料又はアクリル系樹脂材料により形成された被膜を含む請求項１４〜１８のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２０】
前記第一部材と、前記所定パターンを透過した前記計測光を受光する受光系とを含む計測装置をさらに備え、
前記所定パターンは、前記第一部材のうち前記受光系と対向する側に配置される請求項１４〜１９のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２１】
前記第一部材が載置されるステージと、
前記ステージ上であって前記第一部材の周囲に配置される第二部材をさらに備える請求項１４〜２０のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２２】
前記ステージは投影光学系の光射出側に供給された液体を回収する回収装置を備え、
前記回収装置は、前記第二部材と前記第一部材との間に形成される隙間から流入する液体を回収する請求項２１に記載の露光装置。
【請求項２３】
前記所定パターンが形成された第一部材はアースされている請求項１４〜２２のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２４】
前記液体には当該液体の比抵抗を調整する所定の物質が溶解され、
前記所定の物質を混入させた後における液体の透過率変動に基づいて露光条件を決定する制御装置をさらに備える請求項１４〜２３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２５】
物体を載置可能なステージを移動させて、投影光学系と液体を介して該物体を露光する露光方法であって、
前記投影光学系と前記ステージとの間の空間に液体を供給することと、
計測光が照射される所定パターンが形成された第一部材を有する当該ステージを移動させることと、を含み、
前記第一部材に接触した前記液体と前記所定パターンとの間に前記第一部材が介在するように当該所定パターンが前記第一部材に配置される露光方法。
【請求項２６】
前記第一部材は透過部材を含み、
前記所定パターンは前記透過部材の表面に形成される遮光膜又は減光膜を含む請求項２５に記載の露光方法。
【請求項２７】
前記第一部材は、第一面側に前記液体が接触するとともに、前記第一面側と反対側の第二面側に前記所定パターンが配置される請求項２５又は２６に記載の露光方法。
【請求項２８】
前記遮光膜は、金属膜を含む請求項２６に記載の露光方法。
【請求項２９】
前記液体と接触する前記第一部材の表面は、当該液体に対して撥液性を有する請求項２５〜２８のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項３０】
前記第一部材の前記第二面側と対向するように配置された受光系を用いて、前記透過部材を透過した計測光を受光することを含む請求項２６に記載の露光方法。
【請求項３１】
前記所定パターンが形成された第一部材はアースされている請求項２５〜３０のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項３２】
液体を介して物体を露光する露光方法であって、
液体にその液体の比抵抗を調整する所定の物質を溶解させ、その所定の物質を溶解させた液体を前記物体上に形成された膜上に供給して液浸領域を形成する工程と、
前記所定の物質を溶解させたことに伴う前記液体の透過率変動に基づいて露光条件を決定する工程と、
決定した前記露光条件に基づいて、前記液体を介して露光光を前記物体上に照射して所定のパターンを形成する工程と、を含む露光方法。
【請求項３３】
前記露光条件は、前記露光光のエネルギー又は発光周波数、物体を載置するステージの走査速度のいずれかを含む請求項３２に記載の露光方法。
【請求項３４】
前記物体上の膜は、前記パターンを形成するための感応材を含む請求項３２に記載の露光方法。
【請求項３５】
前記物体上の膜は、前記パターンを形成するための感応材を覆うように形成されている請求項３２に記載の露光方法。
【請求項３６】
前記物体上の膜は、前記液体に対して撥液性を有する請求項３２〜３５のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項３７】
前記物体上の膜は、フッ素系樹脂材料又はアクリル系樹脂材料により形成された被膜を含む請求項３２〜３６のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項３８】
液体を介して物体を露光する露光装置であって、
前記物体を載置可能なステージと、
前記ステージ上に載置された前記物体に形成された所定の膜上に供給される液体にその液体の比抵抗を調整する所定の物質を混入して溶解させる混入機構と、
前記所定の物質を溶解させた前記液体を前記膜上に供給して液浸領域を形成する液浸部材と、
前記所定の物質を混入させた後における液体の透過率変動に基づいて露光条件を決定する制御装置と、
を備える露光装置。
【請求項３９】
前記露光条件は、前記物体を露光するための露光光のエネルギー又は発光周波数、物体を載置するステージの走査速度のいずれかを含む請求項３８に記載の露光装置。
【請求項４０】
前記物体上の膜は、前記パターンを形成するための感応材を含む請求項３８に記載の露光装置。
【請求項４１】
前記物体上の膜は、前記パターンを形成するための感応材を覆うように形成されている請求項３８に記載の露光装置。
【請求項４２】
前記物体上の膜は、前記液体に対して撥液性を有する請求項３８〜４１のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項４３】
前記物体上の膜は、フッ素系樹脂材料又はアクリル系樹脂材料により形成された被膜を含む請求項３８〜４２のいずれか一項に記載の露光装置。