【手続補正書】
【提出日】平成23年3月3日(2011.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能な載置台上の被検査体と複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うに当たり、上記載置台の上方に移動可能に配置され且つ上記被検査体を撮像する第１撮像手段、上記載置台に付設され且つ上記プローブを撮像する第２撮像手段、及び上記載置台に付設され且つ上記複数のプローブの針先を検出する針先位置検出装置を用いて上記被検査体と上記複数のプローブとをアライメントする方法であって、
上記針先位置検出装置を用いて上記複数のプローブの針先位置を検出するＡ工程と、
上記第２撮像手段を用いて上記針先位置検出装置で検出された上記複数のプローブの針先位置を検出するＢ工程と、
上記針先位置検出装置に装着された軟質部材と上記複数のプローブを接触させて上記軟質部材に上記複数のプローブの針跡を転写するＣ工程と、
上記第１撮像手段を用いて上記軟質部材に形成された上記複数のプローブの針跡を検出するＤ工程と、
上記第１撮像手段を用いて上記複数のプローブに対応する上記被検査体の検査用の電極を検出するＥ工程と、を備え、
上記針先位置検出装置は、上記複数のプローブの針先を検出するセンサ部と、このセンサ部に属する昇降可能な接触体と、を備えており、
上記Ａ工程は、
上記載置台を介して上記針先位置検出装置が移動して上記接触体に取り付けられている軟質部材を上記複数のプローブの針先と接触させる第１の工程と、
上記載置台の更なる移動により上記複数のプローブを撓むことなく上記接触体を上記センサ部側へ移動させる第２の工程と、
上記接触体が移動し始める位置を上記複数のプローブの針先位置として検出する第３の工程と、を備え、
上記第２の工程では、上記複数のプローブは、上記軟質部材を傷つけない
ことを特徴とするアライメント方法。
【請求項２】
上記第２の工程では、上記接触体の現在位置を変位センサによって検出することを特徴とする請求項１に記載のアライメント方法。
【請求項３】
上記第３の工程では、上記変位センサの検出結果に基づいて上記複数のプローブの針先位置を検出することを特徴とする請求項２に記載のアライメント方法。
【請求項４】
被検査体と複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うに当たり、上記複数のプローブの針先の位置を検出するために用いられる針先位置検出装置であって、
上記針先位置検出装置は、上記複数のプローブの針先を検出するセンサ部を備え、且つ、
上記センサ部は、センサ部本体と、上記センサ部本体に昇降可能に設けられた接触体と、上記接触体に所定の圧力を付与し、上記接触体を上記センサ部本体から所定距離だけ離間させる圧力付与手段と、を有し、
更に、上記センサ部本体は、上記圧力付与手段によって付与された上記所定の圧力で上記接触体を弾力的に支持する弾力支持機構を有し、
上記接触体は、上記所定の圧力において上記複数のプローブとの接触により上記センサ部本体側へ下降して上記複数のプローブの針先位置を検出する
ことを特徴とする針先位置検出装置。
【請求項５】
上記センサ部は、上記接触体の現在位置を検出する変位センサを有することを特徴とする請求項４に記載の針先位置検出装置。
【請求項６】
被検査体を載置する移動可能な載置台と、この載置台の上方に配置された複数のプローブと、これらのプローブの針先位置を検出するように上記載置台に設けられた針先位置検出装置と、を備えたプローブ装置であって、
上記針先位置検出装置は、上記複数のプローブの針先を検出するセンサ部を備え、且つ、
上記センサ部は、センサ部本体と、上記センサ部本体に昇降可能に設けられた接触体と、上記接触体に所定の圧力を付与し、上記接触体を上記センサ部本体から所定距離だけ離間させる圧力付与手段と、を有し、
更に、上記センサ部本体は、上記圧力付与手段によって付与された上記所定の圧力で上記接触体を弾力的に支持する弾力支持機構を有し、
上記接触体は、上記所定の圧力において上記複数のプローブとの接触により上記センサ部本体側へ下降して上記複数のプローブの針先位置を検出する
ことを特徴とするプローブ装置。
【請求項７】
上記載置台に、上記複数のプローブの針跡を転写する針跡転写装置を設けたことを特徴とする請求項６に記載のプローブ装置。
【請求項８】
上記センサ部は、上記接触体の現在位置を検出する変位センサを有することを特徴とする請求項６または請求項７に記載のプローブ装置。
【請求項９】
上記針跡転写装置は、着脱自在な軟質部材を有することを特徴とする請求項７に記載のプローブ装置。
【請求項１０】
上記針跡転写装置は、上記軟質部材が着脱自在に取り付けられた接触体と、上記接触体を昇降可能に支持する昇降駆動機構と、を備えたことを特徴とする請求項９に記載のプローブ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の請求項１に記載のアライメント方法は、移動可能な載置台上の被検査体と複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うに当たり、上記載置台の上方に移動可能に配置され且つ上記被検査体を撮像する第１撮像手段、上記載置台に付設され且つ上記プローブを撮像する第２撮像手段、及び上記載置台に付設され且つ上記複数のプローブの針先を検出する針先位置検出装置を用いて上記被検査体と上記複数のプローブとをアライメントする方法であって、上記針先位置検出装置を用いて上記複数のプローブの針先位置を検出するＡ工程と、上記第２撮像手段を用いて上記針先位置検出装置で検出された上記複数のプローブの針先位置を検出するＢ工程と、
上記針先位置検出装置に装着された軟質部材と上記複数のプローブを接触させて上記軟質部材に上記複数のプローブの針跡を転写するＣ工程と、上記第１撮像手段を用いて上記軟質部材に形成された上記複数のプローブの針跡を検出するＤ工程と、上記第１撮像手段を用いて上記複数のプローブに対応する上記被検査体の検査用の電極を検出するＥ工程と、を備え、上記針先位置検出装置は、上記複数のプローブの針先を検出するセンサ部と、このセンサ部に属する昇降可能な接触体と、を備えており、上記Ａ工程は、上記載置台を介して上記針先位置検出装置が移動して上記接触体に取り付けられれている軟質部材を上記複数のプローブの針先と接触させる第１の工程と、上記載置台の更なる移動により上記複数のプローブを撓むことなく上記接触体を上記センサ部側へ移動させる第２の工程と、上記接触体が移動し始める位置を上記複数のプローブの針先位置として検出する第３の工程と、を備え、上記第２の工程では、上記複数のプローブは、上記軟質部材を傷つけないことを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の請求項２に記載のアライメント方法は、請求項１に記載の発明において、上記第２の工程では、上記接触体の現在位置を変位センサによって検出することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明の請求項３に記載のアライメント方法は、請求項２に記載の発明において、上記第３の工程では、上記変位センサの検出結果に基づいて上記複数のプローブの針先位置を検出することを特徴とするものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明の請求項４に記載の針先位置検出装置は、被検査体と複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うに当たり、上記複数のプローブの針先の位置を検出するために用いられる針先位置検出装置であって、上記針先位置検出装置は、上記複数のプローブの針先を検出するセンサ部を備え、且つ、上記センサ部は、センサ部本体と、上記センサ部本体に昇降可能に設けられた接触体と、上記接触体に所定の圧力を付与し、上記接触体を上記センサ部本体から所定距離だけ離間させる圧力付与手段と、を有し、更に、上記センサ部本体は、上記圧力付与手段によって付与された上記所定の圧力で上記接触体を弾力的に支持する弾力支持機構を有し、上記接触体は、上記所定の圧力において上記複数のプローブとの接触により上記センサ部本体側へ下降して上記複数のプローブの針先位置を検出することを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明の請求項５に記載の針先位置検出装置は、請求項４に記載の発明において、上記センサ部は、上記接触体の現在位置を検出する変位センサを有することを特徴とするものである。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明の請求項６に記載のプローブ装置は、被検査体を載置する移動可能な載置台と、この載置台の上方に配置された複数のプローブと、これらのプローブの針先位置を検出するように上記載置台に設けられた針先位置検出装置と、を備えたプローブ装置であって、上記針先位置検出装置は、上記複数のプローブの針先を検出するセンサ部を備え、且つ、上記センサ部は、センサ部本体と、上記センサ部本体に昇降可能に設けられた接触体と、上記接触体に所定の圧力を付与し、上記接触体を上記センサ部本体から所定距離だけ離間させる圧力付与手段と、を有し、更に、上記センサ部本体は、上記圧力付与手段によって付与された上記所定の圧力で上記接触体を弾力的に支持する弾力支持機構を有し、上記接触体は、上記所定の圧力において上記複数のプローブとの接触により上記センサ部本体側へ下降して上記複数のプローブの針先位置を検出することを特徴とするものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明の請求項７に記載のプローブ装置は、請求項６に記載の発明において、上記載置台に、上記複数のプローブの針跡を転写する針跡転写装置を設けた  ことを特徴とするものである。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、本発明の請求項８に記載のプローブ装置は、請求項６または請求項７に記載の発明において、上記センサ部は、上記接触体の現在位置を検出する変位センサを有することを特徴とするものである。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、本発明の請求項９に記載のプローブ装置は、請求項７に記載の発明において、上記針跡転写装置は、着脱自在な軟質部材を有することを特徴とするものである。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、本発明の請求項１０に記載のプローブ装置は、請求項９に記載の発明において、上記針跡転写装置は、上記軟質部材が着脱自在に取り付けられた接触体と、上記接触体を昇降可能に支持する昇降駆動機構と、を備えたことを特徴とするものである。