【手続補正書】
【提出日】平成23年2月16日(2011.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
格子層と導波層との複層構造体又は両者の機能を併せ持つ単層構造体が基板上に形成された導波モード共鳴格子と、該導波モード共鳴格子の複層構造体又は単層構造体を挟んで基板と反対側の面に被測定物が接触された状態で、該導波モード共鳴格子の基板面又は被測定物面に光を照射する光照射手段と、該光照射手段による光照射に対する反射光を受け、照射光の入射角度を変化させたときの角度スペクトル又は照射光の波長を変化させたときの波長スペクトルを測定するスペクトル測定手段と、を具備し、該スペクトル測定手段の測定結果による共鳴入射角度又は共鳴波長に基づいて被測定物の屈折率を計算する屈折率測定装置を用いた屈折率測定方法であって、
a)異なる既知の屈折率を有する複数の基準液を被測定物として共鳴入射角度又は共鳴波長をそれぞれ測定し、各屈折率に対する共鳴入射角度又は共鳴波長を把握する基準液測定ステップと、
b)該基準液測定ステップで得られた屈折率と共鳴入射角度又は共鳴波長との離散的な関係に基づいて校正曲線を作成する校正曲線作成ステップと、
c)未知試料を被測定物として共鳴入射角度又は共鳴波長を測定し、前記校正曲線を参照して、その測定結果から未知試料の屈折率を求める試料測定ステップと、
を実行することを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定方法。
【請求項２】
格子層と導波層との複層構造体又は両者の機能を併せ持つ単層構造体が基板上に形成された導波モード共鳴格子と、該導波モード共鳴格子の複層構造体又は単層構造体を挟んで基板と反対側の面に被測定物が接触された状態で、該導波モード共鳴格子の基板面又は被測定物面に光を照射する光照射手段と、該光照射手段による光照射に対する反射光を受け、照射光の入射角度を変化させたときの角度スペクトル又は照射光の波長を変化させたときの波長スペクトルを測定するスペクトル測定手段と、を具備し、該スペクトル測定手段の測定結果による共鳴入射角度又は共鳴波長に基づいて被測定物の屈折率を計算する屈折率測定装置を用いた屈折率測定方法であって、
a)既知の屈折率を有する基準液を被測定物として共鳴入射角度又は共鳴波長を測定し、少なくとも１つの屈折率に対する共鳴入射角度又は共鳴波長を把握する基準液測定ステップと、
b)前記導波モード共鳴格子の設計上の理論値に基づいて計算される屈折率と共鳴入射角度又は共鳴波長との関係を示す分散曲線カーブを、前記基準液測定ステップで得られた屈折率と共鳴入射角度又は共鳴波長との関係に基づいて修正することで校正曲線を取得する校正曲線取得ステップと、
c)未知試料を被測定物として共鳴入射角度又は共鳴波長を測定し、前記校正曲線を参照して、その測定結果から未知試料の屈折率を求める試料測定ステップと、
を実行することを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の屈折率測定方法であって、同一の導波モード共鳴格子を用いて基準液の測定と未知試料の測定とを時分割で行うことを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定方法。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の屈折率測定方法であって、同一の導波モード共鳴格子の異なる部位を用いて、基準液の測定と未知試料の測定とを同時並行的に行うことを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の屈折率測定方法であって、前記基準液は屈折率が制御された市販の屈折液であることを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の屈折率測定方法であって、基準液及び未知試料の測定時に同時にそれぞれの温度を測定し、その温度の相違及び基準液の温度特性とに基づいて、未知試料の屈折率を補正することを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定方法。
【請求項７】
a)格子層と導波層との複層構造体又は両者の機能を併せ持つ単層構造体が基板上に形成された導波モード共鳴格子と、
b)該導波モード共鳴格子の複層構造体又は単層構造体を挟んで基板と反対側の面に被測定物が接触された状態で、該導波モード共鳴格子の基板面又は被測定物面に光を照射する光照射手段と、
c)該光照射手段による光照射に対する反射光を受け、照射光の入射角度を変化させたときの角度スペクトル又は照射光の波長を変化させたときの波長スペクトルを測定し、共鳴ピークを与える共鳴入射角度又は共鳴波長を求めるスペクトル測定手段と、
d)異なる既知の屈折率を有する複数の基準液を被測定物として、前記スペクトル測定手段によりそれぞれ測定された共鳴入射角度又は共鳴波長と屈折率との離散的な関係に基づいて、校正曲線を作成する校正曲線作成手段と、
e)未知試料を被測定物として前記スペクトル測定手段により測定された共鳴入射角度又は共鳴波長から、前記校正曲線を参照して、未知試料の屈折率を求める演算処理手段と、
を備えることを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定装置。
【請求項８】
a)格子層と導波層との複層構造体又は両者の機能を併せ持つ単層構造体が基板上に形成された導波モード共鳴格子と、
b)該導波モード共鳴格子の複層構造体又は単層構造体を挟んで基板と反対側の面に被測定物が接触された状態で、該導波モード共鳴格子の基板面又は被測定物面に光を照射する光照射手段と、
c)該光照射手段による光照射に対する反射光を受け、照射光の入射角度を変化させたときの角度スペクトル又は照射光の波長を変化させたときの波長スペクトルを測定し、共鳴ピークを与える共鳴入射角度又は共鳴波長を求めるスペクトル測定手段と、
d)既知の屈折率を有する基準液を被測定物として、前記スペクトル測定手段により測定された共鳴入射角度又は共鳴波長と屈折率との関係に基づいて、前記導波モード共鳴格子の設計上の理論値に基づいて計算される屈折率と共鳴入射角度又は共鳴波長との関係を示す分散曲線カーブを修正することで校正曲線を取得する校正曲線取得手段と、
e)未知試料を被測定物として前記スペクトル測定手段により測定された共鳴入射角度又は共鳴波長から、前記校正曲線を参照して、未知試料の屈折率を求める演算処理手段と、
を備えることを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定装置。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の屈折率測定装置であって、同一の導波モード共鳴格子を用いて基準液の測定と未知試料の測定とを時分割で行うことを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定装置。
【請求項１０】
請求項７又は８に記載の屈折率測定装置であって、同一の導波モード共鳴格子の異なる部位を用いて、基準液の測定と未知試料の測定とを同時並行的に行うことを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定装置。
【請求項１１】
請求項７乃至１０のいずれかに記載の屈折率測定装置であって、前記基準液は屈折率が制御された市販の屈折液であることを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定装置。
【請求項１２】
請求項７乃至１１のいずれかに記載の屈折率測定装置であって、基準液及び未知試料の測定時に同時にそれぞれの温度を測定する温度検出手段をさらに備え、その温度の相違及び基準液の温度特性とに基づいて、未知試料の屈折率を補正することを特徴とする、導波モード共鳴格子を用いた屈折率測定装置。