【手続補正書】
【提出日】平成23年7月29日(2011.7.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
終端光学素子を含み、基板上の露光領域に液浸流体を介して像を投影する光学アセンブリと、
前記終端光学素子の直下の空間を囲むように配置され、下方において前記基板が移動するコンテインメント部材と、
前記コンテインメント部材を可動に支持するフレーム支持体と、
前記コンテインメント部材に固定され、前記液浸流体を捕集する複数の通路を有する多孔性材料と、を備える液浸露光装置。
【請求項２】
前記多孔性材料と前記基板との間に形成されるフレームギャップは、０．１ｍｍ〜２ｍｍである請求項１に記載の液浸露光装置。
【請求項３】
さらに、前記多孔性材料から前記液浸流体を取り除く流体除去システムを備える請求項１又は２に記載の液浸露光装置。
【請求項４】
前記流体除去システムは、前記多孔性材料を減圧する請求項３に記載の液浸露光装置。
【請求項５】
前記多孔性材料は、前記コンテインメント部材の底面に固定され、
前記流体除去システムは、前記多孔性材料の上方において前記コンテインメント部材の内部の除去チャンバーと流通する請求項３又は４に記載の液浸露光装置。
【請求項６】
前記流体除去システムは、前記多孔性材料から前記液浸流体を取り除くように前記多孔性部材において差圧を維持し、
前記除去チャンバーからの前記液浸流体を回収する回収容器を含む請求項５に記載の液浸露光装置。
【請求項７】
前記多孔性材料は、２０〜２００ミクロンの寸法を有する孔を有する請求項１〜６のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項８】
終端光学素子を含み、基板上の露光領域に液浸流体を介して像を投影する光学アセンブリと、
前記終端光学素子の直下の空間を囲むように配置され、下方において前記基板が移動するコンテインメント部材と、
前記コンテインメント部材を可動に支持するフレーム支持体と、
前記コンテインメント部材に固定され、前記液浸流体を捕集する複数の通路を有するウィック材料と、を備える液浸露光装置。
【請求項９】
前記ウィック材料と前記基板との間に形成されるフレームギャップは、０．１ｍｍ〜２ｍｍである請求項８に記載の液浸露光装置。
【請求項１０】
さらに、前記ウィック材料から前記液浸流体を取り除く流体除去システムを備える請求項８又は９に記載の液浸露光装置。
【請求項１１】
前記流体除去システムは、前記ウィック材料を減圧する請求項１０に記載の液浸露光装置。
【請求項１２】
前記ウィック材料は、前記コンテインメント部材の底面に固定され、
前記流体除去システムは、前記ウィック材料の上方において前記コンテインメント部材の内部の除去チャンバーと流通する請求項１０又は１１に記載の液浸露光装置。
【請求項１３】
前記流体除去システムは、前記ウィック材料から前記液浸流体を取り除くように前記ウィック部材において差圧を維持し、
前記除去チャンバーからの前記液浸流体を回収する回収容器を含む請求項１２に記載の液浸露光装置。
【請求項１４】
前記ウィック材料は、２０〜２００ミクロンの寸法を有する孔を有する請求項８〜１３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１５】
終端光学素子を含み、基板上の露光領域に液浸流体を介して像を投影する光学アセンブリと、
前記終端光学素子の直下の空間を囲むように配置され、下方において前記基板が移動するコンテインメント部材と、
前記コンテインメント部材を可動に支持するフレーム支持体と、
前記コンテインメント部材に固定され、、前記液浸流体を捕集する複数の通路を有するメッシュ材料と、を備える液浸露光装置。
【請求項１６】
前記メッシュ材料と前記基板との間に形成されるフレームギャップは、０．１ｍｍ〜２ｍｍである請求項１５に記載の液浸露光装置。
【請求項１７】
さらに、前記メッシュ材料から前記液浸流体を取り除く流体除去システムを備える請求項１５又は１６に記載の液浸露光装置。
【請求項１８】
前記流体除去システムは、前記メッシュ材料を減圧する請求項１７に記載の液浸露光装置。
【請求項１９】
前記メッシュ材料は、前記コンテインメント部材の底面に固定され、
前記流体除去システムは、前記メッシュ材料の上方において前記コンテインメント部材の内部の除去チャンバーと流通する請求項１７又は１８に記載の液浸露光装置。
【請求項２０】
前記流体除去システムは、前記メッシュ材料から前記液浸流体を取り除くように前記メッシュ材料において差圧を維持し、
前記除去チャンバーからの前記液浸流体を回収する回収容器を含む請求項１９に記載の液浸露光装置。
【請求項２１】
前記メッシュ材料は、２０〜２００ミクロンの寸法を有する孔を有する請求項１５〜２０のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２２】
終端光学素子を含み、基板上の露光領域に液浸流体を介して像を投影する光学アセンブリと、
前記終端光学素子の直下の空間を囲むように配置され、下方において前記基板が移動するコンテインメント部材と、
前記コンテインメント部材を可動に支持するフレーム支持体と、
前記コンテインメント部材に固定され、前記液浸流体を捕集する複数の通路を有するガラス繊維織物と、を備える液浸露光装置。
【請求項２３】
前記ガラス繊維織物と前記基板との間に形成されるフレームギャップは、０．１ｍｍ〜２ｍｍである請求項２２に記載の液浸露光装置。
【請求項２４】
さらに、前記ガラス繊維織物から前記液浸流体を取り除く流体除去システムを備える請求項２２又は２３に記載の液浸露光装置。
【請求項２５】
前記流体除去システムは、前記ガラス繊維織物を減圧する請求項２４に記載の液浸露光装置。
【請求項２６】
前記ガラス繊維織物は、前記コンテインメント部材の底面に固定され、
前記流体除去システムは、前記ガラス繊維織物の上方において前記コンテインメント部材の内部の除去チャンバーと流通する請求項２４又は２５に記載の液浸露光装置。
【請求項２７】
前記流体除去システムは、前記ガラス繊維織物から前記液浸流体を取り除くように前記ガラス繊維織物において差圧を維持し、
前記除去チャンバーからの前記液浸流体を回収する回収容器を含む請求項２６に記載の液浸露光装置。
【請求項２８】
前記ガラス繊維織物は、２０〜２００ミクロンの寸法を有する孔を有する請求項２２〜２７のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２９】
終端光学素子を含み、基板上の露光領域に液浸流体を介して像を投影する光学アセンブリと、
前記終端光学素子の直下の空間を囲むように配置され、下方において前記基板が移動するコンテインメント部材と、
前記コンテインメント部材を可動に支持するフレーム支持体と、
前記コンテインメント部材に固定され、前記液浸流体を捕集する複数の通路を有する焼結金属粉末と、を備える液浸露光装置。
【請求項３０】
前記焼結金属粉末と前記基板との間に形成されるフレームギャップは、０．１ｍｍ〜２ｍｍである請求項２９に記載の液浸露光装置。
【請求項３１】
さらに、前記焼結金属粉末から前記液浸流体を取り除く流体除去システムを備える請求項２９又は３０に記載の液浸露光装置。
【請求項３２】
前記流体除去システムは、前記焼結金属粉末を減圧する請求項３１に記載の液浸露光装置。
【請求項３３】
前記焼結金属粉末は、前記コンテインメント部材の底面に固定され、
前記流体除去システムは、前記焼結金属粉末の上方において前記コンテインメント部材の内部の除去チャンバーと流通する請求項３１又は３２に記載の液浸露光装置。
【請求項３４】
前記流体除去システムは、前記焼結金属粉末から前記液浸流体を取り除くように前記焼結金属粉末において差圧を維持し、
前記除去チャンバーからの前記液浸流体を回収する回収容器を含む請求項３３に記載の液浸露光装置。
【請求項３５】
前記焼結金属粉末は、２０〜２００ミクロンの寸法を有する孔を有する請求項２９〜３４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３６】
終端光学素子を含み、基板上の露光領域に液浸流体を介して像を投影する光学アセンブリと、
前記終端光学素子の直下の空間を囲むように配置され、下方において前記基板が移動するコンテインメント部材と、
前記コンテインメント部材を可動に支持するフレーム支持体と、
前記コンテインメント部材に固定され、前記液浸流体を捕集する複数の通路を有するワイヤーメッシュと、を備える液浸露光装置。
【請求項３７】
前記ワイヤーメッシュと前記基板との間に形成されるフレームギャップは、０．１ｍｍ〜２ｍｍである請求項３６に記載の液浸露光装置。
【請求項３８】
さらに、前記ワイヤーメッシュから前記液浸流体を取り除く流体除去システムを備える請求項３６又は３７に記載の液浸露光装置。
【請求項３９】
前記流体除去システムは、前記ワイヤーメッシュを減圧する請求項３８に記載の液浸露光装置。
【請求項４０】
前記ワイヤーメッシュは、前記コンテインメント部材の底面に固定され、
前記流体除去システムは、前記ワイヤーメッシュの上方において前記コンテインメント部材の内部の除去チャンバーと流通する請求項３８又は３９に記載の液浸露光装置。
【請求項４１】
前記流体除去システムは、前記ワイヤーメッシュから前記液浸流体を取り除くように前記ワイヤーメッシュにおいて差圧を維持し、
前記除去チャンバーからの前記液浸流体を回収する回収容器を含む請求項４０に記載の液浸露光装置。
【請求項４２】
前記ワイヤーメッシュは、２０〜２００ミクロンの寸法を有する孔を有する請求項３６〜４１のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項４３】
終端光学素子を含み、基板上の露光領域に液浸流体を介して像を投影する光学アセンブリと、
前記終端光学素子の直下の空間を囲むように配置され、下方において前記基板が移動するコンテインメント部材と、
前記コンテインメント部材を可動に支持するフレーム支持体と、
前記コンテインメント部材に固定され、前記液浸流体を捕集する複数の通路を有するスクリーンと、を備える液浸露光装置。
【請求項４４】
前記スクリーンと前記基板との間に形成されるフレームギャップは、０．１ｍｍ〜２ｍｍである請求項４３に記載の液浸露光装置。
【請求項４５】
さらに、前記スクリーンから前記液浸流体を取り除く流体除去システムを備える請求項４３又は４４に記載の液浸露光装置。
【請求項４６】
前記流体除去システムは、前記スクリーンを減圧する請求項４５に記載の液浸露光装置。
【請求項４７】
前記スクリーンは、前記コンテインメント部材の底面に固定され、
前記流体除去システムは、前記スクリーンの上方において前記コンテインメント部材の内部の除去チャンバーと流通する請求項４５又は４６に記載の液浸露光装置。
【請求項４８】
前記流体除去システムは、前記スクリーンから前記液浸流体を取り除くように前記スクリーンにおいて差圧を維持し、
前記除去チャンバーからの前記液浸流体を回収する回収容器を含む請求項４７に記載の液浸露光装置。
【請求項４９】
前記スクリーンは、２０〜２００ミクロンの寸法を有する孔を有する請求項４３〜４８のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５０】
終端光学素子を含み、基板上の露光領域に液浸流体を介して像を投影する光学アセンブリと、
前記終端光学素子の直下の空間を囲むように配置され、下方において前記基板が移動するコンテインメント部材と、
前記コンテインメント部材を可動に支持するフレーム支持体と、
前記コンテインメント部材に固定され、前記液浸流体を捕集する互いにつながった複数の通路の網を含む材料と、を備える液浸露光装置。
【請求項５１】
前記材料と前記基板との間に形成されるフレームギャップは、０．１ｍｍ〜２ｍｍである請求項５０に記載の液浸露光装置。
【請求項５２】
さらに、前記材料から前記液浸流体を取り除く流体除去システムを備える請求項５０又は５１に記載の液浸露光装置。
【請求項５３】
前記流体除去システムは、前記材料を減圧する請求項５２に記載の液浸露光装置。
【請求項５４】
前記材料は、前記コンテインメント部材の底面に固定され、
前記流体除去システムは、前記材料の上方において前記コンテインメント部材の内部の除去チャンバーと流通する請求項５２又は５３に記載の液浸露光装置。
【請求項５５】
前記流体除去システムは、前記材料から前記液浸流体を取り除くように前記材料において差圧を維持し、
前記除去チャンバーからの前記液浸流体を回収する回収容器を含む請求項５４に記載の液浸露光装置。
【請求項５６】
前記材料は、２０〜２００ミクロンの寸法を有する孔を有する請求項５０〜５５のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５７】
前記フレーム支持体は、フレクシャーを含む請求項１〜５６のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５８】
前記フレーム支持体は、前記コンテインメント部材の位置を調整するアクチュエータを含む請求項１〜５６のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５９】
前記フレーム支持体は、前記コンテインメント部材の位置をモニターするフレーム測定システムを含む請求項５８に記載の液浸露光装置。
【請求項６０】
前記コンテインメント部材は、一つの方向に沿った移動が許容される請求項１〜５９のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項６１】
前記コンテインメント部材は、もう一つの方向に沿った移動が抑制される請求項６０に記載の液浸露光装置。
【請求項６２】
前記コンテインメント部材は、Ｚ軸に沿った移動が許容される請求項１〜５９のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項６３】
前記コンテインメント部材は、Ｚ軸に直交するＸ軸及びＹ軸に沿った移動が抑制される請求項６２に記載の液浸露光装置。
【請求項６４】
前記フレーム支持体は、前記コンテインメント部材の全部又は一部のみの重量を支持する請求項１〜６３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項６５】
前記光学アセンブリと前記コンテインメント部材との間の空間に前記液浸流体を放出するノズルアウトレットを備える請求項１〜６４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項６６】
前記コンテインメント部材と前記基板及び前記基板を保持するステージの一方又は両方との間に流体ベアリングを生成するデバイスを有する請求項１〜６５のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項６７】
前記コンテインメント部材は、ベアリング流体源に流通するベアリングアウトレットを含み、
前記ベアリング流体源は、前記流体ベアリングが生成されるように、加圧された流体を前記ベアリングアウトレットに供給する請求項６６に記載の液浸露光装置。
【請求項６８】
前記フレーム支持体は、装置フレームに、前記コンテインメント部材を接続する請求項１〜６７のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項６９】
さらに、前記終端光学素子と前記基板との間のギャップの圧力を制御する圧力制御器を備える請求項１〜６８のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項７０】
前記液浸流体は、水を含む請求項１〜６９のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項７１】
請求項１〜７０のいずれか一項に記載の液浸露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むマイクロデバイスの製造方法。