【手続補正書】
【提出日】平成23年2月17日(2011.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、該基体に支持された板状部材と、駆動力付与手段とを備え、
前記板状部材は、前記板状部材の周辺部における全周又はその一部に渡る所定箇所で前記基体に対して固定されて、前記板状部材における前記所定箇所以外の領域で撓み変形可能であり、
前記所定箇所は、前記板状部材の前記周辺部において互いに対向する２箇所を含み、
被駆動体が、前記板状部材の撓み変形可能な領域のうちの所定部位に局所的に機械的に接続され、
前記駆動力付与手段は、信号に応じて、前記板状部材の前記撓み変形可能な領域が撓み変形をして前記板状部材の前記所定部位の傾きが変化するように、前記板状部材の少なくとも一部に駆動力を付与し得るものであり、
前記基体における前記板状部材との対向領域が平坦化された、
ことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
【請求項２】
前記基体は、前記対向領域にＣＭＰにより平坦化された平坦化膜を有することを特徴とする請求項１記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項３】
前記駆動力が付与されない状態において、前記板状部材と前記基体における前記対向領域との間の空隙が０．３μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項４】
前記被駆動体が主平面を有し、前記板状部材の主平面と前記被駆動体の主平面とが略平行であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項５】
前記板状部材の前記所定部位は、前記板状部材の重心から偏心した部位であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項６】
前記駆動力付与手段は、信号に応じて、前記板状部材の前記撓み変形可能な領域が撓み変形をして前記板状部材の前記所定部位の傾きが実質的に変化せずに前記板状部材の前記所定部位が変位するように、前記板状部材の少なくとも一部に駆動力を付与し得ることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項７】
前記駆動力付与手段は、前記基体に設けられた１つ以上の第１の電極部と、前記板状部材に設けられ前記１つ以上の第１の電極部との間の電圧により前記１つ以上の第１の電極部との間に静電力を生じ得る１つ以上の第２の電極部とを、含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
【請求項８】
複数のマイクロアクチュエータと、複数の端子からなる第１の端子群と、複数の端子からなる第２の端子群と、を備えたマイクロアクチュエータアレーであって、
前記各マイクロアクチュエータは、請求項７記載のマイクロアクチュエータであり、
前記各マイクロアクチュエータに関して、当該マイクロアクチュエータの前記第１の電極部が、前記第１及び第２の端子群のうちの一方の端子群のいずれか１つの端子に電気的に接続されるとともに前記第１及び第２の端子群の他の端子に電気的に接続されず、
前記各マイクロアクチュエータに関して、当該マイクロアクチュエータの前記第２の電極部が、前記第１及び第２の端子群のうちの他方の端子群のいずれか１つの端子に電気的に接続されるとともに前記第１及び第２の端子群の他の端子に電気的に接続されず、
前記各マイクロアクチュエータに関して、当該マイクロアクチュエータの前記第１の電極部に電気的に接続された第１又は第２の端子群の１つの端子と当該マイクロアクチュエータの前記第２の電極部に電気的に接続された前記第１又は第２の端子群の１つの端子との組み合わせは、当該マイクロアクチュエータに固有のものとなり、
前記第１の端子群の少なくとも１つの端子が、前記複数のマイクロアクチュエータのうちの２つ以上のマイクロアクチュエータの前記第１又は第２の電極部に、共通して電気的に接続され、
前記第２の端子群の少なくとも１つの端子が、前記複数のマイクロアクチュエータのうちの２つ以上のマイクロアクチュエータの前記第１又は第２の電極部に、共通して電気的に接続された、
ことを特徴とするマイクロアクチュエータアレー。
【請求項９】
請求項８記載のマイクロアクチュエータアレーと、前記第１及び第２の端子群の各端子に接続され、前記第１及び第２の端子群の各端子の電位をそれぞれ制御することで前記各マイクロアクチュエータの前記所定部位の傾きを前記板状部材が撓み変形した第１の傾きと前記板状部材が撓み変形していない第２の傾きとに切り替える制御を行う制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１の端子群の各端子をそれぞれ第１、第２及び第３の電位状態にし得るとともに、前記第２の端子群の各端子をそれぞれ第４、第５及び第６の電位状態にし得るように構成され、
前記第１乃至第６の電位状態における電位は、「第１の電位状態の電位＞第２の電位状態の電位＞第３の電位状態の電位≧第４の電位状態の電位＞第５の電位状態の電位＞第６の電位状態の電位」の大小関係又はこの関係と逆の大小関係を満たし、
前記第１の電位状態における電位と前記第６の電位状態における電位との電位差は、前記複数のマイクロアクチュエータのうちの前記所定部位の傾きが前記第２の傾きになっているマイクロアクチュエータの前記第１及び第２の電極部間に当該電位差が印加されたときに、当該マイクロアクチュエータの前記所定部位を前記第１の傾きにさせる電圧であり、
前記第３の電位状態における電位と前記第４の電位状態における電位との電位差は、前記複数のマイクロアクチュエータのうちの前記所定部位の傾きが前記第１の傾きとなっているマイクロアクチュエータの前記第１及び第２の電極部間に当該電位差が印加されたときに、当該マイクロアクチュエータの前記所定部位の傾きを前記第２の傾きへ復帰させる電圧であり、
前記第３の電位状態における電位と前記第５の電位状態における電位との電位差、及び、前記第２の電位状態における電位と前記第４の電位状態における電位との電位差は、前記複数のマイクロアクチュエータのうちの前記所定部位の傾きが前記第１の傾きとなっているマイクロアクチュエータの前記第１及び第２の電極部間に当該電位差が印加されたときに、当該マイクロアクチュエータの前記所定部位の傾きを前記第２の傾きへ復帰させずに前記第１の傾きに保持する電圧であり、
前記第２の電位状態における電位と前記第５の電位状態における電位との電位差は、前記複数のマイクロアクチュエータのうちの前記所定部位の傾きが前記第２の傾きになっているマイクロアクチュエータの前記第１及び第２の電極部間に当該電位差が印加されたときに、当該マイクロアクチュエータの前記所定部位の傾きを前記第１の傾きへ復帰させずに前記第２の傾きに保持する電圧である、
ことを特徴とするマイクロアクチュエータ装置。
【請求項１０】
請求項１乃至７のいずれかに記載のマイクロアクチュエータと、前記被駆動体とを備え、前記被駆動体が光学素子であることを特徴とする光学デバイス。
【請求項１１】
前記光学素子がミラーであることを特徴とする請求項１０記載の光学デバイス。
【請求項１２】
前記マイクロアクチュエータ及び前記光学素子の組を複数備えたことを特徴とする請求項１０又は１１記載の光学デバイス。
【請求項１３】
空間光変調器を備えた表示装置であって、前記空間光変調器が請求項１２記載の光学デバイスであることを特徴とする表示装置。
【請求項１４】
照明光を用いて、物体を露光する露光装置であって、
前記照明光の光路上に配置される請求項１２記載の光学デバイスを備え、
該光学デバイスを介した前記照明光を用いて前記物体を露光することを特徴とする露光装置。
【請求項１５】
前記光学デバイスは、前記照明光の照射により所定のパターンを生成することを特徴とする請求項１４に記載の露光装置。
【請求項１６】
前記物体を保持して移動する移動体を更に備え、
前記光学デバイスの前記各マイクロアクチュエータの前記駆動力付与手段は、前記移動体の所定方向への移動に同期して制御されることを特徴とする請求項１４又は１５記載の露光装置。
【請求項１７】
リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィ工程では、請求項１４乃至１６のいずれかに記載の露光装置を用いて露光を行うことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１８】
基板と絶縁膜と固定電極と配線パターンとを含んで構成される基体と、
前記基体に支持され、前記固定電極により撓み変形が可能な板状部材とを有するマイクロアクチュエータの製造方法であって、
前記基板上に前記絶縁膜を成膜することと、
前記絶縁膜上に前記固定電極及び配線パターンを形成することと、
前記絶縁膜上と、前記固定電極及び配線パターン上における、前記板状部材との対向領域に平坦化膜となるべき膜を成膜することと、
前記平坦化膜となるべき膜を平坦化して平坦化膜とすることと、
前記平坦化膜上に犠牲層を形成することと、
前記犠牲層上に前記板状部材を形成することと、
を含むことを特徴とするマイクロアクチュエータの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】マイクロアクチュエータ及びその製造方法、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、並びにデバイス製造方法