【手続補正書】
【提出日】平成23年8月30日(2011.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空搬送室であるバッファ室の内部に配置された真空ロボットによりウエハを上記バッファ室に連結された複数の真空容器のうちの少なくとも１つに搬送し、上記真空容器の内部に配置された試料台上に上記ウエハを載置して処理する真空処理方法であって、
上記真空ロボットの回転時に上記ウエハの遮光角度を検出するθ軸センサと、上記真空ロボットの伸縮時に上記ウエハの遮光距離を検出するＲ軸センサとの出力に基づいて、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置補正量を求め、上記位置補正量が所定の規格値を外れた場合には、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置データの変更動作を行い、更に、所定の許容値を越えた場合には、補正範囲量オーバーエラーとして動作停止を行い、動作停止後は、上記ウエハの上記真空ロボットに対する上記位置補正量と、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置ずれを確認し位置補正データ変更のリトライ動作が出来ることを特徴とする半導体処理装置における真空処理方法。
【請求項２】
真空搬送室であるバッファ室の内部に配置された真空ロボットによりウエハを上記バッファ室に連結された複数の真空容器のうちの少なくとも１つに搬送し、上記真空容器の内部に配置された試料台上に上記ウエハを載置して処理する真空処理方法であって、
上記真空ロボットの回転時に上記ウエハの遮光角度を検出するθ軸センサと、上記真空ロボットの伸縮時に上記ウエハの遮光距離を検出するＲ軸センサとの出力において、上記θ軸センサの出力が許容値以下の場合、また上記θ軸センサおよび上記Ｒ軸センサの出力を複数回検出した時、また上記θ軸センサもしくは上記Ｒ軸センサの出力がどちらか一方のみであった場合には、補正計算エラーを出力し動作停止を行うことを特徴とする半導体処理装置における真空処理方法。
【請求項３】
真空搬送室であるバッファ室の内部に配置された真空ロボットによりウエハを上記バッファ室に連結された複数の真空容器のうちの少なくとも１つに搬送し、上記真空容器の内部に配置された試料台上に上記ウエハを載置して処理する真空処理方法であって、
上記真空ロボットの回転時に上記ウエハの遮光角度を検出するθ軸センサ及び／または上記真空ロボットの伸縮時に上記ウエハの遮光距離を検出するＲ軸センサの出力に基づいて、上記ウエハの上記真空ロボットに対する距離データを求め、上記距離データが所定の規格値を越えた場合には、位置ずれ警告を上位装置に報告し、
上記θ軸センサと上記Ｒ軸センサとの出力に基づいて、上記ウエハの上記真空ロボットに対する距離データを求め、上記距離データが更に所定の許容値を越えた場合には、位置ずれエラーとして動作停止を行うことを特徴とする半導体処理装置における真空処理方法。
【請求項４】
真空ロボットを備えたバッファ室と、
上記バッファ室に接続された複数の処理室と複数のロードロック室との間で、上記真空ロボットを用いてウエハの移送を行う真空搬送装置において、
上記バッファ室内に、上記真空ロボットの回転時に上記ウエハの遮光角度を検出する複数のθ軸センサと、上記真空ロボットの伸縮時に上記ウエハの遮光距離を検出する複数のＲ軸センサとを備え、
上記θ軸センサと上記Ｒ軸センサの双方の出力に基づいて上記真空ロボット中心から上記処理室までの距離Ｋを計算して、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置の回転方向の補正量Ｓθと直進方向の補正量ＳＲとを求め、上記回転方向の補正量Ｓθ及び／または上記直進方向の補正量ＳＲが所定の規格値を外れた場合には、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置データの変更動作を行い、
上記回転方向の補正量Ｓθ及び／または上記直進方向の補正量ＳＲが更に所定の許容値を外れた場合には、補正範囲量オーバーエラーとして動作停止を行い、動作停止後は、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置補正量と、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置ずれを確認し位置補正データ変更のリトライ動作が出来ることを特徴とする真空搬送装置。
【請求項５】
真空ロボットを備えたバッファ室と、
上記バッファ室に接続された複数の処理室と複数のロードロック室との間で、ウエハの移送を行う上記真空ロボットとを備えた真空搬送装置において、
上記バッファ室内に、上記真空ロボットの回転時に上記ウエハの遮光角度を検出する複数のθ軸センサと、上記真空ロボットの伸縮時に上記ウエハの遮光距離を検出する複数のＲ軸センサとを備え、
上記θ軸センサと上記Ｒ軸センサとの出力に基づいて、上記ウエハの上記真空ロボットに対する距離データを求め、上記距離データが所定の規格値を超えた場合には、位置ずれ警告を上位装置に報告し、
上記θ軸センサと上記Ｒ軸センサとの出力に基づいて、上記ウエハの上記真空ロボットに対する距離データを求め、上記距離データが更に所定の許容値を越えた場合には、位置ずれエラーとして動作停止を行うことを特徴とする真空搬送装置。
【請求項６】
真空ロボットを備えたバッファ室と、
上記バッファ室に接続された複数の処理室と、
上記バッファ室に接続された複数のロードロック室と、
上記ロードロック室に接続され、大気ロボットを備えたアライナーユニットと、
上記アライナーユニットに接続された複数のカセット戴置台と、
を備えており、上記真空ロボットにより、上記ロードロック室内、あるいは、上記処理室内に配置されたウエハを受け取って回転動作と伸縮動作により、他のロードロック室、あるいは、処理室にウエハを移送する半導体処理装置において、
上記バッファ室内に、上記真空ロボットの回転時に上記ウエハの遮光角度を検出する複数のθ軸センサと、上記真空ロボットの伸縮時に上記ウエハの遮光距離を検出する複数のＲ軸センサとを備え、
上記θ軸センサと上記Ｒ軸センサとの出力に基づいて、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置補正量を求め、上記位置補正量が所定の許容値を外れた場合には、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置データの変更動作を行い、
上記θ軸センサと上記Ｒ軸センサとの出力に基づいて、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置補正量を求め、上記位置補正量が更に所定の規格値を外れた場合には、補正範囲量オーバーエラーとして動作停止を行い、動作停止後は、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置補正量と、上記ウエハの上記真空ロボットに対する位置ずれを確認し位置補正データ変更のリトライ動作が出来、
上記θ軸センサ及び／または上記Ｒ軸センサとの出力に基づいて、上記ウエハの上記真空ロボットに対する距離データを求め、上記距離データが所定の許容値を越えた場合には、位置ずれ警告を上位装置に報告し、
上記θ軸センサ及び／または上記Ｒ軸センサとの出力に基づいて、上記ウエハの上記真空ロボットに対する距離データを求め、上記距離データが更に所定の許容値を超えた場合には、位置ズレエラーとして動作停止を行うことを特徴とする真空搬送装置。
【請求項７】
真空ロボットを備えたバッファ室と、
上記バッファ室に接続された複数の処理室と、
上記バッファ室に接続された複数のロードロック室と、
上記ロードロック室に接続され、大気ロボットを備えたアライナーユニットと、
上記アライナーユニットに接続された複数のカセット戴置台と、
を備えており、上記真空ロボットにより、上記ロードロック室内、あるいは、上記処理室内に配置されたウエハを受け取って回転動作と伸縮動作により、他のロードロック室、あるいは、上記処理室にウエハを移送する半導体処理装置において、
上記バッファ室内に、上記真空ロボットの回転時に上記ウエハの遮光角度を検出する複数のθ軸センサと、上記真空ロボットの伸縮時に上記ウエハの遮光距離を検出する複数のＲ軸センサとを備え、
上記θ軸センサと上記Ｒ軸センサとの出力において、上記θ軸センサの出力が許容値以下の場合には、補正計算不可エラーとして動作停止を行い、
上記θ軸センサおよび上記Ｒ軸センサの出力が複数回あった場合には、補正計算不可エラーとして動作停止を行い、
上記θ軸センサと上記Ｒ軸センサとの出力において、θ軸センサもしくはＲ軸センサの出力がどちらか一方のみであった場合には、補正計算不可エラーとして動作停止を行うことを特徴とする半導体処理装置における真空処理方法。