【誤訳訂正書】
【提出日】平成21年7月17日(2009.7.17)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】  
【請求項１】 
イオンビーム装置であって、 
イオンのビームを磁石によって受け且つ運ぶための飛行チューブを備えた分析磁石であって、前記飛行チューブ内に実質的に均一な磁界を生成して、前記均一な磁界の方向に垂直であり前記飛行チューブの中央部に位置する分散平面に平行に、ビームイオンを質量／電荷の比によって偏向するように作動可能である分析磁石と、 
前記磁石を通って移動するイオンのビームの断面に隣接且つ外側に配置され、且つ磁石を通って移動するビームの飛行路に沿って延びる前記飛行チューブの内側の熱電子ソースとを備え、 
前記熱電子ソースが、さらに、前記分散平面上の前記熱電子ソースの投影部及び前記磁石を通って移動するイオンビームの前記分散平面上の投影部が、ビームの前記飛行路に沿う複数の位置でオーバーラップするように配置されているイオンビーム装置。
【請求項２】 
前記熱電子ソースが、前記分散平面から実質的に離間し且つ該分散平面と平行である平面内の前記飛行路に沿って延びる請求項１に記載のイオンビーム装置。
【請求項３】 
前記熱電子ソースが、熱電子的に電子を放出するように配置され、前記飛行路に沿って延び、前記磁石を通って移動するイオンのビームの中心にほぼ平行に配置される導電性フィラメントを備え、前記フィラメントが、前記分散平面上に投影部を有し、該投影部が、前記フィラメントの長さの少なくとも実質的に一部分に対して、前記磁石を通って移動するイオンのビームの前記分散平面上の前記投影部をオーバーラップする請求項１又は２に記載のイオンビーム装置。
【請求項４】 
前記分散平面上の前記フィラメントの前記投影部が、互いにほぼ平行であり、前記分散平面上のビームの前記投影部の幅全域と離間するように配置される複数の前記導電性フィラメントを備えた請求項３に記載のイオンビーム装置。
【請求項５】 
前記熱電子ソースが、熱電子的に電子を放出するように配置される複数の導電性フィラメントを備え、前記分散平面上に投影部を有する各フィラメントが、前記磁石を通って移動するイオンビームの前記分散平面上の前記投影部の幅の少なくとも一部分にわたって延び、前記フィラメントが、前記飛行路に沿って互いに離間している請求項１又は２に記載のイオンビーム装置。
【請求項６】 
各前記フィラメントの前記投影部が、前記ビーム投影部の幅全域に完全に延びている請求項５に記載のイオンビーム装置。
【請求項７】 
各前記フィラメントがほぼヘアピンのような形状を有している請求項５又は６に記載のイオンビーム装置。
【請求項８】 
前記フィラメント又は前記複数のフィラメントのそれぞれが、タングステンを含有している請求項３から７のいずれか一項に記載のイオンビーム装置。
【請求項９】 
前記フィラメント又は前記複数のフィラメントのそれぞれが、炭素を含有している請求項３から７のいずれか一項に記載のイオンビーム装置。
【請求項１０】 
さらに、前記熱電子ソースと前記飛行チューブの内側との間に配置される少なくとも１つのヒートシールドを備えた請求項１から９のいずれか一項に記載のイオンビーム装置。
【請求項１１】 
前記熱電子ソースが、前記磁石によって生成される磁束によって、前記飛行路に沿う複数の位置で前記ビームにリンクされるように配置されている請求項１に記載のイオンビーム装置。
【請求項１２】 
前記熱電子ソースが、フィラメントのアレイを備えた請求項１１に記載のイオンビーム装置。
【請求項１３】
前記アレイが、実質的に平面であり、前記磁界に垂直である請求項１２に記載のイオンビーム装置。
【請求項１４】 
さらに、電荷中和原子又は分子の供給源を備え、
前記供給源は、熱電子放出された電子によるイオン化のために、前記原子又は分子を前記飛行チューブに導入するように配置されている、請求項１１〜１３のいずれか一項に記載のイオンビーム装置。
【請求項１５】 
前記熱電子ソースが、前記飛行チューブに対して負バイアス電圧を有するように配置された請求項１１〜１４のいずれか一項に記載のイオンビーム装置。
【請求項１６】 
前記熱電子ソースの前記負バイアス電圧が、調節可能である請求項１５に記載のイオンビーム装置。
【請求項１７】 
前記飛行チューブの内側、前記ビームエンベロープの外側、及び前記熱電子ソースと前記飛行チューブの壁との間に配置される電子反射電極をさらに備え、前記電子反射電極が、実質的に平面であり、前記ビームの飛行路に沿って延び、前記分散平面への前記電子反射電極の投影部が、前記平面への前記ビームの投影部を少なくとも部分的にオーバーラップし、前記電子反射電極が、前記熱電子ソースに対して負バイアス電圧を有するようにさらに配置されている請求項１１〜１６のいずれか一項に記載のイオンビーム装置。
【請求項１８】 
前記電子反射電極の前記負バイアス電圧が調節可能である請求項１７に記載のイオンビーム装置。
【請求項１９】 
前記電子反射電極が１枚のグラファイトを備えた請求項１７又は１８に記載のイオンビーム装置。
【請求項２０】 
前記電子反射電極が、さらに、ヒートシールドを備えた請求項１７〜１９のいずれか一項に記載のイオンビーム装置。
【請求項２１】 
第２の電子反射電極をさらに備え、前記電子反射電極及び前記第２の電子反射電極が、前記ビームの対向する両側に配置されている請求項１７〜２０のいずれか一項に記載のイオンビーム装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１７】
本発明の第１の態様によれば、イオンビーム装置が提供され、そのイオンビーム装置は、 
イオンのビームを磁石によって受け且つ運ぶための飛行チューブを備えた分析磁石であって、飛行チューブ内に実質的に均一な磁界を生成して、前記均一な磁界の方向に垂直であり前記飛行チューブの中央部に位置する分散平面に平行に、ビームイオンを質量／電荷の比によって偏向するように作動可能である分析磁石と、
磁石を通って移動するイオンのビームの断面に隣接し且つ外側に配置され、且つ磁石を通って移動するビームの飛行路に沿って延びる飛行チューブの内側の熱電子ソースとを備え、 
さらに、分散平面上の熱電子ソースの投影部、及び磁石を通って移動するイオンビームの分散平面上の投影部が、ビームの飛行路に沿う複数の位置でオーバーラップするように該熱電子ソースが配置されている。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２１】
明らかに、熱電子ソース及びイオンビームの分散平面上の投影部間のオーバーラップの程度が大きければ大きいほど、ビームに入ることが可能なソースから放出される電子の割合が大きくなる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５７】
実質的に同一のエネルギを有する陽イオンのビーム３すべては、飛行チューブ２に入り、磁界によって偏向される。この例において、ビームは、飛行チューブに入るときわずかに発散され、分析磁石は、飛行チューブからの出口の下流に配置される選択電極１０の選択スリット１１において所望の質量／電荷の比を有するイオンだけを集束するように配置されている。入射ビーム３からの所望のイオンの磁石を通る通路の公称プロファイルを、破線３１によって境界をつけて示す。図は平面図であるので、この公称プロファイル３１は、さらに、入射ビームの所望のコンポーネントの通路の分散平面上の公称投影部でもある。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６０】
フィラメント５は、図に示されてない手段によってビームの上の飛行チューブに配置され、ビームの公称中心にほぼ平行に延びている。事実上、この実施形態において、分散平面上へのフィラメントの投影部は、公称ビーム中心ラインの投影部と全く一致している。電源装置９は、フィラメントに熱電子的に電子を放出させるのに十分な温度に加熱するために、フィラメント５に接続されている。フィラメント５の配置により、磁束Ｂにより飛行チューブ２の内側の全長に沿って公称ビームプロファイル３１にリンクされることを確実にする。磁束によって公称ビームプロファイルにリンクされるフィラメントの断面のそれぞれの図を、図２に概略的に示す。さらに、図には、フィラメントから熱電子放出される電子の通路が示されている。図は、この螺旋形の環状コンポーネントの半径を大いに誇張しているが、電子は、フィラメントを通過する磁束に沿って螺線形通路を経て進む。このフラックスもビームをリンクするので、電子は、単にビームに入ることが可能である；適用されたフィールド方向に垂直である電子移動度は、ほとんどゼロである。ひとたびビームの内側に入ると、電子は、ビーム空間電荷を若干中和をすることが可能である。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６２】
10Ｂ及び11Ｂ同位元素の入射イオンビームについて、グラファイトフィラメントからの熱電子放出が、１つの同位元素に対応する出ていくビームだけを向上することが分かった。この結果は、分散平面へのフィラメントの投影部と別の同位元素のイオンの通路の投影部との間の不十分な空間オーバーラップに起因すると考えられる。