【手続補正書】
【提出日】平成23年4月20日(2011.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を保持する移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置され且つ上記被検査体の電極と接触する複数のプローブを有するプローブカードと、上記プローブカードを支持する支持体と、上記載置台を含む各種の機器を制御する制御装置と、を備え、上記プローブカードにテストヘッドを所定の荷重で電気的に接続させた状態で、上記載置台をオーバードライブさせて上記被検査体と上記複数のプローブを電気的に接触させてテスタからの信号に基づいて電気的特性検査を行うプローブ装置であって、上記載置台の現在のオーバードライブ量を測定する距離測定器を上記テストヘッドの少なくとも一箇所または上記プローブカードの少なくとも一箇所に設け、上記制御装置は、上記現在のオーバードライブ量と予め設定された所定のオーバードライブ量を比較し、この比較結果に基づいて上記現在のオーバードライブ量を上記所定のオーバードライブ量となるように補正することを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
上記距離測定器は、レーザー光によって上記距離を測定するレーザー光式測長器であることを特徴とする請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
上記距離測定器は、上記テストヘッドに設けられており、上記載置台上の被検査体の上面までの距離を測定する第１の測定部と、上記プローブカードの上面までの距離を測定する第２の測定部と、を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプローブ装置。
【請求項４】
上記制御装置または上記テスタは、上記載置台上の被検査体と上記複数のプローブが接触し始めた時に上記第１の測定部の測定距離と上記第２の測定部の測定距離との差を第１の距離として求め、上記載置台がオーバードライブした時に上記第１の測定部の測定距離と上記第２の測定部の測定距離との差を第２の距離として求めることを特徴とする請求項３に記載のプローブ装置。
【請求項５】
上記制御装置は、上記第１の距離と上記第２の距離の差を上記現在のオーバードライブ量として求めることを特徴とする請求項４に記載のプローブ装置。
【請求項６】
上記距離測定器は、上記プローブカードに設けられており、上記被検査体の上面までの距離を測定する近接センサとして構成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項７】
上記制御装置は、上記載置台上の被検査体と上記複数のプローブが接触し始めた時に上記距離測定器によって測定された第１の距離と上記載置台がオーバードライブした時に上記距離測定器によって測定された第２の距離との差を上記現在のオーバードライブ量として求めることを特徴とする請求項６に記載のプローブ装置。
【請求項８】
載置台をオーバードライブさせ、上記載置台上の被検査体とプローブカードの複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記載置台のオーバードライブ量を予め設定された所定のオーバードライブ量に補正する方法であって、
上記載置台上の被検査体を上記プローブカードの複数のプローブに接触させる工程と、
上記載置台をオーバードライブさせた時に現在のオーバードライブ量を求める工程と、
上記現在のオーバードライブ量と上記所定のオーバードライブ量とを比較する工程と、上記比較結果に基づいて上記現在のオーバードライブ量が上記所定のオーバードライブ量になるように補正する工程と、を備え、
上記現在のオーバードライブ量を求める工程は、
上記載置台上の被検査体が上記複数のプローブが接触し始めた時に上記被検査体の上面までの距離と上記プローブカードまでの距離をそれぞれ測定し、これら両者間の差を第１の距離として求める工程と、
上記載置台がオーバードライブした時に上記被検査体の上面までの距離と上記プローブカードまでの距離をそれぞれ測定し、これら両者間の差を第２の距離として求める工程と、
上記第１の距離と上記第２の距離との差を現在のオーバードライブ量として求める工程と、を有する
ことを特徴とするコンタクト位置の補正方法。
【請求項９】
載置台をオーバードライブさせ、上記載置台上の被検査体とプローブカードの複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記載置台のオーバードライブ量を予め設定された所定のオーバードライブ量に補正する方法であって、
上記載置台上の被検査体を上記プローブカードの複数のプローブに接触させる工程と、
上記載置台をオーバードライブさせた時に現在のオーバードライブ量を求める工程と、
上記現在のオーバードライブ量と上記所定のオーバードライブ量とを比較する工程と、
上記比較結果に基づいて上記現在のオーバードライブ量が上記所定のオーバードライブ量になるように補正する工程と、を備え、
上記現在のオーバードライブ量を求める工程は、
上記載置台上の被検査体が上記複数のプローブが接触し始めた時に上記被検査体の上面までの第１の距離を測定する工程と、
上記載置台がオーバードライブした時に上記被検査体の上面までの第２の距離を測定する工程と、
上記第１の距離と上記第２の距離との差を現在のオーバードライブ量として求める工程と、
上記現在のオーバードライブ量と上記所定のオーバードライブ量とを比較する工程と、を有する
ことを特徴とするコンタクト位置の補正方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明の請求項８に記載のコンタクト位置の補正方法は、載置台をオーバードライブさせ、上記載置台上の被検査体とプローブカードの複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記載置台のオーバードライブ量を予め設定された所定のオーバードライブ量に補正する方法であって、上記載置台上の被検査体を上記プローブカードの複数のプローブに接触させる工程と、上記載置台をオーバードライブさせた時に現在のオーバードライブ量を求める工程と、上記現在のオーバードライブ量と上記所定のオーバードライブ量とを比較する工程と、上記比較結果に基づいて上記現在のオーバードライブ量が上記所定のオーバードライブ量になるように補正する工程と、を備え、上記現在のオーバードライブ量を求める工程は、上記載置台上の被検査体が上記複数のプローブが接触し始めた時に上記被検査体の上面までの距離と上記プローブカードまでの距離をそれぞれ測定し、これら両者間の差を第１の距離として求める工程と、上記載置台がオーバードライブした時に上記被検査体の上面までの距離と上記プローブカードまでの距離をそれぞれ測定し、これら両者間の差を第２の距離として求める工程と、上記第１の距離と上記第２の距離との差を現在のオーバードライブ量として求める工程と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、本発明の請求項９に記載のコンタクト位置の補正方法は、載置台をオーバードライブさせ、上記載置台上の被検査体とプローブカードの複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行う際に、上記載置台のオーバードライブ量を予め設定された所定のオーバードライブ量に補正する方法であって、上記載置台上の被検査体を上記プローブカードの複数のプローブに接触させる工程と、上記載置台をオーバードライブさせた時に現在のオーバードライブ量を求める工程と、上記現在のオーバードライブ量と上記所定のオーバードライブ量とを比較する工程と、上記比較結果に基づいて上記現在のオーバードライブ量が上記所定のオーバードライブ量になるように補正する工程と、を備え、上記現在のオーバードライブ量を求める工程は、上記載置台上の被検査体が上記複数のプローブが接触し始めた時に上記被検査体の上面までの第１の距離を測定する工程と、上記載置台がオーバードライブした時に上記被検査体の上面までの第２の距離を測定する工程と、上記第１の距離と上記第２の距離との差を現在のオーバードライブ量として求める工程と、上記現在のオーバードライブ量と上記所定のオーバードライブ量とを比較する工程と、を有することを特徴とするものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】