【手続補正書】
【提出日】平成23年5月12日(2011.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の被検査チップが配列されたウエハを、載置台用の駆動部により水平方向及び鉛直方向に移動可能なウエハ載置台に載せ、プローブカードのプローブに前記被検査チップの電極パッドを接触させて被検査チップの検査を行うプローブ装置において、
前記ウエハ載置台に設けられ、前記プローブを撮像するための視野が上向きのプローブ撮像用の撮像手段と、
前記ウエハ載置台及びプローブカードの間の高さ位置にて水平方向に移動可能に設けられた移動体と、
この移動体に設けられ、各々その光軸が互いに離間し、ウエハ表面を撮像するための視野が下向きなウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段と、
ウエハ載置台を移動させることによりプローブ撮像用の撮像手段の焦点とウエハ撮像用の第１の撮像手段の焦点及び第２の撮像手段の焦点との位置を順次合わせて、各時点のウエハ載置台の位置を取得するステップと、ウエハ載置台を移動させることにより前記ウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段によりウエハ載置台上のウエハを順次撮像し、各撮像時のウエハ載置台の位置を取得するステップと、プローブ撮像用の撮像手段によりプローブを撮像し、撮像時のウエハ載置台の位置を取得するステップと、各ステップにて取得したウエハ載置台の位置に基づいてウエハとプローブとを接触させるためのウエハ載置台の位置を計算するステップと、を含むステップ群を実行する制御手段と、を備えたことを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
前記移動体に設けられ、各々その光軸が互いに離間し、ウエハ表面を撮像するための視野が下向きであってかつ第１の撮像手段及び第２の撮像手段よりも倍率の低いウエハ撮像用の第１の低倍率カメラ及び第２の低倍率カメラを備えていることを特徴とする請求項１記載のプローブ装置。
【請求項３】
第１の撮像手段と第１の低倍率用のカメラとの各光軸の組と、第２の撮像手段と第２の低倍率用のカメラとの各光軸の組とは、左右対称に形成されることを特徴とする請求項２記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記ステップ群は、ウエハ撮像用の第１の低倍率カメラ及び第２の低倍率カメラにより、ウエハ載置台上のウエハの周縁の２点を順次撮像し、次いで第１の低倍率カメラ及び第２の低倍率カメラの各光軸を互いに結ぶ線に対して直交してウエハ載置台を移動させ、ウエハにおける前記２点とは反対側の周縁の２点を第１の低倍率カメラ及び第２の低倍率カメラにより順次撮像し、これら４点の撮像時におけるウエハ載置台の位置に基づいてウエハの中心位置を求めるステップを含むことを特徴とする請求項２または３に記載のプローブ装置。
【請求項５】
ウエハ載置台上のウエハの周縁の２点の撮像及び前記反対側の周縁の２点の撮像を、ウエハ撮像用の第１の低倍率カメラ及び第２の低倍率カメラに代えてウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段により行うことを特徴とする請求項４に記載のプローブ装置。
【請求項６】
前記ステップ群は、ウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段により、ウエハ上の互いに離間した２つの特定点を撮像し、各撮像時におけるウエハ載置台の位置に基づいてウエハが予め設定した向きとなるようにウエハ載置台を回転させるステップを含むことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載のプローブ装置。
【請求項７】
ウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段は、前記移動体に撮像手段用の駆動部により互いに接離自在に設けられていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一つに記載のプローブ装置。
【請求項８】
前記制御手段は、ウエハの種別に対応する情報に基づいて、第１の撮像手段及び第２の撮像手段の光軸の互いの離間距離がウエハ上の２つの特定点の互いの離間距離となるように、撮像手段用の駆動部に対する制御信号を出力することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一つに記載のプローブ装置。
【請求項９】
多数の被検査チップが配列されたウエハを、載置台用の駆動部により水平方向及び鉛直方向に移動可能なウエハ載置台に載せ、プローブカードのプローブに前記被検査チップの電極パッドを接触させて被検査チップの検査を行うプロービング方法において、
前記ウエハ載置台に設けられ、前記プローブを撮像するための視野が上向きのプローブ撮像用の撮像手段と、
前記ウエハ載置台及びプローブカードの間の高さ位置にて水平方向に移動可能な移動体に設けられ、各々その光軸が互いに離間し、ウエハ表面を撮像するための視野が下向きなウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段と、を用い、
ウエハ載置台を移動させることによりプローブ撮像用の撮像手段の焦点とウエハ撮像用の第１の撮像手段の焦点及び第２の撮像手段の焦点との位置を順次合わせて、各時点のウエハ載置台の位置を取得する工程と、
ウエハ載置台を移動させることにより前記ウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段によりウエハ載置台上のウエハを順次撮像し、各撮像時のウエハ載置台の位置を取得する工程と、
プローブ撮像用の撮像手段によりプローブを撮像し、撮像時のウエハ載置台の位置を取得するステップと、各ステップにて取得したウエハ載置台の位置に基づいてウエハとプローブとを接触させるためのウエハ載置台の位置を計算する工程と、を備えたことを特徴とするプロービング方法。
【請求項１０】
前記ウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段によりウエハ載置台上のウエハを順次撮像する工程は、ウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段により、ウエハ載置台上のウエハの周縁の２点を順次撮像し、次いで第１の撮像手段及び第２の撮像手段の各光軸を互いに結ぶ線に対して直交してウエハ載置台を移動させ、ウエハにおける前記２点とは反対側の周縁の２点を第１の撮像手段及び第２の撮像手段により順次撮像し、これら４点の撮像時におけるウエハ載置台の位置に基づいてウエハの中心位置を求める工程を含むことを特徴とする請求項９記載のプロービング方法。
【請求項１１】
前記ウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段によりウエハ載置台上のウエハを順次ウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段により、ウエハ上の互いに離間した２つの特定点を撮像し、各撮像時におけるウエハ載置台の位置に基づいてウエハが予め設定した向きとなるようにウエハ載置台を回転させる工程を含むことを特徴とする請求項９または１０記載のプロービング方法。
【請求項１２】
ウエハの種別に対応する情報に基づいて、ウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段の光軸の互いの離間距離がウエハ上の２つの特定点の互いの離間距離となるように、撮像手段用の駆動部により第１の撮像手段及び第２の撮像手段の位置を調整する工程を含むことを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか一つに記載のプロービング方法。
【請求項１３】
多数の被検査チップが配列されたウエハを、載置台用の駆動部により水平方向及び鉛直方向に移動可能なウエハ載置台に載せ、プローブカードのプローブに前記被検査チップの電極パッドを接触させて被検査チップの検査を行うプローブ装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項８ないし１１のいずれか一つに記載されたプロービング方法を実施するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また前記ステップ群は、ウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段により、ウエハ上の互いに離間した２つの特定点を撮像し、各撮像時におけるウエハ載置台の位置に基づいてウエハが予め設定した向きとなるようにウエハ載置台を回転させるステップを含む。またウエハ撮像用の第１の撮像手段及び第２の撮像手段は、前記移動体に撮像手段用の駆動部により互いに接離自在に設けられている。そして、前記制御手段は、ウエハの種別に対応する情報に基づいて、第１の撮像手段及び第２の撮像手段の光軸の互いの離間距離がウエハ上の２つの特定点の互いの離間距離となるように、撮像手段用の駆動部に対する制御信号を出力する。