【手続補正書】
【提出日】平成20年12月18日(2008.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央の細長い軸に沿って配置されている細長い柱状の微小機械構造体であって、
各層が構造材料からなる複数の積層された構造層と、
前記構造体の近接端部の実質上剛直な基部部分と、
前記中央の軸に沿って、前記基部部分から延伸する弾力性を有する中間部分であって、前記弾力性を有する部分は、前記複数の構造層の少なくとも２つに画定されている複数のアームからなる、中間部分と、
前記構造体の遠位端部の、前記弾力性を有する部分から延伸する接触先端と
を含み、
前記基部は、前記複数の層の少なくとも中間層と外側層とからなり、
前記アームは、前記外側層に画定される、
微小機械構造体。
【請求項２】
前記複数のアームのそれぞれが、前記基部部分に取り付けられている第１端部と前記接触先端に取り付けられている第２端部とを有する、請求項１に記載の微小機械構造体。
【請求項３】
前記複数のアームのそれぞれの前記第２端部が、その対応する第１端部に関して前記中央の軸の周りに配置され、前記構造体がその中央の軸の方向に押圧されたときに、前記接触先端が前記基部部分に対して前記中央の軸の周りを回転する、請求項２に記載の微小機械構造体。
【請求項４】
前記複数のアームのそれぞれの前記第２端部が、前記中央の軸に関してその対応する第１端部と位置合わせされ、前記構造体がその中央の軸の方向に押圧されたときに、前記接触先端が前記基部部分に対して前記中央の軸の周りを回転しない、請求項２に記載の微小機械構造体。
【請求項５】
前記複数のアームのそれぞれが、前記複数の構造層の外側層に画定され、その１つの層に前記第１端部と前記第２端部とを有する、請求項２に記載の微小機械構造体。
【請求項６】
前記複数のアームのそれぞれが、前記外側層の１つの層に画定され、その１つの層に前記第１端部と前記第２端部とを有する、請求項２に記載の微小機械構造体。
【請求項７】
前記複数のアームのそれぞれが、前記複数の構造層の対向する外側層に画定され、各アームが、前記外側層の一方の層に第１端部を、前記外側層の対向する層に前記第２端部を有する、請求項２に記載の微小機械構造体。
【請求項８】
前記複数のアームのそれぞれが、前記外側層の一方の層を前記外側層の対向する層に接続する中央層の部分をさらに含む、請求項７に記載の微小機械構造体。
【請求項９】
前記複数のアームのそれぞれが、前記外側層の一方の層を前記対向する外側層の対向する層に接続する接合部分をさらに含む、請求項７に記載の微小機械構造体。
【請求項１０】
前記複数のアームが二重螺旋形状を画定する、請求項１に記載の微小機械構造体。
【請求項１１】
前記複数の構造層のそれぞれが、パターン形成された犠牲基板上に構造材料を付着し、かつその犠牲基板を除去することにより形成されている、請求項１に記載の微小機械構造体。
【請求項１２】
前記弾力性を有する部分の前記複数のアームが曲がりくねった形状を有する、請求項１に記載の微小機械構造体。
【請求項１３】
前記複数の構造層の外側層が、前記基部部分と前記接触先端の間の中間の前記弾力性を有する部分において、一点で互いに接続されている、請求項１に記載の微小機械構造体。
【請求項１４】
前記接触先端が前記複数の構造層の本質的に剛直な積層からなる、請求項１に記載の微小機械構造体。
【請求項１５】
前記複数の構造層のそれぞれが、ニッケル、コバルト、およびこれらの合金から選択された材料を含む、請求項１に記載の微小機械構造体。
【請求項１６】
前記構造体を概して被覆する導電性材料からなる被覆をさらに含む、請求項１に記載の微小機械構造体。
【請求項１７】
軸に沿って配置されているタイプの複数の接触プローブであって、それぞれの接触プローブは、
接触部分と、
基部部分と、
当該接触部分と当該基部部分の間に配置されている弾力性を有する部分と
を含み、前記弾力性を有する部分が複数のアームを含み、前記接触プローブは、押圧されたときに前記基部部分に対して前記接触部分をツイストするように構成されている、複数の接触プローブと、
前記複数の接触プローブが挿入されている貫通孔部を有する基板であって、前記接触部分の少なくとも一部分が前記貫通孔部から外に延伸するように、前記接触プローブのそれぞれの弾力性を有する部分が前記接触部分を付勢する基板と
を含む、探針装置。
【請求項１８】
前記貫通孔部がねじ山を付けられ、前記接触プローブのそれぞれの前記接触部分が、前記貫通孔部のねじ山と可動の係合をするねじ係合構造をさらに含む、請求項１７に記載の探針装置。
【請求項１９】
前記接触プローブのそれぞれが、前記基板の表面に対して配置されているアンカー部をさらに含む、請求項１７に記載の探針装置。
【請求項２０】
前記貫通孔部のそれぞれがねじ山のついた管状部を含む、請求項１７に記載の探針装置。
【請求項２１】
前記ねじ山のついた管状部のそれぞれがロジウムを含む、請求項２０に記載の探針装置。
【請求項２２】
前記接触部分を通る各接触構造の前記軸、前記基部部分、前記接触構造の前記弾力性を有する部分、および各接触プローブは、前記接触構造の前記軸に関してツイストするように構成されている、請求項１７に記載の探針装置。
【請求項２３】
軸に沿って配置されているタイプの複数の接触プローブであって、それぞれの接触プローブは、
複数の積層された構造層と、
前記構造層に画定された接触部分と、
前記構造層に画定された基部部分と、
前記接触部分と前記基部部分との間に配置された弾力性を有する部分であって、前記弾力性を有する部分は、前記複数の層のうちの少なくとも２つに画定された複数のアームを含む、弾力性を有する部分と、
前記複数の接触プローブが挿入されている貫通孔部を有する基板であって、前記接触部分の少なくとも一部分が前記貫通孔部から外に延伸するように、前記接触プローブのそれぞれの弾力性を有する部分が前記接触部分を付勢し、前記貫通孔のそれぞれは均一の直径を有する、基板と
を含む、探針装置。
【請求項２４】
前記複数のアームのそれぞれは、前記基部部分に取り付けられている第１端部と、前記接触部分に取り付けられている第２端部とを含み、前記複数のアームのそれぞれの前記第２端部は、その対応する第１端部に関して前記軸の周りに配置され、前記接触プローブが押圧されたときに、前記接触部分が前記基部部分に対して前記中央の軸の周りを回転する、請求項１７に記載の探針装置。
【請求項２５】
前記接触プローブのそれぞれは、複数の積層された構造層を含み、
前記接触部分は、前記積層された構造層に画定され、
前記基部部分は、前記積層された構造層に画定され、
前記複数のアームは、前記複数の層のうちの少なくとも２つに画定される、
請求項１７に記載の探針装置。
【請求項２６】
前記接触部分は、前記構造層の全てに画定され、
前記基部部分は、前記構造層の全てに画定され、
前記弾力性を有する部分の前記アームのそれぞれは、前記構造層のうちの全てよりも少ない構造層に画定される、
請求項２５に記載の探針装置。
【請求項２７】
前記接触プローブは、押圧されたときに前記基部部分に対して前記接触部分をツイストするように構成されている、請求項２３に記載の探針装置。
【請求項２８】
前記接触部分は、前記構造層の全てに画定され、
前記基部部分は、前記構造層の全てに画定され、
前記弾力性を有する部分の前記アームのそれぞれは、前記構造層のうちの全てよりも少ない構造層に画定される、
請求項２３に記載の探針装置。