Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月4日(2011.4.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
ところで、上述したような触覚ディスプレイ装置では、可動素子の大きさが例えば１〜２ｍｍ程度と大きいことから、触覚解像度も必然的に下がってしまうことになる。さらに、可動素子の応答速度も、映像の動きに十分対応できるものとは言い難かった。また、可動素子では映像の色や輝度変化を表現することができないため、物体の形状および質感はある程度表現できても、映像の詳細については表現することができないという問題があった。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
水平制御信号生成部１０４ｂは、水平同期パルスと画素クロック・パルスに同期してクリア信号Ｃｓとイネーブル信号Ｅｓを生成し、水平シフト・レジスタ１０４ｃに出力する。水平シフト・レジスタ１０４ｃは、画像メモリ１０１（図４参照）から出力された水平ラインの１ライン分の映像信号を順次蓄積する。そして、クリア信号Ｃｓが入力されるタイミングで、映像信号をデジタル・アナログ変換部１０４ｄ１〜１０４ｄｎに対して順次出力する。デジタル・アナログ変換部１０４ｄ１〜１０４ｄｎは、水平シフト・レジスタ１０４ｃから供給される映像信号をアナログの映像信号に変換して、水平データ線Ｌｄｐ１〜Ｌｄｐｎのそれぞれに出力する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
図１０（ａ）には水平同期パルスを示してあり、図１０（ｂ）には垂直同期パルスを示してある。水平同期パルスは映像信号の１水平ライン毎に発するパルスであり、垂直同期パルスは映像信号の１フレーム毎に発するパルスである。図１０の（ｃ）〜（ｈ）には、垂直アドレス線Ｌａ１からＬａｍまでを示してあり、垂直アドレス線Ｌａ５〜Ｌａｍ−２までは図示を省略している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
なお、ここまで説明した実施の形態では、振動素子Ｐｅによる振動によって、画面上に表示させた画像の質感を再現する場合を例に挙げたが、これに限定されるものではない。例えば、疑似カラー表示することにより表現される内容と、振動とを対応させるようにしてもよい。自然画で表現される領域での温度分布を疑似カラー表示する場合などは、一番温度の高い部分を示す色に対応させて、振動素子Ｐｅを振動させるようにする等の用法が考えられる。また、絵柄は平坦であるが、画素値が穏やかに変化しているグラデーションのある画像などを疑似カラー表示する場合に、階調の境目部分に配置された振動素子Ｐｅを振動させることで、グラデーションを振動で表現することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
さらに、鼓動している心臓の動画像を振動で再現する医療用アプリケーションに適用してもよい。この場合は、映像中から、心臓部分の特徴量として動きベクトルの代表値や平均値を算出したり、または面積などを算出する。そして、算出された値と比例する振動を振動素子Ｐｅに行わせるようにすればよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
【図１】本発明の一実施の形態によるシステムの構成例を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施の形態によるスクリーンの構成例を示す側面図である。
【図３】本発明の一実施の形態による振動素子の駆動例を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施の形態によるシステムの内部構成例を示すブロック図である。
【図５】本発明の一実施の形態による振動子の振動時間を決定する各パラメータの算出例を示す説明図である。
【図６】本発明の一実施の形態による振動時間決定ＬＵＴの構成例を示す説明図である。
【図７】本発明の一実施の形態による画像と正規化振動時間との対応例を示す説明図であり、（ａ）は画像を示し、（ｂ）は画像に対応して設定された正規化振動時間を示す。
【図８】本発明の一実施の形態による画像表示パネル用の垂直駆動部及び水平駆動部の内部構成例を示すブロック図である。
【図９】本発明の一実施の形態による振動素子パネル用の垂直駆動部及び水平駆動部の内部構成例を示すブロック図である。
【図１０】本発明の一実施の形態による振動素子パネル用の垂直駆動部の動作の例を示すタイミングチャートである。
【図１１】本発明の一実施の形態による振動素子パネル用の水平駆動部の動作の例を示すタイミングチャートである。
【図１２】本発明の一実施の形態による画像表示装置における処理の例を示すフローチャートである。
【図１３】本発明の他の形態例による画素と振動素子との対応例を示す説明図である。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月15日(2011.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絞り込み動作を行うためのレンズ側バネ手段を含む絞り機構を備えた撮影レンズと、装着された撮影レンズの絞り機構を絞り込み動作するための絞りモータとボディ側バネ手段を含む絞り駆動機構を備えたカメラボディとで構成されるレンズ交換式カメラにおいて、前記カメラボディには前記レンズ側バネ手段のバネ定数に応じて前記絞りモータに供給する駆動電流を制御するための電流制御手段を備え、前記撮影レンズには前記レンズ側バネ手段のバネ定数を記憶するレンズ側記憶手段を備え、前記カメラボディの電流制御手段は前記レンズ側記憶手段に記憶されたバネ定数を読み出して前記駆動電流を制御することを特徴とするレンズ交換式カメラの絞り駆動装置。
【請求項２】
前記レンズ側バネ手段のバネ力と前記絞りモータの回転力は同一方向に動作し、前記ボディ側バネ手段のバネ力はこれと反対方向に動作することを特徴とする請求項１に記載のレンズ交換式カメラの絞り駆動装置。
【請求項３】
前記レンズ側バネ手段と前記絞りモータは絞り込み方向に動作し、前記ボディ側バネ手段はこれと反対方向に動作することを特徴とする請求項２に記載のレンズ交換式カメラの絞り駆動装置。
【請求項４】
前記電流制御手段は、前記レンズ側バネ手段のバネ定数が小さいときに前記絞りモータに供給する駆動電流を増大する制御を行うことを特徴とする請求項２又は３に記載のレンズ交換式カメラの絞り駆動装置。
【請求項５】
前記レンズ側バネ手段は撮影レンズの絞り込み動作を行う絞り連動棹を絞り込み方向に動作させるための絞り連動棹復元バネであり、前記絞りモータは前記絞り連動棹を駆動させるためにカメラボディ側に設けられた絞りスライド板を絞り込み方向に駆動させ、前記ボディ側バネ手段は前記絞りスライド板を絞り開放方向に復帰動作させるための絞りスライド板復帰バネであることを特徴とする請求項３又は４に記載のレンズ交換式カメラの絞り駆動装置。
【請求項６】
前記絞りモータはステップモータであり、前記電流制御手段は絞りモータに供給するパルス信号の周波数又はデューティ比を制御することを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のレンズ交換式カメラの絞り駆動装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、絞り込み動作を行うためのレンズ側バネ手段を含む絞り機構を備えた撮影レンズと、装着された撮影レンズの絞り機構を絞り込み動作するための絞りモータとボディ側バネ手段を含む絞り駆動機構を備えたカメラボディとで構成されるレンズ交換式カメラにおいて、カメラボディにはレンズ側バネ手段のバネ定数に応じて絞りモータに供給する駆動電流を制御するための電流制御手段を備え、撮影レンズにはレンズ側バネ手段のバネ定数を記憶するレンズ側記憶手段を備え、カメラボディの電流制御手段は当該レンズ側記憶手段に記憶されたバネ定数を読み出して駆動電流を制御することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明においては、例えば、レンズ側バネ手段と絞りモータは同一方向に動作し、ボディ側バネ手段はこれと反対方向に動作する絞り駆動装置に適用する。特に、本発明では、レンズ側バネ手段と絞りモータは絞り込み方向に動作し、ボディ側バネ手段はこれと反対方向に動作する構成とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
なお、レンズＲＯＭを備えていない撮影レンズ、あるいはレンズＲＯＭは備えているが当該レンズＲＯＭに絞り連動棹復元バネ２４７のバネ定数を記憶していない撮影レンズについては次のようにすればよい。すなわち、図９に示すように、絞り駆動機構１７のフレーム１７１の一部に絞りスライド板１７３の移動量を検出するフォトリフレクタ１７８を設ける。例えば、図示は省略するが絞りスライド板１７３の一部の一側面に移動方向に複数本のバーを配列した目盛り、例えばバーコードのようなものを配設しておき、フォトリフレクタ１７８がこの目盛りを光学的に読み取ることで絞りスライド板１７３の移動位置を検出し、この検出に基づいて絞り駆動機構１７での絞り込み動作が行われていることを認識するようにする。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月12日(2011.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボトルモータによりトナーボトルを回転させて前記トナーボトル内のトナーを現像器に補給する画像形成装置において、
前記ボトルモータの回転周期を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された前記ボトルモータの回転周期から前記トナーボトル内のトナー残量を判断する判断手段と、を備えることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記検出手段により検出された前記ボトルモータの回転周期と前記トナーボトル内のトナー残量を示す値として予め設定されたしきい値とを比較する比較手段を備え、
前記判断手段は、前記比較手段による比較結果に基づいて前記トナーボトル内のトナー残量を判断することを特徴とする請求項１記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記しきい値は、トナー少状態を判断する第１のしきい値と、トナー無し状態を判断する第２のしきい値であり、
前記第２のしきい値は前記第１のしきい値よりも小さく、
前記判断手段は、前記比較手段による比較の結果、
前記ボトルモータの回転周期が前記第１のしきい値以上である場合、前記トナーボトル内に前記トナー少状態を超えてトナーがあると判断し、
前記ボトルモータの回転周期が前記第１のしきい値未満、且つ、前記第２のしきい値以上である場合、前記トナーボトル内が前記トナー少状態にあると判断し、
前記ボトルモータの回転周期が前記第２のしきい値未満の場合、前記トナーボトル内が前記トナー無し状態にあると判断することを特徴とする請求項２記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記判断手段は、
前記トナーボトル内が前記トナー無し状態と判断した場合、前記ボトルモータの回転を停止するとともにトナー無しである旨をユーザーに通知し、
前記トナーボトル内が前記トナー少状態と判断した場合、トナー少状態である旨をユーザーに通知を行うとともに、前記ボトルモータを一定時間回転させて前記トナーボトル内のトナーを前記現像器に補給し、
前記トナーボトル内に前記トナー少状態を超えてトナーがあると判断した場合、前記ボトルモータを前記一定時間と同じ時間だけ回転させて前記トナーボトル内のトナーを前記現像器に補給することを特徴とする請求項３記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記ボトルモータの回転周期を記憶する記憶手段を有し、
前記判断手段は、前記検出手段により検出された前記ボトルモータの回転周期が前記記憶手段に記憶されている直前に検出された前記ボトルモータの回転周期に対して変化がない場合は、正常にトナーが補給されていないと判断することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記目的を達成するために、請求項１記載の画像形成装置は、ボトルモータによりトナーボトルを回転させて前記トナーボトル内のトナーを現像器に補給する画像形成装置において、前記ボトルモータの回転周期を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された前記ボトルモータの回転周期から前記トナーボトル内のトナー残量を判断する判断手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
ボトルモータ２０１からは回転状態を表す信号（ＦＧ信号）が周期的に発生しており、この信号は、制御部２０３上の回転状態検出部３０２に伝達される。ここで、回転状態の周期（ＦＧ信号の周期＝回転周期）を検出し、回転状態比較部３０３にて回転周期“Ｔ”（以下「周期“Ｔ”」と記す）と、予め設定されている周期との比較を行う。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
ボトルモータ２０１は、回転を開始すると回転状態を回転状態検出部３０２に対して出力する。ここでは、回転状態検出部３０２は、周期“Ｔ”を検出することとする（ステップＳ４０３）。回転状態検出部３０２は、検出された回転状態の周期やスピード・電流を確認し、回転状態比較部３０３へ状態を伝達する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2009258352.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2009258352.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月28日(2011.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
力学量を検出する力学量検出装置が出力する検出結果のアナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換装置であって、
前記検出結果のアナログ信号をサンプリングしてフィルタ処理を行う離散時間型フィルタと、
前記離散時間型フィルタによってフィルタ処理されたアナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換処理を行うＡＤ変換部と、を含み、
前記離散時間型フィルタは、
前記力学量検出装置が出力する同期クロック信号に基づいて、前記ＡＤ変換処理に対するアンチエリアスフィルタとしてのフィルタ処理を行うことを特徴とするＡＤ変換装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記同期クロック信号に基づいて、前記離散時間型フィルタが前記検出結果のアナログ信号をサンプリングするためのフィルタクロック信号を生成するフィルタクロック生成部を含み、
前記フィルタクロック生成部は、
外部からの設定値に基づいて前記同期クロック信号を分周した前記フィルタクロック信号を生成することを特徴とするＡＤ変換装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記同期クロック信号に基づいて、前記ＡＤ変換処理のタイミングを制御するＡＤ変換制御部を含むことを特徴とするＡＤ変換装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記ＡＤ変換制御部は、
外部からの設定値に基づいた周期で前記ＡＤ変換処理が行われるように制御することを特徴とするＡＤ変換装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記離散時間型フィルタは、スイッチトキャパシタフィルタであることを特徴とするＡＤ変換装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
ｎ（ｎ≧２）個の前記力学量検出装置の各々に対応して設けられたｎ個の前記離散時間型フィルタと、
ｎ個の前記離散時間型フィルタによってフィルタ処理されたｎ個のアナログ信号から時分割に１のアナログ信号を順に選択するフィルタ選択部を含み、
前記ＡＤ変換部は、
前記フィルタ選択部によって時分割に順に選択されたアナログ信号に対して前記ＡＤ変換処理を行い、
ｎ個の前記離散時間型フィルタは、
ｎ個の前記力学量検出装置が略同じタイミングでそれぞれ検出したｎ個のアナログ信号に対してそれぞれフィルタ処理したｎ個のアナログ信号が前記フィルタ選択部によって時分割に順に選択されるように、それぞれ位相遅延が調整されていることを特徴とするＡＤ変換装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のＡＤ変換装置と、
前記力学量検出装置と、
前記ＡＤ変換装置により前記検出結果のアナログ信号がＡＤ変換されたデジタル信号に基づいて処理を行う処理部と、を含むことを特徴とする電子機器。
【請求項８】
駆動信号に基づいて振動し、外部から加えられた力学量に応じて変調されたアナログ信号を出力する振動子と、
前記駆動信号と同じ周波数の同期クロック信号を生成する同期クロック生成回路と、
前記振動子が出力するアナログ信号又は当該アナログ信号を増幅した信号に対して前記同期クロック信号に基づいて同期検波を行い、力学量に応じて復調された信号成分を含むアナログ信号を生成する同期検波回路と、
前記同期検波回路が出力するアナログ信号をサンプリングしてフィルタ処理を行う離散時間型フィルタと、
前記離散時間型フィルタによってフィルタ処理されたアナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換処理を行うＡＤ変換部と、を含み、
前記離散時間型フィルタは、
前記同期クロック信号に基づいて、前記同期検波により発生する不要信号を減衰させるためのフィルタとしてのフィルタ処理と、前記ＡＤ変換処理に対するアンチエリアスフィルタとしてのフィルタ処理を行うことを特徴とする力学量検出装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記同期クロック信号に基づいて、前記離散時間型フィルタが前記検出結果のアナログ信号をサンプリングするためのフィルタクロック信号を生成するフィルタクロック生成部を含み、
前記フィルタクロック生成部は、
外部からの設定値に対応する周波数を有する前記フィルタクロック信号を生成することを特徴とする力学量検出装置。
【請求項１０】
請求項８又は９において、
前記同期クロック信号に基づいて、前記ＡＤ変換処理のタイミングを制御するＡＤ変換制御部を含むことを特徴とする力学量検出装置。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記ＡＤ変換制御部は、
外部からの設定値に対応する分周比で前記同期クロックを分周した周期で前記ＡＤ変換処理が行われるように制御することを特徴とする力学量検出装置。
【請求項１２】
請求項８乃至１１のいずれかにおいて、
前記離散時間型フィルタは、スイッチトキャパシタフィルタであることを特徴とする力学量検出装置。
【請求項１３】
請求項８乃至１２のいずれかに記載の力学量検出装置と、
前記力学量検出装置の検出結果に基づいて処理を行う処理部と、を含むことを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
（１）本発明は、
力学量を検出する力学量検出装置が出力する検出結果のアナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換装置であって、
前記検出結果のアナログ信号をサンプリングしてフィルタ処理を行う離散時間型フィルタと、
前記離散時間型フィルタによってフィルタ処理されたアナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤ変換処理を行うＡＤ変換部と、を含み、
前記離散時間型フィルタは、
前記力学量検出装置が出力する同期クロック信号に基づいて、前記ＡＤ変換処理に対するアンチエリアスフィルタとしてのフィルタ処理を行うことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
力学量検出装置は、例えば、加速度センサーや角速度センサー（ジャイロセンサー）であってもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月14日(2011.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両を駐車可能な場所である駐車場所を探索する探索要求を受け付けた場合に、前記駐車場所の位置を示す駐車場所位置情報と過去に犯罪が発生した場所を示す犯罪発生データとに基づいて、前記探索要求が指定する場所周辺に存在する駐車場所における安全性を示す安全性情報と当該駐車場所を示す駐車場所情報とを提供する駐車場所情報提供手段を有することを特徴とする車両用情報提供装置。
【請求項２】
前記駐車場所情報提供手段は、前記駐車場所情報を複数提供する際には、前記安全性情報に基づいた順位で提供することを特徴とする請求項１に記載の車両用情報提供装置。
【請求項３】
前記駐車場所情報提供手段は、複数の駐車場所情報を一覧表示で提供する際に、当該駐車場所情報を犯罪発生件数の少ない順に並べて提供することを特徴とする請求項２に記載の車両用情報提供装置。
【請求項４】
前記駐車場所情報提供手段は、複数の駐車場所情報を一覧表示で提供する際に、当該駐車場所情報を前記安全性情報に基づいてランク分けし、同一ランクに含まれる駐車場所情報を前記探索要求が指定する場所からの距離に基づいた順位で提供することを特徴とする請求項２に記載の車両用情報提供装置。
【請求項５】
前記駐車場所情報提供手段は、所定期間に発生した犯罪発生件数に基づいて前記ランク分けを行うことを特徴とする請求項４に記載の車両用情報提供装置。
【請求項６】
目的地の指定を受け付ける目的地受付手段をさらに備え、
前記駐車場所情報提供手段は、前記目的地受付手段によって目的地の指定を受け付けた場合に、当該目的地周辺の駐車場所情報を安全性情報に基づいて走行予定経路の終端地点または経由地点として選択することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の車両用情報提供装置。
【請求項７】
前記駐車場所情報提供手段は、前記目的地受付手段が受け付けた目的地が駐車場所を有し、かつ当該駐車場所が前記犯罪発生データから安全であると判断された場合には当該目的地を終端地点および／または経由地点として選択し、前記目的地が安全な駐車場所を持たない場合には周辺の駐車場所情報と安全性情報を提供することを特徴とする請求項６に記載の車両用情報提供装置。
【請求項８】
前記犯罪発生データ用の更新データを取得する更新データ取得手段と、前記更新データを用いて前記犯罪発生データを更新する更新手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の車両用情報提供装置。
【請求項９】
前記犯罪発生データは、駐車車両からの物品盗難、部品盗難、車両自体の盗難のうち少なくともいずれかの発生状況を示す情報であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の車両用情報提供装置。
【請求項１０】
前記駐車場所情報提供手段は、前記駐車場所の情報を地図上に表示する際に、前記安全性情報に基づいて駐車場所を示す表示の表示態様を異ならせることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一つに記載の車両用情報提供装置。
【請求項１１】
前記駐車場所情報提供手段は、前記駐車場所の情報を地図上に表示する際に、駐車場所を示す表示の近傍に前記安全性情報を表示することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一つに記載の車両用情報提供装置。
【請求項１２】
過去に犯罪が発生した場所を示す犯罪発生データを提供する犯罪発生データサーバと、
車両を駐車可能な場所である駐車場所を探索する探索要求を受け付ける探索要求受付手段と、
前記探索要求受付手段から前記探索要求を受け付けた場合に、前記駐車場所の位置を示す駐車場所位置情報と前記犯罪発生データサーバから取得された犯罪発生データとに基づいて、前記探索要求が指定する場所周辺に存在する駐車場所における安全性を示す安全性情報と当該駐車場所を示す駐車場所情報とを提供する駐車場所情報提供手段と、
を備えたことを特徴とする車両用情報提供システム。
【請求項１３】
車両を駐車可能な場所である駐車場所を探索する探索要求を受け付ける探索要求受付工程と、
前記探索要求受付工程において前記探索要求を受け付けた場合に、駐車場所位置情報データベースから取得された前記駐車場所の位置を示す駐車場所位置情報と犯罪発生データベースから取得された過去に犯罪が発生した場所を示す犯罪発生データとに基づいて、前記探索要求が指定する場所周辺に存在する駐車場所における安全性を示す安全性情報と当該駐車場所を示す駐車場所情報とを提供する駐車場所情報提供工程と、
を含んだことを特徴とする車両用情報提供方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】車両用情報提供装置、車両用情報提供システムおよび車両用情報提供方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、施設情報を提供する車両用情報提供技術に関し、特に車両からの盗難を防止する車両用情報提供装置、車両用情報提供システムおよび車両用情報提供方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上述した従来技術における問題点を解消し、課題を解決するためになされたものであり、犯罪発生データを有効利用して、安全な場所への車両駐車を支援する車両用情報提供装置、車両用情報提供システムおよび車両用情報提供方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上述した問題を解決し、目的を達成するため、本発明にかかる車両用情報提供装置、車両用情報提供システムおよび車両用情報提供方法は、車両を駐車可能な駐車場所を探索する探索要求を受け付けた場合に、駐車場所の位置を示す駐車場所位置情報と、過去に犯罪が発生した場所を示す犯罪発生データとに基づいて、探索要求が指定する場所周辺に存在する駐車場所における安全性を示す安全性情報と当該駐車場所を示す駐車場所情報とを提供する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明によれば、駐車時に犯罪発生データを有効活用し、犯罪が発生しにくい安全な場所への車両駐車を支援する車両用情報提供装置、車両用情報提供システムおよび車両用情報提供方法を得ることができるという効果を奏する。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月21日(2011.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する像担持体と、前記像担持体にトナー像を形成する作像手段と、給電手段からそれぞれに異なる極性の電圧が印加されて前記像担持体の表面からトナーを静電的に吸着して除去する複数の導電性のクリーニング部材を備えるクリーニング装置と、を有する画像形成装置において、
前記給電手段から給電される複数の電流量を検知する電流量検知手段と、画像形成中に前記電流量検知手段により検知される複数の電流量の検知結果に基づいて前記クリーニング装置のクリーニング条件を制御する制御手段と、を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記クリーニング部材が前記像担持体に接触して駆動手段により回転駆動されて前記像担持体の表面を摺擦するファーブラシであることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記クリーニング条件の制御は、前記給電手段から印加する電圧を変化させる制御であることを特徴とする請求項１又は２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記クリーニング条件の制御は、前記ファーブラシの回転速度を変化させる制御であることを特徴とする請求項２に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記クリーニング条件の制御は、前記ファーブラシの前記像担持体に対する接触面積を変化させる制御であることを特徴とする請求項２に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記像担持体はトナー像の一次転写を受け、該トナー像を記録材に二次転写する中間転写体であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記の目的を達成するための本発明に係る画像形成装置の代表的な構成は、回転する像担持体と、前記像担持体にトナー像を形成する作像手段と、給電手段からそれぞれに異なる極性の電圧が印加されて前記像担持体の表面からトナーを静電的に吸着して除去する複数の導電性のクリーニング部材を備えるクリーニング装置と、を有する画像形成装置において、前記給電手段から給電される複数の電流量を検知する電流量検知手段と、画像形成中に前記電流量検知手段により検知される複数の電流量の検知結果に基づいて前記クリーニング装置のクリーニング条件を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
各画像形成部のドラムの面に形成される上記のトナー像はそれぞれ一次転写部Ｔ１にて、第２の像担持体としての、回転駆動されるエンドレスでフレキシブルな弾性中間転写ベルト（中間転写体：以下、ベルトと記す）５の面に対して順次に重畳転写される。これにより、ベルト５の面に上記４つのトナー像の重ね合わせによる未定着のフルカラートナー像が合成形成される。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月18日(2011.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が減少する樹脂、
（Ｂ）カチオン重合性化合物、
（Ｃ）光カチオン重合開始剤、
（Ｄ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、を含有することを特徴とするネガ型レジスト組成物。
【請求項２】
樹脂（Ａ）が、側鎖に酸の作用によりラクトン環を形成する構造を有する樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のネガ型レジスト組成物。
【請求項３】
樹脂（Ａ）が、脂環式構造を有する樹脂であることを特徴とする請求項１又は２に記載のネガ型レジスト組成物。
【請求項４】
樹脂（Ａ）が、（ａ１）アルカリ現像液に対する溶解性を持つ基を含む繰り返し単位を有する樹脂であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のネガ型レジスト組成物。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のネガ型レジスト組成物を用いて形成したレジスト膜。
【請求項６】
請求項５に記載のレジスト膜を露光する工程、該レジスト膜を現像する工程、とを含む、レジストパターン形成方法。
【請求項７】
前記露光が、液浸露光であることを特徴とする請求項６に記載のレジストパターン形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
〔１〕
（Ａ）酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が減少する樹脂、
（Ｂ）カチオン重合性化合物、
（Ｃ）光カチオン重合開始剤、
（Ｄ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、を含有することを特徴とするネガ型レジスト組成物。
〔２〕
樹脂（Ａ）が、側鎖に酸の作用によりラクトン環を形成する構造を有する樹脂であることを特徴とする〔１〕に記載のネガ型レジスト組成物。
〔３〕
樹脂（Ａ）が、脂環式構造を有する樹脂であることを特徴とする〔１〕又は〔２〕に記載のネガ型レジスト組成物。
〔４〕
樹脂（Ａ）が、（ａ１）アルカリ現像液に対する溶解性を持つ基を含む繰り返し単位を有する樹脂であることを特徴とする〔１〕〜〔３〕のいずれか一項に記載のネガ型レジスト組成物。
〔５〕
〔１〕〜〔４〕のいずれか一項に記載のネガ型レジスト組成物を用いて形成したレジスト膜。
〔６〕
〔５〕に記載のレジスト膜を露光する工程、該レジスト膜を現像する工程、とを含む、レジストパターン形成方法。
〔７〕
前記露光が、液浸露光であることを特徴とする〔７〕に記載のレジストパターン形成方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
【化５】
2009258506.tif 000001
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
式（ＡＳＳ−１）〜（ＡＳＳ−３）中、
ＲM11、ＲM12、ＲM13は上記一般式（ＡＳＭ−１）および（ＡＳＭ−２）中のＲM11、ＲM12、ＲM13と同義である。
Ｘｈｅは上記一般式（ＡＳＭ−１１）中のＸｈｅと同義である。
*はアルカリ可溶性樹脂の側鎖に結合する結合手を表す。
Ｌｓは単結合またはｎＦ＋１価の連結基を表す。
ｍは０以上の整数を表す。好ましくは０または１である。
ｎFは１以上の整数を表す。好ましくは１である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４６】
【化４１】
2009258506.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２６７】
式（ＩＳ−１）中、Ａｓ−はアニオンを表し、ｐＫａが７以下のブレンステッド酸を発生するアニオンが好ましい。さらに非求核性のアニオンであることが好ましく、このようなアニオンとしては例えば無機アニオンとして、ＢＦ４−、Ｃｌ−、ＣｌＯ４−、ＡｓＦ６−、ＰＦ６−、ＦｅＣｌ４−、ＺＢｉＣｌ４−、ＳｎＣｌ４−、ＡｌＦ６−、ＧａＣｌ４−、ＩｎＦ４−、ＴｉＦ６−、ＺｒＦ６−、ＳｂＦ６−などが挙げられ、有機アニオンとして、スルホン酸アニオン、カルボン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、ビス（アルキルスルホニル）イミドアニオン、トリス（アルキルスルホニル）メチルアニオンなどを挙げることができる。非求核性アニオンとは、求核反応を起こす能力が著しく低いアニオンであり、分子内求核反応による経時分解を抑制することができるアニオンである。これによりレジストの経時安定性が向上する。該スルホニウム塩系化合物を本発明に使用する場合には、有機アニオンであることが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３９５】
＜レジスト調製＞
下記表に示す成分を溶剤に溶解させ、それぞれについて固形分濃度４．８質量％の溶液を調製し、これを０．１μｍのポアサイズのポリエチレンフィルターで濾過してネガ型レジスト溶液を調製した。調製したネガ型レジスト組成物を下記の方法で評価し、結果を下記表５〜８に示した。尚、表５〜８における各成分について、複数使用した場合の比は質量比である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３９８】
（露光条件（１））における実施例１〜２１、２５、３１〜４８、５４〜７９、８５〜１０８、比較例１〜５、並びに（露光条件（２））における実施例２６〜３０、４９〜５３、８０〜８４、１０９〜１１３について、得られたレジストパターンの、ブリッジマージンを評価した。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３９９】
ブリッジマージンの評価
実施例１〜２１、２５〜１１３及び比較例１〜５で得られた１５０ｎｍ（１：１）のラインアンドスペースレジストパターンを解像する露光量Ｅ０（最適露光量）を走査型電子顕微鏡（日立社製Ｓ−９２６０）を用いて算出し、前記露光量Ｅ０から露光量を多くした時にブリッジが発生する露光量Ｅ１を求め、下記式で得られる値を算出し、それをブリッジマージンの指標とした。
ブリッジマージン（％）＝（Ｅ１ −Ｅ０ ）／Ｅ０ ×１００
上記で算出した値が大きいほど性能が良好である事を示す。結果を表５〜８に示した。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月13日(2011.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トナー像を担持可能なトナー像担持面を有する無端状のベルトと、前記ベルトの内面に接触可能な第１ローラと、前記第１ローラを移動させて前記ベルトに掛かるテンションを変化可能なテンション可変手段と、前記ベルトの前記トナー像担持面側に接離可能な第２ローラと、前記第２ローラ及び前記ベルトの接離状態を判定する判定手段と、を備える画像形成装置であって、
前記テンション可変手段によって前記第１ローラを前記ベルトに当接するように移動させ、前記ベルトに加えられるテンションを増加させた後に、前記判定手段によって前記第２ローラ及び前記ベルトの接離状態を判定させる制御部を備えることを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記第２ローラに電圧を印加可能な電圧印加手段と、
前記電圧印加手段によって電圧を印加された前記第２ローラに流れる電流を検知する電流検知手段とを備え、
前記判定手段は、前記電流検知手段で検知される電流値が所定の電流閾値よりも大きいか否かを判定することによって前記第２ローラ及び前記ベルトの接離状態を判定することを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記第２ローラ及び前記ベルトを離間させる離間手段を有し、
前記制御部は、前記離間手段によって前記第２ローラ及び前記ベルトが離間状態であるか否かを判断して記憶することが可能であり、
前記制御部は、前記テンション可変手段によって前記第１ローラを前記ベルトに当接するように移動させる際に前記離間手段によって前記第２ローラ及び前記ベルトが離間状態であると記憶している場合、前記判定手段によって前記第２ローラ及び前記ベルトの接離状態を判定し、前記第２ローラ及び前記ベルトが当接状態であると判定すると前記ベルトの回転駆動を開始することを特徴とする請求項２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第２ローラ及び前記ベルトが当接状態であると判定して前記ベルトの回転駆動を開始する際に、前記第２ローラ及び前記ベルトが当接状態であると記憶することを特徴とする請求項３に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記第２ローラ及び前記ベルトを離間させる離間手段を有し、
前記制御部は、前記離間手段によって前記第２ローラ及び前記ベルトが離間状態であるか否かを判断して記憶することが可能であり、
前記制御部は、前記テンション可変手段によって前記第１ローラを前記ベルトに当接するように移動させる際に前記離間手段によって前記第２ローラ及び前記ベルトが離間状態であると記憶している場合、前記判定手段によって前記第２ローラ及び前記ベルトの接離状態を判定し、前記第２ローラ及び前記ベルトが離間状態であると判定すると、離間状態であることをユーザに警告することを特徴とする請求項３に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記離間手段は、スペーサ部材を備えることを特徴とする請求項３乃至請求項５のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明の画像形成装置は、トナー像を担持可能なトナー像担持面を有する無端状のベルトと、前記ベルトの内面に接触可能な第１ローラと、前記第１ローラを移動させて前記ベルトに掛かるテンションを変化可能なテンション可変手段と、前記ベルトの前記トナー像担持面側に接離可能な第２ローラと、前記第２ローラ及び前記ベルトの接離状態を判定する判定手段と、を備える画像形成装置であって、前記テンション可変手段によって前記第１ローラを前記ベルトに当接するように移動させ、前記ベルトに加えられるテンションを増加させた後に、前記判定手段によって前記第２ローラ及び前記ベルトの接離状態を判定させる制御部を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成23年5月6日(2011.5.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ア）（Ａ）一般式（ｎＩ）又は一般式（ｎＩＩ）で表される繰り返し単位を含有し、酸の作用により有機溶剤を含有するネガ型現像液に対する溶解度が減少する樹脂、（Ｂ）光酸発生剤及び（Ｃ）溶剤を含有するネガ型現像用レジスト組成物を塗布する工程、
（イ）露光工程、
（エ）前記ネガ型現像液を用いて現像する工程
を含むパターン形成方法。
【化１】
2009258586.tif 000001
一般式（ｎＩ）及び一般式（ｎＩＩ）において、
Ｒ13'〜Ｒ16'は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、又はラクトン構造を有する基を表す。
Ｘ１およびＸ２は、各々独立にメチレン基、エチレン基、酸素原子又は硫黄原子を表す。
ｎは、０〜２の整数を表す。
【請求項２】
更に、（ウ）アルカリ現像液であるポジ型現像液を用いて現像する工程を含む請求項１に記載のパターン形成方法。
【請求項３】
前記ネガ型現像液が、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤からなる群より選択される少なくとも１種類の有機溶剤を含有する請求項１又は２に記載のパターン形成方法。
【請求項４】
前記ネガ型現像液が、下記一般式（１）で表される溶剤を含有する請求項１〜３のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【化２】
2009258586.tif 000002
一般式（１）に於いて、
Ｒ及びＲ’は、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシル基、アルコキシカルボニル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。Ｒ及びＲ’は、互いに結合して環を形成してもよい。
【請求項５】
前記ネガ型現像液が、酢酸アルキルを含有する請求項１〜４のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項６】
前記ネガ型現像液が、酢酸ブチルを含有する請求項５に記載のパターン形成方法。
【請求項７】
前記ネガ型現像液中の、全溶剤の総質量に占めるハロゲン原子を含まない有機溶剤の含有量が６０質量％以上である請求項１〜６のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項８】
前記ネガ型現像液を用いた現像の後に、有機溶剤を含むリンス液を用いて洗浄する請求項１〜７のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項９】
前記リンス液が、炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤からなる群より選択される少なくとも１種類の有機溶剤を含有する請求項８に記載のパターン形成方法。
【請求項１０】
前記リンス液が、アルコール系溶剤を含有する請求項９に記載のパターン形成方法。
【請求項１１】
前記リンス液が、炭素数６〜８の直鎖状、分岐状又は環状の１価のアルコール系溶剤を含有する請求項１０に記載のパターン形成方法。
【請求項１２】
前記リンス液の含水率が３０質量％以下である請求項８〜１１のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、下記の構成であり、これにより本発明の上記目的が達成される。
＜１＞  （ア）（Ａ）一般式（ｎＩ）又は一般式（ｎＩＩ）で表される繰り返し単位を含有し、酸の作用により有機溶剤を含有するネガ型現像液に対する溶解度が減少する樹脂、（Ｂ）光酸発生剤及び（Ｃ）溶剤を含有するネガ型現像用レジスト組成物を塗布する工程、
（イ）露光工程、
（エ）前記ネガ型現像液を用いて現像する工程
を含むパターン形成方法。
【化１】
2009258586.tif 000003
一般式（ｎＩ）及び一般式（ｎＩＩ）において、
Ｒ13'〜Ｒ16'は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、又はラクトン構造を有する基を表す。
Ｘ１およびＸ２は、各々独立にメチレン基、エチレン基、酸素原子又は硫黄原子を表す。
ｎは、０〜２の整数を表す。
＜２＞  更に、（ウ）アルカリ現像液であるポジ型現像液を用いて現像する工程を含む上記＜１＞に記載のパターン形成方法。
＜３＞  前記ネガ型現像液が、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤からなる群より選択される少なくとも１種類の有機溶剤を含有する上記＜１＞又は＜２＞に記載のパターン形成方法。
＜４＞  前記ネガ型現像液が、下記一般式（１）で表される溶剤を含有する上記＜１＞〜＜３＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【化２】
2009258586.tif 000004
一般式（１）に於いて、
Ｒ及びＲ’は、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシル基、アルコキシカルボニル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。Ｒ及びＲ’は、互いに結合して環を形成してもよい。
＜５＞  前記ネガ型現像液が、酢酸アルキルを含有する上記＜１＞〜＜４＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
＜６＞  前記ネガ型現像液が、酢酸ブチルを含有する上記＜５＞に記載のパターン形成方法。
＜７＞  前記ネガ型現像液中の、全溶剤の総質量に占めるハロゲン原子を含まない有機溶剤の含有量が６０質量％以上である上記＜１＞〜＜６＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
＜８＞  前記ネガ型現像液を用いた現像の後に、有機溶剤を含むリンス液を用いて洗浄する上記＜１＞〜＜７＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
＜９＞  前記リンス液が、炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤からなる群より選択される少なくとも１種類の有機溶剤を含有する上記＜８＞に記載のパターン形成方法。
＜１０＞  前記リンス液が、アルコール系溶剤を含有する上記＜９＞に記載のパターン形成方法。
＜１１＞  前記リンス液が、炭素数６〜８の直鎖状、分岐状又は環状の１価のアルコール系溶剤を含有する上記＜１０＞に記載のパターン形成方法。
＜１２＞  前記リンス液の含水率が３０質量％以下である上記＜８＞〜＜１１＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
本発明は、上記＜１＞〜＜１２＞に記載の構成を有するものであるが、以下、他の事項も含めて記載している。
【手続補正書】
【提出日】平成23年5月6日(2011.5.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ア）（Ａ）一般式（Ｉ−ａ）で表される酸分解性繰り返し単位を含有し、酸の作用により有機溶剤を含有するネガ型現像液に対する溶解度が減少する樹脂、（Ｂ）光酸発生剤及び（Ｃ）溶剤を含有するネガ型現像用レジスト組成物を塗布する工程、
（イ）露光工程、
（エ）前記ネガ型現像液を用いて現像する工程
を含むパターン形成方法。
【化１】
2009258585.tif 000001
一般式（Ｉ−ａ）において、
Ｘａ１は水素原子、アルキル基、シアノ基、又はハロゲン原子を表す。
Ａは、単結合又は２価の連結基を表す。
Ｘｐ1は、酸素原子又はメチレン基を表す。
Ｒｘｐ1は、アルキル基を表す。
Ｒｘｐ2〜Ｒｘｐ5は、それぞれ独立に、水素原子またはアルキル基を表し、Ｒｘｐ2〜Ｒｘｐ5のいずれかが互いに結合して環構造を形成しても良い。
【請求項２】
更に、（ウ）アルカリ現像液であるポジ型現像液を用いて現像する工程を含む請求項１に記載のパターン形成方法。
【請求項３】
前記ネガ型現像液を用いた現像の後、前記ポジ型現像液を用いて現像する請求項２に記載のパターン形成方法。
【請求項４】
前記ネガ型現像液が、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤からなる群より選択される少なくとも１種類の有機溶剤を含有する請求項１〜３のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項５】
前記ネガ型現像液が、下記一般式（１）で表される溶剤を含有する請求項１〜４のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【化２】
2009258585.tif 000002
一般式（１）に於いて、
Ｒ及びＲ’は、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシル基、アルコキシカルボニル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。Ｒ及びＲ’は、互いに結合して環を形成してもよい。
【請求項６】
前記ネガ型現像液が、酢酸アルキルを含有する請求項１〜５のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項７】
前記ネガ型現像液が、酢酸ブチルを含有する請求項１〜６のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項８】
前記ネガ型現像液中の、全溶剤の総質量に占めるハロゲン原子を含まない有機溶剤の含有量が６０質量％以上である請求項１〜７のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項９】
前記ネガ型現像液を用いた現像の後に、有機溶剤を含むリンス液を用いて洗浄する請求項１〜８のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【請求項１０】
前記リンス液が、炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤からなる群より選択される少なくとも１種類の有機溶剤を含有する請求項９に記載のパターン形成方法。
【請求項１１】
前記リンス液が、アルコール系溶剤を含有する請求項１０に記載のパターン形成方法。
【請求項１２】
前記リンス液が、炭素数６〜８の直鎖状、分岐状又は環状の１価のアルコール系溶剤を含有する請求項１１に記載のパターン形成方法。
【請求項１３】
前記リンス液の含水率が３０質量％以下である請求項９〜１２のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、下記の構成であり、これにより本発明の上記目的が達成される。
＜１＞（ア）（Ａ）一般式（Ｉ−ａ）で表される酸分解性繰り返し単位を含有し、酸の作用により有機溶剤を含有するネガ型現像液に対する溶解度が減少する樹脂、（Ｂ）光酸発生剤及び（Ｃ）溶剤を含有するネガ型現像用レジスト組成物を塗布する工程、
（イ）露光工程、
（エ）前記ネガ型現像液を用いて現像する工程
を含むパターン形成方法。
【化１】
2009258585.tif 000003
一般式（Ｉ−ａ）において、
Ｘａ１は水素原子、アルキル基、シアノ基、又はハロゲン原子を表す。
Ａは、単結合又は２価の連結基を表す。
Ｘｐ1は、酸素原子又はメチレン基を表す。
Ｒｘｐ1は、アルキル基を表す。
Ｒｘｐ2〜Ｒｘｐ5は、それぞれ独立に、水素原子またはアルキル基を表し、Ｒｘｐ2〜Ｒｘｐ5のいずれかが互いに結合して環構造を形成しても良い。
＜２＞  更に、（ウ）アルカリ現像液であるポジ型現像液を用いて現像する工程を含む上記＜１＞に記載のパターン形成方法。
＜３＞  前記ネガ型現像液を用いた現像の後、前記ポジ型現像液を用いて現像する上記＜２＞に記載のパターン形成方法。
＜４＞  前記ネガ型現像液が、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤からなる群より選択される少なくとも１種類の有機溶剤を含有する上記＜１＞〜＜３＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
＜５＞  前記ネガ型現像液が、下記一般式（１）で表される溶剤を含有する上記＜１＞〜＜４＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
【化２】
2009258585.tif 000004
一般式（１）に於いて、
Ｒ及びＲ’は、各々独立に、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシル基、アルコキシカルボニル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、シアノ基又はハロゲン原子を表す。Ｒ及びＲ’は、互いに結合して環を形成してもよい。
＜６＞  前記ネガ型現像液が、酢酸アルキルを含有する上記＜１＞〜＜５＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
＜７＞  前記ネガ型現像液が、酢酸ブチルを含有する上記＜１＞〜＜６＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
＜８＞  前記ネガ型現像液中の、全溶剤の総質量に占めるハロゲン原子を含まない有機溶剤の含有量が６０質量％以上である上記＜１＞〜＜７＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
＜９＞  前記ネガ型現像液を用いた現像の後に、有機溶剤を含むリンス液を用いて洗浄する上記＜１＞〜＜８＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
＜１０＞  前記リンス液が、炭化水素系溶剤、ケトン系溶剤、エステル系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤及びエーテル系溶剤からなる群より選択される少なくとも１種類の有機溶剤を含有する上記＜９＞に記載のパターン形成方法。
＜１１＞  前記リンス液が、アルコール系溶剤を含有する上記＜１０＞に記載のパターン形成方法。
＜１２＞  前記リンス液が、炭素数６〜８の直鎖状、分岐状又は環状の１価のアルコール系溶剤を含有する上記＜１１＞に記載のパターン形成方法。
＜１３＞  前記リンス液の含水率が３０質量％以下である上記＜９＞〜＜１２＞のいずれか一項に記載のパターン形成方法。
本発明は、上記＜１＞〜＜１３＞に記載の構成を有するものであるが、以下、他の事項も含めて記載している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３４４】
2009258585.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月3日(2011.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に基板表面の延在方向に形成された半導体導波路から少なくとも構成され、該導波路の屈折率を変化させることにより光の透過量、光路または分散量の少なくとも一つを制御する光学素子において、
該導波路に接合界面が基板表面の法線方向に存在するように少なくとも二つのpn接合部が設けられていることを特徴とする光学素子。
【請求項２】
該pn接合部に電界を印加することにより導波路内の空間電荷を変化させて屈折率変化をもたらし、透過する光を制御することを特徴とする請求項１記載の光学素子。
【請求項３】
導波路の光伝播方向と平行方向にpn接合部の界面が設けられていることを特徴とする請求項１記載の光学素子。
【請求項４】
導波路の延在方向の法線方向にpn接合部の界面が設けられていることを特徴とする請求項１記載の光学素子。
【請求項５】
pn接合界面が導波路の光伝播方向と垂直であり、かつ、前記導波路断面の延在方向に平行に設けられていることを特徴とする請求項１記載の光学素子。
【請求項６】
該導波路を構成する半導体材料がシリコン単体またはシリコンを主体とするものであることを特徴とする請求項１記載の光学素子。
【請求項７】
その素子が透過する光の強度を変化させる光変調器および可変光減衰器、光の光路を変化させる光スイッチまたは透過する光の分散量を制御する分散補償素子であることを特徴とする請求項１記載の光学素子。
【請求項８】
その素子がマッハツェンダー光干渉計、リング共振器、方向性結合器またはリング共振器であることを特徴とする請求項１記載の光学素子。