【手続補正書】
【提出日】平成21年6月19日(2009.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザから射出されて入力される光のスペクトルの帯域幅を測定するための帯域幅計測器であって、
前記レーザから射出された光の帯域幅を示す第１のパラメータを表す第１の出力と、該レーザから射出された光の帯域幅を示す第２のパラメータを表す第２の出力とを提供する光帯域幅モニタと、
前記光帯域幅モニタに固有の所定の較正変数を用いる多変数方程式の一部として前記第１の出力及び前記第２の出力を用いて実帯域幅パラメータを計算する実帯域幅計算装置と、
を含み、
前記多変数方程式は、対称性に敏感な項を含むことを特徴とする帯域幅計測器。
【請求項２】
前記実帯域幅パラメータは、前記レーザから射出された光のスペクトルの全幅内の最大値のある百分率におけるスペクトル全幅（「ＦＷＸＭ」）を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記実帯域幅パラメータは、前記レーザから射出された光のスペクトルの全スペクトルのエネルギーのある百分率を含むスペクトルのコンテンツを定める前記スペクトル上の２点間の幅（「ＥＸ」）を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記帯域幅モニタは、エタロンを更に含み、前記第１の出力は、ＦＷＸＭにおける前記エタロンの光出力の縞の幅、又は前記レーザから射出された光の全スペクトルのエネルギーのある百分率を含む前記スペクトル上の２点間の幅（「ＥＸ’」）のうちの少なくとも一方を表し、前記第２の出力は、Ｘ≠Ｘ’’及びＸ’≠Ｘ’’’であるときに、第２のＦＷＸ’’Ｍ又はＥＸ’’’のうちの少なくとも一方を表すことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記帯域幅モニタは、エタロンを更に含み、前記第１の出力は、ＦＷＸＭにおける前記エタロンの光出力の縞の幅、又は前記レーザから射出された光の全スペクトルのエネルギーのある百分率を含む前記スペクトル上の２点間の幅（「ＥＸ’」）のうちの少なくとも一方を表し、前記第２の出力は、Ｘ≠Ｘ’’及びＸ’≠Ｘ’’’であるときに、第２のＦＷＸ’’Ｍ又はＥＸ’’’のうちの少なくとも一方を表すことを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記予め計算された較正変数は、更に、信頼できる基準を用いて、較正スペクトルに対する前記第１及び第２の出力の発生と相関のある、前記実帯域幅パラメータの値の測定から導出されることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項７】
前記実帯域幅パラメータの値は、更に、次式、
推定実ＢＷパラメータ＝Ｋ*ｗ1＋Ｌ*ｗ2＋Ｍ
から計算され、ここで、ｗ1＝ＦＷＸＭ又はＥＸ’を表す第１の測定出力、及びｗ2は、ＦＷＸ’’Ｍ又はＥＸ’’’を表す第２の測定出力であることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記対称性に敏感な項は、更に、前記レーザから射出された光のスペクトルにおける非対称性に起因する前記実帯域幅パラメータの誤差に対する誤差修正を含むことを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記対称性に敏感な項は、更に、前記第１のパラメータ及び前記第２のパラメータの各々についての、波長空間における中点の位置間の差を含むことを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
前記第１のパラメータ及び前記第２のパラメータは、更に、該第１のパラメータ及び該第２のパラメータを測定するために用いられる縞パターンにおける小さな非対称性に十分敏感であるのに十分なだけ遠く離れるように選択されることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
レーザ光源のエネルギーの波長分布に従って前記レーザ光源の出力を含むエネルギーを空間的又は時間的領域内に分散させる光学的分散機器と、
エネルギーの波長分布の空間的又は時間的変動をそれぞれ記録し、前記記録された空間的又は時間的変動に基づいて出力信号を提供する検出器と、
それぞれ前記検出器によって記録されたエネルギーの波長分布の前記空間的又は時間的変動に基づいて、それぞれ空間又は時間領域において、エネルギーの波長分布の幅を計算し、前記分散機器の光学的特性に従って前記空間的又は時間的分布を波長領域にそれぞれ変換する第１の計算装置と、
前記光源、前記分散機器、前記検出器、及び引数とみなされる少なくとも１つの幅に固有の所定の較正変数を有する多変数方程式の引数として前記少なくとも１つの幅を適用することによって、前記第１の計算装置により計算された、前記波長領域におけるエネルギーの波長分布の該少なくとも１つの幅を用いる第２の計算装置と、
を含み、
前記多変数方程式は、対称項を含む
ことを特徴とする帯域幅計測器。
【請求項１２】
前記第１の計算装置及び前記第２の計算装置は、更に、同じ計算装置を含むことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
Ｘ≠Ｘ’及びＸ’’≠Ｘ’’’であるときに、前記少なくとも１つの幅は、更に、前記光源から射出された光のスペクトルの全幅内の最大値のある百分率におけるスペクトル全幅（「ＦＷＸＭ」）及び（「ＦＷＸ’Ｍ」）と、該光源から射出された光のスペクトルの全スペクトルのエネルギーのある百分率を含むスペクトルのコンテンツを定める前記スペクトル上の２点間の幅（「ＥＸ’’」）及び（「ＥＸ’’’」）とを含む群から選択される少なくとも２つの幅を含むことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１４】
前記多変数方程式の値を評価して、前記群ＦＷＸ*Ｍ、ＥＸ**から選択された前記光源によるエネルギー出力のスペクトル分布を記述する実帯域幅パラメータを計算することを更に含むことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１５】
前記対称性に敏感な項は、更に、前記レーザから射出された光のスペクトルにおける非対称性に起因する前記実帯域幅パラメータの誤差に対する誤差修正を含むことを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記対称性に敏感な項は、更に、前記第１のパラメータ及び前記第２のパラメータの各々についての、波長空間における中点の位置間の差を含むことを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
前記第１のパラメータ及び前記第２のパラメータは、更に、該第１のパラメータ及び該第２のパラメータを測定するために用いられた縞パターンにおける小さな非対称性に十分敏感であるのに十分なだけ遠くに離れるように選択されることを特徴とする請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
レーザから射出されて入力される光のスペクトルの帯域幅を測定するための帯域幅計測器であって、
前記レーザから射出された光の帯域幅を示す第１のパラメータを表す第１の出力と、該レーザから射出された光の帯域幅を示す第２のパラメータを表す第２の出力とを提供する光帯域幅モニタと、
前記光帯域幅モニタに固有の所定の較正変数を用いる多変数方程式の一部として前記第１の出力及び前記第２の出力を用いて実帯域幅パラメータを計算する実帯域幅計算装置と、
を含み、
前記多変数方程式は、
Ｅ９５〜＝Ａ（ｘ，ｙ）*ＦＷｘ％＋Ｂ（ｘ，ｙ）*ＦＷｙ％＋Ｃ（Ａ，Ｂ，Ｃ；ｘ，ｙ）*（中点（ｘ％）−中点（ｙ％））＋Ｄ
を含むことを特徴とする帯域幅計測器。
【請求項１９】
縞の検出のための線形フォトダイオード・アレイを用いた、高精度でパルス間の波長を測定するためのオンボードの高繰返し率ガス放電レーザ・システムに用いるための分光計であって、
縞パターンを前記線形フォトダイオード・アレイに提供するエタロンと、
測定される縞次数を前記フォトダイオード・アレイ上のより好ましい位置に移動させる縞次数位置決め機構と、
を含むことを特徴とする分光計。
【請求項２０】
前記線形アレイ上の局所的な線形分散（ｄλ／ｄＲ）が十分に小さい、より浅い角度に縞次数を位置決めする縞次数位置決め機構を更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記縞次数位置決め機構は、更に、帯域幅測定コンピュータからの信号に応答して動作されることを特徴とする請求項１９に記載の装置。