【手続補正書】
【提出日】平成23年6月1日(2011.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に、ポリオルガノシロキサンを主材料とし、Ｓｉ−Ｈ結合を含むプラズマ重合膜を備えた第１の被着体の前記プラズマ重合膜の表面にエネルギーを付与して、該プラズマ重合膜の表面を活性化させる第１の工程と、
少なくとも前記第１の被着体と接合される面にプラズマ重合膜を備えない第２の被着体のプラズマ重合膜を備えない面と、前記第１の被着体の前記活性化させたプラズマ重合膜の表面とが密着するように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせ、接合体を得る第２の工程とを有することを特徴とする接合方法。
【請求項２】
前記第２の被着体は、その表面に、水酸基、および前記第２の被着体中の結合が切れてなる活性な結合手の少なくとも一方が存在しており、
前記第２の工程において、前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記表面とを密着させる請求項１に記載の接合方法。
【請求項３】
前記第２の被着体は、その表面が酸化膜で覆われている請求項２に記載の接合方法。
【請求項４】
前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物を主成分とするものである請求項１ないし３のいずれかに記載の接合方法。
【請求項５】
前記Ｓｉ−Ｈ結合を含むポリオルガノシロキサンについての赤外光吸収スペクトルにおいて、シロキサン結合に帰属するピーク強度を１としたとき、Ｓｉ−Ｈ結合に帰属するピーク強度が０．００１〜０．２である請求項１ないし４のいずれかに記載の接合方法。
【請求項６】
前記ポリオルガノシロキサンについての赤外光吸収スペクトルにおいて、シロキサン結合に帰属するピーク強度を１としたとき、メチル基に帰属するピーク強度が０．０５〜０．４５である請求項１ないし５のいずれかに記載の接合方法。
【請求項７】
前記プラズマ重合膜の平均厚さは、１０〜１００００ｎｍである請求項１ないし６のいずれかに記載の接合方法。
【請求項８】
前記第１の工程において、前記プラズマ重合膜の表面に、エネルギー線を照射する請求項１ないし７のいずれかに記載の接合方法。
【請求項９】
前記エネルギー線は、波長１５０〜３００ｎｍの紫外光である請求項８に記載の接合方法。
【請求項１０】
前記第１の工程は、大気雰囲気中で行われる請求項１ないし９のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１１】
前記第２の工程の後、前記接合体に熱処理を施す工程を有する請求項１ないし１０のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１２】
前記熱処理の温度は、２５〜１００℃である請求項１１に記載の接合方法。
【請求項１３】
前記第２の工程の後、前記接合体を加圧する工程を有する請求項１ないし１２のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１４】
前記接合体を加圧する際の圧力は、１〜１０ＭＰａである請求項１３に記載の接合方法。
【請求項１５】
前記第１の工程の終了後、６０分以内に、前記第２の工程を開始する請求項１ないし１４のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１６】
前記第１の被着体は、あらかじめ、前記基材上にプラズマによる下地処理を施した後、該下地処理を施した領域に前記プラズマ重合膜を形成してなるものである請求項１ないし１５のいずれかに記載の接合方法。
【請求項１７】
第１の基材および第２の基材と、
Ｓｉ−Ｈ結合を含むポリオルガノシロキサンを主材料とするプラズマ重合膜と、を有し、
前記第１の基材上に設けられた前記プラズマ重合膜を介して、前記第１の基材と前記第２の基材とが接合されていることを特徴とする接合体。
【請求項１８】
請求項１７に記載の接合体を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１９】
請求項１８に記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の接合方法は、基材上に、ポリオルガノシロキサンを主材料とし、Ｓｉ−Ｈ結合を含むプラズマ重合膜を備えた第１の被着体の前記プラズマ重合膜の表面にエネルギーを付与して、該プラズマ重合膜の表面を活性化させる第１の工程と、
少なくとも前記第１の被着体と接合される面にプラズマ重合膜を備えない第２の被着体のプラズマ重合膜を備えない面と、前記第１の被着体の前記活性化させたプラズマ重合膜の表面とが密着するように、前記第１の被着体と前記第２の被着体とを貼り合わせ、接合体を得る第２の工程とを有することを特徴とする。
これにより、２つの基材同士を、高い寸法精度で強固にかつ効率よく接合することができる。
また、Ｓｉ−Ｈ結合は、シロキサン結合の生成が規則的に行われるのを阻害すると考えられる。このため、シロキサン結合は、Ｓｉ−Ｈ結合を避けるように形成されることとなり、ポリオルガノシロキサン中のＳｉ骨格の規則性が低下する。その結果、ポリオルガノシロキサンを主材料とするプラズマ重合膜は、結晶性が低くなり、接合強度、耐薬品性および寸法精度の高いものとなる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の接合方法では、前記第２の被着体は、その表面に、水酸基、および前記第２の被着体中の結合が切れてなる活性な結合手の少なくとも一方が存在しており、
前記第２の工程において、前記プラズマ重合膜と、前記第２の被着体の前記表面とを密着させることが好ましい。
これにより、第２の被着体とプラズマ重合膜との接合強度が向上することとなり、２つの被着体をより強固に接合することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の接合方法では、前記第２の被着体は、その表面が酸化膜で覆われていることが好ましい。
これにより、第２の被着体の表面に水酸基を結合させる処理を施さなくても、２つの被着体をより強固に接合することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の接合方法では、前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物を主成分とするものであることが好ましい。
これにより、接着性に特に優れたプラズマ重合膜が得られる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の接合方法では、前記ポリオルガノシロキサンについての赤外光吸収スペクトルにおいて、シロキサン結合に帰属するピーク強度を１としたとき、メチル基に帰属するピーク強度が０．０５〜０．４５であることが好ましい。
これにより、メチル基がシロキサン結合の生成を必要以上に阻害してしまうのを防止しつつ、ポリオルガノシロキサン中に必要かつ十分な数の活性手が生じるため、プラズマ重合膜に十分な接着性が生じる。また、プラズマ重合膜には、メチル基に起因する十分な耐候性および耐薬品性が発現する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の接合方法では、前記プラズマ重合膜の平均厚さは、１０〜１００００ｎｍであることが好ましい。
これにより、第１の被着体と第２の被着体とを接合した接合体の寸法精度が著しく低下するのを防止しつつ、より強固に接合することができる。
本発明の接合方法では、前記第１の工程において、前記プラズマ重合膜の表面に、エネルギー線を照射することが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜の表面を効率よく活性化させることができる。また、プラズマ重合膜中の構造を必要以上に切断しないので、プラズマ重合膜の特性が低下してしまうのを避けることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の接合方法では、前記エネルギー線は、波長１５０〜３００ｎｍの紫外光であることが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜の特性の著しい低下を防止しつつ、広い範囲をムラなく、より短時間に処理することができる。このため、プラズマ重合膜の表面の活性化をより効率よく行うことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の接合方法では、前記第１の工程は、大気雰囲気中で行われることが好ましい。
これにより、雰囲気を制御することに手間やコストをかける必要がなくなり、活性化処理をより簡単に行うことができる。
本発明の接合方法では、前記第２の工程の後、前記接合体に熱処理を施す工程を有することが好ましい。
これにより、接合体における接合強度をより高めることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の接合方法では、前記熱処理の温度は、２５〜１００℃であることが好ましい。
これにより、接合体が熱によって変質・劣化するのを確実に防止しつつ、接合強度を確実に高めることができる。
本発明の接合方法では、前記第２の工程の後、前記接合体を加圧する工程を有することが好ましい。
これにより、接合体における接合強度をより高めることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の接合方法では、前記接合体を加圧する際の圧力は、１〜１０ＭＰａであることが好ましい。
これにより、基材に損傷等を生じさせることなく、接合体の接合強度を確実に高めることができる。
本発明の接合方法では、前記第１の工程の終了後、６０分以内に、前記第２の工程を開始することが好ましい。
これにより、プラズマ重合膜の表面を十分な活性状態に維持することができ、貼り合せたときに十分な接合強度を得ることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の接合方法では、前記第１の被着体は、あらかじめ、前記基材上にプラズマによる下地処理を施した後、該下地処理を施した領域に前記プラズマ重合膜を形成してなるものであることが好ましい。
これにより、基材の接合面を清浄化および活性化し、接合面上にプラズマ重合膜を形成したとき、接合面とプラズマ重合膜との接合強度を高めることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の接合体は、第１の基材および第２の基材と、
Ｓｉ−Ｈ結合を含むポリオルガノシロキサンを主材料とするプラズマ重合膜と、を有し、
前記第１の基材上に設けられた前記プラズマ重合膜を介して、前記第１の基材と前記第２の基材とが接合されていることを特徴とする。
これにより、２つの基材同士を、高い寸法精度で強固に接合してなる接合体が得られる。
本発明の液滴吐出ヘッドは、本発明の接合体を有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高い液滴吐出ヘッドが得られる。
本発明の液滴吐出装置は、本発明の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い液滴吐出装置が得られる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
次に、本発明の接合方法の実施形態について、上記のプラズマ重合装置１００を用いた場合を例に説明する。
図２および図３は、本発明の接合方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下の説明では、図２および図３中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
本実施形態にかかる接合方法は、第１の基材２１を用意し、第１の基材２１の表面上に、プラズマ重合膜３を形成する工程と、プラズマ重合膜３の表面にエネルギーを付与して、表面を活性化させる工程（第１の工程）と、少なくともプラズマ重合膜３と接合される面にプラズマ重合膜を備えない第２の基材２２を用意し、この第２の基材２２と、活性化させたプラズマ重合膜３の表面とが接触するように、第１の基材２１と第２の基材２２とを貼り合わせ、接合体を得る工程（第２の工程）と、接合体を加熱しつつ加圧する工程とを有する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
［２］次に、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、第１の基材２１の接合面２３に、プラズマ重合膜３を形成する。
かかるプラズマ重合膜３は、強電界中に、原料ガスとキャリアガスとの混合ガスを供給することにより、原料ガス中の分子を重合して得ることができる。
具体的には、まず、チャンバー１０１内に第１の基材２１を収納して封止状態とした後、排気ポンプ１７０の作動により、チャンバー１０１内を減圧状態とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
［３］次に、得られたプラズマ重合膜３の表面３１にエネルギーを付与する。これにより、エネルギーを付与された領域の表面３１付近の結合の一部が切断され、表面３１を活性化させる（第１の工程）。
プラズマ重合膜３の表面３１にエネルギーを付与する方法としては、表面３１を活性化し得る方法であれば、いかなる方法であってもよいが、エネルギー線を照射する方法が好ましい。かかる方法によれば、プラズマ重合膜３の表面３１を効率よく活性化させる。また、この方法によれば、プラズマ重合膜３中の構造を必要以上に（例えば、第１の基材２１との界面に至るまで）切断しないので、プラズマ重合膜３の特性が低下してしまうのを避けることができる。