(57)【要約】  太陽電池基板（２２３）上にインクジェット印刷により形成されるコンタクトマスクは、太陽電池基板（２２３）上に印刷されるべき複数のコンタクトの印刷ビットマップ（２１３）を生成することにより、形成されてもよい。印刷ビットマップ（２１３）の座標を、インクジェットプリンタ（２２０）に位置する太陽電池基板（２２３）の座標に変換することにより、複数のコンタクトを、太陽電池基板（２２３）上に複数のコンタクトを位置させる（２１４）。太陽電池基板（２２３）上の複数のコンタクトの位置は、例えば、質量中心といった、太陽電池基板（２０３）上の１つの位置を基準として規定される。コンタクトマスクは、印刷ビットマップ（２１３）及び複数のコンタクトの位置情報（２１４）を使用して、インクジェットプリンタ（２２０）により印刷される。【選択図】図２Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池基板にインクジェット印刷によりコンタクトマスクを形成する方法であって、
印刷ビットマップに複数のコンタクトを規定する段階であって、前記複数のコンタクトのそれぞれを、インクジェットプリンタによって印刷可能な複数のドット単位で規定する段階と、
太陽電池基板上の１つの位置を基準として、前記複数のコンタクトのそれぞれの位置を規定するコンタクト位置情報を生成する段階と、
前記印刷ビットマップ及び前記コンタクト位置情報を、前記インクジェットプリンタに提供する段階と、
前記印刷ビットマップ及び前記コンタクト位置情報に従って、前記複数のコンタクトを所望の太陽電池基板にインクジェット印刷することにより、コンタクトマスクを、前記所望の太陽電池基板に形成する段階と
を備える方法。
【請求項２】
前記太陽電池基板上の前記１つの位置は、前記太陽電池基板の質量中心である請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記印刷ビットマップに規定される前記複数のコンタクトのそれぞれを、前記所望の太陽電池基板上の対応する位置に位置させる段階をさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記印刷ビットマップに規定される前記複数のコンタクトのそれぞれを、前記所望の太陽電池基板の前記対応する位置に位置させる段階は、前記印刷ビットマップの座標を、前記インクジェットプリンタに配置された状態の前記所望の太陽電池基板の座標に変換する段階を有する請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記印刷ビットマップに規定される前記複数のコンタクトのそれぞれを、前記所望の太陽電池基板の対応する位置に位置させる段階は、前記複数のコンタクトのそれぞれの位置を回転させる段階を有する請求項３に記載の方法。
【請求項６】
前記コンタクト位置情報は、前記太陽電池基板の前記１つの位置を基準として、前記複数のコンタクトのそれぞれの中心を特定する請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記コンタクトマスクは、レジストを含む請求項１に記載の方法。
【請求項８】
コンタクトマスクの複数のコンタクトを規定する印刷ビットマップを生成するコンピュータと、
インクジェットプリンタのノズルによって印刷可能なドット単位で前記複数のコンタクトを規定する前記印刷ビットマップを受信し、前記印刷ビットマップに従って所望の太陽電池基板上に複数のドットを吐出して、前記所望の太陽電池基板上に前記コンタクトマスクを印刷する前記インクジェットプリンタと
を備えるインクジェット印刷システム。
【請求項９】
前記インクジェットプリンタは、前記印刷ビットマップに規定される複数のコンタクトのコンタクト位置情報を受信する請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記コンタクト位置情報は、前記所望の太陽電池基板上の１つの位置を基準として、前記複数のコンタクトを位置させている請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記１つの位置は、前記所望の太陽電池基板の質量中心を含む請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記インクジェットプリンタは、前記印刷ビットマップの座標を、前記所望の太陽電池基板の座標に変換して、前記複数のコンタクトを前記所望の太陽電池基板上に位置させる請求項８に記載のシステム。
【請求項１３】
前記インクジェットプリンタは、前記コンピュータから、コンピュータネットワークを介して前記印刷ビットマップを受信する請求項８に記載のシステム。
【請求項１４】
前記インクジェットプリンタは、前記コンピュータから、取り外し可能データ記憶媒体を介して前記印刷ビットマップを受信する請求項８に記載のシステム。
【請求項１５】
太陽電池基板にインクジェット印刷によりコンタクトマスクを形成する方法であって、
コンタクトマスクとして太陽電池基板上に印刷される複数のコンタクトを規定する印刷ビットマップを、インクジェットプリンタに提供する段階と、
前記インクジェットプリンタに、前記印刷ビットマップを受信する段階と、
前記印刷ビットマップに従って、前記太陽電池基板上に前記コンタクトマスクをインクジェット印刷する段階と
を備える方法。
【請求項１６】
前記太陽電池基板上の１つの位置を基準として前記複数のコンタクトの位置を特定するコンタクト位置情報を、前記インクジェットプリンタに提供する段階をさらに備える請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記太陽電池基板上の前記１つの位置は、前記太陽電池基板の質量中心を含む請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記印刷ビットマップは、コンピュータネットワークを介して、前記インクジェットプリンタに提供される請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
前記印刷ビットマップは、取り外し可能データ記憶媒体を介して、前記インクジェットプリンタに提供される請求項１６に記載の方法。
【請求項２０】
前記印刷ビットマップの座標を、前記太陽電池基板の座標に変換して、前記太陽電池基板上に前記複数のコンタクトを位置させる段階をさらに備える請求項１５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して、太陽電池の製造に関し、これに限定するわけではないが、太陽電池のコンタクトマスクの形成に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタは、複数のノズルを有する印刷ヘッドを備え、ノズルそれぞれが、インクのドットを表面に吐出するように構成されている。吐出された複数のドットによって形成されたパターンは、インクジェットの印刷ヘッドが表面上を随意に動くことにより、印刷が行われる。インクジェット印刷は、典型的なリソグラフィー技術と比較して、相対的に低コストであり、太陽電池製造のようなコストが厳しいアプリケーションに好適である。
【０００３】
インクジェット印刷は、太陽電池のコンタクトマスク形成に使用されている。コンタクトマスクは、太陽電池基板におけるコンタクトホールが形成される領域を規定する。また、コンタクトマスクは、コンタクトホールのエッチングの間、太陽電池のその他の領域を保護する。エッチングが完了すると、コンタクトホールには、"メタルコンタクト"と呼ばれる導電体が埋め込まれ、これにより外部の電気回路と太陽電池の拡散領域とを電気的に接続する。本発明の実施形態は、太陽電池にインクジェット印刷するのに適したコンタクトマスクを形成する技術の改良に関する。
【発明の概要】
【０００４】
太陽電池基板上にインクジェット印刷されるコンタクトマスクは、太陽電池基板上に印刷されるべき複数のコンタクトの印刷ビットマップを生成することにより、形成されてもよい。印刷ビットマップの座標を、インクジェットプリンタに位置する太陽電池基板の座標に変換することにより、太陽電池基板上に複数のコンタクトを位置させてもよい。太陽電池基板上の複数のコンタクトの位置を、例えば、質量中心といった、太陽電池基板上の１つの位置を基準として規定してもよい。コンタクトマスクは、印刷ビットマップ及び複数のコンタクトの位置情報を使用して、インクジェットプリンタにより印刷される。
【０００５】
本発明のこれら及びその他の特徴は、添付の特許請求の範囲及び添付の図面を含む本開示の全体を精読することにより、当業者に明らかとなる。同一の及び同様な要素には、異なる図面間に渡って同じ参照番号が付与されている。また、図面の縮尺は、実寸ではない。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１Ａ】コンタクトマスクにおける複数のコンタクトのスケッチを概略的に示下図である。
【図１Ｂ】図１Ａに示したスケッチから形成された、コンタクトホールの写真である。
【図２Ａ】本発明の実施形態に係るインクジェット印刷システムを概略的に示した図である。
【図２Ｂ】本発明の一実施形態に係る太陽電池基板上のコンタクトマスクを概略的に示した図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る図２Ａに示したインクジェット印刷システムにおけるコンピュータを概略的に示した図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る太陽電池基板にインクジェット印刷を行うためのコンタクトマスクを形成する方法のフローチャートである。
【図５】本発明の一実施形態に係るコンタクトを規定するビットマップ部分を示した図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る図５に示したビットマップ部分によって規定されたコンタクトを示した図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る太陽電池基板を、デカルト座標系における４つの象限に分割した様子を示す図である。
【図８】図７に示した太陽電池基板の一部分の拡大図である。
【図９】印刷ビットマップに規定されている太陽電池基板の座標を、所望の太陽電池基板の座標へと変換する様子を概略的に示した図である。
【図１０】印刷されたコンタクトマスクに対するラスタライズの効果を例示するために、図５に示したビットマップ部分の印刷セルを概略的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
本開示には、装置、構造及び方法の例等の、数多くの詳細事項が提供されており、これは本発明の実施形態の完全な理解を提供するためのものである。当業者であれば、これら詳細事項のうちの１つ又は複数がなくとも、本発明を実施可能であることは理解できる。また、周知の詳細事項については、本発明の側面を曖昧にすること回避するために、記載を省略している。
【０００８】
コンタクトマスク形成の従来の方法では、コンタクトマスクのスケッチを作成し、このスケッチをインクジェットプリンタに供給する。インクジェットプリンタは、このスケッチを印刷用のビットマップに変換し、このビットマップを使用して、太陽電池上にコンタクトマスクを印刷する。この方法は無論有効であるが、ある条件下では、印刷の不正確さが生じる場合があることを発明者は発見した。具体的には、印刷すべき対象物の大きさが、インクジェットプリンタの印刷解像度に非常に近い場合に、スケッチをビットマップに変換すると、正確性が損なわれてしまう場合があった。この問題について、図１Ａ及び図１Ｂを参照して説明する。
【０００９】
図１Ａは、コンタクト１５１−１５４を描いたスケッチ１５０を概略的に示している。コンタクト１５１−１５４はそれぞれ、コンタクトホールのためのものである。スケッチ１５０を、例えば、Ａｕｔｏｃａｄ（登録商標）ソフトウェアのような描画プログラムを使用して、作成してもよい。描画プログラムは、スケッチ１５０をＴＩＦＦ（Ｔａｇｇｅｄ  Ｉｍａｇｅ  Ｆｉｌｅ  Ｆｏｒｍａｔ）ファイルとして出力する。ＴＩＦＦファイルは、インクドットで印刷するインクジェットプリンタを使用して、どのようにコンタクト１５１−１５４を印刷するかについて規定しない。ＴＩＦＦファイルがインクジェットプリンタに入力され、プリンタは、ＴＩＦＦファイルをビットマップに変換する。ビットマップには、ドット単位、すなわち、印刷ヘッドノズルにより吐出されるドット単位で、どのようにコンタクト１５１−１５４が描画されるかが示されている。スケッチ１５０をビットマップに変換する際に不正確さが生じ、その結果、実際に基板に印刷されるコンタクトは、スケッチ１５０に描かれているものと、正確に一致しない。図１Ｂは、スケッチ１５０から形成された、コンタクトホール１６１−１６４の写真である。コンタクトホール１６１−１６４は、太陽電池基板１６０上に形成されている。図１Ｂでは、コンタクトホール１６１−１６４はそれぞれ、コンタクト１５１−１５４に対応している。コンタクト１５１−１５３はそれぞれ同じ大きさであるが、実際に形成されたコンタクトホール１６１−１６３の大きさにはばらつきがあり、コンタクトホール１６１は、コンタクト１５１よりも小さく、コンタクトホール１６３は、コンタクト１５３よりも大きくなっている。概して、コンタクトスケッチと実際に形成されたコンタクトホールとの間に生じる不正確さによって、大き過ぎるコンタクトホールや、開口していないコンタクトホールが形成されてしまう場合がある。
【００１０】
図２Ａは、本発明の一実施形態に係るインクジェット印刷システム２００を概略的に示している。システム２００は、コンピュータ１００及びインクジェットプリンタ２２０を含んでもよい。コンピュータ１００は、インクジェットプリンタ２２０がコンタクトマスク２５０を太陽電池基板２２３に印刷するのに使用するコンタクトマスクデータ２１２を生成する。
【００１１】
コンタクトマスクデータ２１２は、印刷ビットマップ２１３及びコンタクト位置情報２１４を含んでもよい。一実施形態において、印刷ビットマップ２１３は、インクジェットプリンタ２２０によって印刷されるべき複数のドットで表された、コンタクトマスクにおける複数のコンタクトの描写を含む。また、一実施形態では、コンタクト位置情報２１４は、印刷ビットマップ２１３における各コンタクトの位置を特定する。コンタクト位置情報２１４は、基板２２３における、ある１つの位置を基準として、コンタクトの位置を特定してもよく、例えば、基板２２３の質量中心に対してコンタクトの位置を特定してもよい。
【００１２】
インクジェットプリンタ２２０は、印刷ヘッド２２１、ステージ２２２、コントローラ２２４及び記憶媒体２２６を含んでもよい。コンタクトマスクデータ２１２を、コンピュータ２１０からインクジェットプリンタ２２０へと、様々な方法で転送してもよい。例えば、コンピュータネットワーク、取り外し可能データ記憶媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、フラッシュメモリ、ＤＶＤ、ＵＳＢドライブ又はメモリ）、又はＩ／Ｏバス（例えば、ＵＳＢ、ファイヤーワイヤー）を通じて、データ転送を行ってもよい。コンタクトマスクデータ２１２は、コントローラ２２４によってアクセス可能な記憶媒体２２６（例えば、データ記憶デバイス又はメインメモリ／ＲＡＭ）に格納されていてもよい。コントローラ２２４は、コンタクトマスクデータ２１２を処理して、印刷ビットマップ２１３に基づいて印刷すべき複数のコンタクトを特定し、コンタクト位置情報２１４に基づいて複数のコンタクトを基盤２２３のどの場所に印刷すべきかを特定する。コントローラ２２４は、印刷ヘッドノズル２２５からのインク吐出、並びに、ステージ２２２及び印刷ヘッド２２１の動きを制御して、コンタクトマスク２５０を基板２２３に印刷する。一実施形態において、インクジェットプリンタ２２０は、ドイツ、フロイデンシュタットに本社を置くＧｅｂｒ．Ｓｃｈｍｉｄ  ＧｍｂＨ社から販売されているＤｏＤ３００（登録商標）インクジェットプリンタを含んでもよい。本発明の利点から逸脱しない限りにおいて、どのようなインクジェットプリンタを使用してもよい。
【００１３】
図２Ｂは、本発明の一実施形態に係る太陽電池基板２２３上のコンタクトマスク２５０を概略的に示した拡大図である。コンタクトマスク２５０は、複数のコンタクト２５２を含み、複数のコンタクト２５２は、複数のコンタクトホールが形成されるべき太陽電池基板２２３の領域を規定している。太陽電池基板２２３の複数のコンタクト２５２により露出されている部分がエッチングされて、太陽電池基板２２３の拡散領域へのコンタクトホールが形成される。図２Ｂに示す太陽電池基板２２３は、ステージ２２２により支持されている。
【００１４】
図３は、本発明の一実施形態に係る図２Ａに示したコンピュータ１００を概略的に示した図である。コンピュータ１００は、例えば、インテルコーポレーション製又はアドバンスト・マイクロ・デバイシーズ製のプロセッサを含むプロセッサ１０１を備えてもよい。コンピュータ１００は、そこに備えられた様々な構成要素を連結する１以上のバス１０３を含んでもよい。コンピュータ１００は、１以上のＩ／Ｏデバイス１０２（例えば、キーボード、マウス、Ｉ／Ｏバスにより接続される外部装置）、１以上のデータ記憶装置１０６（例えば、ハードドライブ、光学ディスク、ＵＳＢメモリ）、ディスプレイモニタ１０４（例えば、ＬＣＤ、薄型モニタ、ＣＲＴ）、コンピュータネットワークインターフェース１０５（例えば、ネットワークアダプタ、モデム）、及びメインメモリ１０８（例えば、ＲＡＭ）。コンピュータネットワークインターフェース１０５は、インクジェットプリンタ２２０を含むコンピュータネットワーク１０９と連結されていてもよい。コンピュータ１００は、特定のアプリケーションの要求に合わせて、上述よりも多い又は少ない数の構成要素を備えていてもよい。
【００１５】
図３に示す例では、メインメモリ１０８は、コンタクトマスクデータ生成部１２０及びコンタクトマスクライブラリ１２２を含む。コンタクトマスク生成部１２０及びコンタクトマスクライブラリを、データ記憶装置１０６からメインメモリ１０８へとロードして、プロセッサ１０１により実行してもよい。コンタクトマスクデータ生成部１２０は、コンタクトマスクデータ２１２を生成するためのコンピュータ可読プログラムコードを含む。一実施形態において、コンタクトマスクデータ生成部１２０は、コンタクトマスクライブラリ１２２に予め設定されている複数のコンタクトにアクセスする。コンタクトマスクデータ生成部１２０は、コンタクトマスクを設計するエンジニアが、コンタクトマスクライブラリ１２２からコンタクトを選択できるように、ユーザーインターフェースを提供してもよく、エンジニアは、選択したコンタクトをコンタクトマスクに追加し、コンタクトマスクにおける位置を規定する。コンタクトコンタクトマスクデータ生成部１２０は、上記のエンジニアからの入力を、インクジェットプリンタ２２０が読み出すことのできるコンタクトマスクデータ２１２の形式にフォーマットしてもよい。
【００１６】
図４は、本発明の一実施形態に係る太陽電池基板にインクジェット印刷を行うためのコンタクトマスクを形成する方法４００のフローチャートである。図４では、例示することのみを目的として、図２Ａ及び図３に示した構成要素を使用して説明する。本発明の利点を損なわない範囲において、その他の構成要素も使用可能である。
【００１７】
ステップ４０１において、印刷ビットマップ２１３における各コンタクトが規定される。ステップ４０１は、コンタクトマスクデータ生成部１２０を使用して、例えばエンジニアのような人により、実行されてもよい。コンタクトは、太陽電池基板上のどこにコンタクトホール（及びコンタクトホールに埋め込まれる金属コンタクト）を形成すべきかを規定する。規定された複数のコンタクトを、コンタクトマスクライブラリ１２２に格納してもよい。図５及び図６は、ステップ４０１を概略的に示している。
【００１８】
図５は、本発明の一実施形態に係るコンタクトを規定するビットマップ部分５００を示している。その名の通り、ビットマップ部分５００は、印刷ビットマップ２１３の一部分である。図５の例では、ビットマップ部分５００には、印刷ビットマップ２１３の印刷セル５０１（すなわち、５０１−１、５０１−２、・・・、５０１−１６）が示されており、各印刷セル５０１は、インクジェットプリンタ２２０によってどこにドットを印刷すべきかを規定している。印刷ビットマップ２１３は、図５に示されているよりも多い数の印刷セル５０１を有することは明白である。印刷セル５０１のサイズ及びセル間の間隔は、使用されるインクジェットプリンタに依存する。また、ドットの形は、必ずしも円形又は丸みを帯びた形である必要はなく、ノズル２２５の構成に依存する。
【００１９】
インクジェットプリンタ２２０は、ドットの中心が、印刷セル５０１の中心とほぼ一致するように、ドットを印刷してもよい。図５に示す例において、印刷セル５０１の"Ｘ"は、ドットが印刷される位置を表しており、印刷セル５０１の"−"は、ドットが印刷されない位置を表している。図５の例において、ドットは、セル５０１−１、５０１−２、５０１−３、５０１−４、５０１−５、５０１−８、５０１−９、５０１−１２、５０１−１３、５０１−１４、５０１−１５及び５０１−１６に印刷される。セル５０１−６、５０１−７、５０１−１０、及び５０１−１１には、ドットは印刷されない。
【００２０】
印刷ビットマップ２１３は、太陽電池基板に印刷すべき全てのコンタクトのビットマップ定義を有していてもよい。図５に示すように、コンタクトはそれぞれ、インクジェットプリンタによって印刷可能なビットとして規定される。印刷ビットマップ２１３にコンタクトを規定することにより、インクジェットプリンタ２２０は、コンタクトのスケッチをビットマップに変換する必要がなくなり、結果として、より正確なインクジェット印刷されたコンタクトとなる。
【００２１】
図６は、本発明の一実施形態に係るビットマップ部分５００により規定されたコンタクト６００を示している。複数のドット６０１（６０１−１、６０１−２等）は、"Ｘ"と印を付けられた複数の印刷セル５０１に対応する。すなわち、ドット６０１−１は、印刷セル５０１−１に対応し、ドット６０１−２は、印刷セル５０１−２に対応するといったように、以下同様に対応している。コンタクト６００の中心にはドットが配置されず、太陽電池基板の、エッチングによりコンタクトホールが形成される領域が露出されている。
【００２２】
図４に戻り、ステップ４０２では、印刷ビットマップにおけるコンタクトそれぞれの位置が、太陽電池基板上の１つの位置を基準として、規定される。一実施形態において、印刷ビットマップ２１３における各コンタクトの中心は、太陽電池基板の質量中心を基準として規定される。これは、図７及び図８に概略的に示されている。
【００２３】
図７において、本発明の一実施形態に係る太陽電池基板７００は、デカルト座標系における、４つの象限、Ｉ、ＩＩ、ＩＩＩ及びＩＶに分割される。太陽電池基板７００の質量中心は、座標（０，０）にあり、Ｙ軸は７２０−１、Ｘ軸は７２０−２で示されている。図８は、太陽電池基板７００の一部分７１０の拡大図である。図８の例において、ある１つのコンタクトの中心は、座標（０，０）に存在する質量中心を基準として、座標（−０．２５，０．６）に規定されている。印刷ビットマップ２１３における複数のコンタクトの位置を、コンタクト位置情報２１４として格納してもよい。
【００２４】
図４のステップ４０３では、印刷ビットマップ２１３及びコンタクト位置情報２１４が、インクジェットプリンタ２２０に提供される。この例では、コンタクト位置情報２１４は、太陽電池基板２２３の質量中心を基準として、コンタクト各々が印刷されるべき位置を規定する。ステップ４０４では、インクジェットプリンタ２２０が、コンタクトの位置を、印刷すべき太陽電池基板上に決定する。この例では、印刷すべき基板は、ステージ２２２上に配置された太陽電池基板２２３である（図２Ａ参照）。理想的には、太陽電池基板２２３は、ステージ２２２上に正確に配置される。しかし、実際には、正確に配置するのは難しい。具体的には、太陽電池基板２２３は、ステージ２２２上のアライメント位置に対して、斜めに配置されてしまう場合がある。
【００２５】
一実施形態において、ステップ４０４は、インクジェットプリンタ２２０により、印刷ビットマップ２１３の座標を、ステージ２２２上に配置されている太陽電池基板２２３の座標に変換に変換してもよい。これは、図９に概略的に示されており、例えば、位置決め誤差のために、印刷ビットマップ２１３の座標（軸７２０−１及び７２０−２）は、太陽電池基板２２３の座標（軸７４０−１及び７４０−２）と一致しない。インクジェットプリンタ２２０は、ステージ２２２上に太陽電池基板２２３を位置決めするように構成されていてもよく、太陽電池基板２２３の質量中心を特定し、印刷ビットマップ２１３の質量中心と、太陽電池基板２２３の質量中心に重ね合わせる。次いで、インクジェットプリンタ２２０は、印刷ビットマップ２１３に規定されたコンタクトの位置を、太陽電池基板２２３の座標に変換する。図９の例では、印刷ビットマップ２１３におけるコンタクト位置を、太陽電池基板２２３における対応する位置に合うように、回転させてもよい。
【００２６】
図４に戻り、ステップ４０５では、インクジェットプリンタ２２０は、印刷ビットマップ２１３に規定されるコンタクトを、太陽電池基板２２３の対応する位置に印刷する。インクジェットプリンタ２２０は、コンタクトを別々のドットとして印刷するのにレジストを使用してもよく、ドットが印刷されていない場所には、太陽電池基板２２３が露出されるコンタクトマスク２５０が形成される。太陽電池基板２２３が露出した場所は、エッチングされて、コンタクトホールが形成される。コンタクトホールには、導電材料が埋め込まれて、太陽電池基板２２３の拡散領域と連結する金属コンタクトを形成してもよく、これにより外部の電気回路と連結することができ、太陽電池の電力を供給可能となる。
【００２７】
印刷ビットマップ２１３は、ドット単位のコンタクトのビットマップ定義をすでに有しているので、インクジェットプリンタ２２０は、スケッチのビットマップ変換を行う必要がない。これにより、太陽電池基板上に、コンタクトマスクを正確にインクジェット印刷することを確実にすることができる。また、太陽電池基板上のある位置を基準として、各コンタクトの位置を規定することにより、たとえ基板が、ステージ２２２に完璧に整列して配置されていなかったとしても、インクジェットプリンタ２２０は、基板上のコンタクトを印刷すべき位置を特定することができる。
【００２８】
インクジェットプリンタ２２０は、ラスタスキャンにより、コンタクトマスクを印刷する。インクジェットプリンタがビットマップを生成する必要がないため、ラスタライズが、コンタクトの位置に影響を及ぼすかもしれないが、コンタクトのサイズには影響しない。
【００２９】
図１０は、図５に示したビットマップ部分５００の印刷セル５０１−６、５０１−７、５０１−１０及び５０１−１１を概略的に示したものであり、印刷セルはそれぞれ、図６に示したコンタクト６００に対応している。図１０の例では、印刷セル５０１の"＋"は、印刷セルの中心を表している。理想的には、コンタクトは、位置５２０を中心に配置される。しかしながら、ラスタライズ誤差によって、コンタクトの中心が、例えば、印刷セル５０１のいずれか１つの中心といった、どこか別の場所に移動してしまう場合がある。このような場合に考えられる、最も悪い場合のコンタクトの位置は、以下の式で表される。
【００３０】
【数１】
2012503337.tif 000003
【００３１】
ここで、ＤＰＩ＿Ｘ２は、インクジェットプリンタ２２０のｘ軸におけるドット／インチ（ＤＰＩ）解像度であり、ＤＰＩ＿Ｙ２は、インクジェットプリンタ２２０のｙ軸におけるＤＰＩ解像度である。３５μｍの印刷ビットマップ２１３に対して、７２０ＤＰＩ解像度であると仮定すると、コンタクト位置について発生する最大の変動は、±２５μｍであり、従来のコンタクトマスク形成技術を使用した場合の最大変動である±３５μｍよりも、良い結果となっている。
【００３２】
太陽電池基板におけるインクジェット印刷によるコンタクトマスク形成の改良された技術について開示した。本発明の特定の実施形態が提供されたが、これらの実施形態は例示することを目的としており、限定することを意図していないと理解されるべきである。また、この開示を読む当業者にとって、多くの付加的な実施形態が可能であることは明白である。
【図１Ａ】
2012503337.tif 000004
【図１Ｂ】
2012503337.tif 000005
【図２Ａ】
2012503337.tif 000006
【図２Ｂ】
2012503337.tif 000007
【図３】
2012503337.tif 000008
【図４】
2012503337.tif 000009
【図５】
2012503337.tif 000010
【図６】
2012503337.tif 000011
【図７】
2012503337.tif 000012
【図８】
2012503337.tif 000013
【図９】
2012503337.tif 000014
【図１０】
2012503337.tif 000015
【国際調査報告】
2012503337.tif 000016