【手続補正書】
【提出日】平成23年7月14日(2011.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
間隔をあけて配置され、それぞれ開口を有する第１壁と第２壁と、
第１壁と第２壁の間に配置される基板搬送ロボットとを含み、
基板搬送ロボットは、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
第１旋回軸線は第１壁寄りに配置され、
第１アーム部を第１旋回軸線まわりに旋回させた場合に第１アーム部が第２壁に干渉せず、かつ第２旋回軸線が第２壁近傍を通過でき、
第２旋回軸線を第２壁に最も近付けた状態で第２アーム部を第２旋回軸線まわりに旋回させた場合に第２アーム部が第１壁に干渉せず、かつ第３旋回軸線が第１壁近傍を通過でき、
第２旋回軸線を第２壁に最も近付け、かつ第３旋回軸線を第１壁に最も近付けた状態でロボットハンドを第３旋回軸線まわりに旋回させた場合にロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
間隔をあけて配置され、それぞれ開口を有する第１壁と第２壁と、
第１壁と第２壁の間に配置される基板搬送ロボットとを含み、
基板搬送ロボットは、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
第１旋回軸線は第１壁寄りに配置され、
第１アーム部が第１旋回軸線から第２壁に向かって延在し、かつ第２アーム部が第２旋回軸線から第１壁に向かって延在する状態で、第２旋回軸線が第２壁の近傍に位置し、かつ第３旋回軸線が第１壁の近傍に位置し、かつ第１アーム部と第２アーム部が第１壁および第２壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
間隔をあけて配置され、それぞれ開口を有する第１壁と第２壁と、
第１壁と第２壁の間に配置される基板搬送ロボットとを含み、
基板搬送ロボットは、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
第１旋回軸線は第１壁寄りに配置され、
第１旋回軸線から第２旋回軸線に向かう方向を第１壁から第２壁に向かう方向とし、かつ第１旋回軸線から第２旋回軸線に向かう方向と第２旋回軸線から第３旋回軸線に向かう方向をそれぞれ第２壁と垂直な方向かつ互いに逆方向とした場合に、第２旋回軸線が第２壁の近傍に位置し、かつ第３旋回軸線が第１壁の近傍に位置し、かつ第１アーム部と第２アーム部が第１壁および第２壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
第１壁に第１壁側の外部の物体が含まれ、第２壁に第２壁側の外部の物体が含まれることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の基板搬送装置。
【請求項５】
第１アーム部は昇降軸を介して基台に連結されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の基板搬送装置。
【請求項６】
基板搬送装置はフロントエンドモジュール装置であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の基板搬送装置。
【請求項７】
第１壁または第２壁の少なくとも一方に開口が４つ並べて設けられることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の基板搬送装置。
【請求項８】
少なくとも１つの開口にＦＯＵＰオープナが設けられることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の基板搬送装置。
【請求項９】
それぞれ開口を有する第１壁と第２壁が間隔をあけて配置され、各前記開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置に適用できる基板搬送ロボットであって、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
基板搬送装置への少なくとも１つの設置状態において、
第１旋回軸線が第１壁と第２壁の間かつ第１壁寄りに配置され、
第１アーム部を第１旋回軸線まわりに旋回させた場合に第１アーム部が第２壁に干渉せず、かつ第２旋回軸線が第２壁近傍を通過でき、
第２旋回軸線を第２壁に最も近付けた状態で第２アーム部を第２旋回軸線まわりに旋回させた場合に第２アーム部が第１壁に干渉せず、かつ第３旋回軸線が第１壁近傍を通過でき、
第２旋回軸線を第２壁に最も近付け、かつ第３旋回軸線を第１壁に最も近付けた状態でロボットハンドを第３旋回軸線まわりに旋回させた場合にロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項１０】
それぞれ開口を有する第１壁と第２壁が間隔をあけて配置され、各前記開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置に適用できる基板搬送ロボットであって、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
基板搬送装置への少なくとも１つの設置状態において、
第１旋回軸線が第１壁と第２壁の間かつ第１壁寄りに配置され、
第１アーム部が第１旋回軸線から第２壁に向かって延在し、かつ第２アーム部が第２旋回軸線から第１壁に向かって延在する状態で、第２旋回軸線が第２壁の近傍に位置し、かつ第３旋回軸線が第１壁の近傍に位置し、かつ第１アーム部と第２アーム部が第１壁および第２壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項１１】
それぞれ開口を有する第１壁と第２壁が間隔をあけて配置され、前記開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置に適用できる基板搬送ロボットであって、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
基板搬送装置への少なくとも１つの設置状態において、
第１旋回軸線が第１壁と第２壁の間かつ第１壁寄りに配置され、
第１旋回軸線から第２旋回軸線に向かう方向を第１壁から第２壁に向かう方向とし、かつ第１旋回軸線から第２旋回軸線に向かう方向と第２旋回軸線から第３旋回軸線に向かう方向をそれぞれ第２壁と垂直な方向かつ互いに逆方向とした場合に、第２旋回軸線が第２壁の近傍に位置し、かつ第３旋回軸線が第１壁の近傍に位置し、かつ第１アーム部と第２アーム部が第１壁および第２壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項１２】
第１壁に第１壁側の外部の物体が含まれ、第２壁に第２壁側の外部の物体が含まれることを特徴とする請求項９〜１１のいずれか１つに記載の基板搬送ロボット。
【請求項１３】
第１アーム部は昇降軸を介して基台に連結されることを特徴とする請求項９〜１２のいずれか１つに記載の基板搬送ロボット。
【請求項１４】
基板搬送装置はフロントエンドモジュール装置であることを特徴とする請求項９〜１３のいずれか１つに記載の基板搬送装置ロボット。
【請求項１５】
第１壁または第２壁の少なくとも一方に開口が４つ並べて設けられることを特徴とする請求項９〜１４のいずれか１つに記載の基板搬送ロボット。
【請求項１６】
少なくとも１つの開口にＦＯＵＰオープナが設けられることを特徴とする請求項９〜１５のいずれか１つに記載の基板搬送ロボット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板搬送装置および基板搬送ロボット
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ウェハなどの基板を搬送するための基板搬送装置および基板搬送ロボットに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の目的は、外部の物体との干渉を防ぐことができる基板搬送装置および基板搬送ロボットを提供することである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は、開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
間隔をあけて配置され、それぞれ開口を有する第１壁と第２壁と、
第１壁と第２壁の間に配置される基板搬送ロボットとを含み、
基板搬送ロボットは、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
第１旋回軸線は第１壁寄りに配置され、
第１アーム部を第１旋回軸線まわりに旋回させた場合に第１アーム部が第２壁に干渉せず、かつ第２旋回軸線が第２壁近傍を通過でき、
第２旋回軸線を第２壁に最も近付けた状態で第２アーム部を第２旋回軸線まわりに旋回させた場合に第２アーム部が第１壁に干渉せず、かつ第３旋回軸線が第１壁近傍を通過でき、
第２旋回軸線を第２壁に最も近付け、かつ第３旋回軸線を第１壁に最も近付けた状態でロボットハンドを第３旋回軸線まわりに旋回させた場合にロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また本発明は、開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
間隔をあけて配置され、それぞれ開口を有する第１壁と第２壁と、
第１壁と第２壁の間に配置される基板搬送ロボットとを含み、
基板搬送ロボットは、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
第１旋回軸線は第１壁寄りに配置され、
第１アーム部が第１旋回軸線から第２壁に向かって延在し、かつ第２アーム部が第２旋回軸線から第１壁に向かって延在する状態で、第２旋回軸線が第２壁の近傍に位置し、かつ第３旋回軸線が第１壁の近傍に位置し、かつ第１アーム部と第２アーム部が第１壁および第２壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送装置である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また本発明は、開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置であって、
間隔をあけて配置され、それぞれ開口を有する第１壁と第２壁と、
第１壁と第２壁の間に配置される基板搬送ロボットとを含み、
基板搬送ロボットは、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
第１旋回軸線は第１壁寄りに配置され、
第１旋回軸線から第２旋回軸線に向かう方向を第１壁から第２壁に向かう方向とし、かつ第１旋回軸線から第２旋回軸線に向かう方向と第２旋回軸線から第３旋回軸線に向かう方向をそれぞれ第２壁と垂直な方向かつ互いに逆方向とした場合に、第２旋回軸線が第２壁の近傍に位置し、かつ第３旋回軸線が第１壁の近傍に位置し、かつ第１アーム部と第２アーム部が第１壁および第２壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送装置である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また本発明は、第１壁に第１壁側の外部の物体が含まれ、第２壁に第２壁側の外部の物体が含まれることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また本発明は、第１アーム部は昇降軸を介して基台に連結されることを特徴とする。
また本発明は、基板搬送装置はフロントエンドモジュール装置であることを特徴とする。
また本発明は、第１壁または第２壁の少なくとも一方に開口が４つ並べて設けられることを特徴とする。
また本発明は、少なくとも１つの開口にＦＯＵＰオープナが設けられることを特徴とする。
また本発明は、それぞれ開口を有する第１壁と第２壁が間隔をあけて配置され、各前記開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置に適用できる基板搬送ロボットであって、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
基板搬送装置への少なくとも１つの設置状態において、
第１旋回軸線が第１壁と第２壁の間かつ第１壁寄りに配置され、
第１アーム部を第１旋回軸線まわりに旋回させた場合に第１アーム部が第２壁に干渉せず、かつ第２旋回軸線が第２壁近傍を通過でき、
第２旋回軸線を第２壁に最も近付けた状態で第２アーム部を第２旋回軸線まわりに旋回させた場合に第２アーム部が第１壁に干渉せず、かつ第３旋回軸線が第１壁近傍を通過でき、
第２旋回軸線を第２壁に最も近付け、かつ第３旋回軸線を第１壁に最も近付けた状態でロボットハンドを第３旋回軸線まわりに旋回させた場合にロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送ロボットである。
また本発明は、それぞれ開口を有する第１壁と第２壁が間隔をあけて配置され、各前記開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置に適用できる基板搬送ロボットであって、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
基板搬送装置への少なくとも１つの設置状態において、
第１旋回軸線が第１壁と第２壁の間かつ第１壁寄りに配置され、
第１アーム部が第１旋回軸線から第２壁に向かって延在し、かつ第２アーム部が第２旋回軸線から第１壁に向かって延在する状態で、第２旋回軸線が第２壁の近傍に位置し、かつ第３旋回軸線が第１壁の近傍に位置し、かつ第１アーム部と第２アーム部が第１壁および第２壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送ロボットである。
また本発明は、それぞれ開口を有する第１壁と第２壁が間隔をあけて配置され、前記開口を通して基板の搬送を行う基板搬送装置に適用できる基板搬送ロボットであって、
第１旋回軸線が設定される基台と、
基台に連結され、第１旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、
第１アーム部に連結され、第２旋回軸線まわりに旋回でき、第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線が設定される第２アーム部と、
第２アーム部に連結され、第３旋回軸線まわりに旋回でき、第１旋回軸線から最も離れた開口と、その他の開口とにわたって基板を搬送するロボットハンドと、
第１アーム部、第２アーム部およびロボットハンドを駆動する駆動手段とを有し、
基板搬送装置への少なくとも１つの設置状態において、
第１旋回軸線が第１壁と第２壁の間かつ第１壁寄りに配置され、
第１旋回軸線から第２旋回軸線に向かう方向を第１壁から第２壁に向かう方向とし、かつ第１旋回軸線から第２旋回軸線に向かう方向と第２旋回軸線から第３旋回軸線に向かう方向をそれぞれ第２壁と垂直な方向かつ互いに逆方向とした場合に、第２旋回軸線が第２壁の近傍に位置し、かつ第３旋回軸線が第１壁の近傍に位置し、かつ第１アーム部と第２アーム部が第１壁および第２壁のいずれにも干渉せず、かつロボットハンドが第２壁に干渉しないように構成されることを特徴とする基板搬送ロボットである。
また本発明は、第１壁に第１壁側の外部の物体が含まれ、第２壁に第２壁側の外部の物体が含まれることを特徴とする。
また本発明は、第１アーム部は昇降軸を介して基台に連結されることを特徴とする。
また本発明は、基板搬送装置はフロントエンドモジュール装置であることを特徴とする。
また本発明は、第１壁または第２壁の少なくとも一方に開口が４つ並べて設けられることを特徴とする。
また本発明は、少なくとも１つの開口にＦＯＵＰオープナが設けられることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明によれば、アーム部と外部の物体との干渉を防ぐことができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】