【手続補正書】
【提出日】平成22年12月7日(2010.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）無機粉末、
（ｂ）感光性有機成分、
（ｃ）光重合開始剤および／または増感剤、ならびに
（ｄ）下式（１）で示され、フェノキサチン誘導体、フェノキサジン誘導体、アントラキノン誘導体、チアントレン誘導体、チオキサンテン誘導体、キサントン誘導体およびキサンテン誘導体の群から選ばれる少なくとも１種以上である化合物Ａ
を含有する感光性ペーストであって、
該光重合開始剤と該増感剤の含有量の合計と該化合物Ａの含有量が質量比で２０００／１〜２０／１の範囲内であることを特徴とする感光性ペースト。
【化１】
2008257224.tif 000001
（式中、Ｘ、Ｙは、それぞれカルボニル基、酸素原子、硫黄原子または水素もしくは置換基と結合した窒素原子を示し、同一であっても異なっていてもよい。Ｒ１、Ｒ２は、それぞれ水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜２５の範囲内のアルキル基、炭素数５〜８の範囲内のシクロアルキル基、炭素数６〜２０の範囲内のアリール基、炭素数７〜２０の範囲内のアルアルキル基、炭素数１〜１８の範囲内のアルコキシル基、ヒドロキシル基、スルホニル基またはカルボキシル基を示し、同一であっても異なっていてもよい。）
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
すなわち本発明は、
（ａ）無機粉末、
（ｂ）感光性有機成分、
（ｃ）光重合開始剤および／または増感剤、ならびに
（ｄ）下式（１）で示され、フェノキサチン誘導体、フェノキサジン誘導体、アントラキノン誘導体、チアントレン誘導体、チオキサンテン誘導体、キサントン誘導体およびキサンテン誘導体の群から選ばれる少なくとも１種以上である化合物Ａ
を含有する感光性ペーストであって、
該光重合開始剤と該増感剤の含有量の合計と該化合物Ａの含有量が質量比で２０００／１〜２０／１の範囲内であることを特徴とする感光性ペーストである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
式中、Ｘ、Ｙは、それぞれカルボニル基、酸素原子、硫黄原子、または水素もしくは置換基と結合した窒素原子を示し、同一であっても異なっていてもよい。好ましくは、Ｘ、Ｙがそれぞれ酸素原子、硫黄原子、または水素もしくは置換基と結合した窒素原子である。
Ｒ１、Ｒ２は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アルアルキル基、アルコキシル基、ヒドロキシル基、スルホニル基またはカルボキシル基を示し、同一であっても異なっていてもよい。ハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。アルキル基としては、炭素数１〜２５のアルキル基が挙げられ、具体的にはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基、２−エチルブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、１，３−ジメチルブチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基等が挙げられる。好ましくは、炭素数１〜６のアルキル基である。シクロアルキル基としては、炭素数５〜８のシクロアルキル基が挙げられ、具体的には、シクロペンチル基、メチルシクロペンチル基、ジメチルシクロペンチル基、シクロヘキシル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基、トリメチルシクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等が挙げられる。アリール基としては通常、炭素数６〜２０のアリール基が挙げられ、具体的にはフェニル基、ｏ−トリル基、ｐ−トリル基、２，３−キシリル基、２，４−キシリル基、メシチル基、ナフチル基、アントリル基等が挙げられる。アルアルキル基としては通常、炭素数７〜２０のアルアルキル基が挙げられ、具体的には、ベンジル基、フェニルメチル基、メチルベンジル基、ナフチルメチル基等が挙げられる。アルコキシル基としては通常、炭素数１〜１８のアルコキシル基が挙げられ、具体的にはメトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、イソブトキシ基、ペンチルオキシ基、タクタデシルオキシ基等が挙げられる。
かかる化合物Ａとしては、例えば、キサンテン、２，７−ジメチルキサンテン、３，６−ジメチルキサンテン、３，５−ジメチルキサンテン、９−フェニルキサンテン、２−ベンジルキサンテン、９−ヒドロキシキサンテン、９−カルボキシキサンテン等のキサンテン誘導体、キサントン、１−ヒドロキシキサントン、２−ヒドロキシキサントン、３−ヒドロキシキサントン、１，３−ジヒドロキシキサントン、１，３−ジヒドロキシ−７−メトキシキサントン等のキサントン誘導体、１−ヒドロキシアントラキノン、１−メチルアントラキノン、２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、１，３−ジエチルアントラキノン等のアントラキノン誘導体、ヘキシルフェノキサチン、ジヘキシルフェノキサチン、オクチルフェノキサチン、ジオクチルフェノキサチン、デシルフェノキサンチン、ジデシルフェノキサンチン、ドデシルフェノキサチン、ジドデシルフェノキサチン、ヘキサデシルフェノキサチン、ジヘキサデシルフェノキサチン等のフェノキサチン誘導体、フェノキサジン、３，７−ジブロモフェノキサジン、２−クロロフェノキサジン、４−メチルフェノキサジン、３，７−ジメチルフェノキサジン、４，６−ジメチルフェノキサジン等のフェノキサジン誘導体、チアントレン、ヘキシルチアントレン、ジヘキシルチアントレン、オクチルチアントレン、ジオクチルチアントレン、デシルチアントレン、ジデシルチアントレン、ドデシルチアントレン、ジドデシルチアントレン、ヘキサデシルアントレン、ジヘキサデシルチアントレン等のチアントレン誘導体およびチオキサンテン−９−オン等のチオキサンテン誘導体等が挙げられる。本発明においては、フェノキサチン誘導体、フェノキサジン誘導体、アントラキノン誘導体、チアントレン誘導体、チオキサンテン誘導体、キサントン誘導体、キサンテン誘導体の群から選ばれる少なくとも１種以上であることが必要である。
本発明においては、光重合開始剤と一般式（１）で示される化合物Ａとの含有量が質量比で２０００／１〜２０／１の範囲内であることが重要となる。光重合開始剤と一般式（１）で示される化合物Ａとの質量比がこの範囲内にあることで、微細な解像度を安定したプロセス条件で得られる。光重合開始剤と一般式（１）で示される化合物Ａとの質量比がこの範囲を外れると解像度低下、形状変化、剥がれ等の問題が生じる。光重合開始剤と一般式（１）で示される化合物Ａとの好ましい質量比は、１０００／１〜５０／１である。さらに好ましくは、５００／１〜１００／１である。
通常、感光性ペーストの塗布膜の光硬化を進めるためには、光重合開始剤が吸収する波長の光を照射すればよいが、感光性ペーストには、焼成収縮を小さくするために多くの無機粉末が分散状態で含まれており、露光時の内部散乱は避け難いため、露光量によって形状や解像度が変化したりする。そのため、より微細な解像度が求められた場合、露光量が変化すると解像度が変化し、安定したパターンが得られないが、本発明の感光性ペーストでは、より微細な解像度が求められた場合でも、露光量が変化しても解像度が変化せず、安定したパターンが得られる。
また、光硬化時に酸素が存在すると光硬化の反応を妨害し、シャープなパターンが得られないため、露光機にイナートガスを流したり、感光性ペーストの乾燥膜上に酸素遮蔽膜を設ける場合があるが、例えば、特許文献１に示した感光性ペーストは、光硬化時に酸素が存在しないと微細加工ができなくなる場合があるが、本発明の感光性ペーストでは、酸素が存在しない場合でも微細加工が可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
実施例１〜１１、参考例１、比較例１〜５
（感光性導電ペーストの作製）
湿式還元法により製造された平均粒径１．１９μｍ、比表面積１．１２ｍ２／ｇ、タップ密度４．８ｇ／ｃｍ３のＡｇ粉末７５質量％、感光性アクリルポリマー（ＡＰＸ−７１６、東レ社製）６質量％、感光性モノマー（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート）３質量％、溶媒（ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート）１５質量％および光重合開始剤（２−メチル−１［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−１−プロパノン）と化合物Ａの合計量が１質量％となるように表１に示す比率で加えたものを３本ローラーで混練して作製した。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
光重合開始剤／化合物Ａの質量比が２０００／１〜２０／１の範囲内である実施例１〜１１では、露光量を変化させても寸法があまり変化せず、安定した解像度を示した。特に、光重合開始剤／化合物Ａの質量比が５００／１〜１００／１の範囲内である実施例１〜３でより安定した解像度を示した。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
【表１】
2008257224.tif 000002
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
（実施例１２〜１６、参考例２、比較例６、７）
（感光性ガラスペーストの作製）
ガラス粉末としては、酸化リチウム１０重量％、酸化珪素２５重量％、酸化硼素３０重量％、酸化亜鉛１５重量％、酸化アルミニウム５重量％、酸化カルシウム１５重量％からなる組成のガラスを粉砕した平均粒子径２μｍのガラス粉末６０質量％、感光性アクリルポリマー（ＡＰＸ−７１６、東レ社製）１０質量％、感光性モノマー（プロピレンオキシ
ド変性トリメチロールプロパントリアクリレート）（第一工業製薬社製）９質量％、溶剤（ベンジルアルコール）２０質量％および重合開始剤（２−メチル−１［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−１−プロパノン）と化合物Ａの合計量が１質量％となるように表１に示す比率で加えたものを３本ローラーで混練して作製した。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
光重合開始剤／化合物Ａの質量比が２０００／１〜２０／１の範囲内である実施例１２〜１６では、露光量を変化させても寸法があまり変化せず、安定した解像度を示した。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
【表２】
2008257224.tif 000003
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
実施例１７〜２１、参考例３、比較例８、９
（感光性導電ペーストの作製）
湿式還元法により製造された平均粒径１．１９μｍ、比表面積１．１２ｍ２／ｇ、タップ密度４．８ｇ／ｃｍ３のＡｇ粉末７５質量％、感光性アクリルポリマー（ＡＰＸ−７１６、東レ社製）６質量％、感光性モノマー（ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート）３質量％、溶媒（ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート）１５質量％および光重合開始剤（２−メチル−１［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−１−プロパノン）、増感剤（４，４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン）および化合物Ａの合計量が１質量％となるように表３に示す比率で加えたものを３本ローラーで混練して作製した。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
光重合開始剤および増感剤／化合物Ａの質量比が２０００／１〜２０／１の範囲内である実施例１７〜２１では、露光量を変化させても寸法があまり変化せず、安定した解像度を示した。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
【表３】
2008257224.tif 000004
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
（実施例２２〜２６、参考例４、比較例１０、１１）
（感光性ガラスペーストの作製）
ガラス粉末としては、酸化リチウム１０重量％、酸化珪素２５重量％、酸化硼素３０重量％、酸化亜鉛１５重量％、酸化アルミニウム５重量％、酸化カルシウム１５重量％からなる組成のガラスを粉砕した平均粒子径２μｍのガラス粉末６０質量％、感光性アクリルポリマー（ＡＰＸ−７１６、東レ社製）１０質量％、感光性モノマー（プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレート）（第一工業製薬社製）９質量％、溶剤（ベンジルアルコール）２０質量％および重合開始剤（２−メチル−１［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−１−プロパノン）、増感剤（２，４−ジエチルチオキサントン）および化合物Ａの合計量が１質量％となるように表４に示す比率で加えたものを３本ローラーで混練して作製した。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
光重合開始剤および増感剤／化合物Ａの質量比が２０００／１〜２０／１の範囲内である実施例２２〜２６では、露光量を変化させても寸法があまり変化せず、安定した解像度を示した。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
【表４】
2008257224.tif 000005