【手続補正書】
【提出日】平成23年1月11日(2011.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨定盤上に修正用砥石保持用孔部を有する定盤修正用キャリアーを配設し、前記キャリアーの孔部に修正用砥石を保持して、研磨定盤及びキャリアーをそれぞれ回転させると共に、前記研磨定盤に遊離砥粒を供給して前記研磨定盤を修正研磨する研磨装置において、前記キャリアーの孔部に配設される修正用砥石形状が、円形の中心部角度で１８０°〜９０°の扇紙形であることを特徴とする定盤修正用砥石。
【請求項２】
前記扇紙形砥石の幅が前記円形の直径の１０〜２０％の範囲である請求項１記載の定盤修正用砥石。
【請求項３】
前記砥石のロックウェル硬さ（ＨＲＳ）が８０〜１５０である請求項１又は２記載の定盤修正用砥石。
【請求項４】
前記砥石が、微小気孔を有する砥石である請求項１，２又は３記載の定盤修正用砥石。
【請求項５】
前記砥石が、合成樹脂性砥石である請求項１乃至４のいずれか１項記載の定盤修正用砥石。
【請求項６】
前記砥石の微小気孔率が５０〜９０％である請求項５記載の定盤修正用砥石。
【請求項７】
前記砥石が、微小気孔径が２０〜１５０μｍであるポリウレタン製砥石である請求項５又は６記載の定盤修正用砥石。
【請求項８】
前記砥石に、研磨ワークを研磨するときに用いる遊離砥粒と同じ砥粒を分散固定してなる請求項５，６又は７記載の定盤修正用砥石。
【請求項９】
前記砥石に砥石全体の２０〜５０質量％の砥粒を配合してなる請求項８記載の定盤修正用砥石。
【請求項１０】
前記砥石が、鋳鉄砥石である請求項１乃至４のいずれか１項記載の定盤修正用砥石。
【請求項１１】
前記砥石の微小気孔率が１０〜５０％である請求項１０記載の定盤修正用砥石。
【請求項１２】
研磨定盤上に修正用砥石保持用孔部を有する定盤修正用キャリアーを配設し、前記キャリアーの孔部に修正用砥石を保持して、研磨定盤及びキャリアーをそれぞれ回転させると共に、前記研磨定盤に遊離砥粒を供給して前記研磨定盤を修正研磨する研磨装置において、前記キャリアーの孔部に請求項１乃至１１のいずれか１項記載の定盤修正用砥石を配設してなることを特徴とする定盤修正用研磨装置。
【請求項１３】
前記キャリアーに２〜２０個の修正用砥石保持用孔部をキャリアーの周方向に沿って形成すると共に、これら各孔部に配設保持された前記砥石のキャリアー内における全体形状が花形形状である請求項１２記載の定盤修正用研磨装置。
【請求項１４】
研磨定盤上に修正用砥石保持用孔部を有する定盤修正用キャリアーを配設し、前記キャリアーの孔部に修正用砥石を保持して、研磨定盤及びキャリアーをそれぞれ回転させると共に、前記研磨定盤に遊離砥粒を供給して前記研磨定盤を修正研磨する研磨方法において、前記請求項１２又は１３記載の定盤修正用研磨装置を用いて前記研磨定盤の修正研磨を行うことを特徴とする研磨定盤の修正方法。
【請求項１５】
研磨定盤に遊離砥粒を供給して研磨を行う請求項１４記載の研磨定盤の修正方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意検討を重ねた結果、研磨機において被加工物が研磨される過程を時間と共に追跡するシミュレーションを行い、定盤内で均一に研磨できる理想的な定盤修正治具形状を見出し、好ましくは治具の材質が鋳鉄定盤に存在する粒状黒鉛穴と同程度の微細気孔を有し、尚且つ、好ましくはロックウェル硬さ（ＨＲＳ）が８０〜１５０の砥石、特に合成樹脂性砥石又は鋳鉄砥石を用いることにより、従来のセラミックス、金属等から形成される修正キャリアー等の定盤修正用治具を用いて同一砥粒を供給しながら定盤の表面修正を行った場合より、短時間で定盤修正と同時に定盤面に存在する粒状黒鉛穴の開放及び均一微細面を得ることができ、研磨ワークを、実際に遊離砥粒を用いて研磨する際、定盤表面に存在する開放された粒状黒鉛穴に十分に砥粒が保持され、その保持力増加により安定した研磨力が得られ、尚且つ微細定盤面が研磨ワークに転写され、表面粗さが良い被加工物を得ることができることを見出し、本発明をなすに至った。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
従って、本発明は、下記の定盤修正用砥石、定盤修正用研磨装置及び研磨定盤の修正方法を提供する。
請求項１：
研磨定盤上に修正用砥石保持用孔部を有する定盤修正用キャリアーを配設し、前記キャリアーの孔部に修正用砥石を保持して、研磨定盤及びキャリアーをそれぞれ回転させると共に、前記研磨定盤に遊離砥粒を供給して前記研磨定盤を修正研磨する研磨装置において、前記キャリアーの孔部に配設される修正用砥石形状が、円形の中心部角度で１８０°〜９０°の扇紙形であることを特徴とする定盤修正用砥石。
請求項２：
前記扇紙形砥石の幅が前記円形の直径の１０〜２０％の範囲である請求項１記載の定盤修正用砥石。
請求項３：
前記砥石のロックウェル硬さ（ＨＲＳ）が８０〜１５０である請求項１又は２記載の定盤修正用砥石。
請求項４：
前記砥石が、微小気孔を有する砥石である請求項１，２又は３記載の定盤修正用砥石。
請求項５：
前記砥石が、合成樹脂性砥石である請求項１乃至４のいずれか１項記載の定盤修正用砥石。
請求項６：
前記砥石の微小気孔率が５０〜９０％である請求項５記載の定盤修正用砥石。
請求項７：
前記砥石が、微小気孔径が２０〜１５０μｍであるポリウレタン製砥石である請求項５又は６記載の定盤修正用砥石。
請求項８：
前記砥石に、研磨ワークを研磨するときに用いる遊離砥粒と同じ砥粒を分散固定してなる請求項５，６又は７記載の定盤修正用砥石。
請求項９：
前記砥石に砥石全体の２０〜５０質量％の砥粒を配合してなる請求項８記載の定盤修正用砥石。
請求項１０：
前記砥石が、鋳鉄砥石である請求項１乃至４のいずれか１項記載の定盤修正用砥石。
請求項１１：
前記砥石の微小気孔率が１０〜５０％である請求項１０記載の定盤修正用砥石。
請求項１２：
研磨定盤上に修正用砥石保持用孔部を有する定盤修正用キャリアーを配設し、前記キャリアーの孔部に修正用砥石を保持して、研磨定盤及びキャリアーをそれぞれ回転させると共に、前記研磨定盤に遊離砥粒を供給して前記研磨定盤を修正研磨する研磨装置において、前記キャリアーの孔部に請求項１乃至１１のいずれか１項記載の定盤修正用砥石を配設してなることを特徴とする定盤修正用研磨装置。
請求項１３：
前記キャリアーに２〜２０個の修正用砥石保持用孔部をキャリアーの周方向に沿って形成すると共に、これら各孔部に配設保持された前記砥石のキャリアー内における全体形状が花形形状である請求項１２記載の定盤修正用研磨装置。
請求項１４：
研磨定盤上に修正用砥石保持用孔部を有する定盤修正用キャリアーを配設し、前記キャリアーの孔部に修正用砥石を保持して、研磨定盤及びキャリアーをそれぞれ回転させると共に、前記研磨定盤に遊離砥粒を供給して前記研磨定盤を修正研磨する研磨方法において、前記請求項１２又は１３記載の定盤修正用研磨装置を用いて前記研磨定盤の修正研磨を行うことを特徴とする研磨定盤の修正方法。
請求項１５：
研磨定盤に遊離砥粒を供給して研磨を行う請求項１４記載の研磨定盤の修正方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明において、上記砥石は、そのロックウェル硬さ（ＨＲＳ）が８０〜１５０、特に１００〜１３０、とりわけ１１０〜１２０のものを使用するものが好ましく、ロックウェル硬さが低すぎると、研磨による砥石消耗量が増大し、経済的でなくなってしまう場合がある。ロックウェル硬さが高すぎると鋳鉄定盤より硬度が高くなり過ぎて砥石の自己脱落がなく、均一に定盤を修正することができなくなってしまうおそれがある。この場合、ロックウェル硬さは、スケールとして圧子直径１／２インチ鋼球を用いて試験荷重１００ｋｇでのＨＲＳ数値である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
【表１】
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