【手続補正書】
【提出日】平成23年4月5日(2011.4.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液供給ノズルから基板表面に対して処理液を供給する処理を行う液処理方法において、
前記処理液供給ノズルの先端内部に、処理液供給路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する工程と、
次いで前記処理液供給ノズルから、前記溶剤層を液排出部に排出する工程と、
次いで前記処理液供給ノズルから基板表面に処理液を供給する工程と、
次いで前記処理液供給ノズル内に残存する処理液を吸引して、当該処理液供給ノズル内の処理液の液面を前記処理液供給路側に後退させる工程と、
次いで前記処理液供給ノズルの先端から溶剤貯留部の溶剤を当該処理液供給ノズル内に吸引して、当該処理液供給ノズル内の処理液の液面を前記処理液供給路側にさらに後退させると共に、前記溶剤を当該処理液供給ノズルの先端部内に吸入して、当該処理液供給ノズルの先端内部に、処理液供給路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する工程と、を含み、
前記溶剤貯留部と液排出部は、その下部に溶剤排出口が形成された共通の容器に設けられていることを特徴とする液処理方法。
【請求項２】
処理液供給ノズルから基板表面に対して処理液を供給する処理を行う液処理方法において、
前記処理液供給ノズルの先端内部に、処理液供給路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する第１の工程と、
次いで前記第１の工程が行われてから予め設定された時間の経過後、揮発により減少した前記溶剤層を補充するために行われる第２の工程と、を含み、
前記第２の工程は、前記処理液供給ノズルから、前記溶剤層を液排出部に排出する工程と、
次いで前記処理液供給ノズルの先端から溶剤貯留部の溶剤を当該処理液供給ノズル内に吸引して、当該処理液供給ノズル内の処理液の液面を前記処理液供給路側に後退させると共に、前記溶剤を当該処理液供給ノズルの先端部内に吸入し、処理液供給ノズルの先端内部に、処理液供給路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する工程と、を含むことを特徴とする液処理方法。
【請求項３】
基板を水平に保持するための基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に対して処理液を供給するための処理液供給ノズルと、
前記処理液供給ノズルの先端が浸漬するように設けられ、前記処理液の溶剤を貯留するための溶剤貯留部と、
前記処理液供給ノズルから液を排出するように設けられた液排出部と、
前記処理液供給ノズルを吸引するための手段と、
前記処理液供給ノズルを、前記溶剤貯留部と液排出部と基板に対して処理液を供給する位置との間で移動させる手段と、
前記請求項１に記載の工程を実施するように、前記各手段を制御するためのプログラムを含む制御部と、を備え、
前記溶剤貯留部と液排出部は、その下部に溶剤排出口が形成された共通の容器に設けられていることを特徴とする液処理装置。
【請求項４】
基板を水平に保持するための基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に対して処理液を供給するための処理液供給ノズルと、
前記処理液供給ノズルの先端が浸漬するように設けられ、前記処理液の溶剤を貯留するための溶剤貯留部と、
前記処理液供給ノズルから液を排出するように設けられた液排出部と、
前記処理液供給ノズルを吸引するための手段と、
前記処理液供給ノズルを、前記溶剤貯留部と液排出部と基板に対して処理液を供給する位置との間で移動させる手段と、
前記請求項２に記載の工程を実施するように、前記各手段を制御するためのプログラムを含む制御部と、を備えたことを特徴とする液処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、このような事情の下になされたものであり、その目的は、処理液供給ノズルを用いて基板への処理液の供給を行うにあたり、処理液供給ノズル内の処理液の乾燥を防止することにある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
このため、本発明は、処理液供給ノズルから基板表面に対して処理液を供給する処理を行う液処理方法において、
前記処理液供給ノズルの先端内部に、処理液供給路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する工程と、
次いで前記処理液供給ノズルから、前記溶剤層を液排出部に排出する工程と、
次いで前記処理液供給ノズルから基板表面に処理液を供給する工程と、
次いで前記処理液供給ノズル内に残存する処理液を吸引して、当該処理液供給ノズル内の処理液の液面を前記処理液供給路側に後退させる工程と、
次いで前記処理液供給ノズルの先端から溶剤貯留部の溶剤を当該処理液供給ノズル内に吸引して、当該処理液供給ノズル内の処理液の液面を前記処理液供給路側にさらに後退させると共に、前記溶剤を当該処理液供給ノズルの先端部内に吸入して、当該処理液供給ノズルの先端内部に、処理液供給路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する工程と、を含み、
前記溶剤貯留部と液排出部は、その下部に溶剤排出口が形成された共通の容器に設けられていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また他の発明は、処理液供給ノズルから基板表面に対して処理液を供給する処理を行う液処理方法において、
前記処理液供給ノズルの先端内部に、処理液供給路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する第１の工程と、
次いで前記第１の工程が行われてから予め設定された時間の経過後、揮発により減少した前記溶剤層を補充するために行われる第２の工程と、を含み、
前記第２の工程は、前記処理液供給ノズルから、前記溶剤層を液排出部に排出する工程と、
次いで前記処理液供給ノズルの先端から溶剤貯留部の溶剤を当該処理液供給ノズル内に吸引して、当該処理液供給ノズル内の処理液の液面を前記処理液供給路側に後退させると共に、前記溶剤を当該処理液供給ノズルの先端部内に吸入し、処理液供給ノズルの先端内部に、処理液供給路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また本発明の液処理装置は、基板を水平に保持するための基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に対して処理液を供給するための処理液供給ノズルと、
前記処理液供給ノズルの先端が浸漬するように設けられ、前記処理液の溶剤を貯留するための溶剤貯留部と、
前記処理液供給ノズルから液を排出するように設けられた液排出部と、
前記処理液供給ノズルを吸引するための手段と、
前記処理液供給ノズルを、前記溶剤貯留部と液排出部と基板に対して処理液を供給する位置との間で移動させる手段と、
前記請求項１に記載の工程を実施するように、前記各手段を制御するためのプログラムを含む制御部と、を備え、
前記溶剤貯留部と液排出部は、その下部に溶剤排出口が形成された共通の容器に設けられていることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また本発明の液処理装置は、基板を水平に保持するための基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に対して処理液を供給するための処理液供給ノズルと、
前記処理液供給ノズルの先端が浸漬するように設けられ、前記処理液の溶剤を貯留するための溶剤貯留部と、
前記処理液供給ノズルから液を排出するように設けられた液排出部と、
前記処理液供給ノズルを吸引するための手段と、
前記処理液供給ノズルを、前記溶剤貯留部と液排出部と基板に対して処理液を供給する位置との間で移動させる手段と、
前記請求項２に記載の工程を実施するように、前記各手段を制御するためのプログラムを含む制御部と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
以上において本発明では、各処理液供給ノズルの内部の処理液の外側に空気層と処理液の溶剤層とを形成しているので、処理液と大気との接触が抑えられ、処理液供給ノズル内の処理液の乾燥を防止することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
さらに本発明では、処理液供給ノズルの先端内部に、処理液供給路側から順に処理液層と空気層と処理液の溶剤層とを形成してから、予め設定された時間が経過した時に、揮発により減少した前記溶剤層を補充する工程を行っているので、時間が経過しても処理液供給ノズル内の処理液の乾燥を抑えることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】