【手続補正書】
【提出日】平成19年6月20日(2007.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  質量流量コントローラであって、
センサと、
該センサの出力に結合された電子制御システムと、
該電子制御システムから制御信号を受信する制御弁であって、該制御信号は、
該制御弁を通過するガス流量を調節するために用いられる、制御弁と
を備え、
該電子制御システムは、所望の出力流量セットポイントを含む一連のシステム変数に関連する入力を受信するアルゴリズムを用いて、実時間流量誤差を計算し、
該電子制御システムは、計算された実時間流量誤差に基づいて、該所望の出力流量セットポイントによって示される所望の出力流量を達成するように該制御弁への制御信号を調整し、
該アルゴリズムは、回帰法を用いて多項式として導出され、
該式は、一連の定数として、該電子制御システムによってアクセス可能な少なくとも１つのメモリ位置に格納されている、質量流量コントローラ。
【請求項２】  埋込み診断システムをさらに備え、該診断システムは、前記質量流量コントローラ内の故障状態または潜在故障状態を特定する、請求項１に記載の質量流量コントローラ。
【請求項３】  前記埋込み診断システムが、前記質量流量コントローラ内の故障状態または潜在故障状態の視覚表示を提供する、請求項２に記載の質量流量コントローラ。
【請求項４】  前記埋込み診断システムが、前記質量流量コントローラ内の故障状態または潜在故障状態を遠隔診断システムに通信するためのインターフェースをさらに備える、請求項２に記載の質量流量コントローラ。
【請求項５】  前記遠隔診断システムが、質量流量コントローラ故障状態の履歴データベース、およびそれらの故障状態の表示を含む、請求項４に記載の質量流量コントローラ。
【請求項６】  前記電子制御システムが、前記質量流量コントローラへの供給流量内の圧力変動および流量変動とは無関係に、該質量流量コントローラを通過する前記所望の出力流量を提供するために、前記アルゴリズムを利用する、請求項１に記載の質量流量コントローラ。
【請求項７】  前記一連のシステム変数および実流量出力を監視し、前記多項式を表す一連の定数を計算するための較正システムをさらに備えた、請求項１に記載の質量流量コントローラ。
【請求項８】  前記電子制御システムに結合され、該電子制御システムと少なくとも１つの外部ネットワークとの間でデータ通信を行うように動作可能な少なくとも１つのデータ通信ポートをさらに備えた、請求項７に記載の質量流量
コントローラ。
【請求項９】  前記少なくとも１つのデータ通信ポートが、デュアルポートメモリまたはＵＡＲＴを用いて前記質量流量コントローラと通信する周辺機器をサポートする、請求項８に記載の質量流量コントローラ。
【請求項１０】  質量流量コントローラを通過する質量流量を調節する方法であって、
該方法は、電子システムに、
流量センサによって提供される感知された流量信号を受信する工程と、
該感知された流量信号に基づいて該電子システム内の該質量流量コントローラを通過する実時間実流量を計算する工程と、
一連のシステム変数に関連する入力を受信するアルゴリズムを用いて所望の流量セットポイントと該実時間実流量との間の流量誤差を決定する工程であって、該アルゴリズムは、回帰法を用いて多項式として導出される、工程と、
該電子システムによってアクセス可能な少なくとも１つのメモリ位置に該多項式を一連の定数として格納する工程と、
該質量流量コントローラ内の制御弁の位置を調整するために該電子システム内の制御信号を生成することにより、該制御弁を通過する流量を調節し、該流量誤差を最小化する工程と
を実行させることを包含する、方法。
【請求項１１】  前記一連の定数が、前記一連のシステム変数に対する因子効果係数を表す、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】  較正システムを用いて質量流量コントローラを較正する方法であって、該方法は、
（ａ）該質量流量コントローラの外部の流量測定機器システムから、該質量流量コントローラを通過する実時間実流量を取得する工程と、
（ｂ）該質量流量コントローラに関連付けられた一連のシステム変数に関連する入力を受信する工程であって、該変数は、所望の出力流量セットポイントと、該所望の出力流量セットポイントと比較される実出力流量間の実時間流量誤差とを含む、工程と、
（ｃ）回帰分析法を用いて該質量流量コントローラを通過する予想流量をモデル化することにより、該質量流量コントローラの該システム変数への応答を記述する多変量応答関数を生成する工程であって、該多変量応答関数は、多項式を含む、工程と、
（ｄ）該多変量応答関数を、該質量流量コントローラを通過する流量を調節するように動作可能な電子制御システムに入力する工程と、
（ｅ）該電子制御システムによってアクセス可能な少なくとも１つのメモリ位置に該多項式を一連の定数として格納する工程と
を包含する、方法。
【請求項１３】  前記一連のシステム変数は、入口圧力表示および周囲温度のうちの少なくとも一方を含む、請求項１に記載の質量流量コントローラ。
【請求項１４】  前記一連のシステム変数は、前記入口圧力表示および前記周囲温度の両方を含む、請求項１３に記載の質量流量コントローラ。
【請求項１５】  前記一連のシステム変数は、
ソレノイド電流と、
前記センサのベース抵抗と、
少なくとも１つの電源電圧と、
前記制御弁を通過する漏れと、
前記所望の出力流量セットポイントと比較される実出力流量のオーバーシュートと
をさらに含む、請求項１４に記載の質量流量コントローラ。
【請求項１６】  前記入口圧力表示は、前記質量流量コントローラの感度を入口圧力過渡状態まで低減するために前記電子制御システムによって用いられる、請求項１３に記載の質量流量コントローラ。
【請求項１７】  前記センサは、サーマル質量流量センサを含む、請求項１に記載の質量流量コントローラ。
【請求項１８】  前記一連のシステム変数は、
ソレノイド電流と、
前記センサのベース抵抗と、
少なくとも１つの電源電圧と、
前記制御弁を通過する漏れと、
前記所望の出力流量セットポイントと比較される実出力流量のオーバーシュートと
を含む、請求項１に記載の質量流量コントローラ。
【請求項１９】  前記電子制御システムは、デジタル信号プロセッサを含み、該デジタル信号プロセッサは、前記制御信号を閉ループフィードバック制御信号として決定するソフトウェア命令をインプリメントする、請求項１に記載の質量流量コントローラ。
【請求項２０】  前記少なくとも１つのメモリ位置は、前記質量流量コントローラに特有な較正データを格納するように動作可能である、請求項１９に記載の質量流量コントローラ。
【請求項２１】  前記少なくとも１つの外部ネットワークは、前記質量流量コントローラにデータを通信するように構成された少なくとも１つのネットワークデバイスを含み、該質量流量コントローラは、該データに基づいて前記システム変数のうちの少なくとも１つを更新するように構成されている、請求項８に記載の質量流量コントローラ。
【請求項２２】  前記電子システムに、前記質量流量コントローラ内の故障状態または潜在故障状態を特定する行為を実行させる工程をさらに包含する、請求項１０に記載の方法。
【請求項２３】  前記電子システムに、前記質量流量コントローラ内の故障状態または潜在故障状態の視覚表示を生成する行為を実行させる工程をさらに包含する、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】  前記電子システムは、前記質量流量コントローラ内の故障状態または潜在故障状態を遠隔診断システムに通信するためのインターフェースを含む、請求項２２に記載の方法。
【請求項２５】  前記格納する工程は、較正システムから前記一連の定数を受信する工程を含み、該較正システムは、前記質量流量コントローラの外部の流量測定機器システムによって提供される前記一連のシステム変数および実流量出力を監視し、前記一連の定数を計算する、請求項１０に記載の方法。
【請求項２６】  前記一連のシステム変数は、入口圧力表示および周囲温度のうちの少なくとも一方を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項２７】  前記一連のシステム変数は、前記入口圧力表示および前記周囲温度の両方を含む、請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】  前記一連のシステム変数は、
ソレノイド電流と、
前記センサのベース抵抗と、
少なくとも１つの電源電圧と、
前記制御弁を通過する漏れと、
前記所望の出力流量セットポイントと比較される実出力流量のオーバーシュートと
を含む、請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】  前記入口圧力表示は、前記質量流量コントローラの感度を入口圧力過渡状態まで低減するために前記電子システムによって用いられる、請求項２６に記載の方法。
【請求項３０】  前記一連のシステム変数は、
ソレノイド電流と、
前記センサのベース抵抗と、
少なくとも１つの電源電圧と、
前記制御弁を通過する漏れと、
前記所望の出力流量セットポイントと比較される実出力流量のオーバーシュートと
を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項３１】  前記一連のシステム変数は、入口圧力表示および周囲温度のうちの少なくとも一方を含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項３２】  前記一連のシステム変数は、前記入口圧力表示および前記周囲温度の両方を含む、請求項３１に記載の方法。
【請求項３３】  前記一連のシステム変数は、
ソレノイド電流と、
前記センサのベース抵抗と、
少なくとも１つの電源電圧と、
前記制御弁を通過する漏れと
を含む、請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】  前記較正システムは、複数の個々のガスに対して（ａ）〜（ｄ）の工程を実行する、請求項１２に記載の方法。
【請求項３５】  前記電子制御システムは、複数の個々のガスに対して（ｅ）の工程を繰り返す、請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】  前記電子制御システムは、デジタル信号プロセッサを含み、前記少なくとも１つのメモリ位置は、該デジタル信号プロセッサの外部にある、請求項１に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
ライン７２上において、弁駆動回路部１８は、信号７２がソレノイドを駆動するように調整するが、さらに、感知のために実ソレノイド電流７０をフィードバックする。感知されたソレノイド電流７２、セットポイント信号５８および測定された流量１５は、問題のより速い診断を提供する関係を生成するために用いられ得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
ＤＳＰ１６は、外部メモリインターフェイスを有する。外部メモリインターフェイスは、ＳＲＡＭ３０とインターフェイスをとる。このＳＲＡＭは、ブートアップ過程の間利用され、より高速なアクセスのためにシリアルＥＥＰＲＯＭ２６の内容を受信する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2003504748.tif 000001