【手続補正書】
【提出日】平成21年1月9日(2009.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板に形成された少なくとも１つのセンサ素子と、
第２の基板に形成された少なくとも１つの回折光学素子とを備え、
前記第２の基板が前記少なくとも１つのセンサ素子上にキャップを形成するように前記第１および第２の基板が互いに関係して構成され、前記少なくとも１つの光学素子は前記キャップ上の入射光を前記少なくとも一つのセンサ素子に導くように構成され、前記キャップは側壁を有し、前記少なくとも１つの光学素子は前記キャップ内に形成されており、前記キャップが前記少なくとも１つのセンサ素子周りの空洞を区画するように、前記側壁の底部に備えられた接合材料を使用して前記側壁が前記第１の基板に接合されており、前記区画された空洞は前記キャップおよび前記少なくとも１つのセンサ素子によって共有されており、前記少なくとも１つの光学素子は前記キャップ上の入射放射を下方に位置している前記少なくとも１つのセンサ素子の少なくとも１つへ集光すること
を特徴とするセンサ。
【請求項２】
前記第１の基板および前記第２の基板は、シリコンであることを特徴とする請求項１または２０記載のセンサ。
【請求項３】
前記少なくとも１つのセンサ素子は、赤外センサ素子であることを特徴とする請求項１または２０記載のセンサ。
【請求項４】
前記空洞中の環境条件や成分を指定できることを特徴とする請求項１または２０記載のセンサ。
【請求項５】
前記空洞は、常圧よりも低い圧力にあることを特徴とする請求項４記載のセンサ。
【請求項６】
前記空洞は、センサが利用されるべき応用形態に適合するように選択された気体の成分で満たされていることを特徴とする請求項４記載のセンサ。
【請求項７】
前記組成の気体は、窒素の熱伝導率よりも低い熱伝導率を持つ気体を含むことを特徴とする請求項６記載のセンサ。
【請求項８】
前記光学素子は、前記空洞に隣接する、前記キャップの内部表面に形成されることを特徴とする請求項１または２０記載のセンサ。
【請求項９】
前記光学素子は、前記空洞から離れた、前記キャップの外部表面に形成されることを特徴とする請求項１または２０記載のセンサ。
【請求項１０】
光学素子は、前記空洞から離れた前記キャップの外部表面および前記空洞に隣接する前記キャップの内部表面に形成されていて、前記空洞に隣接する位置および離れた位置にある前記光学素子の組み合わせが複合レンズを形成することを特徴とする請求項１または２０記載のセンサ。
【請求項１１】
複数のセンサ素子が形成され、前記光学素子が特定の波長の放射を複数のセンサ素子のうちあらかじめ選択されたセンサ素子に選択的に導くように構成されていることを特徴とする請求項１または２０記載のセンサ。
【請求項１２】
前記センサは第２のキャップを備えており、前記第２のキャップが前記第１のキャップの上に配置されていて、前記第２のキャップは光学素子を含み、前記第１のキャップの光学素子および前記第２のキャップの光学素子が複合レンズとなるように構成されていることを特徴とする請求項１または２０記載のセンサ。
【請求項１３】
複数のセンサを含むセンサアレイであって、前記センサの各々は第１の基板に形成され
たセンサ素子と、第２の基板に形成された光学素子とを有し、前記第２の基板が前記センサ素子上にキャップを形成するように前記第１の基板および前記第２の基板が互いに関連して構成され、前記キャップは側壁を有し、前記キャップが前記側壁の底部に備えられた接合材料を使用して前記側壁が前記第１の基板に接合されて、前記センサ素子周りの空洞を区画し、前記光学素子は前記センサ素子と前記空洞を共有する前記キャップ内に形成されており、前記光学素子は、前記キャップ上の入射放射を前記センサ素子の少なくとも１つの上へ集光するように構成され、前記センサアレイが結像面を規定するように構成されていること
を特徴とするセンサアレイ。
【請求項１４】
検知されているあらかじめ定義された三次元形状を決定する際に信号を与えるように構成された識別センサであって、
前記識別センサから第１の距離にある対象物を検知した際に信号を発するように構成された第１のセンサ素子と、
前記識別センサから第２の異なる距離にある対象物を検知した際に信号を発するように構成された第２のセンサ素子とを備え、
前記第１のセンサ素子および前記第２のセンサ素子の各々は、第１の基板に形成された少なくとも１つの検知素子および第２の基板に形成された少なくとも１つの光学素子を含み、
前記第２の基板が前記少なくとも１つの検知素子上にキャップを形成するように、前記第１の基板および前記第２の基板が互いに関連して構成され、前記キャップは側壁を有し、前記側壁は前記側壁の底部に備えられた接合材料を使用して前記第１の基板に接合され、前記センサ素子の周りの共有された空洞を区画しており、前記少なくとも１つの光学素子は前記キャップのふた部分に形成されており、前記キャップ上での入射放射を前記少なくとも１つの検知素子の少なくとも１つへ集光するように構成されていること
を特徴とする識別センサ。
【請求項１５】
前記第１のセンサ素子および前記第２のセンサ素子のそれぞれの前記少なくとも１つの検知素子は、同一の基板に形成されることを特徴とする請求項１４記載の識別センサ。
【請求項１６】
前記対象物は、人の胴体であることを特徴とする請求項１４記載の識別センサ。
【請求項１７】
第１の基板に形成された少なくとも１つのセンサ素子と
第２の基板におよび第２の基板から形成された少なくとも１つの光学素子とを備え、
前記第２の基板が前記少なくとも１つのセンサ素子上にキャップを形成するように前記
第１の基板および前記第２の基板が互いに関連して構成され、前記キャップは側壁を有し、前記側壁は前記側壁の底部に備えられた接合材料を使用して前記第１の基板に接合されて、前記センサ素子の周りの共有された空洞を区画しており、前記少なくとも１つの光学素子は前記キャップのふた部分に形成されており、前記少なくとも１つの光学素子が前記キャップ上の入射放射を前記少なくとも１つのセンサ素子の少なくとも１つに集光するように構成され、導入された前記入射光が特定の気体の存在を表示する波長を有すること
を特徴とする気体分析装置。
【請求項１８】
複数のセンサ素子およびそれに関連付けられた複数の光学素子を含み、
センサ素子と光学素子の組のそれぞれが、前記複数のセンサ素子の出力を気体の波長識別スペクトルを与えるために利用できるように、特定の波長を分析するように構成されていることを特徴とする請求項１７記載の気体分析装置。
【請求項１９】
センサを形成する方法であって、
第１の基板に少なくとも１つのセンサ素子を形成するステップと、
第２の基板に少なくとも１つの回折光学素子を形成するステップであって、前記第２の基板はキャップ壁を有するキャップを区画することと、
前記キャップ壁の底部に接合材料を与えるステップであって、前記キャップ壁の高さは前記接合材料の厚さよりも大きいことと、
前記第２の基板が前記センサ素子上にキャップを備え、前記センサ素子および前記キャップに対して共有された空洞を区画するように、前記第１および前記第２の基板を接合するステップであって、前記光学素子は前記キャップ上の予め定められた波長の入射放射を前記少なくとも１つのセンサ素子の少なくとも１つに集光させることと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２０】
第１の基板に形成された少なくとも１つのセンサ素子と
第２の基板に形成された少なくとも１つの回折光学素子とを備え、
前記第２の基板が前記少なくとも１つのセンサ素子上にキャップを形成するように前記第１の基板および前記第２の基板が互いに関連して構成され、前記キャップは側壁を有し、前記少なくとも１つの光学素子は前記キャップの中に形成され、前記キャップが前記センサ素子の周りの空洞を区画するように、前記側壁は前記側壁の底部に備えられた接合材料を使用して前記第１の基板に接合され、前記側壁の高さは前記接合材料の厚さよりも大きく、前記区画された空洞は前記キャップおよび前記少なくとも１つのセンサ素子によって共有されており、前記少なくとも１つの回折光学素子が前記キャップ上の予め定められた波長の入射放射を下方に位置している前記少なくとも１つのセンサ素子の少なくとも１つに選択的に集光するように構成されたこと
を特徴とするセンサ。
【請求項２１】
複数のセンサを含むセンサアレイであって、前記センサの各々は、第１の基板に形成された少なくとも１つのセンサ素子と、第２の基板に形成された少なくとも１つの回折光学素子とを備え、
前記第２の基板が前記センサ素子上にキャップを形成するように前記第１の基板および前記第２の基板が互いに関連して構成され、前記キャップはキャップ壁を有し、前記キャップ壁は前記キャップ壁の底部に備えられた接合材料を使用して前記第１の基板に接合され、前記センサ素子の周りの空洞を区画し、前記キャップ壁の高さは前記接合材料の厚さよりも大きく、前記光学素子は前記センサ素子と前記空洞を共有する前記キャップの中に形成され、前記光学素子は前記キャップの中に形成され、光学素子は前記キャップ上の予め定められた波長の入射放射を前記センサの少なくとも１つに集光するように構成され、前記センサアレイは結像面を規定するように構成されていること
を特徴とするセンサアレイ。