(57)【要約】【課題】基板に対する均一な熱処理を行うことができかつチャンバ内空間の活用度を高めることができるインライン熱処理装置を提供する。【解決手段】本発明に係るインライン熱処理装置は、基板を連続的に熱処理可能なインライン熱処理装置であって、基板に対する熱処理空間を提供しかつ前壁及び後壁に互いに対向して形成された開口を有するチャンバ１１０と、各々が基板を支持しかつ移動させる駆動ローラ１２２及び駆動ローラ１２２を貫通する中空回転軸１２４を備えた、複数の駆動ローラユニット１２０と、回転軸１２４の内部に配置されたヒータ１３０とを備え、複数の駆動ローラユニット１２０は、チャンバ１１０に基板を搬入しかつチャンバ１１０から基板を搬出するために基板の移動方向に沿って列をなすようにして設置され、ヒータ１３０の両端は、回転軸１２４と連動しないように、チャンバ１１０の側壁の外面に固定されている。【選択図】図１
2012521653.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を連続的に熱処理可能なインライン熱処理装置であって、
前記基板に対する熱処理空間を提供しかつ前壁及び後壁に互いに対向して形成された開口を有するチャンバと、
各々が前記基板を支持しかつ移動させる駆動ローラ及び該駆動ローラを貫通する中空回転軸を備えた、複数の駆動ローラユニットと、
前記回転軸の内部に配置されたヒータとを備え、
前記複数の駆動ローラユニットが、前記チャンバに前記基板を搬入しかつ前記チャンバから前記基板を搬出するために前記基板の移動方向に沿って列をなすようにして設置され、
前記ヒータの両端が、前記回転軸と連動しないように、前記チャンバの両側壁の外面に固定されるようにしたことを特徴とするインライン熱処理装置。
【請求項２】
前記駆動ローラユニットが、前記基板の搬入及び搬出方向に対して直交して設置されていることを特徴とする請求項１に記載のインライン熱処理装置。
【請求項３】
前記複数の駆動ローラユニットが、互いに連動するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のインライン熱処理装置。
【請求項４】
前記複数の回転軸の各々の一端に設けられた連動プーリと、
前記複数の連動プーリを互いに連結させる連動ベルトとをさらに備え、
前記複数の連動プーリのうちのいずれか１つを駆動させることにより、前記複数の駆動ローラユニットが互いに連動するようにしたことを特徴とする請求項３に記載のインライン熱処理装置。
【請求項５】
前記回転軸の一端に、外部の駆動力を受けるための駆動プーリが連結されていることを特徴とする請求項１に記載のインライン熱処理装置。
【請求項６】
前記ヒータの両端に、外部電源より電力を受けるための端子が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインライン熱処理装置。
【請求項７】
前記ヒータの両端に、前記ヒータを前記チャンバの前記側壁の外面に固定させる固定フランジが設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインライン熱処理装置。
【請求項８】
前記ヒータの内部に、冷却用水または冷却ガスが流れる管と、外部電源より供給される電力によって発熱し、前記管の外周面を覆う熱線とが設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインライン熱処理装置。
【請求項９】
前記ヒータの内部両端に、外部電源から電力を受ける導電体が設けられ、前記ヒータの内部中央に、前記導電体から電力を受けて発熱する発熱体が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインライン熱処理装置。
【請求項１０】
前記発熱体の長さが、前記基板の長さに対応して形成されていることを特徴とする請求項９に記載のインライン熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に対するインライン熱処理装置に関し、より詳細には、熱処理のために基板をチャンバに搬入（ローディング）及び搬出（アンローディング）する駆動ローラの回転軸の内部にヒータを設置することにより、基板に対する均一な熱処理を行うことができ、チャンバ内空間の活用度を高めることができるインライン熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を用いて、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、及びＯＬＥＤ（有機発光ダイオード）などの平板ディスプレイを製作する場合、基板に対して熱処理工程を行う。
【０００３】
従来は、基板の熱処理のために、エンドエフェクタのような移送機構を用いてチャンバに基板を搬入した後、熱処理を行っていた。しかし、最近では、基板の大面積化に伴い、エンドエフェクタを用いた基板の搬入作業における基板の変形や損傷などの問題が浮上してきている。
【０００４】
この問題を解決するために、複数の駆動ローラをチャンバの前後に連続して配置し、駆動ローラによって基板をチャンバに搬入して熱処理を行い、熱処理終了後に駆動ローラによって基板を搬出するインライン方式の熱処理装置が開示されている。
【０００５】
しかしながら、インライン熱処理装置は、チャンバの内部に、駆動ローラ及び該駆動ローラを動作させるための機器のみならず、ヒータ及び該ヒータを動作させるための機器も設置されるため、チャンバの空間が狭くなるという問題があった。
【０００６】
チャンバの空間を確保するためにチャンバの大きさを増大させると、チャンバの製作費が上昇するという問題があった。
【０００７】
また、大面積基板に対する均一な熱処理のために、チャンバの内部にヒータを均一に設置する必要があるが、チャンバ内の空間が狭くなることから、ヒータを設置することが容易でないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】韓国特許出願公開第２００８−１１０８１３号公報
【特許文献２】韓国特許出願公開第２００８−１１０８１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記の従来技術の問題を解決するためのものであり、その目的は、大面積基板をチャンバに搬入及び搬出する駆動ローラの回転軸にヒータを設置することにより、基板に対する効率的な熱処理を行うことができるインライン熱処理装置を提供することである。
【００１０】
また、本発明の別の目的は、基板をチャンバに搬入及び搬出する駆動ローラの回転軸にヒータを設置することにより、チャンバ内空間の活用度を高めることができるインライン熱処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明に係るインライン熱処理装置は、基板を連続的に熱処理可能なインライン熱処理装置であって、基板に対する熱処理空間を提供し、前壁及び後壁に開口が対向して形成されているチャンバと、各々が基板を支持しながら移動させる駆動ローラ及び該駆動ローラを貫通する中空回転軸を備えた、複数の駆動ローラユニットと、回転軸の内部に配置されたヒータとを備え、複数の駆動ローラユニットは、チャンバに基板を搬入しかつチャンバから基板を搬出するために基板の移動方向に沿って列をなすようにして設置され、ヒータの両端は、回転軸と連動しないように、チャンバの側壁の外面に固定されている。
【００１２】
駆動ローラユニットは、基板の搬入及び搬出方向に対して直交して設置され得る。
【００１３】
複数の駆動ローラユニットは、互いに連動可能である。
【００１４】
複数の回転軸の各々の一端に設けられた連動プーリと、複数の連動プーリを互いに連結させる連動ベルトとをさらに備え、複数の連動プーリのうちのいずれか１つを駆動させることにより、複数の駆動ローラユニットが互いに連動可能である。
【００１５】
回転軸の一端に、外部の駆動力を受けるための駆動プーリが連結され得る。
【００１６】
ヒータの両端に、外部電源より電力を受けるための端子が設けられ得る。
【００１７】
ヒータの両端に、ヒータを前記チャンバの外壁に固定させる固定フランジが設けられ得る。
【００１８】
ヒータの内部に、冷却用水または冷却ガスが流れる管と、外部電源より供給される電力によって発熱し、管の外周面を覆う熱線とが設けられ得る。
【００１９】
ヒータの内部両端に、外部電源より電力を受ける導電体が設けられ、ヒータの内部中央には、導電体から電力を受けて発熱する発熱体が設けられ得る。
【００２０】
発熱体の長さは、基板の長さに対応して形成され得る。
【発明の効果】
【００２１】
上記のように構成された本発明によれば、チャンバの内側に配置され、基板を搬入及び搬出する駆動ローラの回転軸にヒータが設置されているため、回転軸に設置されたヒータから基板に対して均一な熱供給が行われ、効率的な熱処理が可能になるという効果がある。
【００２２】
また、本発明によれば、大面積基板をチャンバに搬入及び搬出する駆動ローラの回転軸の内部にヒータを設置することにより、チャンバ内における機器の設置空間を減少させ、チャンバ内空間の活用度を向上できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係るインライン熱処理装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るインライン熱処理装置の構成を示す分解斜視図である。
【図３】図１のＡ部分の詳細図である。
【図４】図３における回転軸と駆動プーリとヒータとの連結状態を示す図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】図１のＣ−Ｃ線断面図である。
【図７】図６のＤ部分の詳細図であって、ヒータの一例を示す図である。
【図８】図６のＤ部分の詳細図であって、ヒータの別の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付図面を参照して本発明の構成を詳細に説明する。
【００２５】
図１は、本発明の一実施形態に係るインライン熱処理装置１００の構成を示す図である。
【００２６】
図２は、本発明の一実施形態に係るインライン熱処理装置１００の構成を示す分解斜視図である。
【００２７】
図３は、図１のＡ部分を示す図である。
【００２８】
図４は、図３における回転軸１２４と駆動プーリ１２６とヒータ１３０との連結状態を示す図である。
【００２９】
図５は、図３のＢ−Ｂ線断面図である。
【００３０】
図６は、図１のＣ−Ｃ線断面図である。
【００３１】
図７は、図６のＤ部分の詳細図であって、ヒータ１３０の一例を示す。
【００３２】
図８は、図６のＤ部分の詳細図であって、ヒータ１３０の別の例を示す。
【００３３】
まず、本発明のインライン熱処理装置１００は、内部に熱処理空間が提供されるチャンバ１１０と、基板（図示せず）を加熱するためにチャンバ１１０の内部または外部に設置された加熱ヒータ（図示せず）と、熱処理工程における雰囲気組成ガスを供給するガス供給管（図示せず）と、ガスを排出するためのガス排気管（図示せず）とを備えて構成され得る。ここで、加熱ヒータ、ガス供給管及びガス排気管の構成は、当該分野においては広く知られている公知の技術であるため、これに関する詳細な説明は省略する。
【００３４】
また、本発明のインライン熱処理装置１００に搬入される基板の材質は、特に制限されず、ガラス、プラスチック、ポリマー、シリコンウエハ、ステンレス鋼など、多様な材質の基板を搬入することが可能である。以下では、ＬＣＤ、ＯＬＥＤ等の平板ディスプレイや薄膜型シリコン太陽電池分野において最も一般的に用いられる矩形状のガラス基板を想定して説明する。
【００３５】
さらに、図１〜図８において、本発明のインライン熱処理装置１００は、１回に１枚の基板を処理する枚葉式のものとして示されているが、必ずしもこれに限定されない。したがって、本発明のインライン熱処理装置１００は、本発明の利用目的に応じて複数枚の基板を同時に処理可能なバッチ式で構成されていてもよい。
【００３６】
図１及び図２では、本発明の一実施形態に係るインライン熱処理装置１００を示している。より具体的には、図１は、本発明の一実施形態に係るインライン熱処理装置１００の特徴的構成が強調されるように方向を設定して示しており、図２は、本発明の一実施形態に係るインライン熱処理装置１００の構成を分解して示している。
【００３７】
図１及び図２に示すように、本発明の一実施形態に係るインライン熱処理装置１００は、チャンバ１１０を備えて構成され得る。チャンバ１１０は、熱処理工程が行われている間は実質的に内部空間が密閉されるように構成され、基板を熱処理するための空間を提供する機能を果たすことができる。チャンバ１１０の形状は、特に制限されないが、図１及び図２に示すように、直方体であることが好ましい。
【００３８】
さらに、図１及び図２に示すように、チャンバ１１０の前壁には、所定の幅及び高さを有する第１開口１１２が形成され得る。第１開口１１２は、基板が搬入される通路としての役割を果たすことができる。熱処理工程が行われている間はチャンバ１１０の内部を密閉するために第１開口１１２が遮断される必要があるため、第１開口１１２には、上下方向に開閉されるドア（図示せず）を設けることができる。
【００３９】
さらに、図１及び図２に示すように、チャンバ１１０の後壁（すなわち、第１開口１１２の反対側）には、所定の幅及び高さを有する第２開口１１４が形成され得る。第２開口１１４は、基板が搬出される通路としての役割を果たすことができる。第１開口１１２と同様に、熱処理工程が行われている間はチャンバ１１０の内部を密閉するために第２開口１１４が遮断される必要があるため、第２開口１１４には、上下方向に開閉されるドア（図示せず）を設けることができる。
【００４０】
さらに、図１及び図２に示すように、チャンバ１１０の上壁には、所定の幅及び高さを有する第３開口１１６が形成され得る。第３開口１１６を介して、チャンバ１１０の内部に配置される構成要素（例えば、ガス供給管及びガス排気管など）の修理及び交替を行うことができる。第１開口１１２及び第２開口１１４と同様に、熱処理工程が行われている間はチャンバ１１０の内部を密閉するために第３開口１１６が遮断される必要があるため、第３開口１１６には、開閉可能なカバーを設けることができる。
【００４１】
一方、図１及び図２には示していないが、チャンバ１１０の下側には、チャンバ１１０を支持するフレーム（図示せず）を設けることができる。フレームの材質は、ステンレス鋼であることが好ましいが、必ずしもこれに限定されない。
【００４２】
次に、図１及び図２をさらに参照すると、本発明の一実施形態に係るインライン熱処理装置１００は、基板の移動方向に沿ってチャンバ１１０の内部に設けられた複数の駆動ローラユニット１２０を備えて構成され得る。複数の駆動ローラユニット１２０は、第１開口１１２を介して搬入された基板を移動させ、基板に対する熱処理中に基板を支持し、かつ熱処理が終了した基板を搬出するために第２開口１１４に移動させる機能を果たすことができる。
【００４３】
このような機能を円滑にするために、図１及び図２に示すように、複数の駆動ローラユニット１２０は、基板の搬入及び搬出方向に対して直交する方向に設置されることが好ましい。また、同様の意味から、複数の駆動ローラユニット１２０は、チャンバ１１０の内部に同一の高さに設置されることが好ましい。
【００４４】
また、同様の意味から、複数の駆動ローラユニット１２０は互いに連動する（すなわち、いずれか１つの駆動ローラユニット１２０が動作すると、他の駆動ローラユニット１２０も共に動作する）ことが好ましい。このため、インライン熱処理装置１００は、連動プーリ１４０及び連動ベルト１４２をさらに備えて構成され得るが、これについては後述する。
【００４５】
また、図１及び図２には示していないが、チャンバ１１０の内部に設置される駆動ローラユニット１２０とは異なる別の駆動ローラユニット（図示せず）を、チャンバ１１０の前方及び後方、すなわち、第１開口１１２及び第２開口１１４の外側にそれぞれ複数個設置することもできる。別の駆動ローラユニットは、チャンバ１１０への基板の搬入及び搬出が容易に行われるようにする機能を果たすことができる。このような機能を増強させるために、チャンバ１１０の内部に設置される駆動ローラユニット１２０と別の駆動ローラユニットとは、互いに連動することが好ましい。
【００４６】
一方、図１及び図２をさらに参照すると、駆動ローラユニット１２０は、駆動ローラ１２２及び回転軸１２４を備えて構成され得る。
【００４７】
まず、駆動ローラ１２２は、後述する回転軸１２４の外周面に沿って形成され、基板の下面と接触し、基板を移動及び支持機能を果たすことができる。図２に示すように、駆動ローラ１２２は、各駆動ローラユニット１２０に複数個備えられることが好ましい。これにより、駆動ローラ１２２による基板の移動及び支持がより安定化することができる。
【００４８】
このように、駆動ローラ１２２が各駆動ローラユニット１２０に複数個備えられる場合、各駆動ローラユニット１２０に備えられる複数の駆動ローラ１２２は、設置位置に応じて互いに異なる幅に形成され得るが、直径はすべて等しく形成されることが好ましい。また、各駆動ローラユニット１２０に備えられる駆動ローラ１２２の個数は、搬入される基板の安定した移動及び支持が可能な範囲で決定されることが好ましい。
【００４９】
一方、図７及び図８に示すように、各駆動ローラユニット１２０に備えられる複数の駆動ローラ１２２のうち、両端に最も近い位置に配置される駆動ローラ１２２には、その外周面の一端側に、離脱防止顎部１２２ａが形成され得る。離脱防止顎部１２２ａは、基板が定められた位置から離脱するのを防止する機能を果たすことができる。
【００５０】
次に、回転軸１２４は、駆動ローラ１２２の中心軸線を通過するように設けられ、駆動ローラ１２２を回転させる機能を果たすことができる。より具体的には、回転軸１２４は、外部から駆動力を受けてその長手方向軸線を中心に回転し、その外周面に沿って形成された駆動ローラ１２２を回転させる機能を果たすことができる。
【００５１】
駆動ローラ１２２を回転させるために、回転軸１２４の両端は、後述する固定フランジ１３４のような機構を介して、チャンバ１１０の両側壁に回転可能に連結され得る。また、外部から駆動力を受けるために、回転軸１２４の一端には駆動プーリ１２６が設けられ得る。駆動プーリ１２６は、回転駆動力を回転軸１２４に伝達する機能を果たすことができる。例えば、図４に示すように、モータプーリ１５２及び駆動ベルト１２８によりモータ１５０の駆動力を受け、その駆動力を回転軸１２４に伝達する機能を果たすことができる。
【００５２】
駆動プーリ１２６は、回転軸１２４のどの位置に設けられてもよいが、図４に示すように、チャンバ１１０の外部に延出する回転軸１２４の一端に設けられ得ることが好ましい。より具体的には、回転軸１２４の一端は、チャンバ１１０の一方の側壁を介してチャンバ１１０の外部に長く延出することができるが、このように延出した部位に、外部から駆動力が伝達できるように駆動プーリ１２６が設けられ得る。
【００５３】
また、駆動プーリ１２６は、各回転軸１２４の一端に設けられてもよいが、図２に示すように、複数の回転軸１２４のうちのいずれか１つの回転軸１２４に設けられ得ることが好ましい。これは、複数の駆動ローラユニット１２０を互いに連動させやすくするためである。このような駆動ローラユニット１２０の連動は、次の構成によりさらに具体化することができる。
【００５４】
図４に示すように、上述したように、インライン熱処理装置１００は、連動プーリ１４０及び連動ベルト１４２をさらに備えて構成され得る。連動プーリ１４０は、複数の回転軸１２４各々の一端に設けられ、駆動ローラユニット１２０が連動できるようにする機能を果たすことができる。また、連動ベルト１４２は、複数の連動プーリ１４０の外周面に接触するように設けられ、複数の連動プーリ１４０を互いに連結させる機能を果たすことができる。
【００５５】
連動プーリ１４０及び連動ベルト１４２により駆動ローラユニット１２０が連動するメカニズムは、次のとおりである。まず、複数の連動プーリ１４０のうちのいずれか１つの連動プーリ１４０が外部から駆動力を受けて駆動すると、その外周面と接触している連動ベルト１４２が駆動する。これにより、連動ベルト１４２と接触している別の連動プーリ１４０が順次駆動し、結果として、複数の駆動ローラユニット１２０が互いに連動するようになる。
【００５６】
このメカニズムから、いずれか１つの連動プーリ１４０にのみ駆動力が伝達されると、すべての駆動ローラユニット１２０が互いに連動することが分かる。このような駆動力の伝達は、図４に示すように、駆動プーリ１２６によって行われることが好ましい。結果として、駆動プーリ１２６は、複数の回転軸１２４のうちのいずれか１つの回転軸１２４にのみ設けられることが好ましい。
【００５７】
このとき、図４に示すように、駆動プーリ１２６と連動プーリ１４０とは、互いに隣接して形成され得る。この場合、駆動プーリ１２６及び連動プーリ１４０の駆動メカニズムを考えて、「コ」の字型に折り曲げられた固定ブラケット１６０をチャンバ１１０の側壁の外面に設けることができる。固定ブラケット１６０は、チャンバ１１０の外部に延出した回転軸１２４と回転可能に結合可能であり、その下部には、駆動ベルト１２８が通過する孔１６２が形成され得る。これにより、モータ１５０の駆動力が駆動ベルト１２８を介して駆動プーリ１２６に伝達され、回転軸１２４が円滑に回転できるようになる。また、固定ブラケット１６０は、開放された両側部を有することができる。これにより、連動ベルト１４２が固定ブラケット１６０の開放された両側部を介して通過できるようになり、駆動ローラユニット１２０の連動はより円滑になり得る。
【００５８】
一方、連動プーリ１４０及び連動ベルト１４２により駆動ローラユニット１２０が連動する場合、チャンバ１１０には、連動ベルト１４２の張力（テンション）を調整するためのテンションプーリ１５４をさらに設けることができる。図４に示すように、テンションプーリ１５４は、連動ベルト１４２と密着し、連動ベルト１４２の張力を調整することにより、駆動力の伝達を容易にする。テンションプーリ１５４は、複数個からなり、複数の連動プーリ１４０間の位置において連動ベルト１４２に密着することが好ましい。
【００５９】
もちろん、回転軸１２４は、外部の駆動力を受けて回転可能であり、また、複数の回転軸１２４が互いに連動できるものであれば、本発明に採用される構成要素及びこれによる動作などは、上述したものに限定されない。
【００６０】
一方、回転軸１２４は、駆動ローラ１２２を回転させる機能のみならず、その内部にヒータ１３０が設置されるための空間を提供する機能も果たすことができる。このため、図５に示すように、回転軸１２４は、中心軸線に沿って内部に空間が形成される中空形状に形成され得る。以下では、本発明の特徴的構成要素であるヒータ１３０について説明する。
【００６１】
図５に示すように、本発明の一実施形態に係るインライン熱処理装置１００は、ヒータ１３０を備えて構成され得る。ヒータ１３０は、外部から供給される電力によって熱を発生させて基板に加える機能を果たすことができる。ヒータ１３０は、回転軸１２４の内部空間に配置されるが、これにより、基板に対する効率的な熱処理を行うことができ、チャンバ１１０内空間の活用度を最大にすることができる。
【００６２】
また、図５に示すように、ヒータ１３０の両端は、チャンバ１１０の両側壁の外面に固定される。これは、回転軸１２４が基板を移動させるために回転する際にもヒータ１３０は回転しないようにすることにより、後述する外部端子１３２などに接続されるヒータ１３０のメンテナンスを容易にするためである。このため、ヒータ１３０は、回転軸１２４の内部空間に配置され、その長さは、回転軸１２４の長さより大きく形成され得る。これにより、ヒータ１３０の両端は、回転軸１２４の両端を介してチャンバ１１０の外部に延出する。このように延出したヒータ１３０の両端は、チャンバ１１０の両側壁の外面に固定できるようになる。
【００６３】
ヒータ１３０をチャンバ１１０の両側壁の外面に固定させるために、ヒータ１３０の両端に固定フランジ１３４を設けることができる。固定フランジ１３４は、回転軸１２４から突出したヒータ１３０の両端を固定することにより、回転軸１２４が回転してもヒータ１３０は回転しないようにする機能を果たすことができる。このように、固定フランジ１３４をヒータ１３０の両端に設ける場合、図３に示すように、チャンバ１１０の側壁の外面に設けられた固定ブラケット１６０の側部に固定フランジ１３４を配置することができる。
【００６４】
一方、ヒータ１３０の両端の延出部分には端子１３２を設けることができる。端子１３２は、外部の電力をヒータ１３０に伝達してヒータ１３０が発熱できるようにする機能を果たすことができる。本発明における端子１３２は、特に限定されず、多種の端子が利用可能である。
【００６５】
一方、本発明の一実施形態に係るヒータ１３０は、その内部に冷却用水または冷却ガスが流れる管が設置され、この管の外周面に、外部電源より供給される電力によって発熱する熱線が配設される形態に構成され得る。このような形態に構成できるものであれば、ヒータ１３０内の具体的な構成は、特に限定されないが、図７の如く構成され得ることが好ましい。
【００６６】
図７に示すように、ヒータ１３０の中心軸線に沿って形成された内部には、中空の第１の管１３０ａと、第１の管１３０ａの外周面を取り囲みかつ第１の管１３０ａから所定距離だけ離隔して配置される第２の管１３０ｂとが配置されている。また、第２の管１３０ｂの外周面も、回転軸１２４の内周面と所定距離だけ離隔しており、図示していないが、第１の管１３０ａと第２の管１３０ｂとの間の離隔空間には、第１の管１３０ａを覆うコイル状熱線（図示せず）が配置されている。この構成を採用することにより、熱線で発生した熱が、駆動ローラ１２２に支持される基板に加えられ、基板の熱処理を行うことができる。また、熱処理終了後は、基板の搬出のために、第１の管１３０ａの内側に冷却用水または冷却ガスを流すことにより、チャンバ１１０内の冷却を速やかに行うことができる。
【００６７】
ここで、熱線の材質にはニクロムを含むことができ、第１の管１３０ａ及び第２の管１３０ｂの材質には石英を含むことができる。また、第１の管１３０ａに冷却用水または冷却ガスを供給して流すという構成は、韓国特許出願公開第２００８−１１０８１３号公報（特許文献１）及び韓国特許出願公開第２００８−１１０８１４号公報（特許文献２）に開示されている構成を利用することができる。
【００６８】
また、本発明の一実施形態に係るヒータ１３０は、その内部両端に導電体１３０ｄが設けられ、その内部中央に発熱体１３０ｃが設けられる形態に構成され得る。より具体的には、図８に示すように、ヒータ１３０の内部両端に、端子１３２を介して外部電源より電力を受ける導電体１３０ｄを設け、ヒータ１３０の内部中央に、導電体１３０ｄから供給された電力によって熱を発生させて基板に加える発熱体１３０ｃを設けることができる。この構成を採用することにより、発熱体１３０ｃで熱を優先的に発生させることができるようになるため、基板の効率的な熱処理が可能になる。
発熱体１３０ｃの材質にはニクロムまたはカンタルを含むことができ、導電体１３０ｄの材質にはステンレス鋼（ＳＵＳ）を含むことができる。また、基板のより効率的な熱処理のために、発熱体１３０ｃを基板の長さに対応するように構成することができる。
【００６９】
このように構成されたインライン熱処理装置１００の動作及びこれによる熱処理工程は、従来のインライン方式の熱処理装置と同じであるため、これに関する詳細な説明は省略する。
【００７０】
本発明では、ヒータ１３０で発生した熱によって基板に対する熱処理が行われるとき、基板面はヒータ１３０と平行に位置するため、ヒータ１３０で発生した熱は、基板全体に均一に加えられ、均一な熱処理が可能になる。
【００７１】
また、ヒータ１３０は、回転軸１２４の内部に配置されるため、チャンバ１１０内においてヒータ１３０の設置空間を減少させることができる。
【００７２】
本発明は、上述したように、好適実施形態を挙げて図示及び説明したが、上記の実施形態に限定されず、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、当業者による多様な変形形態及び変更形態が可能である。そのような変形形態及び変更形態は、本発明に添付された特許請求の範囲に属するものとみなすべきである。
【符号の説明】
【００７３】
１００：インライン熱処理装置
１１０：チャンバ
１１２：第１開口
１１４：第２開口
１１６：第３開口
１２０：駆動ローラユニット
１２２：駆動ローラ
１２４：回転軸
１２６：駆動プーリ
１２８：駆動ベルト
１３０：ヒータ
１３２：端子
１３４：固定フランジ
１４０：連動プーリ
１４２：連動ベルト
１５０：モータ
１５２：モータプーリ
１５４：テンションプーリ
１６０：固定ブラケット
１６２：孔
【図１】
2012521653.tif 000003
【図２】
2012521653.tif 000004
【図３】
2012521653.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2012521653.tif 000010
【国際調査報告】
2012521653.tif 000011
2012521653.tif 000012
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