【手続補正書】
【提出日】平成23年8月5日(2011.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）一般式（１）で表される構造を主成分とする樹脂、（ｂ）キノンジアジド化合物、（ｃ）一般式（２）で表されるアルコキシメチル基含有化合物、（ｄ）熱分解開始温度が２５０℃以下である酸発生剤および（ｅ）溶剤を含有し、前記（ｃ）一般式（２）で表されるアルコキシメチル基含有化合物の含有量は、（ａ）一般式（１）で表される構造を主成分とする樹脂１００重量部に対して２５〜６０重量部であり、前記（ｄ）熱分解開始温度が２５０℃以下である酸発生剤が一般式（３）または（４）で表される化合物であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】
2010044143.tif 000001
（一般式（１）中、Ｒ１およびＲ２はそれぞれ同じでも異なってもよく、炭素数２以上の２〜８価の有機基を示す。Ｒ３およびＲ４はそれぞれ同じでも異なってもよく、水素原子または炭素数１〜２０の１価の有機基を示す。ｎは１０〜１００００の範囲、ｍおよびｌは０〜２の整数、ｐおよびｑは０〜４の整数を示す。ただし、ｐ＋ｑ＞０である。）
【化２】
2010044143.tif 000002
（一般式（２）中、Ｒ５およびＲ６はそれぞれ同じでも異なってもよく、ＣＨ２ＯＲ２０（Ｒ２０は炭素数１〜６の１価の有機基を示す）を示す。Ｒ７は水素原子、メチル基またはエチル基を示す。Ｒ８〜Ｒ１９はそれぞれ同じでも異なってもよく、水素原子または炭素数１〜２０の１価の有機基を示す。ｕは３または４を示す。）
【化３】
2010044143.tif 000003
（一般式（３）中のＲ２１および（４）中のＲ２２〜Ｒ２３は同じでも異なってもよく、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数６〜１２の１価の芳香族基を示す。）
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、（ａ）一般式（１）で表される構造を主成分とする樹脂、（ｂ）キノンジアジド化合物、（ｃ）一般式（２）で表されるアルコキシメチル基含有化合物、（ｄ）熱分解開始温度が２５０℃以下である酸発生剤および（ｅ）溶剤を含有し、前記（ｃ）一般式（２）で表されるアルコキシメチル基含有化合物の含有量は、（ａ）一般式（１）で表される構造を主成分とする樹脂１００重量部に対して２５〜６０重量部であり、前記（ｄ）熱分解開始温度が２５０℃以下である酸発生剤が一般式（３）または（４）で表される化合物であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
一般式（２）中、Ｒ５およびＲ６はそれぞれ同じでも異なってもよく、ＣＨ２ＯＲ２０（Ｒ２０は炭素数１〜６の１価の有機基を示す）を示す。Ｒ７は水素原子、メチル基またはエチル基を示す。Ｒ８〜Ｒ１９はそれぞれ同じでも異なってもよく、水素原子または炭素数１〜２０の１価の有機基を示す。ｕは３または４を示す。
【化３】
2010044143.tif 000004
（一般式（３）中のＲ２１および（４）中のＲ２２〜Ｒ２３は同じでも異なってもよく、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数６〜１２の１価の芳香族基を示す。）
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【化４】
2010044143.tif 000005
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【化５】
2010044143.tif 000006
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
【化６】
2010044143.tif 000007
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
【化７】
2010044143.tif 000008
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
（ｃ）一般式（２）で表されるアルコキシメチル基含有化合物の含有量は、（ａ）一般式（１）で表される構造を主成分とする樹脂１００重量部に対して２５重量部以上である。２５重量部以上であると架橋密度が高くなり、耐薬品性がより向上する。一方、ポジ型感光性樹脂組成物の保存安定性、機械強度の観点から６０重量部以下であり、５０重量部以下が好ましく、４０重量部以下がより好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
（ｄ）熱分解開始温度が２５０℃以下である酸発生剤であって、一般式（３）または（４）で表される化合物
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、（ｄ）熱分解開始温度が２５０℃以下である酸発生剤であって、一般式（３）または（４）で表される化合物を含有する。本発明に用いる（ｄ）成分の酸発生剤は、後述する現像後加熱により酸を発生し、（ａ）成分の樹脂と（ｃ）成分のアルコキシメチル基含有化合物との架橋反応の触媒となって架橋を促進するため、低温硬化においても架橋反応が十分進行し、硬化膜の耐薬品性を飛躍的に向上させることができる。また、（ａ）成分の樹脂のイミド環、オキサゾール環の環化を促進するため、低温硬化においても環化反応が十分に進行し、硬化膜の耐薬品性が向上する。本発明においては、（ｄ）成分の酸発生剤の熱分解開始温度が２５０℃以下であることが重要である。熱分解開始温度が２５０℃を超えると、低温硬化において十分な酸が発生されず、架橋反応および環化反応が十分進行せず、硬化膜の耐薬品性が低下する。トリアリールスルホニウム塩のような熱安定性に優れた酸発生剤は、分解開始温度が高く、好ましくない。また、酸発生剤の熱分解開始温度は１５０℃以上が好ましく、１５０℃以上であることでパターン加工時のプリベーク工程での酸の失活を防ぐことができる。酸発生剤から発生する酸は強酸が好ましい。
【化８】
2010044143.tif 000009
（一般式（３）中のＲ２１および（４）中のＲ２２〜Ｒ２３は同じでも異なってもよく、炭素数１〜１０のアルキル基または炭素数６〜１２の１価の芳香族基を示す。）
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
（ｄ）熱分解開始温度が２５０℃以下である酸発生剤であって、一般式（３）または（４）で表される化合物としては、２種以上含有してもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
【化９】
2010044143.tif 000010
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
【化１０】
2010044143.tif 000011
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
【化１１】
2010044143.tif 000012
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
【化１２】
2010044143.tif 000013
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
【化１３】
2010044143.tif 000014
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
【化１４】
2010044143.tif 000015
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
【化１５】
2010044143.tif 000016