【手続補正書】
【提出日】平成20年11月25日(2008.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークピースチャックの温度制御システムは、
温度制御用流体の温度を制御する温度制御装置と、
流体導入口および流体排出口であって、前記温度制御用流体は前記流体導入口および前記流体排出口を介して前記チャックに対して搬入および搬出される流体導入口および流体排出口と、
前記温度制御装置を制御するコントローラであって、前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量を制御して、前記チャックの前記温度を変化させている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の前記流量が、前記チャックの前記温度がある設定点温度に保たれている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の前記流量よりも大であるようにするコントローラと、
前記流体導入口および前記流体排出口の一方に連結された第１の流体搬送経路と、
前記第１の流体搬送経路に連結された入力と出力とを有する第１の流量制御装置と、前記第１の流体搬送経路に連結された入力と出力とを有し前記第１の流量制御装置に並列に存在する第２の流量制御装置と、を含む温度制御システム。
【請求項２】
請求項１に記載の温度制御システムであって、さらに
前記温度制御用流体の前記流量を変化させるように制御可能な前記第１及び第２の流量制御装置を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項３】
請求項２に記載の温度制御システムであって、さらに、
前記流体導入口および前記流体排出口の他方に連結された第２の流体搬送経路を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項４】
請求項３に記載の温度制御システムであって、
前記第１の流量制御装置は、固定開口式の流量減衰装置を含み、
前記第２の流量制御装置は、前記固定開口式流量減衰装置に並列に存在する制御可能なバルブを含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項５】
請求項４に記載の温度制御システムであって、
前記コントローラは、前記制御可能なバルブを制御して、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの温度を所望の設定点に保つ場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項６】
請求項３に記載の温度制御システムであって、
前記第１の流量制御装置は、第１の制御可能なバルブを含み、
前記第２の流量制御装置は、前記第１の制御可能なバルブと並列に連結された第２の制御可能なバルブとを含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項７】
請求項６に記載の温度制御システムであって、
前記コントローラは、前記第１および第２の制御可能なバルブを制御して、前記第１および第２の制御可能なバルブの一方が、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの前記温度を所望の設定点に保つ場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項８】
請求項１に記載の温度制御システムであって、さらに、
前記導入口および前記排出口の他方に連結された第２の流体搬送経路と、
前記第１および第２の流体搬送経路の間に連結された毛細管と、を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項９】
請求項８に記載の温度制御システムであって、
前記毛細管は、前記第１および第２の流体搬送経路の圧力をバランスさせるように構成されることを特徴とする温度制御システム。
【請求項１０】
請求項８に記載の温度制御システムであって、さらに、
前記第１の流体搬送経路における第１のバルブと、前記第２の流体搬送経路における第２のバルブとを含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項１１】
請求項１０に記載の温度制御システムであって、
前記第１および第２のバルブは、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に閉じて前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項１２】
請求項１１に記載の温度制御システムであって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御システム。
【請求項１３】
請求項１に記載の温度制御システムであって、さらに、
前記導入口および前記排出口の他方に連結された第２の流体搬送経路と、
前記第１の流体搬送経路における第１のバルブと、
前記第２の流体搬送経路における第２のバルブと、を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項１４】
請求項１３に記載の温度制御システムであって、
前記第１および第２のバルブは、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に閉じて前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項１５】
請求項１４に記載の温度制御システムであって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御システム。
【請求項１６】
請求項１に記載の温度制御システムであって、
前記コントローラは、前記温度制御装置を制御して、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に、前記温度制御用流体が前記チャックに入り込まないようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項１７】
請求項１６に記載の温度制御システムであって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御システム。
【請求項１８】
ワークピースチャックの温度制御システムは、
温度制御用流体の温度を制御する温度制御装置と、
流体導入口および流体排出口であって、前記温度制御用流体を前記流体導入口および前記流体排出口を介して前記チャックに対して搬入および搬出させる流体導入口および流体排出口と、
前記温度制御装置を制御して、前記チャックの温度が所定の温度より高くなった場合に、前記温度制御用流体が前記チャックに入り込まないようにするコントローラと、を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項１９】
請求項１８に記載の温度制御システムであって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御システム。
【請求項２０】
請求項１８に記載の温度制御システムであって、さらに、
前記導入口および前記排出口の一方に連結された第１の流体搬送経路と、
前記導入口および前記排出口の他方に連結された第２の流体搬送経路と、
前記第１の流体搬送経路における第１のバルブと、
前記第２の流体搬送経路における第２のバルブと、を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項２１】
請求項２０に記載の温度制御システムであって、
前記第１および第２のバルブは、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に閉じて前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項２２】
請求項２１に記載の温度制御システムであって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御システム。
【請求項２３】
請求項１８に記載の温度制御システムであって、さらに、
前記導入口および前記排出口の一方に連結された第１の流体搬送経路と、
前記導入口および前記排出口の他方に連結された第２の流体搬送経路と、
前記第１および第２の流体搬送経路の間に連結された毛細管と、を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項２４】
請求項２３に記載の温度制御システムであって、
前記毛細管は、前記第１および第２の流体搬送経路の圧力をバランスさせるように構成されることを特徴とする温度制御システム。
【請求項２５】
請求項２３に記載の温度制御システムであって、さらに、
前記第１の流体搬送経路における第１のバルブと、前記第２の流体搬送経路における第２のバルブとを含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項２６】
請求項２５に記載の温度制御システムであって、
前記第１および第２のバルブは、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に閉じて前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項２７】
請求項２６に記載の温度制御システムであって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御システム。
【請求項２８】
請求項１８に記載の温度制御システムであって、
前記コントローラは、前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量を制御して、前記チャックの温度を変化させている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量が、前記チャックの前記温度がある設定点温度に保たれている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量よりも大であるようにし、
前記システムは、さらに、前記温度制御用流体の前記流量を変化させるように制御可能な流量制御装置を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項２９】
請求項２８に記載の温度制御システムであって、さらに、
前記導入口および前記排出口の一方に連結された第１の流体搬送経路と、
前記導入口および前記排出口の他方に連結された第２の流体搬送経路と、
を含み、
前記流量制御装置は、前記第１および第２の流体搬送経路のいずれかに連結されることを特徴とする温度制御システム。
【請求項３０】
請求項２９に記載の温度制御システムであって、
前記流量制御装置は、
前記第１および第２の流体搬送経路のいずれかに存在する固定開口式の流量減衰装置と、
前記固定開口式流量減衰装置に並列に存在する制御可能なバルブと、を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項３１】
請求項３０に記載の温度制御システムであって、
前記流量制御装置は、前記制御可能なバルブを制御して、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの前記温度を所望の設定点に保つ場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項３２】
請求項２９に記載の温度制御システムであって、
前記流量制御装置は、
前記第１および第２の流体搬送経路の一方に連結された第１の制御可能なバルブと、
前記第１の制御可能なバルブと並列に第１および第２の流体搬送経路の前記一方に連結された第２の制御可能なバルブとを含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項３３】
請求項３２に記載の温度制御システムであって、
前記コントローラは、前記第１および第２の制御可能なバルブを制御して、前記第１および第２の制御可能なバルブの一方が、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの前記温度を所望の設定点に保つようにする場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項３４】
ワークピースチャックの温度制御システムは、
温度制御用流体の温度を制御する温度制御装置と、
流体導入口および流体排出口であって、前記温度制御用流体は前記流体導入口および前記流体排出口を介して前記チャックに対して搬入および搬出される流体導入口および流体排出口と、
前記流体導入口および前記流体排出口の一方に連結された第１の流体搬送経路と、
前記流体導入口および前記流体排出口の他方に連結された第２の流体搬送経路と、
前記温度制御装置を制御するコントローラであって、（１）前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量を制御して、前記チャックの前記温度を変化させている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量が、前記チャックの前記温度がある設定点温度に保たれている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の前記流量よりも大であるようにし、また（２）前記温度制御装置を制御して、前記チャックの温度が所定の温度より高くなった場合に前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにするコントローラと、
前記温度制御用流体の前記流量を変化させるように前記コントローラによって制御可能な流量制御装置と、を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項３５】
請求項３４に記載の温度制御システムであって、
前記流量制御装置は、前記第１および第２の流体搬送経路のいずれかに連結されることを特徴とする温度制御システム。
【請求項３６】
請求項３５に記載の温度制御システムであって、
前記流量制御装置は、
前記第１および第２の流体搬送経路のいずれかに存在する固定開口式の流量減衰装置と、
前記固定開口式流量減衰装置に並列に存在する制御可能なバルブと、を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項３７】
請求項３６に記載の温度制御システムであって、
前記コントローラは、前記制御可能なバルブを制御して、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの温度を所望の設定点に保つようにする場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項３８】
請求項３５に記載の温度制御システムであって、
前記流量制御装置は、
前記第１および第２の流体搬送経路の一方に連結された第１の制御可能なバルブと、
前記第１の制御可能なバルブと並列に第１および第２の流体搬送経路の前記一方に連結された第２の制御可能なバルブと、を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項３９】
請求項３８に記載の温度制御システムであって、
前記コントローラは、前記第１および第２の制御可能なバルブを制御して、前記第１および第２の制御可能なバルブの一方が、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの前記温度を所望の設定点に保つ場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項４０】
請求項３４に記載の温度制御システムであって、さらに、
前記第１および第２の流体搬送経路の間に連結された毛細管を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項４１】
請求項４０に記載の温度制御システムであって、
前記毛細管は、前記第１および第２の流体搬送経路の圧力をバランスさせるように構成されることを特徴とする温度制御システム。
【請求項４２】
請求項３４に記載の温度制御システムであって、さらに、
前記第１の流体搬送経路における第１のバルブと、
前記第２の流体搬送経路における第２のバルブと、を含むことを特徴とする温度制御システム。
【請求項４３】
請求項４２に記載の温度制御システムであって、
前記第１および第２のバルブは、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に閉じて前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにすることを特徴とする温度制御システム。
【請求項４４】
請求項４３に記載の温度制御システムであって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御システム。
【請求項４５】
ワークピースチャックの温度制御方法は、
温度制御装置を用いて温度制御用流体の温度を制御するステップと、
流体導入口および流体排出口を介して前記温度制御用流体を前記チャックに対して搬入および搬出させるステップと、
前記温度制御装置を制御するコントローラを設けるステップであって、前記コントローラは前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量を制御して、前記チャックの前記温度を変化させている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の前記流量が、前記チャックの前記温度がある設定点温度に保たれている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の前記流量よりも大であるようにするコントローラを設けるステップと、
第１の流体搬送経路を前記流体導入口および前記流体排出口の一方に連結するステップと、
前記第１の流体搬送経路に連結された入力と出力とを有する第１の流量制御装置と、前記第１の流体搬送経路に連結された入力と出力とを有し前記第１の流量制御装置に並列に存在する第２の流量制御装置と、を備えるステップと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項４６】
請求項４５に記載の温度制御方法であって、さらに
前記温度制御用流体の前記流量を変化させるように制御可能な前記第１及び第２の流量制御装置を設けるステップを含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項４７】
請求項４６に記載の温度制御方法であって、さらに、
前記導入口および前記排出口の他方に第２の流体搬送経路を連結するステップと、
前記第１および第２の流体搬送経路のいずれかに前記流量制御装置を連結するステップと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項４８】
請求項４７に記載の温度制御方法であって、
前記第１の流量制御装置は、固定開口式の流量減衰装置を含み、
前記第２の流量制御装置は、前記固定開口式流量減衰装置に並列に存在する制御可能なバルブを含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項４９】
請求項４８に記載の温度制御方法であって、
前記コントローラは、前記制御可能なバルブを制御して、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの温度を所望の設定点に保つようにする場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項５０】
請求項４７に記載の温度制御方法であって、
前記第１の流量制御装置は、第１の制御可能なバルブと、
前記第１の制御可能なバルブと並列に連結された第２の制御可能なバルブと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項５１】
請求項５０に記載の温度制御方法であって、
前記コントローラは、前記第１および第２の制御可能なバルブを制御して、前記第１および第２の制御可能なバルブの一方が、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの前記温度を所望の設定点に保つ場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項５２】
請求項４５に記載の温度制御方法であって、さらに、
前記導入口および前記排出口の他方に第２の流体搬送経路を連結するステップと、
前記第１および第２の流体搬送経路の間に毛細管を連結するステップと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項５３】
請求項５２に記載の温度制御方法であって、
前記毛細管は、前記第１および第２の流体搬送経路の圧力をバランスさせるように構成されることを特徴とする温度制御方法。
【請求項５４】
請求項５２に記載の温度制御方法であって、さらに、
前記第１の流体搬送経路における第１のバルブ、および前記第２の流体搬送経路における第２のバルブを供給するステップを含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項５５】
請求項５４に記載の温度制御方法であって、
前記第１および第２のバルブは、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に閉じて前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項５６】
請求項５５に記載の温度制御方法であって、
前記所定の温度は前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御方法。
【請求項５７】
請求項４５に記載の温度制御方法であって、さらに、
前記導入口および前記排出口の他方に第２の流体搬送経路を連結するステップと、
前記第１の流体搬送経路に第１のバルブを設けるステップと、
前記第２の流体搬送経路に第２のバルブを設けるステップと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項５８】
請求項５７に記載の温度制御方法であって、
前記第１および第２のバルブは、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に閉じて前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項５９】
請求項５８に記載の温度制御方法であって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御方法。
【請求項６０】
請求項４５に記載の温度制御方法であって、
前記コントローラは、前記温度制御装置を制御して、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に、前記温度制御用流体が前記チャックに入り込まないようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項６１】
請求項６０に記載の温度制御方法であって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御方法。
【請求項６２】
ワークピースチャックの温度制御方法は、
温度制御装置を用いて温度制御用流体の温度を制御するステップと、
流体導入口および流体排出口を介して前記温度制御用流体を前記チャックに対して搬入および搬出させるステップと、
前記温度制御装置を制御して、前記チャックの温度が所定の温度より高くなった場合に前記温度制御用流体が前記チャックに入り込まないようにするコントローラを設けるステップとを含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項６３】
請求項６２に記載の温度制御方法であって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御方法。
【請求項６４】
請求項６２に記載の温度制御方法であって、さらに、
前記導入口および前記排出口の一方に第１の流体搬送経路を連結するステップと、
前記導入口および前記排出口の他方に第２の流体搬送経路を連結するステップと、
前記第１の流体搬送経路に第１のバルブを設けるステップと、
前記第２の流体搬送経路に第２のバルブを設けるステップと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項６５】
請求項６４に記載の温度制御方法であって、
前記第１および第２のバルブは、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に閉じて前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項６６】
請求項６５に記載の温度制御方法であって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御方法。
【請求項６７】
請求項６２に記載の温度制御方法であって、さらに、
前記導入口および前記排出口の一方に第１の流体搬送経路を連結するステップと、
前記導入口および前記排出口の他方に第２の流体搬送経路を連結するステップと、
前記第１および第２の流体搬送経路の間に毛細管を連結するステップと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項６８】
請求項６７に記載の温度制御方法であって、
前記毛細管は、前記第１および第２の流体搬送経路の圧力をバランスさせるように構成されることを特徴とする温度制御方法。
【請求項６９】
請求項６７に記載の温度制御方法であって、さらに、
前記第１の流体搬送経路に第１のバルブを設け、前記第２の流体搬送経路に第２のバルブを設けるステップを含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項７０】
請求項６９に記載の温度制御方法であって、
前記第１および第２のバルブは、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に閉じて前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項７１】
請求項７０に記載の温度制御方法であって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御方法。
【請求項７２】
請求項６２に記載の温度制御方法であって、
前記コントローラは、前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量を制御して、前記チャックの温度を変化させている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量が、前記チャックの前記温度がある設定点温度に保たれている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量よりも大であるようにし、
流量制御装置がコントローラによって制御されて前記温度制御用流体の前記流量を変化させることを特徴とする温度制御方法。
【請求項７３】
請求項７２に記載の温度制御方法であって、さらに、
前記導入口および前記排出口の一方に第１の流体搬送経路を連結するステップと、
前記導入口および前記排出口の他方に第２の流体搬送経路を連結するステップと、
を含み、
前記流量制御装置は、前記第１および第２の流体搬送経路のいずれかに連結されることを特徴とする温度制御方法。
【請求項７４】
請求項７３に記載の温度制御方法であって、
前記流量制御装置は、
前記第１および第２の流体搬送経路のいずれかに存在する固定開口式の流量減衰装置と、
前記固定開口式流量減衰装置に並列に存在する制御可能なバルブと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項７５】
請求項７４に記載の温度制御方法であって、
前記流量制御装置は、前記制御可能なバルブを制御して、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの前記温度を所望の設定点に保つ場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項７６】
請求項７３に記載の温度制御方法であって、
前記流量制御装置は、
前記第１および第２の流体搬送経路の一方に連結された第１の制御可能なバルブと、
前記第１の制御可能なバルブと並列に第１および第２の流体搬送経路の前記一方に連結された第２の制御可能なバルブと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項７７】
請求項７６に記載の温度制御方法であって、
前記コントローラは、前記第１および第２の制御可能なバルブを制御して、前記第１および第２の制御可能なバルブの一方が、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの前記温度を所望の設定点に保つ場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項７８】
ワークピースチャックの温度制御方法は、
温度制御装置を用いて温度制御用流体の温度を制御するステップと、
流体導入口および流体排出口を介して前記温度制御用流体を前記チャックに対して搬入および搬出させるステップと、
前記流体導入口および前記流体排出口の一方に第１の流体搬送経路を連結するステップと、
前記流体導入口および前記流体排出口の他方に第２の流体搬送経路を連結するステップと、
前記温度制御装置を制御するコントローラを設けるステップであって、（１）前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量を制御して、前記チャックの前記温度を変化させている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の流量が、前記チャックの前記温度がある設定点温度に保たれている場合に前記チャックを通過する前記温度制御用流体の前記流量よりも大であるようにし、また（２）前記温度制御装置を制御して、前記チャックの温度が所定の温度より高くなった場合に前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにするコントローラを設けるステップと、
前記温度制御用流体の前記流量を変化させるように前記コントローラによって制御可能な流量制御装置を設けるステップと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項７９】
請求項７８に記載の温度制御方法であって、
前記流量制御装置は、前記第１および第２の流体搬送経路のいずれかに連結されることを特徴とする温度制御方法。
【請求項８０】
請求項７９に記載の温度制御方法であって、
前記流量制御装置は、
前記第１および第２の流体搬送経路のいずれかに存在する固定開口式の流量減衰装置と、
前記固定開口式流量減衰装置に並列に存在する制御可能なバルブと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項８１】
請求項８０に記載の温度制御方法であって、
前記コントローラは、前記制御可能なバルブを制御して、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの温度を所望の設定点に保つ場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項８２】
請求項７９に記載の温度制御方法であって、
前記流量制御装置は、
前記第１および第２の流体搬送経路の一方に連結された第１の制御可能なバルブと、
前記第１の制御可能なバルブと並列に第１および第２の流体搬送経路の前記一方に連結された第２の制御可能なバルブと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項８３】
請求項８２に記載の温度制御方法であって、
前記コントローラは、前記第１および第２の制御可能なバルブを制御して、前記第１および第２の制御可能なバルブの一方が、前記チャックの温度を変化させている場合は開き、前記チャックの前記温度を所望の設定点に保つ場合は閉じるようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項８４】
請求項７８に記載の温度制御方法であって、さらに、
前記第１および第２の流体搬送経路の間に連結された毛細管を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項８５】
請求項８４に記載の温度制御方法であって、
前記毛細管は前記第１および第２の流体搬送経路の圧力をバランスさせるように構成されることを特徴とする温度制御方法。
【請求項８６】
請求項７８に記載の温度制御方法であって、さらに、
前記第１の流体搬送経路に第１のバルブを設けるステップと、
前記第２の流体搬送経路に第２のバルブを設けるステップと、を含むことを特徴とする温度制御方法。
【請求項８７】
請求項８６に記載の温度制御方法であって、
前記第１および第２のバルブは、前記チャックの前記温度が所定の温度より高くなった場合に閉じて前記温度制御用流体が前記チャックに流れ込まないようにすることを特徴とする温度制御方法。
【請求項８８】
請求項８７に記載の温度制御方法であって、
前記所定の温度は、前記温度制御用流体の沸点より高い温度であることを特徴とする温度制御方法。