【手続補正書】
【提出日】平成23年4月12日(2011.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エネルギビームにより物体を露光し、前記物体上にパターンを形成する露光装置であって、
前記パターンの情報を含む前記エネルギビームを前記物体に照射する光学系を収容する光学系チャンバと；
前記光学系チャンバに設けられる伸縮可能な伸縮部材と、前記伸縮部材に連結されるとともに前記光学系チャンバに対向して配置可能な特定物との間に所定のクリアランスを形成する環状の気体静圧軸受部材とを含み、前記光学系チャンバの内部を外部に対して隔離するシール装置と；を備える露光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の露光装置において、
前記伸縮部材は、前記光学系チャンバの開口部を囲むように設けられる環状部材であり、前記特定物と前記気体静圧軸受部材との間で、前記所定のクリアランスを維持するように変形可能である露光装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の露光装置において、
前記シール装置は、
前記エネルギビームが前記特定物に照射される前記特定物の光照射領域を外部に対して隔離する露光装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記シール装置は、前記パターンの情報が形成された、前記特定物としてのマスクとの間に前記所定のクリアランスを形成する露光装置。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記シール装置は、前記特定物としての前記物体との間に前記所定のクリアランスを形成する露光装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記光学系チャンバと前記気体静圧軸受部材との間に電磁気力を生じさせて、前記特定物と前記気体静圧軸受部材との間隔を調整可能な電磁装置をさらに備える露光装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記光学系チャンバの開口部を開閉可能なシャッタ装置をさらに備え、
前記シャッタ装置は、前記光学系チャンバの内部空間と、前記伸縮部材および気体静圧軸受部材の内部空間とを隔離する露光装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記光学系チャンバの内部の空間と、前記伸縮部材と前記気体静圧軸受部材と前記特定物とによって形成される空間と、を所定の環境に設定する設定装置をさらに備える露光装置。
【請求項９】
請求項８に記載の露光装置において、
前記設定装置は、前記光学系チャンバの内部の空間と、前記伸縮部材と前記気体静圧軸受部材と前記特定物とによって形成される空間と、を真空環境に設定する露光装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記気体静圧軸受部材は、前記特定物に対して気体を噴出するための気体噴出溝と、前記噴出された気体を吸引するための気体吸引溝とを有し、
前記気体静圧軸受部材に作用する、前記気体の前記クリアランス内における静圧を含む前記光学系チャンバに近づく方向の力と、前記気体の吸引によって前記気体吸引溝近傍に生じる負圧に起因する力を含む前記光学系チャンバから離れる方向の力とのバランスにより、前記気体静圧軸受部材と前記特定物との間に前記所定のクリアランスが維持される露光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の露光装置において、
前記気体噴出溝と前記気体吸引溝とは環状の形状をそれぞれ有し、
前記気体静圧軸受部材の前記気体噴出溝の内側に、前記気体吸引溝が形成されている露光装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の露光装置において、
前記気体静圧軸受部材の前記気体噴出溝と前記気体吸引溝との間には、その内部が大気に開放された大気開放部が形成されている露光装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記特定物を保持して移動する移動体をさらに備え、
前記シール装置は、
前記気体静圧軸受部材により前記移動体との間に前記所定のクリアランスを形成する露光装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の露光装置において、
前記移動体は、前記パターンの情報が形成されたマスクを保持するマスクステージまたは前記物体としての基板を保持する基板ステージを含む露光装置。
【請求項１５】
請求項１３又は１４に記載の露光装置において、
前記移動体は、前記光学系チャンバ側の面で前記特定物を保持し、
前記光学系チャンバ側の面のうちの前記特定物を保持しない部分が、前記移動体に保持された特定物の表面とほぼ同一面に設定されている露光装置。
【請求項１６】
請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記移動体は、第１移動体と第２移動体とを含み、
前記所定のクリアランスを維持した状態で、前記気体静圧軸受部材に対向する位置で、前記第１移動体と前記第２移動体とを入れ替え可能である露光装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の露光装置において、
前記第１移動体の前記光学系チャンバ側の面と、前記第２移動体の前記光学系チャンバ側の面とは、ほぼ同一面に設定されている露光装置。
【請求項１８】
請求項１３〜１７のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記気体静圧軸受部材の外部に配置され、前記特定物の表面に対して検出光を照射するとともに、前記特定物の表面で反射した前記検出光を受光して、前記特定物の面位置情報を検出する検出系をさらに備え、
前記移動体は、前記検出系を用いる際に、前記気体静圧軸受部材と前記検出系の検出光の光路とが干渉しない位置に移動する露光装置。
【請求項１９】
請求項１８に記載の露光装置において、
前記移動体の位置情報を検出する移動体位置検出装置をさらに備える露光装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の露光装置において、
前記移動体位置検出装置は、前記特定物の表面に垂直な方向に関する、前記移動体の位置情報を検出する露光装置。
【請求項２１】
請求項１９又は２０に記載の露光装置において、
前記検出系により検出される前記特定物の面位置情報と、該面位置情報を取得した際に前記移動体位置検出装置により検出される前記移動体の位置情報と、が関連付けられたマッピング情報を予め取得する取得装置と；
前記物体に前記パターンを形成する際に、前記取得装置により取得されたマッピング情報と、前記移動体位置検出装置で検出される前記移動体の位置情報とに基づいて、前記移動体の位置を制御する制御装置と；をさらに備える露光装置。
【請求項２２】
請求項１〜１７のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記気体静圧軸受部材は、少なくとも一部に光透過部を有し、
前記特定物の表面に対して前記特定物の面位置情報を検出するための検出光を照射する送光部と、前記特定物の表面で反射した前記検出光を受光する受光部とを含み、前記送光部と前記受光部のうちの少なくとも一方が前記気体静圧軸受部材の外部に配置され、前記検出光が、前記気体静圧軸受部材の前記光透過部を通過する検出系をさらに備える露光装置。
【請求項２３】
請求項１８〜２２のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記検出系は、斜入射方式の多点焦点位置検出系である露光装置。
【請求項２４】
請求項１〜２３のいずれか一項に記載の露光装置であって、
前記光学系チャンバは、
前記光学系を収容し、内部が負圧状態に設定された第１チャンバと；
前記第１チャンバを収容し、内部が前記第１チャンバよりも圧力が高い負圧状態に設定された第２チャンバと；を備える露光装置。
【請求項２５】
請求項２４に記載の露光装置において、
前記第２チャンバ内に設けられ、前記特定物の面位置情報を検出する検出系をさらに備える露光装置。
【請求項２６】
請求項１〜２５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記エネルギビームは、極端紫外光である露光装置。
【請求項２７】
請求項１〜２６のいずれか一項に記載の露光装置を用いて感応物体を露光し、前記感応物体上にパターンを形成することと；
前記パターンが形成された前記感応物体を現像することと；を含むデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及びデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、露光装置及びデバイス製造方法に係り、更に詳しくは、エネルギビームを光学系を介して物体に照射し、該物体上に所定のパターンを形成する露光装置、及び該露光装置を用いるデバイス製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、上述した事情の下になされたものであり、第１の態様によれば、エネルギビームにより物体を露光し、前記物体上にパターンを形成する露光装置であって、前記パターンの情報を含む前記エネルギビームを前記物体に照射する光学系を収容する光学系チャンバと；前記光学系チャンバに設けられる伸縮可能な伸縮部材と、前記伸縮部材に連結されるとともに前記光学系チャンバに対向して配置可能な特定物との間に所定のクリアランスを形成する環状の気体静圧軸受部材とを含み、前記光学系チャンバの内部を外部に対して隔離するシール装置と；を備える露光装置が提供される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第２の態様によれば、本発明の露光装置を用いて感応物体を露光し、前記感応物体上にパターンを形成することと；前記パターンが形成された前記感応物体を現像することと；を含むデバイス製造方法が提供される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４２】
以上説明したように、本発明の露光装置は、エネルギビームを光学系を介して物体に照射し、所定のパターンを物体に形成するのに適している。また、本発明のデバイス製造方法は、マイクロデバイスの製造に適している。