【手続補正書】
【提出日】平成23年11月2日(2011.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下層にラインパターンを備え上層にホールパターンを備える基板を、前記ラインパターンと平行または直交する偏光方向の直線偏光で照明し、
前記基板で反射した反射光中の前記直線偏光の偏光方向と交差する偏光方向の光で前記基板を撮像し、
前記撮像結果に基づいてホールパターンを検査する検査方法。
【請求項２】
前記ホールパターンで回折した回折光中の前記直線偏光の偏光方向と交差する偏光方向の光で前記基板を撮像する請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
前記基板で反射した反射光中の前記直線偏光の偏光方向と直交する偏光方向の光で前記基板を撮像する請求項１または２に記載の検査方法。
【請求項４】
下層にラインパターンを備え上層にホールパターンを備える基板を、直線偏光で照明する照明部と、
前記ラインパターンと前記直線偏光の偏光方向を平行または直交するように設定する設定部と、
前記基板で反射した反射光中の前記直線偏光の偏光方向と交差する偏光方向の光を取り出す偏光部と、
前記偏光部で取り出された光による前記基板の像を撮像する撮像部と、
前記撮像結果に基づいてホールパターンを検査する処理部と、を備える検査装置。
【請求項５】
前記照明部の照明の前記基板への入射面と直交する軸周りに、前記基板をチルトするチルト部を備える請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記偏光部が、前記反射光中の前記直線偏光の偏光方向と直交する偏光方向の光を取り出す請求項４または５に記載の検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記課題を解決するための第１の手段は、下層にラインパターンを備え上層にホールパターンを備える基板を、前記ラインパターンと平行または直交する偏光方向の直線偏光で照明し、前記基板で反射した反射光中の前記直線偏光の偏光方向と交差する偏光方向の光で前記基板を撮像し、前記撮像結果に基づいてホールパターンを検査する検査方法である。
前記課題を解決するための第２の手段は、前記第１の手段であって、前記ホールパターンで回折した回折光中の前記直線偏光の偏光方向と交差する偏光方向の光で前記基板を撮像する検査方法である。
前記課題を解決するための第３の手段は、前記第１または第２の手段であって、前記基板で反射した反射光中の前記直線偏光の偏光方向と直交する偏光方向の光で前記基板を撮像する検査方法である。
前記課題を解決するための第４の手段は、下層にラインパターンを備え上層にホールパターンを備える基板を、直線偏光で照明する照明部と、前記ラインパターンと前記直線偏光の偏光方向を平行または直交するように設定する設定部と、前記基板で反射した反射光中の前記直線偏光の偏光方向と交差する偏光方向の光を取り出す偏光部と、前記偏光部で取り出された光による前記基板の像を撮像する撮像部と、前記撮像結果に基づいてホールパターンを検査する処理部と、を備える検査装置である。
前記課題を解決するための第５の手段は、前記第４の手段であって、前記照明部の照明の前記基板への入射面と直交する軸周りに、前記基板をチルトするチルト部を備える検査装置である。
前記課題を解決するための第６の手段は、前記第４または第５の手段であって、前記偏光部が、前記反射光中の前記直線偏光の偏光方向と直交する偏光方向の光を取り出す検査装置である。
第１の参考形態は、被検査体である基板の表面欠陥を検査する方法であって、前記基板をＰ偏光の直線偏光の照明光で照明し、前記基板からの回折光による前記基板の像を撮像し、撮像した画像を処理して前記基板の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本参考形態においては、基板をＰ偏光の直線偏光の照明光で照明しているので、基板表面のパターンの表面において反射されず、基板パターンの内部に入ってそこで基板層間の界面で反射される光が多くなる。従って、基板表面のパターンの３次元的な構造全体の変化を捉え、効率良く検査を行うことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
第２の参考形態は、被検査体である基板の表面欠陥を検査する方法であって、前記基板を照明光で照明し、前記基板からの回折光に含まれるＰ偏光の直線偏光による前記基板の像を撮像し、撮像した画像を処理して前記基板の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本参考形態においては、基板からの回折光に含まれるＰ偏光の直線偏光による基板の像を撮像しているので、前記第１の参考形態と同様、基板表面のパターンの３次元的な構造全体の変化を捉え、効率良く検査を行うことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第３の参考形態は、前記第１の参考形態又は第２の参考形態のいずれかを使用して基板の表面に形成されたホールパターンの欠陥を検出することを特徴とするホールパターンの検査方法である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第４の参考形態は、被検査体である基板の表面に形成されたホールパターンの欠陥を検査する方法であって、前記基板を、振動面と前記基板との交線が前記ホールパターンとは異なる層に形成された配線パターンに平行又は垂直なＳ偏光の直線偏光で照明し、前記基板からの回折光に含まれるＳ偏光の直線偏光を除去した残りの光を用いて前記基板の像を撮像し、撮像した画像を処理して前記基板の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本参考形態においては、基板をＳ偏光の直線偏光の照明光で照明し、しかも、その振動面と基板との交線が基板に形成された配線パターンに平行又は垂直なようにしている。そして、基板からの回折光に含まれるＳ偏光の直線偏光を除去した残りの光を用いて基板の像を撮像している。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
第５の参考形態は、被検査体である基板の表面に形成されたホールパターンの欠陥を検査する方法であって、前記基板を、振動面と前記基板との交線が前記ホールパターンとは異なる層に形成された配線パターンに平行又は垂直なＰ偏光の直線偏光で照明し、前記基板からの回折光に含まれるＰ偏光の直線偏光を除去した残りの光を用いて前記基板の像を撮像し、撮像した画像を処理して前記基板の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本参考形態においては、基板をＰ偏光の直線偏光の照明光で照明しているところが前記第４の参考形態と異なるだけであり、その原理は前記第４の参考形態と同じである。よって、前記第４の参考形態と同じように、検出される光には、配線パターンの形状からの影響を抑え、ホールパターンの形状のみに関する信号が抽出されて、欠陥検出のＳ／Ｎ比を向上させることができる。