【手続補正書】
【提出日】平成22年11月19日(2010.11.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動板と、前記可動板を支持する支持部とを有し、前記可動板が前記支持部に対して回動可能に設けられた基体と、
前記可動板を回動させる駆動手段と、
前記可動板の挙動を検知するセンサとを有し、
前記基体と前記センサの少なくとも一部とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含む原子構造を有するＳｉ骨格と、前記Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記Ｓｉ骨格から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記基体と前記センサとを接合していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記接合膜を構成する全原子からＨ原子を除いた原子のうち、Ｓｉ原子の含有率とＯ原子の含有率の合計が、１０〜９０原子％である請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記接合膜中のＳｉ原子とＯ原子の存在比は、３：７〜７：３である請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記Ｓｉ骨格の結晶化度は、４５％以下である請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記脱離基は、Ｈ原子、Ｂ原子、Ｃ原子、Ｎ原子、Ｏ原子、Ｐ原子、Ｓ原子およびハロゲン系原子、またはこれらの各原子が前記Ｓｉ骨格に結合するよう配置された原子団からなる群から選択される少なくとも１種で構成されたものである請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記脱離基は、アルキル基である請求項５に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記接合膜は、プラズマ重合により形成されたものである請求項１ないし６のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記接合膜は、ポリオルガノシロキサンを主材料として構成されている請求項７に記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物である請求項８に記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記接合膜の平均厚さは、１〜１０００ｎｍである請求項１ないし９のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
可動板と、前記可動板を支持する支持部とを有し、前記可動板が前記支持部に対して回動可能に設けられた基体と、
前記可動板を回動させる駆動手段と、
前記可動板の挙動を検知するセンサとを有し、
前記基体と前記センサの少なくとも一部とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、金属原子と、前記金属原子に結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記基体と前記センサとを接合していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１２】
可動板と、前記可動板を支持する支持部とを有し、前記可動板が前記支持部に対して回動可能に設けられた基体と、
前記可動板を回動させる駆動手段と、
前記可動板の挙動を検知するセンサとを有し、
前記基体と前記センサの少なくとも一部とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記接合膜から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記基体と前記センサとを接合していることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１３】
前記接合膜は、流動性を有しない固体状のものである請求項１ないし１２のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１４】
さらに、前記センサからの信号を受信して、前記可動板の挙動として、前記可動板の振動の振幅、振動数および変位量のうちの少なくとも１つを検知する挙動検知手段を有する請求項１ないし１３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１５】
前記センサは、前記接合膜を介して前記支持部に接合された、前記可動板の側方からその回動空間に向け光を発光する発光部と、前記接合膜を介して前記支持部に接合された、前記発光部で発光された光を受光する受光部とを有しており、
前記挙動検知手段は、前記受光部によって受光された光の強度に基づいて、前記可動板の挙動を光学的に検知するように構成されている請求項１４に記載のアクチュエータ。
【請求項１６】
前記発光部は、発光素子および光導波路を有し、前記発光素子が前記光導波路を介して前記回動空間へ光を照射するように構成されており、
前記接合膜を介して、前記光導波路が前記支持部に接合されている請求項１５に記載のアクチュエータ。
【請求項１７】
前記受光部は、受光素子および光導波路を有し、前記受光素子が前記光導波路を介して受光するように構成されており、
前記接合膜を介して、前記光導波路が前記支持部に接合されている請求項１５または１６に記載のアクチュエータ。
【請求項１８】
前記光導波路は、ガラス材料を主材料として構成されている請求項１６または１７に記載のアクチュエータ。
【請求項１９】
前記支持部は、シリコン材料を主材料として構成されている請求項１５ないし１８のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項２０】
請求項１ないし１９のいずれかに記載のアクチュエータと、
前記可動板に設けられ、光反射性を有する光反射部とを有することを特徴とする光スキャナ。
【請求項２１】
請求項２０に記載の光スキャナを備え、前記光反射部で反射した光を走査して、画像を形成するように構成されていることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、可動板と、前記可動板を支持する支持部とを有し、前記可動板が前記支持部に対して回動可能に設けられた基体と、
前記可動板を回動させる駆動手段と、
前記可動板の挙動を検知するセンサとを有し、
前記基体と前記センサの少なくとも一部とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含む原子構造を有するＳｉ骨格と、前記Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記Ｓｉ骨格から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記基体と前記センサとを接合していることを特徴とする。
これにより、センサの取り付け精度を高めることによって、可動板の挙動の検出精度を高く、安定した駆動を行うことができ、かつ製造効率の高いアクチュエータを得ることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のアクチュエータでは、前記接合膜は、プラズマ重合により形成されたものであることが好ましい。
これにより、接合膜は緻密で均質なものとなる。そして、基体とセンサとの間を特に強固に接合するとともに、これらの間の熱抵抗をより低減することができる。また、プラズマ重合法で作製された接合膜は、エネルギーが付与されて活性化された状態を比較的長時間にわたって維持することができる。このため、アクチュエータの製造過程の簡素化、効率化を図ることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明のアクチュエータでは、前記接合膜は、ポリオルガノシロキサンを主材料として構成されていることが好ましい。
これにより、接合膜自体が優れた機械的特性を有するものとなる。また、多くの材料に対して特に優れた接着性を示す接合膜が得られる。したがって、この接合膜により、基体とセンサとをより強固に接合することができる。また、非接着性と接着性との制御を容易かつ確実に行える接合膜となる。
本発明のアクチュエータでは、前記ポリオルガノシロキサンは、オクタメチルトリシロキサンの重合物であることが好ましい。
これにより、接着性に特に優れる接合膜が得られる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のアクチュエータは、可動板と、前記可動板を支持する支持部とを有し、前記可動板が前記支持部に対して回動可能に設けられた基体と、
前記可動板を回動させる駆動手段と、
前記可動板の挙動を検知するセンサとを有し、
前記基体と前記センサの少なくとも一部とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、金属原子と、前記金属原子に結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記基体と前記センサとを接合していることを特徴とする。
これにより、センサの取り付け精度を高めることによって、可動板の挙動の検出精度を高く、安定した駆動を行うことができ、かつ製造効率の高いアクチュエータを得ることができる。また、接合膜が、電力線や信号線としての機能を併せ持つことができる。また、金属原子を適宜選択することにより、接合膜は、透光性を有するものが得られる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明のアクチュエータは、可動板と、前記可動板を支持する支持部とを有し、前記可動板が前記支持部に対して回動可能に設けられた基体と、
前記可動板を回動させる駆動手段と、
前記可動板の挙動を検知するセンサとを有し、
前記基体と前記センサの少なくとも一部とが接合膜を介して接合されており、
前記接合膜は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基とを含み、
前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、前記接合膜の表面付近に存在する前記脱離基が前記接合膜から脱離し、前記接合膜の表面の前記領域に発現した接着性によって、前記基体と前記センサとを接合していることを特徴とする。
これにより、センサの取り付け精度を高めることによって、可動板の挙動の検出精度を高く、安定した駆動を行うことができ、かつ製造効率の高いアクチュエータを得ることができる。また、接合膜が、電力線や信号線としての機能を併せ持つことができる。