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【手続補正書】
【提出日】平成23年3月24日(2011.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３次元的に移動可能なプローブハウジングと、前記プローブハウジングに対して相対移動可能に保持されたプローブと、を有し、被測定物の表面に対する前記プローブの倣い制御を行いながら、前記被測定物の表面形状を表わす前記プローブの座標位置を測定する形状測定装置において、
前記プローブハウジングに対する、前記プローブの並進変位を測定する測定手段と、
前記プローブに対して並進力を発生させる力発生手段と、
前記測定手段の出力に基づいて、前記力発生手段による並進力を制御する手段と、を備えたことを特徴とする形状測定装置。
【請求項２】
前記プローブを前記被測定物の端面に接触させて、前記測定手段の出力に基づいて前記力発生手段による並進力を制御しながら前記プローブを前記端面に沿って移動させ、前記被測定物の端面形状を表わす前記プローブの座標位置を測定することを特徴とする請求項１記載の形状測定装置。
【請求項３】
３次元的に移動可能なプローブハウジングと、前記プローブハウジングに対して相対移動可能に保持されたプローブと、を有し、被測定物の表面に対する前記プローブの倣い制御を行いながら、前記被測定物の表面形状を表わす前記プローブの座標位置を測定する形状測定装置において、
前記プローブハウジングに対する、前記プローブの回転変位を測定する測定手段と、
前記プローブに対して回転力を発生させる力発生手段と、
前記測定手段の出力に基づいて、前記力発生手段による回転力を制御する手段と、を備えたことを特徴とする形状測定装置。
【請求項４】
前記プローブを前記被測定物の端面に接触させて、前記測定手段の出力に基づいて前記力発生手段による回転力を制御しながら前記プローブを前記端面に沿って移動させ、前記被測定物の端面形状を表わす前記プローブの座標位置を測定することを特徴とする請求項３記載の形状測定装置。
【請求項５】
３次元的に移動可能なプローブハウジングと、前記プローブハウジングに対して相対移動可能に保持されたプローブと、を有し、被測定物の表面に対する前記プローブの倣い制御を行いながら、前記被測定物の表面形状を表わす前記プローブの座標位置を測定する形状測定装置において、
前記プローブハウジングに対する、前記プローブの並進変位及び回転変位を測定する測定手段と、
前記プローブに対して並進力及び回転力を発生させる力発生手段と、
前記測定手段の出力に基づいて、前記力発生手段による並進力及び回転力を制御する手段と、を備えたことを特徴とする形状測定装置。
【請求項６】
前記プローブを前記被測定物の端面に接触させて、前記測定手段の出力に基づいて前記力発生手段による並進力及び回転力を制御しながら前記プローブを前記端面に沿って移動させ、前記被測定物の端面形状を表わす前記プローブの座標位置を測定することを特徴とする請求項５記載の形状測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
特許文献１に開示された構成では、例えば、ＸＹＺ上空間上において、ＹＺ面に平行又はほぼ平行な端面を測定するようにプローブを装置に配置した場合、ＹＺ面に平行な端面のみを測定可能で、ＸＺ面に平行な端面を測定できない。ＸＺ面に平行な端面を測定するには、測定素子の固定方向を変更するか、ＸＺ面を測定可能な方向にプローブを付け替えるか、もしくは、別途もう一つ設けるなどの手段を講じなければならず、測定精度、装置コスト、測定時間に対して悪影響を及ぼす。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の形状測定装置は、３次元的に移動可能なプローブハウジングと、前記プローブハウジングに対して相対移動可能に保持されたプローブと、を有し、被測定物の表面に対する前記プローブの倣い制御を行いながら、前記被測定物の表面形状を表わす前記プローブの座標位置を測定する形状測定装置において、前記プローブハウジングに対する、前記プローブの並進変位を測定する測定手段と、前記プローブに対して並進力を発生させる力発生手段と、前記測定手段の出力に基づいて、前記力発生手段による並進力を制御する手段と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月12日(2010.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の周期に含まれる複数の矩形のパルス幅によって複数のコードを表し、所定のビットに割り当てられた時間情報が前記複数のコードによって定義されたタイムコードを含む標準電波を受信して復調を行い復調信号を出力する受信手段と、
前記受信手段より出力された復調信号をデジタル信号に変換するための閾値を持ち、デジタル信号を出力する比較手段と、
前記デジタル信号から前記タイムコードを復号するデコード手段と、
前記デコード手段出力から時刻情報を抽出し、時刻修正を行う制御手段と、
前記比較手段の閾値を切り替える、もしくは調整する選択手段と、
を有する標準電波受信装置において、
前記デコード手段は、第１の記憶手段を有し、
前記制御手段は、第２の記憶手段を有し、
前記デコード手段は、前記比較手段の出力を前記第１の記憶手段に記憶して、その記憶されたデータに基づいて前記比較手段の閾値の切替信号を前記選択手段に出力し、
前記制御手段は、前記デコード手段の出力を前記第２の記憶手段に記憶して、その記憶されたデータに基づいて前記比較手段の閾値の切替信号を前記選択手段に出力し、
前記選択手段は、
前記デコード手段からの切替信号と前記制御手段からの切替信号のいずれか、または両方を用いて前記比較手段の閾値を切り替えることを特徴とする標準電波受信装置であって、
前記第１の記憶手段に記憶された比較手段の出力データは、サンプリングによりＨＩＧＨとなるカウント数を計数し、理論値の所定期間における平均値もしくは想定範囲を基準として判定するものであり、
前記第２の記憶手段に記憶されたデコード手段の出力データは、タイムコードの同一コード連続出現ビット数、もしくは同一コードの出現間隔に基づいて判定するもの、
であることを特徴とする標準電波受信装置。
【請求項２】
前記比較手段は、比較器を複数有し、それぞれの比較器が独立した複数の閾値を持ち、
前記受信手段より出力されたと前記複数の閾値とをそれぞれ比較して独立したデジタル信号を前記デコード手段に対して出力することを特徴とする請求項１に記載の標準電波受信装置。
【請求項３】
前記複数の閾値を持つ前記比較手段は、一定周期で前記閾値を切り替えることを特徴とする請求項２に記載の標準電波受信装置。
【請求項４】
前記受信手段より出力された復調信号を入力し、受信している標準電波の状態を判断する受信状態判断手段を有し、
前記選択手段は、
前記受信状態判断手段の出力と、前記デコード手段の前記第１の記憶手段に記憶された前記比較手段の出力のデータと、前記制御手段の前記第２の記憶手段に記憶された前記デコード手段の出力のデータと、に基づいて閾値の切り替えを行うことを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の標準電波受信装置。
【請求項５】
前記受信手段より出力された復調信号を入力し、受信している標準電波の局を検知する送信局検知手段を有し、
前記選択手段は、
送信局検知手段の出力と、前記デコード手段の前記第１の記憶手段に記憶された前記比較手段の出力のデータと、前記制御手段の前記第２の記憶手段に記憶された前記デコード手段の出力のデータと、に基づいて閾値の切り替えを行うことを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の標準電波受信装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
所定の周期に含まれる複数の矩形のパルス幅によって複数のコードを表し、所定のビットに割り当てられた時間情報が複数のコードによって定義されたタイムコードを含む標準電波を受信して復調を行い復調信号を出力する受信手段と、受信手段より出力された復調信号をデジタル信号に変換するための閾値を持ち、デジタル信号を出力する比較手段と、
デジタル信号からタイムコードを復号するデコード手段と、デコード手段出力から時刻情報を抽出し、時刻修正を行う制御手段と、比較手段の閾値を切り替える、もしくは調整する選択手段と、を有する標準電波受信装置において、
デコード手段は、第１の記憶手段を有し、制御手段は、第２の記憶手段を有し、デコード手段は、比較手段の出力を第１の記憶手段に記憶して、その記憶されたデータに基づいて比較手段の閾値の切替信号を選択手段に出力し、制御手段は、デコード手段の出力を第２の記憶手段に記憶して、その記憶されたデータに基づいて比較手段の閾値の切替信号を選択手段に出力し、選択手段は、デコード手段からの切替信号と制御手段からの切替信号のいずれか、または両方を用いて比較手段の閾値を切り替えるものであって、
第１の記憶手段に記憶された比較手段の出力データは、サンプリングによりＨＩＧＨとなるカウント数を計数し、理論値の所定期間における平均値もしくは想定範囲を基準として判定するものであり、第２の記憶手段に記憶されたデコード手段の出力データは、タイムコードの同一コード連続出現ビット数、もしくは同一コードの出現間隔に基づいて判定するものであることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月3日(2011.3.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上述の様な特許文献１に記載された構造の場合、外部空間から上記エンコーダ１４及び上記回転検出センサ１３を設置した部分への異物侵入防止の為のシールに就いては、特に考慮してはいない。一方、上記エンコーダ１４と上記回転検出センサ１３とを磁気特性の変化により回転速度検出を行う構造とした場合、上記エンコーダ１４の被検出面や上記回転検出センサ１３の検出部に磁性粉等の異物が付着すると、上記回転速度検出の信頼性確保が難しくなる。例えば、上記エンコーダ１４を、永久磁石製で、被検出面にＳ極とＮ極とを円周方向に関して交互に配置したものを使用した場合、この被検出面に磁性粉が付着し易く、しかも、付着した場合には、上記回転速度検出の信頼性が悪化する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
又、上記回転検出センサ１３を、上記ホルダ部材１５ａにより上記支持軸３の一部に支持固定しているので、この回転検出センサ１３の設置部分の設計を、上記エンコーダ付玉軸受８部分の設計とは、ほぼ独立して行える。この為、各種自動二輪車の車輪の回転速度検出を効果的に行う為の自動二輪車の車輪用回転速度検出装置の設計を容易に行える。
更に、上記外輪９と上記ホルダ部材１５ａとの間に全周に亙って設けた、上記第二のシールリップ２３が、上記エンコーダ１４及び回転検出センサ１３の設置部分への異物の侵入を防止する。この為、外部空間に浮遊する磁性粉等の異物が上記エンコーダ１４の被検出面に付着する事を防止できて、これらエンコーダ１４と回転検出センサ１３との組み合わせによる回転検出の信頼性向上を図れる。
【手続補正書】
【提出日】平成23年1月14日(2011.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
ＧＰＳアンテナ２５０は、ＧＰＳ信号を受信する。ＧＰＳ受信回路２５２は、受信されたＧＰＳ電波を現在位置情報に変換する。また、放送受信アンテナ２５５は、放送局等からの電波を受信する。放送受信回路２５７は、放送受信アンテナ２５５が受信した電波を、コンテンツ、番組情報、動画情報、観光情報等に変換する。ネットワークＩ／Ｆ２５８は、インターネットなどの外部ネットワークとの情報の送受を行なう。例えば、ＥＰＧサーバ３０からＥＰＧ  ＤＢ３２を取得する。また、インターネットを介してコンテンツそのものを取得できてもよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
ステップＳ４０５において、ナビゲーション装置１００の管理部１４８は、情報テーブル１４１のうち期限の切れた情報を削除する。なお、ステップＳ４０５の処置を行なうタイミングは、ステップＳ４０３の直後に限られるものではない。例えば、管理部１４８は、一定時間ごとに、ステップＳ４０５の処理を行なってもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
図７の説明に戻る。受信した情報が動画情報でない場合（ステップＳ７０１においてＮｏ）、ＣＰＵ２２０は、ステップＳ７０５において、受信した情報が観光情報かどうか判断する。受信した情報が観光情報である場合（ステップＳ７０５においてＹｅｓ）、ステップＳ７０７において、ハードディスク２４０に観光情報を記憶する。この処理の詳細を図９に示す。図９は、観光情報の記憶処理のフローチャートである。図９に示すように、ＣＰＵ２２０は、ステップＳ９０１からステップＳ９０７のそれぞれにおいて、情報テーブル１４１の観光情報地名フィールド、観光情報地点フィールド、観光情報説明フィールド、観光情報期限フィールドを登録する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
図７の説明に戻る。受信した情報が観光情報でなく、番組情報である場合（ステップＳ７０５においてＮｏかつステップＳ７０９においてＹｅｓ）、ＣＰＵ２２０は、ステップＳ７１１からステップＳ７２９までのそれぞれにおいて、情報テーブル１４１の番組名フィールド、放送地域フィールド、放送開始時間フィールド、放送終了時間フィールド、ジャンルフィールド、キーワードフィールド、視聴頻度、番組特徴データフィールド、チャンネル番号フィールド、放送地点フィールドを登録する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
図１７は、ステップＳ１０１５で実行される視聴頻度順検索のフローチャートである。ＣＰＵ２２０は、ステップＳ１７０１において、情報テーブル１４１の視聴頻度フィールドに登録された情報を取得する。そして、ステップＳ１７０３において、番組を視聴頻度順に並び換える。ここでの並び換えは、単純に、視聴頻度の大小順で行なってもよいし、視聴頻度が第１の値以上のものの視聴頻度レベルを高、第１の値から第２の値までのものの視聴頻度レベルを中、第２の値以下のものの視聴頻度レベルを低とするなど、視聴頻度レベルごとに分類し、視聴頻度レベルによって、並び換えてもよい。ＣＰＵ２２０は、ステップＳ１７０５において、情報テーブル１４１の番組名フィールドに登録された情報を取得し、ステップＳ１７０７において、取得した情報に基づいて視聴頻度あるいは視聴頻度レベルが同じ番組の番組名を５０音順に並び替える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
視聴頻度を登録するには、選択された番組が、過去に視聴した番組と同一であるかを判定する必要があるため、番組を特定するための番組特徴データが必要になる。本実施の形態では、番組特徴データとして、放送地域名と、番組名と、チャンネル番号との組み合わせと、ＩＤナンバーなどの各番組に固有の番組特徴データの２つとを説明する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
前者が用いられる場合、ＣＰＵ２２０は、ステップＳ１８０１からステップＳ１８０５のそれぞれにおいて、地域名、番組名、チャンネル番号を取得する。後者が用いられる場合、ステップＳ１８０７において、番組特徴データを取得する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
ステップＳ２４０５において、ＣＰＵ２２０は、放送地域データに基づいて、放送地域に含まれる各地点と現在位置との間の距離を取得する。そして、ステップＳ２４０７において、放送地域のうち現在位置に最も近い地点を目的地点として決定する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２７】
登録情報がない場合（ステップＳ２９１１においてＮｏ）、ステップＳ２９１７において、視聴地点の属する地域名を取得し、ステップＳ２９１９において、取得した地域名を視聴地点地域フィールドに登録する。さらに、ステップＳ２９２１からステップＳ２９２５において、視聴地点チャンネル番号フィールド、視聴地点受信感度フィールド、視聴地点フィールドをそれぞれ登録する。なお、ステップＳ２９２３においては、視聴地点受信感度を、ステップＳ２９１３と同様の方法で演算するものとする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３０】
ステップＳ３００３において、ＣＰＵ２２０は、図２９のステップＳ２９０３以降と同様の処理により過去視聴地点の受信感度を登録する。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月16日(2011.2.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体現像剤を補給する補給口と、
液体現像剤を回収する回収口と、
前記補給口と前記回収口を配するとともに液体現像剤を貯留する現像剤容器と、
液体現像剤を担持する現像剤担持体と、
螺旋溝を有し、前記現像剤容器に貯留された液体現像剤を前記現像剤担持体に供給する供給ローラと、
前記現像剤容器に配されるとともに、第１軸端部側への液体現像剤の搬送量と、前記第１軸端部とは逆方向の第２軸端部側への液体現像剤の搬送量とが異なる搬送スクリューとを有することを特徴とする
現像装置。
【請求項２】
前記搬送スクリューは、前記第１軸端部側に液体現像剤を搬送する第１搬送フィン、前記第２軸端部側に液体現像剤を搬送する前記第１搬送フィンと搬送量が異なる第２搬送フィン、及び前記第１搬送フィンと前記第２搬送フィンとの間に配された切替部を有する
請求項１に記載の現像装置。
【請求項３】
前記第１搬送フィンと前記第２搬送フィンとは、搬送フィンのピッチ、材質、傾きのうち、少なくとも１つを異ならせる
請求項２に記載の現像装置。
【請求項４】
前記補給口は、前記搬送スクリューの前記切替部もしくは前記切替部の近傍に配する
請求項２または３に記載の現像装置。
【請求項５】
前記回収口は、前記第１軸端部もしくは前記第１軸端部の近傍と、前記第２軸端部もしくは前記第２軸端部の近傍とに配する
請求項１ないし４のいずれか１つに記載の現像装置。
【請求項６】
前記搬送スクリューの前記第１軸端部側への搬送量と前記第２軸端部側への搬送量は、前記供給ローラの前記螺旋溝による液体現像剤の搬送方向の側への搬送量を少なくする
請求項１ないし５のいずれか１つに記載の現像装置。
【請求項７】
前記現像剤担持体をクリーニングして液体現像剤を回収する現像剤担持体クリーニング部材と、
前記現像剤クリーニング部材で回収された液体現像剤を貯留する回収液貯留部と、
前記搬送スクリューに平行もしくは略平行に配されて、前記現像剤容器と前記回収部を仕切る仕切り部と、を有し、
前記回収口は、前記仕切り部に配する
請求項１ないし６のいずれか１つに記載の現像装置。
【請求項８】
液体現像剤を補給する補給口と、
液体現像剤を回収する回収口と、
前記補給口と前記回収口を配するとともに液体現像剤を貯留する現像剤容器と、
液体現像剤を担持する現像剤担持体と、
螺旋溝を有し、前記現像剤容器に貯留された液体現像剤を前記現像剤担持体に供給する供給ローラと、
前記現像剤容器に配されるとともに、前記第１軸端部への液体現像剤の搬送量と、前記第１軸端部とは逆方向の第２軸端部への液体現像剤の搬送量とが異なる搬送スクリューとを有する現像部と、
前記補給口に接続された現像剤補給経路と、
前記現像剤補給経路へ液体現像剤を供給する現像剤供給部と、
前記回収口からの液体現像剤を貯留するとともに排出口を有する回収液貯留部と、
前記排出口に接続される現像剤回収経路と、を有することを特徴とする
画像形成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月18日(2010.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
像担持体上のトナー像を転写材に転写する画像形成装置に使用し、前記像担持体の下側に対向する転写部材を有し、該転写部材は上側にある前記像担持体に転写圧を加える構成を有する転写装置において、
一方の端部が前記転写部材を支持しかつ他方の端部が加圧用の重りを支持する加圧部材と前記転写部材と前記重りの間に配置されかつ前記加圧部材の回動中心となる支点部材と、を有する加圧機構を備え、前記転写部材の質量をＭ、前記重りの質量をＷ、前記転写部材から前記支点までの距離をＬ１、前記重りから前記支点までの距離をＬ２とした場合に、前記加圧部材が、
Ｍ・Ｌ１＜Ｗ・Ｌ２
の関係を有することを特徴とする転写装置。
【請求項２】
前記転写部材を中間転写体とすることを特徴とする請求項１記載の転写装置。
【請求項３】
前記転写部材を２次転写体とすることを特徴とする請求項１記載の転写装置。
【請求項４】
前記転写部材の軸方向両端部に前記加圧部材を配置し、該加圧部材は互いに独立とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の転写装置。
【請求項５】
前記転写部材の両端の軸受部材に該軸受部材の移動方向を規制するガイド部材を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の転写装置。
【請求項６】
前記支点と前記重り側との間に、前記転写部材と対向する部材に接離する接離機構を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の転写装置。
【請求項７】
像担持体上の潜像をトナーで現像し、前記像担持体上にトナー画像を形成し、該トナー画像を転写材上に転写して定着させる画像形成装置において、前記トナー画像を前記転写材上に転写する転写装置として、請求項１乃至６のいずれか１項記載の転写装置を使用することを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、請求項４に記載の発明は、前記転写部材の軸方向両端部に前記加圧部材を配置し、該加圧部材は互いに独立とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の転写装置を特徴とする。
また、請求項５に記載の発明は、前記転写部材の両端の軸受部材に該軸受部材の移動方向を規制するガイド部材を有する請求項１乃至４のいずれか１項記載の転写装置を特徴とする。
また、請求項６に記載の発明は、前記支点と前記加圧部材の前記重り側との間に、前記転写部材を対向する部材に接離する接離機構を備える請求項１乃至５のいずれか１項記載の転写装置を特徴とする。
また、請求項７に記載の発明は、像担持体上の潜像をトナーで現像し、前記像担持体上にトナー画像を形成し、該トナー画像を転写材上に転写して定着させる画像形成装置において、前記トナー画像を前記転写材上に転写する転写装置として、請求項１乃至６のいずれか１項記載の転写装置を使用する画像形成装置を特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成23年2月25日(2011.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
【図１】この発明の一実施例の構成を示すブロック図である。
【図２】撮像面における評価エリアの割り当て状態の一例を示す図解図である。
【図３】図１実施例に適用されるレジスタの構成の一例を示す図解図である。
【図４】（Ａ）は移動方向予測処理の一例を示す図解図であり、（Ｂ）は移動方向予測処理の他の一例を示す図解図であり、（Ｃ）は移動方向予測処理のその他の一例を示す図解図である。
【図５】（Ａ）は粗調整動作の一例を示す図解図であり、（Ｂ）は微調整動作の一例を示す図解図である。
【図６】図１実施例に適用されるＣＰＵの動作の一例を示すフロー図である。
【図７】図１実施例に適用されるＣＰＵの動作の他の一例を示すフロー図である。
【図８】図１実施例に適用されるＣＰＵの動作のその他の一例を示すフロー図である。
【図９】図１実施例に適用されるＣＰＵの動作のさらにその他の一例を示すフロー図である。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月1日(2011.3.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
後鏡筒と、
前記後鏡筒の前方に組みつけられ前記後鏡筒と共に撮像光学系を収容する収容空間を形成する前鏡筒と、
前記前鏡筒に係止すると共に前記後鏡筒に係止し前記前鏡筒および前記後鏡筒を前後方向において挟持するカバーと、
前記前鏡筒の前面に取着されるシャッター部とを備え、
前記シャッター部は、前記撮像光学系の光路を開閉するシャッター羽根と、前記シャッター羽根を収容し前記光路用の開口が形成されたケースとを有し、
前記シャッター部の前記前鏡筒の前面への取着は、前記カバーに設けられたカバー側係止部と、前記ケースに設けられたケース側係止部とが係止することでなされている、
カメラモジュール。
【請求項２】
前記前鏡筒の前面は矩形枠状を呈し、
前記カバーは、前記前面の四隅を除いた部分を覆い中央に開口が設けられた前面部と、前記前面部の互いに対向する辺から後方に屈曲された一対の側面部とを有し、
前記カバーによる前記前鏡筒と前記後鏡筒の挟持は、前記前面部が前記前面に係止すると共に、前記後鏡筒に設けられた係止突起が、前記側面部に設けられた係止孔に係止することでなされる、
請求項１記載のカメラモジュール。
【請求項３】
前記一対の側面部は、前記前板部の互いに対向する辺に沿った幅を有し、
前記各側面部の幅方向の両側に、前記カバーにより前記前鏡筒と前記後鏡筒とを挟持した状態で、前記前鏡筒の前面よりも前方に突出する突出片がそれぞれ設けられ、
前記突出片の先部に係止孔が形成され、
前記ケースに、前記突出片の前記係止孔に係止可能な係止突起が設けられ、
前記カバー側係止部は、前記突出片の前記係止孔であり、
前記ケース側係止部は、前記係止突起である、
請求項２記載のカメラモジュール。
【請求項４】
前記カバー側係止部と前記ケース側係止部とが係止した状態で、前記ケースは前記前鏡筒の前記前面の４隅に臨む面を有し、
前記前面の４隅に臨む前記ケースの面の４箇所のうちの２箇所に、位置決め用の突起が設けられ、
前記前面に前記突起が挿入され前記撮像光学系の光軸と直交する面内の前記ケースの位置決めを行う位置決め孔が設けられている、
請求項１記載のカメラモジュール。
【請求項５】
前記カバー側係止部と前記ケース側係止部とが係止した状態で、前記ケースは前記前鏡筒の前記前面の４隅に臨む面を有し、
前記前面の４隅に臨む前記ケースの面の４箇所に、前記前面に当接して前後方向の位置決めが行う当接部が設けられている、
請求項１記載のカメラモジュール。
【請求項６】
前記カバー側係止部と前記ケース側係止部とが係止した状態で、前記ケースは前記前鏡筒の前記前面の４隅に臨む面を有し、
前記前面の４隅に臨む前記ケースの面の４箇所に、前記前面に当接して前後方向の位置決めが行う当接部が設けられ、
前記４箇所のうちの２箇所の前記当接部に、位置決め用の突起がそれぞれ併設され、
前記前面に前記突起が挿入され前記撮像光学系の光軸と直交する面内の前記ケースの位置決めを行う位置決め孔が設けられている、
請求項１記載のカメラモジュール。
【請求項７】
撮像光学系を保持し前記収容空間に収容されたレンズ保持部と、
前記収容空間の前記前鏡筒の前面寄りに配設され前記レンズ保持部を後方に付勢するスプリングとをさらに備え、
前記スプリングは前記前鏡筒にインサート成形されており、
前記位置決め孔は、前記前鏡筒の成形時に前記スプリングを保持するために金型のピンが位置していた孔である、
請求項４または６記載のカメラモジュール。
【請求項８】
前記カバーで挟持された前記後鏡筒および前記前鏡筒に対して前記シャッター部が取着された状態の前記シャッター部、前記前鏡筒、前記後鏡筒を覆うシールドケースをさらに備え、
前記カバーで挟持された前記後鏡筒および前記前鏡筒に対して前記シャッター部が取着された状態で、前記シャッター部の前記ケースは、前記前鏡筒の前面と反対方向に向いた前面を有し、
前記シールドケースは、前記シャッター部の前記ケースの前記前面に係止し、かつ、前記後鏡筒に係止することで配設され、
前記シールドケースは、前記カバー側係止部および前記ケース側係止部に近接または接触する、
請求項１記載のカメラモジュール。
【請求項９】
前記カバーで挟持された前記後鏡筒および前記前鏡筒に対して前記シャッター部が取着された状態の前記シャッター部、前記前鏡筒、前記後鏡筒を覆うシールドケースをさらに備え、
前記カバーで挟持された前記後鏡筒および前記前鏡筒に対して前記シャッター部が取着された状態で、前記シャッター部の前記ケースは、前記前鏡筒の前面と反対方向に向いた前面を有し、
前記シールドケースは、前記シャッター部の前記ケースの前記前面に係止し、かつ、前記後鏡筒に係止することで配設され、
前記シャッター部の前記ケースは、前記シールドケースにより前記前鏡筒の前記前面に付勢される、
請求項１記載のカメラモジュール。
【請求項１０】
前記シャッター部の前記ケースの前記前面の中間部に該前面の両側部よりも前方に突出した凸部が設けられ、
前記シールドケースは、前記シャッター部の前記ケースの前記前面に対向する前面部を有し、
前記シールドケースの、前記シャッター部の前記ケースの前記前面への係止は、前記シールドケースの前面が前記凸部に当接することでなされ、
前記シールドケースの配設状態で前記シールドケースの前面部は、前記凸部に当接した前記シールドケースの前面部部分が他の前面部部分よりも前方に位置するように弾性変形している、
請求項８または９記載のカメラモジュール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
上述の目的を達成するため、本発明は、後鏡筒と、前記後鏡筒の前方に組みつけられ前記後鏡筒と共に撮像光学系を収容する収容空間を形成する前鏡筒と、前記前鏡筒に係止すると共に前記後鏡筒に係止し前記前鏡筒および前記後鏡筒を前後方向において挟持するカバーと、前記前鏡筒の前面に取着されるシャッター部とを備え、前記シャッター部は、前記撮像光学系の光路を開閉するシャッター羽根と、前記シャッター羽根を収容し前記光路用の開口が形成されたケースとを有し、前記シャッター部の前記前鏡筒の前面への取着は、前記カバーに設けられたカバー側係止部と、前記ケースに設けられたケース側係止部とが係止することでなされている。
【手続補正書】
【提出日】平成23年8月5日(2011.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
第１の発明は、第１の基地局装置と第２の基地局装置とを含む通信システムにおいて、前記第１の基地局装置は、自局を示す識別情報と自局の同期の階層レベルを示す情報とを含む基地局情報を送信する手段を有し、前記第２の基地局装置は、前記第１の基地局装置から送信された前記基地局情報を受信する手段を有することを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第２の発明は、前記送信手段は、前記第１の基地局装置が初期化された場合に、前記基地局情報を送信することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第３の発明は、基地局装置において、自局を示す識別情報と自局の同期の階層レベルを示す情報とを含む基地局情報を他の基地局装置のために送信する手段を有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第４の発明は、第１の基地局装置と第２の基地局装置とを含む通信システムにおける通信制御方法において、前記第１の基地局装置が、自局を示す識別情報と自局の同期の階層レベルを示す情報とを含む基地局情報を送信するステップと、前記第２の基地局装置が、前記第１の基地局装置から送信された前記基地局情報を受信するステップと、を含む、ことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基地局装置と第２の基地局装置とを含む通信システムにおいて、
前記第１の基地局装置は、
自局を示す識別情報と自局の同期の階層レベルを示す情報とを含む基地局情報を送信する手段を有し、
前記第２の基地局装置は、
前記第１の基地局装置から送信された前記基地局情報を受信する手段を有する、
ことを特徴とする通信システム。
【請求項２】
前記送信手段は、
前記第１の基地局装置が初期化された場合に、前記基地局情報を送信する、ことを特徴とする請求項１に記載の通信システム。
【請求項３】
基地局装置において、
自局を示す識別情報と自局の同期の階層レベルを示す情報とを含む基地局情報を他の基地局装置のために送信する手段を有する、
ことを特徴とする基地局装置。
【請求項４】
第１の基地局装置と第２の基地局装置とを含む通信システムにおける通信制御方法において、
前記第１の基地局装置が、自局を示す識別情報と自局の同期の階層レベルを示す情報とを含む基地局情報を送信するステップと、
前記第２の基地局装置が、前記第１の基地局装置から送信された前記基地局情報を受信するステップと、を含む、
ことを特徴とする通信制御方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月7日(2011.3.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ストレージシステムと管理システムとを含むコンピュータシステムであって、
前記ストレージシステムは、
コピー元の論理ボリュームであるコピー元ボリュームと、
コピー先の論理ボリュームであるコピー先ボリュームとを含んでおり、
前記管理システムは、
前記ストレージシステムと通信回線を介して通信するための通信インターフェース回路と、
前記ストレージシステムを管理するための所定プログラムを記憶するメモリと、
前記メモリから前記所定プログラムを読み込んで実行するマイクロプロセッサとを含んでおり、
前記マイクロプロセッサは、
ユーザから入力される、前記コピー元ボリュームと前記コピー先ボリュームとから構成される一つのコピーペアを操作対象とする操作要求を受領し、
前記操作要求を入力させたユーザ毎に、前記操作要求の実行を許可するか否かを判定し、
前記操作要求の実行が許可される場合には、前記操作要求に対応する要求を前記ストレージシステムに送信する、
コンピュータシステム。
【請求項２】
前記各ユーザには、前記コピーペアの操作に関する役割が予め設定されており、
前記マイクロプロセッサは、前記各ユーザの役割に基づいて、前記操作要求の実行を許可するか否かを判定する、
請求項１に記載のコンピュータシステム。
【請求項３】
前記操作対象のコピーペアに関して予め用意される複数の役割と、前記各役割毎に実行可能な一つまたは複数の操作要求と、複数のユーザとを対応付けて管理するための管理テーブルが、前記メモリに記憶されており、
前記マイクロプロセッサは、前記管理テーブルを用いることにより、前記各ユーザの役割に基づいて、前記操作要求の実行を許可するか否かを判定する、
請求項２に記載のコンピュータシステム。
【請求項４】
前記操作要求には、前記コピー元ボリュームの記憶内容を変更するための所定の操作要求が含まれており、
前記各ユーザには、前記所定の操作要求の実行が許可されているユーザと、前記所定の操作要求の実行が禁止されているユーザとが含まれている、
請求項２または請求項３のいずれかに記載のコンピュータシステム。
【請求項５】
前記役割には、
前記操作対象のコピーペアに関する全ての操作要求を実行させることのできる第１役割と、
前記全ての操作要求のうち、前記コピーペアを生成させる要求と、前記コピーペアを削除させる要求と、スプリット要求と、リシンク要求と、リストア要求とを、実行させることのできる第２役割と、
前記全ての操作要求のうち、前記スプリット要求と、前記リシンク要求と、前記リストア要求とを、実行させることのできる第３役割と、
前記全ての操作要求のうち、前記スプリット要求と、前記リシンク要求とを、実行させることのできる第４役割と、が含まれている、
請求項４に記載のコンピュータシステム。
【請求項６】
操作対象のコピーペアが複数設けられており、
前記各ユーザ毎に、前記複数のコピーペアのうち第１コピーペアについての役割と、前記複数のコピーペアのうち第２コピーペアについての役割とを、それぞれ異なるように設定することができる、
請求項４に記載のコンピュータシステム。
【請求項７】
前記操作対象のコピーペアには第３コピーペアが含まれており、
前記第３コピーペアは、前記第１コピーペアまたは前記第２コピーペアのいずれか一方と関連付けられており、
前記第１コピーペアまたは前記第２コピーペアのうち前記第３コピーペアに関連付けられているコピーペアについて実行される操作要求が、前記第３コピーペアについても実行されるようになっている、
請求項６に記載のコンピュータシステム。
【請求項８】
前記ストレージシステムは複数設けられており、
前記複数のストレージシステムのうち一方のストレージシステムに前記コピー元ボリュームが設けられ、
前記複数のストレージシステムのうち他方のストレージシステムに前記コピー先ボリュームが設けられている、
請求項１に記載のコンピュータシステム。
【請求項９】
コピー元ボリューム及びコピー先ボリュームを含むストレージシステムに通信回線を介して接続されるコンピュータに、
ユーザから入力される、前記コピー元ボリュームと前記コピー先ボリュームとから構成される一つのコピーペアを操作対象とする操作要求を受領する要求受領機能と、
前記操作要求を入力させたユーザ毎に、前記操作要求の実行を許可するか否かを判定する判定機能と、
前記操作要求の実行が許可される場合には、前記操作要求に対応する要求を前記ストレージシステムに発行する要求発行機能と、
を実現させるためのプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【請求項１０】
前記各ユーザには、前記コピーペアの操作に関する役割が予め設定されており、
前記判定機能は、前記各ユーザの役割に基づいて、前記操作要求の実行を許可するか否かを判定する、
請求項９に記載のコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【請求項１１】
前記判定機能は、
前記操作対象のコピーペアに関して予め用意される複数の役割と、前記各役割毎に実行可能な一つまたは複数の操作要求と、複数のユーザとを対応付けて管理するための管理テーブルを用いることにより、
前記各ユーザの役割に基づいて、前記操作要求の実行を許可するか否かを判定する、
請求項１０に記載のコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【請求項１２】
前記操作要求には、前記コピー元ボリュームの記憶内容を変更するための所定の操作要求が含まれており、
前記各ユーザには、前記所定の操作要求の実行が許可されているユーザと、前記所定の操作要求の実行が禁止されているユーザとが含まれている、
請求項１０に記載のコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【請求項１３】
前記役割には、
前記操作対象のコピーペアに関する全ての操作要求を実行させることのできる第１役割と、
前記全ての操作要求のうち、前記コピーペアを生成させる要求と、前記コピーペアを削除させる要求と、スプリット要求と、リシンク要求と、リストア要求とを、実行させることのできる第２役割と、
前記全ての操作要求のうち、前記スプリット要求と、前記リシンク要求と、前記リストア要求とを、実行させることのできる第３役割と、
前記全ての操作要求のうち、前記スプリット要求と、前記リシンク要求とを、実行させることのできる第４役割と、が含まれている、
請求項１２に記載のコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【請求項１４】
操作対象のコピーペアが複数設けられており、
前記各ユーザ毎に、前記複数のコピーペアのうち第１コピーペアについての役割と、前記複数のコピーペアのうち第２コピーペアについての役割とを、それぞれ異なるように設定することができる、
請求項１２に記載のコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【請求項１５】
前記操作対象のコピーペアには第３コピーペアが含まれており、
前記第３コピーペアは、前記第１コピーペアまたは前記第２コピーペアのいずれか一方と関連付けられており、
前記第１コピーペアまたは前記第２コピーペアのうち前記第３コピーペアに関連付けられているコピーペアについて実行される操作要求が、前記第３コピーペアについても実行されるようになっている、
請求項１２に記載のコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成23年3月24日(2011.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のセッション・クライアントと第２のセッション・クライアントを含む複数のセッション・クライアントを有するオンライン通信システム内部で、該複数のセッション・クライアント間で少なくとも１つのオンライン・セッションの継続性を提供するための方法であって、
該第１のセッション・クライアントが該少なくとも１つのオンライン・セッションに参加する工程であって、該参加が、該少なくとも１つのオンライン・セッションに関する複数のセッション情報を蓄積することを含む工程と、
該第１のセッション・クライアントと該第２のセッション・クライアントの間の通信接続を使用して、該少なくとも１つのオンライン・セッションに関する該複数のセッション情報を該第１のセッション・クライアントから該第２のセッション・クライアントに転送する工程と、から成る方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項１に記載の方法は、第１のセッション・クライアントと第２のセッション・クライアントを含む複数のセッション・クライアントを有するオンライン通信システム内部で、該複数のセッション・クライアント間で少なくとも１つのオンライン・セッションの継続性を提供するための方法であって、
該第１のセッション・クライアントが該少なくとも１つのオンライン・セッションに参加する工程であって、該参加が、該少なくとも１つのオンライン・セッションに関する複数のセッション情報を蓄積することを含む工程と、
該第１のセッション・クライアントと該第２のセッション・クライアントの間の通信接続を使用して、該少なくとも１つのオンライン・セッションに関する該複数のセッション情報を該第１のセッション・クライアントから該第２のセッション・クライアントに転送する工程と、から成る方法をその要旨とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成23年9月29日(2011.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負荷ビームと、
ジンバルを介して片持ち梁状の負荷ビームの先端部に結合されたプレートとを備え、
前記プレートは、負荷／無負荷状態のランプ構造に係合するように前記ジンバルから前方に延びる片持ち梁状のランプリミッタを含み、
前記ジンバルに対向する前記プレートの下部表面に固定されるスライダと、
前記ランプリミッタに固定された歪みゲージとをさらに備える、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）。
【請求項２】
前記歪みゲージは、前記ランプリミッタの下部表面に埋込まれており、ポリマー材料で覆われている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記歪みゲージは、前記ランプリミッタが無負荷の位置にあるときに、前記負荷／無負荷状態のランプ構造に接触するように近接している、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記歪みゲージは、前記ランプリミッタのたわみを検出し測定する、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記歪みゲージは、リフトタブに対向する前記ランプリミッタの先端部に取り付けられる、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記スライダは、前記プレートの片持ち梁状の島状部上に取り付けられている、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記歪みゲージに接続される複数の配線は、前記スライダのいずれの部分とも接続されることなく前記スライダを実質的に取り囲む、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記配線は、導線の抵抗を補償するように構成される、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
単一の配線が前記歪みゲージの第１の側に接続され、複数の配線が前記歪みゲージの第２の側に接続されている、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
第１の複数の配線は前記歪みゲージの第１の側に接続され、第２の複数の配線は前記歪みゲージの第２の側に接続される、請求項７に記載の装置。
【請求項１１】
前記歪みゲージは抵抗型歪みゲージまたは容量型歪みゲージである、請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
複数の互いに入り込んだ形状の指部が、該指部が電気的に接続されることなく、前記歪みゲージの第１の側と第２の側との両方に存在する、請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
前記歪みゲージは、少なくとも１つの絶縁層によって互いに分離される複数の金属層を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１４】
前記歪みゲージは、絶縁層により前記ランプリミッタの金属層から分離された単一の銅プレートを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１５】
ジンバルを介して負荷ビームの先端部に連結されたプレートを設け、
前記プレートは、前記ジンバルから負荷／無負荷状態のランプ構造に係合するように延びる片持ち梁状のランプリミッタを含み、
スライダと歪みゲージとを、前記プレートと前記ジンバルに対向するランプリミッタとの下部表面にそれぞれ取り付け、
前記歪みゲージで前記ランプリミッタの撓みを測定する、方法。
【請求項１６】
前記ランプリミッタは、記録可能な記憶メディアとの接触によりたわむ、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記ランプリミッタは、前記歪みゲージを含む領域において、負荷／無負荷構造と係合する、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
前記歪みゲージに接続された配線は、前記スライダとの電気的な接続を供給する導線の近傍に配設される、請求項１５に記載の方法。
【請求項１９】
前記ランプリミッタの撓みは、ＨＧＡの傾斜角度とは無関係に生じる、請求項１５に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月7日(2011.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、通路を流通する流体の流量を検出し、流量制御することが可能なフローコントローラに関する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
弁体６４は、上部に形成された着座部９０と、該着座部９０に対して直交するように下方に向かって延在した筒部９１とを有する断面略Ｕ字状に形成され、前記着座部９０の中心にステム７４がボルト９７によって連結されると共に、筒部９１の内部にはスプリング７８が挿入される。また、着座部９０には、筒部９１に対して半径内側に弁体６４の軸線方向に沿って貫通した複数の連通孔９３が形成され、前記着座部９０の上面側と下面側とが前記連通孔９３を通じて常に連通している。
【手続補正書】
【提出日】平成23年6月15日(2011.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクブランクであって、
透明基板上に形成され、クロムを含む材料からなる下地膜と、
前記下地膜上に形成され、化学増幅型レジスト膜の失活を抑制する失活抑制膜と、を備え、
前記失活抑制膜は、露光により前記化学増幅型レジスト膜中に生成される触媒物質の酸が前記下地膜中に拡散によって移動することが原因で生じる化学増幅型レジスト膜の失活を抑制し得る緻密度を有し、かつ少なくとも前記下地膜の表面近傍の緻密度よりも高い緻密度を有する膜であり、
前記失活抑制膜は、中性の有機膜であることを特徴とするマスクブランク。
【請求項２】
前記クロムを含む材料は、クロムに酸素、窒素、炭素からなる元素を少なくとも１種を含む材料であることを特徴とする請求項１記載のマスクブランク。
【請求項３】
前記失活抑制膜上に、電子線露光用化学増幅型レジスト膜が形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のマスクブランク。
【請求項４】
請求項３に記載のマスクブランクを用い、前記電子線露光用化学増幅型レジスト膜を５０ｋｅＶ以上の電子線加速電圧で露光し、レジストパターンを形成する工程を有することを特徴とするマスクの製造方法。
【請求項５】
前記レジストパターンをマスクにしてドライエッチングで露出している前記失活抑制膜を除去し、
続いて、ドライエッチングで露出している前記下地膜を除去し、
前記レジストパターン及び前記失活抑制膜を除去することによってフォトマスクを得ることを特徴とする請求項４に記載のマスクの製造方法。
【請求項６】
前記下地膜は、Ｃｌ２＋Ｏ２をエッチングガスとするドライエッチングで除去されることを特徴とする請求項５に記載のマスクの製造方法。
【請求項７】
請求項４乃至６のいずれかに記載のマスクの製造方法によって製造されたマスク。
【手続補正書】
【提出日】平成23年7月19日(2011.7.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遮光部、透光部及び半透光部からなるパターンを有するグレートーンマスクであって、二種類の膜厚をもつレジストパターンを形成するためのグレートーンマスクにおいて、
透明基板上に形成された遮光膜パターンと半透光膜パターンを有し、前記遮光部は、少なくとも前記遮光膜パターンの遮光膜により形成され、前記半透光部は、基板露出部に形成された半透光膜により形成され、
該グレートーンマスクは、ｇ線、ｈ線、及びｉ線を含む光源を持つ露光装置によって露光されるものであり、かつ、前記半透光膜は、前記ｉ線から前記ｇ線までの露光波長領域において、透過率変化が１．５％以下であることを特徴とするグレートーンマスク。
【請求項２】
前記グレートーンマスクは薄膜トランジスタ基板製造用グレートーンマスクであり、かつ、前記二種類の膜厚をもつレジストパターンは、前記薄膜トランジスタ基板のチャネル部形成領域が、ソースドレイン形成領域より薄いレジストパターンであることを特徴とする請求項１に記載のグレートーンマスク。
【請求項３】
前記半透光膜は、前記ｉ線に対する前記透光部の透過率を１００％としたとき、２０〜６０％の透過率を有するものであることを特徴とする請求項１又は２に記載のグレートーンマスク。
【請求項４】
前記半透光膜は、前記遮光膜と同一のエッチング液によってウェットエッチングされるものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のグレートーンマスク。
【請求項５】
前記半透光膜は、クロム（Ｃｒ）と窒素（Ｎ）を含む材料からなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のグレートーンマスク。
【請求項６】
遮光部、透光部及び半透光部からなるパターンを有するグレートーンマスクであって、二種類の膜厚をもつレジストパターンを形成するためのグレートーンマスクの製造方法であって、
透明基板上に形成された遮光膜の上に、遮光部を形成するための第１のレジストパターンを形成する工程と、
前記第１のレジストパターンをマスクとして前記遮光膜をウェットエッチングして遮光膜パターンを形成し、残存した第１のレジストパターンを剥離する工程と、
前記遮光膜パターン上に半透光膜を形成し、その上に透光部を形成するための第２のレジストパターンを形成する工程と、
前記第２のレジストパターンをマスクとして前記半透光膜をウェットエッチングして半透光膜パターンを形成し、残存した第２のレジストパターンを剥離する工程と、
を有し、
該グレートーンマスクは、ｇ線、ｈ線、及びｉ線を含む光源を持つ露光装置によって露光されるものであり、かつ、前記半透光膜は、前記ｉ線から前記ｇ線までの露光波長領域において、透過率変化が１．５％以下であることを特徴とするグレートーンマスクの製造方法。
【請求項７】
前記グレートーンマスクは薄膜トランジスタ基板製造用グレートーンマスクであり、かつ、前記二種類の膜厚をもつレジストパターンは、前記薄膜トランジスタ基板のチャネル部形成領域が、ソースドレイン形成領域より薄いレジストパターンであることを特徴とする請求項６に記載のグレートーンマスクの製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至５のいずれかに記載のグレートーンマスクを、ｇ線、ｈ線、及びｉ線を含む光源を持つ露光装置によって露光することにより、前記パターンを被転写体へ転写することを特徴とするパターン転写方法。