【手続補正書】
【提出日】平成23年11月8日(2011.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセス制御システムにおいて補助レシピおよびバッチレシピを実行するための方法であって、
第１のレシピを実行すること、及び、
第１のレシピの実行の完了前に、
補助レシピを同定することと、
補助レシピを実行できる入り口点に第１のレシピが達したかどうか判断することと、
第１のレシピが入り口点に達したとの判断に応答して補助レシピを実行することと、
を含む方法。
【請求項２】
前記補助レシピが前記第１のレシピとは別のものであることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１のレシピ用に確保されたプロセス制御装置を使用して前記補助レシピを実行することをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記入り口点が、前記第１のレシピの少なくとも二つの工程段階間の遷移点であることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記補助レシピを実行する前に第１のレシピの実行を一時停止することと、
前記補助レシピの実行の完了後に再度第１のレシピを始動することと、
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記第１のレシピが、第１のレシピ識別子に関連付けられていることを特徴とし、且つ、前記補助レシピが、第１のレシピ識別子と等しい第２のレシピ識別子に関連付けられていることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第１のレシピ識別子に基づいて第１のレシピ用に設備を確保することと、
前記第１のレシピ識別子と等しい前記第２のレシピ識別子に基づいて前記補助レシピが設備を使用することを円滑に行えるようにすることと、
をさらに含む請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記第１のレシピの少なくとも二つの工程段階間の遷移点を同定することにより入り口点を生成することと、前記遷移点で前記補助レシピを実行することがプロセスフロー規則に違反することにならないことを判断することと、
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項９】
プロセス制御システムにおいて補助レシピおよびバッチレシピを実行するための機器であって、
バッチレシピの実行中に補助レシピを得るためのレシピインターフェースと、
補助レシピが実行できる入り口点にバッチレシピが達したかどうか判断するためのプロセス状態識別子と、
バッチレシピが入り口点に達したとの判断に応答して補助レシピの実行を引き起こすための作動モード選択子と、
を備える機器。
【請求項１０】
プロセス制御システムにおいてバッチレシピ中に実行するために補助レシピを構成するための方法であって、
第１のレシピおよび第２のレシピを受け取ることと、
前記第１のレシピにおいて少なくとも二つの工程段階間の遷移点を同定することと、
前記第２のレシピを遷移点で実行できるかどうか判断することと
前記第２のレシピを遷移点で実行できると判断すると、前記第２のレシピと関連付けた状態でレシピ入り口点を記憶することと、を含み、
前記レシピ入り口点が遷移点に対応することを特徴とする方法。
【請求項１１】
前記第２のレシピを遷移点で実行できるかどうか判断することには、遷移点で補助レシピを実行することによってプロセスフロー規則に違反することにならないことを判断することが含まれることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記第２のレシピを遷移点で実行できるかどうか判断することには、遷移点で補助レシピを実行することが前記第１のレシピの実行に相反することにならないことを判断することが含まれることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記レシピ入り口点が、前記第１のレシピの実行が開始した後に前記レシピ入り口点で前記第２のレシピを実行することを円滑に行えるようにすることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
遷移点で前記第２のレシピを実行できないと判断すると、エラー・メッセージを生成することをさらに含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１５】
プロセス制御システムにおいてバッチレシピ中に実行するために補助レシピを構成するための機器であって、
第１のレシピおよび第２のレシピを受け取るためのレシピ解析機構と、
前記第１のレシピにおいて少なくとも二つの工程段階間の遷移点を同定するためのフェーズ遷移識別子と、
前記第２のレシピを遷移点で実行できるかどうか判断するための規則順守検証機構と、
遷移点で前記第２のレシピを実行できると判断すると、前記第２のレシピと関連付けた状態でレシピ入り口点を記憶するための入り口点生成機構と、
を備える機器。
【請求項１６】
前記規則順守検証機構が、遷移点で前記補助レシピを実行することがプロセスフロー規則に違反することにつながらないことを判定することによって、遷移点で前記第２のレシピを実行できるかどうかを判断することを特徴とする、請求項１５に記載の機器。
【請求項１７】
前記規則順守検証機構が、遷移点で前記補助レシピを実行することが前記第１のレシピの実行に相反することにならないことを判定することによって前記第２のレシピが遷移点で実行できるかどうか判断することを特徴とする、請求項１５に記載の機器。
【請求項１８】
前記レシピ入り口点が、前記第１のレシピの実行が開始した後に入り口点で前記第２のレシピを実行することを円滑に行えるようにすることを特徴とする、請求項１５に記載の機器。
【請求項１９】
前記レシピ解析機構は、遷移点で前記第２のレシピを実行できないとの前記規則順守検証機構による判断に応答してエラー・メッセージを生成することを特徴とする、請求項１５に記載の機器。
【請求項２０】
プロセス制御システムにおいて補助レシピおよびバッチレシピを実行するための機器であって、
前記バッチレシピが第１のレシピ識別子に関連付けられており、前記補助レシピが第１のレシピ識別子と等しい第２のレシピ識別子に関連付けられている、前記バッチレシピの実行中に補助レシピを取得するためのレシピインターフェースと、
前記第１のレシピ識別子に基づいてバッチレシピ用に確保された設備を同定するため、且つ、前記第１のレシピ識別子と等しい前記第２のレシピ識別子に基づいて前記補助レシピによる設備の使用を円滑に実施するためのリソース管理機構と、
前記補助レシピが、第１および第２のレシピ識別子に基づいて設備を同定する前記リソース管理機構に基づいてバッチレシピ用に確保された設備を使用するようになっている、前記補助レシピの実行を引き起こすための作動モード選択子と、
を備える機器。
【請求項２１】
前記バッチレシピが補助レシピの実行前に設備を解放しないことを特徴とする、請求項２０に記載の機器。
【請求項２２】
前記作動モード選択子が、さらに、前記補助レシピを実行する前にバッチレシピの実行を一時停止し、且つ、前記補助レシピが実行を完了した後にバッチレシピを再始動するようになっていることを特徴とする、請求項２０に記載の機器。
【請求項２３】
ユーザ指定のフェーズ遷移点または補助レシピを実行できる、次に利用可能なフェーズ遷移点の少なくとも一つにバッチレシピが達したかどうかを判断するためのプロセス状態識別子をさらに備え、
前記作動モード選択子が、さらに、ユーザ指定のフェーズ遷移点または補助レシピを実行できる次に利用可能なフェーズ遷移点の少なくとも一つにバッチレシピが達したとの判断に応答して補助レシピの実行を引き起こすようになっていることを特徴とする、
請求項２０に記載の機器。