【手続補正書】
【提出日】平成23年5月12日(2011.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の偏光状態の照明光で被検基板の表面に形成されたパターンを照明する照明光学系と、
前記照明光が前記パターンで反射した反射光による前記パターンの像を結像する結像部と、該結像した像の明るさ検出する検出部と、前記被検基板と前記検出部の間の光路中に配置され前記第一の偏光状態とは異なる第二の偏光状態の光を透過する偏光部材とを有する受光光学系と、
前記検出部の検出結果に基づいて前記パターンを評価する評価部と、
を備えることを特徴とするパターン評価装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン評価装置であって、
前記照明光学系は凹面鏡部を有し、該凹面鏡部の焦点付近に前記照明光となる光を射出する射出端を有することを特徴とするパターン評価装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のパターン評価装置であって、
前記評価部は、パターンの線幅とパターンの対称性とパターンの欠陥との少なくとも１つについて評価可能であることを特徴とするパターン評価装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のパターン評価装置であって、
前記評価部は、予め記憶した検出結果と前記検出部で検出された検出結果を比較して、前記被検基板のパターンを評価することを特徴とするパターン評価装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のパターン評価装置であって、
前記第一の偏光状態と前記第二の偏光状態との関係が調整可能であることを特徴とするパターン評価装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のパターン評価装置であって、
前記第一の偏光状態と前記第二の偏光状態は共に指向性を有する偏光状態であり、前記第一の偏光状態の方向と前記第二の偏光状態の方向とが略直交していることを特徴とするパターン評価装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のパターン評価装置であって、
前記被検基板は、前記パターンの方向と対応する基準マークを含み、
前記パターン評価装置は、
前記被検基板の前記基準マークを検出可能な位置検出部と、
前記被検基板の表面に垂直な軸を中心に、前記被検基板を回動させる回動部とをさらに備え、
前記位置検出部の検出結果に基づいて、前記回動部により前記照明の方向に対する前記パターンの方向の設定が可能であることを特徴とするパターン評価装置。
【請求項８】
第一の偏光状態の平行光で被検基板の表面に形成されたパターンを照明する照明光学系と、
前記照明光が前記パターンで反射した反射光を集光する集光部と、集光した反射光を検出する検出部と、前記被検基板と前記検出部の間の光路中に配置され前記第一の偏光状態とは異なる第二の偏光状態の光を透過する偏光部材とを有する受光光学系と、
検出部の検出結果に基づいて前記パターンを評価する評価部と、を備えることを特徴とするパターン評価装置。
【請求項９】
請求項８に記載のパターン評価装置であって、
前記集光部は前記パターンの像を前記検出部に形成することを特徴とするパターン評価装置。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載のパターン評価装置であって、
前記照明光学系は凹面鏡部を有し、該凹面鏡部の焦点付近に前記照明光となる光を射出する射出端を有することを特徴とするパターン評価装置。
【請求項１１】
請求項８から請求項１０のいずれか１項に記載のパターン評価装置であって、
前記評価部は、パターンの線幅とパターンの対称性とパターンの欠陥との少なくとも１つについて評価可能であることを特徴とするパターン評価装置。
【請求項１２】
請求項８から請求項１１のいずれか１項に記載のパターン評価装置であって、
前記評価部は、予め記憶した検出結果と前記検出部で検出された検出結果を比較して、前記被検基板のパターンを評価することを特徴とするパターン評価装置。
【請求項１３】
請求項８から請求項１２のいずれか１項に記載のパターン評価装置であって、
前記第一の偏光状態と前記第二の偏光状態との関係が調整可能であることを特徴とするパターン評価装置。
【請求項１４】
請求項８から請求項１３のいずれか１項に記載のパターン評価装置であって、
前記第一の偏光状態と前記第二の偏光状態は共に指向性を有する偏光状態であり、前記第一の偏光状態の方向と前記第二の偏光状態の方向とが略直交していることを特徴とするパターン評価装置。
【請求項１５】
請求項８から請求項１４のいずれか１項に記載のパターン評価装置であって、
前記被検基板は、前記パターンの方向と対応する基準マークを含み、
前記パターン評価装置は、
前記被検基板の前記基準マークを検出可能な位置検出部と、
前記被検基板の表面に垂直な軸を中心に、前記被検基板を回動させる回動部とをさらに備え、
前記位置検出部の検出結果に基づいて、前記回動部により前記照明の方向に対する前記パターンの方向の設定が可能であることを特徴とするパターン評価装置。
【請求項１６】
被検基板の表面に形成されたパターンを評価する評価方法であって、
第一の偏光状態の照明光で前記パターンを照明し、
前記パターンで反射した光による前記パターンの像を撮像し、
前記撮像された像から前記反射による偏光状態の変化を検出し、
前記検出の結果に基づいて前記パターンを評価することを特徴とする評価方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の評価方法であって、
前記パターンで反射した光の所定の偏光成分を透過させ、該透過した光による前記パターンの像を撮像することを特徴とする評価方法。
【請求項１８】
請求項１６または請求項１７に記載の評価方法であって、
前記透過させる前記所定の偏光成分を調整した後に、前記検出を行うことを特徴とする評価方法。
【請求項１９】
請求項１６から請求項１８のいずれか１項に記載の評価方法であって、
基準となる検出結果を記憶し、
該記憶された検出結果と前記評価対象のパターンの検出結果を比較して該評価対象のパターンを評価することを特徴とする評価方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】パターン評価装置および評価方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、パターン評価装置および評価方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の目的は、照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できるパターン評価装置および評価方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一の態様としてのパターン評価装置は、第一の偏光状態の照明光で被検基板の表面に形成されたパターンを照明する照明光学系と、前記照明光が前記パターンで反射した反射光による前記パターンの像を結像する結像部と、該結像した像の明るさ検出する検出部と、前記被検基板と前記検出部の間の光路中に配置され前記第一の偏光状態とは異なる第二の偏光状態の光を透過する偏光部材とを有する受光光学系と、前記検出部の検出結果に基づいて前記パターンを評価する評価部と、を備えることを特徴とする。
本発明の他の態様としてのパターン評価装置は、第一の偏光状態の平行光で被検基板の表面に形成されたパターンを照明する照明光学系と、前記照明光が前記パターンで反射した反射光を集光する集光部と、集光した反射光を検出する検出部と、前記被検基板と前記検出部の間の光路中に配置され前記第一の偏光状態とは異なる第二の偏光状態の光を透過する偏光部材とを有する受光光学系と、検出部の検出結果に基づいて前記パターンを評価する評価部と、を備えることを特徴とする。
本発明のさらに他の態様は、被検基板の表面に形成されたパターンを評価する評価方法であって、第一の偏光状態の照明光で前記パターンを照明し、前記パターンで反射した光による前記パターンの像を撮像し、前記撮像された像から前記反射による偏光状態の変化を検出し、前記検出の結果に基づいて前記パターンを評価することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】