【手続補正書】
【提出日】平成23年5月19日(2011.5.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板に照射される前記光ビームが通過する光学部材と、
前記光学部材に対して相対移動可能であり、前記基板を保持する基板テーブルと、
前記基板テーブルに対して相対移動可能であり、前記基板テーブルが前記光学部材の下から離れるとき、前記光学部材直下の空間に液浸液体が実質的に維持されるように、前記基板テーブルの代わりに前記光学部材と対向するように位置付け可能なパッド部材と、を備え、
前記基板テーブルが前記光学部材の下から離れる前に、前記基板テーブルと前記パッド部材とは、相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光装置。
【請求項２】
前記基板テーブルと前記パッド部材とは、前記光学部材直下の空間に液浸液体が実質的に維持されるように近接した状態で位置決めされる請求項１に記載の液浸露光装置。
【請求項３】
前記光学部材と前記基板テーブルとの間の空間に液浸液体が維持される第１状態から前記光学部材と前記パッド部材との間の空間に液浸液体が維持される第２状態に遷移される請求項１又は２に記載の液浸露光装置。
【請求項４】
前記第１状態が維持されつつ、前記基板テーブルと前記パッド部材とは接近するように移動され、その移動によって前記基板テーブルと前記パッド部材とが近接した状態になる請求項３に記載の液浸露光装置。
【請求項５】
前記遷移において、前記基板テーブルと前記パッド部材とは実質的に連続した表面を形成する請求項３又は４に記載の液浸露光装置。
【請求項６】
前記第２状態において、前記基板テーブルに保持された基板を交換する交換システムを有する請求項３〜５のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項７】
前記交換によって前記基板テーブルに保持される基板のアライメントを行うアライメントシステムを有する請求項６に記載の液浸露光装置。
【請求項８】
前記パッド部材は、前記基板テーブルに保持された前記基板の露光において、前記光学部材の下から離れて位置決めされる請求項１〜７のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項９】
前記基板テーブルと前記パッド部材とは、基板ステージの上に配置される請求項１〜８のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１０】
光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板に照射される前記光ビームが通過する光学部材と、
前記光学部材に対して相対移動可能であり、前記基板を保持する基板テーブルと、
前記基板テーブルに対して相対移動可能なパッド部材と、を備え、
前記光学部材と前記基板テーブルとの間の空間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記パッド部材との間の空間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記光学部材直下の空間に液浸液体を維持しつつ、前記パッド部材は前記基板テーブルと置き換えられ、その置換に先立ち、前記基板テーブルと前記パッド部材とは相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光装置。
【請求項１１】
前記基板テーブルと前記パッド部材とは、前記光学部材直下の空間に液浸液体が実質的に維持されるように近接した状態で位置決めされる請求項１０に記載の液浸露光装置。
【請求項１２】
前記第１状態が維持されつつ、前記基板テーブルと前記パッド部材とは接近するように移動され、その移動によって前記基板テーブルと前記パッド部材とが近接した状態となる請求項１１に記載の液浸露光装置。
【請求項１３】
前記基板テーブルと前記パッド部材とは、前記遷移において、実質的に連続した表面を形成する請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１４】
前記パッド部材は、前記基板テーブルに保持された前記基板の露光において、前記光学部材の下から離れて位置決めされる請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１５】
前記基板テーブルと前記パッド部材とは、基板ステージの上に配置される請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１６】
前記第２状態において、前記基板テーブルに保持された基板を交換する交換システムを有する請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１７】
前記交換によって前記基板テーブルに保持される基板のアライメントを行うアライメントシステムを有する請求項１６に記載の液浸露光装置。
【請求項１８】
光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
基板テーブルに前記基板を置くことと、
前記前記基板テーブルに置かれた前記基板に光学部材及び液浸液体を通過した前記光ビームを照射することと、
前記基板テーブルが前記光学部材の下から離れるとき、前記光学部材直下の空間に液浸液体が実質的に維持されるように、前記基板テーブルの代わりに前記光学部材と対向するように、前記基板テーブルに対して相対移動可能なパッド部材を位置付けることと、を含み、
前記基板テーブルが前記光学部材の下から離れる前に、前記基板テーブルと前記パッド部材とが、相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光方法。
【請求項１９】
前記基板テーブルと前記パッド部材とは、前記光学部材直下の空間に液浸液体が実質的に維持されるように近接した状態で位置決めされる請求項１８に記載の液浸露光方法。
【請求項２０】
前記光学部材と前記基板テーブルとの間の空間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記パッド部材との間の空間に液浸液体が維持される第２状態に遷移される請求項１８又は１９に記載の液浸露光方法。
【請求項２１】
前記第１状態が維持されつつ、前記基板テーブルと前記パッド部材とは接近するように移動され、その移動によって前記基板テーブルと前記パッド部材とが近接した状態になる請求項２０に記載の液浸露光方法。
【請求項２２】
前記遷移において、前記基板テーブルと前記パッド部材とは実質的に連続した表面を形成する請求項２０又は２１に記載の液浸露光方法。
【請求項２３】
前記第２状態において、前記基板テーブルに保持された基板が交換システムで交換される請求項２０〜２２のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項２４】
前記交換によって前記基板テーブルに保持される基板のアライメントがアライメントシステムで行われる請求項２３に記載の液浸露光方法。
【請求項２５】
前記パッド部材は、前記基板テーブルに保持された前記基板の露光において、前記光学部材の下から離れて位置決めされる請求項１８〜２４のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項２６】
前記基板テーブルと前記パッド部材とは、基板ステージの上に配置される請求項１８〜２５のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項２７】
光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
基板テーブルに前記基板を置くことと、
前記基板テーブルに置かれた前記基板に光学部材及び液浸液体を通過した前記光ビームを照射することと、
前記光学部材と前記基板テーブルとの間の空間に液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記パッド部材との間の空間に液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、光学部材直下の空間に液浸液体を維持しつつ、前記基板テーブルに対して相対移動可能なパッド部材を前記基板テーブルと置き換えることと、を含み、
その置換に先立ち、前記基板テーブルと前記パッド部材とは相対的に傾斜及び／又は鉛直方向に移動される液浸露光方法。
【請求項２８】
前記基板テーブルと前記パッド部材とは、前記光学部材直下の空間に液浸液体が実質的に維持されるように近接した状態で位置決めされる請求項２７に記載の液浸露光方法。
【請求項２９】
前記第１状態が維持されつつ、前記基板テーブルと前記パッド部材とは接近するように移動され、その移動によって前記基板テーブルと前記パッド部材とが近接した状態となる請求項２８に記載の液浸露光方法。
【請求項３０】
前記遷移において、前記基板テーブルと前記パッド部材とは実質的に連続した表面を形成する請求項２７〜２９のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項３１】
前記パッド部材は、前記基板テーブルに保持された前記基板の露光において、前記光学部材の下から離れて位置決めされる請求項２７〜３０のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項３２】
前記基板テーブルと前記パッド部材とは、基板ステージの上に配置される請求項２７〜３１のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項３３】
前記第２状態において、前記基板テーブルに保持された基板が交換システムで交換される請求項２７〜３２のいずれか一項に記載の液浸露光方法。
【請求項３４】
前記交換によって前記基板テーブルに保持される基板のアライメントがアライメントシステムで行われる請求項３３に記載の液浸露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液浸露光装置、及び液浸露光方法