【手続補正書】
【提出日】平成23年3月2日(2011.3.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）アルカリ水溶液可溶性重合体１００質量部に対して、（Ｂ）光酸発生剤１〜５０質量部、（Ｃ）直接Ａｌ原子と結合したエーテル基を有する１価の官能基、直接Ｔｉ原子と結合したエーテル基を有する１価の官能基、直接Ｓｉ原子と結合したカルボン酸エステル基、及び直接Ｓｉ原子と結合したアルコキシ基からなる群より選択される官能基を合計で４官能基以上含有するシラン化合物０．０１〜２０質量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項２】
（Ａ）アルカリ水溶液可溶性重合体が、フェノール性水酸基及びカルボキシル基からなる群から選択される少なくとも１つの基を有することを特徴とする請求項１に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項３】
（Ｂ）光酸発生剤が、ナフトキノンジアジド構造を有する化合物であることを特徴とする請求項１又は２に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項４】
（Ｃ）シラン化合物が、下記一般式（１）で表される構造を有する化合物であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】
2008276190.tif 000001
（式中、Ｒ1 は少なくとも１個以上の炭素原子を有する基である。ｍは１〜４の整数である。Ｚ1 はＡｌ原子を有する１価の官能基、Ｔｉ原子を有する１価の官能基、及び直接式（１）に記載のＳｉ原子と結合したカルボン酸エステル基を有する１価の官能基からなる群より選択される少なくとも１つの官能基である。）
【請求項５】
（Ｃ）シラン化合物が、下記一般式（２）で表される構造を有する化合物であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化２】
2008276190.tif 000002
（式中、Ｒ2 、Ｒ3 はそれぞれ独立に、少なくとも１個以上の炭素原子を有する基であり、ｎは１〜４の整数である。）
【請求項６】
（Ｃ）シラン化合物が、下記一般式（３）で表される構造を有する化合物であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化３】
2008276190.tif 000003
（式中、Ｒ4 、Ｒ5 、Ｒ6 はそれぞれ独立に、少なくとも１個以上の炭素原子を有する基であり、ｐは１〜３の整数、ｑは１〜４の整数であり、ｐ＋ｑ≧４である。Ｚ2はアルキレン基、アルケニレン基、エーテル基、及びジスルフィド基からなる群から選択される少なくとも１つの基を有する２価の基を示す。）
【請求項７】
更に、（Ｄ）シリコン系カップリング剤０．０１〜２０質量部を含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項８】
（Ａ）アルカリ水溶液可溶性重合体が、下記一般式（４）で表される繰り返し単位を有するアルカリ水溶液に可溶な重合体構造を分子内に含む樹脂であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化４】
2008276190.tif 000004
（式中、Ｘ1 は少なくとも２個以上の炭素原子を有する４価の有機基であり、Ｘ2 は少なくとも２個以上の炭素原子を有する２価の有機基であり、Ｙ1およびＹ2 はそれぞれ独立に少なくとも２個以上の炭素原子を有する２〜４価の有機基である。また、ｔ、ｕはそれぞれ独立に０〜２の整数であり、ｒは２〜１０００の整数であり、ｓは０〜５００の整数であって、ｒ／（ｒ＋ｓ）＞０．５である。なお、Ｘ1およびＹ1 を含むｒ個のジヒドロキシジアミド単位、並びにＸ2 およびＹ2 を含むｓ個のジアミド単位の配列順序は問わない。）
【請求項９】
（Ａ）アルカリ水溶液可溶性重合体が、１又は２以上のテトラカルボン酸二無水物と、互いにオルト位にあるアミノ基及びフェノール性水酸基を有する１又は２以上の芳香族ジアミンとが、脱水縮合したポリイミド構造を有する重縮合物であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
（Ａ）アルカリ水溶液可溶性重合体が、ビシクロ（２，２，２）−オクト−７−エン−２，３，５，６−テトラカルボン酸二無水物とビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）スルホンが脱水縮合したポリイミド構造を有する重縮合物であることを特徴とする請求項９に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
（Ａ）アルカリ水溶液可溶性重合体が、５−（２，５−ジオキソテトラヒドロ−３−フリル）−３−メチル−シクロヘキセン−１，２ジカルボン酸無水物と２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパンが脱水縮合したポリイミド構造を有する重縮合物であることを特徴とする請求項９に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
（Ａ）アルカリ水溶液可溶性重合体が、フェノール樹脂であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【請求項１３】
（１）請求項１〜１２のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物を塗布層の形で基板上に形成し、（２）マスクを介して化学線で露光するか、光線、電子線またはイオン線を直接照射し、（３）露光部または照射部を溶出除去し、（４）得られたレリーフパターンを加熱処理することを特徴とする硬化レリーフパターンの製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の硬化レリーフパターンの製造方法により得られる硬化レリーフパターンを有してなる半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
すなわち、本発明は以下のとおりのものである。
１．（Ａ）アルカリ水溶液可溶性重合体１００質量部に対して、（Ｂ）光酸発生剤１〜５０質量部、（Ｃ）直接Ａｌ原子と結合したエーテル基を有する１価の官能基、直接Ｔｉ原子と結合したエーテル基を有する１価の官能基、直接Ｓｉ原子と結合したカルボン酸エステル基、及び直接Ｓｉ原子と結合したアルコキシ基からなる群より選択される官能基を合計で４官能基以上含有するシラン化合物０．０１〜２０質量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
２．（Ａ）アルカリ水溶液可溶性重合体が、フェノール性水酸基及びカルボキシル基からなる群から選択される少なくとも１つの基を有することを特徴とする上記１．に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
３．（Ｂ）光酸発生剤が、ナフトキノンジアジド構造を有する化合物であることを特徴とする上記１．または２．に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
４．（Ｃ）シラン化合物が、下記一般式（１）で表される構造を有する化合物であることを特徴とする上記１．〜３．のいずれか一つに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】
2008276190.tif 000005
（式中、Ｒ1 は少なくとも１個以上の炭素原子を有する基である。ｍは１〜４の整数である。Ｚ1 はＡｌ原子を有する１価の官能基、Ｔｉ原子を有する１価の官能基、及び直接式（１）に記載のＳｉ原子と結合したカルボン酸エステル基を有する１価の官能基からなる群より選択される少なくとも１つの官能基である。）
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
５．（Ｃ）シラン化合物が、下記一般式（２）で表される構造を有する化合物であることを特徴とする上記１．〜４．のいずれか一つに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化２】
2008276190.tif 000006
（式中、Ｒ2 、Ｒ3 はそれぞれ独立に、少なくとも１個以上の炭素原子を有する基であり、ｎは１〜４の整数である。）
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
６．（Ｃ）シラン化合物が、下記一般式（３）で表される構造を有する化合物であることを特徴とする上記１．〜５．のいずれか一つに記載のポジ型感光性樹脂組成物。
【化３】
2008276190.tif 000007
（式中、Ｒ4 、Ｒ5 、Ｒ6 はそれぞれ独立に、少なくとも１個以上の炭素原子を有する基であり、ｐは１〜３の整数、ｑは１〜４の整数であり、ｐ＋ｑ≧４である。Ｚ2はアルキレン基、アルケニレン基、エーテル基、及びジスルフィド基からなる群から選択される少なくとも１つの基を有する２価の基を示す。）
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
７．更に、（Ｄ）シリコン系カップリング剤０．０１〜２０質量部を含むことを特徴とする上記１．〜６のいずれか１項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。