【手続補正書】
【提出日】平成23年8月1日(2011.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布ヘッドに設けた複数のノズルから塗布液を液滴として吐出させて基板に塗布するに先立って、前記複数のノズルから吐出されて検査用基板に塗布された各液滴の着弾面積に基づいて前記各ノズルからの液滴の吐出量の調整を行う液滴塗布方法において、
前記検査用基板上において前記各液滴が塗布される各位置間での接触角のばらつきを求め、求めた接触角のばらつきを用いて、前記着弾面積に基づいて調整される前記吐出量を補正することを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項２】
前記各位置間での接触角のばらつきに基づいて当該位置毎に狙いの着弾面積を求め、
前記位置毎の狙いの着弾面積と前記各位置に塗布された液滴の着弾面積との差に基づいて前記吐出量を調整することを特徴とする請求項１に記載の液滴塗布方法。
【請求項３】
前記複数のノズルのうち基準ノズルとして選択した１つのノズルから前記検査用基板の前記各位置に同等量の液滴を吐出したときの前記各位置間での着弾面積のばらつきを、前記各位置間での接触角のばらつきとして求めることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴塗布方法。
【請求項４】
塗布ヘッドに設けた複数のノズルから塗布液を液滴として吐出させて基板に塗布するに先立って、前記複数のノズルから吐出されて検査用基板に塗布された各液滴の着弾面積に基づいて前記各ノズルからの液滴の吐出量を調整する制御装置を備えてなる液滴塗布装置において、
前記検査用基板上において前記各液滴が塗布される各位置間での接触角のばらつきを求める手段を備え、
前記制御装置は、前記各位置間での接触角のばらつきを用いて、前記着弾面積に基づいて調整される前記吐出量を補正することを特徴とする液滴塗布装置。
【請求項５】
前記制御装置は、
前記各位置間での接触角のばらつきに基づいて当該位置毎に狙いの着弾面積を求め、
前記位置毎の狙いの着弾面積と前記各位置に塗布された液滴の着弾面積との差に基づいて前記吐出量を調整することを特徴とする請求項４に記載の液滴塗布装置。
【請求項６】
前記接触角のばらつきを求める手段は、
前記複数のノズルのうち基準ノズルとして選択した１つのノズルから前記検査用基板の前記各位置に同等量の液滴を吐出したときの前記各位置間での着弾面積のばらつきを、各前記各位置間での接触角のばらつきとして求めることを特徴とする請求項４または５に記載の液滴塗布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１の発明は、塗布ヘッドに設けた複数のノズルから塗布液を液滴として吐出させて基板に塗布するに先立って、前記複数のノズルから吐出されて検査用基板に塗布された各液滴の着弾面積に基づいて前記各ノズルからの液滴の吐出量の調整を行う液滴塗布方法において、
前記検査用基板上において前記各液滴が塗布される各位置間での接触角のばらつきを求め、求めた接触角のばらつきを用いて、前記着弾面積に基づいて調整される前記吐出量を補正するようにしたものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記各位置間での接触角のばらつきに基づいて当該位置毎に狙いの着弾面積を求め、
前記位置毎の狙いの着弾面積と前記各位置に塗布された液滴の着弾面積との差に基づいて前記吐出量を調整するようにしたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において更に、前記複数のノズルのうち基準ノズルとして選択した１つのノズルから前記検査用基板の前記各位置に同等量の液滴を吐出したときの前記各位置間での着弾面積のばらつきを、前記各位置間での接触角のばらつきとして求めるようにしたものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項４の発明は、塗布ヘッドに設けた複数のノズルから塗布液を液滴として吐出させて基板に塗布するに先立って、前記複数のノズルから吐出されて検査用基板に塗布された各液滴の着弾面積に基づいて前記各ノズルからの液滴の吐出量を調整する制御装置を備えてなる液滴塗布装置において、
前記検査用基板上において前記各液滴が塗布される各位置間での接触角のばらつきを求める手段を備え、
前記制御装置は、前記各位置間での接触角のばらつきを用いて、前記着弾面積に基づいて調整される前記吐出量を補正するようにしたものである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項５の発明は、請求項４の発明において更に、前記制御装置は、
前記各位置間での接触角のばらつきに基づいて当該位置毎に狙いの着弾面積を求め、
前記位置毎の狙いの着弾面積と前記各位置に塗布された液滴の着弾面積との差に基づいて前記吐出量を調整するようにしたものである。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項６の発明は、請求項４又は５の発明において更に、前記接触角のばらつきを求める手段は、
前記複数のノズルのうち基準ノズルとして選択した１つのノズルから前記検査用基板の前記各位置に同等量の液滴を吐出したときの前記各位置間での着弾面積のばらつきを、各前記各位置間での接触角のばらつきとして求めるようにしたものである。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明によれば、検査用基板の各領域間で塗布液との接触角にばらつきがあっても、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積を各領域間での接触角のばらつきにより補正し、この補正した各ノズルの狙いの着弾面積に基づいて各ノズルの個体差に起因する各ノズルの吐出量を均等化することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
ここで、３つの各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲからの液滴の吐出量が均等化されたとするときに、接触角のばらつきのない基板上で得られるべき着弾面積（目標とする着弾面積）をＴ０とする（Ｔ０は任意に設定すれば良い）。狙いの着弾面積Ｔｍｌ、Ｔｍｃ、Ｔｍｒは、３つの各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲからの液滴の吐出量が均等化されたとするときの、検査用基板Ｋ０の各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲで得られるべき着弾面積であり、以下の如くに求める。
着弾目標領域ＭＬでの狙いの着弾面積Ｔｍｌ＝Ｔ０×Ｋｍｌ
着弾目標領域ＭＣでの狙いの着弾面積Ｔｍｃ＝Ｔ０×Ｋｍｃ
着弾目標領域ＭＲでの狙いの着弾面積Ｔｍｒ＝Ｔ０×Ｋｍｒ
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
(2)上述(1)により検査用基板Ｋ０の各着弾目標領域ＭＬ（着弾目標位置ＭＬａとＭＬｂ）、ＭＣ（着弾目標位置ＭＣａとＭＣｂ）、ＭＲ（着弾目標位置ＭＲａとＭＲｂ）に各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲが、高い電圧値ＶＨｎｌ、ＶＨｎｃ、ＶＨｎｒと低い電圧値ＶＬｎｌ、ＶＬｎｃ、ＶＬｎｒのそれぞれで塗布した液滴の着弾面積ＳＨｍｌ、ＳＨｍｃ、ＳＨｍｒと着弾面積ＳＬｍｌ、ＳＬｍｃ、ＳＬｍｒを検査部７において求める。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
(4)各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの狙いの着弾面積Ｔｍｌ、Ｔｍｃ、Ｔｍｒと実際の着弾面積ＳＬｍｌ、ＳＬｍｃ、ＳＬｍｒ（着弾面積ＳＨｍｌ、ＳＨｍｃ、ＳＨｍｒでも良い）の差の値に、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの電圧係数ＮＬα、ＮＣα、ＮＲαを乗じて、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの圧電素子に印加すべき電圧Ｖ０ｎｌ、Ｖ０ｎｃ、Ｖ０ｎｒを調整する。
ノズルＮＬの圧電素子に印加する電圧値Ｖ０ｎｌ
＝ＶＬｎｌ＋ＮＬα×（Ｔｍｌ−ＳＬｍｌ）
ノズルＮＣの圧電素子に印加する電圧値Ｖ０ｎｃ
＝ＶＬｎｃ＋ＮＣα×（Ｔｍｃ−ＳＬｍｃ）
ノズルＮＲの圧電素子に印加する電圧値Ｖ０ｎｒ
＝ＶＬｎｒ＋ＮＲα×（Ｔｍｒ−ＳＬｍｒ）
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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