【手続補正書】
【提出日】平成23年7月4日(2011.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材と基板との間の第１液体を介して前記光学部材からの露光光で基板を露光する露光装置のメンテナンス方法であって、
前記露光装置は、前記光学部材の近傍に配置され、前記基板が対向可能な下面を有するノズル部材と、前記ノズル部材の下面に設けられ、第１液体を供給する供給口と、前記ノズル部材の下面において前記供給口を囲むように設けられ、第１液体を回収する回収口と、を有し、
前記露光装置の前記光学部材の近傍に配置されている前記ノズル部材の下面と対向するように、第２液体を収容可能な容器を配置して、前記ノズル部材の少なくとも一部を洗浄することを含むメンテナンス方法。
【請求項２】
前記容器に取付けられた第１管から供給された前記第２液体で前記ノズル部材を洗浄することを含む請求項１に記載のメンテナンス方法。
【請求項３】
前記容器の前記第２液体を排出することをさらに含む請求項１又は２に記載のメンテナンス方法。
【請求項４】
前記容器内の前記第２液体は、前記容器に取付けられた第２管を介して排出される請求項３に記載のメンテナンス方法。
【請求項５】
前記容器の前記第２液体の排出は、前記ノズル部材の前記回収口から回収することを含む請求項３又は４記載のメンテナンス方法。
【請求項６】
前記ノズル部材の内部に、前記回収口と接続される回収流路が形成され、
前記回収口から前記回収流路に流入した前記第２液体で前記回収流路の内側を洗浄する請求項５に記載のメンテナンス方法。
【請求項７】
前記ノズル部材の内部に、前記供給口と接続される供給流路が形成され、
前記供給口から前記供給流路に流入した前記第２液体で前記供給流路の内側を洗浄する請求項１〜６のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項８】
前記ノズル部材の下面は、前記基板の露光において前記第１液体と接触し、
前記ノズル部材の下面に前記第２液体を接触させて、前記ノズル部材の下面を前記第２液体で洗浄する請求項１〜７のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項９】
前記容器は、前記ノズル部材に接続される請求項１〜８のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項１０】
前記第２液体は、前記容器を含む循環系で循環される請求項１〜９のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項１１】
前記容器の前記第２液体に超音波を印加する請求項１〜１０のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項１２】
前記ノズル部材は、前記光学部材を囲むように設けられた環状部材である請求項１〜１１のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項１３】
前記供給口は、前記ノズル部材の下面において、前記光学部材を囲むように複数設けられている請求項１〜１２のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項１４】
前記回収口は、前記光学部材及び前記供給口を囲むように環状に設けられている請求項１〜１３のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項１５】
前記ノズル部材は、ステンレス鋼、及びチタンの少なくとも一方で形成される請求項１〜１４のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項１６】
前記第２液体は、前記光学部材にも接触する請求項１〜１５のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項１７】
前記露光装置は、前記光学部材に対して前記ノズル部材を所定の位置関係で支持する支持機構を有し、
前記ノズル部材が前記支持機構に支持された状態で、前記ノズル部材が前記第２液体で洗浄される請求項１〜１６のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項１８】
前記第２液体は、前記第１液体とは異なる請求項１〜１７のいずれか一項記載のメンテナンス方法。
【請求項１９】
前記ノズル部材の少なくとも一部を前記第２液体で洗浄した後、前記第１液体で前記ノズル部材の少なくとも一部を洗浄する請求項１８に記載のメンテナンス方法。
【請求項２０】
前記ノズル部材の下面と対向するように前記容器が配置された状態で、前記第１液体で前記ノズル部材を洗浄する請求項１９に記載のメンテナンス方法。
【請求項２１】
前記露光装置は、前記基板を保持する基板ステージを備え、
前記容器を前記露光装置から取り出した後に、前記基板ステージの上面及びダミー基板の少なくとも一方と前記ノズル部材とが対向した状態で、前記供給口から第１液体を供給するとともに、前記回収口から第１液体の回収を行う請求項１９又は２０に記載のメンテナンス方法。
【請求項２２】
前記第２液体は、イソプロピルアルコール、及び過酸化水素水の少なくとも一方を含む請求項１９〜２１のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項２３】
前記第１液体は、水を含む請求項１９〜２２のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項２４】
光学部材の近傍に配置され、基板が対向可能な下面を有するノズル部材と、前記ノズル部材の下面に設けられ、第１液体を供給する供給口と、前記ノズル部材の下面において前期供給口を囲むように設けられ、第１液体を回収する回収口とを有し、前記光学部材と第１液体とを介して前記光学部材からの露光光で基板を露光する露光装置のメンテナンス機器であって、
第２液体を供給する第１管と、
前記第１管から供給される第２液体を収容可能な容器と、
前記容器から前記第２液体を排出する第２管と、を備え、
前記露光装置内において前記光学部材の近傍に配置されている前記ノズル部材の下面と対向するように前記容器が配置された状態で、前記ノズル部材の少なくとも一部を、前記第１管から供給された前記第２液体で洗浄するメンテナンス機器。
【請求項２５】
前記ノズル部材の下面は、前記基板の露光において前記第１液体と接触し、
前記ノズル部材の下面を前記第２液体で洗浄する請求項２４に記載のメンテナンス機器。
【請求項２６】
前記第２管を介して、前記容器の前記第２液体を排出する請求項２４又は２５に記載のメンテナンス機器。
【請求項２７】
前記容器は、前記ノズル部材と接続可能な接続部を有する請求項２４〜２６のいずれか一項に記載のメンテナンス機器。
【請求項２８】
前記容器内の第２液体を循環する循環系を備える請求項２４〜２７のいずれか一項に記載のメンテナンス機器。
【請求項２９】
前記容器の前記第２液体に超音波を印加する超音波発生装置を備える請求項２４〜２８のいずれか一項に記載のメンテナンス機器。
【請求項３０】
前記第２液体は、前記第１液体とは異なる請求項２４〜２９のいずれか一項記載のメンテナンス機器。
【請求項３１】
前記第２液体による前記ノズル部材の洗浄後に、前記ノズル部材の下面と対向するように前記容器が配置された状態で、前記第１管から第１液体を供給して、前記ノズル部材の少なくとも一部を第１液体で洗浄する請求項３０に記載のメンテナンス機器。
【請求項３２】
前記第２管を介して、前記容器内の第１液体を排出する請求項３１に記載のメンテナンス機器。
【請求項３３】
前記第２液体は、イソプロピルアルコール、及び過酸化水素水の少なくとも一方を含む請求項３０〜３２のいずれか一項に記載のメンテナンス機器。
【請求項３４】
光学部材の光射出側の光路空間を第１液体で満たして、前記光学部材と前記第１液体とを介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記光学部材の近傍に配置され、前記基板が対向可能な下面を有するノズル部材と、
前記ノズル部材の下面に設けられ、前記第１液体を供給する供給口と、
前記ノズル部材の下面において前記供給口を囲むように設けられ、前記第１液体を回収する回収口と、
第２液体を収容可能な容器を有するメンテナンス機器と、を備え、
前記ノズル部材の下面と対向するように前記容器を配置した状態で、前記ノズル部材の少なくとも一部を前記第２液体で洗浄する露光装置。
【請求項３５】
請求項３４に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。