【誤訳訂正書】
【提出日】平成21年7月1日(2009.7.1)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の試験表面上にある除去可能な粒子を検出する装置であって、
粘着面を有するキャリヤーを備え、その粘着面が前記第１の試験表面に接着した後その第１の試験表面から離間する処理（以下、付着処理と言う）を介して、前記第１の試験表面上にある除去可能な粒子が前記粘着面に移動するように構成されたものであり、
前記付着処理が施される前の前記粘着面を未付着面とし、
前記付着処理が施された後の前記粘着面を第１の付着面とすると、
該装置は、
コントローラと、
視野内の粒子を検出して、検出できた粒子の座標情報を前記コントローラに出力する表面調査手段と、
前記キャリヤーを保持し、前記コントローラからの位置決め命令に応答して、前記キャリヤーが有する前記粘着面が前記表面調査手段の視野内を通過するように動作する位置決め手段と、
前記コントローラが前記表面調査手段から受信した前記座標情報と、前記位置決め手段への位置決め命令とに基づき、前記未付着面に存在する粒子の座標（以下、未付着粒子座標と言う）と、前記第１の付着面に存在する粒子の座標（以下、第１の付着粒子座標と言う）とを算出する第１の計算手段と、
前記第１の計算手段によって算出された前記未付着粒子座標を記憶する第１のメモリ手段と、
前記第１の計算手段によって算出された前記第１の付着粒子座標と、前記第１のメモリ手段が記憶する前記未付着粒子座標とに基づき、前記第１の試験表面上にある除去可能な粒子の数を算出する第２の計算手段と、
を備えることを特徴とする装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、
前記第１の試験表面とは異なる第２の試験表面上にある除去可能な粒子をさらに検出するために用いられ、
前記第１の付着面が前記第２の試験表面に接着してから離間した場合のその第１の付着面のことを第２の付着面と言い換えると、
前記第１の計算手段は、前記第２の付着面に存在する粒子の座標（以下、第２の付着粒子座標と言う）を算出し、
前記第１の付着粒子座標を記憶する第２のメモリ手段と、
前記第１の計算手段によって算出された前記第２の付着粒子座標と、前記第２のメモリ手段が記憶する前記第１の付着粒子座標とに基づき、前記第２の試験表面上にある除去可能な粒子の数を決定する第３の計算手段と、
を備えることを特徴とする装置。
【請求項３】
前記粘着面には整列マークが付され、
前記整列マークの少なくとも座標を検出する整列マーク座標検出手段をさらに備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記第１の計算手段は、前記整列マーク座標検出手段によって検出された前記整列マークの座標を用いて、前記コントローラによって受信された前記表面調査手段からの座標情報が表す座標を補正することを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記表面調査手段の視野の範囲内にて前記キャリヤーの粘着面の位置を制御するための焦点サーボ手段を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記キャリヤーを着脱自在に保持し、前記位置決め手段に対し着脱自在に保持されるハンドル手段を備え、該ハンドル手段は、前記粘着面が前記第１の試験表面に接着する際において前記キャリヤーの汚染防止を提供し、前記キャリヤーを前記位置決め手段に設置する際においてその設置のための機械的インターフェースとして機能することを特徴とする請求項１ないし請求項５の何れか１項に記載の装置。
【請求項７】
前記ハンドル手段に対する前記キャリヤーの相対的な移動を検出及び記憶するためのキャリヤー移動測定手段と、
前記キャリヤー移動手段からのデータを伝達するためのデータ伝達手段と、
前記第２の計算手段によって算出された、前記第１の試験表面上に存在する除去可能な粒子の数と、前記キャリヤー移動測定手段により測定された、前記ハンドル手段に対する前記キャリヤーの相対的な移動量とを組み合わせて、前記第１の試験表面上にある除去可能な粒子の分布密度を算出する第４の計算手段と、
を備えることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記表面調査手段は、前記粘着面の表面の粒子の存在を感知する第１の感知素子と、前記粘着面の表面よりも下層の粒子の存在を感知する第２の感知素子と、を備えることを特徴とする請求項１ないし請求項７の何れか１項に記載の装置。
【請求項９】
第１の試験表面上にある除去可能な粒子を検出する方法であって、
粘着面を有するキャリヤーのその粘着面が前記第１の試験表面に接着した後その第１の試験表面から離間する処理（以下、付着処理）を介して、前記第１の試験表面上にある除去可能な粒子が前記粘着面に移動し、
前記付着処理が施される前の前記粘着面を未付着面とし、
前記付着処理が施された後の前記粘着面を第１の付着面とすると、
当該方法は、
（ａ）前記付着処理が施される前に、前記キャリヤーを、そのキャリヤーを保持するための位置決め手段であって、コントローラに応答するその位置決め手段上に保持し、次いで、前記付着処理を施す工程と、
（ｂ）前記未付着面を、前記コントローラからの位置決め命令に応答して、その未付着面の粒子を検出するための表面調査手段が感知可能な視野内を通過させる工程と、
（ｃ）前記表面調査手段の感知可能な視野内を通過している前記未付着面から、その表面調査手段によって検出された各粒子について、その表面調査手段からの粒子の座標情報と前記（ｂ）の工程におけるコントローラからの位置決め命令とに基づき、前記未付着面に存在する粒子の座標（以下、未付着粒子座標と言う）を生成する工程と、
（ｄ）前記未付着粒子座標を記憶する工程と、
（ｅ）前記キャリヤーを前記位置決め手段から取り外す工程であって、前記付着処理を介して、前記第１の試験表面上にある除去可能な粒子が前記粘着面に移動し、前記第１の付着面が形成される工程と、
（ｆ）前記キャリヤーを前記位置決め手段に保持させる工程と、
（ｇ）前記コントローラからの位置決め命令に応答して、前記第１の付着面を、前記表面調査手段が感知可能な視野内を通過させる工程と、
（ｈ）前記表面調査手段の感知可能な視野内を通過している前記第１の付着面から、その表面調査手段によって検出された各粒子について、その表面調査手段からの粒子の座標情報と前記（ｇ）の工程におけるコントローラからの位置決め命令とに基づき、前記第１の付着面に存在する粒子の座標（以下、第１の付着粒子座標と言う）を生成する工程と、
（ｉ）前記未付着粒子座標及び前記第１の付着粒子座標に基づき、前記第１の試験表面上にある除去可能な粒子の数を算出する工程と、
を有することを特徴とする方法。
【請求項１０】
前記粘着面が、前記位置決め手段の制御によって前記表面調査手段の感知可能な視野内を通過する間、前記粘着面が前記表面調査手段の焦点の領域に残るように前記粘着面を前記表面調査手段に対して移動させる工程をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記粘着面に付された整列マークの少なくとも座標を検出する工程をさらに含むことを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記整列マークについて検出されたその整列マークの座標を用いて、前記未付着面から検出された粒子の座標情報が表す座標を補正する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第１の試験表面上にある除去可能な粒子が、前記キャリヤーの粘着面とは別の粘着性表面がその第１の試験表面に接着することによってその粘着性表面に移され、次いで、前記粘着面が前記粘着性表面に接着することによってその除去可能な粒子が前記粘着性表面から前記粘着面に移される、
ことを特徴とする請求項９ないし請求項１２の何れか１項に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１の試験表面上にある除去可能な粒子が、粘着性表面を備えたシートがその第１の試験表面に接着することによってそのシートに移され、次いで、前記粘着面が前記シートに接着することによってその除去可能な粒子が前記シートから前記粘着面に移される、ことを特徴とする請求項９ないし請求項１３の何れか１項に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４２】
図５は、最も好ましい実施形態のデータフローを示す。コントローラー（１７０）によって指向された位置決定手段（１３１）によって、粘着シート（１３０）のキャリヤーを、表面検査手段（１００）の視野中に通してスキャンした。２つのＣＣＤアレイ（１１８および１２４）が、光散乱強度（Ｉ）および位置情報（Ｘ）を含むシグナル（１８１および１８２）を生成し、これらが分析電子機器（１８０）に到達する。粘着シート（１３０）のキャリヤーの現在位置についてのさらなる情報（θ、旋光分散、Ｚｏｐｔ、Ｚｌａｂ）が、同時に、コントローラー（１７０）から、通信手段（１７１）を通って、分析電子機器（１８０）へと伝達される。強度および座標情報は、第１計算手段（５０８）において結合され、粘着表面（１３０）のキャリヤーの座標上に粒子座標（Ｉ、吸光度、旋光分散、Ｚ）を生成する。第１計算手段の詳細については、後に記載する。粘着シート（１３０）のキャリヤーが検査される種々の例について、図５において、第１計算手段の出力が、異なるように標識されている。粒子が、粘着シートに接着し、それを試験表面から除去する前に、スキャンの結果から得られた粒子データが、未付着（ｕｎｅｘｐｏｓｅｄ：未曝露、未露出、未付着）粒子座標（５１０）である。粒子が、粘着シートに接着し、それを試験表面から除去した後で、スキャンの結果から得られる粒子データが、第１付着（ｅｘｐｏｓｅｄ：曝露、露出、付着）粒子座標（５１１）である。粒子が、粘着シートに接着し、その後に試験表面から除去した後の粒子データが、それぞれ（５１２）、（５１３）および（５１４）である；これらの後の試験表面は、元来の試験表面の繰り返しの測定であり得るが、よりあり得るのは、代替的試験表面の測定である。原則として、任意の数の清浄な試験表面が、粘着表面に接着した単一のキャリヤーにより検査され得るが、現実には、繰り返し使用する回数は、粘着表面上での汚染の蓄積によって、主に制限される。最も単純な好ましい実施形態において、前のスキャン（５１０）は存在しない；粒子座標（５１１）は、試験表面に塗布され、そして除去される粘着表面をスキャンする間に生成され、試験表面から移転された粒子を表すと推測される；これは、試験表面から移転された粒子の数の上限を表す。最も好ましい実施形態において、前のスキャン（５１０）は、第１記憶手段（５２０）に記憶される。第２計算手段（５３０）は、試験表面（５７０）から移転された粒子を、記憶されている以前のスキャン（５５０）からの対応する粒子座標を有さない（５１１）由来の粒子座標として、同定する。粘着表面を再利用するために、第２記憶手段（５２１）がスキャンデータ（５１１）を記憶し、第３計算手段（５４１）が、第１記憶手段および第２記憶手段からの粒子データ、（５５０）と（５５１）とを結合して、（５６１）を形成し、そして、第２計算手段（５３１）の例が、第２試験表面（５７１）から移転した粒子を、（５６１）中に対応する粒子座標を有さない（５１２）の粒子座標として、同定する。２つのさらなる試験表面が、第３記憶手段（５２２）および第４記憶手段（５２３）、第３計算手段の例（５４２）および（５４３）、ならびに第２計算手段の���（５３２）および（５３３）を使用して、測定され得、出力（５７２）および（５７３）を生成する。類似の様式において、さらなる繰り返しが、計算される。粒子データは、移動可能な記憶媒体（５０６）（例えば、書き込み可能なＣＤ  ＲＯＭまたはＤＶＤ）中に記憶され、そのため、粒子データは、後に別の分析装置に移転され得る。