【手続補正書】
【提出日】平成21年9月8日(2009.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を研磨するために少なくとも一つの研磨ユニットを含む研磨ステーションと、
洗浄ステーション及び乾燥ステーションを備え、前記研磨ステーションの側面に隣接して配された移動可能な対象物洗浄装置と、
前記研磨ステーションから前記移動可能な対象物洗浄装置に前記対象物を移送できるように配された対象物移送装置と、
前記研磨ステーション及び前記移動可能な対象物洗浄装置に動けるように連結されたガイド機構と、を備え、
前記ガイド機構は、前記研磨ステーションの部品に接近できるように、前記移動可能な対象物洗浄装置が初期位置から後続位置に動けるようにし、かつ前記移動可能な対象物洗浄装置が前記後続位置から前記初期位置に戻れるように構成されている、対象物研磨装置。
【請求項２】
前記ガイド機構は、前記研磨ステーションの前記側面に付着される線形ガイドを備え、前記移動可能な対象物洗浄装置が前記線形ガイドを使用して、前記側面に平行な方向に沿って前記初期位置と前記後続位置との間を直線的に動けるようにした請求項１に記載の対象物研磨装置。
【請求項３】
前記ガイド機構は、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置とに付着される線形ガイド機構を備え、前記線形ガイド機構は、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置との間の空間が増大するように、前記移動可能な対象物洗浄装置が動けるように伸長可能に構成されている請求項１に記載の対象物研磨装置。
【請求項４】
前記ガイド機構は、前記移動可能な対象物洗浄装置が前記研磨ステーションから回転して、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置との間の空間が増大するように、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置とに付着された回転ガイド機構を備える請求項１に記載の対象物研磨装置。
【請求項５】
前記移動可能な対象物洗浄装置と、前記研磨ステーション及び底部のうちの一方とに付着され、前記移動可能な対象物洗浄装置が動くとき、曲がるか、または回転するように構成された流体管システムをさらに備える請求項１に記載の対象物研磨装置。
【請求項６】
前記研磨ステーションの他の側面に隣接して配された第２の移動可能な対象物洗浄装置と、
前記研磨ステーション及び前記第２の移動可能な対象物洗浄装置に動けるように連結された第２ガイド機構と、をさらに備え、
前記第２ガイド機構は、前記研磨ステーションの他の部品に接近できるように、前記第２の移動可能な対象物洗浄装置が他の初期位置から他の後続位置に動けるようにし、かつ前記第２の移動可能な対象物洗浄装置が前記他の後続位置から前記他の初期位置に戻れるように構成されている、請求項１に記載の対象物研磨装置。
【請求項７】
対象物を研磨するための複数の研磨ユニット、及び前記研磨ユニットの間で前記対象物を移送するための少なくとも一つの対象物中継装置を備え、２つの長い側面及び２つの短い側面を有する長方形状の研磨ステーションと、
前記研磨ステーションの前記２つの長い側面のうち一つに隣接して配され、洗浄ステーション及び乾燥ステーションを備える移動可能な対象物洗浄装置と、
前記研磨ステーションから前記移動可能な対象物洗浄装置に前記対象物を移送できるように配された対象物移送装置と、
前記研磨ステーション及び前記移動可能な対象物洗浄装置に動けるように連結されたガイド機構と、を備え、
前記ガイド機構は、前記研磨ステーションの部品に接近できるように、前記移動可能な対象物洗浄装置が動作位置から保守管理位置に動けるようにし、かつ前記移動可能な対象物洗浄装置が前記保守管理位置から前記動作位置に戻れるように構成されている対象物研磨装置。
【請求項８】
前記ガイド機構は、前記研磨ステーションの前記２つの長い側面のうち一つに付着される線形ガイドを備え、前記移動可能な対象物洗浄装置が前記線形ガイドを使用して、前記２つの長い側面のうち一つに平行な方向に沿って前記動作位置と前記保守管理位置との間を直線的に動けるようにした請求項７に記載の対象物研磨装置。
【請求項９】
前記ガイド機構は、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置とに付着される線形ガイド機構を備え、前記線形ガイド機構は、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置との間の空間が増大するように、前記移動可能な対象物洗浄装置が動けるように伸長可能に構成されている請求項７に記載の対象物研磨装置。
【請求項１０】
前記ガイド機構は、前記移動可能な対象物洗浄装置が前記研磨ステーションから回転して、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置との間の空間が増大するように、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置とに付着された回転ガイド機構を備える請求項７に記載の対象物研磨装置。
【請求項１１】
前記移動可能な対象物洗浄装置と、前記研磨ステーション及び底部のうちの一方とに付着され、前記移動可能な対象物洗浄装置が動く時に、曲がるか、または回転するように構成された流体管システムをさらに備える請求項７に記載の対象物研磨装置。
【請求項１２】
研磨ステーションと、
第１及び第２対象物洗浄装置と、
少なくとも一つの対象物移送装置と、を備え、
前記研磨ステーションは、
それぞれ研磨テーブルと第１及び第２対象物キャリアとを含む第１及び第２研磨ユニットと、
前記第１研磨ユニットと前記第２研磨ユニットとの間に配される第１及び第２対象物中継装置と、を備え、
前記第１対象物中継装置は、前記第１研磨ユニットの前記第１対象物キャリアから前記第２研磨ユニットの前記第１対象物キャリアに初期方向に沿って第１対象物を伝達できるように配され、前記第２対象物中継装置は、前記第１研磨ユニットの前記第２対象物キャリアから前記第２研磨ユニットの前記第２対象物キャリアに初期方向に沿って第２対象物を伝達できるように配され、
前記第１及び第２対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションに近く配され、それぞれ洗浄ステーションと乾燥ステーションとを備え、
前記第１対象物洗浄装置は、前記第１対象物が前記初期方向と反対方向である回帰方向に沿って前記第１対象物洗浄装置内で伝達されるように、前記第１対象物洗浄装置の前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションとで前記第１対象物を処理するように構成され、
前記第２対象物洗浄装置は、前記第２対象物が前記回帰方向に沿って第２対象物洗浄装置内で伝達されるように、前記第２対象物洗浄装置の前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションとで前記第２対象物を処理するように構成され、
前記少なくとも一つの対象物移送装置は、前記第１対象物を前記研磨ステーションから前記第１対象物洗浄装置に伝達し、前記第２対象物を前記研磨ステーションから前記第２対象物洗浄装置に伝達するように配されている対象物研磨装置。
【請求項１３】
前記少なくとも一つの対象物移送装置は、第１対象物移送装置及び第２対象物移送装置を備え、前記第１対象物移送装置は、前記第１対象物を前記研磨ステーションから前記第１対象物洗浄装置に伝達するように配され、前記第２対象物移送装置は、前記第２対象物を前記研磨ステーションから前記第２対象物洗浄装置に伝達するように配されている請求項１２に記載の対象物研磨装置。
【請求項１４】
前記第１対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションの第１側面に隣接して配され、前記第２対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションの第２側面に隣接して配され、前記第１側面と前記第２側面とは、前記研磨ステーションの反対面である請求項１２に記載の対象物研磨装置。
【請求項１５】
前記第１対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションの第１側面に隣接して配され、前記第２対象物洗浄装置は、前記第１対象物洗浄装置に付着されている請求項１２に記載の対象物研磨装置。
【請求項１６】
前記研磨ステーションと前記第１対象物洗浄装置とに動くように連結されるガイド機構をさらに備え、前記ガイド機構は、前記研磨ステーションの部品に接近できるように、前記第１対象物洗浄装置が初期位置から後続位置に動けるようにし、かつ前記第１対象物洗浄装置が前記後続位置から前記初期位置に戻れるように構成されている請求項１２に記載の装置。
【請求項１７】
第１対象物を研磨ステーション内で初期方向に沿って第１研磨ユニットの第１対象物キャリアから第１対象物中継装置に、そして、前記第１対象物中継装置から第２研磨ユニットの第１対象物キャリアに伝達するステップであって、前記第１対象物を前記第１及び第２研磨ユニットで研磨するステップを含むステップと、
第２対象物を前記研磨ステーション内で前記初期方向に沿って前記第１研磨ユニットの第２対象物キャリアから第２対象物中継装置に、そして、前記第２対象物中継装置から第２研磨ユニットの第２対象物キャリアに伝達するステップであって、前記第２対象物を前記第１及び第２研磨ユニットで研磨するステップを含むステップと、
前記第１対象物を前記研磨ステーションから洗浄ステーションと乾燥ステーションとを備える第１対象物洗浄装置に伝達し、前記第２対象物を前記研磨ステーションから洗浄ステーションと乾燥ステーションとを備える第２対象物洗浄装置に伝達するステップと、
前記第１対象物が前記第１対象物洗浄装置内で、前記初期方向と反対方向である回帰方向に沿って伝達されるように、前記第１対象物洗浄装置の前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションとで前記第１対象物を処理するステップと、
前記第２対象物が前記第２対象物洗浄装置内で前記回帰方向に沿って伝達されるように、前記第２対象物洗浄装置の前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションとで前記第２対象物を処理するステップと、を含む対象物研磨方法。
【請求項１８】
前記第１及び第２対象物は、第１対象物移送装置によって前記研磨ステーションから前記第１及び第２対象物洗浄装置に伝達される請求項１７に記載の対象物研磨方法。
【請求項１９】
前記第１対象物は、第１対象物移送装置によって前記研磨ステーションから前記第１対象物洗浄装置に伝達され、前記第２対象物は、第２対象物移送装置によって前記研磨ステーションから前記第２対象物洗浄装置に伝達される請求項１７に記載の対象物研磨方法。
【請求項２０】
前記第１対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションの第１側面に隣接して配され、前記第２対象物洗浄装置は、前記第１側面と反対側面である前記研磨ステーションの第２側面に隣接して配されている請求項１７に記載の対象物研磨方法。