【手続補正書】
【提出日】平成23年6月20日(2011.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
裏面側をダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされたウエハの表面側に貼り付けられた保護テープに剥離テープを貼り付けてから前記保護テープを剥離テープと一体に取り去るウエハの保護テープの剥離方法において、
長尺状で前記ウエハよりも細幅の剥離テープをウエハ表面の外周縁部に接近させ、
前記ウエハの外側に位置する剥離テープをダイシングテープより離反するよう傾斜した状態で保持しながら、前記保護テープの剥離始端部の外周縁部に沿って剥離テープをそのほぼ全幅にわたって熱圧着し、
前記剥離テープとウエハの少なくとも一方を剥離テープの長さ方向に沿って水平動させて、前記剥離テープの熱圧着部付近を略１８０°に折り返し、
続いて前記剥離テープの供給側と回収側部分を固定した後、
前記剥離ユニットとウエハを剥離テープの長さ方向に沿って相対的に移動させて、ウエハ上から保護テープを剥離し、
前記保護テープの剥離途中で前記剥離テープの固定状態を解除した後、前記剥離テープと保護テープとを巻き取って回収し、
前記保護テープの剥離終端部付近で前記保護テープをウエハに対して離反させることを特徴とするウエハの保護テープの剥離方法。
【請求項２】
熱圧着ヒータの圧着後、ウエハの外側に位置する剥離テープを下から支えつつその張力を緩和させた状態で熱圧着ヒータの圧着を解くことを特徴とする請求項１に記載のウエハの保護テープの剥離方法。
【請求項３】
ウエハからの保護テープの剥離工程の中盤から終盤にかけて、ウエハの剥離後端側から保護テープに向けてエアブローを行い、保護テープを浮かせてダイシングテープに接しないようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハの保護テープの剥離方法。
【請求項４】
裏面側をダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされたウエハを吸着保持する剥離テーブルと、前記剥離テーブル上のウエハの表面側に貼り付けられた保護テープに剥離テープを貼り付けてから前記保護テープを剥離テープと一体に取り去る剥離ユニットとからなるウエハの保護テープの剥離装置において、
前記剥離テーブルと剥離ユニットとは、前記ウエハ表面に対しての相対的な接近離反動と、前記剥離テープの長さ方向に沿った相対的な水平動が自在に設けられ、
前記剥離ユニットは、長尺状で前記ウエハよりも細幅の剥離テープを供給及び回収する剥離テープ走行機構と、
前記剥離テープをウエハ表面の外周縁部に接近させた際、剥離テープをウエハより外側の位置でダイシングテープより離反するよう傾斜させた状態で保持すると共に、前記保護テープの剥離を開始する際に、前記剥離テープの供給側と回収側を固定する剥離テープ保持機構と、
前記保護テープの剥離始端部の外周縁部に沿って前記剥離テープのほぼ全幅にわたって熱圧着する熱圧着ヒータと、
前記剥離テープに対して進退動可能に構成され、進出位置では、前記ウエハの外側に位置する剥離テープの下側に位置して剥離テープを下方から支持すると共に、前記剥離ユニットと剥離テーブルを剥離テープの長さ方向に沿って相対的に水平動させる際に、前記ウエハ外側に位置する剥離テープをウエハ上面側に押し戻して、剥離テープに略１８０°の折り返しを形成し、退去位置では、前記剥離テープの幅方向外側に向けて退去するガイドピンとを有することを特徴とするウエハの保護テープの剥離装置。
【請求項５】
ウエハの剥離後端側から剥離工程中の保護テープに向けてエアブローを行い、保護テープを浮かせてダイシングテープに接しないようにしたエアブロー装置を有することを特徴とする請求項４に記載のウエハの保護テープの剥離装置。
【請求項６】
剥離テーブルは、ウエハ載置部分が周囲より盛り上がっていることを特徴とする請求項４又は５に記載のウエハの保護テープの剥離装置。
【請求項７】
剥離テーブルの吸着部分は、ダイシングテープの外径よりも小さく、且つ、ダイシングフレームのダイシングテープ貼付下面の一部に跨るように形成されていることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載のウエハの保護テープの剥離装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
上記のような課題を解決するため、請求項１の発明は、裏面側をダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされたウエハの表面側に貼り付けられた保護テープに剥離テープを貼り付けてから前記保護テープを剥離テープと一体に取り去るウエハの保護テープの剥離方法において、
長尺状で前記ウエハよりも細幅の剥離テープをウエハ表面の外周縁部に接近させ、
前記ウエハの外側に位置する剥離テープをダイシングテープより離反するよう傾斜した状態で保持しながら、前記保護テープの剥離始端部の外周縁部に沿って剥離テープをそのほぼ全幅にわたって熱圧着し、
前記剥離テープとウエハの少なくとも一方を剥離テープの長さ方向に沿って水平動させて、前記剥離テープの熱圧着部付近を略１８０°に折り返し、
続いて前記剥離テープの供給側と回収側部分を固定した後、
前記剥離ユニットとウエハを剥離テープの長さ方向に沿って相対的に移動させて、ウエハ上から保護テープを剥離し、
前記保護テープの剥離途中で前記剥離テープの固定状態を解除した後、前記剥離テープと保護テープとを巻き取って回収し、
前記保護テープの剥離終端部付近で前記保護テープをウエハに対して離反させる構成を採用したものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項２の発明は、上記請求項１に記載の発明において、熱圧着ヒータの圧着後、ウエハの外側に位置する剥離テープを下から支えつつその張力を緩和させた状態で熱圧着ヒータの圧着を解く構成を採用したものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項４の発明は、裏面側をダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされたウエハを吸着保持する剥離テーブルと、前記剥離テーブル上のウエハの表面側に貼り付けられた保護テープに剥離テープを貼り付けてから前記保護テープを剥離テープと一体に取り去る剥離ユニットとからなるウエハの保護テープの剥離装置において、
前記剥離テーブルと剥離ユニットとは、前記ウエハ表面に対しての相対的な接近離反動と、前記剥離テープの長さ方向に沿った相対的な水平動が自在に設けられ、
前記剥離ユニットは、長尺状で前記ウエハよりも細幅の剥離テープを供給及び回収する剥離テープ走行機構と、
前記剥離テープをウエハ表面の外周縁部に接近させた際、剥離テープをウエハより外側の位置でダイシングテープより離反するよう傾斜させた状態で保持すると共に、前記保護テープの剥離を開始する際に、前記剥離テープの供給側と回収側を固定する剥離テープ保持機構と、
前記保護テープの剥離始端部の外周縁部に沿って前記剥離テープのほぼ全幅にわたって熱圧着する熱圧着ヒータと、
前記剥離テープに対して進退動可能に構成され、進出位置では、前記ウエハの外側に位置する剥離テープの下側に位置して剥離テープを下方から支持すると共に、前記剥離ユニットと剥離テーブルを剥離テープの長さ方向に沿って相対的に水平動させる際に、前記ウエハ外側に位置する剥離テープをウエハ上面側に押し戻して、剥離テープに略１８０°の折り返しを形成し、退去位置では、前記剥離テープの幅方向外側に向けて退去するガイドピンとを有する構成を採用したものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
アライメント部１２は、吸着テーブル１３とアライメントセンサ１４からなり、特にその構造を詳細に図示していないが、吸着テーブル１３は上面にマウントウエハ７を吸着して上下動と回転が自在となり、アライメントセンサ１４は、吸着テーブル１３と共に回転するマウントウエハ７におけるウエハ３のノッチやオリフラを検知することでウエハ３の正確な位置決めを行う。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
機台６上の後方には水平かつ平行な２本のレール１５、１５が設けられ、それぞれのレール１５に摺動自在に嵌合された一対のスライダ１６上には剥離テーブル１７が固定されており、この剥離テーブル１７は図示しない適宜な駆動手段にてレール１５に沿った左右方向への移動が自在となっている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
前記熱圧着ヒータ３１は、支持枠２０の正面側に垂直方向に延設されたガイド４０に昇降動自在に嵌合されたレール４１と一体に設けられており、支持枠２０に本体側をレール４１に作用軸側を接続したシリンダ４２の作用により支持枠２０に対して昇降動自在となっており、下降状態では剥離テープ２２をウエハ３上の保護テープ５に接触させ、この状態でヒータ線４３で電気を通じて加熱することで保護テープ５に対する剥離テープ２２の加熱圧着を行なうようになっている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
前記ガイドピン３２は、図３に示すように剥離テープ２２を挟んで両側に設けられている支持枠２０から剥離テープ２２側に進退動自在となった一対の支持枠４４のそれぞれに回動自在に設けられている。前記ガイドピン３２は、支持枠４４がピストン４５の作用により進行した時に剥離テープ２２の両側部を下から保持するようになっており、ピストン４５の収縮によりガイドピン３２は剥離テープ２２と干渉しない図示二点鎖線の位置まで後退するようになっている。なお、ガイドピン３２は、剥離テープ２２が粘着性のものである時は、離型処理等を施しておけばよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
図４は、本発明の第１の実施形態の熱圧着ヒータを示すもので、剥離テーブル１７上に、載置されたウエハ３の回路パターン４を有する表面に対して、剥離テープ２２が臨み、熱圧着ヒータ３１により熱圧着部４７が形成される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
更に、剥離テーブル１７を剥離テープ回収側に移動させると、ウエハ３上の保護テープ５は、剥離テープ２２の折り返し部分で熱圧着されてくっついたまま、ウエハ３上面から略１８０°の角度を保持したまま剥がれてゆく（図１０（ｇ）参照）。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
保護テープ５の剥離が進んだら、剥離ユニット２８を上昇させ、テープチャック３５を解放すると共に、テープ固定チャック２７を解放し、剥離テープ巻き取りリール２５を回転させて剥離テープ２２を巻き取ることで、ウエハ３上面から保護テープ５が剥がれてゆく（図１０（ｈ）参照）。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
保護テープ５の剥離工程を終了したマウントウエハ７は、搬送ロボット１１にて剥離テーブル１７から保護テープ剥離済マウントウエハ収納部９に送られて、その後次工程のダイシング装置等に移送され、剥離テーブル１７は左側に移動した後、表面に保護テープ５の貼り付けられた状態で別のマウントウエハ７が渡され、図７（ａ）の位置に戻って、次の剥離作業を行うことになる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１３】
更に、剥離テーブル１７を剥離テープ回収側に移動させると、ウエハ３上の保護テープ５は、剥離テープ２２の折り返し部分で熱圧着されてくっついたまま、ウエハ３上面から略１８０°の角度を保持したまま剥がれてゆく（図１７（ｇ）参照）。