【手続補正書】
【提出日】平成23年2月23日(2011.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理ユニットのそれぞれに対して、視覚的に認識可能なパターンで該処理ユニットの実行状況を描画した画面データを生成する生成手段と、
前記処理ユニットごとに生成された複数の前記画面データから選択された画面データを表示する表示手段と、
前記複数の処理ユニットにおいて発生したイベントを検知し、前記検知されたイベントの発生元の処理ユニットを識別する検知手段と、
前記発生元の処理ユニットの画面データが前記表示手段に表示されているか否かを判定する判定手段と
を備え、
イベントが発生したことを前記検知手段が検知したことに応答して、
前記生成手段は、前記発生元の処理ユニットの画面データが表示されていない場合に、前記発生元の処理ユニットの画面データの表示サイズを縮小した縮小画面データを生成し、
前記表示手段は、表示中の前記画面データと併せて前記縮小画面データを表示する
ことを特徴とする画面データ処理装置。
【請求項２】
前記表示手段は、
前記複数の処理ユニットのそれぞれに対して、該処理ユニットの画面データを前記表示手段に表示することを選択するために用いられる画面領域をさらに表示し、
前記発生元の処理ユニットの画面データを表示することを選択するために用いられる前記画面領域に前記縮小画面データを合成して表示する
ことを特徴とする請求項１に記載の画面データ処理装置。
【請求項３】
複数の処理ユニットのそれぞれに対して、視覚的に認識可能なパターンで該処理ユニットの実行状況を描画した画面データを生成する生成手段と、
前記複数の処理ユニットにおいて発生したイベントを検知し、前記検知されたイベントの発生元の処理ユニットを識別する検知手段と、
前記発生したイベントの状況に関する情報を保存する保存手段と
を備え、
イベントが発生したことを前記検知手段が検知したことに応答して、
前記生成手段は、前記発生元の処理ユニットの画面データの表示サイズを縮小した縮小画面データを生成し、
前記保存手段は、前記縮小画面データを前記イベントの状況に関する情報と関連付けて保存する
ことを特徴とする画面データ処理装置。
【請求項４】
前記保存手段が保存したイベントの状況に関する情報の一覧を表示する表示手段をさらに備え、
前記表示手段は、ユーザにより前記一覧からいずれかのイベントの状況に関する情報が選択された場合に、選択された情報と関連付けて前記保存手段が保存する前記縮小画面データを、前記選択されたイベントの状況に関する情報と併せて表示することを特徴とする請求項３に記載の画面データ処理装置。
【請求項５】
前記保存手段は前記縮小画面データを画像データ形式で保存することを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の画面データ処理装置。
【請求項６】
前記画面データは、イベントの状況を示す領域を含み、
前記縮小画面データは、前記発生元の処理ユニットの画面データのうち前記イベントの状況を示す領域を縮小した画面データであることを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の画面データ処理装置。
【請求項７】
前記画面データ処理装置は半導体露光装置であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の画面データ処理装置。
【請求項８】
複数の処理ユニットのそれぞれに対して、視覚的に認識可能なパターンで該処理ユニットの実行状況を描画した画面データを生成する生成手段と、
前記処理ユニットごとに生成された複数の前記画面データから選択された画面データを表示する表示手段と、
前記複数の処理ユニットにおいて発生したイベントを検知し、前記検知されたイベントの発生元の処理ユニットを識別する検知手段と、
前記発生元の処理ユニットの画面データが前記表示手段に表示されているか否かを判定する判定手段と
を備える画面データ処理装置における画面データ処理方法であって、
イベントが発生したことを前記検知手段が検知したことに応答して、前記生成手段が、前記発生元の処理ユニットの画面データが表示されていない場合に、前記発生元の処理ユニットの画面データの表示サイズを縮小した縮小画面データを生成する生成工程と、
前記表示手段が、表示中の前記画面データと併せて前記縮小画面データを表示する表示工程と
を有することを特徴とする画面データ処理方法。
【請求項９】
複数の処理ユニットのそれぞれに対して、視覚的に認識可能なパターンで該処理ユニットの実行状況を描画した画面データを生成する生成手段と、
前記複数の処理ユニットにおいて発生したイベントを検知し、前記検知されたイベントの発生元の処理ユニットを識別する検知手段と、
前記発生したイベントの状況に関する情報を保存する保存手段と
を備える画面データ処理装置における画面データ処理方法であって、
イベントが発生したことを前記検知手段が検知したことに応答して、、前記生成手段が、前記発生元の処理ユニットの画面データの表示サイズを縮小した縮小画面データを生成する生成工程と、
前記保存手段が前記縮小画面データを前記イベントの状況に関する情報と関連付けて保存する保存工程と
を有することを特徴とする画面データ処理方法。
【請求項１０】
コンピュータを請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の画面データ処理装置の各手段として機能させるためのコンピュータプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る画面データ処理装置は、複数の処理ユニットのそれぞれに対して、視覚的に認識可能なパターンで該処理ユニットの実行状況を描画した画面データを生成する生成手段と、前記処理ユニットごとに生成された複数の前記画面データから選択された画面データを表示する表示手段と、前記複数の処理ユニットにおいて発生したイベントを検知し、前記検知されたイベントの発生元の処理ユニットを識別する検知手段と、前記発生元の処理ユニットの画面データが前記表示手段に表示されているか否かを判定する判定手段とを備え、イベントが発生したことを前記検知手段が検知したことに応答して、前記生成手段は、前記発生元の処理ユニットの画面データが表示されていない場合に、前記発生元の処理ユニットの画面データの表示サイズを縮小した縮小画面データを生成し、前記表示手段は、表示中の前記画面データと併せて前記縮小画面データを表示することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
＜第１の実施形態＞
本実施形態に係る半導体露光装置において、協働する機能に係るユニットには、以下のものがあげられる。ウエハステージ装置。アライメント検出装置。レチクルステージ駆動装置。光源装置。シャッタ駆動装置。フォーカス検出装置。Ｚ軸駆動装置。レチクル搬送装置。ウエハ搬送装置。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図３には、操作パネル２０１上に表示される制御進行状態画面３０１の構成の一例を示す。制御進行状態画面３０１を参照することにより、ユーザは半導体露光装置の状態を把握できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
図１３は、ステップＳ１２０４のウエハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップＳ１３１１では、ウエハの表面を酸化させる。ステップＳ１３１２では、ウエハの表面に絶縁膜を形成する。ステップＳ１３１３では、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップＳ１３１４では、ウエハにイオンを打ち込む。ステップＳ１３１５では、ウエハに感光剤を塗布する。ステップＳ１３１６では、上述した露光装置を用い、マスクのパターンを介してウエハを露光する。ステップＳ１３１７では、露光したウエハを現像する。ステップＳ１３１８では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップＳ１３１９では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによってウエハ上に多重に回路パターンが形成される。これらのウエハプロセスは、レシピと呼ばれる手順書に記述されたパラメータに基づいて制御される。