(57)【要約】  走査型顕微鏡（１０）は、試料（２０）を保持するためのステージ（１８）、走査機構、試料（２０）の領域（２４）をプローブするためのプロービングシステム、位置センサー（８０、８２）、及びコントローラーを具備する。走査機構は、少なくとも二つの軸上の位置の間でステージ（１８）を並進させるために設計されたものである。プロービングシステム１０は、光学的な素子及び読み出しの領域を有するフォトセンサーを具備するが、それにおいては読み出しの領域は、ステージ（１８）の理想的な配向（７２）に対して横断するものであるところの方向（１４）に延びる。位置センサー（８０、８２）は、ステージ（１８）の横断する位置及び／又はステージ（１８）の配向（７４）のものを測定することに役に立つ。コントローラー（３０）は、測定された１５個の横断する位置（８４、８６）及び／又は測定された配向（７４）の関数としてプロービングシステムを適合させることに役に立つ。
2012512426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査型顕微鏡であって、
試料を保持するためのステージ、
少なくとも二つの軸上の位置の間で前記ステージを並進させるための走査機構、
理想的な横断する位置に相対的な前記ステージの横断する位置は変動することがあること、
理想的な配向に相対的な前記ステージの配向は変動することがあること、
及び
前記ステージの前記少なくとも二つの軸上の位置の各々は前記試料のプローブされるものである対応する予め定義された領域と関連させられたものであること、
前記試料の領域をプローブするためのプロービングシステム、
前記プロービングシステムが光学的な素子及び読み出しの領域を有するフォトセンサーを具備すること、
前記読み出しの領域が前記理想的な配向に対して横断するものであるところの方向に延びること、
前記ステージの横断する位置及び／又は前記ステージの配向を測定するための位置センサー、並びに、
測定された横方向の位置及び／又は測定された配向の関数として前記プロービングシステムを適合させるためのコントローラー
を具備する、走査型顕微鏡。
【請求項２】
請求項１に記載の走査型顕微鏡であって、
前記理想的な配向に対して横断するものであるところの及び前記読み出しの領域は延びるところの延びの方向に対してもまた横断するものであるところの、鉛直な方向に前記ステージを並進させるための集束させる機構をさらに具備する、走査型顕微鏡。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の走査型顕微鏡において、
前記ステージのあらゆる軸上の位置についてプローブされるものである前記試料の領域は、前記ステージの初期の横断する位置及び初期の配向によって予め定義されたものである、走査型顕微鏡。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記フォトセンサーの読み出しの領域が、プローブされるものである前記試料の領域に対応するように、前記測定された横断する位置及び／又は前記測定された配向の関数として前記プロービングシステムを適合させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記フォトセンサーの読み出しの領域を適合させることが可能なものである、及び／又は、前記コントローラーは、特に前記コントローラーへ伝達された、前記フォトセンサーによって収集されてしまってあるところの、データーの選択を適合させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記理想的な配向に横断するものであるところの方向に前記フォトセンサーの読み出しの領域を並進させることが可能なものである、及び／又は、前記コントローラーは、特に前記コントローラーへ伝達された、前記フォトセンサーによって収集されてきたものであるところの、データーの選択のための選択エリアを並進させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記フォトセンサーの読み出しの領域を回転させることが可能なものである、及び／又は、前記コントローラーは、特に前記コントローラーへ伝達された、前記フォトセンサーによって収集されてきたものである、データーの選択のための選択エリアを回転させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項８】
請求項７に記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記読み出しの領域の中心を通る鉛直な軸のまわりに前記フォトセンサーの読み出しの領域を回転させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記理想的な配向に横断するものであるところの方向に前記フォトセンサーを移動させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項１０】
請求項１から９までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、鉛直な軸のまわりに前記フォトセンサーを旋回させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項１１】
請求項１０に記載の走査型顕微鏡において、
前記鉛直な軸は、前記読み出しの領域の中心をと通る、走査型顕微鏡。
【請求項１２】
請求項１から１１までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記光学的な素子を移動させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項１３】
請求項１から１２までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記光学的な素子は、レンズである、及び／又は、前記光学的な素子は、レンズのアレイである、及び／又は、前記光学的な素子は、旋回可能なミラーである、走査型顕微鏡。
【請求項１４】
請求項１から１３までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記フォトセンサーは、フォトセンサーのアレイである、走査型顕微鏡。
【請求項１５】
請求項１から１４までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記位置センサーは、前記ステージにおける第一のパターン及び前記走査型顕微鏡の不動の部分における第二のパターンを具備すると共に、
前記第一のパターン及び前記第二のパターンがモアレパターンを生じさせる、
走査型顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
当該発明は、試料を保持するためのステージ、少なくとも二つの軸上の位置の間でステージを並進させるための走査機構、それにおいて理想的な横断する位置に相対的なステージの横断する位置は変動することがあること、それにおいて理想的な配向に対して相対的なステージの配向は変動することがあること、及び、それにおいてステージの少なくとも二つの軸上の位置の各々は試料のプローブされるものである対応する予め定義された領域と関連させられたものであること、試料の領域をプローブするためのプロービングシステム、プロービングシステムが光学的な素子及び読み出しの領域を有するフォトセンサーを具備すること、読み出しの領域が理想的な配向に対して横断するものであるところの方向に延びること、を具備する走査型顕微鏡を参照する。
【背景技術】
【０００２】
ディジタル顕微鏡は、試料のディジタルイメージを作る。しばしば、これは、繰り返して上及び下に走査すること並びに一緒に異なるバンドをステッチすることによって、及び／又は、異なる波長で測定されたイメージをオーバーレイすることによって、なされる。正確なアーチファクトの無いイメージのために、様々なイメージのピースが、正確に並ぶことは、重要なことである。ライン走査型のシステムにおいては、そこでは試料が、一つの方向に一定の速度で走査されるが、ラインセンサーが、垂直な方向で情報を測定する一方で、二つの軸、走査の方向及び横の方向は、定義されることができる。誤差の二つの主要な源は、第一に、走査の速度における変動、及び、第二に、試料の進行の非真直度、である。走査の速度における変動は、走査の方向における誤差に帰着する。このタイプの誤差は、走査の方向におけるステージの位置を測定すること及び良好に定義された及び等距離の位置でラインカメラの獲得をトリガーすることによって、修正されることができる。試料の進行の非真直度は、ラインセンサーの方向における誤差に帰着する。ステージのタイプに依存するが、非真直度は、ナノメートル及び多数のミクロンの間にあるものである。非真直度の程度は、主として、使用されたベアリングに依存する。大部分の顕微鏡の用途については、絶対的な真直度は、再現性と比べてあまり問題点にならないものである。アーチファクトの無いステッチング／オーバーレイについては、連続的な走査の間におけるシフトが、イメージにおけるピクセルのピッチ（ピクセルのスペーシング）の半分と比べてより少ないものであることは、重要なことである。当該発明の目的は、ステージの進行の非真直度における変動によって引き起こされたラインセンサーの方向における誤差を補償するために使用されるできるところのデバイス及び方法を提供することである。さらに、ステージの進行の確度における要件を緩和させてきたものであるところのデバイスを提供することは、当該発明の目的である。原則として、これらの誤差の多数のものは、イメージプロセシングの後のステップにおいて修正されることができるであろう。しかし、高いデーター転送率が必要とされると共に大きいファイルが発生させられるところの用途については、プロセッシングの後の手段は、非常に計算集約型のもの及び時間集約型のものである。このように、オンラインで直接的にこれらの問題を解決することは、好適なことである。リソグラフィーのシステムにおいて、及び、光学的な記憶のシステムにおいて、類似の問題は、起こる。ＵＳＲＥ３８，１１３Ｅにおいては、走査の移動に垂直な走査する基体のズレを干渉法で測定するところのシステムは、記載されたものである。この信号は、走査の移動の方向に垂直な軸においてアクチュエーターで試料を移動するために使用される。ズレを測定するための別の手段は、非接触の高さのプロファイラーとして機能するところのシステムを記載するところのＵＳ７，０７９，２５６Ｂ２に開示されたものである。光学的な記憶デバイスは、ＷＯ２００５／１０６８５７Ａ１及びＷＯ２００７／０５４８８４Ａ２に開示されたものであるが、そこでは情報担体におけるマークが、二次元において試料を正しく位置決めする為に読み出しデバイスによって識別されることができる。これらの従来のシステムにおいて、修正すること又は位置決めすることは、ステージを移動することによってなされる。そのような従来の走査型顕微鏡は、複雑な構造、適度なスピード、及び低い費用効率を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第７，０７９，２５６号
【特許文献２】国際公開第２００５／１０６８５７号
【特許文献３】国際公開第２００７／０５４８８４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の走査型顕微鏡と比べてより高いスピード及びより高い費用効率を有するより単純な走査型顕微鏡を提供することは、本発明の目的である。この目的は、独立な請求項に従った走査型顕微鏡を提供することによって解決される。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
従って、当該発明の走査型顕微鏡は、ステージの横断する位置及び／又はステージの配向を測定するための位置センサー及び測定された横断する位置及び／又は測定された配向の関数としてプロービングシステムを適合させるためのコントローラーを具備する。先行技術とは反対に、誤差の回避をすること及び／又は補償をすることは、試料（それぞれ、ステージ）を物理的に移動させることによってなされるものではない。当該発明の概念は、より速い、より単純な、及びより安いシステムを許容する。
【０００６】
走査型顕微鏡は、理想的な配向に横断するものであるところの及び読み出しの領域が延びるところの方向にもまた横断するものであるところの、鉛直の方向にステージを並進させるための集束させる機構をさらに具備することがある。
【０００７】
ステージのあらゆる軸上の位置について、プローブされるものである試料の領域は、ステージの初期の横断する位置及び初期の配向によって予め定義されたものであることができる。
【０００８】
コントローラーは、フォトセンサーの読み出しの領域が、プローブされるものである試料の領域に対応するように、測定された横断する位置及び／又は測定された配向の関数としてプロービングシステムを適合させることが可能なものであることがある。
【０００９】
好ましくは、コントローラーは、フォトセンサーの読み出しの領域を適合させることが可能なものである、及び／又は、コントローラーは、フォトセンサーによって収集されてきたものであるところの、特に、コントローラーへ伝達されてきたものであるところの、データーの選択を適合させることが可能なものである。
【００１０】
それは、コントローラーが、理想的な配向に横断するものであるところの、方向にフォトセンサーの読み出しの領域を並進させることが可能なものであったとすれば、及び／又は、コントローラーが、フォトセンサーによって収集されてきた、特にコントローラーへ伝達されてきた、ものであるところの、データーの選択のために選択エリアを並進させることが可能なものであったとすれば、好都合なことであることがある。
【００１１】
それは、コントローラーが、フォトセンサーの読み出しの領域を回転させることが可能なものであったとすれば、及び／又は、コントローラーが、フォトセンサーによって収集されてきた、特にコントローラーへ伝達されてきた、ものであるところの、データーの選択についての選択エリアを回転させることが可能なものであったとすれば、また有益なものであることができる。
【００１２】
コントローラーは、読み出しの領域の中心を通る鉛直な軸のまわりにフォトセンサーの読み出しの領域を回転させることが可能なものであることがある。
【００１３】
理想的な配向に横断するものであるところの、方向にフォトセンサーを移動させることが可能なものであるところのコントローラーを提供することは、また可能性のあることである。
【００１４】
コントローラーは、鉛直の軸のまわりにフォトセンサーを旋回することが可能なものであることがある。
【００１５】
好ましくは、鉛直の軸は、読み出しの領域の中心を通る。
【００１６】
コントローラーは、光学的な素子を移動させることが可能なものであることがある。
【００１７】
光学的な素子は、レンズ及び／又はレンズのアレイ及び／又は旋回可能なミラーであることがある。
【００１８】
フォトセンサーは、フォトセンサーのアレイ（２２、２３）であることがある。
【００１９】
位置センサーは、ステージにおける第一のパターン及び顕微鏡の不動の部分における第二のパターンを具備することがあるが、それにおいては、第一のパターン及び第二のパターンは、モアレパターンを生じさせる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、当該発明の基本的な構成要素の配置についての第一の概略的な上面図を示す。
【図２】図２は、概略的に光学的なライン顕微鏡の単純化された側面図を示す。
【図３】図３は、ステージの進行の間における異なる時間に取られた試料のイメージの変位の概略的な上面図を示す。
【図４】図４は、走査するプロセス内における異なる瞬間について概略的にラインセンサーにおける試料のラインのイメージを示す。
【図５】図５は、概略的にアレイに基づいた走査型顕微鏡のセンサーのアレイを示す。
【図６】図６は、当該発明の基本的な構成要素の配置についての第二の詳細な概略的な概観を示す。
【図７】図７は、概略的に第一の実施形態を示す。
【図８】図８は、概略的に第二の実施形態を示す。
【図９】図９は、概略的に第三の実施形態を示す。
【図１０】図１０は、概略的に伴われた位置の配置についての概観を示す。
【図１１】図１１は、概略的に第四の実施形態を示す。
【図１２】図１２は、概略的に第五の実施形態を示す。
【図１３】図１３は、概略的に第六の実施形態を示す。
【図１４】図１４は、概略的に第七の実施形態を示す。
【図１５ａ】図１５ａから１５ｃまでは、概略的にステージの三つの異なる位置についてのセグメント化された感光性のダイオードにおける反射させられたレーザースポットのフットプリントを示す。
【図１５ｂ】図１５ａから１５ｃまでは、概略的にステージの三つの異なる位置についてのセグメント化された感光性のダイオードにおける反射させられたレーザースポットのフットプリントを示す。
【図１５ｃ】図１５ａから１５ｃまでは、概略的にステージの三つの異なる位置についてのセグメント化された感光性のダイオードにおける反射させられたレーザースポットのフットプリントを示す。
【図１６ａ】図１６ａ及び１６ｂは、概略的に第八の実施形態を示す。
【図１６ｂ】図１６ａ及び１６ｂは、概略的に第八の実施形態を示す。
【図１７】図１７は、走査の方向に沿ったステージの進行の間におけるステージの横方向のシフト及び／又は回転を補償するための当該発明の概念に従った方法の概略的なフロー線図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１は、当該発明の基本的な構成要素の配置についての第一の概略的な上面図を示す。ステージ１８は、望まれた走査の方向７２において上及び下へ試料２０を移動させるために使用される。現実においては、試料２０は、実在の走査の方向１２において移動させられる。データーは、望まれた走査の方向７２に垂直なライン２２に沿って収集される。これは、好ましくは望まれた走査の方向７２に平行なその最も長い寸法を備えた矩形のエリア２４であるところのデーター２４の測定に帰着する。限定無しに、後に続くものにおいて、センサーの方向１４が、望まれた走査の方向７２に垂直なものである及び逆もまた同じであることは、仮定されることである。あるものが、実在の走査の方向１２及び望まれた走査の方向７２の間における小さい角度７４であるとき、イメージは、移動の間にシフトすることになる（図３を参照のこと）。あるものが、千鳥状の様式に配置された少なくとも二つのセンサー２２、２３であるとすれば、これは、試料２０の部分の二重のイメージングに帰着することがある。従って、測定するデバイス２６は、固定された世界に関するセンサーの方向１４におけるいずれの移動をも測定するが、それにおいては、センサーの方向１４は、望まれた走査の方向７２に、横断するもの、好ましくは垂直なもの、である。コントローラー３０は、ステージ１８の進行の非真直度を修正するために、及び、好適なエリア２４が実のところ検出されることを保証するために、使用される。角度７４が、ゼロからはずれるとすれば、試料の頭部７７は、望まれた走査の方向７２に対して平行に保たれるものではない。追加して、偏揺れは、起こることがあるが、それは、試料２０の頭部及びその進行する方向１２の間における回転の角度７５である。ライン７９は、実在の進行の方向に平行なものを表す。偏揺れの角度７５がゼロであるとすれば、試料２０、即ち、その頭部、の回転は、角度７４に等しい。このズレは、検出されたイメージ内における予想外の変動に帰着することがある。あるものは、同時に検出されると共にもしかすると回避される及び／又は補償される及び／又は修正されるべきであるところの二つの種類のズレ、第一に、間違いの方向１２へと移動することによって到達させられたセンサーの方向１４における並進、及び、第二に、間違いの方向１２への試料２０の頭部、である。一つと比べてより多いセンサー２２、２３を有するスキャナーの特定の性質のおかげで、実在の走査の方向１２の角度７４及びセンサーの方向１４の間における絶対的な尺度を有することは、特に重要なことである。９０°の最適な角度から離れたいずれの変動をも誤差に帰着する。後に続くものにおいて、多くの位置の検出の実施形態は、記載されたものであると共に、どのように検出された位置の情報が、センサー２２、２３から正しいピクセル及び／又はエリア２４を選択することによって、実在の時間でイメージを修正するために使用されることができるかということは、記載されたことである。
【００２２】
図２は、概略的に光学的なライン顕微鏡１０の単純化された側面図を示す。
【００２３】
図３は、概略的にステージ１８の進行の間における二つの異なる時間に取られた試料２０のイメージの変位の上面図を示す。試料２０は、実在の走査の方向に沿って走査されるべきであるが、それは、ｘ軸２の方向と同一線上にあるものである。しかしながら、ステージ１８は、完全に真っ直ぐに進行するものではない。従って、第一の時間において、試料２０は、第一の位置３４に、及び、第二の時間において、第二の位置３６に、あるものである。試料２０の第一の位置３４に関係して、試料２０の第二の位置３６は、実在の走査の方向１２においてシフトさせられるだけではなく、望まれた走査の方向７２に垂直にもまたシフトさせられる。
【００２４】
図４は、二つの異なる位置３４、３６について概略的ラインセンサー２２における試料２０のラインのイメージを示す。試料２０は、図面の平面において走査される。それによって、試料２０は、ラインセンサー２２へとレンズ３２、４０でイメージングされる。ラインセンサー２２におけるイメージは、時間における異なる瞬間に描かれる。試料２０が、第一の位置３４にあるものであるとき、センサー２２におけるイメージは、図のより上側の部分におけるあやめ引きにされたピクセル３８によって示された位置にあるものである。試料２０が、第二の位置３６にあるものであるとき、センサー２２におけるイメージ３６は、図のより下側の部分におけるあやめ引きにされたピクセル３８によって図解された位置にあるものである。試料２０の完全なイメージを作るために、ライン２２におけるあやめ引きにされたピクセル３８は、使用される。試料２０が、位置３６に到達するとき、センサー２２におけるイメージは、図のより下側の部分に示されたように、（図解された例においては左へ二つのピクセルだけ）シフトさせられる。そして、ピクセル３８の異なる部分集合は、試料２０の完全なイメージを作ることが要求される。正しいピクセル３８のこの選択をすることは、データーが収集された後で、ソフトウェアによってなされることができる。しかしながら、高いデーターのスループットのために、専用のハードウェアのプラットフォームにおいて選択することを行うことが、好適なことである。選択をするために、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）は、用いられることができる。選択する機能は、記憶デバイスへの選択されたデーターのルーティングと組み合わせられることができるが、それにおいては、ルーティングは、検出された位置のオフセットに基づいたものである。この方法は、ピクセルの確度を備えた関心のある範囲（ＲＯＩ）の不連続な選択を許容する。ピクセルのピッチの半分の残余の誤差は、排除されることができない。大部分のイメージングシステムにおいて、この残余の誤差が、最終的な結果として生じるイメージにおいて容易に検出可能なものではないものであることは、期待されることである。
【００２５】
図５は、概略的にアレイに基づいたディジタル走査型顕微鏡１０のセンサー２２及びレンズ３２又は小レンズ３２のアレイ６６を示す。これは、ＵＳ７，８１４，６１０Ｂ２から知られたもののような顕微鏡であることがある。バンド２４、２５は、最終的なイメージにおける相互に隣接して終わるが、しかし異なる時間及び所で測定されるところのイメージの二つの部分を示す。アレイに基づいたシステムについて、要件は、イメージの形成がしばしば千鳥状の様式でなされるという事実のせいで、より厳格なものである。これは、完全な試料２０が、大きい範囲にわたって並進させられる一方で、ダイの最終的なイメージにおける隣接の位置で終わるところのデーターのいくらかが、時間における非常に異なる瞬間に測定されることを意味する。これは、試料２０が、最初の及び最後の測定の位置の間における完全な距離にわたるピクセルのピッチの半分の最大限の横方向のシフトに対応するものと比べてより多いものによって実在の走査の方向１２において並進させられるべきではないので、試料２０の進行の真直度における余分な厳密な要件を付ける。大きいアレイ６６を用いる高い分解能の用途のために、これらの要件は、非常に厳格なものになることができる。１０ｍｍのアレイ６６を使用する２５０ｎｍのピクセルのサイズを備えたシステムについて、これは、１０ｍｍの進行にわたって１２５ｎｍと比べてより良好なものであるところの進行の真直度を備えたステージ１８を要求すると思われる。これらの要件に到達することができるものであるところのシステムを製作することは、高価なことである。従って、ズレを回避する、補償する、及び／又は修正することができるところのシステムは、必要とされる。アレイに基づいたシステムについては二つの誤差、第一に理想的なライン７２から離れた並進、第二に試料２０の回転７４、が役割を果たすという理由のために、データーが収集されるところのエリア２４の位置の付近の単一の位置でステージ１８の位置を測定することは、アレイに基づいた顕微鏡については十分なものではない。両方の自由度は、補償される及び／又は修正されるべきものである。
【００２６】
図６は、当該発明の基本的な構成要素の配置について第二の概略的な概観を示す。ステージ１８は、実在の走査の方向１２における上及び下へ試料２０を移動させるために使用される。試料２０が、実在の走査の方向１２において移動させられる一方で、データーは、ＵＳ７，１８４，６１０Ｂ２に記載されたもののような、二次元のセンサーアレイ６６においてアレイ状にされたセンサー２２、２３によって収集される。センサーアレイ６６は、様々な配置を有することができる。典型的なセンサーアレイ６６は、望まれた走査の方向７２に垂直なものであるところのラインのアレイを有する。これは、好ましくは、望まれた走査の方向７２に平行なその最も長い寸法を備えた矩形のエリア２４であるところのデーターの測定に帰着する。二つの測定するデバイス２６は、二つの異なる位置で固定された世界２８に関する試料２０のズレを測定する。これらの二つの測定で二つの異なる変動、第一に望まれた走査の方向７２に垂直なセンサーの方向１４における並進、及び、第二にステージ１８の鉛直の軸のまわりの回転７４は、検出されることができる。これらの誤差は、好適なエリア２４が実のところ検出されることを保証するためにいくつかの手段３０を介して修正されることができる。位置を検出するための様々な手段２６は、想像されることができる。主要な難題は、実在の走査の方向１２における進行が、センサーの方向１４において測定されるものであるところの変動（＜１００ｎｍ）と比較された際に非常に大きいもの（数ｃｍ）であることができるという事実に関係させられたものである。位置２６の測定が、検出の領域２４に平行なものであるところのラインに沿ったものであることは、好適なことである。大部分の好適な配置は、横方向の位置を検出するための第一のセンシング手段８０が、センサーアレイ６６の第一の行２２と同一線上にあるものであると共に、検出するための第二のセンシング手段８８が、センサーアレイ６６の最後の行２３と同一線上にあるものであるというようなものである。
【００２７】
図７及び図８は、概略的に、イメージセンサー２２におけるイメージの位置５４を修正するための第一の、それぞれ、第二の、実施形態を示す。典型的な走査型顕微鏡１０において、あるものは、イメージングシステムにおける少なくとも二つのレンズ３２、４０である。好ましくは、第一のレンズ３２及び第二のレンズ４０は、テレセントリックに相互に対して面されたものである。この事例においては、修正は、試料２０の横方向の移動を補償するために試料２０の横方向のシフトのセンサーの方向１４に平行な方向４２、４４にレンズ３２、４０の一方又は両方を移動させることによって行われることができる。それによって、レンズ３２、４０の主要な軸４６、４８は、相互に平行な配向に保たれる。実線は、試料２０における点５０を備えた元来の状況を示す。長い破線は、試料２０がシフトさせられたものであるところの光線追跡である。これは、センサー２２におけるイメージのシフトに帰着する。それによって、試料２０における点５０は、横方向のシフトで空間において移動すると共に空間に関係したものであるが、今点５６として表記される。イメージセンサー２０における対応する点５２は、位置５４へ移動する。短い破線は、レンズ３２、４０の一方が試料２０のシフトを補償するために移動させられるところの状況について結果として生じる光線追跡である。それによって、イメージセンサー２０における点５２は、その元来の位置５２に留まる。
【００２８】
図９は、概略的にイメージセンサー２０におけるイメージの位置５４を修正するための第三の実施形態を示す。この実施形態においては、折りたたみミラー５８は、レンズ３２及びレンズ４０の間に置かれる。初期に、実線の光線追跡は、試料２０からセンサー２２までの経路を示す。試料２０が、センサーの方向１４において移動させられるとき、ズレは、補償される（短い破線を参照のこと）。
【００２９】
図１０は、概略的に、伴われた位置の配置についての概観を示す。センサーアレイ６６の固定された基準のフレームは、多くの実質的にライン状の検出領域６８、７０を備えた検出エリアを含有する。望まれた走査の方向７２は、検出領域６８、７０に対して垂直なものである。理想的には、試料２０は、望まれた走査の方向７２に対して平行に走査される。現実には、あるものは、運動の方向１２及び望まれた走査の方向７２の間における小さい角度７４であることがある。この角度７４は、試料２０のシフトに帰着することになるが、それにおいては、検出領域６８、７０に対して平行なものにおけるシフトが起こる。アレイ６８の末端７０におけるもののみならずアレイ６６の第一の部分６８におけるものの両方で理想的な位置から離れてドリフトを、これが、走査の方向１２の角度７４及び／又は偏揺れの角度７５が変動するものであるときでさえも、補償されることができるように、測定することは、重要なことである。従って、ステージ１８における基準７６は、とられるが、それは、好ましくは、ステージ１８の実在の進行の方向１２に対して平行なものである。しかしながら、小さい残余の角度７８は、残ることがある。第一のセンシング手段８０は、第一のセンサーアレイ６８と同一線上における、ステージ１８における基準及び固定された世界２８における対応する位置の間における距離８４（横断する位置）を決定する。第二のセンシング手段８２は、第二のセンサーアレイ７０と同一線上における、ステージ１８における基準及び固定された世界２８における対応する位置の間における距離６８を決定する。距離８８及び９０の較正は、センサーアレイ６６の基準のフレームにおける試料２０の実在の偏向を決定することが要求される。較正は、走査の方向１２とある角度をなすところの真っ直ぐなラインを含有するところの試料２０を測定することによって行われることができるが、これらのラインをイメージングすると共に測定する手段８０及び８２によって同時に基準の位置７６の位置を検出する。このデーターは、基準のライン７６のオフセットの角度７８又はステージ１８における基準の位置７６のみならず、ステージ１８の実在の走査の方向１２及び検出ライン６８、７０に対して垂直なものであるところの理想的な基準のライン７２の間における公称の角度を決定するためにのみならず距離８８及び９０を較正するために使用されることができる。この情報は、記憶されると共に、アーチファクトの無いイメージに要求された修正の因子を提供するために次の走査において使用されることができる。
【００３０】
図１１は、概略的に、イメージングセンサーシステム９４、９６によってステージ１８の位置の検出についての第四の実施形態の配置を示す。イメージングセンサーシステム９４、９６は、ステージ１８の位置及びドリフトを決定するための検出システム８０、８２へ堅く付けられるべきである。イメージングセンサーシステム９４、９６は、別個のセンサー９４、９６又はデーターを取得するためにもまた使用されるところのセンサーアレイ６６の部分であることができる。イメージングシステム９４、９６が、データーが収集する一方で、ステージ１８は、試料２０を移動させる。ステージ１８において、同じセンサーアレイ６６と同一線上にあるものである又はそれを使用するものであることさえあるところの二つの検出手段９４、９６によってイメージングされることができるところの基準のライン９２は、置かれる。特に、同じセンサーアレイ６６が使用されるとすれば、理想的なライン７２並びに位置８８及び９０が決定されるところの所の間における距離を決定することは、率直なことである（図１０を参照のこと）。従って、システムのさらなる較正は、要求されるものではないと思われる。これは、それが、検出センサーアレイ６６のためのより大きいダイを要求するものではないとすれば、これを好適な実施形態にすると思われる。試料のドリフトの決定の確度を増加させる為には、ステージ１８におけるライン９２及びイメージングの経路における何らかのグレーティングの間におけるモアレの効果は、空間的な分解能を増加させるために使用されることがある。
【００３１】
図１２は、概略的に、ステージ１８の位置のモアレに基づいた検出についての第五の実施形態の配置を示す。ステージ１８の位置を測定するための適切な手段は、精密なライン状の光学的なエンコーダーの使用である。光学的なエンコーダーは、容易に入手可能な高い精度のルーラーであるが、それは、わずかに異なる周期性と二つのグレーティングを部分的に重なり合わせることによって帰着するところのモアレパターンを測定することによって動作する。数ナノメートルの確度は、得られることができる。図は、理想的な経路７２に関するステージの進行のオフセット及び角度の両方を決定するために光学的なエンコーダーを使用するための可能性のある配置を示す。試料２０は、ステージ１８に固定される。光学的なエンコーダーの一方のグレーティング６４は、ステージ１８に固定されるが、他方のグレーティング６２は、基準の世界のフレーム２８に関して固定される。基準の重要なフレームは、センサーによって定義される。センサーが、基準の世界のフレーム２８に関して固定されることは、想定されることである。光学的なエンコーダーが、ラインが測定されるところの位置付近の位置における相対的なシフトを読み出すことができる。光学的なエンコーダーの整列が、必ずしも正確に試料２０の望まれた走査の方向７２に沿ったものではないという理由で、較正は、センサーの基準のフレームに関して光学的なエンコーダーの整列を推定するために行われる必要がある。センサーが、基準の世界のフレーム２８に関して固定されるという理由で、一回の工場の較正が十分なものであるべきであることは、期待されることである。ステージ１８が、鉛直のものに沿って進行する一方で、光学的なエンコーダーは、この図における水平のものに沿った並進を読み取る。これは、（グレーティング６４の高さによって決定された）光学的なエンコーダーの作動するエリアが、それにわたって試料２０が並進させられるものであるところの最大の距離と同程度に大きいものである必要があることを意味する。
【００３２】
図１３は、概略的に、ステージ１８の位置のモアレに基づいた検出についての第六の実施形態の配置を示す。配置は、理想的な経路７２に関するステージの進行のオフセット及び角度７４の両方を決定するために少なくとも二つの光学的なエンコーダーを具備する。試料２０は、ステージ１８に固定される。各々の光学的なエンコーダーの一方のグレーティング６４、６５は、ステージ１８に固定されると共に、他方のグレーティング６２、６３は、それぞれ、基準の世界のフレーム２８に関して固定されるが、センサーが、基準の世界のフレーム２８に関して固定されることは、仮定されることである。基準の重要なフレームは、センサーである。一緒に、二つの光学的なエンコーダーは、ステージにおける基準の点の相対的なシフトを読み出す。これは、ステージ１８の上部における点及び／又はステージ１８の下部における点であることができる。光学的なエンコーダーの整列が、必ずしも正確に試料２０の望まれた走査の方向７２に沿ったものではないという理由で、及び、光学的なエンコーダーが、相互のものに関して必ずしも完璧に整列させられるものではないという理由で、較正は、基準のセンサーのフレーム２８に関して光学的なエンコーダーの整列を推定するために、行われる必要がある。センサーが、基準の世界のフレームに関して固定されるという理由で、一回の工場の較正が十分なものであるべきであることは、期待されることである。ステージ１８が、鉛直のものに沿って進行する一方で、光学的なエンコーダーは、この図における水平のものに沿った並進を読み取る。これは、（グレーティング６４、６５の高さによって決定された）光学的なエンコーダーの作動するエリアが、それにわたって試料２０が並進させられるものであるところの最大の距離と同程度に大きいものである必要があることを意味する。一度較正されると、光学的なエンコーダーは、角度７４及び（センサーに関して定義されたような）理想的な進行の経路７２に関する試料２０のオフセットを決定するために使用されることができる。
【００３３】
図１４は、概略的にステージ２０の位置を検出するための第七の実施形態の配置を示す。そこで、ステージ２０の横断する位置８４、８６は、各々が非点収差を補正するレンズ１１２を有する二つのイメージングシステム１００によって検出される。
【００３４】
図１５ａから１５ｃまでは、概略的にステージ１８の三つの異なる位置についてのセグメント化された感光性のダイオード１１０におけるレーザー１０２からの反射させられた光１１４のフットプリントを示す。試料２０は、ステージ１８に置かれると共に、実在の走査の方向１２において移動させられる。固定された世界２８までの距離は、実在の走査の方向１２に対して平行な平坦な反射性の表面９８をステージ１８に置くことによって測定される。距離の決定のために、レーザー１０２は、用いられるが、それにおいては、レーザービーム１１４は、四分の一波長板１０６を通る前に、偏光ビームスプリッター１０４によって反射させられる。レーザーからの光は、レンズ１０８を介して反射性の表面９８に向かって集束させられる。反射させられた光１１４は、同じレンズ１０８によって収集されると共に、それが、偏光ビームスプリッター１０４を透過させられると共にスプリットダイオード１１０（検出器）へと集束させられるように、再度四分の一波長板１０６を通る。それによって、ビームは、非点収差を補正する構成部品１１２を通る。非点収差を補正する構成部品の強さは、試料２０及び固定された世界２８の間における距離が、中立の位置にあるものであるとき、光１１４が、検出器１１０の全ての四つの象限Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄに等しく届くようなものである（図１５ｂを参照のこと）。距離が増加するとき、スポットの形状は、非対称的なものになると共に主として象限Ａ及びＤに届くことになる（図１５ａを参照のこと）。距離が減少するとき、スポットの形状は、非対称的なものになると共に主として象限Ｂ及びＣに届くことになる（図１５ｃを参照のこと）。（（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ））／（（Ａ＋Ｄ）＋（Ｂ＋Ｃ））を決定することよって、最適な位置からの距離でスケーリングするところの信号を獲得することは、可能性のあることである。この信号が、検出器１１０に届く絶対的なパワーに依存するものではない。応答は、距離の限定された範囲にわたって線形のもののみであることになると共に、絶対的な位置の尺度を獲得するためにこのように較正されるべきである。非点収差を補正するレンズ１１２又は検出器１１０の位置をシフトさせることによって、レンズ１０８の焦点が、必ずしも直接的に反射性の表面９８にあるものではないとき、中立の（ゼロの）信号を有することは、可能性のあることである。これは、より大きい表面にわたる平均の位置が、決定されるという利点を有するが、反射性の表面９８における可能性のあるキズにあまり依存したものではないところの信号に帰着する。
【００３５】
図１６ａ及び１６ｂは、概略的に、関心のある領域２４、２５のものを調節するための第八の実施形態を示す。（回転７４及び理想的な進行の経路７２に関するオフセットの点で）試料２０の精確な配向が知られるとき、個々のセンサーの素子２２、２３から獲得されたデーターは、試料２０の非理想的な進行のおかげでアーチファクトを有することなく、試料２０の一つの連続的なイメージを形成するために調節されることができる。図は、誤差の二つの源について、個々のセンサー素子２２、２３によってイメージングされた試料２０におけるラインのオフセット及び個々のセンサー２２、２３によってイメージングされた試料２０におけるラインの理想的な進行の経路７２に関する回転７４における変動を示す。図の上部は、二つの隣接のセンサー素子２２、２３によってイメージングされた試料２０のエリアを示すが、それにおいては、試料２０の進行の方向１２は、水平のものに沿ったものである。センサー素子２２、２３の各々によってイメージングされたエリア２４、２５は、正方形として示されたものである。センサー素子２２、２３それぞれの実在の走査の方向１２に対して垂直なセンサーの方向１４における個々の位置ｙ１、ｙ２が、知られるとすぐに、二つのセンサー２２、２３の間における部分的な重なり合いは、知られる。そのとき、センサー素子２２、２３の関心のある領域２４、２５は、部分的な重なり合い２７が、捨てられるように、調節されることができる。従って、連続的なイメージは、結果として生じる。それぞれセンサー素子２２、２３の個々の横方向の位置ｙ１及びｙ２は、試料２０の回転７４のおかげで及び／又は理想的な進行の経路７２に関する変化するオフセットのおかげで、時間にわたって連続的に変化することがある。従って、捨てられる必要があるところのデーター２７のエリアは、走査の間に連続的に決定される必要がある。図の下部の部分は、理想的な進行の経路７２に関する試料２０の回転７４から結果として生じる誤差を示すが、それにおいては、理想的な進行の経路７２は、典型的には、センサー素子２２、２３の行に垂直なものである。回転７４は、望まれた走査の方向７２に関する個々のセンサー２２、２３によってイメージングされた試料２０のラインの回転７４に帰着する。試料の回転７４は、走査の間に連続的に決定される必要がある。回転７４の結果は、望まれた走査の方向７２に対して垂直なセンサーの方向１４における結果として生じるイメージにおける分解能の好ましくない喪失である。オフセットについての及び角度７４についての修正の両方のために、あるものは、異なるセンサー素子２２、２３によってイメージングされた試料２０のエリア２４、２５における部分的な重なり合い２７である必要がある。センサー素子２２、２３によってイメージングされた試料２０のエリア２４、２５の間における部分的な重なり合いは、変化する。部分的な重なり合い２７のデーターは、捨てられる必要がある。図解された例において、センサー素子２２の残留する部分１２８のデーターのみは、記憶又はさらなる処理をすることのために保持される。部分的な重なり合い２７のサイズは、角度７４における最大の誤差及び／又は誤差の修正の方法が作動するものとするところのオフセットによって決定されるべきである。
【００３６】
図１７は、概略的に、走査の方向１２に沿ったステージ１８の進行の間におけるステージ１８の横方向のシフト及び／又は回転７４を補償するための当該発明の概念に従った方法を示す。第一のステップにおいて、ステージ１８の位置及び／又は配向７４は、検出される。第二のステップにおいて、試料２０をイメージングするためのイメージングシステムは、ステージ１８の検出された位置８４、８６に依存して及び／又はステージ１８の検出された配向７４に依存して調節される。好ましくは、第一の及び第二のステップは、走査の方向１２におけるステージ１８の進行の間に交互に繰り返される。
【００３７】
試料のステージ１８を有する走査型ディジタル顕微鏡１０は、一つの方向２０（走査の方向）において試料２０を移動させることができる。望まれた走査の方向７２からのいずれのズレをも測定するためのいくつかの手段及び
ステージの位置において測定されたズレを補償するために、イメージの正しい部分２４、２５を選択するためにセンサー２２における関心のある領域２４、２５、２７の異なる部分２４、２５を選択すること、
第一の３２及び／又は第二の４０レンズ３２、４０及び／又はミラー６０のような、第一の及び／又は第二の光学的な構成部品をシフトさせること４２、４４及び／又は回転させること、又は、
センサー２２におけるピクセル３８に関するイメージ２４、２５のそれぞれ相対的なシフト、回転７４が無いものであるように、ステージ１８のそれぞれいずれの横方向のシフト、回転７４をも打ち消すためにセンサー２２をシフトさせること及び／又は回転させること
のいずれかによってイメージを修正するためにズレの測定の結果を使用するための手段３０。
【００３８】
このシステムは、例．ディジタル病理学又は微生物学用の（蛍光）細胞イメージングにおける使用のための、いずれの走査型ディジタル顕微鏡１０においても適用されることができる。
【図１】
2012512426.tif 000003
【図２】
2012512426.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５ａ−１５ｃ】
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【図１６ａ】
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【図１６ｂ】
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【図１７】
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【手続補正書】
【提出日】平成23年6月16日(2011.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査型顕微鏡であって、
試料を保持するためのステージ、
少なくとも二つの軸上の位置の間で前記ステージを並進させるための走査機構、
理想的な横断する位置に相対的な前記ステージの横断する位置は前記並進させることのおかげで変動することがあること、
理想的な配向に相対的な前記ステージの配向は変動することがあること、
及び
前記ステージの前記少なくとも二つの軸上の位置の各々は前記試料のプローブされるものである対応する予め定義された領域と関連させられたものであること、
前記試料の領域をプローブするためのプロービングシステム、
前記プロービングシステムが光学的な素子及び読み出しの領域を有するフォトセンサーを具備すること、
前記読み出しの領域が前記理想的な配向に対して横断するものであるところの方向に延びること、
前記ステージの横断する位置及び／又は前記ステージの配向を測定するための位置センサー、並びに、
測定された横方向の位置及び／又は測定された配向の関数として前記プロービングシステムを適合させることが可能なものであるところのコントローラー、並びに、
前記コントローラーが前記ステージの並進することの非真直度を修正するために使用されること
を具備する、走査型顕微鏡。
【請求項２】
請求項１に記載の走査型顕微鏡であって、
前記理想的な配向に対して横断するものであるところの及び前記読み出しの領域は延びるところの延びの方向に対してもまた横断するものであるところの、鉛直な方向に前記ステージを並進させるための集束させる機構をさらに具備する、走査型顕微鏡。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の走査型顕微鏡において、
前記ステージのあらゆる軸上の位置についてプローブされるものである前記試料の領域は、前記ステージの初期の横断する位置及び初期の配向によって予め定義されたものである、走査型顕微鏡。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記フォトセンサーの読み出しの領域が、プローブされるものである前記試料の領域に対応するように、前記測定された横断する位置及び／又は前記測定された配向の関数として前記プロービングシステムを適合させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記フォトセンサーの読み出しの領域を適合させることが可能なものである、及び／又は、前記コントローラーは、特に前記コントローラーへ伝達された、前記フォトセンサーによって収集されてしまってあるところの、データーの選択を適合させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記理想的な配向に横断するものであるところの方向に前記フォトセンサーの読み出しの領域を並進させることが可能なものである、及び／又は、前記コントローラーは、特に前記コントローラーへ伝達された、前記フォトセンサーによって収集されてきたものであるところの、データーの選択のための選択エリアを並進させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記フォトセンサーの読み出しの領域を回転させることが可能なものである、及び／又は、前記コントローラーは、特に前記コントローラーへ伝達された、前記フォトセンサーによって収集されてきたものである、データーの選択のための選択エリアを回転させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項８】
請求項７に記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記読み出しの領域の中心を通る鉛直な軸のまわりに前記フォトセンサーの読み出しの領域を回転させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記理想的な配向に横断するものであるところの方向に前記フォトセンサーを移動させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項１０】
請求項１から９までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、鉛直な軸のまわりに前記フォトセンサーを旋回させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項１１】
請求項１０に記載の走査型顕微鏡において、
前記鉛直な軸は、前記読み出しの領域の中心をと通る、走査型顕微鏡。
【請求項１２】
請求項１から１１までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記光学的な素子を移動させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
【請求項１３】
請求項１から１２までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記光学的な素子は、レンズである、及び／又は、前記光学的な素子は、レンズのアレイである、及び／又は、前記光学的な素子は、旋回可能なミラーである、走査型顕微鏡。
【請求項１４】
請求項１から１３までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記フォトセンサーは、フォトセンサーのアレイである、走査型顕微鏡。
【請求項１５】
請求項１から１４までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記位置センサーは、前記ステージにおける第一のパターン及び前記走査型顕微鏡の不動の部分における第二のパターンを具備すると共に、
前記第一のパターン及び前記第二のパターンがモアレパターンを生じさせる、
走査型顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
このシステムは、例．ディジタル病理学又は微生物学用の（蛍光）細胞イメージングにおける使用のための、いずれの走査型ディジタル顕微鏡１０においても適用されることができる。
［付記］
付記（１）：
走査型顕微鏡であって、
試料を保持するためのステージ、
少なくとも二つの軸上の位置の間で前記ステージを並進させるための走査機構、
理想的な横断する位置に相対的な前記ステージの横断する位置は変動することがあること、
理想的な配向に相対的な前記ステージの配向は変動することがあること、
及び
前記ステージの前記少なくとも二つの軸上の位置の各々は前記試料のプローブされるものである対応する予め定義された領域と関連させられたものであること、
前記試料の領域をプローブするためのプロービングシステム、
前記プロービングシステムが光学的な素子及び読み出しの領域を有するフォトセンサーを具備すること、
前記読み出しの領域が前記理想的な配向に対して横断するものであるところの方向に延びること、
前記ステージの横断する位置及び／又は前記ステージの配向を測定するための位置センサー、並びに、
測定された横方向の位置及び／又は測定された配向の関数として前記プロービングシステムを適合させるためのコントローラー
を具備する、走査型顕微鏡。
付記（２）：
付記（１）に記載の走査型顕微鏡であって、
前記理想的な配向に対して横断するものであるところの及び前記読み出しの領域は延びるところの延びの方向に対してもまた横断するものであるところの、鉛直な方向に前記ステージを並進させるための集束させる機構をさらに具備する、走査型顕微鏡。
付記（３）：
付記（１）又は（２）に記載の走査型顕微鏡において、
前記ステージのあらゆる軸上の位置についてプローブされるものである前記試料の領域は、前記ステージの初期の横断する位置及び初期の配向によって予め定義されたものである、走査型顕微鏡。
付記（４）：
付記（１）から（３）までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記フォトセンサーの読み出しの領域が、プローブされるものである前記試料の領域に対応するように、前記測定された横断する位置及び／又は前記測定された配向の関数として前記プロービングシステムを適合させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
付記（５）：
付記（１）から（４）までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記フォトセンサーの読み出しの領域を適合させることが可能なものである、及び／又は、前記コントローラーは、特に前記コントローラーへ伝達された、前記フォトセンサーによって収集されてしまってあるところの、データーの選択を適合させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
付記（６）：
付記（１）から（５）までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記理想的な配向に横断するものであるところの方向に前記フォトセンサーの読み出しの領域を並進させることが可能なものである、及び／又は、前記コントローラーは、特に前記コントローラーへ伝達された、前記フォトセンサーによって収集されてきたものであるところの、データーの選択のための選択エリアを並進させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
付記（７）：
付記（１）から（６）までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記フォトセンサーの読み出しの領域を回転させることが可能なものである、及び／又は、前記コントローラーは、特に前記コントローラーへ伝達された、前記フォトセンサーによって収集されてきたものである、データーの選択のための選択エリアを回転させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
付記（８）：
付記（７）に記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記読み出しの領域の中心を通る鉛直な軸のまわりに前記フォトセンサーの読み出しの領域を回転させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
付記（９）：
付記（１）から（８）までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記理想的な配向に横断するものであるところの方向に前記フォトセンサーを移動させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
付記（１０）：
付記（１）から（９）までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、鉛直な軸のまわりに前記フォトセンサーを旋回させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
付記（１１）：
付記（１０）に記載の走査型顕微鏡において、
前記鉛直な軸は、前記読み出しの領域の中心をと通る、走査型顕微鏡。
付記（１２）：
付記（１）から（１１）までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記コントローラーは、前記光学的な素子を移動させることが可能なものである、走査型顕微鏡。
付記（１３）：
付記（１）から（１２）までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記光学的な素子は、レンズである、及び／又は、前記光学的な素子は、レンズのアレイである、及び／又は、前記光学的な素子は、旋回可能なミラーである、走査型顕微鏡。
付記（１４）：
付記（１）から（１３）までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記フォトセンサーは、フォトセンサーのアレイである、走査型顕微鏡。
付記（１５）：
付記（１）から（１４）までのいずれかに記載の走査型顕微鏡において、
前記位置センサーは、前記ステージにおける第一のパターン及び前記走査型顕微鏡の不動の部分における第二のパターンを具備すると共に、
前記第一のパターン及び前記第二のパターンがモアレパターンを生じさせる、
走査型顕微鏡。
【国際調査報告】
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2012512426.tif 000023
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