(57)【要約】  半導体チップ（１）のフォイル（３）からの剥離及び取外しは、本発明に基づき、３つの段階で行われる。第１段階において、半導体チップ（１）のフォイル（３）からの部分的な剥離は、機械的手段によって行われるが、チップグリッパ（１１）は関与しない。第２段階では、半導体チップ（１）が完全にフォイル（３）から剥がされ、その際、半導体チップ（１）はチップグリッパ（１１）によって保持される。第３段階では、チップグリッパ（１１）が持ち上げられ、送り出される。【選択図】図１ｂ
2012508460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップエジェクタ（２）が、半導体チップ（１）のフォイル（３）からの剥離を支援し、チップグリッパ（１１）が前記半導体チップ（１）を取り上げ、前記チップエジェクタ（２）は、前記フォイル（３）が接触する接触面を有しており、
次に取り上げる前記半導体チップ（１）を前記チップエジェクタ（２）の前記接触面（１３）に準備する工程と、
前記チップエジェクタ（２）上の前記フォイル（３）を保持するために、前記チップエジェクタ（２）にバキューム圧を加える工程と、
機械的手段によって、準備された前記半導体チップ（１）から前記フォイル（３）を部分的に剥がす工程と、
前記半導体チップ（１）の画像を撮影し、前記半導体チップの位置又は実測位置と規定位置との差異を特定する工程と、を備える前記チップグリッパ（１１）の関与しない第１段階を含み、
前記チップグリッパ（１１）が前記半導体チップ（１）の表面に接触するまで前記チップグリッパ（１１）を下降させ、前記チップグリッパ（１１）にバキューム圧を加え、前記半導体チップ（１）を保持する工程と、
前記チップグリッパ（２）の支援によって、準備された前記半導体チップ（１）から前記フォイル（３）をさらに剥がす工程と、を備える第２段階を含み、
前記チップグリッパ（１１）を持ち上げ、送り出す工程を備える第３段階を含む、前記半導体チップ（１）の前記フォイル（３）からの剥離及び取外し方法。
【請求項２】
言及した前記半導体チップ（１）の前記フォイル（３）からの部分的な剥離は、スライド（２１）をずらすことにより行われるため、前記チップエジェクタ（２）の前記接触面（１３）において、準備された前記半導体チップ（１）のエッジ下部にギャップ（２２）が形成され、前記ギャップ（２２）内のバキューム圧によって前記フォイル（３）が前記ギャップ（２２）の中に引っぱられて、前記半導体チップ（１）から剥がれる、請求項１による方法。
【請求項３】
前記半導体チップ（１）の前記フォイル（３）からの剥離が、前記接触面（１３）に対して垂直又は斜めに移動可能なニードル（７）によって支援され、該ニードル（７）の先端が前記接触面（１３）から突き出している部分の距離を高さと呼び、既に述べた、準備された前記半導体チップ（１）からの前記フォイル（３）の部分的な剥離が、
前記ニードル（７）を規定の高さＺ１まで上昇させることにより、前記ニードル（７）が前記接触面から突き出す工程と、
前記高さＺ１よりも小さい、規定の高さＺ２まで前記ニードル（７）を下げる工程と、によって行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記ニードル（７）が前記接触面（１３）から突き出さないように、前記高さＺ２が選択されていることを特徴とする、請求項３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械的手段によって支援される、半導体チップのフォイルからの剥離及び取外し方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップは、通常、半導体取付け装置の上で処理されるために、フレームによって保持されているフォイル（当業者の間ではテープとしても知られている）の上に準備される。半導体チップは、フォイルの上に貼り付いている。フォイルの付いたフレームは、スライド可能なウェーハ用テーブルによって支持される。ウェーハ用テーブルは、ある場所に半導体チップを次々と準備するために周期的に移動し、次に、準備された半導体チップは、チップグリッパによって取り上げられ、基板の上に取り付けられる。準備された半導体のフォイルからの取外しは、フォイルの下に配置されたチップエジェクタ（当業者の間ではダイエジェクタとして知られている）によって支援される。このチップエジェクタは、フォイル接触面を備えるテーブルであり、この接触面上にフォイルが接触する。半導体チップの剥離プロセスの間、フォイルをバキューム圧によって固定するために、テーブルには多数の穴があけられている。
【０００３】
多くの場合、チップエジェクタの中に配置されている１つ又は複数のニードルにより、半導体チップのフォイルからの剥離が支援される。ニードルを補助的に使用する方法は、例えば文献１又は文献２など、多数の特許から知られている。文献３の場合、チップエジェクタは、先端が平坦な棒を多数備える第１のブロックと、多数のニードルを備える第２のブロックと、を有しており、棒の間にニードルが配置され、各棒の平坦な先端の面積は、ニードルの断面積の数倍ある。半導体チップを剥離するために、まず、棒付きのブロックが持ち上げられ、次に、棒より上にニードルが突き出るまで、ニードル付きのブロックが持ち上げられる。
【０００４】
文献４から、全剥離プロセスにわたってフォイルが接触している支持構造を備えるチップエジェクタが知られている。この支持構造は、平坦な先端を備える棒によって取り囲まれており、これらの棒は半導体チップの方向とその反対方向にも移動可能である。この支持構造と棒とは、マトリックスのように配置された多数のタペットによっても形成することができる。
【０００５】
文献５から、隣り合う多数のプレートを有するチップエジェクタが知られており、これらのプレートは、半導体チップを剥離するために一緒に持ち上げられた後、外側から内側へとシーケンシャルに降ろされるか、あるいは外側から内側へとシーケンシャルに持ち上げられるか、どちらかの方法により、支持面から突き出しているピラミッド型の突出部が形成される。
【０００６】
ニードルによる補助なしに半導体チップをフォイルから剥離する様々な方法も知られている。文献６では、半導体チップの下にあるフォイルの数箇所にバキューム圧が加えられ、これらの箇所ではフォイルが半導体チップから剥離される。このことは、文献７でも同様であるが、ここでは、剥離プロセスが終了してから、すなわち、チップエジェクタが剥離プロセスを続行できなくなってから、初めてチップグリッパが半導体チップを保持する。この方法は、半導体チップが破損してしまうおそれがあるため、極端に薄い半導体チップには適さない。文献８では、チップグリッパの補助なしに、スタンプを用いて半導体チップからフォイルが完全に剥がされる。この方法も半導体チップの変形及び／又は捩れを引き起こすおそれがあるため、極端に薄い半導体チップには適さない。文献９と文献１０では、フォイルがチップエジェクタのエッジの上を移動し、その際に剥がされる。文献１１では、半導体チップのエッジ部分のフォイルがまずバキューム圧によって取り外され、次に、チップグリッパによって保持されている半導体チップに対してフォイルをずらすことによって、半導体チップがフォイルから剥がされる。
【０００７】
半導体チップのフォイルからの剥離及び取外しは、当業者の間ではピックプロセスとも呼ばれる。ニードルを補助的に使用する標準的なピックプロセスは、以下の工程で行われる。
ａ）ウェーハ用テーブルが移動し、取り上げられる次の半導体チップが用意される。
ｂ）バキューム圧でフォイルをチップエジェクタに保持する。
ｃ）チップグリッパが半導体チップの表面に接触するまでチップグリッパを下降させ、チップグリッパにバキューム圧を加え、半導体を保持する。
ｄ）ニードルを規定の高さまで上昇させる。その際、ニードルが半導体チップを持ち上げることにより、フォイルは部分的に半導体チップから剥がれる。
ｅ）チップグリッパを送り出す。その際、半導体チップは完全にフォイル及びニードルから剥がれる。
【０００８】
半導体チップのフォイルからの剥離及び取外しは、工程ｄ）の後でもまだ残っているフォイルの接着力がチップグリッパのバキューム吸引力よりも小さい場合にのみ可能である。それ以外では、いわゆるピックエラーが生じる。すなわち、半導体チップは取り上げられず、非常に薄い半導体チップは損傷又は破損する。
【０００９】
半導体チップは、基板と接合させる際、あらかじめ基板の上に塗布された接着剤によって貼り付けられるか、又はチップの裏面に取り付けられた接着膜、いわゆる「アタッチフィルム」を用いて貼り付けられる。後者の場合、接着膜の付いた半導体チップをフォイルから分離する必要がある。この基板は、接合の際に、半導体チップと基板とが継続的に接着接続するように、室温以上の温度まで加熱される。基板との接触によって接着膜が溶け、接着膜は半導体チップと強く接着する。数秒を要するこの接着プロセスによって、チップグリッパは加熱する。従って、次のピックプロセスでは、次の半導体チップを取り上げる際に、不都合な接着膜の加熱がすでに剥離プロセス中に生じてしまう。この場合、フォイルと接着膜との間の接着力が強まって、上述のピックエラーを引き起こすおそれがある。
【００１０】
以下、半導体チップという用語は、裏面に接着膜をコーティングされている半導体チップも表す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００４０１０５７５０明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２７６５０３５明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２００８０８６８７４明細書
【特許文献４】国際特許出願公開第２００５１１７０７２明細書
【特許文献５】米国特許出願公開第２００５００５９２０５明細書
【特許文献６】米国特許出願公開第４９２１５６４明細書
【特許文献７】米国特許出願公開第２００４００３８４９８明細書
【特許文献８】欧州特許出願公開第１４９６４２２明細書
【特許文献９】米国特許出願公開第２００２１２９８９９明細書
【特許文献１０】米国特許出願公開第７２３８５９３明細書
【特許文献１１】米国特許出願公開第６５６１７４３明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
従って、とりわけ、厚さが５０μｍよりも小さな非常に薄い半導体チップでも、可能な限り短時間でフォイルから取り外すことにより、短い接触時間のあいだにチップグリッパを介して生じる半導体チップの加熱が、フォイルと半導体チップ間の接着を僅かしか強めないような方法を用いることが望ましい。
【００１３】
本発明は、半導体チップ（又は接着膜）とフォイル間の接着が、接着接続により生じる力は適度に残しながらも、半導体チップはフォイルから素早く剥がれるという状態にまで縮小された場合に、このことが達成されるという認識から出発している。このとき、ウェハースを個々の半導体チップに細分化する際、又は断片に切ったウェハースを運搬する際に、早くも半導体チップがフォイルから自然に剥がれてしまうという危険が生じるため、始めから接着接続の弱い接着膜は使えないことに注意しなければならない。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
従って本発明では、第１段階において、チップグリッパが半導体チップと接触し、半導体チップを保持する前に、機械的な手段を用いてフォイルを半導体チップから部分的に剥がすことにより、接着接続の減弱を行い、第２段階で、チップグリッパを半導体チップに接触させ、半導体チップを保持してから、チップグリッパの支援によってフォイルをさらに半導体チップから剥がし、第３段階でチップグリッパを半導体チップと一緒に送り出すことが提案される。
【００１５】
半導体チップのフォイルからの剥離及び取外し方法は、チップエジェクタによって支援される。チップエジェクタは、フォイルが接触する接触面を有している。本発明に基づく方法は、チップグリッパは関与せずに以下の工程によって行われる第１段階を含んでいる。
【００１６】
次に取り上げる半導体チップをチップエジェクタの接触面に準備する。
【００１７】
チップエジェクタ上のフォイルを固定するために、チップエジェクタにバキューム圧を加える。
【００１８】
機械的手段を用いて、準備された半導体チップからフォイルを部分的に剥がす。
【００１９】
半導体チップの画像を撮影し、半導体チップの位置又は実測位置と規定位置との差異を特定する。
本発明に基づく方法は、以下の工程によって行われる第２の段階を含んでいる。
【００２０】
チップグリッパが半導体チップの表面に接触するまでチップグリッパを下げる。
【００２１】
半導体チップを保持するためにチップグリッパにバキューム圧を加える。
【００２２】
準備された半導体チップからフォイルをさらに剥がす。
第３段階は以下の工程を含む。
【００２３】
チップグリッパを持ち上げ、送り出す。
【００２４】
本発明に基づく方法は、特に、厚さが５０μｍ以下の非常に薄い半導体チップのために開発された。第１段階において、フォイルは部分的に剥離される。すなわち、フォイルは、半導体チップ裏面の一定の面積部分にはもはや接触していない。第１段階の終了時には、半導体チップが、第１に、評価可能な半導体チップの画像がカメラで撮影できる最大のところまで変形又は曲げられており、第２に、チップエジェクタによるさらなるサポートがないと、まだチップグリッパによっては半導体チップを損傷又は破損することなく半導体チップをフォイルから取り外せないような状態に保たれている。第２段階では、フォイルがさらに剥がされる。すなわち、フォイルが接触していない裏面の面積部分が大きくなる。第２段階の終了時には、フォイルが完全に半導体チップから剥がされているか、又は半導体チップ裏面に接触している面積部分はまだ残っているが、その部分は僅かであるため、第３段階においてチップグリッパを持ち上げ、送り出すことができ、半導体チップはチップグリッパによって損傷の危険なく運ばれる。
【００２５】
第１段階における、言及した半導体チップのフォイルからの部分的な剥離は、好適には、チップエジェクタの接触面において、準備された半導体チップのエッジ下部にギャップが形成されるように、スライダをずらすことにより行われ、ギャップ内のバキューム圧によってフォイルがギャップの中に引っぱられて、フォイルが半導体チップから剥がれる。第２段階でのさらなる剥離は、ギャップをさらに広げることによって行われる。
【００２６】
半導体チップからのフォイルの剥離は、接触面に対して垂直又は斜めに移動可能なニードルを用いても行うことができる。この場合、ニードルの先端が接触面から突き出している部分の距離を高さと呼ぶ。既に述べた第１段階における、準備された半導体チップからのフォイルの部分的な剥離は、この場合、以下の工程によって行われる。
【００２７】
ニードルを規定の高さＺ１まで上昇させる。これによって、ニードルが接触面から突き出す。
高さＺ１よりも小さい規定の高さＺ２までニードルを下げる。
【００２８】
例えば冷却ガス又は冷却液などの液体を使ってフォイルを下から冷却するという方法を単独で又は補助的に用いて、接着接続を弱めることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
以下に、本発明の実施例を図に基づいて詳しく説明する。図の表示は概要であり、縮尺に従っていない。
【図１ａ】本発明に基づく第１の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図１ｂ】本発明に基づく第１の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図１ｃ】本発明に基づく第１の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図１ｄ】本発明に基づく第１の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図１ｅ】本発明に基づく第１の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図１ｆ】本発明に基づく第１の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図１ｇ】本発明に基づく第１の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図２ａ】本発明に基づく第２の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図２ｂ】本発明に基づく第２の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図２ｃ】本発明に基づく第２の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図２ｄ】本発明に基づく第２の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図２ｅ】本発明に基づく第２の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図２ｆ】本発明に基づく第２の実施例による、ピックプロセス中の様々な瞬間の様子を示した図である。
【図３】第２の実施例に適したチップエジェクタを上から見た図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
図１ａ〜ｇは、本発明に基づく、第１の実施例によるピックプロセスの連続する各時点における、半導体チップ１のフォイル３からの剥離及び取外しに関係する自動組立機部品、すなわち、チップエジェクタ２及びチップグリッパ１１、並びにフォイル３及び半導体チップ１を示している。関係する部品は簡略化されており、ピックプロセスの理解に必要なものだけが示されている。チップエジェクタ２は、フォイル３が接触する接触面１３のある交換可能な蓋を備えた、バキューム圧を加えられるチャンバ５を有している。この蓋には、多数の穴９及び１５があけられている。穴９の直径は、フォイル３が穴９の中に入り込めないような大きさが好ましい。すなわち、穴９は実質的にフォイル３を保持するためだけに作用する。穴１５にはニードル７が配置されており、これらのニードルは、蓋の接触面１３に対して垂直又は斜めに移動可能である。ニードル７が移動可能な方向をｚ方向と呼び、この場合、蓋の接触面１３をゼロポイントｚ＝０とする。ニードル７の先端が接触面１３から突き出している距離を高さと呼ぶ。高さのｚ値が負の場合は、ニードル７が完全に穴１５の中に入っており、接触面１３から突き出していないことを意味する。
【００３１】
半導体チップ１のフォイル３からの剥離及び取出しは、本発明に基づき準備段階が拡張されているため、全プロセスは３つの段階を有している。第１段階は準備段階であり、半導体チップ１とフォイル３との間の接着接続が、ニードル７を使って弱められる。第１段階では、チップグリッパ１１は用いられない。第２段階は第１段階からすぐに続けられる段階であり、チップグリッパ１１を補助的に用いることによって、ニードル７による半導体チップ１の剥離がさらに進められる。第３段階では、チップグリッパ１１が上昇し、送り出されることにより、その他の支援手段を用いることなく、半導体チップ１がニードル７を用いて完全にフォイル３から剥がされる。
【００３２】
第１段階には、以下の工程が含まれている。
Ａ）ウェーハ用テーブルが移動し、取り上げられる次の半導体チップ１がチップエジェクタ２の上部に準備される。
ニードル７は、穴１５の内部に収まっているため、工程Ａの間、ニードルはフォイル３には接触しない。
Ｂ）チップエジェクタ２上のフォイル３を保持するために、チップエジェクタ２にバキューム圧（又は負圧）を加える。
この工程において、チャンバ５にバキューム圧が加えられる。穴９のバキューム圧によりフォイル３が吸引される。図１ａは、この工程の状態を示している。
Ｃ）ニードル７を、規定の高さＺ１まで上昇させる。
高さＺ１の値はＺ１＞０であり、つまり、ニードル７は、接触面１３から突き出している。Ｚ１の通常の値は、０．５ｍｍである。この工程では、ニードル７の上にあるフォイル３の部分が、チップエジェクタ２から離される。これによって、半導体チップ１も持ち上げられ、一方、ニードル７のない、穴９の上にあるフォイル３の部分は、引き続きチップエジェクタ２に留まっているため、フォイルが半導体チップ１から剥がれる。この状態が、図１ｂに示されている。
Ｄ）ニードル７を規定の高さＺ２まで下げる。
通常０．５〜３秒の規定時間が経過した後、ニードル７は、Ｚ２＜Ｚ１の高さＺ２まで戻る。結果として、フォイル３の多くの部分はまだ半導体チップ１に貼り付いており、一方、その他の部分はすでに半導体チップ１から剥がされている。この状態が、分かりやすくするため誇張されて図１ｃに示されており、この例ではＺ２＜０である。Ｚ２＜０またはＺ２＝０であるかはどちらでも構わない。その他に、図１ｃには、ここで初めて近づいてくるチップグリッパ１１が示されている。
【００３３】
ニードル７の下降は、半導体チップ１の位置をカメラが測定できるようにするため行われる。ニードル７が繰り出す際に測定することは非常に難しい。なぜなら、チップ表面は部分的に軽く湾曲しており、画像処理の光が垂直に照射される場合は部分的にチップ表面が検知されないためである。しかし、ニードル７が再び穴１５の中に完全に戻ってしまうと、半導体１が再びフォイル３に貼り着くという問題が生じかねない。このことを回避するためは、高さＺ２＞０を選択するのが有利である。これによって、ニードル７の先端が僅かに接触面１３の上部にあるため、カメラは半導体チップ１を検知でき、しかも半導体１は再びフォイル３全体に貼り付くことはない。Ｚ２の有利な値は、０．０〜０．２ｍｍの範囲にある。さらに、ニードル７の速度は、１〜１０ｍｍ／分の間で選択することができる。
Ｅ）半導体チップ１の画像を撮影し、半導体チップの位置又は実測位置と規定位置との差異を特定する。
【００３４】
これによって、第１段階及び半導体チップ１の取外し準備が完了する。この場合、この準備段階でチップグリッパ１１が必要ないことは極めて有利である。つまり、ボンドヘッドが、事前に行われる半導体チップの加工（接着工程）を行っている間に、この準備を行うことができるためである。この準備にかかる時間は、それに対応する長さで行うことができるため、全プロセス時間が延びることはない。さらに、これは室温で行われるので、半導体チップ１がフォイル３から部分的に剥離する場合に、温度上昇による問題を考慮する必要がない。
【００３５】
次に、第２段階が以下の工程で開始される。
Ｆ）チップグリッパ１１が半導体チップ１の表面に接触するまでチップグリッパ１１を下降させ、チップグリッパ１１にバキューム圧を加え、半導体チップ１を保持する。
この状態が、図１ｄに示されている。
Ｇ）ニードル７を、規定の高さＺ３まで上昇させる。
この工程では、ニードル７が再び半導体チップ１を再び又はさらに持ち上げ、フォイル３はさらに半導体チップ１から剥がれる。Ｚ３の通常の値は０．５ｍｍである。この工程による状態が図１ｅに示されている。この工程では、半導体チップ１の下部に接触していないフォイル３の部分が広がる（図を見ても、このことは全く分からない）。
【００３６】
次に、第３段階が以下の工程で開始される。
Ｈ）チップグリッパを持ち上げ、送り出す。
この工程で、半導体チップ１は完全にフォイル３及びニードル７から剥がれる。
【００３７】
準備工程Ａ〜Ｃにより、半導体チップ１の大部分はすでにフォイル３から剥がされているため、チップグリッパ１１は、チップエジェクタ２のニードル７と協力して、半導体チップ１をフォイル３から高速で完全に剥離し、取り外すことが問題なくできる。これによって、チップ取外しプロセスにかかる時間、すなわち、工程ＦからＨに必要な時間（半導体チップ１がもはやフォイル３と接触しなくなるまで）は、段階１の工程Ａ〜Ｃによる準備が行われない従来の方法では通常１秒かかっていたものが、０．１秒にまで短縮される。
【００３８】
図１ｆは、チップグリッパ１１が、取り上げた半導体チップ１と一緒にフォイル３からすでにいくらか離れた瞬間の様子を示している。図に示されているように、チップグリッパ１１が半導体チップ１を完全にフォイル３から取り外してから、ニードル７がようやく接触面１３の下に降ろされる。
【００３９】
図１ｇは、その後、ニードル７が再びｚ＜０まで下げられた最後の瞬間の様子を示しており、これによって、次の半導体チップのピックプロセスを開始することができる。チップグリッパ１１が、取り外した半導体チップをさらに加工している間に、次に取り上げる半導体チップの第１段階をすでに開始することができる。
【００４０】
半導体チップ１の取外しは、上述の工程Ｆ〜Ｈの代わりに、それぞれの問題に適合し、従来技術から知られている他の工程でも行うことができる。本発明においては、しかし、チップ取外しの実際の段階に先だって、チップグリッパ１１を使用せずに少なくとも部分的に半導体チップ１をフォイル３から剥がす第１の準備段階と、チップグリッパ１１を使用し、さらにチップエジェクタ２のニードル７を用いて半導体チップ１をフォイル３から引き続き剥がす第２段階とを実施することが重要である。
【００４１】
図２ａ〜ｇは、本発明に基づく、第２の実施例によるピックプロセスの連続する各時点における、半導体チップ１のフォイル３からの剥離及び取外しに関係する自動組立機部品を示している。関係する部品は簡略化されており、ピックプロセスの理解に必要なものだけが示されている。チップエジェクタ２は、フォイル３が接触する接触面１３のある蓋を備えた、バキューム圧を加えられるチャンバ５を有している。接触面１３は、例えば長方形の開口部２０と、少なくとも３つの面で開口部２０を取り囲んでいる多数の穴９を含んでいる。開口部２０の中には、蓋の接触面１３に対して平行に移動可能なスライド２１が配置されている。スライド２１の移動方向をｘ方向と呼ぶ。移動方向においては、スライドの長さは半導体チップ１の長さとほぼ同じであり、開口部２０の長さは半導体チップ１の長さの少なくとも倍である。図３は、チップエジェクタ２を上から見た図である。
【００４２】
半導体チップ１のフォイル３からの剥離及び取外しには、チップグリッパ１１を使用せずに、スライド２１の支援によって、半導体チップ１とフォイル３との間の接着接続を弱める第１の準備段階が含まれている。第２段階は、これにすぐに続く段階であり、チップエジェクタ２の支援によって、チップグリッパ１１がフォイル３からさらに半導体チップ１を剥がす。
【００４３】
第１段階には、以下の工程が含まれている。
Ａ）ウェーハ用テーブルが移動し、取り上げられる次の半導体チップ１がチップエジェクタ２の上部に準備される。
スライド２１は、準備された半導体チップ１の下部にあるように、あらかじめ開口部２０の中に位置決めされている。
Ｂ）チップエジェクタ２上のフォイル３を保持するために、チップエジェクタ２にバキューム圧（又は負圧）を加える。
穴９（図３）のバキューム圧によりフォイル３が吸引される。図２ａは、この工程の状態を示している（スライダ２１は、この例の場合、開口部２０の右端にある）。
Ｃ）スライド２１を、規定の間隔Ｄ１だけ移動方向に移動する（スライド２１は、この例の場合左へ移動する）。移動した状態が、図２ｂに示されている。スライド２１の移動は、通常は約２〜５ｍｍ／秒の比較的ゆっくりとした速度で行われる。この工程では、接触面１３とスライド２１との間に、値が増加するギャップ２２が生じる。チャンバ５内のバキューム圧がフォイル３をギャップ２２の中に引き込み、この部分で、フォイル３は半導体チップ１から剥がれる。間隔Ｄ１は、通常は、半導体チップ１、１´の長さＬの約１０〜２０％である。この工程では、半導体チップ１のエッジ部分でフォイル３が半導体チップ１から剥がされる。この工程は、非常に慎重に行う必要があるため、スライド２１の速度は比較的小さい。従って、この工程は多少時間を要する。しかし、フォイルが半導体チップ１の長さＬの１０〜２０％のエッジ部分で一旦剥がされていれば、半導体チップの残りの部分は比較的早い速度でフォイルを剥がすことができる。しかし、このことは、チップグリッパ１１が剥離を支援する際の第２段階で行われる。
Ｄ）半導体チップ１の画像を撮影し、半導体チップの位置又は実測位置と規定位置との差異を特定する。
【００４４】
これによって、第１段階及び半導体チップ１の取外し準備が完了する。次に、第２段階が以下の工程で開始される。
Ｅ）チップグリッパ１１が半導体チップ１の表面に接触するまでチップグリッパ１１を下降させ、チップグリッパ１１にバキューム圧を加え、半導体チップ１を保持する。
この状態が、図２ｃに示されている。
Ｆ）スライド２１が、工程Ｃの場合と同じ方向にさらに移動する。
フォイル３は、半導体チップ１のエッジ部分からすでに剥がされているため、スライド２１の移動は比較的早い速度で行うことができる。このことは、通常、約２０ｍｍ／秒であるが、この値に制限されていない。この工程では、チャンバ５とギャップ２２内のバキューム圧により、フォイル３がさらに半導体チップ１から剥がされる。図２ｄは、この工程Ｆが行われている間の瞬間の様子を示しており、図２ｅは、工程Ｆが終了した瞬間の様子を示している。半導体チップ１は、完全にフォイル３から剥がされている。
【００４５】
次に、第３段階が以下の工程で続く。
Ｇ）チップグリッパ１１を持ち上げ、送り出す。
図２ｆは、この工程が行われている間の瞬間の様子を示している。
【００４６】
半導体チップ１のフォイル３からの剥離は、文献３の装置でも行うことができ、その際、チップグリッパは第１段階には関与せず、チップエジェクタ２が第２段階でフォイル３を引き続き半導体チップ１から剥がし、一方で、第３段階でチップグリッパ１１が持ち上げられ、送り出される前に、半導体チップがチップグリッパ１１によって保持され、チップグリッパは半導体チップ１を一緒に持っていく。
【００４７】
説明されている本発明による方法は、裏面に接着フィルムがコーティングされている半導体チップ１にも適合し、また、エッジの長さが１０ｍｍより大きく、基板に塗布されている接着剤によって基板に貼り付けられている比較的大きな半導体チップにも適合する。この場合にも、第１段階において接着接続が弱められることにより、半導体チップの取外しプロセスが短縮される。なぜなら、チップグリッパは、非常に短い時間しか使用されないからである。本発明により、半導体チップのフォイルからの剥離は、先行する半導体チップの接合をチップグリッパが行っているときに、すでに実施することができるようになる。
【００４８】
説明されている実施例には、もっとも重要な工程のみが含まれている。これらの工程は、その他の下位工程を含むことができるか、又は必要に応じて該当する段階内で別の順番で行うこともできる。半導体チップの画像の撮影工程及び半導体チップの位置の特定又は実測位置と規定位置との誤差の特定は、半導体チップが部分的にフォイルから剥がされる前、すなわち、次の剥離で半導体チップの位置がもはや変化しなくなってから行うこともできる。
【００４９】
半導体チップのフォイルからの部分的な剥離は、ここで説明されている以外の、その他の機械的手段を使って行うこともできる。
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図１ｃ】
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【図１ｄ】
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【図１ｅ】
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【図１ｆ】
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【図１ｇ】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図２ｄ】
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【図２ｅ】
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【図２ｆ】
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【図３】
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【国際調査報告】
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