(57)【要約】【課題】本発明は、性能、特に動作頻度が更に高められ、また抗転倒モーメントの能力が高められ、且つ構造が簡略化され、製造が容易となり、コストも低減される三軸方向振動複合試験装置を提供する。【解決手段】ワークテーブル面を備える三軸方向振動複合試験装置であって、水平のＸ軸方向の第二軸方向振動駆動機構と水平のＹ軸方向の第三軸方向振動駆動機構とのいずれも十字直線ガイドレールセットであり、垂直のＺ軸方向の第一軸方向振動駆動機構は、上、下合板及び中心パネルを有し、前記上、下合板が上下で対向して水平に配置され、中心パネル板が上、下合板の間に位置し、上、下合板は対向して中心パネルを挟持し、上合板の下面と中心パネルの上面とはすきまばめにより上嵌合平面を構成し、下合板の上面と中心パネルの下面とはすきまばめにより下嵌合平面を構成し、上嵌合平面の隙間及び下嵌合平面の隙間中に高圧油をポンプで注入して静圧油膜を形成して、静圧平面軸受け機構を構成することを特徴とする。【選択図】図４
2012517598.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一つのワークテーブル面を備え、
該ワークテーブル面が、
垂直のＺ軸方向に第一軸方向振動伝達機構によってＺ軸方向振動発生器と連結され、
水平のＸ軸方向に第二軸方向振動伝達機構によってＸ軸方向振動発生器と連結され、
水平のＹ軸方向に第三軸方向振動伝達機構によってＹ軸方向振動発生器と連結される、
三軸方向振動複合試験装置であって、
前記第二軸方向振動伝達機構と前記第三軸方向振動伝達機構が、いずれも十字直線ガイドレールセットであり、
前記十字直線ガイドレールセットはスライドブロックと、横方向ガイドレールと、縦方向ガイドレールとを有し、
前記横方向ガイドレールと前記縦方向ガイドレールとは
前記スライドブロックの両側に十字交差に配置され、且つ
スライドブロックとスライド連結を構成し、
前記横方向ガイドレールと前記縦方向ガイドレールとの両者のうち、
一方が前記Ｘ軸方向或いは前記Ｙ軸方向振動発生器と固定連結され、
もう一方がワークテーブル面と固定連結され、
前記第一軸方向振動伝達機構は、上、下合板及び中心パネルを有し、
前記上、下合板が上下で対向して水平に配置され、
前記中心パネルが前記上、下合板の間に位置し、
前記上、下合板は対向して中心パネルを挟持し、
前記中心パネルの上面と前記上合板の下面とはすきまばめにより上嵌合平面を形成し、
前記中心パネルの下面と前記下合板の上面とはすきまばめにより下嵌合平面を形成し、
前記上、下合板または前記中心パネル上には、上嵌合平面の隙間と下嵌合平面の隙間とに油を注入する注油通路が設けられ、高圧油をポンプで注入し、前記上嵌合平面の隙間及び前記下嵌合平面の隙間中に静圧油膜を形成して、静圧平面軸受け機構を構成し、
該静圧平面軸受け機構と前記Ｚ軸方向振動発生器と、前記ワークテーブル面との連結は、前記中心パネルと前記ワークテーブル面とが固定連結され、前記上合板或いは前記下合板が連結部品によってＺ軸方向振動発生器と固定連結され、
或いは、前記上合板または前記下合板と前記ワークテーブル面とが固定連結され、或いは前記上合板の上面を前記ワークテーブル面とし、前記中心パネルは前記連結部品によって前記Ｚ軸方向振動発生器と固定連結される
ことを特徴とする三軸方向振動複合試験装置。
【請求項２】
前記上、下合板にはラグネジが設けられ、前記上、下合板は前記ラグネジによって連結され、間隔を調整できる挟持構造を構成する
ことを特徴とする請求項１に記載の三軸方向振動複合試験装置。
【請求項３】
Ｚ軸ガイドホルダーをさらに備え、
該Ｚ軸ガイドホルダーは前記Ｚ軸方向振動発生器のステージ体に対向して固定され、
前記Ｚ軸ガイドホルダー上に、Ｚ軸に沿ってガイドホールが設けられ、
前記連結部品の中部は前記ガイドホールを貫通し、前記ガイドホールの内面と連結部品の外面とはすきまばめにより嵌合面を構成し、高圧油をポンプで注入して該嵌合面間に静圧油膜を形成し、静圧軸受けガイド構造を構成する
ことを特徴とする請求項１に記載の三軸方向振動複合試験装置。
【請求項４】
前記ワークテーブル面の周方向から前記Ｚ軸ガイドホルダーの周方向の間に、リング状の防塵膜が連結されている
ことを特徴とする請求項３に記載の三軸方向振動複合試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、力学環境試験設備に関しており、詳しく言うと、Ｘ、Ｙ、Ｚ三軸方向振動複合試験装置に関する。
当該三軸方向振動複合試験装置は、Ｘ、Ｙ、Ｚの三つの軸方向に単独作用する振動環境をシミュレーションするのに用いることができ、Ｘ、Ｙ、Ｚの三つの軸方向に同時に作用する複合振動環境をシミュレーションするのにも用いることができる。
【背景技術】
【０００２】
製品が実際の動作状態に受ける自然振動は、Ｘ、Ｙ、Ｚ三軸方向の複合振動である。
製品の耐振動性能を忠実に反映させ、自然的な振動環境をシミュレーションするため、人々は数年間にわたってトライをし、三軸方向振動複合試験装置を設計した。
【０００３】
現在、国内外で既に公開されている三軸方向振動複合試験装置は多数であり、これらの試験装置の構造は全体的に言うと、試験片の取付けに用いるワークテーブル面１を備え、ワークテーブル面１を基準にし、Ｘ、Ｙ、Ｚ三軸方向にそれぞれ振動発生器２を配置し、ワークテーブル面１と各振動発生器２との間は、軸方向振動伝達機構によって連結される。
軸方向振動伝達機構の役割は、当該軸方向において剛性連結を構成し、振動発生器２の励振力をワークテーブル面１上に伝え、その他の二つの軸方向においてデカップリングすることである。
現在の各式三軸方向振動複合装置の中で、代表的なものは以下の二種類がある。
【０００４】
Ａ、十字直線ガイド型三軸方向振動複合試験装置。
２００８年８月１３日に、中国特許公報に公開された、公開番号１０１２４１０３６Ａで、名称が「振動テーブルにおける三方向励振台の連結機構」である特許出願を参照する。
構造については、添付の図１と図２を参照する。そのＸ、Ｙ、Ｚ三軸方向における力伝達機構（即ち、軸方向振動伝達機構）は、何れも十字直線ガイドレールセット３であり、具体的に、スライドブロック４と、スライドブロック４の上、下端面とそれぞれスライド連結される横方向ガイドレール５と縦方向ガイドレール６とにより構成される。
この三軸方向振動複合試験装置は、軸方向振動伝達機構に十字直線ガイドレールセット３を採用したことにより、全体の構造が簡単であり、十字直線ガイドレールセット３が購入可能であるため、製造コストは低いが、当該装置には以下の欠点がある。
【０００５】
１、各軸方向におけるモーションマスに大きな差異がある。
２、振動発生器２からワークテーブル面１までの力伝達ルートにおいて、連結関節が多いため、振動頻度応答特性に影響を与える。特に、垂直のＺ軸方向の振動応答特性が低く、低頻度の振動試験に適用することをもたらす。
【０００６】
Ｂ、静圧型三軸方向振動複合試験装置。米国特許公報に公開された特許番号５，５４９，００５の米国特許を参照する。
構造については添付の図３を参照する。ワークテーブル面１の下に中間立方体７が固定連結され、該中間立方体７の左右、前後及び下方に押え板８が設けられ、各押え板８と中間立方体７とは平面すきまばめにより嵌合され、各すきまばめ平面間に高圧油を注入して静圧油膜９を形成して三軸方向静圧平面軸受け構造を構成する。
各押え板８の外側には連結軸１０が固定連結され、連結軸１０により各軸方向の振動発生器２と連結される。
簡単に言うと、この三軸方向振動複合試験装置は、静圧平面軸受けを用いて軸方向振動伝達機構とし、ワークテーブル面１と単軸方向振動発生器２とを連結させる。
この三軸方向振動複合試験装置では、作動中に各軸方向における作動部品が少なく、重量が軽く、振動頻度範囲も広く、その動作頻度の上限が１０００ＫＨＺ以上に達し、周波数特性が良い。
ところが、以下の欠点も存在している。
【０００７】
１．製造の面では、三つの軸方向ともに静圧軸受け構造が採用されているので、構造が複雑であり、各嵌合平面の加工要求が高いと共に、困難であり、製造コストも高い。
２．振動試験性能の面では、押え板８を配置するためにワークテーブル面１の下に一定高さの中間立方体７を設ける必要があるので、これによりワークテーブル面１から垂直軸方向の振動発生器２までの距離が大きくなり（即ちワークテーブル面１が高くなる）、ある程度全体の剛性に影響を与える。また、ワークテーブル面１の下に中間立方体７及び数個の押さえ板８を設ける必要があるため、作動部品の重量が増える。剛性が下がることと作動部品の重量が大きくなることにより、動作頻度をさらに上げることを直接制限し、また、ワークテーブル面１が高くなることは、抗転倒モーメントの能力の低下を直接引き起こす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】中国特許公開第１０１２４１０３６Ａ号公報
【特許文献２】米国特許第５，５４９，００５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は三軸方向振動複合試験装置を提供し、その目的は、従来の三軸方向静圧軸受け型三軸振動複合装置をベースにして改良を行い、その製造を容易にし且つコストを下げると共に、動作頻度の上限をさらに上げて動作頻度の範囲を広げ、抗転倒モーメントの能力を増加させることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するため、本発明で採用した技術は以下の通りである。
一つのワークテーブル面を備え、
該ワークテーブル面が、
垂直のＺ軸方向に第一軸方向振動伝達機構によってＺ軸方向振動発生器と連結され、
水平のＸ軸方向に第二軸方向振動伝達機構によってＸ軸方向振動発生器と連結され、
水平のＹ軸方向に第三軸方向振動伝達機構によってＹ軸方向振動発生器と連結される、
三軸方向振動複合試験装置であって、
前記第二軸方向振動伝達機構と前記第三軸方向振動伝達機構が、いずれも十字直線ガイドレールセットであり、
前記十字直線ガイドレールセットはスライドブロックと、横方向ガイドレールと、縦方向ガイドレールとを有し、
前記横方向ガイドレールと前記縦方向ガイドレールとは
前記スライドブロックの両側に十字交差に配置され、且つ
スライドブロックとスライド連結を構成し、
前記横方向ガイドレールと前記縦方向ガイドレールとの両者のうち、
一方が前記Ｘ軸方向或いは前記Ｙ軸方向振動発生器と固定連結され、
もう一方がワークテーブル面と固定連結され、
前記第一軸方向振動伝達機構は、上、下合板及び中心パネルを有し、
前記上、下合板が上下で対向して水平に配置され、
前記中心パネルが前記上、下合板の間に位置し、
前記上、下合板は対向して中心パネルを挟持し、
前記中心パネルの上面と前記上合板の下面とはすきまばめにより上嵌合平面を形成し、
前記中心パネルの下面と前記下合板の上面とはすきまばめにより下嵌合平面を形成し、
前記上、下合板または前記中心パネル上には、上嵌合平面の隙間と下嵌合平面の隙間とに油を注入する注油通路が設けられ、高圧油をポンプで注入し、前記上嵌合平面の隙間及び前記下嵌合平面の隙間中に静圧油膜を形成して、静圧平面軸受け機構を構成し、
該静圧平面軸受け機構と前記Ｚ軸方向振動発生器と、前記ワークテーブル面との連結は、前記中心パネルと前記ワークテーブル面とが固定連結され、前記上合板或いは前記下合板が連結部品によってＺ軸方向振動発生器と固定連結され、
或いは、前記上合板または前記下合板と前記ワークテーブル面とが固定連結され、或いは前記上合板の上面を前記ワークテーブル面とし、前記中心パネルは前記連結部品によって前記Ｚ軸方向振動発生器と固定連結される。
【００１１】
上記の二つの技術提案における関連内容について、以下の通り解釈する。
【００１２】
１．上記提案では、前記Ｚ軸方向、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の振動発生器は、電動振動台、機械振動台、油圧振動台或いは機械振動機構を用いることができ、その中、機械振動機構は機械振動を発生できる機構を指す。
【００１３】
２．上記提案では、前記上、下合板にラグネジが貫通設置され、上、下合板はラグネジによって連結され、間隔が調整できる挟持構造を構成する。使用する際に、ラグネジを回すことにより、上、下合板の間隔を調整し、即ち、嵌合平面間の隙間の大きさを調節して、静圧油膜の剛度を調節する。
【００１４】
３．上記提案では、Ｚ軸ガイドブラケットをさらに有し、当該Ｚ軸ガイドブラケットがＺ軸方向振動発生器のステージ体（stage body）に対向して固定され、前記Ｚ軸ガイドブラケット上にはＺ軸に沿ってガイドホールが設けられ、前記連結部品の中部は前記ガイドホールを貫通し、前記ガイドホールの内面と連結部品の外面とはすきまばめにより嵌め合い面を構成し、当該嵌め合い面間に高圧油をポンプで注入して静圧油膜を形成し、静圧軸受けガイド構造を構成する。
【００１５】
４．上記提案では、前記ワークテーブル面の周方向からＺ軸ガイドブラケットの周方向の間には、リング状の防塵膜が連結され、埃等雑物が静圧軸受けに入ることを防止するように、リング状防塵膜によって、試験片作業台からＺ軸ガイドブラケットの間を周方向に密閉する。
【００１６】
本発明の設計の発想は以下の通りである。
出願人は、数年来、従来の各種の三軸振動複合試験装置（特に従来の三軸方向静圧軸受け型振動複合試験装置）に対し、深く試験分析を行い、数回の試験立証によって、垂直のＺ軸方向振動時の周波数特性、動作頻度の上限等の性能の指数が、水平のＸ軸方向、水平のＹ軸方向に比べ、差が大きいことを発見した。
即ち、垂直のＺ軸方向の振動動作頻度が装置全体の動作頻度を決めることを発見した。よって、出願人は、三軸方向静圧軸受け型振動複合試験装置に対して改良を行う際に、その垂直のＺ軸方向における静圧平面軸受けを保留して軸方向振動伝達機構とし、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の軸方向振動伝達構造を十字直線ガイドレールセットとし、三軸複合の動作頻度範囲を２０００Ｈｚ以上に高めることができる。
詳しく分析すると、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の軸方向振動伝達機構を十字直線ガイドレールセットにしたので、ワークテーブル面の側部に押さえ板を配置する必要がなく、ワークテーブル面から垂直のＺ軸方向におけるＺ軸方向振動発生器までの距離をなるべく短縮することができ（即ち、ワークテーブル面が下げられ）、それによって、全体の剛性が高められ、作動部品の重量が減少される。
剛性の向上と作動部品の重量の低減により、動作頻度の上限が更に高められる。また、十字直線ガイドレールセットについて、購入のものを利用することができるので、構造が簡略化され、製造の難度が低減されると共に、製造コストも低減される。
【００１７】
本発明は以下の三つの使用態様を含む。
【００１８】
第一には、単一軸方向に作用する振動試験である。
例えば、Ｚ軸方向の振動試験を行う際に、Ｚ軸方向の振動発生器を起動させてＺ軸方向の振動を発生させると、ワークテーブル面と振動発生器との間は第一軸方向振動伝達機構によって連結され、軸方向振動伝達方向がちょうどＺ軸方向であり、Ｘ軸方向とＹ軸方向とは自由滑りばめであるため、Ｚ軸方向振動発生器により発生した振動が第一軸方向振動伝達機構によってワークテーブル面に伝わり、単なるＺ軸方向の振動試験が実現できる。Ｘ軸方向及びＹ軸方向の振動を行う際にも、対応する方向における振動発生器を起動させれば良い。作動プロセスは上記とほぼ同じである。
【００１９】
第二には、二軸方向において同時に作用する複合振動試験である。
製品応用中の振動環境は、本質的には三軸で同時に発生するが、その中の一つの軸方向はその他二方向と比べて振動が非常に小さくて無視することができ、若しくはその中の一つの軸方向が振動試験の結果に対する影響が大きくない場合、試験片に対して二軸方向で同時に振動試験を行うことができる。
このような試験は、二つの軸方向に分けてそれぞれ振動させることに比べ、実際の動作状態を更に正確に再現することができる。
使用する際に、対応する二つの軸方向の振動発生器を起動すれば良い。それらが発生する振動は、軸方向振動伝達機構によってワークテーブル面に伝えられて重畳作用するので、二軸方向複合振動試験が実現できる。
【００２０】
第三には、三軸方向において同時に作用する複合振動試験である。
三軸方向の複合振動は自然的な実際の環境に最も近い。使用する際に、三つの振動発生器を起動させ、三つの振動発生器により発生する振動が、軸方向振動伝達機構によってワークテーブル面に同時に重畳作用し、三軸方向複合振動試験が実現できる。
【発明の効果】
【００２１】
従来技術と比べ、本発明は以下のメリットを有する。
【００２２】
１、本発明の特殊構造、即ち、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の軸方向振動伝達機構を十字直線ガイドレールセットにしたことにより、ワークテーブル面の側部に押さえ板を配置する必要がなく、ワークテーブル面から垂直のＺ軸方向におけるＺ軸方向振動発生器までの距離をなるべく短縮することができ（即ち、ワークテーブル面が下げられ）、それによって、全体の剛性が高められる。
【００２３】
２、本発明の特殊構造、即ち、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の軸方向振動伝達機構を十字直線ガイドレールセットにしたことにより、ワークテーブル面の側部に押さえ板を配置する必要がなく、中間立方体が減少されると共に、三軸方向の作動部品の重量が低減される。
【００２４】
３、本発明による、剛性の向上及び作動部品の重量の低減は、動作頻度の上限を更に高める。
【００２５】
４、本発明の特殊構造、即ち、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の軸方向振動伝達機構を十字直線ガイドレールセットにしたことにより、ワークテーブル面が下がり、それによって、抗転倒モーメントの能力が高められる。
【００２６】
５、本発明中の十字直線ガイドレールセットは、購入品を利用することができるため、全体の構造が簡略化され、製造が容易となり、製造コストが大幅に下がる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、従来の十字ガイドレール型三軸方向振動複合試験装置の構造を示した正面概略図である。
【図２】図２は、図１の俯瞰概略図である。
【図３】図３は、従来の静圧型三軸方向振動複合試験装置の構造概略図である。
【図４】図４は、本発明の第１実施例の構造を示した正面概略図である。
【図５】図５は、図４の俯瞰概略図である。
【図６】図６は、本発明の第２実施例の構造を示した正面概略図である。
【図７】図７は、図６の俯瞰概略図である。
【図８】図８は、本発明の第３実施例の構造を示した俯瞰概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
次に、添付の図面及び実施例に合わせて、本発明に関して詳しく説明する。
【実施例１】
【００２９】
添付の図４〜図５に示しているように、一つのワークテーブル面２０を備え、当該ワークテーブル面２０が、垂直のＺ軸方向に第一軸方向振動伝達機構２４によってＺ軸方向振動発生器２１と連結され、水平のＸ軸方向に第二軸方向振動伝達機構２５によってＸ軸方向振動発生器２２と連結され、水平のＹ軸方向に第三軸方向振動伝達機構２６によってＹ軸方向振動発生器２３と連結される、三軸方向振動複合試験装置であって、
前記第一軸方向振動伝達機構２４は、上、下合板２７、２８及び中心パネル２９を有し、前記ワークテーブル面２０の下には連結体４１が設けられ、当該連結体４１の断面が「Ｈ」形状であり、その周方向の壁の上端とワークテーブル面２０の底面とが固定連結され、その中心横方向板体が中心パネル２９であり、前記上、下合板２７、２８は対向して、連結体４１の中心横方向板体（即ち、中心パネル２９）の上下にそれぞれ水平に配置され、中心パネル２９の中心には避け溝４２が設けられ、上、下合板２７、２８の中心に、避け溝４２を介してラグネジ３４が貫通配置され、上、下合板２７、２８はラグネジ３４により連結され、また上、下合板２７、２８は対向して中心パネル２９を挟持する。
避け溝４２の大きさは、本装置のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動範囲より大きくする必要があり、作動中に、ラグネジ３４が溝４２の側壁に接触しない。
上合板２７の下面と中心パネル２９の上面とはすきまばめにより上嵌合平面を構成し、下合板２８の上面と中心パネル２９の下面とはすきまばめにより下嵌合平面を構成する。上、下合板２７、２８上には上嵌合平面の隙間と下嵌合平面の隙間とに油を注入する注油通路３０が設けられ、高圧油をポンプで注入し、上嵌合平面の隙間及び下嵌合平面の隙間中に静圧油膜４５を形成して、静圧平面軸受け機構を構成する。
ラグネジ３４を調整することにより、上、下合板２７、２８の間隔を調整することができ、即ち、嵌合平面の隙間を調節して、静圧油膜４５の剛度を調節する。
【００３０】
前記静圧平面軸受け機構とＺ軸方向振動発生器２１、ワークテーブル面２０との連結関係は以下である。すなわち、前記中心パネル２９は、連結体４１によってワークテーブル面２０と固定連結され、前記下合板２８は、連結部品３７（具体的には中空軸部品）によってＺ軸方向振動発生器２１と固定連結される。
【００３１】
前記第二軸方向振動伝達機構２５と第三軸方向振動伝達機構２６はいずれも十字直線ガイドレールセットであり、各十字直線ガイドレールセットは、1つのスライドブロック３１と、1つの横方向ガイドレール３２と、1つの縦方向ガイドレール３３とを有し、横方向ガイドレール３２と縦方向ガイドレール３３とは、スライドブロック３１の両側に十字交差に配置され、且つスライドブロック３１とスライド連結を構成する。横方向ガイドレール３２と縦方向ガイドレール３３との両者のうち、縦方向ガイドレール３３は直線ガイドレール連結部品４０によってＸ軸方向或いはＹ軸方向振動発生器２２、２３と固定連結され、横方向ガイドレール３２は具体的に連結体４１の周方向の側壁と固定連結され、最終的にワークテーブル面２０上に連結される。
【００３２】
上記装置は、Ｚ軸ガイドブラケット３５をさらに備え、当該Ｚ軸ガイドブラケット３５の底部はＺ軸振動台のステージ体に対向して固定され、前記Ｚ軸ガイドブラケット３５上に、Ｚ軸に沿ってガイドホール３６が設けられ、前記連結部品３７の中部は、前記ガイドホール３６を貫通し、前記ガイドホール３６の内面と連結部品（具体的には中空軸部品）３７の外面とはすきまばめにより嵌め合い面を構成し、且つ当該嵌め合い面間に高圧油をポンプで注入して静圧油膜３８を形成し、静圧軸受けガイド構造を構成する。
連結体４１の底部の周方向からＺ軸ガイドブラケット３５の上端周方向の間に、リング状の防塵膜３９が連結され、使用中に外部の埃等が静圧平面軸受けの内部に入らないように、両者間の周方向の隙間を密閉する。
【００３３】
本実施例は以下の三つの使用方法がある。
第一には、Ｘ、Ｙ或いはＺ軸方向において単独作用する振動試験である。
第二には、二軸方向において同時に作用する複合振動試験である。
第三には、三軸方向において同時に作用する複合振動試験である。
三つの方向において同時に作用する複合振動試験を行う際に、各振動発生器の振動波形を人為的に設計且つ調和することにより、三つの軸方向の複合振動を実際の作業時の自然振動波形に再現させるようにして、実際の振動に最も近い効果に達する。
【実施例２】
【００３４】
図６〜図７に示しているように、一つのワークテーブル面２０を有する三軸方向振動複合試験装置であり、実施例１との区別は、以下の通りである。
すなわち、連結体４１を備えておらず、上合板２７の上面を直接ワークテーブル面２０とし、中心パネル２９の底面に連結部品３７が固定連結され、連結部品３７によってＺ軸方向振動発生器２１の振動体と連結され、下合板２８に連結部品３７を避けるための避け溝４３が設けられ、前記上合板２７の側部は、第二軸方向振動伝達機構２５及び第三軸方向振動伝達機構２６中の横方向ガイドレール３２と直接固定連結される。
上合板２７の底部の周方向からＺ軸ガイドブラケット３５の上端周方向までの間にはリング状の防塵膜３９が連結され、両者間の周方向を密閉して、埃の進入を防止する。
【実施例３】
【００３５】
図８に示しているように、一つのワークテーブル面２０と、三つの振動発生器と、三つの軸方向振動伝達機構とを備える三軸方向振動複合試験装置であり、実施例１との区別は以下の通りである。
すなわち、前記第二軸方向振動伝達機構２５と第三軸方向振動伝達機構２６とは十字直線ガイドレールセットであり、各十字直線ガイドレールセットが、それぞれ横方向のガイドレール３２と二つの縦方向ガイドレール３３と二つのスライドブロック３１とを備え、二つの縦方向ガイドレール３３が平行に並列設置され、横方向ガイドレール３２と二つの縦方向ガイドレール３３とは十字交差分布し、二つの交差点にはそれぞれ一つのスライドブロック３１が設けられ、当然ながら、横方向ガイドレール３２及び縦方向ガイドレール３３は、スライドブロック３１との間にスライド連結される。
二つの並列する第二軸方向振動伝達機構２５又は第三軸方向振動伝達機構２６中の縦方向ガイドレール３３は付加ワークテーブル面４４によってＸ軸方向振動発生器２２又はＹ軸方向振動発生器２３と固定連結される。
【００３６】
その他は実施例１と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００３７】
上記実施例３では、ワークテーブル面２０の面積のサイズが大きいため、この場合は二つの縦方向ガイドレール３３を有する十字直線ガイドレールセットを採用した。
実際の使用において、十字直線ガイドレールセットにおける横方向ガイドレール３２、縦方向ガイドレール３３及びスライドブロック３１の数を制限することがなく、ワークテーブル面２０の面積の大きさ及び厚さに基づいて調整することができる。
【００３８】
上記実施例は、本発明の技術的考え及び特徴を説明するために用いられ、その目的としては、この技術に詳しい者が本発明の内容を理解し、且つ実施できるようにするためであり、これらによって本発明の保護範囲を制限することがない。
本発明の実質的な精神に基づく等価な変更または改良の全ては、本発明の保護範囲内に含まれるべきである。
【符号の説明】
【００３９】
１  ワークテーブル面
２  振動発生器
３  十字交差直線ガイドレールセット
４  スライドブロック
５  横方向ガイドレール
６  縦方向ガイドレール
７  中間立方体
８  押さえ板
９  静圧油膜
１０    連結軸
１１    ガイドレール
１２    ガイドレール
１３    付加ワークテーブル面
２０    ワークテーブル面
２１    Ｚ軸方向振動発生器
２２    Ｘ軸方向振動発生器
２３    Ｙ軸方向振動発生器
２４    第一軸方向振動伝達機構
２５    第二軸方向振動伝達機構
２６    第三軸方向振動伝達機構
２７    上合板
２８    下合板
２９    中心パネル
３０    注油通路
３１    スライドブロック
３２    横方向ガイドレール
３３    縦方向ガイドレール
３４    ラグネジ
３５    Ｚ軸ガイドブラケット
３６    ガイドホール
３７    連結部品
３８    静圧油膜
３９    リング状防塵膜
４０    直線ガイドレール連結部品
４１    連結体
４２    避け溝
４３    避け溝
４４    付加ワークテーブル面
４５    静圧油膜
【図１】
2012517598.tif 000003
【図２】
2012517598.tif 000004
【図３】
2012517598.tif 000005
【図４】
2012517598.tif 000006
【図５】
2012517598.tif 000007
【図６】
2012517598.tif 000008
【図７】
2012517598.tif 000009
【図８】
2012517598.tif 000010
【国際調査報告】
2012517598.tif 000011
2012517598.tif 000012
2012517598.tif 000013
2012517598.tif 000014
2012517598.tif 000015