(57)【要約】  本発明はＰＶ電池又はモジュール製造するのに使用される装置に関する。一つの実施形態において、支持構造は、ＰＶ電池又はモジュールの製造で使用される基板のための支持を提供する。また、支持構造は、エッジで基板を支持し、基板の後端における支持を提供し、処理中に基板を汚さない材料で構成される。
2012519380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持する装置であって、
複数のリンクを有するチェーンを備え、
リンクは中央孔を有し、
中央孔は、頂面と、底面と、前面と、背面と、二つの側面とを有し、
リンクは中央孔の前面の中心から突出するスタブを有し、
スタブは中央孔の二つの側面と整列する方向でスタブの遠位端から外側に突出する二つのポストを有し、
リンクは中央孔の背面から突出する二つの受入れスロットを有し、
二つの受入れスロットは長円形を有し、長円形の長軸がチェーンの進行方向に沿って整列し、長円形の短軸が中央孔の二つの側面に対して平行に整列し、
二つの受入れスロットはスタブの幅よりも大きな距離で分離され、
二つの受入れスロットは中央孔の底面と整列する面にある挿入スロットを有し、
中央孔と二つの受入れスロットは底面上で支持ガイドを有し、
中央孔と二つの受入れスロットは頂面上で基板支持ガイドを有する装置。
【請求項２】
頂面上の基板支持ガイドは基板の先端と後端を受け入れる請求項１に記載の装置。
【請求項３】
リンクは単一の構成である請求項１に記載の装置。
【請求項４】
リンクは異なる構成の組み合わせである請求項１に記載の装置。
【請求項５】
リンクからチェーンを組み立てる方法であって、
第１のリンクと第２のリンクとを備え、
個々のリンクが、中央孔と、二つのポストを有するスタブと、スタブの幅よりも大きな距離によって分離された二つの受入れスロットとを備え、
二つの受入れスロットは底面上に挿入スロットを有し、
第２のリンクのスタブが、第１のリンクの二つの受入れスロットを分離する空間と整列し、第１のリンクの頂面に向かう方向で整列するように、第１のリンクに垂直に第２のリンクを位置決めし、
第２のリンクを第１のリンクの前面の方に動かし、第２のリンクのスタブが第１のリンクの二つの受入れスロットとの間に配置し、
第２のリンクを第１のリンクの頂面の方に動かし、第２のリンクのスタブ上の二つのポストが、第１のリンクの二つの受入れスロットと係合し、
第１のリンクの背面に向かって第２のリンクを回転し、二つのリンクを平坦にするチェーンを組み立てる方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（関連出願に関する相互参照）
本発明は、参照することによってこの明細書に組み込まれている、２００９年２月２７日に出願された米国特許仮出願第６１／１５５，９４４号明細書、２０１０年２月２４日に出願された米国特許出願第１２／７１１，５９５号明細書に関する優先権を主張する。
【０００２】
本発明は、一般に、光起電力（ＰＶ）ソーラー電池又は薄膜（ＴＦ）モジュールの製造で使用される装置に関する。一実施形態において、本発明は、インライン処理装置で搬送されるときのソーラー電池又はＴＦモジュール基板の支持に関する。
【背景技術】
【０００３】
ソーラーエネルギーは、再生可能エネルギーの良い供給源として幅広く受け入れられている。ソーラー光を電気に変換する光起電力（ＰＶ）電池は、過去７０年間研究されている。ＰＶ電池の導入と幅広い利用は進んでいない。これは、変換効率が低く、製造コストが高くなるためである。したがって、電気を作るＰＶ電池を利用する経済性（ドル／ワット）は、石炭、石油、天然ガスなどの従来の供給源に対抗できない。ドル／ワット値は、１ワットのエネルギーを生ずるのに必要なシステム総費用を表す。ＰＶソーラー電池の低い効率とＰＶソーラー電池システムの高い費用は、発電費用を増加させ、従来のエネルギー生成システムに対するＰＶソーラー電池システムの競争力を低下させる。
【０００４】
設計と製造における最近の進歩は、ＰＶソーラー電池の効率を改善し、製造コストを低くし、これにより、ＰＶ系ソーラーエネルギーシステムが経済的に改良されてきている。ＰＶ系ソーラーエネルギーシステムは、近い将来において、従来の電気生成方法を補償するコストで電気を生成することができるようになるであろう。この目的を実現するためには、ＰＶソーラー電池の変換効率を改善し、製造コストを低くすることを続けなければならない。
【０００５】
ＰＶソーラー電池又はＴＦモジュールの製造において、基板は“インライン（in-line）”構造の設備で処理される。すなわち、基板は、連続的に、又は小さいステップで設備を通って動く。設備の入口部分はシステムの一側に位置し、出口部分は反対側に位置する。この形式の設備は“バッチ”システムとは区別され、基板は大きなかたまりで処理され、設備の入口部分と出口部分はシステムの同じ側に見いだされる。インライン設備において、自動化システムは、入口部分から出口部分まで基板を搬送するために使用される。自動化システムは、特に、コンベヤ、ベルト、分離パレット、ローラー、“歩行ビーム”システム、チェーン、ストリングス又はケーブルを備えることができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＰＶソーラー電池又はＴＦモジュールの製造のための現在のインライン設備は、種々の問題がある。これらの問題の例は、高い設備コスト、低い処理能力、大きな設置面積、低性能、自動化システムによる基板の汚れ、処理中における基板の汚れなどである。これらの問題は、ＰＶソーラー電池又はＴＦモジュールの効率を低下させ、又はＰＶソーラー電池又はＴＦモジュールの製造コストを高くすることに、個々に又は組み合わされて作用する。これは、エネルギーシステムの能力を評価するために使用されるドル／ワット値を増加し、ＰＶソーラーエネルギーシステムの採用を遅らせる。したがって、ソーラー電池やＴＦモジュール製造するインライン設備で使用される自動化システムが、これらの問題を解決する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
従って、好ましくは、本発明の一実施形態は、インライン加工装置で搬送される際に、ソーラー電池又はＴＦモジュール基板の支持システムを提供する。支持システムは、基板を受け取り、エッジの周囲で基板で支持する。支持システムは、基板裏側を露出させ、影付け効果がないようにする。さらに、支持システムは、選ばれた材料から製造され、ＰＶ電池又はＴＦモジュール基板が加工中に汚れないようにする。支持システムは、ＰＶ電池又はＴＦモジュールを製造するために使用されるインライン構造で構成された設備と共に使用することに適する。
【０００８】
これらの及び他の効果は、以下で詳細に説明されるように、本発明にしたがって達成される。
【０００９】
理解を容易にするために、図の中の同一要素に対して同一の参照符号が使用される。図面は、一定の縮尺ではなく、種々の要素の相対的な寸法である。
【００１０】
本発明の技術は、図面と共に以下の詳細な説明を考慮することによって、容易に理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態による基板支持システムの一つのリンクを示す図である。
【図２】本発明の一実施形態による基板支持システムの一つのリンクの補助要素を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態による基板支持システムの一つのリンクの補助要素の一つを示す図である。
【図４】基板の取り付け／取り外しを示す本発明の一実施形態による基板支持システムを示す図である。
【図５】補助要素の取り付け／取り外しを示す本発明の一実施形態による基板支持システムを示す図である。
【図６】補助要素の取り付け／取り外しを示す本発明の一実施形態による基板支持システムを示す図である。
【図７】取付けスロットの詳細を示す本発明の一実施形態による基板支持システムを示す図である。
【図８Ａ】基本的な建築物ブロックを示す本発明の一実施形態による基板支持システムを示す図である。
【図８Ｂ】基本的な建築物ブロックを示す本発明の一実施形態による基板支持システムを示す図である。
【図８Ｃ】基本的な建築物ブロックを示す本発明の一実施形態による基板支持システムを示す図である。
【図９Ａ−Ｄ】一つの組み立て方法を示す本発明の一実施形態による基板支持システムを示す図である。
【図１０Ａ−Ｂ】基板の支持を示す本発明の一実施形態による基板支持システムを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下の説明を考慮すると、当業者は、ＰＶソーラー電池又はＴＦモジュールの製造で利用される本発明の技術を容易に認識することができる。
【００１３】
ＰＶソーラーエネルギーシステムの一つの構成は、ＰＶソーラーモジュールである。ＰＶソーラーモジュールの一つの種類は、直列に又はパネルに接続された複数のＰＶソーラー電池で構成することができる。ＰＶソーラー電池は、単結晶半導体基板又は多結晶半導体基板に基づいている。好ましい半導体基板の例は、特に、シリコン、ポリシリコン、ガリウムヒ素である。ここで開示されている範囲内で言葉の経済的使用に関して、“ＰＶソーラー電池”は、ＰＶソーラーモジュールの製造で使用される半導体基板を意味するものと理解される。
【００１４】
ＰＶソーラーモジュールの第２の種類は、硬い物質上又は可撓性基板上で半導体材料の薄いフィルムを適用することによって構成されることができる。半導体材料の薄いフィルムの例は、特に、αシリコン、カドミウムテルル、ＣＩＧＳ（Cu-In-Ga-S; Cu-In-Ga-Se）、有機半導体材料である。典型的な硬質基板の例は、ガラスシートである。ここで開示されている範囲内で言葉の経済的使用に関して、“ＴＦモジュール”は、硬い物質上又は可撓性基板上で半導体材料の薄いフィルムの適用によるＰＶソーラーモジュールの構成を意味する。
【００１５】
インライン装置は、ＰＶソーラー電池又はＴＦモジュールの製造で使用される。ＰＶソーラー電池の場合において、インライン装置は、設備を通る一つ以上のレーンでＰＶソーラー電池を搬送するのに十分な幅の設備を作ることによって、複数のＰＶソーラー電池を処理するのに使用されることができる。ＰＶソーラー電池を製造するのに使用する典型的な基板は、特に、疑似四角形単結晶シリコンウェハー、四角形ポリシリコンスライス、長方形ポリシリコンスライス及びガリウムヒ素ウェハーである。基板の典型的なサイズは、１２５ｍｍ×１２５ｍｍ、１５６ｍｍ×１５６ｍｍ、２１０ｍｍ×２１０ｍｍであり、将来的にはより大きなサイズの基板が対象になる。
【００１６】
ＰＶソーラーＴＦモジュールの場合においては、インライン設備は、設備を通る一つ以上のレーンでＰＶソーラーＴＦモジュールを搬送するのに十分な幅の設備を作ることによって、複数のＰＶソーラーＴＦモジュールを処理するのに使用される。ＰＶソーラーＴＦモジュールを製造するのに使用する典型的な基板は、特に、四角形の硬質基板（ガラスなど）、長方形の硬質基板（ガラスなど）である。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態による基板支持システムの一つのリンク１０１を示す。リンク１０１は、リンクを形成するために組み立てられ、リンクに柔軟性を与える補助要素１０３と１０５を備える。基板（図示しない）は棚１０７で保持される。個々の補助要素１０３，１０５は、組み立て時に基板を取り付けるためにリンクに連結する棚１０７を組み込む。従来のインライン設備は、システムを通る基板を搬送するための自動化システムとしてのワイヤーメッシュベルトを使用する。ワイヤーメッシュベルトは、積極的に基板を受け入れないので、機械的な振動やシステム内のガスの移動の影響のため、基板は処理中に初期の位置から動くことができる。これは、特に、非常に薄い基板にとって有効である。
【００１８】
図２は、リンク１０１を形成するために連結する補助要素１０３の一つを示す。補助要素１０３は、頂面２０１を有する。棚１０７は、補助要素１０３の内側で基板（図示しない）を支持するために頂面２０１に形成されている。基板を載せるための棚１０７は平坦であってもよく、又は隆起領域（図示しない）を備えてもよい。隆起領域の典型例は、特に、こぶ、つめ(tabs)、メサ（mesas）及び三角突起である。隆起領域は、棚１０７からの基板を同じ温度にし、基板から棚１０７に伝導する熱の損失を生じることなく、基板を均一に熱する。
【００１９】
補助要素１０３は、さらに、ノッチ２０３ａ，２０３ｂを備える。ノッチは、リンク１０１の中心に位置する補助要素１０３の端部に形成されている。ノッチは、補助要素の外側に形成されている。ノッチは、さらに、ピン２０５ａ，２０５ｂを備える。ピン２０５ａ，２０５ｂは、長円形であり、長軸と短軸とを有する。長軸に沿う長円形の幅は短軸に沿う長円形の幅より大きい。これらのピンは補助要素の外面の方を向いている。長円形の長軸は補助要素１０３の平面内に配列されている。
【００２０】
補助要素１０３はタブ２０７ａ，２０７ｂを備えている。タブは、リンク１０１の中心から離れ、隣接するリンク（図示しない）の方に向かう補助要素１０３の端部に形成されている。タブは補助要素の外面に形成されている。タブは、さらに、ピン２０９ａ，２０９ｂを備えている。ピンは補助要素の外面に面している。ピン２０９ａ，２０９ｂは、長円形であり、長軸と短軸とを有する。長軸に沿う長円形の幅は、短軸に沿う長円形の幅より大きい。これらのピンは補助要素の外面の方を向いている。長円形の長軸は補助要素１０３の平面内に配列されている。
【００２１】
図３はリンク１０１を形成するために連結する補助要素１０５の一つを示す。補助要素１０５は頂面３０１を有する。棚１０７は、補助要素１０５の内側で基板（図示しない）を支持するために頂面３０１に形成されている。基板を載せるための棚１０７は平坦であってもよく、又は隆起領域（図示しない）を備えてもよい。隆起領域の典型例は、特に、こぶ、つめ(tabs)、メサ（mesas）及び三角突起である。隆起領域は、棚１０７からの基板を同じ温度にし、基板から棚１０７に伝導する熱の損失を生じることなく、基板を均一に熱する。
【００２２】
補助要素１０５は、さらに、ノッチ３０５ａ，３０５ｂとを備える。ノッチは、リンク１０１の中心に位置する補助要素１０５の端部に形成されている。ノッチは、補助要素の内側に形成されている。ノッチは、さらに、スロット３０３ａ，３０３ｂを備える。スロットは補助要素の内側方向に向いている。
【００２３】
補助要素１０５はタブ３０７ａ，３０７ｂを備えている。タブは、リンク１０１の中心から離れ、隣接するリンク（図示しない）の方に向かう補助要素１０５の端部に形成されている。タブは補助要素の外面に形成されている。タブは、さらに、スロット３０９ａ，３０９ｂを備えている。スロットは、補助要素の内面の方を向いている。タブは、孔３１１ａ，３１１ｂを備えている。孔は、後述するように、駆動システムにと整合するように使用される。
【００２４】
補助要素１０３，１０５は、処理中に基板を汚さない材料で構成されている。ある処理において、基板は析出材料で保護され、簡易な熱処理を受けることもできる。この場合、補助要素１０３，１０５は、金属又は合金で構成される。典型的な金属材料は、特に、バナジウムが加えられたニクロム、合金鋼、高温耐熱金属合金で構成される。ある処理において、基板は析出材料で保護されず、反応種で処理されることができる。この場合、補助要素１０３，１０５を形成するために使用される材料が基板を汚さないということが重要である。窒化アルミニウム、窒化硼素、アルミナ、ジルコニアなどの種々のセラミック材料、及び他の材料が典型的な例である。これらのセラミックスは、高温安定性を有し、化学反応に対して不活性である。
【００２５】
補助要素１０３，１０５は、周知の製造方法で形成される。典型例は、特に、機械加工、積層金属シート素材のプレス加工、曲げ加工、鋳造である。補助要素１０３，１０５は、好ましくは、鋳造などの低コストの製造方法で形成される。
【００２６】
リンク１０１は、補助要素１０３，１０５の組み合わせによって形成される。補助要素１０３，１０５は整列され、それらの頂面２０１，３０１は同じ方向に向けられる。補助要素１０３のピン２０３ａ，２０３ｂは、補助要素１０５のスロット３０３ａ，３０３ｂと係合する。組み立ては、図１に示す完全なリンク１０１を形成する。基板（図示しない）は棚１０７によって保持される。多数のリンクは、搬送システムを形成するために連結される。
【００２７】
リンク１０１は、隣接する補助要素１０５のタブ３０７ａ，３０７ｂに対する補助要素１０３のタブ２０７ａ，２０７ｂの相互作用によって隣接するリンクと接続する。補助要素１０３のピン２０９ａ，２０９ｂは、隣接する補助要素１０５のスロット３０９ａ，３０９ｂと係合する。このようにして、所定の長さの搬送システムは、この処理を繰り返すことによって形成される。したがって、搬送システムは、二つのピース、特に、補助要素１０３，１０５の組み合わせから形成される。
【００２８】
図４は、複数のリンクを示す基板搬送システムの複数のレーン（すなわち、三つ）を示す。三つの隣接するリンク１０１ａ，１０１ｂ，１０１ｃは、対応する補助要素１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃ，１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃと共に示されている。リンクは駆動部材４０５と係合し、駆動部材のピン４０７ａ，４０７ｂは補助要素１０５内の孔３１１ａ，３１１ｂと係合する。駆動部材４０５は、３０゜の多角形断面を有し、処理において、リンクは多角形断面に一致するように曲がる。
【００２９】
図４は、右から左への基板の移動を示し、基板の入口部を示す。矢印で示すように、もし駆動軸４０３が反時計方向に回転するならば、基板４０１はリンク１０１に積まれる。基板４０１ｂは、自動化システム（図示しない）によって、補助要素１０３ｂの棚１０７に形成されたポケットに配置される。駆動部材４０５が回転を続けるとき、補助要素１０５ｂはポケットを完成するまで回転し、リンク１０１ｂ内で基板４０１ｂを受け入れる。
【００３０】
システムの出口部において、ウェハー搬送シーケンスは逆転する。補助要素１０３ａは、出力駆動部材の輪郭を追うように下方に曲がる。これは、出力自動化システムに対して基板４０１ａの先端エッジを露出し、基板は棚１０７から取り出される。
【００３１】
インラインツールとして使用される搬送システムは、閉ループベルトである。一般に使用される金属メッシュベルトが損傷すると、ベルトの全てが交換されなければならない。これは、コストがかかると共に、ＰＶ電池又はＴＦモジュールの製造についての生産時間の損失を生じる。本発明の一実施形態において、個々に損傷したリンクは容易に交換可能である。これは、リンク又はリンクの補助要素を９０゜まで上方に曲がるのを許容するため、入力駆動部材及び出力駆動部材の伸び又は分離を減らすことによって達成される。上向きの角度が９０゜になると、損傷したリンク又は補助要素は取り外され、新しいリンク又は補助要素と交換される。
【００３２】
図５は、損傷したリンク又は補助要素の修復又は交換中に、補助要素の取り付け／取り外しを示す基板支持システムを図示する。
【００３３】
図６は、補助要素１０３のピン２０９及び補助要素１０５のスロット３０３の拡大図を示すと共に、損傷したリンク又は補助要素の修復又は交換中に、補助要素の取り付け／取り外しを示す基板支持システムを図示する。補助要素１０３が補助要素１０５に対して９０゜に配置されるとき、長円形状のピン２０９の長軸は、補助要素１０５のスロット３０３と整列する。これは、スロット３０３に入るピンを許容する。
【００３４】
スロット３０３の詳細は、図７に示されている。スロット３０３は、幅の狭い入口７０１と、より幅の広い下部７０３を有している。入口７０１の幅は、長円形のピン２０９の短軸の幅よりも僅かに大きいが、長円形のピン２０９の長軸の幅より小さい。補助要素１０３は補助要素１０５と共通する平面を形成するように回転すると、ピン２０９はスロット３０３内受け入れられる。同様の係合機構は、ピン２０９とスロット３０９の相互作用によって隣接するリンクを接続するために使用される。
【００３５】
本発明の実施形態において、基板は、基板支持システムを形成する平行な“チェーン”の間で保持される。チェーンは、所望の長さのチェーンを作るために組み立てられた基本的な組み立てブロック（すなわち、リンク）で構成されている。
【００３６】
図８Ａ〜８Ｃは、チェーンを形成するために連結するリンク８００の一つを示す。リンク８００は中央孔８０８を備える。中央孔８０８は、“頂面”、“底面”、“正面”、“背面”及び“側面（二つの側面）”を有する長方形の箱の形状で形成されている。図８Ａは、底面から見たとき、すなわち、基板の反対側のリンクの底面から見たときののリンク８００を示す。中央孔８０８は、チェーンを延ばす共に整列する駆動スプロケット（図示しない）上の歯と係合する開口８０９を備える。スタブ８０１は、さらに、スタブの互いに反対側へ突出し、スタブ８０１の遠位端にある二つのポスト８０２を備える。ポスト８０２は、中央孔８０８の両側と整列する方向でスタブ８０１から突出する。受入れスロット８０４（二つある）は、中央孔８０８の背面から突出する。受入れスロット８０４は長円形を有し、長軸がチェーンの延びる方向と整列し、短軸が中央孔の二つの側面に平行に整列する。受入れスロット８０４は、中央孔８０８の両側エッジの方に整列し、それらの間を通るようにスタブ８０１を許容するのに十分な大きさの距離によって分離される。受入れスロット８０４は、さらに、中央孔８０８の底面と整列する面に挿入スロット８０５を備える。挿入スロット８０５は、受入れスロット８０４に係合するようにポスト８０２を許容する大きさである。中央孔８０８と受入れスロット８０４は、底面に支持ガイド８０３を備える。支持ガイド８０３は、ロッド（図示しない）を支持するようにチェーンを整列する。
【００３７】
図８Ｂは、上から見たとき、すなわち、基板を支持するリンクの面から見たときのリンクを示す。中央孔８０８と受入れスロット８０４は、基板支持面８０６を備える。基板支持面８０６は基板に接触する面を小さくするために、傾斜形成されたり、湾曲形成されたり、曲げ形成されたり、又は小さい瘤を有することも可能である。典型的に、支持面８０６は、エッジで基板と接触する。図８Ｂは本発明の一実施形態を示し、リンク８００はその全長に沿う支持面８０６を備える。この形式のリンクのチェーンは、一方向の長さを必要とする。基板は、チェーンの長さに沿う位置で載置される。この形式のリンクのチェーンは、インラインシステムで搬送される間に、基板が進行方向に沿って位置を変えることを妨げない。しかしながら、この形式のリンクのチェーンは、インラインシステムで搬送される間に、基板が進行方向に垂直な方向へ（すなわち、両側へ）位置を変えることを妨げる。
【００３８】
図８Ｃは、上から見たとき、すなわち、基板を支持するリンクの面から見たときのリンクを示す。中央孔８０８と受入れスロット８０４は、基板支持面８０７を備える。基板支持面８０７は、基板に接触する面を小さくするために、傾斜形成されたり、湾曲形成されたり、曲げ形成されたり、又は小さい瘤を有することも可能である。典型的に、基板支持面８０７はエッジで基板と接触する。図８Ｃに示す基板支持面８０７は、基板（図示しない）の先端又は後端を受け入れる。この形式のリンクのチェーンは、インラインシステムで搬送される間に、基板が進行方向に沿って位置を変えることを妨げると共に、インラインシステムで搬送される間に、基板が進行方向に垂直な方向へ（すなわち、両側へ）位置を変えることを妨げる。図８Ｃで示されるように、基板支持面８０７を有するリンクを用いるチェーンは、図８Ｂ及び８Ｃで示されているように、リンクの組み合わせを必要とする。チェーンは、支持面８０６を有するリンクによって分離された基板支持面８０７を有するリンクを必要とする。リンクは、基板の大きさに対応するポケットを形成するように製造されなければならない。インラインシステムは、基板が適切にポケットに位置するように正確に載置されなければならない。
【００３９】
図９Ａ〜９Ｄは、チェーンの部分を形成するために、リンク８００−Ａ及び８００−Ｂを組み立てる方法を示す。図示されるように、底面から見られているリンクが示されている。リンク８００−Ｂは、スタブ８０１が中央孔８０８の底面に垂直になるように配置されている。リンク８００−Ｂのスタブ８０１は、矢印の方に移動し、リンク８００−Ａの二つの受入れスロット８０４の間を移動する。移動の結果は図９Ｂに示されている。
【００４０】
リンク８００−Ｂは、図９Ｂで矢印で示されているように、リンク８００−Ａの頂面に向かう方向に動く。この移動は、リンク８００−Ｂのポスト８０２がリンク８００−Ａの挿入スロット８０５に係合するようにする。この結果は図９Ｃに示されている。
【００４１】
リンク８００−Ｂは、図９Ｂで矢印に示すように、リンク８００−Ａの後方に向かって弧状に回転する。この移動は、リンク８００−Ｂのポスト８０２をリンク８００−Ａの挿入スロット８０５に係合するようにし、リンク８００−Ａの二つの受入れスロットによって受け入れられる。この結果は、図９Ｄで示されている。リンク８００−Ａと８００−Ｂは、堅固に取り付けられ、平坦になる。この手順は、所定の長さのチェーンを作るために繰り返される。
【００４２】
図１０Ａ〜１０Ｂは、基板１０００を支持するために複数のリンク８００から組み立てられた二つの平行なチェーンの使用を示す。図１０Ａは、二つの異なるリンクの使用を示す。基板の先端又は後端を受け入れるリンク８００は基板支持面８０７を有する。基板の中間部分を受け入れるリンク８００は基板支持面８０６を有する。図１０Ｂは、基板支持機構を示す。進行方向に沿って切断した断面で基板支持機構を示す。基板１０００は、頂面でリンク８００に支持されている。リンク８００は、支持ロッド１００１に沿って移動する支持ガイド８０３によって、支持されガイドされている。この支持システムを使用すると、基板の底面が露出し、基板が均一に、又は基板の頂面と底面とが同時に処理される。
【００４３】
リンク８００は、処理中に基板を汚さない材料で構成されている。ある処理において、基板は析出材料によって保護され、簡易な熱処理が成される。この場合、リンク８００は、金属又は合金で構成されることができる。典型的な金属材料は、特に、バナジウムが加えられたニクロム、合金鋼、高温耐熱合金である。ある処理では、基板は析出材料で保護されず、反応種による処理が行われる。この場合、リンク８００を形成するために使用される材料は基板を汚さないということが重要である。窒化アルミニウム、窒化硼素、炭化珪素、アルミナ、ジルコニアなどの種々のセラミック材料が典型例である。これらのセラミックスは、高温安定性を有し、多くの化学反応に対して相対的に不活性である。
【００４４】
リンク８００は周知の製造方法で形成される。典型例は、特に、機械加工、積層金属シート素材のプレス加工、曲げ加工、鋳造である。リンク８００は、鋳造などの低コストの製造方法で形成することが好ましい。
【００４５】
本発明の種々の実施形態が詳細に説明されたが、当業者は他の多くの種々の実施形態を容易に考えることができる。
【図１】
2012519380.tif 000003
【図２】
2012519380.tif 000004
【図３】
2012519380.tif 000005
【図４】
2012519380.tif 000006
【図５】
2012519380.tif 000007
【図６】
2012519380.tif 000008
【図７】
2012519380.tif 000009
【図８Ａ】
2012519380.tif 000010
【図８Ｂ】
2012519380.tif 000011
【図８Ｃ】
2012519380.tif 000012
【図９Ａ】
2012519380.tif 000013
【図９Ｂ】
2012519380.tif 000014
【図９Ｃ】
2012519380.tif 000015
【図９Ｄ】
2012519380.tif 000016
【図１０Ａ】
2012519380.tif 000017
【図１０Ｂ】
2012519380.tif 000018
【国際調査報告】
2012519380.tif 000019