(57)【要約】ウラン濃縮方法の副生成物を、産業規模において効率的および費用効果的にフッ素を製造するためのフッ素源として用いる方法の提供。ウランフッ化物（ＵxＦy、式中ｘおよびｙは整数である）および酸化剤を含む混合物を反応容器中に装填する工程であって、反応容器は、閉じた底部セクションと、該底部セクションと離隔した開口部とを有する工程と；反応容器中で、ウランフッ化物および酸化剤を含む混合物を加熱して、少なくとも１種のウラン酸化物と非放射性気体生成物とを形成する工程と、反応容器内の混合物の深さを制御して、非放射性気体生成物の所望される反応収率および／または反応速度を実現する工程とを含むフッ素抽出方法。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウランフッ化物（ＵxＦy、式中ｘおよびｙは整数である）および酸化剤を含む混合物を反応容器中に装填する工程であって、該反応容器は、閉底部セクションと、該閉底部セクションと離隔した開口部とを有する工程と、
該反応容器中で、ウランフッ化物および酸化剤を含む前記混合物を加熱する工程と、
加熱された混合物から、少なくとも１種のウラン酸化物と非放射性気体生成物とを形成する工程と、
該反応容器内の前記混合物の深さを制御して、該非放射性気体生成物の所望される反応収率および／または該非放射性気体生成物の所望される反応速度を実現する工程と
を含むことを特徴とするフッ素抽出方法。
【請求項２】
前記混合物が装填された該反応容器の開口部を横断して、酸素（Ｏ2）を含有するガスを流す工程をさらに含み、
前記ウランフッ化物および酸化剤を含む混合物を装填する工程は、該半円形断面を有する反応容器内に四フッ化ウラン（ＵＦ4）および二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）を含有する混合物を装填することを含み、
該混合物を加熱する工程は、該反応容器の開口部を横断して前記酸素（Ｏ2）を含有するガスを流しながら、該反応容器内の前記四フッ化ウラン（ＵＦ4）および二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）を含有する混合物を加熱して、下記
３ＵＦ4＋３ＧｅＯ2＋Ｏ2  →  Ｕ3Ｏ8＋３ＧｅＦ4
のように四フッ化ウランを二酸化ゲルマニウムと反応させることを含み、
該反応容器内の前記混合物の深さを制御する工程は、少なくとも９０％の反応収率を実現するように該反応容器内の前記混合物の深さおよび前記酸素（Ｏ2）を含有するガスの流速を制御することを含み、前記深さは、該反応容器の該半円形断面の底部から０．２５インチ（約０．６４ｃｍ）以下である
ことを特徴とする請求項１に記載のフッ素抽出方法。
【請求項３】
前記混合物が装填された該反応容器の開口部を横断して、酸素（Ｏ2）を含有するガスを流す工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のフッ素抽出方法。
【請求項４】
該反応容器内の前記混合物の表面を横断して、前記混合物の表面に概平行な方向に、酸素（Ｏ2）を含有するガスを流す工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のフッ素抽出方法。
【請求項５】
該反応容器内の前記混合物の表面を横断して、酸素（Ｏ2）を含有するガスを流す工程をさらに含み、
前記混合物の深さを制御する工程は、該反応容器内の前記混合物の深さを制御して、該非放射性気体生成物の所望される反応収率および／または該非放射性気体生成物の所望される反応速度を実現する
ことを特徴とする請求項１に記載のフッ素抽出方法。
【請求項６】
前記混合物の深さを制御する工程は、該非放射性気体生成物中の少なくとも９０％の四フッ化ゲルマニウムという所望される反応収率を実現するように前記混合物の深さを制御することを含むことを特徴とする請求項１に記載のフッ素抽出方法。
【請求項７】
前記混合物の深さを制御する工程は、該非放射性気体生成物中の少なくとも９０％の四フッ化ゲルマニウムという所望される反応収率を実現するように前記混合物の深さを制御することを含み、前記深さは、該反応容器の該半円形断面の底部から０．２５インチ（約０．６４ｃｍ）以下であることを特徴とする請求項１に記載のフッ素抽出方法。
【請求項８】
四フッ化ウラン（ＵＦ4）およびフッ素抽出剤を含む混合物を反応容器中に装填する工程であって、前記フッ素抽出剤は、酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ）、二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）、ケイ素（Ｓｉ）、三酸化ホウ素（Ｂ2Ｏ3）および二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）の少なくとも１種を含有する工程と、
前記フッ素抽出剤を用いて前記混合物中の四フッ化ウラン（ＵＦ4）からフッ素を抽出して、加熱された混合物から気体生成物を生成させる工程であって、前記気体生成物はウランの化合物を含まない工程と、
前記気体生成物の所望される反応収率および／または前記気体生成物の所望される反応速度に基づいて、前記反応容器内の前記混合物の深さを選択する工程と
を含むことを特徴とする、ウランフッ化物からフッ素を抽出する方法。
【請求項９】
前記反応容器内に装填された前記混合物の露出表面を横断して、酸素（Ｏ2）を含有するガスを流す工程をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載のフッ素抽出方法。
【請求項１０】
前記反応容器内に装填された前記混合物の露出表面を横断して、前記混合物の露出表面に概平行な方向に、酸素（Ｏ2）を含有するガスを流す工程をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載のフッ素抽出方法。
【請求項１１】
前記反応容器内に装填された前記混合物の露出表面を横断して、酸素（Ｏ2）を含有するガスを流す工程と、
前記酸素（Ｏ2）を含有するガスの流速を制御して、前記気体生成物の所望される反応収率を実現する工程と
をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載のフッ素抽出方法。
【請求項１２】
前記混合物の深さを選択する工程は、前記深さが、前記反応容器の半円形断面の底部から０．２５インチ（約０．６４ｃｍ）以下であるように選択することを特徴とする請求項１に記載のフッ素抽出方法。
【請求項１３】
四フッ化ウラン（ＵＦ4）および六フッ化ウラン（ＵＦ6）の少なくも１種と、フッ素抽出剤とを含む混合物を反応容器中に装填する工程であって、前記フッ素抽出剤は、酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ）、二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）、ケイ素（Ｓｉ）、三酸化ホウ素（Ｂ2Ｏ3）および二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）の少なくとも１種を含有する工程と、
前記反応容器に装填された前記混合物の露出表面を横断して、酸素（Ｏ2）を含有するガスを流す工程と、
前記反応容器に装填された前記混合物の露出表面を横断して、酸素（Ｏ2）を含有するガスを流しながら、前記混合物を加熱して気体生成物を生成させる工程であって、前記気体生成物はウランの化合物を含まない工程と、
前記酸素（Ｏ2）を含有するガスの流速を制御して、前記気体生成物の所望される反応収率および／または該気体生成物の所望される反応速度を実現する工程と
を含むことを特徴とする、ウランフッ化物からフッ素を抽出する方法。
【請求項１４】
前記酸素（Ｏ2）を含有するガスが、前記反応容器内の前記混合物の深さまで浸透する工程をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載のフッ素抽出方法。
【請求項１５】
前記酸素（Ｏ2）を含有するガスを流す工程は、前記反応容器内に装填された前記混合物の露出表面を横断して、前記混合物の露出表面に概平行な方向に、酸素（Ｏ2）を含有するガスを流すことを含むことを特徴とする請求項８に記載のフッ素抽出方法。
【請求項１６】
前記混合物を加熱して気体生成物を生成させる工程は、四フッ化ウラン（ＵＦ4）を少なくとも１種の二酸化ウランへと変換することを含むことを特徴とする請求項８に記載のフッ素抽出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して、フッ素抽出システムおよび関連するプロセスを指向する。
【背景技術】
【０００２】
フッ素は、全ての化学元素の中で最も電気的に陰性である化学元素である。この特性によって、フッ素は多くの独特の用途を有する。たとえば、フッ素は、プロセッサ、記憶デバイス、および／または他のマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための半導体ウェーハのプラズマエッチングにおいて用いられている。別の例においては、フッ素の化合物（たとえば、フルオロポリマー、フッ化カリウム、および氷晶石）は、それらの異常に低い屈折率によって、反射防止コーティングおよびダイクロイックミラーにおいて用いられている。
【０００３】
フッ素の産業的製造技術は、典型的には、フッ化カリウム（ＫＦ）存在下におけるフッ化水素（ＨＦ）の電気分解を含む。電気分解に必要なフッ化水素は、典型的には、相当量のフッ化カルシウム（たとえば、カルシウム蛍石、ＣａＦ2）を有するリン酸塩含有鉱物から得られる。硫酸（Ｈ2ＳＯ4）による処理の際に、リン酸塩含有鉱物は、以下のようにフッ化水素を放出する。
ＣａＦ2＋Ｈ2ＳＯ4  →  ２ＨＦ＋ＣａＳＯ4
【０００４】
しかしながら、このフッ素製造方法はエネルギー集約的である。なぜなら、電気分解は稼働時に大量のエネルギーを必要とするからである。また、前述のプロセスは、鉱物抽出の絶え間ない必要性のために、高い稼働コストを有する恐れがある。
【０００５】
フッ素は、ウラン濃縮プロセスの副生成物として得ることもできる。自然界において、ウランは、約９９．２８４％の238Ｕ、約０．７１１％の235Ｕ、および約０．００５８％の234Ｕとして存在する。235Ｕは核分裂の燃料として使用できるが、他の同位体238Ｕおよび234Ｕは核分裂の燃料として使用できない。よって、核分裂を支持するのに十分な濃度の235Ｕを有するために、ウラン含有鉱物を最初に濃縮しなければならない。ウラン濃縮プロセスの共通の副生成物は劣化ウランのヘキサフルオリド（238ＵＦ6／234ＵＦ6）を含む。劣化ウランのヘキサフルオリドは放射性かつ有害な化合物であり、典型的には多額の費用をかけて保存される。したがって、このフッ素源を産業規模において効率的および費用効果的にフッ素を製造するために用いることは、望ましいであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】開示される実施形態によるフッ素抽出システムの概略図である。
【図２】開示される実施形態による図１のフッ素抽出システムに適当な反応容器を示す図である
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、フッ素抽出システムおよび関連するプロセスの種々の実施形態を記載する。用語「酸化剤」は、一般的に、少なくとも１つのフッ素原子と組み合わせられることによって還元されることが可能な化合物を意味する。特定の実施形態において、酸化剤は、元素状形態にあることができる。たとえば、酸化剤は、元素状形態のケイ素（Ｓｉ）を含むことができる。別の実施形態においては、酸化剤は、化合した形態であることができる。たとえば、酸化剤は、酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ）、二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）、酸化ケイ素(ＳｉＯ2）、三酸化ヒ素（Ａｓ2Ｏ3）、酸化チタン（ＴｉＯ）、三酸化ホウ素（Ｂ2Ｏ3）、および／または少なくとも１つのフッ素原子と化合することができる他の化合物を含む。また、当業者は、本明細書の開示内容がさらなる実施形態を含んでもよいこと、ならびに、図１および図２と関連して以下に記載される実施形態の詳細のいくつかを伴わずに本明細書の開示内容を実施してもよいことを理解するであろう。
【０００８】
図１は、本明細書の開示内容に従うフッ素抽出システム１００の概略図である。図１に示されるように、フッ素抽出システム１００は、直列的に接続された、キャリアガス貯蔵器１０２、反応器１０４、および生成物分離器１０６を含むことができる。任意選択的に、フッ素抽出システム１００は、制御バルブ１０７を介して反応器１０４に接続される酸素貯蔵器１０５を同様に含むことができる。フッ素抽出システム１００の特定の構成要素のみが図１に示されているが、別の実施形態において、フッ素抽出システム１００は、バルブ、アクチュエーター、ポンプ、圧縮機、および／または他の適当なデバイスを同様に含むことができる。
【０００９】
反応器１０４は、反応チャンバー１０８と、反応チャンバー１０８内に配置される反応容器１１０と、少なくとも反応チャンバー１０８に隣接するヒーター１１２とを含むことができる。反応チャンバー１０８は、排出口１１６と離隔された注入口１１４と、注入口１１４および排出口１１６の間の反応器本体１１８とを含むことができる。反応チャンバー１０８は、少なくともその一方の面がニッケル、フルオロポリマー類および／または他の適当なフッ素抵抗性材料で被覆された実質的に剛直な材料（たとえば、３１６Ｌステンレス鋼）で構築することができる。例示された実施形態において、反応器本体１１８は、注入口１１４および排出口１１６の間に延びる概円筒形を有するものとして示されている。別の実施形態において、反応器本体１１８は別の適当な形状および構成を同様に有することができる。
【００１０】
反応容器１１０の上方にヘッドスペース１２０が形成されるように、反応容器１１０を反応チャンバー１０８の内部に配置することができる。反応容器１１０は、固体および／または液体形態の反応剤または反応剤の混合物を保持できるように設計された容器を含むことができる。特定の実施形態において、図２を参照して以下に詳細を記載するように、反応容器１１０は閉底面(closed bottom)１１１を有する容器を含み、閉底面１１１はヘッドスペース１２０に対する開口部１１３に面している。別の実施形態において、反応容器は、他の適当な構成を有することができる。例示された実施形態において、反応容器１１０は、反応チャンバー１０８の反応器本体１１８の上に直接載置されている。別の実施形態において、反応容器１１０は、反応容器１１０を反応チャンバー１０８中に支持するための、ポール、プレート、および／または他の適当な構造要素を同様に含むことができる。
【００１１】
ヒーター１１２は、反応チャンバー１０８に熱エネルギーを供給するための、電気炉、マイクロ波放射器、および／または他の適当な種類のヒーターを含むことができる。例示された実施形態において、ヒーター１１２は、反応チャンバー１０８から離隔しているように示されている。別の実施形態において、ヒーター１１２は、反応チャンバー１０８を少なくとも部分的に取り囲んでもよい。さらなる実施形態において、ヒーター１１２は、反応チャンバー１０８中に組みこまれていてもよい。
【００１２】
生成物分離器１０６は、所望される沸点または所望される範囲の沸点を有する気体状生成物を収集するように設計されてもよい。図１に示されるように、生成物分離器１０６は、冷却浴１２８によって少なくとも部分的に取り囲まれた収集器容器１２１を含むことができる。収集器容器１２１は、収集器注入口１２２、収集器排出口１２４、および収集器注入口１２２に接続されたディップチューブ１２６を含むことができる。例示された実施形態において、冷却浴１２８は、冷却剤１３２（たとえば、ドライアイス、水、氷、液体窒素、および／または所望される冷却温度を有する他の冷却剤）を収容するように設計されたチラー浴１３０を含む。別の実施形態において、チラー浴１３０を省略して、収集器容器１２１を空冷してもよい。さらなる実施形態において、生成物分離器１０６は、図１に示される要素に代えて、または図１に示される要素に加えて、蒸留塔、吸着容器、および／または他の適当な分離部品を含むことができる。
【００１３】
図２は、本明細書の開示内容の実施形態に従う図１のフッ素抽出システム１００に適当な反応容器１１０である。図２に示されるように、反応容器１１０は、エンドキャップ１１９（第１エンドキャップ１１９ａおよび第２エンドキャップ１１９ｂとして別個に識別される）に対して、溶接、接着、締付、および／または他の方法で取り付けられた本体部１１７を含む。例示された実施形態において、本体部１１７は縦軸Ｒに沿って延びる該半円断面を有するハーフパイプの部分を含み、エンドキャップ１１９は、半円形の板を含む。本体部１１７およびエンドキャップ１１９の少なくとも内側を、ニッケル膜で覆うことができる。別の実施形態において、本体部１１７は、矩形、楕円形、台形、および／または他の適当な断面形状および配置を同様に有することができる。本体部１１７および／またはエンドキャップ１１９は、ステンレス鋼（たとえば、３１６Ｌ）、ニッケル、および／または他の適当な材料で構築することができる。
【００１４】
図１および図２の両方を参照して、フッ素抽出システム１００の特定の実施形態を用いて、少なくとも１種のウランフッ化物を酸化剤と反応させることによって、非放射性のフッ素含有化合物を形成することができる。稼働時には、オペレーターは、最初に、反応容器１１０内に反応剤および／または反応剤の混合物１１５を装填する。特定の実施形態において、反応剤の混合物１１５は、少なくとも１種のウランフッ化物と、化学量論量および／または他の適当な比率の酸化剤とを含むことができる。ウランフッ化物は、四フッ化ウラン（ＵＦ4）、六フッ化ウラン（ＵＦ6）、オキシフッ化ウラン（ＵＯ2Ｆ2）および／または他の適当なウランフッ化物を含むことができる。酸化剤は、酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ）、二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）、ケイ素（Ｓｉ）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）、ヒ素酸化物（たとえば、Ａｓ2Ｏ3またはＡｓ2Ｏ5）、アンチモン酸化物（たとえば、Ｓｂ2Ｏ3、Ｓｂ2Ｏ4、およびＳｂ2Ｏ5）、チタン酸化物（ＴｉＯ、ＴｉＯ2、Ｔｉ2Ｏ3、Ｔｉ3Ｏ5、およびＴｉ4Ｏ7）、ホウ素酸化物（たとえばＢ2Ｏ3、Ｂ2Ｏ、およびＢ6Ｏ）、および／または他の適当な金属酸化物を含む。別の実施形態において、反応剤の混合物１１５は、追加および／または異種の化合物を同様に含むことができる。
【００１５】
反応容器１１０内に反応剤の混合物１１５の装填し、所望される反応収率に基づいて深さＤを調整した後に、オペレーターは、反応チャンバー１０８内に反応容器１１０を配置することができる。ついで、オペレーターは、ヘッドスペース１２０を（たとえば真空ポンプを用いて）排気し、反応チャンバー１０８内をキャリアガス貯蔵器１０２からのキャリアガス（たとえば、アルゴン、窒素、ヘリウムなど）でパージすることができる。反応チャンバー１０８内に所望される雰囲気が実現された後に、オペレーターは、ヒーター１１２に電圧を加えて、所望される温度が実現するまで、反応容器１１０内の反応剤の混合物１１５に対してエネルギーを供給する。
【００１６】
理論によって拘束されるものではないが、ウラン酸化物および酸化剤を有する反応剤の混合物が反応して、少なくとも１種のウラン酸化物および非放射性のフッ素含有化合物が形成されると信じられる。たとえば、１つの実施形態において、四フッ化ウラン（ＵＦ4）および二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）を含有する反応剤の混合物１１５は、以下に示すように反応することができる。
３ＵＦ4＋３ＧｅＯ2＋Ｏ2  →  Ｕ3Ｏ8＋３ＧｅＦ4
【００１７】
別の例においては、オキシフッ化ウラン（ＵＯ2Ｆ2）および二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）を含有する反応剤の混合物１１５は、以下に示すように反応することができる。
２ＵＯ2Ｆ2＋ＧｅＯ2  →  ２ＵＯ2＋ＧｅＦ4
【００１８】
さらに別の例においては、四フッ化ウラン（ＵＦ4）および二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）を含有する反応剤の混合物１１５は、以下に示すように反応することができる。
３ＵＦ4＋ＳｉＯ2＋Ｏ2  →  Ｕ3Ｏ8＋３ＳｉＦ4
【００１９】
さらに別の例においては、ウランフッ化物を含有する反応剤の混合物１１５は他の適当な酸化剤と反応して、少なくとも１種のウラン酸化物と非放射性のフッ素含有化合物とを生成することができる。
【００２０】
任意選択的に、反応中に、オペレーターは酸素貯蔵器１０５から反応チャンバー１０８内に酸素（Ｏ2）を導入することができる。本発明者は、反応剤の混合物１１５の深さＤに加えて、導入される酸素の流速が、反応速度および／または反応収率に影響する可能性があることを認識している。よって、特定の実施形態において、オペレーターは、制御バルブ１０７を調節することによって、反応チャンバー１０８中への酸素の流速を所望される反応収率に基づいて制御することができる。別の実施形態において、オペレーターは、別のパラメーターに基づいて、オリフィス板、ベンチュリ、および／または他の適当な流動部品を用いることによって、酸素の流れを同様に制御できる。
【００２１】
キャリアガス、任意選択的に導入される酸素、および気体状の非放射性のフッ素含有化合物を含む生成物ガスは、反応器１０４から生成物分離器１０６へと流動する。そして、生成物分離器１０６は、たとえば、非放射性のフッ素含有化合物を収集器容器１２１内の凝縮物として凝縮させることによって、非放射性のフッ素含有化合物を収集することができる。別の実施形態において、多数の収集器容器（不図示）を用いて、生成物ガスを多数の流れへと分別してもよい。
【００２２】
図２に示されるように、反応剤の混合物１１５は、反応容器内の深さＤを有し、深さＤは反応容器１１０の閉平面１１１を基準とする。本発明者は、反応容器１１０内の反応剤の混合物１１５の深さＤを制御して、反応剤間の反応の所望される収率に影響を与えることができることを認識した。具体的には、以下に示すように、反応剤の混合物の深さを減少させて具体的な数値範囲（たとえば、約０．２５インチ（０．６４ｃｍ））を有するようにすることによって、予期しない驚くほど高い効率の改善が得られることが見いだされた。その結果、オペレーターは、所望される反応収率に基づいて、反応容器１１０への反応剤の混合物１１５の装填の際の当該混合物の深さＤを制御してもよい。
【実施例】
【００２３】
図１のフッ素抽出システム１００と概して類似の構成および機能を有するフッ素抽出システムにおける試験を実施した。四フッ化ウラン（ＵＦ4）および二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ2）の混合物を、ヘリウム（Ｈｅ）および酸素（Ｏ2）を含有するパージガスを用いて、フッ素抽出システム中で華氏約１６００度（約８７１℃）まで加熱し、反応させた。気体状反応生成物を収集器容器中に収集し、および固体残渣を反応容器中に観察した。収集した気体状反応生成物および固体残渣の分析は、以下の反応収率データを与えた。
【００２４】
【表１】
2012526037.tif 000003
【００２５】
前述の表において、効率は、１００％転化を仮定し、分析により得られる実際の収率を理論収率で除算したものとして定義される。パラメータ「Δ効率／Δベッド深さ」は、ベッド深さの変化１インチ（約２．５ｃｍ）当たりのパーセント変化として計算される。
【００２６】
前述の表に示されるように、１．５０インチ（約３．８ｃｍ）から約０．５０インチ（約１．３ｃｍ）まで、ベッド深さ当たりの効率変化は、比較的に変化しないままであった。しかしながら、ベッド深さを０．５０インチ（約１．３ｃｍ）から０．２５インチ（約０．６４ｃｍ）まで減少させると、ベッド深さ当たりの効率の変化（Δ効率／Δベッド深さで表わされる）は、約６．８倍の改善を示した。理論に拘束されるものではないが、このような驚くべき効率の改善は、反応容器１００の開口部１１３を横断して流れる酸素と、反応容器１１０内の反応剤の混合物１１５との接触が改善された結果であると信じられる。反応剤の混合物１１５のより小さい深さＤは、酸素が反応容器１１０内の反応剤の混合物１１５中へより深く浸透することを可能にするであろうと信じられる。そして、その結果として、ウラン酸化物と酸化剤との間の反応効率を改善すると信じられる。
【００２７】
前述のことから、本明細書の開示内容の具体的な実施形態は例示の目的のために本明細書に記載されたものであり、開示内容から逸脱することなしに種々の変形を行うことができることが理解できるであろう。たとえば、１つの実施形態の多くの要素を、他の実施形態の要素に加えて、または他の実施形態の要素に代えて、他の実施形態と組み合わせることができる。したがって、本明細書の開示内容は、添付の特許請求の範囲以外のもので限定されるものではない。
【符号の説明】
【００２８】
１００  フッ素抽出システム
１０２  キャリアガス貯蔵器
１０４  反応器
１０５  酸素貯蔵器
１０６  生成物分離器
１０７  制御バルブ
１０８  反応チャンバー
１１０  反応容器
１１１  閉底面
１１２  ヒーター
１１３  開口部
１１４  注入口
１１５  反応剤の混合物
１１６  排出口
１１７  本体部
１１８  反応器本体
１１９  エンドキャップ
１２０  ヘッドスペース
１２１  収集器容器
１２２  収集器注入口
１２４  収集器排出口
１２６  ディップチューブ
１２８  冷却浴
１３０  チラー浴
１３２  冷却剤
【図１】
2012526037.tif 000004
【図２】
2012526037.tif 000005
【国際調査報告】
2012526037.tif 000006