(57)【要約】【解決手段】真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプのためのステータ−ロータ構造が、ロータ要素(14)と協働する、ロータディスク(16)間に配置された複数のステータディスク(18)を備えている。ステータディスク(18)は、ステータリング(20,22) により保持されている。少なくとも２つのステータリング(20)は、保持要素(28,30) により共に接続された突出部(24)を有している。このため、ステータ−ロータ構造(12)が予め組み立てられることが可能になり、すなわちステータ−ロータ構造(12)がハウジング(10)に配置されることが可能になり、突出部(24)は、ハウジング(10)の隅部(32)の領域に配置され得る。
2012500935.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプのためのステータ−ロータ構造であって、
ロータ要素(14)と協働し、該ロータ要素(14)の長手方向に連続的に配置された複数のステータディスク(18)と、
該ステータディスク(18)を保持する複数のステータリング(20,22) と
を備えた前記ステータ−ロータ構造において、
少なくとも２つの前記ステータリング(20)は少なくとも２つの突出部(24)を夫々有しており、
前記少なくとも２つのステータリング(20)は、保持要素(28,30) により前記突出部(24)で互いに接続されていることを特徴とするステータ−ロータ構造。
【請求項２】
外側の前記２つのステータリング(20)の前記突出部(24)は互いに接続されていることを特徴とする請求項１に記載のステータ−ロータ構造。
【請求項３】
前記突出部(24)は、開口部(26)と、該開口部(26)を介して導かれる好ましくは棒状の保持要素(28)とを有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のステータ−ロータ構造。
【請求項４】
少なくとも３つの、好ましくは４つの前記突出部(24)が前記少なくとも２つのステータリング(20)に設けられており、前記突出部(24)は、好ましくは前記ステータリング(20)の周上に等配されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のステータ−ロータ構造。
【請求項５】
各ステータリング(20,22) は少なくとも２つの突出部(24)を有していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のステータ−ロータ構造。
【請求項６】
前記保持要素は締めねじ(28,30) であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のステータ−ロータ構造。
【請求項７】
前記ステータリング(20)の幅が、前記突出部(24)間で周方向に沿って狭いことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のステータ−ロータ構造。
【請求項８】
真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプにおいて、
ハウジング(10)に配置された請求項１乃至７のいずれかに記載のステータ−ロータ構造(12)を備えていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項９】
基本形状が略筒状である前記ステータ−ロータ構造(12)の突出部(24)は、少なくとも前記ステータ−ロータ構造(12)の領域で、矩形状の前記ハウジング(10)の隅部(32)に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプのためのステータ−ロータ構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプのような真空ポンプは、ステータディスクに囲まれたロータ要素を備えている。このような構造では、ステータディスクは、通常ハーフリングとして形成されており、ロータ要素の個別のロータディスク間に延びている。ステータディスクは、通常ポンプ方向に相当するロータの長手方向に連続してロータディスクと交互に配置されている。ステータディスクを固定するために、ステータリングが設けられている。ステータディスクは、２つの隣接したステータリングによって閉じられるように夫々保持されている。従って、ステータリングは互いに積み重ねられている。組み立てのために、ステータディスクを構成する２つのハーフディスクが、ステータ要素を囲む環状のステータリングと交互に配置される必要があり、その後、ステータ−ロータ構造が筒状の凹部を有するハウジングに挿入される。従って、組立工程が非常に複雑である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】欧州特許出願公開第1090231 号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
欧州特許出願公開第1090231 号明細書から、筒状のカートリッジ内に、ステータディスク及びステータリングと共にロータ要素を配置することが知られている。その後、前記カートリッジがハウジングに配置される。このようにして、ステータ−ロータ構造が、前記カートリッジ内に予め組み立てられ得る。しかしながら、このように予め組み立てるために、前記カートリッジの形状の追加要素が必要とされる。
【０００５】
本発明は、簡易な方法で予め組み立てられ得るステータ−ロータ構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、上記の目的は、請求項１に係るステータ−ロータ構造と、請求項８に従って提供されるような、本発明の前記ステータ−ロータ構造を備えた真空ポンプとによって達成される。
【０００７】
本発明のステータ−ロータ構造では、少なくとも２つのステータリングは夫々、少なくとも２つの突出部、隆起部、突起部又は取手部を有している。前記少なくとも２つのステータリングは、保持要素により突出部で互いに接続されている。少なくとも２つのステータリングを保持要素により接続することによって、更なる全てのステータリングと、前記２つのステータリング間に配置されたステータディスクとが固定される。従って、少なくとも２つの、好ましくは更に多くのステータリングと、対応する数のステータディスクとをロータ要素と共に予め組み立てることが可能である。前記保持要素による固定により、予め組み立てられたユニットになり、その後、該ユニットはポンプハウジングに簡単に挿入され得る。それにより、組立工程が著しく容易になる。
【０００８】
少なくとも２つの外側のステータリングは夫々少なくとも２つの突出部を有することが好ましい。従って、２つの外側のステータリング間に配置された全てのステータディスクは、保持要素によって互いに接続された２つの外側のステータリングによって固定されている。
【０００９】
保持要素は、締め要素、例えばねじであり得る。そのため、ステータリングと前記２つの外側のステータリング間に配置されたステータディスクとを固定すべく、前記２つの外側のステータリングが互いに向かって締め付けられ得る。
【００１０】
好ましくは、突出部は開口部を有しており、開口部を介して、好ましくは棒状の保持要素が導かれている。保持要素は、ねじ、ねじ付棒等であることが好ましい。
【００１１】
ステータリングへの最適には均一な力の伝達を保証するために、且つ組立中にステータリングが互いに対して傾くことを回避するために、突出部を有するステータリングは、好ましくは少なくとも３つの、最も好ましくは４つの前記突出部を有している。突出部は、ステータリングの周上に等配されていることが好ましい。従って、３つの突出部が設けられている場合、該突出部は互いに対して120 °の角度で配置されており、４つの突出部が設けられている場合、該突出部は互いに対して90°の角度で配置されている。
【００１２】
前記２つの外側のステータリングだけでなく更に多くのステータリングが、特には全てのステータリングが、少なくとも２つの突出部を夫々有していることが特に好ましい。任意には、例えば、夫々の第２ステータリングの突出部のみが互いに接続されているように、隣接したステータリングの突出部が互いに対してずらされてもよい。
【００１３】
保持要素への取付のために突出部を設けるという発明性により、ステータリングは、突出部間の幅を縮小すること、特には幅を最小にすることが可能である。ステータディスクを正確な位置で保持するために、ステータリングが突出部間のステータリングの幅領域で所望の剛性を有すればよいので、突出部間のステータリングの幅は、公知のステータリングと同様に選択され得る。
【００１４】
本発明は、好ましくは上記のように予め組み立てられたステータ−ロータ構造が配置されているハウジングを備えた真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプに関する。ステータ−ロータ構造の基本形状は略筒状であり、突出部、及び突出部を互いに接続する保持要素は、前記略筒状のステータ−ロータ構造から外向きに突出していることが特に好ましい。好ましくは予め組み立てられたステータ−ロータ構造は、矩形状の、好ましくは正方形状のポンプハウジングに配置されている。保持要素に加えて突出部もポンプハウジングの隅部に配置されていることが好ましい。従って、突出部及び保持要素は、そうしなければデッドスペースであるポンプハウジングの領域に設けられている。このために、ステータリングに突出部を設けているにもかかわらず、ポンプハウジングを大きくする必要がないという利点がある。従って、小さな構造体積を維持しながら、比較的小さなポンプハウジングに、予め組み立てられたステータ−ロータ構造を収容することが可能になる。特には、変更されていない既存のポンプハウジングに、発明性があるステータ−ロータ構造を配置することが可能である。このため、カートリッジが設けられている構成と比較すると、カートリッジはステータリングを完全に囲み、その結果、より大きなポンプハウジングが必要とされるので本発明は利点がある。
【００１５】
本発明を、添付図面を参照して好ましい実施形態により以下に更に詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】ポンプハウジングに配置された本発明に係るステータ−ロータ構造を示す縦断面図である。
【図２】正方形状のポンプハウジングに配置された本発明に係るステータリングを示す略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
ポンプハウジング10には、ステータ−ロータ構造12が配置されており、前記ポンプハウジング10は、ステータ−ロータ構造12の領域でステータ−ロータ構造12の長さに沿って略正方形状の断面を有している。
【００１８】
前記ステータ−ロータ構造12は、環状のロータディスク16を有するロータ要素14を備えており、該ロータ要素14は一体として形成されていることが好ましい。前記ロータディスク16間に、ステータディスク18が夫々配置されており、ステータディスク18は、例えば２つのハーフリングから夫々構成されている。前記ステータディスク18は、ステータリング20,22 によって保持されている。示された実施形態では、同一に形成されたステータリング22は、同じく同一に形成された２つの外側ステータリング20間に配置されている。全てのステータリングが、本発明に係る外側ステータリング20に対応して形成され得る。
【００１９】
示された実施形態では、前記２つの外側ステータリング20は４つの突出部24を夫々備えている。各突出部24は開口部26を有している。該開口部26を介して保持要素28が夫々嵌合されており、該保持要素28は、示された実施形態ではねじとして形成されており、ナット30によって固定されている。ナット30を設ける代わりに、雌ねじを開口部26に形成することも可能である。従って、個別のステータリング20,22 と、ロータディスク16間に配置されたステータディスク18とを連続的に配置して、ステータリング20,22 及びステータディスク18を保持要素28,30 を用いて固定することが可能である。このようにして、ステータ−ロータ構造12が予め組み立てられることが可能であり、その後ポンプハウジング10に挿入される。
【００２０】
特に図２から明らかであるように、突出部24はポンプハウジング10の隅部32に配置されている。このため、外形寸法が比較的小さいポンプハウジング10を設けることが可能であり、それにもかかわらず予め組み立てられたステータ−ロータ構造12を使用することが可能である。
【００２１】
組立工程の更なる簡略化が、全てのステータリング22にも突出部24を設けることにより実現され得る。このため、所与の場合に応じて、ステータリング22の位置が直ちに固定されるように、組立工程中にステータリング22を、垂直に直立したボルト28に取り付けることが可能になる。
【図１】
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【図２】
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【国際調査報告】
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2012500935.tif 000006
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