(57)【要約】圧力を測定するための光ファイバーシステムは、圧力センサー素子であって、少なくとも２つの平行する部分反射表面（５、７）を有し、前記表面の１つは、隔壁（６）両側の圧力差の結果として、もう１つの固定された前記表面に対して移動可能である隔壁上に配置され、前記表面は、前記２つの表面間の実際の距離に応じて、前記２つの表面に略垂直に入射して反射される光の干渉現象を起こすように配置される圧力センサー素子を有する。前記圧力センサー素子は少なくとも８００℃までの連続温度に耐える安定した物質から成り、前記隔壁（６）は炭化ケイ素から成り、前記センサー素子に接続している前記光ファイバー（３）の少なくとも一部（２３）は少なくとも８００℃の連続温度を耐えられる物質から成ることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力を計測するための光ファイバーシステムであって、
圧力センサー素子（４）であって、少なくとも２つの平行する部分反射表面（５、７）を有し、そのうち１つは隔壁（６）両側の圧力差の結果としてもう１つの固定された前記表面に対して移動可能である前記隔壁上に配置され、前記表面は、前記２つの表面（５，７）間の実際の距離に応じて、前記２つの表面に略直角に入射して反射される光の干渉現象を起こすように配置された圧力センサー素子と、
発光するように設定された光源（１）と、
前記光源から光を受信し、前記圧力センサー素子に対して１方向に光を伝送し、および前記表面から反射された光の形で計測信号を受信し、反対の方向に伝送するように設定された光ファイバー（３）と、
前記計測信号を受信し、同信号を評価して前記隔壁の圧力値を測定するように設定された配列（１２）と、
を備え、
前記圧力センサー素子（４）は少なくとも８００℃までの連続温度において安定した物質から成り、前記センサーの少なくとも前記隔壁（６）は炭化ケイ素から成り、前記センサー素子に接続している前記光ファイバー（３）の少なくとも前記部分（２３）は、少なくとも８００℃の連続温度に耐えられる物質から成ることを特徴とする、光ファイバーシステム。
【請求項２】
前記圧力センサー素子（４）の実質的に全体は、炭化ケイ素から成ることを特徴とする、請求項１に記載の光ファイバーシステム。
【請求項３】
前記圧力センサー素子（４）は空洞（１８）を備え、前記空洞は前記光ファイバーに隣接する前記固定表面を画定する上面（１７）と前記光ファイバーから離間した前記隔壁（６）によって画定される底面（１９）とを有することを特徴とする、請求項１または２に記載の光ファイバーシステム。
【請求項４】
前記空洞（１８）は閉鎖されており、前記配列（１２）は前記空洞外側の媒質の静圧値または動圧値を測定するように設定されることを特徴とする、請求項３に記載の光ファイバーシステム。
【請求項５】
前記空洞（１８）は前記圧力センサー素子（４）周囲の媒質へ通じる溝状開口部（２１）を有し、前記配列（１２）は前記媒質の動圧値を測定するように設定されることを特徴とする、請求項３に記載の光ファイバーシステム。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の光ファイバーシステムであって、前記隔壁（６）は、前記固定表面（７）に対して移動する際に、前記光ファイバーから光が当たる前記表面（５）の外側の区域（２０）で変形するように設計され、前記隔壁の前記反射表面の外観が前記隔壁の該移動によって影響を受けないようにすることを特徴とする、光ファイバーシステム。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の光ファイバーシステムであって、前記光ファイバーシステムは蛍光部材（８’、８”）を備え、前記蛍光部材は前記圧力センサー素子（４）の前記反射表面（５、７）上流に位置する前記光源（１）から伝送された前記光の経路内に配列され、前記光源からの前記光の一部を吸収して、光励起の結果として生じる二次光を前記光ファイバーの反対の方向に再送し、評価用に提供するように設定されることを特徴とする、光ファイバーシステム。
【請求項８】
前記蛍光部材（８”）は前記圧力センサー素子（４）と接続して配置され、前記圧力センサー素子として、前記圧力センサー素子周囲の媒質と同じ温度にさらされ、前記蛍光部材は、前記二次光の温度依存性スペクトル分布、または最後に温度依存性であると言及された前記光の時間遅延定数の形式で、蛍光温度依存性を有する物質から成り、前記システムはさらに前記蛍光部材から再送された前記光を受信し、前記光から前記圧力センサー素子周囲の前記媒質の温度値を測定するための手段（１５）を備えることを特徴とする、請求項７に記載の光ファイバーシステム。
【請求項９】
前記手段（１５）は前記温度に関する情報を前記配列（１２）に送信するように設定され、前記配列は前記隔壁（６）の前記圧力を測定する際に、該温度情報を考慮するように設定されることを特徴とする、請求項８に記載の光ファイバーシステム。
【請求項１０】
前記蛍光部材（８”）はチタンドープサファイアまたはドープ炭化ケイ素層から成ることを特徴とする、請求項８または９に記載の光ファイバーシステム。
【請求項１１】
前記センサー素子に接続する前記光ファイバーの前記部分（２３）はサファイアから成ることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の光ファイバーシステム。
【請求項１２】
前記センサー素子に接続する前記光ファイバーの前記部分（２３）の長さは１ｃｍから１００ｃｍ、または１ｃｍから１０ｃｍであることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の光ファイバーシステム。
【請求項１３】
前記光ファイバーは石英系標準ファイバー部分（２２）を有し、前記システムが前記標準ファイバー部分を、前記センサー素子に接続する前記光ファイバーの前記部分（２３）に接続させるように設定される手段（２４）を備えることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の光ファイバーシステム。
【請求項１４】
前記接続手段（２４）は前記ファイバー部分の１つから別のファイバー部分に光線を伝送するためのレンズを備えることを特徴とする、請求項１３に記載の光ファイバーシステム。
【請求項１５】
内燃機関およびガスタービンなどにおける燃料燃焼プロセスと関連して圧力を計測することを目的とする、請求項１から１４のいずれかに記載の光ファイバーシステムの使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般的に、圧力計測用の光ファイバーシステムに関する。しかし、本発明は圧力計測を実行する能力を備えた光ファイバーシステムを対象とするが、該システムは温度などのその他の物理量を計測するように設定されてもよい。さらに、静圧および/または動圧を計測するための光ファイバーシステムも含まれる。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバーシステムは、光ファイバーによる信号の送信が電磁雑音に影響されないため、電子センサーに基づくシステムに比べて複数の利点を有する。そのため、圧力計測用の該光ファイバーシステムは、電磁波による激しい障害が起こる可能性のある場所で使用されることが好ましい。さらに、該システムの光学圧力センサー素子は対応する電子センサーよりも高温性能を有することが可能である。
【０００３】
本発明はより具体的には、圧力を計測するための光ファイバーシステムであって、
・圧力センサー素子であって、少なくとも２つの平行する部分反射表面を有し、前記表面の１つは、隔壁両側の圧力差の結果として、もう１つの固定された前記表面に対して移動可能である隔壁上に配置され、前記表面は、前記２つの表面間の実際の距離に応じて、前記２つの表面に略垂直に入射して反射される光の干渉現象を起こすように配置された圧力センサー素子と、
・発光するように設定された光源と、
・前記光源から光を受信し、前記圧力センサー素子に対して１方向に光を伝送し、および前記表面から反射された光の形で計測信号を受信し、反対の方向に伝送するように設定された光ファイバーと、
・前記計測信号を受信し、前記信号を評価して前記隔壁の圧力値を測定するように設定された配列と、
を備える光ファイバーシステムおよび該システムの使用に関する。
【０００４】
この種の光ファイバーシステムは特許文献１および特許文献２の例を通じて既知であり、それに応じて圧力値を測定するためのいわゆるファブリー・ペロー空洞の前記２つの表面に入射する光の干渉現象の研究に基づいている。これらの干渉現象は前記２つの表面を離間する距離と、それに応じて、もう１つの固定表面に対する隔壁上の前記表面の移動の関数となる。該既知の光ファイバーシステムは多くの状況下で信頼できる圧力計測を提供することができるが、計測をさらに信頼できるものにするため、および該光ファイバーシステムの使用分野を拡大するために該システムを改良する試みが続けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】スウェーデン特許第５１０４４９号
【特許文献２】米国公開特許第２００２／０００３９１７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、少なくともいくつかの側面で、既知である光ファイバーシステムに比べて改善されている光ファイバーシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、前記目的は、前記圧力センサー素子が少なくとも８００℃までの連続温度において安定している物質から成り、前記センサーの少なくとも前記隔壁が炭化ケイ素（ＳｉＣ）から成り、前記センサー素子に接続している前記光ファイバーの少なくとも一部が、少なくとも８００℃の連続温度に耐えることができる物質から成るようなシステムを提供することによって、実現できる。
【０００８】
該圧力センサー素子を有する光ファイバーシステムは厳しい環境下において、特に、例えば内燃機関およびガスタービンにおける燃料燃焼プロセスなどの高温環境下において、信頼できる圧力計測を提供するために用いることができる。炭化ケイ素は８００℃よりかなり高い温度、少なくとも約１５００℃などでも安定している。そのため、圧力センサー素子の前記２つの表面間の実際の距離は、１０００℃から１５００℃の温度の範囲で隔壁の温度には実質的には影響されないが、ケイ素（Ｓｉ）から成る隔壁の場合は違う結果となる。従って、圧力センサー素子は少なくとも１０００℃までの連続温度において安定している物質から成ることが好ましく、前記センサー素子と直接接続する光ファイバーの前記部分は、少なくとも１０００℃の連続温度に耐えられる物質から成ることが好ましい。
【０００９】
センサーの隔壁を炭化ケイ素製とする別の利点は、炭化ケイ素のヤング率がケイ素のヤング率よりもおよそ３倍高いことである。そのため、この種の光ファイバーを用いて高周波で変化する動圧を計測することが可能になり、ケイ素の隔壁を有するセンサーでは記録できない圧力変動を記録できるようになる。
【００１０】
本発明の一実施形態によれば、実質的にすべての圧力センサー素子は炭化ケイ素から成る。該圧力センサー素子の高温特性が卓越し、および高周波圧力変化を正確に計測できる性能も改善されるため、実質的にすべての圧力センサー素子が炭化ケイ素から成ることが好ましい。この状況において「炭化ケイ素から成る」ということは、炭化ケイ素から成る隔壁／圧力センサー素子上に、別の物質から成る任意の種類の薄膜を適用した場合も含むものと解釈されるべきであることが指摘される。
【００１１】
さらに、この種の光ファイバーの圧力センサー素子はいわゆるＭＥＭ装置（超小型電気機械装置）であることが好ましい。
【００１２】
本発明の別の実施形態によれば、センサーの前記固定表面は前記隔壁と共通する結晶構造を有する炭化ケイ素の単結晶層から形成される。前記層からの隔壁への結晶構造の移転によって、センサーは非常に明確な特性を持つ構造を受容し、これがこの種のセンサーの重要な利点となる。
【００１３】
本発明の別の実施形態によれば、前記圧力センサー素子は空洞を備え、空洞の上面は前記光ファイバーに隣接する前記固定表面を画定し、空洞の底面は前記光ファイバーから離間した前記隔壁によって画定される。
【００１４】
本発明の別の実施形態によれば、前記空洞はその隔壁側で、隔壁を貫通する開口部を覆う層によって閉鎖される。従って、隔壁を貫通する開口部は、前記固定表面と隔壁の間の空隙を作る際に存在していてよく、その後、この開口部は少なくとも８００℃までの連続温度で安定している物質、好ましくはここでも炭化ケイ素から成る前記層で覆われることで閉鎖され、隔壁側の空洞が閉鎖される。
【００１５】
本発明の別の実施形態によれば、前記空洞は閉鎖され、前記配列は前記空洞外側の媒質の静圧値または動圧値を測定するように設定される。空洞はセンサー外側の静圧値を測定するために閉鎖されなければならないが、ほとんどの場合には、前記媒質の動圧が前記配列により計測され、その後測定される際に、前記空洞が前記圧力センサー素子周囲の媒質まで溝状の開口部を有することが望ましい。
【００１６】
本発明の別の実施形態によれば、前記隔壁は前記固定表面に対して移動する際に、前記光ファイバーから光が当たる前記表面の外側の区域で変形するように設計され、前記隔壁の反射表面の外観が前記隔壁の該移動によって影響を受けないようにする。これにより、前記圧力値を高精度で測定することが可能になる。
【００１７】
本発明の別の実施形態によれば、光学システムは蛍光部材を備える。蛍光部材は、圧力センサー素子の前記反射表面上流に位置する前記光源から伝送された前記光の経路内に配置され、前記光の一部を吸収して、光励起の結果として生じる二次光を前記光ファイバーの反対の方向に再送し、評価用に提供するように設定される。該蛍光部材が存在することで、前記圧力を計算する際に、光路内の光の損失を適切に考慮して前記配列の校正が可能となる。光伝送ファイバーの状態も前記二次光を評価することで確認できる。前記蛍光部材はまた、以下で述べるその他の種類の評価にも用いることができる。
【００１８】
本発明の別の実施形態によれば、前記蛍光部材は前記圧力センサー素子と接続して配置され、圧力センサー素子として、圧力センサー素子周囲の媒質と同じ温度にさらされる。前記蛍光部材は蛍光温度依存性を有する物質から成り、該物質は前記二次光の温度依存性スペクトラム分布、または最後に温度依存性であると言及された光の時間遅延定数の形を取る。本システムはさらに、前記蛍光部材から再送された前記光を受信するように設計された手段を備え、前記光から圧力センサー素子周囲の媒質の温度値を測定する。これにより、光ファイバーシステムは圧力センサー素子周囲の媒質の温度を計測するためにも用いることができる。また、前記手段を設定して、前記配列に対してこのように取得した温度情報を送信させることによって、該温度情報を用いることができる。次に前記配列を設定して、前記隔壁の前記圧力を測定する際に該温度情報を考慮させることによって、圧力測定の精度をさらに高めることもできる。
【００１９】
本発明の別の実施形態によれば、前記蛍光部材はチタンドープサファイアから成る。チタンドープサファイアが圧力センサー素子と接続して配置される場合には、該蛍光部材は少なくとも１０００℃の連続温度にも耐えるため、チタンドープサファイアは蛍光部材に用いる適切な物質である。
【００２０】
本発明の別の実施形態によれば、前記蛍光部材はドープ炭化ケイ素層から成る。これは別の有利な方法となり、前記光励起が前記二次光を生成するために適切なエネルギーレベルを有する蛍光部材を得ることができる。さらに、該部材はまた優れた高温安定特性を持つ。
【００２１】
本発明の別の実施形態によれば、前記センサー素子に接続した前記光ファイバーの前記部分はサファイアから成り、前記高温にも耐える。
【００２２】
本発明の別の実施形態によれば、前記センサー素子に接続する前記光ファイバーの前記部分は１ｃｍから１００ｃｍまたは１ｃｍから１０ｃｍの長さを有する。システムが通常意図する用途において、該連続した高温は前記間隔の上限を超えて存在しないため、前記連続温度に耐えるために必要な光ファイバーの長さは、少なくとも前記間隔の１つの範囲内に配置される。しかし、光ファイバーは言うまでもなく、前記部分の端部を超えて同じ物質からできていてもよい。
【００２３】
本発明の別の実施形態によれば、前記光ファイバーは、石英系標準ファイバー部分を有し、本システムは前記標準ファイバー部分を、前記センサー素子に接続する前記光ファイバーの前記部分に接続させるように設定された手段を備える。高温安定性が必要ではない場合に該石英系標準ファイバー部分を用いることによって、大幅なコスト削減をもたらすだけではなく、伝送した光の減衰程度が高温ファイバーよりも該標準ファイバーの方がはるかに少ないため、前記配列に届く計測信号の濃度がこれにより大幅に増加する。
【００２４】
本発明の別の実施形態によれば、前記接続手段は、前記ファイバー部品の１つから別のファイバー部品へ光線を伝送するためのレンズを備え、光伝送路は複数のファイバー部分から形成されてもよい。
【００２５】
本発明の別の実施形態によれば、前記光源は単色光源であり、例えば、発光ダイオードまたはレーザーダイオードであり、前記ファイバーに対して係合計数が高いものが好ましい。
【００２６】
本発明はまた、本発明のいずれかの実施形態による光ファイバーシステムの特徴を最大に利用できる、内燃機関およびガスタービンなどにおける燃料燃焼プロセスに関連して、圧力計測を目的とする該光ファイバーシステムの使用に関する。
【００２７】
本発明の有利な点および有利な特徴は以下に記載する本発明の実施形態の説明によって明らかになろう。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
添付した図面を参照し、実施例として引用した本発明の実施形態を以下に詳細に説明する。
【００２９】
図面において、
【図１】図１は本発明の一実施形態による光ファイバーシステムを示す、非常に簡略化した回路図である。
【図２】図２は本発明の第一の実施形態による光ファイバーシステムの圧力センサー素子を示す概略図である。
【図３】図３は本発明の第二の実施形態による光ファイバーシステムの圧力センサー素子を示す概略図である。
【図４】図４は本発明の一実施形態による光ファイバーシステムの一部を示す、簡略図である。
【図５】図５は本発明の別の実施形態による図４に対応する図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
図１は本発明に関連する種類の光ファイバーシステムの全体的な構造を非常に簡略化して示す。本光ファイバーシステムの構築と操作方法を以下に簡単に説明し、この種の光ファイバーシステムをさらに説明するために特許文献１を参照する。
【００３１】
光ファイバーシステムは、発光ダイオードまたはレーザーダイオードなどの光源１を備え、以下で詳しく説明するが、約７５０ｎｍなどの適切な波長を持つ単色光を発光する。光源１が発光する光は光ファイバー３の分岐部２に伝送され、２つの平行する部分反射表面を有する圧力センサー素子４に到達する。反射表面のうち１つの表面５は隔壁６上に配置され、隔壁６は、隔壁６両側の圧力差の結果として、もう１つの固定された前記表面７に対して移動可能である。前記表面５と７の間の典型的な距離は、２つの表面間の実際の距離に応じて、２つの表面に対して略直角に入射して反射される光の干渉現象が生じるように選択される。前記隔壁両側の圧力差がない場合の静止位置での２つの表面の距離は、前記固定表面および隔壁上の表面から反射される光の干渉の結果として生じる、信号の谷と頂点の間の領域内で移動する。これは、前記隔壁両側の圧力差がないことから隔壁が極端な位置間を移動するためである。これにより、前記隔壁の圧力差がこの計測範囲において前記距離の単調関数であると言える。
【００３２】
本システムはまた、蛍光特性を有するネオジムまたは別の希土類金属イオンでドープしたガラス板などの蛍光部材８を備える。蛍光部材は、圧力センサー素子の２つの反射表面上流の光源から伝送された前記光の経路内に配置され、光源からの前記光の一部を吸収し、光励起から発生する二次光を前記光ファイバーの反対方向に再送し、評価用に提供するように設定される。この光励起は長い波長を持つ二次光となり、その波長はネオジムイオンの場合は約１０６０ｎｍであり、光源１が発光する光の波長よりも長くなる。
【００３３】
光ファイバーシステムは光線分配器９をさらに備える。光線分配器９は伝送された光を、分岐部１０にある光ファイバー３の圧力センサー素子４から離れた方向へ分配し、分岐部１０は圧力センサー素子４の前記２つの平行する表面が反射する光を検出器１１に伝送し、検出器１１は電気信号を配列１２にさらに送信する。配列１２は本信号を評価し、前記隔壁に延在する圧力値を測定するように設定される。光線分配器９は、蛍光部材８が発する前記二次光を別の分岐部１３に分配し、検出器１４が二次光を検出し、適切な信号に変換する。検出器１４は前記信号を手段１５にさらに送信し、手段１５は圧力センサー素子周囲の媒質の温度値を測定するように設定される。これは前記二次光のスペクトル分布が温度依存性であること、または最後に言及した光の時間遅延定数が蛍光部材８に選択した物質に対して温度依存性であることによって、可能となる。
【００３４】
温度測定手段１５はさらに前記温度に関する情報を配列１２に送信するように設定され、配列１２は前記隔壁の前記圧力を測定する際に、該温度情報を考慮するように設定される。
【００３５】
手段１５および配列１２は温度および圧力に関する情報を、装置１６がそれらの量を表示するため、装置１６に提供するように設定される。
【００３６】
図２は本発明の光ファイバーシステムの圧力センサー素子４を概略的に示す。圧力センサー素子はポリタイプ３Ｃなどの結晶化炭化ケイ素の第一の層１７を持ち、閉鎖した空洞１８の前記固定表面７として上面を形成し、隔壁６によって形成される底面１９を持つ。第一の層１７および隔壁６は、第一の層から隔壁６への単結晶構造の移転により共通の結晶構造を持つ。底面１９の中心にある固定表面７および可動表面５はこのような方法で形成され、お互いに平行であり、入射光を部分的に反射する。さらに、空洞１８はその隔壁側で層２５によって閉鎖され、層２５は空洞形成中に隔壁を貫通して存在する開口部を覆うことは明らかである。
【００３７】
隔壁６は固定表面に対して移動する際に、光ファイバーからの光が当たる表面５外側の区域２０の中で変形するように設計される。これは隔壁６の直径を前記表面５の直径よりも略大きくすることによって実現される。隔壁の変形は主にその周辺部で発生し、その周辺部がセンサー素子構造の残りに固定されるからである。隔壁もまた、結晶化炭化ケイ素から成る。空洞の深さ、つまり、表面７と５を離間している距離は約１μｍである。圧力センサー素子全体を、１０００℃を優に超える温度でも安定している炭化ケイ素製とするすることで、光ファイバーシステムは該高温が残留する環境化においても圧力を確実に計測し測定することができる。
【００３８】
図３は本発明の別の実施形態による光ファイバーシステムの圧力センサー素子４’を概略的に示す。図３の圧力センサー素子は図２の圧力センサー素子とは、空洞１８に圧力センサー素子周囲の媒質に通じる溝状開口部２１が設けられている点で異なる。この開口部により、炭化ケイ素のヤング率が高いため、圧力センサー素子が動圧、つまり様々な圧力および特に高周波数で変動する圧力を適切に測定できるようになる。
【００３９】
図４および図５は本発明による光ファイバーシステムにおいて蛍光部材８’および８”をそれぞれ配置する、２つの異なる方法を概略的に示す。蛍光部材８’は図４に示す実施形態で光ファイバーの低温部分に配置され、ネオジムまたは蛍光特性を持つその他の希土類金属イオンでドープしたガラス製の円盤からできていてもよい。本実施形態の部材８’は、石英系標準ファイバーで形成される光ファイバーの低温部分２２と、光ファイバーの高温部分２３間で光線を伝送するレンズである。高温部分２３は圧力センサー素子４に接続し、サファイアなどの少なくとも８００℃の連続温度に耐えられる物質から成る。
【００４０】
図５の実施形態は図４の実施形態とは、蛍光部材８”が、圧力センサー素子と接続して配置され、圧力センサー素子として、圧力センサー素子周囲の媒質と同じ温度にさらされるために、蛍光部材が高温に耐えられる物質で構成されなければならないという点で異なる。蛍光部材８”をチタンドープしたサファイア、またはドープ炭化ケイ素層とすることでこれを実現できる。光ファイバーの２つの部分２２と２３は本実施形態では適切なレンズ２４で接続され、部分２２と２３間の光線を伝送する。
【００４１】
本発明は言うまでもなく、いかなる方法でも前記実施形態に制限されるものではない。添付の特許請求の範囲に定義される本発明の範囲から逸脱することなく、当技術分野の技術者には前記実施形態の修正に対する多くの可能性が明らかであろう。
【００４２】
光を反射するための前記固定表面が、光ファイバーと離間した圧力センサー素子の一部の上に形成されていることが示されているが、本固定表面は主に光ファイバーの一部であってもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１  光源
２  分岐部
３  光ファイバー
４  圧力センサー素子
５  表面
６  隔壁
７  表面
８  蛍光部材
９  分配器
１０  分岐部
１１  検出器
１２  配列
１３  分岐部
１４  検出器
１５  手段
１６  装置
１７  上面
１８  空洞
１９  底面
２０  区域
２１  開口部
２２  低温部分
２３  高温部分
２４  接続手段
２５  層
【図１】
2012529023.tif 000003
【図２】
2012529023.tif 000004
【図３】
2012529023.tif 000005
【図４】
2012529023.tif 000006
【図５】
2012529023.tif 000007
【国際調査報告】
2012529023.tif 000008
2012529023.tif 000009
2012529023.tif 000010