(57)【要約】  本発明は、排気され得る少なくとも１つのプロセスチャンバ（０２）と、少なくとも１つの入口開口（１０）および少なくとも１つの出口開口（１１）とを備える真空被膜システム（０１）に関する。プロセスチャンバ（０２）を通過しながら被膜されるウェハ要素（０３）は、入口開口（１０）および出口開口（１１）を経てプロセスチャンバ内に送り込まれ、かつそこから取出されることができる。パドルバルブ閉止経路に沿って開放位置と耐圧に閉止される位置との間で調節され得るパドルバルブ（０８，０９）は、入口開口（１０）および出口開口（１１）上にそれぞれ設けられる。ウェハ要素（０３）を搬送する目的で、少なくとも３つの搬送装置（０４，０５，０６，０７）を有する搬送システムが設けられ、第１の搬送装置（０４，１７）は入口開口（１０）の上流に配置され、第２の搬送装置（０５，１７）はプロセスチャンバ（０２）内に配置され、第３の搬送装置（０６，１７）は出口開口（１１）の下流に配置される。各搬送装置（０４，０５，０６，１７）は、ウェハ要素（０３）を上方から載置し、かつ、搬送要素（１４，１８）を回転駆動することによりウェハ要素（０３）を搬送方向（０７）に真空被膜システム（０１）内を通して引き渡すことのできる、少なくとも１つの回転搬送要素（１４，１８）を備える。搬送システムは、入口開口（１０）および／または出口開口（１１）に調節可能な移動搬送装置（１２，１３，１６）を有し、移動搬送装置は、移動位置とアイドル位置との間で調節可能であり、移動搬送装置（１２，１３，１６）の移動位置においては、ウェハ要素（０３）を、開放されている入口開口または開放されている出口開口を経て、１つの搬送装置（０４，０５，０６，１７）から引き渡し方向（７）の下流の次の搬送装置に移動させることができ、移動搬送装置（１２，１３，１６）のアイドル位置においては、パドルバルブ閉止経路に沿って関連のパドルバルブ（０８，０９）を調節することにより、入口開口（１０）および／または出口開口（１１）を開放または閉止することができる。
2012514861.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空被膜システム（０１）であって、排気され得る少なくとも１つのプロセスチャンバ（０２）と、少なくとも１つの入口開口（１０）および少なくとも１つの出口開口（１１）とを備え、プロセスチャンバ（０２）を通過しながら被膜されるウェハ要素（０３）は、入口開口（１０）および出口開口（１１）を経てプロセスチャンバ内に送り込まれ、かつそこから取出されることができ、パドルバルブ閉止経路に沿って開放位置と耐圧に閉止される位置との間で調節され得るパドルバルブ（０８，０９）は、入口開口（１０）および出口開口（１１）上にそれぞれ設けられ、ウェハ要素（０３）を搬送する目的で、少なくとも３つの搬送装置（０４，０５，０６，０７）を有する搬送システムが設けられ、第１の搬送装置（０４，１７）は入口開口（１０）の上流に配置され、第２の搬送装置（０５，１７）はプロセスチャンバ（０２）内に配置され、第３の搬送装置（０６，１７）は出口開口（１１）の下流に配置され、各搬送装置（０４，０５，０６，１７）は、ウェハ要素（０３）を上方から載置し、かつ、搬送要素（１４，１８）を回転駆動することによりウェハ要素（０３）を搬送方向（０７）に真空被膜システム（０１）内を通して引き渡すことのできる、少なくとも１つの回転搬送要素（１４，１８）を備え、
搬送システムは、入口開口（１０）および／または出口開口（１１）に調節可能な移動搬送装置（１２，１３，１６）を有し、前記移動搬送装置は、移動位置とアイドル位置との間で調節可能であり、移動搬送装置（１２，１３，１６）の移動位置においては、ウェハ要素（０３）を、開放されている入口開口または開放されている出口開口を経て、１つの搬送装置（０４，０５，０６，１７）から引き渡し方向（７）の下流の搬送装置に移動させることができ、移動搬送装置（１２，１３，１６）のアイドル位置においては、パドルバルブ閉止経路に沿って関連のパドルバルブ（０８，０９）を調節することにより、入口開口（１０）および／または出口開口（１１）を開放または閉止することができることを特徴とする、真空被膜システム。
【請求項２】
少なくとも１つのパドルバルブ（０８，０９）は回動可能に取付けられ、回動動作に応じて、パドルバルブ閉止経路に沿って開放位置と耐圧に閉止される位置との間で調節することができることを特徴とする、請求項１に記載の真空被膜システム。
【請求項３】
封止部材が、パドルバルブ（０８，０９）の入口開口（１０）または出口開口（１１）に面する側に設けられ、前記封止部材は、パドルバルブが閉止位置にあるとき、プロセスチャンバ（０２）の壁とパドルバルブ（０８，０９）との間の封止隙間の耐圧の封止を設けることを特徴とする、請求項２に記載の真空被膜システム。
【請求項４】
移動搬送装置（１２，１３，１６）は、少なくとも１つの回転搬送要素（１４，１８）を備え、前記少なくとも１つの回転搬送要素は、ウェハ要素（０３）を上方から載置し、かつ、通過しながら搬送要素（１４，１８）を回転駆動することによってウェハ要素（０３）を引き渡すことができることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の真空被膜システム。
【請求項５】
搬送装置（０４，０５，０６，１７）の搬送要素（１４，１８）および／または移動搬送装置（１２，１３，１６）の搬送要素（１４，１８）は、コンベアーベルトタイプ、コンベアーコードタイプ、またはコンベアーワイヤタイプに構成されることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の真空被膜システム。
【請求項６】
搬送要素（１４，１８）は、金属材料またはポリマー材料、特に織られたポリマーフィラメント、またはセラミック材料、特に織られたセラミックフィラメントから生産されることを特徴とする、請求項５に記載の真空被膜システム。
【請求項７】
移動搬送装置（１２，１３）の搬送要素（１４）は、少なくとも２つの偏向部材、特に偏向ローラ（１５）に亘って締め付けられ、少なくとも１つの偏向部材（１５）は回動可能に取付けられ、移動位置とアイドル位置との間で回動することができ、搬送要素（１４）は移動位置において搬送方向（０７）に延在し、かつ、搬送要素（１４）はアイドル位置において、パドルバルブ閉止経路の外側に配置されることを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の真空被膜システム。
【請求項８】
移動搬送装置（１６）は、上流または下流の搬送装置（１７）の一体部分として形成され、移動搬送装置（１６）および搬送装置（１７）は、ウェハ要素（０３）を搬送するための共通の搬送要素（１８）を使用し、移動搬送装置（１６）を形成する搬送装置（１７）の部分は、移動位置とアイドル位置との間で調節可能であることを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の真空被膜システム。
【請求項９】
移動搬送装置（１６）および搬送方向（０７）の上流または下流の搬送装置（１７）の共通の搬送要素（１８）は、少なくとも２つの偏向部材、特に偏向ローラ（１９，２０）に亘って締め付けられ、少なくとも１つの偏向部材（１９）は調節可能に取付けられ、移動位置とアイドル位置との間で調節可能であることを特徴とする、請求項８に記載の真空被膜システム。
【請求項１０】
共通の搬送要素（１８）は、移動位置とアイドル位置との間で調節されるとき、機械的に調節可能な締付部材（２１）により案内されて長さ補償を実現することを特徴とする、請求項９に記載の真空被膜システム。
【請求項１１】
通過しながらウェハ要素（０３）を処理するための少なくとも１つのさらなるシステムが、真空被膜システム（０１）の上流および／または下流に配置され、ウェハ要素（０３）は、中間ストレージなしに搬送装置によって上流のシステムから真空被膜システム（０１）内に送り込まれる、および／またはウェハ要素（０３）は、中間ストレージなしに真空被膜システム（０１）から下流のシステム内に引き渡されることを特徴とする、請求項１から１０のいずれかに記載の真空被膜システム。
【請求項１２】
真空被膜システム（０１）においてウェハ要素（０３）を被膜するための方法であって、前記真空被膜システムは、排気され得る少なくとも１つのプロセスチャンバ（０２）と、少なくとも１つの入口開口（１０）および少なくとも１つの出口開口（１１）とを備え、パドルバルブ閉止経路に沿って開放位置と耐圧に閉止される位置との間で調節され得るパドルバルブ（０８，０９）は、入口開口（１０）および出口開口（１１）上にそれぞれ設けられ、ウェハ要素（０３）を搬送する目的で、少なくとも３つの搬送装置（０４，０５，０６，１７）を有する搬送システムが設けられ、第１の搬送装置（０４，１７）は入口開口（１０）の上流に配置され、第２の搬送装置（０５，１７）はプロセスチャンバ内に配置され、第３の搬送装置（０６，１７）は出口開口（１１）の下流に配置され、各搬送装置（０４，０５，０６，１７）は、ウェハ要素（０３）を上方から載置し、かつ、搬送要素（１４，１８）を回転駆動することによりウェハ要素（０３）を搬送方向（０７）に真空被膜システム（０１）内を通して引き渡すことのできる、少なくとも１つの回転搬送要素（１４，１８）を備え、
前記方法は、
ａ）  第１の搬送装置（０４，１７）によりウェハ要素（０３）を引き渡す工程と、
ｂ）  入口開口（１０）の移動搬送装置（１２，１６）をアイドル位置に動かして、入口開口（１０）のパドルバルブ（０８）を開放する工程と、
ｃ）  入口開口（１０）の移動搬送装置（１２，１６）を移動位置に動かして、入口開口（１０）を経てウェハ要素（０３）を引き渡し、第２の搬送装置（０５，１７）上にウェハ要素（０３）を移動させる工程と、
ｄ）  入口開口（１０）の移動搬送装置（１２，１６）をアイドル位置に動かして、入口開口（０８）のパドルバルブ（０８）を閉止する工程と、
ｅ）  プロセスチャンバ（０２）内のウェハ要素（０３）を被膜する工程と、
ｆ）  出口開口（１１）の移動搬送装置（１３，１６）をアイドル位置に動かして、出口開口（１１）のパドルバルブ（０９）を開放する工程と、
ｇ）  出口開口（１１）の移動搬送装置（１３，１６）を移動位置に動かして、出口開口（１１）を経てウェハ要素（０３）を引き渡し、第３の搬送装置（０６，１７）上にウェハ要素（０３）を移動させる工程と、
ｈ）  出口開口（１１）の移動搬送装置（１３，１６）をアイドル位置に動かして、出口開口（１１）のパドルバルブ（０９）を閉止する工程とを備える、方法。
【請求項１３】
入口開口（１０）のパドルバルブ（０８）および／または出口開口（１１）のパドルバルブ（０９）は、開放する目的で開放位置に回動され、かつ、閉止する目的で閉止位置に回動されることを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
ウェハ要素（０３）は、通過しながら真空被膜システム（０１）の上流のシステムにおいて処理され、かつ、通過しながら中間ストレージなしに上流のシステムから真空被膜システム（０１）内に引き渡されることを特徴とする、請求項１２または１３に記載の方法。
【請求項１５】
ウェハ要素（０３）は、通過しながら真空被膜システムの下流のシステムにおいて処理され、かつ、通過しながら中間ストレージなしに真空被膜システム（０１）から下流のシステム内に引き渡されることを特徴とする、請求項１２から１４のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１のプリアンブルに従ってウェハ要素を被膜するための真空被膜システムに関する。さらに、本発明は、真空被膜システムにおいてウェハ要素を被膜するための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な真空被膜システムは、たとえば、太陽電池モジュールの製造に必要な太陽電池セルの生産のために用いられる。太陽電池セルの生産プロセス中、この目的のために必要なウェハ要素は、真空被膜システム中で少なくとも１枚の薄膜で被膜される。この性質の真空被膜システムは、たとえば、文献ＥＰ  １  ８７０  ４８７  Ａ１号およびＥＰ  １  ９５６  １１１  Ａ１号に明記されている。
【０００３】
真空被膜システムのプロセスチャンバ内の被膜プロセスが行なわれ得るようにするためには、プロセスチャンバを十分に排気する必要がある。真空被膜システム内の真空を維持する目的のためには、したがって、被膜されるべき基板、本件の場合にはウェハ要素が、入口開口、出口開口をそれぞれ経て真空被膜システム内に送り込まれ、かつ、そこから取出される必要がある。入口開口および出口開口には、それぞれパドルバルブ（Schleusenklappe）が設けられている。パドルバルブは、プロセスチャンバ内の真空が周囲雰囲気から確実に分離されるように、耐圧の態様で入口開口および出口開口を閉止することができる。公知のシステムにおいては、効率を高める目的で、典型的には、入口開口を有する入口ロック、前処理チャンバ、いくつかのプロセスチャンバ、後処理チャンバおよび出口開口を有する出口ロックが設けられる。前処理チャンバ、様々なプロセスチャンバおよび後処理チャンバはまた、パドルバルブによって互いから同様に分離されている。システム全体の各個のチャンバは、それぞれ２つのパドルバルブによってロックすることができ、本発明の意味の範囲内においては、プロセスチャンバとして理解されるべきである。
【０００４】
真空被膜システムを経て被膜されるべき基板を搬送する目的で、被膜されるべき基板基板が真空被膜システムを通過できるようにするインライン搬送システムが公知である。真空被膜システムの少なくとも１つのプロセスチャンバを通過できるようにするためには、互いから分離された少なくとも３つの搬送装置が、この目的に必要である。ここで、第１の搬送装置は、入口開口の上流に配置され、第２の搬送装置は、実際のプロセスチャンバ内に配置され、第３の搬送装置は、出口開口の下流に配置される。パドルバルブを閉止することによって耐圧の態様でプロセスチャンバを封止する必要があるため、搬送システムをこのように３つの個別の搬送装置に分割する必要がある。しかしながら、パドルバルブを用いたこのような耐圧封止は、連続搬送装置が入口開口、出口開口をそれぞれ経て到達すると、実現できない。その結果、入口開口および出口開口の領域内の個々の搬送装置どうしの間に隙間が生じる。真空被膜システムによる基板の搬送中、基板は個々の搬送装置どうしの間の隙間を埋めることが求められる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
個々の搬送装置どうしの間の隙間を埋めることは、機能性ガラス板（Funktionsglasscheiben）などの大型の基板においては問題なく実現することができる。大型の基板は、そのサイズのために、通過しながら問題なく搬送装置間の隙間を跨ぐことができる。ウェハ要素など、たとえば１，１００ｃｍ2未満の範囲のサイズおよび０．５ｍｍ未満の厚みを有する、比較的小型の基板を被膜する場合、一方の後ろに他方が配置された搬送装置間の隙間を跨ぐことは可能ではない。というのも、長さが比較的短いため、これらのウェハ要素は、隙間を跨ぐことができず、むしろ、１つの搬送装置からその下流の搬送装置までの搬送中に、搬送装置間の隙間に落下してしまうであろうためである。それでもこのような小型の基板、特に１５６ｍｍ×１５６ｍｍの寸法を有する太陽電池モジュールの生産用のウェハ要素の被膜を可能にするために、いわゆるキャリアが使用される。たとえば、文献ＤＥ  １０２  ０５  １６８  Ａ１号は、基板がキャリアの援助によって真空被膜システム内を通して引き渡される真空被膜システムを記載している。真空被膜システムの動作中、第１のステップにおいて、一定枚数のウェハ要素がキャリア上に載置されて、次に、キャリアがウェハ要素と共に真空被膜システム内を通して引き渡される。キャリアの表面の方が大きいため、真空被膜システムの個々の搬送装置間の隙間を跨ぐことは、問題なしに実現される。しかしながら、このキャリアの利用は相当な欠点を伴う。
【０００６】
キャリアの援助によりウェハ要素が引き渡されるため、ウェハ要素を真空被膜システムの前でキャリアに載置し、かつ、被膜の後に、再びウェハ要素を取出すことが絶対的に必要となる。キャリアのローディングおよびアンローディングによって、プロセス所要時間は相当に延長されてしまう。さらに、たとえばこのプロセスで使用される取扱ロボットなど、必要なローディングおよびアンローディングシステムにより、たとえば、必要とされる動作空間および必要な取扱工具を設けるために、高コストが生じてしまう。
【０００７】
キャリアそのものが、たとえばカーボンファイバ織物など、特別に設計された材料から生産される必要があり、相当な投資コストが生じる。投資コストは、真空被膜システムにおけるプロセス条件の結果としてキャリアが比較的早く擦り減るという局面によって、より一層増加する。さらに、キャリアのサービス年数（Alter）および前処理の種類に依存して、被膜プロセスが望ましくない変動にさらされることから、真空被膜システムにおける被膜結果は、プロセスチャンバ内へのキャリアの挿入によって、真空被膜システムにおいて悪影響を受ける。さらに、非常に繊細なウェハ要素は、キャリアのローディングおよびアンローディング中に非常に容易に壊れ得るため、利用可能なウェハ要素の歩留りは公知の真空被膜システムによって低下してしまう。典型的には、キャリアのローディングおよびアンローディングの結果として、真空被膜システム内を通して引き渡されるウェハ要素のうち１％の損失が見込まれる。このような現行技術から出発して、本発明の目的は、前述の欠点を克服することを可能にする真空被膜システムを提案することである。本発明のその他の目的は、前述の欠点を同様に回避する真空被膜システムを動作させるための方法を提案することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的は、２つの主な独立請求項の教示に従う真空被膜システムおよび真空被膜システムを動作させるための方法により達成される。
【０００９】
発明の有利な実施形態は、従属請求項の主題である。
発明の基本的な概念は、ウェハ要素を、一方の後ろに他方が配置された２つの搬送装置間の隙間を跨いで搬送可能な移動搬送装置の利用に依拠する。ここで、移動搬送装置は、それぞれのパドルバルブが開く方向に依存して、入口開口または出口開口それぞれの上流または下流に配置することができる。移動搬送装置の特徴は、移動位置とアイドル位置との間で調節できることである。移動位置においては、ウェハ要素は、開放されている入口開口を経て、または開放されている出口開口を経て、２つの搬送装置間の隙間を跨いで引き渡し方向へ移動されることができる。ウェハ要素の搬入の後にパドルバルブを再び閉止できるように、移動搬送装置はアイドル位置にも動かされ得るように構成される。アイドル位置においては、移動搬送装置は、パドルバルブ閉止経路に沿って、開口位置と耐圧に閉止される位置との間でのパドルバルブの調節が、両方向で問題なしに実現され得るように、パドルバルブ閉止経路の外側に配置される。
【００１０】
その結果、一方の後ろに他方が配置された搬送装置間で埋められるべき隙間は、本発明の移動搬送装置によって、問題なく、かつ、初めにキャリアにウェハ要素を再ローディングする必要なしに、ウェハ要素を直接移動させることが実現可能な程度まで小さくなる。入口開口および出口開口の閉止が移動搬送装置によって不可能になることを防止するために、移動搬送装置は調節可能に取付けられる。移動搬送装置を移動位置からアイドル位置に動かすことによって、パドルバルブの開閉が可能になる。
【００１１】
パドルバルブの閉止機構の設計態様は、基本的には随意である。しかしながら、ウェハ要素の生産に関しては、回動動作に応じて、開放位置と耐圧に閉止される位置との間で調節することができる回動可能に取付けられたパドルバルブが特に有利である。なぜなら、ウェハ要素は破損しやすいために、一般的に、破片が閉止隙間に入り込んでしまう可能性を排除できないためである。回動動作中に封止隙間に押し当てられる回動可能に取付けられたパドルバルブは、封止隙間中の破片に対して非常に反応しにくい。
【００１２】
さらに、パドルバルブの閉止位置におけるプロセスチャンバの壁とパドルバルブとの間の封止隙間を耐圧の態様で封止することができるように、入口開口および出口開口に面するパドルバルブの側に封止部材が設けられると、特に有利である。特に、このようにして、外部雰囲気のプロセスチャンバの内部への侵入が防がれ、すなわちより難しくなる。搬送装置内、および個々の搬送装置間の移動搬送装置において、ウェハ要素を搬送するために使用される搬送要素の種類は、基本的には随意である。しかしながら、ウェハ要素が破損しやすい点に関しては、ウェハ要素の引き渡しのために、コンベアーベルト、コンベアーコード、またはコンベアーワイヤを利用すると、特に有利である。回転移送部材は、上方から載置されたウェハ要素を本質的に外力の作用なしに、個々の搬送装置間で、それぞれ移動搬送装置間で移動させることができる。この文脈において、搬送装置と、その間に介在する移動搬送装置との間の残距離が、ウェハ要素の長さによる問題なしに、隙間を跨ぐことができるのに十分小さいことだけは確実にするべきである。
【００１３】
プロセスチャンバ中のウェハ要素の実質的に妨害されない被膜に関しては、搬送要素が金属材料またはポリマー材料、特に織られたポリマーフィラメント、またはセラミック材料、特に織られたセラミックフィラメントから生産されると、特に有利である。この対策により、必要とされる温度安定性とともに十分な機械抵抗を確保することができる。
【００１４】
発明の要件とされる移動搬送装置の調節性を実現するためには、様々な構造上の選択肢がある。調節可能な移動搬送装置の第１の実施形態に従うと、２つの偏向部材、特に偏向ローラに亘って締め付けられる移動搬送装置の搬送要素であって、少なくとも１つの偏向部材が回動可能に取付けられる搬送要素が設けられる。回動可能に取付けられた偏向ローラを上方または下方に回動させることによって、偏向部材は、このように確実にパドルバルブを閉止または開放するために、移動位置とアイドル位置との間で回動することができる。
【００１５】
最も単純な実施形態においては、移動搬送装置は、一方の後ろに他方が配置された搬送装置間に置かれる個別の設備として構成される。
【００１６】
または、移動搬送装置を真空被膜システムに設けられた搬送装置に任意の方法で一体化させる実施形態が考えられる。利用可能な搬送装置に移動搬送装置を一体化させることの特徴は、移動搬送装置およびそれに関連する搬送装置が、ウェハ要素を搬送するために、たとえばコンベアーベルトまたはコンベアーコードなどの共通の搬送要素を用いることである。ここで、本発明の意味の範囲内における移動搬送装置を形成する搬送装置の部分は、移動位置とアイドル位置との間で調節できるように調節可能である。
【００１７】
上流または下流の搬送装置のうち１つに移動搬送装置を一体化させるために可能な実施形態は、２つの偏向部材に亘って締め付けられる共通の搬送要素であって、偏向部材のうち少なくとも１つを移動位置とアイドル位置との間で調節することができる搬送要素にある。
【００１８】
偏向部材の調節の間、搬送要素の実効長の長さの必要な変更をより容易に実現できるようにするために、機械的に調節可能な締付部材により搬送要素を案内することが考えられる。調節可能な偏向部材の位置に依存して、移動位置とアイドル位置との間の調節の間に必要な長さ補償をこのように確保するために、締付部材が搬送要素を追加の長さまで開放する。
【００１９】
本発明の真空被膜システムの主な利点は、ウェハ要素をキャリアに再ローディングしたり、ウェハ要素をキャリアからダウンローディングしたりする必要がもはやないという局面である。キャリアのローディングおよびアンローディングが省略され、また、それにより真空被膜システムの入口、出口それぞれにおいてウェハ要素を緩衝する必要性が省略できることにより、真空被膜システムをより大きな設備ラインに一体化させることが問題なく可能になる。真空被膜システムの上流および下流にウェハ要素を処理するためのさらなるシステムを配置することによって、ウェハ要素は、通過しながら１つのシステムから次のシステムに問題なくさらに搬送されることができ、個々のシステム部分間の中間ストレージ（Zwischenlagerung）を省略することができる。真空被膜システムにおいてウェハ要素を被膜するための発明の方法は、入口開口および出口開口においてパドルバルブを開閉するために、そこに配置された移動搬送装置をそれぞれアイドル位置に移動させるという局面を特徴とする。ウェハ要素を、入口開口、出口開口のそれぞれを経て移動させるために、各々の場合に、パドルバルブは完全に開放され、また、移動搬送装置は移動位置に動かされる。
【００２０】
好ましい方法の変形に従うと、パドルバルブの開閉は開放位置および閉止位置への回動により行なうべきである。真空被膜をより大きな設備ラインに一体化させるために、上流のシステムを通過した後、ウェハ要素は、通過しながら、直接かつ中間ストレージなしに真空被膜システムへと移動され得る。
【００２１】
さらに、真空被膜システムで被膜され、かつ、真空被膜システム内を通過したウェハ要素を中間ストレージなしに、かつ通過しながら、下流のプラント内に移動させることが同様に可能である。
【００２２】
発明のさまざまな局面を概略的に図面に図示し、下記に例示的に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】移動搬送装置を有する真空被膜システムの第１のバリエーションの断面視による断面図である。
【図２】移動搬送装置を有する真空被膜システムの第２のバリエーションを断面視により示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１は、断面視における真空被膜システム０１を示す。ここで真空被膜システム０１は概略的に図示されるのみであり、発明を理解するために必要なシステム部分のみを示す。
【００２５】
真空被膜システム０１は少なくとも１つのプロセスチャンバ０２を有する。プロセスチャンバ０２においては、ウェハ要素０３の被膜のために必要なプロセス条件を提供するために真空が生成され得る。ウェハ要素０３は、いくつかの搬送装置０４、０５および０６を有する搬送システムによって通過している間、真空被膜システム０１内を搬送方向０７に引き渡される。
【００２６】
プロセスチャンバ０２を耐圧の態様で閉止することができるように、入口開口１０、出口開口１１をそれぞれ耐圧の態様で閉止することのできる２つの回動可能に取付けられるパドルバルブ０８および０９が設けられる。パドルバルブ０９を開閉するためのパドルバルブ閉止経路が図１に概略的に図示されている。本実施形態においては、パドルバルブ０８および０９は、入口開口１０または出口開口１１を開放するために約９０度上方に回動される必要がある。２つの開口１０および１１を閉止するために、パドルバルブ０８および０９は下方に回動され、プロセスチャンバ０２の壁に対して押し当てられる。パドルバルブ０８および０９の開閉中、各々の場合において、ほぼ９０度の開放角度を有する円形区分が覆われる。
【００２７】
パドルバルブ０８および０９の開閉を可能にするために、搬送装置０４、０５および０６の間には距離が設けられる。搬送装置０４、０５および０６の間の隙間を跨ぐウェハ要素０３の搬送は、２つの移動搬送装置１２および１３の援助によって行なわれる。移動搬送装置１２および１３においては、搬送装置０４、０５および０６の場合と同様に、各々の場合において、搬送要素として作用するコンベアーベルト１４が設けられる。コンベアーベルト上に、ウェハ要素０３を上方から載置して、搬送方向０７に偏向ローラ１５を駆動することによって引き渡すことができる。一方では移動搬送装置１２および１３と、他方では上流または下流の搬送装置０４、０５および０６との間の距離は、ウェハ要素０３がちょうど問題なく距離を跨ぐことができるほど十分に小さい。
【００２８】
パドルバルブ０８および０９を開放または閉止することができるように、移動搬送装置１２および１３は、下方に回動したアイドル位置と上方に回動した移動位置との間で回動することができる。ここで回動機構は、バルブ動作を介して機械的に連結することができる。たとえばモータまたは空気圧シリンダなど、個別のアクチュエータとの連結が同様に可能である。ウェハ要素をプロセスチャンバ０２内に引き渡すことになっている場合またはプロセスチャンバ０２から取出すことになっている場合、パドルバルブ０８および０９は、第１の工程において、上方に回動されることによって、入口開口１０または出口開口１１を開放する。次に、移動搬送装置１２、１３はそれぞれ上方に回動され、最終的にウェハ要素は、搬送装置０４、０５および０６で、それぞれ移動搬送装置１２および１３におけるコンベアーベルト１４を搬送方向０７に駆動することによって動かされる。入口開口１０または出口開口１１を閉止するために、移動搬送装置１２および１３は下方に回動され、次に、パドルバルブ０８および０９はそれぞれ入口開口１０の前または出口開口１１の前に回動される。
【００２９】
図２はウェハ要素０３を搬送するための搬送システムの第２の実施形態における真空被膜システム０１を示す。搬送システムの本実施形態においては、各々の場合において、調節可能な移動搬送装置１６が上流の調節不可能な各搬送装置１７に一体化される。ここで、移動搬送装置１６および搬送装置１７は各々、たとえば偏向ローラなどの２つの偏向部材１９および２０に亘って締め付けられる共通の搬送要素１８、たとえばコンベアーベルトなどを使用する。ここで、偏向部材１９は調節可能に取付けられ、移動搬送装置１６の実効長を変えるために、アイドル位置と移動位置との間で搬送方向０７に直線状に調節することができる。この文脈において図２は、プロセスチャンバ０２内の移動搬送装置が、パドルバルブ０９の開放を可能にするアイドル位置にあるように示しており、一方、入口開口１０における移動搬送装置１６が、ウェハ要素０３をそれぞれの下流の搬送装置１７に問題なく搬送することのできる移動位置にあるように示している。
【００３０】
偏向部材１９をアイドル位置と移動位置との間で動かす際の搬送要素１８の必要な長さ補償は、締付部材２１によって実現される。搬送要素１８が締め付けられる締付部材２１に設けられる偏向ローラ２２はバネで付勢されて（federbeaufschlagt）おり、偏向ローラ１９の位置に依存して、必要な長さ補償を設けるために上方または下方に変位されてもよい。
【００３１】
ウェハ要素０３をプロセスチャンバ０３の内外に引き渡すために、パドルバルブ０８および０９が上方に回動され、偏向ローラは次に、一方の後ろに他方が配置された移動搬送装置１６と下流の搬送装置１７との間に僅かな距離しか残らなくなるまで前方に動かされる。
【００３２】
次に、搬送要素１８の駆動により、入口開口１０、出口開口１１をそれぞれ経てウェハ要素０３の必要な搬送動作がなされる。プロセスチャンバ０２を閉止するために、偏向ローラ１９は後退され、パドルバルブ０８および０９はそれぞれ入口開口１０、出口開口１１の前で回動される。
【図１】
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【図２】
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【国際調査報告】
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